(57)【要約】      （修正有）【課題】セットテーブルの側端部に移動制御用の移動量検出手段を有する液滴吐出装置において、セットテーブルがヨーイングした場合にも、セットテーブルの移動量を精度良く検出することができる。【解決手段】セットテーブル６１と、セットテーブル６１をＸ軸方向に移動するＸ軸テーブル２と、セットテーブル６１端部で、セットテーブル６１の移動量を検出する移動制御用リニアエンコーダ７６と、セットテーブル６１中心線上で、セットテーブル６１の移動量を検出する吐出制御用リニアエンコーダ６６と、移動制御用リニアエンコーダ７６の検出結果により、Ｘ軸テーブル２の移動を制御する移動制御手段と、吐出制御用リニアエンコーダ６６の検出結果により、機能液滴吐出ヘッドの吐出を制御する吐出制御手段とを備えた。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに対しワークを移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して前記ワークに描画を行う液滴吐出装置であって、
前記ワークをセットするセットテーブルと、
前記セットテーブルを任意の１の方向である第１方向に移動させる移動手段と、
前記第１方向に直行する第２方向における前記セットテーブルの端部に沿って配設され、前記移動手段による前記セットテーブルの移動量を検出する第１移動量検出手段と、
前記第２方向における前記セットテーブルの略中心線上に配設され、前記移動手段による前記セットテーブルの移動量を検出する第２移動量検出手段と、
前記第１移動量検出手段による検出結果に基づいて、前記移動手段の移動を制御する移動制御手段と、
前記第２移動量検出手段による検出結果に基づいて、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出を制御する吐出制御手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記第２移動量検出手段による検出誤差を取得する検出誤差取得手段と、
取得した前記検出誤差に基づいて、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出パターンデータを補正する吐出パターン補正手段と、を更に備え、
前記吐出制御手段は、前記第２移動量検出手段による検出結果と、補正した前記吐出パターンデータと、に基づいて、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出を制御することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記第２移動量検出手段は、前記略中心線上に臨むエンコーダスケールと、
前記セットテーブルに設けられ、前記エンコーダスケールを読み取る読取手段と、を有することを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記読取手段は、前記セットテーブルの重心に配設されていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに対しワークを移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出してワークに描画を行う液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の液滴吐出装置として、機能液滴吐出ヘッドの吐出ヘッド群と、基板を載置するセットテーブル（ステージ）と、セットテーブルを主走査方向に移動する搬送機構と、制御装置とを備えたものが知られている（特許文献１参照）。このセットテーブルの主走査方向に対する端部には、リニアエンコーダが配設されており、制御装置は、このリニアエンコーダによって読み取られたエンコーダ信号に基づいてセットテーブルの移動量を取得し、取得した移動量に基づいて搬送機構の搬送を制御すると共に、吐出ヘッド群の吐出を制御している。
【特許文献１】特開２００５−２４６１２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような液滴吐出装置では、リニアエンコーダが、セットテーブルの端部に配設されているため、セットテーブルがヨーイングした際、その影響で精度良く移動量を検出することができないという問題があった。すなわち、ヨーイングした結果、セットテーブルの両側が前後してしまうため、端部で読み取ったエンコーダ信号とセットテーブルの移動量との間で誤差が生じてしまう。検出した移動量に誤差が生じると、機能液滴吐出ヘッドによる吐出描画に悪影響を及ぼし、描画処理を精度良く行うことができないという問題がある。
【０００４】
本発明は、セットテーブルの側端部に移動制御用の移動量検出手段を有する液滴吐出装置において、セットテーブルがヨーイングした場合にも、セットテーブルの移動量を精度良く検出することができる液滴吐出装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の液滴吐出装置は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに対しワークを移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出してワークに描画を行う液滴吐出装置であって、ワークをセットするセットテーブルと、セットテーブルを任意の１の方向である第１方向に移動させる移動手段と、第１方向に直行する第２方向におけるセットテーブルの端部に沿って配設され、移動手段によるセットテーブルの移動量を検出する第１移動量検出手段と、第２方向におけるセットテーブルの略中心線上に配設され、移動手段によるセットテーブルの移動量を検出する第２移動量検出手段と、第１移動量検出手段による検出結果に基づいて、移動手段の移動を制御する移動制御手段と、第２移動量検出手段による検出結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの吐出を制御する吐出制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、セットテーブルの側端部に移動制御用の移動量検出手段（第１移動量検出手段）を有する液滴吐出装置において、セットテーブルの中央に吐出制御用の移動量検出手段（第２移動量検出手段）を設けることにより、ヨーイングした場合にも、ヨーイング誤差を最小限に留めることができる。このため、セットテーブルの移動量を精度良く検出することができ、ひいては、描画処理を精度良く行うことができる。
【０００７】
この場合、第２移動量検出手段による検出誤差を取得する検出誤差取得手段と、取得した検出誤差に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの吐出パターンデータを補正する吐出パターン補正手段と、を更に備え、吐出制御手段は、第２移動量検出手段による検出結果と、補正した吐出パターンデータと、に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの吐出を制御することが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、第２移動量検出手段の検出誤差の影響を相殺すべく、吐出パターンデータを補正することで、検出誤差の影響を容易に解消することができ、より精度良く描画処理を行うことができる。
【０００９】
この場合、第２移動量検出手段は、略中心線上に臨むエンコーダスケールと、セットテーブルに設けられ、エンコーダスケールを読み取る読取手段と、を有することを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、第２移動量検出手段として、エンコーダを用いることにより、取得した情報がデジタル情報として出力されるため、吐出制御に用いる移動量を正確に得ることができる。
【００１１】
この場合、読取手段は、セットテーブルの重心に配設されていることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、ヨーイングの回転中心となるセットテーブルの重心（例えば、セットテーブルの中心位置）に読取手段を設けることにより、ヨーイングによる読取手段の移動を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、添付の図面を参照して、本発明を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。特に、この液滴吐出装置は、セットテーブルの中央に吐出制御用リニアエンコーダを設けることで、ヨーイングの影響を受けることなく、セットテーブルの移動量を精度良く検出することができ、吐出制御を精度良く行うことができる。
【００１４】
ここで、液滴吐出装置１の詳細について説明する前に、処理対象となるワークＷについて説明する。図１に示すように、ワークＷは、画素を構成する複数のキャビティ部Ｗａと、これを区画するバンク部Ｗｂとを有している。複数のキャビティ部Ｗａは、マトリクス状に配置されており、機能液滴吐出ヘッド１３の吐出ノズル５７から、キャビティ部Ｗａに３回の吐出を行うことで、描画処理が行われる。
【００１５】
図２ないし図４に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２１上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向（第１方向）に延在してワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル（移動手段）２と、複数本の支柱１１を介してＸ軸テーブル２を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース３１上に配設され、主走査方向（Ｘ軸方向）に直交した副走査方向となるＹ軸方向（第２方向）に延在するＹ軸テーブル３と、Ｙ軸テーブル３に移動自在に吊設され、複数個（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１３が個々に搭載された１０個のキャリッジユニット４と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバ５と、チャンバ５を貫通して、機能液滴吐出ヘッド１３に機能液を供給する機能液供給ユニット６と、液滴吐出装置１の各構成要素を制御する制御部１０８（図８参照）と、を備えている。液滴吐出装置１は、Ｘ軸テーブル２およびＹ軸テーブル３の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１３を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット６から供給された３色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。
【００１６】
また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１５、吸引ユニット１６、ワイピングユニット１７、吐出性能検査ユニット１８から成るメンテナンス装置７を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１３の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１３の機能維持・機能回復を図るようになっている。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル２とＹ軸テーブル３とが交わる部分（描画エリア）にキャリッジユニット４を臨ませてワークＷの描画を行い、Ｙ軸テーブル３とメンテナンス装置７（吸引ユニット１６、ワイピングユニット１７）が交わる部分（メンテナンスエリア）にキャリッジユニット４を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド１３の機能維持・機能回復処理を行う。
【００１７】
図３および図４に示すように、Ｙ軸テーブル３は、１０個のキャリッジユニット４をそれぞれ吊設した１０個のブリッジプレート３２と、１０個のブリッジプレート３２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、一対のＹ軸支持ベース３１上に設置され、ブリッジプレート３２をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル３は、各キャリッジユニット４を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド１３を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド１３を吸引ユニット１６およびワイピングユニット１７に臨ませる。この場合、各キャリッジユニット４を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット４を一体として移動させることも可能である。
【００１８】
各キャリッジユニット４は、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色、各４個（計１２個）の機能液滴吐出ヘッド１３と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１３を６個ずつ２群に分けて支持するヘッドプレート４１と、から成るヘッドユニット４２を備えている（図５参照）。また、各キャリッジユニット４は、ヘッドユニット４２をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構４３と、θ回転機構４３を介して、ヘッドユニット４２をブリッジプレート３２に支持させる吊設部材４４と、を備えている。加えて、各キャリッジユニット４は、その上部にサブタンク４５が配設されており（実際には、ブリッジプレート３２上に配設）、このサブタンク４５から自然水頭を利用し、かつ圧力調整弁（図示省略）を介して各機能液滴吐出ヘッド１３に機能液が供給されるようになっている。なお、本実施形態においては上記の構成としたが、キャリッジユニット４の個数および各キャリッジユニット４に搭載される機能液滴吐出ヘッド１３の個数は任意である。
【００１９】
図６に示すように、機能液滴吐出ヘッド１３は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針５４を有する機能液導入部５１と、機能液導入部５１に連なる２連のヘッド基板５２と、ヘッド基板５２の下方に連なり機能液を吐出するヘッド本体５３と、を備えている。
【００２０】
機能液導入部５１は、一対の接続針５４を有しており、サブタンク４５から機能液の供給を受けるようになっている。また、ヘッド本体５３は、ピエゾ素子等で構成される２連のポンプ部５５と、複数の吐出ノズル５７が形成されたノズル面５８を有するノズルプレート５６と、を有している。ノズルプレート５６のノズル面５８に形成された多数の吐出ノズル５７は、相互に平行且つ半ノズルピッチ位置ズレして列設された２列のノズル列ＮＬを構成しており、各ノズル列ＮＬは、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル５７で構成されている。制御部１０８から出力された駆動波形がヘッド基板５２を介して各ポンプ部５５（圧電素子）に印加されることで、各吐出ノズル５７から機能液が吐出される。
【００２１】
液滴吐出装置１の描画動作は、ワークＷをＸ軸方向に移動させながら、機能液滴吐出ヘッド１３から機能液をワークＷに吐出することで行う。厳密には、まず、ワークＷをＸ軸テーブル２により、Ｘ軸方向で移動させながら（図３中奥側へ）、第１描画動作（往動パス）を行う。その後、ヘッドユニット４２を２ヘッド分Ｙ軸方向に移動（副走査）させて、改めて、ワークＷをＸ軸方向で移動させながら（図３中手前側へ）、第２描画動作（復動パス）を行う。そして、再度ヘッドユニット４２を２ヘッド分副走査し、もう一度、ワークＷをＸ軸方向で移動させながら（図３中奥側へ）、第３描画動作（往動パス）を行う。このように、副走査により、ワークＷ上の位置に対し、対応する機能液滴吐出ヘッド１３を変更しつつ、ワークＷの移動および描画動作を３度繰り返すことにより、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の描画処理を効率良く行っている。詳細は後述するが、描画処理の際は、吐出制御用リニアエンコーダ６６（図７参照）のエンコーダ信号と、吐出パターンデータとに基づいて、各吐出ノズル５７を個々に吐出制御する。
【００２２】
図３、図４および図７に示すように、Ｘ軸テーブル２は、ワークＷをセットするセットテーブル６１と、セットテーブル６１をＸ軸方向にスライド自在に支持する左右一対のＸ軸第１スライダ６２と、上記のフラッシングユニット１５および吐出性能検査ユニット１８をＸ軸方向にスライド自在に支持する左右一対のＸ軸第２スライダ６３と、Ｘ軸方向に延在し、一対のＸ軸第１スライダ６２を介してセットテーブル６１（ワークＷ）をＸ軸方向に移動させると共に、一対のＸ軸第２スライダ６３を介してフラッシングユニット１５および吐出性能検査ユニット１８をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ６４と、一対のＸ軸リニアモータ６４に並設され、Ｘ軸第１スライダ６２およびＸ軸第２スライダ６３の移動を案内する一対（２本）のＸ軸共通支持ベース６５と、一対のＸ軸第１スライダ６２および一対のＸ軸共通支持ベース６５上に配設され、セットテーブル６１の移動位置（移動量）を検出する一対の移動制御用リニアエンコーダ（第１移動量検出手段）７６と、一対の共通支持ベース２４の中間位置に配設され、セットテーブル６１の移動位置（移動量）を検出する吐出制御用リニアエンコーダ（第２移動量検出手段）６６と、を備えている。
【００２３】
セットテーブル６１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブルで構成されており、吸着セットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正するθ回転機構（図示省略）を有している。また、セットテーブル６１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、一対の描画前フラッシングユニット７３が添設されている。
【００２４】
一対の移動制御用リニアエンコーダ７６は、一対のＸ軸リニアモータ６４にそれぞれ対応している。すなわち、図７中右側のＸ軸リニアモータ６４には、右側の移動制御用リニアエンコーダ７６が対応しており、図７中左側のＸ軸リニアモータ６４には、左側の移動制御用リニアエンコーダ７６が対応している。各移動制御用リニアエンコーダ７６は、Ｙ軸方向におけるセットテーブル６１の端部に沿って配設されており、構成要素として、Ｘ軸共通支持ベース６５側（固定側）に設けられ、Ｘ軸方向に延在するリニアスケール７７と、Ｘ軸第１スライダ６２側（移動側）に設けられ、リニアスケール７７を読み取るリニアセンサ７８と、を備えている。後述する制御部１０８（図８参照）は、対応する移動制御用リニアエンコーダ７６（リニアセンサ７８）の検出結果であるエンコーダ信号をフィードバックすることで、Ｘ軸リニアモータ６４の移動を制御する。
【００２５】
吐出制御用リニアエンコーダ６６は、Ｙ軸方向に対し、セットテーブル６１の中心線上に配設されており、Ｘ軸方向に延在すると共にＸ軸支持ベース２１側（固定側）に設けられたエンコーダスケール８１と、セットテーブル６１側（移動側）に設けられ、エンコーダスケール８１を読み取るリニアセンサ（読取手段）８２と、を備えている。エンコーダスケール８１は、セットテーブル６１の中心線上に配設され、リニアセンサ８２は、セットテーブル６１裏面の中心位置（セットテーブル６１の重心）に配設されている。
【００２６】
次に、図８を参照して、液滴吐出装置１の主制御系について説明する。同図に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット４２（機能液滴吐出ヘッド１３）を有する液滴吐出部１０１と、Ｘ軸テーブル２を有し、ワークＷをＸ軸方向へ移動させるためのワーク移動部１０２と、Ｙ軸テーブル３を有し、ヘッドユニット４２をＹ軸方向へ移動させるヘッド移動部１０３と、メンテナンス装置７の各ユニットを有するメンテナンス部１０４と、機能液供給ユニット６を有し、機能液滴吐出ヘッド１３に機能液を供給する機能液供給部１０５と、吐出制御用リニアエンコーダ６６および移動制御用リニアエンコーダ７６を含む各種センサを有し、各種検出を行う検出部１０６と、各部を駆動制御する各種ドライバを有する駆動部１０７と、各部に接続され、液滴吐出装置１全体の制御を行う制御部１０８と、を備えている。
【００２７】
制御部１０８は、各手段を接続するためのインターフェース１１１と、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ１１２と、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ１１３と、吐出パターンデータや、検出部１０６からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク１１４と、ＲＯＭ１１３やハードディスク１１４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ１１５と、これらを互いに接続するバス１１６と、を備えている。
【００２８】
そして、制御部１０８は、各手段からの各種データを、インターフェース１１１を介して入力すると共に、ＲＯＭ１１３やハードディスク１１４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ１１５に演算処理させ、その処理結果を、駆動部１０７（各種ドライバ）を介して各手段に出力する。
【００２９】
ここで、液滴吐出装置１におけるワークＷ（セットテーブル６１）の移動制御について説明する。制御部１０８は、Ｘ軸テーブル２の一対のＸ軸リニアモータ６４を個々に制御することで、ワークＷの移動制御を行う（移動制御手段）。各Ｘ軸リニアモータ６４において、対応する移動制御用リニアエンコーダ７６から得られたエンコーダ信号（パルス列）をフィードバックし、指令信号（パルス列）とエンコーダ信号とが一致するようにＸ軸リニアモータ６４を駆動制御する。これにより、指令信号に基づく移動速度でワークＷを移動している。
【００３０】
なお、セットテーブル６１の移動速度の誤差や、蛇行を抑えるために、各Ｘ軸リニアモータ６４の指令信号を、リニアスケール７７のピッチ誤差や蛇行、セットテーブル６１のヨーイングの影響等、Ｘ軸テーブル２による誤差特性を加味して補正する。例えば、描画処理と同等の動作でセットテーブル６１の移動試験を行い、この移動試験で得られた検出誤差（エンコーダ信号と移動量との誤差）に基づいて指令信号を補正する。このように、指令信号を補正することにより、セットテーブル６１の移動速度の誤差や蛇行を、容易に補正することができ、セットテーブル６１（ワークＷ）を精度良く移動することができる。
【００３１】
次に、液滴吐出装置１における機能液滴吐出ヘッド１３の吐出制御について説明する。制御部１０８は、吐出パターンデータと、吐出制御用リニアエンコーダ６６のエンコーダ信号とに基づいて、各吐出ノズル５７の吐出タイミングを制御する（吐出制御手段）。側端部に配設した移動制御用リニアエンコーダ７６のエンコーダ信号では、ヨーイング誤差の影響で移動量を精度良く検出できないため、ここでは、中央に配設した吐出制御用リニアエンコーダ６６を用いて吐出制御を行う。一方、吐出パターンデータは、ノズル列ＮＬの吐出ノズル５７に対応したＸ軸と、Ｘ軸テーブル２によるセットテーブル６１の移動量に対応したＹ軸とで、各座標に各画素が配列されたビットマップデータである。
【００３２】
なお、吐出パターンデータは、吐出制御用リニアエンコーダ６６の検出誤差によって補正したものを用いる。すなわち、制御部１０８は、セットテーブル６１の移動試験により、吐出制御用リニアエンコーダ６６の検出誤差（エンコーダ信号と移動量との検出誤差）を取得すると共に（検出誤差取得手段）、取得した検出誤差に基づいて、吐出パターンデータを補正する（吐出パターン補正手段）。具体的には、主走査方向からセットテーブル６１にレーザを照射するレーザ距離計（図示省略）を設け、移動試験の際、エンコーダ信号のカウント値における移動量と、レーザ距離計によって検出した主走査方向における移動量とを比較し、その差分だけ、吐出パターンデータをＹ軸方向に伸縮する補正をする。例えば、エンコーダ信号のカウント値における移動量が３０００００００μｍであり、レーザ距離計によって検出した移動量が３００００１００μｍであった場合、その差分である１００μｍ分だけ、吐出パターンデータをＹ軸方向に縮小（各画素の間隔を狭くする）する補正をする。
【００３３】
制御部１０８は、Ｘ軸テーブル２によってセットテーブル６１の移動を開始すると、吐出制御用リニアエンコーダ６６からエンコーダ信号を受け、そのエンコーダ信号に基づいて移動量を取得する。セットテーブル６１の移動量を取得したら、補正した吐出パターンデータに基づいて、該当する吐出ノズル５７から液滴を吐出する。すなわち、その移動量に対応する吐出パターンデータ上のＹ軸座標の行において、画素が配置された座標の吐出ノズル５７から液滴を吐出する。
【００３４】
以上のような構成によれば、セットテーブル６１の側端部に移動制御用の移動量検出手段（移動制御用リニアエンコーダ７６）を有する液滴吐出装置１において、セットテーブル６１の中央に吐出制御用の移動量検出手段（吐出制御用リニアエンコーダ６６）を設けることにより、ヨーイングした場合にも、ヨーイング誤差を最小限に留めることができる。このため、セットテーブル６１の移動量を精度良く検出することができ、ひいては、描画処理を精度良く行うことができる。
【００３５】
また、吐出制御用リニアエンコーダ６６の検出誤差の影響を相殺すべく、吐出パターンデータを補正することで、検出誤差の影響を容易に解消することができ、移動量をさらに精度良く検出することができる。
【００３６】
さらに、吐出制御用の移動量検出手段として、エンコーダを用いることにより、取得した情報がデジタル情報として出力されるため、アナログ情報からデジタル情報に変換する機器を必要とせず、吐出制御に用いる移動量を正確に得ることができる。
【００３７】
またさらに、ヨーイングの回転中心となるセットテーブル６１の重心（本実施形態では、セットテーブルの中心位置）にリニアセンサ８２を設けることにより、ヨーイングによるリニアセンサ８２の移動を防止することができる。
【００３８】
なお、本実施形態の液滴吐出装置１を、インクジェットプリンタに適用しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】処理対象となるワークの斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。
【図３】液滴吐出装置の平面図である。
【図４】液滴吐出装置の側面図である。
【図５】ヘッドユニットの平面模式図である。
【図６】機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。
【図７】Ｘ軸テーブルの平面図（ａ）および正面図（ｂ）である。
【図８】液滴吐出装置の制御ブロック図である。
【符号の説明】
【００４０】
１：液滴吐出装置、  ２：Ｘ軸テーブル、  １３：機能液滴吐出ヘッド、  ６１：セットテーブル、  ６６：吐出制御用リニアエンコーダ、  ７６：移動制御用リニアエンコーダ、  ８１：エンコーダスケール、  ８２：リニアセンサ、  １０８：制御部、  Ｗ：ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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