(57)【要約】      （修正有）【課題】無駄な消費電力を削減できるＬＳＩテスタを提供する。【解決手段】試験検査系統が多チャンネル化されたＬＳＩテスタにおいて、テストヘッドＴＨ、電源部１、ピンエレクトロニクス２、テスタコントローラ３、スイッチ４、スイッチ制御部５により構成され、ＤＵＴの種別に応じたプログラムに基づき、ＤＵＴのテストに使用する試験検査系統のみに電源部１の第１電源１１、第２電源１２、第３電源１３および第４電源１４から選択的に電源を供給する構成にする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試験検査系統が多チャンネル化されたＬＳＩテスタにおいて、
ＤＵＴの種別に応じたプログラムに基づき、前記ＤＵＴのテストに使用する試験検査系統のみに電源部から選択的に電源を供給するように構成されたことを特徴とするＬＳＩテスタ。
【請求項２】
前記試験検査系統がピンエレクトロニクスであることを特徴とすることを特徴とする請求項１に記載のＬＳＩテスタ。
【請求項３】
前記電源部は複数系統の異なる電圧を出力することを特徴とする請求項１に記載のＬＳＩテスタ。
【請求項４】
前記電源部の複数系統の異なる電圧は、前記ＤＵＴの種別に応じてそれぞれ個別に必要な時間差で供給するように制御されることを特徴とする請求項３に記載のＬＳＩテスタ。
【請求項５】
試験検査系統が多チャンネル化されたＬＳＩテスタにおいて、
ＤＵＴの種別に応じたプログラムに基づきＤＵＴのテストに使用する試験検査系統のみに電源部から選択的に電源を供給するとともに、前記ＤＵＴのテストに使用する試験検査系統のみがＤＵＴとの間で信号の授受を行うように構成されたことを特徴とするＬＳＩテスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＳＩテスタに関し、詳しくは、電源供給の改善に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年のＬＳＩは、システムＬＳＩの進化に伴い、ピン数が増大している。
【０００３】
一方、ＬＳＩテスタでは、ＬＳＩのピンの増加に対して試験検査工数を削減するため、同時に複数個の被検査対象物（以下ＤＵＴという）の試験を行うマルチＤＵＴテストも頻繁に行われている。
【０００４】
これに伴い、ＬＳＩテスタのピンエレクトロニクスやＤＣモジュールなどのＬＳＩに対して各種試験検査を行うための試験検査系統数も、増加の一途を辿っている。
【０００５】
これらの試験検査系統は基本的に同一機能・性能を有することから、これらの試験検査系統を駆動するための電源も共通のものを使用している。
【０００６】
図３はこのように試験検査系統が多チャンネル化されたＬＳＩテスタの一例を示すブロック図であり、テストヘッドＴＨにおける電源系統の概略構成を示している。
【０００７】
電源部１には、４系統の異なる電圧を出力する第１電源１１〜第４電源１４が設けられている。これら第１電源１１〜第４電源１４の各出力電圧は、テストヘッドＴＨに設けられた同一機能・性能のドライバ・コンパレータで構成された複数ｎ個のピンエレクトロニクス２１〜２ｎに並列に供給されている。なお、これらピンエレクトロニクス２１〜２ｎは、テスタコントローラ３によりＤＵＴに応じて設定された所定のプログラムに基づき制御される。
【０００８】
特許文献１には、デバイス試験に使用されないテスタチャンネルへの電源供給を随時停止可能とする半導体試験装置の電源供給装置について記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−４７１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、近年のシステムＬＳＩは多品種少ロット品が主であるため、多くの場合、ＬＳＩテスタには使用されていない試験検査系統が存在していることになる。
【００１１】
ところが、図３に示す従来のＬＳＩテスタでは、実際の試験検査に使用されているか否かに拘わらず全ての試験検査系統やブロックに駆動電圧を供給していることから、消費電力に着目すると、運転コスト面でも環境面でも無駄が生じていることになる。
【００１２】
本発明は、このような問題を解決するものであり、その目的は、無駄な消費電力を削減できるＬＳＩテスタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
試験検査系統が多チャンネル化されたＬＳＩテスタにおいて、
ＤＵＴの種別に応じたプログラムに基づき、前記ＤＵＴのテストに使用する試験検査系統のみに電源部から選択的に電源を供給するように構成されたことを特徴とする。
【００１４】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のＬＳＩテスタにおいて、
前記試験検査系統がピンエレクトロニクスであることを特徴とする。
【００１５】
請求項３記載の発明は、請求項１または請求項２記載のＬＳＩテスタにおいて、
前記電源部は複数系統の異なる電圧を出力することを特徴とする。
【００１６】
請求項４記載の発明は、請求項３に記載のＬＳＩテスタにおいて、
前記電源部の複数系統の異なる電圧は、前記ＤＵＴの種別に応じてそれぞれ個別に必要な時間差で供給するように制御されることを特徴とする。
【００１７】
試験検査系統が多チャンネル化されたＬＳＩテスタにおいて、
ＤＵＴの種別に応じたプログラムに基づきＤＵＴのテストに使用する試験検査系統のみに電源部から選択的に電源を供給するとともに、前記ＤＵＴのテストに使用する試験検査系統のみがＤＵＴとの間で信号の授受を行うように構成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、ＬＳＩテスタ全体の消費電力を大幅に削減でき、運転コスト面や環境面での無駄を省くことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態の一例を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施形態の他の例を示すブロック図である。
【図３】従来のＬＳＩテスタの一例を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明について、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の実施形態の一例を示すブロック図であり、図３と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【００２１】
図１において、電源部１の第１電源１１〜第４電源１４とテストヘッドＴＨのピンエレクトロニクス２１〜２ｎとの間には、ピンエレクトロニクス２１〜２ｎへの電源供給を選択的にオン／オフする複数ｎ個のスイッチ４１〜４ｎが設けられている。これらスイッチ４１〜４ｎは、スイッチ制御部５により、選択的にオン／オフ駆動される。なお、スイッチ制御部５は、テスタコントローラ３によりＤＵＴに応じて設定された所定のプログラムに基づき制御される。
【００２２】
具体的には、図示しないＤＵＴに対するテストを実行するのにあたり、テスタコントローラ３は、ＤＵＴの種別に応じたプログラムに基づき、ＤＵＴのテストに使用する試験検査系統には電源を供給してＤＵＴのテストに使用しない試験検査系統には電源を供給しないようにスイッチ４１〜４ｎをオン／オフ駆動するための制御信号をスイッチ制御部５に与える。
【００２３】
スイッチ制御部５は、テスタコントローラ３から入力されるＤＵＴの種別に応じた制御信号に基づき、スイッチ４１〜４ｎを選択的にオン／オフ駆動する。
【００２４】
なお、これらスイッチ４１〜４ｎのオン／オフ駆動は、第１電源１１〜第４電源１４の出力電圧を同時に供給するように連動制御してもよいし、ＤＵＴの種別に応じてそれぞれ個別に必要な時間差で供給するように制御してもよい。
【００２５】
このように、ＤＵＴの種別に応じて、ＤＵＴのテストに使用する試験検査系統のみに電源を供給することにより、ＬＳＩテスタ全体の消費電力を大幅に削減でき、運転コスト面や環境面での無駄を省くことができる。
【００２６】
図２は本発明の実施形態の他の例を示すブロック図であり、図１と同一のものは同一符号を付けている。
【００２７】
図２の回路では、ピンエレクトロニクス２１〜２ｎへの電源供給を選択的にオン／オフする複数ｎ個のスイッチ４１〜４ｎを設けるとともに、ピンエレクトロニクス２１〜２ｎの入出力信号系統にもそれぞれ個別にリレー６１〜６ｎを設けている。
【００２８】
これらリレー６１〜６ｎは、スイッチ制御部７により選択的にオン／オフ駆動される。なお、スイッチ制御部７も、テスタコントローラ３によりＤＵＴに応じて設定された所定のプログラムに基づき制御されるので、リレー６１〜６ｎは実質的にスイッチ４１〜４ｎと連動駆動されることになる。
【００２９】
図２のように構成することにより、ピンエレクトロニクス２１〜２ｎへの電源供給系統をＤＵＴに応じて選択的にオン／オフ駆動するとともにピンエレクトロニクス２１〜２ｎとＤＵＴとの間の信号系統もＤＵＴに応じて選択的にオン／オフ駆動でき、ＤＵＴのテストに使用する試験検査系統のみに電源を供給するとともにＤＵＴのテストに使用する試験検査系統のみがＤＵＴとの間で信号の授受を行うことができるので、電源の選択供給と信号系統の選択導通の相乗効果による信号リーク防止効果が期待できる。
【００３０】
なお、上記実施例では、試験検査系統がピンエレクトロニクスの例を説明したが、これに限るものではなく、同一機能の多チャンネル構成であれば、その他の試験検査系統にも適用できる。
【００３１】
また、図２のリレーはスイッチであってもよい。
【００３２】
以上説明したように、本発明によれば、ＬＳＩテスタ全体の消費電力を大幅に削減できるので、運転コスト面や環境面での無駄を省くことができる。
【００３３】
１  電源部
２  ピンエレクトロニクス
３  テスタコントローラ
４  スイッチ
５、７  スイッチ制御部
６  リレー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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