(57)【要約】【課題】ガスレーザ発振器の出力を増加させ、かつ、発振器筐体の気密性を確保する。【解決手段】ガスレーザ発振器の構成機器を搭載する発振器筐体１０１と、発振器筐体１０１の機密性を保つための部材であって、発振器筐体１０１の内部側または外部側に膨出する曲面部２０１と端辺に形成されて発振器筐体１０１の内部側または外部側に突出した側壁２０３とを有する蓋部材２００と、発振器筐体１０１と蓋部材２００の間に配置され、形成された開口部３０４によってレーザ媒介ガスの流路幅を拡張するガス流路幅拡張部材３００と、ガス流路幅拡張部材３００を挟んで蓋部材２００を発振器筐体１０１に固定する蓋押さえ部材４００を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスレーザ発振器の構成機器を搭載する発振器筐体と、
前記発振器筐体の機密性を保つための部材であって、前記発振器筐体の内部側または外部側に膨出する曲面部と、端辺に形成されて前記発振器筐体の内部側または外部側に突出した側壁とを有する蓋部材と、
前記発振器筐体と前記蓋部材の間に配置され、形成された開口部によってレーザ媒介ガスの流路幅を拡張するガス流路幅拡張部材と、
前記ガス流路幅拡張部材を挟んで前記蓋部材を前記発振器筐体に固定する蓋押さえ部材を備えたことを特徴とするガスレーザ発振器。
【請求項２】
前記蓋押さえ部材は、前記蓋部材の外周部を前記発振器筐体に固定する一体構造の部材であることを特徴とする請求項１に記載のガスレーザ発振器。
【請求項３】
前記蓋押さえ部材は、複数に分割されており、分割された複数の蓋押さえ部材によって、前記蓋部材の角部を前記発振器筐体に固定することを特徴とする請求項１に記載のガスレーザ発振器。
【請求項４】
前記蓋押さえ部材は、複数に分割されており、分割された蓋押さえ部材は、９０度に折り曲げられたＵ字状の溝部を有し、前記溝部に前記側壁の端部をはめ込み、締結具で蓋部材に締結することにより４つある側壁を一体構造としたことを特徴とする請求項１に記載のガスレーザ発振器。
【請求項５】
前記ガス流路幅拡張部材は、前記発振器筐体と前記蓋部材の間に複数の前記ガス流路幅拡張部材が配置されていることを特徴とする請求項１に記載のガスレーザ発振器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ガスレーザ発振器の筐体構造に関するものであり、特に、直交励起型ガスレーザ発振器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の直交励起型ガスレーザ発振器（以下、単にガスレーザ発振器とも称す）においては、ＣＯ2ガスなどのレーザ媒介ガスを封入した密閉構造の発振器筐体を有しており、該発振器筐体内に、レーザ媒介ガス放電励起用の放電電極、レーザ媒介ガスを冷却する熱交換器およびレーザ媒介ガスを循環させる送風機が備えられている。
また、発振器筐体の両端には、ガスレーザ発振器を構成するミラー光学系が配置されている。
ＣＯ2ガスレーザなどのガスレーザにおける連続発振では、レーザ光を放出するガス分子を誘導放出に必要なエネルギ準位に励起（ポンピング）するために、放電時の電子衝突によって励起する放電励起を用いることが一般的である。
この場合、安定した放電を得るためには、発振器筐体内部を３０〜６０ｔｏｒｒの真空状態とする必要がある。
このため、ガスレーザ発振器の発振器筐体の構造は、真空状態を保持可能な気密性能を有する必要がある。
【０００３】
また、発振器筐体の内部に搭載（配置）された放電電極、熱交換器、送風機およびミラー光学系などを定期的にメンテナンスする必要があるので、発振器筐体の外部からメンテナンス作業者が容易にアクセスできることが必要である。
このため、発振器筐体には、広い開口部を設けると共に、開口部を塞ぐための取り外しが可能な蓋部材が取り付けられている。
ガスレーザ発振器の蓋部材は、発振器筐体の内部を真空状態としたときの負荷（圧力）に耐え、真空状態を保持可能な気密性能を保持し、かつ、発振器筐体の内部機器を容易にメンテナンスできるように外形面積を広くする必要がある。
【０００４】
通常、発振器筐体の蓋部材としては、板厚の厚い平板形状のものや、あるいはリブ構造を持つものが採用されている。
例えば、特許文献1（特開２００７−２９４８０７号公報）に示されるガスレーザ発振器は、発振器筐体と該発振器筐体を真空状態に保つための蓋部材で構成されており、蓋部材は、筐体内部側あるいは外部側に膨出したドーム形状部（局面部）と、該ドーム形状部と側壁との間の領域に形成され、前記ドーム形状部より小さい筐体内部側あるいは外部側に膨出した凸起部である三角形凸構造部と、蓋部材の端辺が筐体内部側あるいは外部側に折り曲げられ突出した側壁を設けている。
蓋部材は、このような構造を採用したことにより、その板厚を薄くしても真空状態時に受ける圧力に耐えることができる。
【０００５】
特許文献1に示される従来のガスレーザ発振器では、発振器筐体と蓋部材の間の空間部（主としてドーム形状部で形成される空間）がレーザ媒介ガスの主たる流路となっているので、蓋部材の「ドーム形状部（曲面部）」または「凸起部（三角形凸構造部）」が筐体内部側に膨出している場合は、レーザ媒介ガスの流路を狭めることになる。
【０００６】
レーザ媒介ガスの流路が狭まると、圧力損失が増大して、レーザ媒介ガスの流量が減少する。レーザ媒介ガスの流量が減少すると、放電電極における「レーザ媒介ガスによる熱量の持去り量」が減少するため、放電電極でのレーザ媒介ガスの温度が上昇する。
放電電極でのレーザ媒介ガスの温度が上昇すると、誘導放出に無関係の低エネルギ準位にガス分子が励起され、本来の誘導放出に必要なエネルギ準位に励起するガス（レーザ媒介ガス）分子が減少する。そのため、レーザの出力が低下するという問題点がある。
なお、誘導放出とは、励起された電子・原子・分子などが他のエネルギ準位に移る際に、外部から加えられた電磁波などのエネルギと同位相・同周波数で電磁波を放出する現象のことである。
【０００７】
また、従来のガスレーザ発振器の蓋部材は、レーザ媒介ガス（以下、単に、「レーザガス」あるいは「ガス」とも称す）の交換や発振器筐体の内部機器のメンテナンスなどを繰り返して行うと、徐々に変形して筐体の気密性を確保できなくなるという問題点もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−２９４８０７号公報（図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上述した問題点を解決するためになされたもので、ガスレーザ発振器筐体の基本構造を変更することなく、ガス流路幅を拡張できてレーザ出力を高めることができる共に、更に、レーザ媒介ガスの交換や内部機器のメンテナンスなどを繰り返し行っても、蓋部材の変形を抑制することが可能であり、筐体の機密性も確保できるガスレーザ発振器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明に係るガスレーザ発振器は、ガスレーザ発振器の構成機器を搭載する発振器筐体と、前記発振器筐体の機密性を保つための部材であって、前記発振器筐体の内部側または外部側に膨出する曲面部と端辺に形成されて前記発振器筐体の内部側または外部側に突出した側壁とを有する蓋部材と、前記発振器筐体と前記蓋部材の間に配置され、形成された開口部によってレーザ媒介ガスの流路幅を拡張するガス流路幅拡張部材と、前記ガス流路幅拡張部材を挟んで前記蓋部材を前記発振器筐体に固定する蓋押さえ部材を備えたものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、発振器筐体と蓋部材の間に配置され、形成された開口部によってレーザ媒介ガスの流路幅を拡張するガス流路幅拡張部材を備えたので、ガス流路幅が拡張し、圧力損失を低減することができ、レーザ媒介ガス流量が増加して放電電極における熱量持去り量が増加する。
その結果、ガスの放電電極での分布は、誘導放出に必要なエネルギ準位の分子数が多くなり、レーザ出力が上昇する。
更に、ガス流路幅拡張部材を挟んで蓋部材を発振器筐体に固定する蓋押さえ部材を備えたので、レーザ媒介ガスの交換や発振器筐体の内部機器のメンテナンスなどを繰り返しても蓋部材の変形を抑制することが可能であり、筐体の機密性を確保できる。
その結果、長期間にわたって筐体の気密を確保することも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明によるガスレーザ発振器の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明におけるガスレーザ発振器の蓋部材の構造を示す図である。
【図３】本発明におけるガス流路幅拡張部材の構造を示す図である。
【図４】実施の形態１による蓋押さえ部材の構造を示す図である。
【図５】実施の形態２による蓋押さえ部材の構造を示す図である。
【図６】実施の形態２による蓋押さえ部材が蓋部材の四隅に配置されている様子を示す図である。
【図７】実施の形態３による蓋押さえ部材の構造を示す図である。
【図８】実施の形態３による蓋押さえ部材が蓋部材の四隅に配置されている様子を示す図である。
【図９】本発明の実施形態４におけるガスレーザ発振器筐体の全体構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面に基づいて、本発明の一実施の形態例について説明する。
なお、各図間において、同一符号は、同一あるいは相当のものであることを表す。
実施の形態１．
図１は、本発明によるガスレーザ発振器の全体構成を示す斜視図である。
図１において、ガスレーザ発振器１００は、発振器筐体主構造１０１、蓋部材２００、発振器筐体主構造１０１と蓋部材２００との間に挿入して配置されるガス流路幅拡張部材３００、蓋押さえ部材４００などによって構成されている。
【００１４】
発振器筐体主構造（以下、単に発振器筐体と略す）１０１は、放電電極１０２、熱交換器１０３、送風機１０４、およびミラー光学系（図示なし）などの「ガスレーザ発振器１００を構成する機器」を搭載する構造物である。なお、発振器筐体１０１は、鉄鋼、ステンレスなどの金属板材を溶接接合して形成される。
また、光共振器１０５は、光（電磁波）の定在波を作るための光学ミラー装置であり、平行に配置された２枚のミラーの間を光（電磁波）が何度も往復できるように構成されている。
また、Ｏリング溝１０９およびネジ穴１０８が形成されたフランジ１０７、発振器筐体１０１の変形を抑制するためのリブ１１０および開口部支持部材１１１は、溶接あるいはねじ締結などの方法で発振器筐体１０１に接合されている。
【００１５】
発振器筐体１０１のフランジ１０７に形成したＯリング溝１０９に、Ｏリング１０６を配置した後に、フランジ１０７と対向させてガス流路幅拡張部材３００を配置する。
発振器筐体１０１のフランジ１０７にガス流路幅拡張部材３００を配置後、ガス流路幅拡張部材３００のＯリング溝３０１にＯリング３０５を配置し、その後、ガスレーザ発振器１００の開口部を塞ぐように、蓋部材２００を配置する。
その後、蓋部材２００の外部側に蓋押さえ部材４００を配置し、フランジ１０７に形成されたネジ穴１０８にボルト締結することによって、発振器筐体１０１とガス流路幅拡張部材３００、蓋部材２００、蓋押さえ部材４００が接合（固着）される。
【００１６】
この際に、Ｏリング溝１０９に配置されているＯリング１０６をフランジ１０７とガス流路幅拡張部材３００とで挟んで潰し、更に、Ｏリング溝３０１に配置されているＯリング３０５をガス流路幅拡張部材３００と蓋部材２００とで挟んで潰し、ガスレーザ発振器１００の気密を確保する。
これにより、ガスレーザ発振器１００の筐体は耐圧容器となる。
なお、蓋押さえ部材４００は蓋部材２００に溶接しても良い。
【００１７】
ここで、蓋部材２００の構造について説明する。
図２は、実施の形態１によるガスレーザ発振器１００の蓋部材２００の構造を示す図であり、図２（ａ）は正面図、図２（ｂ）は側面図である。
なお、図２（ｂ）は、図２（ａ）の矢印Ａの方向から蓋部材２００を見たときの側面図である。
蓋部材２００は、ガスレーザ発振器１００の気密を確保するために、発振器筐体１０１とガス流路幅拡張部材３００の開口部を塞ぐものであり、外形が略四角形で、４つの端辺（側辺）を有する。
本実施の形態では、蓋部材２００は、１枚の鉄鋼、アルミまたはステンレスなどの金属板材により形成されている。
この蓋部材２００には、プレスなどの方法によって擬部分球面形状をしたドーム形状部２０１およびドーム形状部２０１の周囲４箇所に配置された三角形凸構造部２０２が形成されている。
【００１８】
ドーム形状部２０１は、発振器筐体１０１の内部側に膨出した曲面部である。
ドーム形状部２０１は、耐圧容器として内部側が凸となるように形成され、ガス流路幅拡張部材３００の開口部支持部材３０２との干渉を避けるために、左右の２箇所に配置されている。
三角形凸構造部２０２は、蓋部材２００の４つの端辺とドーム形状部であるドーム形状部２０1との間の領域に形成され、発振器筐体１０１の内部側に突出した凸起部である。
三角形凸構造部２０２は、ドーム形状部２０１より小さい。
また、三角形凸構造部２０２は、ドーム形状部２０１と同様に、内部側が凸となるように形成されている。
なお、ドーム形状部２０１の周囲４箇所に配置された三角形凸構造部２０２の一部は、蓋部材２００の四隅部分に形成されている。
【００１９】
本実施の形態では、蓋部材２００には２つのドーム形状部２０１が形成されおり、ドーム形状部２０１が形成されていない周辺の平面部にも三角形凸構造部２０２が形成されている。
図２に示すように、本実施の形態による蓋部材２００では、三角形凸構造部２０２が８箇所に形成されている。
なお、三角形凸構造部２０２は、外側が凸となるように形成してもよい。
蓋部材２００の４つの端辺には、発振器筐体１０１の筐体側とは反対側に突出した側壁２０３が形成されている。
蓋部材２００の４つの端辺にこのような側壁２０３を設けることにより、蓋部材２００の剛性を大きくし、蓋部材２００の面積を大きくしても、発振器筐体１０１が真空状態の時に受ける応力を緩和することができる。
【００２０】
側壁２０３は、発振器筐体１０１の反対側（発振器筐体の外側）に向かって、蓋部材２００の４つの端辺を９０度折り曲げることによって形成されている。
なお、側壁２０３は、４つの端辺に金属部材をネジ締結または溶接接合することにより形成されてもよい。
また、側壁２０３は、蓋部材２００の４つの端辺を発振器筐体１０１の側に折り曲げて形成しても良い。
なお、蓋部材２００の外周部には、フランジ１０７に設けられたネジ穴１０８と同じピッチでボルト締結用のボルトを貫通する貫通穴２０４が形成されている。
【００２１】
次に、発振器筐体１０１と蓋部材２００との間に挿入するガス流路幅拡張部材３００の構造について説明する。
図３は、本発明によるガス流路幅拡張部材３００の構造を説明するための図であり、図３（a）は正面図、図３（ｂ）は側面図である。
なお、図３（ｂ）は、図３（a）の矢印Ｂの方向からガス流路幅拡張部材３００を見たときの側面図である。
ガス流路幅拡張部材３００は、発振器筐体１０１の開口部と蓋部材２００の間に挿入（配置）されるものであり、その外形は、フランジ１０７や蓋部材２００と同様に、略四角形で４つの端辺を有する。
本実施の形態では、ガス流路幅拡張部材３００は、鉄鋼、アルミ、またはステンレスなどの１枚の金属材料により形成されている。
【００２２】
ガス流路幅拡張部材３００は、圧延などの方法によって製作された所定の厚みを有した板材の片面側にのみ機械加工などの方法によりＯリング溝３０１が形成されており、更に、プレス抜き、または機械加工などの方法により開口部３０４が形成されている。
ガス流路幅拡張部材３００の開口部３０４により形成される空間部によって、ガス流路が拡張される。
また、ガス流路幅拡張部材３００の中央部には開口部支持部材３０２があり、該開口部支持部材３０２は、ガス流路幅拡張部材３００を発振器筐体１０１のフランジ１０７に設置した時に開口部支持部材１１１に重なる位置に設ける。
また、ガス流路幅拡張部材３００の外周部には、フランジ１０７に設けられたネジ穴１０８と同じピッチでボルト締結用の貫通穴３０３が形成されている。
【００２３】
最後に、本実施の形態における蓋押さえ部材４００の構造について説明する。
図４は、蓋押さえ部材４００の構造を示す図であり、図４（a）は正面図、図４（ｂ）は側面図である。
なお、図４（ｂ）は、図４（a）の矢印Ｃの方向から蓋押さえ部材４００を見たときの側面図である。
蓋押さえ部材４００の外形は、蓋部材２００の外径と同様に、略四角形であり、４つの端辺を有する。
本実施の形態では、蓋押さえ部材４００は、１枚の鉄鋼、アルミまたはステンレスなどの金属材料により形成された板材である。
【００２４】
蓋押さえ部材４００の外周部には、フランジ１０７に設けられたネジ穴１０８と同じピッチでボルト締結用の貫通穴４０１が形成されている。
また、蓋押さえ部材４００の中央部には、機械加工などの方法によって開口部４０２を設けている。
蓋押さえ部材４００は、ガス流路幅拡張部材３００とほぼ同様の形状をしているが、蓋押さえ部材４００の表面（両側ともに）にはガス流路幅拡張部材３００に形成されているＯリング溝３０１のような溝は存在しない。
本実施の形態による蓋押さえ部材４００は、蓋部材２００の外周部を発振器筐体１０１に固定する一体構造の部材である。
なお、また、蓋押さえ部材４００は蓋部材２００に溶接などの方法で固定しても良い。
【００２５】
このような構成によって、本実施の形態によるガスレーザ発振器１００では、ガス流路幅を拡張してガス流量を増加させ、放電電極１０２におけるガス温度を低下させることができ、ガス分子の励起分布を誘導放出のしやすい反転分布とすることが可能となる。
その結果、レーザ出力が上昇する。
また、蓋押さえ部材４００で蓋部材２００を発振器筐体１０１と共締めすることにより、蓋部材２００の変形が抑制されるので、レーザ媒介ガスの交換や発振器筐体の内部機器のメンテナンスなどを繰り返しても、発振器筐体１０１の機密性が確保できる。
なお、蓋部材２００が新しくて（即ち、レーザ媒介ガスの交換や発振器筐体の内部機器のメンテナンスなどの回数が少なくて）、蓋部材２００が変形していない場合は、蓋押さえ部材４００は取り付けなくてもガスレーザ発振器の運転は可能である。
【００２６】
以上説明したように、本実施の形態によるガスレーザ発振器は、ガスレーザ発振器の構成機器を搭載する発振器筐体１０１と、発振器筐体１０１の機密性を保つための部材であって、発振器筐体１０１の内部側または外部側に膨出する曲面部２０１と端辺に形成されて発振器筐体１０１の内部側または外部側に突出した側壁２０３とを有する蓋部材２００と、発振器筐体１０１と蓋部材２００の間に配置され、形成された開口部３０４によってレーザ媒介ガスの流路幅を拡張するガス流路幅拡張部材３００と、ガス流路幅拡張部材３００を挟んで蓋部材２００を発振器筐体１０１に固定する蓋押さえ部材４００を備えている。
従って、本実施の形態によれば、発振器筐体と蓋部材の間に配置され、形成された開口部によってレーザ媒介ガスの流路幅を拡張するガス流路幅拡張部材を備えているで、ガス流路幅が拡張して圧力損失を低減することができ、レーザ媒介ガス流量が増加して放電電極における熱量持去り量が増加する。
その結果、ガスの放電電極での分布は、誘導放出に必要なエネルギ準位の分子数が多くなり、レーザ出力が上昇する。
更に、ガス流路幅拡張部材を挟んで蓋部材を前記発振器筐体に固定する蓋押さえ部材を備えているで、レーザ媒介ガスの交換やメンテナンスなどのために筐体内を繰り返し真空状態にしても、蓋部材の変形を抑制することが可能であり、長期間にわたって筐体の気密性を確保することができる。
【００２７】
実施の形態２．
図５は、実施の形態２によるガスレーザ発振器の蓋押さえ部材５００の構造を示す図であり、図５（a）は蓋押さえ部材５００の正面図、図５（ｂ）は側面図である。
なお、図５（ｂ）は、図５（a）の矢印Ｄの方向から蓋押さえ部材５００を見たときの側面図である。
前述した実施の形態1では、蓋押さえ部材４００は一体構造で作成されたものであったが、本実施の形態では、蓋押さえ部材は、一体構造ではなく、分割されている点が異なっている。
図６は、本実施の形態における蓋押さえ部材５００が蓋部材２００の角部の四隅に配置されている様子を示している。
【００２８】
実施の形態１で使用する蓋部材４００は、レーザ媒介ガスの交換やメンテナンスなどのために筐体内を繰り返し真空状態にして使用するため、蓋部材の対角線対称に、あるいは中心線対称に変形が生じる。そのため、蓋部材２００の四隅の変形が一番大きい。
そこで、本実施の形態では、蓋押さえ部材は一体構造ではなく、分割して蓋部材２００の角部の四隅にのみ設ける。
【００２９】
蓋押さえ部材５００を使用する際の方法について説明する。
実施の形態１と同様に、まず、発振器筐体１０１のＯリング溝１０９にＯリング１０６を配置した後に、発振器筐体１０１のフランジ１０７にガス流路幅拡張部材３００を配置する。
ガス流路幅拡張部材３００を配置後、ガス流路幅拡張部材３００のＯリング溝３０１にＯリング３０５を配置し、その後ガス流路幅拡張部材３００の開口部３０４を塞ぐように蓋部材２００を配置する。
蓋部材２００を配置後、蓋部材２００の四隅に蓋押さえ部材５００を配置し、ボルトで共締めする。
【００３０】
蓋押さえ部材５００について説明する。蓋押さえ部材５００は、アルミまたはステンレスなどの金属材料により形成されている。
４つの蓋押さえ部材５００は、蓋部材２００の四隅の形状にそれぞれ対応させて、図５に示すような形状をしており、フランジ１０７に設けられたネジ穴１０８と同じピッチでボルト締結用の貫通穴５０１が形成されている。
但し、貫通穴５０１は、フランジ１０７の四隅において、１辺に最低1箇所、フランジ１０７のネジ穴１０８と同じ位置に設けられている。
そして、蓋押さえ部材５００は、蓋部材２００の角部を発振器筐体１０１に固定できるように、蓋部材２００の４つの角部（即ち、四隅）に配置される。
なお、蓋押さえ部材５００を蓋部材２００に固定する方法は、ボルトで共締めする方法の他に、溶接する方法などであってもよい。
【００３１】
以上説明したように、本実施の形態における蓋押さえ部材は、複数に分割されており、分割された複数の蓋押さえ部材５００によって、蓋部材２００の角部を発振器筐体１０１に固定する。
従って、本実施の形態によれば、分割された蓋押さえ部材５００は、蓋部材２００の４つの角部（即ち、四隅）のみに配置されるので、実施の形態１における一体形の蓋押さえ部材４００と比較して、蓋押さえ部材の材料使用量を少なくすることが出来る。
【００３２】
実施の形態３．
図７は、実施の形態３によるガスレーザ発振器の蓋押さえ部材６００の概観を示す図であり、図７（a）は蓋押さえ部材６００の正面図、図７（ｂ）および図７（ｃ）は側面図である。
なお、図７（ｂ）は、図７（a）の矢印Ｅの方向から蓋押さえ部材６００を見たときの側面図、図７（ｃ）は、図７（a）の矢印Fの方向から蓋押さえ部材６００を見たときの側面図である。
図において、６０１は、蓋押さえ部材６００を蓋部材２００に締結するための貫通穴である。
また、図８は、本実施の形態における蓋押さえ部材６００が蓋部材２００の角部の四隅に配置されている様子を示している。
【００３３】
前述したように、従来の蓋部材は、端辺の側壁が四隅で接合していないことにより、繰り返し使用すると、徐々に蓋部材が対角線に対称に、若しくは蓋部材中心線を対称に変形して、ガスレーザ発振器の気密を確保できなくなる。
しかし、本実施の形態では、側壁２０３同士の接合部に蓋押さえ部材６００を配置することにより、蓋部材２００の外周に４つある側壁２０３が連続した一体構造となり、この構造は、蓋部材２００に対してリブ構造となっている。
なお、押さえ部材６００は、図７に示すように、９０度に折り曲げられたＵ字状の溝部を有した構造をしており、このＵ字状の溝部に側壁２０３の端部をはめ込んで、４つある側壁２０３を連続した一体構造としている。
【００３４】
蓋押さえ部材６００を使用する際の方法について説明する。
発振器筐体１０１のＯリング溝１０９にＯリング１０６を配置した後に、発振器筐体１０１のフランジ１０７にガス流路幅拡張部材３００を配置する。
ガス流路幅拡張部材３００を配置後、ガス流路幅拡張部材３００のＯリング溝３０１にＯリング３０５を配置し、その後ガス流路幅拡張部材３００の開口部３０４を塞ぐように蓋部材２００を配置し、ボルトで筐体１０１と接合する。
蓋部材２００を配置後、９０度に折り曲げたＵ字状の溝部を有した蓋押さえ部材６００を蓋部材２００の四隅に取り付ける。
その際、蓋部材２００の端部の側壁２０３は、蓋押さえ部材６００のＵ字状の溝部にはめ込まれ、ボルトなどの締結具で蓋部材２００と固定されている。これにより、蓋部材２００の端部に形成された４つの側壁２０３を一体構造としている。
このような構成によって、蓋部材２００の剛性を増大させて、蓋部材２００の変形を抑制できると共に、図８からも判るように、蓋押さえ部材６００は、蓋押さえ部材４００、５００と比較して材料使用量を更に少なくすることが出来る。
【００３５】
以上説明したように、本実施の形態における蓋押さえ部材６００は、複数に分割されており、分割された前記蓋押さえ部材は、それぞれ９０度に折り曲げられたＵ字状の溝部を有した構造をしており、この溝部に側壁２０３の端部をはめ込み、締結具で蓋部材２００に締結することにより、４つある側壁２０３を一体構造としている。
従って、本実施の形態によれば、蓋部材２００の剛性が更に増加するので、蓋部材２００の変形を確実に抑制できると共に、複数の蓋押さえ部材６００は、前述の実施の形態２における蓋押さえ部材５００よりも材料使用量を更に低減することが出来る。
【００３６】
実施の形態４．
図９は、実施の形態４によるガスレーザ発振器の全体の構成を示す斜視図である。
基本構成は実施の形態１とほぼ同じであるが、本実施の形態4は実施の形態１と比較して、発振器筐体１０１と発振器筐体１０１の開口部を塞ぐ蓋部材２００の間にガス流路幅拡張部材３００を複数枚挿入している点で異なる。
なお、蓋押さえ部材は、実施の形態１、２、３に記載している蓋押さえ部材４００、５００、６００のいずれを使用しても良い。
【００３７】
このような構成によって、本実施の形態では、実施の形態１の場合に較べてガス流路を更に拡張することができ、放電電極１０２でのガス流量が更に増加する。
ガス流量が更に増加すると、放電電極１０２における熱量持去り量が更に増加してガス温度が低下する。
ガス温度が更に低下すると分子分布がエネルギ準位の高い分子数が更に多くなる反転分布を形成する為レーザ出力が更に増加する。
若しくは、圧力損失が更に低減するため送風機の回転周波数を下げても、ガス流路幅拡張部材３００を１枚挿入した時と同程度のガス流量を得ることが出来る。
その結果、送風機への入力電力を低減することが出来る。
【００３８】
以上説明したように、本実施の形態によるガスレーザ発振器は、発振器筐体１０１の開口部と蓋部材２００の間に複数のガス流路幅拡張部材３００を挿入する。
従って、レーザ媒介ガスの流路を更に拡張してガス流量を増加することが可能となり、レーザ出力を増加させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
この発明は、出力を増加できると共に発振器筐体の気密性も確保できるガスレーザ発振器の実現に有用である。
【符号の説明】
【００４０】
１００  ガスレーザ発振器          １０１  発振器筐体
１０２  放電電極                  １０３  熱交換器
１０４  送風機                    １０５  光共振器
１０６、３０５  Ｏリング          １０７  フランジ
１０８  ネジ穴                    １０９、３０１  Ｏリング溝
１１０  リブ                      １１１、３０２  開口部支持部材
２００  蓋部材                    ２０１  曲面部（ドーム形状部
２０２  三角形凸構造部            ２０３  側壁
２０４、２０３、３０３、４０１、５０１、６０１  貫通穴
３００  ガス流路幅拡張部材
３０４、４０２  開口部
４００、５００、６００  蓋押さえ部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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