(57)【要約】【課題】レイアウト変更時にホストコンピュータ、ゾーンコントローラの設定変更を必要とせず、大規模なシステムを構成する必要のないファンフィルタユニットの制御装置を提供する。【解決手段】クリーンルームに同一のファンフィルタユニットが３台以上設置されている場合、他の１台のファンフィルタユニットの送信回路２０と本フィルタユニットの受信回路１７を接続したときに、受信回路１７で受信した回転数指示値を本フィルタユニットの回転数指示値として制御し、さらに受信回路１７へ接続されたファンフィルタユニットとは別のファンフィルタユニットの受信回路１７が本フィルタユニットの送信回路２０と接続されたとき、受信した回転数指示を通信制御手段１９を介して送信回路２０へ出力することにより、設置された３台以上のファンフィルタユニットの回転数指示が同一になる構成とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＤＣブラシレスモータと、ファンと、フィルタと、ＤＣブラシレスモータ用の整流回路と、ＤＣブラシレスモータの回転数を制御するインバータと、ＤＣブラシレスモータからの速度信号によりインバータの出力調整を行いＤＣブラシレスモータの回転数を一定に制御するモータ制御手段と、回転数指示を入力する回転数指示入力部と、回転数指示を通信により受信する受信回路と、回転数指示を送信する送信回路を備えたクリーンルーム用のファンフィルタユニットであって、クリーンルーム天井部に同一のファンフィルタユニットが３台以上設置されている場合、他の１台のファンフィルタユニットの送信回路と本フィルタユニットの受信回路を接続したときに、受信回路で受信した回転数指示値を本フィルタユニットの回転数指示値として制御し、さらに受信回路へ接続されたファンフィルタユニットとは別のファンフィルタユニットの受信回路が本フィルタユニットの送信回路と接続されたとき、受信した回転数指示を通信制御手段を介して送信回路へ出力することにより、設置された３台以上のファンフィルタユニットの回転数指示が同一になることを特徴とするファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項２】
通信制御手段は、前記受信回路に回転数指示が入力されない、または無効と判断した場合に、回転数指示入力部で入力された回転数指示を回転数指示とすることを特徴とした請求項１に記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項３】
通信制御手段は、前記受信回路に回転数指示が入力されない、または無効と判断した場合に、回転数指示入力部で入力された回転数指示を送信回路に出力することを特徴としたファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項４】
通信制御手段は、親子切替入力部で親側に切り替わったときは、前記受信回路に回転数指示受信しても、速度指示入力部で入力された速度指示を送信回路に出力することを特徴とした請求項１に記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項５】
バイパス切替回路をバイパス側に切り替えたとき、受信回路は送信回路に電気的に接続され、ファンフィルタユニットの電源を切断したときにも受信データの電気信号がそのまま送信回路に電気信号として出力されることを特徴とした請求項１に記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項６】
整流回路出力に接続された、制御回路電源部が制御回路の電源を出力することで、ファンフィルタユニットの電源のみで制御回路を駆動することを特徴とした請求項１に記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項７】
通信制御手段は、前記親子切替入力部が子側に切り替えられたとき、前記回路に受信データを受信できないまたは無効と判断したとき、異常表示部に異常表示を行うことを特徴とした、請求項１に記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項８】
通信制御手段は、運転停止切替入力部が停止側に切り替えられたときには、送信回路に回転数０すなわち停止指令を、運転側に切り替えられたときには、回転数指示を送信することを特徴とした請求項１に記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項９】
インバータ部、ＤＣモータ部、ファン部、フィルタ部を複数設け、整流回路、制御回路、制御電源部を共通にすることを特徴とした請求項１〜８に記載のファンフィルタユニット。
【請求項１０】
回転数指示入力部を、延長ケーブルで接続することによりファンフィルタユニットの外側に取り出し設置することを特徴とした請求項１〜９に記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項１１】
運転停止切替入力部を、延長ケーブルで接続することによりファンフィルタユニットの外側に取り出し設置することを特徴とした請求項１〜１０に記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項１２】
通信制御手段及びモータ制御手段は、１つのマイクロコンピュータに搭載されたことを特徴とした請求項１〜１１に記載のファンフィルタユニット。
【請求項１３】
通信制御手段は、前記受信回路に回転数指示が入力されない、または無効と判断した場合に、回転数指示メモリ手段で記憶された回転数指示にて運転することを特徴とした請求項１〜１２に記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項１４】
通信制御手段は、前記受信回路に回転数指示が入力されない、または無効と判断した場合に、回転数指示メモリ手段で記憶された回転数指示を送信回路に出力することを特徴とした請求項１３に記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項１５】
回転数指示メモリ手段は、前記回転数指示入力部で入力された回転数指示値に書き換え可能な回転数指示メモリ更新手段を備えたことを特徴とした請求項１３〜１４に記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームに複数設置されたファンフィルタユニットの制御装置に関わる。
【背景技術】
【０００２】
半導体産業におけるクリーンルームの天井部には高性能フィルタとファンが一体になったファンフィルタユニットを多数設置し、所定のクリーン度を満たすような環境が保たれている。近年は、規模も大きくなり、１空間ブロックに数百台設置され、さらに各ファンフィルタユニットが同一の回転数で運転することが必要になってきている。また、半導体製造装置のレイアウト変更により、１空間ブロックあたりのファンフィルタユニット台数の変更頻度も増加している傾向にある。ファンフィルタユニットは天井に組み込み設置されることから、各ファンフィルタそれぞれで回転数指示を行うのではなく、１箇所で複数のファンフィルタユニットに対し同一の回転数指示をでき、レイアウトの変更に対し、複雑な設定変更を行うことなく対応できる制御装置が望まれている。
【０００３】
従来、この種の装置は、ホストコンピュータを設け、各ファンフィルタユニットにはホストコンピュータと通信線で接続する通信装置をとりつけ、各ファンフィルタユニットがホストコンピュータと通信することでホストコンピュータからの通信制御信号により各ファンフィルタユニットが指示されたとおりに運転するようなシステムが知られている。（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
以下、特許文献１におけるファンフィルタユニット監視装置のようにクリーンルーム天井に組み込み設置されたファンフィルタユニットはファンフィルタユニット本体と制御コントローラで構成されている。複数の制御コントローラで構成されるゾーン単位毎に、ゾーンコントローラが設置され、ゾーンコントローラと各ファンフィルタユニットの制御コントローラが通信するシステムを構成している。また、中央監視室には、複数設置されたゾーンコントローラ毎に監視／制御を可能にするようにキーボードとモニタを備えたホストコンピュータシステムが設置されている構成となっている。中央監視室に設置されたホストコンピュータシステムは、複数のゾーンコントローラと通信し、さらに各ゾーンコントローラは複数のファンフィルタ制御コントローラと通信することで、ホストコンピュータシステムで、各ファンフィルタユニットの監視、制御を可能としている。
【特許文献１】特開２００３−２８７２６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このようなファンフィルタユニットの監視制御装置のシステムでは、ファンフィルタユニット納入時に設置台数や配置に応じたホストコンピュータのプログラムの作成が必要であるという課題があった。また、ホストコンピュータの定期的なメンテナンスが必要であるという課題があった。また、ファンフィルタユニットのレイアウト変更時にもレイアウト変更配線工事とともに、ホストコンピュータ、ゾーンコントローラの設定変更が必要であるという課題があった。このようなシステム構成では、単に複数のファンフィルタユニットの回転数をゾーン単位で一定に設定したいだけの要望でも、ゾーンコントローラやホストコンピュータを必要とする大規模なシステムを構成する必要であるという課題があった。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するもので、ゾーン単位でファンフィルタユニットの回転数を一定に制御したい場合に、ゾーンコントローラやホストコンピュータを必要としないためにゾーンコントローラのプログラム作成とメンテナンスを必要とせず、レイアウト変更時にもホストコンピュータ、ゾーンコントローラの設定変更を必要とせず、大規模なシステムを構成する必要のないファンフィルタユニットの制御装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のファンフィルタユニットの制御装置は、ＤＣブラシレスモータと、ファンと、フィルタと、ＤＣブラシレスモータ用の整流回路と、ＤＣブラシレスモータの回転数を制御するインバータと、ＤＣブラシレスモータからの回転数信号によりインバータの出力調整を行いＤＣブラシレスモータの回転数を一定に制御するモータ制御手段と、回転数指示を入力する回転数指示入力部と、回転数指示を通信により受信する受信回路と、回転数指示を送信する送信回路を備えたクリーンルーム用のファンフィルタユニットであり、クリーンルーム天井部に同一のファンフィルタユニットが３台以上設置されている場合、他の１台のファンフィルタユニットの送信回路と本フィルタユニットの受信回路を接続したときに、受信回路で受信した回転数指示値を本フィルタユニットの回転数指示値として制御し、さらに受信回路へ接続されたファンフィルタユニットとは別のファンフィルタユニットの受信回路が本フィルタユニットの送信回路と接続されたとき、受信した回転数指示を通信制御手段を介して送信回路へ出力することにより、設置された３台以上のファンフィルタユニットの回転数指示が同一になる構成とするものである。
【０００８】
この手段により、回転数設定用の回転数指示入力部を設け回転数指示入力部で入力した指示値を、送信回路から他のファンフィルタユニット制御装置の受信回路へ送信し、受信したファンフィルタ制御装置は受信した回転数指示値でファンフィルタユニット本体を運転させ、また送信回路へ受信した回転数指示値を送信し別の他のファンフィルタユニット制御装置受信回路へ送信することで、ホストコンピュータやゾーンコントローラを必要とせず、複数のファンフィルタユニットの回転数指示値を同一制御することを可能にしたものである。また、どのファンフィルタユニットの制御装置も、回転数指示部を設けることにより、回転数指示値を入力可能にすることで、レイアウトの変更時にもレイアウトに応じた配線を変更するだけで、柔軟に対応できるものである。
【発明の効果】
【０００９】
ホストコンピュータやゾーンコントローラが不要なファンフィルタユニットの制御装置を提供できる。また、レイアウトの変更に対してもプログラムの変更が不要になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の請求項１記載の発明は、ＤＣブラシレスモータと、ファンと、フィルタと、ＤＣブラシレスモータ用の整流回路と、ＤＣブラシレスモータの回転数を制御するインバータと、ＤＣブラシレスモータからの回転数信号によりインバータの出力調整を行いＤＣブラシレスモータの回転数を一定に制御するモータ制御手段と、回転数指示を入力する回転数指示入力部と、回転数指示を通信により受信する受信回路と、回転数指示を送信する送信回路を備えたクリーンルーム用のファンフィルタユニットであり、クリーンルーム天井部に同一のファンフィルタユニットが３台以上設置されている場合、他の１台のファンフィルタユニットの送信回路と本フィルタユニットの受信回路を接続したときに、受信回路で受信した回転数指示値を本フィルタユニットの回転数指示値として制御し、さらに受信回路へ接続されたファンフィルタユニットとは別のファンフィルタユニットの受信回路が本フィルタユニットの送信回路と接続されたとき、受信した回転数指示を通信制御手段を介して送信回路へ出力することにより、設置された３台以上のファンフィルタユニットの回転数指示が同一になることを特徴としている。
【００１１】
このことにより、ゾーンコントローラやホストコンピュータの設置の必要なく、従って安価に、接続されたファンフィルタユニットが全て同一の回転数指示値で運転するシステムを提供できる。
【００１２】
本発明の請求項２記載の発明は、請求項１に記載のファンフィルタユニットの制御装置において通信制御手段は、前記受信回路に回転数指示が入力されない、または無効と判断した場合に、回転数指示入力部で入力された回転数指示を回転数指示とすることを特徴としている。
【００１３】
このことにより、万一、受信側通信接続線の断線が発生しても、回転数指示入力部で設定されている指示値でファンモータを運転することが可能になる。
【００１４】
本発明の請求項３記載の発明は、請求項１に記載のファンフィルタユニットの制御装置において通信制御手段は、前記受信回路に回転数指示が入力されない、または無効と判断した場合に、回転数指示入力部で入力された回転数指示を送信回路に出力することを特徴としている。
【００１５】
このことにより、万一、受信側通信接続線の断線が発生しても、送信回路には、回転数指示入力部で設定されている指示値を出力するので、送信回路に接続された他のファンフィルタユニットの運転が停止することを避けることができる。
【００１６】
本発明の請求項４記載の発明は、請求項１に記載の、ファンフィルタユニットの制御装置において親子切替入力部で親側に切り替わったときは、前記受信回路に回転数指示を受信しても、回転数指示入力部で入力された回転数指示を送信回路に出力することを特徴としている。
【００１７】
このことにより、従来単一ゾーンで複数のファンフィルタユニットが同一回転数指示で運転していた場合に、レイアウト変更で単一ゾーンから複数のゾーンに分割されても、配線工事とプログラムの変更の必要なく、複数に分割されたゾーン毎に異なる回転数指示で運転することが可能である。
【００１８】
本発明の請求項５記載の発明は、請求項１に記載の、ファンフィルタユニットの制御装置においてバイパス切替回路をバイパス側に切り替えたとき、受信回路は送信回路に電気的に接続され、ファンフィルタユニットの電源を切断したときにも受信データの電気信号がそのまま送信回路に電気信号として出力されることを特徴としている。
【００１９】
このことにより、メンテナンスや設備休止などで、ファンフィルタユニットの電源を切断する必要がある場合でも、配線工事の必要なしに、受信データはそのまま送信されることになり、電源切断されても他のファンフィルタユニットの運転に影響が出ないことを可能としている。
【００２０】
本発明の請求項６記載の発明は、請求項１に記載の、ファンフィルタユニットの制御装置において整流回路出力に接続された、制御回路電源部が制御回路の電源を出力することで、ファンフィルタユニットの電源のみで制御回路を駆動することを特徴としている。
【００２１】
このことにより、ファンフィルタユニットの動力電源のみで制御回路の電源もまかなうことが可能になり、制御回路用に必要な低圧直流電源を別途設けることが不要になり配線工事を削減できる。
【００２２】
本発明の請求項７記載の発明は、請求項１に記載のファンフィルタユニットの制御装置において、通信制御手段は、前記親子切替入力部が子側に切り替えられたとき、前記受信回路に受信データを受信できないまたは無効と判断したとき、異常表示部に異常表示を行うことを特徴としている。
【００２３】
このことにより、万一通信線の断線があった場合、断線の箇所の特定することができる。
【００２４】
本発明の請求項８記載の発明は、請求項１に記載のファンフィルタユニットの制御装置において、通信制御手段は、運転停止切替入力部が停止側に切り替えられたときには、送信回路に回転数０すなわち停止指令を、運転側に切り替えられたときには、回転数指示を送信することを特徴としている。
【００２５】
このことにより、ゾーン毎にファンフィルタユニットの運転、停止操作が可能になる。
【００２６】
本発明の請求項９記載の発明は、請求項１〜８に記載のファンフィルタユニットの制御装置において、インバータ部、ＤＣモータ部、ファン部、フィルタ部を複数設け、整流回路、制御回路、制御電源部を共通にすることを特徴としている。このことにより、多数のファンフィルタユニットを設置する必要がある場合、制御部を共通化することで、安価に提供することができる。
【００２７】
本発明の請求項１０記載の発明は、請求項１〜９に記載のファンフィルタユニットの制御装置において、回転数指示入力部を、延長ケーブルで接続することによりファンフィルタユニットの外側に取り出し設置することを特徴としている。このことにより、回転数速度指示を変更する場合でも天井で操作する必要がなくなる。
【００２８】
本発明の請求項１１記載の発明は、請求項１〜１０に記載のファンフィルタユニットの制御装置において、運転停止切替入力部を、延長ケーブルで接続することによりファンフィルタユニットの外側に取り出し設置することを特徴としている。このことにより、運転停止指示を変更する場合でも天井で操作する必要がなくなる。
【００２９】
本発明の請求項１２記載の発明は、請求項１〜１１に記載のファンフィルタユニットの制御装置において、通信制御手段及びモータ制御手段は、１つのマイクロコンピュータに搭載されたことを特徴としている。ＤＣブラシレスモータの回転数制御にマイクロコンピュータが使用する場合、別途通信制御用のマイクロコンピュータを設けることなく安価にファンフィルタユニットの制御装置を提供することができる。
【００３０】
本発明の請求項１３記載の発明は、請求項１〜１２に記載のファンフィルタユニットの制御装置において、通信制御手段は、前記受信回路に回転数指示が入力されない、または無効と判断した場合に、回転数指示メモリ手段で記憶された回転数指示値を回転数指示値として運転することを特徴としている。
【００３１】
このことにより、通信線の断線などが発生し、回転数指示を受信できない場合でもあらかじめ決められた回転数でファンフィルタユニットを運転することができる。
【００３２】
本発明の請求項１４記載の発明は、請求項１３に記載のファンフィルタユニットの制御装置において、通信制御手段は、前記受信回路に回転数指示が入力されない、または無効と判断した場合に、回転数指示メモリ手段で記憶された回転数指示値を回転数指示値として送信回路に出力することを特徴としている。
【００３３】
このことにより、通信線の断線などが発生し、回転数指示を受信できない場合でもあらかじめ決められた回転数指示値を送信することで、他のファンフィルタユニットも同一の回転数指示値で運転することができる。
【００３４】
本発明の請求項１５記載の発明は、請求項１３〜１４に記載のファンフィルタユニットの制御装置において、回転数指示メモリ手段は、前記回転数指示入力部で入力された回転数指示値に書き換え可能な回転数指示メモリ更新手段を備えたことを特徴としている。
【００３５】
このことにより、通信線の断線などが発生した場合の回転数指示値を運用状況にあわせてあらかじめ自由に設定しておくことができる。
【００３６】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
【００３７】
なお、説明をわかりやすくするために数値を上げて説明するが、本発明は、この数値に拘束されるものではない。
【００３８】
（実施の形態１）
図１は本実施の形態のファンフィルタユニットの制御装置の構成を示す図である。
【００３９】
ファン１１は、ＤＣブラシレスモータ１２の回転軸に取り付けられ、高性能フィルタ１３を通してクリーンルーム内へ空気を浄化して送り出している。整流回路１４はＤＣブラシレスモータ１２の回転数速度を調整するインバータ１５へ交流電源を直流電源に平滑して供給している。モータ制御手段１６は、ＤＣブラシレスモータ１２からフィードバックされた回転数信号をモニタしながら、受信回路１７が受信した回転数速度指示値か又は、回転数指示入力部１８に入力された回転数速度指示値になるようにインバータ１５の出力を調整する。通信制御手段１９は受信回路１７で受信した回転数指示値か又は回転数指示入力部１８に入力された回転数指示値を送信回路２０へ出力する構成である。
【００４０】
また、ＤＣブラシレスモータ１２の回転数速度指示値を選択する親子切替入力部２２を設け親に選択された場合はＤＣブラシレスモータの回転数速度指示値を速度指示入力部に入力された回転数速度指示値になるように、一方、子に選択された場合はＤＣブラシレスモータの回転数速度指示値を受信回路１７部に受信した回転数速度指示になるように制御する。
【００４１】
また、回転数指示入力部１８に延長ケーブルを接続して構成した取り出し回転数指示入力部２１をファンフィルタユニットの外部に接続することで回転数指示を天井ではなく使用者の手元に近い位置から入力することができる。
【００４２】
次に、複数のファンフィルタユニットが設置された場合についての動作を説明するために、図２を用いて説明する。
【００４３】
図２の点線部分で囲いの部分はクリーンルームの一つのエリアをあらわし、前記ファンフィルタユニット３１が例えば数十台設置されている。これらのファンフィルタユニット３１は図ではＦＦＵ１−１からＦＦＵ１−Ｎと表示する。
【００４４】
ファンフィルタユニット１−１の制御装置には取り出し回転数指示入力部２１が接続されており使用者が天井でなくても回転数指示値を入力できるようになっている。ファンフィルタユニット１−１の制御装置の送信回路２０は通信用のケーブル３２でファンフィルタユニット１−２の制御装置の受信回路１７と接続されている。ファンフィルタユニット１−２の制御装置の送信回路２０はファンフィルタユニット１−３の制御装置の受信回路１７と接続されており、以下同様にファンフィルタ１−Ｎの制御装置まで接続が繰り返される。ここで、ファンフィルタユニット１−１に取り付けられた取り出し回転数指示入力部２１で入力された回転数指示値、例えば２０００ｒｐｍの数値は、ファンフィルタユニット１−１制御装置の送信回路２０より出力され、通信用のケーブル３２を通じてファンフィルタユニット１−２制御装置の受信部へ送られ、ファンフィルタユニット１−２制御装置は回転数指示値２０００ｒｐｍで動作する。同様にファンフィルタユニット１−２制御装置は送信回路２０に回転数指示値２０００ｒｐｍを出力し、次の接続されたファンフィルタユニットの受信部へと送信する。したがって、本実施の形態では、一つのエリア内のコントロールを行うゾーンコントローラまたはホストコンピュータの設置が不要なファンフィルタユニットの制御装置を構成することができる。
【００４５】
次に、受信回路に回転数指示が入力されない場合の動作について図３を用いて説明する。
【００４６】
例えば、ファンフィルタユニット１−１の制御装置の送信回路２０とファンフィルタユニット１−２の制御装置の受信回路１７の通信ケーブルが断線した場合、ファンフィルタユニット１−２の制御装置は、受信回路１７に回転数指示が入力されない、又は無効と判断し、ファンフィルタユニット１−２の回転数指示入力部１８に入力された回転数でファンフィルタユニットのＤＣブラシレスモータを運転させ、また、ファンフィルタユニット１−２の送信回路にファンフィルタユニット１−２の回転数指示入力部１８に入力された回転数指示を出力する。またこのときファンフィルタユニット１−２の制御装置は異常表示部２３に異常信号を出力する。
【００４７】
次に、ファンフィルタユニットがメンテナンス作業により電源を切断する必要がある場合について図４を用いて説明する。例えばファンフィルタユニット１−２がメンテナンス作業により電源を切断する場合に、ファンフィルタユニット１−２の制御装置のバイパス切替回路２５を切り替え、受信回路の電気信号を送信回路へバイパスさせることで、ファンフィルタユニット２−１は受信回路で受信した回転数指示値を送信回路へそのまま出力する。
【００４８】
次に、複数のファンフィルタユニットで一つのゾーンが構成されている場合にレイアウト変更が発生し、複数のゾーンに分割する必要が発生した場合について図５を用いて説明する。ファンフィルタユニット１−１の制御装置の親子切替スイッチ２４は親側、それ以外のファンフィルタユニット制御装置の親子切替スイッチ２４は子側となっている。すなわち親子切替スイッチ２４は、ＤＣブラシレスモータ１２の回転数指示値を決定する場合に、受信回路１７で受信したデータを回転数指示値とする場合は子側、回転数指示入力部１８又は取り出し回転数指示入力部２１で入力されたデータを回転数指示値とする場合は親側である。従来同一のゾーンで運転されていたファンフィルタユニットのレイアウトを変更し、複数に分割する必要が発生した場合、例えば、ファンフィルタユニット１−１で１ゾーン、ファンフィルタユニット１−１以外で１ゾーンの合計２ゾーンに分割する場合には、ファンフィルタユニット１−２の親子切替スイッチ２４を子側から親側に設定するだけで、ファンフィルタユニット１−１はファンフィルタユニット１−１の回転数指示入力部で指示された回転数で動作し、ファンフィルタユニット１−２〜ファンフィルタユニット１−Ｎはファンフィルタユニット１−２の取り出し回転数指示入力部２１で指示された回転数で動作することになる。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明のファンフィルタユニットの制御装置は、ゾーンコントローラ、ホストコンピュータの設置を必要とせず、ＤＣブラシレスモータの回転数を同一の指示値に設定することが可能であるため、ファンフィルタユニットを多数、数百台〜数万台設置するクリーンルームの他、数台程度使用されるような半導体製造装置本体にも組み込み利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明のファンフィルタユニットの制御装置の構成を示す図
【図２】同複数のファンフィルタユニットが設置された場合の動作を説明するための図
【図３】同回転数指示値を受信できない動作を説明するための図
【図４】同メンテナンスを行うために電源を切断した場合の動作を説明するための図
【図５】同レイアウト変更が発生した場合の対応を説明するための図
【符号の説明】
【００５１】
１１  ファン
１２  ＤＣブラシレスモータ
１３  高性能フィルタ
１４  整流回路
１５  インバータ
１６  モータ制御手段
１７  受信回路
１８  回転数指示入力部
１９  通信制御手段
２１  取り出し回転数指示入力部
２２  親子切替入力部
２３  異常表示部
２５  バイパス切替回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
2010243024.tif 000005
【図４】
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【図５】
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