(57)【要約】【課題】使用待機時における消費電力の節約を図ることができ、必要時に真空チャンバーを速やかに使用することができる真空排気ユニットを提供する。【解決手段】真空排気ユニット１０は、第１排気管１６が接続されたターボ分子ポンプ１１と、ポンプ１１に第２排気管１９を介して接続された粗引きポンプ１２と、排気管１６を開閉可能な第１真空バルブ１３と、排気管１９を開閉可能な第２真空バルブ１４と、コントローラ１５とから形成されている。ユニット１０では、真空チャンバー１７に連結された状態におけるその使用待機時において、ポンプ１１が連続運転されつつ、ポンプ１２が起動と停止とを繰り返して断続的に運転され、ポンプ１２の停止にともなってバルブ１４が閉状態になり、ポンプ１２の起動にともなってバルブ１４が開状態になる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１排気管が接続された主真空ポンプと、前記主真空ポンプの下流側に配置され、該主真空ポンプに第２排気管を介して接続された補助真空ポンプと、前記第２排気管に設置されて該第２排気管を開閉可能なバルブとを有し、前記第１排気管を介して所定容積の真空チャンバーに着脱可能に連結され、前記真空チャンバー内部を所定の真空度に減圧する真空排気ユニットにおいて、
前記真空チャンバーに連結された状態における前記真空排気ユニットの使用待機時では、前記主真空ポンプが連続運転されつつ、前記補助真空ポンプが起動と停止とを繰り返して断続的に運転され、前記補助真空ポンプの停止にともなって前記バルブが閉状態になり、前記補助真空ポンプの起動にともなって前記バルブが開状態になることを特徴とする真空排気ユニット。
【請求項２】
前記真空排気ユニットでは、前記真空チャンバーに連結されたその使用待機時において、前記真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、前記補助真空ポンプが停止するとともに前記バルブが閉状態になり、前記補助真空ポンプが停止してから所定時間経過後に、前記補助真空ポンプが起動するとともに前記バルブが開状態になる請求項１記載の真空排気ユニット。
【請求項３】
前記真空排気ユニットでは、前記真空チャンバーに連結されたその使用待機時において、前記真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、前記補助真空ポンプが停止するとともに前記バルブが閉状態になり、前記主真空ポンプの圧力が該主真空ポンプの動作可能な最低圧力に近づいたときに、前記補助真空ポンプが起動するとともに前記バルブが開状態になる請求項１記載の真空排気ユニット。
【請求項４】
前記真空排気ユニットでは、前記真空チャンバーに連結されたその使用待機時において、前記真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、前記補助真空ポンプが停止するとともに前記バルブが閉状態になり、前記真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された上限真空度に上昇したときに、前記補助真空ポンプが起動するとともに前記バルブが開状態になる請求項１記載の真空排気ユニット。
【請求項５】
前記真空排気ユニットでは、前記真空チャンバーに連結されたその使用待機時において、前記真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、前記補助真空ポンプが停止するとともに前記バルブが閉状態になり、前記真空チャンバー内部の真空度が前記補助真空ポンプ停止時点の真空度よりも２桁上昇したときに、前記補助真空ポンプが起動するとともに前記バルブが開状態になる請求項１記載の真空排気ユニット。
【請求項６】
第１排気管が接続された主真空ポンプと、前記主真空ポンプの下流側に配置され、該主真空ポンプに第２排気管を介して接続された補助真空ポンプと、前記第２排気管に設置されて該第２排気管を開閉可能なバルブとを有し、前記第１排気管を介して所定容積の真空チャンバーに着脱可能に連結され、前記真空チャンバー内部を所定の真空度に減圧する真空排気ユニットの消費電力を節約する節電方法において、
前記真空チャンバーに連結された状態における前記真空排気ユニットの使用待機時に、前記主真空ポンプを連続運転しつつ、前記補助真空ポンプの起動と停止とを繰り返して該補助真空ポンプを断続的に運転するポンプ運転手段と、前記補助真空ポンプの停止にともなって前記バルブを閉状態とし、前記補助真空ポンプの起動にともなって前記バルブを開状態とするバルブ開閉手段とを実行することを特徴とする真空排気ユニットの節電方法。
【請求項７】
前記ポンプ運転手段では、前記真空チャンバーに連結されたユニットの使用待機時において、前記真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、前記補助真空ポンプを停止させ、前記補助真空ポンプを停止させてから所定時間経過後に、前記補助真空ポンプを起動させる請求項６記載の真空排気ユニットの節電方法。
【請求項８】
前記ポンプ運転手段では、前記真空チャンバーに連結されたユニットの使用待機時において、前記真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、前記補助真空ポンプを停止させ、前記主真空ポンプの圧力が該主真空ポンプの動作可能な最低圧力に近づいたときに、前記補助真空ポンプを起動させる請求項６記載の真空排気ユニットの節電方法。
【請求項９】
前記ポンプ運転手段では、前記真空チャンバーに連結されたユニットの使用待機時において、前記真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、前記補助真空ポンプを停止させ、前記真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された上限真空度に上昇したときに、前記補助真空ポンプを起動させる請求項６記載の真空排気ユニットの節電方法。
【請求項１０】
前記ポンプ運転手段では、前記真空チャンバーに連結されたユニットの使用待機時において、前記真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、前記補助真空ポンプを停止させ、前記真空チャンバー内部の真空度が前記補助真空ポンプ停止時点の真空度よりも２桁上昇したときに、前記補助真空ポンプを起動させる請求項６記載の真空排気ユニットの節電方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空排気ユニットおよび真空排気ユニットの消費電力を節約する節電方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空容器と、その真空容器に第１真空配管を介して連結されて真空容器内部を所定の真空度に減圧する主真空ポンプと、主真空ポンプの下流側に配置され、主真空ポンプに第２真空配管を介して連結されて第２排気路の排気圧を所定圧に保持する補助真空ポンプと、第１真空配管に設置されてその配管を開閉可能な第１バルブと、第２真空配管に設置されてその配管を開閉可能な第２バルブとを有する半導体製造装置用真空脱ガス装置がある（特許文献１参照）。
【０００３】
この真空脱ガス装置には、制御装置が接続されている。制御装置には、脱ガス電流の電流量を計測する電流計が内蔵され、真空容器内部の圧力を計測する圧力計が接続されている。さらに、真空容器内部の圧力の経時変化と脱ガス部材に通電された電流量の経時変化とを記録表示する表示装置が接続されている。表示装置には、真空容器内部の真空圧力の変化曲線と脱ガス電流の増加曲線とが表示される。真空脱ガス装置では、主真空ポンプおよび補助真空ポンプが起動することで真空容器内部が所定の真空度に減圧される。
【特許文献１】特開平５−１８４９０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記特許文献１に開示の半導体製造装置用真空脱ガス装置は、その使用後に主真空ポンプや補助真空ポンプの運転を停止させ、再使用時にそれらポンプを再び起動させる場合があるが、それらポンプを一旦停止させると、真空容器内部の真空度が容器を使用可能なそれに回復するまでに長時間を要し、装置が使用可能になるまでに相当の時間が必要となる。したがって、真空脱ガス装置をその必要時に速やかに使用し得るように、装置を常時使用可能な状態に維持する必要があり、そのために装置の使用待機時（アイドリング時）においても、主真空ポンプや補助真空ポンプを連続して運転することが通常である。しかし、真空脱ガス装置の使用待機時にそれらポンプを連続して運転することは無駄な電力を消費し、電力の節約を図ることができない。
【０００５】
本発明の目的は、使用待機時における消費電力の節約を図ることができ、必要時に真空チャンバーを速やかに使用することができる真空排気ユニットおよび真空排気ユニットの消費電力を節約する節電方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するための本発明の第１の前提は、第１排気管が接続された主真空ポンプと、主真空ポンプの下流側に配置され、主真空ポンプに第２排気管を介して接続された補助真空ポンプと、第２排気管に設置されて第２排気管を開閉可能なバルブとを有し、第１排気管を介して所定容積の真空チャンバーに着脱可能に連結され、真空チャンバー内部を所定の真空度に減圧する真空排気ユニットである。
【０００７】
前記第１の前提における本発明の第１の特徴として、真空チャンバーに連結された状態における真空排気ユニットの使用待機時では、主真空ポンプが連続運転されつつ、補助真空ポンプが起動と停止とを繰り返して断続的に運転され、補助真空ポンプの停止にともなってバルブが閉状態になり、補助真空ポンプの起動にともなってバルブが開状態になることにある。
【０００８】
前記第１の特徴を有する本発明の一例として、真空排気ユニットでは、真空チャンバーに連結されたその使用待機時において、真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、補助真空ポンプが停止するとともにバルブが閉状態になり、補助真空ポンプが停止してから所定時間経過後に、補助真空ポンプが起動するとともにバルブが開状態になる。
【０００９】
前記第１の特徴を有する本発明の他の一例として、真空排気ユニットでは、真空チャンバーに連結されたその使用待機時において、真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、補助真空ポンプが停止するとともにバルブが閉状態になり、主真空ポンプの圧力が主真空ポンプの動作可能な最低圧力に近づいたときに、補助真空ポンプが起動するとともにバルブが開状態になる。
【００１０】
前記第１の特徴を有する本発明の他の一例として、真空排気ユニットでは、真空チャンバーに連結されたその使用待機時において、真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、補助真空ポンプが停止するとともにバルブが閉状態になり、真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された上限真空度に上昇したときに、補助真空ポンプが起動するとともにバルブが開状態になる。
【００１１】
前記第１の特徴を有する本発明の他の一例として、真空排気ユニットでは、真空チャンバーに連結されたその使用待機時において、真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、補助真空ポンプが停止するとともにバルブが閉状態になり、真空チャンバー内部の真空度が補助真空ポンプ停止時点の真空度よりも２桁上昇したときに、補助真空ポンプが起動するとともにバルブが開状態になる。
【００１２】
前記課題を解決するための本発明の第２の前提は、第１排気管が接続された主真空ポンプと、主真空ポンプの下流側に配置され、主真空ポンプに第２排気管を介して接続された補助真空ポンプと、第２排気管に設置されて第２排気管を開閉可能なバルブとを有し、第１排気管を介して所定容積の真空チャンバーに着脱可能に連結され、真空チャンバー内部を所定の真空度に減圧する真空排気ユニットの消費電力を節約する節電方法である。
【００１３】
前記第２の前提における本発明の第２の特徴は、真空チャンバーに連結された状態における真空排気ユニットの使用待機時に、主真空ポンプを連続運転しつつ、補助真空ポンプの起動と停止とを繰り返して補助真空ポンプを断続的に運転するポンプ運転手段と、補助真空ポンプの停止にともなってバルブを閉状態とし、補助真空ポンプの起動にともなってバルブを開状態とするバルブ開閉手段とを実行することにある。
【００１４】
前記第２の特徴を有する本発明の一例として、ポンプ運転手段では、真空チャンバーに連結されたユニットの使用待機時において、真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、補助真空ポンプを停止させ、補助真空ポンプを停止させてから所定時間経過後に、補助真空ポンプを起動させる。
【００１５】
前記第２の特徴を有する本発明の他の一例として、ポンプ運転手段では、真空チャンバーに連結されたユニットの使用待機時において、真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、補助真空ポンプを停止させ、主真空ポンプの圧力が主真空ポンプの動作可能な最低圧力に近づいたときに、補助真空ポンプを起動させる。
【００１６】
前記第２の特徴を有する本発明の他の一例として、ポンプ運転手段では、真空チャンバーに連結されたユニットの使用待機時において、真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、補助真空ポンプを停止させ、真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された上限真空度に上昇したときに、補助真空ポンプを起動させる。
【００１７】
前記第２の特徴を有する本発明の他の一例として、ポンプ運転手段では、真空チャンバーに連結されたユニットの使用待機時において、真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、補助真空ポンプを停止させ、真空チャンバー内部の真空度が補助真空ポンプ停止時点の真空度よりも２桁上昇したときに、補助真空ポンプを起動させる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明にかかる真空排気ユニットによれば、真空チャンバーに連結された状態におけるその使用待機時（アイドリング時）に、補助真空ポンプが起動と停止とを繰り返して断続的に運転されるから、ユニットの使用待機時において補助真空ポンプを連続運転する場合と比較し、補助真空ポンプの消費電力を少なくすることができ、その結果、ユニットの消費電力の節約を図ることができる。真空排気ユニットは、補助真空ポンプの停止にともなってバルブが閉状態になるから、補助真空ポンプが停止したとしても、真空チャンバー内部の真空度が急激に上昇することはなく、補助真空ポンプの停止中であっても、真空チャンバー内部の真空度を所定時間適度な真空度に保持することができる。また、真空排気ユニットの使用待機時に主真空ポンプが連続運転され、補助真空ポンプが断続的に運転されるから、真空チャンバー内部の真空度を所定時間適度な真空度に保持することができ、真空チャンバー内部の真空度を所定の真空度に保持しつつ、ユニットの節電を図ることができる。この真空排気ユニットは、その使用待機時に真空チャンバー内部の真空度が適度な真空度に保持されるから、補助真空ポンプを再起動させて使用待機状態から使用状態に移るときに、真空チャンバー内部の真空度をチャンバーが使用可能な真空度に早期に回復させることができ、必要時にチャンバーを速やかに使用することができる。
【００１９】
真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、補助真空ポンプが停止するとともにバルブが閉状態になり、補助真空ポンプが停止してから所定時間経過後に、補助真空ポンプが起動するとともにバルブが開状態になる真空排気ユニットは、真空チャンバーに連結された状態におけるその使用待機時に、所定の時間間隔で補助真空ポンプが起動と停止とを繰り返して断続的に運転されるから、ユニットの使用待機時において補助真空ポンプを連続運転する場合と比較し、補助真空ポンプの消費電力を少なくすることができる。この真空排気ユニットは、その使用待機時に真空チャンバー内部の真空度を所定の真空度に保持しつつ、ユニットの消費電力の節約を図ることができる。
【００２０】
真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、補助真空ポンプが停止するとともにバルブが閉状態になり、主真空ポンプの圧力値が主真空ポンプの動作可能な最低圧力値に近づいたときに、補助真空ポンプが起動するとともにバルブが開状態になる真空排気ユニットは、真空チャンバーに連結された状態におけるその使用待機時に、補助真空ポンプが起動と停止とを繰り返して断続的に運転されるから、真空装置の使用待機時において補助真空ポンプを連続運転する場合と比較し、補助真空ポンプの消費電力を少なくすることができる。真空排気ユニットは、その使用待機時に真空チャンバー内部の真空度を所定の真空度に保持しつつ、ユニットの消費電力の節約を図ることができる。この真空排気ユニットは、主真空ポンプの圧力が主真空ポンプの動作可能な最低圧力に近づいたときに補助真空ポンプが起動するから、補助真空ポンプの停止中に主真空ポンプが動作不能になることはなく、補助真空ポンプを再起動させて使用待機状態から使用状態に移るときに、真空チャンバー内部の真空度をチャンバーが使用可能な真空度に確実かつ速やかに回復させることができる。
【００２１】
真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、補助真空ポンプが停止するとともにバルブが閉状態になり、真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された上限真空度に上昇したときに、補助真空ポンプが起動するとともにバルブが開状態になる真空排気ユニットは、真空チャンバーに連結された状態におけるその使用待機時に、補助真空ポンプが起動と停止とを繰り返して断続的に運転されるから、ユニットの使用待機時において補助真空ポンプを連続運転する場合と比較し、補助真空ポンプの消費電力を少なくすることができる。この真空排気ユニットは、真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された上限真空度に上昇したときに、補助真空ポンプが起動するから、その使用待機時に真空チャンバー内部の真空度を所定の真空度に保持することができるとともに、ユニットの消費電力の節約を図ることができる。
【００２２】
真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、補助真空ポンプが停止するとともにバルブが閉状態になり、真空チャンバー内部の真空度が補助真空ポンプ停止時点の真空度よりも２桁上昇したときに、補助真空ポンプが起動するとともにバルブが開状態になる真空排気ユニットは、真空チャンバーに連結された状態におけるその使用待機時に、補助真空ポンプが起動と停止とを繰り返して断続的に運転されるから、真空装置の使用待機時において補助真空ポンプを連続運転する場合と比較し、補助真空ポンプの消費電力を少なくすることができる。この真空排気ユニットは、真空チャンバー内部の真空度が補助真空ポンプ停止時点の真空度よりも２桁上昇したときに、補助真空ポンプが起動するから、その使用待機時に真空チャンバー内部の真空度を所定の真空度に保持することができるとともに、ユニットの消費電力の節約を図ることができる。
【００２３】
本発明にかかる真空排気ユニットの節電方法によれば、真空チャンバーに連結された状態におけるその使用待機時（アイドリング時）に、補助真空ポンプが起動と停止とを繰り返して断続的に運転されるから、真空装置の使用待機時において補助真空ポンプが連続運転される場合と比較し、補助真空ポンプの消費電力を少なくすることができ、その結果、ユニットの消費電力の節約を図ることができる。節電方法は、補助真空ポンプの停止にともなってバルブが閉状態になるから、補助真空ポンプが停止したとしても、真空チャンバー内部の真空度が瞬時に上昇することはなく、補助真空ポンプの停止中であっても、真空チャンバー内部の真空度を所定時間適度な真空度に保持することができる。また、ユニットの使用待機時に主真空ポンプが連続運転され、補助真空ポンプが断続的に運転されるから、真空チャンバー内部の真空度を所定時間適度な真空度に保持することができ、真空チャンバー内部の真空度を所定の真空度に保持しつつ、ユニットの節電を図ることができる。この節電方法は、真空排気ユニットの使用待機時に真空チャンバー内部の真空度が適度な真空度に保持されるから、補助真空ポンプを再起動させて使用待機状態から使用状態に移るときに、真空チャンバー内部の真空度をチャンバーが使用可能な真空度に早期に回復させることができ、必要時にチャンバーを速やかに使用することができる。
【００２４】
ポンプ運転手段において、真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、補助真空ポンプを停止させ、補助真空ポンプを停止させてから所定時間経過後に、補助真空ポンプを起動させる真空排気ユニットの節電方法は、真空チャンバーに連結された状態におけるユニットの使用待機時に、所定の時間間隔で補助真空ポンプが起動と停止とを繰り返して断続的に運転されるから、ユニットの使用待機時において補助真空ポンプを連続運転する場合と比較し、補助真空ポンプの消費電力を少なくすることができる。この真空排気ユニットの節電方法は、ユニットの使用待機時に真空チャンバー内部の真空度を所定の真空度に保持しつつ、ユニットの消費電力の節約を図ることができる。
【００２５】
ポンプ運転手段において、真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、補助真空ポンプを停止させ、主真空ポンプの圧力が主真空ポンプの動作可能な最低圧力に近づいたときに、補助真空ポンプを起動させる真空排気ユニットの節電方法は、真空チャンバーに連結された状態におけるユニットの使用待機時に、補助真空ポンプが起動と停止とを繰り返して断続的に運転されるから、真空装置の使用待機時において補助真空ポンプを連続運転する場合と比較し、補助真空ポンプの消費電力を少なくすることができる。真空排気ユニットは、その使用待機時に真空チャンバー内部の真空度を所定の真空度に保持しつつ、ユニットの消費電力の節約を図ることができる。この真空排気ユニットの節電方法は、主真空ポンプの圧力が主真空ポンプの動作可能な最低圧力に近づいたときに補助真空ポンプが起動するから、補助真空ポンプの停止中に主真空ポンプが動作不能になることはなく、補助真空ポンプを再起動させて使用待機状態から使用状態に移るときに、真空チャンバー内部の真空度をチャンバーが使用可能な真空度に確実かつ速やかに回復させることができる。
【００２６】
ポンプ運転手段において、真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、補助真空ポンプを停止させ、真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された上限真空度に上昇したときに、補助真空ポンプを起動させる真空排気ユニットの節電方法は、真空チャンバーに連結された状態におけるユニットの使用待機時に、補助真空ポンプが起動と停止とを繰り返して断続的に運転されるから、ユニットの使用待機時において補助真空ポンプを連続運転する場合と比較し、補助真空ポンプの消費電力を少なくすることができる。この真空排気ユニットの節電方法は、真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された上限真空度に上昇したときに、補助真空ポンプが起動するから、その使用待機時に真空チャンバー内部の真空度を所定の真空度に保持することができるとともに、ユニットの消費電力の節約を図ることができる。
【００２７】
ポンプ運転手段において、真空チャンバー内部の真空度があらかじめ設定された真空度に達した後、補助真空ポンプを停止させ、真空チャンバー内部の真空度が補助真空ポンプ停止時点の真空度よりも２桁上昇したときに、補助真空ポンプを起動させる真空排気ユニットの節電方法は、真空チャンバーに連結された状態におけるユニットの使用待機時に、補助真空ポンプが起動と停止とを繰り返して断続的に運転されるから、真空装置の使用待機時において補助真空ポンプを連続運転する場合と比較し、補助真空ポンプの消費電力を少なくすることができる。この真空排気ユニットの節電方法は、真空チャンバー内部の真空度が補助真空ポンプ停止時点の真空度よりも２桁上昇したときに、補助真空ポンプが起動するから、その使用待機時に真空チャンバー内部の真空度を所定の真空度に保持することができるとともに、ユニットの消費電力の節約を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
添付の図面を参照し、本発明にかかる真空排気ユニットおよびその消費電力を節約する節電方法の詳細を説明すると、以下のとおりである。図１は、一例として示す真空排気ユニット１０の構成図であり、図２は、コントローラ１５によって実行される節電手順（節電方法）の一例を説明するフローチャートである。図１では、第１排気管を介してユニット１０が真空チャンバー１７に連結された状態にある。真空排気ユニット１０は、ターボ分子ポンプ１１（主真空ポンプ）と、ターボ分子ポンプ１１の下流側に配置された粗引きポンプ１２（補助真空ポンプ）と、第１真空バルブ１３および第２真空バルブ１４（バルブ）と、コントローラ１５（制御装置）とから形成されている。
【００２９】
ターボ分子ポンプ１１には、第１排気管１６が接続されている。ターボ分子ポンプ１１は、タービン翼を有するロータを高速で回転させることで、気体分子を圧縮して排気する。ターボ分子ポンプ１１は、真空チャンバー１７内部の真空引きに使用される。ターボ分子ポンプ１１は、インターフェイス１８（有線または無線）を介してコントローラ１５に接続されている。ターボ分子ポンプ１１は、運転中の圧力がポンプ１１の動作可能な最低圧力に近づいたときに、それを注意信号としてコントローラ１５に出力するインターロック機能を有する。また、ターボ分子ポンプ１１は、運転中の実測圧力をコントローラ１５に出力する運転圧力出力機能を有する。ターボ分子ポンプ１１の到達圧力（Ｐａ）や最大吸気口圧力（Ｐａ）、最大排気口圧力（Ｐａ）、排気速度（Ｌ／ｓ）、規定回転数（ＲＰＭ）、ポンプ１１の動作可能な最低圧力（Ｐａ）は、各ポンプ１１の機種によって異なる。
【００３０】
粗引きポンプ１２は、第２排気路１９を介してターボ分子ポンプ１１に接続されている。粗引きポンプ１２は、ターボ分子ポンプ１１が大気圧まで圧縮できない点をカバーし、第２排気管１９の排気圧を所定圧に保持する。粗引きポンプ１２には、ロータリーポンプ、高真空ダイヤフラムポンプ、油回転真空ポンプ、ドライ真空ポンプ等を使用することができる。粗引きポンプ１２は、インターフェイス１８を介してコントローラ１５に接続されている。粗引きポンプ１２の到達圧力（Ｐａ）や最大吸気口圧力（Ｐａ）、最大排気口圧力（Ｐａ）、排気速度（Ｌ／ｓ）は、各ポンプ１２の機種によって異なる。
【００３１】
第１真空バルブ１３は、第１排気管１６に設置され、弁開度を調節することで排気管１６を開閉可能である。第２真空バルブ１４は、第２排気管１９に設置され、弁開度を調節することで排気管１９を開閉可能である。第１および第２真空バルブ１３，１４は、インターフェイス１８を介してコントローラ１５に接続されている。真空チャンバー１７は、所定の容積を有し、真空を利用して半導体製造や液晶ディスプレイパネル製造におけるドライエッチング、ＣＶＤ、スパッタ、イオン注入、その他各種実験等に利用される。真空チャンバー１７には、真空計２０が設置されている。真空計２０は、インターフェイス１８を介してコントローラ１５に接続されている。真空計２０は、真空チャンバー１７内部の真空度を計測し、計測結果をコントローラ１５に出力する。
【００３２】
コントローラ１５は、中央処理部（ＣＰＵまたはＭＰＵ）とメモリとを有するコンピュータであり、大容量ハードディスクを内蔵している。コントローラ１５には、図示はしていないが、入力装置や出力装置がインターフェイスを介して接続されている。コントローラ１５の中央処理部は、オペレーティングシステムによる制御に基づいて、メモリに格納されたアプリケーションを起動し、起動したアプリケーションに従って以下の各手段を実行する。
【００３３】
コントローラ１５の中央処理部は、真空チャンバー１７に連結された状態における真空排気ユニット１０の使用待機時（排気ユニット１０のアイドリング時）において、ターボ分子ポンプ１１を連続運転しつつ、粗引きポンプ１２の起動と停止とを繰り返してポンプ１２を断続的に運転するポンプ運転手段を実行する。中央処理部は、粗引きポンプ１２の停止にともなって第２真空バルブ１４を閉状態とし、ポンプ１２の起動にともなってバルブ１４を開状態とするバルブ開閉手段を実行する。真空排気ユニット１０の使用待機時とは、ユニット１０が連結された真空チャンバー１７において、そのチャンバー１７が未使用状態にある期間である。
【００３４】
この真空排気ユニット１０は、第１排気管１６を介して真空チャンバー１７に着脱可能に連結される。ユニット１０では、それを真空チャンバー１７に連結した後、それらポンプ１１，１２を起動させることで、真空チャンバー１７内部を必要真空度（真空チャンバー１７を使用する場合のあらかじめ設定されたチャンバー１７内部の真空度）に減圧する。真空チャンバー１７の使用時には、ターボ分子ポンプ１１と粗引きポンプ１２とが連続運転される。なお、真空チャンバー１７の使用時におけるその内部の真空度は、ターボ分子ポンプ１１の出力を調節することで変更することができ、また、第１真空バルブ１３の弁開度を調節することで変更することができる。
【００３５】
一般的に、真空排気ユニットでは、真空チャンバーをその必要時に速やかに使用し得るように、チャンバーを常時使用可能な状態に維持する必要がある。そのため、真空チャンバーの未使用時においても（排気ユニットの使用待機時）、ターボ分子ポンプや粗引きポンプを停止させることなく、それらポンプを連続運転することが通常である。なお、ターボ分子ポンプや粗引きポンプを停止させる場合は、第１真空バルブによって第１排気管を閉鎖し、さらに、第２真空バルブによって第２排気管を閉鎖し、真空チャンバー内部に不要なガスが進入することを防止する。
【００３６】
図２のフローチャートに基づいて、コントローラ１５によって実行されるユニット１０の節電手順の一例を説明すると、以下のとおりである。コントローラ１５のハードディスクには、真空チャンバー１７内部の必要真空度、粗引きポンプ１２を停止させてからポンプ１２を起動させるまでの再起動時間（所定時間）が格納されている。必要真空度は、入力装置を介してコントローラ１５に入力する。必要真空度は、必要に応じて何時でも自由に設定・変更することができる。ポンプ１２を停止させてからポンプ１２を起動させるまでの時間は、入力装置を介してコントローラ１５に入力する。その時間は、たとえば、３０分、１時間、２時間、６時間等必要に応じて自由に設定・変更することができる。
【００３７】
真空排気ユニット１０のメインスイッチ（図示せず）をＯＮにすると、各ポンプ１１，１２やバルブ１３，１４、コントローラ１５、真空計２０が起動し、真空チャンバー１７内部を必要真空度（たとえば、１×１０−７〜１×１０−１３Ｐａ）にまで減圧する（Ｓ−１）。チャンバー１７内部の真空度は、真空計２０によって計測され、真空計２０からコントローラ１５に出力される。コントローラ１５は、真空排気ユニット１０の稼働中に、ユニット１０が使用時（真空チャンバー１７の使用時）か使用待機時（真空チャンバー１７の未使用時）かを判断する（Ｓ−２）。ユニット１０には、図示はしていないが、使用継続スイッチ／使用待機スイッチが取り付けられている。使用継続スイッチをＯＮにすると、そのＯＮ信号がコントローラ１５に出力され、コントローラ１５はユニット１０の使用と判断する。使用待機スイッチをＯＮにすると、そのＯＮ信号がコントローラ１５に出力され、コントローラ１５はユニット１０の使用待機と判断する。
【００３８】
ユニット１０使用と判断すると、コントローラ１５は、ターボ分子ポンプ１１と粗引きポンプ１２とを連続運転し、真空チャンバー１７内部を必要真空度に減圧し、その真空度を保持する（Ｓ−３）。それらポンプ１１，１２の連続運転時においてコントローラ１５は、第１真空バルブ１３の弁開度を全開または所定の開度に保持し、第２真空バルブ１４の弁開度を全開に保持する。ユニット１０の使用時では、粗引きポンプ１２によって第２排気管１９の排気圧が所定圧に保持される。
【００３９】
ユニット１０使用待機と判断すると、コントローラ１５は、真空計２０によって計測された真空チャンバー１７内部の実測真空度とハードディスクに格納された必要真空度とを比較し、実測真空度が必要真空度に達しているかを判断する（Ｓ−４）。実測真空度が必要真空度に達しないと判断すると、コントローラ１５は、ターボ分子ポンプ１１と粗引きポンプ１２とを連続運転し、真空チャンバー１７内部を必要真空度にまで減圧し、ユニット１０が使用時（真空チャンバー１７の使用時）か使用待機時（真空チャンバー１７の未使用時）かを再び判断する（Ｓ−２）。
【００４０】
実測真空度が必要真空度に達していると判断すると、コントローラ１５は、ターボ分子ポンプ１１の連続運転を継続しつつ、第２真空バルブ１４の弁開度を全閉（閉状態）として第２排気管１９を閉鎖するとともに（バルブ開閉手段）、粗引きポンプ１２を停止させる（ポンプ運転手段）（Ｓ−５）。粗引きポンプ１２を停止させると、真空チャンバー１７内部の真空度が次第に上昇するが、第２真空バルブ１４が閉状態にあるから、粗引きポンプ１２からチャンバー１７に向かってガスが逆流することはない。ゆえに、粗引きポンプ１２を停止させたとしても、チャンバー１７内部の真空度が急激に上昇することはなく、チャンバー１７内部の真空度がゆっくりと上昇する。
【００４１】
粗引きポンプ１２を停止させた後、コントローラ１５は、そのタイマ機能によってあらかじめ設定された再起動時間になったかを判断する（Ｓ−６）。コントローラ１２は、再起動時間でないと判断すると、ターボ分子ポンプ１１の連続運転を継続しつつ、粗引きポンプ１２の停止と第２真空バルブ１４の閉状態とを維持する。コントローラ１５は、再起動時間になったと判断すると、粗引きポンプ１２を起動させ（ポンプ運転手段）、第２真空バルブ１４の弁開度を全開（開状態）とし、第２排気管１９を開放する（バルブ開閉手段）（Ｓ−７）。粗引きポンプ１２が再起動し、第２真空バルブ１４の弁開度が全開になると、第２排気管１９の排気圧が所定圧に保持されるとともに、ターボ分子ポンプ１１によって真空チャンバー１７内部の真空度が必要真空度に回復する。
【００４２】
次に、コントローラ１５は、運転継続信号／運転停止信号によって、ユニット１０の運転を継続するかを判断する（Ｓ−８）。コントローラ１５に接続された出力装置には、ユニット１０の稼働中、ユニット１０の運転停止ボタンが表示される。運転停止ボタンを押すと、ユニット１０の運転停止信号がコントローラ１５に出力される。ユニット１０の運転を停止する場合、コントローラ１５は、ユニット１０のメインスイッチをＯＦＦとし、各バルブ１３，１４を全閉（閉状態）にして第１排気管１６および第２排気管１９を閉鎖するとともに、それらポンプ１１，１２を停止させる。なお、コントローラ１５は、運転停止ボタンが押されるまで、ユニット１０の節電運転を実行する。
【００４３】
ユニット１０の運転が継続する場合、ステップ１（Ｓ−１）に戻って、再びユニット１０が使用時か使用待機時かを判断し、図２のフローチャートに示す手順を繰り返す。コントローラ１５は、ユニット１０の使用待機時において、チャンバー１７内部の実測真空度が必要真空度に達すると、ターボ分子ポンプ１１の連続運転を継続しつつ、第２真空バルブ１４の弁開度を全閉（閉状態）とし（バルブ開閉手段）、粗引きポンプ１２を停止させる（ポンプ運転手段）。コントローラ１５は、粗引きポンプ１２の起動時間になると、ポンプ１２を起動させ（ポンプ運転手段）、第２真空バルブ１４の弁開度を全開（開状態）とする（バルブ開閉手段）。
【００４４】
図２のフローチャートに示す節電手順を実行する真空排気ユニット１０およびその節電方法は、真空チャンバー１７内部の真空度があらかじめ設定された必要真空度に達した後、第２真空バルブ１４（バルブ）が全閉（閉状態）になるとともに粗引きポンプ１２（補助真空ポンプ）が停止し、ポンプ１２が停止してから再起動時間になると、ポンプ１２が起動するとともに真空バルブ１４が全開（開状態）になるから、ユニット１０の使用待機時にあらかじめ設定された時間間隔で粗引きポンプ１２が起動と停止とを繰り返して断続的に運転され、使用待機時にポンプ１２を連続運転する場合と比較し、ポンプ１２の消費電力を少なくすることができ、その結果、ユニット１０の消費電力の節約を図ることができる。
【００４５】
この真空排気ユニット１０およびその節電方法は、粗引きポンプ１２の停止にともなって第２真空バルブ１４が閉状態になるから、ポンプ１２が停止したとしても、真空チャンバー１７内部の真空度が急激に上昇することはなく、ポンプ１２の停止中であっても、チャンバー１７内部の真空度を所定時間適度な真空度に保持することができる。また、真空排気ユニット１０の使用待機時にターボ分子ポンプ１１（主真空ポンプ）が連続運転され、粗引きポンプ１２が断続的に運転されるから、チャンバー１７内部の真空度を所定時間適度な真空度に保持することができ、チャンバー１７内部の真空度を所定の真空度に保持しつつ、ユニット１０の節電を図ることができる。この真空排気ユニット１０およびその節電方法は、その使用待機時に真空チャンバー１７内部の真空度が適度な真空度に保持されるから、粗引きポンプ１２を再起動させて使用待機状態から使用状態に移るときに、チャンバー１７内部の真空度をチャンバー１７が使用可能な真空度に早期に回復させることができ、必要時にチャンバー１７を速やかに使用することができる。
【００４６】
図３は、コントローラ１５によって実行される節電手順（節電方法）の他の一例を説明するフローチャートである。図３のフローチャートに基づいて、コントローラ１５によって実行される節電手順の他の一例を説明すると、以下のとおりである。コントローラ１５のハードディスクには、真空チャンバー１７内部の必要真空度、ターボ分子ポンプ１１の動作可能な最低圧力（ポンプ１１が機能する最低の圧力）が格納されている。必要真空度は、入力装置を介してコントローラ１５に入力する。必要真空度は、必要に応じて何時でも自由に設定・変更することができる。ターボ分子ポンプ１１の動作可能な最低圧力は、入力装置を介してコントローラ１５に入力する。最低圧力は、ターボ分子ポンプ１１の機種によって異なる。
【００４７】
真空排気ユニット１０のメインスイッチ（図示せず）をＯＮにすると、各ポンプ１１，１２やバルブ１３，１４、コントローラ１５、真空計２０が起動し、真空チャンバー１７内部を必要真空度（たとえば、１×１０−７〜１×１０−１３Ｐａ）にまで減圧する（Ｓ−１０）。チャンバー１７内部を真空度は、真空計２０によって計測され、真空計２０からコントローラ１５に出力される。コントローラ１５は、真空排気ユニット１０の稼働中に、ユニット１０が使用時（真空チャンバー１７の使用時）か使用待機時（真空チャンバー１７の未使用時）かを判断する（Ｓ−１１）。ユニット１０には、使用継続スイッチ／使用待機スイッチが取り付けられている。使用継続スイッチをＯＮにすると、そのＯＮ信号がコントローラ１５に出力され、コントローラ１５はユニット１０の使用と判断する。使用待機スイッチをＯＮにすると、そのＯＮ信号がコントローラ１５に出力され、コントローラ１５はユニット１０の使用待機と判断する。
【００４８】
ユニット１０使用と判断すると、コントローラ１５は、ターボ分子ポンプ１１と粗引きポンプ１２とを連続運転し、真空チャンバー１７内部を必要真空度に減圧し、その真空度を保持する（Ｓ−１２）。それらポンプ１１，１２の連続運転時においてコントローラ１５は、第１真空バルブ１３の弁開度を全開または所定の開度に保持し、第２真空バルブ１４の弁開度を全開に保持する。ユニット１０の使用時では、粗引きポンプ１２によって第２排気管１９の排気圧が所定圧に保持される。
【００４９】
ユニット１０使用待機と判断すると、コントローラ１５は、真空計２０によって計測された真空チャンバー１７内部の実測真空度とハードディスクに格納された必要真空度とを比較し、実測真空度が必要真空度に達しているかを判断する（Ｓ−１３）。実測真空度が必要真空度に達していないと判断すると、コントローラ１５は、ターボ分子ポンプ１１と粗引きポンプ１２とを連続運転し、真空チャンバー１７内部を必要真空度にまで減圧し、ユニット１０が使用時（真空チャンバー１７の使用時）か使用待機時（真空チャンバー１７の未使用時）かを再び判断する（Ｓ−１１）。
【００５０】
実測真空度が必要真空度に達していると判断すると、コントローラ１５は、ターボ分子ポンプ１１の連続運転を継続しつつ、第２真空バルブ１４の弁開度を全閉（閉状態）として第２排気管１９を閉鎖するとともに（バルブ開閉手段）、粗引きポンプ１２を停止させる（ポンプ運転手段）（Ｓ−１４）。粗引きポンプ１２を停止させると、真空チャンバー１７内部の真空度が次第に上昇するが、第２真空バルブ１４が閉状態にあるから、粗引きポンプ１２からチャンバー１７に向かってガスが逆流することはない。ゆえに、粗引きポンプ１２を停止させたとしても、チャンバー１７内部の真空度が急激に上昇することはなく、チャンバー１７内部の真空度がゆっくりと上昇する。なお、チャンバー１７内部の真空度の上昇にともなって、ターボ分子ポンプ１１内部の圧力も次第に上昇する。
【００５１】
粗引きポンプ１２を停止させた後、コントローラ１５は、ターボ分子ポンプ１１から出力される注意信号の有無により、ポンプ１１の圧力が動作可能な最低圧力に近づいたかを判断する（Ｓ−１５）。または、ターボ分子ポンプ１１から出力されるポンプ運転中の実測圧力とハードディスクに格納された最低圧力とを比較し、ポンプ１１の圧力が動作可能な最低圧力に近づいたかを判断する（Ｓ−１５）。ポンプ１１の圧力が動作可能な最低圧力に近づくとは、ポンプ１１の圧力が最低圧力よりも僅かに低い状態をいい、ポンプ１１の圧力が最低圧力と同一および最低圧力よりも僅かに高い状態は含まれない。
【００５２】
コントローラ１２は、ポンプ１１の圧力が最低圧力に近づいていないと判断すると、ターボ分子ポンプ１１の連続運転を継続しつつ、粗引きポンプ１２の停止と第２真空バルブ１４の閉状態とを維持する。コントローラ１５は、ポンプ１１の圧力が最低圧力に近づいたと判断すると、粗引きポンプ１２を起動させ（ポンプ運転手段）、第２真空バルブ１４の弁開度を全開（開状態）として第２排気管１９を開放する（バルブ開閉手段）（Ｓ−１６）。粗引きポンプ１２が再起動し、第２真空バルブ１４の弁開度が全開になると、第２排気管１９の排気圧が所定圧に保持されるとともに、ターボ分子ポンプ１１によって真空チャンバー１７内部の真空度が必要真空度に回復する。
【００５３】
次に、コントローラ１５は、運転継続信号／運転停止信号によって、ユニット１０の運転を継続するかを判断する（Ｓ−１７）。コントローラ１５に接続された出力装置には、ユニット１０の稼働中、ユニット１０の運転停止ボタンが表示される。運転停止ボタンを押すと、ユニット１０の運転停止信号がコントローラ１５に出力される。ユニット１０の運転を停止する場合、コントローラ１５は、ユニット１０のメインスイッチをＯＦＦとし、各バルブ１３，１４を全閉（閉状態）にして第１排気管１６および第２排気管１９を閉鎖するとともに、それらポンプ１１，１２を停止させる。なお、コントローラ１５は、運転停止ボタンが押されるまで、ユニット１０の節電運転を実行する。
【００５４】
ユニット１０の運転が継続する場合、ステップ１０（Ｓ−１０）に戻って、再びユニット１０が使用時か使用待機時かを判断し、図３のフローチャートに示す手順を繰り返す。コントローラ１５は、ユニット１０の使用待機時において、チャンバー１７内部の実測真空度が必要真空度に達すると、ターボ分子ポンプ１１の連続運転を継続しつつ、第２真空バルブ１４の弁開度を全閉（閉状態）とし（バルブ開閉手段）、粗引きポンプ１２を停止させる（ポンプ運転手段）。コントローラ１５は、ターボ分子ポンプ１１の圧力が最低圧力に近づくと、粗引きポンプ１２を起動させ（ポンプ運転手段）、第２真空バルブ１４の弁開度を全開（開状態）とする（バルブ開閉手段）。
【００５５】
図３のフローチャートに示す節電手順を実行する真空排気ユニット１０およびその節電方法は、真空チャンバー１７内部の真空度があらかじめ設定された必要真空度に達した後、第２真空バルブ１４（バルブ）が全閉（閉状態）になるとともに粗引きポンプ１２（補助真空ポンプ）が停止し、ポンプ１２が停止してからポンプ１１の圧力がポンプ１１の動作可能な最低圧力に近づくと、ポンプ１２が起動するとともに真空バルブ１４が全開（開状態）になるから、ユニット１０の使用待機時に粗引きポンプ１２が起動と停止とを繰り返して断続的に運転され、使用待機時にポンプ１２を連続運転する場合と比較し、ポンプ１２の消費電力を少なくすることができ、その結果、ユニット１０の消費電力の節約を図ることができる。
【００５６】
この真空排気ユニット１０およびその節電方法は、粗引きポンプ１２の停止にともなって第２真空バルブ１４が閉状態になるから、ポンプ１２が停止したとしても、真空チャンバー１７内部やターボ分子ポンプ１１（主真空ポンプ）内部の真空度が急激に上昇することはなく、ポンプ１２の停止中であっても、チャンバー１７内部やポンプ１１内部の真空度を所定時間適度な真空度に保持することができる。また、真空排気ユニット１０の使用待機時にターボ分子ポンプ１１が連続運転され、粗引きポンプ１２が断続的に運転されるから、チャンバー１７内部の真空度を所定時間適度な真空度に保持することができ、チャンバー１７内部の真空度を所定の真空度に保持しつつ、ユニット１０の節電を図ることができる。この真空排気ユニット１０およびその節電方法は、その使用待機時に真空チャンバー１７内部の真空度が適度な真空度に保持されるから、粗引きポンプ１２を再起動させて使用待機状態から使用状態に移るときに、チャンバー１７内部の真空度をチャンバー１７が使用可能な真空度に早期に回復させることができ、必要時にチャンバー１７を速やかに使用することができる。
【００５７】
図４は、コントローラ１５によって実行される節電手順（節電方法）の他の一例を説明するフローチャートである。図４のフローチャートに基づいて、コントローラ１５によって実行される節電手順の他の一例を説明すると、以下のとおりである。コントローラ１５のハードディスクには、真空チャンバー１７内部の必要真空度、真空チャンバー１７内部の上限真空度（粗引きポンプ１２を再起動させるトリガーとなるチャンバー１７内部の真空度）が格納されている。必要真空度は、入力装置を介してコントローラ１５に入力する。必要真空度は、必要に応じて何時でも自由に設定・変更することができる。上限真空度は、入力装置を介してコントローラ１５に入力する。上限真空度は、必要に応じて何時でも自由に設定・変更することができる。
【００５８】
真空排気ユニット１０のメインスイッチ（図示せず）をＯＮにすると、各ポンプ１１，１２やバルブ１３，１４、コントローラ１５、真空計２０が起動し、真空チャンバー１７内部を必要真空度（たとえば、１×１０−７〜１×１０−１３Ｐａ）にまで減圧する（Ｓ−２０）。チャンバー１７内部を真空度は、真空計２０によって計測され、真空計２０からコントローラ１５に出力される。コントローラ１５は、真空排気ユニット１０の稼働中に、ユニット１０が使用時（真空チャンバー１７の使用時）か使用待機時（真空チャンバー１７の未使用時）かを判断する（Ｓ−２１）。ユニット１０には、使用継続スイッチ／使用待機スイッチが取り付けられている。使用継続スイッチをＯＮにすると、そのＯＮ信号がコントローラ１５に出力され、コントローラ１５はユニット１０の使用と判断する。使用待機スイッチをＯＮにすると、そのＯＮ信号がコントローラ１５に出力され、コントローラ１５はユニット１０の使用待機と判断する。
【００５９】
ユニット１０使用と判断すると、コントローラ１５は、ターボ分子ポンプ１１と粗引きポンプ１２とを連続運転し、真空チャンバー１７内部を必要真空度に減圧し、その真空度を保持する（Ｓ−２２）。それらポンプ１１，１２の連続運転時においてコントローラ１５は、第１真空バルブ１３の弁開度を全開または所定の開度に保持し、第２真空バルブ１４の弁開度を全開に保持する。ユニット１０の使用時では、粗引きポンプ１２によって第２排気管１９の排気圧が所定圧に保持される。
【００６０】
ユニット１０使用待機と判断すると、コントローラ１５は、真空計２０によって計測された真空チャンバー１７内部の実測真空度とハードディスクに格納された必要真空度とを比較し、実測真空度が必要真空度に達しているかを判断する（Ｓ−２３）。実測真空度が必要真空度に達しないと判断すると、コントローラ１５は、ターボ分子ポンプ１１と粗引きポンプ１２とを連続運転し、真空チャンバー１７内部を必要真空度にまで減圧し、ユニット１０が使用時（真空チャンバー１７の使用時）か使用待機時（真空チャンバー１７の未使用時）かを再び判断する（Ｓ−２１）。
【００６１】
実測真空度が必要真空度に達していると判断すると、コントローラ１５は、ターボ分子ポンプ１１の連続運転を継続しつつ、第２真空バルブ１４の弁開度を全閉（閉状態）として第２排気管１９を閉鎖するとともに（バルブ開閉手段）、粗引きポンプ１２を停止させる（ポンプ運転手段）（Ｓ−２４）。粗引きポンプ１２を停止させると、真空チャンバー１７内部の真空度が次第に上昇するが、第２真空バルブ１４が閉状態にあるから、粗引きポンプ１２からチャンバー１７に向かってガスが逆流することはない。ゆえに、粗引きポンプ１２を停止させたとしても、チャンバー１７内部の真空度が急激に上昇することはなく、チャンバー１７内部の真空度がゆっくりと上昇する。
【００６２】
粗引きポンプ１２を停止させた後、コントローラ１５は、真空計２０によって計測された真空チャンバー１７内部の実測真空度とハードディスクに格納された上限真空度とを比較し、実測真空度が上限真空度に達しているかを判断する（Ｓ−２５）。コントローラ１２は、真空チャンバー１７内部の実測真空度が上限真空度に達していないと判断すると、ターボ分子ポンプ１１の連続運転を継続しつつ、粗引きポンプ１２の停止と第２真空バルブ１４の閉状態とを維持する。コントローラ１５は、真空チャンバー１７内部の実測真空度が上限真空度に達したと判断すると、粗引きポンプ１２を起動させ（ポンプ運転手段）、第２真空バルブ１４の弁開度を全開（開状態）とし、第２排気管１９を開放する（バルブ開閉手段）（Ｓ−２６）。粗引きポンプ１２が再起動し、第２真空バルブ１４の弁開度が全開になると、第２排気管１９の排気圧が所定圧に保持されるとともに、ターボ分子ポンプ１１によって真空チャンバー１７内部の真空度が必要真空度に回復する。
【００６３】
次に、コントローラ１５は、運転継続信号／運転停止信号によって、ユニット１０の運転を継続するかを判断する（Ｓ−２７）。コントローラ１５に接続された出力装置には、ユニット１０の稼働中、ユニット１０の運転停止ボタンが表示される。運転停止ボタンを押すと、ユニット１０の運転停止信号がコントローラ１５に出力される。ユニット１０の運転を停止する場合、コントローラ１５は、ユニット１０のメインスイッチをＯＦＦとし、各バルブ１３，１４を全閉（閉状態）にして第１排気管１６および第２排気管１９を閉鎖するとともに、それらポンプ１１，１２を停止させる。なお、コントローラ１５は、運転停止ボタンが押されるまで、ユニット１０の節電運転を実行する。
【００６４】
ユニット１０の運転が継続する場合、ステップ２０（Ｓ−２０）に戻って、再びユニット１０が使用時か使用待機時かを判断し、図４のフローチャートに示す手順を繰り返す。コントローラ１５は、ユニット１０の使用待機時において、チャンバー１７内部の実測真空度が必要真空度に達すると、ターボ分子ポンプ１１の連続運転を継続しつつ、第２真空バルブ１４の弁開度を全閉（閉状態）とし（バルブ開閉手段）、粗引きポンプ１２を停止させる（ポンプ運転手段）。コントローラ１５は、真空チャンバー１７内部の実測真空度が上限真空度に達すると、粗引きポンプ１２を起動させ（ポンプ運転手段）、第２真空バルブ１４の弁開度を全開（開状態）とする（バルブ開閉手段）。
【００６５】
図４のフローチャートに示す節電手順を実行する真空排気ユニット１０およびその節電方法は、真空チャンバー１７内部の真空度があらかじめ設定された必要真空度に達した後、第２真空バルブ１４（バルブ）が全閉（閉状態）になるとともに粗引きポンプ１２（補助真空ポンプ）が停止し、ポンプ１２が停止してから真空チャンバー１７内部の真空度があらかじめ設定された上限真空度に上昇すると、ポンプ１２が起動するとともに真空バルブ１４が全開（開状態）になるから、ユニット１０の使用待機時に粗引きポンプ１２が起動と停止とを繰り返して断続的に運転され、使用待機時にポンプ１２を連続運転する場合と比較し、ポンプ１２の消費電力を少なくすることができ、その結果、ユニット１０の消費電力の節約を図ることができる。
【００６６】
この真空排気ユニット１０およびその節電方法は、粗引きポンプ１２の停止にともなって第２真空バルブ１４が閉状態になるから、ポンプ１２が停止したとしても、真空チャンバー１７内部の真空度が急激に上昇することはなく、ポンプ１２の停止中であっても、チャンバー１７内部の真空度を所定時間適度な真空度に保持することができる。また、真空排気ユニット１０の使用待機時にターボ分子ポンプ１１が連続運転され、粗引きポンプ１２が断続的に運転されるから、チャンバー１７内部の真空度を所定時間適度な真空度に保持することができ、チャンバー１７内部の真空度を所定の真空度に保持しつつ、ユニット１０の節電を図ることができる。この真空排気ユニット１０およびその節電方法は、その使用待機時に真空チャンバー１７内部の真空度が適度な真空度に保持されるから、粗引きポンプ１２を再起動させて使用待機状態から使用状態に移るときに、チャンバー１７内部の真空度をチャンバー１７が使用可能な真空度に早期に回復させることができ、必要時にチャンバー１７を速やかに使用することができる。
【００６７】
図５は、コントローラ１５によって実行される節電手順（節電方法）の他の一例を説明するフローチャートである。図５のフローチャートに基づいて、コントローラ１５によって実行される節電手順の他の一例を説明すると、以下のとおりである。コントローラ１５のハードディスクには、真空チャンバー１７内部の必要真空度が格納されている。必要真空度は、入力装置を介してコントローラ１５に入力する。必要真空度は、必要に応じて何時でも自由に設定・変更することができる。
【００６８】
真空排気ユニット１０のメインスイッチ（図示せず）をＯＮにすると、各ポンプ１１，１２やバルブ１３，１４、コントローラ１５、真空計２０が起動し、真空チャンバー１７内部を必要真空度（たとえば、１×１０−７〜１×１０−１３Ｐａ）にまで減圧する（Ｓ−３０）。チャンバー１７内部を真空度は、真空計２０によって計測され、真空計２０からコントローラ１５に出力される。コントローラ１５は、真空排気ユニット１０の稼働中に、ユニット１０が使用時（真空チャンバー１７の使用時）か使用待機時（真空チャンバー１７の未使用時）かを判断する（Ｓ−３１）。ユニット１０には、使用継続スイッチ／使用待機スイッチが取り付けられている。使用継続スイッチをＯＮにすると、そのＯＮ信号がコントローラ１５に出力され、コントローラ１５はユニット１０の使用と判断する。使用待機スイッチをＯＮにすると、そのＯＮ信号がコントローラ１５に出力され、コントローラ１５はユニット１０の使用待機と判断する。
【００６９】
ユニット１０使用と判断すると、コントローラ１５は、ターボ分子ポンプ１１と粗引きポンプ１２とを連続運転し、真空チャンバー１７内部を必要真空度に減圧し、その真空度を保持する（Ｓ−３２）。それらポンプ１１，１２の連続運転時においてコントローラ１５は、第１真空バルブ１３の弁開度を全開または所定の開度に保持し、第２真空バルブ１４の弁開度を全開に保持する。ユニット１０の使用時では、粗引きポンプ１２によって第２排気管１９の排気圧が所定圧に保持される。
【００７０】
ユニット１０使用待機と判断すると、コントローラ１５は、真空計２０によって計測された真空チャンバー１７内部の実測真空度とハードディスクに格納された必要真空度とを比較し、実測真空度が必要真空度に達しているかを判断する（Ｓ−３３）。実測真空度が必要真空度に達しないと判断すると、コントローラ１５は、ターボ分子ポンプ１１と粗引きポンプ１２とを連続運転し、真空チャンバー１７内部を必要真空度にまで減圧し、ユニット１０が使用時（真空チャンバー１７の使用時）か使用待機時（真空チャンバー１７の未使用時）かを再び判断する（Ｓ−３１）。
【００７１】
実測真空度が必要真空度に達していると判断すると、コントローラ１５は、ターボ分子ポンプ１１の連続運転を継続しつつ、第２真空バルブ１４の弁開度を全閉（閉状態）として第２排気管１９を閉鎖するとともに（バルブ開閉手段）、粗引きポンプ１２を停止させる（ポンプ運転手段）（Ｓ−３４）。なお、真空計２０は、粗引きポンプ１２を停止させた直後の真空チャンバー１７内部の実測真空度を計測し、その真空度をコントローラ１５に出力する。コントローラ１５は、粗引きポンプ１２を停止させた直後の真空チャンバー１７内部の実測真空度をハードディスクに格納する。
【００７２】
粗引きポンプ１２を停止させると、真空チャンバー１７内部の真空度が次第に上昇するが、第２真空バルブ１４が閉状態にあるから、粗引きポンプ１２からチャンバー１７に向かってガスが逆流することはない。ゆえに、粗引きポンプ１２を停止させたとしても、チャンバー１７内部の真空度が急激に上昇することはなく、チャンバー１７内部の真空度がゆっくりと上昇する。
【００７３】
粗引きポンプ１２を停止させた後、コントローラ１５は、真空計２０によって計測された真空チャンバー１７内部の実測真空度がポンプ１２の停止時点のチャンバー１７内部の実測真空度よりも２桁上昇したかを判断する（Ｓ−３５）。コントローラ１２は、チャンバー１７内部の実測真空度がポンプ１２の停止時点のチャンバー１７内部の実測真空度よりも２桁上昇していないと判断すると、ターボ分子ポンプ１１の連続運転を継続しつつ、粗引きポンプ１２の停止と第２真空バルブ１４の閉状態とを維持する。
【００７４】
コントローラ１５は、チャンバー１７内部の実測真空度がポンプ１２の停止時点のチャンバー１７内部の実測真空度よりも２桁上昇したと判断すると、粗引きポンプ１２を起動させ（ポンプ運転手段）、第２真空バルブ１４の弁開度を全開（開状態）とし、第２排気管１９を開放する（バルブ開閉手段）（Ｓ−３６）。粗引きポンプ１２が再起動し、第２真空バルブ１４の弁開度が全開になると、第２排気管１９の排気圧が所定圧に保持されるとともに、ターボ分子ポンプ１１によって真空チャンバー１７内部の真空度が必要真空度に回復する。
【００７５】
次に、コントローラ１５は、運転継続信号／運転停止信号によって、ユニット１０の運転を継続するかを判断する（Ｓ−３７）。コントローラ１５に接続された出力装置には、ユニット１０の稼働中、ユニット１０の運転停止ボタンが表示される。運転停止ボタンを押すと、ユニット１０の運転停止信号がコントローラ１５に出力される。ユニット１０の運転を停止する場合、コントローラ１５は、ユニット１０のメインスイッチをＯＦＦとし、各バルブ１３，１４を全閉（閉状態）にして第１排気管１６および第２排気管１９を閉鎖するとともに、それらポンプ１１，１２を停止させる。なお、コントローラ１５は、運転停止ボタンが押されるまで、ユニット１０の節電運転を実行する。
【００７６】
ユニット１０の運転が継続する場合、ステップ３０（Ｓ−３０）に戻って、再びユニット１０が使用時か使用待機時かを判断し、図５のフローチャートに示す手順を繰り返す。コントローラ１５は、ユニット１０の使用待機時において、チャンバー１７内部の実測真空度が必要真空度に達すると、ターボ分子ポンプ１１の連続運転を継続しつつ、第２真空バルブ１４の弁開度を全閉（閉状態）とし（バルブ開閉手段）、粗引きポンプ１２を停止させる（ポンプ運転手段）。コントローラ１５は、チャンバー１７内部の実測真空度がポンプ１２の停止時点のチャンバー１７内部の実測真空度よりも２桁上昇すると、粗引きポンプ１２を起動させ（ポンプ運転手段）、第２真空バルブ１４の弁開度を全開（開状態）とする（バルブ開閉手段）。
【００７７】
図５のフローチャートに示す節電手順を実行する真空排気ユニット１０およびその節電方法は、真空チャンバー１７内部の真空度があらかじめ設定された必要真空度に達した後、第２真空バルブ１４（バルブ）が全閉（閉状態）になるとともに粗引きポンプ１２（補助真空ポンプ）が停止し、ポンプ１２が停止してから真空チャンバー１７内部の真空度がポンプ１２の停止時点のチャンバー１７内部の真空度よりも２桁上昇すると、ポンプ１２が起動するとともに真空バルブ１４が全開（開状態）になるから、ユニット１０の使用待機時に粗引きポンプ１２が起動と停止とを繰り返して断続的に運転され、使用待機時にポンプ１２を連続運転する場合と比較し、ポンプ１２の消費電力を少なくすることができ、その結果、ユニット１０の消費電力の節約を図ることができる。
【００７８】
この真空排気ユニット１０およびその節電方法は、粗引きポンプ１２の停止にともなって第２真空バルブ１４が閉状態になるから、ポンプ１２が停止したとしても、真空チャンバー１７内部の真空度が急激に上昇することはなく、ポンプ１２の停止中であっても、チャンバー１７内部の真空度を所定時間適度な真空度に保持することができる。また、真空排気ユニット１０の使用待機時にターボ分子ポンプ１１が連続運転され、粗引きポンプ１２が断続的に運転されるから、チャンバー１７内部の真空度を所定時間適度な真空度に保持することができ、チャンバー１７内部の真空度を所定の真空度に保持しつつ、ユニット１０の節電を図ることができる。この真空排気ユニット１０およびその節電方法は、その使用待機時に真空チャンバー１７内部の真空度が適度な真空度に保持されるから、粗引きポンプ１２を再起動させて使用待機状態から使用状態に移るときに、チャンバー１７内部の真空度をチャンバー１７が使用可能な真空度に早期に回復させることができ、必要時にチャンバー１７を速やかに使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】一例として示す真空排気ユニットの構成図。
【図２】コントローラによって実行される節電手順（節電方法）の一例を説明するフローチャート。
【図３】コントローラによって実行される節電手順（節電方法）の他の一例を説明するフローチャート。
【図４】コントローラによって実行される節電手順（節電方法）の他の一例を説明するフローチャート。
【図５】コントローラによって実行される節電手順（節電方法）の他の一例を説明するフローチャート。
【符号の説明】
【００８０】
１０    真空排気ユニット
１１    ターボ分子ポンプ（主真空ポンプ）
１２    粗引きポンプ（補助真空ポンプ）
１３    第１真空バルブ
１４    第２真空バルブ（バルブ）
１５    コントローラ
１６    第１排気路
１７    真空チャンバー
１９    第２排気路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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