(57)【要約】【課題】真空チャンバ内において、簡単な構造で、液体の注入に必要な部材同士の密着を正確に検出し、確実に液体をできる差圧方式を用いた液体注入装置を提供する。【解決手段】  真空チャンバ１１と、光学窓を有し、液体容器４１が載置される容器アダプタ４２を搭載する昇降テーブル４３と、被注入容器６ａを上面に搭載し、注入口に液体容器４１に収納された液体４の液面が接したとき、容器アダプタ４２をチャッキングするように、移動可能なフック３ａ，３ｂを有するカセットトレイ２と、昇降テーブル４３の下方に配置され、フック３ａ，３ｂが容器アダプタ４２をチャッキングするように移動したとき、光学窓を介して照射された光が真空チャンバ１１の内壁まで到達するように光を出射する投光部と、真空チャンバ１１の内壁で反射した光を検出する受光部とを有するセンサ５ａ，５ｂとを備える。【選択図】      図１
2010276714.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバと、
光学窓を有し、液体容器が載置される容器アダプタを搭載し、前記真空チャンバ内で昇降する昇降テーブルと、
注入口を底部に露出した被注入容器を上面に搭載するカセットトレイであって、前記昇降テーブルの上昇により、前記注入口に前記液体容器に収納された液体の液面が接したとき、前記容器アダプタをチャッキングするように、下面において水平方向に移動可能なフックを有するカセットトレイと、
前記昇降テーブルの下方に配置され、前記フックが前記容器アダプタをチャッキングしていないとき、前記フックの下面に設けられた遮光処理層により前記光学窓を介して照射された光が吸収され、前記フックが前記容器アダプタをチャッキングするように移動したとき、前記光学窓を介して照射された光が前記真空チャンバの内壁まで到達するように光を出射する投光部と、前記真空チャンバの内壁で反射した光を検出する受光部とを有するセンサ
とを備え、前記真空チャンバの内部を真空排気することにより、前記被注入容器の内部を減圧状態にし、前記センサが前記容器アダプタのチャッキングを確認した後、前記真空チャンバの内部を加圧することにより、前記液体を前記被注入容器の内部に注入することを特徴とする液体注入装置。
【請求項２】
前記真空チャンバの内壁が、鏡面仕上げされていることを特徴とする請求項１に記載の液体注入装置。
【請求項３】
前記カセットトレイが、中央の貫通口を囲む額縁形状をなし、前記貫通口を介し、前記注入口に前記液体容器の液面が接し、且つ前記光学窓を介して照射された光が前記貫通口を介して、前記真空チャンバの内壁まで到達することを特徴とする請求項１又は２に記載の液体注入装置。
【請求項４】
前記フックが、
前記フックの上面から下面に貫通するフック貫通口と、
前記昇降テーブルの上昇により、前記注入口に前記液体容器の液面が接したとき、前記昇降テーブルの上面からの圧力により前記フック貫通口内を上昇してロック状態が解除され、前記フックを待機位置から、前記容器アダプタをチャッキングするチャッキング位置まで移動可能にするロックピン
とを備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体注入装置。
【請求項５】
前記カセットトレイが、複数の前記被注入容器を収納したカセットを、前記額縁形状をなす部分に搭載することを特徴とする請求項３に記載の液体注入装置。
【請求項６】
前記フックが、アルミニウム又はアルミニウム合金からなり、
前記遮光処理層は、前記アルミニウム又はアルミニウム合金の表面にブラスト処理を施した表面であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体注入装置。
【請求項７】
前記遮光処理層が、プラズマ電界型黒色陽極セラミックス被膜を含むことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体注入装置。
【請求項８】
前記カセットトレイには、前記ロックピンが水平方向に移動する際のガイドとなるロックピンスリットが設けられていることを特徴とする請求項４に記載の液体注入装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置等の電子装置に差圧方式で液体を注入する液体注入装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１３に示す液晶パネル６は、例えば、図１４に示すように、第１のガラス基板６３と第２のガラス基板６４の間に、アレイ状に配列された複数のＴＦＴ等からなる液晶セル７を、それぞれマトリックス状に配置して構成されている。液晶パネル６は、図１３に示すように、マトリックス状に配置された液晶セル７を取り囲むシール６２をガラス基板６３，６４の間に備える。シール６２は、２枚のガラス基板６３，６４の間に、縁に沿って枠状に設けられるが、一部分を注入口６１として残す。この注入口６１は、液晶セル７に液晶（液体）が注入された後、封止される。図１４は、図１３に示した液晶パネル６の液晶セル７の１画素分の模式的な断面図に対応するが、第１のガラス基板６３上に赤、緑、青、３種のカラーフィルタ７２ｒ，７２ｇ，７２ｂ、ブラックマトリックス７１及び対向電極７３等が設けられ、第２のガラス基板６４上に、カラーフィルタ７２ｒ，７２ｇ，７２ｂに対応して、３つのＴＦＴ７４ｒ，７４ｇ，７４ｂ、３つの透明電極７５ｒ，７５ｇ，７５ｂ等が設けられている。
【０００３】
液晶パネル６は不純物が混入すると劣化し易く、真空チャンバ内で差圧を利用して注入作業が行われる。即ち、図１３に示すように注入口６１が設けられた液晶パネル６と、液晶が充填された液晶皿等を真空チャンバ内に収容し、真空チャンバ内を真空ポンプで排気することにより液晶パネル６の内部を減圧状態とし、液晶皿の液晶の液面に減圧状態の液晶パネル６の注入口６１を接液する。その後、真空チャンバ内に窒素ガス等の不活性ガスを導入すると、真空チャンバ内の圧力と減圧状態の液晶パネル６の内部との差圧によって、液晶パネル６に、注入口６１から液晶４ａが吸引される。その後、注入口６１を接着剤などにより閉塞する（特許文献１参照）。
【０００４】
このように、液晶パネル６の内部に液晶を注入するためには、減圧状態の液晶パネル６の注入口６１を、液晶皿に充填された液晶に接液するように正確に固定する必要があり、この固定状態のモニタリングが必要になる。液晶パネル６と液晶皿とを固定する固定機構の状態や、この固定機構に用いられる部材の位置をモニタリングしようとする場合、透過型センサ、近傍センサ、或いは微小な検出距離で物理的な検出を行うセンサ（リミットスイッチ）等を使用することが考えられる。
【０００５】
液晶注入用の真空チャンバの内壁は、ステンレス鋼からなっており、アウトガスの低減や清掃性の観点から、鏡面仕上げしてあることが一般的である（特許文献２参照）。液晶パネル６の注入口６１と液晶皿との固定状態を光学的にモニタリングするため、鏡面仕上げされた内壁面を備えるチャンバの中で光学センサを使用する場合、鏡面による乱反射がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−２０７２１９号公報
【特許文献２】特開２００８−１６３４５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、透過型センサは投光側、受光側の２つの装置を設置する必要があり、設置スペースに余裕がない場合や装置の構造上取り付け不可となる場合がある。又、複数の光学センサを使用する場合、鏡面チャンバ内の乱反射により検出箇所の同定が不可能になる。更に、リミットスイッチや近傍センサでは物理的な接触が必要で、近距離での検出しかできない問題がある。
【０００８】
このような固定機構の状態や、その部材の位置のモニタリングに係る問題は、上述した液晶パネル６への液晶の注入の他、エレクトロルミネッセンスパネル（ＥＬパネル）へシリコーンオイル等を注入する場合等、液晶注入装置と同様な差圧方式を用いた他の電子装置（被注入容器）への液体を注入する液体注入装置においても同様である。
【０００９】
本発明は、真空チャンバ内において、簡単な構造で、液体の注入に必要な部材同士の密着を正確に検出し、確実に液体をできる差圧方式を用いた液体注入装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の様態は、（イ）真空チャンバと、（ロ）光学窓を有し、液体容器が載置される容器アダプタを搭載し、真空チャンバ内で昇降する昇降テーブルと、（ハ）注入口を底部に露出した被注入容器を上面に搭載するカセットトレイであって、昇降テーブルの上昇により、注入口に液体容器に収納された液体の液面が接したとき、容器アダプタをチャッキングするように、下面において水平方向に移動可能なフックを有するカセットトレイと、（ニ）昇降テーブルの下方に配置され、フックが容器アダプタをチャッキングしていないとき、フックの下面に設けられた遮光処理層により光学窓を介して照射された光が吸収され、フックが容器アダプタをチャッキングするように移動したとき、光学窓を介して照射された光が真空チャンバの内壁まで到達するように光を出射する投光部と、真空チャンバの内壁で反射した光を検出する受光部とを有するセンサとを備える液体注入装置であることを要旨とする。この液体注入装置は、真空チャンバの内部を真空排気することにより、被注入容器の内部を減圧状態にし、センサが容器アダプタのチャッキングを確認した後、真空チャンバの内部を加圧することにより、液体を被注入容器の内部に注入する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、真空チャンバ内において、簡単な構造で、液体の注入に必要な部材同士の密着を正確に検出し、確実に液体をできる差圧方式を用いた液体注入装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態に係る液体注入装置の概略を、真空チャンバと加熱チャンバのチャンバ部分を断面表示して示す模式的な正面図である。
【図２】図２（ａ）は、昇降テーブルが上方に移動する前の、図１に示した液体注入装置の真空チャンバの中央を紙面に垂直方向の断面で切った場合の模式的な断面図で、図２（ｂ）は、昇降テーブルが上方に移動し、被注入容器（液晶パネル）が液体容器（液晶皿）の液体（液晶）と接液した状態を示す模式的な断面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る液体注入装置に用いるカセットトレイ、液体容器（液晶皿）、容器アダプタ（液晶皿アダプタ）、昇降テーブルの配置関係を示す上面図である。
【図４】図４（ａ）は、本発明の実施の形態に係る液体注入装置に用いるフックの上面図で、図４（ｂ）は、正面図で、図４（ｃ）は、右側面図である。
【図５】図５（ａ）は、本発明の実施の形態に係る液体注入装置に用いるフックが、ロックされた状態を模式的に説明する上面図で、図５（ｂ）は、図５（ａ）のV−V方向から見た断面図である。
【図６】図６（ａ）は、本発明の実施の形態に係る液体注入装置に用いるフックが、アンロックされた状態を模式的に説明する上面図で、図６（ｂ）は、図６（ａ）のVI−VI方向から見た断面図である。
【図７】本発明の実施の形態に係る液体注入装置に用いるフックが、ロックされた状態において、センサによりフックの位置を検出する様子を説明する模式図である。
【図８】本発明の実施の形態に係る液体注入装置に用いるフックが、アンロックされた状態において、センサの出力光が、鏡面仕上げされた真空チャンバの内壁で反射される様子を説明する模式図である。
【図９】図９（ａ）は、種々の反射面を有する対象物（ワーク）からの反射光を、反射型センサにより検出した際の、センサから対象物までの距離とセンサアンプの出力電圧の関係を示す図で、図９（ｂ）は、図９（ａ）に示したセンサアンプの読みを拡大して示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係る液体注入方法を、液晶の注入を例に説明する模式図で、昇降テーブルが上方に移動する前の状態を示す。
【図１１】本発明の実施の形態に係る液体注入方法を、液晶の注入を例に説明する模式図で、昇降テーブルが上方に移動し、被注入容器（液晶パネル）が液体容器（液晶皿）の液体（液晶）と接液した状態で、センサの出力光が、鏡面仕上げされた真空チャンバの内壁で反射される様子を示す。
【図１２】本発明の実施の形態に係る液体注入方法を、液晶の注入を例に説明する模式図で、容器アダプタ（液晶皿アダプタ）が正確にチャッキングされていると判断された後、昇降テーブルが下降し、差圧を利用して、被注入容器（液晶パネル）に液体（液晶）が吸引される様子を示す。
【図１３】液晶パネルの概略の構造を説明する模式的な平面図である。
【図１４】図１３に示した液晶パネルの液晶セルの構造例を説明する模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
次に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。但し、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関係、装置の構成等は現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な厚みや寸法は以下の説明を参酌して判断すべきものである。又、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。又、以下に示す実施の形態は、本発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、本発明の技術的思想は、構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。本発明の技術的思想は、特許請求の範囲に記載された技術的範囲内において、種々の変更を加えることができる。
【００１４】
（液体注入装置）
本発明の実施の形態に係る液体注入装置は、図１に示すように、複数枚の被注入容器（液晶パネル）６ａ，６ｂ，６ｃ，…（図１においては４枚の被注入容器６ａ〜６ｄのうち、一番手前の被注入容器６ａのみが示されているが、被注入容器の枚数は４枚に限定されるものではない。）に、それぞれ差圧方式で液体（液晶）を注入する真空チャンバ１１と、真空チャンバ１１の右側に接続されたゲートバルブ１０ｂと、ゲートバルブ１０ｂを介して、真空チャンバ１１に連通する加熱チャンバ１２とを備える液晶注入装置である。真空チャンバ１１の左側及び加熱チャンバ１２の右側には、それぞれゲートバルブ１０ａ，１０ｃが接続され、更に、真空チャンバ１１、加熱チャンバ１２、ゲートバルブ１０ａ、１０ｂ、１０ｃ等の動作、出力を制御する制御装置１３を備える。
【００１５】
真空チャンバ１１の内部には、液体容器（液晶皿）４１を搭載した容器アダプタ（液晶皿アダプタ）２を載置して上下に昇降する昇降テーブル４３が設けられている。昇降テーブル４３は図３に示すように、矩形の平板であり、昇降テーブル４３に接続された昇降機構１９により、液体容器４１を上下に移動させるように昇降する。液体容器４１には液体（液晶）４が収納されている。真空チャンバ１１の内部において、液体容器４１の上方には、容器アダプタ４２をチャッキングするための４個のフック３ａ〜３ｄ（図１では４つのうち２つのフックａ，ｂのみを図示している。）を下面に持つカセットトレイ２が配置され、カセットトレイ２の上面には、４枚の被注入容器６ａ〜６ｄ（図１においては、一番手前の被注入容器６ａのみが示されている。）が装填されたカセット２３が搭載されている。カセットトレイ２は、図示を省略したカセットトレイホルダにより真空チャンバ１１の内部に固定されている。昇降テーブル４３の下方に位置する、真空チャンバ１１の内部の下部には、更に、４個のフック３ａ〜３ｄを下方から光学的に検知する４台のセンサ５ａ〜５ｄとを備える（図１においては４台のうち２台のセンサ５ａ，５ｂのみを図示している。）。なお、図１においてはセンサ５ａ〜５ｄが、真空チャンバ１１の内部に配置された例を示しているが、センサ５ａ〜５ｄを真空チャンバ１１の外部に配置し光学窓（ビューポート）を介して真空チャンバ１１の内部に光を導入し、真空チャンバ１１の内壁で反射した光を、光学窓（ビューポート）を介して検出するようにしてもよい。
【００１６】
図２に図１の９０度横から見た断面図を示すように、４枚の被注入容器６ａ〜６ｄには、それぞれ注入口６１ａ〜６１ｄが設けられ、それぞれの注入口６１ａ〜６１ｄを下方に向け、カセット２３に装填されている。カセット２３は、図３にその上面図を示すように、４枚の被注入容器６ａ〜６ｄを上方から装填、固定できる箱状の容器である。カセット２３は、図１にその一部を例示した４個のフック３ａ〜３ｄが容器アダプタ４２をチャッキングしている状態で、装填された４枚の被注入容器６ａ〜６ｄのすべての注入口６１ａ〜６１ｄに、液体容器４１に収納された液体４を、下方から接液できるように、上面を開放し、下面に貫通口を持つ。図２（ａ）は、昇降機構１９により昇降テーブル４３が上方に移動する前の状態を、図２（ｂ）は、昇降テーブル４３が上方に移動し、４枚の被注入容器６ａ〜６ｄが液体容器４１の液体４と接液した状態を示す。
【００１７】
図１にその１部を例示した４台のセンサ５ａ〜５ｄは、それぞれ投光部と受光部を備える反射型センサであり、投光部から赤外線等の光を上方に向け出射し、受光部において反射光の光量変化を検出する。４台のセンサ５ａ〜５ｄにより検出された反射光の光量変化は、制御装置１３に入力され、制御装置１３は、４個のフック３ａ〜３ｄが容器アダプタ４２を正常にチャッキングしているか否かを判断する。
【００１８】
図１に示すように、真空チャンバ１１は、真空バルブ１５を介して、真空ポンプ１４と接続されており、真空ポンプ１４により、真空チャンバ１１内の真空引きが行われる。同様に、真空チャンバ１１は、導入バルブ１６を介して、不活性ガス導入手段１７と接続されている。不活性ガス導入手段１７により、真空引きされた真空チャンバ１１内に窒素ガス等の不活性ガスを導入する。真空引きされた真空チャンバ１１内の気圧を、大気圧若しくは大気圧以上にすることにより、差圧方式で４枚の被注入容器６ａ〜６ｄのそれぞれの注入口６１ａ〜６１ｄから液体容器４１に収納された液体４が４枚の被注入容器６ａ〜６ｄのそれぞれの内部に注入される。不活性ガス導入手段１７は例えば、不活性ガスを充填した高圧容器（ボンベ）と圧力調整手段（レギュレータ）等から構成すればよい。
【００１９】
後述するように、４枚の被注入容器６ａ〜６ｄのそれぞれに液体容器４１に収納された液体４が注入が開始された後、ゲートバルブ１０ｂが開けられる。４枚の被注入容器６ａ〜６ｄは、４枚の被注入容器６ａ〜６ｄのそれぞれの注入口６１ａ〜６１ｄが、液体容器４１に収納された液体４に接液した状態のまま、カセットトレイ２は、図示を省略したカセットトレイホルダから解除され、図示を省略した移送機構により、ゲートバルブ１０ｂを通過し、加熱チャンバ１２内に移送される。カセットトレイ２の４個のフック３ａ〜３ｄは、容器アダプタ４２をチャッキングすることで、液体容器４１をカセットトレイ２と一体化しているので、接液が安定した状態で移送される。
【００２０】
加熱チャンバ１２の上部には、図１に示すようにヒータ１８が設けられ、ヒータ１８は、制御装置１３によりその駆動電流が制御される。ヒータ１８が加熱チャンバ１２内の温度を上昇させることで、液体注入（液晶注入）の速度を速める（図１は模式図であり、ヒータ１８の配置位置は、加熱チャンバ１２の上部に限定されるものではなく、加熱チャンバ１２の他の箇所や、加熱チャンバ１２の内部又は外部のほぼ全体に設けられていても構わない。）。
【００２１】
図３は、本発明の実施の形態に係る液体注入装置の真空チャンバ１１内におけるカセットトレイ２、液体容器４１、容器アダプタ４２及び昇降テーブル４３を上方から見た上面図であり、容器アダプタ４２がチャッキングされていない状態の平面図に対応する。図３において、２点鎖線は、カセット２３がカセットトレイ２上に設置される位置を示す。
【００２２】
図３に示すように、カセットトレイ２は、カセット２３が搭載される箇所に、上面から下面へかけて貫通口するカセットトレイ貫通口２０を有する額縁状（枠状）の形状をなす。図２に示すように、カセット２３に装填された４枚の被注入容器６ａ〜６ｄのそれぞれの注入口６１ａ〜６１ｄは、カセットトレイ２のカセットトレイ貫通口２０から、すべて液体容器４１の液体４に接液できる。図３に示すように、カセットトレイ２は、上面の４箇所に、４つのカセット留め具２２ａ〜２２ｄを備える。カセット留め具２２ａ〜２２ｄは、カセットトレイ２の上方から見てＬ字形の凸部であり、カセット２３が搭載される位置を、カセット２３の下面の４つの角を固定することにより決める。図示を省略しているが、図３において、４枚の被注入容器６ａ〜６ｄは、それぞれの長辺をカセット２３の長辺に平行にして、カセット２３に、下から順に、被注入容器６ａ、被注入容器６ｂ、被注入容器６ｃ、被注入容器６ｄと装填される。したがって、図１においては４枚の被注入容器６ａ〜６ｄのうち、一番手前の被注入容器６ａのみが示されている。カセットトレイ貫通口２０の長辺の長さは、この長辺方向に測ったカセット２３の下面の長さより長く、カセットトレイ貫通口２０の短辺の長さは、この短辺方向に測ったカセット２３の下面の長さよりも短い。したがって、４つのカセット留め具２２ａ〜２２ｄは、カセットトレイ２の額縁の上下の辺に配置される。
【００２３】
図３に示すように、カセットトレイ２は、更に、上面から下面へ貫通する４本のロックピンスリット２１ａ〜２１ｄを４箇所に有する。４本のロックピンスリット２１ａ〜２１ｄは、４個のフック３ａ〜３ｄが直線運動するためのガイドとしてのスリットである。２本のロックピンスリット２１ａ，２１ｂは、図３においてカセットトレイ２がなす額縁形状の下側の辺に配置され、カセットトレイ２の短手方向に沿う中心線に関し、互いに鏡像対称になるように設けられている。２本のロックピンスリット２１ａ，２１ｂの水平位置は、カセットトレイ貫通口２０の長辺の長さに収まる位置の両端近傍に配置されている。ロックピンスリット２１ｃ，２１ｄは、ロックピンスリット２１ａ，２１ｂと、カセットトレイ２の長手方向に沿う中心線に関し、互いに鏡像対称となるように、図３においてカセットトレイ２がなす額縁形状の上側の辺に配置されている。４本のロックピンスリット２１ａ〜２１ｄの、それぞれのカセットトレイ２の中央部から離れた側の一端は、図５等にその一部を例示したロック部２１０ａ〜２１０ｄとなっており、ロックピンスリット２１ａ〜２１ｄの幅より大きな直径を持つ円形の凹部となっており、ロック部２１０ａ〜２１０ｄの内部にロックピン３１ａ〜ロックピン３１ｄが収まる。
【００２４】
図３において、カセットトレイ２は、４本のロックピンスリット２１ａ〜２１ｄのそれぞれの位置に合わせて、下面に４個のほぼ矩形のフック３ａ〜３ｄを備えている。図２に例示されたフック３ａ，３ｂは、図３においてカセットトレイ２がなす額縁形状の下側の辺に配置され、カセットトレイ２の短手方向に沿う中心線に対して、互いに鏡像対称になるように配置されている。図２にその例示が省略されたフック３ｃ，３ｄは、フック３ａ，３ｂと、カセットトレイ２の長手方向に沿う中心線に関し、互いに鏡像対称となるように、図３においてカセットトレイ２がなす額縁形状の上側の辺に配置されている。容器アダプタ４２を４個のフック３ａ〜３ｄがチャッキングしていない状態では、図３に示すように、カセットトレイ２の上方から見て、４個のフック３ａ〜３ｄの配置位置は、カセットトレイ２の長手方向において、カセットトレイ貫通口２０の長辺から、その一部がそれぞれはみ出すような関係で配置される。
【００２５】
４個のフック３ａ〜３ｄは、概略としては、矩形平板であり、それぞれロックピン３１ａ〜３１ｄを備える。図５及び図６を用いて後述するように、ロックピン３１ａ〜３１ｄは、概略としては、円柱状のピンであり、４個のフック３ａ〜３ｄに及びカセットトレイ２に対して垂直に設けられ、４つのロックピンスリット２１ａ〜２１ｄに沿って、図３の水平方向に直線運動することができる。図３に示すように、４個のフック３ａ〜３ｄが容器アダプタ４２をチャッキングしていないとき、４個のフック３ａ〜３ｄのロックピン３１ａ〜３１ｄは、それぞれカセットトレイ２の中央部から離れた側のロックピンスリット２１ａ〜２１ｄの端にある（図７参照。）。一方、図８に示すように、容器アダプタ４２をチャッキングすると、４個のフック３ａ〜３ｄのロックピン３１ａ〜３１ｄは、それぞれロックピンスリット２１ａ〜２１ｄをカセットトレイ２の中央部に近い方向へ進行する。
【００２６】
図３に示すように昇降テーブル４３は、上面から下面へかけて貫通した４つの光学的な検出窓４３０ａ〜４３０ｄを有する。２点鎖線で領域を示したように、４つの検出窓４３０ａ〜４３０ｄは、カセットトレイ２の上方から見てカセットトレイ貫通口２０のカセット２３によって塞がれていない部分の下方に位置する。図３に示すように、４個のフック３ａ〜３ｄが容器アダプタ４２をチャッキングしていない状態において、カセットトレイ２の上方から見て、４つの検出窓４３０ａ〜４３０ｄの中央部は、それぞれフック３ａ〜３ｄにより光学的に塞がれている。一方、図８に示すように、４個のフック３ａ〜３ｄが容器アダプタ４２をチャッキングしている状態においては、４個のフック３ａ〜３ｄがカセットトレイ２に対し移動しているので、カセットトレイ２の上方から見て、４つの検出窓４３０ａ〜４３０ｄからカセットトレイ２のカセットトレイ貫通口２０まで光学的に阻害がないようになるようになる。
【００２７】
容器アダプタ４２は、概略として、矩形平板であるが、容器アダプタ４２が昇降テーブル４３に設置され上昇する際、４個のフック３ａ〜３ｄに阻害されないように、平板の４つの角がそれぞれＬ字形の切り欠き部を有する。４個のフック３ａ〜３ｄの位置に対応して、容器アダプタ４２は、４つのＬ字形の切り欠き部に隣接して、下面に４つのフック受け部４２１ａ〜４２１ｄを有する。図７にその一部４２１ａ，４２１ｂを２点鎖線で囲んで例示したように、４つのフック受け部４２１ａ〜４２１ｄは、容器アダプタ４２の主要部を構成する平板の厚みより薄い厚みになるように形成された段差部であり、図３に示すように平面パターンとしては、矩形に形成されている。図８に示すように、４個のフック３ａ〜３ｄは、それぞれフック受け部４２１ａ〜４２１ｄに挿入され、容器アダプタ４２を挟み込んでチャッキングする。
【００２８】
フック３ａ〜３ｄは同一の構造であるので４個のフック３ａ〜３ｄのうち、代表としてフック３ａの三面図を図４に示すが、他のフック３ｂ〜３ｄについても同様である。図４（ａ）はフック３ａの上面図、図４（ｂ）はフック３ａの正面図、図４（ｃ）はフック３ａの右側面図である。フック３ａが備えるロックピン３１ａ（図５参照）は、図示していない。フック３ａは、真空で用いてもアウトガスの少ないアルミニウム（Ａｌ）又はアルミニウム合金等から構成するのが好ましい。図４（ｂ），（ｃ）に示すように、フック３ａの底面には遮光処理層３６ａが設けられている。遮光処理層３６ａは、フック３ａの材料がアルミニウム又はアルミニウム合金であれば、これらの表面をサンドブラスト等のブラスト処理を施した後、更に、プラズマ処理を施して、プラズマ電界型黒色陽極セラミックス被膜等を生成することにより光学的な低反射率の表面を形成できる。フック３ａの材料がアルミニウム又はアルミニウム合金でない場合は、ブラスト処理を施したアルミニウム又はアルミニウム合金の薄板、或いは、プラズマ電界型黒色陽極セラミックス被膜を表面に有する薄板をフック３ａの底面にボルト等の固定手段を用いて接合して遮光処理層３６ａを構成してもよい。
【００２９】
図４に示すように、フック３ａは、上面にＬＭガイド溝部３４ａと、容器アダプタ４２を挟み込んでチャッキングするチャッキング部３５ａを有する。ＬＭガイド溝部３４ａは、図５に示すように、カセットトレイ２の下面に凸部として設けられたＬＭガイド２７ａ（図４（ｃ）の２点鎖線参照。）に対応するＵ字形の溝部であり、カセットトレイ２の長手方向に沿って延伸し、フック３ａがカセットトレイ２に対して直線運動をする際のガイドとなる。チャッキング部３５ａは、フック３ａの上面のうち、カセットトレイ２の中央部に近い側の一角に、ＬＭガイド溝部３４ａの底面より低い水平レベルとなるように形成された段差部（凹部）であり、この段差部に、容器アダプタ４２のフック受け部４２１ａを挟み込んでチャッキングする（図７参照。）。チャッキング部３５ａはフック３ａの上面の、カセットトレイ２の中央部に近い側の一角を共有する領域に設けられた、平面パターンが矩形となる凹部である。４個のフック３ａ〜３ｄに段差部（切り欠き部）として設けられたチャッキング部３５ａ〜３５ｄは、それぞれの上面に容器アダプタ４２のフック受け部４２１ａ〜４２１ｄの底面を接し、フック受け部４２１ａ〜４２１ｄのそれぞれを挟み込むようにチャッキングする。
【００３０】
フック３ａは、更に、フック３ａの上面から下面へ段差を有して貫通するフック貫通口３２ａを有する。フック貫通口３２ａは、図４（ａ）に示すように、上方から見て、チャッキング部３５ａからＬＭガイド溝部３４ａを隔て、チャッキング部３５ａの対角側の箇所に位置する。フック貫通口３２ａは図４（ｂ），（ｃ）に示すように、上部が小さく、下部が大きな２種の内径を持つ。上部が小さく、下部が大きくなるような段差部を有する断面形状となることにより、フック貫通口３２ａは、図５に示すように、ロックピン３１ａを上下方向に移動可能なように保持する。又、ベアリング３３１ａ，３３２ａは、図７及び図８に示す車輪３３３ａ，３３４ａを取り付けるための軸受けである。
【００３１】
図５は、カセットトレイ２の下面に設けられたフック３ａが、容器アダプタ４２をチャッキングする前の待機状態を説明する図（図７参照）、図６は、フック３ａが、容器アダプタ４２をチャッキングした後の状態を説明する図（図８参照）である。図４の説明と同様に、４個のフック３ａ〜３ｄのうち、代表としてフック３ａの上面図を図５（ａ）及び図６（ａ）に、図５（ａ）のV−V方向から見た断面図を図５（ｂ）に、図６（ａ）のVI−VI方向から見た断面図を図６（ｂ）に示すが、他のフック３ｂ〜３ｄについても同様である。
【００３２】
カセットトレイ２は、図５（ａ），（ｂ）に示すように、フック３ａのＬＭガイド溝部３４ａに対応する位置に、フック３ａがカセットトレイ２に対して直線運動をする際のガイドとなるＬＭガイド２７ａをカセットトレイ２の下面に凸部として設けられている。ＬＭガイド２７ａは、図４（ｃ）に２点鎖線で示したように、段差形状の凸部であり、上面はカセットトレイ２がなす額縁形状の下側の辺の幅と同じ幅である。ＬＭガイド２７ａの下面は、フック３ａのＬＭガイド溝部３４ａと同じ幅のリッジ状のＬＭガイド畝部２７２ａを有する。ＬＭガイド２７ａの、カセットトレイ２のロックピンスリット２１ａの下方に位置する箇所は、ＬＭガイド２７ａの上面から下面にかけて貫通するロックピンスリット２７１ａをなす。ロックピンスリット２７１ａはロックピンスリット２１ａと、その内壁面を共通する連続したスリットをなしている。
【００３３】
ロックピン３１ａは、下端に設けられた円盤状のロックピン底部３１１ａと、このロックピン底部３１１ａの上面の中心に垂直に立設された丸棒状のロックピン中間部３１４ａと、ロックピン中間部３１４ａの上に設けられ、ロックピン中間部３１４ａの外径より大きな外径を持つロックピン頭部３１３ａとを有する。ロックピン底部３１１ａは、フック貫通口３２ａの２種の内径のうち下部の内径に収まることができる外径を有する円盤状の部位であり、ロックピン底部３１１ａ上面と、フック貫通口３２ａの内径が変化する段差部との間に、ロックばね３１２ａが、伸びようとする弾性力が働くように取り付けられている。ロックピン中間部３１４ａの外径は、ロックピンスリット２１ａ内を正確に移動できるように、ロックピンスリット２１ａのスリット幅、及びフック貫通口３２ａの２種の内径のうち上部の内径に対し、所定のクリアランス分だけ細い寸法となっている。ロックピン３１ａのロックピン頭部３１３ａは、ロックピンスリット２１ａのロック部２１０ａ内に収まるように、ロック部２１０ａの内径に対応している。ロックピン頭部３１３ａの円柱の底面には、ドーナツ状に摺動部３１０ａが設けられている。摺動部３１０ａは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリアセタール（ＰＯＭ）等の摺動性に富むプラスチック材料等から構成されている。
【００３４】
図５に示すように、ロックピン３１ａのロックピン頭部３１３ａが、ロックピンスリット２１ａのロック部２１０ａ内に収まっているとき、ロックピン３１ａはフック貫通口３２ａに仕掛けられたロックばね３１２ａから、ロックピン底部３１１ａの上面に、下方へ向けた力が加わっている。ロックピン頭部３１３ａは、ロックばね３１２ａの弾性力によりロックピンスリット２１ａのロック部２１０ａで固定されており、フック３ａはＬＭガイド２７ａの摺動方向に対し、ロック状態となっている。
【００３５】
図６に示すように、昇降テーブル４３の上面によって（図８参照。）、ロックピン底部３１１ａが押し上げられることにより、ロックばね３１２ａが縮み、ロックピン頭部３１３ａが、ロックピンスリット２１ａのロック部２１０ａから上方に抜け出し、アンロック状態となる。ロックピン頭部３１３ａがロック部２１０ａから上方に脱しているとき、ロックピン３１ａが、ロックピンスリット２１ａ及びＬＭガイド２７ａにより決まる可動範囲内において、フック３ａはカセットトレイ２に対して直線運動が可能である。
【００３６】
図７に示すように、真空チャンバ１１内において、フック３ａ，３ｂは、互いに対向する方向に力が働くように、それぞれチャッキングばね２５ａ，２５ｂの一端が取り付けられている。チャッキングばね２５ａ，２５ｂの他端は、それぞれ、ばね留め具２４ａ，２４ｂに取り付けられ、チャッキングばね２５ａ，２５ｂは常に縮もうとする弾性力が働いている。同様に、図示されていないフック３ｃ，３ｄについても、ばね留め具２４ｃ，２４ｄの間にチャッキングばね２５ｃ，２５ｄが設けられ、互いに対向する方向に弾性力が働いている。
【００３７】
図７において、４個のフック３ａ〜３ｄは、それぞれチャッキングばね２５ａ〜２５ｄ（図７では、チャッキングばね２５ｃ，２５ｄの図示を省略している。）から、カセットトレイ２の長手方向に沿い、中央に向かう方向に力を受けているが、ロックピン３１ａ〜３１ｄは、それぞれ図７では図示を省略したロック部２１０ａ〜２１０ｄに収まり、ロック状態となっており、４個のフック３ａ〜３ｄはカセットトレイ２の中央部から離れて固定されている。
【００３８】
４個のフック３ａ〜３ｄがロック状態のとき、４台のセンサ５ａ〜５ｄから上方に向け出射された光は、図７に示すように、それぞれ昇降テーブル４３の検出窓４３０ａ〜４３０ｄ（図３参照。）を通過し、それぞれフック３ａ〜３ｄの底面に設けられた遮光処理層３６ａ〜３６ｄに照射され、遮光処理層３６ａ〜３６ｄに吸収される。４台のセンサ５ａ〜５ｄからそれぞれフック３ａ〜３ｄまでの光路は、物理的に阻害がないように、或いは物理的に阻害する部位が透明材料である等、光学的に阻害がないように構成されている。
【００３９】
図７に示す状態から図８に示すように、昇降機構１９（図２参照。）により、容器アダプタ４２を搭載した昇降テーブル４３が上昇すると、図３に示すように、容器アダプタ４２は、その４角の切り欠き部がそれぞれフック３ａ〜３ｄに挟まれる位置に来る。昇降テーブル４３が図８に示すように上昇したことにより、昇降テーブル４３の上面が、４個のフック３ａ〜３ｄがそれぞれ備えるロックピン３１ａ〜３１ｄを押し上げる。押し上げられたロックピン３１ａ〜３１ｄのロックピン頭部３１３ａ〜３１３ｄは、図６に例示したようにロック部２１０ａ〜２１０ｄから上方に抜け出し、４個のフック３ａ〜３ｄはアンロック状態となる。４個のフック３ａ〜３ｄのベアリング３３１ａ，３３２ａ〜３３１ｄ，３３２ｄには、それぞれ車輪３３３ａ，３３４ａ〜３３３ｄ，３３４ｄが取り付けられているため、４個のフック３ａ〜３ｄは昇降テーブル４３上を水平方向に移動できる。
【００４０】
４個のフック３ａ〜３ｄは、それぞれチャッキングバネ２５ａ〜２５ｄから、カセットトレイ２の長手方向に沿い、中央部に向かう方向の力を受けているので、アンロック状態となり可動となった４個のフック３ａ〜３ｄに設けられたチャッキング部３５ａ〜３５ｄは、容器アダプタ４２に設けられた４つのフック受け部４２１ａ〜４２１ｄ（図３参照。）の位置までそれぞれ進行し、液体容器４１を搭載した容器アダプタ４２をフック受け部４２１ａ〜４２１ｄを介して挟み込み、容器アダプタ４２をチャッキングする。チャッキング時、液体容器４１に収納された液体４は、カセット２３に装填された被注入容器６ａ〜６ｄの注入口６１ａ〜６１ｄに接液される。
【００４１】
４個のフック３ａ〜３ｄが液体容器４１を搭載した容器アダプタ４２をチャッキングしているときは、４個のフック３ａ〜３ｄは、ロック状態の位置からそれぞれカセットトレイ２の長手方向に沿って中央部側にずれている。このため、チャッキングにより、４台のセンサ５ａ〜５ｄから出射された光は、それぞれ昇降テーブル４３に設けられた検出窓４３０ａ〜４３０ｄ（図３参照。）を通過し、４個のフック３ａ〜３ｄの遮光処理層３６ａ〜３６ｄにおいて吸収されず、カセットトレイ２のカセットトレイ貫通口２０を通過し、鏡面に仕上げられた真空チャンバ１１の内壁まで到達し、真空チャンバ１１の内壁で反射する。反射光は、カセットトレイ貫通口２０、検出窓４３０ａ〜４３０ｄを順に通過し、再び４台のセンサ５ａ〜５ｄに入射し、検出される。検出された反射光のデータは、制御装置１３に入力され、解析される。このように、４個のフック３ａ〜３ｄが容器アダプタ４２をチャッキングしているときは、４台のセンサ５ａ〜５ｄから、真空チャンバ１１の内壁までの光路は、物理的に阻害がない、或いは物理的に阻害する部位が透明材料である等、光学的な阻害がないようになる。
【００４２】
図９（ａ）及び図９（ｂ）は、種々の反射面を有する対象物（ワーク）からの反射光を反射型センサにより検出した際の、センサから対象物までの距離とセンサアンプの出力電圧の関係を示す図である。黒塗りの菱形（◆）は、鏡面仕上げされた反射面を有する対象物からの反射光を、黒塗りの四角（■）は、アルミニウムの表面をブラスト処理のみ施した対象物からの反射光を、黒塗りの三角（▲）は、アルミニウムの表面をプラズマ処理のみ施した対象物からの反射光を、罰点（×）は、アルミニウムの表面をブラスト処理の後、プラズマ処理を施した対象物からの反射光を反射型センサにより検出した結果を示している。
【００４３】
図９（ａ）に示すように、鏡面仕上げの反射面を有する対象物の場合は、センサから対象物までの距離が２５ｍｍでセンサアンプの出力電圧２．５Ｖ、センサから対象物までの距離３０ｍｍ以上でセンサアンプの出力電圧４Ｖ以上と、他の対象物と比べ高い結果となっている。図９（ｂ）は、図９（ａ）の縦軸の電圧値５００ｍＶまでを縦軸方向に拡大して表示した図である。図９（ｂ）に示すように、プラズマ処理のみ及びブラスト処理の後、プラズマ処理を施された反射面を有する対象物は、センサから対象物までの距離が３０ｍｍ以上となっても、鏡面仕上げされた反射面を有する対象物及びブラスト処理のみされた反射面を有する対象物と比べ、センサアンプの出力電圧が非常に低く、センサから出射された光をほぼ吸収していることが分かる。
【００４４】
鏡面仕上げされている真空チャンバ１１の内壁と、ブラスト処理された後、プラズマ処理を施されているフック３ａ〜３ｄの遮光処理層３６ａ〜３６ｂとの反射光量の差を考慮して、センサ５ａ〜５ｄの出力電圧の閾値を制御装置１３に設定することにより、確実にフック３ａ〜３ｄの移動状態を判別できる。図８に示すように、正常に４個のフック３ａ〜３ｄがそれぞれ容器アダプタ４２のフック受け部４２１ａ〜４２１ｄ（図７参照。）に挿入され、容器アダプタ４２をチャッキングしていれば、真空チャンバ１１の鏡面仕上げされた内壁面からの反射光が得られるので４台のセンサ５ａ〜５ｄの出力は高く、４台のセンサ５ａ〜５ｄのうち、１つでも出力が低ければ、４個のフック受け部４２１ａ〜４２１ｄに４個のフック３ａ〜３ｄのすべてがそれぞれ正常に挿入されていないことになるので、正確にチャッキングできていないことが判定される。
【００４５】
本発明の実施の形態に係る液体注入装置によれば、鏡面仕上げされた内壁面を備えた真空チャンバ１１内であっても、４個のフック３ａ〜３ｄの底面の遮光処理層３６ａ〜３６ｄによる光の吸収があるか否かを、４台のセンサ５ａ〜５ｄでそれぞれ検出することにより、４個のフック３ａ〜３ｄの移動状態の正常／異常を判別することが可能になる。よって、本発明の実施の形態に係る液体注入装置によれば、容器アダプタ４２を確実にチャッキングし、４つすべての被注入容器６ａ〜６ｄに、液体容器４１に収納された液体４を正確に接液、注入できる。
【００４６】
（液体注入方法）
図１０〜図１２を用いて、本発明の実施の形態に係る液体注入方法の一例を説明する。図１０〜図１２は、図１に示す本発明の実施の形態に係る液体注入装置を用いて、複数枚の被注入容器（液晶パネル）に液体（液晶）を注入する手順を示した模式的な図である（図１０〜図１２においては一番手前の被注入容器６ａのみが示されているが、例えば、図２に示すように４枚の被注入容器６ａ〜６ｄがカセット２３に装填される。被注入容器の枚数は４枚に限定されないが、以降の説明では４枚として例示的に説明する。）。
【００４７】
（ａ）先ず、真空チャンバ１１の左側のゲートバルブ１０ａを開けて、図１０に示すように、上昇前の昇降テーブル４３上に、液体４を収納した液体容器（液晶皿）４１が容器アダプタ（液晶皿アダプタ）４２を介して搭載される。一方、図示を省略したカセットトレイホルダにより、カセットトレイ２が真空チャンバ１１の内部に固定され、カセットトレイ２の上面に、４枚の被注入容器（液晶パネル）６ａ〜６ｄが装填されたカセット２３が搭載される。この状態で、４個のフック３ａ〜３ｄは、図１０〜図１２では図示を省略したロックピン３１ａ〜３１ｄにより、ロック状態となっている（図７参照。）。そして、ゲートバルブ１０ａを閉じた後、真空バルブ１５を開けることにより、真空チャンバ１１内を真空ポンプ１４により１０-3Ｐａ〜１０-7Ｐａ程度の所定の到達圧力まで排気し、真空状態にする。真空チャンバ１１内を減圧状態にすることにより、４枚の被注入容器（液晶パネル）６ａ〜６ｄの内部が減圧状態になる。
【００４８】
（ｂ）次に、図１１に示すように、昇降機構１９により、昇降テーブル４３を上昇させ、液体容器４１に収納された液体（液晶）４の液面に、内部が減圧状態となった被注入容器６ａ〜６ｄの注入口６１ａ〜６１ｄを接液する。同時に、昇降テーブル４３の上面が、４個のフック３ａ〜３ｄがそれぞれ備えるロックピン３１ａ〜３１ｄを押し上げ、アンロック状態となった４個のフック３ａ〜３ｄが、容器アダプタ４２をチャッキングする（図８参照。）。４個のフック３ａ〜３ｄが、容器アダプタ４２を正確にチャッキングし、減圧状態の被注入容器６ａ〜６ｄの注入口６１ａ〜６１ｄが、液体容器４１に収納された液体４に接液したまま、カセットトレイ２と容器アダプタ４２は一体化する。
【００４９】
（ｃ）このとき、４台のセンサ５ａ〜５ｄから出射された光は、それぞれ昇降テーブル４３の検出窓４３０ａ〜４３０ｄを通過し、フック３ａ〜３ｄの遮光処理層３６ａ〜３６ｄで遮蔽されずに、カセットトレイ貫通口２０を通過し、真空チャンバ１１の鏡面仕上げされた内壁面において反射される。真空チャンバ１１の内壁で反射した反射光は、それぞれ再び、カセットトレイ貫通口２０、昇降テーブル４３の検出窓４３０ａ〜４３０ｄを順に通過し、４台のセンサ５ａ〜５ｄにおいて検出される。検出された反射光のデータが制御装置１３に入力され、制御装置１３が、反射光のデータから、４個すべてのフック３ａ〜３ｄが正確に容器アダプタ４２をチャッキングできたか否かを判断する。
【００５０】
（ｄ）容器アダプタ４２が正確にチャッキングされていると判断された場合には、図１２に示すように、昇降機構１９により昇降テーブル４３のみを下降させ、真空バルブ１５を閉じる。その後導入バルブ１６を開けることにより、真空チャンバ１１内に不活性ガス導入手段１７から窒素ガス等の不活性ガスが導入され、真空チャンバ１１内が大気圧若しくは大気圧以上となる。真空チャンバ１１内と減圧状態の被注入容器６ａ〜６ｄの内部との差圧によって、減圧状態の被注入容器６ａ〜６ｄに、それぞれ注入口６１ａ〜６１ｄから液体４が吸引される。
【００５１】
（ｅ）このとき、液体４の注入速度を速めるために、ゲートバルブ１０ｂを開け、４個のフック３ａ〜３ｄが容器アダプタ４２をチャッキングし、４枚の被注入容器６ａ〜６ｄの注入口６１ａ〜６１ｄが、液体容器４１に収納された液体４に接液したまま、カセットトレイ２を図示を省略したカセットトレイホルダから離脱させる。そして、一体化したカセットトレイ２、容器アダプタ４２等は、図示を省略した移送機構によって、ゲートバルブ１０ｂを通過し、真空チャンバ１１の右側に配置された加熱チャンバ１２へ移送してもよい。加熱チャンバ１２へ移送する場合は、加熱チャンバ１２への移送が完了した後、ゲートバルブ１０ｂを閉じる。その後、図１に示したヒータ１８により加熱チャンバ１２内を加熱し、液体４の注入が完了するまで所定時間放置する。所定時間経過し、被注入容器６ａ〜６ｄへ液体４の注入が完了すると、図１の加熱チャンバ１２の右側に示したゲートバルブ１０ｃを開け、一体化したカセットトレイ２、容器アダプタ４２等を、図示を省略した搬出機構によりゲートバルブ１０ｃから外部に搬出し、ゲートバルブ１０ｃを閉じる。４枚の被注入容器６ａ〜６ｄを取り出し、注入口６１ａ〜６１ｄを接着剤などにより閉塞する処理等を行うことにより、本発明の実施の形態に係る液体注入方法を終了する。
【００５２】
（その他の実施の形態）
本発明は上記の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面は本発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【００５３】
既に述べた実施の形態の説明においては、液晶注入装置について例示的に説明したが、真空チャンバ内での液体注入は、被注入容器としてのエレクトロルミネッセンスパネル（ＥＬパネル）へ、シリコーンオイル等の液体を差圧方式を利用して注入する場合等であっても、同様な装置が構築可能であり、同様な液体注入方法が実施可能で、更に、同様な作用効果が得られることは、上記の説明から明らかであろう。       
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【符号の説明】
【００５４】
２…カセットトレイ
３ａ〜３ｄ…フック
４…液体（液晶）
４ａ…液晶
５ａ〜５ｄ…センサ
６…液晶パネル
６ａ〜６ｄ…被注入容器（液晶パネル）
７…液晶セル（カラー画素）
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ…ゲートバルブ
１１…真空チャンバ
１２…加熱チャンバ
１３…制御装置
１４…真空ポンプ
１５…真空バルブ
１６…導入バルブ
１７…不活性ガス導入手段
１８…ヒータ
１９…昇降機構
２０…カセットトレイ貫通口
２１ａ〜２１ｄ…ロックピンスリット
２２ａ〜２２ｄ…カセット留め具
２３…カセット
２４ａ〜２４ｄ…ばね留め具
２５ａ〜２５ｄ…チャッキングバネ
２７ａ…ＬＭガイド
３１ａ〜３１ｄ…ロックピン
３２ａ…フック貫通口
３４ａ…ＬＭガイド溝部
３５ａ〜３５ｄ…チャッキング部
３６ａ〜３６ｄ…遮光処理層
４１…液体容器（液晶皿）
４２…容器アダプタ（液晶皿アダプタ）
４３…昇降テーブル
６１，６１ａ〜６１ｄ…注入口
６２…シール
６３，６４…ガラス基板
７１…ブラックマトリックス
７２ｒ，７２ｇ，７２ｂ…カラーフィルタ
７３…対向電極
７４ｒ，７４ｇ，７４ｂ…ＴＦＴ
７５ｒ，７５ｇ，７５ｂ…透明電極
２１０ａ〜２１０ｄ…ロック部
２７１ａ…ロックピンスリット
２７２ａ…ＬＭガイド畝部
３１０ａ…摺動部
３１１ａ…ロックピン底部
３１２ａ…ロックばね
３１３ａ〜３１３ｄ…ロックピン頭部
３１４ａ…ロックピン中間部
３３１ａ，３３２ａ〜３３１ｄ，３３２ｄ…ベアリング
３３３ａ，３３４ａ〜３３３ｄ，３３４ｄ…車輪
４２１ａ〜４２１ｄ…フック受け部
４３０ａ〜４３０ｄ…検出窓
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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