(57)【要約】【課題】使用者が実際に使用するＩＣテスタの機能を優先的に診断することにより、効率的に早い診断を行い、ＩＣ試験準備期間を短縮する。【解決手段】ＤＵＴ１１を試験するＩＣテスタを診断するＩＣテスタ診断装置であって、当該装置は、ＤＵＴ１１の試験で使用される試験プログラム１３に記述されている波形条件を抽出する条件抽出部２７と、条件抽出部２７により抽出された波形条件をＩＣテスタの診断で使用される診断プログラム１４に反映させる条件反映部２８と、条件反映部２８により波形条件が反映された診断プログラム１４に基づいてＩＣテスタが形成する試験波形ＴＷと当該波形条件に対する期待値とを比較することによってＩＣテスタの動作を診断する比較判定部６とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験対象を試験するＩＣテスタを診断するＩＣテスタ診断装置において、
前記被試験対象の試験で使用される試験プログラムに記述されている波形条件を抽出する条件抽出部と、
前記条件抽出部により抽出された波形条件を前記ＩＣテスタの診断で使用される診断プログラムに反映させる条件反映部と、
前記条件反映部により前記波形条件が反映された診断プログラムに基づいて前記ＩＣテスタが形成する試験波形と前記波形条件に対する期待値とを比較することによって前記ＩＣテスタを診断する比較判定部と
を備えることを特徴とするＩＣテスタ診断装置。
【請求項２】
前記波形条件には、論理の条件、周波数の条件、電圧レベルの条件が含まれ、
前記比較判定部は、
前記診断プログラムに記述されている論理の条件に基づいて前記ＩＣテスタが設定する前記試験波形の論理と前記論理の条件に対する期待値とを比較する論理判定部と、
前記診断プログラムに記述されている周波数の条件に基づいて前記ＩＣテスタが出力する前記試験波形の周波数と前記周波数の条件に対する期待値とを比較する周波数判定部と、
前記診断プログラムに記述されている電圧レベルの条件に基づいて前記ＩＣテスタが変換する前記試験波形の電圧レベルと前記電圧レベルの条件に対する期待値とを比較するレベル判定部と
を備えることを特徴とする請求項１に記載のＩＣテスタ診断装置。
【請求項３】
前記条件抽出部により抽出された回数を波形条件毎に計数する条件カウント部を更に備え、
前記条件反映部は、前記条件抽出部により抽出された波形条件を前記条件カウント部が計数する回数が多いものから順に反映させることを特徴とする請求項１又は２に記載のＩＣテスタ診断装置。
【請求項４】
前記条件抽出部により抽出された回数を波形条件毎に計数する条件カウント部を更に備え、
前記条件反映部は、前記条件抽出部により抽出された波形条件のうち前記条件カウント部が計数する回数が所定の閾値以上の波形条件のみを反映させることを特徴とする請求項１又は２に記載のＩＣテスタ診断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣ、ＬＳＩ等の被試験対象を試験するＩＣテスタを診断するＩＣテスタ診断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣテスタは、例えば、ＩＣ、ＬＳＩ等の被試験対象に試験波形を与え、被試験対象の出力波形と期待値波形とを比較し、被試験対象の良否を判定する。試験波形ＴＷを作成するＩＣテスタの機能／性能が正常であることの確認や異常時に故障個所を特定する診断装置が従来から知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ＩＣテスタは、試験波形を、被試験対象の試験で使用される図４（ａ）に示す試験プログラムに記述されている波形条件に基づいて作成する。試験波形ＴＷは、例えば、図５に示すように、試験波形の論理を示す論理条件ＬＲ、試験波形の周波数を示す周波数条件ＦＲ、及び試験波形の電圧レベルを示すレベル条件ＶＲを含む波形条件に基づいて作成される。
【０００４】
図３は、被試験対象（以後、「ＤＵＴ」という）６１を試験するためにＤＵＴ６１の任意のピンへ試験波形ＴＷを印加するＩＣテスタの構成を示す。
【０００５】
試験プログラム６３には、試験波形ＴＷを作成するための論理条件ＬＲ、周波数条件ＦＲ及びレベル条件ＶＲが記述されている。試験プログラム６３をＣＰＵ５１へロードすると、ＣＰＵ５１は、試験プログラム６３に記述された順序に従って、試験波形の論理条件、周波数条件及びレベル条件に関する命令を、それぞれ、パタン発生器５２、タイミング発生器５３及びレベル設定回路５４へ送信する。パタン発生器５２は論理条件に基づいて試験波形の論理を設定し、タイミング発生器５３は試験波形の論理を周波数条件に基づく所定の周波数にのせて出力する。レベル設定回路５４はレベル条件に基づく所定の電圧レベルを生成し、ドライバ５５はタイミング発生器５３から出力された試験波形を前記の電圧レベルに変換する。スイッチ６０をオン状態に制御することにより、ドライバ５５により変換された試験波形ＴＷがＤＵＴ６１に印加される。なお、他のスイッチ５７〜５９はすべてオフ状態に制御されている。
【０００６】
通常、ＩＣテスタによってＤＵＴ６１の試験を行う前に、パタン発生器５２、タイミング発生器５３及びドライバ５５の機能／性能が正常であることを確認する作業が行われる。ＩＣテスタが正常に動作していないことを知らずにＤＵＴ６１の試験を続けると、ＤＵＴ６１が不良品であるにもかかわらず良品と判定してしまうおそれがあるからである。ここでは、ＩＣテスタの動作確認作業を診断と呼ぶ。図３に示すＩＣテスタは、その内部に、パタン発生器５２、タイミング発生器５３及びドライバ５５を診断する機能を備えている。
【０００７】
図４（ｂ）に示すように、診断プログラム６４には、パタン発生器５２を診断する為の論理診断プログラム６４ａと、タイミング発生器５３を診断する為の周波数診断プログラム６４ｂと、ドライバ５５を診断する為のレベル診断プログラム６４ｃとが含まれる。論理診断プログラム６４ａには様々な論理条件（１〜ｍ）及びそれらの実行命令が記述され、周波数診断プログラム６４ｂには様々な周波数条件（１〜ｍ）及びそれらの実行命令が記述され、レベル診断プログラム６４ｃには様々なレベル条件（１〜ｋ）及びそれらの実行命令が記述されている。
【０００８】
パタン発生器５２を診断する場合、スイッチ５７のみをオン状態とし、他のスイッチ５８〜６０は総てオフ状態にする。そして、論理診断プログラム６４ａをＣＰＵ５１へロードすると、ＣＰＵ５１は、論理診断プログラム６４ａに記述された様々な論理条件及び命令をパタン発生器５２へ送信し、これを受信したパタン発生器５２は、様々な論理条件に基づく試験波形の論理を設定してこれを出力する。試験波形の論理は、スイッチ５７を通過して比較判定部５６に入力される。比較判定部５６は、予めその診断に対する期待値を論理診断プログラムを介してＣＰＵ５１から受信しているので、期待値とパタン発生器５２が設定した試験波形の論理とを比較し、比較結果をＣＰＵ５１へ返信する。
【０００９】
同様にして、タイミング発生器５３を診断する場合、スイッチ５８のみをオン状態とし、周波数診断プログラムをＣＰＵ５１へロードする。ドライバ５５を診断する場合、スイッチ５９のみをオン状態とし、レベル診断プログラムをＣＰＵ５１へロードする。このようにして、ＣＰＵ５１は、パタン発生器５２、タイミング発生器５３及びドライバ５５について診断を実行し、その後、これらの比較結果をモニタ６２の画面に表示することにより、使用者へＩＣテスタの診断結果を通知する。
【特許文献１】特開２００２−３３３４７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記した試験プログラム６３は、被試験対象の試験で実際に使用されるプログラムであって、通常、ＩＣテスタの使用者によって作成される。ＩＣテスタは、自らが備える機能の一部を用いて、試験プログラム６３から試験波形ＴＷを形成する。これに対して、診断プログラム６４は、ＩＣテスタの製造者によって作成されたプログラムであって、使用者が実際に使用する機能のみならず、ＩＣテスタが備える機能の総てを診断するように記述されているため、ＩＣテスタの診断に無用な時間を要してしまい、ＤＵＴを試験するためのＩＣテスト時間を圧迫してしまう。
【００１１】
本発明は、上記問題点に鑑みて成されたものであり、その目的は、使用者が実際に使用するＩＣテスタの機能のみを優先的に診断することにより、効率的に早い診断を行い、ＩＣ試験準備期間を短縮するＩＣテスタ診断装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の特徴は、被試験対象を試験するＩＣテスタを診断するＩＣテスタ診断装置において、被試験対象の試験で使用される試験プログラムに記述されている波形条件を抽出する条件抽出部と、条件抽出部により抽出された波形条件をＩＣテスタの診断で使用される診断プログラムに反映させる条件反映部と、条件反映部により波形条件が反映された診断プログラムに基づいてＩＣテスタが形成する試験波形と当該波形条件に対する期待値とを比較することによってＩＣテスタの動作を診断する比較判定部とを備えることである。
【００１３】
本発明の特徴によれば、被試験対象の試験で使用される試験プログラムから波形条件を抽出して、抽出された波形条件を診断プログラムに反映させ、波形条件が反映された診断プログラムに基づいてＩＣテスタが形成する試験波形と当該波形条件に対する期待値とを比較することにより、波形条件から試験波形を形成するＩＣテスタの機能を診断する。被試験対象の試験で使用される試験プログラムは、ＩＣテスタの製造者ではなく、使用者が作成したものであり、使用者が実際に使用するＩＣテスタの機能のみを優先的に診断することができる。よって、効率的に早い診断を行うことができ、ＩＣ試験準備期間を短縮することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、使用者が実際に使用するＩＣテスタの機能のみを優先的に診断することにより、効率的に早い診断を行い、ＩＣ試験準備期間を短縮するＩＣテスタ診断装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、図面の記載において同一部分には同一符号を付して説明を省略する。
【００１６】
図１を参照して、本発明の実施の形態に係わるＩＣテスタの構成を説明する。ＩＣテスタは、試験プログラム１３に記述されている波形条件に基づいて試験波形ＴＷを作成し、ＩＣ、ＬＳＩ等のＤＵＴ１１に試験波形ＴＷを与え、ＤＵＴ１１から出力される出力波形と予め用意された期待値波形とを比較し、ＤＵＴ１１の良否を判定する。
【００１７】
先ず、試験プログラム１３に記述されている波形条件に基づいて試験波形ＴＷを作成し、ＤＵＴ６１の任意のピンへ試験波形ＴＷを印加するＩＣテスタの構成を説明する。ＩＣテスタは、試験プログラム１３をＩＣテスタの各ハードウェア（２〜４）が認識可能なコードに変換するＣＰＵ１と、ＣＰＵ１による制御の下で試験波形ＴＷの論理を設定するパタン発生器２と、パタン発生器２により設定された試験波形ＴＷの論理を所定の周波数にのせて出力するタイミング発生器３と、試験波形ＴＷの電圧レベルを設定するレベル設定回路４と、タイミング発生器３から出力された試験波形ＴＷをレベル設定回路４により設定された電圧レベルに変換するドライバ５とを備える。ドライバ５により変換された試験波形ＴＷがＤＵＴ１１に印加される。
【００１８】
試験プログラム１３に記述されている波形条件には、試験波形ＴＷの論理を設定するための論理条件ＬＲ、試験波形ＴＷの周波数を設定するための周波数条件ＦＲ、及び試験波形ＴＷの電圧レベルを設定するためのレベル条件ＶＲが含まれる。試験プログラム１３をＣＰＵ５１へロードすると、ＣＰＵ５１は、試験波形ＴＷの論理条件ＬＲ、周波数条件ＦＲ及びレベル条件ＶＲを、ＩＣテスタの各ハードウェア（２〜４）が認識可能なコードに変換して、ＣＰＵ１内のメモリ部分（図示せず）に記憶する。そして、試験プログラム１３を実行させると、ＣＰＵ５１は、試験プログラム１３に記述された順序に従って、試験波形ＴＷの論理条件ＬＲ、周波数条件ＦＲ及びレベル条件ＶＲ及びこれらの条件を各ハードウェア（２〜４）に実行させる命令を、それぞれ、パタン発生器２、タイミング発生器３及びレベル設定回路４へ送信する。各ハードウェア（２〜４）は、ＣＰＵ１からの実行命令に従って動作を開始する。
【００１９】
具体的に、パタン発生器２は、論理条件ＬＲに基づいて試験波形ＴＷの論理を設定する。タイミング発生器３は、パタン発生器２により設定された試験波形ＴＷの論理を周波数条件ＦＲに基づく所定の周波数にのせて出力する。レベル設定回路４は、レベル条件ＶＲに基づく所定の電圧レベルを生成する。ドライバ５は、タイミング発生器３から出力された試験波形ＴＷを前記の電圧レベルに変換する。スイッチ１０をオン状態に制御することにより、ドライバ５により変換された試験波形ＴＷがＤＵＴ１１に印加される。なお、試験波形ＴＷをＤＵＴ１１に印加する時、他のスイッチ７〜９はすべてオフ状態に制御されている。
【００２０】
次に、試験プログラム１３に記述されている波形条件に基づいて試験波形ＴＷを作成するＩＣテスタの各ハードウェア（２、３、５）の機能／性能が正常であることの確認や異常時にＩＣテスタの故障個所を特定するＩＣテスタ診断装置の構成を説明する。図１に示すＩＣテスタは、自らを診断するＩＣテスタ診断装置をその内部に備えている。
【００２１】
ＩＣテスタ診断装置は、ＤＵＴ１１の試験で使用される試験プログラム１３に記述されている波形条件を抽出する条件抽出部２７と、条件抽出部２７により抽出された波形条件を記憶する条件記憶部１５と、条件抽出部２７により抽出された回数を波形条件毎に計数する条件カウント部２９と、条件抽出部２７により抽出された波形条件をＩＣテスタの診断で使用される診断プログラム１４に反映させる条件反映部２８と、条件反映部２８により波形条件が反映された診断プログラム１４に基づいてＩＣテスタが形成する試験波形と当該波形条件に対する期待値とを比較することによってＩＣテスタを診断する比較判定部６とを備える。条件抽出部２７、条件反映部２８及び条件カウント部２９は、ＣＰＵ１が備える機能の一部として構成すればよい。また、図示は省略するが、ＩＣテスタ又はＩＣテスタ診断装置は、試験プログラム１３及び診断プログラム１４を記憶するプログラム記憶部を備えている。
【００２２】
比較判定部６は、波形条件が反映された診断プログラム１４に記述された論理条件ＬＲに基づいてＩＣテスタのパタン発生器２が設定する試験波形の論理と当該論理条件ＬＲに対する期待値とを比較する論理判定部２１と、波形条件が反映された診断プログラム１４に記述された周波数条件ＦＲに基づいてＩＣテスタのタイミング発生器３が出力する試験波形の周波数と当該周波数条件ＦＲに対する期待値とを比較する周波数判定部２３と、波形条件が反映された診断プログラム１４に記述されたレベル条件ＶＲに基づいてＩＣテスタのドライバ５が変換する試験波形の電圧レベルと当該レベル条件ＶＲに対する期待値とを比較するレベル判定部２５とを備える。
【００２３】
条件抽出部２７は、ＣＰＵ５１へロードされた試験プログラム１３をＣＰＵ５１がＩＣテスタの各ハードウェア（２〜４）が認識可能なコードに変換する際に、試験プログラム１３に記述されている論理条件ＬＲ、周波数条件ＦＲ及びレベル条件ＶＲを抽出すればよい。或いは、ＣＰＵ５１が、論理条件ＬＲ、周波数条件ＦＲ及びレベル条件ＶＲ及びこれらの条件を各ハードウェア（２〜４）に実行させる命令を、それぞれ、パタン発生器２、タイミング発生器３及びレベル設定回路４へ送信する際に、条件抽出部２７が、論理条件ＬＲ、周波数条件ＦＲ及びレベル条件ＶＲを抽出してもよい。
【００２４】
条件記憶部１５は、条件抽出部２７により抽出された論理条件ＬＲ、周波数条件ＦＲ及びレベル条件ＶＲの他に、条件カウント部２９により抽出された回数を波形条件毎に記憶する。
【００２５】
図２（ａ）は、図１の試験プログラム１３の一例としての試験プログラムＡに記述されている論理条件ＬＲ、周波数条件ＦＲ、レベル条件ＶＲを示す。試験プログラムＡは、複数のテスト（ＴＥＳＴ１〜ＴＥＳＴｕ）から構成され、各テストについて論理条件ＬＲ、周波数条件ＦＲ、レベル条件ＶＲが記述されている。試験プログラムＡには、論理条件ＬＲとして条件ａ〜条件ｃが記述され、周波数条件ＦＲとして条件ｄ〜条件ｆが記述され、レベル条件ＶＲとして条件ｇ〜条件ｋが記述されている。
【００２６】
図２（ｂ）は、図２（ａ）から条件抽出部２７が抽出した波形条件、条件カウント部２９が計数した回数を示す。条件抽出部２７は、試験プログラムＡから、論理条件ＬＲとして条件ａ〜条件ｃを抽出し、周波数条件ＦＲとして条件ｄ〜条件ｆを抽出し、レベル条件ＶＲとして条件ｇ〜条件ｋを抽出する。また、条件カウント部２９は、試験プログラムＡから、条件ａを７回、条件ｂを３回及び条件ｃを３回計数し、条件ｄを５回、条件ｅを３回及び条件ｆを８回計数し、条件ｇを５回、条件ｈを１回、条件ｊを８回及び条件ｋを３回計数する。条件記憶部１５には、図２（ｂ）に示した各条件ａ〜ｋ及び条件毎の抽出回数が記憶される。
【００２７】
図２（ｃ）は、図２（ｂ）の条件及び回数が反映された波形条件毎の診断プログラム１４ａ〜１４ｃを示す模式図である。条件反映部２８は、条件抽出部２７により抽出された条件及び条件カウント部２９が計数した条件毎の回数をＩＣテスタの診断で使用される論理診断プログラム１４ａ、周波数診断プログラム１４ｂ及びレベル診断プログラム１４ｃに反映させる。
【００２８】
条件反映部２８は、条件抽出部２７により抽出された条件ａ〜ｃを条件カウント部２９が計数する回数が多いものから順に論理診断プログラム１４ａに対して反映させる。同様にして、条件反映部２８は、条件抽出部２７により抽出された条件ｄ〜ｆを条件カウント部２９が計数する回数が多いものから順に周波数診断プログラム１４ｂに対して反映させる。また、条件反映部２８は、条件抽出部２７により抽出された条件ｇ〜ｋを条件カウント部２９が計数する回数が多いものから順にレベル診断プログラム１４ｃに対して反映させる。
【００２９】
図１のパタン発生器２を診断する場合、スイッチ７のみをオン状態とし、他のスイッチ８〜１０は総てオフ状態にする。そして、図２（ｃ）の論理診断プログラム１４ａをＣＰＵ１へロードすると、ＣＰＵ１は、論理診断プログラム１４ａに記述された条件ａ〜ｃ及び実行コマンドをパタン発生器２が認識可能なコードへ変換して送信する。これを受信したパタン発生器２は、条件ａ〜ｃに基づく試験波形の論理を順次設定してこれを出力する。試験波形の論理は、スイッチ７を通過して比較判定部６に入力される。論理判定部２１は、予めその診断に対する期待値を論理診断プログラム１４ａを介してＣＰＵ１から受信しているので、期待値とパタン発生器２が設定した試験波形の論理とを比較し、比較結果をＣＰＵ１へ返信する。このようにして、論理判定部２１は、条件カウント部２９が計数する回数が多い論理条件から順に、条件記憶部１５に記憶されている論理診断プログラム１４ａに基づいてパタン発生器２が生成する試験波形の論理と論理条件に対する期待値とを比較する。
【００３０】
タイミング発生器３を診断する場合、スイッチ８のみをオン状態とし、図２（ｃ）の周波数診断プログラム１４ｂをＣＰＵ１へロードする。ＣＰＵ１は、周波数診断プログラム１４ｂに記述された条件ｄ〜ｆ及び実行コマンドをタイミング発生器３が認識可能なコードへ変換して送信する。これを受信したタイミング発生器３は、パタン発生器２が設定した試験波形の論理を条件ｄ〜ｆに基づく試験波形の周波数にのせて出力する。試験波形は、スイッチ８を通過して比較判定部６に入力される。周波数判定部２３は、予めその診断に対する期待値を周波数診断プログラム１４ｂを介してＣＰＵ１から受信しているので、期待値とタイミング発生器３が出力した試験波形の周波数とを比較し、比較結果をＣＰＵ１へ返信する。このようにして、周波数判定部２３は、条件カウント部２９が計数する回数が多い周波数条件から順に、条件記憶部１５に記憶されている周波数診断プログラム１４ｂに基づいてタイミング発生器３が生成する試験波形と周波数条件に対する期待値とを比較する。
【００３１】
ドライバ５を診断する場合、スイッチ９のみをオン状態とし、図２（ｃ）のレベル診断プログラム１４ｃをＣＰＵ１へロードする。ＣＰＵ１は、レベル診断プログラム１４ｃに記述された条件ｇ〜ｋ及び実行コマンドをレベル設定回路４が認識可能なコードへ変換して送信する。これを受信したレベル設定回路４は、条件ｇ〜ｋに基づく試験波形の電圧レベルを順次設定してこれを出力する。ドライバ５は、タイミング発生器３から出力された試験波形を前記の電圧レベルに変換して出力する。ドライバ５から出力された試験波形は、スイッチ９を通過して比較判定部６に入力される。レベル判定部２５は、予めその診断に対する期待値をレベル診断プログラム１４ｃを介してＣＰＵ１から受信しているので、期待値とドライバ５が変換した試験波形の電圧レベルとを比較し、比較結果をＣＰＵ１へ返信する。このようにして、レベル判定部２５は、条件カウント部２９が計数する回数が多いレベル条件から順に、条件記憶部１５に記憶されているレベル診断プログラム１４ｃに基づいてドライバ５が変換する試験波形の電圧レベルとレベル条件に対する期待値とを比較する。
【００３２】
このようにして、ＣＰＵ１は、パタン発生器２、タイミング発生器３及びドライバ５について診断を実行し、その後、これらの比較結果をモニタ１２の画面に表示することにより、ＩＣテスタの使用者へ、パタン発生器２、タイミング発生器３及びドライバ５の診断結果を通知する。
【００３３】
以上説明したように、本発明の実施の形態によれば、以下の作用効果が得られる。
【００３４】
条件抽出部２７が、ＤＵＴ１１の試験で使用される試験プログラム１３から波形条件（ＬＲ、ＦＲ、ＶＲ）を抽出し、条件反映部２８が、抽出された波形条件を診断プログラムに反映させ、比較判定部６が、波形条件が反映された診断プログラムに基づいてＩＣテスタ（２〜５）が形成する試験波形ＴＷと当該波形条件（ＬＲ、ＦＲ、ＶＲ）に対する期待値とを比較することにより、波形条件（ＬＲ、ＦＲ、ＶＲ）から試験波形を形成するＩＣテスタ（２、３、４）の動作を診断する。ＤＵＴ１１の試験で使用される試験プログラム１３は、ＩＣテスタの製造者ではなく、使用者が作成したものであり、使用者が実際に使用するＩＣテスタの機能のみを優先的に診断することができる。よって、効率的に早い診断を行うことができ、ＩＣ試験準備期間を短縮することができる。
【００３５】
本発明の実施の形態では、波形条件に、論理条件ＬＲ、周波数条件ＦＲ及びレベル条件ＶＲが含まれる場合について説明した。この場合、論理判定部２１が、波形条件が反映された論理診断プログラム１４ａに基づいてパタン発生器２が設定する試験波形ＴＷの論理と論理条件ＬＲに対する期待値とを比較する。周波数判定部２３が、波形条件が反映された周波数診断プログラム１４ｂに基づいてタイミング発生器３が出力する試験波形の周波数と周波数条件ＦＲに対する期待値とを比較する。そして、レベル判定部２５が、波形条件が反映されたレベル診断プログラム１４ｃに基づいてドライバ５が変換する試験波形ＴＷの電圧レベルとレベル条件ＶＲに対する期待値とを比較する。よって、使用者が実際に使用するパタン発生器２、タイミング発生器３及びドライバ５の機能のみを優先的に診断することができる。
【００３６】
実施の形態では、ＩＣテスタ診断装置が、条件抽出部２７により抽出された回数を波形条件毎に計数する条件カウント部２９を更に備える場合について説明した。この場合、条件反映部２８は、条件抽出部２７により抽出された条件を条件カウント部が計数する回数が多いものから順に診断プログラム１４へ反映させる。よって、診断プログラム１４は、条件カウント部２９が計数する回数が多い波形条件から順に記述される。比較判定部６は、条件カウント部２９が計数する回数が多い波形条件から順に、診断プログラム１４に基づいてパタン発生器２、タイミング発生器３及びドライバ５が形成する試験波形と波形条件に対する期待値とを比較することによって、パタン発生器２、タイミング発生器３及びドライバ５の動作を診断する。これにより、使用頻度の高い波形条件から優先的に診断することができる。
【００３７】
上記のように、本発明は、１つの実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【００３８】
本発明の実施の形態では、波形条件を診断プログラム１４に記述する順番の一例として、条件カウント部２９が計数する回数が多い波形条件から順番に記述する場合を示したが、本発明において記述する順番は特に問わず、試験プログラム１３から抽出される波形条件が診断プログラム１４に反映されていればよい。また、例えば、条件反映部２８は、条件抽出部２７により抽出された波形条件のうち条件カウント部２９が計数する回数が所定の閾値以上の波形条件のみを反映させてもよい。この場合、比較判定部６は、条件カウント部２９が計数する回数が所定の閾値以上のものに基づいてＩＣテスタが形成する試験波形と波形条件に対する期待値とを比較するので、より効率的に早い診断を行うことができる。
【００３９】
本発明の実施の形態では、波形条件に、論理条件ＬＲ、周波数条件ＦＲ及びレベル条件ＶＲが含まれる場合について説明したが、波形条件はこれだけには限定されない。例えば、ＤＵＴ１１に対して一定の電流や一定の電圧を印加するＤＣ試験を行う場合や、所定の試験波形をＤＵＴ１１に印加した後の所定時間後のＤＵＴ１１からの出力を試験する場合において、波形条件には、一定の電流値の条件、一定の電圧値の条件や、所定時間の条件などが含まれる。そして、ＩＣテスタ診断装置の比較判定部６は、一定の電流値或いは一定の電圧値を設定して出力するＩＣテスタの機能、所定時間を設定するＩＣテスタの機能を診断する新たな判定手段を備える。
【００４０】
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。したがって、本発明はこの開示から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ限定されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係わるＩＣテスタ診断装置としての機能を備えるＩＣテスタの構成を示すブロック図である。
【図２】図２（ａ）は、図１の試験プログラム１３の一例としての試験プログラムＡに記述されている波形条件（ＬＲ、ＦＲ、ＶＲ）を示す表であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）から条件抽出部２７が抽出した条件及び条件カウント部２９が計数した回数を示す表であり、図２（ｃ）は、図２（ｂ）の条件及び回数が反映された波形条件毎の診断プログラム１４ａ〜１４ｃを示す模式図である。
【図３】図３は、ＤＵＴ６１を試験するためにＤＵＴ６１の任意のピンへ試験波形ＴＷを印加するＩＣテスタの構成を示す模式図である。
【図４】図４（ａ）は被試験対象の試験で使用される試験プログラムの内容を示す模式図であり、図４（ｂ）はＩＣテスタの診断で使用される診断プログラムの内容を示す模式図である。
【図５】図５は、試験波形ＴＷの論理を示す論理条件ＬＲ、試験波形ＴＷの周波数を示す周波数条件ＦＲ、及び試験波形ＴＷの電圧レベルを示すレベル条件ＶＲを示す模式図である。
【符号の説明】
【００４２】
１、５１…ＣＰＵ
２、５２…パタン発生器
３、５３…タイミング発生器
４、５４…レベル設定回路
５、５５…ドライバ
６、５６…比較判定部
７〜１０、５７〜６０…スイッチ
１１、６１…ＤＵＴ
１２、６２…モニタ
１３、６３…試験プログラム
１４、６４…診断プログラム
１４ａ、６４ａ…論理診断プログラム
１４ｂ、６４ｂ…周波数診断プログラム
１４ｃ、６４ｃ…レベル診断プログラム
１５…条件記憶部
２１…論理判定部
２３…周波数判定部
２５…レベル判定部
２７…条件抽出部
２８…条件反映部
２９…条件カウント部
ＦＲ…周波数条件
ＬＲ…論理条件
ＶＲ…レベル条件
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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