(57)【要約】【課題】本発明はインクジェットプリンティングシステム及びこれを利用した表示装置の製造方法に関する。【解決手段】本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムは、基板が搭載される基板搭載面を有するステージ500と、前記基板が搭載される位置にインクを滴下するインクジェットヘッド700と、前記インクジェットヘッドを移動させる移送装置300, 600と、前記基板上に滴下されたインク滴の体積を測定する検量装置620, 800と、を含む。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が搭載される基板搭載面を有するステージと、
前記基板が搭載される位置にインクを滴下するインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドを移動させる移送装置と、
前記基板上に滴下されたインク滴の体積を測定する検量装置と、
を含むインクジェットプリンティングシステム。
【請求項２】
前記検量装置は、
前記基板搭載面に向かって光を照射する光源と、
前記光源からの光を通過させ、前記光源の反対側から入射する光を反射する中間鏡と、
前記中間鏡で反射された光の光量を検出する受光素子と、
前記中間鏡と前記受光素子との間に位置し、ピンホールが形成されたピンホール板と、
前記ステージの基板搭載面に沿って移動する水平スキャン部と、
前記ステージの基板搭載面に交差する方向に沿って移動する垂直スキャン部と、
を有している、請求項１に記載のインクジェットプリンティングシステム。
【請求項３】
前記光源は半導体レーザーを有している、請求項２に記載のインクジェットプリンティングシステム。
【請求項４】
前記検量装置は、中間鏡を通過した光を焦点に集める対物レンズをさらに有している、請求項２に記載のインクジェットプリンティングシステム。
【請求項５】
前記検量装置は、前記基板上に滴下されたインク滴の高さを測定することにより、前記インク滴の体積を測定する、請求項２に記載のインクジェットプリンティングシステム。
【請求項６】
前記垂直スキャン部を移動させることにより前記インク滴の高さを測定する、請求項５に記載のインクジェットプリンティングシステム。
【請求項７】
前記検量装置は、前記水平スキャン部を移動させて、前記インク滴が前記基板搭載面に占める平面積を測定することにより、前記インク滴の体積を測定する、請求項５または６に記載のインクジェットプリンティングシステム。
【請求項８】
前記検量装置は、前記水平スキャン部及び垂直スキャン部を移動させ、前記インク滴の断面のうち前記基板搭載面と交差する断面の面積を測定することにより、前記インク滴の体積を測定する、請求項２に記載のインクジェットプリンティングシステム。
【請求項９】
前記滴下されたインク滴に熱を加えて硬化させる加熱基板をさらに含む、請求項２に記載のインクジェットプリンティングシステム。
【請求項１０】
前記検量装置は、前記ステージ又は前記インクジェットヘッドに付着されている、請求項２に記載のインクジェットプリンティングシステム。
【請求項１１】
ステージ、インクジェットヘッド、及び移送装置を含むインクジェットプリンティングシステムにおいて、
表示装置用の基板を前記インクジェットプリンティングシステムの前記ステージの基板搭載面に搭載する段階と、
前記インクジェットプリンティングシステムの前記インクジェットヘッドを前記基板上に位置させる段階と、
前記インクを前記基板上に滴下してインク滴を形成する段階と、
前記インク滴の体積を算出する段階と、
を含む表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記インク滴の体積を算出する段階は、前記インク滴の高さと、前記基板搭載面上に閉める前記インク滴の平面積と、を測定する段階を含む、請求項１１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１３】
前記インク滴の体積を算出する段階は、前記インク滴の断面のうち前記基板搭載面と交差する断面の面積を測定する段階を含む、請求項１１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１４】
前記インク滴に熱を加えて硬化させる段階をさらに含む、請求項１１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１５】
前記インク滴の体積を算出する段階は、前記インクジェットプリンティングシステムの内部又は外部に設けられた検量装置により行われる、請求項１１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１６】
前記検量装置は前記インクジェットプリンティングシステムの外部に設けられ、
前記インク滴の体積を算出する段階実行後に、前記基板を前記基板搭載面上に搭載する段階をさらに含む、請求項１５に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１７】
前記インクは、表示装置の配線用インク、カラーフィルタ用インク、有機発光部材用インク、及び配向液のうちのいずれか１つである、請求項１１〜１６に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１８】
前記表示装置は、液晶表示装置又は有機発光表示装置である、請求項１１に記載の表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェットプリンティングシステム及びこれを利用した表示装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイは、画面の大きさに比べて厚さの薄い表示装置を指すもので、広く使用されるフラットパネルディスプレイとしては、液晶表示装置と有機発光表示装置等がある。
液晶表示装置は、現在最も広く使用されているフラットパネルディスプレイのうちの１つであって、画素電極と共通電極など電場生成電極と配向膜が形成されている２枚の表示板と、その間に挟持された液晶層、及び色を表示するための複数のカラーフィルタを備えている。配向膜は、液晶分子の初期配向を決定し、電場生成電極は、電場を生成して液晶層の液晶分子の配向を変える。このような液晶表示装置における液晶層を通過する入射光は、液晶分子の配向によってその偏光状態が変わり、このような偏光の変化は、偏光子によっ光透過率の変化として現れる。
【０００３】
有機発光表示装置は、画素電極と共通電極の２つの電極と、その間に位置する発光層を含み、一方の電極から注入された電子（ｅｌｅｃｔｒｏｎ）と、他方の電極から注入された正孔（ｈｏｌｅ）とが発光層で結合して励起子（ｅｘｉｔｏｎ）を形成し、励起子がエネルギーを放出して発光する。
このような表示装置は、画素電極に接続されるスイッチング素子、スイッチング素子を制御して、画素電極に電圧を印加するためのゲート線とデータ線など複数の信号線をさらに含む。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような表示装置の様々な構成要素は、一般に、写真エッチング工程により形成する。しかし、フラットパネルディスプレイの大型化に伴い、該構成要素を薄膜パターンに形成するため基板に塗布する感光膜などの量が増加するようになり、製造費用が上昇し、写真エッチング工程に使用される製造設備も大型化する。
このような問題点を最少化するためにインクを滴下して薄膜パターンを形成するインクジェットプリンティングシステムが開発されている。インクジェットプリンティングシステムは、インクジェットプリンティング本体及び複数のノズルを有するインクジェットヘッドを含み、インクがインクジェットヘッドのノズルを通じて基板上に滴下される。
【０００５】
このようなインクジェットプリンティングシステムにおいて、所望の量のインクを排出するために、製造工程の前にインクジェットヘッドのノズルから排出されるインクの量を測定し、調節する工程が必要である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムは、基板が搭載されるステージと、前記基板上にインクを滴下するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドを移動させる移送装置と、並びに前記基板上に滴下されたインク滴の高さを測定する検量装置とを含む。
前記検量装置は、光源と、前記光源からの光は通過させ、前記光源の反対側から入射する光は反射する中間鏡と、光量を検出する受光素子と、前記中間鏡と前記受光素子との間に位置してピンホールを有するピンホール板と、左右に動く水平スキャン部と、上下に動く垂直スキャン部とを含む。
【０００７】
前記光源は半導体レーザーを含む。
前記検量装置は、中間鏡を通過した光を焦点に集める対物レンズをさらに含む。
前記垂直スキャン部を移動させて、前記インク滴の高さを測定することができる。
また、前記検量装置は、前記水平及び垂直スキャン部を移動させて、前記インク滴の断面のうち前記基板面に垂直の断面の面積を測定することができる。
【０００８】
また、前記検量装置は、前記水平スキャン部を移動させて、前記インク滴の断面のうち前記基板面上の断面の面積を測定することができる。
前記インク滴に熱を加えて硬化させる加熱基板をさらに含む。
前記検量装置は、前記ステージ又は前記インクジェットヘッドに付着されている。
前記インクは、表示装置の配線用インク、カラーフィルタ用インク、有機発光部材用インク、及び配向液のうちのいずれか１つである。
【０００９】
本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムは、基板が搭載されるステージと、前記基板上にインクを滴下するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドを移動させる移送装置と、前記基板上に滴下されたインク滴の体積を算出する検量装置とを含む。
前記検量装置は、光源と、前記光源からの光は通過させ、前記光源の反対側から入射する光は反射する中間鏡と、光量を検出する受光素子と、前記中間鏡と前記受光素子との間に位置してピンホールを含むピンホール板と、左右に動く水平スキャン部と、上下に動く垂直スキャン部とを含む。
【００１０】
前記光源は半導体レーザーを含む。
前記検量装置は、中間鏡を通過した光を焦点に集める対物レンズをさらに含む。
前記検量装置は、前記インク滴の高さを測定して、前記インク滴の体積を算出することができる。
また、前記検量装置は、前記インク滴の前記基板面上の断面の面積を測定して、前記インク滴の体積を算出することができる。
【００１１】
また、前記検量装置は、前記インク滴の断面のうち前記基板面に垂直の断面の面積を測定して、前記インク滴の体積を算出することができる。
本発明の一実施例による表示装置の製造方法は、ステージ、インクジェットヘッド、移送装置、及び検量装置を含むインクジェットプリンティングシステムにおいて、基板を前記インクジェットプリンティングシステムの前記ステージに搭載する段階と、前記インクジェットプリンティングシステムの前記インクジェットヘッドを前記基板上に位置させる段階と、前記インクを前記基板上に滴下してインク滴を形成する段階と、前記検量装置を利用して前記インク滴の体積を算出する段階とを含む。
【００１２】
前記検量装置は、光源と、前記光源からの光は通過させ、前記光源の反対側から入射する光は反射する中間鏡と、光量を検出する受光素子と、前記中間鏡と前記受光素子との間に位置してピンホールを含むピンホール板と、左右に動く水平スキャン部と、上下に動く垂直スキャン部とを含む。
前記インク滴の体積を算出する段階は、前記検量装置を利用して前記インク滴の高さと前記基板面上の断面の面積を測定する段階を含む。
【００１３】
前記インク滴の体積を算出する段階は、前記検量装置を利用して前記インク滴の断面のうち前記基板面に垂直の断面の面積を測定する段階を含む。
前記水平及び垂直スキャン部を移動させて、前記インク滴の断面のうち前記基板面に垂直の断面の面積を測定することができる。
前記検量装置は、前記インク滴を前記基板面に沿ってスキャニングして、前記断面の面積を測定することができる。
【００１４】
前記インク滴に熱を加えて硬化させる段階をさらに含む。
前記インク滴の体積を算出する段階は、前記インクジェットプリンティングシステムの内部又は外部で行われる。
前記インク滴の体積を算出する段階以降に前記基板を降ろした後、表示装置用基板を前記ステージ上に搭載する段階をさらに含む。
【００１５】
前記インクは、表示装置の配線用インク、カラーフィルタ用インク、有機発光部材用インク、及び配向液のうちのいずれか１つである。
前記表示装置は、液晶表示装置又は有機発光表示装置である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の実施例によれば、表示装置製造用インクジェットプリンティングシステムから排出されるインクの量を正確に測定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
添付した図面を用いながら、本発明の実施形態を、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施することができるように詳細に説明する。図面は、各種層及び領域を明確に表現するために、厚さを拡大して示している。明細書全体を通じて類似した部分については同一の参照符号を付けている。層、膜、領域、板などの部分が、他の部分の「上に」あるとするとき、これは他の部分の「すぐ上に」ある場合に限らず、その中間に更に他の部分がある場合も含む。逆に、ある部分が他の部分の「すぐ上に」あるとするとき、これは中間に他の部分がない場合を意味する。
【００１８】
以下、図１及び図２を参照して本発明の実施例によるインクジェットプリンティングシステムを詳細に説明する。図１及び図２は、本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムの斜視図である。
まず、図１を参照すれば、本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムは、基板１１０が搭載される支持基板２１０及びステージ５００、インクジェットヘッド７００、インクジェットヘッド７００を移動させる移送装置３００、検量装置６２０、並びに検量装置６２０を移動させる検量移送装置６００を含む。
【００１９】
支持基板２１０及びステージ５００は、基板１１０を支持できるように基板１１０より大きく形成される。ステージ５００上に載せられた基板２１０には熱が加えられ、基板１１０上に滴下されたインク滴５を硬化させる。この場合、インク滴５は熱硬化性を有する。例えば、液晶表示装置の配向膜を本発明の一実施例におけるよるインクジェットプリンティングシステムによって形成する場合、インク滴５は、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）である。これと異なり、支持基板１１０は省略することができ、この場合、ステージ５００に直接熱が加えられてインク滴５を硬化させることができる。
【００２０】
インクジェットヘッド７００は、ステージ５００上に位置し、ステージ５００と間隔を置いて離れている。インクジェットヘッド７００の底面には複数ノズル（図示せず）が形成されており、このノズル（図示せず）を介してインク滴５を基板１１０上に排出させる。
移送装置３００は、インクジェットヘッド７００を基板１１０から上側に必要な間隔だけ隔たったところに位置させ、インクジェットヘッド７００をｙ軸方向に移送させるｙ方向移送部３１０、インクジェットヘッド７００をｘ軸方向に移送させるｘ方向移送部３２０、並びにインクジェットヘッド７００を昇降させる乗降部３３０を含む。
【００２１】
検量装置６２０は、インクジェットヘッド７００から基板１１０上に滴下されたインク滴５の断面積と高さを測定して、体積を算出したり、体積を測定する。検量装置６２０は、光源を利用してインク滴５をスキャンして、インク滴５の断面積又は高さなどを測定するセンサーを含む。
検量移送装置６００は、検量装置６２０を検量しようとするインク滴５の上に位置させる。
【００２２】
次に、図２を参照すれば、本発明の他の実施例によるインクジェットプリンティングシステムも基板１１０が搭載される支持基板２１０及びステージ５００、インクジェットヘッド７００、インクジェットヘッド７００を移動させる移送装置３００、並びに検量装置８００を含む。
本実施例では、図１に示した実施例と異なって、インク滴５の体積を算出する検量装置８００がインクジェットヘッド７００の隣に付着されている。検量装置８００は、移送装置３００を利用して所望の位置に移動させることができる。本実施例と異なって、検量装置８００は、インクジェットヘッド７００の底面又は移送装置３００に付着できる。
【００２３】
検量装置８００は、インクジェットプリンティングシステムの図１及び図２の部分以外の部分に位置することも可能である。
次に、図３及び図４を参照して本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムの検量装置を詳細に説明する。
図３及び図４は、本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムの検量装置（６２０、８００）の構造及び原理を示す図である。
【００２４】
図３及び図４を参照すれば、本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムの検量装置は、光源６３１、中間鏡６６１、ピンホール板６４１、受光素子６５１、対物レンズ６７０、水平スキャン部６８１及び垂直スキャン部６９１を含む。
光源６３１は点光源であり、強度の大きな光を得ることができる半導体レーザーなどのレーザー光源であってもよい。
【００２５】
中間鏡６６１は斜めに傾いており、光源６３１から中間鏡６６１の上面に入射する光を対物レンズ６７０側に通過させたり、通過した後再び戻って下面に入射する光はピンホール板６４１側に反射する。
ピンホール板６４１は、中央にピンホール６４２を含んでいて、ピンホール６４２を通過した光を受光素子６５１に送る。
【００２６】
受光素子６５１は、ピンホール６４２を通過した光を受けて、光量を測定する。
対物レンズ６７０は中間鏡６６１を通過した光の経路を変えて、焦点に集まるようにする。
図３及び図４を参照すれば、水平スキャン部６８１及び垂直スキャン部６９１は、対物レンズ６７０の下部（Ｓａ）に位置する。水平スキャン部６８１は、図４のようにＸ軸方向に左右に移動して、インク滴をＸ軸方向に落として測定し、垂直スキャン部６９１は、Ｚ軸方向に上下に移動して、インク滴をＺ軸方向に落として測定する。
【００２７】
以下、本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムの検量装置の測定原理について説明する。
図３を参照すれば、光源６３１から出た光は中間鏡６６１を通過し、対物レンズ６７０を通過して焦点（Ｆ）に集まる。光が焦点（Ｆ）の位置（Ｌａ）で反射される場合、入射経路（ＰＬａ）を再び経て中間鏡６６１で反射されてピンホール６４２に集まる。ピンホール６４２を通過した光は、受光素子６５１で検出される。
【００２８】
光が焦点位置（Ｌａ）ではなく非焦点位置（Ｌｂ）で反射される場合は、入射経路（ＰＬａ）を逸脱した経路（ＰＬｂ）を通じて中間鏡６６１に入射し、中間鏡６６１で反射された光は、ピンホール板６４１上に分散して集まる。このため、ピンホール６４２を通過する光量が少なく、受光素子６５１から検出される光量が少ない。これによって焦点位置（Ｌａ）にインク滴のような対象物の一部が位置していることが分かる。
【００２９】
水平及び垂直スキャン部（６８１、６９１）がＸ軸方向及びＺ軸方向に移動して焦点位置（Ｌａ）等光の経路を変え、対象物をＸ軸及びＺ軸方向に落とし、この過程を通じてインク滴のような対象物のｘｚ平面上の断面積を測定することができる。必要に応じて、水平スキャン部６８１及び垂直スキャン部６９１のうちのいずれか１つだけを移動させて測定することも可能である。
【００３０】
次に、上記のインクジェットプリンティングシステムによって表示装置を製造する方法を詳細に説明する。
まず、図５乃至図８、前記図１、図３及び図４を参照して、上記のインクジェットプリンティングシステムのインクジェットヘッド７００から排出したインク滴５を検量する方法を説明する。
【００３１】
図５は本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムから排出されたインクの平面図である。図６は本発明の一実施例にインクジェットプリンティングシステムから排出されたインクの断面図である。図７は本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムから排出されたインクの断面積を測定する方法を示す断面図である。図８は本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムから排出されたインクの斜視図である。
【００３２】
まず、ステージ５００上に載せられた基板２１０又はステージ５００上に基板１１０を搭載し、移送装置３００を利用してインクジェットヘッド７００を基板１１０上に位置させる。
次に、インクジェットヘッド７００のノズル（図示せず）を利用して、インク滴５を基板１１０の上に滴下する。
【００３３】
次に、支持基板２１０に熱を加えて、基板１１０上に滴下されたインク滴５を硬化させる。これと異なって、インク滴５を滴下する前から支持基板２１０に熱を加えてもよい。また、支持基板２１０を省略する場合は、ステージ５００に熱を加えてインク滴５を硬化させることもでき、加熱過程を省略することもできる。
次に、検量移送装置６００を利用して検量装置６２０を検量しようとするインク滴５上に位置させる。
【００３４】
図５及び図６を参照すれば、検量装置６２０は、インク滴５と基板１１０の界面、即ち、ｘｙ平面上のインク滴５の平面積（Ａ）と高さ（Ｈ）を測定する。このとき、ｘｙ平面上の平面積（Ａ）は、検量装置６２０の水平スキャン部６８１をｘ方向に移動させて測定できる。ｙ軸方向のスキャニングのために検量装置６２０が別途のスキャン部（図示せず）をさらに含んだり、移送装置６００を利用することもできる。一方、インク滴５の高さ（Ｈ）は検量装置６２０の垂直スキャン部６９１をｙ軸方向に移動させて測定できる。
【００３５】
検量装置６２０は、このように測定されたインク滴５の平面積（Ａ）と高さ（Ｈ）を利用してインク滴５の体積を算出する。例えば、インク滴５が半楕円体と仮定すれば、体積（Ｖ）は式１で求められる。
【００３６】
【数１】
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【００３７】
ここで、ａは、断面が円であれば半径である。このように求められた体積（Ｖ）にインク滴５の密度をかけて、インクジェットヘッド７００のノズル（図示せず）から一度に排出されるインク液の重量を求める。
これと異なり、図７を参照すれば、検量装置６２０の水平スキャン部６８１及び垂直スキャン部６９１を共に移動させて、インク滴５のｘｚ平面上の面積を測定できる。図７にはｘ軸方向の９個の位置におけるｚ軸方向の高さを測定する方法を示している。
【００３８】
図８を参照すれば、検量装置６２０はｙ軸方向に移動し、図７に示すように、インク滴５のｘｚ平面上の断面積（ＳＡ）を測定してインク滴５の体積を算出できる。
一方、図２に示したインクジェットプリンティングシステムを用いて、排出されたインク滴５を検量する方法も上述の実施例と同様であるが、インクジェットヘッド７００に付着された検量装置８００を利用して、インク滴５の断面積又は高さを測定して体積を算出する。
【００３９】
本実施例と異なって、基板１１０上にインク滴５を滴下した後、基板１１０をインクジェットプリンティングシステムから分離して外部設備でインク滴５を硬化させ、断面積又は高さを測定して体積を算出できる。この場合、インクジェットプリンティングシステム内にインク滴５の検量装置が設置されないこともある。
このようにインク滴５を基板１１０上に滴下した後、体積又は重量を検量してインクジェットヘッド７００から排出されるインク液の量を調節する。
【００４０】
このような一実施例によるインクジェットプリンティングシステムによって製造される表示装置は、液晶表示装置又は有機発光表示装置であることができる。
以下、図９及び図１０と、前記図１乃至図８を参照して、上記のようにインク液の排出量が調節された本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムによって完成された液晶表示装置及びその製造方法を詳細に説明する。
【００４１】
図９は本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムによって完成された液晶表示装置の配置図である。図１０は図９における液晶表示装置のＸ-Ｘ線に沿った断面図である。
図９及び図１０に示したように、本発明の一実施例による液晶表示装置は、互いに対向する薄膜トランジスタ表示板１００とカラーフィルタ表示板２００及びこれら２つの表示板（１００、２００）の間に形成された液晶層３を含む。
【００４２】
まず、薄膜トランジスタ表示板１００について説明する。
透明なガラス又はプラスチックなどからなる絶縁基板１１１の上に複数のゲート線１２１を含む複数のゲート導電体が形成されている。ゲート線１２１は、ゲート信号を伝達し、主に横方向に延びて上に突出した複数のゲート電極１２４を含む。
ゲート導電体１２１は、アルミニウム（Ａｌ）やアルミニウム合金などのアルミニウム系金属、銀（Ａｇ）や銀合金などの銀系金属、銅（Ｃｕ）や銅合金などの銅系金属、モリブデン（Ｍｏ）やモリブデン合金などのモリブデン系金属、クロム（Ｃｒ）、タンタル（Ｔａ）及びチタニウム（Ｔｉ）などからなる。しかし、ゲート導電体１２１は、その他にも多様な金属又は導電体で形成することができる。
【００４３】
ゲート導電体１２１上には窒化シリコン（ＳｉＮｘ）又は酸化シリコン（ＳｉＯｘ）などからなるゲート絶縁膜１４０が形成されている。
ゲート絶縁膜１４０上には、水素化非晶質シリコン（非晶質シリコンはａ-Ｓｉと略称する）又は多結晶シリコン（ｐｏｌｙｓｉｌｉｃｏｎ）等で構成された複数の島状半導体１５４が形成されている。半導体１５４はゲート電極１２４の上に位置する。
【００４４】
各々の半導体１５４上には１対の島状オーミックコンタクト部材（１６３、１６５）が形成されている。オーミックコンタクト部材（１６３、１６５）は、リンなどのｎ型不純物が高濃度にドーピングされているｎ＋水素化非晶質シリコンなどの物質で形成することができ、シリサイドで形成することもできる。オーミックコンタクト部材（１６３、１６５）及びゲート絶縁膜１４０の上には、複数のデータ線１７１と複数のドレイン電極（１７５、１７５）を含むデータ導電体が形成されている。
【００４５】
データ線１７１は、データ信号を伝達し、主に縦方向に延びてゲート線１２１と交差する。各データ線１７１は、ゲート電極１２４に向かって延びた複数のソース電極１７３を含む。データ導電体（１７１、１７５）は、モリブデン、クロム、タンタル及びチタニウムのなど耐火性金属（ｒｅｆｒａｃｔｏｒｙｍｅｔａｌ）又はこれらの合金で形成することができ、耐火性金属膜（図示せず）と低抵抗導電膜（図示せず）を含む多重膜構造とすることもできる。しかし、データ導電体（１７１、１７５）は、その他にも多様な金属又は導電体で構成することができる。
【００４６】
ドレイン電極１７５は、データ線１７１と分離されており、ゲート電極１２４を中心にソース電極１７３と対向する。各ドレイン電極１７５は、広い一端部と棒状の他端部を含む。
１つのゲート電極１２４、１つのソース電極１７３及び１つのドレイン電極１７５は、半導体１５４とともに１つの薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）をなし、薄膜トランジスタのチャンネルは、ソース電極１７３とドレイン電極１７５の間の半導体１５４に形成される。
【００４７】
オーミックコンタクト部材（１６３、１６５）は、その下の半導体１５４と、その上のデータ線１７１及びドレイン電極１７５の間にのみ存在し、これらの間のコンタクト抵抗を低くする。
データ線１７１、ドレイン電極１７５及び露出した半導体１５１部分の上には保護膜１８０が形成されている。保護膜１８０は、無機絶縁物又は有機絶縁物などからなり、表面が平坦化し得る。
【００４８】
保護膜１８０にはドレイン電極１７５を露出させる複数のコンタクトホール（接触孔）１８５が形成されている。保護膜１８０の上にはＩＴＯ又はＩＺＯなどの透明な導電物質やアルミニウム、銀、クロム又はその合金などの反射性金属からなる複数の画素電極１９１が形成されている。
画素電極１９１は、コンタクトホール１８５を介してドレイン電極１７５と物理的電気的に接続されており、ドレイン電極１７５からデータ電圧が印加される。
【００４９】
次に、カラーフィルタ表示板２００について説明する。
透明なガラス又はプラスチックなどからなる絶縁基板２１１上に遮光部材２２０が形成されている。遮光部材２２０はブラックマトリックスとも言い、光漏れを防ぐ。
基板２１１及び遮光部材２２０の開口部２２５には複数のカラーフィルタ２３０が形成されている。カラーフィルタ２３０は、遮光部材２３０で覆われた領域内に大部分存在し、画素電極１９１列に沿って縦方向に長く延びている。各カラーフィルタ２３０は、赤色、緑色及び青色の三原色など基本色のうちの１つを表示できる。
【００５０】
カラーフィルタ２３０及び遮光部材２２０の上には蓋膜（ｏｖｅｒｃｏａｔ）２５０が形成されている。蓋膜２５０は（有機）絶縁物からなり、カラーフィルタ２３０が露出するのを防止し、平坦面を提供する。蓋膜２５０は省略できる。
蓋膜２５０の上には共通電極２７０が形成されている。共通電極２７０はＩＴＯ、ＩＺＯなどの透明な導電体などからなる。
【００５１】
表示板（１００、２００）の内側面には液晶層３の液晶分子（図示せず）の配向を決定する配向膜（１１、２１）が塗布されており、これらは水平配向膜又は垂直配向膜であってもよい。配向膜（１１、２１）は、本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムによって形成することができる。
上記のように、ポリイミドなどの配向液をインクジェットヘッド７００のノズル（図示せず）によって検量用基板１１０に滴下して検量装置６２０、８００を通じて検量した後、排出量を均一に調節する。次に、ゲート導電体１２１、ゲート絶縁膜１４０、半導体１５４、オーミックコンタクト部材（１６３、１６５）、データ導電体（１７１、１７５）、保護膜１８０及び画素電極１９１等が形成された絶縁基板１１１又は遮光部材２２０、カラーフィルタ２３０、蓋膜２５０及び共通電極２７０等が形成された絶縁基板２１１をステージ５００上に搭載した後、インクジェットヘッド７００を移動させて配向液を滴下して配向膜１１、２１を形成することができる。
【００５２】
特にインクジェットヘッド７００を交換したり、他の装置を交換するなど、工程が中断された後に再び開始される場合は、インクジェットヘッド７００からの排出量を再度検査して調節した後、配向膜を形成することによって、均一な厚さの配向膜（１１、２１）を形成することができる。
配向膜（１１、２１）以外にゲート導電体１２１、データ導電体（１７１、１７５）、又はカラーフィルタ２３０等を始めとする他の薄膜も本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムによって形成することができる。
【００５３】
次に、本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムによって完成された有機発光表示装置について説明する。
図１１は本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムによって完成された有機発光表示装置の配置図である。図１２は図１１における有機発光表示装置のＸＩＩ-ＸＩＩ線に沿った断面図である。
【００５４】
絶縁基板１１０上に第１制御電極１２４ａを含む複数のゲート線１２１及び複数の第２制御電極１２４ｂを含む複数のゲート導電体が形成されている。第２制御電極１２４ｂは、下方向に延びた後、右側に方向を変え、さらに上方に長く延びている維持電極１２７を含む。
ゲート導電体（１２１、１２４ｂ）の上にはゲート絶縁膜１４０が形成されており、ゲート絶縁膜１４０の上には複数の第１及び第２島状半導体（１５４ａ、１５４ｂ）が形成されている。第１及び第２半導体（１５４ａ、１５４ｂ）は、各々第１及び第２制御電極（１２４ａ、１２４ｂ）の上に位置する。
【００５５】
第１及び第２半導体（１５４ａ、１５４ｂ）の上には、各々複数対の第１オーミックコンタクト部材（１６３ａ、１６５ａ）と複数対の第２オーミックコンタクト部材（１６３ｂ、１６５ｂ）が形成されている。第１オーミックコンタクト部材（１６３ａ、１６５ａ）は対をなして第１半導体１５４ａの上に配置されており、第２オーミックコンタクト部材（１６３ｂ、１６５ｂ）も対をなして第２半導体１５４ｂの上に配置されている。
【００５６】
オーミックコンタクト部材（１６３ａ、１６３ｂ、１６５ａ、１６５ｂ）及びゲート絶縁膜１４０の上には、複数のデータ線１７１と複数の駆動電圧線１７２と複数の第１及び第２出力電極（１７５ａ、１７５ｂ）を含む複数のデータ導電体が形成されている。
駆動電圧線１７２は駆動電圧を伝達し、主に縦方向に延びてゲート線１２１と交差する。各駆動電圧線１７２は、第２制御電極１２４ｂに向かって延びる複数の第２入力電極１７３ｂを含む。駆動電圧線１７２は維持電極１２７と重なっており、互いに接続されてもよい。
【００５７】
第１及び第２出力電極（１７５ａ、１７５ｂ）は互いに分離されており、データ線１７１及び駆動電圧線１７２とも分離されている。第１入力電極１７３ａと第１出力電極１７５ａは、第１制御電極１２４ａを中心に互いに対向し、第２入力電極１７３ｂと第２出力電極１７５ｂは、第２制御電極１２４ｂを中心に互いに対向する。
データ導電体（１７１、１７２、１７５ａ、１７５ｂ）及び露出した半導体（１５４ａ、１５４ｂ）部分の上には保護膜１８０が形成されている。保護膜１８０には第１及び第２出力電極１７５ｂを露出させる複数のコンタクトホール（１８５ａ、１８５ｂ）が形成されており、保護膜１８０とゲート絶縁膜１４０には第２入力電極１２４ｂを露出させる複数のコンタクトホール１８４が形成されている。
【００５８】
保護膜１８０の上には複数の画素電極１９１及び複数の連結部材８５が形成されている。これらはＩＴＯ又はＩＺＯなどの透明な導電物質やアルミニウム、銀又はその合金などの反射性金属で形成される。
画素電極１９１は、コンタクトホール１８５ｂを介して第２出力電極１７５ｂと物理的電気的に接続されており、連結部材８５は、コンタクトホール（１８４、１８５ａ）を介して第２制御電極１２４ｂ及び第１出力電極１７５ａと接続されている。
【００５９】
保護膜１８０の上には隔壁（ｐａｒｔｉｔｉｏｎ）３６１が形成されている。隔壁３６１は、画素電極１９１の縁の周辺を堤防（ｂａｎｋ）のように取り囲んで開口部３６５を定義するもので、有機絶縁物又は無機絶縁物で形成される。隔壁３６１が定義する画素電極１９１上の開口部３６５内には有機発光部材３７０がある。有機発光部材３７０は、赤色、緑色、青色の三原色など基本色のうちのいずれか１つの光を固有に発する有機物質で形成される。有機発光表示装置は、有機発光部材３７０が発する基本色の光の空間的な作用で所望の映像を表示する。
【００６０】
有機発光部材３７０の上には共通電極２７０が形成されている。共通電極２７０には共通電圧が印加され、カルシウム（Ｃａ）、バリウム（Ｂａ）、マグネシウム（Ｍｇ）、アルミニウム、及び銀などを含む反射性金属、又はＩＴＯやＩＺＯなどの透明な導電物質で形成される。
このような有機発光表示装置において、ゲート線１２１に接続される第１制御電極１２４ａ、データ線１７１に接続される第１入力電極１７３ａ及び第１出力電極１７５ａは、第１半導体１５４ａとともにスイッチング薄膜トランジスタ（ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ ＴＦＴ）をなす。また、第１出力電極１７５ａに接続される第２制御電極１２４ｂ、駆動電圧線１７２に接続される第２入力電極１７３ｂ及び画素電極１９１に接続される第２出力電極１７５ｂは、第２半導体１５４ｂとともに駆動薄膜トランジスタ（ｄｒｉｖｉｎｇ ＴＦＴ）をなす。画素電極１９１、有機発光部材３７０及び共通電極２７０は、有機発光ダイオードをなし、画素電極１９１がアノード（ａｎｏｄｅ）、共通電極２７０がカソード（ｃａｔｈｏｄｅ）となったり、又は反対に画素電極１９１がカソード、共通電極２７０がアノードとなる。
【００６１】
一方、本発明の一実施例では非晶質シリコンからなる半導体（１５４ａ、１５４ｂ）を有する有機発光表示装置を説明したが、本発明は多結晶シリコンからなる半導体を有する有機発光表示装置にも適用可能である。
本実施例のゲート導電体（１２１、１２４ｂ）、データ導電体（１７１、１７２、１７５ａ、１７５ｂ）等複数の信号線、並びに有機発光部材３７０等は、本発明の一実施例のインクジェットプリンティングシステムによって形成することができる。上記のように、インクジェットプリンティングを開始する前に、インクジェットヘッド７００からの排出量をより正確に検査することで、均一な厚さの薄膜を形成することができる。
【００６２】
また、図９及び図１０に示した液晶表示装置の特徴は、本実施例にも適用可能である。
以上、本発明の好ましい実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、請求の範囲で定義している本発明の基本概念を利用した当業者の多様な変形及び改良形態も本発明の権利範囲に属するものである。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムの斜視図である。
【図２】本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムの斜視図である。
【図３】本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムの検量装置の構造及び原理を示す図である。
【図４】本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムの検量装置の構造及び原理を示す図である。
【図５】本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムから排出されたインクの平面図である。
【図６】本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムから排出されたインクの断面図である。
【図７】本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムから排出されたインクの断面積を測定する方法を示す断面図である。
【図８】本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムから排出されたインクの斜視図である。
【図９】本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムによって完成された液晶表示装置の配置図である。
【図１０】図９における液晶表示装置のＸ-Ｘ線に沿った断面図である。
【図１１】本発明の一実施例によるインクジェットプリンティングシステムによって完成された有機発光表示装置の配置図である。
【図１２】図１１における有機発光表示装置のＸＩＩ-ＸＩＩ線に沿った断面図である。
【符号の説明】
【００６４】
３…液晶層
５…排出されたインク滴
１１、２１…配向膜
１００、２００…表示板
１１０、１１１、２１１…基板
１２１…ゲート線
１２７…維持電極
１４０…ゲート絶縁膜
１５４…半導体
１６３、１６５…オーミックコンタクト部材
１７１…データ線
１７２…駆動電圧線
１７３…ソース電極
１７５…ドレイン電極
１８０…保護膜
１９１…画素電極
２１０…支持基板
２２０…遮光部材
２３０…カラーフィルタ
２７０…共通電極
３００、６００…移送装置
３７０…有機発光部材
５００…ステージ
６２０、８００…検量装置
６３１…光源
６４１…ピンホール板
６４２…ピンホール
６５１…受光素子
６７０…対物レンズ
６８１…水平スキャン部
６９１…垂直スキャン部
７００…インクジェットヘッド
Ａ、ＳＡ…滴の断面積
Ｈ…滴の高さ
ＰＬａ、ＰＬｂ…光の経路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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