(57)【要約】【課題】基材に対する液滴吐出のサイクルタイムを短くする。【解決手段】基材を載置するテーブルと、前記基材に向けて液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドから予備吐出された前記液滴を捕獲するフラッシング部と、を備え、前記フラッシング部は、前記テーブルに載置される前記基材の態様に応じて、前記基材の端部近傍に配置される。【選択図】図３
2010082576.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材を載置するテーブルと、
液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドから予備吐出された前記液滴を捕獲するフラッシング部と、を備え、
前記フラッシング部は、
前記テーブルに載置される前記基材の態様に応じて、前記基材の端部近傍に配置されることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置において、
前記フラッシング部は、
前記テーブルに載置される前記基材の第１態様に応じて配置される第１フラッシング部と、
前記テーブルに載置される前記基材の第２態様に応じて配置される第２フラッシング部と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項２に記載の液滴吐出装置において、
前記第２フラッシング部は、前記テーブルの端部領域に配置され、
前記第１フラッシング部は、前記第２フラッシング部が配置された位置よりも前記テーブルに対して内側に配置されたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項２または３に記載の液滴吐出装置において、
前記第１フラッシング部は、前記テーブルの前記基材を載置する載置面よりも凹んだ位置に配置されることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項１に記載の液滴吐出装置において、
前記フラッシング部は、前記テーブルに載置される前記基材の態様に応じて配置位置を移動させる移動部を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項５に記載の液滴吐出装置において、
前記フラッシング部は、
前記テーブルに載置される前記基材の第１態様に応じて第１配置位置に配置され、
前記テーブルに載置される前記基材の第２態様に応じて第２配置位置に配置されることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記フラッシング部が、前記基材を載置する載置部を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
基材をテーブルに載置する基材載置工程と、載置された前記基材に対して吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出する液滴吐出工程と、前記基材に付着した前記液状体を固化する固化工程と、を有するパターン膜形成部材の製造方法であって、
前記テーブルに載置される前記基材の態様に応じて、前記吐出ヘッドから予備吐出された前記液滴を捕獲するフラッシング部を前記基材の端部近傍に配置するフラッシング部配置工程を含むことを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載のパターン膜形成部材の製造方法を用いて製造されたパターン膜形成部材。
【請求項１０】
請求項９に記載のパターン膜形成部材を備えた電気光学装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の電気光学装置を搭載した電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、パターン膜形成部材の製造方法、パターン膜形成部材、電気光学装置、電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、基材等に向けて液状体を液滴として吐出する液滴吐出装置は、基材を載置するテーブルと、液滴を吐出する吐出ヘッドと、テーブルと吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動手段等を備えている。さらに、液滴吐出動作停止時に吐出ヘッドのノズルの先端部や内部等に増粘した液状体を取り除くため、吐出ヘッドから予備吐出された液滴を捕獲するフラッシング部が設けられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２６４３６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、例えば、基材の大きさや形状、或いは基材のテーブルへの載置方向等、基材の態様によっては、基材からフラッシング部までの距離が長くなるため、吐出ヘッドが予備吐出をするためにフラッシング部まで移動する移動距離が長くなり、その結果、サイクルタイムが長くなってしまう、という課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出装置は、基材を載置するテーブルと、液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドから予備吐出された前記液滴を捕獲するフラッシング部と、を備え、前記フラッシング部は、前記テーブルに載置される前記基材の態様に応じて、前記基材の端部近傍に配置されることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、テーブルに載置される基材の態様に応じてフラッシング部が基材の端部近傍に配置され、基材からフラッシング部までの距離が短くなる。従って、吐出ヘッドが予備吐出をするためにフラッシング部まで移動する移動距離が短くなり、フラッシング処理を素早く行え、サイクルタイムを短縮させることができる。ここで、基材の態様としては、基材の大きさや形状、或いはテーブルに対する基材の載置方向や載置位置等が挙げられる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記フラッシング部は、前記テーブルに載置される前記基材の第１態様に応じて配置される第１フラッシング部と、前記テーブルに載置される前記基材の第２態様に応じて配置される第２フラッシング部と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、テーブルに載置される基材の態様（第１態様、第２態様）ごとにフラッシング部が設けられる。例えば、長方形の形状を有する基材であって、当該基材のテーブルに対する載置方向（縦方向或いは横方向）が異なったとしても、基材の態様ごとにフラッシング部が設けられるので、基材からフラッシング部までの距離が短くなりフラッシング処理を素早く行え、サイクルタイムを短縮させることができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記第２フラッシング部は、前記テーブルの端部領域に配置され、前記第１フラッシング部は、前記第２フラッシング部が配置された位置よりも前記テーブルに対して内側に配置されたことを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、テーブルに載置される基材の態様、例えば、基材が比較的大きな場合には、テーブルの外側に配置された第２フラッシング部を使用でき、基材が比較的小さい場合には、第２フラッシング部の内側に配置された第１フラッシング部を使用できる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記第１フラッシング部は、前記テーブルの前記基材を載置する載置面よりも凹んだ位置に配置されることを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、吐出ヘッドと第１フラッシング部とのクリアランスを維持できる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記フラッシング部は、前記テーブルに載置される基材の態様に応じて配置位置を移動させる移動部を備えたことを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、テーブルに載置される基材の態様に応じてフラッシング部が移動して最適位置に移動することが可能となる。従って、基材からフラッシング部までの距離を短くすることが可能となり、フラッシング処理を素早く行え、サイクルタイムを短縮させることができる。
【００１６】
［適用例６］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記フラッシング部は、前記テーブルに載置される前記基材の第１態様に応じて第１配置位置に配置され、前記テーブルに載置される前記基材の第２態様に応じて第２配置位置に配置されることを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、テーブルに載置される基材の態様（第１態様、第２態様）ごとにフラッシング部が配置される。例えば、長方形の形状を有する基材であって、当該基材のテーブルに対する載置方向（縦方向或いは横方向）が異なったとしても、基材の態様ごとにフラッシング部が配置されるので、基材からフラッシング部までの距離が短くなりフラッシング処理を素早く行え、サイクルタイムを短縮させることができる。
【００１８】
［適用例７］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記フラッシング部は、前記基材を載置する載置部を有することを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、例えば、比較的大きな基材に対してフラッシング部の載置部で基材を支持することにより、基材がテーブルに載置された状態において基材の撓みを低減させることができる。
【００２０】
［適用例８］本適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法は、基材をテーブルに載置する基材載置工程と、載置された前記基材に対して吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出する液滴吐出工程と、前記基材に付着した前記液状体を固化する固化工程と、を有するパターン膜形成部材の製造方法であって、前記テーブルに載置される前記基材の態様に応じて、前記吐出ヘッドから予備吐出された前記液滴を捕獲するフラッシング部を前記基材の端部近傍に配置するフラッシング部配置工程を含むことを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、テーブルに載置される基材の態様に応じてフラッシング部が基材の端部近傍に配置され、基材からフラッシング部までの距離が短くなる。従って、吐出ヘッドが予備吐出をするためにフラッシング部まで移動する移動距離が短くなり、フラッシング処理を素早く行え、サイクルタイムを短縮させることができる。ここで、基材の態様としては、基材の大きさや形状、或いはテーブルに対する基材の載置方向や載置位置等が挙げられる。
【００２２】
［適用例９］本適用例にかかるパターン膜形成部材は、上記のパターン膜形成部材の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする。
【００２３】
この場合、パターン膜形成部材は、例えば、カラーフィルタ、有機ＥＬ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）の部材等がこれに該当する。
【００２４】
［適用例１０］本適用例にかかる電気光学装置は、上記のパターン膜形成部材を備えたことを特徴とする。
【００２５】
この場合、電気光学装置は、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等がこれに該当する。
【００２６】
［適用例１１］本適用例にかかる電子機器は、上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２７】
この場合、電子機器は、例えば、カラーフィルタや有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）を搭載したテレビ受像機、パーソナルコンピュータの他、各種の電子製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
［第１実施形態］
以下、本発明を具体化した第１実施形態について図面に従って説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。
【００２９】
（液滴吐出装置の構成）
まず、パターン膜形成部材の製造に用いられる液滴吐出装置の構成について説明する。図１は、液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。
【００３０】
図１において、液滴吐出装置３０は、パターン膜の材料となる液状体を液滴として吐出するヘッド部５０を有するヘッド機構部３２と、ヘッド部５０から吐出された液滴の吐出対象である基材１０を載置するワーク機構部３３と、ヘッド部５０に液状体を供給する材料供給部３４と、ヘッド部５０の保守を行うメンテナンス機構部３５と、これら各機構部および供給部を統括的に制御する制御部３６等を備えている。
【００３１】
液滴吐出装置３０は、床上に設置された複数の支持脚４１と、支持脚４１の上側に設置された定盤４２を備えている。定盤４２の上側には、ワーク機構部３３が定盤４２の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配置されている。ワーク機構部３３の上方には、定盤４２に固定された２本の支持柱５２で支持されているヘッド機構部３２が、ワーク機構部３３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在して配置されている。また、定盤４２の一方の端部には、ヘッド機構部３２のヘッド部５０から連通して液状体を供給する材料供給部３４が配置されている。そして、ヘッド機構部３２の一方の支持柱５２近傍には、メンテナンス機構部３５がワーク機構部３３と並んでＸ軸方向に延在するように配置されている。さらに、定盤４２の下側には、制御部３６が備えられている。
【００３２】
ヘッド機構部３２は、液状体を吐出するヘッド部５０と、ヘッド部５０を懸架したヘッドキャリッジ５１と、ヘッドキャリッジ５１のＹ軸方向への移動をガイドするＹ軸ガイド５３と、Ｙ軸ガイド５３の側方にＹ軸ガイド５３と平行に設置されたＹ軸リニアモータ５４等を備えている。
【００３３】
ワーク機構部３３は、ヘッド機構部３２の下方に位置し、ヘッド機構部３２とほぼ同様の構成でＸ軸方向に延在するように配置されており、基材１０を載置しているテーブル６１と、テーブル６１上に設けられた第１及び第２フラッシング部９１，９２と、テーブル６１の移動をガイドするＸ軸ガイド６３と、Ｘ軸ガイド６３の側方にＸ軸ガイド６３と平行に設置されたＸ軸リニアモータ６４等を備えている。これらの構成により、ヘッド部５０と基材１０とは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に往復自在に移動することができる。
【００３４】
次に、ヘッド部５０とテーブル６１の移動について説明する。ヘッド部５０を懸架したヘッドキャリッジ５１は、Ｙ軸ガイド５３に移動可能に取り付けられている。図示しないが、ヘッドキャリッジ５１からＹ軸リニアモータ５４側へ張り出している突起部が、Ｙ軸リニアモータ５４と係合して駆動力を得ることにより、ヘッドキャリッジ５１がＹ軸ガイド５３に沿って任意の位置に移動する。同様に、テーブル６１に搭載された基材１０もＸ軸方向に自在に移動する。
【００３５】
このように、ヘッド部５０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるテーブル６１に載置された基材１０のＸ軸方向の移動に同調して、液滴を吐出する構成となっている。Ｘ軸方向に移動する基材１０と、Ｙ軸方向に移動するヘッド部５０とを相対的に制御することにより、基材１０上に液状体を吐出することができる。
【００３６】
次に、第１及び第２フラッシング部９１，９２について説明する。図３は、本実施形態にかかるフラッシング部の構成を示し、（ａ）は側断面図であり、（ｂ）は平面図である。第１及び第２フラッシング部９１，９２は、主として、基材１０に対してヘッド部５０の吐出ヘッド１１０から液滴を吐出する前、或いは吐出後に、液状体の予備吐出を行う際の液滴を捕獲するために設けられている。予備吐出は、液滴吐出の安定性を確保するために行われる処理である。
【００３７】
第１フラッシング部９１は、液滴受け皿９１ａと、液滴受け皿９１ａの内部に配置され、液滴を吸収する液滴吸収材９１ｂで構成されている。
【００３８】
第１フラッシング部９１は、平面視においてテーブル６１の基材１０の載置面領域内に配置されている。本実施形態では、テーブル６１内の２個所に配置されている。
【００３９】
また、第１フラッシング部９１は、液滴受け皿９１ａの頂部面９１ｃをテーブル６１の基材１０の載置面の高さと同一として、テーブル６１の基材１０の載置面よりも凹んだ位置に配置されている。そして、液滴吸収材９１ｂは、テーブル６１の基材１０の載置面よりも低い位置に設けられている。
【００４０】
第２フラッシング部９２は、液滴受け皿９２ａと、液滴受け皿９２ａの内部に配置され、液滴を吸収する液滴吸収材９２ｂで構成されている。
【００４１】
第２フラッシング部９２は、平面視においてテーブル６１の基材１０の載置面領域の外側に配置されている。本実施形態では、テーブル６１の端部を外側から挟むように２個所に配置されている。
【００４２】
上記に説明した第１及び第２フラッシング部９１，９２は、テーブル６１に載置される基材１０（１０ａ，１０ｂ）の態様に応じて、基材１０の端部近傍に配置される。すなわち、基材１０（１０ａ，１０ｂ）の態様に応じて、使い分けが可能となる。
【００４３】
具体的には、例えば、基材１０の態様として長方形の形状を有する基材１０の場合について考える。この場合に、基材１０の長辺側がＹ方向に平行となるように載置する場合（この場合の載置方向を、「縦置き」とする）と、基材１０の長辺側がＸ方向に平行となるように載置する場合（この場合の載置方向を、「横置き」とする）と、が考えられる。以下、場合分けして説明する。
【００４４】
まず、テーブル６１に対して縦置きとする基材１０ａを載置する場合（第１態様）について説明する。この場合には、第１フラッシング部９１を使用する。図３（ａ），（ｂ）に示すように、基材１０ａをテーブル６１の載置面に載置した場合、第１フラッシング部９１が、基材１０ａの端部近傍に配置されている。このように、第１フラッシング部９１を配置することにより、基材１０ａからフラッシング部９１までの距離が短くなり、予備吐出の処理を素早く行える。
【００４５】
次に、テーブル６１に対して横置きとする基材１０ｂを載置する場合（第２態様）について説明する。この場合には、第２フラッシング部９２を使用する。図３（ａ），（ｂ）に示すように、基材１０ｂをテーブル６１の載置面に載置した場合、第２フラッシング部９２が、基材１０ｂの端部近傍に配置されている。このように、第２フラッシング部９２を配置することにより、基材１０ｂからフラッシング部９２までの距離が短くなり、予備吐出の処理を素早く行える。なお、この場合には、基材１０ｂは第１フラッシング部９１を跨いだ状態で載置されることになる。この際、第１フラッシング部９１の液滴受け皿９１ａの頂部面９１ｃの一部を載置部として基材１０ｂの載置面の一部として基材１０ｂを支持する。
【００４６】
ところで、第１及び第２フラッシング部９１，９２は、図３（ａ）に示すように、トラップタンク９６が接続されている。そして、トラップタンク９６には、廃液回収ポンプＰが接続されているとともに、バルブ９８を介して廃液タンク９７が接続されている。そして、吐出ヘッド１１０から第１或いは第２フラッシング部９１，９２に予備吐出が行われると、第１或いは第２フラッシング部９１，９２の液滴受け皿９１ａ，９２ａや液滴吸収材９１ｂ，９２ｂで捕獲された液状体を廃液回収ポンプＰの吸引力によって吸引し、トラップタンク９６を介して廃液タンク９７に収容できるようになっている。
【００４７】
次に、ヘッド部５０に備えられた吐出ヘッドの構造について説明する。図２は、吐出ヘッドの構造を示し、図２（ａ）は一部破断した斜視図であり、同図（ｂ）は断面図である。
【００４８】
図２（ａ）において、吐出ヘッド１１０は、振動板１１４と、ノズルプレート１１５を備えている。振動板１１４とノズルプレート１１５との間には、液溜まり１１６が配置され、孔１１８を介して供給される液状体が常に充填されるようになっている。また、振動板１１４と、ノズルプレート１１５との間には、複数の隔壁１１２が位置している。そして、振動板１１４と、ノズルプレート１１５と、一対の隔壁１１２とによって囲まれた部分がキャビティ１１１である。キャビティ１１１は、ノズル１２０に対応して設けられているため、キャビティ１１１の数とノズル１２０の数とは同じである。キャビティ１１１には、一対の隔壁１１２間に位置する供給口１１７を介して、液溜まり１１６から液状体が供給される。
【００４９】
図２（ｂ）に示すように、振動板１１４上には、それぞれのキャビティ１１１に対応して振動子１１３が取り付けられている。振動子１１３は、ピエゾ素子１１３ｃと、ピエゾ素子１１３ｃを挟む一対の電極１１３ａ、１１３ｂを有する。この一対の電極１１３ａ、１１３ｂに駆動電圧を与えることで、対応するノズル１２０から液状体が液滴１２１となって吐出される。なお、液状体を吐出させるために、振動子１１３の代わりに電気熱変換素子を用いてもよく、電気熱変換素子による液状体の熱膨張を利用して、液滴として吐出することができる。
【００５０】
次に、図１に戻り、メンテナンス機構部３５について説明する。メンテナンス機構部３５は、キャッピングユニット８６、ワイピングユニット８７、およびフラッシングユニット８８のメンテナンスユニットを備えている。さらに、メンテナンスユニットを載置するメンテキャリッジ８１と、メンテキャリッジ８１の移動をガイドするメンテキャリッジガイド８２と、メンテキャリッジ８１と一体の螺合部８５と、螺合部８５が螺合するボールねじ８４と、ボールねじ８４を回転させるメンテモータ８３とを備えている。これにより、メンテモータ８３が正逆回転すると、ボールねじ８４が回転し、螺合部８５を介してメンテキャリッジ８１が、Ｘ軸方向に移動する。メンテキャリッジ８１がヘッド部５０のメンテナンスのために移動するときには、Ｙ軸ガイド５３に沿ってヘッド部５０が移動して、メンテナンスユニットの直上部に臨んでいる。
【００５１】
メンテナンスユニットのキャッピングユニット８６は、液滴吐出装置３０が稼動していない時に、吐出ヘッド１１０に密着してキャッピングし、液状体が乾燥してノズル１２０が詰まるなどの不具合が生じないようにする。ワイピングユニット８７は、液状体の連続吐出後やキャッピング時にノズル１２０に付着した液状体などを、洗浄液を含むワイピング布で拭い、全ノズルの清浄な状態を維持する。フラッシングユニット８８は、テーブル６１から基材１０が除去され、次に液滴吐出する基材１０が載置されるまでの間に予備吐出を行うために設けられている。
【００５２】
これらのメンテナンスユニットにより、液滴吐出装置３０の非稼動時や基材１０を交換載置している加工待ち時などに、吐出ヘッド１１０の状態を保全して良好な吐出状態を保つことができる。
【００５３】
また、ヘッド部５０に液状体を供給する材料供給部３４は、タンク７５と、液状体供給ポンプ７４と、タンク７５から液状体供給ポンプ７４を経てヘッド部５０までを接続する流路チューブ７９とを備えている。
【００５４】
次に、以上述べた構成を制御する制御部３６の構成について説明する。図４は、制御部３６の構成を示すブロック図である。制御部３６は、指令部１３０と駆動部１４０とを備え、指令部１３０は、ＣＰＵ１３２、記憶手段としてのＲＯＭ１３３、ＲＡＭ１３４および入出力インターフェース１３１からなり、ＣＰＵ１３２が入出力インターフェース１３１を介して入力される各種信号を、ＲＯＭ１３３、ＲＡＭ１３４のデータに基づき処理し、入出力インターフェース１３１を介して駆動部１４０へ制御信号を出力する。
【００５５】
駆動部１４０は、ヘッドドライバ１４１、モータドライバ１４２、ポンプドライバ１４３及びメンテドライバ１４５から構成されている。モータドライバ１４２は、指令部１３０の制御信号により、Ｘ軸リニアモータ６４、Ｙ軸リニアモータ５４を制御し、基材１０、ヘッド部５０の移動を制御する。さらに、メンテモータ８３を制御してメンテナンス機構部３５の必要なユニットをメンテナンス位置へ移動させる。ヘッドドライバ１４１は、吐出ヘッド１１０からの液状体の吐出を制御し、モータドライバ１４２の制御と同調して、基材１０上に所定位置に吐出などが行えるようにする。また、ポンプドライバ１４３は、液状体の吐出状態に対応して液状体供給ポンプ７４を制御し、吐出ヘッド１１０への供給を最適に制御する。また、廃液回収ポンプＰを制御し、第１或いは第２フラッシング部９１，９２で捕獲した液状体を回収する。メンテドライバ１４５は、メンテナンス機構部３５のキャッピングユニット８６、ワイピングユニット８７およびフラッシングユニット８８を制御する。
【００５６】
（パターン膜形成部材の製造方法）
次に、パターン膜形成部材の製造方法について説明する。なお、本実施形態では、パターン膜形成部材としてのカラーフィルタの製造方法について説明する。図５は、本実施形態にかかるカラーフィルタの製造方法を示す工程図である。
【００５７】
図５（ａ）の基材載置工程では、区画部１１が形成された基材１０をテーブル６１の載置面に載置する。基材１０は、透明性を有し、一般にガラス基材が用いられるが、他にプラスチック等も使用可能であり、カラーフィルタとしての透過率、強度等の必要特性を有するものであれば特に限定されるものではない。また、区画部１１は、基材１０の上に形成され、色素膜領域１６が矩形に区画されるように形成されている。区画部１１は、遮光性を有し、金属、樹脂等を用いることができる。区画部１１は、例えば、フォトリソグラフィー法等によって形成することができる。
【００５８】
フラッシング部配置工程では、テーブル６１に載置される基材１０の態様に応じて、吐出ヘッド１１０から予備吐出された液滴１２１を捕獲するフラッシング部を基材１０の端部近傍に配置する。具体的には、制御部３６の指令部１３０の指示に基づいて、いずれのフラッシング部を配置するか、すなわち、いずれのフラッシング部を使用するか選択される。例えば、図３で説明したように、基材１０ａをテーブル６１に載置する場合には、第１フラッシング部９１を配置し、基材１０ｂを載置する場合には、第２フラッシング部９２を配置する。以下、基材１０ａを載置した場合について説明する。
【００５９】
図５（ｂ）の塗布工程では、基材１０ａに向けて液状体を液滴１２１として吐出する吐出ヘッド１１０と基材１０ａが載置されたテーブル６１とを相対的に移動させながら、吐出ヘッド１１０から基材１０ａに向けて液滴１２１を吐出して、基材１０ａに液状体を塗布する。本実施形態では、基材１０ａが載置されたテーブル６１を移動させながら、吐出ヘッド１１０から色素膜領域１６に向けて液状体を液滴１２１として吐出して、基材１０ａの面に液状体１４ａを付着させる。
【００６０】
塗布工程において、基材１０ａが載置されたテーブル６１をＸ方向に往復運動する。この塗布工程の間、例えば、テーブル６１が往動から復動に切り替わるタイミング時には、基材１０ａに対して液滴吐出が行われない場合がある。この場合、その後の基材１０ａへの液滴吐出の安定性を確保するために、往復動の切り替えタイミング時に予備吐出を行うことがある。この場合に、吐出ヘッド１１０が第１フラッシング部９１と対向する位置までテーブル６１を移動させる。そして、吐出ヘッド１１０から液滴を吐出させ予備吐出を行う。その後、液滴吐出位置に移動し、再び、基材１０ａに向けて液滴吐出が行われる。
【００６１】
図５（ｃ）の固化工程では、基材１０ａに塗布された液状体１４ａを固化する。固化する方法としては、例えば、加熱乾燥等を行う。そして、液状体１４ａを固化することによって色素膜１４が形成される。
【００６２】
その後、必要に応じて、区画部１１と色素膜１４の上に保護膜１８（図６参照）を形成する。保護膜１８の形成方法としては、スピンコート法等が用いられ、材料としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用タイプの樹脂材料、蒸着、スパッタ等によって形成された無機膜等を用いることができる。
【００６３】
以上、上記の製造方法によって、カラーフィルタ１が形成される。
【００６４】
（電気光学装置）
次に、本実施形態にかかる電気光学装置について説明する。図６は、電気光学装置としての液晶ディスプレイの構成を示す断面図である。
【００６５】
図６において、液晶ディスプレイ１５０は、カラーフィルタ１と、カラーフィルタ１に対向して配置された素子基材１５１と、シール材１５２によって接着されたカラーフィルタ１と素子基材１５１の隙間に充填された液晶１５３等で構成されている。
【００６６】
カラーフィルタ１の保護膜１８の上には共通電極１６１が形成され、共通電極１６１の上には配向膜１６２が形成されている。また、基材１０の色素膜１４が形成された面の反対面には偏光板１７５が備えられている。
【００６７】
素子基材１５１は、透明性を有する基材１７０と、基材１７０の上に形成されたＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）素子１７１と、基材１７０とＴＦＴ素子１７１の上に形成された配向膜１７２等で構成されている。また、基材１７０のＴＦＴ素子１７１が形成された面の反対面には偏光板１７６が備えられている。
【００６８】
（電子機器）
次に、本実施形態にかかる電子機器について説明する。図７は、電子機器としてのテレビ受像機の構成を示す斜視図である。図７において、テレビ受像機１８０の表示部に液晶ディスプレイ１５０が搭載されている。
【００６９】
従って、上記の第１実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【００７０】
（１）テーブル６１に対して縦置きの態様とする基材１０ａを載置した場合には、基材１０ａの端部近傍に第１フラッシング部９１が配置され、テーブル６１に対して横置きの態様とする基材１０ｂを載置した場合には、基材１０ｂの端部近傍に第２フラッシング部９２が配置される。基材１０ａ，１０ｂの態様に応じて配置された第１及び第２フラッシング部９１，９２を用いるので、それぞれの基材１０ａ，１０ｂに対する第１及び第２フラッシング部９１，９２との距離が短くなり、吐出ヘッド１１０と第１及び第２フラッシング部９１，９２との距離も短くなる。従って、フラッシング処理が素早く行え、サイクルタイムを短縮させることができる。
【００７１】
（２）第１フラッシング部９１は、テーブル６１の内部に配置されており、液滴受け皿９１ａの頂部面９１ｃの高さがテーブル６１の基材１０の載置面と同一であるので、テーブル６１に基材１０ｂ（横置き）を載置した場合でも、基材１０ｂに歪み等が発生することがない。
【００７２】
（３）テーブル６１に対して横置きとする基材１０ｂを載置した場合、第１フラッシング部９１の頂部面９１ｃが載置部として基材１０ｂを支持するので、基材１０ｂの撓みを低減させることができる。
【００７３】
［第２実施形態］
次に、本発明を具体化した第２実施形態について図面に従って説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。
【００７４】
（液滴吐出装置の構成）
液滴吐出装置の基本的な構成、吐出ヘッドの構造については、第１実施形態と同様なので説明を省略し、異なる部分、すなわち、フラッシング部の構成ついて詳細に説明する。図８は、第２実施形態にかかるフラッシング部の構成を示し、（ａ）は側断面図であり、（ｂ）は平面図である。
【００７５】
フラッシング部９３は、液滴受け皿９３ａと、液滴受け皿９３ａの内部に配置され、液滴を吸収する液滴吸収材９３ｂとで構成されている。そして、フラッシング部９３には移動部としてのフラッシング部モータ９５を備えており、フラッシング部モータ９５を稼動させることにより、フラッシング部９３をテーブル６１上の移動領域においてＸ方向に移動させることができる。
【００７６】
また、フラッシング部９３は、液滴受け皿９３ａの頂部面９３ｃをテーブル６１の基材１０の載置面の高さと同一として、テーブル６１の基材１０の載置面よりも凹んだ位置に配置されている。そして、液滴吸収材９３ｂは、テーブル６１の基材１０の載置面よりも低い位置に設けられている。
【００７７】
上記に説明したフラッシング部９３は、テーブル６１に載置される基材１０（１０ａ，１０ｂ）の態様に応じて、基材１０の端部近傍に配置される。すなわち、基材１０（１０ａ，１０ｂ）の態様に応じて、フラッシング部９３の配置位置が異なる。
【００７８】
具体的には、例えば、長方形の形状を有する基材１０をテーブル６１に対して載置する場合について考える。この場合に、基材１０の長辺側がＹ方向に平行となるように載置する場合（この場合の載置方向を、「縦置き」とする）と、基材１０の長辺側がＸ方向に平行となるように載置する場合（この場合の載置方向を、「横置き」とする）と、が考えられる。以下、場合分けして説明する。
【００７９】
まず、テーブル６１に対して縦置きに基材１０ａを載置する場合（第１態様）について説明する。この場合には、フラッシング部モータ９５を稼動させ、基材１０ａの端部近傍となる第１配置位置Ｓ１にフラッシング部９３を配置する。このように、フラッシング部９３を配置することにより、基材１０ａからフラッシング部９３までの距離が短くなり、予備吐出の処理を素早く行える。
【００８０】
次に、テーブル６１に対して横置きに基材１０ｂを載置する場合（第２態様）について説明する。この場合には、フラッシング部モータ９５を稼動させ、基材１０ｂの端部近傍となる第２配置位置Ｓ２にフラッシング部９３を配置する。このように、フラッシング部９３を配置することにより、基材１０ｂからフラッシング部９３までの距離が短くなり、予備吐出の処理を素早く行える。なお、この場合において、フラッシング部９３の液滴受け皿９３ａの頂部面９３ｃの一部を載置部として基材１０ｂの載置面の一部として基材１０ｂを支持する。
【００８１】
予備吐出してフラッシング部９３に捕獲した液状体を回収するための構成は、第１実施形態と同様なので説明を省略する。
【００８２】
図９は、第２実施形態にかかる液滴吐出装置の構成を制御する制御部３６の構成を示している。制御部３６の駆動部１４０のモータドライバ１４２は、指令部１３０の制御信号により、Ｘ軸リニアモータ６４、Ｙ軸リニアモータ５４を制御し、基材１０、ヘッド部５０の移動を制御する。また、メンテモータ８３を制御してメンテナンス機構部３５の必要なユニットをメンテナンス位置へ移動させる。さらに、フラッシング部モータ９５を制御して、フラッシング部９３の移動を制御する。なお、他の構成については、第１実施形態と同様なので説明を省略する。
【００８３】
（パターン膜形成部材の製造方法）
次に、パターン膜形成部材の製造方法について図５及び図８を用いて説明する。なお、本実施形態では、パターン膜形成部材としてのカラーフィルタの製造方法について説明する。
【００８４】
基材載置工程では、図５（ａ）に示すように、区画部１１が形成された基材１０をテーブル６１の載置面に載置する。基材１０は、透明性を有し、一般にガラス基材が用いられるが、他にプラスチック等も使用可能であり、カラーフィルタとしての透過率、強度等の必要特性を有するものであれば特に限定されるものではない。また、区画部１１は、基材１０の上に形成され、色素膜領域１６が矩形に区画されるように形成されている。区画部１１は、遮光性を有し、金属、樹脂等を用いることができる。区画部１１は、例えば、フォトリソグラフィー法等によって形成することができる。
【００８５】
フラッシング部配置工程では、テーブル６１に載置される基材１０の態様に応じて、吐出ヘッド１１０から予備吐出された液滴１２１を捕獲するフラッシング部９３を基材１０の端部近傍に配置する。具体的には、制御部３６の指令部１３０の指示に基づいて、フラッシング部モータ９５を稼動させ、フラッシング部９３を載置された基材１０の端部近傍に移動させる。例えば、図８に示すように、縦置きとする基材１０ａをテーブル６１に載置する場合には、フラッシング部９３を第１配置位置Ｓ１に配置し、横置きとする基材１０ｂを載置する場合には、フラッシング部９３を第２配置位置Ｓ２に配置する。
【００８６】
塗布工程では、図５（ｂ）に示すように、基材１０に向けて液状体を液滴１２１として吐出する吐出ヘッド１１０と基材１０が載置されたテーブル６１とを相対的に移動させながら、吐出ヘッド１１０から基材１０に向けて液滴１２１を吐出して、基材１０に液状体を塗布する。本実施形態では、基材１０が載置されたテーブル６１を移動させながら、吐出ヘッド１１０から色素膜領域１６に向けて液状体を液滴１２１として吐出して、基材１０の面に液状体１４ａを付着させる。
【００８７】
上記の塗布工程においては、基材１０が載置されたテーブル６１をＸ方向に往復運動する。この塗布工程の間、例えば、テーブル６１が往動から復動に切り替わるタイミング時には、基材１０に対して液滴吐出が行われない場合がある。この場合、その後の基材１０への液滴吐出の安定性を確保するために、往復動の切り替えタイミング時に予備吐出を行うことがある。この場合に、吐出ヘッド１１０がフラッシング部９３と対向する位置までテーブル６１を移動させる。そして、吐出ヘッド１１０から液滴を吐出させ予備吐出を行う。その後、液滴吐出位置に移動し、再び、基材１０に向けて液滴吐出が行われる。
【００８８】
固化工程では、図５（ｃ）に示すように、基材１０に塗布された液状体１４ａを固化する。固化する方法としては、例えば、加熱乾燥等を行う。そして、液状体１４ａを固化することによって色素膜１４が形成される。
【００８９】
その後、必要に応じて、区画部１１と色素膜１４の上に保護膜１８（図６参照）を形成する。保護膜１８の形成方法としては、スピンコート法等が用いられ、材料としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用タイプの樹脂材料、蒸着、スパッタ等によって形成された無機膜等を用いることができる。
【００９０】
以上、上記の製造方法によって、カラーフィルタ１が形成される。
【００９１】
従って、上記の第２実施形態によれば、第１実施形態の効果に加え、以下に示す効果がある。
【００９２】
（１）基材１０の載置方向が異なったとしても、フラッシング部９３を移動させることにより、基材１０の端部近傍に配置させ、基材１０からフラッシング部９３までの距離を短くすることができる。
【００９３】
（２）載置される基材１０の態様ごとに多数のフラッシング部９３を設ける必要がないので、液滴吐出装置の構成を簡略化させることができる。
【００９４】
なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。
【００９５】
（変形例１）第１実施形態では、基材１０の態様として、長方形の形状を有する基材１０を例に挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、他の基材１０の態様としては、基材１０の大きさが異なる態様であってもよい。この場合、テーブル６１に対して比較的小さい基材１０を載置する場合には、図３に示すように、第１フラッシング部９１を配置し、テーブル６１に対して比較的大きい基材１０を載置する場合には、第２フラッシング部９２を配置すればよい。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。
【００９６】
（変形例２）第１実施形態では、第１及び第２態様の２態様について説明したが、３態様以上であってもよい。この場合においても、各基材の態様ごとに、基材の端部近傍にフラッシング部を配置すればよい。このようにすれば、さらに、多様する基材の態様に対応することができる。
【００９７】
（変形例３）第１実施形態では、テーブル６１の基材１０の載置面領域内に２つの第１フラッシング部９１を配置したが、この構成に限定されない。例えば、図１０に示すように、テーブル６１の基材１０の載置面領域内に１つの第１フラッシング部９１を配置した構成であってもよい。この場合において、基材１０をテーブル６１に対して縦置きに（第１態様）、かつ、ヘッド部５０の初期位置の方向に寄せて載置した場合に、基材１０ａの端部近傍となる位置に第１フラッシング部９１を配置する。このようにすれば、ヘッド部５０と基材１０ａとの距離が短くなるので、サイクルタイムを短縮させることができる。また、このような基材１０ａの載置においては、第１フラッシング部９１を１つ備えればよいので、装置の簡略化が図れる。
【００９８】
（変形例４）本実施形態では、フラッシング部の頂部面９１ｃ，９３ｃを載置部として機能させたが、例えば、基材１０の剛性が確保できれば、特に、載置部を設けなくともよい。このようにしても、液滴吐出性を損なうことはない。
【００９９】
（変形例５）第２実施形態では、フラッシング部９３の全体を移動させたが、フラッシング部９３を分割構造として、必要部分だけを移動させるようにしてもよい。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。
【０１００】
（変形例６）上記の実施形態では、パターン膜形成部材としてカラーフィルタ１を例として説明したが、これに限定されることなく、例えば、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）発光部材、シリカガラス前駆体、金属化合物等の導電部材、誘電体部材等についても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】第１実施形態にかかる液滴吐出装置の構成を示す斜視図。
【図２】吐出ヘッドの構造を示し、（ａ）は一部破断した斜視図、（ｂ）は断面図。
【図３】第１実施形態にかかるフラッシング部の構成を示し、（ａ）は側断面図、（ｂ）は平面図。
【図４】第１実施形態にかかる液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図。
【図５】第１実施形態にかかるパターン膜形成部材の製造方法を示す工程図。
【図６】電気光学装置の構成を示す断面図。
【図７】電子機器の構成を示す斜視図。
【図８】第２実施形態にかかるフラッシング部の構成を示し、（ａ）は側断面図、（ｂ）は平面図。
【図９】第２実施形態にかかる液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図。
【図１０】変形例にかかるフラッシング部の構成を示し、（ａ）は側断面図、（ｂ）は平面図。
【符号の説明】
【０１０２】
１…パターン膜形成部材としてのカラーフィルタ、１０，１０ａ，１０ｂ…基材、１４…パターン膜としての色素膜、１４ａ…液状体、１６…パターン膜領域としての色素膜領域、３０…液滴吐出装置、３２…ヘッド機構部、３３…ワーク機構部、３４…材料供給部、３５…メンテナンス機構部、３６…制御部、６１…テーブル、９１…第１フラッシング部、９２…第２フラッシング部、９１ａ，９２ａ，９３ａ…液滴受け皿、９１ｂ，９２ｂ，９３ｂ…液滴吸収材、９１ｃ，９３ｃ…頂部面（載置部）、９３…フラッシング部、９５…フラッシング部モータ、１１０…吐出ヘッド、１２１…液滴、１３０…指令部、１５０…電気光学装置としての液晶ディスプレイ、１８０…電子機器としてのテレビ受像機、Ｓ１…第１配置位置、Ｓ２…第２配置位置。
【図１】
2010082576.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010082576.tif 000009
【図８】
2010082576.tif 000010
【図９】
2010082576.tif 000011
【図１０】
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