(57)【要約】【課題】過酸化水素を用いて処理室（2）の滅菌を行うシステムにおいて、滅菌性能の向上や滅菌後の後処理時間の短縮を可能にする。【解決手段】外気処理空調機（13）と顕熱空調機（17）とＨＥＰＡフィルタ（14）などのフィルタ機構とを備えて処理室（2）の空調を行う空調系統側回路（10）と、過酸化水素発生器（31）を備えて処理室（2）の滅菌を行う滅菌系統側回路（30）とを設けたシステム構成において、外気処理空調機（13）から滅菌系統側回路（30）に外気を導入する給気側連通路（39）と、滅菌系統側回路（30）で過酸化水素発生器（31）と並列に接続された過酸化水素分解器（36）から外気処理空調機（13）に還気する還気側連通路（38）とを設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理室（2）内の空調と滅菌処理とを行う滅菌システムであって、
外気の温度と湿度を調節するとともに、処理室（2）に給気通路（11）と還気通路（12）を介して接続された外気処理空調機（13）と、
給気通路（11）から処理室（2）への空気の入口に設けられたフィルタ機構（14）と、
還気通路（12）から給気通路（11）に戻し通路（15）を接続することにより構成された空調側循環通路（16）と、
上記空調側循環通路（16）に設けられた顕熱空調機（17）と、
上記処理室（2）に接続され、過酸化水素発生器（31）を備えた滅菌側循環通路（32）と、
上記外気処理空調機（13）から滅菌側循環通路（32）に外気を導入する給気側連通路（39）と、
滅菌側循環通路（32）において過酸化水素発生器（31）と並列に接続された過酸化水素分解器（36）と、
過酸化水素分解器（36）を外気処理空調機（13）の還気通路（12）に接続する還気側連通路（38）と、
を備えていることを特徴とする滅菌システム。
【請求項２】
請求項１において、
処理室（2）内の圧力を調整する圧力調整機構（25）が設けられていることを特徴とする滅菌システム。
【請求項３】
請求項１または２において、
滅菌側循環通路（32）における処理室（2）への入口側が給気通路（11）のフィルタ機構（14）に接続されていることを特徴とする滅菌システム。
【請求項４】
請求項１，２または３において、
運転制御を行う制御手段（50）を備え、該制御手段（50）は、
過酸化水素発生器（31）を停止した状態で、外気処理空調機（13）により処理室（2）の湿度を所定値以下に低下させる準備運転と、
過酸化水素発生器（31）により発生した過酸化水素を滅菌側循環通路（32）で循環させることにより処理室（2）に過酸化水素を所定濃度になるように供給する滅菌運転と、
過酸化水素発生器（31）を停止して処理室（2）のガスを滅菌側循環通路（32）で循環させながら過酸化水素分解器（36）で過酸化水素濃度が第１の設定値以下になるまで分解する第１希釈運転と、
外気処理空調機（13）からフィルタ機構（14）を介して空気を処理室（2）に供給しながら過酸化水素濃度が第１の設定値よりも低い第２の設定値以下になるまで排気を行う第２希釈運転と、
外気処理空調機（13）により処理した外気を取り入れながら空調側循環通路（16）で顕熱空調機（17）を介して空調空気を循環させる定常運転と、
が可能に構成されていることを特徴とする滅菌システム。
【請求項５】
請求項４において、
滅菌運転時における処理室（2）の室内湿度上昇時または室内圧力上昇時に、過酸化水素分解器（36）から還気側連通路（38）を通じて処理室（2）のガスを外気処理空調機（13）に還気するように構成されていることを特徴とする滅菌システム。
【請求項６】
請求項４において、
第１希釈運転時における処理室（2）の圧力低下時に、外気処理空調機（13）から空調空気を滅菌側循環通路（32）に供給するように構成されていることを特徴とする滅菌システム。
【請求項７】
請求項４において、
第２希釈運転時に、外気処理空調機（13）と顕熱空調機（17）からフィルタ機構（14）を介して処理室（2）に空調空気を供給するとともに処理室（2）のガスを排気しながら、該処理室（2）のガスの一部を空調側循環通路（16）で循環させることを特徴とする滅菌システム。
【請求項８】
処理室（2）内の温度調節及び湿度調節を行う空調装置（13,17）と、該処理室（2）へ過酸化水素を供給する過酸化水素発生器（31）と、該処理室（2）から送られる過酸化水素を分解する過酸化水素分解器（36）とを備えた滅菌システムであって、
上記空調装置（13,17）によって上記処理室（2）を除湿する準備運転と、
上記処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定濃度になるよう上記過酸化水素発生器（31）から該処理室（2）へ過酸化水素を供給する滅菌運転と、
上記処理室（2）内の過酸化水素を上記過酸化水素分解器（36）で分解することによって該処理室（2）内の過酸化水素の濃度を低下させる希釈運転とを順に実行することを特徴とする滅菌システム。
【請求項９】
請求項８において、
上記希釈運転中には、上記処理室（2）と過酸化水素分解器（36）の間で空気を循環させて該空気中の過酸化水素を該過酸化水素分解器（36）で分解する循環動作を、該処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定値以下となるまで行うことを特徴とする滅菌システム。
【請求項１０】
請求項９において、
上記希釈運転では、上記循環動作の終了後に上記処理室（2）へ空気を供給しながら該処理室（2）内の空気を室外へ排出する排気動作を行うことを特徴とする滅菌システム。
【請求項１１】
請求項１０において、
上記処理室（2）へ供給される空気を浄化するためのフィルタ機構（14）を備える一方、
上記排気動作では、上記フィルタ機構（14）で浄化した空気が処理室（2）を供給されることを特徴とする滅菌システム。
【請求項１２】
請求項１０または１１において、
上記排気動作における上記処理室（2）への空気の供給は、上記空調装置（13,17）を用いて行われることを特徴とする滅菌システム。
【請求項１３】
請求項８，９、１０，１１または１２において、
上記希釈運転中は、上記過酸化水素発生器（31）を停止させることを特徴とする滅菌システム。
【請求項１４】
請求項８，９、１０，１１，１２または１３において、
上記準備運転では、上記処理室（2）内の相対湿度が１０％以上で５０％以下の範囲の所定値になるように上記空調装置（13,17）を運転させることを特徴とする滅菌システム。
【請求項１５】
請求項８，９、１０，１１，１２，１３または１４において、
上記滅菌運転中には、上記空調装置（13,17）から処理室（2）への空気の供給を停止させることを特徴とする滅菌システム。
【請求項１６】
請求項８，９、１０，１１，１２，１３，１４または１５において、
上記過酸化水素発生器（31）から処理室（2）へ送られる過酸化水素を含んだ空気を温度調節するための滅菌側空調機（53）を備えていることを特徴とする滅菌システム。
【請求項１７】
処理室（2）へ除湿した空気を供給する除湿器（57）と、該除湿器（57）で除湿された空気に過酸化水素を供給する過酸化水素発生器（31）と、該処理室（2）から送られる過酸化水素を分解する過酸化水素分解器（36）とを備えた滅菌システムであって、
上記除湿器（57）を運転させて上記処理室（2）へ除湿した空気を供給する準備運転と、
上記処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定濃度になるように上記除湿器（57）と共に上記過酸化水素発生器（31）を運転させて処理室（2）へ過酸化水素を供給する滅菌運転と、
上記除湿器（57）及び過酸化水素分解器（36）を停止させて上記処理室（2）内の過酸化水素を上記過酸化水素分解器（36）で分解することによって該処理室（2）内の過酸化水素の濃度を低下させる希釈運転とを順に実行することを特徴とする滅菌システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理室を過酸化水素で滅菌処理する滅菌システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種の滅菌システムとしては、密閉可能な処理室（例えば医薬品製造室）に、該処理室の気体を吸引する真空ポンプが設けられた気体吸引通路と、過酸化水素蒸気を発生させる過酸化水素発生器が設けられた過酸化水素供給通路と、処理空間内に無菌空気を供給する空気供給通路と、処理室内の気体を循環させながら触媒で過酸化水素を分解する気体循環通路とが接続されたシステムがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１の滅菌システムでは、まず真空ポンプを起動して処理室を真空状態にした後、過酸化水素を処理室内に供給して滅菌処理を行う。次に、空気供給通路から処理室に無菌空気を導入し、過酸化水素を処理室内に分散させる。そして、真空ポンプによる吸引工程、過酸化水素の供給工程、及び無菌空気の導入工程を数回繰り返して処理室の滅菌が終了すると、処理室から過酸化水素を除去する工程を行う。この工程では、気体循環通路の触媒により過酸化水素を分解しながら処理室の気体を循環させる。こうすることにより、処理室内の過酸化水素濃度を下げるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−３２８２７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記の滅菌システムは、空調設備とは別個独立して微小風量が循環する設備として設けられている。そして、上記滅菌システムでは、多風量の気体の循環が可能な空調設備を停止した状態で微小風量の循環により滅菌処理を行うため、滅菌ガス（過酸化水素を含む空気）の室内拡散効果不良による滅菌性能のばらつきや、滅菌後に室内の過酸化水素濃度を下げて定常運転を行えるようになるまでに長時間を要するなど、様々な問題があった。
【０００６】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、過酸化水素を用いて処理室の滅菌を行うシステムにおいて、滅菌性能の向上や滅菌後の後処理時間（過酸化水素の希釈時間）の短縮を可能にすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明は、処理室（2）内の空調と滅菌処理とを行う滅菌システム（1）を前提としている。
【０００８】
そして、この滅菌システム（1）は、外気の温度と湿度を調節するとともに処理室（2）に給気通路（11）と還気通路（12）を介して接続された外気処理空調機（13）と、給気通路（11）から処理室（2）への空気の入口に設けられたＨＥＰＡフィルタなどのフィルタ機構（14）と、還気通路（12）から給気通路（11）に戻し通路（15）を接続することにより構成された空調側循環通路（16）と、上記空調側循環通路（16）に設けられた顕熱空調機（17）と、上記処理室（2）に接続され、過酸化水素発生器（31）を備えた滅菌側循環通路（32）と、上記外気処理空調機（13）から滅菌側循環通路（32）に外気を導入する給気側連通路（39）と、滅菌側循環通路（32）において過酸化水素発生器（31）と並列に接続された過酸化水素分解器（36）と、過酸化水素分解器（36）を外気処理空調機（13）の還気通路（12）に接続する還気側連通路（38）と、を備えていることを特徴としている。
【０００９】
この第１の発明では、外気処理空調機（13）と顕熱空調機（17）とフィルタ機構（14）とを備えた空調系統側の回路（10）と、過酸化水素発生器（31）と過酸化水素分解器（36）とを備えた滅菌系統側の回路（30）とを設けるとともに、空調系統側回路（10）と滅菌系統側回路（30）とを給気側連通路（39）と還気側連通路（38）によって接続している。したがって、後述の第４の発明に記載しているように、過酸化水素発生器（31）を停止した状態で、外気処理空調機（13）により処理室（2）の湿度を所定値以下に低下させる準備運転と、過酸化水素発生器（31）により発生した過酸化水素（過酸化水素の蒸気）を滅菌側循環通路（32）で循環させることにより処理室（2）に過酸化水素を所定濃度となるように供給する滅菌運転と、過酸化水素発生器（31）を停止して処理室（2）のガスを滅菌側循環通路（32）で循環させながら過酸化水素分解器（36）で過酸化水素濃度が第１の設定値以下になるまで分解する第１希釈運転と、外気処理空調機（13）からフィルタ機構（14）を介して空気を処理室（2）に供給しながら過酸化水素濃度が第１の設定値よりも低い第２の設定値以下になるまで排気を行う第２希釈運転と、外気処理空調機（13）により処理した外気を取り入れながら空調側循環通路（16）で顕熱空調機（17）を介して空調空気を循環させる定常運転と、を一連の動作として連続して行うことができる。第２希釈運転は、処理室（2）の空気（滅菌ガス）を大気中に放出しても影響が生じない過酸化水素濃度になったときに行う運転であり、このとき、外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）からの大風量の空気で処理室（2）内の滅菌ガスを希釈できる。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明において、処理室（2）内の圧力を調整する圧力調整機構（25）が設けられていることを特徴としている。
【００１１】
この第２の発明では、滅菌運転、第１希釈運転、及び第２希釈運転などを行うときに、それぞれの運転に適した室内圧力を維持することができる。
【００１２】
第３の発明は、第１または第２の発明において、滅菌側循環通路（32）における処理室（2）への入口側が給気通路（11）のフィルタ機構（14）に接続されていることを特徴と
している。
【００１３】
この第３の発明では、滅菌運転時に処理室（2）の室内へ供給される過酸化水素がＨＥＰＡフィルタなどのフィルタ機構（14）を通過する。このため、フィルタ機構（14）に捕捉されている菌類を該フィルタ機構（14）上で死滅させることができる。
【００１４】
第４の発明は、第１，第２または第３の発明において、運転制御を行う制御手段（50）を備え、該制御手段（50）が、過酸化水素発生器（31）を停止した状態で、外気処理空調機（13）により処理室（2）の湿度を所定値以下に低下させる準備運転と、過酸化水素発生器（31）により発生した過酸化水素（過酸化水素の蒸気）を滅菌側循環通路（32）で循環させることにより処理室（2）に過酸化水素を所定濃度となるように供給する滅菌運転と、過酸化水素発生器（31）を停止して処理室（2）のガスを滅菌側循環通路（32）で循環させながら過酸化水素分解器（36）で過酸化水素濃度が第１の設定値以下になるまで分解する第１希釈運転と、外気処理空調機（13）からフィルタ機構（14）を介して空気を処理室（2）に供給しながら過酸化水素濃度が第１の設定値よりも低い第２の設定値以下になるまで排気を行う第２希釈運転と、外気処理空調機（13）により処理した外気を取り入れながら空調側循環通路（16）で顕熱空調機（17）を介して空調空気を循環させる定常運転と、を行うことが可能に構成されていることを特徴としている。
【００１５】
この第４の発明では、準備運転時の処理室（2）の湿度、滅菌運転時の処理室（2）内の過酸化水素濃度、第１希釈運転時の過酸化水素濃度（第１の設定値）、及び第２希釈運転時の過酸化水素濃度（第２の設定値）などを制御手段（50）において予め設定しておくことにより、準備運転と滅菌運転と第１希釈運転と第２希釈運転と定常運転とからなる一連の運転動作を自動的に効率よく行うことができる。
【００１６】
第５の発明は、第４の発明において、滅菌運転時における処理室（2）の室内湿度上昇時または室内圧力上昇時に、過酸化水素分解器（36）から還気側連通路（38）を通じて処理室（2）のガスを外気処理空調機（13）に還気するように構成されていることを特徴としている。
【００１７】
この第５の発明では、滅菌運転時に処理室（2）に過酸化水素を供給することによって室内湿度が上昇したり室内圧力が上昇したりすると、過酸化水素分解器（36）で過酸化水素を分解したガスを外気処理空調機（13）に還気する。また、外気処理空調機（13）からは、湿度と風量を調節した空気を滅菌側循環通路（32）に戻すことができるので、処理室（2）の湿度や圧力を調節できる。
【００１８】
第６の発明は、第４の発明において、第１希釈運転時における処理室（2）の圧力低下時に、外気処理空調機（13）から空調空気を滅菌側循環通路（32）に供給するように構成されていることを特徴としている。
【００１９】
この第６の発明では、第１希釈運転時に、滅菌システムまたは滅菌側循環通路（32）と処理室（2）内の過酸化水素が減量したときや、処理室（2）から空調系統側回路（10）へ滅菌ガスの漏れが生じたときなどに、外気処理空調機（13）から空調空気を滅菌側循環通路（32）に供給することにより、圧力が低下しすぎるのを防止できる。
【００２０】
第７の発明は、第４の発明において、第２希釈運転時に、外気処理空調機（13）と顕熱空調機（17）からフィルタ機構（14）を介して処理室（2）に空調空気を供給するとともに処理室（2）のガスを排気しながら、該処理室（2）のガスの一部を空調側循環通路（16）で循環させることを特徴としている。
【００２１】
この第７の発明では、空調系統側回路（10）を使って処理室（2）の還気のみを行うのではなく、処理室（2）のガスの一部を循環させながら滅菌ガスの希釈を行うことができる。
【００２２】
第８の発明は、処理室（2）内の温度調節及び湿度調節を行う空調装置（13,17）と、該処理室（2）へ過酸化水素を供給する過酸化水素発生器（31）と、該処理室（2）から送られる過酸化水素を分解する過酸化水素分解器（36）とを備えた滅菌システム（1）を前提としている。
【００２３】
そして、この滅菌システム（1）は、上記空調装置（13,17）によって上記処理室（2）を除湿する準備運転と、上記処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定濃度になるよう上記過酸化水素発生器（31）から該処理室（2）へ過酸化水素を供給する滅菌運転と、上記処理室（2）内の過酸化水素を上記過酸化水素分解器（36）で分解することによって該処理室（2）内の過酸化水素の濃度を低下させる希釈運転とを順に実行することを特徴としている。
【００２４】
この第８の発明では、空調装置（13,17）を用いる準備運転と、過酸化水素発生器（31）を用いる滅菌運転と、過酸化水素分解器（36）を用いる希釈運転とが一連の動作として実行できるようにこの滅菌システム（1）が構成されている。ここで、過酸化水素を用いる滅菌処理では、処理室（2）内が低湿度の方が高い滅菌効果が得られることが知られている。従って、このように空調装置（13,17）を過酸化水素発生器（31）や過酸化水素分解器（36）と共に連動させて運転させることで、滅菌運転を行う前に予め処理室（2）内を低湿度に調節しておくことが可能になる。
【００２５】
第９の発明は、第８の発明において、上記希釈運転中には、上記処理室（2）と過酸化水素分解器（36）の間で空気を循環させて該空気中の過酸化水素を該過酸化水素分解器（36）で分解する循環動作を、該処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定値以下となるまで行うことを特徴としている。
【００２６】
この第９の発明では、希釈運転において処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定値以下になるまでは、処理室（2）の空気を過酸化水素分解器（36）に送り込んでその空気中の過酸化水素を分解しても、そのまま外部に排気可能なレベルまでに過酸化水素の濃度が低下しないので、過酸化水素分解器（36）を通過後の空気を外部へ排出せずに処理室（2）へ戻している。
【００２７】
第１０の発明は、第９の発明において、上記希釈運転では、上記循環動作の終了後に上記処理室（2）へ空気を供給しながら該処理室（2）内の空気を室外へ排出する排気動作を行うことを特徴としている。
【００２８】
この第１０の発明では、希釈運転において、処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定値以下となって循環動作が終了した後に排気動作が行われる。排気動作では、処理室（2）へ空気を導入して該処理室（2）内の空気を室外へ排出することで処理室（2）の空気の入れ換えが行われるので、過酸化水素分解器（36）を通過後の空気を処理室（2）へ戻す循環動作に比べて短時間で処理室（2）内の過酸化水素の濃度を下げることが可能である。
【００２９】
第１１の発明は、第１０の発明において、上記処理室（2）へ供給される空気を浄化するためのフィルタ機構（14）を備える一方、上記排気動作では、上記フィルタ機構（14）で浄化した空気が処理室（2）を供給されることを特徴としている。
【００３０】
この第１１の発明では、排気動作の際に、滅菌処理が行われた処理室（2）へはフィルタ機構（14）で浄化した空気が供給される。このフィルタ機構（14）では、処理室（2）へ供給される空気中の菌類が捕捉される。
【００３１】
第１２の発明は、第１０または第１１の発明において、上記排気動作における上記処理室（2）への空気の供給は、上記空調装置（13,17）を用いて行われることを特徴としている。
【００３２】
この第１２の発明では、排気動作の際に上記空調装置（13,17）を運転させて、該空調装置（13,17）から処理室（2）への空気を供給する。空調装置（13,17）は、一般的に比較的大風量の空気を供給可能な装置として構成されている。このため、処理室（2）において単位時間当たりの空気の入れ換え量が多くなるので、短時間で処理室（2）内の過酸化水素の濃度を下げることが可能である。
【００３３】
第１３の発明は、第８，第９，第１０，第１１または第１２の発明において、上記希釈運転中には上記過酸化水素発生器（31）を停止させることを特徴としている。
【００３４】
この第１３の発明では、希釈運転中は過酸化水素発生器（31）を停止させる。この滅菌システム（1）では、希釈運転において運転の必要がない過酸化水素発生器（31）の動作が制御されて停止される。
【００３５】
第１４の発明は、第８，第９，第１０，第１１，第１２または第１３の発明において、上記準備運転では、上記処理室（2）内の相対湿度が１０％以上で５０％以下の範囲の所定値になるように上記空調装置（13,17）を運転させる。
【００３６】
この第１４の発明では、処理室（2）内の相対湿度が１０％以上で５０％以下の範囲の所定値になるまで空調装置（13,17）を運転させる。過酸化水素を用いる滅菌処理では相対湿度が１０％から５０％の範囲で高い滅菌効果が得られることが知られており、このように準備運転において空調装置（13,17）を運転させることで滅菌運転において高い滅菌効果が得られる。
【００３７】
第１５の発明は、第８，第９，第１０，第１１，第１２，第１３または第１４の発明において、上記滅菌運転中には、上記空調装置（13,17）から処理室（2）への空気の供給を停止させる。
【００３８】
この第１５の発明では、滅菌運転中に空調装置（13,17）から処理室（2）へ空気が供給されないようにこの滅菌システム（1）の運転が制御される。従って、処理室（2）内の過酸化水素の濃度は、空調装置（13,17）の影響を受けずに過酸化水素発生器（31）の運転制御によって調節される。
【００３９】
第１６の発明は、第８，第９，第１０，第１１，第１２，第１３，第１４または第１５の発明において、上記過酸化水素発生器（31）から処理室（2）へ送られる過酸化水素を含んだ空気を温度調節するための滅菌側空調機（53）を備えている。
【００４０】
この第１６の発明では、過酸化水素発生器（31）と処理室（2）を結ぶ経路に滅菌側空調機（53）が設けられている。従って、滅菌運転の際に過酸化水素を含んだ空気を滅菌側空調機（53）で温度調節することが可能になる。
【００４１】
第１７の発明は、処理室（2）へ除湿した空気を供給する除湿器（57）と、該除湿器（57）で除湿された空気に過酸化水素を供給する過酸化水素発生器（31）と、該処理室（2）から送られる過酸化水素を分解する過酸化水素分解器（36）とを備えた滅菌システム（1）を前提としている。
【００４２】
そして、この滅菌システム（1）は、上記除湿器（57）を運転させて上記処理室（2）へ除湿した空気を供給する準備運転と、上記処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定濃度になるように上記除湿器（57）と共に上記過酸化水素発生器（31）を運転させて処理室（2）へ過酸化水素を供給する滅菌運転と、上記除湿器（57）及び過酸化水素分解器（36）を停止させて上記処理室（2）内の過酸化水素を上記過酸化水素分解器（36）で分解することによって該処理室（2）内の過酸化水素の濃度を低下させる希釈運転とを順に実行することを特徴としている。
【００４３】
この第１７の発明では、除湿器（57）を用いる準備運転と、過酸化水素発生器（31）を用いる滅菌運転と、過酸化水素分解器（36）を用いる希釈運転とが一連の動作として実行できるようにこの滅菌システム（1）が構成されている。上述したように、過酸化水素を用いる滅菌処理では処理室（2）内の湿度が比較的低い方が高い滅菌効果が得られることが知られている。従って、このように除湿器（57）を過酸化水素発生器（31）や過酸化水素分解器（36）と共に連動させて運転させることで、滅菌運転を行う前に予め処理室（2）内を除湿しておくことが可能になる。
【発明の効果】
【００４４】
上記第１，第２，第３，第４，第５，第６，第７の発明によれば、外気処理空調機（13）と顕熱空調機（17）とフィルタ機構（14）とを備えた空調系統側の回路（10）と、過酸化水素発生器（31）と過酸化水素分解器（36）とを備えた滅菌系統側の回路（30）とを設けるとともに、空調系統側回路（10）と滅菌系統側回路（30）とを給気側連通路（39）と還気側連通路（38）によって接続したことにより、準備運転と滅菌運転と第１希釈運転と第２希釈運転と定常運転とを一連の動作として連続して行うことができる。そして、第２希釈運転時に、外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）からの大風量の空気で処理室（2）内の滅菌ガスを希釈できるため、過酸化水素の室内拡散効果不良による滅菌性能のばらつきを防止できるとともに、定常運転を行うまで長時間を要する問題も防止できる。また、過酸化水素を使った滅菌システム（1）では処理室（2）内を低湿度に保つことが滅菌効果を高めるために重要であるが、本発明では空調系統側回路（10）の外気処理空調機（13）により処理室（2）の湿度を前もって調節できるので、高い滅菌効果を期待できる。
【００４５】
上記第２の発明によれば、処理室（2）内の圧力を調整する圧力調整機構（25）を設けたことにより、滅菌運転、第１希釈運転、及び第２希釈運転などを行うときに、それぞれの運転に適した室内圧力を維持することができるため、滅菌運転や希釈運転を効率よく行うことができる。
【００４６】
上記第３の発明によれば、滅菌側循環通路（32）における処理室（2）への入口側を給気通路（11）のフィルタ機構（14）に接続したことにより、滅菌運転時に処理室（2）の室内へ供給される過酸化水素がＨＥＰＡフィルタなどのフィルタ機構（14）を通過する。したがって、フィルタ機構（14）に捕捉されている菌類を該フィルタ機構（14）上で死滅させることができるので、滅菌効率が向上する。
【００４７】
上記第４の発明によれば、準備運転時の処理室（2）の湿度、滅菌運転時の処理室（2）内の過酸化水素濃度、第１希釈運転時の過酸化水素濃度、及び第２希釈運転時の過酸化水素濃度などを制御手段（50）において予め設定しておくことにより、準備運転と滅菌運転と第１希釈運転と第２希釈運転と定常運転とからなる一連の運転動作を自動的に効率よく行うことができる。
【００４８】
上記第５の発明によれば、滅菌運転時に処理室（2）に過酸化水素を供給することによって室内湿度が上昇したり室内圧力が上昇したりすると、過酸化水素分解器（36）で過酸化水素を分解したガスを外気処理空調機（13）に還気し、外気処理空調機（13）から湿度と風量を調節した空気を滅菌側循環通路（32）に戻すことができるので、処理室（2）の湿度や圧力を滅菌処理に適した値に調節することができる。
【００４９】
上記第６の発明によれば、第１希釈運転時に、滅菌システムまたは滅菌側循環通路（32）と処理室（2）内の過酸化水素が減量したときや、処理室（2）から空調系統側回路（10）へ滅菌ガスの漏れが生じたときなどに、外気処理空調機（13）から空調空気を滅菌側循環通路（32）に供給することにより、圧力が低下しすぎるのを防止できるので、第１希釈運転に適した圧力を維持して運転を行うことができる。
【００５０】
上記第７の発明によれば、第２希釈運転時に、外気処理空調機（13）と顕熱空調機（17）からフィルタ機構（14）を介して処理室（2）に空調空気を供給するとともに処理室（2）のガスを排気しながら、該処理室（2）のガスの一部を空調側循環通路（16）で循環させるようにしているので、均一な希釈効果を得ることができる。
【００５１】
上記第８，第９，第１０，第１１，第１２，第１３，第１４，第１５，第１６の各発明では、空調装置（13,17）を過酸化水素発生器（31）や過酸化水素分解器（36）と共に連動させることによって、滅菌運転において高い滅菌効果が期待できるように処理室（2）内を除湿する準備運転と、低湿度で滅菌処理が行われる滅菌運転と、処理室（2）内の過酸化水素の濃度を低下させる希釈運転とが一連の動作として実行される。即ち、この発明では、空調装置（13,17）を含めた滅菌システム（1）を構成することで、過酸化水素を用いた滅菌処理の効果を高めるようにしている。従って、過酸化水素を用いて処理室（2）の滅菌を行うシステムにおいて、滅菌性能を向上させることができる。
【００５２】
上記第１０の発明では、希釈運転において、循環動作によって処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定値以下となると、循環動作よりも短時間で処理室（2）内の過酸化水素の濃度を下げることが可能な排気動作に切り換えられる。従って、排気動作が可能な所定値を予め設定しておくことにより、希釈運転を効率よく行うことができる。
【００５３】
上記第１１の発明では、排気動作の際に処理室（2）へ供給される空気中の菌類が捕捉されるように、フィルタ機構（14）が設けられている。従って、排気動作の際に外部から処理室（2）へ侵入する菌類の量を削減できる。
【００５４】
上記第１２の発明では、排気動作の際に、比較的大風量の空気を供給可能な空調装置（13,17）を用いて処理室（2）への空気の供給を行う。これにより、短時間で処理室（2）内の過酸化水素の濃度を下げることができるので、排気動作を短時間で終了させることができる。
【００５５】
上記第１４の発明では、準備運転において処理室内（2）の相対湿度が１０％以上で５０％以下の範囲の所定値になるように調節される。従って、滅菌運転において高い滅菌効果が得られるので、滅菌性能を向上させることができる。
【００５６】
上記第１５の発明では、処理室（2）内の過酸化水素の濃度が空調装置（13,17）の影響を受けずに過酸化水素発生器（31）の運転制御によって調節されるように、滅菌運転中には空調装置（13,17）から処理室（2）への空気の供給を停止させる。従って、滅菌運転中は過酸化水素発生器（31）の運転制御を行うだけでよいので、処理室（2）内の過酸化水素の濃度の調節を容易に行うことができる。
【００５７】
上記第１６の発明では、滅菌運転において、処理室（2）へ導入される過酸化水素を含んだ空気を温度調節することができるように、滅菌側空調機（53）が設けられている。従って、空調装置（13,17）から処理室（2）への空気の供給を停止させた状態で処理室（2）内の温度調節を行うことができる。
【００５８】
上記第１７の発明では、除湿器（57）を過酸化水素発生器（31）や過酸化水素分解器（36）と共に連動させることによって、滅菌運転において高い滅菌効果が期待できるように処理室（2）内を除湿する準備運転と、低湿度で滅菌処理が行われる滅菌運転と、処理室（2）内の過酸化水素の濃度を低下させる希釈運転とが一連の動作として実行される。即ち、この発明では、除湿器（57）を含めた滅菌システム（1）を構成することで、過酸化水素を用いた滅菌処理の効果を高めるようにしている。従って、過酸化水素を用いて処理室（2）の滅菌を行うシステムにおいて、滅菌性能を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施形態１に係る滅菌システムの配管系統図である。
【図２】図１の滅菌システムにおいて準備運転の動作を示す図である。
【図３】図１の滅菌システムにおいて滅菌運転の動作を示す図である。
【図４】図１の滅菌システムにおいて第１希釈運転の動作を示す図である。
【図５】図１の滅菌システムにおいて第２希釈運転の動作を示す図である。
【図６】図１の滅菌システムにおいて定常運転の動作を示す図である。
【図７】本発明の実施形態２に係る滅菌システムの配管系統図である。
【図８】図７の滅菌システムにおいて準備運転の動作を示す図である。
【図９】図７の滅菌システムにおいて滅菌運転の動作を示す図である。
【図１０】図７の滅菌システムにおいて第１希釈運転の動作を示す図である。
【図１１】図７の滅菌システムにおいて第２希釈運転の動作を示す図である。
【図１２】図７の滅菌システムにおいて定常運転の動作を示す図である。
【図１３】本発明の実施形態２の変形例１に係る滅菌システムの配管系統図である。
【図１４】本発明の実施形態２の変形例２に係る滅菌システムの配管系統図である。
【図１５】本発明の実施形態２の変形例４に係る滅菌システムの配管系統図である。
【発明を実施するための形態】
【００６０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００６１】
《発明の実施形態１》
本発明の実施形態１について説明する。
【００６２】
−全体の構成−
この実施形態は、医薬品等の製造室を処理室として、該処理室内の空調と滅菌処理とを行う滅菌システムに関するものである。この実施形態の配管系統図である図１に示すように、この滅菌システム（1）は、空調系統側回路（10）と滅菌系統側回路（30）とを備えている。
【００６３】
この滅菌システム（1）の空調系統側回路（10）は、外気の温度と湿度を調節するとともに、処理室（2）に給気通路（11）と還気通路（12）を介して接続された外気処理空調機（13）を備えている。給気通路（11）から処理室（2）への空気の入口と、処理室（2）から還気通路（12）への空気の出口には、フィルタ機構としてＨＥＰＡフィルタ（high efficiency particulate air filter）（14）が設けられている。
【００６４】
還気通路（12）と給気通路（11）との間には戻し通路（15）が接続されており、給気通路（11）の一部と還気通路（12）の一部と戻し通路（15）とにより、処理室（2）の空気が循環する空調側循環通路（16）が構成されている。この空調側循環通路（16）には、給気側に空気の温度調節のみを行う顕熱空調機（17）が設けられ、排気側に空気を循環させる循環ファン（18）が設けられている。また、戻し通路（15）と給気通路（11）の合流箇所にはミキシングチャンバ（19）が設けられている。
【００６５】
滅菌系統側回路（30）では、過酸化水素発生器（31）を備えた滅菌側循環通路（32）が上記処理室（2）に接続されている。過酸化水素発生器（31）は過酸化水素発生流路（33）に設けられ、過酸化水素発生流路（33）が滅菌側循環通路（32）の主流路（34）に対して並列に設けられている。主流路（34）側の風量と過酸化水素発生流路（33）側の風量の比率は、１０：１程度になるように定められている。なお、過酸化水素発生器（31）とは、過酸化水素の水溶液を霧化等することによって過酸化水素の蒸気を発生させる装置である。
【００６６】
滅菌側循環通路（32）には、過酸化水素発生流路（33）の上流側で分岐する過酸化水素分解流路（35）が設けられ、この過酸化水素分解流路（35）には過酸化水素分解器（36）が設けられている。過酸化水素分解流路（35）における過酸化水素分解器（36）の下流側は、滅菌側循環通路（32）に合流する循環側通路（37）と、外気処理空調機（13）の還気通路（12）に合流する還気側通路（還気側連通路）（38）とに分岐している。
【００６７】
上記滅菌側循環通路（32）における処理室（2）への入口側は給気通路（11）側のＨＥＰＡフィルタ（14）に接続され、該滅菌側循環通路（32）における処理室（2）からの出口側は還気通路（12）側のＨＥＰＡフィルタ（14）に接続されている。
【００６８】
この滅菌システム（1）では、外気処理空調機（13）から滅菌側循環通路（32）に外気を導入する給気側連通路（39）と、過酸化水素分解器（36）を外気処理空調機（13）の還気通路（12）に接続する上述の還気側連通路（38）とが設けられている点を特徴としている。
【００６９】
−詳細な構成−
次に、滅菌システム（1）の構成の詳細について説明する。
【００７０】
＜空調系統側回路＞
まず、空調系統側回路（10）の構成について説明する。
【００７１】
上記外気処理空調機（13）は、ケーシング内が隔壁（13a）により第１通路（13b）と第２通路（13c）に分離されており、空気中の水分を吸脱着可能な吸着剤を担持したハニカム状の吸着ロータ（13d）が、上記隔壁（13a）に沿って設けられた回転軸（図示せず）を中心として回転可能に設けられている。第１通路（13b）には、上流側から順に、第１外気取り入れ口（13e）、第１冷却コイル（13f）、上記吸着ロータ（13d）、第２冷却コイル（13g）、第１加熱コイル（13h）、加湿器（13i）、ファン（13j）、及び給気口（13k）が設けられている。第２通路（13c）には、第２外気取り入れ口（13l）、第２加熱コイル（13m）、吸着ロータ（13d）、及び排気口（13n）が設けられている。排気口（13n）は、図示しない排気ファンに接続されている。
【００７２】
第１通路（13b）では、第１冷却コイル（13f）により冷却された外気（第１空気）中の水分が吸着ロータ（13d）に吸着され、該第１空気が減湿される。第１空気はその後に第２冷却コイル（13g）、第１加熱コイル（13h）、及び加湿器（13i）により温度と湿度が調節され、給気口（13k）より吹き出される。吸着ロータ（13d）は連続的または断続的に回転しており、水分を吸着した部分がやがて第２通路（13c）内へ移動する。第２通路（13c）では、外気（第２空気）が第２加熱コイル（13m）で加熱されてから吸着ロータ（13d）を通過することにより、該吸着ロータ（13d）が再生される。吸着ロータ（13d）の再生された部分は、さらに回転して第１通路（13b）側へ移動することにより、再び第１空気を減湿することができるようになる。
【００７３】
外気処理空調機（13）とミキシングチャンバ（19）との間の給気通路（11）には、中性能フィルタ（20）と、第１給気切換ダンパ（21a）とが設けられている。上記顕熱空調機（17）は、給気通路（11）におけるミキシングチャンバ（19）の下流側に設けられている。この顕熱空調機（17）は、上流側から順に、空気流入口（17a）、冷却コイル（17b）、ファン（17c）、及び空気流出口（17d）を有している。
【００７４】
処理室（2）は、３部屋の医薬品製造室（2a，2b，2c）から構成され、各医薬品製造室（2a，2b，2c）に対する給気通路（11）の接続部分に給気側のＨＥＰＡフィルタ（14）が設けられている。給気通路（11）は各ＨＥＰＡフィルタ（14）に対応して３本の給気管（11a，11b，11c）に分岐し、各給気管（11a，11b，11c）には、上流側から定風量装置（22a，22b，22c）と給気側気密ダンパ（23a，23b，23c）とが設けられている。
【００７５】
各医薬品製造室（2a，2b，2c）に対する還気通路（12）の接続部分には、還気側のＨＥＰＡフィルタ（14）が設けられている。還気通路（12）は各ＨＥＰＡフィルタ（14）に対応して３本の還気管（12a，12b，12c）に分岐し、各還気管（12a，12b，12c）には、上流側から還気側気密ダンパ（24a，24b，24c）と室圧制御ダンパ（25a，25b，25c）とが設けられている。この室圧制御ダンパ（25a，25b，25c）により、処理室（2）内の圧力を調整する圧力調整機構（25）が構成されている。
【００７６】
還気通路（12）には、各還気管（12a，12b，12c）の合流箇所の下流側に上記循環ファン（18）が設けられている。また、還気通路（12）における循環ファン（18）と戻し通路（15）の間には還気調節ダンパ（26）が設けられ、該還気通路（12）における戻し通路（15）と外気処理空調機（13）の間には還気切換ダンパ（27）が設けられている。
【００７７】
外気処理空調機（13）の還気通路（12）は、循環ファン（18）と還気調節ダンパ（26）の間で分岐した排気通路（28）が設けられている。この排気通路（28）には、排気調節ダンパ（29）が設けられている。この排気調節ダンパ（29）を開くことにより、外気処理空調機（13）の運転中に処理室（2）内の圧力が上昇しすぎるのを防止できる。
【００７８】
＜滅菌系統側回路＞
次に滅菌系統側回路（30）の構成について説明する。
【００７９】
滅菌側循環通路（32）は、上記主流路（34）と、この主流路（34）から分岐した３本の給気側流路（40a，40b，40c）と、同じくこの主流路（34）から分岐した３本の還気側流路（41a，41b，41c）とを備えている。各給気側流路（40a，40b，40c）には給気側ガスバルブ（42a，42b，42c）が設けられ、還気側流路（41a，41b，41c）には還気側ガスバルブ（43a，43b，43c）が設けられている。主流路（34）には、還気側から給気側に向かって順に、滅菌ガス循環ファン（44）と第１滅菌ガス切換バルブ（45a）が設けられている。上記過酸化水素発生器（31）を備えた過酸化水素発生流路（33）は、第１滅菌ガス切換バルブ（45a）と各給気側流路（40a，40b，40c）の間において主流路（34）と並列に接続されている。
【００８０】
滅菌ガス循環ファン（44）と第１滅菌ガス切換バルブ（45a）の間には上記過酸化水素分解流路（35）の一端が接続され、該過酸化水素分解流路（35）の他端は、主流路（34）における過酸化水素発生流路（33）の下流端と各給気側流路（40a，40b，40c）の間に接続されている。過酸化水素分解流路（35）には、その上流側から順に、第２滅菌ガス切換バルブ（45b）、過酸化水素分解器（36）であるＰｔ触媒、及び第３滅菌ガス切換バルブ（45c）が設けられている。また、過酸化水素分解流路（35）は、過酸化水素分解器（36）とその下流側の第３滅菌ガス切換バルブ（45c）の間から分岐した上記還気側連通路（38）が外気処理空調機（13）の還気通路（12）に合流している。この還気側連通路（38）には、第４滅菌ガス切換バルブ（45d）が設けられている。
【００８１】
上記外気処理空調機（13）の給気通路（11）は、中性能フィルタ（20）と第１給気切換ダンパ（21a）の間で上記給気側連通路（39）に分岐している。この給気側連通路（39）は、滅菌側循環通路（32）の主流路（34）における還気側流路（41a，41b，41c）と滅菌ガス循環ファン（44）との間に接続されている。この給気側連通路（39）には、第２給気切換ダンパ（21b）が設けられている。
【００８２】
−運転制御−
次に、この滅菌システム（1）の運転制御と具体的な運転動作に関して説明する。
【００８３】
この滅菌システム（1）は、空調系統側回路（10）と滅菌系統側回路（30）の運転制御を行うコントローラ（制御手段）（50）を備えている。このコントローラ（50）は、処理室（2）を低湿度にするための準備運転と、処理室（2）内の滅菌処理を行う滅菌運転と、処理室（2）の滅菌完了後に過酸化水素濃度を下げるための希釈運転（第１希釈運転及び第２希釈運転）と、希釈完了後に処理室（2）の空調を行う定常運転とを行うように構成されている。滅菌運転前に処理室（2）を低湿度にする準備運転を行うのは、過酸化水素による滅菌を行う場合、処理室（2）内が低湿度である方が高い滅菌効果が得られるためである。
【００８４】
＜準備運転＞
準備運転は、過酸化水素発生器（31）を停止した状態で、外気処理空調機（13）により処理室（2）の湿度を所定値以下に低下させる工程であり、後述の定常運転時の状態で外気導入量を約１／２とし、処理室（2）内を低湿にする運転である。なお、準備運転では、滅菌に備えて医薬品等の製造機器の開放と建具類の目張りが行われる。この準備運転の空気の流れを図２に示している。
【００８５】
このとき、滅菌系統側回路（30）では、滅菌ガス循環ファン（44）及び過酸化水素発生器（31）は停止した状態となる。また、滅菌系統側回路（30）の各バルブ（42a，42b，42c）（43a，43b，43c）（45a，45b，45c，45d）は閉じた状態となり、第２給気切換ダンパ（21b）も閉じた状態となる。一方、空調系統側回路（10）の第１給気切換ダンパ（21a）、還気切換ダンパ（27）、還気調節ダンパ（26）、各定風量装置（22a，22b，22c）、各室圧制御ダンパ（25a，25b，25c）、各給気側気密ダンパ（23a，23b，23c）、及び各還気側気密ダンパ（24a，24b，24c）はそれぞれ開いた状態となり、排気調節ダンパ（29）は閉じた状態となる。
【００８６】
この状態で、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、及び循環ファン（18）を運転すると、外気処理空調機（13）で温度と湿度が調節された空気が給気通路（11）を流れるときにミキシングチャンバ（19）、顕熱空調機（17）を順に通過し、低湿の空気が各給気管（11a，11b，11c）から給気側のＨＥＰＡフィルタ（14）を介して処理室（2）に供給される。
【００８７】
処理室（2）の空気は排気側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って流出し、各還気管（12a，12b，12c）から還気通路（12）で合流し、循環ファン（18）により、一部がミキシングチャンバ（19）を通って顕熱空調機（17）へ、他の一部が外気処理空調機（13）へ送られる。準備運転は、空気を以上のように循環させて、処理室（2）内の室温が約２５℃、相対湿度が約３０％になるまで行われる。なお、処理室（2）内には、温度と湿度を検出するため、温度センサと湿度センサが設けられている。
【００８８】
＜滅菌運転＞
準備運転が完了すると、空調機器を停止し、ダンパ類の設定を切り換えて滅菌運転に移行する。滅菌運転は、過酸化水素発生器（31）により発生した過酸化水素の蒸気を滅菌系統側回路（30）の滅菌側循環通路（32）で循環させることにより処理室（2）に所定濃度の過酸化水素を含むガスを供給する工程である。この滅菌運転時の滅菌ガスの流れを図３に示している。
【００８９】
このとき、空調系統側回路（10）では、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、及び循環ファン（18）が停止し、各給気切換ダンパ（21a，21b）、還気切換ダンパ（27）、還気調節ダンパ（26）、及び排気調節ダンパ（29）が閉鎖される。また、各定風量装置（22a，22b，22c）、各室圧制御ダンパ（25a，25b，25c）、各給気側気密ダンパ（23a，23b，23c）、各還気側気密ダンパ（24a，24b，24c）も停止または閉鎖される。一方、滅菌系統側回路（30）では、滅菌ガス循環ファン（44）及び過酸化水素発生器（31）が運転され、各給気側ガスバルブ（42a，42b，42c）と各還気側ガスバルブ（43a，43b，43c）が開かれる。また、第１滅菌ガス切換バルブ（45a）は開放され、第２滅菌ガス切換バルブ（45b）、第３滅菌ガス切換バルブ（45c）、第４滅菌ガス切換バルブ（45d）は閉鎖される。
【００９０】
この状態で、滅菌ガス循環ファン（44）と過酸化水素発生器（31）を運転すると、過酸化水素発生器（31）で発生した過酸化水素の蒸気が主流路（34）の空気と合流して滅菌ガスとなり、給気側流路（40a，40b，40c）から給気側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って処理室（2）に供給される。
【００９１】
処理室（2）内の滅菌ガスは還気側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って流出し、各還気側流路（41a，41b，41c）から主流路（34）で合流する。合流した滅菌ガスは滅菌ガス循環ファン（44）により一部が過酸化水素発生流路（33）を流れ、残りが主流路（34）を流れる。上述したように、主流路（34）を流れる風量と過酸化水素発生流路（33）を流れる風量の比率は、約１０：１に設定されている。こうすることにより、過酸化水素を空気中で十分に拡散させ、ひいては処理室（2）内で均一に拡散させる効果を得ることができる。
【００９２】
一方、過酸化水素の蒸気の発生に伴う室内圧力の上昇をコントロールするため、処理室（2）内には圧力センサ（図示せず）が設けられている。そして、滅菌運転中に処理室（2）の室内圧力が上昇したり、室内湿度が上昇したりすると、図に太い破線で流れを示すように、過酸化水素分解流路（35）の過酸化水素分解器（36）から還気側連通路（38）を通じて、処理室（2）のガスの一部を分解してから外気処理空調機（13）に還気する。過酸化水素分解器（36）を通して滅菌ガスを外気処理空調機に戻すのは、外気処理空調機やダクト類の腐食を防止するためである。
【００９３】
この運転時、第２滅菌ガス切換バルブ（45b）と第４滅菌ガス切換バルブ（45d）が開かれ、外気処理空調機（13）が運転される。そして、第２給気切換ダンパ（21b）を開いて、外気処理空調機（13）により湿度を調節した空気の風量を調節しながら滅菌側循環通路（32）に戻すことで、室内湿度や室内圧力を調節できる。処理室（2）内の湿度が上昇し、結露が生じたりすると滅菌効果が著しく低下するため、室内湿度の上限は例えば約５０％に設定される。なお、処理室（2）の室圧上昇を防止するだけであれば、処理室（2）の滅菌ガスを過酸化水素分解器（36）で分解してから外気処理空調機（13）を通じて外気に放出してもよい。
【００９４】
滅菌運転は、ガスを滅菌側循環通路（32）によって以上のように循環させて、処理室（2）の過酸化水素濃度が約５００ｐｐｍになり、その濃度で所定時間が経過するまで行われる。なお、過酸化水素濃度を検出するため、滅菌側循環通路（32）の還気側には過酸化水素濃度センサが設けられている（図示せず）。
【００９５】
＜希釈運転＞
滅菌運転の完了後、処理室（2）内の過酸化水素濃度は約５００ｐｐｍになっている。この高濃度の状態では、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、ＨＥＰＡフィルタ（14）で処理をした無菌空気を処理室（2）に導入するとともに処理室（2）のガスを室外へ放出することはできないので、処理室（2）内の過酸化水素濃度が５〜１０ｐｐｍ程度になるまでは過酸化水素を触媒により分解する第１希釈運転を行う（図４）。その後、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、ＨＥＰＡフィルタ（14）で処理をした無菌空気を処理室（2）に導入するとともに処理室（2）のガスを室外へ放出する第２希釈運転を行う（図５）。第２希釈運転時に室外へ放出される滅菌ガスの過酸化水素濃度は十分に低いので、大気中への影響はない。
【００９６】
（第１希釈運転）
第１希釈運転は、過酸化水素発生器（31）を停止して処理室（2）のガスを滅菌側循環通路（32）で循環させながら過酸化水素分解器（36）で過酸化水素濃度が第１の設定値（５〜１０ｐｐｍ）以下になるまで分解する工程であり、図４に空気の流れを示している。
【００９７】
このとき、空調系統側回路（10）の設定は基本的に滅菌運転時と同じであり、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、及び循環ファン（18）は停止しており、各ダンパ（21a，21b）（23a，23b，23c）（24a，24b，24c）（25a，25b，25c）（26）（27）（29）や定風量装置（22a，22b，22c）などは閉鎖または停止している。一方、滅菌系統側回路（30）では、滅菌ガス循環ファン（44）は運転されるが過酸化水素発生器（31）が停止し、各給気側ガスバルブ（42a，42b，42c）と各還気側ガスバルブ（43a，43b，43c）は開かれたままである。また、第１滅菌ガス切換バルブ（45a）は閉鎖され、第２滅菌ガス切換バルブ（45b）及び第３滅菌ガス切換バルブ（45c）は開放され、第４滅菌ガス切換バルブ（45d）は閉鎖される。
【００９８】
この状態で、滅菌ガス循環ファン（44）を運転すると、処理室（2）内の空気が滅菌側循環通路（32）を循環する際に過酸化水素分解器（36）を通過し、滅菌ガス中の過酸化水素が分解される。第１希釈運転は、過酸化水素濃度センサによる検出値（過酸化水素濃度）が５〜１０ｐｐｍになるまで行われる。
【００９９】
なお、第１希釈運転時に各給気側気密ダンパ（23a，23b，23c）や各還気側気密ダンパ（24a，24b，24c）からの滅菌ガスの漏れ等が生じて処理室（2）の圧力が低下した場合には、図に太い破線で流れを示すように、外気処理空調機（13）を運転するとともに第２給気切換ダンパ（21b）を開き、処理室（2）内を所定圧力（例えば数１０Ｐａ）に維持する操作を行う。
【０１００】
（第２希釈運転）
第２希釈運転は、外気処理空調機（13）からフィルタ機構である給気側のＨＥＰＡフィルタ（14）を介して空気を処理室（2）に供給しながら過酸化水素濃度が第１の設定値（５〜１０ｐｐｍ）よりも低い第２の設定値（１ｐｐｍ）以下になるまで排気を行う換気工程である（図５）。この第２の設定値は、処理室（2）内に作業者が入室可能な濃度に設定されている。このように第２希釈運転で空調系統側回路（10）を使っているのは、滅菌系統側回路（30）での低風量の希釈運転（第１希釈運転）を続けたのでは過酸化水素濃度が第２の設定値に達するまでに相当長い時間を要するため、大風量での運転を行うこととしたものである。
【０１０１】
このとき、空調系統側回路（10）の設定と滅菌系統側回路（30）の設定は、基本的には準備運転と同じである。ただし、準備運転では還気調節ダンパ（26）が開放され、排気調節ダンパ（29）が閉鎖されていたのに対して、この第２希釈運転では還気調節ダンパ（26）が微小開度に設定され、排気調節ダンパ（29）が全開に近い開度に設定される。
【０１０２】
この状態で、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、及び循環ファン（18）を運転すると、外気処理空調機（13）と顕熱空調機（17）で温度と湿度が調節され、給気側のＨＥＰＡフィルタ（14）で浄化された無菌空気が処理室（2）に供給され、処理室（2）内で滅菌ガスと均一に混合する。希釈された滅菌ガスは、還気側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って処理室（2）から流出する。この滅菌ガスは、排気調節ダンパ（29）を通って大部分が排気され、一部が還気調節ダンパ（26）を通ってミキシングチャンバ（19）へ流入した後に外気処理空調機（13）からの空調空気と混合され、さらに顕熱空調機（17）へと流れていく。
【０１０３】
第２希釈運転では、空調空気及び滅菌ガスが以上のようにして循環することにより、処理室（2）の過酸化水素濃度が約１ｐｐｍ以下になるまで行われる。排気調節ダンパ（29）が全開に近い開度に設定されているのは、室内圧力を建屋漏気上の対策により、定常値よりも低い圧力（例えば約１５Ｐａ）に保持するためである。
【０１０４】
なお、還気調節ダンパ（26）と排気調節ダンパ（29）の開度は運転状態に合わせて適宜変更してもよい。例えば、本実施形態１では還気調節ダンパ（26）を微小開度に開いて滅菌ガスの一部を顕熱空調機（17）へ戻す（空調側循環通路（16）で循環させる）ようにしているが、必ずしも滅菌ガスの一部を顕熱空調機（17）へ戻さなくてもよい。
【０１０５】
また、第１希釈運転から第２希釈運転への移行時には、室圧の急激な変化を避けるため、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）及び循環ファン（18）をスロースタートし、安定した移行を行うとよい。
【０１０６】
＜定常運転＞
定常運転は、外気処理空調機（13）により処理した外気を取り入れながら空調側循環通路（16）で顕熱空調機（17）を介して空調空気を循環させる工程である。この定常運転の空気の流れを図６に示している。
【０１０７】
このとき、空調系統側回路（10）の設定と滅菌系統側回路（30）の設定は、基本的には準備運転と同じである。ただし、準備運転では排気調節ダンパ（29）が閉鎖されていたのに対して、この定常運転では排気調節ダンパ（29）が所定開度に設定される。
【０１０８】
この状態で、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、及び循環ファン（18）を運転すると、外気処理空調機（13）と顕熱空調機（17）で温度と湿度が調節され、給気側のＨＥＰＡフィルタ（14）で浄化された無菌空気が処理室（2）に供給される。処理室（2）の無菌空気は、還気側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って処理室（2）から流出する。この無菌空気は、一部が排気調節ダンパ（29）を通って排気され、大部分が還気調節ダンパ（26）を通ってミキシングチャンバ（19）へ流入した後に外気処理空調機（13）からの空調空気と混合され、さらに顕熱空調機（17）へと流れていく。
【０１０９】
定常運転では、空調された無菌空気が空調系統側回路（10）で以上のようにして循環することにより、処理室（2）の温度と湿度が設定値に維持されるとともに、無菌状態が維持される。
【０１１０】
−実施形態１の効果−
本実施形態１によれば、滅菌システム（1）に、外気処理空調機（13）と顕熱空調機（17）とＨＥＰＡフィルタ（14）とを備えた空調系統側回路（10）と、過酸化水素発生器（31）と過酸化水素分解器（36）とを備えた滅菌系統側回路（30）とを設けるとともに、空調系統側回路（10）と滅菌系統側回路（30）とを給気側連通路（39）と還気側連通路（38）によって接続したことにより、準備運転と滅菌運転と第１希釈運転と第２希釈運転と定常運転とを一連の動作として、自動的に効率よく行うことができる。そして、第２希釈運転時に、外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）からの大風量の空気で処理室（2）内の滅菌ガスを希釈できるため、過酸化水素の室内拡散効果不良による滅菌性能のばらつきを防止できるとともに、定常運転を行うまで長時間を要する問題も防止できる。また、過酸化水素を使った滅菌システム（1）では、上述したように処理室（2）内を低湿度に保つことが滅菌効果を高めるために重要であるが、本実施形態１では空調系統側回路（10）の外気処理空調機（13）により処理室（2）の湿度を前もって調節できるので、高い滅菌効果を期待できる。
【０１１１】
また、この実施形態１では、処理室（2）内の圧力を調整する圧力調整機構（25）を設けているので、滅菌運転、第１希釈運転、及び第２希釈運転などを行うときに、それぞれの運転に適した室内圧力を維持することができるため、滅菌運転や希釈運転を効率よく行うことができる。
【０１１２】
さらに、滅菌側循環通路（32）における処理室（2）への入口側を給気通路（11）側のＨＥＰＡフィルタ（14）に接続しているので、滅菌運転時に処理室（2）の室内へ供給される過酸化水素がＨＥＰＡフィルタ（14）を通過する。したがって、ＨＥＰＡフィルタ（14）に捕捉されている菌類を該ＨＥＰＡフィルタ（14）上で死滅させることができるので、滅菌効率が向上する。
【０１１３】
また、滅菌運転時に処理室（2）に過酸化水素を供給することによって室内湿度が上昇したり室内圧力が上昇したりすると、過酸化水素分解器（36）で過酸化水素を分解したガスを外気処理空調機（13）に還気し、外気処理空調機（13）から湿度と風量を調節した空気を滅菌側循環通路（32）に戻すようにしているので、処理室（2）の湿度や圧力を滅菌処理に適した値に調節することができる。
【０１１４】
さらに、第１希釈運転時に処理室（2）から空調系統側回路（10）へ滅菌ガスの漏れが生じたときなどには、外気処理空調機（13）から空調空気を滅菌側循環通路（32）に供給することにより、圧力が低下しすぎるのを防止できるので、第１希釈運転に適した圧力を維持して運転を行うことができる。また、第２希釈運転時には、外気処理空調機（13）と顕熱空調機（17）からＨＥＰＡフィルタ（14）を介して処理室（2）に空調空気を供給するとともに処理室（2）のガスを排気しながら、該処理室（2）のガスの一部を空調側循環通路（16）で循環させるようにしているので、均一な希釈効果を得ることができる。
【０１１５】
《発明の実施形態２》
本発明の実施形態２について説明する。
【０１１６】
−全体の構成−
この実施形態２は、上記実施形態１と同様に、医薬品等の製造室を処理室として、該処理室内の空調と滅菌処理とを行う滅菌システムに関するものである。この実施形態２では、１室の処理室に対して滅菌システム（1）が構成されている。この実施形態２の配管系統図である図７に示すように、この滅菌システム（1）は、空調系統側回路（10）と滅菌系統側回路（30）とを備えている。
【０１１７】
この滅菌システム（1）の空調系統側回路（10）は、処理室（2）の入口に接続された給気通路（11）と、処理室（2）の出口に接続された排気通路（28）とを備えている。給気通路（11）から処理室（2）への空気の入口と、処理室（2）から排気通路（28）への出口には、フィルタ機構としてＨＥＰＡフィルタ（high efficiency particulate air filter）（14）が設けられている。
【０１１８】
給気通路（11）と排気通路（28）との間には、処理室（2）内の空気を排気通路（28）から給気通路（11）へ戻すための戻し通路（15）が接続されている。そして、給気通路（11）の一部と還気通路（12）の一部と戻し通路（15）とにより、処理室（2）の空気が循環する空調側循環通路（16）が構成されている。なお、戻し通路（15）と給気通路（11）の合流箇所には、上記実施形態１と同様に、ミキシングチャンバを設けてもよい。排気通路（28）には、戻し通路（15）との接続部の上流側に循環ファン（18）が設けられている。
【０１１９】
給気通路（11）には、除湿器として構成された外気処理空調機（13）と、空気の温度調節のみを行う顕熱空調機（17）とが設けられている。外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）は、空調装置を構成している。この外気処理空調機（13）は、上記実施形態１のものと同様に、回転する吸着ロータ（13d）を用いて空気を除湿するものである。但し、本実施形態２の外気処理空調機（13）では、第２冷却コイル（13g）、第１加熱コイル（13h）、及び加湿器（13i）が省略されている。他の構成は、上記実施形態１とほぼ同じであるため説明は省略する。なお、この外気処理空調機（13）では、外気取り入れ口（13e）と排気口（13n）とにそれぞれダクトが接続されており、外気取り入れ口（13e）側のダクトに中性能フィルタ（20）が設けられている。
【０１２０】
上記顕熱空調機（17）は、上流側から順に、空気流入口（17a）、冷却コイル（17b）、電気ヒータ（17e）、ファン（17c）、及び空気流出口（17d）を有している。この顕熱空調機（17）と外気処理空調機（13）と間には、中性能フィルタ（20）が設けられている。また、上記戻し通路（15）は、給気通路（11）における外気処理空調機（13）と中性能フィルタ（20）との間に接続されている。
【０１２１】
空調系統側回路（10）には、３つの空調ガス切換バルブ（56）が設けられている。具体的に、給気通路（11）における顕熱空調機（17）と処理室（2）との間には、第１空調ガス切換バルブ（56a）が設けられている。排気通路（28）における処理室（2）と循環ファン（18）との間には、第２空調ガス切換バルブ（56b）が設けられている。排気通路（28）における戻し通路（15）との接続部の下流側には、第３空調ガス切換バルブ（56c）が設けられている。
【０１２２】
滅菌系統側回路（30）は、主流路（34）と、過酸化水素発生流路（33）と、過酸化水素分解流路（35）と、循環側通路（37）と、排気側通路（54）とを備えている。主流路（34）は、一端が給気通路（11）において第１空調ガス切換バルブ（56a）の下流に接続され、他端が排気通路（28）において第２空調ガス切換バルブ（56b）の上流に接続されている。これにより、給気通路（11）の一部と還気通路（12）の一部と主流路（34）とにより、処理室（2）の空気が循環する滅菌側循環通路（32）が構成されている。
【０１２３】
主流路（34）には、滅菌側空調機（53）が設けられている。滅菌側空調機（53）は、上記顕熱空調機（17）と同じ構成で、顕熱空調機（17）よりも処理風量が小さい空調機である。滅菌側空調機（53）は、上流側から順に、空気流入口（53a）、冷却コイル（53b）、電気ヒータ（53e）、ファン（53c）、及び空気流出口（53d）を有している。なお、この実施形態２の滅菌側空調機（53）は、その処理風量が顕熱空調機（17）よりも小さいが、顕熱空調機（17）以上であってもよい。
【０１２４】
主流路（34）の滅菌側空調機（53）の上流部分には、上流側から順に過酸化水素分解流路（35）と循環側通路（37）と過酸化水素発生流路（33）とが接続されている。循環側通路（37）は、過酸化水素分解流路（35）から分岐している。すなわち、過酸化水素分解流路（35）及び循環側通路（37）からなる部分は、主流路（34）に対して並列になっている。
【０１２５】
過酸化水素発生流路（33）は、滅菌ガス発生機（58）が設けられ、主流路（34）とは逆端が大気開放されている。滅菌ガス発生機（58）は、除湿器（57）と過酸化水素発生器（31）とを備えている。除湿器（57）は、室外から取り込んだ空気を除湿する。過酸化水素発生器（31）は、過酸化水素の水溶液を霧化等することにより過酸化水素の蒸気を発生させる。除湿器（57）で除湿するのは、低湿度の空気の方が過酸化水素が蒸発しやすいためである。この実施形態２では、主流路（34）側の風量と過酸化水素発生流路（33）側の風量の比率が、１０：１程度になるように定められている。
【０１２６】
過酸化水素分解流路（35）は、主流路（34）側から過酸化水素分解器（36）であるＰｔ触媒と排気ファン（55）とが設けられている。この過酸化水素分解流路（35）は、主流路（34）とは逆端が循環側通路（37）と排気側通路（54）とに分岐している。排気側通路（54）は、過酸化水素分解流路（35）とは逆端が大気開放されている。
【０１２７】
滅菌系統側回路（30）には、６つの滅菌ガス切換バルブ（45）が設けられている。具体的に、主流路（34）における過酸化水素分解流路（35）の接続部の上流側には、第１滅菌ガス切換バルブ（45a）が設けられている。過酸化水素分解流路（35）における過酸化水素分解器（36）の上流側には、第２滅菌ガス切換バルブ（45b）が設けられている。主流路（34）における過酸化水素分解流路（35）の接続部と循環側通路（37）の接続部との間には、第３滅菌ガス切換バルブ（45c）が設けられている。循環側通路（37）には、第４滅菌ガス切換バルブ（45d）が設けられている。過酸化水素発生流路（33）における滅菌ガス発生機（58）の下流側には、第５滅菌ガス切換バルブ（45e）が設けられている。主流路（34）における滅菌側空調機（53）の下流側には、第６滅菌ガス切換バルブ（45f）が設けられている。
【０１２８】
−運転制御−
次に、この滅菌システム（1）の運転制御と具体的な運転動作に関して説明する。
【０１２９】
この滅菌システム（1）は、上記実施形態１と同様に、空調系統側回路（10）と滅菌系統側回路（30）の運転制御を行うコントローラ（制御手段）（50）を備えている。このコントローラ（50）は、準備運転と、滅菌運転と、希釈運転（第１希釈運転及び第２希釈運転）と、定常運転とを行うように構成されている。
【０１３０】
＜準備運転＞
準備運転は、滅菌ガス発生機（58）を停止した状態で、処理室（2）の湿度が目標湿度になるように外気処理空調機（13）によって処理室（2）の湿度を低下させる工程であり、外気導入量を後述の定常運転時の状態の約１／２とし、処理室（2）内を低湿にする運転である。準備運転では、処理室（2）の目標湿度が相対湿度で２０％以上で３０％以下の所定値に設定される。なお、目標湿度は２０％以上で３０％以下の範囲に限定されるものではなく、１０％以上で５０％以下の範囲であればよい。また、準備運転では、滅菌に備えて医薬品等の製造機器の開放と建具類の目張りが行われる。この準備運転の空気の流れを図８に示す。
【０１３１】
このとき、空調系統側回路（10）の各バルブ（56a，56b，56c）は開いた状態となる。一方、滅菌系統側回路（30）の各バルブ（45a，45b，45c，45d，45e，45f）は閉じた状態となる。
【０１３２】
この状態で、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、及び循環ファン（18）を運転すると、外気処理空調機（13）で除湿された空気が顕熱空調機（17）を通過して温度調節され、その温度調節された低湿の空気が入口側のＨＥＰＡフィルタ（14）を介して処理室（2）に供給される。
【０１３３】
処理室（2）の空気は、出口側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って流出して、循環ファン（18）により排気通路（28）を流通し、その一部が給気通路（11）へ戻って顕熱空調機（17）へ送られ、残りが排気通路（28）の出口から排気される。準備運転は、処理室（2）内の室温が２５℃、相対湿度が所定値（例えば３０％）になるまで行われる。なお、処理室（2）内には、温度と湿度を検出するため、温度センサと湿度センサが設けられている。
【０１３４】
＜滅菌運転＞
準備運転が完了すると、空調系統側回路（10）から処理室（2）への空気の供給を停止させるために、空調装置を構成する外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）と循環ファン（18）とを停止し、バルブの設定を切り換えて滅菌運転に移行する。滅菌運転は、滅菌ガス発生機（58）から処理室（2）へ過酸化水素を供給することによって、処理室（2）内の過酸化水素の濃度を所定濃度（例えば５００ｐｐｍ）にして、その濃度の状態を所定時間に亘って維持する工程である。滅菌運転では、滅菌ガス発生機（58）の運転制御が、処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定濃度に到達するまでの調整モードと、所定濃度を維持するための滅菌モードとに分けられており、各モードにおいて処理室（2）への過酸化水素の供給量が調節される。なお、処理室（2）内の過酸化水素の濃度を検出するため、処理室（2）内には過酸化水素濃度センサが設けられている（図示せず）。この滅菌運転時の空気の流れを図９に示す。
【０１３５】
このとき、空調系統側回路（10）の各バルブ（56a，56b，56c）は閉じた状態にする。一方、滅菌系統側回路（30）の各バルブは、第４滅菌ガス切換バルブ（45d）以外は開いた状態にする。
【０１３６】
この状態で、滅菌ガス発生機（58）、滅菌側空調機（53）、及び排気ファン（55）を運転すると、室外から取り込まれた空気が滅菌ガス発生機（58）へ送り込まれる。滅菌ガス発生機（58）へ流入した空気は、除湿器（57）で除湿された後に過酸化水素発生器（31）で過酸化酸素を付与される。そして、過酸化水素を含む空気（滅菌ガス）は、主流路（34）の空気と合流し、滅菌側空調機（53）で温度調節された後に入口側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って処理室（2）に供給される。上述したように、主流路（34）を流れる風量と過酸化水素発生流路（33）を流れる風量の比率は、約１０：１に設定されている。こうすることにより、過酸化水素を空気中で十分に拡散させ、ひいては処理室（2）内で均一に拡散させる効果を得ることができる。
【０１３７】
処理室（2）内の滅菌ガスは出口側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って流出し、排気通路（28）から滅菌側循環通路（32）を構成する主流路（34）に流入する。主流路（34）に流入した滅菌ガスは、一部がそのまま主流路（34）を流れて滅菌側空調機（53）を通過した後に処理室（2）へ供給され、残りが過酸化水素分解流路（35）へ流入する。過酸化水素分解流路（35）へ流入した滅菌ガスは、過酸化水素分解器（36）で滅菌ガス中の過酸化水素が分解された後に排気ファン（55）によって排気側通路（54）の出口から室外へ排出される。
【０１３８】
なお、排気側通路（54）から滅菌側循環通路（32）の空気を排気するのは、主流路（34）からの滅菌ガスの流入に伴う処理室（2）の室内圧力の上昇をコントロールするためである。排気側通路（54）から室外へ排出される空気の量、すなわち過酸化水素分解流路（35）の滅菌ガスの流量は、処理室（2）内に設けられた圧力センサ（図示せず）の計測値に基づいて調節されるが、過酸化水素発生流路（33）の流量に概ね近い値となる。従って、過酸化水素分解器（36）に流入する滅菌ガスの流量は、主流路（34）に比べてかなり小さくなる。ここで、この滅菌システム（1）では、主流路（34）の流量に対応した分解能力を有する過酸化水素分解器（36）が用いられている。このため、滅菌運転において過酸化水素分解器（36）に流入する滅菌ガスは、高濃度ではあるが過酸化水素の量は少ないので、過酸化水素分解器（36）でその滅菌ガスの過酸化水素の濃度を室外へ排出可能なレベルにまで低下させることができる。
【０１３９】
＜希釈運転＞
滅菌運転の完了後、処理室（2）内の過酸化水素の濃度は所定濃度の約５００ｐｐｍになっている。この高濃度の状態では、処理室（2）内の滅菌ガスを過酸化水素分解器（36）に通過させて過酸化水素を分解しても、室外へ排出可能なレベルにまで過酸化水素の濃度を低下させることができない。そこで、処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定値（例えば１０ｐｐｍ）以下になるまでは、処理室（2）と過酸化水素分解器（36）との間で空気を循環させてその空気中の過酸化水素を過酸化水素分解器（36）で分解する第１希釈運転（循環動作）を行う（図１０）。その後、外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）を運転させてＨＥＰＡフィルタ（14）で処理をした無菌空気を処理室（2）へ供給しながら、その処理室（2）内の空気を室外へ排出する第２希釈運転（排気動作）を行う（図１１）。なお、滅菌ガスの過酸化水素の濃度が１０ｐｐｍ（第１希釈運転の終了時点の濃度）ではそのまま室外へ排出できないが、１０ｐｐｍ以下になっていれば滅菌ガス中の過酸化水素を過酸化水素分解器（36）で分解することで室外へ排出可能なレベルにまで過酸化水素の濃度を低下させることができる。
【０１４０】
（第１希釈運転）
第１希釈運転は、滅菌ガス発生機（58）を停止して、滅菌側空調機（53）を運転させる。この第１希釈運転時の空気の流れを図１０に示す。
【０１４１】
このとき、空調系統側回路（10）の設定は基本的に滅菌運転時と同じであり、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、及び循環ファン（18）は停止しており、各バルブ（56a，56b，56c）は閉じた状態にする。一方、滅菌系統側回路（30）の各バルブは、第３滅菌ガス切換バルブ（45c）及び第５滅菌ガス切換バルブ（45e）以外は開いた状態にする。
【０１４２】
この状態で、滅菌側空調機（53）及び排気ファン（55）を運転すると、処理室（2）と過酸化水素分解器（36）との間で空気が循環する際にその空気中の過酸化水素が過酸化水素分解器（36）で分解される。第１希釈運転は、過酸化水素濃度センサによる検出値（過酸化水素濃度）が所定値（１０ｐｐｍ）以下になるまで行われる。
【０１４３】
なお、第１希釈運転時に処理室（2）の圧力が低下した場合には、滅菌ガス発生機（58）を停止した状態で第５滅菌ガス切換バルブ（45e）を開いて過酸化水素発生流路（33）から外気を導入して、処理室（2）内を所定圧力（例えば数１０Ｐａ）に維持する操作を行う。
【０１４４】
（第２希釈運転）
第２希釈運転は、外気処理空調機（13）から入口側のＨＥＰＡフィルタ（14）を介して空気を処理室（2）に供給しながら過酸化水素の濃度が所定値（１０ｐｐｍ）よりもさらに低い値（１ｐｐｍ）以下になるまで排気を行う換気工程である（図１１）。
【０１４５】
このとき、滅菌ガス発生機（58）及び循環ファン（18）は停止させたままにしておく。空調系統側回路（10）の各バルブは、第１空調ガス切換バルブ（56a）のみを開いた状態にする。一方、滅菌系統側回路（30）の各バルブは、第１滅菌ガス切換バルブ（45a）及び第２滅菌ガス切換バルブ（45b）を開いた状態にする。また、排気ファン（55）を運転させる。
【０１４６】
この状態で、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、及び排気ファン（55）を運転すると、外気処理空調機（13）と顕熱空調機（17）で温度と湿度が調節され、入口側のＨＥＰＡフィルタ（14）で浄化された無菌空気が処理室（2）に供給され、処理室（2）内で滅菌ガスと均一に混合する。希釈された滅菌ガスは、出口側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って処理室（2）から流出する。この滅菌ガスは、排気通路（28）から滅菌系統側回路（30）の主流路（34）を経て過酸化水素分解流路（35）に流入する。過酸化水素分解流路（35）に流入した滅菌ガスは、その滅菌ガス中の過酸化水素が過酸化水素分解器（36）で分解され、排気側通路（54）の出口から室外へ排出される。
【０１４７】
この第２希釈運転では、第１希釈運転とは異なり、過酸化水素分解器（36）を通過した空気を処理室（2）へ戻さないので、第１希釈運転に比べて短時間で処理室（2）内の過酸化水素の濃度を下げることが可能である。また、処理室（2）への空気の供給が、空調装置を構成する外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）を用いて行われている。これらの空調装置（13,17）は、滅菌側空調機（53）よりも大風量の空気を供給可能な装置として構成されているので、単位時間当たりの処理室（2）の空気の入れ換え量が第１希釈運転よりも多くなる。この点においても、第１希釈運転に比べて短時間で処理室（2）内の過酸化水素の濃度を下げることが可能である。
【０１４８】
第２希釈運転では、処理室（2）の過酸化水素濃度が約１ｐｐｍ以下になるまで行われる。その際、室内圧力を建屋漏気上の対策により、定常値よりも低い圧力（例えば約１５Ｐａ）に保持するために、第１滅菌ガス切換バルブ（45a）及び第２滅菌ガス切換バルブ（45b）のそれぞれの開度を調節する。
【０１４９】
また、第１希釈運転から第２希釈運転への移行時には、室圧の急激な変化を避けるため、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）及び排気ファン（55）をスロースタートし、安定した移行を行うとよい。
【０１５０】
＜定常運転＞
定常運転は、外気処理空調機（13）により処理した外気を取り入れながら処理室（2）内の換気及び室圧保持のためにその処理室（2）内の空気を室外へ排出する工程である。この定常運転の空気の流れを図１２に示す。第２希釈運転と空気の流れはほぼ同じであるが、処理室（2）内の空気を排気側通路（54）ではなく排気通路（28）から排出する点で異なっている。
【０１５１】
このとき、空調系統側回路（10）の各バルブ（56a，56b，56c）は開いた状態にする。一方、滅菌系統側回路（30）の各バルブ（45a，45b，45c，45d，45e，45f）は閉じた状態にする。また、排気ファン（55）を停止させ、循環ファン（18）を運転させる。
【０１５２】
この状態で、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、及び循環ファン（18）を運転すると、外気処理空調機（13）と顕熱空調機（17）で温度と湿度が調節され、入口側のＨＥＰＡフィルタ（14）で浄化された無菌空気が処理室（2）に供給される。処理室（2）の無菌空気は、出口側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って処理室（2）から流出する。この無菌空気は、大部分が第３空調ガス切換バルブ（56c）を通って排気通路（28）の出口から排出され、一部が戻り通路（15）から給気通路（11）へ戻され、さらに顕熱空調機（17）へと流れていく。定常運転では、処理室（2）の温度と湿度が設定値に維持されるとともに、無菌状態が維持される。
【０１５３】
−実施形態２の効果−
本実施形態２では、空調装置を構成する外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）を滅菌ガス発生機（58）や過酸化水素分解器（36）と共に連動させることによって、滅菌運転において高い滅菌効果が期待できるように処理室（2）内を除湿する準備運転と、低湿度で滅菌処理が行われる滅菌運転と、処理室（2）内の過酸化水素の濃度を低下させる希釈運転とが一連の動作として実行される。即ち、この実施形態２では、空調装置を含めた滅菌システム（1）を構成することで、過酸化水素を用いた滅菌処理の効果を高めるようにしている。従って、過酸化水素を用いて処理室（2）の滅菌を行う滅菌システム（1）において、滅菌性能を向上させることができる。
【０１５４】
また、本実施形態２では、希釈運転において、第１希釈運転によって処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定値以下となると、第１希釈運転よりも短時間で処理室（2）内の過酸化水素の濃度を下げることが可能な第２希釈運転に切り換えられる。従って、第２希釈運転への切り換えが可能な所定値を予め設定しておくことにより、希釈運転を効率よく行うことができる。
【０１５５】
また、本実施形態２では、第２希釈運転において処理室（2）へ供給される空気中の菌類が捕捉されるようにフィルタ機構（14）が設けられている。従って、第２希釈運転の際に外部から処理室（2）へ侵入する菌類の量を削減できる。
【０１５６】
また、本実施形態２では、第２希釈運転の際に、第１希釈運転で運転させる滅菌側空調機（53）よりも大風量の空気を供給可能な外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）を用いて処理室（2）への空気の供給を行う。これにより、短時間で処理室（2）内の過酸化水素の濃度を下げることができるので、第２希釈運転を短時間で終了させることができる。
【０１５７】
また、本実施形態２では、準備運転において処理室内（2）の相対湿度が２０％以上で３０％以下の範囲の所定値になるように調節される。従って、滅菌運転において高い滅菌効果が得られるので、滅菌性能を向上させることができる。
【０１５８】
また、本実施形態２では、処理室（2）内の過酸化水素の濃度が外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）の影響を受けずに滅菌ガス発生機（58）の運転制御によって調節されるように、滅菌運転中には外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）から処理室（2）への空気の供給を停止させる。従って、滅菌運転中は滅菌ガス発生機（58）の運転制御を行うだけでよいので、処理室（2）内の過酸化水素の濃度の調節を容易に行うことができる。
【０１５９】
また、本実施形態２では、滅菌運転において、処理室（2）へ導入される過酸化水素を含んだ空気を温度調節することができるように、滅菌側空調機（53）が設けられている。従って、空調装置（13,17）から処理室（2）への空気の供給を停止させた状態で処理室（2）内の温度調節を行うことができる。
【０１６０】
−実施形態２の変形例１−
実施形態２の変形例１について説明する。図１３に示すように、この変形例１の滅菌システム（1）は、外気処理空調機（13）を経由して滅菌ガス発生機（58）に外気が取り込まれるように構成されている。
【０１６１】
具体的に、給気通路（11）と滅菌ガス発生機（58）とを接続する外気導入通路（59）が設けられている。外気導入通路（59）は、給気通路（11）の戻し通路（15）との接続部と外気処理空調機（13）との間において給気通路（11）から分岐している。滅菌運転において、第５滅菌ガス切換バルブ（45e）を開いて第１空調ガス切換バルブ（56a）を閉じた状態にすると、外気処理空調機（13）で除湿された空気が滅菌ガス発生機（58）に流入する。
【０１６２】
−実施形態２の変形例２−
実施形態２の変形例２について説明する。図１４に示すように、この変形例２の滅菌システム（1）では、滅菌系統側回路（30）の主流路（34）が、空調系統側回路（10）の給気通路（11）及び排気通路（28）ではなく直接処理室（2）に接続されている。
【０１６３】
−実施形態２の変形例３−
実施形態２の変形例３について説明する。この変形例３では、滅菌システム（1）が複数の処理室に対して構成されている。この場合、上記実施形態１と同様に、給気通路（11）や排気通路（28）から分岐して各処理室（2）に接続される経路には、それぞれダンパ（23，24，25）、定風量装置（22）を設ける。これにより、各処理室（2）の滅菌処理を個別に実行することが可能になる。滅菌処理が行われていない処理室（2）へは、定常運転によって外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）で空調された空気が流入するようにダンパ（23，24，25）、定風量装置（22）を調節する。
【０１６４】
−実施形態２の変形例４−
実施形態２の変形例４について説明する。図１５に示すように、この変形例４では、空調系統側回路（10）が設けられておらず、処理室（2）の滅菌処理を滅菌系統側回路（30）のみで実行するように構成されている。
【０１６５】
この滅菌システム（1）では、準備運転において、滅菌ガス発生機（58）が過酸化水素発生器（31）を停止させて除湿器（57）のみを運転させるように制御される。これにより、室外から取り込まれて滅菌ガス発生機（58）で除湿された空気が、滅菌側空調機（53）で温度調節されて処理室（2）へ流入し、処理室（2）が目標湿度に調節される。
【０１６６】
《その他の実施形態》
上記実施形態については、以下のような構成としてもよい。
【０１６７】
例えば、上記実施形態では、滅菌運転を滅菌ガス中の過酸化水素濃度が約５００ｐｐｍになる高濃度の運転にしているが、滅菌をする度に必ずしも高濃度の滅菌運転をしなくてもよく、製造室を使用しない夜間などに短時間で処理するときには、準備運転、５〜１０ｐｐｍ程度の低濃度の滅菌運転、及び処理室（2）の換気を行う第２希釈運転を行うようにして、第１希釈運転を省略するようにしてもよい。
【０１６８】
また、上記実施形態では、すべての医薬品製造室（2a，2b，2c）を同時に滅菌する運転について説明したが、各製造室（2a，2b，2c）を個別に滅菌する運転を行ってもよく、その場合、滅菌を行う製造室（2a，2b，2c）に応じてバルブの開閉をするとよい。また、医薬品製造室（2a，2b，2c）は３室に限らず、３室以外の複数室であってもよいし、１室であってもよい。
【０１６９】
なお、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【産業上の利用可能性】
【０１７０】
以上説明したように、本発明は、処理室を過酸化水素で滅菌処理する滅菌システムについて有用である。
【符号の説明】
【０１７１】
1   滅菌システム
2   処理室
10  空調系統側回路
11  給気通路
12  還気通路
13  外気処理空調機（空調装置）
14  ＨＥＰＡフィルタ（フィルタ機構）
15  戻し通路
16  空調側循環通路
17  顕熱空調機（空調装置）
25  圧力調整機構
30  滅菌系統側回路
31  過酸化水素発生器
32  滅菌側循環通路
36  過酸化水素分解器
38  還気側連通路
39  給気側連通路
50  コントローラ（制御手段）
53  滅菌側空調機
57  除湿器
【図１】
2010099495.tif 000003
【図２】
2010099495.tif 000004
【図３】
2010099495.tif 000005
【図４】
2010099495.tif 000006
【図５】
2010099495.tif 000007
【図６】
2010099495.tif 000008
【図７】
2010099495.tif 000009
【図８】
2010099495.tif 000010
【図９】
2010099495.tif 000011
【図１０】
2010099495.tif 000012
【図１１】
2010099495.tif 000013
【図１２】
2010099495.tif 000014
【図１３】
2010099495.tif 000015
【図１４】
2010099495.tif 000016
【図１５】
2010099495.tif 000017
【手続補正書】
【提出日】平成22年1月21日(2010.1.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理室（2）内の温度調節及び湿度調節を行う空調装置（13,17）と、該処理室（2）へ過酸化水素を供給する過酸化水素発生器（31）と、該処理室（2）から送られる過酸化水素を分解する過酸化水素分解器（36）とを備えた滅菌システムであって、
上記空調装置（13,17）によって上記処理室（2）を除湿する準備運転と、
上記処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定濃度になるよう上記過酸化水素発生器（31）から該処理室（2）へ過酸化水素を供給する滅菌運転と、
上記処理室（2）内の過酸化水素を上記過酸化水素分解器（36）で分解することによって該処理室（2）内の過酸化水素の濃度を低下させる希釈運転とを順に実行する一方、
始端と終端が上記処理室（2）に連通して該処理室（2）から取り込まれた空気が始端から終端へ向かって流れる滅菌側循環通路（32）と、
上記滅菌側循環通路（32）に設けられて該滅菌側循環通路（32）を流れる空気の温度を調節する滅菌側空調機（53）と、
上記過酸化水素発生器（31）が発生させた過酸化水素を上記滅菌側循環通路（32）における上記滅菌側空調機（53）の上流側に供給する過酸化水素発生流路（33）とを備えていることを特徴とする滅菌システム。
【請求項２】
請求項１において、
上記希釈運転中には、上記処理室（2）と過酸化水素分解器（36）の間で空気を循環させて該空気中の過酸化水素を該過酸化水素分解器（36）で分解する循環動作を、該処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定値以下となるまで行うことを特徴とする滅菌システム。
【請求項３】
請求項２において、
上記希釈運転では、上記循環動作の終了後に上記処理室（2）へ空気を供給しながら該処理室（2）内の空気を室外へ排出する排気動作を行うことを特徴とする滅菌システム。
【請求項４】
請求項３において、
上記処理室（2）へ供給される空気を浄化するためのフィルタ機構（14）を備える一方、
上記排気動作では、上記フィルタ機構（14）で浄化した空気が処理室（2）を供給されることを特徴とする滅菌システム。
【請求項５】
請求項３又は４において、
上記排気動作における上記処理室（2）への空気の供給は、上記空調装置（13,17）を用いて行われることを特徴とする滅菌システム。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れか一つにおいて、
上記希釈運転中は、上記過酸化水素発生器（31）を停止させることを特徴とする滅菌システム。
【請求項７】
請求項１乃至６の何れか一つにおいて、
上記準備運転では、上記処理室（2）内の相対湿度が１０％以上で５０％以下の範囲の所定値になるように上記空調装置（13,17）を運転させることを特徴とする滅菌システム。
【請求項８】
請求項１乃至７の何れか一つにおいて、
上記滅菌運転中には、上記空調装置（13,17）から処理室（2）への空気の供給を停止させることを特徴とする滅菌システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理室を過酸化水素で滅菌処理する滅菌システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種の滅菌システムとしては、密閉可能な処理室（例えば医薬品製造室）に、該処理室の気体を吸引する真空ポンプが設けられた気体吸引通路と、過酸化水素蒸気を発生させる過酸化水素発生器が設けられた過酸化水素供給通路と、処理空間内に無菌空気を供給する空気供給通路と、処理室内の気体を循環させながら触媒で過酸化水素を分解する気体循環通路とが接続されたシステムがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１の滅菌システムでは、まず真空ポンプを起動して処理室を真空状態にした後、過酸化水素を処理室内に供給して滅菌処理を行う。次に、空気供給通路から処理室に無菌空気を導入し、過酸化水素を処理室内に分散させる。そして、真空ポンプによる吸引工程、過酸化水素の供給工程、及び無菌空気の導入工程を数回繰り返して処理室の滅菌が終了すると、処理室から過酸化水素を除去する工程を行う。この工程では、気体循環通路の触媒により過酸化水素を分解しながら処理室の気体を循環させる。こうすることにより、処理室内の過酸化水素濃度を下げるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−３２８２７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記の滅菌システムは、空調設備とは別個独立して微小風量が循環する設備として設けられている。そして、上記滅菌システムでは、多風量の気体の循環が可能な空調設備を停止した状態で微小風量の循環により滅菌処理を行うため、滅菌ガス（過酸化水素を含む空気）の室内拡散効果不良による滅菌性能のばらつきや、滅菌後に室内の過酸化水素濃度を下げて定常運転を行えるようになるまでに長時間を要するなど、様々な問題があった。
【０００６】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、過酸化水素を用いて処理室の滅菌を行うシステムにおいて、滅菌性能の向上や滅菌後の後処理時間（過酸化水素の希釈時間）の短縮を可能にすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明は、処理室（2）内の温度調節及び湿度調節を行う空調装置（13,17）と、該処理室（2）へ過酸化水素を供給する過酸化水素発生器（31）と、該処理室（2）から送られる過酸化水素を分解する過酸化水素分解器（36）とを備えた滅菌システム（1）を前提としている。
【０００８】
そして、第１の発明において、滅菌システム（1）は、上記空調装置（13,17）によって上記処理室（2）を除湿する準備運転と、上記処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定濃度になるよう上記過酸化水素発生器（31）から該処理室（2）へ過酸化水素を供給する滅菌運転と、上記処理室（2）内の過酸化水素を上記過酸化水素分解器（36）で分解することによって該処理室（2）内の過酸化水素の濃度を低下させる希釈運転とを順に実行する。
【０００９】
更に、第１の発明において、滅菌システム（1）は、始端と終端が上記処理室（2）に連通して該処理室（2）から取り込まれた空気が始端から終端へ向かって流れる滅菌側循環通路（32）と、上記滅菌側循環通路（32）に設けられて該滅菌側循環通路（32）を流れる空気の温度を調節する滅菌側空調機（53）と、上記過酸化水素発生器（31）が発生させた過酸化水素を上記滅菌側循環通路（32）における上記滅菌側空調機（53）の上流側に供給する過酸化水素発生流路（33）とを備えている。
【００１０】
この第１の発明では、空調装置（13,17）を用いる準備運転と、過酸化水素発生器（31）を用いる滅菌運転と、過酸化水素分解器（36）を用いる希釈運転とが一連の動作として実行できるようにこの滅菌システム（1）が構成されている。ここで、過酸化水素を用いる滅菌処理では、処理室（2）内が低湿度の方が高い滅菌効果が得られることが知られている。従って、このように空調装置（13,17）を過酸化水素発生器（31）や過酸化水素分解器（36）と共に連動させて運転させることで、滅菌運転を行う前に予め処理室（2）内を低湿度に調節しておくことが可能になる。
【００１１】
また、第１の発明では、滅菌側循環通路（32）に滅菌側空調機（53）が設けられる。滅菌運転中において、滅菌側空調機（53）は、過酸化水素発生器（31）から供給された過酸化水素を含んだ空気の温度を調節する。
【００１２】
第２の発明は、第１の発明において、上記希釈運転中には、上記処理室（2）と過酸化水素分解器（36）の間で空気を循環させて該空気中の過酸化水素を該過酸化水素分解器（36）で分解する循環動作を、該処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定値以下となるまで行うことを特徴としている。
【００１３】
この第２の発明では、希釈運転において処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定値以下になるまでは、処理室（2）の空気を過酸化水素分解器（36）に送り込んでその空気中の過酸化水素を分解しても、そのまま外部に排気可能なレベルまでに過酸化水素の濃度が低下しないので、過酸化水素分解器（36）を通過後の空気を外部へ排出せずに処理室（2）へ戻している。
【００１４】
第３の発明は、第２の発明において、上記希釈運転では、上記循環動作の終了後に上記処理室（2）へ空気を供給しながら該処理室（2）内の空気を室外へ排出する排気動作を行うことを特徴としている。
【００１５】
この第３の発明では、希釈運転において、処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定値以下となって循環動作が終了した後に排気動作が行われる。排気動作では、処理室（2）へ空気を導入して該処理室（2）内の空気を室外へ排出することで処理室（2）の空気の入れ換えが行われるので、過酸化水素分解器（36）を通過後の空気を処理室（2）へ戻す循環動作に比べて短時間で処理室（2）内の過酸化水素の濃度を下げることが可能である。
【００１６】
第４の発明は、第３の発明において、上記処理室（2）へ供給される空気を浄化するためのフィルタ機構（14）を備える一方、上記排気動作では、上記フィルタ機構（14）で浄化した空気が処理室（2）を供給されることを特徴としている。
【００１７】
この第４の発明では、排気動作の際に、滅菌処理が行われた処理室（2）へはフィルタ機構（14）で浄化した空気が供給される。このフィルタ機構（14）では、処理室（2）へ供給される空気中の菌類が捕捉される。
【００１８】
第５の発明は、第３または第４の発明において、上記排気動作における上記処理室（2）への空気の供給は、上記空調装置（13,17）を用いて行われることを特徴としている。
【００１９】
この第５の発明では、排気動作の際に上記空調装置（13,17）を運転させて、該空調装置（13,17）から処理室（2）への空気を供給する。空調装置（13,17）は、一般的に比較的大風量の空気を供給可能な装置として構成されている。このため、処理室（2）において単位時間当たりの空気の入れ換え量が多くなるので、短時間で処理室（2）内の過酸化水素の濃度を下げることが可能である。
【００２０】
第６の発明は、第１〜第５の何れか一つの発明において、上記希釈運転中には上記過酸化水素発生器（31）を停止させることを特徴としている。
【００２１】
この第６の発明では、希釈運転中は過酸化水素発生器（31）を停止させる。この滅菌システム（1）では、希釈運転において運転の必要がない過酸化水素発生器（31）の動作が制御されて停止される。
【００２２】
第７の発明は、第１〜第６の何れか一つの発明において、上記準備運転では、上記処理室（2）内の相対湿度が１０％以上で５０％以下の範囲の所定値になるように上記空調装置（13,17）を運転させる。
【００２３】
この第７の発明では、処理室（2）内の相対湿度が１０％以上で５０％以下の範囲の所定値になるまで空調装置（13,17）を運転させる。過酸化水素を用いる滅菌処理では相対湿度が１０％から５０％の範囲で高い滅菌効果が得られることが知られており、このように準備運転において空調装置（13,17）を運転させることで滅菌運転において高い滅菌効果が得られる。
【００２４】
第８の発明は、第１〜第７の何れか一つの発明において、上記滅菌運転中には、上記空調装置（13,17）から処理室（2）への空気の供給を停止させる。
【００２５】
この第８の発明では、滅菌運転中に空調装置（13,17）から処理室（2）へ空気が供給されないようにこの滅菌システム（1）の運転が制御される。従って、処理室（2）内の過酸化水素の濃度は、空調装置（13,17）の影響を受けずに過酸化水素発生器（31）の運転制御によって調節される。
【発明の効果】
【００２６】
上記第１〜第８の各発明では、空調装置（13,17）を過酸化水素発生器（31）や過酸化水素分解器（36）と共に連動させることによって、滅菌運転において高い滅菌効果が期待できるように処理室（2）内を除湿する準備運転と、低湿度で滅菌処理が行われる滅菌運転と、処理室（2）内の過酸化水素の濃度を低下させる希釈運転とが一連の動作として実行される。即ち、この発明では、空調装置（13,17）を含めた滅菌システム（1）を構成することで、過酸化水素を用いた滅菌処理の効果を高めるようにしている。従って、過酸化水素を用いて処理室（2）の滅菌を行うシステムにおいて、滅菌性能を向上させることができる。
【００２７】
上記第３の発明では、希釈運転において、循環動作によって処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定値以下となると、循環動作よりも短時間で処理室（2）内の過酸化水素の濃度を下げることが可能な排気動作に切り換えられる。従って、排気動作が可能な所定値を予め設定しておくことにより、希釈運転を効率よく行うことができる。
【００２８】
上記第４の発明では、排気動作の際に処理室（2）へ供給される空気中の菌類が捕捉されるように、フィルタ機構（14）が設けられている。従って、排気動作の際に外部から処理室（2）へ侵入する菌類の量を削減できる。
【００２９】
上記第５の発明では、排気動作の際に、比較的大風量の空気を供給可能な空調装置（13,17）を用いて処理室（2）への空気の供給を行う。これにより、短時間で処理室（2）内の過酸化水素の濃度を下げることができるので、排気動作を短時間で終了させることができる。
【００３０】
上記第７の発明では、準備運転において処理室（2）内の相対湿度が１０％以上で５０％以下の範囲の所定値になるように調節される。従って、滅菌運転において高い滅菌効果が得られるので、滅菌性能を向上させることができる。
【００３１】
上記第８の発明では、処理室（2）内の過酸化水素の濃度が空調装置（13,17）の影響を受けずに過酸化水素発生器（31）の運転制御によって調節されるように、滅菌運転中には空調装置（13,17）から処理室（2）への空気の供給を停止させる。従って、滅菌運転中は過酸化水素発生器（31）の運転制御を行うだけでよいので、処理室（2）内の過酸化水素の濃度の調節を容易に行うことができる。
【００３２】
上記第１の発明では、滅菌運転において、処理室（2）へ導入される過酸化水素を含んだ空気を温度調節することができるように、滅菌側空調機（53）が設けられている。従って、空調装置（13,17）から処理室（2）への空気の供給を停止させた状態で処理室（2）内の温度調節を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】参考技術に係る滅菌システムの配管系統図である。
【図２】図１の滅菌システムにおいて準備運転の動作を示す図である。
【図３】図１の滅菌システムにおいて滅菌運転の動作を示す図である。
【図４】図１の滅菌システムにおいて第１希釈運転の動作を示す図である。
【図５】図１の滅菌システムにおいて第２希釈運転の動作を示す図である。
【図６】図１の滅菌システムにおいて定常運転の動作を示す図である。
【図７】本発明の実施形態に係る滅菌システムの配管系統図である。
【図８】図７の滅菌システムにおいて準備運転の動作を示す図である。
【図９】図７の滅菌システムにおいて滅菌運転の動作を示す図である。
【図１０】図７の滅菌システムにおいて第１希釈運転の動作を示す図である。
【図１１】図７の滅菌システムにおいて第２希釈運転の動作を示す図である。
【図１２】図７の滅菌システムにおいて定常運転の動作を示す図である。
【図１３】本発明の実施形態の変形例１に係る滅菌システムの配管系統図である。
【図１４】本発明の実施形態の変形例２に係る滅菌システムの配管系統図である。
【図１５】本発明の実施形態の変形例４に係る滅菌システムの配管系統図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００３５】
《参考技術》
先ず、参考技術について説明する。
【００３６】
−全体の構成−
この参考技術は、医薬品等の製造室を処理室として、該処理室内の空調と滅菌処理とを行う滅菌システムに関するものである。この参考技術の配管系統図である図１に示すように、この滅菌システム（1）は、空調系統側回路（10）と滅菌系統側回路（30）とを備えている。
【００３７】
この滅菌システム（1）の空調系統側回路（10）は、外気の温度と湿度を調節するとともに、処理室（2）に給気通路（11）と還気通路（12）を介して接続された外気処理空調機（13）を備えている。給気通路（11）から処理室（2）への空気の入口と、処理室（2）から還気通路（12）への空気の出口には、フィルタ機構としてＨＥＰＡフィルタ（high efficiency particulate air filter）（14）が設けられている。
【００３８】
還気通路（12）と給気通路（11）との間には戻し通路（15）が接続されており、給気通路（11）の一部と還気通路（12）の一部と戻し通路（15）とにより、処理室（2）の空気が循環する空調側循環通路（16）が構成されている。この空調側循環通路（16）には、給気側に空気の温度調節のみを行う顕熱空調機（17）が設けられ、排気側に空気を循環させる循環ファン（18）が設けられている。また、戻し通路（15）と給気通路（11）の合流箇所にはミキシングチャンバ（19）が設けられている。
【００３９】
滅菌系統側回路（30）では、過酸化水素発生器（31）を備えた滅菌側循環通路（32）が上記処理室（2）に接続されている。過酸化水素発生器（31）は過酸化水素発生流路（33）に設けられ、過酸化水素発生流路（33）が滅菌側循環通路（32）の主流路（34）に対して並列に設けられている。主流路（34）側の風量と過酸化水素発生流路（33）側の風量の比率は、１０：１程度になるように定められている。なお、過酸化水素発生器（31）とは、過酸化水素の水溶液を霧化等することによって過酸化水素の蒸気を発生させる装置である。
【００４０】
滅菌側循環通路（32）には、過酸化水素発生流路（33）の上流側で分岐する過酸化水素分解流路（35）が設けられ、この過酸化水素分解流路（35）には過酸化水素分解器（36）が設けられている。過酸化水素分解流路（35）における過酸化水素分解器（36）の下流側は、滅菌側循環通路（32）に合流する循環側通路（37）と、外気処理空調機（13）の還気通路（12）に合流する還気側通路（還気側連通路）（38）とに分岐している。
【００４１】
上記滅菌側循環通路（32）における処理室（2）への入口側は給気通路（11）側のＨＥＰＡフィルタ（14）に接続され、該滅菌側循環通路（32）における処理室（2）からの出口側は還気通路（12）側のＨＥＰＡフィルタ（14）に接続されている。
【００４２】
この滅菌システム（1）では、外気処理空調機（13）から滅菌側循環通路（32）に外気を導入する給気側連通路（39）と、過酸化水素分解器（36）を外気処理空調機（13）の還気通路（12）に接続する上述の還気側連通路（38）とが設けられている点を特徴としている。
【００４３】
−詳細な構成−
次に、滅菌システム（1）の構成の詳細について説明する。
【００４４】
＜空調系統側回路＞
まず、空調系統側回路（10）の構成について説明する。
【００４５】
上記外気処理空調機（13）は、ケーシング内が隔壁（13a）により第１通路（13b）と第２通路（13c）に分離されており、空気中の水分を吸脱着可能な吸着剤を担持したハニカム状の吸着ロータ（13d）が、上記隔壁（13a）に沿って設けられた回転軸（図示せず）を中心として回転可能に設けられている。第１通路（13b）には、上流側から順に、第１外気取り入れ口（13e）、第１冷却コイル（13f）、上記吸着ロータ（13d）、第２冷却コイル（13g）、第１加熱コイル（13h）、加湿器（13i）、ファン（13j）、及び給気口（13k）が設けられている。第２通路（13c）には、第２外気取り入れ口（13l）、第２加熱コイル（13m）、吸着ロータ（13d）、及び排気口（13n）が設けられている。排気口（13n）は、図示しない排気ファンに接続されている。
【００４６】
第１通路（13b）では、第１冷却コイル（13f）により冷却された外気（第１空気）中の水分が吸着ロータ（13d）に吸着され、該第１空気が減湿される。第１空気はその後に第２冷却コイル（13g）、第１加熱コイル（13h）、及び加湿器（13i）により温度と湿度が調節され、給気口（13k）より吹き出される。吸着ロータ（13d）は連続的または断続的に回転しており、水分を吸着した部分がやがて第２通路（13c）内へ移動する。第２通路（13c）では、外気（第２空気）が第２加熱コイル（13m）で加熱されてから吸着ロータ（13d）を通過することにより、該吸着ロータ（13d）が再生される。吸着ロータ（13d）の再生された部分は、さらに回転して第１通路（13b）側へ移動することにより、再び第１空気を減湿することができるようになる。
【００４７】
外気処理空調機（13）とミキシングチャンバ（19）との間の給気通路（11）には、中性能フィルタ（20）と、第１給気切換ダンパ（21a）とが設けられている。上記顕熱空調機（17）は、給気通路（11）におけるミキシングチャンバ（19）の下流側に設けられている。この顕熱空調機（17）は、上流側から順に、空気流入口（17a）、冷却コイル（17b）、ファン（17c）、及び空気流出口（17d）を有している。
【００４８】
処理室（2）は、３部屋の医薬品製造室（2a，2b，2c）から構成され、各医薬品製造室（2a，2b，2c）に対する給気通路（11）の接続部分に給気側のＨＥＰＡフィルタ（14）が設けられている。給気通路（11）は各ＨＥＰＡフィルタ（14）に対応して３本の給気管（11a，11b，11c）に分岐し、各給気管（11a，11b，11c）には、上流側から定風量装置（22a，22b，22c）と給気側気密ダンパ（23a，23b，23c）とが設けられている。
【００４９】
各医薬品製造室（2a，2b，2c）に対する還気通路（12）の接続部分には、還気側のＨＥＰＡフィルタ（14）が設けられている。還気通路（12）は各ＨＥＰＡフィルタ（14）に対応して３本の還気管（12a，12b，12c）に分岐し、各還気管（12a，12b，12c）には、上流側から還気側気密ダンパ（24a，24b，24c）と室圧制御ダンパ（25a，25b，25c）とが設けられている。この室圧制御ダンパ（25a，25b，25c）により、処理室（2）内の圧力を調整する圧力調整機構（25）が構成されている。
【００５０】
還気通路（12）には、各還気管（12a，12b，12c）の合流箇所の下流側に上記循環ファン（18）が設けられている。また、還気通路（12）における循環ファン（18）と戻し通路（15）の間には還気調節ダンパ（26）が設けられ、該還気通路（12）における戻し通路（15）と外気処理空調機（13）の間には還気切換ダンパ（27）が設けられている。
【００５１】
外気処理空調機（13）の還気通路（12）は、循環ファン（18）と還気調節ダンパ（26）の間で分岐した排気通路（28）が設けられている。この排気通路（28）には、排気調節ダンパ（29）が設けられている。この排気調節ダンパ（29）を開くことにより、外気処理空調機（13）の運転中に処理室（2）内の圧力が上昇しすぎるのを防止できる。
【００５２】
＜滅菌系統側回路＞
次に滅菌系統側回路（30）の構成について説明する。
【００５３】
滅菌側循環通路（32）は、上記主流路（34）と、この主流路（34）から分岐した３本の給気側流路（40a，40b，40c）と、同じくこの主流路（34）から分岐した３本の還気側流路（41a，41b，41c）とを備えている。各給気側流路（40a，40b，40c）には給気側ガスバルブ（42a，42b，42c）が設けられ、還気側流路（41a，41b，41c）には還気側ガスバルブ（43a，43b，43c）が設けられている。主流路（34）には、還気側から給気側に向かって順に、滅菌ガス循環ファン（44）と第１滅菌ガス切換バルブ（45a）が設けられている。上記過酸化水素発生器（31）を備えた過酸化水素発生流路（33）は、第１滅菌ガス切換バルブ（45a）と各給気側流路（40a，40b，40c）の間において主流路（34）と並列に接続されている。
【００５４】
滅菌ガス循環ファン（44）と第１滅菌ガス切換バルブ（45a）の間には上記過酸化水素分解流路（35）の一端が接続され、該過酸化水素分解流路（35）の他端は、主流路（34）における過酸化水素発生流路（33）の下流端と各給気側流路（40a，40b，40c）の間に接続されている。過酸化水素分解流路（35）には、その上流側から順に、第２滅菌ガス切換バルブ（45b）、過酸化水素分解器（36）であるＰｔ触媒、及び第３滅菌ガス切換バルブ（45c）が設けられている。また、過酸化水素分解流路（35）は、過酸化水素分解器（36）とその下流側の第３滅菌ガス切換バルブ（45c）の間から分岐した上記還気側連通路（38）が外気処理空調機（13）の還気通路（12）に合流している。この還気側連通路（38）には、第４滅菌ガス切換バルブ（45d）が設けられている。
【００５５】
上記外気処理空調機（13）の給気通路（11）は、中性能フィルタ（20）と第１給気切換ダンパ（21a）の間で上記給気側連通路（39）に分岐している。この給気側連通路（39）は、滅菌側循環通路（32）の主流路（34）における還気側流路（41a，41b，41c）と滅菌ガス循環ファン（44）との間に接続されている。この給気側連通路（39）には、第２給気切換ダンパ（21b）が設けられている。
【００５６】
−運転制御−
次に、この滅菌システム（1）の運転制御と具体的な運転動作に関して説明する。
【００５７】
この滅菌システム（1）は、空調系統側回路（10）と滅菌系統側回路（30）の運転制御を行うコントローラ（制御手段）（50）を備えている。このコントローラ（50）は、処理室（2）を低湿度にするための準備運転と、処理室（2）内の滅菌処理を行う滅菌運転と、処理室（2）の滅菌完了後に過酸化水素濃度を下げるための希釈運転（第１希釈運転及び第２希釈運転）と、希釈完了後に処理室（2）の空調を行う定常運転とを行うように構成されている。滅菌運転前に処理室（2）を低湿度にする準備運転を行うのは、過酸化水素による滅菌を行う場合、処理室（2）内が低湿度である方が高い滅菌効果が得られるためである。
【００５８】
＜準備運転＞
準備運転は、過酸化水素発生器（31）を停止した状態で、外気処理空調機（13）により処理室（2）の湿度を所定値以下に低下させる工程であり、後述の定常運転時の状態で外気導入量を約１／２とし、処理室（2）内を低湿にする運転である。なお、準備運転では、滅菌に備えて医薬品等の製造機器の開放と建具類の目張りが行われる。この準備運転の空気の流れを図２に示している。
【００５９】
このとき、滅菌系統側回路（30）では、滅菌ガス循環ファン（44）及び過酸化水素発生器（31）は停止した状態となる。また、滅菌系統側回路（30）の各バルブ（42a，42b，42c）（43a，43b，43c）（45a，45b，45c，45d）は閉じた状態となり、第２給気切換ダンパ（21b）も閉じた状態となる。一方、空調系統側回路（10）の第１給気切換ダンパ（21a）、還気切換ダンパ（27）、還気調節ダンパ（26）、各定風量装置（22a，22b，22c）、各室圧制御ダンパ（25a，25b，25c）、各給気側気密ダンパ（23a，23b，23c）、及び各還気側気密ダンパ（24a，24b，24c）はそれぞれ開いた状態となり、排気調節ダンパ（29）は閉じた状態となる。
【００６０】
この状態で、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、及び循環ファン（18）を運転すると、外気処理空調機（13）で温度と湿度が調節された空気が給気通路（11）を流れるときにミキシングチャンバ（19）、顕熱空調機（17）を順に通過し、低湿の空気が各給気管（11a，11b，11c）から給気側のＨＥＰＡフィルタ（14）を介して処理室（2）に供給される。
【００６１】
処理室（2）の空気は排気側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って流出し、各還気管（12a，12b，12c）から還気通路（12）で合流し、循環ファン（18）により、一部がミキシングチャンバ（19）を通って顕熱空調機（17）へ、他の一部が外気処理空調機（13）へ送られる。準備運転は、空気を以上のように循環させて、処理室（2）内の室温が約２５℃、相対湿度が約３０％になるまで行われる。なお、処理室（2）内には、温度と湿度を検出するため、温度センサと湿度センサが設けられている。
【００６２】
＜滅菌運転＞
準備運転が完了すると、空調機器を停止し、ダンパ類の設定を切り換えて滅菌運転に移行する。滅菌運転は、過酸化水素発生器（31）により発生した過酸化水素の蒸気を滅菌系統側回路（30）の滅菌側循環通路（32）で循環させることにより処理室（2）に所定濃度の過酸化水素を含むガスを供給する工程である。この滅菌運転時の滅菌ガスの流れを図３に示している。
【００６３】
このとき、空調系統側回路（10）では、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、及び循環ファン（18）が停止し、各給気切換ダンパ（21a，21b）、還気切換ダンパ（27）、還気調節ダンパ（26）、及び排気調節ダンパ（29）が閉鎖される。また、各定風量装置（22a，22b，22c）、各室圧制御ダンパ（25a，25b，25c）、各給気側気密ダンパ（23a，23b，23c）、各還気側気密ダンパ（24a，24b，24c）も停止または閉鎖される。一方、滅菌系統側回路（30）では、滅菌ガス循環ファン（44）及び過酸化水素発生器（31）が運転され、各給気側ガスバルブ（42a，42b，42c）と各還気側ガスバルブ（43a，43b，43c）が開かれる。また、第１滅菌ガス切換バルブ（45a）は開放され、第２滅菌ガス切換バルブ（45b）、第３滅菌ガス切換バルブ（45c）、第４滅菌ガス切換バルブ（45d）は閉鎖される。
【００６４】
この状態で、滅菌ガス循環ファン（44）と過酸化水素発生器（31）を運転すると、過酸化水素発生器（31）で発生した過酸化水素の蒸気が主流路（34）の空気と合流して滅菌ガスとなり、給気側流路（40a，40b，40c）から給気側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って処理室（2）に供給される。
【００６５】
処理室（2）内の滅菌ガスは還気側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って流出し、各還気側流路（41a，41b，41c）から主流路（34）で合流する。合流した滅菌ガスは滅菌ガス循環ファン（44）により一部が過酸化水素発生流路（33）を流れ、残りが主流路（34）を流れる。上述したように、主流路（34）を流れる風量と過酸化水素発生流路（33）を流れる風量の比率は、約１０：１に設定されている。こうすることにより、過酸化水素を空気中で十分に拡散させ、ひいては処理室（2）内で均一に拡散させる効果を得ることができる。
【００６６】
一方、過酸化水素の蒸気の発生に伴う室内圧力の上昇をコントロールするため、処理室（2）内には圧力センサ（図示せず）が設けられている。そして、滅菌運転中に処理室（2）の室内圧力が上昇したり、室内湿度が上昇したりすると、図に太い破線で流れを示すように、過酸化水素分解流路（35）の過酸化水素分解器（36）から還気側連通路（38）を通じて、処理室（2）のガスの一部を分解してから外気処理空調機（13）に還気する。過酸化水素分解器（36）を通して滅菌ガスを外気処理空調機に戻すのは、外気処理空調機やダクト類の腐食を防止するためである。
【００６７】
この運転時、第２滅菌ガス切換バルブ（45b）と第４滅菌ガス切換バルブ（45d）が開かれ、外気処理空調機（13）が運転される。そして、第２給気切換ダンパ（21b）を開いて、外気処理空調機（13）により湿度を調節した空気の風量を調節しながら滅菌側循環通路（32）に戻すことで、室内湿度や室内圧力を調節できる。処理室（2）内の湿度が上昇し、結露が生じたりすると滅菌効果が著しく低下するため、室内湿度の上限は例えば約５０％に設定される。なお、処理室（2）の室圧上昇を防止するだけであれば、処理室（2）の滅菌ガスを過酸化水素分解器（36）で分解してから外気処理空調機（13）を通じて外気に放出してもよい。
【００６８】
滅菌運転は、ガスを滅菌側循環通路（32）によって以上のように循環させて、処理室（2）の過酸化水素濃度が約５００ｐｐｍになり、その濃度で所定時間が経過するまで行われる。なお、過酸化水素濃度を検出するため、滅菌側循環通路（32）の還気側には過酸化水素濃度センサが設けられている（図示せず）。
【００６９】
＜希釈運転＞
滅菌運転の完了後、処理室（2）内の過酸化水素濃度は約５００ｐｐｍになっている。この高濃度の状態では、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、ＨＥＰＡフィルタ（14）で処理をした無菌空気を処理室（2）に導入するとともに処理室（2）のガスを室外へ放出することはできないので、処理室（2）内の過酸化水素濃度が５〜１０ｐｐｍ程度になるまでは過酸化水素を触媒により分解する第１希釈運転を行う（図４）。その後、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、ＨＥＰＡフィルタ（14）で処理をした無菌空気を処理室（2）に導入するとともに処理室（2）のガスを室外へ放出する第２希釈運転を行う（図５）。第２希釈運転時に室外へ放出される滅菌ガスの過酸化水素濃度は十分に低いので、大気中への影響はない。
【００７０】
（第１希釈運転）
第１希釈運転は、過酸化水素発生器（31）を停止して処理室（2）のガスを滅菌側循環通路（32）で循環させながら過酸化水素分解器（36）で過酸化水素濃度が第１の設定値（５〜１０ｐｐｍ）以下になるまで分解する工程であり、図４に空気の流れを示している。
【００７１】
このとき、空調系統側回路（10）の設定は基本的に滅菌運転時と同じであり、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、及び循環ファン（18）は停止しており、各ダンパ（21a，21b）（23a，23b，23c）（24a，24b，24c）（25a，25b，25c）（26）（27）（29）や定風量装置（22a，22b，22c）などは閉鎖または停止している。一方、滅菌系統側回路（30）では、滅菌ガス循環ファン（44）は運転されるが過酸化水素発生器（31）が停止し、各給気側ガスバルブ（42a，42b，42c）と各還気側ガスバルブ（43a，43b，43c）は開かれたままである。また、第１滅菌ガス切換バルブ（45a）は閉鎖され、第２滅菌ガス切換バルブ（45b）及び第３滅菌ガス切換バルブ（45c）は開放され、第４滅菌ガス切換バルブ（45d）は閉鎖される。
【００７２】
この状態で、滅菌ガス循環ファン（44）を運転すると、処理室（2）内の空気が滅菌側循環通路（32）を循環する際に過酸化水素分解器（36）を通過し、滅菌ガス中の過酸化水素が分解される。第１希釈運転は、過酸化水素濃度センサによる検出値（過酸化水素濃度）が５〜１０ｐｐｍになるまで行われる。
【００７３】
なお、第１希釈運転時に各給気側気密ダンパ（23a，23b，23c）や各還気側気密ダンパ（24a，24b，24c）からの滅菌ガスの漏れ等が生じて処理室（2）の圧力が低下した場合には、図に太い破線で流れを示すように、外気処理空調機（13）を運転するとともに第２給気切換ダンパ（21b）を開き、処理室（2）内を所定圧力（例えば数１０Ｐａ）に維持する操作を行う。
【００７４】
（第２希釈運転）
第２希釈運転は、外気処理空調機（13）からフィルタ機構である給気側のＨＥＰＡフィルタ（14）を介して空気を処理室（2）に供給しながら過酸化水素濃度が第１の設定値（５〜１０ｐｐｍ）よりも低い第２の設定値（１ｐｐｍ）以下になるまで排気を行う換気工程である（図５）。この第２の設定値は、処理室（2）内に作業者が入室可能な濃度に設定されている。このように第２希釈運転で空調系統側回路（10）を使っているのは、滅菌系統側回路（30）での低風量の希釈運転（第１希釈運転）を続けたのでは過酸化水素濃度が第２の設定値に達するまでに相当長い時間を要するため、大風量での運転を行うこととしたものである。
【００７５】
このとき、空調系統側回路（10）の設定と滅菌系統側回路（30）の設定は、基本的には準備運転と同じである。ただし、準備運転では還気調節ダンパ（26）が開放され、排気調節ダンパ（29）が閉鎖されていたのに対して、この第２希釈運転では還気調節ダンパ（26）が微小開度に設定され、排気調節ダンパ（29）が全開に近い開度に設定される。
【００７６】
この状態で、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、及び循環ファン（18）を運転すると、外気処理空調機（13）と顕熱空調機（17）で温度と湿度が調節され、給気側のＨＥＰＡフィルタ（14）で浄化された無菌空気が処理室（2）に供給され、処理室（2）内で滅菌ガスと均一に混合する。希釈された滅菌ガスは、還気側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って処理室（2）から流出する。この滅菌ガスは、排気調節ダンパ（29）を通って大部分が排気され、一部が還気調節ダンパ（26）を通ってミキシングチャンバ（19）へ流入した後に外気処理空調機（13）からの空調空気と混合され、さらに顕熱空調機（17）へと流れていく。
【００７７】
第２希釈運転では、空調空気及び滅菌ガスが以上のようにして循環することにより、処理室（2）の過酸化水素濃度が約１ｐｐｍ以下になるまで行われる。排気調節ダンパ（29）が全開に近い開度に設定されているのは、室内圧力を建屋漏気上の対策により、定常値よりも低い圧力（例えば約１５Ｐａ）に保持するためである。
【００７８】
なお、還気調節ダンパ（26）と排気調節ダンパ（29）の開度は運転状態に合わせて適宜変更してもよい。例えば、本参考技術では還気調節ダンパ（26）を微小開度に開いて滅菌ガスの一部を顕熱空調機（17）へ戻す（空調側循環通路（16）で循環させる）ようにしているが、必ずしも滅菌ガスの一部を顕熱空調機（17）へ戻さなくてもよい。
【００７９】
また、第１希釈運転から第２希釈運転への移行時には、室圧の急激な変化を避けるため、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）及び循環ファン（18）をスロースタートし、安定した移行を行うとよい。
【００８０】
＜定常運転＞
定常運転は、外気処理空調機（13）により処理した外気を取り入れながら空調側循環通路（16）で顕熱空調機（17）を介して空調空気を循環させる工程である。この定常運転の空気の流れを図６に示している。
【００８１】
このとき、空調系統側回路（10）の設定と滅菌系統側回路（30）の設定は、基本的には準備運転と同じである。ただし、準備運転では排気調節ダンパ（29）が閉鎖されていたのに対して、この定常運転では排気調節ダンパ（29）が所定開度に設定される。
【００８２】
この状態で、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、及び循環ファン（18）を運転すると、外気処理空調機（13）と顕熱空調機（17）で温度と湿度が調節され、給気側のＨＥＰＡフィルタ（14）で浄化された無菌空気が処理室（2）に供給される。処理室（2）の無菌空気は、還気側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って処理室（2）から流出する。この無菌空気は、一部が排気調節ダンパ（29）を通って排気され、大部分が還気調節ダンパ（26）を通ってミキシングチャンバ（19）へ流入した後に外気処理空調機（13）からの空調空気と混合され、さらに顕熱空調機（17）へと流れていく。
【００８３】
定常運転では、空調された無菌空気が空調系統側回路（10）で以上のようにして循環することにより、処理室（2）の温度と湿度が設定値に維持されるとともに、無菌状態が維持される。
【００８４】
−参考技術の効果−
本参考技術によれば、滅菌システム（1）に、外気処理空調機（13）と顕熱空調機（17）とＨＥＰＡフィルタ（14）とを備えた空調系統側回路（10）と、過酸化水素発生器（31）と過酸化水素分解器（36）とを備えた滅菌系統側回路（30）とを設けるとともに、空調系統側回路（10）と滅菌系統側回路（30）とを給気側連通路（39）と還気側連通路（38）によって接続したことにより、準備運転と滅菌運転と第１希釈運転と第２希釈運転と定常運転とを一連の動作として、自動的に効率よく行うことができる。そして、第２希釈運転時に、外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）からの大風量の空気で処理室（2）内の滅菌ガスを希釈できるため、過酸化水素の室内拡散効果不良による滅菌性能のばらつきを防止できるとともに、定常運転を行うまで長時間を要する問題も防止できる。また、過酸化水素を使った滅菌システム（1）では、上述したように処理室（2）内を低湿度に保つことが滅菌効果を高めるために重要であるが、本参考技術では空調系統側回路（10）の外気処理空調機（13）により処理室（2）の湿度を前もって調節できるので、高い滅菌効果を期待できる。
【００８５】
また、この参考技術では、処理室（2）内の圧力を調整する圧力調整機構（25）を設けているので、滅菌運転、第１希釈運転、及び第２希釈運転などを行うときに、それぞれの運転に適した室内圧力を維持することができるため、滅菌運転や希釈運転を効率よく行うことができる。
【００８６】
さらに、滅菌側循環通路（32）における処理室（2）への入口側を給気通路（11）側のＨＥＰＡフィルタ（14）に接続しているので、滅菌運転時に処理室（2）の室内へ供給される過酸化水素がＨＥＰＡフィルタ（14）を通過する。したがって、ＨＥＰＡフィルタ（14）に捕捉されている菌類を該ＨＥＰＡフィルタ（14）上で死滅させることができるので、滅菌効率が向上する。
【００８７】
また、滅菌運転時に処理室（2）に過酸化水素を供給することによって室内湿度が上昇したり室内圧力が上昇したりすると、過酸化水素分解器（36）で過酸化水素を分解したガスを外気処理空調機（13）に還気し、外気処理空調機（13）から湿度と風量を調節した空気を滅菌側循環通路（32）に戻すようにしているので、処理室（2）の湿度や圧力を滅菌処理に適した値に調節することができる。
【００８８】
さらに、第１希釈運転時に処理室（2）から空調系統側回路（10）へ滅菌ガスの漏れが生じたときなどには、外気処理空調機（13）から空調空気を滅菌側循環通路（32）に供給することにより、圧力が低下しすぎるのを防止できるので、第１希釈運転に適した圧力を維持して運転を行うことができる。また、第２希釈運転時には、外気処理空調機（13）と顕熱空調機（17）からＨＥＰＡフィルタ（14）を介して処理室（2）に空調空気を供給するとともに処理室（2）のガスを排気しながら、該処理室（2）のガスの一部を空調側循環通路（16）で循環させるようにしているので、均一な希釈効果を得ることができる。
【００８９】
《発明の実施形態》
本発明の実施形態について説明する。
【００９０】
−全体の構成−
この実施形態は、上記参考技術と同様に、医薬品等の製造室を処理室として、該処理室内の空調と滅菌処理とを行う滅菌システムに関するものである。この実施形態では、１室の処理室に対して滅菌システム（1）が構成されている。この実施形態の配管系統図である図７に示すように、この滅菌システム（1）は、空調系統側回路（10）と滅菌系統側回路（30）とを備えている。
【００９１】
この滅菌システム（1）の空調系統側回路（10）は、処理室（2）の入口に接続された給気通路（11）と、処理室（2）の出口に接続された排気通路（28）とを備えている。給気通路（11）から処理室（2）への空気の入口と、処理室（2）から排気通路（28）への出口には、フィルタ機構としてＨＥＰＡフィルタ（high efficiency particulate air filter）（14）が設けられている。
【００９２】
給気通路（11）と排気通路（28）との間には、処理室（2）内の空気を排気通路（28）から給気通路（11）へ戻すための戻し通路（15）が接続されている。そして、給気通路（11）の一部と還気通路（12）の一部と戻し通路（15）とにより、処理室（2）の空気が循環する空調側循環通路（16）が構成されている。なお、戻し通路（15）と給気通路（11）の合流箇所には、上記参考技術と同様に、ミキシングチャンバを設けてもよい。排気通路（28）には、戻し通路（15）との接続部の上流側に循環ファン（18）が設けられている。
【００９３】
給気通路（11）には、除湿器として構成された外気処理空調機（13）と、空気の温度調節のみを行う顕熱空調機（17）とが設けられている。外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）は、空調装置を構成している。この外気処理空調機（13）は、上記参考技術のものと同様に、回転する吸着ロータ（13d）を用いて空気を除湿するものである。但し、本実施形態の外気処理空調機（13）では、第２冷却コイル（13g）、第１加熱コイル（13h）、及び加湿器（13i）が省略されている。他の構成は、上記参考技術とほぼ同じであるため説明は省略する。なお、この外気処理空調機（13）では、外気取り入れ口（13e）と排気口（13n）とにそれぞれダクトが接続されており、外気取り入れ口（13e）側のダクトに中性能フィルタ（20）が設けられている。
【００９４】
上記顕熱空調機（17）は、上流側から順に、空気流入口（17a）、冷却コイル（17b）、電気ヒータ（17e）、ファン（17c）、及び空気流出口（17d）を有している。この顕熱空調機（17）と外気処理空調機（13）と間には、中性能フィルタ（20）が設けられている。また、上記戻し通路（15）は、給気通路（11）における外気処理空調機（13）と中性能フィルタ（20）との間に接続されている。
【００９５】
空調系統側回路（10）には、３つの空調ガス切換バルブ（56）が設けられている。具体的に、給気通路（11）における顕熱空調機（17）と処理室（2）との間には、第１空調ガス切換バルブ（56a）が設けられている。排気通路（28）における処理室（2）と循環ファン（18）との間には、第２空調ガス切換バルブ（56b）が設けられている。排気通路（28）における戻し通路（15）との接続部の下流側には、第３空調ガス切換バルブ（56c）が設けられている。
【００９６】
滅菌系統側回路（30）は、主流路（34）と、過酸化水素発生流路（33）と、過酸化水素分解流路（35）と、循環側通路（37）と、排気側通路（54）とを備えている。主流路（34）は、一端が給気通路（11）において第１空調ガス切換バルブ（56a）の下流に接続され、他端が排気通路（28）において第２空調ガス切換バルブ（56b）の上流に接続されている。これにより、給気通路（11）の一部と還気通路（12）の一部と主流路（34）とにより、処理室（2）の空気が循環する滅菌側循環通路（32）が構成されている。
【００９７】
主流路（34）には、滅菌側空調機（53）が設けられている。滅菌側空調機（53）は、上記顕熱空調機（17）と同じ構成で、顕熱空調機（17）よりも処理風量が小さい空調機である。滅菌側空調機（53）は、上流側から順に、空気流入口（53a）、冷却コイル（53b）、電気ヒータ（53e）、ファン（53c）、及び空気流出口（53d）を有している。なお、この実施形態の滅菌側空調機（53）は、その処理風量が顕熱空調機（17）よりも小さいが、顕熱空調機（17）以上であってもよい。
【００９８】
主流路（34）の滅菌側空調機（53）の上流部分には、上流側から順に過酸化水素分解流路（35）と循環側通路（37）と過酸化水素発生流路（33）とが接続されている。循環側通路（37）は、過酸化水素分解流路（35）から分岐している。すなわち、過酸化水素分解流路（35）及び循環側通路（37）からなる部分は、主流路（34）に対して並列になっている。
【００９９】
過酸化水素発生流路（33）は、滅菌ガス発生機（58）が設けられ、主流路（34）とは逆端が大気開放されている。滅菌ガス発生機（58）は、除湿器（57）と過酸化水素発生器（31）とを備えている。除湿器（57）は、室外から取り込んだ空気を除湿する。過酸化水素発生器（31）は、過酸化水素の水溶液を霧化等することにより過酸化水素の蒸気を発生させる。除湿器（57）で除湿するのは、低湿度の空気の方が過酸化水素が蒸発しやすいためである。この実施形態では、主流路（34）側の風量と過酸化水素発生流路（33）側の風量の比率が、１０：１程度になるように定められている。
【０１００】
過酸化水素分解流路（35）は、主流路（34）側から過酸化水素分解器（36）であるＰｔ触媒と排気ファン（55）とが設けられている。この過酸化水素分解流路（35）は、主流路（34）とは逆端が循環側通路（37）と排気側通路（54）とに分岐している。排気側通路（54）は、過酸化水素分解流路（35）とは逆端が大気開放されている。
【０１０１】
滅菌系統側回路（30）には、６つの滅菌ガス切換バルブ（45）が設けられている。具体的に、主流路（34）における過酸化水素分解流路（35）の接続部の上流側には、第１滅菌ガス切換バルブ（45a）が設けられている。過酸化水素分解流路（35）における過酸化水素分解器（36）の上流側には、第２滅菌ガス切換バルブ（45b）が設けられている。主流路（34）における過酸化水素分解流路（35）の接続部と循環側通路（37）の接続部との間には、第３滅菌ガス切換バルブ（45c）が設けられている。循環側通路（37）には、第４滅菌ガス切換バルブ（45d）が設けられている。過酸化水素発生流路（33）における滅菌ガス発生機（58）の下流側には、第５滅菌ガス切換バルブ（45e）が設けられている。主流路（34）における滅菌側空調機（53）の下流側には、第６滅菌ガス切換バルブ（45f）が設けられている。
【０１０２】
−運転制御−
次に、この滅菌システム（1）の運転制御と具体的な運転動作に関して説明する。
【０１０３】
この滅菌システム（1）は、上記参考技術と同様に、空調系統側回路（10）と滅菌系統側回路（30）の運転制御を行うコントローラ（制御手段）（50）を備えている。このコントローラ（50）は、準備運転と、滅菌運転と、希釈運転（第１希釈運転及び第２希釈運転）と、定常運転とを行うように構成されている。
【０１０４】
＜準備運転＞
準備運転は、滅菌ガス発生機（58）を停止した状態で、処理室（2）の湿度が目標湿度になるように外気処理空調機（13）によって処理室（2）の湿度を低下させる工程であり、外気導入量を後述の定常運転時の状態の約１／２とし、処理室（2）内を低湿にする運転である。準備運転では、処理室（2）の目標湿度が相対湿度で２０％以上で３０％以下の所定値に設定される。なお、目標湿度は２０％以上で３０％以下の範囲に限定されるものではなく、１０％以上で５０％以下の範囲であればよい。また、準備運転では、滅菌に備えて医薬品等の製造機器の開放と建具類の目張りが行われる。この準備運転の空気の流れを図８に示す。
【０１０５】
このとき、空調系統側回路（10）の各バルブ（56a，56b，56c）は開いた状態となる。一方、滅菌系統側回路（30）の各バルブ（45a，45b，45c，45d，45e，45f）は閉じた状態となる。
【０１０６】
この状態で、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、及び循環ファン（18）を運転すると、外気処理空調機（13）で除湿された空気が顕熱空調機（17）を通過して温度調節され、その温度調節された低湿の空気が入口側のＨＥＰＡフィルタ（14）を介して処理室（2）に供給される。
【０１０７】
処理室（2）の空気は、出口側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って流出して、循環ファン（18）により排気通路（28）を流通し、その一部が給気通路（11）へ戻って顕熱空調機（17）へ送られ、残りが排気通路（28）の出口から排気される。準備運転は、処理室（2）内の室温が２５℃、相対湿度が所定値（例えば３０％）になるまで行われる。なお、処理室（2）内には、温度と湿度を検出するため、温度センサと湿度センサが設けられている。
【０１０８】
＜滅菌運転＞
準備運転が完了すると、空調系統側回路（10）から処理室（2）への空気の供給を停止させるために、空調装置を構成する外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）と循環ファン（18）とを停止し、バルブの設定を切り換えて滅菌運転に移行する。滅菌運転は、滅菌ガス発生機（58）から処理室（2）へ過酸化水素を供給することによって、処理室（2）内の過酸化水素の濃度を所定濃度（例えば５００ｐｐｍ）にして、その濃度の状態を所定時間に亘って維持する工程である。滅菌運転では、滅菌ガス発生機（58）の運転制御が、処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定濃度に到達するまでの調整モードと、所定濃度を維持するための滅菌モードとに分けられており、各モードにおいて処理室（2）への過酸化水素の供給量が調節される。なお、処理室（2）内の過酸化水素の濃度を検出するため、処理室（2）内には過酸化水素濃度センサが設けられている（図示せず）。この滅菌運転時の空気の流れを図９に示す。
【０１０９】
このとき、空調系統側回路（10）の各バルブ（56a，56b，56c）は閉じた状態にする。一方、滅菌系統側回路（30）の各バルブは、第４滅菌ガス切換バルブ（45d）以外は開いた状態にする。
【０１１０】
この状態で、滅菌ガス発生機（58）、滅菌側空調機（53）、及び排気ファン（55）を運転すると、室外から取り込まれた空気が滅菌ガス発生機（58）へ送り込まれる。滅菌ガス発生機（58）へ流入した空気は、除湿器（57）で除湿された後に過酸化水素発生器（31）で過酸化酸素を付与される。そして、過酸化水素を含む空気（滅菌ガス）は、主流路（34）の空気と合流し、滅菌側空調機（53）で温度調節された後に入口側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って処理室（2）に供給される。上述したように、主流路（34）を流れる風量と過酸化水素発生流路（33）を流れる風量の比率は、約１０：１に設定されている。こうすることにより、過酸化水素を空気中で十分に拡散させ、ひいては処理室（2）内で均一に拡散させる効果を得ることができる。
【０１１１】
処理室（2）内の滅菌ガスは出口側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って流出し、排気通路（28）から滅菌側循環通路（32）を構成する主流路（34）に流入する。主流路（34）に流入した滅菌ガスは、一部がそのまま主流路（34）を流れて滅菌側空調機（53）を通過した後に処理室（2）へ供給され、残りが過酸化水素分解流路（35）へ流入する。過酸化水素分解流路（35）へ流入した滅菌ガスは、過酸化水素分解器（36）で滅菌ガス中の過酸化水素が分解された後に排気ファン（55）によって排気側通路（54）の出口から室外へ排出される。
【０１１２】
なお、排気側通路（54）から滅菌側循環通路（32）の空気を排気するのは、主流路（34）からの滅菌ガスの流入に伴う処理室（2）の室内圧力の上昇をコントロールするためである。排気側通路（54）から室外へ排出される空気の量、すなわち過酸化水素分解流路（35）の滅菌ガスの流量は、処理室（2）内に設けられた圧力センサ（図示せず）の計測値に基づいて調節されるが、過酸化水素発生流路（33）の流量に概ね近い値となる。従って、過酸化水素分解器（36）に流入する滅菌ガスの流量は、主流路（34）に比べてかなり小さくなる。ここで、この滅菌システム（1）では、主流路（34）の流量に対応した分解能力を有する過酸化水素分解器（36）が用いられている。このため、滅菌運転において過酸化水素分解器（36）に流入する滅菌ガスは、高濃度ではあるが過酸化水素の量は少ないので、過酸化水素分解器（36）でその滅菌ガスの過酸化水素の濃度を室外へ排出可能なレベルにまで低下させることができる。
【０１１３】
＜希釈運転＞
滅菌運転の完了後、処理室（2）内の過酸化水素の濃度は所定濃度の約５００ｐｐｍになっている。この高濃度の状態では、処理室（2）内の滅菌ガスを過酸化水素分解器（36）に通過させて過酸化水素を分解しても、室外へ排出可能なレベルにまで過酸化水素の濃度を低下させることができない。そこで、処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定値（例えば１０ｐｐｍ）以下になるまでは、処理室（2）と過酸化水素分解器（36）との間で空気を循環させてその空気中の過酸化水素を過酸化水素分解器（36）で分解する第１希釈運転（循環動作）を行う（図１０）。その後、外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）を運転させてＨＥＰＡフィルタ（14）で処理をした無菌空気を処理室（2）へ供給しながら、その処理室（2）内の空気を室外へ排出する第２希釈運転（排気動作）を行う（図１１）。なお、滅菌ガスの過酸化水素の濃度が１０ｐｐｍ（第１希釈運転の終了時点の濃度）ではそのまま室外へ排出できないが、１０ｐｐｍ以下になっていれば滅菌ガス中の過酸化水素を過酸化水素分解器（36）で分解することで室外へ排出可能なレベルにまで過酸化水素の濃度を低下させることができる。
【０１１４】
（第１希釈運転）
第１希釈運転は、滅菌ガス発生機（58）を停止して、滅菌側空調機（53）を運転させる。この第１希釈運転時の空気の流れを図１０に示す。
【０１１５】
このとき、空調系統側回路（10）の設定は基本的に滅菌運転時と同じであり、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、及び循環ファン（18）は停止しており、各バルブ（56a，56b，56c）は閉じた状態にする。一方、滅菌系統側回路（30）の各バルブは、第３滅菌ガス切換バルブ（45c）及び第５滅菌ガス切換バルブ（45e）以外は開いた状態にする。
【０１１６】
この状態で、滅菌側空調機（53）及び排気ファン（55）を運転すると、処理室（2）と過酸化水素分解器（36）との間で空気が循環する際にその空気中の過酸化水素が過酸化水素分解器（36）で分解される。第１希釈運転は、過酸化水素濃度センサによる検出値（過酸化水素濃度）が所定値（１０ｐｐｍ）以下になるまで行われる。
【０１１７】
なお、第１希釈運転時に処理室（2）の圧力が低下した場合には、滅菌ガス発生機（58）を停止した状態で第５滅菌ガス切換バルブ（45e）を開いて過酸化水素発生流路（33）から外気を導入して、処理室（2）内を所定圧力（例えば数１０Ｐａ）に維持する操作を行う。
【０１１８】
（第２希釈運転）
第２希釈運転は、外気処理空調機（13）から入口側のＨＥＰＡフィルタ（14）を介して空気を処理室（2）に供給しながら過酸化水素の濃度が所定値（１０ｐｐｍ）よりもさらに低い値（１ｐｐｍ）以下になるまで排気を行う換気工程である（図１１）。
【０１１９】
このとき、滅菌ガス発生機（58）及び循環ファン（18）は停止させたままにしておく。空調系統側回路（10）の各バルブは、第１空調ガス切換バルブ（56a）のみを開いた状態にする。一方、滅菌系統側回路（30）の各バルブは、第１滅菌ガス切換バルブ（45a）及び第２滅菌ガス切換バルブ（45b）を開いた状態にする。また、排気ファン（55）を運転させる。
【０１２０】
この状態で、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、及び排気ファン（55）を運転すると、外気処理空調機（13）と顕熱空調機（17）で温度と湿度が調節され、入口側のＨＥＰＡフィルタ（14）で浄化された無菌空気が処理室（2）に供給され、処理室（2）内で滅菌ガスと均一に混合する。希釈された滅菌ガスは、出口側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って処理室（2）から流出する。この滅菌ガスは、排気通路（28）から滅菌系統側回路（30）の主流路（34）を経て過酸化水素分解流路（35）に流入する。過酸化水素分解流路（35）に流入した滅菌ガスは、その滅菌ガス中の過酸化水素が過酸化水素分解器（36）で分解され、排気側通路（54）の出口から室外へ排出される。
【０１２１】
この第２希釈運転では、第１希釈運転とは異なり、過酸化水素分解器（36）を通過した空気を処理室（2）へ戻さないので、第１希釈運転に比べて短時間で処理室（2）内の過酸化水素の濃度を下げることが可能である。また、処理室（2）への空気の供給が、空調装置を構成する外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）を用いて行われている。これらの空調装置（13,17）は、滅菌側空調機（53）よりも大風量の空気を供給可能な装置として構成されているので、単位時間当たりの処理室（2）の空気の入れ換え量が第１希釈運転よりも多くなる。この点においても、第１希釈運転に比べて短時間で処理室（2）内の過酸化水素の濃度を下げることが可能である。
【０１２２】
第２希釈運転では、処理室（2）の過酸化水素濃度が約１ｐｐｍ以下になるまで行われる。その際、室内圧力を建屋漏気上の対策により、定常値よりも低い圧力（例えば約１５Ｐａ）に保持するために、第１滅菌ガス切換バルブ（45a）及び第２滅菌ガス切換バルブ（45b）のそれぞれの開度を調節する。
【０１２３】
また、第１希釈運転から第２希釈運転への移行時には、室圧の急激な変化を避けるため、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）及び排気ファン（55）をスロースタートし、安定した移行を行うとよい。
【０１２４】
＜定常運転＞
定常運転は、外気処理空調機（13）により処理した外気を取り入れながら処理室（2）内の換気及び室圧保持のためにその処理室（2）内の空気を室外へ排出する工程である。この定常運転の空気の流れを図１２に示す。第２希釈運転と空気の流れはほぼ同じであるが、処理室（2）内の空気を排気側通路（54）ではなく排気通路（28）から排出する点で異なっている。
【０１２５】
このとき、空調系統側回路（10）の各バルブ（56a，56b，56c）は開いた状態にする。一方、滅菌系統側回路（30）の各バルブ（45a，45b，45c，45d，45e，45f）は閉じた状態にする。また、排気ファン（55）を停止させ、循環ファン（18）を運転させる。
【０１２６】
この状態で、外気処理空調機（13）、顕熱空調機（17）、及び循環ファン（18）を運転すると、外気処理空調機（13）と顕熱空調機（17）で温度と湿度が調節され、入口側のＨＥＰＡフィルタ（14）で浄化された無菌空気が処理室（2）に供給される。処理室（2）の無菌空気は、出口側のＨＥＰＡフィルタ（14）を通って処理室（2）から流出する。この無菌空気は、大部分が第３空調ガス切換バルブ（56c）を通って排気通路（28）の出口から排出され、一部が戻り通路（15）から給気通路（11）へ戻され、さらに顕熱空調機（17）へと流れていく。定常運転では、処理室（2）の温度と湿度が設定値に維持されるとともに、無菌状態が維持される。
【０１２７】
−実施形態の効果−
本実施形態では、空調装置を構成する外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）を滅菌ガス発生機（58）や過酸化水素分解器（36）と共に連動させることによって、滅菌運転において高い滅菌効果が期待できるように処理室（2）内を除湿する準備運転と、低湿度で滅菌処理が行われる滅菌運転と、処理室（2）内の過酸化水素の濃度を低下させる希釈運転とが一連の動作として実行される。即ち、この実施形態では、空調装置を含めた滅菌システム（1）を構成することで、過酸化水素を用いた滅菌処理の効果を高めるようにしている。従って、過酸化水素を用いて処理室（2）の滅菌を行う滅菌システム（1）において、滅菌性能を向上させることができる。
【０１２８】
また、本実施形態では、希釈運転において、第１希釈運転によって処理室（2）内の過酸化水素の濃度が所定値以下となると、第１希釈運転よりも短時間で処理室（2）内の過酸化水素の濃度を下げることが可能な第２希釈運転に切り換えられる。従って、第２希釈運転への切り換えが可能な所定値を予め設定しておくことにより、希釈運転を効率よく行うことができる。
【０１２９】
また、本実施形態では、第２希釈運転において処理室（2）へ供給される空気中の菌類が捕捉されるようにフィルタ機構（14）が設けられている。従って、第２希釈運転の際に外部から処理室（2）へ侵入する菌類の量を削減できる。
【０１３０】
また、本実施形態では、第２希釈運転の際に、第１希釈運転で運転させる滅菌側空調機（53）よりも大風量の空気を供給可能な外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）を用いて処理室（2）への空気の供給を行う。これにより、短時間で処理室（2）内の過酸化水素の濃度を下げることができるので、第２希釈運転を短時間で終了させることができる。
【０１３１】
また、本実施形態では、準備運転において処理室（2）内の相対湿度が２０％以上で３０％以下の範囲の所定値になるように調節される。従って、滅菌運転において高い滅菌効果が得られるので、滅菌性能を向上させることができる。
【０１３２】
また、本実施形態では、処理室（2）内の過酸化水素の濃度が外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）の影響を受けずに滅菌ガス発生機（58）の運転制御によって調節されるように、滅菌運転中には外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）から処理室（2）への空気の供給を停止させる。従って、滅菌運転中は滅菌ガス発生機（58）の運転制御を行うだけでよいので、処理室（2）内の過酸化水素の濃度の調節を容易に行うことができる。
【０１３３】
また、本実施形態では、滅菌運転において、処理室（2）へ導入される過酸化水素を含んだ空気を温度調節することができるように、滅菌側空調機（53）が設けられている。従って、空調装置（13,17）から処理室（2）への空気の供給を停止させた状態で処理室（2）内の温度調節を行うことができる。
【０１３４】
−実施形態の変形例１−
実施形態の変形例１について説明する。図１３に示すように、この変形例１の滅菌システム（1）は、外気処理空調機（13）を経由して滅菌ガス発生機（58）に外気が取り込まれるように構成されている。
【０１３５】
具体的に、給気通路（11）と滅菌ガス発生機（58）とを接続する外気導入通路（59）が設けられている。外気導入通路（59）は、給気通路（11）の戻し通路（15）との接続部と外気処理空調機（13）との間において給気通路（11）から分岐している。滅菌運転において、第５滅菌ガス切換バルブ（45e）を開いて第１空調ガス切換バルブ（56a）を閉じた状態にすると、外気処理空調機（13）で除湿された空気が滅菌ガス発生機（58）に流入する。
【０１３６】
−実施形態の変形例２−
実施形態の変形例２について説明する。図１４に示すように、この変形例２の滅菌システム（1）では、滅菌系統側回路（30）の主流路（34）が、空調系統側回路（10）の給気通路（11）及び排気通路（28）ではなく直接処理室（2）に接続されている。
【０１３７】
−実施形態の変形例３−
実施形態の変形例３について説明する。この変形例３では、滅菌システム（1）が複数の処理室に対して構成されている。この場合、上記参考技術と同様に、給気通路（11）や排気通路（28）から分岐して各処理室（2）に接続される経路には、それぞれダンパ（23，24，25）、定風量装置（22）を設ける。これにより、各処理室（2）の滅菌処理を個別に実行することが可能になる。滅菌処理が行われていない処理室（2）へは、定常運転によって外気処理空調機（13）及び顕熱空調機（17）で空調された空気が流入するようにダンパ（23，24，25）、定風量装置（22）を調節する。
【０１３８】
−実施形態の変形例４−
実施形態の変形例４について説明する。図１５に示すように、この変形例４では、空調系統側回路（10）が設けられておらず、処理室（2）の滅菌処理を滅菌系統側回路（30）のみで実行するように構成されている。
【０１３９】
この滅菌システム（1）では、準備運転において、滅菌ガス発生機（58）が過酸化水素発生器（31）を停止させて除湿器（57）のみを運転させるように制御される。これにより、室外から取り込まれて滅菌ガス発生機（58）で除湿された空気が、滅菌側空調機（53）で温度調節されて処理室（2）へ流入し、処理室（2）が目標湿度に調節される。
【０１４０】
《その他の実施形態》
上記実施形態については、以下のような構成としてもよい。
【０１４１】
例えば、上記実施形態では、滅菌運転を滅菌ガス中の過酸化水素濃度が約５００ｐｐｍになる高濃度の運転にしているが、滅菌をする度に必ずしも高濃度の滅菌運転をしなくてもよく、製造室を使用しない夜間などに短時間で処理するときには、準備運転、５〜１０ｐｐｍ程度の低濃度の滅菌運転、及び処理室（2）の換気を行う第２希釈運転を行うようにして、第１希釈運転を省略するようにしてもよい。
【０１４２】
また、上記実施形態では、すべての医薬品製造室（2a，2b，2c）を同時に滅菌する運転について説明したが、各製造室（2a，2b，2c）を個別に滅菌する運転を行ってもよく、その場合、滅菌を行う製造室（2a，2b，2c）に応じてバルブの開閉をするとよい。また、医薬品製造室（2a，2b，2c）は３室に限らず、３室以外の複数室であってもよいし、１室であってもよい。
【０１４３】
なお、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【産業上の利用可能性】
【０１４４】
以上説明したように、本発明は、処理室を過酸化水素で滅菌処理する滅菌システムについて有用である。
【符号の説明】
【０１４５】
1   滅菌システム
2   処理室
10  空調系統側回路
11  給気通路
12  還気通路
13  外気処理空調機（空調装置）
14  ＨＥＰＡフィルタ（フィルタ機構）
15  戻し通路
16  空調側循環通路
17  顕熱空調機（空調装置）
25  圧力調整機構
30  滅菌系統側回路
31  過酸化水素発生器
32  滅菌側循環通路
36  過酸化水素分解器
38  還気側連通路
39  給気側連通路
50  コントローラ（制御手段）
53  滅菌側空調機
57  除湿器