(57)【要約】【課題】磁気ディスク用基板をディスクホルダに収容する際に、磁気ディスク用基板とディスクホルダが、または磁気ディスク用基板同士が衝突したり摺れたりすることによって、磁気ディスク用基板に疵やクラック等の欠点が生じる。【解決手段】磁気ディスク用基板を減圧吸着する吸着板と、前記吸着板によって吸着されたことを検出する圧力センサと、前記圧力センサが吸着を検出した後に、前記吸着板を下降させるシリンダと、前記吸着板が所定の位置まで下降したことを検出する位置センサと、前記位置センサによる検出の後に、前記吸着板による減圧吸着を解除して、前記磁気ディスク用基板をディスクホルダ内に収容するポンプと、を具備する装置を用いて磁気ディスク用基板をディスクホルダ内に収容する。【選択図】図１
2010225233.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスク用基板を減圧吸着する吸着板と、
前記吸着板によって吸着されたことを検出する圧力センサと、
前記圧力センサが吸着を検出した後に、前記吸着板を下降させるシリンダと、
前記吸着板が所定の位置まで下降したことを検出する位置センサと、
前記位置センサによる検出の後に、前記吸着板による減圧吸着を解除して、前記磁気ディスク用基板をディスクホルダ内に収容するポンプと、
を具備することを特徴とする磁気ディスク用基板の収容装置。
【請求項２】
前記ポンプが前記吸着板による減圧吸着を解除した後に、前記吸着板が下降する位置を前記ディスクホルダ内の次の収容位置に移動させるスライダを、さらに具備することを特徴とする請求項１に記載の磁気ディスク用基板の収容装置。
【請求項３】
前記吸着板は、前記磁気ディスク用基板を吸着する吸着面に、複数の通気孔を有するものであり、
前記ポンプは、前記吸着板による減圧吸着を解除する際に、前記複数の通気孔から排気するものである、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の磁気ディスク用基板の収容装置。
【請求項４】
前記ディスクホルダを前記スライダの動作範囲に基づいて定められた位置に配置させる位置決めガイドを、さらに具備することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の磁気ディスク用基板の収容装置。
【請求項５】
吸着板が磁気ディスク用基板を減圧吸着する減圧吸着ステップと、
圧力センサが前記吸着板によって吸着されたことを検出する吸着検出ステップと、
シリンダが、前記吸着検出ステップの後に、溶液で満たされたディスクホルダ内に前記吸着板を下降させる下降ステップと、
位置センサが、前記吸着板が所定の位置まで下降したことを検出する下降検出ステップと、
ポンプが、前記下降検出ステップの後に、前記吸着板による減圧吸着を解除する解除ステップと、
を具備することを特徴とする磁気ディスク用基板の収容方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク用基板をディスクホルダに自動的に収容する装置およびこの装置を用いた磁気ディスク用基板の収容方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、以下の（１）から（８）の処理工程からなる（特許文献１を参照）。
（１）粗ラッピング工程（粗研削工程）
（２）形状加工工程
（３）精ラッピング工程（精研削工程）
（４）端面鏡面加工（ポリッシング）工程
（５）第１研磨（ポリッシング）工程
（６）第２研磨（ポリッシング）工程
（７）化学強化工程
（８）洗浄工程
【０００３】
上記の各処理工程は、連続して行われるわけではなく、時と場所を変えて個別に行われる。したがって、１つの処理工程が完了してから次の処理工程が行われるまでの間は、磁気ディスク用ガラス基板は、例えば、図２に示すディスクホルダ１０に一時的に収容される。ディスクホルダ１０は、その内側面と内底面に一定の間隔を置いて固定された複数のディスクガイド１１を具備する。１つの処理工程を経た後の磁気ディスク用ガラス基板すなわちガラスディスク６０は、作業者によって各ディスクガイド１１に１枚ずつ別々に収容される。
【０００４】
本発明者は、上記（１）から（８）の全処理工程を経た後のガラスディスク６０について、目視検査によって不良品と判断されたものを回収し分析したところ、ガラスディスク６０の外周端面やその周辺に摺り疵やクラック等の欠点が比較的集中していることに気が付いた。本発明者は、これらの欠点の発生原因について鋭意検討した結果、ディスクホルダ１０にガラスディスク６０を収容する際の次のような取り扱いが発生原因であるとの結論に至った。
【０００５】
すなわち、作業者は、ガラスディスク６０をディスクホルダ１０内の収容位置に運ぶ際に、ガラスディスク６０の外周端面やその周辺とディスクガイド１１とを意図的に接触させることによって、ガラスディスク６０の収容位置を確認している。また、作業者は、既にガラスディスク６０が収容されているディスクガイド１１に不注意で再度ガラスディスク６０を運び、ガラスディスク６０同士を接触させてしまう。さらに、作業者は、ガラスディスク６０をディスクガイド１１の途中まで挿入すると、ガラスディスク６０を手放してしまい、ディスクホルダ１０の内底面に固定されたディスクガイド１１とガラスディスク６０の外周端面とを衝突させてしまう。
【０００６】
このような作業者の好ましくない取り扱いは、作業者に注意喚起することで回避できると考えられる。しかし、作業時間が長くなるにしたがって、疲労等による作業者の注意力の低下は必然的に生じるものであり、また作業者には常に作業時間の短縮が求められるため、作業者への注意喚起だけで上記の好ましくない取り扱いをなくすことは、現実には困難である。ちなみに、上記の（６）第２研磨工程の後にこれらの好ましくない取り扱いが行われると、その後に研磨工程がないことから、ガラスディスク６０に欠点が生じ易い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−１２２４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明が解決しようとする問題点は、磁気ディスク用基板をディスクホルダに収容する際に、磁気ディスク用基板とディスクホルダが、または磁気ディスク用基板同士が衝突したり摺れたりすることによって、磁気ディスク用基板に疵やクラック等の欠点が生じる点である。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の課題を解決するための第１の手段は、磁気ディスク用基板を減圧吸着する吸着板と、前記吸着板によって吸着されたことを検出する圧力センサと、前記圧力センサが吸着を検出した後に、前記吸着板を下降させるシリンダと、前記吸着板が所定の位置まで下降したことを検出する位置センサと、前記位置センサによる検出の後に、前記吸着板による減圧吸着を解除して、前記磁気ディスク用基板をディスクホルダ内に収容するポンプと、を具備することを特徴とする磁気ディスク用基板の収容装置である。
【００１０】
第２の手段は、前記ポンプが前記吸着板による減圧吸着を解除した後に、前記吸着板が下降する位置を前記ディスクホルダ内の次の収容位置に移動させるスライダを、さらに具備することを特徴とする第１の手段に記載の磁気ディスク用基板の収容装置である。
【００１１】
第３の手段は、前記吸着板は、前記磁気ディスク用基板を吸着する吸着面に、複数の通気孔を有するものであり、前記ポンプは、前記吸着板による減圧吸着を解除する際に、前記複数の通気孔から排気するものである、ことを特徴とする第１の手段または第２の手段に記載の磁気ディスク用基板の収容装置である。
【００１２】
第４の手段は、前記ディスクホルダを前記スライダの動作範囲に基づいて定められた位置に配置させる位置決めガイドを、さらに具備することを特徴とする第１〜第３の手段のいずれかに記載の磁気ディスク用基板の収容装置である。
【００１３】
第５の手段は、吸着板が磁気ディスク用基板を減圧吸着する減圧吸着ステップと、圧力センサが前記吸着板によって吸着されたことを検出する吸着検出ステップと、シリンダが、前記吸着検出ステップの後に、溶液で満たされたディスクホルダ内に前記吸着板を下降させる下降ステップと、位置センサが、前記吸着板が所定の位置まで下降したことを検出する下降検出ステップと、ポンプが、前記下降検出ステップの後に、前記吸着板による減圧吸着を解除する解除ステップと、を具備することを特徴とする磁気ディスク用基板の収容方法である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明にかかる磁気ディスク用基板の収容装置は、磁気ディスク用基板を所定の収容位置に無駄のない動作で正確に運ぶため、磁気ディスク用基板同士の摺れや衝突、あるいは磁気ディスク用基板とディスクガイドとの摺れや衝突を防止することができ、その結果、磁気ディスク用基板に疵やクラック等の欠点を生じさせることなく、磁気ディスク用基板をディスクホルダの所定の位置に連続的に、かつ、短時間で収容できるという利点を有する。
【００１５】
また、本発明にかかる磁気ディスク用基板の収容方法は、磁気ディスク用基板を溶液で満たしたディスクホルダ内に収容するため、磁気ディスク用基板をディスクホルダ内に収
容する際に、溶液が緩衝材として機能して、磁気ディスク用基板とディスクガイドとの接触時の衝撃が緩和されるという利点を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明にかかる磁気ディスク用基板の収容装置の模式図である。
【図２】図２は、磁気ディスク用基板を収容するディスクホルダの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を、図１を適宜参照しながら詳細に説明する。
【００１８】
磁気ディスク用基板の収容装置１００は、吸着板１１０、ビーム１２０、シリンダ１３０、スライダ１４０、ディスクホルダガイド１４５、トラックギア１５０、制御部１６０、ポンプ１７０、圧力センサ１７１、位置センサ１８０およびポンプ１９０を具備する。
【００１９】
吸着板１１０は３つの通気孔１１１を有しており、これらの通気孔１１１は、吸着板１１０の内部でポンプ１７０および圧力センサ１７１と連結されている。吸着板１１０の表面には、後述するようにガラスディスク６０が吸着される。そのため、吸着板１１０の表面は、吸着されたガラスディスク６０との間でエア漏れを生じないように、気密性を保てる部材が貼り付けられていることが好ましい。このような部材としては、例えば、ゴムシートが挙げられる。
【００２０】
吸着板１１０は、ビーム１２０を介してシリンダ１３０のロッドの先端に固定されており、シリンダ１３０のロッドの上下動に伴ってディスクホルダ１０内に出入りする。
【００２１】
シリンダ１３０はポンプ１９０に連結されており、さらにポンプ１９０は制御部１６０に連結されている。ポンプ１９０は、制御部１６０からの切替信号に応じて、シリンダ１３０に供給する流体の向きを切り替えることによってシリンダ１３０のロッドを伸縮させる。
【００２２】
シリンダ１３０のロッドの伸縮状態は、ビーム１２０に連結された位置センサ１８０によって監視されている。ビーム１２０の位置が所定の高さを下回った時に、すなわち吸着板１１０がガラスディスク６０を開放する高さまで下降した時に、位置センサ１８０は、連結されている制御部１６０にビーム１２０の高さを知らせる信号を入力する。
【００２３】
スライダ１４０は、シリンダ１３０の底部と一体化されており、トラックギア１５０に噛み合う鉤爪と、この鉤爪に所定の動作を行わせるシリンダ機構と、を具備する。スライダ１４０は、制御部１６０に連結されており、制御部１６０から信号が入力されてきた時に、シリンダ機構を作動させて鉤爪をトラックギア１５０の次の位置に移動させ、続いてシリンダ機構を縮めるように作動させてスライダ１４０自身を次の位置に移動させる。
【００２４】
トラックギア１５０は、ディスクホルダ１０内のディスクガイド１１の間隔と同じピッチを有している。したがって、上述のように、スライダ１４０がシリンダ機構を作動させて移動した後に、吸着板１１０が下降する位置は、ガラスディスク６０の次の収容位置、すなわちディスクホルダ１０における隣のディスクガイド１１ということになる。
【００２５】
ディスクホルダガイド１４５は、スライダ１４０が作動開始位置にある時に、吸着板１１０に吸着されたガラスディスク６０がディスクホルダ１０の一番端のディスクガイド１１に収容されるように、ディスクホルダ１０を誘導するものである。作業者は、ディスクホルダガイド１４５にディスクホルダ１０の角が接するように、ディスクホルダ１０を配置する。したがって、ディスクホルダガイド１４５によって、作業者は、ディスクホルダ
１０を決められた位置に短時間で配置することができる。
【００２６】
なお、ディスクホルダ１０の内部は、純水で満たされている。ディスクホルダ１０の内部が純水で満たされることにより、ガラスディスク６０がディスクガイド１１に沿って下降する時にディスクガイド１１に接触しても、純水が緩衝材として機能するため、ガラスディスク６０とディスクガイド１１の接触時の衝撃が緩和される。したがって、この純水による衝撃緩和効果によって、ガラスディスク６０に欠点が一層生じ難くなる。とくに、吸着板１１０による減圧吸着が解除された後、ガラスディスク６０はディスクガイド１１内を自由落下するため、ガラスディスク６０の外周端面とディスクホルダ１０の内底面に固定されたディスクガイド１１との衝突時の衝撃が大きい。そのため、この純水による衝撃緩和効果は、ガラスディスク６０の外周端面とディスクホルダ１０の内底面に固定されたディスクガイド１１との衝突時の衝撃を緩和することにとくに有効である。また、ディスクホルダ１０の内部を純水で満たすことにより、ガラスディスク６０がディスクホルダ１０に保持されている間に、ガラスディスク６０の表面に残留している研磨屑等がガラスディスク６０に固着してしまうことを防止できる。すなわち、ディスクホルダ１０を満たす純水を、ガラスディスク６０に対する洗浄剤として機能させることができる。
【００２７】
次いで、磁気ディスク用基板の収容装置１００の動作について説明する。
【００２８】
まず、純水で満たされたディスクホルダ１０が、作業者によってディスクホルダガイド１４５と接するように配置される。このとき、磁気ディスク用基板の収容装置１００は、図１に示すように、シリンダ１３０のロッドが伸びた状態である。
【００２９】
次いで、所定の処理工程、例えば第２研磨工程を終えたガラスディスク６０が、作業者によって吸着板１１０の表面に押し当てられる。このとき、ポンプ１７０は通気孔１１１を介して常に吸気を行っており、同時に圧力センサ１７１は通気孔１１１の気圧を監視している。ガラスディスク６０が吸着板１１０の表面に押し当てられると、通気孔１１１がガラスディスク６０によって塞がれるため、通気孔１１１内の気圧が一層低下する。通気孔１１１内の気圧が所定の閾値を下回った時に、圧力センサ１７１は、ガラスディスク６０が吸着されたと判断して、制御部１６０にガラスディスク６０の吸着が完了したことを知らせる信号を入力する。
【００３０】
次いで、圧力センサ１７１からの信号を受信した制御部１６０は、ポンプ１９０に対してシリンダ１３０のロッドを縮めるように切替信号を入力する。
【００３１】
次いで、制御部１６０からの切替信号を受信したポンプ１９０は、シリンダ１３０に供給する流体の流れを反転させて、シリンダ１３０のロッドを縮めさせる。
【００３２】
次いで、シリンダ１３０のロッドの先端に固定されたビーム１２０が所定の位置まで下降した時に、位置センサ１８０が作動して、ガラスディスク６０がディスクホルダ１０内にあることを知らせる信号を制御部１６０に入力する。
【００３３】
次いで、位置センサ１８０からの信号を受信した制御部１６０は、ポンプ１７０に対して、通気孔１１１からの吸気を止めて、さらに通気孔１１１から排気するように切替信号を入力する。
【００３４】
次いで、制御部１６０からの切替信号を受信したポンプ１７０は、内蔵する制御弁を切り替えることによって、通気孔１１１から排気が行われるようにする。この排気により、ガラスディスク６０は、吸着板１１０の表面から離れて自由落下し、ディスクガイド１１内の所定の位置に収容される。なお、上述のようにディスクホルダ１０は純水で満たされ
ているため、ガラスディスク６０がディスクガイド１１内を自由落下しても、ガラスディスク６０とディスクガイド１１との接触時の衝撃は緩和される。また、吸着板１１０はディスクホルダ１０を満たす純水に浸されることになるが、通気孔１１１から排気が行われるため、通気孔１１１から吸着板１１０内に純水が侵入することはない。
【００３５】
次いで、ポンプ１７０が排気を始めてから所定時間が経過した後に、制御部１６０は、ポンプ１９０に対してシリンダ１３０のロッドを伸ばすように切替信号を入力する。
【００３６】
次いで、制御部１６０からの切替信号を受信したポンプ１９０が、シリンダ１３０に供給する流体の流れを再度反転させる。その結果、シリンダ１３０がロッドを伸ばす。
【００３７】
次いで、制御部１６０は、スライダ１４０に対して、吸着板１１０がディスクホルダ１０における隣のディスクガイド１１の位置に移動するように信号を入力する。
【００３８】
次いで、制御部１６０からの信号を受信したスライダ１４０は、上述した鉤爪とシリンダ機構とを作動させることにより、吸着板１１０を次のガラスディスク６０の収容位置に移動させる。
【００３９】
これらの一連の動作を経て、磁気ディスク用基板の収容装置１００は、通気孔１１１から吸気を行いながら、再度、作業者が吸着板１１０にガラスディスク６０を押し当てるまで待機する。
【００４０】
このように、磁気ディスク用基板の収容装置１００によれば、ガラスディスク６０をディスクホルダ１０の所定の位置に正確に収容できるため、ディスクホルダ１０におけるディスクガイド１１の間隔を狭めることができる。したがって、磁気ディスク用基板の収容装置１００を用いれば、１つのディスクホルダ１０に収容できるガラスディスク６０の枚数を増やすことができる。つまり、磁気ディスク用基板の収容装置１００を用いれば、多数のガラスディスク６０を複数のディスクホルダ１０に収容するときに、ディスクホルダ１０の交換回数を減らすことができるため、ガラスディスク６０の処理工程の作業効率を高めることができる。
【００４１】
なお、本実施の形態では、磁気ディスク用基板としてガラスディスク６０を用いる場合について説明したが、本発明はこの場合に限定されるものではなく、例えば、磁気ディスク用基板としてアルミディスクを用いることもできる。磁気ディスク用基板の収容装置１００を用いれば、アルミディスクであっても、ガラスディスク６０を用いた場合と同様の効果を期待できる。
【符号の説明】
【００４２】
１０      ディスクホルダ
１１      ディスクガイド
６０      ガラスディスク
１００    磁気ディスク用基板の収容装置
１１０    吸着板
１１１    通気孔
１２０    ビーム
１３０    シリンダ
１４０    スライダ
１４５    ディスクホルダガイド
１５０    トラックギア
１６０    制御部
１７０    ポンプ
１７１    圧力センサ
１８０    位置センサ
１９０    ポンプ
【図１】
2010225233.tif 000003
【図２】
2010225233.tif 000004