(57)【要約】【課題】駆動部の反りに起因する構造のバラツキの抑制が可能で、安定した電気特性を有するとともに、低消費電力化にも有効な圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチを提供する。【解決手段】圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ１０は、圧電体層１６の表裏にグランド（下部電極）１４及び上部電極１８が形成された対向する一対のカンチレバー２０，２２が、基板１２に片持ち梁状に支持された構造である。短いカンチレバー２２上には、信号線３６と接点電極２４が形成される。長いカンチレバー２０上に形成された信号線３４は、接点電極２４と接触可能な長さに延設される。信号線３４は、第１のカンチレバー２０の反りに従うため、無電圧負荷状態において接点電極２４を押さえつけてスイッチＯＮ状態を維持し、電圧印加状態では初期状態と反対方向に反るカンチレバー２０に追随するため、接点電極２４から離れてスイッチＯＦＦ状態となる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
略板状の圧電体層の表裏面に電極層を有しており、一方の端部側が基板に片持ち梁状に支持され、他方の端部同士が対向するように配置されるとともに、反り量が異なる一対のカンチレバー，
一方のカンチレバー上に、他方のカンチレバーと対向する端部から突出するように形成された第１の信号線，
他方のカンチレバー上に形成されており、前記一方のカンチレバーと対向する端部側に設けられた接点電極と接続する第２の信号線，
を備えるとともに、
少なくも一方のカンチレバーの反りを利用することにより、前記接点電極と第１の信号線の接続のＯＮ／ＯＦＦを切り替えることを特徴とする圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ。
【請求項２】
前記一対のカンチレバーの反り量の差異は、
該カンチレバーを構成する材料の応力の差異，あるいは、前記カンチレバーの寸法ないし重量の差異により生じることを特徴とする請求項１記載の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ。
【請求項３】
前記一対のカンチレバーの対向する端部同士を、前記反りを可能にしたまま、ヒンジを介して連結したことを特徴とする請求項１又は２記載の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ。
【請求項４】
反り量の小さいカンチレバー上に前記接点電極及び第２の信号線を形成し、反り量の大きいカンチレバー上に前記第１の信号線を形成することで、
前記カンチレバーへの無電圧負荷状態で前記接点電極と第１の信号線が接触しており、前記カンチレバーへの電圧印加により、初期状態と逆方向にカンチレバーが反って前記接点電極と第１の信号線が離れるノーマリＯＮのスイッチを形成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ。
【請求項５】
反り量の大きいカンチレバー上に前記接点電極及び第２の信号線を形成し、反り量の小さいカンチレバー上に前記第１の信号線を形成することで、
前記カンチレバーへの無電圧負荷状態で前記接点電極と第１の信号線が離れており、前記カンチレバーへの電圧印加により、初期状態と逆方向にカンチレバーが反って前記接点電極と第１の信号線が接触するノーマリＯＦＦのスイッチを形成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ。
【請求項６】
請求項４及び５記載の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチを、それぞれ一つ以上含むように一括形成したことを特徴とする圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ。
【請求項７】
請求項４及び５記載の圧電駆動ＭＥＭＳスイッチを一括形成し、ＳＰＤＴ（単極双投）スイッチを構成したことを特徴とする圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ。
【請求項８】
請求項５記載の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチを多段化したことを特徴とする圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器に用いられる圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の電気式微小機械装置（ＭＥＭＳ）としてのアクチュエータは、アクチュエータの駆動部となる駆動アームが基板上に支持され、基板と駆動アームに設けられた静電用電極の一方に正電圧を、他方の静電用電極に負電圧を印加することで、これによって生じる静電気力を用い駆動アームを基板側に引き寄せている。また、下記特許文献１に記載のアクチュエータおよびその制御方法およびこれを用いたスイッチには、駆動アームに対して圧電体層及び圧電駆動電極を設けることにより、圧電力を用いて駆動アームを基板側に引き寄せる構成が開示されている。
【０００３】
図９には、圧電駆動式の微小機械装置の一例が示されている。図９(A)は圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチの全体構成を示す斜視図，図９(B)は前記(A)を＃Ｃ−＃Ｃ線に沿って切断したときの端面を示す模式図である。図９に示す圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ１００は、基板１０２の上に圧電体層１１２の下部電極となるグランド１０４が形成されており、該グランド１０４には接続のための接続用電極１０４Ａが形成されている。更に、前記グランド１０４の上には、圧電体層１１２の上部電極１１４が形成されており、該上部電極１１４には接続のための接続用電極１１４Ａが形成されている。駆動アーム１１０は、第１のカンチレバー１１０Ａと、第２のカンチレバー１１０Ｂと、ヒンジ部１１８Ａ及び１１８Ｂと、接点１２０とを有している。前記接点１２０の上面には、ヒンジ部１１８Ａ及び１１８Ｂにあたる容量部（ないしキャパシタ）１２２が設けられている。一方、信号線１０８は、駆動アーム１１０と基板１０２に形成された穴１０６とを架橋するように形成されており、その左右には駆動アーム１１０と孔１０６とを架橋するようにグランド線１１６が形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３０２７１１公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、以上のような背景技術の静電及び圧電駆動式微小機械装置（ＭＥＭＳ）では、異種材料を組み合わせた可動部を形成した場合に、図９(B)に示すように、材料の持つ応力によって反りが生じ、信号線１０８と接点１２０間のギャップを制御することが困難になり、構造に起因してスイッチのＯＮ／ＯＦＦ特性が得られなくなるという不都合がある。
【０００６】
本発明は、以上の点に着目したもので、その目的は、駆動部の反りに起因する構造のバラツキの抑制が可能で、安定した電気特性を有するとともに、低消費電力化にも有効な圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチは、略板状の圧電体層の表裏面に電極層を有しており、一方の端部側が基板に片持ち梁状に支持され、他方の端部同士が対向するように配置されるとともに、反り量が異なる一対のカンチレバー，一方のカンチレバー上に、他方のカンチレバーと対向する端部から突出するように形成された第１の信号線，他方のカンチレバー上に形成されており、前記一方のカンチレバーと対向する端部側に設けられた接点電極と接続する第２の信号線，を備えるとともに、少なくも一方のカンチレバーの反りを利用することにより、前記接点電極と第１の信号線の接続のＯＮ／ＯＦＦを切り替えることを特徴とする。
【０００８】
主要な形態の一つは、前記一対のカンチレバーの反り量の差異は、該カンチレバーを構成する材料の応力の差異，あるいは、前記カンチレバーの寸法ないし重量の差異により生じることを特徴とする。他の形態は、前記一対のカンチレバーの対向する端部同士を、前記反りを可能にしたまま、ヒンジを介して連結したことを特徴とする。
【０００９】
更に他の形態は、反り量の小さいカンチレバー上に前記接点電極及び第２の信号線を形成し、反り量の大きいカンチレバー上に前記第１の信号線を形成することで、前記カンチレバーへの無電圧負荷状態で前記接点電極と第１の信号線が接触しており、前記カンチレバーへの電圧印加により、初期状態と逆方向にカンチレバーが反って前記接点電極と第１の信号線が離れるノーマリＯＮのスイッチを形成したことを特徴とする。あるいは、反り量の大きいカンチレバー上に前記接点電極及び第２の信号線を形成し、反り量の小さいカンチレバー上に前記第１の信号線を形成することで、前記カンチレバーへの無電圧負荷状態で前記接点電極と第１の信号線が離れており、前記カンチレバーへの電圧印加により、初期状態と逆方向にカンチレバーが反って前記接点電極と第１の信号線が接触するノーマリＯＦＦのスイッチを形成したことを特徴とする。
【００１０】
更に他の形態は、前記ノーマリＯＮスイッチ及びノーマリＯＦＦスイッチを、それぞれ一つ以上含むように一括形成したことを特徴とする。更に他の形態は、前記ノーマリＯＮスイッチ及びノーマリＯＦＦスイッチを一括形成し、ＳＰＤＴ（単極双投）スイッチを構成したことを特徴とする。更に他の形態は、前記ノーマリＯＦＦスイッチを多段化したことを特徴とする。本発明の前記及び他の目的，特徴，利点は、以下の詳細な説明及び添付図面から明瞭になろう。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、圧電体層の表裏面に電極層を有しており、一端側が対向するように他端側が基板に片持ち梁状に支持されるとともに、反り量が異なる一対のカンチレバー上に、信号線と接点電極を形成し、前記カンチレバーの反りを利用して前記接点電極と信号線路の接続のＯＮ／ＯＦＦの切り替えを行うことで、反りに起因する構造のバラツキを抑制して安定した電気特性が得られるという効果がある。また、無電圧負荷状態でスイッチＯＮの状態を保つことができるため、低消費電力化も可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施例１の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチを示す図であり、(A)は全体構成を示す外観斜視図，(B)は前記(A)を＃Ａ−＃Ａ線に沿って切断し矢印方向に見た断面図，(C)は前記(A)の接点部の拡大図である。
【図２】前記実施例１のスイッチから信号線及びグランド線を除いた構造を示す図であり、(A)は全体構成を示す外観斜視図，(B)は前記(A)を＃Ｂ−＃Ｂ線に沿って切断し矢印方向に見た断面，(C)は変形例の断面図である。
【図３】前記実施例１のスイッチの駆動状態の説明図である。
【図４】本発明の実施例２の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチを示す主要断面図であり、(A)は初期状態（スイッチＯＦＦ状態）を示す図，(B)及び(C)は電圧印加時（駆動モード（スイッチＯＮ状態））を示す図である。
【図５】本発明の実施例３の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチを示す回路図であり、(A)は初期状態を示す図，(B)は電圧印加時の状態を示す図である。
【図６】本発明の実施例４及び変形例の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチの駆動状態の説明図である。
【図７】金属薄膜の応力例を示す図である。
【図８】本発明の他の実施例を示す図である。
【図９】背景技術の一例を示す図であり、(A)は圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチの全体構成を示す外観斜視図，(B)は前記(A)を＃Ｃ−＃Ｃに沿って切断したときの端面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、実施例に基づいて詳細に説明する。
【実施例１】
【００１４】
最初に、図１〜図３を参照しながら本発明の実施例１を説明する。図１は、本実施例の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチを示す図であり、(A)は全体構成を示す外観斜視図，(B)は前記(A)を＃Ａ−＃Ａ線に沿って切断し矢印方向に見た断面図，(C)は前記(A)の接点部の拡大図である。図２は、本実施例のスイッチから信号線及びグランド線を除いた構造を示す図であり、(A)は全体構成を示す外観斜視図，(B)は前記(A)を＃Ｂ−＃Ｂ線に沿って切断し矢印方向に見た断面図，(C)は変形例を示す断面図である。図３は、本実施例の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチの駆動状態の説明図である。
【００１５】
本実施例の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ１０（以下単に「スイッチ」という）は、基板１２の上に圧電体層１６の下部電極となるグランド１４が形成されており、該グランド１４の上には、圧電体層１６及びその上部電極１８が形成されている。前記基板１２の略中央部には穴４０が形成されており、その両側には、第１のカンチレバー２０及び第２のカンチレバー２２の一端側が片持ち梁状となるように支持され、他端側が穴４０の略中央近傍で対向している。
【００１６】
前記基板１２としては、例えば、ＳＯＩ基板（絶縁膜上に形成した単結晶シリコンを基板とした導体）が用いられ、グランド（下部電極）１４及び上部電極１８としては、例えば、Ｐｔ（プラチナ）やＲｕ（ルテニウム）などが用いられる。また、前記圧電体層１６としては、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）が用いられる。前記第１のカンチレバー２０及び第２のカンチレバー２２は、前記上部電極１８／圧電体層１６／グランド（下部電極１４）／基板１２の積層体となっており、左右で長さが異なっており、反り量に差異がある。本実施例では、第１のカンチレバー２０の方が、第２のカンチレバー２２よりも長く形成されており、図２(B)に示すように、第２のカンチレバー２２は殆ど反りを示さず、第１のカンチレバー２０は比較的大きく反る構造となっている。
【００１７】
なお、本実施例では、第１のカンチレバー２０と第２のカンチレバー２２の対向する端部側は、反りを可能にしたままヒンジ２６を介して連結されており、第１のカンチレバー２０が必要以上に反らないように抑制している。なお、前記ヒンジ２６は必要に応じて設けるようにすればよく、図２(C)に示す変形例のように、ヒンジなしの構成としてもよい。
【００１８】
前記第２のカンチレバー２２の上には、信号線３２を構成する一方の信号線３６（第２の信号線）が形成されており、該信号線３６の端部３６Ａと接続するように接点電極２４が第２のカンチレバー２２の自由端側に設けられている。他方の第１のカンチレバー２０の上には、前記信号線３２を構成する他方の信号線３４（第１の信号線）が形成されている。該信号線３４は、第１のカンチレバー２０よりも長く、その端部３４Ａが前記接点電極２４に接触可能な長さとなるように設定されている。このような信号線３４は、第１のカンチレバー２０の反りに従うため、無電圧負荷状態においては前記接点電極２４を押さえつけ、電圧印加状態では、初期状態と逆方向に反るカンチレバー２０に追随するため、接点電極２４から離れ、非接触状態となる。前記信号線３２の両側には、該信号線３２と略平行なグランド線２８，３０が、前記穴４０を架橋するように設けられている。前記信号線３２，グランド線２８及び３０，接点電極２４としては、例えばＡｕが用いられる。
【００１９】
次に、本実施例のスイッチの駆動について、図３を用いて説明する。図３(A-1)及び(A-2)は初期状態（無電圧負荷状態）を示す図，図３(B-1)及び(B-2)は電圧印加状態を示す図である。カンチレバーの反りはその長さに比例するため、長さの長い第１のカンチレバー２０が大きく反ることで、信号線３４が接点電極２４を押さえつけ、該接点電極２４を介してＲＦ信号が通過する（図３(A-1)）。これによって、無電圧負荷時でもスイッチＳＷがＯＮの状態（図３(A-2)）となる。スイッチＯＦＦへの切り替えは、アクチュエータ部（カンチレバー２０及び２２）に電圧を印加することで行う。電圧を印加すると、図３(B-1)に示すように、第１のカンチレバー２０が上向きに変位して（初期状態と逆方向に沿って）、信号線３４が接点電極２４から引き離され、スイッチＳＷがＯＦＦとなる（図３(B-2)）。
【００２０】
このように、実施例１によれば、次のような効果がある。
(1)一端側が対向するように他端側が基板１２に片持ち梁状に支持された一対のカンチレバー２０，２２に、信号線３２（３４及び３６）と接点電極２４を形成し、前記カンチレバー２０の反りを利用して前記接点電極２４と信号線３４の接続のＯＮ／ＯＦＦの切り替えを行うこととしたので、反りに起因する構造のバラツキを抑制して安定した電気特性を有するノーマリＯＮタイプの圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ１０が得られる。
(2)初期状態（無電圧負荷状態）でスイッチＯＮの状態を保つことができるため、低消費電力化が可能となる。
(3)第１及び第２のカンチレバー２０，２２上に信号線路３２及び接点電極２４を形成することで小型化が実現できる。
(4)第１のカンチレバー２０と第２のカンチレバー２２を、ヒンジ２６を介して連結することとしたので、カンチレバーが必要以上に反るのを防止できる。
【実施例２】
【００２１】
次に、図４を参照しながら本発明の実施例２を説明する。なお、上述した実施例１と同一ないし対応する構成要素には同一の符号を用いることとする（以下の実施例についても同様）。上述した実施例１は、ノーマリＯＮ構造の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチの例であるが、本実施例は、カンチレバーの反りを利用してノーマリＯＦＦ構造とした例である。図４は、本実施例の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチを示す主要断面図であり、(A)は初期状態（スイッチＯＦＦ状態）を示す図，(B)及び(C)は電圧印加時（駆動モード，スイッチＯＮ状態）を示す図である。
【００２２】
本実施例においても、上述した実施例と同様に一対のカンチレバーの長さの差によって生じる反り量の違いを利用している。本実施例の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ５０は、第１のカンチレバー５２と、第２のカンチレバー５４が、ヒンジ２６を介して連結されており、長い方の第１のカンチレバー５２の端部近傍に、信号線５８（第２の信号線）と該信号線５８に接続する接点電極５６が設けられている。短い方の第２のカンチレバー５４に設けられた信号線６０（第１の信号線）は、該カンチレバー５４よりも長く、その端部６０Ａが前記接点電極５６に接触可能な長さに設定されている。なお、前記第１のカンチレバー５２，第２のカンチレバー５４の基本的な積層構造は、前記実施例１と同様である。
【００２３】
このような構造のスイッチ５０では、図４(A)に示すように、無電圧負荷状態では、接点電極５６と信号線６０は非接触状態，すなわちスイッチＯＦＦ状態となっている。スイッチＯＮ状態にするには、図４(B)に示すように、第１のカンチレバー５２に電圧を印加し、図４(A)と逆の方向に第１のカンチレバー５２を反らせることで、接点電極５６と信号線６０を接触させる。あるいは、図４(C)に示す例のように、第１のカンチレバー５２と第２のカンチレバー５４の双方に電圧を印加して駆動し、接点電極５６と信号線６０を接触させるようにしてもよい。本実施例によれば、上述した実施例１と同様に、反りに起因する構造のバラツキを抑制して安定した電気特性を有するノーマリＯＦＦタイプの圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ５０が得られる。
【実施例３】
【００２４】
次に、図５を参照しながら本発明の実施例３を説明する。図５は、本実施例の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチの回路図であり、(A)は初期状態を示す図，(B)は電圧印加時の状態を示す図である。本実施例は、上述した実施例１のノーマリＯＮタイプのスイッチと、実施例２のノーマリＯＦＦタイプのスイッチを組み合わせたＳＰＤＴ（単極双投）構造の例である。ノーマリＯＮタイプのスイッチＳＷ１と、ノーマリＯＦＦタイプのスイッチＳＷ２は、一括形成することが可能である。図５(A)に示す初期状態では、前記スイッチＳＷ１がノーマリＯＮの状態であり、ＲＦ信号（高周波信号）はｏｕｔ１へ通過し、スイッチＳＷ２はノーマリＯＦＦ状態であって、この状態での消費電力はゼロである。
【００２５】
次に、図５(B)に示すように、ＲＦ信号をｏｕｔ２に切り替えるには、前記スイッチＳＷ１をＯＦＦにする必要がある。ＳＷ１のＯＦＦには、前記実施例１の図３で示したように、電圧の印加が必要であり、この電圧（消費電力）をＳＷ２のＯＮの切り替えに利用することで、低消費電力化を図ることができる。本実施例のＳＰＤＴ構造は、ＲＦｏｕｔ１を優先的に使用し、ＲＦｏｕｔ２の使用頻度が低い回路構成において有効である。
【実施例４】
【００２６】
次に、図６を参照しながら本発明の実施例４を説明する。図６(A-1)及び(A-2)は初期状態（無電圧負荷状態）を示す図，図６（B-1）及び(B-2)は電圧印加状態を示す図である。図６(C)は、変形例の初期状態（無電圧負荷状態）を示す図である。図７は、金属薄膜の応力例を示す図である。本実施例の圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ７０は、上部電極１８上に圧縮応力の膜を形成した形態である。前記圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ７０は、図６(A-1)及び(B-1)に示す例では、第１のカンチレバー２０と第２のカンチレバー２２が同じ長さとなっている。そこで、前記第１のカンチレバー２０の反りが下向きとなるように、圧縮応力の膜７２を、第１のカンチレバー２０の上部電極１８上に形成する。前記圧縮応力の膜７２としては、金属膜（例えば、Ｔａなど）が用いられ、図７に一例を示すような応力を示す（参考文献：D. W. Hoffman, J. Vac. Sci. Technol. 20(3), March 1982）。
【００２７】
ここで、前記第１のカンチレバー２０と第２のカンチレバー２２の長さが等しいため、前記第１のカンチレバー２０の上部電極１８のみに選択的に圧縮応力の膜７２を形成すれば、第１のカンチレバー２０のみが下向きに反ることにより、信号線３４が接点電極２４を押さえつけ、該接点電極２４を介してＲＦ信号が通過する（図６(A-1)）。これによって、無電圧負荷時でもスイッチＳＷがＯＮの状態（図６(A-2)）となる。スイッチＯＦＦへの切り替えについては、上述した実施例１と同様であり、アクチュエータ部（カンチレバー２０及び２２）に電圧を印加することで行う。電圧を印加すると、図６(B-1)に示すように、第１のカンチレバー２０が上向きに変位して（初期状態と逆方向に沿って）、信号線３４が接点電極２４から引き離され、スイッチＳＷがＯＦＦとなる（図６(B-2)）。
【００２８】
このように、実施例４によれば、圧縮応力の膜７２を設けることとしたので、第１及び第２のカンチレバー２０，２２を略同一の長さに設定することができる。なお、前記図６(A-1)及び(B-1)に示す例も一例であり、図６(C)に示す圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ７０Ａに示すように、第１のカンチレバー２０の上部電極１８の上に圧縮応力の膜７２を、第２のカンチレバー２２の上部電極１８の上に圧縮応力の膜７４を、それぞれ設けるようにしてもよい。
【００２９】
なお、本発明は、上述した実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることができる。例えば、以下のものも含まれる。
(1)前記実施例で示した形状，寸法は一例であり、必要に応じて適宜変更してよい。材料についても同様に、必要に応じて適宜変更可能である。
(2)実施例１及び２では、一対のカンチレバーの間にヒンジ２６を設けることとしたが、該ヒンジ２６は必要に応じて設けるようにすればよい。
(3)実施例３で示した回路構成も一例であり、図８に示す例のように、本発明のノーマリＯＦＦスイッチを並列化して多段化することも可能である。
(4)前記実施例では、一対のカンチレバーの長さの差異によって生じる反り量の違いを利用することとしたが、これも一例であり、長さ以外に寸法（厚みなど）や材質（シリコン，金属，圧電性部材）の応力の差異に起因する反り量の違いを利用するようにしてもよい。特に、金属及び酸化物薄膜材料は、その材料によって種々の引張応力及び圧縮応力を示すことが知られており、実施例４に示すようにこれらの材料の応力の差異を積極的に利用するとよい。
(5)実施例４で示した圧縮応力の膜７２，７４の材料も一例であり、同様の効果を奏するものであれば、公知の各種の材料を用いてよい。また、圧縮応力の膜７２，７４の形成範囲についても、カンチレバーの長さや大きさ，あるいは材質などに応じて、同様の効果を奏するように適宜変更してよい。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明によれば、圧電体層の表裏面に電極層を有しており、一端側が対向するように他端側が基板に片持ち梁状に支持されるとともに、反り量が異なる一対のカンチレバー上に、信号線と接点電極を形成する。そして、前記カンチレバーの反りを利用して前記接点電極と信号線路の接続のＯＮ／ＯＦＦの切り替えを行うことで、反りに起因する構造のバラツキを抑制して安定した電気特性が得られ、小型化も可能であることから、圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチの用途に適用できる。特に、携帯電話に代表される移動体通信機器の使用周波数（特に高周波用途）の切り替えに好適である。
【符号の説明】
【００３１】
１０：圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ
１２：基板
１４：グランド（下部電極）
１６：圧電体層
１８：上部電極
２０：第１のカンチレバー
２２：第２のカンチレバー
２４：接点電極
２６：ヒンジ
２８，３０：グランド線
３２，３４，３６：信号線
３４Ａ，３６Ａ：端部
４０：穴
５０：圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ
５２：第１のカンチレバー
５４：第２のカンチレバー
５６：接点電極
５８，６０：信号線
６０Ａ：端部
７０，７０Ａ：圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ
７２，７４：圧縮応力の膜
１００：圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ
１０２：基板
１０４：グランド（下部電極）
１０４Ａ：接続用電極
１０６：穴
１０８：信号線
１１０：駆動アーム
１１０Ａ：第１のカンチレバー
１１０Ｂ：第２のカンチレバー
１１２：圧電体層
１１４：上部電極
１１４Ａ：接続用電極
１１６：グランド線
１１８Ａ，１１８Ｂ：ヒンジ部
１２０：接点
１２２：容量部（ないしキャパシタ）
ＳＷ，ＳＷ１，ＳＷ２：スイッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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