(57)【要約】【課題】適切な検査規格によるテストプログラムであることを確認でき、製品の品質保証に資するテストプログラム照合装置を得る。【解決手段】サーバ１は、製品別に適用される検査規格番号を格納した製品別検査規格ＤＢ１１と、製品及び検査装置別のテストプログラムと検査規格番号との照合結果を格納した製品装置別照合結果ＤＢ１２と、製品・ロット別の検査実績を格納した製品・ロット別検査実績ＤＢ１３を有し、サーバ１とネットワークにより接続された検査装置２１は、テストプログラム２１１、２１２を有し、テストプログラムによる製品の検査に先立って、製品別検査規格ＤＢ１１及び製品装置別照合結果ＤＢ１２を参照して、製品の検査に用いるテストプログラムが適切なものかどうかを確認するようにした。【選択図】図１
2010140413.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査規格の情報を提供するサーバと所定の検査規格の下で製品の検査を行うテストプログラムを有する検査装置とがネットワークにより接続されたテストプログラム照合装置であって、
上記サーバは、
製品別に適用される検査規格番号を格納した製品別検査規格データベース、
製品及び検査装置別のテストプログラムと検査規格番号との照合結果を格納した製品装置別照合結果データベースを備え、
上記検査装置は、
上記テストプログラムによる上記製品の検査に先立って、上記製品別検査規格データベースを参照し、上記検査対象の製品に該当する検査規格番号を取得する手段、
上記取得した検査規格番号と上記製品装置別照合結果データベースに格納されたテストプログラムを照合した際の検査規格番号との比較により、上記製品の検査に用いるテストプログラムが適切なものかどうかを確認する手段を備え、
上記製品の検査に用いるテストプログラムが適切なものと確認された場合に上記製品の検査を実行することを特徴とするテストプログラム照合装置。
【請求項２】
上記サーバは、
製品ロット別の検査規格番号及び検査工程を含む検査実績情報を格納した製品ロット別検査実績データベースを備え、
上記検査装置は、
上記製品の検査工程が複数ある場合に、上記製品の検査終了のつど、上記検査実績情報を上記製品ロット別検査実績データベースに格納する手段、
上記製品の最終検査工程に先立って、上記製品ロット別検査実績データベースに格納された該当する製品ロットの上記検査実績情報を参照し、この参照した検査実績情報の検査規格番号と上記製品別検査規格データベースに格納された検査規格番号との比較により、上記検査実績情報の検査規格番号が適切なものかどうかを確認する手段を備え、
上記検査実績情報の検査規格番号が適切なものと確認された場合に、上記製品の最終検査工程を実行することを特徴とする請求項１記載のテストプログラム照合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体製造ラインで使用されるテストプログラムが、適切な検査規格によるものであることを検証するテストプログラム照合装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のテストプログラム管理では、開発部門のコンピュータから製造部門のコンピュータにテストプログラムが転送され、転送の際に検査規格や検査条件に誤りがないか判定し、良と判定されたテストプログラムだけを確実に製造部門のコンピュータに転送するようにしている。（特許文献１参照）
また、他の管理方法として、受入側がテストプログラムの検証用パッケージを生成し、その際、ハッシュ値をレスポンスに含めるようにすることで、納入側で検証用パッケージを元にテストを実行したとき、ハッシュ値によって関連付けられたテストレポートが生成される。システムは、このハッシュ値によって関連付けられたテストレポートで、検証用パッケージによって正しくテストされていることを確認でき、必要なテストが最新版のパッケージに対して実施されたことを自動チェックできる。（特許文献２参照）
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１０１２９１号公報（第６〜１６頁、図１）
【特許文献２】特開２００７−１１５１２号公報（第５〜１８頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のような従来のテストプログラム管理方法では、製造部門側には、確実に照合されたテストプログラムのみが転送される。しかしながら、検査規格が更新されている場合には、過去に照合されたプログラムコードが製造部門サーバに存在しているため、検査装置がどのテストプログラムを使用するかを選択する際、古い検査規格のテストプログラムで検査してしまう可能性がある。
また、同一製品を検査できる装置が複数存在し、それらが異なるプログラムコードを使用するような場合において、製造部門サーバには、同一製品について複数のプログラムコードが存在することになる。このとき、どれか一つのプログラムコードのみを更新しただけの場合や、最新規格に更新されていないプログラムコードをもつ検査装置が存在する場合には、古い検査規格のテストプログラムで検査してしまう可能性を助長する。
【０００５】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、適切な検査規格によるテストプログラムであることを確認でき、製品の品質保証に資するテストプログラム照合装置を得ることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係わるテストプログラム照合装置においては、
検査規格の情報を提供するサーバと所定の検査規格の下で製品の検査を行うテストプログラムを有する検査装置とがネットワークにより接続されたテストプログラム照合装置であって、
サーバは、
製品別に適用される検査規格番号を格納した製品別検査規格データベース、
製品及び検査装置別のテストプログラムと検査規格番号との照合結果を格納した製品装置別照合結果データベースを備え、
検査装置は、
テストプログラムによる製品の検査に先立って、製品別検査規格データベースを参照し
、検査対象の製品に該当する検査規格番号を取得する手段、
取得した検査規格番号と製品装置別照合結果データベースに格納されたテストプログラムを照合した際の検査規格番号との比較により、製品の検査に用いるテストプログラムが適切なものかどうかを確認する手段を備え、
製品の検査に用いるテストプログラムが適切なものと確認された場合に製品の検査を実行するものである。
【発明の効果】
【０００７】
この発明は、以上説明したように、検査規格の情報を提供するサーバと所定の検査規格の下で製品の検査を行うテストプログラムを有する検査装置とがネットワークにより接続されたテストプログラム照合装置であって、
サーバは、
製品別に適用される検査規格番号を格納した製品別検査規格データベース、
製品及び検査装置別のテストプログラムと検査規格番号との照合結果を格納した製品装置別照合結果データベースを備え、
検査装置は、
テストプログラムによる製品の検査に先立って、製品別検査規格データベースを参照し、検査対象の製品に該当する検査規格番号を取得する手段、
取得した検査規格番号と製品装置別照合結果データベースに格納されたテストプログラムを照合した際の検査規格番号との比較により、製品の検査に用いるテストプログラムが適切なものかどうかを確認する手段を備え、
製品の検査に用いるテストプログラムが適切なものと確認された場合に製品の検査を実行するので、適切でないテストプログラムで検査してしまい、再度、適切なテストプログラムで検査するという無駄を省くことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
実施の形態１．
実施の形態１は、ある検査工程における、ある製品の検査を開始する際のテストプログラムの照合処理についてのものである。
図１は、この発明の実施の形態１によるテストプログラム照合装置を示す構成図である。
図１において、サーバ１と各検査装置２１〜２３とはネットワークにより接続され、同様に、サーバ１と検査規格登録システム２とが、またサーバ１と照合結果登録システム３とが、それぞれネットワークにより接続されている。
サーバ１は、製品別検査規格ＤＢ（データベース）１１と、製品・装置別照合結果ＤＢ１２と、製品・ロット別検査実績ＤＢ１３とを有している。
各検査装置２１〜２３は、それぞれテストプログラムを保持し、検査装置２１は、異なる製品Ａ、Ｂのテストプログラム２１１、２１２、・・・を保持しているものとし、検査装置２２は、製品Ａの異なる検査規格のテストプログラム２２１、２２２、・・・を保持しているものとし、検査装置２３は、異なる製品Ａ、Ｂのテストプログラム２３１、２３２、・・・を保持しているものとする。
【０００９】
図２は、この発明の実施の形態１によるテストプログラム照合装置の製品別検査規格ＤＢに登録する項目を示す図である。
図２において、製品別検査規格ＤＢ１１に登録する情報としては、製品名、これに適用される検査規格Ｎｏ、検査項目、検査条件、検査規格、登録日時、適用日時などである。適用範囲Ｆｒｏｍ、適用範囲Ｔｏは、ある一部のロットのみに適用したい検査規格である場合、または、ある日以降から検査規格を変更したい場合などに、事前に最新検査規格の適用日や適用範囲を指定しておくためのデータが格納される。検査規格Ｎｏは、製品ごとに一意の番号が付けられる。
【００１０】
図３は、この発明の実施の形態１によるテストプログラム照合装置の製品・装置別照合結果ＤＢに登録する項目を示す図である。
図３において、製品・装置別照合結果ＤＢ１２に登録される情報としては、製品名、検査規格Ｎｏ、検査装置名、テストプログラム名、テストプログラム更新日などの該当テストプログラムについて一意となるもの、及び照合日時などである。
【００１１】
図４は、この発明の実施の形態１による検査装置の検査開始時の処理を示すフローチャートである。
【００１２】
次に、動作について説明する。
実施の形態１は、検査装置は、検査開始時に、サーバと通信を行ない、検査装置側で使用しようとしているテストプログラムが最新の検査規格によるものかどうかを確認するもので、確認できた場合のみ検査開始できるようにする。
まず、検査規格登録システム２により、製品別検査規格ＤＢ１１に製品ごとの検査規格を登録する処理について説明する。
検査規格登録システム２は、製品ごとの検査規格を登録する。このとき登録する情報としては、図２に示す情報であり、製品名、検査規格Ｎｏ、検査規格、登録日時などである。ここで、適用範囲Ｆｒｏｍ、適用範囲Ｔｏは、ある一部のロットのみに適用したい検査規格や、ある日以降から検査規格を変更したい場合などに、事前に最新検査規格の適用日や適用範囲を指定しておく。また、検査規格Ｎｏは、製品ごとに一意の番号が付けられる。
【００１３】
次に、照合結果登録システム３により、製品・装置別照合結果ＤＢ１２に照合結果を登録する処理について説明する。
照合結果登録システム３は、製品、検査規格Ｎｏ、装置、テストプログラムの組合せごとに照合を行ない、その結果を登録する。このとき登録する情報としては、図３に示すように、製品名、検査規格Ｎｏ、検査装置名、テストプログラム名、テストプログラムの更新日などの該当テストプログラムについて一意となるもの、及び照合日時である。
これらの処理によって、製品別検査規格ＤＢ１１や製品・装置別照合結果ＤＢ１２が最新の情報に随時更新される。
【００１４】
次に、図４を用いて、検査装置にて検査を開始するときの処理について説明する。
検査装置２１にて、製品Ａの検査を行なう場合、まず作業者がテストプログラム２１１を選択する。その際、検査装置２１は、製品別検査規格ＤＢ１１を参照し（Ｓ１０１）、製品Ａに該当する、適用日時が現在日時以前のデータで最新の検査規格Ｎｏを取得する（Ｓ１０３）。このとき、製品別検査規格ＤＢ１１に適用範囲が指定されているロットに該当する場合は、その検査規格Ｎｏを取得する（Ｓ１０２）。
なお、Ｓ１０１〜Ｓ１０３は、検査対象の製品に該当する検査規格番号を取得する手段を構成する。
【００１５】
次に、製品、装置別照合結果ＤＢ１２を参照し、製品Ａ、検査装置２１、テストプログラム２１１に該当するデータがあるかどうかを検索する（Ｓ１０４）。もしデータがなければ、選択したテストプログラム２１１が未照合である旨を検査装置２１のモニタに表示し、検査開始せず、処理を終了する（Ｓ１０６）。もしデータがあれば、その該当データの検査規格Ｎｏのうち、Ｓ１０２またはＳ１０３で取得した検査規格Ｎｏに合致するデータがあるかどうかを確認する（Ｓ１０５）。
合致するデータがなければ、選択したテストプログラム２１１の検査規格が最新でないか、あるいは検査しようとしているロットが不適であるため、その旨を検査装置２１のモニタに表示し、検査開始せず、処理を終了する（Ｓ１０８）。合致するデータがあれば、
テストプログラム２１１はすでに照合済であり、かつ、最新、あるいは適切な検査規格であるので、ここで始めて検査を開始することができる（Ｓ１０７）。
なお、Ｓ１０４〜Ｓ１０８は、テストプログラムが適切なものかどうかを確認する手段を構成する。
【００１６】
実施の形態１によれば、検査開始前に、事前に照合済みであり、適切な検査規格によるテストプログラムであることを確認した上で検査を開始できるため、未照合のテストプログラムで検査したり、不適切な検査規格のテストプログラムで検査したりすることを防止することができる。
その結果、検査の品質を保証でき、無駄な検査時間を削減することができる。
また、多数のロットが検査工程を流動中の場合において、ロットによって検査規格を切り替えたい場合でも、製品別検査規格ＤＢにロットの適用範囲を設けているため、ロットによって検査規格、テストプログラムが異なる場合でも、事前に照合済みであり、適切な検査規格によるテストプログラムであることを確認した上で検査を開始することができる。
その結果、作業者がロットによって不適切なテストプログラムを選択してしまった場合も、不適切なテストプログラムで検査してしまうことを未然に防ぐことができる。
【００１７】
実施の形態２．
図５は、この発明の実施の形態２によるテストプログラム照合装置の製品・ロット別検査実績ＤＢに登録する項目を示す図である。
図５において、製品・ロット別検査実績ＤＢ１３に登録する項目は、製品名、ロット名、検査工程、検査規格Ｎｏである。
【００１８】
図６は、この発明の実施の形態２による検査装置の検査終了時の処理を示すフローチャートである。
図７は、この発明の実施の形態２による検査装置の検査工程が複数存在する場合の最終工程の検査開始時の処理を示すフローチャートである。
【００１９】
次に、動作について説明する。
実施の形態２は、検査工程が複数存在する場合についてのものである。検査工程が複数存在する場合、すでに完了済の検査工程で使用したテストプログラムの検査規格を記憶しておき、検査する度に、過去の検査工程についても最新規格で行なわれたかどうかを確認することで、検査工程の流動中に検査規格が変更になったりせず、全検査が最新の検査規格で行なわれていることを確認する。
【００２０】
まず、検査装置の検査終了時の処理について、図６のフローチャートを用いて説明する。
検査を行なった製品、ロット、検査工程のデータが、製品・ロット別検査実績ＤＢ１３に登録されているかどうかを確認するための検索を行い（Ｓ２０１）、製品、ロット、検査工程の組合せが登録済みの場合は、検査規格Ｎｏを上書更新する（Ｓ２０２）。
未登録の場合は、製品名、ロット名、検査工程、検査規格Ｎｏを新規登録する（Ｓ２０３）。ここで、検査規格Ｎｏは、検査開始時に図４のＳ１０２またはＳ１０３のステップで取得したものである。このとき登録する情報は、図５に示すとおりである。
なお、Ｓ２０１〜Ｓ２０３は、検査実績情報を製品ロット別検査実績データベースに格納する手段を構成する。
【００２１】
次に、図７のフローチャートを用いて、検査工程が複数存在する場合の最終工程の検査開始時の検査装置の処理について説明する。
検査装置２１にて、製品Ａのロット名Ａ０１の検査を行なう場合、まず作業者がテスト
プログラム２１１を選択する。その際、検査装置２１は、製品別検査規格ＤＢ１１を参照し（Ｓ３０１）、適用日時が現在日時以前の最新のもので、製品Ａに該当する検査規格Ｎｏを取得する（Ｓ３０３）。このとき、製品別検査規格ＤＢ１１に適用範囲が指定されているロットに該当する場合は、その検査規格Ｎｏを取得する（Ｓ３０２）。
次に、製品・ロット別検査実績ＤＢ１３を参照し、製品Ａのロット名Ａ０１に該当するデータを検索する（Ｓ３０４）。該当したデータについて、検査規格Ｎｏが、Ｓ３０２あるいはＳ３０３で取得した検査規格Ｎｏと合致するかどうかを確認し（Ｓ３０５）、合致しなければ、過去に検査した工程の検査規格Ｎｏが最新の検査規格でなくなっているため、最終検査を開始せず、処理を終了する（Ｓ３０６）。Ｓ３０５及びＳ３０６は、全てのデータについて繰返し実行される。
なお、Ｓ３０１〜Ｓ３０６は、検査実績情報の検査規格番号が適切なものかどうかを確認する手段を構成する。
【００２２】
全てのデータについて、Ｓ３０５の処理で、検査規格Ｎｏが合致した場合は、現工程のテストプログラム２１１の検査規格が適切かどうかを、実施の形態１の要領（図４のフローチャート）にて確認する。
Ｓ３０６で、処理を終了した場合は、前工程に戻り、適切な検査規格のテストプログラムで検査を行ない、検査終了時の処理で、製品、ロット別検査実績ＤＢ１３に登録された検査規格Ｎｏを更新することにより、最終検査が開始できるようになる。
【００２３】
実施の形態２によれば、検査工程が複数存在し、検査工程を流動中に検査規格が変わった場合でも、最終検査工程にて、全工程の検査実績を確認することにより、全工程が最新の検査規格にて検査されたことを確認することができる。
これにより、検査の品質が保障できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】この発明の実施の形態１によるテストプログラム照合装置を示す構成図である。
【図２】この発明の実施の形態１によるテストプログラム照合装置の製品別検査規格ＤＢに登録する項目を示す図である。
【図３】この発明の実施の形態１によるテストプログラム照合装置の製品・装置別照合結果ＤＢに登録する項目を示す図である。
【図４】この発明の実施の形態１による検査装置の検査開始時の処理を示すフローチャートである。
【図５】この発明の実施の形態２によるテストプログラム照合装置の製品・ロット別検査実績ＤＢに登録する項目を示す図である。
【図６】この発明の実施の形態２による検査装置の検査終了時の処理を示すフローチャートである。
【図７】この発明の実施の形態２による検査装置の検査工程が複数存在する場合の最終工程の検査開始時の処理を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００２５】
１  サーバ、２  検査規格登録システム、３  照合結果登録システム、
１１  製品別検査規格ＤＢ、１２  製品・装置別照合結果ＤＢ、
１３  製品・ロット別検査実績ＤＢ、
２１、２２、２３  検査装置、
２１１、２１２  検査装置２１に登録されたテストプログラム、
２２１、２２２  検査装置２２に登録されたテストプログラム、
２３１、２３２  検査装置２３に登録されたテストプログラム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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