(57)【要約】      （修正有）【課題】コストダウンや制御性の向上が可能で、全体を小型化できる測定装置を提供する。【解決手段】Yスライダ１６に対して、Ｚスピンドル１７をXスライダ１４およびYスライダ１６の移動方向に対して直交する方向へ移動可能にガイドするＺ軸ガイド機構３０Ｚを有する測定装置。ガイド機構は、Ｚスピンドルの対向する上下面にＺスピンドルの移動方向に沿って平行にかつＺスピンドルの軸を中心に対称配置された一対のガイドレール３１Ｚと、Ｙスライダに配置されガイドレールに摺動可能に係合する複数の係合ブロック３２Ｚとを有する。【選択図】図２
2010107282.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部材に対して可動部材を移動可能に支持するガイド機構を有する測定装置において、
前記ガイド機構は、前記可動部材の対向する面に前記可動部材の移動方向に沿って平行にかつ前記可動部材の軸を中心として対称配置された一対のガイドレールと、前記支持部材に配置され前記ガイドレールに摺動可能に係合する複数の係合ブロックとを有する、
ことを特徴とする測定装置。
【請求項２】
ベースと、このベースの上面に水平方向へ移動可能に設けられたXスライダと、このXスライダに略垂直に立設されたYコラムと、このYコラムに沿って昇降可能に設けられたYスライダと、Ｚスピンドルと、このＺスピンドルの先端に設けられた測定子と、前記Yスライダに対して前記Ｚスピンドルを前記XスライダおよびYスライダの移動方向に対して直交する方向へ移動可能に支持するガイド機構とを備えた測定装置であって、
前記ガイド機構は、前記Ｚスピンドルの対向する上下面に前記Ｚスピンドルの移動方向に沿って平行にかつＺスピンドルの軸を中心に対称配置された一対のガイドレールと、前記Ｙスライダに配置され前記ガイドレールに摺動可能に係合する複数の係合ブロックとを有する、
ことを特徴とする測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の測定装置において、
前記Ｚスピンドルは、上面、下面および側面を有する断面矩形の角筒状で、かつ、アルミニウムまたはアルミニウムを主体とするアルミニウム合金によって構成され、前記上面および下面に前記ガイドレールが配置されている、ことを特徴とする測定装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載の測定装置において、
前記Yスライダには、前記Ｚスピンドルを前記XスライダおよびYスライダの移動方向に対して直交する方向へ移動させる駆動機構が設けられ、
前記駆動機構は、一端が前記Ｙスライダに揺動可能に支持された揺動部材と、この揺動部材の他端に回動可能に支持され前記Ｚスピンドルの側面に当接される駆動ローラと、この駆動ローラを回転駆動させる回転駆動手段と、前記揺動部材を前記Ｚスピンドルの側面に向かって付勢する付勢手段とを含んで構成されている、ことを特徴とする測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定装置に関する。例えば、横形三次元測定機において、水平な姿勢に配置され先端に測定子を有するＺスピンドルを移動可能に支持するガイド機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
先端に測定子を有するＺスピンドルが水平な姿勢に配置された、いわゆる、横形三次元測定機が知られている（特許文献１参照）。
これは、ベースと、このベースの上面に水平方向へ移動可能に設けられたXスライダと、このXスライダに略垂直に立設されたYコラムと、このYコラムに沿って昇降可能に設けられたYスライダと、このYスライダにXスライダおよびYスライダの移動方向に対して直交する方向へ移動可能に設けられたＺスライダと、このＺスライダに連結されたＺスピンドルと、このＺスピンドルの先端に設けられた測定子とを備えた構造である。
【０００３】
ベースの上面には、一対のガイドレールおよびラックがＸスライダの移動方向に沿って平行に配置され、Xスライダの下面には、ガイドレールに摺動自在に係合する係合ブロックとラックに噛合するピニオンを有するモータとが固定されている。これにより、モータが回転すると、ピニオンがラックに噛合しながら移動するので、Xスライダがベースの上面に沿ってＸ方向へ移動される。
Yコラムの側面には、一対のガイドレールおよびラックがＹスライダの昇降方向に沿って平行に配置され、Ｚスライダの側面には、ガイドレールに摺動自在に係合する係合ブロックとラックに噛合するピニオンを有するモータとが固定されている。これにより、モータが回転すると、ピニオンがラックに噛合しながら移動するので、ＹスライダがＹコラムの側面に沿ってＹ方向へ昇降される。
Yスライダの側面には、ガイドレールおよびラックがＺスピンドルの進退方向に沿って平行に配置され、Ｚスピンドルの側面には、ガイドレールに摺動自在に係合する係合ブロックとラックに噛合するピニオンを有するモータとが固定されている。これにより、モータが回転すると、ピニオンがラックに噛合しながら移動するので、ＺスピンドルがＹスライダの側面に沿ってＺ方向へ移動される。
【０００４】
【特許文献１】実開平４−４５９１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、従来の横形三次元測定機において、可動部材のガイド機構は、支持部材側に可動部材の移動ストロークに渡ってガイドレールを、可動部材側にガイドレールに摺動可能に係合する複数の係合ブロックが設けられた構造であるため、可動部材の移動ストロークを大きくとると、支持部材の全長寸法も長くとる必要がある。
【０００６】
例えば、Ｚスピンドルについて見ると、従来の横形三次元測定機では、ＹスライダをＺスピンドルの移動ストローク分の長さに形成し、このＹスライダにガイドレールをＺスピンドルの移動方向に沿って配置し、このガイドレールに摺動可能に係合する複数の係合ブロックを有するＺスライダをＺ方向へ移動可能に配置し、このＺスライダにＺスピンドルを連結した構造である。
そのため、Ｚスピンドルの移動ストロークを長くすればするほど、Ｙスライダの長さも長くしなければならないため、Ｙスライダの重量が増え、コスト上昇、制御性低下が課題となる。更に、ワークの深部まで測定できるように、Ｚスピンドルの全長を長くすると、Ｚ方向の寸法が著しく増大するため、装置の大型化につながる。
【０００７】
本発明の目的は、コストダウンや制御性の向上が可能で、全体を小型化できる測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の測定装置は、支持部材に対して可動部材を移動可能に支持するガイド機構を有する測定装置において、前記ガイド機構は、前記可動部材の対向する面に前記可動部材の移動方向に沿って平行にかつ前記可動部材の軸を中心として対称配置された一対のガイドレールと、前記支持部材に配置され前記ガイドレールに摺動可能に係合する複数の係合ブロックとを有する、ことを特徴とする。
ここで、可動部材の移動方向については、水平方向に限らず、垂直方向、あるいは、これ以外の方向であってもよい。
【０００９】
このような構成によれば、一対のガイドレールが、可動部材の対向する面に可動部材の移動方向に沿って平行にかつ可動部材の軸を中心として対称配置され、ガイドレールに摺動可能に係合する複数の係合ブロックが支持部材に配置された構造であるから、支持部材の重量を軽量化できる。従って、コストダウンが可能であるうえ、支持部材が更に移動するような構造であっても、制御性も向上させることができる。
しかも、可動部材の全長を長くしても、その全長に対応してガイドレールを配置すればよく、支持部材の全長を長くする必要がないから、可動部材の移動方向の寸法を短くして小型化できる。
【００１０】
本発明の測定装置は、ベースと、このベースの上面に水平方向へ移動可能に設けられたXスライダと、このXスライダに略垂直に立設されたYコラムと、このYコラムに沿って昇降可能に設けられたYスライダと、Ｚスピンドルと、このＺスピンドルの先端に設けられた測定子と、前記Yスライダに対して前記Ｚスピンドルを前記XスライダおよびYスライダの移動方向に対して直交する方向へ移動可能に支持するガイド機構とを備えた測定装置であって、前記ガイド機構は、前記Ｚスピンドルの対向する上下面に前記Ｚスピンドルの移動方向に沿って平行にかつＺスピンドルの軸を中心に対称配置された一対のガイドレールと、前記Ｙスライダに配置され前記ガイドレールに摺動可能に係合する複数の係合ブロックとを有する、ことを特徴とする。
【００１１】
このような構成によれば、一対のガイドレールが、Ｚスピンドルの対向する面にＺスピンドルの移動方向に沿って平行にかつＺスピンドルの軸を中心として対称配置され、ガイドレールに摺動可能に係合する複数の係合ブロックがＹスライダに配置された構造であるから、Ｙスライダの重量を軽量化できる。従って、コストダウンが可能であるうえ、Ｙスライダの昇降時の制御性も向上させることができる。
しかも、Ｚスピンドルの全長を長くしても、その全長に対応してガイドレールを配置すればよく、Ｙスライダの全長を長くする必要がないから、Ｚスピンドルの移動方向の寸法を短くして小型化できる。
【００１２】
本発明の測定装置において、前記Ｚスピンドルは、上面、下面および側面を有する断面矩形の角筒状で、かつ、アルミニウムまたはアルミニウムを主体とするアルミニウム合金によって構成され、前記上面および下面に前記ガイドレールが配置されている、ことが好ましい。
このような構成によれば、Ｚスピンドルは、断面矩形の角筒状で、アルミニウム系材料によって構成されているから、より軽量化できる。また、角筒の上面および下面にガイドレールが配置される構造であるから、つまり、角筒の軸を中心に上下対称構造に構成されているから、ガイドレールがＹスライダの係合ブロックに対して摺動する際に発生する自己発熱による熱変形も排除できる。
【００１３】
本発明の測定装置において、前記Yスライダには、前記Ｚスピンドルを前記XスライダおよびYスライダの移動方向に対して直交する方向へ移動させる駆動機構が設けられ、  前記駆動機構は、一端が前記Ｙスライダに揺動可能に支持された揺動部材と、この揺動部材の他端に回動可能に支持され前記Ｚスピンドルの側面に当接される駆動ローラと、この駆動ローラを回転駆動させる回転駆動手段と、前記揺動部材を前記Ｚスピンドルの側面に向かって付勢する付勢手段とを含んで構成されている、ことが好ましい。
このような構成によれば、回転駆動手段を回転駆動させると、駆動ローラが回転駆動させる。すると、駆動ローラが押圧付勢されているＺスピンドルが、ガイド機構にガイドされながらＺ方向へ移動されるから、極めて簡易の構成でＺスピンドルを移動させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
＜全体構成の説明（図１参照）＞
図１は、本実施形態に係る測定装置を示す斜視図である。
本実施形態に係る測定装置は、横形三次元測定機本体１と、この横形三次元測定機本体１の一部（駆動部）を覆う防塵ケース２と、横形三次元測定機本体１を制御する制御装置３と、表示装置４とを備える。
【００１５】
＜横形三次元測定機本体１の説明（図２〜図８参照）＞
横形三次元測定機本体１は、図２に示すように、設置台１１と、この設置台１１の上に載置されたベース１２と、このベース１２の上面前側に載置された回転テーブル１３と、ベース１２の上面後側に水平方向（Ｘ方向）へ移動可能に設けられたXスライダ１４と、このXスライダ１４に略垂直に立設されたYコラム１５と、このYコラム１５に沿って上下方向（Ｙ方向）へ昇降可能に設けられた支持部材としてのYスライダ１６と、このYスライダ１６にXスライダ１４およびYスライダ１６の移動方向に対して直交する方向（Ｚ方向）へ移動可能に設けられた可動部材としてのＺスピンドル１７と、このＺスピンドル１７の先端に設けられたプローブ（測定子）１８とを備える。
【００１６】
ベース１２は、設置台１１の上面にゴムなどの吸振部材２１を介して載置されているとともに、除振機構２２を介して設置台１１に連結されている。
除振機構２２は、図３に示すように、ベース１２の側面複数箇所に固定されたＬ字状のブラケット２３と、このブラケット２３の水平片中央に穿設された孔２３Ａに嵌合された除振リング２４と、この除振リング２４内に挿入され設置台１１に螺合された止めボルト２５とを有する。除振リング２４は、円筒状ゴム２４Ａの内外を金属製のリング２４Ｂでサンドイッチした構造で、水平方向からの力に対して強く、垂直方向からの力に対して柔軟な特性を備えている。この構造により、外部振動が抑制され、かつ、可動部材（例えば、Ｘスライダ１４、Ｙスライダ１６、Ｚスピンドル１７などの可動部材）の反力によるベース１２の揺れが抑制されている。
【００１７】
ベース１２とＸスライダ１４との間には、図２に示すように、Ｘスライダ１４をＸ方向へ移動させるＸ軸ガイド機構３０ＸおよびＸ軸駆動機構４０Ｘがそれぞれ設けられている。
Yコラム１５とＹスライダ１６との間には、Yスライダ１６をＹ方向へ昇降させるＹ軸ガイド機構３０ＹおよびＹ軸駆動機構４０Ｙのほかに、Ｙスライダ１６の自重（Ｙスライダ１６、これに搭載されるＺスピンドル１７、プローブ１８などの自量）を相殺するためのＹ軸バランス機構５０Ｙがそれぞれ設けられている。
Yスライダ１６とＺスピンドル１７との間には、Ｚスピンドル１７をＺ方向へ移動させるＺ軸ガイド機構３０ＺおよびＺ軸駆動機構４０Ｚがそれぞれ設けられている。
【００１８】
（Ｘ軸ガイド機構３０ＸおよびＸ軸駆動機構４０Ｘ）
Ｘ軸ガイド機構３０Ｘは、図２に示すように、ベース１２の上面後側にＸスライダ１４の移動方向（Ｘ方向）に沿って互いに平行にかつ段差をもって配置された一対のガイドレール３１Ｘと、Ｘスライダ１４の下面に設けられガイドレール３１Ｘに摺動自在に係合された複数（前後左右計４つ）の係合ブロック３２Ｘとを含んで構成されている。ガイドレール３１Ｘは、先端部分が根本部分より幅広な断面形状に形成され、係合ブロック３２Ｘは、ガイドレール３１Ｘの断面形状に摺動自在に係合する蟻溝状の係合溝３３を有する。
なお、以下の説明において、ガイドレールおよび係合ブロックについては、ガイドレール３１Ｘおよび係合ブロック３２Ｘと同一構造であるため、形状についての説明は省略する。
【００１９】
Ｘ軸駆動機構４０Ｘは、図２に示すように、ガイドレール３１Ｘを挟んだベース１２の上面両側にＺ方向と平行な軸を中心として回転可能に設けられた一対のタイミングギヤ４１Ｘと、この一対のタイミングギヤ４１Ｘ間に掛け回され一部がXスライダ１４に連結されたタイミング駆動ベルト４２Ｘと、一方のタイミングギヤ４１Ｘを回転駆動させるモータ４３Ｘとを含んで構成されている。
【００２０】
（Ｙ軸ガイド機構３０Ｙ、Ｙ軸バランス機構５０ＹおよびＹ軸駆動機構４０Ｙ）
Ｙ軸ガイド機構３０Ｙは、図２、図４および図５に示すように、Ｙコラム１５の一側面に設けられＹスライダ１６をＹ方向へ案内する第１Ｙ軸ガイド機構３０１Ｙと、Ｙコラム１５の他側面（一側面とは反対側の側面）に設けられ後述するカウンタウエイト５１をＹ方向へ案内する第２Ｙ軸ガイド機構３０２Ｙとを備える。
第１Ｙ軸ガイド機構３０１Ｙは、Ｙコラム１５の一側面に上下方向に沿って設けられた一対のガイドレール３１Ｙと、Ｙスライダ１６に各ガイドレール３１Ｙに摺動自在に係合された複数の係合ブロック３２Ｙとを含んで構成されている。
第２Ｙ軸ガイド機構３０２Ｙも、Ｙコラム１５の他側面に上下方向に沿って設けられた一対のガイドレール３１Ｙと、カウンタウエイト５１に各ガイドレール３１Ｙに摺動自在に係合された複数の係合ブロック３２Ｙとを含んで構成されている。
【００２１】
ここで、これら第１Ｙ軸ガイド機構３０１Ｙおよび第２Ｙ軸ガイド機構３０２Ｙは、Ｙコラム１５の長手方向を軸中心として対称構造に、かつ、Ｙコラム１５と各ガイド機構３０１Ｙ，３０２Ｙのガイドレール３１Ｙとは同一材料で形成されている。具体的には、Ｙコラム１５と、第１Ｙ軸ガイド機構３０１Ｙおよび第２Ｙ軸ガイド機構３０２Ｙのガイドレール３１Ｙとが、アルミニウムまたはアルミニウムを主体とするアルミニウム合金によって構成されている。
【００２２】
これらの部材（Ｙコラム１５や第１，第２Ｙ軸ガイド機構３０１Ｙ，３０２Ｙのガイドレール３１Ｙ）が非対称構造や異種材料で構成されていると、環境温度変化時にガイド部に歪み（ストレス）が生じ、精度悪化の原因となる。本実施形態では、Ｙコラム１５やガイドレール３１Ｙが、対称構造に、かつ、同一材料で形成されているから、外部的熱要因（環境温度変化）による影響を排除できる。しかも、アルミニウムまたはアルミニウムを主体とするアルミニウム合金によって構成されているから、大幅な軽量化を実現できる。
また、第１Ｙ軸ガイド機構３０１Ｙおよび第２Ｙ軸ガイド機構３０２Ｙの係合ブロック３２Ｙについても、同一構成（形状、配置および個数）とされている。これにより、移動時に自己発熱（係合ブロック３２Ｙがガイドレール３１Ｙに沿って移動するときの自己発熱）があっても、その自己発熱による熱変形を極力排除できる。
【００２３】
Ｙ軸バランス機構５０Ｙは、図２、図４および図５に示すように、Ｙコラム１５を挟んでYスライダ１６とは反対側面に配置されＹスライダ１６およびこれに搭載される部材（Ｚスピンドル１７やプローブ１８など）の自量を相殺する重量を有するカウンタウエイト５１と、Ｙコラム１５の上部および下部にそれぞれ一対設けられたプーリ５２と、これらプーリ５２に掛け回されＹスライダ１６およびカウンタウエイト５１に連結されたループ状の２本のバランスワイヤ５３とを含んで構成されている。
カウンタウエイト５１は、図６に示すように、一対の係合ブロック３２Ｙを有する錘取付基板５１Ａと、この錘取付基板５１Ａに着脱可能に取り付けられた複数の錘５１Ｂとを有する。ここで、錘取付基板５１Ａはアルミニウムまたはアルミニウムを主体とするアルミニウム合金によって、また、錘５１Ｂは鉄系材料で構成されている。
【００２４】
一般に、カウンタウエイトには、小スペースで大きな質量をもたせることができる材料として鉄系材料が好ましい。しかし、鉄系材料のままだと、上述した熱の影響によりガイド部を変形させるストレスを完全に排除することは難しい。アルミ系材料で構成した場合、熱の影響は排除できるが、スペース／コストの面で非常に大きなデメリットとなる。本実施形態では、アルミ系材料の錘取付基板５１Ａに鉄系材料の錘５１Ｂを取り付ける構成としたため、小スペース／低コストを実現できる。
【００２５】
Ｙ軸駆動機構４０Ｙは、図４および図５に示すように、Ｙコラム１５の上部および下部にかつプーリ５２の間に設けられたプーリ４１Ｙａ〜４１Ｙｅと、これらプーリ４１Ｙａ〜４１Ｙｅに掛け回されＹスライダ１６およびカウンタウエイト５１に連結されたループ状の駆動ベルト４２Ｙと、いずれかのプーリに回転駆動力を与える回転駆動力供給手段としてのモータ４３Ｙとを含んで構成されている。
プーリ４１Ｙａ〜４１Ｙｅのうち、プーリ４１Ｙａ，ｂはＹコラム１５の上部左右端に、プーリ４１Ｙｃ，ｄ，ｅはＹコラム１５の下部にそれぞれ設けられている。上部の２つのプーリ４１Ｙａ，ｂは、駆動ベルト４２Ｙに内接されている。下部の３つのプーリ４１Ｙｃ，ｄ，ｅのうち、プーリ４１ＹｃはＹスライダ１６からＹ方向と平行に垂下された駆動ベルト４２Ｙに内接され、プーリ４１Ｙｄはカウンタウエイト５１からＹ方向と平行に垂下された駆動ベルト４２Ｙに外接されている。残るプーリ４１Ｙｅは、プーリ４１Ｙｃ，ｄを旋回した駆動ベルト４２Ｙの一部をＹコラム１５よりもＸ方向へ突出させて蛇行部を形成するために、プーリ４１ＹｄよりもＸ方向へずれて配置されている。
モータ４３Ｙは、駆動ベルト４２Ｙの蛇行部に位置するプーリ４１Ｙｅに連結され、このプーリ４１Ｙｅを回転させる。
【００２６】
（Ｚ軸ガイド機構３０ＺおよびＺ軸駆動機構４０Ｚ）
Ｚ軸ガイド機構３０Ｚは、図７に示すように、Ｚスピンドル１７の対向する上下面にＺスピンドル１７の移動方向に沿って平行にかつＺスピンドル１７の軸を中心に対称配置された一対のガイドレール３１Ｚと、Ｙスライダ１６に配置されガイドレール３１Ｚに摺動可能に係合する複数の係合ブロック３２Ｚとを有する。
なお、Ｚスピンドル１７は、上面、下面および側面を有する断面矩形の角筒状で、かつ、アルミニウムまたはアルミニウムを主体とするアルミニウム合金によって構成され、上面および下面にガイドレール３１Ｚが配置されている。
【００２７】
Ｚ軸駆動機構４０Ｚは、図７および図８に示すように、一端がＹスライダ１６に揺動可能に支持された揺動部材４５と、この揺動部材４５の他端に回動可能に支持されＺスピンドル１７の側面に当接される駆動ローラ４６と、この駆動ローラ４６を回転駆動させる回転駆動手段としてモータ４７と、揺動部材４５をＺスピンドル１７の側面に向かって付勢する付勢手段４８と、この付勢手段４８の付勢力を調節する調節ねじ４９とを含んで構成されている。
【００２８】
＜防塵ケース（図１および図９参照）＞
防塵ケース２は、図１に示すように、正面、左右側面、背面および上面を有する箱状のケースで、正面には開口部６１が形成されている。
開口部６１には、左右方向（Ｘ方向）へ折り畳み可能な第１蛇腹蓋６２と、この第１蛇腹蓋６２の中間に設けられ上下方向（Ｙ方向）折り畳み可能な第２蛇腹蓋６３とが装着されている。第２蛇腹蓋６３の中間から、横形三次元測定機本体１のＺスピンドル１７の先端（プローブ１８）が突出されている。
【００２９】
第１蛇腹蓋６２は、図９に示すように、左右方向（Ｘ方向）の所定間隔位置に中間板６４が設けられている。これら中間板６４の上端部において、第１蛇腹蓋６２を吊ったときに第１蛇腹蓋６２の重心に相当する位置には角孔６５が形成され、この角孔６５に両端が防塵ケース２の内壁に固定された角柱状のガイドバー６６が挿通されている。また、第１蛇腹蓋６２の内側上下位置において、第１蛇腹蓋６２の内側への蛇行を防止するための位置規制ワイヤ６７が左右方向（Ｘ方向）と平行に張設されている。これにより、第１蛇腹蓋６２を左右方向（Ｘ方向）へスムーズに折り畳むことができるようになっている。
【００３０】
＜実施形態の効果＞
（１）Ｙ軸バランス機構５０Ｙにおいて、Ｙコラム１５を挟んでYスライダ１６とは反対側面に配置されたカウンタウエイト５１と、Ｙコラム１５の上部および下部に設けられたプーリ５２と、これらプーリ５２に掛け回されＹスライダ１６およびカウンタウエイト５１に連結されたループ状のバランスワイヤ５３とを含んで構成されているから、Ｙスライダ１６の昇降時のバランスワイヤ５３の緩みを排除できる。つまり、バランスワイヤ５３がループ状であるから、Ｙスライダ１６の昇降時においても、常にバランスワイヤは「張り側」となって「緩み」が生じることがないから、バランスワイヤ５３の緩みによって生じるデメリット（制御性への悪影響、精度悪化、機械寿命への懸念といったデメリット）を解消できる。
【００３１】
（２）Ｙ軸駆動機構４０Ｙについても、Ｙコラム１５の上部および下部に設けられたプーリ４１Ｙａ〜４１Ｙｅと、これらプーリ４１Ｙａ〜４１Ｙｅに掛け回されＹスライダ１６およびカウンタウエイト５１に連結されたループ状の駆動ベルト４２Ｙと、プーリ４１Ｙｅに回転駆動力を与えるモータ４３Ｙとを含んで構成されているから、従来のように、昇降するＹスライダ１６に駆動源などを搭載しなくてもよく、軽量化が実現できるため、高加減速仕様に対応できる。
【００３２】
（３）Ｙ軸ガイド機構３０Ｙは、Ｙコラム１５の一側面に設けられた第１Ｙ軸ガイド機構３０１Ｙ、および、Ｙコラム１５の他側面に設けられた第２Ｙ軸ガイド機構３０２Ｙを有し、これら第１Ｙ軸ガイド機構３０１Ｙおよび第２Ｙ軸ガイド機構３０２Ｙが、Ｙコラム１５の長手方向を軸中心として対称構造に構成されているから、環境温度変化などに対しても、Ｙコラム１５や第１Ｙ軸ガイド機構３０１Ｙおよび第２Ｙ軸ガイド機構３０２Ｙに歪みが生じにくく、精度悪化の要因を排除できる。つまり、外部的熱影響を排除できる。
【００３３】
（４）第１Ｙ軸ガイド機構３０１Ｙおよび第２Ｙ軸ガイド機構３０２Ｙは、Ｙコラム１５の側面に上下方向に沿って設けられた一対のガイドレール３１Ｙと、Ｙスライダ１６およびカウンタウエイト５１に各ガイドレール３１Ｙに摺動自在に係合された複数の係合ブロック３２Ｙとを含んで構成され、Ｙコラム１５と各ガイド機構３０１Ｙ，３０２Ｙのガイドレール３１Ｙとは同一材料で形成されているから、外部的熱影響（環境温度変化による熱変形）を排除できる。
また、係合ブロック３２Ｙについても、第１Ｙ軸ガイド機構３０１Ｙおよび第２Ｙ軸ガイド機構３０２Ｙに関して同一構造としたので、Ｙスライダ１６やカウンタウエイト５１などの昇降時に生じる自己発熱によるガイドレール３１Ｙの熱変形、つまり、内部的熱影響を排除できる。
【００３４】
（５）Ｙコラム１５と、第１Ｙ軸ガイド機構３０１Ｙおよび第２Ｙ軸ガイド機構３０２Ｙのガイドレール３１Ｙと、カウンタウエイト５１の錘取付基板５１Ａとが、アルミニウムまたはアルミニウムを主体とするアルミニウム合金によって構成されているから、熱的影響を排除しつつ、軽量化を図ることができる。
【００３５】
（６）Ｚ軸ガイド機構３０Ｚにおいて、一対のガイドレール３１Ｚが、Ｚスピンドル１７の対向する上下面にＺスピンドル１７の移動方向に沿って平行にかつＺスピンドル１７の軸を中心として対称配置され、ガイドレール３１Ｚに摺動可能に係合する複数の係合ブロック３２ＺがＹスライダ１６に配置されているから、Ｙスライダ１６の重量を軽量化できる。従って、コストダウンが可能であるうえ、Ｙスライダ１６の昇降時の制御性も向上させることができる。
しかも、Ｚスピンドル１７の全長を長くしても、その全長に対応してガイドレール３１Ｚを配置すればよく、Ｙスライダ１６の全長を長くする必要がないから、Ｚスピンドル１７の移動方向の寸法を短くして小型化できる。
【００３６】
（８）Ｚスピンドル１７は、断面矩形の角筒状で、アルミニウム系材料によって構成されているから、より軽量化できる。また、角筒の上面および下面にガイドレール３１Ｚが配置される構造であるから、つまり、角筒の軸を中心に上下対称構造に構成されているから、ガイドレール３１ＺがＹスライダ１６の係合ブロック３２Ｚに対して摺動する際に発生する自己発熱による熱変形も排除できる。
【００３７】
（９）Ｚ軸駆動機構４０Ｚは、一端がＹスライダ１６に揺動可能に支持された揺動部材４５と、この揺動部材４５の他端に回動可能に支持されＺスピンドル１７の側面に当接される駆動ローラ４６と、この駆動ローラ４６を回転駆動させるモータ４７と、揺動部材４５をＺスピンドル１７の側面に向かって付勢する付勢手段４８とを含んで構成されているから、モータ４７を回転駆動させると、駆動ローラ４６が回転駆動される。すると、駆動ローラ４６が押圧付勢されているＺスピンドル１７が、Ｚ軸ガイド機構３０ＺにガイドされながらＺ方向へ移動されるから、極めて簡易な構成でＺスピンドル１７を移動させることができる。
【００３８】
（１０）ベース１２は、設置台１１の上面にゴムなどの吸振部材２１を介して載置されているとともに、除振機構２２を介して設置台１１に連結されているから、外部振動が抑制され、かつ、可動部材（例えば、Ｘスライダ１４、Ｙスライダ１６、Ｚスピンドル１７などの可動部材）の反力によるベース１２の揺れを抑制できる。
とくに、除振機構２２は、ベース１２の側面に固定されＬ字状のブラケット２３と、このブラケット２３の水平片中央に穿設された孔２３Ａに嵌合された除振リング２４と、この除振リング２４内に挿入され設置台１１に螺合された止めボルト２５とから構成されているから、つまり、水平方向からの力に対して強く、垂直方向からの力に対して柔軟な特性を備えているから、外部振動を抑制しつつ、可動部材の反力によるベース１２の揺れを抑制できる。
【００３９】
（１１）防塵ケース２において、第１蛇腹蓋６２は、左右方向（Ｘ方向）の所定間隔位置に中間板６４を有し、こられ中間板６４の上端部において、第１蛇腹蓋６２を吊ったときに第１蛇腹蓋６２の重心に相当する位置には角孔６５が形成され、この角孔６５に両端が防塵ケース２の内壁に固定された角柱状のガイドバー６６が挿通されているから、第１蛇腹蓋６２を左右方向（Ｘ方向）へスムーズに折り畳むことができる。しかも、第１蛇腹蓋６２の内側上下位置において、第１蛇腹蓋６２の内側への蛇行を防止するための位置規制ワイヤ６７が左右方向（Ｘ方向）と平行に張設されているから、第１蛇腹蓋の蛇行を規制できる。
【００４０】
＜変形例＞
本発明は、前述の実施形態に限定されるものでなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれる。
【００４１】
X軸駆動機構４０Ｘについては、タイミングギヤ４１Ｘと、駆動ベルト４２Ｘと、モータ４３Ｘとから構成したが、これに限られない。例えば、X方向に沿って配置された送りねじ軸と、この送りねじ軸に螺合されＸスライダに固定されたナット部材と、送りねじ軸を回転させるモータとを有する送りねじ機構などでもよく、あるいは、リニアモータ機構などでもよい。
X軸ガイド機構３０Ｘについても、前記実施形態に限られない。例えば、ベース１２の上面に複数本のガイドロッドをX方向に沿って配置し、これに嵌合して摺動する係合ブロックをXスライダの下面に配置した構成であってもよい。
【００４２】
Y軸駆動機構４０YおよびY軸バランス機構５０Yにおいて、前記実施形態ではループ状の駆動ベルト４２Yおよびバランスワイヤ５３を用いたが、必ずしも、ループ状の駆動ベルト４２Yおよびバランスワイヤ５３でなくてもよい。Yコラムの上端に１または２つのプーリを配置し、このプーリに掛け回した有端状の駆動ベルトおよびバランスワイヤの一端をYスライダ１６に、他端をカウンタウエイト５１に連結した構造であってもよい。
【００４３】
Y軸駆動機構４０Ｙにおいて、前記実施形態では５つのプーリ４１Ｙａ〜ｅを含んで構成されていたが、Yコラム１５の上部と下部にそれぞれプーリを配置した構成、つまり、少なくとも２つのプーリを配置した構成でも可能である。
Y軸ガイド機構３０Ｙにおいて、前記実施形態では第１Y軸ガイド機構３０１Ｙと第２Y軸ガイド機構３０２ＹとをYコラム１５を中心として対称構造としたが、必ずしも、対称構造でなくてもよい。また、材料についても、同一材料でなくてもよい。
Y軸バランス機構５０Ｙにおいて、前記実施形態ではカウンタウエイト５１、プーリ５２、２本のバランスワイヤ５３を含んだ構成としたが、１本のバランスワイヤで連結する構成であってもよい。
【００４４】
Ｚ軸ガイド機構３０Ｚにおいて、前記実施形態では、Ｚスピンドル１７の上下面にガイドレール３１Ｚが配置され、Yスライダ１６にガイドレール３１Ｚに係合する係合ブロック３２Ｚが配置された構成としたが、これとは逆であってもよい。つまり、Ｙスライダ１６にガイドレール３１Ｚが配置され、Ｚスピンドル１７にガイドレール３１Ｚに係合する係合ブロック３２Ｚが配置された構成であってもよい。
Ｚ軸駆動機構４０Ｚにおいて、前記実施形態では、駆動ローラ４６をＺスピンドル１７の側面に押圧して駆動させる構成であったが、これに限られない。例えば、リニアモータ機構などでもよい。
【００４５】
前記実施形態では、Ｙコラム１５、第１Ｙ軸ガイド機構３０１Ｙおよび第２Ｙ軸ガイド機構３０２Ｙのガイドレール３１Ｙ、カウンタウエイト５１の錘取付基板５１Ａ、Ｚスピンドル１７、Ｚ軸ガイド機構３０Ｚのガイドレール３１Ｚを、アルミニウムまたはアルミニウムを主体とするアルミニウム合金によって構成したが、これに限られない。
【００４６】
前記実施形態では、横形三次元測定機において、Ｚスピンドル１７のガイド機構に適用した例について説明したが、本発明は、これに限られない。
例えば、Ｚスピンドルが垂直な姿勢で支持された三次元測定機、つまり、門形コラムの水平ビームに沿ってＸスライダを移動可能に支持し、このＸスライダにＺスピンドルを上下方向（Ｚ方向）へ昇降可能に支持した三次元測定機において、可動部材としてのＺスピンドルの対向する面に一対のガイドレールをＺスピンドルの移動方向に沿って平行にかつＺスピンドルの軸を中心として対称配置し、支持部材としてのＸスライダにガイドレールに摺動可能に係合する複数の係合ブロックを配置して構造であってもよい。
また、三次元測定機に限らず、支持部材に対してガイド機構を介して可動部材が移動可能に支持された移動機構を有する測定装置であれば、他の測定機、例えば、２次元測定機などにも適用できる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、三次元測定機などの各軸のガイド機構や駆動機構として利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明に係る測定装置の一実施形態を示す斜視図。
【図２】同上実施形態の横形三次元測定機本体の斜視図。
【図３】同上実施形態において、設置台とベースとの結合部分を示す断面図。
【図４】同上実施形態において、Ｙコラムを正面から見た図。
【図５】同上実施形態において、Ｙコラムを上面から見た図。
【図６】同上実施形態において、カウンタウエイトを示す斜視図。
【図７】同上実施形態において、ＹスライダおよびＺスピンドルを正面から見た図。
【図８】同上実施形態において、Ｚ軸駆動機構の水平断面図。
【図９】同上実施形態において、防塵ケースの第１蛇腹蓋を内側から見た斜視図。
【符号の説明】
【００４９】
１…横形三次元測定機本体、
１２…ベース、
１４…Ｘスライダ、
１５…Ｙコラム、
１６…Ｙスライダ（支持部材）、
１７…Ｚスピンドル（可動部材）、
１８…プローブ（測定子）、
３０Ｚ…Ｚ軸ガイド機構、
３１Ｚ…ガイドレール、
３２Ｚ…係合ブロック、
４０Ｚ…Ｚ軸駆動機構、
４５…揺動部材、
４６…駆動モータ（回転駆動手段）、
４８…付勢手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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