(57)【要約】      （修正有）【課題】短い加工時間でトリミング加工することができる圧電共振器の製造方法を提供する。【解決手段】平板状の圧電基板１１の一方主面に第１の励振電極１２を形成し、他方主面に圧電基板１１をはさんで第１の励振電極１２に対向する対向部１４を有する第２の励振電極１３を形成して、圧電共振子１０を作製する工程と、励振電極１２、１３にそれぞれ接続される接続電極２、４を備えたベース基板１を作製する工程と、圧電共振子１０を第１の励振電極１２をベース基板１に対向させてベース基板１に実装して圧電共振器５０を作製する工程と、圧電共振子１０の第２の励振電極１３にレーザー光を当てて、第２の励振電極１３をトリミングするトリミング工程とを含む圧電共振器５０の製造工程であって、トリミング工程においては、第２の励振電極１３に対向部１４から一部を切り離すトリミング溝３０を形成してトリミングする。【選択図】図２
2010177754.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方方向に長い平板状の圧電基板の一方主面に一方の短辺から他方の短辺側に延びるように第１の励振電極を形成し、他方主面に前記他方の短辺から前記一方の短辺側に延びるように前記圧電基板をはさんで前記第１の励振電極に対向する対向部を有する第２の励振電極を形成して、圧電共振子を作製する工程と、前記第１の励振電極の前記一方の短辺側および前記第２の励振電極の前記他方の短辺側がそれぞれ接続される接続電極を備えたベース基板を作製する工程と、前記圧電共振子を前記第１の励振電極を前記ベース基板に対向させて前記ベース基板に実装して圧電共振器を作製する工程と、実装された前記圧電共振子の第２の励振電極にレーザー光を当てて、前記第２の励振電極をトリミングするトリミング工程とを含む圧電共振器の製造工程であって、前記トリミング工程において、前記第２の励振電極に前記対向部から一部を切り離すトリミング溝を形成してトリミングすることを特徴とする圧電共振器の製造方法。
【請求項２】
前記圧電基板として主面が長方形状の圧電基板を用い、前記対向部を長辺が前記圧電基板の長辺と平行な長方形状とし、前記トリミング溝を前記対向部の辺に平行な直線状に形成することを特徴とする請求項１記載の圧電共振器の製造方法。
【請求項３】
前記トリミング溝を前記対向部の対向する長辺のそれぞれに沿って、前記対向部の一部を切り離すように形成することを特徴とする請求項２記載の圧電共振器の製造方法。
【請求項４】
トリミングした後の前記対向部の中心線が前記圧電基板の中心線と合うように前記トリミング溝を形成することを特徴とする請求項３記載の圧電共振器の製造方法。
【請求項５】
前記圧電基板を主面側から見たとき、前記対向部を、前記圧電基板の対向する長辺の間の中央より一方の長辺に近い位置に形成し、前記対向部から前記一方の長辺に近い側の長辺に沿って一部を切り離すように前記トリミング溝を形成することを特徴とする請求項２記載の圧電共振器の製造方法。
【請求項６】
前記圧電基板を主面側から見たとき、前記対向部を、前記圧電基板の対向する長辺の間の中央より一方の長辺に近い位置に形成し、前記トリミング工程の前に前記圧電共振器の共振周波数を測定し、測定した共振周波数と基準周波数との差が許容値より小さかった場合は、前記対向部から前記一方の長辺に近い側の長辺に沿って一部を切り離すように前記トリミング溝を形成し、測定した共振周波数と基準周波数との差が許容所値より大きかった場合は、前記対向部の対向する長辺のそれぞれに沿って、一部を切り離すように前記トリミング溝を形成し、トリミングした後の前記対向部の中心線が前記圧電基板の中心線と合うようにトリミングすることを特徴とする請求項２記載の圧電共振器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電共振子の実装された圧電共振器の製造方法に関し、特に、圧電共振子の励振電極にレーザー光を当ててトリミングする工程を含む圧電共振器の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電共振器としては、平板上のチタン酸鉛やチタン酸ジルコン酸鉛などの圧電セラミックスの両主面に励振電極を形成した圧電共振子を、コンデンサ部を備えたベース基板に導電性接着剤などで実装したものが知られている。このような圧電共振器では、例えば、コンデンサ部を負荷容量とした発振回路を構成することができる。
【０００３】
このような圧電共振器では、圧電共振子をベース基板に実装した後、コンデンサ部の容量ばらつきや圧電共振子の実装位置ばらつきなどに起因する発振周波数の設計値からのずれを減らすようにトリミング（周波数調整）が行なわれる。
【０００４】
周波数を調整する方法としては、特許文献１のように、レーザー光によるスポット加工で励振電極表面を削り、周波数を所定の値に調整する方法が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平２−１０９０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載のレーザー光によるスポット加工を行なう方法では、調整する周波数量が３０００ｐｐｍ程度と大きい場合に、スポット加工のスポット数が増えるため、加工時間が長くなるという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、短い加工時間でトリミング加工することができる圧電共振器の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の圧電共振器の製造方法は、一方方向に長い平板状の圧電基板の一方主面に一方の短辺から他方の短辺側に延びるように第１の励振電極を形成し、他方主面に前記他方の短辺から前記一方の短辺側に延びるように前記圧電基板をはさんで前記第１の励振電極に対向する対向部を有する第２の励振電極を形成して、圧電共振子を作製する工程と、前記第１の励振電極の前記一方の短辺側および前記第２の励振電極の前記他方の短辺側がそれぞれ接続される接続電極を備えたベース基板を作製する工程と、前記圧電共振子を前記第１の励振電極を前記ベース基板に対向させて前記ベース基板に実装して圧電共振器を作製する工程と、実装された前記圧電共振子の第２の励振電極にレーザー光を当てて、前記第２の励振電極をトリミングするトリミング工程とを含む圧電共振器の製造工程であって、前記トリミング工程において、前記第２の励振電極に前記対向部から一部を切り離すトリミング溝を形成してトリミングすることを特徴とする。
【０００９】
また、前記圧電基板として主面が長方形状の圧電基板を用い、前記対向部を長辺が前記圧電基板の長辺と平行な長方形状とし、前記トリミング溝を前記対向部の辺に平行な直線状に形成することが好ましい。
【００１０】
さらに、前記トリミング溝を前記対向部の対向する長辺のそれぞれに沿って、前記対向部の一部を切り離すように形成することが好ましい。
【００１１】
またさらに、トリミングした後の前記対向部の中心線が前記圧電基板の中心線と合うように前記トリミング溝を形成することが好ましい。
【００１２】
さらにまた、前記圧電基板を主面側から見たとき、前記対向部を、前記圧電基板の対向する長辺の間の中央より一方の長辺に近い位置に形成し、前記対向部から前記一方の長辺に近い側の長辺に沿って一部を切り離すように前記トリミング溝を形成することが好ましい。
【００１３】
またさらに、前記圧電基板を主面側から見たとき、前記対向部を、前記圧電基板の対向する長辺の間の中央より一方の長辺に近い位置に形成し、前記トリミング工程の前に前記圧電共振器の共振周波数を測定し、測定した共振周波数と基準周波数との差が許容値より小さかった場合は、前記対向部から前記一方の長辺に近い側の長辺に沿って一部を切り離すように前記トリミング溝を形成し、測定した共振周波数と基準周波数との差が許容所値より大きかった場合は、前記対向部の対向する長辺のそれぞれに沿って、一部を切り離すように前記トリミング溝を形成し、トリミングした後の前記対向部の中心線が前記圧電基板の中心線と合うようにトリミングすることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の圧電共振器の製造方法によれば、一方方向に長い平板状の圧電基板の一方主面に一方の短辺から他方の短辺側に延びるように第１の励振電極を形成し、他方主面に前記他方の短辺から前記一方の短辺側に延びるように前記圧電基板をはさんで前記第１の励振電極に対向する対向部を有する第２の励振電極を形成して、圧電共振子を作製する工程と、前記第１の励振電極の前記一方の短辺側および前記第２の励振電極の前記他方の短辺側がそれぞれ接続される接続電極を備えたベース基板を作製する工程と、前記圧電共振子を前記第１の励振電極を前記ベース基板に対向させて前記ベース基板に実装して圧電共振器を作製する工程と、実装された前記圧電共振子の第２の励振電極にレーザー光を当てて、前記第２の励振電極をトリミングするトリミング工程とを含む圧電共振器の製造工程であって、前記トリミング工程において、前記第２の励振電極に前記対向部から一部を切り離すトリミング溝を形成してトリミングすることにより、切り離す部分の面積と同一の面積をスポット加工でトリミングを行なうよりも短時間でトリミングができる。
【００１５】
また、前記圧電基板として主面が長方形状の圧電基板を用い、前記対向部を長辺が前記圧電基板の長辺と平行な長方形状とし、前記トリミング溝を前記対向部の辺に平行な直線状に形成する場合、トリミング後の対向部の対称性が高くなり、スプリアスが発生する要因が少なくなり、トリミング後の圧電共振子の共振が安定したものになる。
【００１６】
さらに、前記トリミング溝を前記対向部の対向する長辺のそれぞれに沿って、前記対向部の一部を切り離すように形成する場合、トリミング後の対向部の対称性がより高くなり、スプリアスが発生する要因が少なくなり、トリミング後の圧電共振子の共振が安定したものになる。
【００１７】
またさらに、トリミングした後の前記対向部の中心線が前記圧電基板の中心線と合うように前記トリミング溝を形成する場合、トリミング後の対向部の対称性がより高くなり、スプリアスが発生する要因が少なくなり、トリミング後の圧電共振子の共振が安定したものになる。
【００１８】
さらにまた、前記圧電基板を主面側から見たとき、前記対向部を、前記圧電基板の対向する長辺の間の中央より一方の長辺に近い位置に形成し、前記対向部から前記一方の長辺に近い側の長辺に沿って一部を切り離すように前記トリミング溝を形成する場合、形成するトリミング溝が１本で済むため、トリミング時間を短くできるとともに、トリミング後の対向部の対称な状態からのずれを少なくできるので、スプリアスが発生する要因が少なくなり、トリミング後の圧電共振子の共振が安定したものになる。
【００１９】
またさらに、前記圧電基板を主面側から見たとき、前記対向部を、前記圧電基板の対向する長辺の間の中央より一方の長辺に近い位置に形成し、前記トリミング工程の前に前記圧電共振器の共振周波数を測定し、測定した共振周波数と基準周波数との差が許容値より小さかった場合は、前記対向部から前記一方の長辺に近い側の長辺に沿って一部を切り離すように前記トリミング溝を形成し、測定した共振周波数と基準周波数との差が許容所値より大きかった場合は、前記対向部の対向する長辺のそれぞれに沿って、一部を切り離すように前記トリミング溝を形成し、トリミングした後の前記対向部の中心線が前記圧電基板の中心線と合うようにトリミングする場合、調整する周波数の量が小さい場合には、形成するトリミング溝が１本で済むため、トリミング時間を短くできるとともに、トリミング後の対向部の形状の対称性のある形状からのずれを少なくでき、調整する周波数の量が大きい場合には、トリミング後の対向部の対称性がより高くなり、スプリアスが発生する要因が少なくなり、トリミング後の圧電共振子の共振が安定したものになる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】（ａ）は本発明の一実施例の圧電共振器である圧電発振器の分解斜視図であり、（ｂ）は同圧電発振器の縦段面図である。
【図２】（ａ）（ｂ）は本発明に用いる圧電共振子の一例の平面図であり、（ｃ）は、本発明の一実施例の圧電共振器である圧電発振器であり、（ａ）、（ｂ）の圧電共振子を実装した後で、かつトリミング前の状態の平面図であり、（ｄ）（ｃ）の圧電共振器をトリミングした後の状態の平面図である。
【図３】（ａ）〜（ｅ）は他のトリミングパターンを説明する平面図である。
【図４】（ａ）〜（ｅ）はさらに他トリミングパターンを説明する平面図である。
【図５】（ａ）は、本発明の圧電発振器から得られる共振特性の一例であり、安定した発振が得られるものであり、（ｂ）は、本発明の範囲外の製造方法で作製された圧電発振器から得られる共振特性の一例であり、第２の励振電極に線状のトリミング溝を形成しているが、トリミング後に第２の励振電極から切り離されていない部分があるため、その部分の電極の振動などによりスプリアスが生じているものである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を図１、図２に基づいて説明する。図１（ａ）、（ｂ）は本発明の製造方法で製造される圧電共振器の一例である圧電発振器５０であり、図１（ａ）は圧電発振器５０の分解斜視図であり、図１（ｂ）は縦断面である。図２（ａ）、（ｂ）は本発明の製造方法に用いる圧電共振子１０の平面図である。図２（ｂ）では、第１の励振電極１２の形状が分かるように、第２の励振電極１３を除いたものを示している。
【００２２】
圧電発振器５０は、ベース基板１の上に圧電共振子１０が導電性接着剤２０、２１を介して搭載され、さらに圧電共振子１０を保護するキャップ４０が被せられて構成されている。
【００２３】
圧電共振子１０は、例えば、厚み縦振動モードの３倍波を利用したエネルギー閉じ込め形の圧電共振子１０であり、チタン酸鉛あるいはチタン酸ジルコン酸鉛などの圧電セラミック材料からなる一方方向に長い平板状で、主面の形状が長方形状の圧電基板１１の一方の主面に第１の励振電極１２が形成されており、他方の主面に第２の励振電極１３が形成されている。第１の励振電極１２は、圧電基板１１の一方の短辺から他方の短辺側に向かって延びるように形成され、第２の励振電極１３は、圧電基板１１の他方の短辺から一方の短辺側に向かって延びるように形成されている。第２の励振電極１３は、圧電基板１１をはさんで第１の励振電極１２と対向する対向部１４を有する。
【００２４】
また、圧電基板１１を主面側から見たとき、第１の励振電極１２と第２の励振電極１３は、それぞれ仮想直線Ｌ１に対して線対称になっている。さらに、第１の励振電極１２と第２の励振電極１３は、仮想直線Ｌ２に対して線対称になっている。またさらに、圧電基板１１は、仮想直線Ｌ１およびＬ２に対して線対称の形状である。さらにまた、第１の励振電極１２と第２の励振電極１３とが対向している対向部１４は長方形であり、対向部１４の形状および位置も、仮想直線Ｌ１およびＬ２に対して、それぞれ線対称になっている。
【００２５】
なお、圧電共振子１０は、厚みすべり振動モードの基本波を利用したエネルギー閉じ込め形のもので、圧電基板１１はタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ホウ酸リチウム、あるいはランガサイトなどの圧電性を有する材料の単結晶を用いてもよい。
【００２６】
第１の励振電極１２と第２の励振電極１３とにはさまれた部分の圧電基板１１、言い換えれば、対向部１４の直下の圧電基板１１には圧電振動が生じる。圧電基板１１の短辺の一端側の端面には第２の励振電極１３と導電性接着剤２１を電気的に接続するための回り込み電極１３ａが形成されている。第１の励振電極１２、第２の励振電極１３および回り込み電極１３ａは、金属の薄膜であり、蒸着やスパッタなどで形成される。材質として、例えば、クロムを下地にして銀などで形成される。圧電共振子１０は、ベース基板１に、第１の励振電極１２がベース基板１と対向するように搭載される。
【００２７】
ベース基板１には、３つの接続電極２〜４が形成されており、接続電極２〜４はベース基板１を平行に周回するように形成されている。ベース基板１の材質は、例えば、アルミナセラミックスなどであり、接続電極２〜４の材質は、例えば、銀や銅である。接続電極２〜４には外部の回路との接続を確実にするために半田や金などでメッキをしてよい。接続電極３の上部の一部およびその周囲には誘電体層５が形成されており、誘電体層５により、接続電極３と接続電極２との間、および、接続電極３と接続電極４との間に容量が生じ、この部分がコンデンサ部となっている。誘電体層５の材質は、例えば、チタン酸バリウムである
導電性接着剤２０、２１としては、例えば、導電性粉末として銀を含んだエポキシ樹脂などが用いられる。
【００２８】
以上のような圧電発振器５０は、例えば、次のように作製することができる。公知のセラミックス作製方法で、チタン酸鉛などの圧電基板１１の元となる圧電セラミックスの圧電板を作製する。その圧電板に、蒸着によりクロム、銀の順で蒸着を行ない、それぞれ複数の第１の励振電極１２、第２の励振電極１３および回り込み電極１３ａを形成する。この際、第１の励振電極１２と第２の励振電極１３とはほぼ同じ膜厚で、圧電基板１１の主面に平行で長辺方向に直行する線に対して線対称に形成される。なお、第１の励振電極１２および第２の励振電極１３の全体を対称にしなくても、圧電振動に寄与する部分、すなわち圧電基板１１の主面に直角な方向から見た場合に第１の励振電極１２と第２の励振電極１３とが重なっている部分だけを対称にしてもよい。
【００２９】
その後、第１の励振電極１２および第２の励振電極１３間に直流電圧を印加して分極処理を行ない、励振電極１２、１３の形成された圧電板からダイシングにより１つ分の圧電共振子１０を切り出し、圧電共振子１０を得る。圧電共振子１０の寸法は、例えば、厚さ５０〜５００μｍ、幅０．５〜２．０ｍｍ、長さ１〜５ｍｍである。第１の励振電極１２と第２の励振電極１３とが対向している対向部１４は、例えば、辺が圧電基板１１の辺と平行な長方形状に形成され、その長辺方向は、圧電共振子１０の長辺方向と同じになっている。対向部１４の寸法は、例えば、０．３〜０．６ｍｍ×０．５〜０．８ｍｍである。
【００３０】
なお、ここで長方形状とは、概略長方形の形状をしているものも含み、例えば、角が丸められ形状、角が小さく切り取られた形状、辺が僅かに波打つ形状なども含む。
【００３１】
アルミナセラミックスのベース基板１に、銀の接続電極２〜４となる銀ペーストを印刷し、焼成する。その後、接続電極３の上部に誘電体層５となる誘電体ペーストを印刷し、焼成する。これにより、接続電極３と接続電極２との間、および、接続電極３と接続電極４との間に容量が生じるコンデンサ部が形成される。
【００３２】
ベース基板１上の接続電極２、４上に導電性接着剤２０、２１を供給し、その上に圧電共振子１０を、第１の励振電極１２とベース基板１とが対向するように置き、導電性接着剤２０、２１をキュアする。このようにして、接続電極２が導電性接着剤２０を介して第１の励振電極１２と電気的に接続され、接続電極４が導電性接着剤２１および回り込み電極１３ａを介して第２の励振電極１３と電気的に接続され、圧電共振子１０が固定される。
【００３３】
この後、コンデンサ部の容量のばらつきや、圧電共振子１０の固定のされかたのばらつきなどで生じる発振周波数の設計値からのずれを少なくし、所定の周波数で発振するように、第２の励振電極１３をトリミングする。
【００３４】
トリミングは、圧電共振子１０の主面に略直交する方向から、レーザー光を第２の励振電極１３に当てて行なう。レーザー光は、第２の励振電極１３の一部に当たり、その部分を揮発させトリミング溝３０を形成する。このトリミング溝３０は第２の励振電極１３の一部を切り離すように形成する。なお、切り離された部分は浮き島部１５と呼ぶ。トリミング溝３０により対向部１４に一部が切り離されると、その部分は第２の励振電極１３とは電気的に繋がっていなくなる。したがって、浮き島部１５がトリミング溝３０によって切り離された後は、対向部１４は図２（ｄ）に示す対向部１４ａのように面積が小さくなる。これにより、圧電基板１１の圧電振動する部分が少なくなり、発振周波数が調整できる。
【００３５】
この際、対向部１４ａから浮き島部１５を切り離すトリミング溝３０は、対向部１４の辺に沿って直線状に形成するのが好ましい。これにより、トリミング後の対向部１４ａの対称性が高くなるため、共振が安定する。また、トリミングにより調整する周波数量が大きい場合は、トリミング溝３０を対向部１４の対向する長辺のそれぞれに沿って一部を切り離すように形成することにより、トリミング後の対向部１４ａの形状の対称性が高くなるため、共振がより安定する。さらに、トリミング後の対向部１４ａの形状は、仮想直線Ｌ１、Ｌ２に対して線対称になっていることが好ましい。言い換えれば、対向部１４ａの中心線が圧電基板１１の中心線Ｌ１およびＬ２と合っていることが好ましい。これにより圧電共振子１０が全体として線対称になり、共振がより安定する。
【００３６】
ここで励振電極の形状およびトリミングのパターンについて説明する。図３（ａ）〜（ｅ）および図４（ａ）〜（ｅ）は、圧電共振子１１０ａ〜ｊに形成されている第２の励振電極１１３ａ〜ｊにトリミングが行なわれ、トリミング溝１３０ａ〜ｊが形成され、浮き島部１１５ａ〜ｊが切り離されている。これにより、仮想直線Ｌａ１〜ｊ１に対して第２の励振電極１１３ａ〜ｊと線対称に形成された第１の励振電極（図示せず）と第２の励振電極１１３ａ〜ｊとにはさまれた圧電振動する部分が少なくなり、周波数が調整できる。
【００３７】
なお対向部１１４ａ〜ｊは、第１の励振電極と第２の励振電極１１３ａ〜ｈとが対向している部分が分かるように、トリミングを行なう前の対向部を示している。また、圧電共振子１１０ａ〜ｆ、ｉ、ｊでは第１の励振電極および第２の励振電極は仮想直線Ｌａ１〜Ｌｆ１、Ｌｉ１、Ｌｊ１に線対称に形成されている。
【００３８】
図３（ａ）に示す圧電共振子１１０ａでは、対向部１１４ａの長辺の片側一辺を切り離すようにトリミング溝１３０ａを形成している。調整する量が少ない場合、一辺だけを切り離しても対称的な形状からのずれは少なく、発振の安定性をあまりそこなわれず、短時間でトリミングができる。片側を切り離すようにする場合は、対向部１１４ａの幅の減る量を対向部１１４ａの幅の１０％以下、さらには５％以下にするのが好ましい。
【００３９】
図３（ｂ）に示す圧電共振子１１０ｂでは、対向部１１４ｂの対向する長辺のそれぞれに沿ってトリミング溝１３０ｂ−１を形成し、浮き島部１１５ｂ−１を切り離した後、共振周波数を測定し、基準周波数との差がまだ大きかったため、さらにトリミング溝１３０ｂ−２を形成し、浮き島部１１５ｂ−２を切り離している。
【００４０】
図３（ｃ）に示す圧電共振子１１０ｃでは、トリミング溝１３０ｃは、対向部１１４ｃに沿って形成されておらず、その部分で対称性が低くなっている。
【００４１】
図３（ｄ）に示す圧電共振子１１０ｄでは、対向部１１４ｄから圧電基板の一端に繋がる第２の励振電極１１３ｄの一部が細くなっているため、トリミング溝１３０ｄを対向部１１４ｄに沿って形成した後、第２の励振電極１１３ｄから切り離すためのトリミング溝１３０ｄをほとんど形成せずに、浮き島部１１５ｄを切り離すことができる。これにより、トリミング時間を短くできるとともに、トリミング工程における機械制御のプログラムなどを簡略化することができる。
【００４２】
図３（ｅ）に示す圧電共振子１１０ｅでは、対向部１１４ｅの第２の励振電極１１３ｅが繋がる圧電基板の一端と対向する辺（短辺）に沿って、トリミング溝１３０ｅを形成している。このようにするとトリミング溝１３０ｅの長さを短くすることができる。これにより、トリミング時間を短くできるとともに、トリミング工程における機械制御のプログラムなどを簡略化することができる。対向部１１４ｅの対称からのずれが大きくなると、発振の安定性を損なうおそれがあるため、対向部１１４ｅの長さの減る量を対向部１１４ｅの長さの１０％以下、さらには５％以下にするのが好ましい。
【００４３】
図４（ａ）に示す圧電共振子１１０ｆでは、角が丸められた長方形状の対向部１１４ｆをトリミングしている。
【００４４】
図４（ｂ）に示す圧電共振子１１０ｇでは、第１の励振電極および第２の励振電極１１３ｇは、長方形状の対向部１１４ｇの中心線が、圧電基板の中心線Ｌｇ１より、図４（ｂ）の上側にずれるように形成されている。ずらす量は対向部１１４ｇの幅の２．５％にしている。トリミング溝１３０ｇは、対向部１１４ｇをずらした側、すなわち圧電基板の対向する辺のうち近い長辺の側の辺の一部を切り離すように形成している。このようにすることにより、図３（ａ）のように対向部１１４ａを仮想直線Ｌａ１に対して線対称に形成した場合に片側だけをトリミングした場合よりも、対称的な形状からのずれを少なくできる。具体的には、対向部から片側トリミングで１０％の面積を対向部から切り離す場合を考えると、対向部をずらして形成しない場合、圧電基板の中心線とトリミング後の対向部の中心線のずれはトリミング前の対向部の幅の５％になるのに対し、上述のように対向部を２．５％ずらして形成しておけば、圧電基板の中心線とトリミング後の対向部の中心線のずれをトリミング前の対向部の幅の２．５％できるということである。これは、切り離す面積が１０％までのトリミングを、中心線のずれ２．５％以下で行なえるということである。
【００４５】
図４（ｃ）に示す圧電共振子１１０ｈでは、圧電共振子１１０ｇと同様に第１の励振電極および第２の励振電極１１３ｈは、長方形状の対向部１１４ｈの中心線が、圧電基板の中心線Ｌｈ１より、図４（ｃ）の上側にずれるように形成されている。ずらす量は対向部１１４ｈの幅の２．５％にしている。トリミング溝１３０ｈは、トリミング後の対向部１１４ｈが圧電基板の中心線Ｌｈ１に対して線対称の形状になるように形成する。
【００４６】
トリミング工程の前に共振周波数を測定し、測定した共振周波数とトリミング後の目標値である基準周波数との差の量により圧電共振子１１０ｇおよび圧電共振子１１０ｈの調整方法のいずれかを選択することにより、トリミング時間とトリミング後の対向部の形状の対称性をそれぞれある程度良い状態でバランスさせることができる。すなわち、基準周波数との差が少ない場合は、圧電共振子１１０ｇのようにトリミングすることでトリミング溝が１本で済むため、トリミング時間を短くできるとともに、トリミング後の対向部の形状の対称性のある形状からのずれを少なくできる。基準周波数との差が大きい場合は、圧電共振子１１０ｈのようにトリミングすることで、トリミング溝は２本となるが、トリミング後の対向部の形状の対称性を高くできる。２つの方法を切り替える基準周波数との差が許容値は対向部の対称性のずれと発生するスプリアスをあらかじめ調べてきめることができる。この例では、対向部の面積の１０％を減らす場合までは、圧電共振子１１０ｇのようにトリミングし、圧電共振子１１０ｈのようにトリミングをする。
【００４７】
図４（ｄ）に示す圧電共振子１１０ｉは、対向部１１４ｉが円形の例である。
【００４８】
図４（ｅ）に示す圧電共振子１１０ｊは、厚みすべり振動モードを使用する例で、圧電基板はタンタル酸リチウムの単結晶を用いている。この場合レーザー光は、第２の励振電極１１３ｊを揮発させた後、単結晶の圧電基板を透過し、透過したところに第１の励振電極があれば第１の励振電極も揮発させることになる。レーザー光は、さらにベース基板の上にまで達するため、誘電層や接続電極を保護する、アルミナなどのフィラーを入れた有機樹脂などの保護層を形成するか、誘電層や接続電極をレーザー光の当たる部分を避けて配置するのが好ましい。
【００４９】
具体的なトリミングの方法としては、半導体レーザーで出力０．３〜５Ｗ程度のレーザー光を当てることにより、第２の励振電極１１３をトリミングするができる。このようなトリミングにより、例えば、発振周波数２０ＭＨｚ〜６０ＭＨｚの圧電発振器において３０００ｐｐｍ程度の周波数調整を短時間で行なうことができる。例えば、１０００ｐｐｍの周波数調整を行なう場合、スポットによるトリミングを行なった場合、トリミングに約３秒かかったのに対し、図２（ｄ）のようにトリミングを行なった場合、約１秒となった。
【００５０】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。
【符号の説明】
【００５１】
１・・・ベース基板
２、３、４・・・接続電極
５・・・誘電体層
１０・・・圧電共振子
１１・・・圧電基板
１２、１３・・・励振電極
１２ａ・・・励振電極端部の回り込み電極
１４・・・対向部
１５・・・浮き島部（トリミングにより切り離された励振電極）
２０、２１・・・導電性接着剤
３０・・・トリミング溝
４０・・・キャップ
５０・・・圧電発振器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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