(57)【要約】      （修正有）【課題】積層型半導体装置における補正位置の誤検出を低減させることができる補正位置検出装置、補正位置検出方法及びボンディング装置を提供する。【解決手段】制御部３０は、本検出を行うに先立ち、低倍率カメラ２３で撮像された画像からパターンＰに対応するパターン候補を検出し、このパターン候補と登録座標との位置関係に基づいて、補正点となる検出点を粗検出する。すなわち、パターン候補の並び順と登録座標の並び順とを比較し、この並び順に適合するパターン候補を検出点として特定する。そして、粗検出により検出された検出点に基づいて、高倍率カメラ２２で撮像された画像から補正点を検出する。これにより、補正点を適切に順序付けることができるため、補正点の誤検出を低減することができる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のパターンが形成された半導体ダイが複数段に積層された積層型半導体装置におけるパターンの補正位置を検出する補正位置検出装置であって、
複数のパターンを撮像可能な低倍率撮像手段により撮像された画像に基づいてパターンの候補であるパターン候補を検出し、このパターン候補同士の位置関係と登録位置同士の位置関係に基づいて補正位置を粗検出する粗検出手段と、
粗検出手段により粗検出された補正位置に基づいて、低倍率撮像手段よりも高倍率な高倍率撮像手段により撮像された画像から補正位置を検出する本検出手段と、
を有することを特徴とする補正位置検出装置。
【請求項２】
粗検出手段は、パターン候補の並び順と登録位置の並び順とに基づいて補正位置を粗検出することを特徴とする請求項１に記載の補正位置検出装置。
【請求項３】
粗検出手段は、積層型半導体装置のズレ方向に沿って補正位置を粗検出することを特徴とする請求項１又は２に記載の補正位置検出装置。
【請求項４】
粗検出手段は、所定のパターンモデルとのマッチング処理により、低倍率撮像手段により撮像された画像からパターン候補を検出することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の補正位置検出装置。
【請求項５】
所定のパターンが形成された半導体ダイが複数段に積層された積層型半導体装置におけるパターンの補正位置を検出する補正位置検出方法であって、
複数のパターンを撮像可能な低倍率撮像装置により撮像された画像に基づいてパターンの候補であるパターン候補を検出し、このパターン候補同士の位置関係と登録位置同士の位置関係に基づいて補正位置を粗検出する粗検出ステップと、
粗検出ステップにより粗検出された補正位置に基づいて、低倍率撮像装置よりも高倍率な高倍率撮像装置により撮像された画像から補正位置を検出する本検出ステップと、
を有することを特徴とする補正位置検出方法。
【請求項６】
所定のパターンが形成された半導体ダイが複数段に積層された積層型半導体装置にボンディングを行うボンディング装置であって、
パターンの補正位置を検出する補正位置検出装置を備え、
補正位置検出装置は、
複数のパターンを撮像可能な低倍率撮像手段により撮像された画像に基づいてパターンの候補であるパターン候補を検出し、このパターン候補同士の位置関係と登録位置同士の位置関係に基づいて補正位置を粗検出する粗検出手段と、
粗検出手段により粗検出された補正位置に基づいて、低倍率撮像手段よりも高倍率な高倍率撮像手段により撮像された画像から補正位置を検出する本検出手段と、
を有することを特徴とするボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の半導体ダイがずれて多段に積層された積層型半導体装置の補正位置を検出する補正位置検出装置、補正位置検出方法及びボンディング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体ダイの四隅には、位置検出用のパターンが印刷されており、このパターンを利用して、ボンディング位置の補正を行っている（例えば、特許文献１参照）。この補正を行うための補正位置検出装置では、事前のティーチング処理により、半導体ダイに印刷されるパターンの位置座標が登録されている。そして、半導体ダイがボンディングテーブルに搬送されると、登録された位置座標に基づいて高倍率カメラで半導体ダイのパターンを撮像し、この撮像したパターンに基づいて、登録された位置情報に対する補正位置を検出している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許２００２−０３３３５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近年、高密度化のために、複数の半導体ダイをずらして多段に積層した積層型半導体装置が考えられてきた。しかしながら、積層型半導体装置は、各半導体ダイの上に別の半導体ダイをボンディングして積層するので、ボンディング時に積層される各半導体ダイが僅かにずれてしまうことがある。
【０００５】
しかしながら、従来の補正位置検出装置では、高倍率カメラを用いた補正位置検出しか行っていないため、隣接するパターンを誤って認識してしまい、補正位置を誤検出するという問題があった。特に、高密度化のために積層される半導体ダイのズレ幅が短くなると、この誤検出は更に顕著となる。
【０００６】
そこで、本発明は、積層型半導体装置における補正位置の誤検出を低減させることができる補正位置検出装置、補正位置検出方法及びボンディング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る補正位置検出装置は、所定のパターンが形成された半導体ダイが複数段に積層された積層型半導体装置におけるパターンの補正位置を検出する補正位置検出装置であって、複数のパターンを撮像可能な低倍率撮像手段により撮像された画像に基づいてパターンの候補であるパターン候補を検出し、このパターン候補同士の位置関係と登録位置同士の位置関係に基づいて補正位置を粗検出する粗検出手段と、粗検出手段により粗検出された補正位置に基づいて、低倍率撮像手段よりも高倍率な高倍率撮像手段により撮像された画像から補正位置を検出する本検出手段と、を有することを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る補正位置検出装置によれば、粗検出手段により、低倍率撮像手段により撮像された画像に基づいてパターン候補を検出するとともに、パターン候補同士の位置関係と登録位置同士の位置関係に基づいて補正位置を粗検出するため、各補正位置を適切に順序付けることができる。そして、粗検出手段により粗検出された補正位置に基づいて、高倍率撮像手段により撮像された画像から補正位置を本検出するため、補正位置の誤検出を低減することができる。
【０００９】
この場合、粗検出手段は、パターン候補の並び順と登録位置の並び順とに基づいて補正位置を粗検出することが好ましい。この補正位置検出装置によれば、パターン候補の並び順と登録位置の並び順とに基づいて補正位置を粗検出するため、補正位置の誤検出を適切に低減することができる。
【００１０】
また、粗検出手段は、積層型半導体装置のズレ方向に沿って補正位置を粗検出することが好ましい。この補正位置検出装置によれば、複数の半導体ダイがずれて多段に積層されているため、積層型半導体装置のズレ方向に沿って補正位置を粗検出することで、隣接するパターンとの位置関係が特定しやすくなり、より高精度に補正位置の並び順を特定することができる。
【００１１】
そして、粗検出手段は、所定のパターンモデルとのマッチング処理により、低倍率撮像手段により撮像された画像からパターン候補を検出することが好ましい。この補正位置検出装置によれば、粗検出では補正位置を高精度に検出する必要が無いため、パターンモデルとのマッチング処理によりパターン候補を検出することで、迅速に粗検出を行うことができる。
【００１２】
本発明に係る補正位置検出方法は、所定のパターンが形成された半導体ダイが複数段に積層された積層型半導体装置におけるパターンの補正位置を検出する補正位置検出方法であって、複数のパターンを撮像可能な低倍率撮像装置により撮像された画像に基づいてパターンの候補であるパターン候補を検出し、このパターン候補同士の位置関係と登録位置同士の位置関係に基づいて補正位置を粗検出する粗検出ステップと、粗検出ステップにより粗検出された補正位置に基づいて、低倍率撮像装置よりも高倍率な高倍率撮像装置により撮像された画像から補正位置を検出する本検出ステップと、を有することを特徴とする。
【００１３】
本発明に係る補正位置検出方法によれば、粗検出ステップにより、低倍率撮像手段により撮像された画像からパターン候補を検出するとともに、パターン候補同士の位置関係と登録位置同士の位置関係に基づいて補正位置を粗検出するため、各補正位置を適切に順序付けることができる。そして、粗検出ステップより粗検出された補正位置に基づいて、高倍率撮像手段により撮像された画像から補正位置を本検出するため、補正位置の誤検出を低減することができる。
【００１４】
本発明に係るボンディング装置は、所定のパターンが形成された半導体ダイが複数段に積層された積層型半導体装置にボンディングを行うボンディング装置であって、パターンの補正位置を検出する補正位置検出装置を備え、補正位置検出装置は、複数のパターンを撮像可能な低倍率撮像手段により撮像された画像に基づいてパターンの候補であるパターン候補を検出し、このパターン候補同士の位置関係と登録位置同士の位置関係に基づいて補正位置を粗検出する粗検出手段と、粗検出手段により粗検出された補正位置に基づいて、低倍率撮像手段よりも高倍率な高倍率撮像手段により撮像された画像から補正位置を検出する本検出手段と、を有することを特徴とする。
【００１５】
本発明に係るボンディング装置によれば、補正位置検出装置において、粗検出手段により、低倍率撮像手段により撮像された画像からパターン候補を検出するとともに、パターン候補同士の位置関係と登録位置同士の位置関係に基づいて補正位置を粗検出するため、各補正位置を適切に順序付けることができる。そして、粗検出手段により粗検出された補正位置に基づいて、高倍率撮像手段により撮像された画像から補正位置を本検出するため、補正位置の誤検出を低減することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、積層型半導体装置における補正位置の誤検出を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態に係るワイヤボンディング装置を示す斜視図である。
【図２】撮像装置の斜視図である。
【図３】撮像装置の光学系の構成を示す図である。
【図４】積層型半導体装置の斜視図である。
【図５】積層型半導体装置の積層状態を示した上面図であり、（ａ）は、設計どおり整列して積層された状態を示し、（ｂ）は、設計に対してずれて積層された状態を示している。
【図６】ワイヤボンディング装置の補正点検出処理を示すフローチャートである。
【図７】粗検出処理を示すフローチャートである。
【図８】低倍率カメラの視野と積層型半導体装置との関係を示した図である。
【図９】低倍率カメラの視野と積層型半導体装置との関係を示した図である。
【図１０】低倍率カメラの視野と積層型半導体装置との関係を示した図である。
【図１１】粗検出の検出例を示す図である。
【図１２】粗検出の検出例を示す図である。
【図１３】粗検出の検出例を示す図である。
【図１４】粗検出の検出例を示す図である。
【図１５】粗検出の検出例を示す図である。
【図１６】粗検出の検出例を示す図である。
【図１７】粗検出の検出例を示す図である。
【図１８】本検出の検出例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照して、本発明に係る補正位置検出装置、補正位置検出方法及びボンディング装置の好適な実施形態について詳細に説明する。以下の説明では、積層型半導体装置の搬送方向をＸ方向、積層型半導体装置の幅方向をＹ方向、高さ方向をＺ方向とする。なお、全図中、同一又は相当部分には同一符号を付すこととする。
【００１９】
図１は、実施形態に係るワイヤボンディング装置を示す斜視図である。図１に示すように、ワイヤボンディング装置１は、ＸＹ方向に移動可能なＸＹテーブル２の上にボンディングヘッド３が取り付けられており、ボンディングヘッド３には、Ｚ方向に移動可能なＺ方向駆動機構４が取り付けられている。Ｚ方向駆動機構４には、超音波ホーン５とクランパ６とが取り付けられており、超音波ホーン５の先端部には、キャピラリ７が取り付けられている。キャピラリ７には、スプール８から供給されるワイヤが挿通されている。そして、ボンディングヘッド３には、カメラ９が固定されている。なお、ＸＹテーブル２及びＺ方向駆動機構４には、図示しないボールねじ機構が取り付けられており、このボールねじ機構においてモータがボールねじを回転駆動することにより、ＸＹテーブル２のＸＹ方向への移動及びＺ方向駆動機構４のＺ方向への移動が可能となっている。なお、ＸＹテーブル２及びＺ方向駆動機構４は、ボールねじを用いたモータ駆動による移動に限定されるものではなく、例えば、リニアモータを用いた駆動により移動してもよい。
【００２０】
また、ボンディングヘッド３のＹ方向前方には、ボンディング対象である積層型半導体装置Ｄをガイドするガイドレール１０ａ，１０ｂが取り付けられており、ガイドレール１０ａ，１０ｂの間にガイドされて搬送されてきた積層型半導体装置Ｄを所定位置で真空吸着するボンディングステージ１１が取り付けられている。
【００２１】
図２は、撮像装置の斜視図である。図２に示すように、カメラ９は、被写体である積層型半導体装置Ｄからの光を導入する導入部２０と、内部にレンズやミラーなどの光学部品を備えて導入部２０に入った光を導く鏡筒２１と、鏡筒２１に取り付けられて鏡筒２１を通ってきた光を受ける撮像素子を備える高倍率カメラ２２及び低倍率カメラ２３とを備えている。
【００２２】
図３は、撮像装置の光学系の構成を示す図である。図３に示すように、カメラ９は、高倍率光路Ｒ１と低倍率光路Ｒ２の２つの光学系を有している。高倍率光路Ｒ１は、被写体である積層型半導体装置Ｄから導入部２０を経由して、ハーフミラー２４と高倍率レンズ２５を経て高倍率カメラ２２の撮像面２６に至る光路となる。低倍率光路Ｒ２は、被写体である積層型半導体装置Ｄから導入部２０を経由してハーフミラー２４で反射されて高倍率光路Ｒ１と分岐した後に、ミラー２７で反射されて、低倍率レンズ２８を経て低倍率カメラ２３の撮像面２９に至る光路となる。
【００２３】
各撮像面２６，２９はＣＣＤやＣＭＯＳ素子などで構成されており、画素毎に検出値を電気信号に変換して出力することができるものである。また、高倍率レンズ２５、低倍率レンズ２８は、それぞれ単一のレンズであってもよく、複数のレンズを組み合わせたレンズ群であってもよい。
【００２４】
図４は、積層型半導体装置の斜視図である。図４に示すように、ボンディングステージ１１に搬送されてワイヤボンディングされる積層型半導体装置Ｄは、同一の半導体ダイｄ１〜ｄ３が３段に積層されて構成されている。各半導体ダイｄ１〜ｄ３の周辺部には、ワイヤボンディングするためのボンディングパッドＢが多数印刷されている。また、各半導体ダイｄ１〜ｄ３の角部には、位置決め用の十字状のパターンＰが印刷されている。そして、各半導体ダイｄ１〜ｄ３は、ボンディングパッドＢ及びパターンＰが露出するように、Ｘ方向又はＹ方向に所定間隔だけずれて積層されている。
【００２５】
図５は、積層型半導体装置の積層状態を示した上面図であり、図５（ａ）は、設計どおり整列して積層された状態を示し、図５（ｂ）は、設計に対してずれて積層された状態を示している。図５に示すように、積層型半導体装置Ｄは３つの半導体ダイｄ１〜ｄ３がＸ方向（図５において右方向）にずれて積層されており、各半導体ダイｄ１〜ｄ３には、同じ位置にパターンＰ及びボンディングパッドＢが印刷されている。そして、各半導体ダイｄ１〜ｄ３に印刷されるパターンＰは、各半導体ダイｄ１〜ｄ３のＹ方向後方側（図５において上方側）に印刷されるパターンＰをパターンＰ１とし、各半導体ダイｄ１〜ｄ３のＹ方向前方側（図５において下方側）に印刷されるパターンＰをパターンＰ２として、パターンＰの印刷位置に対応して１又は２の符号で識別した。また、最下層の半導体ダイｄ１に印刷されるパターンＰをパターンＰ１（１）及びパターンＰ２（１）とし、中間層の半導体ダイｄ２に印刷されるパターンＰをパターンＰ１（２）及びパターンＰ２（２）とし、最上層の半導体ダイｄ３に印刷されるパターンＰをパターンＰ１（３）及びパターンＰ２（３）として、印刷される半導体ダイｄ１〜ｄ３に対応して（１）〜（３）の符号で識別した。そして、上述したように、各半導体ダイｄ１〜ｄ３は同じ位置にパターンＰが印刷されているため、Ｙ方向後方側に印刷されたパターンＰ１（１）〜Ｐ１（３）と、Ｙ方向前方側に印刷されたパターンＰ２（１）〜Ｐ２（３）とは、それぞれ一列状に配置される。このため、パターンＰ１（１）〜Ｐ１（３）及びパターンＰ２（１）〜Ｐ２（３）をそれぞれアライメントと称し、パターンＰ１（１）〜Ｐ１（３）をアライメント１点目とし、パターンＰ２（１）〜Ｐ２（３）をアライメント２点目とする。
【００２６】
ところで、３つの半導体ダイｄ１〜ｄ３が３段に積層される積層型半導体装置Dの場合、図５（ａ）に示すように、各半導体ダイｄ１〜ｄ３が整列された状態に積層するように設計している。そして、各半導体ダイｄ１〜ｄ３に形成されたパターンP１（１），Ｐ２（１）〜Ｐ１（３），Ｐ２（３）の設計上の座標位置を登録点として登録している。しかしながら、実際には、製造過程の誤差などにより、図５（ｂ）に示すように、設計に対して半導体ダイｄ１〜ｄ３がずれた状態で積層される場合がある。このような場合、各半導体ダイｄ１〜ｄ３に形成されたパターンＰ及びボンディングパッドＢが、登録点とは異なる位置にずれてしまう。
【００２７】
そこで、図１に示すように、ワイヤボンディング装置１には、ワイヤボンディング装置１を統括的に制御するとともに、ボンディング位置の補正点（補正位置）を検出する制御部３０が設けられている。制御部３０には、ＸＹテーブル２及びＺ方向駆動機構４を駆動する図示しないモータやカメラ９などと電気的に接続されている。そして、制御部３０は、カメラ９で撮像された画像と登録されたパターンの座標位置とに基づいて、搬送された積層型半導体装置Ｄに印刷されたパターンの位置となる補正点を検出するものである。このため、制御部３０には、カメラ９に撮像制御情報を送信するとともにカメラ９で撮像された画像を取得するカメラＩ／Ｆ３２と、ＸＹテーブル２及びＺ方向駆動機構４を駆動するモータに対して駆動制御情報を送信するモータＩ／Ｆ３３と、メモリ３４と、キーボードなどの入力装置であって作業者からの各種制御情報の入力を受け付ける入力部３５と、モニタなどの表示装置であって制御部３０の各種制御情報を表示する出力部３６と、カメラＩ／Ｆ３２、モータＩ／Ｆ３３、入力部３５などから入力された情報に基づいて各種制御を行うＣＰＵ３１と、が設けられている。
【００２８】
メモリ３４には、ボンディングステージ１１に搬送される積層型半導体装置ＤのパターンＰ及びボンディングパッドＢの登録点が登録されている。なお、この登録点の位置座標は、入力部３５からの入力により適宜変更することが可能である。また、メモリ３４には、制御部３０において、粗検出するための粗検出プログラムと、補正点を検出するための本検出プログラムとが格納されている。
【００２９】
粗検出プログラムは、低倍率カメラ２３で撮像された画像からパターンＰの候補となるパターン候補を検出し、このパターン候補同士の位置関係と登録点同士の位置関係とに基づいて、登録点に対する搬送された積層型半導体装置ＤのパターンＰの検出点を粗検出するためのプログラムである。具体的には、検出されたパターン候補の並び順と登録点の並び順とに基づいて所望の登録点に対応するパターン候補を検出点として特定し、この特定した検出点の位置座標を登録点の補正点として粗検出する。
【００３０】
本検出プログラムは、粗検出された検出点に基づいて、高倍率カメラ２２で撮像された画像から補正点を高精度に検出するためのプログラムである。
【００３１】
そして、制御部３０では、ＣＰＵ３１が、メモリ３４から粗検出プログラム及び本検出プログラムを読み出し、これらのプログラムを図示しないＲＡＭなどに展開して実行させることにより、粗検出及び本検出を行う。このため、制御部３０は、粗検出手段及び本検出手段として機能する。
【００３２】
次に、図６及び図７を参照して、ワイヤボンディング装置１の補正点検出処理動作について説明する。図６は、ワイヤボンディング装置の補正点検出処理を示すフローチャートである。図７は、粗検出処理を示すフローチャートである。なお、以下に説明する処理は、制御部３０の制御により行われる。
【００３３】
図６を参照して、ワイヤボンディング装置１の補正点検出処理について説明する。なお、補正点検出処理は、メモリ３４に登録されているパターンＰの登録点ごとに順次行われる。
【００３４】
まず、ステップＳ１において、粗検出プログラムに従って低倍率カメラ２３による粗検出を行う。すなわち、補正点検出処理では、本検出プログラムに従って行われる補正点の検出に先立ち、粗検出プログラムに従って粗検出を行う。そして、ステップＳ１では、まず、カメラ９の導入部２０がメモリ３４に登録されている検出対象の登録点の真上（Ｚ軸方向上方）に位置するように、カメラ９を移動させる。そして、低倍率カメラ２３により積層型半導体装置Ｄを撮像するとともに、この撮像画像に基づいて補正点となる検出点を粗検出し、この粗検出した検出点の位置座標を記憶しておく。なお、粗検出の詳細な処理は後述する。
【００３５】
次に、ステップＳ２において、粗検出された検出点へカメラ９を移動させる。すなわち、ステップＳ２では、カメラ９の導入部２０が粗検出された検出点の真上（Ｚ方向上方）に位置するようにカメラ９を移動する。
【００３６】
そして、ステップＳ３において、高倍率カメラ２２による本検出を行う。すなわち、ステップＳ３では、まず、高倍率カメラ２２により積層型半導体装置Ｄを撮像する。そして、高倍率カメラ２２により高倍率で撮像された撮像画像に基づいて、パターンＰの補正点を高精度に検出する。
【００３７】
次に、ステップＳ４において、最後の検出点であるかを判定する。すなわち、ステップＳ４では、全ての登録点について、粗検出及び本検出を行って補正点を検出したか否かを判定する。そして、最後の検出点ではなく、未だ補正点を検出していない検出点が残っていると判定した場合は、ステップＳ１に戻り、再度ステップＳ１〜ステップＳ３を繰り返す。一方、最後の検出点であると判定した場合は、全ての検出点について補正点を検出したものと判断し、補正点検出処理を終了する。
【００３８】
このようにして全ての補正点が高精度に検出されると、ワイヤボンディング装置１は、パターンＰがステップＳ３で検出された補正点の位置座標に基づいてボンディングパッドＢの位置座標を算出し、ワイヤボンディングを行う。
【００３９】
次に、図７を参照して、低倍率カメラ２３による粗検出処理について説明する。
【００４０】
まず、ステップＳ１１において、低倍率カメラ２３でパターンＰのパターン候補を検出する。すなわち、ステップＳ１１では、まず、カメラ９の導入部２０がメモリ３４に登録されている検出対象の登録点の真上（Ｚ軸方向上方）に位置するようにカメラ９を移動させて、低倍率カメラ２３により積層型半導体装置Ｄを撮像する。そして、パターンＰの形状のパターンモデルを用いたマッチング処理により、撮像画像からパターンＰに対応するパターン候補を検出する。このマッチング処理は、事前に、所定のパターンモデルを登録しておき、低倍率カメラ２３で撮像した画像から濃度の異なる部分を切り出し、この切り出した部分と登録したパターンモデルとの適合度が設定値以上となる部分をパターン候補として抽出する。
【００４１】
次に、ステップＳ１２において、パターン候補の中で検出済みの座標と同じ座標の点は、パターン候補から除外する。すなわち、ステップＳ１２では、前回までの補正点検出処理において既に検出された検出点の位置座標と近似する位置座標の点は、パターン候補から除外される。
【００４２】
次に、ステップＳ１３において、パターン候補の数を判定する。そして、パターン候補が０点である（パターン候補が検出されない）と判定した場合は、ステップＳ１４に進み、アライメント検出が失敗したと判断して、補正点を粗検出することなく粗検出処理を終了する。一方、ステップＳ１３において、パターン候補が１点のみであると判定した場合は、ステップＳ１９に進み、アライメント検出が成功したと判断してこのパターン候補を検出点として、粗検出処理を終了する。
【００４３】
そして、ステップＳ１３において、パターン候補が複数点あると判定した場合は、ステップＳ１５に進む。ステップＳ１５では、検出対象の登録点に対応する検出点（検出対象の検出点）が、アライメント１点目又はアライメント２点目の最後の検出点であるか否かを判定する。そして、最後の検出点であると判定した場合は、ステップＳ１６に進み、検出対象となる検出点と前の検出対象となった検出点との位置関係を比較する。一方、最後の検出点でないと判定した場合は、ステップＳ１７に進み、検出対象となる検出点と次の検出対象となる検出点との位置関係を比較する。
【００４４】
次に、ステップＳ１８において、比較対象検出点との位置関係を元に、検出対象の検出点に対応する１点を特定する。すなわち、ステップＳ１６又はステップＳ１７における比較では、登録点とパターン候補との位置関係に基づいて補正点を粗検出する。具体的には、パターン候補の並び順と登録点の並び順とを比較し、この並び順に適合するパターン候補を１点特定する。
【００４５】
そして、ステップＳ１８において一つのパターン候補が特定されると、アライメント検出が成功したと判断してこのパターン候補を検出点として補正点を粗検出し、粗検出処理を終了する。
【００４６】
ここで、図８〜図１０を参照して、粗検出の手法について説明する。図８〜図１０は、低倍率カメラの視野と積層型半導体装置との関係を示した図であり、図８及び図１０は、積層型半導体装置がＸ方向にずれて積層されている場合を示しており、図９は、積層型半導体装置がＹ方向の反対方向にずれて積層されている場合を示している。なお、Ｓ１は、低倍率カメラ２３の視野を示している。
【００４７】
図８及び図９に示すように、低倍率カメラ２３の視野Ｓ１に、パターンＰ１（１）及びパターンＰ１（２）が入っている場合では、低倍率カメラ２３により撮像された画像から、パターン候補としてｐ１，ｐ２が検出される。なお、図８及び図９において、Ｐ１（１）’及びＰ１（２）’は、メモリ３４に登録された登録点を示している。以下の説明では、図８の積層型半導体ダイＤを例として説明する。
【００４８】
まず、検出対象の登録点がＰ１（１）’である場合を考える。Ｐ１（１）’はアライメント１点目として最後ではないため、次の登録点であるＰ１（２）’との位置関係に基づいて粗検出を行う。そして、Ｐ１（１）’はＰ１（２）’よりもＸ方向において後方（図９では、Ｙ方向において前方）に位置しており、ｐ１はｐ２よりもＸ方向において後方に位置しているため、登録点Ｐ１（１）’に対応するパターン候補はｐ１となる。このため、パターン候補ｐ１を登録点Ｐ１（１）’の検出点として粗検出し、この検出点の位置座標を記憶しておく。
【００４９】
次に、検出対象の登録点がＰ１（２）’である場合を考える。この場合、検出点ｐ１が既に検出されているため、パターン候補は、ｐ２のみとなる。このため、パターン候補ｐ２を登録点Ｐ１（２）’の検出点として粗検出し、この検出点の位置座標を記憶しておく。
【００５０】
次に、図１０に示すように、低倍率カメラ２３の視野Ｓ１に、パターンＰ１（１）〜Ｐ１（３）が入っている場合では、低倍率カメラ２３により撮像された画像から、パターン候補としてｐ１〜ｐ３が検出される。なお、図１０において、Ｐ１（１）’〜Ｐ１（２）’は、メモリ３４に登録された登録点を示している。
【００５１】
まず、検出対象の登録点がＰ１（１）’である場合を考える。Ｐ１（１）’はアライメント１点目として最後ではないため、次の登録点であるＰ１（２）’との位置関係に基づいて粗検出を行う。そして、Ｐ１（１）’はＰ１（２）’よりもＸ方向において後方に位置しており、ｐ１はｐ２よりもＸ方向において後方に位置しているため、登録点Ｐ１（１）’に対応するパターン候補はｐ１となる。このため、パターン候補ｐ１を登録点Ｐ１（１）’の検出点として粗検出し、この検出点の位置座標を記憶しておく。
【００５２】
次に、検出対象の登録点がＰ１（２）’である場合を考える。Ｐ１（２）’はアライメント１点目として最後ではないため、次の登録点であるＰ１（３）’との位置関係に基づいて粗検出を行う。そして、Ｐ１（２）’はＰ１（３）’よりもＸ方向において後方に位置しており、ｐ２はｐ３よりもＸ方向において後方に位置しているため、登録点Ｐ１（２）’に対応するパターン候補はｐ２となる。このため、パターン候補ｐ２を登録点Ｐ１（２）’の検出点として粗検出し、この検出点の位置座標を記憶しておく。
【００５３】
次に、検出対象の登録点がＰ１（３）’である場合を考える。Ｐ１（３）’はアライメント１点目として最後であるため、前の登録点であるＰ１（２）’との位置関係に基づいて粗検出を行う。そして、Ｐ１（３）’はＰ１（２）’よりもＸ方向において前方に位置しており、ｐ３はｐ２よりもＸ方向において前方に位置しているため、登録点Ｐ１（３）’に対応するパターン候補はｐ３となる。このため、パターン候補ｐ３を登録点Ｐ１（３）’の検出点として粗検出し、この検出点の位置座標を記憶しておく。
【００５４】
次に、図１１〜図１７を参照して、具体的な粗検出について説明する。図１１〜図１７は、粗検出の検出例を示す図であり、低倍率カメラの視野と積層型半導体装置との関係を示した図である。
【００５５】
図１１に示すように、低倍率カメラ２３による撮像画像からパターン候補としてｐ１１及びｐ１２が検出された場合について説明する。
【００５６】
まず、最初の検出であって、今回の検出対象（登録点）が１段目のパターンＰ１（１）である場合を考える。この場合、検出済みの検出点の位置座標と同じ位置座標のパターン候補が無いため、パターン候補はｐ１１及びｐ１２の２点となる。そして、パターンＰ１（１）はアライメント１点目として最後ではないため、次のパターンＰ１（２）との比較を行う。そして、ｐ１１はｐ１２の前側であるため、ｐ１１をパターンＰ１（１）に対応する検出点として特定する。
【００５７】
次に、パターンＰ１（１）に対応する検出点が既に検出されており、今回の検出対象（登録点）が２段目のパターンＰ１（２）である場合を考える。この場合、検出点ｐ１１が既に検出されているため、パターン候補はｐ１２のみとなる。このため、ｐ１２をパターンＰ１（２）に対応する検出点として特定する。
【００５８】
次に、パターンＰ１（１）及びＰ１（２）に対応する検出点が既に検出されており、今回の検出対象（登録点）が３段目のパターンＰ１（３）である場合を考える。この場合、既に検出された検出点ｐ１１及びｐ１２を除外すると、パターン候補がなくなるため、検出点が特定されない。
【００５９】
次に、図１２に示すように、低倍率カメラ２３による撮像画像からパターン候補としてｐ１３及びｐ１４が検出された場合について説明する。
【００６０】
まず、最初の検出であって、今回の検出対象（登録点）が１段目のパターンＰ１（１）である場合を考える。この場合、検出済みの検出点の位置座標と同じ位置座標のパターン候補が無いため、パターン候補はｐ１３及びｐ１４の２点となる。そして、パターンＰ１（１）はアライメント１点目として最後ではないため、次のパターンＰ１（２）との比較を行う。そして、ｐ１３はｐ１４の前側であるため、一応、ｐ１３をパターンＰ１（１）に対応する検出点として特定しておく。しかしながら、この場合、検出点ｐ１３は既に検出されているため、２段目のパターンＰ１（２）に対応する検出点はｐ１４となる。そして、検出点ｐ１３及びｐ１４は既に検出されているため、３段目のパターンＰ１（３）の粗検出では、パターン候補が検出されない。このため、粗検出がエラーとなって終了する。このように、検出対象のパターンと検出点とが誤って対応付けられた場合は粗検出がエラーとなるため、誤った位置にボンディングされるのを防止することができる。
【００６１】
次に、パターンＰ１（１）に対応する検出点が既に検出されており、今回の検出対象（登録点）が２段目のパターンＰ１（２）である場合を考える。この場合、検出済みの検出点の位置座標と同じ位置座標のパターン候補が無いため、パターン候補はｐ１３及びｐ１４の２点となる。そして、パターンＰ１（２）はアライメント１点目として最後ではないため、次のパターンＰ１（３）との比較を行う。そして、ｐ１３はｐ１４の前側であるため、ｐ１３をパターンＰ１（２）に対応する検出点として特定する。
【００６２】
次に、パターンＰ１（１）及びＰ１（２）に対応する検出点が既に検出されており、今回の検出対象（登録点）が３段目のパターンＰ１（３）である場合を考える。この場合、検出点ｐ１３が既に検出されているため、パターン候補はｐ１４のみとなる。このため、ｐ１４をパターンＰ１（３）に対応する検出点として特定する。
【００６３】
次に、図１３に示すように、低倍率カメラ２３による撮像画像からパターン候補としてｐ１５〜ｐ１７が検出された場合について説明する。
【００６４】
まず、最初の検出であって、今回の検出対象（登録点）が１段目のパターンＰ１（１）である場合を考える。この場合、検出済みの検出点の位置座標と同じ位置座標のパターン候補が無いため、パターン候補はｐ１５〜ｐ１７の３点となる。そして、パターンＰ１（１）はアライメント１点目として最後ではないため、次のパターンＰ１（２）との比較を行う。そして、ｐ１５はｐ１６の前側であるため、ｐ１５をパターンＰ１（１）に対応する検出点として特定する。
【００６５】
次に、パターンＰ１（１）に対応する検出点が既に検出されており、今回の検出対象（登録点）が２段目のパターンＰ１（２）である場合を考える。この場合、検出点ｐ１５が既に検出されているため、パターン候補はｐ１６及びｐ１７となる。そして、パターンＰ１（２）はアライメント１点目として最後ではないため、次のパターンＰ１（３）との比較を行う。そして、ｐ１６はｐ１７の前側であるため、ｐ１６をパターンＰ１（２）に対応する検出点として特定する。
【００６６】
次に、パターンＰ１（１）及びＰ１（２）に対応する検出点が既に検出されており、今回の検出対象（登録点）が３段目のパターンＰ１（３）である場合を考える。この場合、検出点ｐ１５及びｐ１６が既に検出されているため、パターン候補はｐ１７のみとなる。このため、ｐ１７をパターンＰ１（３）に対応する検出点として特定する。
【００６７】
次に、図１４に示すように、低倍率カメラ２３による撮像画像からパターン候補としてｐ１８のみが検出された場合について説明する。
【００６８】
まず、最初の検出であって、今回の検出対象（登録点）が１段目のパターンＰ１（１）である場合を考える。この場合、検出済みの座標と同じ座標のパターン候補が無いため、パターン候補はｐ１８のみとなる。このため、ｐ１８をパターンＰ１（１）に対応する検出点として特定する。
【００６９】
次に、パターンＰ１（１）に対応する検出点が既に検出されており、今回の検出対象（登録点）が２段目のパターンＰ１（２）である場合を考える。この場合、既に検出された検出点ｐ１８を除外すると、パターン候補がなくなるため、検出点が特定されない。
【００７０】
次に、パターンＰ１（１）及びＰ１（２）に対応する検出点が既に検出されており、今回の検出対象（登録点）が３段目のパターンＰ１（３）である場合を考える。この場合、既に検出された検出点ｐ１８を除外すると、パターン候補がなくなるため、検出点が特定されない。
【００７１】
次に、図１５に示すように、低倍率カメラ２３による撮像画像からパターン候補としてｐ１９のみが検出された場合について説明する。
【００７２】
まず、最初の検出であって、今回の検出対象（登録点）が１段目のパターンＰ１（１）である場合を考える。この場合、検出済みの検出点の位置座標と同じ位置座標のパターン候補が無いため、パターン候補はｐ１９のみとなる。このため、一応、ｐ１９をパターンＰ１（１）に対応する検出点として特定しておく。しかしながら、この場合、検出点ｐ１９は既に検出されているため、２段目のパターンＰ１（２）、又は、３段目のパターンＰ１（３）に対応する粗検出では、パターン候補が検出されない。このため、粗検出がエラーとなって終了する。
【００７３】
次に、パターンＰ１（１）に対応する検出点が既に検出されており、今回の検出対象（登録点）が２段目のパターンＰ１（２）である場合を考える。この場合、検出済みの検出点の位置座標と同じ位置座標のパターン候補が無いため、パターン候補はｐ１９のみとなる。このため、ｐ１９をパターンＰ１（２）に対応する検出点として特定する。
【００７４】
次に、パターンＰ１（１）及びＰ１（２）に対応する検出点が既に検出されており、今回の検出対象（登録点）が３段目のパターンＰ１（３）である場合を考える。この場合、既に検出された検出点ｐ１９を除外すると、パターン候補がなくなるため、検出点が特定されない。
【００７５】
次に、図１６に示すように、低倍率カメラ２３による撮像画像からパターン候補としてｐ２０のみが検出された場合について説明する。
【００７６】
まず、最初の検出であって、今回の検出対象（登録点）が１段目のパターンＰ１（１）である場合を考える。この場合、検出済みの検出点の位置座標と同じ位置座標のパターン候補が無いため、パターン候補はｐ２０のみとなる。このため、一応、ｐ２０をパターンＰ１（１）に対応する検出点として特定しておく。しかしながら、この場合、検出点ｐ２０は既に検出されているため、２段目のパターンＰ１（２）、及び、３段目のパターンＰ１（３）に対応する粗検出では、パターン候補が検出されない。このため、粗検出がエラーとなって終了する。
【００７７】
次に、パターンＰ１（１）に対応する検出点が既に検出されており、今回の検出対象（登録点）が２段目のパターンＰ１（２）である場合を考える。この場合、検出済みの検出点の位置座標と同じ位置座標のパターン候補が無いため、パターン候補はｐ２０のみとなる。このため、一応、ｐ２０をパターンＰ１（２）に対応する検出点として特定しておく。しかしながら、この場合、検出点ｐ２０は既に検出されているため、３段目のパターンＰ１（３）に対応する粗検出では、パターン候補が検出されない。このため、粗検出がエラーとなって終了する。
【００７８】
次に、パターンＰ１（１）及びＰ１（２）に対応する検出点が既に検出されており、今回の検出対象（登録点）が３段目のパターンＰ１（３）である場合を考える。この場合、検出済みの検出点の位置座標と同じ位置座標のパターン候補が無いため、パターン候補はｐ２０のみとなる。このため、ｐ２０をパターンＰ１（３）に対応する検出点として特定する。
【００７９】
次に、図１７に示すように、低倍率カメラ２３による撮像画像からパターン候補が検出されない場合について説明する。
【００８０】
今回の検出対象（登録点）が１段目のパターンＰ１（１）である場合は、パターン候補が無いため、検出点が特定されない。
【００８１】
今回の検出対象（登録点）が２段目のパターンＰ１（２）である場合は、パターン候補が無いため、検出点が特定されない。
【００８２】
今回の検出対象（登録点）が３段目のパターンＰ１（３）である場合は、パターン候補が無いため、検出点が特定されない。
【００８３】
このようにして粗検出が行われると、高倍率カメラ２２を粗検出で特定された検出点の上方に移動させる。すると、図１８に示すように、高倍率カメラ２２の視野Ｓ２の中央部に、検出対象のパターンＰ１（１）に対応する検出点ｐ２１が入り、高倍率カメラ２２により高倍率で拡大された検出点ｐ２１が撮像されるため、この撮像画像に基づいて、パターンＰ１（１）の補正点が高精度に検出される。
【００８４】
このように、本実施形態によれば、低倍率カメラ２３により撮像された画像からパターンＰのパターン候補を検出するとともに、このパターン候補と登録点（又は検出点）との位置関係に基づいて補正点となる検出点を粗検出するため、検出点を適切に順序付けることができる。そして、粗検出された検出点に基づいて、高倍率カメラ２２により撮像された画像から補正点を検出するため、補正点の誤検出を低減することができる。
【００８５】
この場合、パターン候補の並び順と登録座標の並び順とに基づいて検出点を粗検出するため、補正点の誤検出を適切に低減することができる。
【００８６】
また、積層型半導体装置Ｄは、複数の半導体ダイｄ１〜ｄ３がずれて多段に積層されているため、積層型半導体装置Ｄのズレ方向に沿って検出点を粗検出することで、隣接するパターンとの位置関係が特定しやすくなり、より高精度に検出点の並び順を特定することができる。
【００８７】
そして、粗検出では検出点を高精度に検出する必要が無いため、パターンモデルとのマッチング処理によりパターンＰのパターン候補を検出することで、迅速に粗検出を行うことができる。
【００８８】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、積層型半導体装置Ｄは、半導体ダイｄ１〜ｄ３がＸ方向にずれて積層されるものとして説明したが、半導体ダイｄ１〜ｄ３に印刷されるボンディングパッドＢ及びパターンＰの配置に応じて、Ｘ方向のみ、Ｙ方向のみ、Ｘ方向及びＹ方向など、任意の方向にずれて積層されるものであってもよい。
【００８９】
また、上記実施形態では、同一の半導体ダイｄ１〜ｄ３が３段に積層されるものとして説明したが、異なる半導体ダイが積層されてもよく、また、如何なる段数に積層されてもよい。
【００９０】
また、上記実施形態では、粗検出におけるパターン候補の検出は、パターンモデルとのマッチング処理により行うものとして説明したが、如何なる手法により検出してもよい。
【００９１】
また、上記実施形態では、本発明に係る補正位置検出装置及び補正位置検出方法をワイヤボンディング装置に適用するものとして説明したが、半導体ダイを基板などにボンディングするダイボンディング装置に適用してもよい。
【符号の説明】
【００９２】
１…ワイヤボンディング装置、２…ＸＹテーブル、３…ボンディングヘッド、４…Ｚ方向駆動機構、５…超音波ホーン、６…クランパ、７…キャピラリ、８…スプール、９…カメラ、１０ａ，１０ｂ…ガイドレール、１１…ボンディングステージ、２０…導入部、２１…鏡筒、２２…高倍率カメラ、２３…低倍率カメラ、２４…ハーフミラー、２５…高倍率レンズ、２６…撮像面、２７…ミラー、２８…低倍率レンズ、２９…撮像面、３０…制御部、３１…ＣＰＵ、３２…カメラＩ／Ｆ、３３…モータＩ／Ｆ、３４…メモリ、３５…入力部、３６…出力部、Ｄ…積層型半導体装置、ｄ（ｄ１〜ｄ３）…半導体ダイ、Ｂ…ボンディングパッド、Ｐ…パターン、ｐ…検出点（粗検出された補正位置）、Ｒ１…高倍率光路、Ｒ２…低倍率光路。
【図３】
2010177511.tif 000003
【図４】
2010177511.tif 000004
【図５】
2010177511.tif 000005
【図６】
2010177511.tif 000006
【図８】
2010177511.tif 000007
【図９】
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【図１０】
2010177511.tif 000009
【図１１】
2010177511.tif 000010
【図１２】
2010177511.tif 000011
【図１３】
2010177511.tif 000012
【図１４】
2010177511.tif 000013
【図１５】
2010177511.tif 000014
【図１６】
2010177511.tif 000015
【図１７】
2010177511.tif 000016
【図１８】
2010177511.tif 000017
【図１】
2010177511.tif 000018
【図２】
2010177511.tif 000019
【図７】
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