(57)【要約】【課題】  モリブデンロッドにモリブデン線を密巻きして形成した耐ハロゲン性中間材と、導電性サーメットとの突合せ溶接時に、モリブデン線固有の結晶構造、熱履歴、加工履歴などにかかわらず、熱変形を生じないようにする。【解決手段】  耐ハロゲン性中間材（５）と導電性サーメット（６）とを突合せ溶接する前に、耐ハロゲン性中間材（５）の片端部（５ｄ）でモリブデンロッド（５ａ）とモリブデン線（５ｂ）とを溶融させ、その溶融物の表面張力によりモリブデンロッド（５ａ）とモリブデン線（５ｂ）とを先丸状に硬化させて一体化させた後、耐ハロゲン性中間材（５）の片端部（５ｄ）と導電性サーメット（６）とを突き合わせ溶接することとした。【選択図】図１
2010177092.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属蒸気放電灯の発光管の両端に形成されたキャピラリに挿入されて気密封止される電極アセンブリの製造方法において、
前記電極アセンブリは、発光管内に対向配設される電極と、モリブデンロッドにモリブデン線を密巻きして成る耐ハロゲン性中間材と、当該耐ハロゲン性中間材と同径でこれより融点の低い導電性サーメットを突合せ溶接して形成され、
前記耐ハロゲン性中間材と導電性サーメットとを突合せ溶接する前に、前記耐ハロゲン性中間材の片端部でモリブデンロッドとモリブデン線とを溶融させ、その溶融物の表面張力によりモリブデンロッドとモリブデン線とを先丸状に硬化させて一体化させた後、当該耐ハロゲン性中間材の先丸状の片端部と導電性サーメットとを突き合わせ溶接することを特徴とする電極アセンブリの製造方法。
【請求項２】
先丸状に硬化された前記片端部の外径が、耐ハロゲン性中間材の外径に等しくなるように溶融条件を決定した請求項１記載の電極アセンブリの製造方法。
【請求項３】
前記耐ハロゲン性中間材の直径をＤとしたときに、先丸状に硬化された片端部の先端面の曲率半径Ｒが０.５５Ｄ≦Ｒ≦０.８０Ｄである請求項１記載の電極アセンブリの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミックメタルハライドランプなどの金属蒸気放電灯などに用いられる電極アセンブリの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のメタルハライドランプは、石英製発光管に代えて、石英よりも耐熱性、耐食性に優れた透光性アルミナで成るセラミック製発光管を用いたセラミックメタルハライドランプが数多く商品化されている。この種のランプは、透光性セラミックで成る発光管の両端にアルミナセラミック等の細管で成る一対のキャピラリを焼きばめて取り付けるシリンドリカル型が一般的であったが、最近は、焼嵌め加工の面倒を解消するため、発光管とその両端に設けるキャピラリとを透光性セラミックで一体成形したワンピース型が普及しつつある（特許文献１参照）。
【０００３】
このようなワンピース型のメタルハライドランプを、例えば図３を参照して説明すると、ランプ本体を構成する発光管２とキャピラリ３Ｒ、３Ｌが、夫々の境界部分に角隅部を生じない丸みを帯びた滑らかな曲面形状に設計されて、透光性アルミナの粉末圧縮体で一体成形されている。
【０００４】
そして、発光管２の両端に形成されたキャピラリ３Ｒ、３Ｌ内には、一対の電極アセンブリ２１が挿通されて、そのキャピラリ３Ｒ、３Ｌの両端が、電気絶縁性を有するフリットガラス１０などのシール材によって気密にシールされると同時に、各電極アセンブリ２１がキャピラリ３Ｒ、３Ｌ内の定位置に固定されており、発光管２の内部には金属ハロゲン化物、水銀、始動用ガス等が封入されている。
【０００５】
電極アセンブリ２１は、夫々タングステンロッドで成る電極棒４ａの先端側にタングステン線４ｂを密巻きして放熱用のコイル部が形成された電極４と、モリブデンロッド５ａの外周部にモリブデン線５ｂを密巻きしてコイル部が形成された耐ハロゲン性中間材５と、アルミナ粉末とモリブデン粉末とを混合燒結して成る導電性サーメット６とが直列的に突合せ溶接された構成となっており、キャピラリ３Ｒ、３Ｌ内に挿通された各電極アセンブリ１の外表面とキャピラリ３Ｒ、３Ｌの内表面との間には、発光管２の内部へ通ずる空隙７が形成されている。
【０００６】
そして、各電極アセンブリ２１は、導電性サーメット６の端部にモリブデン線で成る電力供給リード８が突合せ溶接されて、その溶接部に補強用リング９が外嵌され、該リング９内から各キャピラリ２Ｒ、２Ｌ内にかけて、耐ハロゲン性中間材５と導電性サーメット６の接合部Ｗを覆うようにフリットガラス１０が充填されている。
【０００７】
ところで、耐ハロゲン性中間材５の外径と導電性サーメット６の外径が大きく異なって両者の接合部Ｗに段差が生ずると、ランプの点滅による温度変化により、フリットガラス１０が接合部Ｗのひずみの影響を受け、その段差部分で応力集中を起こしてクラックが入りやすいという問題があるため、従来より、耐ハロゲン性中間材５及び導電性サーメット６は同径のものが用いられている。
また、モリブデンで成る耐ハロゲン性中間材５よりもアルミナ粉末とモリブデン粉末とを混合焼結した導電性サーメット６の方が融点が低く、これらを突合せ溶接する際に導電性サーメット６の溶融物が流れ出るため、耐ハロゲン性中間材５の片端部に溶融物を流し込む流入部を予め形成して溶接する方法も提案されている（特許文献２参照）。
【０００８】
図５はこのような電極アセンブリ２１の製造方法を示し、まず、例えば直径０.４〜０.５ｍｍのモリブデンロッド５ａの外周部に、直径０.１５〜０.２ｍｍのモリブデン線５ｂを密巻きしていく（図５（ａ）参照）。
これを所定長さに切断することにより耐ハロゲン性中間材５を形成すると共に、その片端部にモリブデン線５ｂが巻かれずにモリブデンロッド５ａが露出された流入部２２を形成しておく（図５（ｂ））。
【０００９】
次いで、耐ハロゲン性中間材５と導電性サーメット６を突合せ溶接する。
突合せ溶接は抵抗溶接の一種であり、耐ハロゲン性中間材５の流入部２２を下向きにして、導電性サーメット６の上端に突合せた状態で加圧し瞬間的に大電流を流すことにより接合部Ｗにジュール熱を発生させる（図５（ｃ））。
これにより接合部Ｗが加熱され、所定の温度に達したところでモリブデンでなる耐ハロゲン性中間材５より融点の低い導電性サーメット６からアルミナ成分が溶出して耐ハロゲン性中間材５の流入部２２に流入するため、これが冷却して溶接が完了したときに接合部Ｗの外周が膨らむこともない（図５（ｄ））。
【００１０】
そして最後に、耐ハロゲン性中間材５とタングステン電極４を突合せ溶接する。
ここでは、耐ハロゲン性中間材５の先端側に、電極４のタングステンロッド４ａを突き合わせた状態で瞬間的に大電流を流すことにより接合部にジュール熱を発生させ、これにより接合部が加熱され、所定の温度に達したところでタングステン電極４より融点の低い耐ハロゲン性中間材５のモリブデンロッド５ａが溶融し、電極４が突合せ溶接されて電極アセンブリ２１が完成する（図５（ｅ））。
【００１１】
このような電極アセンブリ２１において、耐ハロゲン性中間材５と導電性サーメット６を突合せ溶接する場合に、流れ出した溶融物で流入部２２を完全に塞ぐことができれば、接合部Ｗは外周面に凹凸のない直径が略一定の棒状体となるが、実際には、溶融物で外径が膨らまないように流入部２２を大きめに形成せざるを得ないので、図５（ｄ）に示すように、接合部Ｗに凹部２３が残ることが多い。
【００１２】
また、凹部２３が残るだけでなく、稀ではあるが、抵抗溶接する際に、モリブデン線５ｂが熱変形する場合があることが判明した。
一般に、モリブデン線５ｂの曲げ加工を行う場合は、一次加工で線引きされたモリブデン線５ｂを１２００〜１５００℃で予め熱処理することにより柔軟性の大きな一次再結晶状態にしておく。
このように熱処理されたモリブデン線５ｂを用いると、その柔軟性が大きいため、二次加工としてコイルのような小径の曲げ加工も可能となる。
【００１３】
しかしながら、そのような曲げ加工を行うと二次加工での歪みが大きいためモリブデン線５ｂに内部応力が残り、耐ハロゲン性中間材５と導電性サーメット６を突合せ溶接するときに、図６に示すように、モリブデンロッド５ａに巻き付けたモリブデン線５ｂの端部がほどけて緩むように熱変形することが判明した。
【００１４】
すなわち、図６に示すように、耐ハロゲン性中間材５のモリブデンロッド５ａの端面と導電性サーメット６の端面同士を突合せた状態で大電流を流すと、導電性サーメット６の先端が溶融されるが、このときモリブデンロッド５ａは約１８００〜２０００℃に達しており、その熱が接合部Ｗの近傍に巻かれているモリブデン線５ｂに伝わることにより、図示するほど極端ではないが、モリブデン線５ｂの端部がほどけて緩むように熱変形し、密巻きされている他の部分に比して外径の大きい大径部５ｃが形成されることが判明した。
【００１５】
この種のメタルハライドランプにおいては、耐ハロゲン性中間材５とキャピラリ３Ｒ、３Ｌの直径差は１００μｍ程度しかないので、大径部の直径がそれより大きくなると電極アセンブリ２１をキャピラリ３Ｒ、３Ｌに挿通することができなくなり、それより変形量が小さくてもモリブデン線５ｂが緩んで外径が大きくなった大径部５ｃはキャピラリ３Ｒ、３Ｌとの隙間が小さくなるので、そこにフリットガラス１０を充填したときに、隙間の違いによりクラックが発生する原因となりやすい。
なお、突合せ溶接した場合にモリブデン線５ｂが変形することは稀であることから、熱変形はモリブデン線５ｂの結晶構造、熱履歴、加工履歴、溶接条件など悪条件が重なったときに出現するものと思われるが、その原因を特定することはできなかった。
【００１６】
さらに、耐ハロゲン性中間材５と導電性サーメット６が理想的に突合せ溶接された場合は、図５（ｄ）に示すように、モリブデンロッド５ａが導電性サーメット６内に埋め込まれるように接合される。
しかしながら、突合せ溶接の際に、モリブデンロッド５ａの上に密巻きされたモリブデン線５ｂの上から耐ハロゲン性中間材５をクランプして下向きに加圧し、その先端を導電性サーメット６に強く押し当てているため、その押圧力によりモリブデン線５ｂがモリブデンロッド５ａ上でずれ落ち、相対的にモリブデンロッド５ａが引っ込むことがある。
この場合、突合せ溶接の際の押圧力が不足してモリブデンロッド５ａが導電性サーメット６内に十分埋め込まれず、その埋込量が浅くなるため接合部Ｗにおける強度が不足し、電極アセンブリ２１が折れやすくなるという問題が判明した。
【００１７】
しかも、この種の不具合は、接合部Ｗの外周を導電性サーメット６から溶出したアルミナ成分が被覆しているため、容易に判別することができず、厳密に製品検査しようとすれば、突合せ溶接前に全ての耐ハロゲン性中間材５及び導電性サーメット６の長さを予め測定しておき、突合せ溶接後にその全長を測定することにより、これらの値から埋込量を測定するしかない。
しかし、このような検査には手間がかかるため、製造コストが嵩み、生産効率が低下するという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１８】
【特許文献１】特開２００５−３０２６２４号公報
【特許文献２】特開２００７−  ７３３４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
そこで本発明は、耐ハロゲン性中間材を構成するモリブデン線ごとに異なる固有の結晶構造、熱履歴、加工履歴などにかかわらず、導電性サーメットとの突合せ溶接時に熱変形を生じたり、埋込量が浅くなることによる強度不足を生じないようにすることを技術的課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
この課題を解決するため、本発明は、金属蒸気放電灯の発光管の両端に形成されたキャピラリに挿入されて気密封止される電極アセンブリの製造方法において、前記電極アセンブリは、発光管内に対向配設される電極と、モリブデンロッドにモリブデン線を密巻きして成る耐ハロゲン性中間材と、当該耐ハロゲン性中間材と同径でこれより融点の低い導電性サーメットを突合せ溶接して形成され、前記耐ハロゲン性中間材と導電性サーメットとを突合せ溶接する前に、前記耐ハロゲン性中間材の片端部でモリブデンロッドとモリブデン線とを溶融させ、その溶融物の表面張力によりモリブデンロッドとモリブデン線とを先丸状に硬化させて一体化させた後、当該耐ハロゲン性中間材の先丸状の片端部と導電性サーメットとを突き合わせ溶接することを特徴としている。
【発明の効果】
【００２１】
本発明方法によれば、モリブデンロッドにモリブデン線を密巻きして成る耐ハロゲン性中間材のモリブデンロッドとモリブデン線とを予め溶融一体化させたので、耐ハロゲン性中間材と導電性サーメットを突合せ溶接する際にその接合部がモリブデン線の内部応力を解放させる温度に加熱されても、モリブデン線はモリブデンロッドに一体化されているため、これがほどけて緩むように熱変形することがない。
なお、耐ハロゲン性中間材のモリブデンロッドとモリブデン線とを溶接する際には、耐ハロゲン性中間材と導電性サーメットを突合せ溶接するときのように、モリブデン線がほどけて緩むように変形することはなかった。
これは、耐ハロゲン性中間材と導電性サーメットを突合せ溶接する場合と、モリブデンを溶かす場合とでは、その溶接条件が異なるためと思われる。
あくまでも仮説ではあるが、耐ハロゲン性中間材と導電性サーメットを突合せ溶接する場合はその温度がモリブデンの溶融温度までは達しないように溶接条件が設定されているところから、その温度が、二次加工での歪みが大きい場合にモリブデン線の内部応力を解放させコイル形状を変化させる温度条件に適合するためと思われる。
一方、モリブデンロッドとモリブデン線とをレーザ溶接する場合はモリブデンの溶融温度まで瞬時に加熱されるように溶接条件が設定されるため、モリブデン線が変形する前に溶融されると考えられる。
【００２２】
また、耐ハロゲン性中間材のモリブデンロッドとモリブデン線は、溶融モリブデンの表面張力によりモリブデンロッドとモリブデン線が先丸状に硬化されて一体化される。
したがって、導電性サーメットと突合せ溶接する際にモリブデン線をクランプして加圧しても、モリブデン線がモリブデンロッドからずれ落ちることがないので、その埋込量が一定に維持され、強度不足を生じることがない。
しかも、その先端面は凸曲面状に膨出されるので、突合せ溶接する際にその中央部が最初に触れることとなり、導電性サーメットの中央部からアルミナが溶出することによって溶融しないモリブデン粒が移動し、耐ハロゲン中間材の先丸状部分が導電性サーメット先端面に食い込んでいくため高い溶接強度を得ることができる。また、溶出したアルミナは導電性サーメット外径より小径となる空間に溜まるので、その空間の周囲には溶融物が溢れ出にくくなり、同径の耐ハロゲン性中間材と導電性サーメットを接合部で外径変化させることなく均一な太さで突合せ溶接することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る電極アセンブリの製造方法の一例を示す説明図である。
【図２】接合部の各大図である。
【図３】セラミックメタルハライドランプの全体構成図である。
【図４】耐ハロゲン性中間材の先端形状と歩留まりの関係を示すグラフである。
【図５】従来の電極アセンブリの製造方法を示す説明図である。
【図６】従来の電極アセンブリの熱変形を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明は、耐ハロゲン性中間材を構成するモリブデン線ごとに異なる固有の結晶構造、熱履歴、加工履歴などにかかわらず、耐ハロゲン性中間材と導電性サーメットとを突き合わせ溶接する際に、モリブデン線が熱変形を生じないようにするという目的を達成するために、耐ハロゲン性中間材の片端部でモリブデンロッドとモリブデン線とを溶融させ、その溶融物の表面張力によりモリブデンロッドとモリブデン線とを先丸状に硬化させて一体化させた後、先丸状の片端部と導電性サーメットとを突き合わせ溶接することとした。
【実施例１】
【００２５】
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて説明する。
なお、図３と共通する部分は同一符号を付して詳細説明は省略する。
金属蒸気放電灯の発光管２の両端に形成されたキャピラリ３Ｒ、３Ｌに気密封止される電極アセンブリ１は、タングステンロッドで成る電極棒４ａの先端側にタングステン線４ｂを密巻きして放熱用のコイル部が形成された電極４と、モリブデンロッド５ａの外周部にモリブデン線５ｂを密巻きしてコイル部が形成された耐ハロゲン性中間材５と、アルミナ粉末とモリブデン粉末とを混合燒結して成る導電性サーメット６とが直列的に突合せ溶接された構成となっている。
【００２６】
この電極アセンブリ３を製造する際は、図１（ａ）に示すように、例えば直径０.４〜０.５ｍｍのモリブデンロッド５ａの外周部に、直径０.１５〜０.２ｍｍのモリブデン線５ｂを密巻きし、所定長さに切断された直径０.７０〜０.９０ｍｍ程度の耐ハロゲン性中間材５を直立させた状態で、その先端を溶融する。
本例では、その上方から、モリブデンロッド５ｂと同軸的にレーザ光Ｌを照射して、モリブデンロッド５ａとモリブデン線５ｂとを溶融している。
【００２７】
ここで、レーザ光Ｌを照射してモリブデンロッド５ａとモリブデン線５ｂとを溶融させた後、所定時間経過すると、図１（ｂ）及び（ｃ）に示すように、その先端部分が溶融物（液滴）の表面張力により先丸状となり、これが冷えると硬化して一体化される。
このとき、先丸状に硬化される片端部５ｄの外径が耐ハロゲン性中間材５の外径に等しくなるように溶融量がコントロールされる。
溶融量は、例えば、レーザ溶接の溶接条件によりコントロールされ、本例では、出力１５０ＷのＹＡＧレーザを用い、レーザ光の照射時間を実験により１０ｍｓとした。
【００２８】
この条件で先丸状に加工された片端部５ｄの先端面の曲率半径Ｒを測定したところ、耐ハロゲン性中間材５の直径Ｄに対して、０.５７Ｄ≦Ｒ≦０.５８Ｄであった。この曲率半径は、先端面頂点近傍における値であり、先端面が完全な部分球面に形成されていることを意味するものではない。
また、溶接条件を変えて、片端部５ｄを種々の曲率半径Ｒに形成した耐ハロゲン性中間材５を用いて形成した電極アセンブリ１について実験を行ったところ、歩留り９９％以上となる曲率半径Ｒの範囲は、０.５５Ｄ≦Ｒ≦０.８０Ｄであった（図４参照）。
なおこのとき、Ｒ＜０.５５Ｄとすると、導電性サーメット６を突き合わせ溶接するときに、耐ハロゲン性中間材５の片端部５ｄが導電性サーメット６の先端面に食い込みすぎてモリブデン・リッチ層が径方向に膨らんでしまい、食込量を減らすと接合部Ｗに段差が形成されて溶出したアルミナでその段差を覆いきれない。このため、ランプ完成後にフリットガラスにクラックが生じ易くなり、いずれの場合も電極アセンブリとしては不良品となる。
また、Ｒ＞０.８０Ｄとすると、耐ハロゲン性中間材５の端面がほぼ平面に近くなるので、導電性サーメット６を突き合わせ溶接するときに導電性サーメット６の外径より小径となる空間（図２参照）がほとんどなくなり、溶出したアルミナが接合部に付着すると導電性サーメット６の外径より膨らんでしまうため、やはり、電極アセンブリとしては不良品となる。
【００２９】
上述の説明では、レーザ光で加熱溶融する場合について説明したが、本発明はこれに限らず、プラズマ溶接、ＴＩＧ溶接など任意の方法を用いることができ、要するに、直径１ｍｍにも満たない耐ハロゲン性中間材５の片端部５ｄのみをモリブデン線５ｂが熱変形する前に溶融する程度に短時間で融点まで局部加熱することができれば、加熱方法は任意である。
【００３０】
次いで、耐ハロゲン性中間材５と導電性サーメット６を突合せ溶接する。
突合せ溶接は抵抗溶接の一種であり、図１（ｄ）に示すように、耐ハロゲン性中間材５の先丸状の片端部５ｄを下向きにして、導電性サーメット６の上端に突合せた状態で瞬間的に大電流（本例では、０.９Ｖ、９０Ａ）を流すことにより接合部Ｗにジュール熱を発生させて溶接させる。
片端部５ｄは先丸状に形成されているので、その先端中心部が導電性サーメット６の先端に点接触されており、アルミナ粉末とモリブデン粉末とを混合燒結して成る導電性サーメット６はその融点がモリブデンからなる耐ハロゲン性中間材５より低いので、大電流を流すことにより導電性サーメット６からアルミナが溶出する。
【００３１】
導電性サーメット６が融点近傍まで加熱されると、図１（ｅ）に示すように、導電性サーメット６の中央部からアルミナが溶出することによって耐ハロゲン性中間材５の先丸状の片端部５ｄの形状に応じて凹曲面６ａが形成され、導電性サーメット６の先端近傍にはモリブデンの比率が高いモリブデン・リッチ層６ｂが形成される。導電性サーメット６から溶出したアルミナは導電性サーメット外径より小径となる空間Ｘ（図２参照）に溜まっていき、これが冷えると硬化して耐ハロゲン性中間材５と導電性サーメット６が一体化し、突合せ溶接が完了する。
なお、溶出したアルミナは導電性サーメット外径より小径となる空間Ｘに溜まるので、その空間Ｘの周囲には溢れ出にくくなり、同径の耐ハロゲン性中間材５と導電性サーメット６を接合部Ｗで外径が変化することなく均一な太さに突合せ溶接することができる。
【００３２】
そして最後に、耐ハロゲン性中間材５の上端部に電極４を突合せ溶接する。
この場合も、図１（ｅ）に示すように、耐ハロゲン性中間材５のモリブデンロッド５ａの端面に、電極のタングステンロッド４ａを突合わせた状態で瞬間的に大電流（本例では、１.０Ｖ、１００Ａ）を流すことにより溶接させる。
この場合、電極４を構成するタングステンロッド４ａよりも、耐ハロゲン性中間材５を構成するモリブデンロッド５ａの方が融点が低いので、モリブデンを溶融し得る程度の大電流が流され、これにより生じたジュール熱によりモリブデンロッド５ａの突合せ部分が溶融する温度に瞬時に加熱され、この熱により、モリブデン線５ｂも溶融される。
この結果、モリブデンロッド５ａにタングステンロッド４ａが埋め込まれると共に、モリブデン線５ｂも溶融されてモリブデンロッド５ａに一体化される。
【００３３】
このように製造された電極アセンブリ１は、同径の耐ハロゲン性中間材５と導電性サーメット６とを突合せ溶接する場合に、モリブデン線４ｂがほどけて緩むように熱変形したり、加圧時にモリブデン線５ｂがずれ落ちたりすることがなく、また、接合部Ｗには径方向に凹部や凸部が形成されることもなく、一定の外径で連結される。
したがって、電極アセンブリ１をキャピラリ３Ｒ，３Ｌに挿通してその接合部Ｗまでフリットガラス１０を充填して封止したときに、フリットガラス１０が均一の厚さで充填されることとなるので、ランプの点灯に伴う熱膨張によりフリットガラス１０にクラックが入ることもない。
【００３４】
なお、本例では、耐ハロゲン性中間材５と導電性サーメット６とを突合せ溶接した後、電極４と耐ハロゲン性中間材５を突合せ溶接する場合について説明したが、本発明はこれに限らず、電極４と耐ハロゲン性中間材５を突合せ溶接した後、耐ハロゲン性中間材５と導電性サーメット６とを突合せ溶接する場合であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
以上述べたように、本発明は、発光管内に対向配設される電極と、モリブデンロッドにモリブデン線を密巻きして成る耐ハロゲン性中間材と、当該耐ハロゲン性中間材と同径でこれより融点の低い導電性サーメットを突合せ溶接して、金属蒸気放電灯の電極アセンブリを製造する用途に適用し得る。
【符号の説明】
【００３６】
１    電極アセンブリ
２    発光管
３Ｒ，３Ｌ  キャピラリ
４ａ  タングステンロッド  
４ｂ  タングステン線
４    電極
５ａ  モリブデンロッド
５ｂ  モリブデン線
５    耐ハロゲン性中間材
６    導電性サーメット
１０  フリットガラス
Ｗ    接合部
【図１】
2010177092.tif 000003
【図２】
2010177092.tif 000004
【図３】
2010177092.tif 000005
【図４】
2010177092.tif 000006
【図５】
2010177092.tif 000007
【図６】
2010177092.tif 000008