(57)【要約】【課題】フッ素を含むフッ素含有被処理水から水を効率的に回収することができる水処理装置および水処理方法を提供する。【解決手段】フッ素含有被処理水にカルシウム剤を添加して第一の凝集分離処理を行い、次に、第一凝集分離処理水に炭酸塩含有剤を添加して第二の凝集分離処理を行い、さらにフッ素吸着剤に接触してフッ素吸着処理を行った後、あるいは、第一凝集分離処理水をフッ素吸着剤に接触してフッ素吸着処理を行い、さらに炭酸塩含有剤を添加して第二の凝集分離処理を行った後、逆浸透膜で処理する水処理装置および水処理方法である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ素を含む被処理水を処理する水処理装置であって、
フッ素を含む被処理水にカルシウム剤を添加して第一の凝集分離処理を行う第一凝集分離手段と、
前記第一の凝集分離処理を行った第一凝集分離処理水に炭酸塩含有剤を添加して第二の凝集分離処理を行う第二凝集分離手段と、
前記第二の凝集分離処理を行った第二凝集分離処理水をフッ素吸着剤に接触してフッ素吸着処理を行うフッ素吸着処理手段と、
前記フッ素吸着処理を行ったフッ素吸着処理水を逆浸透膜で処理する逆浸透膜処理手段と、
を備えることを特徴とする水処理装置。
【請求項２】
フッ素を含む被処理水を処理する水処理装置であって、
フッ素を含む被処理水にカルシウム剤を添加して第一の凝集分離処理を行う第一凝集分離手段と、
前記第一の凝集分離処理を行った第一凝集分離処理水をフッ素吸着剤に接触してフッ素吸着処理を行うフッ素吸着処理手段と、
前記フッ素吸着処理を行ったフッ素吸着処理水に炭酸塩含有剤を添加して第二の凝集分離処理を行う第二凝集分離手段と、
前記第二の凝集分離処理を行った第二凝集分離処理水を逆浸透膜で処理する逆浸透膜処理手段と、
を備えることを特徴とする水処理装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の水処理装置であって、
前記第一凝集分離手段の前段側に、フッ素を含む被処理水を晶析処理する晶析処理手段を備えることを特徴とする水処理装置。
【請求項４】
フッ素を含む被処理水を処理する水処理方法であって、
フッ素を含む被処理水にカルシウム剤を添加して第一の凝集分離処理を行う第一凝集分離工程と、
前記第一の凝集分離処理を行った第一凝集分離処理水に炭酸塩含有剤を添加して第二の凝集分離処理を行う第二凝集分離工程と、
前記第二の凝集分離処理を行った第二凝集分離処理水をフッ素吸着剤に接触してフッ素吸着処理を行うフッ素吸着処理工程と、
前記フッ素吸着処理を行ったフッ素吸着処理水を逆浸透膜で処理する逆浸透膜処理工程と、
を含むことを特徴とする水処理方法。
【請求項５】
フッ素を含む被処理水を処理する水処理方法であって、
フッ素を含む被処理水にカルシウム剤を添加して第一の凝集分離処理を行う第一凝集分離工程と、
前記第一の凝集分離処理を行った第一凝集分離処理水をフッ素吸着剤に接触してフッ素吸着処理を行うフッ素吸着処理工程と、
前記フッ素吸着処理を行ったフッ素吸着処理水に炭酸塩含有剤を添加して第二の凝集分離処理を行う第二凝集分離工程と、
前記第二の凝集分離処理を行った第二凝集分離処理水を逆浸透膜で処理する逆浸透膜処理工程と、
を含むことを特徴とする水処理方法。
【請求項６】
請求項４または５に記載の水処理方法であって、
前記第一凝集分離工程の前段において、フッ素を含む被処理水を晶析処理する晶析処理工程を含むことを特徴とする水処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フッ素を含むフッ素含有被処理水を処理する水処理装置および水処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体デバイス製造工程、液晶パネル製造工程、太陽電池製造工程などから排出されるフッ素含有排水は、フッ素を除去された後に放流されていた。近年、工業用水、水道水、井水などの取水量制限、また排水放流量の制限などがあり、フッ素含有排水から脱塩水を回収する必要性が高まっている。
【０００３】
フッ素含有排水からのフッ素の除去のために、例えばカルシウム反応槽、凝集反応槽、凝集槽、沈殿槽などを含む凝集沈殿装置を用いた凝集沈殿法が多く使用されている。凝集沈殿法では、カルシウム反応槽においてフッ素含有排水とカルシウム剤とを反応させてフッ化カルシウムを生成させ、凝集反応槽においてアルミニウム系凝集剤、鉄系凝集剤などの凝集剤を添加してｐＨ調整を行いフロック化させる。凝集槽において高分子凝集剤を添加してフロックを成長させ、沈殿槽で沈殿分離させる。この凝集沈殿処理水を原水として、逆浸透膜（ＲＯ膜）やイオン交換樹脂などを用いた脱塩装置で脱塩水を回収することが可能である。
【０００４】
また、フッ素含有排水中のフッ素を処理する方法として、特許文献１には、固体粒子が充填された流動床式晶析槽内においてフッ素含有排水とカルシウム剤とを反応させて生成するフッ化カルシウムを固体粒子の表面に晶析させる晶析工程、晶析工程から排出される処理水を濾過する濾過工程、濾過工程から排出される処理水中に残存するフッ素成分を吸着除去する吸着工程、および、吸着工程から排出される処理水中から塩類を除去して脱塩水を回収する逆浸透膜モジュールからなる脱塩工程を含む方法が記載されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−９６２８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
カルシウム剤を用いた通常の凝集沈澱処理では汚泥が大量に発生し、発生した汚泥が産業廃棄物となる。最近は産業廃棄物の最終処分場が逼迫しており、処分費用が高騰し脱塩水回収費用も上がっている。また、カルシウム剤を用いた凝集沈澱処理で発生する凝集沈澱処理水には比較的高濃度のカルシウム、フッ素などが含まれており、逆浸透膜やイオン交換樹脂などによる処理でそれらが濃縮されてスケールが発生するため、回収率が低く、逆浸透膜やイオン交換樹脂などの再生頻度の増加などが必要であり、効率的ではない。凝集沈澱処理水にはフッ素含有排水自身や添加した凝集剤などに含まれる無機塩類も含まれ、これらもスケール発生の要因となる。
【０００７】
また、特許文献１の方法でも、晶析処理水中にカルシウム、フッ素などが含まれており、吸着工程から排出される処理水中に比較的高濃度のカルシウム、微量のフッ素などが残留するため、逆浸透膜においてスケールが発生してしまい、やはり効率的ではない。
【０００８】
本発明は、フッ素を含むフッ素含有被処理水から水を効率的に回収することができる水処理装置および水処理方法である。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、フッ素を含む被処理水を処理する水処理装置であって、フッ素を含む被処理水にカルシウム剤を添加して第一の凝集分離処理を行う第一凝集分離手段と、前記第一の凝集分離処理を行った第一凝集分離処理水に炭酸塩含有剤を添加して第二の凝集分離処理を行う第二凝集分離手段と、前記第二の凝集分離処理を行った第二凝集分離処理水をフッ素吸着剤に接触してフッ素吸着処理を行うフッ素吸着処理手段と、前記フッ素吸着処理を行ったフッ素吸着処理水を逆浸透膜で処理する逆浸透膜処理手段と、を備える水処理装置である。
【００１０】
また、本発明は、フッ素を含む被処理水を処理する水処理装置であって、フッ素を含む被処理水にカルシウム剤を添加して第一の凝集分離処理を行う第一凝集分離手段と、前記第一の凝集分離処理を行った第一凝集分離処理水をフッ素吸着剤に接触してフッ素吸着処理を行うフッ素吸着処理手段と、前記フッ素吸着処理を行ったフッ素吸着処理水に炭酸塩含有剤を添加して第二の凝集分離処理を行う第二凝集分離手段と、前記第二の凝集分離処理を行った第二凝集分離処理水を逆浸透膜で処理する逆浸透膜処理手段と、を備える水処理装置である。
【００１１】
また、前記水処理装置において、前記第一凝集分離手段の前段側に、フッ素を含む被処理水を晶析処理する晶析処理手段を備えることが好ましい。
【００１２】
また、本発明は、フッ素を含む被処理水を処理する水処理方法であって、フッ素を含む被処理水にカルシウム剤を添加して第一の凝集分離処理を行う第一凝集分離工程と、前記第一の凝集分離処理を行った第一凝集分離処理水に炭酸塩含有剤を添加して第二の凝集分離処理を行う第二凝集分離工程と、前記第二の凝集分離処理を行った第二凝集分離処理水をフッ素吸着剤に接触してフッ素吸着処理を行うフッ素吸着処理工程と、前記フッ素吸着処理を行ったフッ素吸着処理水を逆浸透膜で処理する逆浸透膜処理工程と、を含む水処理方法である。
【００１３】
また、本発明は、フッ素を含む被処理水を処理する水処理方法であって、フッ素を含む被処理水にカルシウム剤を添加して第一の凝集分離処理を行う第一凝集分離工程と、前記第一の凝集分離処理を行った第一凝集分離処理水をフッ素吸着剤に接触してフッ素吸着処理を行うフッ素吸着処理工程と、前記フッ素吸着処理を行ったフッ素吸着処理水に炭酸塩含有剤を添加して第二の凝集分離処理を行う第二凝集分離工程と、前記第二の凝集分離処理を行った第二凝集分離処理水を逆浸透膜で処理する逆浸透膜処理工程と、を含む水処理方法である。
【００１４】
また、前記水処理方法における前記第一凝集分離工程の前段において、フッ素を含む被処理水を晶析処理する晶析処理工程を含むことが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明では、フッ素含有被処理水にカルシウム剤を添加して第一の凝集分離処理を行い、次に炭酸塩含有剤を添加して第二の凝集分離処理を行い、さらにフッ素吸着剤に接触してフッ素吸着処理を行った後、逆浸透膜で処理することにより、フッ素を含むフッ素含有被処理水から水を効率的に回収することが可能な水処理装置および水処理方法を提供することができる。
【００１６】
また、本発明では、フッ素含有被処理水にカルシウム剤を添加して第一の凝集分離処理を行い、次にフッ素吸着剤に接触してフッ素吸着処理を行い、さらに炭酸塩含有剤を添加して第二の凝集分離処理を行った後、逆浸透膜で処理することにより、フッ素を含むフッ素含有被処理水から水を効率的に回収することが可能な水処理装置および水処理方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の実施の形態について以下説明する。本実施形態は本発明を実施する一例であって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。
【００１８】
フッ素含有被処理水中のフッ素を処理する方法として、消石灰、塩化カルシウムなどのカルシウム剤を添加してフッ化カルシウム（ＣａＦ２）を析出させて、次にポリ塩化アルミニウム（ＰＡＣ）、硫酸バンドなどの凝集剤を添加して析出したフッ化カルシウムを凝集させ、さらに高分子凝集剤を添加して凝集分離処理を行うと、この凝集分離処理水にはフッ素が例えば５〜２０ｍｇ／Ｌ程度、カルシウムが例えば１００〜１０００ｍｇ／Ｌ程度残留するため、このまま逆浸透膜で水回収を行うと濃縮水側でフッ化カルシウム、硫酸カルシウム（ＣａＳＯ４）などのスケールが発生することがある。
【００１９】
そこで本発明者らは、この凝集分離処理水中に残留するフッ素、カルシウムをさらに除去するために、炭酸塩含有剤を添加し、処理水中からカルシウムを炭酸カルシウム（ＣａＣＯ３）として析出させ、次に処理水に塩化第二鉄（ＦｅＣｌ３）、硫酸第二鉄（Ｆｅ２（ＳＯ４）３）などの凝集剤を添加して析出した炭酸カルシウムを凝集させ、さらに高分子凝集剤を添加して凝集分離を行う第二の凝集分離処理、および、フッ素吸着剤に接触させるフッ素吸着処理を行うと、フッ素およびカルシウムの濃度が低減し、逆浸透膜処理においてスケールが発生しにくく、水回収率が向上することを見出した。これら第二の凝集分離処理およびフッ素吸着処理の順序はどちらが先でもよい。
【００２０】
本発明の実施形態に係る水処理装置の一例の概略構成を図１に示し、その構成について説明する。水処理装置１は、第一凝集分離手段である第一凝集分離装置１０と、第二凝集分離手段である第二凝集分離装置１２と、フッ素吸着処理手段であるフッ素吸着処理装置１４と、逆浸透膜処理手段である逆浸透膜処理装置１６とを備える。
【００２１】
図１の水処理装置１において、第一凝集分離装置１０の出口と第二凝集分離装置１２の入口、第二凝集分離装置１２の出口とフッ素吸着処理装置１４の入口、フッ素吸着処理装置１４の出口と逆浸透膜処理装置１６の入口とがそれぞれ配管などにより接続されている。
【００２２】
第一凝集分離装置１０の構成の一例を図２に示す。第一凝集分離装置１０は、カルシウム反応槽２０と、凝集反応槽２２と、凝集槽２４と、沈殿槽２６とを備える。第一凝集分離装置１０において、カルシウム反応槽２０の出口と凝集反応槽２２の入口、凝集反応槽２２の出口と凝集槽２４の入口、凝集槽２４の出口と沈殿槽２６の入口とがそれぞれ配管などにより接続されている。図２に示す第一凝集分離装置１０の構成は一例であって、これに限定されるものではない。
【００２３】
また、第二凝集分離装置１２の構成の一例を図３に示す。第二凝集分離装置１２は、炭酸塩反応槽３０と、凝集反応槽３２と、凝集槽３４と、沈殿槽３６とを備える。第二凝集分離装置１２において、炭酸塩反応槽３０の出口と凝集反応槽３２の入口、凝集反応槽３２の出口と凝集槽３４の入口、凝集槽３４の出口と沈殿槽３６の入口とがそれぞれ配管などにより接続されている。図３に示す第二凝集分離装置１２の構成は一例であって、これに限定されるものではない。
【００２４】
本実施形態に係る水処理方法および水処理装置１の動作について説明する。
【００２５】
図１の水処理装置１において、フッ素を含むフッ素含有被処理水は、まずカルシウム剤添加による第一凝集分離装置１０で処理され（第一凝集分離工程）、生成されるフッ化カルシウム含有汚泥は系外に排出される。次に、第一凝集分離処理水は、炭酸塩含有剤添加による第二凝集分離装置１２で処理され（第二凝集分離工程）、生成される炭酸カルシウム含有汚泥は系外に排出される。第二凝集分離処理水は、フッ素吸着処理装置１４でフッ素吸着剤に接触され、フッ素が除去される（フッ素吸着処理工程）。その後、フッ素吸着処理水は、逆浸透膜処理１６で逆浸透膜処理され（逆浸透膜処理工程）、透過水および濃縮水は系外に排出され、透過水は脱塩水として回収される。
【００２６】
＜第一凝集分離工程＞
第一凝集分離装置１０では、図２に示すように、フッ素含有被処理水はカルシウム反応槽２０に送液され、ここで撹拌羽根を備えた撹拌装置などにより撹拌されながら、カルシウム化合物を含むカルシウム剤が添加される。フッ素含有被処理水に含まれるフッ素とカルシウム剤に含まれるカルシウム化合物との反応により、フッ化カルシウム（ＣａＦ２）が生成される。
【００２７】
カルシウム化合物としては、水酸化カルシウム（消石灰、Ｃａ（ＯＨ）２）、塩化カルシウム（ＣａＣｌ２）、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ３）などが挙げられる。
【００２８】
カルシウム剤は、処理水中に残留するカルシウム濃度が１００〜１，０００ｍｇ／Ｌになるように添加されることが好ましく、３００〜７００ｍｇ／Ｌになるように添加されることがさらに好ましい。
【００２９】
カルシウム反応槽２０における反応ｐＨは、好ましくは３〜１２の範囲、より好ましくは４〜１１の範囲に維持される。ｐＨ調整のために酸、アルカリなどのｐＨ調整剤が添加されてもよい。
【００３０】
ｐＨ調整剤としては、硫酸、塩酸、硝酸などの酸、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリが用いられる。
【００３１】
フッ化カルシウムを含む処理水は、カルシウム反応槽２０から凝集反応槽２２へ送液され、ここで撹拌羽根を備えた撹拌装置などにより撹拌されながら、無機凝集剤が添加され、凝集物が生成される。
【００３２】
無機凝集剤としては、ポリ塩化アルミニウム（ＰＡＣ）、硫酸バンドなどのアルミニウム系凝集剤、塩化第二鉄（ＦｅＣｌ３）、硫酸第二鉄（Ｆｅ２（ＳＯ４）３）などの鉄系凝集剤などが挙げられ、通常はポリ塩化アルミニウムなどのアルミニウム系凝集剤が用いられるが、無機凝集剤を添加しなくてもよい。
【００３３】
凝集反応槽２２における反応ｐＨは、好ましくは５〜８．５の範囲、より好ましくは６〜７．５の範囲に維持される。ｐＨ調整のために酸、アルカリなどのｐＨ調整剤が添加されてもよい。
【００３４】
凝集物を含む処理水は、凝集反応槽２２から凝集槽２４へ送液され、ここで撹拌羽根を備えた撹拌装置などにより撹拌されながら、高分子凝集剤が添加される。この高分子凝集剤は、不溶化物の凝集性を高め、その後段の固液分離性を向上させるために添加されるが、高分子凝集剤を添加しなくてもよい。
【００３５】
高分子凝集剤としては、例えば、ポリアクリルアミド系などのノニオン性、アニオン性あるいは両性の高分子凝集剤を用いることができる。
【００３６】
凝集物を含む処理水は、凝集槽２４から沈殿槽２６へ送液され、固液分離が行われる。撹拌羽根を備えた撹拌装置などにより緩速で撹拌されながら、沈殿処理による上澄液としての第一凝集分離処理水が第二凝集分離装置１２へ送液されるとともに、沈殿分離されたフッ化カルシウム含有汚泥の少なくとも一部は系外へ排出される。
【００３７】
固液分離の方法としては、膜分離、加圧浮上分離、沈降分離などが挙げられるが、特に限定するものではない。
【００３８】
フッ化カルシウム含有汚泥の少なくとも一部は返送汚泥としてポンプなどによりカルシウム反応槽２０または凝集反応槽２２に返送されてもよい。また、図４に示すように、返送汚泥にアルカリ剤とカルシウム剤とを加えて汚泥に含まれるアルミニウムなどを溶解して再生させる汚泥再生槽２８を設け、返送汚泥をカルシウム反応槽２０へと導入してもよい。これにより、汚泥の接触効率を上げ、凝集反応槽２２における無機凝集剤の添加量を大幅に削減することが可能になる。よって、第一凝集分離処理水のフッ素濃度が下がり、後段の処理が効率的となる。また汚泥発生量が少なく、汚泥処理費用が低くなる効果がある。
【００３９】
アルカリ剤には消石灰、水酸化ナトリウムなどが用いられ、カルシウム剤には消石灰、塩化カルシウムなどが用いられる。
【００４０】
フッ素含有被処理水中のフッ素濃度が例えば１０〜３００ｍｇ／Ｌ程度である場合、この第一凝集分離処理水にはフッ素を例えば５〜２０ｍｇ／Ｌ程度、カルシウムを例えば１００〜１０００ｍｇ／Ｌ程度に低減することができる。
【００４１】
＜第二凝集分離工程＞
第二凝集分離装置１２では、図３に示すように、第一凝集分離処理水は炭酸塩反応槽３０に送液され、ここで撹拌羽根を備えた撹拌装置などにより撹拌されながら、炭酸塩を含む炭酸塩含有剤が添加される。第一凝集分離処理水に含まれるカルシウムと炭酸塩含有剤に含まれる炭酸塩との反応により、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ３）が生成される。
【００４２】
炭酸塩としては、炭酸ナトリウム（Ｎａ２ＣＯ３）、炭酸水素ナトリウム（ＮａＨＣＯ３）などが挙げられる。
【００４３】
炭酸塩含有剤は、第一凝集分離処理水中に含まれるカルシウム１ｍｏｌに対して、ＣＯ３が１〜２ｍｏｌ添加されることが好ましく、１．１〜１．５ｍｏｌ添加されることがより好ましい。
【００４４】
炭酸塩反応槽３０における反応ｐＨは、好ましくは７〜１１の範囲、より好ましくは８〜１０の範囲に維持される。ｐＨ調整のために酸、アルカリなどのｐＨ調整剤が添加されてもよい。
【００４５】
炭酸カルシウムを含む処理水は、炭酸塩反応槽３０から凝集反応槽３２へ送液され、ここで撹拌羽根を備えた撹拌装置などにより撹拌されながら、無機凝集剤が添加され、凝集物が生成される。
【００４６】
無機凝集剤としては、ポリ塩化アルミニウム（ＰＡＣ）、硫酸バンドなどのアルミニウム系凝集剤、塩化第二鉄（ＦｅＣｌ３）、硫酸第二鉄（Ｆｅ２（ＳＯ４）３）などの鉄系凝集剤などが挙げられ、通常は塩化第二鉄（ＦｅＣｌ３）などの鉄系凝集剤が用いられるが、無機凝集剤を添加しなくてもよい。
【００４７】
凝集反応槽３２における反応ｐＨは、好ましくは７〜１１の範囲、より好ましくは８〜１０の範囲に維持される。ｐＨ調整のために酸、アルカリなどのｐＨ調整剤が添加されてもよい。
【００４８】
凝集物を含む処理水は、凝集反応槽３２から凝集槽３４へ送液され、ここで撹拌羽根を備えた撹拌装置などにより撹拌されながら、高分子凝集剤が添加されるが、高分子凝集剤を添加しなくてもよい。
【００４９】
凝集物を含む処理水は、凝集槽３４から沈殿槽３６へ送液され、固液分離が行われる。撹拌羽根を備えた撹拌装置などにより緩速で撹拌されながら、沈殿処理による上澄液としての第二凝集分離処理水がフッ素吸着処理装置１４へ送液されるとともに、沈殿分離された炭酸カルシウム含有汚泥の少なくとも一部は系外へ排出される。炭酸カルシウム含有汚泥の少なくとも一部は返送汚泥としてポンプなどにより炭酸塩反応槽３０に返送されてもよい。この固液分離の方法としては、膜分離、加圧浮上分離、沈降分離などが挙げられるが、特に限定するものではない。
【００５０】
第一凝集分離処理水中のカルシウム濃度が例えば１００〜１０００ｍｇ／Ｌ程度である場合、この第二凝集分離処理水にはカルシウムを例えば１〜５０ｍｇ／Ｌ程度に低減することができる。これにより、後段の逆浸透膜処理において、フッ化カルシウム、硫酸カルシウムなどのスケールが発生しにくくなり、水回収率を向上することができる。
【００５１】
＜フッ素吸着処理工程＞
第二凝集分離処理水は、図１のフッ素吸着処理装置１４でフッ素吸着剤に接触され、フッ素が除去される。フッ素吸着剤を用いたフッ素の吸着除去処理は、第二凝集分離処理水をフッ素吸着剤と接触させること、例えば、フッ素吸着剤が充填された反応槽に第二凝集分離処理水を通水することにより行われる。
【００５２】
反応槽への第二凝集分離処理水の通水方法としては任意の態様が可能であり、上向流および下向流のいずれであってもよいが、好ましくは上向流である。
【００５３】
反応槽に第二凝集分離処理水を通水する態様は、固定床でも流動床でもよいが、反応槽内でのｐＨをなるべく均一にするなどの点から流動床が好ましい。反応槽内でフッ素吸着剤を流動させる態様は特に限定されないが、例えば、反応槽下部から第二凝集分離処理水を上向流で導入して流動状態にする態様、撹拌装置などにより反応槽内を撹拌する態様などが挙げられる。反応槽には、反応塔、反応容器なども含まれる。反応槽にはフッ素吸着剤が充填されるが、フッ素吸着剤の充填方法、充填量は特に限定されない。
【００５４】
フッ素の吸着処理において、反応槽内のｐＨを３〜５の範囲に維持することが好ましく、３〜４の範囲に維持することがより好ましい。フッ素吸着剤のフッ素吸着能などの点から、反応槽内はｐＨ５以下であるのが好ましく、フッ素吸着剤の劣化を防止するなどの点から、反応槽内はｐＨ３以上であるのが好ましい。反応槽内のｐＨを３〜５の範囲に維持することにより、フッ素吸着剤のフッ素吸着能を高い状態に維持することができ、反応槽におけるフッ素吸着処理効率を向上させることができる。また、反応槽におけるフッ素吸着処理効率が向上することにより、フッ素吸着剤の使用量を低減できる。また、フッ素吸着剤再生のための再生薬品の量が低減し、効率的な処理が可能である。
【００５５】
反応槽内のｐＨの維持は、例えば、第二凝集分離処理水のｐＨおよび反応槽内のｐＨのうち少なくとも１つに応じて、酸、アルカリなどのｐＨ調整剤を第二凝集分離処理水および反応槽内のうち少なくとも１つに添加することにより行われる。
【００５６】
フッ素吸着剤としては、フッ素を吸着できるものであれば、任意の材質から構成することができ、特に限定されない。例えば、金属元素を、金属、および金属酸化物などの化合物のうち少なくとも１つとして、母体上に吸着または担持した吸着剤であってもよい。この場合にフッ素吸着剤に含まれる金属元素としては、フッ素を吸着できる金属元素であればよく特に限定されないが、好ましくは、ハフニウム、チタン、ジルコニウム、鉄、アルミニウム、および、セリウムなどのランタノイド類などが挙げられ、ジルコニウムが好ましい。また、フッ素吸着剤の母体としては、上記金属元素を担持、吸着などできるものであれば特に限定されるものではない。
【００５７】
金属元素を含むフッ素吸着剤においては、含まれる金属および金属酸化物などの化合物のうち少なくとも１つが被処理水中のフッ素と錯化化合物を形成することにより、フッ素を吸着するものと考えられる。フッ素吸着剤としては、任意の、市販のフッ素吸着剤を使用してもよく、例えば、ジルコニウム系フッ素吸着剤などのＩＶ族元素系フッ素吸着剤、セリウム系フッ素吸着剤、活性アルミナなどのアルミニウム系フッ素吸着剤が挙げられる。これらのうち、再生利用が可能であるなどの点から、ジルコニウム系フッ素吸着剤が好ましい。
【００５８】
また、例えば、チタン、ジルコニウムおよびスズなどの含水亜鉄酸塩の少なくとも１つと、分子中に塩化ビニリデン単量体に由来するジクロロエチレン構造を有する重合体とを含有する組成物を硬化させて得られる吸着剤；チタン、ジルコニウムおよびスズなどの含水亜鉄酸塩の少なくとも１つと、チタン、ジルコニウム、スズおよび鉄などの水和酸化物の少なくとも１つと、分子中に塩化ビニリデン単量体に由来するジクロロエチレン構造を有する重合体とを含有する組成物を硬化させて得られる吸着剤などが挙げられる。これらのうち、再生利用が可能であるなどの点から、ジルコニウムの含水亜鉄酸塩と、分子中に塩化ビニリデン単量体に由来するジクロロエチレン構造を有する重合体とを含有する組成物を硬化させて得られる吸着剤、および、ジルコニウムの含水亜鉄酸塩と、ジルコニウムの水和酸化物と、分子中に塩化ビニリデン単量体に由来するジクロロエチレン構造を有する重合体とを含有する組成物を硬化させて得られる吸着剤が好ましい。
【００５９】
分子中に塩化ビニリデン単量体に由来するジクロロエチレン構造を有する重合体としては、例えば、塩化ビニリデンの単独重合体、塩化ビニリデンと他の重合性単量体との共重合体などが挙げられる。塩化ビニリデン共重合体における他の重合性単量体としては、公知のものがいずれも使用できるが、例えば、塩化ビニル、酢酸ビニル、アルキルビニルエーテルなどのビニル化合物、アクロニトリル、アクリル酸、アクリル酸ハライド、アクリル酸エステル、メタクリル酸、メタクリル酸エステルなどのアクリル化合物、メタクリル化合物などが挙げられる。これらの重合性単量体は、任意に組み合わせて用いることができる。
【００６０】
フッ素吸着剤によるフッ素除去により、フッ素吸着処理水中のフッ素を例えば０．１〜２ｍｇ／Ｌ程度に低減することができる。これにより、後段の逆浸透膜処理において、フッ化カルシウムなどのフッ素由来のスケールが発生しにくくなり、水回収率を向上することができる。特に、炭酸塩含有剤添加による第二の凝集分離処理とフッ素吸着処理とを組み合わせているため、フッ素吸着処理水中のフッ素が例えば２ｍｇ／Ｌ程度残留していても、後段の逆浸透膜処理において、スケールが発生しにくくなり、水回収率を向上することができる。
【００６１】
なお、フッ素吸着処理装置１４においてフッ素吸着剤を再生する再生処理を行った場合は、その再生排水は、第一凝集分離装置１０で処理してもよい。
【００６２】
＜逆浸透膜処理工程＞
フッ素吸着処理水は、図１の逆浸透膜処理１６で逆浸透膜処理され、逆浸透膜を透過した透過水と、不純物が濃縮された濃縮水とが得られる。透過水および濃縮水は系外に排出され、透過水は脱塩水として回収される。得られる透過水のフッ素濃度は例えば０．００１〜０．５ｍｇ／Ｌ程度、カルシウム濃度は例えば０．０１〜０．５ｍｇ／Ｌ程度である。
【００６３】
濃縮水は適切な処理を行い、河川、湖沼、海域、公共下水道などに放流してもよい。また、濃縮水を、蒸発濃縮装置などでさらに濃縮したり、乾燥機などで乾燥してスラッジ化してもよい。
【００６４】
本実施形態に係る水処理方法により処理することにより、濃縮水中の汚濁成分濃度が低くなり、放流するための処理や蒸発濃縮、乾燥などが容易になる利点がある。
【００６５】
逆浸透膜の形態としては、スパイラル型、中空糸型、管型、平膜型などが挙げられる。また、逆浸透膜の材質としては、ポリアミド系、ポリイミド系、酢酸セルロースなどのセルロース系などが挙げられる。
【００６６】
逆浸透膜処理におけるｐＨは、スケール発生防止などの点から、ｐＨ３〜７の範囲であることが好ましく、ｐＨ５〜７の範囲であることがより好ましい。
【００６７】
本発明の実施形態に係る水処理装置の他の例の概略構成を図５に示す。図５の水処理装置３において、第一凝集分離装置１０の出口とフッ素吸着処理装置１４の入口、フッ素吸着処理装置１４の出口と第二凝集分離装置１２の入口、第二凝集分離装置１２の出口と逆浸透膜処理装置１６の入口とがそれぞれ配管などにより接続されている。
【００６８】
図５の水処理装置３において、フッ素を含むフッ素含有被処理水は、まずカルシウム剤添加による第一凝集分離装置１０で処理され（第一凝集分離工程）、生成されるフッ化カルシウム含有汚泥は系外に排出される。次に、第一凝集分離処理水は、フッ素吸着処理装置１４でフッ素吸着剤に接触され、フッ素が除去される（フッ素吸着処理工程）。フッ素吸着処理水は、炭酸塩含有剤添加による第二凝集分離装置１２で処理され（第二凝集分離工程）、生成される炭酸カルシウム含有汚泥は系外に排出される。第二凝集分離処理水は、その後、逆浸透膜処理１６で逆浸透膜処理され（逆浸透膜処理工程）、透過水および濃縮水は系外に排出され、透過水は脱塩水として回収される。
【００６９】
図１に示す処理方法に対して、フッ素吸着処理工程と第二凝集分離工程の順序が、フッ素吸着処理工程が先であることにより、第二凝集分離工程におけるカルシウム除去で発生する炭酸カルシウム含有汚泥中のフッ素の含有率が少なくなり、第二凝集分離工程で発生する汚泥の有効利用が可能になる。
【００７０】
第二凝集分離工程におけるカルシウム除去では、炭酸カルシウムが発生する際に、被処理水に含有されるフッ素もフッ化カルシウムとして除去されるので、炭酸カルシウム含有汚泥にはフッ素が含まれてしまう場合がある。第二凝集分離工程の前にフッ素を吸着処理することにより、炭酸カルシウム含有汚泥中のフッ素の含有率が低くなる。
【００７１】
図１のように、フッ素吸着処理工程と第二凝集分離工程の順序が、第二凝集分離工程が先である場合には、第一凝集分離工程からの第一凝集分離処理水中のＳＳ性のフッ素などを含むフロックを第二凝集分離工程で除去できる効果、フッ素吸着処理水のｐＨは通常、酸性（例えばｐＨ３〜５）であるため、逆浸透膜処理でのスケールが発生しにくい効果などが期待できるが、第二凝集分離工程から発生する炭酸カルシウム含有汚泥にフッ素が含まれてしまう場合がある。一方、フッ素吸着処理工程が先の場合、第二凝集分離工程から発生する炭酸カルシウム含有汚泥にはフッ素はほとんど含まれておらず、再利用が可能である。
【００７２】
本発明の実施形態に係る水処理装置の他の例の概略構成を図６、図７に示す。図６の水処理装置５、図７の水処理装置７はそれぞれ、第一凝集分離装置１０と、第二凝集分離装置１２と、フッ素吸着処理装置１４と、逆浸透膜処理装置１６とに加えて、第一凝集分離装置１０の前段側に、晶析処理手段である晶析処理装置１８をさらに備える。
【００７３】
図６の水処理装置５において、晶析処理装置１８の出口と第一凝集分離装置１０の入口、第一凝集分離装置１０の出口と第二凝集分離装置１２の入口、第二凝集分離装置１２の出口とフッ素吸着処理装置１４の入口、フッ素吸着処理装置１４の出口と逆浸透膜処理装置１６の入口とがそれぞれ配管などにより接続されている。
【００７４】
また、図７の水処理装置７において、晶析処理装置１８の出口と第一凝集分離装置１０の入口、第一凝集分離装置１０の出口とフッ素吸着処理装置１４の入口、フッ素吸着処理装置１４の出口と第二凝集分離装置１２の入口、第二凝集分離装置１２の出口と逆浸透膜処理装置１６の入口とがそれぞれ配管などにより接続されている。
【００７５】
図６の水処理装置５、図７の水処理装置７において、フッ素を含むフッ素含有被処理水は、フッ素とカルシウムを含有する固体粒子を充填した反応槽に、フッ素含有被処理水をカルシウム剤とともに導入して、固体粒子上にフッ化カルシウムを析出させる晶析法による晶析処理装置１８で処理される（晶析処理工程）。晶析処理された晶析処理水は、その後、第一凝集分離装置１０へ送液され、図６の水処理装置５では図１の水処理装置１と、図７の水処理装置７では図５の水処理装置３と、同様の処理が行われる。
【００７６】
＜晶析処理工程＞
図８に晶析処理装置１８の構成の一例を示す。晶析処理装置１８は、フッ素含有被処理水中のフッ素成分を晶析させるための反応槽４０を備える。フッ素含有被処理水は、流入配管４２から反応槽４０へ送液される。カルシウム剤はカルシウム剤添加配管４４を通して反応槽４０に供給される。固体粒子が流動している晶析部４６において、フッ素含有被処理水に含まれるフッ素とカルシウム剤に含まれるカルシウム化合物との反応により生成するフッ化カルシウムの晶析が固体粒子上で起こり、被処理水中のフッ素が除去され、晶析処理水は晶析処理水配管４８を通して排出される。必要に応じて、反応部を流動させるためや、晶析に適したフッ素濃度、カルシウム濃度とするために、循環配管５０を通して晶析処理水の少なくとも一部を反応槽４０の下部に循環してもよい。晶析後の固体粒子などは引抜配管５２から回収される。
【００７７】
フッ素含有被処理水中のフッ素濃度が例えば２０ｍｇ／Ｌ以上の場合には、フッ素含有被処理水をあらかじめ晶析法による晶析処理装置１８で処理し、その晶析処理水をカルシウム剤添加による第一凝集分離装置１０で処理することにより、第一凝集分離装置１０から発生するフッ化カルシウム含有汚泥の量を削減できるほか、晶析処理装置１８で回収したフッ化カルシウムを人工蛍石として再利用することが可能である。また、この場合、第一凝集分離処理水はフッ化カルシウム回収を行わない場合と比較して、処理水中のフッ素濃度が低く、吸着処理において再生頻度の低減、吸着剤交換量の削減ができる点においても効率的である。晶析処理水に含まれる微細な粒子が砂ろ過などで除去することが困難である場合は、第一凝集分離装置１０で凝集処理することができる点においても効率的である。晶析法による晶析処理装置１８で処理する場合、フッ素吸着処理装置１４の再生排水は晶析処理装置１８の原水であるフッ素含有被処理水と混合させず、第一凝集分離装置１０の原水である晶析処理水と混合する方が好ましい。その理由は再生排水中にフッ素吸着剤由来の成分が含まれ、晶析処理装置１８で回収する人工蛍石の純度が下がるためである。
【００７８】
このように、フッ素含有被処理水を、まず晶析反応を利用してフッ化カルシウムの結晶として取り出せば、このフッ化カルシウムの結晶を人工蛍石として再利用でき、さらに資源の有効利用が可能になる。
【００７９】
したがって、晶析処理装置１８を備えることにより、フッ素を含むフッ素含有被処理水から水を効率的に回収可能であるとともに、水処理で発生する汚泥の発生量を少なくし、さらに被処理水中の成分を有効利用できる。
【００８０】
晶析処理に用いられるカルシウム剤は、カルシウム化合物を含み、カルシウム化合物としては、水酸化カルシウム（消石灰、Ｃａ（ＯＨ）２）、塩化カルシウム（ＣａＣｌ２）、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ３）などが挙げられる。
【００８１】
反応槽４０内に充填する固体粒子としては、その表面に、生成したフッ化カルシウムの結晶を析出させることができるものであればよく、特に制限はない。フッ素とカルシウムを含有する粒子（例えば、蛍石）が一般的であるが、必ずしもフッ素とカルシウムを含有する必要はなく、砂や活性炭などの微細粒子が用いられる場合もある。
【００８２】
反応槽４０としては、固体粒子を充填し、フッ素とカルシウム化合物との反応による晶析反応を行うことができるものであればよく特に制限はない。例えば、フッ素含有被処理水を反応槽の下部から導入し、固体粒子を流動化させながら上向流で通水し処理を行う流動床式の反応槽の他に、反応槽内に撹拌羽根などの撹拌装置を設置し、撹拌装置により反応槽内を撹拌して固体粒子を流動させる撹拌式の反応槽などが挙げられる。
【００８３】
固液分離手段としては、例えば、砂ろ過装置などが例示されるがこれに限定されるものではなく、沈殿分離、膜処理などの手段でもよく、反応槽４０から排出されるＳＳ成分を固液分離できるものであればよい。
【００８４】
晶析反応において、ｐＨ２〜１１の条件下でフッ化カルシウムを析出させることが好ましく、微細粒子生成抑制などの点からｐＨ２〜３の条件下でフッ化カルシウムを析出させることがより好ましい。フッ化カルシウムの生成反応に伴ってｐＨが変化する場合は、反応槽４０にｐＨ調整剤を添加してｐＨを調整してもよい。
【００８５】
本実施形態に係る水処理方法における各処理工程の間には、フッ素含有被処理水中に含まれる汚濁物質の種類、量などに応じて、その他の処理工程を含んでもよい。例えば、被処理水中に浮遊物質が含まれる場合には、晶析処理装置１８での処理が不安定になるので、晶析処理装置１８の前段で浮遊物質を除去するろ過工程を含んでもよい。被処理水中の塩濃度、フッ素濃度が低い場合には、ろ過処理、軟化処理を行い、逆浸透膜処理装置で脱塩水を得た後、その濃縮水を晶析処理装置１８で処理してもよい。また、被処理水中にＢＯＤ成分や窒素成分が含まれる場合には、逆浸透膜処理の前段で生物処理、凝集処理、ろ過処理などを行うことによって、逆浸透膜処理でのバイオファウリングが抑えられるとともに、逆浸透膜処理での濃縮水中の汚濁成分濃度が低くなり、放流するための処理や蒸発濃縮、乾燥などが容易になる利点がある。
【００８６】
また、逆浸透膜処理の前段でフッ素吸着処理水または第二凝集分離処理水の脱炭酸処理を行うことによって、さらに濃縮倍率を上げることができたり、よりスケールの発生を防ぐことができる。脱炭酸処理には、脱炭酸塔での処理などが用いられる。脱炭酸塔は、塔内に充填された充填材表面を、ｐＨを好ましくは４〜６の範囲、より好ましくは４．５〜５．５の範囲に調節した被処理水が水滴状に流され、真空手段または曝気手段によって水中の炭酸を放出させる装置である。
【００８７】
本実施形態に係る水処理装置および水処理方法の処理対象となるフッ素含有被処理水としてはフッ素を含むものであればよく特に限定はされないが、例えば、半導体デバイス製造工程、液晶パネル製造工程、太陽電池製造工程などから排出されるフッ素含有排水などが挙げられる。本実施形態に係る、フッ素含有被処理水から脱塩水を回収する水処理装置および水処理方法は、半導体デバイス製造工程、液晶パネル製造工程、太陽電池製造工程などから排出されるフッ素含有排水などから、逆浸透膜により効率よく脱塩水として回収するのに極めて有効であり、系外に排出される産業廃棄物の削減が可能である。
【実施例】
【００８８】
以下、実施例および比較例を挙げ、本発明をより具体的に詳細に説明するが、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。
【００８９】
（フッ素含有被処理水の調製）
フッ素濃度として２００ｍｇ／Ｌのフッ化水素（ＨＦ）を含むフッ素含有排水を、中和槽（１０ｍ３、滞留時間１０分）で水酸化ナトリウムを用いてｐＨ６．０〜７．０に調整した水を、砂ろ過器（ＬＶ＝１０ｍ／ｈで通水）で処理し、これを軟化器（イオン交換樹脂：ローム＆ハース社製Ａｍｂｅｒｊｅｔ１０２０（強酸性イオン交換樹脂）、ＳＶ＝２０ｍ３／ｍ３／ｈ）で軟化処理を行った。その後、ＲＯ膜分離装置（ＲＯ膜：オルガノ（株）製ＯＦＲ−４２０ＷＪ８（スパイラル型超低圧膜）、供給水６０ｍ３／ｈ、透過水４０ｍ３／ｈ、濃縮水２０ｍ３／ｈ）で透過水を脱塩水として回収する一方、濃縮水を得て、この濃縮水を以下の実施例および比較例でフッ素含有被処理水として用いた。
【００９０】
（実施例１〜４）
上記濃縮水をフッ素含有被処理水として、図１（実施例１）、図５（実施例２）、図６（実施例３）、図７（実施例４）に示す水処理装置および水処理方法で処理を行い、約２ヶ月間運転を行った。各装置の仕様および各処理部の流量は以下の通りとした。
【００９１】
［各装置の仕様および各処理部の流量］
＜晶析処理装置＞
オルガノ（株）製「エコクリスタ」を使用
流動床式反応槽（ｐＨ６）：反応槽の直径２，６００ｍｍ
カルシウム剤（塩化カルシウム）を残留カルシウム濃度が３００ｍｇ／Ｌとなるように添加
固体粒子（蛍石）を反応槽に充填
【００９２】
＜第一凝集分離装置＞
カルシウム反応槽（ｐＨ１０）：消石灰を処理水残留Ｃａが３００ｍｇ／Ｌになるように理論量添加
凝集反応槽（ｐＨ７）：ポリ塩化アルミニウム（ＰＡＣ）を３００ｍｇ／Ｌ添加
凝集槽：「オルフロックＯＡ−２３（ポリアクリルアミド系、弱アニオン性高分子凝集剤）」を２ｍｇ／Ｌ添加
汚泥再生槽（ｐＨ１０）：消石灰をｐＨ１０になるまで添加
汚泥返送率：原水基準で１０容積％をカルシウム反応槽へ返送
沈殿槽：水面積負荷２ｍ／ｈで沈降分離
【００９３】
＜第二凝集分離装置＞
炭酸塩反応槽（ｐＨ１０）：炭酸ナトリウムをｐＨ１０になるまで添加
凝集反応槽（ｐＨ１０）：塩化第二鉄を５００ｍｇ／Ｌ添加
凝集槽：「オルフロックＯＡ−２３（ポリアクリルアミド系、弱アニオン性高分子凝集剤）」を２ｍｇ／Ｌ添加
沈殿槽：水面積負荷１ｍ／ｈで沈降分離
【００９４】
＜フッ素吸着処理装置＞
フッ素吸着塔（流動床式）にオルガノ（株）製「オルライト−Ｆ（ジルコニウムの含水亜鉄酸塩および水和酸化物と、塩化ビニリデン単量体に由来するジクロロエチレン構造を有する重合体とを含有する組成物を硬化させたもの）」を充填
通水量：ＬＶ２５ｍ／ｈで通水（原水基準）
【００９５】
＜逆浸透膜処理装置＞
ＲＯ膜：オルガノ（株）製「ＯＦＲ−４２０ＷＪ８（スパイラル型超低圧膜）」
供給水：２０ｍ３／ｈ
透過水：１６ｍ３／ｈ
濃縮水：４ｍ３／ｈ
【００９６】
各処理水のフッ素含有量（ｍｇ／Ｌ）、カルシウム含有量（ｍｇ／Ｌ）およびｐＨを表１に示す。また、逆浸透膜装置の透過水量の変化（透過水量／初期透過水量）を図９に示す。図９からわかるように、約２ヶ月間運転しても、実施例１〜４のいずれの処理でもＲＯ膜での透過水量の低下はほとんど見られなかった。
【００９７】
【表１】
2010082546.tif 000003
【００９８】
第一凝集分離処理で発生する汚泥の発生量（ｍ３／ｄａｙ）および晶析処理で回収された人工蛍石の発生量（ｍ３／ｄａｙ）を図１０に、第一凝集分離処理で発生する汚泥（乾燥）の発生量（ｋｇ−ｄｒｙ／ｄａｙ）および晶析処理で回収された人工蛍石（乾燥）の発生量（ｋｇ−ｄｒｙ／ｄａｙ）を図１１に示す。第一凝集分離処理で発生する汚泥量は、実施例１，２で約６００ｋｇ−ｄｒｙ／ｄａｙであったが、第一凝集分離処理の前に晶析処理を行った実施例３，４では、約１０ｋｇ−ｄｒｙ／ｄａｙとなった。また、実施例３，４の晶析処理で回収された人工蛍石は、約５９０ｋｇ−ｄｒｙ／ｄａｙであり、そのＣａＦ２含有率は９０重量％以上と高かった。
【００９９】
第二凝集分離処理で発生する汚泥中のフッ素含有量（重量％）を図１２に示す。第二凝集分離処理で発生する汚泥中のフッ素濃度は、実施例１では約１１重量％、実施例３では約５重量％であったが、第二凝集分離処理の前にフッ素吸着処理を行った実施例２，４では１重量％未満であった。
【０１００】
（比較例１）
実施例１の装置において、フッ素吸着処理装置を用いずに実施例１と同様にして処理を行った。結果を図９〜図１２に示す。比較例１では、図９からわかるように、約２週間で透過水量の低下が見られた。また、ＲＯ膜表面のスケールからはＣａＦ２が検出された。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】本発明の実施形態に係る水処理装置の一例を示す概略構成図である。
【図２】本発明の実施形態に係る水処理装置における第一凝集分離装置の一例を示す概略構成図である。
【図３】本発明の実施形態に係る水処理装置における第二凝集分離装置の一例を示す概略構成図である。
【図４】本発明の実施形態に係る水処理装置における第一凝集分離装置の一例を示す概略構成図である。
【図５】本発明の実施形態に係る水処理装置の他の例を示す概略構成図である。
【図６】本発明の実施形態に係る水処理装置の他の例を示す概略構成図である。
【図７】本発明の実施形態に係る水処理装置の他の例を示す概略構成図である。
【図８】本発明の実施形態に係る水処理装置における晶析処理装置の一例を示す概略構成図である。
【図９】本発明の実施例および比較例における逆浸透膜装置の透過水量の変化を示す図である。
【図１０】本発明の実施例および比較例における第一凝集分離処理で発生する汚泥の発生量（ｍ３／ｄａｙ）および晶析処理で回収された人工蛍石の発生量（ｍ３／ｄａｙ）を示す図である。
【図１１】本発明の実施例および比較例における第一凝集分離処理で発生する汚泥（乾燥）の発生量（ｋｇ−ｄｒｙ／ｄａｙ）および晶析処理で回収された人工蛍石（乾燥）の発生量（ｋｇ−ｄｒｙ／ｄａｙ）を示す図である。
【図１２】本発明の実施例および比較例における第二凝集分離処理で発生する汚泥中のフッ素含有量（重量％）を示す図である。
【符号の説明】
【０１０２】
１，３，５，７  水処理装置、１０  第一凝集分離装置、１２  第二凝集分離装置、１４  フッ素吸着処理装置、１６  逆浸透膜処理装置、１８  晶析処理装置、２０  カルシウム反応槽、２２，３２  凝集反応槽、２４，３４  凝集槽、２６，３６  沈殿槽、２８  汚泥再生槽、３０  炭酸塩反応槽、４０  反応槽、４２  流入配管、４４  カルシウム剤添加配管、４６  晶析部、４８  晶析処理水配管、５０  循環配管、５２  引抜配管。
【図１】
2010082546.tif 000004
【図２】
2010082546.tif 000005
【図３】
2010082546.tif 000006
【図４】
2010082546.tif 000007
【図５】
2010082546.tif 000008
【図６】
2010082546.tif 000009
【図７】
2010082546.tif 000010
【図８】
2010082546.tif 000011
【図９】
2010082546.tif 000012
【図１０】
2010082546.tif 000013
【図１１】
2010082546.tif 000014
【図１２】
2010082546.tif 000015