(57)【要約】【課題】検査対象物が曲率構造体であり、かつその表面に凸部等が存在する場合にも、その影響を吸収しながら検査可能な検査装置を提供する。【解決手段】検査部１２を支持する支持部１４に連結部２０、２２を介して一対の走行部１６、１８を揺動可能に連結する。走行部１６、１８は相互間を直接連結する機構を持たないため、前後方向に延びる軸線について、独立かつ自由に旋回し、配管寺の検査対象物の表面形状に応じて適宜姿勢を変えることができ、また同調構構を持たないため、軽量かつ小型で簡易な駆動部を構成できる。またアーム２６、３８の脇に取り付ける落下防止機構５０a、５０ｂの位置を調整可能とする。それぞれのアームの上方向に旋回する動きは、その調整範囲内で制限され、走行部１６、１８が検査対象物から大きく離脱することを制限できるため、検査装置１０の落下を防止できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性材料からなる検査対象物を検査するための検査部と、
前記検査部を支持する支持部と、
前記支持部の左右方向両側に設けられ、前記検査対象物に磁着して該検査対象物上を走行可能な一対の走行部と、
前記一対の走行部の各々を前記支持部に対して少なくとも前記左右方向に延びる軸線に垂直な前後方向に延びる軸線について旋回可能な、左右独立した落下防止機構を有することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記一対の走行部は、左右独立した駆動部を有することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記一対の走行部の各々は、前記検査対象物に磁着して該検査対象物上を走行可能なマグネット車輪と、該マグネット車輪に当接する回転駆動式のスクレーパとを有することを特徴とする請求項１又は２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記連結部は、前記一対の走行部の各々と前記支持部とを連結するボールジョイントを有することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の検査装置。
【請求項５】
前記支持部は、前記検査部と前記検査対象物との距離を調節するための調節機構をさらに有し、前記調節機構は、前記支持部の底面において、前記検査部の左右方向及び前後方向にそれぞれ平行な辺を有する矩形の四隅にそれぞれ配置されて前記検査対象物の表面に当接するように構成された４つの当接部材と、前記支持部に対する前記４つの当接部材の垂直方向距離を調節する調節部材とを有し、前記４つの当接部材のうち少なくとも２つは、前記一対の走行部の各々が有するマグネット車輪と略一直線をなすように配置されたことを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の検査装置。
【請求項６】
前記４つの当接部材のうち左右方向に対向する２つの当接部材の距離と、前後方向に対向する２つの当接部材との距離とを互いに等しくしたことを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記検査部と支持部との間に、及び前記支持部と前記走行部との間の少なくとも一方にダンパを設けたことを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の検査装置。
【請求項８】
前記検査部はダッシュポットを介して前記支持部に連結されたことを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配管等の曲率構造体の表面を走行しながら、その肉厚や表面欠陥を検査することができる検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁性材料からなる金属製構造体に磁着してその上を自走し、その肉厚や表面上の欠陥の有無等を検査する欠陥検査装置は従来から知られている。特に検査対象物が配管等のように曲面を有する構造体（曲率構造体という）である場合には、検査装置がその表面上から脱落しないように表面形状に倣って移動できることが望まれる。このため例えば特許文献１には、前後方向及び左右方向に揺動可能な一対の無限軌道と、これらを駆動するためのモータと、検査対象物である鋼管等に磁着するための永久磁石とを備えた台車を有する測定装置が開示されている。
【０００３】
また特許文献２には、検査機器が搭載された台車部と、その両側に配置されて前後方向及び左右方向に揺動可能な一対の車体部とを備えた検査機器用自走台車が開示されている。特許文献２にはさらに、各車体部を台車部に対して対称に揺動させる同調手段として、台車部の上下方向に延びる案内軸と、案内軸に沿ってスライド可能なスライドコマと、一端がスライドコマに連結され他端が揺動リンクに連結される一対の連結リンクとを備えた構成が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１２５７５２号公報
【特許文献２】特開２００７−１３０７１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
これらの特許文献に示されるように、自走式の検査装置は金属製の構造体に磁着してその表面上を自走する構成を有するため、永久磁石または電磁石等の磁力を備えた部分が構造体の表面形状に倣って移動できることが要求される。この点、特許文献２に開示されている同調手段によれば、配管等の曲率構造体の表面に対する検査機器の測定位置を安定させることができるという一定の効果があると考えられる。
【０００６】
しかしながら、実際の検査対象物の表面は滑らかではなく、溶接による段差、腐食、傷、さらには腐食や傷の捕集パッチ等、種々の凹凸が存在していることが多く、またその凸部の高さは３〜１０ｍｍに及ぶこともある。従って一対の車体部の一方がその凸部に乗り上げた場合には、各車体部が左右対称に揺動する構成では他の車体部も影響を受け、結果として検査機器を備えた台車部の姿勢が変化して正確な測定ができなくなる虞があった。また凸部の高さによっては、検査装置自体が検査対象物から落下する虞もあった。
【０００７】
そこで本発明は、検査対象物に凸部等が存在する場合にもその突部の影響を吸収できる機構を備え、常に正確な検査が可能であり、検査対象物から落下するおそれもなくした検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するためになされた請求項１の発明は、磁性材料からなる検査対象物を検査するための検査部と、前記検査部を支持する支持部と、前記支持部の左右方向両側に設けられ、前記検査対象物に磁着して該検査対象物上を走行可能な一対の走行部と、前記一対の走行部の各々を前記支持部に対して少なくとも前記左右方向に延びる軸線に垂直な前後方向に延びる軸線について旋回可能な、左右独立した落下防止機構を有することを特徴とするものである。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１に記載の検査装置において、前記一対の走行部は、左右独立した駆動部を有することを特徴とするものである。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項１または２に記載の検査装置において、前記一対の走行部の各々は、前記検査対象物に磁着して該検査対象物上を走行可能なマグネット車輪と、該マグネット車輪に当接する回転駆動式のスクレーパとを有することを特徴とするものである。
【００１１】
請求項４の発明は、請求項１〜３の何れかに記載の検査装置において、前記連結部は、前記一対の走行部の各々と前記支持部とを連結するボールジョイントを有することを特徴とするものである。
【００１２】
請求項５の発明は、請求項１〜４の何れかに記載の検査装置において、前記支持部は、前記検査部と前記検査対象物との距離を調節するための調節機構をさらに有し、前記調節機構は、前記支持部の底面において、前記検査部の左右方向及び前後方向にそれぞれ平行な辺を有する矩形の四隅にそれぞれ配置されて前記検査対象物の表面に当接するように構成された４つの当接部材と、前記支持部に対する前記４つの当接部材の垂直方向距離を調節する調節部材とを有し、前記４つの当接部材のうち少なくとも２つは、前記一対の走行部の各々が有するマグネット車輪と略一直線をなすように配置されたことを特徴とするものである。
【００１３】
請求項６の発明は、請求項５に記載の検査装置において、前記４つの当接部材のうち左右方向に対向する２つの当接部材の距離と、前後方向に対向する２つの当接部材との距離とを互いに等しくしたことを特徴とするものである。
【００１４】
請求項７の発明は、請求項１〜６の何れかに記載の検査装置において、前記検査部と支持部との間に、及び前記支持部と前記走行部との間の少なくとも一方にダンパを設けたことを特徴とするものである。
【００１５】
請求項８の発明は、請求項７に記載の曲率構造体の検査装置において、前記検査部はダッシュポットを介して前記支持部に連結されたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の検査装置は、支持部の左右両側に設けられる一対の走行部を相互に連結する必要がないため、各々の走行部を独立して動かすことができる。また各々の走行部は、検査対象の配管などから脱落することを防ぐための落下防止機構を有するため、該落下防止機構により制限される範囲内において、自由に変位させることも可能となる。従って検査対象物の表面上の凸部等に一方の走行部が乗り上げた場合であっても、該走行部は他方の走行部に影響を与えることなく変位できるので、検査装置の落下や、検査対象物に対する検査部の位置関係の変化を防止することができる。
【００１７】
また前記一対の走行部は、左右の同調を必要としない駆動部を有するので、特許文献２に記載の装置に比較して同調機構分の軽量化及び小型化が達成され、簡易な駆動部を構成することができる。
【００１８】
請求項３の発明によれば、検査対象物上を走行するマグネット車輪にスクレーパを設けることにより、マグネット車輪を清浄に保つことができる。特にスクレーパをマグネット車輪と同方向に回転駆動する構成とすることにより、マグネット車輪表面の異物掻き取り効果を向上させることができる。
【００１９】
なお連結部にボールジョイントを使用することにより、走行部が連結部に対して任意の姿勢を取れる構成を実現することができる。
【００２０】
請求項４の発明によれば、４つの当接部材のうち少なくとも２つを、マグネット車輪と略一直線をなすように配置することにより、検査装置が検査対象物の表面の突起等に乗り上げるときの衝撃や振動回数の低減を図ることができる。
【００２１】
請求項５の発明によれば、４つの当接部材のうち左右方向に対向する２つの当接部材の距離と、前後方向に対向する２つの当接部材との距離とを互いに等しくすることにより、検査装置の向きが変化した場合でも検査対象物と検査部との距離を一定に保つことができる場合が多くなる。特に配管上では、検査装置の向きが配管の長手方向から周方向に、あるいはその逆方向に変化した場合でも、配管と検査部との距離を一定に保つことができる。
【００２２】
請求項６、７の発明によれば、検査部と支持部との間にダンパを設けることによって、検査装置が受ける振動や衝撃が検査部に及ぶことを防止または低減でき、高精度の検査を行うことが可能となる。特にダッシュポットを用いて検査部を支持部に連結することにより、検査部が受ける振動や衝撃をより効果的に防止または低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に本発明の好ましい実施形態を説明する。
図１は本発明に係る検査装置１０の外観斜視図であり、図２は同装置を図１とは反対側から見た外観斜視図である。この検査装置１０は、検査対象物である鋼製配管等の磁性材料からなる曲率構造体(図示せず）の肉厚の変化及び分布や、表面欠陥の有無等を測定するための検査部１２と、この検査部１２を検査対象物の表面から所定距離だけ離隔させて支持する支持部１４と、この支持部１４の左右方向両側に取り付けられて検査対象物の表面上を走行する構造（詳細は後述）を備えた一対の走行部１６、１８とを有する。検査部１２としては、例えば電磁誘導センサ、より好ましくは低周波電磁誘導センサが使用可能である。低周波電磁誘導センサは、金属製配管等の強磁性材料の肉厚や欠陥の有無等を非接触で検出することができる。
【００２４】
支持部１４は全体として略矩形の枠形状を有し、その略中央部に検査部１２を搭載できるようになっているが、検査部１２を支持できる構造であれば図示された形状に限られない。また各走行部１６、１８は全体として略直方体形状の筺体を有し、内部に後述するモータや車輪を有するが、これらのモータや車輪を収納できる構造であれば図示された形状に限られない。
【００２５】
一対の走行部１６、１８は、それぞれ連結部２０、２２を介して支持部１４に対して揺動可能に連結されている。図１に示すように、連結部２０は少なくとも支持部１４の前方右側端部において前後方向に延びる軸線に沿う支軸２４回りに揺動自在に取り付けられた第１アーム２６と、第１アーム２６に一端が固定され前後方向に略水平に延びる揺動バー２８とを有する。また図２に示すように、揺動バー２８の他端は、支持部１４の後方右側端部において支軸３０回りに揺動自在に取り付けられた第２アーム３２に固定される。また揺動バー２８はその長手方向の略中央において、前後方向の軸線に垂直な左右方向に延びる軸線に沿いかつ走行部１６内を旋回可能に支持する走行部旋回軸３４に接続される。従って走行部１６は、旋回軸３４回りに旋回可能であるとともに、揺動バー２８の動作に伴って支軸２４及び支軸３０の回りにも旋回可能であり、故に走行部１６は、配管等の検査対象物の表面形状に応じて適宜姿勢を変えることができる。
【００２６】
なお走行部１８を支持部１４に連結する連結部２２については、連結部２０と勝手違いの構造とすることができる。すなわち、連結部２２は少なくとも支持部１４の前方左側端部において前後方向に延びる軸線に沿う支軸３６の回りに揺動可能に取り付けられた第３アーム３８と、この第３アーム３８に一端が固定され前後方向に略水平に延びる揺動バー４０とを有する。揺動バー４０の他端は、支持部１４の後方左側端部において支軸４２（底面図である図３を参照）回りに揺動可能に取り付けられた第４アーム４４に固定される。また揺動バー４０はその長手方向の略中央において、前後方向の軸線に垂直な左右方向に延びる軸線に沿い、かつ走行部１８内を旋回可能に支持する走行部旋回軸４６に接続される。従って走行部１８は、旋回軸４６回りに旋回可能であるとともに、揺動バー４０の動作に伴って支軸３６及び支軸４２回りにも旋回可能である。故に走行部１８も、配管等の検査対象物の表面形状に応じて適宜姿勢を変えることができる。
【００２７】
また一対の走行部１６、１８は、各々の走行部を直接連結する機構を持たない独立構造である。このため走行部１６、１８は、前後方向に延びる軸線について、独立かつ自由に旋回し、配管等の検査対象物の表面形状に応じて適宜姿勢を変えることができ、また一対の走行部１６、１８は相互間を同調する機構を持たないため、軽量かつ小型で簡易な駆動部を構成している。
【００２８】
次に検査装置１０が、配管等の検査対象物から脱落することを防止する構造について説明する。図１及び図３に示すように、アーム２６、３２、３８、４４の脇に取り付ける落下防止機構５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、５０ｄの位置を調整することで、それぞれのアームの上方向に旋回する動きはその調整範囲内で制限される。その結果、走行部１６、１８が検査対象物から大きく離脱することを制限できるため、検査装置１０が検査対象物より脱落することを防ぐことができる。
【００２９】
次に底面図である図３を用いて、走行部内の構造について説明する。走行部１６は、配管等の検査対象物の表面に磁着して該表面上を自走する複数（図示例では２つ）のマグネット車輪６０、６２と、マグネット車輪６０、６２を駆動するための駆動手段であるモータ６４とを有する。モータ６４は車輪毎に設けられてもよいが、検査装置全体のコンパクト化及び軽量化のために、図示例では１つのモータ６４で２つのマグネット車輪６０、６２を駆動している。またモータ６４として、より小型のモータを使用できるようにするために、図２に示すように、モータ６４の駆動軸６６を第1プーリ６８に平ベルト７０等で連結し、さらにプーリ６８を平ベルト７２等で第２プーリ７４に連結することにより、２段階の減速を行って高トルクを得ている。第２プーリ７４は車輪駆動シャフト７６に連結されており、車輪駆動シャフト７６には２つのウォームギヤ７８、８０が取り付けられている。ウォームギヤ７８、８０はそれぞれ、マグネット車輪６０、６２の回転軸８２、８４にそれぞれ取り付けられたウォームホイール８６、８８と係合し、これによりモータ６４の作動によりマグネット車輪６０、６２が回転できるようになっている。
【００３０】
図４は、マグネット車輪６０の構造を詳細に示す図である。マグネット車輪６０は、鉄等の磁性体から形成され略円板形状を有する２つの車輪部９０、９２と、両車輪部の間に挟まれる黄銅（Ｂｓ）等の非磁性体から形成された略円板形状の間挿材９４とを有する。車輪部９０、９２及び間挿材９４は同心配置され、また間挿材９４の直径は車輪部９０、９２の直径よりいくらか短い。またマグネット車輪６０の内部には、ネオジウム等の磁性材料から形成され略円環形状を有するマグネット９６が同心配置されており、これにより車輪部９０、９２はそれぞれＮ極及びＳ極（或いはその逆）として作用し、磁性材料からなる配管等の検査対象物の表面に磁着することができる。なおマグネット車輪６２もマグネット車輪６０と同様の構成でよいので、説明は省略する。
【００３１】
マグネット車輪６０、６２には、使用により汚れや異物が付着して円滑な走行の妨げになることがある。そこで図３に示すように、マグネット車輪６０、６２の車輪部９０、９２の表面を清浄に保つためのスクレーパ９８、１００を設けることが好ましい。スクレーパ９８、１００は、車輪部表面の掻き取り効果をより高めるために、固定式ではなく回転駆動式とすることが好ましい。この場合の回転方向は、対応する車輪の回転方向と同じであること、すなわち図５に示すようにスクレーパ及び車輪部の当接部分における移動方向が互いに異なるようにすることが好ましい。しかし、スクレーパ及び車輪の周速度が異なっていれば、両者の回転方向が異なっていても一定の掻き取り効果は得られる。
【００３２】
図３は、スクレーパ９８、１００の回転駆動手段について示している。走行部１６内において、上述の車輸駆動シャフト７６と平行に延びるスクレーパ駆動シャフト１０２が設けられ、シャフト７６に取り付けられた平歯車等のギヤ１０４及びシャフト１０２に取り付けられた平歯車等のギヤ１０６が互いに係合している。またスクレーパ駆動シャフト１０２には２つのウォームギヤ１０８、１１０が取り付けられている。ウォームギヤ１０８、１１０はそれぞれ、スクレーパ９８、１００の回転軸１１２、１１４にそれぞれ取り付けられたウォームホイール１１６、１１８と係合し、これによりモータ６４の作動によりスクレーパ９８、１００が回転できるようになっている。なお車輪駆動シャフト７６及びスクレーパ駆動シャフト１０２の回転方向は異なるので、ウォームギヤ１０８、１１０の溝方向をウォームギヤ７８、８０の溝方向と逆にするか、或いはウォームホイールの取り付け方向を逆にすることにより、マグネット車輪とスクレーパの回転方向を同じにすることができる。
【００３３】
なお本実施形態ではマグネット車輪の回転駆動とスクレーパの回転駆動とを1つのモータ６４で行っているが、それぞれ別個の駆動手段を用いてもよい。但し装置全体の軽量化の観点からは、１つの駆動手段でマグネット車輪及びスクレーパの双方を駆動できる構成が好ましい。
【００３４】
車輪に対するスクレーパの当接部分すなわちエッジ部の形状は、車輪部の表面の掻き取り作用を有するものであればどのような形状でもよいが、検査装置の前進時及び後退時の双方において掻き取り操作が行えるようになっていることが好ましい。例えば図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、径方向断面形状で示すスクレーパ９８は、その周方向に適当な角度間隔（好ましくは等間隔）で形成された４つの突部１２０を有し、各突部１２０の周方向両端にスクレーパの軸方向に延びるエッジ部１２２、１２４が形成されている。検査装置の前進時（図５（ａ））にはスクレーパのエッジ部１２２が車輪６０の表面の掻き取りを行い、逆に検査装置の後退時（図５（ｂ））にはスクレーパのエッジ部１２４が車輪６０の表面の掻き取りを行うようにすることができ、いずれの回転方向においてもエッジ部が掻き取りに好適な角度で車輪６０の表面に当接できるようになっている。なおスクレーパ１００についても同様の構成とすることができるので、説明は省略する。
【００３５】
上述のようにスクレーパと車輪とは同方向に回転するが、スクレーパによる掻き取りをより効率的に行うために、スクレーパの回転数の方が車輸の回転数より相当に高いことが好ましい。例えば図５に示すようなスクレーパを、車輪に対する回転数比１５：１で使用した場合は、スクレーパ１回転当たり４回の掻き取り操作が行われるので、車輪1回転中に６０回の掻き取り操作を行うことができる。このようにスクレーパのエッジ部の個数や回転数比を適宜設定することにより、好適な回数の掻き取り操作を行うことができる。
【００３６】
一般的なスクレーパは回転せずに固定配置されるものが多いが、そのようなスクレーパではスクレーパ自体に掻き取った汚れ等が付着又は堆積し、短時間で掻き取り効果が低下する虞があり、故に頻繁に清掃を行う必要がある。しかし積極的に回転駆動するスクレーパの場合は、掻き取った汚れ等はスクレーパに付着せずに落下する可能性が高く、故にスクレーパの清掃頻度を大幅に低減することができる。なおスクレーパの材質としては、マグネット車輪の磁力の影響を受けない非磁性体であってある程度の耐摩耗性を有するものが使用可能であり、例えばステンレス鋼が好ましい。
【００３７】
なお上述の実施形態では、走行部１６、１８を前後方向及び左右方向に揺動させるためにアーム、揺動バー及び旋回軸を用いた構造を利用したが、図６に概略図示するように、走行部１６、１８をそれぞれボールジョイント１３０、１３２によって支持部１４に連結することも可能である。このような構成によれば、各走行部は支持部に対して任意の姿勢をとることができ、配管等の検査対象物の表面上における段差等に対して、より柔軟な動作を行うことができる。
【００３８】
また検査装置１０の安定的な走行のためには、走行部１６の車輪６０、６２の配列方向、並びに走行部１８の車輪６０′、６２′の配列方向は、検査装置１０の進行方向（矢印１３４で図示）に対して正確な平行とせず、進行方向に対していくらか内向き、具体的には上記配列方向と進行方向とのなす角度γが０〜５°、好ましくは１〜３°内向きに傾斜していることが好ましい。このような角度γを安定的に維持するために、各走行部に隣接する支持部１４の部分には、概略図示するようなボールローラ１３６、１３８、１４０、１４２が設けられることが好ましい。ボールローラの先端すなわちボール部は対応する走行部の側面に当接するように構成され、これにより各走行部は上述の角度γを維持しつつ、ボールジョイントにより好適な姿勢をとることができる。
【００３９】
本発明に係る検査装置１０の支持部１４は、搭載された検査部１２と検査対象である配管等の表面との距離を調節するための調節機構を有することができる。ここで調節機構は、図１及び図３に示すような、図示しない検査対象物に当接するキャスタ、ボールローラ等の当接部材１５２、１５４、１５６及び１５８と、支持部１４に対する各キャスタの垂直方向距離すなわち高さを調節するボルト等の４つの調節部材１６０、１６２（キャスタ１５２、１５６用の２つのみ図示）とを有する。なおキャスタの個数は適宜選択可能であるが、通常検査部１２は底面視で略矩形形状を呈することが多いので、図示例のようにその支持部１４の底面において矩形の四隅に４つ設けられることが好ましい。またその場合、図３を概略図示した図７に示すように、対向する左右の車輪６０及び６０′の中心を結ぶ線上にキャスタ１５２、１５６が位置し、同様に対向する左右の車輪６２及び６２′の中心を結ぶ線上にキャスタ１５４、１５８が位置することが好ましい。このようにすると、車輪が検査対象物上の段差等に乗り上げると略同時にキャスタも段差に乗り上げることになるので、1つの段差を乗り越えるために複数回の振動や衝撃が生じることを避けることができる。
【００４０】
さらに、図７に示すように、キャスタの左右方向の間隔すなわちキャスタ１５２及び１５６（キャスタ１５４及び１５８）の間隔Ｓ１と、キャスタの前後方向の間隔すなわちキャスタ１５２及び１５４（キャスタ１５６及び１５８）の間隔Ｓ２とは、互いに等しい（すなわち４つのキャスタが正方形を呈する）ことが好ましい。このようにすると、検査装置が配管の長手方向に走行している場合と、周方向に走行している場合とにおいて、検査部１２と配管表面の測定部位との間隔を等しくすることができ、検査精度の向上を図ることができる。
【００４１】
本発明に係る検査装置によれば、配管等の検査対象物の表面上に段差等がある場合であっても、該段差に乗り上げることによる装置の落下等を防止することができる。しかし実際の検査対象物の表面には溶接部や腐食等、様々な突起や凹みが存在していることが多く、故に検査装置においては、そのような突起等に走行部が乗り上げたことに起因する振動が、走行部を介してセンサ等の検査部に及ぶことがある。またこれを防止するために、一部の従来の検査装置ではスプリングを用いて走行部からの振動を緩和する構成が採用されているが、スプリングの微細な振動や、スプリング自体の固有振動と走行部から伝わる振動との共振等により、高精度の検査が困難となる場合がある。
【００４２】
そこで本発明に係る検査装置は、図１〜図３及び正面図８に示すように、走行部からの振動や衝撃を吸収するためのダンパを有することができる。なおここでいうダンパとは、一般に振動や衝撃を吸収（減衰）するための装置を指し、粘性材料を利用した粘性ダンパ（オイルダンパ等のシリンダ型ダンパ）、ゲル等の粘弾性材料を利用した粘弾性ダンパ、ゴムやバネを利用した弾性ダンパ、鉛や低降伏点鋼を利用した弾塑性ダンパ（履歴ダンパ）、摩擦ダンパ、磁力ダンパ、電磁力ダンパ等を含む。以下に説明する実施形態ではその一例として、シリンダ型ダンパの一種であるダッシュポットを利用している。
【００４３】
検査装置１０は、支持部１４を構成する枠体の左右方向に対向する部材に一端が取り付けられ、他端が検査部１２の上面に係合して検査部１２を保持する略枠形状の保持部材１７０に取り付けられるダッシュポット１７２、１７４、１７６及び１７８を有する。各ダッシュポットは内部にオイルや粘性流体を有し、急激な振動や衝撃に対しては大きな抵抗を生じるが、緩やかな力に対してはそれに応じて変位するように構成されている。このように支持部１４と検査部１２とをダッシュポットで連結することにより、走行部１６、１８からの急激な又は高周波の振動等の影響が検査部１２に及ぶことを防止することができる。なお検査部１２は、上記ダッシュポット以外の手段によって支持部１４の底面近傍において支持部に固定されてもよいが、その場合には検査部１２と支持部１４との間にゴム等の緩衝材を間挿させることが好ましい。
【００４４】
また検査装置１０は、図２及び図３に示すように、揺動バー２８、４０に一端が固定され、支持部１４を構成する枠体の前後方向に対向する部材に他端が取り付けられたダッシュポット１８０、１８２を使用することも有効である。このような構成によれば、各走行部から揺動バーを介して伝達される衝撃等が支持部１４に及ぶことを防止し又は低減することができる。検査装置１０はさらに、図1及び図８に示すように、揺動バー同士を互いに接続するダッシュポット１８４を有してもよい。これにより、一方の走行部又はアームにおいて生じた衝撃や振動が他方の走行部又はアームに及ぶことを防止し又は低減することができる。
【００４５】
図示例ではダンパとしてダッシュポットを用いているが、ダッシュポットの代わりにあるいはそれに加え、上述の他種のダンパを使用してもよい。但しダンパとして例えばゲルのような無負荷の状態で保形性を有さない材料を使用する場合は、ダンパと並列に設けられるスプリングを併用して、走行部と検査部との位置関係を維持するようにしてもよい。また上述のダッシュポット１７２、１７４、１７６、１７８、１８０、１８２及び１８４のいずれか一部をスプリングに代替することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施形態に係る検査装置の外観斜視図である。
【図２】図１の装置を別角度からみた外観斜視図である。
【図３】図１の装置の底面図である。
【図４】マグネット車輪の構成例を示す図である。
【図５】（a）はマグネット車輪とスクレーパとの位置関係の概略図であり、（b）はマグネット車輪とスクレーパの回転方向が（a）とは逆の場合を示す図である。
【図６】走行部をボールジョイントで支持部に連結した構成例の概略図である。
【図７】車輪と調節機構との位置関係を模式的に示す図である。
【図８】図１の装置の正面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０    検査装置
１２    検査部
１４    支持部
１６、１８    走行部
２０、２２    連結部
５０a〜５０d    落下防止機構
６０、６２    マグネット車輪
６４    モータ
９８、１００    スクレーパ
１２２、１２４    エッジ部
１３０、１３２    ボールジョイント
１３６、１３８、１４０、１４２    ボールローラ
１５２、１５４、１５６、１５８    キャスタ
１６０、１６２    ボルト
１７２、１７４、１７６、１７８、１８０、１８２、１８４    ダッシュポット
【図１】
2010210310.tif 000003
【図２】
2010210310.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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