(57)【要約】【課題】  薬液による危険作業に対し、薬液処理槽の薬液の貯液強度と、大型基板の薬液処理の操作性とを高め、安全に作業を行うことができる大型基板薬液処理装置を提供する。【解決手段】  薬液処理槽１０と、薬液供給手段５０と、リンス液排水手段６０とを有し、薬液処理槽１０は、側壁部１０−２と底板部１０−１と溝部１０−４とにより構成され、底板部１０−１は、側壁部１０−２から溝部１０−４に向かって下降傾斜を有する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
大型ガラス基板を薬液処理する大型基板薬液処理装置であって、
薬液処理槽と、薬液供給手段と、リンス液供給手段とを有し、
前記薬液処理槽は、側壁部と底板部と溝部とを有し、
前記底板部は、前記側壁部から前記溝部に向かって下降傾斜を有することを特徴とする大型基板薬液処理装置。
【請求項２】
前記薬液処理槽の前記側壁部は、削り出しによるＬ型構造を有し、前記側壁部と前記底部とは、内部に共通の接続ピンが埋め込まれて溶接されていることを特徴とする請求項１に記載の大型基板薬液処理装置。
【請求項３】
前記薬液処理槽の前記底板部には、複数のブロックが設置されていることを特徴とする請求項１に記載の大型基板薬液処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大型基板の薬液処理に係り、詳しくは、薬液による危険作業に対し、薬液処理槽の薬液の貯液強度と、大型基板の薬液処理の操作性とを高め、安全に作業を行うことができる大型基板薬液処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図２は、従来における大型基板薬液処理装置の構成を示す構成図である。図２ａにおいて、大型基板薬液処理装置の薬液処理部は、薬液処理槽１０と薬液供給手段５０とから構成され、リンス処理部は、リンス処理槽７０とリンス液供給手段６０とから構成されている。大型ガラス基板３０は、薬液供給手段５０により供給された薬液処理槽１０内の熱硫酸２０に浸漬されて処理される。処理が終了すると大型ガラス基板３０は取り出され、リンス処理部のリンス処理槽７０に浸漬され、リンス液供給手段６０により供給された純水２５によりリンス処理され、溢れた純水は排水される。
【０００３】
この場合、処理される基板は、一辺が１ｍを越える大型ガラス基板３０であり、薬液処理槽１０は、大型ガラス基板３０を立てて挿入する縦型構造である。このため、人手により大型ガラス基板３０を熱硫酸２０内に浸漬して処理した後、再び取り出してリンス処理する工程は操作性が悪く、危険を伴う作業であった。
【０００４】
また、図２ｂは、薬液処理槽の底部のエッジの接続を示す構造図である。図２ｂにおいて、薬液処理槽１０の底板部１０−１の端部と側壁部１０−２は、面合せされ溶接された構造となっている。ところで、薬液処理槽１０は縦型構造であるため、熱硫酸２０による圧力がこの溶接部分に強く加わり、さらに外部からの衝撃が加わると、この溶接部分に亀裂が生じ、熱硫酸がリークする問題があった。
【０００５】
特許文献１には、基板処理装置が、基板を水平に保持する基板保持手段と、基板保持手段に保持された基板を回転させる基板回転手段と、回転している基板に純水を供給する純水供給手段と、水溶性アルコールを供給する水溶性アルコール供給手段と、基板回転手段、純水供給手段及び水溶性アルコール供給手段を制御する制御手段とを含む、旨の記載がある。
【特許文献１】特開２００７−２２７４６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、薬液による危険作業に対し、薬液処理槽の薬液の貯液強度と、大型基板の薬液処理の操作性とを高め、安全に作業を行うことができる大型基板薬液処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の大型基板薬液処理装置は、大型ガラス基板を薬液処理する大型基板薬液処理装置であって、薬液処理槽と、薬液供給手段と、リンス液供給手段とを有し、薬液処理槽は、側壁部と底板部と溝部とを有し、底板部は、側壁部から溝部に向かって下降傾斜を有することを特徴とする。
【０００８】
本発明の大型基板薬液処理装置の薬液処理槽の側壁部は、削り出しによるＬ型構造を有し、側壁部と底部とは、内部に共通の接続ピンが埋め込まれて溶接されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明の大型基板薬液処理装置の薬液処理槽の底板部には、複数のブロックが設置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、横型槽により水圧を軽減し、且つ薬液処理槽の薬液の貯液強度を高めて、人手による大型基板の操作時に発生する外部衝撃による槽の亀裂事故を防止し、基板の薬液処理とリンス処理とを同じ薬液処理槽で行うために、液回収が容易に行える構造にして操作性を高め、さらに熱硫酸による事故を防ぐため使用量を可能な限り軽減することを可能とした。これにより、薬液による危険作業に対し安全に作業を行うことができる大型基板薬液処理装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の実施の形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明による大型基板薬液処理装置の構成を示す装置構成図である。図１ａにおいて、大型基板薬液処理装置１００は、薬液処理槽１０と、薬液供給手段５０と、リンス液排水手段６０とを有している。薬液処理槽１０は、底板部１０−１と側壁部１０−２と溝部１０−４とにより構成されている。また、底板部１０−１は、側壁部１０−２から溝部１０−４に向かって下降傾斜を有している。このように中央部の溝部１０−４に向けて傾斜を持たせることにより、効率よく薬液の回収を行うことが可能となる。
【００１２】
大型ガラス基板３０は、薬液供給手段５０により供給された薬液処理槽１０内の熱硫酸２０中に、横に倒して浸漬され、薬液処理が開始される。薬液処理が終了すると、熱硫酸２０は、薬液供給手段５０により溝部１０−４を介して一旦回収され、続いて、一次側から供給された純水２５によりリンス処理が開始される。リンス水は定量にて供給を停止し、設定時間保持され、タイムアップ後排水される。この排水は一旦リンス液排水手段のタンクに排水され中和剤と混合後、一定のＰＨにしてから排水される。リンス処理が終了すると、大型ガラス基板３０は取り出され、純水５０は完全に排水される。続いて、薬液供給手段５０により回収された熱硫酸２０が、再び薬液処理槽１０内に供給され、つぎの大型ガラス基板３０の薬液処理が開始される。
【００１３】
この場合、処理される大型ガラス基板３０は横に倒して浸漬されるため、薬液処理槽１０は横型構造となっている。このため、底板部１０−１と側壁部１０−２との接続部に加わる熱硫酸２０による圧力は、縦型構造に比べ軽減される。しかし、人手により大型ガラス基板３０を熱硫酸２０内に浸漬する際、何らかの原因で側壁部１０−２に発生する外部衝撃により、底板部１０−１と側壁部１０−２との接続部に大きな力が加わり亀裂が生じ、熱硫酸がリークする可能性がある。これについて、次に説明する。
【００１４】
図２ｂは、薬液処理槽の底板部と側壁部との接続を示す構造図である。図２ｂにおいて、薬液処理槽１０の側壁部１０−２は削り出しによるＬ型構造を有し、側壁部１０−２と底板部１０−１とは、内部に共通の接続ピン１０−３が埋め込まれて溶接されている。これにより、面合せされ溶接された構造に比べて機械強度が大幅に向上し、外部衝撃による亀裂事故がなくなり、熱硫酸のリークによる危険性が無くなる。
【００１５】
また図１ａにおいて、薬液処理槽１０の底板部１０−１には、複数のブロック４０が設置されている。このブロック４０は、人手によるハンドリングのための空間を確保すると共に、安定した薬液処理を行うために大型ガラス基板３０を水平に保持する。さらに、傾斜により溝部１０−４に向けて生じる空間部分においても、複数個のブロック４０が設置されることにより、熱硫酸２０の使用量を軽減することが可能となる。
【００１６】
以上説明したように本発明によれば、横型槽により水圧を軽減し、且つ薬液処理槽の薬液の貯液強度を高めて、人手による大型基板の操作時に発生する外部衝撃による槽の亀裂事故を防止し、基板の薬液処理とリンス処理とを同じ薬液処理槽で行うために、液回収が容易に行える構造にして操作性を高め、さらに熱硫酸による事故を防ぐため使用量を可能な限り軽減することを可能とした。これにより、薬液による危険作業に対し安全に作業を行うことができる大型基板薬液処理装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明による大型基板薬液処理装置の構成を示す装置構成図。
【図２】従来における大型基板薬液処理装置の構成を示す構成図。
【符号の説明】
【００１８】
１０  薬液処理槽
１０−１  底板部
１０−２  側壁部
１０−３  接続ピン
１０−４  溝部
２０  熱硫酸
２５  純水
３０  大型ガラス基板
４０  ブロック
５０  薬液供給手段
６０  リンス液排水手段
７０  リンス処理槽
１００  大型基板薬液処理装置
【図１】
2010099556.tif 000003
【図２】
2010099556.tif 000004