(57)【要約】【課題】環境の影響を受けず且つ高度な測定精度を有する温室効果ガス測定装置を提供する。【解決手段】光を集光する集光部４と、この集光部４からの光をファブリペロエタロンを透過させて検出する検出部５とを備えた温室効果ガス測定装置１において、ファブリペロエタロンを、ファイバ型ファブリペロエタロン１３で構成する。ファイバ型ファブリペロエタロン１３を柱状体とし、この柱状体１３の軸方向両端にそれぞれ光コネクタプラグ１２を当接させると共に、これら１２、１３の外周側にスリーブ１４を嵌合させ、且つスリーブ１４を温度調節機構１５に固定することにより、ファイバ型ファブリペロエタロンパッケージ９を構成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を集光する集光部と、該集光部からの光をファブリペロエタロンを透過させて検出する検出部とを備えた温室効果ガス測定装置において、
前記ファブリペロエタロンを、ファイバ型ファブリペロエタロンで構成したことを特徴とする温室効果ガス測定装置。
【請求項２】
前記ファイバ型ファブリペロエタロンは、柱状の保持部材に軸方向に沿って形成された内孔に光導波路材料を挿通してなる光導波路柱状体であると共に、該光導波路材料は、光ファイバまたはホーリーファイバであることを特徴とする請求項１に記載の温室効果ガス測定装置。
【請求項３】
前記保持部材が、ガラス、結晶化ガラスまたはセラミックスからなり、該保持部材に前記光導波路材料が融着固定されていることを特徴とする請求項２に記載の温室効果ガス測定装置。
【請求項４】
フェルールに光ファイバが挿通された一対の光コネクタプラグの対向端を、前記光導波路柱状体の軸方向両端に当接させた状態で、前記一対の光コネクタプラグ及び前記光導波路柱状体を位置決め部材によりパッケージングしてなるファイバ型ファブリペロエタロンパッケージを備えたことを特徴とする請求項２または３に記載の温室効果ガス測定装置。
【請求項５】
前記ファイバ型ファブリペロエタロンパッケージは、前記位置決め部材に固定された温度調節機構を有していることを特徴とする請求項４に記載の温室効果ガス測定装置。
【請求項６】
前記ファイバ型ファブリペロエタロンパッケージは、周囲の温度変化に対して、１分間当たり１２℃以上の温度応答速度を有することを特徴とする請求項４または５に記載の温室効果ガス測定装置。
【請求項７】
前記一対の光ファイバプラグの両対向端部または前記光導波路柱状体の軸方向両端部に反射膜が形成されていることを特徴とする請求項４〜６の何れかに記載の温室効果ガス測定装置。
【請求項８】
前記位置決め部材が、前記一対の光コネクタプラグ及び前記光導波路柱状体の外周側に嵌合する円筒スリーブまたは割りスリーブであることを特徴とする請求項４〜７の何れかに記載の温室効果ガス測定装置。
【請求項９】
前記位置決め部材が、ガラス、結晶化ガラスまたはセラミックスからなることを特徴とする請求項４〜８の何れかに記載の温室効果ガス測定装置。
【請求項１０】
前記温度調節機構が、ペルチェ素子を用いて形成されていることを特徴とする請求項５〜９の何れかに記載の温室効果ガス測定装置。
【請求項１１】
前記集光部が屋外に配備されると共に、前記検出部が屋内に配備され、且つ、この両者が光ファイバにより接続されていることを特徴とする請求項１〜１０の何れかに記載の温室効果ガス測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、温室効果ガス測定装置に係り、詳しくは、光を集光する集光部からの光をファブリペロエタロンを透過させて検出するように構成した温室効果ガス測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、地球温暖化は人類或いは動植物にとって深刻な問題になりつつあることから、その主要因たる二酸化炭素やメタンガス等の温室効果ガスを定量的に評価して、温暖化の進行状況を適切に認識するための試みが広汎に亘って行なわれている。この種の試みの要請に応じるべく、今日までに温室効果ガス濃度を定量測定するための各種の装置或いは研究が多岐に亘って行なわれているのが実情であり、その成果が幾つか報告されるに至っている（例えば、非特許文献１参照）。
【０００３】
これらの報告されている測定装置には、ファブリペロエタロンを用いて温室効果ガス濃度を測定するものが見受けられるが、その多くは、バルク型のファブリペロエタロンを用いたものである。一般に、ファブリペロエタロンは、狭帯域の波長フィルタを意味するものであって、バルク型のファブリペロエタロンには、石英を光導波媒体としてその両側に反射膜を設けたものや、空気を光導波媒体とするエアギャップエタロンなどが含まれる。
【０００４】
ところで、ファブリペロエタロンを用いた温室効果ガス濃度の測定は、例えばＣＯ２の場合、赤外域のＣＯ２による吸収線と、それと同じスペクトル形状を有するように設計されたファブリペロエタロンの透過スペクトルとの重なりを利用して行なわれる。詳述すると、ファブリペロエタロンは、その特徴として、温度変化によってスペクトルのピーク位置がシフトするものであり、これを利用して、ＣＯ２の吸収線とファブリペロエタロンの透過スペクトルとが重なる状態と、重ならない状態とを作り出すことができる。そして、重なった場合の透過光強度と、重ならない場合の透過光強度とを検出器で受光し、ランベルトベールの法則を用いて温室効果ガス濃度が算出される。
【０００５】
【非特許文献１】E L Wilson, E M Georgieva and W S Heaps, “Development of a Fabry-Perot interferometer for ultra-precise measurements of column CO2, Meas.Sci.Technol. 18(2007)1495-1502.
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来において用いられていたバルク型のファブリペロエタロンは、温度応答速度が遅く、測定に長時間を要することから、測定中の天候変化の影響を受けて測定精度が低下するおそれがある。また、この種の測定は、赤道直下の高温多湿環境にある地域や、シベリア等の極寒地の屋外で行われることもあるため、その環境の影響を受けてスペクトルのピーク位置にばらつきが生じ、測定精度が低下するおそれもある。
【０００７】
しかも、バルク型のファブリペロエタロンを用いた測定機器は、一体型であって分離不能であるため、測定機器を屋外等の悪環境の中に設置して測定せねばならず、これに起因して上述の測定精度低下の問題は回避し得ないものとなるばかりでなく、オペレーティング作業も屋外等の悪環境の中で行う必要があるため、作業性の著しい悪化を招いていた。
【０００８】
加えて、バルク型のファブリペロエタロンは、使用上の観点から、入射光を平行にして導入する必要性があることから、必然的に光学系が複雑化されるという問題をも有していた。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑み、環境の影響を受けず且つ高度な測定精度を有する温室効果ガス測定装置を提供することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記技術的課題を解決するために創案された本発明は、光を集光する集光部と、該集光部からの光をファブリペロエタロンを透過させて検出する検出部とを備えた温室効果ガス測定装置において、前記ファブリペロエタロンを、ファイバ型ファブリペロエタロンで構成したことに特徴づけられる。
【００１１】
このような構成によれば、温室効果ガス測定装置の検出部にファイバ型ファブリペロエタロンを備えているため、従来のバルク型ファブリペロエタロンを使用する場合と比較して、温度応答性が良くなることから、測定時間を短縮することができ、これに伴って測定中の天候変化の影響を受け難くなる。また、このようにファイバ型ファブリペロエタロンを使用すれば、光を集光する集光部と、ファイバ型ファブリペロエタロンを含む検出部とを分離して、両者を光ファイバで接続することができる。これにより、集光部を屋外に設置した上で、検出部を環境の悪影響を受けない屋内に設置することが可能となり、測定精度の向上が期待できると共に、装置のオペレーティング作業が簡単化され、作業性の向上が図られる。
【００１２】
上記の構成において、前記ファイバ型ファブリペロエタロンは、柱状の保持部材に軸方向に沿って形成された内孔に光導波路材料を挿通してなる光導波路柱状体であると共に、該光導波路材料は、光ファイバまたはホーリーファイバであることが好ましい。
【００１３】
このようにすれば、適正な光特性を備え且つ優れた保持形状をなすファイバ型ファブリペロエタロンを形成することが可能となる。
【００１４】
上記の構成において、前記保持部材が、ガラス、結晶化ガラスまたはセラミックスからなり、該保持部材に前記光導波路材料が融着固定されていることが好ましい。
【００１５】
このようにすれば、ファイバ型ファブリペロエタロンの更なる光特性の適正化が図られると共に、光導波路材料に均一な応力が付与されて、ピークの分裂による測定精度のばらつきの問題が回避される。
【００１６】
上記の構成において、フェルールに光ファイバが挿通された一対の光コネクタプラグの対向端を、前記光導波路柱状体の軸方向両端に当接させた状態で、前記一対の光コネクタプラグ及び前記光導波路柱状体を位置決め部材によりパッケージングしてなるファイバ型ファブリペロエタロンパッケージを備えていることが好ましい。
【００１７】
このようにすれば、ファイバ型ファブリペロエタロンパッケージの小型化を図りつつ熱容量を小さくし且つ熱伝導率を高めることが可能となり、更なる温度応答性の向上が図られる。
【００１８】
上記の構成において、前記ファイバ型ファブリペロエタロンパッケージは、前記位置決め部材に固定された温度調節機構を有していることが好ましい。
【００１９】
このようにすれば、温度調節機構を有するコンパクトなファイバ型ファブリペロエタロンパッケージが構成されると共に、温度調節機構から位置決め部材を介してファイバ型ファブリペロエタロンに可変調節された熱が伝達され、応答性良く測定を行うことが可能となる。
【００２０】
上記の構成において、前記ファイバ型ファブリペロエタロンパッケージは、周囲の温度変化に対して、１分間当たり１２℃以上の温度応答速度を有することが好ましい。
【００２１】
このようにすれば、従来のバルク型ファブリペロエタロンを使用した場合と比較して、飛躍的且つ明確に温度応答速度が向上し、測定時間の大幅な短縮が図られる。
【００２２】
上記の構成において、前記一対の光ファイバプラグの両対向端部または前記光導波路柱状体の軸方向両端部に反射膜が形成されていることが好ましい。
【００２３】
このようにすれば、ファイバ型ファブリペロエタロンパッケージの更なる光特性の適正化を図る上で有利となる。
【００２４】
上記の構成において、前記位置決め部材が、前記一対の光コネクタプラグ及び前記光導波路柱状体の外周側に嵌合する円筒スリーブまたは割りスリーブであることが好ましい。
【００２５】
このようにすれば、ファイバ型ファブリペロエタロンを的確な形態で且つコンパクトにパッケージングすることが可能となる。
【００２６】
上記の構成において、前記位置決め部材が、ガラス、結晶化ガラスまたはセラミックスからなることが好ましい。
【００２７】
このようにすれば、ファイバ型ファブリペロエタロンパッケージの適正な光学特性及び製作の容易化を図る上で有利となる。
【００２８】
上記の構成において、前記温度調節機構が、ペルチェ素子を用いて形成されていることが好ましい。
【００２９】
このようにすれば、温度調節機構による温度調節作用を正確且つ容易に行い得ることになる。
【００３０】
上記の構成において、前記集光部が屋外に配備されると共に、前記検出部が屋内に配備され、且つ、この両者が光ファイバにより接続されていることが好ましい。
【００３１】
このようにすれば、既に述べたように、検出部が環境の悪影響を受けない屋内に設置されていることから、測定精度の向上が期待できると共に、装置のオペレーティング作業が簡単化され、作業性の向上が図られる。
【発明の効果】
【００３２】
以上のように本発明によれば、温室効果ガス測定装置の検出部にファイバ型ファブリペロエタロンを備えていることから、温度応答性が良くなり、測定時間を短縮することができるため、測定中の天候変化の影響を受け難くなると共に、光を集光する集光部と、ファイバ型ファブリペロエタロンを含む検出部とを分離して、両者を光ファイバで接続することができるため、集光部を屋外に設置した上で、検出部を環境の悪影響を受けない屋内に設置することが可能となり、測定精度の向上、及びオペレーティング作業の簡素化、並びに作業性の向上が図られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施形態に係る温室効果ガス測定装置を模式的に示す概略構成図であり、図２は、その構成要素であるファイバ型ファブリペロエタロンパッケージを示す縦断正面図である。
【００３４】
図１に示すように、本実施形態に係る温室効果ガス測定装置１は、主として、屋外２に設置され且つ太陽光等の光を集光する集光部４と、屋内３に設置され且つ温室効果ガス濃度を検出する検出部５とを分離して構成し、集光部４と検出部５とを光ファイバ６により接続したものである。集光部４は、光を集光するための集光レンズ７と、その集光した光を光ファイバ６に導く光学系８とを備えると共に、検出部５は、ファイバ型ファブリペロエタロンパッケージ９と、該エタロンパッケージ９を通過した光を検出する検出器１０とを備え、且つ、光ファイバ６の長さを変化させることにより、分離している集光部４と検出部５との相互間距離を自由に変更調整できるように構成されている。
【００３５】
上記集光レンズ７は、光を集光できるものであれば、形状や種類などは特に問わないが、直径が１００〜１０００μｍ（例えば５００μｍ程度）に集光できるものであることが好ましい。また、集光した光を光ファイバ（シングルモード光ファイバ）６に導くための光学系８は、形状や種類などは特に問わないが、例えば集光レンズ７で集光した光をテーパファイバを用いて直径０．５〜０．１ｍｍに集光し、さらにＰＣＲ（フォトニッククリスタルロッド）を用いて直径０．０５〜０．００５ｍｍ（例えば０．０１ｍｍ程度）に集光するようにした上で、ＰＣＲと光ファイバ６とを融着固定する方法が一例として挙げられる。なお、光学系８に関しては、このような方法に代えて、テーパファイバを用いずに集光された太陽光を直接ＰＣＲに導く方法、またはＰＣＲの替わりにレンズを用いて光を光ファイバ６に導く方法、さらにはこのレンズの後方に光ファイバのモードフィールド径を局所的に拡大させたＴＥＣファイバ（サーマリーディフューズド・エクスパンデッド・コアファイバ）を用いて光ファイバ６に導く方法などであってもよい。
【００３６】
一方、図２に示すように、ファイバ型ファブリペロエタロンパッケージ９は、光ファイバ６ａがフェルール１１に軸方向に挿通固定されてなる一対の光コネクタプラグ１２と、ファイバ型ファブリペロエタロンとしての光導波路柱状体１３と、位置決め部材としての円筒体からなるスリーブ１４と、ペルチェ素子を用いて形成された温度調節機構１５とを備えてなる。この場合、一対の光コネクタプラグ１２は対向して配置され、それぞれの対向端面が光導波路柱状体１３の軸方向両端面に当接すると共に、スリーブ１４が温度調節機構１５に固定され、且つ一対の光コネクタプラグ１２の両対向端面または光導波路柱状体１３の軸方向両端面に反射膜１６が形成されている。
【００３７】
光コネクタプラグ１２と光導波路柱状体１３との当接面は、通常、ＰＣ研磨（フィジカルコンタクト研磨）されているが、光コネクタプラグ１２と光導波路柱状体１３との隙間に、シリコーンオイル、エポキシ樹脂、アクリルート樹脂等の屈折率整合剤が充填されていれば、特に光導波路柱状体１３の端面を高精度に研磨しなくても、それを高精度に研磨した場合と同程度の接続損失とすることができる。
【００３８】
フェルール１１としては、ガラス、結晶化ガラスまたはセラミックスからなるものが使用可能である。この場合、結晶化ガラスとしては、β―ユークリプタイト固溶体やβ―スポジュメン固溶体を主結晶とするものが使用可能であるが、特に、β―スポジュメン固溶体が主結晶として析出した結晶化ガラスは、熱膨脹係数が４０×１０−７／℃よりも小さくなるために光ファイバ６ａとの熱膨張係数差が小さくなり、熱膨張係数差による応力が発生し難く、熱的な影響を受け難くなると共に、機械的強度面においても優れるために好ましい。なお、ガラスとしては、ホウ珪酸ガラスやソーダライムガラスが使用可能であると共に、セラミックスとしては、強度や硬度の点で優れるジルコニアセラミックスが一般に使用される。
【００３９】
反射膜１６としては、高屈折率膜と低屈折率膜のいずれかもしくはそれぞれを交互に積層した誘電体多層膜、具体的には、高屈折率膜として、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２等の膜と、低屈折率膜として、ＳｉＯ２、ＭｇＦ２、ＳｉＮ、Ａｌ２Ｏ３等の膜とを交互に積層した誘電体多層膜が使用可能である。誘電体多層膜は、高屈折率膜と低屈折率膜とのいずれかもしくはそれぞれを交互に２〜３０層積層してなることが、反射率の確保と経済的な理由から好ましい。この場合、３０層を超えると、成膜時間が長くなるため、経済面で不利となる。なお、この反射膜１６は、蒸着法、スパッタ法等の方法で成膜されたものであれば、膜が剥離し難く且つ成膜時に膜厚を制御し易いことから好ましい。
【００４０】
ファイバ型ファブリペロエタロンからなる光導波路柱状体１３は、柱状をなす保持部材１７の内孔に光導波路材料１８が挿通されてなり、この光導波路材料１８が光ファイバやホーリーファイバであると、接続損失が小さくなると共に、光導波路柱状体１３を製作し易いことから好ましい。この場合、保持部材１７は、ガラス、結晶化ガラス、セラミックスなどからなり、光導波路材料１８を固定でき且つ所定の形状に加工できるものであれば、好適に使用可能である。
【００４１】
また、光導波路材料１８が保持部材１７に融着固定されていると、光導波路材料１８に均一な応力が付与されるため、接着剤で固定した場合と比較して、接着剤の硬化収縮時に光導波路材料１８に不均一に応力が加わることに起因するピークの分裂による測定精度のばらつきが回避され得ることになる。具体的には、円筒状に成形したガラスまたは結晶化ガラス製の予備成形体の内孔に、光導波路材料１８（例えば光ファイバ）を挿通した状態で、その予備成形体を加熱延伸することにより、光導波路材料１８の外周面にガラスまたは結晶化ガラスが融着されてなる光導波路柱状体１３を製作することができる。なお、収縮性（収縮率）の大きな材料で保持部材１７を形成しておき、保持部材１７の内孔に挿通された光導波路材料１８をその保持部材１７の熱収縮により圧着固定することにより光導波路柱状体１３を製作することもできる。
【００４２】
位置決め部材としてのスリーブ１４は、一対の光コネクタプラグ１２が光導波路柱状体１３を介して必要な光信号を透過できる位置関係となるように、各光コネクタプラグ１２及び光導波路柱状体１３を位置決めしている。このスリーブ１４としては、全周に亘って肉部で形成された円筒スリーブや、割り（スリット）が形成された割りスリーブなどが使用可能であり、ガラス、結晶化ガラス、セラミックスで作製される。この場合、特に円筒スリーブは、スリットが入っていないことから、この円筒スリーブに対して横荷重が加わっても、円筒スリーブが変形し難いために、光コネクタプラグ１２間での光軸ずれが発生し難く、接続損失が大きくなり難いことから好ましい。更に、このスリーブ１４とフェルール１１とが同一材料からなるか或いは熱膨脹係数差が殆どない材料からなると、温度変化が生じた際の損失変動が小さくなることから好ましい。
【００４３】
また、この実施形態では、ペルチェ素子を用いてなる温度調節機構１５が、既述のようにファイバ型ファブリペロエタロンパッケージ９の構成要素として、スリーブ１４と固定されている。具体的には、スリーブ１４が温度調節機構１５のペルチェ素子の温調板に固定され、さらに熱伝導率の高い例えばシリコン系のグリースで密着されているため、ぺルチェ素子からの熱を迅速にファイバ型ファブリペロエタロン（光導波路柱状体）１３に伝達できるように構成されている。また、保持部材１７、スリーブ１４及びフェルール１１が、ガラス、結晶化ガラス、セラミックス等のようにプラスチック材料に比べて熱伝導率の高い材料からなり、且つ、当該パッケージ９自体が小型で熱容量が小さいため、ペルチェ素子の温度変化に迅速に対応することができる。
【００４４】
そして、この実施形態に係る温室効果ガス測定装置１では、周囲の温度変化に対して１分間当たり１２℃以上の温度応答速度を有するファイバ型ファブリペロエタロンパッケージ９を用いているため、測定に係る時間を短縮でき、測定中の天候変化の影響を受け難くなる。また、ファイバ型ファブリペロエタロン（光導波路柱状体）１３を使用していることから、光を集光する集光部４と、ファイバ型ファブリペロエタロンパッケージ９及び検出器１０からなる検出部５とを分離して、検出部５を屋外２に設置することが可能となる。これにより、ファイバ型ファブリペロエタロンパッケージ９及び検出器１０は、温度や湿度等の悪影響を受けなくなり、測定精度が大幅に向上すると共に、当該装置１の制御が屋内３で行えることから、作業性或いは作業能率も大幅に向上する。
【００４５】
尚、より測定精度を向上させるために、集光部４とファイバ型ファブリペロエタロンパッケージ９との間、または、ファイバ型ファブリペロエタロンパッケージ９と検出器１０との間に、集光した光のうち、測定する温室効果ガスの吸収帯域の光のみを透過する波長フィルタを設けることが望ましい。
【実施例】
【００４６】
本発明の実施例として、図１に示す温度効果ガス測定装置１を組み立てた。この装置１における光の集光系には、直径３０ｍｍの集光レンズ７を使用すると共に、この集光レンズ７で集光した光をテーパファイバに導いて直径０．１ｍｍの光線に絞り、更にＰＣＲ、レンズ、ＴＥＣファイバ等を用いて光を集光して、シングルモード光ファイバ６に光を導いた。そして、ファイバ型ファブリペロエタロンパッケージ９における一対の光コネクタプラグ１２を用いて光導波路柱状体１３に接続し、ファイバ型ファブリペロエタロン１３を通過した光を、検出器１０（フォトダイオード）で検出した。ファイバ型ファブリペロエタロンパッケージ９としては、結晶化ガラス製の保持部材１７内に光ファイバ１８が融着固定された光導波路柱状体１３の両端面に反射膜１６を塗布すると共に、これを結晶化ガラス製のスリーブ１４内に設置して、両端から光コネクタプラグ１２を押し当てて接着剤で固定し、且つスリーブ１４と温度調節機構１５のペルチェ板とを固定して、熱伝導率の高いシリコン系グリースを塗布したものを使用した。更に、光の集光部４と、ファイバ型ファブリペロエタロンパッケージ９及び検出器１０からなる検出部５とを分離し、且つ、その両者４、５を光ファイバ６で接続すると共に、集光部４を屋外２に、検出部５を屋内３に設置した。
【００４７】
以上のように作製してなる温室効果ガス測定装置１により太陽光を集光し、検出された信号波形を図３に示す。この図３において、実線で示す信号波形は、赤外域でのＣＯ２の吸収スペクトルを意味し、点線で示す信号波形は、エタロンシグナルを意味している。そして、図３（ａ）は、温度調節機構１５による温調によってファイバ型ファブリペロエタロンパッケージ９の温度を４８．４℃に設定した信号波形を示し、図３（ｂ）は、３２．８℃に設定した信号波形を示すものである。これらの各図によれば、当該パッケージ９が４８．４℃にある時には、ＣＯ２の吸収とエタロンのスペクトルが重なった状態にあり、３２．８℃にある時には、それらが重ならない状態にある。この場合、温度調節機構１５によってファイバ型ファブリペロエタロンパッケージ９の温度を３２．８℃から４８．４℃に調整するために要した時間は４５秒であって、１分間当たり２０℃の極めて速い温度応答性を示した。そして、この両者の透過光強度をそれぞれＩ及びＩ０とした場合、ランバートベールの式、すなわち、ｌｎ（Ｉ０／Ｉ）＝Ｋ×Ｃ×Ｌ（Ｋ：吸収係数、Ｃ：ＣＯ２濃度、Ｌ：大気の厚さ）より大気中のＣＯ２濃度を測定した。
【００４８】
一方、比較例として、上記と同様に直径３０ｍｍの集光レンズを用いて太陽光を集光すると共に、コリメータを用いて集光された光を平行にした。そして、ファイバ型ファブリペロエタロンパッケージに代えて、バルク型のソリッドエタロンを使用し、コリメータで平行にした光を当該エタロンに入射すると共に、当該エタロンを通過した光をレンズを用いて集光し、上記と同一の検出器に導いた。温度調節は、バルク型のソリッドエタロンをペルチェ素子の温調板の上に設置して行うと共に、この比較例に係る測定装置は分離不能であるからその全てを屋外に設置して測定を行った。この比較例に係るバルク型のエタロンは、上述の実施例に係るファイバ型ファブリペロエタロンと比較して熱容量が大きいため、当該エタロンの温度を３２．８℃から４８．４℃に変化させるために要する時間は約２０分であり、上述の実施例と比較して応答速度が大幅に遅かった。また、この比較例に係る装置は、全体が屋外に晒されるため、その間の天候変化によってＣＯ２のシグナル強度及び当該エタロンの透過位置が変化し、上述の実施例と比較して測定精度が悪化した。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施形態に係る温室効果ガス測定装置を模式的に示す概略構成図である。
【図２】本発明の実施形態に係る温室効果ガス測定装置の構成要素であるファイバ型ファブリペロエタロンパッケージを示す縦断正面図である。
【図３】図３（ａ）は、温度調節機構による温調によってファイバ型ファブリペロエタロンパッケージの温度を４８．４℃に設定した信号波形を示すグラフであり、図３（ｂ）は、３２．８℃に設定した信号波形を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５０】
１  温室効果ガス測定装置
２  屋外
３  屋内
４  集光部
５  検出部
６，６ａ  光ファイバ
７  集光レンズ
９  ファイバ型ファブリペロエタロンパッケージ
１０  検出器
１１  フェルール
１２  光コネクタプラグ
１３  光導波路柱状体（ファイバ型ファブリペロエタロン）
１４  位置決め部材（スリーブ）
１５  温度調節機構
１６  反射膜
１７  保持部材
１８  光導波路材料
【図１】
2010032317.tif 000003
【図２】
2010032317.tif 000004
【図３】
2010032317.tif 000005