(57)【要約】【課題】自然落差により流路内に発生する液溜まりを少なくできるマニホールドバルブを提供すること。【解決手段】排出用バルブ５Ａと回収用バルブ６Ａが配置されるマニホールドブロック２に、液体を入力する入力側端部１１ａが液体を塞き止める終端側端部１１ｂより上に配置されるようにマニホールドブロック２の設置面に対して斜めに主流路１１を設け、その主流路１１から下方へ分岐するように第１及び第２分岐流路を設ける。そして、第１分岐流路１４が主流路１１に開口する第１開口部４１を排出用バルブ５Ａで開閉し、第２分岐流路１５が主流路１１に開口する第２開口部４２を回収用バルブ６Ａで開閉することにより、プロセス装置から主流路１１に供給される液体を自然落差により第１又は第２分岐流路１４，１５へ流して排出又は回収する。【選択図】 図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１バルブと、第２バルブと、前記第１及び前記第２バルブが取り付けられるマニホールドブロックと、を有し、前記第１及び前記第２バルブを駆動してプロセス装置で使用された液体を排出又は回収するマニホールドバルブにおいて、
前記マニホールドブロックは、
前記第１及び前記第２バルブが上面に配置され、
前記プロセス装置から前記液体を入力する入力側端部が前記液体を塞き止める終端側端部より上に配置されるように、前記マニホールドブロックの設置面に対して斜めに設けられた主流路と、
前記主流路から下方へ分岐する第１分岐流路と、
前記第１分岐流路と前記入力側端部との間で前記主流路から下方へ分岐する第２分岐流路と、を有し、
前記第１分岐流路が前記主流路に開口する第１開口部を前記第１バルブが開閉し、
前記第２分岐流路が前記主流路に開口する第２開口部を前記第２バルブが開閉する
ことを特徴とするマニホールドバルブ。
【請求項２】
請求項１に記載するマニホールドバルブにおいて、
前記マニホールドブロックは、前記主流路の傾斜角度より大きい角度で前記主流路の前記終端側端部から前記第１分岐流路側へ傾斜するテーパ部を有する
ことを特徴とするマニホールドバルブ。
【請求項３】
請求項１に記載するマニホールドバルブにおいて、
前記マニホールドブロックは、
前記第１開口部の周りに、前記主流路の傾斜角度より大きい角度で前記主流路の流路面から前記第１分岐流路側へ傾斜する第１円錐面を有し、前記第１円錐面が前記テーパ部を含んでおり、
前記第２開口部の周りに、前記主流路の傾斜角度より大きい角度で前記主流路の流路面から前記第２分岐流路側へ傾斜する第２円錐面を有している
ことを特徴とするマニホールドバルブ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載するマニホールドバルブにおいて、
前記マニホールドブロックは、
前記第１開口部の開口部外周に平坦な第１平坦面を有し、
前記第２開口部の開口部外周に平坦な第２平坦面を有し、
前記第１バルブは、前記第１平坦面に当接してシールを行う第１環状シール部を備える第１弁体を有し、
前記第２バルブは、前記第２平坦面に当接してシールを行う第２環状シール部を備える第２弁体を有する
ことを特徴とするマニホールドバルブ。
【請求項５】
請求項３に記載するマニホールドバルブにおいて、
前記第１円錐面は、前記第１開口部から傾斜し、
前記第２円錐面は、前記第２開口部から傾斜し、
前記第１バルブは、前記第１円錐面に当接してシールを行う第３環状シール部を備える第１弁体を有し、
前記第２バルブは、前記第２円錐面に当接してシールを行う第４環状シール部を備える第２弁体を有する
ことを特徴とするマニホールドバルブ。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５の何れか一つに記載するマニホールドバルブにおいて、
前記第１バルブが、前記液体の排出を制御する排出用バルブであり、
前記第２バルブが、前記液体の回収を制御する回収用バルブである
ことを特徴とするマニホールドバルブ。
【請求項７】
請求項１乃至請求項５の何れか一つに記載するマニホールドバルブにおいて、
前記第１バルブが、前記液体の回収を制御する回収用バルブであり、
前記第２バルブが、前記液体の排出を制御する排出用バルブである
ことを特徴とするマニホールドバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プロセス装置に接続され、前記プロセス装置に供給された液体の排出又は回収を行うマニホールドバルブに関し、特に、自然落差により流路内に発生する液溜まりを少なくできるマニホールドバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体製造工程では、プロセス装置に供給された薬液を回収タンクに回収して循環させることによりウエハにメッキ処理や洗浄処理などを行い、その後、その薬液を排液タンクへ排出している。この薬液の回収と排出は、プロセス装置に接続するマニホールドバルブにより制御される。
【０００３】
マニホールドバルブは、例えば、プロセス装置に接続される主流路と、主流路から分岐して排液タンクに接続される排出流路と、主流路から分岐して回収タンクに接続される回収流路とが形成されたマニホールドブロックと、排出流路が主流路に開口する第１開口部を開閉するようにマニホールドブロックに取り付けられる排出バルブと、回収流路が主流路に開口する第２開口部を開閉するようにマニホールドブロックに取り付けられる回収バルブとを有する。このようなマニホールドバルブは、排出バルブを閉じ、回収バルブを開くことにより主流路を回収流路に連通させ、薬液を回収タンクに回収する一方、排出バルブを開き、回収バルブを閉じることにより主流路を排出流路に連通させ、薬液を排液タンクへ排出する。薬液排出後に薬液が流路に残存していると、薬液の変質や固化などによって歩留まりを低下させる虞がある。そのため、マニホールドバルブは、流路内をパージして流路に残った薬液を押し出した後、流路を純水などで洗浄している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−９２９５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来のマニホールドバルブは、主流路、排出流路及び回収流路が水平に設けられ、薬液の排出時や回収時に流路内に液が溜まる問題があった。上述したように、流路に残留する薬液が変質したり固化すると、歩留まりを低下させる。よって、液溜まりをできるだけ少なくできるマニホールドバルブが強く望まれている。
また、従来のマニホールドバルブは、流路の液溜まりをなくすために、流路のパージと洗浄を行っている。そのため、薬液の回収処理と排液処理の他に液溜まりをなくすための処理を行う必要があり、作業時間がかかる問題があった。
【０００６】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、自然落差により流路内に発生する液溜まりを少なくできるマニホールドバルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るマニホールドバルブは、次のような構成を有している。
（１）第１バルブと、第２バルブと、前記第１及び前記第２バルブが取り付けられるマニホールドブロックと、を有し、前記第１及び前記第２バルブを駆動してプロセス装置で使用された液体を排出又は回収するマニホールドバルブにおいて、前記マニホールドブロックは、前記第１及び前記第２バルブが上面に配置され、前記プロセス装置から前記液体を入力する入力側端部が前記液体を塞き止める終端側端部より上に配置されるように、前記マニホールドブロックの設置面に対して斜めに設けられた主流路と、前記主流路から下方へ分岐する第１分岐流路と、前記第１分岐流路と前記入力側端部との間で前記主流路から下方へ分岐する第２分岐流路と、を有し、前記第１分岐流路が前記主流路に開口する第１開口部を前記第１バルブが開閉し、前記第２分岐流路が前記主流路に開口する第２開口部を前記第２バルブが開閉する。
【０００８】
（２）（１）に記載のマニホールドバルブは、前記マニホールドブロックが、前記主流路の傾斜角度より大きい角度で前記主流路の前記終端側端部から前記第１分岐流路側へ傾斜するテーパ部を有することが望ましい。
【０００９】
（３）（２）に記載のマニホールドバルブは、前記マニホールドブロックが、前記第１開口部の周りに、前記主流路の傾斜角度より大きい角度で前記主流路の流路面から前記第１分岐流路側へ傾斜する第１円錐面を有し、前記第１円錐面が前記テーパ部を含んでおり、前記第２開口部の周りに、前記主流路の傾斜角度より大きい角度で前記主流路の流路面から前記第２分岐流路側へ傾斜する第２円錐面を有していることが望ましい。
【００１０】
（４）（１）乃至（３）の何れか一つに記載のマニホールドバルブは、前記マニホールドブロックが、前記第１開口部の開口部外周に平坦な第１平坦面を有し、前記第２開口部の開口部外周に平坦な第２平坦面を有し、前記第１バルブは、前記第１平坦面に当接してシールを行う第１環状シール部を備える第１弁体を有し、前記第２バルブは、前記第２平坦面に当接してシールを行う第２環状シール部を備える第２弁体を有することが望ましい。
【００１１】
（５）（３）に記載のマニホールドバルブは、前記第１円錐面が、前記第１開口部から傾斜し、前記第２円錐面が、前記第２開口部から傾斜し、前記第１バルブが、前記第１円錐面に当接してシールを行う第３環状シール部を備える第１弁体を有し、前記第２バルブが、前記第２円錐面に当接してシールを行う第４環状シール部を備える第２弁体を有することが望ましい。
【００１２】
（６）（１）乃至（５）の何れか一つに記載のマニホールドバルブは、前記第１バルブが、前記液体の排出を制御する排出用バルブであり、前記第２バルブが、前記液体の回収を制御する回収用バルブである。
【００１３】
（７）（１）乃至（５）の何れか一つに記載のマニホールドバルブは、前記第１バルブが、前記液体の回収を制御する回収用バルブであり、前記第２バルブが、前記液体の排出を制御する排出用バルブである。
【発明の効果】
【００１４】
上記マニホールドバルブでは、主流路が、プロセス装置から液体を入力する入力側端部が液体を塞き止める終端側端部より上に配置されるように、マニホールドブロックの設置面に対して斜めに設けられているので、プロセス装置からマニホールドブロックの主流路に入力した液体が主流路に沿って第１及び第２分岐流路側へ自然に流れる。そして、第１及び第２分岐流路が主流路の下方へ分岐し、第１及び第２分岐流路が主流路に開口する第１及び第２開口部を第１及び第２バルブが開閉するので、第１バルブが開き、第２バルブが閉じている場合には、液体は、主流路から第１分岐流路へ自然に流れ落ち、また、第１バルブが閉じ、第２バルブが開いている場合には、液体は、主流路から第２分岐流路へ自然に流れ落ちる。よって、上記マニホールドバルブによれば、液体が自然落差により主流路から第１及び第２分岐流路へ流れ、流路内で発生する液溜まりを少なくすることができる。
【００１５】
このように液溜まりが少なくなる結果、液体の変質や固化を抑制し、製品の歩留まりを向上させることが可能になる。また、液体が回収時や排出時に自然落差により主流路から第１及び第２分岐流路へ残留しないように流れるようになったため、液体の回収処理や排出処理と別に液溜まりを除去する処理を行う必要がなく、作業時間を短縮することが可能になる。
【００１６】
上記マニホールドバルブでは、主流路の傾斜角度より大きい角度で主流路の終端側端部から第１分岐流路側へ傾斜するテーパ部をマニホールドブロックに設け、主流路の終端側端部まで流れた液体がテーパ部に沿って第１分岐流路へ自然に流れるようにしたので、液体が主流路の終端側端部に残留しない。
【００１７】
上記マニホールドバルブでは、第１及び第２分岐流路が主流路に開口する第１及び第２開口部の周りに第１及び第２円錐面を設けている。第１及び第２円錐面は、主流路の傾斜角度より大きい角度で主流路の流路面から第１及び第２分岐流路側へ傾斜している。第１円錐面は、主流路の終端側端部から第１分岐流路側へ傾斜するテーパ部を含んでいる。このようなマニホールドバルブは、主流路に沿って流れる液体が更に第１及び第２円錐面に沿って第１及び第２分岐流路へ流れやすいので、主流路内で発生する液溜まりを少なくすることができる。
【００１８】
上記マニホールドバルブでは、第１及び第２バルブの第１及び第２弁体に第１及び第２環状シール部を設けている。そして、第１及び第２分岐流路の第１及び第２開口部の開口部外周に第１及び第２平坦面を設け、その第１及び第２平坦面に第１及び第２バルブの第１及び第２環状シール部が当接するようにしている。このようなマニホールドバルブは、第１及び第２弁体が第１及び第２環状シール部を第１及び第２平坦面に当接させてシールを行うため、主流路の流路面に弁座を突設する必要がない。よって、上記マニホールドバルブによれば、第１及び第２開口部付近で液溜まりが発生しない。
【００１９】
上記マニホールドバルブでは、第１及び第２バルブの第１及び第２弁体に第３及び第４環状シール部を設け、第１及び第２開口部から形成した第１及び第２円錐面に第３及び第４環状シール部を当接させてシールを行う。このようなマニホールドバルブは、主流路の流路面に弁座を突設する必要がないので、第１及び第２開口部付近で液溜まりが発生しない。
【００２０】
上記マニホールドバルブでは、第１バルブが液体の排出を制御する排出用バルブであり、第２バルブが液体の回収を制御する回収用バルブである。そのため、排出用バルブを閉じて回収用バルブを開くことにより液体を回収した後、排出用バルブを開いて回収用バルブを閉じることにより液体を排出したときに、液体が第１分岐流路に全て自然落下し、主流路内に液体が残らない。
【００２１】
上記マニホールドバルブでは、第１バルブが液体の回収を制御する回収用バルブであり、第２バルブが液体の排出を制御する排出用バルブである。そのため、排出用バルブを閉じて回収用バルブを開いたときに、液溜まりを発生させることなく液体を回収することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るマニホールドバルブの外観斜視図である。
【図２】図１のＡＡ断面図である。
【図３】排出用バルブの弁部拡大図である。
【図４】図１に示すマニホールドバルブを用いたプロセス装置の概略構成図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係るマニホールドバルブの弁部拡大図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係るマニホールドバルブの断面図である。
【図７】本発明の第４実施形態に係るマニホールドバルブの断面図である。
【図８】本発明の第５実施形態に係るマニホールドバルブの断面図である。
【図９】本発明の第６実施形態に係るマニホールドバルブの断面図である。
【図１０】図９に示すマニホールドバルブを用いたプロセス装置の概略構成図である。
【図１１】弁部の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下に、本発明に係るマニホールドバルブの実施形態について、図面を参照して説明する。
【００２４】
（第１実施形態）
＜マニホールドバルブの全体構成＞
図１は、マニホールドバルブ１の外観斜視図である。
マニホールドバルブ１は、マニホールドブロック２の上面に排出用バルブ５Ａ，５Ｂ（第１バルブの一例）と回収用バルブ６Ａ，６Ｂ（第２バルブの一例）とを取り付け、外観が構成されている。マニホールドブロック２は、下部流路ブロック３の上に上部流路ブロック４Ａ，４Ｂを載せて上方からボルト９を締結することにより、下部流路ブロック３と上部流路ブロック４Ａ，４Ｂを一体化して構成したものである。排出用バルブ５Ａは、上部流路ブロック４Ａの上に載せられて上方から４本のボルト１０を締結することにより、マニホールドブロック２に取り付けられている。ボルト１０は、腐食防止用のカバーで覆われている。排出用バルブ５Ｂ及び回収用バルブ６Ａ，６Ｂも、排出用バルブ５Ａと同様にしてマニホールドブロック２に取り付けられている。
【００２５】
マニホールドブロック２の下部流路ブロック３には、排出用バルブ５Ａ，５Ｂを並べる方向に第１共通流路１６が貫通して設けられると共に、回収用バルブ６Ａ，６Ｂを並べる方向に第２共通流路１７が貫通して設けられている。下部流路ブロック３は、第１共通流路１６と第２共通流路１７の両端開口部外周にシール溝３ａ，３ｃが形成されている。マニホールドバルブ１は、シール溝３ａ，３ｃに図示しないシール部材を装着し、別のマニホールドバルブ１のマニホールドブロック２と第１共通流路１６及び第２共通流路１７を接続し、シール溝３ａ，３ｃの周りに設けたボルト孔３ｂ，３ｄに図示しないボルトを締結することにより、別のマニホールドバルブ１が増設されるようになっている。すなわち、マニホールドバルブ１は、第１共通流路１６と第２共通流路１７を延長し、その流路上に排出用バルブと回収用バルブを何連でも配置することができる。
【００２６】
マニホールドブロック２は、上部流路ブロック４Ａ，４Ｂの側面にＬ字配管７Ａ，７Ｂの一端が継手８Ａ，８Ｂを介して取り付けられている。Ｌ字配管７Ａ，７Ｂの他端は、その一端より高い位置にあり、自然落差で液体を上部流路ブロック４Ａへ流れ込ませるようになっている。上部流路ブロック４Ａ，４Ｂには、Ｌ字配管７Ａ，７Ｂを第１共通流路１６と第２共通流路１７に連通させるための内部流路（後述）が形成されている。
【００２７】
上部流路ブロック４Ａ，４Ｂの構成、排出用バルブ５Ａ，５Ｂの構成、回収用バルブ６Ａ，６Ｂの構成、Ｌ字配管７Ａ，７Ｂの構成、継手８Ａ，８Ｂの構成はそれぞれ同一である。そこで、以下では、上部流路ブロック４Ａ、排出用バルブ５Ａ、回収用バルブ６Ａ、Ｌ字配管７Ａ、継手８Ａを下部流路ブロック３と共に説明し、上部流路ブロック４Ｂ、排出用バルブ５Ｂ、回収用バルブ６Ｂ、Ｌ字配管７Ｂ、継手８Ｂの説明は省略する。
【００２８】
＜マニホールドブロックの構成＞
図２は、図１のＡＡ断面図である。
マニホールドブロック２は、主流路１１と、第１及び第２弁室１２，１３と、第１及び第２分岐流路１４，１５と、第１共通流路１６と、第２共通流路１７とを備える。これらの流路１１〜１７は、Ｌ字配管７Ａから入力した液体が自然落差により第１共通流路１６と第２共通流路１７へ流れ、主流路１１の最下流に配置される排出用バルブ５Ａを開いたときに主流路１１内に液溜まりができないように構成されている。下部流路ブロック３と上部流路ブロック４ＡとＬ字配管７Ａと継手８Ａは、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）やＰＦＡ（四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）など耐腐食性及び耐熱性に優れた樹脂を射出成形によりブロック状にしたものである。
【００２９】
上部流路ブロック４Ａは、直方体形状をなす。主流路１１は、上部流路ブロック４Ａの一側面から上部流路ブロック４Ａの下端面（下部流路ブロック３に当接する面）と平行になるように形成されている。主流路１１は、第１及び第２弁室１２，１３を備える。上部流路ブロック４Ａは、主流路１１の軸線方向に対して直交する方向に円筒形状の有底孔が２個設けられており、一方の有底孔を排出用バルブ５Ａの弁体２５（第１弁体の一例）に設けた薄膜部２７で覆うことにより第１弁室１２が形成され、他方の有底孔を回収用バルブ６Ａの弁体３５（第２弁体の一例）に設けた薄膜部３７で覆うことにより第２弁室１３が形成されている。よって、第１及び第２弁室１２，１３は、主流路１１の軸線方向に対して直交するように上部流路ブロック４Ａに設けられている。第１弁室１２の内側面は、主流路１１の液体を塞き止める終端側端部１１ｂを構成している。第２弁室１３は、第１弁室１２とＬ字配管７Ａから液体を入力する主流路１１の入力側端部１１ａとの間に設けられている。
【００３０】
第１及び第２分岐流路１４，１５は、マニホールドブロック２の設置面（下面）側に向かって主流路１１から分岐して設けられている。第１及び第２分岐流路１４，１５は、第１及び第２弁室１２，１３と同軸上に形成され、主流路１１の流路形成方向（軸線方向）に対して垂直に設けられている。第１分岐流路１４は、主流路１１の終端側端部１１ｂ付近から分岐し、第２分岐流路１５は、第１分岐流路１４と主流路１１の液体を入力する入力側端部１１ａとの間から分岐している。第１及び第２分岐流路１４，１５は、上部流路ブロック４Ａに形成された弁孔１４ａ，１５ａと下部流路ブロック３に形成された連通流路１４ｂ，１５ｂを環状シール部材１８，１９を介して接続して構成されている。
【００３１】
第１及び第２分岐流路１４，１５は、第１共通流路１６と第２共通流路１７に上方から連通している。マニホールドブロック２は、主流路１１、第１及び第２分岐流路１４，１５、第１共通流路１６及び第２共通流路１７の順に内径寸法を大きくすることにより流路１１〜１７を流れる液体が生じる圧損を小さくし、液体を流れやすくしている。
【００３２】
下部流路ブロック３は、上部流路ブロック４Ａが載置される上面（載置面）が、下面（設置面）に対して所定の傾斜角度θ１（本実施形態では３度）で傾斜している。そのため、下部流路ブロック３の上面に取り付けられた上部流路ブロック４Ａは、下部流路ブロック３の上面の傾斜に倣って傾き、主流路１１が入力側端部１１ａを終端側端部１１ｂより上にするようにマニホールドブロック２の設置面に対して斜めに傾斜している。そして、上部流路ブロック４Ａの傾きに倣ってＬ字配管７Ａも傾き、Ｌ字配管７Ａの主流路１１に接続する流路がマニホールドブロック２の設置面に対して斜めに傾いている。
【００３３】
排出用バルブ５Ａと回収用バルブ６Ａは、同一の構成を備えるノーマルクローズ式エアオペレイトバルブである。排出用バルブ５Ａと回収用バルブ６Ａは、シリンダ２１，３１にピストン２２，３２が摺動可能に装填されている。ピストン２２，３２は、操作ポート２３，３３から供給される操作エアの図中上向き作用するエア圧と、復帰ばね２４，３４の図中下向きに作用するばね力とのバランスにより、シリンダ２１，３１内を上下動する。ピストン２２，３２は、下端部がシリンダ２１，３１からマニホールドブロック２側へ突出し、弁体２５，３５が連結されている。弁体２５，３５は、弁体部２６，３６の外側に薄膜部２７，３７を備え、薄膜部２７，３７の外縁部２８，３８がシリンダ２１，３１とマニホールドブロック２との間で気密に挟持されている。弁体部２６，３６は、軸線方向（弁体２５，３５の動作方向）に対して直交する断面が、第１及び第２分岐流路１４，１５の軸線方向に対して直交する断面より大きい円柱形状をなす。弁体２５，３５は、弁体部２６，３６の第１及び第２分岐流路１４，１５と対向する面に、第１及び第２分岐流路１４，１５が主流路１１に開口する第１及び第２開口部４１，４２の外側に当接してシールする環状シール部２９，３９が突設されている。
【００３４】
図３は、排出用バルブ５Ａの弁部拡大図である。
マニホールドブロック２は、第１分岐流路１４の第１開口部４１の周りに、第１円錐面４４が第１分岐流路１４（弁孔１４ａ）と同軸状に設けられている。第１円錐面４４は、主流路１１の下側流路面から第１分岐流路１４へ向かって、主流路１１から離れる方向に傾斜角度を大きくするように傾斜している。第１円錐面４４は、主流路１１がマニホールドブロック２の設置面に対して斜めに傾斜する傾斜角度θ１（本実施形態では３度）より大きい傾斜角度θ２（本実施形態では９度）で、主流路１１の軸線方向に対して傾斜している。これは、上部流路ブロック４Ａを下部流路ブロック３の上面に取り付けて主流路１１を斜めにした場合でも、第１分岐流路１４の第１開口部４１が第１円錐面４４の外周縁部より下に位置して液体が主流路１１から第１分岐流路１４へ自然落差で流れるようにするためである。
【００３５】
第１分岐流路１４は、第１開口部４１の外周に沿って、第１平坦面４３が弁体２５の動作方向に対して垂直（主流路１１の軸線方向に対して平行）に設けられている。これは、弁体２５の環状シール部２９が第１平坦面４３に対して垂直方向にシール荷重を無駄なく与えるようにするためである。弁体２５は、環状シール部２９の先端が平坦にされ、環状シール部２９を第１平坦面４３に面接触させてシール面積を確保している。第１円錐面４４は、主流路１１の終端側端部１１ｂ（第１弁室１２の内側面）と第１平坦面４３との間を通過するように設けられている。そのため、第１円錐面４４は、終端側端部１１ｂから第１分岐流路１４側へ傾斜する「テーパ部」を含んでいる。
尚、図２に示す環状シール部３９と第２開口部４２と第２平坦面４５と第２円錐面４６との関係は、環状シール部２９と第１開口部４１と第１平坦面４３と第１円錐面４４と同様であるので、説明を省略する。
【００３６】
＜マニホールドバルブの使用例＞
上記マニホールドバルブ１は、例えば図４に示すように、メッキ処理や洗浄処理などを行うプロセス装置に接続され、プロセス装置で使用されたプロセス液等の回収及び排出を制御する。マニホールドバルブ１は、プロセス装置の第１及び第２チャンバ５１Ａ，５１Ｂの下方に設置され、排液タンク５２と回収タンク５３の上方に配置される。すなわち、マニホールドバルブ１は、図１に示すＬ字配管７Ａが図４に示す第１チャンバ５１Ａの下面に接続され、図１に示すＬ字配管７Ｂが図４に示す第２チャンバ５１Ｂの下面に接続され、図２に示す第１共通流路１６が図４に示す排液タンク５２の上面に接続され、図２に示す第２共通流路１７が図４に示す回収タンク５３の上面に接続される。図４に示すように、回収タンク５３は、ポンプ５４と循環バルブ５５Ａ，５５Ｂを介して第１及び第２チャンバ５１Ａ，５１Ｂに接続されている。第１及び第２チャンバ５１Ａ，５１Ｂは、純水バルブ５６Ａ，５６Ｂを介して純水供給装置５７に接続されている。循環バルブ５５Ａ，５５Ｂと純水バルブ５６Ａ，５６Ｂと排出用バルブ５Ａ，５Ｂと回収用バルブ６Ａ，６Ｂとポンプ５４は、プロセス装置の周知のマイクロコンピュータで構成される制御装置（図示せず）に電気的に接続されている。その図示しない制御装置は、プロセス手順に沿ってバルブ５５Ａ，５５Ｂ，５６Ａ，５６Ｂ，５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂとポンプ５４を動作させるためのプログラムを記憶している。
【００３７】
続いて、プロセス工程の一例に従い、マニホールドバルブ１の作用及び効果を説明する。
図４に示すプロセス装置は、ウエハを一枚ずつ第１及び第２チャンバ５１Ａ，５１Ｂに搬入してプロセス工程を行う。１回のプロセス工程では、１枚のウエハを搬入する搬入ステップと、回収タンク５３のプロセス液を循環させてウエハに所定の処理を行うプロセス実行ステップと、プロセス処理ステップで使用したプロセス液を回収タンク５３に回収する回収ステップと、ウエハを純水で洗浄する洗浄ステップと、ウエハを搬出する搬出ステップとを一連で行う。次のウエハにプロセス工程を行う場合には、次のウエハに対して上記一連のステップを行う。以下、第１チャンバ５１Ａ内でプロセス工程を行う場合について具体的に説明する。
【００３８】
＜搬入ステップ＞
マニホールドバルブ１は、排出用バルブ５Ａ，５Ｂと回収用バルブ６Ａ，６Ｂが弁閉され、液体の排出も回収もしていない。また、プロセス装置は、循環バルブ５５Ａ，５５Ｂと純水バルブ５６Ａ，５６Ｂを閉じ、ポンプ５４を停止させ、第１チャンバ５１Ａにプロセス液及び純水を供給していない。この状態で、１枚のウエハが図示しないロボットハンドで第１チャンバ５１Ａに搬入される。
【００３９】
＜プロセス実行ステップ＞
循環バルブ５５Ａと回収用バルブ６Ａを開き、循環バルブ５５Ｂと純水バルブ５６Ａ，５６Ｂと排出用バルブ５Ａ，５Ｂと回収用バルブ６Ｂを閉じることにより、回収タンク５３と第１チャンバ５１Ａとを接続する回路を構成する。そして、ポンプ５４を駆動する。これにより、第１チャンバ５１Ａと回収タンク５３との間で循環し、第１チャンバ５１Ａ内のウエハにプロセス処理が行われる。すなわち、回収タンク５３のプロセス液がポンプ５４で汲み上げられて第１チャンバ５１Ａに供給され、第１チャンバ５１Ａ内で使用されたプロセス液が回収用バルブ６Ａを介して回収タンク５３に回収される。
【００４０】
＜回収ステップ＞
プロセス液を所定時間循環させたら、ポンプ５４を停止させる。循環バルブ５５Ａと回収用バルブ６Ａが開き、循環バルブ５５Ｂと純水バルブ５６Ａ，５６Ｂと排出用バルブ５Ａ，５Ｂと回収用バルブ６Ｂが閉じているので、プロセス液は、自重により、第１チャンバ５１Ａの下方に配置されるマニホールドバルブ１へ自然落差で流れ落ち、マニホールドバルブ１の回収用バルブ６Ａを介して回収タンク５３に回収される。
【００４１】
回収ステップ時に、図２に示すマニホールドバルブ１を流れるプロセス液の流れを説明する。
図２に示すマニホールドバルブ１は、プロセス液がプロセス装置からＬ字配管７Ａに自然落差で流れ落ち、上部流路ブロック４Ａの主流路１１に入力する。Ｌ字配管７Ａは、下部流路ブロック３の設置面に対して傾いて取り付けられる上部流路ブロック４Ａの側面に取り付けられ、主流路１１に接続する流路がマニホールドブロック２の設置面に対して傾いているため、プロセス液が内部に残留することなく主流路１１へ流れる。
【００４２】
主流路１１は、入力側端部１１ａを終端側端部１１ｂより上に位置させるようにマニホールドブロック２の設置面（下面）に対して所定の傾斜角度θ１（本実施形態では３度）で傾斜している。そのため、Ｌ字配管７Ａから主流路１１に入力したプロセス液は、主流路１１の傾斜に沿って入力側端部１１ａから終端側端部１１ｂに向かって流れる。第２分岐流路１５は、入力側端部１１ａと第１分岐流路１４との間で主流路１１から分岐しており、回収用バルブ６Ａの弁体３５が第２平坦面４５から離間して第２分岐流路１５の第２開口部４２を開放している。よって、主流路１１を流れるプロセス液は、第２分岐流路１５へ自然落差で流れ、第２共通流路１７から回収タンク５３（図４参照）に回収される。この結果、マニホールドバルブ１は、図４に示すプロセス装置に、プロセス実行ステップ終了後ポンプ５４を停止させるだけで第１チャンバ５１Ａからプロセス液を回収タンク５３に自然落差で回収することを可能ならしめるので、第１チャンバ５１Ａから回収タンク５３への液抜けを良くして、プロセス液回収時間を短縮させることができる。また、図２に示すマニホールドバルブ１は、プロセス液回収に要するエネルギーやランニングコストを低減させることができる。
【００４３】
マニホールドバルブ１は、回収用バルブ６Ａの弁体３５に環状シール部３９を突設し、第２平坦面４５に環状シール部３９を当接させてシールするようにしたので、主流路１１の流路面に弁座が突設されていない。よって、主流路１１を流れるプロセス液は、主流路１１から第２分岐流路１５に流れ込んで回収されるときに、弁座などの凸部にぶつかってよどみや乱流を発生しない。よって、マニホールドバルブ１では、プロセス液回収時に第２開口部４２付近に液溜まりが発生しない。
【００４４】
そして、マニホールドバルブ１は、第２開口部４２の周りに第２円錐面４６が形成されている。第２円錐面４６は、主流路１１の傾斜角度θ１より大きい傾斜角度θ２で主流路１１の軸線に対して傾斜しており、第２開口部４２が第２円錐面４６の外縁部より低い位置にある。そのため、第２弁室１３まで流れたプロセス液は、第２開口部４２付近で圧力損失を殆ど生じさせずに第２円錐面４６に沿って第２分岐流路１５へ流れ、第２開口部４２付近に残留しにくい。
【００４５】
第２分岐流路１５が主流路１１より内径寸法が大きく、また、第２共通流路１７が第２分岐流路１５より内径寸法が大きいため、プロセス液は、主流路１１から第２分岐流路１５、第２共通流路１７へと流れる際に圧力損失を生じにくく、主流路１１から回収タンク５３（図４参照）へ流れやすい。
【００４６】
＜洗浄ステップ＞
図４に示すプロセス装置は、プロセス液の回収を所定時間行ったら、循環バルブ５５Ａを回収用バルブ６Ａを閉じ、第１チャンバ５１Ａと回収タンク５３との接続を解除する。そして、排出用バルブ５Ａを弁閉状態から弁開状態にし、第１チャンバ５１Ａを排液タンク５２に接続する。そして、純水バルブ５６Ａを弁閉状態から弁開状態にし、第１チャンバ５１Ａを純水供給装置５７に接続する。これにより、純水供給装置５７から第１チャンバ５１Ａに純水が供給され、ウエハが洗浄される。洗浄に使用された純水は、第１チャンバ５１Ａからマニホールドバルブ１に入力し、排出用バルブ５Ａを介して排液タンク５２に排出される。このとき、純水が、第１チャンバ５１Ａとマニホールドバルブ１とを接続する流路や、マニホールドバルブ１の流路面に付着するプロセス液を洗い流し、除去する。
【００４７】
洗浄ステップ時に、図２に示すマニホールドバルブ１を流れる純水の流れを説明する。
図２に示すマニホールドバルブ１は、第１チャンバ５１Ａでウエハを洗浄した純水が、プロセス液回収時と同様、Ｌ字配管７Ａから主流路１１に入力し、主流路１１の傾斜に従って自然落差で第１弁室１２側へ流れる。このとき、回収用バルブ６Ａが弁体３５の環状シール部３９を第２平坦面４５に当接させてシールを行い、第２分岐流路１５の第２開口部４２を閉鎖しているため、純水は、第２弁室１３を通過して第１弁室１２へ流れる。排出用バルブ５Ａは、図３の図中二点鎖線に示すように、弁体２５の環状シール部２９を第１平坦面４３から離間させ、第１分岐流路１４の第１開口部４１を開放している。よって、主流路１１の傾斜に沿って第１弁室１２まで流れた純水は、自然落差で第１分岐流路１４へ流れ込み、第１共通流路１６から排液タンク５２へ排出される。
【００４８】
図３に示すように、第１平坦面４３の外側に設けられた第１円錐面４４は、主流路１１の終端側端部１１ｂから傾斜して形成されている。そのため、第１分岐流路１４に流れ込まなかった純水は、主流路１１の終端側端部１１ｂにぶつかった後、第１円錐面４４に案内されて第１分岐流路１４へ流れ込んで排出される。よって、主流路１１の終端側端部１１ｂに液溜まりが発生しない。
【００４９】
このようにマニホールドバルブ１は、第１チャンバ５１Ａの純水を自然落差のみで排液タンク５２に液溜まり無く排出することができる。よって、マニホールドバルブ１は、洗浄ステップ後に液溜まりを除去するための処理を図４に示すプロセス装置に行わせる必要がなく、洗浄時間を短縮できる。また、マニホールドバルブ１は、ウエハや流路面を洗浄した純水を自然落差で図４に示す第１チャンバ５１Ａからマニホールドバルブ１（図２に示すＬ字配管７Ａ、主流路１１、第１分岐流路１４、第１共通流路１６）を介して図４に示す排液タンク５２へ流れさせ、主流路１１の終端側端部１１ｂに残留しないようにしたので、パージ等のランニングコストがかからず、省エネ性に優れている。
【００５０】
尚、この他の主流路１１から第１分岐流路１４へ流れる純水の流れは、主流路１１から第２分岐流路１５へ流れて回収されるプロセス液の流れと同様なので、説明を省略する。
【００５１】
＜搬出ステップ＞
図４に示すプロセス装置は、ウエハの洗浄が完了したら、ポンプ５４を停止したまま、全てのバルブ５５Ａ，５５Ｂ，５６Ａ，５６Ｂ，５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂを閉じる。この状態で、図示しないロボットハンドでウエハを第１チャンバ５１Ａから搬出する。
【００５２】
尚、第２チャンバ５１Ｂにおいても、第１チャンバ５１Ａと同様に、搬入ステップ、プロセス実行ステップ、回収ステップ、洗浄ステップ、搬出ステップを実行し、プロセス工程を行うことができる。この場合にも、マニホールドバルブ１は、第１チャンバ５１Ａでプロセス工程を行う場合と同様の作用効果が得られる。
また、第１及び第２チャンバ５１Ａ，５１Ｂで上記プロセス工程を同時進行しても良い。
【００５３】
（第２実施形態）
続いて、本発明の第２実施形態について図面を参照して説明する。図５は、本発明の第２実施形態に係るマニホールドバルブ１Ａの弁部拡大図である。
マニホールドバルブ１Ａは、排出用バルブ５Ａ，５Ｂと回収用バルブ６Ａ，６Ｂの弁部構造が同じであり、それらの弁部構造が第１実施形態と相違する。ここでは、排出用バルブ５Ａの弁部構造を中心に説明し、排出用バルブ５Ｂと回収用バルブ６Ａ，６Ｂの弁部構造及び第１実施形態と共通する点については説明を省略する。尚、第１実施形態と共通する点には、説明と図面に第１実施形態と同じ符号を用いる。
【００５４】
マニホールドブロック６０は、第１分岐流路１４が主流路１１（第１弁室１２）に開口する第１開口部４１から第１弁室１２の内側面までの間に第１円錐面４４が設けられており、第１実施形態の第１平坦面４３を備えない。排出用バルブ５Ａの弁体２５Ａは、環状シール部６１の先端部に沿って、第１円錐面４４の傾斜角度θ２と同じ傾斜角度θ３で傾斜するテーパ６２が設けられている。尚、本実施形態では、排出用バルブ５Ａ，５Ｂと回収用バルブ６Ａ，６Ｂの弁部構造が同じであるので、排出用バルブ５Ａ，５Ｂの弁体に設けた環状シール部６１が第３環状シール部の一例となり、回収用バルブ６Ａ，６Ｂの弁体に設けた環状シール部６１が第４環状シール部の一例となる。
【００５５】
このようなマニホールドバルブ１Ａは、液体が主流路１１から第１円錐面４４の傾斜に案内されて、そのまま第１分岐流路１４の第１開口部４１に流れ込むので、第１実施形態のマニホールドバルブ１より第１開口部４１の周りに液溜まりが発生しない。
また、マニホールドバルブ１Ａは、環状シール部６１を第１円錐面４４に当接させてシールを行うので、第１開口部４１の周りに弁座を突設する必要がなく、第１開口部４１の周りに液溜まりが発生しない。
また、弁体２５Ａの環状シール部６１が、第１円錐面４４に当接する先端部にテーパ６２を備える。そのため、弁体２５Ａは、耐腐食性を確保するために弾性変形し難い樹脂（ＰＦＡやＰＴＦＥなど）で形成されていても、環状シール部６１のテーパ６２を第１円錐面４４に対して垂直方向に密着させ、適正なシール荷重を得ることができる。
【００５６】
（第３実施形態）
続いて、本発明の第３実施形態について図面を参照して説明する。図６は、本発明の第３実施形態に係るマニホールドバルブ１Ｂの断面図である。
マニホールドバルブ１Ｂは、マニホールドブロック７１を一つのブロックで構成している点が第１実施形態と相違する。よって、ここでは、第１実施形態と異なる点を説明し、第１実施形態と共通する点は図面に第１実施形態と同じ符号を付し、説明を適宜省略する。
【００５７】
樹脂製のマニホールドブロック７１は、マニホールドブロック７１の設置面（下面）に対して所定の傾斜角度θ１（例えば３度）傾斜するように、主流路７２がマニホールドブロック７１の側面から斜めに形成されている。そのため、主流路７２の入力側端部７２ａが終端側端部７２ｂより上に設けられている。第１及び第２分岐流路１４，１５は、主流路７２の軸線に対して直交するように形成されている。マニホールドブロック７１は、上面７３が主流路７２の軸線と平行になるように斜めにされ、排出用バルブ５Ａと回収用バルブ６Ｂが第１及び第２分岐流路１４，１５と同軸上に配置されている。排出用バルブ５Ａと回収用バルブ６Ｂは、マニホールドブロック７１の上面７３に図示しないボルトで固定されている。また、マニホールドブロック７１は、Ｌ字配管７Ａが接続される側面に切欠部７４が主流路１１の軸線に対して垂直なテーパ状に設けられ、Ｌ字配管７Ａを主流路１１と同じように傾斜させてＬ字配管７Ａと主流路１１との間に凹凸を形成しないようにしている。
【００５８】
上記マニホールドバルブ１Ｂは、自然落差によりＬ字配管７Ａから主流路７２に液体が液溜まり無く流れ込み、さらに、主流路７２から第１及び第２分岐流路１４，１５を介して第１共通流路１６と第２共通流路１７へ液体が自然落差で流れる。このようなマニホールドバルブ１Ｂは、マニホールドブロック７１を１ブロックで構成しているので、部品点数を減らすことができる。
【００５９】
（第４実施形態）
続いて、本発明の第４実施形態について図面を参照して説明する。図７は、本発明の第４実施形態に係るマニホールドバルブ１Ｃの断面図である。
マニホールドバルブ１Ｃは、マニホールドブロック８１が流路ブロック８２と台座ブロック８３で構成されている点が第１実施形態と相違する。よって、ここでは、第１実施形態と異なる点を説明し、第１実施形態と共通する点は図面に第１実施形態と同じ符号を付し、説明を適宜省略する。
【００６０】
マニホールドブロック８１の流路ブロック８２は、樹脂を直方体形状に成形したものである。主流路１１は、流路ブロック８２の設置面（下面）と平行になるように形成されている。第１及び第２分岐流路１４，１５は、主流路１１に対して垂直に形成されている。台座ブロック８３は、樹脂を材質とし、上面が下面（設置面）に対して所定の傾斜角度θ１（例えば３度）傾斜したブロック形状をなす。マニホールドブロック８１は、台座ブロック８３の上面に流路ブロック８２を載せ、ボルトや固定ピンなどで台座ブロック８３を流路ブロック８２に固定している。これにより、主流路１１が、マニホールドブロック８１の設置面（台座ブロック８３の設置面）に対して所定の傾斜角度θ１だけ傾く。
【００６１】
上記マニホールドバルブ１Ｃは、既存の流路ブロック８２の下に台座ブロック８３を配置すれば、主流路１１を斜めにする流路構造を実現できる。
【００６２】
（第５実施形態）
続いて、本発明の第５実施形態について図面を参照して説明する。図８は、第５実施形態に係るマニホールドバルブ１Ｄの断面図である。
第５実施形態に係るマニホールドバルブ１Ｄは、第１バルブの一例である排出用バルブ５Ａの弁部にのみ第１円錐面４４を設けている点が、第１実施形態と相違する。よって、ここでは、第１実施形態と異なる点を説明し、第１実施形態と共通する点は図面に第１実施形態と同じ符号を付し、説明を適宜省略する。
【００６３】
マニホールドブロック９１は、上部流路ブロック９２を下部流路ブロック３の上面に固定して構成されている。マニホールドブロック９１には、主流路１１が、マニホールドブロック９１の設置面に対して傾斜角度θで傾斜するように設けられている。マニホールドブロック９１は、第１開口部４１の周りに第１円錐面４４が設けられ、第２開口部４２の周りには第２円錐面４６が設けられていない。第１円錐面４４は、第１分岐流路１４の第１開口部４１から傾斜している。よって、排出用バルブ５Ａは、弁体２５の環状シール部２９が第１円錐面４４に当接してシールを行う。
【００６４】
このようなマニホールドバルブ１Ｄは、回収用バルブ６Ａを閉じて排出用バルブ５Ａを開き、液体を排出するときには、Ｌ字配管７Ａから主流路１１に入力した液体が、主流路１１の傾斜に従って入力側端部１１ａから終端側端部１１ｂへ向かって自然落差で流れる。このとき、主流路１１の流路下面が入力側端部１１ａから第１分岐流路１４の第１円錐面４４まで直線状に設けられているため、液体は、第２開口部４２の周りに残留することなく終端側端部１１ｂへ向かって流れる。排出用バルブ５Ａが弁体２５の環状シール部２９を第１円錐面４４から離間させて第１開口部４１を開放しているため、液体は主流路１１から第１分岐流路１４へ自然落差で流れる。また、第１開口部４１に流れ込まなかった液体は、終端側端部１１ｂにぶつかって方向転換し、第１円錐面４４により第１開口部４１へ案内されて第１分岐流路１４へ流れ落ちる。よって、マニホールドバルブ１Ｄによれば、主流路１１の終端側端部１１ｂに液体が残留しない。
【００６５】
（第６実施形態）
続いて、本発明の第６実施形態について図面を参照して説明する。図９は、第６実施形態に係るマニホールドバルブ１Ｅの断面図である。図１０は、図９に示すマニホールドバルブ１Ｅを用いたプロセス装置の概略構成図である。
第６実施形態に係るマニホールドバルブ１Ｅは、第１バルブの一例として回収用バルブ６Ａを用い、第２バルブの一例として排出用バルブ５Ａを用いる点が、第１実施形態と相違する。よって、ここでは、第１実施形態と異なる点を説明し、第１実施形態と共通する点は図面に第１実施形態と同じ符号を付し、説明を適宜省略する。
【００６６】
図９に示すマニホールドバルブ１Ｅは、図１０に示すプロセス装置に使用される。マニホールドバルブ１Ｅは、排出用バルブ５Ａが回収用バルブ６Ａより上流に配置されている。マニホールドバルブ１Ｅは、図９に示す第１共通流路１６が図１０に示す回収タンク５３に接続され、図９に示す第２共通流路１７が図１０に示す排液タンク５２に接続される。図９に示すように、回収用バルブ６Ａは、弁体３５の環状シール部３９を第１平坦面４３に当接又は離間し、第１分岐流路１４の第１開口部４１を開閉する。排出用バルブ５Ａは、弁体２５の環状シール部２９を第２平坦面４５に当接又は離間し、第２分岐流路１５の第２開口部４２を開閉する。
【００６７】
図１０に示すプロセス装置が、第１チャンバ５１Ａにおいてプロセス工程を行う場合を例に挙げて、回収ステップと洗浄ステップの動作を説明する。
回収ステップでは、図１０に示すプロセス装置は、回収用バルブ６Ａを開き、その他のバルブ５Ａ，５Ｂ，６Ｂ，５５Ａ，５５Ｂ，５６Ａ，５６Ｂを閉じた状態で、プロセス実行時に駆動していたポンプ５４を停止させる。すると、プロセス液は、第１チャンバ５１Ａから自然落差でマニホールドバルブ１Ｅに流れ落ち、マニホールドバルブ１Ｅの回収用バルブ６Ａを介して回収タンク５３に回収される。
【００６８】
この回収ステップ時に図９に示すマニホールドバルブ１Ｅを流れるプロセス液の流れを説明すると、プロセス液は、主流路１１の傾斜に沿って入力側端部１１ａから終端側端部１１ｂへ向かって流れる。このとき、排出用バルブ５Ａが弁閉しているため、プロセス液は主流路１１から第２分岐流路１５へ流れ込まない。回収用バルブ６Ａが弁開しているので、プロセス液は、主流路１１から第１円錐面４４に案内されて第１開口部４１へ流れ、第１分岐流路１４から第１共通流路１６を介して回収タンク５３（図１０参照）に回収される。第１分岐流路１４に流れ込まなかったプロセス液は、終端側端部１１ｂにぶつかって方向転換し、第１円錐面４４により第１開口部４１へ案内されて第１分岐流路１４へ流れ込む。このように、マニホールドバルブ１Ｅは、回収ステップが実行されるときに、プロセス液が、主流路１１の傾斜に沿って終端側端部１１ｂへ向かって流れ、第１開口部４１の周りに設けた第１円錐面４４に案内されて全て第１分岐流路１４へ流れるので、主流路１１の終端側端部１１ｂに液溜まりを発生させることなく、プロセス液を回収タンク５３に回収することができる。この結果、変質や固化したプロセス液が回収タンク５３のプロセス液に混入しなくなり、図１０に示すプロセス装置が製造する製品の歩留まりを向上させることができるようになる。また、図９に示すマニホールドバルブ１は、プロセス液を自然落差で回収タンク５３に液溜まり無く回収するため、プロセス液の回収時間を短縮できると共に、プロセス液回収に要するエネルギーやランニングコストを低減できる。
【００６９】
図１０に示すプロセス装置は、第１チャンバ５１Ａで回収ステップを行った後に洗浄ステップを実行する場合、回収用バルブ６Ａを閉じ、排出用バルブ５Ａと純水バルブ５６Ａを開く。これにより、第１チャンバ５１Ａが排液タンク５２に接続されると共に、第１チャンバ５１Ａが純水供給装置５７に接続される。純水供給装置５７から第１チャンバ５１Ａに供給された純水は、第１チャンバ５１Ａからマニホールドバルブ１Ｅを介して排液タンク５２に排出される。このとき、流路に付着していたプロセス液が純水に洗い流される。
【００７０】
洗浄ステップ時に、図９に示すマニホールドバルブ１Ｅを流れる純水の流れを説明すると、純水は、Ｌ字配管７Ａから主流路１１に自然落差で流れ込み、主流路１１の傾斜に従って入力側端部１１ａから終端側端部１１ｂへ向かって流れる。排出用バルブ５Ａが弁開しているため、純水は、第２円錐面４６により主流路１１から第２開口部４２へ案内されて第２分岐流路１５へ流れ込み、第２共通流路１７を介して排液タンク５２（図１０参照）に排出される。すなわち、純水は、自然落差によりＬ字配管７Ａから主流路１１、第２分岐流路１５、第２共通流路１７へ流れる。
【００７１】
尚、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
（１）例えば、上記実施形態では、弁体２５，３５，２５Ａに環状シール部２９，３９，６１を一体に設けたが、弁体に形成したシール溝にシール部材を装着して環状シール部を構成するなど、２部品以上で環状シール部を構成しても良い。
（２）例えば、上記実施形態では、マニホールドブロック２，６０，７１，８１，９１やバルブ５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂ、Ｌ字配管７Ａ，７Ｂ、継手８Ａ，８Ｂを樹脂製にしたが、金属製にしても良い。
（３）例えば、上記第２実施形態において、弁体２５Ａがゴムなど弾性変形可能な材料で形成されている場合には、テーパ６２を環状シール部６１の先端に設けなくてもよい。この場合、環状シール部６１が弾性変形して第１円錐面４４に密着するので、第１分岐流路１４の開口部を機密にシールすることができる。
（４）例えば、上記実施形態では、マニホールドブロック２，７１，８１，９１の側面にＬ字配管７Ａを接続した。これに対して、マニホールドブロック２，７１，８１，９１の上面から主流路１１に連通するように接続流路を穿設し、主流路１１の開口部を封止部材で封止しても良い。そして、接続流路にプロセス装置に接続する配管や流路ブロックを接続しても良い。
（５）例えば、Ｌ字配管７Ａの変わりに流路ブロックを用いても良い。
（６）上記実施形態では、プロセス液と純水を液体の一例に挙げたが、他の液体をマニホールドバルブ１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅに制御させても良い。
（７）例えば、上記実施形態のマニホールドブロック２，６０，７１，８１，９１の上面に排出用バルブと回収用バルブを１個ずつ設けてもよいし、排出用バルブと回収用バルブを１個又は２個以上設け、その他にバルブを設けてもよい。さらに、上部流路ブロック４Ａ，４Ｂに３個以上のバルブを取り付けても良い。
（８）上記実施形態では、第１及び第２弁室１２，１３と第１及び第２分岐流路１４，１５を主流路１１の軸線に対して直交するように設けた。これに対して、例えば、第１及び第２弁室１２，１３と第１及び第２分岐流路１４，１５を鉛直方向に形成することにより、マニホールドブロックの設置面に対して斜めに設けられた主流路１１，７２に対し、第１及び第２弁室１２，１３と第１及び第２分岐流路１４，１５を斜めに形成しても良い。この場合、マニホールドブロック２，７１，８１，９１の上面を設置面と平行にし、排出用バルブ５Ａと回収用バルブ６Ａを第１及び第２弁室１２，１３と同軸上に取り付けるようにすると良い。
（９）上記第１実施形態では、弁孔１４ａ，１５ａと連通流路１４ｂ，１５ｂを同軸上に形成した。これに対して、例えば、弁孔１４ａ，１５ａを第１及び第２弁室１２，１３と同軸上に形成し、連通流路１４ｂ，１５ｂを鉛直方向に形成して第１共通流路１６と第２共通流路１７に連通させるなどして、屈曲した第１及び第２分岐流路１４，１５としても良い。
（１０）例えば、上記第２実施形態では、第１円錐面４４の傾斜角度θ２と同じ傾斜角度θ３で傾斜するテーパ６２を環状シール部６１の先端に設けた。これに対して、図１１に示すように、上記第２実施形態の弁体２５Ａを第１実施形態の弁体２５に変え、弁体２５の環状シール部２９を第１円錐面４４に当接又は離間させてシールを行うようにすると良い。この場合、環状シール部２９が、第１円錐面４４に繰り返し当接することにより第１円錐面４４の傾斜に倣って変形し、第１開口部４１の円周方向に均等なシール荷重を得ることが可能である。
【符号の説明】
【００７２】
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ  マニホールドバルブ
２，６０，７１，８１，９１  マニホールドブロック
５Ａ，５Ｂ  排出用バルブ（第１又は第２バルブの一例）
６Ａ，６Ｂ  回収用バルブ（第２又は第１バルブの一例）
１１，７２  主流路
１４  第１分岐流路
１５  第２分岐流路
４３，４５  第１及び第２平坦面
４４  第１円錐面（テーパ部の一例）
４６  第２円錐面
９５  テーパ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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