(57)【要約】【課題】一つの排気路（主排気路）のみ有する減圧装置にも適用でき、排気速度が速くパーティクルの舞い上がりを抑制できる減圧排気弁及びこの減圧排気弁を含む減圧排気機構を用いた減圧装置を提供する。【解決手段】一端が真空チャンバ２に連通し、他端が真空ポンプ４に連通する排気路５中に取付けられる減圧排気弁１０において、前記排気路５に接続された管部１１と、前記管部１１内に対し進退自在に設けられ、前記排気路５を開閉する開閉弁２０と、前記開閉弁２０に設けられ、通気孔を有する多孔質体部２２とを備え、前記開閉弁２０の進退動作による前記排気路５の開状態と閉状態との間に、前記多孔質体部２２を介して前記真空チャンバ２と前記真空ポンプ４とが連通する状態を有する。【選択図】図２
2010114119.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端が真空チャンバに連通し、他端が真空ポンプに連通する排気路中に取付けられる減圧排気弁において、
前記排気路に接続された管部と、前記管部内に対し進退自在に設けられ、前記排気路を開閉する開閉弁と、前記開閉弁に設けられ、通気孔を有する多孔質体部とを備え、
前記開閉弁の進退動作による前記排気路の開状態と閉状態との間に、前記多孔質体部を介して前記真空チャンバと前記真空ポンプとが連通する状態を有することを特徴とする減圧排気弁。
【請求項２】
前記減圧排気弁の多孔質体部が、攪拌起泡によって形成されたセラミックス多孔質焼結体であることを特徴とする請求項１記載の減圧排気弁。
【請求項３】
前記多孔質体部を介して前記真空チャンバと前記真空ポンプとが連通する状態における排気流量が、１．３（ＫＰａ／ｓ）〜２．６（ＫＰａ／ｓ）であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の減圧排気弁。
【請求項４】
真空チャンバと、この真空チャンバ内を減圧する排気機構を備えた減圧装置において、
前記排気機構は、一端が前記真空チャンバに連通し、他端が真空ポンプに連通する排気路と、前記排気路中に取付けられた減圧排気弁とを有し、
前記減圧排気弁は、前記排気路に接続された管部と、前記管部内に対し進退自在に設けられ、前記排気路を開閉する開閉弁と、前記開閉弁に設けられ、通気孔を有する多孔質体部とを備え、
前記開閉弁の進退動作による前記排気路の開状態と閉状態との間に、前記多孔質体部を介して前記真空チャンバと前記真空ポンプとが連通する状態を有することを特徴とする減圧装置。
【請求項５】
前記減圧排気弁の多孔質体部が、攪拌起泡によって形成されたセラミックス多孔質焼結体であることを特徴とする請求項４記載の減圧装置。
【請求項６】
前記多孔質体部を介して前記真空チャンバと前記真空ポンプとが連通する状態における排気流量が、１．３（ＫＰａ／ｓ）〜２．６（ＫＰａ／ｓ）であることを特徴とする請求項４または請求項５に記載の減圧装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は減圧排気弁及びこの減圧排気弁を含む減圧排気機構を用いた減圧装置に関し、特に多孔質体部を有する開閉弁を備えた減圧排気弁、及びこの減圧排気弁を組み込んだ減圧排気機構を備える減圧装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハもしくは液晶材料の製造工程において、例えばドライエッチング装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の減圧装置が用いられている。これら装置における排気機構には、真空チャンバ内を減圧状態になす際の圧力緩衝を目的として、主排気路と並列にスロー排気路が設けられている。
【０００３】
従来の減圧装置を図１２に基づいて説明する。図１２に示すように、従来の減圧装置４１には、真空チャンバ４２内を減圧する排気機構４３が設けられている。
この排気機構４３は、一端が真空チャンバ４２に設けられた排気口４５に連通し、他端が真空ポンプ４６に連通する主排気路４７と、一端が主排気路４７を介して真空チャンバ４２に連通し、他端が主排気路４７を介して真空ポンプ４６に連通するスロー排気路４９とを備えている。
また、前記排気機構４３は、前記主排気路４７に設けた第１の開閉弁（メインバルブ）４８と、このスロー排気路４９に第１の開閉弁と並列に第２の開閉弁（スロー排気バルブ）５０とを備えている。
更に、前記排気機構４３は、前記排気口４５に設けられた、排気時の圧力を緩衝するフィルター４４を備えている。
【０００４】
このような従来の減圧装置４１にあっては、排気初期はスロー排気路４９で緩やかに排気し、その後、主排気路４７で一気に排気する。
しかし、前記排気口４５にフィルター４４が設置されているため、主排気路４７で一気に排気する際、フィルター４４が抵抗となり、排気速度が大幅に遅くなるという課題があった。
【０００５】
これを解決する減圧装置として、図１３に示す減圧装置５１がある。この減圧装置５１にあっては、一端が直接真空チャンバ４２に連通し、他端が主排気路４７を介して真空ポンプ４６に連通するスロー排気路５２とを備えている。そして、スロー排気口５３にはフィルター４４が取付けられている。
このように構成された減圧装置５１にあっては、フィルター４４、スロー排気口５３、スロー排気路５２を介して緩やかに排気し、その後、第２の開閉弁５０，第１の開閉弁４８を切換えて、主排気路４７から一気に排気する。
そのため、この減圧装置５１にあっては、主排気路４７における排気速度を上げることができるが、排気口４５とは別にスロー排気口５２を設ける必要があり、多額な装置改造費がかかるという課題があった。
【０００６】
なお、真空チャンバと真空ポンプを連通する主排気路と、この主排気路に並列にスロー排気路を設けたウエハ取扱システム（例えば、特許文献１参照）、さらに、スロー排気路に可変コンダクタンスバルブを設けた横型処理炉が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開昭６１−２２８６４８号公報
【特許文献２】特開平７−２３５４９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、本願出願人は、上記した課題を解決するために、図１４に示すように、スロー排気路４９に、円筒形状のシリカ多孔体からなるフィルター６２を備える減圧装置６１を提案している（特願２００７−１９０４６２号）。
しかしながら、前記した従来の減圧装置及び本願出願人が提案した減圧装置は、主排気路とスロー排気路を前提としたものであった。
そのため、スロー排気路から主排気路に切換えた際、圧力変動が生じ、パーティクルが舞い上がることがあった。
【０００８】
また、一つの排気路（主排気路）のみ有する減圧装置に適用した場合、一つの排気路（主排気路）の排気口にフィルターを設けなければならず、排気速度が大幅に小さくなり、所定の真空度に到達するまでに長時間かかるという課題があった。しかも、常に排気口にフィルターが存在するため、フィルターが抵抗となり所定の真空度に到達し難いという課題があった。
このように前記したフィルターにあっては、一つの排気路（主排気路）のみ有する減圧装置には適用することは困難であった。
【０００９】
本発明は上述した事情を考慮してなされたもので、一つの排気路（主排気路）のみ有する減圧装置にも適用でき、排気速度が速くパーティクルの舞い上がりを抑制できる減圧排気弁及びこの減圧排気弁を含む減圧排気機構を用いた減圧装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記した目的を達成するためになされた本発明にかかる減圧排気弁は、一端が真空チャンバに連通し、他端が真空ポンプに連通する排気路中に取付けられる減圧排気弁において、前記排気路に接続された管部と、前記管部内に対し進退自在に設けられ、前記排気路を開閉する開閉弁と、前記開閉弁に設けられ、通気孔を有する多孔質体部とを備え、前記開閉弁の進退動作による前記排気路の開状態と閉状態との間に、前記多孔質体部を介して前記真空チャンバと前記真空ポンプとが連通する状態を有することに特徴を有する。
【００１１】
このように、本発明の減圧排気弁においては、開閉弁の進退動作による排気路の開状態と閉状態との間に、多孔質体部を介して真空チャンバと真空ポンプとが連通する状態を有する。
これにより、真空チャンバからの排気の初期段階では、多孔質体部を介す排気処理により、圧力を緩衝しつつ、緩やかに排気し、その後、開閉弁を完全に開くことで一気に排気し、排気速度を上げることができる。
尚、この減圧排気弁は、一つの排気路（主排気路）のみ有する減圧装置だけに適用できるものではなく、スロー排気路、主排気路を備える減圧装置にも適用することができる。
【００１２】
ここで、前記減圧排気弁の多孔質体部が、攪拌起泡によって形成されたセラミックス多孔質焼結体であることが望ましい。
また、前記多孔質体部を介して前記真空チャンバと前記真空ポンプとが連通する状態における排気流量が、１．３（ＫＰａ／ｓ）〜２．６（ＫＰａ／ｓ）であることが望ましい。
前記排気流量が１．３（ＫＰａ／ｓ）未満の場合には、排気効率的に好ましくなく、一方、排気流量が２．６（ＫＰａ／ｓ）を超える場合には、パーティクルの舞い上がりを抑制する効果が少なく、好ましくないためである。
【００１３】
また、上記した目的を達成するためになされた本発明にかかる減圧装置は、真空チャンバと、この真空チャンバ内を減圧する排気機構を備えた減圧装置において、前記排気機構は、一端が前記真空チャンバに連通し、他端が真空ポンプに連通する排気路と、前記排気路中に取付けられた減圧排気弁とを有し、前記減圧排気弁は、前記排気路に接続された管部と、前記管部内に対し進退自在に設けられ、前記排気路を開閉する開閉弁と、前記開閉弁に設けられ、通気孔を有する多孔質体部とを備え、前記開閉弁の進退動作による前記排気路の開状態と閉状態との間に、前記多孔質体部を介して前記真空チャンバと前記真空ポンプとが連通する状態を有することに特徴を有する。
【００１４】
このように、本発明に係る減圧装置の排気機構において、減圧排気弁の開閉弁の進退動作による排気路の開状態と閉状態との間に、多孔質体部を介して真空チャンバと真空ポンプとが連通する状態を有する。
これにより、真空チャンバからの排気の初期段階では、多孔質体部を介す排気処理により、圧力を緩衝しつつ、緩やかに排気し、その後、開閉弁を完全に開くことで一気に排気し、排気速度を上げることができる。
尚、この減圧排気弁は、一つの排気路（主排気路）のみ有する減圧装置だけに適用できるものではなく、スロー排気路、主排気路を備える減圧装置にも適用することができる。
【００１５】
ここで、前記減圧排気弁の多孔質体部が、攪拌起泡によって形成されたセラミックス多孔質焼結体であることが望ましい。
また、前記多孔質体部を介して前記真空チャンバと前記真空ポンプとが連通する状態における排気流量が、１．３（ＫＰａ／ｓ）〜２．６（ＫＰａ／ｓ）であることが望ましい。
前記排気流量が１．３（ＫＰａ／ｓ）未満の場合には、排気効率的に好ましくなく、一方、排気流量が２．６（ＫＰａ／ｓ）を超える場合には、パーティクルの舞い上がりを抑制する効果が少なく、好ましくないためである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、一つの排気路（主排気路）のみ有する減圧装置にも適用でき、排気速度が速くパーティクルの舞い上がりを抑制できる減圧排気弁及びこの減圧排気弁を含む減圧排気機構を用いた減圧装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の実施形態にかかる減圧排気弁及びこの減圧排気弁を含む減圧排気機構を用いた減圧装置について、図１及び図２に基づいて説明する。
尚、図１は本発明にかかる減圧装置の概略構成図、図２は本発明にかかる減圧排気弁の第１の実施形態を示す断面図であって、弁体を閉じた状態を示す図である。
【００１８】
図１に示すように、本発明にかかる減圧装置１は、真空に減圧され処理室となる真空チャンバ２を備え、更にこの真空チャンバ２を真空に減圧する排気機構３を備えている。
前記排気機構３は、一端が真空チャンバ２の底部に設けられた排気口２ａを介して真空チャンバ２に連通し、他端が真空ポンプ４に連通するＬ字型の排気路５と、前記排気路５中に取付けられる減圧排気弁１０とを備えている。尚、排気路５は、排気路垂直管５ａと排気路水平管５ｂとを有し、それらが前記減圧排気弁１０を介して接続され、Ｌ字型の排気路５を構成している。
【００１９】
減圧排気弁１０は、図２に示すように、水平方向に延びる略円筒状の弁ハウジング１１とシリンダハウジング１４とを有する。弁ハウジング１１とシリンダハウジング１４とは、板状の壁部１２により仕切られ、シリンダハウジング１４側は弁の開閉を操作する操作部６となる。
【００２０】
前記弁ハウジング１１において、前記壁部１２と反対側の一端部には水平方向に開口した管接続部１１ａが設けられ、この管接続部１１ａには排気路水平管５ｂの一端部が接続されている。また、弁ハウジング１１における前記管接続部１１ａ付近には、その開口方向に直交し、垂直上方に開口する管接続部１１ｂが設けられ、排気路垂直管５ａの下端部が接続されている（即ち、弁ハウジング１１は、排気路５に接続された管部として機能する）。
【００２１】
また、前記弁ハウジング１１にあっては、開閉弁としての弁体２０がハウジング内周面に対し軸方向に沿って摺動自在に設けられ、前記シリンダハウジング１４内においては、ピストン１５がハウジング内壁（円形のシリンダ孔１５ａ）に対し軸方向に沿って摺動可能に設けられている。前記壁部１２の中心部には、貫通孔１２ａが形成されており、この貫通孔１２ａを貫通して設けられた弁ロッド１３の一端と他端とに、前記弁体２０とピストン１５とがそれぞれ設けられている。
【００２２】
前記弁ロッド１３の両端部（即ち壁部１２と弁体２０との間）には、弁体２０を弁座１６側に向けて付勢するスプリング１７が設けられている。さらに、壁部１２と弁体２０との間には、スプリング１７を内包するベローズ１８が設けられ、スプリング１７等の部材を腐食等から保護するようになされている。
【００２３】
また、弁体２０は、閉状態で弁座１６に密着する弁部材２１と、円柱状或いは円筒状に形成され、通気孔を有する多孔質体部２２とにより構成される。円形に形成された多孔質体部２２の一端部は、弁部材２１の弁座１６側端面に固定されている。
尚、多孔質体部２２の軸方向長さは、少なくとも排気路垂直管５ａの内径よりも長く形成され、多孔質体部２２の直径は、多孔質体部２２の表面が排気路水平管５ｂの内周面に摺接する程度に形成されている。
【００２４】
また、前記ピストン１５と、壁部１２との間には、圧力室２５が形成されており、この圧力室２５に対し、ポート（図示せず）を介して連通するポンプ等の駆動手段（図示せず）から圧縮空気等の圧力流体を給排することにより、ピストン１５が駆動されて弁ハウジング１１内を進退移動するようになされている。したがって、操作部６において、圧力室２５に給気し、ピストン１５を壁部１２から引き離す方向に移動させることにより、弁体２０が弁座１６から離されて排気路５が連通するようになされている。一方、圧力室２５から排気し、ピストン１５が壁部１２側に最も移動させることにより弁体２０が弁座１６と密着し排気路５が閉じるようになされている。
【００２５】
更に、前記円柱状または円筒状の多孔質体部２２について説明する。
この多孔質体部２２は、金属多孔質体、ガラス多孔質体、石英製多孔質体、通常の粉末焼結による多孔質焼結体、セラミックス繊維を焼結した多孔質焼結体、攪拌起泡によって形成され焼結した多孔質焼結体などを用いることができる。
特に、攪拌起泡によって形成されたセラミックス多孔質焼結体であることが望ましい。このようなセラミックス多孔質体の製造は、本出願人が先に出願した特開２０００−２６４７５３号公報、特開２００３−２３８２６７号公報に記載した方法により製造することができる。
【００２６】
ここで、前記多孔質体部を製造する原料としては、アルミナ、ジルコニア、窒化ケイ素、炭化ケイ素、ムライト、コーディエライト、シリカ、水酸化アパタイトなどの他、金属製多孔体などの種々の材料を採用することができるが、これらの内、特に耐食性および機械的特性に優れている炭化ケイ素が好ましい。
【００２７】
また、平均気孔径が５〜９０μｍ、気孔率は３０〜６５％であるのが好ましい。
特に、炭化ケイ素の場合、平均気孔径３０〜９０μｍ、気孔率５５〜６５％が好ましい。具体的には、水銀ポロシメーターを用いて測定（ＪＩＳ  Ｒ１６３４  １９９８に基づく）した気孔の平均気孔径が３０μｍ以上９０μｍ以下であって、前記気孔が１０μｍ以上２０μｍ以下（ＳＥＭ観察に基づく）の連通孔で連通する三次元網目状の骨格構造を有しているのが好ましい。
【００２８】
また、この気孔率（サンプルを特定体積に機械加工し、この重量を測定することで、前記体積、重量及びＳｉＣ密度：３．２１ｇ／ｃｍ3より算出）は５５％以上、６５％未満に形成されているのが好ましい。
尚、前記平均気孔径、気孔率は、製造工程における原料粉、攪拌起泡条件を調整することによって可変することができ、所望の平均気孔径、気孔率を有するセラミックス多孔質焼結体を得ることができる。
【００２９】
次に減圧装置の作用について説明する。処理室となる真空チャンバ２を減圧する場合、減圧開始時は、図２に示すように排気路５に設けた減圧排気弁１０の弁体２０を閉じた状態から、図３に示すようにピストン１５を駆動して弁体２０の弁部材２１を弁座１６から徐々に引き離すと共に、真空ポンプ４を運転する。弁体２０が開くことにより排気路垂直管５ａと排気路水平管５ｂとの間が多孔質体部２２により連通する。
【００３０】
真空チャンバ２中のガスは、排気口２ａ、排気路５、減圧排気弁１０の多孔質体部２２を介して真空ポンプ４に流れ、真空チャンバ２内は減圧される。ここで、弁部材２１が弁座１６から徐々に離れるにつれ、真空チャンバ２中のガスが多孔質体部２２を通過する面積が徐々に拡大するため、それに比例してガスの通過量が増える。弁体２０の移動は、図４に示すように多孔質体部２２が配管路５の断面を全て覆う状態で一旦停止する。
【００３１】
このとき、多孔質体部２２を介して真空チャンバ２と真空ポンプ４とが連通する状態における排気流量が１．３（ＫＰａ／ｓ）〜２．６（ＫＰａ／ｓ）となされる。さらに、減圧排気弁１０の多孔質体部２２の平均気孔径が５〜９０μｍ、気孔率は３０〜６５％と適度なガス通気抵抗に設定されているので、真空チャンバ２内の急激な減圧が避けられて、パーティクルの舞い上がりが抑制され、緩やかに減圧を行うことができる。
【００３２】
そして、この緩やかな減圧工程の後、さらにピストン１５を駆動し、図５に示すように排気路垂直管５ａと排気路水平管５ｂとが直接に（即ち多孔質体部２２を介さず）、連通する状態となるまで弁体２０を開く（移動する）。
そして、このように弁体２０を開くことにより、減圧排気弁１０の多孔質体部２２の緩衝作用が無くなり、排気速度の速い状態での排気が行なわれる。
【００３３】
このように本発明に係る第１の実施の形態によれば、減圧排気弁１０における弁体２０の進退動作による排気路５の開状態と閉状態との間に、多孔質体部２２を介して真空チャンバ２と真空ポンプ４とが連通する状態を有する。
これにより、真空チャンバ２からの排気の初期段階では、多孔質体部２２を介す排気処理により、圧力を緩衝しつつ、緩やかに排気し、その後、弁体２を完全に開くことで一気に排気し、排気速度を上げることができる。
【００３４】
次に本発明にかかる減圧排気弁及びそれを適用した減圧装置の第２の実施形態を図６乃至図８に基づいて説明する。図６は本発明にかかる減圧排気弁の第２の実施形態を適用した減圧装置の概略構成図、図７は第２の実施形態における減圧排気弁を示す概略平面図であって、弁体を閉じた状態、図８は図７の側面図である。
【００３５】
図６に示す第２の実施形態は、減圧装置１において、前記減圧排気弁１０に代えて、減圧排気弁３０を直線状の排気路５中に備えるものである。
減圧排気弁３０は、図７、図８に示すように一定の間隙を空けて配置された方形状の上部板３１及び下部板３２と、その間隙を滑動する開閉弁としてのスライド板３３とを有する。前記間隙は、上部板３１と下部板３２との間に設けられたスペーサ３４により保持されている。また、上部板３１、スペーサ３４、下部板３２は、四隅にそれぞれ設けた隅ボルト３５を貫通させ、締結することにより固定されている。
【００３６】
また、スライド板３３の厚さは、前記スペーサ３４の厚さよりも若干小さく形成されており、上部板３１と下部板３２との間の前記間隙を滑動可能となされている。
上部板３１には、排気路５の断面形状に合わせて開口部３１ａが形成され、この開口部３１ａに減圧排気弁３０より上方の排気路５を構成する排気路上部管５ｃが接続されている。一方、下部板３２には、同様に排気路５の断面形状に合わせて開口部３２ａが形成され、この開口部３２ａに減圧排気弁３０より下方の排気路を構成する排気路下部管５ｄが接続されている。
【００３７】
前記開口部３２ａ及び開口部３１ａは、上下対称となる位置に形成されている。即ち、スペーサ３４を介して間隙を形成すると共に配管路５に接続された上部板３１と下部板３２とにより管部が構成され、この管部（開口部３１ａと開口部３２ａとの間の空間）に対しスライド板３３が進退移動することにより弁の開閉動作が行われる。尚、図７，８にあっては、開口部３１ａ、３２ａの間にスライド板３３が介在する閉位置を示している。
【００３８】
また、上部板３１の下面において、開口部３１ａの周りには、Ｏリング３６が設けられ、下部板３２の上面において、開口部３２ａの周りには、Ｏリング３７が設けられている。前記Ｏリング３６、３７は、排気路５からのガス漏れを防止するために設けられるが、スライド板３３の移動時にその表面と摺接するため、耐久性、耐熱性等に優れたフッ素樹脂製またはシリコーン樹脂製が好ましい。
【００３９】
また、スライド板３３のスライド方向に沿った両側部には、突起部３３ａが形成されている。これら突起部３３ａは、スペーサ３４の内側に形成された凹状のガイド壁３４ａに沿って移動可能となされている。
また、図７に示すようにスライド板３３のスライド方向における一端には、少なくとも排気路５の断面を覆うことのできる大きさの、Ｕ字型の切り欠きが形成され、この切り欠きにスライド板３３と略同じ厚さを有する板状の多孔質体部３８が嵌め込まれて設けられている。この多孔質体部３８の構成材料は、前記第１の実施形態における多孔質体部２２と同様のものが好ましい。
【００４０】
また、スライド板３３において、前記多孔質体部３８と反対側の端部には、操作部材３３ｂが設けられ、この操作部材３３ｂを、モータ等の駆動手段（図示せず）によりスライド板３３のスライド方向に沿って移動させて、スライド板３３を弁として機能させるように構成されている。
【００４１】
このように構成された第２の実施形態における減圧装置１において、処理室となる真空チャンバ２を減圧する場合、減圧開始時は、図７に示すように排気路５に設けた減圧排気弁３０のスライド板３３を閉じた状態から、図９に示すように操作部材３３ｂを駆動してスライド板３３を図中矢印の方向に徐々にスライドすると共に、真空ポンプ４を運転する。これにより排気路上部管５ｃと排気路下部管５ｄとの間が多孔質体部３８により連通する。
【００４２】
真空チャンバ２中のガスは、排気口２ａ、排気路５、減圧排気弁３０の多孔質体部３８を介して真空ポンプ４に流れ、真空チャンバ２内は減圧される。ここで、スライド板３３が図９中矢印の方向に徐々に移動するにつれ、真空チャンバ２中のガスが多孔質体部３８を通過する面積が徐々に拡大するため、それに比例してガスの通過量が増える。スライド板３３の移動は、図１０に示すように多孔質体部３８が配管路５の断面を全て覆う状態で一旦停止する。
【００４３】
このとき、多孔質体部２２を介して真空チャンバ２と真空ポンプ４とが連通する状態における排気流量が１．３（ＫＰａ／ｓ）〜２．６（ＫＰａ／ｓ）となされる。さらに、減圧排気弁３０の多孔質体部２２の平均気孔径が５〜９０μｍ、気孔率は３０〜６５％と適度なガス通気抵抗に設定されているので、真空チャンバ２内の急激な減圧が避けられて、パーティクルの舞い上がりが抑制され、緩やかに減圧を行うことができる。
【００４４】
そして、この緩やかな減圧工程の後、さらに操作部材３３ｂを駆動し、図１１に示すように排気路上部管５ｃと排気路下部管５ｄとが直接に（即ち多孔質体部３８を介さず）、連通する状態となるまでスライド板３３を移動する。
そして、このように減圧排気弁３０が完全に開くことにより、減圧排気弁３０の多孔質体部３７の緩衝作用が無くなり、排気速度の速い状態での排気が行なわれる。
【００４５】
このように本発明に係る第２の実施の形態によれば、減圧排気弁３０におけるスライド板３３の進退動作による排気路５の開状態と閉状態との間に、多孔質体部３８を介して真空チャンバ２と真空ポンプ４とが連通する状態を有する。
これにより、真空チャンバ２からの排気の初期段階では、多孔質体部３８を介す排気処理により、圧力を緩衝しつつ、緩やかに排気し、その後、弁体２を完全に開くことで一気に排気し、排気速度を上げることができる。
【００４６】
尚、上記実施形態にあっては、減圧排気弁を、排気路を一つしか有しない減圧装置に搭載した場合を例にとって説明したが、従来のように二つの排気路を備える減圧装置にも、当然に搭載することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】図１は本発明にかかる減圧装置の概略構成図である。
【図２】図２は本発明にかかる減圧排気弁を示す断面図であって、弁体を閉じた状態を示す図である。
【図３】図３は図２の減圧排気弁において、弁体が開き始めた状態を示す図である。
【図４】図４は図２の減圧排気弁において、弁体が開き始めた後、多孔質体部により排気路を閉じた状態を示す図である。
【図５】図５は図２の減圧排気弁において、弁体が完全に開いた状態を示す図である。
【図６】図６は本発明にかかる減圧排気弁の第２の実施形態を適用した減圧装置の概略断面図である。
【図７】図７は第２の実施形態における減圧排気弁を示す概略平面図であって、弁体を閉じた状態を示す図である。
【図８】図８は図７の側面図である。
【図９】図９は図７の減圧排気弁において、弁体が開き始めた状態を示す図である。
【図１０】図１０は図７の減圧排気弁において、弁体が開き始めた後、多孔質体部により排気路を閉じた状態を示す図である。
【図１１】図１１は図７の減圧排気弁において、弁体が完全に開いた状態を示す図である。
【図１２】図１２は、従来の減圧装置を示す概略構成図である。
【図１３】図１３は、他の従来の減圧装置を示す概略構成図である。
【図１４】図１４は、本願出願人が先に提案した減圧装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００４８】
１      減圧装置
２      真空チャンバ
２ａ    排気口
３      排気機構
４      真空ポンプ
５      排気路
５ａ    排気路垂直管
５ｂ    排気路水平管
５ｃ    排気路上部管
５ｄ    排気路下部管
６      操作部
１０    減圧排気弁
１１    弁ハウジング（管部）
１４    シリンダハウジング
１５    ピストン
２０    弁体（開閉弁）
２１    弁部材
２２    多孔質体部
３０    減圧排気弁
３１    上部板（管部）
３２    下部板（管部）
３３    スライド板（開閉弁）
３４    スペーサ
３８    多孔質体部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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