(57)【要約】【課題】通電遮断時にバルブを自動的に開放または閉鎖する機構と、バルブの手動操作機構の両方を備えたバルブ用アクチュエータを提供することである。【解決手段】バルブの弁体の回転軸に連結される出力軸１の外周に、モータ２の駆動により回転する駆動ギア３を太陽ギア５と一体に回転自在に取り付け、太陽ギア５の周囲に複数の遊星ギア６とインターナルギア７を配し、遊星ギア６を貫通する連結軸１６で出力軸１の鍔部１ｃに連結されたプレート１４を設けて、このプレート１４と太陽ギア５とインターナルギア７の３つを、遊星ギア６の公転を介して出力軸１を回転させるための入力部材とし、そのうちのプレート１４を通電遮断時のバルブ閉鎖用、太陽ギア５を通常使用時のバルブ開閉用として用いることにより、太陽ギア５を回転不能に保持した状態でインターナルギア７を手動で回転させてバルブを開閉できるようにした。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
バルブの弁体の回転軸に連結される出力軸をモータの駆動により正逆両方向に回転させてバルブを開閉するようにしたバルブ用アクチュエータにおいて、前記出力軸の外周に、前記モータの駆動により回転する駆動ギアと、出力軸を通すスリーブで前記駆動ギアに連結される太陽ギアとを回転自在に取り付け、前記太陽ギアの周囲に、太陽ギアと噛み合う複数の遊星ギアと、これらの各遊星ギアと噛み合うインターナルギアとを配し、前記太陽ギアを回転不能に保持する手段と、前記インターナルギアを手動操作によってのみ回転可能とする手段を設け、前記出力軸の外周から張り出す鍔部と前記スリーブの外周に回転自在に取り付けたプレートとを前記各遊星ギアを貫通する複数の連結軸で連結し、正方向の回転によりゼンマイバネの巻き上げを行う巻上ギアと、この巻上ギアの逆方向の回転に駆動されて前記プレートをその回転方向に押すプレート押し部材を設けるとともに、通電時に前記ゼンマイバネの巻き戻りを阻止し、非通電時にはこのバネ巻き戻り阻止作用を解除する手段を設けて、通電が遮断されたときには、前記ゼンマイバネが巻き戻ると同時に巻上ギアが逆方向に回転し、前記プレート押し部材がプレートを押して出力軸と一体に回転させることにより、バルブを開放または閉鎖でき、かつ、前記太陽ギアを回転不能に保持しているときには、前記インターナルギアを手動で回転させて遊星ギアを公転させることにより、前記出力軸を回転させてバルブを開閉できるようにしたことを特徴とするバルブ用アクチュエータ。
【請求項２】
前記インターナルギアを手動操作によってのみ回転可能とする手段が、前記インターナルギアの外周部にその外側に配したウォームと噛み合う外周歯を形成し、前記ウォームにウォームを回転させる手動ハンドルを取り付けたものであることを特徴とする請求項１に記載のバルブ用アクチュエータ。
【請求項３】
前記プレートが、その回転軸方向に延びるピンを有するものであり、前記プレート押し部材が、前記巻上ギアと噛み合うように前記出力軸のまわりに回転自在に取り付けられ、その回転方向で前記プレートのピンと接離する扇形ギアであることを特徴とする請求項１または２に記載のバルブ用アクチュエータ。
【請求項４】
前記通電時に前記ゼンマイバネの巻き戻りを阻止し、非通電時にはこのバネ巻き戻り阻止作用を解除する手段が、前記巻上ギアを正方向に回転させるバネ巻上用モータを設け、前記ゼンマイバネの巻き上げ完了後は、前記バネ巻上用モータにゼンマイバネの弾性復元力とつりあう制動力を発生させる電流を流し続けるものであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のバルブ用アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バルブの弁体をモータの駆動により回転させてバルブを開閉するとともに、停電や事故等による通電遮断時には自動的にバルブを開放または閉鎖するようにしたバルブ用アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
弁体をモータで回転させて開閉動作を行う電動バルブは、一般に、モータを非通電状態にして停止させたときに弁体が流体の圧力によって回転しないように、非通電時に主軸を回転不能に保持するブレーキ機構を備えたモータ（ブレーキモータ）を用いている。このため、停電や事故等によってモータへの通電が不能となった場合には、バルブの弁体が通電遮断前の状態のまま制御不能となり、流体の流量調整ができなくなって二次的な事故を誘発するおそれがあった。
【０００３】
そこで、近年、停電等によりモータへの通電が遮断されたときに自動的にバルブを開放または閉鎖して二次的な事故を回避するバルブ用アクチュエータが、種々開発されてきた（例えば、特許文献１、２参照。）。
【特許文献１】特開昭６２−６３２８０号公報
【特許文献２】実開平５−５２４５６号公報
【０００４】
図９は、上記のような緊急開閉機能を有するバルブ用アクチュエータの一例を模式的に示す。このバルブ用アクチュエータは、バルブＡの弁体Ｂの回転軸Ｃに連結される出力軸５１の周囲に、モータ５２の駆動により回転するインターナルギア５３を配し、このインターナルギア５３の内側に、その内周歯と噛み合う複数の遊星ギア５４と、出力軸５１の外周に回転自在に取り付けられて各遊星ギア５４と噛み合う太陽ギア５５とを配して、各遊星ギア５４を貫通する支軸５６の一端を出力軸５１の外周から張り出す鍔部５１ａに接続するとともに、出力軸５１を通すスリーブ５７で太陽ギア５５をその上方に配した中継ギア５８に連結し、この中継ギア５８の外側に、中継ギア５８と噛み合う巻上ギア５９と、巻上ギア５９の正方向の回転により巻き上げられるゼンマイバネ６０とを設け、巻上ギア５９にギア接続されたクラッチ６１により、通電時にゼンマイバネ６０の巻き戻りを阻止し、非通電時にはこのバネ巻き戻り阻止作用を解除するようにしたものである。
【０００５】
このバルブ用アクチュエータを使用する際には、最初に、ゼンマイバネ６０を巻き上げるために、通電状態で図９（ａ）に示す操作を行う。すなわち、バルブＡの全閉位置で出力軸５１に設けたストッパ板６２を固定ストッパ部材６３に当接させて出力軸５１の右回りの回転を阻止したうえで、モータ５２を正方向に駆動してインターナルギア５３を右回りに回転させると、各遊星ギア５４が出力軸５１と一体の支軸５６に右回りの公転を阻止されて自転することにより、太陽ギア５５およびこれと一体の中継ギア５８が回転するので、巻上ギア５９も回転し、ゼンマイバネ６０を巻き上げることができる。
【０００６】
そして、ゼンマイバネ６０の巻き上げが完了すると、クラッチ６１がゼンマイバネ６０の巻き戻りを阻止する作用により、ゼンマイバネ６０が蓄圧状態で保持される。この状態では、巻上ギア５９、中継ギア５８および太陽ギア５５が回転不能に保持されるので、図９（ｂ）に示すように、モータ５２を逆方向に駆動してインターナルギア５３を左回りに回転させると、各遊星ギア５４が自転しながら左回りに公転して支軸５６を押すので、出力軸５１および弁体Ｂが左回りに回転し、バルブＡが開放される。また、この後、モータ５２を正方向に駆動すれば、出力軸５１および弁体Ｂが右回りに回転して、バルブＡが閉鎖される。すなわち、この状態においてモータ５２を駆動することにより、バルブＡの開閉を行うことができる。
【０００７】
また、このアクチュエータの使用中に停電や事故等による通電遮断が発生した場合は、クラッチ６１のバネ巻き戻り阻止作用が解除されるので、図９（ｃ）に示すように、ゼンマイバネ６０が弾性復元力により巻き戻るとともに、巻上ギア５９、中継ギア５８および太陽ギア５５が巻き上げ時と逆方向に回転する。このとき、モータ５２はその内部のブレーキ機構により主軸が回転不能に保持されるので、インターナルギア５３も固定された状態となっている。このため、太陽ギア５５の回転とともに各遊星ギア５４が自転しながら右回りに公転して支軸５６を押すので、出力軸５１および弁体Ｂも右回りに回転し、出力軸５１が固定ストッパ部材６３に回転を阻止される位置（図９（ａ）参照）で停止する。すなわち、このアクチュエータでは、通電が遮断されると、自動的に弁体Ｂを回転させてバルブＡを閉鎖するようになっている。
【０００８】
ところで、最近の電動バルブでは、メンテナンスの際の作業性向上等のニーズに対応するために、手動で操作できる機構が必須となってきている。これに対して、上記のようなバルブ用アクチュエータを組み込んだ電動バルブでは、そのアクチュエータに手動操作機構を付加することが困難なため、アクチュエータを切り離した状態で手動操作する機構を別途設けていた。このため、バルブ全体のコストが高くなるうえ、手動操作の前後でアクチュエータを脱着するのに手間がかかるという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の課題は、通電遮断時にバルブを自動的に開放または閉鎖する機構と、バルブの手動操作機構の両方を備えたバルブ用アクチュエータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するために、本発明は、バルブの弁体の回転軸に連結される出力軸をモータの駆動により正逆両方向に回転させてバルブを開閉するようにしたバルブ用アクチュエータにおいて、前記出力軸の外周に、前記モータの駆動により回転する駆動ギアと、出力軸を通すスリーブで前記駆動ギアに連結される太陽ギアとを回転自在に取り付け、前記太陽ギアの周囲に、太陽ギアと噛み合う複数の遊星ギアと、これらの各遊星ギアと噛み合うインターナルギアとを配し、前記太陽ギアを回転不能に保持する手段と、前記インターナルギアを手動操作によってのみ回転可能とする手段を設け、前記出力軸の外周から張り出す鍔部と前記スリーブの外周に回転自在に取り付けたプレートとを前記各遊星ギアを貫通する複数の連結軸で連結し、正方向の回転によりゼンマイバネの巻き上げを行う巻上ギアと、この巻上ギアの逆方向の回転に駆動されて前記プレートをその回転方向に押すプレート押し部材を設けるとともに、通電時に前記ゼンマイバネの巻き戻りを阻止し、非通電時にはこのバネ巻き戻り阻止作用を解除する手段を設けて、通電が遮断されたときには、前記ゼンマイバネが巻き戻ると同時に巻上ギアが逆方向に回転し、前記プレート押し部材がプレートを押して出力軸と一体に回転させることにより、バルブを開放または閉鎖でき、かつ、前記太陽ギアを回転不能に保持しているときには、前記インターナルギアを手動で回転させて遊星ギアを公転させることにより、前記出力軸を回転させてバルブを開閉できるようにした。
【００１１】
すなわち、遊星ギアの公転を介して出力軸を回転させるための入力部材として、従来のインターナルギアと太陽ギアの２つに加えて、遊星ギアを貫通する連結軸で出力軸に連結されたプレートを設け、このプレートを通電遮断時の緊急開閉用とし、太陽ギアを通常使用時の開閉用とすることにより、インターナルギアを入力部材とする手動操作機構を構築できるようにしたのである。これにより、アクチュエータと別体の手動操作機構が不要となってバルブ全体のコスト低減が図れるとともに、手動操作の前後でのアクチュエータ脱着作業もなくなるので、手動操作を伴うメンテナンス等の作業を効率よく行えるようになる。
【００１２】
上記の構成において、前記インターナルギアを手動操作によってのみ回転可能とする手段としては、前記インターナルギアの外周部にその外側に配したウォームと噛み合う外周歯を形成し、前記ウォームにウォームを回転させる手動ハンドルを取り付けたものを採用することができる。
【００１３】
また、前記プレートおよびプレート押し部材の具体的な構成としては、前記プレートを、その回転軸方向に延びるピンを有するものとするとともに、前記プレート押し部材を、前記巻上ギアと噛み合うように前記出力軸のまわりに回転自在に取り付けられ、その回転方向で前記プレートのピンと接離する扇形ギアとするとよい。
【００１４】
また、前記通電時に前記ゼンマイバネの巻き戻りを阻止し、非通電時にはこのバネ巻き戻り阻止作用を解除する手段として、前記巻上ギアを正方向に回転させるバネ巻上用モータを設け、前記ゼンマイバネの巻き上げ完了後は、前記バネ巻上用モータにゼンマイバネの弾性復元力とつりあう制動力を発生させる電流を流し続けるものを採用すれば、従来のクラッチをブレーキ機構のない安価なバネ巻上用モータに替えられるので、コストをさらに低減することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、上述したように、バルブ用アクチュエータを、通電遮断時にはバルブを自動的に開放または閉鎖でき、かつメンテナンス等の際にはバルブを手動で操作することができるものとしたので、従来のアクチュエータと別体の手動操作機構を不要として、バルブ全体のコストを低減することができる。また、手動操作の前後でのアクチュエータ脱着作業もなくせるので、手動操作を伴うメンテナンス等の作業効率の向上も図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図１乃至図８に基づき、この発明の実施形態を説明する。図１乃至図３は、実施形態のバルブ用アクチュエータのケーシング等を除いた要部の構成を示す。このアクチュエータは、バルブの弁体の回転軸（図示省略）に連結される出力軸１の小径部１ａの外周に、バルブ開閉用モータ２の駆動により回転する駆動ギア３と、出力軸小径部１ａを通すスリーブ４で駆動ギア３に連結される太陽ギア５とを回転自在に取り付け、太陽ギア５の周囲に、太陽ギア５と噛み合う複数の遊星ギア６と、これらの各遊星ギア６と噛み合うインターナルギア７とを配している。
【００１７】
前記出力軸１は、小径部１ａに連続する大径部１ｂにその外周から張り出す鍔部１ｃを有している。そして、図示は省略するが、大径部１ｂの鍔部１ｃの下方にはストッパ板が設けられ、バルブの全閉位置と全開位置でこのストッパ板が固定ストッパ部材に当接して出力軸１の回転が阻止されるようになっており、これにより出力軸１の回転範囲が９０度に規制されている。
【００１８】
前記バルブ開閉用モータ２は、その主軸に取り付けられたモータギア８およびこれと噛み合う減速用ギア９を介して、駆動ギア３をスリーブ４および太陽ギア５と一体に回転させるもので、前述のようなブレーキ機構は組み込まれていない。また、モータギア８の近傍にはモータギア８と噛み合う歯１０ａを有する運転切替レバー１０が設けられており、このレバー１０を手動側に操作する（図面右側へ移動させる）と、その歯１０ａがモータギア８と噛み合って駆動ギア３、スリーブ４および太陽ギア５が回転不能に保持されるとともに、レバー１０の突起１０ｂが運転切替スイッチ１１を押すことにより、バルブ開閉用モータ２への通電が遮断されるようになっている。
【００１９】
前記インターナルギア７は、外周部にその外側に配したウォーム１２と噛み合う外周歯７ａを有し、ウォーム１２に取り付けた手動ハンドル１３を操作してウォーム１２を回転させることによってのみ回転可能となっている。
【００２０】
前記スリーブ４の外周には、駆動ギア３との対向面から回転軸方向に延びるピン１４ａを有するプレート１４と、このプレート１４のピン１４ａと回転方向で接離する扇形ギア（プレート押し部材）１５とが回転自在に取り付けられている。そのプレート１４は、各遊星ギア６を貫通する複数の連結軸１６で出力軸大径部１ｂの鍔部１ｃと連結されている。一方、扇形ギア１５は、正方向の回転によりゼンマイバネ１７の巻き上げを行う巻上ギア１８と噛み合っており、この巻上ギア１８が逆方向に回転することによって右回りに回転し、一方の周端面に形成された凹形のピン係合部１５ａでプレート１４のピン１４ａを押すようになっている。
【００２１】
前記ゼンマイバネ１７は、その内端を巻上ギア１８と一体回転する取付軸１９に取り付けられ、外端を固定軸２０に取り付けられている。そして、固定軸２０の近傍に設けられたバネ巻上用モータ２１が、その主軸に取り付けられたモータギア２２およびこれと噛み合う減速用ギア２３を介して巻上ギア１８を正回転させることにより、ゼンマイバネ１７を巻き上げるようになっている。このバネ巻上用モータ２１も、バルブ開閉用モータ２と同じくブレーキ機構のないタイプのものである。
【００２２】
そして、ゼンマイバネ１７の巻き上げ完了をセンサ（図示省略）で検知した後は、バネ巻上用モータ２１にゼンマイバネ１７の弾性復元力とつりあう制動力を発生させる電流が流し続けられ、ゼンマイバネ１７の巻き戻りが阻止されるようになっている。従って、このバネ巻き戻り阻止作用は、バネ巻上用モータ２１に電流が流れない非通電状態になれば解除される。
【００２３】
なお、前記運転切替レバー１０を手動側に操作したときには、レバー１０の突起１０ｂが運転切替スイッチ１１を押すことにより、バネ巻上用モータ２１への通電も遮断されるようになっているので、このときにもバネ巻上用モータ２１のバネ巻き戻り阻止作用は解除される。
【００２４】
次に、このバルブ用アクチュエータの使用方法および動作について説明する。このアクチュエータを使用する際には、最初に、運転切替レバー１０を自動側にセットした状態（レバー１０の歯１０ａをモータギア８から離した状態）で通電して、ゼンマイバネ１７の巻き上げを行う。このアクチュエータのゼンマイバネ１７巻き上げ前の状態は、図４（ａ）に示すように、扇形ギア１５が一方の周端面のピン係合部１５ａでプレート１４のピン１４ａと当接し、他方の周端面の近傍で巻上ギア１８と噛み合っており、出力軸１がバルブ全閉位置で右回りの回転を阻止されている。この状態のアクチュエータを全閉状態のバルブに組み込んだ後、図５に示すようにバネ巻上用モータ２１を駆動して巻上ギア１８を右回り（正方向）に回転させると、ゼンマイバネ１７が巻き上げられるとともに、扇形ギア１５が左回りに回転する。そして、ゼンマイバネ１７の巻き上げ完了が検知されると、バネ巻上用モータ２１がゼンマイバネ１７の巻き戻りを阻止する作用により、ゼンマイバネ１７が蓄圧状態で保持され、バネ巻上用モータ２１から扇形ギア１５までの部品の動きが停止する。このときには、図４（ｂ）に示すように、扇形ギア１５が図４（ａ）の状態から９０度回転して一方の周端面の近傍で巻上ギア１８と噛み合っている。
【００２５】
上記のようにしてゼンマイバネ１７の巻き上げが完了すると、バルブ開閉用モータ２の駆動によりバルブを開閉できるようになる。すなわち、ゼンマイバネ１７巻き上げ完了後の状態（図４（ｂ）参照）から、図６に示すようにバルブ開閉用モータ２を駆動して駆動ギア３および太陽ギア５を左回りに回転させると、インターナルギア７がウォーム１２によって回転不能に保持されているため、各遊星ギア６が右回りに自転しながら左回りに公転して遊星ギア６を貫通する連結軸１６を押す。これにより、連結軸１６で連結された出力軸１とプレート１４とが一体に左回りに回転し、バルブが開放されていく。そして、図４（ｃ）に示すように、出力軸１およびプレート１４が９０度回転してバルブが全開状態となると、バルブ開閉用モータ２は自動的に停止するようになっている。また、この後にバルブ開閉用モータ２を逆方向に駆動すれば、出力軸１を右回りに回転させてバルブを閉じていくことができる。バルブが全閉状態となったときも、バルブ開閉用モータ２は自動的に停止する。
【００２６】
また、このアクチュエータの使用中に停電や事故等による通電遮断が発生した場合は、バネ巻上用モータ２１のバネ巻き戻り阻止作用が解除されるので、図７に示すように、ゼンマイバネ１７が弾性復元力によって巻き戻り、巻上ギア１８、減速用ギア２３およびモータギア２２が巻き上げ時と逆の方向に回転するとともに、巻上ギア１８と噛み合う扇形ギア１５が右回りに回転してピン係合部１５ａでプレート１４のピン１４ａを押す。このとき、インターナルギア７は回転不能に保持されているため、プレート１４と一体の連結軸１６に押された各遊星ギア６が左回りに自転しながら右回りに公転する。これにより、太陽ギア５が駆動ギア３と一体に回転して減速用ギア９およびモータギア８を回転させるとともに、プレート１４と出力軸１とが一体に右回りに回転する。そして、出力軸１がバルブ全閉位置で右回りの回転を阻止されて全体の動きが停止し、ゼンマイバネ１７巻き上げ前の状態（図４（ａ）の状態）に戻る。すなわち、このアクチュエータは、通電が遮断されると自動的にバルブを閉鎖するようになっている。
【００２７】
一方、メンテナンス等のために非通電状態でバルブを開閉する場合は、図８に示すように、まず、運転切替レバー１０を手動側に操作することにより、その歯１０ａをモータギア８と噛み合わせて駆動ギア３、スリーブ４および太陽ギア５を回転不能に保持するとともに、突起１０ｂで運転切替スイッチ１１を押して、バルブ開閉用モータ２およびバネ巻上用モータ２１への通電を遮断する。このときには、停電や事故等による通電遮断と同様にバネ巻上用モータ２１のバネ巻き戻り阻止作用が解除されて、扇形ギア１５がプレート１４のピン１４ａを押すが、インターナルギア７と太陽ギア５の両方が回転不能に保持されているため、各遊星ギア６は自転も公転もできず、出力軸１およびプレート１４は動かない。従って、出力軸１がバルブ全開位置にあるときには、扇形ギア１５も回転できず、ゼンマイバネ１７の巻き戻りは生じない。出力軸１がバルブ全開位置と全閉位置の中間にあるときは、扇形ギア１５が回転してプレート１４のピン１４ａに当接するまでゼンマイバネ１７の巻き戻りが生じる。
【００２８】
そして、上記のように運転切替レバー１０を手動側に操作した後、ウォーム１２に取り付けた手動ハンドル１３を操作してウォーム１２を回転させることにより、バルブを開閉することができる。すなわち、この状態では太陽ギア５が回転不能に保持されているため、ウォーム１２を回転させてウォーム１２と噛み合うインターナルギア７を回転させると、各遊星ギア６が自転しながら公転して連結軸１６を押すので、出力軸１がプレート１４と一体に回転して、ゼンマイバネ１７の巻き戻りまたは巻き上げ動作とともにバルブが開閉される。
【００２９】
このバルブ用アクチュエータは、上述したように、通電遮断時にはバルブを自動的に閉鎖でき、かつメンテナンス等の際にはバルブを手動で操作することができる。従って、このアクチュエータを組み込んだバルブは、アクチュエータと別体の手動操作機構が不要となり、従来よりも低コストとなる。また、手動操作の前後でアクチュエータを脱着する必要もないので、手動操作を伴うメンテナンス等の作業効率の向上も図れる。
【００３０】
なお、上述した実施形態では、巻上ギアが逆方向に回転したときにプレート押し部材としての扇形ギアがプレートのピンを押すようにしたが、プレート押し部材は、巻上ギアの逆方向の回転に駆動されてプレートをその回転方向に押す機能を有しておれば、どのような構成でもよい。一方、プレートは、ピンとは異なる部位でプレート押し部材に押されて回転する構成とすることもできる。
【００３１】
また、実施形態のインターナルギアはウォームの手動ハンドルの操作で回転するようにしたが、他の手段でインターナルギアを手動操作によってのみ回転可能としてもよい。
【００３２】
さらに、通電時はゼンマイバネの巻き戻りを阻止し、非通電時にはこのバネ巻き戻り阻止作用を解除する手段として、実施形態ではバネ巻上完了後もバネ巻上用モータに電流を流し続けるようにしたが、このバネ巻上用モータの電流制御を行う代わりに、通電時は巻上ギアの正方向の回転のみを許し、非通電時には巻上ギアをフリーにするクラッチ機構を設けるようにしてもよい。このようなクラッチ機構を設けた場合は、バネ巻上用モータをなくすこともできる。ゼンマイバネの巻き上げは、バルブ開閉用モータまたは手動状態でのウォーム操作によっても行えるからである。ただし、クラッチ機構は一般にブレーキ機構のないモータよりも高価なので、コスト面では実施形態の構成を採用することが望ましい。
【００３３】
また、実施形態では、通電遮断時に自動的にバルブを閉鎖するようにしたが、停電や事故等の際にバルブを開放した方が安全な場合は、通電遮断時にバルブが開放されるように設計を変更すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】実施形態のバルブ用アクチュエータの要部の構成を示す斜視図
【図２】図１の分解斜視図
【図３】図１の縦断正面図
【図４】ａ〜ｃは、それぞれ図１のアクチュエータの動作を説明する要部の平面図
【図５】図１のアクチュエータのバネ巻上動作を説明する縦断正面図
【図６】図１のアクチュエータのバルブ開閉動作を説明する縦断正面図
【図７】図１のアクチュエータのバネ巻き戻り時の動作を説明する縦断正面図
【図８】図１のアクチュエータの手動操作時の動作を説明する縦断正面図
【図９】ａ〜ｃは、それぞれ従来のバルブ用アクチュエータの構成および動作を説明する模式図
【符号の説明】
【００３５】
１  出力軸
１ｃ  鍔部
２  バルブ開閉用モータ
３  駆動ギア
４  スリーブ
５  太陽ギア
６  遊星ギア
７  インターナルギア
７ａ  外周歯
１０  運転切替レバー
１１  運転切替スイッチ
１２  ウォーム
１３  手動ハンドル
１４  プレート
１４ａ  ピン
１５  扇形ギア
１６  連結軸
１７  ゼンマイバネ
１８  巻上ギア
２１  バネ巻上用モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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