(57)【要約】      （修正有）【課題】基板の微細化及び複雑化に対応することができ、部品点数を低減した簡素化した構造の検査用治具を提供する。【解決手段】被検査対象の検査体と検査装置とを接続する検査用治具であって、接触子２が、両端に開口部を有する外側筒体２ｂと、外側筒体の内側に収容され外側筒体の両端から夫々突出して配置される内側筒体２ａを備え、内側筒体は、検査点と接する第一筒部２ａ１と、内側筒体の長手方向に伸縮する第一伸縮部２ａ４と、他方端が電極部に当接する第二筒部２ａ２と、該接触子の長手方向に伸縮する第二伸縮部２ａ５と、第一伸縮部と前記第二伸縮部を連通連結する第三筒部２ａ３とを有し、第一筒部、第一伸縮部、第三筒部、第二伸縮部と第二筒部が一の筒部材から形成されてなり、第三筒部は外側筒体と前記内側筒体を固着する接続部が形成される。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査対象となる被検査物と該被検査物に形成される検査体の電気的特性を検査する検査装置とを電気的に接続する検査用治具であって、
一端が該被検査物の検査体上に予め設定される所定の検査点に圧接され、他端が前記検査装置に電気的に接続される電極部と圧接される接触子と、
前記接触子の一端を前記検査点へ案内するための第一案内孔を有する第一板状部材と、
前記第一板状部材と所定間隔を有して配置されるとともに、前記接触子の他端を前記電極部へ案内するための第二案内孔を有する第二板状部材と、
前記電極部が複数形成されてなる電極体を備えてなり、
前記接触子は、
両端に開口部を有する外側筒体と、
前記外側筒体の内側に収容されるとともに、該外側筒体の両端から夫々突出するように配置される内側筒体とを備えてなり、
前記内側筒体は、
一方端が前記検査点に当接するとともに、前記第一案内孔に貫通挿入される第一筒部と、
前記第一筒部と同軸状に形成されるとともに、該内側筒体の長手方向に伸縮する第一伸縮部と、
他方端が前記電極部に当接するとともに、前記第二案内孔に貫通挿入される第二筒部と、
前記第二筒部と同軸状に形成されるとともに、該接触子の長手方向に伸縮する第二伸縮部と、
前記第一伸縮部と前記第二伸縮部を連通連結する第三筒部とを有し、
前記第一筒部、前記第一伸縮部、前記第三筒部、前記第二伸縮部と前記第二筒部が一の筒部材から形成されてなり、
前記第三筒部は、前記外側筒体と前記内側筒体を固着する接続部が形成され、
前記第一案内孔は、
前記内側筒体の径よりも大きく且つ前記外側筒体の径よりも小さい径を有して形成されることを特徴とする検査用治具。
【請求項２】
前記接触子は、該接触子の中心に対して、対称となる形状を有するように形成されていることを特徴とする請求項１記載の検査用治具。
【請求項３】
前記内側筒体及び前記外側筒体は、ニッケルを主成分とする合金により形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の検査用治具。
【請求項４】
前記外側筒体の外径が、250μｍ以下に形成されることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載される検査用治具。
【請求項５】
前記外側筒体と前記内側筒体の夫々の肉厚が、略5〜50μｍに形成されていることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載される検査用治具。
【請求項６】
前記検査用治具の接触子が、該検査用治具に装着された未使用時に、前記第一伸縮部が自然長であり、前記第二伸縮部が付勢状態であることを特徴とする請求項１記載の検査用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物の検査対象部上に予め設定される検査点とこの検査を実施する検査装置とを電気的に接続する検査用治具に関する。
【０００２】
本発明の検査用治具とは、被検査物が有する検査対象部に、検査装置から電力或いは電気信号を所定検査位置に供給するとともに、検査対象部から電気信号を検出することによって、検査対象部の電気的特性を検出したり、動作試験を行ったりすることを可能にする。
【０００３】
このような被検査物とは、例えば、プリント配線基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板や、半導体ウェハや半導体チップやCSP(Chip size package)などの半導体装置を例示することができる。
【０００４】
本明細書では、これらの上記の被検査物を総称して「被検査物」とし、被検査物に形成される検査対象部を「対象部」と称する。
【背景技術】
【０００５】
従来、被検査物の一実施形態である回路基板には、複数の配線が形成されている。この配線は、回路基板上に搭載される電気・電子部品が所望の機能を有するように、電力を供給したり、電気信号を流したりするために形成されている。このため、配線の不良は、回路基板の動作不良につながることが知られている。
【０００６】
このような問題を解決するために、回路基板や半導体装置などの被検査物に形成される配線のような対象部の良否を判定する検査装置の発明が多数提案されている。
【０００７】
このような検査装置は、例えば、被検査物となる基板上に形成される配線の良否を判断するために、配線上に予め設定される複数の検査点と、夫々に接続される複数のプローブ（接触子）を備える検査用治具を用いて検査が実施される。
【０００８】
この検査用治具では、接触子の一端が配線上の検査点に圧接され、その他端が基板検査装置と電気的に接続される電極部に圧接される。そして、この検査用治具を介して、基板検査装置から配線の電気的特性を測定するための電流や電圧を供給するとともに、配線からの電気的信号を基板検査装置へ送信することになる。
【０００９】
近年、技術の進歩により、半導体装置が小さくなったり、基板がより小さくなったりすることにともない、基板上の配線もより微細に且つ複雑に形成されるようになっている。このような基板の配線の微細化及び複雑化が進むにつれて、検査用治具が備える接触子も接触子自体の細線化、接触子間の狭ピッチ化や簡素化が求められている。
【００１０】
例えば、特許文献１に開示される検査用治具では、スプリング機能を有するスリットが形成される筒状部材を用いた接触子が利用されている。この特許文献１の検査用治具では、筒状の接触子を、この接触子を保持案内するための孔部を有する保持部材に挿入し、この孔部の略中央部で接触子を保持するように形成されている。
【００１１】
しかしながら、特許文献１に開示される検査用治具では、長い接触子を保持するために、長い孔部を形成しなければならず、保持部材を製造するために費用がかさむ問題を有していた。特に、細線化や狭ピッチ化に対応するためには、細く且つ長い孔部を形成する必要があり、極めてコスト高になる問題を有していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００８−１９４８４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、基板の微細化及び複雑化に対応することができるとともに、部品点数を低減した簡素化した構造の検査用治具を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
請求項１に記載される発明は、被検査対象となる被検査物と該被検査物に形成される検査体の電気的特性を検査する検査装置とを電気的に接続する検査用治具であって、一端が該被検査物の検査体上に予め設定される所定の検査点に圧接され、他端が前記検査装置に電気的に接続される電極部と圧接される接触子と、前記接触子の一端を前記検査点へ案内するための第一案内孔を有する第一板状部材と、前記第一板状部材と所定間隔を有して配置されるとともに、前記接触子の他端を前記電極部へ案内するための第二案内孔を有する第二板状部材と、前記電極部が複数形成されてなる電極体を備えてなり、前記接触子は、両端に開口部を有する外側筒体と、前記外側筒体の内側に収容されるとともに、該外側筒体の両端から夫々突出するように配置される内側筒体とを備えてなり、前記内側筒体は、一方端が前記検査点に当接するとともに、前記第一案内孔に貫通挿入される第一筒部と、前記第一筒部と同軸状に形成されるとともに、該内側筒体の長手方向に伸縮する第一伸縮部と、他方端が前記電極部に当接するとともに、前記第二案内孔に貫通挿入される第二筒部と、前記第二筒部と同軸状に形成されるとともに、該接触子の長手方向に伸縮する第二伸縮部と、前記第一伸縮部と前記第二伸縮部を連通連結する第三筒部とを有し、前記第一筒部、前記第一伸縮部、前記第三筒部、前記第二伸縮部と前記第二筒部が一の筒部材から形成されてなり、前記第三筒部は、前記外側筒体と前記内側筒体を固着する接続部が形成され、前記第一案内孔は、前記内側筒体の径よりも大きく且つ前記外側筒体の径よりも小さい径を有して形成されることを特徴とする検査用治具を提供する。
【００１５】
請求項２記載の発明は、前記接触子は、該接触子の中心に対して、対称となる形状を有するように形成されていることを特徴とする請求項１記載の検査用治具を提供する。
【００１６】
請求項３記載の発明は、前記内側筒体及び前記外側筒体は、ニッケルを主成分とする合金により形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の検査用治具を提供する。
【００１７】
請求項４記載の発明は、前記外側筒体の外径が、250μｍ以下に形成されることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載される検査用治具を提供する。
【００１８】
請求項５記載の発明は、前記外側筒体と前記内側筒体の夫々の肉厚が、略5〜50μｍに形成されていることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載される検査用治具を提供する。
【００１９】
請求項６記載の発明は、前記検査用治具の接触子が、該検査用治具に装着された未使用時に、前記第一伸縮部が自然長であり、前記第二伸縮部が付勢状態であることを特徴とする請求項１記載の検査用治具を提供する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によると、基板の微細化及び複雑化に対応することができるとともに、部品点数を低減した簡素化した構造の検査用治具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明にかかる検査用治具の一実施形態を示す概略構成図である。
【図２】本発明にかかる接触子の一実施形態の概略構成図であり、（ａ）は内側筒体の断面図を示し、（ｂ）は内側筒体の底面図を示し、（ｃ）は外側筒体の断面図を示し、（ｄ）は外側筒体の底面図を示す。
【図３】本発明の接触子の概略構成図を示し、外側筒体に内側筒体が装着された状態の断面図を示す。
【図４】本発明の接触子を保持体に装着した状態を示す構成図であり、接触子の取り付け位置を説明するため、第一板状部材と第二板状部材は断面で示されている。
【図５】本発明の検査用治具を示す構成図であり、接触子が電極部へ取り付けられた状態を示しており、説明の都合上、保持体と電極体を断面で示し、接触子の内側筒体及び外側筒体の内壁を点線で示している。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明を実施するための最良の形態を説明する。
【００２３】
図１は、本発明にかかる検査用治具の一実施形態を示す概略構成図である。
【００２４】
本発明に係る一実施形態の検査用治具１は、複数の接触子２、これら接触子２を多針状に保持する保持体３、この保持体３を支持するとともに接触子２と接触して導通状態となる電極部を有する電極体４、電極部から電気的に接続されて延設される導線部５を有してなる。
【００２５】
なお、図１では、複数の接触子２として3本の接触子が示されるとともに夫々に対応する3本の導線部５が示されているが、これらは3本に限定されるものではなく、検査対象の基板に設定される検査点に応じて決められる。
【００２６】
接触子２は、その一端が基板の配線上に予め設定される所定の検査点に圧接され、他端が検査装置（図示せず）に電気的に接続される電極部に圧接される。
【００２７】
図２は、本発明にかかる接触子の一実施形態の概略構成図であり、（ａ）は内側筒体の断面図を示し、（ｂ）は内側筒体の底面図を示し、（ｃ）は外側筒体の断面図を示し、（ｄ）は外側筒体の底面図を示している。
【００２８】
本発明にかかる接触子２は、両端に開口部を有する外側筒体２ｂと、外側筒体２ｂの内側に収容されるとともに、外側筒体２ｂの両端から夫々突出するように配置される内側筒体２ａを有して形成される。
【００２９】
内側筒体２ａは、所定の長さを有するとともに中空状の円柱形状である筒状部材により形成される。内側筒体２ａを形成する筒状部材は、その一方端部が検査点に接触し、他方端部が後述する電極部に接触することにより、検査点と電極部の電気的接続を行うことになる。
【００３０】
内側筒体２ａは、第一筒部２ａ１、第二筒部２ａ２、第三筒部２ａ３、第一伸縮部２ａ４と、第二伸縮部２ａ５を有してなる。この内側筒体２ａ１は、図２（ａ）で示される如く、第一筒部２ａ１、第一伸縮部２ａ４、第三筒部２ａ３、第二伸縮部２ａ５、第二筒部２ａ２がこの順番で連通連結して形成される。
【００３１】
第一筒部２ａ１は、一方端が検査点に当接するとともに、後述する第一案内孔３１１（若しくは第一案内上孔３１１ａ）に貫通挿入される。この第一筒部２ａ１は、中空状の円柱形状に形成される。この第一筒部２ａ１の長さは、少なくとも第一案内孔３１１の長さよりも長く形成され、第一筒部２ａ１が検査点に圧接された場合に、第一案内孔に沿って摺動するように形成されている。
【００３２】
第二筒部２ａ２は、一方端が電極部に当接するとともに、後述する第二案内孔３２１に外側筒部２ｂを介して貫通挿入される。この第二筒部２ａ２は、中空状の円柱形状に形成される。この第二筒部２ａ２の長さは、望ましくは第二案内孔の長さよりも長く形成され、第二筒部２ａ２が電極部に圧接された場合に、第二案内孔３２１に貫通挿入された外側筒体２ｂの内壁に沿って摺動するように形成されている。
【００３３】
なお、第一筒部２ａ１と第二筒部２ａ２は、略同じ形状を有することが好ましい。
【００３４】
第一伸縮部２ａ４は、第一筒部２ａ１と同軸状に形成されるとともに、内側筒体２ａの長手方向に伸縮するように形成されている。この第一伸縮部２ａ４は、筒状部材にスリット形状の切欠部が形成されたコイルばね形状を有している。このコイルばね形状部が伸縮機能を果すことになる。
【００３５】
第一伸縮部２ａ４は、第一筒部２ａ１の他方端と第三筒部２ａ３の一方端と夫々連結するように形成されてなり、第一筒部２ａ１と同軸で且つ同径に形成されている。
【００３６】
第二伸縮部２ａ５は、第二筒部２ａ２と同軸状に形成されるとともに、内側筒体２ａの長手方向に伸縮するように形成されている。この第二伸縮部２ａ５は、筒状部材にスリット形状の切欠部が形成されたコイルばね形状を有しており、このコイルばね形状部が伸縮機能を果すことになる。
【００３７】
第二伸縮部２ａ５は、第二筒部２ａ２の他方端と第三筒部２ａ３の他方端と夫々連結するように形成されてなり、第二筒部２ａ２と同軸で且つ同径に形成されている。
【００３８】
第三筒部２ａ３は、第一伸縮部２ａ４と第二伸縮部２ａ５を連通連結する中空状の円柱状に形成される。この第三筒部２ａ３は、一端部は第一伸縮部２ａ４と連結され、他端部は第二伸縮部２ａ５と連結される。
【００３９】
この第三筒部２ａ３は、第一伸縮部２ａ４と第二伸縮部２ａ５と同軸且つ同径を有するように形成されており、さらに、第一筒部２ａ１と第二筒部２ａ２とも同軸且つ同径を有するように形成されている。
【００４０】
この第三筒部２ａ３の長さは、特に限定されないが、後述する外側筒体２ｂとの接続部を形成することができる程度の長さに形成されることになる。なお、図２（ａ）では、第三筒部２ａ３が内側に僅かに凹んだ状態で示されているが、これは後述する外側筒体２ｂと固着された際に形成される窪みを示している。
【００４１】
第一乃至第三筒部と第一乃至第二伸縮部は、上記の如く、同軸且つ同径に形成されることになるので、これらの筒部及び伸縮部は一本の筒状部材から形成される。このように、内側筒体２ａが一本の筒状部材から形成されることにより、効率良く容易に形成することができる。
【００４２】
なお、本実施形態では、第三筒部２ａ３を中心として、第一伸縮部２ａ４と第二伸縮部２ａ５の2つの伸縮部が対象の位置に形成される場合を示しているが、第三筒部２ａ３を中心に所望の数の伸縮部を形成することができる。
【００４３】
この内側筒体２ａは、上記の如き一本の導電性の筒状部材により形成することができ、外径20〜250μｍ、内径10〜230μｍ、その肉厚5〜50μｍに形成することができる。この寸法に形成することにより、微細化及び複雑化された基板の配線や半導体装置などの被検査物に対しても、簡素化した構造の検査装置で対応することができる。
【００４４】
この内側筒体２ａの例では、その中心に対して点対称又は線対称となるように各部位が形成されている。これは、このように対称形状となるように形成されることで、後述する基板検査用治具の保持体に装着する際に、接触子２の上下の区別無く取り扱うことができるからである。
【００４５】
内側筒体２ａは、その一端が検査点に接触し、その他端が電極部に接触して、この内側筒体２ａを介して検査点と電極部との電気的導通を図るため、内側筒体２ａは導電性の材料で形成される。この素材としては、導電性を有する素材であれば特に限定されないが、例えば、ニッケルやニッケル合金やパラジウム合金を例示することができる。
【００４６】
この内側筒体２ａは、上記の如く、導電性を有する材料で形成されることになるが、被検査物の微細化及び複雑化に応じて、接触子２自体も細線化して形成しなければならない。特に、保持板に対して直角方向に伸縮するためには、接触子２自体に伸縮機能を有するように形成しなければならないが、従来の巻線を用いたコイルばねのような部位を形成したのでは、コイル自体の直径の大きさに依存することになり、コイルの直径の４倍程度より小さい径を有するコイルの形成が困難で、外径が１００μｍ以下のコイルばねを形成することは極めて困難であった。仮に形成することができたとしても、製造コストの問題から２〜４千本の検査用治具に利用することは高価に成り過ぎて、実際的でない問題点を有していた。
【００４７】
しかしながら、本願発明では下記の如き製造方法を利用することにより、より安価に且つ容易に微細な接触子を製造することができる。
【００４８】
内側筒体２ａは、下記の如き２つの製造方法を開示することができる。
【００４９】
［製法例１］
（１）まず、内側筒体２ａの中空部を形成する芯線（図示せず）を用意する。なお、この芯線は、内側筒体２ａの内径を規定する所望の太さ（例えば、直径３０μｍ）のＳＵＳ線を用いる。
【００５０】
（２）次いで、芯線（ＳＵＳ線）にフォトレジスト被膜を塗布し、この芯線の周面を覆う。該フォトレジストの所望の部分を露光・現像・加熱処理して螺旋状のマスクを形成する。このとき、例えば、芯線を中心軸に沿って回線させ、レーザーにより露光して螺旋状のマスクを形成されるようにすることができる。本発明の内側筒体２ａを形成するためには、２つの伸縮部（第一伸縮部２ａ４と第二伸縮部２ａ５）が所定距離（第三筒体２ａ３の長さ分の距離）を有して形成されることになる。
【００５１】
（３）次いで、この芯線にニッケルめっきを実施する。このとき、芯線が導電性であるため、フォトレジストマスクが形成されていない箇所は、ニッケルめっきされる。
【００５２】
（４）次いで、フォトレジストマスクを除去して、芯線を引き抜き、所望の長さで筒体を切断して、内側筒体２ａを形成する。芯線を完全に引き抜く前に筒体を切断してもよいことは、いうまでもない。
【００５３】
また、内側筒体２ａは、下記の方法で製造することもできる。
【００５４】
［製法例２］
まず、上記の如き内側筒体２ａの中空部を形成する芯線（図示せず）を用意する。
【００５５】
この芯線にニッケルを所望の厚さにめっきして、芯線の周面にニッケルめっき層を形成する。
【００５６】
（２）次に、このニッケルめっき層の表面にフォトレジストを塗布する。該フォトレジストの所望の部分を露光・現像・加熱処理して螺旋状のマスクを形成する。このとき、例えば、芯線を中心軸に沿って回線させ、レーザーにより露光して螺旋状のマスクを形成されるようにすることができる。本発明の内側筒体２ａを形成するためには、２つの伸縮部（第一伸縮部２ａ４と第二伸縮部２ａ５）が所定距離（第三筒体２ａ３の長さ分の距離）を有して形成されることになる。
【００５７】
（３）次いで、ニッケルめっきをエッチング除去する。このとき、フォトレジストマスクが形成されていない箇所のニッケルめっきが除去される。
【００５８】
（４）次いで、フォトレジストマスクを除去して、芯線を引き抜き、所望の長さで筒体を切断して、内側筒体２ａを形成する。芯線を完全に引き抜く前に筒体を切断してもよいことは、いうまでもない。
【００５９】
従来の巻き線を用いたコイルばね方式は、巻き線材料の直径に依存して、該直径の４倍程度より小さい直径を有するコイルの形成が困難で、１００μｍ以下のコイルばねを形成することが極めて困難であった。上記の製法による本発明の内側筒体２ａは、芯線をニッケルめっきして、所望の形状を形成した後、芯線を引き抜くことにより製造するので、従来の巻き線を用いたコイルばね方式のものよりも、ばね材料の肉厚を薄くすることができ、同時に微細な外径及び内径を精度よく自在に一括製造することができる。
【００６０】
外側筒体２ｂは、所定長さを有する中空部２ｂ１を有する円柱形状に形成されている。この外側筒体２ｂは、例えば、外径20〜250μｍ、内径10〜230μｍ、その肉厚5〜50μｍに形成することができる。この寸法に形成されることにより、微細化且つ複雑化された基板に対応することができるようになる。
【００６１】
外側筒体２ｂの中空部２ｂ１に、内側筒体２ａが同軸となるように配置されることになる。このとき、内側筒体２ａの第一筒部２ａ１と第二筒部２ａ２が夫々外側筒体２ｂの開口部から延出して配置される（図３参照）。
【００６２】
外側筒体２ｂの長さは、上述した如く、内側筒体２ａの第一筒部２ａ１と第二筒部２ａ２が夫々その開口部から延出することができる程度の長さを有するように形成される。また、この外側筒体２ｂは、内側筒体２ａの第一伸縮部２ａ４と第二伸縮部２ａ５は、外側筒体２ｂの中空部２ｂ１に常に収納される長さを有することが好ましい。これは、内側筒体２ａの両伸縮部が、外側筒体２ｂ内部に常に収容されることにより、両伸縮部が伸縮運動する際の伸縮方向のガイドの役割を果すことができ、伸縮部の耐久性を向上させることができるからである。
【００６３】
図２（ｃ）で示される外側筒体２ｂは、その中央に内側筒体２ａと固着するための接続部２ｂ３が形成される。この接続部２ｂ３は、外側筒体２ｂの中空部２ｂ２に内側筒体２ａが収容され、外側筒体２ｂの両開口端から内側筒体２ａが延出して配置された場合に、図３で示す如く、外側筒体２ｂの略中央を外側から内側へ押圧（かしめ）を行うことにより外側筒体２ｂと内側筒体２ａを固着することにより、外側筒体２ｂに接続部２ｂ３が形成されることになる。このため、この接続部２ｂ３は、内側筒体２ａが収容されて始めて形成されることになる。
【００６４】
なお、図２（ｄ）で示される如く、外側筒体２ｂは、内側筒体２ａと固着するために接続部２ｂ３の部分の内径が他の部分よりも小さく形成されることになる。
【００６５】
なお、外側筒体２ｂと内側筒体２ａは、接続部２ｂ３の部分を固着できれば、レーザー溶接、アーク溶接や接着剤などの他の固着方法を用いても良いことはいうまでもない。
【００６６】
図３で示される如く、本発明の接触子２は、外側筒体２ｂの中空部２ｂ２に内側筒体２ａが配置され、外側筒体２ｂの両開口端から内側筒体２ａの第一筒部２ａ１と第二筒部２ａ２が延出して配置されることになる。
【００６７】
この接触子２は、外観上は、点対称になるように形成されることになることが好ましい。
【００６８】
以上が、接触子２の構成の説明である。
【００６９】
本検査用治具２は、複数の接触子２を多針状に保持するための保持体３を有してなる。
【００７０】
この保持体３は、図４で示される如く、第一板状部材３１と第二板状部材３２を有している。これらの板状部材は、絶縁性の素材で形成されている。
【００７１】
第一板状部材３１は、接触子２の一端を検査点へ案内するための第一案内孔３１１を有する。
【００７２】
第一案内孔３１１は、図４で示される如く、外径の異なる第一案内上孔３１１ａと第一案内下孔３１１ｂが連通連結されて形成されている。
【００７３】
第一案内上孔３１１ａは、内側筒体２ａの外径よりも僅かに大きく、且つ、外側筒体２ｂの外径よりも小さい径を有するように形成されている。
【００７４】
第一案内下孔３１１ｂは、外側筒体２ｂの外径よりも僅かに大きい径を有するように形成されている。
【００７５】
このため、第一案内板状部３１の第一案内孔３１１から接触子２が抜け出ることがない。
【００７６】
この第一案内孔３１１は、上述の如く、外径の相違する２つの孔により形成され、この外径の相違が、接触子２の内側筒体２ａと外側筒体２ｂとの段差で係止されることになる。特に、内側筒体２ａと外側筒体２ｂによる段差は、いずれの筒部もニッケル電鋳層から形成されるため硬度が高く、検査点に何万回、何十万回と摺動が繰り返されても好適な耐久性を有することができる。
【００７７】
第二板状部材３２は、第一板状部材３１と所定間隔を有して配置されるとともに、接触子２の他端を電極部へ案内するための第二案内孔３２１を有する。
【００７８】
この第二板状部材３２と第一板状部材３１との所定間隔ｄ１は、外側筒体２ｂの長さよりも短く且つ第一板状部材３１の第一案内孔３１１内に内側筒体２ａと外側筒体２ｂの段差（境界）が配置されるように設定される。
【００７９】
第二案内孔３２１は、接触子２の外側筒体２ｂの外径よりも僅かに多い径を有するように形成される。このため、保持体３に接触子２を装着する場合には、この第二案内孔３２１側から接触子２を挿入することになる。
【００８０】
図５で示される電極体４は、電極部４１が複数形成されてなる。電極体４は絶縁材料で形成され、導電性材料で形成される電極部４１を保持している。
【００８１】
電極部４１は、各接触子２の内側筒体２ａの端部と接触して導通状態となり、夫々が検査装置と電気的に接続されている。この電極部４１は、銅導線を利用して形成することができ、導線の端面（電極部４１）と電極体４の表面とが略面一となるように配置されている（図５参照）。
【００８２】
接触子２が装着された保持体３は、図５で示される如く、電極体４に装着される。このとき、接触子２の内側筒体２ａの第二筒部２ａ２の他方端部と電極体４の電極部４が当接するように位置決めされて着脱可能に固定される。
【００８３】
保持体３が電極体４に固着される場合に、接触子２は、保持体３の第一板状部材３１から外側筒体２ｂが電極体４側に押圧されることになる。このため、内側筒体２ａの第二伸縮部２ａ５が圧縮されることになり、その圧縮力により第二筒部２ａ２が電極部４１を押圧することになる。つまり、接触子２の内側筒体２ａと電極部４１が安定的な接触状態となる。なお、この場合には、第一伸縮部２ａ４には物理的な力がかかっていない状態であり、自然長の長さを有している。つまり、本検査用治具１では、接触子２が装着された際には、第一板状部材３１が外側筒体２ｂを電極部４１側へ押圧する。この際に、外側筒体２ｂと内側筒体２ａが接続部２ｂ３を介して固着されているため、第二伸縮部２ａ５が電極部４１へ圧接されることになる。
【００８４】
また、実際に検査点に接触子２（内側筒体２ａの第一筒部２ａ１）が接触する際には、その接触に応じて第一伸縮部２ａ４が圧縮されることになり、検査点に対してこの圧縮力により安定して接触することになる。
【００８５】
つまり、第一伸縮部２ａ４と第二伸縮部２ａ５とを利用する場合が相違することになり、接触子２の耐久性を向上させて、寿命を長くすることができる。
【００８６】
導線部５は、電極部４１と検査装置を電気的に接続する。この導線部５の寸法は特に限定されず、検査装置に電気的に接続することができれば構わない。
【００８７】
なお、図１では、導線部５は、検査用治具１の下方面から延出するように配置されており、検査用治具１の下方側から検査装置に接続することができるように形成されている。
【符号の説明】
【００８８】
１・・・・・検査用治具
２・・・・・接触子
２ａ・・・・内側筒体
２ａ１・・・第一筒部
２ａ２・・・第二筒部
２ａ３・・・第三筒部
２ａ４・・・第一伸縮部
２ａ５・・・第二伸縮部
２ｂ・・・・外側筒体
２ｂ３・・・接続部
３・・・・・保持体
３１・・・・第一板状部材
３２・・・・第二板状部材
４・・・・・電極体
４１・・・・電極部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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