(57)【要約】【課題】外部出力されるガス濃度の精度を確保しながら、演算処理時間の短縮並びに演算処理負荷の軽減を可能とするガス分析装置を提供する。【解決手段】焼却炉の煙道６のようなガス濃度測定対象領域に向けてレーザ光を出射し、当該ガス濃度測定対象領域を通過し且つ受光されたレーザ光の吸光状態からガス濃度及びレーザ光受光光量値を検出し、ネットワーク１３を介して、検出されたガス濃度及び受光光量値を受信し、ガス濃度を記憶すると共に、受信したガス濃度検出時のレーザ光受光光量値が適正範囲より小さいときにだけガス濃度の平均値を算出するようにすることで、レーザ光受光光量値が適正範囲より小さいときのガス濃度の精度を確保することができると共に、レーザ光受光光量値が適正範囲にあるときの演算処理時間を短縮し且つその演算処理負荷を軽減することができる。【選択図】図９
2010038875.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定サンプリング周期で、ガス濃度測定対象領域を通過したレーザ光を受光し、受光したレーザ光に基づいてガス濃度測定対象領域の複数のガス成分のガス濃度を検出すると共にガス濃度検出時のレーザ光の受光光量値を検出し、検出したガス濃度及び受光光量値を送信するガス濃度検出部と、ネットワークを介して、前記ガス濃度検出部から送信されたガス濃度及び受光光量値を受信し、ガス成分毎のガス濃度に所定処理を施してから出力する制御部とを備え、前記制御部は、少なくとも前記受信したガス濃度をガス成分毎に記憶する記憶部と、受信したガス濃度検出時の受光光量値に基づいて、該当するガス成分のガス濃度の平均値を算出するか否かの判定を行う判定部と、前記判定部でガス濃度の平均値を算出すると判定された場合に、前記記憶部に記憶された同一ガス成分のガス濃度の平均値を、前記所定処理の対象となるガス濃度として算出する平均処理部とを備えたことを特徴とするガス分析装置。
【請求項２】
前記判定部は、受信したガス濃度検出時のレーザ光受光光量値が、予め設定された適正範囲より小さいときにガス濃度の平均値を算出する判定を行うことを特徴とする請求項１に記載のガス分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス濃度特定対象領域を通過したレーザ光を受光し、その受光されたレーザ光の吸光状態からガス濃度を検出するガス分析装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
気体状のガス分子にはそれぞれ固有の光吸収（以下、吸光とも記す）スペクトルが有ることが知られており、ガス分子の吸収線の中心周波数における減衰量はガスの濃度に比例する。このため、例えば半導体レーザ光をレーザ素子からのレーザ光として、ガス分子の吸収線の中心周波数に一致した発振周波数をもつ半導体レーザ光をガスに照射し、その時のレーザ光の減衰量を測定することで、ガスの成分やその濃度を推定することができる（特許文献１）。そして、このようなガス分析装置を、例えば廃棄物焼却炉の煙道など、ガス濃度測定対象領域に設置し、発光部からレーザ光をガス濃度測定対象領域に出射し、当該ガス濃度測定対象領域を通過したレーザ光を受光部で受光し、その受光されたレーザ光の吸光状態から、例えば燃焼排ガス中のガス成分及びガス濃度を検出するものが実用に供されている。
【０００３】
実際のガス分析装置では、このように受光部で検出されたガス濃度のデータを、例えばネットワークを介して受信し、そのデータに対して、例えば圧力や温度、ダストなどに応じた補正といった必要な処理を施し、その必要な処理済みのデータを外部に出力する。例えば、１つのレーザ光を用いて、複数のガス成分のガス濃度を検出するような場合に、測定したデータを精度よく且つ安定して外部に出力するためには、例えば下記特許文献２に記載されるように、入手したデータの平均処理を行い、その結果を測定値とし、不安定なデータの影響を抑制することで安定した出力を得るものがある。また、下記特許文献３に記載されるように、測定データを効率的に保持し、少ない資源で平均処理を行うことで、コストの低廉化を図りながら安定した出力を得るものがある。
【特許文献１】特開平１０−１４２１４８号公報
【特許文献２】特開２００４−６９３５０号公報
【特許文献３】特開２００７−９３４２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記特許文献２又は３のデータ平均処理技術をガス分析装置に用いると、全てのガス成分のガス濃度データに対し、所定サンプル数での平均処理を行うことになり、サンプル数が多くなると演算処理時間が長くなると共に、演算処理負荷が大きくなるという問題がある。この問題は、特に１つのガス濃度検出部で測定するガス成分の数が多くなればなるほど顕著になる。
本発明はこれらの諸問題を解決すべくなされたものであり、１つのガス濃度検出部で複数のガス成分のガス濃度を測定する場合であっても、外部出力されるガス濃度の精度を確保しながら、演算処理時間の短縮並びに演算処理負荷の軽減を可能とするガス分析装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
以上の課題を解決するため、本発明のガス分析装置は、所定サンプリング周期で、ガス濃度測定対象領域を通過したレーザ光を受光し、受光したレーザ光に基づいてガス濃度測定対象領域の複数のガス成分のガス濃度を検出すると共にガス濃度検出時のレーザ光の受光光量値を検出し、検出したガス濃度及び受光光量値を送信するガス濃度検出部と、ネットワークを介して、前記ガス濃度検出部から送信されたガス濃度及び受光光量値を受信し、ガス成分毎のガス濃度に所定処理を施してから出力する制御部とを備え、前記制御部は、少なくとも前記受信したガス濃度をガス成分毎に記憶する記憶部と、受信したガス濃度検出時の受光光量値に基づいて、該当するガス成分のガス濃度の平均値を算出するか否かの判定を行う判定部と、前記判定部でガス濃度の平均値を算出すると判定された場合に、前記記憶部に記憶された同一ガス成分のガス濃度の平均値を、前記所定処理の対象となるガス濃度として算出する平均処理部とを備えたことを特徴とするものである。
また、本発明のガス分析装置は、前記判定部は、受信したガス濃度検出時のレーザ光受光光量値が、予め設定された適正範囲より小さいときにガス濃度の平均値を算出する判定を行うことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００６】
而して、本発明のガス分析装置によれば、少なくとも受信したガス濃度をガス成分毎に記憶すると共に、受信したガス濃度検出時のレーザ光の受光光量値に基づいて、該当するガス成分のガス濃度の平均値を算出するか否かの判定を行う構成としたため、例えば受信したガス濃度検出時のレーザ光の受光光量値が、予め設定された適正範囲より小さいときに、所定処理の対象となるガス濃度として当該ガス成分のガス濃度の平均値を算出し、受光光量値が適正範囲であるときに、平均値の算出を省略することで平均処理の回数を低減することができ、１つのガス濃度検出部で複数のガス成分のガス濃度を測定する場合であっても、レーザ光受光光量値が適正範囲より小さいときのガス濃度の精度を確保することができると共に、全てのガス成分に対してガス濃度を平均処理する場合に比べて、レーザ光受光光量値が適正範囲にあるときの演算処理時間を短縮し且つその演算処理負荷を軽減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明のガス分析装置の一実施形態について図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るガス濃度測定装置の概略構成を示す全体図である。同図の符号６は、ガス濃度測定対象領域となる例えば廃棄物焼却炉の煙道である。本実施形態のガス濃度検出装置２３は、廃棄物焼却炉の煙道６に向けてレーザ光を出射する発光部３ａ及び廃棄物焼却炉の煙道６を通過したレーザ光を受光する受光部３ｂを備える。受光部３ｂでは、受光したレーザ光の吸光状態からガス濃度を検出する。
【０００８】
図２は、前記図１のガス濃度検出装置２３の発光部３ａ及び受光部３ｂの断面図である。 発光部３ａには、レーザ素子が搭載されたレーザユニット１７、前記レーザユニット１７から出射されたレーザ光の発光波長をスキャンさせながら周波数変調を行う送信部基板１４、前記レーザユニット１７から出射されたレーザ光を平行ビームに変換するコリメートレンズ１６が設けられている。なお、レーザ素子としてはレーザダイオード素子などの半導体レーザを用いることができ、レーザユニット１７には、レーザ素子の温度を検出するサーミスタ及びレーザ素子の温度を調整するペルチェ素子などを搭載することができる。
【０００９】
また、受光部３ｂには、煙道６内の測定対象ガスを透過したレーザ光を集光する集光レンズ２０、測定対象ガスを透過したレーザ光を検出する光検出部２１及び測定対象ガスを透過したレーザ光の２倍波周波数からガス濃度を算出する受信部基板２２が設けられている。なお、光検出部２１としては、例えば、フォトダイオードを用いることができる。
前記送信部基板１４、コリメートレンズ１６及びレーザユニット１７は、送信側ハウジング１８に収容されると共に、集光レンズ２０、光検出部２１及び受信部基板２２は、受信側ハウジング１９に収容されている。送信側ハウジング１８は、ウェッジ窓１５ａによって、煙道などの測定対象ガスが流れる配管内と仕切られるようにしてフランジ１２ａに取付けられ、受信側ハウジング１９も、ウェッジ窓１５ｂによって配管内と仕切られるようにしてフランジ１２ｂに取付けられ、夫々のフランジ１２ａ，１２ｂが配管の隔壁１１ａ、１１ｂに溶接などの手段によって取付けられている。
【００１０】
前記レーザユニット１７から出射されたレーザ光の発光波長がスキャンされながら、中心周波数ｆｃ、変調周波数ｆｍでレーザ光が周波数変調される。この発光波長がスキャンされながら周波数変調が行われたレーザ光がレーザユニット１７から出射され、コリメートレンズ１６にて平行ビームに変換された後、測定対象ガスを透過する。そして、測定対象ガスを透過したレーザ光は、測定対象ガスのガス分子の吸収線に夫々対応した波長の吸収を受けた後、集光レンズ２０によって光検出部２１に集光される。
そして、光検出部２１にレーザ光が入射すると、光検出部２１にて電気信号に変換され、その電気信号が受信部基板２２に送られる。この電気信号は、変調周波数の２倍周波数を持つ２倍周波数参照信号を掛け合わせることにより、受光信号の２倍波成分を抽出し、その抽出された受光信号の２倍波成分に基づいてガス濃度が算出される。
【００１１】
半導体レーザは、温度や電流によって出射光の波長が変化する。図３に、本実施形態の半導体レーザの駆動電流に対する発光波長の変化の一例を示す。図４には、送信部基板１４及びレーザユニット１７に構築された発光部の回路構成例を示す。この発光部の回路構成は、変調周波数ｆｍを発振する変調周波数（図では１ｆ）発振回路１、レーザダイオード素子などの半導体レーザ５の波長スキャンを行うための三角波を発振する三角波発生回路２、変調周波数発振回路１からの変調周波数ｆｍと三角波発生回路２からの三角波とを加算するミキサーなどの加算器１３、加算器１３からの電圧を電流に変換し、レーザダイオード素子（図ではＬＤ）などの半導体レーザ５に出力するＶ／Ｉ変換回路４とを備えて構成される。
【００１２】
また、半導体レーザ５に隣接して、ペルチェ素子及びヒータからなる温度制御素子８及び温度検出素子９を備え、温度検出素子９で検出される温度に基づいて、温度制御回路１０が温度制御素子８を制御して半導体レーザ５の温度が一定になるようにしている。
図５には、光検出部２１及び受信部基板２２に構築された受光部の回路構成例を示す。この受光部では、送信側のレーザユニット１７から出射されたレーザ光を検出するフォトダイオード（図ではＰＤ）１１１、フォトダイオード１１１から出力される電流を電圧に変換するＩ／Ｖ変換回路１１２、Ｉ／Ｖ変換回路１１２から出力された電圧を増幅する増幅器１１３、増幅器１１３を介して出力された信号から変調周波数ｆｍの２倍波成分を抽出するバンドパスフィルタ（図ではＢＰＦ）１１４、変調周波数ｆｍの２倍波周波数の２倍周波数（図では２ｆ）参照信号を発生する２倍周波数信号発生部１１５、２倍周波数信号発生部１１５からの２倍周波数参照信号を用いることで、バンドパスフィルタ１１４の出力から２倍波（図では２ｆ）成分を抽出する検波器１１６、検波器１１６の出力から不要な高域周波数成分を除去するローパスフィルタ（図ではＬＰＦ）１１７、ローパスフィルタ１１７から出力された電圧を増幅する増幅器１１８が設けられている。
【００１３】
次に、前記発光部３ａ及び受光部３ｂによるガス濃度検出作用について説明する。前述した特許文献１に記載されるレーザ光によるガス濃度検出原理を発展させたものとして２波長差分方式及び周波数変調方式があり、２波長差分方式では、半導体レーザの発振周波数はＴＨｚオーダの信号であることから、複雑な信号処理を行うことができないのに対して、周波数変調方式では、数ｋＨｚのベースバンド領域で信号処理を行うことができるという利点がある。
【００１４】
この周波数変調方式では、中心周波数ｆｃ、変調周波数ｆｍで半導体レーザの出力が周波数変調され、測定対象ガスに照射される。なお、周波数変調とは、半導体レーザに供給されるドライブ（駆動）電流を正弦波状にすることである。そして、半導体レーザは、温度や電流によって出射光の波長が変化するので、半導体レーザに供給されるドライブ電流を正弦波状にすることで、半導体レーザの出射光の波長を変調することができる。
【００１５】
ここで、測定対象ガスの吸収線は、図６に示すように、変調周波数に対してほぼ２次関数となっているので、この吸収線が弁別器の役割を果たし、変調周波数ｆｍの２倍の周波数の成分、即ち２倍波成分が得られる。そして、測定対象ガスの濃度が高いほどレーザ光の吸収量も大きくなるので、２倍波成分の強度も強くなり、この２倍波成分を検出することで、測定対象ガスの濃度を測定することができる。なお、以下の説明では、変調周波数ｆｍを１ｆ、変調周波数ｆｍの２倍波周波数を２ｆとも呼び、２倍波成分を２ｆ成分とも呼ぶ。
【００１６】
送信側の変調方式として、変調の中心波長が常に吸収波長に一致するように制御するのは困難であるので、所定の振幅幅で１ｆの周波数にて変調しながら、変調幅の中心波長を徐々に変えて掃引する波長スキャン方式を用いた。図７ａは、半導体レーザを駆動する駆動電流の波形を示す図、図７ｂは、図７ａの駆動電流で半導体レーザが駆動された時のレーザ光の発光波長を示す図である。半導体レーザの発光光量は駆動電流にほぼ比例するため、発光光量の波形についても、図７ａの波形と同様である。そして、このようにして波長変調されたレーザ光が煙道内部などの被測定ガスがある領域に向けて発光される。その光は、被測定ガスの奥側に設置された受光部で受光される。受光された信号から検波された２ｆ成分検出信号の大きさは、その波長が吸光スペクトルとなるガス成分のガス濃度に比例する。
【００１７】
このガス分析方法では、ガスの種類によっては、１つの半導体レーザ光による１回の波長スキャンで複数のガスの吸光を同時に測定することができる場合がある。例えば、あるガスの吸光スペクトルのすぐ近傍に異なるガスの吸光スペクトルが存在する場合、１つの半導体レーザ光を用いて波長スキャンを行うことで、２つのガスＡ，Ｂの濃度を検出することができる。図８に、このような特定波長で２つのガスの吸光スペクトルを１回の波長スキャンで検出した場合の半導体レーザ（図ではＬＤ：レーザダイオード）の駆動電流と２ｆ成分検出信号を示す。
【００１８】
このように１回の波長スキャンで複数のガス成分を検出可能な場合もあるが、本実施形態では、発光部３ａはスキャンのレンジを次々と変更しながらレーザ光をスキャンし、それを所定サンプリング周期で繰り返するようにしてある。具体的には、検出対象となるガス成分の吸光スペクトルの最小値近傍からスキャンを開始し、同じく検出対象となるガス成分の吸光スペクトルの最大値を越えたら、所定のサンプリング周期で、再び、吸光スペクトルの最小値近傍に戻ってスキャンを開始し、これを繰り返す。一方の受光部３ｂでは、発光部３ａからのレーザ光スキャン波長情報から、吸光スペクトルに該当するガス成分の濃度及びその時のレーザ光受光光量値をレーザ光のスキャンの度に検出する。
【００１９】
具体的なガス濃度及びレーザ光受光光量値データの送信形態として、例えばレーザ光のスキャンレンジを該当するガス成分の吸光スペクトル近傍のみとし、例えば発光部３ａは或るガス成分の吸光スペクトル近傍でレーザ光をスキャンし、受光部３ｂは受光したレーザ光の吸光状態から該当するガス成分のガス濃度を検出したら、発光部３ａは、次に波長の長いガス成分の吸光スペクトル近傍でレーザ光をスキャンし、受光部３ｂは受光した吸光状態から該当するガス成分のガス濃度を検出し、これを次々と繰り返して、ガス成分とガス濃度、そのガス濃度検出時のレーザ光受光光量値をリンクさせた状態で送信する。
【００２０】
このようにして受光部３ｂで検出されたガス濃度及びレーザ光受光光量値のデータは、図１に示すように、ネットワーク１３を介して、制御装置７で受信される。制御装置７では、受信したガス濃度測定データ及びレーザ光受光光量値をデータ変換部３１で変換し、変換されたガス濃度測定データ及びレーザ光受光光量値をデータ記憶部３２でガス成分毎に記憶し、受信したレーザ光受光光量値からデータ判定部３３で平均処理を行うか否かの判定をガス成分毎に行い、平均処理を行うと判定されたガス成分については平均処理部３４でガス濃度測定データの平均処理を行い、平均処理の行われたガス濃度測定データ或いは平均処理の行われていないガス濃度測定データに対してデータ処理部３５で補正などの必要な所定処理を施し、データ処理がアナログで行われた場合には、それをＡ／Ｄ変換部３６でデジタルデータに変換して外部に出力する。なお、ガス濃度測定データの補正は、例えばガス温度やガス圧力を入力してガス濃度を補正したり、煙道中のダスト量に応じてガス濃度を補正したりする。
【００２１】
データ記憶部３２は、例えば所定サンプリング数のガス濃度を格納するシフトレジスタなどで構成され、前述のようにして受光部３ｂで検出された第１〜第ｎ成分のガス濃度及び受光光量値を受信するたびに、ガス成分毎にシフトレジスタの前段のアドレスに記憶する。平均処理部３４では、所定処理を施すガス濃度としてガス濃度の平均値を算出する場合に、このように記憶部３２に記憶されているガス濃度をガス成分毎に平均処理してガス濃度の平均値を算出する。
【００２２】
図９には、例えば前述した制御装置７の各構成がコンピュータシステムのプログラムによって構築されている場合の処理のゼネラルフローを示す。この演算処理では、まずステップＳ１で、受光部３ｂで検出された各ガス成分のガス濃度及びそのガス濃度検出時のレーザ光の受光光量値のデータを受信する。
次にステップＳ２に移行して、ステップＳ１で受信したガス濃度及び受光光量値を前述したようにガス成分毎に区分してデータ記憶部３２に順次記憶する。
【００２３】
次にステップＳ３に移行して、ステップＳ１で受信したガス濃度検出時のレーザ光受光光量値が適正範囲より小さいか否かをガス成分毎に判定し、受光光量値が適正範囲より小さい場合にはステップＳ４に移行し、そうでない場合にはステップＳ５に移行する。
ステップＳ４では、検出されたガス濃度が不安定であるとして、レーザ光受光光量値に応じて予め設定されたサンプリング数で該当するガス成分のガス濃度の平均処理を行ってからステップＳ５に移行する。
【００２４】
ステップＳ５では、ステップＳ４で平均処理を施した場合には、その平均処理の施されたガス濃度に対し、また平均処理を施さない場合には、ステップＳ１で受信したガス濃度に対し、夫々、温度や圧力に応じた補正、或いは燃焼排ガス中のダスト量に応じた補正演算処理を行う。
次にステップＳ６に移行して、ステップＳ５で補正演算処理の施されたガス濃度データを演算結果として外部に出力する。この場合、全てのガス濃度データに対して補正演算処理が行われたあとに各ガス成分のガス濃度データを出力するようにしてもよい。
【００２５】
この演算処理によれば、ガス濃度を検出したときのレーザ光受光光量値が適正範囲より小さい場合にだけ、ガス濃度を平均処理し、その平均処理されたガス濃度に対して、補正などの必要な処理を施して外部に出力する。前述したように、レーザ光の受光光量値が小さい場合には、検出したガス濃度の値がふらついて不安定となり、ガス濃度の検出精度が低下する、即ち信頼性が低下する。そこで、ガス濃度を検出したときのレーザ光受光光量値が適正範囲より小さい場合には、検出されたガス濃度単体の信頼性が低いとして、同一ガス成分のガス濃度を平均処理して精度を高め、レーザ光受光光量値が適正範囲内である場合には、検出精度は高い、即ち信頼性は高いものとして、そのガス濃度をそのまま用い、それらのガス濃度に補正演算処理を施してから外部に出力する。
【００２６】
このように、本実施形態のガス濃度測定装置によれば、煙道（ガス濃度測定対象領域）６に向けてレーザ光を出射し、煙道（ガス濃度測定対象領域）６を通過したレーザ光を受光し、受光されたレーザ光から煙道（ガス濃度測定対象領域）６の複数のガス成分のガス濃度及びレーザ光の受光光量値を検出して送信し、ネットワーク１３を介して、送信されたガス濃度及び受光光量値を受信し、受信したガス濃度に対して所定処理を施してから出力する場合に、受信されたガス濃度を記憶し、受信したガス濃度検出時のレーザ光受光光量値に基づいて、ガス濃度の平均値を算出するか否かの判定を行うこととしたため、受信したガス濃度検出時のレーザ光受光光量値が、予め設定された適正範囲より小さいときに、所定処理の対象とするために記憶されたガス濃度の平均値を算出し、受光光量値が適正範囲にあるときに平均値の算出を省略することで平均処理の回数を低減することができ、レーザ光受光光量値が適正範囲より小さいときのガス濃度の精度を確保することができると共に、全てのガス成分に対して平均処理を行う場合に比して、レーザ光受光光量値が適正範囲にあるときの演算処理時間を短縮し且つその演算処理負荷を軽減することができる。
なお、レーザ光をスキャンするための三角波に代えて、鋸歯状波を使用してもよい。
また、ガス濃度測定対象領域は、前記実施形態の廃棄物焼却炉の煙道に限らず、本発明のガス濃度分析装置は、あらゆるガス濃度測定対象領域に適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明のガス分析装置及びガス分析方法の一実施形態を示すガス濃度測定装置の全体構成図である。
【図２】図１のガス濃度測定装置における発光部及び受光部の概略構成図である。
【図３】図２の発光部及び受光部における半導体レーザの駆動電流と発光波長の説明図である。
【図４】図２の発光部のブロック図である。
【図５】図２の受光部のブロック図である。
【図６】図４の発光部の駆動電流及び図５の受光部の２ｆ成分検出信号の特性説明図である。
【図７】半導体レーザの駆動電流と発光波長の説明図である。
【図８】図２の発光部の駆動電流及びその２ｆ成分検出信号の特性説明図である。
【図９】図１の制御装置で行われる演算処理のゼネラルフローを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００２８】
１は１ｆ発振回路、２は三角波発生回路、３ａは発光部、３ｂは受光部、４はＶ／Ｉ変換回路、５は半導体レーザ、６は煙道（ガス濃度測定対象領域）、７は制御装置、８は温度制御素子、９は温度検出素子、１０は温度制御回路、１１ａ，ｂは隔壁、１２ａ，ｂはフランジ、１３は加算器、１４は送信部基板、１５ａ，ｂはウェッジ窓、１６はコリメートレンズ、１７はレーザユニット、１８は送信側ハウジング、１９は受信側ハウジング、２０は集光レンズ、２１は光検出部、２２は受信部基板、２３はガス濃度検出装置、３１はデータ変換部、３２はデータ記憶部、３３はデータ判定部、３４は平均処理部、３５はデータ処理部、３６はＡ／Ｄ変換部
【図１】
2010038875.tif 000003
【図２】
2010038875.tif 000004
【図３】
2010038875.tif 000005
【図４】
2010038875.tif 000006
【図５】
2010038875.tif 000007
【図６】
2010038875.tif 000008
【図７】
2010038875.tif 000009
【図８】
2010038875.tif 000010
【図９】
2010038875.tif 000011