(57)【要約】【課題】パレット交換時間の短縮を実現するパレット自動交換装置を提供することを目的とする。【解決手段】パレット収納室２に収納されたパレット３を位置決めするパレット位置決め機構５と、パレット収納室２に対してパレット３を出し入れする方向に移動するパレット固定テーブル２０と、パレット３を固定するとともに旋回させる第１の固定部２３を備え、パレット固定テーブル２０とパレット収納室２の間でのパレット３の交換時にパレット固定テーブル２０を移動させながらパレット３旋回させる。【選択図】図１
2010177487.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のパレット収納室が鉛直方向に配備されたパレットマガジンと、前記複数のパレット収納室にそれぞれ配備され、パレット収納室に収納されたパレットの両側方に位置するパレット位置決め部材と、前記パレット位置決め部材を、前記パレット収納室に収納されたパレットの両側部に接触する位置と接触しない位置とに変位させるパレット位置決め部材変位手段と、前記パレットマガジンに対してパレットを出し入れする方向に配置されたパレット固定テーブルと、前記パレット固定テーブルに配備され、パレットの被係合部と係合するパレット係合部材と、前記パレット固定テーブルを前記パレットマガジンに対して接近する方向と離反する方向とに移動させるパレット移動手段と、前記パレット固定テーブルに配備され、前記パレット係合部材を旋回させるパレット旋回手段とを備えたパレット自動交換装置において、
前記パレット位置決め部材をパレットに接触させて、前記パレットマガジンに対するパレットの位置を位置決めする工程と、前記位置決めされたパレットの被係合部に前記パレット係合部材を係合させる工程と、前記パレット位置決め部材をパレットから離反させる工程と、前記パレットマガジンからパレットを取り出す工程と、前記パレットマガジンから完全に取り出したパレットを旋回させ、前記パレット固定テーブル上の所定の位置に固定する工程とを含むことを特徴とするパレット自動交換方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイボンディング装置等に用いられるダイ供給用のパレットを自動交換するパレット自動交換方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ウェハシートから剥ぎ取ったダイを熱圧着等によって基板に実装するダイボンディング装置において、柔軟性を有するウェハシートは不定形であり、そのままでは取り扱いが不便であるため、パレットと呼ばれる環状の剛性部材に装着された状態で使用される。特許文献１にはこのようなパレットを用いたダイボンディング装置の例が開示されており、ここでは、パレット収納マガジンに予め複数のパレットを収納しておき、必要に応じて順次取り出し、ダイの供給位置に装着するように構成されている。パレット収納マガジンとダイ供給位置との間でのパレットの移動は、パレットに係合させたアームを直線移動させることで行い、ダイ供給位置に装着されているパレットをパレット収納マガジンに戻すとともに次に装着したいパレットを取り出してダイ供給位置に装着するというパレット交換作業が行われる。
【特許文献１】特開平４−１９６１４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
パレットの交換は、できるだけ短時間で広い占有領域を要することなく行うのが理想的であるが、アームの直線移動で交換を行う場合、パレットの移動はアームの移動形態に倣うため、交換時間の短縮には直動機構上の制約に伴う限界がある。また、アームの移動のためだけに装置内の限られた領域を直動機構に占有させることは面積生産性やコストの面から問題がある。
【０００４】
そこで本発明は、パレット交換時間の短縮を実現するパレット自動交換方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のパレット自動交換方法は、複数のパレット収納室が鉛直方向に配備されたパレットマガジンと、前記複数のパレット収納室にそれぞれ配備され、パレット収納室に収納されたパレットの両側方に位置するパレット位置決め部材と、前記パレット位置決め部材を、前記パレット収納室に収納されたパレットの両側部に接触する位置と接触しない位置とに変位させるパレット位置決め部材変位手段と、前記パレットマガジンに対してパレットを出し入れする方向に配置されたパレット固定テーブルと、前記パレット固定テーブルに配備され、パレットの被係合部と係合するパレット係合部材と、前記パレット固定テーブルを前記パレットマガジンに対して接近する方向と離反する方向とに移動させるパレット移動手段と、前記パレット固定テーブルに配備され、前記パレット係合部材を旋回させるパレット旋回手段とを備えたパレット自動交換装置において、前記パレット位置決め部材をパレットに接触させて、前記パレットマガジンに対するパレットの位置を位置決めする工程と、前記位置決めされたパレットの被係合部に前記パレット係合部材を係合させる工程と、前記パレット位置決め部材をパレットから離反させる工程と、前記パレットマガジンからパレットを取り出す工程と、前記パレットマガジンから完全に取り出したパレットを旋回させ、前記パレット固定テーブル上の所定の位置に固定する工程とを含む。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、パレットの直線運動の他に旋回運動を追加したことにより、パレットの直線
移動距離を短縮することができ、さらに直線運動と旋回運動を同時に行うことでパレット交換に要する時間を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態におけるパレット自動交換装置の平面図、図２は本発明の実施の形態におけるパレット自動交換装置の側面図、図３は本発明の実施の形態におけるパレット位置決め機構の爪の動きの説明図、図４は本発明の実施の形態における第１のパレット固定部のパレット固定機構を説明図、図５は本発明の実施の形態におけるウェハリングの平面図、図６は本発明の実施の形態におけるパレット回転部の平面図、図７は本発明の実施の形態におけるパレット基部の平面図、図８は本発明の実施の形態におけるパレット基部にパレット回転部を装着した状態であるパレットの平面図、図９は本発明の実施の形態におけるウェハリング固定部材でウェハリングを固定した状態図、図１０は本発明の実施の形態におけるパレット基部にパレット回転部を装着した状態図、図１１は本発明の実施の形態におけるパレット回転規制機構の説明図、図１２は本発明の実施の形態における第２のパレット固定部のパレット固定機構の説明図、図１３は本発明の実施の形態における第２のパレット固定部のパレット固定機構の説明図、図１４は本発明の実施の形態における第２のパレット固定部のパレット固定機構の説明図、図１５は本発明の実施の形態における第２のパレット固定部のパレット固定機構の説明図、図１６は本発明の実施の形態におけるパレット自動交換の工程の説明図、図１７は本発明の実施の形態におけるパレット自動交換の工程の説明図、図１８は本発明の実施の形態におけるパレット自動交換の工程の説明図、図１９は本発明の実施の形態におけるパレット自動交換の工程の説明図、図２０は本発明の実施の形態におけるパレット自動交換の工程の説明図、図２１は本発明の実施の形態におけるトレイを装着したパレットの平面図である。
【０００８】
最初にパレット自動交換装置について説明する。図１、図２において、パレットマガジン１は上下方向に区分けされた複数のパレット収納室２を備え、各パレット収納室２にパレット３が一個ずつ収納されている。最上層のパレット収納室２は収納されていたパレット３が取り出されて空室となっている。パレットマガジン１は昇降装置４によって上下に移動可能であり、パレットを取り出すときには取り出したいパレット３を収納したパレット収納室２を所定の高さに位置決めし、取り出したパレット３を収納するときには空室となっているパレット収納室２を所定の高さに位置決めする。
【０００９】
パレットマガジン１には収納された各パレット３の位置を横方向（パレット３の出し入れ方向に直交する方向）に規制するパレット位置決め機構５と、パレット３がマガジン内から飛び出さないように前後方向（パレット３の出し入れ方向）に押さえ付けるパレット飛び出し防止機構６が備わっている。
【００１０】
パレット位置決め機構５は、パレットマガジン１に収納された各パレット３の両側面にパレット位置決め部材となる爪７を接触させることで、パレットマガジン１内のパレット３の横方向における位置決めを行う。パレットマガジン１の両側方には鉛直方向に立てられた回転軸８が２つずつ配置されており、各回転軸８にはパレットマガジン１に収納された各パレット３と同じ高さになる位置に爪７が装着されている。爪７は回転軸８に偏心した位置で装着されており、回転軸８の回転によって各パレット３の両側面に接触するようになっている。パレットマガジン１はパレット出し入れ側以外の３つの側面は閉鎖されているが、両側面には爪７がパレット３に接触できる程度の開口９が形成されている。
【００１１】
パレットマガジン１の上部には回転軸８を回転させる駆動源となるシリンダ１０が配置されている。シリンダ１０はピストンロッド１１を伸縮させることでリンク部１２を介して回転軸８を所定の角度だけ回転させる。ピストンロッド１１が縮まった状態では爪７は
パレット３の両側面と接触し、パレット３の横方向への移動を規制して所定の位置に位置決めする（図３ａ参照）。これに対しピストンロッド１１が伸びた状態では爪７はパレット３の両側面から離れ、パレット３は規制を解かれた状態となる（図３ｂ参照）。この状態においてパレット３をパレットマガジン１から取り出すことが可能であり、またパレット３をパレットマガジン１に収納することが可能である。
【００１２】
パレット飛び出し防止機構６はパレットマガジン１に収納された各パレット３の端部に係合部材１３を接触させることで前後方向における移動を規制し、マガジン内に固定して飛び出しを防止する。係合部材１３は鉛直に立てられた棒状の部材であり、回転軸１４を中心として回動し、パレットマガジン１のパレット出し入れ側の前面で各パレット３の端部に接触する位置と、この前面からパレットマガジン１の両側面側に退避した位置とに移動する。パレットマガジン１の下部に係合部材１３を移動させる駆動源となるシリンダ機構１５が配置されている。シリンダ機構１５の直線運動は図示しないリンク機構を介して係合部材１３の回動に変換される。
【００１３】
パレット固定テーブル２０はパレットマガジン１から取り出したパレット３を固定する場であり、パレットマガジン１のパレット出し入れ側に配置されている。パレット固定テーブル２０は２つの直動テーブル２１、２２によって水平移動可能であり、パレット３を固定するためのパレット固定部２３、２４を備えている。第１の直動テーブル２１はボールねじ機構２５によってパレット固定テーブル２０をパレット３の出し入れ方向に移動させる。第２の直動テーブル２２はボールねじ機構２６によってパレット固定テーブル２０をパレット３の出し入れ方向と直交する方向に移動させる。
【００１４】
第１のパレット固定部２３は、パレット固定テーブル２０の上部であってパレットマガジン１に近い側に水平旋回可能に配置され、パレット３と係合して固定するパレット係合部材である。第１のパレット固定部２３はパレット３の端部に水平方向に並設されている２つの突起部１６を挿嵌する２つの陥没部１７を備えている。第１のパレット固定部２３はパレット固定テーブル２０に回転軸２７によって枢支されており、モータ２８を駆動源として水平に旋回することで向きを変えることが可能である。
【００１５】
第２のパレット固定部２４はパレット固定テーブル２０の上部であってパレットマガジン１から遠い側に配置されている。第２のパレット固定部２４はパレット３の第１のパレット固定部２３によって固定された側の反対側を固定する。パレットマガジン１から取り出されたパレット３は、第１のパレット固定部２３と第２のパレット固定部２４によって前後側を固定されることでパレット固定テーブル２０の所定の位置に水平に固定される。
【００１６】
ピックアップ装置３０とエジェクタ装置３１はパレット３から電子部品３２を取り出す機能を有する。パレット３には中央部に上下に貫通する空間が形成されており、この空間の上方にウェハシート３３に貼り付けられた電子部品３２が位置している。パレット固定テーブル２０の移動によって所定のピックアップ位置に位置決めされた電子部品３２は、下方からエジェクタ装置３１によって突き上げられ、上方からピックアップ装置３０のノズル３４によって吸着されることでパレット３からピックアップされる。
【００１７】
カメラ３５はピックアップ位置に位置決めされた電子部品３２を撮像する。撮像によって得られた電子部品３２の画像データは電子部品３２を基板３６に搭載する際に用いられる。電子部品３２の向きが傾いている場合にはノズル３４の回転によって補正し、位置ずれについては基板３６を支持する基板テーブル３７を移動することで補正する。
【００１８】
次に第１のパレット固定部２３のパレット固定機構について説明する。図４に示すように、第１のパレット固定部材２３はパレット３に配備された突起部１６を陥没部１７に挿
入させてパレット３を固定する。突起部１６はパレット３の端部から水平に突出しており、先端方向に向けて縮径する錐体状の部位（錐体部）４０が形成されている。錐体部４０の先には錐体部４０の最も先端側の細い部分よりさらに小径の部位４１が形成され、その先には小径部位４１より大径の部位４２が形成されている。
【００１９】
第１のパレット固定部２３の陥没部１７には錐体部４０の外周面と同形の内周面４３が形成されている。内周面４３の内側の空間は大径側が外部に開口している。内周面４３のさらに奥には突起部１６の挿入方向に移動可能な係止部材４４が配置されている。係止部材４４は中空であり、被係合部材となる突起部１６の大径部位４２が中空部に挿入される。係止部材４４には大径部位４２の外周と係合する複数の係合子４５が配備されている。陥没部１７の奥側には突起部１６の挿入方向に縮径するテーパ面４６が形成されている。大径部位４２にはテーパ面４６とは反対の傾斜をなすテーパ面４７が形成されている。
【００２０】
図４（ｂ）に示すように、大径部位４２を挿入した係止部材４４を陥没部１７の奥側に移動させると、テーパ面４６に接触した係合子４５が内側に移動して大径部位４２のテーパ面４７に接触し、大径部位４２を係止部材４４の奥側に押し付ける働きを担う。これにより、錐体部４０の外周面と第１のパレット固定部２３の内周面４３が完全に密着し、パレット３は第１のパレット固定部２３に強固に固定される。
【００２１】
係止部材４４はピストンロッド４８と接続されており、ピストンロッド４８を縮めたときにパレット３を固定し、ピストンロッド４８を伸ばしたときにパレット３の固定を解除する。またピストンロッド４８を伸ばしたときに陥没部１７に突起部１６を挿入することができる。
【００２２】
次にパレット３の構造について説明する。パレット３は、ウェハリング５０（図５参照）とパレット基部５１（図６参照）とパレット回転部５２（図７参照）とで構成されている。ウェハリング５０は環状の剛体のリングフレーム５３で柔軟性を有するウェハシート５４を保持したものである。ウェハシート５４は粘着性を有する表面に複数の電子部品３２に個片化された半導体ウェハが貼り付けられている。ウェハリング５０はパレット回転部５２の上に固定され、パレット回転部５２はパレット基部５１の上にパレット基部５１に対して回転自在に装着される。
【００２３】
パレット基部５１の端部には前記の突起部１６が配置され、これと対向する側には切欠部４９が形成されている。パレット基部５１は、突起部１６が第１のパレット固定部２３と係合し、切欠部４９が第２のパレット固定部２４と係合することでパレット固定テーブル２０に固定される。
【００２４】
パレット回転部５２の上面にはリングフレーム５３の中空部より小径のリング部５５が配置され、リング部５５の外側に４つのウェハリング固定部材５６が等間隔で配置されている。リング部５５の内側は上下に貫通する空間となっている。ウェハリング固定部材５６は指掛け部５７とストッパ５８からなり、軸５９によってパレット回転部５２に枢支されている。ストッパ５８は軸５９よりリング部５５に近いところを軸５９を中心にパレット回転部５２と平行に回動する。ウェハリング５０はウェハシート５４がリング部５５に接触するようにパレット回転部５２に重ねられ、ウェハリング固定部材５６によってリングフレーム５３が固定される（図８、図９参照）。このときリングフレーム５３はリング部５５の上端より少し下がった位置まで押し下げられるので、リングフレーム５３の内側でウェハシート５４が延展する。これによりウェハシート５４に貼着されている電子部品３２の間隔が広がるので、ピックアップのときに隣の電子部品３２との干渉を避けることができる。
【００２５】
パレット基部５１の中央は上下に貫通する空間となっている。この空間の周囲に３つのローラ６０が等間隔で配置されている。パレット回転部５２のリング部５５の外周にはローラ６０の外周と係合する溝が形成されたローラ受け部６１が配置されている（図１０参照）。ローラ受け部６１に３つのローラ６０が係合することによってパレット回転部５２はパレット基部５１の上に若干のクリアランスをもって装着されている。パレット回転部５２は３つのローラ６０のみによって支持されているだけであり、パレット基部５１に対して回転自在である。
【００２６】
次にパレット回転規制機構について図１１を参照して説明する。パレット基部５１にはローラ受け部６１の内周側に位置する係合部材６２が配置されている。係合部材６２は圧縮バネ６３の弾性力によってローラ受け部６１の内周面に押し当てられている。係合部材６２にはローラ受け部６１の内周に面する小さな孔６４が形成されており、ローラ受け部６１の内周面に形成された小さな突起６５が孔６４の内側に収まっている。この状態では突起６５の動きは孔６４によって制限されるので、パレット回転部５２はパレット基部５１に対して回転不可能な状態になる（図１１ａ参照）。
【００２７】
パレット基部５１の端部には係合部材６２と連結された押し釦６６が配置されている。この押し釦６６を押すことで係合部材６２は圧縮バネ６３の弾性力に抗して移動し、ローラ受け部６１の内周面から離れ、これによりパレット回転部５２はパレット基部５１に対して自由に回転することができるようになる（図１１ｂ参照）。
【００２８】
次に第２のパレット固定部２４のパレット固定機構について図１２、図１３、図１４を参照して説明する。第２のパレット固定部２４はパレット基部５１に２箇所設けられた切欠部４９と係合する係合部７０を備えている。２つの切欠部４９は離れた位置に同じ高さに設けられている。係合部７０はそれぞれの切欠部４９と対応して２箇所同じ高さに設けられている。
【００２９】
第２のパレット固定部２４の下面にはスライダ７１が配置されている。このスライダ７１はパレット固定テーブル２０の上面に配置されたレール７２に装着されている。第２のパレット固定部２４はピストンロッド７３の伸縮によってレール７２に沿って直線移動する。第２のパレット固定部２４は第１のパレット固定部２３側に移動したときにパレット基部５１を固定し（図１２）、反対側に移動したときにパレット基部５１の固定を解除する（図１３）。
【００３０】
図１４は係合部７０と切欠部４９とが係合した状態を側面図で示している。切欠部４９には断面円形のピン７４が横向きに装着されている。係合部７０の先端はピン７０を上下に挟むＶ字型の溝７５が形成されており、第２のパレット固定部２４が第１のパレット固定部２３側に移動したときにＶ字溝７５がピン７４と接触するようになっている（図１４ａ）。係合部７０は圧縮ばね７６によって第２のパレット固定部２４から離れる側に付勢されており、接触したそれぞれのピン７４をＶ字溝７５の最奥部に押し付けてパレット基部５１を水平に固定する（図１４ｂ）。
【００３１】
次にパレット回転部５２を回転させるための機構について説明する。図７においてパレット回転部５２には円弧型の従動ギヤ８０が備わっている。図１２において第２のパレット固定部２４には、従動ギヤ８０と螺合する駆動ギヤ８１と、駆動ギヤ８１と螺合する主動ギヤ８２が備わっている。第２のパレット固定部２４がパレット基部５１を固定したときに駆動ギヤ８１が従動ギヤ８０に係合するようになっている。主動ギヤ８２はモータ８３によって駆動し、駆動ギヤ８１を経て従動ギヤ８０に駆動力を伝達する。モータ８３の駆動制御によりパレット回転部５２の回転角を調整することができる。
【００３２】
第２のパレット固定部２４にはパレット回転部５２の回転角を規制する機構が備わっている。第２のパレット固定部２４には駆動ギヤ８１を挟んだ位置に一対の光センサ８４、８５が配置され、パレット回転部５２に装着されている遮光プレート８６（図７）を検出するようになっている。パレット回転部５２の回転に伴って移動する遮光プレート８６が光センサ８４、８５から発せられる光と干渉するとモータ８３の駆動停止によりパレット回転部５２の回転が停止する。
【００３３】
さらに第２のパレット固定部２４にはパレット基部５１の押し釦６６を押すための係合解除部材８７が備わっている。係合解除部材８７は、図１５に示すように駆動ギヤ８１と従動ギヤ８０が互いの刃先が干渉し合うような位置まで第２のパレット固定部２４が移動したときに始めて押し釦６６に接触するように配置されている。これにより係合部材６２による係合が解除されたときには駆動ギヤ８１と従動ギヤ８０が互いに係合した状態になるので、不意にパレット回転部５２が回転してしまうことを防止することができる。
【００３４】
次にパレットの自動交換について説明する。ここではパレットマガジン１から取り出したパレット３をパレット固定テーブル２０に固定するまでの工程について図面を参照しながら説明を行う。最初に図１６に示すように、第１のパレット固定部２３を取り出し予定のパレット３の突起部１６に相対させる。パレット自動交換装置の動作としては、第１のパレット固定部２３の水平旋回（矢印ａ）とパレット固定テーブル２０の水平移動（矢印ｂ、ｃ）によって両者の水平方向の位置合わせを行い、パレットマガジン１の上下移動によって両者の高さ方向に位置合わせを行う。またパレット３は、パレット位置決め機構５によってパレットマガジン１内で固定された状態で位置決めされており、さらにパレット飛び出し防止機構６によってパレットマガジン１内から飛び出さないように前後方向への移動が規制された状態にある。
【００３５】
そして図１７に示すように、パレット固定テーブル２０をパレットマガジン１内で固定されたパレット３に向けて水平移動させ、第１のパレット固定部２３を２つの突起部１６に係合させる。そして図１８に示すように、パレット位置決め機構５とパレット飛び出し防止機構６によるパレット３の固定を解除した後にパレット固定テーブル２０を水平移動させ、パレットマガジン１からパレット３を取り出す。このときパレット３は一端を第１のパレット固定部２３によって固定された片持ちの状態で保持されている。
【００３６】
パレットマガジン１内からパレット３が完全に取り出されると、第１のパレット固定部２３が水平旋回し、図１９に示すようにパレット３の向きを１８０度変換する。この向き変換によってパレット３の他端側（第１のパレット固定部２３で固定されていない側）が第２のパレット固定部２４と相対する位置関係となる。その後、第２のパレット固定部２４が図２０に示すようにパレット３側に移動し、パレット３の端部と係合してパレット３を他端側から固定する。同時に駆動ギヤ８１が従動ギヤ８０と螺合し、パレット回転部５２の回転が可能な状態となる。このときパレット３は第１のパレット固定部２３と第２のパレット固定部２４によって対向する側を両持ちされた状態でパレット固定テーブル２０上に固定される。
【００３７】
以上の説明したパレット自動交換装置の利点としては、まず、パレット交換に際して直線移動の他に水平旋回を行うことでパレットの直線移動距離を短縮化することができ、従来の装置に比べて装置全体の簡素化および小型化が実現できることが挙げられる。またパレットの直線移動と旋回を同時に行うことができるので、パレット交換に要する時間を短縮することができる。それから、パレットは複数の突起部を有し、それぞれパレット固定部の陥没部に係合させることで複数の箇所で固定されるので、位置決めにおける精度や再現性がよい。さらに、突起部の錐体部の錐体部の外周面と陥没部に内周面を密着させてパレットを固定することで、移動や旋回中に慣性力や遠心力が作用してもパレットの位置は
ずれることなく強固に保たれる。
【００３８】
また、パレットは片持ちされた状態で移動するため、自重により固定されていない側が垂下する場合がありうるが、パレット固定テーブル上では両持ちの状態で固定されるので水平に保たれる。両持ちで固定されたパレットはパレット固定テーブルの移動の際にも振動や位置ずれが効果的に抑えられるので、電子部品の位置決め精度が向上することになる。
【００３９】
さらに、パレット収納室２に配備された爪７によってパレット３をパレッマガジン１に対して固定できようにしたことで、パレット収納時の作業性とパレット交換時のパレット３の安定性の両立が可能になった。パレット収納室２は、パレット３の幅より若干幅広に作られており、これによりパレット３とパレットマガジン１の接触抵抗を無くしてパレット収納時の作業性を向上させている。しかしその反面、両者の間の隙間によってパレット３がパレットマガジン１内で遊んでしまい、位置ずれやパレットマガジン１からの脱落などの不具合が生じていた。爪７は、パレット３の両側部に接触する位置と接触しない位置とに変位可能であるので、パレット収納時にはパレット３に接触させないことで作業性が維持され、それ以外の場面では接触させておくことでパレットマガジン１内におけるパレット３の位置や姿勢が安定することになる。
【００４０】
パレット自動交換装置は、図２１に示すように、ウェハシートではなくトレイ９０を装着しているパレット９１も使用することができる。パレット９１は、パレット３と外形を同じくし、さらに同様の突起部９２を備えている。矩形のトレイ９０は、パレット９１の右下部にある位置決め板９３に右下の角部を当て、上辺と左辺をそれぞれ寄せ板９４、９５に当てた状態でパレット９１の略中央に固定されている。寄せ板９４、９５はそれぞれ溝９６、９７に沿って移動可能であり、図示しない付勢手段であるコイルばねによってそれぞれ下方および右方に付勢されている。トレイ９０には格子状に凹部９８が形成されており、この凹部９８に電子部品９９が一個ずつ収納されている。
【００４１】
電子部品３２がウェハシート５４に貼り付けられているパレット３と違い、パレット９１では電子部品９９は凹部９８に置かれているだけなので、パレットマガジン１とパレット９１との間に隙間があると突起部１６と陥没部１７の間に水平方向の位置ずれが生じるため、パレット固定時に振動や衝撃が発生することによって凹部９８やトレイ９９から飛び出し易い。この場合でも、爪７によってパレット９１を固定することで、パレットマガジン１内でパレット９１が遊ぶことがなくなり、振動や衝撃の発生を極力抑制することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明は、パレットの直線運動の他に旋回運動を追加したことにより、パレットの直線移動距離を短縮することができ、さらに直線運動と旋回運動を同時に行うことでパレット交換に要する時間を短縮することができ、殊に複数のパレットを用いてチップの搭載を行うマルチチップボンダ等に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施の形態におけるパレット自動交換装置の平面図
【図２】本発明の実施の形態におけるパレット自動交換装置の側面図
【図３】本発明の実施の形態におけるパレット位置決め機構の爪の動きの説明図
【図４】本発明の実施の形態における第１のパレット固定部のパレット固定機構を説明図
【図５】本発明の実施の形態におけるウェハリングの平面図
【図６】本発明の実施の形態におけるパレット回転部の平面図
【図７】本発明の実施の形態におけるパレット基部の平面図
【図８】本発明の実施の形態におけるパレット基部にパレット回転部を装着した状態であるパレットの平面図
【図９】本発明の実施の形態におけるウェハリング固定部材でウェハリングを固定した状態図
【図１０】本発明の実施の形態におけるパレット基部にパレット回転部を装着した状態図
【図１１】本発明の実施の形態におけるパレット回転規制機構の説明図
【図１２】本発明の実施の形態における第２のパレット固定部のパレット固定機構の説明図
【図１３】本発明の実施の形態における第２のパレット固定部のパレット固定機構の説明図
【図１４】本発明の実施の形態における第２のパレット固定部のパレット固定機構の説明図
【図１５】本発明の実施の形態における第２のパレット固定部のパレット固定機構の説明図
【図１６】本発明の実施の形態におけるパレット自動交換の工程の説明図
【図１７】本発明の実施の形態におけるパレット自動交換の工程の説明図
【図１８】本発明の実施の形態におけるパレット自動交換の工程の説明図
【図１９】本発明の実施の形態におけるパレット自動交換の工程の説明図
【図２０】本発明の実施の形態におけるパレット自動交換の工程の説明図
【図２１】本発明の実施の形態におけるトレイを装着したパレットの平面図
【符号の説明】
【００４４】
１  パレットマガジン
２  パレット収納室
３、９１  パレット
７  爪（パレット位置決め部材）
１６  突起部
１７  陥没部
２０  パレット固定テーブル
２３  第１のパレット固定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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