(57)【要約】【課題】加工用工具または加工対象物の形状を計測する装置において、カメラの数を増やさずに撮像範囲（言い換えれば分解能）を向上させる。【解決手段】カメラ１内の撮像素子２は、当該撮像素子２の一辺に沿って２以上のエリアＡ，Ｂ…に区分されており、当該形状測定装置は、区分されたエリア毎に、測定対象４の撮影範囲を、カメラ１と測定対象４とを相対移動させる第１の方向（Ｘ軸方向）とは垂直な成分を含む方向にずらすための多段傾斜ミラー３と、カメラ１と測定対象とを第１の方向に相対移動させる相対移動手段と、カメラ１と測定対象４とを前記相対移動手段により相対移動させながら撮像素子２に撮像を行わせ、各撮像時点での各エリアの撮像画像を合成する合成手段と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カメラで撮影した画像を解析し、測定対象である加工用工具または加工対象物または加工対象物保持装置の形状を計測する形状測定装置において、
前記カメラ内の撮像素子は、当該撮像素子の一辺に沿って２以上のエリアに区分されており、
前記形状測定装置は、
区分された前記エリア毎に、前記測定対象の撮影範囲を、前記カメラと前記測定対象とを相対移動させる第１の方向とは垂直な成分を含む方向にずらすための光学系と、
前記カメラと前記測定対象とを、前記第１の方向に相対移動させる相対移動手段と、
前記カメラと前記測定対象とを前記相対移動手段により相対移動させながら前記撮像素子に撮像を行わせ、各撮像時点での前記各エリアの撮像画像を合成する合成手段と、
を備えることにより、測定対象の撮像画像の分解能を向上させるよう構成した形状測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置であって、上記光学系は、前記カメラの前面に配置したミラーを有し、前記ミラーは、前記撮像素子の前記各エリアに対応する反射面毎に、前記各エリアの撮像範囲が、前記カメラと前記測定対象とが相対移動する前記第１の方向と垂直な方向に異なるよう変化させた多段傾斜ミラーである、ことを特徴とする形状測定装置。
【請求項３】
カメラで撮影した画像を解析し、測定対象である加工用工具または加工対象物または加工対象物保持装置の形状を計測する形状計測装置において、
前記カメラ内の撮像素子は、当該撮像素子の一辺に沿って２以上のエリアに区分されており、
前記形状計測装置は、
区分された前記エリア毎に、前記測定対象の撮影範囲を、前記カメラと前記測定対象とを相対移動させる第１の方向に沿ってずらすための光学系と、
前記カメラと前記測定対象とを、前記第１の方向に相対移動させる相対移動手段と、
前記カメラと前記測定対象とを前記相対移動手段により相対移動させながら前記撮像素子に撮像を行わせ、異なる撮像時点での前記各エリアの撮像画像を用いてステレオ法により前記測定対象の三次元形状を求める形状計算手段と、
を備える形状測定装置。
【請求項４】
請求項３に記載の装置であって、上記光学系は、前記カメラの前面に配置したミラーを有し、前記ミラーは、前記撮像素子の前記各エリアに対応する反射面毎に、前記各エリアの撮像範囲が、前記カメラと前記測定物とが相対移動する前記第１の方向に沿って異なるよう変化させた多面体ミラーである、ことを特徴とする形状測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工機械の機内において、カメラを用いた画像認識により、加工用工具または加工対象物の形状を測定する形状測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
工作機械等の加工機械では、加工用工具や、加工対象物の形状を自動認識することで、工具の選択ミスによる加工不具合の防止や、操作ミスによる機械衝突を避ける機能が開発され、実用化され始めている。
【０００３】
加工後の形状を高精度に測定する用途を除き、ＣＣＤカメラを使用して対象物の撮影し、画像処理により、輪郭抽出やパターンマッチング等をおこなって、対象物を測定するのが一般的であり、マシニングセンタのマガジン上の工具形状を認識する装置（例えば特許文献１）や、旋盤でチャッキングした加工対象物の形状を測定する装置（例えば特許文献２）などが知られている。
【０００４】
工作機械の加工室内に画像認識用カメラを設置しようとすると、加工終了後であっても加工室内にはオイルミストや粉塵等の浮遊が多く、カメラレンズまたは、カメラを格納した防水ボックスの頻繁な清掃が必要になる。このため、対象物の撮影場所は、加工室と板金で隔てられた工具マガジンを備えた工具格納エリア内や、横型マシニングセンタのパレットチェンジャーを介した加工準備エリア内で行う方が有利である。
【０００５】
加工室内に比べて、上記の様なエリアはスペースが狭く、一般に測定物と撮影用カメラとの距離が余裕を持って確保できない。図５に、このような場合の従来の測定装置におけるカメラ配置例を示し、その構成を簡単に説明する。
【０００６】
この従来例は、マガジンに格納された測定対象４（この例では切削工具）を、３台のカメラ１１〜１３を用いて撮影している。ここで、カメラ台数を３台にしているのは、分解能がＶＧＡ規格（６４０×４００画素）の安価なネットワークカメラを使用するためである。すなわち、長尺なドリルまでを撮影しようとすると、６４０×４００の画素数の場合、工具の長さ方向の分解能が６４０では不足する場合があるためである。
【０００７】
ここでネットワークカメラを使用しているのは、工作機械のようにインバータ装置を多用するノイズの多い環境で、カメラから、画像処理装置までの比較的長距離（例えば１０ｍを越える）の信号伝達を安定して行うためである。ネットワークカメラとして現時点で安価に手に入るカメラの撮像素子の画素分解能はＶＧＡ規格レベルである。
【０００８】
３個のカメラの撮影画像は、カメラ１が測定対象４の上部側、カメラ２が中部、カメラ３が下部側になるように、３組の画像が縦長に繋ぎ合わされた後、画像処理にかけられる。ここでは、測定対象物として工具をあげたが、測定対象を加工対象物とすると、一般にさらにサイズが大きくなるため、より多くのカメラ数が必要となる。
【０００９】
図５の従来装置例は、画像処理として１つの画像から輪郭線抽出または、シルエット法で、測定物の計測を行う例であるが、２つ以上のカメラを用いて、ステレオ法で、３次元形状を測定する例を図６に示す。測定対象に対して、正面画像を撮影するカメラ１２と、撮影角度がそれぞれ左右にθ３，θ４となるカメラ１１，カメラ１３を使用して、３つの画像を取得し、ステレオ法による画像解析を行って、測定物の形状を測定する。
【００１０】
【特許文献１】特開平６−１３４６３８号公報
【特許文献２】特開平５−０３５３２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
従来の形状測定装置では、複数カメラを用いるため、カメラ自身のコストもかかるが、設置場所の環境から、カメラ毎に、防水防塵対策が必要なため、カメラ数増加にともなうシステム価格の上昇はさらに顕著になる。また、複数設置されたカメラの光軸を、常に加工振動でずれないように独立して管理調整する事が煩雑になるという課題があった。
【００１２】
また、広角レンズを用いて１つのカメラで撮影するよう構成した場合でも、レンズ周辺でとらえる測定物の１画素あたりの撮影範囲が広がるため、所定の検出位置分解能を得るために画素数は増加し、入手可能な最高画素数のカメラでも十分な測定分解能が得られない場合があるとの課題がある。また、高分解能が必要な用途では、カメラと測定対象物を、例えば直交直行する２方向に移動可能として、カメラと測定対象物との相対位置を変化させながら測定対象物を撮影することも考えられる必要があり、このような構成は、駆動系の追加により、さらにシステムコストが上昇する課題がある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたものであり、請求項１を適用した測定装置は、カメラで撮影した画像を解析し、測定対象である加工用工具または加工対象物または加工対象物保持装置の形状を計測する形状測定装置において、前記カメラ内の撮像素子は、当該撮像素子の一辺に沿って２以上のエリアに区分されており、前記形状測定装置は、区分された前記エリア毎に、前記測定対象の撮影範囲を、前記カメラと前記測定対象とを相対移動させる第１の方向とは垂直な成分を含む方向にずらすための光学系と、前記カメラと前記測定対象とを、前記第１の方向に相対移動させる相対移動手段と、前記カメラと前記測定対象とを前記相対移動手段により相対移動させながら前記撮像素子に撮像を行わせ、各撮像時点での前記各エリアの撮像画像を合成する合成手段と、を備えることにより、測定対象の撮像画像の分解能を向上させるよう構成する。
【００１４】
請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明において、上記光学系は、前記カメラの前面に配置したミラーを有し、前記ミラーは、前記撮像素子の前記各エリアに対応する反射面毎に、前記各エリアの撮像範囲が、前記カメラと前記測定対象とが相対移動する前記第１の方向と垂直な方向に異なるよう変化させた多段傾斜ミラーである、ことを特徴とする。なお、１つの好適な態様では、カメラと多段傾斜ミラーは、防塵ケース内に一体に組み付けたのち、測定場所に取り付けてもよい。
【００１５】
請求項３を適用した測定装置は、カメラで撮影した画像を解析し、測定対象である加工用工具または加工対象物または加工対象物保持装置の形状を計測する形状計測装置において、前記カメラ内の撮像素子は、当該撮像素子の一辺に沿って２以上のエリアに区分されており、前記形状計測装置は、区分された前記エリア毎に、前記測定対象の撮影範囲を、前記カメラと前記測定対象とを相対移動させる第１の方向に沿ってずらすための光学系と、前記カメラと前記測定対象とを、前記第１の方向に相対移動させる相対移動手段と、前記カメラと前記測定対象とを前記相対移動手段により相対移動させながら前記撮像素子に撮像を行わせ、異なる撮像時点での前記各エリアの撮像画像を用いてステレオ法により前記測定対象の三次元形状を求める形状計算手段と、を備える。
【００１６】
請求項４に係る発明は、請求項３に係る発明において、上記光学系は、前記カメラの前面に配置したミラーを有し、前記ミラーは、前記撮像素子の前記各エリアに対応する反射面毎に、前記各エリアの撮像範囲が、前記カメラと前記測定物とが相対移動する前記第１の方向に沿って異なるよう変化させた多面体ミラーである、ことを特徴とする。なお、１つの好適な態様では、カメラと多段傾斜ミラーは、防塵ケース内に一体に組み付けたのち、測定場所に取り付けてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１に係る発明を適用した測定装置では、撮像素子の一辺の画素数に対して、エリア分割数に応じた倍数の画素数を、測定対象の相対移動方向に直交する方向についての位置分解能として使用できるため、従来、複数台使用していたカメラを１台ですませることができ、コストを抑えることができる。また、切削振動等でカメラの光軸がずれてもカメラの台数が少なく取り付け調整箇所が減ることで、メンテナンスが容易になる。
【００１８】
請求項２に係る発明を適用した測定装置では、多段傾斜ミラーを標準的なネットワークカメラの直前に置くため、カメラとミラーを小型の防塵ケース内に一体固定して格納でき、機械への取り付けが、容易になるとともに、オイルミストや粉塵等の汚れが付着しても、防塵ケースの窓を清掃するだけで済むため、メンテナンスが容易となる。また、カメラの光軸がミラーによりほぼ９０°曲げられるため、測定物とカメラの距離が短い場合にも、カメラ長手方向を測定物と平行にできるため、カメラ配置が容易となる。請求項１に係る発明だけなら、プリズムを用いた装置や、機内の複数箇所にミラーを分散配置した装置も想定されるが、これらの装置では、小型の防塵ケースに光学系を全ておさめるのが難しい。また、カメラのレンズ表面に複数のプリズムを一体整形することも可能であるが、この場合は、レンズの研磨が極めて困難である。請求項２に係る発明は、このような点を改善する。
【００１９】
請求項３を適用した測定装置は、測定物とカメラを相対移動することにより、複数の相対位置で撮像を行うことで、１つのカメラで同一測定物の、異なる撮影方向の画像がえられる。それら異なる時点の各エリアの撮影画像のうち、測定対象の同一位置（或いは範囲）をそれら異なる撮影方向から撮影した画像同士を組み合わせることで、ステレオ法により、測定対象の三次元形状を求めることができる。また、測定対象がマガジン上の加工工具のように、異なる加工物が連続的に相対移動する場合には、平行して複数ワークの撮像を進めることができるため、カメラ数を減らしたことによる、測定物の測定時間増加を抑制することができる。
【００２０】
請求項４を適用した測定装置では、多面体ミラーを標準的なネットワークカメラの直前に置くため、請求項２の場合と同様、小型化等の効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
請求項１ならびに請求項２に係る発明の実施形態の一例を図１に示す。カメラ１内の撮像素子２は、当該素子２の一辺（図示例ではＸ軸方向すなわち測定対象の移動方向、に平行な辺）に沿ってエリアＡ、エリアＢ，エリアＣの３つに区分され、それぞれのエリアが測定対象の異なる範囲を撮影するように設計されている。エリアＡ，Ｂ，Ｃは、図に示したＸ軸方向に並んでいる。撮像素子２は例えばＶＧＡ規格の解像度（画素数）であり、エリアＡ，Ｂ，Ｃは、それぞれ、例えば１３３×６４０画素の画素数を有する。カメラ１の前には多段傾斜ミラー３が設置されており、撮像素子２の中央のエリアＢに入射する光の光軸は、多段傾斜ミラー３の中央のθＢの角度を有する反射面で４５°曲げられており、測定対象の中央付近を撮影するように構成されている。
【００２２】
一方、エリアＡに入射する光の光軸は、多段傾斜ミラー３の傾斜角θＡの反射面で曲げられており、測定物移動方向のＸ軸と直行するＺ軸の＋方向にθ１の角度を持って撮影が行われるように構成されている。エリアＣは、多段傾斜ミラー３のθＣの角度の反射面を使用してＺ軸の−方向にθ２の角度を持って撮影が行われるように構成されている。
【００２３】
ここに多段傾斜ミラーの傾斜角θＡ、θＢ，θＣは、θＡ＝４５°＋θ１／２
θＢ＝４５°、θＣ＝４５°−θ２／２になるように構成されている。
【００２４】
多段傾斜ミラー３の各反射面の法線方向がＸ軸方向に対して垂直である場合、各エリアＡ，Ｂ，Ｃが同じ撮影時点で撮像する範囲は、Ｘ軸方向について、各エリアの幅に応じた分だけ、ずれたものとなる。しかし、図示しない相対移動手段により、カメラ１と測定対象４とをＸ軸方向に相対移動させながら、撮影時点ごとに撮像素子２に撮影を行わせることで、各エリアの異なる撮影時点の撮像画像の中から、Ｘ軸方向位置が一致するものを求めることができる。したがって、図示省略した画像合成手段により、それら各撮影時点での各エリアの撮像画像を、各エリアの撮像範囲のＺ軸方向の位置と、各撮影時点でのそれら各エリアの撮像範囲のＸ軸方向の位置と、に応じてタイルの敷き詰め（もちろん、各撮像画像を重複させつつ敷き詰めても良い）の如くに合成することで、Ｚ軸方向については撮像素子２のＹ方向についての長さ（すなわち画素数）よりも大きく、Ｘ軸方向については各エリアＡ，Ｂ，Ｃの幅よりも大きい範囲の画像を合成することができる。
【００２５】
ここで、各エリアの撮像範囲のＺ軸方向についての位置は、多段傾斜ミラー３の各反射面の基準方向（例えばＹ軸方向）に対する角度と、ミラー３・測定対象４間の距離と、に基づき求めることができる。また、各撮影時点でのそれら各エリアの撮像範囲のＸ軸方向の位置は、撮像素子２の各エリアＡ，Ｂ，Ｃの撮像範囲のＸ軸方向についての初期位置、各撮影時点の時刻、カメラ１と測定対象４との相対移動の速度、等に基づき求めることができる。
【００２６】
なお、上述の相対移動手段としては、従来公知のものを用いればよい。相対移動手段は、例えば、カメラ１をＸ軸方向に移動させる（この場合測定対象４は固定）ものであっても良いし、測定対象４をＸ軸方向に移動させる（この場合カメラ１は固定）ものであってもよい。
【００２７】
また、上述の画像合成手段は、例えば各撮影時点での各エリアＡ，Ｂ，Ｃの撮像画像を、画像メモリ上の、それぞれその時点での当該エリアの撮像範囲に対応するＸ及びＺ方向位置に書き込むようなもので良い。このような処理を実現するハードウエア及びソフトウエアは従来より知られており、画像合成手段としてはこのような従来の手段を用いることができる。
【００２８】
撮像素子で得られた各エリアＡ，Ｂ，Ｃの画像は、Ｚ方向の座標順に合成されるとともに、測定物をＸ軸方向に逐次相対移動させる毎に、Ｘ軸方向について位置の異なる画像と合成されて、測定対象４全体の画像として１枚に合成される。合成された画像が、画像処理にかけられる。普及価格帯のＶＧＡ分解能のネットワークカメラを使用した例では、撮像素子２を３つのエリアに分割することで、Ｚ軸方向について６４０素子を３カ所割り当てることができ、各エリアの撮影領域同士を２０％オーバーラップ（重複）させても、Ｚ軸方向について１６６４素子を使用して撮影できるため、ＵＸＧＡ規格のカメラを超える分解能での撮影が可能となる。
【００２９】
また、図示例では、多段傾斜ミラー３は、撮影角度をエリアＡ，Ｂ，Ｃごとに異ならせると共に、各エリアＡ，Ｂ，Ｃに入射する光の光軸をほぼ９０°曲げている。このために、一般に光軸と平行な方向が長くなるカメラ１を、測定対象４の長手方向と平行に配置することができ、測定対象４とカメラ１との距離が制約された機内計測においても、カメラ設置場所の確保が容易になる効果を合わせ持っている。
【００３０】
図１の例では、撮像素子２を３分割したが、３分割に限らず、２分割以上に分割すれば、上述のＺ軸方向についての撮影範囲の増大（言い換えれば分解能の増大）効果を得ることができる。
【００３１】
また、多段傾斜ミラー３の各反射面のうち、両端の反射面を微少量だけ中央側に向けて、各エリアＡ，Ｂ，Ｃが同時点で同じＸ方向位置の撮像範囲を撮像するようにしてもよい。
【００３２】
また、上述の例では、各エリアの同一時点での撮像範囲をＺ軸方向（すなわち撮影面上で上記相対移動の方向に垂直な方向）にずらせたが、このずらし方向はＺ軸方向そのものに限られるものではなく、Ｚ軸方向の成分を含んだ方向であればよい。
【００３３】
次に、別の例として、請求項３ならびに請求項４に対応する実施形態の一例を図２に示す。カメラ１内の撮像素子２は、エリアＡ、エリアＢ，エリアＣに区分され、それぞれのエリアが測定対象の異なる範囲を撮影するように設計されている。カメラ１の前には多面体ミラー５が設置されており、撮像素子２の中央のエリアＢに入射する光の光軸は、多面体ミラー５の中央の反射面で９０°曲げられて水平方向に向けられる。これによりエリアＢは、測定対象の範囲の中央にある工具７を撮影するように構成されている。図２の紙面が水平面であり、カメラ１の撮像面は紙面に対して平行（すなわち撮像方向が紙面に垂直）となっている。
【００３４】
一方、エリアＡに入射する光の光軸は、多面体ミラー５の工具８側の反射面により、水平方向に９０°曲げられ水平方向に向けられると同時に、水平面内でθ３だけ曲げられる。これによりエリアＡは、回転して工具８を撮影するように構成されている。また、エリアＣに入射する光軸は、工具１側の反射面で９０°曲げられて水平方向に向けられると同時に、水平面内でθ４だけ曲げられる。これによりエリアＣは、工具６を撮影するように構成されている。
【００３５】
ここに、多面体ミラー５は、３つの反射面を含む断面が台形となった形状をしており、右側の反射面と中央の反射面の法線同士は２面間の角度が、θ４／２の角度をなし、左側の反射面と中央の反射面の法線同士はθ３／２の角度をなすように形成されている。多面体ミラー５全体は、カメラ１の前面に４５°傾斜して配置されており、これにより各反射面についての入射光軸が水平方向に向けられるようになっている。また、カメラ１と多面体ミラー５は、防塵ケース内に一体で固定された上で、機械の測定エリアに設置される。
【００３６】
撮像素子の各エリアには、エリアＡに工具８、エリアＢに工具７，エリアＣに工具６が同時に撮影されるが、測定対象（工具６，７，及び８）をカメラ１に対し、図示の測定物移動方向に相対移動させながら撮影を行うと、図３のように、工具６に着目した場合、時系列で工具６が右から左に移動する間に、ｔ＝Ｔ０においてエリアＡにθ３の角度から撮影した工具６の画像が、ｔ＝Ｔ１においてエリアＢに正面から撮影した工具６の画像が、ｔ＝Ｔ２においてエリアＣにθ４の角度から撮影した工具６の画像が得られることになる。したがって、時系列で得られた各エリアの画像を組み合わせることにより、ステレオ法等の手法を用いて工具６の例えば三次元形状の測定を実施することができる。
【００３７】
なお、撮像素子２を分割したことによる画像の短軸方向（すなわち図２，３に示す想定物移動方向に対応する方向）についての分解能減少は、上述の請求項１に係る発明の実施形態の例と同様に、測定対象の相対移動による撮影領域の変化を利用して、時系列の画像を合成することにより補うことができる。
【００３８】
図４は、請求項１から４に係る発明を同時に適用した計測装置の実施例であり、撮像素子２を６つのエリアに分割している。また、この例の多面体ミラー９は、６つの反射面から構成されている。これら６つの反射面は、隣接する２面ずつがペアになっている。中央のペアは、図２の例の多面体ミラー５の中央の反射面に対応しており、測定対象からの光を水平方向からカメラ１に入射する約９０度曲げるが、測定物移動方向には曲げない。ただし、中央のペアを構成する各反射面は、撮影範囲を図１の例と同様にＺ軸方向（図４では紙面に垂直な方向）にずらすべく角度が異なっている。中央のペアのうちの図中右側の反射面で反射された光は、撮像素子２のエリアＣに入射し、同様にそのペアの図中左側の反射面で反射された光は、撮像素子２のエリアＤに入射する。エリアＣとエリアＤとは、Ｚ軸方向について異なる高さ（位置）の画像を撮像する。同様に、６つの反射面のうちの右側のペアは、エリアＥ及びＦに対応しており、これらエリアＥ，ＦはＺ軸方向について異なる高さの画像を撮像するように傾斜している。また、同様に左側のペアは、エリアＡ及びＢに対応しており、これらエリアＡ，ＢはＺ軸方向について異なる高さの画像を撮像するように傾斜している。なお、各ペアの各反射面は、例えばエリアＡ，Ｃ，及びＥが同じＺ軸方向位置を撮像し、エリアＢ，Ｄ，及びＦが同じＺ軸方向位置（ただしＡ，Ｃ及びＥとは異なる）を撮像するように角度が設定されている。
【００３９】
このように、多面体ミラー９は、多面体ミラー５の各面をそれぞれ２分割し、水平方向の傾斜角を、図１の例の多段傾斜ミラー３と同様に変化させたものということができる。この実施例では、測定物の長手方向（Ｚ軸方向）の分解能向上を行うと同時に、ステレオ法を単一カメラで行うことができる。
【００４０】
図７は、請求項１ならびに請求項２に係る発明の実施形態の別の一例を示す図であり、マシニングセンタの回転テーブル２２上に乗ったイケール２１に取り付けられている測定対象４を測定する例を示している。この例では、測定対象４が加工対象物及び加工対象物保持装置であるため、加工工具と比較して広い面積を撮影するために、１９２０×１０８０画素を持つフルハイビジョン用の撮像素子２を使用しており、同素子２を測定対象４の上部であるＹ軸方向についての＋側を撮影するエリアＡと、下部であるＹ軸方向についての−側を撮影するエリアＡに２分割している。そして、２つの反射面を持つ多段傾斜ミラー３を使用して、エリアＡ，Ｂそれぞれの撮影範囲が、測定対象４の上部及び下部という各々の目的の範囲となるように構成されている。
【００４１】
この例では、回転テーブル２２を回転させつつ測定対象４の撮像を行い、各撮像時点での各エリアの撮像画像を組み合わせることで、大きな撮像範囲の画像を得る。この場合、カメラ１と測定対象４との相対移動は、回転テーブル２２による測定対象４の回転により実現されている。この場合でも、多段傾斜ミラー３により各エリアの撮像範囲をずらす方向は、カメラ１と測定対象４との相対移動の方向、すなわち回転の方向に対して垂直な成分を含んでいる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の請求項１、２に係る発明の実施形態の一例を示す図である。
【図２】本発明の請求項３、４に係る発明の実施形態の一例を示す図である。
【図３】本発明の請求項３、４に係る発明の実施形態で時間経過を示す図である。
【図４】本発明の請求項１から４に係る発明を同時に適用した実施形態の一例を示す図である。
【図５】従来の測定装置の一例を示す図である。
【図６】従来の測定装置の一例を示す図である。
【図７】本発明の請求項１、２に係る発明の実施形態の別の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００４３】
１  カメラ、２  撮像素子、３  多段傾斜ミラー、４  測定対象、５  多面体ミラー、６，７，８  工具、９  多面体ミラー、１０  防塵ケース。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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