(57)【要約】【課題】フィルムのラミネート装置において、送りガイドに沿って搬送させたドライフィルムの送りガイド側にすりきずが発生し、そのために、基板と張り合わせ後、ドライフィルムには、露光処理時にその面に照射される光が散乱して配線パターン精度の低下をまねく場合があった。【解決手段】本発明は、送りガイドに向かって、その送りガイド上の積層フィルムにエアーを吹き付けるながら、積層フィルムと接する送りガイドの表面は積層フィルムと同調移動することを特徴とするフィルムのラミネート装置を提供する。【選択図】図１
2010173233.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の搬送手段と、
フィルムに保護フィルムを積層した積層フィルムの送り手段と、
前記積層フィルムから前記保護フィルムを剥離する剥離手段と、
前記積層フィルムから前記保護フィルムを剥離後のフィルムを前記基板に張り合せる張り合せ手段と、
前記積層フィルムの送り手段と前記張り合せ手段との間に設けた積層フィルムの送りガイドと、
前記保護フィルムを剥離後のフィルムを所定長に切断する切断手段と、を有するフィルムのラミネート装置において、
前記送りガイドに向かって、前記送りガイド上の前記積層フィルムにエアーを吹き付けるながら、前記積層フィルムと接する前記送りガイドの表面は前記積層フィルムと同調移動することを特徴とするフィルムのラミネート装置。
【請求項２】
前記送りガイドにはローラまたは回転ベルトを設け、前記積層フィルムと接する前記送りガイドの表面は、前記積層フィルムと同調移動することを特徴とする請求項１のフィルムのラミネート装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムのラミネート装置に関し、特にプリント基板等にフィルムを張り合せるフィルムのラミネート装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のプリント配線板は、例えば、ファインパターンを容易に形成でき工程管理を標準化しやすい等のため、製造工程中においてドライフィルムといわれる積層フィルムを用い配線を形成している。
ドライフィルムは、通常、ポリエステルフィルム等の支持フィルムの表面にレジスト層を積層し、さらにポリエチレンフィルム等の保護フィルムを積層した構造の積層フィルムからなる。
そしてこの積層フィルムを用いて配線を形成するには、積層フィルムから保護フィルムを剥離したフィルムを、銅張積層板からなる基板の表面にラミネートする。フィルムを基板にラミネート後、露光処理し、支持フィルムを剥離して現像する。現像後、エッチング処理やメッキ処理を行ない、配線を形成する。
【０００３】
この場合、フィルムを基板に積層するにはラミネート装置を用いている。このようなラミネート装置としては、例えば特許文献１に示す構造のものが公知である。
すなわち、このラミネート装置は、積層フィルムを供給ローラに巻回していて、送りローラにより積層フィルムを供給ローラから引き出している。そしてこの供給ローラから引き出した積層フィルムを剥離ガイドまで搬送し、この剥離ガイドの箇所で積層フィルムから保護フィルムを剥離する。剥離した保護フィルムは巻取ローラに巻き取る。また保護フィルムを剥離後のフィルムを、その先端を剥離ガイドに保持した状態のままスライドガイド及び吸着機能のある送りガイドに沿って搬送させる。そして搬送手段により搬送されてきた基板に張付けローラによりフィルムを加熱圧着して張り付ける。
このラミネート装置によれば、移動可能な剥離ガイドを設けているため、静電気によりフィルムが搬送中にシワがよったり、曲がったりする等の不良を防止できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平３−０７３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、このラミネート装置では、送りガイドに吸着機能を持たせてあるので、送りガイドに沿って搬送させた積層フィルムの送りガイド側にすりきずが発生しやすく、そのために、たとえばドライフィルムの場合には、露光処理時にその面に照射される光が散乱して配線パターン精度の低下をまねく場合があった。
本発明は、以上の欠点を改良し、すりきず発生を防止するフィルムのラミネート装置を提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するために、基板の搬送手段と、
フィルムに保護フィルムを積層した積層フィルムの送り手段と、
前記積層フィルムから前記保護フィルムを剥離する剥離手段と、
前記積層フィルムから前記保護フィルムを剥離後のフィルムを前記基板に張り合せる張り合せ手段と、
前記積層フィルムの送り手段と前記張り合せ手段との間に設けた積層フィルムの送りガイドと、
前記保護フィルムを剥離後のフィルムを所定長に切断する切断手段と、を有するフィルムのラミネート装置において、
前記送りガイドに向かって、前記送りガイド上の前記積層フィルムにエアーを吹き付けながら、前記積層フィルムと接する前記送りガイドの表面は前記積層フィルムと同調移動することを特徴とするフィルムのラミネート装置を提供するものである。
また、前記送りガイドにはローラまたは回転ベルトを設け、前記積層フィルムと接する前記送りガイドの表面は前記積層フィルムと同調移動することを特徴とする請求項１のフィルムのラミネート装置を提供するものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のラミネート装置は、積層フィルムの送り手段と張り合せ手段との間に設けた積層フィルムの送りガイドの、前記送りガイドに向かって、前記送りガイド上の前記積層フィルムにエアーを吹き付けながら、前記積層フィルムと接する前記送りガイドの表面は前記積層フィルムと同調移動するので、送りガイドに沿って搬送させた積層フィルムの送りガイド側にすりきずが発生しにくく、そのために、露光処理時にその面に照射される光が散乱して配線パターン精度が低下するのを回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施例の機構図を示す。
【図２】実施例の動作途中状態の機構図を示す。
【図３】実施例の動作途中状態の機構図を示す。
【図４】実施例の動作途中状態の機構図を示す。
【図５】実施例の動作途中状態の機構図を示す。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明に述べる積層フィルムは、保護フィルムが積層されたフィルムで、基板に積層するときに保護フィルムをはがして、そのはがした面に基板を張り合わせる。プリント配線板におけるドライフィルムの場合には、保護フィルムと反対側にポリエステルフィルム等の支持フィルムが積層されていて、プリント配線板と張り合わされる時は支持フィルムといっしょに張り合わされる。
【００１０】
本発明に述べる送りガイドは、保護フィルムを剥離した後のフィルムを、張り合せ手段に送る導き体で、特に切断手段により切断されたフィルム終端部を保持しながら張り合せ手段に送る導き体である。送りガイド自体は固定治具のため、移動するフィルムと接する面は移動するフィルムと同調して移動するようにする。具体的には、移動するフィルムと接する表面に回転する球、円柱（ローラ）またはベルトを設ける。
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
なお、本発明の実施の形態においては、基板の両面にラミネート処理をする場合には、通常、基板の搬送路を挟んで両側にほぼ同一の手段を対称に配置し、そして基板の片面のみにラミネート処理をする場合には搬送路の片側にその処理のための手段を主として配置する。
したがって、以下においては基板の両面にラミネート処理する場合について説明し、かつ搬送路を挟んだ両側の手段のうち主として搬送路の片側に配置した各手段を取り上げて説明する。
【００１２】
（送り手段）
第１図において、１ａ及び１ｂは、供給ローラであり、プラスチックフィルム等のフィルム２ａ及び２ｂに保護フィルム３ａ及び３ｂを積層した積層フィルム４ａ及び４ｂが巻回されている。５ａ及び５ｂは金属製の送りローラである。６ａ及び６ｂは、各々送りローラ５ａ及び５ｂに接触するゴム製の送りローラである。送りローラ５ａと送りローラ６ａ及び送りローラ５ｂと送りローラ６ｂとにより各々積層シート４ａ及び４ｂをクランプし、それ等の回転により積層シート４ａ及び４ｂを走行している。７ａ及び７ｂは積層フィルム４ａ及び４ｂを送りローラ５ａ，５ｂ，６ａ及び６ｂまで案内するガイドローラである。送り機構は、供給ローラ１ａ及び１ｂ、送りローラ５ａ，５ｂ，６ａ及び６ｂ、ガイドローラ７ａ及び７ｂからなる。
１７ａ及び１７ｂは基板を投入するための投入ローラである。１８ａ及び１８ｂは基板を搬出するための搬出ローラである。１９ａ及び１９ｂは、ローラ１７ａ及び１７ｂの近傍に配置された光電検出器であり、制御器（図省略）に接続されている。
（剥離手段）
８ａ及び８ｂは、移動可能な剥離ガイドであり、先端が湾曲し尖っている。９ａ及び９ｂは、スライドガイドであり、途中まで剥離ガイド８ａ及び８ｂとともに移動でき、積層フィルム４ａ及び４ｂをその表面に沿ってスライドさせうるもので、途中に孔１０ａ及び１０ｂが設けられている。１１ａ及び１１ｂは、巻取ローラであり、剥離ガイド８ａ及び８ｂによって積層フィルム４ａ及び４ｂから剥離された保護フィルム３ａ及び３ｂを巻き取るためのものである。
（送りガイド）
１２ａ及び１２ｂは、積層フィルム４ａ及び４ｂがスライドガイド９ａ及び９ｂと隣り合う部分で同一平面になるように配置された送りガイドであり、湾曲面に沿って複数のローラを設けている。
（エアー吹付）
１３ａ及び１３ｂは、エアーシャワーノズルで、送りガイド１２ａ及び１２ｂ近傍に移動可能であり、送りガイドの湾曲面に沿って複数のノズルを設けている。エアーシャワーノズル１３ａ及び１３ｂからのエアーを送りガイド１２ａ及び１２ｂに吹き付けることにより、フィルム２ａ及び２ｂが切断された時の後端を送りガイド１２ａ及び１２ｂ上に保持するためものである。
１６ａ及び１６ｂは、エアーの吹き出し口を張付けローラ１５ａ及び１５ｂに向けたエアージェットノズルであり、フィルム２ａ及び２ｂの先端を張付けローラ１５ａ及び１５ｂの方に吹き付けるものである。
エアーシャワーノズル１３ａ及び１３ｂは、エアージェットノズル１６ａ及び１６ｂと一体となったものでもよい。またはエアージェットノズル１６ａ及び１６ｂのノズルの向きを送りガイド方向１２ａ及び１２ｂに回転してもよい。
（切断手段）
１４ａ及び１４ｂは、フィルム２ａ及び２ｂを所定長に切断するための切断機構を構成するカッターであり、孔１０ａ及び１０ｂの入り口側に設けられ、フィルム２ａ及び２ｂの切断の際にその先端が孔１０ａ及び１０ｂに挿入される。
（張付け手段）
１５ａ及び１５ｂは、互いに接近する移動可能な張付けローラであり、内部に抵抗体が収納され通電により加熱され、フィルム２ａ及び２ｂを基板に加熱圧着して張り付けるものである。張付け機構は、張付けローラ１５ａ及び１５ｂ、エアージェットノズル１６ａ及び１６ｂからなる。
【実施例】
【００１３】
先ず、第１図に示す通り、保護フィルム３ａ及び３ｂだけを巻取ローラ１１ａ及び１１ｂに巻き取る。スライドガイド９ａ及び９ｂは、送りガイド１２ａ及び１２ｂの方に位置している。また、剥離ガイド８ａ及び８ｂは、スライドガイド９ａ及び９ｂに設けた孔１０ａ及び１０ｂの手前に位置している。フィルム２ａ及び２ｂはこの剥離ガイド８ａ及び８ｂから突出している。
【００１４】
次に、この初期状態から、第２図に示す通り、剥離ガイド８ａ及び８ｂをスライドガイド９ａ及び９ｂ並びに送りガイド１２ａ及び１２ｂに沿って移動し、送りガイド１２ａ及び１２ｂの先端付近に位置させる。この状態でエアージェットノズル１６ａ及び１６ｂからフィルム２ａ及び２ｂに、張付けローラ１５ａ及び１５ｂに向かってエアーを吹き付ける。次にエアーを吹き付けながら、また、保護フィルム３ａ及び３ｂを巻取ローラ１１ａ及び１１ｂに巻き取りながら、フィルム２ａ及び２ｂの先端を、張付けローラ１５ａ及び１５ｂの中心に位置するところまで張り出させる。
【００１５】
そして第３図に示す通り、基板２０を投入ローラ１７ａ及び１７ｂに投入すると、光電検出器１９ａによって基板２０の前端を検出し、制御器によって投入ローラ１７ａ及び１７ｂを制御して、基板２０を先端が張付けローラ１５ａ及び１５ｂの中心に位置するところまで走行して停止する。
【００１６】
基板２０が停止すると、第４図に示す通り、張付けローラ１５ａ及び１５ｂが互いに接近してこの基板２０を挟み、張付けローラ１５ａ及び１５ｂが回転を始め、フィルム２ａ及び２ｂが基板２０の両面に張り付けられる。また、張付けローラ１５ａ及び１５ｂが回転を始めると、スライドガイド９ａ及び９ｂ並びに剥離ガイド８ａ及び８ｂは各々送りガイド１２ａ及び１２ｂから離れる方向に移動し始め、剥離ガイド８ａ及び８ｂは、孔１０ａ及び１０ｂを越えたところで停止する。そのとき、エアーシャワーノズル１３ａ及び１３ｂが、送りガイド近傍に移動し、エアーシャワーノズル１３ａ及び１３ｂからのエアーを送りガイド１２ａ及び１２ｂ方向に吹き付ける。これにより、フィルム２ａ及び２ｂを送りガイド上に保持する。
【００１７】
スライドガイド９ａ及び９ｂが停止後、基板２０の後端を光電検出器１９ｂが検出すると、第５図に示す通り、その信号が制御器に伝達される。そして制御器によってスライドガイド９ａ及び９ｂ並びにカッター１４ａ及び１４ｂを動作させ、フィルム２ａ及び２ｂを切断する。なお、スライドガイド９ａ及び９ｂの移動速度はフィルム２ａ及び２ｂの走行速度に一致させる。
基板２０の両面にフィルム２ａ及び２ｂを張り付けし終わると、エアーシャワーノズル１３ａ及び１３ｂが、送りガイド１２ａ及び１２ｂから離れる方向に移動し、再び上記と同一の動作が繰り返される。
【符号の説明】
【００１８】
１ａ，１ｂ……供給ローラ、２ａ，２ｂ……フィルム、３ａ，３ｂ……保護フィルム、４ａ，４ｂ……積層フィルム、５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂ……送りローラ、７ａ，７ｂ……ガイドローラ、８ａ，８ｂ……剥離ガイド、９ａ，９ｂ……スライドガイド、１０ａ，１０ｂ……孔、１１ａ，１１ｂ……巻取ローラ、１２ａ，１２ｂ……送りガイド、１３ａ，１３ｂ……エアーシャワーノズル、１４ａ，１４ｂ……カッター、１５ａ，１５ｂ……張付けローラ、１６ａ，１６ｂ……エアージェットノズル、１７ａ，１７ｂ……投入ローラ、１８ａ，１８ｂ……搬出ローラ、１９ａ，１９ｂ……光電検出器、２０……基板。
【図１】
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【図２】
2010173233.tif 000004
【図３】
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【図４】
2010173233.tif 000006
【図５】
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