(57)【要約】【課題】高品質な光学特性と良好な歩留まり及び製造作業効率を得る。【解決手段】レーザ結晶（１）と波長変換結晶（２）とはオプティカルコンタクトにより接合し、レーザ結晶（１）とダミー材（３）とは接着剤（９）により貼り付ける。【効果】レーザ結晶（１）と波長変換結晶（２）とをオプティカルコンタクトで接合するため、高品質な光学特性が得られる。レーザ結晶（１）とダミー材（３）とを接着剤（９）で貼り付けるため、大きな複合基板を切断して複数の光学素子を得るときに、接合面から剥がれが生じず、良好な歩留まりが得られる。また、大きな複合基板を切断して複数の光学素子を得ることにより、良好な製造作業効率が得られる。【選択図】図１
2010032568.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状体であってその一面がレーザ光出射面であるレーザ結晶（１）と、板状体であってその一面がレーザ光入射面であり且つ該レーザ光入射面が前記レーザ光出射面の一部にオプティカルコンタクトで接合された波長変換結晶（２）と、板状体であってその一面が前記レーザ光出射面の一部に接着剤（９）で貼り付けられ且つ別の一面が前記波長変換結晶（２）の前記レーザ光入射面以外の一面に貼り付けられたダミー材（３）とを具備したことを特徴とする光学素子（１０）。
【請求項２】
請求項１に記載の光学素子（１０）において、前記接着剤（９）を溜める空間が前記レーザ結晶（１）と前記ダミー材（３）の間に形成されていることを特徴とする光学素子（１０）。
【請求項３】
請求項２に記載の光学素子（１０）において、前記空間が、前記レーザ結晶（１）および前記ダミー材（３）の少なくとも一方に刻設された溝（４，５，６，７）であることを特徴とする光学素子（１０）。
【請求項４】
請求項２に記載の光学素子（１０）において、前記空間が、前記レーザ結晶（１）の面と前記ダミー材（３）の面の間に空けられた空隙（８）であることを特徴とする光学素子（１０）。
【請求項５】
光軸方向辺と幅方向辺と厚さ方向辺とを有する板状体である波長変換結晶大基板（３２）の前記光軸方向辺および前記幅方向辺で区画された少なくとも１面に板状体のダミー材大基板（１３）を貼り付けて第１複合大基板（２１’）とし、該第１複合大基板（２１’）の前記光軸方向辺について作用長（Ｌ）で切断して複数の第１複合基板を作成し、該第１複合基板の前記幅方向辺と厚さ方向辺とで区画されたレーザ光入射面と板状体であってその一面がレーザ光出射面であるレーザ結晶基板（１１）の前記レーザ光出射面とをオプティカルコンタクトで接合して第２複合基板とし、該第２複合基板を切断して複数の光学素子（１０）を得る光学素子の製造方法であって、前記第１複合基板と前記レーザ結晶基板（１１）とをオプティカルコンタクトで接合する前に、前記レーザ結晶（１）および前記ダミー材（３）の少なくとも一方に溝（４，５，６，７）を刻設し、前記第１複合基板と前記レーザ結晶基板（１１）とをオプティカルコンタクトで接合した後、前記溝（４，５，６，７）に接着剤（９）を注入し、前記レーザ結晶（１）と前記ダミー材（３）とを接着剤（９）で貼り付けることを特徴とする光学素子の製造方法。
【請求項６】
作用長（Ｌ）の長さの光軸方向辺と幅方向辺と厚さ方向辺とを有する板状体である波長変換結晶基板の前記光軸方向辺および前記幅方向辺で区画された少なくとも１面に板状体のダミー材基板を貼り付けて第１複合基板（２１）とし、該第１複合基板（２１）の前記幅方向辺と厚さ方向辺とで区画されたレーザ光入射面と板状体であってその一面がレーザ光出射面であるレーザ結晶基板（１１）の前記レーザ光出射面とをオプティカルコンタクトで接合して第２複合基板（２２）とし、該第２複合基板（２２）を切断して複数の光学素子（１０）を得る光学素子の製造方法であって、前記波長変換結晶基板の前記光軸方向辺の長さよりもそれに対応する前記ダミー材基板の長さを短くし、前記波長変換結晶基板と前記ダミー材基板とを貼り付ける際に前記波長変換結晶基板のレーザ光入射面よりもそれに対応するダミー材基板の面を引っ込ませて貼り合わせ、前記第１複合基板と前記レーザ結晶基板（１１）とをオプティカルコンタクトで接合したときに前記ダミー材基板と前記レーザ結晶基板（１１）の間に空隙（８）が空くようにし、前記第１複合基板と前記レーザ結晶基板（１１）とをオプティカルコンタクトで接合した後、前記空隙（８）に接着剤（９）を注入し、前記レーザ結晶（１）と前記ダミー材（３）とを接着剤（９）で貼り付けることを特徴とする光学素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子および光学素子の製造方法に関し、さらに詳しくは、高品質な光学特性と良好な歩留まり及び製造作業効率が得られる光学素子および光学素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、板状体であってその一面がレーザ光入射面である波長変換結晶基板のレーザ光入射面以外の面に板状体のダミー材基板を貼り付けて第１複合基板とし、該第１複合基板のレーザ光入射面がある面と板状体であってその一面がレーザ光出射面であるレーザ結晶基板のレーザ光出射面とを貼り付けて第２複合基板とし、該第２複合基板を切断して複数の光学素子を得る光学素子の製造方法が知られている（特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００７−２２５７８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来の光学素子の製造方法では、第１複合基板とレーザ結晶基板とを接着剤またはオプティカルコンタクトにより貼り付けている。オプティカルコンタクトにより貼り付けた場合、レーザ結晶基板のレーザ光出射面と波長変換結晶基板のレーザ光入射面を高精度な平行度で接合でき、レーザの発振特性として効率が良い。また、接着剤で貼り付けた場合には、接着剤によるレーザ光の散乱や損失が生じる。従って、高品質な光学特性の観点からは、第１複合基板とレーザ結晶基板とをオプティカルコンタクトにより貼り付けるのが好ましい。
しかし、第１複合基板とレーザ結晶基板とをオプティカルコンタクトにより貼り付けた第２複合基板を切断して複数の光学素子を得るときに、接合面から剥がれが生じ、歩留まりが低下する問題点がある。
他方、先に第１複合基板とレーザ結晶基板とを光学素子のサイズに切断してから個々にオプティカルコンタクトにより貼り付けて光学素子を得る方法では、製造作業効率が悪くなる問題点がある。
そこで、本発明の目的は、高品質な光学特性と良好な歩留まり及び製造作業効率が得られる光学素子および光学素子の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
第１の観点では、本発明は、板状体であってその一面がレーザ光出射面であるレーザ結晶（１）と、板状体であってその一面がレーザ光入射面であり且つ該レーザ光入射面が前記レーザ光出射面の一部にオプティカルコンタクトで接合された波長変換結晶（２）と、板状体であってその一面が前記レーザ光出射面の一部に接着剤（９）で貼り付けられ且つ別の一面が前記波長変換結晶（２）の前記レーザ光入射面以外の一面に貼り付けられたダミー材（３）とを具備したことを特徴とする光学素子（１０）を提供する。
上記第１の観点による光学素子（１０）では、レーザ結晶（１）のレーザ光出射面と波長変換結晶（２）のレーザ光入射面とをオプティカルコンタクトで接合するため、高品質な光学特性が得られる。また、レーザ結晶（１）のレーザ光出射面とダミー材（３）とを接着剤（９）で貼り付けるため、大きな複合基板を切断して複数の光学素子を得るときに、接合面から剥がれが生じず、良好な歩留まりが得られる。また、大きな複合基板を切断して複数の光学素子を得ることにより、良好な製造作業効率が得られる。
【０００５】
第２の観点では、本発明は、前記第１の観点による光学素子（１０）において、前記接着剤（９）を溜める空間が前記レーザ結晶（１）と前記ダミー材（３）の間に形成されていることを特徴とする光学素子（１０）を提供する。
上記第２の観点による光学素子（１０）では、レーザ結晶（１）とダミー材（３）の間に形成されている空間に接着剤（９）を溜めるため、貼り付けに必要十分な量の接着剤を保持できる。
【０００６】
第３の観点では、本発明は、前記第２の観点による光学素子（１０）において、前記空間が、前記レーザ結晶（１）および前記ダミー材（３）の少なくとも一方に刻設された溝（４，５，６，７）であることを特徴とする光学素子（１０）を提供する。
上記第３の観点による光学素子（１０）では、溝（４，５，６，７）の位置やサイズを選びうる自由度が高くなる。
【０００７】
第４の観点では、本発明は、前記第２の観点による光学素子（１０）において、前記空間が、前記レーザ結晶（１）の面と前記ダミー材（３）の面の間に空けられた空隙（８）であることを特徴とする光学素子（１０）を提供する。
上記第４の観点による光学素子（１０）では、作業が簡単になる。
【０００８】
第５の観点では、本発明は、光軸方向辺と幅方向辺と厚さ方向辺とを有する板状体である波長変換結晶大基板（３２）の前記光軸方向辺および前記幅方向辺で区画された少なくとも１面に板状体のダミー材大基板（１３）を貼り付けて第１複合大基板（２１’）とし、該第１複合大基板（２１’）の前記光軸方向辺について作用長（Ｌ）で切断して複数の第１複合基板を作成し、該第１複合基板の前記幅方向辺と厚さ方向辺とで区画されたレーザ光入射面と板状体であってその一面がレーザ光出射面であるレーザ結晶基板（１１）の前記レーザ光出射面とをオプティカルコンタクトで接合して第２複合基板とし、該第２複合基板を切断して複数の光学素子（１０）を得る光学素子の製造方法であって、前記第１複合基板と前記レーザ結晶基板（１１）とをオプティカルコンタクトで接合する前に、前記レーザ結晶（１）および前記ダミー材（３）の少なくとも一方に溝（４）を刻設し、前記第１複合基板と前記レーザ結晶基板（１１）とをオプティカルコンタクトで接合した後、前記溝（４）に接着剤（９）を注入し、前記レーザ結晶（１）と前記ダミー材（３）とを接着剤（９）で貼り付けることを特徴とする光学素子の製造方法を提供する。
上記第５の観点による光学素子の製造方法では、前記第３の観点による光学素子（１０）を好適に製造しうる。
【０００９】
第６の観点では、本発明は、作用長（Ｌ）の長さの光軸方向辺と幅方向辺と厚さ方向辺とを有する板状体である波長変換結晶基板の前記光軸方向辺および前記幅方向辺で区画された少なくとも１面に板状体のダミー材基板を貼り付けて第１複合基板（２１）とし、該第１複合基板（２１）の前記幅方向辺と厚さ方向辺とで区画されたレーザ光入射面と板状体であってその一面がレーザ光出射面であるレーザ結晶基板（１１）の前記レーザ光出射面とをオプティカルコンタクトで接合して第２複合基板（２２）とし、該第２複合基板（２２）を切断して複数の光学素子（１０）を得る光学素子の製造方法であって、前記波長変換結晶基板の前記光軸方向辺の長さよりもそれに対応する前記ダミー材基板の長さを短くし、前記波長変換結晶基板と前記ダミー材基板とを貼り付ける際に前記波長変換結晶基板のレーザ光入射面よりもそれに対応するダミー材基板の面を引っ込ませて貼り合わせ、前記第１複合基板と前記レーザ結晶基板（１１）とをオプティカルコンタクトで接合したときに前記ダミー材基板と前記レーザ結晶基板（１１）の間に空隙（６）が空くようにし、前記第１複合基板と前記レーザ結晶基板（１１）とをオプティカルコンタクトで接合した後、前記空隙（６）に接着剤（９）を注入し、前記レーザ結晶（１）と前記ダミー材（３）とを接着剤（９）で貼り付けることを特徴とする光学素子の製造方法を提供する。
上記第６の観点による光学素子の製造方法では、前記第４の観点による光学素子（１０）を好適に製造しうる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の光学素子および光学素子の製造方法によれば、高品質な光学特性と、良好な歩留まり及び製造作業効率を得ることが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図に示す実施例により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。
【実施例１】
【００１２】
図１は、実施例１に係る光学素子１０を示す斜視図である。
この光学素子１０は、半導体レーザからの励起レーザ光Ｌｉにより励起されて基本波レーザ光を出すレーザ結晶１と、基本波レーザ光の高調波である波長変換レーザ光Ｌｏを出す波長変換結晶２と、波長変換結晶２をサンドイッチ状に挟むダミー材３とを具備している。
レーザ結晶１と波長変換結晶２とはオプティカルコンタクトにより接合されている。
レーザ結晶１とダミー材３とは溝４に注入した接着剤５により貼り付けられている。
波長変換結晶２とダミー材３とは、接着剤またはオプティカルコンタクトにより貼り付けられている。
【００１３】
レーザ結晶１は、例えばＮｄがドープされたＹＡＧ結晶やＹＶＯ４結晶である。
波長変換結晶２は、ＫＴＰ基板や、分極反転周期構造が形成された強誘電体結晶（ＬＮやＬＴ基板、ＭｇＯをドープしたＬＮやＬＴ基板）である。
ダミー材３は、ヒートシンクとして好適に機能するように、ガラスの熱伝導率よりも大きい熱伝導率を有する材料製とすることが好ましい。また、熱膨張した時の悪影響を抑制するため、熱膨張係数がレーザ結晶１や波長変換結晶２と同程度の材料とするのが好ましい。例えば波長変換結晶２と同じ材料（周期的分極反転構造は必要ない）や、石英ガラスや、ＢＫ−７である。
【００１４】
図２は、光学素子１０の製造手順を示すフロー図である。
ステップＳ１では、図３に示すように、分極反転方向Ｄｒの光軸方向辺の長さＬ’、分極反転方向Ｄｒおよび分極方向Ｄｐに交差する幅方向の幅Ｇ、分極方向Ｄｐの厚さ方向の厚さｄの板状体である波長変換結晶大基板３２を作成する。長さＬ’は例えば６ｍｍ、幅Ｇは例えば６ｍｍ、厚さｄは例えば０.４ｍｍである。そして、ステップＳ３へ進む。
【００１５】
波長変換結晶大基板３２は、例えば所定サイズの強誘電体結晶大基板３２ａの対向面に周期電極３２ｂとベタ電極３２ｃを形成し、電極間に電圧を印加し、強誘電体結晶大基板３２ａの内部に周期的分極反転構造を形成することにより作成しうる。電極の対向方向が分極方向Ｄｐになり、周期電極３２ｂの形状の周期パターン方向が分極反転方向Ｄｒになる。電極は、そのまま残しておいてもよいし、除去してもよい。ダミー材との接着にオプティカルコンタクトを利用する場合には除去する方が望ましい。
【００１６】
強誘電体結晶大基板３２ａは、例えば、ＭｇＯをドープした、定比組成（ストイキオメトリ）または定比組成に近いタンタル酸リチウム基板（ＭｇＯドープ定比組成タンタル酸リチウム基板）であり、そのモル分率Ｌｉ2Ｏ／（Ｔａ2Ｏ5＋Ｌｉ2Ｏ）は０.４９以上０.５未満である。
【００１７】
一方、ステップＳ２では、図４に示すように、長さＬ’、幅Ｇ、厚さＷの板状体であるダミー材大基板１３を作成する。厚さＷは例えば１ｍｍである。そして、ステップＳ３へ進む。
【００１８】
ステップＳ３では、図５に示すように波長変換結晶大基板３２とダミー材大基板１３とを交互に貼り合わせ、第１複合大基板２１’を作成する。貼り合わせた方向の第１複合大基板２１’の幅Ｚは例えば８ｍｍである。
貼り合わせの方法は、接着剤を用いてもよいし、オプティカルコンタクトを用いてもよい。
【００１９】
ステップＳ４では、図６に示すように分極反転方向Ｄｒ（＝光軸方向）について所定の作用長Ｌごとに波長変換結晶大基板３２をダイシング装置で切断し、図７に示すごとき第１複合基板２１を複数得る。Ｃ’は切断線である。作用長Ｌは例えば２ｍｍである。
【００２０】
ステップＳ５では、第１複合基板２１の分極反転方向Ｄｒに対向する２面に光学研磨を施し、一方の面に、使用する基本波に対するＨＲ膜を成膜する。さらに、他方の面側のダミー材基板１３’に、分極反転方向Ｄｒおよび分極方向Ｄｐに交差する方向の溝４を、ダイシング装置を用いて刻設し、図８に示すごとき第１複合基板２１”（溝付き）を得る。溝４の幅は、ステップＳ１２で切断する時のダイシングソーの厚さよりも広くなるようにする。また、溝４の深さは、粘度の低い接着剤が浸透／充填し易いように１０μｍ〜１００μｍとする。そして、ステップＳ１１へ進む。
【００２１】
一方、ステップＳ８では、光軸に垂直な２面間を厚さｈとするレーザ結晶大基板を作成する。厚さｈは、例えば１ｍｍである。
ステップＳ９では、レーザ結晶大基板の光軸に垂直な２面に光学研磨を施し、一方の面に、使用する基本波に対するＨＲ膜を成膜する。さらに、第１複合基板２１”の長さＧと幅Ｚに合わせたサイズにレーザ結晶大基板を切断し、レーザ結晶基板（１１）を得る。そして、ステップＳ１１へ進む。
【００２２】
ステップＳ１１では、図９に示すように第１複合基板２１”のＨＲ膜を成膜していない面とレーザ結晶基板１１のＨＲ膜を成膜していない面とをオプティカルコンタクトにより接合し、図１０に示すように溝４に接着剤９を注入し、第２複合基板２２を作成する。
【００２３】
ステップＳ１２では、図１１に示すように切断線Ｃで第２複合基板２２を切断し、図１に示すごとき光学素子１０を同時に複数得る。
【００２４】
実施例１によれば次の効果が得られる。
（１）波長変換結晶２とダミー材３とを貼り合わせた後、レーザ結晶１に貼り付けるといった製造方法を採ることが出来るので、レーザ結晶１への貼り合わせ面積が波長変換結晶２とダミー材３とを合わせた面積になる。このため、貼り合わせ作業が容易になり、製造の作業効率を向上することが出来る。また、安定した品質で貼り合わせることが出来るため、貼り合わせた面内の場所によって特性が異なったり、光学素子間で特性がばらついたりする問題点がなくなり、安定した特性が得られる。
（２）ダミー材３として、レーザ結晶１や波長変換結晶２よりも熱伝導のよい材料を用いれば、ダミー材３がない場合より温度制御がしやすくなる。
（３）レーザ結晶１のレーザ光出射面と波長変換結晶２のレーザ光入射面とをオプティカルコンタクトで接合するため、高品質な光学特性が得られる。
（４）レーザ結晶１のレーザ光出射面とダミー材３とを接着剤９で貼り付けるため、第２複合基板２２を切断して複数の光学素子１０を得るときに、接合面から剥がれが生じず、良好な歩留まりが得られる。
（５）複数の光学素子１０をまとめて製造できるので良好な製造作業効率が得られる。
【実施例２】
【００２５】
図１２に示すように、第２複合基板２２の分極方向Ｄｐの切断線Ｃ上にも溝５を刻設し、接着剤９を注入してもよい。
【実施例３】
【００２６】
図１３に示すように、レーザ結晶基板１１に溝６を刻設し、接着剤９を注入してもよい。
【実施例４】
【００２７】
図１４に示すように、細い溝７を刻設し、接着剤９を注入してもよい。
【実施例５】
【００２８】
図１５は、実施例５に係る光学素子１０を示す斜視図である。
この光学素子１０は、半導体レーザからの励起レーザ光Ｌｉにより励起されて基本波レーザ光を出すレーザ結晶１と、基本波レーザ光の高調波である波長変換レーザ光Ｌｏを出す波長変換結晶２と、波長変換結晶２をサンドイッチ状に挟むダミー材３とを具備している。
レーザ結晶１と波長変換結晶２とはオプティカルコンタクトにより接合されている。
レーザ結晶１とダミー材３とは、空隙８に注入した接着剤５により貼り付けられている。
波長変換結晶２とダミー材３とは、接着剤またはオプティカルコンタクトにより貼り付けられている。
【００２９】
図１６は、実施例５に係る光学素子１０の製造手順を示すフロー図である。
ステップＳ２１では、図１７に示すように、分極反転方向Ｄｒの光軸方向辺の長さＬが作用長Ｌであり、分極反転方向Ｄｒおよび分極方向Ｄｐに交差する幅方向の幅Ｇ、分極方向Ｄｐの厚さ方向の厚さｄの板状体である波長変換結晶基板１２を作成する。これは、実施例１における波長変換結晶大基板３２を作用長Ｌで切断することにより作成できる。長さＬは例えば２ｍｍ、幅Ｇは例えば６ｍｍ、厚さｄは例えば０.４ｍｍである。そして、ステップＳ２３へ進む。
【００３０】
一方、ステップＳ２２では、図１８の（ａ）に示すように、長さＭ、幅Ｇ、厚さＷの板状体であるダミー材基板１３−１を作成する。また、図１８の（ｂ）に示すように、長さＭ、幅Ｇ、厚さｗの板状体であるダミー材基板１３−２を作成する。
長さＭは、作用長Ｌより１０μｍ〜１００μｍだけ短くする。厚さＷは例えば１ｍｍ、厚さｗは例えば０.５ｍｍである。そして、ステップＳ２３へ進む。
【００３１】
ステップＳ２３では、図１９に示すように波長変換結晶基板１２とダミー材基板１３−１とを交互に貼り合わせ、両端にはダミー材基板１３−２を貼り合わせ、第１複合基板２１を作成する。この時、分極反転方向Ｄｒに対向する２面の一方を面一にし、他方を段にする。貼り合わせた方向の第１複合基板２１の幅Ｚは例えば７ｍｍである。貼り合わせの方法は、接着剤を用いてもよいし、オプティカルコンタクトを用いてもよい。貼り合わせ後、分極反転方向Ｄｒに対向する第１複合基板２１の２面の面一にした面に光学研磨を施し、使用する基本波に対するＨＲ膜を成膜する。そして、ステップＳ３１へ進む。
【００３２】
一方、ステップＳ２９では、レーザ結晶基板（１１）を作成する。これは、実施例１のステップＳ８，Ｓ９と同じである。そして、ステップＳ３１へ進む。
【００３３】
ステップＳ３１では、図２０に示すように第１複合基板２１の段にした面とレーザ結晶基板１１のＨＲ膜を成膜していない面とをオプティカルコンタクトにより接合し、図２１に示すように空隙８に接着剤９を注入し、第２複合基板２２を作成する。
【００３４】
ステップＳ１２では、図２２に示すように切断線Ｃで第２複合基板２２を切断し、図１５に示すごとき光学素子１０を同時に複数得る。
【００３５】
実施例５によっても、実施例１と同じ効果が得られる。
【実施例６】
【００３６】
ダミー基板３を波長変換結晶２の片面だけに貼り合わせてもよい。
【実施例７】
【００３７】
レーザ結晶１と波長変換結晶２とダミー材３とを貼り合わせた後、ＨＲ膜の成膜を行ってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明の光学素子および光学素子の製造方法は、例えばＳＨＧ波長変換技術を用いた半導体励起固体レーザ等に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】実施例１に係る光学素子を示す斜視図である。
【図２】実施例１に係る光学素子の製造手順を示すフロー図である。
【図３】波長変換結晶大基板を示す斜視図である。
【図４】ダミー材大基板を示す斜視図である。
【図５】第１複合大基板を示す斜視図である。
【図６】第１複合大基板の切断を示す斜視図である。
【図７】第１複合基板を示す斜視図である。
【図８】溝を刻設した第１複合基板を示す斜視図である。
【図９】溝を刻設した第１複合基板とレーザ結晶基板の貼合せを示す斜視図である。
【図１０】第２複合基板を示す斜視図である。
【図１１】第２複合基板の切断を示す斜視図である。
【図１２】実施例２に係る光学素子を示す斜視図である。
【図１３】実施例３に係る光学素子を示す分解斜視図である。
【図１４】実施例４に係る光学素子の製造手順を示すフロー図である。
【図１５】実施例５に係る光学素子を示す斜視図である。
【図１６】実施例５に係る光学素子の製造手順を示すフロー図である。
【図１７】波長変換結晶基板を示す斜視図である。
【図１８】ダミー材基板を示す斜視図である。
【図１９】第１複合基板を示す斜視図である。
【図２０】第１複合基板とレーザ結晶基板の貼合せを示す斜視図である。
【図２１】第２複合基板を示す斜視図である。
【図２２】第２複合基板の切断を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４０】
１                      レーザ結晶
２                      波長変換結晶
３                      ダミー材
４，５，６，７          溝
８                      空隙
９                      接着剤
１０                    光学素子
１１                    レーザ結晶基板
１２                    波長変換結晶基板
１３                    ダミー材大基板
１３−１，１３−２      ダミー材基板
２１                    第１複合基板
２１’                  第１複合大基板
２２                    第２複合基板
３２                    波長変換結晶大基板
Ｃ，Ｃ’                切断線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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