(57)【要約】      （修正有）【課題】リーク電流を確実に低減させ、無駄な電力消費を防止するとともに、リーク電流による電極の劣化を抑制し、高解像度で高特性の電気泳動表示装置を実現する。【解決手段】電気泳動素子１５と第一電極１３との間に配される第一絶縁層１７は、無機絶縁材料で形成される。第一絶縁層１７を構成する無機絶縁材料としては、例えば、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸窒化シリコン膜といったものが挙げられる。第一絶縁層１７の上に形成される第二絶縁層１８は、有機絶縁材料で形成される。第二絶縁層１８を構成する有機絶縁材料としては、例えば、光硬化性アクリル樹脂が好ましく挙げられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向して配された第一電極および第二電極と、該第一電極および第二電極の間に配され、帯電された電気泳動粒子を有する電気泳動素子と、該電気泳動素子および前記第一電極の間に配された第一絶縁層および第二絶縁層と、からなる画素構成素子を一面上に配列し、
前記第一絶縁層を無機絶縁材料で形成するとともに、前記第二絶縁層を有機絶縁材料で形成したことを特徴とする電気泳動表示装置。
【請求項２】
前記第二絶縁層には、前記第一絶縁層を露呈させる第一開口が形成されていることを特徴とする請求項１記載の電気泳動表示装置。
【請求項３】
前記第一絶縁層には、前記第一電極を露呈させる第二開口が更に形成されていることを特徴とする請求項２記載の電気泳動表示装置。
【請求項４】
前記第二絶縁層は、光硬化性アクリル樹脂からなることを特徴とする請求項１ないし３いずれか１項記載の電気泳動表示装置。
【請求項５】
互いに対向して配された第一電極および第二電極と、該第一電極および第二電極の間に配され、帯電された電気泳動粒子を有する電気泳動素子と、該電気泳動素子および前記第一電極の間に配された第一絶縁層および第二絶縁層と、からなる画素構成素子を一面上に配列し、前記第一絶縁層を無機絶縁材料で、また前記第二絶縁層を有機絶縁材料で、それぞれ形成した電気泳動表示装置の製造方法であって、
第一電極を形成する工程と、該第一電極の一面に順に重ねて前記第一絶縁層および前記第二絶縁層をそれぞれ形成する工程と、前記第二絶縁層に前記第一絶縁層を露呈させる第一開口を形成する工程と、該第一開口が形成された前記第二絶縁層をエッチングマスクとして、前記第一絶縁層に前記前記第一電極を露呈させる第二開口をエッチングによって形成する工程と、を少なくとも備えたことを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動表示装置およびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電気泳動素子は、例えば白または黒に着色された電気泳動粒子を封入したカプセルを備え、このカプセルを挟むように電極を配して電界を印加することによって、白または黒に着色された電気泳動粒子の何れかを特定の領域に集める。こうした電気泳動素子を１画素とした画素構成素子を一面上に多数配列し、それぞれの画素構成素子の印加電圧を制御することによって、文字やイメージを表示する電気泳動表示装置が知られている。
【０００３】
こうした電気泳動表示装置において、電気泳動粒子を移動させるためには、カプセルを挟む両電極間に、少なくとも１５Ｖ程度の電圧を印加する必要がある。電圧を印加する際に、互いに隣り合う電気泳動素子どうしが同一の向きに電界を印加する、即ち、隣り合う画素どうしが同色の表示の場合、隣り合う電気泳動素子間で電位差は生じない。しかし、互いに隣り合う画素どうしが異なる色を表示の場合、隣り合う電気泳動素子間で１５Ｖ以上の電位差が生じることになる。
【０００４】
そして、１画素を構成する画素構成素子どうしの形成ピッチが数μｍ〜数十μｍ程度の高解像度の電気泳動表示装置の場合、隣り合う電気泳動素子間で１５Ｖ以上など大きな電位差が生じると、電気泳動素子を固定している接着剤などを介したリーク電流が増大する。こうしたリーク電流は無駄な消費電力を増大させる。また、リーク電流によって、カプセルを挟む電極の化学反応を引き起こし、電極を早く劣化させてしまう。
【０００５】
電気泳動表示装置の両電極から生じるリーク電流に対応するために、例えば、少なくとも一方の電極の表面に窒化ケイ素膜を形成した電気泳動表示装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。また、電極の面方向に流れるリーク電流に対応するために、例えば、電極の上面に開口を形成した電気泳動表示装置も知られている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−１７２８４５号公報
【特許文献２】特開２００８−２４９７９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した特許文献１記載の電気泳動表示装置は、高温高湿などリーク電流を生じやすい環境下において、電気泳動素子自体をリーク電流から保護することを目的としており、リーク電流の発生自体を低減させるものではない。
【０００８】
一方、特許文献２記載の電気泳動表示装置は、単に開口を形成する事のみ記載されており、具体的な開口の形成方法や、面方向に沿って流れるリーク電流を効果的に低減させるための具体的な絶縁膜の構成や、膜厚などが開示されておらず、リーク電流の発生を低減させる効果が不明瞭であった。
【０００９】
本発明にかかるいくつかの態様は、上記事情に鑑みてなされたものであり、リーク電流を確実に低減させ、無駄な電力消費を防止するとともに、リーク電流による電極の劣化を抑制し、高解像度で高特性の電気泳動表示装置を実現する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明のいくつかの態様は次のような電気泳動表示装置およびその製造方法を提供した。
すなわち、本発明の電気泳動表示装置は、互いに対向して配された第一電極および第二電極と、該第一電極および第二電極の間に配され、帯電させた電気泳動粒子を有する電気泳動素子と、該電気泳動素子および前記第一電極の間に配された第一絶縁層および第二絶縁層と、からなる画素構成素子を一面上に配列し、前記第一絶縁層を無機絶縁材料で形成するとともに、前記第二絶縁層を有機絶縁材料で形成したことを特徴とする
【００１１】
前記第二絶縁層には、前記第一絶縁層を露呈させる第一開口が形成されていればよい。
また、前記第一絶縁層には、前記第一電極を露呈させる第二開口が更に形成されていることが好ましい。
前記第二絶縁層は、光硬化性アクリル樹脂からなることが好ましい。
【００１２】
本発明の電気泳動表示装置の製造方法は、互いに対向して配された第一電極および第二電極と、該第一電極および第二電極の間に配され、帯電された電気泳動粒子を有する電気泳動素子と、該電気泳動素子および前記第一電極の間に配された第一絶縁層および第二絶縁層と、からなる画素構成素子を一面上に配列し、前記第一絶縁層を無機絶縁材料で、また前記第二絶縁層を有機絶縁材料で、それぞれ形成した電気泳動表示装置の製造方法であって、
第一電極を形成する工程と、該第一電極の一面に順に重ねて前記第一絶縁層および前記第二絶縁層をそれぞれ形成する工程と、前記第二絶縁層に前記第一絶縁層を露呈させる第一開口を形成する工程と、該第一開口が形成された前記第二絶縁層をエッチングマスクとして、前記第一絶縁層に前記前記第一電極を露呈させる第二開口をエッチングによって形成する工程と、を少なくとも備えたことを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の電気泳動表示装置の一実施形態を示す拡大断面図である。
【図２】電気泳動素子の作用を示す説明図である。
【図３】本発明の電気泳動表示装置の別な実施形態を示す拡大断面図である。
【図４】本発明の電気泳動表示装置の製造方法を段階的に示す拡大断面図である。
【図５】本発明の電気泳動表示装置の製造方法を段階的に示す拡大断面図である。
【図６】本発明の電気泳動表示装置の製造方法を段階的に示す拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の電気泳動表示装置の一実施形態について説明する。なお、本実施形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。また、以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために、便宜上、要部となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
【００１５】
次に、本発明の第１実施形態に係る電気泳動表示装置について、図１を用いて説明する。図１（ａ）は、電気泳動表示装置の厚み方向に沿った拡大断面図であり、図１（ｂ）は、電気泳動表示装置を上面から俯瞰した時の個々の画素を示す拡大平面図である。
【００１６】
本実施形態の電気泳動表示装置１０は、対向配置された第１基板１１と第２基板１２とを備えている。また、この第１基板１１と第２基板１２との間には、第一電極（画素電極）１３および第二電極（共通電極）１４が形成されている。そして、第一電極１３と第二電極１４との間には、電気泳動素子１５が形成されている。更に、この電気泳動素子１５と第一電極１３との間には、第一絶縁層１７および第二絶縁層１８が配されている。この第一絶縁層１７および第二絶縁層１８の構成は、後ほど詳述する。
【００１７】
第１基板１１は、一面１１ａ側が、この電気泳動表示装置１０の視認側（表示面）となり、例えば透明ガラスや透明フィルムなどの光透光性を有する基板から構成されればよい。第２基板１２は、必ずしも透明である必要はなく、例えばガラス基板や樹脂フィルム基板などの他、ステンレスプレート等の金属板に絶縁層を形成したものなど、遮光性絶縁基板を用いることもできる。
【００１８】
第一電極（画素電極）１３は、例えば、Ａｕ，Ｃｕなどからなる金属薄膜を所定のパターン、例えば、矩形状となるよう、隣り合う第一電極（画素電極）１３の間に所定の間隔をあけて形成される。一方、第二電極（共通電極）１４は、例えば、ＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）等、光透過性の導電材料で形成されていればよい。この第二電極（共通電極）１４は、複数の第一電極（画素電極）１３に対して連続して形成されていればよい。
【００１９】
電気泳動素子１５は、例えば、透明な球形ないし楕円形のカプセル２１内に、分散媒２２、電気泳動粒子２３等を有する電気泳動分散液が封入されたものからなり、第一電極（画素電極）１３と第二電極（共通電極）１４の間に挟まれるように配置される。カプセル２１は、例えば、直径が３０〜１００μｍに形成されたマイクロカプセルであり、カプセル壁膜を構成する材料としては、アラビアガム・ゼラチンの複合膜、ウレタン樹脂、ウレア樹脂、尿素樹脂などが挙げられる。
【００２０】
また、分散媒２２としては、水やアルコール系溶媒、各種エステル類、ケトン類、脂肪族炭化水素、脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、ハロゲン化炭化水素、カルボン酸塩又はその他の種々の油類等の単独、又はこれらの混合物に界面活性剤等を配合したものを用いることができる。
【００２１】
電気泳動粒子２３としては、液相分散媒中で電位差による電気泳動により移動する性質を有する有機あるいは無機の粒子（高分子あるいはコロイド）を用いることができる。具体的には、カーボンブラック、アニリンブラック等の黒色顔料、二酸化チタン等の白色顔料、モノアゾのアゾ系顔料、イソインドリノン等の黄色顔料、モノアゾのアゾ系顔料、キナクリドンレッド等の赤色顔料、フタロシアニンブルー等の青色顔料、フタロシアニングリーン等の緑色顔料等の１種又は２種以上を用いることができる。これらの顔料には、必要に応じ、電解質、界面活性剤、金属石鹸、樹脂、ゴム、油、ワニス、コンパウンド等の粒子からなる荷電制御剤、チタン系カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤、シラン系カップリング剤等の分散剤、潤滑剤、安定化剤等を添加することができる。
【００２２】
個々のカプセル２１，２１…には、例えば白色顔料である二酸化チタンを用いた白色の電気泳動粒子２３ａと、黒色顔料であるカーボンブラックを用いた黒色の電気泳動粒子２３ｂの二種類の電気泳動粒子が封入されている。このうち、例えば、白色の電気泳動粒子２３ａが負に、黒色の電気泳動粒子２３ｂが正に帯電されている。
これによって、白黒２色の表示を行うことができる。
【００２３】
なお、電気泳動粒子２３は、これら白黒以外にも、任意の色に着色したものを用いても良く、また、１色の電気泳動粒子のみ用い、これを第一電極（画素電極）１３側、あるいは第二電極（共通電極）１４側に泳動させる構成であっても良い。
【００２４】
このようなカプセル２１，２１…は、接着層１９によって第二電極１４側に固定される。また、接着層２４によって第一電極（画素電極）１３側に固定される。こうした接着層１９，２４としては、例えば、カプセル２１の壁膜に対する親和性が良好で、第一電極１３や第二電極１４に対する接着性に優れ、かつ絶縁性の良い接着剤を用いることが好ましい。
【００２５】
電気泳動素子１５と第一電極１３との間に配される第一絶縁層１７は、無機絶縁材料で形成される。第一絶縁層１７を構成する無機絶縁材料としては、例えば、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸窒化シリコン膜といったものが挙げられる。具体的には、絶縁性の高い窒化シリコン膜を２００ｎｍの厚みで形成すればよい。この第一絶縁層１７は、隣り合う１３どうしの間を電気的に区画（絶縁）する。
【００２６】
第一絶縁層１７の上に形成される第二絶縁層１８は、有機絶縁材料で形成される。第二絶縁層１８を構成する有機絶縁材料としては、例えば、光硬化性アクリル樹脂が好ましく挙げられる。第二絶縁層１８は、この光硬化性アクリル樹脂を、例えば３μｍ程度の厚みで積層すればよい。
【００２７】
こうした第一絶縁層１７、および第二絶縁層１８には、それぞれの第一電極（画素電極）１３ごとに画素開口Ｐが、第一開口２７、第二開口２８として形成されている。第二開口２８は、例えば矩形に形成され、下層である第一絶縁層１７を露呈させる。また、第二開口２８は、下層である第一電極（画素電極）１３を露呈させる。例えば、本実施形態のように、第一開口２７と第二開口２８とを同一の形状で形成したときには、第二開口２８から第一電極（画素電極）１３が露呈される。これら第一開口２７、第二開口２８は、第一電極（画素電極）１３よりも小さい開口形状に形成されるのが好ましい。
【００２８】
そして、第一開口２７、第二開口２８の内部は、例えば、接着層２４によって充填されればよい。また、第二絶縁層１８の上面も接着層２４によって覆われていれば良い。
【００２９】
第一電極（画素電極）１３と第２基板１２との間には、それぞれの第一電極（画素電極）１３の電位を制御するアクティブ素子（例えば、ＴＦＴ素子）３１，３１…が形成されている。アクティブ素子３１，３１は、第一電極（画素電極）１３の下層に、平坦化層３９を介して形成されていれば良い。それぞれのアクティブ素子３１，３１は、例えば、第２基板１２上に形成された半導体膜３２、アクティブ素子絶縁膜３３、ソース電極３４、ゲート電極３５、およびドレイン電極３６を備えている。
【００３０】
ソース電極３４には、データ線（図示略）を介して表示データの信号が供給される。また、ゲート電極３５には走査線（図示略）を介して走査信号が所定のタイミングでパルス的に線順次で供給されるようになっている。ドレイン電極３６は、第一電極（画素電極）１３に電気的に接続されており、ゲート電極３５にパルス電圧を印加してアクティブ素子３１を一定期間だけオンすることで、表示データの信号が所定のタイミングで書き込まれる。
【００３１】
こうした、第一電極（画素電極）１３ごとに形成されたアクティブ素子３１と、電気泳動素子１５などから、１画素を構成する画素構成素子４１を成す。そして、この画素構成素子４１を一面上（平面状）に配列することによって、電気泳動表示装置１０が形成されている。
【００３２】
図２は、こうした電気泳動表示装置１０における個々の画素の表示動作を模式的に示した説明図である。
例えば、図２（ａ）に示すように、第二電極（共通電極）１４側が負極性となるように、第一電極（画素電極）１３側が正極性となるように電圧印加を行なうと、正に帯電した黒色の電気泳動粒子２３ｂが第二電極１４側、即ち表示側に集まる。これによって、この画素は黒色表示となる。
【００３３】
一方、例えば、図２（ｂ）に示すように、第二電極（共通電極）１４側が正極性となるように、第一電極（画素電極）１３側が負極性となるように電圧印加を行なうと、負に帯電した白色の電気泳動粒子２３ａが第二電極１４側、即ち表示側に集まる。これによって、この画素は白色表示となる。このように、それぞれの画素ごとに第一電極（画素電極）１３の極性を制御することで、多数の画素構成素子４１を配列した電気泳動表示装置１０に、任意の画像や文字を表示することが可能になる。
【００３４】
以上のような構成の電気泳動表示装置１０において、第一絶縁層１７を無機絶縁材料で形成するとともに、第二絶縁層１８を有機絶縁材料で形成するという、異なる材質からなる２層の絶縁層とすることによって、面方向に沿って流れるリーク電流を効果的に低減させることができる。
【００３５】
即ち、従来は、隣り合う画素どうしの第一電極（画素電極）間で、電気泳動素子のカプセルを固定する接着層に沿って、リーク電流が発生することがあった。特に、接着層としてアクリル系の接着剤を使用した場合、外気の水分等を吸収して絶縁性が低下し、面方向、即ち、隣り合う第一電極（画素電極）に向かって、接着層を通ってリーク電流が生じることがあった。
【００３６】
しかし、本発明の電気泳動表示装置１０では、無機絶縁材料を用いた第一絶縁層１７で、互いに隣り合う第一電極（画素電極）１３，１３間を区画（絶縁）することによって、面方向にリーク電流が流れることを確実に防止する。しかも、こうした無機絶縁材料は、外気の水分等を吸収して絶縁性が低下する懸念がないので、経年変化によって絶縁性が低下する虞も無い。
【００３７】
一方、第一絶縁層１７に重ねて有機絶縁材料を用いた第二絶縁層１８を形成することによって、無機絶縁材料を用いた第一絶縁層１７を上方から回避する、即ち、第一絶縁層１７を飛び越えるようにリーク電流が流れること阻止する。こうした作用によって、リーク電流による無駄な消費電力の増大を防止して、省消費電力の電気泳動表示装置１０を実現する。また、リーク電流の発生を確実に防止することによって、第一電極（画素電極）１３の化学反応を防止し、経年劣化の無い電気泳動表示装置１０を実現することができる。
【００３８】
なお、有機絶縁材料を用いた第二絶縁層１８は、その上面が電気泳動素子１５に接する位置まで形成されていても良い。これによって、第一絶縁層１７を飛び越えるようにリーク電流が流れること、より一層確実に阻止することができる。
【００３９】
図３は、本発明の電気泳動表示装置の別な実施形態を示す拡大断面図である。なお、この図３においては、図１に示した電気泳動表示装置と同様の構成には同一の番号を附し、その説明を略す。この実施形態の電気泳動表示装置５０では、第一電極（画素電極）１３が、無機絶縁材料を用いた第一絶縁層５２に上面全体を覆われる形状を成す。そして、有機絶縁材料を用いた第二絶縁層５３には、第一絶縁層５２を露呈させる第二開口５４が形成されている。
【００４０】
こうした構成によって、第一電極（画素電極）１３自体が無機絶縁材料を用いた第一絶縁層５２に覆われるため、隣り合う第一電極（画素電極）１３，１３どうしの間で、面方向に沿ってリーク電流が発生することをより一層確実に防止することが可能になる。
【００４１】
なお、この実施形態では第一電極（画素電極）１３の上面全体が第一絶縁層５２に覆われてしまっているが、第一絶縁層５２の厚みを、例えば２００ｎｍ以下にすることによって、電気泳動素子１５に対して電圧印加し、電気的極性を付与することができる。
【００４２】
次に、本発明の電気泳動表示装置の製造方法について説明する。説明にあたっては、図１に示した構成の電気泳動表示装置の製造方法を例示する。図４〜６は、本発明の電気泳動表示装置の製造方法を段階的に示す拡大断面図である。
まず、例えばガラス基板、樹脂フィルム基板、絶縁体で覆ったステンレスプレート等からなる第２基板１２に、ポリシリコンなどからなる半導体膜３２を成膜する（図４（ａ）参照）。
【００４３】
次に、この半導体膜３２に、例えば、低温ポリシリコンプロセス等により、アクティブ素子絶縁膜３３、ソース電極３４、ゲート電極３５、およびドレイン電極３６などからなるアクティブ素子（例えば、ＴＦＴ素子）３１を形成する（図４（ｂ）参照）。
【００４４】
アクティブ素子３１を形成した後、例えば、アクリル樹脂を塗布、成膜して、平坦化層３９を形成する。この平坦化層３９を構成するアクリル樹脂として、光硬化性のアクリル樹脂を用いれば、平坦化層３９の形成後、フォトリソグラフィーによる露光処理によって、コンタクトホールを形成する。そして、このコンタクトホールを介してドレイン電極３６に接続される第一電極（画素電極）１３を、平坦化層３９の上面に形成する。
【００４５】
こうした第一電極１３は、例えば、フォトリソグラフィー、エッチング装置によって所定のパターンに形成すればよい。また、第一電極１３の構成材料としては、ＩＴＯ膜、Ａｌ膜、ＡｌＣｕ膜などの導電性薄膜であればよい。なお、この第一電極１３は、特に光を透過させる必要が無いので、光不透過性材料であっても差し支えない。
【００４６】
次に、例えば、化学気相蒸着（ＣＶＤ）法によって、無機絶縁材料を成膜し、第一絶縁層１７を形成する（図４（ｃ）参照）。無機絶縁材料として、例えば、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸窒化シリコン膜といったものが好ましく挙げられる。また、第一絶縁層１７の厚みは、例えば、２００〜３００ｎｍ程度に形成すれば良い。
【００４７】
続いて、例えば、コータ一などによって、光硬化性アクリル樹脂を塗布し、有機絶縁材料からなる第二絶縁層１８を形成する。形成方法が液相のコーティングを用いれば、容易に数μｍ程度の厚みの有機絶縁材料からなる第二絶縁層１８を形成できる。なお、この第二絶縁層１８の厚みは、その膜厚が物理的なリークパスの制限（伝導距離の延長とリーク層の圧迫による）へと繋がるため、基板サイズ、滴下方法、そして光硬化性アクリル樹脂の粘度（広がり具合）が許容するのであれば、より厚くすることが好ましい。
【００４８】
次に、フォトリソグラフィーによって、第一電極（画素電極）１３よりも小さいサイズの開口が設けられるように、第二絶縁層１８の露光処理を行なう。これによって、第二絶縁層１８には、第一絶縁層１７の上面を露呈させる開口２８が形成される（図５（ａ）参照）。なお、ここで、感光性アクリル材料としては、それぞれポジ型とネガ型とがあり、どちらを用いることも可能であるが、必要なところのみ開口を設けるために、本実施形態ではポジ型を例示している。
【００４９】
続いて、この開口２８を備えた第二絶縁層１８をエッチングマスクとして、無機絶縁材料からなる第一絶縁層１７のエッチングを行なう（図５（ｂ）参照）。エッチング方法しては、ドライエッチング、ウェットエッチングのいずれを用いることもできる。本実施形態では、バッファードフッ化水素酸（ＢＨＦ）溶液を用いて、ウェットエッチングを行っている。これによって、第一絶縁層１７には、第一電極（画素電極）１３の上面の一部を露呈させる開口２７が形成される（図５（ｃ）参照）。
【００５０】
このように、第二絶縁層１８をエッチングマスクとして、無機絶縁材料からなる第一絶縁層１７のエッチングを行なうことによって、開口２７を形成する際に、別途エッチングマスクを形成する工程が不用になるとともに、第二絶縁層１８の開口２８と、第一電極１３の開口２７の開口サイズ、位置を揃えて形成することが可能になる。
【００５１】
この後、開口２８、開口２７を埋めるように、第二絶縁層１８を覆う接着層２４を形成する（図６（ａ）参照）。接着層２４としては、例えば、第一電極１３や第二電極１４に対する接着性に優れ、かつ絶縁性の良い接着剤を用いることが好ましい。
【００５２】
さらに、この接着層２４の上に第二電極（共通電極）１４や電気泳動素子１５を備えた第一基板１１を貼着する（図６（ｂ）参照）。以上のような工程を経て、本発明の電気泳動表示装置１０が完成する。
【符号の説明】
【００５３】
１０…電気泳動表示装置、１３…第一電極（画素電極）、１４…第二電極（共通電極）、１５…電気泳動素子、１７…第一絶縁層、１８…第二絶縁層、２７…第一開口、２８…第二開口。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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