(57)【要約】【課題】外部空間の気体が通気部を通して内部空間に侵入し難い物品搬送設備の実現。【解決手段】物品Ｗを搬送する搬送装置Ｍと、搬送装置Ｍが設置されている領域を囲む壁体２と、壁体２によって囲まれている内部空間Ｒ１に上方から下方に向かう気流を生成する内部気流生成部１４と、を備え、壁体２は、内部空間Ｒ１と外部空間Ｒ２とを連通する通気部１３を備え、通気部１３は、上下方向Ｚに並ぶ複数の整風板１７を備え、複数の整風板１７の夫々は、内端部が外端部より上方側に位置するように傾斜した傾斜姿勢で設置されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を搬送する搬送装置を備えた物品搬送設備であって、
前記搬送装置が設置されている領域を囲む壁体と、前記壁体によって囲まれている内部空間に上方から下方に向かう気流を生成する内部気流生成部と、を備え、
前記壁体は、水平方向に沿う方向である第１方向に沿って前記内部空間と前記壁体の外部の空間である外部空間とを連通する通気部を備え、
前記通気部は、上下方向に並ぶ複数の整風板を備え、
前記第１方向における前記外部空間に対して前記内部空間が存在する方向を内部側、その反対側を外部側として、
複数の前記整風板の夫々は、前記内部側の端部である内端部が前記外部側の端部である外端部より上方側に位置するように傾斜した傾斜姿勢で設置されている、物品搬送設備。
【請求項２】
上下方向に沿う上下方向視で前記第１方向に対して直交する方向を第２方向として、
複数の前記整風板の夫々は、前記第２方向に沿う揺動軸心周りに揺動可能に構成され、
複数の前記揺動軸心が、前記第２方向に沿う第２方向視で上下方向に沿って一列に並ぶように配置されている、請求項１に記載の物品搬送設備。
【請求項３】
前記搬送装置は、規定の搬送方向に沿って物品を搬送するように構成され、
上下方向に沿う上下方向視で前記搬送方向に対して直交する方向を横幅方向として、
前記壁体は、当該壁体における前記搬送方向の端部に前記横幅方向に沿って設置された端壁部を備え、
前記端壁部は、前記通気部を備えている、請求項１又は２に記載の物品搬送設備。
【請求項４】
前記搬送装置は、規定の搬送方向に沿って物品を搬送するように構成され、
上下方向に沿う上下方向視で前記搬送方向に対して直交する方向を横幅方向として、
前記壁体は、前記搬送装置を挟んで前記横幅方向の両側に設置された側壁部を備え、
前記側壁部は、前記通気部を備えている、請求項１から３のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
【請求項５】
前記搬送装置及び前記壁体は、前記外部空間に上方から下方に向かう気流を生成する外部気流生成部を備えたクリーンルームに設置されている、請求項１から３のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
【請求項６】
上下方向に沿う上下方向視で前記第１方向に対して直交する方向を第２方向として、
複数の前記整風板の夫々における斜め上方側を向く面は、前記第２方向に沿う第２方向視で、前記斜め上方側に膨出する弧状に形成されている、請求項１から５のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品を搬送する搬送装置を備えた物品搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
このような物品搬送設備として、例えば、特開２０１８−０３９６５８号公報（特許文献１）に記載されたものが知られている。以下、背景技術の説明において、かっこ書きの符号又は名称は、先行技術文献における符号又は名称とする。この特許文献１に記載の物品搬送設備は、搬送装置（スタッカークレーン２）が設置されている領域を囲む壁体（Ｋ）と、壁体によって囲まれている内部空間に上方から下方に向かう気流を生成する内部気流生成部と、を備えている。壁体は、内部空間と壁体の外部の空間である外部空間とを水平方向に連通する通気部（排気部５２）を備えている。
【０００３】
特許文献１の物品搬送設備では、内部気流生成部によって内部空間の気体を上方から下方に向かって流動させた後、その気体を通気部から外部空間に排気することができる。このように、内部空間に気流を生成することで、搬送装置によって物品が搬送した場合に塵埃が発生したとしても、その塵埃を気体と共に下方に流動させて通気部から外部空間に排出することができ、内部空間において塵埃が飛散しないようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１８−０３９６５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の物品搬送設備では、搬送装置によって通気部から離れるように物品を搬送した場合、物品と通気部との間の領域は陰圧となり、この領域に気体が流れる傾向となる。これによって、外部空間の気体が、通気部を通して内部空間に侵入して物品と通気部との間の領域に流れようとするため、外部空間の気体が内部空間に侵入し易いという問題がある。
【０００６】
そこで、外部空間の気体が通気部を通して内部空間に侵入し難い物品搬送設備の実現が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記に鑑みた、物品搬送設備の特徴構成は、物品を搬送する搬送装置を備え、
前記搬送装置が設置されている領域を囲む壁体と、前記壁体によって囲まれている内部空間に上方から下方に向かう気流を生成する内部気流生成部と、を備え、前記壁体は、水平方向に沿う方向である第１方向に沿って前記内部空間と前記壁体の外部の空間である外部空間とを連通する通気部を備え、前記通気部は、上下方向に並ぶ複数の整風板を備え、前記第１方向における前記外部空間に対して前記内部空間が存在する方向を内部側、その反対側を外部側として、複数の前記整風板の夫々は、前記内部側の端部である内端部が前記外部側の端部である外端部より上方側に位置するように傾斜した傾斜姿勢で設置されている点にある。
【０００８】
この特徴構成によれば、内部気流生成部によって生成された気流によって、内部空間の気体を上方から下方に向かって流動させることができ、その流動させた気体の一部又は全部を通気部から外部空間に排気させることができる。そして、このように、内部空間に気流を生成することで、搬送装置によって物品を搬送した場合に塵埃が発生したとしても、その塵埃は気体と共に下方に流動して通気部から外部空間に排出されるため、内部空間において塵埃が飛散することを防止できる。
【０００９】
また、通気部に備えられている複数の整風板の夫々は、内端部が外端部より上方側に位置するように傾斜した傾斜姿勢となっている。そのため、上方から下方に向かって流動した内部空間の気体は、傾斜姿勢の整風板の上面によって案内されて斜め下方に向けて流動する。そのため、通気部において、内部空間から外部空間に向けて気流が生じやすくなる。通気部を通して外部空間から内部空間に侵入しようとする気体は、この気流によって妨げられる。よって、外部空間の気体が通気部を通って内部空間に侵入し難くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１の実施形態における物品搬送設備の平面図
【図２】第１の実施形態における物品搬送設備の正面図
【図３】第１の実施形態における物品搬送設備の側面図
【図４】第１の実施形態における通気部の斜視図
【図５】第１の実施形態における整風板の側面図
【図６】第１の実施形態における緩傾斜姿勢の整風板を示す側面図
【図７】第１の実施形態における急傾斜姿勢の整風板を示す側面図
【図８】第２の実施形態における物品搬送設備の平面図
【図９】第２の実施形態における物品搬送設備の正面図
【図１０】第３の実施形態における物品搬送設備の正面図
【図１１】第４の実施形態における物品搬送設備の平面図
【図１２】第４の実施形態における物品搬送設備の正面図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
１．第１の実施形態
物品搬送設備の第１の実施形態について図面に基づいて説明する。
図１及から図３に示すように、物品搬送設備１００は、自動倉庫１と、自動倉庫１が設置されている領域を囲む壁体２と、自動倉庫１及び壁体２が設置されているクリーンルームＲに上方から下方に向かう気流を生成する気流生成部３（図２及び図３参照）と、を備えている。
【００１２】
自動倉庫１は、物品Ｗを搬送するスタッカークレーン６と、物品Ｗを収納する収納部７を複数備えた収納棚８と、を備えている。スタッカークレーン６は、走行経路Ｌを往復走行することで、規定の搬送方向Ｘに沿って物品Ｗを搬送する。収納棚８は、一部の収納部７を、処理装置Ｅに対して物品Ｗを搬入出するための搬入出部９として用いている。尚、スタッカークレーン６が、物品搬送設備１００に備えられて物品Ｗを搬送する搬送装置Ｍに相当する。
【００１３】
スタッカークレーン６は、物品Ｗを収納部７から搬入出部９に搬送すると共に物品Ｗを搬入出部９から収納部７に搬送する。処理装置Ｅは、物品Ｗを搬送する搬送部（図示せず）を備えている。処理装置Ｅは、搬送部によって物品Ｗを搬入出部９から処理装置Ｅ内に搬送すると共に物品Ｗを処理装置Ｅ内から搬入出部９に搬送する。本実施形態では、複数枚の板状体を収容した容器を物品Ｗとしている。処理装置Ｅは、板状体を使用して処理を行う装置である。例えば、処理装置Ｅは半導体処理装置であり、板状体は当該処理装置Ｅで用いられるフォトマスクである。
【００１４】
図１に示すように、壁体２は、スタッカークレーン６が設置されている領域を囲んでいる。本実施形態では、壁体２は、スタッカークレーン６が設置されている領域に加えて、収納棚８が設置されている領域を囲んでいる。つまり、壁体２は、自動倉庫１が設置されている領域を囲んでいる。壁体２は、クリーンルームＲを、壁体２によって囲まれている内部空間Ｒ１と、壁体２の外部の空間である外部空間Ｒ２と、に仕切っている。
【００１５】
上下方向Ｚに沿う上下方向視で搬送方向Ｘに対して直交する方向を横幅方向Ｙとして、壁体２は、当該壁体２における搬送方向Ｘの端部に、横幅方向Ｙに沿って設置された端壁部１１を備えている。端壁部１１は、スタッカークレーン６を挟んで搬送方向Ｘの両側に設置されている。また、壁体２は、当該壁体２における横幅方向Ｙの端部に、搬送方向Ｘに沿って設置された側壁部１２を備えている。側壁部１２は、スタッカークレーン６を挟んで横幅方向Ｙの両側に設置されている。本実施形態では、端壁部１１は、自動倉庫１（スタッカークレーン６及び収納棚８）を挟んで搬送方向Ｘの両側に設置され、側壁部１２は、自動倉庫１（スタッカークレーン６及び収納棚８）を挟んで横幅方向Ｙの両側に設置されている。
【００１６】
図４に示すように、壁体２は、水平方向に沿う第１方向Ａに沿って内部空間Ｒ１と外部空間Ｒ２とを連通する通気部１３を備えている。本実施形態では、通気部１３は、壁体２の下部に設置されている。詳しくは、通気部１３は、壁体２の下端（下床部Ｆ１の上面）から上方側に規定高さまでの範囲に設置されている。本例では、通気部１３は、後述する下床部Ｆ１と上床部Ｆ２との間の床下空間Ｒ３に面する高さ方向の領域の全体に亘って設置されている。また、通気部１３は、端壁部１１における横幅方向Ｙの全域に亘って設置され、側壁部１２における搬送方向Ｘの全域に亘って設置されている。
【００１７】
図２及び図３に示すように、本実施形態では、端壁部１１と側壁部１２との双方に通気部１３を備えている。端壁部１１に備えられている通気部１３は、第１方向Ａが搬送方向Ｘとなっており、搬送方向Ｘに沿って内部空間Ｒ１と外部空間Ｒ２とを連通する。側壁部１２に備えられている通気部１３は、第１方向Ａが横幅方向Ｙとなっており、横幅方向Ｙに沿って内部空間Ｒ１と外部空間Ｒ２とを連通する。
【００１８】
スタッカークレーン６、収納棚８、及び壁体２は、クリーンルームＲに設置されている。気流生成部３は、クリーンルームＲの天井部Ｃに設置されている。本実施形態では、気流生成部３は、ファンとフィルター部とを筐体に組込んでユニット化されたファンフィルタユニット（以下、ＦＦＵと略称する）を複数設置して構成されている。図２に示すように、クリーンルームＲの床部は、下床部Ｆ１と、下床部Ｆ１よりも上方に配設された上床部Ｆ２とにより構成されている。上床部Ｆ２は、グレーチング床であり、上下方向Ｚに貫通する通気孔が複数形成されている。この上床部Ｆ２は、外部空間Ｒ２に設置されている。下床部Ｆ１と上床部Ｆ２との間に床下空間Ｒ３が形成されており、この床下空間Ｒ３は、外部空間Ｒ２の一部である。下床部Ｆ１は、通気孔を有さない床であり、本実施形態では、無孔状のコンクリート等の床材によって構成されている。
【００１９】
気流生成部３は、内部空間Ｒ１の上部及び外部空間Ｒ２の上部に設置されているＦＦＵによって構成されている。気流生成部３における内部空間Ｒ１の上部に設置されているＦＦＵによって、内部空間Ｒ１に上方から下方に向けて気流を生成する内部気流生成部１４が構成されている。また、気流生成部３における外部空間Ｒ２の上部に設置されているＦＦＵによって、外部空間Ｒ２に上方から下方に向けて気流を生成する外部気流生成部１５が構成されている。
【００２０】
内部空間Ｒ１では、内部気流生成部１４によって内部空間Ｒ１の上部に供給された空気が、内部空間Ｒ１を上方から下方に流動する。その下方に流動した空気は、通気部１３から床下空間Ｒ３（外部空間Ｒ２の一部）に排気される。また、外部空間Ｒ２では、外部気流生成部１５によって外部空間Ｒ２の上部に供給された空気が、外部空間Ｒ２を上方から下方に流動し、上床部Ｆ２を通気して床下空間Ｒ３まで流動する。このように、気流生成部３は、クリーンルームＲに上方から下方に向かう気流を生成する。尚、壁体２は、天井部Ｃから下床部Ｆ１に亘って設置されている。
【００２１】
図４、図６及び図７に示すように、通気部１３は、上下方向Ｚに並ぶ複数の整風板１７を備えている。以下、複数の整風板１７について説明するが、第１方向Ａにおける外部空間Ｒ２に対して内部空間Ｒ１が存在する方向を内部側Ａ１、その反対側を外部側Ａ２として説明する。また、上下方向視で第１方向Ａに対して直交する方向を第２方向Ｂとして説明する。複数の整風板１７の夫々は、第２方向Ｂに沿う揺動軸心Ｐ周りに揺動可能に構成されている。複数の揺動軸心Ｐは、第２方向Ｂに沿う第２方向視で上下方向Ｚに沿って一列に並ぶように配置されている。
【００２２】
通気部１３は、複数の整風板１７の夫々を揺動軸心Ｐ周りに揺動させることで、通気量を調節可能に構成されている。説明を加えると、複数の整風板１７の夫々は、例えば、図５の実線及び図６に示すように、内部側Ａ１の端部である内端部１７Ａが外部側Ａ２の端部である外端部１７Ｂより上方側に位置するように傾斜した緩傾斜姿勢や、図５の仮想線及び図７に示すように、当該緩傾斜姿勢よりも内端部１７Ａと外端部１７Ｂとの上下方向Ｚの間隔を大きくした急傾斜姿勢等に姿勢を変化可能に構成されている。本実施形態では、緩傾斜姿勢と急傾斜姿勢とは、いずれも、内端部１７Ａが外端部１７Ｂより上方側に位置する傾斜姿勢である。また、複数の整風板１７の夫々は、上記のような緩傾斜姿勢と急傾斜姿勢との間の傾斜角度となる姿勢や、緩傾斜姿勢よりも傾斜角度が緩い姿勢等にも変化可能となっている。
【００２３】
そして、複数の整風板１７の夫々を緩傾斜姿勢とした場合には、上下方向Ｚに隣接する整風板１７同士の間隔が広くなり、通気部１３の通気量が多くなる。これに対して、複数の整風板１７の夫々を急傾斜姿勢とした場合には、上下方向Ｚに隣接する整風板１７同士の間隔が狭くなり、通気部１３の通気量が少なくなる。
【００２４】
複数の整風板１７を揺動させる構成としては、複数の整風板１７を作業者の手作業で揺動させる構成でもよく、複数の整風板１７を電動モータ等の駆動装置の動作によって揺動させる構成でもよい。また、駆動装置の動作によって揺動させる場合、スタッカークレーン６の動作に連動して揺動させるように、制御装置によって駆動装置を制御するようにしてもよい。例えば、制御装置は、スタッカークレーン６が整風板１７に近づくようスタッカークレーン６を移動させる場合に、整風板１７を緩傾斜姿勢として内部空間Ｒ１の空気が外部空間Ｒ２に排気し易くし、スタッカークレーン６が整風板１７から遠ざかるようにスタッカークレーン６を移動させる場合に、整風板１７を急傾斜姿勢として外部空間Ｒ２の空気が内部空間Ｒ１に侵入し難くするように、駆動装置を制御するようにしてもよい。
【００２５】
図５に示すように、複数の整風板１７における斜め上方を向く面は、第２方向視で、斜め上方に膨出する弧状に形成されている。本実施形態では、複数の整風板１７における斜め上方を向く面は、外方側斜め上方を向いており、第２方向視で、外方側斜め上方に膨出する弧状に形成されている。また、図示の例では、複数の整風板１７における斜め下方を向く面は、第２方向視で、斜め上方に凹入する弧状に形成されている。本実施形態では、複数の整風板１７における斜め下方を向く面は、内方側斜め下方を向いており、第２方向視で、外方側斜め上方に凹入する弧状に形成されている。また、本例では、第２方向視で内端部１７Ａと外端部１７Ｂとが並ぶ方向を長手方向として、複数の整風板１７の夫々は、内端部１７Ａから外端部１７Ｂに向かうに従って、第２方向視で長手方向に対して直交する方向の厚みが薄くなる形状に形成されている。
【００２６】
図６及び図７に示すように、複数の整風板１７の夫々は、緩傾斜姿勢では、壁体２に対して第１方向Ａの両側に突出し、急傾斜姿勢では、壁体２の第１方向Ａの幅内に収まっている。また、本実施形態では、複数の整風板１７を壁体２に対して直接に取り付けているが、複数の整風板１７を枠材に取り付け、その枠材を壁体２に取り付けるようにしてもよい。この場合、複数の整風板１７の夫々を、緩傾斜姿勢では、枠材に対して第１方向Ａの両側に突出し、急傾斜姿勢では、枠材の第１方向Ａの幅内に収まるようにしてもよい。
【００２７】
２．第２の実施形態
次に、物品搬送設備の第２の実施形態について、図８及び図９を用いて説明する。本実施形態では、搬送装置Ｍを、自動倉庫１の外側において天井近くを走行する搬送台車２１とした点で、上記第１の実施形態とは異なる。以下では、本実施形態に係る物品搬送設備１００について、上記第１の実施形態との相違点を中心として説明する。なお、特に説明しない点については、上記第１の実施形態と同様とする。
【００２８】
壁体２は、搬送装置Ｍとしての搬送台車２１が設置されている領域を囲んでいる。壁体２は、天井部Ｃに吊り下げられた状態で設置されており、前述したような上床部Ｆ２（図示せず）に対して上方に離間している。壁体２は、端壁部１１と側壁部１２とに加えて、搬送台車２１が設置されている領域の下方側を囲う下壁部２２を備えている。この下壁部２２は、上下方向Ｚに沿って内部空間Ｒ１と外部空間Ｒ２とを連通する連通部２３を備えている。連通部２３には、ＦＦＵが備えられている。
【００２９】
内部空間Ｒ１では、内部気流生成部１４によって内部空間Ｒ１の上部に供給された空気は、内部空間Ｒ１を上方から下方に流動した後、通気部１３から外部空間Ｒ２に向けて側方に排気されると共に連通部２３から外部空間Ｒ２に向けて下方に排気される。また、外部空間Ｒ２では、外部気流生成部１５によって外部空間Ｒ２の上部に供給された空気は、外部空間Ｒ２を上方から下方に流動する。
【００３０】
３．第３の実施形態
次に、物品搬送設備の第３の実施形態について、図１０を用いて説明する。本実施形態では、搬送装置Ｍを、自動倉庫１の外側において床部近くを走行する搬送台車２１とした点で、上記第１の実施形態とは異なる。以下では、本実施形態に係る物品搬送設備１００について、上記第１の実施形態との相違点を中心として説明する。なお、特に説明しない点については、上記第１の実施形態と同様とする。
【００３１】
壁体２は、搬送装置Ｍとしての搬送台車２１が設置されている領域を囲んでいる。壁体２は、下床部Ｆ１上に設置されている。壁体２は、下床部Ｆ１に対して上方に離間していると共に、前述したような天井部Ｃ（図示せず）に対して下方に離間している。壁体２は、端壁部１１と側壁部１２とに加えて、搬送台車２１が設置されている領域の下方側を囲う下壁部２２と、搬送台車２１が設置されている領域の上方側を囲う上壁部２４と、を備えている。下壁部２２は、上下方向Ｚに沿って内部空間Ｒ１と外部空間Ｒ２とを連通する連通部２３を備えている。上壁部２４には、複数のＦＦＵが設置されており、この複数のＦＦＵによって内部気流生成部１４が構成されている。尚、図示は省略するが、天井部Ｃに設置されているＦＦＵによって外部気流生成部１５が構成されている。下壁部２２は、上下方向Ｚに沿って内部空間Ｒ１と外部空間Ｒ２とを連通する連通部２３を備えている。連通部２３には、ＦＦＵが備えられている。
【００３２】
内部空間Ｒ１では、内部気流生成部１４によって内部空間Ｒ１の上部に供給された空気は、内部空間Ｒ１を上方から下方に流動した後、通気部１３から外部空間Ｒ２に向けて側方に排気されると共に連通部２３から外部空間Ｒ２に向けて下方に排気される。また、外部空間Ｒ２では、外部気流生成部１５によって外部空間Ｒ２の上部に供給された空気は、外部空間Ｒ２を上方から下方に流動する。このように、気流生成部３は、クリーンルームＲに上方から下方に向かう気流を生成する。
【００３３】
４．第４の実施形態
次に、物品搬送設備の第４の実施形態について、図１１及び図１２を用いて説明する。本実施形態では、搬送装置Ｍを、自動倉庫１の外側において天井近くを一方向に周回走行する搬送台車２１とした点で、上記第１の実施形態とは異なる。以下では、本実施形態に係る物品搬送設備１００について、上記第１の実施形態との相違点を中心として説明する。なお、特に説明しない点については、上記第１の実施形態と同様とする。
【００３４】
図１１に示すように、搬送装置Ｍとしての搬送台車２１は、走行経路Ｌを一方向に周回走行することで、規定の搬送方向Ｘに沿って物品Ｗを搬送する。壁体２は、搬送装置Ｍとしての搬送台車２１が設置されている領域を囲んでいる。壁体２は、天井部Ｃに吊り下げられた状態で設置されており、前述したような上床部Ｆ２（図示せず）に対して上方に離間している。
【００３５】
上下方向視で搬送方向Ｘに対して直交する方向を横幅方向Ｙとして、壁体２は、当該壁体２における横幅方向Ｙの端部に搬送方向Ｘに沿って設置された側壁部１２を備えている。側壁部１２は、搬送台車２１に対して横幅方向Ｙの外側に設置されている。
【００３６】
図１２に示すように、壁体２は、側壁部１２に加えて、搬送台車２１が設置されている領域の下方側を囲う下壁部２２を備えている。この下壁部２２は、上下方向Ｚに沿って内部空間Ｒ１と外部空間Ｒ２とを連通する第１連通部２６及び第２連通部２７を備えている。第１連通部２６は、上下方向視で搬送台車２１が走行する走行軌跡と重なる範囲内に形成されている。この第１連通部２６には、ＦＦＵが備えられている。第２連通部２７は、上下方向視で搬送台車２１の走行軌跡に囲まれる領域に形成されている。この第２連通部２７は、パンチングメタル等の多孔状の板状部材によって構成されている。
【００３７】
内部空間Ｒ１では、内部気流生成部１４によって内部空間Ｒ１の上部に供給された空気は、内部空間Ｒ１を上方から下方に流動した後、通気部１３から外部空間Ｒ２に向けて側方に排気されると共に第１連通部２６及び第２連通部２７から外部空間Ｒ２に向けて下方に排気される。また、外部空間Ｒ２では、外部気流生成部１５によって外部空間Ｒ２の上部に供給された空気は、外部空間Ｒ２を上方から下方に流動する。
【００３８】
５．その他の実施形態
次に、物品搬送設備１００のその他の実施形態について説明する。
【００３９】
（１）上記の実施形態では、複数の整風板１７の夫々が揺動軸心Ｐ周りに揺動可能とされた構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されない。例えば、複数の整風板１７の夫々の傾斜角度が固定された構成でもよい。この場合の傾斜角度は、例えば、上述した緩傾斜姿勢（図５の実線及び図６に示す姿勢）に対応する角度で固定されていてもよい。
【００４０】
（２）上記の実施形態では、複数の揺動軸心Ｐが、第２方向Ｂに沿う第２方向視で上下方向Ｚに沿って一列に並ぶように配置されている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されない。例えば、複数の揺動軸心Ｐが、上下方向Ｚに対して傾斜した方向、又は、水平方向に沿って一列に並ぶように配置されていてもよい。或いは、複数の揺動軸心Ｐが、第２方向視で波形状の複数の頂点部にそれぞれ配置されていてもよい。これらの配置は、複数の整風板１７が揺動軸心Ｐを有しない固定構造とされる場合でも同様である。
【００４１】
（３）上記の第１から第３の実施形態では、端壁部１１と側壁部１２との夫々に通気部１３を備える構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されない。例えば、端壁部１１と側壁部１２とのうちの何れか一方のみに通気部１３を備える構成としてもよい。
【００４２】
（４）上記の第１の実施形態では、側壁部１２を、収納棚８に対して横幅方向Ｙの外側に設置した。しかし、収納棚８における最下段の収納部７の下方において、側壁部１２を、収納棚８の横幅方向Ｙの幅内や、横幅方向Ｙにおける搬送装置Ｍと収納棚８との間等に設置する構成でもよい。また、上述のように、側壁部における、収納棚８の横幅方向Ｙの幅内や搬送装置Ｍと収納棚８との間等に設置した部分に、通気部１３を設けてもよい。
【００４３】
（５）上記の実施形態では、搬送装置Ｍを、スタッカークレーン６や搬送台車２１とする構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されない。例えば、搬送装置Ｍを、案内する軌道が設置されていない床部上を自由に走行可能な搬送車とした構成でもよい。また、搬送装置Ｍを、規定の搬送方向Ｘに沿って設置したベルトコンベヤ等のコンベヤ装置とした構成でもよい。
【００４４】
（６）上記の実施形態では、物品搬送設備１００を、外部気流生成部１５を備えたクリーンルームＲに設置する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されない。例えば、物品搬送設備１００を、外部気流生成部１５を備えないクリーンルームＲに設置する構成や、清浄化されてない空間に設置する構成でもよい。
【００４５】
（７）上記の実施形態では、複数の整風板の夫々における斜め上方を向く面を、第２方向視で、斜め上方側に膨出する形状とする構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されない。例えば、複数の整風板の夫々における斜め上方を向く面を、第２方向視で、平坦な形状や斜め下方側に凹入する形状とする構成でもよく、
【００４６】
（８）上記の実施形態では、気体を、空気とする構成を例に説明した。しかし、そのような構成に限定されない。例えば、気体を、窒素の含有率が高い不活性気体等としてもよい。
【００４７】
（９）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
【００４８】
６．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した物品搬送設備の概要について説明する。
【００４９】
物品搬送設備は、物品を搬送する搬送装置を備え、
前記搬送装置が設置されている領域を囲む壁体と、前記壁体によって囲まれている内部空間に上方から下方に向かう気流を生成する内部気流生成部と、を備え、前記壁体は、水平方向に沿う方向である第１方向に沿って前記内部空間と前記壁体の外部の空間である外部空間とを連通する通気部を備え、前記通気部は、上下方向に並ぶ複数の整風板を備え、前記第１方向における前記外部空間に対して前記内部空間が存在する方向を内部側、その反対側を外部側として、複数の前記整風板の夫々は、前記内部側の端部である内端部が前記外部側の端部である外端部より上方側に位置するように傾斜した傾斜姿勢で設置されている。
【００５０】
本構成によれば、内部気流生成部によって生成された気流によって、内部空間の気体を上方から下方に向かって流動させることができ、その流動させた気体の一部又は全部を通気部から外部空間に排気させることができる。そして、このように、内部空間に気流を生成することで、搬送装置によって物品を搬送した場合に塵埃が発生したとしても、その塵埃は気体と共に下方に流動して通気部から外部空間に排出されるため、内部空間において塵埃が飛散することを防止できる。
【００５１】
また、通気部に備えられている複数の整風板の夫々は、内端部が外端部より上方側に位置するように傾斜した傾斜姿勢となっている。そのため、上方から下方に向かって流動した内部空間の気体は、傾斜姿勢の整風板の上面によって案内されて斜め下方に向けて流動する。そのため、通気部において、内部空間から外部空間に向けて気流が生じやすくなる。通気部を通して外部空間から内部空間に侵入しようとする気体は、この気流によって妨げられる。よって、外部空間の気体が通気部を通って内部空間に侵入し難くすることができる。
【００５２】
ここで、上下方向に沿う上下方向視で前記第１方向に対して直交する方向を第２方向として、複数の前記整風板の夫々は、前記第２方向に沿う揺動軸心周りに揺動可能に構成され、複数の前記揺動軸心が、前記第２方向に沿う第２方向視で上下方向に沿って一列に並ぶように配置されていると好適である。
【００５３】
本構成によれば、複数の整風板の夫々を揺動軸心周りに揺動させることで、複数の整風板同士の隙間の大きさを変更することができ、通気部の通気量を調節することができる。また、揺動軸心が上下方向に沿って一列に並んでいるので、整風板の傾斜角度を変更した場合に、上下方向に隣接する他の整風板と干渉し難い。そのため、複数の整風板のそれぞれの傾斜角度の変更範囲を大きくすることができ、複数の整風板同士の隙間の大きさの調整範囲を広くすることが可能となっている。
【００５４】
また、前記搬送装置は、規定の搬送方向に沿って物品を搬送するように構成され、上下方向に沿う上下方向視で前記搬送方向に対して直交する方向を横幅方向として、前記壁体は、当該壁体における前記搬送方向の端部に前記横幅方向に沿って設置された端壁部を備え、前記端壁部は、前記通気部を備えていると好適である。
【００５５】
通常、端壁部から離れる方向に物品を搬送する場合に、物品と壁端部との間が陰圧となる。しかし、本構成によれば、傾斜姿勢の整風板によって通気部において内部空間から外部空間への排気が促進されているため、端壁部に備えられた通気部を通して外部空間から内部空間に気体が侵入し難くすることができる。
【００５６】
また、前記搬送装置は、規定の搬送方向に沿って物品を搬送するように構成され、上下方向に沿う上下方向視で前記搬送方向に対して直交する方向を横幅方向として、前記壁体は、前記搬送装置を挟んで前記横幅方向の両側に設置された側壁部を備え、前記側壁部は、前記通気部を備えていると好適である。
【００５７】
通常、側壁部の所定の位置から離れる方向に走行する場合に、物品と側壁部の所定の位置との間が陰圧となる。本構成によれば、傾斜姿勢の整風板によって通気部において内部空間から外部空間への排気が促進されているため、側壁部に備えられた通気部を通して外部空間から内部空間に気体が侵入し難くすることができる。
【００５８】
また、前記搬送装置及び前記壁体部は、前記外部空間に上方から下方に向かう気流を生成する外部気流生成部を備えたクリーンルームに設置されていると好適である。
【００５９】
外部気流生成部が外部空間に気流を生成している場合、内部空間と外部空間との気圧差が小さくなり、外部空間の気体が通気部を通して内部空間に侵入し易くなる場合がある。しかし、本構成によれば、通気部に備えられている複数の整風板の夫々は、内端部が外端部より上方側に位置するように傾斜した傾斜姿勢となっている。そのため、上方から下方に向かって流動する外部空間の気体が、その流動方向を反転させて、傾斜姿勢の整風板の上面を斜め上方に向けて流動する可能性は低い。よって、外部空間の気体が通気部を通って内部空間に侵入し難くすることができる。
【００６０】
また、上下方向に沿う上下方向視で前記第１方向に対して直交する方向を第２方向として、複数の前記整風板の夫々における斜め上方側を向く面は、前記第２方向に沿う第２方向視で、前記斜め上方側に膨出する弧状に形成されていると好適である。
【００６１】
本構成によれば、整風板の斜め上方側を向く面を弧状に形成したことで、傾斜姿勢の整風板の上面は、内端部では下方への傾斜が緩く、外端部では下方への傾斜が急になっている。そのため、上方から下方に向かって流動した内部空間の気体が、整風板の上面の内端部で受け止められ易く、外端部では下方へ向けて排気され易くなっている。従って、通気部において、内部空間から外部空間に向けて気流を生じさせ易く、外部空間の気体が通気部を通って内部空間に侵入し難くすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本開示に係る技術は、物品を搬送する搬送装置を備えた物品搬送設備に利用することができる。
【符号の説明】
【００６３】
２：壁体
１１：端壁部
１２：側壁部
１３：通気部
１４：内部気流生成部
１５：外部気流生成部
１７：整風板
１７Ａ：内端部
１７Ｂ：外端部
Ａ：第１方向
Ａ１：内部側
Ａ２：外部側
Ｂ：第２方向
Ｍ：搬送装置
Ｐ：揺動軸心
Ｒ：クリーンルーム
Ｒ１：内部空間
Ｗ：物品
Ｘ：搬送方向
Ｙ：横幅方向
Ｚ：上下方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【手続補正書】
【提出日】令和2年1月10日(2020.1.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
前記搬送装置及び前記壁体は、前記外部空間に上方から下方に向かう気流を生成する外部気流生成部を備えたクリーンルームに設置されている、請求項１から４のいずれか一項に記載の物品搬送設備。