(57)【要約】【課題】広範囲にわたる複数の波長帯で有限光の反射を防止した接合型光学素子、及び接合方法を提供する。【解決手段】偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）１４は、第１プリズム３１、第２プリズム３２、偏光分離膜２９、反射防止膜３３、接着剤３４から構成される。第１，第２プリズム３１，３２は透明な材料からなり、第１，第２プリズム３１，３２よりも屈折率の小さい接着剤により接合される。偏光分離膜２９は第１プリズム３１の表面に設けられる。反射防止膜３３は、第１プリズム３１と接合される第２プリズム３２の表面に設けられ、第２プリズム３２側から接着剤３４側にかけて減少する屈折率分布を有し、第２プリズム３２と接着剤３４との間で生じる反射を防止する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の光学的機能を有する光学薄膜が表面に成膜された透明な第１基材と、
下地側から表層に向かって漸減する屈折率分布を持つ反射防止膜が表面に成膜された透明な第２基材と、
前記第２基材よりも低い屈折率を持ち、前記光学薄膜と前記反射防止膜との表層を接合して前記第１基材と前記第２基材とを一体化する透明な接着剤と、
を備えることを特徴とする接合型光学素子。
【請求項２】
前記反射防止膜は、その最大屈折率が前記第２基板の屈折率以下であり、その最小屈折率が前記接着剤の屈折率以上であることを特徴とする請求項１記載の接合型光学素子。
【請求項３】
前記反射防止膜は、下地側から表層に向かって段階的に屈折率が小さくなるように積層された複数の誘電体薄膜からなることを特徴とする請求項１または２記載の接合型光学素子。
【請求項４】
前記第２基材の屈折率をＮ１，前記接着剤の屈折率をＮ２，前記反射防止膜の物理膜厚をＤとするときに、前記反射防止膜の屈折率分布が、傾き（Ｎ２−Ｎ１）／Ｄの直線に沿った屈折率分布となっていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の接合型光学素子。
【請求項５】
前記反射防止膜の屈折率と前記直線の差が、前記直線上の値に対して５％以下であることを特徴とする請求項４に記載の接合型光学素子。
【請求項６】
所定の光学的機能を有する光学薄膜が表面に設けられ、透明な材料からなる第１基材と、透明な材料からなる第２基材とを前記光学薄膜が介在するように、前記第２基材よりも屈折率が小さい接着剤によって接合するときに、前記第２基材側から前記接着剤側にかけて減少する屈折率分布を有し、前記第２基材と前記接着剤との間で生じる反射を防止する反射防止膜を、前記第１基材と接合される前記第２基材の表面に設けることを特徴とする接合方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリズムやガラス基板等の部材を接合させた光学素子及びその接合方法に関するものであり、さらに詳しくは、接合面に反射防止膜を設けた光学素子及びその接合方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光を利用して様々な情報をデジタル記録するメディアとしてＣＤやＤＶＤ等の光ディスクが広く普及している。こうした種々の光ディスクは、データの書き込みや読み出しに利用する光の波長がそれぞれに異なり、例えば、ＣＤでは７８０ｎｍ近傍の赤外線が利用され、ＤＶＤでは６５０ｎｍ近傍の赤色光が利用される。また、短波長の光を用いるものほど、少ない面積に多くのデータを記録することができる。このことから、近年では、４０５ｎｍの青色光を利用した光ディスクも実用化されている。
【０００３】
光ディスクからのデータの読み出しや、光ディスクへのデータの記録には、光ディスクドライブが用いられる。光ディスクドライブには、光ディスクに光を照射したり、光ディスクからの反射光をデータ読み取り用のフォトダイオードに導く光ピックアップが組み込まれている。光ディスクドライブは、１種類の光ディスクに対応した専用のものだけでなく、複数種類の光ディスクに対応できるようにしたものも知られている。
【０００４】
複数の光ディスクに対応する光ディスクドライブでは、光ディスクの種類に応じて、光ディスクに照射する光の波長等を変更する必要があるが、各種光ディスクの各々に対して個別に専用の光ピックアップを設けたのでは、大型化やコスト増が問題となる。こうしたことから、複数種類の光ディスクに対応する光ディスクドライブでは、光ピックアップ内の光学素子を、各種光ディスクに対してできるだけ共用できるようにすることが求められる。
【０００５】
ところで、光ディスクは、偏光を利用してデータの読み出しや書き込みが行われる。このため、光ピックアップには、光源から出射される光の偏光状態を制御する光学素子が備えられている。例えば、光ピックアップには、偏光方向を整える波長板や、入射した光の偏光方向に応じて透過または反射する偏光ビームスプリッタ（以下、ＰＢＳという）等が備えられている。ＰＢＳは、入射光の偏光方向に応じて透過または反射する偏光分離膜を介在させ、三角柱状のプリズムを接合して立方体状に形成した光学素子であり、プリズムの接合には概して接着剤が用いられる。
【０００６】
このようにプリズム等の基材を接着剤で接合させた光学素子では、基材や光学薄膜等と接着剤との屈折率差に起因して接合面での反射率が高くなり、光の利用効率が低下したり、迷光が生じたりする等の問題がある。このため、接合面に屈折率が基材と接着剤の中間値の誘電体薄膜を１層設け、これを単層の反射防止膜とすることが知られている（特許文献１）。
【０００７】
単層の反射防止膜で十分な反射防止効果を得るには、誘電体薄膜の屈折率を単に基材等と接着剤の屈折率の中間の値にすれば良いのではなく、所定の適切な値にする必要がある。しかし、基材や接着剤の各々の材料や組み合わせによっては、こうした適切な屈折率の材料がなく、単層の反射防止膜では十分な反射防止効果が得られないのが実情である。こうしたことから、より容易に接合面における反射率を低減するために、一方の基材と接着剤の屈折率差を０．１以下に抑え、かつ、基材側から接着剤側にかけて、屈折率が大きくなる順に２層の誘電体薄膜を配置した反射防止膜が記載されている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平２−２７３０１号公報
【特許文献２】特開平７−２２５３０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１に記載されているように、接合面に単層の反射防止膜を設ける場合には、前述のように基材と接着剤との組み合わせによっては適切な材料が無いばかりか、ある波長帯（例えばＤＶＤの６５０ｎｍ近傍の波長帯）で反射防止膜として機能する誘電体薄膜を設けたとしても、対応しなければならない他の波長帯（例えば、ＣＤや青色光の波長帯）では十分な反射防止効果が得られない。
【００１０】
また、特許文献２に記載されているように、基材と接着剤の屈折率差が０．１以下になるように基材及び接着剤を選び、かつ、接合面に多層の反射防止膜を設ければ単層の反射防止膜よりも反射防止効果が改善されるにしても、現実的には、機材や接着剤として利用できる材料が限られているために、屈折率差が０．１以下になるように基材及び接着剤を選択することが困難である。さらに、この場合にも、単に２層以上の誘電体薄膜で反射防止膜を構成するだけでは、対応しなければならない他の波長帯では十分な反射防止効果を得難くなるのが実情である。
【００１１】
また、光ピックアップでは、光軸に対して±５度程度の角度範囲に広がって光源から出射された有限光が利用される。このため、光ピックアップで用いられる光学素子では、有限光の全角度範囲で有効に機能することが求められる。例えば、前述のように接着剤で接合された接合型光学素子では、光軸に平行に入射した光に対して不要な反射が抑えられていれば良いのではなく、±５度程度傾斜して入射する光に対しても十分に反射を防止するようにしなければならない。しかしながら、特許文献１や特許文献２に記載された反射防止膜では、ある一つの波長帯に限ってみても、こうした有限光の全角度範囲に対して十分な反射防止効果を得ることは難しい。
【００１２】
本発明は上述の問題点に鑑みてなされたものであり、広範囲にわたる複数の波長帯で有限光の反射を抑止した接合型光学素子、及び接合方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の接合型光学素子は、所定の光学的機能を有する光学薄膜が表面に成膜された透明な第１基材と、下地側から表層に向かって漸減する屈折率分布を持つ反射防止膜が表面に成膜された透明な第２基材と、前記第２基材よりも低い屈折率を持ち、前記光学薄膜と前記反射防止膜との表層を接合して前記第１基材と前記第２基材とを一体化する透明な接着剤と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
また、前記反射防止膜は、その最大屈折率が前記第２基板の屈折率以下であり、その最小屈折率が前記接着剤の屈折率以上であることを特徴とする。
【００１５】
また、前記反射防止膜は、下地側から表層に向かって段階的に屈折率が小さくなるように積層された複数の誘電体薄膜からなることを特徴とする。
【００１６】
また、前記第２基材の屈折率をＮ１，前記接着剤の屈折率をＮ２，前記反射防止膜の物理膜厚をＤとするときに、前記反射防止膜の屈折率分布が、傾き（Ｎ２−Ｎ１）／Ｄの直線に沿った屈折率分布となっていることを特徴とする。
【００１７】
また、前記反射防止膜の屈折率と前記直線の差が、前記直線上の値に対して５％以下であることを特徴とする。
【００１８】
本発明の接合方法は、所定の光学的機能を有する光学薄膜が表面に設けられ、透明な材料からなる第１基材と、透明な材料からなる第２基材とを前記光学薄膜が介在するように、前記第２基材よりも屈折率が小さい接着剤によって接合するときに、前記第２基材側から前記接着剤側にかけて減少する屈折率分布を有し、前記第２基材と前記接着剤との間で生じる反射を防止する反射防止膜を、前記第１基材と接合される前記第２基材の表面に設けることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、広範囲にわたる複数の波長帯で有限光の反射を防止した接合型光学素子、及び接合方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】光ピックアップの構成を示す説明図である。
【図２】ＰＢＳの構成を示す説明図である。
【図３】反射防止膜の構成を示す説明図である。
【図４】偏光分離膜のＳ偏光透過率を示すグラフである。
【図５】比較例１のＰＢＳの構成を示す説明図及び表である。
【図６】比較例１の第２プリズム‐接着剤界面におけるＳ偏光反射率Ｒｓを示すグラフである。
【図７】比較例１のＳ偏光透過率Ｔｓを示すグラフである。
【図８】比較例２のＰＢＳの構成を示す説明図及び表である。
【図９】比較例２の第２プリズム‐接着剤界面におけるＳ偏光反射率Ｒｓを示すグラフである。
【図１０】比較例２のＳ偏光透過率Ｔｓを示すグラフである。
【図１１】実施例のＰＢＳの構成を示す表である。
【図１２】実施例の第２プリズム‐接着剤界面におけるＳ偏光反射率Ｒｓを示すグラフである。
【図１３】実施例のＳ偏光透過率Ｔｓを示すグラフである。
【図１４】反射防止膜を構成する誘電体薄膜の屈折率及び物理膜厚の定め方を示すグラフである。
【図１５】誘電体薄膜を形成させる蒸着装置の構成を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
図１に示すように、光ピックアップ１１は、光ディスク１２のデータを読み出したり、光ディスク１２にデータを記録する光学系であり、ＣＤ，ＤＶＤ，青色光ディスクの３種類の光ディスク１２に共通に用いられる光学系となっている。光ピックアップ１１は、光源部１３、ＰＢＳ１４、パワーモニタ１６、１／４波長板１７、対物レンズ１８、フォトダイオード（ＰＤ）１９等から構成される。
【００２２】
光源部１３は、３種の光ディスク１２のそれぞれに対応するように３種類の波長帯の光を共通の光軸Ｌに沿って発する光源であり、赤外線光源２１、赤色光源２２、青色光源２３、ダイクロイックプリズム２６，２７等から構成される。
【００２３】
赤外線光源２１は、赤外線レーザーダイオード（以下、赤外線ＬＤという）、コリメートレンズ、１／２波長板、回折格子から構成される。赤外線ＬＤは、ＣＤのデータの読み書きに用いられる波長７８０ｎｍ近傍の赤外線を発する。赤外線ＬＤから拡散して発せられる赤外線は、コリメートレンズによって平行光に整えられた後に１／２波長板に入射し、Ｓ偏光に整えられる。そして、回折格子に入射して、ＣＤからのデータの読み出しや書き込みに利用される主ビームと、トラッキングやフォーカシングに利用される２つの副ビームに分離して出射される。このため、赤外線光源２１からの赤外線は、概ね±５度程度の有限の角度を持って出射される有限光となっている。また、赤外線光源２１からの赤外線は、ダイクロイックプリズム２６を透過し、ダイクロイックプリズム２７で反射されてＰＢＳ１４に入射する。
【００２４】
赤色光源２２は、赤色レーザーダイオード（以下、赤色ＬＤという）、コリメートレンズ、１／２波長板、回折格子から構成される。赤色ＬＤは、ＤＶＤのデータの読み書きに用いられる波長６５０ｎｍ近傍の赤色光を発する。赤色ＬＤで発せられた赤色光は、前述の赤外線ＬＤから発せられた赤外線と同様に、コリメートレンズによって平行光に整えられるとともに、１／２波長板によってＳ偏光に整えられ、回折格子で主ビーム及び副ビームに分離される。このため、赤色光源２２からの赤色光は、概ね±５度程度の有限の角度を持って出射される有限光となっている。こうして赤色光源２２から出射される赤外光は、ダイクロイックプリズム２６，２７で反射され、ＰＢＳ１４に入射する。
【００２５】
青色光源２３は、青色レーザーダイオード（以下、青色ＬＤという）、コリメートレンズ、１／２波長板、回折格子から構成される。青色ＬＤは、青色光ディスクのデータの読み書きに用いられる波長４０５ｎｍ近傍の青色光を発する。青色ＬＤから発せられる青色光は、前述の赤外線ＬＤからの赤外線、赤色ＬＤからの赤色光と同様に、コリメートレンズによって平行光に、１／２波長板によってＳ偏光に整えられ、回折格子によって主副３つのビームに分離して出射される。したがって、青色光源２３から出射される青色光もまた、概ね±５度程度の有限の角度範囲を持って出射される有限光となっている。また、青色光源２３からの青色光は、ダイクロイックプリズム２７を透過してＰＢＳ１４に入射する。
【００２６】
ＰＢＳ１４は、入射する光の偏光状態に応じて、入射光を透過または反射する光学素子であり、光源部１３から出射される赤外線，赤色光，青色光の広範囲にわたる３種の波長帯の光に共通に用いられる。また、ＰＢＳ１４には、光軸に対して４５度の角度をなすように偏光分離膜２９（光学薄膜）が設けられている。偏光分離膜２９は、複数の誘電体薄膜を積層して構成され、Ｐ偏光の入射光を略１００％反射する。一方、偏光分離膜２９は、Ｓ偏光の入射光のうち、約７０％を光ディスク１２側に透過し、残りの約３０％をパワーモニタ１６側に反射する。
【００２７】
前述のように、光源部１３から出射される３つの波長帯の光は、何れもＳ偏光に整えられて出射され、ＰＢＳ１４に入射するので、これらの光のうち約７０％の成分は光ディスク１２側に透過されると同時に、約３０％程度の成分がパワーモニタ１６に入射する。
【００２８】
パワーモニタ１６は、入射光を光電変換するフォトダイオードからなり、入射光の光量を検知する。また、パワーモニタ１６は、光源部１３に接続されている。前述のように、パワーモニタ１６には、光源部１３が出射された光のうち、ＰＢＳ１４で反射された所定量の成分が入射する。このため、パワーモニタ１６で検知された光量に基づいて光源部１３から出射した光の光量が算出される。これに基づいて、光源部１３の各光源２１，２２，２３は、光ディスク１２に適切な光量の光を入射させるように、フィードバック制御される。
【００２９】
一方、光源部１３から出射した光のうち、ＰＢＳ１４を透過した約７０％の光量の光は、１／４波長板１７に入射する。こうしてＰＢＳ１４を透過したＳ偏光の光は、１／４波長板１７で所定の向きに偏光方向が回転する円偏光に変換される。その後、図示しないレンズ類やミラー等を介して光ディスク１２の方向に導かれ、対物レンズ１８によって光ディスク１２に集光される。
【００３０】
光ディスク１２のデータを読み出す場合には、上述のように光ディスク１２に集光された円偏光は、光ディスク１２に記録されたデータを反映して反射される。光ディスク１２からの反射光は、光ディスク１２への入射時と同じ向きに偏光方向が回転するが、進行方向が逆方向になった円偏光となっている。このため、光ディスク１２への入射時とは逆順に、対物レンズ１８等を通って１／４波長板１７に至ると、１／４波長板１７でＰ偏光に変換される。
【００３１】
このため、光ディスク１２からの反射光がＰＢＳ１４に入射すると、偏光分離膜２９で反射され、パワーモニタ１６と対向する位置に設けられたＰＤ１９に入射する。ＰＤ１９では、こうして入射する光ディスク１２からの反射光が光電変換される。また、ＰＤ１９では、各光源２１，２２，２３で主副３つに分岐された光を各々個別に光電変換する。そして、光ディスク１２からの反射光のうち、主ビームの光量に基づいて、光ディスク１２に記録されたデータの読み出しが行われる。また、２つの副ビームの光量やビーム径等に基づいて、図示しないレンズ等を駆動して、フォーカシング制御やトラッキング制御が行われる。
【００３２】
図２に示すように、ＰＢＳ１４は、偏光分離膜２９を介在させて、三角柱状の第１プリズム３１（第１基材）と第２プリズム３２（第２基材）を接合させた構成となっている。第１プリズム３１及び第２プリズム３２は、同型同サイズの三角柱状プリズムであり、同じ高屈折率の透明な硝材から形成されている。また、第１プリズム３１の斜面（第２プリズム３２との接合面）には、偏光分離膜２９が設けられており、第２プリズム３２の斜面には、反射防止膜３３が設けられている。さらに、第１プリズム３１と第２プリズム３２は、これらのプリズム３１，３２よりも屈折率の小さい接着剤３４により接合されている。接着剤３４は、第１プリズム３１上の偏光分離膜２９と第２プリズム３２上の反射防止膜３３の表層を接合させることにより、第１プリズム３１と第２プリズム３２を一体化する。このため、ＰＢＳ１４の接合面では、第２プリズム３２側から、第２プリズム３２，反射防止膜３３，接着剤３４，偏光分離膜２９，第１プリズム３１の順に配置され、層状の構造となっている。なお、ここで用いられる接着剤３４の屈折率は、第１プリズム３１，第２プリズム３２の屈折率よりも小さい。
【００３３】
反射防止膜３３は、複数の誘電体薄膜を積層して構成され、下地である第２プリズム３２側から接着剤３４側の表層に向かって漸減する屈折率分布をもったものとなっている。図３（Ａ）に示すように、反射防止膜３３は、第２プリズム３２側から、第１誘電体薄膜３６，第２誘電体薄膜３７，第３誘電体薄膜３８の３つの誘電体薄膜から構成され、これらの誘電体薄膜３６，３７，３８は、いずれも反射防止膜３３全体の１／３程度の物理膜厚となっている。また、誘電体薄膜３６，３７，３８は、同じ材料から構成されており、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２），五酸化ニオブ（Ｎｂ２Ｏ５），酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）の３種の誘電体材料を混合した誘電体薄膜となっている。一方、これらの３種の誘電体材料の混合比は、各誘電体薄膜３６，３７，３８でそれぞれに異なっている。このため、各誘電体薄膜３６，３７，３８は同じ材料から構成されていても、それぞれに屈折率が異なる。
【００３４】
第１誘電体薄膜３６は、屈折率が第２プリズム３２よりも小さく、接着剤３４よりも大きい範囲内におさまるように構成される。同時に、第１誘電体薄膜３６は、誘電体薄膜３６，３７，３８のなかで最も屈折率が大きくなるように前述の３種の誘電体材料が混合されている。
【００３５】
また、第２誘電体薄膜３７は、第１誘電体薄膜３６と同様に、屈折率が第２プリズム３２よりも小さく、接着剤３４よりも大きい範囲内おさまるように構成される。一方、第２誘電体薄膜３７は、第１誘電体薄膜３６よりも屈折率が小さく、第３誘電体薄膜３８よりも屈折率が大きくなるように前述の３種の誘電体材料が混合される。
【００３６】
さらに、第３誘電体薄膜３８は、第１，第２誘電体薄膜３６，３７と同様に、屈折率が第２プリズム３２よりも小さく、接着剤３４よりも大きい範囲内におさまるように構成される。また、第３誘電体薄膜３８は、誘電体薄膜３６，３７，３８のなかで最も屈折率が小さくなるように前述の３種の誘電体材料が混合されている。
【００３７】
このため、図３（Ｂ）に示すように、反射防止膜３３は、第２プリズム３２から接着剤にかけて、段階的に減少する屈折率分布となっているとともに、その最大屈折率は第２プリズム３２の屈折率より小さく、最小屈折率は接着剤３４の屈折率よりも大きい。
【００３８】
上述のように、ＰＢＳ１４には、第２プリズム３２と接着剤４３との間に、第２プリズム３２から接着剤３４にかけて段階的に減少する屈折率分布を持った反射防止膜３３が設けられている。これにより、ＰＢＳ１４は、赤外線，赤色光，青色光という広範囲にわたる複数の波長帯で良好に機能する。また、このように、ＰＢＳ１４には所定の角度範囲を持った有限光が入射するが、反射防止膜３３は、こうした有限光についても、第２プリズム３２と接着剤３４との間での反射を抑えることができる。
【００３９】
以下では、上述のように構成されるＰＢＳ１４の一例を、ＰＢＳ１４を構成する第１，第２プリズム３１，３２、偏光分離膜２９、反射防止膜３３、接着剤３４の具体的なデータを挙げて説明する。まず、後述する実施例，比較例１，比較例２で共通して用いられる偏光分離膜２９の具体的な構成例を説明する。次いで、実施例との比較のために、反射防止膜３３を設けていないＰＢＳの例を比較例１として、また、反射防止膜３３の替わりに１層の誘電体薄膜を設けたＰＢＳの例を比較例２として説明する。そして、上述のＰＢＳ１４の一例として、上述の反射防止膜３３を設けたＰＢＳの例を実施例として説明する。
【００４０】
［偏光分離膜］
偏光分離膜２９は、例えば、酸化ケイ素（ＳｉＯ２），五酸化ニオブ（Ｎｂ２Ｏ５），酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）の３種類の誘電体薄膜を、複数重ね合わせて構成される。また、偏光分離膜２９は、図４に実線で示すように、赤外線（７８０ｎｍ近傍），赤色光（６５０ｎｍ近傍），青色光（４０５ｎｍ近傍）の３種の波長帯において、偏光分離膜２９への入射角θが４５度の場合に、Ｓ偏光の約７０％を透過，Ｓ偏光の約３０％を反射するように、第２プリズム３２と接着剤３４を考慮して、誘電体薄膜の積層順序や積層数，各誘電体薄膜の厚さ等の詳細な構成が定められている。同時に、偏光分離膜２９は、Ｐ偏光の略１００％を反射するように誘電体薄膜の構成が定められている。
【００４１】
さらに、偏光分離膜２９には入射角θが４５±５度の範囲の光が入射するが、偏光分離膜２９はこうした入射角θの範囲をも考慮して設計されている。このため、図４に破線及び点線で示すように、入射角θが小さくなるとＳ偏光の透過率Ｔｓのグラフは全体的に長波長側にシフトし、入射角θが大きくなるとＳ偏光透過率Ｔｓのグラフは短波長側にシフトするが、少なくとも光ピックアップ１１で利用する赤外線，赤色光，青色光の波長帯においては、入射角θが４５±５度の範囲で変化しても、入射角θが４５±０度の場合と同じ、約７０％の透過率が維持されるように設計されている。Ｐ偏光についても同様に、少なくとも光ピックアップ１１で利用する赤外線，赤色光，青色光の波長帯においては、入射角θが４５±５度の範囲で変化しても、入射角θが４５±０度の場合と同じ、略１００％の反射率が維持されるように設計されている。
【００４２】
［比較例１］
後述する実施例との比較のため、図５（Ａ）に示すように、反射防止膜３３を設けずに、第１プリズム３１と第２プリズム３２の間に偏光分離膜２９だけが介在するように接着剤３４で接合したＰＢＳ４１の例を説明する。このＰＢＳ４１の接合面には、第１プリズム３１、偏光分離膜２９、接着剤３４、第２プリズム３２の順に配置されている。ＰＢＳ４１の各要素の屈折率，物理膜厚ｄ（ｎｍ），光学膜厚ｎｄ／λ（ｎｍ）は、図５（Ｂ）に示すとおりである。また、ＰＢＳ４１で用いる偏光分離膜２９は、前述のように構成したものであり、反射防止膜３３の構成に影響しないので、ここでは詳細を省略する。
【００４３】
このように反射防止膜３３を設けずに接合したＰＢＳ４１では、図６に示すように、第２プリズム３２と接着剤３４との界面におけるＳ偏光の反射率Ｒｓが、入射角θが４５度の場合に、波長によらず概ね０．５％程度になっている。また、ＰＢＳ４１の第２プリズム３２と接着剤３４の界面におけるＳ偏光の反射率Ｒｓは、入射角θが４０度になると、波長によらず０．３５％程度に減少し、入射角θが５０になると０．７５％程度になる。このように、ＰＢＳ４１の第２プリズム３２‐接着剤３４界面でのＳ偏光の反射率Ｒｓは入射角θに応じて若干変化するが、光ピックアップ１１で用いられる有限光の実際的な入射角の範囲では、入射光量の１％にも満たない僅かな反射率に抑えられている。したがって、ＰＢＳ４１には、偏光分離膜２９の設計上の光学的性能が略正確に現れることが期待される。
【００４４】
しかしながら、図７に実線で示すように、ＰＢＳ４１にＳ偏光を入射角θ＝４５度で入射させて透過率Ｔｓを測定すると、本来は略一定値となることが期待される波長帯（図４参照：波長４００〜４３０ｎｍ，６３０〜８００ｎｍ）で、周期的な変動（いわゆるリップル）が顕著に生じてしまう。さらに、図７に破線で示すように、ＰＢＳ４１にＳ偏光を入射角θ＝４０度で入射させてＳ偏光透過率Ｔｓを測定すると、リップルも長波長側へシフトする。同様に、図７に点線で示すように、ＰＢＳ４１にＳ偏光を入射角θ＝５０度で入射させて透過率Ｔｓを測定すると、リップルも短波長側へシフトする。このため、特定の波長帯に着目すれば、透過率Ｔｓは入射角θの変化によって大きく変動する。例えば、入射角θ＝４５±５度の範囲で、波長４０５ｎｍのＳ偏光透過率Ｔｓは２％以上、波長６５０ｎｍでは３％以上、波長７８０ｎｍでは８％以上も変動してしまう。
【００４５】
このように、ＰＢＳ４１の光学的性能に多大な影響を及ぼすリップルは、偏光分離膜２９が同じものであっても、第２プリズム３２と接着剤３４の屈折率の差が大きいと振幅が増大し、接着剤３４の厚さに応じて周期が変動することが分かっている。このため、リップルは、第２プリズム３２‐接着剤３４界面における僅かな反射に起因するものであることが分かる。
【００４６】
［比較例２］
前述のように、反射防止膜３３を設けずに接合したＰＢＳ４１ではリップルが生じ、リップルは第２プリズム３２と接着剤３４の屈折率の差によって変化する。このため、ここでは第２プリズム３２と接着剤３４との間に単層の誘電体薄膜を設け、第２プリズム３２から接着剤３４にかけての屈折率の差を緩和したＰＢＳの例を説明する。図８（Ａ）に示すように、ＰＢＳ５１は、複数の誘電体薄膜からなる反射防止膜３３の替わりに、反射防止膜として単層の誘電体薄膜５２（以下、単層誘電体薄膜５２という）を設けたものであり、接合面には、第２プリズム３２，単層誘電体薄膜５２，接着剤３４，偏光分離膜２９，第１プリズム３１の順に配置されている。
【００４７】
また、図８（Ｂ）に示すように、ＰＢＳ５１を構成する第１，第２プリズム３１，３２や接着剤３４、偏光分離膜２９は前述の比較例１と同様のもので構成されている。単層誘電体薄膜５２は、第２プリズム３２から接着剤３４にかけての屈折率の差を緩和するために、屈折率ｎが第２プリズム３２（ｎ＝１．６４１３）と接着剤３４（ｎ＝１．５３８５６）の中間の値となるように、ＳｉＯ２，Ｎｂ２Ｏ５，Ａｌ２Ｏ３の３種類の誘電体材料を混合した誘電体薄膜である。ＰＢＳ５１では、単層誘電体薄膜５２の屈折率ｎは１．５９６３１となっている。また、単層誘電体薄膜５２の物理膜厚ｄは１３２．０３ｎｍとなっている。
【００４８】
こうして第２プリズム３２と接着剤３４の間に単層誘電体薄膜５２を設けたＰＢＳ５１では、図９に実線で示すように、入射角θ＝４５度の場合に、第２プリズム３２‐接着剤３４間でのＳ偏光の反射率Ｒｓが略全ての波長帯で０．３％以下となっている。このため、ＰＢＳ５１は、単層誘電体薄膜５２が設けられていることで、第２プリズム３２と接着剤３４が直接接触しているＰＢＳ４１の場合（図６参照）と比較して、第２プリズム３２‐接着剤３４間でのＳ偏光の反射率Ｒｓは半分以下に抑えられている。さらに、図９に破線及び点線で示すように、ＰＢＳ５１の第２プリズム３２‐接着剤３４間におけるＳ偏光の反射率Ｒｓは、入射角θの変化に応じて変動するが、入射角θ＝４５度を基準とした反射率Ｒｓの変化量は、大きいところでも０．１４％程度であり、ＰＢＳ４１の第２プリズム３２‐接着剤３４界面での反射率Ｒｓ（図６参照）よりも小さく抑えられている。
【００４９】
このため、比較例１のＰＢＳ４１で生じたリップルが生じなくなることが期待される。しかし、図１０に実線で示すように、ＰＢＳ５１にＳ偏光を入射角θ＝４５度で入射させて透過率Ｔｓを測定すると、比較例１のＰＢＳ４１（図７参照）と比較すれば振幅が低減されるものの、比較例１と同様に顕著なリップルが生じていることが分かる。また、ＰＢＳ５１で生じるリップルの周期は、比較例１のＰＢＳ４１のものと略等しい。
【００５０】
このように、ＰＢＳ５１では、単層誘電体薄膜５２を設けることでリップルの振幅を低減することができるが、依然として顕著なリップルが生じてしまっていることには変わりない。このため、図１０に破線及び点線で示すように、入射角θの変化に応じてリップルがシフトし、特定の波長帯に着目すれば、透過率Ｔｓは入射角θの変化によって大きく変動してしまう。例えば、入射角θ＝４５±５度の範囲で、Ｓ偏光の透過率Ｔｓは、波長４０５ｎｍで３．５％以上、波長６５０ｎｍで３．１％以上、波長７８０ｎｍで２．９％以上も変化してしまう。また、ここでは単層誘電体薄膜５２を、ＳｉＯ２，Ｎｂ２Ｏ５，Ａｌ２Ｏ３から作製し、屈折率ｎを１．５９６３１に、物理膜厚ｄを１３２．０３ｎｍとした例を説明したが、単層誘電体薄膜５２を他の誘電体材料で作製したり、屈折率ｎや物理膜厚ｄを変えても、比較例１のＰＢＳ４１と比較すればリップルの振幅は抑えられるものの上述のＰＢＳ５１以上にはリップルが低減されることはなかった。
【００５１】
［実施例］
上述のように、比較例１のＰＢＳ４１や比較例２のＰＢＳ５１では、入射角θが±５度程度変化するだけで、リップルの影響により、Ｓ偏光の透過率Ｔｓに大きな変化が生じてしまう。このため、第２プリズム３２と接着剤３４の間に反射防止膜３３を設けることで、リップルをさらに低減したＰＢＳ１４の具体的な例を説明する。また、ＰＢＳ１４の各要素のデータは、図１１に示すとおりであり、第１，第２プリズム３１，３２、偏光分離膜２９、接着剤３４は前述の比較例１，２と同じものとなっている。また、反射防止膜３３を構成する第１誘電体薄膜３６，第２誘電体薄膜３７，第３誘電体薄膜３８は、第２プリズム３２と接着剤３４の屈折率にあわせて、第２プリズム３２側から段階的に屈折率が減少するように、ＳｉＯ２，Ｎｂ２Ｏ５，Ａｌ２Ｏ３が混合されたものとなっている。
【００５２】
こうして反射防止膜３３を設けたＰＢＳ１４では、図１２に実線で示すように、第２プリズム３２‐接着剤３４間における入射角θ＝４５度でのＳ偏光の反射率Ｒｓは、全ての波長帯で略０％となっており、比較例１（図６参照）や比較例２（図９参照）と比較して小さく抑えられている。また、図１２に破線及び点線で示すように、入射角θを変化させると、これに応じてＳ偏光の反射率Ｒｓは変化するが、入射角θ＝４５±５度の範囲内では略０％となっている。
【００５３】
このように、反射防止膜３３を設けたＰＢＳ１４では、第２プリズム３２‐接着剤３４間でのＳ偏光の反射，Ｐ偏光の透過が抑えられている。このため、図１３に実線で示すように、ＰＢＳ１４に入射角θ＝４５度でＳ偏光を入射させると、リップルは殆ど発生せず、偏光分離膜２９の設計値（図４参照）と略同等の透過率Ｔｓが実現される。また、図１３に破線及び点線で示すように、ＰＢＳ１４では、Ｓ偏光の入射角θを４５±５度の範囲で変化させた場合にも、ＣＤ用の７８０ｎｍ近傍、ＤＶＤ用の６５０ｎｍ近傍、青色光ディスク用の４０５ｎｍ近傍の波長帯を含め、広範囲にわたる複数の波長帯で略一定の値が維持される。
【００５４】
上述の実施例及び比較例１，２から分かるように、前述の実施例１，２のＰＢＳ４１，５１では、広範囲にわたる複数の波長帯で良好に機能するように偏光分離膜２９を構成しても、リップルの影響が大きく、期待される光学的性能が得られないので、光ピックアップ１１のように広範囲にわたる複数の波長帯での共用には適さない。しかし、上述の実施例のＰＢＳ１４のように、第２プリズム３２と接着剤３４との間に、反射防止膜３３を設けることで、略設計どおりの反射防止膜２９の光学的機能が現れるようになり、ＰＢＳを広範囲にわたる複数の波長帯で利用することができるようになる。
【００５５】
なお、上述の実施例では、Ｓ偏光の透過率を例に説明したが、Ｐ偏光の反射率についても同様である。したがって、反射防止膜３３等を介さずに第２プリズム３２と接着剤３４とが直接接触するように接合する場合や、第２プリズム３２と接着剤３４との間に単層の誘電体薄膜を介して接合する場合に、Ｐ偏光の反射率にリップルが生じるときには、第２プリズム３２と接着剤３４の間に反射防止膜３３が介在するようにすることで、これを低減することができる。
【００５６】
なお、上述の実施形態及び実施例では、反射防止膜３３が第１誘電体薄膜３６，第２誘電体薄膜３７，第３誘電体薄膜３８の３つの誘電体薄膜から構成される例を説明したが、反射防止膜３３を構成する誘電体薄膜の数はこの例に限らない。すなわち、反射防止膜３３は、下地の第２プリズム３２側から表層の接着剤３４側にかけて屈折率が漸減するように設けられていれば良い。このため、反射防止膜３３は、上述の実施形態及び実施例よりも少ない２つの誘電体薄膜から構成しても良く、上述の実施形態及び実施例よりも多い４以上の誘電体薄膜から構成しても良い。
【００５７】
しかしながら、少数の誘電体薄膜から反射防止膜３３を構成する場合には、より多くの誘電体薄膜から反射防止膜３３を構成する場合よりも、リップルが発生しやすく、また、十分にリップルを低減しようとすれば、これらの誘電体薄膜の屈折率をより精密に定める必要がある。一方、多数の誘電体薄膜から反射防止膜３３を構成する場合には、より少数の誘電体薄膜から反射防止膜３３を構成する場合よりも、容易にリップルを低減させることができるが、反射防止膜３３の製造に要する時間やコストが増してしまう。また、２〜１０程度の誘電体薄膜で反射防止膜３３を構成すれば、リップルは略発生しなくなり、これ以上に誘電体薄膜の数を増やしても相応の効果は得られ難い。こうしたことから、反射防止膜３３を構成する誘電体薄膜の数は、２以上１０以下であることが好ましく、２以上５以下であることがより好ましい。製造に要する時間及びコストと、リップルを低減させる効果との兼ね合いから、上述の実施形態及び実施例のように３つの誘電体薄膜で反射防止膜３３を構成することが特に好ましい。
【００５８】
さらに、上述の実施形態及び実施例では、反射防止膜３３を構成する各誘電体薄膜３６，３７，３８の屈折率の一例を説明したが、各誘電体薄膜３６，３７，３８の屈折率はこれに限らない。
【００５９】
前述の比較例１ように、第２プリズム３２と接着剤３４を直接接触させて接合させる場合には、Ｓ偏光の透過率Ｔｓ等に生じるリップルの振幅は、第２プリズム３２と接着剤３４の屈折率の差に依存する。こうした傾向は、反射防止膜３３を設ける場合にも同様であるため、反射防止膜３３は、単純に第２プリズム３２側から接着剤３４側にかけて屈折率が小さくなるように設けるだけでなく、反射防止膜３３と第２プリズム３２の屈折率差が小さいことが好ましい。また、同時に、反射防止膜３３と接着剤３４の屈折率差が小さいことが好ましい。さらに、反射防止膜３３を構成する誘電体薄膜間の屈折率差もできるだけ小さくしておくことが好ましい。
【００６０】
このため、図１４に示すように、第２プリズム３２の屈折率をＮ１，接着剤３４の屈折率をＮ２，反射防止膜３３の物理膜厚をＤとし、第２プリズム３２と反射防止膜３３の境界面を基準とした厚さ方向の位置ｄに対する屈折率のグラフを書いたときに、反射防止膜３３の屈折率は、第２プリズム３２の反射防止膜３３側の端と接着剤３４の反射防止膜３３側の端とを結ぶ、傾き（Ｎ２−Ｎ１）／Ｄの直線Ｌに沿って変化していることが最も好ましい。
【００６１】
一方、製造に要する時間やコスト，歩留まり等の実際的な製造上の制約を考慮すれば、反射防止膜３３は、数層〜十数層程度の誘電体薄膜で構成され、反射防止膜３３を構成する誘電体薄膜の数が少ないほど、直線Ｌに沿って屈折率が変化するように反射防止膜３３を構成することが難しくなる。こうした場合には、直線Ｌ上の値からの屈折率の差が、直線Ｌ上の値の５％以下になるように各誘電体薄膜の屈折率及び物理膜厚を定めることが好ましく、３％以下であればなお良く、２％以下になっていることが特に好ましい。直線Ｌ上の値からの屈折率の差が、５％を超えると、その界面での反射の影響を受けてリップルが顕著になり、上述の実施形態及び実施例のように広範囲にわたる複数の波長帯で良好な光学的性質を得ることが難しくなる。
【００６２】
例えば、図１４に示すように、第１誘電体薄膜３６，第２誘電体薄膜３７，第３誘電体薄膜３８の３つの誘電体薄膜から反射防止膜３３を構成するときには、Δｎ１〜Δｎ６が全て直線Ｌ上の値の５％以下になるように、各誘電体薄膜３６，３７，３８の屈折率及び物理膜厚を定めれば良い。ここで、Δｎ１は、第２プリズム３２‐第１誘電体薄膜３６界面における直線Ｌ上の値と第１誘電体薄膜３６の屈折率との差である。また、同様に、Δｎ２，Δｎ３は、第１誘電体薄膜３６‐第２誘電体薄膜３７界面における直線Ｌ上の値と第１誘電体薄膜３６，第２誘電体薄膜３７の屈折率差、Δｎ４，Δｎ５は第２誘電体薄膜３７‐第３誘電体薄膜３８界面における直線Ｌ上の値と第２誘電体薄膜３７，第３誘電体薄膜３８の屈折率差、Δｎ６は第３誘電体薄膜３８‐接着剤３４界面における直線Ｌ上の値と第３誘電体薄膜３８の屈折率差である。
【００６３】
なお、上述の実施形態及び実施例では、反射防止膜３３は、その最大屈折率が第２プリズム３２の屈折率より小さく、その最小屈折率が接着剤３４より大きくなっている例を説明したが、反射防止膜３３の屈折率分布は上述の例に限らない。例えば、第２プリズム３２側から接着剤３４側にかけて漸減する屈折率分布となっていれば、第２プリズム３２側で第２プリズム３２と屈折率が等しくなるように反射防止膜３３を構成したり、接着剤３４側で接着剤３４と屈折率が等しくなるように反射防止膜３３を構成しても良い。また、例えば、第２プリズム３２側で第２プリズム３２よりも屈折率が大きくなるように反射防止膜３３を構成したり、接着剤３４側で接着剤３４よりも屈折率が小さくなるように反射防止膜３３を構成しても良い。しかし、より少ない誘電体薄膜で反射防止膜を構成して、十分は反射防止効果を得るためには、上述の実施形態及び実施例のように、反射防止膜３３が、その最大屈折率が第２プリズム３２の屈折率以下とし、その最小屈折率が接着剤３４の屈折率以下となるように構成されていることが好ましい。
【００６４】
なお、上述の実施形態及び実施例では、反射防止膜３３を構成する誘電体薄膜３６，３７，３８が第２プリズム３２側から段階的に屈折率が小さくなる順に配置される例を説明したが、反射防止膜３３の構成はこの例に限らない。例えば、反射防止膜３３を複数の誘電体薄膜で構成するときに、前述のようにリップルを生じさせない範囲であれば、他の誘電体薄膜に挟まれるように配置された誘電体薄膜の屈折率が両隣の誘電体薄膜の屈折率より大きく（小さく）なるように配置され、屈折率分布の順序が逆転している部分があっても良い。但し、こうした場合に十分な効果を得るためには、反射防止膜３３の屈折率分布が、上述の実施形態及び実施例のように、概して第２プリズム３２側から接着剤３４側にかけて漸減する屈折率分布となっている必要がある。
【００６５】
なお、上述の実施形態及び実施例では、反射防止膜３３を構成する誘電体薄膜３６，３７，３８は、全てＳｉＯ２，Ｎｂ２Ｏ５，Ａｌ２Ｏ３を混合して形成される誘電体薄膜であることを説明したが、このように複数の誘電体材料の混合比を変えて屈折率の異なる誘電体薄膜は、例えば図１５に示す蒸着装置７１によって作製することができる。
【００６６】
図１５（Ａ），（Ｂ）に示すように、蒸着装置７１は、真空槽７２、回転ドーム７３、蒸着源７４ａ〜７４ｃを備えている。回転ドーム７３は、例えば六角柱状であり、中心軸７３ａの周りに回転自在に設けられている。また、回転ドーム７２の６つの側面には、各々に複数の基板ホルダ７６が設けられている。蒸着源７４ａ〜７４ｃは、それぞれＳｉＯ２，Ｎｂ２Ｏ５，Ａｌ２Ｏ３が装填されており、これらの誘電体材料を回転ドーム７２の側面に一様に飛散させる。また、蒸着源７４ａ〜７４ｃには図示しないシャッタ機構が設けられており、装填された誘電体材料を飛散させるタイミング及び量を各々に任意に変化させることができるようになっている。
【００６７】
このように構成される蒸着装置７１で、上述の反射防止膜３３を作製するときには、第２プリズム３２を基板ホルダ７６に、回転ドーム７３の外側に斜面が向くようにセットする。そして、蒸着源７４ａ〜７４ｃからの各誘電体材料の飛散量は、混合した時の比率が第１誘電体薄膜３６となるように調節しつつ、回転ドーム７３を回転させながら、蒸着源７４ａ〜７４ｃから誘電体材料を所定時間だけ飛散させる。
【００６８】
すると、第２プリズム３２上には、蒸着源７４ａ〜７４ｃから飛散する誘電体材料の相対的な比率に応じて、ＳｉＯ２，Ｎｂ２Ｏ５，Ａｌ２Ｏ３が混合された誘電体薄膜が形成される。また、こうして形成される誘電体薄膜の物理膜厚は、蒸着源７４ａ〜７４ｃからの誘電体材料を飛散させた時間と飛散量とに応じて定まる。ここでは第１誘電体薄膜３６の物理膜厚に応じた誘電体材料の飛散時間，飛散量が調節される。したがって、形成される誘電体薄膜は第１誘電体薄膜３６となる。また、上述の第１誘電体薄膜３６と同様にして、第２誘電体薄膜３７、第３誘電体薄膜３８を順に形成することで、反射防止膜３３が形成される。なお、蒸着装置７１では、真空槽７２の真空を破らずに、蒸着源７４ａ〜７４ｃからの誘電体材料の飛散量を調節することで、効率良く反射防止膜３３を形成することができる。
【００６９】
なお、上述の実施形態及び実施例では、偏光分離膜２９と反射防止膜３３をＳｉＯ２，Ｎｂ２Ｏ５，Ａｌ２Ｏ３から構成する例を説明したが、偏光分離膜２９や反射防止膜３３に用いる誘電体材料はこの例に限らず、他の周知の誘電体材料を用いても良い。また、必ずしも３種の誘電体材料を組み合わせて偏光分離膜２９や反射防止膜３３を構成しなければならないわけではなく、２種類の誘電体材料からこれらを構成しても良く、４種以上の誘電体材料からこれらを構成するようにしても良い。
【００７０】
さらに、上述の実施形態及び実施例では、偏光分離膜２９と反射防止膜３３を、いずれもＳｉＯ２，Ｎｂ２Ｏ５，Ａｌ２Ｏ３から構成する例を説明したが、偏光分離膜２９と反射防止膜３３で各々に使用する誘電体材料の数や種類を変えても良い。但し、上述の実施形態及び実施例のように、偏光分離膜２９と反射防止膜３３を同じ誘電体材料を用いて作製することにより、同じ蒸着装置で偏光分離膜２９と反射防止膜３３を作製することができるので、より容易に低コストに偏光分離膜２９及び反射膜３３を作製できる。
【００７１】
なお、上述の実施例では、第１，第２プリズム３１，３２や接着剤３４の具体的な例を挙げて説明したが、第１，第２プリズム３１，３２や接着剤３４には上述の実施例とは異なる任意の材料を用いて良い。但し、第２プリズム３２と接着剤３４の屈折率差が小さくなるように、第２プリズム３２と接着剤３４の材料を選定することが好ましい。
【００７２】
なお、上述の実施形態及び実施例では、反射防止膜３３を複数の誘電体薄膜から構成し、第２プリズム３２側から接着剤３４側にかけて段階的に屈折率が減少する反射防止膜３３を例に説明したが、これに限らず、反射防止膜３３は、第２プリズム３２側から接着剤３４側にかけて滑らかに減少する屈折率分布となっていても良い。例えば、前述の蒸着装置７１で反射防止膜３３を形成するときに、蒸着源７４ａ〜７４ｃから飛散させる誘電体材料の比率を、各々に徐々に滑らかに変化させる。このようにして作製した反射防止膜は、内部に明確な境界のない１つの誘電体薄膜でありながら、第２プリズム３２側から接着剤３４側にかけて、直線Ｌに沿って屈折率が減少した反射防止膜となっている。したがって、このように作製した１層の反射防止膜を上述の反射防止膜３３としても良い。
【００７３】
なお、上述の実施形態及び実施例では、光ピックアップ１１に用いられるＰＢＳを例に説明したが、これに限らず、光学薄膜を介在させて、ガラス基板やレンズ，プリズム等の基材を接着剤で接合させた接合型光学素子であれば、光ピックアップ１１用のＰＢＳ以外の光学素子であっても本発明を好適に適用することができる。また、基材の間に介在させる光学薄膜の種類も偏光分離膜２９に限らず、形状もＰＢＳの形状に限らない。このため、例えば、光ピックアップ１１用のＰＢＳ以外にも、接合レンズ、平板の撮像用フィルタ、前述の偏光分離膜２９とは異なる性質の偏光分離膜を介在させたＰＢＳ、ダイクロイックプリズム等、他の周知の接合型光学素子に本発明を好適に適用することができる。
【符号の説明】
【００７４】
１１  光ピックアップ
１２  光ディスク
１３  光源部
１４，４１，５１  ＰＢＳ
１６  パワーモニタ
１７  １／４波長板
１９  ＰＤ
２１  赤外線光源
２２  赤色光源
２３  青色光源
２６，２７  ダイクロイックプリズム
２９  偏光分離膜（光学薄膜）
３１  第１プリズム（第１基材）
３２  第２プリズム（第２基材）
３３  反射防止膜
３４  接着剤
３６  第１誘電体薄膜
３７  第２誘電体薄膜
３８  第３誘電体薄膜
５２  単層誘電体薄膜
７１  蒸着装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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