(57)【要約】【課題】安価なスピンドルを用いつつ、被検レンズ系が収容された鏡筒の外径ぶれを高精度に測定する。【解決手段】鏡筒１００に収容された被検レンズ系１０１の偏心量を測定する偏心測定装置１は、軸受け１２を有し、鏡筒及び被検レンズ系が取り付けられる被検物保持部１０と、被検物保持部を回転軸１２Ｂ回りに回転させる回転機構１３と、被検物保持部の回転角度を検出するエンコーダ１４と、鏡筒の外径ぶれを検出する測長器１５と、被検レンズ系の偏心量を測定する偏心測定部２０と、エンコーダ及び測長器の出力にもとづいて、鏡筒の外径中心軸と回転軸との位置関係を算出し、エンコーダと前記偏心測定部の出力にもとづいて、被検レンズ系の偏心量を算出するパソコン３０とを備え、パソコンには予め軸受けの各回転角度における径方向の回転誤差を補正するための補正値が記憶され、当該補正値を用いて測長器の出力及び偏心測定部の出力を補正する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
鏡筒に収容された被検レンズ系の偏心量を測定する偏心測定装置であって、
軸受けを有し、前記鏡筒及び被検レンズ系が取り付けられる被検物保持部と、
前記被検物保持部を所定の回転軸回りに回転させる回転機構と、
前記被検物保持部の回転角度を検出する回転角度検出部と、
前記鏡筒の外径ぶれを検出する外径ぶれ検出部と、
前記被検レンズ系の偏心量を測定する偏心測定部と、
前記回転角度検出部及び前記外径ぶれ検出部の出力にもとづいて前記鏡筒の外径中心軸と前記回転軸との位置関係を算出し、前記回転角度検出部及び前記偏心測定部の出力にもとづいて前記被検レンズ系の偏心量を算出する演算部と、
を備え、
前記演算部は、予め前記軸受けの各回転角度における径方向の回転誤差を補正するための補正値を記憶しており、前記補正値を用いて前記外径ぶれ検出部の出力及び前記偏心測定部の出力を補正することを特徴とする偏心測定装置。
【請求項２】
前記被検物保持部に対して、前記回転軸と同軸に着脱自在に設けられた補正値取得校正部材をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の偏心測定装置。
【請求項３】
前記補正値取得校正部材は、ピンゲージであることを特徴とする請求項２に記載の偏心測定装置。
【請求項４】
前記補正値取得校正部材は、ボールレンズであることを特徴とする請求項２に記載の偏心測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はレンズ系の偏心測定装置、より詳しくは、鏡筒に収容されたレンズ光学系の偏心量を高精度に測定可能な偏心測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタルカメラ、内視鏡、携帯機器等に用いられる光学系を組み上げた後、構成レンズの設置位置が設計値と異なり傾きや偏りがある（即ち、偏心がある）場合、光学系全体の光学性能が劣化してしまう。そのため、組み上がり光学系の偏心量を高精度に測定する事は重要である。
【０００３】
多くの場合、組み上がり光学系全体は鏡筒に収められる。鏡筒は撮像部等の他の光学機器へ取り付けて使用されるが、その際に評価基準となるのは鏡筒の外径の中心軸であるため、鏡筒の外径中心軸に対する組み上がり光学系の偏心を測定する事も同様に重要である。
【０００４】
従来の偏心測定装置の例として、図８に、特許文献１に記載の偏心測定装置を示す。図８に示すように、この偏心測定装置は、被検レンズ系２０１の鏡筒２０１Ａを保持する保持部材としてのホルダ２０２と、ホルダ２０２を回転させる回転駆動手段としてのスピンドル２０３と、スピンドル２０３を回転させることによるホルダ２０２の回転角度位置を読み取る回転角度検出手段としてのエンコーダ２０４と、被検レンズ系２０１の偏心量を測定する偏心測定手段２０５と、スピンドル２０３を回転させた時の被検レンズ系２０１の鏡筒２０１Ａ外周面のぶれ量を測定する鏡筒ぶれ測定手段とを備えている。
【０００５】
偏心測定手段２０５は、被検レンズ系２０１の光軸方向の上方に配置されている。鏡筒ぶれ測定手段は偏心測定手段２０５の光学系の光軸と直行した位置に配置された高性能のＣＣＤカメラ２０６及び光源２０７を有し、ＣＣＤカメラ２０６と光源２０７は対向した位置に配置されている。光源２０７から被検レンズ系２０１に光が照射され、鏡筒２０１Ａ外周面の影がＣＣＤカメラ２０６で撮像される。
【０００６】
鏡筒２０１Ａの外径ぶれを測定する際には、被検レンズ系２０１を設置したホルダ２０２と結合されたスピンドル２０３を、スピンドル２０３の回転軸２０３Ａ回りに回転させながら、エンコーダ２０４でホルダ２０２の回転角度を読み取る。同時に、ＣＣＤカメラ２０６により鏡筒２０１Ａ外周面の影の大きさを測定する。ホルダ２０２を１回転以上回転させた後、取得された測定データを解析し、鏡筒２０１Ａ外周面のぶれの大きさを算出する。
【０００７】
この測定を被検レンズ系２０１の高さ方向の異なる位置において繰り返し行い、高さ方向の異なる２点での鏡筒２０１Ａ外周面のぶれから鏡筒２０１Ａの外径中心軸とスピンドル２０３の回転軸２０３Ａの傾きを求める。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００５−２７４５１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１に記載の偏心測定装置では、鏡筒２０１Ａの外周面のぶれを測定する際、被検レンズ系２０１が設置されたホルダ２０２を回転させながら鏡筒ぶれ測定手段により鏡筒２０１Ａのぶれを測定する。したがって、ホルダ２０２を回転させるスピンドル２０３に回転誤差があった場合、上述のぶれの測定ではスピンドル２０３の回転誤差に応じた測定誤差が発生してしまう。この誤差を回避するためにはスピンドル２０３として回転誤差が少ない高精度なスピンドルを使用する必要がある。
しかしながら、高精度なスピンドルは高価であり、装置自体の価格が高価になるという問題がある。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、高精度で高価なスピンドルを使用しなくても、被検レンズ系が収容された鏡筒の外径ぶれを高精度に測定することができるレンズ系の偏心測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の偏心測定装置は、鏡筒に収容された被検レンズ系の偏心量を測定する偏心測定装置であって、軸受けを有し、前記鏡筒及び被検レンズ系が取り付けられる被検物保持部と、前記被検物保持部を所定の回転軸回りに回転させる回転機構と、前記被検物保持部の回転角度を検出する回転角度検出部と、前記鏡筒の外径ぶれを検出する外径ぶれ検出部と、前記被検レンズ系の偏心量を測定する偏心測定部と、前記回転角度検出部及び前記外径ぶれ検出部の出力にもとづいて前記鏡筒の外径中心軸と前記回転軸との位置関係を算出し、前記回転角度検出部及び前記偏心測定部の出力にもとづいて前記被検レンズ系の偏心量を算出する演算部とを備え、前記演算部は、予め前記軸受けの各回転角度における径方向の回転誤差を補正するための補正値を記憶しており、前記補正値を用いて前記外径ぶれ検出部の出力及び前記偏心測定部の出力を補正することを特徴とする。
【００１２】
本発明の偏心測定装置は、前記被検物保持部に対して、前記回転軸と同軸に着脱自在に設けられた補正値取得校正部材をさらに備えてもよい。
また、前記補正値取得校正部材は、ピンゲージでもよいし、ボールレンズでもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の偏心測定装置によれば、高精度で高価なスピンドルを使用しなくても、被検レンズ系が収容された鏡筒の外径ぶれを高精度に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態の偏心測定装置の構成を示す図である。
【図２】被検物である鏡筒の外径中心軸の測定について説明する図である。
【図３】同偏心測定装置の測長器で同鏡筒の外周ぶれを計測した結果の一例を示すグラフである。
【図４】図３のグラフの補正工程の一例を示す図である。
【図５】ピンゲージを用いて同偏心測定装置の補正値を取得する動作を示す図である。
【図６】ボールレンズを用いて同補正値を取得する動作を示す図である。
【図７】本発明の第２実施形態の偏心測定装置の構成を示す図である。
【図８】従来の偏心測定装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の第１実施形態の偏心測定装置について、図１から図６を参照して説明する。
図１は、本実施形態の偏心測定装置１の概略構成を示す図である。偏心測定装置１は、鏡筒１００に収容された被検レンズ系１０１の偏心量を測定するための装置であり、鏡筒１００が軸線回りに回転可能に取り付けられる被検物保持部１０と、被検レンズ系１０１の偏心量を測定するための偏心測定部２０と、被検物保持部１０及び偏心測定部２０に接続されたパソコン（演算部）３０とを備えている。
【００１６】
被検物保持部１０は、鏡筒１００が取り付けられるヤトイ１１と、ヤトイ１１が固定された軸受け１２と、軸受け１２を回転させるための回転機構１３と、ヤトイ１１の回転角度を検出するためのエンコーダ（回転角度検出部）１４と、ヤトイ１１に取り付けられた鏡筒１００の外径ぶれを検出するための測長器（外径ぶれ検出部）１５とを備えている。
【００１７】
ヤトイ１１は、測定する鏡筒１００等に合わせて公知のものを適宜選択して採用することができる。ヤトイ１１は、取り付けられる鏡筒１００と軸受け１２とが同軸となるように軸受け１２に固定されている。
【００１８】
軸受け１２は、本体１２Ａと、本体１２Ａに取り付けられた回転軸１２Ｂとを備えている。軸受け１２としては、安価な汎用軸受けが適宜選択されて採用されているため、再現性を有する一定の回転誤差を有している。この回転誤差は、例えば１０マイクロメートル（μｍ）という、鏡筒１００の真円度に対して十分大きい値であり、軸受け１２の回転時には径方向の回転誤差として常に再現される。したがって、高精度の偏心量測定を行うためには、この回転誤差を補正する必要がある。
【００１９】
回転機構１３は、モータ等の公知の構成を有し、図示しないベルト等の伝達部材を介して軸受け１２の回転軸１２Ｂと連結されている。回転機構１３が駆動すると、軸受け１２、ヤトイ１１、及びヤトイ１１に取り付けられた鏡筒１００及び被検レンズ径１０１が、回転軸１２Ｂ回りに一体に回転される。
エンコーダ１４としては、公知のロータリーエンコーダ等を好適に採用することができ、回転軸１２Ｂに取り付けられている。
【００２０】
測長器１５は、内蔵された光源（不図示）から発せられる光源光を照射し測定対象物の表面から返ってくる反射光の位置により測定対象物までの距離を測定する公知の光学方式の測長器であり、自身の測定中心軸Ｘ２が回転軸１２Ｂの軸線Ｘ１と直交するように配置されている。測長器１５は図示しないＺステージに固定されており、軸線Ｘ１と平行に上下移動可能となっている。測長器１５の上下移動はモータ等により駆動させて行ってもよいし、測定者が手動で移動させてもよい。モータ等により移動させる場合はパソコン３０に制御させてもよい。
【００２１】
偏心測定部２０は、被検レンズ系１０１の各測定面からの反射光を取得して偏心量を測定する、反射式の公知のものであり、光源指標像Ｌ１を射出する光源２１と、測定光Ｌ１の光路上に配置されたハーフミラー２２と、測定光Ｌ１を平行光に変換するコリメートレンズ２３と、測定光Ｌ１を測定面上に集光させる対物レンズ２４と、測定面で反射された反射像が結像される結像部２５とを備えている。偏心測定部２０は、自身の光軸Ｘが被検物保持部１０の回転軸１２Ｂの軸線Ｘ１と一致するように配置されており、図示しない移動機構等によって、光軸Ｘに沿って移動可能である。
偏心測定部２０の動作は概ね他の公知のものと同様であるが、偏心測定装置１の使用時の動作において詳細を説明する。
【００２２】
パソコン３０は、本体３１と、本体３１に接続されたモニタ３２とを備えている。本体３１は、エンコーダ１４、測長器１５、及び結像部２５と接続されており、エンコーダ１４及び測長器１５の出力に基づいて後述するように軸受け１２の回転誤差の補正を行うとともに、結像部２５の出力にもとづいて被検レンズ系１０１の偏心量測定を行う。
【００２３】
上記のように構成された偏心測定装置１の使用時の動作について説明する。
まず使用者は、測長器１５による鏡筒１００の外径ぶれ量の測定値にもとづいて、鏡筒の中心軸Ｘ３と回転軸１２Ｂとの位置関係を算出する。
【００２４】
使用者は、被検レンズ系１０１が収容された鏡筒１００をヤトイ１１に設置する。そして、測長器１５のＺステージを操作して、測定中心軸Ｘ２が鏡筒１００の上端１００Ａ側の仮想面と中心軸Ｘ３との交点Ｐ０よりも下方で鏡筒１００の外径ぶれ量が好適に測定できる位置Ｐ１（図２参照）において回転軸１２Ｂと交差するように測長器１５の位置を調節する。
【００２５】
使用者は、回転機構１３を駆動させ、ヤトイ１１を回転させる。パソコン３０はエンコーダ１４からの回転角度出力と、測長器１５と鏡筒１００の外周面間の距離測定値とを対として記憶していく。この測定をヤトイ１１が一回転以上する間、所定の回転角度ごとに行う。測長器１５の測定ポイント数は適宜設定されてよいが、最低３ポイント以上必要であり、８ポイント以上あれば好適な測定が行え、それ以降はポイント数を増加させるにつれて精度が向上される。一回転以上の測定が終了したら、使用者は回転機構１３の駆動を停止する。
【００２６】
図３は、測長器１５の出力値を補正せずにプロットした鏡筒１００の外径ぶれ量データのグラフの一例である。鏡筒１００に外径ぶれがあるため、測長器１５の出力値を示す曲線Ｃ１は真円でない形状となるが、補正前の曲線Ｃ１には、鏡筒１００自身の外径ぶれ量に加えて軸受け１２の回転誤差が含まれているので、ここから軸受け１２の回転誤差を排除する補正を行うことによって、鏡筒１００自身による外径ぶれ量を算出する。
【００２７】
図４は、図３に示した曲線Ｃ１から軸受け１２の回転誤差を排除するための補正処理を示すグラフである。パソコン３０の本体３１は、予め取得して記憶させておいた軸受け１２の各回転角度における、回転誤差を排除するための補正量を、測長器１５の各回転角度における出力値から減算して補正を行う。補正により測長器１５の出力値から軸受け１２の回転誤差が排除され、グラフは補正前の曲線Ｃ１からより理想円に近い曲線Ｃ２に変化する。本体３１は、曲線Ｃ２の円形状の半径を用いて、位置Ｐ１における中心軸Ｘ３のぶれ量ＤＲ１を算出する。
なお、上述した測長器１５の出力値のプロットや曲線Ｃ１の補正工程においては、必要に応じて記憶した各回転角度間のデータを線形補間等によって取得してもよい。
【００２８】
次に、使用者は、位置Ｐ１よりも所定の距離Ｄ１だけ下方の位置Ｐ２において測定中心軸Ｘ２が回転軸１２Ｂと交差するように測長器１５の位置を調節する。位置Ｐ２は、鏡筒１００の下端１００Ｂ側の仮想面と中心軸Ｘ３との交点Ｐ３よりも上方に設定する。
【００２９】
使用者は、位置Ｐ２において、上述と同様に測長器１５による鏡筒１００の外径ぶれ測定及び補正処理を行い、位置Ｐ２における中心軸Ｘ３のぶれ量ＤＲ２を算出する。ここまでの計測で、図２に示すぶれ量ＤＲ１、ＤＲ２、及び位置Ｐ１と位置Ｐ２との間の距離Ｄ１が取得されるので、パソコン３０の本体３１は、これらの測定値に基づき、例えば特許文献１に記載のような演算を行って、回転軸１２Ｂに対する鏡筒１００の中心軸Ｘ３の傾きσ及び偏りＬを求める。
【００３０】
続いて、使用者は、偏心測定部２０を用いて被検レンズ系１０１の偏心測定を行う。
図１に示すように、光源２１から発せられた光源指標像Ｌ１はハーフミラー２２を透過し、コリメータレンズ２３を通過して平行光とされた後に対物レンズ２４で収束光とされ、被検レンズ系１０１の選択された被測定面へ投影される（図１では、一例として被測定面を符号１０１Ａで示す。）。被測定面１０１Ａで反射された光源指標像Ｌ１は、対物レンズ２４、コリメートレンズ２３を通過しハーフミラー２２で進行方向を９０度曲げられ、結像部２５上に集光される。結像部２５からは反射像集光位置の情報がパソコン３０の本体３１へ出力される。
【００３１】
この状態で使用者が回転機構１３を駆動し軸受け１２を回転させると、ヤトイ１１に固定された鏡筒１００及び被検レンズ系１０１が回転し、結像部２５上の反射像が回転軌跡を描く。被検レンズ系１０１が１回転以上回転するまで、決められた回転角度間隔毎に反射像集光位置とエンコーダ１４から出力される回転角度とを対にして本体３１に記憶していく。１回転分の計測値の記憶が終了したら軸受け１２を停止させる。
【００３２】
結像部２５によって取得される反射像の回転軌跡は、軸受け１２の回転誤差が無視できる程度の場合ほぼ真円の軌跡を描くが、当該回転誤差が大きい場合は円軌跡とはならず、例えば、図３に示した曲線Ｃ１のような軌跡を描く。したがって、軸受け１２の回転誤差の影響が大きいまま偏心量の演算を行うと大きな誤差が発生する。
【００３３】
そこで、取得された反射像の回転軌跡に対して、軸受け１２の回転角度に応じた補正処理を行う。補正処理の方法は上述した鏡筒１００の場合と同様であり、軸受け１２の回転角度に応じた補正値を反射像集光位置の座標から減算してゆく。補正処理後の反射像集光位置の回転軌跡は、軸受け１２の回転誤差が排除されて、図４の曲線Ｃ２と同様な円軌跡となる。
【００３４】
本体３１は、補正処理後の回転軌跡の半径、及び回転角度０度における反射像集光位置とから、公知の方法により回転軸１２Ｂに対する被測定面１０１Ａの偏心量を算出する。被検レンズ系１０１は鏡筒１００と一体になって回転するため、その回転軸（被検レンズ系１０１の光軸と同一または略同一）は、鏡筒１００の回転軸Ｘ３と同一視することができる。したがって、本体３１は、算出された被測定面１０１Ａの偏心量を、中心軸Ｘ３の傾きσ及び偏りＬを用いて補正することによって、鏡筒１００の中心軸Ｘ３に対する偏心量を取得することができる。取得された偏心量等はモニタ３２に表示される。
【００３５】
被検レンズ系１０１の他の被測定面の偏心量測定を行う場合は、偏心測定部２０と被検レンズ系１０１との距離を調節して、測定を行う被測定面に光源指標像Ｌ１を投影させ、同様の手順で偏心量測定を行う。
【００３６】
本実施形態の偏心測定装置１によれば、パソコン３０の本体３１に軸受け１２の回転誤差に対応した各回転角度ごとの補正値が記憶され、当該補正値に基づいて、測長器１５で取得された鏡筒１００の回転軌跡が補正される。また、当該補正値に基づいて、結像部２５で取得された被測定面の反射像の回転軌跡が補正される。
【００３７】
したがって、軸受け１２として再現性のある回転誤差を有するような汎用軸受けを使用しても、当該回転誤差を好適に排除して、高精度に偏心量の測定を行うことができるので、低コストで、精度の高い偏心測定装置を構成することができる。
【００３８】
また、測長器１５が非接触式であるので、鏡筒１００を容易にヤトイ１１に取り付けることができる。さらに、接触式の測長器と異なり、測定中に鏡筒１００等が測長器に押されて動いたりすることがないため、安定して高精度な測定を行うことができる。
【００３９】
測定装置１を用いて偏心測定を行うには、予め軸受けの回転誤差を補正するための補正値を取得してパソコン３０に記憶させておく必要がある。以下、当該補正値の取得作業の一例について説明する。
【００４０】
まず使用者は、図５に示すように、校正用ヤトイ１１０を軸受け１２（不図示）に取り付け、基準とするピンゲージ（補正値取得校正部材）１１１を校正用ヤトイ１１０に装着する。ピンゲージ１１１は予め真円度を測定しておく。より好適な補正値を取得するためには、ピンゲージ１１１として真円度が２μｍ以下のものを使用するのが望ましい。
【００４１】
次に回転機構１３を駆動させ、ピンケージ１１１を回転させながら、エンコーダ１４からの回転角度出力と測長器１５からの出力を対にして本体３１に測定記憶していく。測定精度を高めるためにはピンケージ１１１を複数回転させ、同じ回転角度における測定を複数回行って平均値を算出するのが好ましく、１つの回転角度において３以上の測定サンプルに基づいて平均値が算出されるのがより好ましい。上述したようにピンゲージ１１１の真円度が予めわかっているので、測長器１５の出力値と比較することにより、各回転角度におけるピンゲージ１１１の外径ぶれ量が定まる。これを軸受け１２の回転誤差をキャンセルするための補正値としてパソコン３０に記憶させればよい。
【００４２】
補正値の取得には、ピンゲージ１１１に代えて、図６に示すようなボールレンズ（補正値取得校正部材）１１２を装着して用いてもよい。この場合は、偏心測定部２０から予め真円度を求めておいたボールレンズ１１２に光源指標像Ｌ１を投影する。結像部２５で得られた反射像の回転軌跡とボールレンズ１１２の真円度とに基づいて、各回転角度におけるボールレンズ１１２の外径ぶれ量を算出し、これを補正値とすればよい。
ボールレンズ１１２を用いる場合、軸受け１２の回転誤差が偏心測定部２０により光学的に測定されることによって大きい倍率で拡大されるため、より高精度に補正値を求める事が出来る。
なお、上述したピンゲージ１１１やボールレンズ１１２を用いた補正値の取得は、最初に補正値を本体３１に記憶させる時だけでなく、定期的（例えば半年ごと）な補正値の校正時に行って、装置の経時劣化による測定精度低下の防止に用いられてもよい。
【００４３】
次に本発明の第２実施形態について、図７を参照して説明する。本実施形態の偏心測定装置４１と上述の第１実施形態の偏心測定装置１との異なるところは偏心測定部の測定方式であり、これに伴って被検物保持部の構成も若干変化している。なお、以降の説明において、上述の第１実施形態と共通する構成については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００４４】
図７は、偏心測定装置４１の構成を示す図である。被検物保持部５０において、ヤトイ５１、及び軸受け５２の本体５２Ａ及び回転軸５２Ｂは、中空に形成されており、回転軸５２Ｂは、回転機構１３及びエンコーダ１４と接続されている。本体５２Ａはベアリング５３等を介して固定部５４に取り付けられており、固定部５４に対して軸線回りに回転可能である。
【００４５】
偏心測定部６０は、透過式のものであり、光源６１と、コリメータレンズ６２と、対物レンズ６３と結像部２５とを備えている。
光源６１及びコリメータレンズ６２は、被検物保持部５０を挟んで、偏心測定部６０の他の構成と反対側に配置されている。光源６１、コリメータレンズ６２、及び対物レンズ６３は所定の光軸Ｘ４を共有するように配置されており、光軸Ｘ４は、回転軸５２Ｂと一致するように設定されて被検物保持部５０の内腔を通過している。
【００４６】
上記のように構成された偏心測定装置４１の使用時の動作について説明する。
被検物保持部５０は、第１実施形態の被検物保持部１０と若干形状は異なるものの、その動作は概ね同様である。したがって、測長器１５による外径ぶれ計測、エンコーダ１４の検出する回転角度と対にした測長器１５の測定値のパソコン３０への記憶、及び予め記憶された補正値による軸受け５２の回転誤差の排除等の流れは上述の第１実施形態と同様の流れで進められる。
【００４７】
偏心測定部６０を用いた被検レンズ系１０１の偏心量測定においては、まず光源６１から光源指標像Ｌ１が発せられてコリメータレンズ６２にて平行光にされる。そして、被検物保持部５０の内腔を通過して被検レンズ系１０１に入射される。
【００４８】
使用者は、対物レンズ６３及び結像部２５を移動させて、被検レンズ系１０１で屈折された光源指標像Ｌ１の透過像が結像部２５上へ集光するように被検レンズ系１０１との距離を調整する。被検レンズ系１０１の焦点距離により結像部２５上へ集光する際の対物レンズ６３と被検レンズ系１０１との距離が異なる為、対物レンズ６３及び結像部２５の移動だけでは十分集光できない場合は、必要に応じて対物レンズを交換する。
透過像を結像部２５上に集光させたら、使用者は被検レンズ系１０１を回転させて透過像の回転軌跡を取得し、当該回転軌跡に対して第１実施形態で反射像の回転軌跡に対して行ったのと同様の処理を行い、偏心量を算出する。こうして、複数のレンズからなる被検レンズ系１０１全体としての偏心量が取得される。この偏心量を鏡筒１００の中心軸Ｘ３の傾きσ及び偏りＬを用いて補正することによって、鏡筒１００の中心軸Ｘ３に対する被検レンズ系１０１の偏心量が取得される。
【００４９】
このように、本発明の構成は、反射式の偏心測定装置だけでなく、透過式の偏心測定装置にも適用することができ、第１実施形態と同様に、回転誤差のある汎用軸受けを使用しても、当該回転誤差を好適に排除して精度の高い偏心測定を行うことができる。
なお、本実施形態の偏心測定装置４１において補正値の取得や校正を行う場合も、上述したピンゲージ１１１やボールレンズ１１２等を好適に用いることが可能である。
【００５０】
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述の各実施形態では偏心測定部が移動することによって偏心測定部と被検物保持部との距離が変化される例を説明したが、これに代えて、被検物保持部を偏心測定部の光軸に沿って移動可能に構成し、被検物保持部が移動されることによって偏心測定部と被検物保持部との距離が変化されるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００５１】
１、４１  偏心測定装置
１０、５０  被検物保持部
１２、５２  軸受け
１２Ｂ、５２Ｂ  回転軸
１３  回転機構
１４  エンコーダ（回転角度検出部）
１５  測長器（外径ぶれ検出部）
３０  パソコン（演算部）
１００  鏡筒
１０１  被検レンズ系
１１１  ピンゲージ（補正値取得校正部材）
１１２  ボールレンズ（補正値取得校正部材）
【図１】
2010243433.tif 000003
【図２】
2010243433.tif 000004
【図３】
2010243433.tif 000005
【図４】
2010243433.tif 000006
【図５】
2010243433.tif 000007
【図６】
2010243433.tif 000008
【図７】
2010243433.tif 000009
【図８】
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