(57)【要約】【課題】磁気記録媒体及び記憶装置において、ロード・アンロード時のヘッドと磁気記録媒体の接触を防止することを目的とする。【解決手段】媒体表面に形成された磁性体部と非磁性体部のパターンを有するパターン領域と、媒体表面にパターンが形成されていない非パターン領域と、媒体表面に形成されたロード・アンロード領域を備え、非パターン領域は磁性体部のみで形成されておりロード・アンロード領域を含むように構成する。【選択図】図４
2010140584.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒体表面に形成された磁性体部と非磁性体部のパターンを有するパターン領域と、
前記媒体表面にパターンが形成されていない非パターン領域と、
前記媒体表面に形成されたロード・アンロード領域を備え、
前記非パターン領域は、前記磁性体部のみで形成されており、前記ロード・アンロード領域を含む、磁気記録媒体。
【請求項２】
前記ロード・アンロード領域は前記非パターン領域と同一領域である、請求項１記載の磁気記録媒体。
【請求項３】
媒体表面に形成された磁性体部と非磁性体部のパターンを有するパターン領域と、
前記媒体表面にパターンが形成されていない非パターン領域と、
前記媒体表面に形成されたロード・アンロード領域を備え、
前記非パターン領域は、前記非磁性体部のみで形成されており、前記ロード・アンロード領域を含む、磁気記録媒体。
【請求項４】
前記ロード・アンロード領域は前記非パターン領域と同一領域である、請求項３記載の磁気記録媒体。
【請求項５】
前記非磁性体部は、前記磁性体部より硬度の高い材料で形成されている、請求項３又は４記載の磁気記録媒体。
【請求項６】
磁気記録媒体と、
前記磁気記録媒体に対する情報の記録と前記磁気記録媒体からの情報の読み出しを行うヘッドを備え、
前記磁気記録媒体は、
媒体表面に形成された磁性体部と非磁性体部のパターンを有するパターン領域と、
前記媒体表面にパターンが形成されていない非パターン領域と、
前記媒体表面に形成されたロード・アンロード領域を備え、
前記非パターン領域は、前記磁性体部及び前記非磁性体部の一方のみで形成されており、前記ロード・アンロード領域を含む、記憶装置。
【請求項７】
前記磁気記録媒体は磁気ディスクであり、
前記ロード・アンロード領域は前記磁気ディスクの最外周部に設けられている、請求項６記載の記憶装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体及び記憶装置に係り、特にパターンドメディア（Patterned Media）と呼ばれる磁気記録媒体及びそのような磁気記録媒体を備えた記憶装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータの外部記憶装置等として利用される記憶装置では、磁気記録媒体の記録密度が急速に向上されている。高記録密度を実現するには、信号対雑音比（ＳＮＲ：Signal-to-Noise Ratio）を向上する必要があるが、特に遷移ノイズの低減は最重要課題の一つである。遷移ノイズは、磁気記録媒体の記録層を構成する磁性粒子の大きさに依存し、磁性粒径が小さい程抑制できる。しかし、磁性粒径の低減は、書き込まれた情報の熱安定性の低下を伴うため、記録層を形成する材料には磁気異方性エネルギー密度の高いものを用いる必要があり、その結果、磁気ヘッドによる磁気記録媒体への情報書き込みが困難になってしまうという問題が生じる。又、高記録密度では、隣接トラック間のイレーズが問題となるため、トラック間を分断することが必要となってくる。
【０００３】
この問題を回避する手段として提案されたのが、パターンド媒体と呼ばれる磁気記録媒体である。パターンド媒体には、ディスクリートトラックメディア（Discrete Track Media）やビットパターンメディア（Bit Pattern Media）等が含まれる。例えばビットパターンメディアでは、単磁区からなるパターンを磁気記録媒体の表面に人工的に形成し、パターン１つに１ビットを書き込む。１ビットの記録に多数の磁性粒子を用いる従来の磁気記録媒体と比較すると、ビットパターン媒体では磁性粒子の体積を大きくできるため、熱安定性を維持しながら磁気異方性エネルギー密度を下げることが可能となり、その結果書込み容易性を確保できる。
【０００４】
磁気記録媒体にパターンを形成する方法としては、電子ビーム描画等を用いたリソグラフィー技術によってスタンパを製造し、スタンパを記録層上に成膜したレジストに押し付けることでパターンを転写し、その後ドライエッチングを行うことで記録層にパターンを形成する方法が提案されている。パターンは、生産性等を考慮して、媒体表面全体にわたって形成される。
【０００５】
又、磁気ヘッドを磁気記録媒体から所定距離だけ浮上させて情報の書き込み及び読み出しをするためには、一旦記録層にパターンを形成した後に、パターンの凹部を埋め戻す等して媒体表面を平坦化する必要がある。このように媒体表面を平坦化する方法としては、ＳｉＯ２等の非磁性体の充填によってパターンの凹部を埋め戻した後に、化学機械研磨（ＣＭＰ：Chemical Mechanical Polishing）を用いて平坦化を行う方法が提案されている。平坦化による磁性パターン部と非磁性パターン部は、生産性等を考慮して媒体表面全体にわたって形成される。
【０００６】
一方、一般的な磁気ディスク装置等の記憶装置では、例えばヘッドがリード又はライト動作を一定時間以上行わない場合にはヘッドを有するヘッドスライダが磁気ディスク上からアンロードされ、ヘッドがリード又はライト動作を行う時に磁気ディスク上にロードされる、所謂ロード・アンロード方式が採用されている。磁気ディスクの最外周部にはロード・アンロードゾーンが設けられており、ヘッドスライダの磁気ディスクに対するロード・アンロードは、磁気ディスク上のロード・アンロードゾーンで行われる。従って、ヘッドスライダが磁気ディスク上のロード・アンロードゾーンでロード・アンロードされる際、ヘッドと磁気ディスクとの接触によるヘッド又は磁気ディスクの損傷を防ぐために、ロード・アンロードゾーンは平坦であることが望ましい。
【０００７】
従来、媒体表面に対して上記の如きエッチング及び非磁性体の充填による平坦化を施されたパターンド媒体（磁気ディスク）では、媒体表面全体にわたって平坦化されているので、ロード・アンロード時のヘッドと磁気ディスクの接触によるヘッド又は磁気ディスクの損傷は起こりにくいと考えられていた。しかし、非特許文献１では、ディスクリートトラックメディアにおいて、媒体表面に段差のある場合のヘッドの浮上シミュレーション結果が報告されている。この浮上シミュレーション結果によれば、媒体表面にある段差により発生するヘッドの浮上変動は、媒体溝の平均的な深さの約半分程度であることが報告されている。つまり、例えば媒体溝の平均的な深さが約４ｎｍであれば、ヘッドの浮上変動は約２ｎｍ低下することがわかった。このため、本発明者は、媒体表面に対して上記の如きエッチング及び非磁性体の充填による平坦化を施されたパターンド媒体（磁気ディスク）のように、媒体表面全体にわたって平坦化された磁気ディスクであっても、ロード・アンロード時のヘッドと磁気ディスクの接触は起こり得ることに着目した。
【０００８】
図１は、従来のパターンドメディアの一例を示す平面図である。図１に示すように、パターンドメディア（磁気ディスク）１は、最外周部にロード・アンロードゾーン２を有し、最内周部に向かって同心円状のトラック３が形成された構成を有する。図１では説明の便宜上、アーム５１の先端に設けられたヘッドスライダ５１も図示されている。ヘッドスライダ５１は、リードヘッド及びライトヘッドを有する。
【０００９】
図２は、磁気ディスク１の一部を拡大して示す断面図である。図２において、媒体表面には、磁性体部４と非磁性体部５のパターンが形成されたパターン領域６と、パターンが形成されていない非パターン領域７が設けられており、カーボン保護層及び潤滑層を含む保護膜８により保護されている。
【００１０】
図２に示すように、ヘッドスライダ５０が磁気ディスク１のロード・アンロードゾーン２にロードされると、ヘッドスライダ５０がパターン領域６と非パターン領域７に跨ってロードされる。ところが、媒体表面に対して上記の如きエッチング及び非磁性体の充填による平坦化を施されていても、磁性体部４と非磁性体部５が媒体表面全体にわたって段差なく完全に同一平面上に配置されるような平坦化処理を行うことは非常に難しく、実際には磁性体部４と非磁性体部５との間では微小な段差が存在する。このため、パターン領域６と非パターン領域７との間では段差が存在し、この段差によりヘッドの磁気ディスク１からの浮上量が不安定になってしまい、ヘッドが磁気ディスク１と接触してヘッド又は磁気ディスク１を損傷してしまう可能性がある。具体的には、ヘッドの浮上量は、パターン領域６側の方が非パターン領域７よりも低くなってしまう。又、ヘッドの浮上量は、ヘッドスライダ５０が磁気ディスク１のロード・アンロードゾーン２からアンロードされる時にも同様の理由で不安定になる。
【特許文献１】特開２００６−３１８５０号公報
【特許文献２】特開２００１−３４９２９号公報
【非特許文献１】Maik Duwensee, "Air Bearing Simulation of Discrete Track Recording Media", IEEE Trans. on Mag., Vol.42, No.10, Oct. 2006
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
従来のパターンドメディアでは、ロード・アンロード時にヘッドのパターンドメディアからの浮上量が不安定となってヘッドとパターンドメディアが接触し、ヘッド又はパターンドメディアを損傷してしまう可能性があるという問題があった。
【００１２】
そこで、本発明は、ロード・アンロード時のヘッドと磁気記録媒体の接触を防止可能な磁気記録媒体及び記憶装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の一観点によれば、媒体表面に形成された磁性体部と非磁性体部のパターンを有するパターン領域と、前記媒体表面にパターンが形成されていない非パターン領域と、前記媒体表面に形成されたロード・アンロード領域を備え、前記非パターン領域は、前記磁性体部のみで形成されており、前記ロード・アンロード領域を含む磁気記録媒体が提供される。
【００１４】
本発明の一観点によれば、媒体表面に形成された磁性体部と非磁性体部のパターンを有するパターン領域と、前記媒体表面にパターンが形成されていない非パターン領域と、前記媒体表面に形成されたロード・アンロード領域を備え、前記非パターン領域は、前記非磁性体部のみで形成されており、前記ロード・アンロード領域を含む磁気記録媒体が提供される。
【００１５】
本発明の一観点によれば、磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体に対する情報の記録と前記磁気記録媒体からの情報の読み出しを行うヘッドを備え、前記磁気記録媒体は、媒体表面に形成された磁性体部と非磁性体部のパターンを有するパターン領域と、前記媒体表面にパターンが形成されていない非パターン領域と、前記媒体表面に形成されたロード・アンロード領域を備え、前記非パターン領域は、前記磁性体部及び前記非磁性体部の一方のみで形成されており、前記ロード・アンロード領域を含む記憶装置が提供される。
【発明の効果】
【００１６】
開示の磁気記録媒体及び記憶装置によれば、ロード・アンロード時のヘッドと磁気記録媒体の接触を防止することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
開示の磁気記録媒体及び記憶装置では、磁気記録媒体のロード・アンロード領域を非磁性体のみ、或いは、磁性体のみで形成する。つまり、ロード・アンロード領域では、磁性体部と非磁性体部のパターンが形成されていない。
【００１８】
ロード・アンロード時のヘッドの磁気記録媒体からの浮上量は安定に保たれるので、ヘッド又は磁気記録媒体の損傷を防止可能となる。
【００１９】
以下に、本発明の磁気記録媒体及び記憶装置の各実施例を、図３以降と共に説明する。
【実施例】
【００２０】
図３は、本発明の第１実施例における磁気記録媒体を示す平面図である。本実施例では、本発明は記録層が非磁性体によりトラック単位に分割されたディスクリートトラックメディア（ＤＴＭ：Discrete Track Media）又はビット単位に分割されたビットパターンメディア（ＢＰＭ：Bit Pattern Media）等のパターンドメディアに適用されている。本実施例では、説明の便宜上、媒体表面に対して上記の如きエッチング及び非磁性体の充填による平坦化が施されているものとする。
【００２１】
図３に示すように、パターンドメディア（磁気ディスク）１１は、最外周部にロード・アンロード領域（以下、ロード・アンロードゾーンと言う）１２を有し、最内周部に向かって同心円状のトラック１３が形成された構成を有する。図３では説明の便宜上、アーム１１９の先端に設けられたヘッドスライダ１１７も図示されている。ヘッドスライダ１１７は、リードヘッド及びライトヘッドを備えた周知の構成を有する。
【００２２】
図４は、本発明の第１実施例における磁気記録媒体の一部を拡大して示す断面図である。図４において、磁気ディスク１１の媒体表面には、磁性体部１４と非磁性体部１５のパターンが形成されたパターン領域１６と、磁性体部１４と非磁性体部１５のパターンが形成されていない非パターン領域１７が設けられており、ＤＬＣ（Diamond-Like Carbon）等のカーボン保護層及び潤滑層を含む保護膜１８により保護されている。非パターン領域１７は、磁性体部１４で形成されており、ロード・アンロードゾーン１２を含む。図４に示す例では、ロード・アンロードゾーン１２は非パターン領域１７の一部のみに形成されているが、ロード・アンロードゾーン１２は非パターン領域１７と同一領域であっても良い。磁気ディスク１１の基板（図示せず）と記録層の部分の間には各種周知の構造を採用可能であるため、図４では便宜上磁気ディスク１１の記録層の部分、即ち、媒体表面部分のみを示している。
【００２３】
図４に示すように、ヘッドスライダ１１７が磁気ディスク１１のロード・アンロードゾーン１２にロードされると、ヘッドスライダ１１７は磁性体部１４のみで形成された平坦なロード・アンロードゾーン１２にロードされ、パターン領域１６と非パターン領域１７に跨ってロードされることはない。このため、ロード・アンロードゾーン１２内には磁性体部１４と非磁性体部１５との間の段差のような段差は存在しないので、ロード時にヘッドの磁気ディスク１１からの浮上量が不安定になることはない。従って、ヘッドが磁気ディスク１１と接触してヘッド又は磁気ディスク１１を損傷してしまう可能性は大幅に減少する。又、ヘッドの浮上量は、ヘッドスライダ１１７が磁気ディスク１１のロード・アンロードゾーン１２からアンロードされる時にも同様の理由で安定に保たれる。
【００２４】
図５は、本発明の第２実施例における磁気記録媒体を示す平面図である。本実施例では、本発明は記録層が非磁性体によりトラック単位に分割されたＤＴＭ又はビット単位に分割されたＢＰＭ等のパターンドメディアに適用されている。本実施例では、説明の便宜上、媒体表面に対して上記の如きエッチング及び非磁性体の充填による平坦化が施されているものとする。
【００２５】
図５に示すように、パターンドメディア（磁気ディスク）２１は、最外周部にロード・アンロード領域（以下、ロード・アンロードゾーンと言う）２２を有し、最内周部に向かって同心円状のトラック２３が形成された構成を有する。図５では説明の便宜上、アーム１１９の先端に設けられたヘッドスライダ１１７も図示されている。ヘッドスライダ１１７は、リードヘッド及びライトヘッドを備えた周知の構成を有する。
【００２６】
図６は、本発明の第２実施例における磁気記録媒体の一部を拡大して示す断面図である。図６において、磁気ディスク２１の媒体表面には、磁性体部２４と非磁性体部２５のパターンが形成されたパターン領域２６と、磁性体部２４と非磁性体部２５のパターンが形成されていない非パターン領域２７が設けられており、ＤＬＣ等のカーボン保護層及び潤滑層を含む保護膜２８により保護されている。非パターン領域２７は、非磁性体部２５で形成されており、ロード・アンロードゾーン２２を含む。図６に示す例では、ロード・アンロードゾーン２２は非パターン領域２７と同一領域であるが、上記第１実施例と同様に非パターン領域２７の一部のみに形成されていても良い。磁気ディスク２１の基板（図示せず）と記録層の部分の間には各種周知の構造を採用可能であるため、図６では便宜上磁気ディスク２１の記録層の部分、即ち、媒体表面部分のみを示している。
【００２７】
図６に示すように、ヘッドスライダ１１７が磁気ディスク２１のロード・アンロードゾーン２２にロードされると、ヘッドスライダ１１７は非磁性体部２５のみで形成された平坦なロード・アンロードゾーン２２にロードされ、パターン領域２６と非パターン領域２７に跨ってロードされることはない。このため、ロード・アンロードゾーン２２内には磁性体部２４と非磁性体部２５との間の段差のような段差は存在しないので、ロード時にヘッドの磁気ディスク２１からの浮上量が不安定になることはない。従って、ヘッドが磁気ディスク２１と接触してヘッド又は磁気ディスク２１を損傷してしまう可能性は大幅に減少する。又、ヘッドの浮上量は、ヘッドスライダ１１７が磁気ディスク２１のロード・アンロードゾーン２２からアンロードされる時にも同様の理由で安定に保たれる。
【００２８】
上記第１及び第２実施例において、磁性体部１４，２４及び非磁性体部１５，２５を形成する材料は特に限定されない。非磁性体部１５，２５は、例えばＴａ，Ｃ及びこれらの化合物等で形成しても良い。
【００２９】
又、上記第２実施例において、特にヘッドがロード・アンロードゾーン２２にロードされる際には、万一ヘッドが磁気ディスク２１と接触しても磁気ディスク２１の損傷を防ぐことが望ましい。そこで、第２実施例の変形例では、非磁性体部２５を磁性体部２４よりも硬度の高い材料で形成し、ヘッドの接触時の衝撃による磁気ディスク２１側の損傷を和らげる。磁性体部２４よりも硬度の高い材料としては、例えばＴａ，Ｃ及びこれらの化合物等が含まれる。
【００３０】
尚、上記各実施例では、説明の便宜上、媒体表面に対して上記の如きエッチング及び非磁性体の充填による平坦化が施されているものとしたが、磁性体部と非磁性体部の形成方法は特に限定されず、特に磁性体部と非磁性体部との間に微小な段差が存在する構成を有するパターンドメディアであれば、ヘッドと磁気記録媒体の接触を防止してヘッド又は磁気記録媒体の損傷を防止する効果は顕著となる。
【００３１】
次に、本発明の一実施例における記憶装置を、図７及び図８と共に説明する。本実施例では、記憶装置は、磁気ディスク装置又はハードディスクドライブ（ＨＤＤ：Hard Disk Drive）である。図７は、本実施例における記憶装置の一部を示す断面図であり、図８は、図７の記憶装置の一部を上部カバーを取り外して示す平面図である。
【００３２】
図７及び図８において、ベース１１３にはモータ１１４が取り付けられており、このモータ１１４は複数の磁気ディスク１１６が固定されたハブ１１５を回転する。磁気ディスク１１６は、上記実施例の磁気記録媒体１１又は磁気記録媒体２１と同様の構造を有する。磁気ディスク１１６からの情報の読み取り及び磁気ディスク１１６への情報の書き込みは、ヘッドスライダ１１７に固定されたリードヘッド及びライトヘッド等を含むヘッド部により行われる。リードヘッドは磁気ディスク１１６から情報を読み出し、ライトヘッドは磁気ディスク１１６に情報を記録する。
【００３３】
ヘッドスライダ１１７はサスペンション１１８に接続されており、サスペンション１１８はヘッドスライダ１１７を磁気ディスク１１６の記録面の方向に押し付ける。磁気ディスク１１６の記録面には、潤滑剤で形成された潤滑層が設けられている。特定のディスク回転速度及びサスペンション硬度では、ヘッドスライダ１１７が磁気ディスク１１６の記録面より所定の浮上量だけ浮いた位置を走査するようになっている。サスペンション１１８は、アクチュエータ１２０に接続された強固なアーム１１９に固定されている。これにより、磁気ディスク１１６の広範囲にわたって読み取り及び書き込みを行うことが可能となる。
【００３４】
勿論、磁気ディスク１１６の数は図７に示すように３つに限定されるものではなく、２つ、或いは、４つ以上の磁気ディスク１１６を磁気記憶装置内に設けても良い。
【００３５】
更に、本実施例における磁気記録媒体は、磁気ディスクに限定されるものではなく、本発明は、磁気カードを含む各種磁気記録媒体に適用可能である。
【００３６】
以上の実施例を含む実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
（付記１）
媒体表面に形成された磁性体部と非磁性体部のパターンを有するパターン領域と、
前記媒体表面にパターンが形成されていない非パターン領域と、
前記媒体表面に形成されたロード・アンロード領域を備え、
前記非パターン領域は、前記磁性体部のみで形成されており、前記ロード・アンロード領域を含む、磁気記録媒体。
（付記２）
前記ロード・アンロード領域は前記非パターン領域と同一領域である、付記１記載の磁気記録媒体。
（付記３）
前記磁気記録媒体は磁気ディスクであり、
前記ロード・アンロード領域は前記磁気ディスクの最外周部に設けられている、付記１又は２記載の磁気記録媒体。
（付記４）
前記磁気記録媒体は、ディスクリートトラックメディア及びビットパターンメディアを含むパターンドメディアである、付記１乃至３のいずれか１項記載の磁気記録媒体。
（付記５）
媒体表面に形成された磁性体部と非磁性体部のパターンを有するパターン領域と、
前記媒体表面にパターンが形成されていない非パターン領域と、
前記媒体表面に形成されたロード・アンロード領域を備え、
前記非パターン領域は、前記非磁性体部のみで形成されており、前記ロード・アンロード領域を含む、磁気記録媒体。
（付記６）
前記ロード・アンロード領域は前記非パターン領域と同一領域である、付記５記載の磁気記録媒体。
（付記７）
前記非磁性体部は、前記磁性体部より硬度の高い材料で形成されている、付記５又は６記載の磁気記録媒体。
（付記８）
前記磁気記録媒体は磁気ディスクであり、
前記ロード・アンロード領域は前記磁気ディスクの最外周部に設けられている、付記５乃至７のいずれか１項記載の磁気記録媒体。
（付記９）
前記磁気記録媒体は、ディスクリートトラックメディア及びビットパターンメディアを含むパターンドメディアである、付記５乃至８のいずれか１項記載の磁気記録媒体。
（付記１０）
磁気記録媒体と、
前記磁気記録媒体に対する情報の記録と前記磁気記録媒体からの情報の読み出しを行うヘッドを備え、
前記磁気記録媒体は、
媒体表面に形成された磁性体部と非磁性体部のパターンを有するパターン領域と、
前記媒体表面にパターンが形成されていない非パターン領域と、
前記媒体表面に形成されたロード・アンロード領域を備え、
前記非パターン領域は、前記磁性体部及び前記非磁性体部の一方のみで形成されており、前記ロード・アンロード領域を含む、記憶装置。
（付記１１）
前記ロード・アンロード領域は前記非パターン領域と同一領域である、付記１０記載の記憶装置。
（付記１２）
前記磁気記録媒体は磁気ディスクであり、
前記ロード・アンロード領域は前記磁気ディスクの最外周部に設けられている、付記１０又は１１記載の記憶装置。
（付記１３）
前記非パターン領域は、前記非磁性体部のみで形成されており、前記磁性体部より硬度の高い材料で形成されている、付記１０乃至１２のいずれか１項記載の記憶装置。
【００３７】
以上、本発明を実施例により説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】従来のパターンドメディアの一例を示す平面図である。
【図２】従来のパターンドメディアの一部を拡大して示す断面図である。
【図３】本発明の第１実施例における磁気記録媒体を示す平面図である。
【図４】本発明の第１実施例における磁気記録媒体の一部を拡大して示す断面図である。
【図５】本発明の第２実施例における磁気記録媒体を示す平面図である。
【図６】本発明の第２実施例における磁気記録媒体の一部を拡大して示す断面図である。
【図７】記憶装置の一部を示す断面図である。
【図８】記憶装置の一部を上部カバーを取り外して示す平面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１１，１２      磁気記録媒体
１２，２２      ロード・アンロードゾーン
１３，２３      トラック
１４，２４      磁性体部
１５，２５      非磁性体部
１６，２６      パターン領域
１７，２７      非パターン領域
１８，２８      保護膜
１１７      ヘッドスライダ
【図１】
2010140584.tif 000003
【図２】
2010140584.tif 000004
【図３】
2010140584.tif 000005
【図４】
2010140584.tif 000006
【図５】
2010140584.tif 000007
【図６】
2010140584.tif 000008
【図７】
2010140584.tif 000009
【図８】
2010140584.tif 000010