(57)【要約】【課題】隣接するパターン膜領域の液状体との混色を防止する。【解決手段】基材上にパターン膜の領域を区画する区画部を形成する区画部形成工程と、前記パターン膜領域に前記パターン膜の材料となる第１液状体を塗布する第１塗布工程と、前記第１液状体を固化させない程度に増粘させた第２液状体を形成する第２液状体形成工程と、前記第２液状体の上に前記第１液状体を塗布する第２塗布工程と、前記第１液状体と前記第２液状体を固化する固化工程と、を有する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上にパターン膜の領域を区画する区画部を形成する区画部形成工程と、
前記パターン膜領域に前記パターン膜の材料となる第１液状体を塗布する第１塗布工程と、
前記第１液状体を増粘させ、第２液状体を形成する第２液状体形成工程と、
前記第２液状体の上に前記第１液状体を塗布する第２塗布工程と、
前記第１液状体と前記第２液状体を固化する固化工程と、を有することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記第１塗布工程では、前記パターン膜領域の形態に応じて、前記第１液状体の塗布量を調整することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記第１塗布工程では、前記第１液状体の粘度に応じて、前記第１液状体の塗布量を調整することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記第２塗布工程では、前記パターン膜の色要素に応じて、前記第１液状体の塗布量を調整することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記第２塗布工程の前に、前記第２液状体の状態を検査する検査工程を有し、
前記第２塗布工程では、前記検査工程における前記第２液状体の状態に応じて、前記第１液状体の塗布量を調整することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載のパターン膜形成部材の製造方法よって製造されたパターン膜形成部材。
【請求項７】
請求項６に記載のパターン膜形成部材を備えた電気光学装置。
【請求項８】
請求項７に記載の電気光学装置を搭載した電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターン膜形成部材、パターン膜形成部材の製造方法、電気光学装置、電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
パターン膜形成部材としてのカラーフィルタの製造方法は、例えば、インクジェット法を用いて、ガラス基材等に形成された区画部によって区画された各パターン膜領域内に向けて、パターン膜の材料となる液状体を吐出する製造方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２８１３２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、所望のパターン膜の厚みを得るためには、パターン膜領域内に区画部の高さ若しくはそれ以上の高さになるまで液状体を塗布する必要がある。そのため、パターン膜領域内に液滴を繰り返し吐出して、パターン膜領域内における液状体の塗布量を増加させていくこととなる。塗布された液状体は、表面張力により凝縮され、液状体の形状を維持することができるが、外力に対する抵抗力が低いので、例えば、吐出された液滴が既に塗布されている液状体に着弾した際、当該着弾の衝撃力によって液状体の表面張力が破壊され、液状体がパターン膜領域から決壊し、隣接するパターン膜領域の液状体と混じり合って混色を引き起こしてしまう、という課題があった。特に、近年のパターン膜領域の微細化に伴い、このような不具合が顕著に見られるようになっている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法は、基材上にパターン膜の領域を区画する区画部を形成する区画部形成工程と、前記パターン膜領域に前記パターン膜の材料となる第１液状体を塗布する第１塗布工程と、前記第１液状体を増粘させ、第２液状体を形成する第２液状体形成工程と、前記第２液状体の上に前記第１液状体を塗布する第２塗布工程と、前記第１液状体と前記第２液状体を固化する固化工程と、を有することを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、第１塗布工程においてパターン膜領域に塗布された第１液状体を、例えば、乾燥等によって固化させない程度に増粘させ第２液状体を形成する。その後、第２塗布工程において第２液状体の上に第１液状体を塗布する。第２液状体形成工程おいて増粘された第２液状体の外力に対する抵抗力は、増粘されてない液状体に比べて向上する。従って、第２塗布工程において、増粘された第２液状体の上に第１液状体を塗布しても液状体全体の表面張力は維持され、液状体がパターン膜領域から決壊することが無く、隣接するパターン膜領域の液状体との混色を防止し、所望の膜厚を有するパターン膜を形成することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法は、前記第１塗布工程では、前記パターン膜領域の形態に応じて、前記第１液状体の塗布量を調整することを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、パターン膜領域の形態として、例えば、パターン領域が比較的狭い場合には、当該パターン領域に塗布された液状体の区画部に対する接触角が大きくなり、液状体の表面張力が破壊されやすくなる。そこで、第１塗布工程における第１液状体の塗布量を少量に調整することにより、第１液状体の区画部に対する接触角の拡大を制限させ、第１液状体の表面張力の破壊を低減させることができる。なお、パターン膜領域の形態としては、パターン領域の広さの他、パターン領域形状等が挙げられる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法は、前記第１塗布工程では、前記第１液状体の粘度に応じて、前記第１液状体の塗布量を調整することを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、例えば、第１液状体の粘度が、比較的高い場合には、塗布量を比較的多くし、粘度が比較的低い場合には、塗布量を比較的少なくするように調整することにより、第１液状体の表面張力の破壊を低減させることができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法は、前記第２塗布工程では、前記パターン膜の色要素に応じて、前記第１液状体の塗布量を調整することを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、例えば、第１液状体の色要素が青色系の場合には、塗布量を比較的多くし、色要素が赤色系の場合には、塗布量を比較的少なくするように調整することにより、パターン膜の色調整を容易に行うことができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法は、前記第２塗布工程の前に、前記第２液状体の状態を検査する検査工程を有し、前記第２塗布工程では、前記検査工程における前記第２液状体の状態に応じて、前記第１液状体の塗布量を調整することを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、第２塗布工程の前に、第２液状体の状態、例えば、第２液状体の色具合等を検査することにより、第２塗布工程における第１液状体の塗布量を容易に調整することができる。
【００１６】
［適用例６］本適用例にかかるパターン膜形成部材は、上記のパターン膜形成部材の製造方法よって製造されたことを特徴とする。
【００１７】
これによれば、パターン膜に欠陥のない高品位のパターン膜形成部材を提供することができる。この場合、パターン膜形成部材は、例えば、カラーフィルタ、有機ＥＬの部材、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）の部材等がこれに該当する。
【００１８】
［適用例７］本適用例にかかる電気光学装置は、上記のパターン膜形成部材を備えたことを特徴とする。
【００１９】
このような電気光学装置によれば、信頼性の高いパターン膜形成部材を備えることができる。この場合、電気光学装置は、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等がこれに該当する。
【００２０】
［適用例８］本適用例にかかる電子機器は、上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２１】
このような電子機器によれば、信頼性の高い電気光学装置を搭載することができる。この場合、電子機器は、例えば、カラーフィルタや有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）を搭載したテレビ受像機、パーソナルコンピュータの他、各種の電子製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。
【００２３】
（パターン膜形成部材の構成）
まず、パターン膜形成部材の構成について説明する。なお、本実施形態では、パターン膜形成部材としてのカラーフィルタの構成について説明する。図１は、カラーフィルタの構成を示し、図１（ａ）は、平面図であり、同図（ｂ）は、同図（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【００２４】
図１（ａ），（ｂ）において、カラーフィルタ１は、基材１０と、基材１０の上に形成された区画部１１と、区画部１１によって区画されたパターン膜領域としての色素膜領域１６に形成されたパターン膜としての色素膜１４（Ｒ，Ｇ，Ｂ）と、区画部１１と色素膜１４（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の上に形成された保護膜１８等で構成されている。なお、本実施形態では、カラーフィルタ１の色調整のため、色素膜１４の厚みが、色素毎に異なり、色素膜１４Ｂが他の色素膜１４Ｇ，１４Ｒの膜厚に比べ最も厚く、色素膜１４Ｂ，色素膜１４Ｇ，色素膜１４Ｒの順に膜厚が薄くなるように形成されている。
【００２５】
基材１０は、透明性を有し、一般にガラス基材が用いられるが、他にプラスチック等も使用可能であり、カラーフィルタとしての透過率、強度等の必要特性を有するものであれば特に限定されるものではない。区画部１１は、遮光性を有し、金属、樹脂等を用いることができる。
【００２６】
（液滴吐出装置の構成）
次に、カラーフィルタ１の製造に用いられる液滴吐出装置の構成について説明する。本実施形態では、カラーフィルタ１の色素膜１４の材料となる液状体を塗布する方法として、液滴吐出法を例に説明する。図２は、液滴吐出法を可能とする液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。
【００２７】
図２において、液滴吐出装置３０は、色素膜１４の材料となる液状体を液滴として吐出するヘッド部５０を有するヘッド機構部３２と、ヘッド部５０から吐出された液滴の吐出対象である基材１０を載置するワーク機構部３３と、ヘッド部５０に液状体を供給する材料供給部３４と、ヘッド部５０の保守を行うメンテナンス機構部３５と、基材１０に塗布された液状体を撮像するカメラ装置７８と、これら各機構部および供給部を統括的に制御する制御部３６等を備えている。
【００２８】
液滴吐出装置３０は、床上に設置された複数の支持脚４１と、支持脚４１の上側に設置された定盤４２を備えている。定盤４２の上側には、ワーク機構部３３が定盤４２の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配置されている。ワーク機構部３３の上方には、定盤４２に固定された２本の支持柱５２で支持されているヘッド機構部３２が、ワーク機構部３３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在して配置されている。また、定盤４２の一方の端部には、ヘッド機構部３２のヘッド部５０から連通して液状体を供給する材料供給部３４が配置されている。そして、ヘッド機構部３２の一方の支持柱５２近傍には、メンテナンス機構部３５がワーク機構部３３と並んでＸ軸方向に延在するように配置されている。さらに、定盤４２の下側には、制御部３６が備えられている。
【００２９】
ヘッド機構部３２は、液状体を吐出するヘッド部５０と、ヘッド部５０を懸架したヘッドキャリッジ５１と、ヘッドキャリッジ５１のＹ軸方向への移動をガイドするＹ軸ガイド５３と、Ｙ軸ガイド５３の側方にＹ軸ガイド５３と平行に設置されたＹ軸リニアモータ５４等を備えている。
【００３０】
ワーク機構部３３は、ヘッド機構部３２の下方に位置し、ヘッド機構部３２とほぼ同様の構成でＸ軸方向に延在するように配置されており、基材１０を載置している載置台６１と、載置台６１の移動をガイドするＸ軸ガイド６３と、Ｘ軸ガイド６３の側方にＸ軸ガイド６３と平行に設置されたＸ軸リニアモータ６４等を備えている。
【００３１】
これらの構成により、ヘッド部５０と基材１０とは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に往復自在に移動することができる。最初に、ヘッド部５０の移動について説明する。ヘッド部５０を懸架したヘッドキャリッジ５１は、Ｙ軸ガイド５３に移動可能に取り付けられている。図示しないが、ヘッドキャリッジ５１からＹ軸リニアモータ５４側へ張り出している突起部が、Ｙ軸リニアモータ５４と係合して駆動力を得ることにより、ヘッドキャリッジ５１がＹ軸ガイドに沿って任意の位置に移動する。同様に、載置台６１に搭載された基材１０もＸ軸方向に自在に移動する。
【００３２】
このように、ヘッド部５０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にある基材１０のＸ軸方向の移動に同調して、液滴を吐出する構成となっている。Ｘ軸方向に移動する基材１０と、Ｙ軸方向に移動するヘッド部５０とを相対的に制御することにより、基材１０上に液状体を吐出することができる。また、ヘッド部５０に液状体を供給する材料供給部３４は、液状体が貯留されたタンク７５からポンプ７４を経てヘッド部５０までを接続する流路チューブ７９を備えている。
【００３３】
次に、ヘッド部５０に備えられた吐出ヘッドの構造について説明する。図３は、吐出ヘッドの構造を示し、図３（ａ）は一部破断した斜視図であり、同図（ｂ）は断面図である。
【００３４】
図３（ａ）において、吐出ヘッド１１０は、振動板１１４と、ノズルプレート１１５を備えている。振動板１１４とノズルプレート１１５との間には、液溜まり１１６が配置され、孔１１８を介して供給される液状体が常に充填されるようになっている。また、振動板１１４と、ノズルプレート１１５との間には、複数の隔壁１１２が位置している。そして、振動板１１４と、ノズルプレート１１５と、一対の隔壁１１２とによって囲まれた部分がキャビティ１１１である。キャビティ１１１は、ノズル１２０に対応して設けられているため、キャビティ１１１の数とノズル１２０の数とは同じである。キャビティ１１１には、一対の隔壁１１２間に位置する供給口１１７を介して、液溜まり１１６から液状体が供給される。
【００３５】
図３（ｂ）に示すように、振動板１１４上には、それぞれのキャビティ１１１に対応して振動子１１３が取り付けられている。振動子１１３は、ピエゾ素子１１３ｃと、ピエゾ素子１１３ｃを挟む一対の電極１１３ａ，１１３ｂを有する。この一対の電極１１３ａ，１１３ｂに駆動電圧を与えることで、対応するノズル１２０から液状体が液滴１２１となって吐出される。なお、液状体を吐出させるために、振動子１１３の代わりに電気熱変換素子を用いてもよく、電気熱変換素子による液状体の熱膨張を利用して、液滴１２１として吐出することができる。
【００３６】
図２に戻り、次に、メンテナンス機構部３５について説明する。メンテナンス機構部３５は、キャッピングユニット８６、ワイピングユニット８７、およびフラッシングユニット８８のメンテナンスユニットを備えている。さらに、メンテナンスユニットを載置するメンテキャリッジ８１と、メンテキャリッジ８１の移動をガイドするメンテキャリッジガイド８２と、メンテキャリッジ８１と一体の螺合部８５と、螺合部８５が螺合するボールねじ８４と、ボールねじ８４を回転させるメンテモータ８３とを備えている。これにより、メンテモータ８３が正逆回転すると、ボールねじ８４が回転し、螺合部８５を介してメンテキャリッジ８１が、Ｘ軸方向に移動する。メンテキャリッジ８１がヘッド部５０のメンテナンスのために移動するときには、Ｙ軸ガイド５３に沿ってヘッド部５０が移動して、メンテナンスユニットの直上部に臨んでいる。
【００３７】
メンテナンスユニットのキャッピングユニット８６は、液滴吐出装置３０が稼動していない時に、吐出ヘッド１１０に密着してキャッピングし、液状体が乾燥してノズル１２０が詰まるなどの不具合が生じないようにする。ワイピングユニット８７は、液状体の連続吐出後やキャッピング時にノズル１２０に付着した液状体などを、洗浄液を含むワイピング布で拭い、全ノズルの清浄な状態を維持する。フラッシングユニット８８は、液滴吐出装置３０の稼動開始時や基材１０への加工前に、ノズル１２０から吐出される液状体を受け、ノズル１２０の吐出状態を常に良好な状態にする。
【００３８】
これらのメンテナンスユニットにより、液滴吐出装置３０の非稼動時や基材１０を交換載置している加工待ち時などに、吐出ヘッド１１０の状態を保全して良好な吐出状態を保つことができる。
【００３９】
これらの構成により、ヘッド部５０と基材１０とは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に往復自在に移動することができる。
【００４０】
カメラ装置７８は、ヘッドキャリッジ５１の側端部に取り付けられ、ヘッドキャリッジ５１のＹ方向の移動に伴い、カメラ装置７８もＹ方向への移動が可能となる。カメラ装置７８は、基材１０に塗布された液状体を撮像するためのものである。
【００４１】
次に、以上述べた構成を制御する制御部３６の構成について説明する。図４は、制御部３６の構成を示すブロック図である。制御部３６は、指令部１３０と駆動部１４０とを備え、指令部１３０は、ＣＰＵ１３２、記憶手段としてのＲＯＭ１３３、ＲＡＭ１３４および入出力インターフェース１３１からなり、ＣＰＵ１３２が入出力インターフェース１３１を介して入力される各種信号を、ＲＯＭ１３３、ＲＡＭ１３４のデータに基づき処理し、入出力インターフェース１３１を介して駆動部１４０へ制御信号を出力する。
【００４２】
駆動部１４０は、ヘッドドライバ１４１、モータドライバ１４２、ポンプドライバ１４３、メンテドライバ１４５及びカメラドライバ１４６から構成されている。モータドライバ１４２は、指令部１３０の制御信号により、Ｘ軸リニアモータ６４、Ｙ軸リニアモータ５４を制御し、基材１０、ヘッド部５０の移動を制御する。さらに、メンテモータ８３を制御してメンテナンス機構部３５の必要なユニットをメンテナンス位置へ移動させる。ヘッドドライバ１４１は、吐出ヘッド１１０からの液状体の吐出を制御し、モータドライバ１４２の制御と同調して、基材１０上の所定位置に吐出などが行えるようにする。また、ポンプドライバ１４３は、液状体の吐出状態に対応してポンプ７４を制御し、吐出ヘッド１１０への供給を最適に制御する。メンテドライバ１４５は、メンテナンス機構部３５のキャッピングユニット８６、ワイピングユニット８７およびフラッシングユニット８８を制御し、そして、カメラドライバ１４６は、カメラ装置７８を制御する。
【００４３】
（パターン膜形成部材の製造方法）
次に、パターン膜形成部材の製造方法について説明する。なお、本実施形態では、パターン膜形成部材としてのカラーフィルタの製造方法について説明する。図５は、本実施形態にかかるカラーフィルタの製造方法を示す工程図である。
【００４４】
図５（ａ）の区画部形成工程では、基材１０の上に区画部１１を形成する。区画部１１は、例えば、フォトリソグラフィー法等によって形成することができる。区画部１１の形成によって区画された領域はパターン膜領域としての色素膜領域１６（Ｒ，Ｇ，Ｂ）となる。
【００４５】
次に、図５（ｂ）の第１塗布工程では、色素膜領域１６（Ｒ，Ｇ，Ｂ）のそれぞれにパターン膜としての色素膜１４（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の材料となる第１液状体を塗布する。本実施形態では、液滴吐出装置３０を用いて、吐出ヘッド１１０から色素膜領域１６（Ｒ，Ｇ，Ｂ）のそれぞれに向けて第１液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を液滴１２１として吐出して、基材１０の面に第１液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を付着させる。
【００４６】
次に、図５（ｃ）の第２液状体形成工程では、図５（ｂ）の第１塗布工程で塗布された第１液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を増粘させ、増粘した第２液状体１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を形成する。増粘させる方法としては、例えば、第１液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を固化させない程度の加熱乾燥処理を施すことにより、第１液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に含まれる多少の溶媒分を気化させ、第１液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）よりも粘度が高い第２液状体１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を形成することができる。このように形成された第２液状体１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）は、増粘により、第１液状体１２に比べ、外力に対する抵抗力が向上される。従って、例えば、基材１０を移動させたりして揺らしても、容易に第２液状体１３の表面張力は破壊されない。
【００４７】
その後、検査工程では、第２液状体１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の状態を検査する。具体的には、それぞれの第２液状体１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）について色素状態を検査する。具体的には、カメラ装置７８を用いて、第２液状体１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）のそれぞれを撮像する。撮像されたデータは、制御部３６によって画像処理され、それぞれの第２液状体１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）についての色素状態を検査する。
【００４８】
次に、図５（ｄ）の第２塗布工程では、第２液状体１３の上に第１液状体１２を塗布する。本実施形態では、液滴吐出装置３０を用いて、吐出ヘッド１１０から液滴１２１を吐出して、第２液状体１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の上に第１液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を付着する。第２液状体１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）は、粘度が高くなっているので、外力に対する抵抗力が向上されており、第１液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の液滴１２１が第２液状体１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の上に着弾しても、当該着弾の衝撃によって、第２液状体１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の表面張力が破壊されることなく、第１液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）は第２液状体１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の上に付着させることができる。
【００４９】
また、第２塗布工程では、検査工程における第２液状体１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）のそれぞれの色素状態に基づいて、第１液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の塗布量を調整する。例えば、所定の色素状態に達しないと判断された色素膜領域１６に対しては、塗布量を多め目に塗布するように調整する。本実施形態では、色素膜１４（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の色要素に応じて、塗布量を調整し、色素膜領域１６Ｂ，１６Ｇ，１６Ｒの順に塗布量を少なくしている。
【００５０】
図５（ｅ）の固化工程では、第１及び第２液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ），１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を固化して色素膜１４（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を形成する。固化方法としては、例えば、加熱乾燥処理等を行う。第１及び第２液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ），１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）とが相溶しながら硬化し、最終的に固化された色素膜１４（Ｒ，Ｇ，Ｂ）が形成される。なお、本実施形態の色素膜１４は、色素膜１４Ｂ、色素膜１４Ｇ、色素膜１４Ｒの順に膜厚が薄くなるように形成される。
【００５１】
その後、必要に応じて、区画部１１と色素膜１４の上に保護膜１８を形成する。保護膜１８の形成方法としては、スピンコート法等が用いられ、材料としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用タイプの樹脂材料、蒸着、スパッタ等によって形成された無機膜等を用いることができる。
【００５２】
以上、上記の製造方法によって、カラーフィルタ１が形成される。
【００５３】
（電気光学装置）
次に、本実施形態にかかる電気光学装置について説明する。図６は、電気光学装置としての液晶ディスプレイの構成を示す断面図である。
【００５４】
図６において、液晶ディスプレイ１５０は、カラーフィルタ１と、カラーフィルタ１に対向して配置された素子基材１５１と、シール材１５２によって接着されたカラーフィルタ１と素子基材１５１の隙間に充填された液晶１５３等で構成されている。
【００５５】
カラーフィルタ１の保護膜１８の上には共通電極１６１が形成され、共通電極１６１の上には配向膜１６２が形成されている。また、基材１０の色素膜１４が形成された面の反対面には偏光板１７５が備えられている。
【００５６】
素子基材１５１は、透明性を有する基材１７０と、基材１７０の上に形成されたＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）素子１７１と、基材１７０とＴＦＴ素子１７１の上に形成された配向膜１７２等で構成されている。また、基材１７０のＴＦＴ素子１７１が形成された面の反対面には偏光板１７６が備えられている。
【００５７】
（電子機器）
次に、本実施形態にかかる電子機器について説明する。図７は、電子機器としてのテレビ受像機の構成を示す斜視図である。図７において、テレビ受像機１８０の表示部に液晶ディスプレイ１５０が搭載されている。
【００５８】
従って、上記の実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【００５９】
（１）第１塗布工程において、色素膜領域１６（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に第１液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を塗布した後に、第１液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を加熱乾燥し、増粘した第２液状体１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を形成した。これにより、第２液状体１３は、第１液状体１２の状態に比べて外力に対する抵抗力が向上する。そして、第２塗布工程において、増粘した第２液状体１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の上に向けて液滴１２１を吐出して、第１液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を塗布させた。従って、第２塗布工程において、第１液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の液滴１２１が、第２液状体１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に着弾しても、液状体全体の表面張力が維持され、隣接する色素膜領域１６に塗布された液状体との混色がなく、所望する膜厚を有する色素膜１４（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を形成することができる。
【００６０】
（２）第２塗布工程では、第２液状体１３（Ｒ，Ｂ，Ｇ）の色素状態に基づき、第１液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の塗布量を調整するので、色素膜１４の色調整を容易に行うことができる。
【００６１】
なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。
【００６２】
（変形例１）本実施形態では、第１塗布工程の後に第２塗布工程を実施して、第２液状体１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の上に第１液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を塗布したが、この構成に限定されない。第２塗布工程の後に、さらに第３塗布工程を行ってもよい。この場合において、第２塗布工程のあとに、乾燥工程等を行い、第２塗布工程において塗布された第１液状体１２を増粘させ、増粘された液状体の上に第１液状体を塗布すればよい。このようにすれば、隣接する液状体と混色すること無く、さらに厚い膜厚を有する色素膜１４（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を形成することができる。
【００６３】
（変形例２）本実施形態では、第１塗布工程において、いずれの色素膜領域１６（Ｒ，Ｇ，Ｂ）にもほぼ同量の第１液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を塗布したが、これに限定されない。例えば、色素膜領域１６（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の形態に応じて、色素膜領域１６（Ｒ，Ｇ，Ｂ）毎に第１液状体１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の塗布量を調整してもよい。例えば、色素膜領域１６Ｂに対する塗布量を最も多くし、他の色素膜領域１６（Ｒ，Ｇ）に対する塗布量を、色素膜領域１６Ｂに対する塗布量に比べて少なくするようにしてもよい。このようすれば、色素膜領域１６Ｂにおける色素膜１４Ｂの膜厚を容易に調整することができる。
【００６４】
（変形例３）本実施形態では、第１塗布工程において、いずれの色素膜領域１６（Ｒ，Ｇ，Ｂ）にもほぼ同量の第１液状体１２を塗布したが、これに限定されない。例えば、第１液状体１２の粘度に応じて塗布量を調整してもよい。例えば、粘度が高い場合には、塗布量を多くし、粘度が低い場合には、塗布量を少なくする。このようにすれば、第１塗布工程において、第１液状体１２の表面張力の決壊を防止し、隣接する液状体との混色を防止することができる。
【００６５】
（変形例４）本実施形態では、第１塗布工程において、色素膜領域１６（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対して同時期に液状体を塗布したが、これに限定されない。例えば、色素膜領域１６（Ｒ，Ｇ，Ｂ）のそれぞれに塗布する順番を規定し、当該順番に沿って塗布するようにしてもよい。例えば、色素膜領域１６Ｒから液状体を塗布する場合、まず、色素膜領域１６Ｒに液状体を塗布し、当該液状体を増粘させる。その後、色素膜領域１６Ｇに液状体を塗布し、当該液状体を増粘させる。その後、色素膜領域１６Ｒに液状体を塗布し、当該液状体を増粘させる。このようすれば、ある色素膜領域１６に液状体を塗布するにあたり、隣接する色素膜領域１６に塗布された液状体は、増粘されているか若しくは液状体が塗布されていない状態なので、隣接する色素膜領域１６に塗布された液状体との混色を防止することができる。
【００６６】
（変形例５）上記の実施形態では、パターン膜形成部材としてカラーフィルタ１を例として説明したが、これに限定されることなく、例えば、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）発光部材、シリカガラス前駆体、金属化合物等の導電部材、誘電体部材等についても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】カラーフィルタの構造を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図。
【図２】液滴吐出装置の構成を示す斜視図。
【図３】ヘッドの構造を示し、（ａ）は一部破断した斜視図、（ｂ）は断面図。
【図４】液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図。
【図５】カラーフィルタの製造方法を示す工程図。
【図６】液晶ディスプレイの構成を示す断面図。
【図７】テレビ受像機の斜視図。
【符号の説明】
【００６８】
１…パターン膜形成部材としてのカラーフィルタ、１０…基材、１１…区画部、１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）…第１液状体、１３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）…第２液状体、１４（Ｒ，Ｇ，Ｂ）…パターン膜としての色素膜、１６（Ｒ，Ｇ，Ｂ）…パターン膜領域としての色素膜領域、３０…液滴吐出装置、７８…カメラ装置、１１０…吐出ヘッド、１２１…液滴、１５０…電気光学装置としての液晶ディスプレイ、１８０…電子機器としてのテレビ受像機。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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