(57)【要約】【課題】被検査物に存在する緩やかな凹凸の傾斜の測定が可能な凹凸検査方法を提供する。【解決手段】走査初期において、凸欠陥２０１の左斜面からの反射光を反射光強度測定器１０８に入射する方向に反射させることにより、この部分で凸欠陥２０１が明るく見える。さらに走査して、反射強度測定器１０８が凸欠陥２０１の右斜面を通過すると、右斜面からの反射光は、２０７に示すように反射光強度測定器１０８からより遠ざかる方向に反射するので、この部分では凸欠陥が暗く見える。この一連の走査を組み合わせることにより、反射光強度測定器１０８において、凸欠陥２０１は中心より上部分の反射光強度が大きく、中心より下部分の反射光強度が小さくなって検出される。【選択図】図２
2010281724.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から出射された光ビームによる光スポットで被検査物の表面の検査部分を照明し、前記光スポットに対して所定の距離に固定された反射光強度測定器を、前記光スポットの光強度分布における光強度変化の大きい部分に対応する反射光を検知する位置に設置した後に、前記被検査物と前記光源との相対移動による前記反射光強度測定器での光強度変化に基づき、前記被検査物の表面の凹凸情報を得ることを特徴とする凹凸検査方法。
【請求項２】
前記反射光強度測定器は、前記光強度分布における前記光スポットの周辺を含む領域を検査対象点とし、該検査対象点の反射光強度を測定することを特徴とする請求項１記載の凹凸検査方法。
【請求項３】
前記検査対象点の反射光強度は、前記光スポットの最大光強度の約５０％であることを特徴とする請求項２記載の凹凸検査方法。
【請求項４】
前記被検査物の表面を照明する前記光スポットの形状を矩形とし、該矩形の光スポットの一辺の光強度変化が大きい部分における前記被検査物の表面からの反射光の光強度を、直線状に配された光学センサからなる前記反射光強度測定器で測定することを特徴とする請求項１〜３いずれか１項記載の凹凸検査方法。
【請求項５】
光源から出射された光ビームによる光スポットで被検査物の表面の検査部分を照明し、前記光スポットに対して所定の距離に固定された反射光強度測定器で前記被検査物の光スポットの光強度分布を測定して凹凸情報を得るに際し、前記光源と前記被検査物とを相対移動させ、前記光スポットの光強度分布における光強度変化の大きい部分を通過する間、該部分の反射光の光強度を前記反射光強度測定器で測定し、該測定値を積算して得られた光強度変化に基づき、前記被検査物表面の凹凸情報を得ることを特徴とする凹凸検査方法。
【請求項６】
前記反射光強度測定器は、前記光強度分布における前記光スポットの周辺を含む領域を検査対象点として、該検査対象点の反射光強度を測定することを特徴とすることを特徴とする請求項５記載の凹凸検査方法。
【請求項７】
前記検査対象点の反射光強度が、前記光スポットの最大光強度の約５０％であることを特徴とする請求項５または６記載の凹凸検査方法。
【請求項８】
前記被検査物の表面を照明する前記光スポットの形状を矩形とし、該矩形の光スポットの一辺の光強度変化が大きい部分における前記被検査物の表面からの反射光を、直線状に配された光学センサからなる前記反射光強度測定器で測定することを特徴とする請求項５〜７いずれか１項記載の凹凸検査方法。
【請求項９】
前記被検査物の表面を照明する前記光スポットの形状を矩形とし、該矩形の光スポットの一辺の光強度変化が大きい部分における前記被検査物の表面からの反射光を、平面状に配された光学センサからなる前記反射光強度測定器で測定することを特徴とする請求項５〜７いずれか１項記載の凹凸検査方法。
【請求項１０】
前記反射光強度測定器の受光面に前記被検査物の表面の像を結像させる対物レンズと前記被検査物との間にビームススプリッタを配設し、横方向から入射する前記検査用光ビームを前記被検査物に偏向させて前記光スポットを生成することを特徴とする請求項１〜９いずれか１項記載の凹凸検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板などの被検査物表面の凹凸状態を検知する凹凸検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板など被検査物の表面の凹凸情報を得るための方法として、従来、図１２（ａ）に示すような構成を用いる方法がある。図１２（ａ）では、テーブル１上にガラス基板などの表面の凹凸が検査される被検査物２を載置し、光源３から出射した光ビームを結像レンズ４で集光させ、ハーフミラー６を用いて被検査物２上を光スポット５にて落射照明する光学系を用い、被検査物２の照射面からの反射光を対物レンズ７にて反射光強度測定器８に結像させて観察している。
【０００３】
この方法では、図１２（ｂ）に示すように、被検査物２上に異物９などによる凹凸があった場合、その部分では反射光が散乱する。そのため、凹凸部分の反射光の反射光強度測定器８における異物９からの受光量は、周りに比べて光が少なくなり、よって、周りに比べて暗く測定されることになる。
【０００４】
この原理を利用した測定検査装置として、被検査物の表面の凹凸形状を光学的に検査する凹凸検査装置がある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２１９１１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記従来のような落射照明による凹凸観察方法では、被検査物の表面上の緩やかな傾斜の凹凸に対しては、その観察が困難であるという課題がある。
【０００７】
詳しく説明すると、従来の凹凸検査方法では、平面上と平面上の凹凸とに均一光を照射し、そのときの反射光の差異を観察しているが、緩やかな傾斜に対しては、その差異が微量であって、凹凸観察が困難となる。
【０００８】
本発明は、前記従来技術の課題を解決し、被検査物に存在する緩やかな凹凸の傾斜の測定が可能な凹凸検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するため、本発明の一形態は、光源から出射された光ビームによる光スポットで被検査物の表面の検査部分を照明し、前記光スポットに対して所定の距離に固定された反射光強度測定器を、前記光スポットの光強度分布における光強度変化の大きい部分に対応する反射光を検知する位置に設置した後に、前記被検査物と前記光源との相対移動による前記反射光強度測定器での光強度変化に基づき、前記被検査物の表面の凹凸情報を得るようにしている。
【００１０】
また、本発明の別の形態は、光源から出射された光ビームによる光スポットで被検査物の表面の検査部分を照明し、前記光スポットに対して所定の距離に固定された反射光強度測定器で前記被検査物の光スポットの光強度分布を測定して凹凸情報を得るに際し、前記光源と前記被検査物とを相対移動させ、前記光スポットの光強度分布における光強度変化の大きい部分を通過する間、該部分の反射光の光強度を前記反射光強度測定器で測定し、該測定値を積算して得られた光強度変化に基づき、前記被検査物表面の凹凸情報を得るようにしている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、従来技術では困難であった緩やかな凹凸の測定に対しても、平面部分に対して大きな差異を得ることができ、その差異を測定することによって平面上の緩やかな凹凸であっても検知し検査することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】（ａ）は本発明の実施の形態１における凹凸検査装置の部分構成図、（ｂ）は本発明の実施の形態１における光スポットの光強度の説明図
【図２】本実施の形態１における凹凸検査方法の説明図であって、（ａ）〜（ｄ）は凸欠陥の場合、（ｅ）〜（ｈ）は凹欠陥場合の説明図
【図３】本発明の実施の形態１における凹凸検査に係るフローチャート
【図４】本発明の実施の形態１の優位性を示す実証実験装置の構成図
【図５】本発明の実施の形態１の実証実験における被検査物の傾斜による光強度の差を示す図
【図６】本発明の実施の形態１の実証実験におけるガラス基板の０［ｄｅｇ］とそれぞれの傾斜との差についての説明図
【図７】本発明の実施の形態２である光スポットを矩形にした場合の説明図
【図８】本発明の実施の形態３における積算反射光強度、被検査物の傾斜による光強度の積算差の説明図
【図９】本発明の実施の形態３における積算反射光強度を得る構成の説明図
【図１０】（ａ）は本発明の実施の形態３における凹凸検査装置の部分構成図、（ｂ）は本発明の実施の形態３における光スポットの光強度の説明図
【図１１】本発明の実施の形態４である落射照明でない構成の説明図
【図１２】（ａ）は従来の被検査物の表面の凹凸情報を得る装置の構成図、（ｂ）は従来の被検査物表面の凹凸付近における光反射の説明図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明においては、同じ構成には同じ符号を付して、説明を省略することもある。
【００１４】
（実施の形態１）
図１（ａ）は本発明の実施の形態１における凹凸検査装置の部分構成図、図１（ｂ）は本発明の実施の形態１における光スポットの光強度の説明図である。
【００１５】
図１（ａ）において、１０１は移動テーブル、１０２は移動テーブル１０１上に載置された被検査物、１０３は光源である。光源１０３から出射した光ビームＬは、結像レンズ１０４を通り、ハーフミラー１０５で反射光と透過光に分けられ、反射光が被検査物１０２を光スポット１０６として照明する。この照明はいわゆる落斜照明の構成である。光スポット１０６が被検査物１０２を照明することによって発生した反射光は、ハーフミラー１０５を透過し、対物レンズ１０７を通って反射光強度測定器１０８で受光される。なお、反射光強度測定器１０８は受光素子であるが、被検査物１０２からの反射光における光学的変化を検知できるものであればよい。
【００１６】
次に、実施の形態１における凹凸検査方法について説明する。
【００１７】
図１（ｂ）は被検査物１０２を照明した光スポット１０６の光強度分布１０９を示しており、図の縦軸が光強度で、横軸が光スポットの幅である。
【００１８】
図１（ｂ）に示すように、光スポット１０６の光強度は中心付近が最も光強度が大きく、周辺になるほど小さくなっていく曲線を描く。また、光ビームＬが結像レンズ１０４により光スポット１０６として集光されているため、光スポット１０６の中心付近が最も明るく、周辺部になるに従って暗くなる。また、光スポット１０６の中心付近は、一様な光であるが、ある範囲を超えると明るさが急激に変化する。
【００１９】
本実施の形態１においては、対物レンズ１０７によって反射光強度測定器１０８に結像する検査対象点は光スポット１０６の中心ではなく、中心に比べて光強度変化の大きい周辺部にある。この位置の検査対象点１１０からの反射光強度を反射光強度測定器１０８にて測定する。
【００２０】
ガラス基板など透明な材料で形成された被検査物１０２の場合は、その裏面からの反射を防ぐ工夫が必要である。例えば、光を反射しないものを設けるとか、空間を設けるとかする。通常、黒い布を置くだけで裏面の影響を小さくすることができる。
【００２１】
反射光強度測定器１０８と、その光学系ならびに光スポット１０６の光学系とは、相対的に固定されていて、移動テーブル１０１の移動に関らず、反射光強度測定器１０８に入射する検査対象点１１０からの反射光は、常に光強度変化の大きい周辺部の光を反射したものである。
【００２２】
図２（ａ）〜（ｈ）を参照して、本実施の形態１において移動テーブル１０１を移動させて検査対象点１１０を走査した時の光強度の変化により、被検査物の表面における凹凸情報の測定について説明する。図２（ａ）〜（ｄ）は凸欠陥２０１の場合、図２（ｅ）〜（ｈ）は凹欠陥２０２の場合の説明図である。
【００２３】
図２（ａ）〜（ｈ）において、反射光強度測定器１０８により測定するエリアは、光スポット１０６の周辺部分である。そのため光スポット１０６の周辺部分の光路は斜め方向になり、２０３はその光路を示している。
【００２４】
図２（ａ）〜（ｃ）は反射強度測定器１０８と前記光スポット１０６が凸欠陥２０１上を走査する流れを示している。
【００２５】
図２（ａ）は反射光強度測定器１０８が凸欠陥２０１の左斜面上を通過している状態である。２０５は凸欠陥２０１の左斜面を反射した光の光路を示している。図２（ａ）の状態において、凸欠陥２０１の左斜面からの反射光は反射光強度測定器１０８に入射する方向に反射するので、この部分では凸欠陥２０１が明るく見える。
【００２６】
図２（ｂ）は反射強度測定器１０８が凸欠陥２０１の中心付近を通過している状態である。凸欠陥２０１の頂点付近は平らに近い形状であるため、平面部分と同じような反射角度で光が反射するといえる。そのため、光は２０６のような光路を通るため、前記左斜面に比べて、反射強度測定器１０８に入射する光強度は下がる。
【００２７】
図２（ｃ）は反射強度測定器１０８が凸欠陥２０１の右斜面を通過している状態である。右斜面からの反射光は、２０７に示すように反射光強度測定器からより遠ざかる方向に反射するので、この部分では凸欠陥が暗く見える。
【００２８】
以上の図２（ａ）〜（ｃ）の一連の走査を組み合わせると、凸欠陥２０１は図２（ｄ）に示すように、中心より上部分の反射光強度が大きく、中心より下部分の反射光強度が小さくなって検出される。
【００２９】
また、図２（ｅ）〜（ｇ）は反射強度測定器１０８と前記光スポット１０６が凹欠陥２０２上を走査する流れを示している。
【００３０】
図２（ｅ）は反射光強度測定器１０８が凹欠陥２０２の左斜面上を通過している状態である。２０８は凹欠陥２０２の左斜面を反射した光の光路を示している。図２（ｅ）の状態において、凹欠陥２０２の左斜面からの反射光は反射光強度測定器１０８からより遠ざかる方向に反射するので、この部分では凹欠陥２０２が暗く見える。
【００３１】
図２（ｆ）は反射強度測定器１０８が凹欠陥２０２の底面付近を通過している状態である。凹欠陥２０２の底面付近は平らに近い形状であるため、平面部分と同じような反射角度で光が反射するといえる。そのため、光は２０９のような光路を通るため、前記左斜面に比べて、反射強度測定器１０８に入射する光強度は上がる。
【００３２】
図２（ｇ）は反射強度測定器１０８が凹欠陥２０２の右斜面を通過している状態である。右斜面からの反射光は２１０に示すように、反射光強度測定器１０８に入射する方向に反射するので、この部分では凸欠陥２０２が明るく見える。
【００３３】
以上の図２（ｅ）〜（ｇ）の一連の走査を組み合わせると、凹欠陥２０２は図２（ｈ）に示すように、中心より上部分の反射光強度が小さく、中心より下部分の反射光強度が大きく検出される。
【００３４】
前記反射光強度の差を判別することにより、凹凸欠陥の検出を行うことができる。また、凸欠陥２０１と凹欠陥２０２とでは、反射光強度の測定量の大小の順序が逆になる。このことを利用して、凹凸欠陥の区別が可能である。
【００３５】
図３は、実施の形態１において前記走査により得られた反射光強度の分布の結果より、欠陥を検出し、その欠陥の凹凸判定を行う一連のフローチャートである。当該判定は、図示しない制御演算部により行われる。
【００３６】
まず、反射強度測定器１０８における測定結果から、周囲に比べて反射光強度に差がある部分を検出し、それを欠陥とする（Ｓ３０１）。次に、その欠陥の反射光強度が周囲より明るいか暗いかを判定する（Ｓ３０２）。ステップＳ３０２において明るいと判断された場合、走査方向上でかつ一定距離後において、暗い部分が存在する時に（Ｓ３０３）、欠陥が凸欠陥であると判定する（Ｓ３０４）。また、ステップＳ３０２において暗いと判断された場合に、走査方向上かつ一定距離後において、明るい部分が存在する時に（Ｓ３０５）、欠陥が凹欠陥であると判定する（Ｓ３０６）。
【００３７】
なお、図３に示すフローは、図２にて説明したように、反射光強度測定器１０８に対して光スポット１０６が、走査方向に対して後方にある構成であることを前提としている。
【００３８】
これに対して反射光強度測定器１０８より光スポット１０６が走査方向に対して前方にある場合は、凹凸欠陥の明るい部分と暗い部分との現れ方が逆になるため、判定する組み合わせも逆にする必要がある。
【００３９】
また、前記説明は光スポットの位置や対物レンズの位置に対して理想的な凹凸欠陥を仮定している。そのため、必ずしも上述したような反射光強度測定量の順序になるとは限らない。例えば、凹凸の形状によっては反射光強度の小さい部分だけ検出されるようなことも起こり得る。
【００４０】
本発明は、前記のように、検査対象点が、照明用の光スポットの中心ではなく周辺の光強度変化が大きい周辺部にある時、その反射光強度が被検査物の表面の傾き（凹凸）によって大きく影響を受け、明暗が顕著に変化するということに基づきなされたものである。
【００４１】
図４，図５，図６に基づいて本実施の形態１と従来の方法とを比較するために行った実証実験結果について説明する。
【００４２】
図４は、光スポットの光強度分布において中心ではなく、光強度変化の大きい周辺部を利用することにより、表面の凹凸形状を顕著化することを実証した実験装置の構成図である。
【００４３】
図４に示す実験装置は、１．８ｍｍの透明かつ模様の無いガラス基板４０１を披検査物とし、光源４０２の出射ビームＬは、結像レンズ４０３を通って、ハーフミラー４０４で反射し、光スポットとなってガラス基板４０１を照明する。そして、被検査物４０１からの反射光を反射光強度測定器であるエリアＣＣＤセンサー４０５で受光する。
【００４４】
また、ゴニオステージ４０６がガラス基板４０１を載置する移動ステージとなっている。ガラス基板４０１をＣＣＤセンサー４０５の光軸に対して垂直になるように設置して、その状態を凹凸欠陥の無い平坦な場合とし、ゴニオステージ４０６によりガラス基板４０１の底面で、かつＣＣＤセンサー４０５の光軸に対して垂直になる軸を回転中心４０７として、ガラス基板４０１を傾けることにより凹凸欠陥の傾斜部分を擬似的に作り出している。
【００４５】
ガラス基板４０１の傾け量は、ＣＣＤセンサー４０５の光軸と垂直な場合を０［ｄｅｇ］として、２［ｄｅｇ］，３［ｄｅｇ］，５［ｄｅｇ］とする。
【００４６】
図５は、それぞれのガラス基板４０１の傾き量に対する光スポットの反射光強度のプロファイルを示す図であって、縦軸がＣＣＤセンサー４０５が受光した反射光強度の値を示し、横軸はＣＣＤセンサー４０５の画素（素子）の座標となっている。凹凸部分と平坦部分の反射光強度の差が大きいほど、凹凸部分と平坦部分を区別できる。
【００４７】
図６は、図５において平坦な場合を表す０［ｄｅｇ］と、それぞれの傾け量の反射光強度の差を示す図であって、従来の光学系において光スポットの中心の光強度が均一な部分を使用している。その部分では図６に示す通り、５［ｄｅｇ］程度まで傾き量が大きくなると、反射光強度に差が生じ平坦部分と凹凸部分の区別ができる。
【００４８】
しかし、２［ｄｅｇ］までなると、光強度の差が小さくなってしまい、光強度のばらつき量と大差が無くなってしまって区別がつきにくい。
【００４９】
これに対して光スポットの周辺部分は、２［ｄｅｇ］程度の傾き量であっても、光強度の差が従来の光スポットの中心の光強度が均一な部分を利用したときに比べて大きく、平坦部分と凹凸部分の区別が十分可能である。
【００５０】
（実施の形態２）
前記実施の形態１では光スポットが点であった。それに対して、光スポットを点ではなく矩形形状にすることも考えられる。この場合、反射光強度測定器の検査するエリアは点から線状にすることができ、この部分の反射光強度をラインセンサーで捉えることができる。本実施の形態２は、光スポットを矩形形状にしている以外は、前記実施の形態１と同様であるため、一部の説明は省略している。
【００５１】
図７において、７０１で示すように、光スポットの形状が矩形である矩形光スポットの場合、図中のように矩形を垂直に切り取った時の反射光強度の分布が７０３である。図７においては、曲線の高さが光強度量で、横軸は光スポットの幅である。
【００５２】
７０２はラインセンサーの受光素子が矩形光スポットを捉える部分である。ラインセンサーの受光素子は、矩形光スポット７０１と平行に並び、かつ矩形光スポット７０１の一辺近傍において、光強度変化量が矩形光スポット７０１の中心付近より大きい部分を捉えるように位置している。
【００５３】
このようにすることにより、実施の形態１で説明した検査対象が点で走査する場合に比べ、幅を持って走査することができるため、大幅に検査時間を短縮することができる。
【００５４】
（実施の形態３）
検査対象点の上を光スポットが移動走査して行くとき、その点の反射光強度を積算し、積算した光強度を用いるとノイズなどに強い安定したデータが得られる。
【００５５】
図８は、図２で示した０［ｄｅｇ］の値と、２［ｄｅｇ］，３［ｄｅｇ］，５［ｄｅｇ］のときのそれぞれの値の差をプロットした図である。ここで、積算反射光強度とは、これらの範囲のプロットしたものにおける各々の面積８０１となる。そのため、ラインセンサーで反射光強度を１点で捉えたときに比べ、凹凸部分が捉えやすくなる。本実施の形態３は、積算反射光強度を用いている以外は、前記実施の形態２と同様であるため、一部の説明は省略している。
【００５６】
積算反射光強度は、反射光強度測定器１０８の移動方向にセンサーを幾つか並べ、移動テーブル１０１の移動中に、反射光強度を個々に検査対象点について積算することにより得られる。このような光強度の積算は、ＣＣＤエリアセンサーを用いれば簡単に得られる。
【００５７】
図９は、エリアＣＣＤセンサー９０１上に被検査物表面９０３の検査対象点９０２を結像して走査している状態を示す説明図である。
【００５８】
光スポットは検査対象点９０２上を移動し、検査対象点９０２の反射光の像はエリアＣＣＤセンサー９０１の上を移動し、その光量を図示しない演算処理部で積算する。その積算範囲は、光スポットの周辺部における光強度の変化の大きい部分のみを対象として積算する。
【００５９】
光スポットを前記のように矩形にし、エリアセンサーまたはＴＤＩセンサーといった幅を持ったラインセンサーと併用して積算反射光強度を得るようにすれば、安定しかつノイズに強い検査結果を短時間に得られる。
【００６０】
（実施の形態４）
図１０（ａ）は、落射照明ではない実施の形態４の構成図であり、移動テーブル１００１上の被検査物１００２に対して、移動テーブル１００１の駆動方向と平行かつ斜め上の方向の光源１００３からの出射光を結像レンズ１００４により集光し、被検査物１００２を照明する光スポット１００５を生成する。
【００６１】
光スポット１００５の反射光強度の分布１００６は、図１０（ｂ）に示すように曲線となる。斜め方向からの照明であるため、実施形態１での反射光強度のように線対称な曲線ではなく、どちらかに傾いた曲線を描く。
【００６２】
前記光スポット１００５により被検査物１００２を照明した反射光が、対物レンズ１００７によって反射光強度測定器１００８に結像する。検査対象点１００９は光スポット１００５の中心付近ではなく、中心付近と比較して反射光強度の変化が大きい周辺部とする。
【００６３】
この構成を用いることにより、落射照明の場合に必要であったハーフミラーを使用する必要がなくなる。
【００６４】
（実施の形態５）
図１１は実施の形態２と実施の形態４を組み合わせた実施の形態５の説明図であって、光スポットを点ではなく矩形光スポット１１０１とし、かつ落射照明ではない場合を示している。反射光強度測定器の検査するエリアは点から線状にすることができ、この部分の反射光強度をラインセンサーで捉えることができる。矩形光スポット１１０１の垂直方向に切り取った反射光強度の分布が１１０２である。曲線の高さが光強度量で、横軸は光スポットの幅である。
【００６５】
１１０３はラインセンサーの受光素子が矩形光スポット１１０１を捉える部分である。ラインセンサーの受光素子は矩形光スポット１１０１と平行に並び、かつ矩形光スポット１１０１の一辺近傍で、光強度変化量が矩形光スポット１１０１の中心付近より大きい部分を捉えるように位置している。
【００６６】
実施の形態５では実施の形態４で説明した検査対象を点として走査する場合に比べ、幅を持って走査することができるため、大幅に検査時間を短縮できる。
【００６７】
（実施の形態６）
実施の形態６として、実施の形態１〜５における構成において、反射光強度測定器とその光学系ならびに光スポットの光学系が相対的に固定されており、被検査物を載置したテーブルが相対的に移動する機構を持った構成、例えばテーブルが固定され、反射光強度測定器とその光学系ならびに光スポットの光学系がテーブル上を移動し、被検査物を走査する構成にすることも考えられる。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明は、ＰＤＰ，半導体，液晶パネル，ハードディスクなどの製造工程における凹凸検査、あるいはプラズマ表示装置や液晶表示装置などの部品であるガラス基板などの凹凸検査に適用できる。
【符号の説明】
【００６９】
１０１  移動テーブル
１０２  被検査物
１０３  光源
１０４  結像レンズ
１０５  ハーフミラー
１０６  光スポット
１０７  対物レンズ
１０８  反射光強度測定器
１０９  光スポットの光強度分布
１１０  検査対象点
２０１  凸欠陥
２０２  凹欠陥
２０３  光スポットの光路
２０４  反射光強度測定器
２０５  凸欠陥左斜面を反射した光の光路
２０６  凸欠陥頂点部分を反射する光の光路
２０７  凸欠陥右斜面を反射した光の光路
２０８  凹欠陥左斜面を反射した光の光路
２０９  凹欠陥底面部分を反射する光の光路
２１０  凹欠陥右斜面を反射した光の光路
４０１  ガラス基板
４０２  光源
４０３  結像レンズ
４０４  ハーフミラー
４０５  ＣＣＤセンサー
４０６  ゴニオステージ
４０７  回転中心
３０７  回転中心
７０１  矩形光スポット
７０２  ラインセンサーの受光素子の並び方向
７０３  反射光強度の分布
８０１  積算される部分
９０１  エリアＣＣＤ
９０２  検査対象点
９０３  被検査物表面
１００１  移動テーブル
１００２  被検査物
１００３  光源
１００４  結像レンズ
１００５  光スポット
１００６  反射光強度の分布図
１００７  対物レンズ
１００８  反射光強度測定器
１００９  検査対象点
１１０１  矩形光スポット
１１０２  反射光強度の分布
１１０３  ラインセンサーの受光素子の並び方向
【図１】
2010281724.tif 000003
【図２】
2010281724.tif 000004
【図３】
2010281724.tif 000005
【図４】
2010281724.tif 000006
【図５】
2010281724.tif 000007
【図６】
2010281724.tif 000008
【図７】
2010281724.tif 000009
【図８】
2010281724.tif 000010
【図９】
2010281724.tif 000011
【図１０】
2010281724.tif 000012
【図１１】
2010281724.tif 000013
【図１２】
2010281724.tif 000014