(57)【要約】【課題】接続子と担体との固定をより確実に行うと共に、より作製しやすい電気的接続体を提供する。【解決手段】電気的接続体１０は、担体２０には貫通孔２１と、溝部２４による貫通孔２１の両脇に立設した壁部２５とが形成され、接続子３０には、連結部３１の一端に第１ビーム３２他端に第２ビーム３５が配設されると共に、第１ビーム３２側の両脇に規制部３６が配設されており、規制部３６が壁部２５に当接することにより接続子３０の軸回転が規制され、連結部３１に対して屈曲して第１ビーム３２及び第２ビーム３５が貫通孔２１の開口部にそれぞれ当接することにより接続子３０の貫通孔の形成方向への移動が規制されている。このように、規制部３６と壁部２５とにより接続子３０の軸回転がより強固に規制されると共に、貫通孔２１に挿入された接続子３０のビームを屈曲させることにより接続子３０が固定される。【選択図】図１
2010114067.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つのデバイス間で対向する電極を電気的に接続する接続体であって、
貫通孔と、該貫通孔の近傍に該貫通孔の形成方向に立設された壁部と、を有する担体と、
前記対向する電極の一方に接続される第１の接点を有する第１のビームと、前記対向する電極の他方に接続される第２の接点を有する第２のビームと、一端に前記第１のビームが配設され他端に前記第２のビームが配設された連結部と、前記連結部に配設され前記壁部に当接し前記連結部の移動を規制する規制部と、を有し、前記担体の異なる面から前記第１ビーム及び前記第２ビームのそれぞれを突出させた状態で前記貫通孔に前記連結部が挿入される接続子と、を備え、
前記規制部が前記壁部に当接することにより前記接続子の軸回転を規制する、電気的接続体。
【請求項２】
前記接続子は、前記連結部に対して屈曲して前記第１のビーム及び第２のビームの少なくとも一方が前記貫通孔の開口部に当接することにより前記接続子の前記貫通孔の形成方向への移動を規制する、請求項１に記載の電気的接続体。
【請求項３】
前記担体は、前記壁部が前記貫通孔の両脇に形成されており、
前記接続子は、板状体である規制部が前記連結部の両脇に配設されている、請求項２に記載の電気的接続体。
【請求項４】
前記接続子は、前記板状体が前記連結部から前記壁部へ向かって傾斜して配設されている、請求項３に記載の電気的接続体。
【請求項５】
前記接続子は、前記規制部が前記連結部の前記第１ビーム側に配設されており、前記連結部側の前記第２ビームがＳ字形状に屈曲し該Ｓ字形状の少なくとも一部が前記貫通孔内に入り込んだ状態で前記貫通孔の開口部に当接している、請求項２〜４のいずれか１項に記載の電気的接続体。
【請求項６】
前記接続子は、前記規制部が前記連結部の前記第１ビーム側に配設されており、前記第２ビームと前記連結部とが前記貫通孔への挿入前には略平板状に形成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の電気的接続体。
【請求項７】
前記接続子は、前記規制部が前記連結部の前記第１ビーム側に配設されており、
前記担体は、前記第１ビームの配設される側の前記貫通孔の開口部が前記第２ビームの配設される側の開口部よりも大きく形成されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の電気的接続体。
【請求項８】
前記接続子は、前記担体に立設された壁部にバネ力を付与して前記連結部の移動を規制するコイル状の規制部を有している、請求項１に記載の電気的接続体。
【請求項９】
前記接続子は、前記第１のビーム、前記第２のビーム、前記連結部及び前記規制部が１本の線材で形成されている、請求項８に記載の電気的接続体。
【請求項１０】
前記接続子は、前記担体の異なる面から直線形状の前記第１ビーム及び直線形状の前記第２ビームのそれぞれを突出させている、請求項８又は９に記載の電気的接続体。
【請求項１１】
前記第１ビームの第１接点及び前記第２ビームの第２接点は接続する電極側に向かって突出した円弧形状に形成されている、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の電気的接続体。
【請求項１２】
前記担体は、前記貫通孔の一部にかかるように設けられた溝部の壁面により前記壁部が形成されている、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の電気的接続体。
【請求項１３】
前記担体は、前記貫通孔が複数形成されており該複数の貫通孔の各々に前記接続子が挿入されている、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の電気的接続体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気的接続体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電気的接続体としては、対向する電極の一方に接続される第１の接点を有する第１のビームと、対向する電極の他方に接続される第２の接点を有する第２のビームとを有する接続子が担体を挟持して保持するように構成するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載された電気的接続体では、担体に段差部を設け、接続子に屈曲部を形成し、接続子のビームを押圧することにより接続子の屈曲部が担体の段差部を挟持して保持する。このため、簡易な保持構造であり、容易に接続子の配置数を増大させたり狭ピッチ化することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２９４３８４号公報（図１２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、この特許文献１に記載された電気的接続体では、接続子の屈曲部が担体の段差部をより確実に挟持させる必要があり、段差部や屈曲部に対して高い加工精度が要求されることがあった。また、対向するデバイスにより第１及び第２のビームを押圧して接続子の屈曲部が担体の段差部を挟持させる場合では、接続体の作製時に、接続子のスプリングバックの影響により、接続子と担体との固定が十分でない場合が生じることがあった。また、スプリングバック回避のため、接続子に折曲部や屈曲部などを設け、複雑に折れ曲がった形状の接続子を用いた場合などには、担体に形成した貫通孔に挿入しにくい問題があった。
【０００５】
本発明は、このような課題に鑑みなされたものであり、接続子と担体との固定をより確実に行うと共に、より作製しやすい電気的接続体を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の目的を達成するために以下の手段を採った。
【０００７】
即ち、本発明の電気的接続体は、
２つのデバイス間で対向する電極を電気的に接続する接続体であって、
貫通孔と、該貫通孔の近傍に該貫通孔の形成方向に立設された壁部と、を有する担体と、
前記対向する電極の一方に接続される第１の接点を有する第１のビームと、前記対向する電極の他方に接続される第２の接点を有する第２のビームと、一端に前記第１のビームが配設され他端に前記第２のビームが配設された連結部と、前記連結部に配設され前記壁部に当接し前記連結部の移動を規制する規制部と、を有し、前記担体の異なる面から前記第１ビーム及び前記第２ビームのそれぞれを突出させた状態で前記貫通孔に前記連結部が挿入される接続子と、を備え、
前記規制部が前記壁部に当接することにより前記接続子の軸回転を規制するものである。
【０００８】
この電気的接続体は、担体には貫通孔と立設された壁部とが形成され、接続子には、連結部の両端にそれぞれ第１及び第２のビームが配設されると共に、規制部が配設されている。この電気的接続体は、規制部が壁部に当接することにより接続子の軸回転が規制されている。したがって、規制部と壁部とにより接続子の軸回転がより強固に規制されるため、接続子と担体との固定をより確実に行うことができ、また、連結部に規制部を配設すればよいため、電気的接続体をより作製しやすい。
【０００９】
このとき、前記接続子は、前記連結部に対して屈曲して前記第１のビーム及び第２のビームの少なくとも一方が前記貫通孔の開口部に当接することにより前記接続子の前記貫通孔の形成方向への移動を規制するものとしてもよい。こうすれば、貫通孔に挿入された接続子のビームを屈曲させることにより（屈曲力の分力により貫通孔に）接続子が接触固定されるため、貫通孔の形成方向の寸法精度がより緩和されるし、より簡便に接続子を固定することができる。
【００１０】
本発明の電気的接続体において、前記担体は、前記壁部が前記貫通孔の両脇に形成されており、前記接続子は、板状体である規制部が前記連結部の両脇に配設されているものとしてもよい。こうすれば、貫通孔の両脇で規制部が壁部に当接するため、より確実に接続子の軸回転を抑制することができる。ここで「両脇」とは、例えば、貫通孔の左右両側としてもよいし、連結部の左右両側としてもよい。このとき、前記接続子は、前記板状体が前記連結部から前記壁部へ向かって傾斜して配設されているものとしてもよい。こうすれば、規制部がより壁部を押圧しやすいため、一層確実に接続子の軸回転を抑制することができる。また、規制部の貫通孔方向の長さが接続子の軸回転のみならず軸方向の移動抑制効果を発揮する。本発明の電気的接続体において、前記接続子は、前記連結部と前記規制部とが一体成形されているものとしてもよい。こうすれば、接続子をより作製しやすい。
【００１１】
本発明の電気的接続体において、前記接続子は、前記規制部が前記連結部の前記第１ビーム側に配設されており、前記連結部側の前記第２ビームがＳ字形状に屈曲し該Ｓ字形状の少なくとも一部が前記貫通孔内に入り込んだ状態で前記貫通孔の開口部に当接しているものとしてもよい。こうすれば、例えばビームのスプリングバックの影響などをより抑制することができるため、接続子と担体との固定を一層確実に行うことができる。
【００１２】
本発明の電気的接続体において、前記接続子は、前記規制部が前記連結部の前記第１ビーム側に配設されており、前記第２ビームと前記連結部とが前記貫通孔への挿入前には略平板状に形成されているものとしてもよい。こうすれば、貫通孔に接続子をより挿入しやすいため、電気的接続体をより一層作成しやすい。
【００１３】
本発明の電気的接続体において、前記接続子は、前記規制部が前記連結部の前記第１ビーム側に配設されており、前記担体は、前記第１ビームの配設される側の前記貫通孔の開口部が前記第２ビームの配設される側の開口部よりも大きく形成されているものとしてもよい。こうすれば、貫通孔の開口部の広い側から狭い側に向かって、規制部が形成されていない側の第２ビームを貫通孔に挿入可能であるため、貫通孔に接続子をより挿入しやすく、電気的接続体をより一層作成しやすい。また、狭い側の開口部に挿入された第２ビームを屈曲してこの第２ビームと開口部とが当接するため、接続子と担体とを固定しやすい。このとき、前記担体は、前記貫通孔が複数の段階的に開口幅が形成されることにより第１ビームの配設される側の開口部が第２ビームの配設される側の開口部よりも大きく形成されるものとしてもよいし、前記担体は、前記貫通孔がテーパ状に形成されることにより第１ビームの配設される側の開口部が第２ビームの配設される側の開口部よりも大きく形成されるものとしてもよい。
【００１４】
あるいは、本発明の電気的接続体において、前記接続子は、前記担体に立設された壁部にバネ力を付与して前記連結部の移動を規制するコイル状の規制部を有しているものとしてもよい。こうすれば、コイル状の規制部によるバネ力を用いて接続子と担体との固定をより確実に行うことができる。また、コイル状の規制部とすることにより、接続子をより作製しやすい。このとき、前記接続子は、前記第１のビーム、前記第２のビーム、前記連結部及び前記規制部が１本の線材で形成されているものとしてもよい。こうすれば、一層接続子を作製しやすい。また、前記接続子は、前記担体の異なる面から直線形状の前記第１ビーム及び直線形状の前記第２ビームのそれぞれを突出させているものとしてもよい。こうすれば、第１及び第２ビームが直線状に形成されているから、貫通孔への挿入や貫通孔からの取り外しがより容易である。
【００１５】
本発明の電気的接続体において、前記第１ビームの第１接点及び前記第２ビームの第２接点は接続する電極側に向かって突出した円弧形状に形成されているものとしてもよい。こうすれば、接続子と電極との接続を行いやすい。
【００１６】
本発明の電気的接続体において、前記担体は、前記貫通孔の一部にかかるように設けられた溝部の壁面により前記壁部が形成されているものとしてもよい。こうすれば、溝部を形成することにより、貫通孔の形成方向に立設された壁部を形成することができるため、比較的容易に壁部を形成することができ、電気的接続体を一層作成しやすい。
【００１７】
本発明の電気的接続体において、前記担体は、前記貫通孔が複数形成されており該複数の貫通孔の各々に前記接続子が挿入されているものとしてもよい。このとき、前記担体の少なくとも一方の面に突出される、複数個備えられる接続子のビームは互いに該担体の中央を指向して対向させることができる。また、この接続体において、少なくとも一方のビームは、半田ボールと、該半田ボールを備えられるランド部とを有することもできる。
【００１８】
本発明の電気的接続体において、前記接続子と前記担体との間には接着層を備えているものとすることもできる。なお、本発明の電気的接続体は、規制部と壁部とが当接することにより接続子の回転を抑制可能であるため、該接着層を設けなくてもよい。
【００１９】
本発明の電気的接続体において、前記接続子の前記第１のビームおよび前記第２のビームは、それぞれ前記担体からカンチレバー状に突出されていることが好ましい。この態様において、前記第１のビーム及び前記第２のビームのビーム角度はそれぞれ１５°以上５０°以下であることが好ましい。また、ビーム幅とビーム長さの比が１以上１８以下であることも好ましい。さらに、ビーム厚みとビーム幅の比が２以上４０以下であることも好ましい。
【００２０】
本発明の電気的接続体において、前記接続子は、ベリリウム銅、チタン銅、銅・ニッケル・錫合金、銅・ニッケル・シリコン合金及びニッケルベリリウムから選択されるいずれかを含む導電性材料を主体とすることが好ましい。また、前記担体は、エラストマー、セラミックス及びエンジニアリングプラスチックから選択されるいずれかを含む絶縁性材料を主体とすることが好ましい。この担体は、剛性体であってもよいし、弾性体であってもよい。
【００２１】
本発明の電気的接続体において、前記デバイスは、アレイ状に配列された前記電極を備えることが好ましい。また、本発明の電気的接続体は、ソケット又はインターポーザーであることが好ましい。本発明の電気的接続体において、本発明によれば、上記いずれかの接続体を備える電子機器も提供される。こうした電子機器としては、プローブカード、半導体やチップの検査装置が挙げられる。即ち、本発明の電気的接続体は、プローブカード、半導体やチップの検査又は実装に関し電子デバイスの電極間を接続するものとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施形態である電気的接続体１０の構造の概略を表す断面図。
【図２】電気的接続体１０の平面図。
【図３】電気的接続体１０の一部を断面とした斜視図。
【図４】電気的接続体１０が備える接続子３０の説明図。
【図５】接続子３０を担体２０へ組み付けて電気的接続体１０を作製する各工程の説明図。
【図６】別の実施形態である電気的接続体１１０の構造の概略を表す断面図。
【図７】電気的接続体１１０が備える接続子１３０の説明図。
【図８】接続子１３０を担体１２０へ組み付けて電気的接続体１１０を作製する各工程の説明図。
【図９】電気的接続体２１０の構造の概略を表す断面図。
【図１０】別の実施形態の担体３２０及び接続子３３０の説明図。
【図１１】別の実施形態の電気的接続体４１０の説明図。
【図１２】別の実施形態の電気的接続体５１０の説明図。
【図１３】別の実施形態の電気的接続体１０Ｂの説明図。
【図１４】電気的接続体６１０の構造の概略を表す断面図。
【図１５】電気的接続体６１０の構造の概略を表す断面図。
【図１６】電気的接続体７１０の構造の概略を表す断面図。
【図１７】接続子８３０の説明図
【発明を実施するための形態】
【００２３】
（第１実施形態）
次に、本発明を実施するための第１実施形態を図面を用いて説明する。図１は、本発明の一実施形態である電気的接続体１０の構造の概略を表す断面図であり、図２は、電気的接続体１０の平面図であり、図３は、電気的接続体１０の一部を断面とした斜視図であり、図４は、電気的接続体１０が備える接続子３０の説明図である。図１に示すように、電気的接続体１０は、第１デバイス１２にアレイ状に形成された複数の第１電極１４と、第２デバイス１６にアレイ状に形成され第１電極１４に対向する複数の第２電極１８とを電気的に接続するよう構成されている。この電気的接続体１０は、第１デバイス１２と第２デバイス１６との間に配置される担体２０と、担体２０に配設され第１電極１４と第２電極１８とを電気的に接続する複数の接続子３０とを備えている。この電気的接続体１０は、第１デバイス１２と第２デバイス１６との電気的な接続状態を検査する検査装置に装着されて用いられる。検査するデバイスとしては、プローブカード、半導体やチップなどが挙げられる。
【００２４】
担体２０は、全体が絶縁性材料で形成された矩形状の板状体であり、接続子３０を保持する部材である。この担体２０は、例えば、エラストマー、プラスチック材料及びセラミックス材料などの絶縁性材料を用いることが好ましい。こうした絶縁性材料としては、特に限定しないが、シリコンエラストマーや、ＦＲ４などのガラス繊維含有エポキシ樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）などのエンジニアリングプラスチックのほか、アルミナやジルコニアなど各種セラミックスが挙げられる。この担体２０は、剛性体であってもよいし、弾性体であってもよいが、剛性体である方が、デバイスの接続性や、担体２０の平坦性や寸法精度を容易に確保する観点から好ましい。
【００２５】
この担体２０には、行及び列からなるマトリックス状に形成された複数の貫通孔２１と、担体２０の上面側の貫通孔２１の一部にかかるように貫通孔２１の各列ごとに設けられた溝部２４と、が形成されている。貫通孔２１は、担体２０を左右に２分割するような中央部の両側に対称的に形成されている。この貫通孔２１は、後述する接続子３０の規制部３６の形成されている側（図１における担体２０の上面側）の第１開口部２２が、規制部３６の形成されていない側（図１における担体２０の下面側）の第２開口部２３に比してその開口径が大きく形成されている。ここでは、貫通孔２１は、２段階の径で形成されることにより、第１開口部２２が第２開口部２３に比してその開口径が大きく形成されている。この貫通孔２１は、図１及び図２に示すように、個々の接続子３０に対して個別に形成されているが、例えば、一列に整列される複数個の接続子１０を一括して保持できるようにスリット状等に形成するものとしてもよい。溝部２４は、各列ごとの貫通孔２１の上面側を連通する、その断面が矩形状の空間として形成されている。この溝部２４は、接続子３０の第１ビーム３２が向く方向と直交する方向に設けられている。そして、溝部２４が貫通孔２１の一部にかかるように形成されているため、溝部２４の貫通孔２１側の壁部２５は、貫通孔２１の形成方向に、貫通孔２１の両脇、即ち貫通孔の左右両側にそれぞれ立設して設けられている（図３参照）。
【００２６】
接続子３０は、カンチレバー状の略Ｃ字状に屈曲した形状を有する導電性の板状体であり、各デバイス間の電極を電気的に接続する部材である。接続子３０は、ベリリウム銅、チタン銅、銅・ニッケル・錫合金、銅・ニッケル・シリコン合金及びニッケルベリリウムから選択されるいずれかを含む導電性材料を主体とすることが好ましく、このうち、導電性と耐久性の観点からベリリウム銅を用いることが好ましい。なお、こうした材料の表面は、ニッケルなどの下地メッキなどを施した後金メッキを施してもよい。この接続子３０は、平板を所定の形状に打ち抜きしたりあるいはエッチングにより部分的に除去することにより所定形状に加工し（図４の上側の図参照）、その後目的とする形状に折り曲げ加工することによって得ることができる（図４の下側の図参照）。この接続子３０において、板厚がバネ厚に対応する平板状カンチレバーや板幅がバネ厚に対応する平板状カンチレバーがあるが、好ましくは、板厚がバネ厚に対応する平板状カンチレバーとすることが好ましい。こうした平板状カンチレバーによれば、十分な断面積を容易に確保することができるため、導体抵抗を低く維持できる。接続子３０では、板厚は、０．０１ｍｍ以上０．０８ｍｍ以下であることが好ましい。この範囲であると、板厚がバネ厚に対応するとき、適切な弾性ないし可撓性を得ることができるとともに、バネ幅との関係で良好な導電性を得やすいからである。この板厚は、より好ましくは、０．０２ｍｍ以上０．０６ｍｍ以下である。
【００２７】
この接続子３０には、図１〜３に示すように、第１接点３２ａを有する第１ビーム３２と、第２接点３５ａを有する第２ビーム３５と、第１ビーム３２を一端側に第２ビーム３５を他端側に配設し貫通孔２１に挿入される連結部３１と、連結部３１の第１ビーム３２側且つ両脇に配設された規制部３６と、が形成されている。接続子３０のビームは、互いに担体２０の中央を指向して対向して配設されている（図１，２参照）。この第１ビーム３２及び第２ビーム３５は、接続子３０の中央側から先端側に向かってビーム幅が狭くなるように形成されていることが好ましい。ビーム幅が狭くなることで、接続子３０の表面応力をビームの長さ方向にわたって均一にしつつ大きな変位を付与することができる。この第１ビーム３２及び第２ビーム３５は、それぞれのビーム角度が１５°以上５０°以下であることが好ましい。ビーム角度が１５°以上であると、ビームの倒れる方向のビームとの距離を確保でき、隣り合うビームが干渉するのを回避して必要な変位を得ることができる。また、ビーム角度が５０°以下であると、電極と接触してビームに変位が生じたときの荷重のうち垂直成分の増加を抑制することができ、接点が電極と接触して滑る際の摩擦によって過度な力がかかるのを抑制してビームの変形を抑制できる。また、５０°以下であると、同じ変位量に対する接点の水平方向へのスライド量の増加を抑制できるため、ピッチが小さい場合であっても接点を電極に確実に接触させておくことができる。より好ましくは、ビーム角度は３０°以上４０°以下である。また、ビーム幅とビーム長さの比（ビーム長さ／ビーム幅）が１以上１８以下であることが好ましい。この比が１以上であると、ビーム形状を方形状におおよそ維持できるため、曲げ加工時においても寸法精度を確保しやすく、また、１８以下であれば板厚がバネ厚に対応する平板状カンチレバーの縦長化を抑制して導体抵抗の増大を抑制できる。この比は、より好ましくは２以上１２以下であり、さらに好ましくは３以上８以下である。なお、ビーム長は、ビームが担体２０の表面に当接する部分から先端までの長さをいうものとする。さらに、ビーム厚みとビーム幅の比（ビーム幅／ビーム厚み）が２以上４０以下であることも好ましい。この比が２以上であれば、断面積の増大による導体抵抗の低下の優位性を得られやすく、また、４０以下であれば、ビーム幅をハンドリング可能な板厚に対して許容範囲内に維持でき、接続子３０の固定化ピッチを一定以下に維持することができる。ビーム厚みとビーム幅の比は、より好ましくは３以上２０以下であり、さらに好ましくは４以上１５以下である。また、ビーム幅は、０．１５ｍｍ以上０．７０ｍｍ以下であることが好ましい。この範囲であると前記の板厚との関係において良好な導電性を得られやすいからである。より好ましくは、０．１５ｍｍ以上０．５０ｍｍ以下である。ビーム長は、貫通孔２１の形成ピッチを超えて形成でき、貫通孔２１のピッチにもよるが、好ましくは貫通孔２１の形成ピッチに対して１２０％以上であり、より好ましくは１５０％以上とすることができ、さらに好ましくは、１８０％以上であり、一層好ましくは２００％以上とすることができる。さらにまた、３６０％以上���することができる。なお、本発明において担体２０における貫通孔２１の形成ピッチは、好ましくは０．５ｍｍ以上２．５４ｍｍ以下であり、より好ましくは０．８ｍｍ以上１．６ｍｍ以下である。また、第１接点３２ａ及び第２接点３５ａは、接続する電極側に向かって突出した円弧形状に形成されていることが好ましい。こうすれば、接続子３０と電極との接続を行いやすい。
【００２８】
第１ビーム３２の連結部３１に配設されている部分は、屈曲した折曲部３３となっている。この折曲部３３は、第１開口部２２（開口縁）に当接して接続子３０が貫通孔２１の下方側へ移動してしまうのを規制している。また、第２ビーム３５の連結部３１に配設されている部分は、その断面がＳ字形状に屈曲したＳ字部３４となっている。このＳ字部３４は、その少なくともその一部が第２開口部２３から貫通孔２１の内部に入り込んでいる。この第２ビーム３５のＳ字部３４は、第２開口部２３（開口縁）に当接することにより接続子３０が貫通孔２１の上方側へ移動してしまうのを規制している。
【００２９】
規制部３６は、連結部３１の両脇、即ち左右両側にそれぞれ配設されている可撓性のある板状体であり、連結部３１から溝部２４の壁部２５へ向かって傾斜して配設されており、連結部３１を壁部２５から離間する方向に押圧する部材である。この規制部３６は、その可撓性によりバネの特徴を有し、貫通孔２１の両脇に形成された壁部２５に当接しこれを押圧することにより、平板状の連結部３１を壁部２５の形成方向と平行となるように固定し、接続子３０が軸方向に回転してしまうのを規制している。この接続子３０は、図４に示すように、連結部３１と第１ビーム３２と第２ビーム３５と規制部３６とが一体成形され、各部材が折り曲げられることにより形成されている。なお、規制部３６は、壁部２５と当接して接続子３０を固定するものとすればよく、可撓性を有さずバネの働きをしないものとしてもよい。
【００３０】
次に、電気的接続体１０の作製方法について説明する。図５は、接続子３０を担体２０へ組み付けて電気的接続体１０を作製する各工程の説明図である。この電気的接続体１０では、まず、図４の上側の図に示す形状の平板を加工し、この平板を折り曲げ加工して図４の下側の図に示すような接続子３０を作製する。この担体２０へ組み付ける前の接続子３０は、下端側の先端には緩やかなカーブを描く第２接点３５ａが形成され、第２ビーム３５の連結部３１との配設部分にはＵ字状に屈曲した折曲部３５ｂが形成されているが、連結部３１と第２ビーム３５とは総じて略平板状になっている。次に、担体２０に貫通孔２１を形成すると共に、溝部２４を形成する。ここでは、貫通孔を穿設したあと、穿設した貫通孔よりも外径の大きな孔を担体２０を貫通しない中間位置まで形成させる。こうして、第２開口部２３よりも開口径の大きな第１開口部２２を形成させるのである。次に、連結部３１が貫通孔２１に挿入されたときに規制部３６が壁部２５を押圧可能な位置に、溝部２４を形成する。このとき、接続子３０の貫通孔２１の形成方向の位置精度が接続子３０の折曲部３３やＳ字部３４で調整可能であるから、溝部２４の深さ方向の加工精度は、比較的低くても構わない。このように形成した接続子３０を担体２０へ挿入する（図５の左から１番目の図参照）。このとき、規制部３６が形成されていない第２ビーム３５の先端を開口径の大きな第１開口部２２へ挿入する。すると、連結部３１が貫通孔２１に配置されると共に、規制部３６が壁部２５に当接する（図５左２番目の図）。接続子３０を固定位置に挿入すると、第２ビーム３５を折り曲げる（図５左３番目の図）。このとき、折曲部３５ｂによりＳ字部３４が、貫通孔２１の内部に入り込むように形成される。また、Ｓ字部３４の端部が第２開口部２３に当接する。次に、第１ビーム３２を折り曲げ、折曲部３３の端部が第１開口部２２に当接する。このとき、規制部３６が壁部２５を押圧し、連結部３１が壁部２５から離間する方向に付勢される（図５左４番目の図）。こうして、規制部３６が壁部２５に当接することにより接続子３０の軸回転を規制すると共に、連結部３１に対して屈曲して第１ビーム３２及び第２ビーム３５が貫通孔２１の第１開口部２２及び第２開口部２３に当接することにより接続子３０の貫通孔の形成方向への移動を規制することにより、接続子３０が担体２０に確実に固定されるのである。
【００３１】
以上説明した本実施形態の電気的接続体１０によれば、担体２０には貫通孔２１と、溝部２４による貫通孔２１の両脇に立設した壁部２５とが形成され、接続子３０には、連結部３１の一端に第１ビーム３２他端に第２ビーム３５が配設されると共に、第１ビーム３２側の両脇に規制部３６が配設されており、規制部３６が壁部２５に当接することにより接続子３０の軸回転が規制され、連結部３１に対して屈曲して第１ビーム３２及び第２ビーム３５が貫通孔２１の開口部にそれぞれ当接することにより接続子３０の貫通孔の形成方向への移動が規制されている。このように、規制部３６と壁部２５とにより接続子３０の軸回転がより強固に規制される。また、貫通孔２１に挿入された接続子３０のビームを屈曲させることにより接続子３０が固定されるため、貫通孔の形成方向の寸法精度がより緩和されるし、ビームを屈曲させるという加工によって、より簡便に接続子３０を固定することができる。したがって、接続子３０と担体２０との固定をより確実に行うことができ、電気的接続体１０をより作製しやすい。また、溝部２４を形成することにより、貫通孔の形成方向に立設された壁部２５を形成可能であるため、比較的容易に壁部２５を形成することができる。また、貫通孔２１の一部にかかるように溝部２４を形成するため、貫通孔２１の両脇に壁部２５を形成しやすい。したがって、電気的接続体を一層作成しやすい。
【００３２】
また、貫通孔２１の両脇で規制部３６が壁部２５に当接するため、より確実に接続子３０の軸回転を抑制することができる。更に、規制部３６が連結部３１から壁部２５へ向かって傾斜して配設されているため、規制部３６がより壁部２５を押圧しやすく、一層確実に接続子３０の軸回転を抑制することができる。更にまた、連結部３１側の第２ビーム３５がＳ字形状に屈曲したＳ字部３４であり、このＳ字部３４の少なくとも一部が貫通孔２１の内部に入り込んだ状態で第２開口部２３に当接しているため、例えばビームのスプリングバックの影響などをより抑制可能であり、接続子と担体との固定を一層確実に行うことができる。そして、第２ビーム３５の先端が挿入される第１開口部２２は第２開口部２３よりも開口径が大きいため、貫通孔２１に接続子３０をより挿入しやすく、電気的接続体１０をより一層作成しやすい。また、開口径の小さい第２開口部２３に挿入された第２ビーム３５を屈曲してこの第２ビーム３５と第２開口部２３とが当接するため、接続子３０と担体２０とを固定しやすい。そしてまた、複数の段階的に貫通孔２１の開口径が形成されるため、開口径の異なる貫通孔をより容易に作成することができる。そして更に、接続子３０は、比較的簡易な折り曲げにより形成することが可能であり、且つ比較的簡易な折り曲げにより担体２０へ固定可能であるため、スプリングバックを低減する括れ部などを形成しなくても済み、接続子の加工がより簡易であり、接続子の歩留まりを向上することができる。そして更にまた、接続子３０は、折曲部３３及びＳ字部３４により貫通孔２１の形成方向への移動を規制するため、壁部２５の深さ方向について接続子３０や担体２０の加工精度が、より要求されず、作製しやすい。また、連結部３１と第１ビーム３２と第２ビーム３５と規制部３６とが一体成形されているため、接続子３０を作製しやすい。
【００３３】
上述した第１実施形態では折曲部３５ｂを設けＳ字部３４を形成して接続子３０の移動を規制するものとしたが、例えば、図６〜８に示すように、折曲部３５ｂを設けずに、Ｓ字部３４の形成を省略すると共に、屈曲部１３４を設けることにより接続子３０の移動を規制するものとしてもよい。図６は、別の実施形態である電気的接続体１１０の構造の概略を表す断面図であり、図７は、電気的接続体１１０が備える接続子１３０の説明図であり、図８は、接続子１３０を担体１２０へ組み付けて電気的接続体１１０を作製する各工程の説明図である。なお、以下には、上述した第１実施形態と同一の構成に対しては同一の符号を付し、その説明を省略する。なお、ここでは、開口径が変わらない貫通孔１２１を用いて説明する。すなわち、上述した第１実施形態では、開口径の異なる貫通孔２１を形成するものとしたが、開口径が同じである貫通孔２１を形成するものとしてもよい。図６に示すように、電気的接続体１１０は、担体２０と、Ｓ字形状ではない屈曲部１３４を有する接続子１３０とを備えている。この電気的接続体１１０では、上述した第１実施形態と同様に、規制部１３６が壁部１２５に当接して接続子１３０が軸回転するのを規制し、屈曲部１３４と第２開口部１２３とが当接して接続子１３０の上側への移動を規制すると共に、規制部１３６が溝部１２４の底面に当接するか、又は折曲部１３３が第１開口部１２２に当接することにより接続子１３０の下側への移動を規制する。
【００３４】
この電気的接続体１１０の製造方法について図８を用いて説明する。この電気的接続体１１０では、まず、図７の上側の図に示す形状の平板を加工し、この平板を折り曲げ加工して図７の下側の図に示すような接続子１３０を作製する。この担体１２０へ組み付ける前の接続子１３０は、上端側の先端には緩やかなカーブを描く第１接点１３２ａが形成され、下端側の先端には緩やかなカーブを描く第２接点１３５ａが形成されているが、連結部１３１と第２ビーム２３５とは略平板状に形成されている。担体２０には、貫通孔１２１の第１開口部１２２の一部にかかるように溝部１２４が形成されている。このとき、接続子１３０の貫通孔１２１の形成方向の位置精度が接続子１３０の屈曲部１３４などで対応可能であるから、溝部１２４の深さ方向の加工精度は、比較的低くても構わない。このように形成した接続子１３０を担体１２０へ挿入し（図８の左から１番目の図参照）、連結部３１を貫通孔１２１内部に配置すると共に、規制部１３６を壁部１２５に当接させる（図８左２番目の図）。接続子１３０を固定位置に挿入すると、第２ビーム１３５を折り曲げる（図８左３番目の図）。このとき、屈曲部１３４の端部が第２開口部１２３に当接する。次に、第１ビーム１３２を折り曲げ、規制部１３６の下端部が溝部１２４の底面に当接する。このとき、規制部１３６が壁部１２５を押圧し、連結部１３１が壁部１２５から離間する方向に付勢される（図８左４番目の図）。こうして、規制部１３６が壁部１２５に当接することにより接続子１３０の軸回転を規制し、規制部３６が溝部１２４の底面に当接すると共に、連結部１３１に対して屈曲して第２ビーム１３５が貫通孔１２１の第２開口部１２３に当接することにより接続子１３０の貫通孔の形成方向への移動を規制することにより、接続子１３０が担体１２０に確実に固定されるのである。このように、接続子１３０と担体１２０との固定をより確実に行うことができ、電気的接続体１１０をより作製しやすい。また、図７に示すように、接続子１３０は、第２ビーム１３５と連結部１３１とが貫通孔１２１への挿入前には平板状に形成されているため、貫通孔１２１に接続子１３０をより挿入しやすく、電気的接続体をより一層作成しやすい。
【００３５】
また、上述した第１実施形態では、貫通孔２１が２段階の径で形成されることにより、第１開口部２２が第２開口部２３に比してその開口径が大きくなっているものとしたが、第１開口部２２が第２開口部２３と異なる大きさになるものとすれば特にこれに限定されず、例えば３段階以上の径で形成されるものとしてもよいし、貫通孔２１がテーパ状に形成されるものとしてもよい。
【００３６】
上述した第１実施形態では、第１ビーム３２と第２ビーム３５とが同一方向に折り曲げられた接続子３０を有する電気的接続体１０としたが、特にこれに限定されず、図９に示すように、第１ビーム２３２と第２ビーム２３５とが異なる方向に折り曲げられた接続子２３０を有する電気的接続体２１０としてもよい。こうしても、規制部１３６と壁部１２５とが当接して接続子２３０の回転を抑制し、第２ビーム２３５と第２開口部１２３とが当接して接続子１３０の上側への移動を規制可能であり、接続子２３０と担体１２０との固定をより確実に行うことができ、電気的接続体２１０をより作製しやすい。
【００３７】
上述した第１実施形態では、第１ビーム３２の折り曲げられる方向に規制部３６が連結部３１に対して壁部２５の方向に傾斜して配設され、第１ビーム３２は、この傾斜方向と同じ方向に折り曲げられた接続子３０としたが、特にこれに限定されず、例えば図１０に示すように規制部３６の傾斜方向と異なる方向に第１ビーム３３２が折曲部３３３で折り曲げられた接続子３３０としてもよい。図１０は、別の実施形態の担体３２０及び接続子３３０の説明図である。こうしても、接続子３３０と担体３２０との固定をより確実に行うことができ、電気的接続体をより作製しやすい。
【００３８】
上述した第１実施形態では、溝部２４を形成することにより貫通孔２１の形成方向に壁部２５を立設させる担体２０としたが、貫通孔の形成方向に壁部を立設させるものとすれば特にこれに限定されず、例えば図１０に示すように、貫通孔２１の一部にかかる部分を盛り上げる凸部を形成することにより、壁部２５を形成するものとしてもよい。こうしても、壁部２５と規制部３６とが当接することにより、接続子３３０が軸方向に回転してしまうのを抑制することができる。
【００３９】
上述した第１実施形態では、第１ビーム３２の向く方向に直交するように溝部２４を設け、この溝部２４の壁部２５に当接するように規制部３６を配設した電気的接続体１０としたが、図１１に示すような電気的接続体４１０としてもよいし、図１２に示すような電気的接続体５１０としてもよい。図１１に示す電気的接続体４１０は、貫通孔２１の一部にかかるように貫通孔２１の中央を横切るように第１ビーム３２の向く方向と同じ方向に溝部４２４を設けた担体４２０と、連結部４３１の両脇から溝部４２４の形成方向へ向かって、この溝部４２４により立設された壁部４２５，４２５にそれぞれ当接する規制部４３６を配設した接続子４３０と、を備えている。この接続子４３０は、連結部４３１の左右両側に規制部４３６がそれぞれ同じ方向に向かって設けられている。こうしても、規制部４３６が壁部４２５に当接することにより接続子４３０の軸回転が規制され、接続子４３０と担体４２０との固定をより確実に行うことができ、電気的接続体４１０をより作製しやすい。あるいは、図１２に示す電気的接続体５１０は、貫通孔２１の一部にかかるように貫通孔２１の中央を横切るように第１ビーム３２の向く方向と同じ方向に溝部５２４を設けた担体５２０と、連結部５３１の両脇から溝部５２４の形成方向へ向かって、この溝部５２４により立設された壁部５２５，５２５にそれぞれ当接する規制部５３６を配設した接続子５３０と、を備えている。この接続子５３０は、連結部５３１の左右両側の規制部５３６が互いに異なる方向に向かって設けられている。こうしても、規制部５３６が壁部５２５に当接することにより接続子５３０の軸回転が規制され、接続子５３０と担体５２０との固定をより確実に行うことができ、電気的接続体５１０をより作製しやすい。
【００４０】
上述した第１実施形態では、連結部３１、第１ビーム３２、第２ビーム３５及び規制部３６が一体成形された接続子３０としたが、特にこれに限定されず、２以上の部材を接合したものとしても構わない。このとき、第１ビーム３２や第２ビーム３５を別部材としてもよいし、規制部３６を別部材としてもよい。
【００４１】
上述した第１実施形態では、連結部３１から溝部２４の壁部２５へ向かって傾斜して配設されている規制部３６としたが、壁部２５と当接して接続子３０を固定するものであれば特に限定されず、平板状で傾斜していない規制部としてもよいし、壁部２５から連結部３１へ向かって傾斜して配設されている規制部としてもよい。なお、連結部３１から溝部２４の壁部２５へ向かって傾斜して配設されている方が、接続子３０の固定性の観点からは好ましい。また、規制部３６は平板状であるとしたが、他の形状、例えば棒状であってもよい。また、規制部３６は連結部３１の両脇（左右の端部）に形成されているものとしたが、特にこれに限定されず、連結部３１の両脇以外の部分に形成されていてもよい。また、規制部３６の形成数は１つの接続子３０あたり２個としたが、１個以上であればいくつでも構わない。
【００４２】
上述した第１実施形態では、格子状に形成された貫通孔２１のこの格子の辺に沿って溝部２４を設けた担体２０としたが、図１３に示すように、貫通孔２１の格子の辺に沿わずに溝部２４Ｂを設けた担体２０Ｂを備えた電気的接続体１０Ｂとしてもよい。図１３は、別の実施形態の電気的接続体１０Ｂの説明図である。電気的接続体１０Ｂでは、貫通孔２１の格子の対角線に沿って溝部２４Ｂを形成している。また、電気的接続体１０Ｂは、溝部２４Ｂの壁部２５に直交する方向に接続子３０の第１ビーム３２及び第２ビーム３５が配設されている。こうすれば、各接続子３０のビームの重なりを抑えることが可能であり、例えば接続子３０の破損時などにより交換しやすい。
【００４３】
上述した第１実施形態では、連結部３１に対して屈曲して第１ビーム３２及び第２ビーム３５の少なくとも一方が貫通孔２１の開口部に当接することにより、貫通孔２１の形成方向への移動を規制する接続子３０を備えるものとしたが、特にこれに限定されず、第１ビーム３２や第２ビーム３５が貫通孔２１の開口部に当接しないものとしてもよい。こうしても、規制部３６が壁部２５に当接することによって、接続子３０の移動を規制することができる。このとき、規制部３６が壁部２５を押圧することによって、貫通孔２１の形成方向への接続子３０の移動を規制するものとしてもよい。なお、第１ビーム３２や第２ビーム３５が貫通孔２１の開口部に当接するものとした方が、接続子３０の移動を抑制する観点からは好ましい。
【００４４】
上述した第１実施形態では、緩やかなカーブを描く第１接点３２ａ及び第２接点３５ａにより第１デバイス１２及び第２デバイス１６と接続するものとしたが、第１ビーム３２及び第２ビーム３５の少なくとも一方、好ましくはいずれか一方の接点として、半田ボールを備えるものとしてもよい。半田ボールを接点として備えるときには、半田ボールを固定化するためのランド部を第１又は第２ビームの先端部に備えていることが好ましい。ランド部を備える場合、ランド部を備えるビームは必ずしも元のビームと同じ長さである必要は無く、ランド部が屈曲部（ビームの基部）に隣接していてもよい。
【００４５】
上述した第１実施形態では説明しなかったが、接続子３０と担体２０との間には接着層を備えているものとすることもできる。なお、本発明の電気的接続体１０は、規制部３６と壁部２５とが当接することにより接続子３０の回転を抑制可能であるため、この接着層を設けなくてもよい。
【００４６】
（第２実施形態）
次に、本発明を実施するための第２実施形態を図面を用いて説明する。図１４、１５は、本発明の一実施形態である電気的接続体６１０の構造の概略を表す断面図である。図１４には、電気的接続体６１０の平面図と、接続子６３０の説明図を示した。なお、上述した実施形態と同様の構成については同じ符号を付し、その説明を省略する。電気的接続体６１０は、図１４、１５に示すように、担体２０と接続子６３０とを備えている。この接続子６３０は、対向する電極の一方に接続される第１接点６３２ａを有する第１ビーム６３２と、対向する電極の他方に接続される第２接点６３５ａを有する第２ビーム６３５と、第１ビーム６３２と第２ビーム６３５とが配設された連結部６３１と、担体２０の壁部２５，２５に当接し移動を規制する規制部６３６と、を有している。この電気的接続体６１０では、担体２０の異なる面から第１ビーム６３２及び第２ビーム６３５のそれぞれを突出させた状態で貫通孔２１に連結部６３５が挿入されている。また、接続子６３０は、担体２０の異なる面から直線形状の第１ビーム６３２及び直線形状の第２ビーム６３５のそれぞれを突出させており、それぞれの先端が第１接点６３２ａ及び第２接点６３５ａを形成している。
【００４７】
この接続子６３０は、第１ビーム６３２、第２ビーム６３５、連結部６３１及び規制部６３６とが１本の線材を加工して形成されている。このため、第１ビーム６３２及び第２ビーム６３５は断面が円形の棒状体で形成されており、連結部６３１は第１ビーム６３２と第２ビーム６３５とを接続している範囲をいうものとする。接続子６３０を形成する材料としては、導電性の高い材質が好ましく、例えば、上述した第１実施形態と同等の導電性材料を主体とすることが好ましい。接続子６３０を形成する線材の直径は、０．０１５ｍｍ以上０．３ｍｍ以下とすることが好ましく、０．０８ｍｍ以上０．２ｍｍ以下の範囲がより好ましい。線材の直径が０．０８ｍｍ以上では、形状安定性をより高めることができ、０．２ｍｍ以下では、接続子６３０の配置間隔をより小さくすることができる。また、接続子６３０は、第２ビーム６３５からの巻き方向と異なる方向に第１ビーム６３２が形成されている。即ち、接続子６３０は、規制部６３６のコイルの一端側で下方側に向かって第２ビーム６３５が形成され、一端側と対角に位置する他端側で上方側に向かって第１ビーム６３２が形成されている。
【００４８】
規制部６３６は、担体２０に立設された壁部２５，２５にバネ力を付与するコイルとして形成されている。即ち、接続子６３０は、溝部２４の内部に配設されており、１本の線材を捲回してコイル状の規制部６３６を形成すると共に、一端側を第１ビーム６３２とし、他端側を第２ビーム６３５として作製されている。そして、規制部６３６が壁部２５，２５に当接することにより接続子６３０の軸回転を規制すると共に、接続子６３０の貫通孔２１の形成方向の移動も規制している。この規制部６３６のコイルの巻数は、接続子６３０の移動を規制可能なバネ力を有するような数であればよく、例えば２回以上６回以下としてもよい。このコイルの巻数は、溝部２４の幅と接続子６３０を形成する線材の直径とにより、コイルが溝部２４に挿入可能な数に設定するものとしてもよい。なお、溝部２４の幅は、接続子６３０の配置間隔や加工精度などに基づいて定められる。また、規制部６３６のコイルの直径Ｒは、例えば、溝部２４の溝深さＬ以下の大きさとすることが好ましく、溝深さＬの２／３程度の大きさとすることが接続子６３０の抜けを防止する観点からは好ましい。
【００４９】
このように形成された電気的接続体６１０は、図１５に示すように、第１デバイス１２と第２デバイス１６との間に配置され、第１ビーム３２側が第１デバイス１２と接続し、第２ビーム３５側が第２デバイス１６と接続することにより、第１デバイス１２の第１電極１４と第２デバイス１６の第２電極１８とを電気的に接続する。電気的接続体６１０では、第１デバイス１２と第２デバイス１６とを拘束すると、第１ビーム６３２及び第２ビーム６３５が撓みつつ、第１接点６３２ａと第１電極１４とが電気的に接続すると共に、第２接点６３５ａと第２電極１８とが電気的に接続する。
【００５０】
以上説明した電気的接続体６１０では、規制部６３６のコイルがそのバネ力により壁部２５，２５を押圧し、接続子６３０の軸回転がより強固に規制されると共に、接続子６３０の貫通孔２１の形成方向への移動も規制される。また、コイル状の規制部３６により接続子６３０が固定されるため、貫通孔の形成方向の寸法精度がより緩和されるし、コイルの捲回加工によって、より簡便に接続子６３０を固定することができる。このように、コイル状の規制部６３６によるバネ力を用いて接続子６３０と担体２０との固定をより確実に行うことができる。また、コイル状の規制部６３６とすることにより、線材の捲回加工により接続子６３０を作製可能である。したがって、接続子６３０と担体２０との固定をより確実に行うことができ、電気的接続体６１０をより作製しやすい。また、接続子６３０は、第１ビーム６３２、第２ビーム６３５、連結部３６１及び規制部６３６が１本の線材で形成されているため、一層接続子を作製しやすい。また、接続子３０の作製時に、余分な材料の排出をより抑制することができる。更に、第１ビーム６３２及び第２ビーム６３５が直線状に形成されているから、貫通孔２１への挿入や貫通孔からの取り外しがより容易である。このため、例えば破損時の接続子６３０の個別の取り替えが極めて容易である。更にまた、接続子６３１は、比較的簡易な捲回により形成することが可能であり、且つ比較的簡易なバネ力により担体２０へ固定可能であるため、スプリングバックを低減する括れ部などを形成しなくても済み、接続子の加工がより簡易であり、接続子の歩留まりを向上することができる。そして、接続子６３０は、導電性向上のためなどにメッキ加工を行うことがあるが、線材を用いているため、メッキ加工もしやすい。そしてまた、溝部２４を形成することにより、貫通孔の形成方向に立設された壁部２５を形成可能であるため、比較的容易に壁部２５を形成することができる。また、貫通孔２１の一部にかかるように溝部２４を形成するため、貫通孔２１の近傍に壁部２５を形成しやすい。したがって、電気的接続体を一層作成しやすい。
【００５１】
上述した第２実施形態では、第２ビーム６３５からの巻き方向と異なる方向に第１ビーム６３２が形成されているものとしたが、図１６に示すように、第２ビーム７３５からの巻き方向と同じ方向に第１ビーム７３２が形成されている規制部７３６を備えた接続子７３０としてもよい。図１６は、電気的接続体７１０の構造の概略を表す断面図である。こうしても、接続子と担体との固定をより確実に行うと共に、より作製しやすい電気的接続体を提供することができる。
【００５２】
上述した第２実施形態では、担体２０の異なる面から直線形状の第１ビーム６３２及び直線形状の第２ビーム６３５のそれぞれを突出させているものとしたが、図１７に示すように、第１ビーム８３２の第１接点８３２ａ及び第２ビーム８３５の第２接点８３５ａが、接続する電極側に向かって突出した円弧形状に形成されているものとしてもよい。図１７は、接続子８３０の説明図である。こうすれば、接続子と電極との接続状態を安定化させ易いと共に、電極へ過剰な力が働いたとしても電極へ与えるダメージをより少なくすることができる。
【００５３】
上述した第２実施形態では、接続子６３０は１本の線材で形成されているものとしたが、特にこれに限定されず、２本以上の線材が接続されているものとしてもよいし、線材と平板とで形成されているものとしてもよい。また、第１ビーム３２や第２ビーム３５は棒状に形成されているものとしたが、上述した第１実施形態と同様に、平板状に形成されているものとしてもよいし、コイル状の規制部６３６を備えたカンチレバー状の略Ｃ字状に屈曲した形状を有する接続子としてもよい。
【００５４】
上述した第２実施形態では、コイル状の規制部６３６のばね力により接続子３０の移動を規制するものとしたが、特にこれに限定されず、板ばね状の規制部のばね力により接続子の移動を規制するものとしてもよい。こうしても、接続子と担体との固定をより確実に行うと共に、より作製しやすい電気的接続体を提供することができる。
【００５５】
上述した実施形態の電気的接続体は、第１デバイス１２と第２デバイス１６との電気的な接続状態を検査する検査装置に装着されて用いられるものとしたが、第１デバイスと第２デバイスとの間を電気的に接続するものとしてであれば特にこれに限定されずに用いることができる。
【００５６】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。また、第１実施形態の構成と第２実施形態の構成とを適宜組み合わせるものとしてもよい。
【符号の説明】
【００５７】
１０，１１０，２１０，４１０，５１０，６１０，７１０  電気的接続体、１２  第１デバイス、１４  第１電極、１６  第２デバイス、１８  第２電極、２０，２０Ｂ，１２０，３２０，４２０，５２０  担体、２１，１２１  貫通孔、２２，１２２  第１開口部、２３，１２３  第２開口部、２４，２４Ｂ，１２４，４２４，５２４  溝部、２５，１２５，４２５，５２５  壁部、３０，１３０，２３０，３３０，４３０，５３０，６３０，７３０，８３０  接続子、３１，１３１，４３１，５３１，６３１，７３１  連結部、３２，１３２，２３２，３３２，６３２，７３２  第１ビーム、３２ａ，６３２ａ，７３２ａ，８３２ａ  第１接点、３３，１３３，３３３  折曲部、３４  Ｓ字部、３５，１３５，２３５，６３５，７３５  第２ビーム、３５ａ，１３５ａ，６３５ａ，７３５ａ，８３５ａ  第２接点、３５ｂ  折曲部、３６，１３６，４３６，５３６，６３６，７３６  規制部、１３４  屈曲部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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