(57)【要約】【課題】  液滴塗布方法及び装置において、塗布ヘッドにおける複数のノズルの液滴吐出状態の検査の信頼性を向上すること。【解決手段】  塗布ヘッド２２の直線状に配列された複数のノズル３４から吐出される液滴を基板上に塗布する液滴塗布方法において、光源４９から照射された光を、複数のノズル３４から吐出される液滴を挟んで受光部４７により受光し、受光部４７の出力値に基づいて、複数のノズル３４個々から同時に吐出された液滴の吐出状態を判別するもの。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布ヘッドの直線状に配列された複数のノズルから吐出される液滴を基板上に塗布する液滴塗布方法において、
光源から照射された光を、前記複数のノズルから吐出される液滴を挟んで受光部により受光し、
前記受光部の出力値に基づいて、前記複数のノズル個々から同時に吐出された液滴の吐出状態を判別することを特徴とする液滴塗布方法。
【請求項２】
前記受光部が、前記複数のノズルの配列方向に沿って、前記複数のノズルの配列範囲をカバーするように配列された多数の受光素子を備えるとき、
前記多数の受光素子のうち、前記複数のノズルのそれぞれに対応する受光素子の出力信号に基づいて前記複数のノズル個々からの液滴の吐出状態を判別する請求項１に記載の液滴塗布方法。
【請求項３】
前記塗布ヘッドの異なる２つのノズルから液滴を吐出させ、このときの前記受光部の各受光素子からの出力信号に基づいて前記複数のノズルの配置間隔を求め、このノズルの配置間隔に基づいて前記複数のノズルのそれぞれに対応する受光素子を決定する請求項２に記載の液滴塗布方法。
【請求項４】
塗布ヘッドの直線状に配列された複数のノズルから吐出される液滴を基板上に塗布する液滴塗布装置において、
前記複数のノズルから吐出される液滴に対して光を照射する光源と、
この光源から照射された光を、複数のノズルから吐出される液滴を挟んで受光する受光部と、
この受光部の出力値に基づいて、前記複数のノズル個々から同時に吐出された液滴の吐出状態を判別する制御部とを有してなることを特徴とする液滴塗布装置。
【請求項５】
前記受光部が、前記複数のノズルの配列方向に沿って、前記複数のノズルの配列範囲をカバーするように配列された多数の受光素子を備える請求項４に記載の液滴塗布装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記多数の受光素子のうち、前記複数のノズルのそれぞれに対応する受光素子の出力信号に基づいて前記複数のノズル個々からの液滴の吐出状態を判別する請求項５に記載の液滴塗布装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記塗布ヘッドの異なる２つのノズルから液滴を吐出させ、このときの受光部の各受光素子からの出力信号に基づいて前記複数のノズルの配置間隔を求め、このノズルの配置間隔に基づいて前記複数のノズルのそれぞれに対応する受光素子を決定する請求項６に記載の液滴塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液滴塗布方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴塗布方法として、塗布ヘッドの直線状に配列された複数のノズルから吐出される液滴を基板上に塗布するものがある。このような液滴塗布方法では、各ノズルの目つまり等に起因する液滴の吐出無し、吐出遅れ、吐出曲がり等の液滴吐出状態の異常の有無を検査する必要がある。
【０００３】
特許文献１に記載の液滴塗布方法では、液滴吐出状態の検査装置として、塗布ヘッドにおけるノズルの配列方向に斜めに交差する光を照射する光源と、光源から照射された光を、複数のノズルから吐出される液滴を挟んで受光する受光部とを有する。そして、塗布ヘッドをノズルの配列方向に直交する方向に移動させ、複数のノズルのそれぞれが光源から受光部に向けて照射される光を順に横切るとき、該光を横切るノズル１個毎に液滴を吐出させるように塗布ヘッドを駆動し、該光が液滴によって遮断されるか否かにより当該ノズルの吐出状態が正常か異常かを判別することとしている。
【特許文献１】特開2001-113709号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液滴塗布装置が製品基板に対して液滴を塗布する使用段階では、塗布ヘッドの複数のノズルの全部から同時に液滴が吐出される。このとき、液滴塗布装置では、複数のノズルのノズル配列方向に沿う一端側に給液孔を接続し、他端側に回収孔を接続しており、給液孔の側から給液された塗布液がノズル配列方向に沿う給液孔の側から回収孔の側に渡る広い範囲のノズルに同時に供給される。このため、各ノズルに供給された塗布液の液圧は比較的低く、ノズル個々の個性によっては液滴の吐出曲がり等を生ずることがある。
【０００５】
ところが、前述した特許文献１に記載の液滴吐出状態の検査装置では、塗布ヘッドのノズル１個毎に液滴を吐出させ、そのときの液滴の吐出状態を検査している。塗布ヘッドのノズル１個毎に液滴を吐出させるから、当該ノズルに供給される塗布液の液圧は比較的高く、液滴は勢いをもって吐出され、吐出曲がり等を生じにくい。即ち、検査段階での塗布ヘッドの作動状態が使用段階におけると異なっているため、検査の信頼度が低い。
【０００６】
本発明の課題は、液滴塗布方法及び装置において、塗布ヘッドにおける複数のノズルの液滴吐出状態の検査の信頼性を向上することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１の発明は、塗布ヘッドの直線状に配列された複数のノズルから吐出される液滴を基板上に塗布する液滴塗布方法において、光源から照射された光を、前記複数のノズルから吐出される液滴を挟んで受光部により受光し、前記受光部の出力値に基づいて、前記複数のノズル個々から同時に吐出された液滴の吐出状態を判別するようにしたものである。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、前記受光部が、前記複数のノズルの配列方向に沿って、前記複数のノズルの配列範囲をカバーするように配列された多数の受光素子を備えるとき、前記多数の受光素子のうち、前記複数のノズルのそれぞれに対応する受光素子の出力信号に基づいて前記複数のノズル個々からの液滴の吐出状態を判別するようにしたものである。
【０００９】
請求項３の発明は、請求項２の発明において更に、前記塗布ヘッドの異なる２つのノズルから液滴を吐出させ、このときの前記受光部の各受光素子からの出力信号に基づいて前記複数のノズルの配置間隔を求め、このノズルの配置間隔に基づいて前記複数のノズルのそれぞれに対応する受光素子を決定するようにしたものである。
【００１０】
請求項４の発明は、塗布ヘッドの直線状に配列された複数のノズルから吐出される液滴を基板上に塗布する液滴塗布装置において、前記複数のノズルから吐出される液滴に対して光を照射する光源と、この光源から照射された光を、複数のノズルから吐出される液滴を挟んで受光する受光部と、この受光部の出力値に基づいて、前記複数のノズル個々から同時に吐出された液滴の吐出状態を判別する制御部とを有してなるようにしたものである。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項４の発明において更に、前記受光部が、前記複数のノズルの配列方向に沿って、前記複数のノズルの配列範囲をカバーするように配列された多数の受光素子を備えるようにしたものである。
【００１２】
請求項６の発明は、請求項５の発明において更に、前記制御部は、前記多数の受光素子のうち、前記複数のノズルのそれぞれに対応する受光素子の出力信号に基づいて前記複数のノズル個々からの液滴の吐出状態を判別するようにしたものである。
【００１３】
請求項７の発明は、請求項６の発明において更に、前記制御部は、前記塗布ヘッドの異なる２つのノズルから液滴を吐出させ、このときの受光部の各受光素子からの出力信号に基づいて前記複数のノズルの配置間隔を求め、このノズルの配置間隔に基づいて前記複数のノズルのそれぞれに対応する受光素子を決定するようにしたものである。
【発明の効果】
【００１４】
塗布ヘッドの複数のノズルからの液滴の吐出状態の検査の信頼性を向上させることができ、ひいては、基板に対する液滴の塗布を精度良く行なうことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１は本発明の一実施の形態の塗布装置の概略的構成を示す正面図、図２は図１に示す塗布装置の側面図、図３は塗布ヘッドの縦断面図、図４は塗布ヘッドのノズルが形成された下面を示す底面図、図５は制御系統を示すブロック図、図６は塗布ヘッドと光源と受光部を示す模式図、図７は塗布ヘッドのノズルに対応する受光部の受光素子を決定する手順を示す模式図、図８は受光部による全ノズルの正常吐出検出状態を示す模式図、図９は受光部によるあるノズルの吐出無し検出状態を示す模式図、図１０は受光部によるあるノズルの吐出曲がり検出状態を示す模式図、図１１は受光部によるあるノズルの吐出遅れ検出状態を示す模式図、図１２は受光部によるミスト検出状態を示す模式図である。
【実施例】
【００１６】
以下、本発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。
図１と図２に示す本発明に係る塗布装置は直方体状のベース１を有する。このベース１の下面の所定位置にはそれぞれ脚２が設けられ、これら脚２によって上記ベース１は水平に支持されている。
【００１７】
図２に示すように、上記ベース１の上面の幅方向両端部には、所定の幅寸法の取付け板３が長手方向に沿ってそれぞれ設けられている。これら取付け板３の上面の幅方向一端部には長手方向に沿ってそれぞれガイド部材４が設けられている。これらガイド部材４の上面には、矩形板状のＸテーブル５が、その下面の幅方向両側に平行に設けられた断面ほぼ逆Ｕ字状の一対の第１の受け部材６をスライド可能に係合させて支持されている。Ｘテーブル５の上面には、このＸテーブル５よりも小さい載置テーブル７が設けられている。つまり、載置テーブル７は上記Ｘテーブル５を介して上記ガイド部材４に沿うＸ方向に移動可能となっている。
【００１８】
上記ガイド部材４には固定子４ａが設けられ、上記第１の受け部材６には可動子６ａが設けられ、上記固定子４ａと可動子６ａとで駆動手段となるリニアモータ８を形成している。
【００１９】
上記載置テーブル７には、例えばアクティブマトリックス方式の液晶表示装置に用いられるガラス製の基板Ｗが供給される。この基板Ｗは、上記載置テーブル７に真空吸着や静電吸着等の手段によって吸着保持される。従って、載置テーブル７に保持された基板Ｗは上記Ｘテーブル５によってＸ方向に駆動されるようになっている。
【００２０】
上記ベース１の長手方向中途部には上記一対のガイド部材４を跨ぐように門型の支持体１１が立設されている。この支持体１１の両側上部には角柱からなる取付け部材１２が水平に架設されている。
【００２１】
上記取付け部材１２にはヘッドテーブル１９が上記Ｘテーブル５の駆動方向であるＸ方向と直交するＹ方向（図２に矢印で示す）に沿って移動可能に設けられている。上記支持体１１の幅方向一側にはパルスモータからなる第１のＹ駆動源２１が設けられている。このＹ駆動源２１は上記ヘッドテーブル１９をＹ方向に沿って駆動するようになっている。尚、ヘッドテーブル１９のＹ方向の駆動はパルスモータに代わり、リニアモータで行なうようにしても良い。
【００２２】
上記ヘッドテーブル１９の一側面にはインクジェット方式によって機能性薄膜である、例えば配向膜を形成する塗布液（ポリイミド塗布液）をドット状に吐出する複数の塗布ヘッド２２がＹ方向に沿って配置されている。この実施の形態では、例えば７つの塗布ヘッド２２が千鳥状に二列で配置されている。
【００２３】
図３と図４に示すように、上記各塗布ヘッド２２はヘッド本体２８を備えている。ヘッド本体２８は筒状に形成され、その下面開口は可撓板２９によって閉塞されている。この可撓板２９はノズルプレート３１によって覆われており、このノズルプレート３１と上記可撓板２９との間には複数の液室３２が形成されている。
【００２４】
各液室３２は、ノズルプレート３１内に形成された主管路３１Ａに図示しない枝管路を介してそれぞれ連通していて、上記主管路３１Ａから上記枝管路を介して塗布液が各液室３２に供給される。主管路３１Ａは、一端が後述する給液孔３３に接続され、他端が後述する回収孔３７に接続される。
【００２５】
上記ヘッド本体２８の長手方向一端部には上記液室３２に連通する上記給液孔３３が形成されている。この給液孔３３から上記各液室３２には機能性薄膜を形成する上記塗布液が供給される。それによって、上記液室３２内は塗布液で満たされるようになっている。
【００２６】
図４に示すように、上記ノズルプレート３１には、基板Ｗの搬送方向に直交する方向である、Ｙ方向に沿う直線状に複数のノズル３４が千鳥状（一列状でも可）に配列されている。上記可撓板２９の上面には、図３に示すように上記各ノズル３４にそれぞれ対向して駆動手段としての複数の圧電素子３５が設けられている。
【００２７】
各圧電素子３５は上記ヘッド本体２８内に設けられた駆動部３６によって駆動電圧が供給される。それによって、圧電素子３５は伸縮し、可撓板２９を部分的に変形させるから、その圧電素子３５に対向位置するノズル３４から塗布液がドット状に吐出され、この吐出された液滴が搬送される基板Ｗの上面に供給塗布される。従って、基板Ｗの上面には、ドット状の塗布液が行列状に配列されてなる塗布パターンが形成される。そして、この塗布パターンは、ドット状の各塗布液が流動して濡れ広がることにより、付着し合って１つの膜となる。
【００２８】
上記ヘッド本体２８の長手方向他端部には上記液室３２に連通する上記回収孔３７が形成されている。上記給液孔３３から液室３２に供給された塗布液は、上記回収孔３７から回収することができるようになっている。即ち、各ヘッド２２は上記液室３２に供給された塗布液をノズル３４から吐出させるだけでなく、上記液室３２を通じて上記回収孔３７から回収することが可能となっている。
【００２９】
図１に示すように、上記ガイド部材４の一端部には上記塗布ヘッド２２の複数のノズル３４から吐出される液滴の吐出状態を検査するための検査装置４１が設けられている。この検査装置４１は第１の可動部材４２を有する。この第１の可動部材４２は下面の幅方向両端部に一対の第２の受け部材４３（１つのみ図示）が設けられ、この受け部材４３を上記ガイド部材４にスライド可能に係合させて設けられている。そして、上記ノズル３４から吐出される液滴の吐出状態を検査しないときには図１に示すように上記ガイド部材４の長手方向一端部の待機位置、つまり載置テーブル７の往復動の邪魔にならない位置で待機している。
【００３０】
尚、第１の可動部材４２は上記リニアモータ８によって上記ガイド部材４に沿うＸ方向に駆動することができ、上記ガイド部材４に設けられた載置テーブル７と上記第１の可動部材４２を選択的に駆動することが可能となっている。
【００３１】
上記第１の可動部材４２の上面には、この第１の可動部材４２の長手方向に沿って移動可能な第２の可動部材４５が長手方向を上記第１の可動部材４２に対して直交させて設けられている。
【００３２】
図１に示すように、上記第１の可動部材４２の長手方向一端にはパルスモータからなる第２のＹ駆動源４６が設けられ、この第２のＹ駆動源４６によって上記第２の可動部材４５を上記Ｘ方向と交差するＹ方向、つまり上記塗布ヘッド２２の並設方向に沿って駆動することができるようになっている。
【００３３】
上記第２の可動部材４５のＸ方向に沿う長手方向一端部には受光部４７が設けられ、他端にはこの受光部４７に向けて照明光を出射する光源４９が設けられている。
【００３４】
光源４９は、塗布ヘッド２２のノズル３４からの液滴の吐出方向に交差する方向であって、ノズル３４の配列方向（Ｙ方向）に直交する方向（Ｘ方向）から、複数のノズル３４から吐出される液滴に対して光を照射する。
【００３５】
受光部４７は、光源４９から照射された光を、各塗布ヘッド２２の複数のノズル３４から吐出される液滴を挟んで受光する。受光部４７は、例えばＣＣＤラインセンサからなり、ノズル３４の配列方向に沿って、各塗布ヘッド２２における複数のノズル３４の配列範囲をカバー（網羅）するように配列された多数の受光素子を備える。
【００３６】
尚、上記第２の可動部材４５の長手方向中央部分の上面には後述するように各塗布ヘッド２２のノズル３４から吐出される塗布液を受ける受け皿５１が設けられている。
【００３７】
図５は、上記検査装置４１によって塗布ヘッド２２のノズル３４から吐出される液滴の吐出状態を検査するときの制御回路を示す。同図中５２は制御部である。この制御部５２にはタイミング設定装置５３が接続されている。
【００３８】
上記タイミング設定装置５３は、上記制御部５２から駆動信号Ｄ１が入力されると、上記塗布ヘッド２２に設けられた駆動部３６を介してそれぞれの圧電素子３５に電圧を印加する吐出信号Ｓ１と、光源コントローラ５４を介して上記光源４９から照明光を出射させる発光信号Ｓ２と、上記受光部４７を作動させる受光信号Ｓ３とを所定のタイミングで同期して出力する。吐出信号Ｓ１を受けた駆動部３６は、制御部５２から送られる電圧指令信号Ｓ１１に応じた電圧Ｖを圧電素子３５に供給するようになっている。
【００３９】
それによって、所定の塗布ヘッド２２のノズル３４から塗布液が吐出されるとともに、光源４９から照明光が出射され、上記受光部４７によって上記ノズル３４から吐出され基板Ｗに到達する前の塗布液の液滴が検出されるようになっている。尚、発光信号Ｓ２と受光信号Ｓ３は同じ信号であっても良く、別々の信号であっても良い。
【００４０】
塗布液の液滴を検出した受光部４７は、その出力値を検出信号Ｋとして制御部５２に出力する。制御部５２は受光部４７の出力値に基づいて、複数のノズル３４個々からの液滴の吐出状態（吐出有り、吐出無し、吐出遅れ、吐出曲がり等）を判別する。
【００４１】
尚、上記制御装置５２は、検査装置４１のＹ方向の駆動を制御する駆動コントローラ５５に移動信号Ｓ６を出力する。移動信号Ｓ６を受けた駆動コントローラ５５は第２のＹ駆動源４６に駆動信号Ｄ２を出力する。それによって、受光部４７と光源４９が設けられた第２の可動部材４５がＹ方向に所定距離駆動され、検査装置４１の受光部４７を各塗布ヘッド２２の複数のノズル３４から吐出される塗布液の検出範囲に順に位置付けるように、上記第２の可動部材４５をＹ方向に対して位置決めする。
【００４２】
制御部５２は、塗布ヘッド２２のあるノズル３４から吐出された液滴が吐出曲がりを生じて、光源４９から当該ノズル３４に対応しない受光部４７の他の受光素子に向かう光を遮断したとき、受光部４７の当該他の受光素子の受光結果（遮光状態）を誤って用いることのないように、以下の如くに動作する。即ち、制御部５２は、図６に示す如く、光源４９から照射された光を受光した受光部４７の出力値に基づいて、複数のノズル３４個々からの液滴の吐出状態を判別するに際し、受光部４７の多数の受光素子のうち、塗布ヘッド２２の複数のノズル３４（Ｎ1，Ｎ2・・・Ｎn）のそれぞれに対応する位置関係にある受光部４７の各受光素子（Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn）の液滴検出信号（光源４９から当該受光素子へ向かう光が液滴により遮断されたことによる出力信号）（Ｋ1，Ｋ2・・・Ｋn）に基づいて複数のノズル３４個々からの液滴の吐出状態を判別する。
【００４３】
制御部５２により、塗布ヘッド２２の複数のノズル３４個々の液滴吐出状態を判別する制御動作は、具体的には以下の如くなされる。
【００４４】
(A)塗布ヘッド２２の複数のノズル３４（Ｎ1，Ｎ2・・・Ｎn）のそれぞれに対応する受光部４７の受光素子（Ｊ1,Ｊ2・・・Ｊn）を決定する手順（図７）
【００４５】
(1)１個の塗布ヘッド２２に設けられているノズル３４の個数ｎが既知であり、各ノズル３４が等間隔で配列されていることも既知であるとき、図７（Ａ）に示す如く、塗布ヘッド２２内のできるだけ離れた２個のノズル、例えば塗布ヘッド２２の両端の１番目とｎ番目のＮ1、Ｎnの２個のノズル３４から液滴を吐出し、それらの液滴を受光部４７により検出する。このとき、液滴の検出信号Ｋ1、Ｋnを出力した受光素子を２個のノズル３４（Ｎ1，Ｎn）に対応する位置関係にある受光素子（Ｊ1，Ｊn）、言い換えれば、Ｎ1、Ｎnのノズル３４が光軸上に位置する受光素子（Ｊ1，Ｊn）とし、これらの受光素子（Ｊ1，Ｊn）間の間隔Ｌａをｎ−１等分して塗布ヘッド２２の相隣るノズル３４のピッチ（配列間隔）ｐを求める。間隔Ｌａは、設計データより得られる受光素子の配置関係から求めることができる。
【００４６】
(2)上述(1)で求めたｐの検算のため、図７（Ｂ）に示す如く、塗布ヘッド２２の他の２個のノズル３４、例えばＮ2、Ｎn-1の２個のノズル３４から液滴を吐出し、それらの２個のノズル３４（Ｎ2，Ｎn-1）に対応する受光部４７の受光素子（Ｋ2，Ｋn-1）より、上述(1)と同様にして塗布ヘッド２２の相隣るノズル３４のピッチｐを求める。これにより、上述(1)で求めた塗布ヘッド２２の相隣るノズル３４のピッチｐの検算を行なう。
【００４７】
(3)塗布ヘッド２２の複数のノズル３４のそれぞれに対応する受光部４７の受光素子の位置として、塗布ヘッド２２の両端の１番目とｎ番目のＮ1、Ｎnの２個のノズル３４に対応する受光素子（Ｊ1，Ｊn）の間で上述(1)、(2)のピッチｐを介する各位置の受光素子（Ｊ2・・・Ｊn-1）を求める。これにより、図７（Ｃ）に示す如く、塗布ヘッド２２の各ノズル３４（Ｎ1，Ｎ2・・・Ｎn）のそれぞれに対応する受光部４７の各受光素子（Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn）が決定される。受光部４７において塗布ヘッド２２の各ノズル３４に対応する位置関係にない各受光素子は、それらの出力信号Ｋを採用されないマスク範囲（Ｍ1・・・Ｍn-1）の如くに扱われる（図７（Ｃ））。
【００４８】
尚、塗布装置において、当初から塗布ヘッド２２の複数のノズル３４と受光部４７の各受光素子の相対位置関係が既知であれば、上述(1)〜(3)は不要になる。
【００４９】
(B)塗布ヘッド２２の全ノズル３４の正常吐出検出状態（図８）
塗布ヘッド２２の全ノズル３４（Ｎ1，Ｎ2・・・Ｎn）から同時に液滴を吐出させ、塗布ヘッド２２の全ノズル３４（Ｎ1，Ｎ2・・・Ｎn）のそれぞれに対応する受光部４７の各受光素子（Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn）の全てが液滴検出信号（Ｋ1，Ｋ2・・・Ｋn）を出力するとき、全ノズル３４が正常な吐出状態（図８）にあるものと判別する。
【００５０】
(C)塗布ヘッド２２のあるノズル３４の吐出無し状態（図９）又は吐出曲がり状態（図１０）
塗布ヘッド２２の全ノズル３４（Ｎ1，Ｎ2・・・Ｎn）から同時に液滴を吐出させ、塗布ヘッド２２のあるノズル３４（Ｎ2）に対応する受光部４７の受光素子（Ｊ2）が液滴検出信号（Ｋ2）を出力しないとき、当該ノズル３４が吐出無し状態（図９）又は吐出曲がり状態（図１０）にあるものと判別する。
【００５１】
(D)塗布ヘッド２２のあるノズル３４の吐出遅れ状態（図１１）
塗布ヘッド２２の全ノズル３４（Ｎ1，Ｎ2・・・Ｎn）から同時に液滴を吐出させ、塗布ヘッド２２のあるノズル３４（Ｎ2）以外の他のノズル３４（Ｎ1，Ｎn等）に対応する受光部４７の受光素子（Ｊ1，Ｊn等）が液滴検出信号（Ｋ1，Ｋn等）を出力した後、当該あるノズル３４（Ｎ2）に対応する受光部４７の受光素子（Ｊ2）が経時的に遅れて液滴検出信号（Ｋ2）を出力したとき、当該あるノズル３４が吐出遅れ状態（図１１）にあるものと判別する。
【００５２】
(E)受光部４７によるミスト検出状態（図１２）
塗布ヘッド２２の全ノズル３４（Ｎ1，Ｎ2・・・Ｎn）から同時に液滴を複数回（図１２の例では３回）、時間間隔ｔの吐出タイミングで吐出させたとき、塗布ヘッド２２のあるノズル３４（Ｎ2）以外の他のノズル３４（Ｎ1，Ｎn等）に対応する受光部４７の受光素子（Ｊ1，Ｊn等）が液滴検出信号（Ｋ1，Ｋn等）を液滴の吐出タイミングに応じて出力する一方で、当該あるノズル３４（Ｎ2）に対応する受光部４７の受光素子（Ｊ2）が３回の吐出のうち２回目の吐出タイミングに応じて液滴検出信号（Ｋ2）を出力したが、その他１回目と３回目の吐出タイミングに応じて液滴検出信号（Ｋ2）を出力しないとき、当該あるノズル３４が吐出無し状態にあり、受光部４７の当該あるノズル３４に対応する受光素子（Ｊ2）はミストｍ（図１２）を検出したものと判別する。受光部４７によるミスト検出をノズル３４から吐出された液滴の検出であるものと誤認することがない。
【００５３】
本実施例によれば以下の作用効果を奏する。
(a)塗布ヘッド２２からの液滴吐出状態の検査段階で、ノズル３４からの液滴の吐出方向に交差する方向であって、ノズル３４の配列方向に直交する方向から、光源４９の光を複数のノズル３４から同時に吐出される液滴に対して照射するとともに、光源４９から照射された光を、複数のノズル３４から同時に吐出される液滴を挟んで受光部４７により受光し、受光部４７の出力値に基づいて、複数のノズル３４個々からの液滴の吐出状態を判別する。即ち、製品基板Ｗに対する使用段階におけると同様に、塗布ヘッド２２の複数のノズル３４の全部から同時に液滴を吐出させ、そのときのノズル３４個々からの液滴の吐出状態を検査することができる。検査段階での塗布ヘッド２２の作動状態が使用段階におけると同様になり、検査の信頼度が向上する。
【００５４】
(b)受光部４７が、ノズル３４の配列方向に沿って、複数のノズル３４の配列範囲をカバーするように配列された多数の受光素子（Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn）を備える。受光部４７の多数の受光素子（Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn）の出力信号（Ｋ1，Ｋ2・・・Ｋn）に基づいて、複数のノズル３４個々からの液滴の吐出状態を正確に検査することができる。
【００５５】
(c)多数の受光素子（Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn）のうち、複数のノズル３４のそれぞれに対応する受光素子（Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn）の出力信号（Ｋ1，Ｋ2・・・Ｋn）に基づいて複数のノズル３４個々からの液滴の吐出状態を判別する。複数のノズル３４個々から吐出された液滴が光源４９から当該ノズル３４に対応する受光素子（Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn）に向かう光を遮断するか否か、換言すれば当該受光素子（Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn）の出力信号（Ｋ1，Ｋ2・・・Ｋn）により当該ノズル３４の吐出状態の正常か異常かを判別する。複数のノズル３４個々からの液滴の吐出状態の判別に際し、当該ノズル３４に対応する受光素子（Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn）の出力信号（Ｋ1，Ｋ2・・・Ｋn）を用い、対応しない他の受光素子（Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn）の出力信号（Ｋ1，Ｋ2・・・Ｋn）は用いない。これにより、当該ノズル３４から吐出された液滴が、吐出曲がりを生じて、光源４９から当該ノズル３４に対応しない他の受光素子（Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn）に向かう光を遮断しても、当該他の受光素子（Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn）の出力信号（Ｋ1，Ｋ2・・・Ｋn）は無視され、当該他の受光素子（Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn）の受光結果（遮光状態）を誤って用いることによる誤判別を招かない。
【００５６】
(d)上述(c)の複数のノズル３４のそれぞれに対応する受光素子（Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn）の出力信号（Ｋ1，Ｋ2・・・Ｋn）を用いるに先立ち、塗布ヘッド２２の異なる２つのノズル３４（例えばＮ1，Ｎn）から液滴を吐出させ、このときの受光部４７の各受光素子（Ｊ1，Ｊn）からの出力信号（Ｋ1，Ｋn）に基づいて複数のノズル３４（Ｎ1，Ｎ2・・・Ｎn）の配置間隔ｐを求め、このノズル３４の配置間隔ｐに基づいて複数のノズル３４のそれぞれに対応する位置関係にある受光素子（Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn）を決定する。これにより、塗布ヘッド２２の各ノズル３４と受光部４７の各受光素子（Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn）の相対位置関係が予め分かっていないときにも、各ノズル３４に対応する受光素子（Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn）を正しく決定できる。
【００５７】
以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。
【００５８】
即ち、上述の実施の形態において、複数のノズル３４個々からの液滴吐出状態の判別を行なうときに、全部から同時に吐出させるものとしたが、これに限られるものではなく、一部のノズル３４から液滴を同時に吐出させるようにしても良い。要は、製品基板に対して液滴を塗布する使用段階と同様の条件にて液滴吐出状態の判別が行なえれば良いので、使用段階で用いられるノズル３４から液滴を同時に吐出させて液滴の吐出状態を判別すれば良い。
【００５９】
また、一のノズル３４から吐出された液滴を受光部４７の一の受光素子で受光するものとして説明したが、液滴の大きさが一の受光素子の大きさ（ノズル３４の配列方向の寸法）よりも大きい場合、隣り合う複数、例えば、２つの受光素子が一の液滴によって同時に光源からの光を遮られる、即ち、液滴を検出することとなる。このような場合には、一の液滴を同時に検出する複数の受光素子を一組とし、個々のノズル３４に対応する受光素子の組を決定し、これら各組の受光素子からの出力信号に基づいてノズル３４個々からの液滴の吐出状態を検査するようにすると良い。
【００６０】
また、光源４９から照射される光を、ノズル３４の配列方向に直交する方向から、複数のノズル３４から同時に吐出される液滴に対して照射し、この光を受光部４７にて受光するものとして説明した。しかしながら、本発明は、これに限られるものではなく、複数のノズル３４から同時に吐出される液滴に対して斜め方向から照射された光を受光部４７で受光するようにしても良く、要は、複数のノズル３４から同時に吐出された液滴それぞれを受光部４７の受光素子で検出できれば良い。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】図１は本発明の一実施の形態の塗布装置の概略的構成を示す正面図である。
【図２】図２は図１に示す塗布装置の側面図である。
【図３】図３は塗布ヘッドの縦断面図である。
【図４】図４は塗布ヘッドのノズルが形成された下面を示す底面図である。
【図５】図５は制御系統を示すブロック図である。
【図６】図６は塗布ヘッドと光源と受光部を示す模式図である。
【図７】図７は塗布ヘッドのノズルに対応する受光部の受光素子を決定する手順を示す模式図である。
【図８】図８は受光部による全ノズルの正常吐出検出状態を示す模式図である。
【図９】図９は受光部によるあるノズルの吐出無し検出状態を示す模式図である。
【図１０】図１０は受光部によるあるノズルの吐出曲がり検出状態を示す模式図である。
【図１１】図１１は受光部によるあるノズルの吐出遅れ検出状態を示す模式図である。
【図１２】図１２は受光部によるミスト検出状態を示す模式図である。
【符号の説明】
【００６２】
２２  塗布ヘッド
３４、Ｎ1，Ｎ2・・・Ｎn  ノズル
４７  受光部
４９  光源
５２  制御部
Ｊ1，Ｊ2・・・Ｊn  受光素子
Ｋ1，Ｋ2・・・Ｋn  液滴検出信号（出力信号）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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