(57)【要約】【課題】液交換処理を伴うスケジュールであっても稼働率を向上させることができる。【解決手段】液交換処理を開始する際には、液交換情報を薬液処理部ＣＨＢ２から制御部３１の液交換時間算出部３７に出力し、制御部３１の液交換時間算出部３７が最新液交換時間を算出する。この算出された最新液交換時間を考慮して、制御部３１のスケジューリング機能部３３が第１の再スケジュールを行い、さらに、実際に液交換処理が開始されて液交換処理が実際に完了した時点で、制御部３１のスケジューリング機能部３３が第２の再スケジュールを行う。したがって、液交換の態様により時間的に前後する、液交換処理の実際の時間を考慮して再スケジューリングを行うことができるので、液交換処理を伴うスケジュールであっても稼働率を向上できる。【選択図】図２
2010225992.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に処理を行うための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含むレシピに基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
制御部のスケジューリング機能部が、予め決められているライフ間隔に応じて液交換処理を配置する液交換処理配置過程と、
各液交換処理の間に各ロットの処理を制御部のスケジューリング機能部が配置してスケジュールを作成するスケジューリング過程と、
前記スケジュールに基づき制御部の処理実行指示部が各処理を順に実行する実行過程と、
液交換処理を開始する際に、液交換時間に関連する液交換情報を、液交換処理の対象である処理部から制御部の液交換時間算出部に出力する液交換情報出力過程と、
当該液交換処理を実施するとともに、前記液交換情報に基づいて制御部の液交換時間算出部が最新液交換時間を算出する最新液交換時間出力過程と、
前記最新液交換時間に基づいて、制御部のスケジューリング機能部が再スケジュールを行う第１の再スケジューリング過程と、
当該液交換処理が実際に完了したことを受けて、制御部のスケジューリング機能部が再スケジュールを行う第２の再スケジューリング過程と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記液交換情報は、予備温調ユニットを使用するか否か、処理部のフィルタ洗浄を行うか否かの情報を含むことを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記第１の再スケジューリング過程及び前記第２の再スケジューリング過程は、既に処理が実行されているロットの処理を除く他の処理を対象にして再スケジューリングを行うことを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項４】
基板に処理を行うための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含むレシピに基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
制御部のスケジューリング機能部が、予め決められているライフ間隔に応じて液交換処理を配置する液交換処理配置機能と、
各液交換処理の間に各ロットの処理を制御部のスケジューリング機能部が配置してスケジュールを作成するスケジューリング機能と、
前記スケジュールに基づき制御部の処理実行指示部が各処理を順に実行する実行機能と、
液交換処理を開始する際に、液交換時間に関連する液交換情報を、液交換処理の対象である処理部から制御部の液交換時間算出部に出力する液交換情報出力機能と、
当該液交換処理を実施するとともに、前記液交換情報に基づいて制御部の液交換時間算出部が最新液交換時間を算出する最新液交換時間出力機能と、
前記最新液交換時間に基づいて、制御部のスケジューリング機能部が再スケジュールを行う第１の再スケジューリング機能と、
当該液交換処理が実際に完了したことを受けて、制御部のスケジューリング機能部が再スケジュールを行う第２の再スケジューリング機能と、
を前記制御部であるコンピュータに実行させることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）に洗浄、乾燥等の所定の処理を施す基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムに係り、特に、処理を実行する前に予めスケジュールを作成する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の方法として、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数個のロットを処理する際に、制御部が、複数個の処理工程を含むレシピに基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定するものが挙げられる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような基板処理装置のスケジュール作成方法は、実際にロットの処理を開始する前に、どのロットをどの処理部でどの時点で処理するかを決めているので、効率よくロットの各処理工程を配置することができ、基板処理装置の稼働率を向上させることができる。
【０００４】
ところで、複数個の処理部の中には薬液による処理を行うものがあるが、その薬液にはある寿命があり、その寿命に達すると薬液を常温の薬液と全交換あるいは常温の薬液と部分液交換を行う。寿命は「ライフ」とも呼ばれ、例えば、薬液の使用回数で寿命が規定されたライフカウントや、薬液の使用時間で寿命が規定されたライフタイムなどがある。このように液交換処理は予め分かっているライフごとに行うものであるので、各ロットについての、処理部等のリソースの使用タイミングを配置するのに先立って、まず液交換のスケジュールを作成する。そして、液交換の対象となる処理部での使用タイミングが、スケジュールされている液交換処理と重複配置されないように、各リソースの使用タイミングを決定してゆく。なお、液交換処理では、液交換だけでなくレシピに応じた所定の温度にまで温調を行う必要がある。その際には、処理部だけで温調を行ったり、温調時間を短縮するために、処理部に付設された予備温調ユニットを使って予め温調を行ったりするものがある（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
但し、予めスケジュールを作成する際には、余裕を見込むために、温調に長時間を要する、予備温調ユニットを使わずに処理部だけで温調を行うことを前提にして、液交換処理を最大所要時間幅で配置するスケジュールを作成している。なお、前提には、フィルタ洗浄等のメンテナンス処理も含めることがあるので、その場合には、最大所要時間幅がさらに長く設定されることもある。そして、作成されたスケジュールを実行し、液交換処理が完了したことを受けて、制御部が再スケジュールを実行している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−２４１８１８号公報
【特許文献２】特開２００７−２６６２５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の方法は、液交換処理が完了したことを受けて制御部がそれ以降の再スケジュールを行うので、前倒し配置できるリソースの対象が少なかったり、その時点では、既に再スケジュールが不可能な状態であったりする。その結果、液交換処理の完了後に長い待機時間が生じることがあり、装置の稼働率が低下することがあるという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、液交換処理を開始する時点で液交換情報を通知し、この液交換情報に基づき再スケジューリングを行うことにより、液交換処理を伴うスケジュールであっても稼働率を向上させることができる基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板に処理を行うための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含むレシピに基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、制御部のスケジューリング機能部が、予め決められているライフ間隔に応じて液交換処理を配置する液交換処理配置過程と、各液交換処理の間に各ロットを制御部のスケジューリング機能部が配置してスケジュールを作成するスケジューリング過程と、前記スケジュールに基づき制御部の処理実行指示部が各処理を順に実施する実行過程と、液交換処理を開始する際に、液交換時間に関連する液交換情報を、液交換処理の対象である処理部から制御部の液交換時間算出部に出力する液交換情報出力過程と、当該液交換処理を実施するとともに、前記液交換情報に基づいて制御部の液交換時間算出部が最新液交換時間を算出する最新液交換時間出力過程と、前記最新液交換時間に基づいて、制御部のスケジューリング機能部が再スケジュールを行う第１の再スケジューリング過程と、当該液交換処理が実際に完了したことを受けて、制御部のスケジューリング機能部が再スケジュールを行う第２の再スケジューリング過程と、を備えていることを特徴とするものである。
【００１０】
［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、まず制御部のスケジューリング機能部がライフ間隔に応じて、液交換処理を配置し、制御部のスケジューリング機能部が各液交換処理の間に各ロットの処理を配置する。そして、作成されたスケジュールに基づき、制御部の処理実行指示部が各処理を実際に順に実行する。液交換処理を開始する際には、液交換処理を行う処理部にて、どのような態様の液交換が行われるかが確定しているので、液交換情報を処理部から制御部の液交換時間算出部に出力し、制御部の液交換時間算出部が最新液交換時間を算出する。そして、この算出された最新液交換時間を考慮して、制御部のスケジューリング機能部が第１の再スケジュールを行う。さらに、実際に液交換処理が開始されて液交換処理が実際に完了した時点で、制御部のスケジューリング機能部が第２の再スケジュールを行う。したがって、液交換の態様により時間的に前後する、液交換処理の実際の時間を考慮して再スケジューリングを行うことができるので、液交換処理を伴うスケジュールであっても稼働率を向上させることができる。
【００１１】
また、本発明において、前記液交換情報は、予備温調ユニットを使用するか否か、処理部のフィルタ洗浄を行うか否かの情報を含むことを特徴とすることが好ましい（請求項２）。予備温調ユニットを使用する場合には、使用しない場合に比較して液交換時間を短縮でき、フィルタ洗浄を行わない場合には、洗浄を行う場合に比較して液交換時間を短縮することができる。したがって、液交換時間算出部が算出する最新液交換時間を実際の液交換作業に要する時間に近づけることができる。
【００１２】
また、本発明において、前記第１の再スケジューリング過程及び前記第２の再スケジューリング過程は、既に処理が実行されているロットの処理を除く他の処理を対象にして再スケジューリングを行うことが好ましい（請求項３）。再スケジューリングは、既に処理が実行されているロットの処理を再配置すると不都合が生じるので、それ以外の処理を対象にして再スケジューリングを行う。
【００１３】
また、請求項４に記載の発明は、基板に処理を行うための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含むレシピに基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、制御部のスケジューリング機能部が、予め決められているライフ間隔に応じて液交換処理を配置する液交換処理配置機能と、各液交換処理の間に各ロットの処理を制御部のスケジューリング機能部が配置してスケジュールを作成するスケジューリング機能と、前記スケジュールに基づき制御部の処理実行指示部が各処理を順に実行する実行機能と、液交換処理を開始する際に、液交換時間に関連する液交換情報を、液交換処理の対象である処理部から制御部の液交換時間算出部に出力する液交換情報出力機能と、当該液交換処理を実施するとともに、前記液交換情報に基づいて制御部の液交換時間算出部が最新液交換時間を算出する最新液交換時間出力機能と、前記最新液交換時間に基づいて、制御部のスケジューリング機能部が再スケジュールを行う第１の再スケジューリング機能と、当該液交換処理が実際に完了したことを受けて、制御部のスケジューリング機能部が再スケジュールを行う第２の再スケジューリング機能と、を前記制御部であるコンピュータに実行させることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る基板処理装置のスケジュール作成方法によれば、液交換処理を開始する際には、液交換処理を行う処理部にて、どのような態様の液交換が行われるかが確定しているので、液交換情報を処理部から制御部の液交換時間算出部に出力し、制御部の液交換時間算出部が最新液交換時間を算出する。この算出された最新液交換時間を考慮して、制御部のスケジューリング機能部が第１の再スケジュールを行い、さらに、実際に液交換処理が開始されて液交換処理が実際に完了した時点で、制御部のスケジューリング機能部が第２の再スケジュールを行う。したがって、液交換の態様により時間的に前後する、液交換処理の実際の時間を考慮して再スケジューリングを行うことができるので、液交換処理を伴うスケジュールであっても稼働率を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図である。
【図２】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示したブロック図である。
【図３】スケジュール動作を示すフローチャートである。
【図４】単バッチのスケジュール例を示すタイムチャートであり、（ａ）は第１のロットのスケジュールであり、（ｂ）は第２のロットのスケジュールである。
【図５】スケジュール過程を説明するタイムチャートである。
【図６】スケジュール過程を説明するタイムチャートである。
【図７】スケジュール過程を説明するタイムチャートである。
【図８】スケジュール過程を説明するタイムチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
図１は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図であり、図２は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示したブロック図である。
【００１７】
この基板処理装置は、例えば、基板Ｗに対して薬液処理及び洗浄処理及び乾燥処理を行う装置である。基板Ｗは、複数枚（例えば、２５枚）がＦＯＵＰ１に対して水平姿勢で収納されている。未処理の基板Ｗを収納したＦＯＵＰ１は、投入部３に載置される。投入部３は、ＦＯＵＰ１を載置される載置台５を二つ備えている。投入部３に隣接する位置には、払出部７が備えられている。この払出部７は、ＦＯＵＰ１に収納されている処理済の基板ＷをＦＯＵＰ１ごと払い出す。払出部７は、投入部３と同様に、ＦＯＵＰ１を載置するための二つの載置台９を備えている。
【００１８】
投入部３と払出部７に沿う位置には、これらの間を移動可能に構成された第１搬送機構ＣＴＣが設けられている。第１搬送機構ＣＴＣは、投入部３の載置台５に載置されたＦＯＵＰ１に収納されている全ての基板Ｗを搬出した後、第２搬送機構ＷＴＲに対して搬送する。また、第１搬送機構ＣＴＣは、第２搬送機構ＷＴＲから処理済の基板Ｗを受け取った後に、基板Ｗを払出部７の載置台９に載置されたＦＯＵＰ１に搬入する。第２搬送機構ＷＴＲは、基板処理装置の長手方向に沿って移動可能に構成されている。
【００１９】
第２搬送機構ＷＴＲの移動方向における投入部３側には、複数枚の基板Ｗを低圧のチャンバ内に収納して乾燥させるための乾燥処理部ＬＰＤが設けられている。
【００２０】
第２搬送機構ＷＴＲの移動方向であって、乾燥処理部ＬＰＤに隣接する位置には、第１処理部１９が配設されている。この第１処理部１９は、複数枚の基板Ｗに対して純水洗浄処理を行うための純水洗浄処理部ＯＮＢ１を備えている。また、第１処理部１９は、複数枚の基板Ｗに対して薬液を含む処理液によって薬液処理を行うための薬液処理部ＣＨＢ１を備えている。第１処理部１９は、第２搬送機構ＷＴＲとの間で基板Ｗを受け渡すとともに、純水洗浄処理部ＯＮＢ１でのみ昇降可能なリフタＬＦ１と、第２搬送機構ＷＴＲとの間で基板Ｗを受け渡すとともに、薬液処理部ＣＨＢ１でのみ移動可能なリフタＬＦ２を備えている。
【００２１】
第１処理部１９に隣接した位置には、第２処理部２１が設けられている。第２処理部２１は、上述した第１処理部１９と同様の構成である。つまり、第２処理部２１は、純水洗浄処理部ＯＮＢ２と薬液処理部ＣＨＢ２とリフタＬＦ３，ＬＦ４とを備えている。
【００２２】
また、上述した薬液処理部ＣＨＢ１には、予備温調ユニットＣＳＢ１が付設されている。この予備温調ユニットＣＳＢ１は、薬液処理部ＣＨＢ１における交換対象の薬液を補充したり、交換する薬液を前もって処理温度にまで温調したり、薬液処理部ＣＨＢ１において液交換処理を行う際にフィルタ洗浄を行ったりする。また、薬液処理部ＣＨＢ２には、予備温調ユニットＣＳＢ２が付設されている。この予備温調ユニットＣＳＢ２も、予備温調ユニットＣＳＢ１と同様に、薬液交換等を行う機能を備えている。
【００２３】
上述したように構成された基板処理装置は、図２のブロック図に示すように制御部３１によって統括的に制御される。
【００２４】
制御部３１は、ＣＰＵやタイマ等を備え、スケジューリング機能部３３と、処理実行指示部３５と、液交換時間算出部３７とを備えている。制御部３１に接続されている記憶部３９は、この基板処理装置のユーザなどによって予め作成され、基板Ｗをどのようにして処理するかを規定した複数の処理工程を含むレシピと、スケジュール作成プログラムと、作成されたスケジュールを実行する処理プログラムと、後述する液交換情報と、後述する液交換時間算出プログラムなどが予め記憶されている。制御部３１は、全てのリソースを制御対象としている。ここでリソースとは、第１搬送機構ＣＴＣ、第２搬送機構ＷＴＲ、乾燥処理部ＬＰＤ、純水洗浄処理部ＯＮＢ１，ＯＮＢ２、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２、予備温調ユニットＣＳＢ１，ＣＳＢ２などをいう。
【００２５】
スケジューリング機能部３３は、ＦＯＵＰ１に収納されて投入部３の載置台５に載置された複数枚の基板Ｗを一つのロットとして取り扱い、装置のオペレータによって指示された、記憶部３９に予め記憶されているレシピに応じて、実際に処理を開始する前に、ロット毎の処理工程を時系列的に効率よく配置できるようにスケジュールを作成する。作成されたスケジュールは、記憶部３９に記憶される。なお、スケジュールの作成には、ロット単体のスケジュールである「単バッチスケジュール作成」と、液交換処理だけの「液交換スケジュール作成」と、液交換スケジュールを考慮して各ロットの単バッチスケジュールを配置してゆく「全体スケジュール作成」と、液交換処理に伴う「再スケジュール作成」（詳細後述）とがある。
【００２６】
なお、液交換処理とは、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２で用いる薬液の交換である。この薬液の交換には、薬液の全てを新液に交換する「全液交換」と、薬液の一部を排出し、この排出分に相当する新液を補充する「部分液交換」などがある。一般的に、処理を行う薬液には、基板Ｗの処理を適切に行うことができる寿命というものが存在する。この寿命には、例えば、薬液を生成してからの経過時間に基づく時間的な寿命や、薬液を生成してから使用した回数に基づく寿命などがある。寿命はライフとも呼ばれ、ここでは時間的な寿命を「ライフタイム」と称し、回数に基づく寿命を「ライフカウント」と称する。なお、ライフタイムとライフカウントが本発明における「ライフ間隔」に相当する。
【００２７】
上述した液交換処理は、薬液処理部ＣＨＢ１と予備温調ユニットＣＳＢ１とが制御部３１の制御の下で協働して行われ、薬液処理部ＣＨＢ２と予備温調ユニットＣＳＢ２とが制御部３１の制御の下で協働して行われる。また、液交換処理は、予備温調ユニットＣＳＢ１，ＣＳＢ２によって予備温調を行ったり、これらによる予備温調を行わなかったり、また、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２におけるフィルタの洗浄を行ったり、これらのフィルタの洗浄を行わなかったり、全液交換や部分液交換などの態様がある。このような液交換の態様により、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２における液交換処理に要する時間が変動することになる。これらの態様は、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２において液交換が開始される時点で確定するので、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２は、液交換の態様を「液交換情報」として制御部３１に対して出力する。また、液交換が完了したことを示す「液交換完了信号」も制御部３１に対して出力する。なお、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２から液交換情報を受け取る前に行われる液交換スケジュール作成では、上述した液交換態様として液交換処理に要する時間が最も長時間となる場合を想定して、スケジューリング機能部３３が最大所要時間幅で液交換処理を配置する。
【００２８】
なお、上述したように、液交換の態様が液交換時に確定するのは、その時点での状況により、予備温調が必要か否か、フィルタ洗浄の要否、全液交換か部分液交換かが確定するからである。
【００２９】
スケジューリング機能部３３は、各ロットについての単バッチスケジュール作成を行い、次に、例えば、ライフタイムの間隔で、かつ上述した最大所要時間幅を有する液交換処理を配置する液交換スケジュール作成を行う。そして、全体スケジュール作成として、液交換スケジュールを考慮して、単バッチスケジュールを配置する。その後、実際に液交換処理が開始される時点で、対象となる薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２から「液交換情報」が出力される。これを受けた制御部３１の液交換時間算出部３７は、液交換情報に基づき、最新液交換時間を算出する。そして、スケジューリング機能部３３は、最新液交換時間に基づき再スケジューリングを行って、全体スケジュール作成を再び行う。但し、既に実行されているロットの処理については位置を移動させない。再スケジュールが完了すると、そのスケジュールにしたがって処理実行指示部３５が処理を指示するが、液交換が実際に完了して液交換完了信号を受けると、スケジューリング機能部３３が再スケジューリングを行う。これにより最新液交換時間よりも早く液交換が完了した場合でもスケジュールを前詰めすることができる場合がある。再スケジューリングが完了すると、処理実行指示部３５がそのスケジュールに基づき各処理部に指示を行って処理を進める。
【００３０】
次に、具体的なスケジューリングについて、図３〜図８を参照して説明する。なお、図３は、スケジュール動作を示すフローチャートであり、図４は、単バッチのスケジュール例を示すタイムチャートであり、（ａ）は第１のロットのスケジュールであり、（ｂ）は第２のロットのスケジュールである。また、図５〜図８は、スケジュール過程を説明するタイムチャートである。
【００３１】
以下においては、理解を容易にするために、第１のロットと第２のロットの二つのロットを処理する場合を例に採って説明するが、３つ以上のロットについても同様にしてスケジューリングが可能である。まず、これらの二つのロットに関するレシピを具体的に以下に説明する。この例では、処理工程とリソースとが一対一に対応しているが、一つの処理工程に複数個のリソースが対応する場合もある。
【００３２】
第１のロットについてのレシピは、例えば、図４（ａ）に示すようなものである。
すなわち、処理工程ａは、例えば、第１搬送機構ＣＴＣの処理部による搬送処理である。処理工程ｂは、例えば、第２搬送機構ＷＴＲの処理部による搬送処理である。処理工程ｃは、例えば、乾燥処理部ＬＰＤの処理部による乾燥処理である。処理工程ｄは、例えば、純水洗浄処理部ＯＮＢ１の処理部による純水洗浄処理であり、処理工程ｅは、例えば、薬液処理部ＣＨＢ１の処理部による薬液処理であり、処理工程ｆは、例えば、純水洗浄処理部ＯＮＢ２の処理部による純水洗浄処理であり、処理工程ｇは、例えば、薬液処理部ＣＨＢ２の処理部による薬液処理である。但し、本実施例では、処理工程ｅを使用することがない。
【００３３】
第１のロットの例では、処理工程ａがブロックＡを構成し、処理工程ｂ、ｄがブロックＢを構成し、処理工程ｂ、ｃがブロックＣを構成し、処理工程ｂ、ａがブロックＤを構成している。これらのブロックは、処理を中断することが可能な処理工程でまとめられている。
【００３４】
また、第２のロットについてのレシピは、例えば、図４（ｂ）に示すようなものである。
すなわち、処理工程ａがブロックＡを構成し、処理工程ｂ、ｄがブロックＢを構成し、処理工程ｂ、ｇ、ｂ、ｆがブロックＣを構成し、処理工程ｂ、ｃがブロックＤを構成し、処理工程ｂ、ａがブロックＥを構成している。
【００３５】
なお、各ブロックＡ〜Ｅの前には数字を付すことでロットを区別している。つまり、第１のロットのブロックＡは、「１−Ａ」と表し、第２のロットのブロックＡは、「２−Ａ」と表している。また、上述した各処理工程ａ〜ｇにおける前の部分（空白部分）は、準備作業であり、後の部分（空白部分）は後片付けを表し、中央部（ハッチング部分）が処理の実体を表している。但し、処理工程によっては、後片付けが存在しないこともある。
【００３６】
ここで、図３を参照する。
【００３７】
ステップＳ１
制御部３１は、第１のロットと第２のロットを投入部５から受け入れる。また、図示しない操作盤を介して、オペレータは第１のロット及び第２のロットに対応するレシピをそれぞれ指示する。
【００３８】
ステップＳ２
制御部３１のスケジューリング機能部３３は、第１のロット及び第２のロットに対応するレシピ等の処理データを記憶部３９から読み込む。
【００３９】
ステップＳ３
制御部３１のスケジューリング機能部３３は、単バッチのスケジュールを第１のロットと第２のロットについて作成する。その際には、記憶部３９から読み込んだロット毎のレシピを参照する。単バッチのスケジュールは、他のロットや液交換等を考慮せず、それぞれ単独のスケジュールのことであり、例えば、第１のロットが図４（ａ）に示すようになり、第２のロットが図４（ｂ）に示すようになったとする。
【００４０】
ステップＳ４
制御部３１のスケジューリング機能部３３は、液交換スケジュールを作成する。この例では、説明の都合上、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２のうち、薬液処理部ＣＨＢ２だけが薬液交換の対象となっているとする。なお、図５に示すように、時点ｔ１でライフタイムがアップするものとする。したがって、スケジューリング機能部３３は、薬液処理部ＣＨＢ２のリソースを使用するように、時点ｔ１から時点ｔ９にわたって、最大所要時間Ｔｍｘを時間幅として有する液交換処理ＥＸ１を配置する。上述したように、ライフタイムは、所定時間間隔で決まるので、この液交換処理ＥＸ１からライフタイムＬＴ経過時点で後続の液交換処理ＥＸ１を配置することになるが、図示の関係上省略する。なお、この液交換処理ＥＸ１は、予備温調ユニットＣＳＢ２を利用せず温調を行い、かつ、液交換時に薬液処理部ＣＨＢ２のフィルタを洗浄する処理も行うので、最大所要時間Ｔｍｘの時間幅に設定されている。
【００４１】
ステップＳ５
制御部３１のスケジューリング機能部３３は、全体スケジュールの作成を行う。具体的には、既に作成している第１のロットの単バッチスケジュール（図４（ａ））、及び第２のロットの単バッチスケジュール（図４（ｂ））のうち、最初に処理を開始する第１のロットの単バッチスケジュールを全体スケジュールに組み込む。具体的には、既に液交換処理が配置されている液交換スケジュールにて、液交換処理ＥＸ１と重複しないように第1のロットの単バッチスケジュールを配置する。この第1のロットでは、薬液処理部ＣＨＢ２を使わないレシピであるので、そのまま配置することができる。すると、全体スケジュールは、図５に示すようになる。
【００４２】
ステップＳ６，Ｓ７
装置のオペレータが第1のロットの処理開始を指示したとする。すると、制御部３１の処理実行指示部３５が、全体スケジュールを参照しつつ各リソースを操作して処理を進める（ステップＳ６）。ここで、図６に示すように、第１のロットの処理が進むうちに、現在時刻が時点ｔ１に達したとする。すると、処理実行指示部３５の制御の下で、薬液処理部ＣＨＢ２は液交換処理を開始するが、液交換処理の開始時に「液交換情報」を制御部３１に出力する（ステップＳ７）。ここでは、液交換情報に予備温調ユニットＣＳＢ２による予備温調を行うこと、フィルタ洗浄を行わないことが含まれているとする。
【００４３】
ステップＳ８
制御部３１の液交換時間算出部３７が液交換情報に基づいて、液交換処理ＥＸ１に要する液交換時間を最新液交換時間Ｔｎとして算出する。具体的には、液交換情報に予備温調ユニットＣＳＢ２による予備温調を行い、フィルタ洗浄も行わないことが含まれているので、最新液交換時間Ｔｎは最大液交換時間Ｔｍｘより大幅に短縮されることになる。この例では、例えば、図６に示すように最新液交換時間Ｔｎにより、液交換処理ＥＸ１の終了時点が時点ｔ９から時点ｔ５にまで短縮されたとする。
【００４４】
ステップＳ９（第１の再スケジューリング）
図７に示すように、現在時刻がｔ２時点になったとする。制御部３１のスケジューリング機能部３３は、最新液交換時間Ｔｎに基づき再スケジュールを行う。但し、現在時点ｔ２付近に処理があるもので、処理が既に実行されているものについては再スケジュールの対象から除外する。既に作成され、実行中のスケジュールの処理を再配置すると、処理に悪影響を与える恐れがあるので、それを回避するためである。ここでは、図７に示すように、未だ処理が実行されていない第２のロットを対象にして、全体スケジュールを作成する。第２のロットは、薬液処理部ＣＨＢ２を用いるが、液交換処理の終了が時点ｔ５とされているので、これにブロック２−Ｃの薬液処理部ＣＨＢ２を使用する処理が続くように配置することができる。
【００４５】
ステップＳ１０
図８に示すように、現在時刻が時点ｔ２になったとする。そして、この時点で液交換処理ＥＸ１が完了したとする。すると、薬液処理部ＣＨＢ２は、制御部３１に対して液交換が完了したことを示す液交換完了信号を出力する。なお、寿命の観点から、この時点ｔ２を基準としてライフタイムＬＴが経過した時点に後続の液交換処理が位置するように液交換スケジュールも再度行うことが好ましい。
【００４６】
ステップＳ１１（第２の再スケジューリング）
制御部３１のスケジューリング機能部３３は、液交換完了信号を受けて二回目の再スケジューリングを行う。具体的には、現在時刻の時点ｔ２付近より後に配置可能で、現在処理が実行されていないものについて配置を行う。この再スケジューリングについては、従来技術と同様である。この例では、配置できる処理が存在しないので、再スケジューリングを終了する。
【００４７】
因みに、従来技術では、図５中に点線で示すように、ブロック２−Ｃが最大所要時間Ｔｍｘの液交換処理ＥＸ１の後に配置されるように第２のロットの処理が配置され、液交換処理ＥＸ１が完了した時点で再スケジュールが行われる。しかし、その時点で処理が開始されていない第２のロットで前詰め可能なブロックは存在しないので、図５のままとなって、第２のロットの処理開始が本実施例に比較して遅れる。
【００４８】
上述したように、本実施例では、液交換処理ＥＸ１を開始する際には、液交換処理ＥＸ１を行う薬液処理部ＣＨＢ２にて、どのような態様の液交換が行われるかが確定しているので、液交換情報を薬液処理部ＣＨＢ２から制御部３１の液交換時間算出部３７に出力し、制御部３１の液交換時間算出部３７が最新液交換時間Ｔｎを算出する。この算出された最新液交換時間Ｔｎを考慮して、制御部３１のスケジューリング機能部３３が第１の再スケジュールを行い、さらに、実際に液交換処理ＥＸ１が開始されて液交換処理ＥＸ１が実際に完了した時点で、制御部３１のスケジューリング機能部３３が第２の再スケジュールを行う。したがって、液交換の態様により時間的に前後する、液交換処理ＥＸ１の実際の時間を考慮して再スケジューリングを行うことができるので、液交換処理ＥＸ１を伴うスケジュールであっても稼働率を向上できる。
【００４９】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００５０】
（１）上述した実施例では、図１に示したような構成の基板処理装置を対象にして説明したが、本発明はその構成だけに限定されるものではない。
【００５１】
（２）上述した実施例では、ライフとしてライフタイムで管理された液交換処理ＥＸ１を例に採って説明したが、これに代えてライフカウントを採用してもよい。
【００５２】
（３）上述した実施例では、液交換情報として、予備温調ユニットを使用するか否か、フィルタ洗浄を行うか否かを例に採ったが、液交換処理の所要時間に係わる情報、例えば、全液交換か部分液交換などの他の情報を含めるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００５３】
Ｗ  …  基板
１  …  ＦＯＵＰ
３  …  投入部
５，９  …  載置台
７  …  払出部
ＣＴＣ  …  第１搬送機構
ＷＴＲ  …  第２搬送機構
１９  …  第１処理部
ＯＮＢ１，ＯＮＢ２  …  純水洗浄処理部
ＣＨＢ１，ＣＨＢ２  …  薬液処理部
ＬＦ１〜ＬＦ４  …  リフタ
２１  …  第２処理部
ＣＳＢ１，ＣＳＢ２  …  予備温調ユニット
３１  …  制御部
３３  …  スケジューリング機能部
３５  …  処理実行指示部
３７  …  液交換時間算出部
３９  …  記憶部
ＥＸ１  …  液交換処理
Ｔｍｘ  …  最大所要時間
ＬＴ  …  ライフタイム
Ｔｎ  …  最新液交換時間
【図１】
2010225992.tif 000003
【図２】
2010225992.tif 000004
【図３】
2010225992.tif 000005
【図４】
2010225992.tif 000006
【図５】
2010225992.tif 000007
【図６】
2010225992.tif 000008
【図７】
2010225992.tif 000009
【図８】
2010225992.tif 000010