(57)【要約】【課題】第１ロック機構が誤動作してもＰＦＢユニットユニットが外れないような第２ロック機構を設ける。【解決手段】テストヘッド上に補強プレートを介してパフォーマンスボードを搭載し、前記テストヘッドを回転させてプローバに対向するように構成し、駆動ブロックの移動に関連して前記パフォーマンスボードを前記テストヘッドにロックするための第１ロック機構を有するパフォーマンスボードの落下防止機構において、前記補強プレートに形成された溝と、前記駆動ブロックの移動を一方向のみの回動運動に変換する回動手段と、該回動手段に固定されたフックと、を設け、前記駆動ブロックを移動させて前記回動手段を回動させ、該回動手段に固定されたフックを前記補強プレートに形成された溝に入れることにより第２ロック機構を構成した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テストヘッド上に補強プレートを介してパフォーマンスボード・ユニットを搭載し、前記テストヘッドを回転させてプローバに対向するように構成し、駆動ブロックの移動に関連して前記パフォーマンスボード・ユニットを前記テストヘッドにロックするための第１ロック機構を有するパフォーマンスボード・ユニットの落下防止機構において、前記補強プレートに形成された溝と、前記駆動ブロックの移動を一方向のみの回動運動に変換する回動手段と、該回動手段に固定されたフックと、を設け、前記駆動ブロックを移動させて前記回動手段を回動させ、該回動手段に固定されたフックを前記補強プレートに形成された溝に入れることにより第２ロック機構を構成したことを特徴とする落下防止機構。
【請求項２】
前記第２ロック機構の解除に際してはオペレータが前記回動手段を回動させて前記フックのロック解除をおこなうことを特徴とする請求項１に記載の落下防止機構。
【請求項３】
前記フックは所定の力を有して回動させる為の摩擦手段を備えたことを特徴とする請求請求項１または２に記載の落下防止機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体テストヘッドにおけるパフォーマンスボード・ユニットの落下防止機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
テストヘッドは、被試験対象（以下ＤＵＴ）にデジタル信号やアナログ信号を与え、ＤＵＴからのデジタル信号やアナログ信号により、ＤＵＴの良否の判定を行い、試験を行うものである。
図４は半導体テスタにおけるテストヘッド３１とプローバ３２の構成を示す正面図である。
図４に示すように、パフォーマンスボード・ユニット（以下ＰＢＦユニット）１はテストヘッド３１が（１）の状態において、テストヘッド３１に搭載される。
【０００３】
プローバ３２が、テストヘッド３１にＰＢＦユニット１が取り付けられテストヘッド３１にロックされたと認識すると、指令を出して、テストヘッド３１を（１）→（２）→（３）の状態に回転させて、半導体テスタの動作が開始される。
【０００４】
図５はこのような装置に用いられるＰＢＦユニット１の斜視図である。図５において、ＰＢＦユニット１は電気配線が施された基板１ａと補強プレート１０で構成され、基板１ａは補強プレート１０に複数の固定ねじ２６により固定されている。ロック機構１３（２箇所）はシリンダ（図示省略）により矢印Ｂ，Ｃ方向に駆動される。
【０００５】
Ｂ方向はシリンダの行き方向でＰＢＦ１がロックされる（ロック機構は省略）。Ｃ方向はシリンダの戻り方向でＰＢＦユニット１のロックが解除される。１１はＰＢＦ１の搬送用把手、１２は保守などの分解作業時に解除される連結部材、２０はＰＢＦユニット１や駆動ブロック２が搭載されるベース部材である。なお、補助プレート１０を含むＰＢＦユニット１以外はテストヘッド３１（図４参照）に固定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平８−２３３９０１号公報
【特許文献２】特開２００８−１３４１７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述の構成において、図示しないシリンダが誤動作（例えばプログラムのバグ等）すると、駆動ブロック２も誤動作してＰＦＢユニット１のロックが解除され落下するという事故につながる。特にプローバ（図４参照）３２との接続時には、テストヘッド３１を旋回させて逆さまの状態で接続されるため、旋回中などでシリンダが誤動作すると、ＰＦＢユニットユニット１の落下により人が怪我をすることが想定される。
【０００８】
従って本発明の目的はシリンダが誤動作してもＰＦＢユニットが外れないようなロック機構を新たに設け、そのロック機構の解除はシリンダの動作に関わりなく人が意識的に操作する機構とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、請求項１に記載の落下防止機構の発明においては、
テストヘッド上に補強プレートを介してパフォーマンスボード・ユニットを搭載し、前記テストヘッドを回転させてプローバに対向するように構成し、駆動ブロックの移動に関連して前記パフォーマンスボード・ユニットを前記テストヘッドにロックするための第１ロック機構を有するパフォーマンスボード・ユニットの落下防止機構において、前記補強プレートに形成された溝と、前記駆動ブロックの移動を一方向のみの回動運動に変換する回動手段と、該回動手段に固定されたフックと、を設け、前記駆動ブロックを移動させて前記回動手段を回動させ、該回動手段に固定されたフックを前記補強プレートに形成された溝に入れることにより第２ロック機構を構成したことを特徴とする。
【００１０】
請求項２においては、請求項１に記載の落下防止機構において、前記第２ロック機構の解除に際してはオペレータが前記回動手段を回動させて前記フックのロック解除をおこなうことを特徴とする。
【００１１】
請求項３においては、請求項１または２に記載の落下防止機構において、前記フックは所定の力を有して回動させる為の摩擦手段を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の請求項１記載の発明によれば、駆動ブロックの移動による回動運動は一方向のみなので、第１ロック機構が誤動作してロック機構が機能しなくなっても、第２ロック機構のフックは外れないのでロック状態を維持することができ落下事故を防ぐことが出来る。
【００１３】
請求項２記載の発明によれば、第２ロックの解除はオペレータが意識的につまみを回さなければならないため、第１ロック機構の誤動作によるロックが機能しなくてもパフォーマンスボードの落下事故を防ぐことが出来る。
【００１４】
請求項３記載の発明によれば、回動手段の自重及び振動などによってフックが補強プレートの溝から外れることがない。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明のパフォーマンスボード・ユニット（ＰＦＢユニット）の落下防止機構の実施形態の一例を示す斜視図である。
【図２】ロックユニットの詳細を示す一部断面構成図である。
【図３】ロック解除時（シリンダ戻り）の状態を示す説明図である。
【図４】一般的な半導体テスタにおけるテストヘッドとプローバの構成を示す正面図である。
【図５】従来のパフォーマンスボード・ユニット（ＰＦＢユニット）の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１は本発明のＰＦＢユニットの落下防止機構の実施形態の一例を示す斜視図、図２はロックユニットの詳細を示す一部断面構成図である。
これらの図において、本実施例においては、駆動ブロック２の先端付近にプッシャーブロック４が設けられ、このプッシャーブロック４の移動により動作するロックユニット３が設けられる。
【００１７】
図２はロックユニット３の詳細を示す平面図（ａ）、一部断面正面図（ｂ）、一部断面側面図（ｃ）である。これらの図において、矩形の板材からなるベース板２１はベース部材２０に固定ねじ２５により固定されている。
【００１８】
ベース板２１上には一端（頂部）にねじ穴が、他端に鍔２２ａが形成された断面凸状のシャフト７が配置されており、シャフト７は鍔２２ａをベース板に接して直立して固定されている。シャフト７にはシャフトの径よりもわずかに大きな内径を有するスペーサ２４および回転体９が挿入されている。回転体９の一端（図では上方）には深さがシャフト７の頂部に達する座繰りが形成されており、この座繰りの底部にウエーブワッシャ８が配置されている。
【００１９】
シャフト７の頂部のねじ穴には中程に鍔２２ｂを有する押しねじ１５がねじ込まれ、鍔２２ｂにより座繰りの底部に配置されたウエーブワッシャ８を押圧している。
回転体９の下部の側面にはねじ穴が形成されており、そのねじ穴に所定の長さを有するストッパピン２３がねじ込まれている。このストッパピン２３は回転体９と一体で回転する。
【００２０】
回転体９の上面には長方形に形成されたフック６が配置されている。このフック６の一端は回転体の外径に沿うように半円状に形成され他端は回転体９から突出した状態とされている。フック６の上には凸部１４ａが形成されたつまみ１４が配置され、つまみ１４とフック６は重ねた状態で固定ねじ１７により回転体９の頂部に固定されている。
【００２１】
上述の構成によりフック６はウエーブワッシャ８の反発力とスペーサ２４の摩擦によりつまみ１４をオペレータ（図示省略）が所定の力で回すことにより回動可能とされている（ウエーブワッシャ８は回転体９やつまみ１４等の自重及び振動などによる回動防止機構として機能する）。
べース板２１上に所定の間隔で直立して配置された第１，第２ストッパ１８，１９はフック６の矢印Ａ（図２ａ参照）方向への回動を所定の範囲に規制する。
【００２２】
回転体９には回転軸に直交して長方形のブロック５が固定ねじ１６により固定されており、このブロック５は駆動ブロック２の先端に設けたブッシャーブロック４と略同じ高さの位置に配置されており、ブロック５がプッシャーブロック４に押圧されて矢印Ｂ方向に移動すると回転体９が回動する。
補強プレート１０の側面にはフック６が回動したときに回転体９から突出したフック６の先端部が侵入可能な溝１０ａが形成されている。
【００２３】
上述の構成において、ロックユニット３はロック解除時は図３に示すように矢印Ｃ方向（シリンダ戻り）に移動した状態となっている。即ち、駆動ブロック２はロック解除の位置にあり、つまみ１４は２点鎖線で示す位置にあって、ブロック５とプッシャーブロック４は当接していない。また、ストッパピン２３は第２ストッパ１９に当接している。
【００２４】
次にロック指令が出されたら駆動ブロック２が矢印Ｂ方向（シリンダ行き）に移動してプッシャーブロック４がブロック５に当接してブロック５を押圧する。その結果、つまみ１４が回動し同時にストッパピン２３及びフック６も矢印Ａ方向に回動してストッパピン２３が第１ストッパ１８に当接し、補強プレート１０の溝１０ａにフック６が侵入する（この状態でフック６がＰＦＢユニット１をロックしている）。
【００２５】
シリンダー（図示省略）の戻り動作によりＰＦＢユニット１のロックが外れるが、ロックユニット３の回転体９はウェーブワッシャー８の圧力により保持されているのでフック６はＰＦＢユニット１をロックしている状態のままである。
【００２６】
従って、シリンダーが誤動作しても同じ状態を保持しＰＦＢユニット１をロックしている状態のままなのでＰＦＢユニット１が落下することはない。フック６の解除はオペレータがつまみ１４を第２ストッパ１９に当接するまで矢印Ａ方向に回すことによって行う。
【００２７】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。例えば、プッシャーブロック、駆動ブロック、つまみ、ベース板などは図示の形状に限ることなく任意に形成可能であり、それぞれの機能を有するものであればよい。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
【符号の説明】
【００２８】
１      パフォーマンスボード（ＰＦＢ）ユニット
１ａ    基板
２      駆動ブロック
３      ロックユニット
４      プッシャーブロック
５      ブロック
６      フック
７      シャフト
８      ウエーブワッシャ
９      回転体
１０    補強プレート
１０ａ  補強プレートの溝
１１    搬送用把手
１２    連結部材
１３    ロック機構
１４    つまみ
１４ａ  凸部
１５    押しねじ
１６    固定ねじ
１７    固定ねじ
１８    第１ストッパ
１９    第２ストッパ
２０    べース部材
２１    べース板
２２    鍔
２３    ストッパピン
２４    スペーサ
２５    固定ねじ
２６    固定ねじ
３１    テストヘッド
３２    プローバ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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