(57)【要約】【課題】安価かつ簡単な構成で搬送コンベアカバーの基板通路開口からの異物の侵入と、アクセス用開口を覆う扉部材の開閉状態の検出を行うことができる基板搬送装置、電子部品実装用装置及び電子部品実装用装置の作業方法を提供することを目的とする。【解決手段】扉部材４１ｃに対して固定して設けられた投光器Ｓ１と、搬入コンベアカバー４１に対して固定して設けられた受光器Ｓ２から成り、扉部材４１ｃが閉じられた状態では検査光Ｌの授受を行うことが可能であり、扉部材４１ｃが開かれた状態では検査光Ｌの授受が不能となる光センサ４１ｄを設ける。検査光Ｌの授受が可能であるか否かによって扉部材４１ｃの開閉状態を検知し、扉部材４１ｃが閉じられた状態のとき、検査光Ｌの授受の状態の変化に基づいて、基板投入通路開口４１ａから異物が侵入したことの検出を行う。【選択図】図７
2010114169.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の搬送を行う搬送コンベアと、
搬送コンベアの端部を覆い、外部から搬送コンベアに基板が投入されるとき若しくは搬送コンベアから外部に基板が排出されるときの基板の通路となる基板通路開口及び搬送コンベアに外部からアクセスするためのアクセス用開口が設けられた搬送コンベアカバーと、
搬送コンベアカバーに設けられてアクセス用開口を開閉自在に覆う扉部材と、
扉部材に対して固定して設けられた第１センサ部品及び搬送コンベアカバーに対して固定して設けられた第２センサ部品から成り、扉部材が閉じられた状態では第１センサ部品と第２センサ部品の間で検査光の授受を行うことが可能であり、扉部材が開かれた状態では第１センサ部品と第２センサ部品の間の検査光の授受が不能となる光センサと、
光センサを構成する第１センサ部品及び第２センサ部品の間で検査光の授受が可能であるか否かによって扉部材の開閉状態を検知するとともに、扉部材が閉じられた状態を検知しているとき、第１センサ部品と第２センサ部品の間の検査光の授受の状態の変化に基づいて、基板通路開口から搬送コンベアカバーにより覆われる空間内に異物が侵入したことの検出を行う検知手段とを備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
扉部材が閉じられているとき、第１センサ部品と第２センサ部品は、搬送コンベアにより搬送される基板の上方領域で検査光の授受を行うことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
基板の搬送を行う搬送コンベアと、
搬送コンベアの端部を覆い、外部から搬送コンベアに基板が投入されるとき若しくは搬送コンベアから外部に基板が排出されるときの基板の通路となる基板通路開口及び搬送コンベアに外部からアクセスするためのアクセス用開口が設けられた搬送コンベアカバーと、
搬送コンベアカバーに設けられてアクセス用開口を開閉自在に覆う扉部材と、
扉部材に対して固定して設けられた第１センサ部品及び搬送コンベアカバーに対して固定して設けられた第２センサ部品から成り、扉部材が閉じられた状態では第１センサ部品と第２センサ部品の間で検査光の授受を行うことが可能であり、扉部材が開かれた状態では第１センサ部品と第２センサ部品の間の検査光の授受が不能となる光センサと、
光センサを構成する第１センサ部品及び第２センサ部品の間で検査光の授受が可能であるか否かによって扉部材の開閉状態を検知するとともに、扉部材が閉じられた状態を検知しているとき、第１センサ部品と第２センサ部品の間の検査光の授受の状態の変化に基づいて、基板通路開口から搬送コンベアカバーにより覆われる空間内に異物が侵入したことの検出を行う検知手段と、
搬送コンベアにより基板を搬送して位置決めし、その位置決めした基板に電子部品実装用の作業を施す作業装置と、
を備えたことを特徴とする電子部品実装用装置。
【請求項４】
扉部材が閉じられているとき、第１センサ部品と第２センサ部品は、搬送コンベアにより搬送される基板の上方領域で検査光の授受を行うことを特徴とする請求項３に記載の電子部品実装用装置。
【請求項５】
基板の搬送を行う搬送コンベアと、搬送コンベアの端部を覆い、外部から搬送コンベアに基板が投入されるとき若しくは搬送コンベアから外部に基板が排出されるときの基板の通路となる基板通路開口及び搬送コンベアに外部からアクセスするためのアクセス用開口が設けられた搬送コンベアカバーと、搬送コンベアカバーに設けられてアクセス用開口を開閉自在に覆う扉部材と、扉部材に対して固定して設けられた第１センサ部品及び搬送コ
ンベアカバーに対して固定して設けられた第２センサ部品から成り、扉部材が閉じられた状態では第１センサ部品と第２センサ部品の間で検査光の授受を行うことが可能であり、扉部材が開かれた状態では第１センサ部品と第２センサ部品の間の検査光の授受が不能となる光センサと、搬送コンベアにより基板を搬送して位置決めし、その位置決めした基板に電子部品実装用の作業を施す作業装置とを備える電子部品実装用装置の作業方法であって、
光センサを構成する第１センサ部品及び第２センサ部品の間で検査光の授受が可能であるか否かによって扉部材の開閉状態を検知するとともに、扉部材が閉じられた状態を検知しているとき、第１センサ部品と第２センサ部品の間の検査光の授受の状態の変化に基づいて、基板通路開口から搬送コンベアカバーにより覆われる空間内に異物が侵入したことの検出を行うことを特徴とする電子部品実装用装置の作業方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品実装用装置に備えられて基板の搬送を行う基板搬送装置、電子部品実装用装置及び電子部品実装用装置の作業方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷機や電子部品実装装置等の電子部品実装用装置に備えられる基板搬送装置は、本体カバーによって覆われた基台上に設置された一又は複数の搬送コンベアから成る基板搬送路を有し、本体カバーに形成された開口部から外部に突出した搬送コンベアの端部は本体カバーの外部に設けられた搬送コンベアカバーによって覆われている（特許文献１）。搬送コンベアカバーには、外部から搬送コンベアに基板が投入されるとき、若しくは搬送コンベアから外部に基板が排出されるときの基板の通路となる基板通路開口のほか、搬送コンベアに外部からアクセスするためのアクセス用開口が設けられる。アクセス用開口は搬送コンベアカバーに設けられた扉部材によって開閉自在に覆われ、オペレータは扉部材を開いて搬送コンベアや基板の点検等を行うことができる。
【０００３】
このような基板搬送装置には、基板通路開口から異物が侵入したり、作業装置の作動中にオペレータが誤って基板通路開口から手を差し入れたりしたときにこれを検知する異物侵入検出センサが設けられており、異物侵入検出センサにより異物等が検出されたとき、搬送コンベアの作動が停止されてオペレータの安全が図られるようになっている。異物侵入検出センサには光センサが用いられ、光センサは、搬送コンベアの幅方向に対向して設けられた２つのセンサ部品（例えば、投光器と受光器或いは投受光器と反射器）の間で検査光の授受を行い、検査光の受光状態の変化に基づいて、基板通路開口からの異物の侵入を検出する。
【０００４】
また、搬送コンベアカバーには扉部材の開閉状態を検出できる扉部材開閉検出センサが設けられており、搬送コンベアの作動開始時あるいは作動中に扉部材が開かれていないかどうかが検知されるようになっている。扉部材開閉検出センサにはリミットスイッチが用いられることが多い。
【特許文献１】特開２００１−３４５５９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記センサは高価であってコストがかかるうえ、両センサについて独立した信号処理を行わなければならないため信号処理構成が複雑になるという問題点があった。
【０００６】
そこで本発明では、安価かつ簡単な構成で搬送コンベアカバーの基板通路開口からの異物の侵入と、アクセス用開口を覆う扉部材の開閉状態の検出を行うことができる基板搬送装置、電子部品実装用装置及び電子部品実装用装置の作業方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の基板搬送装置は、基板の搬送を行う搬送コンベアと、搬送コンベアの端部を覆い、外部から搬送コンベアに基板が投入されるとき若しくは搬送コンベアから外部に基板が排出されるときの基板の通路となる基板通路開口及び搬送コンベアに外部からアクセスするためのアクセス用開口が設けられた搬送コンベアカバーと、搬送コンベアカバーに設けられてアクセス用開口を開閉自在に覆う扉部材と、扉部材に対して固定して設
けられた第１センサ部品及び搬送コンベアカバーに対して固定して設けられた第２センサ部品から成り、扉部材が閉じられた状態では第１センサ部品と第２センサ部品の間で検査光の授受を行うことが可能であり、扉部材が開かれた状態では第１センサ部品と第２センサ部品の間の検査光の授受が不能となる光センサと、光センサを構成する第１センサ部品及び第２センサ部品の間で検査光の授受が可能であるか否かによって扉部材の開閉状態を検知するとともに、扉部材が閉じられた状態を検知しているとき、第１センサ部品と第２センサ部品の間の検査光の授受の状態の変化に基づいて、基板通路開口から搬送コンベアカバーにより覆われる空間内に異物が侵入したことの検出を行う検知手段とを備えた。
【０００８】
請求項２に記載の基板搬送装置は、請求項１に記載の基板搬送装置であって、扉部材が閉じられているとき、第１センサ部品と第２センサ部品は、搬送コンベアにより搬送される基板の上方領域で検査光の授受を行う。
【０００９】
請求項３に記載の電子部品実装用装置は、基板の搬送を行う搬送コンベアと、搬送コンベアの端部を覆い、外部から搬送コンベアに基板が投入されるとき若しくは搬送コンベアから外部に基板が排出されるときの基板の通路となる基板通路開口及び搬送コンベアに外部からアクセスするためのアクセス用開口が設けられた搬送コンベアカバーと、搬送コンベアカバーに設けられてアクセス用開口を開閉自在に覆う扉部材と、扉部材に対して固定して設けられた第１センサ部品及び搬送コンベアカバーに対して固定して設けられた第２センサ部品から成り、扉部材が閉じられた状態では第１センサ部品と第２センサ部品の間で検査光の授受を行うことが可能であり、扉部材が開かれた状態では第１センサ部品と第２センサ部品の間の検査光の授受が不能となる光センサと、光センサを構成する第１センサ部品及び第２センサ部品の間で検査光の授受が可能であるか否かによって扉部材の開閉状態を検知するとともに、扉部材が閉じられた状態を検知しているとき、第１センサ部品と第２センサ部品の間の検査光の授受の状態の変化に基づいて、基板通路開口から搬送コンベアカバーにより覆われる空間内に異物が侵入したことの検出を行う検知手段と、搬送コンベアにより基板を搬送して位置決めし、その位置決めした基板に電子部品実装用の作業を施す作業装置と、を備えた。
【００１０】
請求項４に記載の電子部品実装用装置は、請求項３に記載の電子部品実装用装置であって、扉部材が閉じられているとき、第１センサ部品と第２センサ部品は、搬送コンベアにより搬送される基板の上方領域で検査光の授受を行う。
【００１１】
請求項５に記載の電子部品実装用装置の作業方法は、基板の搬送を行う搬送コンベアと、搬送コンベアの端部を覆い、外部から搬送コンベアに基板が投入されるとき若しくは搬送コンベアから外部に基板が排出されるときの基板の通路となる基板通路開口及び搬送コンベアに外部からアクセスするためのアクセス用開口が設けられた搬送コンベアカバーと、搬送コンベアカバーに設けられてアクセス用開口を開閉自在に覆う扉部材と、扉部材に対して固定して設けられた第１センサ部品及び搬送コンベアカバーに対して固定して設けられた第２センサ部品から成り、扉部材が閉じられた状態では第１センサ部品と第２センサ部品の間で検査光の授受を行うことが可能であり、扉部材が開かれた状態では第１センサ部品と第２センサ部品の間の検査光の授受が不能となる光センサと、搬送コンベアにより基板を搬送して位置決めし、その位置決めした基板に電子部品実装用の作業を施す作業装置とを備える電子部品実装用装置の作業方法であって、光センサを構成する第１センサ部品及び第２センサ部品の間で検査光の授受が可能であるか否かによって扉部材の開閉状態を検知するとともに、扉部材が閉じられた状態を検知しているとき、第１センサ部品と第２センサ部品の間の検査光の授受の状態の変化に基づいて、基板通路開口から搬送コンベアカバーにより覆われる空間内に異物が侵入したことの検出を行う。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、光センサの第１センサ部品と第２センサ部品の間で検査光の授受が可能であるか否かによって扉部材の開閉状態が検知され、扉部材が閉じられており、第１センサ部品と第２センサ部品の間で検査光の授受が可能であるときには、第１センサ部品と第２センサ部品の間の検査光の授受の状態の変化に基づいて、搬送コンベアカバーの基板通路開口からの異物の侵入を検出することができるようになっている。このように本発明では、異物の侵入を検出するための光センサで扉部材の開閉状態を検知することができるので、扉部材の開閉検出のための専用のセンサは不要となり、安価かつ簡単な構成で、搬送コンベアカバーの基板通路開口からの異物の侵入と、アクセス用開口を覆う扉部材の開閉状態の検出を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の斜視図、図２は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図、図３は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図、図４は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する印刷作業実行部の正面図、図５は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図、図６（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する印刷作業実行部の動作説明図、図７（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の搬送コンベアカバーの斜視図、図８（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の搬送コンベアカバーの断面正面図である。
【００１４】
図１において、本実施の形態における基板搬送装置を備えた電子部品実装用装置の一例としてのスクリーン印刷機１は、外部から投入（矢印Ａ１）された基板ＰＢを内部に搬入して所定の作業位置に位置決めし、スクリーン印刷を行って外部に排出する（矢印Ａ２）。以下の説明では、スクリーン印刷機１における基板ＰＢの搬送方向をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向とする。また、上下方向をＺ軸方向とする。
【００１５】
図２及び図３において、スクリーン印刷機１は、本体カバー２によって覆われた基台３と、基台３に設けられて基板ＰＢをＸ軸方向に搬送する基板搬送路４と、基台３上に設けられ、基板ＰＢに対するスクリーン印刷作業を実行する印刷作業実行部５を備えている。
【００１６】
図２及び図３において基板搬送路４は、Ｘ軸方向に並んで設けられた搬入コンベア１１、位置決めコンベア１２及び搬出コンベア１３から成り、それぞれ一対のベルトコンベアから成る。搬入コンベア１１は本体カバー２に設けられた投入側開口部２ａから外部（基板ＰＢの搬送方向の上流側）に突出しており、搬出コンベア１３は本体カバー２に設けられた排出側開口部２ｂから外部（基板ＰＢの搬送方向の下流側）に突出している。
【００１７】
搬入コンベア１１はスクリーン印刷機１の外部から投入された基板ＰＢをスクリーン印刷機１の内部に搬入して位置決めコンベア１２に受け渡す。位置決めコンベア１２は搬入コンベア１１から受け取った基板ＰＢを作業実行位置（図３に示す基板ＰＢの位置）に位置決めし、基板ＰＢに対するスクリーン印刷作業が終了した後、基板ＰＢ（スクリーン印刷が施された基板ＰＢ）を搬出コンベア１３に受け渡す。搬出コンベア１３は位置決めコンベア１２から受け取った基板ＰＢをスクリーン印刷機１の外部に搬出する。
【００１８】
図４において印刷作業実行部５は、基板搬送路４（位置決めコンベア１２）によって位置決めされた基板ＰＢをクランプしてその基板ＰＢの水平面内（Ｘ軸及びＹ軸方向）方向への位置合わせと上下方向（Ｚ軸方向）への位置合わせを行う基板位置合わせ部２１、基板位置合わせ部２１の上方に設けられたマスクプレート２２及びスキージユニット２３、ＸＹロボット２４（図３）によって基板位置合わせ部２１とマスクプレート２２の間の空間を水平面内方向に移動自在に設けられたカメラユニット２５並びにマスクプレート２２
にペーストを供給するシリンジユニット２６を備えている。
【００１９】
図４において、印刷作業実行部５の基板位置合わせ部２１は、基台３に対してＹ軸方向に相対移動するＹテーブル２１ａ、Ｙテーブル２１ａに対してＸ軸方向に相対移動するＸテーブル２１ｂ、Ｘテーブル２１ｂに対してＺ軸回りに（水平面内で）相対回転するθテーブル２１ｃ、θテーブル２１ｃに固定されたベースプレート２１ｄ、ベースプレート２１ｄに対して相対昇降する第１昇降プレート２１ｅ、第１昇降プレート２１ｅに対して相対昇降する第２昇降プレート２１ｆ及び第２昇降プレート２１ｆに固定された下受けユニット２１ｇ及び位置決めコンベア１２の上方でＹ軸方向に開閉動作する一対の部材から成るクランパ２１ｈから成る（図３も参照）。
【００２０】
図３及び図４において、マスクプレート２２は平面視において矩形形状を有するマスク枠２２ａによって四辺が支持されており、マスク枠２２ａによって囲まれた内側領域には、印刷対象物である基板ＰＢの上面に形成された電極Ｄ（図３）の形状や位置等に対応した多数の孔から成るマスクパターン（図示せず）が設けられている。
【００２１】
図４において、スキージユニット２３は基板位置合わせ部２１に対してＹ軸方向に移動自在に設けられた移動プレート２３ｐと、移動プレート２３ｐに取り付けられて上下方向に延びた２つのスキージ昇降シリンダ（空圧シリンダ）２３ｓと、各スキージ昇降シリンダ２３ｓの下部に取り付けられてＹ軸方向に対向する２つのスキージ２３ａを備えて成る。各スキージ２３ａはＸ軸方向に延びた「へら」状の部材であり、それぞれスキージ昇降シリンダ２３ｓの下方への突没動作によって、移動プレート２３ｐに対して昇降される。
【００２２】
図３において、ＸＹロボット２４は、基台３の上方をＹ軸方向に延び、基台３に相対的に固定して設けられたＹ軸ステージ２４ａ、Ｘ軸方向に延び、Ｙ軸ステージ２４ａに沿って移動自在に設けられたＸ軸ステージ２４ｂ及びＸ軸ステージ２４ｂに沿って移動自在に設けられた移動プレート２４ｃから成っている。図４において、カメラユニット２５は、ＸＹロボット２４の移動プレート２４ｃに、撮像面を下方に向けた第１カメラ２５ａと、撮像面を上方に向けた第２カメラ２５ｂが取り付けられた構成となっている。
【００２３】
図４において、シリンジユニット２６は、基板位置合わせ部２１に対して水平面内方向に移動自在に設けられた移動プレート２６ｐに、基板ＰＢに印刷しようとするペーストを下方に吐出するシリンジ２６ａが取り付けられた構成となっている。
【００２４】
基板搬送路４を構成する搬入コンベア１１、位置決めコンベア１２及び搬出コンベア１３による基板ＰＢの搬送及び位置決め動作は、このスクリーン印刷機１が備える制御装置３０（図５）が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送路作動機構３１（図５）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２５】
基台３に対するＹテーブル２１ａのＹ軸方向への移動、Ｙテーブル２１ａに対するＸテーブル２１ｂのＸ軸方向への移動、Ｘテーブル２１ｂに対するθテーブル２１ｃのＺ軸回りの回転、ベースプレート２１ｄに対する（すなわちθテーブル２１ｃに対する）第１昇降プレート２１ｅの昇降、第１昇降プレート２１ｅに対する第２昇降プレート２１ｆの（すなわち下受けユニット２１ｇの）昇降及びクランパ２１ｈの開閉動作の各動作は、制御装置３０がＹテーブル駆動モータＭｙやＸテーブル駆動モータＭｘ（図４）等のアクチュエータ等から成る基板位置合わせ部作動機構３２（図５）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２６】
スキージユニット２３の移動（移動プレート２３ｐの移動）動作は、制御装置３０が図示しないアクチュエータ等から成るスキージユニット移動機構３３（図５）の作動制御を
行うことによってなされ、各スキージ２３ａの昇降動作は、制御装置３０が前述のスキージ昇降シリンダ２３ｓ等から成るスキージ昇降機構３４（図５）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２７】
ＸＹロボット２４を構成するＸ軸ステージ２４ｂのＹ軸方向への移動動作及び移動プレート２４ｃのＸ軸方向への移動動作は、制御装置３０が図示しないアクチュエータ等から成るＸＹロボット作動機構３５（図５）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２８】
第１カメラ２５ａは、制御装置３０に制御されて、基板位置合わせ部２１によって位置合わせされた基板ＰＢに設けられている基板位置検出マークＭ（図３）の撮像を行い（図５）、第２カメラ２５ｂは、制御装置３０に制御されて、マスクプレート２２に設けられているマスク位置検出マーク（図示せず）の撮像を行う（図５）。第１カメラ２５ａの撮像によって得られた画像データ及び第２カメラ２５ｂの撮像によって得られた画像データは制御装置３０に入力される（図５）。
【００２９】
シリンジユニット２６の移動（移動プレート２６ｐの移動）動作は、制御装置３０が図示しないアクチュエータ等から成るシリンジユニット移動機構３６（図５）の作動制御を行うことによってなされ、シリンジ２６ａによるペーストの供給動作は、制御装置３０が図示しないアクチュエータ等から成るシリンジ作動機構３７（図５）の作動制御を行うことによってなされる。
【００３０】
スクリーン印刷機１の制御装置３０は、図示しない検出手段により、オペレータ（或いはスクリーン印刷機１の上流側に設置された図示しない他の装置）から基板搬送路４（搬入コンベア１１）に基板ＰＢが投入されたことを検知したら、搬入コンベア１１と位置決めコンベア１２を作動させ、投入された基板ＰＢを搬入コンベア１１によって受け取ってスクリーン印刷機１の内部に搬入し、位置決めコンベア１２に受け渡す。制御装置３０は、位置決めコンベア１２により基板ＰＢを受け取ったら、位置決めコンベア１２をそのまま作動させ、基板ＰＢが作業実行位置に到達したところで位置決めコンベア１２を停止させて、基板ＰＢを作業実行位置に位置決めする（基板位置決め工程）。
【００３１】
制御装置３０は、基板ＰＢを作業実行位置に位置決めしたら、第２昇降プレート２１ｆを第１昇降プレート２１ｅに対して相対上昇させ、下受けユニット２１ｇの上面を基板ＰＢの下面に下方から当接させて、下受けユニット２１ｇに基板ＰＢを支持させる。下受けユニット２１ｇに基板ＰＢを支持させたら、制御装置３０はクランパ２１ｈにより基板ＰＢをクランプさせて、基板ＰＢを位置決めコンベア１２上に（すなわち基板搬送路４上に）固定する（基板固定工程）。
【００３２】
制御装置３０は、基板ＰＢを位置決めコンベア１２上に固定したら、カメラユニット２５の移動と第１カメラ２５ａの撮像動作制御を行って基板ＰＢの基板位置検出マークＭの画像データを取得し、基板ＰＢの位置を把握するとともに、カメラユニット２５の移動と第２カメラ２５ｂの撮像動作制御を行ってマスクプレート２２のマスク位置検出マークの画像データを取得し、マスクプレート２２の位置を把握する。
【００３３】
制御装置３０は、基板ＰＢの位置とマスクプレート２２の位置を把握したら、基板位置合わせ部２１による基板ＰＢの水平面内方向の移動動作によって、基板ＰＢをマスクプレート２２の直下の所定位置に位置させた後、基板位置合わせ部２１による基板ＰＢの垂直方向の移動（第１昇降プレート２１ｅの上昇）動作によって、基板ＰＢの上面をマスクプレート２２の下面に下方から接触させる（図６（ａ）の図中に示す矢印Ｂ１）。これによりマスクプレート２２が基板ＰＢに対して位置合わせされる（図６（ａ）。基板位置合わせ工程）。
【００３４】
制御装置３０は、マスクプレート２２に対する基板ＰＢの位置合わせを行ったら、基板ＰＢに対するスクリーン印刷を実行する。これには先ず、シリンジユニット２６をマスクプレート２２の上方に移動させ、シリンジ２６ａからマスクプレート２２の上面に半田ペーストや導電性ペースト等のペーストＰＴを供給する（図６（ａ）。ペースト供給工程）。
【００３５】
制御装置３０は、マスクプレート２２の上面にペーストＰＴを供給したら、一方のスキージ２３ａを下降させてそのスキージ２３ａの下縁をマスクプレート２２の上面に当接させる。そして、スキージユニット２３をＹ軸方向に移動させ、スキージ２３ａをマスクプレート２２上で摺動させることによってペーストＰＴをかき寄せて（図６（ｂ）中に示す矢印Ｂ２）、ペーストＰＴをマスクプレート２２のパターン孔内に充填させる（図６（ｂ）。スキージング工程）。
【００３６】
制御装置３０は、マスクプレート２２のパターン孔内にペーストＰＴを充填させたら、第２昇降プレート２１ｆを第１昇降プレート２１ｅに対して相対下降させ、マスクプレート２２を基板ＰＢから分離させる。これにより、いわゆる版離れが行われ、マスクプレート２２のパターン孔内に充填されたペーストＰＴが基板ＰＢ上に印刷（転写）される（版離れ工程）。
【００３７】
制御装置３０は、基板ＰＢにペーストＰＴを印刷し、基板ＰＢへのスクリーン印刷作業が終了したら、基板位置合わせ部２１を作動させて、位置決めコンベア１２の搬出コンベア１３に対する位置調整を行う。位置決めコンベア１２の搬出コンベア１３に対する位置調整が終了したら、制御装置３０は位置決めコンベア１２と搬出コンベア１３を作動させ、基板ＰＢを位置決めコンベア１２から搬出コンベア１３に載せ換え、更に搬出コンベア１３によって、基板ＰＢをスクリーン印刷機１の下流側に配置された他の装置等に搬出する（基板搬出工程）。
【００３８】
ところで、図１、図２及び図３に示すように、このスクリーン印刷機１の本体カバー２には、本体カバー２の投入側開口部２ａから突出した搬入コンベア１１の端部を覆う搬入コンベアカバー４１と、本体カバー２の排出側開口部２ｂから突出した搬出コンベア１３の端部を覆う搬出コンベアカバー４２が設けられている。
【００３９】
搬入コンベアカバー４１には、外部から搬入コンベア１１に基板ＰＢが投入されるときの基板ＰＢの通路となる基板投入通路開口４１ａと、搬入コンベア１１に外部からアクセスするための搬入側アクセス用開口４１ｂが設けられている。また、搬出コンベアカバー４２には、搬出コンベア１３から外部に基板ＰＢが排出されるときの基板ＰＢの通路となる基板排出通路開口４２ａと、搬出コンベア１３に外部からアクセスするための搬出側アクセス用開口４２ｂが設けられている。更に、搬入コンベアカバー４１には、搬入側アクセス用開口４１ｂを開閉自在に覆う搬入側扉部材４１ｃが設けられており、搬出コンベアカバー４２には、搬出側アクセス用開口４２ｂを開閉自在に覆う搬出側扉部材４２ｃが設けられている。
【００４０】
搬入側扉部材４１ｃはヒンジＨを介して搬入コンベアカバー４１に取り付けられて上下に開閉自在となっており、搬入側扉部材４１ｃの上面には把持部Ｐが設けられている。このためオペレータは、把持部Ｐを持ってヒンジＨを支点に搬入側扉部材４１ｃを引き上げて開き、搬入側アクセス用開口４１ｂを上方に露出させることによって、搬入コンベア１１の点検等を行うことができる。また同様に、搬出側扉部材４２ｃはヒンジＨを介して搬出コンベアカバー４２に取り付けられて上下に開閉自在となっており、搬出側扉部材４２ｃの上面には把持部Ｐが設けられている。このためオペレータは、把持部Ｐを持ってヒン
ジＨを支点に搬出側扉部材４２ｃを引き上げ開き、搬出側アクセス用開口４２ｂを上方に露出させることによって、搬出コンベア１３の点検等を行うことができる。（図２、図７及び図８参照）。
【００４１】
図７及び図８において、搬入側扉部材４１ｃの下面には、下方に延びるセンサ取り付けブラケットＳＢの上端部が取り付けられており、センサ取り付けブラケットＳＢの下端には搬入側光センサ４１ｄの第１センサ部品である投光器Ｓ１が設けられている。また、搬入コンベアカバー４１の内面には、搬入側光センサ４１ｄの第２センサ部品である受光器Ｓ２が設けられている。
【００４２】
ここで、投光器Ｓ１と受光器Ｓ２は、搬入側扉部材４１ｃが閉じられた状態で、搬入コンベア１１をその平面視において幅方向（Ｙ方向）に挟むように、かつ、搬入コンベア１１により搬送（搬入）される基板ＰＢの上方領域においてほぼ水平方向に対向するように設けられており（図７（ａ）及び図８（ａ））、搬入側扉部材４１ｃが閉じられた状態では投光器Ｓ１と受光器Ｓ２が搬入コンベア１１の幅方向（Ｙ軸方向）に対向するので投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間での検査光Ｌの授受が可能であるが、搬入側扉部材４１ｃが開かれた状態では投光器Ｓ１と受光器Ｓ２が対向せず、投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間での検査光Ｌの授受が不能になるようになっている。
【００４３】
搬入側扉部材４１ｃが閉じられているとき、投光器Ｓ１と受光器Ｓ２は搬入コンベア１１により搬送される基板ＰＢの上方領域で検査光Ｌの授受を行うので（図７（ａ）及び図８（ａ））、基板投入通路開口４１ａから搬入コンベアカバー４１により覆われる空間内（詳細には搬入コンベア１１の上方領域）に異物が侵入したことの検出が可能となる。一方、搬入側扉部材４１ｃが開かれているとき、投光器Ｓ１と受光器Ｓ２は検査光Ｌの授受を行わないので（図７（ｂ）及び図８（ｂ））、基板投入通路開口４１ａから異物が侵入したことの検出はできなくなる。
【００４４】
同様に、図７及び図８において、搬出側扉部材４２ｃの下面には、下方に延びるセンサ取り付けブラケットＳＢの上端部が取り付けられており、センサ取り付けブラケットＳＢの下端には搬出側光センサ４２ｄの第１センサ部品である投光器Ｓ１が設けられている。また、搬出コンベアカバー４２の内面には、搬出側光センサ４２ｄの第２センサ部品である受光器Ｓ２が設けられている。
【００４５】
ここで、投光器Ｓ１と受光器Ｓ２は、搬出側扉部材４２ｃが閉じられた状態で、搬出コンベア１３をその平面視において幅方向（Ｙ軸方向）に挟むように、かつ、搬出コンベア１３により搬送（搬出）される基板ＰＢの上方領域においてほぼ水平方向に対向するように設けられており（図７（ａ）及び図８（ａ））、搬出側扉部材４２ｃが閉じられた状態では投光器Ｓ１と受光器Ｓ２が搬出コンベア１３の幅方向（Ｙ軸方向）に対向するので投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間での検査光Ｌの授受が可能であるが、搬出側扉部材４２ｃが開かれた状態では投光器Ｓ１と受光器Ｓ２が対向せず、投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間での検査光Ｌの授受が不能になるようになっている。
【００４６】
搬出側扉部材４２ｃが閉じられているとき、投光器Ｓ１と受光器Ｓ２は搬出コンベア１３により搬送される基板ＰＢの上方領域で検査光Ｌの授受を行うので（図７（ａ）及び図８（ａ））、基板排出通路開口４２ａから搬出コンベアカバー４２により覆われる空間内（詳細には搬出コンベア１３の上方領域）に異物が侵入したことの検出が可能となる。一方、搬出側扉部材４２ｃが開かれているとき、投光器Ｓ１と受光器Ｓ２は検査光Ｌの授受を行わないので（図７（ｂ）及び図８（ｂ））、基板排出通路開口４２ａから異物が侵入したことの検出はできなくなる。
【００４７】
図５において、搬入側光センサ４１ｄ（投光器Ｓ１及び受光器Ｓ２）は制御装置３０と繋がっており、制御装置３０は、搬入側光センサ４１ｄを構成する投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間で検査光Ｌの授受が可能であるか否かによって、搬入側扉部材４１ｃの開閉状態を検知する。具体的には、搬入側光センサ４１ｄの投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間で検査光Ｌの授受が可能であることをもって、搬入側扉部材４１ｃが閉じている状態を検知し、投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間で検査光Ｌの授受が不能であることをもって、搬入側扉部材４１ｃが開いている状態を検知する。また、搬入側扉部材４１ｃが閉じられた状態を検知しているときには、投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間の検査光Ｌの授受の状態の変化に基づいて（具体的には、受光器Ｓ２の検査光Ｌの受光状態が受光状態から非受光状態に切り換わったことをもって）、基板投入通路開口４１ａから搬入コンベアカバー４１により覆われる空間内に異物が侵入したことの検出を行う。
【００４８】
同様に、図５において、搬出側光センサ４２ｄ（投光器Ｓ１及び受光器Ｓ２）は制御装置３０と繋がっており、制御装置３０は、搬出側光センサ４２ｄを構成する投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間で検査光Ｌの授受が可能であるか否かによって、搬出側扉部材４２ｃの開閉状態を検知する。具体的には、搬出側光センサ４２ｄの投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間で検査光Ｌの授受が可能であることをもって、搬出側扉部材４２ｃが閉じている状態を検知し、投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間で検査光Ｌの授受が不能であることをもって、搬出側扉部材４２ｃが開いている状態を検知する。また、搬出側扉部材４２ｃが閉じられた状態を検知しているときには、投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間の検査光Ｌの授受の状態の変化に基づいて（具体的には、受光器Ｓ２の検査光Ｌの受光状態が受光状態から非受光状態に切り換わったことをもって）、基板排出通路開口４２ａから搬出コンベアカバー４２により覆われる空間内に異物が侵入したことの検出を行う。
【００４９】
制御装置３０は、上記のようにして搬入側光センサ４１ｄによって基板投入通路開口４１ａから異物が侵入したことを検知し、或いは搬出側光センサ４２ｄによって基板排出通路開口４２ａから異物が侵入したことを検知したら、本体カバー２に設けられたディスプレイ装置５０（図１及び図５）にその旨を表示してオペレータに注意を喚起するとともに、基板搬送路４及び印刷作業実行部５の作動を停止させる。これにより、基板投入通路開口４１ａ或いは基板排出通路開口４２ａからオペレータが誤って手を差し入れてしまった場合であってもオペレータの作業の安全を図ることができ、異物が入り込んでしまった場合であっても、その異物が基板搬送路４によって作業実行部５の方へ運ばれてしまう事態を防止できるので、オペレータは安心して作業を行うことができる。
【００５０】
また制御装置３０は、基板搬送路４及び印刷作業実行部５によるスクリーン印刷作業を開始する際、搬入側光センサ４１ｄによって搬入側扉部材４１ｃが開かれていることを検知し、或いは搬出側光センサ４２ｄによって搬出側扉部材４２ｃが開けられていることを検知したときは、ディスプレイ装置５０にその旨を表示してオペレータに注意を喚起するとともに、基板搬送路４及び印刷作業実行部５の作動を開始させないようにする。また、制御装置３０は、スクリーン印刷作業中に搬入側光センサ４１ｄによって搬入側扉部材４１ｃが開けられたことを検知し、或いは搬出側光センサ４２ｄによって搬出側扉部材４２ｃが開けられたことを検知したときは、ディスプレイ装置５０にその旨を表示してオペレータ注意を喚起するとともに、基板搬送路４及び印刷作業実行部５の作動を停止させる。これにより、搬入側アクセス用開口４１ｂ或いは搬出側アクセス用開口４２ｂからオペレータが手を差し入れたり異物が入り込んだりする可能性のある状態で基板搬送路４及び印刷作業実行部５が作動することを防止でき、オペレータの作業の安全を図ることができる。
【００５１】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基板ＰＢの搬送を行う搬入コンベア１１（搬送コンベア）と、搬入コンベア１１の端部を覆い、外部から搬
入コンベア１１に基板ＰＢが投入されるときの基板ＰＢの通路となる基板投入通路開口４１ａ（基板通路開口）及び搬入コンベア１１に外部からアクセスするための搬入側アクセス用開口４１ｂ（アクセス用開口）が設けられた搬入コンベアカバー４１（搬送コンベアカバー）と、搬入コンベアカバー４１に設けられて搬入側アクセス用開口４１ｂを開閉自在に覆う搬入側扉部材４１ｃ（扉部材）と、搬入側扉部材４１ｃに対して固定して設けられた投光器Ｓ１（第１センサ部品）及び搬入コンベアカバー４１に対して固定して設けられた受光器Ｓ２（第２センサ部品）から成り、搬入側扉部材４１ｃが閉じられた状態では投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間で検査光Ｌの授受を行うことが可能であり、搬入側扉部材４１ｃが開かれた状態では投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間の検査光Ｌの授受が不能となる搬入側光センサ４１ｄ（光センサ）と、搬入側光センサ４１ｄを構成する投光器Ｓ１及び受光器Ｓ２の間で検査光Ｌの授受が可能であるか否かによって搬入側扉部材４１ｃの開閉状態を検知するとともに、搬入側扉部材４１ｃが閉じられた状態を検知しているとき、投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間の検査光Ｌの授受の状態の変化に基づいて、基板投入通路開口４１ａから搬入コンベアカバー４１により覆われる空間内に異物が侵入したことの検出を行う検知手段（制御装置３０）から成る基板搬送装置を備えている。
【００５２】
また本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基板ＰＢの搬送を行う搬出コンベア１３（搬送コンベア）と、搬出コンベア１３の端部を覆い、搬出コンベア１３から外部に基板ＰＢが排出されるときの基板ＰＢの通路となる基板排出通路開口４２ａ（基板通路開口）及び搬出コンベア１３に外部からアクセスするための搬出側アクセス用開口４２ｂ（アクセス用開口）が設けられた搬出コンベアカバー４２（搬送コンベアカバー）と、搬出コンベアカバー４２に設けられて搬出側アクセス用開口４２ｂを開閉自在に覆う搬出側扉部材４２ｃ（扉部材）と、搬出側扉部材４２ｃに対して固定して設けられた投光器Ｓ１（第１センサ部品）及び搬出コンベアカバー４２に対して固定して設けられた受光器Ｓ２（第２センサ部品）から成り、搬出側扉部材４２ｃが閉じられた状態では投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間で検査光Ｌの授受を行うことが可能であり、搬出側扉部材４２ｃが開かれた状態では投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間の検査光Ｌの授受が不能となる搬出側光センサ４２ｄ（光センサ）と、搬出側光センサ４２ｄを構成する投光器Ｓ１及び受光器Ｓ２の間で検査光Ｌの授受が可能であるか否かによって搬出側扉部材４２ｃの開閉状態を検知するとともに、搬出側扉部材４２ｃが閉じられた状態を検知しているとき、投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間の検査光Ｌの授受の状態の変化に基づいて、基板排出通路開口４２ａから搬出コンベアカバー４２により覆われる空間内に異物が侵入したことの検出を行う検知手段（制御装置３０）から成る基板搬送装置を備えている。
【００５３】
本実施の形態における基板搬送装置では、光センサ（搬入側光センサ４１ｄ又は搬出側光センサ４２ｄ）の投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間で検査光Ｌの授受が可能であるか否かによって扉部材（搬入側扉部材４１ｃ又は搬出側扉部材４２ｃ）の開閉状態が検知され、扉部材が閉じられており、投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間で検査光Ｌの授受が可能であるときには、投光器Ｓ１と受光器Ｓ２の間の検査光Ｌの授受の状態の変化に基づいて、搬送コンベアカバー（搬入コンベアカバー４１又は搬出コンベアカバー４２）の基板通路開口からの異物の侵入を検出することができるようになっている。このように本実施の形態における基板搬送装置では、異物の侵入を検出するための光センサで扉部材の開閉状態を検知することができるので、扉部材の開閉検出のための専用のセンサは不要となり、安価かつ簡単な構成で搬送コンベアカバーの基板通路開口からの異物の侵入と、アクセス用開口を覆う扉部材の開閉状態の検出を行うことができる。
【００５４】
また、本実施の形態では、扉部材（搬入側扉部材４１ｃ又は搬出側扉部材４２ｃ）が閉じられているとき、投光器Ｓ１と受光器Ｓ２は、搬送コンベア（搬入コンベア１１又は搬出コンベア１３）により搬送される基板ＰＢの上方領域で検査光Ｌの授受を行うようになっており、基板ＰＢの搬送中に基板ＰＢによって検査光Ｌが遮断されることがなく、異物
の検出を適確に行うことができるようになっている。
【００５５】
また、本実施の形態における電子部品実装用装置としてのスクリーン印刷機１は、基板ＰＢの搬送を行う搬送コンベア（搬入コンベア１１又は搬出コンベア１３）と、搬送コンベアの端部を覆い、外部から搬送コンベアに基板ＰＢが投入されるとき若しくは搬送コンベアから外部に基板ＰＢが排出されるときの基板ＰＢの通路となる基板通路開口（基板投入通路開口４１ａ又は基板排出通路開口４２ａ）及び搬送コンベアに外部からアクセスするためのアクセス用開口（搬入側アクセス用開口４１ｂ又は搬出側アクセス用開口４２ｂ）が設けられた搬送コンベアカバー（搬入コンベアカバー４１又は搬出コンベアカバー４２）と、搬送コンベアカバーに設けられてアクセス用開口を開閉自在に覆う扉部材（搬入側扉部材４１ｃ又は搬出側扉部材４２ｃ）と、扉部材に対して固定して設けられた第１センサ部品（投光器Ｓ１）及び搬送コンベアカバーに対して固定して設けられた第２センサ部品（受光器Ｓ２）から成り、扉部材が閉じられた状態では第１センサ部品と第２センサ部品の間で検査光Ｌの授受を行うことが可能であり、扉部材が開かれた状態では第１センサ部品と第２センサ部品の間の検査光Ｌの授受が不能となる光センサ（搬入側光センサ４１ｄ又は搬出側光センサ４２ｄ）と、光センサを構成する第１センサ部品及び第２センサ部品の間で検査光Ｌの授受が可能であるか否かによって扉部材の開閉状態を検知するとともに、扉部材が閉じられた状態を検知しているとき、第１センサ部品と第２センサ部品の間の検査光Ｌの授受の状態の変化に基づいて、基板通路開口から搬送コンベアカバーにより覆われる空間内に異物が侵入したことの検出を行う検知手段と、搬送コンベアにより基板ＰＢを搬送して位置決めし、その位置決めした基板ＰＢに電子部品実装用の作業（ここではスクリーン印刷作業）を施す作業装置としての印刷作業実行部５を備えたものとなっている。
【００５６】
また、本実施の形態における電子部品実装用装置の作業方法は、上記スクリーン印刷機１（電子部品実装用装置）の作業方法であって、光センサ（搬入側光センサ４１ｄ又は搬出側光センサ４２ｄ）を構成する第１センサ部品（投光器Ｓ１）及び第２センサ部品（受光器Ｓ２）の間で検査光Ｌの授受が可能であるか否かによって扉部材（搬入側扉部材４１ｃ又は搬出側扉部材４２ｃ）の開閉状態を検知するとともに、扉部材が閉じられた状態を検知しているとき、第１センサ部品と第２センサ部品の間の検査光Ｌの授受の状態の変化に基づいて、基板通路開口（基板投入通路開口４１ａ又は基板排出通路開口４２ａ）から搬送コンベアカバー（搬入コンベアカバー４１又は搬出コンベアカバー４２）により覆われる空間内に異物が侵入したことの検出を行うようになっている。
【００５７】
本実施の形態におけるスクリーン印刷機１及びスクリーン印刷機１の作業方法では、本実施の形態における安価な基板搬送装置を用いて電子部品実装用の作業が行われるので、基板生産工程に要するコストを低減することができる。
【００５８】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、搬送コンベアカバーに設けられてアクセス用開口を開閉自在に覆う扉部材は、ヒンジＨを介して上下に開閉自在となっていたが、扉部材の構成は限定されず、上下方向や水平方向にスライドさせる構成等であってもよい。
【００５９】
また、上述の実施の形態では、扉部材に対して固定して設けられた第１センサ部品が投光器Ｓ１であり、搬送コンベアカバーに対して固定して設けられた第２センサ部品が受光器Ｓ２であったが、第１センサ部品が受光器Ｓ２で、第２センサ部品が投光器Ｓ１であってもよい。また、第１センサ部品と第２センサ部品は、投光器と受光器の組み合わせでなくてもよく、例えば、投受光器と反射器の組み合わせ等であってもよい。
【００６０】
また、本発明に係る基板搬送装置は、上述したスクリーン印刷機１に限られず、電子部品実装装置や外観検査装置等の他の電子部品実装用装置にも適用することができる。この場合、電子部品実装用装置が行う電子部品実装用の作業には、電子部品実装装置では基板ＰＢに電子部品を搭載する電子部品搭載作業、外観検査装置では、スクリーン印刷作業或いは電子部品搭載作業が終了した基板ＰＢの外観検査を行う外観検査作業が該当する。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
安価かつ簡単な構成で搬送コンベアカバーの基板通路開口からの異物の侵入と、アクセス用開口を覆う扉部材の開閉状態の検出を行うことができる基板搬送装置、電子部品実装用装置及び電子部品実装用装置の作業方法を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する印刷作業実行部の正面図
【図５】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図
【図６】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する印刷作業実行部の動作説明図
【図７】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の搬送コンベアカバーの斜視図
【図８】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の搬送コンベアカバーの断面正面図
【符号の説明】
【００６３】
１１  搬入コンベア（搬送コンベア）
３０  制御装置（検知手段）
４１  搬入コンベアカバー（搬送コンベアカバー）
４１ａ  基板投入通路開口（基板通路開口）
４１ｂ  搬入側アクセス用開口（アクセス用開口）
４１ｃ  搬入側扉部材（扉部材）
４１ｄ  搬入側光センサ（光センサ）
Ｓ１  投光器（第１センサ部品）
Ｓ２  受光器（第２センサ部品）
Ｌ  検査光
ＰＢ  基板
【図１】
2010114169.tif 000003
【図２】
2010114169.tif 000004
【図３】
2010114169.tif 000005
【図４】
2010114169.tif 000006
【図５】
2010114169.tif 000007
【図６】
2010114169.tif 000008
【図７】
2010114169.tif 000009
【図８】
2010114169.tif 000010