(57)【要約】【課題】基板上に塗設された着色感光性組成物層の現像工程において、基板上、およびブラックマトリックス上に着色感光性組成物の残渣がなく、また大型基板でも面内での現像ムラがない現像液を提供し、生産性の良好な画像形成方法、残渣発生の少ないカラーフィルタを提供する。【解決手段】(A-1)ポリオキシアルキレンモノスチリルフェニルエーテルと、(A-2)ポリオキシアルキレンジスチリルフェニルエーテルとを、質量比［（A-1)／〔(A-1)＋(A-2)〕］が０．２から０．９の範囲で含む（Ａ）非イオン性界面活性剤、及び、(B-1)水酸化カリウムを含む（Ｂ）塩基性組成物、を含有する着色感光性組成物用アルカリ現像液。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
(A-1)ポリオキシアルキレンモノスチリルフェニルエーテルと、(A-2)ポリオキシアルキレンジスチリルフェニルエーテルとを、質量比［（A-1)／〔(A-1)＋(A-2)〕］が０．２から０．９の範囲で含む（Ａ）非イオン性界面活性剤、及び、(B-1)水酸化カリウムを含む（Ｂ）塩基性組成物、を含有する着色感光性組成物用アルカリ現像液。
【請求項２】
前記（Ａ）非イオン性界面活性剤が、さらに(A-3)ポリオキシアルキレントリスチリルフェニルエーテルを含み、その質量比［（A-3)／〔(A-1)＋(A-2)＋(A-3)〕］が０．０５から０．３５の範囲である請求項１に記載の着色感光性組成物用アルカリ現像液。
【請求項３】
前記(A-1)ポリオキシアルキレンモノスチリルフェニルエーテルにおけるポリオキシアルキレン基が、オキシエチレンの繰返し数を９〜１５の範囲で含む基である請求項１、または請求項２に記載の着色感光性組成物用アルカリ現像液。
【請求項４】
前記(A-2)ポリオキシアルキレンジスチリルフェニルエーテルにおけるポリオキシアルキレン基が、オキシエチレンの繰返し数を９〜１５の範囲で含む基である請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の着色感光性組成物用アルカリ現像液。
【請求項５】
前記(A-3)ポリオキシアルキレントリスチリルフェニルエーテルにおけるポリオキシアルキレン基が、オキシエチレンの繰返し数を９〜１５の範囲で含む基である請求項２〜請求項４のいずれか１項に記載の着色感光性組成物用アルカリ現像液。
【請求項６】
(B-1)水酸化カリウムを含む（Ｂ）塩基性組成物と、（Ａ）非イオン性界面活性剤の総和と、の質量比［（Ｂ）／（Ａ）］が、０．１５〜１．６の範囲である請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の着色感光性組成物用アルカリ現像液。
【請求項７】
基板上に形成された着色感光性組成物層を、放射線をパターン状に露光し硬化させた後に、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の着色感光性組成物用アルカリ現像液を用いて現像する画像形成方法。
【請求項８】
請求項７に記載の着色感光性組成物用アルカリ現像液が、(B-1)水酸化カリウムを含む（Ｂ）塩基性組成物を０．０３〜０．０８質量％含有する着色感光性組成物用アルカリ現像液である画像形成方法。
【請求項９】
基板上に、請求項７または請求項８に記載の画像形成方法により形成された着色パターンを備えるカラーフィルタ。
【請求項１０】
請求項９に記載のカラーフィルタを用いた液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、着色感光性組成物を用いたパターン画像の形成工程において用いられるアルカリ現像液、これを用いた画像形成方法、これにより製造されたカラーフイルタ、および液晶表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の製造方法については数多くの提案がなされているが、最近では、ガラス等の透明基板上に、ブラックマトリックスとＲＧＢ画素を形成したカラーフィルタ上に、インジウム錫オキサイド（ＩＴＯ）のような透明導電膜をスパッタリングして透明電極を形成し、更にこの上に配向膜を形成し、液晶を配置する方法が一般的になりつつある。
【０００３】
ここで使われるカラーフィルタの製造法としては、顔料分散法が主流となっている。顔料分散法とは、有機顔料および／または無機顔料を分散させたネガ型の着色感光性組成物をスリットコータ等により基板に塗布し、所定の着色パターンを形成することによりカラーフィルタを製造する方法である。
【０００４】
前記ネガ型の着色感光性組成物には、着色剤として有機顔料および／または無機顔料が含まれ、さらに紫外線等の露光により硬化する光重合系材料と、アルカリ可溶の樹脂成分が含まれている。該着色感光性組成物をスリットコータ等により透明基板上に塗布し、減圧や加熱による乾燥後に着色感光性組成物層を形成し、これを４０５ｎｍや３６５ｎｍの波長の放射線でパターン露光し、現像工程で未露光部分を除去することによってパターン状の着色画素を形成し、カラーフィルタを製造する。本発明で課題としている着色感光性組成物用アルカリ現像液は、この現像工程で用いられるものである。この現像工程では、前記着色感光性組成物層が速やかにアルカリ現像液中に溶解または分散されて、除去されると同時に、多少現像時間が長くなっても、露光した部分の着色パターンが剥離しないことが求められている。
【０００５】
従来のアルカリ現像液は、この問題を解決するために、アルカリ成分や、界面活性剤に工夫を加えて来た。アルカリ成分としてＫＯＨを用い、界面活性剤としてポリオキシエチレンジスチレン化フェニルエーテルを含有する例が示されている。この液をディップ現像に用いて、画素が欠落することがなくシャープなパターンエッジを有し、非画素基板上にスカム・膜残りがなかったと開示されている。（特許文献１参照）
【０００６】
しかし、高い生産性を求められる製造における基板の現像工程は、シャワー現像装置を用い迅速に現像処理することが必要である。製造におけるシャワー現像工程では、現像液を現像液タンクからポンプで現像槽のシャワー部に供給し、基板へ現像液を噴霧した後に、再びトレーなどで受けて現像液タンクに戻す循環現像方式が採用されている。このため、大気中の炭酸ガスなどの影響によって現像液に含まれる塩基性成分が使用中に減少し、現像処理の能力が劣化するなどという問題があった。この問題を解決するため、塩基性成分としてＫＯＨの代わりに炭酸ナトリウムと炭酸水素ナトリウムを用い、緩衝作用によって塩基性成分のアルカリ濃度を一定に保つことが開示されている。（特許文献２参照）
【０００７】
また、基板の大型化により、基板上に滞留する現像液量が相対的に増えたことに起因すると考えられる諸問題がクローズアップされてきた。その一つは、着色感光性組成物の現像処理により基板から剥がれた剥離片が、現像液槽内に浮遊し、基板上もしくは着色感光性組成物層の上に再付着して汚染する問題である。循環現像方式では現像タンクから配管に組み込まれた濾過フィルタを通過してシャワー部に現像液が送られるが、この濾過フイルタでは循環現像液に浮遊する微小な剥離片を完全には取り除けないことも原因のひとつであると考えられる。
また、未使用の新鮮な現像液と、現像に使用された現像液とでは、現像能力に差が生じ、これに起因するとみられる、基板の面内での現像ムラなども問題となる。
【０００８】
また、液晶表示装置のコントラストの向上、色再現性の向上のために、着色感光性組成物の着色剤として用いる顔料の粒子サイズは微細化され、また顔料濃度を上げることが求められている。着色感光性組成物に含まれる顔料を微細化し、且つ顔料濃度を上げようとすると、現像工程で着色画素のパターン周辺に基板上の残渣が発生しやすくなり、現像液の改良が求められていた。
【０００９】
これらの問題の解決するため、カスケード方式と呼ばれる現像液の使用方法も提案されている（特許文献３参照）が、工程の改造も必要であり、また問題点を十分に解決するには至っていない。上述した問題を解決する現像液の開発が市場から望まれていた。
【特許文献１】特開平７−１２０９３５号公報
【特許文献２】特開２００３−２１９１８号公報、
【特許文献３】特開２００７−１０２２４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、基板上に塗設された着色感光性組成物層の現像工程において、基板上、ブラックマトリックス上に着色感光性組成物の残渣が少なく、また大型基板でも面内での現像ムラがない現像液を提供しようとするものであり、生産性の良好な画像形成方法を提供しようとするものである。また着色感光性組成物に含まれる顔料が微細化されても、また顔料濃度が大きくなっても残渣発生の少ないカラーフィルタを提供しようとするものであり、コントラストが高く、且つ色再現性が良好な液晶表示装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、鋭意開発した結果、複数の特定構造の非イオン界面活性剤と、且つ水酸化カリウムを含む塩基性組成物と、を含むアルカリ現像液によって上記課題を解決することを見出した。以下に手段を具体的に述べる。
【００１２】
＜１＞  (A-1)ポリオキシアルキレンモノスチリルフェニルエーテルと、(A-2)ポリオキシアルキレンジスチリルフェニルエーテルとを、質量比［（A-1)／〔(A-1)＋(A-2)〕］０．２から０．９の範囲で含む（Ａ）非イオン性界面活性剤、及び、(B-1)水酸化カリウムを含む（Ｂ）塩基性組成物、を含有する着色感光性組成物用アルカリ現像液。
【００１３】
＜２＞  前記（Ａ）非イオン性界面活性剤が、さらに(A-3)ポリオキシアルキレントリスチリルフェニルエーテルを含み、その質量比［（A-3)／〔(A-1)＋(A-2)＋(A-3)〕］が０．０５から０．３５の範囲である＜１＞に記載の着色感光性組成物用アルカリ現像液。
＜３＞  前記(A-1)ポリオキシアルキレンモノスチリルフェニルエーテルにおけるポリオキシアルキレン基が、オキシエチレンの繰返し数を９〜１５の範囲で含む基である＜１＞、または＜２＞に記載の着色感光性組成物用アルカリ現像液。
＜４＞  前記(A-2)ポリオキシアルキレンジスチリルフェニルエーテルにおけるポリオキシアルキレン基が、オキシエチレンの繰返し数９〜１５の範囲で含む基である＜１＞〜＜３＞のいずれか１項に記載の着色感光性組成物用アルカリ現像液。
【００１４】
＜５＞  前記(A-3)ポリオキシアルキレントリスチリルフェニルエーテルにおけるポリオキシアルキレン基が、オキシエチレンの繰返し数９〜１５の範囲で含む基である＜２＞〜＜４＞のいずれか１項に記載の着色感光性組成物用アルカリ現像液。
＜６＞  （Ｂ）水酸化カリウムを含む塩基性組成物と、（Ａ）非イオン性界面活性剤の総和と、の質量比［（Ｂ）／（Ａ）］が、０．１５〜１．６の範囲である＜１＞〜＜５＞のいずれか１項に記載の着色感光性組成物用アルカリ現像液。
【００１５】
＜７＞  基板上に形成された着色感光性組成物層を、放射線をパターン状に露光し硬化させた後に、＜１＞〜＜６＞のいずれか１項に記載の着色感光性組成物用アルカリ現像液を用いて現像する画像形成方法。
＜８＞  ＜７＞に記載の着色感光性組成物用アルカリ現像液が、(B-1)水酸化カリウムを含む（Ｂ）塩基性組成物を０．０３〜０．０８質量％含有する着色感光性組成物用アルカリ現像液である画像形成方法。
【００１６】
＜９＞  基板上に、＜７＞または＜８＞に記載の画像形成方法により形成された着色パターンを備えるカラーフィルタ。
＜１０＞  ＜９＞に記載のカラーフィルタを用いた液晶表示装置。
【００１７】
本発明の作用として、着色感光性組成物には種々の材料が含まれ、それぞれの材料が分子量分布などを持っているため、アルカリ現像液の界面活性剤も、複数用いた方が効果的に、残渣など除去できるものと想像しているが、定かではない。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、基板上に塗設された着色感光性組成物層の現像工程において、基板上、ブラックマトリックス上に着色感光性組成物の残渣が少なく、また大型基板でも面内での現像ムラがない現像液を提供することができ、生産性の良好な画像形成方法を提供することができる。また着色感光性組成物に含まれる顔料が微細化されても、また顔料濃度が大きくなっても残渣発生の少ないカラーフィルタを提供することができ、コントラストが高く、且つ色再現性が良好な液晶表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、発明を実施するための最良の形態について詳細に説明する。
本発明は、(A-1)ポリオキシアルキレンモノスチリルフェニルエーテルと、(A-2)ポリオキシアルキレンジスチリルフェニルエーテルとを、(A-1)ポリオキシアルキレンモノスチリルフェニルエーテルの含有量を［(A-1)］、(A-2)ポリオキシアルキレンジスチリルフェニルエーテルの含有量を［(A-2)］としたときに、［(A-1)］と両者の総量［(A-1)＋(A-2)］との質量比［（A-1)／〔(A-1)＋(A-2)〕］が０．２から０．９となる範囲で含有する（Ａ）非イオン性界面活性剤と、(B-1)水酸化カリウムを含む（Ｂ）塩基性組成物を０．０３〜０．０８質量％含有する着色感光性組成物用アルカリ現像液によって構成される。以下各構成素材、最適な構成要素について説明する。
【００２０】
＜(A-1)ポリオキシアルキレンモノスチリルフェニルエーテル＞
(A-1)ポリオキシアルキレンモノスチリルフェニルエーテルの好ましいオキシアルキレン基はオキシエチレン基、オキシプロピレン基であり、オキシエチレン基とオキシプロピレン基の両方が同一分子内にあるものも好ましい。特に末端がオキシプロピレン基であると現像液の製造工程、および現像工程で発泡が抑制され好ましい。好ましくは、オキシエチレン基である。オキシアルキレン基の好ましい繰返し数は、平均値として９〜１５であり、より好ましくは１０〜１３である。この範囲を超えると、現像したときにパターンのカケが発生し、また現像液の粘度が高くなり、生産性が悪くなる。またこの範囲未満では、現像に要する時間が長くなり、また現像のラチチュードが狭くなるので好ましくない。
フェニル基の置換基であるスチリル基の位置は、フェニル基のｐ−位、ｏ−位、ｍ−位のいずれでも良い。
【００２１】
＜(A-2)ポリオキシアルキレンジスチリルフェニルエーテル＞
(A-2)ポリオキシアルキレンジスチリルフェニルエーテルの好ましいオキシアルキレン基はオキシエチレン基、オキシプロピレン基であり、オキシエチレン基とオキシプロピレン基の両方が同一分子内にあるものも好ましい。特に末端がオキシプロピレン基であると現像液の製造工程、および現像工程で発泡が抑制され好ましい。好ましくは、オキシエチレン基である。オキシアルキレン基の好ましい繰返し数は、平均値として９〜１５であり、より好ましくは１０〜１３である。この範囲を超えると、現像したときにパターンがカケが発生し、また現像液の粘度が高くなり、生産性が悪くなる。またこの範囲未満では、現像に要する時間が長くなり、また現像のラチチュードが狭くなるので好ましくない。
フェニル基の置換基であるスチリル基の位置は、フェニル基のｐ−位、ｏ−位、ｍ−位のいずれか２箇所であればよく、ｐ−位とｏ−位とでも、ｍ−位とｍ−位とでも良く、混合物でもよい。好ましくは、ｍ−位とｍ−位である。
【００２２】
（Ａ）非イオン界面活性剤中には、(A-1)ポリオキシアルキレンモノスチリルフェニルエーテルの含有量を［(A-1)］、(A-2)ポリオキシアルキレンジスチリルフェニルエーテルの含有量を［(A-2)］としたときに、［(A-1)］と両者の総量［(A-1)＋(A-2)］との組成比［（A-1)／〔(A-1)＋(A-2)〕］は質量換算で０．２から０．９の範囲であり、好ましくは０．３から０．７の範囲であり、より好ましくは０．４から０．６の範囲である。この範囲内であれば、ブラックマトリックス上の残渣除去性が良好であり好ましい。
【００２３】
なお、本発明で界面活性剤の質量比はクロマト法で求めたものであり、［（A-1)／〔(A-1)＋(A-2)〕］も、後述する［（A-3)／〔(A-1)＋(A-2)＋(A-3)〕］も下記に示す測定方法で得られた比を意味するものである。
機器：ＨＰＬＣ  東ソー（株）社製  型式：ＬＣ−８０２０
カラム：Ｄｅｖｅｌｏｓｉｌ  ＯＤＳ  ＨＧ−５  １５ｃｍ
溶離液：アセトニトリル／イオン交換水＝６５／３５（体積比）
流速：０．５ｍｌ／分
検出器：ＵＶ（波長：２５４ｎｍ）
【００２４】
＜(A-3)ポリオキシアルキレントリスチリルフェニルエーテル＞
本発明のアルカリ現像液には、さらに（Ａ）非イオン界面活性剤として(A-3)ポリオキシアルキレントリスチリルフェニルエーテルを含むことが好ましい。(A-3)ポリオキシアルキレントリスチリルフェニルエーテルを含むことによって、さらにパターンのアンダーカットが発生しにくく、パターン形状が良好となる。
【００２５】
(A-3)ポリオキシアルキレントリスチリルフェニルエーテルの好ましいオキシアルキレン基はオキシエチレン基、オキシプロピレン基であり、オキシエチレン基とオキシプロピレン基の両方が同一分子内にあるものも好ましい。特に末端がオキシプロピレン基であると現像液の製造工程、および現像工程で発泡が抑制され好ましい。好ましくは、オキシエチレン基である。オキシアルキレン基の好ましい繰返し数は、平均値として９〜１５であり、より好ましくは１０〜１３である。この範囲を超えると、現像したときにパターンがカケが発生し、また現像液の粘度が高くなり、生産性が悪くなる。またこの範囲未満では、現像に要する時間が長くなり、また現像のラチチュードが狭くなるので好ましくない。
フェニル基の置換基であるスチリル基の位置は、フェニル基のｐ−位、ｏ−位、ｍ−位のいずれか３箇所であれば良く、ｏ−位、ｏ−位、ｐ−位に置換されていることが好ましい。
【００２６】
(A-3)ポリオキシアルキレントリスチリルフェニルエーテルの含有量を［(A-3)]としたときに、(A-1)ポリオキシアルキレンモノスチリルフェニルエーテルと、(A-2)ポリオキシアルキレンジスチリルフェニルエーテルと、(A-3)ポリオキシアルキレントリスチリルフェニルエーテルと  の組成比[(A-3)／〔(A-1)＋(A-2)＋(A-3)〕]は質量換算で０．０５から０．３５の範囲であり、好ましくは０．０５から０．３５の範囲であり、より好ましくは０．０５から０．２の範囲である。この範囲内であれば、残渣がなく、またパターンの欠けも見られず好ましい。
【００２７】
＜（B-1)水酸化カリウムを含む（Ｂ）塩基性組成物＞
（B-1)水酸化カリウムを含む（Ｂ）塩基性組成物としては、(B-1)水酸化カリウムが質量で８０％以上含めばよく、好ましくは９０％以上１００％の範囲である。(B-1)水酸化カリウムの含有量がこれ未満では残渣の除去性が不十分となり好ましくない。
本発明の（B-1)水酸化カリウムを含む（Ｂ）塩基性組成物に含まれる水酸化カリウム以外の塩基性化合物としては、水酸化ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、などである。
【００２８】
本発明のアルカリ現像液は、現像工程で現像液として使用され前に水で希釈して用いることが好ましい。通常は現像液として使用される濃度の８０質量倍〜１２０質量倍の濃度のアルカリ現像液原液を用い現像工程に使用する前に水で希釈して用いる。
希釈する水としては、イオン交換水等が好ましい。
【００２９】
現像に使用するアルカリ現像液に含まれる塩基性組成物は、希釈後の液総量に対して０．０３〜０．０８質量％の範囲で含まれるのが好ましく、より好ましくは０．０４〜０．０７質量％の範囲であり、０．０４〜０．０６質量％含まれるのが最も好ましい。この範囲であると、残渣除去性が良好であり好ましい結果を得ることができる。
【００３０】
アルカリ現像液の原液を製造するときは、（Ｂ）水酸化カリウムを含む塩基性組成物は、予め水溶液にしておくことが好ましい。これは水酸化カリウムを含む塩基性組成物を固体で保管しておくと、空気中の炭酸ガス等の作用により変質したり、また空気中の水分を吸って潮解したりして、含有量の管理が困難になるためである。
塩基性組成物の水溶液の製造、および現像液の原液の製造に用いる水は、イオン交換水等が好ましい。
【００３１】
本発明では、（B-1)水酸化カリウムを含む（Ｂ）塩基性組成物と、（Ａ）非イオン性界面活性剤の総和と、の組成比［（Ｂ）／（Ａ）］が質量換算で、０．１５〜１．６の範囲であることが好ましく、１／５〜７／８の範囲であることがより好ましく、１／３〜５．５／９の範囲であることが最も好ましい。この範囲とすることによって現像での残渣が少なく、また現像での欠けが生じない良好な現像ラチチュードが確保できる。
【００３２】
＜その他の成分＞
本発明では、アルカリ現像液の保存安定性、処理時の変質防止、残渣の再付着防止の目的で、以下のものを添加してもよい。
キレート剤（ＥＤＴＡ二ナトリウム塩、ＥＤＴＡ四ナトリウム塩、ＥＧＴＡなど）は０．１〜０．５質量％の範囲で添加することができる。
ポリマー（ポリビニルピロリドン、メチルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、ゼラチン、アガロースなど）は０．１〜０．５質量％の範囲で添加することができる。
消泡剤（信越化学工業製  シリコーンオイルＫＳ−５０２、楠本化成製  ＯＸ−６６、ＯＸ−７１５、ＯＸ−１９３０Ｎ、１９３４、丸善薬品化学製  アンチックス＃１００など）は、０．０１〜０．１質量％の範囲で添加することができる。その他の消泡剤としては市販されているノニオン系、シリコン系の消泡剤も使用することができる。
【００３３】
次に本発明で好適な現像方法について説明する。着色硬化性組成物、塗布、プリベーク処理、露光処理については、詳細は後述する。
着色硬化性組成物を基板上に塗設し、該基板をプリベーク処理した後、着色硬化性組成物層を設けた基板は、紫外線等の放射線を照射によってパターン状に露光される。露光工程の後に現像処理をしてリンスすることによって着色硬化性組成物層はパターン状に成形される。着色硬化性組成物は後述するように露光された部分が硬化し、現像工程でアルカリ現像液には溶解せず、未露光部はアルカリ現像液に溶解もしくは基板から剥離してパターンが成形される。
【００３４】
露光後の現像工程としては、シャワーノズルを用いてアルカリ現像液を着色硬化性組成物層に噴霧する方法が一般的であるが、他に現像液の供給ノズルを揺動させたり、超音波を使用したり、パドル型（最初にノズル等でアルカリ現像液で湿した後、着色硬化性組成物層を一定時間膨潤させた後に、シャワーノズルを用いてアルカリ現像液を噴霧し、膨潤した非画素部分を除去する）などの方法も採用でき、あるいは２種以上の方法を併用したりして行われる。シャワーで噴霧させるときのシャワーの圧力としては、０．０５ＭＰａ〜０．５ＭＰａの範囲が好ましく、より好ましくは０．１ＭＰａ〜０．１５ＭＰａの範囲である。この圧力はノズルに供給されるアルカリ現像液を配管とノズルとの接触部において圧力計によって測定できる。
【００３５】
現像装置としては、現像液を基板の搬送方向に対し向流で現像液を供給したり、基板を傾斜させてアルカリ現像液を供給したりするなど、現像液を省液する方法が考案されており、本発明に使用できる。向流で現像液を供給する方式は、カスケード方式と呼ばれ、現像液をまず現像工程の一番出口側（現像工程の終端部）のシャワーに供給され、基板に噴霧されて現像処理に供される。現像工程の終端部で使用された現像液は、回収されて終端部の一つ手前のシャワーに供給されて、現像処理に使用される。これを回収した現像液は、また一つ手前のシャワーに供給される。一番入口側（現像工程の開始部）のシャワーに供給した現像液は排出される、という方式である。この方式では、常に未使用の新鮮な現像液が供給され、常に同じ処理性が得られる。実際の製造ラインでは、構造を簡略化するために、現像工程の出口側には新鮮な現像液を供給し、入口側には使用した現像液を供給するような変形のカスケード方式もある。
【００３６】
カスケード方式と呼ばれる現像液の使用方法を採用した現像装置では、循環現像方式を採用した現像装置に比べ、現像液は希薄なものが使用される。その理由は、カスケード型では次々に現像液を新鮮な現像液タンク槽から送り込まれ、使用した現像液タンクを経て排出されていくため、排出量が桁違いに多いことによる。このように排出量は多いが、常に新鮮な現像液が供給されることから、現像液そのものにはｐＨ緩衝能など無くとも安定したｐＨが得られると考えられる。
【００３７】
また現像の均一性を得るため、現像工程の入口部で着色硬化性組成物層に水を付与しておき、現像液に表面が濡れやすいようにしておくこと（湿し水の機能）や、現像工程の出口部（即ち、リンスの入口部）で圧力の高い水と接触させることによって、進行中の現像を瞬時に停止させる工夫もされている。これらの工程上の工夫は本発明の効果をさらに高める役割を果たすので好ましい態様である。
【００３８】
＜着色感光性組成物＞
本発明の現像液は、着色感光性組成物のパターン形成における現像工程に好適に用いられる。
着色感光性組成物は、顔料、アルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤、および溶剤から主として構成される。
【００３９】
カラーフィルタは黒色のブラックマトリックス、赤色画素、緑色画素、青色画素などの着色画素で通常は構成されており、基板上に各色を順次塗設、露光、現像、水洗、乾燥、加熱処理を繰り返してフォトリソ法で画素を形成し、カラーフィルタが製造される。本発明のアルカリ現像液は、赤色画素、緑色画素、青色画素だけでなく、黒色のブラックマトリックスの形成にも用いられる。
また、本発明のアルカリ現像液は、アレイ基板とカラーフィルタ基板との間隙を一定に保つためのフォトスペーサーの形成、層間絶縁膜の形成、配向性制御用の突起物形成などフォトリソ法で形成される構造物の形成にも使用可能である。
【００４０】
本発明は、上記したように着色感光性組成物を用いたパターン形状の成形に有用であるが、特に着色画素の形成に効果を発揮する。その中でも特に、テレビ、モニター用などに用いられる高色再現性を必要とするカラーフィルタを成形するために、固形分中の顔料分（以下、顔料濃度と称する）が高い着色感光性組成物を用いても、基板上および着色画素上に、残渣、汚れ、異物などがないカラーフィルタを製造することができる。顔料濃度が高くなると、塗設した着色感光性組成物の非露光部が、アルカリ現像液に溶解しにくくなるが、本発明のアルカリ現像液を用いることによって、基板上および着色画素上に、残渣、汚れ、異物などがないカラーフィルタを製造することができるのである。
【００４１】
以下に、本発明に好適な着色感光性組成物について各構成素材、最適な構成要素について説明する。
（顔料）
着色感光性組成物に用いることができる顔料としては、従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を用いることができる。また、必要によって染料を顔料に併用することが可能である。
顔料は、無機顔料または有機顔料を問わず、高透過率であることが好ましいことを考慮すると、できるだけ粒子径が小さく微少な粒子サイズの顔料を使用することが好ましく、ハンドリング性をも考慮すると、好ましくは平均一次粒子径０．０１〜０．３μｍ、より好ましくは０．０１〜０．１５μｍの顔料である。該粒径が前記範囲内であると、透過率が高く、色特性が良好であると共に、高いコントラストのカラーフィルタを形成するのに有効である。
【００４２】
前記無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で示される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、及び前記金属の複合酸化物を挙げることができる。
【００４３】
前記有機顔料としては、例えば、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  1、２、３、４、５、６、７、９、１０、１４、１７、２２、２３、３１、３８、４１、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９、４９：１、４９：２、５２：１、５２：２、５３：１、５７：１、６０：１、６３：１、６６、６７、８１：１、８１：２、８１：３、８３、８８、９０、１０５、１１２、１１９、１２２、１２３、１４４、１４６、１４９、１５０、１５５、１６６、１６８、１６９、１７０、１７１、１７２、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８４、１８５、１８７、１８８、１９０、２００、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１０、２１６、２２０、２２４、２２６、２４２、２４６、２５４、２５５、２６４、２７０、２７２、２７９、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １、２、３、４、５、６、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、２０、２４、３１、３２、３４、３５、３５：１、３６、３６：１、３７、３７：１、４０、４２、４３、５３、５５、６０、６１、６２、６３、６５、７３、７４、７７、８１、８３、８６、９３、９４、９５、９７、９８、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１５、１１６、１１７、１１８、１１９、１２０、１２３、１２５、１２６、１２７、１２８、１２９、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６１、１６２、１６４、１６６、１６７、１６８、１６９、１７０、１７１、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７９、１８０、１８１、１８２、１８５、１８７、１８８、１９３、１９４、１９９、２１３、２１４
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ２、５、１３、１６、１７：１、３１、３４、３６、３８、４３、４６、４８、４９、５１、５２、５５、５９、６０、６１、６２、６４、７１、７３
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７、１０、３６、３７
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １、２、１５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、１６、２２、６０、６４、６６、７９、７９のＣｌ置換基をＯＨに変更したもの、８０
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １、１９、２３、２７、３２、３７、４２
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｒｏｗｎ  ２５、２８  等を挙げることができる。
【００４４】
これらの中で好ましく用いることができる顔料として、以下のものを挙げることができる。但し、本発明においてはこれらに限定されるものではない。
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １１，２４，１０８，１０９，１１０，１３８，１３９，１５０，１５１，１５４，１６７，１８０，１８５，
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ３６，７１，
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １２２，１５０，１７１，１７５，１７７，２０９，２２４，２４２，２５４，２５５，２６４，
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １９，２３，３２，
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：１，１５：３，１５：６，１６，２２，６０，６６，
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７，３６，３７；
【００４５】
本発明において、必要に応じて、微細でかつ整粒化された有機顔料を用いることができる。顔料の微細化は、顔料と水溶性有機溶剤と水溶性無機塩類と共に高粘度な液状組成物として、摩砕する工程である。
【００４６】
水溶性有機溶剤としては、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ｎ−プロパノール、イソブタノール、ｎ−ブタノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテール、ジエチレングリコールモノエチルエーテール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコール、プロピレンゴリコールモノメチルエーテルアセテート等を挙げることができる。しかし少量用いることで顔料に吸着して、廃水中に流失しないならばベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、クロロベンゼン、ニトロベンゼン、アニリン、ピリジン、キノリン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸ブチル、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、シクロヘキサン、メチルシクロヘササン、ハロゲン化炭化水素、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、Ｎ−メチルピロリドン等を用いても良く、また必要に応じて２種類以上の溶剤を混合して使用してもよい。
【００４７】
本発明において水溶性無機塩としては、塩化ナトリウム、塩化カリウム、塩化カルシウム、塩化バリウム、硫酸ナトリウム等が挙げられる。
【００４８】
水溶性無機塩の使用量は顔料の１〜５０倍質量であり、多い方が摩砕効果はあるが、より好ましい量は生産性の点で１〜１０倍質量で、さらに水分が１％以下であることが好ましい。
水溶性有機溶剤の使用量は、顔料に対して５０質量％から３００質量％の範囲であり、好ましくは１００質量％から２００質量％の範囲である。湿式粉砕装置の運転条件については特に制限はないが粉砕メディアによる磨砕を効果的に進行させるため、装置がニーダーの場合の運転条件は、装置内のブレードの回転数は、１０〜２００ｒｐｍが好ましく、また２軸の回転比が相対的に大きい方が摩砕効果が大きく好ましい。運転時間は乾式粉砕時間と併せて１時間〜８時間が好ましく、装置の内温は５０〜１５０℃が好ましい。また粉砕メディアである水溶性無機塩は粉砕粒度が５〜５０μｍで粒子径の分布がシャープで、且つ球形が好ましい。
【００４９】
これら有機顔料は、単独もしくは色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。上記組合せの具体例を以下に示すが、これに限定されるものではない。
例えば、赤の顔料として、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料単独又はそれらの少なくとも１種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料又はペリレン系赤色顔料、アントラキノン系赤色顔料、ジケトピロロピロール系赤色顔料と、の混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７が挙げられ、ペリレン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２２４が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４が挙げられ、色再現性の点でＣ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４と、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０及びＣ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７の１種または２種との混合が好ましい。また、赤色顔料と他顔料との質量比は、１００：５〜１００：８０が好ましい。１００：４以下では４００ｎｍから５００ｎｍの光透過率を抑えることが困難で色純度を上げることが出来ない場合がある。また１００：８１以上では発色力が下がる場合がある。特に、上記質量比としては、１００：１０〜１００：６５の範囲が最適である。尚、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整することができる。
【００５０】
また、緑の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を１種単独で又は、これとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料若しくはイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。例えば、このような例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６と、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１８０又はＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１８５との混合が好ましい。緑顔料と黄色顔料との質量比は、１００：５〜１００：２００が好ましい。上記質量比が１００：５未満では４００〜４５０ｎｍの光透過率を抑えることが困難となり色純度を上げることができない場合がある。また１００：２００を越えると主波長が長波長寄りになりＮＴＳＣ目標色相からのずれが大きくなる場合がある。上記質量比としては１００：２０〜１００：１５０の範囲が特に好ましい。
【００５１】
青の顔料としては、フタロシアニン系顔料を１種単独で、若しくはこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。特に好適な例として、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６とＣ．Ｉ．ピグメント・バイオレット２３との混合を挙げることができる。
青色顔料と紫色顔料との質量比は、１００：０〜１００：１００が好ましく、より好ましくは１００：７０以下である。
【００５２】
また、ブラックマトリックス用途に好適な顔料としては、カーボンブラック、グラファイト、チタンブラック、酸化鉄、酸化チタン単独又は混合を用いることができ、カーボンブラックとチタンブラックとの組合せが好ましい。
また、カーボンブラックとチタンブラックとの質量比は、１００：０〜１００：６０の範囲が好ましい。１００：６１以上では、分散安定性が低下する場合がある。
【００５３】
本発明において、着色剤として顔料に併用可能な染料としては、特に制限はなく、従来カラーフィルタ用途として用いられている公知の染料を使用できる。例えば、特開昭６４−９０４０３号公報、特開昭６４−９１１０２号公報、特開平１−９４３０１号公報、特開平６−１１６１４号公報、特登２５９２２０７号、米国特許第４，８０８，５０１号明細書、米国特許第５，６６７，９２０号明細書、米国特許第５，０５９，５００号明細書、特開平５−３３３２０７号公報、特開平６−３５１８３号公報、特開平６−５１１１５号公報、特開平６−１９４８２８号公報、特開平８−２１１５９９号公報、特開平４−２４９５４９号公報、特開平１０−１２３３１６号公報、特開平１１−３０２２８３号公報、特開平７−２８６１０７号公報、特開２００１−４８２３号公報、特開平８−１５５２２号公報、特開平８−２９７７１号公報、特開平８−１４６２１５号公報、特開平１１−３４３４３７号公報、特開平８−６２４１６号公報、特開２００２−１４２２０号公報、特開２００２−１４２２１号公報、特開２００２−１４２２２号公報、特開２００２−１４２２３号公報、特開平８−３０２２２４号公報、特開平８−７３７５８号公報、特開平８−１７９１２０号公報、特開平８−１５１５３１号公報等に記載の色素である。
化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ペンゾピラン系、インジゴ系等の染料が使用できる。
【００５４】
着色感光性組成物中における顔料の含有量としては、該組成物の全固形分（質量）に対して、２０〜６０質量％であり、３０〜５０質量％がより好ましい。顔料の含有量が前記範囲内であると、色濃度が充分で優れた色特性を確保するのに有効である。
【００５５】
特に顔料として有機顔料を用い、且つ顔料の微細化工程あるいは分散工程で、顔料を高分子化合物で被覆したものを用いることもできる。顔料を高分子化合物で被覆することによって微細化された顔料においても、２次凝集体の形成が抑制され、１次粒子の状態で分散させることができる。
【００５６】
顔料の微細化は、具体的には、ｉ）顔料と、ｉｉ）水溶性の無機塩と、ｉｉｉ）実質的にｉｉ）を溶解しない少量の水溶性の有機溶剤、および必要によってｉｖ）分散剤を加え、ニーダー等で機械的に混練する工程（ソルトミリング工程と称する）、この混合物を水中に投入し、ハイスピードミキサー等で撹拌しスラリー状とする工程、及び、このスラリーを濾過、水洗して必要により乾燥する工程を経て実施される。
【００５７】
上記したソルトミリングについて、さらに具体的に説明する。まず、ｉ）有機顔料とｉｉ）水溶性の無機塩の混合物に、湿潤剤として少量のｉｉｉ）水溶性の有機溶剤を加え，ニーダー等で強く練り込んだ後，この混合物を水中に投入し，ハイスピードミキサー等で攪拌しスラリー状とする。次に，このスラリーを濾過，水洗して必要により乾燥することにより，微細化された顔料が得られる。なお，油性のワニスに分散して用いる場合には，乾燥前の処理顔料（濾過ケーキと呼ぶ）を一般にフラッシングと呼ばれる方法で，水を除去しながら油性のワニスに分散することも可能である。また水系のワニスに分散する場合は，処理顔料は乾燥する必要がなく，濾過ケーキをそのままワニスに分散することができる。
【００５８】
なお、ｉｖ）分散剤を加えるタイミングは、ソルトミリング工程の初期にすべてを添加してもよく、分割して添加してもよい。また分散工程で添加することも可能である。上記ｉｖ）分散剤は顔料への吸着性基を有するものなら何でもよい。この分散剤の含有により、顔料の分散性を向上させることができる。
分散剤としては、例えば、公知の顔料分散剤や界面活性剤を適宜選択して用いることができる。
【００５９】
具体的には、例えば、オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフローＮｏ．７５、Ｎｏ．９０、Ｎｏ．９５（共栄社化学工業（株）製）、Ｗ００１（裕商（株）社製）等のカチオン系界面活性剤；ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤；Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商（株）社製）等のアニオン系界面活性剤；ＥＦＫＡ−４６、ＥＦＫＡ−４７、ＥＦＫＡ−４７ＥＡ、ＥＦＫＡポリマー１００、ＥＦＫＡポリマー４００、ＥＦＫＡポリマー４０１、ＥＦＫＡポリマー４５０（いずれもチバ・スペシャルテイケミカル社製）、ディスパースエイド６、ディスパースエイド８、ディスパースエイド１５、ディスパースエイド９１００（いずれもサンノプコ社製）等の高分子分散剤；ソルスパース３０００、５０００、９０００、１２０００、１３２４０、１３９４０、１７０００、２４０００、２６０００、２８０００などの各種ソルスパース分散剤（日本ルーブリゾール（株）社製）；アデカプルロニックＬ３１，Ｆ３８，Ｌ４２，Ｌ４４，Ｌ６１，Ｌ６４，Ｆ６８，Ｌ７２，Ｐ９５，Ｆ７７、Ｐ８４、Ｆ８７、Ｐ９４，Ｌ１０１，Ｐ１０３，Ｆ１０８、Ｌ１２１、Ｐ−１２３（旭電化（株）製）及びイソネットＳ−２０（三洋化成（株）製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ  １０１，１０３，１０６，１０８，１０９，１１１，１１２，１１６，１３０，１４０，１４２，１６２，１６３，１６４，１６６，１６７，１７０，１７１，１７４，１７６，１８０，１８２，２０００，２００１，２０５０，２１５０（ビックケミー（株）社製）が挙げられる。その他、アクリル系共重合体など、分子末端もしくは側鎖に極性基を有するオリゴマーもしくはポリマーが挙げられる。
【００６０】
上記の顔料、分散剤、および溶剤、必要によってはさらに顔料誘導体、およびアルカリ可溶性樹脂を添加して顔料分散組成物を調製する。
分散剤の顔料分散組成物中における含有量としては、既述の顔料の質量に対して、１〜１００質量％が好ましく、３〜７０質量％がより好ましい。
【００６１】
上記した顔料分散組成物は、必要に応じて、顔料誘導体が添加される。分散剤と親和性のある部分、あるいは極性基を導入した顔料誘導体を顔料表面に吸着させ、これを分散剤の吸着点として用いることで、顔料を微細な粒子として硬化性組成物中に分散させ、その再凝集を防止することができ、コントラストが高く、透明性に優れたカラーフィルタを構成するのに有効である。
【００６２】
顔料誘導体は、具体的には有機顔料を母体骨格とし、側鎖に酸性基や塩基性基、芳香族基を置換基として導入した化合物である。有機顔料は、具体的には、キナクリドン系顔料、フタロシアニン系顔料、アゾ系顔料、キノフタロン系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノリン顔料、ジケトピロロピロール顔料、ベンゾイミダゾロン顔料等が挙げられる。一般に、色素と呼ばれていないナフタレン系、アントラキノン系、トリアジン系、キノリン系等の淡黄色の芳香族多環化合物も含まれる。色素誘導体としては、特開平１１−４９９７４号公報、特開平１１−１８９７３２号公報、特開平１０−２４５５０１号公報、特開２００６−２６５５２８号公報、特開平８−２９５８１０号公報、特開平１１−１９９７９６号公報、特開２００５−２３４４７８号公報、特開２００３−２４０９３８号公報、特開２００１−３５６２１０号公報等に記載されているものを使用できる。
【００６３】
本発明に使用される顔料誘導体の顔料分散組成物中における含有量としては、顔料の質量に対して、１〜３０質量％が好ましく、３〜２０質量％がより好ましい。該含有量が前記範囲内であると、粘度を低く抑えながら、分散を良好に行なえると共に分散後の分散安定性を向上させることができ、透過率が高く優れた色特性が得られ、カラーフィルタを作製するときには良好な色特性を有する高コントラストに構成することができる。
【００６４】
分散の方法は、例えば、顔料と分散剤を予め混合してホモジナイザー等で予め分散しておいたものを、ジルコニアビーズ等を用いたビーズ分散機等を用いて微分散させることによって行なえる。
【００６５】
（アルカリ可溶性樹脂）
アルカリ可溶性樹脂としては、線状有機高分子重合体であって、分子（好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子）中に少なくとも１つのアルカリ可溶性を促進する基（例えばカルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基など）を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。このうち、更に好ましくは、有機溶剤に可溶で弱アルカリ水溶液により現像可能なものである。
【００６６】
アルカリ可溶性樹脂の製造には、例えば公知のラジカル重合法による方法を適用することができる。ラジカル重合法でアルカリ可溶性樹脂を製造する際の温度、圧力、ラジカル開始剤の種類及びその量、溶媒の種類等々の重合条件は、当業者において容易に設定可能であり、実験的に条件を定めるようにすることもできる。
【００６７】
上記の線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマーが好ましい。例えば特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９−７１０４８号の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等、並びに側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等であり、さらに側鎖に（メタ）アクリロイル基を有する高分子重合体も好ましいものとして挙げられる。
【００６８】
これらの中では特に、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体やベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／他のモノマーからなる多元共重合体が好適である。
このほか、２−ヒドロキシエチルメタクリレートを共重合したもの等も有用なものとして挙げられる。該ポリマーは任意の量で混合して用いることができる。
【００６９】
上記以外に、特開平７−１４０６５４号公報に記載の、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクレート／メタクリル酸共重合体などが挙げられる。
【００７０】
アルカリ可溶性樹脂の具体的な構成単位については、特に（メタ）アクリル酸と、これと共重合可能な他の単量体との共重合体が好適である。ここで（メタ）アクリル酸はアクリル酸とメタクリル酸を合わせた総称であり、以下も同様に（メタ）アクリレートはアクリレートとメタクリレートの総称である。
【００７１】
前記（メタ）アクリル酸と共重合可能な他の単量体としては、アルキル（メタ）アクリレート、アリール（メタ）アクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。ここで、アルキル基及びアリール基の水素原子は、置換基で置換されていてもよい。
前記アルキル（メタ）アクリレート及びアリール（メタ）アクリレートの具体例としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、トリル（メタ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート等を挙げることができる。
【００７２】
また、前記ビニル化合物としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、グリシジルメタクリレート、アクリロニトリル、ビニルアセテート、Ｎ−ビニルピロリドン、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー、ＣＨ２＝ＣＲ１１Ｒ１２、ＣＨ２＝Ｃ(Ｒ１１)(ＣＯＯＲ１３)〔ここで、Ｒ１１は水素原子又は炭素数１〜５のアルキル基を表し、Ｒ１２は炭素数６〜１０の芳香族炭化水素環を表し、Ｒ１３は炭素数１〜８のアルキル基又は炭素数６〜１２のアラルキル基を表す。〕、等を挙げることができる。
【００７３】
これら共重合可能な他の単量体は、１種単独であるいは２種以上を組み合わせて用いることができる。好ましい共重合可能な他の単量体は、ＣＨ２＝ＣＲ１１Ｒ１２、ＣＨ２＝Ｃ(Ｒ１１)(ＣＯＯＲ１３)、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート及びスチレンから選択される少なくとも１種であり、特に好ましくは、ＣＨ２＝ＣＲ１１Ｒ１２、ＣＨ２＝Ｃ(Ｒ１１)(ＣＯＯＲ１３)である。
【００７４】
アルカリ可溶性樹脂の着色感光性組成物中における含有量としては、該組成物の全固形分に対して、１〜２０質量％が好ましく、より好ましくは、２〜１８質量％であり、特に好ましくは、３〜１５質量％である。
【００７５】
（光重合性化合物）
光重合性化合物としては、少なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で１００℃以上である化合物が好ましく、中でも４官能以上のアクリレート化合物がより好ましい。
【００７６】
前記少なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で１００℃以上である化合物としては、例えば、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート等の単官能のアクリレートやメタアクリレート；ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオール（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエチル）イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレート化したもの、ペンタエリスリトール又はジペンタエリスリトールのポリ（メタ）アクリレート化したもの、特公昭４８−４１７０８号、特公昭５０−６０３４号、特開昭５１−３７１９３号公報に記載のウレタンアクリレート類、特開昭４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公昭５２−３０４９０号公報に記載のポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートを挙げることができる。
更に、日本接着協会誌Ｖｏｌ．２０、Ｎｏ.７、３００〜３０８頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用できる。
【００７７】
また、特開平１０−６２９８６号公報において一般式（１）及び（２）としてその具体例と共に記載の、前記多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後に（メタ）アクリレート化した化合物も用いることができる。
【００７８】
中でも、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、及びこれらのアクリロイル基がエチレングリコール、プロピレングリコール残基を介している構造が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。
また、特公昭４８−４１７０８号、特開昭５１−３７１９３号、特公平２−３２２９３号、特公平２−１６７６５号に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭５８−４９８６０号、特公昭５６−１７６５４号、特公昭６２−３９４１７号、特公昭６２−３９４１８号記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。更に、特開昭６３−２７７６５３号、特開昭６３−２６０９０９号、特開平１−１０５２３８号に記載される、分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることによっては、非常に感光スピードに優れた光重合性組成物を得ることができる。市販品としては、ウレタンオリゴマーＵＡＳ−１０、ＵＡＢ−１４０（山陽国策パルプ社製）、ＵＡ−７２００」(新中村化学社製、ＤＰＨＡ−４０Ｈ（日本化薬社製）、ＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ、ＡＨ−６００、Ｔ−６００、ＡＩ−６００（共栄社製）などが挙げられる。
また、酸基を有するエチレン性不飽和化合物類も好適であり、市販品としては、例えば、東亞合成株式会社製のカルボキシル基含有３官能アクリレートであるＴＯ−７５６、及びカルボキシル基含有５官能アクリレートであるＴＯ−１３８２などが挙げられる。
【００７９】
光重合性化合物は、１種単独で用いる以外に、２種以上を組み合わせて用いることができる。光重合性化合物の着色感光性組成物中における含有量としては、該組成物の全固形分１００質量部に対して、３〜５５質量部が好ましく、より好ましくは１０〜５０質量部である。光重合性化合物の含有量が前記範囲内であると、硬化反応が充分に行なえる。
【００８０】
（光重合開始剤）
光重合開始剤としては、例えば、特開平５７−６０９６号公報に記載のハロメチルオキサジアゾール、特公昭５９−１２８１号公報、特開昭５３−１３３４２８号公報等に記載のハロメチル−ｓ−トリアジン等活性ハロゲン化合物、米国特許第４３１８７９１号明細書、欧州特許出願公開第８８０５０号明細書等の各明細書に記載のケタール、アセタール、又はベンゾインアルキルエーテル類等の芳香族カルボニル化合物、米国特許第４１９９４２０号明細書に記載のベンゾフェノン類等の芳香族ケトン化合物、仏国特許発明２４５６７４１号明細書に記載の（チオ）キサントン系又はアクリジン系化合物、特開平１０−６２９８６号公報に記載のクマリン系又はビイミダゾール系の化合物、特開平８−０１５５２１号公報等のスルホニウム有機硼素錯体等、等を挙げることができる。
【００８１】
前記光重合開始剤としては、アセトフェノン系、ケタール系、ベンゾフェノン系、ベンゾイン系、ベンゾイル系、キサントン系、活性ハロゲン化合物（トリアジン系、ハロメチルオキサジアゾール系、クマリン系）、アクリジン類系、ビイミダゾール系、オキシムエステル系等が好ましい。
【００８２】
前記アセトフェノン系光重合開始剤としては、例えば、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、４’−イソプロピル−２−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオフェノン，１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２−トリル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパノン−１などを好適に挙げることができる。
【００８３】
前記ケタール系光重合開始剤としては、例えば、ベンジルジメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルアセタールなどを好適に挙げることができる。
【００８４】
前記ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、４，４’−（ビスジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−（ビスジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ジクロロベンゾフェノン等を好適に挙げることができる。
【００８５】
前記ベンゾイン系又はベンゾイル系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインイソプロピルエーテル、ゼンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインメチルエーテル、メチルｏ−ベンゾイルベゾエート等を好適に挙げることができる。
【００８６】
前記キサントン系光重合開始剤としては、例えば、ジエチルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントン、モノイソプロピルチオキサントン、クロロチオキサントン、等を好適に挙げることができる。
【００８７】
前記活性ハロゲン光重合開始剤（トリアジン系，オキサジアゾール系，クマリン系）としては、例えば、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ｐ−メトキシフェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（１−ｐ−ジメチルアミノフェニル）−１，３−ブタジエニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ビフェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（ｐ−メチルビフェニル）−ｓ−トリアジン、ｐ−ヒドロキシエトキシスチリル−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、メトキシスチリル−２，６−ジ（トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、３，４−ジメトキシスチリル−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−ベンズオキソラン−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−（ジエトキシカルボニルアミノ）−フェニル）−２，６−ジ（クロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ，Ｎ−（ジエトキシカルボニルアミノ）−フェニル）−２，６−ジ（クロロメチル）−ｓ−トリアジン，２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（シアノスチリル）−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ナフト−１−イル）−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−スチリル）スチリル−１，３，４−オキソジアゾール，３−メチル−５−アミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン、３−クロロ−５−ジエチルアミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン、３−ブチル−５−ジメチルアミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン等を好適に挙げることができる。
【００８８】
前記アクリジン系光重合開始剤としては、例えば、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９−アクリジニル）ヘプタン等を好適に挙げることができる。
【００８９】
前記ビイミダゾール系光重合開始剤としては、例えば、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体等を好適に挙げることができる。
【００９０】
上記以外に、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、Ｏ−ベンゾイル−４’−（ベンズメルカプト）ベンゾイル−ヘキシル−ケトキシム、２，４，６−トリメチルフェニルカルボニル−ジフェニルフォスフォニルオキサイド、ヘキサフルオロフォスフォロ−トリアルキルフェニルホスホニウム塩等が挙げられる。
【００９１】
本発明では、以上の光重合開始剤に限定されるものではなく、他の公知のものも使用することができる。例えば、米国特許第２，３６７，６６０号明細書に記載のビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第２，３６７，６６１号及び第２，３６７，６７０号明細書に記載のα−カルボニル化合物、米国特許第２，４４８，８２８号明細書に記載のアシロインエーテル、米国特許第２，７２２，５１２号明細書に記載のα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第３，０４６，１２７号及び第２，９５１，７５８号明細書に記載の多核キノン化合物、米国特許第３，５４９，３６７号明細書に記載のトリアリルイミダゾールダイマー／ｐ−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭５１−４８５１６号公報に記載のベンゾチアゾール系化合物／トリハロメチール−ｓ−トリアジン系化合物、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ（１９７９）１６５３−１６６０、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ（１９７９）１５６−１６２、Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  ａｎｄ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５）２０２−２３２、特開２０００−６６３８５号公報記載のオキシムエステル化合物等が挙げられる。
また、これらの光重合開始剤を併用することもできる。
【００９２】
光重合開始剤の着色感光性組成物中における含有量としては、該組成物の全固形分に対して、０．１〜１０．０質量％が好ましく、より好ましくは０．５〜５．０質量％である。光重合開始剤の含有量が前記範囲内であると、重合反応を良好に進行させて強度の良好な膜形成が可能である。
【００９３】
−増感色素−
本発明において必要に応じて増感色素を添加することが好ましい。この増感色素が吸収しうる波長の露光により上記重合開始剤成分のラジカル発生反応や、それによる重合性化合物の重合反応が促進されるものである。このような増感色素としては、公知の分光増感色素又は染料、又は光を吸収して光重合開始剤と相互作用する染料又は顔料が挙げられる。
【００９４】
（分光増感色素又は染料）
本発明に用いられる増感色素として好ましい分光増感色素又は染料は、多核芳香族類（例えば、ピレン、ペリレン、トリフェニレン）、キサンテン類（例えば、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンＢ、ローズベンガル）、シアニン類（例えば、チアカルボシアニン、オキサカルボシアニン）、メロシアニン類（例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン）、チアジン類（例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー）、アクリジン類（例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン）、フタロシアニン類（例えば、フタロシアニン、メタルフタロシアニン）、ポルフィリン類（例えば、テトラフェニルポルフィリン、中心金属置換ポルフィリン）、クロロフィル類（例えば、クロロフィル、クロロフィリン、中心金属置換クロロフィル）、金属錯体、アントラキノン類、（例えば、アントラキノン）、スクアリウム類（例えば、スクアリウム）、等が挙げられる。
【００９５】
より好ましい分光増感色素又は染料の例を以下に例示する。
特公平３７−１３０３４号公報に記載のスチリル系色素；特開昭６２−１４３０４４号公報に記載の陽イオン染料；特公昭５９−２４１４７号公報記載のキノキサリニウム塩；特開昭６４−３３１０４号公報記載の新メチレンブルー化合物；特開昭６４−５６７６７号公報記載のアントラキノン類；特開平２−１７１４号公報記載のベンゾキサンテン染料；特開平２−２２６１４８号公報及び特開平２−２２６１４９号公報記載のアクリジン類；特公昭４０−２８４９９号公報記載のピリリウム塩類；特公昭４６−４２３６３号公報記載のシアニン類；特開平２−６３０５３号記載のベンゾフラン色素；特開平２−８５８５８号公報、特開平２−２１６１５４号公報の共役ケトン色素；特開昭５７−１０６０５号公報記載の色素；特公平２−３０３２１号公報記載のアゾシンナミリデン誘導体；特開平１−２８７１０５号公報記載のシアニン系色素；特開昭６２−３１８４４号公報、特開昭６２−３１８４８号公報、特開昭６２−１４３０４３号公報記載のキサンテン系色素；特公昭５９−２８３２５号公報記載のアミノスチリルケトン；特開平２−１７９６４３号公報記載の色素；特開平２−２４４０５０号公報記載のメロシアニン色素；特公昭５９−２８３２６号公報記載のメロシアニン色素；特開昭５９−８９３０３号公報記載のメロシアニン色素；特開平８−１２９２５７号公報記載のメロシアニン色素；特開平８−３３４８９７号公報記載のベンゾピラン系色素が挙げられる。
【００９６】
（３５０〜４５０ｎｍに極大吸収波長を有する色素）
増感色素の他の好ましい態様として、以下の化合物群に属しており、且つ、３５０〜４５０ｎｍに極大吸収波長を有する色素が挙げられる。
例えば、多核芳香族類（例えば、ピレン、ペリレン、トリフェニレン）、キサンテン類（例えば、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンＢ、ローズベンガル）、シアニン類（例えばチアカルボシアニン、オキサカルボシアニン）、メロシアニン類（例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン）、チアジン類（例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー）、アクリジン類（例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン）、アントラキノン類（例えば、アントラキノン）、スクアリウム類（例えば、スクアリウム）が挙げられる。
【００９７】
(その他)
本発明の着色感光性組成物には、多官能エポキシ化合物を添加することができる。これによって、多官能エポキシ化合物が熱架橋することによって架橋密度が高くなり、耐薬品性の向上が図られる。
本発明に使用可能な多官能エポキシ化合物としては、ビスフェノールＡ型、クレゾールノボラック型、ビフェニル型、脂環式エポキシ化合物などである。
【００９８】
例えばビスフェノールＡ型としては、エポトートＹＤ−１１５、ＹＤ−１１８Ｔ、ＹＤ−１２７、ＹＤ−１２８、ＹＤ−１３４、ＹＤ−８１２５、ＹＤ−７０１１Ｒ、ＺＸ−１０５９、ＹＤＦ−８１７０、ＹＤＦ−１７０など（以上東都化成製）、デナコールＥＸ−１１０１、ＥＸ−１１０２、ＥＸ−１１０３など（以上ナガセ化成製）、プラクセルＧＬ−６１、ＧＬ−６２、Ｇ１０１、Ｇ１０２（以上ダイセル化学製）の他に、これらの類似のビスフェノールＦ型、ビスフェノールＳ型も挙げることができる。またＥｂｅｃｒｙｌ  ３７００、３７０１、６００（以上ダイセルユーシービー製）などのエポキシアクリレートも使用可能である。
【００９９】
クレゾールノボラック型としては、エポトートＹＤＰＮ−６３８、ＹＤＰＮ−７０１、ＹＤＰＮ−７０２、ＹＤＰＮ−７０３、ＹＤＰＮ−７０４など（以上東都化成製）、デナコールＥＭ−１２５など（以上ナガセ化成製）、ビフェニル型としては３，５，３’，５’−テトラメチル−４，４’ジグリシジルビフェニルなどがあげられる。
【０１００】
脂環式エポキシ化合物としては、セロキサイド２０２１、２０８１、２０８３、２０８５、エポリードＧＴ−３０１、ＧＴ−３０２、ＧＴ−４０１、ＧＴ−４０３、ＥＨＰＥ−３１５０（以上ダイセル化学製）、サントートＳＴ−３０００、ＳＴ−４０００、ＳＴ−５０８０、ＳＴ−５１００など（以上東都化成製）などを挙げることができる。他にアミン型エポキシ樹脂であるエポトートＹＨ−４３４、ＹＨ−４３４Ｌ、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂の骨格中にダイマー酸を変性したグリシジルエステル等も使用できる。
【０１０１】
多官能エポキシ化合物の着色感光性組成物中における含有量としては、顔料を除いた全固形分に対して、２〜２０質量％が好ましく、３〜１０質量％がより好ましい。該含有量が前記範囲内であると、膜の耐溶剤性に優れる。また、多すぎるとベーク後の黄着色により、カラーフイルタの品質が損なわれ、少なすぎると耐ＮＭＰ性に劣ってしまう問題が生じる。
【０１０２】
本発明の顔料分散組成物及び着色感光性組成物は、一般に上記成分と共に溶剤を用いて好適に調製することができる。
溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチルなどの３−オキシプロピオン酸アルキルエステル類；３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル等；エーテル類、例えばジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート等；ケトン類、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等；芳香族炭化水素類、例えばトルエン、キシレン、等が挙げられる。
【０１０３】
これらのうち、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等が好適である。
溶剤は、単独で用いる以外に２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【０１０４】
着色感光性組成物には、さらに必要に応じて、連鎖移動剤、フッ素系有機化合物、熱重合開始剤、熱重合成分、熱重合防止剤、着色剤、光重合開始剤、その他充填剤、上記のアルカリ可溶性樹脂以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤などの各種添加物を含有することができる。
【０１０５】
着色感光性組成物に添加し得る連鎖移動剤としては、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステルなどのＮ，Ｎ−ジアルキルアミノ安息香酸アルキルエステル、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾールなどの複素環を有するメルカプト化合物、および脂肪族多官能メルカプト化合物などが挙げられる。
連鎖移動剤は、１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【０１０６】
フッ素系有機化合物を含有することで、塗布液としたときの液特性（特に流動性）を改善でき、塗布厚の均一性や省液性を改善することができる。すなわち、基板と塗布液との界面張力を低下させて基板への濡れ性が改善され、基板への塗布性が向上するので、少量の液量で数μｍ程度の薄膜を形成した場合であっても、厚みムラの小さい均一厚の膜形成が可能である点で有効である。
【０１０７】
フッ素系有機化合物のフッ素含有率は３〜４０質量％が好適であり、より好ましくは５〜３０質量％であり、特に好ましくは７〜２５質量％である。フッ素含有率が前記範囲内であると、塗布厚均一性や省液性の点で効果的であり、組成物中への溶解性も良好である。
【０１０８】
フッソ系界面活性剤としては、末端、主鎖および側鎖の少なくともいずれかの部位にフルオロアルキルまたはフルオロアルキレン基を有する化合物を好適に用いることができる。具体的市販品としては、例えばメガファックＦ１４２Ｄ、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７６、同Ｆ１７７、同Ｆ１８３、同７８０、同７８１、同Ｒ３０、同Ｒ０８、同Ｆ−４７２ＳＦ、同ＢＬ２０、同Ｒ−６１、同Ｒ−９０（大日本インキ（株）製）、フロラードＦＣ−１３５、同ＦＣ−１７０Ｃ、同ＦＣ−４３０、同ＦＣ−４３１、Ｎｏｖｅｃ  ＦＣ−４４３０（住友スリーエム（株）製）、アサヒガードＡＧ７１０５，７０００，９５０，７６００、サーフロンＳ−１１２、同Ｓ−１１３、同Ｓ−１３１、同Ｓ−１４１、同Ｓ−１４５、同Ｓ−３８２、同ＳＣ−１０１、同ＳＣ−１０２、同ＳＣ−１０３、同ＳＣ−１０４、同ＳＣ−１０５、同ＳＣ−１０６（旭ガラス（株）製）、エフトップＥＦ３５１、同３５２、同８０１、同８０２（ＪＥＭＣＯ（株）製）などである。
【０１０９】
フッ素系有機化合物は特に、塗布膜を薄くしたときの塗布ムラや厚みムラの防止に効果的である。また、更には液切れを起こしやすいスリット塗布においても効果的である。
フッ素系有機化合物の添加量は、着色感光性組成物の全質量に対して、０．００１〜２．０質量％が好ましく、より好ましくは０．００５〜１．０質量％である。
【０１１０】
着色感光性組成物には、熱重合開始剤を含有させることも有効である。熱重合開始剤としては、例えば、各種のアゾ系化合物、過酸化物系化合物が挙げられ、前記アゾ系化合物としては、アゾビス系化合物を挙げることができ、前記過酸化物系化合物としては、ケトンパーオキサイド、パーオキシケタール、ハイドロパーオキサイド、ジアルキルパーオキサイド、ジアシルパーオキサイド、パーオキシエステル、パーオキシジカーボネートなどを挙げることができる。
【０１１１】
着色感光性組成物には、塗布性を改良する観点から、各種の界面活性剤を用いて構成することが好ましく、前述のフッソ系界面活性剤の他にノニオン系、カチオン系、アニオン系の各種界面活性剤を使用できる。中でも、前記のフッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤が好ましい。
【０１１２】
ノニオン系界面活性剤の例として、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ソルビタンアルキルエステル類、モノグリセリドアルキルエステル類などのノニオン系界面活性剤が特に好ましい。具体的には、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテルなどのポリオキシエチレンアルキルエーテル類；ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンポリスチリル化エーテル、ポリオキシエチレントリベンジルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン-プロピレンポリスチリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルなどのポリオキシエチレンアリールエーテル類；ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレートなどのポリオキシエチレンジアルキルエステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類、エチレンジアミンポリオキシエチレン−ポリオキシプロピレン縮合物などのノニオン系界面活性剤があり、これらは花王（株）、日本油脂（株）、竹本油脂(株)、（株）ＡＤＥＫＡ、三洋化成(株)などから市販されているものが適宜使用できる。上記の他に前述の分散剤も使用可能である。
【０１１３】
上記以外に、着色感光性組成物には各種の添加物を添加できる。添加物の具体例としては、２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤、ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤、ガラス、アルミナ等の充填剤；イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの、アルコール可溶性ナイロン、ビスフェノールＡとエピクロルヒドリンとから形成されたフェノキシ樹脂などのアルカリ可溶の樹脂などがある。
【０１１４】
また、未硬化部のアルカリ溶解性を促進し、硬化性組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、硬化性組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量１０００以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行なうことができる。具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸；シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸；トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸；安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸；フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
【０１１５】
着色感光性組成物には、以上のほかに更に、熱重合防止剤を加えておくことが好ましく、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４′−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
【０１１６】
着色感光性組成物の製造方法の一例を以下に示す。
顔料と水溶性有機溶剤と水溶性無機塩類との混合物を、二本ロール、三本ロール、ボールミル、トロンミル、ディスパー、ニーダー、コニーダー、ホモジナイザー、ブレンダー、単軸もしくは２軸の押出機等の混練機を用いて、強い剪断力を与えながら顔料を摩砕した後、この混合物を水中に投入し、攪拌機等でスラリー状とする。次いで、このスラリーをろ過、水洗し、水溶性有機溶剤と水溶性無機塩を除去した後、乾燥し、微細化された顔料が得られる。微細化処理前に分散剤、顔料誘導体等の表面処理剤を添加することが好ましい。
【０１１７】
顔料と、分散剤と、必要によって顔料誘導体と、溶剤とで、ビーズ分散を行なう。主として縦型もしくは横型のサンドグラインダー、ピンミル、スリットミル、超音波分散機等を使用し、０．０１〜１ｍｍの粒径のガラス、ジルコニア等でできたビーズで微分散処理し、顔料分散組成物を得る。また、顔料を微細化する処理を省くことも可能である。
なお、混練、分散についての詳細は、Ｔ．Ｃ．Ｐａｔｔｏｎ著”Ｐａｉｎｔ  Ｆｌｏｗａｎｄ Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ”（１９６４年  Ｊｏｈｎ  Ｗｉｌｅｙ  ａｎｄ  Ｓｏｎｓ社刊）等に記載されている。
そして、上記のようにして得られた顔料分散組成物に、光重合性化合物、光重合開始剤、およびアルカリ可溶性樹脂などを添加して、本発明で使用可能な着色感光性組成物を得る。
【０１１８】
着色感光性組成物を、直接又は他の層を介して基板に回転塗布、スリット塗布、流延塗布、ロール塗布、バー塗布等の塗布方法により塗布して、着色感光性組成物の塗布膜を形成し、所定のマスクパターンを介して露光し、露光した後に上述した方法で、現像し、水洗することによって、各色（３色あるいは４色以上）の画素からなるパターン状皮膜を形成し、カラーフィルタとすることができる。
これにより、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタをプロセス上の困難性が少なく、高品質でかつ低コストに作製することができる。
【０１１９】
前記基板としては、例えば、液晶表示装置等に用いられる無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラス、及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等、並びにプラスチック基板が挙げられる。これらの基板上には、通常、各画素を隔離するブラックマトリクスが形成されていたり、密着促進等のために透明樹脂層を設けたりしている。
【０１２０】
プラスチック基板には、その表面にガスバリヤー層及び／又は耐溶剤性層を有していることが好ましい。このほかに、薄膜トランジスター（ＴＦＴ）方式カラー液晶表示装置の薄膜トランジスター（ＴＦＴ）が配置された駆動用基板（以下、「ＴＦＴ方式液晶駆動用基板」という。）上にも本発明の着色感光性組成物からなるパターン状皮膜を形成し、カラーフィルタを作成することができる。ＴＦＴ方式液晶駆動用基板における基板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド等を挙げることができる。これらの基板には、所望により、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を施しておくこともできる。例えば、ＴＦＴ方式液晶駆動用基板の表面上、あるいは該駆動基板の表面に窒化ケイ素膜等のパッシベーション膜を形成した基板等を挙げることができる。
【０１２１】
本発明で着色感光性組成物を基板に塗布する方法としては特に限定されるものではないが、スリット・アンド・スピン法、スリット塗布法等のスリットノズルを用いる方法（以下スリットノズル塗布法という）が好ましい。スリットノズル塗布法において、塗布基板の大きさによって条件は異なるが、例えばスリット塗布法により第五世代のガラス基板（１１００ｍｍ×１２５０ｍｍ）を塗布する場合、スリットノズルからの着色感光性組成物の吐出量は、通常、５００〜２０００マイクロリットル／秒、好ましくは８００〜１５００マイクロリットル／秒であり、また塗工速度は、通常、５０〜３００ｍｍ／秒、好ましくは１００〜２００ｍｍ／秒である。着色感光性組成物の固形分としては通常、１０〜２０％、好ましくは１３〜１８％である。基板上に着色感光性組成物による塗膜を形成する場合、該塗膜の厚み（プリベーク処理後）としては、一般に０．３〜５．０μｍであり、望ましくは０．５〜４.０μｍ、最も望ましくは０．８〜３．０μｍである。
【０１２２】
通常は塗布後にプリベーク処理を施す。必要によってプリベーク前に真空処理を施すことができる。真空乾燥の条件は、真空度が、通常、０．１〜１．０ｔｏｒｒ、好ましくは０．２〜０．５ｔｏｒｒ程度である。
プリベーク処理は、ホットプレート、オーブン等を用いて５０〜１４０℃の温度範囲で、好ましくは７０〜１１０℃程度であり、１０〜３００秒の条件にて行なうことができる。高周波処理などを併用しても良い。高周波処理は単独でも使用可能である。
【０１２３】
次いでマスクを介して露光処理を施す。この際、使用する放射線としては、特にｇ線、ｈ線、ｉ線、ｊ線等の紫外線が好ましい。液晶表示装置用のカラーフィルタは、プロキシミティ露光機、ミラープロジェクション露光機で主としてｈ線、ｉ線を使用した露光が好ましく、露光量としては５〜３００ｍＪ／ｃｍ２、より好ましくは１０〜１５０ｍＪ／ｃｍ２、さらに好ましくは１０〜１００ｍＪ／ｃｍ２である。露光量がこの範囲であると十分な重合強度が得られ、処理タクトも良好であり好ましい。
【０１２４】
露光を施した塗布基板は、既述した本発明のアルカリ現像液によって現像処理を施し、水洗処理を経てパターン形成される。パターン形成された着色感光性組成物のパターンはポストベーク処理によって硬化は完全なものとされる。ポストベーク処理は、ホットプレート、オーブン等を用いて２００℃〜２５０℃の温度範囲で、好ましくは２１０℃〜２４０℃の温度範囲であり、１０分間〜６０分間の条件にて行なうことができる。高周波処理などを併用しても良い。
【０１２５】
ポストベークしたパターン付き基板を用いて、２色目の着色硬化性組成物のパターンを１色目の形成方法と同様に行い、また３色目も同様にされて、３色のパターン形成された基板を得る。このようにしてカラーフィルタは製造される。
【実施例】
【０１２６】
以下に実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、試薬、割合、機器、操作等は本発明の範囲から逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、以下の実施例において、特に断りのない限り「％」および「部」は、「質量％」および「質量部」を表し、分子量とは重量平均分子量のことを示す。また、「ｗｔ％」は「質量％」を表す。
【０１２７】
（実施例１）
＜１．ブラックマトリクス用感光性濃色組成物の調製＞
−カーボンブラック分散液（Ｋ−１）の調製−
下記処方でカーボンブラック分散液（Ｋ−１）を調製した。
・カーボンブラック（デグッサ社製  カラーブラックＦＷ２）            ２６．７部
・分散剤（楠本化成製ディスパロンＤＡ７５００  酸価２６  アミン価４０）
３．３部
・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝７２／２８［モル比］）共重合体
（分子量３０，０００、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの５０質量％溶液）                                                                １０部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                      ６０部
【０１２８】
上記各成分を３０００ｒｐｍの条件でホモジナイザーを用いて１時間撹拌した。得られた混合溶液を、０．３ｍｍジルコニアビーズを用いたビーズ分散機（商品名：ディスパーマット、ＧＥＴＺＭＡＮＮ社製）にて８時間微分散処理を施し、カーボンブラック分散液（Ｋ−１）を得た。
【０１２９】
得られたカーボンブラック分散液（Ｋ−１）を用いて、下記表１の処方で感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−１を調製した。表１中の数値は質量比を示す。
【０１３０】
【表１】
2010032855.tif 000002
【０１３１】
表１中の各成分の詳細は下記のとおりである。
・樹脂溶液Ｃ−２：ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝８５／１５モル比）共重合体、（Ｍｗ１０，０００、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの５０ｗｔ％溶液）
・ＵＶ硬化性樹脂Ｃ−３：商品名サイクロマーＰ  ＡＣＡ−２５０  ダイセル化学工業（株）製〔側鎖に脂環、ＣＯＯＨ基、及びアクリロイル基のあるアクリル系共重合体、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（固形分：５０質量％）〕
・重合性化合物Ｃ−５：商品名  ＴＯ−１３８２  東亞合成（株）製
（ジペンタエリスリトールペンタアクリレートの末端ＯＨ基の一部をＣＯＯＨ基に置換した５官能のアクリロイル基を有するモノマーが主成分。）
・開始剤Ｃ−７：商品名「ＯＸＥ−０２」  チバ・スペシャルテイ・ケミカルズ社製
・界面活性剤Ｃ−８：商品名「メガファックＲ３０」  大日本インキ化学工業（株）製
・溶剤ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
・溶剤ＥＥＰ：３−エトキシエチルプロピオネート
【０１３２】
＜２．ブラックマトリックスの形成＞
−感光性濃色組成物層形成工程−
得られた感光性濃色組成物ＣＫ−１を、ガラス基板（コーニング社製ミレニアム  ０．７ｍｍ厚）にスリットコーター（型番ＨＣ６０００、平田機工株式会社製）を用いて、ポストベーク後の膜厚が１．２μｍとなるようにスリットとガラス基板間の距離を１５０μｍに設定し、吐出量を調節して、塗布速度１２０ｍｍ／秒で塗布した。
【０１３３】
−プリベーク工程、露光工程−
次いで、ホットプレートを用いて、１２０℃で１２０秒間加熱（プリベーク処理）を行なった。（該プリベーク処理の温度は通常９０℃のところを１２０℃に設定し、赤色の着色感光性組成物の残渣が発生しやすい条件とした）
ミラープロジェクション方式露光機（型番ＭＰＡ−８０００、キヤノン株式会社製）を用いて、６０ｍＪ／ｃｍ２で露光した（該露光量は、通常１００ｍＪ／ｃｍ２のところを６０ｍＪ／ｃｍ２に設定しＲの残渣が発生しやすい条件とした）。
【０１３４】
−現像工程−
その後、現像装置（日立ハイテクノロジーズ社製）を用いて、本発明の現像液（後述する実施例１）の１．０％現像液（現像液原液１質量部を、純水９９質量部で希釈した液、２４℃）でシャワー圧を０．２０ＭＰａに設定して、５０秒現像し、純水で洗浄した、現像後のブラックマトリックスを得た。
【０１３５】
−ベーク（ポストベーク）工程−
次いで２４０℃のクリーンオーブンで４０分間ポストベーク処理し、着色画素形成領域の開口が９０μｍ×２００μｍで、ブラックマトリックスの厚みが１．２μｍで、ブラックマトリックスの線幅が約２２μｍの格子状ブラックマトリックス基板を形成した。
Ｘ-Ｒｉｔｅ  ３６１Ｔ(Ｖ)（サカタインクスエンジニアリング（株）製）を用いて、
出来上がったブラックマトリックスの光学濃度（ＯＤ）を測定したところ、４．２であった。
【０１３６】
＜赤色画素の作製＞
−着色感光性組成物層形成工程−
（顔料分散液１の調製）
顔料分散液１を次のようにして調製した。すなわち、下記表２に記載の組成にて、ホモジナイザーを用いて回転数３，０００ｒ.ｐ.ｍ.で３時間撹拌して混合し、混合溶液を調
製し、さらに０．１ｍｍφジルコニアビーズを用いたビーズ分散機ウルトラアペックスミル（寿工業社製）にて８時間分散処理を行なった。
【０１３７】
【表２】
2010032855.tif 000003
【０１３８】
前記表２中の成分の詳細は下記のとおりである。
・Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ２５４：チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製  ＣＲＯＭＯＰＨＴＡＬ  ＲＥＤ  ＢＰ
・ディスパービック１６１：ビックケミー社製〔３０質量％溶液を用いた。したがって、固形分は２．１部である。〕
・ＰＥＧＭＥＡ：プロピレングリコールメチルエーテルアセテート
【０１３９】
（着色感光性組成物ＣＲ−１の調製）
得られた顔料分散液１に、さらに下記表３に記載の成分を添加し、撹拌混合して赤色（Ｒ）用着色感光性組成物である塗布液ＣＲ−１を調製した。
【０１４０】
【表３】
2010032855.tif 000004
【０１４１】
前記表３中の成分の詳細は下記のとおりである。
・ＤＰＨＡ：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート／１−メトキシ−２−プロピルアセテート（７６／２４［質量比］）日本化薬（株）製、「ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ」〕
・ＬＤ５：２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール〔保土ヶ谷科学社製、「Ｂ−ＣＩＭ」〕
・トリアジン系開始剤１：４−［ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニル）アミノフェニル］−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン）
・エピクロンＮ６９５：大日本インキ化学工業社製、「エピクロン６９５」
・ＰＥＧＭＥＡ／ＥＰＡ：プロピレングリコールメチルエーテルアセテートと３−エトキシエチルプロピオネート（＝８／２[質量比]）の混合溶液
・界面活性剤１：ＤＩＣ社製、フッ素系界面活性剤  メガファックＦ−７８０−Ｆ
【０１４２】
（着色感光性組成物層の形成）
得られた赤色（Ｒ）用着色感光性組成物である塗布液ＣＲ−１を、前記ブラックマトリックス基板のブラックマトリックス形成面側に、塗布した。具体的には、感光性濃色組成物層形成の場合と同様に、ポストベーク後の着色感光性組成物層の層厚が約２．０μｍとなるように塗布機のスリット部とブラックマトリックス基板間の間隔、吐出量を調節して、塗布速度１２０ｍｍ／秒で塗布した。
【０１４３】
−着色層プリベーク工程、着色層露光工程−
次いで、ホットプレートを用いて、１００℃で１２０秒間加熱（プリベーク処理）を行なった後、プロキシミテイー露光機（日立ハイテク社製、ＬＥ５５６５Ａ）を用いて、９０ｍＪ／ｃｍ２で露光した。
また、露光パターンと、ブラックマトリックスとの重なり（露光重なり量）が８．０μｍとなるようにマスクパターンと露光機を設定した。
【０１４４】
−着色層現像工程、着色層ベーク（ポストベーク）工程−
その後、現像装置（日立ハイテクノロジーズ社製）を用いて、本発明の現像液（後述する実施例１）の１．０％現像液（現像液原液１質量部を、純水９９質量部で希釈した液、２４℃）を用いてシャワー圧を０．２ＭＰａに設定して、４５秒現像し、純水で洗浄した。
次いで２２０℃のクリーンオーブンで３０分間ポストベーク処理し、熱処理済みの赤色画素を形成した。
【０１４５】
＜現像液の調製＞
表４の組成になるように各成分を秤量し、撹拌混合して各現像液の原液を得た。現像実験には、各現像液の原液１質量部と、純水９９質量部とを混合した希釈現像液を用いた。
【０１４６】
【表４】
2010032855.tif 000005
【０１４７】
表４で用いた化合物を以下に示す。
・ＫＯＨ：Ｅｋａｙ社（台湾）製、４５質量％のＫＯＨ  水溶液
・界面活性剤Ａ−１−１：ポリオキシエチレンモノスチリルフェニルエーテル（オキシエチレン繰返し数：１２）
・界面活性剤Ａ−１−２：ポリオキシエチレンモノスチリルフェニルエーテル（オキシエチレン繰返し数：９）
・界面活性剤Ａ−１−３：ポリオキシエチレンモノスチリルフェニルエーテル（オキシエチレン繰返し数：１５）
・界面活性剤Ａ−２−１：ポリオキシエチレンジスチリルフェニルエーテル（オキシエチレン繰返し数：１２）
・界面活性剤Ａ−３−１：ポリオキシエチレントリスチリルフェニルエーテル（オキシエチレン繰返し数：１２）
【０１４８】
＜残渣の評価＞
着色硬化性組成物でパターンを設けた基板全体にわたって１０箇所のポイントを選び、光学顕微鏡にてブラックマトリクス上の残渣を確認した（光学顕微鏡反射モードで４００倍に設定）。評価基準を以下とし、結果を表５に示した。
評価基準
０：残渣が見られない。
１：視野内に残渣が1箇所見られる。
２：視野内に残渣が２〜５箇所見られる。
３：視野内に残渣が６〜１０箇所見られる。
４：視野内に残渣が１１〜２０箇所見られる。
５：視野全体に残渣が多数みられる。
判定としては、０はＯＫ。１および２は許容内レベル。３〜５はいずれもＮＧであり、許容されないレベルである。
【０１４９】
【表５】
2010032855.tif 000006
【０１５０】
本発明の現像液組成である実施例１〜１６は、いずれもブラックマトリクス上の残渣、がないか、もしくは少なく、判定は良好であり、特定界面活性剤の質量比が［（A-1)／〔(A-1)＋(A-2)〕］０．２〜０．９の範囲であることが効果的であることがわかる。これに対し本発明の範囲外である比較例１〜５は、残渣が多くあり、基板全体としても残渣が多く使用できなかった。
さらに特定界面活性剤(A-3)を含まない実施例１３に比べて、特定界面活性剤(A-3)を含み、質量比［（A-1)／〔(A-1)＋(A-2)〕］が同一である実施例１〜３、１０等は、残渣が少なかった。
【０１５１】
（実施例１７）
下記組成で着色感光性組成物である緑色（Ｇ）塗布液のＣＧ−１、および青色（Ｂ）塗布液のＣＢ−１を調整した。
【０１５２】
−緑色（Ｇ）の着色感光性組成物ＣＧ−１の調製−
（緑色顔料分散液Ｇ１の調製）
顔料分散液１の調製で、顔料（Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ２５４；チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製  ＣＲＯＭＯＰＨＴＡＬ  ＲＥＤ  ＢＰ）を、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６に変更し、また、分散処理時間を８時間から４時間に替えたほかは、顔料分散液１の調製と同様にして、緑色顔料分散液Ｇ１を得た。
【０１５３】
着色感光性組成物である塗布液ＣＲ−１の調製において、顔料分散液１の代わりに緑色顔料分散液Ｇ１を用いた以外は着色感光性組成物の塗布液ＣＲ−１の調製と同様にして緑色の着色感光性組成物である塗布液ＣＧ−１を得た。
【０１５４】
−青色（Ｂ）の着色感光性組成物ＣＢ−１の調製−
（青色顔料分散液Ｂ１の調製）
顔料分散液１の調製で、顔料（Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ２５４；チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製  ＣＲＯＭＯＰＨＴＡＬ  ＲＥＤ  ＢＰ）を、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６に変更し、また、分散処理時間を８時間から３時間に替えたほかは、顔料分散液１の調製と同様にして、青色顔料分散液Ｂ１を得た。
【０１５５】
着色感光性組成物である塗布液ＣＲ−１の調製において、顔料分散液１の代わりに青色顔料分散液Ｂ１を用いた以外は着色感光性組成物の塗布液ＣＲ−１の調製と同様にして青色の着色感光性組成物である塗布液ＣＢ−１を得た。
【０１５６】
実施例１で得られたブラックマトリクスと赤色画素とを有する基板に、赤色画素を得たのと同様にして、緑色の着色感光性組成物である塗布液ＣＧ−１を用いて、緑色画素を成形した。さらにその基板を使って青色の着色感光性組成物ＣＢ−１を用いて、赤色画素を得たのと同様にして、青色画素を成形し、ポストベークを２２０℃で６０ｍｉｎ間施した。このブラックマトリクス、赤色画素、緑色画素、および青色画素を有する基板の画素形成面の上に、ＩＴＯ（透明電極層）をスパッタにて形成し、カラーフイルタを完成した。