(57)【要約】【課題】弁部材が弁座面に対して垂直方向に移動して開弁する真空バルブにおいて、簡単な構成により、開弁時に弁部材の弁シールを通気ガスから遮断し、弁シールが当該ガス中のプラズマ及びラジカルにより劣化するのを防止可能にする。【解決手段】軸線方向の一端に第１開口１１が開設され、軸線と直交する向きに第２開口１２が開設された筒状の弁ハウジング１０の内周に、弁部材２０の最大開弁位置と閉弁位置との間で弁部材２０の開閉動作を妨げない周辺位置に、弁部材２０等が内在する隔離室３４と流路１３等が内在する通気室３５とを区画するための環状の仕切台４１を設け、開弁時にその仕切台の上面の仕切座４２に沿って移動して該仕切座を閉鎖し、流路を流れる通気ガス中のプラズマ及びラジカルを弁部材の弁シール２１から遮断する仕切板４０を配設する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の弁ハウジングにおける軸線方向の一端に第１開口が開設されると共に、上記軸線と直交する向きに、上記第１開口と弁ハウジング内の流路によって連通する第２開口が開設されてなる上記弁ハウジングと、上記第１開口の内周に設けられた弁座と、該弁座に第２開口側から接離してそれを開閉する弁シールを有する弁部材と、この弁部材の背面から弁ハウジング内を上記軸線方向に延びる弁シャフトと、該弁部材を上記軸線方向に駆動する弁駆動部とを備え、
上記弁ハウジングの内周において、開弁位置にある上記弁部材及び弁シャフトを内在させる隔離室と上記第１開口及び第２開口が開設されている流路を備えた通気室とを区画する位置に、上記両室を仕切るための仕切板を当接させる仕切座を備えた環状の仕切台を突設し、
上記弁駆動部は、上記弁部材を、上記仕切台の内孔を通して弁座を閉じる閉弁位置と、上記隔離室に収容される開弁位置との間で移動させ得るストロークを有し、
上記仕切板は、仕切座に対向する位置と上記流路から離れた収納位置との間で移動して上記仕切座を開閉し、隔離室に収容した弁部材の弁シールを上記流路を流れる通気ガス中のプラズマ、ラジカルから隔離可能にした、
ことを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】
上記仕切座が仕切台の隔離室側に設けられ、上記仕切板が、上記仕切座に沿って仕切台の内孔を閉じる仕切位置と流路から離れた収納位置との間で直線的に移動可能に配設され、該仕切板がそれを上記仕切位置と収納位置との間で移動させる仕切板の駆動機構に連結されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項３】
上記弁部材に、それを閉弁方向に付勢する付勢力により上記仕切板を仕切座に押し付ける押圧部を設け、仕切板の背面に上記付勢力を受ける受圧部を設けている、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の真空バルブ。
【請求項４】
上記仕切板の駆動機構における直線的に進退する駆動部材が、上記仕切板の背面に連結され、該仕切板を仕切座に押し付ける弁部材の押圧部が上記駆動部材を跨ぐように形成されている、
ことを特徴とする請求項３に記載の真空バルブ。
【請求項５】
上記弁ハウジングに、仕切板が仕切座に対向する位置と上記流路から離れた収納位置との間で移動するのをガイドするガイド部を備え、
上記仕切板の駆動機構が、弁ハウジングにおける上記仕切台の内孔から離れた位置に揺動中心を持って、その揺動により仕切板を上記ガイド部に沿って移動させる揺動腕を備え、仕切板の中央に設けた突出軸を上記揺動腕に形成した長孔に摺動自在に嵌入させ、該長孔に上記突出軸を嵌入した揺動腕の揺動により、上記ガイド部に沿って仕切板を上記仕切座に対向する位置と収納位置との間で移動可能にした、
ことを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項６】
上記弁部材に、それを閉弁方向に付勢する付勢力により上記仕切板を仕切座に押し付ける押圧部を設け、仕切板の背面に設けた突出軸を上記付勢力を受ける受圧部とした、
ことを特徴とする請求項５に記載の真空バルブ。
【請求項７】
上記弁部材を閉弁方向に付勢する手段として復帰ばねを備えている、
ことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体の製造装置等において、エッチング等の化学処理を行う真空チャンバと真空ポンプとを結ぶ流路の開閉に用いる真空バルブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示されているゲートバルブでは、チェンバーポートからポンプポートに到る直進形排気流路にバルブ本体が配設され、該バルブ本体における主弁座を開閉する主弁体により上記流路が開閉されるが、開弁に際しては、主弁体が主弁座から排気流路の軸線に沿って離れる方向に移動したうえで，排気流路の軸線に対して垂直方向に移動して収納室に収納され、該収納室においては、主弁体の弁シールの周囲に収納室内面の環状突起が接触し、弁シールが流路を流れる通気ガス中のプラズマ、ラジカルから保護されるように構成している。
【０００３】
上記特許文献１のゲートバルブは、主に主弁体の両側が真空対真空である直進形排気流路において用いるものであり、開弁時に主弁体が排気流路の軸線に対して垂直方向に移動して主弁座を大きく開口させると同時に、該主弁体が収納室に収納されるので、その収納室内において弁シールを流路の通気ガスから遮蔽することにより、その弁シールを比較的容易に流路の通気ガス中のプラズマ、ラジカルから保護するように構成することができる。
しかしながら、筒状の弁ハウジングにおける軸線方向の一端に第１開口が開設されると共に、上記軸線と直交する向きに、上記第１開口と弁ハウジング内の流路によって連通する第２開口が開設され、上記第１開口の内周に設けられた弁座をハウジングの軸線方向に駆動される弁部材で開閉するようにしたＬ型弁と呼ばれている真空バルブにおいては、弁部材が弁座面に対して垂直方向のみに移動して開弁するので、開弁時に弁部材における弁シールを流路の通気ガスから遮蔽するのに困難性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２８６１３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の技術的課題は、弁部材が弁座面に対して垂直方向に移動して開弁する真空バルブにおいて、簡単な構成により、開弁時に弁部材の弁シールを通気ガスから遮断して、弁シールが当該ガス中のプラズマ及びラジカルにより劣化するのを防止可能にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明によれば、筒状の弁ハウジングにおける軸線方向の一端に第１開口が開設されると共に、上記軸線と直交する向きに、上記第１開口と弁ハウジング内の流路によって連通する第２開口が開設されてなる上記弁ハウジングと、上記第１開口の内周に設けられた弁座と、該弁座に第２開口側から接離してそれを開閉する弁シールを有する弁部材と、この弁部材の背面から弁ハウジング内を上記軸線方向に延びる弁シャフトと、該弁部材を上記軸線方向に駆動する弁駆動部とを備え、上記弁ハウジングの内周において、開弁位置にある上記弁部材及び弁シャフトを内在させる隔離室と上記第１開口及び第２開口が開設されている流路を備えた通気室とを区画する位置に、上記両室を仕切るための仕切板を当接させる仕切座を備えた環状の仕切台を突設し、上記弁駆動部は、上記弁部材を、上記仕切台の内孔を通して弁座を閉じる閉弁位置と、上記隔離室に収容される開弁位置との間で移動させ得るストロークを有し、上記仕切板は、仕切座に対向する位置と上記流路から離れた収納位置との間で移動して上記仕切座を開閉し、隔離室に収容した弁部材の弁シールを上記流路を流れる通気ガス中のプラズマ、ラジカルから隔離可能にしたことを特徴とする真空バルブが提供される。
【０００７】
本発明に係る上記真空バルブの好ましい実施形態においては、上記仕切座が仕切台の隔離室側に設けられ、上記仕切板が、上記仕切座に沿って仕切台の内孔を閉じる仕切位置と流路から離れた収納位置との間で直線的に移動可能に配設され、該仕切板がそれを上記仕切位置と収納位置との間で移動させる仕切板の駆動機構に連結される。
また、上記弁部材に、それを閉弁方向に付勢する付勢力により上記仕切板を仕切座に押し付ける押圧部を設け、仕切板の背面に上記付勢力を受ける受圧部を設けることができ、更に、上記仕切板の駆動機構における直線的に進退する駆動部材が、上記仕切板の背面に連結される場合には、該仕切板を仕切座に押し付ける弁部材の押圧部が上記駆動部材を跨ぐように形成される。
【０００８】
本発明に係る上記真空バルブの他の好ましい実施形態においては、上記弁ハウジングに、仕切板が仕切座に対向する位置と上記流路から離れた収納位置との間で移動するのをガイドするガイド部を備え、上記仕切板の駆動機構が、弁ハウジングにおける上記仕切台の内孔から離れた位置に揺動中心を持って、その揺動により仕切板を上記ガイド部に沿って移動させる揺動腕を備え、仕切板の中央に設けた突出軸を上記揺動腕に形成した長孔に摺動自在に嵌入させ、該長孔に上記突出軸を嵌入した揺動腕の揺動により、上記ガイド部に沿って仕切板を上記仕切座に対向する位置と収納位置との間で移動可能に構成される。
この場合に、上記弁部材に、それを閉弁方向に付勢する付勢力により上記仕切板を仕切座に押し付ける押圧部を設け、仕切板の背面に設けた突出軸を上記付勢力を受ける受圧部とすることができる。
【０００９】
また、上記真空バルブにおいては、弁部材を上記軸線方向に駆動する弁駆動部として、流体圧シリンダや電動モータを用いることができるが、当該弁駆動部を弁部材を開弁のために駆動するものとし、弁部材を閉弁方向に付勢する手段としては復帰ばねを用いることができる。この復帰ばねは、開弁時に弁部材を介して上記仕切板を仕切台の仕切座に圧接する付勢力を発生させるものとして有利なものであり、開弁時に弁シールを隔離室内に収容して通気ガス中のプラズマ、ラジカルから該弁シールを遮蔽状態に保持するに際し、上記仕切板を仕切座に圧接するための動力を必要としない点で経済的である。
【発明の効果】
【００１０】
上述した本発明によれば、弁部材が弁座面に対して垂直方向に移動して開弁する真空バルブにおいて、弁部材が弁座を開いた場合は、該弁部材が隔離室内に収容され、第１開口及び第２開口が開設された通気室と隔離室との間が仕切板により遮断されるので、該隔離室内に通気室内の通気ガスが入ることがなく、隔離室内の弁部材の弁シールが通気ガス中のプラズマ及びラジカルにより劣化されることがなく、簡単な構成により弁シールの寿命を長くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る真空バルブの第１実施例における弁部材が弁座を閉鎖した状態を示す縦断面図である。
【図２】同第１実施例における弁部材が弁座を全開した状態を示す縦断面図である。
【図３】同第１実施例における弁部材が弁座の全開位置にあり、仕切板が仕切台の内孔を閉じた状態を示す縦断面図である。
【図４】同第１実施例の弁部材が仕切板を仕切台に押し付けている状態を示す縦断面図である。
【図５】同第１実施例の弁主体部の上面図である。
【図６】図３の中心線を通る断面をＡ−Ａ矢示方向に見た縦断面図である。
【図７】本発明に係る真空バルブの第２実施例における弁部材が弁座を閉鎖した状態を示す縦断面図である。
【図８】同第２実施例の弁部材が仕切板を仕切台に押し付けている状態を示す縦断面図である。
【図９】図１０におけるＢ−Ｃ−Ｄ−Ｅ線で切った部分縦断面図である。
【図１０】同第２実施例の水平断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１〜図６は、本発明に係る真空バルブの第１実施例を示している。この第１実施例に係る真空バルブは、筒状の弁ハウジング１０における軸線Ｌ方向の一端に第１開口１１が開設されると共に、上記軸線Ｌと直交する向きに、上記第１開口１１と弁ハウジング１０内の流路１３によって連通する第２開口１２が開設され、上記第１開口１１の内端に設けられた弁座１４をポペット式の略円盤状をなす弁部材２０で開閉するように構成された弁主体部１を備えている。また、該弁ハウジング１０上には上記弁部材２０を開閉動作させるための弁駆動部２を備えている。
【００１３】
上記弁部材２０は、その表面の外周部に、上記弁座１４に対し第２開口１２側から接離してそれを開閉する環状の弁シール２１を有し、この弁部材２０の背面から弁ハウジング１０内を上記軸線Ｌ方向に延び、筒状の弁ハウジング１０における上記第１開口１１とは反対側に位置する隔壁２５を貫通して突出する弁シャフト２２を備えるものである。
【００１４】
上記弁ハウジング１０は、軸線Ｌ方向に延びる断面円形の筒状をなし、該弁ハウジング１０の一端側に、上記第１開口１１を形成する上記軸線Ｌと同軸の小径筒１５を設けて、その内端に上記弁座１４を形成し、図６に明瞭に示すように、弁ハウジング１０内の上記弁座１４が開口する部分の側面に上記第２開口１２を開口させて、上記第１開口１１と該第２開口１２とを流路１３により連通させている。また、上記弁ハウジング１０の他端側には、弁駆動部２の主要部を構成するシリンダハウジング２４が該弁ハウジング１０と同軸に結合され、弁ハウジング１０の内部と該シリンダハウジング２４内のピストン室２７とが、該シリンダハウジング２４における上記隔壁２５により区画されている。
【００１５】
一方、上記弁部材２０の背面中央部に連結した弁シャフト２２は、上記隔壁２５にシール部材２６を介して気密かつ摺動自在に貫通させて、上記シリンダハウジング２４内のピストン室２７に延出させ、その先端に上記ピストン室２７内を摺動するピストン２８が連結されている。そして、上記ピストン室２７内におけるピストン２８の上記隔壁２５側に圧力室２９が形成され、この圧力室２９にシリンダハウジング２４の側面に開口する操作ポート３０を設けて、流体圧シリンダを構成させ、該操作ポート３０を通して給排される流体圧によりピストン２８が上記軸線Ｌ方向に駆動され、弁部材２０が弁座１４を開くように構成している。
【００１６】
図示の実施例においては、ピストン室２７におけるピストン２８の上記圧力室２９と反対側の室は呼吸室であるが、当該室に操作ポートを設けて圧力室とし、弁駆動部２を複動形シリンダとして構成することもできる。
また、弁部材２０の背面側にはばね座３２が設けられ、このばね座３２と上記隔壁２５との間に、弁部材２０を閉弁方向に付勢するコイル状の復帰ばね２３が、上記軸線Ｌと同軸上において縮設されている。この復帰ばね２３は、上記弁駆動部２を構成する図示の単動形流体圧シリンダにおける弁部材２０を閉弁方向に付勢する手段として用いることもできるが、弁駆動部２を上述の複動形シリンダとして構成する場合においても、弁部材２０を介して後述する仕切板４０を仕切座４２に押し付ける手段として設けておくことができる。
【００１７】
上記弁シャフト２２の周囲には、弁部材２０の最大開弁位置を規定するための円筒形をなすストッパ部材３１が取付けられている。このストッパ部材３１は、弁部材２０の背面から弁シャフト２２に沿って延び、弁部材２０の最大開弁位置でその先端が隔壁２５の当接部２５ａに当たるように形成したものである。また、該ストッパ部材３１の弁部材２０側端部により前記復帰ばね２３のばね座３２を形成させている。
【００１８】
上記弁ハウジング１０の内周において、図１に示す閉弁位置にある弁部材２０と、図２に示す最大開弁位置にある弁部材２０との間で、しかも、弁部材２０の開閉動作を妨げない周辺位置において、上記弁部材２０及び弁シャフト２２、並びにそれらに付随する部材（復帰ばね２３、ストッパ部材３１等）を内在させる隔離室３４と、上記第１開口１１及び第２開口１２が開設されている流路１３を備えた通気室３５とを区画する部位に、上記両室３４，３５を仕切るための仕切板４０を当接させる環状の仕切座４２を備えた仕切台４１を突設している。この仕切台４１は、弁部材２０の開閉動作を妨げないように、該弁部材２０を通すための内孔４３を有するものであり、上記仕切座４２は仕切台４１の隔離室３４側に向けて設けられている。
【００１９】
上記仕切板４０は、仕切台４１に対向する位置と上記流路１３から離れた収納位置との間で移動して上記仕切台４１の内孔４３を開閉し、隔離室３４に収容した弁部材２０の弁シール２１を、上記流路１３を流れる通気ガス中のプラズマ、ラジカルから隔離して、それらによる劣化を防止するものである。上記仕切板４０によって仕切台４１の内孔４３を閉じる際には、上記弁部材２０及び弁シャフト２２等が仕切板４０の動作を妨げないように、それらを隔離室３４に収容する必要があり、そのため、上記弁駆動部２は、上記弁部材２０を、上記仕切台４１の内孔４３を通して弁座１４を閉じる閉弁位置と、上記隔離室３４に収容される開弁位置との間で移動させ得るストロークを有するものとして構成している。
【００２０】
上記仕切板４０の収納位置を形成するために、上記弁ハウジング１０の側方には仕切板収納箱４５を突設している。この仕切板収納箱４５は、その内部に、仕切板４０の移動を案内する案内通路４６を形成すると共に、仕切板４０を駆動する駆動機構４７を一体化して設けたもので、上記案内通路４６は、上記仕切板４０における隔離室３４側に向けられ仕切座４２と面一に形成した該仕切板収納箱４５内の移動面４６ａ上に形成され、また、上記仕切板４０の駆動機構４７としてはここでは流体圧シリンダを用い、該駆動機構４７における直線的に進退駆動される駆動部材（ピストンロッド）４８を上記仕切板４０の背面側に位置させて、該仕切板４０の端部に接続具４９により連結している。これにより、上記仕切板４０が、上記仕切座４２の座面に沿って仕切台４１の内孔４３を閉じる仕切位置と、流路１３から外れた仕切板収納箱４５内の収納位置との間で直線的に移動可能に配設され、それらの間で該仕切板４０が駆動機構４７により駆動されることになる。
【００２１】
一方、前記弁部材２０の下面には、図４〜図６からわかるように、それを閉弁方向に付勢する弁駆動部２の付勢力により上記仕切板４０を仕切座４２に押し付ける押圧部５０を設け、仕切板４０の背面には上記付勢力を受ける受圧部５１を設けている。上記弁駆動部２の閉弁方向の付勢力としては、前記復帰ばね２３の付勢力を用いるのが望ましいが、弁駆動部２を構成する流体圧シリンダの付勢力を用いることもできる。そして、上記弁部材２０の押圧部５０は、仕切板４０の背面に位置する上記駆動部材４８を跨ぐように形成されている。
【００２２】
次に、上記第１実施例の真空バルブの操作について説明する。
図１に示すように、弁部材２０により弁座１４が閉鎖された状態において、弁駆動部２の操作ポート３０を通して圧力室２９に圧力流体を供給し、弁部材２０により弁座１４を開くと、第１開口１１が弁座１４及び流路１３を通して第２開口１２に連通し、この場合に、通気室３５の流路１３を流れる通気ガス中にプラズマ、ラジカルが存在していて、それが隔離室３４に流入すると、それらにより弁部材２０の弁シール２１が劣化する。
【００２３】
上記真空バルブは、それを防止できるようにしたものであり、上記弁部材２０の弁シール２１等を通気室３５の通気ガスから遮蔽するには、まず、弁部材２０を図２に示す全開位置まで移動させることにより、弁部材２０及び弁シャフト２２等を仕切板４０の駆動に支障がない位置まで後退させ、次に、仕切板４０の駆動機構（流体圧シリンダ）４７により駆動部材（ピストンロッド）４８を駆動し、図３に示すように、仕切板４０を仕切台４１の内孔４３に対面する仕切位置まで移動させる。そして、この状態で、弁駆動部２の操作ポート３０を通して圧力室２９の圧力流体を排出すると、復帰ばね２３の付勢力が弁部材２０の押圧部５０を介して仕切板４０の受圧部５１に伝達され、図４に示すように、仕切板４０が仕切座４２に押し付けられる状態となる。
【００２４】
この状態では、通気室３５の通気ガス中のプラズマ及びラジカルは仕切板４０により完全に遮断されて隔離室３４には入らないので、隔離室３４内の弁シール２１や、上記隔壁２５を貫通する弁シャフト２２のシール部材２６等がプラズマ及びラジカルにより劣化するのが防止され、それらの部材の寿命が長くなるばかりでなく、上記弁シール２１やシール部材２６として安価なものを使用することが可能になる。
図４に示す状態から、図１に示すように弁部材２０で弁座１４を閉じるには、弁駆動部２の圧力室２９に圧力流体を供給して弁部材２０を全開位置（図３）に移動させ、次いで仕切板４０の駆動機構４７により駆動部材４８を復帰させ、図２に示すように仕切板４０を仕切板収納箱４５内の収納位置まで移動させ、そのうえで、圧力室２９を大気に連通させて復帰ばね２３の付勢力により弁部材２０を弁座１４に圧接すればよい。
【００２５】
図７〜図１０は、本発明に係る真空バルブの第２実施例を示している。この第２実施例は、上記第１実施例における仕切板４０の駆動機構４７とは具体的構成を異にする駆動機構６７（図９及び図１０）を用いたもので、この駆動機構６７に関連する部分以外の構成及び作用は第１実施例と変わるところがないので、図中に第１実施例と同一の符号を付してそれらの説明は省略する。
この第２実施例における弁ハウジング６０は、第１実施例における弁ハウジング１０がその側方に仕切板収納箱４５を一体に形成したものとして構成しているのに対し、別体の仕切板収納箱６５をシール部材６５ａを介して気密に連結することにより構成している。この点を除いて、弁ハウジング６０の構成は第１実施例の弁ハウジング１０と変わるところがないが、第１実施例のように構成することもでき、また、逆に第１実施例においても第２実施例のような構成とすることもできる。
【００２６】
上記仕切板収納箱６５は、その内部に、仕切板４０の移動を案内する案内通路を形成しているが、この案内通路は、以下に説明する仕切板４０の駆動機構６７が、該仕切板４０を保持して仕切座４２に対向する位置と上記流路１３から離れた収納位置との間で直線的に移動させる第１実施例のような機能を備えていないので、仕切板４０を仕切座４２に対向する位置と収納位置との間で移動するのを周壁によってガイドするガイド部６６として構成している。したがって、この仕切板４０のガイド部６６は、その内部が隔離室３４と連通し、該ガイド部６６において仕切板４０が載置される移動面６６ａは、仕切台４１において隔離室３４側に向けられた仕切座４２と面一に形成されたものである。
【００２７】
上記仕切板４０の駆動機構６７は、図９及び図１０に示すように、弁ハウジング６０における上記仕切台４１の内孔４３から離れた位置、具体的には、該弁ハウジング６０の仕切板収納箱６５側の周壁内に、該弁ハウジング６０の軸線と平行な揺動中心を持っている揺動軸６８を備えると共に、該揺動軸６８の下部に固定されて弁ハウジング６０内から仕切板収納箱６５内に至る範囲で回転揺動する仕切板駆動用の揺動腕６９、及び上記揺動軸６８の上部に連結して外方に突出する操作レバー７０を備えたものである。
【００２８】
上記該揺動腕６９は、その長手方向に形成した長孔６９ａを備え、仕切板４０の中央に設けた突出軸７１を該長孔６９ａの長手方向に摺動自在に嵌入させたものであり、該長孔６９ａに上記突出軸７１を嵌入した揺動腕６９の揺動により、上記ガイド部６６に沿って仕切板４０を上記仕切台４１に対向する位置と収納位置との間で移動可能に構成している。上記長孔６９ａは、揺動腕６９により仕切板４０を移動させる範囲内において突出軸７１が該長孔６９ａの内部を摺動できる長さを有するものである。
なお、図１０においては、揺動腕６９が、仕切台４１に対向する位置（実線）と、収納位置及び中間位置（鎖線）にある状態を示している。
【００２９】
また、上記弁部材２０の中心部に、該弁部材２０を閉弁方向に付勢する付勢力により上記仕切板４０を仕切座４２に押し付ける押圧部８０を設け、仕切板４０の背面に設けた上記揺動腕６９の長孔６９ａに嵌入する突出軸７１の先端面を、上記付勢力を受ける受圧部８１として構成している。
【００３０】
上記構成を有する第２実施例の真空バルブでは、図８に示すように、弁部材２０が弁座１４の全開位置にある状態において、上記操作レバー７０によって揺動軸６８に連結した揺動腕６９を上記揺動中心の回りで回転させると、揺動腕６９の長孔６９ａに嵌入する突出軸７１を上面中央に突設した仕切板４０を、上記ガイド部６６に沿って仕切台４１の内孔４３を閉じる位置まで移動させることができる。したがって、この状態において、弁駆動部２の操作ポート３０を通して圧力室２９の圧力流体を排出すると、復帰ばね２３の付勢力が弁部材２０の押圧部８０を介して仕切板４０の中央に設けた突出軸７１における先端面の受圧部８１に伝達され、仕切板４０が仕切座４２に押し付けられる状態となる。
そして、この状態では、通気室３５の通気ガス中におけるプラズマ及びラジカルが仕切板４０により完全に遮断されて隔離室３４に入らないので、隔離室３４内の弁シール２１や、上記隔壁２５を貫通する弁シャフト２２のシール部材２６等がプラズマ及びラジカルにより劣化するのが防止される。
【符号の説明】
【００３１】
２    弁駆動部
１０，６０    弁ハウジング
１１    第１開口
１２    第２開口  
１３    流路
１４    弁座
２０    弁部材
２１    弁シール
２２    弁シャフト
２３    復帰ばね
３４    隔離室
３５    通気室
４０    仕切板
４１    仕切台
４２    仕切座
４３    内孔
４７，６７    駆動機構
４８    駆動部材
５０，８０    押圧部
５１，８１    受圧部
６６    ガイド部
６９    揺動腕
６９ａ    長孔
７１    突出軸
【図１】
2010203585.tif 000003
【図２】
2010203585.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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