(57)【要約】【課題】測定試料の電気的特性の合否判定を行うために用いる、複数の測定ポイントにおける測定値の上限許容値および下限許容値を、測定ポイントの数が多くても簡便に設定することができる検査装置、および、測定試料の合否範囲設定方法を提供する。【解決手段】本発明は、ステップ４１で複数の測定ポイントの設定を予め行い、ステップ４２で良品試料の測定数を設定し、ステップ４３で良品試料の電気的特性を各測定ポイントで測定し記録することを、すべての良品試料で繰り返し、ステップ４６で測定ポイントごとに測定値を平均することで検査基準値を算出し、ステップ４７で上限幅および下限幅を設定して、ステップ４８で各検査基準値に上限幅を足して各測定ポイントにおける上限許容値として算出し、ステップ４９で各検査基準値から下限幅を引いて各測定ポイントにおける下限許容値として算出する方法、および、この処理を行う検査装置である。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号生成器から測定用信号を測定試料に出力して該測定試料の電気的特性を測定する測定部と、測定用信号のパラメータの値を予め設定された複数の測定ポイントに変化させて該測定部に測定させた該各測定ポイントにおける測定値が、許容値記録部に予め記録されている該各測定ポイントにおける上限許容値〜下限許容値の範囲内にあるか否かで該測定試料の合否を判定する合否判定部とを有すると共に、該各測定ポイントにおける該上限許容値および該下限許容値を該許容値記録部に予め記録する合否範囲設定処理部を有する検査装置であって、
該合否範囲設定処理部は、所定数の良品試料から測定される該各測定ポイントの測定値をデータ記録部に記録して、該データ記録部に記録した該各測定ポイントの該所定数の測定値から該各測定ポイントにおける検査基準値を算出して、該各検査基準値に設定された上限幅を足して該各上限許容値として算出して許容値記録部に記録すると共に、該各検査基準値から設定された下限幅を引いて該各下限許容値として算出して許容値記録部に記録する処理を行うことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記合否範囲設定処理部は、前記検査基準値として、前記各測定ポイントにおける前記所定数の測定値を相加平均、相乗平均、または調和平均して平均値を算出することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記合否範囲設定処理部は、前記検査基準値として、上限検査基準値および下限検査基準値を算出して、該上限検査基準値に前記上限幅を足して前記上限許容値として算出すると共に、該下限検査基準値から前記下限幅を引いて前記下限許容値として算出することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
前記合否範囲設定処理部は、前記上限検査基準値として、前記測定ポイントにおける前記所定数の測定値の中の最大値を算出し、前記下限検査基準値として、前記測定ポイントにおける前記所定数の測定値の中の最小値を算出することを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
さらに表示部を備え、前記合否範囲設定処理部は、前記所定数の良品試料から測定される前記各測定ポイントの測定値、並びに、各測定ポイントにおける上限許容値および下限許容値を該表示部に画像表示させることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項６】
測定用信号のパラメータの値を予め設定された複数の測定ポイントに変化させて測定試料の電気的特性を測定し、それら該各測定ポイントの測定値が予め設定された該各測定ポイントにおける上限許容値〜下限許容値の範囲内にあるか否かで測定試料の合否を判定する際に用いる、該各測定ポイントにおける該上限許容値および該下限許容値を設定するための測定試料の合否範囲設定方法であって、
所定数の良品試料を１つずつ該各測定ポイントで該電気的特性を測定してそれらの測定値を記録して、この記録した該各測定ポイントにおける該所定数の該測定値から該各測定ポイントにおける検査基準値を算出し、該各検査基準値に上限幅を足して該各上限許容値として算出し、該各検査基準値から下限幅を引いて該各下限許容値として算出して予め設定することを特徴とする測定試料の合否範囲設定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定用信号のパラメータの値をスイープして測定試料の電気的特性を測定し、これら測定値が上限許容値および下限許容値で定まる合否範囲内にあるか否かによって測定試料の合否を判定する検査装置、および、この合否範囲の設定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
回路素子の特性が所定の規格を満たすか否かの合否検査では、測定用信号の周波数や電圧などのパラメータの値をスイープさせて電気的特性を測定し、これら測定値が予め設定した合否範囲（許容範囲）内に入っているか否かによって判定することが行われている。例えば、周波数をスイープして回路素子のインピーダンス、インダクタンス、キャパシタンス、またはＱなどの電気的特性を測定したり、回路素子に印加する電圧や供給する電流をスイープして電気的特性を測定したりする検査装置として、ＬＣＲメータがある。
【０００３】
例えば、特許文献１には、周波数をスイープして回路素子のＱなどを測定して、各測定ポイント（各ステップ）での測定値が、予め設定した各測定ポイントにおける上限許容値（上限値）から下限許容値（下限値）の範囲内にあるか否かで測定試料の合否を判定する測定試料の合否判定方法およびその装置が記載されている。
【０００４】
この特許文献１に記載された測定試料の合否判定方法およびその装置では、上限許容値および下限許容値は、測定ポイントごとに手動で設定を行っている。つまり、測定ポイントの数が１０であれば、上限許容値および下限許容値の設定を手動で１０回繰り返す必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平３−１３７５７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
回路素子の検査では、測定ポイントの数が１０のように少ない場合もあるが、例えば測定ポイントの数が８００や１６００のように非常に多い場合もある。このように測定ポイントの数が非常に多い場合には、測定ポイントごとに上限許容値および下限許容値を手動で設置することは、膨大な時間がかかってしまうという課題がある。
【０００７】
本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、測定試料の電気的特性の合否判定を行うために用いる、複数の測定ポイントにおける測定値の上限許容値および下限許容値を、測定ポイントの数が多くても簡便に設定することができる検査装置、および、測定試料の合否範囲設定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記の目的を達成するためになされた、特許請求の範囲の請求項１に記載された検査装置は、信号生成器から測定用信号を測定試料に出力して該測定試料の電気的特性を測定する測定部と、測定用信号のパラメータの値を予め設定された複数の測定ポイントに変化させて該測定部に測定させた該各測定ポイントにおける測定値が、許容値記録部に予め記録されている該各測定ポイントにおける上限許容値〜下限許容値の範囲内にあるか否かで該測定試料の合否を判定する合否判定部とを有すると共に、該各測定ポイントにおける該上限許容値および該下限許容値を該許容値記録部に予め記録する合否範囲設定処理部を有する検査装置であって、
該合否範囲設定処理部は、所定数の良品試料から測定される該各測定ポイントの測定値をデータ記録部に記録して、該データ記録部に記録した該各測定ポイントの該所定数の測定値から該各測定ポイントにおける検査基準値を算出して、該各検査基準値に設定された上限幅を足して該各上限許容値として算出して許容値記録部に記録すると共に、該各検査基準値から設定された下限幅を引いて該各下限許容値として算出して許容値記録部に記録する処理を行うことを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載された検査装置は、請求項１に記載されたもので、前記合否範囲設定処理部は、前記検査基準値として、前記各測定ポイントにおける前記所定数の測定値を相加平均、相乗平均、または調和平均して平均値を算出することを特徴とする
【００１０】
請求項３に記載された検査装置は、請求項１に記載されたもので、前記合否範囲設定処理部は、前記検査基準値として、上限検査基準値および下限検査基準値を算出して、該上限検査基準値に前記上限幅を足して前記上限許容値として算出すると共に、該下限検査基準値から前記下限幅を引いて前記下限許容値として算出することを特徴とする。
【００１１】
請求項４に記載された検査装置は、請求項３に記載されたもので、前記合否範囲設定処理部は、前記上限検査基準値として、前記測定ポイントにおける前記所定数の測定値の中の最大値を算出し、前記下限検査基準値として、前記測定ポイントにおける前記所定数の測定値の中の最小値を算出することを特徴とする。
【００１２】
請求項５に記載された検査装置は、請求項１に記載されたもので、さらに表示部を備え、前記合否範囲設定処理部は、前記所定数の良品試料から測定される前記各測定ポイントの測定値、並びに、各測定ポイントにおける上限許容値および下限許容値を該表示部に画像表示させることを特徴とする。
【００１３】
特許請求の範囲の請求項６に記載された測定試料の合否範囲設定方法は、測定用信号のパラメータの値を予め設定された複数の測定ポイントに変化させて測定試料の電気的特性を測定し、それら該各測定ポイントの測定値が予め設定された該各測定ポイントにおける上限許容値〜下限許容値の範囲内にあるか否かで測定試料の合否を判定する際に用いる、該各測定ポイントにおける該上限許容値および該下限許容値を設定するための測定試料の合否範囲設定方法であって、
所定数の良品試料を１つずつ該各測定ポイントで該電気的特性を測定してそれらの測定値を記録して、この記録した該各測定ポイントにおける該所定数の該測定値から該各測定ポイントにおける検査基準値を算出し、該各検査基準値に上限幅を足して該各上限許容値として算出し、該各検査基準値から下限幅を引いて該各下限許容値として算出して予め設定することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明による検査装置、および、測定試料の合否範囲設定方法によれば、複数の測定ポイントにおける測定値の上限許容値および下限許容値を、所定数の良品試料から測定される各測定ポイントの所定数の測定値から、各測定ポイントにおける検査基準値を算出して、各検査基準値に上限幅を足して上限許容値として算出すると共に、各検査基準値から下限幅を引いて下限許容値として算出して設定することにより、一つ一つの測定ポイントごとに手動で設定する手間が掛からず、多数の測定ポイントであっても短時間で簡便に設定することができる。
【００１５】
また、本発明による検査装置によれば、検査基準値として、測定ポイントにおける所定数の測定値を相加平均、相乗平均、または調和平均して平均値を算出することで、平均的な測定試料の電気的特性を算出することができるので、上限許容値および下限許容値を適切に設定することができる。
【００１６】
本発明による検査装置によれば、検査基準値として、上限検査基準値および下限検査基準値を算出して、上限検査基準値に上限幅を足して上限許容値として算出すると共に、下限検査基準値から下限幅を引いて下限許容値として算出することにより、測定値のばらつきの幅を考慮して上限許容値および下限許容値を設定することができる。
【００１７】
本発明による検査装置によれば、上限検査基準値として測定ポイントにおける測定値の最大値を算出し、下限検査基準値として測定ポイントにおける測定値の最小値を算出することで、測定値のばらつきの幅を一層考慮して上限許容値および下限許容値を設定することができる。
【００１８】
本発明による検査装置によれば、合否範囲設定処理部が、所定数の良品試料から測定される各測定ポイントの測定値、並びに、各測定ポイントにおける上限許容値および下限許容値を表示部に画像表示させることで、オペレータが、測定値のばらつきや上限許容値および下限許容値を視認できるので、これらの値が適切であるか否かを視覚的に確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】測定試料の合否判定の概要を示す、測定ポイントと上限許容値および下限許容値との関係を示す図である。
【図２】本発明を適用する検査装置の一実施形態の構成図である。
【図３】本発明を適用する検査装置の合否範囲設定処理、および本発明を適用する合否範囲設定方法を説明するフローチャートである。
【図４】本発明を適用する検査装置が合否範囲設定処理の結果を表示部に表示させた例を模式的に示した概要図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施形態に限定されるものではない。
【００２１】
最初に測定試料の合否検査の概要について説明する。図１には、一例として、測定用信号の周波数（本発明におけるパラメータの一例）を変化させて測定したコンデンサ（測定試料の一例）のインピーダンスの絶対値（本発明における電気的特性の一例）、およびその合否範囲が示されている。測定試料の合否検査は、測定ポイント１の周波数における測定値Ｄｔ１が上限許容値Ｚ１Ｈ〜下限許容値Ｚ１Ｌの合否範囲内にあるか否か、測定ポイント２の周波数における測定値Ｄｔ２が上限許容値Ｚ２Ｈ〜下限許容値Ｚ２Ｌの合否範囲内にあるか否か、以下同様に、測定ポイントｎの周波数における測定値Ｄｔｎが上限許容値ＺｎＨ〜下限許容値ＺｎＬの合否範囲内にあるか否かを判別することによって行う。測定値Ｄｔ１〜Ｄｔｎが、対応する合否範囲内にすべてあれば測定試料が合格であると判定する。
【００２２】
本発明は、このような測定試料の合否検査に用いられる各測定ポイントの上限許容値および下限許容値を簡便に設定できる検査装置、およびその設定方法に関するものである。
【００２３】
図２には、本発明の一実施形態である検査装置の概要を示す構成図が示されている。検査装置１は、制御部２、測定部３、プログラム記録部４、検査条件記録部５、データ記録部６、許容値記録部７、操作部２１、および表示部２２を備えている。
【００２４】
制御部２は、検査装置１の動作を統括制御するものであり、ＣＰＵ（中央演算装置）や、周辺機器とのインタフェース回路（共に非図示）などで構成されている。制御部２は、本発明における合否判定部および合否範囲設定処理部を兼ねるものである。この制御部２には、測定部３、プログラム記録部４、検査情報記録部５、データ記録部６、許容値記録部７、操作部２１、および表示部２２がデータ受渡可能に接続されている。
【００２５】
測定部３は、測定試料３０に測定用信号を出力して、測定試料３０の電気的特性を測定するものである。この測定部３は、一例として、信号生成器８、電流計１１、電圧計１２、および測定演算回路１５を備えている。信号生成器８は、測定用端子１８ａ、１８ｂに取り付けられる測定試料３０に測定用信号を出力する。電流計１１は、測定試料３０に流れる電流を測定する。電圧計１２は、測定試料３０に印加される電圧を測定する。測定演算回路１５は、制御部２に制御されて、信号生成器８に出力させる測定用信号の電圧、電流、周波数などのパラメータを制御する。また、測定演算回路１５は、電流計１１および電圧計１２に接続されて、測定試料３０の電気的特性の測定値として、電流値や電圧値に基づいてインピーダンスを算出して、ディジタルデータで制御部２に出力する。測定試料３０としては、コンデンサ、コイル、抵抗などが例示される。
【００２６】
プログラム記録部４は、一例として、ＲＯＭ（Read Only Memory）で構成されて、制御部２の動作用プログラムを予め記録しているものである。
【００２７】
検査条件記録部５は、一例として、ＥＥＰＲＯＭ（Electronically Erasable and Programmable Read Only Memory）またはフラッシュＥＥＰＲＯＭなどの電気的に書換可能な不揮発性メモリで構成されて、合否検査時に測定を行う複数の測定ポイントにおける測定用信号のパラメータの値を記録するものである。
【００２８】
データ記録部６は、一例として、ＲＡＭ（Random Access Memory）で構成されて、一時的にデータを記録するものである。
【００２９】
許容値記録部７は、一例として、ＥＥＰＲＯＭ、またはフラッシュＥＥＰＲＯＭなどの電気的に書換可能な不揮発性メモリで構成されて、合否検査時に測定を行う各測定ポイントに対応させて、測定値の上限許容値および下限許容値を記録するものである。なお、検査条件記録部５と許容値記録部７とを同じＥＥＰＲＯＭなどで共用して、記録エリアを各別に割り当てて使用することもできる。
【００３０】
操作部２１は、一例として、検査装置１の動作を操作するための操作ボタンや、検査装置１に数値や文字などを入力するためのキーボードで構成されている。
【００３１】
表示部２２は、一例として、液晶パネルで構成されて、測定結果を数値やグラフで表示するものである。
【００３２】
この検査装置１の動作について図２，３を参照しつつ説明する。
【００３３】
まず、測定試料３０の合否検査の前準備として、検査装置１に合否範囲設定処理を開始させる。この処理を開始させる際には、予め、測定試料３０の中から電気的特性が所望する規格を満足する良品試料を所定数（ｍ個。一例として５個）、準備しておく。
【００３４】
この合否範囲設定処理は、本発明の測定試料の合否範囲設定方法に相当し、各測定ポイント１〜ｎにおける上限許容値Ｚ１Ｈ〜ＺｎＨ、および下限許容値Ｚ１Ｌ〜ＺｎＬを許容値記録部７に予め記録する処理である。この処理は、一例として、オペレータが操作部２１を所定操作することで、制御部２がプログラム記録部４からこの処理を行うプログラムを読み込むことで開始される。
【００３５】
図３に示されるように、合否範囲設定処理では、先ずステップ４１で、測定ポイント１〜ｎを設定する。具体的には、制御部２が表示部２２に測定ポイントの設定画面を表示させることでオペレータに操作部２１を操作させる。制御部２は、この操作入力に基づいて、測定ポイント１〜ｎに対応する測定用信号のパラメータの値を、検査条件記録部５に記録する。
【００３６】
例えば、パラメータとして周波数をスイープさせ、測定試料の周波数特性を測定する場合、オペレータに操作部２１を操作させて、測定ポイント１〜ｎの周波数の値を設定する。設定方法の例としては、測定ポイント１〜ｎの各々の周波数の値を、オペレータに一つ一つ入力させることで設定する。
【００３７】
また、他の設定方法の例としては、測定開始周波数（例えば１ｋＨｚ）、測定終了周波数（例えば１ＭＨz）、および測定周波数間隔（例えば１０ｋＨｚ）の３つの値をオペレータに入力させることで測定ポイント１〜ｎを設定してもよい。この場合、制御部２は、測定開始周波数から測定終了周波数に至るまでを測定周波数間隔で分割し、測定ポイント１〜ｎの周波数として設定する。
【００３８】
さらに別の設定方法の例としては、測定開始周波数、測定終了周波数、および、測定ポイントの数（ｎ）をオペレータに入力させてもよい。この場合、制御部２は、測定開始周波数から測定終了周波数までを測定ポイントがｎ個になるように等間隔に分割し、分割した各周波数を測定ポイント１〜ｎの値として設定してもよい。また、対数グラフの対数軸で周波数を表したときに、測定ポイント１〜ｎが等間隔でグラフ表示されるように分割してもよい。
【００３９】
次に、ステップ４２で、予め準備した良品試料の数を設定する。例えば、制御部２が表示部２２に良品試料の測定数の入力を促す画面を表示させることで、オペレータに操作部２１を操作させて、この操作入力された数（ｍ）を制御部２がデータ記録部６に記録する。
【００４０】
次に、ステップ４３で、予め準備した良品試料の１つを検査装置１の端子１８ａ，１８ｂ（図１参照）に取り付ける。
【００４１】
続いて、ステップ４４で、制御部２は、１番目の良品試料のスイープ測定を実行する。具体的には、オペレータの操作部２１の測定開始操作によって、制御部２は、検査条件記録部５に記録された測定ポイント１〜ｎを読み込んで、この測定ポイント１〜ｎの順番で測定用信号をスイープさせて信号生成部８に出力させると共に、各測定ポイントごとに測定部３に電気的特性を測定させ、それら測定値を制御部２に出力させる。制御部２は、測定ポイント１〜ｎにおける各測定値をデータ記録部６に記録する。
【００４２】
次に、ステップ４５で、制御部２は、ｍ個すべての良品試料の測定が終了したか否かを判別する。この場合には、良品試料のスイープ測定が１個終了しただけであるのでステップ４３に戻る。
【００４３】
ステップ４３からステップ４５をｍ回繰り返すことで、ｍ個すべての良品試料のスイープ測定が終了する。これにより、ｍ個の良品試料の測定ポイント１〜ｎにおける測定値がデータ記録部６に記録され、ステップ４５からステップ４６に移行する。
【００４４】
ステップ４６では、制御部２は、データ記録部６に記録された各測定ポイントのｍ個の測定値から、測定ポイントごとに検査基準値を算出して、データ記録部６に記録する。一例として、制御部２は、測定ポイントごとにｍ個の測定値を相加平均することで検査基準値を算出する。例えば、測定ポイント１のｍ個の測定値がＤ１１，Ｄ１２・・・Ｄ１ｍのときに、制御部２は、測定ポイント１の検査基準値Ｒ１を下記（１）式で算出する。
Ｒ１＝（Ｄ１１＋Ｄ１２＋・・・＋Ｄ１ｍ）／ｍ                  （１）
他の検査ポイント２〜ｎの測定値についても同様に検査基準値Ｒ２〜Ｒｎを算出する。
【００４５】
次に、ステップ４７で、制御部２は、表示部２２に上限幅ΔＨおよび下限幅ΔＬの入力を促す画面を表示させて、オペレータに操作部２１を操作させ、この操作入力された上限幅ΔＨおよび下限幅ΔＬをデータ記録部６に記録する。
【００４６】
続いて、ステップ４８で、制御部２は、データ記録部６に記録された検査基準値Ｒ１〜Ｒｎのそれぞれに上限幅ΔＨを足して、測定ポイント１〜ｎにおける上限許容値Ｚ１Ｈ〜ＺｎＨを算出し、測定ポイントに対応させて許容値記録部７に記録する。例えば測定ポイント１の上限許容値Ｚ１Ｈは、下記（２）式で算出する。
Ｚ１Ｈ＝Ｒ１＋ΔＨ                                            （２）
他の測定ポイント２〜ｎについても同様に算出する。
【００４７】
また、ステップ４９で、制御部２は、データ記録部６に記録された検査基準値Ｒ１〜Ｒｎのそれぞれから下限幅ΔＬを引いて、測定ポイント１〜ｎにおける下限許容値Ｚ１Ｌ〜ＺｎＬを算出し、測定ポイントに対応させて許容値記録部７に記録する。例えば測定ポイント１の下限許容値Ｚ１Ｌは、下記（３）式で算出する。
Ｚ１Ｌ＝Ｒ１−ΔＬ                                            （３）
他の測定ポイント２〜ｎについても同様に算出する。
【００４８】
以上で、合否範囲設定処理が終了する。
【００４９】
なお、合否範囲設定処理の中で、制御部２（合否範囲設定処理部）は、図４に示されるように、表示部２２に、所定数（同図では５個）の良品試料から測定された測定ポイント１〜ｎの測定値Ｄ１１〜Ｄ１５，・・・，Ｄｎ１〜Ｄｎ５、並びに、算出した各測定ポイント１〜ｎにおける上限許容値Ｚ１Ｈ〜ＺｎＨ、および下限許容値Ｚ１Ｌ〜ＺｎＬを画像表示させてもよい。同図では、測定値を離散的に黒丸で表示し、上限許容値や下限許容値を離散的に白丸で表示しているが、例えば、上限許容値Ｚ１Ｈ〜ＺｎＨを線で繋いで画像表示し、下限許容値Ｚ１Ｌ〜ＺｎＬを線で繋いで画像表示することもできる。同様に、同じ良品試料の測定値（例えば、Ｄ１１〜Ｄｎ１）を線で繋いで画像表示してもよい。さらに、検査基準値Ｒ１〜Ｒｎを表示部２２に表示させてもよい。
【００５０】
この合否判定処理の終了後に、検査装置１に、検査対象の測定試料３０を取り付けて、その合否検査を実施する。合否検査では、制御部２（合否判定部）が、検査条件記録部５に記録された測定ポイント１〜ｎの測定用信号のパラメータの値を読み込んで、測定部３に、測定ポイント１〜ｎの順番で測定用信号を変化させつつ出力させて電気的特性を測定させる。制御部２は、これら測定値が許容値記録部７に予め記録された各測定ポイントにおける各々の上限許容値〜下限許容値の合否範囲内にあるか否かで測定試料３０の合否を判定する。制御部２は、その合否判定結果を表示部２に表示させて測定試料３０の合否検査が終了する。
【００５１】
なお、上記の合否範囲設定処理では、測定ポイントにおける測定値を相加平均して検査基準値を算出した例について説明したが、必要に応じて、測定値を相乗平均または調和平均して検査基準値として算出することもできる。上記した測定ポイント１のｍ個の測定値の場合に、相乗平均するときは、検査基準値Ｒ１は、下記（４）式で算出する。検査基準値Ｒ２〜Ｒｎも同様に算出する。
【数１】
2010243204.tif 000003
また、調和平均するときは、検査基準値Ｒ１は、下記（５）式で算出する。検査基準値Ｒ２〜Ｒｎも同様に算出する。
【数２】
2010243204.tif 000004
【００５２】
また、合否範囲設定処理部は、検査基準値として、上限検査基準値および下限検査基準値を算出して、上限検査基準値に上限幅ΔＨを足して上限許容値として算出すると共に、下限検査基準値から下限幅ΔＬを引いて下限許容値として算出することもできる。この上限検査基準値として、測定ポイントにおけるｍ個の測定値の中から最大値を算出（選択）し、下限検査基準値として、測定ポイントにおけるｍ個の測定値の中から最小値を算出（選択）することもできる。具体的には、測定ポイント１のｍ個の測定値Ｄ１１〜Ｄ１ｍの中で、最大値が例えばＤ１２であり、最小値が例えばＤ１ｍであった場合では、上限検査基準値がＤ１２になり、Ｄ１２に上限幅ΔＨを足した値が上限許容値Ｚ１Ｈになる。また、下限検査基準値がＤ１ｍになり、Ｄ１ｍから下限幅ΔＬを引いた値が下限許容値Ｚ１Ｌになる。他の測定ポイント２〜ｎでも同様に算出する。
【００５３】
また、上限検査基準値を値の大きいほうから２番目の値とし、下限検査基準値を値の小さいほうから２番目の値として算出（選択）することもできる。
【００５４】
また、上記では、上限幅ΔＨおよび下限幅ΔＬの値を別個に設定する例について説明したが、同じ値を用いてもよい。
【００５５】
また、フローチャートにおいて、測定を行う良品試料の数をステップ４２で設定する例について説明したが、ステップ４２で測定数を設定せずに、所定数の良品試料の測定をステップ４３〜４５を繰り返すことで行わせ、すべての良品試料の測定が終了したときに、測定を繰り返した回数から良品試料の数を制御部２に算出させてもよい。また、ステップ４７で設定した上限幅ΔＨおよび下限幅ΔＬは、ステップ４８よりも前であれば、いつ設定を行ってもよい。
【００５６】
また、各測定ポイントで変化させる測定用信号のパラメータは、周波数に限られず、電圧や電流を変化させてもよい。また、測定する電気的特性は、インピーダンスに限られず、電流値、電圧値や、これら電流値や電圧値などに基づいて算出されるインダクタンス、キャパシタンス、若しくはＱなどであってもよい。
【符号の説明】
【００５７】
１は検査装置、２は制御部、３は測定部、４はプログラム記録部、５は検査条件記録部、６はデータ記録部、７は許容値記録部、８は信号生成器、１１は電流計、１２は電圧計、１５は測定演算回路、１８ａ，１８ｂは測定用端子、２１は操作部、２２は表示部、３０は測定試料、４１〜４９はフローチャートにおけるステップ、Ｄｔ１〜Ｄｔｎは測定値、Ｚ１Ｈ〜ＺｎＨは上限許容値、Ｚ１Ｌ〜ＺｎＬは下限許容値である。
【図１】
2010243204.tif 000005
【図２】
2010243204.tif 000006
【図３】
2010243204.tif 000007
【図４】
2010243204.tif 000008