(57)【要約】【課題】生産性の低下を防止するとともに、レンズ部の光学性能の低下を防止する。【解決手段】  凹状のキャビティ２４が形成された成形型２０と、ガラス基板３との間で樹脂５Ａを硬化させ、当該ガラス基板３上に凸レンズ部５の設けられたウエハレンズ１を製造するウエハレンズの製造方法は、ガラス基板３を移動させることによって、成形型２０及びガラス基板３の間に介在する樹脂５Ａを押し拡げ、キャビティ２４内に充填させる充填工程と、充填工程の後に樹脂５Ａを硬化させる硬化工程とを備え、充填工程では、樹脂５Ａの拡がり速度を初速以下に制御しつつ、当該樹脂５Ａを押し拡げる。【選択図】図８
2010107879.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、凹状のキャビティが形成された成形型との間で硬化性樹脂を硬化させ、当該基板上にレンズ部の設けられたウエハレンズを製造するウエハレンズの製造方法であって、
前記成形型と前記基板との少なくとも一方を移動させることによって、これら成形型及び基板の間に介在する前記硬化性樹脂を押し拡げ、前記キャビティ内に充填させる充填工程と、
前記充填工程の後に前記硬化性樹脂を硬化させる硬化工程とを備え、
前記充填工程では、
前記硬化性樹脂の拡がり速度を初速以下に制御しつつ、当該硬化性樹脂を押し拡げることを特徴とするウエハレンズの製造方法。
【請求項２】
請求項１記載のウエハレンズの製造方法において、
前記充填工程では、
前記拡がり速度を初速に維持することを特徴とするウエハレンズの製造方法。
【請求項３】
請求項１または２記載のウエハレンズの製造方法において、
前記充填工程では、
前記成形型と前記基板との間隙における所定の位置で前記硬化性樹脂のエッジを検出するまで、当該硬化性樹脂を押し拡げることを特徴とするウエハレンズの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載のウエハレンズの製造方法によって製造されたことを特徴とするウエハレンズ。
【請求項５】
凹状のキャビティが形成された成形型を備え、当該成形型と基板との間で硬化性樹脂を硬化させ、当該基板上にレンズ部の設けられたウエハレンズを製造するウエハレンズの製造装置であって、
前記成形型と前記基板との少なくとも一方を移動させることによって、これら成形型及び基板の間に介在する前記硬化性樹脂を押し拡げ、前記キャビティ内に充填させる移動装置と、
前記硬化性樹脂を硬化させる硬化装置とを備え、
前記移動装置は、
前記硬化性樹脂の拡がり速度を初速以下に制御しつつ、当該硬化性樹脂を押し拡げることを特徴とするウエハレンズの製造装置。
【請求項６】
請求項５記載のウエハレンズの製造装置において、
前記移動装置は、
前記拡がり速度を初速に維持することを特徴とするウエハレンズの製造装置。
【請求項７】
請求項５または６記載のウエハレンズの製造装置において、
前記成形型と前記基板との間隙における所定の位置で前記硬化性樹脂のエッジを検出するエッジセンサを備え、
前記移動装置は、
前記エッジセンサが前記硬化性樹脂のエッジを検出するまで、当該硬化性樹脂を押し拡げることを特徴とするウエハレンズの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハレンズの製造方法、ウエハレンズ及びウエハレンズの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光学レンズの製造分野においては、ガラス基板に対し硬化性樹脂からなるレンズ部を設けることで、耐熱性の高い光学レンズを得る技術が検討されている（例えば、特許文献１参照）。この技術を適用した光学レンズの製造方法の一例として、ガラス基板の表面に硬化性樹脂からなる光学部材を複数設けたいわゆる「ウエハレンズ（マイクロレンズアレイ）」を形成し、その後にレンズ部ごとにガラス基板をカットする方法も提案されている。
【０００３】
硬化性樹脂として光硬化性樹脂を用いた場合のウエハレンズの製造方法を簡単に説明すると、図１２に示す通り、真空チャック装置７０により吸引・固定された成形型２０と、樹脂５Ａが滴下されたガラス基板３とを上下に対向させて配設した後、ガラス基板３を一定の速度で上昇させて樹脂５Ａを成形型２０に押圧する（矢印参照）。成形型２０はキャビティ２４を有した光透過性の型であり、スタンプホルダ８０により保持・固定されている。
【０００４】
その後、ガラス基板３の高さ位置をそのまま保持しながら、図１３に示す通り、キャビティ２４に充填された樹脂５Ａに対し成形型２０の上方から光照射し、樹脂５Ａを光硬化させる。その後、ガラス基板３を降下させながら樹脂５Ａを成形型２０から離型する。その結果、ガラス基板３上に複数のレンズ部（５Ａ）が形成されたウエハレンズを製造することができる。
【０００５】
ところで、上述のようにウエハレンズを製造する場合、生産性を高める観点からは、ガラス基板３の上昇速度、つまり成形型の型締め速度を或る程度、高くする必要がある。
【特許文献１】特許第３９２６３８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、十分な生産性を得られるようガラス基板３を一定の速度（例えば０．１ｍｍ／Ｓ）で上昇させると、後述の図８に細線のグラフで示すように、型締めの終了間際でガラス基板３と成形型２０との間の樹脂５Ａが加速度的に押し拡げられるため、拡がり速度が高速になり過ぎる結果、キャビティ内部への気泡の巻き込みや、樹脂５Ａの未充填を生じさせてしまい、ひいてはレンズ部の光学性能を低下させてしまう。
【０００７】
また、樹脂５Ａが加速度的に押し拡げられることで拡がりの大きさが調整し難くなるため、拡がり量が不足となって樹脂５Ａの未充填を生じさせたり、拡がり量が過剰になって樹脂５Ａを成形型の端部、つまり離型処理されていない部分で硬化残留させ、成形型の破損や不良を生じさせたりしてしまう。
そして、以上のような問題は、ガラス基板３の高さ制御（高さの測定や上昇機構部の駆動制御）が不十分であったり、樹脂５Ａの滴下ノズルの目詰まりやロットのばらつきが生じていたりすると、いっそう顕著になってしまう。
【０００８】
本発明の目的は、生産性の低下を防止するとともに、レンズ部の光学性能の低下を防止することのできるウエハレンズの製造方法、ウエハレンズ及びウエハレンズの製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の側面によれば、
基板と、凹状のキャビティが形成された成形型との間で硬化性樹脂を硬化させ、当該基板上にレンズ部の設けられたウエハレンズを製造するウエハレンズの製造方法であって、
前記成形型と前記基板との少なくとも一方を移動させることによって、これら成形型及び基板の間に介在する前記硬化性樹脂を押し拡げ、前記キャビティ内に充填させる充填工程と、
前記充填工程の後に前記硬化性樹脂を硬化させる硬化工程とを備え、
前記充填工程では、
前記硬化性樹脂の拡がり速度を初速以下に制御しつつ、当該硬化性樹脂を押し拡げることを特徴とする。
【００１０】
本発明のウエハレンズの製造方法においては、
前記充填工程では、
前記拡がり速度を初速に維持することが好ましい。
【００１１】
また、本発明のウエハレンズの製造方法においては、
前記充填工程では、
前記成形型と前記基板との間隙における所定の位置で前記硬化性樹脂のエッジを検出するまで、当該硬化性樹脂を押し拡げることが好ましい。
【００１２】
本発明の第２の側面によれば、ウエハレンズにおいて、
本発明のウエハレンズの製造方法によって製造されたことを特徴とする。
【００１３】
本発明の第３の側面によれば、
凹状のキャビティが形成された成形型を備え、当該成形型と基板との間で硬化性樹脂を硬化させ、当該基板上にレンズ部の設けられたウエハレンズを製造するウエハレンズの製造装置であって、
前記成形型と前記基板との少なくとも一方を移動させることによって、これら成形型及び基板の間に介在する前記硬化性樹脂を押し拡げ、前記キャビティ内に充填させる移動装置と、
前記硬化性樹脂を硬化させる硬化装置とを備え、
前記移動装置は、
前記硬化性樹脂の拡がり速度を初速以下に制御しつつ、当該硬化性樹脂を押し拡げることを特徴とする。
【００１４】
本発明のウエハレンズの製造装置においては、
前記移動装置は、
前記拡がり速度を初速に維持することが好ましい。
【００１５】
また、本発明のウエハレンズの製造装置においては、
前記成形型と前記基板との間隙における所定の位置で前記硬化性樹脂のエッジを検出するエッジセンサを備え、
前記移動装置は、
前記エッジセンサが前記硬化性樹脂のエッジを検出するまで、当該硬化性樹脂を押し拡げることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、成形型及び基板の間に介在する硬化性樹脂を押し拡げ、キャビティ内に充填させる工程では、硬化性樹脂の拡がり速度を初速以下に制御しつつ、当該硬化性樹脂を押し拡げるので、樹脂の拡がり速度が加速度的に高くなってしまう従来の場合と異なり、キャビティ内部への気泡の巻き込みや、樹脂の未充填を防止することができる。従って、従来と比較してレンズ部の光学性能の低下を防止することができる。
また、樹脂の拡がり速度を初速以下に制御するため、拡がり速度が加速度的に高くなってしまう従来の場合と異なり、拡がり量（拡がりの大きさ）を容易に調整することができる。従って、拡がり量が不足となって樹脂の未充填を生じさせてしまうのを防止することができるため、光学性能が低下するのをより確実に防止することができる。また、拡がり量が過剰になって樹脂が成形型の端部、つまり離型処理されていない部分で硬化残留するのを防止することができるため、成形型の破損や不良を生じさせるのを防止することができる。
また、成形型及び／または基板の移動速度、つまり型締め速度を一律には低減することなく、光学性能の低下を防止することができるため、生産性の低下を防止することができる。
また、充填工程の前に成形型と基板とを一旦密着させてキャリブレーションを行う必要がないため、光学性能の高いレンズ部の成形を容易化し、生産性の低下を確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
次に、図面を参照しながら本発明の好ましい実施形態について説明する。
［第１の実施形態］
【００１８】
図１に示す通り、ウエハレンズ１は円形状のガラス基板３と、複数の凸レンズ部５とを有している。ガラス基板３は基板の一例である。ガラス基板３の表面には複数の凸レンズ部５がアレイ状に配置されている。凸レンズ部５には、光学面の表面に回折溝や段差等の微細構造が形成されていてもよい。
【００１９】
凸レンズ部５は樹脂５Ａで形成されている。樹脂５Ａは硬化性樹脂であり、本実施の形態においては光硬化性樹脂、好ましくはＵＶ硬化性樹脂となっている。当該光硬化性樹脂としては、例えばアクリル樹脂やアリルエステル樹脂などを用いることができ、これら樹脂はラジカル重合により反応硬化させることができる。その他の光硬化性樹脂としては、例えばエポキシ系の樹脂などを用いることができ、当該樹脂はカチオン重合により反応硬化させることができる。
【００２０】
次に、ウエハレンズ１を製造する際に使用するウエハレンズ製造装置（３０）について説明する。
【００２１】
図２に示す通り、ウエハレンズ製造装置３０はベース３２を有している。ベース３２の上部には内側に突出する突出部３４が形成されている。ベース３２の底部と突出部３４との間にはガイド３６が立設されている。ガイド３６間にはステージ４０が設けられている。ステージ４０には貫通孔４２が形成されており、ガイド３６が貫通孔４２を貫通している。
【００２２】
ベース３２上であってステージ４０の下方にはギヤードモータ（移動装置）５０が設けられている。ギヤードモータ５０はポテンショメータ５１を内蔵している（図６参照）。ギヤードモータ５０にはシャフト５２が連結されており、このシャフト５２の先端部はステージ４０を支持している。ウエハレンズ製造装置３０では、ギヤードモータ５０の作動によりシャフト５２が上下方向に伸縮するようになっており、これに伴いステージ４０がガイド３６に案内されながら上下方向に移動可能となっている。
【００２３】
ステージ４０にはほぼ半球形状を呈した凹部４６が形成されている。凹部４６には平行出し部材６０が埋設されている。平行出し部材６０は水面に浮かぶお椀のように凹部４６に対し揺動可能となっている。平行出し部材６０上にはＸＹステージ６２，θステージ６４が設けられている。ＸＹステージ６２はステージ４０上のＸＹ平面（２次元平面）において移動可能となっており、θステージ６４はその中心部を回転軸として回動可能となっている。
【００２４】
ＸＹステージ６２，θステージ６４上には真空チャック装置７０が設置されている。真空チャック装置７０には同心円状の連通溝７２が形成されている。連通溝７２には吸引機構（図示略）が連結されており、当該吸引機構の作動により連通溝７２からエアを吸引し、真空チャック装置７０上の部材を吸引・固定することができるようになっている。本実施形態では真空チャック装置７０によりガラス基板３が吸引・固定される。
【００２５】
ベース３２の上部にはスタンプホルダ８０が固定されている。スタンプホルダ８０には光透過性の成形型２０が固定されている。詳しくは、スタンプホルダ８０の端部には同心円状の連通溝８２が形成されており、連通溝８２には吸引機構（図示略）が連結されている。真空チャック装置７０の作動時と同様に、当該吸引機構が作動すると、連通溝８２からエアを吸引して成形型２０がスタンプホルダ８０に吸引・固定される。
【００２６】
成形型２０の上方には光源（硬化装置）９０とエッジセンサ９１とが設けられている。光源９０は、点灯することにより成形型２０に向けて光を照射可能となっている。エッジセンサ９１は、図３に示すように、成形型２０及びガラス基板３に樹脂５Ａが押し拡げられる際に、これら成形型２０とガラス基板３との間隙における端部側の所定の位置で樹脂５Ａのエッジを検出するものであり、本実施の形態においては成形型２０における後述の成形部２２の表面のうち、離型処理された中央部領域の外周縁で、樹脂５Ａのエッジを検出するようになっている。なお、このエッジセンサ９１は、光源９０の点灯時には、当該光源９０の照射領域から退避するようになっている。また、本実施の形態においては、エッジセンサ９１は反射光の状態変化によってエッジを検出するなど、光学的な手法によってエッジを検出するようになっているが、他の手法によって検出することとしても良い。
【００２７】
図２，図４に示す通り、成形型２０は、主には成形部２２と基材２６とで構成されている。成形部２２には樹脂５Ａに凸レンズ部５の光学機能面を転写成形するための凹状のキャビティ２４がアレイ状に複数形成されている。キャビティ２４の表面（成形面）形状はウエハレンズ１における凸レンズ部５に対応するネガ形状となっており、この図では略半球形状に凹んでいる。なお、ここではウエハレンズ１に凸レンズ部５が設けられた例を示しているが、凹レンズ部が設けられることとしても良い。但し、本発明においては凸レンズ部が設けられる構成、つまり成形型２０に凹状のキャビティ２４が設けられる構成の方がその作用効果は大きい。
【００２８】
成形部２２は、樹脂２２Ａによって形成されている。樹脂２２Ａとしては、離型性の良好な樹脂、特に透明樹脂が好ましい。離型剤を塗布しなくても離型できる点で優れる。但し、本実施の形態においては、成形部２２の中央部には離型処理が施されている。樹脂２２Ａとしては、光硬化性樹脂、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂のいずれでも構わない。
【００２９】
基材２６は、成形型２０の成形部２２のみでは強度に劣る場合でも、成形部２２に基材２６を貼り付けることで成形型２０の強度が上がり、何回も成形することができるという、裏打ち材のことである。
【００３０】
基材２６は、成形部２２と異なる材料で構成されてもよいし、成形部２２と同一の材料で一体的に構成されてもよい。基材２６を成形部２２と異なる材料で構成する場合には、例えば石英、シリコーンウェハ、金属、ガラス、樹脂、セラミックス等、平滑性を有するものなら何れでもよい。基材２６を成形部２２と同一材料で一体的に構成するとは、実質的には成形部２２だけで成形型２０を構成することである。
【００３１】
なお、ウエハレンズ１の製造（凸レンズ部５の成形）にあたっては、図４の成形型２０が主に使用されるが、これに加えて図５のマスター１０も使用される。すなわち、マスター１０は成形型２０を製造する際に用いる母型であり、成形型２０はウエハレンズ１（凸レンズ部５）を成形する際に用いる成形型である。成形型２０はウエハレンズ１を量産するのに複数回にわたり使用され、その使用目的，使用頻度などにおいてマスター１０とは異なるものである。
【００３２】
図５に示す通り、マスター１０は直方体状のベース部１２に対し複数の凸部１４がアレイ状に形成されている。凸部１４はウエハレンズ１の凸レンズ部５に対応する部位であり、略半球形状に突出している。なお、マスター１０の外形状は、このように四角形であっても良いし円形であっても良い。
【００３３】
凸部１４の表面（成形面）形状は、ガラス基板３上に成形転写する凸レンズ部５の光学面形状に対応するポジ形状となっている。
【００３４】
マスター１０の材料としては、切削や研削などの機械加工によって光学面形状を創製する場合には、金属または金属ガラスを用いることができる。分類としては鉄系の材料とその他合金が挙げられる。鉄系としては、熱間金型、冷間金型、プラスチック金型、高速度工具鋼、一般構造用圧延鋼材、機械構造用炭素鋼、クロム・モリブデン鋼、ステンレス鋼が挙げられる。その内、プラスチック金型としては、プリハードン鋼、焼入れ焼戻し鋼、時効処理鋼がある。プリハードン鋼としては、SC系、SCM系、SUS系が挙げられる。さらに具体的には、SC系はPXZがある。SCM系はHPM2、HPM7、PX5、IMPAXが挙げられる。SUS系は、HPM38、HPM77、S-STAR、G-STAR、STAVAX、RAMAX-S、PSLが挙げられる。また、鉄系の合金としては特開2005-113161や特開2005-206913が挙げられる。非鉄系の合金は主に、銅合金、アルミ合金、亜鉛合金がよく知られている。例としては、特開平10-219373、特開2000-176970に示されている合金が挙げられる。金属ガラスの材料としては、PdCuSiやPdCuSiNiなどがダイヤモンド切削における被削性が高く、工具の磨耗が少ないので適している。また、無電解や電解のニッケル燐メッキなどのアモルファス合金もダイヤモンド切削における被削性が良いので適している。これらの高被削性材料は、マスター１０全体を構成しても良いし、メッキやスパッタなどの方法によって特に光学転写面の表面だけを覆っても良い。
【００３５】
図６に示す通り、エッジセンサ９１，ギヤードモータ５０，ポテンショメータ５１，平行出し部材６０，ＸＹステージ６２，θステージ６４，真空チャック装置７０（吸引機構），スタンプホルダ（吸引機構），光源９０は制御装置１００に接続されている。制御装置１００はこれら部材の動作を制御するようになっている。特に本実施形態では、制御装置１００はエッジセンサ９１，ポテンショメータ５１の出力値に基づきギヤードモータ５０の動作（回転量）を制御するようになっている。
【００３６】
続いて、ウエハレンズ製造装置３０を用いたウエハレンズ１の製造方法について説明する。
【００３７】
図２に示す通り、はじめに、スタンプホルダ８０に対し成形型２０を吸引・固定するとともに、真空チャック装置７０に対しガラス基板３を設置し、連結溝７２からエアを吸引してガラス基板３を吸引・固定する。その後、ガラス基板３上に所定量の樹脂５Ａを滴下する。なお、本実施の形態においては、樹脂５Ａの滴下はガラス基板３の中央部に対して行っているが、各キャビティ２４の対向位置に対して分割して行っても良い。
【００３８】
次に、制御装置１００により平行出し部材６０，ＸＹステージ６２，θステージ６４を制御して、成形型２０の下面とガラス基板３の上面とを平行にする。
【００３９】
この状態において、図７に示す通り、制御装置１００は、ポテンショメータ５１の出力値に基づきギヤードモータ５０を作動させてシャフト５２を上方に伸ばし、ステージ４０を上方に移動させて成形型２０に近接させる。その結果、樹脂５Ａがガラス基板３の押圧を受けて徐々に拡がり、図７に示す通り、成形型２０のキャビティ２４に充填される（充填工程）。
【００４０】
このとき、本実施の形態においては、制御装置１００は、樹脂５Ａの拡がり速度を初速以下に制御しつつ、当該樹脂５Ａを押し拡げるようになっており、より好ましくは、図８に太線のグラフで示すように、拡がり速度を初速に維持するようになっている。これにより、ガラス基板３の上昇速度（型締め速度）を一定に維持する従来の場合、つまり樹脂５Ａの拡がり速度が加速度的に高くなる場合と比較して、キャビティ２４内部への気泡の巻き込みや、樹脂の未充填を防止することができる。なお、樹脂５Ａの拡がり速度は（拡がり速度）≒√｛（滴下された樹脂５Ａの総体積）／（ガラス基板３の上昇量）｝によって近似することができる。また、樹脂５Ａの拡がり速度を初速以下に制御する手法としては、予めギヤードモータ５０の作動条件と拡がり速度との関係を測定し、この測定データに基づいてギヤードモータ５０の制御データを設定しておく手法や、充填工程の度に樹脂５Ａのエッジ位置を観察し、このエッジ位置が初速以下に移動するようギヤードモータ５０を制御する手法を用いることができ、本実施の形態においては前者の手法が用いられている。
【００４１】
そして、制御装置１００は、エッジセンサ９１によって樹脂５Ａのエッジが成形型２０とガラス基板３との間隙における端部側の所定の位置で検出されるまでギヤードモータ５０を作動させた後、ガラス基板３をその位置で保持する。
【００４２】
次に、制御装置１００はステージ４０を基準位置Ｓに対応する位置で保持したまま、光源９０を点灯させ、図９に示す通り、光透過性の成形型２０を介して樹脂５Ａに対し光照射し、樹脂５Ａを硬化させる（硬化工程）。
【００４３】
次に、制御装置１００は光源９０を消灯させて樹脂５Ａに対する光照射を停止する。その後、制御装置１００はギヤードモータ５０を作動させ、シャフト５２を下方に縮ませてステージ４０を下方に移動させる。
そして、硬化後の樹脂５Ａをガラス基板３とともに成形型２０から離型することにより、複数の凸レンズ部５がガラス基板３上に形成されたウエハレンズ１を製造することができる。
【００４４】
以上の本実施形態によれば、充填工程では樹脂５Ａの拡がり速度を初速以下に制御しつつ、当該樹脂５Ａを押し拡げるので、樹脂５Ａの拡がり速度が加速度的に高くなってしまう従来の場合と異なり、キャビティ２４内部への気泡の巻き込みや、樹脂の未充填を防止することができる。従って、従来と比較して凸レンズ部５の光学性能の低下を防止することができる。
【００４５】
また、樹脂５Ａの拡がり速度を初速以下に制御するため、拡がり速度が加速度的に高くなってしまう従来の場合と異なり、拡がり量（拡がりの大きさ）を容易に調整することができる。従って、拡がり量が不足となって樹脂５Ａの未充填を生じさせてしまうのを防止することができるため、凸レンズ部５の光学性能が低下するのをより確実に防止することができる。また、拡がり量が過剰になって樹脂５Ａが成形型２０の端部、つまり離型処理されていない部分で硬化残留するのを防止することができるため、成形型２０の破損や不良を生じさせるのを防止することができる。
【００４６】
また、押し拡げられる樹脂５Ａのエッジをエッジセンサ９１が検出するまで、ガラス基板３を成形型２０に近接させるので、拡がりの大きさを確実に調整することができる。従って、凸レンズ部５の光学性能の低下や、成形型２０の破損，不良を確実に防止することができる。
【００４７】
また、型締め速度を一律には低減することなく、光学性能の低下を防止することができるため、生産性の低下を防止することができる。特に、充填工程で拡がり速度を初速に維持する場合には、初速よりも速度を低下させていく場合と比較して、充填工程を短時間で行うことができるため、生産性の低下を確実に防止することができる。
【００４８】
また、充填工程の前に成形型２０とガラス基板３とを一旦密着させてキャリブレーションを行う必要がないため、光学性能の高い凸レンズ部５の成形を容易化し、生産性の低下をより確実に防止することができる。
【００４９】
［第２の実施形態］
本第２の実施形態は下記の点で第１の実施形態と異なっており、それ以外は第１の実施形態と同様となっている。
【００５０】
本実施形態では、ガラス基板３の設置位置と成形型２０の設置位置とを反転させている。詳しくは、図１０に示す通り、真空チャック装置７０に対し成形型２０が吸引・固定される。ベース３２の突出部３４には真空チャック装置１１０が固定されている。真空チャック装置１１０は光透過性の部材で構成されており、光源９０が点灯すると、その光は真空チャック装置１１０を透過するようになっている。真空チャック装置１１０には同心円状の連通溝１１２が形成されている。連通溝１１２には吸引機構（図示略）が連結されており、当該吸引機構の作動により連通溝１１２からエアを吸引し、真空チャック装置１１０下の部材を吸引・固定することができるようになっている。本実施形態では真空チャック装置１１０によりガラス基板３が吸引・固定される。真空チャック装置１１０（吸引機構）は制御装置１００に接続され、制御装置１００によりその動作が制御される。
【００５１】
本実施形態にかかるウエハレンズ製造装置３０を用いてウエハレンズ１を製造する場合には、真空チャック装置１１０に対しガラス基板３を設置するとともに、真空チャック装置７０に対しては成形型２０を設置し、成形型２０上に所定量の樹脂５Ａを滴下する点、光透過性の真空チャック装置１１０とガラス基板３とを介して樹脂５Ａに対し光照射し、樹脂５Ａを硬化させる点を除いて、上記第１の実施形態と同様にしてウエハレンズ１を製造する。
【００５２】
以上の本実施形態によっても、上記第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００５３】
なお、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。
【００５４】
例えば、上記実施の形態においては、成形型２０またはガラス基板３を移動させて樹脂５Ａを押し拡げることとして説明したが、成形型２０及びガラス基板３を移動させることとしても良い。
【実施例１】
【００５５】
続いて、本実施の形態に好適な実施例について説明する。
［レンズ部の成形］
成形型２０として、サグ量０．２ｍｍ，直径３ｍｍのキャビティ２４が５ｍｍピッチで複数配設されたものを用い、この成形型２０の中央部に樹脂５Ａとしてのアクリル系のＵＶ硬化性樹脂を２０ｍｌ滴下した。なお、この樹脂の粘度は３０００ｃＰであった。
【００５６】
次に、ガラス基板３と成形型２０との間隔を５ｍｍから０．１ｍｍに狭め、樹脂を厚さ０．１ｍｍ，直径２００ｍｍに押し拡げつつ各キャビティ２４に充填させた後、硬化させた。
【００５７】
このとき、下記の表１に示すように、樹脂を押し拡げる際に成形型２０の移動速度（型締め速度）を０．１ｍｍ／ｓ、移動時間（型締め時間）を１９秒として樹脂の拡がり速度が初速１．３ｍｍ/ｓ〜終速６５ｍｍ/ｓとなったものから得られた試料を試料（１）、成形型２０の移動速度を０．０２ｍｍ／ｓ、移動時間を９５秒として樹脂の拡がり速度が初速０．３ｍｍ/ｓ〜終速２０ｍ/ｓとなったものから得られた試料を試料（２）、成形型２０の移動速度を０．６ｍ/ｓから０．０１ｍ／ｓに減速していく可変制御を行い、移動時間を９秒として樹脂の拡がり速度を２０ｍ/ｓ（一定）にして得られた試料を試料（３）として、各試料（１）〜（３）をそれぞれ１０個形成した。なお、これらの試料（１）〜（３）のうち、試料（２）では、成形型２０の移動時間（型締め時間）が大きすぎるため、実用上、満足な生産性が得られない。
【００５８】
【表１】
2010107879.tif 000003
【００５９】
［気泡・未充填の評価］
得られた試料（１）〜（３）のレンズ部について、気泡の有無や、樹脂の未充填による形状不良の有無を観察し、以下の基準に従って評価したところ、上記の表１に示す通りとなった。
【００６０】
○：全ての試料に気泡や形状不良の有無が観察されない。
×：全ての試料に気泡や形状不良の有無が観察された。
【００６１】
以上より、樹脂の拡がり速度を一定とすれば、生産性の低下を防止でき、またレンズ部の光学性能の低下を防止できることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】第１の実施形態にかかるウエハレンズの概略構成を示す斜視図である。
【図２】第１の実施形態にかかるウエハレンズ製造装置の概略構成を示す図面であって、樹脂を成形型に充填する前の状態を表す図面である。
【図３】（ａ），（ｂ）は成形型及びガラス基板によって樹脂が押し拡げられる様子を説明するための側面図，平面図であり、（ｃ）はエッジセンサの動作を説明するための図である。
【図４】第１の実施形態にかかる成形型の概略構成を示す斜視図である。
【図５】図４の成形型のマスター（母型）の概略構成を示す斜視図である。
【図６】第１の実施形態にかかるウエハレンズ製造装置の制御構成を概略的に説明するためのブロック図である。
【図７】第１の実施形態にかかるウエハレンズ製造装置の概略構成を示す図面であって、樹脂を成形型に充填したときの状態を表す図面である。
【図８】樹脂の拡がり速度を初速で一定にした場合のガラス基板の上昇速度を示す図である。
【図９】図７の一部を拡大した図面である。
【図１０】第２の実施形態にかかるウエハレンズ製造装置の概略構成を示す図面であって、樹脂を成形型に充填する前の状態を表す図面である。
【図１１】第２の実施形態にかかるウエハレンズ製造装置の概略構成を示す図面であって、樹脂を成形型に充填したときの状態を表す図面である。
【図１２】従来技術を説明するための概略的な図面であって、樹脂を成形型に充填する前の状態を表す図面である。
【図１３】従来技術を説明するための概略的な図面であって、樹脂を成形型に充填したときの状態を表す図面である。
【符号の説明】
【００６３】
１  ウエハレンズ
３  ガラス基板（基板）
５  凸レンズ部
５Ａ  樹脂（硬化性樹脂）
１０  マスター
１２  ベース部
１４  凸部
２０  成形型
２２  成形部
２２Ａ  樹脂
２４  キャビティ
２６  基材
３０  ウエハレンズ製造装置
３２  ベース
３４  突出部
３６  ガイド
４０  ステージ
４２  貫通孔
４６  凹部
５０  ギヤードモータ（移動装置）
５１  ポテンショメータ
５２  シャフト
６０  平行出し部材
６２  ＸＹステージ
６４  θステージ
７０  真空チャック装置
７２  連通溝
８０  スタンプホルダ
８２  連通溝
９０  光源（硬化装置）
１００  制御装置
１１０  真空チャック装置
１１２  連通溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010107879.tif 000010
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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