(57)【要約】【課題】処理装置の検査を適切なタイミングで行うことが可能な劣化診断装置を提供する。【解決手段】劣化診断装置１００は、検査対象となる処理装置３０を検査する検査手段（例えば、検査装置２０及び制御装置１０により構成される）と、処理装置３０の劣化と相関的に劣化する被検体の劣化である相関劣化を検出する劣化検出手段（劣化検出装置４０）とを備える。検査手段（検査装置２０及び制御装置１０）は、劣化検出手段（劣化検出装置４０）により相関劣化が検出された場合に処理装置３０を検査する。【選択図】図１
2010203816.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象となる処理装置を検査する検査手段と、
前記処理装置と相関的に劣化する被検体の劣化である相関劣化を検出する劣化検出手段と、
を備え、
前記検査手段は、前記劣化検出手段により前記相関劣化が検出された場合に前記処理装置を検査することを特徴とする劣化診断装置。
【請求項２】
前記劣化検出手段は、前記相関劣化のレベルも検出し、
前記検査手段は、前記劣化検出手段により検出された前記相関劣化のレベルに応じて、互いに異なる前記検査を行うことを特徴とする請求項１に記載の劣化診断装置。
【請求項３】
前記処理装置は、該処理装置に入力値が入力されると、該入力値に対して所定の処理を行うことにより出力値を生成し、該生成した出力値を出力するように構成され、
前記検査手段は、
前記劣化検出手段により前記相関劣化が検出された場合には、検査入力値を前記処理装置に出力し、且つ、前記処理装置を検査状態に移行させることにより、前記検査入力値を該処理装置への前記入力値として前記処理装置に選択させる制御を行い、
前記検査状態時における前記処理装置からの出力値と、検査期待値と、の比較に基づいて、前記処理装置を検査することを特徴とする請求項１に記載の劣化診断装置。
【請求項４】
前記処理装置は、該処理装置に入力値が入力されると、該入力値に対して所定の処理を行うことにより出力値を生成し、該生成した出力値を出力するように構成され、
前記検査手段は、
前記劣化検出手段により検出された前記相関劣化のレベルに応じた検査入力値を前記処理装置に出力し、且つ、前記処理装置を検査状態に移行させることにより、前記検査入力値を該処理装置への前記入力値として前記処理装置に選択させる制御を行い、
前記検査状態時における前記処理装置からの出力値と、前記入力した前記検査入力値と対応する検査期待値と、の比較に基づいて、前記処理装置を検査することを特徴とする請求項２に記載の劣化診断装置。
【請求項５】
前記劣化検出手段は、
前記処理装置と同程度又はそれ以上に経時劣化する、前記被検体としての劣化回路と、
実質的に経時劣化しない耐劣化回路と、
劣化判定手段と、
を備え、
前記劣化判定手段は、前記耐劣化回路と前記劣化回路との劣化量の差に基づいて、前記相関劣化を検出することを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の劣化診断装置。
【請求項６】
前記劣化検出手段は、
前記処理装置と同程度又はそれ以上に経時劣化する、前記被検体としての劣化回路と、
実質的に経時劣化しない耐劣化回路と、
劣化判定手段と、
を備え、
前記劣化判定手段は、前記耐劣化回路と前記劣化回路との劣化量の差に基づいて、前記相関劣化のレベルを検出することを特徴とする請求項２又は４に記載の劣化診断装置。
【請求項７】
前記劣化検出手段は、
前記耐劣化回路と前記劣化回路とに同一のパルス信号を入力する発振回路を備え、
前記耐劣化回路は、前記パルス信号に基づく耐劣化回路出力を出力し、
前記劣化回路は、前記パルス信号に基づく劣化回路出力を出力し、
前記劣化判定手段は、
前記耐劣化回路出力と前記劣化回路出力との差に基づいて、前記相関劣化を検出することを特徴とする請求項５に記載の劣化診断装置。
【請求項８】
前記劣化判定手段は、位相比較回路と、時間／ディジタル変換回路と、を備え、
前記位相比較回路は、前記耐劣化回路出力と、前記劣化回路出力と、の位相差に応じたパルス幅のパルスを出力し、
前記時間／ディジタル変換回路は、前記位相比較回路から出力されるパルスのパルス幅に応じた値のディジタル信号を、前記相関劣化の検出信号として出力することを特徴とする請求項７に記載の劣化診断装置。
【請求項９】
前記劣化検出手段は、
前記耐劣化回路と前記劣化回路とに同一のパルス信号を入力する発振回路を備え、
前記耐劣化回路は、前記パルス信号に基づく耐劣化回路出力を出力し、
前記劣化回路は、前記パルス信号に基づく劣化回路出力を出力し、
前記劣化判定手段は、
前記耐劣化回路出力と前記劣化回路出力との差に基づいて、前記相関劣化のレベルを検出することを特徴とする請求項６に記載の劣化診断装置。
【請求項１０】
前記劣化判定手段は、位相比較回路と、時間／ディジタル変換回路と、を備え、
前記位相比較回路は、前記耐劣化回路出力と、前記劣化回路出力と、の位相差に応じたパルス幅のパルスを出力し、
前記時間／ディジタル変換回路は、前記位相比較回路から出力されるパルスのパルス幅に応じた値のディジタル信号を、前記相関劣化のレベルの検出信号として出力することを特徴とする請求項９に記載の劣化診断装置。
【請求項１１】
前記劣化回路は前記耐劣化回路よりも劣化が進行する動作条件で動作させることを特徴とする請求項５乃至１０の何れか一項に記載の劣化診断装置。
【請求項１２】
前記耐劣化回路よりも劣化が進行する前記動作条件は、前記耐劣化回路よりも高い電圧で動作させること、前記耐劣化回路よりも高い周波数で動作させること、及び、前記耐劣化回路よりも高温に設定すること、のうちの少なくとも何れか１つの条件であることを特徴とする請求項１１に記載の劣化診断装置。
【請求項１３】
前記劣化回路を構成する電気デバイスのうち少なくともひとつの電気デバイスの耐圧は、前記耐劣化回路を構成する電気デバイスの耐圧よりも低いことを特徴とする請求項５乃至１２の何れか一項に記載の劣化診断装置。
【請求項１４】
前記検査手段は、タイマーを備え、前記タイマーにより所定時間が計時される度に、前記処理装置を検査することを特徴とする請求項１乃至１３の何れか一項に記載の劣化診断装置。
【請求項１５】
前記検査手段は、前記相関劣化のレベル毎に、個別のタイマーを備え、これらタイマーによりそれぞれの所定時間が計時される度に、前記処理装置を検査することを特徴とする請求項２、４、６、９、１０の何れか一項に記載の劣化診断装置。
【請求項１６】
前記相関劣化が検出されることに基づき前記検査を行った場合には、前記タイマーのうち、当該検出された相関劣化のレベルと対応するタイマーを初期化することを特徴とする請求項１５に記載の劣化診断装置。
【請求項１７】
前記検査手段は、タイマーを備え、前記タイマーにより所定時間が計時される度に、前記処理装置を検査するものであり、且つ、前記相関劣化のレベルに応じて、前記所定時間を変更することを特徴とする請求項２、４、６、９、１０の何れか一項に記載の劣化診断装置。
【請求項１８】
前記検査手段は、前記検査の結果、前記処理装置が劣化していると判定した場合には、
前記処理装置の動作条件を緩和させた状態において、再度、前記検査を行い、この再度の検査では前記処理装置が劣化していないと判定した場合には、動作条件を緩和させた状態に維持させることを特徴とする請求項１乃至１７の何れか一項に記載の劣化診断装置。
【請求項１９】
複数の前記劣化検出手段を備え、
前記劣化検出手段の各々は、互いに異なる種類の前記相関劣化を検出することを特徴とする請求項１乃至１８の何れか一項に記載の劣化診断装置。
【請求項２０】
請求項１乃至１９の何れか一項に記載の劣化診断装置と、
前記処理装置と、
を備えることを特徴とする劣化診断装置付き処理装置。
【請求項２１】
検査対象となる処理装置を検査する検査工程と、
前記処理装置と相関的に劣化する被検体の劣化である相関劣化を検出する劣化検出工程と、
を備え、
前記劣化検出工程により前記相関劣化が検出された場合に前記検査工程を行うことを特徴とする劣化診断方法。
【請求項２２】
前記劣化検出工程では、前記相関劣化のレベルも検出し、
前記検査工程では、前記相関劣化のレベルに応じて、互いに異なる前記検査を行うことを特徴とする請求項２１に記載の劣化診断方法。
【請求項２３】
前記劣化検出工程は、前記処理装置が通常処理を行うのと並行して行い、
前記劣化検出工程において前記相関劣化が検出された場合には、前記処理装置の通常処理を一時的に停止させる待避工程を行ってから、前記検査工程を行うことを特徴とする請求項２１又は２２に記載の劣化診断方法。
【請求項２４】
前記検査の結果、前記処理装置が劣化していると判定された場合には前記通常処理を停止させる一方で、前記処理装置が劣化していないと判定された場合には前記通常処理を再開させることを特徴とする請求項２３に記載の劣化診断方法。
【請求項２５】
前記検査の結果、前記処理装置が劣化していると判定された場合には、前記処理装置の動作条件を緩和させた状態において、再度、前記検査を行い、この再度の検査では前記処理装置が劣化していないと判定された場合には、動作条件を緩和させた状態に維持させることを特徴とする請求項２１乃至２４の何れか一項に記載の劣化診断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、劣化診断装置、劣化診断装置付き処理装置及び劣化診断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種の装置は、高い信頼性を有していることが重要である。
【０００３】
このため、例えば、半導体集積回路では、内部に自己診断を実行するＢＩＳＴ（Ｂｕｉｌｔ  Ｉｎ  Ｓｅｌｆ  Ｔｅｓｔ）回路を設けて、通常の回路の演算処理とは別の検査を電源投入時或いは一定時間ごとに行う方式が一般に知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−６８８６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、予め決められた周期で装置の検査を行う場合、周期が長ければ検査の頻度が下がって、故障発生から検出までの時間が長くなる。一方、周期が短ければ、故障発生から検出までの時間は短くできるが、検査の頻度が増えるため、通常の演算処理とは別の検査時間に多くの時間を要してしまう。
【０００６】
このように、装置の検査を適切なタイミングで行うことは困難だった。
【０００７】
本発明は、上述のような課題を解決する劣化診断装置、劣化診断装置付き処理装置及び劣化診断方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、検査対象となる処理装置を検査する検査手段と、前記処理装置と相関的に劣化する被検体の劣化である相関劣化を検出する劣化検出手段と、を備え、前記検査手段は、前記劣化検出手段により前記相関劣化が検出された場合に前記処理装置を検査することを特徴とする劣化診断装置を提供する。
【０００９】
また、本発明は、本発明の劣化診断装置と、前記処理装置と、を備えることを特徴とする劣化診断装置付き処理装置を提供する。
【００１０】
また、本発明は、検査対象となる処理装置を検査する検査工程と、前記処理装置と相関的に劣化する被検体の劣化である相関劣化を検出する劣化検出工程と、を備え、前記劣化検出工程により前記相関劣化が検出された場合に前記検査工程を行うことを特徴とする劣化診断方法を提供する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、処理装置の検査を適切なタイミングで行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１の実施形態に係る劣化診断装置の構成を示すブロック図である。
【図２】第１の実施形態に係る劣化診断装置が備える劣化検出装置の構成を示すブロック図である。
【図３】第１の実施形態に係る劣化診断装置の劣化検出装置が備える耐劣化回路の一例を示す回路図である。
【図４】第１の実施形態に係る劣化診断装置の劣化検出装置が備える劣化回路の一例を示す回路図である。
【図５】第１の実施形態に係る劣化診断装置の劣化検出装置が備える劣化判定回路の構成を示すブロック図である。
【図６】第１の実施形態に係る劣化診断装置の劣化検出装置の動作を説明するためのタイムチャートである。
【図７】第１の実施形態に係る劣化診断装置が備える検査装置の構成を示すブロック図である。
【図８】第１の実施形態に係る劣化診断装置による処理の流れを示すフローチャートである。
【図９】第１の実施形態の場合の、図８の検査処理での処理の流れを示すフローチャートである。
【図１０】第２の実施形態に係る劣化診断装置の構成を示すブロック図である。
【図１１】第２の実施形態に係る劣化診断装置が備える劣化検出装置の構成を示すブロック図である。
【図１２】第２の実施形態に係る劣化診断装置の劣化検出装置の動作を説明するためのタイムチャートである。
【図１３】第２の実施形態に係る劣化診断装置が備える検査装置の構成を示すブロック図である。
【図１４】第２の実施形態の場合の、図８の検査処理での処理の流れを示すフローチャートである。
【図１５】第３の実施形態に係る劣化診断装置の構成を示すブロック図である。
【図１６】第３の実施形態の場合の、図８の検査処理での処理の流れを示すフローチャートである。
【図１７】第４の実施形態に係る劣化診断装置が備える検査装置の構成を示すブロック図である。
【図１８】第５の実施形態に係る劣化診断装置が備える検査装置の構成を示すブロック図である。
【図１９】第５の実施形態に係る劣化診断装置による処理の流れを示すフローチャートである。
【図２０】第５の実施形態の場合の、図１９の劣化タイマー初期化付き検査処理での処理の流れを示すフローチャートである。
【図２１】第５の実施形態の場合の、図１９の劣化タイマーによる検査処理での処理の流れを示すフローチャートである。
【図２２】第６の実施形態の場合の、図１９の劣化タイマー初期化付き検査処理での処理の流れを示すフローチャートである。
【図２３】第７の実施形態の場合の、図１９の劣化タイマーによる検査処理での処理の流れを示すフローチャートである。
【図２４】第８の実施形態に係る劣化診断装置による処理の流れを示すフローチャートである。
【図２５】第８の実施形態の場合の、図２４の検査周期変更処理での処理の流れを示すフローチャートである。
【図２６】第８の実施形態の場合の、図２４のタイマーによる検査処理での処理の流れを示すフローチャートである。
【図２７】第９の実施形態の場合の、図２４のタイマーによる検査処理での処理の流れを示すフローチャートである。
【図２８】第１０の実施形態に係る劣化診断装置が備える劣化検出装置の劣化回路の構成を示す回路図である。
【図２９】第１１の実施形態に係る劣化診断装置が備える劣化検出装置群の構成を示すブロック図である。
【図３０】第１２の実施形態に係る劣化診断装置が備える劣化検出装置の構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様の構成要素には同一の符号を付し、適宜に説明を省略する。
【００１４】
〔第１の実施形態〕
図１は第１の実施形態に係る劣化診断装置１００の構成を示すブロック図、図２は劣化診断装置１００が備える劣化検出装置４０の構成を示すブロック図、図３は劣化検出装置４０が備える耐劣化回路４２の一例を示す回路図、図４は劣化検出装置４０が備える劣化回路４３の一例を示す回路図、図５は劣化検出装置４０が備える劣化判定回路４４の構成を示すブロック図、図６は劣化検出装置４０の動作を説明するためのタイムチャート、図７は劣化診断装置１００が備える検査装置２０の構成を示すブロック図、図８は劣化診断装置１００による処理の流れを示すフローチャート、図９は図８の検査処理（ステップＳ３）での処理の流れを示すフローチャートである。
【００１５】
本実施形態に係る劣化診断装置（或いは劣化診断装置付き処理装置）１００は、検査対象となる処理装置３０を検査する検査手段としての検査装置２０及び制御装置１０と、処理装置３０と相関的に劣化する被検体（例えば、劣化回路４３）の劣化である相関劣化を検出する劣化検出手段としての劣化検出装置４０と、を備え、検査手段は、劣化検出装置４０により相関劣化が検出された場合に処理装置３０を検査する。また、本実施形態に係る劣化診断装置１００は、劣化診断装置（劣化診断装置１００における処理装置３０以外の部分）と、処理装置３０と、を備えることを特徴とする劣化診断装置付き処理装置である。また、本実施形態に係る劣化診断方法では、検査対象となる処理装置３０を検査する検査工程と、処理装置３０と相関的に劣化する被検体（例えば、劣化回路４３）の劣化である相関劣化を検出する劣化検出工程と、を備え、劣化検出工程により相関劣化が検出された場合に検査工程を行う。以下、詳細に説明する。
【００１６】
先ず、劣化診断装置１００の全体構成を説明する。
【００１７】
図１に示すように、本実施形態に係る劣化診断装置（或いは劣化診断装置付き処理装置）１００は、処理装置３０の検査を行う検査装置２０と、検査対象となる処理装置３０と、処理装置３０の劣化と相関のある劣化である相関劣化を検出する劣化検出装置４０と、処理装置３０の動作制御を行う制御装置１０と、を備えて構成されている。
【００１８】
劣化検出装置４０、検査装置２０及び処理装置３０は、それぞれ、半導体集積回路であるか、又は、少なくとも半導体集積回路を含む。なお、処理装置３０は、例えば、半導体集積回路を含むハードディスクであっても良い。
【００１９】
処理装置３０は、該処理装置３０に入力値が入力されると、該入力値に対して所定の処理を行うことにより出力値を生成し、該生成した出力値を出力するように構成されている。処理装置３０は、通常処理（図８のステップＳ１）時には、該処理装置３０に対して入力される処理入力５６に対して所定の処理を行い、この処理により得られる処理結果を処理出力５７として出力する。
【００２０】
ここで、処理装置３０が行う処理は、具体的には、例えば、所定の演算（足し算、引き算、かけ算、割り算或いはこれらを任意に組み合わせた演算等）であることが挙げられる。処理装置３０が行う処理が足し算である場合に、処理装置３０が正常に動作している状態において、例えば、処理入力５６として「１」と「２」が入力された場合には、処理出力５７は「３」となる。
【００２１】
劣化検出装置４０は、処理装置３０の劣化と相関のある劣化である相関劣化の有無を示す劣化検出信号５１を検査装置２０に対して出力する。すなわち、相関劣化を検出した場合には相関劣化を検出した旨を示す劣化検出信号５１を、相関劣化を検出していない場合には相関劣化を検出していない旨を示す劣化検出信号５１を、それぞれ検査装置２０に対して出力する。
【００２２】
検査装置２０は、相関劣化を検出した旨を示す劣化検出信号５１が劣化検出装置４０から入力された場合には、処理装置３０を検査する必要があると判定し、処理装置３０の検査を行う。この検査では、先ず、処理装置３０に対して検査入力値５２と検査制御信号５３とを出力する。
【００２３】
ここで、検査制御信号５３には、例えば、検査の開始を指令する制御信号が含まれる。検査の開始を指令する制御信号は、具体的には、例えば、処理入力５６と検査入力値５２との入力切り替えと、処理出力５７と検査出力値５４との出力切り替えと、を指令する制御信号が含まれる。
【００２４】
処理装置３０は、検査装置２０から検査の開始を指令する検査制御信号５３が入力された場合には、処理入力５６に対する処理を一時的に停止（待避）する一方で、検査入力値５２に対する処理を行う検査状態に移行する。そして、処理装置３０は、検査入力値５２に対する処理により得られる処理結果を検査出力値５４として検査装置２０に出力する。すなわち、処理装置３０は、検査装置２０からの検査制御信号５３に従い、検査入力値５２を処理装置３０への入力値として選択する状態となる。
【００２５】
ここで、検査入力値５２に対して処理装置３０が行う処理と、処理入力５６に対して処理装置３０が行う処理の内容とは、互いに同様（例えば、互いに同一の演算）である。
【００２６】
検査装置２０は、処理装置３０から入力される検査出力値５４を判定することによって、処理装置３０の検査を行い、その結果を検査結果出力５５として制御装置１０に出力する。
【００２７】
制御装置１０は、検査装置２０から入力される検査結果出力５５に応じて、処理装置３０の状態を判定し、その判定結果に応じて、処理装置３０の動作を制御する。すなわち、処理装置３０が劣化している旨を示す検査結果出力５５が入力された場合には、処理装置３０が実際に劣化していると判断し、通常処理の停止（一時的な停止ではなく、完全な停止）を指令する制御信号６３を処理装置３０に対して出力する。一方、処理装置３０が実際には未だ劣化していない旨を示す検査結果出力５５が入力された場合には、通常処理の再開を指令する制御信号６３を処理装置３０に対して出力する。
【００２８】
処理装置３０は、通常処理の停止を指令する制御信号６３が制御装置１０から入力された場合には、通常処理を停止する。具体的には、既に一時的に停止しているため、その状態を維持する。一方、通常処理の再開を指令する制御信号６３が制御装置１０から入力された場合には、通常処理を再開する。すなわち、処理装置３０は、該処理装置３０に入力される処理入力５６に対する処理を行って、その処理結果としての処理出力５７を出力する状態に復帰する。
【００２９】
次に、劣化検出装置４０の構成を説明する。
【００３０】
図２に示すように、劣化検出装置４０は、例えば、発振回路４１と、耐劣化回路４２と、劣化回路（被検体）４３と、劣化判定回路４４と、を備えて構成されている。
【００３１】
劣化回路４３は、処理装置３０の一部又は全体の回路である検査対象回路（図示略）と同様に構成された回路である。このため、劣化回路４３は、処理装置３０と相関的に劣化する。また、耐劣化回路４２は、劣化回路４３と同様の回路である。ただし、耐劣化回路４２の劣化量は、劣化回路４３の劣化量に比べて無視できる程度に小さくなるように、耐劣化回路４２は構成されている。換言すれば、耐劣化回路４２は、実質的に経時劣化しないように構成されている。
【００３２】
これにより、耐劣化回路４２を通した出力である耐劣化回路出力５９のデューティー比は劣化の有無によらず変化しないが、劣化回路４３を通した出力である劣化回路出力６０のデューティー比は劣化回路４３の劣化により変化するようになっている。
【００３３】
図３に示すように、耐劣化回路４２は、具体的には、例えば、ＰＭＯＳトランジスタ６４及びＮＭＯＳトランジスタ６５を備えるＣＭＯＳインバータとして構成されている。同様に、劣化回路４３は、具体的には、例えば、図４に示すように、ＰＭＯＳトランジスタ６６及びＮＭＯＳトランジスタ６７を備えるＣＭＯＳインバータとして構成されている。
【００３４】
ここで、劣化回路４３を構成する電気デバイス（例えば、ＰＭＯＳトランジスタ６６及びＮＭＯＳトランジスタ６７）のうち少なくともひとつの電気デバイスの耐圧は、耐劣化回路４２を構成する電気デバイス（例えば、ＰＭＯＳトランジスタ６４及びＮＭＯＳトランジスタ６５）の耐圧よりも低く設定されている。
【００３５】
具体的には、例えば、耐劣化回路４２のＰＭＯＳトランジスタ６４及びＮＭＯＳトランジスタ６５は、共に、相対的に耐圧が高く設定されている。対して、劣化回路４３については、一方のＰＭＯＳトランジスタ６６の耐圧は、耐劣化回路４２のＰＭＯＳトランジスタ６４及びＮＭＯＳトランジスタ６５と同程度に高い耐圧に設定されているが、他方のＮＭＯＳトランジスタ６７は、ＰＭＯＳトランジスタ６６よりも耐圧が低く設定されている。
【００３６】
これにより、耐劣化回路４２の劣化量は、劣化回路４３の劣化量に比べて無視できる程度に小さくなるようになっている。なお、劣化回路４３においては、ＮＭＯＳトランジスタ６７が劣化しやすいため、特にこのＮＭＯＳトランジスタ６７の劣化を検出できるようになっている。
【００３７】
ここで、耐劣化回路４２は、例えば、処理装置３０の検査対象回路と同じ動作条件で動作させる。耐劣化回路４２は、実質的に経時劣化しない程度に耐圧が高いため、経過時間に関わらず、実質的に、検査対象回路の初期状態に維持される。
【００３８】
また、処理装置３０の検査対象回路と同様の動作条件で劣化回路４３を動作させれば、劣化回路４３の劣化量は、処理装置３０の検査対象回路と同程度となる。
【００３９】
一方、処理装置３０が実際に劣化するよりも前に、処理装置３０の劣化を未然に検出できることが好ましい。このため、処理装置３０の検査対象回路よりも（耐劣化回路４２よりも）劣化が進行する動作条件で劣化回路４３を動作させる（例えば、常時、そのような動作条件で動作させる）ことにより、劣化回路４３の劣化量を、処理装置３０の検査対象回路の劣化量よりも大きくし、処理装置３０よりも速く劣化回路４３を劣化させることが好ましい。劣化が進行する動作条件とは、例えば、高い電圧で動作させること、或いは、高い周波数で動作させること、或いは、高い温度で動作させること、或いは、これらのうちの任意の２つ以上を組み合わせた条件で動作させることが挙げられる。
【００４０】
このようにして、劣化回路４３は、処理装置３０の検査対象回路と同程度又はそれ以上に経時劣化するようになっている。
【００４１】
なお、処理装置３０の動作条件よりも劣化が進行する動作条件で劣化回路４３及び耐劣化回路４２を動作させても良い。耐劣化回路４２は処理装置３０の検査対象回路及び劣化回路４３よりも劣化が少ないため、このように動作させても、耐劣化回路４２は実質的に劣化しないようにできる。
【００４２】
また、処理装置３０の検査対象回路及び耐劣化回路４２の耐圧を劣化回路４３よりも高くしても良い（劣化回路４３の耐圧を処理装置３０の検査対象回路及び耐劣化回路４２よりも低くしても良い）。
【００４３】
また、劣化回路４３及び耐劣化回路４２の動作電圧は、耐劣化回路４２を構成する電気デバイス（例えば、ＰＭＯＳトランジスタ６４及びＮＭＯＳトランジスタ６５）の耐圧を大きく超えない電圧とすることが好ましい。
【００４４】
また、劣化検出装置４０の劣化判定回路４４は、耐劣化回路４２と劣化回路４３との劣化量の差に基づいて、相関劣化を検出する。
【００４５】
劣化判定回路４４は、例えば、耐劣化回路出力５９と劣化回路出力６０との信号のデューティー比の比較に基づいて、劣化検出信号５１を生成及び出力する。
【００４６】
具体的には、例えば、図５に示すように、劣化検出装置４０の劣化判定回路４４は、例えば、位相比較回路４５と、時間／ディジタル変換回路４６と、を備えて構成されている。
【００４７】
発振回路４１は、所定周期のパルス信号である共通の発振回路出力５８（図６参照）を耐劣化回路４２及び劣化回路４３に対して出力する。
【００４８】
耐劣化回路４２は、発振回路４１から入力される発振回路出力５８に応じたパルス信号である耐劣化回路出力５９を劣化判定回路４４（の位相比較回路４５）に出力する。また、劣化回路４３は、発振回路４１から入力される発振回路出力５８に応じたパルス信号である劣化回路出力６０を劣化判定回路４４（の位相比較回路４５）に出力する。
【００４９】
位相比較回路４５は、耐劣化回路４２から入力される耐劣化回路出力５９と劣化回路４３から入力される劣化回路出力６０との位相差を位相比較回路出力６１として時間／ディジタル変換回路４６に出力する。すなわち、位相比較回路４５は、例えば、耐劣化回路出力５９のあるパルスの立ち上がりのタイミングと、このパルスと対応する劣化回路出力６０のパルスの立ち上がりのタイミングと、のタイミング差（位相差）に応じたパルス幅のパルス信号を位相比較回路出力６１として時間／ディジタル変換回路４６に出力する。時間／ディジタル変換回路４６は、位相比較回路４５から入力されるパルスのパルス幅をディジタル信号に変換し、この変換結果を劣化検出信号５１として検査装置２０に出力する。
【００５０】
具体的には、図６に示すように、発振回路出力５８の第１の周期では劣化がなく、耐劣化回路出力５９と劣化回路出力６０との間に位相差がない。すなわち、耐劣化回路出力５９のパルスＰ０ａと、このパルスＰ０ａと対応する劣化回路出力６０のパルスＰ０ｂとは、立ち上がりのタイミングが互いに等しい。この場合、位相比較回路出力６１はパルス波形とならず、時間／ディジタル変換回路４６からの劣化検出信号５１の値は「０」となる。
【００５１】
また、図６に示すように、発振回路出力５８の第２の周期では劣化が進行したことにより、劣化回路出力６０のデューティー比が小さく（パルスの幅が狭く）なり、耐劣化回路出力５９と劣化回路出力６０との間に位相差が生じている。すなわち、耐劣化回路出力５９のパルスＰ１ａと、このパルスＰ１ａと対応する劣化回路出力６０のパルスＰ１ｂとは、立ち上がりのタイミングに（Ｔ１ｂ−Ｔ１ａ）だけ差がある。このため、位相比較回路出力６１はタイミング差（Ｔ１ｂ−Ｔ１ａ）に応じたパルス幅のパルスＰ１ｃとなる。時間／ディジタル変換回路４６は、このパルスＰ１ｃのパルス幅をディジタル値に変換し、この変換結果を劣化検出信号５１として出力する。例えば、パルスＰ１ｃのパルス幅をディジタル値「１」に変換した場合は、劣化検出信号５１の値は「１」となる。
【００５２】
また、図６に示すように、発振回路出力５８の第３の周期では劣化が更に進行したことにより、劣化回路出力６０のデューティー比が更に小さく（パルスの幅が更に狭く）なり、耐劣化回路出力５９と劣化回路出力６０との間の位相差が拡大している。同様に、耐劣化回路出力５９のパルスＰ２ａと、このパルスＰ２ａと対応する劣化回路出力６０のパルスＰ２ｂとは、立ち上がりのタイミングに（Ｔ２ｂ−Ｔ２ａ）だけ差がある。このため、位相比較回路出力６１はタイミング差（Ｔ２ｂ−Ｔ２ａ）に応じたパルス幅のパルスＰ２ｃとなる。時間／ディジタル変換回路４６は、このパルスＰ２ｃのパルス幅をディジタル値に変換し、この変換結果を劣化検出信号５１として出力する。例えば、パルスＰ２ｃのパルス幅をディジタル値「２」に変換した場合は、劣化検出信号５１の値は「２」となる。
【００５３】
なお、位相比較回路出力６１のパルス幅は、耐劣化回路出力５９のあるパルスの立ち上がりのタイミングと、このパルスと対応する劣化回路出力６０のパルスの立ち上がりのタイミングと、のタイミング差と同一としても良いし、或いは、このタイミング差と同一ではないが該タイミング差と相関のあるパルス幅としても良い。
【００５４】
ここで、位相比較回路出力６１のパルス幅は、劣化回路４３の劣化が進行するほど、大きくなる。つまり、このパルス幅をディジタル変換した値である劣化検出信号５１は、劣化回路４３の劣化の程度（劣化量）を示す信号である。
【００５５】
このように、劣化検出装置４０は、処理装置３０と相関的に劣化する劣化回路４３の劣化量を検出し、該検出した劣化量を劣化検出信号５１として出力する。より具体的には、劣化判定回路４４は、耐劣化回路出力５９と劣化回路出力６０との差に基づいて、相関劣化を検出する。
【００５６】
次に、検査装置２０の構成を説明する。
【００５７】
図７に示すように、検査装置２０は、例えば、検査制御部２１と、検査期待値出力部２２と、検査入力値出力部２３と、比較部２４と、を備えて構成されている。
【００５８】
劣化検出装置４０からの劣化検出信号５１は、検査制御部２１、検査期待値出力部２２及び検査入力値出力部２３に対してそれぞれ入力される。
【００５９】
検査制御部２１は、劣化検出信号５１の値に応じた検査制御信号５３を処理装置３０に出力する。検査入力値出力部２３は、劣化検出信号５１の値に応じて検査入力値５２を処理装置３０に出力する。検査期待値出力部２２は、劣化検出信号５１の値に応じて検査期待値６２を比較部２４に出力する。また、処理装置３０は、検査装置２０から入力される検査入力値５２に対して所定の処理を施すことにより得られる検査出力値５４を検査装置２０に出力する。検査装置２０の比較部２４は、検査期待値出力部２２から入力される検査期待値６２と、処理装置３０から入力される検査出力値５４と、を比較し、その比較結果に応じた検査結果出力５５を制御装置１０に対して出力する。
【００６０】
本実施形態の場合、検査制御部２１、検査期待値出力部２２及び検査入力値出力部２３は、例えば、劣化検出信号５１の値が「１」以上であれば、相関劣化が検出されていると判定し、処理装置３０を検査する必要があると判定する。そして、検査制御部２１は、検査の開始を指令する制御信号を含む検査制御信号５３を処理装置３０に出力し、検査入力値出力部２３は検査入力値５２を処理装置３０に出力し、検査期待値出力部２２は検査期待値６２を比較部２４に出力する。
【００６１】
ここで、処理装置３０が行う処理は、例えば、足し算であるとする。この場合に、検査入力値出力部２３は、検査入力値５２として、例えば、「１」と「２」という数値の組み合わせを出力する場合、検査期待値出力部２２が出力する検査期待値６２は、その組み合わせに対する答えの「３」である。
【００６２】
この場合に、処理装置３０が正常に動作していれば（処理装置３０が未だ劣化していなければ）、処理装置３０は、「３」という検査出力値５４を検査装置２０に対して出力する。この場合、比較部２４は、処理装置３０から入力される検査出力値５４の「３」と、検査期待値６２の「３」と、を比較し、双方が一致していると判定し、検査出力値５４と検査期待値６２とが一致している旨を示す検査結果出力５５を制御装置１０に出力する。この場合の検査結果出力５５は、換言すれば、処理装置３０が実際には未だ劣化していない旨を示す。
【００６３】
一方、処理装置３０が正常に動作していなければ（処理装置３０が既に劣化していれば）、処理装置３０は、「３」とは異なる検査出力値５４（例えば、「４」）を検査装置２０に対して出力する。比較部２４は、処理装置３０から入力される検査出力値５４の「４」と、検査期待値６２の「３」と、を比較し、双方が不一致であると判定し、検査出力値５４と検査期待値６２とが不一致である旨を示す検査結果出力５５を制御装置１０に出力する。この場合の検査結果出力５５は、換言すれば、処理装置３０が実際に劣化している旨を示す。
【００６４】
制御装置１０は、検査出力値５４と検査期待値６２とが一致している旨を示す検査結果出力５５が入力された場合には（処理装置３０が実際には未だ劣化していない旨を示す検査結果出力５５が入力された場合には）、処理装置３０が実際には未だ劣化していないと判断し、通常処理の再開を指令する制御信号６３を処理装置３０に対して出力する。
【００６５】
一方、検査出力値５４と検査期待値６２とが不一致である旨を示す検査結果出力５５が入力された場合には（処理装置３０が実際に劣化している旨を示す検査結果出力５５が入力された場合には）、処理装置３０が実際に劣化していると判断し、通常処理の停止（一時的な停止ではなく、完全な停止）を指令する制御信号６３を処理装置３０に対して出力する。
【００６６】
このように、検査装置２０及び制御装置１０は、検査状態時における処理装置３０からの出力値（検査出力値５４）と、検査期待値６２と、の比較に基づいて、処理装置３０を検査する。
【００６７】
次に、劣化診断装置１００の動作を図８及び図９のフローチャートを参照して説明する。
【００６８】
図８に示すように、劣化診断装置１００は、通常時には、通常処理（ステップＳ１）と、処理装置３０の劣化と相関のある劣化（相関劣化）を検出したか否かの判定処理（ステップＳ２）と、を繰り返し行う。
【００６９】
処理装置３０は、通常処理（ステップＳ１）時においては、処理入力５６に対して所定の処理を行い、この処理結果を処理出力５７として出力する。
【００７０】
劣化検出装置４０及び検査装置２０は、通常処理（ステップＳ１）時においては、相関劣化の監視処理を行う。すなわち、劣化検出装置４０は、上述のようにディジタル値を生成し、そのディジタル値を劣化検出信号５１として検査装置２０に出力する。また、検査装置２０の検査制御部２１、検査期待値出力部２２及び検査入力値出力部２３は、劣化検出信号５１の値の監視（例えば、「１」以上であるか否かの監視）をそれぞれ行う。
【００７１】
このように、ステップＳ１では、処理装置３０が通常の処理を行うのと並行して、相関劣化の検出（監視）を行う。
【００７２】
ステップＳ１において、処理装置３０の劣化が検出されない限りは（具体的には、劣化検出信号５１が「１」以上の値とならない限りは）（ステップＳ２のＮ）、ステップＳ１とステップＳ２との繰り返しとなる。
【００７３】
相関劣化が検出された場合（具体的には、劣化検出信号５１が「１」以上の値となった場合）には（ステップＳ２のＹ）、処理装置３０の検査を行うステップＳ３に移行する。
【００７４】
図８のステップＳ３の検査処理では、検査制御部２１は、図９に示すように、先ず、通常処理の待避処理（通常処理の一時的な停止処理）を行う。すなわち、検査制御部２１は、処理装置３０に対して検査の開始を指令する制御信号を出力する（ステップＳ４）。
【００７５】
また、検査期待値出力部２２は検査期待値６２を比較部２４に出力し、検査入力値出力部２３は検査入力値５２を処理装置３０に出力する（ステップＳ６）。処理装置３０は、検査制御部２１からの検査制御信号５３を受けると、処理入力５６に対する処理を一時的に停止する一方で、検査入力値５２に対する処理を行う。そして、処理装置３０は、検査入力値５２に対する処理により得られる処理結果を検査出力値５４として検査装置２０に出力する（ステップＳ７）。そして、検査装置２０の比較部２４は、処理装置３０から入力される検査出力値５４と、検査期待値出力部２２から入力される検査期待値６２と、が一致したか否かを判定し（ステップＳ８）、その判定結果を示す検査結果出力５５を制御装置１０に対して出力する。すなわち、検査出力値５４と検査期待値６２とが一致した場合には（ステップＳ８のＹ）その旨を示す（換言すれば処理装置３０が未だ劣化していない旨を示す）検査結果出力５５を、検査出力値５４と検査期待値６２とが一致しなかった場合には（ステップＳ８のＮ）その旨を示す（換言すれば処理装置３０が劣化した旨を示す）検査結果出力５５を、それぞれ制御装置１０に出力する。
【００７６】
そして、制御装置１０は、検査出力値５４と検査期待値６２とが一致した旨を示す検査結果出力５５が入力された場合には、通常処理の再開を指令する制御信号６３を処理装置３０に対して出力する（ステップＳ９）。処理装置３０は、通常処理の再開を指令する制御信号６３が制御装置１０から入力された場合には、該処理装置３０に入力される処理入力５６に対する処理を行って、その処理結果としての処理出力５７を出力する状態に復帰する。また、劣化検出装置４０及び検査装置２０は、引き続き、処理装置３０の劣化と相関のある劣化の監視処理を行う。すなわち、図８のステップＳ１に移行する。
【００７７】
また、制御装置１０は、検査出力値５４と検査期待値６２とが一致しなかった旨を示す検査結果出力５５が入力された場合には、通常処理の停止を指令する制御信号６３を処理装置３０に対して出力する（ステップＳ１０）。処理装置３０は、通常処理の停止を指令する制御信号６３が制御装置１０から入力された場合には、通常処理を停止する。つまり、既に一時的に停止しているため、その状態を維持する。
【００７８】
劣化診断装置１００は、このような一連の動作を、処理装置３０の劣化診断動作として行う。
【００７９】
以上のような第１の実施形態によれば、検査対象となる処理装置３０を検査する検査手段としての検査装置２０及び制御装置１０と、処理装置３０の劣化と相関のある劣化である相関劣化を検出する劣化検出手段としての劣化検出装置４０と、を備え、検査手段は、劣化検出装置４０により相関劣化が検出された場合に処理装置３０を検査するので、処理装置３０の検査を適切なタイミングで行うことができる。すなわち、半導体集積回路を含む処理装置３０を通常処理の途中で診断するオンラインでの劣化診断を、適切なタイミングで行うことができる。これにより、処理装置３０の個体差、或いは、使用環境による故障の発生率の差があっても、それぞれ適切なタイミングで検査を行うことができる。
【００８０】
また、劣化検出装置４０は、処理装置３０と同程度又はそれ以上に経時劣化する劣化回路４３と、実質的に経時劣化しない耐劣化回路４２と、劣化判定回路４４と、を備え、劣化判定回路４４は、耐劣化回路４２と劣化回路４３との劣化量の差に基づいて、相関劣化を検出するので、相関劣化を適切に検出することができる。
【００８１】
また、劣化検出装置４０は、耐劣化回路４２と劣化回路４３とに同一のパルス信号を入力する発振回路４１を備え、耐劣化回路４２は、このパルス信号に基づく耐劣化回路出力５９を出力し、劣化回路４３は、このパルス信号に基づく劣化回路出力６０を出力し、劣化判定回路４４は、耐劣化回路出力５９と劣化回路出力６０との差に基づいて、相関劣化を検出するので、相関劣化を容易且つ確実に検出することができる。このように、耐劣化回路４２と劣化回路４３とが共通の発振回路４１からの信号（発振回路出力５８）を入力とすることにより、判定基準を共通化でき、判定が容易になる。
【００８２】
また、劣化検出装置４０は、位相比較回路４５と、時間／ディジタル変換回路４６と、を備え、位相比較回路４５は、耐劣化回路出力５９と、劣化回路出力６０と、の位相差に応じたパルス幅のパルスを出力し、時間／ディジタル変換回路４６は、位相比較回路４５から出力されるパルスのパルス幅に応じた値のディジタル信号を、相関劣化の検出信号（劣化検出信号５１）として出力するので、この劣化検出信号５１を適切に生成及び出力することができる。
【００８３】
また、耐劣化回路４２は処理装置３０と同じ動作条件で動作させ、劣化回路４３は耐劣化回路４２よりも劣化が進行する動作条件で動作させることにより、劣化回路４３の劣化量を、処理装置３０の検査対象回路の劣化量よりも大きくし、処理装置３０よりも劣化回路４３を少し速く劣化させることができる。これにより、処理装置３０が実際に劣化するよりも前に、処理装置３０の劣化を未然に検出することができる。
【００８４】
また、劣化回路４３を構成する電気デバイス（例えば、ＰＭＯＳトランジスタ６６及びＮＭＯＳトランジスタ６７）のうち少なくともひとつの電気デバイスの耐圧は、耐劣化回路４２を構成する電気デバイス（例えば、ＰＭＯＳトランジスタ６４及びＮＭＯＳトランジスタ６５）及び処理装置３０を構成する電気デバイスの耐圧よりも低く設定されているので、劣化回路４３を耐劣化回路４２及び処理装置３０よりも速く劣化させることができ、処理装置３０の劣化を未然に検出することができるようになる。
【００８５】
〔第２の実施形態〕
図１０は第２の実施形態に係る劣化診断装置２００の構成を示すブロック図、図１１は劣化診断装置２００が備える劣化検出装置４０の構成を示すブロック図、図１２は本実施形態の場合の劣化検出装置４０の動作を説明するためのタイムチャート、図１３は劣化診断装置２００が備える検査装置２０の構成を示すブロック図、図１４は本実施形態の場合の検査処理（図８のステップＳ３）での処理の流れを示すフローチャートである。
【００８６】
本実施形態に係る劣化診断装置２００は、相関劣化のレベルを検出し、検出した相関劣化のレベルに応じて互いに異なる検査を行う点で、上記の第１の実施形態と相違し、その他の点では上述の第１の実施形態に係る劣化診断装置１００と同様である。
【００８７】
図１０に示すように、本実施形態の場合、劣化検出装置４０は、相関劣化の有無を示す劣化検出信号５１（図１）ではなく相関劣化のレベルを示す劣化レベル検出信号１を検査装置２０に対して出力する。すなわち、図１１に示すように、劣化検出装置４０は、劣化判定回路４４（図２）に代えて劣化レベル判定回路２を備え、この劣化レベル判定回路２は図１１及び図１２に示すように、劣化レベル検出信号１を出力する。
【００８８】
なお、本実施形態の場合、具体的には、例えば、劣化レベル判定回路２は、劣化判定回路４４（図２）と同じ構成とすることができ、劣化レベル検出信号１も劣化検出信号５１（図１）と同じ信号とすることができる。
【００８９】
すなわち、本実施形態の場合、劣化検出装置４０は、処理装置３０と相関的に劣化する劣化回路４３の劣化量を検出し、該検出した劣化量を劣化レベル検出信号１として出力する。
【００９０】
例えば、図１２に示すように、劣化レベル検出信号１の値が「０」の場合には、相関劣化を検出していない旨を示す。また、劣化レベル検出信号１の値が「１」以上の場合には、相関劣化を検出した旨を示す。このうち、劣化レベル検出信号１の値が「１」の場合には、相関劣化のレベルが第１レベルである旨を示し、劣化レベル検出信号１の値が「２」の場合には、相関劣化のレベルが第２レベルである旨を示し、劣化レベル検出信号１の値が「３」の場合（図示略）には、相関劣化のレベルが第３レベルである旨を示す。なお、本実施形態では、例えば、このように、劣化のレベルを３つのレベルで検出する例を説明するが、劣化のレベル数は２つであっても良いし、４つ以上であっても良い。
【００９１】
また、本実施形態の場合、検査装置２０は、相関劣化のレベルに応じて、異なる種類の検査を行う。
【００９２】
検査装置２０は、劣化レベル検出信号１の値が「１」以上である場合には、処理装置３０が劣化したものと便宜的に判定し、処理装置３０の検査を行う。
【００９３】
すなわち、本実施形態の場合、検査制御部２１、検査期待値出力部２２及び検査入力値出力部２３に対して、劣化検出装置４０からの劣化レベル検出信号１がそれぞれ入力される。検査制御部２１、検査期待値出力部２２及び検査入力値出力部２３は、例えば、劣化レベル検出信号１の値が「１」以上であれば、処理装置３０を検査する必要があると判定する。そして、検査制御部２１は、検査の開始を指令する制御信号を含む検査制御信号５３を処理装置３０に出力する。また、検査入力値出力部２３は、相関劣化のレベルに応じた（劣化レベル検出信号１の値に応じた）検査入力値５２を処理装置３０に出力し、検査期待値出力部２２は相関劣化のレベルに応じた（劣化レベル検出信号１の値に応じた）検査期待値６２を比較部２４に出力する。
【００９４】
ここで、相関劣化のレベルに応じた検査とは、例えば、相関劣化のレベルが高いほど、処理装置３０に行わせる処理の数を増やすことが挙げられる。具体的には、例えば、処理装置３０による処理が上述のような演算である場合に、検査入力値５２として出力する数値の組み合わせの数、並びに、検査期待値６２として出力する数値の数を、相関劣化のレベルが高いほど増やすと良い。具体的には、例えば、相関劣化が第１レベルの場合には、検査入力値５２として１組の数値の組み合わせ（例えば、「１」と「２」という組み合わせ）を出力し、検査期待値６２として１つの数値（例えば、「１」と「２」という組み合わせに対する答えの「３」）を出力する。また、相関劣化が第２レベルの場合には、例えば、検査入力値５２として２組の数値の組み合わせ（例えば、「１」と「２」という組み合わせと、「２」と「３」という組み合わせ）を出力し、検査期待値６２として２つの数値（例えば、「３」と「５」）を出力する。同様に、相関劣化が第３レベルの場合には、例えば、検査入力値５２として３組の数値の組み合わせを出力し、検査期待値６２として３つの数値を出力する。このように、相関劣化のレベルに応じて、処理装置３０に行わせる処理の数を変更することにより、相関劣化のレベルに応じて、異なる精度で処理装置３０の検査を行うことができる。なぜなら、例えば、１組の数値の組み合わせに対する演算を行わせるだけでは検出できないような劣化を、２組の数値の組み合わせに対する演算を行わせることにより検出することができたり、或いは、２組の数値の組み合わせに対する演算を行わせるだけでは検出できないような劣化を、３組の数値の組み合わせに対する演算を行わせることにより検出することができたりするからである。
【００９５】
また、処理装置３０に行わせる処理の数を複数にする場合、その複数の処理を適切なタイミングで順次に行うように、処理装置３０に対して指令することが好ましい。つまり、検査が複数ステップからなる場合、検査制御信号５３には、検査のステップを次のステップに進めさせる制御信号が含まれていることが好ましい。このように、本実施形態の場合、相関劣化のレベルに応じた（劣化レベル検出信号１の値に応じた）検査制御信号５３を出力することが好ましい。
【００９６】
処理装置３０は、例えば、検査入力値５２に含まれる数値の組み合わせに対して、順次に処理を行い、その処理結果を検査出力値５４として検査装置２０に出力する。
【００９７】
比較部２４は、処理装置３０から入力される検査出力値５４の各々と、検査期待値出力部２２から入力される検査期待値６２の各々と、が全て一致した場合には、検査出力値５４の各々と検査期待値６２の各々とが全て一致した旨を示す（換言すれば処理装置３０が未だ劣化していない旨を示す）検査結果出力５５を制御装置１０に対して出力する。
【００９８】
また、比較部２４は、処理装置３０から入力される検査出力値５４の各々と、検査期待値出力部２２から入力される検査期待値６２の各々とのうち、少なくとも何れか１つ以上が不一致となった場合には、その旨を示す（換言すれば処理装置３０が劣化した旨を示す）検査結果出力５５を制御装置１０に対して出力する。
【００９９】
このように、本実施形態では、検査装置２０は、検査状態時における処理装置３０からの出力値と、相関劣化のレベルに応じて入力した検査入力値５２と対応する検査期待値６２との比較に基づいて、処理装置３０を検査する。
【０１００】
次に、劣化診断装置２００の動作を図８及び図１４のフローチャートを参照して説明する。
【０１０１】
本実施形態の場合も、劣化診断装置２００は、図８に示す動作を上記の第１の実施形態と同様に行う。そして、相関劣化が検出された場合（具体的には、劣化レベル検出信号１が「１」以上の値となった場合）には（図８のステップＳ２のＹ）、処理装置３０の検査を行うステップＳ３に移行する。
【０１０２】
図８のステップＳ３の検査処理では、検査制御部２１は、図１４に示すように、先ず、通常処理の待避処理（通常処理の一時的な停止処理）を上記の第１の実施形態と同様に行う（ステップＳ４）。
【０１０３】
続いて、検査装置２０は、相関劣化のレベルを判定する。すなわち、相関劣化のレベルが、第１乃至第３レベルの何れであるかを、検査制御部２１、検査期待値出力部２２及び検査入力値出力部２３の各々が行う（ステップＳ５）。
【０１０４】
相関劣化のレベルが第１レベルであった場合（ステップＳ５の「１」）、検査入力値出力部２３は第１レベルの検査入力値５２を処理装置３０に出力する。具体的には、例えば、１組の数値の組み合わせ（例えば、「１」と「２」という組み合わせ）を出力する（ステップＳ６−１）。また、検査期待値出力部２２は第１レベルの検査期待値６２を比較部２４に出力する。具体的には、例えば、１組の数値の組み合わせに対する演算の答え（例えば、「３」）を出力する。また、検査制御部２１は第１レベルの検査制御信号５３を処理装置３０に出力する。具体的には、例えば、検査の開始を指令する制御信号のみを出力する。
【０１０５】
また、相関劣化のレベルが第２レベルであった場合（ステップＳ５の「２」）、検査入力値出力部２３は第２レベルの検査入力値５２を処理装置３０に出力する。具体的には、例えば、２組の数値の組み合わせ（例えば、「１」と「２」という組み合わせと、「２」と「３」という組み合わせ）を出力する（ステップＳ６−２）。また、検査期待値出力部２２は第２レベルの検査期待値６２を比較部２４に出力する。具体的には、例えば、２組の数値の組み合わせに対する演算の答え（例えば、「３」と「５」）を出力する。また、検査制御部２１は第２レベルの検査制御信号５３を処理装置３０に出力する。具体的には、例えば、検査の開始を指令する制御信号と、検査のステップを次のステップに進めさせる制御信号と、を出力する。ここで、検査のステップを次のステップに進めさせる制御信号は、例えば、検査のステップを１つ目の組み合わせ（例えば、「１」と「２」という組み合わせ）に対する演算を行う第１ステップから２つ目の組み合わせ（例えば、「２」と「３」という組み合わせ）に対する演算を行う第２ステップへと切り替える処理を、検査制御信号５３の入力タイミングから所定タイミング後に行わせる信号であることが挙げられる。
【０１０６】
同様に、相関劣化のレベルが第３レベルであった場合（ステップＳ５の「３」）、検査入力値出力部２３は第３レベルの検査入力値５２を処理装置３０に出力する（ステップＳ６−３）。また、検査期待値出力部２２は第３レベルの検査期待値６２を比較部２４に出力する。また、検査制御部２１は第３レベルの検査制御信号５３を処理装置３０に出力する。具体的には、例えば、検査の開始を指令する制御信号と、検査のステップを次のステップに進めさせる制御信号と、を出力する。
【０１０７】
処理装置３０は、検査制御部２１からの検査制御信号５３を受けると、処理入力５６に対する処理を一時的に停止する一方で、検査入力値５２に対する処理を行う。そして、処理装置３０は、検査入力値５２に含まれる各組み合わせの数値に対する処理により得られる処理結果を検査出力値５４として順次に検査装置２０に出力する（ステップＳ７）。そして、検査装置２０の比較部２４は、処理装置３０から順次に入力される検査出力値５４の各々と、検査期待値出力部２２から入力される検査期待値６２の各々と、が一致しているか否かを判定し（ステップＳ８）、その判定結果を示す検査結果出力５５を制御装置１０に対して出力する。すなわち、比較部２４は、処理装置３０から入力される検査出力値５４と検査期待値出力部２２からの検査期待値６２とが全て一致した場合には、処理装置３０が未だ劣化していない旨を示す検査結果出力５５を制御装置１０に出力する。一方、検査出力値５４と検査期待値６２とのうちの少なくとも何れか１つが不一致となった場合には、処理装置３０が劣化している旨を示す検査結果出力５５を制御装置１０に出力する。
【０１０８】
そして、制御装置１０は、検査出力値５４と検査期待値６２とが一致した旨を示す検査結果出力５５が入力された場合には、通常処理の再開を指令する制御信号６３を処理装置３０に対して出力する（ステップＳ９）。処理装置３０は、通常処理の再開を指令する制御信号６３が検査装置２０から入力された場合には、該処理装置３０に入力される処理入力５６に対する処理を行って、その処理結果としての処理出力５７を出力する状態に復帰する。また、劣化検出装置４０及び検査装置２０は、引き続き、処理装置３０の劣化と相関のある劣化の監視処理を行う。すなわち、図８のステップＳ１に移行する。
【０１０９】
また、制御装置１０は、検査出力値５４と検査期待値６２とが一致しなかった旨を示す検査結果出力５５が入力された場合には、通常処理の停止を指令する制御信号６３を処理装置３０に対して出力する（ステップＳ１０）。処理装置３０は、通常処理の停止を指令する制御信号６３が検査装置２０から入力された場合には、通常処理を停止する。
【０１１０】
以上のような第２の実施形態によれば、第１の実施形態により得られる効果の他に、以下の効果が得られる。
【０１１１】
先ず、劣化検出装置４０は、相関劣化のレベルを検出し、検査装置２０は、劣化検出装置４０により検出された相関劣化のレベルに応じて、互いに異なる検査を行うので、相関劣化のレベルに応じた精度の検査を行うことができる。具体的には、例えば、劣化の程度が軽い場合（例えば、第１レベルの場合）には処理装置３０による処理数が少ない検査入力値５２を出力し、劣化の程度が重い場合（例えば、第２及び第３レベルの場合）には処理装置３０による処理数が多い検査入力値５２を出力することにより、相関劣化のレベルに応じた適切な精度の検査を行うことができる。
【０１１２】
また、劣化検出装置４０は、処理装置３０と同程度又はそれ以上に経時劣化する劣化回路４３と、実質的に経時劣化しない耐劣化回路４２と、劣化レベル判定回路２と、を備え、劣化レベル判定回路２は、耐劣化回路４２と劣化回路４３との劣化量の差に基づいて、相関劣化のレベルを検出するので、相関劣化のレベルを適切に検出することができる。
【０１１３】
また、劣化検出装置４０は、耐劣化回路４２と劣化回路４３とに同一のパルス信号を入力する発振回路４１を備え、耐劣化回路４２は、このパルス信号に基づく耐劣化回路出力５９を出力し、劣化回路４３は、このパルス信号に基づく劣化回路出力６０を出力し、劣化レベル判定回路２は、耐劣化回路出力５９と劣化回路出力６０との劣化量の差に基づいて、相関劣化のレベルを検出するので、相関劣化のレベルを容易且つ確実に検出することができる。
【０１１４】
また、劣化検出装置４０は、位相比較回路４５と、時間／ディジタル変換回路４６と、を備え、位相比較回路４５は、耐劣化回路出力５９と、劣化回路出力６０と、の位相差に応じたパルス幅のパルスを出力し、時間／ディジタル変換回路４６は、位相比較回路４５から出力されるパルスのパルス幅に応じた値のディジタル信号を、相関劣化のレベルの検出信号（劣化レベル検出信号１）として出力するので、この劣化レベル検出信号１を適切に生成及び出力することができる。
【０１１５】
〔第３の実施形態〕
図１５は第３の実施形態に係る劣化診断装置３００の構成を示すブロック図、図１６は本実施形態の場合の検査処理（図８のステップＳ３）での処理の流れを示すフローチャートである。
【０１１６】
本実施形態は、以下に説明する点でのみ上記の第２の実施形態と相違し、その他の点は第２の実施形態と同様である。
【０１１７】
本実施形態に係る劣化診断装置３００においては、処理装置３０が劣化したと判断した場合（ステップＳ８のＮ）に、直ちに通常処理の停止（ステップＳ１０）を行うのではなく、処理装置３０の動作条件を緩和するとともに検査装置２０に対して再検査の指令を出力し（ステップＳ１２）、動作条件を緩和した状態においては処理装置３０が正常に動作するか否かの判定（ステップＳ８）を行う。処理装置３０の動作条件を緩和することにより処理装置３０が正常に動作する場合は（ステップＳ８のＹ）、通常処理を再開し、動作条件を下限まで緩和しても処理装置３０が正常に動作しない場合は（ステップＳ１１のＮ）、通常処理の停止（ステップＳ１０）を行う。
【０１１８】
図１５に示すように、本実施形態に係る劣化診断装置３００の制御装置１０は、処理装置３０が劣化したと判断した場合であって、且つ、処理装置３０の動作条件の緩和が可能である場合には、劣化検出装置４０及び処理装置３０に対して、動作条件緩和を指令する動作条件緩和指令信号３、４をそれぞれ出力し、検査装置２０に対して、処理装置３０の再検査を指令する再検査指令信号５を出力する。
【０１１９】
ここで、動作条件とは、例えば、電圧、周波数、温度などであることが挙げられる。また、動作条件の緩和とは、例えば、電圧を低下すること、周波数を低下すること、温度を低下すること、などが挙げられる。
【０１２０】
また、動作条件の緩和は、１回（１段階）のみ行うことが可能であるようにしても良いし、複数回（複数段階）行うことが可能であるようにしても良い。
【０１２１】
以下、動作を詳細に説明する。
【０１２２】
なお、図１６のフローチャートは、ステップＳ１１及びステップＳ１２が追加されている点でのみ図１４のフローチャートと相違し、その他の点は図１４と同様である。
【０１２３】
図１６に示すように、本実施形態の場合、制御装置１０は、処理装置３０が劣化したと判断した場合に（ステップＳ８のＮ）、直ちに通常処理の停止（ステップＳ１０）を行うのではなく、先ず、処理装置３０の動作条件の緩和が可能か否かを判定する（ステップＳ１１）。動作条件の緩和が可能か否かの判定は、例えば、所定の下限値まで動作条件を緩和しているか否かに基づいて行う。
【０１２４】
動作条件の緩和が可能な場合、換言すれば、例えば、未だ所定の下限値までは動作条件を緩和していない場合（ステップＳ１１のＹ）、制御装置１０は、動作条件緩和を指令する動作条件緩和指令信号３、４を劣化検出装置４０及び処理装置３０に対してそれぞれ出力する。一方、検査装置２０に対しては、制御装置１０は、処理装置３０の再検査を指令する再検査指令信号５を出力する（ステップＳ１２）。
【０１２５】
処理装置３０は、動作条件緩和指令信号４が入力されると、当該処理装置３０の動作条件を１段階だけ緩和する。すなわち、例えば、処理装置３０の動作電圧を低下させる。同様に、劣化検出装置４０は、動作条件緩和指令信号３が入力されると、当該劣化検出装置４０の耐劣化回路４２及び劣化回路４３の動作条件を１段階だけ緩和する。
【０１２６】
なお、劣化検出装置４０は、動作条件が緩和されると、その状態での劣化検出信号５１を検査装置２０に対して出力する。
【０１２７】
検査装置２０は、再検査指令信号５が入力されると、ステップＳ５からの処理を上記の第２の実施形態と同様に行う。すなわち、次に行うステップＳ７では、動作条件が緩和された状態での処理装置３０の検査を行い、そのステップＳ７に続くステップＳ８では、動作条件が緩和された状態での処理装置３０からの検査出力値５４と検査期待値６２とが一致するか否かの判定を行う。
【０１２８】
動作条件を緩和した状態においては処理装置３０が正常に動作する場合（ステップＳ８のＹ）、動作条件を緩和した状態に維持させたままで、通常処理の復帰処理（ステップＳ９）を行う。
【０１２９】
また、動作条件を緩和した状態においても処理装置３０が正常に動作しない場合（ステップＳ８のＮ）、動作条件を更に緩和できるか否かの判定を行う（ステップＳ１１）。すなわち、未だ所定の下限値までは動作条件を緩和していない場合（ステップＳ１１のＹ）、動作条件を更に１段階緩和させるとともに再検査を指令し（ステップＳ１２）、再びステップＳ５からの処理を行う。
【０１３０】
その後、動作条件を下限まで緩和しても処理装置３０が正常に動作しない場合（ステップＳ８でＮとなる場合）は、続くステップＳ１１でもＮとなり、通常処理の停止（ステップＳ１０）を行う。
【０１３１】
以上のような第３の実施形態によれば、制御装置１０は、検査の結果、処理装置３０が劣化していると判定した場合には、処理装置３０の動作条件を緩和させた状態において、再度、処理装置３０の検査を検査装置２０に行わせ、この再度の検査では処理装置３０が劣化していないと判定した場合には、動作条件を緩和させた状態に維持させるので、動作条件の緩和で劣化の現れ方が小さくなる場合、動作条件を緩和した状態で通常処理を継続することが可能となり、処理装置３０の寿命を延長することができる。
【０１３２】
〔第４の実施形態〕
図１７は第４の実施形態に係る劣化診断装置が備える検査装置２０の構成を示すブロック図である。
【０１３３】
本実施形態の場合、相関劣化を検出した場合に処理装置３０を検査するだけでなく、タイマーを用いて所定周期（所定時間間隔）毎に処理装置３０を検査する。その他の点では、第２の実施形態と同様である。
【０１３４】
図１７に示すように、本実施形態に係る劣化診断装置の検査装置２０は、タイマー１４を備えている。タイマー１４は、検査制御部２１からの指令に応じて初期化（リセット）される。タイマー１４は、初期化されると、時間計測を開始し、その計測時間を検査制御部２１に出力する。
【０１３５】
検査制御部２１は、タイマー１４の計測時間が所定時間となった場合には、処理装置３０の検査を行う。すなわち、計測時間が所定時間となった場合には、検査制御部２１は、検査の開始を指令する検査制御信号５３を処理装置３０に出力する。また、これととともに、検査期待値出力部２２に対しては検査期待値６２を比較部２４に出力させる指令を、検査入力値出力部２３に対しては検査入力値５２を処理装置３０に出力させる指令を、それぞれ出力する。
【０１３６】
第４の実施形態によれば、劣化診断装置の検査装置２０は、タイマー１４を備え、タイマー１４により所定時間が計時される度に、処理装置３０を検査するので、相関劣化の検出だけをトリガーとするのではなく、所定時間が経過することもトリガーとして処理装置３０の検査を行うことができる。
【０１３７】
〔第５の実施形態〕
図１８は第５の実施形態に係る劣化診断装置が備える検査装置２０の構成を示すブロック図、図１９は第５の実施形態に係る劣化診断装置による処理の流れを示すフローチャート、図２０は図１９の劣化タイマー初期化付き検査処理（ステップＳ１３）での処理の流れを示すフローチャート、図２１は図１９の劣化タイマーによる検査処理（ステップＳ１５）での処理の流れを示すフローチャートである。
【０１３８】
本実施形態は、以下に説明する点でのみ上記の第２の実施形態と相違し、その他の点は第２の実施形態と同様である。
【０１３９】
図１８に示すように、本実施形態に係る劣化診断装置の検査装置２０は、例えば、相関劣化の各レベル（例えば、第１乃至第３レベル）毎に、個別のタイマーを備えている。すなわち、第１劣化タイマー１１は第１レベルに対応し、第２劣化タイマー１２は第２レベルに対応し、第３劣化タイマー１３は第３レベルに対応する。
【０１４０】
各劣化タイマー１１〜１３は、検査制御部２１からの指令に応じて初期化（リセット）される。各タイマー１１〜１３は、初期化されると、時間計測を開始し、その計測時間を検査制御部２１に出力する。
【０１４１】
検査制御部２１は、各劣化タイマー１１〜１３毎に、所定時間の計時を監視する。すなわち、例えば、第１劣化タイマー１１については計測時間が３時間となることを、第２劣化タイマー１２については計測時間が２時間となることを、第３劣化タイマー１３については計測時間が１時間となることを、それぞれ監視する。
【０１４２】
検査制御部２１は、第１レベルに対応する第１劣化タイマー１１により所定時間（例えば、３時間）が計時された場合には、相関劣化が第１レベルであると判定した場合と同様の検査を行う。同様に、第２レベルに対応する第２劣化タイマー１２により所定時間（例えば、２時間）が計時された場合には、相関劣化が第２レベルであると判定した場合と同様の検査を、第３レベルに対応する第３劣化タイマー１３により所定時間（例えば、１時間）が計時された場合には、相関劣化が第３レベルであると判定した場合と同様の検査を、それぞれ行う。
【０１４３】
以下、動作を説明する。
【０１４４】
図１９において、ステップＳ１及びステップＳ２は上記の第２の実施形態と同様である。
【０１４５】
ステップＳ２でＹの場合、劣化タイマー初期化付き検査処理を行う（ステップＳ１３）。この劣化タイマー初期化付き検査処理（ステップＳ１３）では、図２０の処理を行う。
【０１４６】
図２０の劣化タイマー初期化付き検査処理は、上記の第２の実施形態の場合の検査処理（図１４）と比較して、第１乃至第３劣化タイマー１１〜１３の初期化処理（ステップＳ１６−１、Ｓ１６−２、Ｓ１６−３）が追加されている点でのみ相違し、その他の点は第２の実施形態の場合の検査処理と同様である。
【０１４７】
すなわち、ステップＳ６−１とステップＳ７との間には第１レベルに対応する第１劣化タイマー１１の初期化処理（ステップＳ１６−１）が挿入されている。この初期化処理では、検査制御部２１は、第１劣化タイマー１１を初期化する。同様に、ステップＳ６−２とステップＳ７との間には第２レベルに対応する第２劣化タイマー１２の初期化処理（ステップＳ１６−２）が挿入されている。この初期化処理では、検査制御部２１は、第２劣化タイマー１２を初期化する。同様に、ステップＳ６−３とステップＳ７との間には第３レベルに対応する第３劣化タイマー１３の初期化処理（ステップＳ１６−３）が挿入されている。この初期化処理では、検査制御部２１は、第３劣化タイマー１３を初期化する。
【０１４８】
図２０の劣化タイマー初期化付き検査処理において、ステップＳ８でＹとなって、通常処理に復帰する場合、再び図１９のステップＳ１からの処理を行う。
【０１４９】
また、図１９のステップＳ２でＮの場合、検査制御部２１は、何れかの劣化タイマー１１〜１３が所定時間（所定周期の到来）を計時したか否かを判定する（ステップＳ１４）。
【０１５０】
何れかの劣化タイマー１１〜１３が所定時間を計時した場合（ステップＳ１４のＹ）、劣化タイマーによる検査処理を行う（ステップＳ１５）。この劣化タイマーによる検査処理（ステップＳ１５）では、図２１の処理を行う。
【０１５１】
図２１の劣化タイマーによる検査処理は、上記の第２の実施形態の場合の検査処理（図１４）におけるステップＳ５に代えて、ステップＳ１７を備える点で第２の実施形態の場合の検査処理と相違し、その他の点は第２の実施形態の場合の検査処理と同様である。
【０１５２】
すなわち、図２１の劣化タイマーによる検査処理では、上記の第２の実施形態と同様に、ステップＳ４を行った後、検査制御部２１は、所定時間を計時した劣化タイマーが劣化タイマー１１〜１３の何れであるかを判定する（ステップＳ１７）。
【０１５３】
所定時間を計時した劣化タイマーが第１劣化タイマー１１であった場合には（ステップＳ１７の「１」）、検査制御部２１は、その旨を検査入力値出力部２３及び検査期待値出力部２２に対して通知する。続いて、相関劣化が第１レベルであった場合と同様の検査を行う（ステップＳ６−１〜ステップＳ７）。
【０１５４】
同様に、所定時間を計時した劣化タイマーが第２劣化タイマー１２であった場合には（ステップＳ１７の「２」）、検査制御部２１は、その旨を検査入力値出力部２３及び検査期待値出力部２２に対して通知する。続いて、相関劣化が第２レベルであった場合と同様の検査を行う（ステップＳ６−２〜ステップＳ７）。
【０１５５】
同様に、所定時間を計時した劣化タイマーが第３劣化タイマー１３であった場合には（ステップＳ１７の「３」）、検査制御部２１は、その旨を検査入力値出力部２３及び検査期待値出力部２２に対して通知する。続いて、相関劣化が第３レベルであった場合と同様の検査を行う（ステップＳ６−３〜ステップＳ７）。
【０１５６】
図２１の劣化タイマーによる検査処理において、ステップＳ８でＹとなって、通常処理に復帰する場合、再び図１９のステップＳ１からの処理を行う。
【０１５７】
また、図１９のステップＳ１４でＮの場合、再びステップＳ１からの処理を行う。
【０１５８】
以上のような第５の実施形態によれば、検査装置２０は、相関劣化のレベル毎に、個別のタイマー１１〜１３を備え、これらタイマー１１〜１３によりそれぞれの所定時間が計時される度に、処理装置３０を検査するので、相関劣化の各レベル毎に、相関劣化の検出をトリガーとするだけでなく、所定時間が経過することもトリガーとして検査を開始できるようになる。
【０１５９】
また、相関劣化が検出されることに基づき検査を行った場合には、タイマー１１〜１３のうち、当該検出された相関劣化のレベルと対応するタイマー１１〜１３を初期化するので、検査の頻度が必要以上に高くならないように調節することができる。
【０１６０】
なお、本実施形態では、相関劣化のレベルが３つであり、タイマー１１〜１３の数も３つである例を説明したが、相関劣化のレベル数、並びに、タイマーの数は、２つ或いは４つ以上であっても良い。
【０１６１】
〔第６の実施形態〕
図２２は第６の実施形態に係る劣化診断装置による処理の流れを示すフローチャートであって、図１９の劣化タイマー初期化付き検査処理（ステップＳ１３）での処理の流れを示すフローチャートである。
【０１６２】
本実施形態に係る劣化診断装置は、上記の第３の実施形態に係る劣化診断装置３００（図１５）と同様に構成され、且つ、その検査装置２０は、第５の実施形態（図１８）と同様に構成されている。
【０１６３】
本実施形態に係る劣化診断装置は、図２２に示すように、劣化タイマー初期化付き検査処理（図１９のステップＳ１３）において、ステップＳ８までは上記の第５の実施形態と同様の処理を行う。
【０１６４】
ただし、本実施形態の場合、処理装置３０が劣化したと判断した場合（ステップＳ８のＮ）には、上記の第３の実施形態と同様に、ステップＳ１１及びステップＳ１２の処理を経てステップＳ５からの処理を行うか、或いは、ステップＳ１１及びステップＳ１０の処理を行う。
【０１６５】
すなわち、処理装置３０が劣化したと判断した場合（ステップＳ８のＮ）に、直ちに通常処理の停止（ステップＳ１０）を行うのではなく、処理装置３０の動作条件を緩和するとともに検査装置２０に対して再検査の指令を出力し（ステップＳ１２）、動作条件を緩和した状態においては処理装置３０が正常に動作するか否かの判定（ステップＳ８）を行う。処理装置３０の動作条件を緩和することにより処理装置３０が正常に動作する場合は（ステップＳ８のＹ）、通常処理を再開し、動作条件を下限まで緩和しても処理装置３０が正常に動作しない場合は（ステップＳ１１のＮ）、通常処理の停止（ステップＳ１０）を行う。
【０１６６】
以上のような第６の実施形態によれば、上記の第３の実施形態により得られる効果と、上記の第５の実施形態により得られる効果と、を組み合わせた効果が得られる。
【０１６７】
〔第７の実施形態〕
図２３は第７の実施形態に係る劣化診断装置による処理の流れを示すフローチャートであって、図１９の劣化タイマーによる検査処理（ステップＳ１５）での処理の流れを示すフローチャートである。
【０１６８】
本実施形態に係る劣化診断装置は、上記の第６の実施形態に係る劣化診断装置と同様に構成されている。
【０１６９】
本実施形態に係る劣化診断装置は、図２３に示すように、劣化タイマーによる検査処理（図１９のステップＳ１５）において、ステップＳ８までは上記の第５及び第６の実施形態と同様の処理を行う。
【０１７０】
ただし、本実施形態の場合、処理装置３０が劣化したと判断した場合（ステップＳ８のＮ）には、上記の第３の実施形態と同様に、ステップＳ１１及びステップＳ１２の処理を経てステップＳ１７からの処理を行うか、或いは、ステップＳ１１及びステップＳ１０の処理を行う。
【０１７１】
すなわち、処理装置３０が劣化したと判断した場合（ステップＳ８のＮ）に、直ちに通常処理の停止（ステップＳ１０）を行うのではなく、処理装置３０の動作条件を緩和するとともに検査装置２０に対して再検査の指令を出力し（ステップＳ１２）、動作条件を緩和した状態においては処理装置３０が正常に動作するか否かの判定（ステップＳ８）を行う。処理装置３０の動作条件を緩和することにより処理装置３０が正常に動作する場合は（ステップＳ８のＹ）、通常処理を再開し、動作条件を下限まで緩和しても処理装置３０が正常に動作しない場合は（ステップＳ１１のＮ）、通常処理の停止（ステップＳ１０）を行う。
【０１７２】
以上のような第７の実施形態によれば、上記の第５又は第６の実施形態により得られる効果と、上記の第３の実施形態により得られる効果と、を組み合わせた効果が得られる。
【０１７３】
〔第８の実施形態〕
図２４は第８の実施形態に係る劣化診断装置による処理の流れを示すフローチャート、図２５は図２４の検査周期変更処理（ステップＳ１９）での処理の流れを示すフローチャート、図２６は図２４のタイマーによる検査処理（ステップＳ２１）での処理の流れを示すフローチャートである。
【０１７４】
本実施形態では、相関劣化のレベルに応じて検査の種類を変更するのではなく、相関劣化のレベルに応じて検査の周期（時間間隔）を変更する。
【０１７５】
本実施形態に係る劣化診断装置は、上記の第４の実施形態に係る劣化診断装置と同様に構成されている。すなわち、検査装置２０はタイマー１４（図１７）を備えている。
【０１７６】
以下、動作を説明する。
【０１７７】
図２４において、先ず、検査制御部２１は、タイマー１４を初期化する（ステップＳ１８）。続いて、ステップＳ１及びステップＳ２を上記の第２の実施形態と同様に行う。
【０１７８】
ステップＳ２でＹとなった場合、検査周期変更処理（ステップＳ１９）を行う。この検査周期変更処理（ステップＳ１９）では、図２５の処理を行う。
【０１７９】
すなわち、検査周期変更処理（ステップＳ１９）では、先ず、第２の実施形態の場合の検査処理（図１４）と同様に劣化レベルの判定処理（ステップＳ５）を行う。
【０１８０】
相関劣化のレベルが第１レベルであった場合（ステップＳ５の「１」）、検査制御部２１は、検査周期を第１レベルの周期（例えば、３時間）に変更する処理を行って（ステップＳ２２−１）、この検査周期変更処理を終了する。
【０１８１】
同様に、検査制御部２１は、相関劣化のレベルが第２レベルであった場合（ステップＳ５の「２」）、検査周期を第２レベルの周期（例えば、２時間）に変更する処理を行い（ステップＳ２２−２）、相関劣化のレベルが第３レベルであった場合（ステップＳ５の「３」）、検査周期を第３レベルの周期（例えば、１時間）に変更する処理を行い（ステップＳ２２−３）、それぞれ検査周期変更処理を終了する。
【０１８２】
ステップＳ１９に続いて、又は、ステップＳ２でＮとなった場合は、ステップＳ２０に移行する。ステップＳ２０では、検査制御部２１は、タイマー１４による計測時間が所定の検査周期となったか否かを判定する。
【０１８３】
タイマー１４による計測時間が所定の検査周期となった場合（ステップＳ２０のＹ）、ステップＳ２１に移行し、タイマーによる検査処理を行う。
【０１８４】
ステップＳ２１では、図２６の処理を行う。
【０１８５】
図２６の処理は、上記の第２の実施形態の場合の検査処理（図１４）と比較して、ステップＳ５、Ｓ６−１、Ｓ６−２、Ｓ６−３を備えていない代わりに、ステップＳ６を備えている点でのみ第２の実施形態の場合の検査処理（図１４）と相違し、その他の点はこの検査処理と同様である。
【０１８６】
図２６のステップＳ６以降の処理は、上記の第１の実施形態における検査処理（図９）と同様であるため、説明を省略する。
【０１８７】
ステップＳ２１の後は、ステップＳ１からの処理を行う。
【０１８８】
以上のような第８の実施形態によれば、検査装置２０は、タイマー１４を備え、タイマー１４により所定時間が計時される度に、処理装置３０を検査するので、上記の第４の実施形態と同様の効果が得られる。しかも、相関劣化のレベルに応じて、検査周期（タイマー１４が計時する所定時間の長さ）を変更するので、相関劣化のレベルに応じて適切な時間間隔で処理装置３０の検査を行うことができる。
【０１８９】
〔第９の実施形態〕
図２７は第９の実施形態に係る劣化診断装置による処理の流れを示すフローチャートであって、図２４のタイマーによる検査処理（ステップＳ２１）での処理の流れを示すフローチャートである。
【０１９０】
本実施形態に係る劣化診断装置は、上記の第３の実施形態に係る劣化診断装置３００（図１５）と同様に構成され、且つ、その検査装置２０は、第８の実施形態と同様に構成されている。
【０１９１】
本実施形態に係る劣化診断装置は、図２７に示すように、タイマーによる検査処理（図２４のステップＳ２１）において、ステップＳ８までは上記の第８の実施形態と同様の処理を行う。
【０１９２】
ただし、本実施形態の場合、処理装置３０が劣化したと判断した場合（ステップＳ８のＮ）には、上記の第３の実施形態と同様に、ステップＳ１１及びステップＳ１２の処理を経てステップＳ６からの処理を行うか、或いは、ステップＳ１１及びステップＳ１０の処理を行う。
【０１９３】
すなわち、処理装置３０が劣化したと判断した場合（ステップＳ８のＮ）に、直ちに通常処理の停止（ステップＳ１０）を行うのではなく、処理装置３０の動作条件を緩和するとともに検査装置２０に対して再検査の指令を出力し（ステップＳ１２）、動作条件を緩和した状態においては処理装置３０が正常に動作するか否かの判定（ステップＳ８）を行う。処理装置３０の動作条件を緩和することにより処理装置３０が正常に動作する場合は（ステップＳ８のＹ）、通常処理を再開し、動作条件を下限まで緩和しても処理装置３０が正常に動作しない場合は（ステップＳ１１のＮ）、通常処理の停止（ステップＳ１０）を行う。
【０１９４】
以上のような第９の実施形態によれば、上記の第３の実施形態により得られる効果と、上記の第８の実施形態により得られる効果と、を組み合わせた効果が得られる。
【０１９５】
〔第１０の実施形態〕
図２８は第１０の実施形態に係る劣化診断装置が備える劣化検出装置の劣化回路４３の構成を示す回路図である。
【０１９６】
上記の各実施形態では、例えば、図４に示すように、ＰＭＯＳトランジスタ６６の耐圧は、耐劣化回路４２のＰＭＯＳトランジスタ６４（図３）及びＮＭＯＳトランジスタ６５（図３）と同程度に高い耐圧に設定され、ＮＭＯＳトランジスタ６７は、ＰＭＯＳトランジスタ６６よりも耐圧が低く設定されている例を説明した。
【０１９７】
これに対し、本実施形態では、例えば、図２８に示すように、ＮＭＯＳトランジスタ６７の耐圧は、耐劣化回路４２のＰＭＯＳトランジスタ６４（図３）及びＮＭＯＳトランジスタ６５（図３）と同程度に高い耐圧に設定され、ＰＭＯＳトランジスタ６６は、ＮＭＯＳトランジスタ６７よりも耐圧を低く設定する。  
【０１９８】
この場合、劣化回路４３においては、ＰＭＯＳトランジスタ６６が劣化しやすいため、特にこのＰＭＯＳトランジスタ６６の劣化を検出できるようになっている。
【０１９９】
本実施形態の場合も、上記の第１乃至第９の実施形態と同様の効果が得られる。
【０２００】
〔第１１の実施形態〕
図２９は第１１の実施形態に係る劣化診断装置が備える劣化検出装置群１５の構成を示すブロック図である。
【０２０１】
本実施形態に係る劣化診断装置は、例えば、上記の第２乃至第１０の実施形態に係る各劣化診断装置の劣化検出装置４０に代えて、図２９に示す劣化検出装置群１５を備えている。
【０２０２】
劣化検出装置群１５は、図２９に示すように、複数の劣化検出装置（例えば、２つの劣化検出装置４０ａ、４０ｂ）を備えている。
【０２０３】
各劣化検出装置４０ａ、４０ｂは、互いに異なる種類の相関劣化（或いは、相関劣化のレベル）を検出する。
【０２０４】
ここで、劣化の種類としては、例えば、光又は熱による劣化と、振動による劣化と、が挙げられる。
【０２０５】
相関劣化として光又は熱による劣化を検出する場合、劣化検出装置（例えば、第１劣化検出装置４０ａ）は、例えば、上記の第２乃至第９の実施形態における劣化検出装置４０と同様に構成すると良い。このため、第１劣化検出装置４０ａから出力される第１劣化レベル検出信号１ａは、例えば、上記の第２乃至第９の実施形態における劣化レベル検出信号１と同様である。
【０２０６】
また、振動による劣化の場合、瞬時に大ダメージが加わることによって、回路（例えば、劣化回路４３）に入力を与えても出力が得られない状態となることが予想される。このため、劣化検出装置（例えば、第２劣化検出回路４０ｂ）は、例えば、入力に対して出力が得られるか否かを判定する機能を有する回路で良い。このため、第２劣化検出装置４０ｂから出力される第２劣化レベル検出信号１ｂは、例えば、２値信号（「０」又は「１」）で良い。
【０２０７】
検査装置２０には、各劣化検出装置４０ａ、４０ｂからの劣化レベル検出信号１ａ、１ｂが入力される。検査装置２０は、劣化レベル検出信号１ａ、１ｂに基づいて、劣化の種類毎に、処理装置３０の検査の要否を判定し、検査が必要であると判定した場合には、検査を行う。また、この検査は、劣化の種類毎、更には、劣化のレベル毎に、異なるものとすることができる。
【０２０８】
以上のような第１１の実施形態によれば、複数の劣化検出装置４０ａ、４０ｂを備え、劣化検出装置４０ａ、４０ｂの各々は、互いに異なる種類の相関劣化を検出するので、劣化の種類ごとに、その種類に合わせた検査を行うことができるので、検査の信頼度を高めることができる。しかも、検出していない劣化に応じた検査を行う必要がないため、検査時間を短縮することもできる。
【０２０９】
なお、検出する劣化の種類、並びに、劣化検出装置の数は、３つ以上であっても良いのは勿論である。
【０２１０】
〔第１２の実施形態〕
図３０は第１２の実施形態に係る劣化診断装置が備える劣化検出装置４０の構成を示すブロック図である。
【０２１１】
図３０に示すように、本実施形態の場合、劣化検出装置４０が発振回路４１を備えていない点と、以下に説明する点でのみ上記の第１の実施形態と相違し、その他の点は上記の第１の実施形態と同様である。
【０２１２】
耐劣化回路４２及び劣化回路４３は、例えば、ある共通の入力電圧を入力とし、この入力電圧と、予め定められた閾値電圧との比較結果（論理「１」又は論理「０」）を耐劣化回路出力５９及び劣化回路出力６０としてそれぞれ出力する回路であることが挙げられる。ただし、閾値電圧は、劣化に伴い変化する（低くなる）。このため、劣化回路４３が劣化すると、その閾値電圧が変化（低下）する結果として、劣化回路出力６０の論理値も変化する。例えば、耐劣化回路４２及び劣化回路４３は、入力電圧が閾値電圧よりも高ければ論理「１」、低ければ論理「０」を、耐劣化回路出力５９及び劣化回路出力６０としてそれぞれ出力する。具体的には、例えば、入力電圧が０．９Ｖであり、耐劣化回路４２及び劣化回路４３の当初の閾値電圧が１．０Ｖであるとすると、劣化回路４３は、劣化していなければ、論理「０」を劣化回路出力６０として出力し、劣化によって閾値が例えば０．８Ｖになると、論理「１」を劣化回路出力６０として出力する。一方、耐劣化回路４２は実質的に劣化しないため、耐劣化回路出力５９として論理「０」の出力を継続する。
【０２１３】
劣化判定回路４４は耐劣化回路出力５９と劣化回路出力６０との比較結果を劣化検出信号５１として出力する。すなわち、耐劣化回路出力５９と劣化回路出力６０とが一致（ともに論理「０」）する場合には、その旨を示す劣化検出信号５１（例えば、「０」）を出力する。他方、耐劣化回路出力５９と劣化回路出力６０とが不一致（劣化回路出力６０が「１」）の場合には、その旨を示す劣化検出信号５１（例えば、「１」）を出力する。
【０２１４】
検査装置２０は、劣化検出信号５１の値に基づいて、相関劣化の有無を判定することができる。すなわち、例えば、劣化検出信号５１の値が「０」であれば劣化なしと判定でき、「１」であれば劣化有りと判定できる。
【０２１５】
本実施形態の場合、劣化判定回路４４が耐劣化回路４２からの耐劣化回路出力５９と劣化回路４３からの劣化回路出力６０との比較を常時行うようにすることにより、耐劣化回路出力５９と劣化回路出力６０との同期を行わなくても、相関劣化を検出できる。
【０２１６】
なお、第１２の実施形態では、電圧を用いて相関劣化を検出する例を説明したが、耐劣化回路４２及び劣化回路４３に入力する信号の種類としては、電圧以外にも、電流、周波数、パルス幅などを用いても良い。
【０２１７】
以上、本発明を上記実施形態に即して説明したが、本発明は上記実施形態の構成に限定されるものでなく、本発明の範囲内で当業者であればなしうるであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。
【０２１８】
例えば、上記の各実施形態では、劣化検出装置（劣化検出装置４０、４０ａ、４０ｂ）が劣化回路４３及び耐劣化回路４２を備える例を説明したが、耐劣化回路４２は備えないようにしても良い。ただし、この場合、例えば、初期状態の劣化回路４３が出力する劣化回路出力６０の値をリファレンスとして記憶しておき、この記憶している値と劣化回路出力６０との比較に基づいて、劣化レベル検出信号１、劣化レベル検出信号１ａ、１ｂ或いは劣化検出信号５１を生成及び出力するようにすれば良い。
【０２１９】
また、上記の各実施形態では、検査出力値５４と検査期待値６２とが一致しているか否かに基づいて処理装置３０を検査する例を説明したが、例えば、検査入力値５２を処理装置３０に対して出力してから、検査出力値５４が検査装置２０に入力されるまでの時間の長さを判定基準として、処理装置３０を検査するようにしても良い。更には、検査対象となる処理装置３０が複数の場合には、これら処理装置３０のうちの何％の処理装置３０からの検査出力値５４が検査期待値６２と一致しているかに基づいてこれら複数の処理装置３０に対して一括した検査（劣化の有無の判定）を行うようにしても良い。
【０２２０】
また、劣化回路４３（例えば、ＣＭＯＳインバータ）は、耐圧の低いＮＭＯＳトランジスタと耐圧の低いＰＭＯＳトランジスタとにより構成しても良い。この場合、これらトランジスタのうちのどちらか一方が劣化した場合に、相関劣化が検出されるようにできる。
【０２２１】
また、上記の各実施形態では、劣化回路４３及び耐劣化回路４２がＣＭＯＳインバータである例を説明したが、劣化回路４３及び耐劣化回路４２はＣＭＯＳインバータに限らない。
【０２２２】
また、上記の各実施形態では、検査入力値５２及び検査期待値６２が予め定められている例を説明したが、例えば、劣化のレベルに応じて決定（新たに生成）するようにしても良い。
【符号の説明】
【０２２３】
１ 劣化レベル検出信号
１ａ 第１劣化レベル検出信号
１ｂ 第２劣化レベル検出信号
２ 劣化レベル判定回路
３ 動作条件緩和指令信号
４ 動作条件緩和指令信号
５ 再検査指令信号
１０ 制御装置（検査手段を構成する）
１１ 第１劣化タイマー
１２ 第２劣化タイマー
１３ 第３劣化タイマー
１４ タイマー
１５ 劣化検出装置群
２０ 検査装置（検査手段を構成する）
２１ 検査制御部
２２ 検査期待値出力部
２３ 検査入力値出力部
２４ 比較部
３０ 処理装置
４０ 劣化検出装置（劣化検出手段を構成する）
４０ａ 劣化検出装置（劣化検出手段を構成する）
４０ｂ 劣化検出装置（劣化検出手段を構成する）
４１ 発振回路
４２ 耐劣化回路
４３ 劣化回路（被検体）
４４ 劣化判定回路（劣化判定手段）
４５ 位相比較回路
４６ 時間／ディジタル変換回路
５１ 劣化検出信号
５２ 検査入力値
５３ 検査制御信号
５４ 検査出力値
５５ 検査結果出力
５６ 処理入力
５７ 処理出力
５８ 発振回路出力
５９ 耐劣化回路出力
６０ 劣化回路出力
６１ 位相比較回路出力
６２ 検査期待値
６３ 制御信号
６４ ＰＭＯＳトランジスタ
６５ ＮＭＯＳトランジスタ
６６ ＰＭＯＳトランジスタ
６７ ＮＭＯＳトランジスタ
１００ 劣化診断装置（劣化診断装置付き処理装置）
２００ 劣化診断装置（劣化診断装置付き処理装置）
３００ 劣化診断装置（劣化診断装置付き処理装置）
Ｐ０ａ パルス
Ｐ０ｂ パルス
Ｐ１ａ パルス
Ｐ１ｂ パルス
Ｐ１ｃ パルス
Ｐ２ａ パルス
Ｐ２ｂ パルス
Ｐ２ｃ パルス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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