(57)【要約】【課題】研削や切削加工を行う、非磁性で非矩形かつ非円形のワークを載置台上に確実に保持して固定することができるワークの支持方法、ワークの支持用治具、ワークの加工方法及び装置を提供する。【解決手段】  複数の磁性固定保持具を連結部材で連結する。それらの磁性固定保持具をワークの周縁に当接させ、かつ載置台上でワークを取り囲むようにそれらの磁性固定保持具を配置し、しかも、連結部材と磁性固定保持具との密着性を保つように、ワークを連結部材の押圧作用と磁性固定保持具の磁力によって載置台にワークを保持固定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の磁性固定保持具を載置台に磁力で固定するとともに、それらの磁性固定保持具によってワークを載置台上で取り囲むように配置するワークの保持方法であって、複数の磁性固定保持具を連結部材で連結し、それらの磁性固定保持具をワークの周縁に当接させ、かつ、連結部材の押圧作用で複数の磁性固定保持具をワークに押圧し、連結部材の押圧作用と磁性固定保持具の磁力によってワークを載置台に保持固定することを特徴とするワークの保持方法。
【請求項２】
複数の磁性固定保持具を載置台に磁力で固定するとともに、それらの磁性固定保持具によってワークを載置台上で取り囲むように配置するワーク支持用治具であって、複数の磁性固定保持具を連結部材で連結し、それらの磁性固定保持具をワークの周縁に当接させ、かつ、連結部材の押圧作用で複数の磁性固定保持具をワークに押圧し、連結部材の押圧作用と磁性固定保持具の磁力によってワークを載置台に保持固定することを特徴とするワーク支持用治具。
【請求項３】
請求項１に記載のワーク保持方法によってワークを載置台に保持固定した状態で、ワークを研磨工具により研磨加工することを特徴とする加工方法。
【請求項４】
請求項２に記載のワーク支持用治具によってワークを載置台に保持固定した状態で、ワークを研磨工具により研磨加工することを特徴とする加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの支持方法、ワークの支持用治具、ワークの加工方法及び装置に関し、とくに、研削や切削の加工の際に、ワークが、マグネットチャックによって保持ができない非磁性のワーク、とくに非矩形かつ非円形の非磁性ワークであっても、ワークを容易にしかも確実に固定保持できる、ワークの支持方法、ワークの支持用治具、ワークの加工方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ワーク（加工物）を保持する方法として、例えば、位置決めのためのローラが面取りされたウェハ、あるいはノッチのついたウェハを保持する方法として、ウェハに当接させて固定する方法（例えば、特許文献１、行番号００１７）や、筒状の加工物をばね、磁石などで三点支持し、加工物を保持する方法（例えば、特許文献２の図３、図６、図８）や、周辺にゴムを配置してレンズを保持する方法（例えば、特許文献３の図２、図５、図１７、１８）などが知られている。
【特許文献１】特開平１１−３２６２２９号公報
【特許文献２】特開平５−３２９７６１号公報
【特許文献３】特開平６−１９０７０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
一般的に、平面研削加工では、電磁方式のマグネットチャックが加工機の載置台にワークを保持するために用いられる。例えば、図４に示すように、磁石の磁力でつかない非磁性ワーク４０を加工機の載置台に固定する場合、磁性体からなる複数の固定プレート４２を載置台に磁力で固定し、かつ、ワーク４０の周りに複数の固定プレート４２を配置してワーク４０を固定することにより、加工中、ワーク４０を動かないように保持する。
【０００４】
このような保持方法でも、ワーク４０が四角形状のワークであれば、比較的容易に保持できるが、図４に示すように、ワーク４０の外周が曲面形状の場合だと、複数枚の固定プレート４２を同時にワーク４０に周りから押さえつけることが難しい。一方のプレート４２を木槌などで押し叩くと、他のプレート４２がワーク４０から離れてしまって、うまくワーク４０を保持することができない。
【０００５】
そこで、本発明の１つの目的は、種々の形状を有する非磁性のワークを載置台上に確実に固定保持することができるワークの支持方法、ワークの支持用治具、ワークの加工方法及び装置を提供することである。
【０００６】
本発明の他の目的は、載置台上に確実に固定保持することができるワークの支持方法、ワークの支持用治具、ワークの加工方法及び装置を提供することを目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明の解決手段を例示すると、特許請求の範囲の各請求項に記載したワークの支持方法、ワークの支持用治具、ワークの加工方法及び装置である。すなわち、
（１）複数の磁性固定保持具を載置台に磁力で固定するとともに、それらの磁性固定保持具によってワークを載置台上で取り囲むように配置するワークの保持方法であって、複数の磁性固定保持具を連結部材で連結し、それらの磁性固定保持具をワークの周縁に当接させ、かつ、連結部材の押圧作用で複数の磁性固定保持具をワークに押圧し、連結部材の押圧作用と磁性固定保持具の磁力によってワークを載置台に保持固定することを特徴とするワークの保持方法。
【０００８】
（２）複数の磁性固定保持具を載置台に磁力で固定するとともに、それらの磁性固定保持具によってワークを載置台上で取り囲むように配置するワーク支持用治具であって、複数の磁性固定保持具を連結部材で連結し、それらの磁性固定保持具をワークの周縁に当接させ、かつ、連結部材の押圧作用で複数の磁性固定保持具をワークに押圧し、連結部材の押圧作用と磁性固定保持具の磁力によってワークを載置台に保持固定することを特徴とするワーク支持用治具。
【０００９】
（３）前述のワーク保持方法によってワークを載置台に保持固定した状態で、ワークを研磨工具により研磨加工することを特徴とする加工方法。
【００１０】
（４）前述のワーク支持用治具によってワークを載置台に保持固定した状態で、ワークを研磨工具により研磨加工することを特徴とする加工装置。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明は、複数の磁性固定保持具（例えば固定プレート）を載置台に磁力で固定するとともに、それらの磁性固定保持具によってワークを載置台上で取り囲むように配置するワークの保持方法やワーク支持用治具を改良したものである。
【００１２】
本発明によるワークの保持方法においては、複数の磁性固定保持具を連結部材で連結し、それらの磁性固定保持具をワークの周縁に当接させ、かつ、連結部材の押圧作用で複数の磁性固定保持具をワークに押圧し、連結部材の押圧作用と磁性固定保持具の磁力によってワークを載置台に保持固定する。
【００１３】
また、本発明によるワーク支持用治具は、複数の磁性固定保持具を載置台に磁力で固定するとともに、それらの磁性固定保持具によってワークを載置台上で取り囲むように配置するワーク支持用治具を改良したものであって、複数の磁性固定保持具を連結部材で連結し、それらの磁性固定保持具をワークの周縁に当接させ、かつ、連結部材の押圧作用で複数の磁性固定保持具をワークに押圧し、連結部材の押圧作用と磁性固定保持具の磁力によってワークを載置台に保持固定することを特徴とする。
【００１４】
好ましくは、前述のワーク保持方法によってワークを載置台に保持固定した状態で、ワークを研磨工具により研磨加工する。
【００１５】
また、前述のワーク支持用治具によってワークを載置台に保持固定した状態で、ワークを研磨工具により研磨加工することが好ましい。
【００１６】
ワークが、種々の形状を有していても、例えば研削や切削の加工を行う、非磁性で非矩形かつ非円形のワークであっても、本発明によれば、ワークを載置台上に確実に固定し保持することができる。
【００１７】
本発明においては、複数の磁性固定プレートのような磁性固定保持具をゴムや、ばね、ヒモなどの連結部材で連結する。例えば、連結部材に固定プレート（磁性固定保持具）を固定して連結したり、あるいは、それらのまわりに囲むように配置して、連結部材を外周から巻き込む。そうすることにより、固定プレート（磁性固定保持具）とワークの密着性を保つことができる。自由な曲面形状のワークであっても、ワークを載置台上に確実に固定し保持することができる。
【実施例１】
【００１８】
図１と図３は、本発明の第１実施例に係るワーク支持用治具とワークの保持方法を概念的に示す。
【００１９】
磁性体である、複数個の磁性固定保持具１０、例えば、プレート状の磁性固定保持具（磁性固定プレートともいう）を、予めヒモ状の連結部材１２で繋くことにより、本発明のワーク支持用治具を構成する。
【００２０】
磁性固定保持具１０は、連結部材１０に相対移動不可の形で固定してもよいし、相対移動可能の形で（例えば通し穴や引っかけ部で）装着してもよい。
【００２１】
このようなワーク支持用治具をワーク１４の外周に巻き付けて、加工機の電磁マグネットチャック形式の載置台１６にチャックさせる。
【００２２】
連結部材１２は、ゴム、バネなど細長い弾性材料で作ってもよいし、細長い非弾性材料で作ってもよい。
【００２３】
ワーク１４が載置台１６から浮く現象が生じたとき、プレート状の磁性固定保持具１０の一方の側面を木槌で叩いたとしても、プレート状の磁性固定保持具１０は連結部材１２によって押圧作用が矢印方向に働いているので、ワーク１４の外周面に当接したプレート状の磁性固定保持具１０がワーク１４から離れることはない。そのため、確実にワーク１４を載置台１６の所定位置に保持することができる。
【００２４】
プレート状の磁性固定保持具１０は、ワーク１４(とくに非磁性で非矩形かつ非円形なワーク)の大きさよりも小さい大きさを有することが好ましく、円筒形であってもいいし、三角柱などの矩形柱であってもよいし、載置台１６（例えば電磁マグネットチャック）に接触する面を平らにした半球形の部材であってもよい。
【００２５】
ワーク１４は、非磁性体からなり、ミラー、レンズ、ガラス等の光学部材であってもいいし、プラスチック等の樹脂の加工物であってもよい。
【実施例２】
【００２６】
図２は、本発明の第２実施例を示す。
【００２７】
図２においては、複数のプレート状の磁性固定保持具２０（固定プレート）をワイヤーロープなどのヒモ状の連結部材２２でつないでワーク支持用治具を構成している。
【００２８】
ワーク２４の外周に巻き付けるようにプレート状の磁性固定保持具２０を配置し、ヒモ状の連結部材２２の両端を矢印の方向へ引っ張りながらマグネットチャック式の載置台１６で固定し、ワーク２４を保持する。
【００２９】
図２の実施例では、プレート状の磁性固定保持具２０は、ほぼ三角柱の形状を有する。
【００３０】
図２の実施例においても、図１の第１実施例の場合と同様に、ワーク２４とプレート状の磁性固定保持具２０との接触は、ほぼ点接触であるので、ワーク２４を変形させたり損傷させたりすることなく、保持することができる。
【００３１】
［加工例］
図３は、図１に示した第１実施例と、図２に示した第２実施例の両方に適用できる加工方法及び加工装置の一例を示している。
【００３２】
図３において、ワーク１４（２４）が加工機テーブルの一部を構成する載置台１６に保持固定される。その状態で、砥石１８が細い矢印方向に回転しつつ、太い矢印の方向に移動して、ワーク１４（２４）を研削する。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の第１実施例を示す説明図。
【図２】本発明の第２実施例を示す説明図。
【図３】本発明による加工方法及び加工装置の一例を示す説明図。
【図４】従来の保持方法を示す説明図。
【符号の説明】
【００３４】
１０  磁性固定保持具
１２  連結部材
１４  ワーク
１６  載置台
１８  砥石
２０  磁性固定保持具
２２  連結部材
２４  ワーク
【図１】
2010099756.tif 000003
【図２】
2010099756.tif 000004
【図３】
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【図４】
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