(57)【要約】【課題】スケジュールに基づいて処理が実行中であっても、最優先で処理を行う必要があるロットを他のロットよりも優先的に処理できるようにスケジュールを再作成できる。【解決手段】スケジュールに基づいて処理が実行されている時に、最優先で処理を行う必要があるロットの処理命令が入った場合、制御部は、処理命令が入った時刻において、処理中のロットについては安全に待機可能なリソース以降のスケジュールを一旦削除し、処理が開始されていないロットについてはスケジュールをすべて一旦削除し、削除によりできた空きスケジュールに優先で処理すべきロットのスケジュールをハードリンクで追加し、一旦削除したロットのスケジュールを加えて再スケジューリングを行う。これにより、処理中のロットの基板処理に影響を与えることなく、最優先で処理を行う必要があるロットを優先的に処理できるようにスケジュールを再作成できる。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に処理を行う複数の処理部を備えた基板処理装置により、前記各処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理するにあたり、実際に処理を実行する前に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部が、各リソースの使用タイミングに基づくスケジュールに従って各ロットに対する処理を実行中に、最優先で処理すべきロットを前記スケジュールに追加する指示を受けた際、
実行中の前記スケジュールのうち、処理が実行されていないロットのスケジュールの削除と、処理が実行されているロットについては、次の処理まで待機可能なリソースより後のスケジュールの削除とを行うことで空きスケジュールを生成し、
前記最優先で処理すべきロットの各リソースの使用タイミングで、前記空きスケジュールに追加を行い、
前記最優先で処理すべきロットの各リソースの使用タイミングを変更しないように、削除したロットの各リソースの使用タイミングを再決定することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記次の処理まで待機可能なリソースは、純水洗浄処理部におけるリソースであることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記最優先で処理すべきロットの各リソースの使用タイミングは、前記最優先で処理すべきロットの処理が最短の時間で完了する各リソースの使用タイミングであることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記処理が実行されていないロットは、基板を収容する収容器から基板が搬出されていないロットであることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項５】
基板に処理を行う複数の処理部を備えた基板処理装置により、前記各処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理するにあたり、実際に処理を実行する前に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部が、各リソースの使用タイミングに基づくスケジュールに従って各ロットに対する処理を実行中に、最優先で処理すべきロットを前記スケジュールに追加する指示を受けた際、
実行中の前記スケジュールのうち、処理が実行されていないロットのスケジュールを削除するステップと、
処理が実行されているロットについては、次の処理まで待機可能なリソースより後のスケジュールを削除するステップと、
削除により生成された空きスケジュールに、前記最優先で処理すべきロットの各リソースの使用タイミングで、前記空きスケジュールに追加を行うステップと、
前記最優先で処理すべきロットが追加された各リソースの使用タイミングを変更しないように、削除したロットの各リソースの使用タイミングを再決定するステップと、
をコンピュータに実行させることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）に洗浄、乾燥等の所定の処理を施す基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の基板処理装置のスケジュール作成方法として、実際の処理を実行する前に、各処理部のリソースをどのロットがどのような順序で使用していくかを決定するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記の従来例により作成された基板処理装置のスケジュールの一例をタイムチャートにしたものを図１０に示す。なお、図１０においては、斜線でハッチングされたタイムバーは第１ロットであり、縦線でハッチングされたタイムバーは第２ロットを意味する。また、図１０における縦軸の記号は、後程、図１を引用して説明する基板処理装置の各部の構成を示している。
【０００４】
このように予めスケジューリングを行うことにより、ロットに対する処理を実行する前に、どのロットをどの処理部でどの時点において処理するか決めていくので、効率よくロットの各処理工程を配置することができ、基板処理装置の稼働率を向上させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３４１９２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、一度スケジューリングが行われ、処理が実行されると、最優先で処理すべきロット（以降、単に「優先ロット」とも称する）がある場合でも、当該ロットを最優先で処理できるようにスケジュールの変更ができないという問題がある。図１１に、当該問題が起こった場合のタイムチャートを示す。図中で塗りつぶして記載されたタイムバーは優先ロットを示す。図１０のようなスケジュールが作成され、処理が実行されている時に、図中の点線の時刻ｔにおいて優先ロットの処理命令が入った場合、既に処理が実行されているロットのスケジュールに影響を与えないように、優先ロットのスケジュールを追加するためである。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、既にスケジュールに基づいて処理が実行されている場合であっても、所定の条件の下、処理が始まっているロットのスケジュールの削除を行い、優先ロットのスケジュールを追加することによって、最優先で処理を行う必要があるロットを他のロットよりも優先的に処理させることができる基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。すなわち、請求項１に記載の発明は、基板に処理を行う複数の処理部を備えた基板処理装置により、前記各処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理するにあたり、実際に処理を実行する前に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記制御部が、各リソースの使用タイミングに基づくスケジュールに従って各ロットに対する処理を実行中に、最優先で処理すべきロットを前記スケジュールに追加する指示を受けた際、実行中の前記スケジュールのうち、処理が実行されていないロットのスケジュールの削除と、処理が実行されているロットについては、次の処理まで待機可能なリソースより後のスケジュールの削除とを行うことで空きスケジュールを生成し、前記最優先で処理すべきロットの各リソースの使用タイミングで、前記空きスケジュールに追加を行い、前記最優先で処理すべきロットの各リソースの使用タイミングを変更しないように、削除したロットの各リソースの使用タイミングを再決定することを特徴とするものである。
【０００９】
［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、ロットごとにそれぞれのリソースの使用タイミングに基づくスケジュールが作成され、処理が実行されている時に、優先ロットをスケジュールに追加する指示があった場合、未処理のロットに対しては一旦スケジュールを削除し、処理中のロットの対しては待機可能なリソースより後のスケジュールを削除することで、スケジュールに空きを生成し、その空きスケジュールに優先ロットのスケジュールを追加する。したがって、他のロットよりも早く優先ロットを処理することができる。また、既に処理が実行されているロットは、次の処理まで待機可能なリソースより後のスケジュールを削除するので、優先ロットがスケジュールに追加されることにより、処理中のロットに待ち状態が発生しても、待機可能なリソースで処理待ちを行うこととなり、処理中のロットへの過剰処理が生じることを防止できる。
【００１０】
なお、本発明における「リソース」（ｒｅｓｏｕｒｃｅ）とは、純水洗浄処理部、薬液処理部、乾燥処理部、塗布処理部、メッキ処理部、エッチング処理部、基板を搬送する搬送処理部、基板の姿勢を変換する姿勢変換部などのことを示す。
【００１１】
また、本発明において、前記待機可能なリソースは、ロットに対して純水洗浄処理を行う純水洗浄処理部であることが好ましい（請求項２）。純水洗浄処理部では、薬液処理が行われたロットの洗浄が行われるが、その時間が長引いたとしても、薬液等による基板への過剰処理が生じることを防止できる。
【００１２】
また、本発明において、前記最優先で処理すべきロットの各リソースの使用タイミングは、前記最優先で処理すべきロットの処理が最短の時間で完了するように各リソースの使用タイミングをスケジュールすることが好ましい（請求項３）。他のロットよりも優先して、各リソースの使用タイミングをスケジュールすることで優先的に処理を行うことができる。
【００１３】
また、本発明において、前記処理が実行されていないロットとは、基板を収容する収容器から基板が搬出されていないロットであることが好ましい（請求項４）。収容器から基板が搬出されていなければ、スケジュールを一旦削除しても、基板へのパーティクルの付着等を防止することができる。
【００１４】
また、請求項５に記載の発明は、基板に処理を行う複数の処理部を備えた基板処理装置により、前記各処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理するにあたり、実際に処理を実行する前に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、前記制御部が、各リソースの使用タイミングに基づくスケジュールに従って各ロットに対する処理を実行中に、最優先で処理すべきロットを前記スケジュールに追加する指示を受けた際、実行中の前記スケジュールのうち、処理が実行されていないロットのスケジュールを削除するステップと、処理が実行されているロットについては、次の処理まで待機可能なリソースより後のスケジュールを削除するステップと、削除により生成された空きスケジュールに、前記最優先で処理すべきロットの各リソースの使用タイミングで、前記空きスケジュールに追加を行うステップと、前記最優先で処理すべきロットが追加された各リソースの使用タイミングを変更しないように、削除したロットの各リソースの使用タイミングを再決定するステップと、をコンピュータに実行させることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る基板処理装置のスケジュール作成方法によれば、制御部は、優先ロットをすでに実行されているスケジュールに追加する指示があった場合、処理が実行されていないロットについてはスケジュールを削除し、処理が実行されているロットについては、次の処理まで待機可能なリソースより後のスケジュールを削除することで生成される空きスケジュールに優先ロットのスケジュールを追加する。したがって、処理中のロットへの過剰処理等の影響を与えずに、優先ロットの処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】実施例に係る基板処理装置のブロック図である。
【図３】レシピの一例を示す模式図である。
【図４】優先ロットの割り込み命令が入った場合の再スケジューリングの動作を示すフローチャートである。
【図５】再スケジューリング前の実施例のタイムチャートである。
【図６】第１ロットを所定の条件のもと削除した後の実施例のタイムチャートである。
【図７】図６のタイムチャートから、さらに第２ロットを所定の条件のもと削除した後の実施例のタイムチャートである。
【図８】図７のタイムチャートに、ハードリンクで優先ロットを追加したタイムチャートである。
【図９】図８のタイムチャートに、一旦削除した第１ロットと第２ロットを追加し、再スケジューリングが終了したタイムチャートである。
【図１０】優先ロットが追加される前の従来例のタイムチャートである。
【図１１】従来例により優先ロットが追加され再スケジューリングが終了したタイムチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
【００１８】
図１は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図であり、図２は実施例に係る基板処理装置の概略構成を示したブロック図である。
【００１９】
この基板処理装置は、例えば、基板Ｗに対して薬液処理及び純水洗浄処理及び乾燥処理を施すための装置である。基板Ｗは複数枚（例えば２５枚）が基板の収容器であるＦＯＵＰ１に対して水平姿勢で収納されている。未処理の基板Ｗを収納したＦＯＵＰ１は、投入部３に載置される。投入部３は、ＦＯＵＰ１が載置される載置台５を二つ備えている。基板処理装置の中央部を挟んだ投入部３の反対側には、払出部７が配備されている。この払出部７は、処理済みの基板ＷをＦＯＵＰ１に収納してＦＯＵＰ１ごと払い出す。このように機能する払出部７は、投入部３と同様に、ＦＯＵＰ１を載置するための二つの載置台９を備えている。
【００２０】
投入部３と払出部７に沿う位置には、これらの間を移動可能である第１搬送機構ＣＴＣが配置されている。第１搬送機構ＣＴＣは、投入部３の載置台５に載置されたＦＯＵＰ１から複数枚の基板Ｗを搬出するとともに、基板Ｗの姿勢を水平方向から垂直方向へ変換した後、第２搬送機構ＷＴＲに対して基板Ｗを受け渡す。また、第１搬送機構ＣＴＣは、第２搬送機構ＷＴＲから処理済みの基板Ｗを受け取った後に、基板Ｗの姿勢を垂直方向から水平方向へ変換して、払出部７のＦＯＵＰ１に基板Ｗを搬入する。
【００２１】
第２搬送機構ＷＴＲは、基板処理装置の長手方向に沿って移動可能である。第２搬送機構ＷＴＲの移動方向に沿って複数の処理部が配置されているが、複数の処理部のうち第１搬送機構ＣＴＣの最も手前側には、複数枚の基板Ｗを低圧のチャンバ内に収納して、複数枚の基板Ｗを乾燥させるための乾燥処理部ＬＰＤが配備されている。
【００２２】
第２搬送機構ＷＴＲの移動方向であって乾燥処理部ＬＰＤに隣接する位置には、第１処理部１９が配備されている。この第１処理部１９は、複数枚の基板Ｗに対して純水洗浄処理を施すための純水洗浄処理部ＯＮＢ１を備えているとともに、複数枚の基板Ｗに対して処理液によって薬液処理を施すための薬液処理部ＣＨＢ１を備えている。また、第１処理部１９は、純水洗浄処理部ＯＮＢ１と薬液処理部ＣＨＢ１との間で基板Ｗを搬送する副搬送機構ＬＦＳ１を備えている。この副搬送機構ＬＦＳ１は、第１処理部１９内での基板搬送の他に、第２搬送機構ＷＴＲとの間で基板Ｗの受け渡しを行う。
【００２３】
第１処理部１９に隣接した位置には、第２処理部２７が配備されている。この第２処理部２７は、上述した第１処理部１９と同様の構成である。つまり、第２処理部２７は純水洗浄処理部ＯＮＢ１、薬液処理部ＣＨＢ１、副搬送機構ＬＦＳ１と同様の機能を有する、純水洗浄処理部ＯＮＢ２と、薬液処理部ＣＨＢ２と、副搬送機構ＬＦＳ２とを備えている。
【００２４】
上記のように構成されている基板処理装置は、図２のブロック図に示すように制御部３７によって統括的に制御される。
【００２５】
制御部３７は、ＣＰＵ等から構成されており、スケジューリング部３９と、処理実行指示部４１とを備えている。制御部３７に接続されている記憶部４３には、この基板処理装置のユーザなどによって予め作成され、基板Ｗをどのようにして処理するかを規定した複数の処理工程を含むレシピと、スケジュール作成プログラムと、作成されたスケジュールを実行する処理プログラムなどが予め格納されている。また、スケジュール作成プログラムによって作成されたスケジュールも格納されている。さらに、制御部３７は、乾燥処理部ＬＰＤ、第１搬送機構ＣＴＣ、第２搬送機構ＷＴＲ、第１処理部１９、及び第２処理部２７を制御する。
【００２６】
スケジューリング部３９は、投入部３の載置台５に載置されたＦＯＵＰ１に収容された複数枚の基板Ｗを一つのロットとして扱い、装置のオペレータにより指示され、記憶部４３に予め記憶されているレシピに応じて、実際に処理を実行する前に、ロット毎の処理工程を時系列的に効率よく配置できるようにスケジュールを作成する。
【００２７】
処理実行指示部４１は、スケジューリング部３９によって作成されて、記憶部４３に記憶されているスケジュールに基づいて、適切なタイミングで各処理部などの処理に係る動作指示を行う。
【００２８】
ここで、図３を参照してレシピの一例について説明する。なお、図３は、レシピの一例を示す模式図である。
【００２９】
レシピは、基板Ｗなどに応じて種々のものがあるが、例えば、第１搬送機構ＣＴＣ、第２搬送機構ＷＴＲ、純水洗浄処理部ＯＮＢ１、薬液処理部ＣＨＢ１、純水洗浄処理部ＯＮＢ１、乾燥処理部ＬＰＤ、第２搬送機構ＷＴＲ、第１搬送機構ＣＴＣの順で複数枚の基板Ｗが搬送されて、各処理部において純水洗浄、薬液処理、乾燥処理等の所定の処理が行われる。
【００３０】
図３において、並行処理部とあるのは、左側に記載されている処理部と同様の機構などを備え、代替が可能な処理部を示している。例えば、他のロットの処理を行うため、純水洗浄処理部ＯＮＢ１、薬液処理部ＣＨＢ１が使用されていた場合でも、第１搬送機構ＣＴＣ、第２搬送機構ＷＴＲ、純水洗浄処理部ＯＮＢ２、薬液処理部ＣＨＢ２、純水洗浄処理部ＯＮＢ２、乾燥処理部ＬＰＤ、第２搬送機構ＷＴＲ、第１搬送機構ＣＴＣの順で複数枚の基板Ｗに所定の処理を行うことができる。
【００３１】
次に、図４を参照して具体的に優先ロットの処理命令が入った場合の再スケジューリングについて説明する。なお、図４は動作を示すフローチャートである。
【００３２】
ステップＳ１
まず、処理実行指示部４１は、優先で処理すべきロット（優先ロット）の処理命令をオペレータから受ける。この場合、既に他のロットに対するスケジュールが実行されていたとしても、優先ロットの処理が割り込んで実施されることになる。
【００３３】
ステップＳ２
処理実行指示部４１は、実行中のスケジュールにおいて優先ロットの処理命令をオペレータから受けた時点、すなわち、優先ロットの処理命令が割り込んだ時点において、処理中のロットがあるか否かを判断して処理を分岐する。処理中のロットがない場合には、ステップＳ４へ処理を分岐し、処理中のロットがある場合には、ステップＳ３へ処理を分岐する。
【００３４】
ステップＳ３
処理実行指示部４１において、優先ロットの処理命令が割り込んだ時点で処理中のロットがあると判断された場合、スケジューリング部３９は、優先ロットの割り込み時点以降において、安全に待機できるリソースより後ろのスケジュールを一旦削除する。安全に待機できるリソースとは、具体的には、純水洗浄処理部ＯＮＢ１（ＯＮＢ２）におけるリソースである。
【００３５】
ステップＳ４
処理実行指示部４１は、実行中のスケジュールにおいて処理が開始されていない未処理のロットがあるか否かを判断して処理を分岐する。未処理のロットがない場合には、ステップＳ６へ処理を分岐し、未処理のロットがある場合には、ステップＳ５へ処理を分岐する。未処理のロットとは、具体的には、優先ロットの処理命令をオペレータから受けた時点において、基板ＷがＦＯＵＰ１から搬出されていないロットである。
【００３６】
ステップＳ５
処理実行指示部４１において、優先ロットの処理命令が割り込んだ時点で未処理のロットがあると判断された場合、スケジューリング部３９は、優先ロットの割り込み時点における未処理のロットのスケジュールを一旦削除する。
【００３７】
ステップＳ６
スケジューリング部３９は、ステップＳ３、ステップＳ５でスケジュールが一旦削除されてできた空きスケジュールに、優先ロットのスケジュールをハードリンクとして追加する。また、ステップＳ３、ステップＳ５で削除されるスケジュールがなかった場合は、優先ロットを追加するためのスケジュールの変更等が必要ないため、優先ロットをハードリンクとして新規スケジュールを作成すればよい。
【００３８】
ステップＳ７
スケジューリング部３９は、ステップＳ３、ステップＳ５で一旦削除したスケジュールがあれば、優先ロットがハードリンクで追加されたスケジュールに、削除されたスケジュールを追加して再スケジューリングを行う。
【００３９】
ステップＳ８
上記ステップを経て、優先ロットが追加されたスケジュールの作成を終える。
【００４０】
次に具体的なロットの処理について説明する。図３のレシピに基づいて、スケジューリング部３９によって作成された、第１ロット及び第２ロットの一連の処理工程を示すタイムチャートを図５に示す。なお、図中の斜線でハッチングされたタイムバーは第１ロットであり、縦線でハッチングされたタイムバーは第２ロットを意味する。また、点線で描かれたタイムバーは待機可能な処理部ＯＮＢ１で基板Ｗが待機する待機時間を意味する。
ここで、図５のタイムチャートを参照する。
【００４１】
優先ロットの処理命令が入った時刻ｔにおいて、第１ロットの基板Ｗは、すでに処理が始まり第１搬送機構ＣＴＣから第２搬送機構ＷＴＲに基板Ｗが受け渡された状態にある。また、第２ロットの基板Ｗは、いまだ第１搬送機構ＣＴＣに基板Ｗが渡されていない状態、すなわち、第２ロットの基板ＷがＦＯＵＰ１から搬出されていない状態である。
本発明は、これらスケジューリングされた各ロットの処理状態によって、第１ロット及び第２ロットのスケジュールを変更し、優先ロットを最優先で処理が行えるよう再スケジューリングするものである。
【００４２】
本発明における再スケジューリング方法について図５〜図９を参照しながら詳細に説明する。
【００４３】
処理実行指示部４１によって、第１ロット及び第２ロットが図５のスケジュールに基づいて処理が実行されているとき、時刻ｔにおいて優先ロットの処理命令が割り込まれた場合、処理実行指示部４１は時刻ｔにおける、第１ロット及び第２ロットの処理状況を確認し、スケジューリング部３９に再スケジュールの指示を行う。
【００４４】
スケジューリング部３９は処理が既に実行されている第１ロットは、待機可能なリソースである純水洗浄処理部ＯＮＢ２まで処理を継続できるように、純水洗浄処理部ＯＮＢ２までのリソースを残し、このリソースより後のスケジュールを一旦削除する（図６）。さらに、時刻ｔの時点で処理が実行されていない第２ロットは、スケジュールをすべて一旦削除する（図７）。
【００４５】
ここで、本実施例において、純水洗浄処理部ＯＮＢ１並びに純水洗浄処理部ＯＮＢ２が、基板Ｗにダメージを与えない状態で、基板Ｗを待機可能とするリソースである。また、処理が実行されていないロットとは、ＦＯＵＰ１から基板Ｗが搬出されていないロット、すなわち、タイムチャートでは第１搬送機構ＣＴＣの処理が始まっていないロットである。
【００４６】
上述したように、所定の条件の下、第１ロットと第２ロットのスケジュールを一旦削除した後、優先ロットをハードリンクとしてスケジュールに追加を行う（図８）。図中で塗りつぶして記載されたタイムバーが優先ロットを示す。
【００４７】
ここで、ハードリンクとは、１ロットの処理を最短時間で処理できるように各リソースが配置されたスケジュールであり、他のロットとのリソースの競合等でリソースの配置が変更されないものである。
【００４８】
優先ロットをハードリンクでスケジュールに追加した後、最優先で処理すべきロットの各リソースの使用タイミングを変更しないように、かつ、一旦削除された第１ロットと第２ロットのリソースとが競合しないように、それぞれのロットのリソースを前詰めで配置する（図９）。
【００４９】
この方法によれば、既にスケジュールに基づく処理が開始されているような場合でも、他のロットの基板処理に影響を与えることなく、優先すべきロットを優先的に処理可能なスケジュールを再作成することができる。
【００５０】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００５１】
（１）上述した実施例では、図１に示す基板処理装置の構成を例に採ったが、複数個の処理部を備え、複数のロットを搬送機構で各処理部に移動しつつ処理を行うものであれば、このような構成に限定されるものではない。
【００５２】
（２）上述した実施例では、待機可能なリソースとして純水洗浄処理部ＯＮＢ１あるいは純水洗浄処理部ＯＮＢ２をあげたが、待機中に基板に悪影響を与えないリソースであれば、このような構成に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００５３】
１          ＦＯＵＰ
１９        第１処理部
２７        第２処理部
３７        制御部
３９        スケジューリング部
４１        処理実行指示部
４３        記憶部
ＣＨＢ１    薬液処理部
ＣＨＢ２    薬液処理部
ＣＴＣ      第１搬送機構
ＬＦＳ１    副搬送機構
ＬＦＳ２    副搬送機構
ＬＰＤ      乾燥処理部
ＯＮＢ１    純水洗浄処理部
ＯＮＢ２    純水洗浄処理部
Ｗ          基板
ＷＴＲ      第２搬送機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010225890.tif 000009
【図８】
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【図９】
2010225890.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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