(57)【要約】【課題】被測定物の３次元形状を規定した測定点群から精度よく簡便に形状測定する形状測定装置を提供する。【解決手段】被測定物の形状を規定した３次元の測定点群データ２が３次元測定装置８から出力されると、形状測定装置１の断面抽出部３が、測定点群データ２から所定の切断面に含まれる測定点を抽出した断面点群データ４を生成する。測長領域設定部５は断面点群データ４に測長領域を設定する。入出力装置７を介して、ユーザから測長領域の断面点群が指定されると、測長部６がその断面点群を用いて被測定物の外側寸法、内側寸法、２点間寸法、角度等を測定する。【選択図】図１
2010032364.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物の３次元形状を規定した測定点群を任意の位置で切断し、切断面に含まれる前記測定点群を抽出した断面点群データを生成する断面抽出部と、
前記断面点群データに含まれる測定点群に対して所定の測定指示情報が与えられた場合、前記断面点群データから当該測定指示情報に応じた値を前記被測定物の形状測定値として求める測長部とを備えた形状測定装置。
【請求項２】
被測定物の３次元形状を規定した測定点群を任意の位置で切断し、切断面に含まれる前記測定点群を抽出した断面点群データを生成する断面抽出部と、
前記断面点群データに対して、任意の測長領域を指定した測長領域情報が与えられた場合、当該測長領域に含まれる測定点群を抽出して新たな断面点群データとする測長領域設定部と、
前記新たな断面点群データに含まれる測定点群に対して所定の測定指示情報が与えられた場合、前記新たな断面点群データから当該測定指示情報に応じた値を前記被測定物の形状測定値として求める測長部とを備えた形状測定装置。
【請求項３】
測長部が求める値は、測定点群のうちの所定の測定点間の距離、および切断面に対して垂直な複数の測定点を含む測定対象面と基準面とのなす角度のうちの少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１または請求項２記載の形状測定装置。
【請求項４】
被測定物の３次元形状を規定した測定点群を任意の位置で切断し、切断面に含まれる前記測定点群を抽出した断面点群データを生成する断面抽出部と、
前記断面点群データに含まれる測定点群を所定の幾何形状で近似した形状認識データを作成する形状認識部と、
前記形状認識データに含まれる幾何形状に対して所定の測定指示情報が与えられた場合、当該幾何形状に対応する前記断面点群データから当該測定指示情報に応じた値を前記被測定物の形状測定値として求める測長部とを備えた形状測定装置。
【請求項５】
被測定物の３次元形状を規定した測定点群を任意の位置で切断し、切断面に含まれる前記測定点群を抽出した断面点群データを生成する断面抽出部と、
前記断面点群データに対して、任意の測長領域を指定した測長領域情報が与えられた場合、当該測長領域に含まれる測定点群を抽出して新たな断面点群データとする測長領域設定部と、
前記新たな断面点群データに含まれる測定点群を所定の幾何形状で近似した形状認識データを作成する形状認識部と、
前記形状認識データに含まれる幾何形状に対して所定の測定指示情報が与えられた場合、当該幾何形状に対応する前記新たな断面点群データから当該測定指示情報に応じた値を前記被測定物の形状測定値として求める測長部とを備えた形状測定装置。
【請求項６】
測長部が求める値は、測定点群のうちの所定の測定点間の距離、切断面に対して垂直な複数の測定点を含む測定対象面と基準面とのなす角度、および幾何形状を円とした場合の径のうちの少なくともいずれか１つを含むことを特徴とする請求項４または請求項５記載の形状測定装置。
【請求項７】
断面抽出部は、所定の厚みを有する切断面に含まれる測定点群を抽出し、
形状認識部は、前記断面抽出部で生成した断面点群データに含まれる測定点群を、所定サイズのセルに分割した２次元格子に正投影して、当該セル毎に測定点の有無を示した２次元格子データに変換し、前記断面点群データに含まれる測定点群にかえて当該２次元格子データに含まれるセル群を所定の幾何形状で近似することを特徴とする請求項４から請求項６のうちのいずれか１項記載の形状測定装置。
【請求項８】
断面抽出部は、所定の厚みを有する切断面に含まれる測定点群を抽出し、
形状認識部は、前記断面抽出部で生成した断面点群データに含まれる測定点群を、所定サイズのセルに分割した２次元格子に正投影して、当該セル毎に測定点の有無を示した２次元格子データに変換し、当該２次元格子データに含まれるセル群を連鎖点列に分離する補正を行って、当該２次元格子データに含まれるセル群にかえて前記連鎖点列を所定の幾何形状で近似することを特徴とする請求項４から請求項６のうちのいずれか１項記載の形状測定装置。
【請求項９】
形状認識部で近似される幾何形状は、所定の近似基準を満たす直線および円であることを特徴とする請求項４から請求項８のうちのいずれか１項記載の形状測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、非接触方式の３次元測定装置で得られた点群データを用いて、被測定物の形状を測定する形状測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、非接触方式の３次元測定装置で得られた３次元点群データから被測定物の形状を測定する場合、３次元点群データから生成した３次元曲面モデルを用いて間接的な測定を行っていた。３次元曲面モデルの生成方法として、例えば特許文献１に開示された方法では、先ず全ての点群データを三角形パッチで多面体近似して、複数の点群を結ぶ境界線を検出する。そして、被測定物に対応したＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  Ａｉｄｅｄ  Ｄｅｓｉｇｎ）参照モデルと境界線で囲った点群データとを比較して、境界線で囲った点群データの形状に最もフィットしたＣＡＤ参照モデルのＣＡＤ曲面を抽出する。最後に、隣接するＣＡＤ曲面同士を境界線で連結して、被測定物全体の３次元曲面モデルを生成する。その後、３次元曲面モデルを投影図または断面図等に変換して、形状測定を行っていた。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−３０６１１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の形状測定装置は以上のように構成されているので、生成した３次元曲面モデルは計算によって求めた近似データであり、近似データを測定しても実物の測定結果と一致するとは限らないという課題があった。
また、３次元曲面モデルを生成するために、ＣＡＤ参照モデルが必須である上、ユーザは、三角パッチにフィットするＣＡＤ曲面の選択、ＣＡＤ曲面を連結させるための境界線の選択等の煩雑な操作を行う必要があった。
【０００５】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、点群データから精度よく簡便に形状測定する形状測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係る形状測定装置は、被測定物の３次元形状を規定した測定点群を任意の位置で切断し、切断面に含まれる測定点群を抽出した断面点群データを生成する断面抽出部と、断面点群データに含まれる測定点群に対して所定の測定指示情報が与えられた場合、断面点群データから測定指示情報に応じた値を被測定物の形状測定値として求める測長部とを備えるようにしたものである。
【発明の効果】
【０００７】
この発明によれば、被測定物の３次元形状を規定した測定点群を任意の位置で切断し、切断面に含まれる測定点群を抽出した断面点群データを生成し、断面点群データに含まれる測定点群に対して所定の測定指示情報が与えられた場合、断面点群データから測定指示情報に応じた値を被測定物の形状測定値として求めるようにしたので、被測定物の３次元形状を規定した測定点群から精度よく簡便に形状測定することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１に係る形状測定装置の構成を示すブロック図である。図１に示す形状測定装置１は、３次元の測定点群データ２を任意の無限平面で切断して２次元の断面点群データ４を生成する断面抽出部３、断面点群データ４に対して測長領域を設定する測長領域設定部５、測長領域内の断面点群に対して測長を行う測長部６を備える。
【０００９】
形状測定装置１には入出力装置７が接続され、形状測定装置１が備える各部が出力する情報を入出力装置７が画面表示等してユーザに提示すると共に、形状測定装置１の各部に対する操作情報を受け付ける。
また、形状測定装置１には３次元測定装置８が接続され、被測定物の形状を非接触方式で測定して生成した３次元座標の測定点群データ２が、３次元測定装置８から形状測定装置１へ入力される。測定点群データ２は、測定点の集合で被測定物の形状を表したものであり、各測定点は３次元座標によって位置関係が規定されている。
【００１０】
断面抽出部３は、外部から入力された被測定物の３次元形状を示す測定点群データ２のうち、ユーザが指定する任意の切断面に含まれる測定点を抽出して断面点群データ４とする。この切断面は無限平面であり、無限平面で切断して生成された断面点群データ４は無限領域を有する。また、この切断面は所定の厚みを有してもよい。
測長領域設定部５は、無限領域の断面点群データ４に対してユーザが指定する任意の測長領域を設定して、断面点群データ４を有限の領域に限定する。
【００１１】
測長部６は、被測定物の外側寸法、内側寸法、２点間寸法、角度等の測定指示に応じて、断面点群データに含まれる断面点群を用いて測定値を求め、測定値を入出力装置７へ出力する。断面点群から得られた測定値は被測定物の形状を示す値（形状測定値）である。
【００１２】
次に、形状測定装置１の動作を説明する。図２は、この発明の実施の形態１に係る形状測定装置の動作を示すフローチャートである。また、図３はこの発明の実施の形態１に係る形状測定装置が用いる測定点群データの説明図である。測定点群データ１０は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸からなる３次元座標上の測定点の集合であるが、図３では測定点の集合を便宜的に線画で示す。
【００１３】
断面抽出部３は、３次元測定装置８から入力された測定点群データ２から断面点群データ４を生成する（ステップＳＴ１）。図３に示す測定点群データ１０において、法線ベクトルをＮ、原点Ｏからの距離をＤとする無限平面を断面１１とする。断面抽出部３は断面１１から厚さ±ｔ以下の距離に含まれる測定点の集合である断面点群１２を抽出して、断面点群データとする。
なお、ｔは、測定間隔や測定値のばらつきを考慮して適切な値に設定されるものとする。
【００１４】
次に、入出力装置７を介して、ユーザが断面点群データ４に対して測定対象とする領域を矩形等で指定すると、測長領域設定部５がその矩形範囲を測長領域に設定する（ステップＳＴ２）。
図４は、この発明の実施の形態１に係る形状測定装置が作成した断面点群データを示す説明図である。図４において図３と同一または相当の部分については同一の符号を付し説明を省略する。測長領域設定部５は、図４に示す断面点群１２を固定してユーザが設定する矩形範囲を移動、回転、拡大、縮小するか、あるいはユーザが設定する矩形範囲を固定して断面点群１２を移動、回転、拡大、縮小して、ユーザが設定した矩形範囲に測定対象となる断面点群を収め、この矩形範囲を測長領域１３に設定する。そして、測長領域設定部５は、測長領域１３内の断面点群１２を抽出して測長領域内点群データ１４とする。
【００１５】
図５は、この発明の実施の形態１に係る形状測定装置が用いる測長領域内点群データを示す説明図であり、図４の断面点群データに対して範囲指定した測長領域内点群データ１４の一例である。
入出力装置７は、図５に示すような断面点群をユーザに提示する。ユーザは入出力装置７が表示する断面点群に対して、断面に垂直（即ち法線ベクトルＮと平行）な所定の測長基準面を設定する。測長部６は、測長基準面に平行な一対の測長面を用いて断面点群の測長を行う（ステップＳＴ３）。
【００１６】
図６は、この発明の実施の形態１に係る形状測定装置の測長処理を示す説明図である。例えば、外側寸法を測定する場合、ユーザは入出力装置７を介して、図６に示す断面点群データ１５に対して、先ず測定基準面２５を設定し、次いで測定対象の断面点群を挟む一対の平行な測長面１６，２２を設定し、距離の測長を指示する。測長部６は、ユーザの測定指示に従って測長基準面２５に平行な一対の測長面１６，２２を断面点群に設定し、測長面１６，２２間の距離を測長する。そして、測長部６は外側寸法値「４．６」を入出力装置７へ出力する。
また、例えば内側寸法を測定する場合、ユーザは入出力装置７を介して、測定対象の断面点群の内側に、一対の平行な測長面１７，２３を設定し、距離の測長を指示する。測長部６は、ユーザの測定指示に従って測定対象となる断面点群同士の間に、測長基準面２５に平行な一対の測長面１７，２３を設定し、測長面１７，２３間の距離を測長する。そして、測長部６は内側寸法値を入出力装置７へ出力する。このように、測長部６は、ユーザが設定指示した測長面に基づいて、２点間距離なら、断面点群に設定された一対の測長面の間の距離を、角度なら、所定の２点で規定される平面（基準面）と測長面（測定対象面）のなす角度をそれぞれ測長する。
なお、図６下部の詳細は、後述する実施の形態２で説明する。
【００１７】
以上のように、実施の形態１によれば、３次元の測定点群データ２から断面点群データ４を生成する断面抽出部３と、断面点群データを用いて被測定物の形状測定を行う測長部６とを備えるように構成した。そのため、断面点群データを加工することなくそのまま形状測定に用いることにより、測定点群データの測定精度を保持した測長結果を得ることができる。
【００１８】
また、実施の形態１によれば、断面抽出部３で生成された断面点群データ４に対して、測長領域を設定する測長領域設定部５を備えるように構成した。測長領域設定部５が測長領域を設定することにより、測長対象を限定できるため、測長部６の処理を高速化することができる。
【００１９】
実施の形態２．
図７は、この発明の実施の形態２に係る形状測定装置の構成を示すブロック図である。
図７に示す形状測定装置１ａは、上記実施の形態１で示す形状測定装置１に、測長領域内点群データを直線および円に自動識別する形状認識部９を加えた構成である。図７において図１と同一または相当の部分については同一の符号を付し説明を省略する。
【００２０】
図７に示す形状認識部９は、格子データ変換部９ａ、形状識別部９ｂおよびパラメータ算出部９ｃからなる。測長領域が設定された断面点群データ４が測長領域設定部５から形状認識部９に入力されると、格子データ変換部９ａが、全くランダムに並んでいる測長領域内の断面点群データ４を、適当な分解能でピクセル化して２値の２次元格子データに変換する。そして、形状識別部９ｂが２次元格子データの測定点を示すセルからなる連鎖点列を直線および円に自動識別する。パラメータ算出部９ｃは、形状識別した直線および円に関する幾何パラメータを算出する。形状認識部９が作成した形状認識データは、近似した直線および円を表すデータであり、形状識別元の断面点群データにリンクしている。
【００２１】
次に、形状測定装置１ａの動作を説明する。図８は、この発明の実施の形態２に係る形状測定装置の動作を示すフローチャートである。図８のステップＳＴ１１およびステップＳＴ１２は、図２に示すステップＳＴ１およびステップＳＴ２と同じであるため、説明を省略する。
【００２２】
形状認識部９の格子データ変換部９ａは、先ず、測長領域を所定サイズのセルで分割し、そこに測長領域内の断面点群データを正投影して２値の２次元格子データを作成する（ステップＳＴ１３）。
図９は、この発明の実施の形態２に係る形状測定装置が作成した２次元格子データを示す説明図である。図９では、図５に示す測長領域内点群データのうち、四角枠Ａで示す測定点を変換した２次元格子データを拡大して示す。格子データ変換部９ａは、各セル２４に断面点群を正投影して、測定点を含むセルを１、含まないセルを０として２次元格子データを作成する。セルのサイズは、測定間隔を考慮して適当な値に設定されるものとする。
【００２３】
続いて、測長領域内の断面点群をグループに分けて形状識別するための準備処理として、形状識別部９ｂが先の２次元格子データを連鎖点列に分離する補正を行う（ステップＳＴ１４）。
図１０は、この発明の実施の形態２に係る形状測定装置が２次元格子データ補正に用いるパターンの例を示す説明図である。また、図１１はこの発明の実施の形態２に係る形状測定装置が補正した２次元格子データを示す説明図である。ただし、図１１では各セルの境界線の図示を省略し、１の値のセルのみを示す。また、図１１の四角枠Ｂで示す部分を拡大して図１２に示す。
【００２４】
形状識別部９ｂは、図１０に示すような複数のセルからなるパターンを用いて、２次元格子データに１回以上の拡張処理と０回以上の収縮処理を施す。そして、形状識別部９ｂは、図９に示す値が１の点在しているセルを連結して、図１１および図１２に示すような連鎖点群にする。具体的には、形状識別部９ｂは、拡張処理では２次元格子データ中の値が１のセルにパターンを重ね合わせて、パターン上のセルを全て１にする。収縮処理では、形状識別部９ｂが２次元格子データ中の値が１のセルにパターンを重ね合わせて、パターン上に０のセルが１つ以上あれば、中心のセルを０にする。
【００２５】
なお、図１０に示すパターンは代表的なパターンの例であり、これら以外にも任意形状パターンおよび同値パターンを予め用意してもよい。同値パターンとは、拡張処理した結果が同一となるようなパターンであり、例えば、３×３セルと５×５セルのパターンは同値パターンであり、３×３セルパターンで２回拡張処理した結果と５×５セルパターンで１回拡張処理した結果が同一となる。
【００２６】
形状識別部９ｂは、補正した２次元格子データにおいて、値が１で、かつ隣接するセル群を１つのグループとして識別する（ステップＳＴ１５）。例えば、図１１に示す補正された２次元格子データは、格子データ変換部９ａによってグループＧ１〜グループＧ６にグルーピングされている。このとき、形状認識部９ｂはグループ分けされた連鎖点群に対応するセル群を連鎖点列として認識する。
【００２７】
次いで形状識別部９ｂは、連鎖点列の一端の点を始点Ｐ１にして、始点Ｐ１からの距離が近い順に一連の順序２〜ｎを設定し、連鎖点列Ｐ２〜Ｐｎとする。形状識別部９ｂが各グループの連鎖点列Ｐ１〜Ｐｎを直線と円で近似して、近似した点列を連鎖点列から分離する（ステップＳＴ１６）。
図１３は、この発明の実施の形態２に係る形状測定装置が連鎖点列を形状分離した形状認識データを示す説明図である。形状識別部９ｂは各グループの連鎖点列Ｐ１〜Ｐｎに対して、最初に直線近似の可否を判定し、近似できた場合にその点列を直線として分離する。例えば図１３に示すＬ１〜Ｌ６は連鎖点列から分離された直線である。形状識別部９ｂは近似の可否を回帰分析による相関係数および残差から決定する。
形状識別部９ｂは、連鎖点列を直線近似できなければ、次に円近似の可否を判定し、近似できた場合に円として分離する。例えば図１３に示すＣ１〜Ｃ３は連鎖点列から分離された円である。円近似できなければ、形状識別部９ｂはその点列を棄却し、次のグループの連鎖点列Ｐ１〜Ｐｎに対する形状分離処理に移る。
【００２８】
形状識別部９ｂは、連鎖点列のうちの直線近似または円近似対象となる点列を、２分法で逐次決定する。形状識別部９ｂは、近似判定点列の初期値に連鎖点列Ｐ１〜Ｐｎ全体を用いて近似し、近似可なら点列をｍ個延長し、近似不可なら点列をｍ個短縮する。ここで、ｍは前回の延長個数または短縮個数の２分の１である。形状識別部９ｂはｍが０になるまで近似を繰り返し、近似可となった点列を連鎖点列から分離する。なお、分離した点列が所定の長さに達していなければ、形状識別部９ｂはその点列を棄却してもよい。
【００２９】
パラメータ算出部９ｃは分離した図形の形状を表す幾何パラメータを算出する（ステップＳＴ１７）。幾何パラメータは、形状認識データの直線Ｌ１〜Ｌ６および円Ｃ１〜Ｃ３にそれぞれリンクさせておく。同様に、形状識別部９ｂが分離した連鎖点列に対応した断面点群も、形状認識データの直線Ｌ１〜Ｌ６および円Ｃ１〜Ｃ３にそれぞれリンクさせておく。
円の幾何パラメータとして、パラメータ算出部９ｃは近似した円の中心位置および径を算出する。近似した円が半円以上であれば、パラメータ算出部９ｃは近似元の連鎖点列から直接、中心位置および径を算出してもよい。
【００３０】
入出力装置７は、図１３に示すような直線Ｌ１〜Ｌ６および円Ｃ１〜Ｃ３で構成された形状認識データをユーザに提示する。ユーザは、直線Ｌ１〜Ｌ６および円Ｃ１〜Ｃ３を用いて測定対象の部位を指定する。測長部６は、この測定指示に従い、直線または円にリンクする断面点群データを用いて測長を行う（ステップＳＴ１８）。
測長部６は、測長の際、断面点群データに対して測定面を設定する。分離した図形が直線の場合の測長面の設定方法を、図６を用いて説明する。ユーザの測定指示に、例えば直線Ｌ１（図１３に示す）が含まれる場合、測長部６は直線Ｌ１を構成する断面点群を、断面に垂直（即ち法線ベクトルＮと平行）な一対の測長面１６，１７で挟む。さらに測長部６は、測長面１６，１７の平均位置を通る測長面１８を設定する。
【００３１】
ユーザの測定指示に、例えば円Ｃ１（図１３に示す）が含まれる場合、測長部６は円Ｃ１を構成する断面点群を、円Ｃ１の同心円状、かつ断面に垂直な一対の測長面１９，２０で挟む。さらに測長部６は、測長面１９，２０の中心を通り、円Ｃ１の同心円状の測長面２１を設定する。
【００３２】
例えば、ユーザが入出力装置７を介して、図１３に示す直線Ｌ１と直線Ｌ３で構成される部位の外側寸法の測定指示を測長部６へ入力すると、測長部６は図６に示す測長面１６，２２を設定し、測長面１６，２２間の距離を測長する。そして、測長部６は外側寸法値「４．６」を入出力装置７へ出力する。
また、例えば直線Ｌ１と直線Ｌ３で構成される部位の内側寸法の測定指示が入力された場合、測長部６は測長面１８，２３を設定し、測長面１８，２３間の距離を測長する。そして、測長部６は内側寸法値を入出力装置７へ出力する。このように任意の２点間距離について測定指示が入力されると、測長部６は測定指示された任意の２点を含む測長面間の距離を測長する。
【００３３】
また、円Ｃ１の外径の測定指示が入力された場合、測長部６は、断面点群に対して測長面１９を設定し、パラメータ算出部９ｃが算出した幾何パラメータである中心位置と測長面１９とを用いて円Ｃ１の外径を測長する。円Ｃ１の内径の測定指示が入力された場合には、測長部６は、断面点群に対して測長面２０を設定し、中心位置と測長面２０とを用いて円Ｃ１の内径を測長する。円Ｃ１の半径についての測定指示が入力された場合、測長部６は、幾何パラメータである径「１２．３」を出力するか、あるいは外径と内径の平均値を示す測長面２１を断面点群に対して設定して、中心位置と測長面２１を用いて半径を測長してもよい。
さらに、角度についての測定指示が測長部６へ入力されると、測長部６は測定指示された所定の２点で規定される平面（基準面）と測長面（測定対象面）のなす角度を測定する。このように、測長部６は断面点群データに測長面を設定することにより、断面点群を直接用いて形状測定を行うことができる。
【００３４】
以上のように、実施の形態２によれば、３次元の測定点群データ２から断面点群データ４を生成する断面抽出部３と、断面点群データを円および直線に近似した形状認識データを作成する形状認識部９と、入出力装置７から入力される、ユーザによる円および直線を用いた形状測定指示に応じて、円および直線に対応する断面点群データを用いて形状測定する測長部６とを備えるように構成した。そのため、断面点群データを加工することなくそのまま形状測定に用いることにより、測定点群データの測定精度を保持した測長結果を得ることができる。また、形状認識部９が自動形状認識を行うため、ユーザは簡便な操作で形状測定することができる。以上により、検査業務および測定業務の効率化と品質向上が可能となる。
【００３５】
また、実施の形態２によれば、断面抽出部３で生成された断面点群データ４に対して、測長領域を設定する測長領域設定部５を備えるように構成した。測長領域設定部５が測長領域を設定することにより、測長対象を限定できるため、形状認識部９の処理を高速化すると共に、形状認識率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】この発明の実施の形態１に係る形状測定装置の構成を示すブロック図である。
【図２】この発明の実施の形態１に係る形状測定装置の動作を示すフローチャートである。
【図３】この発明の実施の形態１に係る形状測定装置が用いる測定点群データの説明図である。
【図４】この発明の実施の形態１に係る形状測定装置が作成した断面点群データを示す説明図である。
【図５】この発明の実施の形態１に係る形状測定装置が用いる測長領域内点群データを示す説明図である。
【図６】この発明の実施の形態１に係る形状測定装置の測長処理を示す説明図である。
【図７】この発明の実施の形態２に係る形状測定装置の構成を示すブロック図である。
【図８】この発明の実施の形態２に係る形状測定装置の動作を示すフローチャートである。
【図９】この発明の実施の形態２に係る形状測定装置が作成した２次元格子データを示す説明図である。
【図１０】この発明の実施の形態２に係る形状測定装置が２次元格子データ補正に用いるパターンの例を示す説明図である。
【図１１】この発明の実施の形態２に係る形状測定装置が補正した２次元格子データを示す説明図である。
【図１２】この発明の実施の形態２に係る形状測定装置が補正した２次元格子データの拡大図である。
【図１３】この発明の実施の形態２に係る形状測定装置が連鎖点列を形状分離した形状認識データを示す説明図である。
【符号の説明】
【００３７】
１，１ａ  形状測定装置、２，１０  測定点群データ、３  断面抽出部、４，１５  断面点群データ、５  測長領域設定部、６  測長部、７  入出力装置、８  ３次元測定装置、９  形状認識部、９ａ  格子データ変換部、９ｂ  形状識別部、９ｃ  パラメータ算出部、１１  断面、１２  断面点群、１３  測長領域、１４  測長領域内点群データ、１６，１７，１８，１９，２０，２１，２２，２３  測長面、２４  セル、２５  測長基準面。
【図１】
2010032364.tif 000003
【図２】
2010032364.tif 000004
【図３】
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【図４】
2010032364.tif 000006
【図５】
2010032364.tif 000007
【図６】
2010032364.tif 000008
【図７】
2010032364.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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