(57)【要約】      （修正有）【課題】圧電素子のこれが対応させられた圧力発生室に対するアライメント精度を容易に向上させることができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】圧電素子１６Ａ，１６Ｂ、固定部材３３及びこの固定部材３３から一体的に振動板１５側に伸びる脚部４１が一体化された圧電素子ユニット１７を形成する工程と、圧電素子ユニット１７を流路形成基板１２に対しその所定位置にアライメントするとともに固定する工程と、流路形成基板１２に対して固定された圧電素子ユニット１７を収容部１８に収容しつつヘッドケース１９を前記流路形成基板１２に対して固定する工程とを具備する。【選択図】図５
2010173124.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口に連通するよう列を形成して流路形成基板に形成された複数の圧力発生室と、前記流路形成基板に形成された振動板を介して前記圧力発生室の容積を変化させる圧電素子と、前記圧電素子の前記圧力発生室とは反対側に配設されて前記圧電素子の一部が接合されている固定部材と、前記圧電素子を駆動する駆動信号が外部から供給されるよう前記圧電素子に接続されている配線基板とを有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記圧電素子、前記固定部材及びこの固定部材から一体的に前記振動板側に伸びる脚部が一体化された圧電素子ユニットを形成する工程と、
前記圧電素子ユニットを前記流路形成基板に対しその所定位置にアライメントするとともに固定する工程と、
前記流路形成基板に対して固定された前記圧電素子ユニットを収容部に収容しつつヘッドケースを前記流路形成基板に対して固定する工程とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記圧電素子を前記圧力発生室に対応させて櫛歯状に切り分けた後前記固定部材に接合するとともに、その後前記脚部を前記固定部材に固着することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記脚部は前記固定部材の前記振動板側の端面に接着剤で固着するとともに、この固着は前記固定部材に接合された前記圧電素子の前記振動板側の端面及び前記脚部の前記振動板側の端面を定盤に当接させた状態で前記固定部材と脚部との間に接着剤を流し込むことにより行うことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記圧電素子ユニットは２列の圧電素子を有しており、各圧電素子が固定部材を共用するよう前記固定部材の両側面に相対向して接合してあることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記固定部材の両側面にそれぞれ接合された前記圧電素子は各列毎に列方向に関し半ピッチずらして櫛歯状に切り分けたことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体噴射ヘッドの製造方法に関し、特に縦振動型の圧電素子の駆動により液体を噴射する方式のものに適用して有用なものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、圧電素子の変位による圧力を利用してノズル開口からインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。その一種としてノズル開口に連通するよう流路形成基板に形成してある圧力発生室に対向する領域に振動板を介して圧電素子（圧電振動子）を縦方向に設け、この圧電素子に電圧を印加することによる縦振動を利用して圧力発生室内を膨張・収縮させてノズル開口からインク滴を吐出させるものがある（例えば、特許文献１参照）。このようなインクジェット式記録ヘッドの圧電素子は、ヘッドケース（基台）の収容部内に収容され、通常ＦＰＣ等で形成されている回路基板を介してヘッドケース上に設けられる配線基板（上方閉鎖板）の導電パッドと電気的に接続されている。
【０００３】
ここで、ノズル開口からのインク滴の安定した均一な吐出特性を実現するためには、圧電素子の先端面の振動板に対する位置を高精度に位置決めしてやることが肝要である。この位置がずれた場合、圧力発生室内のインクに対する押圧力に偏りを生起してしまうからである。そこで、この種の縦振動を利用したインクジェット記録ヘッドにおいては振動板に設けた島部と呼称される部位に圧電素子の先端面が正確に当接するように位置決めを行っている。
【０００４】
かかる位置決めは、従来、圧電素子を収容するケースヘッドで圧電素子の位置を規制することにより行っている。すなわち、予め所定の公差で正確に成形されたケースヘッドの収容部に圧電素子を装着し、その後圧電素子と一体となったケースヘッドを流路形成基板側に固着している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−７４７４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述の如く従来技術においては圧電素子をケースヘッドに装着した後、圧電素子と一体となったケースヘッドを島部を有する流路形成基板側に固着しているので、圧電素子と島部との相対的な位置精度はケースヘッドにおいて圧電素子の位置を規定する部位の成形精度に依存して決定される。このため、さらなる高密度印刷を実現すべく列方向で隣接するノズル開口の間隔を縮小しようとする場合等には特に、圧電素子の島部に対するアライメント精度が問題となってくる。
【０００７】
なお、このような問題はインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００８】
本発明は、上述の如き従来技術に鑑み、圧電素子のこれが対応させられた圧力発生室に対するアライメント精度を容易に向上させることができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成する本発明の一態様は、液体を噴射するノズル開口に連通するよう列を形成して流路形成基板に形成された複数の圧力発生室と、前記流路形成基板に形成された振動板を介して前記圧力発生室の容積を変化させる圧電素子と、前記圧電素子の前記圧力発生室とは反対側に配設されて前記圧電素子の一部が接合されている固定部材と、前記圧電素子を駆動する駆動信号が外部から供給されるよう前記圧電素子に接続されている配線基板とを有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記圧電素子、前記固定部材及びこの固定部材から一体的に前記振動板側に伸びる脚部が一体化された圧電素子ユニットを形成する工程と、前記圧電素子ユニットを前記流路形成基板に対しその所定位置にアライメントするとともに固定する工程と、前記流路形成基板に対して固定された前記圧電素子ユニットを収容部に収容しつつヘッドケースを前記流路形成基板に対して固定する工程とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
本態様によれば、圧電素子ユニットとして一体化された圧電素子の先端面の位置を視認しながら流路形成基板に対するアライメント作業を行うことができるので、当該作業を高精度なものとすることができる。特に、列方向で隣接するノズル開口の間隔を短縮して高密度化を実現する場合でも十分な高精度の位置決めを行うことができ、結果として液体噴射ヘッドの小形化及び高密度化に資することができる。
【００１０】
ここで、前記圧電素子を前記圧力発生室に対応させて櫛歯状に切り分けた後前記固定部材に接合するとともに、その後前記脚部を前記固定部材に固着するのが望ましい。この場合には、脚部が圧電素子と一緒に切り分けられることがないので、その剛性を高く保持することができるからである。また、前記脚部は前記固定部材の前記振動板側の端面に接着剤で固着するとともに、この固着は前記固定部材に接合された前記圧電素子の前記振動板側の端面及び前記脚部の前記振動板側の端面を定盤に当接させた状態で前記固定部材と脚部との間に接着剤を流し込むことにより行うのが望ましい。この場合には、容易且つ高精度に脚部及び圧電素子の流路形成基板側の端面の位置を調整することができ、また脚部の前記端面位置を接着剤の厚味で容易に調整することができるからである。
【００１１】
さらに、前記圧電素子ユニットは２列の圧電素子を有しており、各圧電素子が固定部材を共用するよう前記固定部材の両側面に相対向して接合しても良い。この場合には、固定部材の両側面で相対向する圧電素子の列間を固定部材の厚味に依存する間隔まで縮小することができるので、装置の小形化及び高密度化に資することができる。また、前記固定部材の両側面にそれぞれ接合された前記圧電素子は各列毎に列方向に関し半ピッチずらして櫛歯状に切り分けるのが望ましい。この場合には、小さな間隔で相対向する圧電素子が千鳥配置されることになるので、印刷密度を実質的に倍にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施形態に係る製造方法により得る記録ヘッドの概略断面図である。
【図２】図１の要部断面図である。
【図３】圧電素子ユニットの一つを抽出して示す概略斜視図である。
【図４】圧電素子ユニットの製造過程を示す説明図である。
【図５】実施形態に係る製造方法における組立工程を示す概略断面図である。
【図６】他の実施形態における圧電素子ユニットの製造過程を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づき詳細に説明する。
図１は本発明の実施の形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法により製造した液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドを示す概略断面図であり、図２はその要部断面図である。
【００１４】
両図に示すように、本形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、インク滴を噴射するノズル開口１３Ａ，１３Ｂにそれぞれ連通する２列の圧力発生室１１Ａ，１１Ｂを有している。ここで、圧力発生室１１Ａ，１１Ｂは流路形成基板１２に、図１及び図２の紙面に直角な方向にそれぞれ複数並設されて第１及び第２の圧力発生室列を形成している。
【００１５】
さらに詳言すると、流路形成基板１２には、その一方面側の表層部分に、圧力発生室１１Ａ，１１Ｂが隔壁によって区画されてその幅方向（図１及び図２の紙面と直角方向）でそれぞれ複数並設されており、第１及び第２の圧力発生室列の外側には、各圧力発生室１１Ａ，１１Ｂにインクを供給するための共通のインク室（液室）となるリザーバー２１Ａ，２１Ｂが、流路形成基板１２を厚さ方向に貫通して設けられている。そして、各圧力発生室１１Ａ，１１Ｂとリザーバー２１Ａ，２１Ｂとは、インク供給路２２Ａ，２２Ｂを介して連通している。インク供給路２２Ａ，２２Ｂは、本実施形態では、圧力発生室１１Ａ，１１Ｂよりも狭い幅で形成されており、リザーバー２１Ａ，２１Ｂから圧力発生室１１Ａ，１１Ｂに流入するインクの流路抵抗を一定に保持する役割を果たしている。さらに、圧力発生室１１Ａ，１１Ｂのリザーバー２１Ａ，２１Ｂとは反対の端部側には、流路形成基板１２を貫通するノズル連通孔２３Ａ，２３Ｂが形成されている。このような流路形成基板１２は、例えばシリコン単結晶基板で好適に形成することができ、流路形成基板１２に設けられる圧力発生室１１Ａ，１１Ｂ等は、流路形成基板１２をエッチングすることによって好適に形成することができる。
【００１６】
流路形成基板１２の一方面側にはノズル開口１３Ａ，１３Ｂが穿設されたノズルプレート１４が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着され、各ノズル開口１３Ａ，１３Ｂは、流路形成基板１２に設けられたノズル連通孔２３Ａ，２３Ｂを介して各圧力発生室１１Ａ，１１Ｂと連通している。また、流路形成基板１２の他方面側、すなわち圧力発生室１１Ａ，１１Ｂの開口面側には振動板１５が接合されて、各圧力発生室１１Ａ，１１Ｂはこの振動板１５によって封止されている。
【００１７】
振動板１５は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜２４と、この弾性膜２４を支持する、例えば、金属材料等からなる支持板２５との複合板で形成されており、弾性膜２４側が流路形成基板１２に接合されている。ここで、弾性膜２４は、厚さが数μｍ程度のＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルムからなり、支持板２５は、厚さが数十μｍ程度のステンレス鋼板（ＳＵＳ）からなる。また、振動板１５の各圧力発生室１１Ａ，１１Ｂに対向する領域内には、圧電素子１６Ａ，１６Ｂの先端部が当接する島部２６Ａ，２６Ｂが設けられている。すなわち、振動板１５の各圧力発生室１１Ａ，１１Ｂの周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部が形成されて、この薄肉部の内側にそれぞれ島部２６Ａ，２６Ｂが設けられている。また、本形態では、振動板１５のリザーバー２１Ａ，２１Ｂに対向する領域に、薄肉部と同様に、支持板２５がエッチングにより除去されて実質的に弾性膜のみで構成されるコンプライアンス部２８Ａ，２８Ｂが設けられている。なお、このコンプライアンス部２８Ａ，２８Ｂは、リザーバー２１Ａ，２１Ｂ内の圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部２８Ａ，２８Ｂの弾性膜２４が変形することによって圧力変化を吸収し、リザーバー２１Ａ，２１Ｂ内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。
【００１８】
振動板１５を介して第１及び第２の圧力発生室１１Ａ，１１Ｂの容積をそれぞれ変化させる第１及び第２の圧電素子１６Ａ，１６Ｂは、共通の固定部材３３の圧力発生室１１が形成されている面と直交する面となる両側面にそれぞれの基端部が接合されており、固定部材３３とともに圧電素子ユニット１７を形成している。ここで、圧電素子１６Ａは固定部材３３の図１中左側の側面に、紙面に直角な方向に亘って接合されており、圧電素子１６Ｂは固定部材３３の図１中右側の側面に紙面に直角な方向に亘って接合されている。また、図示はしないが、固定部材３３の圧力発生室１１が形成されている側に向いた面に圧電素子１６Ａ、１６Ｂを接合しても良い。この場合、固定部材３３の厚みを厚くすること、また、圧電素子１６Ａの第１の配線部３５Ａと接合する面と圧電素子１６Ｂの第２の配線部３５Ｂと接合する面とが、固定部材３３の上記側面よりも流路形成基板１２の面方向側に突出している。この構成により、各配線部３５Ａ、３５Ｂと各圧電素子１６Ａ，１６Ｂとが接合しやすいという効果を奏する。ここで、固定部材３３は、例えばＳＵＳで好適に形成し得るが、これに限るものではない。また、固定部材３３は１枚の板状部材に限るものでもなく、複数枚の板状部材を積層したものでも良い。このように、積層板で固定部材３３を形成した場合のその両側面とは各積層板の両側面ではなく、積層して一体となった固定部材３３自体の両側面を意味する。
【００１９】
ここで、圧電素子１６Ａは、圧電材料と電極形成材料とを交互にサンドイッチ状に挟んで積層した圧電素子形成部材を形成し、この圧電素子形成部材を各圧力発生室１１Ａに対応させて櫛歯状に切り分けることによって形成されている。圧電素子１６Ｂも、同様に形成した圧電素子形成部材を各圧力発生室１１Ｂに対応させて櫛歯状に切り分けることによって形成されている。すなわち、本形態では、各圧電素子１６Ａ，１６Ｂにおける複数の圧電素子がそれぞれ一体的に形成されている。そして、圧電素子１６Ａ，１６Ｂの基端部側が固定部材３３に固着されている。そして、各圧電素子１６Ａ，１６Ｂの基端部側とは反対側の先端部側が振動板１５の島部２６Ａ，２６Ｂに当接した状態で固定されている。
【００２０】
さらに、圧電素子１６Ａ，１６Ｂの基端部近傍には、固定部材３３とは反対側の面に、各圧電素子１６Ａ，１６Ｂを駆動するための信号を供給する配線を有する信号線フィルム３５が接続されている。
【００２１】
本形態においては共通の固定部材３３の両側に２列の圧電素子１６Ａ，１６Ｂを相対向させて配設することにより一つの圧電素子ユニット１７を形成したので、圧電素子１６Ａ，１６Ｂに駆動信号を供給するための信号線フィルム３５は、固定部材３３の一方の側面（図２の左側面）で第１の圧電素子１６Ａに駆動信号を供給するための出力端子を有する第１の配線部３５Ａと、この第１の配線部３５Ａから固定部材３３の他方の側面（図２の右側面）に回り込んで第２の圧電素子１６Ｂに駆動信号を供給するための出力端子を有する第２の配線部３５Ｂとを備えている。この部分に関する説明は後に詳述する。
【００２２】
本形態では４個の圧電素子ユニット１７を有する場合を示しているが、各圧電素子ユニット１７は振動板１５上に固定されているヘッドケース１９が有する４個の収容部１８にそれぞれ収容してある。すなわち、本形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、圧電素子１６Ａ，１６Ｂを有する圧電素子ユニット１７が合計４個設けられている。これに対応させてノズル開口１３Ａ，１３Ｂの列が設けられているため、８列のノズル開口１３Ａ，１３Ｂが設けられている。
【００２３】
また、ヘッドケース１９上には、信号線フィルム３５の第１及び第２の配線部３５Ａ，３５Ｂの各配線の入力端子がそれぞれ接続される複数の導電パッドが設けられた配線基板３７が固定されており、ヘッドケース１９の収容部１８は、この配線基板３７によって実質的に塞がれている。すなわち、配線基板３７には、ヘッドケース１９の収容部１８に対向する領域にスリット状の開口部３８が形成されており、信号線フィルム３５は配線基板３７の開口部３８から収容部１８の外側に引き出されている。
【００２４】
なお、配線基板３７の開口部３８は、各収容部１８に対して１つ、すなわち、本形態では、４つ設けられており、１つの収容部１８に設けられた各圧電素子ユニット１７に対して１つの信号線フィルム３５が１つの開口部３８から引き出されている。
【００２５】
ここで、信号線フィルム３５は、本形態では、圧電素子１６Ａ，１６Ｂを駆動するための駆動ＩＣ（図示なし）が搭載されたフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）、例えば、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）やチップオンフィルム（ＣＯＦ）等、可撓性を有する部材からなる。そして、信号線フィルム３５の各配線は、その基端部側では、例えば、半田、異方性導電材等によって圧電素子１６Ａ，１６Ｂを構成する電極形成材料に接続されている。一方、先端部側では、各配線は配線基板３７の各導電パッドに接合されている。具体的には、配線基板３７の開口部３８から収容部１８の外側に引き出された信号線フィルム３５の先端部が配線基板３７の表面に沿って折り曲げられた状態で、各配線が配線基板３７の各導電パッドに接合されている。すなわち、信号線フィルム３５は、配線基板３７の開口部３８で約９０度に折り曲げられて配線基板３７の表面に設けられた導電パッドに接合されている。
【００２６】
図３は本形態における圧電素子ユニット１７の一つを信号線フィルム３５に接続した状態で示す図で、（ａ）が一方の側から見た概略斜視図、（ｂ）が他方の側から見た概略斜視図である。同図に明示するように、信号線フィルム３５は圧電素子１６Ａ，１６Ｂを駆動する駆動信号が配線基板を介して供給される入力端子と、圧電素子１６Ａ，１６Ｂに前記駆動信号を供給する出力端子とを有する可撓性を有する部材で形成してあり、一箇所の配線３４を介して配線基板に電気的に接続されて駆動信号が供給され、この駆動信号を圧電素子１６Ａとともに圧電素子１６Ｂにも供給し得るように構成してある。このため、第１の配線部３５Ａと第２の配線部３５Ｂとを備えたものとなっている。ここで第１の配線部３５Ａは、固定部材３３の一方の側面側（図３（ａ）の右側面側）で配線基板３７に接続される入力端子を有するとともに圧電素子１６Ａに駆動信号を供給する出力端子を有している。また第２の配線部３５Ｂは、第１の配線部３５Ａから固定部材３３の他方の側面（図３（ａ）の左側面）に回り込んで圧電素子１６Ｂに駆動信号を供給する出力端子を有している。すなわち、第１の配線部３５Ａと第２の配線部３５Ｂとが固定部材３３の一方の端面で回り込む連結部３５Ｃを介して一枚の回路基板として機能するように構成してある。また、圧電素子１６Ａ，１６Ｂを選択的に駆動させる駆動ＩＣ４２は第１の配線部３５Ａのみに搭載されているが、この１個で圧電素子１６Ａのみならず圧電素子１６Ｂも駆動する。
【００２７】
ここで、固定部材３３の圧力発生室１１が形成されている側に向いた面となる下端面には脚部４１の上端面が固着してあり、当該圧電素子ユニット１７を流路形成基板１２に一体化する際に振動板１５に当接して圧電素子１６Ａ，１６Ｂの先端位置を所定の位置に規制する。すなわち、脚部４１の下端面は圧電素子１６Ａ，１６Ｂの先端面と同一の高さの面となるように形成してある。このことにより圧電素子ユニット１７としての全体的な剛性の向上を図り得るばかりでなく、圧電素子１６Ａ，１６Ｂの図中上下方向の移動に起因する反力を流路形成基板１２で支持させることができる。また、脚部４１の左右両端面は圧電素子１６Ａ，１６Ｂの左右両端面と面一になるように形成してある。
【００２８】
図４は本形態における圧電素子ユニット１７の一つを抽出して示す図で、（ａ）はその概略斜視図、（ｂ）は圧電素子１６Ａ，１６Ｂを切り分ける際の態様で示す概略横断面図、（ｃ）は脚部の左右両側で列をなすノズル開口の配設態様を概念的に示す説明図、（ｄ）は固定部材に脚部を接着する際の態様で示す概略端面図である。
【００２９】
これらのうち図４（ａ）に示すように、本形態における圧電素子ユニット１７は、固定部材３３、この固定部材３３の左右両側でそれぞれの上部を接合された圧電素子１６Ａ，１６Ｂ、及び圧電素子１６Ａ，１６Ｂの間で固定部材３３に下端面に固着されている脚部４１を有する。ここで、圧電素子１６Ａ，１６Ｂは固定部材３３に接合した状態で圧力発生室１１Ａ，１１Ｂに対応させて切り分けられ、その後脚部４１が固定部材３３に固着される。さらに詳言すると、図４（ｂ）に示すように、圧電素子１６Ａ，１６Ｂは固定部材３３に接合された状態で斜めの切断線４５Ａ，４５Ｂにより相互に干渉することなく片側ずつ切り分けられる。
【００３０】
このように、圧電素子１６Ａ，１６Ｂを固定部材３３に接合した状態で脚部４１を固定部材３３に固着する前に切り分けているので、脚部４１が圧電素子１６Ａ，１６Ｂとともに切り分けられることはない。すなわち、脚部４１の剛性は高く維持することができる。したがって、このこととも相俟って圧電素子ユニット１７としての機械的な強度を十分なものとすることができる。また、前述の如く圧電素子１６Ａ，１６Ｂの切り分けを、斜めの切断線４５Ａ，４５Ｂで相互に干渉することなく行うことで、図４（ｃ）に示すように各圧電素子１６Ａ，１６Ｂの位置を列方向にノズル開口１３Ａ，１３Ｂの半ピッチδ分ずらしている。このように半ピッチずらすことは必須ではないが、このことにより小さな間隔で相対向する圧電素子１６Ａ，１６Ｂが千鳥配置されることになるので、印刷密度を実質的に倍にすることができる。
【００３１】
ここで、固定部材３３に対する脚部４１の接着は、図４（ｄ）に示すように、脚部４１の上面を固定部材３３の下面に当接させた状態で脚部４１及び圧電素子１６Ａ，１６Ｂの下面を定盤４３に当接させ、この状態で図４（ａ）に示す接着剤注入池３３Ａに接着剤４４を注入する。かくして接着剤４４の注入に伴う毛細管現象により固定部材３３と脚部４１との間、特に脚部４１の上面に長手方向に伸びるように形成した凹溝４１Ａに接着剤４４を回り込ませて両者を接着する。このとき脚部４１の高さは接着剤４４の厚味で微調整する。なお、脚部４１の固定部材３３の幅方向に関する位置は定盤４３に配設した位置決め部材４６Ａ，４６Ｂの間で規制する。
【００３２】
上述の如き手順で形成された圧電素子ユニット１７は図５に示すような工程で組み立てられる。なお、図５において圧電素子１６Ａに接続されている信号線フィルム３５は省略している。先ず、図５（ａ）に示すように、圧電素子１６Ａ，１６Ｂ、固定部材３３及び脚部４１が一体となった圧電素子ユニット１７を流路形成基板１２に対しその所定位置にアライメントする。すなわち、各圧電素子１６Ａ，１６Ｂの先端面が、対応する島部２６Ａ，２６Ｂに正確に当接するように視認しながら圧電素子ユニット１７の流路形成基板１２に対する位置を調整して固定する。その後、図５（ｂ）に示すように、流路形成基板１２に対して固定された圧電素子ユニット１７を収容部１８に収容しつつヘッドケース１９を流路形成基板１２に対して固定する。この際、固定部材３３の端面を介して接着剤４０により圧電素子ユニット１７をヘッドケース１９に固定する。
【００３３】
このようなインクジェット式記録ヘッド１０では、インク滴を吐出する際に、圧電素子１６Ａ，１６Ｂ及び振動板１５の変形によって各圧力発生室１１の容積を変化させて所定のノズル開口１３Ａ，１３Ｂからインク滴を吐出させる。具体的には、図示しないインクカートリッジからリザーバー２１Ａ，２１Ｂにインクが供給されると、インク供給路２２Ａ，２２Ｂを介して各圧力発生室１１Ａ，１１Ｂにインクが分配される。この際信号線フィルム３５の第１及び第２の配線部３５Ａ，３５Ｂを介して圧電素子１６Ａ，１６Ｂに電圧を印加することによりこれらを選択的に収縮させる。これにより、振動板１５が圧電素子１６Ａ，１６Ｂと共に変形されて圧力発生室１１Ａ，１１Ｂの容積が広げられ、圧力発生室１１Ａ，１１Ｂ内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口１３Ａ，１３Ｂに至るまで内部にインクを満たした後、配線基板３７を介して供給される駆動信号に従い、圧電素子１６Ａ，１６Ｂの電極形成材料に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電素子１６Ａ，１６Ｂが伸張されて元の状態に戻ると共に振動板１５も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室１１Ａ，１１Ｂの容積が収縮して圧力発生室１１Ａ，１１Ｂ内の圧力が高まりノズル開口１３Ａ，１３Ｂからインク滴が吐出される。
【００３４】
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。圧電素子ユニットを形成し、この圧電素子ユニットを流路形成基板１２側にアライメントした後、ヘッドケース１９を流路形成基板１２側に固着してその収容部１８に圧電素子ユニットを収容するような工程となっていればそれ以上の特別な制限はない。したがって、図６に示すように、固定部材３３の片側に圧電素子１６を接合して脚部４１とともに一体化した圧電素子ユニット５７を用いることもできる。この場合も圧電素子１６を固定部材３３に接合した状態で切断線４５に沿うよう斜めに切り分ける（図６（ｂ）参照）。その後、脚部４１の上面を固定部材３３の下面に当接させた状態で脚部４１及び圧電素子１６の下面を定盤４３に当接させ、この状態で接着剤注入池３３Ａに接着剤４４を注入する。接着剤４４の注入に伴う毛細管現象により固定部材３３と脚部４１との間、特に凹溝４１Ａに接着剤４４を回り込ませて両者を接着する。このとき脚部４１の高さは接着剤４４の厚味で微調整する（図６（ｃ）参照）。
【００３５】
このようにして形成した圧電素子ユニット５７を流路形成基板１２側にアライメントして固着し、その後ヘッドケース１９の収容部１８に収容することにより完成する。
【００３６】
本形態でも圧電素子ユニット５７として一体化された圧電素子１６の先端面の位置を視認しながら流路形成基板１２に対するアライメント作業を行うことができる。また、圧電素子１６の切り分け後に脚部４１を固定部材３３に固着しているので、脚部４１の剛性を弱くすることもない。
【００３７】
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド全般の製造方法として適用することができる。すなわち、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００３８】
１０  インクジェット式記録ヘッド、  １１Ａ，１１Ｂ  圧力発生室、  １２  流路形成基板、  １３Ａ，１３Ｂ  ノズル開口、  １４  ノズルプレート、  １５  振動板、  １６Ａ，１６Ｂ  圧電素子、  １７，５７  圧電素子ユニット、  １８  収容部、  １９  ヘッドケース、  ２６Ａ，２６Ｂ  島部、  ３３  固定部材、  ３４  配線、  ３５  信号線フィルム、  ３５Ａ，３５Ｂ  第１及び第２の配線部、  ３７  配線基板、  ３８  開口部、  ４０  接着剤、  ４１  脚部、  ４１Ａ  凹溝、  ４４  接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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