(57)【要約】【課題】トレイに配置された圧電デバイスを、気密検査装置にひとつずつ移し替えていく移し替え機構（ハンドラー）が必要となり、気密検査装置の構成が複雑になる。【解決手段】水晶振動子１０をトレイ２０に配置した状態で、気密検査を行うことができ、移し替え機構（ハンドラー）を必要とせず、気密検査装置１が複雑な構成になることを防ぎ、簡易な構成の気密検査装置１を得ることができる。そして、小型化、薄型化、軽量化した水晶振動子１０の移し替えを必要としないため、確実に気密検査装置１にセットすることができ、移し替えエラーなどによる気密検査装置１の停止を防ぐことができ、結果として気密検査装置１の稼働率を向上させることが可能となる。【選択図】図１
2010276445.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電デバイスの気密状態を検査する気密検査装置であって、
前記圧電デバイスの発振周波数を測定する周波数測定手段と、
前記圧電デバイスが搭載されるトレイと、
前記トレイと共に前記圧電デバイスを収容するための空間を形成するチャンバーと、
前記空間にガスを導入するための管とを備えたことを特徴とする圧電デバイスの気密検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電デバイスの気密検査装置であって、
前記周波数測定手段を複数備え、
複数の前記圧電デバイスの発振周波数を、それぞれ前記周波数測定手段により個別に測定可能であることを特徴とする圧電デバイスの気密検査装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の圧電デバイスの気密検査装置であって、
前記トレイは前記空間から前記空間の外部に連通する貫通穴を備え、
前記周波数測定手段は前記貫通穴を封止するよう前記トレイに接し可能な構成と、前記貫通穴を通して前記圧電デバイスに接続可能な導体とを備えたことを特徴とする圧電デバイスの気密検査装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載の圧電デバイスの気密検査装置であって、
前記周波数測定手段は、前記チャンバーに備えられていることを特徴とする圧電デバイスの気密検査装置。
【請求項５】
請求項１、２、３、４のいずれか一項に記載の圧電デバイスの気密検査装置であって、
前記圧電デバイスは圧電振動子であり、
前記周波数測定手段は、前記圧電振動子を発振させる発振回路に接続されていることを特徴とする圧電デバイスの気密検査装置。
【請求項６】
前記圧電デバイスの発振周波数を測定する周波数測定手段と、前記圧電デバイスが搭載されるトレイと、前記トレイと共に前記圧電デバイスを収容するための空間を形成するチャンバーと、前記空間にガスを導入するための管とを備えた、気密検査装置を使った圧電デバイスの気密検査方法であって、
前記空間内を基準の圧力状態にする工程と、
前記基準の圧力状態での前記圧電デバイスの発振周波数を測定する工程と、
前記空間内を前記基準の圧力状態と異なる圧力状態にする工程と、
前記異なる圧力状態での前記圧電デバイスの発振周波数を測定する工程とを含むことを特徴とする圧電デバイスの気密検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電デバイスの気密検査装置および圧電デバイスの気密検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、水晶などの圧電材料を使用した水晶振動子などの圧電デバイスは、各種情報、通信機器、民生機器などの電子機器に圧電発振器の構成要素として広く使用されている。近年では特に、携帯型の情報通信機器において、機器の小型化が進み、それらに使用される圧電デバイスに対しても、さらなる小型化と高信頼性が求められている。
圧電デバイスは、たとえば、セラミックなどからなるパッケージの内底面に設けた素子搭載用パッド上に、圧電基板に電極を形成した圧電振動素子を導電性接着剤により固定した後、パッケージ内を減圧雰囲気、あるいは不活性ガスなどによる不活性雰囲気として気密に封止した構造である。
【０００３】
このように気密に封止された構造の圧電デバイスは、その気密性の程度または変化に影響を受けて、発振周波数ズレまたはクリスタルインピーダンス値変化などの特性変化を引き起こしてしてしまうという品質の課題がある。そのため、圧電デバイスの製造工程においては、パッケージ内に圧電振動素子を気密に封止した後に、パッケージの気密性を確認する気密検査を行う必要がある。圧電デバイスのパッケージ内の気密性を検査する気密検査方法には、蓋封止工程などにおいて生ずる大きな穴の気密検査に対応したグロスリーク判定と、小さな穴の気密検査に対応したファインリーク判定とがある。また、検査対象の圧電デバイスのパッケージを加圧、または減圧し、パッケージ内部の圧力変化の有無を、内部圧力変化に伴う圧電デバイスのインピーダンス値の変化として捕えることによりパッケージの気密検査を行う方法が開示されている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−５１８０２号公報（２頁〜４頁、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した従来の気密検査装置を用いる場合、気密検査されるパッケージ（圧電デバイス）を、気密検査装置にセットする必要がある。たとえば、上述した蓋封止工程後の状態、つまりトレイに配置された圧電デバイスを、気密検査装置にひとつずつ移し替えていく移し替え機構（ハンドラー）が必要となる。このため、気密検査装置の構成が複雑になるという課題がある。また、圧電デバイスの小型化、薄型化、軽量化のニーズに伴い、このような圧電デバイスの確実な移し替えが困難になるという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものである。以下の形態または適用例により実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる圧電デバイスの気密検査装置は、圧電デバイスの気密状態を検査する気密検査装置であって、前記圧電デバイスの発振周波数を測定する周波数測定手段と、前記圧電デバイスが搭載されるトレイと、前記トレイと共に前記圧電デバイスを収容するための空間を形成するチャンバーと、前記空間にガスを導入するための管とを備えたことを要旨とする。
【０００８】
これによれば、圧電デバイスをトレイに配置した状態で、気密検査を行うことができ、移し替え機構（ハンドラー）を必要とせず、気密検査装置が複雑な構成になることを防ぎ、簡易な構成の気密検査装置を得ることができる。そして、小型化、薄型化、軽量化した圧電デバイスの移し替えを必要としないため、確実に気密検査装置にセットすることができ、移し替えエラーなどによる気密検査装置の停止を防ぐことができ、結果として気密検査装置の稼働率を向上させることが可能となる。
また、発振周波数の変化を測定して気密検査を行うので、加圧または減圧に依存する変化量の少ないインピーダンス値を測定する場合に比べて、精度を高めて検出することが可能となる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる圧電デバイスの気密検査装置において、前記周波数測定手段を複数備え、複数の前記圧電デバイスの発振周波数を、それぞれ前記周波数測定手段により個別に測定可能であることが好ましい。
【００１０】
これによれば、トレイに搭載された圧電デバイスを、それぞれ一度に気密検査することができるので、一度の気密検査あたりに気密検査できる圧電デバイスの数量が増え、圧電デバイス１個あたりの処理時間を短縮することができる。これにより、気密検査のサイクルタイム短縮、つまり気密検査装置の気密検査処理能力の向上を図ることができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる圧電デバイスの気密検査装置において、前記トレイは前記空間から前記空間の外部に連通する貫通穴を備え、前記周波数測定手段は前記貫通穴を封止するよう前記トレイに接し可能な構成と、前記貫通穴を通して前記圧電デバイスに接続可能な導体とを備えることが好ましい。
【００１２】
これによれば、トレイに配置された圧電デバイスに対して、貫通穴に周波数測定手段を通すことにより、気密検査を行うことができる。これにより、トレイに対する圧電デバイスの配置、特に圧電デバイスのパッケージ内の圧電振動素子からパッケージ外側に導通されている圧電デバイス（パッケージ）の外部接続端子が、トレイに対向している状態で、気密検査を行うことができる。これにより、上述の効果を奏することができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる圧電デバイスの気密検査装置において、前記周波数測定手段は、前記チャンバーに備えられていることが好ましい。
【００１４】
これによれば、周波数測定手段がチャンバーに備えられて、チャンバーと一体化されるので、トレイと共に圧電デバイスを収容するための空間を形成し、圧電デバイスの発振周波数の測定を開始する状態にすることができるので、圧電デバイスを収容する空間を形成する動作と測定を開始する状態にする動作を、一つの動作にて実現することができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかる圧電デバイスの気密検査装置において、前記圧電デバイスは圧電振動子であり、前記周波数測定手段は、前記圧電振動子を発振させる発振回路に接続されていることが好ましい。
【００１６】
これによれば、発振回路を備えていない圧電振動子であっても、上述の効果を奏することができる。
【００１７】
［適用例６］本適用例にかかる圧電デバイスの気密検査方法は、前記圧電デバイスの発振周波数を測定する周波数測定手段と、前記圧電デバイスが搭載されるトレイと、前記トレイと共に前記圧電デバイスを収容するための空間を形成するチャンバーと、前記空間にガスを導入するための管とを備えた、気密検査装置を使った圧電デバイスの気密検査方法であって、前記空間内を基準の圧力状態にする工程と、前記基準の圧力状態での前記圧電デバイスの発振周波数を測定する工程と、前記空間内を前記基準の圧力状態と異なる圧力状態にする工程と、前記異なる圧力状態での前記圧電デバイスの発振周波数を測定する工程とを含むことを要旨とする。
【００１８】
これによれば、空間内の圧力変化に基づき、発振周波数の変化を測定して気密検査を行うので、加圧または減圧に依存する変化量の少ないインピーダンス値を測定する場合に比べて、精度を高めて検出する圧電デバイスの気密検査方法を実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１実施形態の被気密検査物である水晶振動子を示す概略構成図。
【図２】第１実施形態の被気密検査物を配置するトレイを示す概略構成図。
【図３】第１実施形態の圧電デバイスの気密検査装置を示す概略構成図。
【図４】第１実施形態の気密検査方法の一例を示すフローチャート。
【図５】第２実施形態の被気密検査物を配置するトレイを示す概略構成図。
【図６】第２実施形態の圧電デバイスの気密検査装置を示す概略構成図。
【図７】第３実施形態の圧電デバイスの気密検査装置を示す概略構成図。
【図８】第３実施形態の気密検査の順序の一例を示す概略図。
【図９】被気密検査物である圧電デバイスの一例である水晶発振器を示す概略構成図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下の実施形態では、圧電デバイスとして水晶振動子を一例に挙げて説明する。
【００２１】
（第１実施形態）
以下、第１実施形態について、図１から図４を参照して説明する。
【００２２】
まず、被気密検査物である水晶振動子１０について、図１を参照して説明する。
図１に示すように、水晶振動子１０は、パッケージ１１と圧電振動素子１２とを備えている。圧電振動素子１２は、たとえば圧電効果を有する水晶からなる。圧電振動素子１２には、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、またはアルミニウム（Ａｌ）などからなる電極が形成されている。
【００２３】
パッケージ１１は、ベース基板部１４と接合部１３と蓋体部１５とを備えている。
【００２４】
ベース基板部１４は、基板１４ａ，１４ｂと、内部接続端子１７および外部接続端子１６とを備えている。ベース基板部１４は、基板１４ａに、枠状に形成された基板１４ｂを積層することにより形成されている。これにより、ベース基板部１４に収納室１９を備える。基板１４ａ，１４ｂは、たとえば絶縁材料である酸化アルミニウムなどからなる。
【００２５】
基板１４ａ上で、収納室１９には、内部接続端子１７が形成されている。基板１４ａ上で、パッケージ１１の外部には、外部接続端子１６が形成されている。内部接続端子１７および外部接続端子１６は、基板１４ａ上にタングステンメタライズ、ニッケル（Ｎｉ）めっきおよび金（Ａｕ）メッキなどを施すことにより形成されている。
【００２６】
接合部１３は、基板１４ｂ上に形成されている。接合部１３は、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）などからなるロウ剤、またはガラスである。
【００２７】
蓋体部１５は、接合部１３に接合され、パッケージ１１内の収納室１９は密閉される。蓋体部１５は、たとえば鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、もしくはニッケル（Ｎｉ）などからなる金属あるいは合金、または酸化アルミニウム質からなるセラミック、またはガラスである。
【００２８】
このようにして、圧電振動素子１２が、パッケージ１１内に気密に収容された水晶振動子１０を得る。
【００２９】
内部接続端子１７に、エポキシ樹脂などの接着剤にたとえば銀（Ａｇ）などの導電性を有する粒子を配合した導電性接着剤などの電気的接続部材１８を用いて、圧電振動素子１２が固定され、圧電振動素子１２に形成された電極と電気的に接続されている。
このようにして、パッケージ１１内に気密に収容された圧電振動素子１２は、内部接続端子１７を介して、外部接続端子１６と電気的に接続されている。
【００３０】
次に、被気密検査物である水晶振動子１０を配置するトレイ２０について、図２を参照して説明する。
【００３１】
図２に示すように、トレイ２０は、凹部２１と貫通穴２２とを備えている。凹部２１は、トレイ２０の表面２０Ａにｎ個（ｎは１以上の整数）形成されている。貫通穴２２は、凹部２１に形成され、トレイ２０の裏面２０Ｂへ貫かれている。ここでは、貫通穴２２は、各凹部２１にそれぞれ４個形成されている。各凹部２１に水晶振動子１０がそれぞれ１個配置され、トレイ２０に水晶振動子１０がｎ個配置されている。
ここで、水晶振動子１０の外部接続端子１６は、トレイ２０の凹部２１に面している。
【００３２】
次に、圧電デバイスの気密検査装置１について、図３を参照して説明する。
【００３３】
図３（ａ）に示すように、圧電デバイスの気密検査装置１は、加圧測定装置２と、測定ステージ６と、ガスボンベ７とを備えている。
【００３４】
加圧測定装置２は、チャンバー３と、配管４ａ，４ｂと、開閉弁５ａ，５ｂと、Ｏリングなどのゴム製の密封部材８３とを備えている。また、チャンバー３を貫通するようにガス導入路（管）３２と、ガス排出路（管）３１が形成されている。
【００３５】
チャンバー３に、加圧ガスの導入および排出のための配管４ａ，４ｂが接続されている。配管４ａ，４ｂは、加圧ガスが収納されたガスボンベ７に接続されている。加圧ガスの導入側の配管４ａには、加圧ガスの導入および排出を制御する開閉弁５ａが設置されている。加圧ガスの排出側の配管４ｂには、加圧ガスの導入および排出を制御する開閉弁５ｂが設置されている。ここで、加圧ガスは分子サイズの小さいヘリウムを用いる。
【００３６】
測定ステージ６は、周波数測定手段としてのプローブ８と、水晶振動子１０を駆動させる発振回路９と、測定手段固定部８１と、Ｏリングなどのゴム製の密封部材８２とを備えている。プローブ８は、一組、少なくとも２本備えられ、ここでは被気密検査物である水晶振動子１０の姿勢を保つため４本備えられるとする。プローブ８は、たとえば周波数カウンターまたはネットワークアナライザーなどに接続され、被気密検査物である水晶振動子１０の発振周波数（常圧発振周波数および加圧発振周波数）を測定可能に構成されている。
【００３７】
プローブ８と測定手段固定部８１との間に、ガラスなどの絶縁物８４が充填されている。絶縁物８４により、プローブ８は測定手段固定部８１に固定されている。
【００３８】
図３（ｂ）に示すように、チャンバー３と測定ステージ６とによりトレイ２０の凹部２１を塞ぐことで、チャンバー３と、トレイ２０の凹部２１および貫通穴２２と、絶縁物８４と、密封部材８２，８３とにより、気密室３Ａが形成される。そして、開閉弁５ａ，５ｂを閉じることで、密封された気密室３Ａ内には、トレイ２０の凹部２１に配置された水晶振動子１０が気密に収容される。
【００３９】
プローブ８は、貫通穴２２に通されて、水晶振動子１０の外部接続端子１６に接している。このようにして、プローブ８を用いて、被気密検査物である水晶振動子１０の発振周波数（常圧発振周波数および加圧発振周波数）を測定する。
【００４０】
次に、圧電デバイスの気密検査装置１の検査手順を、図４および図３を参照して説明する。
【００４１】
まず、トレイセット工程（Ｓ１０１）において、水晶振動子１０が配置されているトレイ２０を、測定ステージ６に設置する。
【００４２】
次に、チャンバー密封工程（Ｓ１０２）において、チャンバー３により、トレイ２０の凹部２１を塞ぐ。これにより、図３（ｂ）に示すように、チャンバー３とトレイ２０の凹部２１との間に、気密室３Ａが形成される。そして、開閉弁５ａ，５ｂを閉じることで、密封された気密室３Ａ内には、水晶振動子１０が配置される。
【００４３】
そして、常圧周波数測定工程（Ｓ１０３）において、水晶振動子１０の常圧（大気圧）を基準とした圧力状態とし発振周波数を測定する。このとき、開閉弁５ａは閉じられ、開閉弁５ｂは、開かれている。
プローブ８が、貫通穴２２に通されて、水晶振動子１０の外部接続端子１６に接している。このように常圧状態（大気圧の状態）で、プローブ８を用いて、水晶振動子１０の常圧発振周波数を測定する。ここで、開閉弁５ｂは、開かれているとしたが、開閉弁５ｂは閉じられているとしてもよい。
【００４４】
加圧工程（Ｓ１０４）において、開閉弁５ｂを閉じて、開閉弁５ａを開く。そして、加圧ガス（ヘリウムガス）をガスボンベ７から配管４ａを通して、気密室３Ａ内に導入する。その後、開閉弁５ａを閉じる。気密室３Ａ内および水晶振動子１０が加圧ガスにより加圧された状態となる。
加圧ガス（ヘリウムガス）の導入量、導入時間、加圧力などの加圧条件は定められた値に設定され、密封された気密室３Ａ内および水晶振動子１０の加圧ガスによる加圧状態は維持される。
【００４５】
加圧周波数測定工程（Ｓ１０５）において、水晶振動子１０の加圧状態の発振周波数を測定する。加圧状態が維持された気密室３Ａ内において、プローブ８が、貫通穴２２に通されて、水晶振動子１０の外部接続端子１６に接している。このように加圧状態で、プローブ８を用いて、水晶振動子１０の加圧発振周波数を測定する。
【００４６】
加圧解除工程（Ｓ１０６）において、開閉弁５ｂを開き、加圧工程（Ｓ１０４）および加圧周波数測定工程（Ｓ１０５）の加圧状態を解除し、常圧状態に戻す。
【００４７】
気密判定工程（Ｓ１０７）において、常圧周波数測定工程（Ｓ１０３）で測定された常圧発振周波数と、加圧周波数測定工程（Ｓ１０５）で測定された加圧発振周波数とを比較し、良否判定値以内であれば気密良品と判定し、良否判定値を超えると気密不良品と判定する。良否判定値は、常圧発振周波数と加圧発振周波数との周波数差、または周波数変化率が用いられる。
【００４８】
ここで、気密判定工程（Ｓ１０７）は、加圧解除工程（Ｓ１０６）の後に実施するとしたが、これに限るものではなく、加圧解除工程（Ｓ１０６）の前に実施するとしてもよい。また、常圧周波数測定工程（Ｓ１０３）において、加圧または減圧した状態を基準の圧力状態として圧電デバイスの発振周波数を測定しても良い。この場合も同様に加圧周波数測定工程（Ｓ１０５）にて測定した圧電デバイスの周波数と常圧周波数測定工程（Ｓ１０３）の周波数との差、または周波数変化に基づき良否判定を行うことが可能である。要するに常圧周波数測定工程（Ｓ１０３）と加圧周波数測定工程（Ｓ１０５）のそれぞれについて、加圧または減圧を問わずそれぞれ異なった圧力状態となっていればよい。
【００４９】
このあと、ｎ個気密検査をしたか（Ｓ１０８）を判定する。ｎ個以下（Ｎｏ）であれば、チャンバー密封工程（Ｓ１０２）から気密判定工程（Ｓ１０７）の上述の工程を繰り返す。ｎ個（Ｙｅｓ）であれば、気密検査を終了する。
【００５０】
したがって、本実施形態によれば、水晶振動子１０をトレイ２０に配置した状態で、気密検査を行うことができ、移し替え機構（ハンドラー）を必要とせず、気密検査装置１が複雑な構成になることを防ぎ、簡易な構成の気密検査装置１を得ることができる。そして、小型化、薄型化、軽量化した水晶振動子１０の移し替えを必要としないため、確実に気密検査装置１にセットすることができ、移し替えエラーなどによる気密検査装置１の停止を防ぐことができ、結果として気密検査装置１の稼働率を向上させることが可能となる。
また、発振周波数の変化、つまり常圧発振周波数と加圧発振周波数との周波数差、または周波数変化率を測定して気密検査を行うので、加圧または減圧に依存する変化量の少ないインピーダンス値を測定する場合に比べて、精度を高めて検出することが可能となる。
【００５１】
そして、トレイ２０の凹部２１に配置された水晶振動子１０に対して、凹部２１に形成された貫通穴２２に周波数測定手段としてのプローブ８を通すことにより、気密検査を行うことができる。これにより、トレイ２０の凹部２１に対する水晶振動子１０の配置、特に水晶振動子１０のパッケージ１１内の圧電振動素子１２からパッケージ１１外側に導通されている水晶振動子１０（パッケージ１１）の外部接続端子１６が、トレイ２０の凹部２１に面している状態で、気密検査を行うことができる。
【００５２】
（第２実施形態）
以下、第２実施形態について、図５および図６を参照して説明する。
第２実施形態の圧電デバイスの気密検査装置１は、図３に示した第１実施形態の圧電デバイスの気密検査装置１と同様の構成については、同一の符号を付与し、構成の説明を省略する。
【００５３】
第２実施形態の圧電デバイスの気密検査装置１が、第１実施形態の圧電デバイスの気密検査装置１と相違する点は、加圧測定装置２に、周波数測定手段としてのプローブ８と、水晶振動子１０を発振させる発振回路９と、絶縁部８４とを備えている点である。
【００５４】
図５に示すように、水晶振動子１０の外部接続端子１６は、トレイ２０の表面２０Ａ側に配置されている。そして、トレイ２０は、第１実施形態と同様に、ｎ個（ｎは１以上の整数）の凹部２１を備えているが、図２に示された貫通穴２２を備えていないとしてもよい。
【００５５】
図６（ａ）に示すように、チャンバー３には、第１実施形態と同様に、配管４ａ，４ｂ、ガスボンベ７、および開閉弁５ａ，５ｂが備えられている。そして、第２実施形態のチャンバー３には、周波数測定手段としてのプローブ８と、絶縁部８４とを備えている。
プローブ８は、一組、２本備えられている。ここでは、第１実施形態と異なり、貫通孔からプローブ８により被気密検査物である水晶振動子１０の姿勢を保つ必要がないため、発振周波数を測定するために少なくとも２本備えられていればよい。
【００５６】
図６（ｂ）に示すように、チャンバー３と測定ステージ６とによりトレイ２０の凹部２１を塞ぐことで、チャンバー３とトレイ２０の凹部２１とにより、気密室３Ａが形成される。そして、開閉弁５ａ，５ｂを閉じることで、密封された気密室３Ａ内には、トレイ２０の凹部２１に配置された水晶振動子１０が気密に収容される。プローブ８は、水晶振動子１０の外部接続端子１６に接している。このようにして、プローブ８を用いて、被気密検査物である水晶振動子１０の発振周波数（常圧発振周波数および加圧発振周波数）を測定する。
【００５７】
したがって、本実施形態によれば、水晶振動子１０の外部接続端子１６が、トレイ２０の表面２０Ａ側に配置されている状態で、気密検査を行うことができるので、上述の実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００５８】
そして、周波数測定手段としてのプローブ８と加圧測定装置２とがチャンバー３に備えられて、チャンバー３と一体化されるので、チャンバー３によりトレイ２０の凹部２１を塞ぐとともに、圧電デバイスの常圧発振周波数および加圧発振周波数の測定を開始する状態にすることができるので、トレイ２０の凹部２１を塞ぐ動作と測定を開始する状態にする動作を、一つの動作にて実現することができる。
また、トレイ２０が設置される測定ステージ６に、プローブ８が備えられていないので、トレイ２０を測定ステージ６に設置する際に、トレイ２０が接触しプローブ８を破損させることがなくなり、トレイ２０を測定ステージ６に容易に設置することができる。
【００５９】
さらに、被気密検査物である水晶振動子１０を１個あたり２本のプローブ８で測定するため、第１実施形態の４本のプローブ８の場合と比較して、プローブ８のバネの数量が半減されるので、チャンバー３と測定ステージ６とによりトレイ２０の凹部２１を塞ぐ際の密閉力を半減することができ、気密室３Ａ内の気密性を維持することが容易となる。
なお、上述した第１，２実施例においてトレイ２０は凹部２１を備えたものとして説明したが、本願発明にあってはこれに限らず。凹部２１を備えない平面状のトレイであっても良い、例えば水晶振動子１０がトレイに接着剤等で固定された状態であっても良い。
【００６０】
（第３実施形態）
以下、第３実施形態について、図７および図８を参照して説明する。
第３実施形態の圧電デバイスの気密検査装置１は、図６に示した第２実施形態の圧電デバイスの気密検査装置１と同様の構成ついては、同一の符号を付与し、構成の説明を省略する。
【００６１】
第３実施形態の圧電デバイスの気密検査装置１が、第２実施形態の圧電デバイスの気密検査装置１と相違する点は、チャンバー３に、周波数測定手段としてのプローブ８をｍ組（ｍは、１以上の整数）各２本備えている点である。
【００６２】
トレイ２０に水晶振動子１０がｎ個（ｎ＝ｍ×ｎａ、ｍおよびｎａは１以上の整数）配置されている。
【００６３】
図７に示すように、チャンバー３に備えられるｍ組のプローブ８の配置の間隔Ｐｍが、トレイ２０上の水晶振動子１０の配置の間隔Ｐｎと同じ場合（Ｐｍ＝Ｐｎ）であって、ｎ＝ｍの場合、トレイ２０上のｎ個の水晶振動子１０を、図４に示した気密検査方法のフローで、１度に実施される。
また、図７においては、プローブ８をｍ組（ｍ＝ｎ）各２本備え、１列に配置されていると図示したが、ｍａ組×ｍｂ列（ｍ＝ｎ＝ｍａ×ｍｂ、ｍａおよびｍｂは１以上の整数）に配置されているとしても、図４に示した気密検査方法のフローで、１度に実施される。
【００６４】
そして、チャンバー３に備えられるｍ組のプローブ８の配置の間隔Ｐｍが、トレイ２０上の水晶振動子１０の配置の間隔Ｐｎと異なり、たとえばＰｍ＝２×Ｐｎの場合、図８に示すように数回に分けて、図４に示した気密検査が実施される。
図８（ａ）に示すように、たとえばｎ＝２×ｍの場合、ＡおよびＢの２回に分けて実施される。また、図８（ｂ）に示すように、ｎ＝４×ｍの場合、Ａ、Ｂ、Ｃ、およびＤの４回に分けて実施される。さらには、チャンバー３に備えられるｍ組のプローブ８、およびトレイ２０上の水晶振動子１０のそれぞれの配置または間隔などにより、気密検査の回数を適宜決定することができる。
【００６５】
したがって、本実施形態によれば、上述の実施形態の効果を奏するとともに、トレイ２０の各凹部２１に配置された水晶振動子１０を、それぞれ一度に気密検査することができるので、一度の気密検査あたりに気密検査できる水晶振動子１０の数量が増え、水晶振動子１０の１個あたりの処理時間を短縮することができる。これにより、気密検査のサイクルタイム短縮、つまり気密検査装置１の気密検査処理能力の向上を図ることができる。
【００６６】
なお、上記課題の少なくとも一部を解決できる範囲での変形、改良などは前述の実施形態に含まれるものである。
【００６７】
たとえば、圧電デバイスとして水晶振動子を例に挙げて説明したが、これに限るものではなく、水晶発振器、ＳＡＷフィルター、または圧電圧力センサーもしくは圧電ジャイロセンサーなどの圧電センサーであってもよい。
【００６８】
図９に示すように、水晶発振器３０の場合、圧電振動素子１２を駆動させる発振回路９Ａを水晶発振器３０に備えているため、発振回路を気密検査装置１に設けずに、上述の実施形態と同様の効果を奏することができる。
この場合、被気密検査物である水晶発振器３０を１個あたり少なくとも３本のプローブ８で測定する必要がある。３本のうち２本は、発振回路９Ａへの電源入出力用であり、もう１本は発振周波数出力用である。
【００６９】
そして、第１実施形態に示した圧電デバイスの気密検査装置１においても、第３実施形態に示した構成、つまりプローブ８をｎ組（ｎ＝ｍ×ｎａ）、またはｍａ組×ｍｂ列（ｍ＝ｎ＝ｍａ×ｍｂ）の構成とするとしてもよい。
【００７０】
また、圧電デバイスの振動モードは、厚みすべり振動、屈曲振動、弾性表面波振動など様々あるが、いずれかに限定するものではなく、それぞれの振動モードの圧電デバイスに適用される。
【００７１】
そして、圧電振動片の材料としては、水晶だけに限らず、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電体、または、シリコンなどの半導体であってもよい。
【符号の説明】
【００７２】
１…圧電デバイスの気密検査装置、２…加圧測定装置、３…チャンバー、３Ａ…気密室、４ａ，４ｂ…配管、５ａ，５ｂ…開閉弁、６…測定ステージ、７…ガスボンベ、８…プローブ、９…発振回路、１０…水晶振動子、１１…パッケージ、１２…圧電振動素子、１６…外部接続端子、２０…トレイ、２１…凹部、２２…貫通穴、３１…ガス排出路（管）、３２…ガス導入路（管）、８１…測定手段固定部、８２，８３…密封部材、８４…絶縁物。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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