(57)【要約】      （修正有）【課題】焼結型磁性シートおよび複合材料型磁性シートの諸条件を的確に設定・開発することにより、焼結型磁性シート単体や複合材料型磁性シート単体では得られない広帯域のノイズ抑制効果を発揮することができる多層型磁性シートを提供する。【解決手段】多層型磁性シート１には、フェライトシートなどの焼結型磁性シート２と、金属ガラスやセンダストなどの軟磁性金属粉末を混入した複合材料型磁性シート３とが積層される。複合材料型磁性シート３の厚さまたは透磁率の虚数部は、焼結型磁性シート２の厚さまたは透磁率の虚数部に応じて各々設定されている。これにより、多層型磁性シート１は、少なくとも１ＧＨｚから２ＧＨｚまでの周波数帯域を含む広帯域において良好な減衰特性を発揮する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化物系軟磁性体をシート状に焼結することにより形成されており、２ＧＨｚ以下の周波数帯域において２ＧＨｚを越える周波数帯域よりも良好な減衰特性を有する焼結型磁性シートと、
軟磁性金属粉末を混入した結着材をシート状に加工してから硬化させることにより形成されており、１ＧＨｚ以上の周波数帯域において１ＧＨｚ未満の周波数帯域よりも良好な減衰特性を有する複合材料型磁性シートと
を備えており、
前記焼結型磁性シートの厚さまたは透磁率の虚数部に応じて前記複合材料型磁性シートの厚さまたは透磁率の虚数部をそれぞれ設定し、前記複合材料型磁性シートに前記焼結型磁性シートを貼り合わせることにより、少なくとも１ＧＨｚから２ＧＨｚまでの周波数帯域を含む広帯域において前記焼結型磁性シートの良好な減衰特性および前記複合材料型磁性シートの良好な減衰特性を組み合わせた減衰特性を有する
ことを特徴とする多層型磁性シート。
【請求項２】
前記焼結型磁性シートは、ソフトフェライトであり、
前記軟磁性金属粉末は、センダストや扁平粉末加工された金属ガラスである
ことを特徴とする請求項１に記載の多層型磁性シート。
【請求項３】
前記扁平粉末加工された金属ガラスのアスペクト比（長径／厚さ）は、１．５以上である
ことを特徴とする請求項２に記載の多層型磁性シート。
【請求項４】
前記焼結型磁性シートおよび前記複合材料型磁性シートの厚みは、各々０．１ｍｍ近傍である
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の多層型磁性シート。
【請求項５】
前記焼結型磁性シートにおける透磁率の虚数部は、１００ＭＨｚの周波数において７５近傍であり、
前記複合材料型磁性シートにおける透磁率の虚数部は、１００ＭＨｚの周波数において５〜３０近傍である
ことを特徴とする請求項４に記載の多層型磁性シート。
【請求項６】
前記焼結型磁性シートについては、平面視において複数に分割されているとともに、前記複合材料型磁性シートとの貼付面の反対面が保護シートによって覆われている
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の多層型磁性シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多層型磁性シートに係り、特に、少なくとも１ＧＨｚから２ＧＨｚまでの周波数帯域を含む広帯域においてノイズを抑制する際に好適に利用できる多層型磁性シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、高周波電子機器などにおいて発生する輻射性電磁波ノイズを抑制するために、フェライトなどに代表される焼結型磁性シート、センダストや金属ガラスなどの軟磁性合金と樹脂との複合材料に代表される複合材料型磁性シートなどの磁性シートが用いられている。
【０００３】
従来の磁性シートにおいては、主成分たるフェライトやセンダストなどの磁気特性に応じて特定の周波数帯域におけるノイズ抑制効果が決定される。したがって、特定周波数帯域よりも広帯域においてノイズ抑制効果を発揮されるためには、複数の焼結型磁性シートや複合材料型磁性シートなどの同種の磁性シートを多層化することにより、特定周波数帯域よりも広帯域においてノイズ抑制効果を発揮させていた（特許文献１を参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−９８３９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、焼結型磁性シートおよび複合材料型磁性シートによる異種の磁性シートの多層化については、単にそれらを多層化すると互いのノイズ抑制効果に悪影響を及ぼし、特定周波数帯域よりも広帯域においてノイズ抑制効果を発揮させることが困難になるという技術常識があり、それが広帯域でのノイズ抑制効果の向上にとって問題となっていた。２ＧＨｚ以下の低周波数帯域のノイズ抑制機能を有する焼結型磁性シートと、１ＧＨｚ以下の高周波数帯域のノイズ抑制機能を有する複合材料型磁性シートとを多層化することができないとなると、いずれかのシートのみを用いた場合には少なくとも１ＧＨｚから２ＧＨｚまでの周波数帯域を含む広帯域においてノイズを抑制することが困難になる。
【０００６】
そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、焼結型磁性シートおよび複合材料型磁性シートの諸条件を的確に設定・開発することにより、焼結型磁性シート単体や複合材料型磁性シート単体では得られない広帯域のノイズ抑制効果を発揮することができる多層型磁性シートを提供することを本発明の目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前述した目的を達成するため、本発明の多層型磁性シートは、その第１の態様として、酸化物系軟磁性体をシート状に焼結することにより形成されており、２ＧＨｚ以下の周波数帯域において２ＧＨｚを越える周波数帯域よりも良好な減衰特性を有する焼結型磁性シートと、軟磁性金属粉末を混入した結着材をシート状に加工してから硬化させることにより形成されており、１ＧＨｚ以上の周波数帯域において１ＧＨｚ未満の周波数帯域よりも良好な減衰特性を有する複合材料型磁性シートとを備えており、焼結型磁性シートの厚さまたは透磁率の虚数部に応じて複合材料型磁性シートの厚さまたは透磁率の虚数部をそれぞれ設定し、複合材料型磁性シートに焼結型磁性シートを貼り合わせることにより、少なくとも１ＧＨｚから２ＧＨｚまでの周波数帯域を含む広帯域において焼結型磁性シートの良好な減衰特性および複合材料型磁性シートの良好な減衰特性を組み合わせた減衰特性を有することを特徴としている。
【０００８】
本発明の第１の態様の多層型磁性シートによれば、複合材料型磁性シートの減衰帯域や焼結型磁性シートの減衰帯域よりも広帯域の減衰特性を有することができる。
【０００９】
本発明の第２の態様の多層型磁性シートは、第１の態様の多層型磁性シートにおいて、焼結型磁性シートは、ソフトフェライトであり、軟磁性金属粉末は、センダストや扁平粉末加工された金属ガラスであることを特徴としている。
【００１０】
本発明の第２の態様の多層型磁性シートによれば、いずれも透磁率が高いので、複合材料型磁性シートおよび焼結型磁性シートについて各々良好なノイズ抑制効果を発揮することができる。
【００１１】
本発明の第３の態様の多層型磁性シートは、第２の態様の多層型磁性シートにおいて、扁平粉末加工された金属ガラスのアスペクト比（長径／厚さ）は、１．５以上であることを特徴としている。
【００１２】
本発明の第３の態様の多層型磁性シートによれば、複合材料型磁性シートの透磁率の虚数部を１０以上に設定することが容易になる。
【００１３】
本発明の第４の態様の多層型磁性シートは、第１から第３のいずれか１の態様の多層型磁性シートにおいて、焼結型磁性シートおよび複合材料型磁性シートの厚みは、各々０．１ｍｍ近傍であることを特徴としている。
【００１４】
本発明の第４の態様の多層型磁性シートによれば、少なくとも１ＧＨｚから２ＧＨｚまでの周波数帯域を含む広帯域において良好な減衰特性を発揮させることができる。
【００１５】
本発明の第５の態様の多層型磁性シートは、第４の態様の多層型磁性シートにおいて、焼結型磁性シートにおける透磁率の虚数部は、１００ＭＨｚの周波数において７５近傍であり、複合材料型磁性シートにおける透磁率の虚数部は、１００ＭＨｚの周波数において５〜３０近傍であることを特徴としている。
【００１６】
本発明の第５の態様の多層型磁性シートによれば、複合材料型磁性シートの透磁率の虚数部を所定の範囲に設定することにより、良好な多層効果を得ることができる。
【００１７】
本発明の第６の態様の多層型磁性シートは、第１から第５のいずれか１の態様の多層型磁性シートにおいて、焼結型磁性シートについては、平面視において複数に分割されているとともに、複合材料型磁性シートとの貼付面の反対面が保護シートによって覆われていることを特徴としている。
【００１８】
本発明の第６の態様の多層型磁性シートによれば、分割されていない焼結型磁性シートでは不可能な可撓性を付与することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の多層型磁性シートによれば、多層化による減衰特性の悪化が見られず、かつ、各層の減衰特性が広帯域において発揮されるので、複合材料型磁性シート単体や焼結型磁性シート単体では得られない広帯域のノイズ抑制効果を発揮することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を用いて、本発明の多層型磁性シートをその一実施形態により説明する。
【００２１】
図１は、本実施形態の多層型磁性シート１を示している。本実施形態の多層型磁性シート１は、図１に示すように、各１枚の焼結型磁性シート２および複合材料型磁性シート３を積層させて得た２層型の磁性シートである。また、焼結型磁性シート２および複合材料型磁性シート３の間には、複合材料型磁性シート３に焼結型磁性シート２を貼付するための粘着層４が介在している。
【００２２】
焼結型磁性シート２としては、粉末状の酸化物系軟磁性体（図示せず）を焼結してなる矩形状のノイズ抑制シートが選択されている。この焼結型磁性シート２は、２ＧＨｚ以下の周波数帯域においてそれ以外の周波数帯域、具体的には２ＧＨｚを越える周波数帯域よりも良好な減衰特性（ノイズ抑制特性）を示すものである。
【００２３】
焼結型磁性シート２の酸化物系軟磁性体としては、軟磁性を示すフェライト、具体的には、ニッケル亜鉛フェライト、マンガン亜鉛フェライト、銅亜鉛フェライトなどのソフトフェライトの焼結体を選択することが好ましい。
【００２４】
焼結型磁性シート２の厚みとしては、複合材料型磁性シート３の厚さとともに相対的に変更することによって種々の厚さのものを使用することができるが、本実施形態においては、焼結型磁性シート２の厚みが０．１ｍｍであることが好ましい。ただし、この厚みは、０．０９ｍｍや０．１１ｍｍなどの０．１ｍｍ近傍であってもよい。
【００２５】
焼結型磁性シート２における透磁率の虚数部（μ”）の値としては、複合材料型磁性シート３における透磁率の虚数部（μ”）とともに相対的に変更することができるが、本実施形態においては、この透磁率の虚数部の値が１００ＭＨｚの周波数において７５であることが好ましい。ただし、この透磁率の虚数部の値は７４や７６などの７５近傍であってもよい。
【００２６】
上記の条件をふまえた上、本実施形態に用いた焼結型磁性シート２の具体的な商品としては、株式会社ＭＡＲＵＷＡ製焼結フェライトシート、製品番号「ＦＳＦ２００」が選択されている。
【００２７】
複合材料型磁性シート３としては、軟磁性金属粉末（図示せず）を混入した結着材（図示せず）をシート状に加工してから熱加圧して硬化させることにより形成されてなる矩形状のノイズ抑制シートが選択されている。この複合材料型磁性シート３は、１ＧＨｚ以上の周波数帯域においてそれ以外の周波数帯域、具体的には１ＧＨｚ未満の周波数帯域よりも良好な減衰特性（ノイズ抑制特性）を示すものである。
【００２８】
軟磁性金属粉末としては、センダスト（組成例：Fe-9.5％Si-5.5％Al）や扁平粉末加工された金属ガラスなどの粉末化された軟磁性金属を用いることができる。本実施形態においては、軟磁性金属粉末として、扁平粉末加工された金属ガラスを用いている。
【００２９】
また、結着材としては、シリコーン樹脂等の耐熱性樹脂やポリ塩化ビニル等の熱可塑性樹脂を用いている。
【００３０】
複合材料型磁性シート３の厚さは、焼結型磁性シート２の厚さに応じて設定されている。設定の基準については、少なくとも１ＧＨｚから２ＧＨｚまでの周波数帯域を含む広帯域において焼結型磁性シート２の良好な減衰特性および複合材料型磁性シート３の良好な減衰特性を組み合わせた減衰特性が得られるか否かを基準とする。例えば、焼結型磁性シート２の厚みが０．１ｍｍに設定されている場合、複合材料型磁性シート３の厚みは０．１ｍｍに設定されていることが好ましい。ただし、この厚みは、０．０９ｍｍや０．１１ｍｍなどの０．１ｍｍ近傍であってもよい。
【００３１】
また、複合材料型磁性シート３における透磁率の虚数部も、上記と同様に、焼結型磁性シート２における透磁率の虚数部に応じて設定されている。設定の基準は上記と同様である。例えば、焼結型磁性シート２における透磁率の虚数部の値が１００ＭＨｚの周波数において７５に設定されている場合、複合材料型磁性シート３における透磁率の虚数部の値は１００ＭＨｚの周波数において５〜３０近傍、特に、１５〜２５に設定されていることが好ましい。
【００３２】
また、扁平粉末加工された金属ガラスのアスペクト比（長径／厚さ）としては、１．５以上であることが好ましい。
【００３３】
上記の条件をふまえた上、本実施形態に用いた複合材料型磁性シート３の具体的な商品としては、アルプス電気株式会社製ノイズ抑制用磁性シート「リカロイ（登録商標）」の製品番号ＨＭＳＵＷ（１５Ｎ）またはＨＭＳＸＷ（２５Ｎ）のものであってその厚さが０．１ｍｍのものが選択されている。これらの透磁率の虚数部の値は１００ＭＨｚの周波数において１５または２５である。
【００３４】
粘着層４としては、日東電工株式会社製一般用両面接着テープＮｏ．５００が選択されている。この粘着層４は、複合材料型磁性シート３の表面に貼付することにより、複合材料型磁性シート３の表面に固着されており、その粘着層４に焼結型磁性シート２を押圧することにより、焼結型磁性シート２が複合材料型磁性シート３に貼付されている。
【００３５】
図２は、本実施形態の多層型磁性シート１において焼結型磁性シート２が複数に分割されて個片２ａにされた状態を示している。本実施形態の多層型磁性シート１に可撓性を要求する場合、図２に示すように、焼結型磁性シート２としては、平面視において格子状に複数分割されているものが好ましい。焼結型磁性シート２を分割する場合、焼結および分割前の焼結型磁性シート２に格子状の溝を予め形成してから焼結し、溝付の焼結型磁性シート２を粘着層に貼付したあと、いわゆるチョコレートブレーク法（手割り法）により溝付の焼結型磁性シート２を複数に分割する。
【００３６】
また、焼結型磁性シート２を分割する場合、焼結型磁性シート２の分割前から複合材料型磁性シート３との貼付面（粘着層４側）の反対面が保護シート５によって覆われていることが好ましい。この保護シートは粘着層４と平面視同等の大きさを有する矩形状に形成されている。保護シート５としては、東レ株式会社製二軸延伸ポリエステルフィルム（商品名：ルミラー（登録商標））が選択されている。この保護シート５としては、厚さ０．０３ｍｍのものが用いられている。
【００３７】
次に、本実施形態の多層型磁性シート１の作用を説明する。
【００３８】
本実施形態の多層型磁性シート１においては、図１に示すように、複合材料型磁性シート３および焼結型磁性シート２が積層化されている。ここで、複合材料型磁性シート３の厚さまたは透磁率の虚数部は、焼結型磁性シート２の厚さまたは透磁率の虚数部に応じてそれぞれ設定されている。また、それらの設定の基準については、少なくとも１ＧＨｚから２ＧＨｚまでの周波数帯域を含む広帯域において、焼結型磁性シート２の良好な減衰特性および複合材料型磁性シート３の良好な減衰特性を組み合わせた減衰特性を有することを基準としている。
【００３９】
多層型磁性シート１の減衰帯域における設定条件については、複合材料型磁性シート３または焼結型磁性シート２の厚さ、それらの透磁率の実数部や虚数部、酸化物系軟磁性体または軟磁性金属粉末合金の粒径やアスペクト比、軟磁性金属粉末合金と結着材との混合比など種々の設定条件がある。それら種々の設定条件から、焼結型磁性シート２および複合材料型磁性シート３の厚さおよび透磁率の虚数部の２つの設定条件のみを調整してそれらを積層化することにより、多層型磁性シート１が複合材料型磁性シート３の減衰帯域や焼結型磁性シート２の減衰帯域よりも広帯域の減衰特性を発揮することができる。これは、焼結型磁性シート２または複合材料型磁性シート３の磁気特性がいずれも厚みと透磁率の虚数部との積に応じた特性を示すことに起因しているのではないかと考えられる。
【００４０】
また、本実施形態においては、焼結型磁性シート２としてソフトフェライトが用いられており、軟磁性金属粉末としてセンダストや扁平粉末加工された金属ガラスが用いられている。ソフトフェライト、センダストおよび金属ガラスについては、いずれも透磁率が高く、かつ、保持力が弱い。そのため、焼結型磁性シート２または軟磁性金属粉末にそれらの材質を用いた場合、焼結型磁性シート２のノイズ抑制効果および複合材料型磁性シート３のノイズ抑制効果をそれぞれ向上させることができる。その結果、それらを積層化した多層型磁性シート１のノイズ抑制効果を向上させることができる。
【００４１】
このような焼結型磁性シート２および複合材料型磁性シート３の厚みについては、各々０．１ｍｍ近傍に設定されていることが好ましい。この厚みに設定しておけば、少なくとも１ＧＨｚから２ＧＨｚまでの周波数帯域を含む広帯域において良好な減衰特性、すなわち良好な多層効果を発揮させることができる。
【００４２】
また、焼結型磁性シート２における透磁率の虚数部が１００ＭＨｚの周波数において７５近傍に設定されており、複合材料型磁性シート３における透磁率の虚数部が１００ＭＨｚの周波数において５〜３０近傍、特に、１５〜２５に設定されていることが好ましい。これらの透磁率の虚数部を所定の値または範囲に設定することにより、良好な多層効果を得ることができる。
【００４３】
なお、軟磁性金属粉末として扁平粉末加工された金属ガラスを用いる場合、扁平粉末加工された金属ガラスのアスペクト比（長径／厚さ）が１．５以上のものを用いれば、複合材料型磁性シート３の透磁率の虚数部を１０以上に設定することが容易になる。
【００４４】
また、図２に示すように、焼結型磁性シート２を複数に分割しておけば、多層型磁性シート１に対して分割されていない焼結型磁性シート２では不可能な可撓性を付与することができる。その際、分割した焼結型磁性シート２を保護シート５により覆うことにより、分割した焼結型磁性シート２の個片２ａが飛散して焼結型磁性シート２のノイズ抑制効果が減少することもない。さらに、分割した焼結型磁性シート２の個片２ａが飛散した場合であっても、焼結型磁性シート２を貼付した複合材料型磁性シート３を通してノイズの磁束が回り込むので、多層型磁性シート１の利用対象となる配線板の導電パターンに供給されるノイズの磁束が少なくなり、渦電流の発生を抑えることができる。
【００４５】
すなわち、本実施形態の多層型磁性シート１によれば、多層化による減衰特性の悪化が見られず、かつ、各層の減衰特性が広帯域において発揮されるので、複合材料型磁性シート３単体や焼結型磁性シート２単体では得られない広帯域のノイズ抑制効果を発揮することができるという効果を奏する。
【００４６】
なお、本発明は、前述した実施形態などに限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
【実施例】
【００４７】
以下、図面を用いて、本発明の多層型磁性シート１の一実施例を説明する。
【００４８】
本実施例の多層型磁性シート１は、図１に示した本実施形態の多層型磁性シート１と同様、各１枚の焼結型磁性シート２および複合材料型磁性シート３を積層させることにより形成されている。
【００４９】
焼結型磁性シート２については、ニッケル亜鉛フェライトの粉末をシート状に焼結したものを用意した。上記の通り、本実施例に用いた焼結型磁性シート２の具体的な商品としては、株式会社ＭＡＲＵＷＡ製焼結フェライトシート、製品番号「ＦＳＦ２００」を選択した。焼結型磁性シート２の厚さは０．１ｍｍ近傍、正確には０．１３ｍｍに設定し、縦寸法および横寸法はそれぞれ４０ｍｍおよび１５ｍｍに設定した。
【００５０】
焼結型磁性シート２の透磁率は、図３および図４に示す通りである。図３は焼結型磁性シート２の透磁率の実数部を示しており、図４は焼結型磁性シート２の透磁率の虚数部を示している。図４に示すように、焼結型磁性シート２における透磁率の虚数部は、１００ＭＨｚの周波数において７５近傍を示した。
【００５１】
一方、複合材料型磁性シート３については、上記の「リカロイ（登録商標）」であってその製品番号がＨＭＬＸＷ（５Ｎ）、ＨＭＳＵＷ（１５Ｎ）、ＨＭＳＸＷ（２５Ｎ）、ＨＭＳＺＷ（３０Ｎ）、のものを用意した。以下、上記４種の製品番号を各々５Ｎ、１５Ｎ、２５Ｎ、３０Ｎと称する。
【００５２】
本実施例の複合材料型磁性シート３の作成法の一実施例を以下に示す。本実施例の複合材料型磁性シート３は、軟磁性金属扁平粉末および結着材を含有したスラリーを、ドクターブレード法、軟磁性金属扁平粉末を結着材に噴射するコーテイング法、または上記スラリーを焼結型磁性シート２の表面にポッティングして薄膜状に拡散させるポッティング法などによりシート加工し、磁場を印加した後に熱加圧によりシート硬化することにより得られる。
【００５３】
軟磁性金属としては、非晶質相を主相とするアモルファス金属やガラス転移を示す金属ガラス合金、特にＦｅ基金属ガラス合金を用いることが好ましい。Ｆｅ基金属ガラス合金の組成としては、一例として、Ｆｅ１００−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔＭｘＰｙＣｚＢｗＳｉｔ（Ｍ：Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕより選ばれる１種または２種以上の元素）を用いることができる。この組成比を示すｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｔは、０．５原子％≦ｘ≦８原子％、２原子％≦ｙ≦１５原子％、０原子％＜ｚ≦８原子％、１原子％≦ｗ≦１２原子％、０原子％≦ｔ≦８原子％、７０原子％≦（１００−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ）≦７９原子％である。また、他の一例としては、従来から用いられているＦｅ−Ａｌ−Ｇａ−Ｃ−Ｐ−Ｓｉ−Ｂ系合金やその他のＦｅ基以外の組成の金属ガラス合金をも用いることができる。
【００５４】
軟磁性金属に金属ガラス合金を用いる場合、はじめに、所望する組成の金属ガラス合金溶湯を液体急冷法により急冷して得られた合金薄帯を粉砕するか、あるいは、水アトマイズ法もしくはガスアトマイズ法により得られた球状粒子をアトライタ等により機械的に粉砕することにより、金属ガラス合金の扁平粉末を得る。得られた金属ガラス合金については内部応力の緩和を目的として必要に応じて熱処理することが好ましい。熱処理温度Ｔａはキュリー温度Ｔｃ以上ガラス遷移温度Ｔｇ以下の範囲であることが好ましい。
【００５５】
軟磁性金属扁平粉末のアスペクト比（長径／厚さ）は、１．５以上が好ましく、１２以上がより好ましい。軟磁性金属扁平粉末のアスペクト比が１．５以上の場合、複合材料型磁性シート３の透磁率の虚数部は１０以上となる。また、そのアスペクト比が１２以上の場合、複合材料型磁性シート３の透磁率の虚数部は１５以上となる。なお、軟磁性金属扁平粉末のアスペクト比が高いほど複合材料型磁性シート３の圧縮形成時に軟磁性金属扁平粉末が配向してＧＨｚ帯域の透磁率の虚数部が高くなるために電波吸収特性が向上するが、現在の製造技術のレベルからアスペクト比の上限は２５０程度である。
【００５６】
また、Ｆｅ基金属ガラス合金としては、ΔＴｘ＝Ｔｘ−Ｔｇ＞２５Ｋ（ΔＴｘ：過冷却液体の温度間隔、Ｔｘ：結晶化開始温度、Ｔｇ：ガラス遷移温度）の式を満たすものが好ましい。前述の式を満たすＦｅ基金属ガラス合金は、軟磁気特性に優れており、複合材料型磁性シート３の透磁率の虚数部が１０以上、場合によっては１５以上となり、ＧＨｚ帯域での電磁波抑制効果が向上し、高周波ノイズを効果的に抑制する。
【００５７】
結着材としては、シリコーン樹脂等の耐熱性樹脂やポリ塩化ビニル等の熱可塑性樹脂を用いることが好ましい。ここで、複合材料型磁性シート３には、軟磁性金属扁平粉末や結着材の他に、キシレン、トルエン、イソプロピルアルコールなどの分散媒やステアリン酸塩からなる潤滑剤が添加されていてもよい。
【００５８】
複合材料型磁性シート３における軟磁性金属扁平粉末の含有率としては、軟磁性金属扁平粉末に金属ガラス合金を用いる場合、４１体積％以上８３体積％以下の範囲であることが好ましい。軟磁性金属扁平粉末の含有率が４１体積％以上あれば、複合材料型磁性シート３の透磁率の虚数部が１０付近またはそれ以上になることが期待できるので、ノイズ抑制効果が有効に発揮される。また、その含有率が８３体積％以下であれば、隣位する軟磁性金属扁平粉末同士が接触することが通常ないので、複合材料型磁性シート３のインピーダンス低下を有効に防止することができる。
【００５９】
複合材料型磁性シート３の厚さについては、上記４種のシートに対し、それぞれ０．０５ｍｍ、０．１ｍｍ、０．２ｍｍの３種類を用意した。なお、これらの縦寸法および横縦寸法については、それぞれ４０ｍｍおよび１５ｍｍに設定した。
【００６０】
上記の各条件をふまえた上で作成された複合材料型磁性シート３の透磁率は、図５および図６に示す通りである。図５は複合材料型磁性シート３の透磁率の実数部を示しており、図６は複合材料型磁性シート３の透磁率の虚数部を示している。図６に示すように、上記４種のシート、すなわち５Ｎ、１５Ｎ、２５Ｎ、３０Ｎにおける透磁率の虚数部は、１００ＭＨｚの周波数において５近傍、１５近傍、２５近傍、３０近傍を示した。なお、上記結果からもわかるように、上記４種のシートについては、製品番号の略称の数字が各透磁率の虚数部の値を示している。
【００６１】
以下、上記した焼結型磁性シート２および複数種の複合材料型磁性シート３を複合材料型磁性シート３の種類を変更しながら積層させた多層型磁性シート１の減衰特性を測定した結果を示す。
【００６２】
はじめに、図７〜図９は、上記条件の焼結型磁性シート２（厚さ：０．１ｍｍ、透磁率の虚数部：１００ＭＨｚにおいて７５）に厚みの異なる３０Ｎの複合材料型磁性シート３を積層させた各種の多層型磁性シート１について減衰量を測定したグラフを示している。図７は厚さ０．０５ｍｍの３０Ｎを用いた測定結果を、図８は厚さ０．１ｍｍの３０Ｎを用いた測定結果を、図９は厚さ０．２ｍｍの３０Ｎを用いた測定結果を、それぞれ示している。また、図７〜図９のグラフ内に示した減衰量曲線において、それらの点線部についてはノイズ抑制効果が有効に発揮し得ない周波数帯域であることを示している。
【００６３】
はじめに、多層型磁性シート１に厚さ０．０５ｍｍの３０Ｎを用いた場合、この多層型磁性シート１は、図７に示すように、２ＧＨｚ以下の周波数帯域において、焼結型磁性シート２の減衰特性に近似した減衰特性を発揮している。しかしながら、１ＧＨｚ以上の周波数帯域においては、この多層型磁性シート１は、３０Ｎの複合材料型磁性シート３の減衰特性とは異なった減衰特性を示しており、３０Ｎの減衰特性を取り入れた良好な減衰特性を発揮していない。
【００６４】
次に、多層型磁性シート１に厚さ０．１ｍｍの３０Ｎを用いた場合、この多層型磁性シート１は、図８に示すように、２ＧＨｚ以下の周波数帯域において、焼結型磁性シート２の減衰特性に近い減衰特性を発揮している。また、１ＧＨｚ以上の周波数帯域において、この多層型磁性シート１は、３０Ｎの複合材料型磁性シート３の減衰特性に近い減衰特性を発揮している。言い換えると、焼結型磁性シート２の減衰特性が低下する１ＧＨｚ以上の周波数帯域において３０Ｎの複合材料型磁性シート３の減衰特性が発揮される結果となった。このことから、多層型磁性シート１は焼結型磁性シート２と３０Ｎの中間的な減衰特性を発揮していると言える。減衰効果が生じる広帯域の範囲を具体的に確認すると、本実施例においては、１００ＭＨｚから１０ＧＨｚまでの周波数帯域において良好な減衰効果が生じることがわかる。
【００６５】
そして、多層型磁性シート１に厚さ０．２ｍｍの３０Ｎを用いた場合、この多層型磁性シート１は、図９に示すように、２ＧＨｚ以下の周波数帯域において、焼結型磁性シート２の減衰特性とは異なった減衰特性を示しており、３０Ｎの減衰特性を取り入れた良好な減衰特性を発揮していない。しかしながら、１ＧＨｚ以上の周波数帯域においては、この多層型磁性シート１は、３０Ｎの複合材料型磁性シート３の減衰特性に近似した減衰特性を発揮している。
【００６６】
【表１】
2010114246.tif 000003
【００６７】
表１は、焼結型磁性シート２の厚みを固定して複合材料型磁性シート３の厚みを変化させた多層型磁性シート１の減衰特性の良否を示しており、以上の結果をまとめたものである。表１中の「低周波数帯域」は２ＧＨｚ以上の周波数を意味し、「高周波数帯域」は１ＧＨｚ以下の周波数を意味する。また、「◎」は多層型磁性シート１の減衰特性が焼結型磁性シート２または複合材料型磁性シート３の減衰特性に近似する特性を発揮することを示し、「○」は多層型磁性シート１の減衰特性が焼結型磁性シート２または複合材料型磁性シート３の減衰特性に近い特性を発揮することを示し、「×」は多層型磁性シート１の減衰特性が焼結型磁性シート２または複合材料型磁性シート３の減衰特性と異なる特性を発揮することを示している。
【００６８】
焼結型磁性シート２（厚さ：０．１ｍｍ、透磁率の虚数部：１００ＭＨｚにおいて７５）および厚さ０．０５ｍｍの３０Ｎの複合材料型磁性シート３を積層させた多層型磁性シート１は、表１左欄に示すように、少なくとも１ＧＨｚから２ＧＨｚまでの周波数帯域を含む広帯域において、焼結型磁性シート２の良好な減衰特性を発揮するものの、複合材料型磁性シート３の良好な減衰特性を発揮することができず、それらの良好な減衰特性を組み合わせた減衰特性を発揮させることができないという結果となった。
【００６９】
また、上記の焼結型磁性シート２および厚さ０．２ｍｍの３０Ｎの複合材料型磁性シート３を積層させた多層型磁性シート１は、表１右欄に示すように、少なくとも１ＧＨｚから２ＧＨｚまでの周波数帯域を含む広帯域において、複合材料型磁性シート３の良好な減衰特性を発揮するものの、焼結型磁性シート２の良好な減衰特性を発揮することができず、それらの良好な減衰特性を組み合わせた減衰特性を発揮させることができないという結果となった。
【００７０】
それらに対し、上記の焼結型磁性シート２および厚さ０．１ｍｍの３０Ｎの複合材料型磁性シート３を積層させた多層型磁性シート１は、表１中央欄に示すように、少なくとも１ＧＨｚから２ＧＨｚまでの周波数帯域を含む広帯域において、焼結型磁性シート２の良好な減衰特性および複合材料型磁性シート３の良好な減衰特性を組み合わせた良好な減衰特性を発揮させることができるという結果となった。
【００７１】
以上の結果から、焼結型磁性シート２および複合材料型磁性シート３の厚みについては、各々０．１ｍｍに設定されていることが好ましいことがわかる。
【００７２】
次に、図１０は、上記条件の焼結型磁性シート２（厚さ：０．１ｍｍ、透磁率の虚数部：１００ＭＨｚにおいて７５）に厚さ０．１ｍｍの複合材料型磁性シート３５Ｎ、１５Ｎ、２５Ｎまたは３０Ｎのいずれかを積層させた４種の多層型磁性シート１について減衰量を測定したグラフを示している。グラフ内の５Ｎ、１５Ｎ、２５Ｎまたは３０Ｎは、その多層型磁性シート１に用いられた複合材料型磁性シート３の製品番号を示している。
【００７３】
これら４種の多層型磁性シート１については、図１０および図８に示すように、３０Ｎを積層させた多層型磁性シート１の減衰特性と同等かそれ以上に良好な減衰特性、すなわち１００ＭＨｚから６ＧＨｚまでの周波数帯域において良好な減衰効果が示されている。このことから、これら４種の多層型磁性シート１は、少なくとも１ＧＨｚから２ＧＨｚまでの周波数帯域を含む広帯域において、焼結型磁性シート２の良好な減衰特性および複合材料型磁性シート３の良好な減衰特性を組み合わせた良好な減衰特性を発揮している。
【００７４】
次に、１５Ｎまたは２５Ｎを積層させた２種の多層型磁性シート１についてみると、１．５ＧＨｚから２．２ＧＨｚの周波数帯域において、５Ｎまたは３０Ｎを積層させた他の２種の多層型磁性シート１の減衰量よりも５〜８ｄＢ程度小さい減衰量が得られることがわかる。その一方、１．５ＧＨｚ以下の周波数帯域および２．２ＧＨｚから５ＧＨｚの周波数帯域においては、これら４種の多層型磁性シート１の減衰特性はほぼ同様になっている。
【００７５】
【表２】
2010114246.tif 000004
【００７６】
表２は、焼結型磁性シート２および複合材料型磁性シート３の厚みを固定して複合材料型磁性シート３の透磁率の虚数部を変化させた多層型磁性シート１の減衰特性の良好性を示しており、以上の結果をまとめたものである。表２中の「○」は多層型磁性シート１の減衰特性が良好であることを示し、「◎」は多層型磁性シート１の減衰特性が「○」よりも良好であることを示している。
【００７７】
焼結型磁性シート２（厚さ：０．１ｍｍ、透磁率の虚数部：１００ＭＨｚにおいて７５）に５Ｎ、１５Ｎ、２５Ｎまたは３０Ｎのいずれかの複合材料型磁性シート３を積層させた４種の多層型磁性シート１のうち、５Ｎまたは３０Ｎを積層させた２種の多層型磁性シート１の減衰特性については、表２左欄および右欄に示すように、少なくとも１ＧＨｚから２ＧＨｚまでの周波数帯域を含む広帯域において、焼結型磁性シート２の良好な減衰特性および複合材料型磁性シート３の良好な減衰特性を組み合わせた良好な減衰特性を発揮させることができるという結果となった。この結果は、焼結型磁性シート２および複合材料型磁性シート３の厚みが各々０．１ｍｍであって良好な減衰特性を発揮させるのに最適な厚みの組み合わせに設定されていたことによるものと考えられる。
【００７８】
また、１５Ｎまたは２５Ｎのどちらかの複合材料型磁性シート３を積層させた残り２種の多層型磁性シート１については、表２左欄および右欄ならびに図１０に示すように、１ＧＨｚから２ＧＨｚまでの広帯域において、５Ｎまたは３０Ｎを積層させた２種の多層型磁性シート１の減衰特性よりも良好な減衰特性を発揮させることができるという結果となった。この結果は、焼結型磁性シート２および複合材料型磁性シート３の厚みが各々０．１ｍｍに設定されていること、および、焼結型磁性シート２の透磁率の虚数部が１００ＭＨｚにおいて７５に対して複合材料型磁性シート３の透磁率の虚数部が１００ＭＨｚにおいて１５または２５に設定されており、最適な厚みおよび透磁率の組み合わせに設定されていたことによるものと考えられる。
【００７９】
すなわち、本実施例の多層型磁性シート１によれば、焼結型磁性シート２および複合材料型磁性シート３の厚みを各々０．１ｍｍ近傍に設定し、焼結型磁性シート２の透磁率の虚数部を１００ＭＨｚにおいて７５、複合材料型磁性シート３の透磁率の虚数部を１００ＭＨｚにおいて１５または２５に設定することにより、多層化による減衰特性の悪化が見られず、かつ、各層の減衰特性が広帯域において発揮されるので、複合材料型磁性シート３単体や焼結型磁性シート２単体では得られない広帯域のノイズ抑制効果を発揮することができるという作用を奏することが明らかとなった。
【００８０】
なお、本発明は、前述した実施例などに限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本実施形態の多層型磁性シートを示す斜視図
【図２】本実施形態の多層型磁性シートにおいて焼結型磁性シートが複数に分割されて個片にされた状態を示す分解斜視図
【図３】本実施例の焼結型磁性シートの透磁率の実数部を示すグラフ
【図４】本実施例の焼結型磁性シートの透磁率の虚数部を示すグラフ
【図５】本実施例の複合材料型磁性シートの透磁率の実数部を示すグラフ
【図６】本実施例の複合材料型磁性シートの透磁率の虚数部を示すグラフ
【図７】本実施例の焼結型磁性シートに厚さ０．０５ｍｍの３０Ｎの複合材料型磁性シートを積層させた多層型磁性シートの減衰量を測定したグラフ
【図８】本実施例の焼結型磁性シートに厚さ０．１ｍｍの３０Ｎの複合材料型磁性シートを積層させた多層型磁性シートの減衰量を測定したグラフ
【図９】本実施例の焼結型磁性シートに厚さ０．２ｍｍの３０Ｎの複合材料型磁性シートを積層させた多層型磁性シートの減衰量を測定したグラフ
【図１０】本実施例の焼結型磁性シートに厚さ０．１ｍｍの４種の複合材料型磁性シートのいずれかを積層させた４種の多層型磁性シートの減衰量を測定したグラフ
【符号の説明】
【００８２】
１  多層型磁性シート
２  焼結型磁性シート
３  複合材料型磁性シート
４  粘着層
５  保護シート
【図１】
2010114246.tif 000005
【図２】
2010114246.tif 000006
【図３】
2010114246.tif 000007
【図４】
2010114246.tif 000008
【図５】
2010114246.tif 000009
【図６】
2010114246.tif 000010
【図７】
2010114246.tif 000011
【図８】
2010114246.tif 000012
【図９】
2010114246.tif 000013
【図１０】
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