(57)【要約】【課題】溶射膜の小さな剥離の高感度検出と剥離面積のサイジングを両立できる溶射膜の密着性検査技術を提供する。【解決手段】集束型超音波送信素子１１からくさび材１３経由で溶射膜１に送信した超音波は溶射膜１内で縦波ビームと横波ビームとになって、縦波ビームは溶射膜１と構造物の母材２との界面で集束し、横波ビームは界面では集束性が悪く縦波ビームよりも広がりを持つビームとなって伝播する。溶射膜の剥離部で横波ビームが反射するとモード変換して横波−縦波変換反射ビームとなって最初から縦波であった縦波ビームとともに超音波受信素子１２で受信される。その受信情報は両ビームによるものに伝播時間差から分離され、各々の反射波受信強度を個別に求め、収束性の良い縦波ビームで小さな剥離の高感度検出を行い、各々の反射波受信強度を参照して校正曲線２９や校正曲線３０を用いて溶射膜１の剥離面積のサイジングを行う。【選択図】  図１
2010243268.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
探触子を用いて、構造物とその表面に施された溶射膜との界面部分へ、超音波を送信して、前記超音波の前記界面部分からの反射波を受信し、前記受信して得られた受信情報に基づいて前記構造物の表面と溶射膜との密着性を検査する溶射膜の密着性検査方法において、
前記探触子から横波と縦波の各超音波を、縦波超音波については超音波が前記界面部分に集束するように、横波超音波については前記界面部分から外れた部分に超音波が集束するか非集束するように発信し、
前記界面部分からの縦波反射波と横波−縦波変換反射波との各反射波を受信し、
前記受信した各反射波の受信波強度を求め、
前記各反射波の受信波強度と前記溶射膜の剥離面積との相関関係に基づいて前記界面部分における前記構造物と溶射膜との密着性を評価する溶射膜の密着性検査方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記横波と縦波の各超音波を同時に発信し、
その結果得られた前記受信情報から時間ゲートを用いて前記各反射波に対応した前記各受信情報を分離し、
前記分離した前記各受信情報に基づいて前記各反射波の受信波強度を評価し、
予め定めたしきい値を超える前記縦波反射波の受信波強度の有無から前記界面部における前記溶射膜の剥離部の有無を判定し、
前記縦波反射波の受信波強度と前記横波−縦波変換反射波の受信波強度から前記剥離部の面積を評価する溶射膜の密着性検査方法。
【請求項３】
請求項２において、
前記界面部分からの前記縦波反射波の受信波強度と、前記界面部分からの横波−縦波変換反射波の受信波強度を個別に求め、
前記縦波反射波の受信波強度が予め定めておいた第１のしきい値を超えた場合には、前記界面部分に前記剥離部があると判定し、
前記剥離部分があると判定した場合で、前記縦波反射波の受信波強度が予め定めておいた第２のしきい値以下の場合には、前記縦波反射波の受信波強度と前記剥離部分の面積との対応関係から前記剥離部の面積を求め、
前記剥離部分あると判定した場合で、前記縦波反射波の受信波強度が予め定めておいた前記第２のしきい値を超える場合には、前記横波−縦波変換反射波の受信波強度と前記剥離部分の面積との対応関係から前記剥離部分の面積を求めることを特徴とする溶射膜の密着性検査方法。
【請求項４】
超音波を用いる探傷器と、
前記探傷器に備えられて前記超音波の送受信に用いられる探触子と、
前記超音波の受信によって得られた情報を表示する表示装置とを備えた溶射膜の密着性検査装置において、
集束深さが構造物とその表面に施された溶射膜との界面部分の深さと一致している縦波超音波と、集束深さを問わない横波超音波の両方を同時に送信して前記界面部分からの縦波反射波と横波−縦波変換反射波を受信する前記超音波探触子と、
前記探触子で受信した前記各反射波によって得られた受信情報から第１の時間ゲートで前記縦波反射波の受信に対応する第１の受信情報部分と、同じく受信情報から第２の時間ゲートで前記横波−縦波変換反射波の受信に対応する第２の受信情報部分とを抽出する手段と、
前記第１の受信情報部分から前記縦波反射波の受信波強度を算出する手段と、
前記第２の受信情報部分から前記横波−縦波変換反射波の受信波強度を算出する手段と、
前記縦波反射波の受信波強度を健全な前記界面部の受信波強度を超えるように予め定めた第１のしきい値と比較する手段と、
前記縦波反射波の受信波強度を前記第１のしきい値を超えるように予め定めた第２のしきい値と比較する手段と、
前記縦波反射波の受信波強度と、前記横波−縦波変換反射波の受信波強度と、前記縦波反射波の受信波強度と前記第１のしきい値との比較結果と、前記縦波反射波の受信波強度と第２のしきい値との比較結果と、を表示する前記表示手段とを備えていることを特徴とする溶射膜の密着性検査装置。
【請求項５】
請求項４に記載の溶射膜の密着性検査装置において、
前記縦波反射の受信波強度と前記溶射膜の剥離部分の面積との対応関係を示す第１の情報を記憶する手段と、
前記横波−縦波変換反射波の受信波強度と前記溶射膜の剥離部分の面積との対応関係を示す第２の情報を記憶する手段と、
前記縦波反射の受信波強度が前記第１のしきい値より大きく、前記第２のしきい値以下の場合には、前記第１の情報から前記剥離部分の面積を算出する手段と、
前記縦波反射の受信波強度が前記第１のしきい値および前記第２のしきい値より大きい場合には、前記第２の情報から前記剥離部分の面積を算出する手段と、
前記剥離部分の面積の算出結果を表示する手段とを備えることを特徴とする溶射膜の密着性検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、構造物とその表面に施された溶射膜との密着性を検査する方法と装置に係り、特に、構造物とその表面に施された溶射膜との界面に位置する小さな剥離の検出、および、検出した剥離のサイジング方法と装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
金属性構造物の構造材表面に施工した金属性溶射膜の表面割れ等の有無を検査する方法としては、浸透探傷法（カラーチェック）や目視検査があげられる。しかし、溶射膜と構造物の密着性を検査する場合には、表面に露出部を持たない剥離を検出しなければならないので、浸透探傷や目視検査は適用できない。
【０００３】
このため、溶射膜と構造物の密着性を検査する方法としては、溶射膜と構造物の界面部分に超音波を送信し、界面部分からの反射波強度が小さい、または、反射波が受信できない場合には密着性が良好であると判断し、界面部分からの反射波強度が大きい場合には層間剥離があって密着性が悪いと判断する方法が適用されている。
【０００４】
このように溶射膜と母材の界面に超音波を送信し、界面からの反射波強度から剥離の有無を判定する従来技術としては、例えば、特許文献１があげられる。
【０００５】
また、タービンブレードにろう付けされたステライトに超音波を入射さして反射波の反射回数をカウントし、反射回数が４回以上の場合には剥離状欠陥が発生していると判断する密着性検査方法が、例えば、特許文献２に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−３２５４５０号公報
【特許文献２】特許第３２３３８１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来技術では、剥離の有無によって反射波の強度や反射回数が変化するという点は考慮しているが、剥離の面積が超音波ビームの照射面積よりも小さくなると剥離があっても反射波強度が小さくなるという点を考慮していない。
【０００８】
すなわち、比較的大きな剥離の検出だけを想定しており、小さな剥離の検出は想定していない。また、特許文献１では、剥離を検出した場合に、その剥離の面積をサイジングすることは想定していない。
【０００９】
このような従来技術の課題にかんがみ、本発明の主目的は、溶射膜の剥離を確実に検出するとともに、検出した剥離箇所の面積を評価して、溶射膜の密着性を精度良く検査することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するために、本発明は、探触子を用いて、構造物とその表面に施された溶射膜との界面部分へ、超音波を送信して、前記超音波の前記界面部分からの反射波を受信し、前記受信して得られた受信情報に基づいて前記構造物の表面と溶射膜との密着性を検査する溶射膜の密着性検査方法において、前記探触子から横波と縦波の各超音波を、縦波超音波については超音波が前記界面部分に集束するように、横波超音波については前記界面部分から外れた部分に超音波が集束するか非集束するように発信し、前記界面部分からの縦波反射波と横波−縦波変換反射波との各反射波を受信し、前記受信した各反射波の受信波強度を求め、前記各反射波の受信波強度と前記溶射膜の剥離面積との相関関係に基づいて前記界面部分における前記構造物と溶射膜との密着性を評価する溶射膜の密着性検査方法を採用し、その方法を実施するために、超音波を用いる探傷器と、前記探傷器に備えられて前記超音波の送受信に用いられる探触子と、前記超音波の受信によって得られた情報を表示する表示装置とを備えた溶射膜の密着性検査装置において、集束深さが構造物とその表面に施された溶射膜との界面部分の深さと一致している縦波超音波と、集束深さを問わない横波超音波の両方を同時に送信して前記界面部分からの縦波反射波と横波−縦波変換反射波を受信する前記超音波探触子と、前記探触子で受信した前記各反射波によって得られた受信情報から第１の時間ゲートで前記縦波反射波の受信に対応する第１の受信情報部分と、同じく受信情報から第２の時間ゲートで前記横波−縦波変換反射波の受信に対応する第２の受信情報部分とを抽出する手段と、前記第１の受信情報部分から前記縦波反射波の受信波強度を算出する手段と、前記第２の受信情報部分から前記横波−縦波変換反射波の受信波強度を算出する手段と、前記縦波反射波の受信波強度を健全な前記界面部の受信波強度を超えるように予め定めた第１のしきい値と比較する手段と、前記縦波反射波の受信波強度を前記第１のしきい値を超えるように予め定めた第２のしきい値と比較する手段と、前記縦波反射波の受信波強度と、前記横波−縦波変換反射波の受信波強度と、前記縦波反射波の受信波強度と前記第１のしきい値との比較結果と、前記縦波反射波の受信波強度と第２のしきい値との比較結果と、を表示する前記表示手段とを備えていることを特徴とする溶射膜の密着性検査装置を提案している。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、溶射膜と構造物の界面部分に超音波を集束させてその界面で超音波ビーム径が小さい超音波にて小さな剥離も確実に検出でき、また縦波反射波と横波−縦波変換反射波との各反射波の受信波強度と溶射膜の剥離面積との相関関係から密着性を精度良く評価できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１の実施例による溶射膜の密着性検査装置の構成例を示す装置構成図。
【図２】本発明において超音波ビームの広がりと反射波強度の関連性についての想定を説明するための説明図。
【図３】本発明において集束性の良い超音波ビームと剥離の大きさの関連性についての想定を説明するための説明図。
【図４】本発明において集束性の悪い超音波ビームと剥離の大きさの関連性についての想定を説明するための説明図。
【図５】本発明において反射波強度から剥離面積を換算するときに参照する校正曲線の一例を示す例示図。
【図６】本発明の第１の実施例において操作者の判定・操作手順を示すフローチャート。
【図７】本発明の第１の実施例による溶射膜の密着性検査装置の構成例を示す装置構成図。
【図８】本発明による溶射膜の密着性検査装置で、剥離の有無と剥離面積を自動算出させるための算出条件を設定する設定画面の表示例。
【図９】本発明による溶射膜の密着性検査装置で、剥離の有無を自動判定結果と、剥離面積算出結果を示す画面表示例。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の実施例では、構造物の一例として金属製の蒸気タービンロータを、溶射膜の一例として、その蒸気タービンロータのジャーナル部（軸受部）表面（母材）に溶射された金属性の溶射膜が掲げられる。
【００１４】
本発明の実施例の形態として、小さな剥離の検出については、溶射膜と母材の界面部分でビーム径が小さい超音波、すなわち、界面部分で集束する超音波ビームを送信することで達成できる。
【００１５】
また、溶射膜の剥離部分の剥離面積のサイジングについては、剥離部分の径が超音波ビーム径より小さい範囲では反射波強度は剥離面積に対応するという関連性を利用することによって達成できるので、非集束型の超音波ビーム（フラットビーム）、あるいは、界面以外で集束して界面での集束性が悪い超音波ビームを送信することで剥離のサイジングが可能となる。
【００１６】
図２〜図４を用いて、界面部分での超音波ビームの径と反射波強度の関連性について詳しく説明する。図２に示すように、溶射膜１と母材２の界面に剥離３が存在する試験体に、正規分布の強度分布３１を持つ超音波ビームを送信する場合、送信ビームのエネルギーは界面密着部からの反射波に変換する部分３１ａと、剥離３からの反射波に変換する部分３１ｂに、大別して考えることができる。
【００１７】
密着部からの反射波強度が剥離３からの反射波強度に比べて無視できると仮定すれば、受信波の反射波強度は剥離３からの反射波に変換する部分３１ｂのエネルギーに比例することになる。
【００１８】
図３に、界面で集束するビームを送信した場合の例を模式的に示す。超音波ビームのエネルギーが中心部に集約しているので、小さな剥離３（１）でも反射に寄与する部分３２ｂ（１）のエネルギーが大きい。すなわち、小さな剥離でも検出性がよい。
【００１９】
しかしながら、中程度の剥離３（２）でも大きな剥離３（３）でも反射に寄与する部分３２ｂ（２），３２ｂ（３）のエネルギーが同じになり、反射波強度が飽和してしまうので剥離のサイジングには不向きである。一方、図４には、界面で集束性の悪いビームを送信した場合の例を模式的に示す。
【００２０】
小さな剥離３（１）の反射に寄与する部分３３ｂ（１）のエネルギーが小さいので、小さな剥離の検出性は悪いが、剥離が３（２），３（３）と大きくなるに連れて、反射に寄与する部分３３ｂ（２），３３ｂ（３）のエネルギーも大きくなるので、反射波強度から剥離面積をサイジングする場合のダイナミックレンジが広くとれる。
【００２１】
剥離の大きさについて、大きさ小とは、界面位置で集束した縦波超音波の超音波ビーム径の大きさよりも小さいか同じとし、大きさ中とは、同じく縦波超音波の検査面位置での超音波ビーム径の大きさよりも大きく、且つ非集束型の横波超音波の界面位置での超音波ビーム径の大きさよりも小さいとし、大きさ大とは、同じく非集束型の横波超音波の界面位置での超音波ビーム径の大きさよりも大きいとしている。
【００２２】
ここで、ポリスチレン（縦波音速：２３５０ｍ／ｓ程度）のように鋼材中より音速が遅いシュー材を持つ超音波探触子から鋼材中に縦波と横波を同時に送信する場合について考えてみる。縦波（５９００ｍ／ｓ程度）のほうが、横波（３４００ｍ／ｓ程度）より音速が早いので屈折角が大きくなる。
【００２３】
したがって、縦波ビームが界面深さで集束する場合には、同時に送信する横波ビームは界面より深い位置で集束するように進むので、界面位置での横波ビームの集束性は悪くなる。図５に、剥離面積と界面深さで収束する縦波ビームの反射波強度の校正曲線３５と、界面深さで収束性の悪い横波ビームの反射波強度の校正曲線３６と、フラットビームの反射波強度の校正曲線３７、の例を示す。校正曲線３５は小さな剥離の検出性が高いことを示しており、校正曲線３６および３７は剥離面積がサイジングできることを示している。
【００２４】
したがって、界面深さで収束する縦波ビームと界面深さで収束性の悪い横波ビームの両方を同時に送信する探触子を用いれば、小さな剥離の高感度検出と剥離面積のサイジングの両立を達成することができる。
【実施例１】
【００２５】
以下、図１および図６を参照しながら第１の実施例を説明する。第１の実施例は、送受分割型の超音波探触子と探傷器と校正曲線を使用して溶射膜の密着性を検査するものである。
【００２６】
図１は第１の実施例における装置の構成例を図示したものである。本実施例に用いる探触子１０は、図１に示すように集束型超音波送信素子１１と超音波受信素子１２をくさび材１３とくさび材１４の上に設置し、くさび材の間にダンパ材１５を挟んで音響的に分離した構造としている。集束型超音波送信素子１１と超音波受信素子１２ともに、一例として、探触子内の振動子の面が検査面（溶射膜と母材との界面）に縦波ビームが集束するように、検査面（溶射膜と母材との界面）とは反対側に凸の円弧状に配置されている構造のものが採用できる。
【００２７】
構造物の金属性構造部材である母材２に溶射されて施工された金属性の溶射膜１の表面と探触子１０の間には、マシン油，グリセリン等の縦波用のカプラントを塗布している。集束型超音波送信素子１１からくさび材１３経由で溶射膜１に送信した縦波超音波は、溶射膜１と母材２の界面で集束するようにしており、界面からの縦波反射波はくさび材１４を経由して超音波受信素子１２で受信できるように配置している。
【００２８】
このときの縦波反射波（往路が縦波で復路も縦波として伝播する反射波）の経路を１６に示す。縦波の送信と同時に横波も発生して、この横波が界面で横波−縦波変換を起こした反射波もくさび材１４を経由して超音波受信素子１２で受信できるように配置している。
【００２９】
横波−縦波変換反射波（往路が横波で伝播して、復路が縦波として伝播する反射波）の経路を１７に示す。なお、縦波用カプラントを用いているので、復路が横波となる横波反射波や縦波−横波変換反射波は、溶射膜１からくさび材１４に伝播しにくいので受信感度は極めて低くなる。
【００３０】
超音波を用いる探傷器２０は、集束型超音波送信素子１１に電圧パルスを印加して、超音波受信素子１２からの反射波信号を受信する。表示部２１を備えていて、受信した反射波形２２を表示する。縦波反射波経路１６に相当する時間帯に第１の時間ゲート２３を、横波−縦波変換反射波経路１７に相当する時間帯に第２の時間ゲート２４を、設定できるようにしている。
【００３１】
各時間ゲート内における縦波反射波２２ａの受信波強度と横波−縦波変換反射波２２ｂの受信波強度を算出して、その算出結果を縦波反射波強度２５と横波−縦波変換反射波強度２６として表示する。
【００３２】
また、第１の時間ゲートには、剥離の有無を判定するための第１のしきい値２７と、剥離面積のサイジングの際に縦波反射波強度２５と横波−縦波変換反射波強度２６のどちらを利用するかを判定するための第２のしきい値２８を設定・表示できるようにしている。
【００３３】
第１のしきい値は、健全な溶射膜と母材との界面を検査して得られた揺らぎを考慮した受信波強度に使用者が加算した裕度を持って決めた値であり、第２のしきい値は、第１のしきい値を超えた使用者が決めた値である。
【００３４】
なお、縦波反射波強度２５から剥離面積をサイジングするための縦波反射波用の校正曲線２９と、横波−縦波変換反射波強度２６から剥離面積をサイジングするための横波−縦波変換反射波用の校正曲線３０は、検査前に準備している。
【００３５】
図６は第１の実施例において操作者の判定・操作手順を示すフローチャートである。操作者は手動で探触子１０を走査し（Ｆ１１）、第１の時間ゲート２３内に健全部からの反射波より強度が大きい反射波が観察できるかを判定する（Ｆ１２）。時間ゲート内に反射波が認められない場合には探触子の走査を続けるが、反射波を認めた場合には第１の時間ゲート内の縦波反射波２２ａの強度が最大となる位置に探触子を微調整する（Ｆ１３）。
【００３６】
第１の時間ゲート内の縦波反射波２２ａの強度と第１のしきい値２７を比較し（Ｆ１４）、縦波反射強度が第１のしきい値より小さい場合には剥離はないと判定して探触子走査を継続するが、縦波反射強度が第１のしきい値より大きい場合には剥離が存在すると判定する（Ｆ１５）。
【００３７】
剥離があると判定した場合には、第１の時間ゲート内の縦波反射波２２ａの強度と第２のしきい値２８を比較する（Ｆ１６）。縦波反射強度が第２のしきい値より小さい場合には、縦波反射波強度２５の値を読取り、縦波反射波用の校正曲線２９を参照して剥離部の面積を換算する（Ｆ１９）。
【００３８】
逆に、縦波反射強度が第２のしきい値より大きい場合には、横波−縦波変換反射波強度２６の値から剥離面積をサイジングするのだが、縦波ビームと横波ビームの界面での反射位置がずれている可能性があるので、まず、第２の時間ゲート内の横波−縦波変換反射波２２ｂの強度が最大となる位置に探触子を微調整してから（Ｆ１７）、横波−縦波変換反射波強度２６の値を読取り、横波−縦波変換反射波用の校正曲線３０を参照して剥離部の面積を換算する（Ｆ１８）。剥離面積を換算したら、探触子の走査を再開する。
【００３９】
上述した操作を繰り返し、検査すべき溶射面上のすべての面で探触子を走査したら検査を終了する（Ｆ２０）。
【実施例２】
【００４０】
次に、本発明の実施形態として、図７〜図９を参照しながら第２の実施例を説明する。第２の実施例は、送受一体型の超音波探触子と探傷器とパソコン等を使用して溶射膜の密着性を検査するものである。
【００４１】
図７は第２の実施例における装置の構成例を図示したものである。本実施例に用いる超音波探触子４１は、縦波超音波（以下、単に、縦波という。）と横波超音波（以下、単に横波という。）を同時に送受信するものであり、図７に示すように、縦波ビーム４２が金属性の構造物の表面に溶射した金属製の溶射膜１と構造物の母材２との界面深さで集束するようにしている。
【００４２】
このときの縦波反射波（往路が縦波で復路も縦波として伝播する反射波）を同じ探触子４１で受信できるようにしている。縦波ビーム４２の送信と同時に発生する横波ビーム４３は、母材と溶射膜の界面を外れて深い位置に超音波が焦点を結ぶような経路で送信され、横波−縦波変換反射波（往路が横波で伝播して、復路が縦波として伝播する反射波）を探触子４１で受信できるようにしている。
【００４３】
縦波のほうが横波より屈折角が大きくなるので、縦波ビーム４２が界面の深さで集束する場合には、同時に送信する横波ビーム４３は界面より深い位置で集束するように進むので、界面位置での横波ビームの集束性は悪くなっている。
【００４４】
探傷器４５は、探触子４１に電圧パルスを印加して、探触子４１からの反射波信号を受信する。電圧パルスのトリガ信号と増幅した受信信号を信号処理装置５０に出力する。信号処理装置５０はＡ／Ｄ変換ボードを装着したパソコンから構成されている。
【００４５】
検査を始める前に、図８に示すような、算出条件設定画面の表示にしたがって、剥離の有無の判定と剥離面積のサイジングに必要な条件を予め設定しておく。表示部６２に表示した画面上には、Ａ／Ｄ変換ボード５１で変換し、メモリ５２に記憶させた反射波受信信号７１が表示されている。
【００４６】
図８の画面例では、送信波７１ａと界面健全部からの縦波反射波７１ｂと横波−縦波変換反射波７１ｃが見えている。縦波反射波７１ｂを参照しながら、キーボード等を用いて、第１の時間ゲート設定部８３に数値を入力すると第１の時間ゲート７２が連動するようになっており、設定値の妥当性を確認しやすい画面になっている。逆に、第１の時間ゲート７２の開始時間や終了時間に相当する表示部分をマウスで変更することも可能であり、この場合には第１の時間ゲート設定部８３の数値が連動するようになっている。
【００４７】
縦波音速設定部８１に数値を入力しておけば、第１の時間ゲートに相当する超音波伝播距離を路程表示部８４に自動表示するので、第１の時間ゲートの設定値が溶射膜１と母材２の界面と一致しているか確認することができる。第２の時間ゲートについても同様に、第２の時間ゲート設定部８６の入力数値と第２の時間ゲート７３のどちらからでも設定ができるようになっており、第２の時間ゲート設定部８６の入力数値と第２の時間ゲート７３は連動している。
【００４８】
縦波音速設定部８１と横波音速設定部８２に数値を入力しておけば、縦波反射波に抽出するための第１の時間ゲートの時間から換算した横波−縦波変換反射波の伝播時間を参考値として８５に自動表示するので、第２の時間ゲートの設定値の妥当性を確認することができる。
【００４９】
また、剥離の有無を判定するための第１のしきい値７４と第１のしきい値設定部８７の入力数値は連動しており、剥離面積のサイジングの際に縦波反射強度と横波−縦波変換反射波強度のどちらを利用するかを判定するための第２のしきい値７５と第２のしきい値設定部８８の入力数値は連動している。
【００５０】
第１の時間ゲート，第２の時間ゲート，第１のしきい値，第２のしきい値、の設定値の妥当性が確認できたら、設定数値を算出条件記憶部５３に記憶させて、設定画面を終了する。
【００５１】
図９に、検査中の画面表示の一例を示す。検査中は、第１の時間ゲート５４で縦波反射波７１ｂを抽出して強度算出部５５で縦波反射波強度７６を算出し、表示部６２に表示する。
【００５２】
また、第２の時間ゲート５６で横波−縦波変換反射波７１ｃを抽出して強度算出部５７で横波−縦波変換反射波強度７７を算出し、表示部６２画面に表示する。第１の比較部５８では、縦波反射波強度７６と第１のしきい値７４を比較して、密着性の良否（＝剥離の有無）を自動判定し、密着性判定結果９１を表示する。
【００５３】
密着性が不良（＝剥離が有る）と判定した場合には、第２の比較部で縦波反射波強度７６と第２のしきい値７５を比較して、剥離面積のサイジングに縦波反射波強度７６と横波−縦波変換反射波強度７７のどちらを利用すればよいかを自動判定し、校正曲線記憶部６０に予め記憶させておいた縦波反射波用の校正曲線と横波−縦波変換反射波用の校正曲線のうちから適切な方を参照して、剥離面積算出部６１で剥離面積を算出する。
【００５４】
算出結果を剥離面積表示９２に表示し、参照した校正曲線を校正曲線表示９３に表示する。操作者がデータを記録したいと感じた場合には、キーボードやマウスから記録指令部６４に指示を入力することにより、記録部６５に記録できる。また、入力情報変換部６３を経由して入力し、表示部６２に表示された収録メモ９４も記録できるようになっている。
【００５５】
本発明のいずれの実施例でも、界面深さで収束する縦波ビームと界面深さで収束性の悪い横波ビームの両方を同時に送信する探触子を用いることにより、大掛かりな探触子走査機構等を用いない軽微な装置で、小さな剥離の高感度検出と剥離面積のサイジングの両立を達成することができる。特に第２の実施例にあっては、自動的に剥離の有無とサイジングを成し遂げられる。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明は、蒸気タービンロータのジャーナル部などの構造物に溶射された溶射膜とその構造物への密着性を検査する技術に用途が見出せる。
【符号の説明】
【００５７】
１  溶射膜
２  母材
１０，４１  探触子
１１  集束型超音波送信素子
１２  超音波受信素子
１３，１４  くさび材
１５  ダンパ材
１６  縦波反射波の経路
１７  横波−縦波変換反射波の経路
２０，４５  探傷器
２１，６２  表示部
２２ａ  縦波反射波
２２ｂ  横波−縦波変換反射波
２３，５４  第１の時間ゲート
２４，５６  第２の時間ゲート
２５  縦波反射波強度
２６  横波−縦波変換反射波強度
２７  第１のしきい値
２８  第２のしきい値
２９  縦波反射波用の校正曲線
３０  横波−縦波変換反射波用の校正曲線
４２  縦波ビーム
４３  横波ビーム
５０  信号処理装置
５１  Ａ／Ｄ変換ボード
５２  メモリ
５３  算出条件記憶部
５５，５７  強度算出部
５８  第１の比較部
５９  第２の比較部
６０  校正曲線記憶部
６１  剥離面積算出部
６３  入力情報変換部
６４  記録指令部
６５  記録部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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