(57)【要約】【課題】  本発明の目的は、端壁に設けた蛍光体の剥がれを抑制した蛍光ランプを提供することにある。【解決手段】  第１の発明に係る蛍光ランプは、内面に蛍光体が設けられた放電容器と、放電容器を介在させて対向された電極と、からなる蛍光ランプにおいて、前記放電容器は、少なくとも一方の端部に塗布剤用パイプ残部が設けられ、この端壁は、塗布剤用排出パイプ残部に向かって略漏斗状であり、且つ、その内面にも蛍光体が設けられたことを特徴とする。【選択図】図１
2010177050.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内面に蛍光体が設けられた放電容器と、
放電容器を介在させて対向された電極と、
からなる蛍光ランプにおいて、
前記放電容器は、少なくとも一方の端部に塗布剤用パイプ残部が設けられ、
この端壁は、塗布剤用排出パイプ残部に向かって略漏斗状であり、且つ、その内面にも蛍光体が設けられた
ことを特徴とする蛍光ランプ。
【請求項２】
前記放電容器は、ガラス層を介して前記蛍光体が設けられた
ことを特徴とする請求項１に記載の蛍光ランプ。
【請求項３】
前記塗布剤用パイプ残部が両方の端部に設けられた
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の蛍光ランプ。
【請求項４】
内面に蛍光体が設けられた放電容器と、放電容器を介在させて対向された電極と、からなる蛍光ランプの製造方法において、
放電容器形成管の少なくとも一方の端部の端面が、放電容器形成管の長手方向に対して傾斜されるように形成され、一方の端壁形成板が、この傾斜された端面に沿って接合され、一方の塗布剤用排出パイプが、一方の端壁形成板が一方の塗布剤用排出パイプに向かって漏斗状となるように、且つ放電容器形成管の中空と塗布剤用排出パイプの中空とが連通するように、接合され、これによりガラス管が形成される工程と、
蛍光体スラリーが、ガラス管の内部に充填され、ガラス管の一方の塗布剤用排出パイプから排出される工程と、
を有することを特徴とする蛍光ランプの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電容器の内面に蛍光体が設けられた蛍光ランプ及びこの蛍光ランプの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
蛍光ランプの構成として、特許文献１に記載されるものが知られている。
図１２（ａ）は、特許文献１に記載される蛍光ランプ９１の説明図である。
蛍光ランプ９１は、二重管構造の放電容器９１１と、放電容器９１１の内面に設けた蛍光体９１３と、放電容器９１１の外面に設けた一対の電極９１２と、により構成される。
放電容器９１１は、円筒状の外管９１１２と、外管９１１２の内部に外管９１１２と同軸に配置した内管９１１１と、により二重管構造で構成され、該二重管構造の両端を円環状の端壁９１１３で封止される。放電容器９１１を構成する部材は、例えば石英ガラスである。
この放電容器９１１の内部には、発光ガスとして例えばキセノンガスが封入される。
【０００３】
この蛍光ランプ９１は、一対の電極９１２が、放電容器９１１の内管９１１１及び外管９１１２に介在され、外管９１１２と内管９１１１との間にある放電空間も介在される。
蛍光ランプ９１は、一対の電極９１２に高周波・高電圧が入力されることで、エキシマ放電を生じ、このエキシマ放電から例えば２００ｎｍ以下の真空紫外線が生じる。蛍光体９１３は、この真空紫外線が照射されることで励起され、励起光が放電容器９１１に透過されて放射される。
【０００４】
このようなエキシマ放電を生じるランプとして、エキシマランプが知られている。エキシマランプとしては、特許文献２及び３がある。
【０００５】
図１２（ｂ）は、特許文献２に記載されるエキシマランプ９２の説明図である。
図１２（ｂ）のエキシマランプ９２は、放電容器９２１の内面に蛍光体が設けられていない点と、内管９２１１の内面に設けた電極９２２が板状である点と、放電容器９２１の端壁９２１３に流体流通管の残部９２４が設けられた点とで、図１２（ａ）の蛍光ランプ９１と相違する。図１２（ｂ）のエキシマランプ９２の説明として、図１２（ａ）の蛍光ランプ９１との相違点である流体流通管の残部９２４について述べる。
【０００６】
エキシマランプ９２の製造工程において、放電容器９２１の内面を洗浄するため、フッ化アンモニウム水溶液などを洗浄液として用いる薬液洗浄処理と、洗浄用水による濯ぎ処理とが行なわれる。
放電容器９２１の両端に設けた端壁９２１３には、流体流通管が設けられ、一方の流体流通管から洗浄液が流入され、放電容器９２１中の空気は他方の流体流通管から排出される。放電容器９２１に流入された洗浄液は、一方の流体流通管から排出され、他方の流体流通管から空気が流入される。この薬液洗浄処理後、洗浄用水により濯ぎ処理が行なわれる。
上記処理後、放電容器９２１は乾燥処理が施され、封止工程が行なわれる。この封止工程では、一方の流体流通管が例えばバーナーによって焼き切られた後、放電容器９２１内部の空気を排出し、キセノンガスなどの発光ガスが充填され、最後に他方の流体流通管が焼き切られる。この焼き切られた流体流通管が流体流通管の残部９２４となる。
特許文献２の場合、発光ガスとしてキセノンガスが充填されることから、ランプ点灯時に得られる紫外線は、波長２００ｎｍ以下の真空紫外線である。
【０００７】
図１２（ｃ）は、特許文献３に記載されるエキシマランプ９３の説明図である。
図１２（ｃ）のエキシマランプ９３は、放電容器９２１の形状が二重管構造ではなく一重の管形状である点と、その管形状が直方体である点とで、図１２（ｂ）のエキシマランプ９２と相違する。図１２（ｃ）のエキシマランプ９３の説明として、図１２（ｂ）のエキシマランプ９２との相違点について述べる。
【０００８】
放電容器は、図１２（ｃ）や特許文献３の図１に示すように直方体状であり、その両端に端壁９２１３が設けられ、この端壁９２１３にはチップ管９２４が設けられる。
このチップ管９２４は、放電容器９２１内部の空気の排気と、放電容器９２１内部への発光ガスとしてキセノンガスが充填される。
特許文献３の場合、発光ガスとしてキセノンガスが充填されることから、ランプ点灯時に得られる紫外線は、波長２００ｎｍ以下の真空紫外線である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平０６−２１５７３６号公報
【特許文献２】特開２００１−０２３５７８公報
【特許文献３】特開２００４−１１１３２６公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
例えば、樹脂硬化，除菌，美容，医療などの用途においては、所望の波長の光が用いられるが、上述した特許文献２及び３のエキシマランプ９２，９３のように、放電によって得られる波長は決まっており、所望の波長を得ることは容易ではない。そこで、特許文献１のように、放電容器の内面に蛍光体を設け、蛍光体を励起させて得られる波長を利用することが考えられる。
特許文献１に記載される蛍光ランプ９１は、放電容器９１１の内面に蛍光体９１３を設けるため、特許文献２及び３に示す流体流通管やチップ管から放電容器の内部に蛍光体を充填させることが考えられる。ところが、このような製造方法では、放電容器の端壁に設けた蛍光体が剥がれてしまうという問題が生じた。蛍光体が剥がれてしまうと、この剥がれた蛍光体が放電容器の内部では不純物となってしまい、放電の邪魔になり、その部分で光量低下を起こすことになる。
【００１１】
この蛍光体の剥がれについて、本発明者らが鋭意検討したところ、蛍光体の厚みと蛍光体と放電容器の熱膨張係数の差とに起因することが分かった。この原因について、以下に述べる。
蛍光体の熱膨張係数は、放電容器が構成する部材の熱膨張係数よりも大きい。放電容器の側壁に設けられ蛍光体は、極めて薄く形成されることから、ランプが点灯されて加熱されても、側壁に設けられた蛍光体の膨張量は小さく、側壁から剥がれることが抑制される。ところが、蛍光体を塗布するための蛍光体スラリーは粘度が大きく、放電容器の内面に蛍光体スラリーを塗布する工程において、蛍光体スラリーは、側壁を流れる速さに比べ、端壁を流れる速さが遅いため、放電容器の端壁に設けられた蛍光体の厚みは、側壁に設けられた蛍光体の厚みに比べて厚く凝縮される。このため、ランプが点灯されて加熱されると、端壁に凝縮された蛍光体の膨張量は、側壁に設けられた蛍光体のように薄く凝縮していない状態に比べて大きく、また端壁の膨張量よりも大きい。このため、端壁に設けられた蛍光体は、側壁に設けられた蛍光体との間の熱膨張量差によって、且つ、端壁との間の熱膨張量差によって、剥がれたものと推測される。
【００１２】
端壁に設けた蛍光体をあらかじめ剥がして、端壁に設けた蛍光体の剥がれを防止することも考えられるが、放電によって生じる例えば２００ｎｍ以下の紫外線が、端壁に直接照射されることになり、端壁を構成するガラスにひずみが生じて破損に至る。
また、端壁が例えば石英ガラスのように、波長２００ｎｍ以下の真空紫外線を透過する場合、端壁から透過された真空紫外線が酸素に吸収され、オゾンが形成される。オゾンは、樹脂等を分解してしまうため、蛍光ランプ周辺の装置類のオゾン対策をしなければならず、装置が複雑化する。
【００１３】
そこで、本発明の目的は、端壁に設けた蛍光体の剥がれを抑制した蛍光ランプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
第１の発明に係る蛍光ランプは、内面に蛍光体が設けられた放電容器と、放電容器を介在させて対向された電極と、からなる蛍光ランプにおいて、前記放電容器は、少なくとも一方の端部に塗布剤用パイプ残部が設けられ、この端壁は、塗布剤用排出パイプ残部に向かって略漏斗状であり、且つ、その内面にも蛍光体が設けられたことを特徴とする。
第２の発明に係る蛍光ランプは、第２の発明において、前記放電容器は、ガラス層を介して前記蛍光体が設けられたことを特徴とする。
第３の発明に係る蛍光ランプは、第１又は２において、前記塗布剤用パイプ残部が両方の端部に設けられたことを特徴とする。
第４の発明に係る蛍光ランプの製造方法は、内面に蛍光体が設けられた放電容器と、放電容器を介在させて対向された電極と、からなる蛍光ランプの製造方法において、放電容器形成管の少なくとも一方の端部の端面が、放電容器形成管の長手方向に対して傾斜されるように形成され、一方の端壁形成板が、この傾斜された端面に沿って接合され、一方の塗布剤用排出パイプが、一方の端壁形成板が一方の塗布剤用排出パイプに向かって漏斗状となるように、且つ放電容器形成管の中空と塗布剤用排出パイプの中空とが連通するように、接合され、これによりガラス管が形成される工程と、蛍光体スラリーが、ガラス管の内部に充填され、ガラス管の一方の塗布剤用排出パイプから排出される工程と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
第１の発明に係る蛍光ランプは、上記特徴により、一方の端部の端壁に設けた蛍光体の厚みを、側壁に設けた蛍光体の厚みよりも極端に厚くなることを抑制できるので、一方の端部の端壁に設けた蛍光体と側壁に設けた蛍光体との熱膨張差を小さくすることができ、さらに一方の端壁に設けた蛍光体と端壁を構成する部材との熱膨張量差を小さくすることができ、これにより一方の端壁に設けた蛍光体の剥がれを抑制することができる。さらに、端壁の内面に蛍光体が設けられたことにより、エキシマ放電により生じる紫外線を端壁に直接照射されることが抑制され、放電容器の寿命を伸ばすことができる。
第２の発明に係る蛍光ランプは、上記特徴により、放電容器と蛍光体との間にガラス層が形成され、このガラス層を構成するガラスの軟化点が放電容器を構成する部材の軟化点よりも低いので、蛍光体の焼成時にガラス層が軟化され、放電容器と蛍光体との結合をガラス層によって強固にすることができ、蛍光体の剥がれを抑制することができる。さらに、ガラス層の軟化点が放電容器を構成する部材の軟化点よりも低いので、蛍光体は１０００℃以上の温度に加熱されないので、劣化されることなく焼成できる。
長尺の放電容器の場合、放電容器の内面に蛍光体スラリーを塗布して排出する際に、一方の塗布剤用排出パイプだけでは十分な排出ができないので、他方の塗布剤用排出パイプも用いて排出を行なう。このため、第３の発明に係る蛍光ランプは、上記特徴により、他方の端壁の形状が漏斗状となり、他方の端壁に設けた蛍光体の厚みを、側壁に設けた蛍光体の厚みよりも極端に厚くなることを抑制できるので、他方の端壁に設けた蛍光体と側壁に設けた蛍光体との熱膨張量差を小さくすることができ、さらに他方の端壁に設けた蛍光体と端壁を構成する部材との熱膨張量差を小さくすることができ、これにより他方の端壁に設けた蛍光体の剥がれを抑制することができる。さらに、端壁の内面に蛍光体が設けられたことにより、エキシマ放電により生じる紫外線を端壁に直接照射されることが抑制され、放電容器の寿命を伸ばすことができる。
第４の発明に係る蛍光ランプの製造方法は、上記特徴により、蛍光体スラリーが漏斗状の端壁の内面を円滑に流れ、一方の塗布剤用排出パイプから円滑に排出されるので、漏斗状の端壁に設けられる蛍光体の厚みを、側壁に設けた蛍光体の厚みよりも極端に厚く凝縮されることを抑制できるので、他方の端壁に設けた蛍光体と側壁に設けた蛍光体との熱膨張量差を小さくすることができ、さらに他方の端壁に設けた蛍光体と端壁を構成する部材との熱膨張量差を小さくすることができ、これにより他方の端壁に設けた蛍光体の剥がれを抑制することができる。さらに、端壁の内面に蛍光体が設けられたことにより、エキシマ放電により生じる紫外線を端壁に直接照射されることが抑制され、放電容器の寿命を伸ばすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１の実施例に係る蛍光ランプの説明図である。
【図２】第１の実施例に係る蛍光ランプの説明図である。
【図３】第１の実施例に係る蛍光ランプの製造方法の説明図である。
【図４】第１の実施例に係る蛍光ランプの製造方法の説明図である。
【図５】第１の実施例に係る蛍光ランプの製造方法の説明図である。
【図６】第２の実施例に係る蛍光ランプの説明図である。
【図７】第３の実施例に係る蛍光ランプの説明図である。
【図８】第４の実施例に係る蛍光ランプの説明図である。
【図９】第５の実施例に係る蛍光ランプの説明図である。
【図１０】第６の実施例に係る蛍光ランプの説明図である。
【図１１】第７の実施例に係る蛍光ランプの説明図である。
【図１２】従来の説明図である。（ａ）従来に係る蛍光ランプの説明図である。（ｂ）従来に係るエキシマランプの説明図である。（ｃ）従来に係るエキシマランプの説明図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１及び図２は、本発明に係る第１の実施例の説明図である。
図１は、第１の実施例に係る蛍光ランプ１の長手方向に沿った断面図である。
図２（ａ）は、図１の蛍光ランプ１の一方の端部の斜視図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）の蛍光ランプの長手方向に対して直交する断面図（図２（ａ）のＡ−Ａ断面図）である。
【００１８】
第１の実施例に係る蛍光ランプ１は、直方体状の放電容器２と、放電容器２の内面に設けたガラス層４と、ガラス層４の内面に設けた蛍光体５と、放電容器２の外面に互いに離隔されて設けられた一対の電極３１，３２と、により構成される。
【００１９】
放電容器２は、直方体状の側壁２３と、該側壁２３の長手方向における両端に設けた漏斗状の端壁２４１，２４２と、端壁２４１，２４２に設けた塗布剤用パイプ残部２５１，２５２と、により構成される。この放電容器２を構成する部材としては、例えば石英ガラスが挙げられ、後述する蛍光体５からの発光を透過する部材が用いられる。
【００２０】
側壁２３は、図２に示すように、４面（図２（ａ）において、紙面手前側の面と、その面の側面の２面と、紙面奥にある不図示の面）を構成した直方体状であり、そのうち紙面手前側の面（一方の電極３１が設けられた面）と紙面奥にある不図示の面との端部は、その幅が塗布剤用パイプ残部２５１，２５２に向かって順次狭くなるように直線状の傾斜が設けられる。
端壁２４１，２４２は、この側壁２３の傾斜に沿うと共に、塗布剤用パイプ残部２５１，２５２に向かって順次縮径するように漏斗状に構成される。図１に示す断面においては、端壁２４１，２４２は、中央に位置する塗布剤用パイプ残部２５１，２５２に向かって、紙面左右から順次縮径する漏斗状に構成される。この端壁２４１，２４２は、図１の断面において、放電容器２の長手方向の対する垂線に対して、その傾斜角度Ｒは、例えば１０°〜４５°で構成される。
漏斗状の端壁２４１，２４２の中央には、塗布剤用パイプ残部２５１，２５２が外方に突出するように設けられる。塗布剤用パイプ残部２５１，２５２の内方には中空があり、漏斗状の端壁２４１，２４２の中央には、この中空と側壁２３の内方の中空とを連通する穴部が設けられる。
【００２１】
放電容器２の内部は、密閉された放電空間２６が形成され、この放電空間２６には、発光ガスとして例えばキセノンガスが封入される。
【００２２】
側壁２３の外面には、図２に示すように、それぞれ網状の電極３１，３２が設けられる。これにより、一対の電極３１，（他方の電極は、図２（ａ）では不図示、図２（ｂ）では図示）は、放電容器２と放電空間２６を介して対向されて配置される。
【００２３】
放電容器２の内面には、例えばホウケイ酸ガラス（Ｓｉ−Ｂ−Ｏ系ガラス、軟化点：約８００℃）、アルミノケイ酸ガラス（Ｓｉ−Ａｌ−Ｏ系ガラス、軟化点：９００℃）からなるガラス層４が設けられる。このガラス層４は、少なくとも放電容器２を構成する部材の軟化点（石英ガラスの軟化点：１６００℃）よりも低い軟化点を有するものが用いられる。
このガラス層４は、蛍光体５と放電容器２との結合を強固にするために設けられる。このため、ガラス層は、少なくとも蛍光体５が設けられる範囲に設けられる。蛍光体５が設けられる範囲は、電極３１，３２間のエキシマ放電からの紫外線を効率良く受けるために側壁２３の内面に設けられ、またエキシマ放電からの紫外線を端壁２４１，２４２に照射させないために端壁２４１，２４２の内面に設けられる。このため、ガラス層４は、側壁２３の内面と端壁２４１，２４２の内面にも設けられる。
【００２４】
蛍光体５は、ガラス層４を介して放電容器２の内面に設けられる。
蛍光体５を構成する部材としては、例えばユーロピウム付活ホウ酸ストロンチウム（Ｓｒ−Ｂ−Ｏ：Ｅｕ、中心波長３６８ｎｍ）蛍光体５、セリウム付活アルミン酸マグネシウムランタン（Ｌａ−Ｐ−Ｏ：Ｇｄ，Ｐｒ、中心波長３１１ｎｍ）蛍光体５などである。これらの蛍光体５は、いずれも波長２５０ｎｍ未満の領域の紫外線を吸収して、各々有する中心波長帯の光に変換して放射する。
【００２５】
上述した第１の実施例に係る蛍光ランプ１は、端壁２４１，２４２を塗布剤用パイプ残部２５１，２５２に向かって漏斗状に構成したことにより、端壁２４１，２４２に設けた蛍光体５の厚みと、側壁２３に設けた厚みとが極端に異なることがない。端壁２４１，２４２に設けた蛍光体５の厚みが側壁２３に設けた蛍光体５の厚みよりも極端に厚くならない理由を、蛍光ランプ１の製造方法を通じて説明する。
【００２６】
図３〜５は、図１及び図２に示す第１の実施例の蛍光ランプ１の製造工程を示した説明図である。
図３は、ガラス管６の形成工程を示す説明図である。
図４（ｉ）及び（ｋ）は、図３で得られたガラス管６の内面にガラス層４を形成する工程の説明図である。図４（ｌ），（ｍ）及び図５（ｎ）は、図４で形成したガラス層４の内面に蛍光体５を形成する工程の説明図である。
図５（ｏ）〜（ｑ）は、図４で得られた放電容器２を封止する工程の説明図である。
【００２７】
まず、ガラス管の形成工程について説明する。
【００２８】
溶融石英ガラスからなる直方体状の放電容器形成管６１を準備し（図３（ａ）は放電容器形成管６１の端部の一部斜視図）、その長手方向における端面を、その端面外方に向かって順次縮径するように、傾斜状に切断する（図３（ｂ）は図３（ａ）の端部を切断した説明図）。
溶融石英ガラスからなる端壁形成板６２を、放電容器形成管６１の端面の長さに相当する長さで切り出して準備し（図３（ｃ）は端壁形成板６２の斜視図）、放電容器形成管６１の端面に当接する（図３（ｄ）は、放電容器形成管６１と端壁形成板６２とを当接させた側面図）。この当接は、放電容器形成管６１がガラス旋盤の一方のチャック８１１に固定され、ガラス旋盤の他方のチャック８１２に固定された治具８１３で端壁形成板６２を放電容器形成管６１の端面に向かって押圧することで実現される（図３（ｄ））。
このガラス旋盤における一方のチャック８１１と他方のチャック８１２とは、同軸で同回転できる機構を有する。
【００２９】
放電容器形成管６１の傾斜状の端部と端壁形成板６２とは、ガラス旋盤によって回転・停止が繰り返されながら、当接された部分をバーナー８２で加熱されることで溶着される（図３（ｅ）は図３（ｄ）の当接部分の一部拡大図。なお、図３（ｄ）で示した治具８１３は省略している）。
当接部分の溶着後、端壁形成板６２は、バーナー８２で加熱されることで軟化され、傾斜状の端面に沿って屈曲され、傾斜状の端面に当接される。この新たに当接した部分と端壁形成板６２とは、ガラス旋盤によって回転・停止が繰り返されながら、バーナー８２で加熱されることで溶着される（図３（ｆ））。
【００３０】
この溶着後、放電容器形成管６１は回転Ｃされながら、溶着された端壁形成板６２の中央部分がバーナー８２で加熱される（図３（ｇ））。放電容器形成管６１の内部は、窒素ガスＮによって加圧状態としてあり、端壁形成板６２の中央部がバーナー８２で加熱されることで、この部分が軟化して窒素ガスＮの加圧によって膨らみ、最終的に吹き破られて穴部６２１が形成される（図３（ｈ））。
この穴部６２１には、溶融石英ガラスからなる円筒状の一方の塗布剤用排出パイプ６３１を準備し、その端部を穴部６２１に当接させて、バーナー８２で加熱され、端壁形成板６２と一方の塗布剤用排出パイプ６３１とが接合される。
【００３１】
ここまでは、放電容器形成管６１の一方の端部について説明したが、他方の端部も上記と同様の工程を経て一方の塗布剤用排出パイプ６３２が接合されるので、その説明を省略する。
【００３２】
放電容器形成管６１と、その両端に設けられた漏斗状の端壁形成板６２と、該端壁形成版に設けられた一対の塗布剤用排出パイプ６３１，６３２とは、上述のように、一体に接合される。この一体物を「ガラス管６」と称する。
【００３３】
つづいて、ガラス管６の内面にガラス層４を形成する工程と、蛍光体５を形成する工程について説明する。
【００３４】
１．ガラス層４を構成するためのガラス粉末が分散されたスラリーを製作する（ステップ１）。
ガラス層４構成用の塊状のガラスを細かく砕き、ボールミルにかける。粉砕したガラス粉末をメッシュにかけることにより粒径を分類し、平均粒径が０．５〜１０μｍ（好ましくは１〜５μm）のガラスの粉末を作製する。
このガラス粉末を、ニトロセルロース、酢酸ブチル液と重量比１：４の割合で混合する。混合液をアルミナボールとともにボールミルにかけて、十分ミリングし、ガラス粉末が分散されたスラリーを製作する。以下、このガラス粉末を分散させたスラリーを「ガラススラリー７１」と称する。
ガラス層４を構成するガラスは、放電容器２の基材となる石英ガラスの軟化点（１６００℃）よりも低い軟化点を有するガラスである。好ましくは、軟化点が蛍光体５の焼成温度（４００〜９００℃）範囲にあるガラスであり、更に好ましくは、耐熱衝撃性の良好な硬質ガラスである。
なかでも、ホウケイ酸ガラス（Ｓｉ−Ｂ−Ｏ系ガラス、軟化点：約８００℃）、アルミノケイ酸ガラス（Ｓｉ−Ａｌ−Ｏ系ガラス、軟化点：約９００℃）が好ましく、このような硬質ガラスは、単独で用いても良いし適宜の割合で混合して用いても良い。
【００３５】
２．続いて、ガラススラリー７１を、ガラス管６の内表面に塗布する（ステップ２）。
本実施例において、ガラス管６は、図４（ｉ）に示すように、その長手方向が垂直に保持され、ガラススラリー７１で満たした容器の液面に一方の塗布剤用排出パイプ６３１が入れられる。ガラス管６は、他方の塗布剤用排出パイプ６３２からガラス管６の内部の空気を吸引することで、一方の塗布剤用排出パイプ６３１からガラススラリー７１が吸い上げられ、ガラス管６の内部にガラススラリー７１が充填され（図４（ｋ））、その後、一方の塗布剤用排出パイプ６３１からガラススラリー７１が排出される。このとき、ガラススラリー７１は粘度を有することから、放電容器形成管６１の内面，他方の端壁形成板６２（紙面上方側）の内面，一方の端壁形成板６２（紙面下方側）の内面，一方の塗布剤用排出パイプ６３２の内面及び一方の塗布剤用排出パイプ６３１の内面には、ガラススラリー７１が塗布される。ここで、端壁形成板６２の形状は、一方の塗布剤用排出パイプ６３１に向かって順次縮径する漏斗状になっており、ガラス粉末を一方の塗布剤用排出パイプ６３１へ円滑にガラススラリー７１を流しだすことができ、ガラス粉末の溜りが発生することを抑制できる。このとき、ガラススラリー７１の厚みが１〜３０μｍの範囲に形成されることが好ましい。この塗布されるガラススラリー７１の厚みは、ガラススラリー７１の粘度や塗布回数を調整することによって、変えることができる。
なお、後工程で形成する蛍光体５は、その発光が紫外線の場合、ガラス層４の厚みが厚いと蛍光体からの紫外線を透過する十分な透過率が得られないことがある。このため、ガラス層４の厚みは、後工程で形成する蛍光体５を保持できる範囲で、可及的に小さい方が好ましい。
【００３６】
３．ガラススラリー７１を乾燥させる（ステップ３）。
ガラス管６の他方の塗布剤用排出パイプ６３２から、一方の塗布剤用排出パイプ６３１へ、乾燥窒素ガスを流すことで、ガラススラリー７１に含まれる酢酸ブチルを蒸発させる。ここでも、端壁形成板６２の形状は、一方の塗布剤用排出パイプ６３１に向かって順次縮径する漏斗状になっていることから、ガラス粉末を一方の塗布剤用排出パイプ６３１へ円滑に流し出すことができ、ガラス粉末の溜りが発生することを抑制できる。この結果、ガラス管６の内表面上に厚さが１〜３０μｍのガラス粉末が堆積した層が形成される。
【００３７】
４．ガラス管６を加熱し、ガラス粉末の層を焼成する（ステップ４）。
焼成条件は、大気中であって、約５００〜１０００℃、時間としては、最高温度での保持時間で表すと、０．２〜１時間である。上述したホウケイ酸ガラス、アルミノケイ酸ガラスを用いた場合には、６００〜９００℃で行うのが好ましい。この焼成工程によって粒子同士が結合するとともに、ガラス管６に融着し、ガラス層４が基材に強力に結着することになる。
なお、ガラス層４は、溶融温度まで昇温しないことから通常は粉末状の形態を維持しているが、更に温度を上げて溶融させた状態としても構わない。
【００３８】
５．ガラス管６を常温まで冷却し（ステップ５）、調製済みの蛍光体５のスラリーを発光管内に吸い上げ法によって塗布する（ステップ６）。
蛍光体５の塗布方法は先に２．で説明した手順と同様であり、発光管構成用ガラス管を垂直に保持し、蛍光体スラリー７２を満たした容器の液面に一方の塗布剤用排出パイプ６３１が入れられる。ガラス管６は、他方の塗布剤用排出パイプ６３２からガラス管６の内部の空気を吸引することで、一方の塗布剤用排出パイプ６３１から蛍光体スラリー７２が吸い上げられ、ガラス管６の内部に蛍光体スラリー７２が充填され（図４（ｍ））、その後、一方の塗布剤用排出パイプ６３１から蛍光体スラリー７２が排出される。このとき、蛍光体スラリー７２は粘度を有することから、放電容器形成管６１の内面，他方の端壁形成板６２（紙面上方側）の内面，一方の端壁形成板６２（紙面下方側）の内面，一方の塗布剤用排出パイプ６３２の内面及び一方の塗布剤用排出パイプ６３１の内面には、蛍光体スラリー７２が塗布される。ここで、端壁形成板６２の形状は、一方の塗布剤用排出パイプ６３１に向かって順次縮径する漏斗状になっており、蛍光体粉末を一方の塗布剤用排出パイプ６３１へ円滑に流し出すことができ、蛍光体粉末の溜り（凝縮）が発生することを抑制できる。
本発明に係る蛍光ランプ１に好適に用いることができる蛍光体は、例えば、ユ−ロピウム付活ホウ酸ストロンチウム（Ｓｒ−Ｂ−Ｏ：Ｅｕ（以下ＳＢＥと称する。）、中心波長３６８ｎｍ）蛍光体、セリウム付活アルミン酸マグネシウムランタン（Ｌａ−Ｍｇ−Ａｌ−Ｏ：Ｃｅ（以下、ＬＡＭと称する。）、中心波長３３８ｎｍ（ただしｂｒｏａｄ））蛍光体、ガドリニウム、プラセオジム付活リン酸ランタン（Ｌａ−Ｐ−Ｏ：Ｇｄ，Ｐｒ（以下、ＬＡＰ：Ｐｒ，Ｇｄと称する、中心波長３１１ｎｍ）蛍光体などである。これらの蛍光体は、いずれも波長２５０ｎｍ未満の領域の紫外光を吸収して、各々有する中心波長帯の紫外線に変換し、放射する。
【００３９】
６．ガラス管６の他方の塗布剤用排出パイプ６３２から、一方の塗布剤用排出パイプ６３１へ、乾燥窒素ガスを流すことで、蛍光体スラリー７２に含まれる酢酸ブチルを蒸発させる。ここでも、端壁２４１，２４２部形成板の形状は、一方の塗布剤用排出パイプ６３１に向かって順次縮径する漏斗状になっていることから、蛍光体粉末を一方の塗布剤用排出パイプ６３１へ円滑に流し出すことができ（図５（ｎ））、蛍光体粉末の溜り（凝縮）が発生することを抑制できる。
【００４０】
７．蛍光体を焼成する（ステップ８）。
ガラス管６を炉に入れて、焼成する。焼成条件は、大気雰中で、約５００〜８００℃であり、最高温度での保持時間にして、０．２〜１時間加熱する。この焼成工程において、蛍光体５層とガラス層４との境界面でガラスの軟化が生じて蛍光体５がガラス層４に結着し、結果的に、強固な結合状態が得られる。
この結果、石英ガラスからなるガラス管６の内表面上に、低軟化点ガラス粉末からなるガラス層４、蛍光体５層がこの順に積層された状態が得られる。
なお、大気中での劣化が激しい蛍光体５の場合は、大気中でニトロセルロースが焼失する温度まで昇温したのち、非酸化雰囲気ないし還元雰囲気にすることにより、約８００度程度までの加熱を行うことが可能である。
【００４１】
最後に、ガラス管６の封止工程について、説明する。
【００４２】
８．ガラス管６を常温に冷却し（ステップ９）、当該ガラス管６の内部に希ガスを封入して気密に封止する（ステップ１０）。
より具体的には、一対の塗布剤用排出パイプ６３１，６３２の内面に付着した蛍光体５層及びガラス層４を取り除いた後、一方の塗布剤用排出パイプ６３１をバーナー８２で加熱し（図５（ｏ））、封止されることで一方の塗布剤用パイプ残部２５１が形成される（図５（ｐ））。この後、一方の塗布剤用排出パイプ６３２は、排気装置８３に気密に接続され、この排気装置８３によってガラス管６の内部の気体が排気された後、発光ガスとして、例えば、キセノン（Ｘｅ）、リプトン（Ｋｒ）、アルゴン（Ａｒ）、ネオン（Ｎｅ）を、単独で封入しても良いし適宜の組み合わせで混合して封入してもよい。なお、これら希ガスの放電により得られる波長は、キセノン１６０−１９０ｎｍ、クリプトン１２４，１４０−１６０ｎｍ、アルゴン１０７−１６５ｎｍ、ネオン８０−９０ｎｍである。
発光ガスが封入された後、一方の塗布剤用排出パイプ６３２をバーナー８２で加熱封止（チップオフ）することで、内部に蛍光体５及びガラス層４が設けられた放電容器２が完成される。
この後、この放電容器２の外面に一対の電極３１，３２が設けられることで、図１及び２に示した蛍光ランプ１が得られる。
【００４３】
上述の製造方法で述べたように、放電容器２の一方の端部に設けた一方の端壁２４１が、一方の塗布剤用パイプ残部２５１に向かって漏斗状に構成されたことにより、蛍光体５スラリー排出時や乾燥時に、一方の端壁２４１の内面に蛍光体粉末の溜り（凝縮）が発生することを抑制できるので、端壁２４１，２４２に設けた蛍光体５層の厚みと、側壁２３に設けた厚みとが極端に異なることを抑制できる。これにより、端壁２４１，２４２に設けた蛍光体５は、側壁２３に設けた蛍光体５の厚みと極端に異ならないのでその熱膨張量差も小さく、且つ、端壁２４１，２４２に設けた蛍光体５は、側壁２３に設けた蛍光体５と同様に極めて薄くなるので、端壁２４１，２４２が構成する部材との熱膨張量差も小さくなることで、端壁２４１，２４２からの剥がれを抑制することができる。
【００４４】
ランプ点灯時には、放電容器２の内部に封入した発光ガスから、２００ｎｍ以下の真空紫外線が生じ、この真空紫外線によって蛍光体５が励起される。この励起光は、例えば２５０ｎｍ〜３８０ｎｍの紫外線であるとき、放電容器２を構成する部材が石英ガラスであれば、この紫外線を透過し、外部に好適に照射できる。このとき、放電容器２の端壁２４１，２４２には、蛍光体５が設けられていることから、放電容器２の内部で生じる真空紫外線を直接端壁２４１，２４２に照射されることを抑制でき、放電容器２の破損を抑制できるので、放電容器２の寿命を伸ばすことができる。
さらに、２００ｎｍ以下の真空紫外線の場合、放電容器２の外部に流出すると、外部の酸素に吸収されてオゾンを生成し、装置に含まれる樹脂を分解するという不都合が生じるが、第１の実施例に係る蛍光ランプ１は、端壁２４１，２４２の内面に蛍光体５が設けられていることから、端壁２４１，２４２から真空紫外線が流出することを抑制できる。また、これに伴って装置はオゾン対策をしなくて良いため、装置の複雑化を招くことが無い。
【００４５】
第１の実施例では、放電容器２を構成する部材が石英ガラスであり、この石英ガラスの軟化点が１６００℃近傍であるため、放電容器２の内面に直接蛍光体５を設けようとしても、１６００℃近傍という高温領域にまで蛍光体５を加熱すると蛍光体５が劣化し、所定の光が得られない。一方、蛍光体５の劣化を避けて、１６００℃未満の温度で蛍光体５を加熱しても、放電容器２の軟化が不十分となり、蛍光体５との結合も不十分となって最終的に蛍光体５が剥がれるという不具合が生じる。このため、第１の実施例では、蛍光体５が石英ガラスよりも軟化点が低いガラス層４を介して放電容器２の内面に設けられることで、蛍光体５の剥がれや劣化を抑制できる。
放電容器２を硬質ガラスにすると、その軟化点が、石英ガラスの軟化点よりも低いことから、放電容器２に直接蛍光体５を設けることができる。ガラス層４を設けず、放電容器２に直接蛍光体５を設けた例として、第２の実施例を示す。
【００４６】
図６は、本発明に係る第２の実施例の説明図である。
図６は、第２の実施例に係る蛍光ランプ１の長手方向に沿った断面図である。
なお、図６には、図１に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
【００４７】
図６の第２の実施例は、放電容器２を構成する部材が異なる点と、ガラス層４を設けない点とで、図１の第１の実施例と相違する。
図６の第２の実施例の説明として、図１と共通する部分は省略し、相違する部分について述べる。
【００４８】
放電容器２を構成する部材は、硬質ガラスであり、その軟化点は７８０℃である。この温度は、第１の実施例で示したガラス層４の軟化点と同一であるため、放電容器２の内面に蛍光体スラリー７２を塗布し焼成すると、蛍光体５層と放電容器２との境界面でガラスの軟化が生じて蛍光体５が放電容器２に結着し、放電容器２と蛍光体５との間に強固な結合状態が得られる。
【００４９】
このように、放電容器２を構成する部材が硬質ガラスの場合、放電容器２の内面に直接蛍光体５を設けることができる。このように構成しても、第２の実施例に係る蛍光ランプ１は、放電容器２の形状が第１の実施例と同一であるため、第１の実施例と同様の効果を得ることができる。
【００５０】
第１及び２の実施例で示した漏斗状の端壁２４１，２４２の形状以外の例として、第３の実施例を示す。
【００５１】
図７は、本発明に係る第３の実施例の説明図である。
図７（ａ）は、第３の実施例に係る蛍光ランプ１の長手方向に沿った断面図である。図７（ｂ）は、図７（ａ）の蛍光ランプ１の一方の端部の斜視図である。
なお、図７には、図１及び２に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
【００５２】
図７の第３の実施例は、端壁２４１，２４２の漏斗状の形状が円弧状である点で、図１及び２の第１の実施例と相違する。
図７の第３の実施例の説明として、図１及び２と共通する部分は省略し、相違する部分について述べる。
【００５３】
端壁２４１，２４２は、図７（ｂ）に示すように、紙面手前側の面（一方の電極３１が設けられた面）と紙面奥にある不図示の面との端部は、その幅が塗布剤用パイプ残部２５１，２５２に向かって順次狭くなるように対数関数の円弧状に傾斜が設けられる。
端壁２４１，２４２は、この側壁２３の傾斜に沿うと共に、塗布剤用パイプ残部２５１，２５２に向かって順次縮径するように漏斗状に構成される。図７（ａ）に示す断面においては、端壁２４１，２４２は、中央に位置する塗布剤用パイプ残部２５１，２５２に向かって、紙面左右から対数関数の円弧を形成するように漏斗状に構成される。
【００５４】
端壁２４１，２４２の形状が図７に示す円弧の漏斗状であっても、蛍光体塗布工程において、ガラス管６の内部に充填した蛍光体粉末の排出を円滑に行なうことができ、端壁２４１，２４２に蛍光体粉末の溜り（凝縮）が発生することを抑制できる。
このため、第３の実施例に係る蛍光ランプ１は、第１の実施例に係る蛍光ランプ１と同様の効果を得ることができる。
【００５５】
第１〜３の実施例では、塗布剤用パイプ残部２５１，２５２を設ける位置を端壁２４１，２４２の中央にしていたが、それ以外の例を第４の実施例として示す。
【００５６】
図８は、本発明に係る第４の実施例の説明図である。
図８（ａ）は、第４の実施例に係る蛍光ランプ１の長手方向に沿った断面図である。図８（ｂ）は、図８（ａ）の蛍光ランプ１の一方の端部の斜視図である。
なお、図８には、図１及び２に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
【００５７】
図８の第４の実施例は、塗布剤用パイプ残部２５１，２５２を端壁２４１，２４２の側縁の位置に設けた点で、図１及び２の第１の実施例と相違する。
図８の第４の実施例の説明として、図１及び２の共通する部分は省略し、相違する部分について述べる。
【００５８】
塗布剤用パイプ残部２５１，２５２は、図８（ｂ）に示すように、端壁２４１，２４２における側縁の位置に設けられる。
側壁２３は、図８（ｂ）に示すように、紙面手前側の面（一方の電極３１，３２が設けられた面）と紙面奥にある不図示の面との端部が、その幅が塗布剤用パイプ残部２５１，２５２に向かって順次狭くなるように直線状の傾斜が設けられる。
端壁２４１，２４２は、この側壁２３の傾斜に沿うと共に、塗布剤用パイプ残部２５１，２５２に向かって傾斜された漏斗状に構成される。図８（ａ）に示す断面においては、端壁２４１，２４２は、紙面右に位置する塗布剤用パイプ残部２５１，２５２に向かって、紙面左に傾斜された漏斗状に構成される。
【００５９】
端壁２４１，２４２の形状が図８に示すような漏斗状であっても、蛍光体塗布工程において、ガラス管６の内部に充填した蛍光体粉末の排出を円滑に行なうことができ、端壁２４１，２４２に蛍光体粉末の溜り（凝縮）が発生することを抑制できる。
このため、第４の実施例に係る蛍光ランプ１は、第１の実施例に係る蛍光ランプ１と同様の効果を得ることができる。
【００６０】
第１〜４の実施例では、端壁２４１，２４２を設ける位置を、側壁２３の端部の端面に設けていたが、それ以外の例を第５の実施例として示す。
【００６１】
図９は、本発明に係る第５の実施例の説明図である。
図９は、第５の実施例に係る蛍光ランプ１の長手方向に沿った断面図である。
なお、図９には、図１に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
【００６２】
図９の第５の実施例は、端壁２４１，２４２を設けた位置が側壁２３の端面から内側に入った領域に設けた点と、端壁２４１，２４２の外周縁から外方に向かって突出する放電容器形成管残部２３１を有する点とで、第１の第１の実施例と相違する。
図９の第５の実施例の説明として、図１との共通する部分は省略し、相違する部分について述べる。
【００６３】
端壁２４１，２４２は、放電容器２の端部において、側壁２３の端面から内側の位置に設けられる。これにより、端壁２４１，２４２の外周縁から放電容器２の長手方向に向かって突出する放電容器形成管残部２３１が設けられる。
【００６４】
端壁２４１，２４２を設ける位置が、図９に示すように、端壁２４１，２４２の端面から内側の位置であっても、端壁２４１，２４２の形状が塗布剤用パイプ残部２５１，２５２に向かって漏斗状であれば、蛍光体塗布工程において、ガラス管６の内部に充填した蛍光体粉末の排出を円滑に行なうことができ、端壁２４１，２４２に蛍光体粉末の溜り（凝縮）が発生することを抑制できる。
このため、第５の実施例に係る蛍光ランプ１は、第１の実施例に係る蛍光ランプ１と同様の効果を得ることができる。
【００６５】
第１〜５の実施例では、放電容器２の形状を直方体形状の一重管で構成したが、それ以外の例を第６の実施例として示す。
【００６６】
図１０は、本発明に係る第６の実施例の説明図である。
図１０は、第６の実施例に係る蛍光ランプ１の長手方向に沿った断面図である。
なお、図１０には、図８に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
【００６７】
図１０の第６の実施例は、放電容器２を円筒状の二重管で構成した点と、他方の電極３２を放電容器２の内管２２の内面に設けた点とで、第４の実施例と相違する。
図１０の第６の実施例の説明として、図８との共通する部分は省略し、相違する部分について述べる。
【００６８】
第６の実施例に係る蛍光ランプ１は、円筒２重管の放電容器２と、放電容器２の内面に設けたガラス層４と、ガラス層４の内面に設けた蛍光体５と、放電容器２の外面に互いに離隔されて設けられた一対の電極３１，３２と、により構成される。
【００６９】
放電容器２は、円筒状の外管２１と、外管２１の内部に外管２１と同軸に配置した内管２２と、により二重管構造の側壁２３と、該側壁２３の長手方向における両端に設けた漏斗状の端壁２４１，２４２と、端壁２４１，２４２に設けた塗布剤用パイプ残部２５１，２５２と、により構成される。この放電容器２を構成する部材としては、例えば石英ガラスが挙げられ、蛍光体５からの励起光を透過する部材が用いられる。
【００７０】
側壁２３は、図１０に示すように、その端面が傾斜状である。
端壁２４１，２４２は、この側壁２３の傾斜に沿うと共に、塗布剤用パイプ残部２５１，２５２に向かって傾斜された漏斗状に構成される。図１０に示す断面においては、端壁２４１，２４２は、紙面右に位置する塗布剤用パイプ残部に向かって、紙面左から傾斜された漏斗状に構成される。
【００７１】
二重管構造の側壁２３には、外管２１側の外周面に網状の一方の電極３１が設けられ、内管２２の外周面の円筒板状の他方の電極３２が設けられる。
これにより、一対の電極３１，３２は、放電容器２の内管２２及び外管２１に介在され、外管２１と内管２２との間にある放電空間２６にも介在される。
【００７２】
放電容器２の形状が図１０に示すような二重管構造であっても、端壁２４１，２４２の形状が塗布剤用パイプ残部２５１，２５２に向かって漏斗状であれば、蛍光体塗布工程において、ガラス管６の内部に充填した蛍光体粉末の排出を円滑に行なうことができ、端壁２４１，２４２に蛍光体粉末の溜り（凝縮）が発生することを抑制できる。
このため、第６の実施例に係る蛍光ランプ１は、第４の実施例に係る蛍光ランプ１と同様の効果を得ることができる。
【００７３】
第１〜６の実施例では、塗布剤用パイプ残部２５１，２５２を端壁２４１，２４２に設けたが、それ以外の例を第７の実施例として示す。
【００７４】
図１１は、本発明に係る第７の実施例の説明図である。
図１１（ａ）は、第７の実施例に係る蛍光ランプ１の一方の端部を示した斜視図である。図１１（ｂ）は、図１１（ａ）の蛍光ランプ１の一方の端部を示した断面図である。
なお、図１１には、図８に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
【００７５】
図１１の第７の実施例は、塗布剤用パイプ残部２５１，２５２を側壁２３に設けた点で、図８の第４の実施例と相違する。
図１１の第７の実施例の説明として、図８と共通する部分は省略し、相違する部分について述べる。
【００７６】
一方の塗布剤用パイプ残部２５１は、側壁２３の端面近傍に設けられる。一方の塗布剤用パイプ残部２５１は、その形状が側壁２３から放電容器２の長手方向から垂直方向に伸び、続いて放電容器２の長柄方向に向かって屈曲するように、Ｌ字状に構成される。
一方の塗布剤用パイプ残部２５１は、その内面が、傾斜した端壁２４１の内面に連続しており、これにより、蛍光体塗布工程において、ガラス管６の内部に充填した蛍光体粉末を排出する際に、傾斜した端壁２４１を流れてきた蛍光体粉末を、傾斜した端壁２４１の内面に連続した塗布剤用排出パイプの内面に円滑に流して排出することができ、端壁２４１に蛍光体粉末の溜り（凝縮）が発生することを抑制できる。
このため、第６の実施例に係る蛍光ランプ１は、第４の実施例に係る蛍光ランプ１と同様の効果を得ることができる。
【００７７】
なお、一方の塗布剤用パイプ残部２５１を、側壁２３の端面近傍に設けることは、図１０で示したような二重管構造であっても適用することができる。
【００７８】
上述した第１〜７の実施例では、一対の端壁２４１，２４２のうち、少なくとも一方の端部の端壁２４１が塗布剤用パイプ残部２５１に向かって漏斗状であることにより、蛍光体塗布工程において、ガラス管６の内部に充填した蛍光体粉末を円滑に排出することができる。
ただし、本発明の蛍光ランプ１からの光を照射される被照射物が、大型であるとき、蛍光ランプ１も例えば２ｍ以上のような長尺のものを製造することがある。このとき、蛍光体スラリー７２は粘度を有するものであるため、蛍光体粉末を排出する際に一方の塗布剤用排出パイプ６３１から排出するだけでは十分な排出が行えないことがある。このため、蛍光ランプ１が長尺である場合には、図１に示すように、他方の端壁２４２も、他方の塗布剤排出パイプに向かって漏斗状に構成することで、他方の端壁２４２に蛍光体粉末の溜り（凝縮）が発生することを抑制でき、他方の端壁２４２に設けられた蛍光体５の剥がれを抑制できる。
【符号の説明】
【００７９】
１      蛍光ランプ
２      放電容器
２１    外管
２２    内管
２３    側壁
２３１  放電容器形成管残部
２４１  一方の端壁
２４２  他方の端壁
２５１  一方の塗布剤用パイプ残部
２５２  他方の塗布剤用パイプ残部
２６    放電空間
３１    一方の電極
３２    他方の電極
４      ガラス層
５      蛍光体
６      ガラス管
６１    放電容器形成管
６２    端壁形成板
６２１  穴部
６３１  一方の塗布剤用排出パイプ
６３２  他方の塗布剤用排出パイプ
７１    ガラススラリー
７２    蛍光体スラリー
８１１  一方のチャック
８１２  他方のチャック
８１３  治具
８２    バーナー
８３    排気装置
Ｃ      回転
Ｎ      窒素ガス
Ｒ      傾斜角度
【図１】
2010177050.tif 000003
【図２】
2010177050.tif 000004
【図３】
2010177050.tif 000005
【図４】
2010177050.tif 000006
【図５】
2010177050.tif 000007
【図６】
2010177050.tif 000008
【図７】
2010177050.tif 000009
【図８】
2010177050.tif 000010
【図９】
2010177050.tif 000011
【図１０】
2010177050.tif 000012
【図１１】
2010177050.tif 000013
【図１２】
2010177050.tif 000014