(57)【要約】      （修正有）【課題】圧電素子及びこれを接合する固定部材を含む圧電素子ユニットの剛性を十分確保し得る液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル開口１３Ａ，１３Ｂに連通するように、流路形成基板にそれぞれ並設された第１及び第２の圧力発生室列と、振動板を介してその容積を変化させる第１及び第２の圧電素子１６Ａ，１６Ｂと、第１及び第２の圧力発生室列とは反対側に配設されて圧電素子の一部が接合されている共通の固定部材３３と、圧電素子を駆動する駆動信号が外部から供給される信号線フィルム３５とを備え、圧電素子は第１及び第２の圧力発生室列に対応させて櫛歯状に切り分けて固定部材３３に接合するとともに、固定部材の振動板側の端面には圧電素子の振動板側の端面の位置を規制する脚部４１を固着した。【選択図】図４
2010173125.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口に連通するよう列を形成して流路形成基板にそれぞれ並設された第１及び第２の圧力発生室列と、前記流路形成基板に形成された振動板を介して前記第１及び第２の圧力発生室列の容積をそれぞれ変化させる第１及び第２の圧電素子と、前記第１及び第２の圧電素子の前記第１及び第２の圧力発生室列とは反対側に配設されて前記第１及び第２の圧電素子の一部が接合されている共通の固定部材と、前記第１及び第２の圧電素子を駆動する駆動信号が外部から供給されるよう前記第１及び第２の圧電素子に接続されている配線基板とを備え、
前記第１及び第２の圧電素子は前記第１及び第２の圧力発生室列に対応させて櫛歯状に切り分けて前記固定部材に接合するとともに、前記固定部材の前記振動板側の端面には前記第１及び第２の圧電素子の前記振動板側の端面の位置を規制する脚部を固着したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記脚部は前記固定部材に接着剤により固着されるとともに、前記接着剤の厚みによりその前記振動板側の端面の位置を調整したものであることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記脚部はその固定部材側の端面にその長手方向に伸びる凹溝を有し、この凹溝に接着剤を流し込むことにより接着したものであることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記配線基板は、前記第１及び第２の圧電素子を駆動する駆動信号が外部から供給される入力端子と前記第１及び第２の圧電素子に前記駆動信号を供給する出力端子とが形成された可撓性を有する信号線フィルムで構成され、前記固定部材の一方の側面で前記入力端子と前記第１の圧電素子に前記駆動信号を供給する出力端子を有する第１の配線部と、この第１の配線部から前記固定部材の他方の側面に回り込んで前記第２の圧電素子に前記駆動信号を供給する出力端子を有する第２の配線部とを備えたものであることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に縦振動型の圧電素子の駆動により液体を噴射する方式のものに適用して有用なものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、圧電素子の変位による圧力を利用してノズル開口からインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。その一種としてノズル開口に連通するよう列方向に並べて流路形成基板に圧力発生室を形成し、各圧力発生室に対向する領域に振動板を介して圧電素子（圧電振動子）を縦方向に設け、この圧電素子に電圧を印加することによる縦振動を利用して圧力発生室内を膨張・収縮させてノズル開口からインク滴を吐出させるものがある（例えば、特許文献１参照）。このようなインクジェット式記録ヘッドの圧電素子は、固定部材（支持基板）を介してヘッドケース（基台）の収容部内に収容され、通常ＦＰＣ等で形成されている回路基板を介してヘッドケース上に設けられる配線基板（上方閉鎖板）の導電パッドと電気的に接続されている。
【０００３】
かかる縦振動を利用したインクジェット式記録ヘッドとしては、一体となった多数の圧電素子を固定部材の側面に固定して一個の圧電素子ユニットを形成し、この圧電素子ユニットを２個一組としてヘッドホルダの収容部に収容するとともにその側面に配設したものも提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
ここで、この種のインクジェット式記録ヘッドのさらなる小形化を実現する場合、固定部材の両側面に直接圧電素子を接合して相対向する列間でのノズル開口の間隔を縮小した圧電素子ユニットを形成し、これを流路形成基板上に配設するものが考えられる。ただ、この場合には、圧電素子を圧力発生室に対応させて櫛歯状に切り分ける際に固定部材も切り分けられてしまう等の構造的な問題に起因して十分な強度を確保することができないという問題を生起する。なお、圧電素子とこれを固着する固定部材とを同時に切り分ける構造を開示する公知文献として特許文献３が存在する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−７４７４０号公報
【特許文献２】特開２０００−２１８７７４号公報（第３頁、第４、７図）
【特許文献３】特開２００４−１４２４３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述の如く従来においては縦振動方式のインクジェット式記録ヘッドのさらなる小形化を実現する場合には圧電素子及びこれを接合する固定部材を含む圧電素子ユニットの剛性を十分確保し得る構造とする必要がある。
【０００７】
なお、このような必要性はインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００８】
本発明は、上述の如き従来技術に鑑み、圧電素子及びこれを接合する固定部材を含む圧電素子ユニットの剛性を十分確保し得る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通するよう列を形成して流路形成基板にそれぞれ並設された第１及び第２の圧力発生室列と、前記流路形成基板に形成された振動板を介して前記第１及び第２の圧力発生室列の容積をそれぞれ変化させる第１及び第２の圧電素子と、前記第１及び第２の圧電素子の前記第１及び第２の圧力発生室列とは反対側に配設されて前記第１及び第２の圧電素子の一部が接合されている共通の固定部材と、前記第１及び第２の圧電素子を駆動する駆動信号が外部から供給されるよう前記第１及び第２の圧電素子に接続されている配線基板とを備え、前記第１及び第２の圧電素子は前記第１及び第２の圧力発生室列に対応させて櫛歯状に切り分けて前記固定部材に接合するとともに、前記固定部材の前記振動板側の端面には前記第１及び第２の圧電素子の前記振動板側の端面の位置を規制する脚部を固着したことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
本態様によれば、一枚の固定部材に２列分の圧電素子を接合することができるので、その分相対向するノズル開口の間隔を小さくすることができ、装置の小形化とともに印刷密度の向上に資することができるばかりでなく、圧電素子に合わせて脚部を切り分ける必要がない。この結果、脚部の剛性を十分高いものとすることができ、第１及び第２の圧電素子で固定部材を共用しても当該部分の十分な機械的強度を確保することもできる。
【００１０】
ここで、前記脚部は前記固定部材に接着剤により固着されるとともに、前記接着剤の厚みによりその前記振動板側の端面の位置を調整されるものであることが望ましい。脚部の高さ位置を圧電素子の流路基板側の端面位置に合わせて容易に調整することができるからである。
【００１１】
また、前記脚部はその固定部材側の端面にその長手方向に伸びる凹溝を有し、この凹溝に接着剤を流し込むことにより接着したものであることが望ましい。接着剤を凹溝に沿って導くことにより圧電素子側への流れ出しを防止し、圧電素子に接着剤が付着することによるその振動特性に対する影響を未然に防止することができるからである。
【００１２】
さらに、前記配線基板は、前記第１及び第２の圧電素子を駆動する駆動信号が外部から供給される入力端子と前記第１及び第２の圧電素子に前記駆動信号を供給する出力端子とが形成された可撓性を有する信号線フィルムで構成され、前記固定部材の一方の側面で前記入力端子と前記第１の圧電素子に前記駆動信号を供給する出力端子を有する第１の配線部と、この第１の配線部から前記固定部材の他方の側面に回り込んで前記第２の圧電素子に前記駆動信号を供給する出力端子を有する第２の配線部とを備えたものであることが望ましい。一枚の信号線フィルムを２列の圧電素子で共用できるので、その分部品点数を減らすことができるからである。
【００１３】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
本態様によれば、液体噴射装置としても小形化が実現され、また部品点数の削減もはかることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施形態に係る記録ヘッドの概略断面図である。
【図２】図１の要部断面図である。
【図３】圧電素子ユニットの一つを抽出して示す概略斜視図である。
【図４】圧電素子ユニットの製造過程を示す説明図である。
【図５】実施形態に係る製造方法における組立工程を示す概略断面図である。
【図６】実施形態に係る記録装置の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づき詳細に説明する。
図１は本発明の実施の形態に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドを示す概略断面図であり、図２はその要部断面図である。
【００１６】
両図に示すように、本形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、インク滴を噴射するノズル開口１３Ａ，１３Ｂにそれぞれ連通する２列の圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂを有している。ここで、圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂは流路形成基板１２に、図１及び図２の紙面に直角な方向にそれぞれ複数並設されて第１及び第２の圧力発生室列を形成している。
【００１７】
さらに詳言すると、流路形成基板１２には、その一方面側の表層部分に、圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂが隔壁によって区画されてその幅方向（図１及び図２の紙面と直角方向）でそれぞれ複数並設されており、第１及び第２の圧力発生室列の外側には、各圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂにインクを供給するための共通のインク室（液室）となるリザーバー２１Ａ，２１Ｂが、流路形成基板１２を厚さ方向に貫通して設けられている。そして、各圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂとリザーバー２１Ａ，２１Ｂとは、インク供給路２２Ａ，２２Ｂを介して連通している。インク供給路２２Ａ，２２Ｂは、本実施形態では、圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂよりも狭い幅で形成されており、リザーバー２１Ａ，２１Ｂから圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂに流入するインクの流路抵抗を一定に保持する役割を果たしている。さらに、圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂのリザーバー２１Ａ，２１Ｂとは反対の端部側には、流路形成基板１２を貫通するノズル連通孔２３Ａ，２３Ｂが形成されている。このような流路形成基板１２は、例えばシリコン単結晶基板で好適に形成することができ、流路形成基板１２に設けられる圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂ等は、流路形成基板１２をエッチングすることによって好適に形成することができる。
【００１８】
流路形成基板１２の一方面側にはノズル開口１３Ａ，１３Ｂが穿設されたノズルプレート１４が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着され、各ノズル開口１３Ａ，１３Ｂは、流路形成基板１２に設けられたノズル連通孔２３Ａ，２３Ｂを介して各圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂと連通している。また、流路形成基板１２の他方面側、すなわち圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂの開口面側には振動板１５が接合されて、各圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂはこの振動板１５によって封止されている。
【００１９】
振動板１５は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜２４と、この弾性膜２４を支持する、例えば、金属材料等からなる支持板２５との複合板で形成されており、弾性膜２４側が流路形成基板１２に接合されている。ここで、弾性膜２４は、厚さが数μｍ程度のＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルムからなり、支持板２５は、厚さが数十μｍ程度のステンレス鋼板（ＳＵＳ）からなる。また、振動板１５の各圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂに対向する領域内には、圧電素子１６Ａ，１６Ｂの先端部が当接する島部２６Ａ，２６Ｂが設けられている。すなわち、振動板１５の各圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂの周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部２７が形成されて、この薄肉部２７の内側にそれぞれ島部２６Ａ，２６Ｂが設けられている。また、本形態では、振動板１５のリザーバー２１Ａ，２１Ｂに対向する領域に、薄肉部２７と同様に、支持板２５がエッチングにより除去されて実質的に弾性膜２４のみで構成されるコンプライアンス部２８Ａ，２８Ｂが設けられている。なお、このコンプライアンス部２８Ａ，２８Ｂは、リザーバー２１Ａ，２１Ｂ内の圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部２８Ａ，２８Ｂの弾性膜２４が変形することによって圧力変化を吸収し、リザーバー２１Ａ，２１Ｂ内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。
【００２０】
振動板１５を介して第１及び第２の圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂの容積をそれぞれ変化させる第１及び第２の圧電素子１６Ａ，１６Ｂは、共通の固定部材３３の圧力発生室１１が形成されている面と直交する面となる両側面にそれぞれの基端部が接合されており、固定部材３３とともに圧電素子ユニット１７を形成している。ここで、圧電素子１６Ａは固定部材３３の図１中左側の側面に、紙面に直角な方向に亘って接合されており、圧電素子１６Ｂは固定部材３３の図１中右側の側面に紙面に直角な方向に亘って接合されている。また、図示はしないが、固定部材３３の圧力発生室１１が形成されている側に向いた面に圧電素子１６Ａ、１６Ｂを接合しても良い。この場合、固定部材３３の厚みを厚くすること、また、圧電素子１６Ａの第１の配線部３５Ａと接合する面と圧電素子１６Ｂの第２の配線部３５Ｂと接合する面とが、固定部材３３の上記側面よりも流路形成基板１２の面方向側に突出している。この構成により、各配線部３５Ａ、３５Ｂと各圧電素子１６Ａ，１６Ｂとが接合しやすいという効果を奏する。ここで、固定部材３３は、例えばＳＵＳで好適に形成し得るが、これに限るものではない。また、固定部材３３は１枚の板状部材に限るものでもなく、複数枚の板状部材を積層したものでも良い。このように、積層板で固定部材３３を形成した場合のその両側面とは各積層板の両側面ではなく、積層して一体となった固定部材３３自体の両側面を意味する。
【００２１】
ここで、圧電素子１６Ａは、圧電材料と電極形成材料とを交互にサンドイッチ状に挟んで積層した圧電素子形成部材を形成し、この圧電素子形成部材を各圧力発生室１１に対応させて櫛歯状に切り分けることによって形成されている。圧電素子１６Ｂも、同様に形成した圧電素子形成部材を各圧力発生室１１に対応させて櫛歯状に切り分けることによって形成されている。すなわち、本形態では、各圧電素子１６Ａ，１６Ｂにおける複数の圧電素子がそれぞれ一体的に形成されている。そして、圧電素子１６Ａ，１６Ｂの基端部側が固定部材３３に固着されている。そして、各圧電素子１６Ａ，１６Ｂの基端部側とは反対側の先端部側が振動板１５の島部２６Ａ，２６Ｂに当接した状態で固定されている。
【００２２】
さらに、圧電素子１６Ａ，１６Ｂの基端部近傍には、固定部材３３とは反対側の面に、各圧電素子１６Ａ，１６Ｂを駆動するための信号を供給する配線を有する信号線フィルム３５が接続されている。
【００２３】
本形態においては共通の固定部材３３の両側に２列の圧電素子１６Ａ，１６Ｂを相対向させて配設することにより一つの圧電素子ユニット１７を形成したので、圧電素子１６Ａ，１６Ｂに駆動信号を供給するための信号線フィルム３５は、固定部材３３の一方の側面（図２の左側面）で第１の圧電素子１６Ａに駆動信号を供給するための出力端子を有する第１の配線部３５Ａと、この第１の配線部３５Ａから固定部材３３の他方の側面（図２の右側面）に回り込んで第２の圧電素子１６Ｂに駆動信号を供給するための出力端子を有する第２の配線部３５Ｂとを備えている。この部分に関する説明は後に詳述する。
【００２４】
本形態では４個の圧電素子ユニット１７を有する場合を示しているが、各圧電素子ユニット１７は振動板１５上に固定されているヘッドケース１９が有する４個の収容部１８にそれぞれ収容してある。すなわち、本形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、圧電素子１６Ａ，１６Ｂを有する圧電素子ユニット１７が合計４個設けられている。これに対応させてノズル開口１３Ａ，１３Ｂの列が設けられているため、８列のノズル開口１３Ａ，１３Ｂが設けられている。
【００２５】
また、ヘッドケース１９上には、信号線フィルム３５の第１及び第２の配線部３５Ａ，３５Ｂの各配線の入力端子がそれぞれ接続される複数の導電パッドが設けられた配線基板３７が固定されており、ヘッドケース１９の収容部１８は、この配線基板３７によって実質的に塞がれている。すなわち、配線基板３７には、ヘッドケース１９の収容部１８に対向する領域にスリット状の開口部３８が形成されており、信号線フィルム３５は配線基板３７の開口部３８から収容部１８の外側に引き出されている。
【００２６】
なお、配線基板３７の開口部３８は、各収容部１８に対して１つ、すなわち、本形態では、４つ設けられており、１つの収容部１８に設けられた各圧電素子ユニット１７に対して１つの信号線フィルム３５が１つの開口部３８から引き出されている。
【００２７】
ここで、信号線フィルム３５は、本形態では、圧電素子１６Ａ，１６Ｂを駆動するための駆動ＩＣ（図示なし）が搭載されたフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）、例えば、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）やチップオンフィルム（ＣＯＦ）等、可撓性を有する部材からなる。そして、信号線フィルム３５の各配線は、その基端部側では、例えば、半田、異方性導電材等によって圧電素子１６Ａ，１６Ｂを構成する電極形成材料に接続されている。一方、先端部側では、各配線は配線基板３７の各導電パッドに接合されている。具体的には、配線基板３７の開口部３８から収容部１８の外側に引き出された信号線フィルム３５の先端部が配線基板３７の表面に沿って折り曲げられた状態で、各配線が配線基板３７の各導電パッドに接合されている。すなわち、信号線フィルム３５は、配線基板３７の開口部３８で約９０度に折り曲げられて配線基板３７の表面に設けられた導電パッドに接合されている。
【００２８】
図３は本形態における圧電素子ユニット１７の一つを信号線フィルム３５に接続した状態で示す図で、（ａ）が一方の側から見た概略斜視図、（ｂ）が他方の側から見た概略斜視図である。同図に明示するように、信号線フィルム３５は圧電素子１６Ａ，１６Ｂを駆動する駆動信号が配線基板３７を介して供給される入力端子と、圧電素子１６Ａ，１６Ｂに前記駆動信号を供給する出力端子とを有する可撓性を有する部材で形成してあり、一箇所の配線３４を介して配線基板３７に電気的に接続されて駆動信号が供給され、この駆動信号を圧電素子１６Ａとともに圧電素子１６Ｂにも供給し得るように構成してある。このため、第１の配線部３５Ａと第２の配線部３５Ｂとを備えたものとなっている。ここで第１の配線部３５Ａは、固定部材３３の一方の側面側（図３（ａ）の右側面側）で配線基板３７に接続される入力端子を有するとともに圧電素子１６Ａに駆動信号を供給する出力端子を有している。また第２の配線部３５Ｂは、第１の配線部３５Ａから固定部材３３の他方の側面（図３（ａ）の左側面）に回り込んで圧電素子１６Ｂに駆動信号を供給する出力端子を有している。すなわち、第１の配線部３５Ａと第２の配線部３５Ｂとが固定部材３３の一方の端面で回り込む連結部３５Ｃを介して一枚の回路基板として機能するように構成してある。また、圧電素子１６Ａ，１６Ｂを選択的に駆動させる駆動ＩＣ４２は第１の配線部３５Ａのみに搭載されているが、この１個で圧電素子１６Ａのみならず圧電素子１６Ｂも駆動する。
【００２９】
ここで、固定部材３３の圧力発生室１１が形成されている側に向いた下端面には脚部４１の上端面が固着してあり、当該圧電素子ユニット１７を流路形成基板１２に一体化する際に振動板１５に当接して圧電素子１６Ａ，１６Ｂの先端位置を所定の位置に規制する。すなわち、脚部４１の下端面は圧電素子１６Ａ，１６Ｂの先端面と同一面となるように形成してある。このことにより圧電素子ユニット１７としての全体的な剛性の向上を図り得るばかりでなく、圧電素子１６Ａ，１６Ｂの図中上下方向の移動に起因する反力を流路形成基板１２で支持させることができる。また、脚部４１の左右両端面は圧電素子１６Ａ，１６Ｂの左右両端面と面一になるように形成してある。
【００３０】
図４は本形態における圧電素子ユニット１７の一つを抽出して示す図で、（ａ）はその概略斜視図、（ｂ）は圧電素子１６Ａ，１６Ｂを切り分ける際の態様で示す概略横断面図、（ｃ）は脚部の左右両側で列をなすノズル開口の配設態様を概念的に示す説明図、（ｄ）は固定部材に脚部を接着する際の態様で示す概略端面図である。
【００３１】
これらのうち図４（ａ）に示すように、本形態における圧電素子ユニット１７は、固定部材３３、この固定部材３３の左右両側でそれぞれの上部を接合された圧電素子１６Ａ，１６Ｂ、及び圧電素子１６Ａ，１６Ｂの間で固定部材３３の下端面に固着されている脚部４１を有する。ここで、圧電素子１６Ａ，１６Ｂは固定部材３３に接合した状態で圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂに対応させて切り分け、その後脚部４１を固定部材３３に固着して構成されている。さらに詳言すると、図４（ｂ）に示すように、圧電素子１６Ａ，１６Ｂは固定部材３３に接合された状態で斜めの切断線４５Ａ，４５Ｂにより相互に干渉することなく片側ずつ切り分けられる。
【００３２】
このように、圧電素子１６Ａ，１６Ｂを固定部材３３に接合した状態で脚部４１を固定部材３３に固着する前に切り分けて構成されているので、脚部４１が圧電素子１６Ａ，１６Ｂとともに切り分けられることはない。すなわち、脚部４１の剛性は高く維持することができる。したがって、このこととも相俟って圧電素子ユニット１７としての機械的な強度を十分なものとすることができる。また、前述の如く圧電素子１６Ａ，１６Ｂの切り分けを、斜めの切断線４５Ａ，４５Ｂで相互に干渉することなく行うことで、図４（ｃ）に示すように各圧電素子１６Ａ，１６Ｂの位置を列方向にノズル開口１３Ａ，１３Ｂの半ピッチδ分ずらしている。このように半ピッチずらすことは必須ではないが、このことにより小さな間隔で相対向する圧電素子１６Ａ，１６Ｂが千鳥配置されることになるので、印刷密度を実質的に倍にすることができる。
【００３３】
ここで、固定部材３３に対する脚部４１の接着の際には、図４（ｄ）に示すように、脚部４１の上面を固定部材３３の下面に当接させた状態で脚部４１及び圧電素子１６Ａ，１６Ｂの下面を定盤４３に当接させ、この状態で図４（ａ）に示す接着剤注入池３３Ａに接着剤４４を注入する。かくして接着剤４４の注入に伴う毛細管現象により固定部材３３と脚部４１との間、特に脚部４１の上面に長手方向に伸びるように形成した凹溝４１Ａに接着剤４４を回り込ませて両者を接着する。このとき脚部４１の高さは接着剤４４の厚味で微調整する。なお、脚部４１の固定部材３３の幅方向に関する位置は定盤４３に配設した位置決め部材４３Ａ，４３Ｂの間で規制する。
【００３４】
上述の如き手順で形成された圧電素子ユニット１７は図５に示すような工程で組み立てられる。なお、図５において圧電素子１６Ａに接続されている信号線フィルム３５は省略している。先ず、図５（ａ）に示すように、圧電素子１６Ａ，１６Ｂ、固定部材３３及び脚部４１が一体となった圧電素子ユニット１７を流路形成基板１２に対しその所定位置にアライメントする。すなわち、各圧電素子１６Ａ，１６Ｂの先端面が、対応する島部２６Ａ，２６Ｂに正確に当接するように視認しながら圧電素子ユニット１７の流路形成基板１２に対する位置を調整して固定する。その後、図５（ｂ）に示すように、流路形成基板１２に対して固定された圧電素子ユニット１７を収容部１８に収容しつつヘッドケース１９を流路形成基板１２に対して固定する。この際、固定部材３３の端面を介して接着剤４４により圧電素子ユニット１７をヘッドケース１９に固定する。
【００３５】
このようなインクジェット式記録ヘッド１０では、インク滴を吐出する際に、圧電素子１６及び振動板１５の変形によって各圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂの容積を変化させて所定のノズル開口１３Ａ，１３Ｂからインク滴を吐出させる。具体的には、図示しないインクカートリッジからリザーバー２１Ａ，２１Ｂにインクが供給されると、インク供給路２２Ａ，２２Ｂを介して各圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂにインクが分配される。この際信号線フィルム３５の第１及び第２の配線部３５Ａ，３５Ｂを介して圧電素子１６Ａ，１６Ｂに電圧を印加することによりこれらを選択的に収縮させる。これにより、振動板１５が圧電素子１６Ａ，１６Ｂと共に変形されて圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂの容積が広げられ、圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂ内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口１３Ａ，１３Ｂに至るまで内部にインクを満たした後、配線基板３７を介して供給される駆動信号に従い、圧電素子１６Ａ，１６Ｂの電極形成材料に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電素子１６Ａ，１６Ｂが伸張されて元の状態に戻ると共に振動板１５も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂの容積が収縮して圧力発生室列１１Ａ，１１Ｂ内の圧力が高まりノズル開口１３Ａ，１３Ｂからインク滴が吐出される。
【００３６】
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。固定部材の両側にそれぞれ接合された圧電素子と脚部を有する場合において、脚部が圧電素子と同様に切り分けられることなく一体の部材として機械的強度を受け持ち得るような構成であればそれ以上の特別な制限はない。したがって圧電素子ユニット１７を先に流路基板側にアライメントして固着する場合に限るものではない。圧電素子ユニット１７をヘッドケース１９の収容部１８に収容した後、圧電素子ユニット１７を一体化したヘッドケース１９を流路形成基板１２に固着するようにしても良い。この場合には、図３（ａ）に示すように、連結部３５Ｃの最下部に固定部材３３の下端部を一部露出させることができるよう切欠部３５Ｄを形成しておき、圧電素子ユニット１７のヘッドケース１９に対する位置決め・固定の際には切欠部３５Ｄを介して露出された固定部材３３の端面をヘッドケース１９に当接させれば良い。ただ、先に圧電素子ユニット１７のアライメントを行う方が、圧電素子１６Ａ，１６Ｂの島部２６Ａ，２６Ｂに対する位置を視認しつつそのアライメントを行うことができるので、アライメントの精度は高く維持することができる。
【００３７】
さらに、例えば圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【００３８】
また、上述の如きインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図６は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００３９】
図６に示すインクジェット式記録装置において、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００４０】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００４１】
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００４２】
１０  インクジェット式記録ヘッド、  １１Ａ，１１Ｂ  圧力発生室列、  １２  流路形成基板、  １３Ａ，１３Ｂ  ノズル開口、  １４  ノズルプレート、  １５  振動板、  １６Ａ，１６Ｂ  圧電素子、  １７  圧電素子ユニット、  １８  収容部、  １９  ヘッドケース、  ２６Ａ，２６Ｂ  島部、  ３３  固定部材、  ３４  配線、  ３５  信号線フィルム、  ３５Ａ，３５Ｂ  第１及び第２の配線部、  ３７  配線基板、  ３８  開口部、  ４１  脚部、  ４１Ａ  凹溝、  ４４  接着剤
【図１】
2010173125.tif 000003
【図２】
2010173125.tif 000004
【図３】
2010173125.tif 000005
【図４】
2010173125.tif 000006
【図５】
2010173125.tif 000007
【図６】
2010173125.tif 000008