(57)【要約】【課題】清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルターユニットにおいて、接続ねじ部分の気密性を高め、フィルターの取付作業を容易にし、さらにフィルターを増設が容易にできることを目的とする。【解決手段】ファン１とモーター２および固定円筒ナット１１を有するチャンバー３からなるファンユニット４に対し、頭部をテーパー形状にした連結ねじ１８にてフィルター５を固定することにより、円筒形ナットが位置決めガイドとなりフィルター取付作業性が向上し、テーパー形状により気密性を確保し、さらに連結ねじの相互接合によりフィルターの増設が容易という効果が得られる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンとモーターからなるファンユニットを収めたチャンバーと、その下流側にフィルターを配設したファンフィルターユニットにおいて、  前記ファンユニットと前記フィルターを接合するために連結ねじを用い、この連結ねじの頭部を皿形状とし、フィルターのフィルターフレームには、前記連結ねじの頭部が嵌合するようにテーパー形状を有したねじ貫通孔を設けたファンフィルターユニット。
【請求項２】
前記チャンバーに、前記フィルター側に突出する雌ねじを設け、前記フィルターに設けられたねじ貫通孔に差し込まれることを特徴とする請求項１のファンフィルターユニット。
【請求項３】
前記チャンバーに、外形を円筒状にしたナットを儲け、さらにこのナットを前記フィルター側に突出させ、前記フィルターに設けられたねじ貫通孔に嵌合することを特徴とする請求項１記載のファンフィルターユニット。
【請求項４】
前記連結ねじは、頭部に雌ねじを加工した請求項１〜３記載のファンフィルターユニット。
【請求項５】
前記連結ねじは、頭部に雄ねじを加工したことを特徴とする請求項１〜３記載のファンフィルターユニット。
【請求項６】
前記連結ねじ相互の接合により前記チャンバーの下流側に複数のフィルター設けることを特徴とする請求項４記載のファンフィルターユニット。
【請求項７】
前記連結ねじ相互の接合により前記チャンバーの下流側に複数のフィルター設けることを特徴とする請求項５記載のファンフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルターユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルターユニットのファンユニットとフィルターの接合は、下流側よりフィルターフレーム貫通孔に雄ねじを通してファンユニット側の雌ねじに締結する構造が知られている。（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、フィルターフレームに貫通孔を開けない構造としてはファンユニットから雄ねじを通してフィルターフレームの雌ねじに締結する構造が知られている。（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６２−２２９３７号公報
【特許文献２】特開２００６−１６２１４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような従来のファンフィルターユニットでは、フィルターフレーム下流面にねじ締め作業用の貫通孔が残るという課題があり、貫通孔を塞ぐことが要求されている。
【０００６】
またねじ締め状態が視認できないため、ねじ締め状態を容易に視認できることが要求されている。
【０００７】
また、フィルターをファンユニットに接合時、フィルターの位置あわせがやりづらいという課題があり、容易に位置合わせできることが要求されている。
【０００８】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、フィルターの位置あわせが容易にでき、フィルターフレーム下流面の貫通孔を封止しすることができ、また、ねじ締め状態を容易に視認することのできるファンフィルターユニットを提供することを目的としている。
【０００９】
また従来のファンフィルターユニットでは、容易にフィルター下流側にフィルターを増設したり、整流板などを取り付けたり、フィルター下流面で取付枠に取り付けることが困難という課題があり、容易に下流側にフィルターを増設したり、整流板などを取り付けたり、フィルター下流面で取付枠に取り付けることのできるファンフィルターユニットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のファンフィルターユニットは上記目的を達成するために、ファンとモーターからなるファンユニットと下流側にフィルターを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記ファンユニットと前記フィルターを接合するために連結ねじを用い、この連結ねじの頭部を皿形状とし、前記フィルターのフィルターフレームには、前記連結ねじの頭部が嵌合するようにテーパー形状を有したねじ貫通孔を設けたものである。
【００１１】
この手段によりフィルター下流面の貫通孔が連結ねじ頭部で封止され、かつねじが確実に締結されているかどうか容易に視認できるファンフィルターユニットが得られる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、フィルター下流面の貫通孔が連結ねじ頭部で封止され、かつねじが確実に締結されているかどうか容易に視認できるファンフィルターユニットを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】（ａ）本発明の実施の形態１の連結雄ねじを用いたファンフィルターユニットの構成を示す断面図、（ｂ）連結雄ねじ詳細図
【図２】（ａ）同連結雌ねじを用いた構成を示す断面図、（ｂ）連結雌ねじ詳細図
【図３】（ａ）同円筒ナットと連結雄ねじを用いた構成を示す断面図、（ｂ）連結雄ねじ詳細図
【図４】（ａ）同頭部に雌ねじを加工した連結雌雄ねじを用いた構成を示す断面図、（ｂ）連結雌雄ねじ詳細図
【図５】（ａ）同頭部に雄ねじを加工した連結両雄ねじを用いた構成を示す断面図、（ｂ）連結両雄ねじ詳細図
【図６】（ａ）本発明の実施の形態２のファンフィルターユニットの構成を示す断面図、（ｂ）連結雌雄ねじ詳細図
【図７】（ａ）同別の構成を示す断面図、（ｂ）連結雌雄ねじ詳細図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモーターからなるファンユニットと下流側にフィルターを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記ファンユニットと前記フィルターを接合するために連結ねじを用い、この連結ねじの頭部を皿形状とし、前記フィルターのフィルターフレームには、前記連結ねじの頭部が嵌合するようにテーパー形状を有したねじ貫通孔を設けたとしたものであり、ねじ貫通孔からの漏洩を阻止する作用を有する。さらに、フィルター下流面からねじ締め状態を視認できる作用を有する。
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１６】
（実施の形態１）
図１（ａ）に示すように、本発明の第１の実施の形態によるファンフィルターユニット８は、ファン１とモーター２を箱型のチャンバー３に内蔵したファンユニット４と、その下方に配設されたフィルター５とで構成されている。チャンバー３は、下側を吹き出し側の開口としており、この開口の内側にフィルター５と接合する面となるフランジ形状（接合フランジ２１）を有している。この接合フランジ２１の上側、すなわちチャンバー３の内部には、固定ナット６が固定されている。一方、フィルター５は、濾材を固定するフィルターフレーム２２によって周囲が形成されている。フィルターフレーム２２には、表裏を貫通するよう、ねじ貫通孔２３が設けられている。フィルター５とチャンバー３とは、連結雄ねじ７と固定ナット６とによって結合される。ねじ貫通孔２３のフィルター５下流面側は、テーパー形状となっている。また、図１（ｂ）に示すように連結雄ねじ７の頭部は皿形状となっており、この頭部がねじ貫通孔２３のテーパー形状に嵌合することになる。
【００１７】
上記構成において、連結雄ねじ７にてフィルター５をファンユニット４に締結すると連結雄ねじ７の頭部テーパー部とフィルター５のねじ貫通孔２３のテーパー部が密着しねじ貫通孔２３が封止される。また、連結雄ねじ７の頭部は、フィルター５の下流側に露出しているので、ねじ貫通孔２３に対する密着部状態を視認することができる。
【００１８】
また、図２に示すように、接合フランジ２１に固定雄ねじ９を設け、連結雌ねじ１０とで結合する構成としてもよい。この場合には、接合フランジ２１に固定した固定雄ねじ９がフィルター５ねじ貫通孔２３に差し込まれフィルター５のガイドとなり、容易にフィルター５の位置合わせができることになる。
【００１９】
また、図３に示すように、接合フランジ２１には、固定円筒ナット１１を固定し、連結雄ねじ７によって結合する構成でもよい。
【００２０】
また、図４に示すように、頭部に雌ねじを加工した連結雄雌ねじ１２をもちいてもよい。図７では、チャンバー３側には固定円筒ナット１１を用いた例で示す。このような構成によれば、フィルター５下流側にある取付枠１３とねじ接合ができることになる。
【００２１】
また、図５に示すように、頭部に雄ねじを追加した連結両雄ねじ１４を用いてもよい。図５（ａ）では、チャンバー３側には固定円筒ナット１１を用いた例で示す。このような構成によれば、フィルター５下流側に整流板１５などがねじ止めできることになる。
【００２２】
（実施の形態２）
次に、図６を用いて本発明の第２の実施の形態について説明する。第１の実施の形態と同じ構成については同じ符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００２３】
チャンバー３の接合フランジ２１には、固定円筒ナット１１が固定されている。フィルター５のねじ貫通孔２３には、連結雌雄ねじ１８を通して固定円筒ナット１１と結合する。連結雌雄ねじ１８は、頭部に雌ねじを加工し、他方には雄ねじを設けてある。連結雄雌ねじ１２は相互に連結できるようになっており、かつ連結雄雌ねじ１２の長さはフィルター厚みに合わせる。連結雌雄ねじ１８同士を結合することによって、フィルター５の下流側にフィルターａ１６、フィルターｂ１７を増設することができる。
【００２４】
また、図７に示すように、チャンバー３の接合フランジ２１には、固定雄ねじ９を固定し、連結ねじは、頭部に雄ねじを設け、他方に雌ねじを設けた連結雌雄ねじ１８をもちいてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
本発明のファンフィルターユニットは、フィルター取付作業性および気密性にすぐれ、さらにフィルターの増設が容易にできるものとして有用である。
【符号の説明】
【００２６】
１    ファン
２    モーター
３    チャンバー
４    ファンユニット
５    フィルター
６    固定ナット
７    連結雄ねじ
８    ファンフィルターユニット
９    固定雄ねじ
１０  連結雌ねじ
１１  固定円筒ナット
１２  連結雄雌ねじ
１３  取付枠
１４  連結両雄ねじ
１５  整流板
１６  フィルターａ
１７  フィルターｂ
１８  連結雌雄ねじ
２１  接合フランジ
２２  フィルターフレーム
２３  ねじ貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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