(57)【要約】【課題】接着を伴わずに把持部を把持して被着体に貼付された接着シートを剥離することのできる剥離用テープを提供すること。【解決手段】半導体ウエハＷに貼付された保護用の接着シートＳの表面に貼付して当該接着シートＳを半導体ウエハＷから剥離するために用いられる剥離用テープＰＴ。この剥離用テープＰＴは、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層Ａが設けられており、基材シートＢＳの一部にシート部材１５を貼付することで接着剤層Ａが表出しない把持部１１とされる一方、接着剤層Ａが表出する部分が接着部１０として構成されている。接着シートＳを半導体ウエハＷから剥離するときは、接着部１０を接着シートＳに貼付し、把持部１１を把持して引っ張ることで接着シートＳを剥離することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体に貼付された接着シートに貼付して当該接着シートを被着体から剥離するための剥離用テープであって、
基材シートの一方の面に接着剤層を有し、この接着剤層の一部にシート部材を貼付して前記接着剤層が表出しない把持部と、前記接着剤層が表出する接着部とからなることを特徴とする剥離用テープ。
【請求項２】
前記シート部材の接着部側端縁は、前記接着シートの外縁部分に一致する形状を有することを特徴とする請求項１記載の剥離用テープ。
【請求項３】
前記接着部は把持部よりも幅広の平面形状に設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の剥離用テープ。
【請求項４】
前記把持部と接着部との接続部外縁にスロープ状の繋ぎ部が設けられていることを特徴とする請求項３記載の剥離用テープ。
【請求項５】
前記接着部は、前記接着シートの外縁部分に沿うショルダ部を備えていることを特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載の剥離用テープ。
【請求項６】
前記シート部材は、前記把持部を形成する基材シート部分よりも大きく設けられていることを特徴とする請求項１ないし５の何れかに記載の剥離用テープ。
【請求項７】
半導体ウエハに貼付された略円形の接着シートに貼付されて当該接着シートを半導体ウエハから剥離するための剥離用テープにおいて、
基材シートの一方の面に接着剤層を有し、この接着剤層の一部にシート部材を貼付して前記接着剤層が表出しない把持部と、前記接着剤層が表出する接着部とを備え、
前記接着部は、前記接着シートの外縁２地点間を結ぶ弦に沿う弦縁部と、前記２地点間の弧に沿う弧縁部とで囲まれた平面形状を備え、
前記把持部は、前記弧縁部から突出した片状に設けられるとともに、前記シート部材の接着部側端縁は、前記弧縁部の一部に一致することを特徴とする剥離用テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は剥離用テープに係り、更に詳しくは、被着体に貼付された接着シートを被着体から剥離するときに、接着を伴うことなく把持する領域を備えているとともに、接着シートを破断させることなく確実に剥離することに適した剥離用テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）の処理装置においては、ウエハの回路面等を保護するための接着シートが貼付されている。この接着シートは、シート剥離装置を用いて最終的にウエハから剥離するものとなっている。
シート剥離装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。同文献におけるシート剥離装置は、ウエハに貼付された円形の接着シートに、エッジ部材に巻き掛けられた剥離用テープを接着し、ウエハとエッジ部材との相対移動に同期して剥離用テープの巻き取りを行うことで接着シートをウエハから剥離する構成が採用されている。ここで、剥離用テープは、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた帯状のテープが採用されている。
【特許文献１】特開２００７−４３０４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１に開示されたシート剥離装置における剥離用テープは、把持できる領域がなく、専用の剥離装置を用いなければならないという制約がある。
また、剥離用テープが接着シートの直径よりも小さい幅となる帯状に設けられているため、剥離用テープを引っ張って接着シートを剥離したときに、当該接着シートが、剥離用テープの幅に沿って破れ易くなる、という不都合がある。
また、接着シートの剥離動作中に剥離用テープが接着シートから分離して剥離不良を生ずる、という不都合もある。
【０００４】
ところで、ウエハに貼付された接着シートは、その外周が円弧状となっているため、当該接着シートに貼付される剥離用テープの形状も、接着シートの外周部分に対応する平面形状を備えた接着部を設けることが好ましい。
そこで、例えば、図７（Ａ）に示されるように、基材シートＢＳの一方の面の一部に接着剤層Ａを設けて接着部５０とし、これに連なる片状の把持部５１を設けて剥離用テープＰＴを形成する場合、図７（Ｂ）に示されるように、ウエハＷに貼付された接着シートＳの外周部分に接着部５０を貼付する際に、接着剤層Ａの外縁Ａeと、接着シートＳの外縁Ｓeとを一致させることが剥離の安定性を向上させる上で必要となる。
しかしながら、接着シートＳの外周部分の形状に合わせた接着部５０の形成は、打ち抜き加工等により容易であっても、接着部５０と把持部５１との境界における接着剤層Ａの外縁Ａｅを接着シートＳの外縁Ｓeに一致するように接着剤層Ａを設けることは必ずしも容易ではない。これは、剥離用テープの製造工程において、基材シートの搬送方向に沿って直線的にのみ接着剤の塗布ができないためである。その結果、量産効率が低下してコスト的に高価なものになってしまう、という不都合がある。
【０００５】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、接着部を形成する際に、接着剤層の外縁を接着シートの外縁に一致させる非効率的な工程を回避できるとともに、接着シートを剥離する際に、把持部を把持若しくは掴むことができ、専用の剥離装置を用いることなく接着シートを剥離することのできる剥離用テープを提供することにある。
また、本発明の他の目的は、被着体に貼付された接着シートの大きさよりも小さい剥離用テープを用いた場合であっても、接着シートの破断を回避しつつ確実に剥離することのできる剥離用テープを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、被着体に貼付された接着シートに貼付して当該接着シートを被着体から剥離するための剥離用テープであって、基材シートの一方の面に接着剤層を有し、この接着剤層の一部にシート部材を貼付して前記接着剤層が表出しない把持部と、前記接着剤層が表出する接着部とからなる、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記シート部材の接着部側端縁は、前記接着シートの外縁部分に一致する、という構成を採ることが好ましい。
【０００８】
また、前記接着部は把持部よりも幅広の平面形状に設けられる、という構成を採っている。
【０００９】
更に、前記接着部は把持部よりも幅広の平面形状に設けられた構成を採ることが好ましい。
【００１０】
また、前記把持部と接着部との接続部外縁にスロープ状の繋ぎ部が設けられる、という構成を採っている。
【００１１】
更に、前記接着部は、前記接着シートの外縁部分に沿うショルダ部を備える、という構成を採るとよい。
【００１２】
また、前記シート部材は、前記把持部を形成する基材シート部分よりも大きく設けることができる。
【００１３】
更に、本発明は、半導体ウエハに貼付された略円形の接着シートに貼付されて当該接着シートを半導体ウエハから剥離するための剥離用テープにおいて、基材シートの一方の面に接着剤層を有し、この接着剤層の一部にシート部材を貼付して前記接着剤層が表出しない把持部と、前記接着剤層が表出する接着部とを備え、前記接着部は、前記接着シートの外縁２地点間を結ぶ弦に沿う弦縁部と、前記２地点間の弧に沿う弧縁部とで囲まれた平面形状を備え、前記把持部は、前記弧縁部から突出した片状に設けられるとともに、前記シート部材の接着部側端縁は、前記弧縁部の一部に一致する、という構成を採ることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、基材シートの一方の面に設けられた接着剤層の一部にシート部材を貼付して接着剤層が表出しない把持部と、接着剤層が表出する接着部とにより剥離用テープを構成しているため、基材シートの一方に接着剤層を全面塗布しておき、その一部にシート部材を貼付するだけで剥離用テープを容易に形成することができるとともに、把持部を掴んで接着シートを剥離することができる。この把持部は、例えば、一対のチャック等を用いて把持できる他、作業者が把持部を直接掴んだ状態で接着シートを剥離することができ、専用の剥離装置を必要とすることがないうえ、チャック部材や作業者の指に接着剤が付着して汚れたり、不快感を与えたりすることがなくなり、剥離方法を任意に選択可能となる。しかも、把持部は、シート部材が貼付されている分接着部に対して相対的に大きい厚みとなっているため、把持したときの平面形状安定性が高く、接着部に剥離力を安定して伝達することが可能となる。
また、把持部の接着部側端縁が接着シートの外縁に一致するため、接着剤層の外縁と接着シートの外縁とが一致し、剥離の安定性を向上させることができる。
また、接着部が把持部よりも幅広の平面形状となる構成では、剥離用テープが接着シートの幅よりも小さい場合であっても、剥離に際して接着シートが破れてしまうような不都合を効果的に回避することができる。
更に、前記把持部と接着部との間の接続部外縁にスロープ状の繋ぎ部が設けられているため、剥離用テープに剥離力が付与されたときに、剥離方向の力が繋ぎ部によって左右方向に分散するため、剥離用テープや接着シートに局所的な力が加わることを防止し、接着シートが剥離用テープの幅に沿って破れてしまうといった不都合を解消することができる。
また、接着部が接着シートの外縁部分に沿うショルダ部を備えていることで、接着シートが外縁部から確実に剥離されるようになり、この点からも接着シートの破断原因を回避することができる。
更に、シート部材が基材シート部分よりも大きい場合には、把持部を形成する基材シート部分の面積が小さくても、把持する領域が不足するような不都合は生じない
また、半導体ウエハに貼付された円形の接着シートを剥離する剥離用テープとし、当該剥離用テープが接着シートの貼付領域に対応する平面形状の接着剤層を有する接着部と、接着剤層にシート部材を貼付することによって形成される把持部とを備えた構成では、半導体ウエハから確実に接着シートを剥離することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１には、本実施形態に係る剥離用テープを接着シートに貼付した概略斜視図が示され、図２には、その一部平面図が示されている。また、図３には、図１の一部断面図が示されている。これらの図において、接着シートＳが貼付された被着体としてのウエハＷがテーブルＴに支持され、この接着シートＳの外周部に剥離用テープＰＴ貼付されている。
【００１７】
剥離用テープＰＴは、接着部１０と、この接着部１０から突出する片状の把持部１１とにより構成されている。この剥離用テープＰＴは、図４（Ａ）に示されるように、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層Ａが設けられており、接着シートＳの外周部分の形状に対応する部分が接着剤層Ａを表出する接着部１０とされ、接着部１０から突出している片状の基材シート部分ＢＳａにおける接着剤層Ａに片状の剥離シートからなるシート部材１５を貼付することで、接着剤層Ａが表出しない把持部１１を形成することとなる（図４（Ｂ）参照）。なお、剥離用テープＰＴの製造に際しては、一方の面に接着剤層Ａを有する基材シートＢＳを剥離シートに仮着させた原反を用い、接着部１０と把持部１１との境界に、剥離シート側から接着剤層Ａに達する切り込みを形成し、剥離用テープＰＴの形状となるように、基材シートＢＳ側から剥離シートに達する切り込みを形成した後に、接着部１０から剥離シートを剥離すればよい。これにより、接着剤層Ａ上に残る剥離シートが把持部１１を形成するシート部材１５となる。
【００１８】
図２に示されるように、接着部１０は、接着シートＳの外縁２地点Ｐ１、Ｐ２間を結ぶ弦Ｌ１に沿う弦縁部Ａｓと、前記２地点Ｐ１、Ｐ２間の弧Ｌ２に沿う弧縁部Ａａとで囲まれた形状に設けられ、接着シートＳの外周部分と同一の平面形状を備えている。また、接着部１０は、把持部１１よりも幅広の平面形状に設けられ、把持部１１は、スロープ状（本実施形態では外縁が円弧状）の繋ぎ部１３を介して接着部１０の外縁に連設されている。これにより、図５に示されるように、剥離用テープＰＴを矢印ａ方向に引っ張ったときに、剥離方向の力が繋ぎ部１３によって左右方向（矢印ａＬ、ａＲ方向）に分散するため、剥離用テープＰＴや接着シートＳに局所的な力が加わることを防止し、接着シートＳが剥離用テープＰＴの幅に沿って破れてしまうといった不都合は発生しない。また、把持部１１は、弦Ｌ１の中心と直交する中心線Ｌ３を中心線とした対称形状に設けられて接着シートＳの外縁から外側に突出する片状に設けられている。なお、弧縁部Ａａに沿う接着部１０の外縁はショルダ部１０ａとして形成されている。
【００１９】
前記把持部１１において、シート部材１５の接着部側端縁１５Ａは、前記弧縁部Ａａに一致する外縁形状となる曲縁に形成されている（図３参照）。また、シート部材１５は、接着部側端縁１５Ａを除く３辺が、把持部１１を形成するシート基材ＢＳの外縁に一致する大きさに設けられている。
【００２０】
前記剥離用テープＰＴを用いて接着シートＳを剥離する場合には、ショルダ部１０ａが接着シートＳの外縁に一致するように剥離用テープＰＴを接着シートＳに貼付する。このように貼付することで、図３に示されるように、接着剤層Ａの弧縁部Ａａが接着シートＳの外縁に一致して貼付される。これにより、接着剤層ＡがテーブルＴに貼付して接着シートＳの剥離を妨げたり、テーブルＴを接着剤で汚してしまうといった不都合は発生しないうえ、剥離力を接着シートＳの縁部に確実に付与することが可能となり、接着シートＳの剥離不良を解消することができる。剥離用テープＰＴの貼付を完了した状態において、把持部１１は接着シートＳの外縁すなわち弧Ｌ２から外側に突出する。
【００２１】
そして、把持部１１を図示しないチャックで把持するか、或いは、オペレータが指先で摘んで剥離用テープＰＴを反転させると同時に、図１中二点鎖線で示されるように剥離用テープＰＴを引っ張ることで接着シートＳをウエハＷから剥離することができる。これにより、チャックを構成する部材やオペレータの指に接着剤が付着して汚れたり、不快感を与えたりすることはない。
【００２２】
従って、このような実施形態によれば、接着剤層Ａの一部にシート部材１５を貼付して把持部１１が形成されているため、接着を伴うことなく把持部の引っ張り操作によって接着シートＳを剥離することができる。また、シート部材１５の接着部側端縁１５ａが接着シートＳの外縁に一致する構成であるため、接着部１０と把持部１１との境界部に被着体の外縁と同形状の接着剤層を積層する場合の量産効率を低下させるような不都合を回避することができる。しかも、接着シートＳの外周部平面形状に対応するようにショルダ部１０ａを備え、このショルダ部１０ａは、把持部１１の外縁にスロープ状の繋ぎ部１３を介して連なる構成であるため、把持部１１を引っ張り操作したときでも、接着シートＳに局所的な負荷を与えることなく接着部１０の幅方向に分散した剥離力を及ぼすことができ、これによって、接着シートＳを部分的に破断してしまうおそれを回避しつつ当該接着シートＳの剥離を行うことができる。
【００２３】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００２４】
例えば、シート部材１５の大きさは、前記実施形態で示した大きさに限定されるものではなく、図６に示されるように、基材シートＢＳの外縁から外側に突出する大きさを備えたものであってもよい。この場合、シート部材１５の接着部側端縁１５ａが接着シートＳの外縁すなわち弧縁部に一致するように設けられていれば足りる。このような構成では、把持部１１を形成する基材シートＢＳの部分が小さい面積であっても、把持する領域を十分に確保することが可能となる。
【００２５】
また、把持部１１を構成するシート部材１５は、剥離シートに限らず、紙、布、フイルム、樹脂、ゴム、金属等からなるシートであってもよい。
【００２６】
更に、接着部１０、接着剤層Ａ及び把持部１１の平面形状は、図示構成例に限定されるものではなく、剥離対象となる接着シートＳの平面形状に応じて任意に変更することが可能である。すなわち、被着体に貼付された接着シートが非円形である場合には、その平面形状の外周部分の形状に応じてショルダ部１０ａや接着部側端縁１５aの形状を決定することができる。
【００２７】
また、前記実施形態では、接着部１０と把持部１１との接続部外縁が円弧状の繋ぎ部１３としたが、直線状の繋ぎ部１３としてもよい。
【００２８】
更に、接着シートが貼付される被着体は、半導体ウエハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【００２９】
また、接着剤層Ａは、感圧接着性の接着剤や感熱接着性の接着剤を採用することができ、組成物に関しては何ら限定されることはない。
【００３０】
更に、前記実施形態では、基材シートＢＳと接着剤層Ａとの２層構造となる剥離用テープＰＴを図示して説明したが、層の数には何ら限定されることはなく、例えば、接着シートＳの剥離時の引っ張り力に基材シートＢＳが耐えられない場合等に、補強用の他のシートを積層してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】剥離用テープを接着シートに貼付した状態の概略斜視図。
【図２】剥離用テープの平面図。
【図３】図１の一部断面図。
【図４】（Ａ）は把持部を分解した剥離用テープの概略斜視図、（Ｂ）は剥離用テープの概略斜視図
【図５】接着シートを剥離する直前の概略斜視図。
【図６】変形例を示す剥離用テープの平面図。
【図７】従来の不都合を説明するための概略斜視図。
【符号の説明】
【００３２】
１０  接着部
１０ａ  ショルダ部
１１  把持部
１３  繋ぎ部
１５  シート部材
１５ａ  接着部側端縁
Ｌ１  弦
Ｌ２  弧
Ａ  接着剤層
Ａｓ  弦縁部
Ａａ  弧縁部
ＢＳ  基材シート
ＰＴ  剥離用テープ
Ｓ  接着シート
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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