(57)【要約】【課題】テーブル板の円滑な移動を安定に実現することができる滑動テーブルを提供すること。【解決手段】支持板１１、支持板の上面に配置された複数個の球体１２、上側の開口の直径が球体の直径よりも小さく、かつ下側の開口の直径が球体の直径よりも大きな値に設定された複数の球体保持孔１３を備え、そして各保持孔に上記球体を収容保持している球体保持板１５、および上記の複数個の球体の上に配置されたテーブル板１６を含む滑動テーブルであって、上記球体保持板が、支持板とテーブル板との間に配置された上記球体と同径の球体２２を回転可能に収容している球体収容孔２３を更に備え、この収容孔の上側の開口２４ａの直径が球体の直径よりも大きな値に設定され、そして下側の開口２４ｂの縁部が、滑動テーブルの上下を逆向きに配置したときに球体保持板の下面全体がテーブル板の表面に密着することがないように開口の内側に突出していることを特徴とする滑動テーブル。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持板、支持板の上面に配置された複数個の球体、上側の開口の直径が球体の直径よりも小さく、かつ下側の開口の直径が球体の直径よりも大きな値に設定された複数の球体保持孔を備え、そして各々の球体保持孔に上記球体を上下の開口から部分的に突き出た状態で回転可能に収容保持している球体保持板、および上記の複数個の球体の上に配置されたテーブル板を含む滑動テーブルであって、
上記球体保持板が、支持板とテーブル板との間に配置された上記球体と同径の球体を回転可能に収容している球体収容孔を更に備え、この収容孔の上側の開口の直径が球体の直径よりも大きな値に設定され、そして下側の開口の縁部が、滑動テーブルの上下を逆向きに配置したときに球体保持板の下面全体がテーブル板の表面に密着することがないように開口の内側に突出していることを特徴とする滑動テーブル。
【請求項２】
球体保持孔の上側の開口と球体収容孔の下側の開口とが、各々円形で且つ互いに同径である請求項１に記載の滑動テーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置決めテーブルを構成する部品として用いられる滑動テーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
位置決めテーブルは、顕微鏡で観察を行なう際の試料の位置決め、精密機械加工を行なう際の加工対象物の位置決め、あるいは液晶セルを構成する二枚のガラス基板を貼り合わせる際のガラス基板の位置決めなどに用いられている。
【０００３】
位置決めテーブルは、滑動可能なテーブル板を備える滑動テーブルと、前記テーブル板の駆動装置とから構成される。
【０００４】
図７は、従来の滑動テーブルの構成を示す断面図である。そして図８は、図７の滑動テーブル８０の拡大図である。
【０００５】
図７及び図８に示す滑動テーブル８０は、支持板８１、支持板８１の上面に配置された複数個の球体８２、８２、〜、上下に開口する複数の球体保持孔８３、８３、〜を備え、そして各々の保持孔８３に前記球体８２を上下の開口８４ａ、８４ｂから部分的に突き出た状態で回転可能に収容保持している球体保持板８５、および複数個の球体８２、８２、〜の上に配置されたテーブル板８６などから構成されている。これと同様の構成を有する滑動テーブルは、例えば、特許文献１及び特許文献２の各文献に開示されている。
【０００６】
通常、滑動テーブル８０の球体保持板８５の各々の球体保持孔８３の下側の開口８４ｂの直径は、この保持孔８３に球体８２を収容するため、球体８２の直径よりも大きな値に設定される。そして各々の球体保持孔８３の上側の開口８４ａの直径は、球体８２の直径よりも小さな値に設定される。これにより、球体保持板８５は、各々の球体保持孔８３の上側の開口８４ａの周縁部にて複数個の球体８２、８２、〜に支持される。このため、球体保持板８５は、テーブル板８６と支持板８１との間に両者に非接触な状態で配置される。
【０００７】
滑動テーブル８０の支持板８１の周縁部は、基台９８に固定されている。支持板８１の下側には、補助板９６が備えられている。補助板９６は、支柱９７を介してテーブル板８６に固定されている。そして、前記の支持板８１と補助板９６との間には、複数個の球体９２、９２、〜と、各々の球体９２を回転可能に保持する球体保持板９５とが配置されている。このような構成により、テーブル板８６が複数個の球体８２、８２、〜を介して支持板８１に押し付けられるため、テーブル板８６を支持板８１の表面に沿って高精度で移動させることが可能になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１−２４２９８９号公報（第２図）
【特許文献２】実開平３−１１７５３７号公報（第２図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来の位置決めテーブルにおいては、その使用の際の配置あるいは運搬の状況などにより、位置決めの精度が低下する場合がある。特に、テーブル板を円滑に移動させるため、
球体保持板に保持された球体の周囲に潤滑用のグリースを充填した場合に、位置決めの精度が低下し易い。
【００１０】
本発明者等の研究により、前記の位置決めの精度の低下は、位置決めテーブルの傾斜状態（特に、テーブル板を垂直に配置した状態）での使用、あるいは位置決めテーブルを運搬する際の振動により、球体保持板がテーブル板の側に移動して、その上面の全体がテーブル板の下面に貼り付き、このテーブル板の円滑な移動を妨げることが原因で生じることが判明した。特に、球体保持板に保持された球体の周囲に潤滑用のグリースを充填すると、球体保持板の上面の全体がテーブル板の下面に前記グリースを介して強固に貼り付き、テーブル板の円滑な移動を妨げ易くなる。
【００１１】
図９は、図７及び図８に示す滑動テーブル８０を垂直に配置した状態を示す図である。図９に示すように、球体保持板８５がテーブル板８６の側に移動して、その上面（図９にて左側の表面）の全体がテーブル板８６の下面（図９にて右側の表面）に貼り付くと（特に、グリースを介して貼り付くと）、テーブル板８６の円滑な移動が妨げられる。このため、このテーブル板８６を移動させる駆動装置の負荷が大きくなり、位置決めの精度が低下する傾向にある。
【００１２】
本発明の課題は、テーブル板の円滑な移動を安定に実現することができる滑動テーブルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、支持板、支持板の上面に配置された複数個の球体、上側の開口の直径が球体の直径よりも小さく、かつ下側の開口の直径が球体の直径よりも大きな値に設定された複数の球体保持孔を備え、そして各々の球体保持孔に上記球体を上下の開口から部分的に突き出た状態で回転可能に収容保持している球体保持板、および上記の複数個の球体の上に配置されたテーブル板を含む滑動テーブルであって、上記球体保持板が、支持板とテーブル板との間に配置された上記球体と同径の球体を回転可能に収容している球体収容孔を更に備え、この収容孔の上側の開口の直径が球体の直径よりも大きな値に設定され、そして下側の開口の縁部が、滑動テーブルの上下を逆向きに配置したときに球体保持板の下面全体がテーブル板の表面に密着することがないように開口の内側に突出していることを特徴とする滑動テーブルにある。
【００１４】
本発明の滑動テーブルにおいては、球体保持孔の上側の開口と球体収容孔の下側の開口とが、各々円形で且つ互いに同径であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の滑動テーブルでは、球体保持板が備える球体収容孔の下側の開口の縁部が開口の内側に突出していて、この開口の縁部と球体とが係合すると、球体保持板はテーブル板の側に移動することができなくなる。このため、球体保持板の上面の全体が、テーブル板の下面に貼り付くことはない。従って、本発明の滑動テーブルは、テーブル板の円滑な移動を安定に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の滑動テーブルの構成例を示す断面図である。
【図２】図１の滑動テーブル１０の拡大図である。
【図３】図２に示す滑動テーブル１０の球体２２の近傍の部位の拡大図である。
【図４】図３に示す滑動テーブル１０を上下の向きが逆向きとなるように配置した状態を示す図である。
【図５】図１及び図２に示す滑動テーブル１０を垂直に配置した状態を示す図である。
【図６】本発明の滑動テーブルの別の構成例を示す断面図である。
【図７】従来の滑動テーブルの構成を示す断面図である。
【図８】図７の滑動テーブル８０の拡大図である。
【図９】図７及び図８に示す滑動テーブル８０を垂直に配置した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の滑動テーブルを、添付の図面を用いて説明する。図１は、本発明の滑動テーブルの構成例を示す断面図である。図２は、図１の滑動テーブル１０の拡大図である。そして図３は、図２に示す滑動テーブル１０の球体２２の近傍の部位の拡大図である。
【００１８】
図１〜図３に示す滑動テーブル１０は、支持板１１、支持板１１の上面に配置された複数個の球体１２、１２、〜、上側の開口１４ａの直径が球体１２の直径よりも小さく、かつ下側の開口１４ｂの直径が球体１２の直径よりも大きな値に設定された複数の球体保持孔１３、１３、〜を備え、そして各々の球体保持孔１３に上記球体１２を上下の開口から部分的に突き出た状態で回転可能に収容保持している球体保持板１５、および上記の複数個の球体１２、１２、〜の上に配置されたテーブル板１６などから構成されている。この滑動テーブル１０は、上記球体保持板１５が、支持板１１とテーブル板１６との間に配置された上記球体１２と同径の球体２２を回転可能に収容している球体収容孔２３を更に備え、この収容孔２３の上側の開口２４ａの直径が球体２２の直径よりも大きな値に設定され、そして下側の開口２４ｂの縁部が、図４に示すように滑動テーブル１０の上下を逆向きに配置したときに、球体保持板１５の下面（図１〜図３にて上面）の全体がテーブル板１６の表面（図１〜図３にて下面）に密着することがないように開口２４ｂの内側に突出していることに主な特徴がある。
【００１９】
このように、本発明の滑動テーブル１０では、球体保持板１５の球体収容孔２３の下側の開口２４ｂの縁部が突出していて、この開口２４ｂの縁部と球体２２とが係合すると、この球体保持板１５はテーブル板１６の側に移動することができなくなる。
【００２０】
このため、この滑動テーブル１０は、図５に示すように垂直に配置して使用した場合（あるいは、運搬中に大きな振動が付与された場合）であっても、球体保持板１５の上面（図５にて左側の表面）の全体が、テーブル板１６の下面（図５にて右側の表面）に貼り付くことはない。従って、本発明の滑動テーブル１０は、テーブル板１６の円滑な移動を安定に実現することができる。
【００２１】
そして、本発明の滑動テーブル１０を用いて位置決めテーブルを構成すると、その運搬や使用の状態に依らない安定した高い精度での位置決めが可能になる。
【００２２】
前記のように、球体収容孔２３の下側の開口２４ｂの縁部を、図４に示すように滑動テーブル１０の上下を逆向きに配置したときに、球体保持板１５の下面（図１〜図３にて上面）の全体がテーブル板１６の表面（図１〜図３にて下面）に密着することがないように開口２４ｂの内側に突出させるためには、この開口２４ｂの縁部の形状を、例えば、次のようにして定めればよい。
【００２３】
図２及び図３に示すように、滑動テーブル１０のテーブル板１６と球体保持板１５との間隔Ｌ1は、球体保持板１５の球体保持孔１３の上側の開口１４ａの縁部の形状により定まる。そして、球体保持板１５の球体収容孔２３の下側の開口２４ｂの縁部は、図４に示すように、滑動テーブル１０の上下を逆向きに配置したときの球体保持板１５の下降量Ｌ2が、上記間隔Ｌ1よりも小さくなるような形状に定める。この開口２４ｂの縁部の具体的な形状は、例えば、球体保持板１５の幾何学的な設計、あるいは試作（試作品の上記下降量Ｌ2が、上記間隔Ｌ1よりも小さいことを確認する）によって簡単に定めることができる。
【００２４】
この球体収容孔２３の下側の開口２４ｂの縁部は、縁部の全体が開口の内側に突き出ていてもよいし、縁部の一部が開口の内側に突き出ていてもよい。
【００２５】
各々の球体保持孔１３の上側の開口１４ａの直径は、球体１２の直径の３０乃至９５％（特に、４０乃至９０％）の範囲内の値に設定することが好ましい。
【００２６】
図２に示すように、球体保持孔１３の上側の開口１４ａと球体収容孔２３の下側の開口２４ｂとが、各々円形で且つ互いに同径であると、下記のように、球体保持孔１３と球体収容孔２３との形成が容易になる。
【００２７】
先ず、球体保持板１５の球体保持孔１３と球体収容孔２３とを形成する位置に、球体保持孔１３の上側の開口１４ａの直径（すなわち、球体収容孔２３の下側の開口２４ｂの直径）と同径の複数の貫通孔を形成する。次に、これらの複数の貫通孔のうち球体保持孔と対応する位置にある貫通孔の下側部分を、その直径が球体１２の直径よりも大きな直径となるように切削加工（例、座ぐり加工）することにより、球体保持孔１３を形成する。そして、前記の複数の貫通孔のうち球体収容孔と対応する位置にある貫通孔の上側部分を、その直径が球体２２の直径よりも大きな直径となるように切削加工（例、座ぐり加工）することにより、球体収容孔２３を形成する。このような簡単な機械加工により、球体保持板１５の球体保持孔１３と球体収容孔２３とを形成することができる。
【００２８】
球体保持板１５には、球体収容孔が複数形成されていてもよいが、通常、球体収容孔の数と球体保持孔の数とを合計した数（すなわち、テーブル板を支持する球体の総数）は、テーブル板のサイズ、あるいはテーブル板に加わる荷重の大きさに応じて適切な数に設定される。
【００２９】
球体保持板１５には、球体保持孔１３、そして球体収容孔２３に加えて、これらの孔の形状とは異なる形状を有し、前記球体１２と同径の球体を収容する孔（例、球体１２の直径よりも大きな直径を有する円柱形の孔）が備えられていてもよい。
【００３０】
図１の滑動テーブル１０の支持板１１の周縁部は、基台２８に固定されている。支持板１１の下側には、補助板２６が備えられている。補助板２６は、支柱２７を介してテーブル板１６に固定されている。そして、前記の支持板１１と補助板２６との間には、複数個の球体３２、３２、〜と、各球体３２を上下の開口から部分的に突き出た状態で回転可能に収容保持する複数個の球体保持孔を持つ球体保持板３５とが配置されている。
【００３１】
球体保持板１５の場合と同様に、球体保持板３５が、支持板１１と補助板２６との間に配置された上記球体３２と同径の球体４２を回転可能に収容している球体収容孔を備えていて、この収容孔の上側の開口の直径が球体４２の直径よりも大きな値に設定され、そして下側の開口の縁部が、滑動テーブル１０の上下を逆向きに配置したときに球体保持板３５の下面（図１にて上面）の全体が支持板１１の表面（図１にて下面）に密着することがないように開口の内側に突出していることが好ましい。これにより、図１に示す球体保持板３５の上面の全体が、支持板１１の下面に貼り付くことが防止される。このため、滑動テーブル１０のテーブル板１６の円滑な移動を更に安定に実現することができる。従って、滑動テーブル１０を用いた位置決めテーブルの更に安定した高い精度での位置決めが可能になる。
【００３２】
滑動テーブル１０の支持板１１、球体１２、２２、３２、４２、テーブル板１６、補助板２６、支柱２７、そして基台２８は、例えば、鋼（例、高炭素クロム鋼、ステンレス鋼）やアルミニウムに代表される金属材料から形成される。これらの部品は、軽量化のため樹脂材料から形成したり、あるいは耐熱性の向上のためセラミック材料から形成したりすることもできる。
【００３３】
球体保持板１５、３５は、その球体保持孔及び球体収容孔の機械加工が容易になることから、ステンレス鋼やアルミニウムに代表される金属材料、あるいはポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）樹脂、そしてポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂に代表される樹脂材料から形成される。
【００３４】
本発明の滑動テーブルは、例えば、従来の滑動テーブルをそのまま利用して、球体保持板の球体保持孔と球体保持孔との間に球体収容孔を形成し、この収容孔に球体保持孔に保持される球体と同径の球体を収容することにより簡単に作製することもできる。
【００３５】
図６は、本発明の滑動テーブルの別の構成例を示す断面図である。
【００３６】
図６の滑動テーブル６０の構成は、支持板１１の下側に球体、球体保持板、補助板が備えられていないこと、支柱６７の長さが基台６８に到達しない長さに設定されていること、そして基台６８が開口を有していないこと以外は図１の滑動テーブル１０と同一である。
【００３７】
本発明に従う図６の構成の滑動テーブル６０は、支持板１１の下側に球体、球体保持板、補助板を備えていないため、その製造コストが低く、そして組み立ても容易である。
【符号の説明】
【００３８】
１０  滑動テーブル
１１  支持板
１２  球体
１３  球体保持孔
１４ａ  球体保持孔１３の上側の開口
１４ｂ  球体保持孔１３の下側の開口
１５  球体保持板
１６  テーブル板
２２  球体
２３  球体収容孔
２４ａ  球体収容孔２３の上側の開口
２４ｂ  球体収容孔２３の下側の開口
２６  補助板
２７  支柱
２８  基台
３２  球体
３５  球体保持板
４２  球体
６０  滑動テーブル
６７  支柱
６８  基台
８０  滑動テーブル
８１  支持板
８２  球体
８３  球体保持孔
８４ａ  球体保持孔の上側の開口
８４ｂ  球体保持孔の下側の開口
８５  球体保持板
８６  テーブル板
９２  球体
９５  球体保持板
９６  補助板
９７  支柱
９８  基台
【図１】
2010276461.tif 000003
【図２】
2010276461.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010276461.tif 000009
【図８】
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【図９】
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