(57)【要約】【課題】ＦＰＬフィルム及び保護フィルムの貼り付けを母基板単位で行うことにより、製造ライン全体を自動化できる電気泳動表示素子の製造ライン及び製造方法を提供する。【解決手段】薄膜トランジスタアレイ工程で複数の薄膜トランジスタ及び各種配線が形成された母基板の複数のパネル領域のそれぞれに、ＦＰＬフィルム及び保護フィルムが貼り付けられ、母基板の切断は、ＦＰＬフィルム及び保護フィルムが貼り付けられた後に行われる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のパネル領域が形成された母基板に薄膜トランジスタを形成する薄膜トランジスタアレイラインと、
透明シートに共通電極を形成し、電子インクフィルムを貼り付けてＦＰＬフィルムを形成する電子インクラインと、
前記薄膜トランジスタアレイライン及び前記電子インクラインからそれぞれ前記母基板と前記ＦＰＬフィルムがロードされて、前記母基板に形成された複数のパネル領域に前記ＦＰＬフィルムを貼り付ける貼り付けラインと、
前記貼り付けラインから前記ＦＰＬフィルムが貼り付けられた母基板がロードされて、複数のパネル領域に保護フィルムを貼り付ける保護フィルム貼り付けラインと
から構成され、
前記母基板にはパネル領域がＮ×Ｍ（Ｎ及びＭは２以上）の列及び行で配列され、Ｎ個又はＭ個のロボットアームが備えられて、前記母基板に形成された複数のパネル領域に前記ＦＰＬフィルム及び前記保護フィルムが列又は行単位で貼り付けられる
ことを特徴とする電気泳動表示素子製造ライン。
【請求項２】
前記貼り付けラインは、
前記母基板がロードされる貼り付けテーブルと、
前記母基板と前記ＦＰＬフィルムを整列するために、前記貼り付けテーブルの上部に設置された少なくとも１つのカメラと、
前記貼り付けテーブルにロードされた前記母基板上に前記ＦＰＬフィルムをロードする少なくとも１つのロボットアームと
からなることを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示素子製造ライン。
【請求項３】
前記保護フィルム貼り付けラインは、
前記母基板がロードされる貼り付けテーブルと、
前記母基板と前記保護フィルムを整列するために、前記貼り付けテーブルの上部に設置された少なくとも１つのカメラと、
前記貼り付けテーブルにロードされた前記母基板上に前記保護フィルムをロードする少なくとも１つのロボットアームと
からなることを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示素子製造ライン。
【請求項４】
前記保護フィルムは、前記貼り付けテーブルにおいて前記母基板に貼り付けられることを特徴とする請求項２に記載の電気泳動表示素子製造ライン。
【請求項５】
前記カメラは、Ｎ個又はＭ個備えられ、前記母基板に形成された複数のパネル領域の整列を列及び行単位で行うことを特徴とする請求項２に記載の電気泳動表示素子製造ライン。
【請求項６】
各工程ライン間に配置されて前記母基板を次の工程ラインに移送するコンベヤーベルトをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示素子製造ライン。
【請求項７】
前記各工程ライン間に配置されて工程ラインと工程ラインを同期化するバッファをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示素子製造ライン。
【請求項８】
前記保護フィルム貼り付けラインからロードされた前記母基板を切断して単位電気泳動表示パネルに分離する切断ラインをさらに含む請求項１に記載の電気泳動表示素子製造ライン。
【請求項９】
複数のパネル領域が形成された母基板に薄膜トランジスタを形成する段階と、
透明シートに共通電極を形成し、電子インクフィルムを貼り付けてＦＰＬフィルムを形成する段階と、
前記母基板に形成された複数のパネル領域のそれぞれにＦＰＬフィルムを貼り付ける段階と、
前記ＦＰＬフィルムが貼り付けられた前記母基板の複数のパネル領域のそれぞれに保護フィルムを貼り付ける段階と
から構成され、
前記母基板には、パネル領域がＮ×Ｍ（Ｎ及びＭは２以上）の列及び行で配列され、前記ＦＰＬフィルムと前記保護フィルムを列又は行単位で貼り付ける
ことを特徴とする電気泳動表示素子製造方法。
【請求項１０】
前記薄膜トランジスタが形成された母基板を洗浄する段階と、
前記保護フィルムが貼り付けられた母基板の気泡を除去する段階と
をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の電気泳動表示素子製造方法。
【請求項１１】
前記透明シートが貼り付けられる前に前記母基板の複数のパネル領域のそれぞれにＡｇドットを形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の電気泳動表示素子製造方法。
【請求項１２】
分離された電気泳動表示パネルを検査する段階と、
前記分離された電気泳動表示パネルにシール材を塗布する段階と、
前記分離された電気泳動表示パネルの前記シール材を硬化する段階と
をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の電気泳動表示素子製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動表示素子の製造ライン及び製造方法に関し、特に、ＦＰＬフィルム及び保護フィルムの貼り付けを母基板単位で行うことにより、全製造ラインを自動化できる電気泳動表示素子の製造ライン及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、電気泳動表示素子は、電圧が印加される一対の電極をコロイド溶液に浸すことで、コロイド粒子がいずれか一方の極性に偏る現象を利用した画像表示装置であり、バックライトを使用しなくても広い視野角、高い反射率、低消費電力などの特性を有するため、電子ペーパーなどの電子機器として脚光を浴びている。
【０００３】
このような電気泳動表示素子は、２つの基板間に電子インク層が介在する構造を有し、２つの基板の一方は、透明な基板からなり、他方は、反射板が備えられており、入力される光を反射する反射型モードで画像を表示することができる。
【０００４】
図５は、一般的な電気泳動表示素子の構造を示す図である。実質的に、電気泳動装置には、縦横に配列されて外部から信号が入力される複数のゲートライン及びデータラインにより定義される複数の画素が配列されるが、説明の便宜上１つの画素のみを示す。
【０００５】
図５に示すように、電気泳動表示素子１は、第１基板２０と第２基板３０とを有し、第１基板２０は、ガラスなどからなり、第２基板３０は、柔軟なＰＥＴのような透明シートからなる。
【０００６】
第１基板２０には、薄膜トランジスタ及び画素電極１８が形成され、外部から薄膜トランジスタを介して画素電極１８に信号が印加される。ここで、薄膜トランジスタは、第１基板２０に形成されたゲート電極１０と、ゲート電極１０が形成された第１基板２０の全体にわたって形成されたゲート絶縁層２２と、ゲート絶縁層２２上に形成された半導体層１２と、半導体層１２上に形成されたソース電極１４及びドレイン電極１５とからなる。薄膜トランジスタのソース電極１４及びドレイン電極１５上には、保護層２４が形成される。
【０００７】
保護層２４上には、画素電極１８が形成され、この画素電極１８は、保護層２４に形成されたコンタクトホールを介して薄膜トランジスタのドレイン電極１５と電気的に接続される。
【０００８】
第２基板３０には、透明な導電物質からなる共通電極３２と電子インク層４０が形成される。電子インク層４０は、ポリマーバインダーに電子インクを充填したカプセル４２を分布させたフィルム状であり、カプセル４２内に分布する電子インクは、ホワイト粒子（又は、ホワイトインク）４４とブラック粒子（又は、ブラックインク）４６とからなる。ここで、ホワイト粒子４４及びブラック粒子４６は、それぞれ正電荷特性及び負電荷特性を有する。すなわち、ホワイト粒子４４は、正電荷が帯電しており、ブラック粒子４６は、負電荷が帯電している。
【０００９】
共通電極３２は、第１基板２０の画素電極１８に対向し、画素電極１８に信号が印加されることで、画素電極１８と共に電界が形成されて、電子インク層４０に電界が印加され、この電界によりカプセル４２のホワイト粒子４４とブラック粒子４６が移動して画像を実現する。
【００１０】
また、第１基板２０には、外部から共通信号が印加される共通ライン２６が形成され、共通ライン２６上には第２基板３０の共通電極３２と接触する銀ドットが配置され、共通ライン２６を介して入力される共通信号を第２基板３０の共通電極３２に印加する。
【００１１】
前述したように構成された第２基板３０が第１基板２０に貼り付けられ、第１基板２０と第２基板３０間にシール材２９が備えられて、電気泳動表示素子１が完成される。前述したように、第１基板２０が貼り付けられた第２基板３０には、保護フィルム３６が貼り付けられており、電子インク層４０に水分が侵入して不良が発生することを防止する。
【００１２】
図６は、従来の電気泳動表示素子の製造方法を示すフローチャートであり、これを参照して従来の電気泳動表示素子の製造方法について説明する。
【００１３】
図６に示すように、ＴＦＴアレイ工程では、母基板に形成された複数のパネル領域にそれぞれ薄膜トランジスタ、各種配線、及び電極が形成される（Ｓ１０１）。ここで、これら薄膜トランジスタ、各種配線、及び電極は、一般的なフォトエッチング工程により形成される。
【００１４】
前述したように、複数のパネル領域に薄膜トランジスタなどの各種素子が形成された母基板は、切断装置によりパネル領域が切断されて、複数の表示パネルに分離される（Ｓ１０２）。その後、分離されたそれぞれの表示パネルの共通ラインに、銀ドットをドットする（Ｓ１０３）。
【００１５】
一方、電子インク層形成ラインにおいては、母基板に形成されるパネル領域に対応する数の透明シート上に、透明な導電物質を積層して共通電極を形成した後、共通電極に電子インクフィルムを貼り付けてＦＰＬ（Front Plane Laminate）フィルムを形成する（Ｓ１０５）。
【００１６】
前述したように、電子インクフィルムが貼り付けられたＦＰＬフィルムは、分離されたそれぞれの表示パネルに貼り付けられ、ＦＰＬフィルムに保護フィルムを貼り付けた後、シール材を塗布し、シール材を硬化してＦＰＬフィルムと保護フィルムを密封することにより、電気泳動表示素子を完成する（Ｓ１０６、Ｓ１０７）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
しかし、このような電気泳動表示素子には、以下のような問題がある。
【００１８】
薄膜トランジスタは、複数のパネルが形成される大型ガラスや大型金属板に形成されるが、電子インク層４０は、パネル単位で形成される第２基板、すなわち、透明シート３０に形成される。
【００１９】
従って、従来の電気泳動表示素子においては、第２基板３０を第１基板２０に貼り付けるとき、母基板を表示パネル単位に分離した後、それぞれの分離された表示パネルの第１基板２０に、第２基板３０及び保護フィルム３６を貼り付けなければならない。従って、切断工程で切断された複数の第１基板２０を保管場所に保管しておき、後に分離されたそれぞれの第１基板２０に、第２基板３０及び保護フィルム３６を貼り付けなければならないが、このような過程は、自動化ができないため、作業者が手作業で行わなければならない。結局、従来の電気泳動表示素子の製造方法においては、母基板を切断した複数の第１基板２０を保管し、保管しているそれぞれの第１基板２０に再び工程を行う過程を自動化することができないため、全体的に製造工程を自動化できないという問題があった。
【００２０】
本発明は、前述したような問題を解決するためのものであり、本発明の目的は、透明シート及び保護フィルムの貼り付けを母基板単位で行うことにより、全製造ラインを自動化できる電気泳動表示素子の製造ライン及び製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
このような目的を達成するために、本発明による電気泳動表示素子製造ラインは、複数のパネル領域が形成された母基板に薄膜トランジスタを形成する薄膜トランジスタアレイラインと、透明シートに共通電極を形成し、電子インクフィルムを貼り付けてＦＰＬフィルムを形成する電子インクラインと、前記薄膜トランジスタアレイライン及び前記電子インクラインからそれぞれ前記母基板と前記ＦＰＬフィルムがロードされて、前記母基板に形成された複数のパネル領域に前記ＦＰＬフィルムを貼り付ける貼り付けラインと、前記貼り付けラインから前記ＦＰＬフィルムが貼り付けられた母基板がロードされて、複数のパネル領域に保護フィルムを貼り付ける保護フィルム貼り付けラインとから構成され、前記母基板にはパネル領域がＮ×Ｍ（Ｎ及びＭは２以上）の列及び行で配列され、Ｎ個又はＭ個のロボットアームが備えられて、前記母基板に形成された複数のパネル領域に前記ＦＰＬフィルム及び前記保護フィルムが列又は行単位で貼り付けられる。
【００２２】
前記貼り付けラインは、前記母基板がロードされる貼り付けテーブルと、前記母基板と前記ＦＰＬフィルムを整列するために、前記貼り付けテーブルの上部に設置された少なくとも１つのカメラと、前記貼り付けテーブルにロードされた前記母基板上に前記ＦＰＬフィルムをロードする少なくとも１つのロボットアームとからなる。
【００２３】
さらに、本発明による電気泳動表示素子製造方法は、複数のパネル領域が形成された母基板に薄膜トランジスタを形成する段階と、透明シートに共通電極を形成し、電子インクフィルムを貼り付けてＦＰＬフィルムを形成する段階と、前記母基板に形成された複数のパネル領域のそれぞれにＦＰＬフィルムを貼り付ける段階と、前記ＦＰＬフィルムが貼り付けられた前記母基板の複数のパネル領域のそれぞれに保護フィルムを貼り付ける段階とから構成され、前記母基板には、パネル領域がＮ×Ｍ（Ｎ及びＭは２以上）の列及び行で配列され、前記ＦＰＬフィルムと前記保護フィルムを列又は行単位で貼り付ける。
【発明の効果】
【００２４】
本発明において、ＦＰＬフィルム及び保護フィルムの貼り付けを母基板単位で行うことにより、製造ライン全体を自動化することができるため、製造コストを低減し、製造時間を大幅に短縮できる。また、作業者の手作業が除去されるので、不良を最小にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明による電気泳動表示素子の製造方法を示すフローチャートである。
【図２】薄膜トランジスタアレイ工程により薄膜トランジスタが形成された母基板を示す図である。
【図３】本発明による電気泳動表示素子製造ラインを簡略に表すブロック図である。
【図４】本発明による透明シート貼り付けテーブルを示す図である。
【図５】一般的な電気泳動表示素子の構造を示す断面図である。
【図６】従来の電気泳動表示素子の製造方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、添付した図面を参照して本発明による電気泳動表示素子製造ライン及び製造方法について詳細に説明する。
【００２７】
図１は、本発明による電気泳動表示素子の製造方法を示すフローチャートである。
【００２８】
図１に示すように、ＴＦＴアレイ工程においては、金属からなる母基板の複数のパネル領域に、それぞれ薄膜トランジスタ、各種配線、及び電極が形成される（Ｓ２０１）。ここで、母基板としては、透明なガラス基板又は金属板を使用することができる。金属板を使用する場合、金属板自体の特性が軟性を有するため、柔軟な電気泳動表示素子を製造することができる。
【００２９】
図２は、ＴＦＴアレイ工程によりＴＦＴが形成された母基板を示す図である。
【００３０】
図２に示すように、ＴＦＴアレイ工程により母基板の各パネル領域１０１に薄膜トランジスタＴなどが形成される。図２においては、母基板１００に２列のパネル領域１０１が形成されるが、本発明は、このような母基板１００の構造に限定されるものではない。本発明の母基板１００には３列以上のパネル領域１０１を配置することもでき、このようなパネル領域１０１の数は限定されない。すなわち、母基板１００には、列及び行方向に１つ以上のパネル領域１０１がマトリクス状に配列できる。
【００３１】
図２に示すように、ＴＦＴアレイ工程により母基板１００には複数のパネル領域１０１のそれぞれに表示パネルが形成される。それぞれのパネル領域１０１には、実際に画像が実現される複数の画素が形成される表示領域１０２、外部の駆動素子に接続されて表示領域１０２に信号を印加するパッド１０８、及び外部から共通信号が入力される共通ライン１２６が形成される。表示領域１０２には、縦横に配列されて複数の画素を定義する複数のゲートライン１０３とデータライン１０５、それぞれの画素に配置されてゲートライン１０３とデータライン１０５に接続される薄膜トランジスタＴ、及びそれぞれの画素に配置された画素電極１１８が形成される。
【００３２】
図示してはいないが、薄膜トランジスタＴは、母基板１００に形成されたゲート電極と、ゲート電極上に形成されたゲート絶縁層と、ゲート絶縁層上に形成された半導体層と、半導体層上に形成されたソース電極及びドレイン電極とからなる。ここで、ゲートライン１０３は、薄膜トランジスタＴのゲート電極と同じ工程で形成され、データライン１０５は、ソース電極及びドレイン電極と同じ工程で形成される。画素電極１１８は、薄膜トランジスタＴのドレイン電極に接続され、薄膜トランジスタＴを介して入力される信号が、画素電極１１８に印加される。また、共通電極１２６及びパッド１０８は、薄膜トランジスタＴのゲート電極又はソース電極と同じ工程で形成される。
【００３３】
前述したように、複数のパネル領域に薄膜トランジスタＴ、各種配線、及び電極が形成された第１母基板の各パネル領域の共通ライン１２６に、銀をドットする（Ｓ２０２）。
【００３４】
一方、電子インクラインにおいては、ＰＥＴと透明シートに透明な導電物質が積層されて共通電極が形成された後、共通電極に電子インクフィルムが貼り付けられて、ＦＰＬフィルムが形成される（Ｓ２０３）。次に、前述したように透明シートと、透明シートに貼り付けられた電子インクフィルムとからなる複数のＦＰＬフィルムが、母基板に形成されたそれぞれの対応するパネル領域に貼り付けられる（Ｓ２０４）。ここで、ＦＰＬフィルムには、接着層が備えられているため、この接着層によりＦＰＬフィルムが母基板のパネル領域に貼り付けられる。
【００３５】
次に、ＦＰＬフィルムが貼り付けられた母基板の複数のパネル領域のそれぞれに保護フィルムを貼り付けた後、母基板を切断装置で切断して母基板を複数の表示パネルに分離することにより、電気泳動表示素子を完成する（Ｓ２０５、Ｓ２０６）。
【００３６】
前述したように、本発明においては、薄膜トランジスタＴの形成からＦＰＬフィルム及び保護フィルムの貼り付けまで、全て母基板単位で行われ、母基板の切断は、保護フィルムの貼り付け後に行われ、母基板の切断後には、別途の特別な工程が行われずに個別の電気泳動表示パネルが完成されるので、薄膜トランジスタアレイ工程から切断工程までの工程を自動化することができる。
【００３７】
図３は、図１に示す製造方法を行う本発明による電気泳動表示素子の製造ラインを示す図であり、自動化して一体化した製造ラインである。すなわち、図３に示す製造ラインは、全製造工程において作業者の手作業を必要としない。
【００３８】
図３に示すように、電気泳動表示素子の製造ライン１６０は、ＴＦＴアレイ工程で複数のパネル領域のそれぞれに複数の薄膜トランジスタ及び画素電極などが形成された母基板を洗浄する洗浄ライン１６１と、洗浄ライン１６１で洗浄された母基板と電子インクラインで透明シートに共通電極が形成され、電子インクフィルムが貼り付けられて形成されたＦＰＬフィルムとがロードされて複数のＦＰＬフィルムが母基板に形成されたパネル領域に貼り付けられる貼り付けライン１６２と、貼り付けライン１６２でＦＰＬフィルムが貼り付けられた母基板の複数のパネル領域のＦＰＬフィルムの上部に保護フィルムを貼り付ける保護フィルム貼り付けライン１６４と、保護フィルムが貼り付けられた母基板を切断して単位パネルに分離することにより電気泳動表示素子を完成する切断ライン１６６とから構成される。
【００３９】
図示してはいないが、それぞれの工程ラインにおいては、実質的に異なる環境で異なる工程を行う。従って、それぞれの工程ライン間には、工程の対象となる母基板１００を移送する移送手段が必要であるが、本発明においては、このような移送手段としてコンベヤーベルトが使用される。コンベヤーベルトは、以前の工程ラインでアンロードされた母基板１００を、次の工程ラインに移送してロードさせる。このようなコンベヤーベルトは、製造ラインと連動して連続した工程を可能にする。
【００４０】
また、図示していないが、各工程ライン間では、母基板１００とＦＰＬフィルムをそれぞれ設定時間保存することにより、各工程ライン間を同期化し、母基板１００とＦＰＬフィルムを同期化することができる。
【００４１】
洗浄ライン１６１においては、ＴＦＴアレイ工程を経た母基板１００を洗浄する。ＴＦＴアレイ工程で、薄膜トランジスタと各種配線などは、フォトレジストを利用したフォトエッチングにより、金属層と絶縁層をエッチングして形成される。従って、ＴＦＴアレイ工程を経た母基板１００には、フォトレジストのカス、エッチングされた金属のカス、エッチングされた絶縁層のカスなどの異物が残る。洗浄ライン１６１においては、このような異物を除去する。母基板１００の洗浄には、脱イオン水のような洗浄液や空気を使用する。ここで、脱イオン水を使用する場合、脱イオン水を母基板１００に分散することにより、母基板１００に残留する不純物を除去することができる。また、洗浄ライン１６１には、熱風機が備えられており、母基板１００を洗浄した脱イオン水を蒸発させて母基板１００に水分が残留することを防止する。
【００４２】
空気を使用する場合、母基板１００に空気をブローイングすることにより、母基板１００上に残留する異物を除去することができる。
【００４３】
貼り付けライン１６２においては、ＴＦＴアレイ工程で複数のパネル領域に薄膜トランジスタと各種配線が形成され、洗浄ライン１６１で洗浄された母基板と、電子インクラインで形成されたＦＰＬフィルムがロードされる。
【００４４】
図４は、貼り付けラインに設置される貼り付けテーブル１８０を示す図である。図４に示すように、貼り付けテーブル１８０には、複数のパネル領域１０１が形成された母基板１００がロードされる。ここで、図示してはいないが、貼り付けテーブル１８０の上面、すなわち、母基板１００がロードされる領域には、外部の真空装置（図示せず）と連結された複数の吸着ホールが形成されており、母基板１００がロードされることにより母基板を吸着することで、母基板１００を貼り付けテーブル１８０上に固定することができる。
【００４５】
また、貼り付けテーブル１８０の上部には、カメラ１９０が設置される。カメラ１９０は、母基板１００のパネル領域１０１と、パネル領域１０１に貼り付けられるＦＰＬフィルム１３０を整列して、ＦＰＬフィルム１３０が常にパネル領域１０１の定められた位置に貼り付けられるようにする。図示してはいないが、このような整列のために母基板１００には整列マークが形成される。
【００４６】
カメラ１９０は、１つ又は複数個配置される。複数のカメラ１９０を備える場合、カメラ１９０は、母基板１００に形成されるパネル領域１０１の数だけ設置されて、全てのパネル領域１０１とＦＰＬフィルム１３０を整列することもでき、パネル領域１０１の列又は行に対応する数だけ設置されて、それぞれの列又は行で配置されるパネル領域１０１とＦＰＬフィルム１３０を整列することもできる。また、１つのカメラ１９０を配置する場合、カメラ１９０は、母基板１００単位でパネル領域を整列する。すなわち、１つのカメラ１９０により複数のパネル領域を整列させる。
【００４７】
前記のような構成の貼り付けテーブル１８０に母基板１００がロードされて固定されると、電子インクフィルムが貼り付けられたＦＰＬフィルム１３０が貼り付けテーブル１８０にロードされる。ＦＰＬフィルム１３０は、ロボットアーム１８２により母基板１００の対応するパネル領域１０１にロードされた後、カメラ１９０によりパネル領域１０１に整列されてパネル領域１０１に貼り合わせられる。
【００４８】
図４に示すように、母基板１００には、Ｎ×Ｍ個（Ｎ、Ｍは２以上）のパネル領域１０１が配列される。ロボットアーム１８２は、母基板１００に形成されるパネル領域１０１の総数、すなわち、Ｎ×Ｍ個備えることで、全てのパネル領域１０１にＦＰＬフィルム１３０を同時に貼り付けることもできるが、コストの節減や工程の効率のためには、Ｎ個又はＭ個のロボットアーム１８２を備えることで、列又は行単位でＦＰＬフィルム１３０をパネル領域１０１に同時に貼り付けることが好ましい。
【００４９】
一方、パネル領域１０１の共通ラインに配置されるＡｇドットは、ＴＦＴアレイ工程で形成することもできるが、貼り付けテーブル１８０で形成することもできる。通常、ＴＦＴアレイ工程を経た母基板は、コンベヤーのような移送手段により貼り付けラインへ移送される。従って、移送途中に不純物などが母基板に残留することもあるが、このような不純物がＡｇドットに発生する場合、第１基板と第２基板の電気的導通を妨害するので、不良が発生する原因となる。
【００５０】
従って、Ａｇドットを貼り付けテーブル１８０で行う場合、母基板１００が既に洗浄ライン１６１で洗浄されているため、前記のような不純物の発生を防止することができる。また、貼り付けテーブル１８０に設置されたカメラ１９０により、Ａｇドット領域を整列してＡｇドットを形成することができるため、Ａｇドットの不良を防止することができる。
【００５１】
ここで、貼り付けテーブル１８０におけるＡｇドットの形成は、ＦＰＬフィルム１３０がパネル領域１０１に貼り付けられる前に行われる。
【００５２】
図示してはいないが、保護フィルム貼り付けライン１６４にもＦＰＬフィルム貼り付けテーブル１８０のような保護フィルム貼り付けテーブルが備えられる。この保護フィルム貼り付けテーブルも、ＦＰＬフィルム貼り付けテーブル１８０と同様に構成され、ロボットアームを利用してＮ×Ｍに配列された母基板１００のパネル領域１０１に保護フィルムを列単位又は行単位で貼り付ける（もちろん、個別又は一度に貼り付けることもできる）。ここで、ＦＰＬフィルムが貼り付けられた母基板１００も、コンベヤーベルトのような移送手段により貼り付けライン１６２から保護フィルム貼り付けライン１６４に移送されて、保護フィルム貼り付けテーブルにロードされる。
【００５３】
また、保護フィルムは、図４に示す貼り付けテーブル１８０で貼り付けることもできる。すなわち、貼り付けテーブル１８０でＦＰＬフィルム１３０の貼り付けが終了した後、ロボットアームにより保護フィルムをロードして母基板１００のパネル領域１０１に保護フィルムを配置することにより、保護フィルムを貼り付ける。
【００５４】
このように、ＦＰＬフィルム１３０と保護フィルムを１つの貼り付けテーブル１８０で貼り付けることにより、別途の保護フィルム貼り付けテーブル及びカメラなどが必要なくなるので、製造コストを節減できるだけでなく、製造ラインを単純化することができる。
【００５５】
切断ライン１６６においては、母基板１００をパネル領域１０１単位で切断して、複数の単位表示パネルに分離する。ここで、切断ライン１６６には切断ホイールを備えて母基板１００及びＦＰＬフィルム１３０に切断予定線を形成した後、圧力棒により切断予定線に圧力を加えて、切断予定線を分離する。また、レーザを利用して母基板１００を溶融させることにより、母基板１００を切断することもできる。
【００５６】
前述したように、切断された単位表示パネルは、脱泡装置により電子インクフィルムや保護フィルムなどに含まれる気泡が除去された後、外観検査や点灯検査などの各種検査により単位表示パネルに不良が発生するか否かを検査する。前記のような検査で異常がない場合、外郭領域にシール材が塗布され、硬化テーブルで熱及び光に露出してシール材が硬化して表示パネルが密封された後、下部ケースや上部ケースなどに収納されて、電気泳動表示素子が完成される。
【００５７】
詳述したように、本発明においては、ＦＰＬフィルム及び保護フィルムが、母基板に形成された複数のパネル領域に貼り付けられるため、薄膜トランジスタと各種配線の形成、ＦＰＬフィルムの貼り付け、保護フィルムの貼り付けなどの工程が母基板単位で行われる。母基板を切断した後、分離された電気泳動表示パネルにＦＰＬフィルムと保護フィルムを貼り付けていた従来の電気泳動表示素子製造方法では、１つの母基板に薄膜トランジスタアレイ工程が行われた後、複数に分離されたそれぞれの表示パネルに対して、工程を行わなければならないため、分離された複数の表示パネルの一部を保存し、その一部は後で工程を行わなければならないので、ライン全体の自動化が不可能になる。それに対して、本発明においては、全工程が母基板単位で行われるため、１つの工程が終了すると、該当母基板をコンベヤーベルトなどの移送手段により、次の工程ラインに移送して該当工程を行うことができるようになるので、全ラインの自動化が可能になる。従って、本発明においては、自動化によって工程が迅速になり、最小限の人員で工程を管理できるようになる。
【００５８】
一方、詳述した説明においては、貼り付けテーブルや電気泳動表示素子を特定構造に限定して説明しているが、本発明の電気泳動表示素子製造ラインと製造方法は、このような特定構造に限定されるものではない。例えば、カラーフィルタが備えられてカラーを実現する電気泳動表示素子や、別途の反射板が備えられた電気泳動表示素子などにも、本発明が適用できる。また、多様な形態の貼り付けテーブルにも、適用できる。すなわち、本発明は、特定の構造の製造ラインなどに限定されるものではなく、工程が母基板単位で行われ、製造ラインが全体的に自動化できる製造ライン又は製造方法については、全て本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００５９】
１００  母基板、１０１  パネル領域、１０２  表示領域、１０３  ゲートライン、１０５  データライン、１０８  パッド、１１８  画素電極、１２６  共通ライン、１２６  共通電極、１３０  フィルム、１６０  製造ライン、１６１  洗浄ライン、１６２  貼り付けライン、１６４  保護フィルム貼り付けライン、１６６  切断ライン、１８０  テーブル、１８２  ロボットアーム、１９０  カメラ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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