(57)【要約】【課題】測定時におけるガラス管の損傷を低減することを目的とする。【解決手段】この目的を達成するため本発明は、貫通孔６を有する実装基板７と、貫通孔６内に挿入されたガラス管８と、このガラス管８内に挿入された細胞捕捉部（センサチップ９）とを備え、貫通孔６の内周には、ガラス管８の上端に接する、環状の突起部１３が設けられ、この突起部１３は、上方から下方に向けて内側へ突出する斜面または湾曲面を有するものとした。これにより本発明は、ガラス管８の上端を突起部１３で保護しながら、分注器のヘッド１１やプローブ形電極１０を突起部１３の斜面または湾曲に沿って貫通孔６の中央へと導くことができ、結果として測定時におけるガラス管８の損傷を低減できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通孔を有する実装基板と、
前記貫通孔内に挿入された管状のホルダと、
このホルダ内に挿入された細胞捕捉部とを備え、
前記貫通孔の内周には、
前記ホルダの上方に、突起部が設けられ、
この突起部は、上方から下方に向けて内側へ突出する斜面または湾曲面を有する細胞電気生理センサ。
【請求項２】
前記突起部は、環状である請求項１に記載の細胞電気生理センサ。
【請求項３】
前記突起部は、
前記ホルダよりも弾性の小さい材料で形成されている請求項１に記載の細胞電気生理センサ。
【請求項４】
前記ホルダはガラス管とした請求項１に記載の細胞電気生理センサ。
【請求項５】
前記突起部の下方における前記貫通孔の水平断面は、円形である請求項１に記載の細胞電気生理センサ。
【請求項６】
前記突起部の上方における前記貫通孔の水平断面は、四角形である請求項１に記載の細胞電気生理センサ。
【請求項７】
前記突起部の先端における前記貫通孔の水平断面は、
前記突起部の下方における前記貫通孔の水平断面よりも面積が小さい請求項１に記載の細胞電気生理センサ。
【請求項８】
前記突起部における前記貫通孔の水平断面は、
円形である請求項１に記載の細胞電気生理センサ。
【請求項９】
前記突起部の先端は、
前記ホルダよりも前記貫通孔の内側へ突出している請求項１に記載の細胞電気生理センサ。
【請求項１０】
前記突起部の下面は、
前記貫通孔の貫通方向に対して垂直な平面である請求項１に記載の細胞電気生理センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、細胞の薬理反応分析等に利用できる細胞電気生理センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電気生理学におけるパッチクランプ法は、細胞膜に存在するイオンチャンネルを測定する方法として知られており、この自動化システムとして、細胞電気生理センサがある。
【０００３】
図７に示す従来の細胞電気生理センサは、貫通孔１を有する実装基板２と、貫通孔１に挿入された管状のホルダ３（ガラス管）と、このホルダ３の下端側に挿入された細胞捕捉部、すなわちセンサチップ４とを備えている。またこのセンサチップ４は、その開口部に細胞が捕捉される導通孔５を有している。
【０００４】
ここで例えばこのセンサチップ４の上方および下方を電解液で満たし、センサチップ４の導通孔５の開口部に細胞を密着させ、次にこの細胞の上から薬剤を投与し、その後細胞の上下の電位差を電極で測定すれば、細胞の薬理反応を分析することができる。
【０００５】
なお、上記従来技術に関連する技術は、下記特許文献１、２に開示されている。
【特許文献１】特開２００８−０３９６２４号公報
【特許文献２】特開２００５−１５６２３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の細胞電気生理センサでは、プローブ形の電極や薬液等の分注器のヘッドを貫通孔１の内部まで挿入しようとすると、電極や分注器の僅かな位置ずれにより、これらの先端がホルダに当たり、ホルダが割れることがある。
【０００７】
そこで本発明は、このような測定時におけるホルダの損傷を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的を達成するため本発明は、貫通孔を有する実装基板と、貫通孔内に挿入された管状のホルダと、このホルダ内に挿入された細胞捕捉部とを備え、貫通孔の内周には、ホルダの上方に、突起部が設けられ、この突起部は、上方から下方に向けて内側へ突出する斜面または湾曲面を有するものとした。
【発明の効果】
【０００９】
これにより本発明は、測定時におけるホルダの損傷を低減できる。
【００１０】
その理由は、ホルダの上方に上述のような突起部が設けられているからである。
【００１１】
これにより本発明は、ホルダの上端面を突起部で保護しながら、分注器のヘッドやプローブ形電極を突起部の斜面または湾曲に沿って貫通孔の中央へと導くことができる。
【００１２】
そしてその結果、測定時におけるガラス管の損傷を低減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
（実施の形態１）
図１に示すように、本実施の形態における細胞電気生理センサは、貫通孔６を有する実装基板７と、貫通孔６の下端側に挿入されたガラス管８と、このガラス管８の下端側に挿入された細胞捕捉部、すなわちセンサチップ９とを備えている。
【００１４】
なお、貫通孔６は実装基板７の上下面を垂直に貫通し、ガラス管８はこの貫通孔６に対してほぼ平行に挿入されている。そしてこのガラス管８は、センサチップ９のホルダとして機能する。
【００１５】
また本実施の形態では、貫通孔６内に、上方からプローブ形電極１０と細い管状の分注器のヘッド１１とが挿入されている。
【００１６】
プローブ形電極１０は、センサチップ９上方に注入される電解液の電位、あるいは電流値や抵抗値を測定するものである。またヘッド１１は、センサチップ９上方に測定液（電解液）や細胞、薬剤等を注入するためのものである。
【００１７】
このプローブ形電極１０およびヘッド１１の先端は、それぞれガラス管８の内部にまで挿入され、センサチップ９の僅か上方に到達している。
【００１８】
また本実施の形態では、実装基板７の下面にも電極１２を設けている。この電極１２は、センサチップ９の下方に充填される電解液の電位（あるいは電流値や抵抗値）を測定できればよく、位置や形状は適宜変更可能であり、例えばプローブ形でセンサチップ９の下方の空間に挿入されていてもよい。
【００１９】
そして貫通孔６内周には、この貫通孔６の内壁によって構成された環状の突起部１３が設けられ、この突起部１３は、上方から下方に向けて内側に突出する斜面１４を有している。
【００２０】
またこの突起部１３の下面１５は、ガラス管８の上端に当接している。
【００２１】
本実施の形態では、この突起部１３の下面１５は、貫通孔６の貫通方向に対してほぼ垂直であり、同じく貫通孔６の貫通方向に対してほぼ垂直に切断されたガラス管８の上端と密着して接触している。
【００２２】
また本実施の形態では、突起部１３の先端における貫通孔６の水平断面の断面積は、突起部１３の下方、すなわちガラス管８が挿入された領域における貫通孔６の水平断面積よりも小さい。そして突起部１３の先端は、貫通孔６内において、ガラス管８よりも僅かに内側（貫通孔６の中央側）へ突出している。つまりガラス管８は突起部１３の先端より外側にはめ込まれている構成である。これによりガラス管８の上端全体が突起部１３で覆われるため、このガラス管８の上端にはプローブ形電極１０や分注器のヘッド１１が接触しにくくなり、ガラス管８の上端における損傷をより確実に低減できる。
【００２３】
さらに本実施の形態では、図２に示すように、貫通孔６の水平断面、すなわち貫通孔６の貫通方向に対して垂直な断面は領域によって異なる形状に形成されており、例えばガラス管８が挿入される領域における貫通孔６の水平断面は円形とした。これは、本実施の形態のように、ガラス管８が円筒状の場合、貫通孔６の水平断面も円形にしておくことによって、ガラス管８との密着性が高まるとともに、ガラス管８への応力負荷が均一になり、ガラス管８の損傷を抑制することができるからである。なお、ガラス管８の水平断面が四角形の場合は、その形状に合わせて貫通孔６の水平断面も四角形としてもよい。また環状の突起部１３は、ループになっていれば良く、断面が円形以外に四角形でもよい。
【００２４】
また突起部１３の上方における貫通孔６の水平断面は、四角形である。このように四角形とすることにより、貫通孔６内の容量を大きくすることができ、実装基板７の小型化、または薄型化、あるいはセンサチップ９の実装数を増やすことができる。
【００２５】
ところで、この実装基板７は突起部１３の有無にかかわらず、本実施の形態の細胞電気生理センサやその他ＤＮＡセンサや糖質センサ、タンパク質センサなど各種センサに有用である。すなわち、図２に示すように、実装基板７に、その水平断面が円形の領域６Ａと、この領域６Ａ上に設けられるとともに、その水平断面が四角形の領域６Ｂとを有する貫通孔６を形成し、この貫通孔６の領域６Ａに細胞電気生理センサやその他ＤＮＡセンサ等各種センサのセンサチップを挿入すれば、センサチップへの応力負荷を低減するとともに、センサチップの方向を考慮することなく貫通孔６に挿入することができ、生産性にも優れる。また領域６Ｂの水平断面を四角形とすることにより、上述のように領域６Ｂ内の容量を増やすことが出来、溶媒やガスなどを効率よく充填することができる。また溶媒を充填する場合は、貫通孔６の断面を大きくすることができるため、気泡の低減にも寄与する。なお、この場合のセンサチップとは、その表面に細胞やＤＮＡ等の被検体を保持する機能を有するものである。
【００２６】
さらに本実施の形態における突起部１３の水平断面は円形である。水平断面が円形であれば、角部が無いため、図１のプローブ形電極１０や分注器のヘッド１１が引っ掛かりにくく、滑らかに貫通孔６中央側へと導くことが出来る。また角部が無いと、気泡の発生も抑制できる。
【００２７】
また本実施の形態では、図３に示すように、センサチップ９は薄板１６と、この薄板１６上に設けられた枠体１７とからなり、薄板１６にはその上面から下面までを貫通する導通孔１８が形成されている。センサチップ９は、薄板１６単体でもよいが、この薄板１６と枠体１７とを一体成形しておくことによって、薄板１６の膜厚が薄くても実装しやすく、ガラス管８との接着も容易となる。
【００２８】
ここで、センサチップ９は、その導通孔１８に細胞を捕捉するためのものであると共に、このセンサチップ９の上下領域の境界として機能し、この導通孔１８以外の領域でセンサチップ９の上下間が電気的に導通するのを抑えるものである。したがって、この機能を有していれば図３に示す形態以外でもよい。
【００２９】
また本実施の形態では、センサチップ９側面とガラス管８とはガラス溶着している。これは、例えばガラス管８の下端側にセンサチップ９を挿入後、ガラス管８の側面外方からバーナー等で加熱することによって、図３に示すようにガラス管８の下端が内側へ湾曲し、センサチップ９と溶着することができる。このようにセンサチップ９とガラス管８とをガラス溶着する場合も、本実施の形態のようにセンサチップ９が枠体１７を有する形態をしていると、接合面積が大きくなり、接着強度も高まる。
【００３０】
なお、本実施の形態では、センサチップ９はシリコン単結晶基板、あるいはＳＯＩ基板、ガラス基板、水晶基板等をエッチングすることにより形成でき、薄板１６の膜厚は、厚み１０μｍ〜１００μｍ、導通孔１８は開口径１μｍ〜３μｍφとした。この導通孔１８の開口径は５μｍ以下が細胞１９を保持するために適している。本実施の形態では、ドライエッチングにより微細な導通孔１８を形成した。
【００３１】
また本実施の形態では、センサチップ９を保持するホルダとして、ガラス管８を用いた。このガラス管８は、気泡低減の観点から、水との接触角が０度以上１０度以下の親水性の高いガラスで形成されていることが望ましい。したがって、ガラス管８の材料としては、二酸化ケイ素を含むガラスであることが好ましく、例えばホウケイ酸ガラス（コーニング；＃７０５２、＃７０５６）、アルミノケイ酸塩ガラスまたはホウケイ酸鉛ガラス（コーニング；＃８１６１）などが挙げられる。
【００３２】
なお、水との接触角とは、固体表面の上に純水などの液滴を乗せ，平衡になった状態で、液滴表面と固体表面のなす角度をいう。そして、その測定方法は一般的にθ／２法を用いることができる。その方法は液滴の左右端点と頂点を結ぶ直線の、固体表面に対する角度から接触角を求めることができる。または分度器などを用いて測ることも可能である。
【００３３】
さらに図３に示すように、ガラス管８の湾曲していない部分の内径ｄ1は、センサチップ９の外径ｄ2よりも大きく、約１４００μｍとした。またガラス管８の外径ｄ3は、約２０００μｍとした。そして本実施の形態では、ガラス管８の内側面とセンサチップ９の外側面との距離ｄ4が５０μｍから４００μｍ程度とした。このようにガラス管８とセンサチップ９との間に隙間を設けることにより、これらを溶着する前段階でセンサチップ９とガラス管８とが接触し、これらが破損するのを抑制することができる。
【００３４】
さらにガラス管８の長さｄ5はセンサチップ９の高さｄ6よりも長く、２０００μｍとした。
【００３５】
またガラスの軟化点は作業性の観点から重要な要素である。ガラス管８をセンサチップ９側面にガラス溶着するために都合の良い温度は、ガラスの軟化点以上であり、そしてより好ましくは５００〜９００℃の範囲である。５００℃より低いガラスを用いると強度が不十分であり、９００℃を越えると作業性が悪くなるからである。
【００３６】
また実装基板７の材料としては、ガラス管８よりも弾性の小さい（軟らかい）材料が好ましく、例えば熱可塑性樹脂が挙げられる。熱可塑性樹脂材料は射出成型などの手段を用いることによって、生産性良く、高均質な成形体を得ることができる。
【００３７】
さらに、図１に示すように、ガラス管８を接着剤２０でガラス管８の貫通孔６内に固定する場合は、実装基板７の材料は、熱可塑性樹脂の中でもポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエチレン（ＰＥ）、オレフィンポリマー、ポリメタクリル酸メチルアセテート（ＰＭＭＡ）のいずれか、またはこれらの組み合わせが好ましい。
【００３８】
これらの材料からなる実装基板７は、紫外線硬化型の接着剤２０を用いることによって、容易に親水性に優れたガラス管８と接合することができる。さらに好ましくは、これらの熱可塑性樹脂として、環状オレフィンポリマー、線状オレフィンポリマー、またはこれらが重合した環状オレフィンコポリマー、またはポリエチレン（ＰＥ）とすることが作業性、製造コストおよび材料の入手性の観点から好ましい。
【００３９】
特に、環状オレフィンコポリマーは透明性、アルカリ・酸などの無機系薬剤に対する耐性が強く、本発明の製造方法もしくは使用環境に適している。またこれらの材料は紫外線を透過させることができることから、紫外線硬化型の接着剤２０を用いる時に効果を発揮する。
【００４０】
また本実施の形態では、突起部１３は実装基板７と一体成形されているため、突起部１３の材料は実装基板７と同じである。突起部１３を、ガラス管８よりも弾性が小さい（軟らかい）材料で構成することによって、この突起部１３にプローブ形電極１０や分注器のヘッド１１が当たっても、これらの損傷を抑制することができる。
【００４１】
なお、本実施の形態のように、センサチップ９を実装基板７に実装する方法は、実装基板７全体をシリコン基板で形成し、実装基板７に導通孔１８を直接形成した場合と比較してコストも下がり、歩留まりも向上するとともに、一部に不良の導通孔１８が存在した場合においてリペア性を有する。
【００４２】
次に本実施の形態における細胞電気生理センサを用いた測定方法について説明する。
【００４３】
図１に示すように貫通孔６の上方から分注器のヘッド１１を挿入し、センサチップ９の上方に細胞外液（電解液）を注入する。このとき、ヘッド１１はできるだけセンサチップ９に近づけるよう、貫通孔６の奥深く（下方）まで挿入することが好ましい。センサチップ９と離れた位置から液体を注入すると、気泡が発生しやすくなり、気泡が導通を阻害したり、細胞を捕捉する際、邪魔になったりすることがあるからである。本実施の形態では、ヘッド１１は、その先端がガラス管８内部であってセンサチップ９のすぐ近傍に到達するまで挿入させている。
【００４４】
なお、本実施の形態では、ガラス管８内部を含み実装基板７の貫通孔６内部は、電解液を貯留する電解槽として機能する。
【００４５】
またセンサチップ９の下方には、細胞内液を注入する。ここで実装基板７の下方の空間２１は、電解液を貯留する電解槽として機能する。
【００４６】
ここで細胞外液とは例えば哺乳類筋細胞の場合、代表的にはＫ+イオンが４ｍＭ程度、Ｎａ+イオンが１４５ｍＭ程度、Ｃｌ-イオンが１２３ｍＭ程度添加された電解液であって、細胞内液とは、Ｋ+イオンが１５５ｍＭ、Ｎａ+イオンが１２ｍＭ程度、Ｃｌ-イオンが４．２ｍＭ程度添加された電解液である。
【００４７】
そして次に、貫通孔６の上方からプローブ形電極１０を挿入する。この時、プローブ形電極１０は、できるだけセンサチップ９に近づけるよう、貫通孔６の奥深くまで挿入することが好ましい。センサチップ９とプローブ形電極１０との距離が長いと、貫通孔６内において、電解液の水位が低い場合に測定が出来ないからである。
【００４８】
すなわち、例えば電解液を注入後、細胞を溶媒と共に注入し、最後に薬液を注入する場合、電解液のみが注入された段階では水位が低い。したがって本実施の形態のように、プローブ形電極１０はできるだけ奥深くまで（下方まで）挿入することによって、この電解液のみが注入された段階でも電位を測定することができる。
【００４９】
またプローブ形電極１０とセンサチップ９との間の距離が長いと、この間の電気的パスにおいて気泡やゴミなどが介在しやすく、測定が不能になったりノイズが発生したりする場合があり、細胞電気生理センサの測定精度が低下してしまう。これに対し本実施の形態では、プローブ形電極１０をできるだけセンサチップ９に近づけているため、ノイズを低減し、測定精度を向上させることができる。なお本実施の形態では、プローブ形電極１０は、その先端がガラス管８内に到達するまで挿入している。
【００５０】
そしてこのように細胞外液と電気的に接続されたプローブ形電極１０と、細胞内液と電気的に接続された電極１２との間では、１００ｋΩ〜１０ＭΩ程度の導通抵抗値を観測することができる。これは導通孔１８を介して細胞内液あるいは細胞外液が浸透し、プローブ形電極１０と電極間で電気回路が形成されるからである。
【００５１】
次に、センサチップ９上方から分注器のヘッド１１を介して細胞を投入する。
【００５２】
そして、その後貫通孔６下方の空間２１を減圧すると、図３に示すように細胞１９は導通孔１８の開口部に引き付けられる。このように細胞１９が導通孔１８の開口部を塞ぐことによって、細胞外液と細胞内液との間の電気抵抗が１ＧΩ以上の十分に高い状態となる（ギガシールと呼ぶ）。このギガシール状態では、細胞１９の電気生理活動によって細胞内外の電位が変化すれば、わずかな電位差あるいは電流であっても高精度に測定できる。
【００５３】
次に図１の貫通孔６の下方の空間２１にナイスタチンなどの薬剤を注入するか、あるいは吸引（減圧）によって導通孔１８を塞いでいる細胞膜に穴を開ける（ホールセルと呼ぶ）。
【００５４】
その後センサチップ９上方から分注器のヘッド１１を介して薬液を注入し、細胞（図３の１９）を刺激する。この時、細胞１９を刺激する方法としては、本実施の形態のように薬液などの化学的刺激でもよく、その他電気信号などの物理的刺激でも良い。そしてこれらの化学的あるいは物理的刺激によって、細胞１９のイオンチャネルが反応した場合は、その反応をプローブ形電極１０と電極１２間における電位差（あるいは電流値変化や抵抗値変化）によって検出することができる。
【００５５】
以下本実施の形態における効果を説明する。
【００５６】
本実施の形態では測定時におけるガラス管８の損傷を低減することができる。その理由を以下に説明する。
【００５７】
すなわち、測定精度を向上させるためには、プローブ形電極１０や分注器のヘッド１１の先端を出来るだけセンサチップ９に近づけることが好ましく、したがってこれらのプローブ形電極１０やヘッド１１は貫通孔６の奥深くにまで挿入することになる。特にガラス管８の下端部側にセンサチップ９を挿入した場合は、ガラス管８内にまでプローブ形電極１０やヘッド１１を挿入することが好ましい。
【００５８】
このようにプローブ形電極１０やヘッド１１を貫通孔６の下方まで挿入すると、これらのプローブ形電極１０やヘッド１１の僅かな位置ずれによって、これらがガラス管８に接触し、ガラス管８が損傷してしまうことがある。
【００５９】
これに対し本実施の形態では、ガラス管８の上端に上述のような軟らかい突起部１３を設けている為、測定時におけるガラス管８の損傷を低減することができる。
【００６０】
すなわち本実施の形態では、ガラス管８の上端を突起部１３で保護しながら、分注器のヘッド１１やプローブ形電極１０を突起部１３の斜面または湾曲に沿って貫通孔６の中央側へと導くことができる。
【００６１】
そしてその結果、測定時におけるガラス管８の損傷を低減できる。
【００６２】
なお、本実施の形態では、貫通孔６の水平断面形状は、上方の開口部側が四角形で、ガラス管８が挿入されている領域よりも断面積が大きくなっている。このような構造の場合、プローブ形電極１０や分注器のヘッド１１が貫通孔６の上方に配置された段階で、これらが端の方へ位置ずれしていると、これらが下方へと挿入される際にガラス管８に接触し、ガラス管８を損傷することがある。したがって本実施の形態のように、貫通孔６の水平断面形状を変化させる場合は、突起部１３を設けることによってガラス管８の損傷を抑制することが有用である。
【００６３】
また本実施の形態では、貫通孔６の内部に突起部１３を設けたため、ガラス管８の位置決めが容易になる。
【００６４】
さらに本実施の形態では、センサチップ９の外周および上方を、親水性のガラス管８で囲っている為、気泡の発生を低減することができ、細胞電気生理センサの測定精度を向上させることができる。
【００６５】
さらにガラス管８とセンサチップ９とはガラス溶着により接合されているため、接合強度が高く、気密性に優れている。したがって、ガラス管８とセンサチップ９との隙間に電解液が流れ込むのを抑制することができ、リーク電流の低減に寄与する。
【００６６】
また本実施の形態では、隙間があると気泡が発生しやすいため、突起部１３の下面とガラス管８の上端面とを密着して接触させた。
【００６７】
なお、本実施の形態では、図１に示すように、突起部１３は上方から下方に向けて内側に突出する斜面１４で形成したが、例えば図４に示すように内側へ湾曲する湾曲面２２や、あるいは図５に示すように、外側へ湾曲する湾曲面２３で形成してもよい。
【００６８】
また本実施の形態では、突起部１３の下面１５は貫通孔６の貫通方向に対してほぼ垂直としたが、ガラス管８を挿入する前の突起部１３の下面１５は、図６に示すように上方から下方に向って内側へ突出する斜面であってもよい。このように突起部１３をやや斜め下向きに形成しておくことによって、ガラス管８を挿入すれば、この突起部１３に上向きの力が掛かり、弾性変形してガラス管８上端を密着して接合させることが出来る。
【００６９】
また本実施の形態では、プローブ形電極１０および分注器のヘッド１１をいずれも貫通孔６の下方にまで挿入したが、いずれか一方でも挿入する形態であれば、突起部１３によってガラス管８の損傷を抑制する効果を利用することができる。
【００７０】
なお、突起部１３は貫通孔６の内周の一部にのみ形成してもよいが、本実施の形態では、突起部１３を環状とすることによって、プローブ形電極１０および分注器のヘッド１１がどの方向に位置ずれしてもガラス管８の損傷を抑制することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
本発明は、例えば高精度かつ高速の薬品スクリーニングシステムにかかる細胞電気生理センサに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の実施の形態１における細胞電気生理センサの断面図
【図２】同細胞電気生理センサの要部を拡大した分解斜視図
【図３】同細胞電気生理センサの要部を拡大した断面図
【図４】本発明の実施の形態１における別の例の細胞電気生理センサの要部断面図
【図５】本発明の実施の形態１における別の例の細胞電気生理センサの要部断面図
【図６】本発明の実施の形態１における別の例の細胞電気生理センサの断面図
【図７】従来の細胞電気生理センサの断面図
【符号の説明】
【００７３】
６  貫通孔
６Ａ  領域
６Ｂ  領域
７  実装基板
８  ガラス管
９  センサチップ（細胞捕捉部）
１０  プローブ形電極
１１  ヘッド
１２  電極
１３  突起部
１４  斜面
１５  下面
１６  薄板
１７  枠体
１８  導通孔
１９  細胞
２０  接着剤
２１  空間
２２  湾曲面
２３  湾曲面
【図１】
2010099038.tif 000003
【図２】
2010099038.tif 000004
【図３】
2010099038.tif 000005
【図４】
2010099038.tif 000006
【図５】
2010099038.tif 000007
【図６】
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【図７】
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