(57)【要約】【課題】ポート部をホースに挿し込む際に、ポート部が破壊されることを抑制することができる圧力センサを提供する。【解決手段】測定媒体の圧力に応じて電気的信号を出力するセンサ部２０と、一面に第１凹部１１を備え、第１凹部１１にセンサ部２０を搭載するケース１０と、中空部を有する有底筒部材とされ、底部に第１貫通孔６１が形成されているリッド６０と、中空部を有する筒部材とされ、測定媒体をセンサ部２０へ導入し、一端部がリッド６０の中空部に配置されると共に、他端部が第１貫通孔６１を貫通してリッド６０から突出するポート部８０と、を備え、ケース１０の一面に第１凹部１１を覆うように備えられる蓋部５０と、を有し、ポート部８０を、リッド６０よりも弾性率が低い弾性体で構成する。【選択図】図１
2010203948.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定媒体の圧力に応じて電気的信号を出力するセンサ部（２０）と、
一面に第１凹部（１１）を備え、前記第１凹部（１１）に前記センサ部（２０）を搭載するケース（１０）と、
中空部を有する有底筒部材とされ、底部に第１貫通孔（６１）が形成されているリッド（６０）と、中空部を有する筒部材とされ、前記測定媒体を前記センサ部（２０）へ導入し、一端部が前記リッド（６０）の前記中空部に配置されると共に、他端部が前記第１貫通孔（６１）を貫通して前記リッド（６０）から突出するポート部（８０）と、を備え、前記ケース（１０）の前記一面に前記第１凹部（１１）を覆うように備えられる蓋部（５０）と、を有し、
前記ポート部（８０）は、前記リッド（６０）よりも弾性率が低い弾性体で構成されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記蓋部（５０）は、前記ポート部（８０）、前記リッド（６０）および固定部材（７０）を有した構成とされ、
前記ポート部（８０）は、前記一端部に径方向と反対方向に突出したフランジ（８１）が備えられ、前記フランジ（８１）が前記リッド（６０）の前記底部と対向するように、前記リッド（６０）に備えられ、
前記固定部材（７０）は、第２貫通孔（７１）が形成されており、前記第２貫通孔（７１）が前記ポート部（８０）の前記中空部と連結されるように、前記フランジ（８１）を挟んで前記リッド（６０）の前記底部と反対側に備えられ、
前記ポート部（８０）は、前記リッド（６０）および前記固定部材（７０）が接合され、前記フランジ（８１）が前記リッド（６０）と前記固定部材（７０）との間に固定されることにより、前記リッド（６０）および前記固定部材（７０）にて固定されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記フランジ（８１）のうち前記リッド（６０）と対向する面および前記固定部材（７０）と対向する面のうち少なくとも一面には凸部（８２）が備えられており、前記リッド（６０）および前記固定部材（７０）には前記凸部（８２）と対向する部分に第２凹部（６３、７２）が備えられており、
前記フランジ（８１）は、前記凸部（８２）が前記第２凹部（６３、７２）にはめ込まれた状態で前記リッド（６０）と前記固定部材（７０）との間に固定されていることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記フランジ（８１）のうち前記リッド（６０）と対向する面および前記固定部材（７０）と対向する面のうち少なくとも一面には第２凹部（８３）が備えられており、前記リッド（６０）および前記固定部材（７０）には前記第２凹部（８３）と対向する部分に凸部（６４、７３）が備えられており、
前記フランジ（８１）は、前記第２凹部（８３）に前記凸部（６４、７３）がはめ込まれた状態で前記リッド（６０）と前記固定部材（７０）との間に固定されていることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記リッド（６０）は、前記底部のうち前記中空部側に凸部（６５）が備えられており、
前記ポート部（８０）は、前記一端部に径方向と反対方向に突出し、第２貫通孔（８４）が形成されたフランジ（８１）が備えられ、前記フランジ（８１）が前記リッド（６０）の前記底部と対向すると共に、前記凸部（６５）の先端部が前記第２貫通孔（８４）を貫通して前記フランジ（８１）から突出するように、前記リッド（６０）に備えられており、
前記ポート部（８０）は、前記凸部（６５）のうち前記第２貫通孔（８４）を貫通して前記フランジ（８１）から突出している前記先端部が熱かしめされることにより前記リッド（６０）に固定されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサ部を備えたケースにポート部を備えた蓋部を接合し、ポート部を介して測定媒体をセンサ部に導入する圧力センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、センサ部を備えたケースと、ポート部を備えた蓋部とを接合して成る圧力センサが知られている（例えば、特許文献１参照）。具体的には、このような圧力センサでは、ケースの一面に凹部が形成されており、凹部にセンサ部が搭載されている。また、ポート部は、中空部を備えた筒形状とされており、蓋部から突出するように蓋部に備えられている。そして、蓋部は、凹部を覆うように、ケースのうち凹部が形成されている一面に備えられている。
【０００３】
上記圧力センサは、ケースおよびポート部を備えた蓋部をＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂を型成型することにより形成し、ケースにセンサ部を搭載した後、ケースと蓋部とを接合することにより製造される。
【０００４】
そして、このような圧力センサは、ポート部にホースが挿し込まれ、ホースを介して例えば、自動車のインテークマニホールド（吸気管）に取り付けられることにより、インテークマニホールドにおける吸入空気の圧力検出に用いられる。詳しくは、インテークマニホールドを流れる測定媒体（吸入空気）がホースおよびポート部を介してセンサ部に導入され、センサ部にて測定媒体の圧力に応じた電気的信号が出力されることにより圧力検出が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−１７０３７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような圧力センサでは、ポート部を備えた蓋部全体をＰＰＳ等の樹脂を型成型することにより形成しているため、ポート部も変形（変位）しにくいＰＰＳ等の樹脂で形成されることになる。このため、ポート部をホースに挿し込む際に、ポート部の突出方向と非平行な方向に力を加えた状態でポート部をホースに挿し込むと、ポート部が破壊されることがあるという問題がある。
【０００７】
本発明は上記点に鑑みて、ポート部をホースに挿し込む際に、ポート部が破壊されることを抑制することができる圧力センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、測定媒体の圧力に応じて電気的信号を出力するセンサ部（２０）と、一面に第１凹部（１１）を備え、第１凹部（１１）にセンサ部（２０）を搭載するケース（１０）と、中空部を有する有底筒部材とされ、底部に第１貫通孔（６１）が形成されているリッド（６０）と、中空部を有する筒部材とされ、測定媒体をセンサ部（２０）へ導入し、一端部がリッド（６０）の中空部に配置されると共に、他端部が第１貫通孔（６１）を貫通してリッド（６０）から突出するポート部（８０）と、を備え、ケース（１０）の一面に第１凹部（１１）を覆うように備えられる蓋部（５０）と、を有し、ポート部（８０）を、リッド（６０）よりも弾性率が低い弾性体で構成していることを特徴とする。
【０００９】
このような圧力センサでは、ポート部（８０）が弾性体により構成されており、従来の圧力センサよりポート部（８０）を変形（変位）しやすくすることができる。したがって、ポート部（８０）をホースに挿し込む際に、ポート部（８０）は弾性変形することができるため、ポート部（８０）が破壊されることを抑制することができる。
【００１０】
例えば、請求項２に記載の発明のように、蓋部（５０）を、ポート部（８０）、リッド（６０）および固定部材（７０）を有した構成とし、ポート部（８０）のうち一端部に径方向と反対方向に突出したフランジ（８１）を備え、ポート部（８０）をフランジ（８１）がリッド（６０）の底部と対向するようにリッド（６０）に備え、固定部材（７０）に第２貫通孔（７１）を形成し、第２貫通孔（７１）がポート部（８０）の中空部と連結されるように、固定部材（７０）をフランジ（８１）を挟んでリッド（６０）の底部と反対側に備え、ポート部（８０）を、リッド（６０）および固定部材（７０）を接合し、フランジ（８１）をリッド（６０）と固定部材（７０）との間に固定することにより、リッド（６０）および固定部材（７０）にて固定することができる。
【００１１】
このような圧力センサでは、フランジ（８１）がリッド（６０）と固定部材（７０）との間に固定されることにより、ポート部（８０）がリッド（６０）および固定部材（７０）にて固定されている。これにより、ポート部（８０）として、例えば、接着剤との接合性の悪い材質でも選択することができ、材料の選択性を向上させることができる。
【００１２】
また、請求項３に記載の発明のように、フランジ（８１）のうちリッド（６０）と対向する面および固定部材（７０）と対向する面のうち少なくとも一面に凸部（８２）を備え、リッド（６０）および固定部材（７０）に凸部（８２）と対向する部分に第２凹部（６３、７２）を備え、フランジ（８１）を凸部（８２）が第２凹部（６３、７２）にはめ込まれた状態でリッド（６０）と固定部材（７０）との間に固定することもできる。
【００１３】
さらに、請求項４に記載の発明のように、フランジ（８１）のうちリッド（６０）と対向する面および固定部材（７０）と対向する面のうち少なくとも一面に第２凹部（８３）を備え、リッド（６０）および固定部材（７０）に第２凹部（８３）と対向する部分に凸部（６４、７３）を備え、フランジ（８１）を第２凹部（８３）に凸部（６４、７３）がはめ込まれた状態でリッド（６０）と固定部材（７０）との間に固定することもできる。
【００１４】
請求項３に記載の圧力センサでは、ポート部（８０）は、フランジ（８１）に備えられた凸部（８２）がリッド（６０）および固定部材（７０）に形成された第２凹部（６３、７２）にはめ込まれた状態で固定されている。また、請求項４に記載の発明では、ポート部（８０）は、フランジ（８１）に備えられた第２凹部（８３）にリッド（６０）および固定部材（７０）に形成された凸部（６４、７３）がはめ込まれた状態で固定されている。したがって、ポート部（８０）とリッド（６０）および固定部材（７０）との接合強度を向上させることができ、ポート部（８０）のうちフランジ（８１）がリッド（６０）と固定部材（７０）との間から抜け出ることを抑制することができると共に、フランジ（８１）とリッド（６０）との間およびフランジ（８１）と固定部材（７０）との間の気密封止性を向上させることができる。
【００１５】
また、請求項５に記載の発明のように、リッド（６０）における底部のうち中空部側に凸部（６５）を備え、ポート部（８０）のうち一端部に、径方向と反対方向に突出し、第２貫通孔（８４）が形成されたフランジ（８１）を備え、ポート部（８０）を、フランジ（８１）がリッド（６０）の底部と対向すると共に、凸部（６５）の先端部が第２貫通孔（８４）を貫通してフランジ（８１）から突出するようにリッド（６０）に備え、凸部（６５）のうち第２貫通孔（８４）を貫通してフランジ（８１）から突出している先端部を熱かしめすることによりリッド（６０）に固定することもできる。
【００１６】
このような圧力センサによれば、凸部（６５）の先端部を熱かしめすることによりポート部（８０）をリッド（６０）に固定するため、部品点数を削減することができる。
【００１７】
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態における圧力センサの断面構成を示す図である。
【図２】本発明の第２実施形態における圧力センサの断面構成を示す図である。
【図３】本発明の第３実施形態における圧力センサの断面構成を示す図である。
【図４】本発明の第４実施形態における圧力センサの断面構成を示す図である。
【図５】他の実施形態におけるポート部の断面構成を示す図である。
【図６】他の実施形態におけるポート部の断面構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について説明する。図１は本実施形態の圧力センサの断面構成を示す図であり、この図に基づいて説明する。
【００２０】
図１に示されるように、圧力センサにはケース１０が備えられており、このケース１０は、例えば、断熱樹脂材料であるＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）、ＰＡ（ナイロン）等の樹脂を型成形することにより作られている。そして、このケース１０のうち一面には第１凹部１１が形成されており、この第１凹部１１にセンサ部２０が搭載されている。
【００２１】
センサ部２０は、センサチップ２１と台座２２とを有した構成とされている。センサチップ２１は、表面にダイヤフラムを備えていると共に、表面と反対側の裏面にダイヤフラムを構成するための凹部を備えた半導体ダイヤフラム式のものである。そして、ダイヤフラムには、ブリッジ回路を構成するように形成された図示しないゲージ抵抗が備えられている。つまり、このセンサチップ２１は、ダイヤフラムに圧力が印加されるとゲージ抵抗の抵抗値が変化してブリッジ回路の電圧が変化し、この電圧の変化に応じて電気的信号を出力するものである。
【００２２】
また、ケース１０には、センサチップ２１と外部の回路等とを電気的に接続するための複数個の金属製棒状のターミナル３０が備えられている。これらのターミナル３０はインサートモールドによりケース１０と一体に成形されることによりケース１０内に保持されている。
【００２３】
具体的には、ターミナル３０は一端部が第１凹部１１の底面にて露出するように備えられており、他端部がケース１０から突出するようにケース１０に備えられている。そして、ターミナル３０のうち、第１凹部１１の底面に露出している一端部はセンサチップ２１とボンディングワイヤ４０を介して電気的に接続されており、ケース１０から突出している他端部は、図示しないワイヤハーネス等の外部配線部材を介して外部回路と電気的に接続されている。
【００２４】
また、ケース１０には、第１凹部１１が形成されている一面に、この第１凹部１１を覆うように蓋部５０が備えられている。本実施形態では、この蓋部５０は、リッド６０、固定部材７０およびポート部８０を備えた構成とされている。また、蓋部５０のうちリッド６０が、ケース１０に対して、ハードエポキシ樹脂等の耐薬品性に優れ、且つ高弾性である図示しない接着剤を介して取り付けられている。
【００２５】
リッド６０は、有底筒部材とされ、底部に、第１貫通孔６１が形成されていると共に、窪み部６２が形成されている。詳しくは、第１貫通孔６１は、窪み部６２の底面を貫通するように形成されている。
【００２６】
ポート部８０は、測定媒体をセンサ部２０に導入するものであり、中空部を備えた筒部材とされ、一端部に径方向と反対方向に突出するフランジ８１を備えている。そして、ポート部８０は、一端部がリッド６０の中空部に配置されると共に、他端部が第１貫通孔６１を貫通してリッド６０から突出するように、リッド６０に備えられている。具体的には、ポート部８０は、フランジ８１がリッド６０に形成された窪み部６２と対応する形状とされており、フランジ８１がリッド６０の底部と対向すると共に窪み部６２に収容されるように、リッド６０に備えられている。なお、このポート部８０は、例えば、シリコンゴム、ニトリルブタジエンゴム、フッ素ゴム、エチレンプロピレンジエンゴム等の弾性体を用いて構成されており、特に弾性率が１０Ｍｐａ以下のものを用いるのが好ましい。
【００２７】
固定部材７０は、第２貫通孔７１が形成されており、第２貫通孔７１がポート部８０の中空部と連結するように、フランジ８１を挟んでリッド６０の底部と反対側に備えられている。具体的には、この固定部材７０は、フランジ８１を挟んで窪み部６２の底面と反対側に備えられ、リッド６０の底部のうち窪み部６１が形成されていない部分と接触するように備えられている。
【００２８】
そして、これらリッド６０と固定部材７０とは互いに接触する領域、例えば、リッド６０の底部のうち窪み部６２が形成されていない部分と、固定部材７０のうちリッド６０の当該部分と対向する部分とが溶接や溶着等により接合されている。これにより、フランジ８１がリッド６０と固定部材７０との間に固定されることになり、ポート部８０がリッド６０および固定部材７０にて固定されることになる。なお、フランジ８１は、リッド６０と固定部材７０との間に押し潰されるように配置され、つまり、弾性変形した状態で配置されることにより、リッド６０と固定部材７０との間を封止している。なお、これらリッド６０および固定部材７０は、ケース１０と同様に、ＰＰＳ、ＰＢＴ、ＰＡ等の樹脂を型成型して構成されている。
【００２９】
さらに、第１凹部１１には、電気絶縁性および耐薬品性に優れたフッ素ゲルやフッ素ゴム等で構成された保護部材９０が充填されており、この保護部材９０によって、ケース１０とターミナル３０との界面、センサ部２０およびボンディングワイヤ４０等が封止されて保護されている。
【００３０】
このような圧力センサは、基本的には従来と同様（例えば、特開平１０−１７０３７９号公報参照）にして製造され、ポート部８０を弾性体を用いて構成すればよい。すなわち、まず、上記形状のリッド６０、固定部材７０およびポート部８０を用意する。そして、ポート部８０を、窪み部６２にフランジ８１が収容されると共に、他端部が第１貫通孔６１を貫通してリッド６０から突出するように、リッド６０に備える。その後、固定部材７０を、第２貫通孔７１とポート部８０の中空部とが連結するように、フランジ８１を挟んでリッド６０の底部と反対側に配置する。続いて、フランジ８１を押し潰すように、リッド６０と固定部材７０とを接合し、蓋部５０を構成する。その後、センサ部２０を第１凹部１１に搭載したケース１０を用意し、ケース１０のうち第１凹部１１が備えられる一面に、第１凹部１１が覆われるように、蓋部５０を接合することにより、本実施形態の圧力センサが製造される。
【００３１】
かかる圧力センサの基本的な圧力検出作動について説明する。
【００３２】
本実施形態の圧力センサは、ポート部８０のうちリッド６０から突出している部分をホースに挿し込み、ホースを介して例えば、自動車のインテークマニホールド（吸気管）に取り付けられることにより、インテークマニホールドにおける吸入空気の圧力検出に用いられる。具体的には、測定媒体（吸入空気）がホースおよびポート部８０を介してセンサ部２０に導入されると、センサ部２０では、印加された測定媒体の圧力に応じた電気信号が出力される。その後、この電気信号がセンサ部２０からボンディングワイヤ４０およびターミナル３０を介して外部回路へ伝達されることで圧力検出が行われる。なお、ホースは、特に限定されるものではないが、例えば、金属、ＰＰＳ等の樹脂、シリコンゴム等の弾性体等を用いることができる。
【００３３】
このような圧力センサでは、ポート部８０が弾性体により構成されており、従来の圧力センサよりポート部８０を変形（変位）しやすくすることができる。したがって、ポート部８０をホースに挿し込む際に、ポート部８０の突出方向と非平行な方向に力を加えた状態でポート部８０をホースに挿し込んだとしても、ポート部８０は弾性変形することができるため、ポート部８０が破壊されることを抑制することができる。
【００３４】
また、ポート部８０を弾性変形させた状態でホースに挿入することができるため、組み付け性を向上させることができる。
【００３５】
さらに、ポート部８０は、フランジ８１がリッド６０と固定部材７０との間に固定されることにより、リッド６０および固定部材７０にて固定されている。これにより、例えば、ポート部８０として、シリコンゴムやフッ素ゴム等の接着剤との接合性が低い材質でも用いることができ、材料の選択性を向上させることができる。
【００３６】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、第１実施形態に対して、フランジ８１に凸部を備えたものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図２は、本実施形態の圧力センサの断面構成を示す図である。
【００３７】
図２に示されるように、本実施形態の圧力センサは、ポート部８０におけるフランジ８１のうち、リッド６０と対向する面および固定部材７０と対向する面に凸部８２がそれぞれ備えられている。そして、リッド６０および固定部材７０には、この凸部８２と対向する部分にそれぞれ第２凹部６３、７２が備えられている。つまり、ポート部８０は、フランジ８１に備えられた凸部８２がリッド６０に形成された第２凹部６３および固定部材７０に形成された第２凹部７２にそれぞれはめ込まれた状態で、リッド６０および固定部材７０により固定されている。
【００３８】
このような圧力センサでは、ポート部８０は、フランジ８１に備えられた凸部８２がリッド６０および固定部材７０に形成された第２凹部６３、７２にそれぞれはめ込まれた状態で固定されている。したがって、ポート部８０とリッド６０および固定部材７０との接合強度を向上させることができるため、ポート部８０のうちフランジ８１がリッド６０と固定部材７０との間から抜け出ることを抑制することができると共に、フランジ８１とリッド６０との間およびフランジ８１と固定部材７０との間の気密封止性を向上させることができつつ、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００３９】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、第１実施形態に対して、フランジ８１に第２凹部を備えたものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図３は、本実施形態の圧力センサの断面構成を示す図である。
【００４０】
図３に示されるように、本実施形態の圧力センサは、ポート部８０におけるフランジ８１のうち、リッド６０と対向する面および固定部材７０と対向する面に第２凹部８３がそれぞれ備えられている。そして、リッド６０および固定部材７０には、この第２凹部８３と対向する部分にそれぞれ凸部６４、７３が備えられている。つまり、ポート部８０は、フランジ８１に備えられた第２凹部８３にリッド６０に形成された凸部６４および固定部材７０に形成された凸部７３がそれぞれはめ込まれた状態で、リッド６０および固定部材７０により固定されている。
【００４１】
このような圧力センサでは、ポート部８０は、フランジ８１に備えられた第２凹部８３にリッド６０および固定部材７０に形成された凸部６４、７３がそれぞれはめ込まれた状態で固定されている。したがって、ポート部８０とリッド６０および固定部材７０との接合強度を向上させることができるため、ポート部８０のうちフランジ８１がリッド６０と固定部材７０との間から抜け出ることを抑制することができると共に、フランジ８１とリッド６０との間およびフランジ８１と固定部材７０との間の気密封止性を向上させることができつつ、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４２】
（第４実施形態）
本発明の第４実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、第１実施形態に対して、リッド６０に凸部を備えた構成としたものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図４は、本実施形態の圧力センサの断面構成を示す図である。
【００４３】
図４に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、蓋部５０が、リッド６０およびポート部８０を有した構成とされている。
【００４４】
そして、リッド６０は、有底筒部材とされ、底部に、第１貫通孔６１が形成されていると共に中空部側に突出する凸部６５が備えられている。また、ポート部８０は、フランジ８１に第２貫通孔８４が形成されており、フランジ８１がリッド６０の底部と対向すると共に、凸部６５の先端部が第２貫通孔８４を貫通してフランジ８１から突出するように、リッド６０に備えられている。そして、これらリッド６０とポート部８０とは、凸部６５のうち第２貫通孔８４から突出している先端部が熱かしめされることによりポート部８０がリッド６０に固定されている。
【００４５】
このような圧力センサによれば、凸部６５の先端部が熱かしめされることによりポート部８０がリッド６０に固定されている。したがって、上記第１実施形態よりも部品点数を削減することができつつ、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４６】
（他の実施形態）
上記第１〜第３実施形態では、蓋部５０をリッド６０、固定部材７０およびポート部８０を有した構成とし、ポート部８０をリッド６０と固定部材７０との間に固定する例について説明し、上記第４実施形態では、蓋部５０をリッド６０およびポート部８０を有した構成とし、ポート部８０を熱かしめによりリッド６０に固定する例について説明したが、例えば、ポート部８０がインサート成形されたリッド６０を用いることもできる。これにより、上記第１〜第３実施形態と比較して部品点数を削減することができる。
【００４７】
さらに、上記第２実施形態では、フランジ８１のうちリッド６０と対向する面および固定部材７０と対向する面にそれぞれ一つずつ凸部８２を備えた例を説明したが、例えば、フランジ８１のうちリッド６０と対向する面および固定部材７０と対向する面に複数の凸部８２を備えた構成とすることができ、また、凸部８２の形状も特に限定されるものではない。図５は、他の実施形態にかかるポート部８０の断面構成を示す図である。
【００４８】
図５（ａ）に示されるように、フランジ８１のうちリッド６０と対向する面および固定部材７０と対向する面に、断面がフランジ８１の端部に向かって高さが高くなっていくテーパ形状の凸部８２をそれぞれ備えてもよいし、図５（ｂ）に示されるように、図５（ａ）に示す凸部８２を複数備えることもできる。また、図５（ｃ）に示されるように、フランジ８１のうちリッド６０と対向する面および固定部材７０と対向する面に、断面が半円形状である凸部８２を備えてもよいし、図５（ｄ）に示されるように、図５（ｃ）に示す凸部８２を複数備えることもできる。もちろん、これらの場合には、リッド６０および固定部材７０のうち凸部８２と対向する部分には、凸部８２の形状に対応する第２凹部６３、７２がそれぞれ備えられている。また、上記では、フランジ８１のうちリッド６０と対向する面および固定部材７０と対向する面にそれぞれ凸部８２が備えられている例を説明したが、フランジ８１のうちリッド６０と対向する面および固定部材７０と対向する面のいずれか一面にのみ凸部８２が備えられている構成とすることもできる。
【００４９】
また、上記第３実施形態では、フランジ８１のうちリッド６０と対向する面および固定部材７０と対向する面にそれぞれ一つずつ第２凹部８３を備えた例を説明したが、例えば、リッド６０と対向する面および固定部材７０と対向する面に複数の第２凹部８３を備えた構成とすることができ、また、第２凹部８３の形状も特に限定されるものではない。図６は、他の実施形態にかかるポート部８０の断面構成を示す図である。
【００５０】
図６（ａ）に示されるように、フランジ８１のうちリッド６０と対向する面および固定部材７０と対向する面に、断面がフランジ８１の端部に向かって深さが深くなっていくテーパ形状の第２凹部８３をそれぞれ備えてもよいし、図６（ｂ）に示されるように、図６（ａ）に示す第２凹部８３を複数備えることもできる。また、図６（ｃ）に示されるように、フランジ８１のうちリッド６０と対向する面および固定部材７０と対向する面に、断面が半円形状である第２凹部８３を備えてもよいし、図６（ｄ）に示されるように、図６（ｃ）に示す第２凹部８３を複数備えることもできる。もちろん、これらの場合にも、リッド６０および固定部材７０のうちそれぞれ第２凹部８３と対向する部分には、第２凹部８３の形状に対応する凸部６４、７３がそれぞれ備えられている。また、上記では、フランジ８１のうちリッド６０と対向する面および固定部材７０と対向する面にそれぞれ第２凹部８３が備えられている例を説明したが、フランジ８１のうちリッド６０および固定部材７０と対向する面のいずれか一面にのみ第２凹部８３が備えられている構成とすることもできる。
【００５１】
また、フランジ８１には、リッド６０と対向する面と、固定部材７０と対向する面とで、それぞれ異なる数の凸部８２または第２凹部８３が備えられていてもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１０    ケース
１１    第１凹部
２０    センサ部
５０    蓋部
６０    リッド
６１    第１貫通孔
６２    窪み部
７０    固定部材
７１    第２貫通孔
８０    ポート部
８１    フランジ
【図１】
2010203948.tif 000003
【図２】
2010203948.tif 000004
【図３】
2010203948.tif 000005
【図４】
2010203948.tif 000006
【図５】
2010203948.tif 000007
【図６】
2010203948.tif 000008