(57)【要約】      （修正有）【課題】ギャップを小さくするとともに、マグネットと複数の単コイルからなるコイルアッシーとを配設するスペースを有効に利用するリニアモータを得る。【解決手段】固定子３に配設されたコイルアッシー３１と可動子２に配設されたマグネット３２との電磁作用により前記可動子２が移動するリニアモータ１であって、前記コイルアッシー３１は、複数の単コイルを束ねて、前記可動子２のマグネット３２との電磁作用に用いることのない部位を折り曲げ、前記固定子３の形状に適合させて固定されている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子に配設されたコイルアッシーと可動子に配設されたマグネットとの電磁作用により前記可動子が移動するリニアモータであって、
前記コイルアッシーは、
複数の単コイルを束ねて、
前記可動子のマグネットとの電磁作用に用いることのない部位を折り曲げ、前記固定子の形状に適合させて固定される
ことを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
固定子に配設されたマグネットと可動子に配設されたコイルアッシーとの電磁作用により前記可動子が移動するリニアモータであって、
前記コイルアッシーは、
複数の単コイルを束ねて、
前記固定子のマグネットとの電磁作用に用いることのない部位を折り曲げ、前記可動子の形状に適合させて固定される
ことを特徴とするリニアモータ。
【請求項３】
前記コイルアッシーは、前記マグネットとの電磁作用に用いることのない部位が、前記マグネットと対向させたときの背後側へ折り曲げられ、前記マグネットとの電磁作用に用いる部位が前記マグネット側へ迫り出す
ことを特徴とする請求項１または２に記載のリニアモータ。
【請求項４】
前記コイルアッシーの近傍に該コイルアッシーが発生した磁束を整えるヨーク部材を備えることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載のリニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の単コイルからなるコイルアッシーに電磁力を発生させて可動子を駆動する同期型のリニアモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、同期型リニアモータは、固定子および可動子に、それぞれ永久磁石のマグネットまたは電磁力を発生する電磁コイルを備え、当該電磁コイルに供給する電流により電磁力を制御し、電磁コイルとマグネットとの相互電磁作用によってモータ駆動が行われる。
上記の電磁コイルは、例えば、特許文献１に記載されているように、中心部位を中空として略ロの字状に巻線を巻回している。このような形状の電磁コイルは、例えば固定子に並べて備えられ、また、永久磁石のマグネットが可動子に備えられる。
【０００３】
リニアモータには、限られたサイズにおいて大きな駆動力を得るために、例えば、上述の電磁コイルのような形状をした単コイルを複数個並べて束ね、線積率を高めたコイルアッシーを使用しているものがある。
リニアモータに備えられるコイルアッシーは、所定の形状に整形され、対向配置されるマグネットに対して適切なギャップを有するように、固定子あるいは可動子に配設されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−７４９７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、コイルアッシーとマグネットとのギャップを適切に設けるためには、固定子または可動子において、上記のギャップを小さくする構造等が必要になる。ギャップを小さくするように固定子または可動子を構成すると、上記の構造等を設けるためのスペースが必要になり、また、構成が複雑になってリニアモータの小型化を難しくするという問題点があった。
【０００６】
本発明は上記のような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ギャップを小さくするとともに、マグネットと複数の単コイルからなるコイルアッシーとを配設するスペースを有効に利用するリニアモータを得ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の観点によるリニアモータは、固定子に配設されたコイルアッシーと可動子に配設されたマグネットとの電磁作用により前記可動子が移動するリニアモータであって、前記コイルアッシーは、複数の単コイルを束ねて、前記可動子のマグネットとの電磁作用に用いることのない部位を折り曲げ、前記固定子の形状に適合させて固定される。
【０００８】
また、前記コイルアッシーは、複数の単コイルを束ねて、前記固定子のマグネットとの電磁作用に用いることのない部位を折り曲げ、前記可動子の形状に適合させて固定される。
【０００９】
好適には、前記コイルアッシーは、前記マグネットとの電磁作用に用いることのない部位が、前記マグネットと対向させたときの背後側へ折り曲げられ、前記マグネットとの電磁作用に用いる部位が前記マグネット側へ迫り出す。
【００１０】
好適には、前記コイルアッシーの近傍に該コイルアッシーが発生した磁束を整えるヨーク部材を備える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、同期型リニアモータの駆動力を発生するコイルアッシーとマグネットとを対向配置したとき、ギャップを適切に確保するとともにスペースを効率よく用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１の実施形態によるリニアモータの概略構成を示す説明図である。
【図２】図１に示したリニアモータに備えられるコイルアッシーの構成を示す説明図である。
【図３】図１に示したリニアモータを構成するコイルアッシーの形状を示す説明図である。
【図４】図１に示したリニアモータの構成を示す説明図である。
【図５】他のコイルアッシーの整形例を示す説明図である。
【図６】本発明の第２の実施形態によるリニアモータの構成を示す説明図である。
【図７】本発明の第３の実施形態によるリニアモータの構成を示す説明図である。
【図８】本発明の第４の実施形態によるリニアモータの構成を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、この発明の実施の一形態を説明する。
＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の第１の実施形態によるリニアモータの概略構成を示す説明図である。図１（ａ）は、第１の実施形態によるリニアモータ１を側方視したときの概略構成を示しており、図１（ｂ）は、リニアモータ１を正面視したときの概略構成を示している。
【００１４】
リニアモータ１は、ステージ台１０などからなる可動子２、および、ベース２０などからなる固定子３によって構成されている。
可動子２のステージ台１０は、例えば上面および底面の形状が四辺形の平板からなり、当該四辺形の四隅近傍の底面部分に各々ガイド部１１を備えている。ステージ台１０は、例えば、図１（ａ）における左右方向のサイズが１００［ｍｍ］である。
【００１５】
ガイド部１１は、可動子２即ちステージ台１０の移動方向に沿って設けられた溝部を有し、図１（ｂ）に示したように可動子２を正面視したときには、例えば図中下向きの略Ｕ字型に形成されている。
また、ガイド部１１に例えばトラックボール等を備え、当該トラックボールが後述するガイドレール２１に当接し、可動子２がガイドレール２１上を滑らかに移動するように構成してもよい。
【００１６】
固定子３は、図１（ａ）に示したように可動子２の移動方向に延設されており、また、正面視したときには、図１（ｂ）に示したようにベース２０を底端部とした凹状になるように形成されている。
ベース２０の両端部分には縁壁部２０ａが各々設けられており、各縁壁部２０ａの上面にはガイドレール２１を各々備えている。
【００１７】
ベース２０は、ステージ台１０のサイズが前述のように１００［ｍｍ］であるとき、例えば、図１（ａ）における左右方向のサイズが２００［ｍｍ］である。上述のように可動子２のステージ台１０を１００［ｍｍ］、固定子３のベース２０を２００［ｍｍ］としたとき、可動子２の移動範囲は、例えば６０［ｍｍ］になる。
ガイドレール２１は、可動子２の移動方向に沿って設置されており、当該ガイドレール２１の断面形状は、可動子２のガイド部１１の溝部に係合するように構成されている。
【００１８】
また、固定子３と可動子２との間には、図中破線で示した当該リニアモータ１の駆動部３０が配設されている。
固定子３には、複数の単コイルを束ねて所定の形状に整形したコイルアッシーが備えられている。
また、固定子３、もしくはベース２０には、可動子２の位置を検出するリニアセンサ２２が備えられている。
【００１９】
リニアセンサ２２は、取り付け部材２３によりベース２０の縁壁部２０ａ等に固定され、可動子２の側部を検出するように備えられている。リニアセンサ２２は、図示されないコントロールユニットに接続されており、当該コントロールユニットは、リニアセンサ２２の検出信号の内容に応じて、後述するコイルアッシーもしくは各単コイルに発生させる電磁力を制御するように構成されている。詳しくは、各単コイルには上記のコントロールユニットにより、例えばＵ相、Ｖ相、Ｗ相の各正弦電流が供給され、可動子２の位置に対応させて所定の方向へ作用する電磁力を発生するように接続構成されている。
後述する各実施形態によるリニアモータに備えられたコイルアッシーも、複数の単コイル４０を束ねたものである。後述する各実施形態のリニアモータも、コイルアッシーを構成する単コイル４０には、上記のようにコントロールユニットが接続されて、各々の単コイル４０が発生する電磁力の作用方向等を制御するように接続構成されている。
【００２０】
図２は、図１に示したリニアモータに備えられるコイルアッシーの構成を示す説明図である。この図は、リニアモータ１に備えられるコイルアッシー３１の整形前の形状／構成を示している。
図２（ａ）は、コイルアッシー３１を構成する単コイル４０の形状を示している。単コイル４０は、例えば長手方向と短手方向を有する略四辺形を成すように、詳しくは四辺形の四隅を湾曲させて巻線を巻回している。
また、単コイル４０は、環状の中央部分が空洞となるように、即ちコアレスとして構成されている。
【００２１】
図２（ｂ）は、整形前のコイルアッシー３１を上方から視た状態を示している。また、図２（ｃ）は、整形前のコイルアッシー３１を側方から視た状態を示している。
コイルアッシー３１は、図２（ｃ）に示したように複数の単コイル４０を並べ、詳しくは、並べた各単コイル４０を上方から視たとき、各単コイル４０の長辺部分が各々重なり合わないように、各単コイル４０が傾くように並べ、後述するように束ねている。
このように各単コイル４０の各長辺部分が重なり合わないように並べることにより、一定のスペースにおける電磁コイルの線積率を向上させている。
【００２２】
上述のように複数の単コイル４０を並べると、単コイル４０の短辺部分は、他の単コイル４０の短辺部分と重なり合う。この短辺部分は、コイル巻線のターンオーバー部分となる。このターンオーバー部分は、リニアモータ１の駆動力、即ち可動子２の推進力を発生させる要部とならないため、例えばプレス加工等によって変形させてもかまわない部分である。
【００２３】
図３は、図１に示したリニアモータを構成するコイルアッシーの形状を示す説明図である。図３（ａ）は、コイルアッシー３１を整形するときに、当該コイルアッシー３１を構成する各単コイル４０に加える、例えばプレス圧力Ｐを示している。図３（ｂ）は、整形したコイルアッシー３１の外観を示している。
【００２４】
図２に示したように複数の単コイル４０を並べ、図３（ａ）に矢印で示したプレス圧力Ｐを加え、各単コイル４０を変形させて断面形状が略コの字状となるように整形する。
プレス圧力Ｐは、図２（ｂ），（ｃ）に示したように斜めに傾けて並べられた各単コイル４０に対して図中上下方向に加えられ、コイル巻線の短辺部分、即ちターンオーバー部分が下方へ折り曲げられる。
換言すると、後述するようにマグネット３２との電磁作用に用いることのない各単コイル４０のターンオーバー部分が屈曲され、マグネット３２との電磁作用に用いる部分を上面とし、上記の折り曲げられた部分が柱となる門型に整形される。
【００２５】
複数の単コイル４０を整形してコイルアッシー３１を形成するとき、例えば、予めコイルアッシー３１の型を用意しておく。この型は、上下二つに分かれるものであり、下側の型に前述のように複数の単コイル４０の各長辺部分が重なり合わないように傾けて並べる。これに、上側の型を被せて、例えば上側型と下側の型とをネジ締めにより係合させ、型内部の各単コイル４０に圧を加えて変形させ、コイルアッシー３１を形成させる。
【００２６】
図４は、図１に示したリニアモータの構成を示す説明図である。この図は、図３（ｂ）に示したコイルアッシー３１を備えるリニアモータ１の縦断面を示している。詳しくは、固定子３の延設方向に直交する概略断面を示している。
図４では、図３（ｂ）に示したものと同一部分に同じ符号を使用し、これらの部分の重複説明を省略する。なお、図４では、図１（ｂ）に示したリニアセンサ２２および取り付け部材２３の図示を省略している。
【００２７】
図４に示したリニアモータ１は、図３（ｂ）に示したように整形されたコイルアッシー３１を、固定子３のベース２０に設置固定している。コイルアッシー３１は、断面形状において略コの字状の開口部分を下方に向けて、即ち門型となるようにベース２０に固定されている。換言すると、ベース２０の延設方向に沿って設けられている二つの縁壁部２０ａの間において、当該リニアモータ１の駆動に用いる電磁力を発生する部分が上方へ迫り出すように備えられている。
【００２８】
また、二つの縁壁部２０ａの間に設置されたコイルアッシー３１は、当該縁壁部２０ａの上面に設置されているガイドレール２１に、可動子２のガイド部１１を載せたとき、当該コイルアッシー３１の上面が、ステージ台１０の下面に備えられたマグネット３２と対向するように配設されている。
【００２９】
マグネット３２は、例えばネオジム磁石などの永久磁石であり、ステージ台１０の下面に固定されている。詳しくは、ステージ台１０の下面に備えられている各ガイド部１１の間に配設されている。マグネット３２は、可動子２の移動方向に沿って異なる磁極が隣り合うように並べられており、Ｓ極とＮ極が交互に配設されている。即ち、固定子３のガイドレール２１へ可動子２を載せたとき、マグネット３２の各磁極とコイルアッシー３１の各単コイル４０の長辺部分とが、それぞれ対向するように構成されている。
【００３０】
図５は、他のコイルアッシーの整形例を示す説明図である。この図は、図２に示した複数の単コイル４０にプレス圧力を加えて整形した一般的なコイルアッシー１３１の形状を示している。図５（ａ）は、他のコイルアッシー１３１の縦断面形状を示し、図５（ｂ）は、コイルアッシー１３１を用いたリニアモータを構成する各部の配置構成例を示す断面図である。図２等に示したものと同一あるいは相当する部分に同じ符号を使用し、その部分の説明を省略する。
【００３１】
図５に示したコイルアッシー１３１も、図２に示したように各単コイル４０の長辺部分、即ち、マグネット３２と対向して電磁作用を生じさせる部分が重なり合わないように、各単コイル４０を傾けて並べている。
上記のように複数の単コイル４０を並べた状態において上下方向からプレスすると、各単コイル４０の長辺部分が各々重なり合うことなく、固定子３に固定されたときのコイルアッシー１３１の水平方向において、同じ高さで揃うように整形される。
【００３２】
また、上述のようにプレスすることにより、コイルアッシー１３１は、各単コイル４０の短辺部分が重なり合って、当該コイルアッシー１３１の延設方向に直交する断面の側端部分が厚くなるように形成される。即ち、コイルアッシー１３１は、図５（ａ）に示したように断面形状が略Ｈ形、または横向きのＩ型となるように整形されている。
【００３３】
一般的に、リニアモータを構成するときには、電磁コイルとマグネットとの間に生じる磁気回路の磁束を効率よく作用させるため、電磁コイル即ちコイルアッシーとマグネットとのギャップが小さくなるように関連する各部を設けている。
【００３４】
前述のように単コイル４０を束ねてコイルアッシー１３１を形成したときには、コイルアッシー１３１の断面における両端部分は、各単コイル４０の短辺部分が重なり合って厚くなる。
また、コイルアッシー１３１の断面における長辺部分、即ちマグネット３２と対向する部分は、前述のように他の単コイル４０と重なり合わないように配設されているので、例えば単コイル４０の一つ分の厚さになり、上述の両端部分に比べて窪むようになる。
このような形状のコイルアッシー１３１を固定子３に備えるときには、コイルアッシー１３１とマグネット３２とのギャップを小さくするため、図５（ｂ）に示したように、マグネット３２を、スペーサ４１を介してステージ台１０の下面に固定している。
【００３５】
図５（ｂ）に例示したようにリニアモータを構成し、コイルアッシー１３１にマグネット３２を接近させると、例えば可動子２の下部にスペーサ４１を配設するためのスペースが必要になる。即ち、スペーサ４１を備えることにより、リニアモータ１の小型化を図ることが難しくなる。
そのため、好ましくはスペーサ４１等を要することなく、コイルアッシーとマグネットとのギャップが小さくなるように、関連する部分を構成する。
【００３６】
そこで、図４に示したリニアモータ１は、上述のスペーサ４１を備えることなく、マグネット３２とコイルアッシー３１とを接近させてギャップが適切な大きさとなるように構成されている。
前述のように、コイルアッシー３１は、各単コイル４０の短辺部分、即ちマグネット３２との電磁作用に用いることのない部位を、例えば図３（ｂ）に示したように当該単コイル４０の長辺部位に対して鉛直に折り曲げている。
【００３７】
コイルアッシー３１は、上述の折り曲げ部位が、ベース２０の上面から立設するように配設される。例えば、各単コイル４０の長辺部分は、上記の折り曲げ部位によって支持され、固定子３の底面即ちベース２０から上方へ迫り出すように固定される。
または、図示されない固定部材等を用いて、折り曲げ部位がベース２０の上面に対して鉛直となり、電磁作用に用いる部位が上方へ迫り出すように、コイルアッシー３１をベース２０等へ固定するように構成してもよい。
【００３８】
なお、上述のように折り曲げ部位をベース２０の上面に接するようにして、コイルアッシー３１を固定する場合には、当該コイルアッシー３１は次のように構成される。
コイルアッシー３１を固定子３に固定したとき、コイルアッシー３１の上面と可動子２に固定されているマグネット３２とのギャップが小さくなるように、折り曲げ部位の寸法が設定される。
【００３９】
また、コイルアッシー３１は、上記の折り曲げ部位の側面が固定子３の縁壁部２０ａに接して固定するようにしてもよい。
上述のように、コイルアッシー３１は、ベース２０および二つの縁壁部２０ａによって形成される固定子３の内側部分の形状、寸法等に適合するように整形されている。
【００４０】
また、コイルアッシー３１は、固定子３のガイドレール２１に可動子２が搭載されたときに当該可動子２のガイド部１１などに、自らの上面、即ち各単コイル４０の長辺部分が接触することのないように固定される。
【００４１】
なお、図４に例示したコイルアッシー３１は、その上面が縁壁部２０ａの上面と同じ高さとなっているが、コイルアッシー３１は、このような配置となる構成に限定されず、前述のようにマグネット３２とのギャップが可能な限り小さくなるように備えられる。
【００４２】
以上のように第１の実施形態によれば、複数の単コイル４０を束ねるとき、マグネット３２との電磁作用に用いることのない部位をプレス加工により折り曲げてコイルアッシー３１を整形し、コイルアッシー３１を固定子３に固定したとき、当該コイルアッシー３１と可動子２のマグネット３２とのギャップが小さくなるように構成した。
このようにすることによって、スペーサ等の部材を用いることなくコイルアッシー３１とマグネット３２とのギャップを小さくすることができ、可動子２ならびに固定子３の構成を簡素にしてスペースを効率よく使用することができる。
【００４３】
また、ギャップを小さくすることにより、コイルアッシー３１とマグネット３２との間において磁束密度を高めることができ、可動子２を移動させる駆動力を大きくすることができる。
また、可動子２ならびに固定子３にスペーサ等を備える必要がないので、リニアモータ１の小型化を容易に図ることができる。
【００４４】
＜第２の実施形態＞
図６は、本発明の第２の実施形態によるリニアモータの構成を示す説明図である。この図は、第２の実施形態によるリニアモータ１ａの縦断面を示している。詳しくは、固定子３の延設方向に直交する概略断面を示している。図４に示したものと同一あるいは相当する部分に同じ符号を使用し、第１の実施形態において説明したものと同様な部分の重複説明を省略する。
第２の実施形態によるリニアモータ１ａは、門型のコイルアッシー３１がヨーク３３を内包するように構成されている。
【００４５】
ヨーク３３は、透磁率の高いフェライトなどの材料からなるヨーク部材であり、第１の実施形態において説明したように固定子３に備えられたコイルアッシー３１と、固定子３のベース２０との間に配設されている。即ち、ヨーク３３は、コイルアッシー３１のマグネット３２との電磁作用に用いる部位の下方に配設され、また、当該ヨーク３３の側方は、第１の実施形態で説明した折り曲げ部位によって囲われる。
【００４６】
ヨーク３３は、コイルアッシー３１が発生した電磁力の磁束を整え、マグネット３２に対して作用する磁束密度を高めるように備えられている。詳しくは、マグネット３２に対してコイルアッシー３１の背後側に生じる磁束を整え、コイルアッシー３１からマグネット３２へ作用する磁束密度を高めるように、ヨーク３３が配設される。
リニアモータ１ａは、上述のヨーク３３を備えたことを除いて、第１の実施形態で説明したリニアモータ１と同様に構成されている。
【００４７】
以上のように第２の実施形態によれば、コイルアッシー３１の近傍にヨーク３３を備えたので、コイルアッシー３１が発生した電磁力の磁束を整え、可動子２に備えられたマグネット３２に作用する磁束密度を高めて、効率よく大きな駆動力を発生することができる。
【００４８】
＜第３の実施形態＞
図７は、本発明の第３の実施形態によるリニアモータの構成を示す説明図である。この図は、第３の実施形態によるリニアモータ１ｂの縦断面を示している。詳しくは、固定子３の延設方向に直交する概略断面を示している。図４等に示したものと同一あるいは相当する部分に同じ符号を使用し、第１の実施形態等において説明したものと同様な部分の重複説明を省略する。
【００４９】
第３の実施形態によるリニアモータ１ｂは、第１の実施形態で説明したコイルアッシー３１と概ね同様な形状に整形されたコイルアッシー３１ａを、固定部材２５を用いて固定子３に固定し、コイルアッシー３１ａの下方にヨーク３３ａを配設している。
コイルアッシー３１ａは、図２および図３に示したように複数の単コイル４０を束ねて、マグネット３２との電磁作用に用いることのない部位を折り曲げている。
また、コイルアッシー３１ａは、固定子３に配設されるとき、上記の折り曲げ部位を図７において上方へ、即ちマグネット３２へ向けた状態で固定されている。
【００５０】
コイルアッシー３１ａは、例えば、上記の折り曲げ部位の近傍に固定部材２５を固定し、当該固定部材２５によってベース２０ならびに縁壁部２０ａに固定される。即ち、コイルアッシー３１ａは、マグネット３２との電磁作用に用いる部位が上述の折り曲げ部位よりも低い位置に配設される。
また、コイルアッシー３１ａは、当該コイルアッシー３１ａを備えた固定子３に可動子２を載せたとき、コイルアッシー３１ａの電磁作用に用いる部位と可動子２に固定されているマグネット３２とのギャップが小さくなるように、適当な高さに固定される。
【００５１】
また、コイルアッシー３１ａは、上述のようにコイルアッシー３１ａが固定子３に固定されたとき、当該コイルアッシー３１ａの各部が、マグネット３２を含む可動子２の各部に接触しない形状ならびに寸法を有するように整形されている。
具体的には、コイルアッシー３１ａは、上述のようにマグネット３２との電磁作用に用いることのない部位を折り曲げて、固定子３の縁壁部２０ａ、可動子２のガイド部１１などに接触することが無いように整形されている。
【００５２】
図７に例示したコイルアッシー３１ａは、上述の折り曲げ部位がマグネット３２の側面とガイド部１１との間に位置し、いずれの部分にも接触することがないように構成されている。
上述のように、コイルアッシー３１ａは、ベース２０および二つの縁壁部２０ａによって形成される固定子３の内側部分の形状、寸法等に適合するように整形されている。
また、コイルアッシー３１ａは、可動子２、詳しくは、ステージ台１０に備えられたガイド部１１、マグネット３２などの配置、大きさ、形状等に適合するように整形されている。
【００５３】
固定部材２５によって固定されたコイルアッシー３１ａの下方には、前述のようにヨーク３３ａが配設されている。
ヨーク３３ａは、第２の実施形態で説明したヨーク３３と同様な材料からなるヨーク部材である。
また、ヨーク３３ａは、ベース２０の上面に固定されたとき、同じくベース２０に固定されているコイルアッシー３１ａの電磁作用に用いる部位の近傍に配置することができる大きさならびに形状を有している。詳しくは、ヨーク３３ａの上面とコイルアッシー３１ａの上記の電磁作用に用いる部位とが接近するように、当該ヨーク３３ａが構成されている。
ヨーク３３ａは、第２の実施形態で説明したヨーク３３と同様に、マグネット３２に対してコイルアッシー３１ａの背後側に生じる磁束を整え、コイルアッシー３１ａからマグネット３２へ作用する磁束密度を高めるように配設される。
【００５４】
以上のように第３の実施形態によれば、固定部材２５を用いてコイルアッシー３１ａを固定し、コイルアッシー３１ａの下方にヨーク３３ａを配設したので、コイルアッシー３１ａとマグネット３２とのギャップを十分小さくすることができる。また、ヨーク３３ａによってコイルアッシー３１ａが発生した電磁力の磁束を整え、マグネット３２の磁力へ作用する磁束密度を高めて大きな駆動力を得ることができる。
【００５５】
＜第４の実施形態＞
図８は、本発明の第４の実施形態によるリニアモータの構成を示す説明図である。この図は、第４の実施形態によるリニアモータ１ｃの縦断面を示している。詳しくは、固定子３の延設方向に直交する概略断面を示している。図４等に示したものと同一あるいは相当する部分に同じ符号を使用し、第１の実施形態等において説明したものと同様な部分の重複説明を省略する。
【００５６】
第４の実施形態によるリニアモータ１ｃは、可動子２ａおよび固定子３ａにより構成されている。可動子２ａは、前述の可動子２に相当し、ステージ台５０、ガイド部１１、コイルアッシー３１ｂによって構成されている。
固定子３ａは、前述の固定子３に相当し、ベース６０、縁壁部６０ａ、ガイドレール２１、マグネット３２ａによって構成されている。
リニアモータ１ｃは、第１の実施形態〜第３の実施形態において説明した各リニアモータと比べて、電磁コイルであるコイルアッシーと永久磁石であるマグネットが逆に配置構成されている。
【００５７】
コイルアッシー３１ｂは、図２および図３に示したように複数の単コイル４０を束ねて、マグネット３２ａとの電磁作用に用いることのない部位を、第１の実施形態において説明したコイルアッシー３１と同様に折り曲げて門型に整形されている。
また、コイルアッシー３１ｂは、固定子３ａに配設されるとき、上記の折り曲げ部位を図８において上方へ、即ちステージ台５０の下面へ向けた状態で固定されている。
コイルアッシー３１ｂは、ステージ台５０および複数のガイド部１１によって形成される可動子２ａの内側部分の形状、寸法等に適合するように整形されている。
【００５８】
ステージ台５０は、前述のステージ台１０と同様に複数のガイド部１１を備えている。また、ステージ台５０は、各ガイド部１１間、即ち可動子２ａの移動方向に直交する断面において、ステージ台５０の下面中央部分にコイルアッシー３１ｂを配設している。即ち、第１の実施形態において説明したマグネット３２に替えてコイルアッシー３１ｂを可動子に備えている。コイルアッシー３１ｂは、リニアモータ１ｃの駆動に用いる電磁力を発生する部分が、ステージ台５０の下面から下方のマグネット３２ａへ向かって迫り出すように備えられている。
【００５９】
ベース６０は、前述のベース２０と同様に、両端部分に縁壁部６０ａを有している。また、ベース６０は、二つの縁壁部６０ａの間にマグネット３２ａを配設している。即ち、第１の実施形態において説明したコイルアッシー３１に替えてマグネット３２ａを固定子に備えている。
【００６０】
他の部分、即ち、可動子２ａに備えられるガイド部１１、固定子３ａに備えられるガイドレール２１等は、前述の第１の実施形態において説明した各部と同様に構成されている。
また、コイルアッシー３１ｂは、固定子３ａのガイドレール２１に、可動子２ａのガイド部１１を載せたとき、固定子３ａのいずれかの部分に接触することが無いように配設されている。
なお、図８に例示したコイルアッシー３１ｂは、その下面がガイド部１１の下端面と同じ高さとなっているが、このような配置となる構成に限定されず、前述のようにマグネット３２ａとのギャップが可能な限り小さくなるように配置／構成されている。
【００６１】
以上のように第４の実施形態によれば、固定子３ａにマグネット３２ａを備え、マグネット３２ａとの電磁作用に用いることのない部位を折り曲げたコイルアッシー３１ｂを、マグネット３２ａ側へ迫り出すように可動子２ａに備えた。
このようにすることによって、可動子２ａおよび固定子３ａを簡易な構成としながら、コイルアッシー３１ｂとマグネット３２ａとのギャップを小さくすることができる。
また、可動子２ａならびに固定子３ａの構成を複雑にすることを避けることができるので、リニアモータの小型化を図ることができる。
【符号の説明】
【００６２】
１，１ａ，１ｂ，１ｃ…リニアモータ、２，２ａ…可動子、３，３ａ…固定子、１０，５０…ステージ台、１１…ガイド部、２０，６０…ベース、２０ａ，６０ａ…縁壁部、２１…ガイドレール、２２…リニアセンサ、２３…取り付け部材、２５…固定部材、３０…駆動部、３１，３１ａ，３１ｂ，１３１…コイルアッシー、３２，３２ａ…マグネット、３３，３３ａ…ヨーク、４０…単コイル、４１…スペーサ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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