(57)【要約】【課題】簡単な構成で容易に撮像面の傾斜状態を検出可能な傾斜検出方法、および傾斜検出装置を提供する。【解決手段】傾斜検出方法は、載置部に均等間隔でパターンを有するパターン画像を設けるパターン設置工程と、撮像部の焦点位置を順次変化させてパターン画像を撮像するパターン撮像工程と、撮像画像におけるパターン位置を検出してパターン領域を設定するパターン領域設定工程と、パターン領域における各画素の輝度値を検出し、検査方向に沿って画素間の輝度変化量を算出する輝度変化量算出工程と、各パターン領域における輝度変化量の積算値を算出する変化量積算工程と、この積算値が最大となる撮像画像に対応した焦点一致位置を検出する焦点一致検出工程と、焦点一致位置に基づいて、撮像部の入射光軸に対する載置部の傾斜状態を検出する傾斜検出工程と、を具備した。【選択図】図３
2010243212.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物を載置する載置部、載置部に載置された検査対象物を撮像する撮像手段、前記撮像手段の焦点位置を調整する焦点調整手段、および撮像手段の撮像処理により得られる撮像画像に基づいて所定の検査処理を実施する検査手段を備えた検査装置において、前記撮像手段に入射する入射光の光軸に対する前記載置部の傾斜状態を検出する傾斜検出方法であって、
前記載置部に、均等間隔でパターンが形成されるパターン画像を設けるパターン設置工程と、
前記焦点調整手段により、前記撮像手段の焦点位置を順次変化させるとともに、所定距離間隔で前記パターン画像を撮像し、撮像画像を取得するパターン撮像工程と、
前記パターン撮像工程により取得される前記撮像画像における前記パターンの位置を検出するとともに、前記撮像画像から少なくとも前記パターンの一部を含むパターン領域を設定するパターン領域設定工程と、
前記パターン領域における各画素の輝度値を検出し、所定の検査方向に沿って画素間の輝度変化量を算出する輝度変化量算出工程と、
前記パターン領域における前記輝度変化量の積算値を算出する変化量積算工程と、
前記パターン領域における前記積算値が最大となる前記撮像画像に対応した前記撮像手段の焦点位置を、焦点一致位置として検出する焦点一致検出工程と、
前記焦点一致位置に基づいて、前記撮像手段に入射する入射光の光軸に対する前記載置部の傾斜状態を検出する傾斜検出工程と、
を具備したことを特徴とする傾斜検出方法。
【請求項２】
請求項１に記載の傾斜検出方法において、
前記パターン載置工程において、前記載置部に設ける前記パターン画像は、前記検査方向に沿って均等間隔にパターンを有する
ことを特徴とする傾斜検出方法。
【請求項３】
請求項２に記載の傾斜検出方法において、
前記パターン画像は、前記検査方向およびこの検査方向に直交する方向の双方に対して均等配置される円形パターンを備える
ことを特徴とする傾斜検出方法。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の傾斜検出方法において、
前記パターン撮像工程は、オートフォーカス処理により撮像手段の焦点位置を基準位置に調整した後、この基準位置を中心とした所定距離範囲内に撮像手段の焦点を移動させて、前記撮像画像を取得する
ことを特徴とする傾斜検出方法。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の傾斜検出方法において、
パターン領域設定工程は、前記撮像画像を均等分割したパターン領域を設定する
ことを特徴とする傾斜検出方法。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の傾斜検出方法において、
前記傾斜検出工程は、前記撮像画像内の各パターン領域に前記焦点一致位置を表示した傾斜状態表示画像を生成する
ことを特徴とする傾斜検出方法。
【請求項７】
検査対象物を載置する載置部、載置部に載置された検査対象物を撮像する撮像手段、前記撮像手段の焦点位置を調整する焦点調整手段、および撮像手段の撮像処理により得られる撮像画像に基づいて所定の検査処理を実施する検査手段を備えた検査装置において、前記撮像手段に入射する入射光の光軸に対する前記載置部の傾斜状態を検出する傾斜検出装置であって、
前記載置部は、均等間隔でパターンが形成されるパターン画像が設置可能であり、
当該傾斜検出装置は、
前記焦点調整手段により前記撮像手段の焦点位置を変化させるとともに、前記撮像手段により前記パターン画像を撮像させて、撮像画像を取得する撮像制御手段と、
前記撮像画像における前記パターンの位置を検出するとともに、前記撮像画像から少なくとも前記パターンの一部を含むパターン領域を設定するパターン領域設定手段と、
前記パターン領域における各画素の輝度値を検出し、所定の検査方向に沿って画素間の輝度変化量を算出する輝度変化量算出手段と、
前記パターン領域における前記輝度変化量の積算値を算出する変化量積算手段と、
前記パターン領域における前記積算値が最大となる前記撮像画像に対応した前記撮像手段の焦点位置を、焦点一致位置として検出する焦点一致検出手段と、
前記焦点一致位置に基づいて、前記撮像手段に入射する入射光の光軸に対する前記載置部の傾斜状態を検出する傾斜検出手段と、
を具備したことを特徴とする傾斜検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査対象に対して配置される撮像手段の傾斜状態を検出する傾斜検出方法、および傾斜検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被検査対象を撮像手段により撮像し、撮像画像に基づいて被検査対象を検査する検査装置が知られている。このような検査装置では、撮像手段に入射する入射光を撮像するが、入射光の光軸が、測定物に対して傾斜している場合、１画面内の全領域に対して正確にフォーカスを合わせることができない。これに対して、照明光軸に対する撮像素子のアオリ角度を判定する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１に記載の検査装置では、撮像素子のアオリを検出または調整する方法として５つのアオリ判定方法が示されている。
すなわち、判定方法１として、撮像面の近傍に複数のセンサーを配置して、撮像素子の撮像面を撮像し、これらの撮像画像からアライメントマークの位置や間隔などの形状情報を認識して、アオリを検出する方法が示されている。
判定方法２として、撮像面の高さを求める複数のセンサーを設け、撮像面の複数個所の高さを求めることでアオリを検出する方法が示されている。
判定方法３として撮像面に光を照射し、撮像素子の傾斜角度を様々な向きに変化させながら、出力信号の最大値を山登り方式で取得することでアオリを調整する方法が示されている。
判定方法４として、撮像素子から出力される出力信号から撮像領域の輝度分布を求め、これらの輝度分布の偏りに基づいてアオリを検出する方法が示されている。
判定方法５として、撮像面にパターン画像を投影し、撮像画像とパターン画像とを比較することでアオリを検出する方法が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３４３１４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記特許文献１のような従来のアオリの判定方法１や判定方法２では、複数のセンサーを別途設ける必要があるため、構成の複雑化や、部品点数の増大を招くなどの問題がある。また、判定方法３では、撮像素子の姿勢をあらゆる方向に変更させて、出力信号を検出し、出力最大値を山登り方式に探索する必要があるため、探索時間が長時間となり、アオリ調整の要する時間も長くなる問題がある。さらに、判定方法４では、撮像面に照射される光に輝度ムラがある場合、アオリがない場合でも、アオリがあると判断してしまう場合もあり、アオリ検出の精度が低下するという問題がある。さらには、判定方法５では、撮像素子の入射光軸に対してパターン画像の投影画像光の光軸が傾斜している場合やずれている場合では、アオリ検出の精度が低下するという問題がある。
【０００６】
本発明では、上記のような問題に鑑みて、簡単な構成で容易に撮像面の傾斜状態を検出可能な傾斜検出方法、および傾斜検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の傾斜検出方法は、検査対象物を載置する載置部、載置部に載置された検査対象物を撮像する撮像手段、前記撮像手段の焦点位置を調整する焦点調整手段、および撮像手段の撮像処理により得られる撮像画像に基づいて所定の検査処理を実施する検査手段を備えた検査装置において、前記撮像手段に入射する入射光の光軸に対する前記載置部の傾斜状態を検出する傾斜検出方法であって、前記載置部に、均等間隔でパターンが形成されるパターン画像を設けるパターン設置工程と、前記焦点調整手段により、前記撮像手段の焦点位置を順次変化させるとともに、所定距離間隔で前記パターン画像を撮像し、撮像画像を取得するパターン撮像工程と、前記パターン撮像工程により取得される前記撮像画像における前記パターンの位置を検出するとともに、前記撮像画像から少なくとも前記パターンの一部を含むパターン領域を設定するパターン領域設定工程と、前記パターン領域における各画素の輝度値を検出し、所定の検査方向に沿って画素間の輝度変化量を算出する輝度変化量算出工程と、前記パターン領域における前記輝度変化量の積算値を算出する変化量積算工程と、前記パターン領域における前記積算値が最大となる前記撮像画像に対応した前記撮像手段の焦点位置を、焦点一致位置として検出する焦点一致検出工程と、前記焦点一致位置に基づいて、前記撮像手段に入射する入射光の光軸に対する前記載置部の傾斜状態を検出する傾斜検出工程と、を具備したことを特徴とする。
【０００８】
この発明によれば、パターン設置工程において、載置部にパターン画像を設置し、パターン撮像工程において、撮像手段と載置部との距離を変更した複数の撮像画像を取得する。ここで、パターン設置工程では、載置部にパターン画像を有するパターン部材を載置することで、パターン画像を設置してもよく、載置部上にパターン画像を直接形成することでパターン画像を設置してもよい。
そして、パターン領域設定工程において、この撮像画像内からパターンの少なくとも一部が含まれるパターン領域を設定し、輝度変化量算出工程および変化量積算工程において、このパターン領域における輝度変化量の積算値を算出する。ここで、撮像手段の焦点位置がパターン画像に一致している状態では、撮像画像内におけるパターンの境界（エッジ部分）において、輝度変化量が大きくなるため、パターン領域内における輝度変化量の積算値も大きくなる。このように、パターン領域の輝度変化量の積算値が最大となる場合、撮像手段の焦点位置が、そのパターン領域に対応するパターン画像の一領域に一致するということを示し、焦点一致検出工程では、この撮像手段の焦点位置を焦点一致位置として検出する。すなわち、焦点一致検出工程において、複数のパターン領域に対してそれぞれ輝度変化量の積算値が最大となる撮像画像を検出することで、パターン画像上の各パターン領域に対応する領域と撮像手段の焦点位置とが一致する、撮像手段の調整位置または撮像手段を構成するレンズの調整位置である焦点一致位置を検出することができる。そして、傾斜検出工程では、これらの焦点一致位置に基づいて、容易に、撮像手段の入射光軸に対する載置部の傾斜状態を検出することができる。
このように撮像画像に基づいて撮像手段の入射光軸に対する載置部の傾斜状態を検出するため、例えば複数のセンサーなどを別途設ける必要がなく、簡単な構成で容易に傾斜状態検出処理を実施することができる。また、載置部や撮像手段の撮像面を様々な方向に傾斜させるなどの複雑な動作が不要であり、撮像手段の焦点位置を調整するだけの簡単な動作、すなわち、撮像手段を載置部に対して一方向に進退させたり、撮像手段の入射光学系のレンズを進退移動させたりするだけで、傾斜状態検出を実施することができ、傾斜状態検出処理に要する時間も短縮できる。
また、パターン画像の撮像画像に対して、複数のパターン領域を設定し、それぞれ輝度変化量の積算値に基づいて、各パターン領域に対するパターン画像上の所定領域の傾斜状態を検出するため、撮像手段に対して、輝度ムラがない光を照射するなどの操作も不要であり、容易に精度の高い傾斜状態検出を実施することができる。
【０００９】
本発明の傾斜状態検出方法では、前記パターン載置工程において、前記載置部に設ける前記パターン画像は、前記検査方向に沿って均等間隔にパターンを有することが好ましい。
【００１０】
パターン画像が例えば検査方向と平行な直線である場合、検査方向に沿う輝度変化を算出することが困難であり、検査方向を複数方向に設定して輝度変化量を算出する必要がある。これに対して、本発明では、パターン画像に検査方向に対して均等間隔にパターンが形成されているため、輝度変化量算出工程において、検査方向に沿って例えば隣接する画素間の輝度差を算出するだけで容易に輝度変化量を正確に算出することができる。したがって、簡単かつ迅速な傾斜検出処理を実施できる。
【００１１】
この時、本発明の傾斜検出方法では、前記パターン画像は、前記検査方向およびこの検査方向に直交する方向の双方に対して均等配置される円形パターンを備えることが好ましい。
【００１２】
この発明では、円形パターンが例えば縦横方向に均等配置されているため、縦方向および横方向のいずれの方向に対しても輝度変化量を算出しやすく、より効率よく傾斜状態検出処理を実施することができる。
【００１３】
本発明の傾斜検出方法では、前記パターン撮像工程は、オートフォーカス処理により撮像手段の焦点位置を基準位置に調整した後、この基準位置を中心とした所定距離範囲内に撮像手段の焦点を移動させて、前記撮像画像を取得することが好ましい。
【００１４】
パターン撮像工程では、撮像手段の焦点を変位可能な範囲全てに対して移動させて撮像画像を取得する構成としてもよいが、この場合、処理時間が長くなる。一方、本発明のような傾斜検出方法では、一般的に載置部の傾斜状態が微細な場合に対して特に有効であり、このような場合、各パターン領域に対する焦点一致位置は、例えば撮像画像の中心点に対する焦点位置が一致する場合にこの焦点位置を基準位置とすると、各パターン領域の焦点一致位置は、基準位置近傍に集中する。したがって、オートフォーカス処理により、上記のような基準位置を設定し、この基準位置を中心に撮像手段の焦点調整を実施することで、撮像手段の焦点位置移動量を少なくすることができ、より迅速な傾斜状態検出処理を実施することができる。
【００１５】
本発明の傾斜検出方法では、パターン領域設定工程は、前記撮像画像を均等分割したパターン領域を設定することが好ましい。
【００１６】
この発明によれば、撮像画像を均等分割したパターン領域を設定し、それぞれのパターン領域に対して焦点一致位置を検出することで、撮像画像の全領域に対して領域毎の傾斜状態をより詳細に検出することができる。したがって、より精度のよい傾斜状態検出処理を実施することができる。
【００１７】
本発明の傾斜検出方法では、前記傾斜検出工程は、前記撮像画像内の各パターン領域に前記焦点一致位置を表示した傾斜状態表示画像を生成することが好ましい。
【００１８】
この発明によれば、上記のように、撮像画像の各パターン領域に対して算出された焦点一致位置を例えば色表示、数値表示などにより表示した傾斜状態表示画像を生成する。これにより、傾斜状態表示画像により、検査実施者が載置部の傾斜状態を容易に確認することができ、この傾斜状態表示画像に基づいて、載置部や撮像手段の傾斜状態を容易に修正することも可能となる。
【００１９】
本発明の傾斜検出装置は、検査対象物を載置する載置部、載置部に載置された検査対象物を撮像する撮像手段、前記撮像手段の焦点位置を調整する焦点調整手段、および撮像手段の撮像処理により得られる撮像画像に基づいて所定の検査処理を実施する検査手段を備えた検査装置において、前記撮像手段に入射する入射光の光軸に対する前記載置部の傾斜状態を検出する傾斜検出装置であって、前記載置部は、均等間隔でパターンが形成されるパターン画像が設置可能であり、当該傾斜検出装置は、前記焦点調整手段により前記撮像手段の焦点位置を変化させるとともに、前記撮像手段により前記パターン画像を撮像させて、撮像画像を取得する撮像制御手段と、前記撮像画像における前記パターンの位置を検出するとともに、前記撮像画像から少なくとも前記パターンの一部を含むパターン領域を設定するパターン領域設定手段と、前記パターン領域における各画素の輝度値を検出し、所定の検査方向に沿って画素間の輝度変化量を算出する輝度変化量算出手段と、前記パターン領域における前記輝度変化量の積算値を算出する変化量積算手段と、前記パターン領域における前記積算値が最大となる前記撮像画像に対応した前記撮像手段の焦点位置を、焦点一致位置として検出する焦点一致検出手段と、前記焦点一致位置に基づいて、前記撮像手段に入射する入射光の光軸に対する前記載置部の傾斜状態を検出する傾斜検出手段と、を具備したことを特徴とする。
【００２０】
この発明では、上記発明と同様に、撮像画像に基づいて、載置部の傾斜状態を検出することができるため、簡単な構成で傾斜状態検出処理を実施することができ、撮像手段の焦点調整では、例えば載置部に対して接離移動させたり、光学部品を光軸に沿って進退移動させたりするだけの簡単な動作で傾斜状態を検出するだけでよいため、傾斜状態検出処理に要する時間も短縮できる。
また、パターン画像の撮像画像に対して、複数のパターン領域を設定し、それぞれ輝度変化量の積算値に基づいて傾斜状態を検出するため、精度の高い傾斜状態検出を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係る実施の形態の傾斜状態検出装置を備えた検査装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】本実施の形態におけるパターン画像の一例を示す図である。
【図３】撮像部の撮像実施位置を示す図である。
【図４】取得された撮像画像データの一部、およびパターン領域を示す図である。
【図５】撮像画像データの各画素における輝度変化量を示した図である。
【図６】撮像画像データの所定のパターン領域において、撮像部４の焦点位置を変化させた場合の輝度変化積算値の変化を示す図であり、（Ａ）は、パターン領域の例を示す図、（Ｂ）は、（Ａ）で示されるパターン領域における輝度変化積算値の変化曲線を示す図である。
【図７】傾斜状態表示画像を示す図である。
【図８】本実施の形態の検査装置の動作における傾斜検出処理のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明に係る実施の形態の傾斜状態検出装置を備えた検査装置を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明に係る実施の形態の傾斜状態検出装置を備えた検査装置の概略構成を示すブロック図である。
【００２３】
［検査装置の構成］
図１において、検査装置１は、載置部２に載置された検査対象を撮像し、撮像画像に基づいて各種検査を実施する装置であり、例えば、液晶パネルなどの表示体の検査装置、半導体ウエハーなどの構造物の構造形状や付着物の有無を検査する検査装置などの撮像画像に基づいて精密に欠陥などを検査装置や、検査対象物の詳細形状を検査する顕微鏡などにも適用できる。そして、この検査装置１は、検査対象物やパターン部材３を載置する載置部２と、撮像部４と、撮像部４を載置部２に対して接離移動させる焦点調整手段としての進退駆動部５と、検査装置１の動作を制御する傾斜検出装置としての制御装置６とを備えている。
【００２４】
載置部２は、図１に示すように、台座部２１と、台座部２１に配置されたＸ軸ステージ２２、Ｙ軸ステージ２３を備え、例えばＸ軸ステージ２２上が平滑面に形成され、検査対象物やパターン部材３が載置される。また、載置部２は制御装置６に接続され、Ｘ軸ステージ２２Ｙ軸ステージ２３は、制御装置６から入力される信号により、それぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向に移動可能に構成されている。
【００２５】
ここで、本発明の傾斜検出方法において用いられる前記パターン部材３について説明する。パターン部材３は、例えば表面にパターン画像が形成された均等厚み寸法に形成される板状部材である。また、このパターン部材３は、底面が平滑面に形成され、Ｘ軸ステージ２２上に略密着状態で載置可能に構成されている。そして、パターン部材の表面には、例えば図２に示すような円形パターン３２が、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に対して均等に配設されたパターン画像３１が形成されている。
なお、パターン画像３１としては、上記構成に限らず、例えば複数の矩形パターンがＸ軸方向およびＹ軸方向に均等配置される画像などを用いてもよい。
【００２６】
撮像部４は、載置部２に対向して設けられ、載置部２に載置される検査対象物やパターン部材３を撮像する。この撮像部４は、カメラ４１と、載置部２から入射する入射光をカメラ４１に導く入射光学系４２と、カメラ４１および入射光学系４２の傾斜角度を調整可能な傾斜調整手段４３と、を備えている。なお、カメラ４１および入射光学系４２により本発明の撮像手段が構成される。また、撮像部４は、アーム４４により保持されており、このアーム４４は、進退駆動部５によりＺ軸に沿って進退可能、すなわち載置部２に接離移動可能に設けられている。
【００２７】
カメラ４１は、図示は省略するが、複数の撮像素子をマトリクス状に配列した撮像面を備えている。これらの撮像素子は、入射光を受光すると、光電変換処理により受光量に応じた電気信号を生成する。そして、カメラ４１は、入射する光に応じて各撮像素子から出力される電気信号を撮像画像データとして、制御装置６に出力する。
【００２８】
入射光学系４２は、載置部２に対向して設けられ、カメラ４１の各撮像素子に載置部２から入射する光を導く。この入射光学系４２は、複数のレンズなどの光学部品を備え、これらの光学部品は、光軸がカメラ４１の撮像面に対して直交するように配置されている。なお、入射光学系４２は、各光学部品を光軸方向に沿って移動させてピント合わせを実施するピント調整機構を備える構成としてもよい。
【００２９】
傾斜調整手段４３は、制御装置６から入力される制御信号により駆動し、撮像手段であるカメラ４１および入射光学系４２を、信号に応じた角度に傾斜させる。
【００３０】
進退駆動部５は、上述したように、アーム４４を介して撮像部４を保持している。また、進退駆動部５は、アーム４４をＺ軸方向（載置部２に対して接離する方向）に進退可能に保持し、制御装置６から入力される制御信号に応じて、アーム４４をＺ軸方向に沿って進退させる。
なお、本実施の形態では、進退駆動部５によりアーム４４を駆動させて撮像部４の焦点を調整する構成を例示するが、これに限定されず、例えば進退駆動部５が直接撮像部４をＺ軸方向に移動させる構成などとしてもよく、さらに、進退駆動部５により入射光学系４２内の光学部品を進退させて撮像部４のピントを載置部２に載置される検査対象物やパターン部材３に合わせる構成としてもよい。
【００３１】
制御装置６は、検査装置１の全体の動作を制御する。具体的には、制御装置６は、撮像部４の載置部２に対する傾斜状態の検出、撮像部４の傾斜修正、検査対象物の検査処理などを実施する。なお、この制御装置６としては、例えば汎用パーソナルコンピューターなどを用いてもよい。
そして、この制御装置６は、入出力部６１と、入力操作部６２と、記憶部６３と、演算処理部６４と、を備えている。
【００３２】
入出力部６１は、撮像部４、進退駆動部５、および載置部２に接続され、これらの撮像部４や進退駆動部５、および載置部２に対して、演算処理部６４から出力される制御信号を出力する。また、入出力部６１は、撮像部４から撮像画像データ８（図３、図４および図６参照）が入力されると、この撮像画像データ８を演算処理部６４に出力する。また、入出力部６１は、ディスプレイやプリンターなどの出力装置７を接続可能な端子を備えており、後述する演算処理部６４の制御により各種処理結果を出力する。
【００３３】
入力操作部６２は、例えばキーボードやマウスなどの入力手段を備え、利用者によりこれらの入力手段が操作されることで、操作内容に応じた操作信号を演算処理部６４に出力する。
【００３４】
記憶部６３は、各種データやプログラムなどを記憶する。この記憶部６３としては、例えばＨＤＤやメモリ、ＣＤやＤＶＤなどの記録媒体を駆動するドライブなどが挙げられる。
【００３５】
演算処理部６４は、ＣＰＵなどの集積回路により構成され、記憶部６３に記憶されるプログラムにより所定の演算処理を実施する。演算処理部６４により実施されるプログラムとしては、図１に示すように、フォーカス制御手段６５と、傾斜演算手段６６と、傾斜修正手段６７と、検査手段６８と、などが含まれている。
【００３６】
フォーカス制御手段６５は、オートフォーカス処理を実施し、撮像部４の基準位置を設定する。ここで、オートフォーカス処理としては、特に限定されず、例えば撮像部４から入力される撮像画像データを参照しながら、進退駆動部５を進退移動させ、撮像画像データのコントラストが最大となる点を検出する、いわゆるコントラスト検出方式であってもよく、赤外線などを照射することで、撮像部４と載置部２上に載置されるパターン部材３との距離を検出するアクティブ方式を採用してもよい。そして、載置部２上のパターン部材３に対して撮像部４のピントが合う位置を基準位置として設定する。
なお、本実施の形態では、オートフォーカス処理時に、進退駆動部５を駆動させて、載置部２上のパターン部材３に対してピントが合う位置に撮像部４を移動させる構成を例示するが、これに限定されない。例えば、進退駆動部５を駆動して撮像部４をＺ軸方向の変位可能範囲の中心位置に移動させ、入射光学系４２のレンズを進退させることでピントを合わせる構成としてもよい。この場合、撮像部４の基準位置は、Ｚ軸方向の変位可能範囲の中心位置に設定される。
さらには、フォーカス制御手段６５によりオートフォーカス処理を実施する構成を例示するが、例えば後述の撮像制御手段６６１にオートフォーカス処理を実施する機能を持たせる構成などとしてもよい。
【００３７】
傾斜演算手段６６は、撮像画像データ８に基づいて、撮像部４の入射光学系４２の光軸に対する載置部２の傾斜状態（アオリ）を求める。この傾斜演算手段６６は、撮像制御手段６６１と、パターン領域設定手段６６２と、輝度変化量算出手段６６３と、変化量積算手段６６４と、焦点一致検出手段６６５と、傾斜検出手段６６６と、を備えている。
【００３８】
撮像制御手段６６１は、撮像部４を所定位置に移動させる旨のＺ軸制御信号を生成し、生成したＺ軸制御信号を進退駆動部５に出力する。また、撮像制御手段６６１は、撮像部４を制御して撮像動作を実施させ、撮像部４から入力される撮像画像データ８を取得する。
ここで、撮像制御手段６６１は、図３に示すように、撮像部４により撮像画像データ８を取得させる制御をする。図３は、撮像部４の撮像実施位置を示す図である。すなわち、撮像制御手段６６１は、フォーカス制御手段６５にて設定された基準位置を中心とし、この基準位置から±Ｚ方向に対して予め設定された範囲内で撮像部４を移動させる。この時、撮像制御手段６６１は、撮像部４を予め設定された駆動量（例えば１μｍ）間隔で駆動させて、それぞれの位置で撮像部４に撮像画像データ８を取得させる制御をする。そして、撮像制御手段６６１は、取得した撮像画像データ８と、この撮像画像データ８に対応する撮像部４の位置データを関連付けて、記憶部６３に適宜読み出し可能に記憶する。
【００３９】
パターン領域設定手段６６２は、記憶部に記憶された撮像画像データ８に含まれるパターン３２の位置を検出し、これらのパターン３２の位置データから、パターン画像３１に対する撮像画像データ８の座標位置を検出する。すなわち、撮像部４をＺ軸方向に移動させて撮像を実施した場合、各撮像画像データ８の尺度が僅かに異なり、パターン３２も僅かに異なる位置に配置された画像となる。したがって、パターン領域設定手段６６２は、まずパターン３２の位置を検出し、このパターン３２の位置データからパターン画像３１に対する座標位置を設定する。つまり、各撮像画像データ８の各画素が、パターン画像３１のどの位置に対応する画素であるかを示す座標位置を設定する。そして、パターン領域設定手段６６２は、これらの座標が設定された各撮像画像データ８を、複数のパターン領域８１に分割する。ここで、図４は、取得された撮像画像データ８の一部、およびパターン領域を示す図である。パターン領域設定手段６６２は、図４に示すように、１つのパターン領域８１内に１つの円形パターン３２が含まれるように、撮像画像データ８から複数の正方形状のパターン領域８１を均等分割する。
【００４０】
輝度変化量算出手段６６３は、図５に示すように、各パターン領域８１に対して、所定検査方向に対して輝度変化量を算出する。図５は、撮像画像データ８の各画素における輝度変化量を示した図である。
この輝度変化量算出手段６６３は、所定検査方向に沿って画素間の輝度変化量を算出する。本実施の形態では、図５に示すように、Ｘ軸方向を検査方向とし、Ｘ軸方向に沿って互いに輝度変化量の算出対象画素に隣接する一対の画素間の輝度変化量を算出する。具体的には、輝度変化量算出手段６６３は、輝度変化量の算出対象画素の座標を（ｘ，ｙ）として、この点（ｘ、ｙ）の輝度変化量をＫ（ｘ，ｙ）とすると、次式（１）によりこの輝度変化量を算出する。
【００４１】
[数１]
Ｋ（ｘ，ｙ）＝abs（Ａ（ｘ−１，ｙ）−Ａ（ｘ＋１，ｙ））    …（１）
【００４２】
上記式（１）において、Ａ（ｘ−１，ｙ）およびＡ（ｘ＋１，ｙ）は、それぞれ点（ｘ−１，ｙ）および点（ｘ＋１，ｙ）における輝度値である。すなわち、輝度変化量算出手段６６３は、検査方向（Ｘ軸方向）に沿って算出対象画素に隣接する一対の画素の輝度値を検出し、これらの輝度差の絶対値を算出対象画素の輝度変化量Ｋ（ｘ，ｙ）とする。
また、輝度変化量算出手段６６３は、ここで算出された各画素に対する輝度変化量Ｋ（ｘ，ｙ）を輝度値とした図５に示すような輝度変化量表示画像を表示させる処理をしてもよい。
【００４３】
変化量積算手段６６４は、各パターン領域８１内に含まれる画素の輝度変化量を積算してパターン領域８１における輝度変化積算値を算出する。
【００４４】
焦点一致検出手段６６５は、撮像部４を複数の高さ位置に設定して取得される複数の撮像画像データ８に対して、上記変化量積算手段６６４にて算出される各パターン領域８１の輝度変化積算値を読み込み、これらのパターン領域８１における焦点一致位置を検出する。
ここで、図６に、撮像画像データ８の所定のパターン領域８１において、撮像部４の焦点位置を変化させた場合の輝度変化積算値の変化を示す図を示す。図６において、（Ａ）は、パターン領域８１の例を示す図であり、（Ｂ）は、（Ａ）で示されるパターン領域８１における輝度変化積算値の変化曲線を示す図である。
図６に示すように、撮像部４の焦点位置を変化させると、輝度変化積算値も変化する。すなわち、撮像部４の焦点位置が、パターン部材のパターン領域８１に対応する領域に一致する（ピントが合っている）場合、パターン領域８１内の円形パターン３２の外周エッジにボヤケが生じないため、外周エッジを挟む画素において輝度変化量が大きくなり、輝度変化積算値も大きくなる。これに対して、撮像部４の焦点位置が変化し、ピントがずらされると、パターン領域８１内の円形パターン３２の外周エッジにボヤケが生じて輝度変化量も小さくなる。この場合、パターン領域８１内における輝度変化積算値も小さくなる。
焦点一致検出手段６６５は、輝度変化積算値が最大となる点を検出することで、そのパターン領域８１に対して、撮像部４をどの位置に移動させた際に焦点位置がパターン画像に一致するか、すなわち焦点一致位置を検出する。図６の例では、焦点一致検出手段６６５は、パターン領域８１Ａに対して撮像部４の高さ位置が「１０」となる位置を焦点一致位置として検出し、パターン領域８１Ｂに対して撮像部４の高さ位置が「７」となる位置を焦点一致位置として検出する。
【００４５】
傾斜検出手段６６６は、各パターン領域８１の焦点一致位置に基づいて、撮像部４の入射光軸に対する載置部に傾斜状態(アオリ)を検出する。
具体的には、傾斜検出手段６６６は、各パターン領域８１の焦点一致位置を示す図７に示すような傾斜状態表示画像９を生成する。この傾斜状態表示画像９は、パターン領域設定手段６６２により設定されたパターン領域８１と同一サイズの矩形領域を均等に敷き詰め、これらの矩形領域８１に焦点一致位置に応じた色を表示させた画像である。
ここで、図６の例のように、パターン領域８１Ａの焦点一致位置が基準位置（高さ位置「１０」）であり、パターン領域８１Ｂの焦点一致位置の高さ位置が「７」である場合、載置部２は、撮像部４の入射光軸に対してパターン領域８１Ｂに対する部分が撮像部４から離れる方向に傾斜していると判断できる。すなわち、図７に示すように、各パターン領域８１に対して焦点一致位置を表示することにより、載置部２の傾斜状態が容易に判断可能となる。なお、本実施の形態では、傾斜検出手段６６６は、図７に示すような傾斜状態表示画像９を生成したが、例えば各パターン領域８１に対する焦点一致位置を具体的な数値として表示させる画像を生成してもよい。
【００４６】
傾斜修正手段６７は、傾斜検出手段６６６により検出される検出結果に基づいて、撮像部４の傾斜を修正する傾斜修正信号を生成し、傾斜調整手段４３に出力する。例えば、図６に示すように、載置部２のパターン領域８１Ｂに対応する領域において、撮像部４から離れる方向に傾斜している場合、撮像部４のパターン領域８１Ｂに対応する撮像面が載置部２側に、焦点一致位置に応じた寸法だけ傾斜するように傾斜修正信号を生成し、傾斜調整手段４３に出力する。
なお、傾斜修正手段６７は、利用者の手入力に従い、傾斜修正信号を生成して傾斜調整手段４３に出力する構成などとしてもよい。
【００４７】
検査手段６８は、撮像部４から入力される撮像画像データ８に基づいて、載置部２に載置された検査対象物の検査を実施する。
【００４８】
［検査装置の動作］
次に、上記実施の形態の検査装置１の動作における傾斜検出処理について、図面に基づいて説明する。
図８は、本実施の形態の検査装置の動作における傾斜検出処理のフローチャートである。
【００４９】
図８に示すように、検査装置１において、撮像部４の入射光軸に対する載置部２の傾斜状態を検出するためには、まず、検査装置１の載置部２にパターン部材３を載置する（ステップＳＴ１０１：パターン設置工程）。なお、載置部２のＸステージ２２上にパターン画像３１が形成されている場合は、すでにパターン画像３１の設置が完了しているため、ステップＳＴ１０１の処理を省略してもよい。
そして、制御装置６のフォーカス制御手段６５は、撮像部４から入力される撮像画像データを参照しながら、進退駆動部５を駆動させ、撮像画像データのコントラストが最大となる基準位置に撮像部４を移動させるオートフォーカス処理を実施する（ステップＳＴ１０２：オートフォーカス工程）。
【００５０】
この後、制御装置６の傾斜演算手段６６は、撮像制御手段６６１により進退駆動部５を駆動させて、撮像部４を基準位置から所定範囲内の高さ位置で、１μｍ間隔でＺ方向に沿って進退させ、各高さ位置においてパターン画像３１を撮像して撮像画像データ８を取得する（ステップＳＴ１０３：パターン撮像工程）。また、撮像制御手段６６１は、撮像により得られた撮像画像データ８を、その撮像画像データ８が撮像された高さ位置に関する位置データと関連付けて記憶部６３に記憶する。
【００５１】
そして、傾斜演算手段６６は、パターン領域設定手段６６２により、ステップＳＴ１０３にて取得された各撮像画像データ８から、各円形パターン３２の位置を検出する。そして、パターン領域設定手段６６２は、各撮像画像データ８の各画素がパターン画像３１のどの位置に対応する画素であるかを示す座標位置を、円形パターン３２の位置データに基づいて設定する。
この後、パターン領域設定手段６６２は、図４に示すように、撮像画像データ８を複数のパターン領域８１に分割する処理を実施する（ステップＳＴ１０４：パターン領域設定工程）。
また、傾斜演算手段６６は、輝度変化量算出手段６６３により、ステップＳＴ１０４にて設定された各パターン領域８１に対して、Ｘ軸方向を検査方向とし、式（１）を用いて、各画素の輝度変化量を算出する（ステップＳＴ１０５：輝度変化量算出工程）。また、傾斜演算手段６６は、ステップＳＴ１０３にて取得した全ての撮像画像データ８およびステップＳＴ１０４にて設定全てのパターン領域８１に対して、各画素における輝度変化量を算出する。
次に、傾斜演算手段６６は、変化量積算手段６６４により、ステップＳＴ１０５にて算出された輝度変化量を、各パターン領域８１毎に積算し、各パターン領域８１における輝度変化積算値を算出する（ステップＳＴ１０６：変化量積算工程）。
【００５２】
この後、傾斜演算手段６６は、焦点一致検出手段６６５により、各パターン領域８１に対して、ステップＳＴ１０６にて算出される輝度変化積算値が最大となる撮像画像データ８を検出する。そして、焦点一致検出手段６６５は、検出された撮像画像データ８に対応する撮像部４のＺ方向に沿う位置データを、パターン領域８１に対する焦点一致位置として検出する（ステップＳＴ１０７：焦点一致検出工程）。
【００５３】
そして、傾斜演算手段６６は、傾斜検出手段６６６により、ステップＳＴ１０７にて検出された各パターン領域８１に対する焦点一致位置に基づいて、撮像部４の入射光軸に対する載置部２の傾斜状態を検出し、図７に示すような傾斜状態表示画像９を生成する。
【００５４】
［検査装置の作用効果］
上述したように、上記実施の形態の検査装置１では、パターン設置工程により載置部２にパターン画像３１を設置し、撮像制御手段６６１により、撮像部４の高さ位置を変更しながらパターン画像３１を撮像して撮像画像データ８を取得するパターン撮像工程を実施する。そして、制御装置６の傾斜演算手段６６は、パターン領域設定手段６６２により撮像画像データ８を複数のパターン領域８１に分割するパターン領域設定工程を実施し、撮像画像データ８内の各画素に対して、輝度変化量算出手段６６３により、輝度変化量算出工程を実施して、検査方向に沿って画素間の輝度値変化量を算出する。また、変化量積算手段６６４は、各パターン領域８１に対して輝度変化積算値を算出する変化量積算工程を実施する。この後、焦点一致検出手段６６５は、各パターン領域８１に対して、輝度変化積算値が最大となる撮像画像データ８を取得し、この撮像画像データ８に対応する撮像部４の高さ位置を焦点一致位置として検出する焦点一致検出工程を実施する。そして、傾斜検出手段６６６は、この焦点一致位置に基づいて、撮像部４の入射光軸に対する載置部２の傾斜状態を検出する傾斜検出工程を実施する。
【００５５】
このため、撮像画像データ８の各パターン領域８１の輝度変化量に基づいて検出される焦点一致位置に基づいて、各パターン領域８１に対してそれぞれ、撮像部４の入射光軸に対する載置部２の傾斜状態を検出することができる。したがって、載置部２における傾斜位置や傾斜量を、領域毎に詳細に検出することができ、精度のよい傾斜検出処理を実施することができる。また、例えばパターン画像３１に対して輝度ムラを有する光が照射されていた場合でも、撮像部４をＺ軸方向に移動させる間、同一強度の光が照射されていれば、各パターン領域８１に対応する領域に照射される光量が一定となる。したがって、輝度ムラの影響を受けることなく、正確に載置部２の傾斜状態を検出することができる。
また、撮像画像データ８に基づいて傾斜検出処理を実施するため、例えば複数のセンサーなどを用いる必要がなく、検査装置の低価格化を実現できる。また、撮像部４をＺ方向に移動させて撮像部４により撮像を実施するため、例えば撮像部４をＸ軸方向およびＹ軸方向の双方向に対する様々な方向に傾斜させて撮像を実施する手法に比べて、処理時間を大幅に縮めることができ、傾斜検出処理の迅速化を図ることができる。
【００５６】
また、パターン画像３１は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に対して均等間隔に配置される円形パターン３２を備えている。
このため、輝度変化量算出手段６６３により、Ｘ軸方向を検査方向として画素間の輝度変化量を容易に算出することができる。また、検査方向をＹ軸方向に設定した場合でも、輝度変化量を算出することができる。すなわち、上記実施の形態では、Ｘ軸方向のみを検査方向として輝度変化積算値を算出し、この輝度変化積算値に基づいて焦点一致位置を求めたが、例えば円形パターン３２を有するパターン画像３１では、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に対してそれぞれ輝度変化量を算出し、これらの輝度変化量に基づいて輝度変化積算値を算出する構成などとしてもよく、この場合、さらに精度良く焦点一致位置を検出することができ、より良好に傾斜状態を検査することができる。
【００５７】
そして、検査装置１は、フォーカス制御手段６５を備え、オートフォーカス工程において、オートフォーカス処理を実施して基準位置を設定する。そして、パターン撮像工程では、この基準位置を中心とした所定範囲内で撮像部４を移動させて撮像画像データ８を取得する。
すなわち、検査装置１では、撮像部４の入射光軸に対する載置部２の微小な傾斜状態を主として検出するものであり、この場合、基準位置を中心とした小範囲内に各パターン領域８１の焦点一致位置が存在する。このような場合、撮像部４を移動可能な全範囲に対して例えば１μｍずつ移動させ、その撮像画像データ８を取得する方法では、撮像画像データ８の数量が増大し、処理時間や処理負荷も増大する。これに対して、上記のように、基準位置を中心とした所定範囲内のみを検査対象とすることで、撮像画像データ８の数量が減少し、処理時間および処理負荷を軽減させることができる。
なお、載置部２の傾斜状態が大きい場合は、利用者が目視により確認可能であるため、予めある程度の傾斜状態に修正した後、上記実施の形態の傾斜状態検出方法を用いて撮像部４の入射光軸に対する載置部２の傾斜状態を検出する。
【００５８】
そして、パターン領域設定工程では、パターン領域設定手段６６２は、撮像画像データ８を矩形状のパターン領域８１で均等分割する。
このため、撮像画像データ８内の全てのパターン領域８１に対して輝度変化積算値を算出し、この輝度変化積算値に基づいて焦点一致位置を検出することで、載置部２における傾斜位置および傾斜角度をより詳細に検出することができ、傾斜検出精度を向上させることができる。
【００５９】
また、傾斜検出工程では、傾斜検出手段６６６は、各パターン領域８１に対応する焦点一致位置を表示した傾斜状態表示画像９を生成する。
このため、例えば出力装置７にこの傾斜状態表示画像９を出力して、表示することで、利用者は、載置部２における傾斜位置、傾斜量を容易に確認することができる。したがって、利用者による撮像部４や載置部２の傾斜修正作業を良好にサポートすることができる。
さらに、傾斜修正手段６７は、各パターン領域８１に対する焦点一致位置や傾斜状態表示画像９に基づいて、傾斜修正信号を傾斜調整手段４３に出力し、傾斜調整手段４３にて撮像部４の傾斜状態を修正している。このため、撮像部４の入射光軸に対して載置部２が傾斜している場合でも、傾斜検出処理を実施することで自動的に撮像部４の傾斜状態を修正することができる。
【００６０】
〔他の実施の形態〕
なお、本発明は、以上説明した実施の形態に限定されず、本発明の目的を達せられる範囲で種々の改良、変形が可能である。
【００６１】
例えば、上記実施の形態では、パターン部材３として均等厚み寸法を有する板状部材を載置部２のＸステージ上に密着載置する構成を例示したが、例えば、上記したように、パターン部材３が膜状に形成され、載置部２上に貼り付け固定される構成などとしてもよい。さらには、載置部２にパターン画像３１が直接形成される構成などとしてもよい。
【００６２】
また、検査装置１としては、撮像手段により撮像される画像に基づいて、所定の処理を実施するものであれば、いかなるものをも対象とすることができ、例えば液晶パネルなどの表示体の画素欠陥を撮像画像に基づいて検出する画素欠陥検出装置、半導体ウエハーなどの構造物に構造欠陥、異物の付着などを撮像画像に基づいて検出する構造欠陥検出装置の他、検査対象物を詳細に検査するための顕微鏡などにも本発明を適用することができる。
さらに、検査装置に傾斜検出装置が含まれる構成を例示したが、傾斜検出装置が別体として設けられる構成であってもよい。
【００６３】
さらには、撮像部４に傾斜調整手段４３が設けられ、制御装置６の制御により傾斜調整手段４３を駆動させて撮像部４の傾斜状態を変更する構成を例示したが、例えば手動により直接撮像部４の傾斜を変更する構成などとしてもよい。この場合でも、傾斜状態表示画像９を例えば出力手段に出力することで、この傾斜状態表示画像９を参照しながら容易にアオリ調整を実施することができる。
【００６４】
そして、進退駆動部５と撮像部４とがアーム４４により接続される構成を図示したが、これに限定されず、撮像部４が直接進退駆動部５により駆動される構成としてもよく、このような構成では、振動などを防止することができ、より精密に撮像部４を駆動させることができる。
【００６５】
また、入射光学系４２としては、ピント調整を有しない構成としてもよく、上記実施の形態のようにピント調整を有する構成としてもよい。また、上記実施の形態では、進退駆動部５により撮像部４の進退移動させることで、各高さ位置に対応する複数の撮像画像データ８を取得する例を示したが、例えば、入射光学系４２内のピント調整機構を本発明の焦点調整手段として機能させ、ピント調整機構により光学部品を移動させることで複数の高さ位置に対応する撮像画像データ８を取得する構成としてもよく、進退駆動部５およびピント調整機構により焦点調整手段を構成する構成としてもよい。
【００６６】
さらに、上記実施の形態では、図２に示すような円形パターン３２を有するパターン画像３１に対し、１つのパターン領域８１内に１つの円形パターン３２が含まれるように、パターン領域８１を設定する例を示すが、例えば、２つ以上の円形パターン３２が含まれるように、パターン領域８１を設定する構成としてもよい。また、円形パターン３２以外のパターンが形成されるパターン画像を用いた場合でも、少なくとも一部にパターンが含まれるようにパターン領域８１を設定すればよい。さらには、上記では、撮像画像データ８を複数のパターン領域８１に均等分割する例を示すが、各パターン領域８１の面積がそれぞれ異なるものであってもよい。例えば、撮像画像データ８の中心領域では、パターン領域８１の面積を大きくし、外周部に向かうにしたがってパターン領域８１の面積を小さくする処理を実施してもよく、この場合、傾斜が大きくなる載置部２の周縁部近傍の傾斜状態を精度良く検出することができる。
【００６７】
さらには、パターン領域設定工程において、パターン領域設定手段６６２は、撮像画像データ８を均等分割したパターン領域８１を設定する構成をしたが、これに限定されない。例えば、パターン領域設定手段６６２は、撮像画像データ８内の所定位置のみをパターン領域８１として切り出す処理を実施してもよい。この場合、例えば撮像画像データ８の四隅部およびこれら四隅部間の合計９箇所に対してパターン領域８１を設定することで、載置部２が大凡どの傾斜方向に傾斜しているかを検出することが可能となる。
【００６８】
そして、輝度変化量算出手段６６３は、Ｘ軸方向を検査方向とし、検査方向に沿う画素間の輝度変化量を算出したが、例えばＹ軸方向を検査方向としてもよく、Ｘ軸およびＹ軸方向に対して交差する方向を検査方向としてもよい。さらには、上述したように、Ｘ軸方向に対する輝度変化量、Ｙ軸に対する輝度変化量をそれぞれ算出し、これらの輝度変化量に基づいて傾斜状態を検出する構成としてもよく、この場合より精度よく載置部２および撮像部４の相対傾斜状態を検出することができる。
【００６９】
また、輝度変化量算出手段６６３は、算出対象画素に隣接する２画素間の輝度差の絶対値を輝度変化量としたが、例えば算出対象画素と１つの隣接画素との輝度差の絶対値を輝度変化量としてもよく、算出対象画素と２つの隣接画素との輝度差の絶対値のうち大きい値を輝度変化量としてもよい。
【００７０】
また、上記傾斜状態検出方法では、パターン撮像工程において、撮像部４を、予め設定された下設定値から上設定値までの範囲を移動させて撮像画像データ８を取得するが、焦点一致検出工程において、焦点一致位置が下設定値や上設定値であると検出された場合では、正確な焦点一致位置を取得できないおそれがある。この場合、再びパターン撮像工程に戻り、撮像部４の移動範囲を広げて、すなわち下設定値の値を下げ、上設定値の値を上げて、撮像画像データ８を取得する方法を用いてもよい。このような構成であれば、より適切な焦点一致位置を検出することが可能となるため、撮像部４の入射光軸に対する載置部２の傾斜状態をより精度良く検出することができる。
【００７１】
以上、本発明を実施するための最良の構成について具体的に説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ、説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、当業者が様々な変形および改良を加えることができるものである。
【符号の説明】
【００７２】
１…検査装置、２…載置部、４…撮像部、５…焦点調整手段としての進退駆動部、６…傾斜検出装置としての制御装置、８…撮像画像データ、３１…パターン画像、３２…円形パターン、８１…パターン領域、６６１…撮像制御手段、６６２…パターン領域設定手段、６６３…輝度変化量算出手段、６６４…変化量積算手段、６６５…焦点一致検出手段、６６６…傾斜検出手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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