(57)【要約】【課題】接着剤がはみ出しにくく、気泡をより確実に除去できる貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法を提供する。【解決手段】接着剤を挟んで配置されたシート３１，３２の上に押さえ治具２２を配置する。押さえ治具２２の下側の面には千鳥状に配置された複数の突起が設けられており、これらの突起でシート３１，３２を押圧しながら、押さえ治具２２をガイドレール２３に沿って一方向に移動させる。突起によりシート３１，３２間の接着剤に圧力が加わり、押さえ治具２２の移動とともに気泡をシート接合部の端部に向けて押し出す。接着剤の一部は、突起の押圧によりシート間の隙間を通って押さえ治具２２の移動方向と反対側に移動する。これにより、シート接合部の端部からはみ出す接着剤の量を少なくすることができる。【選択図】図１
2010018740.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第２の部材を積層してなる被処理物を支持する支持部と、
相互に離隔して配列された複数の圧力印加部材を備え、前記圧力印加部材により前記被処理物の前記第２の部材に前記支持部と反対側から圧力を印加する押さえ治具と、
前記押さえ治具を前記被処理物に沿って相対的に移動させる移動部と
を有することを特徴とする貼り合わせ装置。
【請求項２】
第１の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第２の部材を積層してなる被処理物を支持部上に配置する工程と、
相互に離隔して配列された複数の圧力印加部材を備えた押さえ治具により前記被処理物の前記第２の部材に前記支持部と反対側から圧力を印加する工程と、
前記押さえ治具を前記被処理物に沿って相対的に移動させる工程と
を有することを特徴とする貼り合わせ方法。
【請求項３】
第１の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第２の部材を積層してなる被処理物を支持する支持部と、
前記第１の部材と前記第２の部材との接合部に対応する領域に複数の圧力印加部材が配列して設けられた押さえ治具と、
前記押さえ治具の前記圧力印加部材を所定の順番で駆動して前記被処理物に圧力を印加する圧力印加部材駆動部と、
前記圧力印加部材駆動部を制御する制御部と
を有することを特徴とする貼り合わせ装置。
【請求項４】
第１の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第２の部材を積層してなる被処理物を支持する支持部と、
圧力印加部材を備え、前記圧力印加部材により前記被処理物の前記第２の部材に前記支持部と反対側から圧力を印加する押さえ治具と、
前記押さえ治具を前記被処理物に沿って走査して前記第１の部材と前記第２の部材との接合部全体に圧力を印加する走査部と、
前記走査部を制御する制御部と
を有することを特徴とする貼り合わせ装置。
【請求項５】
第１の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第２の部材を積層してなる被処理物を支持部上に配置する工程と、
圧力印加部材を備えた押さえ治具により前記被処理物の前記第２の部材に圧力を印加する工程と、
前記押さえ治具を前記被処理物に沿って走査して前記第１の部材と前記第２の部材との接合部全体に圧力を印加する工程と
を有することを特徴とする貼り合わせ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１の部材の上に可撓性を有するシート状（パネル状又はフィルム状）の第２の部材を貼り合わせる貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器の製造工程には、シート状の部材を貼り合わせる工程が種々存在する。例えばテレビやコンピュータのディスプレイに使用される液晶表示装置では、表示パネルの上に光学フィルムを貼り合わせる工程が存在する。また、カラー表示が可能なコレステリック液晶表示装置は、赤色用表示パネル、緑色用表示パネル及び青色用表示パネルの３枚の表示パネルを接着剤で貼り合わせて作製される。この種の電子機器では、接合部に気泡が入ると表示品質が著しく損なわれる。そのため、シート状の部材の接合は、気泡が入らないように注意して行われる。
【０００３】
従来、接着剤（シール材）を付着した一対の基板をエアーにより浮上させながら接合する技術や、対向して配置された一対のドーム形状の支持部材の表面にそれぞれウェハを支持し、エアーによりウェハを押し出して接合する技術が知られている。
【特許文献１】特開平１０−１２３５４１号公報
【特許文献２】特開平７−６６０９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
接合部に気泡が入らないようにするためには、例えばシート状の部材を貼り合わせるときに、シートの上をローラーで押圧して気泡を接合部から押し出すことが考えられる。しかし、その場合は気泡とともに余剰の接着剤も接合部の外側に押し出してしまう。
【０００５】
液晶表示装置の場合、表示パネルの端部には駆動回路と接続するための端子が設けられているものがあり、これらの端子が接着剤に覆われると駆動回路と電気的に接続することができなくなる。そのため、端子に付着した接着剤を除去する工程が必要になる。また、ローラーの回転に巻き込まれて接合部に気泡が残ってしまうこともある。従って、接着剤がはみ出しにくく、気泡をより確実に除去できる貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法が要望されている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一観点によれば、第１の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第２の部材を積層してなる被処理物を支持する支持部と、相互に離隔して配列された複数の圧力印加部材を備え、前記圧力印加部材により前記被処理物の前記第２の部材に前記支持部と反対側から圧力を印加する押さえ治具と、前記押さえ治具を前記被処理物に沿って相対的に移動させる移動部とを有する貼り合わせ装置が提供される。
【０００７】
また、他の一観点によれば、第１の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第２の部材を積層してなる被処理物を支持部上に配置する工程と、相互に離隔して配列された複数の圧力印加部材を備えた押さえ治具により前記被処理物の前記第２の部材に前記支持部と反対側から圧力を印加する工程と、前記押さえ治具を前記被処理物に沿って相対的に移動する工程とを有する貼り合わせ方法が提供される。
【０００８】
更に、他の一観点によれば、第１の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第２の部材を積層してなる被処理物を支持する支持部と、前記第１の部材と前記第２の部材との接合部に対応する領域に複数の圧力印加部材が配列して設けられた押さえ治具と、前記押さえ治具の前記圧力印加部材を所定の順番で駆動して前記被処理物に圧力を印加する圧力印加部材駆動部と、前記圧力印加部材駆動部を制御する制御部とを有する貼り合わせ装置が提供される。
【０００９】
更にまた、他の一観点によれば、第１の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第２の部材を積層してなる被処理物を支持する支持部と、圧力印加部材を備え、前記圧力印加部材により前記被処理物の前記第２の部材に前記支持部と反対側から圧力を印加する押さえ治具と、前記押さえ治具を前記被処理物に沿って走査して前記第１の部材と前記第２の部材との接合部全体に圧力を印加する走査部と、前記走査部を制御する制御部とを有する貼り合わせ装置が提供される。
【００１０】
更にまた、他の一観点によれば、第１の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第２の部材を積層してなる被処理物を支持部上に配置する工程と、圧力印加部材を備えた押さえ治具により前記被処理物の前記第２の部材に圧力を印加する工程と、前記押さえ治具を前記被処理物に沿って走査して前記第１の部材と前記第２の部材との接合部全体に圧力を印加する工程とを有する貼り合わせ方法が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
上記一観点の貼り合せ装置及び貼り合せ方法においては、相互に離隔して配置された複数の圧力印加部材を有する押さえ治具を使用する。この押さえ治具を、第１の部材、接着剤及び第２の部材を積層してなる被処理部材の上に配置し、被処理物に沿って移動する。第１の部材と第２の部材との間に気泡がある場合、気泡は、圧力印加部材により圧力が加えられた接着剤に押されて、押さえ治具の移動とともに移動する。そして、最終的に、接合部の外側に押し出される。このようにして、第１の部材と第２の部材との間の気泡が除去される。
【００１２】
また、押さえ治具には複数の圧力印加部材が相互に離隔して配置されているので、第１の部材及び第２の部材間の接着剤は押さえ治具が移動したときに圧力印加部材の間の隙間を通り抜ける。このため、押さえ治具の移動方向に移動する接着剤の量が少なく、その結果接合部の外側に押し出される接着剤の量も少なくなる。
【００１３】
上記他の観点の貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法においては、圧力印加部材を備えた押さえ治具を被処理物に沿って走査して、接合部全体に圧力を印加する。この場合、第１の部材と第２の部材との間に気泡があると、押さえ治具に移動にともなって気泡が移動し、最終的に気泡は接合部の外側に押し出される。一方、圧力印加部材の近傍の接着剤は圧力印加部材の周囲を通って圧力印加部材の移動方向の後側に容易に移動する。このため、接合部の外側に押し出される接着剤の量が少なくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、実施形態について、添付の図面を参照して説明する。
【００１５】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る貼り合わせ装置の構成を示す模式図である。また、図２（ａ）はその貼り合わせ装置の押さえ治具２２を下側から見た平面図（下面図）、図２（ｂ）は同じくその押さえ治具２２の正面図である。更に、図３は第１の実施形態に係る貼り合わせ装置を使用した貼り合わせ方法を示す模式図である。
【００１６】
図１に示すように、本実施形態に係る貼り合わせ装置は、テーブル（支持部）２１と、押さえ治具２２と、ガイドレール２３と、押さえ治具駆動部（移動部）２４と、制御部２５とを有している。
【００１７】
テーブル２１は例えば表面が平坦なガラス板により形成されている。貼り合せる２枚のシート３１，３２（第１の部材及び第２の部材）は、後述するように一方のシート３１の上側の面に接着剤が塗布されてテーブル２１上に載置される。
【００１８】
テーブル２１の上方には押さえ治具２２が配置されている。この押さえ治具２２は押さえ治具駆動部２４により駆動され、ガイドレール２３に沿ってテーブル２１に平行な方向に移動する。制御部２５は、押さえ治具駆動部２４を介して押さえ治具２２の移動を制御する。
【００１９】
図２（ａ），（ｂ）に示すように、押さえ治具２２の下面側には複数の円柱状の突起２２ａが千鳥状に配置されている。これらの突起２２ａの下端側は半球状に形成されている。なお、図２（ａ）のＹ軸方向が貼り合わせ時の押さえ治具２２の移動方向である。
【００２０】
突起２２ａは例えばＰＯＭ（ポリアセタール）等のようにすべり摩擦が小さい樹脂により形成されている。突起２２ａの直径は例えば１ｍｍ、縦方向及び横方向（図２（ａ）のＸ軸方向及びＹ軸方向）の配列ピッチは例えば５ｍｍである。押さえ治具２２には、図２（ｂ）に模式的に示すように、突起２２ａをシート３１，３２に向けて適度の圧力で押し付けるばね２２ｂ（付勢部材）が設けられていることが好ましい。押さえ治具２２の幅（Ｘ軸方向の長さ）は、接合するシート３１，３２の幅と同じか又はそれよりも若干大きく設定されている。
【００２１】
図３に示すように、一方のシート３１の上側の面には接着剤３３が塗布されており、その上に他方のシート３２を接合する。少なくとも上側のシート３２は可撓性を有しており、シート３１に接合するときには図３に示すように上側に若干湾曲又は傾斜させて配置する。そして、シート３２の上に押さえ治具２２を配置してシート３２に圧力を印加し、この押さえ治具２２を一方の側から他方の側に向けて徐々に移動する。使用する接着剤にもよるが、押さえ治具２２の移動速度は、１〜５ｍｍ／秒程度とすることが好ましい。
【００２２】
図４は、押さえ治具２２の移動にともなう接着剤の移動を示す模式図である。押さえ治具２２によりシート３２に圧力を印加すると、シート３２のうち突起２２ａに接触している部分がたわみ、接着剤３３に圧力が伝達される。図４において、符号５１で示す部分は突起２２ａにより圧力を最も強く受ける領域を示し、符号５２で示す部分は領域５１の周囲であって突起２２ａにより圧力をやや強く受ける領域を示している。また、符号５３で示す部分は領域５２の周囲であって突起２２ａにより圧力を強く受ける領域を示し、符号５４は領域５３の周囲であって突起２２ａにより圧力を弱く受ける領域を示している。更に、符号５５は押圧治具２２の突起２２ａによる圧力が実質的に伝わっていない領域を示している。
【００２３】
本実施形態では、押さえ治具２２の突起２２ａが千鳥状に配列されており、適度の圧力でシート３２を押圧する。従って、図４に示すように押さえ治具２２の移動により突起２２ａの移動方向の前方の接着剤に圧力が加えられ、その接着剤の圧力により気泡３３ａが押されてシート３１，３２の接合部の端部に向けて移動する。そして、最終的に、気泡３３ａはシート３１，３２の接合部の外側に押し出される。これにより、シート３１，３２間に気泡３３ａが残らないようにすることができる。
【００２４】
また、押さえ治具２２の移動により突起２２ａの移動方向の前方の接着剤３３に圧力が加えられるので、接着剤３３は圧力が低いほうに移動する。本実施形態においては、突起２２ａが千鳥状に配置されているので、接着剤３３の一部は図４中に黒矢印で示すように、突起２２ａの間の圧力が低い領域を通って押さえ治具２２の移動方向後方に移動する。これにより、押さえ治具２２の移動方向前方の接着剤の量が少なくなり、シート３１，３２の接合部の外側に押し出される接着剤の量が著しく減少する。従って、シート３１，３２の端部に配置された端子が接着剤に覆われることがなく、端子に付着した接着剤を除去する工程を省略することができる。
【００２５】
なお、上記実施形態では押さえ治具２２がシート３１，３２の上を移動する場合について説明したが、押さえ治具２２の位置が固定され、シート３１，３２が移動するようにしてもよい。また、押さえ治具２２及びシート３１，３２の双方が移動するようにしてもよい。
【００２６】
（液晶表示装置）
カラー表示が可能なコレステリック液晶表示装置は、赤色用表示パネル、緑色用表示パネル及び青色用表示パネルを接着剤で張り合わせて作製される。この場合、表示パネル間に気泡が入ると、表示品質は著しく損なわれる。
【００２７】
図５（ａ）はコレステリック液晶表示装置の表示パネルの一例を示す平面図、図５（ｂ）は同じくその断面図である。
【００２８】
表示パネル３５は、図５（ｂ）の断面図に示すように、下側透明基板１１と上側透明基板１５との間にコレステリック液晶の層１３を挟んだ構造を有している。下側透明基板１１及び上側透明基板１５は、いずれも柔軟性を有する樹脂フィルム等により形成されている。また、透明基板１１，１５間にはスペーサ（図示せず）が配置されており、透明基板１１，１５間の間隔を一定に維持している。
【００２９】
図５（ａ），（ｂ）に示すように、透明基板１１の上側の面（液晶側の面）には横方向に延びる複数の行電極１２が縦方向に一定のピッチで並んで配置されている。また、透明基板１５の下側の面（液晶側の面）には、縦方向に延びる複数の列電極１４が横方向に一定のピッチで並んで配置されている。
【００３０】
行電極１２及び列電極１４は、表示部（図５中に一点鎖線で示す）の外側まで延び、その先端部は駆動回路に接続する端子となっている。行電極１２及び列電極１４は、ＩＴＯ（Indium-Tin Oxide）等の透明導電体からなる。行電極１２と列電極１４とが交差する部分がそれぞれ画素となっている。各画素毎にコレステリック液晶の状態を電気的に制御することにより、表示パネル３２に画像を表示することができる。
【００３１】
表示パネル３２の表示色は液晶分子の捩じれピッチに関係する。上述した第１の実施形態及び後述する第２〜第４の実施形態のいずれかの貼り合わせ装置を使用して、赤色用表示パネル、緑色用表示パネル及び青色用表示パネルを重ね合わせて接合することにより、カラー表示（多色表示）が可能な表示装置が作製される。
【００３２】
なお、上述した第１の実施形態及び後述する第２〜第４の実施形態の貼り合わせ装置は、液晶パネルの貼り合わせだけでなく、その他のシート状の部材の貼り合わせに使用できることは勿論である。
【００３３】
（変形例）
図６（ａ），（ｂ）は、押さえ治具の変形例１を示す下面図及び正面図である。また、図７（ａ），（ｂ）は、押さえ治具の変形例２を示す下面図及び正面図である。
【００３４】
図６（ａ），（ｂ）に示す変形例１では、２つの治具ユニット６２ａ，６２ｂを並列に配置して押さえ治具６１としている。治具ユニット６２ａには、複数の突起６３ａが治具ユニット６２ａの長手方向に一定のピッチで直線状に並んで配置されている。また、治具ユニット６２ｂにも、複数の突起６３ｂが治具ユニット６２ｂの長手方向に一定のピッチで直線状に並んで配置されている。但し、治具ユニット６２ａの突起６３ａの配列を治具ユニット６２ｂの突起６３ｂの配列から１／２ピッチ分ずらして、突起６３ａ，６３ｂが千鳥状に並ぶようにしている。突起６３ａ，６３ｂはＰＯＭ等の樹脂により直径が１ｍｍの円柱状に形成されており、その先端は半球状になっている。
【００３５】
また、図７（ａ），（ｂ）に示す変形例２では、ＰＯＭ等の樹脂からなる円柱状の突起６４ａが１個だけ設けられた治具ユニット６４を横方向及び縦方向に所定の数だけ並べて押さえ治具６５としている。この場合も、突起６４ａが千鳥状に並ぶようにしている。
【００３６】
これらの変形例１，２においては、接合する部材（シート）の大きさ等に応じて複数の治具ユニット（治具ユニット６２ａ，６２ｂ，６４）を組み合わせて押さえ治具（押さえ治具６１，６５）とする。従って、種々の大きさのシートの貼り合せに対応することができる。
【００３７】
図８は押さえ治具の変形例３を示す下面図、図９（ａ），（ｂ）はその動作を示す図である。
【００３８】
変形例３の押さえ治具６８は、変形例１の押さえ治具６１と同様に、並列に配置した２つの治具ユニット６２ａ，６２ｂを有している。これらの治具ユニット６２ａ，６２ｂは、制御部２５から供給される信号により駆動するアクチュエータ６９ａ，６９ｂにより上下方向に移動する。
【００３９】
図１０は、制御部２５からアクチュエータ６９ａ，６９ｂに供給される信号のタイミングチャートである。このタイミングチャートにおいて、信号が“Ｈ”レベルのときは、治具ユニット６２ａ（又は、治具ユニット６２ｂ）が下方に移動して、図９（ａ）に示すように突起６３ａ（又は、突起６３ｂ）がシート３２を押圧する。また、信号が“Ｌ”レベルのときは、治具ユニット６２ａ（又は治具ユニット６２ｂ）が上方に移動して、図９（ｂ）に示すように突起６３ａ（又は、突起６３ｂ）がシート３２から離れる。なお、押さえ治具ユニット６２ａ，６２ｂを上下させるタイミングは、押さえ治具６８の移動速度や接着剤の粘度等に応じて設定する。
【００４０】
前述したように、第１の実施形態（図１〜図４参照）では、押さえ治具２２の移動にともない、接着剤３３が突起２２ａの間の隙間を通って移動方向の後方側に移動する。変形例３では、図９，図１０に示すように押さえ治具ユニット６２ａ，６２ｂを順番に上下方向に移動させるので、接着剤３３が突起６３ａ，６３ｂの間を通り抜けしやすくなる。これにより、シート３１，３２の端部への接着剤３３のはみ出し量がより一層低減される。
【００４１】
（第２の実施形態）
図１１は、第２の実施形態に係る貼り合わせ装置の構成を示す模式図である。また、図１２は、その貼り合わせ装置の押さえ治具７２を下から見たときの平面図（下面図）である。
【００４２】
図１１に示すように、本実施形態に係る貼り合わせ装置は、テーブル７１と、多数の治具ユニットを備えた押さえ治具７２と、各治具ユニットを個別に上下動させる多数のアクチュエータからなるアクチュエータ群（圧力印加部材駆動部）７４と、水平移動ステージ（ＸＹステージ）７５と、垂直移動ステージ（Ｚステージ）７６と、制御部７７とを有している。
【００４３】
テーブル７１は、例えば表面が平坦なガラス板により形成されている。このテーブル７１の上に、貼り合わせする２枚のシート３１，３２を接着剤を挟んで載置する。テーブル７１の上方には押さえ治具７２が配置されている。この押さえ治具７２は、下側に突起７３が設けられた多数の治具ユニットを有している。押さえ治具７２は、シート３１，３２の接合部と同じ大きさの領域に突起７３が一定のピッチ（例えば５ｍｍ）で２次元方向に配列していることが必要である。
【００４４】
ここでは、説明を簡単にするために、図１２に示すように、押さえ治具７２には４つの治具ユニット７２ａ〜７２ｄが設けられているものとする。この場合、アクチュエータ群７４は４つのアクチュエータ７４ａ〜７４ｄからなる。また、治具ユニット７２ａ〜７２ｄは、図１２に模式的に示すように、それぞれアクチュエータ７４ａ〜７４ｄに個別に接続されている。治具ユニット７２ａ〜７２ｄは、これらのアクチュエータ７４ａ〜７４ｄより個別に駆動されて上下方向に移動する。
【００４５】
治具ユニット７２ａ〜７２ｄの下面側の突起７３はＰＯＭ等の樹脂により円柱状に形成されており、治具ユニット７２ａ〜７２ｄの長手方向に沿って一定のピッチで直線状に配列している。但し、隣合う治具ユニット７２ａ〜７２ｄでは、突起７３を１／２ピッチ分ずらして配置している。これらの突起７３の先端も、半球状に形成されている。
【００４６】
図１１に示すように、押さえ治具７２及びアクチュエータ群７４（アクチュエータ７４ａ〜７４ｄ）は、水平移動ステージ７５の下側に水平方向に移動可能に支持されている。また、水平移動ステージ７５は、垂直移動ステージ７６により垂直方向に移動可能に支持されている。制御部７７は、アクチュエータ７４ａ〜７４ｄ、水平移動ステージ７５及び垂直移動ステージ７６を制御する。なお、押さえ治具７２を水平移動ステージ７５及び垂直移動ステージ７６により移動させる替わりに、押さえ治具７２の位置を固定し、テーブル７１を水平方向及び垂直方向に移動させるようにしてもよい。
【００４７】
図１３（ａ），（ｂ）は治具ユニット７４ａの動作を示す模式図である。また、図１４は、制御部７６からアクチュエータ７４ａ〜７４ｄに供給される信号のタイミングチャートである。
【００４８】
アクチュエータ７４ａは、信号が“Ｈ”レベルのときに、治具ユニット７２ａを下方に移動する。これにより、図１３（ａ）に示すように、突起７３がシート３２を押圧する。また、アクチュエータ７４ａは、信号が“Ｌ”レベルのときに、治具ユニット７２ａを上方に移動する。これにより、図１３（ｂ）に示すように、突起７３がシート３２から離れる。図１３（ａ），（ｂ）では治具ユニット７２ａを例にとって動作を説明したが、他の治具ユニット７２ｂ〜７２ｄの動作も治具ユニット７２ａと同様である。
【００４９】
図１２中の矢印は、アクチュエータ７４ａ〜７４ｄの駆動順序を示している。治具ユニット７２ａ〜７２ｄの突起７３は、この矢印に示す順番でシート３２を押圧する。
【００５０】
本実施形態では、治具ユニット７２ａ〜７２ｄを図１２，図１４に示す駆動順序で上下動させる。これにより、シート３１，３２間の接着剤の一部は突起７３により押圧されて図１２中に矢印で示す駆動順序方向に移動する。この接着剤の移動にともなって、シート３１，３２間に存在する気泡も駆動順序方向に移動し、シート３１，３２の接合部の端部から外側に押し出される。
【００５１】
また、本実施形態では、シート３２を押圧する突起７３間に隙間が存在するので、突起７３により押圧された接着剤の一部は突起７３間の隙間を通って図１２の矢印と逆方向に移動する。従って、第１の実施形態と同様に、シート３１，３２の端部への接着剤のはみ出し量が少なくなる。これにより、シート３１，３２の端子に接着剤が付着することが防止される。
【００５２】
なお、第１及び第２の実施形態ではいずれも突起（突起２２ａ，６３ａ，６３ｂ，６４ａ，７３）の先端が半球状であるものとしているが、図１５（ａ）に示すように突起の先端がローラー状であってもよく、図１５（ｂ）に示すように回転可能なボールを有するものであってもよい。
【００５３】
（第３の実施形態）
図１６は、第３の実施形態に係る貼り合わせ装置の構成を示す模式図である。また、図１７（ａ）はその貼り合わせ装置の押さえ治具８１を下側から見た平面図（下面図）、図１７（ｂ）は同じくその押さえ治具８１の正面図である。なお、図１６において、図１と同一物には同一符号を付している。
【００５４】
第１の実施形態では押さえ治具２２の下面側に突起２２ａが千鳥状に配列している（図１参照）のに対し、本実施形態では押さえ治具８１の下面側にエアーノズル８２が千鳥状に配列している（図１７（ｂ）参照）。エアーノズル８２の開口径は例えば２．５〜４ｍｍである。また、エアーノズル８２の横方向及び縦方向に配列ピッチは例えば５ｍｍである。これらのエアーノズル８２はエアー供給源（図示せず）に接続されおり、制御部２５からの信号に応じて高圧のエアーを噴射する。なお、エアーに替えて、ノズル８２から窒素ガス又はその他の流体を噴射するようにしてもよい。
【００５５】
押さえ治具８１は、第１の実施形態と同様にガイドレール２３に支持され、押さえ治具駆動部２４によりガイドレール２３に沿ってテーブル２１に平行な方向に移動する。
【００５６】
図１８は、本実施形態の貼り合せ装置を用いたシートの貼り合せ方法を示す模式図である。この図１８に示すように、シート３１の上側の面には接着剤３３が塗布されており、その上にシート３２を接合する。少なくとも上側のシート３２は可撓性を有しており、シート３１に接合するときには図１８に示すように上側に若干湾曲又は傾斜させて配置する。そして、シート３２の上に押さえ治具８１を配置し、エアーノズル８２からエアーを噴射してシート３２に圧力を印加する。エアーの圧力は、エアーの噴射によりシート３２にたわみが発生して接着剤３３に圧力を印加できる程度とする。
【００５７】
このようにエアーノズル８２からエアーを噴射した状態で押さえ治具８１を一方の側から他方の側に向けて徐々に移動する。この場合、接着剤３３中の圧力分布は図４に示すようになる。従って、第１の実施形態と同様に、シート３１，３２間に存在する気泡３３ａを押さえ治具８１の移動とともに移動させ、シート接合部の端部から外部に押し出すことができる。
【００５８】
また、エアーノズル８２間の領域の接着剤３３の圧力はエアーノズル８２の直下の領域の接着剤３３の圧力よりも低いので、押さえ治具８１の移動方向前方の接着剤３３の一部はエアーノズル８２間の圧力が低い領域を通って押さえ治具８１の移動方向後方に移動する（図４の黒矢印参照）。これにより、シート接合部の端部からの接着剤３３のはみ出し量が削減され、シート３１，３２の端部に配置された端子に接着剤３３が付着することが防止される。
【００５９】
本実施形態においては、第１の実施形態と同様の効果が得られるのに加えて、押さえ治具８１がシート３１，３２に接触しないので、シート３１，３２に疵をつけるおそれがないという効果もある。
【００６０】
（第４の実施形態）
図１９は第４の実施形態に係る貼り合わせ装置の構成を示す模式図である。この図１９に示すように、本実施形態に係る貼り合わせ装置は、テーブル９１と、エアー噴射部９２と、Ｘ方向移動部（走査部）９３と、Ｙ方向移動部（走査部）９４と、垂直方向（Ｚ方向）移動部９５と、制御部９６とを有している。
【００６１】
貼り合わせるシート３１，３２は、テーブル９１の上に配置される。テーブル９１の上方には、エアーノズル９２ａを有するエアー噴射部９２が配置されている。エアー噴射部９２はエアー供給源（図示せず）に接続されており、制御部９６からの信号に応じてエアーノズル９２ａから高圧のエアーをシート３１，３２に向けて噴射する。
【００６２】
エアー噴射部９２はＸ方向移動部９３によりＸ方向（テーブル９１の上面に平行な方向）に移動可能に支持されている。また、Ｘ方向移動部９３は、Ｙ方向移動部９４によりＹ方向（テーブル９１の上面に平行な方向であってＸ方向に直交する方向）に移動可能に支持されている。更に、Ｙ方向移動部９４は、垂直方向移動部９５により垂直方向に移動可能に支持されている。これらのＸ方向移動部９３、Ｙ方向移動部９４及び垂直方向移動部９５は、制御部９６により駆動制御される。
【００６３】
図２０は、本実施形態の貼り合わせ装置を用いたシートの貼り合わせ方法を示す模式図である。図１９，図２０を参照して、本実施形態に係る貼り合わせ装置を使用した貼り合わせ方法を説明する。
【００６４】
まず、上側の面に接着剤を塗布したシート３１をテーブル９１上に配置し、その上にシート３２を配置する。その後、垂直移動部９５を制御して、エアーノズル９２ａとシート３２との間隔を所定の値とする。また、Ｘ方向移動部９３及びＹ方向移動部９４を制御して、図２０に示すようにエアーノズル９２ａをシート３２の角部のうちの一つに配置する。
【００６５】
次に、エアーノズル９２ａからエアーを噴射する。このエアー噴射によりシート３２は部分的にたわみ、シート３１，３２間の接着剤に圧力が加えられる。その後、制御部９６は、Ｘ方向移動部９３及びＹ方向移動部９４を制御して、エアーノズル９２ａを図２０に矢印で示すようにＸ方向に一定の速度で移動する。そして、エアーノズル９２ａがシート３２の端部まで移動したら、Ｙ方向に一定の距離（例えば５ｍｍ）だけ移動した後、今度は−Ｘ方向に一定の速度で移動する。このようにしてＸ方向、Ｙ方向、−Ｘ方向の移動を順次繰り返し、エアーによりシート３２の全面に圧力を印加する。
【００６６】
この場合、シート３１，３２間に気泡があると、エアー噴射で圧力が印加された接着剤により気泡が押されて、エアー噴射部から離れる方向に移動する。従って、エアーノズル９２を図２０に示すようにジグザグに移動（走査）することにより、気泡をシート接合部の外側に追い出すことができる。
【００６７】
本実施形態では、エアーを噴射するエアーノズル９２ａを図２０に示すようにジグザグに移動（走査）させてシート３１，３２間の接着剤に圧力を印加するので、接着剤がエアーノズル９２ａの周囲を容易に移動する。このため、シート３１，３２の接合部からはみ出す接着剤の量を著しく削減できるという効果を奏する。
【００６８】
また、本実施形態では、エアーノズルの数が１つだけであるので、第３の実施形態に比べてエアーノズルから噴射するエアーの圧力を高くすることが容易であるという利点もある。
【００６９】
なお、上記第４の実施形態ではテーブル９１の位置を固定してエアー噴射部９２を移動する場合について説明したが、エアー噴射部９２の位置を固定してテーブル９１を移動させる構成としてもよい。また、エアー噴射部９２及びテーブル９１の双方を移動させる構成としてもよい。更に、エアー噴射部９２に替えて、シート３２に接触する突起を有する押さえ治具を使用してもよい。
【００７０】
上記した実施形態を含む諸態様に関し、更に以下の付記を開示する。
【００７１】
（付記１）第１の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第２の部材を積層してなる被処理物を支持する支持部と、
相互に離隔して配列された複数の圧力印加部材を備え、前記圧力印加部材により前記被処理物の前記第２の部材に前記支持部と反対側から圧力を印加する押さえ治具と、
前記押さえ治具を前記被処理物に沿って相対的に移動させる移動部と
を有することを特徴とする貼り合わせ装置。
【００７２】
（付記２）前記圧力印加部材が、前記被処理物に接触する柱状の部材、及び前記被処理物に対し流体を噴射するノズルのいずれかであることを特徴とする付記１に記載の貼り合わせ装置。
【００７３】
（付記３）前記押さえ治具が、１又は複数の前記圧力部材を有する治具ユニットを前記被処理物の大きさに応じて複数個組み合わせたものであることを特徴とする付記１又は２に記載の貼り合わせ装置。
【００７４】
（付記４）第１の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第２の部材を積層してなる被処理物を支持部上に配置する工程と、
相互に離隔して配列された複数の圧力印加部材を備えた押さえ治具により前記被処理物の前記第２の部材に前記支持部と反対側から圧力を印加する工程と、
前記押さえ治具を前記被処理物に沿って相対的に移動させる工程と
を有することを特徴とする貼り合わせ方法。
【００７５】
（付記５）第１の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第２の部材を積層してなる被処理物を支持する支持部と、
前記第１の部材と前記第２の部材との接合部に対応する領域に複数の圧力印加部材が配列して設けられた押さえ治具と、
前記押さえ治具の前記圧力印加部材を所定の順番で駆動して前記被処理物に圧力を印加する圧力印加部材駆動部と、
前記圧力印加部材駆動部を制御する制御部と
を有することを特徴とする貼り合わせ装置。
【００７６】
（付記６）第１の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第２の部材を積層してなる被処理物を支持部上に支持する工程と、
前記第１の部材と前記第２の部材との接合予定領域に対応する領域に複数の圧力印加部材が配列して設けられた押さえ治具を前記被処理物の上方に配置する工程と、
前記押さえ治具の前記圧力印加部材を所定の順番で駆動して前記被処理物に圧力を印加する工程と
を有することを特徴とする貼り合わせ方法。
【００７７】
（付記７）第１の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第２の部材を積層してなる被処理物を支持する支持部と、
圧力印加部材を備え、前記圧力印加部材により前記被処理物の前記第２の部材に前記支持部と反対側から圧力を印加する押さえ治具と、
前記押さえ治具を前記被処理物に沿って走査して前記第１の部材と前記第２の部材との接合部全体に圧力を印加する走査部と、
前記走査部を制御する制御部と
を有することを特徴とする貼り合わせ装置。
【００７８】
（付記８）第１の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第２の部材を積層してなる被処理物を支持部上に配置する工程と、
圧力印加部材を備えた押さえ治具により前記被処理物の前記第２の部材に圧力を印加する工程と、
前記押さえ治具を前記被処理物に沿って走査して前記第１の部材と前記第２の部材との接合部全体に圧力を印加する工程と
を有することを特徴とする貼り合わせ方法。
【００７９】
（付記９）前記第１の部材及び前記第２の部材がいずれも液晶表示パネルであることを特徴とする付記４，６，８のいずれか１項に記載の貼り合わせ方法。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】図１は、第１の実施形態に係る貼り合わせ装置の構成を示す模式図である。
【図２】図２（ａ）は第１の実施形態に係る貼り合わせ装置の押さえ治具の下面図、図２（ｂ）は同じくその正面図である。
【図３】図３は、第１の実施形態に係る貼り合わせ装置を使用した貼り合わせ方法を示す模式図である。
【図４】図４は、押さえ治具の移動にともなう接着剤の移動を示す模式図である。
【図５】図５（ａ）はコレステリック液晶表示装置の表示パネルの一例を示す平面図、図５（ｂ）は同じくその断面図である。
【図６】図６（ａ）は押さえ治具の変形例１を示す下面図。図６（ｂ）は同じくその正面図である。
【図７】図７（ａ）は押さえ治具の変形例２を示す下面図、図７（ｂ）は同じくその正面図である。
【図８】図８は押さえ治具の変形例３を示す下面図である。
【図９】図９（ａ），（ｂ）は、変形例３の押さえ治具の動作を示す図である。
【図１０】図１０は、制御部からアクチュエータに供給される信号のタイミングチャートである。
【図１１】図１１は、第２の実施形態に係る貼り合わせ装置の構成を示す模式図である。
【図１２】図１２は、第２の実施形態に係る貼り合わせ装置の押さえ治具の下面図である。
【図１３】図１３（ａ），（ｂ）は治具ユニットの動作を示す模式図である。
【図１４】図１４は、制御部からアクチュエータに供給される信号のタイミングチャートである。
【図１５】図１５（ａ），（ｂ）は、突起の先端形状の一例を示す図である。
【図１６】図１６は、第３の実施形態に係る貼り合わせ装置の構成を示す模式図である。
【図１７】図１７（ａ）は第３の実施形態に係る貼り合わせ装置の押さえ治具の下面図、図１７（ｂ）は同じくその押さえ治具の正面図である。
【図１８】図１８は、第３の実施形態の貼り合せ装置を用いたシートの貼り合せ方法を示す模式図である。
【図１９】図１９は、第４の実施形態に係る貼り合わせ装置の構成を示す模式図である。
【図２０】図２０は、第４の実施形態の貼り合わせ装置を用いたシートの貼り合わせ方法を示す模式図である。
【符号の説明】
【００８１】
１１，１５…透明基板、１２…行電極、１３…液晶の層、１４…列電極、２１…テーブル、２２…押さえ治具、２２ａ…突起、２２ｂ…ばね、２３…ガイドレール、２４…押さえ治具駆動部、２５…制御部、３１，３２…シート、３３…接着剤、３３ａ…気泡、３５…表示パネル、６１，６５，６８…押さえ治具、６２ａ，６２ｂ，６４…治具ユニット、６３ａ，６３ｂ，６４ａ…突起、６９ａ，６９ｂ…アクチュエータ、７１…テーブル、７２…押さえ治具、７２ａ〜７２ｄ…治具ユニット、７３…突起７４…アクチュエータ群、７４ａ〜７４ｄ…アクチュエータ、７５…水平移動ステージ、７６…垂直移動ステージ、７７…制御部、８１…押さえ治具、８２…エアーノズル、９１…テーブル、９２…エアー噴射部、９２ａ…ノズル、９３…Ｘ方向移動部、９４…Ｙ方向移動部、９５…垂直方向移動部、９６…制御部。
【図１】
2010018740.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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