(57)【要約】【課題】半導体製造装置の配管系とは独立した比較的簡素な検査ユニットを構成し、比較的重要度が低い、又は比較的人体及び環境への危険性の低い供給及び排出等を担う配管を対象とする場合であっても、迅速且つ確実なガス又は液体の漏れ検知を可能とする。【解決手段】易破断性の導電部１１を有しており、接続された配管を支持することにより導電部の導通ループが形成される配管支持部１０と、導電部１１と電気的に接続されており、導電部１１の破断を導通ループの分断に基づいて電気的に検知する破断検知部２０とを備えて、接続装置１が構成される。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の配管を有し、前記配管同士が接続部で接続されてなる配管系に用いられる接続装置であって、
易破断性の導電部を有しており、前記接続部の周辺で前記配管同士を支持し、前記支持により前記導電部の導通ループが形成される配管支持部と、
前記導電部と電気的に接続されており、前記導電部の破断を前記導通ループの分断として電気的に検知する破断検知部と
を含むことを特徴とする接続装置。
【請求項２】
前記配管支持部は、帯状の前記導電部が絶縁部で被覆されてなることを特徴とする請求項１に記載の接続装置。
【請求項３】
前記配管支持部は、前記導電部が導電材料からなる粘着性テープを有することを特徴とする請求項１に記載の接続装置。
【請求項４】
前記導電部は、所定部位にミシン目が形成されて易破断箇所とされてなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の接続装置。
【請求項５】
複数の配管を有し、前記配管同士が接続部で接続されてなる配管系に用いられる接続方法であって、
易破断性の導電部を有する配管支持部により前記接続部の周辺で前記配管同士を支持し、前記支持により前記導電部の導通ループを形成しておき、
前記接続部の接続状態が変化して前記配管同士に離間が生じることで前記導電部が破断し、前記破断を前記導通ループの分断として電気的に検知することを特徴とする接続方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の配管を有し、配管同士が接続部で接続されてなる配管系に用いられ、配管同士の接続を支持する接続装置及び接続方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造装置は、ガス、水及び薬液等を供給し、排気及び排出等を行うための多種多様な配管を有する配管系を備えている。配管系において、配管同士はフランジ部等の接続部により接続されている。装置構成上において半導体製造に重要な供給及び排出等を担う配管、或いは危険度が高い供給及び排出等を担う配管については、そのシール性が厳重に管理されている。例えば金属製の配管では、金属ガスケットによるシール接続が施される。このような配管では、配管内部の気体又は液体に漏れが生じた場合には、その旨を即座に検知する設計とされている。
【０００３】
具体的に、ガスの配管の場合には、製造装置内の圧力を監視してガス漏れがないかを確認し、ガスが漏洩したときには、製造装置の近傍に設けられたガス検知器により漏洩を検知する。また、液体の配管の場合には、配管近傍の床等に漏液センサを設置して、漏液を検知できるようにしている。
【０００４】
その一方で、装置構成上において半導体製造にさほど重要でない供給及び排出等を担う配管或いは危険度が低い供給及び排出等を担う配管（例えば、大気排気用の配管、Ｎ2，Ａｒ等の毒性を持たないガスの配管）では、そのシール性はさほど重要視されない。例えば、スリーブをナットで締め込んで配管同士を固定する方式が採られる。このような配管には、設置コスト等も考慮して、気体・液体の漏れに対する検知機能が設置されていない場合が多い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３０９３７９号公報
【特許文献２】特開平５−１２６９６０号公報
【特許文献３】特開平９−４２５７４７号公報
【特許文献４】特開平７−２９４４９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
半導体製造にさほど重要でない供給及び排出等を担う配管或いは危険度が低い供給及び排出等を担う配管では、そのガス又は液体の供給及び排出等が人体及び環境に悪影響を与える懸念は殆どない。しかしながら、配管に脱落が生じてガス又は液体の漏れが発生した場合には、異常が即座に顕在化することがないとしても、長い時間をかけて徐々に品質劣化をもたらす虞がある。こうした場合、甚大な被害を引き起こす可能性がある。従って、半導体製造を行う上で、人体及び環境に対する配慮は勿論のこと、製品の品質保証の十全を期すという観点からも、これらの配管についても、ガス又は液体の漏れの検知を要すると考えられている。
【０００７】
配管にガス又は液体の漏れ検知機構を設ける例として、以下のような技術が開示されている。
特許文献１には、配管同士の継ぎ手であるフランジ部からのガスのリークを検知するため、フランジ部にガス検知機能を設置する方法が開示されている。ガスに反応して変色する材料を置く、或いはガス検知プローバを設置し、検知器の信号を監視装置に送信して自動検出する。
特許文献２には、排気配管の脱落をマグネットセンサを用いて監視する方法が開示されている。
特許文献３には、配管の継ぎ手のナット部に孔を設けて、ワイヤを通して固定し、ナットの緩みを防止する方法が開示されている。
特許文献４には、配管の継ぎ手の緩みを、超音波伝導の変化により検知する方法が開示されている。発信器及び受信器を配管に取り付けて、伝達特性の変化をモニタする。
【０００８】
しかしながら、上記のような技術は、言わば配管自体にガス又は液体の漏れ検知或いは防止のための機構を設置するものである。
上述したように、半導体製造装置の配管系では、一部にガス又は液体の漏れ検知或いは防止の機構を有しない配管が既設されている。このような配管系を備えた半導体製造装置では、後付けとして特許文献１〜４のような複雑な諸機構を追加設置するには、装置構成のソフト面及びハード面の双方で困難であり、設置コストも高価となる。
【０００９】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、既設された配管系とは独立に、比較的簡素な検査ユニットを構成し、比較的重要度が低い、又は比較的人体及び環境への危険性の低い供給及び排出等を担う配管を対象とする場合であっても、迅速且つ確実なガス又は液体の漏れ検知を可能とする利便性の高い接続装置及び接続方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
接続装置の一態様は、複数の配管を有し、前記配管同士が接続部で接続されてなる配管系に用いられる接続装置である。この接続装置は、易破断性の導電部を有し、前記接続部の周辺で前記配管同士を支持し、前記支持により前記導電部の導通ループが形成される配管支持部と、前記導電部と電気的に接続されており、前記導電部の破断を前記導通ループの分断として電気的に検知する破断検知部とを含む。
【００１１】
接続方法の一態様は、複数の配管を有し、前記配管同士が接続部で接続されてなる配管系に用いられる接続方法である。この接続方法では、易破断性の導電部を有する配管支持部により前記接続部の周辺で前記配管同士を支持し、前記支持により前記導電部の導通ループを形成しておき、前記接続部の接続状態が変化して前記配管同士に離間が生じることで前記導電部が破断し、前記破断を前記導通ループの分断として電気的に検知する。
【発明の効果】
【００１２】
上記の接続装置又は接続方法によれば、既設された配管系とは独立に、比較的簡素な検査ユニットを構成し、比較的重要度が低い、又は比較的人体及び環境への危険性の低い供給及び排出等を担う配管を対象とする場合であっても、迅速且つ確実なガス又は液体の漏れ検知が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】比較的重要度が低い、又は比較的人体及び環境への危険性の低い供給及び排出等を担う配管における従来の接続法を示す模式図である。
【図２】配管に脱落が生じる状況の一例を示す模式図である。
【図３】本実施形態による接続装置の構成原理を表す模式図である。
【図４】本実施形態による接続装置の構成原理を表す模式図である。
【図５】本実施形態による接続装置の他の例を示す模式図である。
【図６】本実施形態による接続装置の他の例を示す模式図である。
【図７】第１の実施形態の接続装置の構成要素である配管支持部を用いて、配管同士を接続する様子を示す模式図である。
【図８】第１の実施形態の接続装置の構成要素である配管支持部を用いて、配管同士を接続する様子を示す模式図である。
【図９】図７の配管支持部を有する接続装置の主要構成を示す模式図である。
【図１０】第２の実施形態による接続装置の主要構成を示す模式図である。
【図１１】第３の実施形態による接続装置の主要構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
−本実施形態の基本骨子−
本実施形態の説明にあたり、先ず、従来技術の問題点について具体的に考察した。
図１は、比較的重要度が低い、又は比較的人体及び環境への危険性の低い供給及び排出等を担う配管における従来の接続法を示す模式図である。
配管１０１ａと配管１０１ｂとは、継ぎ手１０２を用いて接続される。配管１０１ａは継ぎ手１０２の一端部１０２ａとスリーブ１０３ａを介してナット１０４ａにより、配管１０１ｂは継ぎ手１０２の他端部１０２ｂとスリーブ１０３ｂを介してナット１０４ｂによりそれぞれ固定される。
【００１５】
しかしながらこの場合、半導体製造装置に発生する振動、半導体製造装置の所定部位の熱収縮等の様々な外的要因により、継ぎ手１０２による配管１０１ａ，１０１ｂの接続が緩み、脱落が生じる懸念があることを考慮しなければならない。
図２は、配管に脱落が生じる状況の一例を示す模式図である。半導体製造装置の一部である縦型炉１１１に、継ぎ手１０２で接続された配管１０１ａ，１０１ｂが設けられている。例えば配管１０１ａ，１０１ｂが床面に対して垂直に設置されている場合には、配管１０１ｂの自重が作用して、配管１０１ｂが配管１０１ａから抜け落ちる懸念があることは明らかである。
例えば、配管１０１ａ，１０１ｂが厳重な圧力管理を必要としない配管であれば、厳重なシール性を要求されることもないため、装置構成上におけるインターロック機能がなく、配管の脱落を検知することは困難である。
【００１６】
本実施形態では、一部にガス又は液体の漏れ検知或いは防止の機構を有しない配管が既設された配管系を備えた装置、例えば半導体製造装置において、当該配管を対象とした後付けの機構であって、当該配管に生じた脱落を確実に検知する簡易な接続装置を提示する。
【００１７】
図３及び図４は、本実施形態による接続装置の構成原理を表す模式図である。
図３（ａ）は接続装置の平面概観図、図３（ｂ）は接続装置を用いる状況を示す側面図、図４（ａ）は接続装置の構造を透視して示す側面図、図４（ｂ）は接続装置の構造を透視して示す平面図である。
【００１８】
接続装置では、図３（ａ）のように、例えばベルトのように、屈曲自在の帯状部１１と、帯状部１１の先端部分１１Ａが挿通して固定される固定部１２とを備えて配管支持部１０Ａが構成される。帯状部１１内（或いは帯状部１１自体）には導電部材１１ａが設けられている。図４（ａ），（ｂ）には、帯状部１１が、導電部材１１ａ及び導電部材１１ａを覆う絶縁部材１１ｂを有して構成される様子を示す。
【００１９】
導電部材１１ａには複数部位に例えばミシン目が形成され、易破断箇所１１Ｃとされている。絶縁部材１１ｂは、導電部材１１ａが破断して分離しても、容易には切断されることのない程度に丈夫に形成されている。なお、ミシン目を形成して易破断箇所を設ける代わりに、導電部材を易破断性の薄膜状態に形成しても良い。
【００２０】
導電部材１１ａとしては、例えばアルミニウム（Ａｌ），鉄（Ｆｅ），銅（Ｃｕ），チタン（Ｔｉ），タングステン（Ｗ），炭素（Ｃ）のうちの１種或いは複数種を含む導電材料が用いられる。絶縁部材１１ｂとしては、耐熱性に優れた絶縁材料、例えばテフロン（登録商標），ポリエチレン，ナイロン，ゴムのうちの１種或いは複数種を主材料とする絶縁材料が用いられる。
【００２１】
図４（ａ）に示すように、帯状部１１の導電部材１１ａには、その先端部分１１Ａから所定距離の部分に、山切り状とされた係合部分１１ｃが形成されている。固定部１２には、同様に山切り状とされた係合部分１２ａが形成されている。帯状部１１の他方の先端部分には導電部材１１ａの端部１１Ｂが存し、端部１１Ｂは係合部分１２ａと接続されている。帯状部１１と固定部１２とは、図３（ｂ）のように帯状部１１が固定部１２に挿通して図４（ａ）の係合部分１１ｃ，１２ａで噛合して固定される。帯状部１１を固定部１２に挿通すると、帯状部１１は、締まる方向（順方向）には入るが、外れる方向（逆方向）には係合部分１１ｃ，１２ａの係合により抜けない構造とされている。帯状部１１と固定部１２とが係合固定された際に、帯状部１１の導電部材１１ａ及び固定部１２による導通ループが形成される。この導通ループは電気回路を構成する。
【００２２】
図５及び図６は、本実施形態による接続装置の他の例を示す模式図である。図５及び図６に示す接続装置は、接続対象となる配管の形状、接続状態等に適宜対応した形態とされている。
【００２３】
図５の接続装置では、配管支持部１０Ｂが、帯状部１１及び固定部１２に加え、帯状部１１の一部分から分岐するように他の帯状部１３及び固定部１５を有しており、固定部１５に更に帯状部１４が設けられて構成される。
帯状部１３，１４は帯状部１１と同様に、導電部材１３ａ，１４ａ及び導電部材１３ａ，１４ａを覆う絶縁部材１３ｂ，１４ｂを有して構成されるが、帯状部１４のみに係合部分１４ｃが形成されている。固定部１５は、導電材料で形成されており、固定部１２と同様に係合部分１５ａを有する。
【００２４】
帯状部１３は、先端部分１３Ａにおいて導電部材１３ａが帯状部１１の導電部材１１ａに接続され、先端部分１３Ｂにおいて導電部材１３ａが固定部１５に接続されている。帯状部１４は、先端部分１４Ｂにおいて導電部材１４ａが固定部１５に接続されている。
配管支持部１０Ｂの使用時には、帯状部１１，１４を固定部１２，１５に挿通して係合部分１１ｃと１２ａ、係合部分１４ｃと１５ａでそれぞれ係合固定する。
【００２５】
図６の接続装置は、配管支持部１０Ｃが、帯状部１１の先端部分１１Ａ，１１Ｂの双方に導電材料で形成された固定部１２を有して構成される。帯状部１１の導電部材１１ａには、先端部分１１Ａ，１１Ｂで固定部１２の係合部分１２ａがそれぞれ接続されている。
配管支持部１０Ｃの使用時には、他の配管支持部１０Ａ，１０Ｂ等と適宜接続される。
【００２６】
接続装置は更に、配管支持部１０Ａ〜１０Ｃと電気的に接続されてなる、後述する破断検知部をそれぞれ備えている。破断検知部は、配管支持部１０Ａ〜１０Ｃの導電部材１１ａ，１３ａ，１４ａに外力による破断が生じて電気回路が分断すると、その旨を表す電気信号を発して電気的に検知する機構を有している。
【００２７】
−具体的な実施形態−
以下、上記の基本骨子を踏まえ、具体的な諸実施形態について図面を参照して詳細に説明する。以下の各実施形態では、半導体製造装置の配管系のうち、例えば図１で示した接続法で接続された配管を対象とする接続装置を開示する。なお、以下の各実施形態では、半導体製造装置の配管系の配管に接続装置を適用する場合を例示するが、半導体製造装置以外の装置ユニットにおいても、液体又は気体の供給及び廃棄を行う配管が設置されるものであれば、当該接続装置は適用可能である。
【００２８】
（第１の実施形態）
図７及び図８は、第１の実施形態の接続装置の構成要素である配管支持部を用いて、配管同士を接続する様子を示す模式図である。図９は、図７の配管支持部を有する接続装置の主要構成を示す模式図である。
【００２９】
一例として、図７に示すように、略Ｔ字形状の配管１０１ｃと直管である配管１０１ｄとが、継ぎ手１０２を用いて図１の接続法により接続されている。ここで、図７（ａ）が接続装置により配管同士が接続された状態を示す側面図、図７（ｂ）が接続装置により配管同士を接続する際の状態を示す平面図（配管の一部を断面で示す。）である。
【００３０】
図７の例では、図５の配管支持部１０Ｂを２つ（配管支持部１０Ｂ１，１０Ｂ２とする。）用いる。配管１０１ｄには、配管支持部１０Ｂ１の帯状部１１が配管支持部１０Ｂ２の固定部１２で、配管支持部１０Ｂ２の帯状部１１が配管支持部１０Ｂ１の固定部１２で矢印Ａ，Ｂのように係合固定される。配管１０１ｃには、配管支持部１０Ｂ１，１０Ｂ２の帯状部１４が固定部１５でそれぞれ係合固定される。
配管支持部１０Ｂ１，１０Ｂ２の全体において、固定部１２，１５で固定された帯状部１１，１３，１４では、導電部材１１ａ，１３ａ，１４ａ及び固定部１２，１５による導通ループが形成される。この導通ループは電気回路を構成する。
【００３１】
図７の場合、継ぎ手１０２が緩んで配管１０１ｄが下方にずれたり、更には継ぎ手１０２が外れて配管１０１ｄが下方に脱落すると、帯状部１３又は１４が伸張される。これにより、帯状部１３中の導電部材１３ａの易破断箇所１３Ｃ、又は帯状部１４中の導電部材１４ａの易破断箇所１４Ｃで破断が生じる。配管１０１ｄが脱落した場合でも、帯状部１３，１４の絶縁部材１３ｂ，１４ｂは切断されないため、配管１０１ｄの落下が防止される。
【００３２】
他の例として、図８に示すように、直管である配管１０１ｅ，１０１ｆが、継ぎ手１０２を用いて図１の接続法により接続されている。
図８の例では、図３（図４）の配管支持部１０Ａを４つ（配管支持部１０Ａ１，１０Ａ２，１０Ａ３，１０Ａ４とする。）、及び図６の配管支持部１０Ｃを１つ用いる。
【００３３】
配管１０１ｅには、配管支持部１０Ａ１の帯状部１１が配管支持部１０Ａ２の固定部１２で、配管支持部１０Ａ２の帯状部１１が配管支持部１０Ａ１の固定部１２で係合固定される。配管１０１ｆには、配管支持部１０Ａ３の帯状部１１が配管支持部１０Ａ４の固定部１２で、配管支持部１０Ａ４の帯状部１１が配管支持部１０Ａ３の固定部１２で係合固定される。
配管１０１ｅ側の例えば配管支持部１０Ａ１の帯状部１１の先端部分１１Ａと、配管１０１ｆ側の例えば配管支持部１０Ａ３の帯状部１１の先端部分１１Ａとが、配管支持部１０Ｃの帯状部１１と各固定部１２でそれぞれ係合固定される。
配管支持部１０Ａ１〜１０Ａ４，１０Ｃの全体において、固定部１２で固定された帯状部１１では、導電部材１１ａ及び固定部１２による導通ループが形成される。この導通ループは電気回路を構成する。
【００３４】
図８の場合、継ぎ手１０２が緩んで配管１０１ｅ，１０１ｆが下方にずれたり、更には継ぎ手１０２が外れて配管１０１ｅ，１０１ｆが下方に脱落すると、配管支持部１０Ａ１，１０Ａ３の帯状部１１が伸張される。これにより、帯状部１１中の導電部材１１ａの易破断箇所１１Ｃで破断が生じる。配管支持部１０Ｃの帯状部１１が伸張され、帯状部１１中の導電部材１１ａの易破断箇所１１Ｃで破断が生じる場合も考えられる。いずれの場合でも、帯状部１１の絶縁部材１１ｂは切断されないため、配管１０１ｅ，１０１ｆの落下が防止される。
【００３５】
図９に、図７の配管支持部１０Ｂ１，１０Ｂ２を備えた接続装置１の主要構成を例示する。
接続装置１は、配管支持部１０Ｂ１，１０Ｂ２と、破断検知部２０とを備えて構成される。導電部材１１ａ，１３ｂ，１４ｃ及び固定部１２，１５により形成される導通ループを、電気回路Ｃ１として図中破線で示す。
破断検知部２０は、配管支持部１０の導電部材１１ａに外力による破断が生じて電気回路Ｃ１が分断すると、その旨を表す電気信号を発して電気的に検知する機構を有している。
【００３６】
具体的に、破断検知部２０は、一端が接地された抵抗２１ａ，２１ｂと、ＭＯＳトランジスタ２２とが結線されて構成される。ＭＯＳトランジスタ２２は、いわゆるデプリーションモード（ノーマリオン型）のＭＯＳトランジスタである。
配管支持部１０Ａの固定部１５にはリード線２３が接続され、配管支持部１０Ｂの固定部１５とＭＯＳトランジスタ２２のゲート電極Ｇとがリード線２４が接続されている。リード線２３には不図示の電源から電圧Ｖ１が供給され、ＭＯＳトランジスタ２２のソース電極Ｓには不図示の電源から電圧Ｖ２が供給される。電圧Ｖ１は電気回路Ｃ１を介してＭＯＳトランジスタ２２のゲート電極Ｇに印加され、ゲート電圧となる。ＭＯＳトランジスタ２２のドレイン電極Ｄと抵抗２１ｂとの間が電気信号の出力部ＯＰとされている。
【００３７】
電気回路Ｃを介してＭＯＳトランジスタ２２のゲート電極に電圧Ｖ１が印加されている状態では、ＭＯＳトランジスタ２２のソース電極Ｓから抵抗２１ｂへ電流は流れず、出力部ＯＰから電気信号は発せられない。電気回路Ｃ１に分断が生じてゲート電圧がＶ１から０Ｖに変化すると、ＭＯＳトランジスタ２２のソース電極Ｓから抵抗２１ｂへ電流が流れ、出力部ＯＰから電気信号が発せられる。出力部ＯＰには、電気信号を例えば音又は光に変換する不図示の機構を設ける。
【００３８】
ＭＯＳトランジスタ２２の動作について詳細に説明する。ここでは、ソース電極Ｓ及びドレイン電極ＤがＮ型とされた場合を例に採る。
配管に配管支持部１０を接続した状態では、ゲート電極Ｄには負の電圧であるＶ１が常に印加される。ゲート絶縁膜の直下には正孔が集まり、チャネル部がＰ型となるため、ソース電極Ｓからドレイン電極Ｄへ電流が流れることはない。
電気回路Ｃ１に分断が生じてゲート電圧がＶ１から０Ｖに変化すると、ゲート絶縁膜の直下の正孔は消失（拡散）してチャネル部はソース電極Ｓ及びドレイン電極Ｄと同様のＮ型となり、ソース電極Ｓからドレイン電極Ｄへ電流が流れることになる。
【００３９】
なお、ノーマリオン型のＭＯＳトランジスタ２２を用いた破断検知部２０の代わりに、例えば電気信号の出力ラインにＢ接合を結線してなるリレー回路を破断検知部として使用しても良い。
【００４０】
以上説明したように、本実施形態によれば、半導体製造装置の配管系とは独立した比較的簡素な検査ユニットを構成する接続装置１を用いることにより、比較的重要度が低い、又は比較的人体及び環境への危険性の低い供給及び排出等を担う配管を対象とする場合であっても、迅速且つ確実なガス又は液体の漏れ検知が可能となる。
【００４１】
（第２の実施形態）
本実施形態では、第１の実施形態と同様に図７の破断検知部を有する接続装置を開示するが、接続装置が図９とは異なる構成の配管支持部を有する点で第１の実施形態と相違する。
図１０は、第２の実施形態による接続装置の主要構成を示す模式図である。
【００４２】
本実施形態では、接続装置２の配管支持部が、第１の実施形態のリード線２３，２４と同様のリード線３１で構成されている。
リード線３１は、Ｃｕ等の導電部材をテフロン又はポリエチレン等の絶縁部材で被覆してなるものである。導電部材は易破断性の細線状とする。ここで、導電部材に特に細い部位を形成し、易破断箇所としても良い。絶縁部材は、導電部材が破断して分離しても、容易には切断されることのない程度に丈夫に形成されている。
【００４３】
接続装置２の使用時には、リード線３１を例えば配管１０１ｃ，１０１ｄに適宜に捲回して固定する。リード線３１の一端は電圧Ｖ１を供給する電源に、他端はＭＯＳトランジスタ２２のゲート電極Ｇにそれぞれ接続する。リード線３１の導電部材で形成される導通ループを電気回路Ｃ２とする。
【００４４】
継ぎ手１０２が緩んで配管１０１ｄが下方にずれたり、更には継ぎ手１０２が外れて配管１０１ｄが下方に脱落すると、リード線３１が伸張される。これにより、リード線３１中の導電部材に破断が生じる。配管１０１ｄが脱落した場合でも、リード線３１の絶縁部材は切断されないため、配管１０１ｄの落下が防止される。リード線３１中の導電部材が破断して電気回路Ｃ２に分断が生じると、ゲート電圧がＶ１から０Ｖに変化し、ＭＯＳトランジスタ２２のソース電極Ｓから抵抗２１ｂへ電流が流れ、出力部ＯＰから電気信号が発せられる。出力部ＯＰには、電気信号を例えば音又は光に変換する不図示の機構を設ける。
【００４５】
以上説明したように、本実施形態によれば、半導体製造装置の配管系とは独立した比較的簡素な検査ユニットを構成する接続装置２を適宜用いることにより、比較的重要度が低い、又は比較的人体及び環境への危険性の低い供給及び排出等を担う配管を対象とする場合であっても、迅速且つ確実なガス又は液体の漏れ検知が可能となる。
【００４６】
（第３の実施形態）
本実施形態では、第１の実施形態と同様に図７の破断検知部を有する接続装置を開示するが、接続装置が図９とは異なる構成の配管支持部を有する点で第１の実施形態と相違する。
図１１は、第３の実施形態による接続装置の主要構成を示す模式図である。
【００４７】
本実施形態では、接続装置３の配管支持部が、導電材料からなる導電性粘着テープ４１で構成されている。
導電性粘着テープ４１は、易破断性の薄いシート状とされている。ここで、導電性粘着テープ４１にミシン目を形成し、易破断箇所としても良い。
【００４８】
接続装置５の使用時には、導電性粘着テープ４１を例えば配管１０１ｃ，１０１ｄに適宜に捲回して接着固定する。導電性粘着テープ４１の一端にはリード線２３の一端が接続されており、リード線２３の他端には電圧Ｖ１を供給する電源が接続されている。導電性粘着テープ４１の他端にはリード線２４の一端が接続されており、リード線２４の他端にはＭＯＳトランジスタ２２のゲート電極Ｇがそれぞれ接続される。導電性粘着テープで形成される導通ループを電気回路Ｃ３とする。
【００４９】
継ぎ手１０２が緩んで配管１０１ｄが下方にずれたり、更には継ぎ手１０２が外れて配管１０１ｄが下方に脱落すると、導電性粘着テープ４１が伸張される。これにより、導電性粘着テープ４１に破断が生じる。配管１０１ｄが脱落した場合でも、導電性粘着テープ４１は略一様に配管１０１ｃ，１０１ｄに接着しているため、導電性粘着テープ４１の所定部位が破断しても他の部位では配管１０１ｃ，１０１ｄに適宜接着しており、配管１０１ｄの落下が防止される。導電性粘着テープ４１が破断して電気回路Ｃ３に分断が生じると、ゲート電圧がＶ１から０Ｖに変化し、ＭＯＳトランジスタ２２のソース電極Ｓから抵抗２１ｂへ電流が流れ、出力部ＯＰから電気信号が発せられる。出力部ＯＰには、電気信号を例えば音又は光に変換する不図示の機構を設ける。
【００５０】
以上説明したように、本実施形態によれば、半導体製造装置の配管系とは独立した比較的簡素な検査ユニットを構成する接続装置３を適宜用いることにより、比較的重要度が低い、又は比較的人体及び環境への危険性の低い供給及び排出等を担う配管を対象とする場合であっても、迅速且つ確実なガス又は液体の漏れ検知が可能となる。
【００５１】
以下、本件の諸態様を付記としてまとめて記載する。
【００５２】
（付記１）複数の配管を有し、前記配管同士が接続部で接続されてなる配管系に用いられる接続装置であって、
易破断性の導電部を有しており、前記接続部の周辺で前記配管同士を支持し、前記支持により前記導電部の導通ループが形成される配管支持部と、
前記導電部と電気的に接続されており、前記導電部の破断を前記導通ループの分断として電気的に検知する破断検知部と
を含むことを特徴とする接続装置。
【００５３】
（付記２）前記配管支持部は、帯状の前記導電部が絶縁部で被覆されてなることを特徴とする付記１に記載の接続装置。
【００５４】
（付記３）前記絶縁部は、前記導電部よりも破断し難いものであることを特徴とする付記２に記載の接続装置。
【００５５】
（付記４）前記配管支持部は、前記導電部が導電材料からなる粘着性テープを有することを特徴とする付記１に記載の接続装置。
【００５６】
（付記５）前記導電部は、所定部位にミシン目が形成されて易破断箇所とされてなることを特徴とする付記１〜４のいずれか１項に記載の接続装置。
【００５７】
（付記６）複数の配管を有し、前記配管同士が接続部で接続されてなる配管系に用いられる接続方法であって、
易破断性の導電部を有する配管支持部により前記接続部の周辺で前記配管同士を支持し、前記支持により前記導電部の導通ループを形成しておき、
前記接続部の接続状態が変化して前記配管同士に離間が生じることで前記導電部が破断し、前記破断を前記導通ループの分断として電気的に検知することを特徴とする接続方法。
【００５８】
（付記７）前記配管支持部は、帯状の前記導電部が絶縁部で被覆されてなることを特徴とする付記６に記載の接続方法。
【００５９】
（付記８）前記絶縁部は、前記導電部よりも破断し難いものであることを特徴とする付記７に記載の接続方法。
【００６０】
（付記９）前記配管支持部は、前記導電部が導電材料からなる粘着性テープを有することを特徴とする付記６に記載の接続方法。
【００６１】
（付記１０）前記導電部は、所定部位にミシン目が形成されて易破断箇所とされてなることを特徴とする付記６〜９のいずれか１項に記載の接続方法。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
上記の接続装置又は接続方法によれば、既設された配管系とは独立に、比較的簡素な検査ユニットを構成し、比較的重要度が低い、又は比較的人体及び環境への危険性の低い供給及び排出等を担う配管を対象とする場合であっても、迅速且つ確実なガス又は液体の漏れ検知が可能となる。
【符号の説明】
【００６３】
Ｃ１〜Ｃ３  電気回路
１〜３  接続装置
１０Ａ，１０Ａ１〜１０Ａ４，１０Ｂ，１０Ｂ１，１０Ｂ２，１０Ｃ  配管支持部
２０  破断検知部
１１，１３，１４  帯状部
１１Ａ，１１Ｂ，１３Ａ，１３Ｂ，１４Ａ，１４Ｂ  先端部分
１１Ｃ  易破断箇所
１１ａ，１３ａ，１４ａ  導電部材
１１ｂ，１３ｂ，１４ｂ  絶縁部材
１１ｃ，１２ａ，１５ａ，１４ｃ  係合部分
１２，１５  固定部
２１ａ，２１ｂ  抵抗
２３，２４，３１  リード線
２２  ＭＯＳトランジスタ
４１  導電性粘着テープ
１０１ａ〜１０１ｆ  配管
１０２  継ぎ手
１０２ａ  一端部
１０２ｂ  他端部
１０３ａ，１０３ｂ  スリーブ
１０４ａ，１０４ｂ  ナット
１１１  縦型炉
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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