(57)【要約】【課題】改良された過圧保護手段を有する改良されたガス配管システムを提供する。【解決手段】ガス源と、このガス源の下流にあって使用時に処理モジュールに接続されるガス配管端部を有するガス配管とを備え、ガスをガス源から処理モジュールに導くように構成されたガス配管システムであって、少なくとも一部が相対的に低い破裂圧を有する材料から成る外側ジャケットを備えたガス配管部品を少なくとも１つ備え、外側ジャケットは外側ジャケット内空間を有し、外側ジャケット内空間で過圧が発生した場合に外側ジャケットの破損を防止するために、過圧に対する保護手段が少なくとも１つのガス配管部品に設けられたガス配管システム。本発明は、さらにこのようなガス配管システムで使用される、このような保護手段付きのガス配管部品に関する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス源（２）と、使用時に処理モジュール（５）に接続される、前記ガス源（２）の下流のガス配管（３）とを備えるガス配管システム（１）であって、前記ガス配管システム（１）はガスを前記ガス源（２）から前記処理モジュール（５）に導くように構成され、前記ガス配管システム（１）は外側ジャケット（７）付きのガス配管部品（６、６’、６”、６’”）を少なくとも１つ備え、前記外側ジャケット（７）は外側ジャケット内空間（７ａ）を有し、前記外側ジャケット（７）の少なくとも一部は相対的に低い破裂圧を有する材料から成るガス配管システム（１）において、前記外側ジャケット内空間（７ａ）で発生した過圧による前記外側ジャケット（７）の破損を防止するために、前記過圧に対する保護手段（８）が前記少なくとも１つのガス配管部品（６、６’、６”、６’”）に設けられることを特徴とするガス配管システム。
【請求項２】
前記保護手段は、ガスを前記配管部品（６、６’、６”、６’”）から排出するために、前記外側ジャケット（７）の前記相対的に低い破裂圧より低い前記外側ジャケット内空間（７ａ）内の過圧で破壊されるように構成された破壊板（８）である、請求項１に記載のガス配管システム。
【請求項３】
前記外側ジャケット内空間（７ａ）は前記ガス配管（３）と流体連通する、請求項１または２に記載のガス配管システム。
【請求項４】
前記ガス配管（３）と流体連通する内側ハウジング（９）が前記外側ジャケット内空間（７ａ）に設けられる、請求項１または２に記載のガス配管システム。
【請求項５】
前記外側ジャケット（７）は約１５バールの破裂圧を有し、前記破壊板（８）は１５バール未満の破裂圧を有する、少なくとも請求項２に記載のガス配管システム。
【請求項６】
前記外側ジャケット（７）は、前記内側ハウジング（９）より高い破裂圧を有する、請求項４に記載のガス配管システム。
【請求項７】
前記相対的に低い破裂圧を有する材料は、透明な材料、例えばガラスまたはアクリレート、である、請求項１乃至６の何れか１項に記載のガス配管システム。
【請求項８】
前記少なくとも１つのガス配管部品（６、６’、６”、６’”）は、前記外側ジャケット（７）と連結部（１１）とを備えるカートリッジ（１０）と、前記連結部（１１）に接続される基部（１２）とを備え、前記ガス配管（３）が前記カートリッジ（１０）と流体連通するように前記基部（１２）が前記ガス配管（３）に接続される、請求項１乃至７の何れか１項に記載のガス配管システム。
【請求項９】
前記基部（１２）は、調整器、フィルタ基部、栓、流量計、または弁として設計される、請求項８に記載のガス配管システム。
【請求項１０】
ガスを濾過するフィルタ材、および／またはガスの汚染を示すインジケータ物質、が前記カートリッジ（１０）に設けられる、請求項８または９に記載のガス配管システム。
【請求項１１】
前記破壊板（８）は前記カートリッジ（１０）の前記連結部（１１）に設けられ、前記破壊板（８）は前記外側ジャケット内空間（７ａ）と流体連通する、請求項８乃至１０の何れか１項に記載のガス配管システム。
【請求項１２】
ガスを排出するための排出路（１３）が前記破壊板（８）の前記外側ジャケット内空間（７ａ）から遠い側に設けられ、前記破壊板（８）の前記破壊後に前記外側ジャケット内空間（７ａ）が前記排出路（１３）と流体連通する、請求項２乃至１１の何れか１項に記載のガス配管システム。
【請求項１３】
前記排出路（１３）は排気装置（１４）、または換気の良い空間などの排出空間、に接続される、請求項１２に記載のガス配管システム。
【請求項１４】
前記排出路（１３）内のガスを検出するためのセンサ（１５）が前記少なくとも１つのガス配管部品（６、６’、６”、６’”）の前記排出路（１３）に設けられる、請求項１２または１３に記載のガス配管システム。
【請求項１５】
センサ信号に基づき前記少なくとも１つの配管部品（６、６’、６”、６’”）または前記ガス源（２）を制御するために、および／または前記センサ信号に基づき使用者に警告するための可視信号および／または可聴信号を発するために、前記少なくとも１つのセンサ（１５）が制御部に接続される、請求項１４に記載のガス配管システム。
【請求項１６】
前記ガス配管部品（６、６’、６”、６’”）は相対的に低い破裂圧を有する材料を少なくとも部分的に備えた外側ジャケット（７）を有し、使用中の前記外側ジャケット（７）の破損を防止するために、前記外側ジャケット内空間（７ａ）で発生した過圧に対する保護手段（８）が前記ガス配管部品（６、６’、６”、６’”）に設けられる、請求項１乃至１５の何れか１項に記載のガス配管システムに使用されるガス配管部品。
【請求項１７】
前記保護手段は、使用中に前記外側ジャケット内空間（７ａ）内の過圧によって破壊されることによってガスを前記ガス配管部品（６、６’、６”、６’”）から排出する破壊板（８）である、請求項１６に記載のガス配管部品。
【請求項１８】
ガスを濾過するフィルタ材、および／またはガスの汚染を示すインジケータ物質、が含まれる内側ハウジングが前記外側ジャケット内空間（７ａ）に設けられ、前記外側ジャケットは前記内側ハウジングを保護するために設けられ、迅速交換式継ぎ手の一部である少なくとも１つの連結部が前記ガス配管部品に設けられ、前記連結部と連係する前記迅速交換式継ぎ手の基部が前記ガス配管に含まれ、前記破壊板が前記少なくとも１つの連結部に設けられる、請求項１７に記載のガス配管部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス源と、このガス源の下流にあって使用時に処理モジュールに接続されるガス配管端部を有するガス配管とを備え、ガスをガス源から処理モジュールに導くように構成されたガス配管システムであって、外側ジャケット付きのガス配管部品を少なくとも１つ備え、外側ジャケットは外側ジャケット内空間を有し、外側ジャケットの少なくとも一部が相対的に低い破裂圧を有する材料から成るガス配管システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
公知のガス配管システムには、ガス配管システムの少なくとも１つの部品の望ましくない機能（不全）により、またはガス配管システムのどこかで発生した欠陥により、使用中にガス配管システム内に発生しうる差圧を吸収するために逆止弁が設けられている。このような原因により圧力上昇または圧力インパルスが発生した場合は、逆止弁によりガスをガス配管システムから排出することによって圧力インパルスまたは圧力上昇を相殺し、（過）高圧によるガス配管システムの各部の破損を防止する。
【０００３】
この公知のガス配管システムの欠点の１つは、例えばガス配管システムのどこかで突然発生した欠陥によりガス配管内に相対的に高い圧力が突然発生した場合に逆止弁の反応が遅れうる点である。この結果、この逆止弁によるガス配管システムからのガス噴出が間に合わず、この圧力によりガス配管システムの最弱部分、すなわちガス配管システムで最も低い破裂圧を有する材料を備えた部品、が破損しうる。これらの最弱部分は、主に、少なくとも部分的に透明な外側ハウジングを備えた配管部品である。透明部分は、ガス配管システムの、例えばステンレス鋼または銅製、部分より破裂圧が低いため、高圧下で最初に破損する。配管部品が破損すると、ガス配管システムの内容物とガス配管システムの周囲空間の空気とが流体連通する。この結果、空気粒子が、場合によっては他の望ましくない粒子と共に、周囲環境からガス配管システム内に拡散しうる。特に、処理に極めて純粋なガスが使用される場合は、配管システムの汚染は望ましくない。汚染された場合、ガス配管システムの端部にある処理装置の汚染を防止するために、配管の洗浄に長時間を要し、処理が長時間停止することもある。洗浄は数時間かかることもあり、処理はその間停止状態となる。また、配管部品の破損によってガスが周囲空間に放出されることは、その空間にいる作業者の安全性の観点から望ましくない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の欠点を除くために、本発明は、改良された過圧保護手段を有する改良されたガス配管システムを提供することを目的とする。より具体的には、本発明は、急激な圧力上昇または圧力インパルスの発生時に、配管システムが配設されている空間への望ましくないガス放出、あるいはガス配管システムの汚染、をもたらすガス配管システムの最弱部分の破損を防止するガス配管システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このため、本発明は、プリアンブルに記載された種類のガス配管システムであって、外側ジャケット内空間で発生した過圧による外側ジャケットの破損を防止するために、上記過圧に対する保護手段が少なくとも１つのガス配管部品に設けられることを特徴とするガス配管システムを提供する。予想外の圧力上昇または圧力インパルスがガス配管システム内で発生すると、この圧力はガス配管部品の外側ジャケットにも入り込む。このとき、ガス配管部品の保護手段は、ガスをガス配管部品から導き出すことによって圧力を確実に下げる。これにより、外側ジャケットの破損が防止されるので、ガスがガス配管システムからガス配管システムの周囲空間に放出されることはなく、周囲空間からガス配管システムへの空気の侵入も防止される。
【０００６】
本発明の別の変形例によると、この保護手段は、ガスをガス配管部品から排出するために外側ジャケット内空間の過圧下で破壊されるように構成された破壊板であることが好ましい。この破壊板は過圧により、外側ジャケットが破損する前に破壊される。破壊板が破壊されることにより、ガス配管システムの通常使用時には存在しないガス配管部品内のガスのための出口が作られる。
【０００７】
稼働中、ガスは、ガス源から少なくとも１つのガス配管部品を通ってガス配管システム内を流れる。このため、本発明の別の変形例によると、外側ジャケット内空間をガス配管に流体連通させることも、あるいはガス配管と流体連通する内側ハウジングを外側ジャケット内空間に設けることもできる。ガスがその内部を流れる内側ハウジングを外側ジャケット内空間に設けると、急激な圧力上昇または圧力インパルスの発生時に最初にこの内側ハウジングが壊れる。これにより、ガスは外側ジャケット内空間に達する。この後、破壊板が破壊されてガスが放出されるため、この実施態様においても外側ジャケットは無傷のままである。
【０００８】
本発明の別の変形例によると、破壊板の破裂圧は、外側ジャケットの破裂圧より低い。好ましくは、外側ジャケットの破裂圧は約１５バールである。破壊板はさまざまな設計が可能であり、その破裂圧を、外側ジャケットの破裂圧より低い値、すなわち１５バール未満、であれば、例えば１バール、２バール、３バール等の別の値にすることができる。破壊板の破裂圧が外側ジャケットの破裂圧より大幅に低くなるように破壊板を設計することによって、保護手段がガス配管部品に存在するにも拘らず外側ジャケットが破損する危険が最小化される。この安全マージンは、ガス配管システムの作業者の安全性の観点から確かに望ましい。
【０００９】
本発明の一実施態様によると、内側ハウジングの少なくとも一部を相対的に低い破裂圧を有する材料にすることもできる。本発明の別の変形例によると、外側ジャケットの破裂圧は内側ハウジングの破裂圧より高いことが好ましい。内側ハウジングの破裂圧は、例えば約１１バールにすることができる。圧力上昇により内側ハウジングが最初に破損し、これにより内側ハウジングから外側ジャケット内空間への通気用開口部が形成される。外側ジャケット内空間は無傷のままであり、ガスは破壊板を通ってガス配管部品から出る。内側ハウジングの破損後、何れの場合も破壊板が破壊されるまで、さらなる圧力の上昇中も外側ジャケットが無傷のままであるように、外側ジャケットの破裂圧と内側ハウジングの破裂圧との間に安全マージンが設けられると特に好ましい。
【００１０】
本発明のさらに別の変形例によると、相対的に低い破裂圧を有する材料は透明材料、例えばガラスまたはアクリレート、である。ガス配管部品によっては、作業者が少なくとも１つのガス配管部品から情報を読み取る必要がある。したがって、ガス配管部品は、少なくともその一部に透明材料を備えることができる。これにより、作業者は、ガス配管部品の内容物を目視し、おそらくそこから情報を読み取ることができる。
【００１１】
本発明の一実施態様によると、少なくとも１つのガス配管部品は、外側ジャケットと連結部とを備えるカートリッジと、このカートリッジとガス配管とが流体連通するように連結部に接続される、ガス配管に接続された基部とを備える。カートリッジと基部とは共にガス配管部品を形成する。基部はガス配管システムに固定的に接続され、一般にガス配管の破裂圧と同じ桁の破裂圧を有する。カートリッジは連結部によって基部に接続されるので、容易に交換可能である。機能に応じたカートリッジの寿命が比較的短い場合、カートリッジを素早く交換できることは確かに便利である。本発明のさらに別の変形例によると、基部は、調整器、フィルタ基部、栓、流量計、または弁として実装しうる。本発明のさらに別の変形例によると、ガスを濾過するフィルタ材、および／またはガスの汚染を示すインジケータ物質、をカートリッジに設けることもできる。濾過機能またはインジケータ機能を果たすこのようなカートリッジをさまざまな基部に配置することもできる。
【００１２】
本発明のさらに別の変形例によると、破壊板をカートリッジの連結部に設け、破壊板を外側ジャケット内空間と流体連通させる。さらに、本発明のさらに別の変形例によると、破壊板の外側ジャケット内空間から遠い側に、ガス排出用の排出路を設ける。これにより、使用中、破壊板の破壊後に、外側ジャケット内空間を排出路に流体連通させる。外側ジャケット内空間に蓄積されたガスは、この排出路を通って排出される。この排出路を排気装置、または換気の良い空間などの排出空間、に接続することが好ましい。
【００１３】
本発明のさらに別の変形例によると、少なくとも１つのガス配管部品の排出路に、排出路内のガスを検出するためのセンサを設ける。本発明のさらに別の変形例によると、センサ信号に基づき少なくとも１つの配管部品またはガス源を制御するために、および／またはセンサ信号に基づき可視信号および／または可聴信号を使用者への警告として発するために、少なくとも１つのセンサを制御部に接続することもできる。これにより、カートリッジの保護手段が作動した際に、使用者または作業者に自動的に警告が発せられる。破損したカートリッジのガス配管システム内の位置を作業者に知らせることもできる。これにより、欠陥がある場合はこの欠陥を作業者が迅速に修復し、カートリッジを交換できるようになる。ガス配管システムが作業者または使用者の監視下にない場合は、保護手段が作動した際にガス源を自動的に遮断するように制御部を設計することもできる。制御部は、必要であれば他のガス配管部品も当然制御できる。
【００１４】
本発明のさらに別の変形例によると、外側ジャケット内空間と排出路との間の流体連通部に、微小リークを防止するための封止部、例えばＯリング、を少なくとも１つ設ける。これにより、ガス配管システムの周囲空間への微量ガスのスローリークが防止される。
【００１５】
本発明のさらに別の変形例によると、基部へのカートリッジの誤接続を防止するために、排出路の出口は、カートリッジの流入および流出用開口部の構成とは異なる構成を有する。使用者または作業者がカートリッジの交換に慣れていない場合でも、基部の構成およびカートリッジの流出および流入用開口部の構成により、カートリッジを基部上にどのように配置すべきかが明らかになる。誤配置が防止されるので、外側ジャケットが破損するリスクが減る。
【００１６】
本発明のさらに別の変形例によると、ガス配管システムは、相対的に低い破裂圧を有する外側ジャケットを備えたガス配管部品を複数備えることができる。ガス配管システムの機能およびガス配管システムを流れるガスの種類に応じて、さまざまなガス配管部品をガス配管システムに設けうる。
【００１７】
また、本発明は、上記のガス配管システムで用いられるガス配管部品にも関する。このガス配管部品は、少なくとも一部が相対的に低い破裂圧を有する材料から成る外側ジャケットを備え、使用中の外側ジャケットの破損を防止するために外側ジャケット内空間で発生した過圧に対する保護手段を備える。
【００１８】
このようなガス配管部品は、ガス配管システムに関して先に言及および説明した利点および効果と同様の利点および効果をもたらす。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によるガス配管システムおよび配管部品によれば、ガス配管システム内で発生した過圧に対する保護手段が配管部品に設けられるので、ガス配管システムの破損が防止され、ガス配管システムから周囲環境へのガス放出および周囲環境からガス配管システムへの空気の侵入を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】ガス配管システムの一実施形態の概略図である。
【図２ａ】ガス配管部品の第１の実施形態の断面図である。
【図２ｂ】図２ａのガス配管部品の詳細図である。
【図３ａ】ガス配管部品の第２の実施形態の断面図である。
【図３ｂ】図３ａのガス配管部品の詳細図である。
【図４ａ】ガス配管部品の第３の実施形態の断面図である。
【図４ｂ】図４ａのガス配管部品の詳細図である。
【図５】ガス配管部品の第４の実施形態の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明のさらなる変形例については、従属請求項に記載されており、図面を参照しながら以下に解明する。
【００２２】
同様の参照符号は各図中の同様の部分を指すことに留意されたい。
【００２３】
図１には、本発明によるガス配管システム１の全体概略図が示されている。ガス配管システム１は、ガスをガス源２からガス配管３経由で、処理モジュール５が設けられるガス配管端部４に導くように構成される。このような処理モジュール５は、さまざまな用途のために構成しうるものであり、例えばガスクロマトグラフィ、質量分析、または調整されたガス条件下での製造工程、例えばウェーハまたはＤＶＤなどを製造するための製造工程、のために構成しうる。処理モジュール５は、圧縮空気を用いた作業用または溶接用の駆動ユニットとしても構成しうる。ガス源２は、ガス配管システム１の用途に応じて、例えばガスボンベ、ガス発生器、またはコンプレッサにすることもできる。
【００２４】
ガス配管３は、いくつかのガス配管部品６、６’、６”、６’”を備える。これらのガス配管部品６、６’、６”、６’”は外側ジャケット７を備える。外側ジャケット７は、外側ジャケット内空間７ａを有し、外側ジャケット７の少なくとも一部は相対的に低い破裂圧を有する材料から成る。この相対的に低い破裂圧は、何れの場合もガス配管システム内の他の部分、例えばガス配管システムのステンレス鋼または銅部分、の破裂圧より低い。この例示的実施形態において、例えば、ガス配管部品６は、インジケータを備えた調整器であり、別の部品６’は迅速交換式フィルタであり、次の部品６”はインラインフィルタであり、最後のガス配管部品６’”はインジケータを備えた栓である。さらに、ガス配管部品を例えば弁にすることもできる。
【００２５】
部品６、６’、６”、６’”には、ガス配管部品６、６’、６”、６’”のうちの１つの外側ジャケット７の破損を防止するために、外側ジャケット内空間で７ａ発生した過圧に対する保護手段８（図２ａ〜図５参照）が設けられる。このような保護手段８は、例えばガス配管システム内のどこかの欠陥に起因する圧力インパルスおよび急激な圧力上昇を吸収する。過圧または圧力インパルスが発生すると、保護手段８は過剰なガスを外側ジャケット内空間７ａから確実に排出する。このために、ガス配管部品６、６’、６”、６’”は、排出管１３ｂによって排気装置１４に接続される。排出管１３ｂは、その一端が対応するガス配管部品６、６’、６”、６’”に接続され、別の端が排気装置１４の入り口に接続される。ガス配管部品６、６’、６”、６’”の保護手段８が作動すると、外側ジャケット内空間７ａからのガスが部品６、６’、６”、６’”から排出されて排気される。さらに、ガス配管部品６、６’、６”、６’”は、保護手段８の作動直後にガスを検出するためのセンサ（図示せず）を備えることができる。センサ１５を制御部１６に接続することもできる。このセンサ１５および制御部１６について、以下の図を参照しながらより詳細に説明する。
【００２６】
図２ａおよび図２ｂには、本発明の一実施形態によるガス配管部品６’が示されている。図示のガス配管部品６’は、迅速連結式フィルタである。このようなフィルタは、カートリッジ１０、この実施形態においては十分に細長いフィルタ、と基部１２とを備える。このカートリッジは、外側ジャケット７を備え、この外側ジャケット７は、外側ジャケット内空間７ａを取り囲む。外側ジャケット７の中には、流入用開口部および流出用開口部（図示せず）に流体連通する内側ハウジング９が設けられる。流入用開口部は、ガス配管３の上流部分に流体連通し、流出用開口部はガス配管３の下流部分に流体連通する。使用中、ガスは基部１２の迅速連結式フィルタに流れ込み、次にカートリッジ１０の流入用開口部から内側ハウジング９の内部を流れ、カートリッジ１０の流出用開口部から基部１２を通ってガス配管３に再び戻る。望ましくない物質、例えば水、酸素、または炭化水素など、が処理モジュールに到達しないように、ガスを濾過してこれらの物質をガス流から除去するフィルタ材が内側ハウジング９に設けられる。カートリッジ１０は、固締リング２４を用いてカートリッジ１０を基部１２に固締することができる連結部１１をさらに備える。この目的のために、固締リング２４には、基部１２の雄ねじ１２ａに係合する雌ねじ２４ａが設けられる。したがって、固締リング２４をしっかり締めるだけでカートリッジ１０を基部１２に固締することができる。連結部１１には、保護手段、すなわち破壊板８、が設けられる。この破壊板８は、外側ジャケット内空間７ａの圧力が破壊板８の破裂圧より高くなったときに破壊されるように設計される。破壊板８の破裂圧は約１バールであり、破壊板８の破裂圧は外側ジャケット７の破裂圧より低いことが好ましい。外側ジャケット７の破裂圧は、約１５バールであることが好ましい。このように、安全マージンが存在するので、破壊板８と外側ジャケット７の同時破壊が防止される。他の複数の実施形態の破壊板８においては、破壊板８の破裂圧を、外側ジャケット７の破裂圧より低い値であれば、例えば２バール、３バール等の別の値にすることができる。図２ｂにおいて正確に分かるように、破壊板８は、外側ジャケット内空間７ａと流体連通している。外側ジャケット内空間７ａの圧力は、例えば内側ハウジング９が壊れてガスが外側ジャケット内空間７ａに入ると、急上昇しうる。これについて、図２ａおよび図２ｂを参照しながらさらに説明する。
【００２７】
破壊板８の外側ジャケット内空間７ａから遠い側８ｂに、排出路１３が設けられる。この排出路１３を排出管１３ｂによって排気システム１４（図１参照）に接続することができる。排出管１３ｂの第１の端部は排出路１３の出口１３ａに接続可能であり、第２の端部は排気システム１４に接続可能である。このような排出管１３ｂは、例えば可撓性の気密ホースでもよい。排出路１３は、破壊板８が破壊された際に外側ジャケット内空間７ａからガスを排出することによって内部空間７ａの圧力を下げ、外側ジャケット７を無傷に保つように構成される。
【００２８】
図３ａおよび図３ｂには、本発明のさらに別の実施形態が示されている。この実施形態において、配管部品６は、インジケータを備えた調整器である。カートリッジ１０はインジケータを形成し、基部１２は調整器を形成する。このような調整器は、減圧器を介して相互に連結された高圧室と低圧室とを有する。この調整器は、ガスボンベからの圧力を処理モジュール５（図１参照）での処理に適した圧力に減圧するために、ガス配管システム内でガスボンベに直接接続されることが好ましい。カートリッジ１０は、外側ジャケット７と内側ハウジング９とを有し、これらの間に外側ジャケット内空間７ａが介在する。外側ジャケット７は、例えば１５バールの破裂圧を有し、内側ハウジングは、例えば１１バールの破裂圧を有する。通常使用時、ガスは基部１２から、カートリッジ１０を貫通する内側ハウジング９の内部を流れる。インジケータ物質が内側ハウジング９内に設けられる。このようなインジケータ物質は慣行から公知であり、例えば重クロム酸カリウムなどを含みうる。インジケータは、例えば徐々に退色することによって、ガスの汚染の程度を反映しうる。内側ハウジング９は透明材料、例えばガラス、から成り、外側ジャケット７は少なくとも一部が透明材料から成るので、作業者は退色の程度を観察でき、必要であればインジケータカートリッジ１０を交換できる。
【００２９】
カートリッジ１０は、固締リング（図示せず）によって基部１２に固締される。カートリッジ１０を交換する場合は、固締リングを取り外すと、カートリッジ１０を外せるようになる。カートリッジ１０は、例えばガスボンベの交換と同時に交換してもよい。さらに、ガス配管システム１内への粒子の拡散を防止するために、ガスの流出および流入用開口部（図示せず）を遮断するための弁（図示せず）を基部１２に備えることもできる。カートリッジ１０の連結部１１の基部１２に対向する側にある排出路１３の流出用開口部１３ｃの構成をカートリッジ１０のガス流入および流出用開口部の構成と違えると、基部１２へのカートリッジ１０の誤接続を防止するために特に都合がよい。例えば、それぞれの開口部の直径を違えると、カートリッジ１０を一とおりの方法でしか基部１２に固締できなくなる。さらに、基部１２とカートリッジ１０とが連係し合う形状部分を基部１２とカートリッジ１０の両方に設けることも可能である。これにより、正しい接続が促され、他の製造業者からのカートリッジ、例えば保護手段がないカートリッジ、が基部１２に固締されることが防止される。
【００３０】
図３ｂには、過圧状態が示されている。この状態において、内側ハウジング９の破損によりガスＧが外側ジャケット内空間７ａに入り込んだため、破壊板８は既に破壊されている。破壊板８が破壊されると、ガスＧは排出路１３を通って排出路１３の出口１３ａから排気システム１４に排出される（図１参照）。排出路１３には、破壊板８の下流にセンサ１５を設けることもできる。このセンサ１５は、ガスを検出するように構成される。破壊板８が無傷のときは、排出路１３にはガスが存在しない。したがって、センサ１５は何も検出しない。破壊板８が破壊されると、排出路１３を通るガス流が発生するため、センサ１５によって検出される。センサ１５は信号を制御部１６（模式的に図示）に送り、これにより制御部１６はさまざまな措置を実施できる。例えばガス源２を制御して遮断するように、制御部１６を設計することもできる。これにより、ガス配管システム１を通るガス流が停止されるので、欠陥があればそれを修復できる。また、破損したカートリッジ１０を交換できる。少なくとも１つの破損したカートリッジ１０の位置に応じて、作業者はガス配管システム１内の欠陥の位置を容易に見つけることができる。
【００３１】
また、作業者または使用者に対する警戒信号、例えばランプの点灯などの可視信号あるいは可聴信号などを生成するように、制御部１６を設計することもできる。これにより、作業者は欠陥があればこれを突き止めることができ、ガス配管システム１内のガス流を止めることも止めないこともできる。勿論、センサ１５を排出路１３と排気システム１４の間の何れの場所にでも設けうること、ひいては排出管１３ｂ内のどこかにも設けうることは言うまでもない。また、破壊板８が破壊されたときに信号を出力するように構成されたセンサを破壊板８に設けることもできる。
【００３２】
図４ａおよび図４ｂには、第３の実施形態のガス配管部品６”が示されている。このガス配管部品６”はインラインフィルタである。このインラインフィルタ６”は、ガス配管システム１の２つの配管部分３ａ、３ｂの間に、例えば押し込んで、取り付けられる。また、このフィルタ６”の交換をより容易にするために、迅速継ぎ手を用いてフィルタ６”を固締することもできる。このインラインフィルタ６”は、２つの連結部１１がそれぞれ対応する基部１２に一体化されるカートリッジ１０を備える。カートリッジ１０は、透明材料、例えばアクリレート、から成る外側ジャケット７を備える。この外側ジャケット７は、内側ハウジング９を無用な破損から保護する。内側ハウジング９は、内側ハウジング９内を流れるガスから望ましくない粒子を取り除くフィルタ材Ｆを備える。内側ハウジング９も透明材料から成るので、作業者は、フィルタ材Ｆの飽和の程度を観察することができる。インラインフィルタ６”において、ガスは、第１の配管部分３ａに流体連通している流入用開口部９ａから、外側ジャケット７の他端に位置する内側ハウジング９の流出用開口部９ｂに向かって内側ハウジング９の内部をＲ１方向に流れる。流出用開口部９ｂは、ガス配管システム１の第２の配管部分３ｂに流体連通している。破壊板８は、外側ジャケット７内の圧力が急上昇して高くなりすぎたときに破壊されるように、一体化された基部／連結部１１、１２のどちらか一方に設けられる。この圧力の急上昇は、例えばフィルタ材Ｆが設けられた内側ハウジング９が破損した場合に、発生しうる。外側ジャケット７からのガスの排出は、先の複数の実施形態に関して説明したのと同様の方法で展開される。これにより、外側ジャケット７の破損が防止される。特に、アルカリまたはアルカリ土類金属を含むフィルタ材が使用される場合は、外側ジャケット７の予期せぬ破裂は極めて望ましくない。その理由は、これらのアルカリまたはアルカリ土類金属は湿気および酸素と激しく反応して作業者に危険を引き起こしうるからである。
【００３３】
最後に、図５は、本発明の第４の実施形態によるガス配管部品６’”を示す。この図には、栓として設計されたガス配管部品６’”が示されている。使用時、この栓の基部１２には、固締リング（図示せず）によって基部１２のねじ山１２ａに固締できるカートリッジ１０、例えばインジケータ、が設けられる。このようなインジケータは図３ａおよび図３ｂを参照して説明したので、カートリッジ１０についてはこれ以上説明しない。ガスが基部１２からカートリッジ１０に入り、基部１２、すなわち栓、に再び戻るように、基部１２は、流入用開口部１２ｂと流出用開口部１２ｃとを備える。栓が開いた状態であるとき、ガスは、例えば、栓に接続された処理モジュール５（模式的に図示）に流れ込むことができる。インジケータが、例えば広範な汚染を示した場合は、栓を閉めることによって処理モジュール５へのガス供給を遮断できる。栓の基部１２は、高圧の結果としてカートリッジ１０内の破壊板８が破壊されときに、ガスをカートリッジ１０から排出するための排出路１３（図示せず）をさらに備える。
【００３４】
本発明は上記の例示的実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に規定されている本発明の枠内でさまざまな変更が可能であることは明らかであろう。本発明の別の実施形態においては、一方の端部が開いているために外側ジャケットの内部空間と流体連通する内側ハウジングを外側ジャケット内に設けることもできる。使用時、ガスはカートリッジの流入用開口部から外側ジャケットに流れ込み、次に開いた端部から内側ハウジングを通って流れる。この内側ハウジングにフィルタ材および／またはインジケータ物質を設けることもできる。内側ハウジングを通ったガスは流出用開口部からカートリッジを離れ、次に基部を通ってガス配管システムに再び戻る。本発明のこのような実施形態においては、内側ハウジングと外側ジャケットとの間が常に連通しているため、内側ハウジングは圧力インパルスまたは急激な圧力上昇によって破損しない。当然、ガスは一方が開いた内側ハウジングから外側ジャケット内空間に入り、次に外側ジャケット内空間を通って、出口開口部から外側ジャケット内空間を離れることも考えられる。当然、さまざまな構成の複数のガス配管部品を有するガス配管システムも本発明に含まれる。したがって、ガス配管システムは少数のガス配管部品のみを備えることも、あるいは多数のガス配管部品を備えることもできる。さらに、相対的に低い破裂圧を有する材料から成る外側ジャケットを備えたガス配管部品は単一であってもよいが、相対的に低い破裂圧を有する材料から成る外側ジャケットを２つ以上のガス配管部品または全てのガス配管部品に設けることもできる。
【符号の説明】
【００３５】
１  ガス配管システム
２  ガス源
３  ガス配管
４  ガス配管端部
５  処理モジュール
６、６’、６”、６’”  ガス配管部品
７  外側ジャケット
８  保護手段
１３ｂ  排出管
１４  排気装置
１６  制御部
【図１】
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【図２ａ】
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【図２ｂ】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図４ａ】
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【図４ｂ】
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【図５】
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【外国語明細書】
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