(57)【要約】【課題】ノズルから供給されるエアの清浄度を正確に把握する。【解決手段】エア収集装置２１は、供給ノズル１６から出る気体を収集してエア検査装置２２に供給するための装置であって、ブロック２４と、チューブ２５とを備えている。ブロック２４は、供給ノズル１６を覆い気体を導入するための部材である。チューブ２５は、ブロック２４とエア検査装置２２とを接続する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルから出る気体を収集してエア検査装置に供給するためのエア収集装置であって、
前記ノズルを覆い気体を導入するための導入部材と、
前記導入部材と前記エア検査装置とを接続するチューブと、
を備えたエア収集装置。
【請求項２】
複数のノズルから出る気体を収集してエア検査装置に供給するためのエア収集装置であって、
前記複数のノズルから気体を導入するための複数の導入部材と、
前記複数の導入部材に接続された複数のチューブと、
前記複数のチューブに接続された容器と、
前記容器と前記エア検査装置とを接続する導通部材と、
を備えたエア収集装置。
【請求項３】
前記導入部材は、エア供給圧よりも重い重量を有している、請求項１または２に記載のエア収集装置。
【請求項４】
前記導入部材および前記ノズル側の一方に設けられ、エア供給圧よりも強い磁力を持った磁石をさらに備えている、請求項１または２に記載のエア収集装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エア収集装置に関し、特に、ノズルから出る気体を収集してエア検査装置に供給するためのエア収集装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造は、内部雰囲気を清浄化したクリーンルーム内で行われる。一方、クリーンルーム内での工程間の搬送は、半導体ウェハをポッドに収納した状態で行う。これにより、半導体ウェハへの塵埃の付着が防止される。
【０００３】
また、ポッドの内部雰囲気を窒素ガス等の不活性エアで置換することが行われている。これにより、半導体ウェハにおいて自然酸化による酸化膜の成長が防止される。
【０００４】
ポッド内を不活性エアで置換するための装置として、パージストッカが知られている。パージストッカは、複数のポッド収納棚を有している。ポッド収納棚には、エア供給システムが設けられている。エア供給システムは、ポッド内部に開口するエア供給口およびエア排出口と、エア供給口にエアを供給可能なエア供給部とを有している。エア供給部がエア供給口に連続的にエアを供給することで、ポッド内の空間をＮ２ガスに置き換える。つまり、不要エアの濃度を低下させる。
【０００５】
また、倉庫の棚内の環境、例えば、周囲のエアの清浄度を測定する測定ユニットおよびそれを備えた搬送システムが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。測定ユニットは、具体的には、エア中のパーティクル数を計測している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２９７１９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前記従来の測定ユニットでは、ポッド周囲の環境の清浄度を測定しているが、それではノズルから供給されるエアそのものの清浄度を測定しているわけではない。
したがって、ノズルから供給されるエアの清浄度を正確に把握することができない。
【０００８】
本発明の課題は、エア収集装置において、ノズルから供給されるエアの清浄度を正確に把握することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るエア収集装置は、ノズルから出る気体を収集してエア検査装置に供給するためのエア収集装置であって、導入部材と、チューブとを備えている。導入部材は、ノズルを覆い気体を導入するための部材である。チューブは、導入部材とエア検査装置とを接続する。
この装置では、ノズルから出てくるエアは、導入部材およびチューブを通ってエア検査装置に送られる。このようにして、ノズルから供給されるエアの清浄度を正確に把握することができる。
なお、チューブとは気体が通過可能な空間を有する部材であり、可撓性部材であっても形状が変化しない部材であってもよい。
【００１０】
本発明の他の見地に係るエア収集装置は、複数のノズルから出る気体を収集してエア検査装置に供給するためのエア収集装置であって、複数の導入部材と、複数のチューブと、容器と、導通部材とを備えている。複数の導入部材は、複数のノズルから気体を導入するための部材である。複数のチューブは、導入部材に接続されている。容器は、複数のチューブに接続されている。導通部材は、容器とエア検査装置とを接続する。
この装置では、複数のノズルから出てくるエアは、複数の導入部材およびチューブを通ってエア検査装置に送られる。このようにして、ノズルから供給されるエアの清浄度を正確に把握することができる。
特に、複数のチューブからのエアはいったん容器に集められてから、導通部材によってエア検査装置に供給される。したがって、複数のノズルから出てくるエアをまとめて検査することができ、検査効率が良くなる。
【００１１】
導入部材は、エア供給圧よりも重い重量を有していてもよい。これにより、検査者は導入部材をノズルに対して押さえつけておく必要が無くなる。
【００１２】
導入部材およびノズル側の一方に設けられ、エア供給圧よりも強い磁力を持った磁石をさらに備えていてもよい。これにより、検査者は導入部材をノズルに対して押さえつけておく必要が無くなる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るエア収集装置では、ノズルから供給されるエアの清浄度を正確に把握することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】パージストッカの概略模式図。
【図２】パージストッカにおいてポッドに対するエアの供給および排出構造を示す部分断面図。
【図３】パージストッカに本発明の第１実施形態としてのエア収集装置を接続した状態を示す概略模式図。
【図４】第１実施形態において、パージストッカのノズルに対してエア収集装置のブロックを取り付けた状態を示す概略模式図。
【図５】パージストッカに本発明の第２実施形態としてのエア収集装置を接続した状態を示す概略模式図。
【図６】第３実施形態において、パージストッカのノズルに対してエア収集装置のブロックを取り付けた状態を示す概略模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（１）パージストッカの構造
図１を用いて、パージストッカ１について説明する。図１は、パージストッカ１の概略模式図である。
【００１６】
パージストッカ１は、複数のポッド２を収納するともに、ポッド２内を所定のエア（例えば、Ｎ２等の不活性エア）でパージするための装置である。パージストッカ１は、複数の棚３を有している。棚３には、ポッド２が載置可能である。この実施例では、１つの棚３は２つのポッド載置部３ａを有しており、そのような棚３が５段で１つの区画４を構成している。区画４ごとに開閉扉（図示せず）が設けられている。
【００１７】
パージストッカ１は、さらに、パージ装置６を有している。パージ装置６は、棚３に置かれたポッド２内にエアを供給・排出するための装置である。パージ装置６は、エア供給タンク８と、複数のエア供給管９と、複数のエア排出管１０とを有している。エア供給タンク８は、例えば、Ｎ２ガスを内部に有している。複数のエア供給管９は、エア供給タンク８から各棚３のポッド載置部３ａに延びる（最下段のみ図示）。複数のエア排出管１０は、各棚３のポッド載置部３ａから延びている（最下段のみ図示）。
さらに、エア供給管９の途中には、流量調整バルブ１１と、開閉バルブ１２が設けられている。
【００１８】
（２）エア接続部の構造
図２を用いて、エア接続部１３の構造について説明する。図２は、パージストッカ１においてポッド２に対するエアの供給および排出構造を示す部分断面図である。
【００１９】
ポッド載置部３ａには、図から明らかなように、第１孔１５およびその回りに配置された供給ノズル１６と、第２孔１７およびその回りに配置された排出ノズル１８が設けられている。
【００２０】
ポッド２は、側壁部２ａと、底蓋部２ｂとを有している。底蓋部２ｂには、ポッド２がポッド載置部３ａに載置された状態で、供給ノズル１６に連結される第１連結部１９と、排出ノズル１８に連結される第２連結部２０が設けられている。第１連結部１９および第２連結部２０は、連通孔を有しており、そこには逆止め弁やフィルタ（図示せず）が設けられていてもよい。
【００２１】
エア供給管９の先端は、棚３のポッド載置部３ａに設けられた第１孔１５およびその回りに配置された供給ノズル１６に連通している。また、エア排出管１０の先端は、棚３のポッド載置部３ａに設けられた第２孔１７およびその回りに配置された排出ノズル１８に連通している。
【００２２】
このようにして、供給ノズル１６からポッド２内にエアが供給され、排出ノズル１８からポッド２内のエアが排出される。
【００２３】
（３）エア収集装置（第１実施形態）
図３を用いて、エア収集装置２１について説明する。図３は、パージストッカ１に本発明の第１実施形態としてのエア収集装置２１を接続した状態を示す概略模式図である。
【００２４】
エア収集装置２１は、パージストッカ１の供給ノズル１６から出てくるエアをエア検査装置２２に供給するための装置である。エア検査装置２２は、供給されたエア中のパーティクルをカウントすることで、エアの清浄度を測定する。
【００２５】
エア収集装置２１は、ブロック２４と、チューブ２５とを有している。ブロック２４は、供給ノズル１６に接続されるための部材である。チューブ２５は、ブロック２４とエア検査装置２２を接続する部材である。
【００２６】
図４を用いて、ブロック２４と供給ノズル１６との接合について説明する。図４は、第１実施形態において、パージストッカ１の供給ノズル１６に対してエア収集装置２１のブロック２４を取り付けた状態を示す概略模式図である。
【００２７】
ブロック２４は、筒状部分２４ａと、その上側に設けられた円板状部分２４ｂとを有している。図において、筒状部分２４ａの下端は、ポッド載置部３ａにおいて供給ノズル１６の回りに密着している。円板状部分２４ｂにはチューブ２５の先端が接続されている。
この状態で、ブロック２４は自重によってポッド載置部３ａへの密着状態を続けており、チューブ２５からの通常の作業による力が作用しても供給ノズル１６から外れないようになっている。
なお、回りのエアを吸引することなく供給ノズルから出るエアのみを導入することができれば、ブロックはポッド載置部に対して密着していなくてもよい。
【００２８】
以上に述べた実施形態では、エア収集装置２１は、１個のブロック２４と、１本のチューブ２５から構成されている。したがって、検査者は、棚３のポッド載置部３ａにブロック２４をおいて検査を行うという動作を繰り返す。
【００２９】
この装置では、供給ノズル１６から出てくるエアは、ブロック２４およびチューブ２５を通ってエア検査装置２２に送られる。このようにして、ノズルから供給されるエアの清浄度を正確に把握することができる。
【００３０】
ブロック２４は、自重によって、エア供給圧に対抗して供給ノズル１６を覆った状態を維持している。これにより、検査者はブロック２４を供給ノズル１６に対して押さえつけておく必要が無くなる。
チューブ２５を用いることで、ブロック２４の移動が容易であり、それによりブロック２４を供給ノズル１６に対して簡単に配置することができる。
【００３１】
（４）エア収集装置（第２実施形態）
図５を用いて、エア収集装置３１について説明する。図５は、パージストッカ１に本発明の第２実施形態としてのエア収集装置３１を接続した状態を示す概略模式図である。
【００３２】
エア収集装置３１は、パージストッカ１の供給ノズル１６から出てくるエアをエア検査装置２２に供給するための装置である。
【００３３】
エア収集装置３１は、複数のブロック３４と、複数の第１チューブ３５とを有している。ブロック３４は、供給ノズル１６に接続されるための部材である。第１チューブ３５は、ブロック３４とエア検査装置３２を接続する部材である。
【００３４】
この実施形態では、エア収集装置３１は、１０個のブロック３４と１０本の第１チューブ３５を有しており、１０個のブロック３４がパージストッカ１の区画４のブロックの棚３のポッド載置部３ａの供給ノズル１６に取り付けられている。
【００３５】
エア収集装置３１は、さらに、容器３７と、第２チューブ３８を備えている。容器３７は、例えば、ビニール袋である。複数の第１チューブ３５は、容器３７に接続されている。第２チューブ３８は、容器３７とエア検査装置３２を接続している。
ブロック３４と供給ノズル１６との接合については、前記実施形態と同様のであるので説明を省略する。
【００３６】
以上に述べた実施形態では、エア収集装置３１は、複数のブロック３４と、複数の第１チューブ３５を有している。したがって、検査者は、棚３の複数のポッド載置部３ａにブロック３４を順番においていき、一定数を置いた後に検査を行うという動作を行う。
【００３７】
複数の供給ノズル１６に供給されたエアは、複数のブロック３４と複数の第１チューブ３５を通って、容器３７に集められる。次に、集められたエアは、第２チューブ３８を通ってエア検査装置３２に供給される。
【００３８】
この装置では、複数の供給ノズル１６から出てくるエアは、複数のブロック３４および第１チューブ３５を通ってエア検査装置３２に送られる。このようにして、ノズルから供給されるエアの清浄度を正確に把握することができる。
特に、複数の第１チューブ３５からのエアはいったん容器３７に集められてから、第２チューブ３８によってエア検査装置３２に供給される。したがって、エア検査装置３２は複数の供給ノズル１６から出てくるエアをまとめて検査することができ、検査効率が良くなる。
【００３９】
したがって、全ての供給ノズル１６からのエアの清浄度が高い場合には、エア収集装置２１の測定結果から、「全ての供給ノズル１６のエアが清浄である」と一度で判定可能である。
【００４０】
さらに、少なくとも１つの供給ノズル１６からのエアの清浄度が低い場合には、エア収集装置２１の測定結果から、少なくとも１つの供給ノズル１６からのエアの清浄度が低いことが分かる。この場合は、例えば、第１実施形態で示したような１個のブロック２４と１本のチューブ２５からなるエア収集装置２１を用いて、検査者が供給ノズル１６のエアを１つずつ検査していく。
複数の第１チューブ３５を用いることで、ブロック３４の移動が容易であり、それによりブロック３４を供給ノズル１６に対して簡単に配置することができる。
【００４１】
（５）エア収集装置（第３実施形態）
図６を用いて、エア収集装置のブロックの変形例について説明する。図６は、第３実施形態において、パージストッカ１の供給ノズル１６に対してエア収集装置４１のブロック４４を取り付けた状態を示す概略模式図である。
【００４２】
ポッド載置部３ａは、例えば鋼板等の磁性体からなり、ブロック４４の下端には永久磁石４６が取り付けられている。これにより、ブロック４４は、磁力によって、エア供給圧に対抗して供給ノズル１６を覆った状態を維持している。この結果、検査者はブロック４４を供給ノズル１６に対して押さえつけておく必要が無くなる。
【００４３】
なお、永久磁石はポッド載置部３ａ側に設けられていてもよいし、ブロックとポッド載置部の両方に設けられていてもよい。
【００４４】
（６）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００４５】
パージ装置の構造・動作は前記実施形態に限定されない。また、パージ装置が供給するエアの種類は窒素ガスに限定されない。アルゴン、ヘリウム等の不活性エアを用いてもよい。また、クリーンドライエアを用いてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、ノズルから出る気体を収集してエア検査装置に供給するためのエア収集装置に広く適用できる。
【符号の説明】
【００４７】
１      パージストッカ
２      ポッド
２ａ    側壁部
２ｂ    底蓋部
３      棚
３ａ    ポッド載置部
４      区画
６      パージ装置
８      エア供給タンク
９      エア供給管
１０    エア排出管
１１    流量調整バルブ
１２    開閉バルブ
１３    エア接続部
１５    第１孔
１６    供給ノズル
１７    第２孔
１８    排出ノズル
１９    第１連結部
２０    第２連結部
２１    エア収集装置
２２    エア検査装置
２４    ブロック（導入部材）
２４ａ  筒状部分
２４ｂ  円板状部分
２５    チューブ
３１    エア収集装置
３２    エア検査装置
３４    ブロック（導入部材）
３５    第１チューブ
３７    容器
３８    第２チューブ（導通部材）
４１    エア収集装置
４２    エア検査装置
４４    ブロック（導入部材）
４５    チューブ
４６    永久磁石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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