(57)【要約】【課題】本発明は半導体検査装置において半導体素子を一つずつ分離して反り問題を解決するための分離装置を開示する。【解決手段】この分離装置は動力源、押下台、第一スウィングアームセット、第二スウィングアームセット、第三スウィングアームセット、第一グリッパーセット、第二グリッパーセット、第一プッシュブロック、第二プッシュブロック及びストップアームからなる。動力源を駆動して押下台を下降させて各スウィングアームセットを押さえ付けることによって、第一グリッパーセット、第二グリッパーセット及びストップアームで分離作業を行う。この分離装置は動力源のみを有すると共にこの動力源で各部材を動かして分離を行うので、分離速度を加速してフィードシステムの体積を縮小することができる。【選択図】図４Ａ
2010018429.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
分離装置先端の一側に取付け、一つ目の被検査部材の進入を制御するためのストップアームと、
前記ストップアーム後方に取付け、一つ目の前記被検査部材を挟持するための第一グリッパーセットと、
前記第一グリッパーセット後方に取付け、前記第一グリッパーセットの挟持動作を制御するための第一スウィングアームセットと、
前記分離装置先端の他側に取付け、前記第一グリッパーセット後方に位置し、二つ目の前記被検査部材を挟持するための第二グリッパーセットと、
前記第二グリッパーセット後方に取付け、前記第二グリッパーセットの挟持動作を制御するための第二スウィングアームセットと、
前記第一スウィングアームセット後方に取付け、第二プッシュブロックと連接して、前記第一グリッパーセットを前方移動させるための第一プッシュブロックと、
前記ストップアームの動作を制御するための第二プッシュブロックと、
前記第一プッシュブロック後方に取付け、前記第二プッシュブロックと前記第一プッシュブロックとを前方に動かすための第三スウィングアームセットと、
前記第一スウィングアームセット、前記第二スウィングアームセット及び前記第三スウィングアームセットの上方に取付け、第一スウィングアームセット、前記第二スウィングアームセット及び前記第三スウィングアームセットを駆動するための押下台と、
前記押下台上方に取付け、前記押下台と連接して直接前記押下台を駆動するための動力源と、
を含むことを特徴とする検査装置の分離装置。
【請求項２】
前記押下台は、
前記動力源に連接するための支持プレートと、
前記支持プレート下方に位置し、前記第一スウィングアームセットと前記第三スウィングアームセットを押下して駆動するための第一押下プレートと、
前記支持プレート下方に位置し、前記第二スウィングアームセットを押下して駆動するための第二押下プレートと、
前記支持プレートと前記第一押下プレートを連接するための第一スプリングと、
前記支持プレートと前記第二押下プレートを連接するための第二スプリングとを含み、
前記第一スプリングと前記第二スプリングは動力源がオフのとき、前記押下台の各部材が元の位置に戻るのを補助することを特徴とする請求項１に記載する検査装置の分離装置。
【請求項３】
前記第一グリッパーセットは前記第一スウィングアームセットと連接する第一制御システムと第一グリッパーを含み、前記第一スウィングアームが前記第一制御システムを前進させて第一グリッパーが閉じるのを制御することを特徴とする請求項１に記載する検査装置の分離装置。
【請求項４】
前記第二グリッパーセットは前記第二スウィングアームセットと連接する第二制御システムと第二グリッパーを含み、前記第二スウィングアームが前記第二制御システムを前進させて第二グリッパーが閉じるのを制御することを特徴とする請求項１に記載する検査装置の分離装置。
【請求項５】
前記第一プッシュブロックと前記第二プッシュブロックに連接し、動力源をオフにしたとき各部材を元の位置に戻すための第三スプリングをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載する検査装置の分離装置。
【請求項６】
前記第一スウィングアームセットを貫通する連接構造をさらに含み、前記第一プッシュブロック及び前記第一グリッパーと連接することを特徴とする請求項１に記載する検査装置の分離装置。
【請求項７】
前記ストップアーム上方に位置し、前記ストップアームが開くのを制御するための係止ほぞをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載する検査装置の分離装置。
【請求項８】
前記第一スウィングアームの位置に対応する様に前記第一押下プレート上に取付けた凸部をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載する検査装置の分離装置。
【請求項９】
前記第二スウィングアームの位置に対応する様に前記第二押下プレート上に取付けた別の凸部をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載する検査装置の分離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は分離装置に関し、特に単一の動力源を具備し、収納チューブ（tube）をフィードシステムとする半導体素子検査装置が部材をフィードする分離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子の実装が完了すると、通常半導体素子の検査を行って実装前に検出できなかった不良製品を選別し、或いは実装工程中に破損した製品を選別することによって、製品の品質を確保することができる。一般に実装メーカーが実装済みの半導体素子を収納チューブに装入し、検査メーカーに搬送して検査を行う。検査メーカーではまず前記収納チューブを検査装置のフィードシステムに置き、分離を行うのに半導体素子を一つ一つ分離して検査装置に進入させるのであって、一斉に全部を検査装置に入れるのではない。
【０００３】
図１は従来の半導体素子の検査装置の側面図である。検査テーブル１００の後側にフィードエリア１０４を設け、収納チューブ１０２を挿入して検査される半導体素子（以下、被検査部材という）を提供する。フィードエリア１０４後方に位置するのは勾配を有する一時停止エリア１０６であって、検査部材１０３を一時保管する。分離装置１０８は一時停止エリア１０６上方に位置し、一時停止エリア１０６の被検査部材１０３に対して分離を行う。最後に、検査エリア１１０で被検査部材１０３を検査して、収集装置１１２で検査終了の検査済部材を収集する。
【０００４】
収納チューブ１０２がフィードエリア１０４に挿入されると、収納チューブ１０２は縦に起き上がり、収納チューブ１０２内の被検査部材１０３は重力によって一時停止エリア１０６にスライドする。図２Ａで示すように、まず一時停止エリア１０６に進入した被検査部材１０３ａは分離装置１０８内の検査エリア１１０に近い第一シリンダー１０８ａに阻まれて一時停止エリア１０６内に留まると同時に、一時停止エリア１０６に位置するその他の被検査部材が検査エリア１１０に進入するのを阻む。
【０００５】
続いて、図２Ｂで示すように、分離装置１０８の第二シリンダー１０８ｂが続けて進入する被検査部材１０３ｂを押さえ付ける。最後に、図２Ｃで示すように、第一シリンダー１０８ａを開いて被検査部材１０３ａを検査エリア１１０内にスライドさせて検査を行う。上記工程を繰り返すことで被検査部材は一つずつそれぞれ検査エリア１１０に進入して検査が行われる。
【０００６】
然しながら、実装工程で半導体素子が実装されると、図３に示すように、その辺縁にはよく反り１０１が生じる。こうした反り１０１がある半導体素子が収納チューブ１０２に装入されると、収納チューブ１０２との摩擦が増大するだけでなく、各隣同士の被検査部材１０３の反り１０１が互いに重なり合って、分離装置１０８が重力によって被検査部材を容易く分離できなくなって、部材が詰まるという問題が生じ、分離動作がスムースに行われず、検査装置がダウンして検査性能の低下とコストの上昇を招く。また、上述したような従来の分離装置１０８は多くの動力源（即ち多数のシリンダー）を使用しているので、数段階の工程に分けて個別にシリンダーを駆動してフィード動作を完了させる必要がある。従って、長時間費やす上に、多数のシリンダーが大きなスペースを占める。従って、反りによって惹起される部材詰まりという問題を解決し、スペースを占めずに分離時間を短縮することができる分離装置を提供することが必要なのである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記背景に鑑みて、本発明の目的はフィード動作を連続させると共に、フィード工程を一回で完了させる様簡素化することによって、分離速度を加速させると同時に、フィードシステムの体積を縮小することができる単一の動力源を具備したフィードシステムを提供することである。
【０００８】
本発明の別途目的は半導体素子の実装の反り反応による部材詰まりという問題を解決して検査装置のロックを減少させると共に、分離とフィード動作を迅速且つスムースに行うことができることにより生産能力が向上する検査装置の分離装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的に基づいて、本発明は分離装置を提供する。前記分離装置は動力源を含み、直接押下台を駆動し、押下台が押下されてその下方に位置するそれぞれ第一スウィングアームセット、第二スウィングアームセット及び第三スウィングアームセットである三個のスウィングアームセットを駆動し、またそれぞれ第一スウィングアームセットを駆動することで第一グリッパーセットを制御して一つ目の素材又は被検査部材を挟持し、第二スウィングアームセットを駆動して第二グリッパーセットを制御し二つ目の素材又は被検査部材を挟持し、第三スウィングアームセットを駆動し第二プッシュブロックと第一プッシュブロックを動かす。第二プッシュブロックを動かしてストップアームの動作を制御し、また第一プッシュブロックを動かして第一グリッパーセットを前方移動させる。第一グリッパーセット、第二グリッパーセット及びストップアームによるピックアップと抑止によって第一素材/被検査部材は前方移動して第二素材/被検査部材と分離してフィード動作が完了する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
[実施例]
図４Ａ−Ｄは本発明の好ましい実施例の分離装置１０の全体、分離装置１０の一部１０ａ及び分離装置１０の別の一部１０ｂの概略斜視図である。そのうち、図４Ｃは分離装置１０の一部１０ａの透視図である。分離装置１０はシリンダーのような動力源１２を含み、下方向に押下台１４を連接する。
【００１１】
図４Ｂは分離装置１０の一部１０ａの概略側面図である。第一スウィングアームセット１６と第三スウィングアームセット２０は押下台１４下方に設置されて、それぞれ第一グリッパーセット２２と第一プッシュブロック２８に連接して、第一グリッパーセット２２のピックアップ制御と第一プッシュブロック２８の前進をさせる。そのうち、第一スウィングアームセット１６は第三スウィングアームセット２０の前方に取付けられる。前記第一グリッパーセット２２は第一制御システム２２ａと第一グリッパー２２ｂで構成され、そのうち第一制御システム２２ａは第一スウィングアームセット１６と連接する逆Ｕ字型構造であり、第一グリッパー２２ｂの開閉を制御する。当然ながら、第一制御システム２２ａはＵ字型、Ｖ字型などの構造の様にその他の形状であってもよい。
【００１２】
図４Ｂと図４Ｃでは、図４Ｃは分離装置１０の一部１０ａの透視図であり、点線部分は透視部位を表していて、第一プッシュブロック２８が第一スウィングアームセット１６後方に取付けられ、第三スプリング２９ａによって第一スウィングアームセット１６と連接する。また、ピンの様に第一スウィングアームセット１６を貫く連接構造２９ｂによって、第一グリッパー２２ｂと第二プッシュブロック３０を連接する。前記第二プッシュブロック３０は第一グリッパーセット２２前方に取付けられ、その上にストップアーム２６を取付け、ストップアーム２６上方には係止ほぞ２７を有し、ストップアーム２６の挙上と放下を制御して被検査部材のテーブルへの進入を制御する。
【００１３】
図４Ｄは分離装置１０の別の一部１０ｂの概略斜視図である。第二押下プレート１４ｅ下方に第二スウィングアームセット１８を有し、その前方の第二グリッパーセット２４に連接して取付けられる。前記第二グリッパーセット２４は第一グリッパーセット２２と同様に、第二制御システム２４ａと第二グリッパー２４ｂで構成され、そのうち第二制御システム２４ａは第二スウィングアームセット１８と連接する逆Ｕ字型構造であり、第二一グリッパー２４ｂの開閉を制御する。当然ながら、第二制御システム２４ａはＵ字型、Ｖ字型などの構造のようにその他の形状であってもよい。
【００１４】
また、第一押下プレート１４ｄとその下方の第一スウィングアームセット１６との距離は第二押下プレート１４ｅとその下方の第二スウィングアームセット１８との距離より小さく、且つ第一押下プレート１４ｄとその下方の第三スウィングアームセット２０との距離よりも小さい。こうして、押下台１４が押下されると順番に第一スウィングアームセット１６、第二スウィングアームセット１８及び第三スウィングアームセット２０を押さえて分離を行う。当然ながら、本発明のその他の実施例で、第一スウィングアームセット１６、第二スウィングアームセット１８及び第三スウィングアームセット２０を直接高所から低所へ分離装置内に設置することができ、また同様の効果が達成できる。
【００１５】
図５で示すのは本発明の分離装置が分離を行うフローチャートであり、その工程は以下に逐一詳細に説明する。まず、動力源（シリンダー）１２を駆動して押下台１４を下降させるが、その作動方法は動力源で支持プレート１４ａを押下して下降させ第一スプリング１４ｂと第二スプリング１４ｃを押さえ付けることによって、第一押下プレート１４ｄと第二押下プレート１４ｅを下降させる。続いて、図６Ａで示すように、第一押下プレート１４ｄがまず第一スウィングアームセット１６に接触してこれを押下させると、第一スウィングアームセット１６はそれと連接する第一グリッパーセット２２内の第一制御システム２２ａを前進させ、また図６Ｂで示すように、第一グリッパー２２ｂを押さえ付けてこれを閉じて、一つ目の被検査部材１３を挟持する。
【００１６】
押下台１４が引き続き下降して第二スウィングアームセット１８を押さえ付け、第二グリッパーセット２４の第二制御システム２４ａを前進させると、第二グリッパー２４ｂは前記第一グリッパー２２ｂと同様に押さえ付けられて二つ目の被検査部材を閉じて挟持する。そして押下台１４は引き続き下降して第三スウィングアームセット２０を押さえ付けて第一プッシュブロック２８を前進させる。第一プッシュブロック２８は前進して第三スプリング２９ａを圧縮すると共に、第一スウィングアームセット１６の連接構造２９ｂ（例：ピン）と第一グリッパー２２ｂを貫通して前進させる。従って、第一グリッパー２２ｂは一つ目の被検査部材を強制的に前方移動させて第二グリッパーに挟持された二つ目の被検査部材と分離する。
【００１７】
続いて、第一プッシュブロック２８が引続き第一グリッパー２２ｂを動かして第一制御システム２２ａから離れると第一グリッパー２２ｂが開いて一つ目の被検査部材が第一グリッパーの制御を解除されて下方へスライドする。これと同時に、第一プッシュブロック２８が連接構造２９ｂ（例：ピン）を押して第二プッシュブロック３０とその上に取付けたストップアーム２６を前進させると、ストップアーム２６は係止ほぞ２７の制御から解除されて上向きに上がって開くことにより、一つ目の被検査部材は下方へスライドして分離装置から離れる。然しながら、このとき二つ目の被検査部材は依然として第二グリッパー２４ｂに挟持されている。そして、動力源１２がオフになると、分離装置１０全体は第一スプリング１４ｂ、第二スプリング１４ｃ及び第三スプリング２９ａの力がもう加わらないので、スプリングの復元力により各部材は元の位置に引き戻される。こうして二つ目の被検査部材と三つ目の被検査部材は下方にスライドして分離装置１０に進入するものの、ストップアーム２６に阻まれて引続き下方へスライドすることができない。上記工程を繰り返せば連続して分離動作を行うことができる。
【００１８】
上記実施例では押下台が下降する際、第一スウィングアームセット、第二スウィングアームセットを順番に押さえ付けることで、一つ目の被検査部材と二つ目の被検査部材を順番に挟持するが、この順序は決して一定不変のものではない。本発明のその他の実施例では、第一スウィングアームセットと第二スウィングアームセットの高さを変えることによって、或いは第一押下プレート上と第二押下プレート上の凸部と第一スウィングアームセットと第二スウィングアームセットとの距離を変えることによって、二つ目の被検査部材をまず挟  持して、次に一つ目の被検査部材を挟持する様に変えることができる。
【００１９】
本発明の分離装置は単一の動力源のみを具備するフィードシステムであると共に、前記単一の動力源によってフィード動作を動力源に変換する必要がないことから、フィード動作は連続して停止することなくフィード工程を一度で完了させ簡素化することができるので、分離速度を加速化することができる。このほか、単一の動力源のみしかないことから、フィードシステムの体積を縮小することができる。さらに、本発明のフィードシステムは第一グリッパーが一つ目の被検査部材を挟持して前方移動するので、これを二つ目の被検査部材から完全に離すことができ、従って半導体素子実装の反り反応によって起きる部材詰まりの問題を解決することができ、検査装置のダウンを減少させ分離とフィード動作を迅速且つスムースに行うことができ、よって生産能力が高められる。
【００２０】
以上の記述は本発明の好ましい実施例に過ぎず、これを以って本発明の特許範囲の範囲を限定するものではない。本発明の実質的内容を逸脱しない範囲において変化させて実施することができ、こうした変化は依然として発明の範囲に属するものとする。従って、本発明の範疇は上記特許請求の範囲により定められる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】従来の半導体素子の検査装置の側面図である。
【図２Ａ】従来の分離装置が作動する側面図である。
【図２Ｂ】従来の分離装置が作動する側面図である。
【図２Ｃ】従来の分離装置が作動する側面図である。
【図３】半導体素子の反り反応を図示したものである。
【図４Ａ】本発明の分離装置と各部分の斜視図である。
【図４Ｂ】本発明の分離装置と各部分の斜視図である。
【図４Ｃ】本発明の分離装置と各部分の斜視図である。
【図４Ｄ】本発明の分離装置と各部分の斜視図である。
【図５】本発明の分離装置が分離を行うフローチャートである。
【図６Ａ】グリッパーセットが挟持する概略図である。
【図６Ｂ】グリッパーセットが挟持する概略図である。
【符号の説明】
【００２２】
１０      分離装置
１０ａ    分離装置の一部
１０ｂ    分離装置の別の一部
１２      動力源
１３      被検査部材
１４      押下台
１４ａ    支持プレート
１４ｂ    第一スプリング
１４ｃ    第二スプリング
１４ｄ    第一押下プレート
１４ｅ    第二押下プレート
１６      第一スウィングアームセット
１８      第二スウィングアームセット
２０      第三スウィングアームセット
２２      第一グリッパーセット
２２ａ    第一制御システム
２２ｂ    第一グリッパー
２４      第二グリッパーセット
２４ａ    第二制御システム
２４ｂ    第二グリッパー
２６      ストップアーム
２７      係止ほぞ
２８      第一プッシュブロック
２９ａ    第三スプリング
２９ｂ    連接構造
３０      第二プッシュブロック
１００    検査テーブル
１０１    反り
１０２    収納チューブ
１０３    被検査部材
１０３ａ  被検査部材
１０３ｂ  被検査部材
１０４    フィードエリア（供給エリア）
１０６    一時停止エリア
１０８    分離装置
１０８ａ  第一シリンダー
１０８ｂ  第二シリンダー
１１０    検査エリア
１１２    収集装置
【図１】
2010018429.tif 000003
【図２Ａ】
2010018429.tif 000004
【図２Ｂ】
2010018429.tif 000005
【図２Ｃ】
2010018429.tif 000006
【図３】
2010018429.tif 000007
【図４Ａ】
2010018429.tif 000008
【図４Ｂ】
2010018429.tif 000009
【図４Ｃ】
2010018429.tif 000010
【図４Ｄ】
2010018429.tif 000011
【図５】
2010018429.tif 000012
【図６Ａ】
2010018429.tif 000013
【図６Ｂ】
2010018429.tif 000014