(57)【要約】【課題】中央に貫通孔を有する円盤状ガラスの内外周面を研削する際に、円盤状ガラスを回転ワーク台上に減圧吸着する研削装置では、可動部と固定部とを連結するロータリジョイントにおいて、減圧吸着用のエア通路にずれが生じるため、減圧吸着力が不安定になる問題があった。また、この研削装置では、減圧吸着用のエア通路とクーラント供給経路とが可動部の内部を長距離平行して走っているため、装置構成が複雑になり、可動部と固定部との接触面積が大きくなって摩擦熱が発生しやすい問題もあった。【解決手段】  円盤状ガラスを減圧吸着する回転ワーク台の回転軸上に減圧吸着用の流体吸引管を配置することによって、回転ワーク台が回転しても流体吸引管の経路上にずれが生じないようにして、円盤状ガラスに対する減圧吸着力が低下することを防止できる。【選択図】図１
2010082700.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央にクーラント供給口を有し、前記クーラント供給口よりも外側に流体吸引口を有し、さらに前記流体吸引口に連結され、かつ、回転軸上に配置された流体吸引管を有する回転ワーク台と、
前記回転ワーク台を回転自在に支持する固定台と、
を具備することを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造装置。
【請求項２】
前記回転ワーク台と前記固定台との間に、前記固定台に埋設されたクーラント供給管と前記クーラント供給口とに連結され、かつ、前記クーラント供給管として機能する間隙を有することを特徴とする請求項１に記載の情報記録媒体用ガラス基板の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の情報記録装置に使用される情報記録媒体用ガラス基板を製造する装置に関する。  
【背景技術】
【０００２】
従来、情報記録媒体用ガラス基板の製造においては、板状ガラスから中央に貫通孔を有する円盤状ガラスを切り出した後、その円盤状ガラスの２つの主表面を遊離砥粒等と研磨パッド等を用いて既定の厚さまで研削すると共に、その内周面と外周面についても回転式砥石等を用いて所定量研削している。
【０００３】
特許文献１には、中央に貫通孔を有する円盤状ガラスを減圧吸引して吸着プレートに固定し、その貫通孔からクーラントを円盤状ガラスの表面に供給しつつ吸着プレートを回転させて、この円盤状ガラスの内周面と外周面とを研削するハードディスク基板の研削装置が記載されている。具体的には、特許文献１の図１および図６では、吸着プレートの中央にクーラントの排出口が、またこの排出口の外側に円盤状ガラスを固定するための吸着穴が設けられており、さらにクーラントの排出口の直下すなわち吸着プレートの回転軸上にクーラントパイプが、また吸着穴の直下すなわち吸着プレートの回転軸を中心とした同一円周上に４つのエア通路が配置されている。また、特許文献１の図６および図７には、この吸着プレートの直下にあって、吸着プレートを回転させるための可動部と、この可動部に接してクーラントおよび吸着用のエアの受け渡しを行う固定部と、からなるロータリジョイントの構成が記載されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１０７９９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載された技術では、ロータリジョイントにおいて、可動部の回転によって固定部のエア通路と可動部のエア通路とがずれるため、可動部の回転中には吸着プレートの吸着力に強弱が生じる問題があった。また、この吸着力の弱さを補うため、吸着プレートに多数の吸着穴を形成しなければならず、吸着プレートの加工工程が複雑になる問題もあった（特許文献１の図２、図４および図５を参照）。さらに、可動部は、様々な周辺部材と接することによって回転自在に支持されているため、周辺部材との接触面積が大きく、摩擦による発熱が大きいという問題もあった。そのため、クーラントを円盤状ガラスの研削のためだけでなく、可動部とその周辺部材との摩擦熱の冷却にも利用しなければならず、クーラントの供給経路が複雑になる問題もあった。
【０００６】
本発明は、このような従来の技術が有していた問題に着目してなされたものであり、円盤状ガラスの内周面と外周面とを研削する際に、円盤状ガラスの主表面の一方のみを減圧吸着するだけで必要十分な強度で円盤状ガラスをワーク台に固定でき、かつ、簡素な構成からなる情報記録媒体用ガラス基板の製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の課題を解決するための第１の手段は、中央にクーラント供給口を有し、前記クーラント供給口よりも外側に流体吸引口を有し、さらに前記流体吸引口に連結され、かつ、回転軸上に配置された流体吸引管を有する回転ワーク台と、前記回転ワーク台を回転自在に支持する固定台と、を具備することを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造装置である。
【０００８】
第２の手段は、前記回転ワーク台と前記固定台との間に、前記固定台に埋設されたクーラント供給管と前記クーラント供給口とに連結され、かつ、前記クーラント供給管として機能する間隙を有することを特徴とする第１の手段にかかる情報記録媒体用ガラス基板の製造装置である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、円盤状ガラスを減圧吸着する回転ワーク台の回転軸上に減圧吸着用の流体吸引管を配置することによって、回転ワーク台が回転しても流体吸引管の経路上にずれが生じないようにして、円盤状ガラスに対する減圧吸着力が低下することを防止できる。また、このような構成であれば、円盤状ガラスを減圧吸着するための流体吸引口の数を減らせるため、回転ワーク台の構成が簡素化されて、回転ワーク台を容易に製造できるようになる。
【００１０】
また、本発明は、回転ワーク台と固定台との間に、固定台に埋設されたクーラント供給管とクーラント供給口とに連結され、かつ、クーラント供給管として機能する間隙を設けることによって、回転ワーク台と固定台との接触面積を減らして、回転ワーク台の回転による摩擦熱の発生を抑制することができる。さらに、この間隙にクーラントを存在させることにより、クーラントを潤滑剤として利用して回転ワーク台と固定台との摩擦を軽減すると共に、発生した摩擦熱を効率的に除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を、図１を適宜参照しながら詳細に説明する。
【００１２】
図１は、本発明にかかる情報記録媒体用ガラス基板の製造装置１００の構造を示す模式図である。図１（ａ）は、情報記録媒体用ガラス基板の製造装置１００を上方から見た平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面図である。なお、図１（ａ）中の点線は、外観に現れない内部構造を示す。
【００１３】
情報記録媒体用ガラス基板の製造装置１００は、固定台１１０、回転ワーク台１２０、クーラント供給口１３０、３つの流体吸引口１４０−１〜１４０−３、クーラント供給管１５０、間隙１６０、６つのクーラント経路１７０−１〜１７０−６および流体吸引管１８０を具備する。
【００１４】
固定台１１０は、図示しない情報記録媒体用ガラス基板の製造装置１００の基盤に回転できないように固定されており、クーラント供給管１５０を内包する。また、固定台１１０は、クーラント供給管１５０に連結する溝すなわち間隙１６０の一部（外側部分）を有する。クーラント供給管１５０は、図示しないクーラント供給ポンプに接続されている。
【００１５】
回転ワーク台１２０は、図示しない回転駆動装置に連結されており、間隙１６０の一部（内側部分）を構成する溝を有する。したがって、回転ワーク台１２０が固定台１１０に回転自在に嵌合することによって間隙１６０が構成されることになる。また、回転ワーク台１２０は、その上面の中央からクーラント供給管１５０とほぼ同じ位置までの深さを有するクーラント供給口１３０と、クーラント供給口１３０と間隙１６０とを繋いでクーラント供給口１３０にクーラントを供給するための６つのクーラント経路１７０−１〜１７０−６とを有する。
【００１６】
クーラント経路１７０は、回転ワーク台１２０の回転軸に垂直な面において、回転軸から放射線状に配置される。また、クーラント経路１７０は、Ａ−Ａ線を境界線として左右対称に配置されるため、回転ワーク台１２０の重量バランスを損なわせることがなく、回
転ワーク台１２０の回転時にも不要な振動を生じさせることがない。
【００１７】
クーラント供給口１３０には、回転ワーク台１２０の上面に固定された円盤状ガラスの内周面を研削する際に、内周面用の研削砥石が回転ワーク台１２０の上面側から挿入される。
【００１８】
また、回転ワーク台１２０は、その上面において、クーラント供給口１３０より外側に設置された３つの流体吸引口１４０−１〜１４０−３を有する。流体吸引口１４０はそれぞれ、回転ワーク台１２０の内部を通って、クーラント供給口１３０およびクーラント経路１７０と交わらないように流体吸引管１８０に連結される。
【００１９】
ここで、円盤状ガラスの減圧吸着に使用する流体としては、気体または液体のいずれでもよいが、クーラント供給口１３０から供給されるクーラントを利用でき、かつ、円盤状ガラスの研削時に使用される遊離砥粒や研磨屑が流入しても流体吸引口１４０が目詰まりを起こすおそれが小さく、かつ、流体吸引管１８０にドレン抜き機構を設ける必要のない液体を用いることが好ましい。
【００２０】
流体吸引管１８０は、図示しない減圧ポンプに接続されており、円盤状ガラスを回転ワーク台１２０の上面に吸着する際に、減圧ポンプによる減圧吸着力を流体吸引口１４０を介して円盤状ガラスに伝達する。流体吸引管１８０は、その中心線と回転ワーク台１２０の回転軸とが一致するように配置される。このように流体吸引管１８０が回転ワーク台１２０の回転軸上に配置されることによって、流体吸引管１８０の途中にロータリジョイントが設置された場合でも、回転ワーク台１２０の回転時に減圧吸着用の流体経路にずれが生じることがなくなり、円盤状ガラスに対する減圧吸引力が安定する。
【００２１】
このように情報記録媒体用ガラス基板の製造装置１００では、クーラントがクーラント供給口１３０の近傍で固定台１１０から回転ワーク台１２０に供給されることから、回転ワーク台１２０の構成を簡素化することができる。その結果、回転ワーク台１２０を軽量化したり、回転ワーク台１２０に連結された回転駆動装置を低出力のものにしたりして、装置全体をコンパクトにまとめることができる。
【００２２】
次いで、円盤状ガラスの内周面および外周面を研削する際における情報記録媒体用ガラス基板の製造装置１００の動作について説明する。
【００２３】
先ず、回転ワーク台１２０の上面に円盤状ガラスを載せる前の段階では、クーラント供給管１５０、間隙１６０、クーラント経路１７０およびクーラント供給口１３０は、滞留したクーラントで満たされており、また流体吸引口１４０および流体吸引管１８０もクーラントと同じ溶液で満たされている。さらに、回転ワーク台１２０の上面は、クーラントの水滴が散見される状態である。
【００２４】
この状態の回転ワーク台１２０の上面に、図示しないガラス搬送装置によって中央に貫通孔を有する１枚の円盤状ガラスを、回転ワーク台１２０の回転軸と円盤状ガラスの中心とが重なるようにセンタリングする。このとき、回転ワーク台１２０の上面と円盤状ガラスとの間には隙間なくクーラントを含む溶液の薄膜が形成される。
【００２５】
次いで、流体吸引管１８０に連結された図示しない減圧ポンプを作動させる。減圧ポンプの減圧力が流体吸引管１８０および流体吸引口１４０を介して円盤状ガラスに伝わり、円盤状ガラスが回転ワーク台１２０の上面に吸着される。
【００２６】
次いで、クーラント供給管１５０に連結された図示しないクーラント供給ポンプを作動
させて、クーラント供給管１５０、間隙１６０、クーラント経路１７０およびクーラント供給口１３０を介して、円盤状ガラスの中央の貫通孔からクーラントを溢れさせる。この貫通孔から溢れ出たクーラントは、円盤状ガラスの上面を流れて固定台１１０の上に滴り落ちる。
【００２７】
次いで、図示しない２つの回転砥石を作動させて、円盤状ガラスの内周面および外周面をそれぞれ研削する。このとき、内周面用の回転砥石は、クーラント供給口１３０内に挿入されることになる。この研削の際に、クーラントは研削液として機能する。
【００２８】
次いで、円盤状ガラスが既定の内径および外径にまで研削されると、２つの回転砥石の動作を止め、続いて回転ワーク台１２０の回転も止める。一方で、クーラント供給ポンプは、その後一定期間止めずに、クーラントを円盤状ガラスの貫通孔から溢れ出させ続ける。こうすることにより、円盤状ガラスの内周面の研削時に生じたクーラント供給口１３０内に滞留している研磨屑を、クーラント供給口１３０および円盤状ガラスの上面から除去することができる。
【００２９】
次いで、クーラント供給ポンプを止めた後、減圧ポンプを逆作動させて流体吸引口１４０から液体を逆流させる。こうすることにより、円盤状ガラスが回転ワーク台１２０の上面から浮き上がり、回転ワーク台１２０から取り外しやすくなる。
【００３０】
次いで、図示しないガラス搬出装置が研削済みの円盤状ガラスを回転ワーク台１２０の上面から取り上げることによって、円盤状ガラスの内周面および外周面の研削処理が完了する。
【００３１】
なお、上記の本発明の実施の形態では、クーラントがコロイダルシリカや酸化セリウム微粒子を含む研削液であってもよい。  
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】（ａ）本発明の実施形態を示す情報記録媒体用ガラス基板の製造装置の構成を示す平面図である。（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【符号の説明】
【００３３】
１００    情報記録媒体用ガラス基板の製造装置
１１０    固定台
１２０    回転ワーク台
１３０    クーラント供給口
１４０    流体吸引口
１５０    クーラント供給管
１６０    間隙
１７０    クーラント経路
１８０    流体吸引管
【図１】
2010082700.tif 000003