(57)【要約】【課題】接着を伴わずに把持部を把持して被着体に貼付された接着シートを剥離することのできる剥離用テープを提供すること。【解決手段】半導体ウエハＷに貼付された保護用の接着シートＳの表面に貼付して当該接着シートＳを半導体ウエハＷから剥離するために用いられる剥離用テープＰＴ。この剥離用テープＰＴは、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層Ａが設けられ、基材シートＢＳの一部を折り畳むことで接着剤層Ａが表出しない把持部１１とされる一方、接着剤層Ａが表出する部分が接着部１０として構成されている。接着シートＳを半導体ウエハＷから剥離するときは、接着部１０を接着シートＳに貼付し、把持部１１を把持して引っ張ることで接着シートＳを剥離することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートと、この基材シートの一方の面の少なくとも一部に設けられた接着剤層とを含み、被着体に貼付された接着シートに貼付して当該接着シートを被着体から剥離するための剥離用テープであって、
前記基材シートの一部を前記一方の面側に折り畳むことで合わせ面の少なくとも一部が相互に接着される把持部を形成可能な把持部形成片と、
前記折り畳みによって前記把持部から区画された接着部を形成する接着片とからなることを特徴とする剥離用テープ。
【請求項２】
前記把持部形成片に折り畳み線を備え、当該折り畳み線に沿って折り畳むことで前記把持部と接着部とが形成されることを特徴とする請求項１記載の剥離用テープ。
【請求項３】
前記把持部形成片は、折り畳まれて前記接着シートの外縁部分に一致する接着部外縁部分を形成する外縁形成部を有することを特徴とする請求項１又は２記載の剥離用テープ。
【請求項４】
前記接着片は把持部形成片よりも幅広の平面形状に設けられていることを特徴とする請求項１ないし３の何れかに記載の剥離用テープ。
【請求項５】
前記把持部形成片と接着片との接続部外縁にスロープ状の繋ぎ部が設けられていることを特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載の剥離用テープ。
【請求項６】
前記把持部形成片は、折り畳まれたときの合わせ面の平面形状が一致することを特徴とする請求項１ないし５の何れかに記載の剥離用テープ。
【請求項７】
前記接着片は、前記接着シートの外縁部分に沿うショルダ部を備えていることを特徴とする請求項１ないし６の何れかに記載の剥離用テープ。
【請求項８】
基材シートと、この基材シートの一方の面の少なくとも一部に設けられた接着剤層とを含み、半導体ウエハに貼付された略円形の接着シートに貼付されて当該接着シートを半導体ウエハから剥離するための剥離用テープにおいて、
基材シートの一部を前記一方の面側に折り畳むことで合わせ面の少なくとも一部が相互に接着される把持部を形成可能な把持部形成片と、
前記折り畳みによって前記把持部から区画された接着部を形成する接着片とからなり、
前記接着部は、前記接着シートの外縁２地点間を結ぶ弦に沿う弦縁部と、前記２地点間の弧に沿う弧縁部とで囲まれた平面形状を備え、
前記把持部形成片及び折り畳みによって形成される把持部は、前記弧縁部から突出した片状に設けられることを特徴とする剥離用テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は剥離用テープに係り、更に詳しくは、被着体に貼付された接着シートを被着体から剥離するときに、接着を伴うことなく把持する領域を備えているとともに、接着シートを破断させることなく確実に剥離することに適した剥離用テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）の処理装置においては、ウエハの回路面等を保護するための接着シートが貼付されている。この接着シートは、シート剥離装置を用いて最終的にウエハから剥離するものとなっている。
シート剥離装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。同文献におけるシート剥離装置は、ウエハに貼付された円形の接着シートに、エッジ部材に巻き掛けられた剥離用テープを接着し、ウエハとエッジ部材との相対移動に同期して剥離用テープの巻き取りを行うことで接着シートをウエハから剥離する構成が採用されている。ここで、剥離用テープは、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた帯状のテープが採用されている。
【特許文献１】特開２００７−４３０４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１に開示されたシート剥離装置における剥離用テープは、把持できる領域がなく、専用の剥離装置を用いなければならないという制約がある。
また、剥離用テープが接着シートの直径よりも小さい幅となる帯状に設けられているため、剥離用テープを引っ張って接着シートを剥離したときに、当該接着シートが、剥離用テープの幅に沿って破れ易くなる、という不都合がある。
また、接着シートの剥離動作中に剥離用テープが接着シートから分離して剥離不良を生ずる、という不都合もある。
【０００４】
ところで、ウエハに貼付された接着シートは、その外周が円弧状となっているため、当該接着シートに貼付される剥離用テープの形状も、接着シートの外周部分に対応する平面形状を備えた接着部を設けることが好ましい。
そこで、例えば、図８（Ａ）に示されるように、基材シートＢＳの一方の面の一部に接着剤層Ａを設けて接着部５０とし、これに連なる片状の把持部５１を設けて剥離用テープＰＴを形成する場合、図８（Ｂ）に示されるように、ウエハＷに貼付された接着シートＳの外周部分に接着部５０を貼付する際に、接着剤層Ａの外縁Ａeと、接着シートＳの外縁Ｓeとを一致させることが剥離の安定性を向上させる上で必要となる。
しかしながら、接着シートＳの外周部分の形状に合わせた接着部５０の形成は、打ち抜き加工等により容易であっても、接着部５０と把持部５１との境界における接着剤層Ａの外縁Ａｅを接着シートＳの外縁Ｓeに一致するように接着剤層Ａを設けることは必ずしも容易ではない。これは、剥離用テープの製造工程において、基材シートの搬送方向に沿って直線的にのみ接着剤の塗布ができないためである。その結果、量産効率が低下してコスト的に高価なものになってしまう、という不都合がある。
【０００５】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、接着部を形成する際に、接着剤層の外縁を接着シートの外縁に一致させる非効率的な工程を回避できるとともに、接着シートを剥離する際に、把持部を把持若しくは掴むことができ、専用の剥離装置を用いることなく接着シートを剥離することのできる剥離用テープを提供することにある。
また、本発明の他の目的は、被着体に貼付された接着シートの大きさよりも小さい剥離用テープを用いた場合であっても、接着シートの破断を回避しつつ確実に剥離することのできる剥離用テープを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、基材シートと、この基材シートの一方の面の少なくとも一部に設けられた接着剤層とを含み、被着体に貼付された接着シートに貼付して当該接着シートを被着体から剥離するための剥離用テープであって、
前記基材シートの一部を前記一方の面側に折り畳むことで合わせ面の少なくとも一部が相互に接着される把持部を形成可能な把持部形成片と、前記折り畳みによって前記把持部から区画された接着部を形成する接着片とからなる、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記把持部形成片に折り畳み線を備え、当該折り畳み線に沿って折り畳むことで前記把持部と接着部とが形成される、という構成を採ることが好ましい。
【０００８】
また、前記把持部形成片は、折り畳まれて前記接着シートの外縁部分に一致する接着部外縁部分を形成する外縁形成部を有する、という構成を採っている。
【０００９】
更に、前記接着片は把持部形成片よりも幅広の平面形状に設けられた構成を採ることが好ましい。
【００１０】
また、前記把持部形成片と接着片との接続部外縁にスロープ状の繋ぎ部が設けられる、という構成を採っている。
【００１１】
更に、前記把持部形成片は、折り畳まれたときの合わせ面の平面形状が一致するように設けられている。
【００１２】
また、前記接着片は、前記接着シートの外縁部分に沿うショルダ部を備える、という構成を採るとよい。
【００１３】
更に、本発明は、基材シートと、この基材シートの一方の面の少なくとも一部に設けられた接着剤層とを含み、半導体ウエハに貼付された略円形の接着シートに貼付されて当該接着シートを半導体ウエハから剥離するための剥離用テープにおいて、
基材シートの一部を前記一方の面側に折り畳むことで合わせ面の少なくとも一部が相互に接着される把持部を形成可能な把持部形成片と、
前記折り畳みによって前記把持部から区画された接着部を形成する接着片とからなり、
前記接着部は、前記接着シートの外縁２地点間を結ぶ弦に沿う弦縁部と、前記２地点間の弧に沿う弧縁部とで囲まれた平面形状を備え、
前記把持部形成片及び折り畳みによって形成される把持部は、前記弧縁部から突出した片状に設けられる、という構成を採ることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、接着剤層が設けられた一方の面側に把持部形成片を折り畳むことで把持部と接着部とを形成可能な構成とされているため、基材シートの一部を折り畳むだけで剥離用テープを容易に形成することができるとともに、把持部を掴んで接着シートを剥離することができる。この把持部は、例えば、一対のチャック等を用いて把持できる他、作業者が把持部を直接掴んだ状態で接着シートを剥離することができ、専用の剥離装置を必要とすることがないうえ、チャック部材や作業者の指に接着剤が付着して汚れたり、不快感を与えたりすることがなくなり、剥離方法を任意に選択可能となる。しかも、把持部は、把持部形成片が折り畳まれている分、接着部に対して相対的に大きい厚みを備えたものとなるため、把持したときの平面形状安定性が高く、接着部に剥離力を安定して伝達することが可能となる。
また、折り畳み線を設けたことで、把持部を形成した際に把持部形成片の一部が接着部領域にかかってしまうような不都合は生じない。
更に、把持部形成片に外縁形成部を設けたことで、接着部の外縁と接着シートの外縁とが一致し、剥離の安定性を向上させることができる。
また、接着片が把持形成片よりも幅広の平面形状となる構成、すなわち、接着部が把持部よりも幅広となる構成では、剥離用テープが接着シートの幅よりも小さい場合であっても、剥離に際して接着シートが破れてしまうような不都合を効果的に回避することができる。
更に、前記把持部形成片と接着片との間の接続部外縁にスロープ状の繋ぎ部が設けられているため、剥離用テープに剥離力が付与されたときに、剥離方向の力が繋ぎ部によって左右方向に分散するため、剥離用テープや接着シートに局所的な力が加わることを防止し、接着シートが剥離用テープの幅に沿って破れてしまうといった不都合を解消することができる。
また、接着部が接着シートの外縁部分に沿うショルダ部を備えていることで、接着シートが外縁部から確実に剥離されるようになり、この点からも接着シートの破断原因を回避することができる。
特に、接着部の接着剤層が接着シートの外周部分と同一の平面形状に設けられた構成では、剥離用テープの接着剤が接着シート以外の部分に接着して、当該接着シートの剥離を妨げたり、被着体を載置するテーブル等に接着剤が付着して汚れてしまうといった不都合を確実に解消できる。また、剥離力を接着シートの縁部に確実に付与することが可能となり、接着シートの剥離不良を解消することができる。
また、半導体ウエハに貼付された円形の接着シートを剥離する剥離用テープとし、当該剥離用テープが接着シートの貼付領域に対応する平面形状の接着剤層を有する接着部と、折り畳むことによって形成される把持部とを備えた構成では、半導体ウエハから確実に接着シートを剥離することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１には、本実施形態に係る剥離用テープの平面図が示され、図２には、その概略斜視図が示されている。また、図３には、図１の剥離用テープを接着シートに貼付した概略斜視図が示されている。剥離用テープＰＴは、図２（Ａ）に示されるように、基材シートＢＳと、この基材シートＢＳの一方の面に設けられた接着剤層Ａとを含み、基材シートＢＳの一部を前記一方の面側、すなわち接着剤層Ａ側（同図（Ａ）中矢印ｂ方向）に折り畳むことで接着剤層Ａが表出しない把持部１１を形成可能な把持部形成片Ｐと、この折り畳みにより把持部１１から区画されて接着剤層Ａを表出する接着部１０を形成する接着片Ｔとを備えている（図２（Ｂ）参照）。
【００１７】
前記把持部形成片Ｐは、図２（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、折り畳み線１２で折り畳んだときに、接着部１０の外縁部分が接着シートＳの外縁部分に一致する形状となるように外縁形成部１４が設けられている。これを被着体としてのウエハＷに貼付された接着シートＳで説明すると、図４及び図５に示されるように、把持部形成片Ｐを折り畳み線１２で折り畳んだときに、接着シートＳの外縁の２地点Ｐ１、Ｐ２間の弧Ｌ２に対応する弧縁部Ａａが形成されるように外縁形成部１４が設けられている。
【００１８】
前記接着片Ｔは、把持部形成片Ｐよりも幅広の平面形状に設けられ、接着シートＳの外縁部分と同形状に設けられたショルダ部１０ａと、接着シートＳの外縁２地点Ｐ１、Ｐ２間を結ぶ弦Ｌ１に沿う弦縁部Ａｓとを有し、スロープ状（本実施形態では外縁が円弧状）の繋ぎ部１３を介して把持部形成片Ｐの外縁に連設されている。これにより、把持部形成片Ｐを折り畳み線１２で折り畳んだときに、弦縁部Ａｓと弧縁部Ａａとで囲まれた平面形状を備えた接着部１０が形成される。また、繋ぎ部１３を設けることによって、図６に示されるように、剥離用テープＰＴを矢印ａ方向に引っ張ったときに、剥離方向の力が左右方向（矢印ａＬ、ａＲ方向）に分散するため、剥離用テープＰＴや接着シートＳに局所的な力が加わることを防止し、接着シートＳが剥離用テープＰＴの幅に沿って破れてしまうといった不都合を解消することができる。なお、把持部形成片Ｐには、折り畳まれて繋ぎ部１３に一致する突出部１５が設けられている。すなわち、把持部形成片Ｐは、折り畳まれたときの合わせ面の平面形状が一致するようになっている。このように構成することで、繋ぎ部１３の接着剤層Ａ部分が他の部分に接着して接着シートＳの剥離を妨げたり、接着剤で汚してしまうといった不都合を解消できる上、繋ぎ部１３の補強材としても機能し、把持部１１の引っ張り操作時に接着シートＳを部分的に破断してしまうおそれを一層確実に回避することができる。
【００１９】
前記剥離用テープＰＴを用いて、テーブルＴに支持されたウエハＷから接着シートＳを剥離する場合を説明する。先ず、ショルダ部１０ａが接着シートＳの外縁に一致するように剥離用テープＰＴを接着シートＳに貼付する（図３参照）。このように貼付することで、図５に示されるように、接着剤層Ａの弧縁部Ａａが接着シートＳの外縁に一致して貼付される。これにより、接着剤層ＡがテーブルＴに貼付して接着シートＳの剥離を妨げたり、テーブルＴを接着剤で汚してしまうといった不都合は発生しないうえ、剥離力を接着シートＳの縁部に確実に付与することが可能となり、接着シートＳの剥離不良を解消することができる。剥離用テープＰＴの貼付を完了した状態において、把持部１１は接着シートＳの外縁すなわち弧Ｌ２から外側に突出する。
【００２０】
そして、把持部１１を図示しないチャックで把持するか、或いは、オペレータが指先で摘んで剥離用テープＰＴを反転させると同時に、図３中二点鎖線で示されるように剥離用テープＰＴを引っ張ることで接着シートＳをウエハＷから剥離することができる。これにより、チャックを構成する部材やオペレータの指に接着剤が付着して汚れたり、不快感を与えたりすることはない。
【００２１】
従って、このような実施形態によれば、一方の面に接着剤層Ａが設けられた基材シートＢＳの一部を折り畳むことで把持部１１が形成されているため、接着を伴うことなく把持部の引っ張り操作によって接着シートＳを剥離することができる。また、把持部形成片Ｐに外縁形成部１４が設けられているため、接着部１０と把持部１１との境界部に被着体の外縁と同形状の接着剤層を設けるといった量産効率を低下させるような不都合を回避することができる。しかも、接着シートＳの外周部平面形状に対応するようにショルダ部１０ａを備え、このショルダ部１０ａは、把持部１１の外縁にスロープ状の繋ぎ部１３を介して連なる構成であるため、把持部１１を引っ張り操作したときでも、接着シートＳに局所的な負荷を与えることなく接着部１０の幅方向に分散した剥離力を及ぼすことができ、これによって、接着シートＳを部分的に破断してしまうおそれを回避しつつ当該接着シートＳの剥離を行うことができる。
【００２２】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００２３】
例えば、接着部１０、接着剤層Ａ及び把持部１１の平面形状は、図示構成例に限定されるものではなく、剥離対象となる接着シートＳの平面形状に応じて任意に変更することが可能である。すなわち、被着体に貼付された接着シートが非円形である場合には、その平面形状の外周部分の形状に応じてショルダ部１０ａや外縁形成部１４の形状を決定することができる。
【００２４】
更に、前記実施形態では、把持部形成片Ｐと接着片Ｔとの接続部外縁が円弧状の繋ぎ部１３としたが、直線状の繋ぎ部１３としてもよい。
【００２５】
また、接着シートが貼付される被着体は、半導体ウエハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【００２６】
更に、接着剤層Ａは、感圧接着性の接着剤や感熱接着性の接着剤を採用することができ、組成物に関しては何ら限定されることはない。
【００２７】
また、図７（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、把持部形成片Ｐには、部分的に接着剤層Ａが設けられるように構成してもよい。この場合は、剥離用テープＰＴの製造工程において、基材シートＢＳの搬送を利用した直線的な接着剤Ａの積層が可能なため、発明が解決しようとする課題で示したような量産効率が低下するような不都合は生じない。これにより、使用する接着剤の量が減少してコストダウンが見込まれる。
【００２８】
更に、前記実施形態では、基材シートＢＳと接着剤層Ａとの２層構造となる剥離用テープＰＴを図示して説明したが、層の数には何ら限定されることはなく、例えば、接着シートＳの剥離時の引っ張り力に基材シートＢＳが耐えられない場合等に、補強用の他のシートを積層してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】剥離用テープの平面図
【図２】（Ａ）は剥離用テープの概略斜視図、（Ｂ）は把持部形成片を折り畳んだ状態の概略斜視図。
【図３】剥離用テープを接着シートに貼付した状態の概略斜視図。
【図４】図３の部分平面図。
【図５】図３の一部断面図。
【図６】接着シートを剥離する直前の概略斜視図。
【図７】（Ａ）、（Ｂ）は変形例を示す斜視図。
【図８】従来の不都合を説明するための概略斜視図。
【符号の説明】
【００３０】
１０  接着部
１０ａ  ショルダ部
１１  把持部
１２  折り畳み線
１３  繋ぎ部
１４  外縁形成部
１５  突出部
Ｌ１  弦
Ｌ２  弧
Ａ  接着剤層
Ａｓ  弦縁部
Ａａ  弧縁部
ＢＳ  基材シート
Ｐ  把持部形成片
ＰＴ  剥離用テープ
Ｓ  接着シート
Ｔ  接着片
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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