(57)【要約】【課題】反射鏡膜を形成するための複雑な後工程を不要とすることができると共に、有機発光素子の劣化を抑えることができる表示装置の製造方法および表示装置を提供する。【解決手段】駆動用基板１１に有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂを形成し、発光パネル１０を形成する。基体２１に、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの各々に対応する凸状の反射素子２４を設けて、反射板２０を形成する。発光パネル１０と反射板２０とを、発光パネル１０の周縁に沿って形成した接着層３０により貼り合わせ、発光パネル１０と反射板２０との間の空間を真空層４０とする。有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂで発生した光を、反射素子２４の側面２４Ａと真空層４０との界面により反射させる。従来の金属等の反射鏡膜による吸収損失を抑え、光取り出し効率を更に向上させる。【選択図】図３
2010140896.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の表示領域に、複数の有機発光素子を形成して発光パネルを形成する工程と、
基体上に、前記複数の有機発光素子の各々に対応する凸状の反射素子を形成して反射板を形成する工程と、
前記発光パネルの周縁に沿って接着層を形成する工程と、
前記発光パネルおよび前記反射板を真空雰囲気中で前記接着層により貼り合わせることにより、前記発光パネルおよび前記反射板の間の空間を真空層とする工程と
を含む表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記接着層を形成する工程において、前記発光パネルの表示領域の外側にゲッターを配置したのち、前記ゲッターの外側に前記接着層を形成する
請求項１記載の表示装置の製造方法。
【請求項３】
基板上の表示領域に、複数の有機発光素子を有する発光パネルと、
基体上に、前記複数の有機発光素子の各々に対応する凸状の反射素子を有する反射板と、
前記発光パネルの周縁に沿って形成され、前記発光パネルと前記反射板とを貼り合わせている接着層と、
前記発光パネルおよび前記反射板の間の空間に形成された真空層と
を備えた表示装置。
【請求項４】
前記反射板は、前記複数の有機発光素子で発生した光を前記反射素子の側面と前記真空層との界面により反射させる
請求項３記載の表示装置。
【請求項５】
前記発光パネルの表示領域と前記接着層との間にゲッターが配置されている
請求項３または４記載の表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機発光素子（有機ＥＬ（Electroluminescence ）素子）を用いた発光パネルの光取り出し側に、輝度向上のための反射板を配置する表示装置の製造方法および表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機発光素子などの自発光素子は、基板に、第１電極，発光層を含む層および第２電極を順に有し、第１電極と第２電極との間に直流電圧を印加すると発光層において正孔−電子再結合が起こり、光を発生するものである。発生した光は、第１電極および基板の側から取り出される場合もあるが、第２電極の側から、つまり開口率を上げるためにＴＦＴ（Thin Film Transistor；薄膜トランジスタ）や配線を含む回路とは反対側から取り出される場合もある。
【０００３】
自発光素子を用いた表示装置の一例として、有機発光素子を用いた表示装置がある（例えば、特許文献１参照。）。しかし、この従来の表示装置では、発光層で発生した光が全反射等で装置内から取り出されず、その光利用効率は良いとはいえない。そのため、有機発光素子の直上に、反射板（リフレクター）といわれる光学部品を配設することで光取り出し効率の向上を図ることが提案されている（例えば、特許文献２参照。）。この反射板は、ガラス等の基体に、複数の突起状の反射素子を配置したものであり、反射素子の側面には反射鏡膜が形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２２７５１９号公報
【特許文献２】特開２００７−２４８４８４号公報
【特許文献３】特開２００４−１６４９１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような従来の反射板の製造方法では、反射素子を形成したのち、その側面に反射鏡膜を形成するための後工程が必要となっていた。そのため、この従来の反射板の製造方法では、大面積の成膜工程および研磨工程を要し、大きな手間がかかり、コストアップおよび歩留まり低下を招く要因となっていた。また、反射鏡膜の反射率は、例えばアルミニウム（Ａｌ）の場合、最大でも９０％程度であり、吸収による損失があった。
【０００６】
なお、ちなみに、特許文献３では、発光層から出力された光を伝達する伝達層に凹部２４を設けて、この凹部２４の側面２４ａを全反射面として機能させることが記載されている。凹部２４の内部は気体が満たされているか、またはほぼ真空とされている。しかし、特許文献１では、凹部２４の内部をほぼ真空とするための具体的な製造方法については記載されていない。また、凹部２４を気体で満たした場合には、有機発光素子が水分等の影響により劣化してしまい、信頼性を低下させるおそれがあった。
【０００７】
また、特許文献３では、基板１１と透明部材２２を位置合わせして、減圧雰囲気で接触させる際に、接着層１７を基板１１の全面にスピンコートするようにしていたので、特に基板が大きくなってきた場合に均一に塗布することが困難になるという問題が生じていた。
【０００８】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、反射鏡膜を形成するための複雑な後工程を不要とすることができると共に、有機発光素子の劣化を抑えることができる表示装置の製造方法および表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明による表示装置の製造方法は、以下の（Ａ）〜（Ｄ）の工程を含むものである。（Ａ）基板上の表示領域に、複数の有機発光素子を形成して発光パネルを形成する工程
（Ｂ）基体上に、複数の有機発光素子の各々に対応する凸状の反射素子を形成して反射板を形成する工程
（Ｃ）発光パネルの周縁に沿って接着層を形成する工程
（Ｄ）発光パネルおよび反射板を真空雰囲気中で接着層により貼り合わせることにより、発光パネルおよび反射板の間の空間を真空層とする工程
【００１０】
本発明による表示装置は、以下の（Ａ）〜（Ｄ）の構成要件を備えたものである。
（Ａ）基板上の表示領域に、複数の有機発光素子を有する発光パネル
（Ｂ）基体上に、複数の有機発光素子の各々に対応する凸状の反射素子を有する反射板
（Ｃ）発光パネルの周縁に沿って形成され、発光パネルと反射板とを貼り合わせている接着層
（Ｄ）発光パネルおよび反射板の間の空間に形成された真空層
【００１１】
本発明の表示装置では、発光パネルおよび反射板の間の空間が真空層とされているので、発光パネル上の有機発光素子で発生した光は、反射素子の先端面から入射し、反射素子の側面と真空層との界面で反射されて外部に取り出される。また、発光パネルおよび反射板の間の空間から水分等が有機発光素子に侵入するおそれがなく、水分等の影響による有機発光素子の劣化が抑えられる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の表示装置の製造方法によれば、発光パネルの周縁に沿って接着層を形成したのち、発光パネルおよび反射板を真空雰囲気中で接着層により貼り合わせることにより、発光パネルおよび反射板の間の空間を真空層とするようにしたので、反射鏡膜を形成するための複雑な後工程を不要とすることができると共に、有機発光素子の劣化を抑えることができる。
【００１３】
本発明の表示装置によれば、発光パネルおよび反射板の間の空間を真空層とするようにしたので、発光パネル上の有機発光素子で発生した光を、反射素子の側面と真空層との界面で反射させることができる。よって、反射鏡膜を形成するための複雑な後工程を不要とすることができると共に、発光パネルおよび反射板の間の空間から水分等が有機発光素子に侵入するおそれをなくすことができ、水分等の影響による有機発光素子の劣化を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施の形態に係る表示装置の構成を表す図である。
【図２】図１に示した画素駆動回路の一例を表す等価回路図である。
【図３】図１に示した表示装置の表示領域における構成を表す断面図である。
【図４】図３に示した反射板を反射素子側から見た構成を表す平面図である。
【図５】図３に示した表示装置を分解して表す斜視図である。
【図６】図３に示した表示装置の製造方法を工程順に表した断面図である。
【図７】図６に続く工程を表す断面図である。
【図８】図７に続く工程を表す断面図である。
【図９】図８に続く工程を表す断面図である。
【図１０】図９に続く工程を表す断面図である。
【図１１】図１０に続く工程を表す断面図である。
【図１２】図１１に続く工程を表す断面図である。
【図１３】図１２に続く工程を表す断面図である。
【図１４】図３に示した表示装置の放射角度分布を調べた結果を表す図である。
【図１５】上記実施の形態の表示装置を含むモジュールの概略構成を表す平面図である。
【図１６】上記実施の形態の表示装置の適用例１の外観を表す斜視図である。
【図１７】（Ａ）は適用例２の表側から見た外観を表す斜視図であり、（Ｂ）は裏側から見た外観を表す斜視図である。
【図１８】適用例３の外観を表す斜視図である。
【図１９】適用例４の外観を表す斜視図である。
【図２０】（Ａ）は適用例５の開いた状態の正面図、（Ｂ）はその側面図、（Ｃ）は閉じた状態の正面図、（Ｄ）は左側面図、（Ｅ）は右側面図、（Ｆ）は上面図、（Ｇ）は下面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１６】
図１は、本発明の一実施の形態に係る表示装置の構成を表すものである。この表示装置は、極薄型の有機発光カラーディスプレイ装置などとして用いられるものであり、例えば、駆動用基板１１の上に、後述する複数の有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂがマトリクス状に配置されてなる表示領域１１０が形成されたものである。表示領域１１０の周辺に、映像表示用のドライバである信号線駆動回路１２０および走査線駆動回路１３０が形成されている。
【００１７】
表示領域１１０内には画素駆動回路１４０が形成されている。図２は、画素駆動回路１４０の一例を表したものである。この画素駆動回路１４０は、後述する第１電極１３の下層に形成され、駆動トランジスタＴｒ１および書き込みトランジスタＴｒ２と、その間のキャパシタ（保持容量）Ｃｓと、第１の電源ライン（Ｖｃｃ）および第２の電源ライン（ＧＮＤ）の間において駆動トランジスタＴｒ１に直列に接続された有機発光素子１０Ｒ（または１０Ｇ，１０Ｂ）とを有するアクティブ型の駆動回路である。駆動トランジスタＴｒ１および書き込みトランジスタＴｒ２は、一般的な薄膜トランジスタ（ＴＦＴ（Thin Film Transistor））により構成され、その構成は例えば逆スタガー構造（いわゆるボトムゲート型）でもよいしスタガー構造（トップゲート型）でもよく特に限定されない。
【００１８】
画素駆動回路１４０において、列方向には信号線１２０Ａが複数配置され、行方向には走査線１３０Ａが複数配置されている。各信号線１２０Ａと各走査線１３０Ａとの交差点が、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂのいずれか一つ（サブピクセル）に対応している。各信号線１２０Ａは、信号線駆動回路１２０に接続され、この信号線駆動回路１２０から信号線１２０Ａを介して書き込みトランジスタＴｒ２のソース電極に画像信号が供給されるようになっている。各走査線１３０Ａは走査線駆動回路１３０に接続され、この走査線駆動回路１３０から走査線１３０Ａを介して書き込みトランジスタＴｒ２のゲート電極に走査信号が順次供給されるようになっている。
【００１９】
図３は、図１に示した表示装置の表示領域１１０における断面構成を表したものである。この表示装置は、発光パネル１０の光取り出し側に反射板２０を有している。発光パネル１０と反射板２０とは、発光パネル１０の周縁に沿って形成された接着層３０により貼り合わせられており、発光パネル１０と反射板２０との間の空間は真空層４０となっている。これにより、この表示装置では、反射板２０に反射鏡膜を形成するための複雑な後工程を不要とすることができると共に、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの劣化を抑えることができるようになっている。
【００２０】
発光パネル１０は、ガラス，シリコン（Ｓｉ）ウェハあるいは樹脂などよりなる駆動用基板１１に、赤色の光を発生する有機発光素子１０Ｒと、緑色の光を発生する有機発光素子１０Ｇと、青色の光を発生する有機発光素子１０Ｂとが、順に全体としてマトリクス状に形成されたものである。なお、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂは短冊形の平面形状を有し、隣り合う有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの組み合わせが一つの画素（ピクセル）を構成している。
【００２１】
有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂは、それぞれ、駆動用基板１１の側から、上述した画素駆動回路１４０および平坦化層１２を間にして、陽極としての第１電極１３、絶縁膜１４、後述する発光層を含む有機層１５、および陰極としての第２電極１６がこの順に積層された構成を有し、必要に応じて保護膜１７により被覆されている。
【００２２】
第１電極１３は、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの各々に対応して形成され、絶縁膜１４により互いに電気的に分離されている。また、第１電極１３は、発光層で発生した光を反射させる反射電極としての機能を有しており、できるだけ高い反射率を有するようにすることが発光効率を高める上で望ましい。第１電極１３は、例えば、厚みが１００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であり、アルミニウム（Ａｌ）あるいはアルミニウム（Ａｌ）を含む合金、または、銀（Ａｇ）あるいは銀（Ａｇ）を含む合金により構成されている。また、第１電極１３は、クロム（Ｃｒ），チタン（Ｔｉ），鉄（Ｆｅ），コバルト（Ｃｏ），ニッケル（Ｎｉ），モリブデン（Ｍｏ），銅（Ｃｕ），タンタル（Ｔａ），タングステン（Ｗ），白金（Ｐｔ）あるいは金（Ａｕ）などの他の金属元素の単体または合金により構成されていてもよい。
【００２３】
絶縁膜１４は、第１電極１３と第２電極１６との絶縁性を確保すると共に発光領域を正確に所望の形状にするためのものであり、例えば、感光性のアクリル，ポリイミド，ポリベンズオキサゾールなどの有機材料、または酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）などの無機絶縁材料により構成されている。絶縁膜１４は、第１電極１３の発光領域に対応して開口部を有している。なお、有機層１５および第２電極１６は、発光領域だけでなく絶縁膜１４の上にも連続して設けられていてもよいが、発光が生じるのは絶縁膜１４の開口部だけである。
【００２４】
有機層１５は、例えば、第１電極１３の側から順に、正孔注入層，正孔輸送層，発光層および電子輸送層を積層した構成を有するが、これらのうち発光層以外の層は必要に応じて設ければよい。また、有機層１５は、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの発光色によってそれぞれ構成が異なっていてもよい。正孔注入層は、正孔注入効率を高めるためのものであると共に、リークを防止するためのバッファ層である。正孔輸送層は、発光層への正孔輸送効率を高めるためのものである。発光層は、電界をかけることにより電子と正孔との再結合が起こり、光を発生するものである。電子輸送層は、発光層への電子輸送効率を高めるためのものである。なお、電子輸送層と第２電極１６との間には、ＬｉＦ，Ｌｉ2 Ｏなどよりなる電子注入層（図示せず）を設けてもよい。
【００２５】
有機発光素子１０Ｒの正孔注入層の構成材料としては、例えば、４，４’，４”−トリス（３−メチルフェニルフェニルアミノ）トリフェニルアミン（ｍ−ＭＴＤＡＴＡ）あるいは４，４’，４”−トリス（２−ナフチルフェニルアミノ）トリフェニルアミン（２−ＴＮＡＴＡ）が挙げられる。有機発光素子１０Ｒの正孔輸送層の構成材料としては、例えば、ビス［（Ｎ−ナフチル）−Ｎ−フェニル］ベンジジン（α−ＮＰＤ）が挙げられる。有機発光素子１０Ｒの発光層の構成材料としては、例えば、８−キノリノールアルミニウム錯体（Ａｌｑ3 ）に２，６−ビス［４−［Ｎ−（４−メトキシフェニル）−Ｎ−フェニル］アミノスチリル］ナフタレン−１，５−ジカルボニトリル（ＢＳＮ−ＢＣＮ）を４０体積％混合したものが挙げられる。有機発光素子１０Ｒの電子輸送層の構成材料としては、例えば、Ａｌｑ3 が挙げられる。
【００２６】
有機発光素子１０Ｇの正孔注入層の構成材料としては、例えば、ｍ−ＭＴＤＡＴＡあるいは２−ＴＮＡＴＡが挙げられる。有機発光素子１０Ｇの正孔輸送層の構成材料としては、例えば、α−ＮＰＤが挙げられる。有機発光素子１０Ｇの発光層の構成材料としては、例えば、Ａｌｑ3 にクマリン６（Ｃｏｕｍａｒｉｎ６）を３体積％混合したものが挙げられる。有機発光素子１０Ｇの電子輸送層の構成材料としては、例えば、Ａｌｑ3 が挙げられる。
【００２７】
有機発光素子１０Ｂの正孔注入層の構成材料としては、例えば、ｍ−ＭＴＤＡＴＡあるいは２−ＴＮＡＴＡが挙げられる。有機発光素子１０Ｂの正孔輸送層の構成材料としては、例えば、α−ＮＰＤが挙げられる。有機発光素子１０Ｂの発光層の構成材料としては、例えば、スピロ６Φ（ｓｐｉｒｏ６Φ）が挙げられる。有機発光素子１０Ｂの電子輸送層の構成材料としては、例えば、Ａｌｑ3 が挙げられる。
【００２８】
第２電極１６は、例えば、厚みが５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であり、アルミニウム（Ａｌ），マグネシウム（Ｍｇ），カルシウム（Ｃａ），ナトリウム（Ｎａ）などの金属元素の単体または合金により構成されている。中でも、マグネシウムと銀との合金（ＭｇＡｇ合金）、またはアルミニウム（Ａｌ）とリチウム（Ｌｉ）との合金（ＡｌＬｉ合金）が好ましい。また、第２電極１５は、ＩＴＯ（インジウム・スズ複合酸化物）またはＩＺＯ（インジウム・亜鉛複合酸化物）により構成されていてもよい。
【００２９】
保護膜１７は、例えば、厚みが５００ｎｍ以上１００００ｎｍ以下であり、酸化シリコン（ＳｉＯ2 ），窒化シリコン（ＳｉＮ）などにより構成されている。
【００３０】
図４は、反射板２０の平面構成を表したものである。この反射板２０は、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂからの光取り出し効率を高めて輝度を向上させるためのものであり、発光パネル１０の光取り出し側すなわち第２電極１６側に設けられている。反射板２０は、透明な基体２１の表面に、カラーフィルタ２２およびブラックマトリクスとしての遮光膜２３が形成され、カラーフィルタ２２の上に反射素子２４が設けられた構成を有している。
【００３１】
基体２１は、例えば、ガラス、耐熱性樹脂よりなる樹脂基板あるいは樹脂フィルム、または溶融石英により構成されている。
【００３２】
カラーフィルタ２２および遮光膜２３は、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂで発生した光を取り出すと共に、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂ並びにその間の配線において反射された外光を吸収し、コントラストを改善するためのものである。
【００３３】
カラーフィルタ２２は、反射素子２４の下に形成されると共に赤色フィルタ２２Ｒ，緑色フィルタ２２Ｇおよび青色フィルタ２２Ｂを有しており、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂに対応して順に配置されている。赤色フィルタ２２Ｒ，緑色フィルタ２２Ｇおよび青色フィルタ２２Ｂは、それぞれ例えば矩形形状で隙間なく形成されている。これら赤色フィルタ２２Ｒ，緑色フィルタ２２Ｇおよび青色フィルタ２２Ｂは、顔料を混入した樹脂によりそれぞれ構成されており、顔料を選択することにより、目的とする赤，緑あるいは青の波長域における光透過率が高く、他の波長域における光透過率が低くなるように調整されている。
【００３４】
遮光膜２３は、赤色フィルタ２２Ｒ，緑色フィルタ２２Ｇおよび青色フィルタ２２Ｂの境界に沿って設けられている。遮光膜２３は、例えば黒色の着色剤を混入した光学濃度が１以上の黒色の樹脂膜、または薄膜の干渉を利用した薄膜フィルタにより構成されている。このうち黒色の樹脂膜により構成するようにすれば、安価で容易に形成することができるので好ましい。薄膜フィルタは、例えば、金属，金属窒化物あるいは金属酸化物よりなる薄膜を１層以上積層し、薄膜の干渉を利用して光を減衰させるものである。薄膜フィルタとしては、具体的には、クロムと酸化クロム（ＩＩＩ）（Ｃｒ2 Ｏ3 ）とを交互に積層したものが挙げられる。なお、遮光膜２３は必ずしも設けなくてもよい。
【００３５】
反射素子２４は、例えば円錐台形状を有しており、その下面はカラーフィルタ２２に接し、上面は平坦面であると共に下面よりも面積が小さくなっている。反射素子２４は、例えば、紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂などの樹脂により構成されているが、低融点ガラスにより構成されていてもよい。
【００３６】
この反射板２０は、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂで発生した光を、反射素子２４の側面２４Ａと真空層４０との界面により反射させるものである。これにより、この表示装置では、従来の金属等の反射鏡膜による吸収損失を抑え、光取り出し効率を更に向上させることができるようになっている。
【００３７】
反射素子２４の側面２４Ａは、例えば、直線テーパの断面形状であってもよく、または非球面多項式で近似できる曲面形状であってもよい。特に、非球面多項式で近似できる曲面形状が望ましい。反射素子２４の下部に当たった光および反射素子２４の上部に当たった光のどちらに対しても全反射条件を満たしやすく、光を基体２１側へ立ち上げるのに有利であるからである。直線テーパの断面形状とした場合、反射素子２４の下部に当たった光は全反射条件を満たしにくくなるものの、全体として反射板２０がない場合よりは十分に光取り出し効率を高めることができる。
【００３８】
図３に示した接着層３０は、例えば、熱硬化型樹脂または紫外線硬化型樹脂により構成されている。なお、発光パネル１０の保護膜１７と反射素子２４の先端面２４Ｂとの間には、反射素子２４を発光パネル１０に固定するための固定層３１が設けられていることが望ましい。固定層３１は、例えば熱接着シートまたはポッティング剤により構成されている。なお、固定層３１の接着方法は必ずしも熱接着である必要はなく、また、固定層３１はシート状のものに限定されない。
【００３９】
発光パネル１０の表示領域１１０と接着層３０との間には、シート状またはペースト状などのゲッター５０が配置されている。ゲッター５０の配置箇所や数は特に限定されないが、例えば図５に示したように、表示領域１１０の周囲を囲むように配置することが好ましい。このようなゲッター５０としては、有機発光素子用の水分ゲッター、具体的には、サエス・ゲッターズ社製「ＤｒｙＦｌｅｘ（登録商標）」または「ＧＤＯ（ゲッタードライヤー）」（ＣａＯ粉末）を用いることが可能である。なお、ゲッター５０としては、ＭＥＭＳデバイスのパッケージやフラットパネルディスプレイに用いられる焼結多孔質非蒸発型ゲッター、具体的には、チタンとＺｒ−Ｖ−Ｆｅゲッター合金との混合物であるＨＰＴＦゲッター、または、純度９０％以上のジルコニウムを水素化粉砕したものを用いることも可能である。
【００４０】
この表示装置は、例えば次のようにして製造することができる。
【００４１】
図６ないし図１３は、この表示装置の製造方法を工程順に表したものである。まず、図６（Ａ）に示したように、上述した材料よりなる駆動用基板１１の上に、画素駆動回路１４０を形成する。
【００４２】
次に、図６（Ｂ）に示したように、駆動用基板１１の全面に、例えばスピンコート法により、例えば感光性ポリイミドよりなる平坦化層１２を塗布形成し、露光、現像処理により所定の形状にパターニングすると共に接続孔１２Ａを形成したのち、焼成する。
【００４３】
続いて、図７（Ａ）に示したように、平坦化層１２の上に、例えばスパッタ法により、例えば上述した厚みおよび材料よりなる第１電極１３を形成したのち、例えばリソグラフィー技術およびエッチングにより、第１電極１３を所定の形状にパターニングする。これにより、平坦化層１２の上に、複数の第１電極１３が形成される。
【００４４】
そののち、図７（Ｂ）に示したように、駆動用基板１１の全面にわたり感光性樹脂を塗布し、露光および現像処理により開口部を設けたのち、焼成して、絶縁膜１４を形成する。
【００４５】
続いて、図８（Ａ）に示したように、例えば真空蒸着法により、上述した材料よりなる有機発光素子１０Ｒの正孔注入層，正孔輸送層，発光層および電子輸送層を順次成膜し、有機発光素子１０Ｒの有機層１５を形成する。そののち、同じく図８（Ａ）に示したように、有機発光素子１０Ｒの有機層１５と同様にして、上述した材料よりなる有機発光素子１０Ｇの正孔注入層，正孔輸送層，発光層および電子輸送層を順次成膜し、有機発光素子１０Ｇの有機層１５を形成する。続いて、同じく図８（Ａ）に示したように、有機発光素子１０Ｒの有機層１６と同様にして、上述した材料よりなる有機発光素子１０Ｂの正孔注入層，正孔輸送層，発光層および電子輸送層を順次成膜し、有機発光素子１０Ｂの有機層１５を形成する。
【００４６】
有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの有機層１５を形成したのち、図８（Ｂ）に示したように、駆動用基板１１の全面にわたり、例えば蒸着法により、上述した厚みおよび材料よりなる第２電極１６を形成する。以上により、図３に示した有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂが形成される。
【００４７】
次に、図９に示したように、第２電極１６の上に、上述した厚みおよび材料よりなる保護膜１７を形成する。これにより、図３に示した発光パネル１０が形成される。
【００４８】
また、反射板２０を形成する。まず、図１０（Ａ）に示したように、上述した材料よりなる基体２１の表面に、上述した材料よりなる遮光膜２３を成膜し、所定の形状にパターニングする。次いで、同じく図１０（Ａ）に示したように、基体２１の表面に、赤色フィルタ２２Ｒの材料をスピンコートなどにより塗布し、フォトリソグラフィ技術によりパターニングして焼成することにより赤色フィルタ２２Ｒを形成する。続いて、赤色フィルタ２２Ｒと同様にして、青色フィルタ２２Ｂおよび緑色フィルタ２２Ｇを順次形成する。
【００４９】
続いて、図１０（Ｂ）に示したように、基体２１の表面の全面に、スプレーコート等を用いてレジスト（例えばＳＵ−８など、硬化後に光学用途として利用可能な永久レジスト）を塗布したのち、一定温度でプリベークし、厚み５０μｍないし１５０μｍのレジスト膜６１を形成する。
【００５０】
そののち、図１０（Ｃ）に示したように、基体２１の表面側から、拡散板６２およびマスク６３を介して紫外光ＵＶを照射する。この際、基体２１とマスク６３とは正確に位置決めして露光を行う。続いて、現像を行うことにより、図１０（Ｄ）に示したように、カラーフィルタ２２上に、パラボリックな曲面形状の側面２４Ａを有する反射素子２４が形成される。
【００５１】
発光パネル１０および反射板２０を形成したのち、図１１に示したように、発光パネル１０の保護膜１７の上に例えば熱接着シートよりなる固定層３１を形成し、発光パネル１０の周縁に沿って接着層３０を形成する。また、発光パネル１０の表示領域１１０と接着層３０との間には、シート状またはペースト状などのゲッター５０を配置する。続いて、図１２に示したように、発光パネル１０と反射板２０とを位置決めして重ね合わせたのち、図１３に示したように、発光パネル１０および反射板２０を真空チャンバー７１に装荷して、排気口７２から脱気して真空チャンバー７１内部を減圧し、真空雰囲気中で、矢印Ｐに示したように加圧すると共に矢印Ｈに示したように加熱することにより、発光パネル１０および反射板２０を接着層３０により貼り合わせる。これにより、発光パネル１０および反射板２０の間の空間が真空層４０となる。以上により、図１ないし図３に示した表示装置が完成する。
【００５２】
なお、更に高気密性能を高めるため、予め発光パネル１０の外周に、リフトオフ法や蒸着によりタングステン等よりなる加熱用配線パターニングを形成し、低融点ガラス（ソルダーガラス）を用いてガラス塗布を行い、通電により局所加熱して発光パネル１０の外周のみをフリットシールするようにしてもよい。このようにすることにより、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂに損傷を与えるおそれを小さくすることができる。
【００５３】
ただし、発光パネル１０と反射板２０との貼り合わせ方法は、必ずしもこれらの方法には限られず、例えば常温接合を利用することにより、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂに損傷を与えることなく貼り合わせを行うことが可能である。
【００５４】
なお、この製造方法により表示装置を実際に作製し、得られた表示装置を点灯させて放射角度分布を調べたところ、図１４に示したように、反射素子の側面にアルミニウム反射鏡膜を蒸着により形成した従来構造に比べて、正面輝度は１１％、エネルギー効率は１２％向上していることが分かった。これは、例えばアルミニウム反射鏡膜を蒸着により形成した従来構造の場合、アルミニウムの複素屈折率と反射素子の材料の屈折率とから理論的に求めた反射率は最大９０％程度であるのに対し、本実施の形態の反射板２０は、反射素子２４の側面２４Ａと真空層４０との界面での全反射を利用するようにしたので、光の損失がゼロとなるからである。
【００５５】
この表示装置では、各画素に対して走査線駆動回路１３０から書き込みトランジスタＴｒ２のゲート電極を介して走査信号が供給されると共に、信号線駆動回路１２０から画像信号が書き込みトランジスタＴｒ２を介して保持容量Ｃｓに保持される。すなわち、この保持容量Ｃｓに保持された信号に応じて駆動トランジスタＴｒ１がオンオフ制御され、これにより、各有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂに駆動電流Ｉｄが注入されることにより、正孔と電子とが再結合して発光が起こる。この光は、第２電極１５，カラーフィルタ２２および透明基体２１を透過して取り出される。
【００５６】
ここでは、発光パネル１０および反射板２０の間の空間が真空層４０とされているので、発光パネル１０上の有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂで発生した光は、反射素子２４の先端面から入射し、反射素子２４の側面２４Ａと真空層４０との界面により反射されて外部に取り出される。反射素子２４の側面２４Ａを全反射条件を満たす形状とするように調整することにより、光を全反射させて取り出すことができ、光取り出し効率および輝度の向上が可能となる。また、発光パネル１０および反射板の間の空間から水分等が有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂに侵入するおそれがなく、水分等の影響による有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの劣化が抑えられる。
【００５７】
このように本実施の形態の表示装置の製造方法では、発光パネル１０の周縁に沿って接着層３０を形成したのち、発光パネル１０および反射板２０を真空雰囲気中で接着層３０により貼り合わせることにより、発光パネル１０および反射板２０の間の空間を真空層４０とするようにしたので、反射鏡膜を形成するための複雑な後工程を不要とすることができると共に、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの劣化を抑えることができる。
【００５８】
本実施の形態の表示装置によれば、発光パネル１０および反射板２０の間の空間を真空層４０とするようにしたので、発光パネル１０上の有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂで発生した光を、反射素子２４の側面２４Ａと真空層４０との界面で反射させることができる。よって、反射鏡膜を形成するための複雑な後工程を不要とすることができると共に、発光パネル１０および反射板２０の間の空間から水分等が有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂに侵入するおそれをなくすことができ、水分等の影響による有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの劣化を抑えることができる。
【００５９】
（モジュールおよび適用例）
以下、上記実施の形態で説明した表示装置の適用例について説明する。上記実施の形態の表示装置は、テレビジョン装置，デジタルカメラ，ノート型パーソナルコンピュータ、携帯電話等の携帯端末装置あるいはビデオカメラなど、外部から入力された映像信号あるいは内部で生成した映像信号を、画像あるいは映像として表示するあらゆる分野の電子機器の表示装置に適用することが可能である。
【００６０】
（モジュール）
上記実施の形態の表示装置は、例えば、図１５に示したようなモジュールとして、後述する適用例１〜５などの種々の電子機器に組み込まれる。このモジュールは、例えば、基板１１の一辺に、反射板２０および接着層３０から露出した領域２１０を設け、この露出した領域２１０に、信号線駆動回路１２０および走査線駆動回路１３０の配線を延長して外部接続端子（図示せず）を形成したものである。外部接続端子には、信号の入出力のためのフレキシブルプリント配線基板（ＦＰＣ；Flexible Printed Circuit）２２０が設けられていてもよい。
【００６１】
（適用例１）
図１６は、上記実施の形態の表示装置が適用されるテレビジョン装置の外観を表したものである。このテレビジョン装置は、例えば、フロントパネル３１０およびフィルターガラス３２０を含む映像表示画面部３００を有しており、この映像表示画面部３００は、上記実施の形態に係る表示装置により構成されている。
【００６２】
（適用例２）
図１７は、上記実施の形態の表示装置が適用されるデジタルカメラの外観を表したものである。このデジタルカメラは、例えば、フラッシュ用の発光部４１０、表示部４２０、メニュースイッチ４３０およびシャッターボタン４４０を有しており、その表示部４２０は、上記実施の形態に係る表示装置により構成されている。
【００６３】
（適用例３）
図１８は、上記実施の形態の表示装置が適用されるノート型パーソナルコンピュータの外観を表したものである。このノート型パーソナルコンピュータは、例えば、本体５１０，文字等の入力操作のためのキーボード５２０および画像を表示する表示部５３０を有しており、その表示部５３０は、上記実施の形態に係る表示装置により構成されている。
【００６４】
（適用例４）
図１９は、上記実施の形態の表示装置が適用されるビデオカメラの外観を表したものである。このビデオカメラは、例えば、本体部６１０，この本体部６１０の前方側面に設けられた被写体撮影用のレンズ６２０，撮影時のスタート／ストップスイッチ６３０および表示部６４０を有しており、その表示部６４０は、上記実施の形態に係る表示装置により構成されている。
【００６５】
（適用例５）
図２０は、上記実施の形態の表示装置が適用される携帯電話機の外観を表したものである。この携帯電話機は、例えば、上側筐体７１０と下側筐体７２０とを連結部（ヒンジ部）７３０で連結したものであり、ディスプレイ７４０，サブディスプレイ７５０，ピクチャーライト７６０およびカメラ７７０を有している。そのディスプレイ７４０またはサブディスプレイ７５０は、上記実施の形態に係る表示装置により構成されている。
【００６６】
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変形が可能である。例えば、上記実施の形態では、反射板２０にカラーフィルタ２２および遮光膜２３を形成したＣＦ一体型の場合について説明したが、本発明は、カラーフィルタ２２または遮光膜２３を設けないＣＦレス構造の場合にも適用可能である。
【００６７】
また、例えば、上記実施の形態において説明した各層の材料および厚み、または成膜方法および成膜条件などは限定されるものではなく、他の材料および厚みとしてもよく、または他の成膜方法および成膜条件としてもよい。例えば、反射素子２４は、上記実施の形態で説明したようなレジスト膜６１のリソグラフィに限らず、レーザ加工またはマシニング金型成型等の他の方法により形成してもよい。
【００６８】
また、上記実施の形態では、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｂ，１０Ｇの構成を具体的に挙げて説明したが、全ての層を備える必要はなく、また、他の層を更に備えていてもよい。
【００６９】
加えて、本発明の表示装置は、照明装置など、表示以外の他の目的の発光装置にも適用可能である。
【符号の説明】
【００７０】
１０…発光パネル、１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂ…有機発光素子、１１…駆動用基板、１２…第１電極、１３…絶縁膜、１４…有機層、１５…第２電極、１６…保護膜、２０…反射板、２１…基体、２２…カラーフィルタ、２３…遮光膜、２４…反射素子、２４Ａ…側面、３０…接着層、４０…真空層、５０…ゲッター、１１０…表示領域、１４０…画素駆動回路、Ｃｓ…キャパシタ、Ｔｒ１…駆動トランジスタ、Ｔｒ２…書き込みトランジスタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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