(57)【要約】【課題】現像装置において、ガラス基板への現像液、および水洗水を常に安定して塗布することにより、安定的に生産することを目的とする。【解決手段】上記目的を達成するために、本発明の現像装置は、長手方向に複数のノズル２０を配したシャワー管１８を複数備えたシャワー管ユニット３８を有し、ノズルからの現像液の吐出が放射状になるようにシャワー管ユニットが回転する機構を有し、ノズルから吐出する現像液の圧力または流量を直接的または間接的に観測した結果によって回転する機構およびノズルからの吐出状態を制御する機構を有したことを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向に複数のノズルを配したシャワー管を複数備えたシャワー管ユニットを有し、前記ノズルからの現像液の吐出が放射状になるように前記シャワー管ユニットが回転する機構を有し、前記ノズルから吐出する現像液の圧力または流量を直接的または間接的に観測した結果によって前記回転する機構および前記ノズルからの吐出状態を制御する機構を有したことを特徴とする現像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばプラズマディスプレイ装置の製造工程において用いられるプラズマディスプレイパネルの現像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄型の表示装置に使用されるプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰとする）は、例えば図７に示すように、前面ガラス基板２などよりなる前面板１と、背面ガラス基板１０などよりなる背面板９とが対向して配置され、その外周部をガラスフリットなどからなる封着材によって気密封着されている。封着されたＰＤＰ内部の放電空間には、ＮｅおよびＸｅなどの放電ガスが５３０００Ｐａ〜８００００Ｐａの圧力で封入されている。
【０００３】
前面板１の前面ガラス基板２上には、走査電極３および維持電極４よりなる一対の表示電極５と遮光層６が互いに平行にそれぞれ複数列配置されている。前面ガラス基板２上には表示電極５と遮光層６とを覆うようにコンデンサとしての働きをする誘電体層７が形成され、さらにその表面に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）などからなる保護層８が形成されている。
【０００４】
また、背面板９の背面ガラス基板１０上には、前面板１の走査電極３および維持電極４と直交する方向に、複数の帯状のアドレス電極１１が互いに平行に配置され、これを下地誘電体層１２が被覆している。さらに、アドレス電極１１間の下地誘電体層１２上には放電空間を区切る所定の高さの隔壁１３が形成されている。隔壁１３間の溝にアドレス電極１１毎に、紫外線によって赤色、青色および緑色にそれぞれ発光する蛍光体層１４が順次塗布して形成されている。走査電極３および維持電極４とアドレス電極１１とが交差する位置に放電セルが形成され、表示電極５方向に並んだ赤色、青色、緑色の蛍光体層１４を有する放電セルがカラー表示のための画素になる。
【０００５】
ところで、前面ガラス基板上の補助電極や背面ガラス基板上のアドレス電極、隔壁の製造方法は、それぞれの感光性材料を基板（前面ガラス基板または背面ガラス基板）上に塗布乾燥し、前述の補助電極やアドレス電極、隔壁の微細パターンを露光（以降、露光後基板）した後、現像装置で感光していない部分を現像液で除去して、所定のパターンに形成し、さらに焼成することによって形成される（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１５７７６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、従来の現像装置による現像液塗布、および水洗水塗布方法では、ノズルの先端に現像された固形物が付着し、経時的に流量、圧力が不安定な状態になってくるという課題がある。こうした状態で、現像処理、および洗浄処理をし続けると、パターン形状が崩れ、ＰＤＰとしては、品質不良品になってしまう。
【０００８】
そのため、定期的に塗布ノズルの清掃、または交換を行う必要があるが、近年のＰＤＰ製造工程は、高効率、高生産の観点から、多面取り化が進み、ＰＤＰが複数繋がった１枚の大型ガラス基板を使用する。幅方向に６ｍ近い長さとなる大型ガラス基板を現像する為には、現像装置のシャワー管も、長いシャワー管を使用する必要があり、必然的にノズルの数も増加する。
【０００９】
従来、現像液塗布、および水洗水塗布の状態は人が目視によって、異常の有無を確認し、異常があれば、正常なシャワー管、およびノズルに手作業で切り替えていた。
【００１０】
しかしながら、前述のように、大型ガラス基板用の長いシャワー管を人手によって常に維持していくのは極めて困難である。
【００１１】
本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、ＰＤＰの製造に用いる現像装置において、ガラス基板への現像液、および水洗水を常に安定して塗布することにより、高品質のＰＤＰを安定的に生産することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明の現像装置は、長手方向に複数のノズルを配したシャワー管を複数備えたシャワー管ユニットを有し、ノズルからの現像液の吐出が放射状になるようにシャワー管ユニットが回転する機構を有し、ノズルから吐出する現像液の圧力または流量を直接的または間接的に観測した結果によって回転する機構およびノズルからの吐出状態を制御する機構を有したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、現像液、および水洗水を塗布させるシャワー管を複数配置させることにより、シャワー管に取り付けられた圧力計と流量計で、予め設定してある値に達すると、回転機構と自動弁により別の正常なシャワー管に切り替えることによって、常に安定した圧力と流量で現像処理、および洗浄処理を可能にするものである。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態による現像装置の概略構成を示す側面図
【図２】同現像装置のシャワー管部を示す側面図
【図３】同現像装置のシャワー管、およびノズルの断面を示す断面図
【図４】同現像装置のシャワー管部を示す斜視図
【図５】同現像装置のシャワー管部を示す斜視図
【図６】従来の現像装置のシャワー管を示す側面図
【図７】ＰＤＰの要部を示す斜視図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。まず、現像装置について説明する。図１はＰＤＰの製造に用いられる現像装置の概略構成を示す側面図である。搬送ローラコンベア１５に、前述の前面ガラス基板あるいは背面ガラス基板となるガラス基板１７が水平、あるいは斜めに搬送される。ポジションａ、ｂ、ｃでは、ガラス基板１７に対しシャワー管のユニット３８が並行に並べられている。ポジションａでは、シャワー管のユニット３８から現像液がガラス基板１７の全面に塗布され、露光装置で感光されていない部分が現像液によって除去される。
【００１６】
次に、搬送ローラコンベア１５でガラス基板１７がポジションｂ、ｃに移動する。このポジションｂ、ｃでは、シャワー管のユニット３８から洗浄水が塗布される。ここで、前述の現像液と現像されパターン形成されない材料部分を洗浄除去される。
【００１７】
次に、搬送ローラコンベア１５でガラス基板１７はポジションｄに移動する。このポジションｄでは、エアーナイフ１９から圧空が塗布され、ガラス基板１７の表面、および裏面に付着した洗浄水を除去する。
【００１８】
ここまでで、一連の現像処理は完了し、ガラス基板１７は搬送ローラコンベア１５によって、現像装置外部へ搬出される。
【００１９】
次に現像液塗布構成、および水洗水塗布構成について説明する。まず従来技術におけるシャワー管のユニットについて説明する。図６は従来技術のシャワー管のユニットを示す図である。図６はシャワー管のユニットの長手方向の側面図である。このように従来技術においては、シャワー管のユニットは単数のシャワー管１１８のみで構成され、装置に固定されるのが一般的である。
【００２０】
これに対して、本発明の実施形態では次のような構成となる。図２は、本発明の実施形態における現像装置のシャワー管のユニット部を示す図である。このように、複数のノズルを備えたシャワー管１８を複数有し、該シャワー管１８を回転させる機構を有するシャワー管１８の側面図である。図４は、図２を上方から見た斜視図である。図５は、図４でガラス基板の幅方向が広くなった場合の応用例を示した斜視図である。また、図３はシャワー管１８にノズル２０を単数配している箇所の断面図である。
【００２１】
そして、現像液は、現像受け槽２１から現像ポンプ２２によって、配管を経由してシャワー管１８に供給される。シャワー管１８には複数のノズル２０が取り付けられている。ノズル２０の先端は１ｍｍ以下の微細な穴が開いており、現像液はこの微細な穴から、ガラス基板１７の表面に均一に塗布され、露光装置で感光されていない部分が除去される。塗布された現像液は、現像タンク２３に流れ、そこから現像後液送りポンプ２４で固液分離機２５に送られ、現像液と現像されパターン形成されない材料部分に分けられる。現像液については、現像受け槽２１に溜められ、繰り返し現像液として使用される。
【００２２】
水洗水については、ポジションｃ用水洗タンク２６に供給された純水をポンプ２７によってポンプアップし、ポジションｃでガラス基板１７に塗布する。塗布された水は、ポジションｂ用水洗タンク２８に流れ、ここでのポンプ２７によってポンプアップされ、ポジションｂで塗布する。ここで塗布された水は、排水処理システムへ流れていく。このように水洗水は、純水を下流から投入し、順次上流で使用していくカスケード方式である。
【００２３】
次に本発明の実施形態におけるシャワー管のユニットの動作について説明する。図２では、搬送コンベア１５でガラス基板１７が水平方向に、紙面の手前方向に流動している状態を示している。ガラス基板１７に並行して、上部には４本のシャワー管１８が一対になった複数のシャワー管が取り付けられている。
【００２４】
複数のシャワー管は回転主軸３１を中心にノズルが放射状に向くように配置され、回転主軸３１には回転駆動用モータ３２が取り付けられている。回転駆動用モータ３２は、圧力計３３、および流量計３４と連動しており、圧力、流量が予め設定してある値に達すると、９０°回転を行うようになっている。
【００２５】
現像液、および洗浄水の供給は、ヘッダー管３５から分岐した配管３６から、各シャワー管１８に接続して行われる。分岐した配管にはそれぞれに自動弁３７が配置され、この自動弁３７は、回転駆動用モータと連動しており、シャワー管１８のノズル２０が下方を向いているシャワー管１８の自動弁３７のみオープンとし、残りはクローズとなるように設定されてある。
【００２６】
このような形態により、例えば、ノズル２０が固形物により目詰まりを起こし、流量低下、および配管内圧力上昇した際、シャワー管１８を回転させ正常なシャワー管１８に切り替えを行うことにより、常に安定した圧力と流量で現像処理、および洗浄処理が可能となる訳である。
【００２７】
図４に示したように、前述の図２で説明したシャワー管１８は複数、ガラス基板１７の流動方向に並べて配置し使用する。これらは個々のユニット３８で前述のシャワー管１８の切り替え動作を独立して行う。
【００２８】
図５は、図４でガラス基板１７の幅方向が広くなった場合の応用例である。前述の図４で説明したシャワー管１８をヘッダー管３５中心に両サイドに配置している。この場合も個々のユニット３８で前述のシャワー管切り替え動作を独立して行うのは同様である。さらに、ガラス基板の幅が広くなった場合は、この考え方で横方向にユニット３８をガラス基板１７の幅方向に増設すれば対応可能となる。
【００２９】
なお、実施の形態において用いた具体的な各数値は、単に一例を挙げたに過ぎず、パネルの仕様等に合わせて、適宜最適な値に設定することが望ましい。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
以上のように、本発明の現像装置は、常に安定した圧力と流量で現像処理、および洗浄処理を可能にすることができ、ＰＤＰの安定した生産に有用である。
【符号の説明】
【００３１】
２  前面ガラス基板
１０  背面ガラス基板
１７  ガラス基板
１８  シャワー管
２０  ノズル
３２  回転駆動用モータ
３３  圧力計
３４  流量計
３７  自動弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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