(57)【要約】      （修正有）【課題】離型フィルム上に、接着剤層及び粘着フィルムを有するウエハ加工用テープをロール状に巻き取った場合に、接着剤層での転写痕の発生を十分に抑制することができるウエハ加工用テープを提供する。【解決手段】離型フィルム１１上に設けられた接着剤層１２と、接着剤層を覆い、該接着剤層の周囲で離型フィルムに接触するように設けられたラベル部１３ａと、その外側を囲むように設けられた周辺部１３ｂを有する粘着フィルム１３とを含むウエハ加工用テープであって、接着剤層より外側のラベル部外周部に、ラベル部表面とラベル部側縁部との間の角度が鈍角になるよう離型フィルムに対して傾斜するように形成され、且つ、離型フィルムに対する角度が０．２度以上８４度以下に形成される溝を設けた。【選択図】図１
2010177401.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
離型フィルムと、
前記離型フィルムの表面上に設けられた所定の平面形状を有する接着剤層と、
前記接着剤層を覆い、且つ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた所定の平面形状を有するラベル部、及び、前記ラベル部の外側を囲むように設けられた周辺部を有する粘着フィルムとを含むウエハ加工用テープであって、
前記ラベル部は、ラベル部表面と、前記ラベル部表面から前記離型フィルムに延びるラベル部側縁部とを有し、
前記ラベル部側縁部は、前記ラベル部表面と前記ラベル部側縁部との間の角度が鈍角であり、前記離型フィルムに対して傾斜するように形成され、且つ、前記離型フィルムに対する角度が０．２度以上８４度以下に形成され、
前記周辺部は、周辺部表面と、前記周辺部表面から前記離型フィルムに延び、且つ、前記ラベル部側縁部と対向する周辺部側縁部とを有し、
前記周辺部側縁部は、前記周辺部表面と前記周辺部側縁部との間の角度が鈍角であり、前記離型フィルムに対して傾斜するように形成される
ことを特徴とするウエハ加工用テープ。
【請求項２】
前記ラベル部側縁部は、前記離型フィルムに対する角度が４５度以上８０度以下に形成されることを特徴とする請求項１記載のウエハ加工用テープ。
【請求項３】
前記周辺部側縁部は、前記離型フィルムに対する角度が０．２度以上８４度以下に形成されることを特徴とする請求項１又は２記載のウエハ加工用テープ。
【請求項４】
前記周辺部側縁部は、前記離型フィルムに対する角度が４５度以上８０度以下に形成されることを特徴とする請求項１又は２記載のウエハ加工用テープ。
【請求項５】
離型フィルムと、
前記離型フィルムの表面上に設けられた所定の平面形状を有する接着剤層と、
前記接着剤層を覆い、且つ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた所定の平面形状を有するラベル部、及び、前記ラベル部の外側を囲むように設けられた周辺部を有する粘着フィルムとを含むウエハ加工用テープであって、
前記ラベル部は、ラベル部表面と、前記ラベル部表面から前記離型フィルムになめらかに湾曲して延びるラベル部側縁部とを有し、
前記周辺部は、周辺部表面と、前記周辺部表面から前記離型フィルムになめらかに湾曲して延び、且つ、前記ラベル部側縁部と対向する周辺部側縁部とを有する
ことを特徴とするウエハ加工用テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリカット加工により製造されるウエハ加工用テープに関し、特に、ダイシングテープとダイボンディングフィルムの２つの機能を有するダイシング・ダイボンディングフィルムを有するウエハ加工用テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
近時、半導体ウエハを個々のチップに切断分離（ダイシング）する際に半導体ウエハを固定するためのダイシングテープと、切断された半導体チップをリードフレームやパッケージ基板等に接着するため、又は、スタックドパッケージにおいては、半導体チップ同士を積層、接着するためのダイボンディングフィルム（ダイアタッチフィルムともいう）との２つの機能を併せ持つダイシング・ダイボンディングフィルムが開発されている。
【０００３】
このようなダイシング・ダイボンディングフィルムとしては、ウエハへの貼り付けや、ダイシングの際のリングフレームへの取り付け等の作業性を考慮して、プリカット加工が施されたものがある。
【０００４】
プリカット加工されたダイシング・ダイボンディングフィルムの例を、図４及び図５に示す。図４、図５（Ａ）、図５（Ｂ）は、それぞれダイシング・ダイボンディングフィルム３５を備えたウエハ加工用テープ３０の概要図、平面図、断面図である。ウエハ加工用テープ３０は、離型フィルム３１と、接着剤層３２と、粘着フィルム３３とからなる。接着剤層３２は、ウエハの形状に対応する円形に加工されたものであり、円形ラベル形状を有する。粘着フィルム３３は、ダイシング用のリングフレームの形状に対応する円形部分の周辺領域が除去されたものであり、図示するように、円形ラベル部３３ａと、その外側を囲むような周辺部３３ｂとを有する。接着剤層３２と粘着フィルム３３の円形ラベル部３３ａとは、その中心を揃えて積層され、また、粘着フィルム３３の円形ラベル部３３ａは、接着剤層３２を覆い、且つ、その周囲で離型フィルム３１に接触している。そして、接着剤層３２と粘着フィルム３３の円形ラベル部３３ａとからなる積層構造により、ダイシング・ダイボンディングフィルム３５が構成される。
【０００５】
ウエハをダイシングする際には、積層状態の接着剤層３２及び粘着フィルム３３から離型フィルム３１を剥離し、図６に示すように、接着剤層３２上に半導体ウエハＷの裏面を貼り付け、粘着フィルム３３の円形ラベル部３３ａの外周部にダイシング用リングフレームＲを粘着固定する。この状態で半導体ウエハＷをダイシングし、その後、半導体チップをピックアップする。このとき、半導体チップは裏面に接着剤層３２が付着した状態でピックアップされる。半導体チップの裏面に付着した接着剤層３２は、その後、半導体チップをリードフレームやパッケージ基板、あるいは他の半導体チップに接着する際に、ダイボンディングフィルムとして機能する。
【０００６】
ところで、上記のようなウエハ加工用テープ３０は、図４及び図５に示すように、接着剤層３２と粘着フィルム３３の円形ラベル部３３ａとが積層された部分が、他の部分よりも厚い。さらに、図５（Ｂ）に示すように、ラベル部３３ａや周辺部３３ｂをプリカットする際、ウエハ加工用テープの垂直方向からプリカット用の刃を用いてプリカットすることから、ラベル部３３ａの表面３７ａと、ラベル部表面３７ａから離型フィルム３１に延びるラベル部側縁部３８ａとの間の角度が直角に形成される。同様に、周辺部３３ｂの表面３７ｂと、周辺部表面３７ｂから離型フィルム３１に延びる周辺部側縁部３８ｂとの間の角度も直角に形成される。
【０００７】
従って、接着剤層３２と粘着フィルム３３の円形ラベル部３３ａとの積層部分に、プリカットされて粘着フィルム３３が除去されることにより、粘着フィルム３３と離型フィルムとの段差、すなわち、ラベル部３３ａの表面３７ａと、ラベル部側縁部３８ａと、離型フィルム３１とにより形成される段差、及び、周辺部３３ｂの表面３７ｂと、周辺部側縁部３８ｂと、離型フィルム３１とにより形成される段差が生じる。
【０００８】
このため、図７に示す従来の巻き芯５０、すなわち、回転中心に円筒状の空洞部５３が形成された巻き芯５０を用いて、図８に示すように、ウエハ加工用テープ３０を製品としてロール状に巻いた際、接着剤層３２と粘着フィルム３３の円形ラベル部３３ａとの積層部分に、粘着フィルム３３が除去されることにより形成された粘着フィルム３３と離型フィルムとの段差が重なりあい、柔軟な接着剤層３２表面に段差が転写される現象、すなわち図９に示すような転写痕（ラベル痕、シワ、又は、巻き跡ともいう）が発生する。このような転写痕の発生は、特に、接着剤層３２が柔らかい樹脂で形成される場合や厚みがある場合、及びテープ３０の巻き数が多い場合などに顕著である。そして、転写痕が発生すると、接着剤層と半導体ウエハとの間に空気を巻き込み、密着せず、その結果、接着不良を引き起こし、ウエハの加工時に不具合が生じるおそれがある。
【０００９】
上記転写痕の発生を抑制するためには、フィルムの巻き取り圧を弱くすることが考えられるが、この方法では、製品の巻きズレが生じ、例えばテープマウンターへのセットが困難となる等、フィルムの実使用時に支障を来すおそれがある。
【００１０】
また、特許文献１には、上記のようなラベル痕の発生を抑制するために、剥離基材上の接着剤層及び粘着フィルムの外方に、接着剤層及び粘着フィルムの合計の膜厚と同等又はそれ以上の膜厚を有する支持層を設けた接着シートが開示されている。特許文献１の接着シートは、支持層を備えることで、接着シートにかかっていた巻き取りの圧力を分散するか或いは支持層に集め、転写痕の発生を抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００７−２１７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、上記特許文献１の接着シートでは、剥離基板上の、半導体装置を製造する場合等に必要とされる接着剤層及び粘着フィルム以外の部分に、支持層が形成されることから、支持層の幅に制限があり、接着剤層及び粘着フィルムの外径に対して支持層の幅が狭く、ラベル痕の抑制効果が十分ではないという問題が生じていた。また、支持層は一般的に粘着性を有さず、剥離基材（ＰＥＴフィルム）と十分に貼り付いていないことから、支持層の最も狭い部分において剥離基材から浮き、ウエハにダイシング・ダイボンディングフィルムを貼り合わせる際に、上述した浮いた部分が装置に引っかかり、ウエハが損傷してしまうという問題が生じていた。
【００１３】
なお、支持層の幅を広くすることも考えられるが、ウエハ加工用テープ全体の幅も広くなるため、既存設備の使用が困難となる。また、支持層は、最終的に廃棄される部分であることから、支持層の幅を広げることは材料コストの上昇に繋がる。
【００１４】
そこで、本発明の目的は、離型フィルム上に、接着剤層及び粘着フィルムを有するダイシング・ダイボンディングフィルムを有するウエハ加工用テープをロール状に巻き取った場合に、接着剤層への転写痕の発生を十分に抑制することができるダイシング・ダイボンディングフィルムを有するウエハ加工用テープを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
以上のような目的を達成するため、本発明のウエハ加工用テープは、
離型フィルムと、
前記離型フィルムの表面上に設けられた所定の平面形状を有する接着剤層と、
前記接着剤層を覆い、且つ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた所定の平面形状を有するラベル部、及び、前記ラベル部の外側を囲むように設けられた周辺部を有する粘着フィルムとを含むウエハ加工用テープであって、
前記ラベル部は、ラベル部表面と、前記ラベル部表面から前記離型フィルムに延びるラベル部側縁部とを有し、
前記ラベル部側縁部は、前記ラベル部表面と前記ラベル部側縁部との間の角度が鈍角であり、前記離型フィルムに対して傾斜するように形成され、且つ、前記離型フィルムに対する角度が０．２度以上８４度以下に形成され、
前記周辺部は、周辺部表面と、前記周辺部表面から前記離型フィルムに延び、且つ、前記ラベル部側縁部と対向する周辺部側縁部とを有し、
前記周辺部側縁部は、前記周辺部表面と前記周辺部側縁部との間の角度が鈍角であり、前記離型フィルムに対して傾斜するように形成される
ことを特徴とする。
【００１６】
上述した発明のウエハ加工用テープによれば、ラベル部側縁部が、ラベル部表面とラベル部側縁部との間の角度が鈍角となるように、離型フィルムに対して傾斜するように、離型フィルムに対する角度が０．２度以上８４度以下に形成され、かつ、周辺部側縁部が、周辺部表面と周辺部側縁部との間の角度が鈍角となるように、離型フィルムに対して傾斜するように形成されることから、ウエハ加工用テープをロール状に巻き取った場合に、ラベル部表面周縁部とラベル部側縁部とにより接着剤層にかかる圧力を分散させることができ、同様に、周辺部表面周縁部と周辺部側縁部とにより接着剤層にかかる圧力を分散させることができる。従って、ウエハ加工用テープをロール状に巻き取った場合に、接着剤層への転写痕の発生を十分に抑制することができる。
【００１７】
また、本発明に係るウエハ加工用テープとして、ラベル部側縁部は、離型フィルムに対する角度が４５度以上８０度以下に形成されることが好ましい。
【００１８】
同様に、周辺部側縁部も、離型フィルムに対する角度が０．２度以上８４度以下に形成されることが好ましい。特に、周辺部側縁部は、離型フィルムに対する角度が０．２度以上８４度以下に形成されることが好ましい。
【００１９】
さらに、離型フィルムと、前記離型フィルムの表面上に設けられた所定の平面形状を有する接着剤層と、前記接着剤層を覆い、且つ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた所定の平面形状を有するラベル部、及び、前記ラベル部の外側を囲むように設けられた周辺部を有する粘着フィルムとを含むウエハ加工用テープであって、前記ラベル部は、ラベル部表面と、前記ラベル部表面から前記離型フィルムになめらかに湾曲して延びるラベル部側縁部とを有し、前記周辺部は、周辺部表面と、前記周辺部表面から前記離型フィルムになめらかに湾曲して延び、且つ、前記ラベル部側縁部と対向する周辺部側縁部とを有するウエハ加工用テープとすることも望ましい。
【００２０】
上述した発明のウエハ加工用テープによれば、ラベル部側縁部がラベル部表面から離型フィルムになめらかに湾曲して延び、かつ、ラベル部側縁部と対向する周辺部側縁部が周辺部表面から離型フィルムになめらかに湾曲して延びることから、ウエハ加工用テープをロール状に巻き取った場合に、ラベル部表面周縁部とラベル部側縁部とにより接着剤層にかかる圧力を分散させることができ、同様に、周辺部表面周縁部と周辺部側縁部とにより接着剤層にかかる圧力を分散することができる。従って、ウエハ加工用テープをロール状に巻き取った場合に、接着剤層への転写痕の発生を十分に抑制することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明のウエハ加工用テープによれば、離型フィルム上に、接着剤層及び粘着フィルムを有するウエハ加工用テープをロール状に巻き取った場合に、接着剤層での転写痕の発生を十分に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】（Ａ）は第１実施形態に係るウエハ加工用テープの平面図であり、（Ｂ）はＡ−Ａ線断面図である。
【図２】図１のＬ部拡大図である。
【図３】（Ａ）は第２実施形態に係るウエハ加工用テープにおけるＬ部拡大図であり、（Ｂ）はその変形例である。
【図４】従来のウエハ加工用テープの概要図である。
【図５】（Ａ）は従来のウエハ加工用テープの平面図であり、（Ｂ）は断面図である。
【図６】ダイシング・ダイボンディングフィルムとダイシング用リングフレームとが貼り合わされた状態を示す断面図である。
【図７】（Ａ）は従来の巻き芯の断面図であり、（Ｂ）は側面図である。
【図８】従来の巻き芯を用いてウエハ加工用テープを巻き付けた状態を説明する図である。
【図９】従来のウエハ加工用テープの不具合を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下に本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は第１本実施形態に係るウエハ加工用テープを説明する図であって、図１（Ａ）は第１実施形態に係るウエハ加工用テープの平面図であり、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＡ−Ａ線断面図である。図２はラベル部側縁部と周辺部側縁部を説明するための図であって、図１のＬ部拡大図である。図３は第２実施形態に係るウエハ加工用テープのラベル部側縁部と周辺部側縁部を説明するための図であって、図３（Ａ）はＬ部拡大図であり、（Ｂ）はその変形例である。
【００２４】
＜第１実施形態＞
第１実施形態に係るウエハ加工用テープ１０は、図１及び図２に示すように、離型フィルム１１と、接着剤層１２と、粘着フィルム１３とからなる。接着剤層１２は、ウエハの形状に対応する円形に加工されたものであり、円形ラベル形状を有する。粘着フィルム１３は、ダイシング用のリングフレームの形状に対応する円形部分の周辺領域が除去されたものであり、図示するように、円形ラベル部１３ａと、その外側を囲むような周辺部１３ｂとを有する。接着剤層１２と粘着フィルム１３の円形ラベル部１３ａとは、その中心を揃えて積層され、また、粘着フィルム１３の円形ラベル部１３ａは、接着剤層１２を覆い、且つ、その周囲で離型フィルム１１に接触している。そして、接着剤層１２と粘着フィルム１３の円形ラベル部１３ａとからなる積層構造により、ダイシング・ダイボンディングフィルム１５が構成されている。
【００２５】
（ラベル部側縁部，周辺部側縁部）
そして、ウエハ加工用テープの断面図（図１（Ｂ））のＬ部が示すように、ラベル部１３ａと周辺部１３ｂのいずれにも、離型フィルム１１に対して傾斜した形状となる縁部が形成されている。具体的には、図２が示すように、ラベル部１３ａは、ラベル部表面１４ａと、ラベル部表面１４ａから離型フィルム１１に延びるラベル部側縁部１５ａとを有する。ここで、ラベル部側縁部１５ａとラベル部表面１４ａとの間の角度が鈍角となるように形成されており、ラベル部側縁部１５ａは離型フィルム１１に対して傾斜するように形成されている。
【００２６】
一方、周辺部１３ｂは、周辺部表面１４ｂと、周辺部表面１４ｂから離型フィルム１１に延びる周辺部側縁部１５ｂとを有する。そして、周辺部側縁部１５ｂと周辺部表面１４ｂとの間の角度が鈍角となるように形成されており、周辺部側縁部１５ｂは離型フィルム１１に対して傾斜するように形成されている。なお、図２では、ラベル部側縁部１５ａと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ）と、周辺部側縁部１５ｂと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ’）とを同一としているが、必ずしも同一にする必要はなく、角度を異ならせることも可能である。
【００２７】
従って、第１実施形態に係るウエハ加工用テープ１０によれば、ラベル部側縁部１５ａが、ラベル部表面１４ａとラベル部側縁部１５ａとの間の角度が鈍角となるように、離型フィルム１１に対して傾斜するように形成され、かつ、周辺部側縁部１５ｂが、周辺部表面１４ｂと周辺部側縁部１５ｂとの間の角度が鈍角となるように、離型フィルム１１に対して傾斜するように形成されることから、ウエハ加工用テープ１０をロール状に巻き取った場合に、ラベル部表面１４ａ周縁部とラベル部側縁部１５ａとにより接着剤層１２にかかる圧力を分散させることができ、同様に、周辺部表面１４ｂ周縁部と周辺部側縁部１５ｂとにより接着剤層１２にかかる圧力を分散させることができる。従って、ウエハ加工用テープ１０をロール状に巻き取った場合に、接着剤層１２への転写痕の発生を十分に抑制することができる。
【００２８】
（２つの側縁部と離型フィルムとの間の角度）
ラベル部側縁部１５ａと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ）と、周辺部側縁部１５ｂと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ’）に関して、Ｘ（Ｘ’）が０．２度以上８４度以下となるように、ラベル部側縁部１５ａ（周辺部側縁部１５ｂ）を離型フィルム１１に対して形成することが好ましい。以下に、ラベル部側縁部１５ａを例に説明する。
【００２９】
ラベル部側縁部１５ａと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ）が小さいほど、ウエハ加工用テープ１０をロール状に巻き取った場合に、接着剤層１２への転写痕の発生を抑制する効果を奏することができる。しかしながら、角度（Ｘ）が小さすぎると、接着剤層１２端部上に積層される粘着フィルムの厚みが薄くなる。そのため、ウエハを接着剤層１２に貼り付けてダイシングする際、切り込み深さが位置により変化するため、均一な深さでのダイシングが困難となる。
【００３０】
図１に示すラベル部側縁部１５ａから接着剤層１２までの最大距離（ｄ１）を２５ｍｍ〜３５ｍｍ、接着剤層１２の厚み（ｄ２）を０．０２ｍｍ〜０．０７５ｍｍとするウエハ加工テープに対して、角度（Ｘ）が０．２度未満の場合、均一なダイシングが困難となったが、角度（Ｘ）が０．２度以上の場合、接着剤層１２上に積層される粘着フィルムの厚みはほぼ一定となり、均一なダイシングを行うことができる。
【００３１】
ラベル部側縁部１５ａ、周辺部側縁部１５ｂを形成する方法としては、粘着フィルムをウエハ加工用テープからプリカットする際、プリカットに用いられる刃として所定の角度を有する刃を用い、この刃をウエハ加工用テープ表面に対して垂直方向から押しつけることにより、ラベル部側縁部１５ａ、周辺部側縁部１５ｂを形成する方法が好適に挙げられる。ここで、刃の先端部の角度が垂直方向（押しつけ方向）に対して４５度を超える場合、テープに刃を入れることが困難となるため、刃の先端部の角度は垂直方向（押しつけ方向）に対して４５度未満とする必要がある。先端部の角度が４５度未満とする刃を用いてプリカットされたラベル部側縁部１５ａと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ）は４５度以上となるため、ラベル部側縁部１５ａと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ）は４５度以上とすることが好ましい。
【００３２】
なお、角度（Ｘ）が４５度未満のラベル部側縁部１５ａ（周辺部側縁部１５ｂ）は、先端部の角度が４５度未満の刃を用いてプリカットし、角度（Ｘ）が４５度以上のラベル部側縁部１５ａ（周辺部側縁部１５ｂ）を形成した後、ラベル部１３ａ及び周辺部１３ｂの側縁部を研磨加工や、加熱変形により作製することができる。
【００３３】
一方、角度（Ｘ）が８４度を超える場合、従来のウエハ加工用テープ３０のラベル部側縁部３８ａと離型フィルム３１との間の角度（＝９０度）と近似し、ウエハ加工用テープをロール状に巻き取ることにより生じる接着剤層への転写痕の発生を抑制することができないため、角度（Ｘ）が８４度以下であることが好ましく、さらには角度（Ｘ）が８０度以下であることが好ましい。
【００３４】
周辺部側縁部１５ｂと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ’）についても、所定の角度範囲において、ラベル部側縁部１５ａと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ）と同様の関係が成立する。以下、本実施形態に係るウエハ加工用テープの各構成要素について詳細に説明する。
【００３５】
（離型フィルム）
ウエハ加工用テープに用いられる離型フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）系、ポリエチレン系、その他、離型処理がされたフィルム等周知のものを使用することができる。離型フィルムの厚さは、特に限定されるものではなく、適宜に設定してよいが、２５〜５０μｍが好ましい。
【００３６】
（接着剤層）
接着剤層は、半導体ウエハ等が貼り合わされてダイシングされた後、チップをピックアップする際に、粘着フィルムから剥離してチップに付着し、チップを基板やリードフレームに固定する際の接着剤として使用されるものである。従って、接着剤層は、チップをピックアップする際に、個片化された半導体に付着したままの状態で、粘着フィルムから剥離することができる剥離性を有し、さらに、ダイボンディングする際において、チップを基板やリードフレームに接着固定するために、十分な接着信頼性を有するものでなければならない。
【００３７】
接着剤層は、接着剤を予めフィルム化したものであり、例えば、接着剤に使用される公知のポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエステルイミド樹脂、フェノキシ樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、塩素化ポリプロピレン樹脂、アクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリアクリルアミド樹脂、メラミン樹脂等やその混合物を使用することができる。また、チップやリードフレームに対する接着力を強化するために、シランカップリング剤もしくはチタンカップリング剤を添加剤として前記材料やその混合物に加えることが望ましい。
【００３８】
接着剤層の厚さは特に制限されるものではないが、通常５〜１００μｍ程度が好ましい。また、接着剤層は粘着フィルムの全面に積層してもよいが、予め貼り合わされるウエハに応じた形状に切断された（プリカットされた）接着フィルムを積層するのが一般的である。ウエハに応じた接着フィルムを積層した場合、図６に示すように、ウエハＷが貼り合わされる部分には接着剤層があり、ダイシング用のリングフレームＲが貼り合わされる部分には接着剤層がなく粘着フィルムの円形ラベル部のみが存在する。一般に、接着剤層は被着体と剥離しにくいため、プリカットされた接着剤層を使用することで、リングフレームＲは粘着フィルムに貼り合わすことができ、使用後のフィルム剥離時にリングフレームへの糊残りを生じにくいという効果が得られる。
【００３９】
（粘着フィルム）
粘着フィルムは、ウエハをダイシングする際にはウエハが剥離しないように十分な粘着力を有し、ダイシング後にチップをピックアップする際には容易に接着剤層から剥離できるよう低い粘着力を有するものである。例えば、基材フィルムに粘着剤層を設けたものを好適に使用できる。
【００４０】
粘着フィルムの基材フィルムとしては、従来公知のものであれば特に制限することなく使用することができるが、後述の粘着剤層として放射線硬化性の材料を使用する場合には、放射線透過性を有するものを使用することが好ましい。
【００４１】
例えば、その材料として、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、ポリブテン−１、ポリ−４−メチルペンテン−１、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−アクリル酸メチル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、アイオノマーなどのα−オレフィンの単独重合体または共重合体あるいはこれらの混合物、ポリウレタン、スチレン−エチレン−ブテンもしくはペンテン系共重合体、ポリアミド−ポリオール共重合体等の熱可塑性エラストマー、およびこれらの混合物を列挙することができる。また、基材フィルムはこれらの群から選ばれる２種以上の材料が混合されたものでもよく、これらが単層又は複層化されたものでもよい。基材フィルムの厚さは、特に限定されるものではなく、適宜に設定してよいが、５０〜２００μｍが好ましい。
【００４２】
粘着フィルムの粘着剤層に使用される樹脂としては、特に限定されるものではなく、粘着剤に使用される公知の塩素化ポリプロピレン樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂等を使用することができる。
【００４３】
粘着剤層の樹脂には、アクリル系粘着剤、放射線重合性化合物、光重合開始剤、硬化剤等を適宜配合して粘着剤を調製することが好ましい。粘着剤層の厚さは特に限定されるものではなく適宜に設定してよいが、５〜３０μｍが好ましい。
【００４４】
放射線重合性化合物を粘着剤層に配合して放射線硬化により接着剤層から剥離しやすくすることができる。その放射線重合性化合物は、例えば光照射によって三次元網状化しうる分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個以上有する低分子量化合物が用いられる。
【００４５】
具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、１，４−ブチレングリコールジアクリレート、１，６ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレートや、オリゴエステルアクリレート等が適用可能である。
【００４６】
また、上記のようなアクリレート系化合物のほかに、ウレタンアクリレート系オリゴマーを用いることもできる。ウレタンアクリレート系オリゴマーは、ポリエステル型またはポリエーテル型などのポリオール化合物と、多価イソシアナート化合物（例えば、２，４−トリレンジイソシアナート、２，６−トリレンジイソシアナート、１，３−キシリレンジイソシアナート、１，４−キシリレンジイソシアナート、ジフェニルメタン４，４−ジイソシアナートなど）を反応させて得られる末端イソシアナートウレタンプレポリマーに、ヒドロキシル基を有するアクリレートあるいはメタクリレート（例えば、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレートなど）を反応させて得られる。なお、粘着剤層には、上記の樹脂から選ばれる２種以上が混合されたものでもよい。
【００４７】
光重合開始剤を使用する場合、例えばイソプロピルベンゾインエーテル、イソブチルベンゾインエーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、クロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン等を使用することができる。これら光重合開始剤の配合量はアクリル系共重合体１００質量部に対して０．０１〜５質量部が好ましい。
【００４８】
＜第２実施形態＞
第２実施形態に係るウエハ加工用テープは、ラベル部１３ａと周辺部１３ｂのいずれもが離型フィルム１１に対して傾斜した形状となる縁部を有する第１実施形態に係るウエハ加工用テープを変形したもので、図３（Ａ）に示すように、ラベル部２３ａと周辺部２３ｂのいずれもが離型フィルム２１に対して、ラベル部表面２４ａから離型フィルム２１になめらかに湾曲して延びるラベル部側縁部２５ａと、周辺部表面２４ｂから離型フィルム２１になめらかに湾曲して延びる周辺部側縁部２５ｂとを有する。なお、ラベル部側縁部２５ａ（周辺部側縁部２５ｂ）と離型フィルム２１との間の角度は９０度になるように形成されている。
【００４９】
図３（Ｂ）は、第２実施形態に係るウエハ加工用テープの変形例である。第２実施形態に係るウエハ加工用テープと同様、ラベル部表面２４ａ’から離型フィルム２１に円弧状に延びるラベル部側縁部２５ａ’と、周辺部表面２４ｂ’から離型フィルム２１に円弧状に延びる周辺部側縁部２５ｂ’とを有する。なお、変形例では、ラベル部側縁部２５ａ’（周辺部側縁部２５ｂ’）と離型フィルム２１との間の９０度未満で非常に小さくなるように形成されている。
【００５０】
なお、ラベル部側縁部２５ａ，２５ａ’及び周辺部側縁部２５ｂ，２５ｂ’の円弧形状は、ラベル部及び周辺部の側縁部に研磨加工や、加熱変形を施すことにより作製することができる。
【００５１】
従って、第２実施形態に係るウエハ加工用テープ（図３（Ａ））及びその変形例（図３（Ｂ））によれば、ラベル部側縁部２５ａ（２５ａ’）がラベル部表面２４ａ（２４ａ’）から離型フィルム２１になめらかに湾曲して延び、かつ、ラベル部側縁部２５ａ（２５ａ’）と対向する周辺部側縁部２５ｂ（２５ｂ’）が周辺部表面２４ｂ（２４ｂ’）から離型フィルム２１になめらかに湾曲して延びることから、ウエハ加工用テープをロール状に巻き取った場合に、ラベル部表面２４ａ（２４ａ’）周縁部とラベル部側縁部２５ａ（２５ａ’）とにより接着剤層にかかる圧力を分散させることができ、同様に、周辺部表面２４ｂ（２４ｂ’）周縁部と周辺部側縁部２５ｂ（２５ｂ’）とにより接着剤層にかかる圧力が分散することができる。従って、ウエハ加工用テープをロール状に巻き取った場合に、接着剤層への転写痕の発生を十分に抑制することができる。
【００５２】
＜＜実施例＞＞
次に、本発明の実施例について説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。ウエハ加工用テープを以下のようにして作成した。まず、支持基材（基材フィルム）及び粘着剤組成物１を調製した後、支持基材上に粘着剤組成物１の乾燥後の厚さが２０μｍになるように前記粘着剤組成物１を塗工し、１１０℃で３分間乾燥させて粘着フィルムを作成した。次いで、接着剤組成物１を調製し、接着剤組成物を離型処理したポリエチレン−テレフタレートフィルムよりなる剥離ライナーに、乾燥後の厚さが２０μｍになるように前記接着剤組成物を塗工し、１１０℃で３分間乾燥させて剥離ライナー上に接着フィルムを作成した。そして、ラベル部側縁部１５ａと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ）と、周辺部側縁部１５ｂと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ’）とを同一の角度とし、一定の範囲で角度（Ｘ＝Ｘ’）を変化させて、前記粘着フィルム及び前記接着フィルムを、図４に示す形状に裁断した後、前記粘着フィルムの粘着剤層側に前記接着フィルムを貼り合わせて、３種類のウエハ加工用テープを作成した。作成したウエハ加工用テープの形状は、テープ幅が２９０ｍｍ、接着剤層の直径が２２０ｍｍ、ラベル部の直径が２７０ｍｍ、さらに、ウエハ加工用テープの中心線上に、接着剤層及びラベル部の中心が重なるように形成した。以下に、支持基材、粘着剤組成物１及び接着剤組成物１の調製方法を示す。
【００５３】
（支持基材の調製）
市販の低密度ポリエチレンよりなる樹脂ビーズ（日本ポリエチレン（株）製  ノバテックＬＬ）を１４０℃で溶融し、押し出し機を用いて厚さ１００μｍの長尺フィルム状に成形した。
【００５４】
（粘着剤組成物の調製）
まず、放射線硬化性炭素−炭素二重結合および官能基を有する化合物（０）として、２−エチルヘキシルアクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレートおよびメチルメタクリレートからなり、質量平均分子量７０万、ガラス転移温度−６４℃、放射線硬化性炭素−炭素二重結合量０．９ｍｅｑ／ｇを有する共重合体化合物を作製した。この化合物（０）１００質量部に対して、硬化剤としてポリイソシアネート化合物コロネートＬ（日本ポリウレタン株式会社製、商品名）３質量部を加え、さらに光重合開始剤としてイルガキュア１８４（日本チバガイギー株式会社製、商品名）５質量部を加えることにより、放射線硬化性の粘着剤組成物１を得た。
【００５５】
（接着剤組成物の調製）
＜接着剤組成物＞
エポキシ樹脂としてクレゾールノボラック型エポキシ樹脂（エポキシ当量１９７、分子量１２００、軟化点７０℃）５０重量部、シランカップリング剤としてγ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン１．５質量部、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン３質量部、平均粒径１６ｎｍのシリカフィラー３０質量部からなる組成物に、シクロヘキサノンを加えて攪拌混合し、更にビーズミルを用いて９０分間混錬した。これにアクリル樹脂として化合物（１）の溶液を（１）が１００重量部分だけ加え、硬化剤としてコロネートＬを１質量部加え、攪拌混合して接着剤組成物１を得た。
【００５６】
（実施例１）
ラベル部側縁部１５ａと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ）と、周辺部側縁部１５ｂと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ’）とが４５度のウエハ加工用テープである。
【００５７】
（実施例２）
ラベル部側縁部１５ａと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ）と、周辺部側縁部１５ｂと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ’）とが８０度のウエハ加工用テープである。
【００５８】
（実施例３）
ラベル部側縁部１５ａと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ）と、周辺部側縁部１５ｂと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ’）とが８４度のウエハ加工用テープである。
【００５９】
（比較例１）
ラベル部側縁部１５ａと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ）と、周辺部側縁部１５ｂと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ’）とが９０度のウエハ加工用テープである。
【００６０】
（比較例２）
ラベル部側縁部１５ａと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ）と、周辺部側縁部１５ｂと離型フィルム１１との間の角度（Ｘ’）とが８５度のウエハ加工用テープである。
【００６１】
以下に示す評価方法により、転写痕の抑制性を評価した。
（転写痕の抑制性の評価方法）
外径７６．２ｍｍも巻き芯を用いて、２９０ｍｍ幅のウエハ加工用テープを、１５Ｎの一定張力で３００枚を巻き取り、ロール体を作成した。そして、ロール体を、１４日間、５℃の環境下で冷蔵保管した。その後、目視観察により、シワの有無を判定した。
【００６２】
表１に評価結果を示す。表中、○はシワの発生は無かったことを、×はシワの発生があったことを、△はシワがうっすらあっても、ウエハ接合時にエアを巻き込むほどのシワではなかったことを示す。
【００６３】
【表１】
2010177401.tif 000003
【００６４】
ラベル部側縁部と離型フィルムとの間の角度（Ｘ）と、周辺部側縁部と離型フィルムの間の角度（Ｘ’）が８５度以上のウエハ加工用テープである比較例１及び比較例２では、シワの発生を確認した。さらに、ラベル部側縁部と離型フィルムとの間の角度（Ｘ）と、周辺部側縁部と離型フィルムの間の角度（Ｘ’）が８４度のウエハ加工用テープである実施例３では、うっすらではあったがシワを確認したが、ウエハ接合時にエアを巻き込むほどのシワではなかった。一方、ラベル部側縁部と離型フィルムとの間の角度（Ｘ）と、周辺部側縁部と離型フィルムの間の角度（Ｘ’）が４５度以上８０度以下のウエハ加工用テープである実施例１及び実施例２では、シワの発生を確認できなかった。
【００６５】
以上より、本実施形態に係るウエハ加工用テープによれば、ラベル部側縁部が、ラベル部表面とラベル部側縁部との間の角度が鈍角となるように、離型フィルムに対して傾斜するように形成され、かつ、周辺部側縁部が、周辺部表面と周辺部側縁部との間の角度が鈍角となるように、離型フィルムに対して傾斜するように形成されることから、ウエハ加工用テープをロール状に巻き取った場合に、接着剤層への転写痕の発生を十分に抑制することができた。
【符号の説明】
【００６６】
１０，３０：ウエハ加工用テープ
１１，２１，３１：離型フィルム
１２，３２：接着剤層
１３，３３：粘着フィルム
１３ａ，２３ａ，３３ａ：円形ラベル部
１３ｂ，２３ｂ，３３ｂ：周辺部
１４ａ，２４ａ，２４ａ’，３７ａ：ラベル部表面
１４ｂ，２４ｂ，２４ｂ’，３７ｂ：周辺部表面
１５ａ，２５ａ，２５ａ’，３８ａ：ラベル部側縁部
１５ｂ，２５ｂ，２５ｂ’，３８ｂ：周辺部側縁部
１５，３５：ダイシング・ダイボンディングフィルム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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