(57)【要約】【課題】潤滑剤供給時の潤滑剤の流れにより曲げ変形を受ける検知部材（圧電素子を有する板状部材）を備え、その検知部材の変形により発生する電圧出力に基づいて、潤滑剤の供給状態を監視する潤滑剤の供給状態監視センサにおいて、潤滑剤の供給状態を長期間安定して精度良く監視することができる潤滑剤の供給状態監視センサを提供する。【解決手段】検知部材として、従来の熱収縮性を有する合成ゴム系の被覆材９で圧電素子８を被覆した検知部材６に代えて、長期安定して曲げ弾性を有する燐青銅製の金属板２９の表面に圧電素子８を接合した検知部材２６を用いる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
油状または脂状の潤滑剤の供給が必要となる機器に直接、またはこの機器へ潤滑剤を供給する潤滑剤供給配管に設置されて、この機器への潤滑剤の供給を検知することにより潤滑剤の供給状態を監視するセンサであって、
一端が固定され、他端が前記潤滑剤が供給された際に形成される潤滑剤の流れの中に位置するように配置され、前記潤滑剤の流れによって前記他端に変位が生じて曲げ変形する検知部材を備え、
前記検知部材は、曲げ変形により電圧を発生する圧電素子を燐青銅の板の表面に接合したものであることを特徴とする潤滑剤の供給状態監視センサ。
【請求項２】
前記検知部材は、前記圧電素子を前記燐青銅の板の表面に接着剤で接合したものであることを特徴とする請求項１に記載の潤滑剤の供給状態監視センサ。
【請求項３】
前記燐青銅の板の厚さは、０．１ｍｍ以上０．２ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の潤滑剤の供給状態監視センサ。
【請求項４】
前記圧電素子の厚さは、０．２ｍｍ以上０．３ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の潤滑剤の供給状態監視センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転機械の軸受け等の潤滑個所に供給される潤滑剤の供給状態を監視するためのセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
工場などに備えられている生産設備には回転機械が多く用いられ、これと共に、回転機械の軸受け等に一定時間間隔でグリスなどの潤滑剤を供給するための自動集中潤滑装置が多数使用されている。一方、回転機械の設備異常の主な原因の一つとして潤滑不良が挙げられており、それぞれの設備に潤滑剤が適正に供給されていることを監視することの重要性が指摘されている。
【０００３】
自動集中潤滑装置からの潤滑剤の供給状態を監視する方法として、潤滑剤が一定時間間隔で供給されるときに分配弁が動作することを利用し、所定時間内の分配弁作動回数をカウントして、潤滑剤の供給が適正に行われているかどうかを確認するものが知られている。
【０００４】
しかしながら、この方法では、分配弁以降の経路における潤滑剤の供給状態については知ることができないため、分配弁からの軸受け等までの間で発生する給油脂配管の破損、詰まり等による潤滑剤の供給不良については監視することができない。
【０００５】
他の方法としては、分配弁からの軸受け等の潤滑剤供給機械部品への供給状態を確認する方法で、各潤滑個所直近の潤滑剤供給配管に取り付けた圧力センサを用いて潤滑剤の供給状態を確認するものである。この圧力センサ方式には、その圧力センサで測定した各潤滑剤供給配管内の潤滑剤の圧力と予め設定した設定圧力とをコントローラで比較し、その比較結果に応じて潤滑剤の不供給、あるいは圧力センサの異常を判定して警報を発するものが知られている（例えば、特許文献１）。
【０００６】
しかしながら、このような圧力センサを利用する方式では、各潤滑個所直近の各各潤滑剤供給配管に圧力センサを取り付け、さらに圧力センサに電源を供給する必要がある。したがって、生産工場などでの数千箇所に及ぶ監視ポイントをこの圧力センサ方式で構成しようとした場合には、監視装置が大掛かりとなり設備費用も高価なものとなってしまうという問題がある。
【０００７】
一方、さらに他の方法として潤滑剤の通流路に接する状態に圧電素子を設け、通流路内の脈動圧力を圧電素子に作用させ、その圧電効果により得られる電荷を電圧に変換して潤滑剤の供給状況を検出するものが知られている（例えば、特許文献２）。
【０００８】
しかしながら、このよう通流路に接する状態の圧電素子に潤滑剤の脈動圧力を作用させる方法では十分に大きな信号を得ることが困難であり、潤滑剤の供給状態を把握するための実用上十分な出力が得難く、確実性に欠けるという問題がある。
【０００９】
そこで、回転機械の軸受け等の潤滑個所に供給される潤滑剤の供給状態を各潤滑個所近傍において確実に監視することができ、かつ安価である潤滑剤の供給状態監視センサとして、潤滑剤供給時の潤滑剤の流れにより曲げ変形を受ける検知部材（圧電素子を有する板状部材）を備え、その検知部材の変形により発生する電圧出力に基づいて、潤滑剤の供給状態を監視するセンサが提案されている（例えば、特許文献３〜８）。
【００１０】
図４、図５は、上記のような潤滑剤供給状態監視センサの一例を示すものである。図４は、その潤滑剤供給状態監視センサの全体構成を示す断面図であり、図５は、そこに用いられている検知部材の縦断面図である。
【００１１】
図４に示すように、この潤滑剤供給状態監視センサ１は、油状または脂状の潤滑剤、例えばグリスを回転機械の軸受け等の潤滑個所に供給する潤滑剤供給配管に接続するＴ型管継手２の継手部２ｂにニップル３を接続するとともに、そのニップル３の反対側に、プラグ４を挿入したソケット５を接続し、さらにピエゾ素子（圧電素子）８を有する板状の検知部材６をプラグ４に設けた開孔からＴ型管継手２に挿入した構造を有している。なお、プラグ４とソケット５とはねじ止めされ、また、ニップル３とソケット５および継手部２ｂとの間もねじ止めされている。
【００１２】
Ｔ型管継手２の主管部２ａは、図示しない潤滑剤供給配管に接続され、潤滑剤通流部として機能する。また、上記継手部２ｂは、主管部２ａの中央から垂直に伸び、この継手部２ｂ、ニップル３、プラグ４、およびソケット５により、検知部材６が挿入される検知部材挿入部が構成されている。
【００１３】
検知部材６の上端は、プラグ４の上部部分を樹脂７で固めることにより固定され、これによりＴ型管継手２からの潤滑剤の漏れを防止している。また、検知部材６の下端は、潤滑剤通流部として機能する主管部２ａ内に非拘束状態で位置する。したがって、潤滑剤が供給されて主管部２ａを通流すると、潤滑剤の流れによって検知部材６の下端に変位が生じて曲げ変形し、圧電素子８はこの曲げ変形により電荷を誘起し、電圧を発生する。
【００１４】
検知部材６は、図５の縦断面図に示すように、長尺状をなす厚さ０．２５ｍｍ以上の角板形の圧電素子８の全体を可撓性を有する被覆材９で覆った構成を有しており、被覆材９としては、熱収縮性を有する合成ゴムが用いられている。
【００１５】
そして、圧電素子８の両面にはそれぞれ端部電極が設けられており、この端部電極には、圧電素子８で発生した電圧を取り出すためのリード線１１がハンダ付けなどで接続されている。すなわち、圧電素子８に潤滑剤の流れにともなう曲げ応力が作用して歪が生じた場合、リード線１１の両端には電圧が発生する。
【００１６】
以上のように構成された潤滑剤供給状態監視センサ１においては、潤滑剤供給配管を介して潤滑個所に潤滑剤が供給される際に、Ｔ型継手２の主管部２ａに、図４に示す矢印の方向の潤滑剤の流れが発生する。そうすると、検知部材６は、樹脂７により固定された部分を支点として流れの下流方向に曲げられる。この結果、圧電素子８の表裏面にそれぞれ逆の電荷が発生してリード線１１の両端に電圧が発生する。したがって、この電圧出力を検出することにより、潤滑剤の供給状態を把握することができる。
【００１７】
例えば、流れる潤滑剤の量が多くなれば検知部材６（圧電素子８）の曲げ歪は大きくなるため、発生する電圧出力（ピーク値）も大きくなる。したがって、電圧出力（ピーク値）が一定以上の大きさであれば十分な量の潤滑剤が供給され、逆に、電圧出力（ピーク値）が一定以下であれば供給される潤滑剤の量は不十分であると判定することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１８】
【特許文献１】特開２００１−１６４９１６号公報
【特許文献２】特開平０１−１９７６２３号公報
【特許文献３】特開２００４−０４４７５２号公報
【特許文献４】特開２００４−１６２８４７号公報
【特許文献５】特開２００５−０４２７５４号公報
【特許文献６】特開２００５−１６１１０５号公報
【特許文献７】特開２００５−１９５１６６号公報
【特許文献８】特開２００５−２０１３９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
しかしながら、上記特許文献３〜８に記載の潤滑剤供給状態監視センサ１では、弾性の小さな検知部材６が熱収縮性を有する合成ゴム系の被覆材９で圧電素子８を被覆したものであるため、検知部材６の製作時における被覆材（合成ゴム）９の熱収縮のバラツキにより、潤滑剤の流れによる検知部材６の曲げ歪にバラツキが生じ、検知部材６間での電圧出力特性の差が大きく、潤滑油の供給状態を安定して監視することが難しい場合が発生するという問題がある。また、長期使用による経年変化により、被覆材（合成ゴム）９の弾性が劣化して、検知部材６の電圧出力特性が低下し、潤滑油の供給状態を適切に監視できない場合が発生するという問題もある。
【００２０】
本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、潤滑剤供給時の潤滑剤の流れにより曲げ変形を受ける検知部材（圧電素子を有する板状部材）を備え、その検知部材の変形により発生する電圧出力に基づいて、潤滑剤の供給状態を監視する潤滑剤の供給状態監視センサにおいて、潤滑剤の供給状態を長期間安定して精度良く監視することができる潤滑剤の供給状態監視センサを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記課題を解決するために、本発明は以下の特徴を有する。
【００２２】
［１］油状または脂状の潤滑剤の供給が必要となる機器に直接、またはこの機器へ潤滑剤を供給する潤滑剤供給配管に設置されて、この機器への潤滑剤の供給を検知することにより潤滑剤の供給状態を監視するセンサであって、
一端が固定され、他端が前記潤滑剤が供給された際に形成される潤滑剤の流れの中に位置するように配置され、前記潤滑剤の流れによって前記他端に変位が生じて曲げ変形する検知部材を備え、
前記検知部材は、曲げ変形により電圧を発生する圧電素子を燐青銅の板の表面に接合したものであることを特徴とする潤滑剤の供給状態監視センサ。
【００２３】
［２］前記検知部材は、前記圧電素子を前記燐青銅の板の表面に接着剤で接合したものであることを特徴とする前記［１］に記載の潤滑剤の供給状態監視センサ。
【００２４】
［３］前記燐青銅の板の厚さは、０．１ｍｍ以上０．２ｍｍ以下であることを特徴とする前記［１］または［２］に記載の潤滑剤の供給状態監視センサ。
【００２５】
［４］前記圧電素子の厚さは、０．２ｍｍ以上０．３ｍｍ以下であることを特徴とする前記［１］〜［３］のいずれかに記載の潤滑剤の供給状態監視センサ。
【発明の効果】
【００２６】
本発明では、潤滑剤供給時の潤滑剤の流れにより曲げ変形を受ける検知部材を備え、その検知部材の変形により発生する電圧出力に基づいて、潤滑剤の供給状態を監視する潤滑剤の供給状態監視センサにおいて、検知部材として、長期安定して弾性を有する燐青銅の板に圧電素子を接合したものを用いているので、従来のような熱収縮性を有する合成ゴムで圧電素子を被覆したものを用いた場合に比べて、長期間安定して精度良く潤滑剤の供給状態を監視することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施形態に係る潤滑剤供給状態監視センサを示す図である。
【図２】本発明の一実施形態における検知部材を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態において用いた試験装置を示す図である。
【図４】従来技術の潤滑剤供給状態監視センサを示す図である。
【図５】従来技術における検知部材を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２９】
図１は、本発明の一実施形態に係る潤滑剤供給状態監視センサの全体構成を示す断面図であり、図２は、そこに用いられている検知部材の縦断面図である。
【００３０】
この実施形態に係る潤滑剤供給状態監視センサ２１は、前記の図４、図５に示した従来の潤滑剤供給状態監視センサ１と基本的構成は同じであるが、検知部材として、従来の熱収縮性を有する合成ゴム系の被覆材９で圧電素子８を被覆した検知部材６に代えて、曲げ弾性を有する短冊状の金属板の表面に圧電素子８を接合した検知部材２６を用いることとし、その金属板として、燐青銅製の金属板２９を用いることにしたものである。
【００３１】
すなわち、図１に示すように、この実施形態に係る潤滑剤供給状態監視センサ２１は、油状または脂状の潤滑剤、例えばグリスを回転機械の軸受け等の潤滑個所に供給する潤滑剤供給配管に接続するＴ型管継手２の継手部２ｂにニップル３を接続するとともに、そのニップル３の反対側に、プラグ４を挿入したソケット５を接続し、さらに圧電素子（ピエゾ素子）８を有する板状の検知部材２６をプラグ４に設けた開孔からＴ型管継手２に挿入した構造を有している。なお、プラグ４とソケット５とはねじ止めされ、また、ニップル３とソケット５および継手部２ｂとの間もねじ止めされている。
【００３２】
Ｔ型管継手２の主管部２ａは、図示しない潤滑剤供給配管に接続され、潤滑剤通流部として機能する。また、上記継手部２ｂは、主管部２ａの中央から垂直に伸び、この継手部２ｂ、ニップル３、プラグ４、およびソケット５により、検知部材６が挿入される検知部材挿入部が構成されている。
【００３３】
検知部材２６の上端は、プラグ４の上部部分を樹脂７で固めることにより固定され、これによりＴ型管継手２からの潤滑剤の漏れを防止している。また、検知部材２６の下端は、潤滑剤通流部として機能する主管部２ａ内に非拘束状態で位置する。したがって、潤滑剤が供給されて主管部２ａを通流すると、潤滑剤の流れによって検知部材２６の下端に変位が生じて曲げ変形し、圧電素子８はこの曲げ変形により電荷を誘起し、電圧を発生する。
【００３４】
そして、検知部材２６は、図２の縦断面図に示すように、短冊状の燐青銅の板２９の表面に圧電素子８を接着剤によって接合したものである。
【００３５】
そして、圧電素子８の両面にはそれぞれ端部電極が設けられており、この端部電極には、圧電素子８で発生した電圧を取り出すためのリード線１１がハンダ付けなどで接続されている。すなわち、圧電素子８に潤滑剤の流れにともなう曲げ応力や潤滑剤による圧電素子８表面への圧力が作用して歪が生じた場合、リード線１１の両端には電圧が発生する。
【００３６】
以上のように構成された潤滑剤供給状態監視センサ２１においては、潤滑剤供給配管を介して潤滑個所に潤滑剤が供給される際に、Ｔ型継手２の主管部２ａに、図１に示す矢印の方向の潤滑剤の流れが発生する。そうすると、検知部材６は、樹脂７により固定された部分を支点として流れの下流方向に曲げられる。この結果、圧電素子８の表裏面にそれぞれ逆の電荷が発生してリード線１１の両端に電圧が発生する。したがって、この電圧出力を検出することにより、潤滑剤の供給状態を把握することができる。
【００３７】
例えば、流れる潤滑剤の量が多くなれば検知部材２６（圧電素子８）の曲げ歪は大きくなるため、発生する電圧出力（ピーク値）も大きくなる。したがって、電圧出力（ピーク値）が一定以上の大きさであれば十分な量の潤滑剤が供給され、逆に、電圧出力（ピーク値）が一定以下であれば供給される潤滑剤の量は不十分であると判定することができる。
【００３８】
ここで、検知部材２６に用いる金属板として、燐青銅板２９を選定した理由を説明する。
【００３９】
まず、検知部材２６に用いる金属板として、炭素鋼、合金鋼、ニッケル合金、燐青銅の４種類のばね材料を候補として考えた。
【００４０】
そして、図３（ａ）に示すように、上記の各ばね材料製の金属板３９の表面に圧延素子８を接着剤で接合した試験用検知部材３６（候補部材）を製作し、図３（ｂ）に示すように、試験用検知部材３６の一端をピンチ部材４１で拘束し、試験用検知部材３６の他端に偏心回転ロール４２によって伝達部材４３を介して上下方向の曲げ負荷を与える試験装置４０を用いて、それぞれの試験用検知部材３６における電圧出力特性のバラツキ（弾性特性の経年劣化性）を評価した。
【００４１】
その際、偏心回転ロール４２の回転速度を６０ｒｐｍ、上下の振幅Ｗを５ｍｍとし、曲げ負荷の付与期間を３０日間とした。また、Ｎ数は３とした。
【００４２】
なお、比較のために、従来のような、熱収縮性を有する合成ゴムで圧電素子８を被覆した試験用検知部材（従来部材）を製作し、上記と同様の試験を行った。
【００４３】
表１に、それぞれの試験用検知部材（候補部材、従来部材）における、試験開始前、試験開始１０日後、試験開始２０日後、試験開始３０日後の電圧出力特性のバラツキを示す。なお、表１では、従来部材の試験開始前の平均電圧出力特性を１とした。
【００４４】
【表１】
2010281616.tif 000003
【００４５】
表１に示すように、候補部材の内、炭素鋼使用部材以外は試験開始後３０日後の電圧出力特性のバラツキが１０％以内におさまっている。特にニッケル合金使用部材と燐青銅使用部材は、試験開始後３０日後の電圧出力特性のバラツキが±５％以内となっている。
【００４６】
一方、従来部材は、試験開始前から電圧出力特性のバラツキが大きく、時間経過につれて、熱収縮性合成ゴムの熱劣化による弾性特性の低下で、電圧出力特性が全体的にバラツキ幅を増大しながら低下する傾向となった。
【００４７】
以上により、弾性特性の経年劣化に対する耐久性（弾性特性の耐経年劣化性）では、ニッケル合金使用部材と燐青銅使用部材が優れていることが判明した。
【００４８】
次に、上記の試験結果に基づいて、ニッケル合金使用部材と燐青銅使用部材の耐食性と密着性を調査した。
【００４９】
具体的には、前記の図３（ｂ）に示す試験装置を用い、試験用検知部材３６（ニッケル合金使用部材、燐青銅使用部材）の表面に潤滑油を塗布して、３０日間の曲げ負荷を付与した後、その耐食性（外観、電圧出力特性のバラツキ）と密着性（剥離試験による密着力）を評価した。
【００５０】
表２に、ニッケル合金使用部材と燐青銅使用部材における、試験開始３０日後の耐食性（外観、電圧出力特性のバラツキ）と密着性（剥離試験による密着力）を示す。なお、表２において、密着力は、燐青銅使用部材の平均密着力を１とした。
【００５１】
【表２】
2010281616.tif 000004
【００５２】
表２に示すように、燐青銅使用部材は、試験開始３０日後の外観は異常なく、電圧出力特性のバラツキも±５％以内であるのに対して、ニッケル合金使用部材では、試験開始３０日後の外観に異常が見られ、電圧出力特性のバラツキも大きいとともに、密着力も燐青銅使用部材より劣っている。
【００５３】
これにより、燐青銅使用部材がニッケル合金使用部よりも耐食性や密着性に優れていることが明らかになった。
【００５４】
なお、ここでは、試験用検知部材の表面に塗布したものは潤滑油であったが、一般的に使用されているグリスであれば、ほとんど試験結果に影響を及ぼさないことを確認している。
【００５５】
また、圧電素子８と金属板３９を接合とするための接着剤としては、エポキシ系の２種混合系であれば、どの接着剤を使用しても、ほとんど試験結果に影響を及ぼさないことを確認している。
【００５６】
以上のことから、この実施形態に係る潤滑剤供給状態監視センサ２１においては、検知部材２６に用いる金属板として、燐青銅板２９を用いている。そして、その燐青銅板２９の表面に２種混合のエポキシ系接着剤を用いて圧電素子８を接合するようにしている。
【００５７】
ここで、燐青銅板２９の厚みについては、０．１ｍｍ以上０．２ｍｍ以下であることが好ましい。
【００５８】
また、圧電素子８の厚さは、曲げ変形により発生する電圧が検知可能な範囲であれば特に限定は無いが、０．２ｍｍ以上０．３ｍｍ以下であることが好ましく、さらに、０．２ｍｍ以上０．２５ｍｍ未満であることがより一層好ましい。
【００５９】
なお、圧電素子８と燐青銅板２９とを接合した検知部材２６の厚さとしては、０．３ｍｍ以上０．５ｍｍ以下とすることが好ましい。０．３ｍｍ未満の薄い場合は強度および弾性に問題があり、０．５ｍｍ超えの厚い場合は曲がり難くなり、電圧出力が小さくなり過ぎるという問題がある。
【００６０】
上記のようにして、この実施形態に係る潤滑剤供給状態監視センサ２１においては、潤滑剤供給時の潤滑剤の流れにより曲げ変形を受ける検知部材（圧電素子８を有する板状部材）を備え、その検知部材の変形により発生する電圧出力に基づいて、潤滑剤の供給状態を監視するようにしているので、潤滑剤の供給状態を確実かつ安価に監視することができる。
【００６１】
そして、その検知部材として、燐青銅の板２９に圧電素子８を接合した検知部材２６を用いているので、従来のような熱収縮性を有する合成ゴム９で圧電素子８を被覆した検知部材６を用いた場合に比べて、検知部材間での電圧出力特性のバラツキや長期使用による経年劣化が少なく（例えば、出力電圧特性のバラツキが±５％以内）、長期間安定して精度良く潤滑剤の供給状態を監視することができる。
【実施例１】
【００６２】
本発明の実施例として、熱延ラインにおける粗テーブルローラーの軸受ケースのグリス供給孔に、上記の本発明の一実施形態に係る潤滑剤供給状態監視センサ２１を２０個取り付けて、グリスの供給状態を監視した。その際、検知部材２６は、幅６．０ｍｍ×長さ４８ｍｍ×厚さ０．１ｍｍの燐青銅板２９の表面に、幅４ｍｍ×長さ４８ｍｍ×厚さ０．２ｍｍの圧電素子８を接合したものとした。
【００６３】
この潤滑剤供給状態監視センサ２１の監視データ（出力電圧のピーク値）に基づいて、グリス供給配管の詰まりや配管外れを検知することができるとともに、グリス供給配管の分配弁が正常に動作しているか否かを判断することができる。すなわち、圧電素子８表面に潤滑剤からの圧力が加わって、出力電圧のピーク値が所定の上限値を外れている場合は、配管詰まりが発生しており、出力電圧のピーク値が所定の下限値を外れている場合は、配管外れが発生していると判断される。また、出力電圧のピークのカウント数（出現数）にバラツキがある場合には、分配弁の動作に異常があると判断される。
【００６４】
そして、潤滑剤供給状態監視センサ２１を設置してから約１６ヶ月経過したところで、出力電圧のピーク値の上限外れや下限外れ、さらには出力電圧のピークカウント数のバラツキの発生が検出された。そこで、設備補修時等の休止時間を利用して点検を実施した結果、グリス供給配管の詰まりや配管外れ、さらには分配弁のシールからのグリス漏れ等が見付かり、グリス供給不良によるトラブルを未然に防ぐことができた。
【００６５】
その後、約３６ヶ月経過しても、電圧出力特性の低下やバラツキが５％以内であり、長期間に渡って安定して、グリスの供給状態を精度良く監視できることが確認できた。
【００６６】
一方、比較のために、図４、図５に示した従来の潤滑剤供給状態監視センサ１を用いたが、長期間の使用した場合、電圧出力特性がグリスの供給状態の異常を検知できないレベルまで低下してしまった。
【符号の説明】
【００６７】
１  潤滑剤供給状態監視センサ
２  Ｔ型管継手
２ａ  主管部（潤滑剤通流部）
２ｂ  継手部
３  ニップル
４  プラグ
５  ソケット
６  検知部材
７  樹脂
８  圧電素子（ピエゾ素子）
９  被覆材（熱収縮性を有する合成ゴム）
１１  リード線
２１  潤滑剤供給状態監視センサ
２６  検知部材
２９  燐青銅板
３６  試験用検知部材
３９  金属板
４０  試験装置
４１  ピンチ部材
４２  偏心回転ロール
４３  伝達部材
【図１】
2010281616.tif 000005
【図２】
2010281616.tif 000006
【図３】
2010281616.tif 000007
【図４】
2010281616.tif 000008
【図５】
2010281616.tif 000009