(57)【要約】【課題】装置を大型化させることなく冷媒の設定温度変更に要する時間を短縮することができる冷媒回路およびこれを備えた冷凍装置を提供する。【解決手段】冷媒回路３１は、ポンプ４７と、このポンプ４７から冷却対象へ冷媒を送る上流側通路３２と冷却対象からポンプ４７へ冷媒を送る下流側通路３４とを含む配管と、冷媒の設定温度を上げるときにモーター６１を駆動させる周波数を上げ、冷媒の設定温度を下げるときにモーター６１を駆動させる周波数を下げる制御部４４と、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
モーター（６１）を有するポンプ（４７）と、
前記ポンプ（４７）から冷却対象へ冷媒を送る上流側通路（３２）と前記冷却対象から前記ポンプ（４７）へ前記冷媒を送る下流側通路（３４）とを含む配管と、
前記冷媒の設定温度を上げるときに前記モーター（６１）を駆動させる周波数を上げ、前記冷媒の設定温度を下げるときに前記モーター（６１）を駆動させる周波数を下げる制御手段（４４）と、を備えた冷媒回路。
【請求項２】
前記配管は、前記上流側通路（３２）と前記下流側通路（３４）とをつないで前記冷却対象をバイパスするバイパス通路（３６）をさらに含む、請求項１に記載の冷媒回路。
【請求項３】
前記バイパス通路（３６）には電磁弁（７３）および定流量弁（７４）が設けられている、請求項２に記載の冷媒回路。
【請求項４】
前記バイパス通路（３６）には電動二方弁（７５）が設けられている、請求項２に記載の冷媒回路。
【請求項５】
前記上流側通路（３２）と前記バイパス通路（３６）との分岐部には電動三方弁（７６）が設けられている、請求項２に記載の冷媒回路。
【請求項６】
前記ポンプ（４７）は、モーター（６１）と、前記モーター（６１）から下方に延設されたシャフトと、前記シャフトの下端側に支持された羽根車と、前記シャフトおよび前記羽根車を収容するケーシングとを有し、前記モーター（６１）の駆動に伴う前記羽根車の回転により前記冷媒が吸い上げられる冷媒流路が、前記ケーシングと接した状態で前記ケーシングの上端部まで延設されている、請求項１〜５のいずれかに記載の冷媒回路。
【請求項７】
圧縮機（２３）と凝縮器（２５）と減圧機構（２７）と蒸発器（２９）とを有する冷凍回路（２１）と、請求項１〜６のいずれかに記載の冷媒回路（３１）と、を備え、前記冷媒回路を流れる前記冷媒が前記蒸発器（２９）において熱交換される冷凍装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷媒回路およびこれを備えた冷凍装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体製造装置などの冷却対象の温度を調節するための冷凍装置が知られている。この冷凍装置は、圧縮機と凝縮器と膨張弁と蒸発器とを有する冷凍回路と、冷媒液（ブライン）が循環する冷媒回路とを備えている。冷媒回路は、タンクと、このタンクから送液されるブラインを蒸発器と冷却対象との間で循環させる配管とを備えている。タンクは、ブラインを貯留するタンク本体と、このタンク本体内のブラインに浸漬されたポンプと、ブラインに浸漬されたヒーターとを備えている。ポンプが駆動すると、配管を通じてブラインが蒸発器と冷却対象との間を循環し、蒸発器において冷却されたブラインが冷却対象の温度を調節する（例えば特許文献１）。
【０００３】
このような冷凍装置では、冷却対象に応じてブラインの設定温度が度々変更されることがある。この設定温度変更時には、ブラインは、冷媒回路内で循環しながらヒーターで加熱されるか蒸発器で冷却されて温度調節される。設定温度の変更中は製造ラインを止める必要があるので設定温度の変更時間はできるだけ短縮することが求められている。設定温度の変更時間を短縮するには、例えばヒーターの容量を大きくする方法が挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１４１８３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ヒーターの容量を上げるとヒーター自体が大きくなるのでタンクの容積も大きくする必要がある。タンクが大きくなると、冷凍装置全体も大型化するという問題がある。また、タンクが大きくなると、タンク本体内のブラインの貯留量も多くなるので、ブラインの設定温度の変更に要する時間がその分長くなるという問題がある。
【０００６】
そこで、本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、装置を大型化させることなく冷媒の設定温度変更に要する時間を短縮することができる冷媒回路およびこれを備えた冷凍装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の冷媒回路は、モーター（６１）を有するポンプ（４７）と、前記ポンプ（４７）から冷却対象へ冷媒を送る上流側通路（３２）と前記冷却対象から前記ポンプ（４７）へ前記冷媒を送る下流側通路（３４）とを含む配管と、前記冷媒の設定温度を上げるときに前記モーター（６１）を駆動させる周波数を上げ、前記冷媒の設定温度を下げるときに前記モーター（６１）を駆動させる周波数を下げる制御手段（４４）と、を備えている。
【０００８】
この構成では、ポンプ（４７）の駆動時の熱を利用して、冷媒の設定温度を上げるときにモーター（６１）を駆動させる周波数を上げ、冷媒の設定温度を下げるときにモーター（６１）を駆動させる周波数を下げることにより冷媒の設定温度変更を効率化することができる。すなわち、ポンプ（４７）は駆動時に発熱するので、冷媒がポンプ（４７）の内部を通過する際にはポンプ（４７）から冷媒へ熱が伝わる。冷媒の設定温度を上げるときにモーター（６１）の駆動周波数を上げてポンプ（４７）の発熱量を増加させることによって冷媒に伝わる熱量も増加させることができる。これにより、ヒーターの容量を大きくして装置が大型化することなく冷媒の設定温度を上げるのに要する時間を短縮することができる。一方、冷媒の設定温度を下げるときにはモーター（６１）の駆動周波数を下げてポンプ（４７）の発熱量を減らすことによって冷媒に伝わる熱量も減少させることができる。これにより、冷媒の温度を下げる冷凍装置の冷凍能力を大きくすることなく冷媒の設定温度を下げるのに要する時間を短縮することができ、装置を小型化することができる。
【０００９】
前記配管は、前記上流側通路（３２）と前記下流側通路（３４）とをつないで前記冷却対象をバイパスするバイパス通路（３６）をさらに含んでいるのが好ましい。
【００１０】
この構成では、冷却対象をバイパスするバイパス通路（３６）がさらに設けられているので、冷媒の設定温度変更時に冷媒の一部または全部をバイパス通路（３６）を通じて循環させることができる。これにより、冷却対象へ流れる冷媒の量を減少させることができるので、設定温度変更時に冷媒が冷却対象との間で熱交換するのを抑制または防止できる。その結果、冷媒が冷却対象に対して放熱または冷却対象から吸熱するのを抑制または防止できる。また、冷媒の一部または全部をバイパス通路（３６）を通じて循環させることにより、冷媒が循環する経路長（配管長）を短くすることができるので、冷媒が配管を流れる際の放熱量または吸熱量を低減させることができる。したがって、本構成によれば、冷媒の設定温度変更に要する時間をさらに短縮することができる。
【００１１】
前記バイパス通路（３６）に電磁弁（７３）および定流量弁（７４）が設けられている場合には、バイパス通路（３６）を通じて流す冷媒の量をほぼ一定に保つことができるとともに、バイパス通路（３６）の開閉を手動ではなく自動で制御できる。これにより、冷媒の設定温度の変更を精度よく管理することができる。
【００１２】
前記バイパス通路（３６）に電動二方弁（７５）が設けられている場合には、弁の開度を微調整することができるので、バイパス通路（３６）を通じて流す冷媒の量を任意の量に精度よく調節することができるとともに、バイパス通路（３６）の開閉を手動ではなく自動で制御できる。これにより、冷媒の設定温度の変更をより精度よく管理することができる。
【００１３】
前記上流側通路（３２）と前記バイパス通路（３６）との分岐部に電動三方弁（７６）が設けられている場合には、冷媒を分岐部においてバイパス通路（３６）に流す割合と冷却対象へ流す割合を精度よく微調整することができる。これにより、冷媒の設定温度の変更をさらに精度よく管理することができる。また、冷却対象への冷媒の送液量を精度よく調節できることによって、冷却対象の温度調節を行いながら、冷媒の設定温度の変更を並行して行うことも可能になる。
【００１４】
前記ポンプ（４７）は、モーター（６１）と、前記モーター（６１）から下方に延設されたシャフトと、前記シャフトの下端側に支持された羽根車と、前記シャフトおよび前記羽根車を収容するケーシングとを有し、前記モーター（６１）の駆動に伴う前記羽根車の回転により前記冷媒が吸い上げられる冷媒流路が、前記ケーシングと接した状態で前記ケーシングの上端部まで延設されているのが好ましい。
【００１５】
この構成において、ポンプ（４７）は駆動時に主にモーター（６１）で発熱する。このポンプ（４７）の冷媒流路はケーシングと接した状態でケーシングの上端部まで延設されているので、冷媒が冷媒流路を通じてケーシングの上端部、すなわちモーター（６１）の近傍まで流れることになる。したがって、本構成によれば、モーター（６１）の熱が冷媒に効率よく伝わるので、冷媒の設定温度の変更時間がより短縮される。
【００１６】
本発明の冷凍装置は、圧縮機（２３）と凝縮器（２５）と減圧機構（２７）と蒸発器（２９）とを有する冷凍回路（２１）と、上記のいずれかに記載の冷媒回路（３１）と、を備え、前記冷媒回路を流れる前記冷媒が前記蒸発器（２９）において熱交換されるものである。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように、本発明によれば、冷媒の設定温度を上げるときにモーターを駆動させる周波数を上げ、冷媒の設定温度を下げるときにモーターを駆動させる周波数を下げる制御手段を備えているので、ヒーターの容量を大きくするなどの手段を用いることなく冷媒の設定温度を上げるのに要する時間を短縮することができ、また、冷凍装置の冷凍能力を大きくすることなく冷媒の設定温度を下げるのに要する時間を短縮することができる。これにより、装置を大型化させることなく、製造ラインの生産効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかる冷凍装置を示す構成図である。
【図２】ポンプの一例を示す一部破断側面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態にかかる冷凍装置を示す構成図である。
【図４】本発明の第３の実施形態にかかる冷凍装置を示す構成図である。
【図５】本発明の第４の実施形態にかかる冷凍装置を示す構成図である。
【図６】ポンプの他の例を示す一部破断側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００２０】
＜第１の実施形態＞
図１に示すように、第１の実施形態にかかる冷凍装置１１は、第１の冷媒が循環する冷凍回路２１と第２の冷媒（ブライン）が循環する冷媒回路３１とを備え、温度調節されたブラインを冷却対象に供給してこの冷却対象の温度調節を行うものである。本実施形態では、冷却対象が半導体製造装置である場合を例に挙げて説明する。
【００２１】
冷凍回路２１は、圧縮機２３と凝縮器２５と膨張弁２７と蒸発器２９とを有し、これらがこの順に配管により接続されている。第１の冷媒はこの冷凍回路２１内において相変化しながら循環する。
【００２２】
蒸発器２９は、冷凍回路２１を循環する第１の冷媒が流れる流路と、冷媒回路３１を循環するブラインが流れる流路とが区画されており、第１の冷媒とブラインとの間で熱交換する熱交換器である。
【００２３】
冷媒回路３１は、タンク３３と、このタンク３３から冷却対象へ冷媒を送る上流側通路３２と冷却対象からタンク３３へ冷媒を送る下流側通路３４とを含む配管と、後述するポンプ４７を制御する制御部４４とを備えている。
【００２４】
下流側通路３４は、冷却対象から蒸発器２９へ冷媒を送る第１の下流側通路３４ａと蒸発器２９からタンク３３へ冷媒を送る第２の下流側通路３４ｂとからなる。上流側通路３２には、この通路３２を流れるブラインの流量を測定する流量計４２が設けられている。
【００２５】
タンク３３は、ブラインが貯留されたタンク本体４１と、このタンク本体４１内にブラインを供給する供給配管４３と、タンク本体４１内のブラインの温度を調節するヒーター４５と、タンク本体４１内のブラインを吸い込み、このブラインをタンク本体４１の外部に送り出して蒸発器２９に送液するポンプ４７とを備えている。
【００２６】
図２に示すように、ポンプ４７は、モーター６１と、このモーター６１から下方に延設されたケーシング６７と、このケーシング６７の内部に収容されたシャフト６３および図略の羽根車とを備えている。シャフト６３はモーター６１に接続されている。羽根車はシャフト６３の下端側に支持されている。モーター６１の駆動によりシャフト６３および羽根車が回転する。制御部４４は、モーター６１を駆動させる周波数を変化させるための図略のインバータを備えている。
【００２７】
ケーシング６７は、シャフト６３の下端側と羽根車を収容する羽根車収容部６７１と、この羽根車収容部６７１とモーター６１との間に位置するシャフト６３の上端側を収容するシャフト収容部６７２とからなる。
【００２８】
羽根車収容部６７１は、タンク本体４１内のブライン中に浸漬されている。この羽根車収容部６７１の下面には、タンク本体４１内のブラインを羽根車収容部６７１内に吸い込む図略の流入口が設けられている。羽根車収容部６７１の上端部には開口６６が設けられており、この開口６６からシャフト収容部６７２に沿って冷媒流路６９が上方に延設されている。冷媒流路６９は、モーター６１の下端部とケーシング６７の上端部の境界付近までシャフト収容部６７２と隣接した状態で上方に延び、その境界付近で側方に曲がり、外部に突出した先端部７１が設けられている。先端部７１は、図略の管状継手を介して上流側通路３２に接続されている。羽根車収容部６７１の流入口から羽根車収容部６７１内に吸い込まれたブラインは、羽根車の回転により羽根車収容部６７１内を上昇し、冷媒流路６９を通じてさらに上昇して先端部７１から吐出される。
【００２９】
次に、冷凍装置１１におけるブラインの設定温度変更時の流れについて説明する。冷媒装置１１では、冷却対象の温度調節を行う通常運転時にはブラインを一定または所定の範囲内の流量で循環させる。したがって、この通常運転時には制御部４４はポンプ４７のモーター６１を駆動させる周波数（モーター６１の回転数）を一定または所定の範囲内に制御している。
【００３０】
通常運転が一旦終了し、冷媒の設定温度が高い方に変更される場合には、制御部４４は、モーター６１を駆動させる周波数を通常運転時よりも高く設定する。この設定温度変更時には、タンク３３のヒーター４５も使用される。これにより、ブラインは、冷媒回路３１を循環する間に、タンク本体４１内でヒーター４５により加熱されるとともに、ポンプ４７の内部を通る際にポンプ４７から熱を受け取り、温度が上昇する。通常運転時と同じ周波数でポンプ４７を駆動させて設定温度を変更した場合と比べてブラインの受け取る熱量は増大しているので、設定温度変更に要する時間が短縮される。
【００３１】
また、冷媒の設定温度が低い方に変更される場合には、制御部４４は、モーター６１を駆動させる周波数を通常運転時よりも低く設定する。この設定温度変更時には、タンク３３のヒーター４５は使用されない。ブラインは、冷媒回路３１を循環する間に、冷凍回路２１の蒸発器２９により冷却されて温度が降下する。ブラインは、ポンプ４７の内部を通る際にポンプ４７から熱を受け取るが、モーター６１を駆動させる周波数が通常運転時よりも低く設定されているので、通常運転時と同じ周波数でポンプ４７を駆動させて設定温度を変更した場合と比べて受け取る熱量は低減している。これにより、設定温度変更に要する時間が短縮される。
【００３２】
ブラインの設定温度変更中、モーター６１を駆動させる周波数は、通常運転時よりも高いある一定の値または通常運転時よりも低いある一定の値に設定したままでもよく、通常運転時よりも高い所定の範囲内または通常運転時よりも低い所定の範囲内で変動させてもよい。また、モーターを駆動させる周波数を上げる度合いまたは下げる度合いは、ポンプ４７の性能、ブラインの総量、冷媒回路３１の配管径などに応じて適宜設定すればよく、特に限定されるものではない。
【００３３】
ブラインが変更後の設定温度に達すると、制御部４４は、ポンプ４７を一旦停止するか、または次の通常運転の設定流速でブラインが循環するようにモーター６１を駆動させる周波数を所定値まで下げて通常運転を開始する。
【００３４】
以上説明したように、本実施形態の冷凍装置１１では、ブラインの設定温度を上げるときにモーター６１を駆動させる周波数を上げ、ブラインの設定温度を下げるときにモーター６１を駆動させる周波数を下げる制御部４４を備えている。これにより、ブラインの設定温度を上げるときにモーター６１の駆動周波数を上げてポンプ４７の発熱量を増加させることによってブラインに伝わる熱量も増加させることができる。一方、ブラインの設定温度を下げるときにはモーター６１の駆動周波数を下げてポンプ４７の発熱量を減らすことによってブラインに伝わる熱量も減少させることができる。これにより、ヒーター４５の容量を大きくするなどの手段を用いることなくブラインの設定温度を上げるのに要する時間を短縮することができ、また、冷凍装置の冷凍能力を大きくすることなく冷媒の設定温度を下げるのに要する時間を短縮することができる。
【００３５】
また、本実施形態の冷凍装置１１では、ポンプ４７は、モーター６１の駆動に伴う羽根車の回転によりブラインが吸い上げられる冷媒流路６９が、ケーシング６７と接した状態でケーシング６７の上端部まで延設されているので、ブラインが冷媒流路６９を通じてケーシング６７の上端部、すなわちモーター６１の近傍まで流れることになる。したがって、モーター６１の熱がブラインに効率よく伝わるので、ブラインの設定温度の変更時間がより短縮される。
【００３６】
＜第２の実施形態＞
図３に示すように、第２の実施形態にかかる冷凍装置１１は、冷媒回路３１の配管が上流側通路３２と第１の下流側通路３４ａとをつないで冷却対象をバイパスするバイパス通路３６をさらに含み、バイパス通路３６に電磁弁７３および定流量弁７４が設けられている点が第１の実施形態と異なっている。その他の構成は、第１の実施形態と同様であるので、同じ符号を付して説明を省略する。
【００３７】
本実施形態の冷凍装置１１では、冷却対象をバイパスするバイパス通路３６が設けられているので、ブラインの設定温度変更時にブラインの一部をバイパス通路３６を通じて循環させることができる。これにより、冷却対象へ流れるブラインの量を減少させることができるので、設定温度変更時にブラインが冷却対象との間で熱交換するのを抑制または防止できる。また、ブラインの一部または全部をバイパス通路３６を通じて循環させることにより、ブラインが循環する経路長（配管長）を短くすることができるので、ブラインが配管を流れる際の放熱量または吸熱量を低減させることができる。したがって、本実施形態によれば、ブラインの設定温度変更に要する時間を第１の実施形態よりもさらに短縮することができる。
【００３８】
また、バイパス通路３６に電磁弁および定流量弁が設けられているので、バイパス通路３６を通じて流すブラインの量をほぼ一定に保つことができるとともに、バイパス通路３６の開閉を手動ではなく自動で制御できる。これにより、ブラインの設定温度の変更を精度よく管理することができる。
【００３９】
＜第３の実施形態＞
図４に示すように、第３の実施形態にかかる冷凍装置１１は、冷媒回路３１の配管が上流側通路３２と第１の下流側通路３４ａとをつないで冷却対象をバイパスするバイパス通路３６をさらに含み、バイパス通路３６に電動二方弁７５が設けられている点が第１の実施形態と異なっている。その他の構成は、第１の実施形態と同様であるので、同じ符号を付して説明を省略する。
【００４０】
本実施形態では、バイパス通路３６に電動二方弁７５が設けられているので、弁の開度を微調整することができる。これにより、バイパス通路３６を通じて流すブラインの量を任意の量に精度よく調節することができるとともに、バイパス通路３６の開閉を手動ではなく自動で制御できる。したがって、ブラインの設定温度の変更を第２の実施形態と比べてより精度よく管理することができる。
【００４１】
＜第４の実施形態＞
図５に示すように、第４の実施形態にかかる冷凍装置１１は、冷媒回路３１の配管が上流側通路３２と第１の下流側通路３４ａとをつないで冷却対象をバイパスするバイパス通路３６をさらに含み、上流側流路３２とバイパス通路３６との分岐部に電動三方弁７６が設けられている点が第１の実施形態と異なっている。その他の構成は、第１の実施形態と同様であるので、同じ符号を付して説明を省略する。
【００４２】
本実施形態では、上流側通路３４とバイパス通路３６との分岐部に電動三方弁７６が設けられているので、ブラインを分岐部においてバイパス通路に流す割合と冷却対象へ流す割合を精度よく微調整することができる。これにより、ブラインの設定温度の変更をさらに精度よく管理することができる。また、冷却対象へのブラインの送液量を精度よく調節できることによって、冷却対象の温度調節を行いながら、ブラインの設定温度の変更を並行して行うことも可能になる。
【００４３】
＜その他の実施形態＞
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更、改良等が可能である。例えば、上記実施形態では、バイパス通路３６を上流側通路３２と第１の下流側通路３４ａとをつなぐ場合を例に挙げて説明したが、上記バイパス通路３６に加えてまたは上記バイパス通路３６に代えて、上流側通路３２と第２の下流側通路３４ｂとをつなぐバイパス経路を設けてもよい。このバイパス経路、上流側通路３２、第２の下流側通路３４ｂおよびタンク３３により構成される回路内においてブラインの一部または全部を循環させることにより、ブラインが循環する経路長をさらに短くすることができるので、ブラインの設定温度を上げるのに要する時間を一段と短縮することができる。
【００４４】
また、上記実施形態では、ポンプとして図２に示すようなモーターの駆動に伴って冷媒が吸い上げられる冷媒流路がケーシングと接した状態でケーシングの上端部まで延設された浸漬ポンプを用いた場合を例に挙げて説明したが、ポンプとしては、例えば図６に示すように、冷媒を吸い上げて上方に向かって冷媒を送る吐出配管（冷媒流路）６９がケーシング６７から離れて配置された浸漬ポンプ４７を用いることもできる。この吐出配管６９は、その基端部６９ａが流出口（開口）６６につながり、ケーシング６７から外部に延設されている。吐出配管６９の先端部６９ｂはフランジ部４７ｃよりも上方に配置されている。
【００４５】
図６のような浸漬ポンプ４７であっても、タンク本体４１内においてはブラインに浸漬されているので、モーター６１を駆動させる周波数を通常運転時よりも高く設定すると、モーター６１における発熱量が増加し、その熱がケーシング６７を介してタンク本体４１内のブラインにも伝わる。これにより、通常運転時と同じ周波数でポンプ４７を駆動させて設定温度を上げる場合と比べてブラインの受け取る熱量は増加するので、設定温度変更に要する時間が短縮される。同様に、設定温度を下げる場合には、モーター６１を駆動させる周波数を通常運転時よりも低く設定することにより、通常運転時と同じ周波数でポンプ４７を駆動させて設定温度を下げる場合と比べてタンク本体４１内のブラインの受け取る熱量が減少するので、設定温度変更に要する時間が短縮される。
【００４６】
上記実施形態では、冷媒回路のポンプとして浸漬ポンプを用いた場合を例に挙げて説明したが、例えばキャンドポンプなどの他の形態のポンプを用いることもできる。
【００４７】
上記実施形態では、ポンプが蒸発器よりも下流側に配置されている場合を例に挙げて説明したが、ポンプは蒸発器よりも上流側に配置されていてもよい。
【００４８】
上記実施形態では、冷却対象が半導体製造装置である場合を例に挙げて説明したが、冷却対象は半導体製造装置に限定されるものではなく、種々の冷却対象の温度調節に適用可能である 。
【００４９】
上記実施形態では、冷凍回路が基本的な構成からなる場合を例に挙げて説明したが、本発明における冷凍回路は上記実施形態に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００５０】
１１  冷凍装置
２１  冷凍回路
２３  圧縮機
２５  凝縮器
２７  膨張弁
２９  蒸発器
３１  冷媒回路
３２  上流側通路
３３  タンク
３４  下流側通路
３６  バイパス通路
４４  制御部
４７  ポンプ
７３  電磁弁
７４  定流量弁
７５  電動二方弁
７６  電動三方弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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