(57)【要約】      （修正有）【課題】ナノファイバのピックアップが容易で、制御が困難な静電気力の影響を受けないナノファイバのハンドリング装置を提供する。【解決手段】ナノファイバハンドリング装置は、ナノファイバの位置確認する光学顕微鏡、ナノファイバをファンデルワース力により保持する保持部、この保持部を三次元的に移動、傾斜させる位置・方向制御手段とからなり、ナノファイバをピックアップ、方向制御、移動および目的の位置に脱離・配置する機能を有し、さらに前記ファンデルワース力により保持する保持部のナノファイバ保持面表面の最大粗さＲｚ＝２ｎｍ以下の平滑面としてある。また、前記位置・方向制御手段は、基盤に対して水平２方向と垂直一方向に移動する三次元ステージと、この三次元ステージに対して、Ｚ方向を中心として回転する水平角ステージとＸ方向又はＹ方向を中心にして回転する垂直角ステージを採用した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ナノファイバの位置確認をする光学顕微鏡、ナノファイバをファンデルワース力により保持する保持部、この保持部を三次元的に移動、傾斜させる位置・方向制御手段とからなるナノファイバハンドリング装置であって、ナノファイバをピックアップ、方向制御、移動および目的の位置に脱離・配置する機能を有することを特徴とするナノファイバハンドリング装置。
【請求項２】
請求項１に記載のナノファイバハンドリング装置において、前記ファンデルワース力により保持する保持部のナノファイバ保持面表面の最大粗さＲｚ＝２ｎｍ以下の平滑面としてあることを特徴とするナノファイバハンドリング装置。
【請求項３】
請求項１および２のいずれかに記載のナノファイバハンドリング装置において、前記位置・方向制御手段は、基盤に対して水平２方向（Ｘ方向、Ｙ方向）と垂直一方向（Ｚ方向）に移動する三次元ステージと、三次元ステージに対して、Ｚ方向を中心として回転する水平角ステージとＸ方向又はＹ方向を中心にして回転する垂直角ステージとからなることを特徴とするナノファイバハンドリング装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載のナノファイバハンドリング装置あるいは同様の機能をもつ装置を用いたハンドリング方法であって、  ナノファイバ源に生成されている多数のナノファイバの内、特定の一つを選択し、この選択したナノファイバに対して、前記位置・方向制御手段を制御して、前記ナノファイバ保持面が平行となるように制御して接近させ、当該保持面に前記選択したナノファイバをファンデルワース力にて吸着し、吸着面のファンデルワース力により、ナノファイバ源から抜き取り、分離したナノファイバを所定の位置に移動させることを特徴とするナノファイバハンドリング方法。
【請求項５】
請求項４に記載のナノファイバハンドリング装置を用いたハンドリング方法において、ナノファイバハンドリング装置の一方の保持部から他方の保持部にナノファイバを受け渡す方法であって、第一の保持部（第一保持部）にナノファイバの被保持相当位置の一部を保持し、保持されていない被保持相当位置が、第二の保持部（第二保持部）の保持面に平行で、かつ、その相対位置と相対方向が所定の配置となるように制御して近接させ、保持されていない被保持相当位置を前記第二保持部の保持面にファンデルワース力にて吸着させるにあたり、その吸着面積が、第一保持部に対するものより大きくなるようにして吸着させ、次に前記第一保持部を前記ナノファイバから離脱させることを特徴とするハンドリング方法。
【請求項６】
請求項５に記載のハンドリング方法において、前記第二保持部が、前記ナノファイバを機能させるための基材であることを特徴とするハンドリング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ナノファイバを位置、方向を制御し、移動することができ、デバイス等にピンポイントで組み込むことを可能にするナノファイバハンドリングのための装置と方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ナノテクノロジーの進展に伴い、ナノアセンブル技術の重要性がまし、その一環として、特殊な機能をもつカーボンナノチューブを始め、ナノファイバ等のナノ構造物の位置、方向を制御し、移動することができるハンドリング装置とハンドリング方法が必要となっている。従来、提案されているのは、カーボンナノチューブ等の微細な電極からなるピンセットであり、ピンセットの締め付けによる捕捉、解放による脱離の作用を電圧負荷制御により行う装置と方法があった（特許文献１，  ２、非特許文献１，  ２）。ピンセットで機械的につまむのではなく、ピンセット先端の電界やクーロン力を利用して、ナノファイバ等の吸・脱着を行う方法（特許文献３）もある。しかしながら、ピンセット方式で機械的にナノファイバをつまんだり、離したりすること自体に困難があり、現実的ではないし、電界力やクーロン力を利用した方式においても、ナノファイバ等に自然発生する静電気による影響が大きく、ナノファイバの吸・脱着や位置制御は困難である。
【０００３】
機械的なピンセット方式ではなく、電界力やクーロン力も使用しない方法として、ファンデルワース力を利用する方式もある。多量のナノファイバを基板にまとめて吸着する方法（特許文献４）やランダムに散在している多量のナノファイバを、ピンセットを一方向に動かして方向性をもたせる方法（非特許文献３）である。しかし、このような方法では、それぞれのナノファイバの機能を生かして、電子デバイス等に組み込むことは、不可能である。
【０００４】
現在、必要とされているのは、ナノファイバそれぞれの機能を生かし、一本ずつをピックアップし、目的の位置に、方向を揃えて、正確に配置する装置と方法である。
高度にインテグレイトされた電子デバイスは、微細加工技術により、トップダウン方式で作製される。しかしながら、トップダウン方式では作製できないが、デバイスに欠かせない機能をもつエレメントとして、カーボンナノチューブや希土類ホウ化物ナノファイバなどがある。これらのナノファイバは、デバイス中の特定の位置に、特定の方向で、正確かつ精密に配置されなければならない。しかも、電子顕微鏡内でなく、大気中の光学顕微鏡下で行えることが望まれる。しかしながら、現在までの所、このようなナノファイバをハンドリングできる装置や方法は提示されていない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ナノファイバのハンドリング機能として必要なのは、（１）ナノファイバのピックアップ、（２）ナノファイバの方向制御、（３）ナノファイバの移動、および（４）目的の位置での脱離・配置、である。機械的ピンセット方式では、細くて長いナノファイバをうまく掴めないので、（１）ピックアップ、（２）方向制御、および（４）目的の位置での脱離・配置、が困難である。電界力やクーロン力を利用する方法では、ナノファイバに生じる静電気により、制御できない静電気力が発生し、電極先端での（１）ピックアップや（４）脱離・配置、が困難である。
従って、細く、長いナノファイバのピックアップが容易で、制御が困難な静電気力の影響を受けない方法が必要である。
本発明は、従来、ナノファイバ個々のハンドリングに応用されなかったファンデルワース力を用いて、ナノファイバを一本ずつピックアップし、方向を制御し、所定の位置に移動し、その目的の位置で脱離・配置させるハンドリング装置であり、方法である。しかも、これらの操作は、電子顕微鏡を使わず、大気中の光学顕微鏡下で行える。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
発明１のナノファイバハンドリング装置は、  ナノファイバの位置確認する光学顕微鏡、ナノファイバをファンデルワース力により保持する保持部、この保持部を三次元的に移動、傾斜させる位置・方向制御手段とからなるナノファイバハンドリング装置であって、ナノファイバをピックアップ、方向制御、移動および目的の位置に脱離・配置する機能を有することを特徴とする。
発明２は、発明１のナノファイバハンドリング装置において、前記ファンデルワース力により保持する保持部のナノファイバ保持面表面の最大粗さＲｚ＝２ｎｍ以下の平滑面としてあることを特徴とする。
発明３は、発明１および２のナノファイバハンドリング装置において、前記位置・方向制御手段は、基盤に対して水平２方向（Ｘ方向、Ｙ方向）と垂直一方向（Ｚ方向）に移動する三次元ステージと、この三次元ステージに対して、Ｚ方向を中心として回転する水平角ステージとＸ方向又はＹ方向を中心にして回転する垂直角ステージとからなることを特徴とする。
【０００７】
発明４は、  発明１から３のいずれかのナノファイバハンドリング装置を用いたハンドリング方法であって、  ナノファイバ源に生成されている多数のナノファイバの内、特定の一つを選択し、この選択したナノファイバに対して、前記位置・方向制御手段を制御して、前記ナノファイバ保持部の保持面が平行となるように制御して接近させ、当該保持面に前記選択したナノファイバをファンデルワース力にて吸着し、吸着面のファンデルワース力により、ナノファイバを抜き取り、分離したナノファイバを所定の位置に移動させることを特徴とする。
発明５は、発明４のナノファイバハンドリング方法において、ナノファイバハンドリング装置の一方の保持部から他方の保持部にナノファイバを受け渡す方法であって、第一の保持部（第一保持部）にナノファイバの一部を保持し、保持されていない箇所が、第二の保持部（第二保持部）の保持面に平行で、かつ、その相対位置と相対方向が所定の配置となるように制御して近接させ、保持されていない箇所を前記第二保持部の保持面にファンデルワース力にて吸着させるにあたり、その吸着面積が、第一保持部に対するものより大きくなるようにして吸着させ、次に前記第一保持部を前記ナノ構造物から離脱させることを特徴とする。
発明６は、発明５のナノファイバハンドリング方法において、前記第二保持部が、前記ナノファイバを機能させるための基材であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明では、ナノファイバ一本ずつをピックアップし、目的の位置に方向を制御して配置させることができる装置と方法を開示している。従来、このような目的には、機械的なピンセット方式や電極先端の電界力やクーロン力を利用する方式が検討されたが、機械的方式でナノファイバをピックアップすることは困難であり、電界力やクーロン力方式では、ナノファイバに発生する静電気の影響が大きく、静電気力のため、ピックアップ等は困難であった。ナノファイバのハンドリングを可能にしたのは、本発明が初めてである。ナノファイバの正確・精密なハンドリングを可能にしたのは、ピンセットや電極でなく、前記保持部の微小板のファンデルワース力を利用したことによる。ファンデルワース力を利用しているため、静電気力の影響はなく、微小な物ほどファンデルワース力が重力などに比べ、相対的に大きくなり、より効果的となる。  次に、ファンデルワース力を用いた具体的な効果を示す。ナノファイバのピックアップについては、ファンデルワース力を用いることで、ナノファイバを保持面に接触させることで、その面に最も近いナノファイバが吸着されることとなる。どのナノファイバに保持面が近づいているのかを操作状況は、光学顕微鏡で容易に確認することができる。光学顕微鏡などの一般的な観察設備で、所望のナノファイバを選択し、保持することができるようになった。
さらに、発明５の操作を繰り返すことで、方向の制御をより精密の行うことができ、ナノファイバ源の状況によって、採集時には適正な方向で保持できない場合でも、その方向を正確に調整することができるようになる。
【０００９】
このように、本発明により、ナノファイバを、極めて容易に所望の位置と方向で機能用の部材に取り付けることができるようになったので、ナノファイバをその形状と大きさによる特性を最大限に発揮し得るように用いることができるようになった。ナノファイバならではの機能をデバイスやセンサー等に組み込み、それらの高機能化、さらには革新化を実現できるようになった。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】ナノファイバハンドリング装置の基本構成を示し、（Ａ）は概略正面図、（Ｂ）は保持部の概略斜視図。
【図２】実施例のナノファイバハンドリング装置の操作系統を示すフロー図。
【図３】実施例の第一保持部にファンデルワース力によりナノファイバを捕捉する方法を示す斜視図であって、（Ａ）は、ナノファイバが多数立設されている構造源を示し、（Ｂ）は、その所定のナノファイバに第一保持部の表面を接近させている状態を示す。
【図４】第一保持部に保持したナノファイバの角度を調整する方法を示す斜視図であって、（Ａ）は、第一保持部にナノファイバを保持している状態を、（Ｂ）は第二保持部にてナノファイバの先端を保持した状態を、（Ｃ）は、第二保持部の持ち上げにより、ナノファイバの先端側を、第一保持部から浮かせた状態をそれぞれ示す。
【図５】第一保持部に保持したナノファイバを第二保持部に受け渡す方法を示す斜視図であって、（Ａ）は、第一保持部に所望の方向でナノファイバが保持されている状態を、（Ｂ）は、第二保持部が前記ナノファイバの先端側を保持した状態を、（Ｃ）は第一保持部を下げてナノファイバを第二保持部に受け渡した状態をそれぞれ示す。
【図６】第一第二保持部の実物を示す走査型電子顕微鏡による写真であって、上図（Ａ）は、第一保持部と第二保持部とによりナノファイバが保持されている状態を、下図（Ｂ）は、（Ａ）の状態から、ナノファイバを変更した状態を示す。
【図７】基材である電子源先端部上のナノファイバの位置制御と除去を示す走査型電子顕微鏡写真。（Ａ）は不要なナノファイバが保持されている状態を、（Ｂ）は、ナノファイバが正しく保持された状態を示す。
【符号の説明】
【００１１】
１−１：第一光学顕微鏡；（平面観察用）
１−２：第二光学顕微鏡；（正面観察用）
２−１：第一ハンドリング装置のＸＺ面回転ステージ；（垂直角度調整）
２−２：第一ハンドリング装置のＸＹ面回転ステージ；（水平角度調整）
２−３：第一ハンドリング装置のＺステージ；（高さ位置調整）
２−４：第一ハンドリング装置のＹステージ；（水平面位置調整）
２−５：第一ハンドリング装置のＸステージ；（水平面位置調整）
２−６：第二ハンドリング装置のＸＺ面回転ステージ；（垂直角度調整）
２−７：第二ハンドリング装置のＸＹ面回転ステージ；（水平角度調整）
２−８：第二ハンドリング装置のＺステージ；（高さ位置調整）
２−９：第二ハンドリング装置のＹステージ；（水平面位置調整）
２−１０：第一ハンドリング装置のＸステージ；（水平面位置調整）
３−１：第一保持部；
３−２：第二保持部；
３−３：平滑面（保持面）；
３−４：ナノファイバ
【発明を実施するための形態】
【００１２】
原子配列が高度に制御された、カーボンナノチューブや希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバ等のナノファイバは、その特別なナノ構造と形態故に特異な機能をもつ。このナノ構造と形態は、高密度のデバイスを製造するトップダウン方式の微細加工では作製されないため、ナノファイバ等の機能をデバイスに活用するには、別のプロセスでナノファイバをデバイスに組み込む必要がある。そのため、ナノファイバをハンドリングする技術が必要となっているが、従来の、電子顕微鏡下での操作を必要とするもの、機械的なピンセット方式のもの、電極先端の電界力やクーロン力を利用する方式のものは、ナノファイバを対象としてのハンドリングには、問題があり、実用的なハンドリング方法とはいえない。
【００１３】
そこで、光学顕微鏡下での操作による使い易い装置を開発し、機械的なピンセット方式や電界・クーロン方式でない、ファンデルワース力だけでナノファイバをハンドリングする新たな方法を開発した。
【００１４】
以下にナノファイバハンドリング装置の概要、および具体的なハンドリング方法を実施例において説明する。
以下の実施例では、ナノファイバを対象にしているが、本発明はこれに限らず、ナノチューブ、ナノベルト、ナノロッドその他のナノファイバ構造を有する物には適用可能なことは自明のことなので説明を省略する。また、その材質も無機のみならず有機のナノファイバを取り扱う場合にも同様に使用できる。
また、直径１０ｎｍ以上で、長さが３μｍ以上のナノファイバ状であれば、本装置により、光学顕微鏡による観察可能で、ハンドリングできることを確認している。
【実施例１】
【００１５】
ナノファイバハンドリング装置の基本構造
ナノファイバの機能を生かしてデバイス化するのに使用できる実用的なナノファイバハンドリング装置の概要を図１に示す。
【００１６】
この装置の構成について説明する。ナノファイバファイバを観察、位置確認できる５０００倍以上の倍率が可能な光学顕微鏡を第一顕微鏡（１−１）として、第一顕微鏡（１−１、株式会社キーエンス製のＶＨ−Ｚ５００Ｒを使用）の光軸方向を垂直に配置して、平面視での位置関係を観察するようにした。１０００倍以上の倍率での観察が可能な第二光学顕微鏡（１−２、株式会社キーエンス製のＶＨ−Ｚ１００Ｒを使用）を、光軸方向を水平にして配置して正面視での位置関係を観察できるようにした。両顕微鏡の焦点が同じポイントに一致するように調整して、当該ポイント付近での位置関係を平面と正面の両視野で観察できるようにしてある。一方、ナノファイバの方向や位置を制御する位置・方向制御手段として、第一ハンドリング装置と第二ハンドリング装置を基盤（ｂ）上に配置した。この両装置は、垂直角度を調整する為のＸＺ面回転ステージ（２−１，２−６）と、水平角度を調整する為のＸＹ面回転ステージ（２−２，２−７）と、三次元位置調整の為のＺステージ（２−３，２−８）、Ｙステージ（２−４，２−９）、Ｘステージ（２−５，２−１０）とが直列に連結されて配置されて構成されている。
さらに、前記ＸＺ面回転ステージ（２−１，２−６）にはそれぞれアームを介してナノファイバを保持する第一保持部（３−１）と第二保持部（３−２）が設けてあり、前記位置・方向制御手段は、この保持部（３−１）（３−２）の三次元位置と方向とを制御する為のものである。
その制御系統は、図２に示すフローの通りである。
なお、前記各ステージの内、ＸＹ面回転ステージ（２−２，２−７）、Ｚステージ（２−３，２−８）、Ｙステージ（２−４，２−９）、Ｘステージ（２−５，２−１０）はシグマ光機株式会社の自動ステージＳＧＳＰ２０−８５を用いて構成し、１パルス移動量はフルステップで２μｍ、ハーフステップで１μｍとした。
この保持部（３−１）（３−２）は、平板状であって、その表面（３−３）には、半導体用のシリコン基板を貼り付けて、表面最大粗さがＲｚ＝２ｎｍ以下の平滑面とし、表面のファンデルワース力を最大限利用できるようにした。
【実施例２】
【００１７】
＜ナノファイバの採取のためのハンドリング方法＞
前記実施例１で示すナノファイバハンドリング装置あるいは同様の機能をもつ装置を用いて、ナノファイバを捕捉する方法を図３に示す。
「ステップ１；図３（Ａ）」
ナノファイバ源（Ｘ）を、前記第一保持部（３−１）上に載せて、光学顕微鏡視野内の作業エリアに配置し、第二保持部（３−２）を同エリアに配置する。
「ステップ２；図３（Ｂ）」
第二ハンドリング装置の位置・方向制御手段を用いて、前記第二保持部（３−２）の表面（３−３）を、採取するナノファイバ（３−４）と平行となるように近づけ、接触させる。
これにより、ナノファイバ（３−４）は、前記第二保持部の表面（３−３）に吸着される。
そして、両保持部（３−１）（３−２）の内のいずれかを、ナノファイバ（３−４）がナノファイバ源（Ｘ）から分離しやすい方向に移動させ、ナノファイバ（３−４）を前記吸着力により、ナノファイバ源（Ｘ）から分離して引き離す。
このようにして、多数林立するナノファイバから所望のものを取り出すことができた。
【実施例３】
【００１８】
＜保持部に保持されたナノファイバの角度調整方法（図４参照）＞  第一保持部（３−１）にファンデルワース力にて捕捉されたナノファイバ（３−４）の位置、特に方向を目的に合わせて制御する方法を以下に示す。
「ステップ１；図４（Ａ）（Ｂ）」
ナノファイバ（３−４）は、第一保持部（３−１）に長さ（ＬＡ）にて吸着された片持ち状の保持姿勢で、中心線（図中二点鎖線で示す）に対して角度（α）にて斜めに保持されている。
第二保持部（３−２）を前記第一保持部（３−１）に近づけ、図４（Ｂ）に示すように、前記ナノファイバ（３−４）の遊端部を、長さ（ＬＢ）だけ吸着する。
この時、長さ（ＬＡ）＞長さ（ＬＢ）として、ナノファイバ（３−４）との吸着力が、第一保持部（３−１）＞第二保持部（３−２）としておくとともに、両者の表面を水平に維持し、かつ基盤（ｂ）に対する傾斜角を同じとして、両者に対するナノファイバの吸着がスムーズに行えるようにしておく。
「ステップ２；図４（Ｃ）」
そして、第二保持部を上方に移動させることで、図４（Ｃ）のように垂直角（β）をもって、ナノファイバ（３−４）を傾斜させ、第一保持部（３−１）の表面の一点と第二保持部（３−２）の先端の一点との二点にて支えるようになる。この状態で両保持部の水平方向で相対移動させると、第一保持部（３−１）の表面の接触点を中心に、前記角度（α）を変更することが可能になる。
このようにして、前記中心線との傾斜を調整し、その後、第二保持部を下方に移動させると、前記角度（β）をゼロとして、前記角度（α）がゼロを含む所望の角度にして、図４（Ａ）の状態にすることができる。
【実施例４】
【００１９】
＜ナノファイバの受け渡し方法＞
第一保持部から第二保持部にナノファイバを受け渡す方法を以下に例示する。
当該方法は、前記実施例２によりナノファイバを採取した後、本実施例により、第二保持部から第一保持部にナノファイバを移し替える場合にも適用できる方法である。
また、最終的に、固定基材にナイファイバを設置する場合にも利用できる方法である。
「ステップ１：図５（Ａ）」
ナノファイバ（３−４）は、第一保持部（３−１）に長さ（ＬＡ）にて、ファンデルワース力により吸着された片持ち状の所望姿勢で保持されている。
「ステップ２：図５（Ｂ）」
前記第一保持部（３−１）に対して同一傾斜角で第二保持部（３−２）を近づけ、ファンデルワース力により、長さ（ＬＢ）で、ノナファイバ（３−４）の遊端側を前記第二保持部（３−２）の表面に吸着保持する。
この時、長さ（ＬＡ）＜長さ（ＬＢ）として、ナノファイバの吸着力が第二保持部（３−２）に多く働くようにする。
「ステップ３：図５（Ｃ）」
さらに、図示のように第二保持部（３−２）を上方に移動させると、前記吸着力の相違により、ナノファイバは第二保持部（３−２）に保持され、第一保持部からは離脱することとなる。
このようにして、ナノファイバを第一保持部から第二保持部に受け渡すことができた。
無論、第二保持部から第一保持部への受け渡しも可能なことは自明なことであるが、受け渡される側を固定基材とすれば、ナノファイバを固定基材に設置する方法としても利用できる。
【実施例５】
【００２０】
前記実施例３の方法の実例を図６に示す  第二保持部（３−２）の上には４０ｎｍ径の六ホウ化ランタンナノファイバがのせられている。第一保持部（３−１）を第二保持部（３−２）上のナノファイバ（３−４）に近づけ、ナノファイバを第一保持部（３−１）の表面にのせる。この際、第一保持部（３−１）とナノファイバ（３−４）の接触面積は、第二保持部（３−２）のそれより小さくする。第一保持部（３−１）をナノファイバ（３−４）が回転するように移動して、第二保持部（３−２）の軸方向とナノファイバ（３−４）に長さ方向とを一致させる。第一保持部（３−１）を第二保持部（３−２）から引き離すと、ナノファイバは第二保持部（３−２）の上に軸方向と一致した方向となって配置される。
【実施例６】
【００２１】
図７は基板の上にある２本の４０ｎｍ径の六ホウ化ランタンナノファイバを実施例２および３と同様にして、１本のファイバは抜き取り、もう一本のファイバの位置制御を行った。ここで用いた固定基材は電子源に用いるタングステン針で、その先端に六ホウ化ランタンナノファイバの電子放出部が取り付けられている。
【産業上の利用可能性】
【００２２】
バルクにはない機能や特性を発現するナノファイバが開発されている。カーボンナノチューブ、希土類ホウ化物単結晶ナノファイバ、ボロンナイトライドナノチューブなどがそうであるが、これらのナノファイバをデバイスやセンサプローブ等に組み込むことにより、デバイス等の高機能化、革新化を実現できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２３】
【特許文献１】ＵＳＰ６９５０２９６
【特許文献２】ＵＳＰ６７４３４０８
【特許文献３】ＵＳＰ７２１１７９５
【特許文献４】ＵＳＰ７３４４６１７
【非特許文献】
【００２４】
【非特許文献１】Ｓｃｉｅｎｃｅ，  ２８６，  ５４４７，  ２０９５−２０９６，  １０  Ｄｅｃ．  １９９９，  Ｃ．Ａ．Ｍｉｒｋｉｎ
【非特許文献２】Ｓｃｉｅｎｃｅ，  ２８６，  ２１４８−２１５０，  １９９９，  Ｐ．Ｋｉｍ，  Ｃ．Ｍ．Ｌｉｅｂｅｒ
【非特許文献３】Ｎａｎｏｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，  １９，  ４４５７１６−４４５７２３，  ２００８，  Ｈ．  Ｌｉｕ，  Ｓ．  Ｃｈｉａｓｈｉ，  Ｍ．  Ｉｓｉｇｕｒｏ，  Ｙ．  Ｈｏｎｍａ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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