(57)【要約】【課題】圧電素子による磁気ヘッドスライダの微動を行える磁気ヘッドサスペンションにおいて耐衝撃性及び共振周波数を向上させる。【解決手段】平面視において圧電素子の少なくとも一部がオーバーラップする開口領域よりサスペンション幅方向外方向側においてメインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と荷重曲げ部が連結される先端領域とを連結する左右一対の連結梁が基端側梁及び先端側梁を有している。基端側梁及び先端側梁の連結点が基端側梁の基端部及び先端側梁の先端部を結ぶ仮想線よりサスペンション長手方向中心線に近接するように先端側梁が基端側梁に対して平面視において傾斜されている。【選択図】図１
2010231833.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、
前記一対の圧電素子は、前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において少なくとも一部が前記開口領域内に位置した状態で基端部及び先端部が前記基端領域及び前記先端領域にそれぞれ連結されており、
前記一対の連結梁の各々は、前記基端領域に連結された基端部から先端部へ略直線状に延びる基端側梁と、前記基端側梁に連結された基端部から前記先端領域に連結された先端部へ略直線状に延びる先端側梁とを有し、
前記基端側梁及び前記先端側梁の連結点が前記基端側梁の基端部及び前記先端側梁の先端部を結ぶ仮想線よりサスペンション長手方向中心線に近接するように、前記先端側梁が前記基端側梁に対して平面視において傾斜されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記基端側梁は、基端部から先端部へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線に近接するように傾斜していることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記先端側梁は、基端部から先端部へ行くに従って幅広とされていることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記一対の圧電素子は、先端側及び基端側の端面の少なくとも一部がそれぞれ前記先端領域の基端側の端面及び前記基端領域の先端側の端面と対向するように前記開口領域内に配置された状態で、先端側及び基端側が前記先端領域及び前記基端領域にそれぞれ固着されていることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記支持部における前記ディスク面と対向する下面に連結され且つ前記一対の圧電素子の先端側における前記ディスク面と対向する下面が載置可能な先端側支持プレートを備え、
前記先端側支持プレートは、前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において先端側のエッジと前記先端領域の基端側のエッジとの間に隙間が存するように、前記支持部の下面に連結されていることを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
前記ロードビーム部，前記荷重曲げ部及び前記先端側支持プレートは単一部材によって一体形成されていることを特徴とする請求項５に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項７】
前記支持部における前記ディスク面と対向する下面に連結され且つ前記一対の圧電素子の基端側における前記ディスク面と対向する下面が載置可能な基端側支持プレートを備え、
前記基端側支持プレートは、前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において基端側のエッジと前記基端領域の先端側のエッジとの間に隙間が存するように、前記支持部の下面に連結されていることを特徴とする請求項４から６の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項８】
前記支持部は、互いに重合された状態で接合される第１及び第２プレート状部材を備え、
前記第１プレート状部材は、前記基端領域に対応した部位と前記一対の連結梁に対応した部位と前記先端領域に対応した部位とを一体的に有し、
前記第２プレート状部材は、前記基端領域に対応した部位と前記基端側支持プレートに対応した部位とを一体的に有していることを特徴とする請求項７に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項９】
前記先端側梁におけるサスペンション幅方向内方を向く内側面は、対応する前記圧電素子の先端部から所定距離だけ基端側へ離間された位置において該圧電素子のサスペンション幅方向外方を向く外側面に最も近接していることを特徴とする請求項４から８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１０】
前記一対の圧電素子は、前記開口領域をサスペンション長手方向に跨いた状態で先端側が前記先端領域の上面に載置され且つ基端側が前記基端領域の上面に載置されていることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１１】
前記先端領域の基端側エッジのサスペンション幅方向中央部分は、サスペンション長手方向中心線と交差する中心位置が最もサスペンション長手方向先端側に位置し且つ前記中心位置からサスペンション幅方向外方へ行くに従ってサスペンション長手方向基端側に位置するような平面視凹形状とされていることを特徴とする請求項１から１０の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１２】
前記基端領域の先端側エッジのサスペンション幅方向中央部分は、サスペンション長手方向中心線と交差する中心位置が最もサスペンション長手方向基端側に位置し且つ前記中心位置からサスペンション幅方向外方へ行くに従ってサスペンション長手方向先端側に位置するような平面視凹形状とされていることを特徴とする請求項１から１１の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１３】
前記支持部は、前記メインアクチュエータに連結されるキャリッジアームの先端にかしめ加工によって接合されるボス部を備えたベースプレートであることを特徴とする請求項１から１２の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１４】
前記支持部は、前記メインアクチュエータに連結されるアームであることを特徴とする請求項１から１２の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する為の磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置の大容量化に伴って磁気ヘッドスライダの目的トラックに対する位置決め精度の向上が求められており、その為、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダのシーク方向への粗動に加えて、サブアクチュエータとして作用する圧電素子による磁気ヘッドスライダのシーク方向の微動を可能とした磁気ヘッドサスペンションが提案されている（例えば下記特許文献１〜３参照）。
【０００３】
前述のような圧電素子を備えた磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記圧電素子による磁気ヘッドスライダの微動を可能とする為に、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動される支持部に低剛性領域を設ける必要がある。
【０００４】
即ち、圧電素子を備えた磁気ヘッドサスペンションは、前記磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記支持部に装着される前記圧電素子とを備えている。
そして、前記支持部には、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する前記低剛性領域とが備えられており、前記圧電素子の伸縮動作に応じて前記低剛性領域が弾性変形することで前記磁気ヘッドスライダの微動が可能となっている。
【０００５】
ところで、前記低剛性部位の剛性を弱めることによって前記圧電素子による前記磁気ヘッドスライダのシーク方向変位（前記ディスク面と平行な径方向の変位）を増大させることができるが、その一方で、前記低剛性領域の低剛性化は、前記磁気ヘッドサスペンションが装着された磁気ディスク装置への衝撃力印可時における前記圧電素子への応力の増加を招くと共に、前記磁気ヘッドサスペンションの共振周波数の低下を招く。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平０２−２２７８８６号公報
【特許文献２】特開平１１−０１６３１１号公報
【特許文献３】特開２００１−３０７４４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、メインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダの粗動に加えて、圧電素子による前記磁気ヘッドスライダの微動を行える磁気ヘッドサスペンションであって、衝撃力印可時に前記圧電素子に付加される応力を低減でき且つ共振周波数を向上させ得る磁気ヘッドサスペンションの提供を一の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、前記一対の圧電素子は、前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において少なくとも一部が前記開口領域内に位置した状態で基端部及び先端部が前記基端領域及び前記先端領域にそれぞれ連結されており、前記一対の連結梁の各々は、前記基端領域に連結された基端部から先端部へ略直線状に延びる基端側梁と、前記基端側梁に連結された基端部から前記先端領域に連結された先端部へ略直線状に延びる先端側梁とを有し、前記基端側梁及び前記先端側梁の連結点が前記基端側梁の基端部及び前記先端側梁の先端部を結ぶ仮想線よりサスペンション長手方向中心線に近接するように前記先端側梁が前記基端側梁に対して平面視において傾斜されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【０００９】
好ましくは、前記基端側梁は、基端部から先端部へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線に近接するように傾斜される。
【００１０】
好ましくは、前記先端側梁は、基端部から先端部へ行くに従って幅広とされる。
【００１１】
一形態においては、前記一対の圧電素子は、先端側及び基端側の端面の少なくとも一部がそれぞれ前記先端領域の基端側の端面及び前記基端領域の先端側の端面と対向するように前記開口領域内に配置された状態で、先端側及び基端側が前記先端領域及び前記基端領域にそれぞれ固着される。
【００１２】
前記一形態に係る磁気ヘッドサスペンションは、好ましくは、前記支持部における前記ディスク面と対向する下面に連結され且つ前記一対の圧電素子の先端側における前記ディスク面と対向する下面が載置可能な先端側支持プレートを備え得る。
前記先端側支持プレートは、前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において先端側のエッジと前記先端領域の基端側のエッジとの間に隙間が存するように、前記支持部の下面に連結される。
【００１３】
好ましくは、前記ロードビーム部，前記荷重曲げ部及び前記先端側支持プレートは単一部材によって一体形成され得る。
【００１４】
前記一形態に係る磁気ヘッドサスペンションは、前記先端支持プレートに代えて及び／又は加えて、前記支持部における前記ディスク面と対向する下面に連結され且つ前記一対の圧電素子の基端側における前記ディスク面と対向する下面が載置可能な基端側支持プレートを備え得る。
前記基端側支持プレートは、前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において基端側のエッジと前記基端領域の先端側のエッジとの間に隙間が存するように、前記支持部の下面に連結される。
【００１５】
前記基端側支持プレートが備えられる構成においては、前記支持部は、好ましくは、互いに重合された状態で接合される第１及び第２プレート状部材を備え得る。
前記第１プレート状部材は、前記基端領域に対応した部位と前記一対の連結梁に対応した部位と前記先端領域に対応した部位とを一体的に有し得る。
前記第２プレート状部材は、前記基端領域に対応した部位と前記基端側支持プレートに対応した部位とを一体的に有し得る。
【００１６】
前記一形態に係る前記磁気ヘッドサスペンションの種々の構成において、好ましくは、前記先端側梁におけるサスペンション幅方向内方を向く内側面は、対応する前記圧電素子の先端部から所定距離だけ基端側へ離間された位置において該圧電素子のサスペンション幅方向外方を向く外側面に最も近接される。
【００１７】
他形態においては、前記一対の圧電素子は、前記開口領域をサスペンション長手方向に跨いた状態で先端側が前記先端領域の上面に載置され且つ基端側が前記基端領域の上面に載置される。
【００１８】
前記種々の形態において、好ましくは、前記先端領域の基端側エッジのサスペンション幅方向中央部分は、サスペンション長手方向中心線と交差する中心位置が最もサスペンション長手方向先端側に位置し且つ前記中心位置からサスペンション幅方向外方へ行くに従ってサスペンション長手方向基端側に位置するような平面視凹形状とされる。
【００１９】
前記種々の形態において、好ましくは、前記基端領域の先端側エッジのサスペンション幅方向中央部分は、サスペンション長手方向中心線と交差する中心位置が最もサスペンション長手方向基端側に位置し且つ前記中心位置からサスペンション幅方向外方へ行くに従ってサスペンション長手方向先端側に位置するような平面視凹形状とされる。
【００２０】
前記種々の形態において、前記支持部は、前記メインアクチュエータに連結されるキャリッジアームの先端にかしめ加工によって接合されるボス部を備えたベースプレート、又は、前記メインアクチュエータに連結されるアームとされ得る。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、少なくとも一部が支持部に形成された開口領域と平面視においてオーバーラップするように配置された状態で基端側及び先端側が前記支持部の基端領域及び先端領域にそれぞれ連結されるように一対の圧電素子が支持部に装着され、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結するように前記支持部に設けられた左右一対の連結梁の各々が基端側梁及び先端側梁を有し、前記基端側梁及び前記先端側梁の連結点が前記基端側梁の基端部及び前記先端側梁の先端部を結ぶ仮想線よりサスペンション長手方向中心線に近接するように前記先端側梁が前記基端側梁に対して平面視において傾斜されているので、前記一対の圧電素子による前記磁気ヘッドスライダのシーク方向変位のし易さ（以下、微動特性という）を良好に維持しつつ、衝撃力印可時に前記圧電素子に付加される応力の低減及び前記磁気ヘッドサスペンションの共振周波数の向上を同時に図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１(a)〜(c)は、それぞれ、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図，下面図及び側面図である。
【図２】図２は、一対の圧電素子を取り外した状態の図１に示す前記磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図３】図３は、図１におけるIII-III線に沿った断面図である。
【図４】図４(a)〜(e)は、それぞれ、前記実施の形態１の実施例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図５】図５(a)〜(e)は、それぞれ、比較例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図６】図６は、連結梁における基端側梁及び先端側梁の傾斜角が異なる前記実施例１〜５及び比較例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンションに対して有限要素法を用いて行った解析結果を示すグラフであり、一定の微動特性（８．６ｎｍ／Ｖ）を得ることができる前記連結梁の幅を前記実施の形態１〜５及び前記比較例１〜５において解析した結果を示している。
【図７】図７は、前記実施例１〜５及び比較例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンションに対して有限要素法を用いて行った耐衝撃性に関する解析結果を示すグラフであり、前記傾斜角と所定の衝撃波が加わった際に前記圧電素子に付加される応力との相対関係を示している。
【図８】図８は、前記実施例１〜５及び比較例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンションに対して有限要素法を用いて行った共振周波数に関する解析結果を示すグラフであり、図８(a)〜(e)は、それぞれ、前記傾斜角と主共振モード，曲げ一次モード，捩れ一次モード，捩れ二次モード及び捩れ三次モードにおける共振周波数との相対関係を示している。
【図９】図９は、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１０】図１０(a)〜(c)は、それぞれ、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図，下面図及び側面図である。
【図１１】図１１は、一対の圧電素子を取り外した状態の図１０に示す前記磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１２】図１２は、図１０に示す前記磁気ヘッドサスペンションの分解上面図である。
【図１３】図１３は、図１０(a)におけるXIII-XIII線に沿った断面図である。
【図１４】図１４は、前記実施の形態３の変形形態に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１５】図１５(a)〜(c)は、それぞれ、前記実施の形態１の変形形態に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図，下面及び側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１(a)〜(c)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図），下面図（ディスク面側から見た底面図）及び側面図を示す。なお、図１(b)における○印は溶接点を示している。
【００２４】
図１に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、磁気ヘッドスライダ５０をディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部２０と、前記荷重を磁気ヘッドスライダ５０に伝達するためのロードビーム部３０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部１０と、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に支持されるフレクシャ部４０と、前記磁気ヘッドスライダ５０をシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部１０に装着された左右一対の圧電素子６０とを備えている。
【００２５】
前記支持部１０は、ボイスコイルモータ等の前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
【００２６】
本実施の形態においては、前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００２７】
図２に、前記一対の圧電素子６０を取り外した状態の前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図を示す。
図１及び図２に示すように、前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域１１と、前記荷重曲げ部２０が連結される先端領域１２と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域１１及び前記先端領域１２の間に位置する開口領域１３と、前記開口領域１３のサスペンション幅方向両側において前記基端領域１１及び前記先端領域１２の間を連結する左右一対の連結梁１４とを有している。
なお、前記一対の連結梁１４の詳細構造については後述する。
【００２８】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部３０は、平板状の本体部３１と、前記本体部３１の幅方向両端部からディスク面とは反対側に曲げ形成されたフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を確保している。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００２９】
詳しくは、前記ロードビーム部３０は、先端部に、所謂ディンプルと呼ばれる突起３３を有している。
前記突起３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３３は、前記フレクシャ部４０におけるヘッド搭載領域４３の裏面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重はこの突起３３を介して前記フレクシャ部４０のヘッド搭載領域４３に伝達される。
【００３０】
本実施の形態においては、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記メインアクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０をｚ方向（前記ディスク面と直交する方向）に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。
【００３１】
前記荷重曲げ部２０は、基端部が前記支持部１０に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０に連結されており、自己の弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生する。
【００３２】
図１及び図２に示すように、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は、板面が前記ディスク面と対向するように配置された左右一対の板バネ２１を有している。
好ましくは、前記一対の板バネ２１は、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面に近づく方向に予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの前記磁気ディスク装置への実装時には曲げ戻されることで前記押し付け荷重を発生するように、構成される。
【００３３】
前記荷重曲げ部２０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
なお、本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記荷重曲げ部２０は前記ロードビーム部３０と一体形成されている。
【００３４】
即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記ロードビーム部３０及び前記荷重曲げ部２０を一体形成するロードビーム部形成部材３００を有しており、前記ロードビーム部形成部材３００における前記ディスク面とは反対側の上面が前記支持部１０の前記先端領域１２における前記ディスク面と対向する下面に当接された状態で、前記ロードビーム部形成部材３００が前記支持部１０に溶接されている。
【００３５】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッド５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に接合される。
詳しくは、前記フレクシャ部４０は、図１(b)に示すように、前記ロードビーム部３０における前記ディスク面との対向面に溶接等によって接合される本体領域４１と、前記本体領域４１から先端側へ延びる一対の支持片４２と、前記支持片４２によって支持された前記ヘッド搭載領域４３とを有している。
【００３６】
前記ヘッド搭載領域４３は、ディスク面と対向する対向面において前記磁気ヘッド５０を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４３の裏面には前記突起３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４３は前記突起３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
前記フレクシャ部４０は、前記ヘッド搭載領域４３がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ部４０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板によって好適に形成される。
【００３７】
なお、本実施の形態においては、前記フレクシャ部４０には、前記磁気ヘッド５０に書き込み信号及び／又は読み取り信号を伝達する為の配線がプリント回路として一体的に備えられている。
即ち、前記フレクシャ部４０は、前記本体領域４１，前記一対の支持片４２及び前記ヘッド搭載領域４３を一体的に有するフレクシャ基板４００と、前記フレクシャ基板４００に積層されたフレクシャ配線体４１０とを有している。
図示は省略するが、前記フレクシャ配線体４１０は、前記フレクシャ基板４００におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層と、前記絶縁層におけるディスク面との対向面に積層された導体層と、前記導体層を囲繞する保護層とを有し得る。
【００３８】
本実施の形態においては、前記フレクシャ基板４００は、図１(b)に示すように、前記ロードビーム部４０の前記本体領域４１，前記支持部１０の前記先端領域１２及び前記支持部１０の前記基端領域１１にそれぞれ溶接によって接合されている。
【００３９】
前記圧電素子６０は、ＰＺＴ（チタン酸ジリコン酸鉛）からなる本体部と、前記本体部の厚み方向両側に配置された一対の電極層とを有している。
前記本体部は、例えば厚さ０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍとされ、前記電極層は、例えば厚さ０．０５μｍ〜数μｍのＡｇやＡｕによって形成される。
【００４０】
前記一対の圧電素子６０は、図１(a)に示すように、前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において少なくとも一部が前記開口領域１３とオーバーラップした状態で基端部及び先端部が前記基端領域１１及び前記先端領域１２にそれぞれ連結されており、且つ、前記磁気ヘッドスライダ５０をシーク方向に微動させる為のサブアクチュエータとして作用するように電圧の印可に応じて一方が伸長し且つ他方が圧縮するように構成されている。
【００４１】
図３に、図１におけるIII-III線に沿った断面図を示す。
本実施の形態においては、図１及び図３に示すように、前記一対の圧電素子６０は、ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において全体が前記開口領域１３内に配置されている。
【００４２】
即ち、前記一対の圧電素子６０の先端側及び基端側の端面の少なくとも一部がそれぞれ前記先端領域１２の基端側の端面及び前記基端領域１１の先端側の端面と対向するように、前記一対の圧電素子６０が前記開口領域１３内に配置された状態で、前記一対の圧電素子６０の先端側及び基端側が前記先端領域１２及び前記基端領域１１にそれぞれ固着されている。
【００４３】
斯かる構成によれば、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作を可及的に前記磁気ヘッドスライダ５０のシーク方向への移動動作として伝達することができる。
さらに、前記構成によれば、前記一対の圧電素子６０の一部又は全部を厚み方向に関し前記支持部１０とオーバーラップさせることができ、前記一対の圧電素子６０を含む前記磁気ヘッドサスペンション１Ａ全体の厚みを可及的に薄くすることができる。
【００４４】
本実施の形態においては、前記一対の圧電素子６０の全体が平面視において前記開口領域１３内に配置された状態で、前記一対の圧電素子６０の先端側の端面と前記先端領域１２の基端側の端面とが絶縁性の接着剤等の固着部材７０によって固着され、且つ、前記一対の圧電素子６０の基端側の端面と前記基端領域１１の先端側の端面とが絶縁性の接着剤等の固着部材７０によって固着されている。
即ち、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作は、前記固着部材７０を介して前記先端領域１２及び前記基端領域１１に伝達される。
【００４５】
なお、本実施の形態においては、図１に示すように、前記一対の圧電素子６０は、長手方向（即ち、伸縮方向）がサスペンション長手方向に沿うように配置されているが、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。
即ち、前記一対の圧電素子６０がサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対称であり、且つ、前記一対の圧電素子６０の長手方向がサスペンション長手方向に沿った成分を有する範囲内であれば、前記一対の圧電素子６０の長手方向をサスペンション長手方向に対して傾斜させることも可能である。
【００４６】
前記一対の圧電素子６０への電圧印可は、例えば、前記フレクシャ配線体４１０を利用して行うことができる。
本実施の形態においては、前記一対の圧電素子６０の上面側（前記ディスク面とは反対側）の電極層を導電性接着剤等の導電性部材７２（図１(a)参照）によって前記支持体１０に電気的に接続することで接地電位とした状態で、前記一対の圧電素子６０の下面側（前記ディスク面と対向する側）の電極層に前記フレクシャ配線体４１０を利用して電圧を印可している。
【００４７】
好ましくは、図１(b)及び図２に示すように、前記フレクシャ部４０の一部がディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において前記一対の圧電素子６０とオーバーラップするように配置させることができる。斯かる構成によれば、前記フレクシャ配線体４１０を利用した前記一対の圧電素子６０の下面側の電極への電圧印可を容易に行うことができる。
【００４８】
本実施の形態においては、図１(b)及び図３に示すように、前記フレクシャ配線体４１０における前記導体層と前記一対の圧電素子６０の下面側の電極層とをワイヤーボンディング７４によって電気的に結合している。
なお、図１(b)における符号７６は、前記導体層を露出する為に前記保護層に形成された開口である。
【００４９】
ここで、前記一対の連結梁１４の構成について説明する。
前記一対の連結梁１４は、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称な形状を有している。
前記連結梁１４は、図１及び図２に示すように、前記基端領域１１に連結された基端部から先端部へ略直線状に延びる基端側梁１４１と、前記基端側梁１４１に連結された基端部から前記先端領域１２に連結された先端部へ略直線状に延びる先端側梁１４２とを有している。
【００５０】
図１(a)に示すように、前記基端側梁１４１及び前記先端側梁１４２の連結点ＣＰ（前記基端側梁１４０の長手方向中心線及び前記先端側梁１４２の長手方向中心線の交差点）が前記基端側梁１４１の基端部及び前記先端側梁１４２の先端部を結ぶ仮想線ＩＬ（前記基端側梁１４１の基端部の幅方向中心点及び前記先端側梁１４２の幅方向中心点を結ぶ仮想線）よりサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように、前記先端側梁１４２の長手方向が前記基端側梁１４１の長手方向に対して平面視において傾斜されている。
即ち、前記連結梁１４は、前記基端側梁１４１及び前記先端側梁１４２の連結点ＣＰが前記仮想線ＩＬよりサスペンション長手方向中心線に近接するように、前記連結点ＣＰにおいて屈折されている。
【００５１】
斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンション１Ａによれば、前記一対の圧電素子６０による前記磁気ヘッドスライダ５０のシーク方向への微動特性を良好に維持しつつ、衝撃力印可時に前記圧電素子６０に付加される応力を低減でき且つ前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの共振周波数を向上させることができる。
【００５２】
なお、本実施の形態においては、前記先端領域１２，前記一対の連結梁１４及び前記基端領域１１は単一部材によって一体形成されている。
即ち、前記支持部１０を形成する支持部形成部材１００は、前記先端領域１２を形成する部位，前記一対の連結梁１４を形成する部位及び前記基端領域１１を形成する部位を一体的に有している。
前記支持部形成部材１００は、例えば、プレート基板からプレス加工によって形成され得る。
【００５３】
ここで、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの効果を検証する為に有限要素法を用いて行った解析結果について説明する。
図４(a)〜(e)及び図５(a)〜(e)に、本解析に用いた磁気ヘッドサスペンションの上面図を示す。
【００５４】
図４(a)〜(e)は、前記基端側梁１４１及び前記先端側梁１４２の連結点ＣＰが前記仮想線ＩＬよりサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように前記先端側梁１４２の長手方向が前記基端側梁１４１の長手方向に対して平面視において傾斜されている実施例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンション１ａ〜１ｅを示している。
【００５５】
一方、図５(a)は、前記先端側梁１４２の長手方向が前記基端側梁１４１の長手方向に対して平面視において同軸上に位置されている比較例１に係る磁気ヘッドサスペンション９ａを示し、図５(b)〜(e)は、前記基端側梁１４１及び前記先端側梁１４２の連結点ＣＰが前記仮想線ＩＬよりサスペンション長手方向中心線ＣＬから離間するように前記先端側梁１４２の長手方向が前記基端側梁１４１の長手方向に対して平面視において傾斜されている比較例２〜５に係る磁気ヘッドサスペンション９ｂ〜９ｅを示している。
【００５６】
前記実施例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンション１ａ〜１ｅにおいては、前記基端側梁１４１の長手方向に対する前記先端側梁１４２の長手方向の傾斜角Δαは、それぞれ、−８４．５°，−６８．４°，−５０．１°，−２５．８°及び−５．４°とされている。
一方、前記比較例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンション９ａ〜９ｅにおいては、前記傾斜角Δαは、それぞれ、０°，＋２１．８°，＋４１．７°，＋６３．７°及び＋８８．０°とされている。
【００５７】
なお、前記傾斜角Δαの表示において、「−（マイナス）」は、前記基端側梁１４１及び前記先端側梁１４２の連結点ＣＰが前記仮想線ＩＬよりサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように前記先端側梁１４２の長手方向が前記基端側梁１４１の長手方向に対して傾斜されていることを意味し、「＋（プラス）」は、前記基端側梁１４１及び前記先端側梁１４２の連結点ＣＰが前記仮想線ＩＬよりサスペンション長手方向中心線ＣＬから離間するように前記先端側梁１４２の長手方向が前記基端側梁１４１の長手方向に対して傾斜されていることを意味している。
又、本解析においては、前記基端側梁１４１の基端部から前記先端側梁１４２の先端部までのサスペンション長手方向距離をＬとした場合に、前記連結点ＣＰ及び前記基端側梁１４１の基端部間のサスペンション長手方向距離が１／４×Ｌとなるように、前記連結点ＣＰのサスペンション長手方向位置を決定した。
【００５８】
本解析においては、前記ロードビーム部３０，前記圧電素子６０，前記支持部１０，前記フレクシャ基板４００及び前記フレクシャ配線体４１０の厚みを、それぞれ、０．０２５ｍｍ，０．１２ｍｍ，０．１５ｍｍ，０．０１８ｍｍ及び０．０１８ｍｍとした。
【００５９】
まず、前記一対の圧電素子６０による微動特性を前記実施例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンション１ａ〜１ｅ及び前記比較例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンション９ａ〜９ｅの全てにおいて一定とする為には、それぞれの磁気ヘッドサスペンションにおいて前記連結梁１４を幾らの幅にする必要があるかを求めた。
【００６０】
具体的には、前記一対の圧電素子６０への印可電圧に対する前記磁気ヘッドスライダ５０のシーク方向変位を８．６ｎｍ／Ｖとする為に必要な前記一対の連結梁１４の幅を、前記実施例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンション１ａ〜１ｅ及び前記比較例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンション９ａ〜９ｅの全てにおいて求めた。
その解析結果を図６に示す。
【００６１】
なお、図６における破線で示す連結梁１４の幅０．３０ｍｍは、前記一対の連結梁１４を含む前記支持部１０をプレス加工によって安定的に形成する為に必要となる最小幅を示している。
即ち、プレートから梁部を有する形状をプレス加工によって安定的に形成する為には、前記梁部の幅を前記プレートの板厚の２倍以上とする必要がある。
前記一対の連結梁１４は、前述の通り、前記支持部１０に設けられている。そして、本解析においては前記一対の連結梁１４を含む前記支持部１０の厚みは０．１５ｍｍとされている。
従って、本解析の条件下においては、前記一対の連結梁１４を含む前記支持部１０をプレス加工によって安定的に形成する為には、前記一対の連結梁１４の幅を０．３０ｍｍ以上とする必要がある。
【００６２】
図６から明らかなように、Δαがゼロ（即ち、連結梁１４が平面視において直線状）とされた比較例９ａにおいては前記連結梁１４の幅を最小とする必要がある。その一方で、Δαをゼロから−側及び＋側の何れの方向に大きくしても前記連結梁１４の幅を大きくしすることが可能となっている。
即ち、前記一対の連結梁１４が前記連結点ＣＰにおいて屈折している構成は、前記一対の連結梁１４が直線状とされている構成に比して、同じ微動特性を得つつ、前記連結梁１４を幅広とすることができる。
このことから、前記一対の連結梁１４が前記連結点ＣＰにおいて屈折している構成は、前記一対の連結梁１４が直線状とされている構成に比して、同じ微動特性を得つつ、プレス加工による加工性を向上させ得ることが理解される。
【００６３】
さらに、図６から明らかなように、前記連結点ＣＰが前記仮想線ＩＬよりサスペンション長手方向中心線ＣＬから離間するように前記先端側梁１４２の長手方向が前記基端側梁１４１の長手方向に対して平面視において傾斜されている構成（即ち、Δα＞０の構成）において前記一対の連結梁１４の幅を０．３０ｍｍ以上とする為には、Δαを６２°以上にする必要がある。
【００６４】
これに対し、前記連結点ＣＰが前記仮想線ＩＬよりサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように前記先端側梁１４２の長手方向が前記基端側梁１４１の長手方向に対して平面視において傾斜されている構成（即ち、Δα＜０の構成）においては、Δαを−４２°以下にすることで前記一対の連結梁１４の幅を０．３０ｍｍ以上とすることができる。
【００６５】
即ち、前記連結点ＣＰが前記仮想線ＩＬよりサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように前記先端側梁１４２の長手方向が前記基端側梁１４１の長手方向に対して平面視において傾斜されている構成は、前記連結点ＣＰが前記仮想線ＩＬよりサスペンション長手方向中心線ＣＬから離間するように前記先端側梁１４２の長手方向が前記基端側梁１４１の長手方向に対して平面視において傾斜されている構成に比して、前記基端側梁１４１に対する前記先端側梁１４１の傾斜角が小さい状態で所望の微動特性を得ることができる。
【００６６】
このことから、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記連結点ＣＬが前記仮想線ＩＬよりサスペンション長手方向中心線ＣＬから離間するように前記先端側梁１４２の長手方向が前記基端側梁１４１の長手方向に対して平面視において傾斜されている磁気ヘッドサスペンションに比して、微動特性を向上させ得ることが理解される。
さらに、前記連結点ＣＰが前記仮想線ＩＬよりサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように前記先端側梁１４２の長手方向が前記基端側梁１４１の長手方向に対して平面視において傾斜されている構成は、前記連結点ＣＰが前記仮想線ＩＬよりサスペンション長手方向中心線ＣＬから離間するように前記先端側梁１４２の長手方向が前記基端側梁１４１の長手方向に対して平面視において傾斜されている構成に比して、サスペンション幅方向に関する小型化も可能となる。
【００６７】
次に、前記実施例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンション１ａ〜１ｅ及び前記比較例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンション９ａ〜９ｅの耐衝撃性に関する解析結果について説明する。
本解析においては、前記実施例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンション１ａ〜１ｅ及び前記比較例１〜５に係る各磁気ヘッドサスペンション９ａ〜９ｅに対して前記ボス部１５を拘束し且つ前記磁気ヘッドスライダ５０をディスク面に直交するｚ方向には移動しないように拘束した状態でそれらの拘束領域に前記ディスク面に向かう方向の衝撃波（正弦半波）であって、パルス幅１．０ｍｓｅｃでピーク値１０００Ｇの衝撃波(正弦半波)を加えた際に、前記一対の圧電素子６０に発生する応力のうち最大の応力を求めた。
本解析結果を図７に示す。
【００６８】
図７から明らかなように、Δα＝０の場合（前記一対の連結梁１４が平面視において直線状の場合）に前記一対の圧電素子６０に最も大きな応力が掛かっており、＋側及び−側の何れの方向においてもΔαを大きくするに従って前記一対の圧電素子６０に掛かる応力が小さくなっている。
このことから、前記一対の連結梁１４が前記連結点ＣＰにおいて屈折している構成は、前記一対の連結梁１４が直線状とされている構成に比して、耐衝撃性を向上させ得ることが理解される。
【００６９】
さらに、図７から明らかなように、Δαを＋側に大きくするよりも−側に大きくする方が前記一対の圧電素子６０に掛かる応力を低減できる。
このことから、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記連結点ＣＰが前記仮想線ＩＬよりサスペンション長手方向中心線ＣＬから離間するように前記先端側梁１４２の長手方向が前記基端側梁１４１の長手方向に対して平面視において傾斜されている磁気ヘッドサスペンションに比して、耐衝撃性を向上させ得ることが理解される。
【００７０】
最後に、前記実施例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンション１ａ〜１ｅ及び前記比較例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンション９ａ〜９ｅの共振周波数に関する解析結果について説明する。
【００７１】
本解析においては、固有値解析を用いて前記実施例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンション１ａ〜１ｅ及び前記比較例１〜５に係る磁気ヘッドサスペンション９ａ〜９ｅの主共振モード，曲げ一次モード，捩れ一次モード，捩れ二次モード及び捩れ三次モードに関する共振周波数を求めた。
本解析結果を図８(a)〜(e)にそれぞれ示す。
【００７２】
なお、主共振モードは前記磁気ヘッドサスペンションのシーク方向に関する振動モードであり、曲げ一次モードは前記磁気ヘッドサスペンションのｚ方向（ディスク面と直交する方向）の曲げ動作に関する振動モードであり、捩れ一次モードは前記荷重曲げ部のサスペンション長手方向中心線回りの捩れ動作に関する振動モードであり、捩れ二次モードは前記支持部のサスペンション長手方向中心線回りの捩れ動作に関する振動モードであり、捩れ三次モードは前記ロードビーム部のサスペンション長手方向中心線回りの捩れ動作に関する振動モードである。
【００７３】
図８(b)から、前記一対の連結梁１４が前記連結点ＣＰにおいて屈折している構成は、前記一対の連結梁１４が直線状とされている構成に比して、曲げ一次モードに関する共振周波数を向上させ得ることが理解される。
【００７４】
さらに、図８(a)〜(e)から明らかなように、前記連結点ＣＰが前記仮想線ＩＬよりサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように前記先端側梁１４２の長手方向が前記基端側梁１４１の長手方向に対して平面視において傾斜されている構成は、前記連結点ＣＰが前記仮想線ＩＬよりサスペンション長手方向中心線ＣＬから離間するように前記先端側梁１４２の長手方向が前記基端側梁１４１の長手方向に対して平面視において傾斜されている構成に比して、主共振モード，捩れ一次モード及び捩れ三次モードについては同等の共振周波数特性を有しつつ、曲げ一次モード及び捩れ二次モードについてはより良い共振周波数特性を有している。
【００７５】
このことから、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記連結点ＣＰが前記仮想線ＩＬよりサスペンション長手方向中心線ＣＬから離間するように前記先端側梁１４２の長手方向が前記基端側梁１４１の長手方向に対して平面視において傾斜されている磁気ヘッドサスペンションに比して、共振周波数特性を向上させ得ることが理解される。
【００７６】
又、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、図１及び図２に示すように、前記基端側梁１４１は、基端部から先端部へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように傾斜されている。
斯かる構成によれば、前記一対の連結梁１４における前記基端側梁１４１の基端部間のサスペンション幅方向距離を大きくすることができ、これにより、前記一対の連結梁１４による前記先端領域１２の支持安定化を図ることができる。
【００７７】
実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図９に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）を示す。
なお、図中、前記実施の形態１における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００７８】
図９に示すように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、前記先端側梁１４２の形状が変更されている点においてのみ、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。
【００７９】
即ち、前記実施の形態１においては、前記先端側梁１４２は長手方向全域に亘って略同一幅を有している。
これに対し、本実施の形態においては、前記先端側梁１４２は、前記基端側梁１４１に連結される基端部から先端部へ行くに従って幅広とされている。
【００８０】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂ及び前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａに対して、前記磁気ヘッドスライダ５０のシーク方向への微動特性及び主共振モードの共振周波数に関する有限要素法解析を行うと、微動特性については前者が８．３ｎｍ／Ｖで後者が８．５ｎｍ／Ｖであった。又、主共振モードの共振周波数については前者が２６．５ｋＨｚで後者が２６．３ｋＨｚであった。
【００８１】
このことから、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａに比して、前記磁気ヘッドスライダ５０の主共振モードの共振周波数を向上させ得ることが理解される。
【００８２】
実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１０(a)〜(c)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図），下面図（ディスク面側から見た底面図）及び側面図を示す。なお、図１０(b)における○印は溶接点を示している。
【００８３】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃは、前記一対の圧電素子６０の先端側及び基端側がそれぞれ載置され得る先端側支持プレート８０及び基端側支持プレート９０をさらに備えている点において、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションと主として相違している。
【００８４】
図１１に、前記一対の圧電素子６０を取り外した状態の前記磁気ヘッドサスペンション１Ｃの上面図を示す。
又、図１２に、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｃの分解上面図を示す。
さらに、図１３に、図１０(a)におけるXIII-XIII線に沿った断面図を示す。
【００８５】
図９〜図１３に示すように、前記先端側支持プレート８０は、前記支持部１０の下面（前記ディスク面と対向する面）に連結されており、且つ、前記一対の圧電素子６０の先端側における前記ディスク面と対向する下面が載置され得るように構成されている。
【００８６】
前記先端側支持プレート８０を備えることにより、前記一対の圧電素子６０の前記先端領域１２への装着作業効率を向上させることができる。
即ち、前記先端側支持プレート８０の上面（前記ディスク面とは反対側の面）に絶縁性接着剤７０を塗布してから前記一対の圧電素子６０を前記先端側支持プレート８０の上面に載置させることで、前記絶縁性接着剤７０を前記一対の圧電素子６０の先端側の端面と前記支持部１０の先端領域１２の基端側端面との間に行き渡らせることができる。
【００８７】
本実施の形態におけるように、前記先端側支持プレート８０が前記支持部１０とは別体とされている場合には、好ましくは、図１１及び図１３に示すように、前記先端側支持プレート８０は、前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において、該先端側支持プレート８０の先端側エッジと前記支持部１０の前記先端領域１２の基端側エッジとの間に隙間８１が存するように、前記支持部１０に連結される。
【００８８】
斯かる構成によれば以下の効果を得ることができる。
即ち、前記先端側支持プレート８０が平面視において前記先端領域１２の基端側エッジを跨ぐように構成すること、即ち、前記先端側支持プレート８０の先端側と前記先端領域１２とが平面視においてオーバーラップするように前記先端側支持プレート８０を設けることも可能であるが、斯かる構成によると、前記先端側支持プレート８０の上面に絶縁性接着剤を塗布してから前記一対の圧電素子６０を前記先端側支持プレート８０の上面に載置させて前記一対の圧電素子６０を前記先端領域１２に固着させる際に、前記絶縁性接着剤７０が理想的には密着している前記先端側支持プレート８０及び前記先端領域１２の間に入り込む恐れがある。前記先端側支持プレート８０及び前記先端領域１２は共にＳＵＳ等の剛性部材によって形成され且つ理想的には密着状態とされるから、両者の間に前記絶縁性接着剤７０が入り込むと、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作に伴って両者の間の前記絶縁性接着剤７０に包含されるフィラーが脱離する恐れがある。
これに対し、平面視において前記先端側支持プレート８０の先端側エッジと前記先端領域１２の基端側エッジとの間に隙間８１が存するように前記先端側支持プレート８０を配置させれば、斯かる不都合も有効に防止できる。
【００８９】
なお、本実施の形態においては、前記先端側支持プレート８０は、前記ロードビーム部３０及び前記荷重曲げ部２０を一体形成するロードビーム部形成部材３００Ｃに一体形成されている。
【００９０】
即ち、前記ロードビーム部形成部材３００Ｃは、図１２に示すように、前記ロードビーム部３０を形成するロードビーム部形成領域３３０と、前記荷重曲げ部２０として作用する一対の板バネ２１を形成する一対の荷重曲げ部形成領域３２０と、前記一対の荷重曲げ部形成領域３２０から基端側へ延びて前記支持部１０に接合される一対の支持部接合領域３１０と、平面視において前記先端領域１２とオーバーラップするように前記一対の支持部接合領域３１０の間を連結する連結領域３５０と、前記先端側支持プレート８０を形成するように前記連結領域３５０より基端側において前記一対の支持部接合領域３１０の間を連結する先端側支持プレート形成領域３８０とを含んでいる。
【００９１】
本実施の形態におけるように、前記先端側支持プレート８０が備えられる構成においては、好ましくは、前記先端側梁１４２におけるサスペンション幅方向内方を向く内側面は、対応する前記圧電素子６０の先端部から所定距離だけ基端側へ離間された位置において該圧電素子６０のサスペンション幅方向外方を向く外側面に最も近接するように形成される。
【００９２】
斯かる構成によれば、前記先端側支持プレート８０の上面に絶縁性接着剤７０を塗布してから前記一対の圧電素子６０を前記先端側支持プレート８０の上面に載置させて前記一対の圧電素子６０を前記先端領域１２に固着させる際に、絶縁性接着剤７０が前記先端側梁１４２の内側面及び対応する前記圧電素子６０の外側面の間からサスペンション長手方向基端側へ流れ出ることを有効に防止でき、これにより、前記磁気ヘッドスライダ５０のシーク方向の微動特性及び前記磁気ヘッドサスペンション１Ｃの共振周波数特性のバラツキを抑えることができる。
【００９３】
本実施の形態においては、図１０(a)，図１１及び図１２に示すように、前記先端側梁１４２の内側面は、対応する前記圧電素子６０の先端部から所定距離だけ基端側へ離間された位置にサスペンション幅方向内方へ突出した内方突出部１４２ａを有しており、前記内方突出部１４２ａによって絶縁性接着剤７０がサスペンション長手方向基端側へ流れ出ることを防止している。
【００９４】
前記基端側支持プレート９０は、図１０〜図１３に示すように、前記支持部１０の下面（前記ディスク面と対向する面）に連結されており、且つ、前記一対の圧電素子６０の基端側における前記ディスク面と対向する下面が載置され得るように構成されている。
【００９５】
前記基端側支持プレート９０を備えることにより、前記一対の圧電素子６０の前記基端領域１１への装着作業効率を向上させることができる。
即ち、前記基端側支持プレート９０の上面（前記ディスク面とは反対側の面）に絶縁性接着剤７０を塗布してから前記一対の圧電素子６０を前記基端側支持プレート９０の上面に載置させることで、前記絶縁性接着剤７０を前記一対の圧電素子６０の基端側の端面と前記支持部１０の前記基端領域１１の先端側端面との間に行き渡らせることができる。
【００９６】
本実施の形態におけるように、前記基端側支持プレート９０が前記支持部１０とは別体とされている場合には、好ましくは、図１１及び図１３に示すように、前記基端側支持プレート９０は、前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において、該基端側支持プレート９０の基端側エッジと前記支持部１０の前記基端領域１１の先端側エッジとの間に隙間９１が存するように、前記支持部１０に連結される。
【００９７】
斯かる構成によれば以下の効果を得ることができる。
即ち、前記基端側支持プレート９０が平面視において前記基端領域１１の先端側エッジを跨ぐように構成すること、即ち、前記基端側支持プレート９０の基端側と前記基端領域１１とが平面視においてオーバーラップするように前記基端側支持プレート９０を設けることも可能であるが、斯かる構成によると、前記基端側支持プレート９０の上面に絶縁性接着剤７０を塗布してから前記一対の圧電素子６０を前記基端側支持プレート９０の上面に載置させて前記一対の圧電素子６０を前記基端領域１１に固着させる際に、前記絶縁性接着剤７０が理想的には密着している前記基端側支持プレート９０及び前記基端領域１１の間に入り込む恐れがある。前記基端側支持プレート９０及び前記基端領域１１は共にＳＵＳ等の剛性部材によって形成され且つ理想的には密着状態とされるから、両者の間に前記絶縁性接着剤７０が入り込むと、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作に伴って両者の間の前記絶縁性接着剤７０に包含されるフィラーが脱離する恐れがある。
これに対し、前記基端側支持プレート９０の基端側エッジと前記基端領域１１の先端側エッジとの間に隙間９１が存するように前記基端側支持プレート９０を配置させれば、斯かる不都合も有効に防止できる。
【００９８】
なお、本実施の形態においては、前記基端側支持プレートは、前記支持部１０を形成する支持部形成部材１００Ｃに一体形成されている。
【００９９】
詳しくは、前記支持部形成部材１００Ｃは、図１２に示すように、互いに接合される第１及び第２プレート状部材１１０，１２０を有している。
前記第１プレート状部材１１０は、前記基端領域１１に対応した部位１１１と前記一対の連結梁１４に対応した部位１１４と前記先端領域１２に対応した部位１１２とを一体的に備えている。
【０１００】
一方、前記第２プレート状部材１２０は、前記基端領域１１に対応した部位１２１と前記基端側支持プレート９０に対応した部位１２９とを一体的に備えている。
前記第１及び第２プレート状部材１１０，１２０は、互いの前記基端領域１１に対応した部位１１１，１２１が重合された状態で溶接によって接合されている。
【０１０１】
なお、図１２に示すように、本実施の形態においては、前記第１プレート状部材１１０に前記ボス部１５が形成されており、前記第２プレート部材１２０には前記ボス部１５のボス孔よりも大径の開口１６が形成されている。
【０１０２】
さらに、本実施の形態においては、図１０(a)，図１１及び図１２に示すように、前記先端領域１２の基端側エッジのサスペンション幅方向中央部分１２ａは、平面視においてサスペンション長手方向基端側に開く凹状とされている。
【０１０３】
即ち、前記先端領域１２の基端側エッジのサスペンション幅方向中央部分１２ａは、サスペンション長手方向中心線ＣＬと交差する中心位置が最もサスペンション長手方向先端側に位置し且つ前記中心位置からサスペンション幅方向外方へ行くに従ってサスペンション長手方向基端側に位置するような平面視凹形状を有している。
【０１０４】
斯かる構成を備えることにより、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作時に前記先端領域１２のサスペンション幅方向中央部分１２ａに応力が集中することを緩和でき、絶縁性接着剤７０の剥がれや脱落等の不都合を防止できる。
【０１０５】
同様に、図１０(a)，図１１及び図１２に示すように、前記基端領域１１の先端側エッジのサスペンション幅方向中央部分１１ａは、平面視においてサスペンション長手方向先端側に開く凹状とされている。
【０１０６】
即ち、前記基端領域１１の先端側エッジのサスペンション幅方向中央部分１１ａは、サスペンション長手方向中心線と交差する中心位置が最もサスペンション長手方向基端側に位置し且つ前記中心位置からサスペンション幅方向外方へ行くに従ってサスペンション長手方向先端側に位置するような平面視凹形状を有している。
【０１０７】
斯かる構成を備えることにより、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作時に前記基端領域１１のサスペンション幅方向中央部分１１ａに応力が集中することを緩和でき、絶縁性接着剤７０の剥がれや脱落等の不都合を防止できる。
【０１０８】
なお、前記先端領域１２の基端側エッジのサスペンション幅方向中央部分１２ａ及び／又は前記基端領域１１の先端側エッジのサスペンション幅方向中央部分１１ａを前記平面視凹形状とすることは、当然ながら、前記実施の形態１及び２に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａ，１Ｂや下記変形形態に係る磁気ヘッドサスペンションにも適用可能である。
【０１０９】
又、前記各実施の形態においては、前記支持部１０は前記ベースプレートの形態をなしているが、当然ながら、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。即ち、前記支持部１０として、基端部が前記メインアクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。
図１４に、前記実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃにおいて前記支持部１０がアームに変更された本発明の変形形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃ’の上面図を示す。
【０１１０】
さらに、前記各実施の形態においては、前記一対の圧電素子６０は、前記開口領域１３内に配置されているが、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。
即ち、前記開口領域１３をサスペンション長手方向に跨いた状態で先端側が前記先端領域１２の上面に載置され且つ基端側が前記基端領域１１の上面に載置されるように、前記一対の圧電素子６０を配置させることも可能である。
【０１１１】
図１５(a)〜(c)に、それぞれ、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａに対して斯かる変形を加えた本発明の変形形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａ’の上面図，下面図及び側面図を示す。
図１５に示す磁気ヘッドサスペンション１Ａ’によれば、ｚ方向の厚みが増加するものの、前記一対の圧電素子６０の前記支持部１０への固着作業の容易化を図ることができる。
【符号の説明】
【０１１２】
１Ａ，１Ａ’，１Ｂ，１Ｃ，１Ｃ’        磁気ヘッドサスペンション
１０          支持部
１１          基端領域
１１ａ        基端領域の先端側エッジのサスペンション幅方向中央部分
１２          先端領域
１２ａ        先端領域の基端側エッジのサスペンション幅方向中央部分
１３          開口領域
１４          連結梁
１５          ボス部
２０          荷重曲げ部
３０          ロードビーム部
４０          フレクシャ部
５０          磁気ヘッドスライダ
６０          圧電素子
８０          先端側支持プレート
８１          隙間
９０          基端側支持プレート
９１          隙間
１１０        第１プレート状部材
１１１        基端領域に対応した部位
１１４        連結梁に対応した部位
１２０        第２プレート状部材
１２１        基端領域に対応した部位
１２９        基端側支持プレートに対応した部位
１４１        基端側梁
１４２        先端側梁
１４２ａ      内方突出部
ＣＬ          サスペンション長手方向中心線線
ＣＰ          基端側梁及び先端側梁の連結点
ＩＰ          仮想線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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