(57)【要約】【課題】テストプログラムに基づいて半導体集積回路試験装置が行う被測定デバイスの動作試験において、効率良く、安定したデバッグを行うための動作試験支援装置を提供する。【解決手段】半導体試験装置が第１のテストプログラムに基づいて行った第１の動作試験に関する第１の動作試験情報と、第１のテストプログラムが変更された第２のテストプログラムに基づいて行った第２の動作試験に関する第２の動作試験情報とを記憶し、第１の動作試験情報と、第２の動作試験情報との差分を抽出し、視認可能に表示する。【選択図】図１
2010032351.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め作成された第１のテストプログラムにより半導体集積回路試験装置が行う第１の動作試験に基づいて、第２のテストプログラムにより前記半導体集積回路試験装置が行う第２の動作試験を支援する動作試験支援装置であって、
前記第１の動作試験に関する第１の動作試験情報が記憶される第１の動作試験情報記憶部と、
前記第２の動作試験に関する第２の動作試験情報が記憶される第２の動作試験情報記憶部と、
前記第１の動作試験情報と前記第２の動作試験情報との差分を抽出する動作試験情報比較部と、
前記第１の動作試験情報と前記第２の動作試験情報とを並べるとともに、前記動作試験情報比較部によって抽出された前記差分を視認可能な画面情報を生成する比較制御部と、
前記比較制御部が生成した前記画面情報を出力する出力部と、
を備えることを特徴とする動作試験支援装置。
【請求項２】
前記第１の動作試験情報と前記第２の動作試験情報とには、前記半導体集積回路試験装置が第１の測定項目の測定を行う際に当該第１の測定項目とは異なる第２の測定項目について測定した第１の測定値と前記第１の測定項目の測定結果が定められた規格値内であるか否かを判定する際に前記第２の測定項目について測定した第２の測定値とが含まれ、
前記動作試験情報比較部は、前記第１の動作試験情報と前記第２の試験情報とに含まれる前記第１の測定値および前記第２の測定値の差分を抽出する
ことを特徴とする請求項１に記載の動作試験支援装置。
【請求項３】
前記第１の動作試験情報と前記第２の動作試験情報とには、前記第１の測定項目の測定結果が定められた規格値内であるか否かについての判定結果が含まれ、
前記動作試験情報比較部は、前記第１の動作試験情報と前記第２の試験情報とに含まれる前記判定結果の差分を抽出する
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の動作試験支援装置。
【請求項４】
前記半導体集積回路試験装置は、ウェハが有する複数の被測定デバイスについて動作試験を行い、
前記第１の動作試験情報と前記第２の動作試験情報とには、前記ウェハが有する前記複数の被測定デバイスの判定結果と当該複数の被測定デバイスの前記ウェハ上の位置を示す位置情報とが含まれ、
前記動作試験情報比較部は、前記第１の動作試験情報と前記第２の試験情報とに含まれる対応する前記位置情報毎に、前記判定結果の差分を抽出し、
前記比較制御部は、前記ウェハ上の前記被測定デバイスの位置に合わせて前記判定結果を配置し、当該判定結果毎に前記差分を視認可能な判定結果配置図を生成する
ことを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の動作試験支援装置。
【請求項５】
前記第１の動作試験情報には前記第１のテストプログラムが含まれ、前記第２の動作試験情報には前記第２のテストプログラムが含まれ、
前記動作試験情報比較部は、前記第１の動作試験情報と前記第２の試験情報とに含まれる前記第１のテストプログラムと前記第２のテストプログラムとの差分を抽出する
ことを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の動作試験支援装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路試験装置を用いて行う被測定デバイスの動作試験を支援する動作試験支援装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体集積回路（デバイス）の動作試験を行う装置として、半導体集積回路試験装置（ＩＣテスタ）が利用されている。このような半導体集積回路試験装置は、試験項目に応じた試験手順が記述されたテストプログラムに基づいて、被測定デバイス（ＤＵＴ（Device Under Test））の動作試験を行う。特許文献１には、このようなテストプログラムをテンプレート化し、試験項目毎のパラメータに応じたテストプログラムを自動生成する技術が提案されている。
【０００３】
近年では半導体市場競争が激化していることもあり、新品種のデバイス開発の期間（ＴＡＴ（TurnAround Time））をできるだけ短くすることが望まれている。ここで、新品種の被測定デバイスに対するテスト工程を完了させるには、実際に半導体集積回路試験装置を動作させて得られる情報に基づいて行うテストプログラムや被測定デバイス自体のデバッグ作業が必要になる。このようなデバッグ作業では、実際に半導体集積回路試験装置を動作させて取得する試験結果等に基づいて、テストプログラムの不具合箇所や不具合原因を発見して修正を行う。このようなテストプログラムのデバッグ作業も、短期間で行われることが望ましい。
【０００４】
ここで、被測定デバイスとなる新品種のデバイスは、既に動作試験が完了し開発が行われた他の品種のデバイスと同機能で、スペックが異なるものである場合が多い。そのため、新品種の被測定デバイスの試験を行うために作成するテストプログラムのデバッグ作業では、既に完成した開発済みの他の品種のデバイスに対するテストプログラムによる試験結果との差分を比較することにより、不具合箇所、不具合原因の発見のために有用な情報が得られる場合が多い。従来、このような差分情報は、ＯＳ（Operating System）の機能として提供されるファイルの差分表示機能などを用いて取得されることが一般的である。
【特許文献１】特開２００２−１４８３１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述のようなＯＳの機能として提供される差分表示機能では、比較されたテストプログラム同士で内容が異なる箇所が示されるのみである。例えば、図１１に示されるように、テストプログラムが記述された複数のファイル同士を比較した場合、差分のないファイルの内容は表示されず、差分のあるファイルの内容のうち差分のある箇所のみが出力されるのが一般的である。このため、デバッグ作業者がテストプログラムの差分の前後の試験手順の流れを把握するためには、そのテストプログラムの実体を別途画面に表示させて、試験手順の流れを確認することが必要となる。このように、テストプログラムの差分箇所ごとにテストプログラムの実体を確認することは、デバッグ作業者に負担となり、結果としてデバッグ期間が長くかかることとなっている。
【０００６】
さらに、テストプログラムのデバッグ作業においては、テストプログラムに記述された動作手順自体の差分の他に、各動作手順実行時の被測定デバイスの状態表示の差分、試験結果のデータログの差分、試験結果としてのウェハマップの差分などの情報も、デバッグ作業者にとっては不具合箇所や不具合原因を発見するための有用な手がかりとなる。このような差分情報についても、ＯＳの差分表示機能を用いることや、デバッグ作業者が手作業で表計算ソフトに状態表示の結果を貼り付けることなどにより情報を整理して差分を発見するのが一般的であった。このようにして行う差分の抽出には時間が長くかかる場合があるとともに、デバッグ作業者特有の経験やコツなどにより差分の発見の手順や方法にバラツキがでて、必ずしも効率よく、安定したデバッグ作業が行えているとはいえない場合があった。
【０００７】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたもので、テストプログラムに基づいて半導体集積回路試験装置が行う被測定デバイスの動作試験において、効率良く、安定したデバッグを行うための動作試験支援装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決するために、本発明は、予め作成された第１のテストプログラムにより半導体集積回路試験装置が行う第１の動作試験に基づいて、第２のテストプログラムにより半導体集積回路試験装置が行う第２の動作試験を支援する動作試験支援装置であって、第１の動作試験に関する第１の動作試験情報が記憶される第１の動作試験情報記憶部と、第２の動作試験に関する第２の動作試験情報が記憶される第２の動作試験情報記憶部と、第１の動作試験情報と第２の動作試験情報との差分を抽出する動作試験情報比較部と、第１の動作試験情報と第２の動作試験情報とを並べるとともに、動作試験情報比較部によって抽出された差分を視認可能な画面情報を生成する比較制御部と、比較制御部が生成した画面情報を出力する出力部と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明は、第１の動作試験情報と第２の動作試験情報とには、半導体集積回路試験装置が第１の測定項目の測定を行う際に第１の測定項目とは異なる第２の測定項目について測定した第１の測定値と第１の測定項目の測定結果が定められた規格値内であるか否かを判定する際に第２の測定項目について測定した第２の測定値とが含まれ、動作試験情報比較部は、第１の動作試験情報と第２の試験情報とに含まれる第１の測定値および第２の測定値の差分を抽出することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、第１の動作試験情報と第２の動作試験情報とには、第１の測定項目の測定結果が定められた規格値内であるか否かについての判定結果が含まれ、動作試験情報比較部は、第１の動作試験情報と第２の試験情報とに含まれる判定結果の差分を抽出することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、上述の半導体集積回路試験装置は、ウェハが有する複数の被測定デバイスについて動作試験を行い、第１の動作試験情報と第２の動作試験情報とには、ウェハが有する複数の被測定デバイスの判定結果と複数の被測定デバイスのウェハ上の位置を示す位置情報とが含まれ、動作試験情報比較部は、第１の動作試験情報と第２の試験情報とに含まれる対応する位置情報毎に、判定結果の差分を抽出し、比較制御部は、ウェハ上の被測定デバイスの位置に合わせて判定結果を配置し、判定結果毎に差分を視認可能な判定結果配置図を生成することを特徴とする。
【００１２】
第１の動作試験情報には第１のテストプログラムが含まれ、第２の動作試験情報には第２のテストプログラムが含まれ、動作試験情報比較部は、第１の動作試験情報と第２の試験情報とに含まれる第１のテストプログラムと第２のテストプログラムとの差分を抽出することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように、本発明によれば、半導体試験装置が第１のテストプログラムに基づいて行った第１の動作試験に関する第１の動作試験情報と、第１のテストプログラムが変更された第２のテストプログラムに基づいて行った第２の動作試験に関する第２の動作試験情報とを記憶し、第１の動作試験情報と、第２の動作試験情報との差分を抽出し、視認可能に出力するようにしたので、例えば動作試験が完了済みの被測定デバイスに対する動作試験情報とデバッグ中の動作試験情報との差分を、不具合箇所、不具合原因を発見するための手掛かりとして出力し、効率の良い動作試験の支援を行う動作試験支援装置を提供することが可能となる。
【００１４】
また、本発明によれば、テストプログラムには、被測定デバイスの測定値を取得する動作手順と、測定値が定められた規格値内であるか否かを判定する動作手順とが含まれており、双方の時点において測定対象とは異なる被測定デバイスの測定値を取得した状態表示の出力結果から差分を抽出して出力するようにしたので、直接に測定対象としない測定値がテストプログラム中のどの時点でどのような状態であるかについての差分を、デバッグの手掛かりとして出力することが可能となる。
【００１５】
また、本発明によれば、測定値が定められた規格値内であるか否かを判定した判定結果の差分を抽出して出力するようにしたので、いずれの判定結果が他の動作試験と異なっているかを、デバッグの手掛かりとして出力することが可能となる。
【００１６】
また、本発明によれば、試験結果に応じたウェハマップの差分を抽出して出力するようにしたので、ウェハマップにおけるいずれの箇所が他の動作試験と異なっているかを、デバッグの手掛かりとして出力することが可能となる。
【００１７】
また、本発明によれば、テストプログラムの差分を抽出して出力するようにしたので、テストプログラムのいずれの箇所が他の動作試験と異なっているかを、デバッグの手掛かりとして出力することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
図１は、本実施形態による動作試験支援装置１００の構成を示すブロック図である。本実施形態による動作試験支援装置１００は、試験手順が記述されたテストプログラムに基づいて半導体集積回路試験装置５０が行った被測定デバイスに対する動作試験の試験データを比較し、差分を表示するコンピュータ装置である。半導体集積回路試験装置５０は、動作試験の対象となるウェハが有する複数のチップを被測定デバイスとし、複数の被測定デバイスのそれぞれについて動作試験を行う。動作試験支援装置１００は、第１の試験データ記憶部１１０と、第２の試験データ記憶部１２０と、入力部１３０と、比較制御部１４０と、読み出し部１５０と、比較部１６０と、ＧＵＩ表示部１７０と、試験データ取得部１８０とを備えている。
【００１９】
第１の試験データ記憶部１１０には、開発済みのデバイスに対して行われた第１の試験データが記憶される。第１の試験データには、ＴＤＬ（Ｔｅｓｔ  Ｄｅｓｃｒｉｐｔｉｏｎ  Ｌａｎｇｕａｇｅ）ファイル１１１と、ＤＭ（状態表示）値１１２と、データログ１１３と、ウェハマップ１１４とが含まれる。
【００２０】
ＴＤＬファイル１１１は、半導体集積回路試験装置５０に実行させるテストプログラムが記述されたファイルである。このようなＴＤＬファイル１１１には、被測定デバイスのモジュールごとに定められる複数の試験項目に応じた試験手順が記述されている。半導体集積回路試験装置５０は、ＴＤＬファイル１１１に記憶された試験手順を先頭から順次実行し、試験手順に基づいた試験信号を被測定デバイスに供給する。ＴＤＬファイル１１１に記述されたテストプログラムには、例えば、設定手順と、測定手順と、判定手順とが含まれる。設定手順は、被測定デバイスの各モジュール、端子に、電圧値、電流値、また信号のディレイなどの値を設定する動作手順である。測定手順は、被測定デバイスの測定対象のモジュール、端子の電圧値や電流値を測定して測定値を取得する動作手順（Ｍｅａｓｕｒｅ）である。判定手順は、取得した測定値が定められた規格値内であるか否かを判定する動作手順（Ｊｕｄｇｅ）である。
【００２１】
ＤＭ値１１２は、半導体集積回路試験装置５０がＴＤＬファイル１１１に記述されたテストプログラムの各動作手順を実行する際に、ＤＭ（状態表示）コマンドを実行することにより取得する被測定デバイスの各値の出力結果である。状態表示の出力結果には、上述の各動作手順において測定対象とされる項目以外の測定値および設定値が含まれる。例えば、状態表示の出力結果には、被測定デバイスが備える複数のモジュール（機能あるいは回路モジュール）のピン名称、ピン番号毎ごとに、そのモジュールの電圧値や電流値、測定におけるディレイの値などが対応付けられて記録される。このように、テストプログラムにおける各手順にて、測定対象とする端子とは異なる端子の状態を取得した出力結果は、動作試験に応じてテストプログラムや被測定デバイス自体のデバッグを行うに当たって有用な情報となる。例えば、試験中の品種のデバイスに対する特定の試験項目での試験結果がＦＡＩＬとなった場合に、以前の品種のデバイスに対する同様の試験項目における被測定デバイスの状態表示の比較を行うことが可能となる。また、設定手順にて設定対象の端子の指定に誤りがあった場合、期待と異なる端子に値が設定されていることを抽出できる。また、以前の品種におけるテストプログラムに対し新たな試験項目を追加したり、特定の試験項目を削除したり、試験項目の実施手順を入れ替えたりした場合に、その変更箇所以降の試験手順にどのような影響を与えたかを分析することが可能となる。また、試験中の品種で試験結果がＰＡＳＳとなっているとしても、期待値とは異なる値がある場合に、どのような被判定値でＰＡＳＳとなっていたかを事後的に調査することが可能となる。
【００２２】
データログ１１３は、ＴＤＬファイル１１１に記述されたテストプログラムにより行われる動作試験の試験結果が記録されたデータファイルである。例えば、データログ１１３には、試験項目毎に、測定値が規格範囲内にあることを示すＰＡＳＳと、測定値が規格範囲内にないことを示すＦＡＩＬとのいずれかの判定結果と、判定対象となった測定値である被判定値と、判定基準となった規格範囲の上限値および下限値と、判定対象となったモジュールのピン名称およびピン番号などの情報が対応付けられた情報が含まれる。
【００２３】
ウェハマップ１１４は、半導体集積回路試験装置５０が測定対象とするウェハが有する被測定デバイスの判定結果と、その被測定デバイスのウェハ上の位置を示す位置情報とが含まれる。ここで、判定結果には、測定値が規格範囲内にあることを示すＰＡＳＳと、測定値が規格範囲内にないことを示すＦＡＩＬとのいずれかを示す判定結果の他に、例えば、ＦＡＩＬの場合、その原因や状況に応じて定められたカテゴリを示す情報を記憶させるようにしても良い。
【００２４】
第２の試験データ記憶部１２０には、デバッグ対象となる新品種のデバイスに対して行われた第２の試験データが記憶される。第２の試験データ記憶部１２０には、ＴＤＬファイル１２１と、ＤＭ値１２２と、データログ１２３と、ウェハマップ１２４とが記憶される。それぞれのデータの内容は、第１の試験データ記憶部１１０に記憶された各データに対応する。
【００２５】
入力部１３０は、ユーザからの入力情報、操作情報の入力を受付ける入力デバイスであり、例えば、キーボードやマウスなどが適用できる。
比較制御部１４０は、ＧＵＩ表示部１７０に、ユーザからの情報入力を受付ける操作画面を表示させ、入力部１３０から入力される操作情報に基づいて読み出し部１５０に第１の試験データ記憶部１１０および第２の試験データ記憶部１２０から試験データを読み出させる。また、比較制御部１４０は、読み出し部１５０が第１の試験データ記憶部１１０および第２の試験データ記憶部１２０から読み出した試験データを、比較部１６０に比較させ、比較結果に基づく比較画面をＧＵＩ表示部１７０に表示させる。
読み出し部１５０は、比較制御部１４０からの制御命令に応じて、第１の試験データ記憶部１１０と、第２の試験データ記憶部１２０とから差分を抽出する比較対象とする試験データを読み出す。
【００２６】
ＧＵＩ表示部１７０は、動作試験支援装置１００の動作に応じたＧＵＩ（Graphical User Interface）画面を出力し、表示するディスプレイである。
試験データ取得部１８０は、入力部１３０に入力される操作情報に応じて、半導体集積回路試験装置５０から、ＴＤＬファイル、ＤＭ値、データログ、ウェハマップなどの試験データを取得し、第１の試験データ記憶部１１０または第２の試験データ記憶部１２０に記憶させる。試験データ取得部１８０は、任意のタイミングで試験データを取得する操作情報の入力を受付け、試験データを取得するようにして良い。例えば、ユーザは数時間ごと、日ごとに試験データを取得させておき、数日前までは正しく動いていたテストプログラムに、デバッグしていくうちに不具合が紛れ込んだ場合、どこを修正したかを事後的に比較して確認することが可能となる。
【００２７】
比較部１６０は、読み出し部１５０が第１の試験データ記憶部１１０と第２の試験データ記憶部１２０とからそれぞれに読み出した試験データの比較を行い、差分を抽出する処理を行う。比較部１６０は、ＴＤＬファイル比較部１６１と、ＤＭ値比較部１６２と、データログ比較部１６３と、ウェハマップ比較部１６４とを備えている。
【００２８】
ＴＤＬファイル比較部１６１は、読み出し部１５０が第１の試験データ記憶部１１０から読み出したＴＤＬファイル１１１と第２の試験データ記憶部１２０から読み出したＴＤＬファイル１２１とを、記述された行ごとに比較して差分を抽出する。図２は、ＴＤＬファイル比較部１６１が抽出した差分を比較制御部１４０がＧＵＩ表示部１７０に表示させる画面例を示す図である。図２の（ａ）の領域には、ユーザからの入力を受付けるツールボタンが表示される。ツールボタンとしては、例えば、「Ｄａｔａｓｅｔ」ボタン、「Ｄｉｆｆ」ボタン、「Ｐｒｅｖ」ボタン、「Ｎｅｘｔ」ボタンなどのボタンが表示される。
【００２９】
「Ｄａｔａｓｅｔ」ボタンは、比較判定対象となるデータセットを選択する画面を開くボタンである。データセットとは、半導体集積回路試験装置が被測定デバイスに対して行う動作試験の情報の単位である。例えば、データセットには、ＴＤＬファイルと、パターンファイルと、デバイス定義ファイルとが含まれる。パターンファイルには、半導体集積回路試験装置５０から被測定デバイスに送信させる試験信号のパターンが記述される。デバイス定義ファイルには、被測定デバイスが備える各モジュールの物理的なチャンネルやピンの名称と、論理的な名称とが対応付けられて定義され、記述される。デバイス定義ファイルにて定義された各名称は、ＴＤＬファイルに記述されたテストプログラム内で設定や測定の対象となる被測定デバイスのモジュールを指定する際に用いられる。また、デバイス定義ファイルで定義された各名称は、試験対象となるモジュールであり、上述のＤＭコマンドは、デバイス定義ファイルで定義された全てのチャンネル毎のピンの状態を出力対象とする。
【００３０】
図３は、「Ｄａｔａｓｅｔ」ボタンを押下した際に表示されるデータセット選択画面の例を示す図である。図３には、「ｔｅｓｔ２」、「ｐｔ０７２５」などのデータセットが選択対象のデータセットとして表示されている。動作試験支援装置１００は、これらの中から試験データの比較判定対象とするデータセットをユーザに選択させ、任意のデータセットの判定比較処理を行うことができる。
【００３１】
図２に戻り、（ａ）の領域の「Ｄｉｆｆ」ボタンは、判定比較対象として選択されたデータセットに対応して読み出し部１５０により第１の試験データ記憶部１１０と第２の試験データ記憶部１２０とから読み出された試験データの比較判定処理を、比較部１６０に実行させる命令が入力されるボタンである。「Ｐｒｅｖ」ボタンは、選択中のデータセットから前のデータセットに比較判定対象を変更するボタンである。「Ｎｅｘｔ」ボタンは、選択中のデータセットから次のデータセットに比較判定対象を変更するボタンである。
【００３２】
図２の（ｂ）の領域には、比較部１６０による比較判定対象とされる試験データの種別の選択を受付けるタブが表示される。本実施形態の例では、比較判定対象となる試験データには、ＴＤＬファイルを比較判定対象とすることを示す「Ｔｅｓｔ  Ｐｒｏｇｒａｍ」と、ＤＭ値を比較判定対象とすることを示す「ＤＭ」と、データログを比較判定対象とすることを示す「Ｄａｔａ  Ｌｏｇ」と、ウェハマップを比較判定対象とすることを示す「Ｗａｆｅｒ  Ｍａｐ」とのタブが表示される。また、（ｂ）に表示されるタブのうち、比較判定対象として選択されている試験データのタブの文字は強調して表示される。図２の例では、「Ｔｅｓｔ  Ｐｒｏｇｒａｍ」が強調して表示されている。いずれかのタブが押下されると、選択された試験データが切り替わる。
【００３３】
図２の（ｃ）の領域には、試験データの比較判定結果が表示される。（ｃ）の領域の右端の（ｎ）の領域には、スクロールバーが表示される。「Ｔｅｓｔ  Ｐｒｏｇｒａｍ」の比較においては、（ｃ）の領域は(ｄ)の差分表示ウィンドウと(ｅ)の全体表示ウィンドウとに上下に画面分割される。（ｄ）の領域には、ＯＳの差分表示機能による第１の試験データのＴＤＬファイルと第２の試験データのＴＤＬファイルとの差分比較結果が表示される。ここには、第１の試験データのＴＤＬファイルと第２の試験データのＴＤＬファイルとの内容中に差分のあった行のみが表示される。このため、ユーザは、テストプログラムの内容中に差分のあった行の量を視覚的に把握することが可能である。(ｄ)の差分表示ウィンドウにおける（ｆ）の領域には、比較対象のファイル内容に差分の存在する箇所が表示されている。比較対象のファイル内容に差分がない場合には（ｇ）に示されるようにファイル内容は表示されない。ここで、ＴＤＬファイル比較部１６１が（ｄ）の領域に表示させる差分表示は、ＯＳにより提供される差分表示機能により取得される情報を出力するようにしても良い。
【００３４】
一方、（ｅ）の全体表示ウィンドウの領域には、比較対象である第１の試験データのＴＤＬファイルと第２の試験データのＴＤＬファイルとの双方のファイル内容が左右に並べられて表示される。ここには、第１の試験データのＴＤＬファイルと第２の試験データのＴＤＬファイルとの内容が全て表示される。このため、ユーザは、テストプログラムの内容中に差分のあった箇所を視覚的に把握することが可能である。（ｅ）の領域のうち左側の（ｊ）の領域には、第１の試験データに含まれるＴＤＬファイルのテストプログラムが表示される。（ｊ）の領域の左端の（ｉ）の領域には、（ｊ）の領域に表示されるテストプログラムの行番号が表示される。
【００３５】
一方、（ｅ）の領域のうち右側の（ｍ）の領域には、第２の試験データに含まれるＴＤＬファイルのテストプログラムが表示される。（ｍ）の領域の左端の（ｋ）の領域には（ｍ）の領域に表示されるテストプログラムの行番号が表示される。ここで、（ｊ）または（ｍ）の領域に表示されるデータは、差分がある行についてはテキストの色を他と異なる色で表示される。例えば、差分のないデータは黒色のフォントで表示されるとすると、（ｉ）における行番号１に対応して（ｊ）の領域に表示される「ｌｃｄ｛ｌｃｄｒｌｙ＝ｏｎ；｝」のテキストは、青色のフォントで表示される。また、（ｋ）における行番号１および２に対応して（ｍ）の領域に表示される「ｌｃｄ｛ｌｃｄｒｌｙ＝ｏｆｆ；｝」および「ｌｃｄｐｉｎ（１００１）｛ｃｏｎｎ＝ｏｐｅｎ；｝」のテキストは、赤色のフォントで表示される。
【００３６】
また、ＴＤＬファイル比較部１６１は、テストプログラムの内容中に行が追加されていたり、削除されていたりする場合は、（ｊ）の領域と（ｍ）の領域とにおける表示行を揃えて表示させる。例えば、（ｍ）において追加されている行番号２の行に対応する（ｊ）の行には空白行を挿入し、（ｊ）における行番号２と（ｍ）における行番号３との行を同じ行に並んで表示させる。このように、差分のある箇所のみでなく、テストプログラムの全体を表示し、かつ差分のある箇所の色を変えて表示することで、ユーザは差分箇所の前後のつながりや流れを視覚的に把握できるようになる。
【００３７】
ここで、（ｅ）の領域のうち左端の（ｈ）の領域には、第１の試験データのＴＤＬファイルと第２の試験データのＴＤＬファイルとのテストプログラムの行ごとに、その行に差分がある場合に差分の種別を表す英字が表示される。本実施形態では、（ｊ）に表示される第１の試験データのＴＤＬファイルに対し、（ｍ）に表示される第２の試験データのＴＤＬファイルに変更があった行には、（ｈ）の領域に「ｃ」（ｃｈａｎｇｅ）が表示される。第１の試験データのＴＤＬファイルに対し第２の試験データのＴＤＬファイルにおいて追加された行には、「ａ」（ａｄｄ）が表示される。第１の試験データのＴＤＬファイルに対し第２の試験データのＴＤＬファイルにおいて削除された行には、「ｄ」（ｄｅｌｅｔｅ）が表示される。
【００３８】
さらに、（ｄ）の領域に表示されたテストプログラムの表示と、（ｅ）の領域に表示されたテストプログラムの表示とを連携させるようにしても良い。例えば、（ｄ）の差分表示ウィンドウにおいて、特定の差分ある箇所にマウスカーソルが置かれた状態で、マウスがクリックされるかリターンキーが押下される操作情報が入力部１３０から入力された場合、そのマウスカーソルの箇所に対応するテストプログラムの行が（ｅ）の全体表示ウィンドウに表示されるようにしても良い。
【００３９】
ＤＭ値比較部１６２は、読み出し部１５０が第１の試験データ記憶部１１０から読み出したＤＭ値１１２と第２の試験データ記憶部１２０から読み出したＤＭ値１２２とを比較する。図４は、ＤＭ値比較部１６２による比較結果に基づいて比較制御部１４０がＧＵＩ表示部１７０に表示させる画面例を示す図である。図４の（ｂ）の領域の「ＤＭ」タブが押下され、「Ｄｉｆｆ」ボタンが押下されると、（ｃ）の領域を図４に示されるようなＤＭ値の比較画面に切り替わる。
【００４０】
図４において比較結果が表示される（ｃ）の領域には、試験項目を識別する試験番号（ＴｅｓｔＮｏ）が表示される領域と、ＤＭ値に変更があった場合にその変更の種別を表す英字（Ｉｎｄｅｘ）が表示される領域と、そのＤＭ値が取得されたテストプログラム中の箇所が測定箇所（Ｍｅａｓｕｒｅ）であるか判定箇所（Ｊｕｄｇｅ）であるかが示される領域と、状態表示コマンドに応じて出力される各モジュールの状態表示が表示される領域とが含まれる。ここでは、被測定デバイスが備える各モジュールが複数のチャンネルやピンを有する場合には、データセットに含まれるデバイス定義ファイルに定義される全てのチャンネルやピンの状態が表示される。ここで、ＤＭ値比較部１６２が（ｃ）の領域に表示させる情報は、予め動作試験支援装置１００にインストールされた表計算ソフトウェアの機能を用いて出力するようにしても良い。
【００４１】
（ｃ）の領域に表示される各セルには、試験番号に対応した各モジュールの以前の品種の状態が表示され、以前の品種の状態とデバッグ中の品種の状態とに差がある場合にはその差分が表示される。以前の品種とデバッグ中の品種の状態に差分がある場合は、以前の品種の状態表示行の次の行に、現在の状態の出力値が表示される。差分がある出力値に対応するＩｎｄｅｘの領域には、変更があった行には「ｃ」が、追加された行には「ａ」が、削除された行には「ｄ」が表示される。また、差分があったセルは、そのセルの背景色を他と異なる色にする。例えば、差分がある場合、旧試験データのセルは緑を背景色とし、デバッグ中の試験データのセルは赤を背景色とする。
【００４２】
データログ比較部１６３は、読み出し部１５０が第１の試験データ記憶部１１０から読み出したデータログ１１３と、第２の試験データ記憶部１２０から読み出したデータログ１２３とを比較する。図５は、データログ比較部１６３による比較結果に基づいて比較制御部１４０がＧＵＩ表示部１７０に表示させる画面例を示す図である。図５の（ｂ）の領域の「ＤａｔａＬｏｇ」タブが押下され、「Ｄｉｆｆ」ボタンが押下されると、（ｃ）の領域が図５に示されるようなデータログの比較画面に切り替わる。
【００４３】
図５において比較結果が表示される（ｃ）の領域には、試験項目を識別する試験番号（ＴｅｓｔＮｏ）に対応付けられて、（ｐ）の領域に第１の試験データのデータログ１１３の内容が、（ｑ）の領域に第２の試験データのデータログ１２３の内容が表示される。この際、第１の試験データと第２の試験データとで差分のあるセルは、セルの背景色を他と異なる色にする。例えば、差分がある場合、旧試験データのセルは緑を背景色とし、デバッグ中の試験データのセルは赤を背景色とする。ここで、試験番号が追加されたり、削除されたりしている場合には、試験番号と試験結果の内容の表示がずれないように、差分のある箇所に空欄のセルを挿入して表示行を合わせる。
【００４４】
ウェハマップ比較部１６４は、読み出し部１５０が第１の試験データ記憶部１１０から読み出したウェハマップ１１４と、第２の試験データ記憶部１２０から読み出したウェハマップ１２４とを比較する。図６は、データログ比較部１６３による比較結果に基づいて比較制御部１４０がＧＵＩ表示部１７０に表示させる画面例を示す図である。図６の（ｂ）の領域の「ＷａｆｅｒＭａｐ」タブが押下され、「Ｄｉｆｆ」ボタンが押下されると、（ｃ）の領域が図６に示されるようなウェハマップの比較画面に切り替わる。
【００４５】
図６において比較結果が表示される（ｃ）の領域には、試験対象となったウェハから取得されたデバイス（チップ）のそれぞれの判定結果がウェハの形状に合わせて表示される。ウェハマップ上には、判定結果が取得されたデバイスの位置に合わせてセルが配置され、セル内に第１の試験データと第２の試験データとの試験結果を示す英字が「：」（コロン）を隔てて表示される。例えば、試験結果がＰＡＳＳである場合は「０」が表示され、試験結果がＦＡＩＬである場合はＦＡＩＬのカテゴリに応じた英字が表示される。第１の試験データと第２の試験データとに差分がある場合には、そのセルは他のセルとは異なる背景色が表示される。ここで、ウェハマップが複数存在する場合は、ウェハマップ全体を縦に複数枚並べて表示するようにしても良い。
【００４６】
次に、本発明による動作試験支援装置１００が、第１の試験データと第２の試験データとの比較処理を行う動作例を説明する。
図７は、動作試験支援装置１００が行うＴＤＬファイルの比較処理の動作例を示すフローチャートである。
動作試験支援装置１００が起動されてＧＵＩ表示部１７０に表示される画面において、上述の図２における（ｂ）の領域にて「Ｔｅｓｔ  Ｐｒｏｇｒａｍ」タブが選択され、（ａ）の領域の「Ｄｉｆｆ」ボタンが押下されると（ステップＳ１１）、比較制御部１４０は、読み出し部１５０にＴＤＬファイルの読み出し命令を送信する（ステップＳ１２）。
【００４７】
読み出し部１５０は、第１の試験データ記憶部１１０に記憶されたＴＤＬファイル１１１を読み出す（ステップＳ１３）。また、読み出し部１５０は、第２の試験データ記憶部１２０に記憶されたＴＤＬファイル１２１を読み出す（ステップＳ１４）。比較部１６０のＴＤＬファイル比較部１６１は、読み出し部１５０が読み出したＴＤＬファイル１１１とＴＤＬファイル１２１とを比較して、差分を抽出する（ステップＳ１５）。そして、比較制御部１４０は、図２に示すような差分表示画面をＧＵＩ表示部１７０に表示させる。
【００４８】
図８は、動作試験支援装置１００が行うＤＭ値の比較処理の動作例を示すフローチャートである。
動作試験支援装置１００のＧＵＩ表示部１７０に表示される画面において、上述の図２における（ｂ）の領域にて「ＤＭ」タブが選択され、（ａ）の領域の「Ｄｉｆｆ」ボタンが押下されると（ステップＳ２１）、比較制御部１４０は、読み出し部１５０にＤＭ値の読み出し命令を送信する（ステップＳ２２）。
【００４９】
読み出し部１５０は、第１の試験データ記憶部１１０に記憶されたＤＭ値１１２を読み出す（ステップＳ２３）。また、読み出し部１５０は、第２の試験データ記憶部１２０に記憶されたＤＭ値１２２を読み出す（ステップＳ２４）。比較部１６０のＤＭ値比較部１６２は、読み出し部１５０が読み出したＤＭ値１１２とデータログ１１３とを比較して、差分を抽出する（ステップＳ２５）。そして、比較制御部１４０は、図４に示すような差分表示画面をＧＵＩ表示部１７０に表示させる。
【００５０】
図９は、動作試験支援装置１００が行うデータログの比較処理の動作例を示すフローチャートである。
動作試験支援装置１００のＧＵＩ表示部１７０に表示される画面において、上述の図４における（ｂ）の領域にて「ＤａｔａＬｏｇ」タブが選択され、（ａ）の領域の「Ｄｉｆｆ」ボタンが押下されると（ステップＳ３１）、比較制御部１４０は、読み出し部１５０にデータログの読み出し命令を送信する（ステップＳ３２）。
【００５１】
読み出し部１５０は、第１の試験データ記憶部１１０に記憶されたデータログ１１３を読み出す（ステップＳ３３）。また、読み出し部１５０は、第２の試験データ記憶部１２０に記憶されたデータログ１２３を読み出す（ステップＳ３４）。比較部１６０のデータログ比較部１６３は、読み出し部１５０が読み出したデータログ１１３とデータログ１２３とを比較して、差分を抽出する（ステップＳ３５）。そして、比較制御部１４０は、図５に示すような差分表示画面をＧＵＩ表示部１７０に表示させる。
【００５２】
図１０は、動作試験支援装置１００が行うウェハマップの比較処理の動作例を示すフローチャートである。
動作試験支援装置１００のＧＵＩ表示部１７０に表示される画面において、上述の図５における（ｂ）の領域にて「ＷａｆｅｒＭａｐ」タブが選択され、（ａ）の領域の「Ｄｉｆｆ」ボタンが押下されると（ステップＳ４１）、比較制御部１４０は、読み出し部１５０にウェハマップの読み出し命令を送信する（ステップＳ４２）。
【００５３】
読み出し部１５０は、第１の試験データ記憶部１１０に記憶されたウェハマップ１１４を読み出す（ステップＳ４３）。また、読み出し部１５０は、第２の試験データ記憶部１２０に記憶されたウェハマップ１２４を読み出す（ステップＳ４４）。比較部１６０のウェハマップ比較部１６４は、読み出し部１５０が読み出したウェハマップ１１４とウェハマップ１２４とを比較して、ウェハマップにおける位置が同一のチップ毎に差分を抽出する（ステップＳ４５）。そして、比較制御部１４０は、図６に示すような差分表示画面をＧＵＩ表示部１７０に表示させる。
【００５４】
なお、本実施形態において、第１の試験データ記憶部１１０には、デバッグ対象の試験データの比較対象として開発済みのデバイスに対する試験データが記憶されることとしたが、第１の試験データ記憶部１１０には、同一品種に対して行った異なる試験の試験データを記憶させるようにしても良い。例えば、不具合の発見されたテストプログラムを用いて行った動作試験の試験データと、不具合を修正したテストプログラムを用いて行った動作試験の試験データとを比較して差分を抽出して出力するようにしても良い。
【００５５】
また、新品種の被測定デバイスが同一品種であっても、評価用のテストプログラムと量産用のテストプログラムでは、その記述内容が多少異なるものとなる場合がある。このような場合に、その差分を抽出するためにも本発明を適用できる。
また、本実施形態では、ＧＵＩ表示部１７０はディスプレイであることとして説明したが、例えば比較部１６０による比較結果を紙に印刷する印刷部であっても良い。
【００５６】
以上説明したように、本実施形態によれば、以前に半導体集積回路試験装置５０によって動作試験を行った試験データと、デバッグ中の被測定デバイスに対する動作試験を行ったデータとを比較し、その差分が煩雑な手作業無しで、ひと目で把握することを可能とする動作試験支援装置を提供することが可能となる。さらに、差分の文字色を変えたり、背景色を変えたり、同一セル内に並べて表示させたりすることで、その差分の把握が容易に把握できるようになる。また、任意のデータセットを比較対象に指定することができる。このように、試験データの品種や現在デバッグした状態と比較することで、前の品種の資産やデバッグ状態を活かし、開発効率が良いデバッグを行うことが可能となる。
【００５７】
なお、本発明における処理部の機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより試験データの比較処理を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、「コンピュータシステム」は、ホームページ提供環境（あるいは表示環境）を備えたＷＷＷシステムも含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムが送信された場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリ（ＲＡＭ）のように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。
【００５８】
また、上記プログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピュータシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピュータシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワーク（通信網）や電話回線等の通信回線（通信線）のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良い。さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル（差分プログラム）であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の一実施形態による動作試験支援装置の端末構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態によるＴＤＬファイル比較画面の例を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態によるデータセット選択画面の例を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態によるＤＭ値比較画面の例を示す図である。
【図５】本発明の一実施形態によるデータログ比較画面の例を示す図である。
【図６】本発明の一実施形態によるウェハマップ比較画面の例を示す図である。
【図７】本発明の一実施形態によるＴＤＬファイル比較処理の例を示すフローチャートである。
【図８】本発明の一実施形態によるＤＭ値比較処理の例を示すフローチャートである。
【図９】本発明の一実施形態によるデータログ比較処理の例を示すフローチャートである。
【図１０】本発明の一実施形態によるウェハマップ比較処理の例を示すフローチャートである。
【図１１】従来技術によるＴＤＬファイル比較画面の例を示す図である。
【符号の説明】
【００６０】
５０  半導体集積回路試験装置
１００  動作試験支援装置
１１０  第１の試験データ記憶部
１１１  ＴＤＬファイル
１１２  ＤＭ値
１１３  データログ
１１４  ウェハマップ
１２０  第２の試験データ記憶部
１２１  ＴＤＬファイル
１２２  ＤＭ値
１２３  データログ
１２４  ウェハマップ
１３０  入力部
１４０  比較制御部
１５０  読み出し部
１６０  比較部
１６１  ＴＤＬファイル比較部
１６２  ＤＭ値比較部
１６３  データログ比較部
１６４  ウェハマップ比較部
１７０  ＧＵＩ表示部
１８０  試験データ取得部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010032351.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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