(57)【要約】【課題】接着シートを切断及び貼付する際に、切断手段と被着体とを非接触な状態に保つことができるようにすること。【解決手段】帯状の接着シートＳを支持する繰出手段１２と、接着シートＳに閉ループ状の切り込みＣを設け、当該切り込みＣの内側を貼付用シートＳ１とする一方、切り込みＣの外側を不要シートＳ２して形成する切断手段１４と、貼付用シートＳ１をリングフレームＲＦと半導体ウエハＷに貼付する押圧手段１６とを備えてシート貼付装置１０が構成されている。切断手段１４は、接着シートＳが押圧手段１６に接するときに、当該接着シートＳに切り込みＣを形成可能に設けられ、切り込みＣ形成後、押圧手段１６により貼付用シートＳ１がリングフレームＲＦと半導体ウエハＷに貼付される。【選択図】図１
2010131706.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の接着シートを繰り出す繰出手段と、前記接着シートに閉ループ状の切り込みを設け、当該切り込みの内側を貼付用シートとする一方、切り込みの外側を不要シートして形成する切断手段と、前記貼付用シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備えたシート貼付装置において、
前記切断手段は、前記接着シートが押圧手段に接するときに、当該接着シートに前記切り込みを形成可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記押圧手段は、接着シートを被着体に押圧しながら転動可能な押圧ローラを含み、
前記切断手段は、押圧ローラに設けられたカッター刃と、このカッター刃に前記接着シートを付勢して前記切り込みを形成するプラテンローラとを備えていることを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記押圧手段は、押圧ローラの外周面に設けられるとともに、前記カッター刃の突出高さより大きい厚みを有する弾性部材を含み、この弾性部材は、前記プラテンローラとカッター刃との接触を許容し、且つ、前記カッター刃と被着体との接触を防止する弾性に設定されていることを特徴とする請求項２記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記押圧手段には、掛け回される接着シートを吸着可能な吸着手段が設けられていることを特徴とする請求項１、２又は３記載のシート貼付装置。
【請求項５】
帯状の接着シートに切断手段を介して閉ループ状の切り込みを設け、当該切り込みの内側を貼付用シートとして形成して押圧手段を介して被着体に貼付するシート貼付方法において、
前記接着シートが押圧手段に接するときに、当該接着シートに前記切り込みを形成し、その後、押圧手段が貼付用シートを被着体に押圧して貼付することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置及び貼付方法に係り、更に詳しくは、接着シートに切り込みを設けて形成された貼付用シートを被着体に貼付することができるシート貼付装置及び貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）とリングフレームとを一体化する場合には、リングフレームの内側にウエハを配置した状態で、ダイシングシートやマウント用シート等の接着シートをそれらに亘って貼付する方法が行われている。かかる貼付を行う装置として、例えば、特許文献１に開示された装置が知られている。同文献のシート貼付装置では、リングフレームとウエハとに接着シートを貼付した後、リングフレーム上の円周軌跡に沿ってカッター刃を移動することで、接着シートに切り込みを形成している。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１０２８２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたシート貼付装置にあっては、接着シートに切り込みを形成するときに、カッター刃がリングフレームに接触し、当該リングフレームの面を傷付けたり、回転刃の刃先が損傷したりする、という不都合がある。また、切り込み形成時に、リングフレームが削れて削りかす等のダストが発生し、ウエハの処理施設内をクリーンな状態に保つことが困難になる。しかも、切り込みを形成する度にリングフレームが傷付くと、リングフレームを使い回し、長期に亘って使用することができなくなり、製造上のランニングコストが上昇する、という不都合を招来する。
【０００５】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、接着シートを切断及び貼付する際に、切断手段と被着体とを非接触な状態に保つことができるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、帯状の接着シートを繰り出す繰出手段と、前記接着シートに閉ループ状の切り込みを設け、当該切り込みの内側を貼付用シートとする一方、切り込みの外側を不要シートして形成する切断手段と、前記貼付用シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備えたシート貼付装置において、
前記切断手段は、前記接着シートが押圧手段に接するときに、当該接着シートに前記切り込みを形成可能に設けられる、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記押圧手段は、接着シートを被着体に押圧しながら転動可能な押圧ローラを含み、
前記切断手段は、押圧ローラに設けられたカッター刃と、このカッター刃に前記接着シートを付勢して前記切り込みを形成するプラテンローラとを備える、という構成を採用してもよい。
【０００８】
また、前記押圧手段は、押圧ローラの外周面に設けられるとともに、前記カッター刃の突出高さより大きい厚みを有する弾性部材を含み、この弾性部材は、前記プラテンローラとカッター刃との接触を許容し、且つ、前記カッター刃と被着体との接触を防止する弾性に設定される、という構成も好ましくは採用される。
【０００９】
更に、前記押圧手段には、掛け回される接着シートを吸着可能な吸着手段が設けられことが好ましい。
【００１０】
また、本発明は、帯状の接着シートに切断手段を介して閉ループ状の切り込みを設け、当該切り込みの内側を貼付用シートとして形成して押圧手段を介して被着体に貼付するシート貼付方法において、
前記接着シートが押圧手段に接するときに、当該接着シートに前記切り込みを形成し、その後、押圧手段が貼付用シートを被着体に押圧して貼付する、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、接着シートが押圧手段に接するときに切断手段によって切り込みが設けられるので、接着シートが被着体に貼付される前に切り込みを形成でき、従来のように、切り込み形成時に、被着体となるリングフレームの面にカッター刃等の切断手段が接触することを回避することができる。この結果、リングフレームに傷が生じることを防止でき、削りかす等のダストの発生を回避することができる他、リングフレームを長期間使用できるようになり、製造コストの上昇を抑制することが可能となる。
【００１２】
また、押圧ローラに設けられたカッター刃と、このカッター刃に接着シートを付勢するプラテンローラとを切断手段が有するので、簡単な構造により、接着シートが被着体に貼付される直前に切り込みを形成可能となる。
【００１３】
更に、押圧部材の外周面に弾性部材を設けたので、カッター刃及びプラテンローラによる切り込みの形成をスムースに行いつつ、カッター刃が被着体に接触することなく、接着シートを被着体に押圧して貼付することができる。
【００１４】
また、押圧ローラに吸引手段を設けることで、カッター刃による切断後であって被着体に貼付される前の貼付シートを、押圧ローラの外周面に吸着させることができる。これにより、被着体への貼付前に貼付シートが不用意に垂れ下がったり、変位したりすることを防止でき、貼付用シートの貼付不良をなくすことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「上」、「下」、「左」、「右」は、図１を基準として用いる。
【００１６】
図１には、実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図が示されている。この図において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷ及びリングフレームＲＦを支持するテーブル１１と、このテーブル１１の上方で、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートＳを支持する繰出手段１２と、接着シートＳに閉ループ状の切り込みＣを形成する切断手段１４と、ウエハＷ及びリングフレームＲＦ上を転動可能な押圧ローラ１５を有する押圧手段１６と、押圧ローラ１５の右側に設けられた剥離手段１８とを備えて構成されている。
【００１７】
前記テーブル１１は、リングフレームＲＦの開口内にウエハＷを配置し、これらリングフレームＲＦ及びウエハＷを吸着保持可能に形成されている。テーブル１１上面には、凸部１１Ａが形成され、この凸部１１Ａの上面でウエハＷが吸着保持され、凸部１１Ａの外側でリングフレームＲＦが吸着保持される。ウエハＷの下面には保護シートＨが貼付されている。
【００１８】
前記繰出手段１２は、テーブル１１の左側に設けられて接着シートＳを支持するとともに、モータＭ１を介して回転可能に設けられた支持軸２１と、この支持軸２１の下方でモータＭ２を介して回転可能に設けられた駆動ローラ２２と、この駆動ローラ２２との間に接着シートＳを挟み込むピンチローラ２３と、テーブル１１の右側に設けられ、モータＭ３を介して回転可能に設けられた巻取軸２４とを備えて構成されている。
【００１９】
前記切断手段１４は、図２ないし図４にも示されるように、押圧ローラ１５の外周面に突設された閉ループ状のカッター刃２６と、このカッター刃２６に接着シートＳを付勢するプラテンローラ２７とを備えている。カッター刃２６及びプラテンローラ２７は、これらの間に接着シートＳが通過するときに、リングフレームＲＦの内径より大きく、外径より小さい径寸法となる所定形状の切り込みＣを接着シートＳに形成可能に設けられている。プラテンローラ２７は、押圧ローラ１５より小さい径寸法に設定され、後述するスライダ３０に図示しない連結部材を介して支持されている。ここで、切り込みＣで囲まれる接着シートＳ部分が貼付用シートＳ１とされる一方、切り込みＣの外側に位置する接着シートＳ部分は不要シートＳ２として形成され、当該不要シートＳ２は剥離手段１８を経て巻取軸２４に巻き取られる。
【００２０】
前記押圧手段１６は、モータＭ４を介して回動可能な押圧ローラ１５と、単軸ロボット３１とを備え、この単軸ロボット３１のスライダ３０によって押圧ローラ１５が左右方向に移動される。押圧ローラ１５は、図１に示される状態から左方向に転動することで、リングフレームＲＦ及びウエハＷに接着シートＳを押圧して貼付可能に設けられている。押圧ローラ１５の外周面には、カッター刃２６の突出高さより大きい厚みを有する弾性部材３２が設けられている。弾性部材３２は、ＥＶＡ等の発泡樹脂やスポンジ、ゴム等の弾力性を備えた素材からなり、カッター刃２６の設置領域に対応してスリット３２Ａが設けられている。なお、弾性部材３２は、プラテンローラ２７とカッター刃２６とが接触して接着シートＳに切り込みＣを形成できる程度に凹み、且つ、押圧ローラ１５を介してリングフレームＲＦ及びウエハＷに接着シートＳを押圧して貼付する際、カッター刃２６とリングフレームＲＦとが接触しない程度の弾性力に設定されている。ここで、押圧ローラ１５には、接着シートＳを吸着可能な吸着手段３４が設けられている。吸着手段３４は、押圧ローラ１５及び弾性部材３２に形成されて減圧ポンプ等に接続される図示しない多数の吸引孔からなる。当該吸引孔は、円形となるカッター刃２６の内側であって、図２の矢印で示すように、少なくとも切り込みＣが最初に形成される領域部分に設けられる。なお、吸引孔は、切り込みＣの全体領域であってもよく、その領域に限定されることはない。
【００２１】
前記剥離手段１８は、モータＭ５を介して回転可能な剥離ローラ３６と、この剥離ローラ３６との間に不要シートＳ２を挟み込むピンチローラ３７とを備え、図示しない駆動手段を介して左右方向に移動可能に設けられている。
【００２２】
次に、本実施形態における貼付用シートＳ１の貼付方法について説明する。
【００２３】
まず、支持軸２１に支持された接着シートＳを駆動ローラ２２とピンチローラ２３との間、押圧ローラ１５とプラテンローラ２７との間、及び、剥離ローラ３６とピンチローラ３７との間を通過させ、そのリード端を巻取軸２４に固定する。
【００２４】
その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームＲＦとウエハＷとがテーブル１１上に載置され、吸着保持される。次いで、各モータＭ１〜３、Ｍ５の回転をロックした状態で、単軸ロボット３１を介して押圧ローラ１５を図１中二点鎖線で示される位置から左方向に移動させる。これにより、リングクレームＲＦ及びウエハＷに対して押圧ローラ１５が接着シートＳを押圧しながら転動し、リングクレームＲＦ及びウエハＷの上面に接着シートＳが貼付される。
【００２５】
ここで、押圧ローラ１５の転動中、接着シートＳは、リングクレームＲＦ及びウエハＷに貼付される直前、つまり、押圧ローラ１５とプラテンローラ２７との間を通過するときに、プラテンローラ２７は弾性部材３２を凹ませ、当該プラテンローラ２７とカッター刃２６とが接触して接着シートＳに切り込みＣを形成する（図２及び図４参照）。この切り込みＣが形成された内側の貼付用シートＳ１は、その形成初期領域が吸着手段３４を介して弾性部材３２の外周面に吸着保持され、この状態を維持したままリングフレームＲＦに貼付される。これにより、接着シートＳが弾性部材３２に接するとき、すなわち、カッター刃２６とプラテンローラ２７との間を通過するときに、切り込みＣを形成し、その後、押圧ローラ１５を転動することで接着シートＳの貼付も行えるようになっている。
【００２６】
図５に示される位置まで押圧ローラ１５が移動されると、円形の切り込みＣが形成された貼付用シートＳがウエハＷとリングクレームＲＦとに貼付される。次いで、モータＭ５を駆動しつつ、図示しない駆動手段を介して剥離手段１８を左方向に移動すると、図５中二点鎖線で示されるように、リングフレームＲＦから不要シートＳ２だけが剥離されて上方に持ち上げられる。そして、テーブル１１が図示しない駆動手段によって下降され、リングフレームＦＲと一体化されたウエハＷは、図示しない搬送手段によって別工程に搬送される。その後、モータＭ４、Ｍ５の回転をロックした状態で、押圧ローラ１５と剥離手段１８とを右方向に移動し、その動作に同期して、モータＭ１、Ｍ２、Ｍ３を駆動して巻取軸２４に不要シートＳ２を巻き取りつつ、新たな接着シートＳをテーブル１１上に繰り出しながら、押圧ローラ１５、剥離手段１８及びテーブル１１を初期位置に復帰させる。そして、以後同様の動作により、貼付用シートＳ１の貼付を行うことができる。
【００２７】
従って、このような実施形態によれば、押圧ローラ１５に掛け回された直後のタイミングで接着シートＳに切り込みＣを形成できるので、従来のようにリングフレームＲＦがカッター刃等で損傷されることを回避することが可能となる。
また、接着シートＳを剥離シート等に仮着した２層構造とすることなく、本実施形態のように接着シートＳだけであっても、貼付用シートＳ１を形成する切り込みＣを形成した後、これを貼付することができる。これにより、接着シートＳのコストを低減できる上、剥離シート等から剥離する際の引っ張り力等に起因する貼付用シートＳ１の延びや弛みを抑制することができ、貼付用シートＳ１を良好に貼付することが可能となる。なお、本発明は、剥離シートに接着シートＳを仮着した２層構造、又は、それ以上の層構造の接着シート原反を排除するものではない。つまり、接着シートＳに剥離シートが仮着された接着シート原反を採用した場合には、接着シートＳを被着体に貼付する前段に、剥離シートを巻き取る巻取軸を設けることで対応ができる。
【００２８】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２９】
例えば、本発明における被着体としては、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、ウエハＷは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【００３０】
また、図６に示されるように、剥離手段１８を押圧ローラ１５と同時に移動できる構成としてもよい。この場合、装置構成と制御の簡略化が行える。
【００３１】
更に、接着シートＳは、リングフレームＲＦにウエハＷをマウントするものに限定されることなく、ウエハＷ等に貼付してその回路面を保護する保護シート等、公知の接着シートであってよい。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】図１の要部拡大図。
【図３】押圧ローラ及びその周辺構造の概略斜視図。
【図４】図２のａ矢視部分断面図。
【図５】接着シート貼付中の概略正面図。
【図６】他の形態を示す概略正面図。
【符号の説明】
【００３３】
１０  シート貼付装置
１２  繰出手段
１４  切断手段
１５  押圧ローラ
１６  押圧手段
２６  カッター刃
２７  プラテンローラ
３２  弾性部材
３４  吸着手段
Ｃ  切り込み
ＲＦ  リングフレーム（被着体）
Ｓ  接着シート
Ｓ１  貼付用シート
Ｓ２  不要シート
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
2010131706.tif 000003
【図２】
2010131706.tif 000004
【図３】
2010131706.tif 000005
【図４】
2010131706.tif 000006
【図５】
2010131706.tif 000007
【図６】
2010131706.tif 000008