(57)【要約】【課題】流体の流れ方向の濃度分布や温度分布をムラなく均一化して混合でき、コンパクトで配管施工が容易な混合器を提供する。【解決手段】混合器は、流体入口と、該流体入口に連通する第一流路と、該第一流路に連通する液室と、該液室に第一連通孔の各々を介して各々連通する複数の分岐流路と、該分岐流路が合流する合流部と、該合流部に連通する第二流路と、該第二流路に連通する流体出口と、を有し、複数の分岐流路は互いに内径が異なって形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体入口と、
該流体入口に連通する第一流路と、
該第一流路に連通する液室と、
該液室に第一連通孔の各々を介して各々連通する複数の分岐流路と、
該分岐流路が合流する合流部と、
該合流部に連通する第二流路と、
該第二流路に連通する流体出口と、を有し、
複数の分岐流路は互いに内径が異なって形成されていることを特徴とする混合器。
【請求項２】
一側面に凹部が設けられ、他側面に互いに内径の異なる複数の有底円筒状の分岐流路が設けられ、該凹部底面と該分岐流路底面とを各々連通する前記第一連通孔を有する本体部と、
第一流路と、一側面から該第一流路内周面に向かって漸次縮径するテーパ部を有し、該テーパ部が該本体部の凹部と共に液室を形成する第一継手部と、
第二流路と、一側面から該第二流路内周面に向かって漸次縮径するテーパ部を有し、該テーパ部が該本体部の分岐流路に連通する合流部を形成する第二継手部とを具備することを特徴とする請求項１記載の混合器。
【請求項３】
前記本体部と前記第二継手部の間に介在し、前記分岐流路から前記合流部に各々連通する第二連通孔を有する中間継手部をさらに具備することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の混合器。
【請求項４】
前記第一連通孔または前記第二連通孔が各々の前記分岐流路の中心軸に対して偏芯した位置に設けられることを特徴とする請求項３記載の混合器。
【請求項５】
前記本体部の各々の前記第一連通孔および前記中間継手部の各々の前記第二連通孔の少なくともいずれか一方に、該連通孔から前記分岐流路内周面に向かって漸次拡径したテーパ部が設けられることを特徴とする請求項３または請求項４に記載の混合器。
【請求項６】
前記第一連通孔の各々の開口面積が略同一に形成されることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の混合器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、化学工場、半導体製造分野、食品分野、医療分野、バイオ分野などの各種産業における流体輸送配管に用いられる混合器に関するものであり、特に流体の流れ方向の濃度分布や温度分布をムラなく均一化して混合させることのできる混合器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、配管内に装着して管内を流れる流体を均一に混合する方法として、図８に示すように捻り羽根状のスタティックミキサーエレメント８１を用いたものが一般的であった（例えば、特許文献１参照）。通常、スタティックミキサーエレメント８１は、矩形板をその長手軸線周りに１８０度捻ったものを最小単位部材として、複数の最小単位部材を、捻り方向が交互に異なる方向になるように一体的に直列に結合した構造を有している。このスタティックミキサーエレメント８１を管８２内に配置し、管８２の両端部にメールコネクター８３を取り付け、フレアー８５を装着して締付ナット８４を締め付けることによりスタティックミキサーが形成される。このとき、スタティックミキサーエレメント８１の外径が管８２の内径にほぼ等しく設計されて、流体が効果的に撹拌されるようになっている。
【０００３】
しかしながら、前記従来のスタティックミキサーを用いた流体の混合方法は、流れてくる流体を流れに沿って撹拌する構成であるため図９（ａ）に示すように配管の径方向の濃度分布をムラなく均一化することはできるが、図９（ｂ）に示すように軸方向（流れ方向）の濃度分布をムラなく均一化することはできない。そのため、例えばスタティックミキサーの上流側で水と薬液を混合させて流す時、薬液の混合比が一時的に増加した場合には流路内で部分的に濃度が濃くなった状態でスタティックミキサーを通過する。このとき、径方向で均一化されて水と薬液は撹拌されても、軸方向（流れ方向）においては流路内で部分的に濃度が濃くなった箇所はほとんど希釈されることなく濃くなった状態のまま下流側へ流れてしまう（図９（ｂ）参照）。これにより、半導体洗浄装置、特に半導体ウェハの表面に直接薬液を塗布して各種の処理を行うような装置に接続された場合、濃度の異なる薬液が半導体ウエハの表面に塗布されて不良品の原因となる問題があった。
【０００４】
この軸方向（流れ方向）の濃度分布のムラを回避する方法としては、流路の途中でタンクを設置してタンク内に流体を一旦貯めてタンク内の濃度を均一化させた後で流体を流す方法（図示せず）などが挙げられる。しかしながら、タンクを設置するには広いスペースが必要となり装置が大きくなる問題や、タンクから再び流体を輸送するにはポンプ、配管などが必要となるため、使用する部材の点数が多くなるという問題や、配管ラインを施工するためのコストが発生するという問題があった。また、この方法ではタンク内で流体が滞留する。流体が滞留するとバクテリアの発生原因となり、タンク内で発生したバクテリアが配管ラインに流れ込み、半導体製造ラインにおいては半導体ウエハに付着して不良品の原因となる問題があった。
【０００５】
軸方向（流れ方向）の濃度分布のムラを回避する他の方法としては、図１０に示すように流路を分岐して流体の希釈を行う分岐希釈装置があった（例えば、特許文献２参照）。この装置は、細管９１の中を一定の速度で流れている試料溶液を分析する装置において、流れている試料を複数の流路に分岐する分岐部９２を流路の途中に設けることにより試料溶液を分割し、各分岐流路の細管９３、９４の内径や長さを変化させて検出器９５の手前の合流部９６で再度合流させ、試料溶液が検出される時間差を利用して希釈するものであった。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２０５０６２号公報
【特許文献２】特開平８−１４６００８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、図１０の従来の分岐希釈装置の技術を流体輸送配管に用いる場合、管路の途中で分岐された長さの異なる管路を設けて再び合流させる配管ラインを設ける必要がある。このため、軸方向（流れ方向）の濃度分布をムラなく流路内で均一化するには分岐した流路を多く設けなくてはならず、その場合には分岐した配管ラインを設けるスペースが大きくなってしまうという問題があった。また、このような配管ラインを施工するには部品点数が多く必要であり煩雑で時間がかかるという問題があった。
【０００８】
本発明の目的は、以上のような従来技術の問題点に鑑みなされたものであり、流体の流れ方向の濃度分布や温度分布をムラなく均一化して混合でき、コンパクトで配管施工が容易な混合器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の構成を説明すると、混合器は、流体入口と、該流体入口に連通する第一流路と、該第一流路に連通する液室と、該液室に第一連通孔の各々を介して各々連通する複数の分岐流路と、該分岐流路が合流する合流部と、該合流部に連通する第二流路と、該第二流路に連通する流体出口と、を有し、複数の分岐流路は互いに内径が異なって形成されていることを第１の特徴とする。
【００１０】
一側面に凹部が設けられ、他側面に互いに内径の異なる複数の有底円筒状の分岐流路が設けられ、該凹部底面と該分岐流路底面とを各々連通する前記第一連通孔を有する本体部と、第一流路と、一側面から該第一流路内周面に向かって漸次縮径するテーパ部を有し、該テーパ部が該本体部の凹部と共に液室を形成する第一継手部と、第二流路と、一側面から該第二流路内周面に向かって漸次縮径するテーパ部を有し、該テーパ部が該本体部の分岐流路に連通する合流部を形成する第二継手部とを具備することを第２の特徴とする。
【００１１】
前記本体部と前記第二継手部の間に介在し、前記分岐流路から前記合流部に各々連通する第二連通孔を有する中間継手部をさらに具備することを第３の特徴とする。
【００１２】
前記第一連通孔または前記第二連通孔が各々の前記分岐流路の中心軸に対して偏芯した位置に設けられることを第４の特徴とする。
【００１３】
前記本体部の各々の前記第一連通孔および前記中間継手部の各々の前記第二連通孔の少なくともいずれか一方に、該連通孔から前記分岐流路内周面に向かって漸次拡径したテーパ部が設けられることを第５の特徴とする。
【００１４】
前記第一連通孔の各々の開口面積が略同一に形成されることを第６の特徴とする。
【００１５】
本発明の混合器の本体部１、第一継手部５、第二継手部１１、中間継手部２６等の各部品の材質は、樹脂製であればポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエチレンなどいずれでも良い。特に流体に腐食性流体を用いる場合は、ポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥと記す）、ポリビニリデンフルオロライド、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合樹脂などのフッ素樹脂であることが好ましく、フッ素樹脂製であれば腐食性流体に用いることができ、また腐食性ガスが透過しても配管部材の腐食の心配がなくなるため好適である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は以上のような構造をしており、以下の優れた効果が得られる。
（１）流路内で一時的に薬液の濃度が濃くなったり薄くなったりした状態でも、流体の流れ方向の濃度分布をムラなく均一化して混合でき、濃度の安定した薬液の供給が可能であり、各種分野における薬液濃度の変化による不良の発生を防止できる。
（２）流路内で一時的に流体の温度が高くなったり低くなったりした状態でも、流体の流れ方向の温度分布をムラなく均一化して混合でき、温度の安定した流体の供給が可能であり、給湯器などにおいて温度をより安定させると共に火傷などを防止できる。
（３）混合器を小型化することができ、その設置スペースも必要最小限にすることができる。
（４）配管施工が容易で短時間で行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について図面に示す実施例を参照して説明するが、本発明が本実施例に限定されないことは言うまでもない。図１は本発明の第一の実施形態の混合器を示す配管流路の模式図である。図２は図１のＡ−Ａ断面図である。図３は図１の混合器を用いて流体の濃度を測定する装置を示す模式図である。図４は図２の混合器の上流側の濃度を測定したグラフである。図５は図２の混合器の下流側の濃度を測定したグラフである。図６は本発明の第二の実施形態の混合器を示す縦断面図である。図７は第二の実施形態の第二連通孔の他のバリエーションを示す縦断面図である。
【００１８】
以下、図１、図２を参照して、本発明の第一の実施形態である混合器について説明する。
【００１９】
本体部１はＰＴＦＥ製であり、円柱状に形成されている。本体部１の一側面には凹部２が設けられ、他側面には互いに内径の異なる１０個の有底円筒状の分岐流路３が軸線が平行になるように設けられている。図２より、この分岐流路３ａ〜３ｊの内径は、最小の内径の分岐流路３ａからほぼ一定の比率で段階的に大きくなるように形成されており、各々の分岐流路３ａ〜３ｊの内径は、３ａ＜３ｂ＜３ｃ＜３ｄ＜３ｅ＜３ｆ＜３ｇ＜３ｈ＜３ｉ＜３ｊとなっている。また、本体部１には凹部２底面と分岐流路３ａ〜３ｊ底面とを各々連通する第一連通孔４ａ〜４ｊが設けられている。第一連通孔４ａ〜４ｊの内径は同径に形成されている。
【００２０】
第一継手部５はＰＴＦＥ製であり、一側面には流体入口６が設けられ、流体入口６に連通する第一流路７と、他側面には第一流路７内周面に向かって漸次縮径するテーパ部８が設けられている。第一継手部５のテーパ部８を有している側の内周面端部には雌ネジ部９が設けられ、本体部１外周面に螺合固定することにより、第一継手部５のテーパ部８と本体部１の凹部２によって液室１０を形成している。
【００２１】
第二継手部１１はＰＴＦＥ製であり、一側面には流体出口１２が設けられ、流体出口１２に連通する第二流路１３と、他側面には第二流路１３内周面に向かって漸次縮径するテーパ部１４が設けられている。第二継手部１１のテーパ部１４を有している側の内周面端部には雌ネジ部１５が設けられ、本体部１外周面に螺合固定することにより、第二継手部１１のテーパ部１４内周と本体部１他側面とで本体部１の分岐流路３ａ〜３ｊから流入した流体の合流部１６を形成している。
【００２２】
次に、本発明の第一の実施形態である混合器の作動について説明する。
【００２３】
混合器の上流側で水と薬液を混合させ、一時的に薬液の濃度が濃くなった状態で流した時、流路内で部分的に濃度が濃くなって流れている薬液は、流体入口６から第一流路７に流入して液室１０に流れていく。そして、濃度が濃くなった薬液の部分が液室１０から液室１０に連通している１０個の第一連通孔４ａ〜４ｊによって分岐されて各々の分岐流路３ａ〜３ｊに流入する。第一連通孔４ａを通って分岐流路３ａに流入した濃度の濃くなった薬液の部分は、分岐流路３ａ内へ流入しこれを充満して流れた後で合流部１６を通って流体出口１２へと流れる。次に、第一連通孔４ｂを通って分岐流路３ｂに流入した濃度の濃くなった薬液の部分は、分岐流路３ｂ内へ流入しこれを充満して流れた後で合流部１６を通って流体出口１２へと流れる。このとき分岐流路３ｂの内径は分岐流路３ａの内径より若干大きくなるように設けられているので、濃度の濃くなった薬液の部分は各々の分岐流路３ａ、３ｂを充満させるのに時間差が生じ、分岐流路３ａより少し遅れて分岐流路３ｂから濃度の濃くなった薬液の部分が合流部１６を通って流体出口１２へと流れる。次に、第一連通孔４ｃを通って分岐流路３ｃに流入した濃度の濃くなった薬液の部分は、分岐流路３ｃ内へ流入しこれを充満して流れた後で合流部１６を通って流体出口１２へと流れる。このとき分岐流路３ｃの内径は分岐流路３ｂの内径より若干大きくなるように設けられているので、濃度の濃くなった薬液の部分は各々の分岐流路３ｂ、３ｃを充満させるのに時間差が生じ、分岐流路３ｂより少し遅れて分岐流路３ｃから濃度の濃くなった薬液の部分が合流部１６を通って流体出口１２へと流れる。以下、３ａ、３ｂ、３ｃと同様に濃度が濃くなった残りの薬液の部分は３ｄ〜３ｊを流れて第二流路１３を通って流体出口１２へと流れていく。
【００２４】
このとき、分岐流路３ａを流れる濃度が濃くなった薬液の一部は、他の分岐流路を流れる濃度が濃くなった薬液よりも早く流体出口１２から流出し、時間差で分岐流路３ｂ、分岐流路３ｃ、分岐流路３ｄ〜３ｊの順で濃度が濃くなった薬液の一部ずつが流体出口１２から流出していく。つまり、流路内で部分的に濃度が濃くなって流れている薬液は混合器よって時間差で１０個に分割されて流れることとなり、濃度の濃くなっていない薬液と各々混ざり合うことで流体の流れ方向の濃度分布をムラなく均一化して混合することができる。このとき各々の第一連通孔４ａ〜４ｊの内径が略同一だと、濃度の濃くなった薬液の部分はほぼ１０等分に分割されるので、流体の流れ方向の濃度分布をムラなくより均一化して混合することができる。
【００２５】
なお、図１の本実施形態では分岐流路３ａ〜３ｊは一定の比率で内径が段階的に径大になるように設けられているが、各々の分岐流路３ａ〜３ｊを流れる流体に付与する時間差を調節するため内径の比率を自由に設定しても良い。また、分岐流路３ａ〜３ｊの数も特に限定されない。分岐流路３ａ〜３ｊの数は多く設ける方が流体の流れ方向の濃度分布をムラなくより細かく均一化することができる。
【００２６】
また、本実施形態の混合器は流路の複雑さの割りに加工が比較的容易であり、少ない部品点数で容易に製造や組み立てを行うことができる。また、流路構造が小さくまとめられているため混合器を小型化することができ、配管スペースを取らずに設置することができる。本体部１の各々の分岐流路３ａ〜３ｊは内径が段階的に径大になるように、すなわち各々の分岐流路３ａ〜３ｊの体積が段階的に大きくなるように設けられていれば、混合器の面間を要望に応じて自由に変化させることができ、設置される機器の状況に合わせて混合器の形状を変化させることができる。また、混合器を配管ラインに接続する際も流体入口６と流体出口１２に各々継手等で接続するだけで施工が完了するため、配管施工が容易で短時間で行うことができる。
【００２７】
ここで、濃度の濃くなった薬液の部分を混合器で分割して流体の流れ方向の濃度分布がムラなく均一化される作用について説明する。図３に示すように、図１の混合器１０２の上流側と下流側に濃度計１００、１０１を各々設置して、上流側から純水と薬液を混合して流す装置を作成し、純水と薬液を一定の比率で流している途中で瞬間的に薬液の濃度を濃くした状態（純水に対して薬液の比率を大きくする）にした後で、元の一定の比率で流して濃度分布のムラを生じさせた時の上流側と下流側の濃度を測定すると図４及び図５のようになる。
【００２８】
図４は混合器の上流側に設置した濃度計１００のグラフを示すが、ここで横軸は経過時間、縦軸は濃度であり、ある一定時間に濃度が濃くなるような場合では、図のようなピーク（ｈ１）が現れることとなる。図５は混合器の下流側に設置した濃度計１０１のグラフを示すが、濃度のピークが１０個に分散されて、ピーク（ｈ２）の高さは約１０分の１になっている。濃度のピーク間の間隔ｔ１は、流体が分岐流路３ａを流れる時間と分岐流路３ｂを流れる時間の時間差に対応しており、同様にｔ２は流体が分岐流路３ｂを流れる時間と分岐流路３ｃを流れる時間の時間差、ｔ３は分岐流路３ｃと分岐流路３ｄを流れる時間の時間差、ｔ４は分岐流路３ｄと分岐流路３ｅを流れる時間の時間差、ｔ５は分岐流路３ｅと分岐流路３ｆを流れる時間の時間差、ｔ６は分岐流路３ｆと分岐流路３ｇを流れる時間の時間差、ｔ７は分岐流路３ｇと分岐流路３ｈを流れる時間の時間差、ｔ８は流体が分岐流路３ｈと分岐流路３ｉを流れる時間の時間差、ｔ９は流体が分岐流路３ｉと分岐流路３ｊを流れる時間の時間差に対応している。このとき、分岐流路３ａ〜３ｊの各々の内径を変化させることでピーク（ｈ２）の出る間隔ｔ１〜ｔ９を変化させることができ、分岐流路３ａ〜３ｊの数をさらに増やすとピーク（ｈ２）の高さは上流側のピーク（ｈ１）に対して分岐流路の数で分割した程度の高さまで抑えることができる。なお、仮に混合器を設置しない場合、図５に示される濃度のピークは流体の流れによって若干低下することはあるがピーク（ｈ１）はほぼ変わらずに流れることになる。
【００２９】
なお、本実施形態では濃度分布のムラについて説明しているが、熱湯と冷水を混合した時の温度分布の流れ方向の均一化についても同様の効果を得ることができる。温度分布の均一化を目的として、給湯器などへの利用も可能となり、流路内で部分的に高温となった流体の温度の流れ方向の均一化を行うことでより温度を安定させ、熱湯が流れることによる火傷の防止を行うことができる。また、廃液処理などにおいて、急激な濃度変化があると処理に支障をきたす場合や、ある一定以上の濃度を超えると不具合が発生する場合において、この配管ラインに本発明の螺旋式流体混合器を用いることで流れ方向の濃度の均一化を行うことができ、安定した排液処理を行うことができる。また、流れる流体は気体でも良く、例えば自動車の排気ガスの浄化において、エンジンのスタート時や加速時に急激に排ガス濃度が濃くなる場合、浄化のための触媒の負荷が大きくなって浄化能力の低下が考えられるが、排気ガスの配管ラインに本発明の螺旋式流体混合器を用いることで流れ方向の濃度の均一化を行うことができ、常に安定した排ガス浄化を行うことができる。
【００３０】
次に、図６を参照して、本発明の第二の実施形態である混合器について説明する。本実施形態では、前記第一の実施形態と同じ構成要素については同一符号を付して示す。
【００３１】
本体部２１はＰＴＦＥ製であり、円柱状に形成されている。本体部２１の一側面には凹部２２が設けられ、他側面には互いに内径の異なる１０個の有底円筒状の分岐流路２３が軸線が平行になるように設けられている。この分岐流路２３の内径は、最小の内径の分岐流路からほぼ一定の割合で段階的に大きくなるように形成されている。また、本体部２１には凹部２２底面と分岐流路２３底面とを各々連通する第一連通孔２４が設けられている。また、分岐流路２３の内周には第一連通孔２４から分岐流路２３内周面に向かって漸次拡径したテーパ部２５が各々設けられている。
【００３２】
中間継手部２６はＰＴＦＥ製であり、本体部２１の分岐流路２３に各々連通する第二連通孔２７が設けられており、第二連通孔２７から各々の分岐流路２３内周面に向かって漸次拡径したテーパ部２８が設けられている。中間継手部２６は本体部２１と第二継手部１１の間に挟持固定されており、中間継手部２６と第二継手部１１のテーパ部１４とで分岐流路２３から第二連通孔２７を通って流入した流体の合流部１６を形成している。第二の実施形態の他の構成は第一の実施形態と同様なので説明を省略する。
【００３３】
次に、本発明の第二の実施形態である混合器の作用について説明する。
【００３４】
混合器の上流側で水と薬液を混合させ、一時的に薬液の濃度が濃くなった状態で流した時、流路内で部分的に濃度が濃くなって流れている薬液は、流体入口６から第一流路７に流入して液室に流れていく。濃度が濃くなった薬液の部分が液室１０に連通している１０個の第一連通孔２４によって分岐されて各々の分岐流路２３に流入する。分岐流路２３に流入した濃度の濃くなった薬液の部分は分岐流路２３内を充満させた後で合流部を通って流体出口１２へと流れる。このとき、第一連通孔２４から分岐流路２３に流入する時に薬液はテーパ部２５に沿って流れるため、分岐流路２３を充満するときには滞留が発生せずにスムーズに流れることができる。また、分岐流路２３から第二連通孔２７に流入する時にテーパ部２８に沿って流れるため流体の滞留が発生せずに薬液が分岐流路２３から合流部へ移動する時にスムーズに流れることができる。内径の異なる分岐流路２３によって薬液が流れる作用などの第二の実施形態の他の作用は第一の実施形態と同様なので説明を省略する。
【００３５】
ここで第一連通孔２４は、各々の通路断面積が略同一に形成されることが望ましい。これは各々の第一連通孔２４によって分割される流体の流量が各々一定で流れるため、混合器に流入した流体は第一連通孔２４の個数でほぼ等しく分割されて各々時間差をつけて合流して流れるために濃度分布をムラなく均一化することができるため好適である。同様に第二連通孔２７の各々の通路断面積が略同一に形成されることが望ましい。これは分割される流体が第二連通孔２７で流量が各々一定で合流部１６で合流するため、各々時間差をつけて合流して流れる流体の濃度分布をよりムラなく均一化することができるため好適である。また、第二の実施形態では本体部２１の各々の第一連通孔２４および中間継手部２６の各々の第二連通孔２７の両方に第一、第二連通孔２４、２７から分岐流路２３内周面に向かって漸次拡径したテーパ部２５、２８が設けられているが、必要に応じて何れか一方にのみ設けても良い。
【００３６】
また、図７に示すように第二連通孔３２が各々の分岐流路３３の中心軸に対して偏芯した位置に設けられても良い。これは、分岐流路３３の第一連通孔３１の中心軸に対して第二連通孔３２の連通する位置をずらすことにより、分岐流路３３内での流体の流れに変化をもたらし、分岐流路３３の中心軸から離れた位置の流体の流れが中心軸の流れよりも遅くなることを防止し、流体が分岐流路３３内をムラ無く流れることができるため好適である。なお、分岐流路３３の中心軸に対して偏芯した位置に設けるのは第二連通孔３１でも良い。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の第一の実施形態の混合器を示す配管流路の模式図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１の混合器を用いて流体の濃度を測定する装置を示す模式図である。
【図４】図２の混合器の上流側の濃度を測定したグラフである。
【図５】図２の混合器の下流側の濃度を測定したグラフである。
【図６】本発明の第二の実施形態の混合器を示す縦断面図である。
【図７】第二の実施形態の第二連通孔の他のバリエーションを示す縦断面図である。
【図８】従来のスタティックミキサーを示す縦断面図である。
【図９】図８のスタティックミキサーの流体の撹拌状態を示す模式図である。
【図１０】従来の分岐希釈装置を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１    本体部
２    凹部
３，３ａ〜３ｊ    分岐流路
４    第一連通孔
５    第一継手部
６    流体入口
７    第一流路
８    テーパ部
９    雌ネジ部
１０    液室
１１    第二継手部
１２    流体出口
１３    第二流路
１４    テーパ部
１５    雌ネジ部
１６    合流部
２１    本体部
２２    凹部
２３    分岐流路
２４    第一連通孔
２５    テーパ部
２６    中間継手部
２７    第二連通孔
２８    テーパ部
３１    第一連通孔
３２    第二連通孔
３３    分岐流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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