(57)【要約】【課題】温度慣らしに必要な設置場所をなくし、ＦＰＤ製造工場の省スペース化、設置費用の低減を行なえるシステムを提供する。【解決手段】クリーンルーム２内に設置されフラットパネルディスプレイ製造装置３を内装するサーマルクリーンチャンバー１の、クリーンルーム２との間に設けたガラス基板４の出入口内に、ガラス基板４の搬送路５ａを挟んで、その上下に所定温度のエアをガラス基板４に向け噴出するノズル７を設け、該各ノズルは先端にガラス基板４の進行方向を向いた噴出口７ａとその逆方向を向いた噴出口７ｂとを設けた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム内に設置されフラットパネルディスプレイ製造装置を内装するサーマルクリーンチャンバーの、クリーンルームとの間に設けたガラス基板の出入口内に、ガラス基板の搬送路を挟んで、その上下に所定温度のエアをガラス基板に向け噴出するノズルを設け、該各ノズルは先端にガラス基板の進行方向を向いた噴出口とその逆方向を向いた噴出口とを設けたことを特徴とするガラス基板温度慣らし装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルディスプレー（以下ＦＰＤと称する）の工場等において、ガラス基板を加工・検査する際、ガラス基板の温度を短時間で安定させるための温度慣らし装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＦＰＤの材料になるガラス基板を加工・検査する際には、ガラス基板自体の温度分布が均一でないとガラスもしくは被加工物の温度差による伸縮により加工・検査精度に影響を与える。従って、事前に定められた設定温度の環境内で加工・検査が行なわれなければならない。通常精密な加工或いは検査装置はクリーンルームより更に精密温度制御されたサーマルクリーンチャンバー（以下ＴＣＣと称する）内に設置している（特許文献１，２参照）。
【０００３】
しかし加工・検査装置は精密に温度制御されたＴＣＣ内に設置されていても装置外は一般のクリーンルームとなり設定温度が完全に一致していることは少ない。また温度変動も大きい。このため装置外の温度に安定したガラス基板がＴＣＣ内部へ入った後、ガラス基板が精度良く加工・検査できる温度になるまで慣らす（待機する）必要がある。この待機時間があるほど生産性は下がる。この為加工・検査装置に入る前に設定温度にガラス基板を慣らすことが行われている。これを以下「温度慣らし」と呼ぶ。
【０００４】
現在の温度慣らしには３種の方法があり、それぞれの長所・短所は以下の通りである。  第１の方式は、装置環境を制御するＴＣＣ内に温度慣らし部を設けるものであって、温度慣らし部、移動エリア、加工・検査エリアが同一の環境内にある為、理想的な状態である。しかし、ガラス基板の巨大化に伴い、温度慣らし部、移動エリア、加工・検査装置の容積、設置面積とも非常に大きくなり費用は最も高額となる。
第２の方式は、別途温度慣らし用のＴＣＣと別に設けるものであって、第１の方式よりも移動エリア分の容積が小さくなるが、加工・検査装置用のＴＣＣと温度慣らし用のＴＣＣ間の移動時にガラス基板がクリーンルーム内に暴露される為温度変化の恐れがある。設置面積については、第１の方式と同様の面積を必要とする。
第３の方式は、加工・検査装置を囲うＴＣＣ上部に温度慣らし部を設けるものであって、本方式は設置面積が増加しないことから近年多く採用されている。しかしメンテナンスを考慮しＴＣＣ上部に作業者が乗ることを想定し安全対策が必要となる。また、第２の方式と同様に加工・検査用のＴＣＣに入る前にガラス基板がクリーンルーム内に暴露される。また自動シャッターの機構が複雑となりメンテナンスが行いにくい問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平６−２７５４８６号公報
【特許文献２】特開平７−５５６５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、温度慣らしに必要な時間を短縮し、また設置場所をなくし、ＦＰＤ製造工場の省スペース化、設置費用の低減を行なえるシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、クリーンルーム内に設置されフラットパネルディスプレイ製造装置を内装するサーマルクリーンチャンバーの、クリーンルームとの間に設けたガラス基板出入口内に、ガラス基板の搬送路を挟んで、その上下に所定温度のエアーをガラス基板に向け噴出するノズルを設け、該各ノズルは先端にガラス基板の進行方向を向いた噴出口とその逆方向を向いた噴出口とを設けたものとした。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、クリーンルーム内に設置されフラットパネルディスプレイ製造装置を内装するサーマルクリーンチャンバーの、クリーンルームとの間に設けたガラス基板の出口内に、ガラス基板の搬送路を挟んで、その上下に所定温度のエアーをガラス基板に向け噴出ノズルを設け、該各ノズルは先端にガラス基板の進行方向を向いた噴出口とその逆方向を向いた噴出口とを設けたために、次の如き効果を発揮することが出来る。
ａ．温度慣らしエリアが不要になる。これによりＴＴＣの容積と設置面積が大幅に縮小する。
ｂ．ＴＣＣ内の搬送路５aに噴出したエアーがガラス基板上を這う様に流れる事によって、ガラス基板の温度慣らし時間を短縮し、同時にＦＰＤ加工・検査装置の表面温度を安定化することが出来る。
ｃ．逆方向を向いた噴出エアーは、ＴＣＣ外側より空気を取り込むことにより、開口部は弱陽圧となり、クリーンルームからの気流の入り込みを防止する。
ｄ．ガラス基板の搬入時の温度がＴＣＣ内の設定温度に対し大きく異なっている場合には、逆方向を向いた噴出エアーの設定温度を変化させる事で温度慣らし時間の短縮をさらに図ることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明ガラス基板の温度慣らし装置を備えたサーマルクリーンチャンバーの概略縦断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明実施の一例を図面と共に次に説明する。
図１は装置全体の概略縦断面図である。１はＴＣＣで、全自動化されたＦＰＤ工場においてクリーンルーム２内に設置され内部にＦＰＤ製造装置３が収容されている。ＴＣＣ１には被加工用のガラス基板４の出入口５が設けられ、上下スライド式の自動シャッター６が設けられている。
【００１１】
出入口５から搬送路５ａをＦＰＤ製造装置３に送られるガラス基板４は、図示しない適宜搬送手段で担持されるが、出入口５からＦＰＤ製造装置３に至る間にガラス基板４の温度慣らしのための気流雰囲気中を通過させるように搬送路５ａを構成している。上記搬送されるガラス基板４の上下両面に、ガラス基板４の温度慣らし用の気流を吹き当てるノズル７，７を前記搬送路５ａの上下又は上部に設ける。ノズル７，７は、ガラス基板４搬送の進行方向（ＴＣＣ室内側）に向けて斜め方向に気流を噴出する噴気口７ａと、逆に出入口５側に向け気流を噴出する噴気口７ｂとにより構成されている。前記斜め方向の気流の噴出はガラス基板４の耐気流圧負荷低減のためであり、同時にガラス基板４に接触後に発生するガラス基板４上の水平気流により温度慣らし時間を短縮し、且つ、ＦＰＤ製造装置３の温度を安定化することが可能となる。また、出入口５側に向けた噴気口７ｂの噴気は外部クリーンルーム２からＴＣＣ１内への空気誘引を防止し、またガラス基板４の温度がＴＣＣ１内の設定温度と差が大きい場合には噴気口７ｂの噴気温度を変化させガラス基板４の温度慣らし時間をより短縮させる事が可能である。
【００１２】
ＴＣＣ１はＦＰＤ製造装置３を収容した作業空間の周囲に、ヒーター１０，冷却コイル１１，ファン１２，ヘパフィルター１３等を収容したダクト１４を配し、該ダクト１４は前記ノズル７に圧力空気を送るダクト８を有している。
【００１３】
上記の如く構成された本発明装置は、ＴＣＣ１に組み込まれた電気ヒーター１０及び冷却コイル１１で所定温度に保たれたエアーが、ファン１２からヘパフィルター１３を介して作業空間内に流下すると共に、ダクト８により、ガラス基板４の上下面にノズル７，７の噴気口７ａ，７ｂから吹出しガラス基板４を所定温度に慣らすと共に、ガラス基板４の進行方向に搬送路５ａに対し斜に吹出すエアーによりガラス基板４上を滑らかに気流が流れ、温度慣らし時間の短縮と、進行方向の先端に位置するＦＰＤ製造装置３に気流を当てその表面の温度を安定させる作用も備え、有効に温度慣らし作業を行なっている。またノズル７，７の噴気口７ｂからの噴気は、クリーンルーム２から空気を導入することで出入口５近傍が弱陽圧となり、ＴＣＣ１が設置されたクリーンルーム２から不定温度のエアーと塵埃等の異物ががＴＣＣ１内に侵入するのを防ぐ。またガラス基板４の温度がＴＣＣ１内設定温度と差が大きい場合には噴気口７ｂの噴気温度を変化させガラス基板４の温度慣らし時間をより短縮させる作用をしている。
【符号の説明】
【００１４】
１  ＴＣＣ（サーマルクリーンチャンバー）
２  クリーンルーム
３  ＦＰＤ（フラットパネルディスプレー）製造装置
４  ガラス基板
５  出入口
５ａ  搬送路
６  自動シャッター
７  ノズル
７ａ，７ｂ  噴気口
８  ダクト
１０  ヒーター
１１冷却コイル
１２  ファン
１３  ヘパフィルター
１４  ダクト
【図１】
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