(57)【要約】【課題】雨の衝突や、表面の布拭き取り等の外部からの摩擦によって、微細構造が容易く破壊されることのない耐摩耗性に優れた微細構造体、これを備えた微細構造成形体及び自動車用部品を提供する。【解決手段】  本発明に係る微細構造体は、二次元的に連続する複数個の微細突起を５０μｍ以下のピッチで複数配置して成るものであって、上記微細突起が、基部と、該基部を被覆しかつ該基部より弾性率の低い被覆部とを有している。また、微細構造成形体は、上記微細構造体を、基材の少なくとも一の面に備えたことを特徴としている。さらに、自動車部品は上記微細構造体を備えたものである。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
二次元的に連続する複数個の微細突起を５０μｍ以下のピッチで配置して成る微細構造体であって、
上記微細突起が、基部と、該基部を被覆しかつ該基部より弾性率の低い被覆部とを有することを特徴とする微細構造体。
【請求項２】
上記基部の弾性率が５０ＧＰａ〜８０ＧＰａであり、かつ、上記被覆部の弾性率が０．５ＧＰａ〜５ＧＰａであることを特徴とする請求項１に記載の微細構造体。
【請求項３】
上記被覆部の表面の水滴に対する接触角が、９０°以上であることを特徴とする請求項１又は２に記載の微細構造体。
【請求項４】
上記ピッチが３８０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の微細構造体。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の微細構造体を、基材の少なくとも一の面に備えることを特徴とする微細構造成形体。
【請求項６】
上記基部、上記被覆部及び上記基材から成る群より選ばれる少なくとも１つが、透明であることを特徴とする請求項５に記載の微細構造成形体。
【請求項７】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の微細構造体を備えることを特徴とする自動車用部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撥水機能及び反射防止機能を有する微細構造体に関し、更に詳細には、その表面に形成されている微細突起が、外部からの摩擦等によって損傷、破壊されることが抑制された微細構造体、これを備えた微細構造成形体及び自動車用部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
微細構造体は、表面に微細突起を備えた構造を有し、撥水機能や反射防止機能を発揮するので、様々な基材表面に微細構造体を適用することによって、その基材表面に光の反射防止機能や、液体、特に水の付着を防ぐ撥水機能等の機能を付与することができる。
【０００３】
例えば、微細構造体は、反射防止機能を付与するために、液晶ディスプレイやＣＲＴディスプレイ等各種のディスプレイ装置に好適に用いられる。また、車両、船舶、航空機などの各種ウインドウパネルに用いられることで、その撥水機能によりワイパーの要らないウインドウパネルを実現し、部品数の削減や生産工数削減によって、コストを削減することが期待されている。更に、ボディパネルに用いることで、水しみ等の汚れを防ぐことができるものと期待されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５‐３１５３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の微細構造体では、例えば車両のウインドウパネルに用いられた場合、雨の衝突や、表面の布拭き取り等によって、微細構造が容易に破壊されるため、短期間のうちに撥水性が損なわれてしまうという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、雨の衝突や表面の布拭き取り等の外部からの摩擦によって、容易に微細構造が破壊されることのない耐摩耗性に優れた微細構造体、これを備えた微細構造成形体及び自動車用部品を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意検討を重ねた結果、微細構造体において所定のピッチ間隔以下で微細突起を配置し、該微細突起が、基部と、該基部を被覆し該基部より弾性率の低い被覆部とを有することにより上記目的が達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００８】
即ち、本発明の微細構造体は、微細突起が５０μｍ以下のピッチで複数配置され、該微細突起が、基部と、該基部を被覆しかつ該基部より弾性率の低い被覆部とを有することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の微細構造成形体は、本発明の微細構造体を、基材の少なくとも一の面に備えることを特徴とする。更に、本発明の自動車用部品は、本発明の微細構造体を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、微細構造体において所定のピッチ間隔以下で微細突起を配置し、該微細突起が、基部と、該基部を被覆しかつ該基部より弾性率の低い被覆部とを有することとしたため、雨の衝突や、表面の布拭き取り等の外部からの摩擦によって、微細構造が容易に破壊されることのない耐摩耗性に優れた微細構造体、これを備えた微細構造成形体及び自動車用部品を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る微細構造体の第一の実施形態を示す部分断面図である。
【図２】本発明に係る微細構造成形体の一実施形態を示す部分断面図である。
【図３】本発明の第二の実施形態に係る微細構造体を示す概略説明図である。
【図４】本発明の第三の実施形態に係る微細構造体を示す概略説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の微細構造体、これを備えた微細構造成形体及び自動車用部品について図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明に係る微細構造体の第一の実施形態を示す部分断面図、図２は、本発明に係る微細構造成形体の一実施形態を示す部分断面図である。また、図３は、本発明の第二の実施形態に係る微細構造体を示す概略説明図、図４は、本発明の第三の実施形態に係る微細構造体を示す概略説明図である。
なお、本明細書において、濃度及び含有量等についての「％」は特記しない限り質量百分率を表すものとする。
【００１３】
（１）微細構造体
本発明に係る微細構造体２００は、二次元的に連続する複数個の微細突起１００を５０μｍ以下のピッチで複数配置して成るものであり、上記微細突起１００が、基部１０と、該基部１０を被覆しかつ該基部１０より弾性率の低い被覆部２０とを有している。具体的には、次のとおりである。
図１に示す第一の実施形態に係る微細構造体２００は、微細突起１００を錐台状に形成したものである。
微細突起１００の形状としては、このような円錐台や角錐台等の錐台状、また、円錐や角錐等の錐状が好適に用いられるが、その他に釣り鐘形や椎の実形の変形円錐状、曲面から成る側面を有する変形角錐状、先端部を丸めた形状、中心線から傾斜した形状等、様々な形状を用いることができる。
また底面形状としては、多角形や略円形状が好適に用いられるが、その他に星形状、楕円形状等、様々な形状を用いることができる。
本実施形態においては、微細突起１００を平面状の底部１４上に形成しているが、本形態には限定されず、例えば図３に示す形態のように、底部１４の微細突起１００間に凹部１６を設けることも可能である。
こうした実施形態においては、図３に示すように各凹部１６、１６…の底１６ｂ、１６ｂ…を通る面Ｂ’を仮定して、面Ｂ’のうち微細突起１００周りを囲む凹部の底１６ｂ、１６ｂで区画される領域を微細突起１００の底面と定める。また、図４に示すように微細突起１００の根元部１００ｒが曲面を有し、底部１４を明確には定めにくいような実施形態においても同様に、根元部１００ｒ，１００ｒ…間の底１００ｂ，１００ｂ…を通る面Ｂ’を仮定し、面Ｂ’のうち微細突起１００周りを囲む根元部１００ｒ間の底１００ｂで区画される領域を微細突起の底面と定める。このようにして底面を定め、後述する微細突起１００の高さ（Ｈ＋Ｔ）や重心点、底面の外接円径Ｄｂを求める際の基準面として用いる。
【００１４】
各微細突起１００の底面の重心点間のピッチ、即ち図１に示す距離Ａは、５０μｍ以下である。距離Ａが５０μｍを超えると、その微細構造体を用いた各種ウインドウパネルでは撥水機能が有効に発揮されない。例えば、霧雨の水滴は５０μｍ程度なので、水滴が微細突起の間隙に侵入してしまうからである。
【００１５】
なお、反射防止機能を付与する微細構造体においては、距離Ａが３８０ｎｍ以下であることが好ましい。３８０ｎｍを超えると可視光の一部が構造を認識して拡散や回折が起こるため光の反射率が大きくなる場合がある。
より好ましくは、アスペクト比が１以上である。アスペクト比が１未満であると、反射防止効果が低下する傾向にある。
ここで「アスペクト比」とは、微細突起の高さを底面の外接円径で除した値を意味する。外接円径は、底面形状が円形の場合はその径、楕円形の場合は長径、多角形のときは当該多角形に外接する円の径をもって算出する。
【００１６】
微細構造体がこれらの条件を満たす場合、微細突起が可視光によって認識できない大きさとなるため、光の干渉による発色がなくなり、透明材料として用いることができる。また、反射防止効果により景色の映り込みを減らすことができるので、車両や船舶、航空機等のウインドウパネルに好適に用いることができる。更に、微細突起間の隙間部が細長くなり、水滴衝突による水の浸入が抑制されるので、雨等の水滴が全く付着しないほどの超撥水性を示す。
【００１７】
微細突起１００は、基部１０と、その基部を被覆しかつ基部よりも弾性率の低い被覆部２０を含む。好ましくは、基部１０の弾性率は、５０ＧＰａ〜８０ＧＰａであり、被覆部２０の弾性率は、０．５ＧＰａ〜５ＧＰａである。
このような構成をとることによって、基部１０が、外部（せん断）入力による微細突起の塑性変形や摩滅を抑制する。一方、被覆部２０は、外部（せん断）入力を受けて弾性変形し、基部１０への外部（せん断）入力を緩和，分散する。
【００１８】
基部１０の弾性率が８０ＧＰａを超えたり、被覆部２０の弾性率が０．５ＧＰａ未満であったりすると、外部（せん断）入力を緩和、分散する効果が被覆部によって発揮されがたい場合がある。基部１０の弾性率が５０ＧＰａ未満であったり、被覆部２０の弾性率が５ＧＰａを超えたりすると、被覆部が弾性変形できなかったり、また、被覆部が弾性変形できたとしても基部が塑性変形したり破断したりする場合がある。
【００１９】
なお、被覆部２０の先端部膜厚Ｔは、基部１０の高さＨに対して２０％以下であることが好ましく、より好ましくは１０％以下であり、最も好ましくは５％以下である。２０％を超えると被覆部が容易に摩耗、破断する場合があり得る。また、先端部膜厚Ｔの下限値は、１ｎｍを超えることが好ましい。１ｎｍ以下では均一に被覆することが困難になるため、製造上、制限される場合があり得る。
【００２０】
基部１０の材料としては、例えば、ガラス、酸化ケイ酸、酸化アルミニウム等の透明無機材料、窒化ケイ素、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化インジウム等を挙げることができる。
【００２１】
被覆部２０の材料としては、例えば、非架橋アクリル・ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニリデン、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶性ポリマー、フッ素樹脂、ポリアレート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、熱可塑性ポリイミド等の熱可塑性樹脂、ポリスチレン等のスチレン系エラストマー、ウレタン系エラストマー、ゲル材料等を挙げることができる。
【００２２】
被覆部２０の材料は、水滴に対する接触角が９０°以上であることが好ましく、１００°以上であることがより好ましい。微細構造体の撥水機能がより有効に発揮されるからである。
該材料の水滴に対する接触角が９０°未満の場合や、接触角をさらに大きくして撥水性を向上させる場合には、被覆部２０を撥水材料によって表面処理することができる。
【００２３】
この表面処理の方法は、複数の微細突起１００によって形成された微細構造の凹凸構造が、撥水材料によって埋まってしまうことがなければ、特に限定はされず、例えば、ＬＢ法、ＰＶＤ法、ＣＶＤ法、自己組織化法、スパッタ法、単分子を溶剤で希釈したものを塗布する方法等を挙げることができる。
【００２４】
撥水材料としては、例えば、ＣＨ３−（Ｓｉ（ＣＨ３）２−Ｏ）ｎ−Ｓｉ（ＣＨ３）２ＯＣＨ３（ｎ＞１３）、ＣＨ３−（Ｓｉ（ＣＨ３）２−Ｏ）ｎ−ＳｉＣＨ３（ＯＣＨ３）２（ｎ＞１３）、ＣＨ３−（Ｓｉ（ＣＨ３）２−Ｏ）ｎ−Ｓｉ（ＯＣＨ３）３（ｎ＞１３）、ＣＨ３−（Ｓｉ（ＣＨ３）２−Ｏ）ｎ−Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３（ｎ＞１３）、ＣＨ３−（Ｓｉ（ＣＨ３）２−Ｏ）ｎ−Ｓｉ（ＣＨ３）２（ＣＨ２）３ＯＣＨ２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ２ＮＨ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３（ｎ＞１３）、（ＣＨ３−（Ｓｉ（ＣＨ３）２−Ｏ）ｎ−Ｓｉ（ＣＨ３）２（ＣＨ２）３ＯＣＨ２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ２）２Ｎ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３（ｎ＞１３）、ＣＨ３−（Ｓｉ（ＣＨ３）２−Ｏ）ｎ−Ｓｉ（ＯＨ）３（ｎ ＞１３）、ＣＨ３−（Ｓｉ（ＣＨ３）２−Ｏ）ｎ−Ｓｉ（ＣＨ３）２Ｃｌ（ｎ ＞１３）、ＣＨ３−（Ｓｉ（ＣＨ３）２−Ｏ）ｎ−Ｓｉ（ＣＨ３）２（ＣＨ２）２ＳｉＣＨ３Ｃｌ２（ｎ ＞１３）、ＣＨ３−（Ｓｉ（ＣＨ３）２−Ｏ）ｎ−ＳｉＣｌ３（ｎ ＞１３）、ＣＨ３−（Ｓｉ（ＣＨ３）２−Ｏ）ｎ−Ｓｉ（ＯＣＯＣＨ３）３（ｎ ＞１３）、ＣＨ３−（Ｓｉ（ＣＨ３）２−Ｏ）ｎ−Ｓｉ（ＮＣＯ）３（ｎ ＞１３）、ＣＨ３−（Ｓｉ（ＣＨ３）２−Ｏ）ｎ−Ｓｉ（ＣＨ３）２（ＣＨ２）３Ｏ（ＣＨ２）３ＯＣＯＮＨＳｉ（ＮＣＯ）３（ｎ ＞１３）、Ｒｆ−（ＣＨ２）２−（Ｓｉ（ＣＨ３）２−Ｏ）ｎ−Ｓｉ（ＣＨ３）２（ＣＨ２）３ＯＣＨ２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ２ＮＨＳｉ（ＯＣＨ３）３（ｎ＞１３）、（Ｒｆ−（ＣＨ２）２−（Ｓｉ（ＣＨ３）２−Ｏ）ｎ−Ｓｉ（ＣＨ３）２（ＣＨ２）３ＯＣＨ２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ２）２Ｎ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３等のシリコーン化合物を挙げることができる。
【００２５】
なお、水以外の液体と接触するような用途、例えば各種プラント装置における反応器や蒸留塔等ののぞき窓パネルや、内視鏡のレンズ表面等に本発明の微細構造体を適用する場合には、それぞれの用途に応じて、表面処理等により、接触する液体に対する接触角を９０°以上とすることが好ましい。
【００２６】
（２）微細構造成形体
図２に示す一実施形態に係る微細構造成形体は、基材３０の片面に上述した微細構造体２００を備えている。また、基材３０の両面、例えば基材３０が透明な場合には光の入射面と透過光の出射面の両面に、本発明の微細構造体２００を備えることもできる。
【００２７】
本発明の微細構造体を基材に設ける方法としては、特に限定はされないが、例えば、基材に直接形成する方法や、基材と同じ屈折率で成形が容易な材料を塗布して作製した薄膜に微細突起を転写する方法等を挙げることができる。
【００２８】
具体的には、基材が樹脂の場合、無数の微細突起を備えた基部の成形型を用意し、この成形型と基体フィルムの一方、又は双方を加熱した状態で両者を相対的に押し当てることによって、当該基材の表面に上記微細構造体の基部を形成することができる。また、上記成形型と基体フィルムの間に、活性エネルギー線硬化性樹脂を介在させた状態で活性エネルギー線を照射し、当該樹脂を硬化させることによって、当該基材の表面に上記微細構造体の基部を形成することができる。
【００２９】
基材が無機材料の場合には、電子ビーム等によって表面を切削することにより上記微細構造体の基部を形成する方法や、無数の微細突起を備えた型に溶融した無機材料を流し込む方法によって表面に微細構造体の基部を有する微細構造成形体を形成することができる。なお、必要に応じて、溶融した無機材料を流し込んだのち、冷却しないうちに同様の微細突起を有する第２の型を押し当てる、または両面に型を押し当てた無機材料を軟化点まで加熱し、圧力をかけて形状を転写することによって、基材の両面に微細構造体の基部を形成することができる。
【００３０】
上述の方法等により基部を形成した後、ＬＢ法、ＰＶＤ法、ＣＶＤ法、自己組織化法、スパッタ法、単分子を溶剤で希釈したものを塗布する方法等により形成後の基部を被覆することによって被覆部を形成することができる。
【００３１】
本発明の微細構造体を表示装置内の基材に組み込む場合には、最前面に設けることが最も効果的である。また本発明の微細構造体を基材の一の面に付与し、他の面には、従来の反射防止方法を適用することもできる。従来の反射防止方法としては、例えば、光の波長以下のピッチで微細突起が配置されたのみの反射防止構造を適用する方法、反射防止層の膜厚を制御し薄膜表面と基材接着面との反射光を干渉させ反射光を打ち消す方法等を挙げることができる。
【００３２】
（３）微細構造体を備えた成形品
本発明の微細構造体を備えた成形品は、例えば、自動車やバイクのメーターパネル、携帯電話、電子手帳などのモバイル機器、看板、時計など、表示装置の最前面で反射防止機能を必要とし、雨などの水や、油汚れにさらされる可能性がある表示装置に好適に使用される。
【００３３】
表示装置の形式は特に限定されず、例えばアナログメーターのように機械的な表示と照明を組み合わせた方式、デジタルメーターやモニターのように液晶やＬＥＤ、ＥＬなどのバックライトや発光面を用いた方式、モバイル機器のように反射方式の液晶を用いた方式などを挙げることができる。
【００３４】
これらの成型品は、主に光に曝される場所で用いられるので、光による劣化を防止するために、材料に紫外線吸収剤や酸化防止剤、ラジカル補足剤などを添加しておくことができる。また、樹脂の劣化による黄変を補うためのブルーイング剤や蛍光発色顔料を用いることもできる。
【００３５】
以上に述べたように、本発明の微細構造成形体は、基材の少なくとも一方の表面に、上述の微細構造体を形成したものであるため、光の反射を極めて低レベルに抑えることができる。自動車を始めとする各種の部品、例えばメーターカバー、ウインドウシールドに適用することによって、屋外景色や内装などの映り込みを防止することができると共に、極めて優れた撥水性を示すことから、汚れ除去性が向上し、ワイパーの不要なウインドウシールドの実現に寄与する。
【００３６】
なお、微細構造成形体は、微細構造体に含まれる基部及び被覆部、並びに基材のうち、少なくとも１つが透明であることが好ましく、全てが透明であることがより好ましい。各種ウインドウパネルやガラス表面に好適に用いることができるからである。
【実施例】
【００３７】
以下、本発明を実施例及び比較例により更に詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。なお、以下に記載の弾性率の値は、ＪＩＳ  Ｋ６９１１に記載の方法により測定した値である。
【００３８】
（実施例１）
フロートガラスの両面に、底面の重心点間のピッチ（Ａ）１００ｎｍ、高さ（Ｈ）２００ｎｍの円錐体の基部（弾性率：７０ＧＰａ）をゾルゲルガラスにて作製し、該基部をＰＶＡで被覆して、先端膜厚（Ｔ）５ｎｍ（Ｔ／Ｈ＝２．５％）の被覆部（弾性率：２ＧＰａ）を形成して本実施例の微細構造成形体を得た。
【００３９】
（実施例２）
グリーンガラスの片面に、底面の重心点間のピッチ（Ａ）３００ｎｍ、高さ（Ｈ）６００ｎｍの円錐体の基部（弾性率：７５ＧＰａ）をグリーンガラスにて作製し、該基部を環動ゲルで被覆して、先端膜厚（Ｔ）１５ｎｍ（Ｔ／Ｈ＝２．５％）の被覆部（弾性率：０．５ＧＰａ）を形成して本実施例の微細構造成形体を得た。
【００４０】
（実施例３）
フロートガラスの片面に、底面の重心点間のピッチ（Ａ）１０００ｎｍ、高さ（Ｈ）１０００ｎｍの円錐体の基部（弾性率：６５ＧＰａ）をゾルゲルガラスにて作製し、該基部をアクリル樹脂（三菱レーヨン社製）で被覆して、先端膜厚（Ｔ）５０ｎｍ（Ｔ／Ｈ＝５％）の被覆部（弾性率：３．５ＧＰａ）を形成して本実施例の微細構造成形体を得た。
【００４１】
（実施例４）
フロートガラスの片面に、底面の重心点間のピッチ（Ａ）３００ｎｍ、高さ（Ｈ）６００ｎｍの円錐体の基部（弾性率：６５ＧＰａ）をゾルゲルガラスにて作製し、該基部をアクリル樹脂（三菱レーヨン社製）で被覆して、先端膜厚（Ｔ）１０ｎｍ（Ｔ／Ｈ＝１．７％）の被覆部（弾性率：３．５ＧＰａ）を形成した。
次いで、スパッタリングによる撥水処理（ＦＡＳ  Ｃ８Ｆ１７、材料自身の接触角１１６°）を行い本実施例の微細構造成形体を得た。
【００４２】
（比較例１）
フロートガラスの片面に、底面の重心点間のピッチ（Ａ）１００ｎｍ、高さ（Ｈ）２００ｎｍの円錐体の基部（弾性率：６５ＧＰａ）をゾルゲルガラスにて作製し、本例の微細構造成形体を得た。
【００４３】
（比較例２）
フロートガラスの片面に、底面の重心点間のピッチ（Ａ）３００ｎｍ、高さ（Ｈ）６００ｎｍの円錐体の基部（弾性率：６５ＧＰａ）をゾルゲルガラスにて作製し、次いで、スパッタリングによる撥水処理（ＦＡＳ  Ｃ８Ｆ１７、材料自身の接触角１１６°）を行い本実施例の微細構造成形体を得た。
【００４４】
（実施例５）
フロートガラスの片面に、底面の重心点間のピッチ（Ａ）１００ｎｍ、高さ（Ｈ）２００ｎｍの円錐体で先端部に明確な頂点や平面が無く、底面部も連続的なカーブを持つ基部（弾性率：４５ＧＰａ）をゾルゲルガラスにて作製し、該基部をアクリル樹脂「アクリペット」（三菱レーヨン社製）をＭＥＫで１％の濃度に溶解し、スピンコーターを用いてウェット膜厚３００ｎｍで被覆・乾燥して、先端膜厚（Ｔ）３ｎｍの被覆部（弾性率：３．５ＧＰａ）を形成した。
次いで、スパッタリングによる撥水処理（ＦＡＳ  Ｃ８Ｆ１７、材料自身の接触角１１６°）を行い本実施例の微細構造成形体を得た。
【００４５】
（実施例６）
底面の重心点間のピッチ（Ａ）４００ｎｍ、高さ（Ｈ）５００ｎｍかつ弾性率５１ＧＰａの基部、先端膜厚（Ｔ）２０ｎｍの被覆部とした以外は実施例５同様に作製した。
【００４６】
（実施例７）
底面の重心点間のピッチ（Ａ）３８０ｎｍ、高さ（Ｈ）５００ｎｍかつ弾性率５１ＧＰａの基部、先端膜厚（Ｔ）２０ｎｍの被覆部とした以外は実施例５と同様に作製した。
【００４７】
（実施例８）
フロートガラスの片面に、底面の重心点間のピッチ（Ａ）１００ｎｍ、高さ（Ｈ）２００ｎｍの円錐体で先端部に明確な頂点や平面が無く、底面部も連続的なカーブを持つ基部（弾性率：８０ＧＰａ）をゾルゲルガラスにて作製し、該基部をＭＭＡ−ラウリルアクリレート共重合体をＭＥＫで1％の濃度に溶解し、スピンコーターを用いてウェット膜厚５００ｎｍで被覆・乾燥して、先端膜厚（Ｔ）５ｎｍの被覆部（弾性率：３．５ＧＰａ、接触角：９１°）を形成した。
【００４８】
（実施例９）
フロートガラスの片面に、底面の重心点間のピッチ（Ａ）１００ｎｍ、高さ（Ｈ）２００ｎｍの円錐体で先端部に明確な頂点や平面が無く、底面部も連続的なカーブを持つ基部（弾性率：８５ＧＰａ）をゾルゲルガラスにて作製し、該基部をＭＭＡ−ヘキシルアクリレート共重合体をＭＥＫで１％の濃度に溶解し、スピンコーターを用いてウェット膜厚５００ｎｍで被覆・乾燥して、先端膜厚（Ｔ）５ｎｍの被覆部（弾性率：３．５ＧＰａ、接触角：８５°）を形成した。
【００４９】
（実施例１０）
フロートガラスの片面に、底面の重心点間のピッチ（Ａ）１００ｎｍ、高さ（Ｈ）２００ｎｍの円錐体で先端部に明確な頂点や平面が無く、底面部も連続的なカーブを持つ基部（弾性率：８５ＧＰａ）をゾルゲルガラスにて作製し、該基部をＭＭＡ−トリフルオロメチルアクリレート共重合体をＭＥＫで1％の濃度に溶解し、スピンコーターを用いてウェット膜厚５００ｎｍで被覆・乾燥して、先端膜厚（Ｔ）５ｎｍの被覆部（弾性率：３．５ＧＰａ、接触角：１００°）を形成した。
【００５０】
（実施例１１）
フロートガラスの片面に、底面の重心点間のピッチ（Ａ）１００ｎｍ、高さ（Ｈ）２００ｎｍの円錐体の基部（弾性率：６５ＧＰａ）をゾルゲルガラスにて作製し、該基部をＧＥＮＩＯＭＥＲＳＬＪ9111（旭化成社製）を酢酸ブチル-ヘキサン溶剤で１％の濃度に溶解し、スピンコーターを用いてウェット膜厚１０００ｎｍで被覆・乾燥・硬化して、先端膜厚（Ｔ）１０ｎｍの被覆部（弾性率：０．４５ＧＰａ）を形成した。
【００５１】
（実施例１２）
フロートガラスの片面に、底面の重心点間のピッチ（Ａ）２００ｎｍ、高さ（Ｈ）６００ｎｍの円錐体の基部（弾性率：６５ＧＰａ）をゾルゲルガラスにて作製し、該基部をＧＥＮＩＯＭＥＲＳＬＪ9135（旭化成社製）を酢酸ブチル-ヘキサン溶剤で1％の濃度に溶解し、スピンコーターを用いてウェット膜厚１５００ｎｍで被覆・乾燥・硬化して、先端膜厚（Ｔ）１５ｎｍの被覆部（弾性率：０．５ＧＰａ）を形成した。
【００５２】
（実施例１３）
フロートガラスの片面に、底面の重心点間のピッチ（Ａ）１００ｎｍ、高さ（Ｈ）２００ｎｍの円錐体の基部（弾性率：６５ＧＰａ）をゾルゲルガラスにて作製し、該基部をヒタロイド7851（日立化成社製）を酢酸エチル溶剤で1％の濃度に溶解し、スピンコーターを用いてウェット膜厚１０００ｎｍで被覆・乾燥後、窒素雰囲気下で紫外線硬化して、先端膜厚（Ｔ）１０ｎｍの被覆部（弾性率：５．０ＧＰａ）を形成した。
【００５３】
（実施例１４）
フロートガラスの片面に、底面の重心点間のピッチ（Ａ）２００ｎｍ、高さ（Ｈ）２００ｎｍの円錐体の基部（弾性率：６５ＧＰａ）をゾルゲルガラスにて作製し、該基部をダイヤビームＭＰ１４１（三菱レーヨン社製）を酢酸エチル溶剤で１％の濃度に溶解し、スピンコーターを用いてウェット膜厚１０００ｎｍで被覆・乾燥後、窒素雰囲気下で紫外線硬化して、先端膜厚（Ｔ）１０ｎｍの被覆部（弾性率：５．８ＧＰａ）を形成した。
【００５４】
性能評価
上記した実施例１〜１４、比較例１〜２の微細構造成形体を用いて、以下の評価方法にて耐摩耗性及び撥水性の評価を行った。
【００５５】
〔耐摩耗性評価試験方法〕
トラバース式摩耗試験機を用いて、以下の条件で２００往復させた後、目視にて傷付きがない場合を○、傷付きがある場合を×とした。
摩擦布：キャンバス布（ＪＩＳ  Ｌ  ３１０２）
荷重：９．８ｋＰａ
ストローク長：１００ｍｍ
摩擦速度：３０往復／分
【００５６】
〔撥水性評価試験方法〕
上記耐摩耗性評価試験を実施した後、ＪＩＳ  Ｌ１０９２に規定された方法に基づき、スプレーテスタ（東洋精器製）を用いて、以下の基準により撥水性を５段階で評価した。
１：表面全体に濡れ広がるもの
２：表面に球状を保たずに濡れ広がるもの
３：表面に球状の液滴が付着するもの
４：表面に微小な球状の液滴がわずかに付着するもの
５：表面に液滴がつかないもの
【００５７】
結果
耐摩耗性評価及び撥水性評価の結果を表１，２に示す。なお、各実施例、比較例について耐摩耗性評価試験後の微細構造体の状態を電子顕微鏡にて観察したところ、比較例１、２では微細突起の塑性変形が確認されたが、実施例１〜１４では微細突起の塑性変形は明らかに減少した。中でも、基部と被覆部の弾性率が好ましい範囲にある実施例１〜４、７〜９、１２、１３では微細突起の塑性変形がほとんど確認されず、耐摩耗性評価結果が特に良好であった。
【００５８】
【表１】
2010231201.tif 000002
【００５９】
【表２】
2010231201.tif 000003
【００６０】
以上、本発明を若干の実施形態及び実施例により詳細に説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内において種々の変形が可能である。
【符号の説明】
【００６１】
１０        基部
１４        底部
１６        凹部
２０        被覆部
３０        基材
１００      微細突起
２００      微細構造体
Ａ          微細突起の底面の重心点間のピッチ（距離）
Ｔ          被覆部の先端部膜厚
Ｈ          基部の高さ
【図１】
2010231201.tif 000004
【図２】
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【図３】
2010231201.tif 000006
【図４】
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