(57)【要約】      （修正有）【課題】少なくとも２種の樹脂原料液を混合することにより硬化されてなる比較的均質な発泡樹脂成形体を得ることができる成形用金型および発泡樹脂成形体の製造方法及び、その製造方法で製造された研磨パッドを提供する。【解決手段】発泡樹脂成形用の金型１は未硬化樹脂組成物を硬化してなる発泡樹脂成形体を扁平状とすべく形成された内部空隙８を備え、２以上の樹脂原料を連続的に混合した流体が前記未硬化樹脂組成物となって前記内部空隙８内へ連続的に充填されるように構成されており、該内部空隙８が所定の空隙高さを有する第１状態からそれより高い第２状態へ密閉状態で連続的に拡大するように形成されており、前記内部空隙８の外側には、前記未硬化樹脂組成物の流体を前記内部空隙８内へ導きつつ内部で前記未硬化樹脂組成物の一部を保持できる液だめ部１０が備えられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
未硬化樹脂組成物を硬化してなる発泡樹脂成形体を扁平状とすべく形成された内部空隙を備え、２以上の樹脂原料を連続的に混合した流体が前記未硬化樹脂組成物となって前記内部空隙内へ連続的に充填されるように構成されており、該内部空隙が所定の空隙高さを有する第１状態から該第１状態より空隙高さの高い第２状態へ密閉状態で連続的に拡大するように形成されている発泡樹脂成形用の金型であって、
前記内部空隙の外側には、前記未硬化樹脂組成物の流体を前記内部空隙内へ導きつつ内部で前記未硬化樹脂組成物の一部を保持できる液だめ部が備えられていることを特徴とする発泡樹脂成形用の金型。
【請求項２】
前記発泡樹脂成形体が、イソシアネート基含有化合物を含むイソシアネート含有液と活性水素含有有機化合物を含む活性水素含有液と発泡剤とを含む未硬化組成物が硬化されてなる発泡ポリウレタン成形体である請求項１記載の発泡樹脂成形用の金型。
【請求項３】
前記液だめ部が、前記未硬化樹脂組成物の流体を撹拌すべく流路が屈曲するように形成されている請求項１又は２記載の発泡樹脂成形用の金型。
【請求項４】
前記未硬化樹脂組成物が前記内部空隙内へ横方向から充填されるように構成されている請求項１〜３のいずれかに記載の発泡樹脂成形用の金型。
【請求項５】
前記液だめ部は、前記内部空隙の内方側へ向けて幅が広がりつつ高さが低くなる注入ゲートを備え、該注入ゲートは、前記未硬化樹脂組成物の流体の流れ方向に対して垂直な断面積が同じとなるように形成されている請求項４記載の発泡樹脂成形用の金型。
【請求項６】
未硬化樹脂組成物を硬化してなる発泡樹脂成形体を扁平状とする内部空隙が備えられた金型を用い、２以上の樹脂原料を連続的に混合した流体を前記未硬化樹脂組成物として前記内部空隙内へ連続的に充填し、該内部空隙を、所定の空隙高さを有する第１状態から該第１状態より空隙高さの高い第２状態へ密閉状態で連続的に拡大させる発泡樹脂成形体の製造方法であって、
前記金型として、前記内部空隙の外側に前記未硬化樹脂組成物の流体を前記内部空隙内へ導きつつ内部で前記未硬化樹脂組成物の一部を保持できる液だめ部が備えられているものを用いることを特徴とする発泡樹脂成形体の製造方法。
【請求項７】
請求項６記載の製造方法で製造された発泡樹脂成形体を含む研磨パッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発泡樹脂成形用の金型、該金型を用いる発泡樹脂成形体の製造方法、該製造方法で製造された発泡樹脂成形体を含む研磨パッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、発泡樹脂成形用の金型としては、様々なものが知られており、具体的には、半導体ウエハ等の高度の平坦化処理加工を化学的機械的研磨（ＣＭＰ）によってなし得る研磨パッドを製造すべく、例えば、加熱溶融させた熱可塑性樹脂を金型の空隙に注入し、該空隙を広げて平板状の研磨パッドを成形するためのものが知られている（特許文献１）。斯かる発泡樹脂成形用の金型は、特許文献１に記載されているように、通常、予め各種化合物が混合されてなる溶融樹脂組成物を空隙内で固化させるためのものである。
【０００３】
一方、発泡樹脂成形用の金型を用いて、複数の樹脂原料液を混合してなる未硬化樹脂組成物を硬化させて発泡樹脂成形体を製造する場合がある。斯かる場合、複数の樹脂原料液を混合することにより硬化反応が進行し未硬化樹脂組成物の粘度が上昇してしまうなどの問題があることから、発泡樹脂成形用の金型は、複数の樹脂原料液を混合した直後に混合されてなる未硬化樹脂組成物を金型空隙内へ注入すべく、例えばＲＩＭ成形法が適用できるように構成されている。ＲＩＭ成形法が適用された発泡樹脂成形用の金型は、詳しくは、２以上の樹脂原料を連続的に混合させるべく、各樹脂原料が所定の割合となるように各樹脂原料の所定量を所定時間流出させ、この流出により混合された未硬化樹脂組成物を硬化させ得るものである。
【０００４】
ところが、ＲＩＭ成形法を適用した発泡樹脂成形用の金型においては、各樹脂原料を混合する所定時間が終了する直前に、各樹脂原料の流出量が徐々に減少することに起因して各樹脂原料の撹拌が不十分になりやすく、また、流出量の減少時における流出量の精密な制御が困難であることから各樹脂原料の混合比が変動しやすい。従って、斯かる発泡樹脂成形用の金型においては、流体である未硬化樹脂組成物の最後方部が、意図しない割合で混合された未硬化樹脂組成物となり、該未硬化樹脂組成物が金型空隙内に注入されて硬化され、不均一な発泡樹脂成形が製造され得るという問題がある。このような問題は、例えば特許文献１に記載されている金型のように溶融樹脂組成物を空隙内で固化させるための金型であっても解決されるものではなく、この種の金型においても、流体である未硬化樹脂組成物の最後方部が所定の割合で混合されていないにも関わらず金型空隙内に注入されて硬化され得ることから、不均一な発泡樹脂成形が製造され得るという問題がある。
【０００５】
従って、少なくとも２種の樹脂原料液を混合することにより硬化されてなる発泡樹脂成形体につき、比較的均質な発泡樹脂成形体を得ることができる発泡樹脂成形用の金型が要望されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２７７３０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記の問題点、要望点等に鑑み、少なくとも２種の樹脂原料液を混合することにより硬化されてなる発泡樹脂成形体につき、比較的均質な発泡樹脂成形体を得ることができる発泡樹脂成形用の金型を提供することを課題とする。また、比較的均質な発泡樹脂成形体を得ることができる発泡樹脂成形体の製造方法を提供することを課題とする。また、その製造方法で製造された発泡樹脂成形体を含む研磨パッドを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決すべく、本発明に係る発泡樹脂成形用の金型は、未硬化樹脂組成物を硬化してなる発泡樹脂成形体を扁平状とすべく形成された内部空隙を備え、２以上の樹脂原料を連続的に混合した流体が前記未硬化樹脂組成物となって前記内部空隙内へ連続的に充填されるように構成されており、該内部空隙が所定の空隙高さを有する第１状態から該第１状態より空隙高さの高い第２状態へ密閉状態で連続的に拡大するように形成されている発泡樹脂成形用の金型であって、
前記内部空隙の外側には、前記未硬化樹脂組成物の流体を前記内部空隙内へ導きつつ内部で前記未硬化樹脂組成物の一部を保持できる液だめ部が備えられていることを特徴とする。
【０００９】
斯かる構成からなる発泡樹脂成形用の金型においては、前記液だめ部が前記内部空隙の外側に備えられていることから、所定割合で混合されなかった前記未硬化樹脂組成物を前記内部空隙内に充填しないようにできる。即ち、２以上の樹脂原料を連続的に混合した流体は、各樹脂原料が所定の割合となるように所定量の各樹脂原料を所定時間流出させつつ混合させてなるものであるところ、各樹脂原料を混合する所定時間が終了する直前においては、流出量が徐々に減少することに起因して各樹脂原料の撹拌が不十分になりやすくまた、流出量の減少時での流出量の精密な制御が困難であることから各樹脂原料の混合比が変動しやすい。従って、２以上の樹脂原料が連続的に混合されてなる流体を前記未硬化樹脂組成物として前記内部空隙に充填する際、流体である前記未硬化樹脂組成物の最後方部は、意図しない割合で２以上の樹脂原料が混合されている可能性がある。そこで、前記液だめ部が前記内部空隙の外側に備えられていることにより、意図しない割合で混合された前記未硬化樹脂組成物が前記内部空隙に充填されることを防止でき、前記未硬化樹脂組成物を比較的均質なものとすることができる。
【００１０】
また、本発明に係る発泡樹脂成形用の金型においては、前記発泡樹脂成形体が、イソシアネート基含有化合物を含むイソシアネート含有液と活性水素含有有機化合物を含む活性水素含有液と発泡剤とを含む未硬化組成物が硬化されてなる発泡ポリウレタン成形体であることが好ましい。
【００１１】
また、本発明に係る発泡樹脂成形用の金型においては、前記液だめ部が、前記未硬化樹脂組成物の流体を撹拌すべく流路が屈曲するように形成されていることが好ましい。斯かる構成により、２以上の樹脂原料を含む前記未硬化樹脂組成物がさらに混合され、より均一になり得るという利点がある。
【００１２】
また、本発明に係る発泡樹脂成形用の金型においては、前記未硬化樹脂組成物が前記内部空隙内へ横方向から充填されるように構成されていることが好ましい。斯かる構成により、所定割合で混合されなかった前記未硬化樹脂組成物が硬化されてなる部位の発泡樹脂成形体を容易に除去でき、より均質な発泡樹脂成形体を得ることができる。即ち、上述したように、２以上の樹脂原料を連続的に混合した流体は、各樹脂原料が所定の割合となるように所定量の各樹脂原料を所定時間流出させつつ混合させてなるものであるところ、各樹脂原料を混合する所定時間を開始した直後においては、流出量の少なさ故に各樹脂原料の撹拌が不十分になりやすく、また流出量の精密な制御が困難であることから各樹脂原料の混合比が変動しやすい。従って、２以上の樹脂原料が連続的に混合されてなる流体を前記未硬化樹脂組成物として前記内部空隙に充填する際、流体である前記未硬化樹脂組成物の最前方部は、意図しない割合で２以上の樹脂原料が混合されている可能性がある。前記未硬化樹脂組成物が前記内部空隙内へ横方向から充填されるように前記金型が構成されていることにより、意図しない割合で混合された前記未硬化樹脂組成物が前記内部空隙に充填されても該組成物は発泡樹脂成形体の外縁を構成することとなり、成形された発泡樹脂成形体から斯かる外縁を取り除くことにより、比較的均質な発泡樹脂成形体を得ることができる。
【００１３】
本発明に係る発泡樹脂成形体の製造方法は、未硬化樹脂組成物を硬化してなる発泡樹脂成形体を扁平状とする内部空隙が備えられた金型を用い、２以上の樹脂原料を連続的に混合した流体を前記未硬化樹脂組成物として前記内部空隙内へ連続的に充填し、該内部空隙を、所定の空隙高さを有する第１状態から該第１状態より空隙高さの高い第２状態へ密閉状態で連続的に拡大させる発泡樹脂成形体の製造方法であって、
前記金型として、前記内部空隙の外側に前記未硬化樹脂組成物の流体を前記内部空隙内へ導きつつ内部で前記未硬化樹脂組成物の一部を保持できる液だめ部が備えられているものを用いることを特徴とする。
【００１４】
本発明に係る研磨パッドは、上記製造方法で製造された発泡樹脂成形体を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る発泡樹脂成形用の金型は、少なくとも２つの樹脂原料液が混合されてなる硬化前の未硬化組成物を比較的均質にし得るものである。従って、本発明に係る発泡樹脂成形用の金型は、比較的均質な発泡樹脂成形体を得ることができ、発泡樹脂成形体の比重のばらつきを抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本実施形態の発泡樹脂成形用の金型の模式断面を表す図。
【図２】本実施形態の発泡樹脂成形用の金型を上方側から見た模式図。
【図３】液だめ部の模式図。
【図４】発泡ポリウレタン成形体における気泡の大きさ及びその個数分布を表す図。
【図５】実施例の発泡ポリウレタン成形体断面のＳＥＭ写真。
【図６】比較例の発泡ポリウレタン成形体断面のＳＥＭ写真。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係る発泡樹脂成形用の金型の一実施形態について説明する。
【００１８】
本実施形態の発泡樹脂成形用の金型は、未硬化樹脂組成物を硬化してなる発泡樹脂成形体を扁平状とすべく形成された内部空隙を備え、２以上の樹脂原料を連続的に混合した流体が前記未硬化樹脂組成物となって前記内部空隙内へ連続的に充填されるように構成されており、該内部空隙が所定の空隙高さを有する第１状態から該第１状態より空隙高さの高い第２状態へ密閉状態で連続的に拡大するように形成されている発泡樹脂成形用の金型であって、
前記内部空隙の外側には、前記未硬化樹脂組成物の流体を前記内部空隙内へ導きつつ内部で前記未硬化樹脂組成物の一部を保持できる液だめ部が備えられているものである。
【００１９】
本実施形態の発泡樹脂成形用の金型においては、前記内部空隙の外側に、前記未硬化樹脂組成物の流体を前記内部空隙内へ導きつつ内部で前記未硬化樹脂組成物の一部を保持できる液だめ部が備えられていることから、所定割合で混合されなかった前記未硬化樹脂組成物を前記内部空隙内に充填しないようにできる。即ち、２以上の樹脂原料を連続的に混合した流体は、各樹脂原料が所定の割合となるように所定量の各樹脂原料を所定時間流出させつつ混合させてなるものであるところ、各樹脂原料を混合する所定時間が終了する直前においては、流出量が徐々に減少することに起因して各樹脂原料の撹拌が不十分になりやすく、また、流出量を減少させながら流出量を精密に制御することが困難であることから各樹脂原料の混合比が変動しやすい。従って、２以上の樹脂原料が連続的に混合されてなる流体を前記未硬化樹脂組成物として前記内部空隙に充填する際、流体である前記未硬化樹脂組成物の最後方部は、意図しない割合で２以上の樹脂原料が混合されている可能性がある。そこで、前記液だめ部が前記内部空隙の外側に備えられていることにより、意図しない割合で混合された前記未硬化樹脂組成物が前記内部空隙に充填されることを防止でき、前記未硬化樹脂組成物を比較的均質なものとすることができる。
【００２０】
前記金型においては、前記内部空隙は、得られる発泡樹脂成形体が扁平状となるように、具体的には横方向に扁平状となるように形成されていることから、前記未硬化樹脂組成物が内部空隙に注入及び充填されて硬化されてなる発泡樹脂成形体が扁平状となり得る。
得られる発泡樹脂成形体が扁平状となるように前記金型の前記内部空隙が形成されていることにより、前記内部空隙における前記未硬化樹脂組成物の温度が全体にわたってより均一に近いものとなりやすくなり、部位ごとの温度差に起因する発泡程度の違いが抑制されることから、発生した気泡がより均一に近いものとなり、発泡樹脂成形体に含まれている気泡の大きさがより均一に近いものになり得るという利点がある。
【００２１】
本実施形態の発泡樹脂成形用の金型は、好ましくは、発泡ポリウレタン成形用として用いられる。以下、発泡ポリウレタン成形用の金型を例にとり、図面を参照しながらさらに詳しく説明する。
【００２２】
図１は、上面視略円形をなす前記発泡ポリウレタン成形用の金型を、その中央部を通るように上下方向に切断したときの断面の模式図を示す。図２は、該発泡ポリウレタン成形用の金型の平面模式図を示す。
【００２３】
前記発泡ポリウレタン成形用の金型１は、図１及び図２に示すように、上面視略円状の下金型４ａと、下金型４ａと対向するように配された上面視略円状の上金型４ｂとを備えている。前記下金型４ａの上方側には、周方向に沿った端縁から内方側へ所定距離をおいて下方側へ凹入することにより形成されている凹入部が備えられている。前記上金型４ｂの下方側には、周方向に沿った端縁から内方側へ所定距離をおいて上方側へ突出することにより形成されている突出部が備えられている。また、前記金型１は、下金型４ａの凹入部に上金型４ｂの突出部が嵌合するように構成されている。また、下金型４ａの凹入部に上金型４ｂの凸出部が嵌合し、上金型４ｂが最も低い位置にある状態においては、下金型４ａの凹入部の最下面と上金型４ｂの突出部の最下面との間には内部空隙８（キャビティ）が存在している。
【００２４】
前記発泡ポリウレタン成形用の金型１においては、前記第１状態での内部空隙より前記第２状態での内部空隙が大きければ、上金型４ｂが最も低い位置にある状態が前記第１状態であってもよい。また、上金型４ｂがそれより高い位置で上下の移動が規制されている状態も前記第１状態となり得る。
【００２５】
前記金型１には、下金型４ａの凹入部に上金型４ｂの凸出部が嵌合したものを周方向に取り囲むように、上面視輪状のコッター７が備えられている。また、図１に示すように、該コッター７には、前記内部空隙８の空隙高さが所定以上にならないように上金型４ｂの上方向への移動を規制しているコッター上部屈曲部７ｂ、及び、下金型４ａの下方向への移動を規制しているコッター下部屈曲部７ａが備えられている。そして、前記上金型４ｂは、前記コッター７に包囲された状態で、前記内部空隙８の密閉状態を維持しながら前記未硬化組成物の膨張圧により連続的に上下方向に摺動し得るように構成されている。
【００２６】
前記発泡ポリウレタン成形用の金型１においては、前記第１状態での内部空隙の高さより前記第２状態での内部空隙の高さが高ければ、前記第２状態における前記上金型４ｂの位置は特に限定されず、上方向への移動を前記コッター上部屈曲部７ｂで規制された上金型４ｂが最も高い位置にある状態が前記第２状態であってもよい。また、上金型４ｂがそれより低い位置で上下の移動が規制されている状態も前記第２状態となり得る。
【００２７】
さらに、前記下金型４ａ及び前記コッター７の一部には、該下金型４ａ及び前記コッター７を金型１の外部から前記内部空隙８まで横方向に貫通する貫通孔９がある。該貫通孔９には、取り外し可能であり前記未硬化樹脂組成物を保持するための液だめ部１０が貫通孔９に内接して備えられている。前記金型１は、前記未硬化組成物が該液だめ部１０を介して前記内部空隙８に注入され、前記未硬化組成物が前記内部空隙８に充填されるように構成されている。
【００２８】
前記金型１は、前記未硬化組成物が前記内部空隙内へ横方向から充填されるように構成されていることにより、所定割合で混合されなかった前記未硬化樹脂組成物が硬化されてなる部位の発泡樹脂成形体を容易に除去でき、より均質な発泡樹脂成形体を得ることができる。即ち、上述したように、２以上の樹脂原料を連続的に混合した流体は、各樹脂原料が所定の割合となるように所定量の各樹脂原料を所定時間流出させつつ混合させてなるものであるところ、各樹脂原料を混合する所定時間を開始した直後においては、流出量が未だ少ないことに起因して各樹脂原料の撹拌が不十分になりやすく、また、流出量を増加させながら流出量を精密に制御することが困難であることから各樹脂原料の混合比が変動しやすい。従って、２以上の樹脂原料が連続的に混合されてなる流体を前記未硬化樹脂組成物として前記内部空隙に充填する際、流体である前記未硬化樹脂組成物の最前方部は、意図しない割合で２以上の樹脂原料が混合されている可能性がある。前記未硬化樹脂組成物が前記内部空隙内へ横方向から充填されるように構成されていることにより、意図しない割合で混合された前記未硬化樹脂組成物が前記内部空隙に充填されても該組成物は発泡樹脂成形体の外縁を構成することとなり、成形された発泡樹脂成形体から斯かる外縁を取り除くことにより、比較的均質な発泡樹脂成形体を得ることができる。
【００２９】
また、該貫通孔９及び該液だめ部１０には、前記内部空隙を密閉する密閉手段（図示せず）が備えられている。なお、図１及び図２において図示しないが、前記液だめ部１０の上流側には、前記活性水素含有液及び前記発泡剤を含む混合活性水素液と前記イソシアネート含有液とが混合される場としてのミキシングヘッドが設けられており、該ミキシングヘッドで混合されてなる前記未硬化組成物が前記液だめ部１０を通して前記内部空隙８に注入及び充填されるように前記金型１が構成されている。
なお、前記ミキシングヘッドは、ＲＩＭ成形機を構成しているものの１つであり、その詳細については後述する。
【００３０】
前記金型１においては、前記上金型４ｂが、下方へ向けてその最上面に力が加えられ、その力が調整されるように構成されている。このように構成されていることにより、発泡している未硬化組成物の膨張によって上金型４ｂを上方側へ移動させる力が加わってもなお、発泡している未硬化組成物が前記内部空隙８に十分に充満するまで上金型４ｂの上方側への移動を規制することができる。
また、前記内部空隙８で未硬化組成物が膨張している際、下方へ向けて前記上金型４ｂに加えられている圧力を徐々に小さくすることによって、未硬化組成物の膨張圧を利用して上金型４ｂを上方側へ移動させることができ、これにより内部空隙８の空隙高さが徐々に高くなり、内部空隙８が連続的に拡大される。
【００３１】
前記液だめ部１０について、図２及び図３を参照しながら詳しく説明する。図３（ａ）は、好ましい液だめ部１０を上方から見た図であり、図３（ｂ）は、それを側面から見た図である。
【００３２】
前記液だめ部１０は、前記内部空隙の外方側に備えられており、前記未硬化樹脂組成物の流体を前記内部空隙８内へ導きつつ内部で前記未硬化樹脂組成物を保持できるものである。前記液だめ部１０は、具体的には例えば、下方側が前記下金型４ａに着接され且つ上方側が前記上金型４ｂに着接されて上下に分離可能に構成され得るものである。
【００３３】
前記液だめ部１０は、上述したように意図しない割合で混合された前記未硬化樹脂組成物が前記内部空隙８に注入されないように、当該未硬化樹脂組成物を保持し得るものである。前記液だめ部１０は、例えば上述したように上下に分離可能に構成されている場合、前記金型１の下金型４ａ及び上金型４ｂを上下方向に離間させれば、上方側の部分と下方側の部分とに分離し得る。従って、内部に当該未硬化樹脂組成物が保持された前記液だめ部１０においては、液だめ部１０を上下方向に離間させることにより、製造後に内部に残った発泡ポリウレタン成形体を簡便に除去することができる。よって、簡便に次の発泡ポリウレタン成形体を製造することができる。
【００３４】
前記液だめ部１０は、前記未硬化樹脂組成物の流体を撹拌すべく流路が屈曲するように形成されていることが好ましい。即ち、前記液だめ部１０は、前記未硬化樹脂組成物の流体を撹拌すべく流路が屈曲するように形成されたアフターミキサー部１１を備えていることが好ましい。詳しくは、前記液だめ部１０は、前記未硬化樹脂組成物の流体をさらに混合させるべく該流体が乱流となるように形成されていることが好ましい。具体的には、例えば、図３（ａ）に示すように、上流側から流れてくる前記未硬化樹脂組成物が、前記液だめ部１０の内壁に複数回衝突してその流れの向きを変えつつ、複雑な流れを起こしながら前記内部空隙の方へ流れるように、前記液だめ部１０が形成されていることが好ましい。前記液だめ部１０がこのように形成されていることにより、２以上の樹脂原料を含む前記未硬化樹脂組成物がさらに混合され、より均一になり得るという利点がある
【００３５】
前記液だめ部１０は、前記内部空隙の内方側へ向けて幅が広がりつつ高さが低くなる注入ゲート１２を備え、該注入ゲート１２は、前記未硬化樹脂組成物の流体の流れ方向に対して垂直な断面積が同じとなるように形成されていることが好ましい。詳しくは、図３（ａ）に示すように、上方から見た前記注入ゲート１２は、下流側、即ち前記内部空隙８に向けて広がったテーパー状の形状を有しており、また、図３（ｂ）に示すように、側方から見た前記注入ゲート１２は、下流側、即ち前記内部空隙８に向けて上面が徐々に低くなっている形状を有している。さらに前記注入ゲート１２は、例えば図３（ｂ）の点線で示すＸ及びＹにおける断面の面積が同じとなるように形成されている。
前記液だめ部１０が前記テーパー状の形状を有し前記内部空隙８に向けて上面が徐々に低くなっている形状を有している注入ゲート１２を備えていることにより、前記未硬化樹脂組成物の流体が前記内部空隙８の下方側を覆うように注入され、前記未硬化樹脂組成物の流体が前記内部空隙８内で渦流となることが抑制され得る。また、前記未硬化樹脂組成物の流体が該内部空隙８の下方側から上方側へ充填されていく。しかも、上流側において前記未硬化樹脂組成物の流体を送り出す圧力が一定であれば、前記内部空隙８に注入される該流体の流量が一定となり得る。従って、前記未硬化樹脂組成物が乱流となって前記内部空隙８に注入されることが抑制され、前記内部空隙８にある空気が前記未硬化樹脂組成物に巻き込まれることが防止されることで、前記未硬化樹脂組成物、及び該未硬化樹脂組成物が硬化されてなる発泡樹脂成形体がより均質なものとなり得る。
【００３６】
前記金型１においては、図２に示すように、発泡樹脂成形体を円盤状とするように前記内部空隙８が形成されており、且つ前記注入ゲート１２が前記内部空隙８の内側面に沿って備えられていることが好ましい。斯かる構成により、前記未硬化樹脂組成物の流体が前記内部空隙８の下方側の大部分を覆うように注入されることから、前記未硬化樹脂組成物の流体が前記内部空隙８内で渦流となることがさらに抑制され、前記内部空隙８にある空気が前記未硬化樹脂組成物に巻き込まれることがさらに防止されることで、前記未硬化樹脂組成物、及び該未硬化樹脂組成物が硬化されてなる発泡樹脂成形体がさらに均質なものとなり得る。
【００３７】
前記金型１は、その内部空隙内に注入されて充填される流動性の前記未硬化樹脂組成物の漏れがなく、該未硬化組成物が発泡した際の圧力を保ち、その圧力に耐えうるものであれば、大きさ、形状又は材質が特に限定されるものではない。
【００３８】
前記金型１の内部空隙８の大きさは、特に限定されるものではなく、該大きさとしては、例えば、１００ｍＬ〜３００Ｌ容量程度のものが挙げられる。また、前記金型１の内部空隙８の形状、即ち、得られる発泡ポリウレタン成形体の形状は、扁平状であり、より具体的には、該形状としては、例えば、３０〜２００ｃｍの直径、１．５〜１００ｍｍ程度の厚みを有する円盤状が挙げられる。また、前記金型１の材質としては、例えば、金属、樹脂などが挙げられる。
【００３９】
発泡ポリウレタン成形体を含む研磨パッドを得る場合において、前記金型が、発泡ポリウレタン成形体を扁平状とさせる密閉可能な内部空隙を備えていることにより、扁平状をしている研磨パッドの形状をさらに加工する工程が少なくなり、研磨パッドの製造工程がより簡便なものとなり得るという利点がある。即ち、前記金型が、発泡ポリウレタン成形体を扁平状とさせる密閉可能な内部空隙を備えていることにより、前記発泡ポリウレタン成形用の金型は、研磨パッドの製造において好適に採用され得る。
【００４０】
なお、本実施形態の金型においては、上金型４ｂ及び下金型４ａの相対的な上下移動を、上金型４ｂに圧力を加えることによって規制しているが、上金型４ｂ又は下金型４ａを物理的に固定することによって上金型４ｂ及び下金型４ａの相対的な上下移動を規制するように構成されている形態も本発明の意図する発泡樹脂成形用の金型の範囲に含まれる。
【００４１】
本実施形態の発泡樹脂成形用の金型は、従来公知の一般的な方法によって製造できる。
【００４２】
次に、本発明に係る発泡樹脂成形体の製造方法の一実施形態について説明する。
【００４３】
本実施形態の発泡樹脂成形体の製造方法は、未硬化樹脂組成物を硬化してなる発泡樹脂成形体を扁平状とする内部空隙が備えられた金型を用い、２以上の樹脂原料を連続的に混合した流体を前記未硬化樹脂組成物として前記内部空隙内へ連続的に充填し、該内部空隙を、所定の空隙高さを有する第１状態から該第１状態より空隙高さの高い第２状態へ密閉状態で連続的に拡大させる発泡樹脂成形体の製造方法であって、
前記金型として、前記内部空隙の外側に前記未硬化樹脂組成物の流体を前記内部空隙内へ導きつつ内部で前記未硬化樹脂組成物の一部を保持できる液だめ部が備えられているものを用いるものである。
【００４４】
前記発泡樹脂成形体は、２以上の樹脂原料が混合されることによって硬化反応が始まり、該硬化反応によって硬化が進行すると同時に発泡されてなるものであれば特に限定されない。詳しくは、２以上の樹脂原料を衝突させることにより混合されて前記未硬化樹脂組成物の流体にされると同時に前記内部空隙内へ充填されて発泡しながら硬化されるものであれば特に限定されない。
【００４５】
前記発泡樹脂成形体としては、具体的には例えば、イソシアネート基含有化合物を含むイソシアネート含有液と活性水素含有有機化合物を含む活性水素含有液とを混合させ、さらに発泡剤などにより発泡させることにより成形される発泡ポリウレタン樹脂成形体などが挙げられる。また、ポリアミン化合物や酸無水物を含有する硬化剤とエポキシ基を有する化合物を含有する液とを混合させ、発泡剤などにより発泡させながら硬化させる発泡エポキシ樹脂、発泡不飽和ポリエステル樹脂、発泡シリコーン樹脂などが挙げられる。
【００４６】
前記未硬化樹脂組成物は、前記発泡樹脂成形体の原料であり、硬化されることにより前記発泡樹脂成形体となるものであり、発泡剤を含み得る。
【００４７】
前記発泡剤としては、前記発泡樹脂成形体が成形される際に、気体を発生させて気泡となり、前記発泡樹脂成形体中に気泡を形成させるものであれば特に限定されるものではなく、例えば、加熱により分解してガスを発生させる有機化学発泡剤、沸点が−５〜７０℃の低沸点炭化水素、ハロゲン化炭化水素、水、液化炭酸ガスなどを単独でまたは組み合わせて用いることができる。
【００４８】
前記有機化学発泡剤としては、例えば、アゾ系化合物（アゾジカルボンアミド、アゾビスイソブチロニトリル、ジアゾアミノベンゼン、アゾジカルボン酸バリウム等）、ニトロソ化合物（Ｎ,Ｎ’−ジニトロソペンタメチレンテトラミン、Ｎ,Ｎ’−ジニトロソ−Ｎ,Ｎ’−ジメチルテレフタルアミド等）、スルホニルヒドラジド化合物〔ｐ,ｐ’−オキシビス（ベンゼンスルホニルヒドラジド）、ｐ−トルエンスルホニルヒドラジド等〕等が挙げられる。
前記低沸点炭化水素としては、例えば、ブタン、ペンタン、シクロペンタン、及びこれらの混合物などが挙げられる。
前記ハロゲン化炭化水素としては、塩化メチレン、ＨＦＣ（ハイドロフルオロカーボン類）等が挙げられる。
【００４９】
本実施形態の発泡樹脂成形体の製造方法としては、例えば、前記未硬化樹脂組成物に前記発泡剤としての前記有機化学発泡剤を含ませて加熱し、前記有機化学発泡剤の熱分解によってガスを発生させ、発泡樹脂成形体を製造する方法が挙げられる。
また、本実施形態の発泡樹脂成形体の製造方法としては、例えば、前記未硬化樹脂組成物に前記発泡剤としての前記低沸点炭化水素又は前記ハロゲン化炭化水素を含ませて加熱し、該発泡剤の気化によってガスを発生させ、発泡樹脂成形体を製造する方法が挙げられる。
また、本実施形態の発泡樹脂成形体の製造方法としては、例えば、前記イソシアネート含有液と前記活性水素含有液とを混合すると同時に、前記発泡剤としての前記低沸点炭化水素又は前記ハロゲン化炭化水素をさらに混合して未硬化組成物とし、該未硬化組成物を硬化させると同時に、該発泡剤の気化によってガスを発生させ、発泡ポリウレタン成形体を製造する方法が挙げられる。
【００５０】
以下、発泡ポリウレタン成形体の製造方法を例として、本実施形態の発泡樹脂成形体の製造方法を詳細に説明する。
【００５１】
前記発泡ポリウレタン成形体の製造方法としては、例えば、前記活性水素含有液及び前記発泡剤を含む混合活性水素液と前記イソシアネート含有液とを混合して前記未硬化組成物とし、該未硬化組成物を硬化させ、イソシアネート基と水との反応によって二酸化炭素ガスを発生させ、発泡ポリウレタン成形体を製造する方法が挙げられる。
【００５２】
具体的には、前記発泡ポリウレタン成形体の製造方法は、未硬化樹脂組成物を硬化してなるポリウレタン成形体を扁平状とするように形成された内部空隙を備えた金型を用い、
前記活性水素含有液及び前記発泡剤を含む混合活性水素液と前記イソシアネート含有液とを連続的に混合させることにより前記未硬化樹脂組成物の流体とする混合工程を実施し、
その後、前記第１状態での内部空隙内に前記未硬化組成物の流体を注入して該内部空隙に前記未硬化組成物を充填する充填工程を実施し、
続いて、発泡によって膨張する前記未硬化組成物の膨張圧に応じて前記内部空隙を、所定の空隙高さを有する第１状態から該第１状態より空隙高さの高い第２状態へ密閉状態で連続的に拡大させる内部空隙拡大工程を実施し、
最後に、前記未硬化組成物を硬化させ、硬化させた硬化物を取り出す取り出し工程を実施するものである。
前記発泡ポリウレタン成形体の製造方法においては、前記金型は、前記未硬化樹脂組成物の流体が前記内部空隙内に所定量充填されたときに該内部空隙外にある前記未硬化樹脂組成物を保持するための液だめ部を備えており、該液だめ部を介して前記未硬化樹脂組成物を前記内部空隙内へ充填する。
【００５３】
前記発泡ポリウレタン成形体の製造方法においては、上述した金型を用いる。
【００５４】
前記未硬化組成物は、イソシアネート基含有化合物を含むイソシアネート含有液と、活性水素含有有機化合物を含む活性水素含有液と、発泡剤とが混合されてなり、さらに触媒、整泡剤等を含み得る。また、必要に応じて、適宜、酸化防止剤、老化防止剤、充填剤、可塑剤、着色剤、防かび剤、抗菌剤、難燃剤、紫外線吸収剤等を含み得る。
【００５５】
前記イソシアネート含有液は、イソシアネート基含有化合物を含むものであり、さらに他の成分を含み得るものである。
【００５６】
前記イソシアネート基含有化合物は、分子中にイソシアネート基を有する化合物である。該イソシアネート基含有化合物は、分子中にイソシアネート基を有する化合物であれば特に限定されるものではなく、該イソシアネート基含有化合物としては、通常、分子中に複数のイソシアネート基を有する化合物が用いられる。
【００５７】
前記イソシアネート基含有化合物としては、例えば、芳香族ジイソシアネート、脂肪族ジイソシアネート、脂環族ジイソシアネート等を用いることができる。なお、これらのイソシアネート基含有化合物としては、単独物を、又は複数を組み合わせたものを用いることができる。また、市販されているものを用いることができる。
前記未硬化組成物における前記イソシアネート基含有化合物の割合は、３０〜７０質量％であることが好ましい。
【００５８】
前記芳香族ジイソシアネートとしては、アニリンとホルムアルデヒドを縮合して得られるアミン混合物を不活性溶媒中でホスゲンと反応させることなどにより得られる粗ジフェニルメタンジイソシアネート（粗ＭＤＩ）、該粗ＭＤＩを精製して得られるジフェニルメタンジイソシアネート（ピュアＭＤＩ）、ポリメチレンポリフェニレンポリイソシアネート（ポリメリックＭＤＩ）、及びこれらの変性物などを用いることができ、また、トリレンジイソシアネート（ＴＤＩ）、１，５−ナフタレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、１，３−フェニレンジイソシアネート、１，４−フェニレンジイソシアネート等を用いることができる。なお、これらの芳香族ジイソシアネートは、単独物で、又は複数を組み合わせて用いることができる。
【００５９】
ジフェニルメタンジイソシアネートの変性物としては、例えば、カルボジイミド変性物、ウレタン変性物、アロファネート変性物、ウレア変性物、ビューレット変性物、イソシアヌレート変性物、オキサゾリドン変性物等が挙げられる。斯かる変性物としては、具体的には、例えば、カルボジイミド変性ジフェニルメタンジイソシアネート（カルボジイミド変性ＭＤＩ）が挙げられる。
【００６０】
前記脂肪族ジイソシアネートとしては、例えば、エチレンジイソシアネート、２，２，４−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネートなどが用いられる。
【００６１】
前記脂環族ジイソシアネートとしては、例えば、１，４−シクロヘキサンジイソシアネート、４，４’−ジシクロへキシルメタンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ノルボルナンジイソシアネートなどが用いられる。
【００６２】
前記イソシアネート基含有化合物としては、その蒸気圧がより低く揮発しにくいことから、作業環境を制御しやすいという点で、ジフェニルメタンジイソシアネート（ピュアＭＤＩ）、ポリメリックＭＤＩ、又はその変性物が好ましい。また、粘度がより低く、取り扱いが容易であるという点で、カルボジイミド変性ＭＤＩ、ポリメリックＭＤＩ、又はこれらとＭＤＩとの混合物が好ましい。
【００６３】
前記活性水素含有液は、活性水素含有有機化合物を含むものであり、必要に応じてさらに前記触媒、前記整泡剤等を含み得るものである。
【００６４】
前記活性水素含有有機化合物は、イソシアネート基と反応し得る活性水素基を分子内に有する有機化合物である。該活性水素基としては、具体的には、ヒドロキシ基、第１級アミノ基、第２級アミノ基、チオール基などの官能基が挙げられ、前記活性水素含有有機化合物は、分子中に該官能基を１種のみ有していてもよく、分子中に該官能基を複数種有していてもよい。
【００６５】
前記活性水素含有有機化合物としては、例えば、分子中に複数のヒドロキシ基を有するポリオール化合物、分子内に複数の第１級アミノ基又は第２級アミノ基を有するポリアミン化合物などを用いることができる。
【００６６】
前記ポリオール化合物としては、分子量が４００以下の多価アルコール、分子量が４００を超えるポリオールプレポリマーなどが挙げられる。
【００６７】
分子量が４００以下の多価アルコールとしては、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール１，３−プロパンジオール、１，３−ブタンジオール、１，５−ペンタンジオール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、分子量４００以下のポリエチレングリコール、１，８−オクタンジオール、１，９−ノナンジオール等の直鎖脂肪族グリコールが挙げられ、ネオペンチルグリコール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、２−メチル−１，３−プロパンジオール、２−ブチル−２−エチル−１，３−プロパンジオール、２−メチル−１，８−オクタンジオール等の分岐脂肪族グリコールが挙げられ、１，４−シクロヘキサンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、水添加ビスフェノールＡ等の脂環族ジオールが挙げられ、グリセリン、トリメチロールプロパン、トリブチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ソルビトール等の多官能ポリオールなどが挙げられる。
【００６８】
分子量が４００を超えるポリオールプレポリマーとしては、ポリエーテルポリオール、ポリエステルポリオール、ポリエステルポリカーボネートポリオールおよびポリカーボネートポリオールなどが挙げられる。なお、ポリオールプレポリマーとしては、ヒドロキシ基を分子中に３以上有する多官能ポリオールプレポリマーも挙げられる。
【００６９】
詳しくは、前記ポリエーテルポリオールとしては、ポリテトラメチレングリコ−ル（ＰＴＭＧ）、ポリプロピレングリコール（ＰＰＧ）、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）、エチレンオキサイド付加ポリプロピレンポリオールなどが挙げられる。
【００７０】
前記ポリエステルポリオールとしては、ポリブチレンアジペート、ポリヘキサメチレンアジペートおよびポリカプロラクトンポリオールなどが挙げられる。
【００７１】
前記ポリエステルポリカーボネートポリオ−ルとしては、ポリカプロラクトンポリオールなどのポリエステルグリコールとアルキレンカーボネートとの反応生成物、エチレンカーボネートを多価アルコールと反応させて得られた反応混合物をさらに有機ジカルボン酸と反応させた反応生成物などが挙げられる。
【００７２】
前記ポリカーボネートポリオールとしては、１，３−プロパンジオール、１，４−ブタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、又はポリテトラメチレングリコールなどのジオールと、ホスゲン、ジアリルカーボネート（例えばジフェニルカーボネート）又は環式カーボネート（例えばプロピレンカーボネート）との反応生成物などが挙げられる。
【００７３】
前記ポリオール化合物は、単独で、又は２種以上が組み合わされて用いられ得る。なお、前記未硬化組成物における前記ポリオール化合物の割合は、１０〜５０質量％であることが好ましい。
【００７４】
前記多価アルコールとしては、反応時の強度がより高くなりやすく、製造された発泡ポリウレタン成形体を含む研磨パッドの剛性がより高くなりやすく、比較的安価であるという点で、エチレングリコール、ジエチレングリコールが好ましい。
【００７５】
前記ポリオールプレポリマーとしては、弾性のある発泡ポリウレタン成形体が得られやすいという点で、数平均分子量が８００〜８０００であるものが好ましく、具体的には、ポリテトラメチレングリコ−ル（ＰＴＭＧ）、エチレンオキサイド付加ポリプロピレンポリオールが好ましい。
【００７６】
前記ポリアミン化合物としては、４，４′−メチレンビス（ｏ−クロロアニリン）（ＭＯＣＡ）、２，６−ジクロロ−ｐ−フェニレンジアミン、４，４′−メチレンビス（２，３−ジクロロアニリン）、３，５−ビス（メチルチオ）−２，４−トルエンジアミン、３，５−ビス（メチルチオ）−２，６−トルエンジアミン、３，５−ジエチルトルエン−２，４−ジアミン、３，５−ジエチルトルエン−２，６−ジアミン、トリメチレングリコール−ジ−ｐ−アミノベンゾエート、１，２−ビス（２−アミノフェニルチオ）エタンおよび４，４′−ジアミノ−３，３′−ジエチル−５，５′−ジメチルジフェニルメタンなどが挙げられる。
【００７７】
前記イソシアネート含有液としては、常温で液状であり取り扱いやすいという点、前記ＴＤＩに比べて蒸気圧が低く、特定化学物質に指定されておらず作業環境が管理されやすいという点で、前記粗ＭＤＩ、前記ピュアＭＤＩ、前記ポリメリックＭＤＩ、又はこれらの変性物を含むものが好ましい。
前記活性水素含有液としては、イシシアネート基との反応速度を適度に小さくできるという点で、前記ポリオール化合物を含むものが好ましい。特に、汎用されてはいるが、特定化学物質に指定され分子中に塩素を含んでいる、例えば前記ＭＯＣＡなどのような前記ポリアミン化合物を含まず、前記ポリオール化合物を含むものが好ましい。
斯かる前記イソシアネート含有液及び斯かる前記活性水素含有液を含む前記未硬化組成物を硬化させてなる発泡ポリウレタン成形体であることにより、発泡ポリウレタン成形体を製造する作業環境及び工程が管理されやすいという利点がある。
【００７８】
前記発泡剤としては、発泡ポリウレタン成形体を製造する場合において、例えば、水、前記低沸点炭化水素、前記ハロゲン化炭化水素が挙げられ、より微細な気泡を発泡ポリウレタン成形体に残存させ得るという点で、好ましくは水が挙げられる。前記発泡剤としての水は、前記未硬化組成物中に０．０１〜０．５質量％配合されていることが好ましい。
【００７９】
前記触媒としては、例えば、有機酸とＳｎ、Ｚｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｐｂ等からなる金属触媒、又はアミン触媒が挙げられる。前記未硬化組成物における触媒は、前記未硬化組成物中に０．０１〜０．５質量％配合されていることが好ましい。
【００８０】
前記金属触媒としては、オクタン酸スズ、ナフテン酸スズ、ジブチルスズジラウレート、オクタン酸亜鉛などが挙げられる。
【００８１】
前記アミン触媒としては、トリエチルアミン、ジメチルシクロヘキシルアミン、ビス〔（２−ジメチルアミノ）エチル〕エーテル、１，４−ジアザビシクロ[２．２．２]オクタン、１，５−ジアザビシクロ［４．３．０］ノナ−５−エン、１，８−ジアザビシクロ[５．４．０]ウンデカ−７−エン、ジエチルベンジルアミン等の第三級アミン化合物が挙げられる。
【００８２】
前記整泡剤としては、ポリエーテル変性シリコーンなどの従来公知の整泡剤をもちいることができる。前記整泡剤は、１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて用いることができる。前記整泡剤は、前記未硬化組成物中に５．０質量％以下配合されていることが好ましい。
【００８３】
前記混合工程は、前記活性水素含有液及び前記発泡剤を含む混合活性水素液と前記イソシアネート含有液とを連続的に混合して前記未硬化組成物を調製する工程であり、前記充填工程の前に実施できる。なお、前記混合活性水素液は、前記活性水素含有液と前記発泡剤とが混合されてなり、必要に応じてさらに前記触媒、前記整泡剤等を含み得るものである。
【００８４】
前記活性水素含有液及び前記発泡剤を含む混合活性水素液と、前記イソシアネート含有液とをそれぞれ予め調製しておくことにより、斯かる２液を混合するまでは、斯かる２液それぞれにおいて硬化反応がほとんど進行せず、斯かる２液を比較的長時間貯蔵することができることから、発泡ポリウレタン成形体の製造における工程の時間管理がしやすくなるという利点がある。
【００８５】
前記混合工程は、前記充填工程の直前に実施する。前記充填工程の直前に実施することにより、前記未硬化組成物におけるウレタン化反応が過度に進行する前に前記充填工程を容易に実施することができる。
詳しくは、前記混合活性水素液と前記イソシアネート含有液とを混合すると直ちに、混合活性水素液に含まれている活性水素含有有機化合物の活性水素基と、前記イソシアネート含有液に含まれているイソシアネート基含有化合物のイソシアネート基との反応等が進行し、この反応等の進行に伴って未硬化組成物の粘度が上昇することから、続く前記充填工程における未硬化組成物の充填が時間の経過に伴って徐々に困難となり得る。従って、前記混合工程を前記充填工程の直前に実施することにより、混合された前記未硬化組成物の粘度が過度に上昇する前に前記充填工程を容易に実施することができる。
また、前記発泡剤が水である場合には、前記混合活性水素液と前記イソシアネート含有液とを混合することにより、発泡剤である水とイソシアネート基との反応によって比較的短時間で前記未硬化組成物が発泡し得ることから、前記未硬化組成物が発泡する前に前記充填工程を実施すべく、前記混合工程は、前記充填工程の直前に実施する。
【００８６】
前記混合工程を前記充填工程の直前に実施する操作は、好ましくは、前記混合工程において、前記活性水素含有液及び前記発泡剤を含む混合活性水素液と前記イソシアネート含有液とを連続的に衝突させて前記未硬化組成物を調製することにより実施できる。斯かる操作は、例えば後述する反応射出成形機（ＲＩＭ成形機）を用いることによって実施できる。具体的には斯かる操作は、前記混合工程において、前記混合活性水素液と前記イソシアネート含有液とを衝突させて該２液を混合させると同時に、該２液が混合された前記未硬化樹脂組成物を流体とし、該流体を前記内部空隙８に充填することによって実施できる。
【００８７】
前記発泡剤が水である場合には、水とイソシアネート基との反応による発泡現象が生じる前に前記充填工程を実施することが好ましいところ、水とイソシアネート基との反応に影響を及ぼす前記第三級アミン化合物の種類又は量を調整することにより、前記混合工程を実施してから斯かる発泡現象が始まるまでの時間を調整することができるという利点がある。また、活性水素含有液における活性水素とイシシアネート基との反応速度を適度に小さくでき、発泡現象が生じる前における未硬化組成物の粘度上昇を抑制できるという点で、前記活性水素含有液が前記ポリオール化合物を含むものであることが好ましい。
斯かる点において、前記未硬化組成物は、イソシアネート基含有化合物を含むイソシアネート含有液と、前記ポリオール化合物を含む活性水素含有液と、水と、前記触媒としての第三級アミン化合物とを混合したものが好ましい。
【００８８】
前記混合工程においては、前記イソシアネート含有液及び前記混合活性水素液の粘度をそれぞれ４０℃で１０００ｍＰａ・ｓ以下とすることが好ましい。前記イソシアネート含有液及び前記混合活性水素液の粘度をそれぞれ４０℃で１０００ｍＰａ・ｓ以下とすることにより、斯かる２液を均一に混合する際の効率がより高くなる。従って、発泡剤が混合されやすくなり、前記未硬化組成物中の発泡剤の分布がより均一に近づき、発泡が部位によってばらつくことがより抑制され得るという利点がある。
【００８９】
なお、前記粘度は、４０℃において、Ｂ型粘度計（東機産業社製）を用い、目盛が２０〜９０の範囲となるように、ローターＮｏ．１又はＮｏ．２、回転数６，１２，３０，又は６０ｒｐｍで１分間測定することにより得られる値である。
【００９０】
前記イソシアネート含有液と前記混合活性水素液との質量比は、得られる発泡ポリウレタン成形体を研磨パッドとして用いる場合に適度な硬度及び弾性が研磨パッドに付与できるという点で、イソシアネート含有液／混合活性水素液＝１５／８５〜８５／１５であることが好ましい。
また、前記イソシアネート含有液及び前記活性水素含有液の１００質量部に対する前記発泡剤は、０．０１〜１．０質量部であることが好ましい。
【００９１】
前記充填工程においては、発泡ポリウレタン成形体が扁平状となるように密閉可能に形成された前記第１状態の内部空隙内に前記未硬化組成物を注入し該未硬化組成物を内部空隙内に充填する。
詳しくは、前記充填工程は、前記混合工程の直後に実施するものであり、具体的には、ＲＩＭ成形機を用いて、前記混合活性水素液と前記イソシアネート含有液とを衝突させて混合した前記未硬化樹脂組成物の流体を前記第１状態での内部空隙内に注入して該内部空隙に前記未硬化組成物を充填するものである。
【００９２】
前記充填工程において前記内部空隙に前記未硬化組成物を充填する量としては、充填後に前記未硬化組成物が発泡によって膨張する（見かけ体積が増加する）程度にもよるが、前記内部空隙をより拡大することができ得る点で、前記第１状態の内部空隙の容積の５０〜１００％が好ましい。また、斯かる値が高い程、前記内部空隙に占める気体（残留気体）の割合が小さくなり、この気体が前記未硬化組成物の中に導入されることによって生じるボイドの発生がより抑制され得る。斯かる点において、前記第１状態の内部空隙に前記未硬化組成物を充填する量としては、前記内部空隙の容積の９０〜１００％が好ましく、９５〜１００％がより好ましい。即ち、前記内部空隙に前記未硬化組成物をほぼ完全に充填することがより好ましい。
なお、所定量の前記未硬化組成物を前記内部空隙に注入し充填する操作は、例えば、後述するＲＩＭ成形機を用いることによって容易に実施できる。
【００９３】
前記充填工程においては、上述した前記液だめ部１０を用いることができる。好ましくは、前記アフターミキサー部１１を備えた前記液だめ部１０を用いることができ、又は前記注入ゲート１２を備えた前記液だめ部１０を用いることができる。より好ましくは、前記アフターミキサー部１１及び前記注入ゲート１２を備えた前記液だめ部１０を用いることができる。
【００９４】
前記内部空隙拡大工程においては、前記未硬化組成物で充満した前記内部空隙を、前記未硬化組成物の膨張圧に応じて密閉状態で連続的に拡大させる。詳しくは、前記未硬化組成物で充満した前記内部空隙を、発泡によって膨張する前記未硬化組成物の膨張圧に応じて密閉状態で連続的に拡大させ、前記内部空隙が所望の大きさとなった前記第２状態でその拡大を停止する。
具体的には、前記内部空隙拡大工程においては、発泡ポリウレタン成形体が扁平状となるように形成された内部空隙を、前記未硬化組成物の厚みを増加させるように、未硬化組成物の発泡に伴う膨張圧に応じて密閉状態で連続的に拡大させ、発泡ポリウレタン成形体の厚みが所望のものとなる前記第２状態で前記内部空隙の拡大を停止する。
【００９５】
前記内部空隙拡大工程においては、前記充填工程を実施した後、発泡剤を含む前記未硬化樹脂組成物が充填された前記第１状態での内部空隙が密閉状態となることにより、得られる発泡ポリウレタン成形体のなかに形成された微少空孔の大きさが、部位によってばらつくことが抑制され得る。
詳しくは、前記第１状態での前記内部空隙が密閉状態となることにより、硬化が進行しつつある未硬化組成物がいずれの部位においても均一な圧力を受けることから、未硬化組成物中で発泡により発生する気泡の大きさがより均一に近いものとなりやすく、未硬化組成物の部位における気泡の大きさのばらつきが抑制され得る。
【００９６】
前記内部空隙拡大工程において密閉された内部空隙を連続的に拡大させることにより、前記内部空隙に密閉されている硬化進行中の前記未硬化組成物において、発泡に伴うその内圧が急激に変動することが抑制されることから、発生した気泡がより均一に近いものとなり、発泡ポリウレタン成形体に含まれている気泡の大きさのばらつきが抑制され得る。
【００９７】
また、前記内部空隙拡大工程を実施することにより、比重の異なる発泡ポリウレタン成形体を容易に製造することができる。詳しくは、例えば、発泡ポリウレタン成形体を扁平状とさせる密閉された内部空隙を、発泡ポリウレタン成形体の厚みを増加させるように拡大させ、その拡大を発泡ポリウレタン成形体の体積が所望のものとなり得る時点で停止すれば、その厚みの設定を変更するだけで、同じ未硬化組成物からであっても様々な比重の発泡ポリウレタン成形体を製造することができる。即ち、前記内部空隙に充填する未硬化組成物の質量に対して、拡大後の前記内部空隙の容積を所定のものに設定することにより、精度よく所望の比重を有する発泡ポリウレタン成形体を得ることができる。
【００９８】
前記内部空隙拡大工程においては、発泡ポリウレタン成形体が研磨パッドに適した厚みとなるように前記第２状態の内部空隙を設定することが好ましい。発泡ポリウレタン成形体が研磨パッドに適した厚みとなるように前記第２状態の内部空隙を設定することにより、製造された発泡ポリウレタン成形体を好適に研磨パッドとして使用できるという利点がある。具体的には、研磨パッドに適した０．５〜１０ｍｍ厚みとなるように前記第２状態の内部空隙を設定することにより、製造された発泡ポリウレタン成形体をさらにスライスしなくとも研磨パッドとして使用でき得るという利点がある。
【００９９】
前記取り出し工程においては、前記未硬化組成物を硬化させ、前記金型から硬化した発泡ポリウレタン成形体を取り出す。
【０１００】
前記未硬化組成物を硬化させる方法は、特に限定されず、例えば、常温で１０〜６０分程度放置する方法、４０〜８０℃程度の温度で５〜３０分程度放置する方法等が例示できる。
【０１０１】
なお、前記取り出し工程において前記金型から硬化した発泡ポリウレタン成形体を取り出しやすくすべく、前記充填工程を実施する前においては、前記金型の内部空隙を形成する内側面に離形剤を塗布しておくことが好ましい。
【０１０２】
本実施形態の発泡樹脂成形体の製造方法においては、反応射出成形（ＲＩＭ）法を採用することが好ましい。特に、前記発泡ポリウレタン成形体の製造方法においては、前記混合活性水素液と前記イソシアネート含有液とを混合する混合工程及び前記未硬化組成物を内部空隙に充填する前記充填工程を容易に実施することができる点、及び２以上の樹脂原料を連続的に混合した流体が前記未硬化樹脂組成物となって前記内部空隙内へ容易に充填され得る点で、反応射出成形（ＲＩＭ）法を採用することが好ましい。即ち、ＲＩＭ成形機（高圧ＲＩＭ成形機を含む）を用いた反応射出成形（ＲＩＭ）法を採用することが好ましい。
【０１０３】
前記反応射出成形（ＲＩＭ）法は、２種類以上の反応性を有する流動性の原料を連続的に衝突させることにより混合し、混合されつつ流体となった未硬化組成物を金型の内部空隙に注入して充填し該未硬化組成物を反応させて硬化させる成形法である。前記発泡ポリウレタン成形体の製造方法においては、前記混合活性水素液と前記イソシアネート含有液とを混合する混合工程、及び前記未硬化組成物を内部空隙に充填する前記充填工程などを反応射出成形（ＲＩＭ）法によって実施することができる。
【０１０４】
前記ＲＩＭ成形機は、具体的には例えば、温度調節可能である少なくとも２つの原料タンク、前記イソシアネート含有液及び前記混合活性水素液のそれぞれを所定流量で循環させる計量ポンプ、前記イソシアネート含有液及び前記混合活性水素液が衝突により混合される場としてのミキシングヘッド、前記イソシアネート含有液及び前記混合活性水素液の混合を制御するシャフトを駆動させるミキシングヘッド用油圧ユニット等を備えている。
【０１０５】
前記発泡ポリウレタン成形体の製造方法においては、前記ＲＩＭ成形機を用いた反応射出成形（ＲＩＭ）法を採用することにより、前記混合活性水素液と前記イソシアネート含有液とを混合する混合工程に続いて、前記未硬化組成物を内部空隙に充填する前記充填工程を容易に実施することができる。即ち、前記イソシアネート含有液及び前記混合活性水素液のそれぞれを原料タンクに入れて所望の温度で保持しておき、さらに計量ポンプによって前記イソシアネート含有液及び前記混合活性水素液のそれぞれを所望の流量となるように循環させておき、ミキシングヘッドにおけるシャフトをミキシングヘッド用油圧ユニットによって駆動させて前記イソシアネート含有液及び前記混合活性水素液を所定時間流出させてミキシングヘッドにおいて衝突混合させることにより、前記混合活性水素液と前記イソシアネート含有液とを連続的に比較的短時間で混合することができる。また、前記イソシアネート含有液及び前記混合活性水素液のそれぞれを原料タンクに入れて所望の温度で保持しておくことにより、未硬化組成物の硬化反応を所望の温度で進めやすくなる。
【０１０６】
また、前記ＲＩＭ成形機を用いた反応射出成形（ＲＩＭ）法を採用することにより、前記未硬化組成物の硬化反応が過度に進まない間に前記充填工程を実施することができる。即ち、計量ポンプによって前記イソシアネート含有液及び前記混合活性水素液のそれぞれを所望の流量となるように循環させておくことにより、ミキシングヘッドにおいて比較的短時間で混合されてなる未硬化組成物の流体を加圧状態で迅速に金型の内部空隙に注入することができる。
【０１０７】
また、前記ＲＩＭ成形機を用いた反応射出成形（ＲＩＭ）法を採用することにより、計量ポンプによって前記イソシアネート含有液及び前記混合活性水素液のそれぞれを所望の流量となるように循環させていることから、未硬化組成物の所望量を前記内部空隙に精度良く注入及び充填しやすくなる。
【０１０８】
なお、前記反応射出成形（ＲＩＭ）法においては、２以上の樹脂原料を連続的に衝突させた流体は、各樹脂原料が所定の割合となるように所定量の各樹脂原料を所定時間噴出させつつ混合させてなるものである。ところが、各樹脂原料を衝突させた直後又は衝突させる所定時間が終了する直前においては、噴出量が比較的少ないことに起因して各樹脂原料の撹拌が不十分になりやすく、また、流出量を増加又は減少させながら流出量を精密に制御することが困難であることから各樹脂原料の混合比が変動しやすい。従って、２以上の樹脂原料が連続的に混合されてなる流体を前記未硬化樹脂組成物として前記内部空隙に充填する際、流体である前記未硬化樹脂組成物の最前方部及び最後方部は、意図しない割合で２以上の樹脂原料が混合されている可能性がある。そこで、流体である前記未硬化樹脂組成物の最前方部は、上述したように、前記未硬化樹脂組成物が前記内部空隙内へ横方向から充填されるように構成されていることにより、前記内部空隙に充填されても発泡ポリウレタン成形体の外縁を構成することとなる。従って、成形された発泡ポリウレタン成形体から斯かる外縁を取り除くことにより、比較的均質な発泡樹脂成形体を得ることができる。また、流体である前記未硬化樹脂組成物の最後方部は、上述したように、前記液だめ部１０が前記内部空隙８の外側に備えられていることにより、前記内部空隙８に充填されず前記液だめ部１０に保持され得る。従って、前記未硬化樹脂組成物が比較的均質なものとなり得る。
【０１０９】
本実施形態の製造方法によって製造された発泡ポリウレタン成形体は、例えば、研磨パッド、衝撃吸収材、ライニング材等として用いられ得る。また、本実施形態の製造方法によって製造された発泡樹脂成形体は、前記金型から取り出された後、そのまま各種用途に用いることもできるものである。
【０１１０】
続いて、本実施形態の研磨パッドについて説明する。本実施形態の研磨パッドは、上記製造方法で製造された発泡ポリウレタン成形体を含むものである。
【０１１１】
具体的には、本実施形態の研磨パッドは、発泡ポリウレタン成形体を上面視円形で扁平状、例えば円盤状となるように、０．５〜１０ｍｍの厚み、及び３００〜２０００ｍｍの直径となるように製造したものであり、必要に応じて、円形状表面の一方において周方向に沿って同心円状の溝が複数形成されてなるものである。また、本実施形態の研磨パッドは、製造した発泡ポリウレタン成形体を上記形状、大きさにスライスすることなどにより得られるものであってもよい。
【０１１２】
本実施形態の研磨パッドを用いる場合には、金型から取り出した発泡ポリウレタン成形体をバフ加工することが好ましい。発泡ポリウレタン成形体をバフ加工することにより、発泡ポリウレタン成形体に含まれている気泡の内面がより表面に露出し、研磨パッドとして直ちに使用できる状態になるという利点がある。
なかでも比重０．１〜０．９、好ましくは比重０．２〜０．８とされ、より好ましくは比重０．５相当とされ、且つＡ型硬度が８０°以上とされてなる発泡ポリウレタン成形体は、研磨パッドとして好適に用いられ得る。なお、Ａ型硬度は、例えば、前記未硬化組成物におけるＭＯＣＡなどの前記ポリアミン化合物を増やすこと、前記未硬化組成物におけるＭＤＩなどの前記芳香族ジイソシアネートを増やすこと等により大きくすることができる。
【０１１３】
本実施形態の発泡樹脂成形用の金型を用い、本実施形態の発泡樹脂成形体の製造方法を採用することにより、具体的には例えば、次のようにして発泡ポリウレタン成形体を製造することができる。以下に、発泡ポリウレタン成形体の製造方法について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【０１１４】
まず、前記金型１の前記上金型４ｂを前記下金型４ａに嵌合させ、前記上金型４ｂを金型における最下位置に置く。この状態を前記第１状態とし、この状態において、上金型４ｂ及び下金型４ａの間に形成された内部空隙の空隙高さＧ１は、例えば２ｍｍとなっている。
次に、前記混合活性水素液及び前記イソシアネート含有液のそれぞれを所定流量となるように、ＲＩＭ成形機に備えられた計量ポンプによって斯かる２液を循環させておく。ミキシングヘッド（図示せず）に備えられたシャフトを油圧ユニット等で移動させることにより、それぞれで循環している前記混合活性水素液及び前記イソシアネート含有液を該ミキシングヘッドにおいて衝突させて短時間で混合し、混合した２液を未硬化組成物とすることで前記混合工程を実施する。
続いて、ミキシングヘッド（図示せず）から、前記貫通孔９の内側に備えられた液だめ部１０を通して前記内部空隙８に前記未硬化組成物を圧力をかけて送り、前記内部空隙８を密閉して、前記充填工程を実施する。その後、発泡により膨張する前記未硬化組成物で前記内部空隙８が充満されたか否かについては、例えば、前記上金型４ｂが上方側へ移動しようとする力を指標とすることができる。なお、前記上金型４ｂは、膨張する前記未硬化組成物の膨張圧によって上方側へ移動しようとしても、下方側への力によって移動が規制されており、内部空隙の空隙高さは２ｍｍに固定され、前記第１状態が保たれている。なお、膨張する未硬化組成物で前記内部空隙８が充満された時点で、続く前記内部空隙拡大工程を実施することができるが、前記内部空隙拡大工程を開始するタイミングは適宜調整できる。
さらに、内部空隙の空隙高さＧ２を例えば４ｍｍに設定して、前記内部空隙拡大工程を実施する。より具体的には、前記上金型４ｂに加えられている下方側への力を小さくし、発泡によって膨張している前記未硬化組成物の膨張圧を利用して、内部空隙の空隙高さが４ｍｍになる状態（前記第２状態）まで前記上金型４ｂを上方側へ移動させる。そして、前記上金型４ｂに加えられている下方側への力を調整して、内部空隙の空隙高さＧ２が４ｍｍとなる位置で前記上金型４ｂを固定し、前記第２状態を保つ。
最後に、前記第２状態を保ったまま、硬化が進行している未硬化組成物を完全に硬化させ、未硬化組成物が硬化して得られた発泡ポリウレタン成形体を金型から取り出す。
なお、このようにして製造された発泡ポリウレタン成形体は、例えば、スライスなどによってさらに厚みを変えることなく研磨パッドとして使用することができる。
【０１１５】
本発明は、上記例示の発泡樹脂成形用の金型、発泡樹脂成形体の製造方法、該製造方法により製造した発泡樹脂成形体、及び該製造方法により製造した発泡ポリウレタン成形体を含む研磨パッドに限定されるものではない。
即ち、一般的な発泡樹脂成形用の金型において用いられる種々の態様を、本発明の効果を損ねない範囲において、採用することができる。また、一般的な発泡樹脂成形体の製造方法において用いられる種々の形態を、本発明の効果を損ねない範囲において、採用することができる。また、一般的な発泡樹脂成形体や研磨パッドにおいて用いられる種々の態様を、本発明の効果を損ねない範囲において、採用することができる。
【実施例】
【０１１６】
次に実施例を挙げて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【０１１７】
（実施例１）
以下に示す方法により、発泡ポリウレタン成形体を製造した。
まず、以下の原料を以下の量で混合し、活性水素含有液と発泡剤とを含む混合活性水素液を作製した。
・商品名「アクトコールＥＰ−３０３３」
（エチレンオキサイド付加ポリプロピレンポリオール  三井化学ウレタン社製）
：１００部、
・ジエチレングリコール：３３部、
・商品名「ＤＡＢＣＯ３３ＬＶ」
（１，４−ジアザビシクロ[２．２．２]オクタン含有物  エアープロダクト社製）：
０．２５部、
・水（発泡剤）：０．３５部、
・商品名「ＳＨ−１９３」（ポリエーテル変性シリコーン  東レシリコーン社製）
：３部、
・商品名「アデカスタブ４６５Ｅ」（スズ含有触媒  旭電化工業社製）：０．０５部
次に、高圧ＲＩＭ成形機を使用して、４０℃に加温した商品名「ミリオネートＭＴＬ」［ポリイソシアネート  比重１．２１（４０℃）  日本ポリウレタン社製］４５部に対して、４０℃に加温した上記混合活性水素液５６部を混合し、この未硬化組成物を図３に示す液だめ部を備えた図１に示す金型の内部空隙に注入した。詳しくは、直径８００ｍｍの円盤状をなす内部空隙を４０℃に保ち、その空隙高さ（未硬化組成物の厚みとなる）を金型押さえによって２ｍｍに固定しておき（第１状態）、その内部空隙へ２００ｇ／秒の流速の未硬化組成物［比重１．０６（４０℃）］を５秒間注入した。未硬化組成物の充填後しばらくすると、上金型を上方側へ移動させようとする力が生じていることが検知された。続いて、金型押さえをはずして発泡による圧力によって、内部空隙の空隙高さ（発泡ポリウレタン成形体の厚みとなる）が３ｍｍとなるまで上金型を移動させた後、上金型を固定した（第２状態）。１５分間常温で放置後、金型を開き、発泡ポリウレタン成形体を取り出した。
この発泡ポリウレタン成形体の比重は０．７３であった。
【０１１８】
（実施例２）
内部空隙拡大工程において、第２状態での内部空隙の空隙高さを３．５ｍｍとした点以外は、実施例１と同様にして発泡ポリウレタン成形体を製造した。
【０１１９】
（実施例３）
内部空隙拡大工程において、第２状態での内部空隙の空隙高さを４．０ｍｍとした点以外は、実施例１と同様にして発泡ポリウレタン成形体を製造した。
【０１２０】
（実施例４）
内部空隙拡大工程において、第２状態での内部空隙の空隙高さを５．０ｍｍとした点以外は、実施例１と同様にして発泡ポリウレタン成形体を製造した。
【０１２１】
（実施例５）
内部空隙拡大工程において、第２状態での内部空隙の空隙高さを６．０ｍｍとした点以外は、実施例１と同様にして発泡ポリウレタン成形体を製造した。
【０１２２】
（実施例６）
以下に示す方法により、発泡ポリウレタン成形体を製造した。
まず、以下の原料を以下の量で混合し、活性水素含有液と発泡剤とを含む混合活性水素液を作製した。
・３，３’−ジクロロ−４，４’−ジアミノジフェニルメタン（ＭＯＣＡ）
の２〜４核体混合物：２７．６部
・ポリテトラメチレンエーテルグリコール（ＰＴＭＧ）［平均分子量１０００］
：９１．４部、
・ジエチレングリコール（ＤＥＧ）：１０部
・ビス〔（２−ジメチルアミノ）エチル〕エーテル（アミン触媒）：０．３６部、
・商品名「ＳＨ−１９３」（ポリエーテル変性シリコーン  東レシリコーン社製）
：１部、
・水（発泡剤）：０．１７５部
次に、高圧ＲＩＭ成形機を使用して、４０℃に加温した上記混合活性水素液１００部に対して、４０℃に加温した商品名「ミリオネートＭＴＬ」（ポリイソシアネート、日本ポリウレタン社製）５２部を混合し、この未硬化組成物を図１に示す金型と同様の金型の内部空隙に注入した。その後、実施例１と同様にして厚み３ｍｍの発泡ポリウレタン成形体を製造した。
【０１２３】
各実施例で製造した発泡ポリウレタン成形体の比重、気泡の平均径、Ａ型硬度、ボイドの有無について調べた結果を表１に示す。なお、気泡の平均径については、製造された発泡ポリウレタン成形体の断面をＳＥＭ観察し、そのＳＥＭ写真における気泡の直径の平均をとったものを表す。また、直径５００μｍ以上の気泡をボイドとした。
【０１２４】
【表１】
2010173089.tif 000003
【０１２５】
（比較例１）
金型の内部空隙の空隙高さを３．５ｍｍとして固定した点以外は、実施例１と同様にして発泡ポリウレタン成形体を製造した。
【０１２６】
（比較例２）
発泡剤としての水の配合量を０．１部とし、上金型を外して未硬化組成物を注入した点以外は、実施例１と同様にして発泡ポリウレタン成形体を製造した。
【０１２７】
（比較例３）
金型の液だめ部を取り除いて製造した点以外は、実施例１と同様にして発泡ポリウレタン成形体を製造した。
【０１２８】
各比較例で製造した発泡ポリウレタン成形体の比重、気泡の平均径、Ａ型硬度、ボイドの有無について調べた結果を表２に示す。
なお、比較例３で製造した発泡ポリウレタン成形体においては、金型の貫通口から内方側５〜１０ｃｍの部分にボイドが生じた。
【０１２９】
【表２】
2010173089.tif 000004
【０１３０】
実施例４及び比較例２で製造した発泡ポリウレタン成形体の断面を上記と同様に走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）によって撮影し、気泡の大きさと数の分布を測定した結果を図４に示す。気泡径の分布の測定は、ＳＥＭ写真を画像解析ソフトウエア（三谷商事株式会社製  商品名：「WinROOF」）に取り込み、解析することにより行った。
また、実施例４で製造した発泡ポリウレタン成形体の断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）によって撮影した電子顕微鏡写真を図５に示す。同様に、比較例２において部位の異なるものをそれぞれ図６（ａ）及び図６（ｂ）に示す。
【符号の説明】
【０１３１】
１：発泡樹脂成形用の金型
４ａ：下金型
４ｂ：上金型
７：コッター
７ａ：コッター下部屈曲部
７ｂ：コッター上部屈曲部
８：内部空隙（キャビティ）
９：貫通孔
10：液だめ部
11：アフターミキサー部
12：注入ゲート
Ｇ１およびＧ２：内部空隙の空隙高さ
【図１】
2010173089.tif 000005
【図２】
2010173089.tif 000006
【図３】
2010173089.tif 000007
【図４】
2010173089.tif 000008
【図５】
2010173089.tif 000009
【図６】
2010173089.tif 000010