(57)【要約】【課題】  スリットとアーム領域との間の加工誤差に起因する針先領域及びアーム領域の捩れ変形を低減することにある。【解決手段】  プローブ組立体においては、各プローブは、そ針先領域がスリットバーのスリットから下方に延びる状態に、少なくともアーム領域においてスリットに受け入れられている。また各プローブは、アーム領域の後端部から上方に突出する荷重伝達部であって、対応するスリットに受け入れられた荷重伝達部を備えている。各プローブのアーム領域は、少なくとも荷重伝達部より先端側の部位の上面を前記奥底面から下方に離間されている。【選択図】図３
2010203994.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体と、
それぞれが、帯状の取付領域、該取付領域の先端から前方へ延びる帯状のアーム領域、及び該アーム領域の先端部から下方へ延びる針先領域を備える複数のプローブであって、前記取付領域及び前記アーム領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取付領域及び前記アーム領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、
前記支持体の先端側に前記プローブの配列方向へ延びる状態に配置されたスリットバーであって、該スリットバーの長手方向に間隔をおいて前記プローブの長手方向へ延びて、それぞれが下方に開放すると共に奥底面を有する複数のスリットを備えるスリットバーとを含み、
各プローブは、前記針先領域が前記スリットから下方に延びる状態に、少なくとも前記アーム領域において前記スリットに受け入れられており、
各プローブは、さらに、前記アーム領域の後端部から上方に突出する荷重伝達部であって、対応するスリットに受け入れられた荷重伝達部を備えており、
各プローブの前記アーム領域は、少なくとも前記荷重伝達部より先端側の部位の上面を前記奥底面から下方に離間されている、プローブ組立体。
【請求項２】
前記スリットバーは、さらに、後向き面を後端側の箇所に備えており、
各プローブは、さらに、前記後向き面に当接された前向き面を前記取付領域の先端側の箇所に備えている、請求項１に記載のプローブ組立体。
【請求項３】
前記荷重伝達部は、前記スリットの後端部に受け入れられており、
前記アーム領域は、前記荷重伝達部より先端側及び後端側の各部位の上面を前記奥底面から下方に離間されている、請求項１及び２のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
【請求項４】
前記荷重伝達部は、該荷重伝達部の後端において前記取付領域の前端下部に続くように、形成されている、請求項１及び２のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
【請求項５】
前記荷重伝達部の上端は前記スリットの前記奥底面に当接されている、請求項１から３のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
【請求項６】
前記荷重伝達部の上端は、オーバードライブ力が作用したとき、最初に前記奥底面に当接するように、前記奥底面から下方に離間されている、請求項１から４のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
【請求項７】
前記スリットバーは、さらに、下向き面を後方側の箇所に備えており、
各プローブは、さらに、前記下向き面に当接された上向き面を前記取付領域の先端側の箇所に備えている、請求項１から６のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
【請求項８】
さらに、前記取付領域を該取付領域の厚さ方向に貫通して伸びる細長い支持バーと、前記支持体の左右方向両側に固定されて、前記両支持バーをその両端部において前記支持体に支持させる一対のサイドカバーとを含む、請求項１から７のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体の電気的試験に用いられるプローブ組立体に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルのような平板状の被検査体の検査に用いるプローブ組立体の１つとして、帯状の取付領域（中央領域）、該取付領域の先端及び後端からそれぞれ前方及び後方へ伸びる第１及び第２のアーム領域、並びに各アーム領域の先端部又は後端部から斜め下方又は上方へ延びる針先領域を備える板状の複数のプローブ（接触子）を備えるものがある（特許文献１）。
【０００３】
上記従来のプローブ組立体において、各プローブは、取付領域及びアーム領域を対向させた状態に厚さ方向に間隔をおいて支持体の下方に並列的に配置されており、また取付領域をその厚さ方向に貫通するガイド穴を貫通して支持体に支持された電気絶縁材料からなる支持バーにより支持体に支持されている。
【０００４】
また、プローブは、支持体の先端及び後端に配置されたそれぞれのスリットバーに下方に開放するように形成されたスリットに各アーム領域を個々に受け入れられている。そのようなプローブの各針先領域は、スリットバーの対応するスリットの先端から下方に突出させている。
【０００５】
被検査体の検査時、各プローブはその針先を被検査体の電極に押圧される。このとき両者の電気的接触を確実にするために、針先領域に僅かな撓み変形が生じる程度の押圧力すなわちオーバードライブ力が各プローブに付加される。これにより、針先領域又はアーム領域の上面はスリットの奥底面に押圧される。
【０００６】
しかし、従来の上記プローブ組立体においては、電極数に対応して配置された多数のプローブが支持バーを介して支持体に支持されているから、オーバードライブ力がプローブに作用したとき、支持バーに作用する力が増大し、これにより支持バーが撓み変形をすることがある。
【０００７】
支持バーが上記のように撓み変形をすると、プローブの取付領域に形成された貫通孔と該貫通孔を通る支持バーとの間の製造上の許容誤差により、プローブに捩れが生じ易い。この捩れを伴うプローブの捩れ変形は、プローブのアーム領域をスリットに受け入れるスリットバーの損傷を招く虞がある。
【０００８】
支持バーの撓み変形に起因する上記のような課題を解決するために、プローブの捩れを拘束する剛的支点を支持体に設け、この剛的支点に当接する剛的被支点を各プローブの取付領域に設けたプローブ組立体が提案されている（特許文献２）。
【０００９】
特許文献２のプローブ組立体は、各剛的被支点が剛的支点に当接された状態に組み立てられており、またオーバードライブ力がプローブに作用したとき、各取付領域の剛的被支点が支持体の剛的支点に押圧されることによりプローブの捩れ変形を拘束する。
【００１０】
すなわち、特許文献２のプローブ組立体は、オーバードライブ力がプローブに作用すると、プローブの剛的被支点が支持体の剛的支点に押圧されて、オーバードライブ力を支持体に伝達し、それにより支持バーに作用するオーバードライブ力を低減する。その結果、支持バーの撓み変形が低減されるから、プローブ、特に取付領域における捩れ変形が低減される。
【００１１】
しかし、上記のような剛的支点を支持体に設けても、支持バーの撓み変形に起因する取付領域の捩れ変形は防止されるが、スリットとアーム領域との間の加工誤差に起因する、アーム領域及び針先領域がプローブの長手方向へ延びる仮想的な線の周りに角度的に回転して倒れるような、アーム領域及び針先領域の捩れ変形は防止されない。
【００１２】
特許文献２のプローブ組立体では、プローブの剛的被支点が支持体の剛的支点に押圧されても、オーバードライブ力がアーム領域及び針先領域に作用し、そのオーバードライブ力によりアーム領域及び針先領域が捩れ変形をすることを避けることができない。
【００１３】
特許文献２は、また、突部をアーム領域の上面に設け、突部の上面を支持バーの下面に設けられた剛的支点に上面に当接させた、他のプローブ組立体も提案している。
【００１４】
しかし、特許文献２に記載された他のプローブ組立体では、プローブの前記した突部を、スリットバーの下面のうち、スリットが形成されていない面領域に当接させている。すなわち、突部がスリットに受け入れていない。
【００１５】
このため、オーバードライブ力がプローブに作用すると、突部が支持バーの撓み変形に起因してスリットバーの下面に対し、スリットバーの長手方向（プローブの配列方向）に滑り、その結果アーム領域及び針先領域がプローブの長手方向へ延びる仮想的な線の周りに角度的に回転して倒れるような、アーム領域及び針先領域の捩れ変形は防止されない。
【００１６】
上記のようなアーム領域及び針先領域の捩れ変形が防止されないと、隣り合うスリット間の隔壁が損傷される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明の目的は、スリットとアーム領域との間の加工誤差に起因する針先領域及びアーム領域の捩れ変形を低減することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明に係るプローブ組立体は、支持体と、それぞれが、帯状の取付領域、該取付領域の先端から前方へ延びる帯状のアーム領域、及び該アーム領域の先端部から下方へ延びる針先領域を備える複数のプローブであって、前記取付領域及び前記アーム領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取付領域及び前記アーム領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記支持体の先端側に前記プローブの配列方向へ延びる状態に配置されたスリットバーであって、該スリットバーの長手方向に間隔をおいて前記プローブの長手方向へ延びて、それぞれが下方に開放すると共に奥底面を有する複数のスリットを備えるスリットバーとを含む。
【００１９】
各プローブは、前記針先領域が前記スリットから下方に延びる状態に、少なくとも前記アーム領域において前記スリットに受け入れられており、各プローブは、さらに、前記アーム領域の後端部から上方に突出する荷重伝達部であって、対応するスリットに受け入れられた荷重伝達部を備えており、各プローブの前記アーム領域は、少なくとも前記荷重伝達部より先端側の部位の上面を前記奥底面から下方に離間されている。
【００２０】
前記スリットバーは、さらに、後向き面を後端側の箇所に備えており、また各プローブは、さらに、前記後向き面に当接された前向き面を前記取付領域の先端側の箇所に備えていてもよい。
【００２１】
前記荷重伝達部は、前記スリットの後端部に受け入れられており、また前記アーム領域は、前記荷重伝達部より先端側及び後端側の各部位の上面を前記奥底面から下方に離間されていてもよい。これの代わりに、前記荷重伝達部は、該荷重伝達部の後端において前記取付領域の前端下部に続くように、形成されていてもよい。
【００２２】
前記荷重伝達部の上端は前記奥底面に当接されていてもよい。しかし、前記荷重伝達部は、その上端が、オーバードライブ力が作用したとき、最初に前記奥底面に当接するように、前記奥底面から下方に離間されていてもよい。
【００２３】
前記スリットバーは、さらに、下向き面を後方側の箇所に備えており、また各プローブは、さらに、前記下向き面に当接された上向き面を前記取付領域の先端側の箇所に備えていてもよい。
【００２４】
プローブ組立体は、さらに、前記取付領域を該取付領域の厚さ方向に貫通して伸びる細長い支持バーと、前記支持体の左右方向両側に固定されて、前記両支持バーをその両端部において前記支持体に支持させる一対のサイドカバーとを含むことができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、アーム領域に設けられた荷重伝達部がスリットに受け入れられているから、各プローブにオーバードライブ力が作用すると、プローブの荷重伝達部がスリットの奥底面に押圧され、プローブに作用しているオーバードライブ力がスリットバーを介して支持体に伝達される。
【００２６】
上記の結果、アーム領域及び針先領域の姿勢が拘束されるから、スリットとアーム領域との間の加工誤差に起因する、アーム領域及び針先領域がプローブの長手方向へ延びる仮想的な線の周りに角度的に回転して倒れるようなアーム領域及び針先領域自体の捩れ変形が低減される。
【００２７】
荷重伝達部の上端が、スリットの奥底面に当接されているか、又はオーバードライブ力が作用したとき最初に前記奥底面に当接するように前記奥底面から下方に離間されていると、プローブに作用するオーバードライブ力は、該オーバードライブ力がスリットバーを介して支持体に直ちに伝達されるから、アーム領域及び針先領域自体の上記捩れ変形がより確実に低減される。
【００２８】
スリットバーがその先端側の箇所に後向き面を有しており、各プローブが、後向き面に対応されて、対応する後向き面に当接された前向き面を取付領域の先端側の箇所に有すると、後向き面及び前向き面が互いに当接することにより、プローブの長手方向における位置決めが行われ、被検査体の電極に対するプローブの針先の位置が安定する。
【００２９】
スリットバーがその後端側の箇所に下向き面を有しており、各プローブが下向き面に対応されて、対応する下向き面に当接された上向き面を取付領域の先端側の箇所に有すると、下向き面がプローブに作用するオーバードライブ力の一部をスリットバーを介して支持体に伝達する剛的支点として作用するから、支持バーを備えた組立体の場合に、プローブの貫通穴を貫通する支持バーの撓み変形が低減されて、取付領域における捩れ変形が低減される。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係るプローブ組立体を組み込んだ電気的接続装置の一例を示す液晶表示パネルの検査装置の一部を示す平面図である。
【図２】図１に示す検査装置に組み込まれた多数のプローブ組立体の一つを示す正面図である。
【図３】図２における３−３線に沿って得た、プローブ組立体の部分的な断面図である。
【図４】図３に示すプローブ組立体のプローブ及びスリットバーの近傍の一実施例を拡大して示す部分的な拡大図である。
【図５】プローブ組立体のプローブ及びスリットバーの近傍の他の実施例を拡大して示す部分的な拡大図である。
【図６】プローブ組立体のプローブ及びスリットバーの近傍のさらに他の実施例を拡大して示す部分的な拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
図１を参照するに、検査装置１２は、複数のプローブ組立体１０を組み込んでおり、また矩形の液晶表示パネル１４の通電試験に用いられる。液晶表示パネル１４は、その矩形の一方の長辺及び一方の短辺に対応する縁部のそれぞれの上面に整列して配置された多数の電極パッド（図示せず）を有する。
【００３２】
検査装置１２は、プローブ組立体１０に加えて、検査ステージ１６を備える。検査ステージ１６は、液晶表示パネル１４の外形に相似のこれよりもわずかに小さい矩形の開口１６ａを有する。液晶表示パネル１４は、開口１６ａを通して背面よりバックライト光の照射を受けかつ開口１６ａを覆う状態に検査ステージ１６の上に配置されて、解除可能に真空的に吸着される。
【００３３】
検査ステージ１６の上方には、複数のプローブベース１８が配置されている。図示の例では、プローブベース１８は、矩形の液晶表示パネル１４の隣り合う辺に対応する２箇所に設けられている。各プローブ組立体１０は、液晶表示パネル１４の電極パッドに電気的に接続可能に、対応する支持機構２０により対応するプローブベース１８に組み付けられている。
【００３４】
各支持機構２０は、対応するプローブベース１８に組み付けられており、また対応するプローブ組立体１０を、該プローブ組立体１０に設けられた板状の多数のプローブ２２の先端側の針先４２ａが液晶表示パネル１４へ向けて突出するように、取り外し可能に支持している。
【００３５】
各プローブ組立体１０は、プローブ２２の針先４２ａがそれぞれに対応された前記電極パッドに接触するように、液晶表示パネル１４に対して昇降可能に、対応する支持機構２０に保持されている。支持機構２０と同様の構成の支持機構は、例えば特開２００４−１９１０６４号公報に記載されている。
【００３６】
各プローブ組立体１０は、図２及び図３に示すように、前記した多数のプローブ２２のほかに、さらに、支持機構２０に着脱可能に取り付けられたプローブブロックすなわち支持体２４と、プローブ２２を支持体２４に支持させるための一対の支持バー２６ａ、２６ｂと、支持体２４の平坦な下面２４ａに設けられた角柱状の一対のスリットバー２８ａ、２８ｂと、支持体２４の両側にねじ部材により固定されて両支持バー２６ａ、２６ｂをその両端部において支持体２４の両側に固定する一対のサイドカバー３０ａ、３０ｂ（図２参照）とを備える。多数のプローブ２２は、支持体２４の下方に配置されている。
【００３７】
支持体２４は、絶縁膜で被覆された金属材料、又は電気絶縁材料で構成されている。両スリットバー２８ａ、２８ｂはセラミックのような電気絶縁材料で構成されている。両支持バー２６ａ、２６ｂも、電気絶縁膜で被覆された棒状の金属材料、又は棒状の電気絶縁材料で構成されている。
【００３８】
支持体２４の下面２４ａは、全体的に矩形の形状を有しており、またその一辺すなわち前縁２４ｂが検査ステージ１６に受けられた液晶表示パネル１４の上方に位置されて、該液晶表示パネル１４の縁部に沿って延在するように、支持機構２０により、対応するプローブベース１８に配置されている。
【００３９】
一方（すなわち、先端側）のスリットバー２８ａは、支持体２４の下面２４ａの前縁２４ｂに沿って左右方向（すなわち、プローブ２２の配列方向又は厚さ方向）に延びており、またスリットバー２８ａの上面を支持体２４の下面２４ａに当接させた状態に、支持体２４に固定されている。
【００４０】
他方（すなわち、後端側）のスリットバー２８ｂは、先端側のスリットバー２８ａから後方側に間隔をおいてスリットバー２８ａと平行に延びるように、支持体２４の下面２４ａの他辺すなわち後縁２４ｃに沿って左右方向に延びており、また上面を支持体２４の下面２４ａに当接させた状態に、支持体２４に固定されている。
【００４１】
スリットバー２８ａ及び２８ｂは、それぞれ、対応するスリットバー２８ａ及び２８ｂの長手方向に相互に間隔をおいた複数のスリット３２ａ及び複数のスリット３２ｂを下面に有する。
【００４２】
スリット３２ａ及び３２ｂのぞれぞれは、対応するスリットバー２８ａ又は２８ｂを前後方向（すなわち、プローブ２２の長手方向）へ延びており、また先端側、後端側、及び下方側のそれぞれに開放する、断面コ字状の溝とされている。このため、スリット３２ａ及び３２ｂは、平坦な下向きの奥底面を有する。
【００４３】
スリット３２ａ及び３２ｂは、互いに対応されている。スリットバー２８ａ及び２８ｂは、対応するスリット３２ａ及び３２ｂがスリットバー２８ａ、２８ｂの長手方向における同じ位置となるように、配置されている。
【００４４】
各プローブ２２は、導電性部材により板状に製作されている。各プローブ２２は、図３及び図４に示すように、その長手方向において同じ幅寸法を有する帯状の取付領域３４と、取付領域３４の先端及び後端からそれぞれさらに先方及び後方へ延びる帯状の一対のアーム領域３６ａ及び３６ｂと、アーム領域３６ａ及び３６ｂの先端及び後端からそれぞれさらに斜め下方及び上方へ延びる帯状の針先領域３８ａ及び３８ｂとを備える。
【００４５】
各プローブ２２の取付領域３４は、一対の支持バー２６ａ及び２６ｂがそれぞれ取付領域３４をその厚さ方向に貫通する一対のガイド穴４０ａ、４０ｂを取付領域３４の一端部及び他端部に有する。両ガイド穴４０ａ、４０ｂは、前後方向（すなわち、取付領域３４の長手方向）に相互に間隔をおいている。
【００４６】
各プローブ２２の一方（すなわち、先端側）のアーム領域３６ａは、取付領域３４の長手方向の一端（先端）における下縁部から前方へ延びている。各プローブ２２の他方（すなわち、後端側）のアーム領域３６ｂは、取付領域３４の他端（後端）における上縁部から後方へ延びている。
【００４７】
各プローブ２２の一方（すなわち、先端側）の針先領域３８ａは、アーム領域３６ａの一端下部（先端下部）から前方及び下方に斜めに延びている。各プローブ２２の他方（すなわち、後端側）の針先領域３８ｂは、アーム領域３６ｂの他端上部（後端上部）から後方及び上方に斜めに延びている。
【００４８】
アーム領域３６ａ及び３６ｂのそれぞれは、取付領域３４の幅寸法よりも小さい幅寸法を有する。図示の例では、アーム領域３６ａ及び３６ｂの幅寸法は、先端側ほど小さい。しかし、各アーム領域３６ａ及び３６ｂの幅寸法は、ほぼ同じであってもよいし、先端側ほど大きくてもよい。
【００４９】
多数のプローブ２２は、取付領域３４の幅方向が上下方向となりかつ取付領域３４が対向された状態に、プローブ２２の厚さ方向に間隔をおいて並列的に揃えられている。これにより、隣り合うプローブ２２の取付領域３４のガイド穴４０ａ及び４０ｂは互いに整列されている。
【００５０】
各プローブ２２は、図３及び図４に示すように、先端側及び後端側のアーム領域３６ａ及び３６ｂの一部がそれぞれスリット３２ａ及び３２ｂに受け入れられて、針先領域３８ａ、３８ｂがそれぞれスリット３２ａ及び３２ｂの前端及び後端から前下方に及び後上方に斜めに延びる状態に、支持体２４の下面２４ａから下方に間隔をおいて下面２４ａの下方に位置されている。
【００５１】
支持バー２６ａ及び２６ｂは、それぞれ、プローブ２２の整列されたガイド穴４０ａ及び４０ｂを貫通しており、また両端を前記したサイドカバー３０ａ及び３０ｂ（図２参照）に通されて、支持体２４の両側に固定されている。これにより、各プローブ２２は、スリットバー２８ａ及び２８ｂと平行に配置された支持バー２６ａ及び２６ｂ並びにサイドカバー３０ａ及び３０ｂを介して、支持体２４の下側に所定の姿勢で保持されている。
【００５２】
各プローブ２２の後方側の針先領域３８ｂは、スリットバー２８ｂの後端部から斜め後方及び上方へ突出させて、後端側の針先４２ｂを上方に向けている。この針先４２ｂは、回路板４６（図３参照）の対応する接続パッド４６ａに押圧されて、その接続パッド４６ａに電気的に接続されている。回路板４６は、支持機構２０に支持された支持ブロック４４の下面に固定されている。
【００５３】
上記の結果、各プローブ２２は、回路板４６を経て図示しないテスタ本体に接続される。針先４２ｂは、図３及び図４に示す例では、回路板４６への誤接触を防止するためのガイドフィルム４８の穴４８ａを貫通して延びて、回路板４６の接続パッド４６ａに接続されている。
【００５４】
これに対し、各プローブ２２の先端側の針先領域３８ａは、スリットバー２８ａの前端部から前方及び下方へ斜めに突出させて、先端側の針先４２ａを下方に向けている。
【００５５】
先端側のスリットバー２８ａは、下向きの段部をスリット３２ａの後縁部に有している。この段部は、スリット３２ａの奥底面よりも上方に位置する平坦な下向き面５０を規定する。
【００５６】
各プローブ２２は、スリットバー２８ａの段部に対応された段部を取付領域３４の先端側の箇所に有する。プローブ２２側の段部は、下向き面５０に対向する平坦な上向き面５２を規定しており、また取付領域３４の一部として作用する。このため、図示の例では、先端側のアーム領域３６ａは前記した段部の下端部から前方へ延びている。
【００５７】
各プローブ２２は、また、先端側のアーム領域３６ａの後端部から上方に突出する帯状の荷重伝達部５４を備える。荷重伝達部５４は、アーム領域３６ａと一体的に前後方向へ延びており、また対応するスリット３２ａに受け入れられている。
【００５８】
図３及び図４に示す例では、各荷重伝達部５４の上端面は、面５０及び５２が当接された状態において、スリット３２ａの奥底面に当接されている。しかし、各荷重伝達部５４の上端面は、オーバードライブ力がプローブ２２に作用したとき、スリット３２ａの奥底面に最初に当接するように、スリット３２ａの奥底面から下方に離間されていてもよい。
【００５９】
各荷重伝達部５４の上端面が上記のいずれの場合においても、先端側のアーム領域３６ａは、少なくとも上端部をスリット３２ａに受け入れられており、また荷重伝達部５４より先端側及び後端側の各部位の上面をスリット３２ａの奥底面から下方に離間されている。
【００６０】
液晶表示パネル１４の試験時、各プローブ２２の先端側の針先４２ａが液晶表示パネル１４の対応する電極パッドに押圧される。それにより、オーバードライブ力が各プローブ２２に作用する。
【００６１】
このオーバードライブ力は、本来ならば、支持バー２６ａ、２６ｂに伝達される。これにより、貫通孔４０ａ、４０ｂと支持バー２６ａ、２６ｂとの間の製造上の許容誤差に起因して、支持バー２６ａ、２６ｂが撓み変形をし、プローブ２２に捩れ変形が生じることがある。
【００６２】
しかし、各プローブ組立体２０においては、アーム領域３６ａに設けられた荷重伝達部５４がスリット３２ａに受け入れられているから、各プローブ２２にオーバードライブ力が作用すると、プローブ２２の荷重伝達部５４がスリット３２ａの奥底面に押圧され、プローブ２２に作用しているオーバードライブ力がスリットバー２８ａを介して支持体２４に伝達される。
【００６３】
このため、アーム領域３６ａ及び針先領域３８ａの姿勢が拘束されるから、スリット３２ａとアーム領域３６ａとの間の加工誤差に起因する、アーム領域３６ａ及び針先領域３８ａがプローブ２２の長手方向へ延びる仮想的な線の周りに角度的に回転して倒れるようなアーム領域３６ａ及び針先領域３８ａの捩れ変形が低減される。
【００６４】
また、各プローブ組立体２０においては、各プローブ２２にオーバードライブ力が作用すると、各プローブ２２の上向き面５２がスリットバー２８ａの下向き面５０に押圧されて、下向き面５０及び上向き面５２がそれぞれ剛的支点及び剛的被支点として作用する。これにより、各プローブ２２に作用するオーバードライブ力の一部がスリットバー２８ａに作用する。
【００６５】
上記の結果、支持バー２６ａに作用するオーバードライブ力が低減されて、支持バー２６ａの撓み変形が低減され、各プローブ２２の取付領域３４における捩れ変形が低減される。
【００６６】
各プローブ組立体２０においては、各プローブ２２の荷重伝達部５４がスリット３２ａの奥底面に押圧され、しかも各上向き面５２がスリットバー２８ａの下向き面５０に押圧された後において、各プローブ２２は、アーム領域３６ａのうち、荷重伝達部５４より先端側及び後端側の各部位において弾性変形する。これにより、各プローブ２２の針先４２ａは、液晶表示パネル１４の対応する電極パッドに確実に押圧される。
【００６７】
図５に示すように、平坦な後向き面５６を先端側のスリットバー２８ａの後端側の箇所、特にスリット３２ａと下向き面５０との間の箇所に形成し、また後向き面５６に当接された前向き面５８を各プローブ２２の取付領域３４の先端側の箇所、特に加重伝達部５４と上向き面５２との間の箇所に形成してもよい。
【００６８】
そのようにすれば、後向き面５６及び前向き面５８が互いに当接することにより、プローブ２２の長手方向における位置決めが行われ、液晶表示パネル１４のパッド電極に対するプローブ２２の針先４２ａの位置が安定する。
【００６９】
また、図６に示すように、各加重伝達部５４を、その後端において取付領域３４，例えば前向き面５８の前端下部に続くように、形成してもよい。この場合、プローブ２２は、オーバードライブ力により加重伝達部５４がスリット３２ａの奥底面に押圧された後、加重伝達部５４より先端側のアーム領域３６ａの箇所において弾性変形する。
【００７０】
下向き面５０、上向き面５２、後向き面５６及び前向き面５８を不要とすることができる。しかし、一対の支持バー２６ａ及び２６ｂに作用するオーバードライブ力の軽減を図る上では、下向き面５０、上向き面５２、後向き面５６及び前向き面５８を設けることが望ましい。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
本発明は、液晶表示パネルのみならず、多数の発光素子を用いた表示パネルのような他の平板状被検査体の電気的試験に用いるプローブ組立体にも適用することができる。
【００７２】
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
【符号の説明】
【００７３】
１０  プローブ組立体
１２  電気的接続装置
１４  液晶表示パネル（被検査体）
２２  プローブ
２４  支持体
２６ａ、２６ｂ  支持バー
２８ａ、２８ｂ  スリットバー
３０ａ、３０ｂ  サイドカバー
３２ａ、３２ｂ  スリット
３４  取付領域
３６ａ、３６ｂ  アーム領域
３８ａ、３８ｂ  針先領域
４０ａ、４０ｂ  貫通穴
４２ａ、４２ｂ  針先
５０  下向き面
５２  上向き面
５４  加重伝達部
５６  後向き面
５８  前向き面
【先行技術文献】
【特許文献】
【００７４】
【特許文献１】特開平１０−１３２８５３号公報
【特許文献２】特開２００７−３０３８３４号公報
【図１】
2010203994.tif 000003
【図２】
2010203994.tif 000004
【図３】
2010203994.tif 000005
【図４】
2010203994.tif 000006
【図５】
2010203994.tif 000007
【図６】
2010203994.tif 000008