(57)【要約】【課題】接着を伴わずに把持部を把持して被着体に貼付された接着シートを剥離することのできる剥離用テープを提供すること。【解決手段】半導体ウエハＷに貼付された保護用の接着シートＳの表面に貼付して当該接着シートＳを半導体ウエハＷから剥離するために用いられる剥離用テープＰＴ。この剥離用テープＰＴは、基材シートＢＳの所定領域に接着剤層Ａが設けられて接着部１０とされ、基材シートＢＳに接着剤層Ａが設けられない領域によって把持部１１が形成されている。接着シートＳを半導体ウエハＷから剥離するときは、接着部１０を接着シートＳに貼付し、把持部１１を把持して引っ張ることで接着シートＳを剥離することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体に貼付された接着シートに貼付して当該接着シートを被着体から剥離するための剥離用テープであって、
基材シートの所定領域に接着剤層が設けられて接着シートに接着する接着部と、接着剤層が設けられない把持部とを備えていることを特徴とする剥離用テープ。
【請求項２】
前記接着部は把持部よりも幅広の平面形状に設けられていることを特徴とする請求項１記載の剥離用テープ。
【請求項３】
前記把持部と接着部との接続部外縁にスロープ状の繋ぎ部が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の剥離用テープ。
【請求項４】
前記接着部は、前記接着シートの外縁部分に沿うショルダ部を備えていることを特徴とする請求項１、２又は３記載の剥離用テープ。
【請求項５】
前記接着剤層は、前記接着シートの外周部分と同一の平面形状に設けられていることを特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載の剥離用テープ。
【請求項６】
半導体ウエハに貼付された略円形の接着シートに貼付されて当該接着シートを半導体ウエハから剥離するための剥離用テープにおいて、
基材シートの所定領域に接着剤層が設けられて接着シートに接着する接着部と、接着剤層が設けられない把持部とを備え、
前記接着剤層は、前記接着シートの外縁２地点間を結ぶ弦に沿う弦縁部と、前記２地点間の弧に沿う弧縁部とで囲まれた平面形状を備え、
前記把持部は、前記接着部から突出した片状に設けられていることを特徴とする剥離用テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は剥離用テープに係り、更に詳しくは、被着体に貼付された接着シートを被着体から剥離するときに、接着を伴うことなく把持する領域を備えているとともに、接着シートを破断させることなく確実に剥離することに適した剥離用テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）の処理装置においては、ウエハの回路面等を保護するための接着シートが貼付されている。この接着シートは、シート剥離装置を用いて最終的にウエハから剥離するものとなっている。
シート剥離装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。同文献におけるシート剥離装置は、ウエハに貼付された円形の接着シートに、エッジ部材に巻き掛けられた剥離用テープを接着し、ウエハとエッジ部材との相対移動に同期して剥離用テープの巻き取りを行うことで接着シートをウエハから剥離する構成が採用されている。ここで、剥離用テープは、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた帯状のテープが採用されている。
【特許文献１】特開２００７−４３０４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１に開示されたシート剥離装置における剥離用テープは、一方の面全域に亘って接着剤層を備えているため、接着を伴うことなく把持できる領域がなく、専用の剥離装置を用いなければならないという制約がある。
また、剥離用テープが接着シートの直径よりも小さい幅となる帯状に設けられているため、図６に示されるように、エッジ部材４０を介して剥離用テープＰＴを矢印ａ方向に引っ張ったときに、テーブルＴ上のウエハＷに貼付された接着シートＳが、剥離用テープＰＴの幅に沿って破れ易くなる、という不都合がある。
また、剥離用テープＰＴの幅が接着シートＳの直径に比べて相当に小さいため、つまり、接着シートＳがウエハＷに接着している領域に対して剥離用テープＰＴと接着シートＳとの接着領域が相当に小さいため、接着シートＳの剥離動作中に剥離用テープＰＴが接着シートＳから分離して剥離不良を生ずる、という不都合もある。
【０００４】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、接着シートを剥離する際に、接着を伴うことなく把持部を把持若しくは掴むことができ、専用の剥離装置を用いることなく接着シートを剥離することのできる剥離用テープを提供することにある。
また、本発明の他の目的は、被着体に貼付された接着シートの大きさよりも小さい剥離用テープを用いた場合であっても、接着シートの破断を回避しつつ確実に剥離することのできる剥離用テープを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的を達成するため、本発明は、被着体に貼付された接着シートに貼付して当該接着シートを被着体から剥離するための剥離用テープであって、基材シートの所定領域に接着剤層が設けられて接着シートを接着する接着部と、接着剤層が設けられない把持部とを備える、という構成を採っている。
【０００６】
本発明において、前記接着部は把持部よりも幅広の平面形状に設けられる、という構成を採っている。
【０００７】
また、前記把持部と接着部との接続部外縁にスロープ状の繋ぎ部が設けられる、という構成を採ることが好ましい。
【０００８】
更に、前記接着部は、前記接着シートの外縁部分に沿うショルダ部を備えた形状とするとよい。
【０００９】
また、前記接着剤層は、前記接着シートの外周部分と同一の平面形状に設けられる、という構成を採ることができる。
【００１０】
更に、本発明は、半導体ウエハに貼付された略円形の接着シートに貼付されて当該接着シートを半導体ウエハから剥離するための剥離用テープにおいて、基材シートの所定領域に接着剤層が設けられて接着シートに接着する接着部と、接着剤層が設けられない把持部とを備え、前記接着剤層は、前記接着シートの外縁２地点間を結ぶ弦に沿う弦縁部と、前記２地点間の弧に沿う弧縁部とで囲まれた平面形状を備え、前記把持部は、前記接着部から突出した片状に設けられている、という構成を採ることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、接着剤層を有しない把持部を備えて剥離用テープが形成されているため、当該把持部を掴んで接着シートを剥離することができる。この把持部は、例えば、一対のチャック等を用いて把持できる他、作業者が把持部を直接掴んだ状態で接着シートを剥離することができ、専用の剥離装置を必要とすることがないうえ、チャック部材や作業者の指に接着剤が付着して汚れたり、不快感を与えたりすることがなくなり、剥離方法を任意に選択可能となる。
また、接着部が把持部よりも幅広の平面形状となる構成では、剥離用テープが接着シートの幅よりも小さい場合であっても、剥離に際して接着シートが破れてしまうような不都合を効果的に回避することができる。
更に、前記把持部と接着部との間の接続部外縁にスロープ状の繋ぎ部が設けられているため、剥離用テープに剥離力が付与されたときに、剥離方向の力が繋ぎ部によって左右方向に分散するため、剥離用テープや接着シートに局所的な力が加わることを防止し、接着シートが剥離用テープの幅に沿って破れてしまうといった不都合を解消することができる。
また、剥離用テープが接着シートの外縁部分に沿うショルダ部を備えていることで、接着シートが外縁部から確実に剥離されるようになり、この点からも接着シートの破断原因を回避することができる。
特に、接着剤層が接着シートの外周部分と同一の平面形状に設けられた構成では、剥離用テープの接着剤が接着シート以外の部分に接着して、当該接着シートの剥離を妨げたり、被着体を載置するテーブル等に接着剤が付着して汚れてしまうといった不都合を確実に解消できる。また、剥離力を接着シートの縁部に確実に付与することが可能となり、接着シートの剥離不良を解消することができる。
また、半導体ウエハに貼付された円形の接着シートを剥離する剥離用テープとし、当該剥離用テープが接着シートの貼付領域に対応する平面形状の接着剤層を有する接着部と、これに連なる把持部とを備えた構成では、半導体ウエハから確実に接着シートを剥離することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１３】
図１には、本実施形態に係る剥離用テープを接着シートに貼付した概略斜視図が示され、図２には、その一部拡大平面図が示されている。また、図３には、図１の一部断面図が示されている。これらの図において、接着シートＳが貼付されたウエハＷがテーブルＴに支持され、この接着シートＳの外周部に剥離用テープＰＴ貼付されている。
【００１４】
剥離用テープＰＴは、図３に示されるように、基材シートＢＳと、接着剤層Ａにより構成されている。基材シートＢＳは、その一方の面における所定領域に接着剤層Ａが設けられて接着部１０を形成する一方、接着剤層Ａが設けられない領域によって把持部１１が構成されている。接着剤層Ａは、接着シートＳの外縁２地点Ｐ１、Ｐ２間を結ぶ弦Ｌ１に沿う弦縁部Ａｓと、前記２地点Ｐ１、Ｐ２間の弧Ｌ２に沿う弧縁部Ａａとで囲まれた形状に設けられ、接着シートＳの外周部分と同一の平面形状を備えている（図４参照）。また、接着部１０は、図２に示されるように、把持部１１よりも幅広の平面形状に設けられ、把持部１１は、スロープ状（本実施形態では外縁が円弧状）の繋ぎ部１３を介して接着部１０の外縁に連設されている。これにより、図５に示されるように、剥離用テープＰＴを矢印ａ方向に引っ張ったときに、剥離方向の力が繋ぎ部１３によって左右方向（矢印ａＬ、ａＲ方向）に分散するため、剥離用テープＰＴや接着シートＳに局所的な力が加わることを防止し、接着シートＳが剥離用テープＰＴの幅に沿って破れてしまうといった不都合は発生しない。また、把持部１１は、弦Ｌ１の中心と直交する中心線Ｌ３を中心線とした対称形状に設けられて接着シートＳの外縁から外側に突出する片状に設けられている。なお、弦縁部Ａｓに沿う基材シートＢＳの外縁は端部１０ｓとされ、弧縁部Ａａに沿う基材シートＢＳの外縁はショルダ部１０ａとして形成されている。
【００１５】
前記剥離用テープＰＴを用いて接着シートＳを剥離する場合には、ショルダ部１０ａが接着シートＳの外縁に一致するように剥離用テープＰＴを接着シートＳに貼付する。このように貼付することで、接着剤層Ａの弧縁部Ａａが接着シートＳの外縁に一致して貼付される。これにより、接着剤層ＡがテーブルＴに貼付して接着シートＳの剥離を妨げたり、テーブルＴを接着剤で汚してしまうといった不都合は発生しないうえ、剥離力を接着シートＳの縁部に確実に付与することが可能となり、接着シートＳの剥離不良を解消することができる。剥離用テープＰＴの貼付を完了した状態において、把持部１１は接着シートＳの外縁すなわち弧Ｌ２から外側に突出する。
【００１６】
そして、把持部１１を図示しないチャックで把持するか、或いは、オペレータが指先で摘んで剥離用テープＰＴを反転させると同時に、図１中二点鎖線で示される方向に剥離用テープＰＴを引っ張ることで接着シートＳをウエハＷから剥離することができる。これにより、チャックを構成する部材やオペレータの指に接着剤が付着して汚れたり、不快感を与えたりすることはない。
【００１７】
従って、このような実施形態によれば、基材シートＢＳに接着剤層Ａを設けないことで把持部１１が形成されているため、接着を伴うことなく把持部の引っ張り操作によって接着シートＳを剥離することができる。しかも、接着シートＳの外周部平面形状に対応するようにショルダ部１０ａを備え、このショルダ部１０ａは、把持部１１の外縁にスロープ状の繋ぎ部１３を介して連なる構成であるため、把持部１１を引っ張り操作したときでも、接着シートＳに局所的な負荷を与えることなく接着部１０の幅方向に分散した剥離力を及ぼすことができ、これによって、接着シートＳを部分的に破断してしまうおそれを回避しつつ当該接着シートＳの剥離を行うことができる。
【００１８】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００１９】
例えば、前記実施形態では、基材シートＢＳに接着剤層を設けないことにより把持部１１を設ける場合を図示、説明したが、基材シートＢＳの一方の面全域に接着剤層Ａを設け、把持部１１に相当する領域に別のシートを貼付することで、接着力のない把持部を形成してもよい。
【００２０】
また、接着部１０、接着剤層Ａ及び把持部１１の平面形状も任意に変更することが可能である。すなわち、被着体に貼付された接着シートが非円形である場合には、その平面形状の外周部分の形状に応じた平面形状とすればよい。
【００２１】
更に、前記実施形態では、接着部１０と把持部１１との接続部外縁が円弧状の繋ぎ部１３としたが、直線状の繋ぎ部１３としてもよい。
【００２２】
また、被着体は半導体ウエハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【００２３】
更に、接着剤層Ａは、感圧接着性の接着剤や感熱接着性の接着剤を採用することができ、組成物に関しては何ら限定されることはない。
【００２４】
また、接着部１０の基材シートＢＳの形状は、上記実施形態のように、接着剤層Ａの形状に沿った形状でなくてもよい。
【００２５】
更に、前記実施形態では、基材シートＢＳと接着剤層Ａとの２層構造となる剥離用テープＰＴを図示して説明したが、層の数には何ら限定されることはなく、例えば、接着シートＳの剥離時の引っ張り力に基材シートＢＳが耐えられない場合等に、補強用の他のシートを積層してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】剥離用テープを接着シートに貼付した状態の概略斜視図。
【図２】剥離用テープの平面図。
【図３】図１の一部断面図。
【図４】剥離用テープを一部破断させて接着剤層側から見た概略斜視図。
【図５】接着シートを剥離する直前の概略斜視図。
【図６】従来の不都合を説明するための概略斜視図。
【符号の説明】
【００２７】
１０  接着部
１０ａ  ショルダ部
１１  把持部
１３  繋ぎ部
Ｌ１  弦
Ｌ２  弧
Ｌ３  中心線
Ａ  接着剤層
Ａｓ  弦縁部
Ａａ  弧縁部
ＢＳ  基材シート
ＰＴ  剥離用テープ
Ｓ  接着シート
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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