(57)【要約】【課題】ソケット９０へのプローブ６０の誤挿入を未然に防止可能で、しかもプランジャ頂点Ｐ間の距離の短縮を図ることができ、被検査電子部品の小寸法の端子（電極パッド）にも対応可能とする。【解決手段】導電性チューブ６１と導電性プランジャ７０とを有するプローブ６０が平行に設けられていて、プランジャ７０が貫通するプランジャ貫通孔１０１を有する絶縁性ソケット９０を備え、対をなしたプローブ６０のプランジャ７０は、チューブ６１の軸方向の中心に対してプランジャ同士の相互間隔が狭くなる方向に偏心した位置に形成されていて、プランジャ貫通孔１０１に対し周回できずかつ１８０度の反転挿入ができない状態で貫通している。また、プランジャ相互の対向部はチューブ６１の外周面との間に段差のない曲面となっていて、プランジャ先端側本体部７２は前記対向部側からその反対側に向かって突出高さが小さくなる形状である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性チューブとその一端側に設けられた導電性プランジャとを有する、対をなしたプローブと、
前記対をなしたプローブが平行に設けられていて、前記プランジャの先端側本体部が貫通するプランジャ貫通孔を有する絶縁性ソケットとを備え、
前記対をなしたプローブにおけるプランジャの先端側本体部は、前記チューブの軸方向の中心に対して先端側本体部同士の相互間隔が狭くなる方向に偏心した位置に形成されていて、前記プランジャ貫通孔に対し周回できずかつ１８０度の反転挿入ができない状態で貫通しており、
前記プランジャ相互の対向部は前記チューブの外周面の延長面に合致する同一曲率の曲面となっており、
前記先端側本体部は前記対向部側からその反対側に向かって突出高さが小さくなる形状である、誤挿入防止型ケルビン検査用治具。
【請求項２】
請求項１に記載の誤挿入防止型ケルビン検査用治具において、前記プランジャは、前記チューブに挿入固定される内側挿入部と、前記内側挿入部の先端側のフランジ部と、前記フランジ部の先端側の前記先端側本体部とを一体に形成したものであり、前記プランジャ相互の対向部は前記チューブの外周面との間に段差のない曲面となっている、誤挿入防止型ケルビン検査用治具。
【請求項３】
請求項１に記載の誤挿入防止型ケルビン検査用治具において、前記プランジャは、前記チューブの内周面に対し摺動自在な内側摺動部と、前記内側摺動部の先端側に軸部を介して設けられた前記先端側本体部とを一体に形成したものであり、前記先端側本体部の対向部が前記チューブの外周面の延長面に合致する同一曲率の曲面となっている、誤挿入防止型ケルビン検査用治具。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の誤挿入防止型ケルビン検査用治具において、前記先端側本体部は前記軸方向に平行な２平面を有し、前記対向部をなす曲面が前記２平面を連絡している、誤挿入防止型ケルビン検査用治具。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の誤挿入防止型ケルビン検査用治具において、前記先端側本体部は、前記対向部の反対側の面が、前記対向部の曲面とは曲率の異なる曲面又は平面である、誤挿入防止型ケルビン検査用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査電子部品に設けられた各端子（電極パッド）にそれぞれ２本のプローブを接触させて、ケルビン法によって被検査電子部品の電子回路等を検査するための誤挿入防止型ケルビン検査用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体集積回路等の被検査電子部品の電子回路等の検査を行う方法として、ケルビン法が知られている。このケルビン法による検査では、被検査電子部品の各端子にそれぞれ２本のプローブを接触させ、一方のプローブは電流供給用として、他方のプローブは電圧監視用として用いる。
【０００３】
図１０は従来のケルビン検査用治具の１例であって、図１１（Ａ）,（Ｂ）,（Ｃ）はこれに用いるプローブを示す。プローブ１０は、導電性金属製の円筒状チューブ１１と、その先端側に設けられていて軸方向に摺動、突出自在でチューブ１１から外れないように保持された導電性金属製のプランジャ２０と、チューブ後端側に設けられていて軸方向に摺動、突出自在でチューブ１０から外れないように保持された導電性金属製の当接部材３０と、チューブ内部に設けられていて、プランジャ２０及び当接部材３０のチューブ内側の端面に弾接してプランジャ２０及び当接部材３０をチューブから突出する方向に付勢するコイルスプリング３１とを有している。
【０００４】
プランジャ２０は円筒状チューブ１１と同軸（同心）でチューブ先端より摺動、突出自在な軸部２１とその先端側の先端側本体部２２とを有している。
【０００５】
図１１（Ｂ）は先端側本体部２２の平面図であり、先端側本体部２２の両側面２３はチューブ１１及びプランジャ２０の軸方向に平行な２平面であり、また先端側本体部２２の先端面は、図１０及び図１１（Ｂ）,（Ｃ）からも判るように、前記２平面（側面２３）の中間位置を通りかつ前記軸方向に対して傾斜した稜線２４を持つ山形形状である。すなわち、先端側本体部２２の先端面は、前記軸方向に対し傾斜しかつ側面２３に垂直な仮想平面α（稜線２４が位置している）を規定したとき、仮想平面α上の稜線２４を通り、それぞれ仮想平面αに対して逆向に傾斜した傾斜面２５，２６からなっている。図１１（Ｂ）から判るように、前記軸方向からみた先端側本体部２２の平面形状はチューブ中心Ｏに対して点対称（１８０度回転しても平面形状が同じ）である。
【０００６】
図１０のように、被検査電子部品の端子としての電極パッドの１個当たり１対のプローブ１０が接触するように各プローブ１０は絶縁材からなるソケット４０に配設される。プランジャ２０の先端側本体部２２を貫通させるソケット４０側のプランジャ貫通孔５０は、図１１（Ｂ）の先端側本体部２２の平面図に示した形状と同様形状であり、チューブ中心Ｏに対し点対称である。
【０００７】
１対のプローブ１０を互いに平行となるようにソケット４０に配設するが、この場合、被検査電子部品の小寸法の電極パッドにも対応可能なようにプランジャ２０の先端側本体部２２の頂点Ｐ（稜線２４の最も高い位置で電極パッドに対する接触点となる）同士が最接近する配置とする。
【０００８】
ケルビン検査用治具の公知例としては、例えば下記特許文献１や特許文献２が知られている。
【０００９】
【特許文献１】特開２００８−４５９８６号公報
【特許文献２】特開２００５−６２１００号公報  特許文献１は電流供給用プローブと電圧監視用プローブとを用途に適した別構造にしたものである。また、特許文献２は金属線状体の細く形成した部分をニードル部として、軽量のケルビン検査用、とくにフライング測定機用のプローブを実現したものである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、図１０のケルビン検査用治具では、ソケット４０にプローブ１０を挿入する組立時、又は使用期間中でのプローブ交換時において、ソケット４０のプランジャ貫通孔５０に対して、仮想線Ｆのようにプランジャ２０を左右反転状態（１８０度回転した状態）で誤挿入してしまう危険性がある。このような誤挿入があると、プランジャの先端側本体部２２の頂点Ｐが被検査対象の電極パッドから外れて検査できなくなる。
【００１１】
また、チューブ１１に対してプランジャ２０が同心的に配置される場合、構造上プランジャ２０の頂点同士の間隔を狭くするのが困難になり、近年の被検査電子部品の電極パッドの小形化に対応するのが困難となる。
【００１２】
上記特許文献１の場合もプローブの誤挿入対策はとくになく、組立時又は交換時にプローブのソケットに対する誤挿入の問題が発生すると考えられる。また、特許文献２も、組立時において、ニードル部が先端側本体部に形成された金属線状体を筒体内へ挿入する際に、誤挿入の可能性がある。
【００１３】
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、ソケットへのプローブの誤挿入を未然に防止可能で、対をなすプローブにおけるプランジャ頂点間の距離の短縮を図ることができ、ひいては被検査電子部品の小寸法の端子（電極パッド）にも対応可能な誤挿入防止型ケルビン検査用治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために、本発明のある態様の誤挿入防止型ケルビン検査用治具は、  導電性チューブとその一端側に設けられた導電性プランジャとを有する、対をなしたプローブと、
前記対をなしたプローブが平行に設けられていて、前記プランジャの先端側本体部が貫通するプランジャ貫通孔を有する絶縁性ソケットとを備え、
前記対をなしたプローブにおけるプランジャの先端側本体部は、前記チューブの軸方向の中心に対して先端側本体部同士の相互間隔が狭くなる方向に偏心した位置に形成されていて、前記プランジャ貫通孔に対し周回できずかつ１８０度の反転挿入ができない状態で貫通しており、
前記プランジャ相互の対向部は前記チューブの外周面の延長面に合致する同一曲率の曲面となっており、
前記先端側本体部は前記対向部側からその反対側に向かって突出高さが小さくなる形状であることを特徴としている。
【００１５】
前記態様において、前記プランジャは、前記チューブに挿入固定される内側挿入部と、前記内側挿入部の先端側のフランジ部と、前記フランジ部の先端側の前記先端側本体部とを一体に形成したものであり、前記プランジャ相互の対向部は前記チューブの外周面との間に段差のない曲面となっていてもよい。
【００１６】
前記態様において、前記プランジャは、前記チューブの内周面に対し摺動自在な内側摺動部と、前記内側摺動部の先端側に軸部を介して設けられた前記先端側本体部とを一体に形成したものであり、前記先端側本体部の対向部が前記チューブの外周面の延長面に合致する同一曲率の曲面となっていてもよい。
【００１７】
前記態様において、前記先端側本体部は前記軸方向に平行な２平面を有し、前記対向部をなす曲面が前記２平面を連絡している構成でもよい。
【００１８】
前記態様において、前記先端側本体部は、前記対向部の反対側の面が、前記対向部の曲面とは曲率の異なる曲面又は平面であってもよい。
【００１９】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係る誤挿入防止型ケルビン検査用治具によれば、対をなしたプローブのプランジャは、各プローブのチューブの軸方向中心に対してプランジャ同士の相互間隔が狭くなる方向に偏心した位置に形成されているため、ソケット側のプランジャ貫通孔に対し１８０度の反転挿入ができない状態で貫通することになり、ソケットにプローブを設ける組立時又は交換時におけるプローブの誤挿入（左右を反転させた挿入）を未然に防止できる。
【００２１】
また、前記プランジャ相互の対向部を、前記チューブの外周面の延長面に合致する同一曲率の曲面とし、前記プランジャの先端側本体部を前記対向部側からその反対側に向かって突出高さが小さくなる形状とすることで、プランジャ頂点同士の距離を短縮して、被検査電子部品の小寸法の端子（電極パッド）にも対応可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
【００２３】
図１乃至図７を用いて本発明に係る誤挿入防止型ケルビン検査用治具の第１の実施の形態を説明する。
【００２４】
誤挿入防止型ケルビン検査用治具は、被検査電子部品の１つの端子（電極パッド）当たり１対のプローブ６０を絶縁材からなるソケット９０に設けている。
【００２５】
プローブ６０は、導電性金属製の円筒状チューブ６１と、チューブ先端側に固定の導電性金属製のプランジャ７０と、チューブ後端側に設けられていてチューブ６１の軸方向に摺動、突出自在でチューブ６１から抜け出ないように保持された導電性金属製の当接部材８０と、図３のようにチューブ内部に設けられていて、プランジャ７０及び当接部材８０のチューブ内側の端面に弾接して当接部材８０をチューブ６１から突出する方向に付勢するコイルスプリング８１とを有している。
【００２６】
図４（Ａ）の拡大断面図に示すように、プランジャ７０はチューブ６１の先端側本体部内側に挿入される内側挿入部７７と、この先端側に形成されるフランジ部７８と、フランジ部７８の先端側に形成される先端側本体部７２とを一体に有している（導電性金属にて一体に形成される）。
【００２７】
内側挿入部７７の中間位置には小径のくびれ部７７ａが形成されており、内側挿入部７７をチューブ６１に嵌入した後、内側挿入部７７に対応したチューブ６１の外周部分をかしめ加工等で小径に加工し、チューブ６１の内周側に凸部６２を形成することで、凸部６２がくびれ部７７ａに係合してプランジャ７０がチューブ６１から脱落しないようにチューブ６１に固定、保持される。
【００２８】
フランジ部７８はチューブ６１先端側本体部の外周面と一致する外周面を有し、チューブ６１の外周が円筒形であれば、同径の円板であり、チューブ６１と同心に配置される。
【００２９】
フランジ部７８上に立設される先端側本体部７２はチューブ６１の軸方向の中心Ｏから偏心して形成され、図４（Ｂ）のように先端側本体部７２の両側面７３はチューブ６１の軸方向に平行な２平面であり、この２平面（側面７３）を連絡する残りの２面は一方が円弧面７９、他方が平面８５となっている。円弧面７９はフランジ部７８と同一曲率半径であって、フランジ部７８の外周面と段差なく連続した曲面である。この結果、チューブ６１上端部の外周面、プランジャ７０のフランジ部７８の外周面及び先端側本体部７２の円弧面７９にわたり段差の無い曲面が形成されている。
【００３０】
また、プランジャ７０の先端側本体部７２の先端面は、図２及び図４（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）からも判るように、前記２平面（側面７３）の中間位置を通りかつ前記軸方向に対して傾斜した稜線７４を持つ山形形状である。すなわち、先端側本体部７２の先端面は、前記軸方向に対し傾斜しかつ側面７３に垂直な仮想平面β（稜線７４が位置している）を規定したとき、仮想平面β上の稜線７４を通り、それぞれ仮想平面βに対して逆向に傾斜した傾斜面７５，７６からなっている。先端側本体部７２の頂点Ｐは稜線７４が円弧面７９に到達した点であり、先端側本体部７２は反対側の平面８５に向かって突出高さが低くなる形状である。図４（Ｂ）から判るように、前記軸方向からみた先端側本体部７２の平面形状はチューブ中心Ｏに対して偏心位置にあり（頂点Ｐの方向にオフセットしている）、非点対称（１８０度回転したときに平面形状が同じにはならない）である。
【００３１】
図１に示すように、絶縁材からなるソケット９０は、リテーナ１００、ピンブロック１１０及びピンプレート１２０が積層一体化された構造を有し、中間のピンブロック１１０にはプローブ６０、すなわちそのチューブ６１を挿通させるチューブ貫通孔１１１が形成され、ここにプローブ６０がその軸方向に摺動自在に挿通されている。ピンブロック１１０に対して後端側に積層されたピンプレート１２０にはチューブ貫通孔１１１が形成されると共に、この後端部位置には当接部材８０を外方に突出させるとともにチューブ６１の後端側が後端方向に抜け出ないように、小径部１２２が形成されている。チューブ６１はチューブ貫通孔１１１よりも短く形成されるため、チューブ貫通孔１１１にはチューブ６１の軸方向の摺動範囲を規定する空間部１２１が形成される。リテーナ１００にはチューブ貫通孔１１１が形成されると共に先端側にプランジャ７０の先端側本体部７２を貫通させるプランジャ貫通孔１０１が形成されている。
【００３２】
なお、当接部材８０が電極に当接していない状態では、実際にはプローブ６０はチューブ貫通孔１１１の下部に位置し、空間部１２１は上方に形成されることになるが、説明の便宜上図１ではプローブ６０はチューブ貫通孔１１１の上部に位置するように図示してある。
【００３３】
図５（Ａ）は対をなすプランジャ７０の先端側本体部７２が貫通するリテーナ１００側のプランジャ貫通孔１０１の配置を示し、対をなす先端側本体部７２の円弧面７９が対向部となって相互に対向するようになっている。このとき、先端側本体部２２の頂点Ｐの間隔が最短距離となる。
【００３４】
図５（Ｂ）は加工誤差によって先端側本体部７２とプランジャ貫通孔１０１間のクリアランスが最大値となった場合でも、先端側本体部７２が周回してしまわないことを示す。
【００３５】
図５（Ｃ）は加工誤差によって先端側本体部７２とプランジャ貫通孔１０１間のクリアランスが最大値となった場合でも、先端側本体部７２を１８０度反転させた状態（反対向き）で誤挿入することができないことを示す。図中斜線部が干渉エリアとなり、反対向きには入らない。
【００３６】
図６は組立時又はプローブ交換時における、ソケット側リテーナ１００に対するプローブ６０の挿入の様子を示す。プランジャ７０をリテーナ１００に形成したプランジャ貫通孔１０１に挿入する際、まずプランジャ７０の頂点Ｐ付近の円弧面７９をプランジャ貫通孔１０１の内周に押し付けて、その状態を保ったまま矢印方向に移動する。これにより、挿入時にプローブ６０が不要な回転をしないように安定させて挿入される。この際、チューブ貫通孔１１１とプランジャ貫通孔１０１との境界は同一か又はプランジャ貫通孔１０１がチューブ貫通孔１１１よりも外方に突出しているため、プランジャ７０は境界に引っ掛かることなくスムーズに挿入することができる。
【００３７】
図７は第１の実施の形態に係る誤挿入防止型ケルビン検査用治具を用いて被検査電子部品を検査する状態を示す。
【００３８】
ソケット９０の後端側に底部基板１３０が配置され、基板１３０上の電極１３１，１３２に対をなすプローブ６０の当接部材８０が弾接している。また、被検査電子部品２００がソケット９０の被検査物載置面９１上に押し当てられている。このとき、プローブ６０内部のコイルスプリング８１が圧縮されて当接部材８０の突出量が減じることで、対をなしたプランジャ７０の先端側本体部７２が被検査電子部品２００が有する同一の端子（電極パッド）２０１に弾接して電気的に接続する。例えば、基板１３０の一方の電極１３１が電流供給電極であれば、これに接続するプローブ６０が電流供給用プローブとして機能し、他方の電極１３２が電圧監視用電極であれば、これに接続するプローブ６０が電圧監視用プローブとして機能する。
【００３９】
本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。
【００４０】
(1)   対をなしたプローブ６０のプランジャ７０は、各プローブ６０のチューブ６１の軸方向中心に対してプランジャ同士の相互間隔が狭くなる方向に偏心した位置に形成されているため、ソケット側のプランジャ貫通孔１０１に対し１８０度の反転挿入ができない状態で貫通することになり、ソケット９０にプローブ６０を設ける組立時又は交換時におけるプローブ６０の誤挿入（左右を反転させた挿入）を未然に防止できる。
【００４１】
(2)   プランジャ７０相互の対向部を、チューブ上部の外周面との間に段差のない円弧面７９とし、プランジャ７０の先端側本体部７２を前記対向部となる円弧面７９からその反対側の平面８５に向かって突出高さが低くなる形状とすることで、プランジャ頂点Ｐ同士の距離を短縮して、被検査電子部品の小寸法の端子（電極パッド）にも対応可能である。
【００４２】
(3)   プランジャ７０は内側挿入部７７とフランジ部７８と先端側本体部７２とを一体に有し、チューブ６１に内側挿入部７７を固定する構造であり、チューブ６１に対してプランジャ７０を摺動自在に設ける構造に比べて構成の簡素化を図り得る。
【００４３】
(4)   ソケット９０にはチューブ貫通孔１１１からプランジャ貫通孔１０１が段差無く（厳密には若干の段差はあるが）形成されており、図６に示すようにプローブ６０をプランジャ貫通孔１０１にセットする際に引っ掛かることなくスムーズに挿入することができる。なお、段差が生じたとしても図５に示すようにプランジャ貫通孔１０１がチューブ貫通孔１１１よりも外周に突出することになり、挿入に対して影響が出ない方向の段差である。
【００４４】
図８及び図９を用いて本発明に係る誤挿入防止型ケルビン検査用治具の第２の実施の形態を説明する。
【００４５】
この第２の実施の形態においては、従来の図１０及び図１１に示したプローブ１０のプランジャ先端側本体部の形状を第１の実施の形態と同様にチューブの軸方向中心に対し偏心した形状としている。すなわち、プローブ１４０は、導電性金属製の円筒状チューブ１１と、その先端側に設けられていて軸方向に摺動、突出自在でチューブ１１から抜け出ないように保持された導電性金属製のプランジャ１５０と、チューブ後端側に設けられていて軸方向に摺動、突出自在でチューブ１１から抜け出ないように保持された導電性金属製の当接部材３０と、チューブ１１内部に設けられていて、プランジャ１５０及び当接部材３０のチューブ１１内側の端面に弾接してプランジャ１５０及び当接部材３０をチューブ１１から突出する方向に付勢するコイルスプリング３１とを有している。
【００４６】
プランジャ１５０は、図９（Ａ）のように円筒状チューブ１１の内周面に対し摺動自在な内側摺動部１５８と、チューブ１１と同軸（同心）でチューブ先端より突出自在な軸部１５１とその先端側の先端側本体部１５２とを有している。先端側本体部１５２はチューブ１１の軸方向の中心Ｏから偏心して形成され、先端側本体部１５２の両側面１５３は図９（Ｂ）のようにチューブ１１の軸方向に平行な２平面であり、この２平面（側面１５３）を連絡する残りの２面は一方が円弧面１５９、他方が平面１６５となっている。円弧面１５９はチューブ１１の外周面と同一曲率半径であって、チューブ１１の外周面の延長面に合致している。先端側本体部１５２の先端面の形状や頂点Ｐの位置は第１の実施の形態と同様である。
【００４７】
対をなすプローブ１４０は絶縁材からなるリテーナ１７０、ピンブロック１１０及びピンプレート１８０が積層一体化されたソケット９０に第１の実施の形態と同様に配設される。但し、プランジャ１５０がチューブ１１に対して摺動して突出量を減じることが可能であるから、ピンブロック１１０に対しプローブ１４０のチューブ１１は固定される。
【００４８】
この第２の実施の形態の場合も、プランジャ１５０の先端側本体部１５２とソケット９０側のプランジャ貫通孔１０１との関係は図５と同様となり、ソケット９０にプローブ１４０を設ける組立時又は交換時におけるプローブ１４０の誤挿入（左右を反転させた挿入）を未然に防止できる。
【００４９】
以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。
【００５０】
対をなすプローブにおけるプランジャ先端側本体部の対向部以外の面形状は適宜変更可能である。例えば、第１の実施の形態では対向部となる曲面が円弧面７９、反対側が平面８５となっているが、平面の代わりに円弧面７９とは曲率が異なる曲面で形成してもよい。
【００５１】
各実施の形態の説明では、説明の便宜上、ソケットに対して１対のプローブが配設された場合を図示したが、ソケットに対して複数対のプローブが配設されいるのが普通である。
【００５２】
各実施の形態では、対をなすプローブは同一形状のものを対称配置としたが、電流供給用プローブを大径（例えばチューブ径：０．５８ｍｍ）、電圧監視用プローブを小径（例えばチューブ径：０．３ｍｍ）としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明に係る誤挿入防止型ケルビン検査用治具の第１の実施の形態を示す縦断面図である。
【図２】第１の実施の形態の主要部分の斜視図である。
【図３】第１の実施の形態で用いるプローブの縦断面図である。
【図４】前記プローブの要部拡大であって、（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は平面図、（Ｃ）はプランジャの先端側本体部の部分右側面図である。
【図５】第１の実施の形態におけるソケット側のプランジャ貫通孔とプランジャ先端側本体部との関係であり、（Ａ）は１対のプランジャ貫通孔に正しく配置されたプランジャ先端側本体部を示す平断面図、（Ｂ）はクリアランスの最大値であってもプランジャ先端側本体部が周回しないことを示す平断面図、（Ｃ）はクリアランスの最大値であってもプランジャ先端側本体部を反対向きに誤挿入することがないことを示す説明図である。
【図６】第１の実施の形態において、ソケット側のプランジャ貫通孔へのプローブ側のプランジャの挿入動作を説明する要部拡大断面図である。
【図７】第１の実施の形態において、被検査電子部品を検査する場合の縦断面図である。
【図８】本発明に係る誤挿入防止型ケルビン検査用治具の第２の実施の形態を示す縦断面図である。
【図９】第２の実施の形態で用いるプローブであって、（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は平面図、（Ｃ）はプランジャの先端側本体部の部分右側面図である。
【図１０】従来のケルビン検査用治具の主要部分の斜視図である。
【図１１】図１０のケルビン検査用治具で用いるプローブであって、（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）はプランジャ先端側本体部の平面図、（Ｃ）はプランジャの先端側本体部の部分右側面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１０，６０，１４０  プローブ
１１，６１  チューブ
２０，７０，１５０  プランジャ
２１，１５１  軸部
２２，７２，１５２  先端側本体部
２３，７３，１５３  側面
２４，７４  稜線
２５，２６，７５，７６  傾斜面
３０，８０  当接部材
４０，９０  ソケット
５０，１０１  プランジャ貫通孔
７７  内側挿入部
７８  フランジ部
７９，１５９  円弧面
８５  平面
２００  被検査電子部品
【図１】
2010038837.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2010038837.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2010038837.tif 000009
【図８】
2010038837.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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