(57)【要約】【課題】Ｘ線センサのＸ線入射面に付着している又は付着し得る、水滴や塵等の環境を、生産ラインを長時間停止させることなく除去することが可能な、Ｘ線検査装置を得る。【解決手段】Ｘ線検査装置１は、検査対象である物品５０にＸ線を照射し、物品を透過したＸ線を検出することにより、物品５０に対する検査を実行するＸ線検査装置であって、Ｘ線照射部４と、ラインセンサ６を有するＸ線検出部５と、ラインセンサ６に近接して配置され、ラインセンサ６のＸ線入射面６Ａに付着している又は付着し得る環境を、ラインセンサ６の長手方向に関して同時に除去するスクレパー１０とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象である物品にＸ線を照射し、物品を透過したＸ線を検出することにより、物品に対する検査を実行するＸ線検査装置であって、
Ｘ線照射部と、
長尺のＸ線センサを有するＸ線検出部と、
前記Ｘ線センサに近接して配置され、前記Ｘ線センサのＸ線入射面に付着している又は付着し得る環境を、前記Ｘ線センサの長手方向に関して同時に除去する、環境除去手段と
を備える、Ｘ線検査装置。
【請求項２】
物品が前記Ｘ線センサの上方を通過するように、コンベアベルト上に物品を載置して搬送する搬送コンベアをさらに備え、
前記環境除去手段は、前記コンベアベルトの裏面に付着している環境を、前記Ｘ線センサの直上流で除去する、請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記環境除去手段は、前記Ｘ線センサの直上流で前記コンベアベルトの裏面に当接するスクレパーを有する、請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記環境除去手段は、前記Ｘ線入射面の斜方から前記Ｘ線入射面に向けてエアーを噴出することにより、前記Ｘ線入射面に付着している環境を除去するエアーノズルを有する、請求項１〜３のいずれか一つに記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記コンベアベルト上に物品が載置されていることを検出する検出手段と、
前記エアーノズルからのエアーの噴出動作を制御する制御手段と
をさらに備え、
前記制御手段は、前記検出手段からの物品検出信号に基づき、前記コンベアベルト上に物品が載置されていない期間内に前記エアーノズルからエアーを噴出する、請求項４に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１には、Ｘ線受光センサ用のクリーニング装置が開示されている。長尺のＸ線受光センサの受光部は透光性カバーによって覆われており、チェーン駆動によって回転ブラシをＸ線受光センサに沿って往復移動させることにより、透光性カバー上に付着している塵が除去される。
【０００３】
【特許文献１】特許第３８７１３８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に開示されたクリーニング装置によると、回転ブラシを往復移動させている期間内は、生産ラインを停止させる必要がある。従って、Ｘ線受光センサのクリーニングを実行する度に生産ラインを長時間停止させる必要があるため、生産効率が低下するという問題がある。
【０００５】
本発明はかかる問題を解決するために成されたものであり、異物検出精度の低下やＸ線センサの検出感度の低下を引き起こす環境を、生産ラインを長時間停止させることなく除去することが可能な、Ｘ線検査装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様に係るＸ線検査装置は、検査対象である物品にＸ線を照射し、物品を透過したＸ線を検出することにより、物品に対する検査を実行するＸ線検査装置であって、Ｘ線照射部と、長尺のＸ線センサを有するＸ線検出部と、前記Ｘ線センサに近接して配置され、前記Ｘ線センサのＸ線入射面に付着している又は付着し得る環境を、前記Ｘ線センサの長手方向に関して同時に除去する、環境除去手段とを備えることを特徴とするものである。
【０００７】
第１の態様に係るＸ線検査装置によれば、環境除去手段は、Ｘ線センサのＸ線入射面に付着している又は付着し得る、水滴、氷、塵、ゴミ、又は物品のカス等の様々な環境を、Ｘ線センサの長手方向に関して同時に除去する。従って、チェーン駆動によって回転ブラシをＸ線センサに沿って往復移動させる場合と比較すると、生産ラインを長時間停止させることなく環境を除去することが可能となる。
【０００８】
本発明の第２の態様に係るＸ線検査装置は、第１の態様に係るＸ線検査装置において特に、物品が前記Ｘ線センサの上方を通過するように、コンベアベルト上に物品を載置して搬送する搬送コンベアをさらに備え、前記環境除去手段は、前記コンベアベルトの裏面に付着している環境を、前記Ｘ線センサの直上流で除去することを特徴とするものである。
【０００９】
第２の態様に係るＸ線検査装置によれば、環境除去手段は、コンベアベルトの裏面に付着している環境を、Ｘ線センサの直上流で除去する。従って、コンベアベルトの裏面に付着している環境がＸ線センサのＸ線入射面上に落下してそこに付着する事態を、予め回避することができる。また、環境を除去するために生産ラインを停止させる必要がないため、生産効率の低下を回避することができる。
【００１０】
本発明の第３の態様に係るＸ線検査装置は、第２の態様に係るＸ線検査装置において特に、前記環境除去手段は、前記Ｘ線センサの直上流で前記コンベアベルトの裏面に当接するスクレパーを有することを特徴とするものである。
【００１１】
第３の態様に係るＸ線検査装置によれば、スクレパーがＸ線センサの直上流でコンベアベルトの裏面に当接することにより、コンベアベルトの裏面に付着している環境をスクレパーによって効果的に除去することができる。
【００１２】
本発明の第４の態様に係るＸ線検査装置は、第１〜第３のいずれか一つの態様に係るＸ線検査装置において特に、前記環境除去手段は、前記Ｘ線入射面の斜方から前記Ｘ線入射面に向けてエアーを噴出することにより、前記Ｘ線入射面に付着している環境を除去するエアーノズルを有することを特徴とするものである。
【００１３】
第４の態様に係るＸ線検査装置によれば、エアーノズルからＸ線入射面に向けてエアーを噴出することにより、Ｘ線入射面に付着している環境を除去する。従って、環境を除去するために生産ラインを停止させる必要がないため、生産効率の低下を回避することができる。
【００１４】
本発明の第５の態様に係るＸ線検査装置は、第４の態様に係るＸ線検査装置において特に、前記コンベアベルト上に物品が載置されていることを検出する検出手段と、前記エアーノズルからのエアーの噴出動作を制御する制御手段とをさらに備え、前記制御手段は、前記検出手段からの物品検出信号に基づき、前記コンベアベルト上に物品が載置されていない期間内に前記エアーノズルからエアーを噴出することを特徴とするものである。
【００１５】
第５の態様に係るＸ線検査装置によれば、コンベアベルト上に物品が載置されている期間内は、エアーノズルからエアーが噴出されない。従って、エアーの噴出がＸ線検査に影響を与える場合であっても、その影響を排除することが可能となる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、Ｘ線センサのＸ線入射面に付着している又は付着し得る環境を、生産ラインを長時間停止させることなく除去することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、異なる図面において同一の符号を付した要素は、同一又は相応する要素を示すものとする。
【００１８】
＜第１の実施の形態＞
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るＸ線検査装置１の構成を示す正面図である。シールドボックス２には、検査対象である物品５０を外部からシールドボックス２内に搬入するための物品搬入口３Ａと、検査後の物品５０をシールドボックス２から外部に搬出するための物品搬出口３Ｂとが形成されている。なお、図２では、シールドボックス２の内部の構造を明示するために、シールドボックス２の前面板を取り外した状態の装置構造を示している。
【００１９】
シールドボックス２の内部には、Ｘ線照射部４とＸ線検出部５とが配置されている。Ｘ線検出部５は、ラインセンサ６を有している。ラインセンサ６は、紙面の奥行き方向に沿って延在している。Ｘ線照射部４は、ラインセンサ６に向かって扇形状にＸ線を照射する。つまり、Ｘ線照射部４とラインセンサ６との間の空間が、Ｘ線照射経路Ｋ（図２参照）として規定される。
【００２０】
また、シールドボックス２内には、搬送コンベア７が配置されている。搬送コンベア７は、駆動ローラを含む複数のローラ上に巻装されたコンベアベルト８を有している。搬送コンベア７は、コンベアベルト８の物品搬送面上に載置された物品５０を、当該物品５０がＸ線照射部４とラインセンサ６との間のＸ線照射経路Ｋを通過するように搬送する。図１に示した例では、物品５０は、搬送コンベア７によって矢印Ｄ１で示す方向に搬送される。つまり、紙面の左側が物品搬送方向の上流側であり、右側が下流側である。
【００２１】
また、Ｘ線検査装置１は、タッチパネル機能付きの表示部９を備えている。Ｘ線検査装置１による物品５０の検査結果は、表示部９に表示される。
【００２２】
検査対象物である物品５０は、Ｘ線検査装置１の上流側（図１では左側）から、コンベアベルト８の上流端（図１では左端）に供給される。コンベアベルト８上に載置された物品５０は、シールドボックス２内を上流から下流に向かって搬送され、いずれＸ線照射経路Ｋを通過する。Ｘ線照射部４から照射されて物品５０を透過したＸ線は、Ｘ線検出部５のラインセンサ６によって検出される。物品５０内に異物が混入していると、その異物の混入箇所において、ラインセンサ６が検出するＸ線の強度が極端に低下する。従って、ラインセンサ６によって検出されるＸ線の強度分布に基づいて、物品５０内における異物の有無、大きさ、混入箇所等を判定することができる。
【００２３】
図２及び図３はそれぞれ、ラインセンサ６を、その周囲の構造とともに示す正面図及び上面図である。図２に示すように、ラインセンサ６は、コンベアベルト８の裏面（物品搬送面の反対側の面）の下方に配置されている。また、図３に示すように、ラインセンサ６は、コンベアベルト８の幅方向に沿って延在している。図３に示した例では、ラインセンサ６の両端部は、コンベアベルト８の両端部よりも側方に突き出している。但し、図３とは異なり、ラインセンサ６の両端部はコンベアベルト８の両端部よりも内側に位置していても良い。
【００２４】
また、ラインセンサ６の配置位置に対して物品搬送方向の直近の上流位置（直上流）に、スクレパー１０が配置されている。具体的に、スクレパー１０は、Ｘ線照射経路Ｋに重ならない位置、望ましくは、Ｘ線照射経路Ｋから数ｃｍ上流側の位置に配置されている。スクレパー１０の材質は、例えばゴム又は樹脂である。図２に示すように、スクレパー１０の上端は、コンベアベルト８の裏面に当接している。また、図３に示すように、スクレパー１０は、コンベアベルト８の幅方向（ラインセンサ６の長手方向）に沿って延在しており、スクレパー１０の両端部は、コンベアベルト８の両端部よりも側方に突き出している。これにより、コンベアベルト８の裏面の一端部から他端部までの全領域が、スクレパー１０の上端に同時に当接する。
【００２５】
図４は、スクレパー１０を、その周囲の構造とともに示す正面図である。コンベアベルト８の裏面には、水滴１００が付着している。物品５０が、例えば、パッケージングされていない冷凍食品である場合に、冷凍食品の霜がコンベアベルト８上に落下して、このような状況が起こりやすい。また、コンベアベルト８の裏面には、水滴１００以外にも、氷、塵、ゴミ、又は物品５０のカス等が付着する。これらの水滴や塵等を総称して、本明細書においては「環境」と称する。
【００２６】
コンベアベルト８の裏面に付着している水滴１００等の環境は、ラインセンサ６のＸ線入射面６Ａ上に落下する可能性がある。水滴１００等の環境がＸ線入射面６Ａに付着すると、その付着部分が表示部９上で暗い横スジとして表示されたり、その水滴１００等の環境が異物と判定されて誤検出が生じる可能性がある。
【００２７】
ところが、本実施の形態に係るＸ線検査装置１においては、スクレパー１０が、ラインセンサ６の直上流でコンベアベルト８の裏面に当接している。従って、コンベアベルト８の裏面に付着している水滴１００等の環境は、矢印Ｄ２で示すように、ラインセンサ６の上方に到達する前にスクレパー１０によって除去される。しかも、図３に示したように、コンベアベルト８の裏面は、その一端部から他端部までの全領域が、スクレパー１０の上端に同時に当接する。つまり、本実施の形態において、スクレパー１０は、ラインセンサ６のＸ線入射面６Ａに付着し得る水滴１００等の環境を、ラインセンサ６の長手方向に関して同時に除去する環境除去手段として機能する。
【００２８】
このように本実施の形態に係るＸ線検査装置１によれば、環境除去手段は、ラインセンサ６のＸ線入射面６Ａに付着し得る、水滴１００、氷、塵、ゴミ、又は物品のカス等の様々な環境を、ラインセンサ６の長手方向に関して同時に除去する。従って、チェーン駆動によって回転ブラシをＸ線センサに沿って往復移動させる場合と比較すると、水滴１００等の環境を短時間で除去することが可能となる。
【００２９】
また、本実施の形態に係るＸ線検査装置１によれば、環境除去手段は、コンベアベルト８の裏面に付着している水滴１００等の環境を、ラインセンサ６の直上流で除去する。従って、コンベアベルト８の裏面に付着している水滴１００等の環境がラインセンサ６のＸ線入射面６Ａ上に落下してそこに付着する事態を、予め回避することができる。また、水滴１００等の環境を除去するために生産ラインを停止させる必要がないため、生産効率の低下を回避することができる。
【００３０】
また、本実施の形態に係るＸ線検査装置１によれば、スクレパー１０がラインセンサ６の直上流でコンベアベルト８の裏面に当接することにより、コンベアベルト８の裏面に付着している水滴１００等の環境をスクレパー１０によって効果的に除去することができる。しかも、チェーン駆動によって回転ブラシをＸ線センサに沿って往復移動させる場合と比較すると、低コストで環境除去手段を実現することができる。
【００３１】
＜第１の実施の形態の変形例＞
図５及び図６はそれぞれ、第１の実施の形態に係る環境除去手段の変形例を示す上面図及び正面図である。スクレパー１０の代わりに、回転ブラシ１５が設けられている。回転ブラシ１５の上端部は、ラインセンサ６の直上流でコンベアベルト８の裏面に当接している。回転ブラシ１５は、図示しない回転駆動部によって、矢印Ｄ３で示す方向に回転駆動される。また、回転ブラシ１５とラインセンサ６との間には、回転ブラシ１５によって除去された水滴１００等の環境がラインセンサ６に向かって飛散することを防止するために、カバー１６が取り付けられている。
【００３２】
スクレパー１０と同様に、回転ブラシ１５によっても、ラインセンサ６のＸ線入射面６Ａに付着し得る水滴１００等の環境を、ラインセンサ６の長手方向に関して同時に除去することができる。
【００３３】
＜第２の実施の形態＞
図７及び図８はそれぞれ、本発明の第２の実施の形態に係る環境除去手段の構成を示す正面図及び上面図である。図７に示すように、ラインセンサ６とコンベアベルト８との隙間において、ラインセンサ６の斜め上方に、エアーノズル２０が配置されている。エアーノズル２０は、Ｘ線照射経路Ｋに重ならない位置、望ましくは、Ｘ線照射経路Ｋから数ｃｍ下流側又は上流側の位置に配置されている。矢印Ｄ４で示すように、エアーノズル２０からは、ラインセンサ６の上面（Ｘ線入射面６Ａ）に向けてエアーが噴出される。
【００３４】
また、図８に示すように、複数のエアーノズル２０が、コンベアベルト８の幅方向（ラインセンサ６の長手方向）に沿って並設されている。両端のエアーノズル２０は、ラインセンサ６の両端部に相当する箇所（又はそれよりも外側）に位置している。これにより、Ｘ線入射面６Ａの一端部から他端部までの全領域に関して、複数のエアーノズル２０から噴出されたエアーが同時に吹き付けられる。
【００３５】
なお、エアーノズル２０からＸ線入射面６Ａへのエアーの吹き付けは、連続的に行っても良く、あるいは任意の一定時間間隔で間欠的に行っても良い。間欠的に行う場合において、画像のキャリブレーション処理を実行する場合には、エアーノズル２０からＸ線入射面６Ａへのエアーの吹き付けが終了した直後に、キャリブレーション処理を実行すると良い。
【００３６】
図９は、エアーノズル２０を、その周囲の構造とともに示す正面図である。Ｘ線入射面６Ａ上には、塵１０１等の環境が付着している。塵１０１等の環境がＸ線入射面６Ａ上に付着していると、その付着部分が表示部９上で暗い横スジとして表示されたり、その塵１０１等の環境が異物と判定されて誤検出が生じる可能性がある。
【００３７】
ところが、本実施の形態に係るＸ線検査装置１においては、エアーノズル２０によって、Ｘ線入射面６Ａの斜方からＸ線入射面６Ａに向けてエアーが噴出されている。従って、Ｘ線入射面６Ａ上に付着している塵１０１等の環境は、矢印Ｄ５で示すように、吹き付けられたエアーによってＸ線入射面６Ａ上から除去される。しかも、図８に示したように、複数のエアーノズル２０から噴出されたエアーは、Ｘ線入射面６Ａの一端部から他端部までの全領域に対して同時に吹き付けられる。つまり、本実施の形態において、エアーノズル２０は、ラインセンサ６のＸ線入射面６Ａに付着している塵１０１等の環境を、ラインセンサ６の長手方向に関して同時に除去する環境除去手段として機能する。
【００３８】
このように本実施の形態に係るＸ線検査装置１によれば、環境除去手段は、ラインセンサ６のＸ線入射面６Ａに付着し得る、水滴、氷、塵１０１、ゴミ、又は物品のカス等の様々な環境を、ラインセンサ６の長手方向に関して同時に除去する。従って、チェーン駆動によって回転ブラシをＸ線センサに沿って往復移動させる場合と比較すると、塵１０１等の環境を短時間で除去することが可能となる。
【００３９】
また、本実施の形態に係るＸ線検査装置１によれば、エアーノズル２０からＸ線入射面６Ａに向けてエアーを噴出することによって、Ｘ線入射面６Ａに付着している塵１０１等の環境を除去する。従って、チェーン駆動によって回転ブラシをＸ線センサに沿って往復移動させる場合とは異なり、塵１０１等の環境を除去するために生産ラインを停止させる必要がないため、生産効率の低下を回避することができる。
【００４０】
＜第２の実施の形態の第１の変形例＞
図１０は、第２の実施の形態の第１の変形例に係るＸ線検査装置１の構成を示す正面図である。コンベアベルト８の上流端（図１０では左端）に、フォトセンサ３０が配置されている。フォトセンサ３０によって、コンベアベルト８の上流端を物品５０が通過したことを検知することができる。つまり、フォトセンサ３０は、コンベアベルト８上に物品５０が載置されていることを検出する検出手段として機能する。
【００４１】
図１１は、図７に対応させて、本変形例に係る環境除去手段の構成を示す正面図である。フォトセンサ３０から出力された物品検出信号Ｓ１は、制御部３１に入力される。また、制御部３１には、コンベアベルト８の駆動速度と、コンベアベルト８の上流端から下流端までの距離とが、予め教示されている。従って、制御部３１は、フォトセンサ３０が物品５０を検出してから、その物品５０がコンベアベルト８上から排出されるまでの所要時間を算出することができる。その結果、制御部３１は、フォトセンサ３０がある物品５０を検出してから、その所要時間を経過した後も、フォトセンサ３０が次の物品５０を検出しないことにより、コンベアベルト８上に物品５０が載置されていないことを割り出すことができる。
【００４２】
制御部３１は、制御信号Ｓ２によってエアーノズル２０の駆動を制御することができ、コンベアベルト８上に物品５０が載置されていない期間内に、エアーノズル２０からエアーを噴出させる。また、制御部３１は、フォトセンサ３０が次の物品５０を検出すると、エアーノズル２０からのエアーの噴出を停止させる。
【００４３】
本変形例に係るＸ線検査装置１によれば、コンベアベルト８上に物品５０が載置されている期間内は、エアーノズル２０からエアーが噴出されない。従って、エアーの噴出がＸ線検査に影響を与える場合であっても、その影響を排除することが可能となる。
【００４４】
＜第２の実施の形態の第２の変形例＞
図１２は、図２及び図７に対応させて、第２の実施の形態の第２の変形例に係る環境除去手段の構成を示す正面図である。図１２に示すように、第１の実施の形態に係る環境除去手段（スクレパー１０）と、第２の実施の形態に係る環境除去手段（エアーノズル２０）とを組み合わせて使用しても良い。
【００４５】
＜第２の実施の形態の第３の変形例＞
図１３は、図２及び図７に対応させて、第２の実施の形態の第３の変形例に係る環境除去手段の構成を示す正面図である。図１３に示すように、第１の実施の形態に係る環境除去手段（スクレパー１０）の代わりに、第２の実施の形態に係る環境除去手段（エアーノズル２０）を配置しても良い。エアーノズル２０は、ラインセンサ６の直上流に配置されている。また、矢印Ｄ５で示すように、エアーノズル２０からは、コンベアベルト８の裏面に向けてエアーが噴出される。
【００４６】
図３に示したスクレパー１０と同様に、複数のエアーノズル２０が、コンベアベルト８の幅方向（ラインセンサ６の長手方向）に沿って並設されており、両端のエアーノズル２０は、コンベアベルト８の両端部に相当する箇所（又はそれよりも外側）に位置している。これにより、コンベアベルト８の裏面の一端部から他端部までの全領域に関して、複数のエアーノズル２０から噴出されたエアーが同時に吹き付けられる。つまり、本変形例において、エアーノズル２０は、コンベアベルト８の裏面に付着している塵１０１等の環境を、ラインセンサ６の直上流において、ラインセンサ６の長手方向に関して同時に除去する環境除去手段として機能する。
【００４７】
＜第２の実施の形態の第４の変形例＞
図１４は、図１に対応させて、第２の実施の形態の第４の変形例に係る環境除去手段の構成を示す正面図である。図７と同様のエアーノズル２０が、搬送コンベア７の下面側に配置されている。矢印Ｄ６で示すように、エアーノズル２０からは、コンベアベルト８の物品載置面に向けてエアーが噴出される。
【００４８】
図３に示したスクレパー１０と同様に、複数のエアーノズル２０が、コンベアベルト８の幅方向（ラインセンサ６の長手方向）に沿って並設されており、両端のエアーノズル２０は、コンベアベルト８の両端部に相当する箇所（又はそれよりも外側）に位置している。これにより、コンベアベルト８の物品載置面の一端部から他端部までの全領域に関して、複数のエアーノズル２０から噴出されたエアーが同時に吹き付けられる。つまり、本変形例において、エアーノズル２０は、コンベアベルト８の物品載置面上に付着している塵１０１等の環境を、ラインセンサ６の長手方向に関して同時に除去する環境除去手段として機能する。
【００４９】
コンベアベルト８が物品搬入口３Ａから物品搬出口３Ｂに向かって進行する経路を往路と定義し、物品搬出口３Ｂから物品搬入口３Ａに向かって進行する経路を復路と定義すると、エアーノズル２０は、復路の終端領域（ラインセンサ６の直上流）に配置されている。これにより、エアーノズル２０が復路の始端領域又は中間領域に配置されている場合と比較すると、エアーの吹き付けによって清掃されたコンベアベルト８がラインセンサ６の上方に到達するまでの間に、塵１０１等の環境がコンベアベルト８の物品載置面上に再付着する可能性を低減することができる。
【００５０】
なお、本変形例においては、図１４に示したエアーノズル２０の代わりに、図３に示したスクレパー１０を配置しても良い。この場合、スクレパー１０の上端はコンベアベルト８の物品載置面に当接することとなる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るＸ線検査装置の構成を示す正面図である。
【図２】ラインセンサを、その周囲の構造とともに示す正面図である。
【図３】ラインセンサを、その周囲の構造とともに示す上面図である。
【図４】スクレパーを、その周囲の構造とともに示す正面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る環境除去手段の変形例を示す上面図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る環境除去手段の変形例を示す正面図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る環境除去手段の構成を示す正面図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る環境除去手段の構成を示す上面図である。
【図９】エアーノズルを、その周囲の構造とともに示す正面図である。
【図１０】本発明の第２の実施の形態の第１の変形例に係るＸ線検査装置の構成を示す正面図である。
【図１１】本発明の第２の実施の形態の第１の変形例に係る環境除去手段の構成を示す正面図である。
【図１２】本発明の第２の実施の形態の第２の変形例に係る環境除去手段の構成を示す正面図である。
【図１３】本発明の第２の実施の形態の第３の変形例に係る環境除去手段の構成を示す正面図である。
【図１４】本発明の第２の実施の形態の第４の変形例に係る環境除去手段の構成を示す正面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  Ｘ線検査装置
４  Ｘ線照射部
５  Ｘ線検出部
６  ラインセンサ
６Ａ  Ｘ線入射面
７  搬送コンベア
８  コンベアベルト
１０  スクレパー
２０  エアーノズル
３０  フォトセンサ
３１  制御部
５０  物品
１００  水滴
１０１  塵
Ｋ  Ｘ線照射経路
【図１】
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【図２】
2010032443.tif 000004
【図３】
2010032443.tif 000005
【図４】
2010032443.tif 000006
【図５】
2010032443.tif 000007
【図６】
2010032443.tif 000008
【図７】
2010032443.tif 000009
【図８】
2010032443.tif 000010
【図９】
2010032443.tif 000011
【図１０】
2010032443.tif 000012
【図１１】
2010032443.tif 000013
【図１２】
2010032443.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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