(57)【要約】【課題】感圧部により圧力を感知して弁開度が制御される可変容量圧縮機用制御弁のコンパクト化を実現する。【解決手段】本発明のある態様の制御弁は、ダイヤフラム１９の受圧部７０が開弁方向に膨らむように形成され、吸入圧力Ｐｓに応じて変位する際のストロークを大きくとることができる。すなわち、ダイヤフラム１９の受圧部７０の面積が小さくても比較的大きな変位量を得ることができる。言い換えれば、所定の弁開度を実現するための有効受圧面積を小さく抑えることができ、吸入圧力Ｐｓに応じた荷重に対抗するソレノイド力を小さくすることができる。その結果、ソレノイド３を小さく構成することができる。【選択図】図２
2010007606.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸入圧力またはクランク圧力を感知して、吐出室からクランク室に導入する冷媒流量、およびクランク室から吸入室へ導出する冷媒流量の少なくとも一方を制御し、可変容量圧縮機の吐出容量を変化させる可変容量圧縮機用制御弁において、
内部に冷媒通路が形成されたボディと、
前記吐出室および前記吸入室の少なくとも一方と前記クランク室とを連通させる冷媒通路を形成する弁孔に接離するように配置されて弁部を開閉する弁体と、
前記ボディの一端側に設けられたハウジングと、前記ハウジング内に周縁部が固定されるように配設されることにより、そのハウジング内を被感知圧力としての吸入圧力またはクランク圧力が導入される開放空間と基準圧力室が形成される密閉空間とに仕切るとともに、前記周縁部よりも内側にて前記被感知圧力を受ける受圧部が開弁方向に膨らむように形成され、前記被感知圧力に応じて前記周縁部を支点として前記弁部の開閉方向に変位するダイヤフラムとを含み、前記ダイヤフラムの変位による駆動力を前記弁体へ付与可能な感圧部と、
前記ダイヤフラムの駆動力を受けて前記弁体と一体に動作可能な作動ロッドと、
前記ボディの他端側に設けられ、供給される電流量に応じた閉弁方向のソレノイド力を前記弁体に付与可能なソレノイドと、
を備えることを特徴とする可変容量圧縮機用制御弁。
【請求項２】
前記ハウジングは、前記ダイヤフラムとともに前記密閉空間を形成する第１ハウジングと、前記第１ハウジングとの間に前記ダイヤフラムの周縁部を挟むようにして前記第１ハウジングに固定された第２ハウジングとを含み、
薄膜状の金属部材をその受圧部対応部が軸線方向に膨らむ所定形状となるように成形することにより、前記ダイヤフラムの受圧部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の可変容量圧縮機用制御弁。
【請求項３】
前記ダイヤフラムは、所定形状にプレス成形された前記金属部材の周縁部を前記第１ハウジングと前記第２ハウジングとの間に挟むようにして固定した後、前記開放空間に前記被感知圧力がとりうる圧力よりも高い所定の成形圧力を導入して前記受圧部対応部を成形したものであることを特徴とする請求項２に記載の可変容量圧縮機用制御弁。
【請求項４】
前記感圧部は、真空雰囲気において前記第１ハウジングと前記第２ハウジングとにより前記ダイヤフラムを挟むように組み付け保持して前記密閉空間を真空状態に保ち、その後、大気雰囲気下において前記第１ハウジングと前記第２ハウジングとの接合部に沿った溶接を施すことにより形成されていることを特徴とする請求項２または３に記載の可変容量圧縮機用制御弁。
【請求項５】
前記感圧部が、前記密閉空間に配設されて前記ダイヤフラムの中央部に開弁方向の付勢力を直接的または間接的に付与するスプリングをさらに含むことを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載の可変容量圧縮機用制御弁。
【請求項６】
前記密閉空間に配設され、前記ダイヤフラムの中央部に当接する凸部を有するばね受け部材をさらに備え、
前記スプリングが前記第１ハウジングと前記ばね受け部材との間に介装されていることを特徴とする請求項５に記載の可変容量圧縮機用制御弁。
【請求項７】
前記ばね受け部材が段付板状をなす一方、前記スプリングが皿ばねからなり、
前記皿ばねは、前記第１ハウジングの底部側に凸となるようにしてその底部中央部に当接支持される一方、周端部が前記ばね受け部材の周縁部に当接支持され、前記ソレノイド力による前記作動ロッドの閉弁方向への変位にともなって、これに対抗する開弁方向の反力を発生させることを特徴とする請求項６に記載の可変容量圧縮機用制御弁。
【請求項８】
前記第１ハウジングと前記第２ハウジングとの間に、前記ダイヤフラムの半径方向に沿ってリング状のストッパがさらに配設され、
前記ストッパは、前記ばね受け部材の前記弁部の開閉方向への変位を規制する一方、前記第２ハウジングとの間で前記ダイヤフラムの周縁部近傍を挟持し、その挟持部の半径方向の位置により前記ダイヤフラムの有効受圧面積を規制していることを特徴とする請求項７に記載の可変容量圧縮機用制御弁。
【請求項９】
前記ダイヤフラムの中央部に前記ばね受け部材の凸部と相補形状の凹部が成形され、前記凸部が前記凹部に嵌合することにより、前記ばね受け部材の軸線と前記作動ロッドの軸線とが一致するように保持され、
前記第１ハウジングの底部中央に嵌合部が設けられる一方、前記皿ばねの中央に被嵌合部が設けられ、前記嵌合部が前記被嵌合部に嵌合することにより、前記皿ばねの軸線と前記ばね受け部材の軸線とが一致するように保持されていることを特徴とする請求項７または８に記載の可変容量圧縮機用制御弁。
【請求項１０】
前記ダイヤフラムは、その周縁部における半径方向外側の第１挟持部と、その第１挟持部よりも半径方向内側の第２挟持部において挟持されるように固定され、
前記第１ハウジングと前記第２ハウジングとの接合部において前記ダイヤフラムの第１挟持部側から外周溶接を施すことにより、前記第１ハウジング、前記第２ハウジングおよび前記ダイヤフラムが一体に固定されていることを特徴とする請求項２〜９のいずれかに記載の可変容量圧縮機用制御弁。
【請求項１１】
前記ダイヤフラムが挟持される前記第１挟持部と前記第２挟持部との間に空隙が形成され、その空隙により前記ダイヤフラムの変形が許容されていることを特徴とする請求項１０に記載の可変容量圧縮機用制御弁。
【請求項１２】
前記ダイヤフラムの周縁部が屈曲または湾曲されて、その屈曲部または湾曲部を境にその先端部側に前記第１挟持部が位置し、その内側に前記第２挟持部が位置するように構成されていることを特徴とする請求項１１に記載の可変容量圧縮機用制御弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動車用空調装置に用いられる可変容量圧縮機の吐出容量を制御するのに好適な制御弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車用空調装置は、一般に、その冷凍サイクルを流れる冷媒を圧縮して高温・高圧のガス冷媒にして吐出する圧縮機、そのガス冷媒を凝縮する凝縮器、凝縮された液冷媒を断熱膨張させることで低温・低圧の冷媒にする膨張装置、その冷媒を蒸発させることにより車室内空気との熱交換を行う蒸発器等を備えている。蒸発器で蒸発された冷媒は、再び圧縮機へと戻され、冷凍サイクルを循環する。
【０００３】
この圧縮機としては、エンジンの回転数によらず一定の冷房能力が維持されるように、冷媒の吐出容量を可変できる可変容量圧縮機（単に「圧縮機」ともいう）が用いられている。この圧縮機は、エンジンによって回転駆動される回転軸に取り付けられた揺動板に圧縮用のピストンが連結され、揺動板の角度を変化させてピストンのストロークを変えることにより冷媒の吐出量を調整する。揺動板の角度は、密閉されたクランク室内に吐出冷媒の一部を導入し、ピストンの両面にかかる圧力の釣り合いを変化させることで連続的に変えられる。このクランク室内の圧力（以下「クランク圧力」という）Ｐｃは、圧縮機の吐出室とクランク室との間、またはクランク室と吸入室との間に設けられた可変容量圧縮機用制御弁（単に「制御弁」ともいう）により制御される。
【０００４】
このような制御弁として、例えば吸入圧力Ｐｓに応じてクランク室への冷媒の導入量を調整することにより、クランク圧力Ｐｃを制御するものがある（例えば特許文献１参照）。この制御弁は、吸入圧力Ｐｓを感知して変位するダイヤフラムを有する感圧部と、感圧部の駆動力を受けて吐出室からクランク室へ通じる通路を開閉制御する弁部と、感圧部の設定値を外部電流によって可変できるソレノイドとを備える。このような制御弁は、吸入圧力Ｐｓが外部電流により設定された設定圧力に保持されるように弁部を開閉する。
【０００５】
一般に、吸入圧力Ｐｓは蒸発器出口の冷媒温度に比例するため、その設定圧力を所定値以上に保持することにより、蒸発器の凍結等を防止できる。また、ソレノイドが非通電のときには弁部が全開状態となり、クランク圧力Ｐｃが高くなって揺動板が回転軸に対してほぼ直角になり、可変容量圧縮機を最小容量で運転させることができる。これにより、エンジンと回転軸とが直結されていても吐出容量を一時的にほぼゼロとし、圧縮機によるエンジンへの負荷トルクを低減することができる。
【特許文献１】特開２００５−２１４０５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、地球温暖化の問題もあり、近年では冷凍サイクルに用いる冷媒としてその代替フロンから二酸化炭素への移行が提案されている。このような冷凍サイクルは、外部熱交換器として凝縮器に代わってガスクーラが用いられる。冷媒が二酸化炭素に変わることで圧縮機の吸入圧力Ｐｓが格段に高くなるため、制御弁の感圧部にも高い耐圧強度が要求される。一方、感圧部が感知する圧力による荷重が大きくなると、これに対応させるソレノイド力も大きくする必要があり、ソレノイドひいては制御弁の大型化を招いてしまう可能性がある。
【０００７】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、感圧部により圧力を感知して弁開度が制御される可変容量圧縮機用制御弁のコンパクト化を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明のある態様の可変容量圧縮機用制御弁は、吸入圧力またはクランク圧力を感知して、吐出室からクランク室に導入する冷媒流量、およびクランク室から吸入室へ導出する冷媒流量の少なくとも一方を制御し、可変容量圧縮機の吐出容量を変化させる可変容量圧縮機用制御弁において、内部に冷媒通路が形成されたボディと、吐出室および吸入室の少なくとも一方とクランク室とを連通させる冷媒通路を形成する弁孔に接離するように配置されて弁部を開閉する弁体と、ボディの一端側に設けられたハウジングと、ハウジング内に周縁部が固定されるように配設されることにより、そのハウジング内を被感知圧力としての吸入圧力またはクランク圧力が導入される開放空間と基準圧力室が形成される密閉空間とに仕切るとともに、周縁部よりも内側にて被感知圧力を受ける受圧部が開弁方向に膨らむように形成され、被感知圧力に応じて周縁部を支点として弁部の開閉方向に変位するダイヤフラムとを含み、ダイヤフラムの変位による駆動力を弁体へ付与可能な感圧部と、ダイヤフラムの駆動力を受けて弁体と一体に動作可能な作動ロッドと、ボディの他端側に設けられ、供給される電流量に応じた閉弁方向のソレノイド力を弁体に付与可能なソレノイドと、を備える。
【０００９】
この制御弁は、吐出室からクランク室に導入する冷媒流量を制御するいわゆる「入れ制御」に用いられてもよいし、クランク室から吸入室へ導出する冷媒流量を制御するいわゆる「抜き制御」に用いられてもよい。あるいは、双方の冷媒流量を制御するいわゆる三方弁として機能してもよい。この制御弁は、感圧部が被感知圧力として吸入圧力またはクランク圧力を感知し、その被感知圧力がソレノイドへの供給電流値に応じた設定圧力となるよう弁体が自律的に動作するものでもよい。ダイヤフラムは、その耐圧強度を確保するために、少なくとも受圧部の剛性が高められたものであるのが好ましい。
【００１０】
この態様によれば、ダイヤフラムの受圧部が開弁方向に膨らむように形成され、被感知圧力に応じて変位する際のストロークを大きくとることができる。すなわち、ダイヤフラムの受圧部の面積が小さくても比較的大きな変位量を得ることができる。言い換えれば、所定の弁開度を実現するための有効受圧面積を小さく抑えることができ、被感知圧力に応じた荷重に対応するソレノイド力を小さくすることができる。その結果、ソレノイドを小さく構成することができ、制御弁のコンパクト化を実現できる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、感圧部により圧力を感知して弁開度が制御される可変容量圧縮機用制御弁のコンパクト化を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明においては、便宜上、図示の状態を基準に各構造の位置関係を上下と表現することがある。
【００１３】
［第１の実施の形態］
図１は、第１の実施の形態に係る可変容量圧縮機用制御弁の構成を示す断面図である。  可変容量圧縮機用制御弁（単に「制御弁」という）１は、可変容量圧縮機（単「圧縮機」という）の吸入圧力Ｐｓを設定圧力に保つように、吐出室からクランク室に導入する冷媒流量を制御するいわゆるＰｓ感知弁として構成されている。この圧縮機は二酸化炭素を冷媒とするいわゆる超臨界冷凍サイクルに適用される。
【００１４】
この冷凍サイクルは、圧縮機、ガスクーラ、膨脹装置、蒸発器及び受液器を含んで構成される。この冷凍サイクルでは、圧縮機で気相状態にある二酸化炭素の冷媒を圧縮し、圧縮された高温高圧の気相状態の冷媒をガスクーラにて冷却する。次に、膨脹装置により減圧した後、気液２相状態となった冷媒を蒸発器で蒸発させ、ここで蒸発潜熱を車室内の空気から奪って車室内の空気を冷却し、受液器で冷媒を気液分離し、分離された気相状態の二酸化炭素を再び圧縮機に戻すようにして冷媒を循環させる。なお、このような冷凍サイクルそのものは公知であるため、その詳細な説明については省略する。
【００１５】
制御弁１は、吐出冷媒の一部をクランク室へ導入するための冷媒通路を開閉する弁部を含む弁本体２と、その弁部の開度を調整してクランク室へ導入する冷媒流量を制御するソレノイド３とを一体に組み付けて構成される。弁本体２は、段付円筒状のボディ５、ボディ５の内部に設けられた弁部、ボディ５の上端に設けられて弁部を開閉するための駆動力を発生するパワーエレメント６（「感圧部」に該当する）等を備えている。
【００１６】
ボディ５の側部には、圧縮機の吐出室に連通して吐出圧力Ｐｄを受けるポート１１（「吐出室連通ポート」に該当する）が設けられている。ポート１１の周囲には、ボディ５の内部へのごみ等の侵入を抑制するためのストレーナ１２が取り付けられている。ポート１１は、ボディ５の上部に設けられたポート１３（「クランク室連通ポート」に該当する）と内部で連通している。ポート１３は、圧縮機のクランク室に連通し、そのクランク室に制御されたクランク圧力Ｐｃを導出する。
【００１７】
ポート１１とポート１３とを連通する冷媒通路には弁孔１５が形成され、その弁孔１５の吐出室側の開口端縁により弁座１６が形成されている。ボディ５の中央をその軸線方向に延びるように、長尺状の作動ロッド１７が挿通されている。作動ロッド１７は、ボディ５の下部に設けられたガイド孔２３に摺動可能に軸支されている。作動ロッド１７は、例えばステンレス鋼を押出成形したパイプ材を加工して有底円筒状に構成され、その底部を上にして配設されている。作動ロッド１７は、その上端側が弁孔１５を貫通してボディ５内に設けられた摺動孔１４に摺動可能に支持されている。
【００１８】
作動ロッド１７の上端近傍の側部には、部分的にくびれるように小径化された段差部１８が設けられ、その段差部１８の基端部が弁体２０を構成している。作動ロッド１７の段差部１８と弁孔１５との間隙により、ポート１１とポート１３とを連通する冷媒通路が形成される。作動ロッド１７の上底部は、パワーエレメント６を構成するダイヤフラム１９に当接している。弁体２０は、弁座１６に吐出室側から対向し、その先端面の外周縁が弁座１６に着脱することにより弁孔１５を開閉する。
【００１９】
ボディ５の下部は、ソレノイド３の上端部に圧入されている。ボディ５の下端部とソレノイド３との間には、圧縮機の吸入室に連通して吸入圧力Ｐｓを受けるポート２６（「吸入室連通ポート」に該当する）が形成されている。ポート２６は、作動ロッド１７の下部に設けられた開口部に連通している。ボディ５とソレノイド３とに囲まれた内部空間は、吸入圧力Ｐｓが導入される圧力室２８を形成する。この圧力室２８は、作動ロッド１７に設けられた内部通路を介してパワーエレメント６の圧力室２９に連通しており、吸入圧力Ｐｓがその圧力室２９に導入されるように構成されている。なお、吸入圧力Ｐｓはソレノイド３の内部にも導入可能となっている。さらに、作動ロッド１７の下端部とボディ５の底部との間には、作動ロッド１７を開弁方向に付勢するスプリング３０が介装されている。
【００２０】
一方、ソレノイド３は、ヨークとしても機能するケース３１と、ケース３１に固定されたコア３２と、ケース３１内においてコア３２と軸線方向に対向配置されたプランジャ３３と、外部からの供給電流により磁気回路を生成する電磁コイル３４とを備えている。コア３２は、その上部が拡径されてケース３１の上方に延出し、その上端開口部にボディ５の下端部が圧入されている。その結果、弁本体２とソレノイド３とが一体に組み付けられている。コア３２の上端側部には、ポート２６を形成する連通孔が設けられている。ケース３１は、円筒状をなし、その上端開口部が内方に加締められることによりコア３２に固定されている。
【００２１】
コア３２には、その中央を軸線方向に貫通する挿通孔３５が設けられており、ソレノイド力を弁体２０へ伝達するためのシャフト３６を挿通している。シャフト３６は、コア３２を貫通して作動ロッド１７の内部にまで延設されている。シャフト３６の先端部は作動ロッド１７の下部の開口部近傍で係止され、作動ロッド１７を下方から支持している。圧力室２８内の吸入圧力Ｐｓは、シャフト３６と挿通孔３５との間隙を介してソレノイド３の内部にも導入可能となっている。
【００２２】
コア３２には、また、下端が閉じた有底スリーブ３９が外挿されている。有底スリーブ３９内においては、プランジャ３３がコア３２の下方で軸線方向に進退可能に配置されている。プランジャ３３は円筒状をなし、その下半部がシャフト３６の下部に圧入されている。有底スリーブ３９にはボビン３７が外挿されており、そのボビン３７に電磁コイル３４が巻回されている。
【００２３】
ケース３１の下端開口部には、ソレノイド３の内部を下方から封止するように樹脂材からなる取っ手４０が設けられている。この取っ手４０には、ケース３１とともに磁気回路を構成する磁性部材からなるカラー４２が埋設されている。取っ手４０はまた、電磁コイル３４につながる端子４３の一端を露出させるコネクタ部としても機能する。取っ手４０の外周部には所定深さの嵌合溝４５が周設されており、Ｏリング４６が嵌着されている。
【００２４】
以上のように構成された制御弁１は、取り付け用のワッシャ等を介して圧縮機の所定の冷媒通路内に固定される。その際、制御弁１は弁本体２側から冷媒通路に挿入され、Ｏリング４６がその冷媒通路の壁面に密着して気密性を保持する。
【００２５】
図２は、図１の上半部に対応する部分拡大断面図である。図３は、感圧部を構成するダイヤフラムの成形方法の概要を表す説明図である。  
図２に示すように、パワーエレメント６は、ボディ５の上端開口部を封止するように加締め接合された中空のハウジング５０と、ハウジング５０内を密閉空間Ｓ１と開放空間Ｓ２とに仕切るように配設された金属製のダイヤフラム１９とを含んで構成されている。ダイヤフラム１９は、厚みの薄いステンレス鋼板を成形してその中央部が作動ロッド１７側にやや膨らむように形成されている。なお、ダイヤフラム１９の材質は、例えばベリリウム銅等のその他の金属であってもよい。
【００２６】
ハウジング５０は、いずれもステンレス鋼板をプレス成形して得られた第１ハウジング５３および第２ハウジング５４からなり、これらの開口部を突き合わせるようにして組み付けられる。その際、両ハウジング間にダイヤフラム１９と耐摩耗シート５２を重ねるようにして介装させて固定する。この耐摩耗シート５２は、テフロン（登録商標）などのフッ素樹脂からなる薄膜シートあるいはポリイミドフィルム等からなり、ダイヤフラム１９の摩耗を抑制してその寿命を長くする。耐摩耗シート５２の中央には円孔が設けられており、ばね受け部材５５の先端部が貫通されている。
【００２７】
すなわち、第１ハウジング５３と第２ハウジング５４との間にダイヤフラム１９および耐摩耗シート５２を挟んだ状態でその接合部に沿って外周溶接（ＴＩＧ溶接）が施されている。具体的には、真空雰囲気において第１ハウジング５３と第２ハウジング５４とによりダイヤフラム１９および耐摩耗シート５２を挟むように組み付け保持して密閉空間Ｓ１を真空状態に保ち、その後、大気雰囲気下において外周溶接が施される。このため、密閉空間Ｓ１は真空状態となっているが、密閉空間Ｓ１内に大気等を満たすようにしてもよい。なお、両ハウジングの溶接をレーザビーム溶接や電子ビーム溶接により行うこともできるが、本実施の形態のＴＩＧ溶接やプラズマ溶接等のアーク溶接にて行うほうが低コストに実施できる点で好ましい。
【００２８】
密閉空間Ｓ１には、ダイヤフラム１９に当接するばね受け部材５５および第１ハウジング５３に当接するばね受け部材５６が配設され、両ばね受け部材の間にコイルスプリング５１が介装されている。ばね受け部材５５は、円板状の本体の下面中央部にダイヤフラム１９側に突出する段付凸部５７が設けられ、その段付凸部５７においてダイヤフラム１９に当接している。ダイヤフラム１９の中央部にはその段付凸部５７と相補形状の凹部が形成され、その段付凸部５７に嵌合している。ばね受け部材５５の本体の外径は第１ハウジング５３の対向部の内径よりやや小さくなっているが、第１ハウジング５３が上方に向かって縮径されており、その縮径部の基端部により形成されるストッパ部５８により第１ハウジング５３の上方への移動が規制されるようになっている。一方、ばね受け部材５６は、上面に凹部５９を有する皿状の本体を有する。第１ハウジング５３の底部中央には下方に突出する凸部６０が設けられ、ばね受け部材５６が上方から支持されている。
【００２９】
第１ハウジング５３は、ばね受け部材５５の側部対向部よりも下方において段階的に拡径されており、その先端部が半径方向外向きに延出している。一方、第２ハウジング５４は、中央に大きな開口部を有する円板状をなし、その内周縁に上方にやや突出した支持部６２が形成されている。支持部６２は円ボス状に周設されており、その上端面がフラットに形成されている。第２ハウジング５４は、その周縁部および支持部６２において第１ハウジング５３との間にダイヤフラム１９を圧接するように支持している。すなわち、ダイヤフラム１９は、その周縁部における半径方向外側の第１挟持部６４と、その第１挟持部６４よりも半径方向内側の第２挟持部６６において挟持されるように固定されている。
【００３０】
ダイヤフラム１９は、第１ハウジング５３と第２ハウジング５４との外側の接合部においてその第１挟持部６４の端部を露出させた状態で外周溶接が施されることにより、ハウジング５０に一体に固定される。図示のように、第１ハウジング５３と第２ハウジング５４との接合部における第１挟持部６４と第２挟持部６６との間には空隙６８が形成されている。このため、外周溶接が実施される際にダイヤフラム１９の周縁部が膨張して内方に変位したとしても、空隙６８がその周縁部の変形を吸収する。このため、第２挟持部６６よりも内方にあるダイヤフラム１９の受圧部７０の変形が防止される。本実施の形態のようにＴＩＧ溶接を採用する場合には、レーザビーム溶接等に比べて接合部への入熱量が大きくなるが、このような空隙６８を設けることにより、ダイヤフラム１９の受圧部７０の熱変形を防止または抑制することができる。このため、比較的安価な溶接装置を用いてもダイヤフラム１９の品質を高く保持することができる。
【００３１】
パワーエレメント６は、ボディ５の上端開口部に設置された状態でその上端開口部の先端が内方に加締められることによりボディ５に固定される。第２ハウジング５４の中央部には開口部が設けられているため、作動ロッド１７の上端部がその開口部を介してダイヤフラム１９に下方から当接する。ボディ５の上端開口部、第２ハウジング５４、ダイヤフラム１９、および作動ロッド１７に囲まれた空間が圧力室２９を形成している。
【００３２】
なお、本実施の形態のダイヤフラム１９は、その受圧部７０が皿ばねのような反転特性を内在する程度に高剛性に形成されている。すなわち、ダイヤフラム１９の成形の際には、円板状のステンレス鋼板を用意し、プレス成形により図３（Ａ）に示すような仮形状に加工する。この仮形状の状態のダイヤフラムを上述した溶接によりハウジング５０に組み付け、パワーエレメント６としてボディ５に組み付け、その状態でポート２６から開放空間Ｓ２に向けて成形用の高圧ガスを導入する。この高圧ガスによる成形圧力は、吸入圧力Ｐｓがとりうる圧力よりも高く設定されており、ハウジング５０により挟持された状態の仮形状のダイヤフラムの受圧部対応部６９をやや塑性変形させる。このようにして、図３（Ｂ）に示すような波打ち形状の受圧部７０が形成される。受圧部７０の中央部は下方（つまり作動ロッド１７側）に膨らむ凸形状をなし、吸入圧力Ｐｓが高くなって所定圧を超えると、その凸形状が反転動作を開始するようになる。
【００３３】
図２に戻り、作動ロッド１７は、下方に開口する有底段付円筒状をなし、曲面状の上端面中央がダイヤフラム１９の下面中央に当接している。作動ロッド１７の下部の内径がやや拡径されており、シャフト３６の上端部が挿通されている。シャフト３６は、その上端が作動ロッド１７の拡径部の基端部に係止されており、作動ロッド１７を下方から軸支している。作動ロッド１７の拡径部近傍の側部には、その内部通路７１と圧力室２８とを連通する連通孔７２が形成され、作動ロッド１７の上端近傍の側部には、内部通路７１と圧力室２９とを連通する連通孔７４が形成されている。このような構成により、ポート２６を介して導入された吸入圧力Ｐｓは、作動ロッド１７の連通孔７２から内部通路７１に導入され、連通孔７４を介して圧力室２９に導かれる。ダイヤフラム１９は、この吸入圧力Ｐｓを感知して弁部の開閉方向に伸縮動作する。
【００３４】
本実施の形態においては、摺動孔１４の断面積Ａと弁孔１５の断面積Ｂとが等しく形成され、ガイド孔２３の断面積Ｃはこれらよりやや大きいものの、実質的に等しく形成されている。したがって、作動ロッド１７に作用するクランク圧力Ｐｃ等による力がキャンセルされる。弁体２０は、制御状態においてはダイヤフラム１９が感知する吸入圧力Ｐｓに基づいて開閉動作することになる。
【００３５】
ダイヤフラム１９は、金属薄膜材としてのしなやかさを保持する一方、上述した加工過程で硬化して耐圧強度が高められている。ダイヤフラム１９の受圧部７０は、皿ばねのように片側に凸状に膨らんだ形状を有するため、その凸部側から荷重が負荷されると、その荷重が大きくなるにつれてフラットになる側に徐々に変形する。ダイヤフラム１９は、この変形の範囲内でその変位と圧力との間に線形性を有する。このように受圧部７０を片側に膨らむ形状としたことにより、その有効受圧面積に比してダイヤフラム１９のストローク量を大きく稼ぐことができる。
【００３６】
この受圧部７０を開弁方向に付勢するコイルスプリング５１の荷重は、第１ハウジング５３の上面中央を外部から押圧するなどして凸部６０の高さを変更することにより調整することができる。そのコイルスプリング５１の荷重を調整することにより、ダイヤフラム１９を変位させるのに要する吸入圧力Ｐｓ（セット値）も変化する。そのセット値は、ソレノイド３に供給する電流量を変化させることによって変更することができる。これにより、吸入圧力Ｐｓがソレノイド３に供給する電流量により設定された設定圧力になるように、弁体２０が動作するようになる。
【００３７】
以上のように構成された制御弁１において、ソレノイド３が非通電状態のときには、スプリング３０の付勢力により作動ロッド１７が開弁方向に駆動される。この結果、弁体２０が弁座１６から離間して弁部が全開状態に保持される。その結果、クランク室への吐出冷媒の導入量が増加してクランク圧力Ｐｃが上昇し、圧縮機は最小容量運転へと移行する。この非通電状態において吸入圧力Ｐｓが高くなると、開放空間Ｓ２に導入されたその吸入圧力Ｐｓと、密閉空間Ｓ１内の内部圧力（基準圧力）との差圧が大きくなり、その差圧による荷重がダイヤフラム１９に作用する。このため、ダイヤフラム１９が挟持された周縁部を支点にしてその凸形状が反転する側に弾性変形しようとする。しかし、ばね受け部材５５がストッパ部５８に係止されることによりダイヤフラム１９の変形が規制されるため、ダイヤフラム１９は反転する手前の状態に保持される。一方、コイルスプリング５１がばね受け部材５５を介してダイヤフラム１９を付勢しているため、吸入圧力Ｐｓが低くなれば、ダイヤフラム１９は元の形状に速やかに復帰する。
【００３８】
一方、自動車用空調装置の起動時または冷房負荷が最大のときには、ソレノイド３に供給される電流値は最大になり、プランジャ３３は、コア３２に最大の吸引力で吸引される。このとき、プランジャ３３、シャフト３６、作動ロッド１７、およびダイヤフラム１９が一体になって閉弁方向に動作し、弁体２０が弁座１６に着座する。この閉弁動作によってクランク圧力Ｐｃが低下するため、可変容量圧縮機は最大容量運転を行うことになる。このソレノイド力によってダイヤフラム１９は上方へ付勢されるが、ばね受け部材５５がストッパ部５８に係止されることによりダイヤフラム１９の反転動作は規制される。
【００３９】
ソレノイド３に供給される電流値が所定値に設定された制御状態においては、弁体２０は、吸入圧力Ｐｓを感知して弾性的に変位するダイヤフラム１９による開弁方向の力と、スプリング３０による開弁方向の付勢力と、ソレノイド３による閉弁方向のソレノイド力とがバランスした位置に変位し、弁部が所定開度に制御される。
【００４０】
このバランスが取れた状態で、エンジンの回転数とともに圧縮機の回転数が上がって吐出容量が増えると、吐出圧力Ｐｄが上がって吸入圧力Ｐｓが下がる。その結果、パワーエレメント６による開弁方向の力が大きくなって弁体２０に作用し、弁体２０は、さらにリフトして吐出室からクランク室へ流す冷媒の流量を増やす。これにより、クランク圧力Ｐｃが上昇し、圧縮機は、その吐出容量を減少させる方向に動作し、吸入圧力Ｐｓが設定圧力になるように制御される。エンジンの回転数が低下した場合には、その逆の動作が行われ、吸入圧力Ｐｓが設定圧力になるように制御される。すなわち、制御弁１においてはソレノイド３に供給される電流量により設定圧力が設定される。弁体２０は、吸入圧力Ｐｓがその設定圧力に近づくように自律的に動作する。
【００４１】
以上に説明したように、本実施の形態の制御弁１は、ダイヤフラム１９がその成形過程で硬化して高剛性に形成されているため、高い耐圧強度を確保できる。ダイヤフラム１９は、その受圧部７０が開弁方向に膨らむように形成されて皿ばねに似たばね特性を有し、吸入圧力Ｐｓが高まるとともにその反力を大きくしつつ閉弁方向に変位する。ある変位点にて受圧部７０が反転動作を開始するが、コイルスプリング５１の荷重がこれを緩和し、ストッパ部５８がその反転を防止する。一方、ダイヤフラム１９の受圧部７０が開弁方向に膨らむように形成されているため、その受圧部７０の面積が小さくても比較的大きな変位量を得ることができる。第２ハウジング５４の第２挟持部６６が半径方向の比較的内方に設定されており、受圧部７０の有効受圧面積が小さく抑えられている。結果的に、弁開度特性を規定するソレノイド力を小さくすることができる。つまり、ソレノイド３を小さく構成することができ、制御弁１のコンパクト化を実現できる。一方、ダイヤフラム１９が可撓性を有するため、皿ばねよりもしなやかに変形し、軸線方向へのストロークをなめらかに変化させることができる。
【００４２】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る制御弁は、感圧部およびその周辺の構成が異なる点を除けば第１の実施の形態の制御弁とほぼ同様の構成を有する。このため、第１の実施の形態とほぼ同様の構成部分については同一の符号を付す等して適宜その説明を省略する。図４は、第２の実施の形態に係る制御弁の上半部の部分拡大断面図である。
【００４３】
本実施の形態においては、ダイヤフラム２１９の周縁部が下方に屈曲され、その下方に延びる先端部側により第１挟持部６４が形成されている。パワーエレメント２０６は、有底段付円筒状の第１ハウジング２５３および円筒状の第２ハウジング２５４を含むハウジング２５０を備える。第２ハウジング２５４は、第１ハウジング２５３の拡径部に圧入されている。パワーエレメント２０６を形成する際には、有底円筒状のダイヤフラム２１９を第２ハウジング２５４に被せるようにして組み付け、その状態で第２ハウジング２５４を第１ハウジング２５３の拡径部に圧入していく。第２ハウジング２５４をその拡径部の基端部まで圧入することにより、ダイヤフラム２１９が第２ハウジング２５４の側面に位置する第１挟持部６４と、上面に位置する第２挟持部６６にて挟持される。ＴＩＧ溶接は、第１ハウジング２５３と第２ハウジング２５４との下方に面した接合部に沿って施される。ボディ２０５の上端開口部は拡径されておらず、第２ハウジング２５４が外挿されるように圧入されている。
【００４４】
このように、第１挟持部６４と第２挟持部６６とを直交配置することにより、第１挟持部６４の先端部に施される溶接が第２挟持部６６へ及ぶのが防止されている。第１ハウジング２５３と第２ハウジング２５４との接合部の角隅部には空隙６８が形成されており、溶接によるダイヤフラム２１９の周縁部の変形を吸収できるようになっている。
【００４５】
［第３の実施の形態］
次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る制御弁は、感圧部およびその周辺の構成が異なる点を除けば第２の実施の形態の制御弁とほぼ同様の構成を有する。このため、第２の実施の形態とほぼ同様の構成部分については同一の符号を付す等して適宜その説明を省略する。図５は、第３の実施の形態に係る制御弁の上半部の部分拡大断面図である。
【００４６】
本実施の形態においては、パワーエレメント３０６において、ハウジング３５０を構成する第１ハウジング３５３と第２ハウジング３５４との間に円板状のディスク３６０が挟まれるように介装されている。ディスク３６０は、ダイヤフラム２１９の受圧部７０に対向する部分が作動ロッド３１７側にやや膨らむような形状をなしており、その中央部に挿通孔３６２が設けられ、そのやや半径方向外側の位置には連通孔３６４が設けられている。挿通孔３６２および連通孔３６４は、ダイヤフラム２１９の下面側の空間と圧力室２９とを連通させている。挿通孔３６２は、また、ばね受け部材５５と作動ロッド３１７との接続部を挿通させている。作動ロッド３１７は、その上端面中央部に凸部が形成されており、その凸部においてダイヤフラム２１９の中央部を挟むようにしてばね受け部材５５に接続されている。
【００４７】
第２ハウジング３５４は、第１ハウジング３５３との間に耐摩耗シート５２、ダイヤフラム２１９およびディスク３６０を挟むようにして、第１ハウジング３５３の拡径部に圧入されている。ダイヤフラム２１９は、第２ハウジング３５４の開口部近傍の側面に位置する第１挟持部６４と、ディスク３６０の周縁部上面に位置する第２挟持部６６にて挟持される。すなわち、ディスク３６０は、開放空間Ｓ２側に配置されている。ＴＩＧ溶接は、第１ハウジング３５３と第２ハウジング３５４との下方に面した接合部に沿って施される。第２ハウジング３５４は、その下端開口部が薄肉に形成されており、その薄肉部が内方に加締められることにより、ボディ３０５の上端開口部に固定されている。ポート２６を形成する連通孔は、ソレノイド３０３のコア３３２側ではなく、ボディ３０５の下端部近傍の側部に設けられている。
【００４８】
このように、第２挟持部６６として機能するディスク３６０を第２ハウジング３５４とは別体で設けることにより、空隙６８の大きさや形成箇所の自由度が高められる。また、ダイヤフラム２１９の下方への変位を規制できるため、その疲労破壊を抑制できる。
【００４９】
［第４の実施の形態］
次に、本発明の第４の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る制御弁は、感圧部およびその周辺の構成が異なる点を除けば第３の実施の形態の制御弁とほぼ同様の構成を有する。このため、第３の実施の形態とほぼ同様の構成部分については同一の符号を付す等して適宜その説明を省略する。図６は、第４の実施の形態に係る制御弁の上半部の部分拡大断面図である。
【００５０】
本実施の形態においては、パワーエレメント４０６において、ハウジング４５０を構成する第１ハウジング３５３と第２ハウジング４５４との間に、中央に大きな挿通孔４５８を有する円板状のストッパ４６０が挟まれるように介装されている。第２ハウジング４５４は、第１ハウジング３５３との間にストッパ４６０、耐摩耗シート５２およびダイヤフラム２１９を挟むようにして、第１ハウジング３５３の拡径部に圧入されている。ストッパ４６０は、第２ハウジング４５４との間でダイヤフラム２１９の周縁部近傍を挟持し、その挟持部の半径方向の位置によりダイヤフラム２１９の有効受圧面積を規制している。ダイヤフラム２１９は、第１ハウジング３５３の開口部近傍の側面に位置する第１挟持部６４と、ストッパ４６０の周縁部下面に位置する第２挟持部６６にて挟持される。すなわち、ストッパ４６０は、密閉空間Ｓ１側に配置されている。ＴＩＧ溶接は、第１ハウジング３５３と第２ハウジング４５４との下方に面した接合部に沿って施される。
【００５１】
第２ハウジング４５４は、円筒状をなし、ボディ３０５の上端開口部に外挿されるようにして圧入されている。第２ハウジング４５４の上端開口部には半径方向外向きに延出するフランジ部が設けられ、その先端面が第１挟持部６４を挟持している。また、そのフランジ部の上端角隅部には面取りがなされており、空隙６８が比較的大きく形成されている。このため、溶接が施されてダイヤフラム２１９の端部において比較的大きな歪みが生じても、これを吸収することができる。ばね受け部材４５５は、下方に向かって複数段に縮径する段付円板状をなし、その先端面において作動ロッド３１７に接続されている。ばね受け部材４５５は、その周端縁がストッパ部５８とストッパ４６０との間に位置し、その軸線方向への変位が規制されている。
【００５２】
［第５の実施の形態］
次に、本発明の第５の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る制御弁は、感圧部およびその周辺の構成が異なる点を除けば第３または第４の実施の形態の制御弁とほぼ同様の構成を有する。このため、第３または第４の実施の形態とほぼ同様の構成部分については同一の符号を付す等して適宜その説明を省略する。図７は、第５の実施の形態に係る制御弁の上半部の部分拡大断面図である。
【００５３】
本実施の形態においては、パワーエレメント５０６において、コンパクトな第１ハウジング５５３と第２ハウジング３５４とを組み付けて構成されたハウジング５５０を備える。第１ハウジング５５３と第２ハウジング３５４との間には、ストッパ４６０が挟まれるように介装されている。ＴＩＧ溶接は、第１ハウジング５５３と第２ハウジング３５４との下方に面した接合部に沿って施される。密閉空間Ｓ１には、ばね受け部材５５５とこれを開弁方向に付勢する皿ばね５５１が配設されている。
【００５４】
第１ハウジング５５３は、第３および第４の実施の形態の場合と比較して軸線方向に小さく構成されており、その底部中央には下方に突出する嵌合部５６０が形成されている。一方、皿ばね５５１は、第１ハウジング５５３の底部側に凸となる円板状をなし、その底部中央部に嵌合孔５５２（「被嵌合部」に該当する）が形成されている。皿ばね５５１は、その嵌合孔５５２を嵌合部５６０に嵌合させるようにして第１ハウジング５５３に同軸状に支持されている。なお、本実施の形態では皿ばね５５１の中央部に嵌合孔５５２を形成したが、孔ではなく凹部となるような形状を形成して被嵌合部としてもよい。あるいは、皿ばね５５１側に凸部を設ける一方、第１ハウジング５５３側に凹部を設け、両者を嵌合させるようにしてもよく、その嵌合形態として様々な形態を採用することができる。
【００５５】
ばね受け部材５５５は、下方に向かって複数段に縮径する段付円板状をなし、その上端開口部と皿ばね５５１の周端部とが突き合わされるように接続され、皿ばね５５１の軸線とばね受け部材５５５の軸線とが一致するように保持されている。皿ばね５５１は、その周端部の角がばね受け部材５５５の周縁部に当接支持されており、その角部を支点として弾性変形可能に配設されている。皿ばね５５１は、ソレノイド力による作動ロッド３１７の閉弁方向への変位にともなって、これに対抗する開弁方向の反力を発生させる。
【００５６】
このように、第３および第４の実施の形態のコイルスプリング５１に代えて皿ばね５５１を設けたことにより、第１ハウジング５５３ひいてはパワーエレメント５０６をコンパクトに構成することができる。このパワーエレメント５０６の構成は、ダイヤフラム２１９の有効受圧面積を小さくしたことによるソレノイド３０３のコンパクト化とともに、制御弁全体のコンパクト化に寄与する。
【００５７】
［第６の実施の形態］
次に、本発明の第６の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る制御弁は、感圧部およびその周辺の構成が大きく異なる点を除けば第１の実施の形態の制御弁とほぼ同様の構成を有する。このため、第１の実施の形態とほぼ同様の構成部分については同一の符号を付す等して適宜その説明を省略する。図８は、第６の実施の形態に係る制御弁の上半部の部分拡大断面図である。
【００５８】
制御弁６０１は、弁本体６０２とソレノイド６０３とを一体に組み付けて構成される。ボディ６０５の上端開口部には、パワーエレメント６０６が組み付けられている。ソレノイド６０３のケース６３１は、コア６３２に圧入されている。
【００５９】
図９は、図８の上半部に対応する部分拡大断面図である。  
パワーエレメント６０６は、有底円筒状の第１ハウジング６５３および円筒状の第２ハウジング６５４を含むハウジング６５０を備える。第１ハウジング６５３と第２ハウジング６５４は、ダイヤフラム６１９を挟むようにして組み付けられている。第１ハウジング６５３の下端開口部には、半径方向外向きに延びるようにフランジ部６５２が設けられている。ダイヤフラム６１９は、その受圧部７０が第１の実施の形態のダイヤフラム１９と同様の形状をなし、その周端部近傍には、下向きに凸形状をなすビード６２０が環状に周設されている。
【００６０】
一方、第２ハウジング６５４は、その周縁部の中間に凹溝６５６が環状に周設されており、ダイヤフラム６１９のビード６２０を収容している。すなわち、第１ハウジング６５３と第２ハウジング６５４とを組み付けた際にその凹溝６５６により形成される空隙６８にビード６２０が収容されている。この凹溝６５６のビード６２０を境にその半径方向外側に第１挟持部６４が位置し、半径方向内側に第２挟持部６６が位置している。なお、本実施の形態においては第１の実施の形態のような耐摩耗シート５２は設けられていない。
【００６１】
パワーエレメント６０６を形成する際には、底部に孔があいた状態でばね受け部材６５５およびコイルスプリング５１を収容した第１ハウジング６５３と、第２ハウジング６５４とによりダイヤフラム６１９の周縁部を挟むようにしてその接合部に外周溶接（ＴＩＧ溶接）が施される。その後、第１ハウジング６５３の底部の孔を介して真空引きを行い、その孔にボール部材６６０を溶接してこれを封止する。これにより、密閉空間Ｓ１が真空状態に保持される。ばね受け部材６５５は、下端部に段付凸部５７を有する段付円柱状をなし、その側部において半径方向に延出したフランジ部と、第１ハウジング６５３の底部との間にコイルスプリング５１が介装されている。
【００６２】
このように、凹溝６５６により比較的大きな空隙６８が形成されているため、溶接が施されてダイヤフラム６１９の端部において比較的大きな歪みが生じても、これを吸収することができる。また、ダイヤフラム６１９にビード６２０を設けたことにより、ダイヤフラム６１９の半径方向のずれをより確実に防止することができる。
【００６３】
［第７の実施の形態］
次に、本発明の第７の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る制御弁は、感圧部の構成が若干異なる点を除けば第６の実施の形態の制御弁とほぼ同様の構成を有する。このため、第６の実施の形態とほぼ同様の構成部分については同一の符号を付す等して適宜その説明を省略する。図１０は、第７の実施の形態に係る制御弁の上半部の部分拡大断面図である。
【００６４】
本実施の形態においては、パワーエレメント７０６が、第１ハウジング７５３および第２ハウジング７５４を含むハウジング７５０を備える。そして、第１ハウジング７５３の外周縁下面に設けられた段部と、第２ハウジング７５４の内周縁上面に設けられた段部との間に空隙６８が形成されている。ダイヤフラム７１９は、その空隙６８の位置に段部７２０を有している。この構成においても比較的大きな空隙６８が形成されているため、溶接が施されてダイヤフラム７１９の端部において比較的大きな歪みが生じても、これを吸収することができる。
【００６５】
［第８の実施の形態］
次に、本発明の第８の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る制御弁は、感圧部の構成が若干異なる点を除けば第６の実施の形態の制御弁とほぼ同様の構成を有する。このため、第６の実施の形態とほぼ同様の構成部分については同一の符号を付す等して適宜その説明を省略する。図１１は、第８の実施の形態に係る制御弁の上半部の部分拡大断面図である。
【００６６】
本実施の形態においては、パワーエレメント８０６が、第１ハウジング８５３および第２ハウジング８５４を含むハウジング８５０を備える。第１ハウジング８５３および第２ハウジング８５４は、ダイヤフラム８１９を周縁部にて挟持し、その周縁部において上方に湾曲するように構成されている。そして、その湾曲して上方に延びる先端部に第１挟持部６４が位置し、その湾曲部より半径方向内側に第２挟持部６６が位置している。このように、第１挟持部６４と第２挟持部６６との間に湾曲部が設けられることにより、ＴＩＧ溶接の影響が第２挟持部６６まで及び難くされている。
【００６７】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はその特定の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術思想の範囲内で種々の変形が可能であることはいうまでもない。
【００６８】
上記実施の形態においては、制御弁１を可変容量圧縮機の吸入圧力Ｐｓを設定圧力に保つように容量制御を行ういわゆるＰｓ感知弁として構成した例を示したが、本発明の制御弁の制御方式や制御対象はこれらに限られない。例えば、ポート２６からクランク圧力Ｐｃを導入し、クランク圧力Ｐｃを設定圧力に保つように容量制御を行ういわゆるＰｃ感知弁として構成することもできる。
【００６９】
また、例えば、図２に示した構成において摺動孔１４の断面積Ａと弁孔１５の断面積Ｂとを等しくしたまま、ガイド孔２３の断面積Ｃを弁孔１５の断面積Ｂよりも大きく形成し、弁体２０に吐出圧力Ｐｄと吸入圧力Ｐｓとの差圧（Ｐｄ−Ｐｓ）が作用するように構成してもよい。このように構成すれば、制御弁を、差圧（Ｐｄ−Ｐｓ）を供給電流値により設定された設定差圧に保つように、吐出室からクランク室に導入する冷媒流量を制御するいわゆるＰｄ−Ｐｓ弁として機能させることもできる。
【００７０】
上記実施の形態では、制御弁１を可変容量圧縮機の吐出室からクランク室に導入する冷媒流量を制御する制御弁として構成した例を示したが、クランク室から吸入室に導出する冷媒流量を制御する制御弁として構成してもよい。また、例えば図２に示した構成においてさらに、ポート１３とポート２６とを連通する冷媒通路と、その冷媒通路を開閉するもう一つの弁部を設け、いわゆる三方弁として構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】第１の実施の形態に係る可変容量圧縮機用制御弁の構成を示す断面図である。
【図２】図１の上半部に対応する部分拡大断面図である。
【図３】感圧部を構成するダイヤフラムの成形方法の概要を表す説明図である。
【図４】第２の実施の形態に係る制御弁の上半部の部分拡大断面図である。
【図５】第３の実施の形態に係る制御弁の上半部の部分拡大断面図である。
【図６】第４の実施の形態に係る制御弁の上半部の部分拡大断面図である。
【図７】第５の実施の形態に係る制御弁の上半部の部分拡大断面図である。
【図８】第６の実施の形態に係る制御弁の上半部の部分拡大断面図である。
【図９】図８の上半部に対応する部分拡大断面図である。
【図１０】第７の実施の形態に係る制御弁の上半部の部分拡大断面図である。
【図１１】第８の実施の形態に係る制御弁の上半部の部分拡大断面図である。
【符号の説明】
【００７２】
１  制御弁、  ２  弁本体、  ３  ソレノイド、  ５  ボディ、  ６  パワーエレメント、  １５  弁孔、  １６  弁座、  １７  作動ロッド、  １９  ダイヤフラム、  ２０  弁体、  ２３  ガイド孔、  ２８  圧力室、  ２９  圧力室、  ３６  シャフト、  ５１  コイルスプリング、  ５２  耐摩耗シート、  ５３  第１ハウジング、  ５４  第２ハウジング、  ５５  ばね受け部材、  ６４  第１挟持部、  ６６  第２挟持部、  ６８  空隙、  ７０  受圧部、  ２０５  ボディ、  ２０６  パワーエレメント、  ２１９  ダイヤフラム、  ２５３  第１ハウジング、  ２５４  第２ハウジング、  ３０３  ソレノイド、  ３０５  ボディ、  ３０６  パワーエレメント、  ３１７  作動ロッド、  ３５３  第１ハウジング、  ３５４  第２ハウジング、  ４０６  パワーエレメント、  ４５４  第２ハウジング、  ４５５  ばね受け部材、  ５０６  パワーエレメント、  ５５０  ハウジング、  ５５３  第１ハウジング、  ５５５  ばね受け部材、  ６０１  制御弁、  ６０２  弁本体、  ６０３  ソレノイド、  ６０５  ボディ、  ６０６  パワーエレメント、  ６１９  ダイヤフラム、  ６５３  第１ハウジング、  ６５４  第２ハウジング、  ６５５  ばね受け部材、  ７０６  パワーエレメント、  ７１９  ダイヤフラム、  ７５３  第１ハウジング、  ７５４  第２ハウジング、  ８０６  パワーエレメント、  ８５３  第１ハウジング、  ８５４  第２ハウジング、  Ｓ１  密閉空間、  Ｓ２  開放空間。  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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