(57)【要約】【課題】ロードビームとフレキシャとの相対位置を正確に規制することができるサスペンションの製造方法を提供する。【解決手段】サスペンション７の製造方法において、ロードビームブランク５０とフレキシャブランク６０が使用される。ロードビームブランク５０は、製品となるロードビーム３１と、ロードビーム３１から切り離される製品外のフレーム部５０ａとを含んでいる。ロードビームブランク５０のロードビーム３１にディンプル４０が形成され、かつ、フレーム部５０ａに位置決め用突起５１が形成される。フレキシャブランク６０は、製品となるフレキシャ３２と、フレキシャ３２から切り離される製品外のフレーム部６０ａとを含んでいる。フレキシャブランク６０のフレーム部６０ａに、位置決め用突起５１と嵌合する基準孔６１と、ディンプル４０が当接するタング部３２ａが形成される。【選択図】図２Ｃ
2010225261.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロードビームと該ロードビームに固定されるフレキシャとを含む磁気ヘッド用サスペンション、の製造方法であって、
前記ロードビームと該ロードビームに連なるフレーム部とを含むロードビームブランクを形成すること、
前記フレキシャと該フレキシャに連なるフレーム部とを含むフレキシャブランクを形成すること、
前記ロードビームの一部で前記フレキシャのタング部と対応した位置にディンプルを形成するとともに前記ロードビームブランクの前記フレーム部に位置決め用部分を形成すること、
前記フレキシャブランクの一部で前記位置決め用部分と対応した位置に該位置決め用部分と嵌合可能な嵌合部を形成すること、
前記ロードビームブランクまたは該ロードビームブランクに結合される部材に回り止め部を形成すること、
前記フレキシャブランクの一部で前記回り止め部と対応した位置に該回り止め部と嵌合可能な受け部を形成すること、
前記ロードビームブランクと前記フレキシャブランクとを重ねかつ前記位置決め用部分を前記嵌合部に嵌合させること、
前記回り止め部を前記受け部に嵌合させること、
前記フレキシャを前記ロードビームに固定すること、
前記固定後に前記ロードビームブランクのフレーム部から前記ロードビームを切り離しかつ前記フレキシャブランクのフレーム部から前記フレキシャを切り離すこと、
を具備している。
【請求項２】
請求項１に記載された製造方法であって、さらに、
前記ロードビームにヒンジ部材を固定する工程を含んでいる。
【請求項３】
請求項１に記載された製造方法において、
前記ディンプルと前記位置決め用部分とが、１つの金型セットによって１工程で成形される。
【請求項４】
請求項１に記載された製造方法において、
前記ディンプルが１つの金型セットによって第１の工程で成形され、前記位置決め用部分が前記金型セットによって第２の工程で成形される。
【請求項５】
請求項１に記載された製造方法において、
前記ディンプルと前記位置決め用部分とが、２台の金型セットによって別々に成形される。
【請求項６】
磁気ヘッド支持用サスペンションのためのロードビームブランクとフレキシャブランクとを含むサスペンションアセンブリであって、
前記ロードビームブランクは、
ディンプルを有するロードビームと、該ロードビームに連なりかつ該ロードビームから切り離されるべき切断予定部を有するフレーム部と、該フレーム部に形成され前記フレキシャブランクとの位置決めをなすための位置決め用部分と、前記フレキシャブランクとの回り止めをなすための回り止め部とを有し、
前記フレキシャブランクは、
前記ディンプルに接するタング部を有するフレキシャと、該フレキシャに連なりかつ該フレキシャから切り離されるべき切断予定部を有するフレーム部と、該フレーム部の一部で前記位置決め用部分と対応した位置に形成され該位置決め用部分と嵌合可能な嵌合部と、前記回り止め部と対応した位置に形成され該回り止め部と嵌合可能な受け部とを有している。
【請求項７】
請求項６に記載されたサスペンションアセンブリにおいて、
前記位置決め用部分が位置決め用突起である。
【請求項８】
請求項７に記載されたサスペンションアセンブリにおいて、
前記嵌合部が前記位置決め用突起と嵌合可能な基準孔である。
【請求項９】
請求項６に記載されたサスペンションアセンブリにおいて、
前記位置決め用部分が前記ディンプルの近傍に形成されている。
【請求項１０】
請求項９に記載されたサスペンションアセンブリにおいて、
前記ディンプルから前記回り止め部までの距離が、前記ディンプルから前記位置決め用部分までの距離よりも大である。
【請求項１１】
ロードビームと該ロードビームに固定されるフレキシャとを含む磁気ヘッド用サスペンション、の製造方法であって、
前記ロードビームと該ロードビームに連なるフレーム部とを含むロードビームブランクを形成すること、
前記フレキシャと該フレキシャに連なるフレーム部とを含むフレキシャブランクを形成すること、
前記フレキシャにディンプルを形成するとともに前記フレキシャブランクの前記フレーム部に位置決め用部分を形成すること、
前記フレキシャブランクの一部で前記位置決め用部分とは異なる位置に回り止め部を形成すること、
前記ロードビームブランクの一部で前記位置決め用部分と対応した位置に該位置決め用部分と嵌合可能な嵌合部を形成すること、
前記ロードビームブランクまたは該ロードビームブランクに結合される部材に前記回り止め部と嵌合可能な受け部を形成すること、
前記ロードビームブランクと前記フレキシャブランクとを重ねかつ前記位置決め用部分を前記嵌合部に嵌合させること、
前記回り止め部を前記受け部に嵌合させること、
前記フレキシャを前記ロードビームに固定すること、
前記固定後に前記ロードビームブランクのフレーム部から前記ロードビームを切り離しかつ前記フレキシャブランクのフレーム部から前記フレキシャを切り離すこと、
を具備している。
【請求項１２】
請求項１１に記載された製造方法であって、さらに、
前記ロードビームにヒンジ部材を固定する工程を含んでいる。
【請求項１３】
請求項１１に記載された製造方法において、
前記ディンプルと前記位置決め用部分とが、１つの金型セットによって１工程で成形される。
【請求項１４】
請求項１１に記載された製造方法において、
前記ディンプルが１つの金型セットによって第１の工程で成形され、前記位置決め用部分が前記金型セットによって第２の工程で成形される。
【請求項１５】
請求項１１に記載された製造方法において、
前記ディンプルと前記位置決め用部分とが、２台の金型セットによって別々に成形される。
【請求項１６】
磁気ヘッド支持用サスペンションのためのロードビームブランクとフレキシャブランクとを含むサスペンションアセンブリであって、
前記フレキシャブランクは、
ディンプルを有するフレキシャと、該フレキシャに連なりかつ該フレキシャから切り離されるべき切断予定部を有するフレーム部と、該フレーム部に形成され前記ロードビームブランクとの位置決めをなすための位置決め用部分と、前記ロードビームブランクとの回り止めをなすための回り止め部とを有し、
前記ロードビームブランクは、
前記ディンプルに接する部分を有するロードビームと、該ロードビームに連なりかつ該ロードビームから切り離されるべき切断予定部を有するフレーム部と、前記位置決め用部分と対応した位置に形成され該位置決め用部分と嵌合可能な嵌合部と、前記回り止め部と対応した位置に形成され該回り止め部と嵌合可能な受け部とを有している。
【請求項１７】
請求項１６に記載されたサスペンションアセンブリにおいて、
前記位置決め用部分が位置決め用突起である。
【請求項１８】
請求項１７に記載されたサスペンションアセンブリにおいて、
前記嵌合部が前記位置決め用突起と嵌合可能な基準孔である。
【請求項１９】
請求項１６に記載されたサスペンションアセンブリにおいて、
前記位置決め用部分が前記ディンプルの近傍に形成されている。
【請求項２０】
請求項１９に記載されたサスペンションアセンブリにおいて、
前記ディンプルから前記回り止め部までの距離が、前記ディンプルから前記位置決め用部分までの距離よりも大である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばパーソナルコンピュータなどの情報処理装置に内蔵される磁気ヘッド支持用サスペンションのための製造方法と、ロードビームブランクおよびフレキシャブランクを含むサスペンションアセンブリに関する。
【背景技術】
【０００２】
図４に、ハードディスク装置(Hard Disc Drive：略してＨＤＤ)１の一部が示されている。このディスク装置１のキャリッジ(Carriage)２は、ボイスコイルモータ(voice coil motor)等のポジショニング用モータ３によって、軸２ａを中心に旋回する。モータ３はマグネット４を含んでいる。キャリッジ２は、マグネット４の近傍に配置されたコイル部５と、アーム６と、サスペンション７と、磁気ヘッド８などによって構成されている。アーム（アクチュエータアームとも称される）６は、コイル部５に固定されている。サスペンション７はアーム６に取付けられている。磁気ヘッド８は、サスペンション７の先端部に配置されている。キャリッジ２をモータ３によって駆動することにより、磁気ヘッド８がディスク９の所望トラック（記録面）まで移動する。
【０００３】
磁気ヘッド８は、スライダ１０と、スライダ１０に設けられたトランスジューサ（図示せず）を含んでいる。スライダ１０は、ディスク９の前記トラックと対向可能な位置に設けられている。ディスク９が高速回転すると、ディスク９の表面とスライダ１０との間にエアベアリングが形成されるとともに、スライダ１０がディスク９の表面から僅かに浮上する。この浮上高さがフライハイトと称されている。
【０００４】
図５に従来のサスペンション７´の一例が示されている。図６はサスペンション７´のジンバル部を示している。サスペンション７´は、ロードビーム(load beam)１１と、ロードビーム１１に固定されたフレキシャ(flexure)１２と、ベースプレート１３を有している。ロードビーム１１は、精密な薄板ばねからなる。フレキシャ１２は、ロードビーム１１よりも薄い板ばねからなる。ベースプレート１３は、ロードビーム１１の基部に固定されている。このロードビーム１１は、フレキシャ１２が固定されるビーム本体部１１ａと、ベースプレート１３が固定される基部１１ｂと、ヒンジ部１１ｃとを含んでいる。ヒンジ部１１ｃは、本体部１１ａと基部１１ｂとをつなぎ、ばねとしての役割を担っている。サスペンションの他の例では、前記本体部１１ａと、基部１１ｂと、ヒンジ部１１ｃとが互いに別体に形成されている。その場合には、本体部１１ａがロードビームと称され、基部１１ｂがベース部材、ヒンジ部１１ｃがヒンジ部材と称されている。
【０００５】
フレキシャ１２の先端部に形成されたタング部１２ａに、スライダ１０が取付けられている。フレキシャ１２は、ディスク９に対してスライダ１０の浮上時の姿勢が変化できるようにするために、その剛性(stiffness)をかなり小さくしている。ロードビーム１１とフレキシャ１２とは、互いに厚み方向に重なった状態で、レーザ溶接等によって互いに固定される。図６に示すフレキシャ１２は導電部材１２ｂを備えている。いわゆる配線付フレキシャである。
【０００６】
ロードビーム１１の先端部分にディンプル(dimple)１４が設けられている。ディンプル１４はスライダ１０に向かって突出する半球状の凸部であるが、ロードビーム１１の裏面側が窪んでいることから、当業界ではディンプルと称している。ディンプル１４の先端がフレキシャ１２のタング部１２ａに当接する。これにより、磁気ヘッド８は、ディンプル１４を中心として、ピッチング方向（図６に矢印Ｐで示す）と、ローリング方向（矢印Ｒで示す）などの三次元的な変位が可能となっている。なお、ディンプル１４は、ロードビーム１１に設ける代わりに、フレキシャ１２のタング部１２ａに設けることもある。
【０００７】
ロードビーム１１とフレキシャ１２とを固定する際には、ロードビーム１１とフレキシャ１２とを正確に位置決めする必要がある。従来はこの位置決めのために、ロードビーム１１とフレキシャ１２とにそれぞれ基準孔１５，１６（図７に示す）が形成されていた。これら基準孔１５，１６に、治具ピン１７が挿入される。ロードビーム１１とフレキシャ１２は、パッド１８と押さえ部材１９との間にクランプされる。このクランプ状態のもとで、ロードビーム１１とフレキシャ１２とが、レーザ溶接等によって互いに固定されていた。
【０００８】
前記従来例においては、治具ピン１７が基準孔１５，１６に挿入される際に、ロードビーム１１やフレキシャ１２が、治具ピン１７によって傷付けられるおそれがある。これを防ぐために、治具ピン１７の外周面と基準孔１５，１６の内周面との間に、それぞれクリアランスが必要であった。その場合、図８に示されるように、治具ピン１７に対して基準孔１５，１６が、クリアランスＣ１，Ｃ２の分だけ左右方向に位置ずれを生じる可能性がある。つまりロードビーム１１とフレキシャ１２とは、最大で（Ｃ１＋Ｃ２）／２の中心ずれを生じる。
【０００９】
ロードビーム１１とフレキシャ１２との間に前記位置ずれ（中心ずれ）が生じると、スライダ１０に働くモーメントにアンバランスが生じる。ディスク９に対するスライダ１０のフライハイト特性は、スライダ１０に働くモーメントに大きく影響されることが知られている。すなわち安定したフライハイト特性を得るためには、特にローリング方向のモーメントにアンバランスが生じないようにする必要がある。
【００１０】
ローリング方向のモーメントのアンバランスは、静的ロール角およびディンプル位置ずれに起因する。図９に示す例では、フレキシャ１２にディンプル１４が設けられている。この場合、ロードビーム１１に対するフレキシャ１２の中心ずれがそのままディンプル位置ずれΔＤとなり、モーメントにアンバランスが発生する。図１０に示す例では、ロードビーム１１にディンプル１４が設けられている。この場合、ロードビーム１１とフレキシャ１２との中心ずれがモーメントずれΔＭを引き起こす。このため、静的ロール角に起因するモーメントのアンバランスが発生する。
【００１１】
従って、安定したフライハイト特性を得るためには、ロードビーム１１とフレキシャ１２との中心ずれを極力小さくする必要がある。つまり、サスペンションを構成する部材どうしの相対位置（アライメント）が非常に重要である。特に、スライダを取付けるフレキシャの前記タング部とディンプルとの相対位置に関し、高いアライメント精度が求められている。しかし実際には、ロードビーム１１とフレキシャ１２との組付精度にばらつき等が存在するため、安定したフライハイト特性を得ることが難しいのが現状である。
【００１２】
ロードビーム１１とフレキシャ１２との相対位置関係がずれていると、以下に述べるような問題も生じる。近年は、ヘッドの小形化の要求に伴って、配設付きフレキシャ(suspension with conductors)が実用化されている。例えば図６に示されるように、導電部材１２ｂを有するサスペンションでは、電極パッド１２ｃがフレキシャ１２に取付けられている。このため、ロードビーム１１に対するフレキシャ１２の位置ずれは、電極パッド１２ｃの位置ずれの原因となる。この位置ずれにより、ヘッド８の端子８ａと電極パッド１２ｃとの接続に支障をきたすことがある。
【００１３】
日本の特開２０００−１６３９０４号公報（特許文献１）に、ロードビームとフレキシャとの位置決めが可能なサスペンションが開示されている。そのサスペンションでは、図１１に示されるように、ロードビーム１１とフレキシャ１２との一方に、一対の基準孔２０，２１が形成されている。そして他方には、凸縁２２ａ，２３ａを有する一対のバーリング加工孔２２，２３が形成されている。これらバーリング加工孔２２，２３の凸縁２２ａ，２３ａを基準孔２０，２１に挿入することにより、ロードビーム１１とフレキシャ１２との位置決めがなされる。
【００１４】
特許文献１のサスペンションのように、ロードビーム１１あるいはフレキシャ１２にバーリング加工孔２２，２３を形成すると、その加工の際に孔２２，２３の周りに発塵(contamination)が生じる可能性がある。また凸縁２２ａ，２３ａを基準孔２０，２１に挿入する際にも発塵が生じるおそれがある。発塵はディスク装置にとって有害である。また最近はサスペンションのさらなる小形化に伴って、基準孔２０，２１間のピッチがきわめて小さくなっているため、十分な位置決め精度を得にくくなってきた。
【００１５】
日本の特開２００２−１３３８０８号公報（特許文献２）に、基準孔間のピッチを大きくとることができるサスペンションが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】特開２０００−１６３９０４号公報
【特許文献２】特開２００２−１３３８０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
特許文献２のサスペンションは、図１２Ａに示されるように、ロードビーム１１と連結部１１ｄとに、それぞれ基準孔１５ａ，１５ｂが形成されている。フレキシャ１２と延出部１２ｆにも、それぞれ基準孔１６ａ，１６ｂが形成されている。ヒンジ部１１ｃはロードビーム１１とは別体に形成されている。図１２Ｂに示すようにロードビーム１１とフレキシャ１２とを重ね、この状態のもとで第１の治具ピンが基準孔１５ａ，１６ａに挿入され、第２の治具ピンが基準孔１５ｂ，１６ｂに挿入される。この状態でロードビーム１１とフレキシャ１２とがレーザ溶接される。そののち枠部１１ｄが切断され、図１２Ｃに示されるサスペンションが完成する。しかしこの例も、基準孔と治具ピンとの前記クリアランスの問題が解決されていない。
【００１８】
またロードビーム１１とヒンジ部１１ｃとが互いに別々に形成されるサスペンションにおいては、ロードビーム１１とヒンジ部１１ｃに対してフレキシャ１２の位置決めを高精度になすことが求められている。
【００１９】
従って本発明の目的は、磁気ヘッド支持用サスペンションを構成する部材どうし、具体的にはロードビームとフレキシャとの相対位置を正確に規制することができ、特に、一方の部材に設けられたディンプルと、他方の部材との相対位置を正確に規制することができ、かつ、発塵を抑制できるサスペンションの製造方法と、サスペンションアセンブリを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明に係る第１の製造方法は、ロードビームにディンプルを設けるサスペンションに適用され、前記ロードビームと該ロードビームに連なるフレーム部とを含むロードビームブランクを形成すること、前記フレキシャと該フレキシャに連なるフレーム部とを含むフレキシャブランクを形成すること、前記ロードビームの一部で前記フレキシャのタング部と対応した位置にディンプルを形成するとともに前記ロードビームブランクの前記フレーム部に位置決め用部分を形成すること、前記フレキシャブランクの一部で前記位置決め用部分と対応した位置に該位置決め用部分と嵌合可能な嵌合部を形成すること、前記ロードビームブランクまたは該ロードビームブランクに結合される部材に回り止め部を形成すること、前記フレキシャブランクの一部で前記回り止め部と対応した位置に該回り止め部と嵌合可能な受け部を形成すること、前記ロードビームブランクと前記フレキシャブランクとを重ねかつ前記位置決め用部分を前記嵌合部に嵌合させること、前記回り止め部を前記受け部に嵌合させること、前記フレキシャを前記ロードビームに固定すること、前記固定後に前記ロードビームブランクのフレーム部から前記ロードビームを切り離しかつ前記フレキシャブランクのフレーム部から前記フレキシャを切り離すことを具備している。
【００２１】
本発明に係る第２の製造方法は、フレキシャにディンプルを設けるサスペンションに適用され、前記ロードビームと該ロードビームに連なるフレーム部とを含むロードビームブランクを形成すること、前記フレキシャと該フレキシャに連なるフレーム部とを含むフレキシャブランクを形成すること、前記フレキシャにディンプルを形成するとともに前記フレキシャブランクの前記フレーム部に位置決め用部分を形成すること、前記フレキシャブランクの一部で前記位置決め用部分とは異なる位置に回り止め部を形成すること、前記ロードビームブランクの一部で前記位置決め用部分と対応した位置に該位置決め用部分と嵌合可能な嵌合部を形成すること、前記ロードビームブランクまたは該ロードビームブランクに結合される部材に前記回り止め部と嵌合可能な受け部を形成すること、前記ロードビームブランクと前記フレキシャブランクとを重ねかつ前記位置決め用部分を前記嵌合部に嵌合させること、前記回り止め部を前記受け部に嵌合させること、前記フレキシャを前記ロードビームに固定すること、前記固定後に前記ロードビームブランクのフレーム部から前記ロードビームを切り離しかつ前記フレキシャブランクのフレーム部から前記フレキシャを切り離すことを具備している。
【００２２】
これらの製造方法において、さらに、前記ロードビームにヒンジ部材を固定する工程を含んでいてもよい。また前記ディンプルと前記位置決め用部分とが、１つの金型セットによって１工程で成形されてもよい。また前記ディンプルが１つの金型セットによって第１の工程で成形され、前記位置決め用部分が前記金型セットによって第２の工程で成形されてもよい。あるいは前記ディンプルと前記位置決め用部分とが、２台の金型セットによって別々に成形されてもよい。
【００２３】
本発明に係る第１のサスペンションアセンブリのロードビームブランクは、ディンプルを有するロードビームと、該ロードビームに連なりかつ該ロードビームから切り離されるべき切断予定部を有するフレーム部と、該フレーム部に形成され前記フレキシャブランクとの位置決めをなすための位置決め用部分（例えば位置決め用突起）と、前記フレキシャブランクとの回り止めをなすための回り止め部とを有している。
【００２４】
第１のサスペンションアセンブリのフレキシャブランクは、前記ディンプルに接するタング部を有するフレキシャと、該フレキシャに連なりかつ該フレキシャから切り離されるべき切断予定部を有するフレーム部と、該フレーム部の一部で前記位置決め用部分と対応した位置に形成され該位置決め用部分と嵌合可能な嵌合部（例えば基準孔）と、前記回り止め部と対応した位置に形成され該回り止め部と嵌合可能な受け部とを有している。
【００２５】
本発明に係る第２のサスペンションアセンブリのフレキシャブランクは、ディンプルを有するフレキシャと、該フレキシャに連なりかつ該フレキシャから切り離されるべき切断予定部を有するフレーム部と、該フレーム部に形成され前記ロードビームブランクとの位置決めをなすための位置決め用部分（例えば位置決め用突起）と、前記ロードビームブランクとの回り止めをなすための回り止め部とを有している。
【００２６】
第２のサスペンションアセンブリのロードビームブランクは、前記ディンプルに接する部分を有するロードビームと、該ロードビームに連なりかつ該ロードビームから切り離されるべき切断予定部を有するフレーム部と、前記位置決め用部分と対応した位置に形成され該位置決め用部分と嵌合可能な嵌合部（例えば基準孔）と、前記回り止め部と対応した位置に形成され該回り止め部と嵌合可能な受け部とを有している。
【発明の効果】
【００２７】
第１の製造方法によれば、サスペンションのジンバル部を構成するディンプルとフレキシャのタング部との相対位置の精度が向上する。このため、スライダが装着されるタング部とディンプルとの高いアライメント精度を得ることができる。
【００２８】
第２の製造方法によれば、サスペンションのジンバル部を構成するディンプルとロードビームとの相対位置の精度が向上する。このため、フレキシャのタング部に装着されるスライダとディンプルとの高いアライメント精度を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１Ａ】本発明の一実施形態に係るロードビームブランクの曲げ加工前の平面図。
【図１Ｂ】図１Ａに示されたロードビームブランクの曲げ加工後の平面図。
【図１Ｃ】図１Ｂに示されたロードビームブランクの一部と、金型セットの断面図。
【図２Ａ】本発明の一実施形態に係るフレキシャブランクの平面図。
【図２Ｂ】ベースプレートの平面図。
【図２Ｃ】前記ロードビームブランクと前記フレキシャブランクと前記ベースプレートとからなるサスペンションアセンブリの平面図。
【図２Ｄ】完成したサスペンションの平面図。
【図３Ａ】図２Ｃに示されたサスペンションアセンブリにおいてディンプルとフレキシャの一部を示す断面図。
【図３Ｂ】図２Ｃに示されたサスペンションアセンブリにおいて位置決め用突起と基準孔を示す断面図。
【図３Ｃ】本発明の他の実施形態に係るサスペンションのフレキシャとロードビームの一部を示す断面図。
【図４】ハードディスク装置の一例を示す断面図。
【図５】従来のサスペンションの斜視図。
【図６】図５に示されたサスペンションのジンバル部の分解斜視図。
【図７】従来のサスペンションのロードビームとフレキシャとクランプ用の部材を示す断面図。
【図８】従来のサスペンションの基準孔と治具ピンとの間のクリアランスを表した断面図。
【図９】従来のサスペンションのヘッド部のディンプルずれを示す正面図。
【図１０】従来のサスペンションのヘッド部のモーメントずれを示す正面図。
【図１１】位置決め用の基準孔とバーリング孔とを有する従来のサスペンションの平面図。
【図１２Ａ】他の従来例のサスペンションを構成する部材を分解した状態で示した平面図。
【図１２Ｂ】図１２Ａに示された各部材を重ねた状態の平面図。
【図１２Ｃ】図１２Ａに示された各部材によって得られたサスペンションの平面図。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下に、本発明の１つの実施形態について、図１から図４を参照して説明する。  
図２Ｄは磁気ヘッド支持用サスペンション７の一例を示している。このサスペンション７は、ベースプレート３０と、ロードビーム３１と、配線付きフレキシャ(flexure with conductors)３２などを備えている。ベースプレート３０のボス部３０ａは、キャリッジ２（図４に示す）のアーム６に固定される。図２Ｃは、このサスペンション７が製造される過程で得られるサスペンションアセンブリ７Ａを示している。
【００３１】
ロードビーム３１は、ベースプレート３０に固定される基部３１ａと、厚さ方向に撓むことができるヒンジ部３１ｂと、先端部３１ｃとを含んでいる。ロードビーム３１の先端部３１ｃの近くにディンプル４０が設けられている。フレキシャ３２は、ロードビーム３１の軸線Ｘ１（図１Ｂに示す）に沿う方向に延びている。フレキシャ３２の一部はロードビーム３１に重なり、レーザ溶接等の固定手段によってロードビーム３１に固定されている。図２Ｄ中の符号Ｗ１は、ベースプレート３０とロードビーム３１との溶接部を示している。図２Ｄ中の符号Ｗ２は、ロードビーム３１とフレキシャ３２との溶接部を示している。フレキシャ３２の先端付近にタング部３２ａが形成されている。タング部３２ａは、ディンプル４０を中心として、ローリング方向とピッチング方向等に揺動可能である。タング部３２ａとディンプル４０とは、フレキシャ３２のジンバル部を構成している。フレキシャ３２の後部に形成された延出部３２ｂは、ベースプレート３０に固定される。
【００３２】
ディンプル４０はロードビーム３１またはフレキシャ３２のどちらに設けることも可能である。図３Ａに示す例では、ロードビーム３１にディンプル４０が形成されている。以下に説明する実施形態は、ロードビーム３１にディンプル４０が設けられている場合である。これに対し図３Ｃに示すサスペンションは、フレキシャ３２にディンプル４０が設けられ、ロードビーム３１はディンプル４０に接する部分３１ｆを有している。このようにフレキシャ３２にディンプル４０が設けられている場合も、ディンプル４０の位置関係以外は下記の実施形態と共通であるから説明を省略する。
【００３３】
図１Ａは、曲げ加工前のロードビーム３１を含むロードビームブランク５０を示している。ロードビームブランク５０は、エッチングやプレス加工などの周知の加工方法によって、金属板（薄板ばね）から形成されている。このロードビームブランク５０は、製品となるロードビーム３１と、製品外のスクラップ部分であるフレーム部５０ａとを有している。
【００３４】
図１Ｂは、曲げ加工後のロードビームブランク５０を示している。曲げ加工において、ロードビーム３１の両側縁３１ｄや、曲げ部３１ｅなどがプレスの金型によって成形される。ロードビームブランク５０のフレーム部５０ａは、ロードビーム３１とフレキシャ３２とが組合わされてサスペンション７が完成する過程で、ロードビーム３１から切り離される。図１Ｂ中の２点鎖線Ｌ１は、その切断予定部を示している。ロードビームブランク５０のフレーム部５０ａは、図１Ａ，図１Ｂに示すようなロードビーム３１を囲む形状に限ることはなく、例えば突片状をなしていてもよい。
【００３５】
図１Ｂに示すように、ロードビームブランク５０のロードビーム３１に、ディンプル４０が形成されている。ディンプル４０とフレキシャ３２のタング部３２ａとは、サスペンション７の磁気ヘッド８を支持するためのジンバル部を構成する。またこのロードビームブランク５０のフレーム部５０ａに、位置決め用突起５１が形成されている。位置決め用突起５１は、この発明で言う位置決め用部分の一例であり、ロードビーム３１とフレキシャ３２との位置決めに使用される。
【００３６】
図１Ｃに示すように、ディンプル４０と位置決め用突起５１とは、パンチ５５ａとダイ５５ｂとを有する金型セット５５によって同時に成形される。この明細書で言う「同時に成形する」とは、ロードビームブランク５０の保持状態を変更しないで成形を行うことを意味する。よって、ディンプル４０と位置決め用突起５１との成形に時間的なずれがあってもよい。また、ディンプル４０と位置決め用突起５１とを、２台の金型セットによって別々に形成してもよい。あるいは、１台の金型セットによって第１の工程でディンプル４０を形成したのち、金型セットまたはロードビームブランク５０を移動させ、第２の工程において位置決め用突起５１を形成してもよい。加工精度を高め、かつ、加工時間を短くするためには、ディンプル４０と位置決め用突起５１とを１つの金型セットを用いて１工程で成形することが望ましい。
【００３７】
図１Ｂに示されるように、ディンプル４０はロードビーム３１の先端部３１ｃの近くに形成されている。また位置決め用突起５１は、フレーム部５０ａのうち、ディンプル４０に最も近い位置付近に形成されている。こうすることにより、ディンプル４０とフレキシャ３２のタング部３２ａとの位置決め精度をさらに高めることができる。本実施形態の場合、ロードビーム３１の長手方向に沿う軸線Ｘ１上に、ディンプル４０と位置決め用突起５１とが形成されている。ディンプル４０と位置決め用突起５１を形成する工程は、ロードビーム３１の前記曲げ加工と同時に行われるとよいが、ロードビーム３１の曲げ加工とは別工程で行われてもよい。
【００３８】
図３Ａに示すようにディンプル４０の一例は、ほぼ半球形（ドーム形）をなす凸部である。図３Ｂに示すように位置決め用突起５１も、ドーム形に形成されている。位置決め用突起５１の突出方向は、ディンプル４０の突出方向と同じである。なお、位置決め用突起５１は円柱形であってもよいし、あるいは、内周に凸縁を有するバーリング加工孔であってもよい。要するに、位置決め用突起５１は、後述する基準孔６１に嵌合できる形状であればよく、突起５１の形状や大きさは問わない。
【００３９】
ロードビームブランク５０には、位置決め用突起５１とは別に、回り止め部５２（図２Ｃと図２Ｄに示す）が設けられている。回り止め部５２の一例は、ロードビームブランク５０の厚さ方向に突出する凸部である。この回り止め部５２は、ロードビーム３１に設けられてもよいし、フレーム部５０ａに結合される別部材（図示せず）に設けられてもよい。回り止め部５２は、後述するフレキシャブランク６０の回り止め用の受け部６２に挿入される。
【００４０】
回り止め部５２は、位置決め用突起５１と同様に半球形の凸部、あるいは凸縁を有するバーリング加工孔の形態であってもよい。凸部からなる回り止め部５２は、孔あるいはスリットからなる受け部６２に挿入可能な形状であればよいため、その具体的な形状や大きさは問わない。ディンプル４０から回り止め部５２までの距離は、ディンプル４０から位置決め用突起５１までの距離Ｓ１（図１Ｂに示す）の２倍以上である。
【００４１】
図２Ａはフレキシャブランク６０を示している。フレキシャブランク６０は、金属板（薄板ばね）からエッチングやプレス加工などの周知の加工方法によって形成されている。このフレキシャブランク６０は、製品となるフレキシャ３２と、製品外のスクラップ部分であるフレーム部６０ａとを有している。フレキシャ３２は、フレーム部６０ａに連なっている。フレーム部６０ａは、ロードビーム３１とフレキシャ３２とが組合わされてサスペンション７が完成する過程で、フレキシャ３２から切り離される。図２Ａ中の２点鎖線Ｌ２は、その切断予定部を示している。フレーム部６０ａは、図２Ａに示された形状に限ることはなく、例えば突片状をなしていてもよい。
【００４２】
図２Ａに示すように、フレキシャブランク６０のフレーム部６０ａに、基準孔６１が形成されている。基準孔６１は、この発明で言う嵌合部の一例であり、ロードビームブランク５０の位置決め用突起５１と対応した位置に形成されている。フレキシャ３２の延出部３２ｂに、回り止め用の受け部６２が形成されている。受け部６２の一例は、フレキシャ３２の軸線Ｘ２（図２Ａに示す）に沿う長円形の孔である。この受け部６２に、回り止め部５２を挿入することにより、ロードビーム３１に対するフレキシャ３２の回り止めがなされる。この回り止め用の受け部６２は、回り止め部５２と対応した位置に形成されていればよいから、フレキシャブランク６０の前記以外の位置に形成されていてもよい。図２Ｂはベースプレート３０の一例を示している。ベースプレート３０は、ロードビーム３１の基部３１ａに固定される。
【００４３】
以上説明したロードビームブランク５０と、フレキシャブランク６０と、ベースプレート３０とによって、図２Ｃに示すサスペンションアセンブリ７Ａが構成される。サスペンションアセンブリ７Ａを組立てる際、ロードビームブランク５０とフレキシャブランク６０とを厚さ方向に重ねるとともに、ロードビームブランク５０のフレーム部５０ａの位置決め用突起５１が、フレキシャブランク６０のフレーム部６０ａの基準孔６１に挿入される。
【００４４】
このようにロードビームブランク５０とフレキシャブランク６０が厚さ方向に重ねられると、図３Ａに示すように、ディンプル４０の先端がフレキシャ３２のタング部３２ａに当接する。また図３Ｂに示すように、位置決め用突起５１が基準孔６１に嵌合する。位置決め用突起５１は、その基部５１ａから先端５１ｂに向かって外径が小さくなる形状となっている。基部５１ａの外径は基準孔６１の内径と同等以上である。このため位置決め用突起５１の高さ方向の途中の部分５１ｃが基準孔６１の内周縁に係合することにより、ロードビームブランク５０とフレキシャブランク６０との位置決めがなされる。この場合、位置決め用突起５１と基準孔６１との間にクリアランスは生じない。
【００４５】
前記したように、位置決め用突起５１が基準孔６１に挿入され、かつ、回り止め部５２が受け部６２に挿入される。回り止め部５２は、位置決め用突起５１とは異なる位置に設けられている。回り止め部５２が受け部６２と嵌合することにより、ロードビームブランク５０とフレキシャブランク６０との回り止めがなされる。このためロードビームブランク５０とフレキシャブランク６０との相対位置が正確に定まる。
【００４６】
前記以外の実施の形態として、フレキシャブランク６０のフレーム部６０ａまたはフレキシャ３２に、凸形の回り止め部を形成し、ロードビームブランク５０のフレーム部５０ａまたはロードビーム３１に、孔からなる受け部を形成してもよい。以上説明した各実施形態では、ロードビームブランク５０またはフレキシャブランク６０の一方に形成された回り止め部を、他方に形成された受け部に嵌合させることによって、ロードビームブランク５０に対するフレキシャブランク６０の回り止めが実現される。
【００４７】
なお、ロードビームブランクとフレキシャブランクにそれぞれ回り止め用の孔を形成し、これらの孔に治具ピンを挿入することにより、ロードビームブランクに対するフレキシャブランクの回り止めをなしてもよい。要するに本発明に係るサスペンションアセンブリは、位置決め用部分と嵌合部との嵌合によって、ロードビームブランクとフレキシャブランクとの位置決めをなすとともに、回り止め部と受け部との嵌合によって、両者の相対回動を防止している。このような目的にかなう位置決め用部分と嵌合部であれば、それらの具体的な形態は問わない。また回り止め部および受け部についても、具体的な形態は問わない。
【００４８】
図２Ｃのようにロードビームブランク５０とフレキシャブランク６０との位置決めがなされた状態で、ロードビーム３１とフレキシャ３２とが、接着あるいはレーザ溶接によって互いに固定される。そののち、ロードビームブランク５０のフレーム部５０ａがロードビーム３１から切り離される。またフレキシャブランク６０のフレーム部６０ａがフレキシャ３２から切り離されることにより、図２Ｄに示すサスペンション７が完成する。
【００４９】
前記実施形態では、ロードビームブランク５０に設けるディンプル４０と位置決め用突起５１とが、金型セット５５（図１Ｃに示す）によって同時に成形される。図３Ｂに示すように、位置決め用突起５１が基準孔６１に嵌合することにより、ロードビーム３１に対するフレキシャ３２の位置決めがなされる。位置決め用突起５１は、ロードビームブランク５０のフレーム部５０ａの一部でディンプル４０に近い位置に形成されている。このためディンプル４０とフレキシャ３２のタング部３２ａとの相対位置精度が非常に高くなる。よって、タング部３２ａとディンプル４０とは、精度の高いジンバル部を構成することができる。
【００５０】
図１２に示す従来のサスペンションでは、２対の基準孔にそれぞれ治具ピンを挿入していたため、各治具ピンと基準孔の内面との間に比較的大きなクリアランスが必要であった。これに対し本実施形態のサスペンション７では、ロードビームブランク５０のフレーム部５０ａに形成された位置決め用突起５１がフレキシャブランク６０の基準孔６１に挿入され、回り止め部５２が受け部６２に挿入される。このことにより、従来必要としていた前記クリアランスを不要にすることができた。しかも位置決め用突起５１と基準孔６１がいずれもフレーム部（スクラップ部分）５０ａ，６０ａに形成される。このため、位置決めの際にロードビーム３１やフレキシャ３２に傷が付くことを回避でき、サスペンション７の品質が向上する。しかもサスペンション７にとって最も高精度が要求されるディンプル４０とフレキシャ３２のタング部３２ａとの相対位置をきわめて高くすることができる。よって、スライダ１０を取付けるタング部３２ａとディンプル４０との相対位置に関して，高いアライメント精度を得ることができる。
【００５１】
図２Ｃに示すようにロードビームブランク５０とフレキシャブランク６０との組立てが終了し両者が固定されたのちに、フレーム部５０ａ，６０ａが、それぞれロードビーム３１とフレキシャ３２とから切り離される。このため、発塵の原因となる突起５１と孔６１との嵌合部が、完成したサスペンション７に残ることを回避できる。このため、完成したサスペンション７にバリやコンタミネーションが生じる可能性が低減する。
【００５２】
本実施形態では、ロードビーム３１の外側に位置するフレーム部５０ａに位置決め用突起５１が形成され、フレキシャ３２の外側に位置するフレーム部６０ａに基準孔６１が形成される。このため、位置決め用突起５１から回り止め部５２までの距離を大きくとることができる。よって、ロードビーム３１とフレキシャ３２との相対位置精度を高くすることができる。
【００５３】
前記実施形態では、ロードビームとフレキシャとの位置決めを例にあげて説明した。しかし本発明は、ロードビームとヒンジ部材とが別々に構成されるサスペンションにおいて、ロードビームとヒンジ部材との位置決めにも適用できる。その場合、ロードビームとフレキシャとを固定する工程に加えて、ヒンジ部材をロードビームに固定する工程が行われる。そして位置決め用突起から離れた位置に、回り止め部が形成される。こうすることにより、ロードビームとフレキシャとヒンジ部材との相対位置を高精度に規制できる。
【００５４】
なお本発明は、前記の実施形態に限定されることはなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で様々な形態で実施することが可能である。また本発明はハードディスク装置以外のディスク装置のサスペンションに適用することもできる。前記実施形態では、１台の金型セットによって、ディンプルと位置決め用突起とが同時に形成される。しかし他の形態では、ディンプルが１つの金型セットによって第１の工程で成形され、位置決め用部分が第２の工程で成形されてもよい。あるいは、ディンプルと位置決め用部分とが、２台の金型セットによって別々に成形されてもよい。また、フレキシャブランクのフレーム部に位置決め用部分として機能する突起を形成し、ロードビームブランクのフレーム部に嵌合部として機能する孔を形成してもよい。あるいはヒンジ部材に位置決め用突起が形成されてもよい。
【符号の説明】
【００５５】
７…サスペンション
３１…ロードビーム
３２…フレキシャ
３２ａ…タング部
４０…ディンプル
５０…ロードビームブランク
５０ａ…フレーム部
５１…位置決め用突起（位置決め用部分）
５２…回り止め部
６０…フレキシャブランク
６０ａ…フレーム部
６１…基準孔（嵌合部）
６２…受け部
Ｌ１，Ｌ２…切断予定部
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図２Ｄ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１２Ｃ】
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