(57)【要約】【課題】  ベース部材に対するフィルタの溶着状態に拘わらずインク供給針の取り付き状態を好適にする。【解決手段】  型枠内でインク供給針３２を相対的にフィルタ側に押圧しながら、インク供給針３２をフィルタと共にベース部材３１と一体化するための固定部３４の樹脂を注入し、ベース部材３１に対するフィルタの溶着状態に拘わらずインク供給針３２の高さを均一に維持する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体貯留手段からの液体をノズル開口に供給する液体供給路を備えた液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記液体供給路を形成するフィルタが溶着されたベース部材及び複数の供給路部材を用意する用意工程と、
複数の前記供給路部材を前記ベース部材の前記フィルタ側に個別に押圧しながら、複数の前記供給路部材と前記ベース部材との周囲に樹脂を注入することで一体成型して固定する成形工程と、
前記ベース部材にノズルを備えた液体噴射ヘッド部材を取り付ける取付工程と、
を備えることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記用意工程は、供給路型に樹脂を注入することで複数の前記供給路部材を用意し、
前記成型工程は、前記供給路型の少なくとも一部と共に複数の前記供給路部材を前記ベース部材の前記フィルタ側に個別に押圧するとともに、
複数の前記供給路部材と前記ベース部材との周囲に樹脂を注入する際に、前記供給路型の少なくとも一部を用いることで一体成型する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１もしくは請求項２に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記供給路型には前記供給路部材を成形するための型部が備えられ、
前記成型工程は、一体成型を用いて一体成型を行い、
前記型部と一体成型とを相対移動させる
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドは、供給路部材としてのインク供給針に対し、インクが充填された液体貯留手段であるインクカートリッジが着脱可能に挿入され、ベース部材にはインク供給針が保持されているものがある。これは、ベース部材にはヘッド本体につながるインク流路が形成され、インク供給針から供給されるインクはインク流路を介してヘッド部材としてのヘッド本体に供給される。ヘッド本体には圧電素子等の圧力発生手段が設けられ、圧力発生手段を駆動させることによりヘッド本体に供給されたインクがノズルから吐出される。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インクカートリッジのインク内に気泡が混入したり、インクカートリッジを着脱する際にインク流路のインク内に気泡が混入したりする虞がある。混入した気泡がヘッド本体に供給されると、気泡によりインクの供給が阻害されてドット抜け等の吐出不良が発生する虞があった。
【０００４】
気泡によるインクの供給不良をなくすため、インクカートリッジに挿入されるインク供給針とベース部材（インク流路）との間には、インク内の気泡やゴミ等を除去するためのフィルタが設けられている（例えば、特許文献１参照）。フィルタとベース部材は熱溶着等により固定され、インク供給針とベース部材とは超音波溶着等により固定されている。
【０００５】
特許文献１に開示された構成では、複数のインク供給針をベース部材に個別に超音波溶着しているため、製造工数及び製造コストが増大していた。そして、フィルタは個別にベース部材に固定されているため、インク供給針の高さ方向に対してフィルタの取り付き位置にばらつきが生じるため、一体型インク供給針を用いると、ベース部材に固定した際にインク供給針とベース部材との間隔がばらつく問題があった。
【０００６】
尚、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【特許文献１】特開２０００−２１１１３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、供給路部材をベース部材に対してより好適に取り付ける液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、液体貯留手段からの液体をノズル開口に供給する液体供給路を備えた液体噴射ヘッドの製造方法において、前記液体供給路を形成するフィルタが溶着されたベース部材及び複数の供給路部材を用意する用意工程と、複数の前記供給路部材を前記ベース部材の前記フィルタ側に個別に押圧しながら、複数の前記供給路部材と前記ベース部材との周囲に樹脂を注入することで一体成型して固定する成形工程と、前記ベース部材にノズルを備えた液体噴射ヘッド部材を取り付ける取付工程と、を備えることを特徴とする。
これによれば、供給路部材を個別にフィルタ側に押圧しながら、フィルタと共に供給路部材をベース部材と一体化する樹脂を注入するので、ベース部材に対してフィルタの取り付き位置に拘わらず好適に供給部材を取り付けることができる。即ち、ベース部材に対してフィルタの取り付き位置にずれが生じていても、ベース部材に対して供給路部材を均一な状態で一体化することができる。
【０００９】
そして、前記用意工程は、供給路型に樹脂を注入することで複数の前記供給路部材を用意し、前記成型工程は、前記供給路型の少なくとも一部と共に複数の前記供給路部材を前記ベース部材の前記フィルタ側に個別に押圧するとともに、複数の前記供給路部材と前記ベース部材との周囲に樹脂を注入する際に、前記供給路型の少なくとも一部を用いることで一体成型することを特徴とする。
これによれば、型枠を用いて複数の供給路部材をベース部材に対して好適に取り付けることができる。
【００１０】
また、前記供給路型には前記供給路部材を成形するための型部が備えられ、前記成型工程は、一体成型を用いて一体成型を行い、前記型部と一体成型とを相対移動させることを特徴とする。
これによれば、供給部材の成形及び、供給路部材とベース部材の一体化を連続して実施することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１には本発明の一実施形態例に係る方法で製造された液体噴射ヘッドを備えたインクジェット式記録装置の概略斜視、図２にはインクジェット式記録ヘッドの分解斜視、図３には供給部材の上面視、図４には図３中のＩＶ−ＩＶ線矢視を示してある。
【００１２】
図１に基づいてインクジェット式記録装置１０を説明する。
図に示すように、インクジェット式記録装置１０は、インク滴を吐出する液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド（記録ヘッド）１１がキャリッジ１２に固定されている。記録ヘッド１１には複数の液体貯留手段であるインクカートリッジ１３がそれぞれ着脱可能に固定されている。インクカートリッジ１３にはブラック（Ｂ）、ライトブラック（ＬＢ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）等の異なる色のインクがそれぞれ貯留されている。
【００１３】
記録ヘッド１１が搭載されたキャリッジ１２は、装置本体１４に取り付けられたキャリッジ軸１５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モータ１６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト１７を介してキャリッジ１２に伝達されることで、キャリッジ１２はキャリッジ軸１５に沿って移動される。
【００１４】
一方、装置本体１４にはキャリッジ軸１５に沿ってプラテン１８が設けられており、図示しない給紙装置等により給紙された紙等の被記録媒体Ｓがプラテン１８上を搬送されるようになっている。
【００１５】
また、キャリッジ１２のホームポジションに対応する位置、即ち、キャリッジ軸１５の一方の端部近傍には、記録ヘッド１１のノズル形成面を封止するキャップ部材１９を有するキャッピング装置２０が設けられている。ノズル開口が形成されたノズル形成面をキャップ部材１９により封止することにより、インクの乾燥を防止している。キャップ部材１９はフラッシング動作時のインク受けとしても機能する。
【００１６】
図２〜図４に基づいて記録ヘッド１１を説明する。
図２に示すように、記録ヘッド１１は、液体貯留手段であるインクカートリッジ１３が固定されるカートリッジケース等の供給部材３０と、供給部材３０のインクカートリッジ１３とは反対側の面に固定されたヘッド本体２２０と、ヘッド本体２２０の液体噴射面側に設けられたカバーヘッド２４０とを備えている。
【００１７】
図２〜図４に示すように、供給部材３０は、ベース部材３１及び供給路部材としてのインク供給針３２を備えている。ベース部材３１にはヘッド本体２２０につながるインク流路３６が形成され、インク供給針３２に供給されるインクはインク流路３６を介してヘッド本体２２０に供給される。供給部材３０にはインクカートリッジ１３（図１参照）が着脱可能に装着され、インク供給針３２インクカートリッジ１３（図１参照）に挿入されてインクが供給される。
【００１８】
インク供給針３２に対応するベース部材３１にはインク流路３６が臨む開口部４１が設けられ、開口部４１の上面にはフィルタ３３が配されている。フィルタ３３は周縁部が開口部４１の周囲に溶着されることによりベース部材３１に固定されている。フィルタ３３を挟んでベース部材３１にはインク供給針３２の下端が固定されている。ベース部材３１の開口部４１の周囲とインク供給針３２の下端とにわたり樹脂が充填されて固定部３４とされ、固定部３４によりベース部材３１の開口部４１の周囲とインク供給針３２の下端がフィルタ３３と共に一体化されている。
【００１９】
インク供給針３２は後述する製造方法によりフィルタ３３と共にベース部材３１と一体化される。インク供給針３２は固定部３４の樹脂と同一の樹脂により成形されていれば一体化の密着性が高く望ましいが、別種の樹脂であっても良い。固定部３４はベース部材３１の開口部４１側の面に設けられ、インク供給針３２の下端（一部）を覆うことで、フィルタ３３を挟持した状態でベース部材３１とインク供給針３２とを固定している。インク供給針３２とベース部材３１が固定部３４で一体化されていることで、接合部でのインクの漏れが防止される。
【００２０】
図５〜図１０に基づいてインクジェット式記録ヘッドの供給部材の製造方法を説明する。
図５には供給部材の成形工程の説明、図６には金型を開いた状態の概念、図７には型締め時の断面、図８には図７中の要部詳細、図９には離型時の断面を示してある。
【００２１】
本実施形態例では、型枠としての金型を用い、上型５０には、インク供給針３２の雌型部が備えられた第１型部５１及び第２型部５２が備えられている。上型５０を旋回させることで（型部を移動させることで）、一方側でインク供給針３２の成形が実施されると共に、他方側でベース部材３１及びインク供給針３２を固定するための固定部３４の成形が実施される。上型５０の旋回動作を繰り返すことで、インク供給針３２の成形、及び、固定部３４の成形を連続して実施する。
【００２２】
つまり、図５に示すように、上型５０は、第１型部５１及び第２型部５２からなり、第１型部５１及び第２型部５２の下型５３との対向面には、インク供給針３２を成形するために用いる型部５１ａ、５２ａがそれぞれ２つ備えられている。また、下型５３の固定部３４の成形を行う部位（図中左側）にはフィルタ３３が溶着されたベース部材３１がセットされるための型部５３ａが備えられている。２つの型部５１ａ（５２ａ）には一つの通路から樹脂が注入される。
【００２３】
尚、フィルタ３３が溶着されたベース部材３１の成形部品をベース成形部品４５と称し、成形後の供給部材３０を成形部品４６と称している。
【００２４】
図５（ａ）は、第１型部５１でインク供給針３２とベース部材３１にわたり固定部３４が成形されて一体化され、第２型部５２でインク供給針３２だけが成形された状態である。固定部３４に充填される樹脂量と型部５２ａ（５１ａ）に充填される樹脂量は、ランナ４７の太さ、及び、径の漸減状況が調整されることで調節され、固定部３４及び型部５２ａ（５１ａ）には一つの樹脂源から一括して樹脂が供給される。
【００２５】
図５（ｂ）は、固定部３４及びインク供給針３２が成形されて離型した状態である。この状態で、型部５３ａから成形部品４６を取り出し、型部５３ａにベース成形部品４５をセットする。同時に、上型５０を旋回させ、下型５３の型部５３ａに第２型部５２の型部５２ａを対向させる。これにより、図５（ｃ）に示すように、インク供給針３２とベース成形部品４５が対向すると共に、インク供給針３２が成形されていない第１型部５１の型部５１ａが型部５３ａの反対側に対向する。
【００２６】
この状態で型締めを行って樹脂を注入することにより、図５（ｄ）に示すように、第２型部５２でインク供給針３２とベース成形部品４５にわたり固定部３４が成形されて一体化され、第１型部５１でインク供給針３２だけが成形される。つまり、第１型部５１と第２型部５２が逆になった図５（ａ）の状態となる。
【００２７】
以上の動作を繰り返すことにより、インク供給針３２の成形、及び、インク供給針３２とベース成形部品４５が一体化される部位（固定部３４）の成形が連続して実施される。
【００２８】
本実施形態例では、インク供給針３２とベース成形部品４５が一体化される部位（固定部３４）の成形を行う際に、インク供給針３２をベース成形部品４５側に相対的に押圧しながら、固定部３４への樹脂の注入を行う。このため、ベース成形部品４５のフィルタ３３の取り付き位置がずれていても、即ち、ベース部材３１に対するフィルタ３３の取り付き位置がばらついていても、フィルタ３３を挟んで、インク供給針３２を均一な状態でベース部材３１に一体化することができる。
【００２９】
図６〜図９に基づいてインク供給針３２をベース成形部品４５側に相対的に押圧するための構成（本実施形態例の製造方法）を説明する。図示例は、図５（ａ）に相当する状態の詳細を記載してある。
【００３０】
図６に示すように、上型５０は上部型５０ａ及び下部型５０ｂに分割され、上部型５０ａと下部型５０ｂの間には隙間５４が形成される。第１型部５１及び第２型部５２はそれぞれ枠型５５に支持され、ベース成形部品４５に対向する側の枠型５５は、上部型５０ａに対して下部型５０ｂを移動自在に支持する構成となっている。また、ベース成形部品４５に対向しない側の枠型５５、即ち、インク供給針３２を成形する側の枠型５５は、隙間５４が維持された状態で上部型５０ａと下部型５０ｂを支持する構成となっている。
【００３１】
図７は、第１型部５１がベース成形部品４５に対向し、第２型部５２がベース成形部品４５に対向しない状態、即ち、第１型部５１で固定部３４が成形されると共に、第２型部５２でインク供給針３２が成形された状態である。
【００３２】
図７（ａ）に示すように、上型５０の第２型部５２の中心部位には、成形型部５６が設けられ、成形型部５６の周囲に上部型５０ａ及び下部型５０ｂが配されている。成形型部５６は上部型５０ａと一体状態で枠型５５に支持され、下部型５０ｂは上部型５０ａとの間に隙間５４が維持された状態で枠型５５に支持されている。
【００３３】
図７（ｂ）に示すように、上型５０の第１型部５１の中心部位には、成形型部５６が設けられ、成形型部５６の周囲に上部型５０ａ及び下部型５０ｂが配されている。成形型部５６は上部型５０ａと一体状態で枠型５５に支持され、下部型５０ｂは上部型５０ａに対して隙間５４が詰められた状態に移動して枠型５５に支持されている。
【００３４】
上型５０の第１型部５１及び第２型部５２の成形型部５６には、それぞれ型部５１ａ、５２ａが２個づつ設けられ、型部５１ａ、５２ａの上側の成形型部５６には押付け棒５７が固定されている。押付け棒５７の下端部は型部５１ａ、５２ａの頂部（インク供給針３２の頂部）に当接するようになっている。つまり、上部型５０ａと一体状態とされた成形型部５６に押付け棒５７が固定され、押付け棒５７の下端部がインク供給針３２の頂部に当接することにより、インク供給針３２は成形時に押付け棒５７で押えられた状態に保たれる。
【００３５】
図７（ａ）に示すように、第２型部５２は、下部型５０ｂが上部型５０ａとの間に隙間５４が維持された状態で下型５３との間で型締めされ、２つの型部５２ａに樹脂が注入されてインク供給針３２が成形される。
【００３６】
図７（ｂ）及び図８に示すように、第１型部５１は、下部型５０ｂがベース成形部品４５に押されて隙間５４が詰められて型締めされ、樹脂が注入されて固定部３４（図９参照）が成形される。この時、隙間５４の分、ベース成形部品４５が上部型５０ａ側に上昇し（コアバック）、上部型５０ａがベース成形部品４５に対して相対的に下降した状態になる。上部型５０ａには押付け棒５７により頂部の位置が規制されたインク供給針３２が存在し、上部型５０ａがベース成形部品４５に対して相対的に下降することで、インク供給針３２がベース成形部品４５に対して押付け棒５７で個別に押えられた状態にされる（矢印方向に力が働いた状態にされる）。つまり、インク供給針３２は成形時に押付け棒５７で押えられた状態に保たれる。
【００３７】
このため、ベース成形部品４５のフィルタ３３の取り付き位置がずれていても、即ち、ベース部材３１に対するフィルタ３３の取り付き位置がばらついていても、フィルタ３３を挟んで、インク供給針３２が押付け棒５７で押えられた状態（ベース成形部品４５がインク供給針３２側に移動した状態）にされるので、インク供給針３２を均一な状態でベース部材３１に一体化するように固定部３４を成形することができる。
【００３８】
第２型部５２でのインク供給針３２の成形及び第１型部５１でのインク供給針３２を押えた状態での固定部３４の成形が行われた後、上型５０と下型５３が離型される。図９に示すように、型部５３ａに、フィルタ３３が溶着されたベース部材３１とインク供給針３２が固定部３４で一体化されたベース成形部品４５（供給部材３０）が完成する。
【００３９】
尚、上述した実施形態例では、上型５０と下型５３のうち上型５０を旋回させているが、これに限らず上型５０と下型５３とを相対的に移動させれば良い。
【００４０】
上述した製造方法で製造された供給部材３０のインク流路３６の反対側、即ち、インク供給針３２とは反対側にはヘッド本体２２０が設けられる。
【００４１】
図１０、図１１に基づいてヘッド本体２２０を説明する。図１０にはヘッド本体の分解斜視、図１１にはヘッド本体の断面視を示してある。
【００４２】
図に示すように、ヘッド本体２２０を構成する流路形成基板６０は、本実施形態例では、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には二酸化シリコンからなる弾性膜５５０が形成されている。この流路形成基板６０には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室６２が、幅方向に並設された列が２列形成されている。
【００４３】
各列の圧力発生室６２の長手方向外側には、後述するリザーバ形成基板８０に設けられるリザーバ部８１と連通し、各圧力発生室６２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成する連通部６３が形成されている。また、連通部６３は、インク供給路６４を介して各圧力発生室６２の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。
【００４４】
即ち、本実施形態例では、流路形成基板６０に形成された液体流路として、圧力発生室６２、連通部６３及びインク供給路６４が設けられている。
【００４５】
流路形成基板６０の開口面側には、ノズル開口７１が形成されたノズルプレート７０が接着剤４００を介して固着されている。具体的には、複数のヘッド本体２２０に対応するように複数のノズルプレート７０が設けられ、ノズルプレート７０は後で詳述するカバーヘッド２４０の露出開口部２４１よりも若干広い面積を有してカバーヘッド２４０と重畳する領域で接着剤等によって固定されている。
【００４６】
尚、ノズルプレート７０のノズル開口７１は、各圧力発生室６２のインク供給路６４とは反対側で連通する位置に穿設されている。本実施形態例では、流路形成基板６０に圧力発生室６２が並設された列を２列設けたため、１つのヘッド本体２２０にノズル開口７１の並設されたノズル列７１Ａが２列設けられている。そして、本実施形態例では、ノズルプレート７０のノズル開口７１が開口する面が液体噴射面となっている。ノズルプレート７０としては、例えば、シリコン単結晶基板やステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属基板などが挙げられる。
【００４７】
一方、流路形成基板６０の開口面とは反対側には、弾性膜５５０上に、金属からなる下電極膜と、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料からなる圧電体層と、金属からなる上電極膜とを順次積層することで形成された圧電素子３００が形成されている。
【００４８】
圧電素子３００が形成された流路形成基板６０上には、リザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部８１を有するリザーバ形成基板８０が接合されている。リザーバ部８１は、本実施形態例では、リザーバ形成基板８０を厚さ方向に貫通して圧力発生室６２の幅方向に亘って形成され、上述のように流路形成基板６０の連通部６３と連通されて各圧力発生室６２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。
【００４９】
また、リザーバ形成基板８０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部８２が設けられている。
【００５０】
リザーバ形成基板８０上には、各圧電素子３００を駆動するための半導体集積回路（ＩＣ）等からなる駆動回路１１０が設けられている。駆動回路１１０の各端子は、図示しないボンディングワイヤ等を介して各圧電素子３００の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。そして、駆動回路１１０の各端子には、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）等の外部配線１１１を介して外部と接続され、外部から外部配線１１１を介して印刷信号等の各種信号を受け取るようになっている。
【００５１】
リザーバ形成基板８０上には、コンプライアンス基板１４０が接合されている。コンプライアンス基板１４０のリザーバ１００に対向する領域には、リザーバ１００にインクを供給するためのインク導入口１４４が厚さ方向に貫通することで形成されている。また、コンプライアンス基板１４０のリザーバ１００に対向する領域のインク導入口１４４以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部１４３となっており、リザーバ１００は、可撓部１４３により封止されている。この可撓部１４３により、リザーバ１００内にコンプライアンスを与えている。コンプライアンス基板１４０上には、ヘッドケース２３０が固定されている。
【００５２】
ヘッドケース２３０は、インク導入口１４４に連通すると共に供給部材３０のインク流路３６に連通して、供給部材３０からのインクをインク導入口１４４に供給するインク供給連通路２３１が設けられている。ヘッドケース２３０には、コンプライアンス基板１４０の可撓部１４３に対向する領域に溝部２３２が形成され、可撓部１４３の撓み変形が適宜行われるようになっている。また、ヘッドケース２３０には、リザーバ形成基板８０上に設けられた駆動回路１１０に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動回路保持部２３３が設けられており、外部配線１１１は、駆動回路保持部２３３を挿通して駆動回路１１０と接続されている。
【００５３】
ヘッド本体２２０を構成する各部材には、組立時に各部材を位置決めするためのピンが挿入されるピン挿入孔２３４が角部の２箇所に設けられている。そして、ピン挿入孔２３４にピンを挿入して各部材の相対的な位置決めを行いながら部材同士を接合することで、ヘッド本体２２０が一体的に組み合わせられる。
【００５４】
ヘッドケース２３０を介して供給部材３０に保持されたヘッド本体２２０は、図２に示すように、５つのヘッド本体２２０の液体噴射面側を覆うように箱形状を有するカバーヘッド２４０によって相対的に位置決めされて保持されている。カバーヘッド２４０は、ノズル開口７１を露出する露出開口部２４１と、露出開口部２４１を画成すると共にヘッド本体２２０の液体噴射面の少なくともノズル列７１Ａの並設されたノズル開口７１の両端部側に接合される接合部２４２とを備えている。
【００５５】
接合部２４２は、本実施形態例では、複数のヘッド本体２２０に亘って液体噴射面の外周に沿って設けられた枠部２４３と、隣接するヘッド本体２２０の間に延設されて露出開口部２４１を分割する梁部２４４とで構成されており、枠部２４３及び梁部２４４がヘッド本体２２０の液体噴射面、すなわちノズルプレート７０の表面に接合されている。カバーヘッド２４０には、ヘッド本体２２０の液体噴射面の側面側に、液体噴射面の外周縁部に亘って屈曲するように延設された側壁部２４５が設けられている。
【００５６】
カバーヘッド２４０は、接合部２４２をヘッド本体２２０の液体噴射面に接着するようにしたため、液体噴射面とカバーヘッド２４０との段差を減少させることができ、液体噴射面のワイピングや吸引動作などを行っても、液体噴射面にインクが残留するのを防止することができる。
【００５７】
また、梁部２４４によって隣接するヘッド本体２２０の間が塞がれているため、隣接するヘッド本体２２０の間にインクが侵入することがなく、圧電素子３００や駆動回路１１０などのインクによる劣化及び破壊を防止することができる。また、ヘッド本体２２０の液体噴射面とカバーヘッド２４０との間は、接着剤によって隙間なく接着されているため、隙間に被記録媒体Ｓが入り込むのを防止してカバーヘッド２４０の変形及び紙ジャムを防止することができる。
【００５８】
更に、側壁部２４５が、複数のヘッド本体２２０の外周縁部を覆うことで、ヘッド本体２２０の側面へのインクの回り込みを確実に防止することができる。また、カバーヘッド２４０に、ヘッド本体２２０の液体噴射面と接合される接合部２４２を設けるようにしたため、複数のヘッド本体２２０の各ノズル列７１Ａをカバーヘッド２４０に対して高精度に位置決めして接合することができる。
【００５９】
カバーヘッド２４０としては、例えば、ステンレス鋼などの金属材料が挙げられ、金属板をプレス加工により形成してもよく、成形により形成するようにしてもよい。また、カバーヘッド２４０を導電性の金属材料とすることで、接地することができる。
【００６０】
尚、カバーヘッド２４０とノズルプレート７０との接合は、特に限定されず、例えば、熱硬化性のエポキシ系接着剤や、紫外線硬化型の接着剤による接着などが挙げられる。
【００６１】
本実施形態例のインクジェット式記録ヘッド１１は、インクカートリッジ１３からのインクをインク流路３６から取り込み、インク供給連通路２３１及びインク導入口１４４を介して、リザーバ１００からノズル開口７１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１１０からの記録信号に従い、各圧力発生室６２に対応するそれぞれの圧電素子３００に電圧を印加し、弾性膜５５０及び圧電素子３００をたわみ変形させることにより、各圧力発生室６２内の圧力が高まりノズル開口７１からインク滴が吐出する。
【００６２】
上述した実施形態例では、上型５０と下型５３のうち上型５０を旋回さえていたが、これに限らず上型５０と下型５３とを相対的に移動させれば良い。
【００６３】
尚、上述した実施形態例では、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド１１を例示して本発明を説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】インクジェット式記録装置の概略斜視図である。
【図２】インクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。
【図３】供給部材の上面図である。
【図４】図３中のＩＶ−ＩＶ線矢視図である。
【図５】供給部材の成形工程の説明図である。
【図６】金型を開いた状態の概念図である。
【図７】型締め時の断面図である。
【図８】図７中の要部詳細図である。
【図９】離型時の断面図である。
【図１０】ヘッド本体の分解斜視図である。
【図１１】ヘッド本体の断面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１０  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １１  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ３０  供給部材、  ３１  ベース部材、  ３２  インク供給針、  ３３  フィルタ、  ３４  固定部、  ３６  インク流路、  ５０  上型、  ５１  第１型部、  ５２  第２型部、  ５３  下型、  ５４  隙間、  ５６  成形型部、  ５７  押付け棒
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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