(57)【要約】【課題】半導体装置の製造工程において大気中の水分による銅配線や層間絶縁膜への影響を抑えることが可能な半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】半導体基板上に、金属層、層間絶縁膜を順次形成し、層間絶縁膜に、フッ素系エッチングガスを用いてエッチングを行い、金属層に到達する所定パターンの開口部を形成した後、大気に晒すことなく、半導体基板上に塩素系シランガスを供給して放電し、少なくとも開口部の内面にＳｉ膜を形成する。【選択図】図１
2010114255.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板上に、金属層、層間絶縁膜を順次形成し、
前記層間絶縁膜に、フッ素系エッチングガスを用いてエッチングを行い、前記金属層に到達する所定パターンの開口部を形成した後、大気に晒すことなく、塩素系シランガスを供給して放電し、少なくとも前記開口部の内面にＳｉ膜を形成する、
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記金属層は銅配線層であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記層間絶縁膜は、比誘電率が４．２未満の低誘電率層間絶縁膜を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記塩素系シランガスは、ＳｉＣｌ４であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記層間絶縁膜は、金属層上に形成された第１の層間絶縁膜と、この第１の層間絶縁膜上に形成された第２の層間絶縁膜を有し、
前記第２の層間絶縁膜に、第１のエッチングにより前記第１の層間絶縁膜に到達する第１の凹部を形成し、
前記第２の層間絶縁膜の前記第１の凹部を含む領域に、第２のエッチングにより前記第１の凹部より浅い第２の凹部を形成し、
前記第１の凹部の底部に露出した前記第１の層間絶縁膜を、第３のエッチングにより除去することにより、前記開口部を形成することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば銅配線、低誘電率層間絶縁膜を用いた半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体装置の微細化、高速化に伴い、銅配線が用いられるとともに、配線間隔の縮小、多層化に伴う電気回路信号の遅延を抑制するために、低誘電率の層間絶縁膜が用いられている。低誘電率の層間絶縁膜としては、例えばＳｉＯ２骨格にＣＨ３やＨを含むＳｉＣＯＨ膜が用いられている。
【０００３】
このような銅配線、低誘電率の層間絶縁膜を用いた多層構造の半導体装置において、下層銅配線中の銅が、層間絶縁膜中に拡散することを防止するために、下層銅配線と層間絶縁膜の界面に、バリア性の高い拡散防止膜が形成されている。そして、このような拡散防止膜は、層間絶縁膜にヴィアホールパターンが形成された際に、ヴィアホールパターン底部において露出する。そして、配線溝が形成された後、露出した部分をエッチングにより除去する。このとき、拡散防止膜としては、ＳｉＮ、ＳｉＣＮ、ＳｉＣなどのＳｉを含む膜が用いられているため、通常、フッ素系のエッチングガスを用いたドライエッチングが行われる。
【０００４】
このようにエッチングを行うことにより、ヴィアホール底部に銅配線が露出し、この状態で次工程まで大気放置されるが、この際、銅配線が腐食を起こしてしまう（例えば特許文献１など参照）。これは、フッ素系のエッチングガスを用いたドライエッチングにより、露出した銅配線表面にフッ素が残存し、残存したフッ素が大気中の水分と反応してＣｕ−Ｆとなるため、Ｆが水分中の酸素やＯＨ基と反応し、Ｃｕ酸化物やＣｕ水酸化物となるためであると考えられる。そして、このように銅配線が腐食を起こすことにより、所望の電気特性が得られないという問題がある。
【０００５】
また、フッ素はヴィアホール内壁にも残存し、特にＳｉＯ２を骨格にＣＨ３基やＨを含む低誘電率の無機絶縁膜からなる層間絶縁膜のエッチャントとなり得ることから、層間絶縁膜がエッチングされ、エッチングダメージ層が形成される。特に、層間絶縁膜の低誘電率化に伴い多孔質化された層間絶縁膜は、よりダメージを受けやすくなる。そして、このエッチングダメージ層は、大気放置された際に吸湿し、誘電率の上昇を引き起こしてしまうという問題を生じている。
【０００６】
そのため、大気中の水分の影響およびその影響による特性の変動をできるだけ抑えるために、フッ素系のエッチングガスを用いたドライエッチングによる処理の後、ウェットエッチングなどの次工程までの大気放置時間を厳密に管理している。しかしながら、大気放置時間を管理するだけでは、例えば、生産ラインに停電などのトラブルが生じ、生産が停止した場合など、対応することができない。
【特許文献１】特開２００４−３５６４７４号公報（段落［００１０］など）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、半導体装置の製造工程において大気中の水分による銅配線や層間絶縁膜への影響を抑えることが可能な半導体装置の製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様によれば、半導体基板上に、金属層、層間絶縁膜を順次形成し、前記層間絶縁膜に、フッ素系エッチングガスを用いてエッチングを行い、前記金属層に到達する所定パターンの開口部を形成した後、大気に晒すことなく、前記半導体基板上に塩素系シランガスを供給して放電し、少なくとも前記開口部の内面にＳｉ膜を形成する、ことを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の一実施態様によれば、半導体装置の製造工程において、大気中の水分による銅配線や層間絶縁膜への影響を抑えることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下本発明の実施形態について、図を参照して説明する。
【００１１】
図１に、本実施形態の半導体装置の製造工程における処理フローを示す。また、図２〜図７に、本実施形態の半導体装置の製造工程における半導体基板の断面図を示す。
【００１２】
先ず、図２に示すように、先ず、Ｓｉ基板など半導体基板（ｓｕｂ．）上に形成された層間絶縁膜２１中に、下層の金属層として銅配線層２２を形成する（Ｓｔｅｐ１−１）。次いで、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）装置を用いて、拡散防止膜となる層間絶縁膜として、ＳｉＣＮ膜２３を数十ｎｍ成膜する（Ｓｔｅｐ１−２）。そして、同じくＣＶＤ装置を用いて、低誘電率の層間絶縁膜として、例えば比誘電率が２．６のＳｉＣＯＨ膜２４を数百ｎｍ成膜する（Ｓｔｅｐ１−３）。
【００１３】
さらに、同じくＣＶＤ装置を用いて、垂直形状加工を目的としたハードマスクとして、ＳｉＯ２膜２５を数十ｎｍ成膜する（Ｓｔｅｐ２−１）。続いて、反射防止膜（以下ＡＲＣ（Ａｎｔｉ−Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ  Ｃｏａｔｉｎｇ）と記す）２６、ＡｒＦエキシマレーザ（波長１９３ｎｍ）に対応するＡｒＦレジスト２７を塗布し（Ｓｔｅｐ２−２）、リソグラフィ技術により、露光・現像を行い、ヴィアホールパターンを形成する（Ｓｔｅｐ２−３）。
【００１４】
次いで、図３に示すように、ヴィアホールパターンが形成されたＡｒＦレジスト２７をマスクとして、ＲＩＥ（Ｒｅａｃｔｉｖｅ  Ｉｏｎ  Ｅｔｃｈｉｎｇ）などのドライエッチングにより、ＳｉＣＮ膜２３に到達する凹部３１を形成する（Ｓｔｅｐ３−１）。そして、不要なＡｒＦレジスト２７とＡＲＣ２６を除去する（Ｓｔｅｐ３−２）。
【００１５】
次いで、図４に示すように、形成された凹部２８を埋め込むように、有機膜４１を塗布し、ＣＶＤ装置を用いて、ハードマスクとしてＳｉＯ２膜４２を数十ｎｍ成膜する（Ｓｔｅｐ４−１）。そして、同様にＡＲＣ４３、ＡｒＦレジスト４４を塗布する（Ｓｔｅｐ４−２）。さらに、リソグラフィ技術により、露光・現像を行い、凹部３１上に配線溝パターンを形成する（Ｓｔｅｐ４−３）。
【００１６】
次いで、図５に示すように、配線溝パターンが形成されたＡｒＦレジスト４４をマスクとして、ＲＩＥなどのドライエッチングにより、ＳｉＣＯＨ膜２４中に凹部３１より浅い凹部５１を形成する（Ｓｔｅｐ５−１）。そして、不要なＡｒＦレジスト４４、ＡＲＣ４３および有機膜４１を除去する（Ｓｔｅｐ５−２）。
【００１７】
次いで、ＲＩＥ装置などプラズマ放電処理を行うドライエッチング装置において、例えば圧力：１０ｍＴｏｒｒ程度の真空状態とする。そして、図６に示すように、凹部３１の底部に露出したＳｉＣＮ膜２３を、ＣＦ４などフッ素を含むエッチングガスを用いてドライエッチングにより除去し、デュアルダマシン配線溝となる開口部６１を形成する（Ｓｔｅｐ６）。このとき、開口部６１の内面、すなわち、露出した銅配線層２２上およびＳｉＣＯＨ膜２４表面に、フッ素６２が残存している。
【００１８】
そして、図７に示すように、ドライエッチング装置内で真空状態を維持したまま、すなわちＳｉ基板を大気に晒すことなく、塩素系シランガスとしてＳｉＣｌ４を供給して、プラズマ放電を行うことにより、例えば１０ｎｍ程度のＳｉ膜７１を形成する（Ｓｔｅｐ７）。処理条件は、例えば、圧力：１０ｍＴｏｒｒ、パワー：１０００Ｗ、ＳｉＣｌ４流量：５０ｓｃｃｍ、基板温度：３０℃とする。
【００１９】
このとき、ＳｉＣｌ４は解離が進み、ＳｉやＣｌ分子のイオン、ラジカル中性分子などに分離される。そして、Ｃｌは、露出したＳｉＯ２、ＳｉＣＯＨ、ＳｉＣＮ、Ｃｕと反応することなく、ほぼ未反応のまま排気される。一方、Ｓｉは露出部分に堆積し、露出部分がＳｉ膜７１により被覆される。
【００２０】
Ｓｉ膜７１の膜厚は５〜２０ｎｍであることが好ましい。５ｎｍ未満であると、成膜のばらつきなどにより、大気中の水分の影響を抑えることが困難となる。一方、２０ｎｍを越えると、次工程での除去に時間がかかり、また、そのためにエッチングダメージを誘発する可能性がある。より好ましくは５〜１０ｎｍである。
【００２１】
なお、このとき、露出部分は微量のＣｌが残った状態でＳｉ膜により被覆されるが、Ｃｌは後述するＳｉ膜の剥離工程において除去される。
【００２２】
このようにして、露出した銅配線層、ＳｉＣＯＨ膜がＳｉ膜により被覆されることにより、次工程まで大気放置されても、銅配線層表面に残存するフッ素は、大気中の水分との反応が抑えられ、銅配線の腐食を抑えることが可能となる。また、ドライエッチング時にＳｉＣＯＨ膜表面にエッチングダメージ層が形成された場合であっても、大気放置によるエッチングダメージ層の吸湿は抑えられ、ＳｉＣＯＨ膜の誘電率の上昇を抑制することが可能となる。
【００２３】
従って、フッ素系のエッチングガスを用いたドライエッチングによる処理の後、次工程（例えばウェットエッチング工程）までの大気放置時間を厳密に管理することなく、大気中の水分の影響を抑えることができる。そして、例えば、生産ラインに停電などのトラブルが生じ、生産が停止した場合であっても、所望の電気特性を保つことができ、品質の低下、それに起因する歩留まりの低下を抑えることができる。
【００２４】
なお、このようにして、形成されたＳｉ膜は、次工程（例えばウェットエッチング工程）の開始前に除去される。このとき、除去する方法は、特に限定されるものではなく、銅配線層などの金属層、ＳｉＯ２、ＳｉＣＯＨ、ＳｉＣＮなどの層間絶縁膜に対して選択比を得ることができれば、ＲＩＥやＣＤＥ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｄｒｙ  Ｅｔｃｈｉｎｇ）といったドライエッチングや、フッ硝酸などを用いたウェットエッチングを用いることができる。
【００２５】
特に、次工程がウェットエッチング工程である場合、効率性の観点でウェットエッチングによりＳｉ膜を除去することが好ましい。また、ウェットエッチングを用いることにより、金属層、層間絶縁膜に対して、ダメージを抑え、比較的容易に十分な選択比を取ることができる。
【００２６】
なお、大気中の水分からの保護膜としては、Ｓｉ膜以外の膜も考えられる。しかしながら、上述したように、Ｓｉ膜の除去の際、Ｓｉ膜は、下層の金属層、層間絶縁膜の全てに対してエッチング選択比を取ることができる。また、膜ダメージの小さいウェットエッチングを用いることが可能であり、有機膜や炭素系の膜のように、などの表面ダメージの大きい処理を要することもない。ドライエッチングによりＳｉ膜を除去する場合は、フッ素が使用されるので、若干の表面ダメージが入ると考えられるものの、アッシングによる程の表面ダメージを生じるものではない。さらに、Ｓｉ膜の膜厚は５〜１０ｎｍ程度で十分保護膜として機能することから、この程度の薄いＳｉ膜の除去では、ダメージは極軽いと考えられる。そして、Ｓｉ膜の形成は比較的容易であり、たとえ残存したとしても、不純物となることもない。このような理由により、Ｓｉ膜が用いられる。
【００２７】
本実施形態において、低誘電率の層間絶縁膜として、無機絶縁膜である比誘電率２．６のＳｉＣＯＨ膜を用いたが、その他無機絶縁膜として、ＳｉＯ２の比誘電率４．２より誘電率が低いＳｉＯＣ膜やポーラスシリカなどを用いることができる。また、ＳｉＬＫなど公知の有機膜を用いることも可能である。特に、電気回路信号遅延の抑制の観点では、比誘電率は２．６以下であることが好ましい。
【００２８】
このような低誘電率の層間絶縁膜においては、フッ素がエッチャントとなり得ることから、エッチング時にエッチングダメージ層が形成されるため、大気中の水分の影響を受けやすく、Ｓｉ膜を形成することが効果的である。
【００２９】
また、本実施形態において、拡散防止膜となる層間絶縁膜として、ＳｉＣＮ膜を用いたが、ＳｉＣＮ膜に限定されるものではない。その他、ＳｉＣ膜、ＳｉＮ膜などのバリア性の高い膜を用いることができる。
【００３０】
また、本実施形態において、下層に形成された金属層を銅配線層としたが、Ｓｉ膜を形成する際に用いられる塩素系シランガスに対して安定な金属層であれば適用が可能であり、下層に例えばタングステンプラグを形成した場合にも適用することができる。
【００３１】
また、本実施形態において、開口部としてデュアルダマシン配線溝を形成したが、デュアルダマシン配線溝に限定されるものではなく、コンタクトホールや配線溝を形成する場合にも適用することができる。
【００３２】
また、本実施形態において、ドライエッチング装置において層間絶縁膜に開口部を形成した後、そのままドライエッチング装置内で供給されるガスを、エッチングガスから成膜ガスに替えて、Ｓｉ膜を形成している。このように、エッチング工程と同一の装置内で、条件を変えてＳｉ膜の成膜工程が行われることにより、表面にフッ素が残存したまま大気に晒されることなくＳｉ膜を形成することが可能である。
【００３３】
このとき、ＣＶＤ装置などの成膜装置を用いることなくＳｉ膜を形成している。ドライエッチング装置により成膜されたＳｉ膜はポリシリコン膜であると考えられ、その膜質は、成膜装置を用いたものと比べて劣ることが考えられる。しかしながら、大気中の水分からの保護膜としてのＳｉ膜を形成する上では十分であると考えられる。
【００３４】
なお、必ずしもドライエッチング装置において、Ｓｉ膜を形成する必要はない。半導体基板をドライエッチング装置から大気に晒すことなく成膜装置に移動可能であれば、半導体基板を成膜装置に移動させた後、Ｓｉ膜を形成してもよい。
【００３５】
また、本実施形態において、開口部を形成するために用いられるエッチングガスとして、ＣＦ４を用いたが、その他ＣＨＦ３、ＣＨ２Ｆ２などのＣＦベースのガスを含むフッ素系エッチングガスを用いることができる。これらエッチングガスに対して、Ｏ２やＮ２、希釈ガスのＡｒなどを混合して用いることが可能である。
【００３６】
また、本実施形態において、Ｓｉ膜を形成するための塩素系シランガスとして、ＳｉＣｌ４を用いたが、その他ジクロロシラン、トリクロロシランなどの塩素を含むＳｉソースガスを用いることができる。
【００３７】
尚、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。その他要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一態様による半導体装置の製造工程のフローチャート。
【図２】本発明の一態様における半導体製造工程を示す図。
【図３】本発明の一態様における半導体製造工程を示す図。
【図４】本発明の一態様における半導体製造工程を示す図。
【図５】本発明の一態様における半導体製造工程を示す図。
【図６】本発明の一態様における半導体製造工程を示す図。
【図７】本発明の一態様における半導体製造工程を示す図。
【符号の説明】
【００３９】
２１…層間絶縁膜
２２…銅配線層
２３…ＳｉＣＮ膜
２４…ＳｉＣＯＨ膜
２５…ＳｉＯ２膜
２６、４３…ＡＲＣ
２７、４４…ＡｒＦレジスト
３１、５１…凹部
４１…有機膜
４２…ＳｉＯ２膜
６１…開口部
６２…フッ素
７１…Ｓｉ膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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