(57)【要約】      （修正有）【課題】バルブボディの外壁面に半導体ヒータを密着させることで、接触面積を大きくする真空用開閉弁を提供する。【解決手段】第１流路７と第２流路８とを連通する弁孔を有するバルブボディ４と、弁孔の外周に形成された弁座と当接又は離間する弁体と、弁体を駆動する駆動手段３と、バルブボディ４の外壁面に設けられたヒータ４０と、ヒータ４０をバルブボディ４の外壁面に押圧する取付板４２と、ヒータ４０と取付板４２の間に断熱材４１を有する真空用開閉弁１において、ヒータ４０は、薄板状で、柔軟性のある半導体ヒータとする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１流路と第２流路とを連通する弁孔を有するバルブボディと、前記弁孔の外周に形成された弁座と当接又は離間する弁体と、前記弁体を駆動する駆動手段と、前記バルブボディの外壁面に設けられたヒータと、前記ヒータを前記バルブボディの外壁面に押圧する取付板と、前記ヒータと前記取付板の間に断熱材を有する真空用開閉弁において、
前記ヒータは、薄板状で柔軟性のある半導体ヒータであること、
を特徴とする真空用開閉弁。
【請求項２】
請求項１に記載する真空用開閉弁において、
前記半導体ヒータは、厚みが１．０ｍｍ以下であること、
を特徴とする真空用開閉弁。
【請求項３】
請求項１に記載する真空用開閉弁において、
前記断熱材は弾性力を有する弾性断熱材であること、
前記弾性断熱材により前記半導体ヒータを前記バルブボディの外面に密着させること、
を特徴とする真空用開閉弁。
【請求項４】
請求項３に記載する真空用開閉弁において、
前記取付板は端部に折り返されている折返し端部を有する折返し取付板であること、
を特徴とする真空用開閉弁。
【請求項５】
請求項４に記載する真空用開閉弁において、
前記折返し端部が同じ高さであること、
前記折返し端部が前記バルブボディに接触することにより、前記弾性断熱材を均一に押圧することができ、前記半導体ヒータと前記バルブボディとの密着度合いを均一にすること、
を特徴とする真空用開閉弁。
【請求項６】
請求項４に記載する真空用開閉弁において、
前記折返し端部が前記取付板の一端に形成されていること、又は、前記折返し端部が前記取付板の両端に形成され、前記両端の折返し端部の高さがことなること、
を特徴とする真空用開閉弁。
【請求項７】
請求項４又は請求項６に記載する真空用開閉弁において、
前記取付板が、前記弾性断熱材の押圧力を場所により変化させることにより、前記半導体ヒータと前記バルブボディとの密着度合いを変化させること、
を特徴とする真空用開閉弁。
【請求項８】
請求項３に記載する真空用開閉弁において、
前記取付板が、コの字形状をしているコの字取付板であること、
取付前の状態においては、前記コの字取付板の開口部が内側に細くなっていること、
前記コの字取付板の前記開口部を拡げた後に戻る反力により、前記弾性断熱材を押し付け、前記半導体ヒータと前記バルブボディを密着させること、
を特徴とする真空用開閉弁。
【請求項９】
請求項４乃至請求項８に記載するいずれか一つの真空用開閉弁において、
遮蔽板を有すること、
を特徴とする真空用開閉弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程でプロセスガスが流れる流路の途中に設けられ、その流路を開閉する真空用開閉弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体工程で使用する加熱流体の中には、温度低下により気体から液体又は固体へ変質し生成物として析出するものがある。生成物が析出し内部に付着すると弁の機密性を阻害したり、流路が絞られてしまうため問題となる。
そこで、バルブボディをヒータにより加熱することによって、プロセスガスと接触する部分の温度を高め生成物が付着することを防止している。
【０００３】
従来、この種の技術として、下記に記載する特許文献１に係る発明がある。図１９に、特許文献１に係る真空用開閉弁１００の一部断面図を示す。
真空用開閉弁１００は、バルブボディ１０１、加熱機構１０２を有する。加熱機構１０２は、金属で厚みのあるヒータである焼結体ＰＴＣヒータをアルミケースで覆ったものである。加熱機構１０２は、バルブボディ１０１の平面１０１Ａに取り付けられている。
【０００４】
加熱機構１０２により加熱することにより、バルブボディ１０１は加熱される。それにより、プロセスガスと接する真空用開閉弁１００内の弁室、弁座等が暖められ、プロセスガスが常温になることを防止し、生成物の付着を防止することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−３４９４６８号公報
【特許文献２】特開２００８−１２１８５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、真空用開閉弁１００には、以下の問題があった。
すなわち、加熱機構ＰＴＣヒータは金属で厚みがあるため柔軟性がない。そのため、図１９には示さないが、バルブボディ１０１の表面に、例えば図５に示すように凹部４Ａが必要で形成されている場合、加熱機構１０２と凹部４Ａは接触しない。接触しない(接触面積が小さい)と、加熱機構１０２が直接凹部４Ａを加熱することができないため温度が低くなるため問題となる。また、加熱機構１０２と接触しない(接触面積が小さい)と、伝熱効率が悪くなり、消費電力も増加するため問題となる。
さらに、特許文献２の図１８に示す真空用開閉弁２００においては、特許文献１の加熱機構１０２をバルブボディ２０４の外壁に用いたとしても、バルブボディ２０１の内で暖める場所である弁座２０９が暖まりにくいため問題となる。なぜなら、弁座２０９は、外気に触れる第２流路２０８が当接しており、弁座２０９は冷えやすいからである。また、弁座２０９は外壁部から離れた所に形成されているため、外壁部に用いられる加熱機構１０２の熱が直接伝わりにくいからである。さらに、弁座２０９は、プロセスガスが弁体２１０により堰き止められる場所であるため、特に生成物が付着しやすいため問題となる。
【０００７】
そこで、本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的はバルブボディの外壁面に半導体ヒータを密着させることで、接触面積を大きくする真空用開閉弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係る真空用開閉弁は以下の構成を有する。
（１）第１流路と第２流路とを連通する弁孔を有するバルブボディと、弁孔の外周に形成された弁座と当接又は離間する弁体と、弁体を駆動する駆動手段と、バルブボディの外壁面に設けられたヒータと、ヒータをバルブボディの外壁面に押圧する取付板と、ヒータと取付板の間に断熱材を有する真空用開閉弁において、ヒータは、薄板状で柔軟性のある半導体ヒータであること、を特徴とすることにある。
（２）（１）に記載する真空用開閉弁において、前記半導体ヒータは、厚みが１．０ｍｍ以下であること、を特徴とすることにある。
（３）（１）に記載する真空用開閉弁において、断熱材は弾性力を有する弾性断熱材であること、弾性断熱材により半導体ヒータを前記バルブボディの外周面に密着させること、を特徴とすることにある。
（４）（３）に記載する真空用開閉弁において、取付板は端部に折り返されている折返し端部を有する折返し取付板であること、を特徴とすることにある。
（５）（４）に記載する真空用開閉弁において、折返し端部が同じ高さであること、折返し端部がバルブボディに接触することにより、弾性断熱材を均一に押圧することができ、半導体ヒータとバルブボディとの密着度合いを均一にすること、を特徴とすることにある。
（６）(４)に記載する真空用開閉弁において、折返し端部が取付板の一端に形成されていること、又は、折返し端部が取付板の両端に形成され、両端の折返し端部の高さが異なること、を特徴とすることにある。
（７）（４）又は（６）に記載する真空用開閉弁において、取付板が、弾性断熱材の押圧力を場所により変化させることにより、半導体ヒータとバルブボディとの密着度合いを変化させること、を特徴とすることにある。
（８）（３）に記載する真空用開閉弁において、取付板が、コの字形状をしているコの字取付板であること、取付前の状態においては、コの字取付板の開口部が内側に細くなっていること、コの字取付板の開口部を拡げた後に戻る反力により、弾性断熱材を押し付け、半導体ヒータとバルブボディを密着させること、を特徴とすることにある。
（９）（４）乃至（８）に記載するいずれか一つの真空用開閉弁において、遮蔽板を有すること、を特徴とすることにある。
【発明の効果】
【０００９】
上記真空用開閉弁の作用及び効果について説明する。
（１）第１流路と第２流路とを連通する弁孔を有するバルブボディと、弁孔の外周に形成された弁座と当接又は離間する弁体と、弁体を駆動する駆動手段と、バルブボディの外壁面に設けられたヒータと、ヒータをバルブボディの外壁面に押圧する取付板と、ヒータと取付板の間に断熱材を有する真空用開閉弁において、ヒータは、薄板状で柔軟性のある半導体ヒータであることにより、バルブボディの外壁面に凹凸があったとしても半導体ヒータを密着させることができる。それにより、ヒータとバルブボディの接触面積が大きくなり伝熱効率が良くなり、ヒータの消費電力も少なくて済む。
（２）前記半導体ヒータは、厚みが１．０ｍｍ以下であることにより、半導体ヒータを薄板状で、かつ、柔軟性のあるものとすることができる。それにより、バルブボディの外壁面に凹凸があったとしても半導体ヒータを変形させバルブボディに密着させる形状とすることができる。
（３）断熱材は弾性力を有する弾性断熱材であること、弾性断熱材により半導体ヒータを前記バルブボディの外周面に密着させることにより、バルブボディに凹凸があったとしても、断熱材がバルブボディの凹凸形状に変形し、半導体ヒータも同様にバルブボディの凹凸形状に変形させることができる。それにより、大きな接触面積で密着させることができる。
（４）取付板は端部に折り返されている折返し端部を有する折返し取付板であることにより、取付板で弾性断熱材を押圧するとき、弾性断熱材への押圧力は折返し端部の高さで調整することができ、それにより、半導体ヒータとバルブボディとの密着度合を調節することができる。そして、密着度合いによりバルブボディの温度を調節することができる。
（５）折返し端部が同じ高さであること、折返し端部がバルブボディに接触することにより、弾性断熱材を均一に押圧することができ、半導体ヒータとバルブボディとの密着度合いを均一にすることができる。
（６）折返し端部が取付板の一端に形成されていること、又は、折返し端部が取付板の両端に形成され、両端の折返し端部の高さが異なることにより、弾性断熱材への押圧力を場所により変化させることができる。押圧力を変化させることにより、例えば、生成物が析出しやすい弁座付近の押圧力を高め、弁座付近を高温にすることができる。
（７）取付板が、弾性断熱材の押圧力を場所により変化させることにより、半導体ヒータとバルブボディとの密着度合いを変化させることができる。例えば、生成物が析出しやすい弁座付近等の密着度合いを他の部分よりも密にすることにより、弁座付近の温度を上げることができる。
（８）取付板が、コの字形状をしているコの字取付板であること、取付前の状態においては、コの字取付板の開口部が内側に細くなっていること、コの字取付板の開口部を拡げた後に戻る反力により、弾性断熱材を押し付け、半導体ヒータとバルブボディを密着させることができる。
（９）遮蔽板を有することにより、高温の取付板に作業者が触れて火傷することを防ぐことができる。また、取付板への気流が直接当たることを防ぐため、大気への放熱による温度低下を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る真空用開閉弁１の正面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る図１に示す真空用開閉弁１のＡＡ断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る図２に示す真空用開閉弁１（閉弁時）のＬＬ断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る図２に示す真空用開閉弁１（開弁時）のＬＬ断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る真空用開閉弁１のバルブボディ４の側面に凹部４Ａが形成された一部上面図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る真空用開閉弁１Ｂ（取付板５２取付前）の一部上面図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る真空用開閉弁１Ｂ（取付板５２取付後）の一部上面図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係る真空用開閉弁１Ｃの正面断面図である。
【図９】本発明の第３実施形態に係る真空用開閉弁１Ｃの変更例に係る正面断面図である。
【図１０】本発明の第４実施形態に係る真空用開閉弁１Ｄの正面図である。
【図１１】本発明の第４実施形態に係る真空用開閉弁１ＤのＢＢ断面図である。
【図１２】本発明の第４実施形態に係る真空用開閉弁１Ｄの組立図である。
【図１３】本発明の第４実施形態に係る真空用開閉弁１Ｄに掛かる反力Ｙを示した図である。
【図１４】本発明の第５実施形態に係る真空用開閉弁１Ｅの正面図である。
【図１５】本発明の第５実施形態に係る真空用開閉弁１ＥのＣＣ断面図である。
【図１６】本発明の第６実施形態に係る真空用開閉弁１Ｆの正面図である。
【図１７】本発明の第６実施形態に係る真空用開閉弁１ＦのＤＤ断面図である。
【図１８】従来技術である真空用開閉弁２００の正面断面図である。
【図１９】従来技術である真空用開閉弁１００の一部上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
次に、本発明に係る真空用開閉弁の一実施の形態について図面を参照して説明する。
（第１実施形態）
図１に真空用開閉弁１の正面図を示す。図２に、図１の真空用開閉弁１のＡＡ断面図を示す。図３は、第１実施形態に係る図２に示す真空用開閉弁１（閉弁時）のＬＬ断面図を示す。図４は、第１実施形態に係る図２に示す真空用開閉弁１（開弁時）のＬＬ断面図を示す。図３及び図４に示す真空用開閉弁１は、従来技術と同様、半導体製造装置に設けられた反応室と真空ポンプとの間に配置される。
真空用開閉弁１は、ベローズ３１を伸縮させながら弁開閉を行うＯＮ−ＯＦＦ式遮断弁であって、反応室からガスを排出する配管の開放と遮断を制御する。真空用開閉弁１は、弁部２にアクチュエータ部３の駆動力を与えて弁開閉を行う。真空用開閉弁１の内部の構成は、本出願人が行った出願である上記特許文献２の発明と構成が同様であるため、ここでは説明を割愛する。
【００１２】
＜ヒータ取付の構成＞
図１に示すように、真空用開閉弁１は、弁部２及びアクチュエータ部３により構成されている。弁部２の外面には弁本体４が露出している。弁本体４には、第１流路７及び第２流路８が形成されている。
バルブボディ４の側面のうち、第２流路８が形成された面以外の３面には、薄型のヒータ４０、樹脂製の断熱材４１、及び、取付板４２が取付けられている。
ヒータ４０は、本実施例においては例えば、ゲルマヒーター（日本ゲルマヒーター株式会社製、登録商標）を使用する。ゲルマヒーターは、厚み０．３ｍｍの極薄の板状の形状で、半導体である発熱部を電気的絶縁性の有る樹脂フィルムで被覆したもので、かつ、柔軟性を有するため、バルブボディ４に凹凸がある場合には、凹凸の形状に沿うような形状に変形することができる。また、自己制御することができる。
また、ゲルマヒータの発熱は面発熱による。抵抗は高く一定であり、電流は小電流で一定であり、消費電力は少ない。伝熱効率は良く、９０％以上である。温度特性として、自己制御性がある。また、構造の変化がないため寿命が長い。
【００１３】
断熱材４１は、本実施例においては例えば、シリコンスポンジやシリコンラバー等の弾性力及び断熱性を有する樹脂を用いる。断熱材４１の大きさは、ヒータ４０と同様か又はそれ以上の大きさである。
取付板４２は、金属である。取付板４２の大きさは、断熱材４１と同様か又はそれ以上の大きさである。取付板４２の四隅には、４つのネジ孔４２Ａが形成されている。ネジ孔４２Ａには、ネジ４３が挿入され、取付板４２をバルブボディ４に固定している。
【００１４】
バルブボディ４にヒータ４０を取り付けるため本実施例では、例えば以下の３つの手順によって取付ける。
第１に、バルブボディ４にヒータ４０を貼り付ける。ヒータ４０は、厚み０．３ｍｍの薄板状のものであるため、バルブボディ４の側面に密着させることができる。
第２に、断熱材４１をヒータ４０の上に貼り付け、ヒータ４０の上から断熱材４１をバルブボディ４の方向に対して押圧する。
第３に、取付板４２を断熱材４１の上から固定する。具体的には、取付板４２のネジ孔４２Ａにネジ４３をはめ込む。ネジ４３をはめ込むことにより、取付板４２はバルブボディ２の方向へ押圧される。取付板４２がバルブボディ４の方向へ押圧されると、断熱材４１及びヒータ４０をバルブボディ４へ押圧することができる。
断熱材４１には、弾性力があるため、バルブボディ４の方向へ押圧されると、弾性力によりヒータ４０をバルブボディ４の方向へ押圧することができる。ヒータ４０は、厚み０．３ｍｍと薄く、かつ、柔軟性を有するため、断熱材４１の弾性力によりバルブボディ４に押圧され、ヒータ４０とバルブボディ４の間の空気層がなくなるほど押圧することができる。そのため、図２に示すように、ヒータ４０をバルブボディ４に密着させることができる。
【００１５】
＜ヒータ・断熱材・取付板の作用・効果＞
真空用開閉弁１を加熱するのは、真空用開閉弁１の第１流路７、第２流路８、弁室５を流通するプロセスガスの生成物が、常温で析出しないようにするためである。プロセスガスが常温で生成物が析出し付着されると、第１流路７、第２流路８、弁室５等に付着し、真空開閉弁１の機密性を阻害したり、流路が絞られてしまうためである。
そのため、半導体製造工程で使用される真空用開閉弁１は、バルブボディ４をヒータ４０により加熱することによって、プロセスガスと接触する部分の温度を高め生成物が付着することを防止している。
【００１６】
本実施例においては、弾性力のある断熱材４１を用いてヒータ４０がバルブボディ４に密着して取付けられているため、ヒータ４０が発生する熱を効率良くバルブボディ４に伝えることができる。そのため、省電力でバルブボディ４を加熱することができる。
したがって、プロセスガスの流体の温度を高め生成物の付着を防止することができる。
【００１７】
また、本実施例においては、図５に示すように、真空用開閉弁１のバルブボディ４の側面に凹部４Ａが形成されている場合であっても、ヒータ４０は、厚みが０．３ｍｍの薄板状の形状であり、かつ、柔軟性があるため、バルブボディ４の側面である凹部４Ａに適合した形状にすることができる。バルブボディ４の側面である凹部４Ａに適合した形状とすることにより、バルブボディ４とヒータ４０との間の非接触部を小さくすることができる。したがって、バルブボディ４とヒータ４０の接触面積が大きくなり伝熱効率が良くなり、ヒータ４０の消費電力が少なくて済む。
なお、本実施例では、厚さ０．３ｍｍの半導体ヒータを用いているが、厚さ１．０ｍｍの場合、厚さ０．３ｍｍのものよりも厚みはあるが、十分に柔軟性を確保することができるため、バルブボディ４の側面の凹凸に適合した形状にできる。なお、厚さ１．０ｍｍとすると厚さ０．３ｍｍと比べ厚みを有するため伝熱効率・発熱効率が悪くなるが、半導体ヒータの目標温度が低い場合には十分実用に耐えることを実験により確認している。
さらに、厚さ０．７ｍｍであれば、１．０ｍｍよりも柔軟性を有するため、厚さ１．０ｍｍよりも容易にバルブボディ４の側面の凹凸に適合した形状にできる。また、０．５ｍｍであれば、０．７ｍｍよりも伝熱効率・発熱効率が良いため省エネになり効果的であることを実験により確認している。
【００１８】
また、ヒータ４０に対して、取付板４２との間に弾性力のある断熱材４１を挟み込むことで、断熱材４１は、バルブボディ４に押圧され、ヒータ４０ともども、バルブボディ４の側面の凹部４Ａの形状に変形させることができる。ヒータ４０はバルブボディ４に対して押圧されるため、凹部４Ａとの間の空気層が押し出される。ヒータ４０と凹部４Ａの間に空気層がなくなると断熱する空気層がなくなるため、より伝熱効率がよくなる。
したがって、弾性力のある断熱材４１を有することにより、ヒータ４０を、バルブボディ４に適合した形状にすることができ、さらに、バルブボディ４とヒータ４０の間に空気層がなくなるほどを密着させることができるため、バルブボディ４とヒータ４０の接触面積が大きくなり伝熱効率が良くなる。
【００１９】
また、断熱材４１を有することにより、ヒータ４０で生じた熱が取付板側へ伝わることを抑制しているため、大気への無駄な放熱を抑えて省エネとなり、また、取付板４２の温度が下がることで安全側に働く。
【００２０】
＜真空用開閉弁の内部構成＞
図３に示すように、弁部２は、「弁本体」に内蔵される。「弁本体」は、第１流路７と第２流路８との間に弁座９を設けた弁室５を形成するものであり、本実施形態では、バルブボディ４と第２閉鎖プレート２０とパイプ部材２８によって構成されている。第２流路８と弁室５の当接部に弁孔１７が形成されている。弁孔１７の外周には弁座９が形成されている。バルブボディ４は、剛性及び耐圧性を確保するためにステンレスや炭素鋼などの金属を材質とする。バルブボディ４は、第２閉鎖プレート２０に塞がれて弁室５を形成するための中空部６を備える。中空部６には、バルブボディ４の側面に開口する第１流路７が連通すると共に、バルブボディ４の図中下面に開口する第２流路８が連通している。バルブボディ４は、第１流路７が中空部６に開口する開口部の周りに設けられた平坦面により弁座９が構成されている。弁座９には、弁体１０が当接又は離間する。
【００２１】
一方、アクチュエータ部３は、バルブボディ４に連結されるシリンダボディ１８に内蔵される。シリンダボディ１８は、耐圧性を確保するためにステンレスや炭素鋼などの金属を材質とする。シリンダボディ１８は、上下に開口する筒状をなす。シリンダボディ１８は、上側開口部が金属製の第１閉鎖プレート１９に塞がれ、下側開口部が金属製の第２閉鎖プレート２０に塞がれることによって、ピストン室２１を形成している。
【００２２】
ピストン室２１は、シリンダボディ１８に摺動可能に装填されたピストン２２によって一次室２１ａと二次室２１ｂに仕切られている。ピストン２２は、耐圧性と剛性を確保するために金属を材質とし、ゴムや樹脂などの弾性材料からなるシール部材２３が外周面に装着されている。そのため、ピストン室２１は、ピストン２２によって一次室２１ａと二次室２１ｂとに気密に区画されている。一次室２１ａは、図示しない開口部を介して大気開放されている。二次室２１ｂは、シリンダボディ１８に開設されたオリフィス２４を介して操作ポート２５に連通している。第１実施形態では、オリフィス２４は断面が円形状に形成されている。
【００２３】
ピストン２２の中心部には、図中下側から図中上側に金属製の出力軸２６が貫き通されている。出力軸２６は、ピストン２２の図中上側に突き出した部分に金属製の固定ナット２７を締め付けられてピストン２２と一体化されている。尚、第１実施形態では、固定ナット２７は出力軸２６の一部を構成するものとする。出力軸２６は、第２閉鎖プレート２０とパイプ部材２８に摺動自在に挿通され、先端部が弁室５内に突き出している。
【００２４】
パイプ部材２８は、弁体１０の全開位置を決めるように弁室５内に下端部が配置されている。出力軸２６は、パイプ部材２８の下端部から進退可能に突出し、先端部が弁体１０の中心部に貫き通されて取付ナット２９を締め付けられ、弁体１０と一体化されている。よって、ピストン２２と弁体１０とは、出力軸２６を介して一体化され、一体的に直線往復運動する。
【００２５】
弁体１０とパイプ部材２８との間には、復帰ばね３０が縮設され、弁体１０を弁座９側に向かって押し下げている。この押圧力によって、弁体１０がＯリング１３を押し潰すように弁座９に押し付けられ、シール力を発生する。復帰ばね３０の弾性力は、弁体１０から出力軸２６を介してピストン２２へ伝達され、ピストン２２に図中下向きの力を与える。
【００２６】
出力軸２６とパイプ部材２８と復帰ばね３０は、ベローズ３１によって覆われ、摺動部等から発生するパーティクルが弁室５内に漏れないようにしている。ベローズ３１は、ステンレス等の金属を材質とし、弁室５内に伸縮自在に配設されている。ベローズ３１は、上端部が環状の保持部材３２に溶接され、その保持部材３２をバルブボディ４とシリンダボディ１８とに嵌め合わせることによってバルブボディ４及びシリンダボディ１８に対して位置決めされている。ベローズ３１の下端部は、復帰ばね３０の外側において固定プレート１１に溶接されている。
【００２７】
＜真空用開閉弁の作用・効果＞
上記構成を有する真空用開閉弁１は、例えば、第２流路８が真空ポンプに接続され、第１流路７が真空容器に接続される。そして、操作ポート２５に図示しない操作流体制御装置が接続される。
操作ポート２５に操作流体を供給しないときには、図３に示すように、復帰ばね３０の弾性力によって弁体１０が弁座９に当接し、第１流路７と第２流路８との間を遮断する。そのため、第１流路７から第２流路８へと流体が流れない。よって、真空容器は真空引きされない。
【００２８】
操作ポート２５に操作流体を供給し、二次室２１ｂの内圧が復帰ばね３０の弾性力に打ち勝つと、図４に示すように、ピストン２２が図中上向きに移動して弁体１０を弁座９から離間させ、全開位置まで移動させる。これにより、第１流路７と第２流路８とが連通し、第１流路７から第２流路８へ流体が流れる。よって、真空容器は真空ポンプのポンプ動作によって真空引きされる。
その後、二次室２１ｂの操作流体を排気し、復帰ばね３０の弾性力が二次室２１ｂの内圧に打ち勝つと、弁体１０が復帰バネ３０に付勢されて下降し、図３に示すように弁座９に当接する。そのため、第１流路７と第２流路８との間が再び遮断され、流体が流れなくなる。よって、真空容器は真空引きされなくなる。
【００２９】
（第２実施形態）
第２実施形態に係る真空用開閉弁１Ｂを図６及び図７に記載する。真空用開閉弁１Ｂは、第１実施形態と比較して取付板の形状を除いて、第１実施形態の真空用開閉弁１と相違するところがないため、取付板を除いて説明を割愛する。
図６及び図７に、取付板端部に折り返されている折返し端部を有する折返し取付板５２を示す。折り返された端部を、折返し端部５２１とする。
図６に示すように、折返し取付板５２は、折返し端部５２１の長さを調整することで、バルブボディ４と折返し取付板５２との隙間高さＸを調整することができ、折返し取付板５２の押さえつけ力を調整することができる。折返し端部５２１の高さを両端で変えることにより、ネジ４３で固定する際の押圧力が変わる。したがって、折返し取付板５２の押圧力を場所により変化させることにより、ヒータ４０とバルブボディ４との密着度合いを変化させることができ、生成物が析出し付着しやすい弁座９付近の密着度を他の部分よりも密にすることにより、弁座９付近の温度を上げることができる。
また、図７に示すように、折返し端部５２１が同じ長さであれば、折返し取付板５２をネジ４３で固定する際にかかる荷重が同じとなり、ヒータ４０をバルブボディ４に均等な力で接触させることができる。
【００３０】
また、折返し端部５２１の長さを端部ごとに変えることで、断熱材４１の押圧力を場所により変化させることができ、ヒータ４０とバルブボディ４との密着度合いを変化させ、生成物が析出し付着しやすい弁座９付近等の温度を上げることができる。
【００３１】
（第３実施形態）
第３実施形態に係る真空用開閉弁１Ｃを図８に記載する。真空用開閉弁１Ｃは、第１実施形態と比較して取付板の形状を除いて、第１実施形態の真空用開閉弁１と相違するところがないため、取付板を除いて説明を割愛する。
図８に示すように、取付板をＬ字形状とするＬ字取付板６２を示す。Ｌ字取付板６２は、取付板の一端を折り返してＬ字形状としたものである。折り返された端部を、折返し端部６２１とする。折返しのない端部を他端部６２２とする。
【００３２】
図８に示すように、Ｌ字取付板６２は、Ｌ字形状とすることで、ヒータ４０を強くバルブボディ４に押し付け熱を伝えたい部分と、ヒータ４０を弱くバルブボディ４に押し付け熱を伝えたくない部分とに対して、押圧力を換え、熱の伝導に強弱を付けることができる。
すなわち、真空用開閉弁１Ｃにおいては、プロセスガスの生成物が、析出し付着し易い弁座９付近を高温にしたい。弁座９付近は第２流路８がヒータ４０と当接しておらず、さらに、外気に触れている部分であるため温度が下がりやすいからである。
そこで、Ｌ字取付板６２のうちヒータ４０を寄り近くで押圧することができる他端部６２２を弁座９付近にもってくる。他端部６２２は、折返し端部がなくヒータ４０に近いため、ネジ４３で固定する際にその押圧力が伝わりやすい。したがって、ヒータ４０をバルブボディ４に対して強く押圧することができるため、弁座９付近の温度を上げることができる。
【００３３】
それに対して、Ｌ字取付板６２の折返し端部６２１側は、折返し端部６２１が存在するためＬ字取付板６２とヒータ４０が他端部６２２と比べ遠い。したがって、Ｌ字取付板６２の押圧力が直接ヒータ４０に掛からないため、他端部６２２側よりも押圧力が弱くなる。よって、弁座９付近を他端部６２２側と比べると直接温度を上げることができない。
したがって、Ｌ字取付板６２の押圧力を場所により変化させることにより、ヒータ４０とバルブボディ４との密着度合いを変化させることができ、生成物が析出し付着しやすい弁座９付近の密着度を他の部分よりも密にすることにより、弁座９付近の温度を上げることができる。
【００３４】
なお、図８においては、他端部６２２側には折返し端部を設けなかったが、図９に示すように、他端部６２２側に、折返し端部６２１よりも高さの低い折返し端部６２３を設けることによっても、上述した図８のＬ字取付板６２と同様の効果を得ることができる。
【００３５】
（第４実施形態）
第４実施形態に係る真空用開閉弁１Ｄを図１０乃至図１３に記載する。真空用開閉弁１Ｄは、第１実施形態と比較して取付板の形状及び断熱材の形状を除いて、第１実施形態の真空用開閉弁１と相違するところがないため、取付板を除いて説明を割愛する。
図１１に示すように、取付板をコの字形状とするコの字取付板７２を示す。また、図１２に示すように、コの字取付板７２の開口部７２１は内側に細くなっている。コの字取付板７２には、ネジ孔計８個形成されている。
断熱材をコの字形状とするコの字断熱材７１とする。
【００３６】
図１２に示すように、第１にバルブボディ４にコの字断熱材７１を取付ける。第２にコの字取付板７２をコの字断熱材７１の上から取付ける。コの字取付板７２は、開口部７２１が内側に細くなっているため、取り付ける際には板材を拡げてコの字断熱材７１に取り付ける。コの字取付板７２は開口部７２１の板材を拡げるため、図１３に示すように反力Ｙが生じ、その反力Ｙでコの字断熱材７１をバルブボディ４に押し付け、さらに、反力Ｙによりコの字断熱材７１がヒータ４０をバルブボディ４に押し付けることができる。したがって、コの字取付板７２が開口部が内側に細くなっているコの字形状をしていることにより、取付の際に反力を生じさせ、ヒータ４０をバルブボディ４により密着させることができる。
また、第１実施例に係る取付板４２では、バルブボディ４に取付ける際には、計１２個のネジ４３を必要とするのに対して、コの字取付板７２をバルブボディ４に取付ける際には、ネジ４３を計８個使用するだけでよいため、取付に際するコストの削減を図ることができる。  
【００３７】
（第５実施形態）
第５実施形態に係る真空用開閉弁１Ｅを図１４及び図１５に記載する。真空用開閉弁１Ｅは、第１実施形態と比較して取付板の上方に取り付けられた遮蔽板に関係するものを除いて、第１実施形態の真空用開閉弁１と相違するところがないため、遮蔽板に関係するものを除いて他の説明を割愛する。
図１４に示すように、真空用開閉弁１Ｅは、バルブボディ４、ヒータ４０、断熱材４１、取付板４２、取付ネジ８６、遮蔽板８５、ネジ８３を有する。
図１５に示すように、取付ネジ８６は、ボルト形状であるネジ頭８６Ａ及びネジ部８６Ｂを有する。ネジ頭８６Ａの中心部には、雌ネジ８６１Ａが形成されている。
遮蔽板８５は、取付板８２と同程度の大きさである。
【００３８】
バルブボディ４にヒータ４０、断熱材４１、取付板４２を取付けるまでは、第１実施形態と同様である。取付板４２を取付ける際には、取付ネジ８６を使用する。取付ネジ８６を取付けた後、取付ネジ８６のネジ頭８６Ａに遮蔽板８５を取付け、ネジ８３により固定する。ネジ頭８６Ａには、雌ネジ８６１Ａが形成されているため、ネジ８３をネジ頭８６Ａに固定することができる。ネジ頭８６Ａに遮蔽板８５を固定すると、遮蔽板８５と取付板４２との間には、ネジ頭８６Ａの高さ分だけ空間が形成される。ネジ頭８６Ａの高さ空間をもたせることで、取付板４２の熱が直接遮蔽板８５には伝わらず、伝熱は放射熱のみになるため、製品外面の遮蔽板８５の表面温度を下げることができ、作業者が取付板４２に触れて火傷することを防ぐことができる。
また、ネジ頭８６Ａの高さ空間には、空気層が存在する。空気層は断熱材の役割を果たすため、外側（遮蔽板８５側）へ伝わるよりも内側（バルブボディ４側）へ熱が伝わりやすくなる。空気層には、熱がこもるため保温効果を得ることができる。
【００３９】
また、遮蔽板８５は、バルブボディ４に取付けられた取付板４２の上方のみに形成される。加熱したい部分は、バルブボディ４のところのみであり、アクチュエータ３は、放熱した部分である。したがって、加熱したいところのみ遮蔽板８５で覆うことで、その空間に熱がこもり保温効果をあげることができる。また、放熱させたい部分には、遮蔽板８５がないため、クリーンルームのダウンフローなどによって熱が奪われる。
【００４０】
（第６実施形態）
第６実施形態に係る真空用開閉弁１Ｆを図１６及び図１７に記載する。真空用開閉弁１Ｆは、第１実施形態と比較して取付板の上に断熱材が取付けられていること形状及び断熱材の形状を除いて、第１実施形態の真空用開閉弁１と相違するところがないため、取付板の上に断熱材が取付けられていることを除いて説明を割愛する。
図１６及び図１７に示すように、真空用開閉弁１Ｆは、バルブボディ４、ヒータ４０、断熱材４１、断熱材付取付板９２、取付ネジ９３を有する。
断熱材付取付板９２は、断熱材部９２Ａ及び取付板部９２Ｂを有する。断熱材部９２Ａ及び取付板部９２Ｂには、取付孔９２Ｃが形成されている。
【００４１】
バルブボディ４にヒータ４０、断熱材４１を取付けるまでは、第１実施形態と同様である。断熱材４１の上には、断熱材付取付板９２を取付ける。ネジ９３を断熱材取付板９２の取付孔９２Ｃに挿入し、バルブボディ４に取付られることにより固定する。
真空用開閉弁１Ｆは、断熱材部９２Ａ、及び、断熱材４１との２重の断熱材を有する。また、断熱材部９２Ａと断熱材４１は、取付板部９２Ｂを挟んでいる。したがって、ヒータ４０から生じた熱は、断熱材４１を有するため取付板部９２Ｂには直接伝わらない。また、断熱材部９２Ａが外面に取付けられているため、取付板部９２Ｂに伝わった熱は、外面には直接伝わらない。したがって、製品外面の表面温度を下げることができ、作業者が使用する時の安全性を向上させることができる。
【００４２】
尚、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で色々な応用が可能である。
例えば、本実施例においては、断熱材を使用することとしたが、断熱材を用いずヒータを取付板のみで取り付けることもできる。
【符号の説明】
【００４３】
１、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ    真空用開閉弁
２      弁部
３      アクチュエータ部
４      バルブボディ
７      第１流路
８      第２流路
９      弁座
１０    弁体
４０、７０    ヒータ
４１、７１    断熱材
４２    取付板
５２    折返し取付板
６２    Ｌ字取付板
７２    コの字取付板
８５    遮蔽板
９２    断熱材付取付板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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