(57)【要約】【課題】吐出不良検査に要する時間を短縮し、ワークに対しての描画を効率良く行うことができる液滴吐出装置、液滴吐出方法及び電気光学装置の製造方法を提供する。【解決手段】ワークＷに描画するためのワーク描画データと、描画シート５５に検査パターンを描画するための検査描画データとを含んだ描画データを生成する。ここで、ワーク描画データと検査描画データとを含んだ描画データは、図１０の二点鎖線で示した描画範囲２０１を描画するように生成され、生成された描画データに基づいて、ワークＷおよび描画シート５５に対して描画を行う。【選択図】図１０
2010231211.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを第１走査方向に移動させるテーブルと、
前記ワークに液滴を吐出して描画する液滴吐出ヘッドを搭載するとともに第２走査方向に移動するキャリッジ装置と、
前記液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を検査するための吐出不良検査装置と、前記テーブル、前記液滴吐出ヘッド、前記キャリッジ装置及び前記吐出不良検査装置を制御する制御装置とを備え、
前記吐出不良検査装置は、前記テーブルと並設され前記液滴吐出ヘッドの液滴の吐出により検査用の所定の検査パターンが描画される被検査描画装置と、
前記被検査描画装置に描画された前記検査パターンを検出する検出装置と、
前記検出装置により検出された前記検査パターンに基づいて、前記液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を判断する吐出不良判断部とを有し、
前記被検査描画装置は、前記第１走査方向に前記テーブルと一体に移動し、前記液滴吐出ヘッドは、前記ワークに対しての描画と、前記被検査描画装置に対しての検査パターンとなる描画とを含めて液滴を吐出して描画することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置において、
前記制御装置は、前記検査パターンが前記被検査描画装置に描画される位置を所定の距離だけ第１走査方向にずらす被描画位置変更部を備えていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドが液滴を吐出して描画するための描画データを生成する描画データ生成部を備え、
前記描画データ生成部は、前記ワークに対して描画するためのワーク描画データと、
前記被検査描画装置に対して描画するための検査描画データとを含めた前記描画データを生成することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項３に記載の液滴吐出装置において、
前記テーブル上に載置された前記ワークの水平方向の位置データを取得するワーク位置取得部を備え、
前記描画データ生成部は、前記ワーク位置取得部により取得された前記ワークの前記位置データに基づいて、前記被検査描画装置に対して描画する位置を補正した前記描画データを生成することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の液滴吐出装置において、
前記描画データ生成部は、前記被検査描画装置に描画される前記検査パターンの位置を所定の距離だけ第１走査方向にずらした前記描画データを生成することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記吐出不良検査装置は、前記被検査描画装置に描画された前記検査パターンの面に対抗して臨む前記検出装置を、前記第２走査方向に移動させる移動手段を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項６に記載の液滴吐出装置において、
前記移動手段は、前記第２走査方向に直線上に並んで複数個配設された前記検出装置を移動させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記制御装置は、前記テーブルを前記第１走査方向に移動させて、前記被検査描画装置に描画された前記検査パターンを前記検出装置が検出可能な位置に臨ませることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項８に記載の液滴吐出装置において、
前記制御装置は、前記ワークに対して描画の途中に、
前記テーブルを前記第１走査方向に移動させることにより前記被検査描画装置に描画された前記検査パターンを前記検出装置が検出可能な位置に臨ませ、前記検出装置により前記検査パターンを検出させ、前記検出装置により検出された前記検査パターンに基づき、前記吐出不良判断部により前記液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を判断させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項８に記載の液滴吐出装置において、
前記制御装置は、前記テーブルを前記第１走査方向に移動させて前記ワークを搬出可能な位置に臨ませるとともに、前記被検査描画装置に描画された前記検査パターンを前記検出装置が検出可能な位置に臨ませることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記検出装置は、前記被検査描画装置に描画された検査パターンを撮像することにより検出することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドのクリーニングに使用するクリーニング装置と、
前記液滴吐出ヘッドを移動させて前記クリーニング装置に臨ませるヘッド移動部と、を備え、
前記吐出不良判断部により吐出不良として判断されたときに、
前記制御装置は、前記ヘッド移動部により前記液滴吐出ヘッドを前記クリーニング装置に臨ませ、該クリーニング装置により該液滴吐出ヘッドのクリーニングを行わせることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の液滴吐出装置における液滴吐出方法であって、
前記ワークに対して描画するための前記ワーク描画データと、
前記被検査描画装置に対して描画するための前記検査描画データとを含めた前記描画データを生成する第１工程と、
前記第１工程において生成された前記描画データに基づいて、前記ワーク及び前記被検査描画装置に対して液滴を吐出して描画する第２工程とを備えたことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項１４】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに対しての描画と前記被検査描画装置に対しての検査パターンとなる描画とを含めて液滴を吐出して描画する描画工程と、
前記被検査描画装置に対しての検査パターンとなる描画に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を検査する検査工程とを備え、
前記ワークに対しての描画により前記ワーク上に前記液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項１３に記載の前記第１工程と前記第２工程とを含めた液滴吐出方法を用い、前記吐出不良検査装置により前記液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を検査することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに対して液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する液滴吐出装置に係り、詳しくは液滴吐出ヘッドの吐出不良を検査する吐出不良検査装置を備えた液滴吐出装置、液滴吐出方法及び電気光学装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板等のワークに対して液滴を吐出して描画を行う装置として、インクジェット式の液滴吐出装置が知られている。このような液滴吐出装置には、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドのノズルの目詰まりによる吐出不良を検査するために、吐出不良検査装置が備えられている。
例えば特許文献１に記載される液滴吐出装置においては、吐出不良検査装置が、ワークを搬送するテーブルの移動領域の外側に位置し、且つ、液滴吐出ヘッドの移動領域の下方に位置する場所に固定して設置されている。また、この吐出不良検査装置は、レーザー光を投光する投光部及び受光する受光部と、検査用に吐出された液滴を受ける検査用液受け部とを備えている。液滴吐出ヘッドの吐出不良検査を行う際には、液滴吐出ヘッドを移動させて吐出不良検査装置に臨ませ、液滴吐出ヘッド検査用の液滴を検査用液受け部に吐出させる。そして、吐出不良検査装置は、この吐出された液滴に対しレーザー光の投光・受光を行って、液滴吐出ヘッドのノズルの目詰まりによる吐出不良の有無を光学的に検出している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２０２３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載される液滴吐出装置においては、吐出不良検査装置が、ワークを搬送するテーブルの移動領域の外側に設置されているため、吐出不良検査を行う際に、液滴吐出ヘッドを吐出不良検査装置に臨む位置まで大きく移動させて検査用の液滴を吐出させる必要があり、また、吐出不良検査が終了した後は、液滴吐出ヘッドをワークへの吐出が可能な位置まで戻す必要がある。このため、吐出不良検査に多くの時間を要し、ワークに対しての描画の効率が低下してしまう問題があった。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みて成されたものであり、吐出不良検査に要する時間を短縮し、ワークに対しての描画を効率良く行うことができる液滴吐出装置、液滴吐出方法及び電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した目的を達成するために、本発明の液滴吐出装置は、ワークを第１走査方向に移動させるテーブルと、ワークに液滴を吐出して描画する液滴吐出ヘッドを搭載するとともに第２走査方向に移動するキャリッジ装置と、液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を検査するための吐出不良検査装置と、テーブル、液滴吐出ヘッド、キャリッジ装置及び吐出不良検査装置を制御する制御装置とを備え、吐出不良検査装置は、テーブルと並設され液滴吐出ヘッドの液滴の吐出により検査用の所定の検査パターンが描画される被検査描画装置と、被検査描画装置に描画された検査パターンを検出する検出装置と、検出装置により検出された検査パターンに基づいて、液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を判断する吐出不良判断部とを有し、被検査描画装置は、第１走査方向にテーブルと一体に移動し、液滴吐出ヘッドは、ワークに対しての描画と、被検査描画装置に対しての検査パターンとなる描画とを含めて液滴を吐出して描画することを特徴とする。
【０００７】
このような液滴吐出装置によれば、検査パターンが描画される被検査描画装置がテーブルと並設されていることにより、テーブル上に載置されたワークとともに被検査描画装置を第１走査方向に移動させ、液滴吐出ヘッドに臨ませることができ、液滴吐出ヘッドからテーブル上のワークに対しての描画と被検査描画装置に対しての描画とを一連の描画処理の中に含めて行うことができる。これにより、ワークに対しての描画と被検査描画装置に対しての描画とを分けて制御する必要がなくなり、テーブル、液滴吐出ヘッド、キャリッジ及び吐出不良検査装置について、より単純な制御により液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無の検査ができる。ここで、特許文献１に記載された従来の液滴吐出装置にあっては、吐出不良検査装置が、ワークを搬送するテーブルの移動領域の外側に設置されていたため、ワークに対しての描画のための液滴吐出ヘッドの制御と、吐出不良検査のための液滴吐出ヘッドの制御とは別々に機能構成されている。これに対し、本発明の液滴吐出装置にあっては、ワークに対しての描画のための液滴吐出ヘッドの制御と、吐出不良検査のための液滴吐出ヘッドの制御とは１つの機能構成に含まれているため、吐出不良検査に要する時間を短縮し、ワークに対しての描画を効率良く行うことができる。
【０００８】
上記液滴吐出装置において、制御装置は、検査パターンが被検査描画装置に描画される位置を所定の距離だけ第１走査方向にずらす被描画位置変更部を備えていることが好ましい。
【０００９】
このような液滴吐出装置によれば、検査パターンが被検査描画装置に描画される都度、次に描画される位置を第１走査方向にずらすことができる。これにより、検査パターンは、前回描画された位置からずれた位置に描画されることになり、被検査描画装置に複数の検査パターンを描画することができる。このため、同一の被描画面の領域内で、ずらして検査パターンを吐出して複数回の検査を行うことが可能となり、吐出不良検査に要する時間を短縮する効果がある。
【００１０】
上記液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドが液滴を吐出して描画するための描画データを生成する描画データ生成部を備え、描画データ生成部は、ワークに対して描画するためのワーク描画データと、被検査描画装置に対して描画するための検査描画データとを含めた描画データを生成することが好ましい。
【００１１】
このような液滴吐出装置によれば、ワーク描画データと検査描画データとを含めて描画データを生成するので、ワークへの描画の中で被検査描画装置への描画を行うことができる。
【００１２】
上記液滴吐出装置において、テーブル上に載置されたワークの水平方向の位置データを取得するワーク位置取得部を備え、描画データ生成部は、ワーク位置取得部により取得されたワークの位置データに基づいて、被検査描画装置に対して描画する位置を補正した前記描画データを生成することが好ましい。
【００１３】
このような液滴吐出装置によれば、テーブル上のワークの位置データに基づいて、ワークの位置と被検査描画装置の位置との距離が補正された描画データを生成できる。これにより、テーブル上に載置されたワークの位置が載置される度に異なっても、その時のワークの位置と被検査描画装置に対して描画する位置とが補正された描画データが生成され、ワーク及び被検査描画装置に対して正しい位置に描画ができる。
【００１４】
上記液滴吐出装置において、描画データ生成部は、被検査描画装置に描画される検査パターンの位置を所定の距離だけ第１走査方向にずらした描画データを生成することが好ましい。
【００１５】
このような液滴吐出装置によれば、検査パターンが被検査描画装置に描画される都度、描画される位置が第１走査方向にずれた描画データを生成できる。これにより、生成された描画データに基づいて描画を行うと、検査パターンは、前回描画された位置からずれた位置に描画されることになり、被検査描画装置に複数の検査パターンを描画することができる。このため、同一の被描画面の領域内で、ずらして検査パターンを吐出して複数回の検査を行うことが可能となり、吐出不良検査に要する時間を短縮する効果がある。
【００１６】
上記液滴吐出装置において、吐出不良検査装置は、被検査描画装置に描画された検査パターンの面に対抗して臨む検出装置を、第２走査方向に移動させる移動手段を有することが好ましい。
【００１７】
このような液滴吐出装置によれば、被検査描画装置に描画された検査パターンの面に対抗して臨む検出装置を、移動手段により第２走査方向に移動させるため、第２走査方向に描画された検査パターンの全範囲を検出することができる。
【００１８】
上記液滴吐出装置において、移動手段は、第２走査方向に直線上に並んで複数個配設された検出装置を移動させることが好ましい。
【００１９】
このような液滴吐出装置によれば、被検査描画装置に描画された検査パターンの面に対抗して臨む複数の検出装置を個別に又は同時に第２走査方向に移動させるため、第２走査方向に描画された検査パターンの範囲を各々の検出装置で分担して検出することができ、検査パターンの検出に要する時間を短縮する効果がある。
【００２０】
上記液滴吐出装置において、制御装置は、テーブルを第１走査方向に移動させて、被検査描画装置に描画された検査パターンを検出装置が検出可能な位置に臨ませることが好ましい。
【００２１】
このような液滴吐出装置によれば、検出装置が第１走査方向に移動する必要がなくなり、検査パターンの検出に要する時間を短縮する効果がある。また、被検査描画装置に複数の検査パターンが描画されている場合、複数の検査パターンのうち、これから吐出不良検査を行う検査パターンを検出装置に臨ませることができる。
【００２２】
上記液滴吐出装置において、制御装置は、ワークに対して描画の途中に、テーブルを第１走査方向に移動させることにより被検査描画装置に描画された検査パターンを検出装置が検出可能な位置に臨ませ、検出装置により検査パターンを検出させ、検出装置により検出された検査パターンに基づき、吐出不良判断部により液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を判断させることが好ましい。
【００２３】
このような液滴吐出装置によれば、ワークに対しての描画の途中の段階で、吐出不良の有無を検査する。これにより、描画中に吐出不良が発生した液滴吐出ヘッドに対し、メンテナンス処理を適切に行うことができる。また、吐出不良の状況によっては、残りの描画を回避できるため、不要な描画を行うことに要する時間が削減できる。また、描画の最初又は最後に検査するのに比べて、吐出途中において液滴吐出ヘッドの吐出不良を検査するため、吐出品質の向上を図れる。
【００２４】
上記液滴吐出装置において、制御装置は、テーブルを第１走査方向に移動させてワークを搬出可能な位置に臨ませるとともに、被検査描画装置に描画された検査パターンを検出装置が検出可能な位置に臨ませることが好ましい。
【００２５】
このような液滴吐出装置によれば、ワークの搬出と併行して、検査パターンの検出と、検出した検査パターンに基づいての吐出不良の有無の判断とができる。これにより、ワークの搬出に対しての作業性向上と、検査の効率化とを同時に図れる。
【００２６】
上記液滴吐出装置において、検出装置は、被検査描画装置に描画された検査パターンを撮像することにより検出することが好ましい。
【００２７】
このような液滴吐出装置によれば、検査パターンを撮像して撮像内容を画像認識することにより、画像認識内容に基づき吐出不良の有無を判断することができる。これにより、従来のレーザー光を用いる構成に対して、簡素な構成の検出装置で検査パターンを検出できる。
【００２８】
上記液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドのクリーニングに使用するクリーニング装置と、液滴吐出ヘッドを移動させてクリーニング装置に臨ませるヘッド移動部と、を備え、吐出不良判断部により吐出不良として判断されたときに、制御装置は、ヘッド移動部により液滴吐出ヘッドをクリーニング装置に臨ませ、クリーニング装置により液滴吐出ヘッドのクリーニングを行わせることが好ましい。
【００２９】
このような液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドが吐出不良として判断された場合、液滴吐出ヘッドをクリーニング装置に移動させてクリーニングを行わせる。これにより、液滴の吐出が正常に行えるように液滴吐出ヘッドの保守ができる。
【００３０】
上述した目的を達成するために、本発明の液滴吐出方法は、ワークに対して描画するためのワーク描画データと、被検査描画装置に対して描画するための検査描画データとを含めた描画データを生成する第１工程と、第１工程において生成された描画データに基づいて、ワーク及び被検査描画装置に対して液滴を吐出して描画する第２工程とを備えることを特徴とする。
【００３１】
このような液滴吐出方法によれば、上記の、第１工程及び第２工程により、液滴吐出ヘッドは、ワークと被検査描画装置とを含めた一連の描画データに基づき、ワークと被検査描画装置とに対して描画を行う。これにより、ワークに対しての描画処理と、被検査描画装置に対しての描画処理とを分けて制御する必要がなくなり、１つの描画対象物として制御することができるので、制御処理を簡単にする効果がある。
【００３２】
上述した目的を達成するために、本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用い、ワークに対しての描画と被検査描画装置に対しての検査パターンとなる描画とを含めて液滴を吐出して描画する描画工程と、被検査描画装置に対しての検査パターンとなる描画に基づいて、液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を検査する検査工程とを備え、ワークに対しての描画によりワーク上に液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００３３】
このような電気光学装置の製造方法によれば、本発明の液滴吐出装置を用い、上記の、描画工程及び検査工程により、液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を検査してワーク上に液滴による成膜部を形成する。これにより、吐出不良検査に要する時間を短縮し、ワークに対して成膜部を形成するための描画を効率良く行うことができ、電気光学装置を効率よく製造することができる。
【００３４】
上述した目的を達成するために、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記第１工程と上記第２工程とを含めた液滴吐出方法を用い、吐出不良検査装置により液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を検査することを特徴とする。
【００３５】
このような電気光学装置の製造方法によれば、上記第１工程と上記第２工程とを含めた液滴吐出方法を用い、吐出不良検査装置により液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を検査する。これにより、吐出不良検査に要する時間を短縮し、ワークに対しての描画処理を効率良く行うことができ、電気光学装置を効率よく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の液滴吐出装置の説明図であり、セットテーブルがワーク載せ換え位置に臨んだときの外観斜視図。
【図２】セットテーブルがワーク載せ換え位置に臨んだ状態で、ブリッジプレートを除いた液滴吐出装置の平面図。
【図３】セットテーブルがワーク載せ換え位置に臨んだときの液滴吐出装置の側面図。
【図４】被検査描画装置及び吸着テーブル廻りの概観斜視図。
【図５】ヘッドプレート廻りの説明図であり、キャリッジ装置の下側から見たヘッドプレートの平面図。
【図６】液滴吐出ヘッドの外観斜視図。
【図７】ヘッド装置に搭載された液滴吐出ヘッドの配色パターンの説明図。
【図８】液滴吐出装置の主制御系のブロック図。
【図９】ワークＷを搬入して描画処理及び吐出不良検査を行うまでの動作処理を示すフローチャート。
【図１０】セットテーブル６０に搬入されたワークＷと被検査描画装置５１とを示す平面図。
【図１１】図１０のワークＷと描画シート５５とを拡大した平面図。
【図１２】描画処理から吐出不良検査までの動作処理を示すフローチャート。
【図１３】液滴吐出装置による描画処理の説明図であり、（ａ）は、第１描画動作、（ｂ）は、第２描画動作についての平面模式図。
【図１４】液滴吐出装置による描画処理の説明図であり、（ａ）は、第３描画動作、（ｂ）は、検査パターン描画動作についての平面模式図。
【図１５】カラーフィルタの模式断面図であり、（ａ）は、バンク形成工程後、（ｂ）は、着色層形成工程後のカラーフィルタの模式断面図。
【図１６】カラーフィルタの配色パターンの説明図であり、（ａ）は、ストライプ配列、（ｂ）は、モザイク配列、（ｃ）は、デルタ配列。
【図１７】第２の実施形態における描画処理及び吐出不良検査の動作処理を示すフローチャート。
【図１８】被検査描画装置が２つ配設されたときの液滴吐出装置の側面図。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
以下、本発明の第１の実施形態を図面に基づいて説明する。
（第１の実施形態）
【００３８】
図１は、本発明の液滴吐出装置の説明図であり、セットテーブルがワーク載せ換え位置に臨んだときの外観斜視図である。図２は、セットテーブルがワーク載せ換え位置に臨んだ状態で、ブリッジプレートを除いた液滴吐出装置の平面図である。図３は、セットテーブルがワーク載せ換え位置に臨んだときの液滴吐出装置の側面図である。図１〜図３を用いて、本発明を適用した液滴吐出装置について説明する。
【００３９】
図１〜図３に示すように、液滴吐出装置１は、Ｘ軸支持ベース２１上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向（第１走査方向）に延在して、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル１１を備えている。また、液滴吐出装置１は、複数本の支柱２４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース２３上に配設されて副走査方向となるＹ軸方向（第２走査方向）に延在するＹ軸テーブル１２と、Ｙ軸テーブル１２によりＹ軸方向に移動自在に支持されて複数の液滴吐出ヘッド３２（図５，図６等に図示）が搭載された７つのキャリッジ装置３１からなるヘッド装置３０とを備えている。更に、液滴吐出装置１は、ヘッド装置３０に搭載された液滴吐出ヘッド３２から液滴が適切に吐出されているか否かを検査する吐出不良検査装置５０を備えている。
そして、Ｘ軸テーブル１１及びＹ軸テーブル１２の駆動と同期して液滴吐出ヘッド３２を吐出駆動させることにより、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンを描画する。
【００４０】
吐出不良検査装置５０は、被検査描画装置５１と、撮像装置９０とを備えている。
被検査描画装置５１は、ヘッド装置３０の液滴吐出ヘッド３２の吐出ノズル４８（図６に図示）から検査用に吐出された液滴を受け、所定の検査パターンが描画される。撮像装置９０は、被検査描画装置５１に描画された検査パターンを撮像して検査する。
【００４１】
Ｘ軸テーブル１１は、セットテーブル６０と、Ｘ軸エアースライダ６３と、左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、一対（２本）のＸ軸ガイドレール２２とを備えている。
セットテーブル６０には、ワークＷがセットされ、Ｘ軸エアースライダ６３は、セットテーブル６０をＸ軸方向にスライド自在に支持する。左右一対のＸ軸リニアモータは、Ｘ軸方向に延在し、セットテーブル６０を介してワークＷをＸ軸方向に移動させる。一対のＸ軸ガイドレール２２は、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸エアースライダ６３の移動を案内する。
【００４２】
セットテーブル６０は、吸着テーブル６１と、θテーブル６２等とを有している。
吸着テーブル６１には、ワークＷが吸着セットされ、θテーブル６２は、吸着テーブル６１を支持し、吸着テーブル６１にセットされたワークＷの位置を水平方向に回動して補正（θ軸補正）する。
【００４３】
Ｘ軸エアースライダ６３は、スライダ本体６５と、一対（２組４個）の掛合部６４とを有している。
スライダ本体６５は、セットテーブル６０を支持し、セットテーブル６０とともに、被検査描画装置５１と、定期フラッシング装置７１とが搭載されている。一対の掛合部６４は、スライダ本体６５の下部に固定され、一対のＸ軸ガイドレール２２に係合する。一対のＸ軸リニアモータを同期させて駆動すると、Ｘ軸エアースライダ６３がＸ軸方向に移動し、セットテーブル６０にセットされたワークＷがＸ軸方向に移動する。
【００４４】
なお、図２における図示左側の位置が、ワークＷの載せ換え位置となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル６１に導入するときや、処理済のワークＷを回収するときには、吸着テーブル６１をこの位置まで移動させるようになっている。また、図中の符号２５は、ワークＷの位置認識を行うためのワークアライメントカメラであり、ワークアライメントカメラ２５の撮像結果に基づいて、θテーブル６２によるワークＷのθ軸補正が行われる。
【００４５】
Ｙ軸テーブル１２は、７つのブリッジプレート３６と、７組１４個のＹ軸スライダ（図示省略）と、一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、一対のＹ軸ガイドレール（図示省略）とを備えている。
７つのブリッジプレート３６は、ヘッド装置３０を構成する７つの各キャリッジ装置３１をそれぞれ挿通して固定し、７組１４個のＹ軸スライダは、７つのブリッジプレート３６を両持ちで支持する。一対のＹ軸リニアモータは、上記した一対のＹ軸支持ベース２３上に設置され、７組１４個のＹ軸スライダを介してブリッジプレート３６をＹ軸方向に移動させる。一対のＹ軸ガイドレールは、Ｙ軸リニアモータと並んでＹ軸支持ベース２３上に設置され、７組１４個のＹ軸スライダを支持して、各Ｙ軸スライダの移動を案内する。
【００４６】
一対のＹ軸リニアモータを同期して駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸ガイドレールを案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート３６が両持ち状態でＹ軸方向を移動し、これとともにキャリッジ装置３１がＹ軸方向に移動することになり、ヘッド装置３０が移動する（ヘッド移動部）。なお、ヘッド装置３０は、同様に構成された７つのキャリッジ装置３１をＹ軸方向に整列させて構成されている。
【００４７】
図４は被検査描画装置及び吸着テーブル廻りの概観斜視図である。図４を用いて、被検査描画装置の構成及び動作について詳しく説明する。
【００４８】
図４に示すように、被検査描画装置５１及び吸着テーブル６１廻りには、装置ベース５２と、巻取り支持部材５４と、巻取り部５３と、スライダ本体６５と、セットテーブル６０と、テーブル本体６６と、支持ベース６７と、２つの描画前フラッシング装置７２と、定期フラッシング装置７１とを備えている。
被検査描画装置５１は、装置ベース５２に配設され、装置ベース５２は、セットテーブル６０と定期フラッシング装置７１との間に位置してスライダ本体６５に支持されている。巻取り支持部材５４は、定期フラッシング装置７１側に位置する一方の描画前フラッシング装置７２と、定期フラッシング装置７１との間で巻取り部５３を支持している。テーブル本体６６は、厚板状の石盤で構成され、一辺１８００ｍｍの平面視略正方形に形成されている。テーブル本体６６の表面には、ワークＷを吸引するための吸引溝６８が複数形成されている。また、描画前フラッシング装置７２が支持ベース６７に支持されている。
【００４９】
被検査描画装置５１は、長尺状の描画シート５５（ロール紙等）と、巻取り部５３と、巻取り支持部材５４と、装置ベース５２とを備えている。巻取り部５３は、繰出しリール５６と、巻取りリール５７と、巻取りモータ（ギヤードモータ：図示省略）とを有している。
長尺状の描画シート５５は、液滴吐出ヘッド３２からの検査用の吐出を受け、ロール状に巻回され、検査パターンの描画を受ける。巻取り部５３は、描画シート５５を繰り出しながら巻き取り、巻取り支持部材５４は、巻取り部５３を支持して、装置ベース５２は、巻取り支持部材５４を支持する。
繰出された描画シート５５は、外部に露出した状態でＹ軸方向に水平に走行し、巻取りリール５７で巻き取られるようになっているが、この描画シート５５の水平走行部が、検査パターンを受ける被描画面となっている。水平走行部のＹ軸方向の長辺の長さは、ヘッド装置の全液滴吐出ヘッド３２からの検査吐出を受けることができるように設定されており、本実施形態では、１描画ラインの長さ＋２ヘッド分の長さに対応して設定されている。
【００５０】
なお、描画シート５５の巻取りは、検査パターンを１回描画する毎に行うのではなく、繰出した描画シート５５に所定回数の検査パターンが描画された後に行われる。この場合、前回描画された検査パターンに対して、今回描画される検査パターンは、Ｘ軸方向に僅かに位置をずらして描画される。そして、所定回数の検査パターンが描画されると、巻取りモータが駆動され、描画済みの描画シート５５を巻き取るとともに、新しい描画シート５５を繰出すようになっている。なお、本実施形態では、描画シート５５の巻取りをモータ駆動により自動で行っているが、巻取り頻度が低い場合等には、手動の巻取り機構を設け、手動でこれを行うようにしてもよい。
【００５１】
本実施形態では、ロール状に巻回した描画シート５５を検査パターンの描画対象として用いているが、これに代えて検査パターン用のガラス基板等を用いることも可能である。この場合、ガラス基板は適宜交換されることとなるが、描画済みのガラス基板は、洗浄された後、繰り返し利用される。
【００５２】
次に、撮像装置９０の構成及び動作について詳しく説明する。
【００５３】
図３に示すように、撮像装置９０は、検出装置としての２個の検査カメラ９１と、カメラホルダ９２と、移動手段となるカメラ移動機構９３及びカメラ移動モータ（図示省略）とを有している。
２個の検査カメラ９１は、Ｙ軸支持ベース２３に直線状に並んで支持され、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、描画シート５５に描画された検査パターンを撮像する。カメラホルダ９２は、２個の検査カメラ９１を保持している。カメラ移動機構９３は、Ｙ軸支持ベース２３に固定され、カメラホルダ９２を介して、２個の検査カメラ９１をＹ軸方向にスライド自在に支持している。カメラ移動モータは、カメラ移動機構９３を介して検査カメラをＹ軸方向に移動させる。また、撮像装置９０は、吸着テーブル６１がワーク載せ換え位置に臨んだときに、２個の検査カメラ９１が描画シート５５に臨むように配設されている。
【００５４】
図５は、ヘッドプレート廻りの説明図であり、キャリッジ装置の下側から見たヘッドプレートの平面図である。図６は、液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。図７は、ヘッド装置に搭載された液滴吐出ヘッドの配色パターンの説明図である。図５〜図７を用いて、各キャリッジ装置３１の構成について詳しく説明する。
【００５５】
図５に示すように、各キャリッジ装置３１は、１２個の液滴吐出ヘッド３２と、１２個の液滴吐出ヘッド３２を２個ずつ保持する６個のヘッド保持プレート３３と、６個のヘッド保持プレート３３を介して、１２個の液滴吐出ヘッド３２を搭載するヘッドプレート３４とを備えている。また、図１及び図２に示すように、各キャリッジ装置３１は、ヘッドプレート３４を支持するキャリッジ３５を備えている。
【００５６】
図６に示すように、液滴吐出ヘッド３２は、接続針４２を有する液滴導入部４１と、液滴導入部４１に連なるヘッド基板４３と、液滴導入部４１の下方（図では上方）に連なり、内部に液滴で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４４とを備えている。
【００５７】
なお、ノズル面４７に形成された多数の吐出ノズル４８は、等ピッチ（２ドットピッチ間隔）に整列して、１８０個の吐出ノズル４８からなる分割ノズル列４８ｂを２列形成している。そして、２列の分割ノズル列４８ｂ同士は、相互に１ドットピッチ分位置ずれしている。すなわち、液滴吐出ヘッド３２には、２列の分割ノズル列４８ｂにより１ドットピッチ間隔のノズル列４８ａが形成され、１ドットピッチの描画が可能となっている。
【００５８】
図５に示すように、ヘッドプレート３４は、ステンレス等の材質で平面視略平行四辺形に形成されている。ヘッドプレート３４には、ヘッド保持プレート３３を位置決め・装着するための開口（図示省略）が設けられており、６個のヘッド保持プレート３３が液滴吐出ヘッド３２のノズル列方向に略１ヘッド分だけ位置ずれして階段状に配置されている。これにより、各ヘッドプレート３４に搭載された１２個の液滴吐出ヘッド３２のノズル列４８ａがＹ軸方向において連続し、１本の分割描画ラインが形成される。
【００５９】
そして、ヘッド装置３０は、７つの各キャリッジ３５を７つの各ブリッジプレート３６にそれぞれ支持させ、７つのキャリッジ装置３１をＹ軸方向に整列させることにより構成される。ヘッド装置３０には、１２×７個の全液滴吐出ヘッド３２がＹ軸方向に連続している。各キャリッジ装置３１の７本の分割描画ラインはＹ軸方向に連続し、描画を行うと１描画ラインが形成される。
【００６０】
ヘッド装置３０に搭載された１２×７個の液滴吐出ヘッド３２は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の液滴のいずれかに対応しており、ワークＷに３色の液滴からなる描画パターンを描画できるようになっている。図７に示すように、ヘッド装置３０における液滴吐出ヘッド３２の配色パターンは、Ｙ軸方向に連続する１２×７個の液滴吐出ヘッド３２に対して、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色を所定の順番（本実施形態では、図示右側からＲ・Ｇ・Ｂの順）で繰り返し１個ずつ対応させたものであり、７つの各キャリッジ装置３１における液滴吐出ヘッド３２の配色パターンはすべて同様となっている。
【００６１】
したがって、ヘッド装置３０を２ヘッド分だけ副走査移動させれば、移動方向３番目以下の液滴吐出ヘッド３２が（副走査移動前に）臨んでいた領域にＲ・Ｇ・Ｂの３色分の液滴吐出ヘッド３２を臨ませることができ、この領域内に３色からなる描画パターンを描画可能である。そこで、本実施形態では、２ヘッド分の副走査移動で（１枚の）ワークＷに対する描画処理を終了できるように１描画ラインの長さが設定されている。具体的には、１描画ラインの長さは、セットテーブル６０にセット可能なワークＷの最大幅に基づいて設定されており、最大幅のワークＷに対して１回の主走査移動で描画可能なノズル列長さ（最小数ｐ個分のノズル）＋２ヘッド分の長さであり、すなわち、（ｐ＋２）×Ｍとなっている。なお、本実施形態では、ｐ＝８２である。
【００６２】
図８は、液滴吐出装置の主制御系のブロック図である。図８を用いて、液滴吐出装置１の主制御系について説明する。
同図に示すように、液滴吐出装置１は、液滴吐出部１０１と、移動部１０２と、吐出不良検査部１０３と、メンテナンス部１０４と、検出部１０５と、駆動部１０６と、制御部１０７とを備えている。
液滴吐出部１０１は、ヘッド装置３０を有する。移動部１０２は、Ｘ軸テーブル１１及びＹ軸テーブル１２を有し、ワークＷ及び被検査描画装置５１をＸ軸方向へ移動させ、ヘッド装置３０をＹ軸方向へ移動させる。吐出不良検査部１０３は、吐出不良検査装置５０となる被検査描画装置５１及び撮像装置９０を有する。メンテナンス部１０４は、クリーニング装置７３を有する。検出部１０５は、各種センサを有し各種検出を行う。駆動部１０６は、各部を駆動制御する各種ドライバを有する。制御装置となる制御部１０７は、前記各部に接続され液滴吐出装置１全体の制御を行う。
【００６３】
制御部１０７には、各部を接続するためのインタフェース１１１と、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ１１３と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ１１４と、ワークＷに所定の描画パターンを描画するための描画データや、各部からの各種データ等を記憶するとともに、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク１１５と、ＲＯＭ１１４やハードディスク１１５に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ１１２と、これらを互いに接続するバス１１６とが備えられている。
【００６４】
そして、制御部１０７は、各部からの各種データを、インタフェース１１１を介して入力されるとともに、ハードディスク１１５に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ１１２に演算処理させ、その処理結果を、駆動部１０６（各種ドライバ）を介して各部に出力する。これにより、装置全体が制御され、液滴吐出装置１の各種処理が行われる。
【００６５】
図９は、ワークＷを搬入して描画処理及び吐出不良検査を行うまでの動作処理を示すフローチャートである。図１０は、セットテーブル６０に搬入されたワークＷと被検査描画装置５１とを示す平面図である。図１１は、図１０のワークＷと描画シート５５とを拡大した平面図である。図９〜図１１を用いて、ワークＷを搬入して描画処理及び吐出不良検査を行うまでの一連の動作について説明する。なお、図９に示すフローチャートの各ステップにおける動作は、すべてＣＰＵ１１２の制御により実行されている。
【００６６】
図９のフローチャートに示すように、まず、ステップＳ１１において、未処理のワークＷが、図示しないロボットアーム（ワーク搬出入装置）を介して、ワーク載せ換え位置に臨むセットテーブル６０に搬入される。
【００６７】
次に、ステップＳ１２において、ワークアライメントカメラ２５を駆動してワークＷ上のアライメントマークＭ１０（図１０に図示、本実施形態では、２個所）を撮像するとともに、撮像結果を画像認識してワークＷの水平方向の位置データを取得する。そして、この位置データに基づいて、θテーブル６２を駆動し、セットテーブル６０を水平方向に回動させて、ワークＷのθ軸回りの角度を補正する。
【００６８】
次に、ステップＳ１３において、被検査描画装置５１にセットされた描画シート５５に対し、検査パターンが何回描画されるかをカウントする検査パターン描画回数に１を加算する。なお、最初のワークＷの搬入の際、描画シート５５に対し、検査パターンの描画は一切行われていない状態であり、検査パターン描画回数はクリアされている。
【００６９】
次に、ステップＳ１４において、ステップＳ１２で取得されたワークＷの位置データに基づいて、セットテーブル６０に搬入されたワークＷと被検査描画装置５１との距離Ｌを取得して、ステップＳ１３において加算された検査パターン描画回数と、距離Ｌとにより、描画シート５５に描画される検査パターンの描画位置を算出する。ここで、図１０に示すように、ワークＷと被検査描画装置５１との距離Ｌは、ワークＷと被検査描画装置５１との隣り合う端部間の距離となる。また、図１１に示すように、本実施形態では１枚の描画シート５５に検査パターンを４回描画する例を示しており、１回目の検査パターンの描画位置は、描画シート５５のワークＷ側の端部からＳａの距離としている。そして、隣り合う各検査パターンの間隔はＳｂとしている。この場合、ワークＷの被検査描画装置５１側の端部からｎ回目の検査パターンの描画位置までの距離Ｌｎは、次の算式によって求められる。
Ｌｎ＝Ｌ＋Ｓａ＋（ｎ−１）×Ｓｂ
【００７０】
次に、ステップＳ１５において、ワークＷに描画するためのワーク描画データと、描画シート５５に検査パターンを描画するための検査描画データとを含んだ描画データを生成する。ここで、ワーク描画データと検査描画データとを含んだ描画データは、図１０の二点鎖線で示した描画範囲２０１を描画するように生成され、一連の描画処理中は、この描画領域内にヘッド装置３０が臨むようにＸ軸テーブル１１が駆動制御され、セットテーブル６０（ワークＷ）の往復動が行われる。また、検査描画データは、ステップＳ１４において算出した検査パターンの描画位置に基づいて生成される。
【００７１】
次に、ステップＳ１６において、ステップＳ１５で生成された描画データに基づいて、ワークＷおよび描画シート５５に対して描画を行う。ここでは、最初に、Ｘ軸テーブル１１を駆動して、ワーク載せ換え位置からセットテーブル６０をヘッド装置３０側へ移動させて、描画処理を開始させる。なお、描画処理の詳細は後述する。
【００７２】
次に、ステップＳ１７において、ステップＳ１６で描画シート５５に描画された検査パターンに基づいて吐出不良検査を行う。なお、吐出不良検査は、セットテーブル６０（ワークＷ）をワーク載せ換え位置まで移動させて行うが、吐出不良検査の詳細は後述する。
【００７３】
次に、ステップＳ１８において、検査パターンの描画回数が規定回数（本実施形態では、４回とする）に達している場合（ＹＥＳ）は、ステップＳ１９へ移行する。規定回数に達していない場合（ＮＯ）は、ワークＷを搬入して描画処理及び吐出不良検査を行うまでの動作処理が終了する。
【００７４】
次に、ステップＳ１９において、検査パターン描画回数をクリアする。
【００７５】
次に、ステップＳ２０において、検査パターンが描画されている描画シート５５を巻き取るとともに、新しい描画シート５５を繰り出し、次に検査パターンが描画されるのを可能にする。これで、ワークＷを搬入して描画処理及び吐出不良検査を行うまでの動作処理が終了する。
【００７６】
なお、本実施形態では、上記の吐出不良検査〜描画シートの巻き取り（ステップＳ１７〜Ｓ２０）の動作処理と並行して、次のワークＷの載せ換えを行うことができる。
【００７７】
図１２は、描画処理から吐出不良検査までの動作処理を示すフローチャートである。図１３は、液滴吐出装置による描画処理の説明図であり、（ａ）は、第１描画動作、（ｂ）は、第２描画動作についての平面模式図である。図１４は、液滴吐出装置による描画処理の説明図であり、（ａ）は、第３描画動作、（ｂ）は、検査パターン描画動作についての平面模式図である。図１５は、カラーフィルタの模式断面図であり、（ａ）は、バンク形成工程後、（ｂ）は、着色層形成工程後のカラーフィルタの模式断面図である。図１６は、カラーフィルタの配色パターンの説明図であり、（ａ）は、ストライプ配列、（ｂ）は、モザイク配列、（ｃ）は、デルタ配列を示している。図１２〜図１６を用いて、液晶表示装置のカラーフィルタを作成する場合を例に、液滴吐出装置１における、ワークＷ及び被検査描画装置５１への一連の描画処理と、吐出不良検査とについて詳しく説明する。
【００７８】
図１５（ａ）、（ｂ）に示すように、カラーフィルタ２００は、透光性の（透明）基板２０１と、ワークＷ上にＸ軸方向及びＹ軸方向にマトリクス状に並んだ多数の画素領域（フィルタエレメント）２０７と、画素領域２０７上に形成されたＲ・Ｇ・Ｂ３色の着色層２０８（２０８Ｒ，２０８Ｇ，２０８Ｂ）と、各画素領域２０７を仕切る遮光性のバンク２０３とを備えている。
そして、描画処理は、図１５（ａ）に示すような、バンク２０３を作り込んだ基板２０１がワークＷとして導入され、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色のいずれか１色の液滴が所定の画素領域２０７内に吐出されることにより、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。
【００７９】
なお、カラーフィルタの描画を行う場合に採用する配色パターンは、下記３パターンがある。１つは、図１６（ａ）に示すように、Ｙ軸方向に並ぶ画素領域２０７の横列すべてが同色であり、Ｘ軸方向においてＲ・Ｇ・Ｂの３色を繰り返し配列させたストライプ配列である。また１つは、同図（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に並ぶ、縦列及び横列の連続する３つの画素領域２０７が互いに異なるＲ・Ｇ・Ｂの３色となるモザイク配列である。また１つは、同図（ｃ）に示すように、複数の画素領域２０７が千鳥状に（半ピッチずつずらして）配設され、隣接して並ぶ３つの画素領域２０７が互いに異なるＲ・Ｇ・Ｂの３色となるデルタ配列である。第１の実施形態では、説明の便宜上、同図（ａ）に示す、ストライプ配列のカラーフィルタを作成する事を前提に、図１２のフローチャートに基づき、描画処理から吐出不良検査までの動作処理を説明する。なお、図１２に示すフローチャートの各ステップにおける動作は、すべてＣＰＵ１１２の制御により実行されている。
【００８０】
まず、ステップＳ３１において、ワークＷに対しての第１描画動作が行われる。ここで、描画処理は、ワーク載せ換え位置からのワークＷの移動に引き続いて行われる。そして、第１描画動作では、Ｘ軸テーブル１１がそのまま駆動され、セットテーブル６０を介してワークＷが往動するとともに、これと同期して、ホーム位置に臨むヘッド装置３０の液滴吐出ヘッド３２が選択的に吐出駆動され、ワークＷに液滴が吐出される。
ワークＷの往動が終了すると、Ｙ軸テーブル１２が駆動され、ヘッド装置３０がＹ軸方向へ微少量移動する。そして、再度Ｘ軸テーブル１１の駆動と液滴吐出ヘッド３２の選択的な吐出駆動とが同期して行われ、復動するワークＷに対して液滴が吐出される。
ワークＷの復動が終了すると、更にＹ軸テーブル１２が駆動され、ヘッド装置３０がＹ軸方向へ微少量移動するとともに、上記した一連の動作が再び繰り返され、第１描画動作が終了する。
【００８１】
図１３（ａ）に示すように、ヘッド装置３０の１描画ラインは、ワークＷにマトリクス状に形成された画素領域２０７の縦列と直交しており、各画素領域列に液滴吐出ヘッド３２が臨むようになっている。また、ヘッド装置３０がホーム位置に臨んでいるとき、ヘッド装置３０の図示右端の２つの液滴吐出ヘッド３２（Ｒ・Ｇに対応する）は、図示最右端の画素領域列から更に右側に外れている。上記の第１描画動作を行うと、各液滴吐出ヘッド３２が各列に臨み、当該液滴吐出ヘッド３２が対応する色と同色に対応する画素領域２０７に液滴が吐出される。
【００８２】
次に、ステップＳ３２において、Ｙ軸テーブル１２が駆動され、ヘッド装置３０が略１ヘッド分だけＹ軸方向（図示左側方向）に移動する。これにより、第１描画動作時においてＲ色に対応する液滴吐出ヘッド３２が臨んでいた位置に、Ｂ色に対応する液滴吐出ヘッド３２が、Ｇ色が対応していた位置にＲ色に対応する液滴吐出ヘッド３２が、Ｂ色が対応していた位置にＧ色に対応する液滴吐出ヘッド３２が臨む。
【００８３】
次に、ステップＳ３３において、ワークＷに対しての第２描画動作が行われ、第１描画動作の場合と同様にワークＷの往復動と、これに伴う液滴吐出ヘッド３２の吐出駆動が２回繰り返され、第２描画動作が終了する。
これにより、図１３（ｂ）に示すように、第２描画動作では、第１描画動作において、Ｒ色が吐出された画素領域列にＢ色の液滴が、Ｇ色が吐出された画素領域列にＲ色の液滴が、Ｂ色が吐出された画素領域列にＧ色の液滴が吐出される。
【００８４】
次に、ステップＳ３４において、Ｙ軸テーブル１２が駆動されて、ヘッド装置３０が、更に略１ヘッド分だけＹ軸方向（図示左側方向）に移動する。これにより、第１描画動作時においてＲ色に対応する液滴吐出ヘッド３２が臨んでいた位置に、Ｇ色に対応する液滴吐出ヘッド３２が、Ｇ色が対応していた位置にＢ色に対応する液滴吐出ヘッド３２が、Ｂ色が対応していた位置にＲ色に対応する液滴吐出ヘッド３２が臨むようになっている。
【００８５】
次に、ステップＳ３５において、第３描画動作が行われ、第１及び第２描画動作の場合と同様に、ワークＷの往復動と、これに伴う液滴吐出ヘッド３２の吐出駆動が２回繰り返される。
これにより、図１４（ａ）に示すように、各画素領域列の全画素領域２０７に対してＲ・Ｇ・Ｂ全色分の液滴が吐出され、ワークＷに対しての描画処理が終了する。また、ワークＷに対しての描画処理の終了時には、ヘッド装置３０の図示左端の２つの液滴吐出ヘッド３２（Ｇ・Ｂに対応する）が、図示最左端の画素領域列から更に左側に外れている。
なお、本実施形態では、各画素領域２０７に対して、ヘッド装置３０を２回往復動させることにより描画処理を行っているが、この回数は実情に合わせて任意に設定可能である。また、本実施形態では、上記の第１〜第３描画動作においてのワークＷの往復動の際、被検査描画装置５１はワークＷとともに往復動を繰り返している。
【００８６】
次に、ステップＳ３６において、ワークＷに対しての第３描画動作の最後に、全液滴吐出ヘッド３２を吐出駆動して、被検査描画装置５１にセットされた描画シート５５に対して検査パターンを吐出させる。このとき、Ｘ軸テーブル１１の駆動は続けられており、被検査描画装置５１がワークＷとともにワーク載せ換え位置の方向へ移動中に、図１４（ｂ）に示すように、ヘッド装置３０（全液滴吐出ヘッド３２）に臨む描画シート５５に検査パターンが吐出される。ここで、描画シート５５の検査パターンの描画位置は、前述したように、検査パターンの描画回数によりＸ軸方向にずらしている。図１４（ｂ）に示す図は、描画シート５５に１回目の検査パターンが描画された例を示している。
そして、Ｘ軸テーブル１１の駆動が更に続けられ、検査カメラ９１が該当する検査パターンを撮像できる位置に臨むまで、被検査描画装置５１をワークＷとともに移動させる。
【００８７】
次に、ステップＳ３７において、ステップＳ３６で描画シート５５に描画された検査パターンに基づいて吐出不良検査を行う。ここで、被検査描画装置５１の移動により、検査カメラ９１が該当する検査パターンを撮像できる位置に臨むと、移動モータを駆動して２個の検査カメラ９１をＹ軸方向に移動させ、描画シート５５に描画された検査パターンを２個の検査カメラ９１で撮像する。なお、該当する検査パターンが、検査カメラ９１が撮像可能な位置に臨むように、検査パターンの描画回数により検査パターンの描画位置を算出して、被検査描画装置５１をワークＷとともにＸ軸方向に移動させる。そして、撮像結果を画像認識して、ヘッド装置３０の各液滴吐出ヘッド３２について吐出不良の有無を判断する。
なお、本実施形態では、検査パターンを検出する検出装置として、検査カメラを用いたが、検査パターンの検出が可能であれば他の検出装置を用いても良い。
【００８８】
次に、ステップＳ３８において、全液滴吐出ヘッド３２が正常に液滴を吐出していると判断されれば（ＹＥＳ）、ワークＷに対してのすべての描画処理、及びヘッド装置３０の各液滴吐出ヘッド３２についての吐出不良検査が終了する。また、吐出不良の液滴吐出ヘッド３２が有ると判断されれば（ＮＯ）、ステップＳ３９へ移行する。
【００８９】
ステップＳ３９において、液滴吐出ヘッド３２に対しクリーニング処理を実施させる。液滴吐出ヘッド３２のクリーニング処理は、吐出不良の液滴吐出ヘッド３２を有するキャリッジ装置３１を、クリーニング装置７３に臨ませ、吐出不良の液滴吐出ヘッド３２に対してクリーニング処理を実施させる。クリーニング処理が終了したら、ワークＷに対してのすべての描画処理、及びヘッド装置３０の各液滴吐出ヘッド３２についての吐出不良検査が終了する。
【００９０】
なお、請求項１に記載の吐出不良判断部は、図１２のフローチャートのＳ３７を実行するＣＰＵ１１２により構成される。請求項２に記載の被描画位置変更部は、図９のフローチャートのＳ１４を実行するＣＰＵ１１２により構成される。請求項３に記載の描画データ生成部は、図９のフローチャートのＳ１５を実行するＣＰＵ１１２により構成される。請求項４に記載のワーク位置取得部は、図９のフローチャートのＳ１２を実行するＣＰＵ１１２により構成される。請求項１３に記載の第１工程は、図９のフローチャートのＳ１５に相当し、第２工程は、Ｓ１６に相当する。請求項１４に記載の描画工程は、図９のフローチャートのＳ１４〜Ｓ１６に相当し、検査工程は、Ｓ１７に相当する。
【００９１】
上述した第１の実施形態によれば以下に示す効果がある。
【００９２】
（１）本実施形態によれば、被検査描画装置５１がセットテーブル６０と並設され、ワークＷに対しての描画の際に、ワークＷとともに被検査描画装置５１も一緒にＸ軸方向に往復動の移動ができるようにしたことから、ワークＷへの描画に引き続いて被検査描画装置５１へも描画ができる。
【００９３】
また、被検査描画装置５１に対しての検査描画データを、ワークＷに対してのワーク描画データの中に含めて生成するようにしたことから、ワークＷに対しての描画の際に、被検査描画装置５１に対しての描画を含めて描画ができる。この結果、被検査描画装置５１への検査パターンの描画の制御が簡単になり、更に、検査パターンの描画を効率的に行うことができる。
【００９４】
（２）本実施形態によれば、被検査描画装置５１にセットされた描画シート５５に描画される検査パターンの描画位置を、検査パターンの描画回数に応じて、Ｘ軸方向に所定の距離だけずらした描画データを生成して、その描画データに基づいて描画するようにした。この結果、描画シート５５に複数の検査パターンを描画することができ、検査パターンを描画するために新しい描画シート５５を準備する処理を、１つの検査パターンが描画される都度行うのではなく、規定数（本実施形態では、４回）の検査パターンが描画された後に行うことができるので、吐出不良検査に要する時間の短縮ができる。また、描画シート５５に描画する検査パターンの描画位置を検査パターンの描画回数に応じてずらしていく制御も、ワークＷに対しての描画位置から、描画回数に応じて算出した所定の距離分だけずらした描画データを生成することにより実現するので、複雑な制御を必要としないで簡単に行える。
【００９５】
（３）本実施形態によれば、ワークアライメントカメラ２５によるワークＷの撮像結果に基づいて、ワークＷの水平方向の位置データを取得して、その位置データを元に被検査描画装置５１に描画される検査パターンの描画位置が補正された描画データを生成するようにした。この結果、セットテーブル６０上に搬入されたワークＷの位置がずれていても、ワークＷ及び被検査描画装置５１に対して正しい位置に描画ができる。
【００９６】
（４）本実施形態によれば、吐出不良検査において、Ｙ軸方向に直線状に並んだ２個の検査カメラ９１をＹ軸方向に移動させ、描画シート５５に描画された検査パターンを２個の検査カメラ９１で撮像した。これにより、２個の検査カメラ９１は、描画シート５５に描画された検査パターンをそれぞれ半分ずつ撮像することにより検査パターン全体を撮像できる。具体的には、２個の検査カメラ９１を、ヘッド装置３０の１描画ラインの長さの約半分の距離だけ離間して配設しておき、この状態で２個の検査カメラを移動させて、検査パターンの左側半分を左側の検査カメラ９１で、右側半分を右側の検査カメラ９１で撮像する。この結果、短時間で効率的に検査パターンを撮像することができ、液滴吐出ヘッド３２の吐出不良検査に要する時間を削減することができる。
【００９７】
（５）本実施形態によれば、ワークＷの載せ換えと並行して、検査カメラ９１による描画シート５５に吐出された検査パターンの撮像と、この撮像結果に基づいて液滴吐出ヘッド３２の吐出不良の有無の判断と、吐出不良が有る場合には液滴吐出ヘッド３２のクリーニング処理を行えるようにした。この結果、ワークＷの載せ換え時間を有効に活用することができ、ワークＷに対して液滴吐出を行う全体に要する時間を短縮することができる。
（第２の実施形態）
【００９８】
第１の実施形態では、ワークＷに対するすべての描画処理の最後に、被検査描画装置５１にセットされた描画シート５５に対して検査パターンの吐出を行い、吐出不良の有無の判断を行っていたが、第２の実施形態では、描画処理の途中の段階で、描画シート５５に対して検査パターンの吐出を行い、吐出不良の有無の判断を行っている。
【００９９】
図１７は、第２の実施形態における描画処理及び吐出不良検査の動作処理を示すフローチャートである。図１７のフローチャートに基づき、第２の実施形態における描画処理及び吐出不良検査の動作処理を説明する。なお、図１７に示すフローチャートの各ステップにおける動作は、すべてＣＰＵ１１２の制御により実行されている。
【０１００】
まず、ステップＳ５１において、ワークＷに対しての第１描画動作が行われる。ここで、描画処理は、ワーク載せ換え位置からのワークＷの移動に引き続いて行われる。なお、第２の実施形態におけるワークＷに対しての、上記の第１描画動作及び以下に記述する第２及び第３描画動作の内容は、第１の実施形態における各描画動作の場合と同様である。
【０１０１】
次に、ステップＳ５２において、ワークＷに対しての第１描画動作の最後に、全液滴吐出ヘッド３２を吐出駆動して、被検査描画装置５１にセットされた描画シート５５に対して検査パターンを吐出させる。このとき、Ｘ軸テーブル１１の駆動は続けられており、被検査描画装置５１がワークＷとともにワーク載せ換え位置の方向へ移動中に、描画シート５５に対して検査パターンが吐出される。そして、Ｘ軸テーブル１１の駆動が更に続けられ、検査カメラ９１が該当する検査パターンを撮像できる位置に臨むまで、被検査描画装置５１をワークＷとともに移動させる。ここで、描画シート５５の検査パターンの描画位置は、第１の実施形態の場合と同様に、検査パターンの描画回数によりＸ軸方向へずらすようにしている。
【０１０２】
次に、ステップＳ５３において、被検査描画装置５１の移動により、検査カメラ９１が該当する検査パターンを撮像できる位置に臨むと、第１の実施形態における吐出不良検査の場合と同様に、Ｘ軸テーブル１１の駆動を停止させて、２個の検査カメラ９１によって描画シート５５に描画された検査パターンを撮像させ、この撮像結果を画像認識することにより、ヘッド装置３０の各液滴吐出ヘッド３２について、吐出不良の有無を判断する。
【０１０３】
次に、ステップＳ５４において、ステップＳ５３における吐出不良の有無の判断の結果、全液滴吐出ヘッド３２が正常に液滴を吐出していると判断されれば（ＹＥＳ）、ステップＳ５６へ移行し、吐出不良の液滴吐出ヘッド３２が有ると判断されれば（ＮＯ）、ステップＳ５５へ移行する。
【０１０４】
ステップＳ５５において、液滴吐出ヘッド３２に対しクリーニング処理を実施させ、クリーニング処理が終了したら、ステップＳ５６へ移行する。なお、ここで、吐出不良の液滴吐出ヘッド３２が多数存在する場合などは、以降の描画処理及び吐出不良検査を中止することができる。
【０１０５】
次に、ステップＳ５６において、Ｙ軸テーブル１２が駆動され、ヘッド装置３０が略１ヘッド分だけＹ軸方向に移動する。
【０１０６】
次に、ステップＳ５７において、Ｘ軸テーブル１１が駆動され、ワークＷを被検査描画装置５１とともに移動させて、ワークＷに対しての第２描画動作が行われる。
【０１０７】
次に、ステップＳ５８において、ワークＷに対しての第２描画動作の最後に、全液滴吐出ヘッド３２を吐出駆動して、被検査描画装置５１にセットされた描画シート５５に対して検査パターンを吐出させる。このとき、Ｘ軸テーブル１１の駆動による被検査描画装置５１及びワークＷの移動は、第１描画の際の検査パターン描画（ステップＳ５２）の場合と同様である。
【０１０８】
次に、ステップＳ５９において、上記第２描画の最後に吐出した検査パターンに基づいて、第１描画における吐出不良検査（ステップＳ５３）の場合と同様に、ヘッド装置３０の各液滴吐出ヘッド３２について、吐出不良の有無を判断する。
【０１０９】
次に、ステップＳ６０において、全液滴吐出ヘッド３２が正常に液滴を吐出していると判断されれば（ＹＥＳ）、ステップＳ６２へ移行し、吐出不良の液滴吐出ヘッド３２が有ると判断されれば（ＮＯ）、ステップＳ６１へ移行する。
【０１１０】
ステップＳ６１において、液滴吐出ヘッド３２に対しクリーニング処理を実施させ、クリーニング処理が終了したら、ステップＳ６２へ移行する。なお、ここで、吐出不良の液滴吐出ヘッド３２が多数存在する場合などは、以降の描画処理及び吐出不良検査を中止することができる。
【０１１１】
次に、ステップＳ６２において、Ｙ軸テーブル１２が駆動され、ヘッド装置３０が略１ヘッド分だけＹ軸方向に移動する。
【０１１２】
次に、ステップＳ６３において、Ｘ軸テーブル１１が駆動され、ワークＷを被検査描画装置５１とともに移動させて、ワークＷに対しての第３描画動作が行われる。
【０１１３】
次に、ステップＳ６４において、ワークＷに対しての第３描画動作の最後に、全液滴吐出ヘッド３２を吐出駆動して、被検査描画装置５１にセットされた描画シート５５に対して検査パターンを吐出させる。このとき、Ｘ軸テーブル１１の駆動による被検査描画装置５１及びワークＷの移動は、第１及び第２描画の際の検査パターン描画（ステップＳ５２及びＳ５８）の場合と同様である。
【０１１４】
次に、ステップＳ６５において、前記第３描画の最後に吐出した検査パターンに基づいて、第１及び第２描画における吐出不良検査（ステップＳ５３及びＳ５９）の場合と同様に、ヘッド装置３０の各液滴吐出ヘッド３２について、吐出不良の有無を判断する。
【０１１５】
次に、ステップＳ６６において、全液滴吐出ヘッド３２が正常に液滴を吐出していると判断されれば（ＹＥＳ）、ワークＷに対してのすべての描画処理、及びヘッド装置３０の各液滴吐出ヘッド３２についての吐出不良検査が終了し、吐出不良の液滴吐出ヘッド３２が有ると判断されれば（ＮＯ）、ステップＳ６７へ移行する。
【０１１６】
ステップＳ６７において、液滴吐出ヘッド３２に対しクリーニング処理を実施させ、クリーニング処理が終了したら、ワークＷに対してのすべての描画処理、及びヘッド装置３０の各液滴吐出ヘッド３２についての吐出不良検査が終了する。
【０１１７】
なお、第２の実施形態では、上記第１〜第３描画動作の各描画動作の最後に吐出不良検査を行っているが、これに限定されるものではなく、例えば、第１描画動作の最後にのみ吐出不良検査を行い、第２及び第３描画動作においては吐出不良検査を行わないとか、第１描画動作の最後には吐出不良検査を行わないで、第２描画動作の最後と第３描画動作の最後とに吐出不良検査を行うといったように、任意の描画動作の最後のタイミングで吐出不良検査を行っても良い。更に、各描画動作の最後のタイミングの吐出不良検査だけではなく、例えば、各描画動作におけるワークＷ及び被検査描画装置５１の往復動の各々の動作による描画の前あるいは後の任意のタイミングで吐出不良検査を行っても良い。
【０１１８】
上述した第２の実施形態によれば、第１の実施形態の場合と同様な効果が得られることに加え、以下に示す効果がある。
【０１１９】
（１）第２の実施形態によれば、ワークＷに対しての描画の途中の段階で、ヘッド装置３０の各液滴吐出ヘッド３２について吐出不良の有無の検査を行うことができる。この結果、ワークＷに対しての描画中に液滴吐出ヘッド３２の吐出不良が発生した場合、迅速に該当する液滴吐出ヘッド３２に対しメンテナンス処理を施すことができるため、製造上の歩留まりを向上させることができる。また、ワークＷに対しての描画中に吐出不良が多数発生したような場合、以降の描画処理及び吐出不良検査を中止することができ、描画に係る全体の費用の低減につなげられる。
【０１２０】
（変形例１）前記実施形態において、被検査描画装置５１は、セットテーブル６０と定期フラッシング装置７１との間にのみ配設されている。しかし、被検査描画装置が配設される位置はこれに限られない。以下に、被検査描画装置が配設される位置について変形例を示す。
図１８は、被検査描画装置が２つ配設されたときの液滴吐出装置の側面図である。図１８に示すように、Ｘ軸エアースライダ６３が図示左側の方向へ延長され、延長されたＸ軸エアースライダ６３が有しているスライダ本体６５に支持されて被検査描画装置５１Ａが配設されている。被検査描画装置５１Ａの構成は、被検査描画装置５１と同様であり、被検査描画装置５１Ａには描画シート５５Ａ（図示省略）がセットされ、液滴吐出ヘッド３２から所定回数の検査パターンが描画される。
この構成では、第１及び第２の実施形態の第１〜第３描画動作において、被検査描画装置５１ＡがワークＷとともに往動中に、ワークＷへの描画の後に続いて描画シート５５Ａに検査パターンを吐出させる。次に、被検査描画装置５１ＡがワークＷとともに復動する際に、描画シート５５Ａに描画された上記検査パターンを検査カメラ９１で撮像させて、吐出不良の有無の検査を行うことができる。これにより、復動するワークＷに対して描画する前に、吐出不良の有無の検査を行うことができるので、吐出不良の有無の検査の回数が倍増することになり、更にきめ細かい吐出不良の有無の検査が実現する。
【０１２１】
（変形例２）前記実施形態においては、電気光学装置として液晶表示装置について説明したが、本発明に係る電気光学装置としては、液晶表示装置の他に、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、有機発光材を利用する有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）、基板上に形成された小面積の薄膜に膜面に平行に電流を流すことにより、電子放出が生ずる現象を利用する表面伝導型電子放出素子等にも適用可能である。
【符号の説明】
【０１２２】
１…液滴吐出装置、１１…Ｘ軸テーブル、１２…Ｙ軸テーブル、２１…Ｘ軸支持ベース、２２…Ｘ軸ガイドレール、２３…Ｙ軸支持ベース、２４…支柱、２５…ワークアライメントカメラ、３０…ヘッド装置、３１…キャリッジ装置、３２…液滴吐出ヘッド、３３…ヘッド保持プレート、３４…ヘッドプレート、３５…キャリッジ、３６…ブリッジプレート、４１…液滴導入部、４２…接続針、４３…ヘッド基板、４４…ヘッド本体、４７…ノズル面、４８…吐出ノズル、４８ａ…ノズル列、４８ｂ…分割ノズル列、５０…吐出不良検査装置、５１，５１Ａ…被検査描画装置、５２…装置ベース、５３…巻き取り部、５４…支持部材、５５，５５Ａ…描画シート、５６…繰出しリール、５７…巻取りリール、６０…テーブルとしてのセットテーブル、６１…吸着テーブル、６２…θテーブル、６３…Ｘ軸エアースライダ、６４…掛合部、６５…スライダ本体、６６…テーブル本体、６７…支持ベース、６８…吸引溝、７１…定期フラッシング装置、７２…描画前フラッシング装置、７３…クリーニング装置、９０…撮像装置、９１…検出装置としての検査カメラ、９２…カメラホルダ、９３…カメラ移動機構、１０１…液滴吐出部、１０２…移動部、１０３…吐出不良検査部、１０４…メンテナンス部、１０５…検出部、１０６…駆動部、１０７…制御装置としての制御部、１１１…インタフェース、１１２…ＣＰＵ、１１３…ＲＡＭ、１１４…ＲＯＭ、１１５…ハードディスク、１１６…バス、２００…カラーフィルタ、２０１…描画範囲、２０３…バンク、２０７…画素領域、２０８…着色層、Ｍ１０…アライメントマーク。
【図１】
2010231211.tif 000003
【図２】
2010231211.tif 000004
【図３】
2010231211.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
2010231211.tif 000016
【図１５】
2010231211.tif 000017
【図１６】
2010231211.tif 000018
【図１７】
2010231211.tif 000019
【図１８】
2010231211.tif 000020
【手続補正書】
【提出日】平成22年4月28日(2010.4.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークをセットするセットテーブルと、
前記ワークに液滴を吐出して描画する液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドの液滴の吐出により検査用の所定の検査パターンが描画される被検査描画装置と、
前記被検査描画装置に描画された前記検査パターンを検出する検出装置と、
前記検出装置により検出された前記検査パターンに基づいて、前記液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を判断する吐出不良判断部と、
描画データ生成部とワーク位置取得部とを有する制御部と、
を備え、
前記セットテーブルは、前記ワークを吸着する吸着テーブルと、前記吸着テーブルを支持するとともに、前記ワークの位置を水平方向に回動させるθテーブルと、を有し、
前記制御部は、前記ワーク位置取得部が取得した前記ワークの水平方向の位置データに基づいて前記θテーブルを駆動して前記ワークの位置を水平方向に回動させ、
前記描画データ生成部は、前記ワークに描画するためのワーク描画データと前記被検査描画装置に前記検査パターンを描画するための検査描画データと含むととともに、前記被検査描画装置に描画される前記検査パターンの描画位置を前記位置データに基づいて補正した描画データを生成し、
前記制御部は、前記描画データに基づいて、前記セットテーブル及び前記被検査描画装置を第１走査方向に移動させながら、前記ワーク及び前記被検査描画装置に前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出させる、ことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置において、
ワークアライメントカメラをさらに備え、
前記制御部は、前記ワークアライメントカメラを駆動して前記ワーク上のアライメントマークを撮像するとともに、前記ワークアライメントカメラの撮像結果を画像認識して、前記ワーク位置取得部は、前記位置データを取得する、ことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部は、前記位置データに基づいて前記ワークと前記被検査描画装置との距離を取得し、
前記描画データ生成部は、前記描画データを前記距離に基づいて生成する、ことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
液滴吐出ヘッドを用いて液滴を吐出して描画する液滴吐出方法であって、
セットテーブルにセットされたワーク上のアライメントマークを撮像し、撮像結果に基づいて前記ワークの水平方向の位置データを所得し、
前記位置データに基づいて、ワークを吸着する吸着テーブルを支持するθテーブルを水平方向に回動させてワークのθ軸回りの角度を補正し、
前記ワークに描画するためのワーク描画データと被検査描画装置に検査パターンを描画するための検査描画データと含む描画データを、前記位置データに基づいて生成し、
前記ワーク描画データに基づいて前記ワークに描画するとともに、前記検査描画データに基づいて前記被検査描画装置に検査パターンを描画し、
前記被検査描画装置に描画された前記検査パターンを検出して、前記液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を判断する、ことを特徴とする液滴吐出方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上述した目的を達成するために、本発明の液滴吐出装置は、ワークをセットするセットテーブルと、前記ワークに液滴を吐出して描画する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドの液滴の吐出により検査用の所定の検査パターンが描画される被検査描画装置と、前記被検査描画装置に描画された前記検査パターンを検出する検出装置と、前記検出装置により検出された前記検査パターンに基づいて、前記液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を判断する吐出不良判断部と、描画データ生成部とワーク位置取得部とを有する制御部と、を備え、前記セットテーブルは、前記ワークを吸着する吸着テーブルと、前記吸着テーブルを支持するとともに、前記ワークの位置を水平方向に回動させるθテーブルと、を有し、前記制御部は、前記ワーク位置取得部が取得した前記ワークの水平方向の位置データに基づいて前記θテーブルを駆動して前記ワークの位置を水平方向に回動させ、前記描画データ生成部は、前記ワークに描画するためのワーク描画データと前記被検査描画装置に前記検査パターンを描画するための検査描画データと含むととともに、前記被検査描画装置に描画される前記検査パターンの描画位置を前記位置データに基づいて補正した描画データを生成し、前記制御部は、前記描画データに基づいて、前記セットテーブル及び前記被検査描画装置を第１走査方向に移動させながら、前記ワーク及び前記被検査描画装置に前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出させる、ことを特徴とする。
また、上記の液滴吐出装置において、ワークアライメントカメラをさらに備え、前記制御部は、前記ワークアライメントカメラを駆動して前記ワーク上のアライメントマークを撮像するとともに、前記ワークアライメントカメラの撮像結果を画像認識して、前記ワーク位置取得部は、前記位置データを取得してもよい。
また、上記の液滴吐出装置において、前記制御部は、前記位置データに基づいて前記ワークと前記被検査描画装置との距離を取得し、前記描画データ生成部は、前記描画データを前記距離に基づいて生成してもよい。
上述した目的を達成するために、本発明の液滴吐出方法は、液滴吐出ヘッドを用いて液滴を吐出して描画する液滴吐出方法であって、セットテーブルにセットされたワーク上のアライメントマークを撮像し、撮像結果に基づいて前記ワークの水平方向の位置データを所得し、前記位置データに基づいて、ワークを吸着する吸着テーブルを支持するθテーブルを水平方向に回動させてワークのθ軸回りの角度を補正し、前記ワークに描画するためのワーク描画データと被検査描画装置に検査パターンを描画するための検査描画データと含む描画データを、前記位置データに基づいて生成し、前記ワーク描画データに基づいて前記ワークに描画するとともに、前記検査描画データに基づいて前記被検査描画装置に検査パターンを描画し、前記被検査描画装置に描画された前記検査パターンを検出して、前記液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を判断する、ことを特徴とする。
上述した目的を達成するために、本発明の液滴吐出装置は、ワークを第１走査方向に移動させるテーブルと、ワークに液滴を吐出して描画する液滴吐出ヘッドを搭載するとともに第２走査方向に移動するキャリッジ装置と、液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を検査するための吐出不良検査装置と、テーブル、液滴吐出ヘッド、キャリッジ装置及び吐出不良検査装置を制御する制御装置とを備え、吐出不良検査装置は、テーブルと並設され液滴吐出ヘッドの液滴の吐出により検査用の所定の検査パターンが描画される被検査描画装置と、被検査描画装置に描画された検査パターンを検出する検出装置と、検出装置により検出された検査パターンに基づいて、液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を判断する吐出不良判断部とを有し、被検査描画装置は、第１走査方向にテーブルと一体に移動し、液滴吐出ヘッドは、ワークに対しての描画と、被検査描画装置に対しての検査パターンとなる描画とを含めて液滴を吐出して描画することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
なお、請求項に記載の吐出不良判断部は、図１２のフローチャートのＳ３７を実行するＣＰＵ１１２により構成される。請求項に記載の被描画位置変更部は、図９のフローチャートのＳ１４を実行するＣＰＵ１１２により構成される。請求項に記載の描画データ生成部は、図９のフローチャートのＳ１５を実行するＣＰＵ１１２により構成される。請求項に記載のワーク位置取得部は、図９のフローチャートのＳ１２を実行するＣＰＵ１１２により構成される。請求項に記載の第１工程は、図９のフローチャートのＳ１５に相当し、第２工程は、 Ｓ１６に相当する。請求項に記載の描画工程は、図９のフローチャートのＳ１４〜Ｓ１６に相当し、検査工程は、Ｓ１７に相当する。