【事件の表示】
　特許第６６４６２３６号発明「パージノズルユニット、ロードポート、ストッカー」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第６６４６２３６号の請求項１ないし６に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第６６４６２３６号の請求項１〜６に係る特許についての出願は、平成２４年６月１１日に出願された特許出願（特願２０１２−１３２２１０号、以下「原出願」という。）の一部が、平成２９年４月４日に特許法第４４条第１項の規定による新たな特許出願（特願２０１７―７４１４５号、以下「第１世代分割出願」という。）とされ、更にその一部が平成３０年９月２６日に更に新たな特許出願とされたものであって、令和２年１月１５日にその特許権の設定登録がされ、令和２年２月１４日に特許掲載公報が発行された。その後、その特許に対し、令和２年８月１１日に特許異議申立人星正美は、特許異議の申立てを行った。
第２　本件発明
　特許第６６４６２３６号の請求項１〜６の特許に係る発明は、それぞれ、その特許請求の範囲の請求項１〜６に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】
基板が収容されるパージ対象容器の底面に設けた中空筒状のシール部であるポートを通じてパージ用気体を供給することで、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を前記パージ用気体に置換可能なパージノズルユニットであり、
前記パージノズルユニットは、前記パージ用気体を通過させ得る流路を有するノズルと、
前記ノズルを昇降可能な状態で保持するホルダとを備え、
前記ノズルは、上昇移動したとき前記ポートに接触するノズル頭部と、前記ノズル頭部の前記ポート側とは反対側に設けられる本体部とを有し、
前記ノズル頭部は前記本体部に対して交換可能に設けられる、
ことを特徴とするパージノズルユニット。
【請求項２】
前記中空筒状のシール部である前記ポートに接触する前記ノズル頭部は、金属製である、
請求項１に記載のパージノズルユニット。
【請求項３】
前記ホルダの側部に、固定用のネジ挿入孔を有する固定部を有する、
請求項１又は２に記載のパージノズルユニット。
【請求項４】
前記ノズルは、下降移動したとき前記ノズル頭部が前記ホルダに収容され、
前記ホルダは、前記本体部の外向き面に添接する側壁を有し、
前記本体部が挿通する貫通孔を有する請求項１から３のいずれかに記載のパージノズルユニット。
【請求項５】
前記パージ対象容器が載置される載置台に、請求項１から４いずれかに記載のパージノズルユニットが、前記パージ対象容器の前記ポートの位置に応じて複数取り付けられるロードポート。
【請求項６】
前記パージ対象容器を保管するストッカーであって、請求項１から４いずれかに記載のパージノズルユニットが取り付けられるストッカー。」
第３　申立理由の概要
　特許異議申立人星正美は、証拠として特開２００５−１６７１６８号公報（以下「文献１」という。）を提出し、請求項１、３、４、６に係る特許は特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものであり（以下「申立理由１」という。）、主たる証拠として特開２００４−３４５７１５号公報（以下「文献２」という。）、及び、従たる証拠として文献１、特開２０１１−１８７５３９号公報（以下「文献３」という。）、並びに特開２００３−６０００７号公報（以下「文献４」という。）を提出し、請求項１〜６に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり（以下「申立理由２」という。）、証拠として、特願２０１２−８７９９３号（以下「先願５」という。）（特開２０１３−２１９１５９号公報（「先願５公開公報」という。）を提出し、請求項１、２、５に係る特許は特許法第２９条の２の規定に違反してされたものであり（以下「申立理由３」という。）、また、証拠として、特願２０１２−１３２２１０号の出願時の特許請求の範囲、明細書および図面（以下「原出願明細書等」という。）、並びに、特開２０１３−２５８２０６号公報（以下「原出願公開公報」という。）を提出し、本件に係る分割出願（特願２０１８−１７９９２９号）は分割要件を満たさないので、請求項１〜６に係る特許は、原出願公開公報に記載された発明であり、特許法第２９条第１項及び同法同条同項第２項の規定に違反してされたものである（以下「申立理由４」という。）から、請求項１〜６に係る特許を取り消すべきものである旨主張する。
第４　文献の記載
１　文献１の記載、引用発明１、文献１に記載の技術
（１）文献１の記載（下線は合議体が付加した。以下同じ。））
「【技術分野】
【０００１】
本発明は保管ボックス内のクリーン度を維持するため、クリーンガスでパージし、且つクリーンガスの有効利用を高めた保管装置およびこのような保管装置を実現するためのパージバルブに関する。」
「【背景技術】
【０００２】
半導体の分野では、特にＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）において、集積度の向上に伴うパターンの微細化が進み、そのパターンの大きさはサブミクロン例えば０．１μｍにもなり、半導体の製造工程において半導体ウエハーの周囲環境のクリーン度がますます要求されるようになった。
【０００３】
　そこで、半導体ウエハーを収納するウエハーキャリア、またはウエハーの保管ボックスであるＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）等自体、特にＦＯＵＰ内をも常にクリーンに維持し保管する必要がある。そのためこれらＦＯＵＰ等の収納容器を常にクリーンに維持された保管装置に収納し、クリーン度の維持管理をしている。
・・・
【０００５】
　ＦＯＵＰにはガスを導入する開口孔があるためこのクリーンガスを直接、ＦＯＵＰ内に導入し、ＦＯＵＰ内をパージしクリーン度を維持している。・・・
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
・・・
【０００８】
　また、ＦＯＵＰはその底部にはクリーンガスをパージするための導入孔および排気孔がそれぞれ１つずつあり、その導入孔および排気孔にはチェック弁が付属されている。・・・
【０００９】
　そこで、本発明は保管装置の各保管室のクリーン度を維持するために必要な各保管室へ流すクリーンガスのロスを極力低減させることにより半導体ウエハー等の保管コストをも低減し、またクリーンルーム内への窒素ガスの漏れ流入も極力抑えることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
　上記問題を解決するため、本発明は、保管物、例えば、ウエハーキャリアやウエハー収納容器ＦＯＵＰをパージするために必要なときに、すなわち、これらウエハーキャリアの存在する保管室にのみクリーンガスをパージできるようにした収納容器の保管装置であり、ウエハー収納容器ＦＯＵＰとパージバルブを接続したときにのみ、すなわち、
収納容器の存在を感知したときにのみバルブが開き、クリーンガスをパージできる
【００１１】
　また、本発明は、パージバルブが
重量物の重量または機械的外力によってバルブを開閉させる
【００１２】
　前記オリフィスの直径は任意の大きさに交換し、流れるガスの量を任意に選定でき、前記ばねは、任意のばね定数のものに交換し、前記積載物の重量または機械的外力の大きさの感知を任意に選定できることを特徴とする。
保管装置は、複数の各分離独立した保管室を有し、保管室内に請求項１記載のパージバルブをそれぞれ設け、保管室に保管物が存在するときにのみにパージバルブが開放し、クリーンガスが保管室内に流れ込むように前記パージバルブが設置されている。
また、本発明は、ガス導入孔と、そのガス導入孔にチェック弁を取り付けたウエハー収納器ＦＯＵＰを前記パージバルブと該チェック弁が接続され、前記パージバルブが開となり該ウエハー収納器ＦＯＵＰ内を前記ガスによりパージされることを特徴とする。
前記クリーンガスは、たとえば窒素ガスまたはドライエアーまたは不活性ガスを使用する。
【発明の効果】
【００１３】
　本発明による
パージバルブは、パージバルブ作動部分に重量または機械的外力が加わるかどうかでバルブ開閉するため、対象物の存在の有無を確認してバルブ開閉が可能となる
「【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
　本発明の実施の形態を図面を参照し、詳細に説明する。図１は本発明のパージバルブの断面図である。本発明の
パージバルブ１とは、重量または機械的力によりバルブ開閉を行い、そのバルブ開閉動作によりガスのパージをコントロールするバルブである
図１（ａ）は、重量物が存在しないため重量がパージバルブのアクチュエータ２に掛かからないため閉じた状態を示し、図１（ｂ）は、本発明のパージバルブ１が載置された重量物の重量がパージバルブ１のアクチュエータ２に掛かり開いた状態を示す
アクチュエータ２とは、フランジ（１）１３、ピストンロッド８、ばね（１）１１からなる重量または機械的外力によってバルブ開閉作用を行う操作部をいう
【００１６】
　次に、本発明のパージバルブ１の構造について説明する。図１（ａ）において、
パージバルブ１は主として重量物の重量によってバルブ開閉させるアクチュエータ２、ガス通路２３、導通孔４、パージバルブ１の開時にクリーンガス供給源からクリーンガスの入ってくるクリーンガス導入孔５、パージバルブ１の開時にガス通路２３とクリーンガス導入孔５を導通孔４を介して導通させる中継導通孔６、パージバルブ１が閉時にクリーンガスの流れを遮断するシール材（１）７、バルブ開閉に上下駆動するピストンロッド８、ガス流量を調整するオリフィス３と、バルブ本体ハウジング１０、ピストンロッド８とバルブ本体ハウジング１０間をシールするシール材（２）９、重量物の有無によりアクチュエータ２を作動させるばね（１）１１、クリーンガス供給源とバルブ本体ハウジング１０を接続するフランジ（１）１２、アクチュエータ２と図示していないクリーンガス導入室を接続するフランジ（２）１３からなる
【００１７】
　次に、本発明のパージバルブ１の動作について説明する。
図１（ａ）において
クリーンガス供給源１８とバルブ本体ハウジング１０を接続フランジ（１）１２により接続され、アクチュエータ２と
保管室をフランジ（２）１３により接続されている
【００１８】
　
重量物が存在しないため、アクチュエータ２が、ばね（１）１１により上方に押し上げられたままの状態にあり開作動しないため、バルブが閉時にクリーンガスの流れを遮断するシール材（１）７によりパージバルブ１が閉状態にあるため保管室にクリーンガスが入り込まない
【００１９】
　
図１（ｂ）においては、重量物が存在するためアクチュエータ２が、ばね（１）１１の反発力に押し勝って下方に移動する
アクチュエータ２の作動とともにピストンロッド８も下方に移動し
シール材（１）７も下方に移動し、パージバルブ１の開時にガス通路２３とガス導入孔５が導通孔を介して導通させる中継導通孔６により開放される
【００２０】
　従って、クリーンガス供給源１８、クリーンガス供給管１９、クリーンガス導入孔５、オリフィス３、中継導通孔６、導通孔４、ガス通路２３および保管室まで導通し、クリーンガス供給源１８から保管室までのクリーンガスの通路が確保されるためこの順路で保管室にクリーンガス供給源１８からのクリーンガスが流れ込む。 以上、上記の動作手順により、本発明の
パージバルブ１の重量物の有無によりバルブ開閉の動作を行う
【００２１】
　また、次に本発明のパージバルブ１を利用した保管装置１４について図２、図３を参照して説明する。 図２に本発明の保管装置１４の正面図を示す。保管装置１４には複数の別個独立した保管室１５が組み込まれ内蔵している。それぞれの保管室１５内には、その底部にパージバルブ１を配置し、パージバルブ１の直ぐ上に支持台１７をアクチュエータ２に直結して接続し、支持台１７の上下動がそのままアクチュエータ２の上下動となるようにする。支持台１７は、ばね（２）２４により支持されている。 また、パージバルブ１の下側にクリーンガス供給管１９を接続配管し、クリーンガス供給管１９にはクリーンガス供給源１８に接続してクリーンガスを常に供給できる状態に設定している。供給するクリーンガスとしては、たとえば図示しないフィルターを通したクリーンな窒素ガスである。
【００２２】
　保管室１５に何も存在せず空き室の場合は支持台１７に直結しているパージバルブ１のアクチュエータ２が作動せず、パージバルブ１は閉の状態で保管室１５にクリーンガスは流れ込まない。 一方、
半導体ウエハーを収納したウエハーキャリア２０
保管装置１４内の支持台１７に載せる
アクチュエータ２が作動し、パージバルブ１が開に
【００２３】
　本発明を収納容器としてＦＯＵＰに適用した場合について図４を参照して説明する。
ＦＯＵＰ本体２１の底部には２つのチェック弁２２が設けられ
ＦＯＵＰ本体２１を保管装置または保管エリアに載置されると、クリーンガスを導入側のチェック弁２２に本発明のパージバルブ１に接続され、パージバルブ１が開状態になりクリーンガスがＦＯＵＰ本体２１内に入り込み、ＦＯＵＰ内圧により排気側チェック弁２２が開き、クリーンガスが排気されＦＯＵＰ本体２１内がクリーンガスよりパージされる
　図１（ａ）、（ｂ）、図３は、それぞれ以下のとおりである。
（２）引用発明１
　そうすると、文献１には、以下の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されていると認められる。
「重量物の重量によってバルブ開閉させるアクチュエータ２、ガス通路２３、導通孔４、パージバルブ１の開時にクリーンガス供給源からクリーンガスの入ってくるクリーンガス導入孔５、パージバルブ１の開時にガス通路２３とクリーンガス導入孔５を導通孔４を介して導通させる中継導通孔６、パージバルブ１が閉時にクリーンガスの流れを遮断するシール材（１）７、バルブ開閉に上下駆動するピストンロッド８、ガス流量を調整するオリフィス３と、バルブ本体ハウジング１０、ピストンロッド８とバルブ本体ハウジング１０間をシールするシール材（２）９、重量物の有無によりアクチュエータ２を作動させるばね（１）１１、クリーンガス供給源とバルブ本体ハウジング１０を接続するフランジ（１）１２、アクチュエータ２とクリーンガス導入室を接続するフランジ（２）１３からなるパージバルブ１であって、
アクチュエータ２とは、フランジ（１）１３、ピストンロッド８、ばね（１）１１からなる重量または機械的外力によってバルブ開閉作用を行う操作部をいい、
クリーンガス供給源１８とバルブ本体ハウジング１０が接続フランジ（１）１２により接続され、アクチュエータ２と保管室をフランジ（２）１３により接続されており、パージバルブ作動部分に重量物が存在しないときは、アクチュエータ２が、ばね（１）１１により上方に押し上げられたままの状態にあり作動せず、パージバルブ１が閉状態となり、
パージバルブ作動部分に重量物が存在するときは、アクチュエータ２が下方に移動し、ピストンロッド８も下方に移動し、シール材（１）７も下方に移動し、パージバルブ１の開時にガス通路２３とガス導入孔５が導通孔を介して導通させる中継導通孔６により開放され、
底部に２つチェック弁２２が設けられたＦＯＵＰ本体２１が、保管装置または保管エリアに載置されると、アクチュエータ２が作動し、クリーンガス導入側のチェック弁２２に当該パージバルブ１が接続され、開状態になり、クリーンガスがＦＯＵＰ本体２１内に入り込み、ＦＯＵＰ内圧により排気側チェック弁２２が開き、クリーンガスが排気されＦＯＵＰ本体２１内がクリーンガスよりパージされる、パージバルブ１。」
（３）文献１に記載の技術
　上記（１）で摘記の記載を総合的に参酌すると、文献１には、「パージバルブ１において、フランジ（２）１３、ピストンロッド８、ばね（１）１１、及びシール材（１）７を保持するバルブ本体ハウジング１０。」という技術的事項が記載されていると認められる。
２　文献２の記載と引用発明２
（１）文献２の記載
「【請求項１】
製品を収容する容器に形成されたポートと、前記容器が載置される台に形成されたポートとを、シール部材を介して略当接させ、前記台側のポートと前記容器側のポートとの間において、前記容器内部に対してガスの供給あるいは排気の少なくとも一方を行うガスラインを形成するシステムであって、前記シール部材は、前記台側のポート開口端部において当該開口の外周を囲んで固定されるリング形状からなる本体部と、前記本体部のリング形状の内周部より前記本体部が固定された側の開口端部とは異なる他方の開口端部方向に概略向かって伸びる第一のリップ部と、前記本体部のリング形状の外周部より前記本体部が固定された側の開口端部とは異なる他方の開口端部方向に概略向かって伸びる第二のリップ部と、前記本体部において前記第一および第二のリップ部の間に前記第一および第二のリップ部が形成されていない端面に貫通する孔とを有し、
前記台は、前記孔と連通し、排気系に接続されるガス流路を有することを特徴とするシステム。」
「【０００１】
【発明の属する技術の分野】
本発明は、半導体、フラットパネルディスプレイ用のパネル、光ディスク等、高清浄な環境下にてそのプロセスが行われる物品の製造工程において、当該物品収容のために用いられる
製品収容容器、および当該容器の開閉操作を行うためのいわゆるロードポートに関する
ＦＯＵＰ（ｆｒｏｎｔ−ｏｐｅｎｉｎｇ ｕｎｉｆｉｅｄ ｐｏｄ）において、その内部に封入された気体を置換するパージシステムに関する
「【０００４】
具体的には工場全体の清浄度を高めるのではなく、製造工程内における各処理装置内およびその間の移動中における
保管用容器（以下、ポッドと呼ぶ）
このポッドを、上述のごとくＦＯＵＰと総称している
「【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
リング状の形状を有するいわゆるパッキンが、シール部材として従来より用いられている。当該パッキンを用いた場合におけるポッド側排気（給気）ポート、台側排気（給気）ポートの概略断面図を、図８Ａおよび８Ｂに示す。図８Ａは、シール部材が、上部開口に向かうに従ってその内径が小さくなる湾曲内面形状を有する、いわゆるドーム型の形状を有するシール部材１８ａを用いた場合を示す。また図８Ｂは、シール部材が、上部開口に向かうに従ってその内径が大きくなる湾曲内面形状を有する、いわゆる漏斗型の形状を有するシール部材１８ｂを用いた場合を示す。
・・・
【００１３】
従って、ドーム型形状のシール部材と漏斗型形状のシール部材とは共用することが困難であり、各々そのシールすべき環境が正圧であるか負圧であるかに応じて使い分ける必要がある。さらに、これらシール部材が記すべき環境は、一般的にその圧力が変化するため、個々のシール特性が環境圧の変化に伴って変化するため、
一定のシール特性を確保するためにはこれらシール部材に対してこれを押しつぶす加重を付加して一定以上の変形を与えておく必要がある
繰り返して変形されるうちにシール部材が塑性変形してしまい、当該シール部材の交換頻度が高くなる
・・・
【００１５】
本発明は、上記課題に鑑みて為されたものであり、シール内環境の圧力の正圧、負圧等の変化にかかわらず良好なシール特性を示し得るパージシステムの提供を目的とするものである。また、同時に本発明は、
シール部材を過大に変形させる大きな変形加重、厳しいシール面精度を達成しなくとも良好なシール特性を示し得るパージシステムの提供をも目的とする
「【００１８】
また、上記課題を解決するために、
本発明に係るパージシステムは、製品を収容する容器に形成されたポートと容器が載置される台に形成されたポートとをシール部材を介して略当接させ、台側のポートと容器側のポートとの間において容器内部に対してガスの供給あるいは排気の少なくとも一方を行うガスラインを形成するシステム
「【００２１】
【実施の形態】
本発明の一実施の形態に関して、図面を参照して以下に説明する。図１は、本発明に係るシステムに好適に用いられるシール部材の斜視図および部分断面図に関するものであり、図２は、図１に示すシール部材の線２−２における断面図を示したものである。本発明に係るシステムに用いられるシール部材２０は、二重シール構造を有しており、略リング形状からなる本体部２０ａ、本体部２０ａの一端面上の内周側に形成された内周リップ２０ｂ、本体部２０ａにおける内周リップ２０ｂが形成された端面上の外周側に更に形成された外周リップ２０ｃとから構成されている。また、本体部２０ａにおける内周リップ２０ｂと外周リップ２０ｃの間には、本体部２０ａの一端面から他端面に抜ける吸引孔２０ｄが複数個設けられている。
【００２２】
内周リップ２０ｂは、その上方に向かうに従って内径が小さくなる、シール部材２０の中心軸に対してのドーム型形状を有している。また、外周リップ２０ｃは、その上方に向かうに従って内径が大きくなる、中心軸に対しての漏斗型形状を有している。これら構成とすることにより、シール内環境が正圧に保たれる場合には、ドーム型形状を有する内周リップ２０ｂが、また、シール内環境が負圧に保たれる場合には漏斗型形状を有する外周リップ２０ｃが、
各々好適にシール作用をしめすため、シール内環境の圧力によらず良好なシール特性が得られる
２種類のリップが各々異なる動作を示すことから
シール部材を押しつぶすための加重がわずかな場合であっても、良好なシール特性を得ることが可能となる
【００２３】
また、上述の如く、本例に示すシール部材２０には、吸気孔２０ｄが設けられている。当該吸気孔２０を介することによって、シール部材２０における内周リップ２０ｂおよび外周リップ２０ｃが各々ポッド側ポート端部と当接した際に、内周リップ２０ｂ、外周リップ２０ｃおよびポート端部によって形成される空間内部を排気することが可能である。この排気操作によって、シール部材２０はポッド側ポート端部とより強力に密着することとなり、シール特性を更に改善することが可能となる。また、当該操作を行うことにより、シール面の精度が低い場合、あるいは
シール部材を押しつぶすための加重がわずかな場合であっても、シール部材自身が能動的にシール作用を呈することで、良好なシール特性を得ることが可能となる
【００２４】
なお、本例においては、シール部材に吸気孔を設けることとしているが、仮にこれら吸引孔を有さない構成とし、複数のリップを有するだけの構成としても良い。なお、本例においては、二重シールにおける個々のリップ形状をそれぞれドーム型形状および漏斗型形状としたが、本発明はこれに限定されない。具体的には、シール内環境における圧力によって、各々のリップが異なる方向に変形するような形状を有することとすれば、同様の効果が得られる。また、個々のリップ形状を同一の形状からなるものとした場合であっても、本実施例における吸気孔と同等の作用を有する構成を複数のリップの間に設けることにより、シール部材とポート端部との密着性を高める効果が得られる。
【００２５】
（第一の実施の形態）
次に、本発明の
第一の実施の形態に係るシステムを
ＦＯＵＰに関するシステムに対して適用した場合
【００２６】
図３は、台５３の概略斜視図を示している。
台５３の表面には位置決めピン１２、給気ポート１４および排気ポート１６が設けられている
これら給排気ポート１４、１６の開口部には、本発明に係るシール部材２０が配置されている
【００２７】
以下、図面を参照して本発明を適用した
ＦＯＵＰシステムにおけるパージ操作等について説明する
まず、内部に半導体ウエハ１を収容し、蓋４によってその内部が密閉空間とされたポッド２が台５３上方まで運ばれる
台５３上に載置される
この状態において、ポッド側の給気ポート７および排気ポート９は、各々シール部材２０を介して台５３側の給気ポート１４および排気ポート１６と当接している
【００２８】
ここで、吸気ライン１９を用いて、
シール部材２０とポッド２側の給排気ポート端部との間に形成される空間２０ｅ内部を排気する操作を行う。当該操作によって、空間２０ｅは減圧され、シール部材２０は、この減圧空間２０ｅの効果によって、当接するポッド２側の給排気ポート端部と強固に密着することとなる
当該操作終了後、あるいは当該操作を継続しながら、ポッド２内部のパージ操作を行う
ポッド２内部雰囲気の置換が行われる
【００２９】
本発明に係るシステムを上述の如くロードポートに用いることによって、給気および排気ラインが各々正圧あるいは負圧いずれに保たれているにもかかわらず、これらラインは外部環境に対して十分なシール特性を保ちながら当該状態を維持することが可能となる。従って、ポッド２内部に対して、従来と比べてより大きな流速でもって置換ガスを送ることが可能となる等、より効果的に雰囲気置換を行うことが可能となる。また、上述の減圧空間２０ｅの内部圧力を、吸気ライン１９を介してモニタすることにより、シール部材２０のシール状態をモニタすることも可能である。」
図１〜５は、それぞれ以下のとおりのものである。
（２）引用発明２
　そうすると、文献２には、以下の発明（以下「引用発明２」という。）が記載されていると認められる。
「製品を収容する容器であるポッド（ＦＯＵＰ）に形成されたポートと、前記容器が載置される台に形成されたポートとを、シール部材を介して略当接させ、前記台側のポートと前記容器側のポートとの間において、前記容器内部に対してガスの供給あるいは排気の少なくとも一方を行うガスラインを形成するシステムであって、前記シール部材は、前記台側のポート開口端部において当該開口の外周を囲んで固定されるリング形状からなる本体部と、前記本体部のリング形状の内周部より前記本体部が固定された側の開口端部とは異なる他方の開口端部方向に概略向かって伸びる第一のリップ部と、前記本体部のリング形状の外周部より前記本体部が固定された側の開口端部とは異なる他方の開口端部方向に概略向かって伸びる第二のリップ部と、前記本体部において前記第一および第二のリップ部の間に前記第一および第二のリップ部が形成されていない端面に貫通する孔とを有し、
前記台は、前記孔と連通し、排気系に接続されるガス流路を有するシステムであって、
台５３の表面には位置決めピン１２、給気ポート１４および排気ポート１６が設けられ、給排気ポート１４、１６の開口部には、本発明に係るシール部材２０が配置され、
ＦＯＵＰシステムにおけるパージ操作において、
まず、内部に半導体ウエハ１を収容し、蓋４によってその内部が密閉空間とされたポッド２が台５３上方まで運ばれ、台５３上に載置され、この状態において、ポッド側の給気ポート７および排気ポート９は、各々シール部材２０を介して台５３側の給気ポート１４および排気ポート１６と当接し、
シール部材２０とポッド２側の給排気ポート端部との間に形成される空間２０ｅ内部を排気する操作を行うことによって、空間２０ｅは減圧され、シール部材２０は、この減圧空間２０ｅの効果によって、当接するポッド２側の給排気ポート端部と強固に密着することとなり、
当該操作終了後、あるいは当該操作を継続しながら、ポッド２内部のパージ操作を行い、ポッド２内部雰囲気の置換が行われ、
シール部材を押しつぶすための加重がわずかな場合であっても、良好なシール特性を得ることが可能となる、システム。」
３　文献３の記載
「【技術分野】
【０００１】 
　本発明は、半導体デバイスやガラス基板を用いたデバイス等の製造において、半導体ウェハ基板やガラス基板を収容するキャリアカセット等の容器内にガスを注入するガス注入装置、ガス排出装置、ガス注入方法及びガス排出方法に関する。」
「【００２５】
 [第１の実施形態]
　図１は、本発明の第１の実施形態に係るガス注入装置としてのロードポートを示す斜視図である。図２は、そのロードポート１００を示す平面図である。
【００２６】
　ロードポート１００は、半導体デバイスの各種の製造工程で使用される製造装置間のインターフェースの機能を有する。
【００２７】
　
ロードポート１００は
キャリア１０（キャリアカセット）を載置させる載置台２を有している
キャリア１０は、密閉容器としてのＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）が用いられる
【００２８】
　
載置台２は
キャリアベース２１とを有する
・・・
【００３１】
　
キャリアベース２１の周縁部には、キャリアベース２１上に載置されたキャリア１０内に不活性ガスを注入するための３つの注入ノズル５（５ａ、５ｂ、５ｃ）が配置され、また、キャリア１０内のガスを排出するための１つの排出ノズル５’が配置されている
注入ノズル５及び排出ノズル５’は、それぞれノズルホルダ６により保持されている
・・・
【００３６】
　
ノズルホルダ６は、下部に設けられた円柱状の凹部６２ａを有する本体６２と、凹部６２ａを塞ぐように本体６２上に設けられたカバー６１とを有し、注入ノズル５ａを昇降可能に保持する
　図４、６は、以下のとおりである。
　上記記載を総合的に参酌すると、文献３には、「ロードポートにおける、キャリア１０（ＦＯＵＰ）を載置させる載置台２が有するキャリアベース２１の周縁部に配置され、キャリア１０内に不活性ガスを注入するための注入ノズル５（５ａ、５ｂ、５ｃ）、排出ノズル５’を保持するノズルホルダ６について、下部に設けられた円柱状の凹部６２ａを有する本体６２と、凹部６２ａを塞ぐように本体６２上に設けられたカバー６１とを有し、注入ノズル５ａを昇降可能に保持するノズルホルダ６。」という技術的事項が記載されていると認められる。
４　文献４の記載
「【００４９】図６は、
基板処理装置に備えられたロードポート装置
３００は、基板処理装置２１に備えられたロードポート装置を示す
【００５０】３０Ａは、ロードポート基台を示す。また、
３１は、ロードポート基台３０Ａの上に備えられたキネマ面を示
キネマティックピン３１Ａと、ウェーハキャリア１００に備えられたＶ溝１３とが嵌まりあって、ウェーハキャリア１００がロードポート装置３００に載置される際の位置を決定する
【００５１】また、
ロードポート基台３０Ａ、キネマ面３１、キネマティックピン３１Ａを含んで、ロードポート装置３００の台部３０が構成される
・・・
【００５４】図７は、
ロードポート装置３００に備えられた、ウェーハキャリア１００内部を加圧するための気体供給手段の概念を示す
【００５５】１５は、ウェーハキャリア１００内部を加圧するためのクリーンな乾燥高圧気体の供給源に接続されたバルブ、例えば電磁弁である。このバルブ１５が開くことにより、供給源から、ウェーハキャリア１００内部に乾燥高圧気体が供給される。また、このバルブ１５に並列に、減圧弁１５Ａが備えられており、これによって気体の供給量を調節することができる。
・・・
【００５７】
また、１８は、ウェーハキャリア１００に備えられた導入口１４に接続される接続部を示す。この接続部は、ウェーハキャリア１００がキネマ面３１に載置されると、これに連動して自動的に導入口１４に接続されるようになっている
【００５８】
バルブ１５、圧力センサ１６、制御手段１７、接続部１８を含めて、気体供給手段４００が構成される
【００５９】次に、
基板の移送方法について説明する
【００６２】次いで、
ウェーハキャリア１００を
基板処理装置２１に備えられたロードポート基台３０A上のキネマ面３１上へ降ろして所定位置にセットする
ウェーハキャリア１００は、そのベースプレート面１２に設けられたＶ溝１３に、キネマ面３１の上面に設けられたキネマティックピン３１Ａが嵌まることにより、ロードポート基台３０Ａの上の適切な位置に載置される
【００６３】
キネマ面３１に、ウェーハキャリア１００が載置されると、これに連動して
気体供給手段４００の接続部１８が
導入口１４に接続される
【００６４】また、ホイスト機構２２を、ウェーハキャリア１００から外し、ウェーハキャリア１００をロードポート基台３０A上に残す。その後、ウェーハキャリア１００を前進させて、キャリアドア２と、ロードポートドア３２をドッキングさせる。ウェーハキャリア１００は前進し、ロードポートドア３２のＦＩＭＳシール面に押し当てられる。
【００６５】この間、ウェーハキャリア１００内部への気体の導入は、少なくとも引き抜かれるキャリアドア２の体積分を補うまでは続けられる。」
図６、７は、以下のとおりである。
　上記記載を総合的に参酌すると、文献４には、以下の技術的事項が記載されていると認められる。
「基板処理装置２１に備えられたロードポート装置３００であって、
　ロードポート基台３０Ａ、キネマ面３１、キネマティックピン３１Ａを含んで、ロードポート装置３００の台部３０が構成され、
　キネマティックピン３１Ａと、ウェーハキャリア１００に備えられたＶ溝１３とが嵌まりあって、ウェーハキャリア１００がロードポート装置３００に載置される際の位置が決定され、
　ロードポート装置３００に備えられた、ウェーハキャリア１００内部を加圧するための気体供給手段４００において、
　ウェーハキャリア１００に備えられた導入口１４に接続される接続部１８は、ウェーハキャリア１００がキネマ面３１に載置されると、これに連動して自動的に導入口１４に接続されるようになっており、
　バルブ１５、圧力センサ１６、制御手段１７、接続部１８を含めて、気体供給手段４００が構成される、気体供給手段４００に関し、
　基板の移送方法については、
　ウェーハキャリア１００を、基板処理装置２１に備えられたロードポート基台３０Ａ上のキネマ面３１上へ降ろして所定位置にセットすることで、ウェーハキャリア１００は、そのベースプレート面１２に設けられたＶ溝１３に、キネマ面３１の上面に設けられたキネマティックピン３１Ａが嵌まることにより、ロードポート基台３０Ａの上の適切な位置に載置され、
　キネマ面３１に、ウェーハキャリア１００が載置されると、これに連動して、気体供給手段４００の接続部１８が、前記導入口１４に接続される、ロードポート装置３００。」
５　先願５明細書等の記載、先願５発明
（１）先願５明細書等の記載
　先願５の願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（以下先願５の願書に最初に添付した明細書を「先願５明細書」といい、先願５の願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面をまとめて「先願５明細書等」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
「【技術分野】
【０００１】 
　本発明は、ロードポートなどで用いられる基板収納用の容器の搬入出装置及び容器の搬入出方法に関する。」
「【０００９】
１…FOUP（容器）の搬入出装置、1a…搬入出装置本体（装置基礎部）、 ５…FOUP（フープ、容器）、 10…載置台、10a…載置台の前端、11,11a,11b…位置決めピン、11g…前側ゲート部、 12…クランプ部材、12a…爪部、13…検知ピン、20…スライド機構、 21…スライド機構本体、21a…ガイドレール、22…スライダ、23…アクチュエータ、 23a…エアシリンダ、23b…ロッド、23c…コイルバネ、23d…連結部材、 30…回転機構、31…回転基部、32…回転体、 40…ガイド機構、41…第１直動ガイド部、42…回転ガイド部、 43…第２直動ガイド部、44…ガイドピン（フォロア）、 50…ノズルユニット、
51…給気ノズル（給排気ノズルの一つ）
51a…ノズルポート
52…排気ノズル（給排気ノズルの一つ
52a…ノズルポート
「【発明を実施するための形態】
【００１０】
　以下、本発明に係る基板収納用のFOUP（容器）の搬入出装置について、図面を参照しつつ説明する。 図１に示すように、
搬入出装置１は
載置台10と
載置台10上に載置されたFOUP５内のパージを行うためのノズルユニット50と、を備えている
【００１１】
　載置台10は、載置台10の上面から上方に突出する状態で設置された位置決めピン11(11a,11b)と、FOUP５をクランプするためのクランプ部材12とを備えている。
【００１２】
　本実施形態で用いられている載置台10は、３本の位置決めピン11を備えている。載置台10に移載されたFOUP５は、３本の位置決めピン11の上に載置された状態で支持される。FOUP５は、その底面に、位置決めピンの先端が差し込まれるＶ溝（不図示）を備えている。従って、FOUP５は、３本の位置決めピン11によって載置台10上の所定のFOUP載置位置（図２のフープＦの位置参照）に確実に位置決めされる。
　３本の位置決めピン11の先端位置は同一高さであり、FOUP５は載置台10上の所定のFOUP載置位置に水平状態で支持される。なお、FOUP載置位置の高さは、基板搬入出位置の載置台10に載置されたFOUP５の高さ位置と同じである。 ３本の位置決めピン11の配置は、載置台10の前側（基板の搬入出側）に２本、後側（FOUPの搬入出側）に１本である。前側に配置された２本の前側位置決めピン11a,11aは、載置台10の前部の左右両側に離間して配置されており、両位置決めピン11a,11aの間には、幅広のゲート幅の前側ゲート部11gが形成されている。
　また、載置台10の上面から３本の位置決めピン11の先端までの長さ（高さ）は、位置決めピン上に載置されたFOUP５の底面と載置台10の上面との間に作業空間S1（図２）が形成される長さである。そして、作業空間S1の載置台10の前方側には、前述した前側ゲート部11gが位置している。
　作業空間S1は、例えば、後述するように、フォーク部Ｔ（図５（Ａ）参照）を備えた移載機（移載機、不図示）を用いて位置決めピン11上にFOUP５を移載する際に利用される空間である。この作業空間S1があると、所定のフープ載置位置に対してFOUP５を、フォーク部Ｔを用いて容易に搬入出することができると共に、FOUP５の移載後に、FOUP５を昇降させなくて済む。
【００１３】
　クランプ部材12は、載置されたFOUP５を載置台10に対して固定するためのものであり、FOUP５を載置台10にクランプするロック位置（図３の二点鎖線の位置参照）と、クランプが解除されるアンロック位置（図３の位置参照）とに回動可能になっている。そして、クランプ部材12は、その先端にクランプ用の爪部12aを備えている。従って、クランプ部材12をロック位置に回動させるとFOUP５が載置台10に固定され、アンロック位置に回動させるとFOUP５が載置台10から搬出可能な状態になる。
　なお、符号「13」で示されているものは、載置台10へのFOUP５の搬入を検知する手段である検知ピンである。
【００１４】
　図３に示すように、スライド機構20は、回転機構30に回転可能に設置されたスライド機構本体21と、スライド機構本体21に対してスライド可能に設置されたスライダ22と、スライド機構本体21に設置されたアクチュエータ23とを備えている。
・・・
【００１６】
　アクチュエータ23はエアシリンダ23aを備えている。・・・
　より具体的には、載置台10は、ロッド23bが最も縮んだとき（没したとき、図３参照）、回転位置に位置する（図５（Ｂ）及び（Ｃ）参照）。このとき、スライダ22は回転時位置である。
　そして、ロッド23bがFOUP搬入出の向きD1に向いた状態（図５（Ａ），（Ｂ）参照）で伸びると（突出すると）、載置台10が所定のフープ搬入出位置に位置する（図５（Ａ）参照）。また、ロッド23bがロードポートドアの向きD2に向いた状態（図５（Ｄ）参照）で伸びると、載置台10が所定の基板搬入出位置（図５（Ｄ）参照）に位置する。
・・・
【００１７】
　回転機構30は、搬入出装置本体1a（以下、装置本体と称する）に設置された回転基部31と、回転基部31に対して回転可能に支持された回転体32と、回転体32を回転させる駆動源（不図示）とを備えている。つまり、回転基部31は、装置本体1aに固定されている。別言すれば、回転基部31は、載置台10のFOUP搬入出位置や基板搬入出位置に対する相対位置が一定である。・・・
【００１８】
　図４に示すように、ガイド機構40は、装置本体1aに設置されたガイド部41,42,43と、載置台10に設置されたフォロア（被ガイド部）44とを備えている。
　フォロア44は、載置台の下面から下方に延びる状態に設置されたガイドピンであり、載置台10と一体的にスライドすると共に回転する。
　そして、ガイド部41〜43は、ガイドピン44の動きをガイドすることによって載置台10の動きをガイドするものであり、第１直動ガイド部41と、回転ガイド部42と、第２直動ガイド部43と、を備えている。
　第１直動ガイド部41は、載置台10の進退移動方向D3（図４）に延在する第１ガイド段差部で構成されている。この第１直動ガイド部41は、FOUP搬入出位置（図５（Ａ）参照）と回転位置（図５（Ｂ）参照）との間に位置する載置台10が進退移動方向D3にのみ移動し且つ回転しないように、ガイドピン44をガイドする。
　回転ガイド部42は、円弧形状の円弧ガイド段差部で構成されている。この回転ガイド部42は、回転位置に位置する載置台10の前端10aがポートドアの向きD2に向く状態（図１、図５（Ｃ）参照）になる基板搬入出時回転位置と、載置台10の前端10aがFOUP搬入出の向きD1に向く状態（図５（Ａ）及び（Ｂ）参照）になるようにFOUP搬入出時回転位置との間で回転し、且つ進退移動方向D3には移動しないように、ガイドピン44をガイドする。つまり、回転ガイド部42は、１８０°反転する載置台10の回転動作をガイドするものである。また、載置台10が回転位置に位置するとき、載置台10の中心と回転機構30の回転体32の中心とが合うようになっているので、載置台10の回転動作に必要なスペースが最小となる。
　第２直動ガイド部43は、載置台10の進退移動方向D3に延在する第２ガイド段差部で構成されている。この第２直動ガイド部43は、回転位置と基板搬入出位置（図５（Ｄ）参照）との間に位置する載置台10が進退移動方向D3にのみ移動し且つ回転しないように、ガイドピン44をガイドする。
　このようなガイド部41〜43によってガイドされるガイドピン44は次のような位置に位置する。つまり、載置台10がFOUP搬入出位置（図５（Ａ）参照）のとき、ガイドピン44はFOUP搬入出時位置P1（図４参照）である。そして、載置台10が回転位置のとき、ガイドピン44は載置台10の回転状態に連動して、一方の回転終端位置（FOUP搬入出側回転終端位置）P2と他方の回転終端位置（基板搬入出側回転終端位置）P3との間の回動位置（例えば位置P9）である。また、載置台10が基板搬入出位置（図５（Ｄ）及び（Ｅ）参照）のとき、ガイドピン44は基板搬入出時位置P4である。
　なお、各ガイド部41〜43は、本実施の形態では段差部であるが、これに限られるものではない。例えば、ガイドピンを案内する溝構造であってもよい。
【００１９】
　
ノズルユニット50は、載置台10に載置されたFOUP５内に不活性ガス（パージ用気体）を充填するため給気ノズル51と、FOUP５内のガスを排出するための排気ノズル52と、これらのノズル51,52を支持するノズル支持体53と、ノズル支持体53を昇降させる昇降機構54とを備えている
ノズルユニット50は、
FOUP５内に対して、
パージ用の気体を給排気する際に用いられる
　
ノズル支持体53は、載置台10よりも高い位置まで上昇可能とされている
載置台10の基板搬入出位置への移動が完了した状態で、ノズル支持体53を上昇させて（図５（Ｅ）の状態）、パージ動作を行うことができる
　
昇降機構54は
ノズル支持体53を通気位置（図５（Ｅ）参照）と下降位置（図５（Ｄ）参照）とに昇降させるものである
ノズル支持体53は、
FOUP５が載置された載置台10が基板搬入出位置（図５（Ｄ）参照）に位置するとき、通気位置に上昇される
ノズル支持体53が通気位置に上昇されると、給気ノズル51及び排気ノズル52が、載置台10のFOUP５の底面に形成された対応するノズルポート（不図示）に接続される
　
尚、容器メーカーによっては、給気用のノズルポートがFOUPの後方側の底面（FOUPドアと反対側の底面）に、排気用のノズルポートがFOUPの前方側の中央寄りの底面（FOUPドア側の底面）に設けられる場合がある。本実施の形態に係る搬入出装置１は、図３に示すように、載置台10における位置決めピン11bの両側にノズル支持体55,55を設けており、そのノズル支持体55,55に給気用ノズル51a,51aを、また、ノズル支持体53のノズル51,52よりも内側の位置に、別のノズル52a,52aを設けている
　これにより、本実施の形態に係る搬入出装置１における
昇降機構54内の給気配管は、各容器のノズルポートの位置に合わせ、給排気口を変更できるように切り替え可能となっており、且つ、給気・排気の経路も接続により容易に変更可能としている
【００２０】
　このような
搬入出装置の動作を図５を参照しつつ説明する
　ここでは、搬入工程を起点として動作説明を行う。搬入工程は、搬入出装置１の載置台10の位置決めピン11上にFOUP５を移載する工程である。そして、ここでは、FOUP５を移載する手段として、移載対象のFOUP５を載置台10まで搬送して移載するフォーク部Ｔを備えた移載機（不図示）を用いている。
　なお、搬入工程の実行開始時、移載対象のFOUP５は、移載機のフォーク部Ｔの上に載置されており、搬入出装置１の載置台10は、フープ搬入出位置（図５（Ａ）参照）に位置している。従って、スライド機構20のエアシリンダ23aのロッド23bは、載置台10がフープ搬入出位置に位置する状態になるまで突出した状態である。このとき、スライダ22は、FOUP搬入出時位置であり、ガイドピン44は、フープ搬入出時位置P1（図４参照）である。
【００２１】
　搬入工程では、まず、移載機のフォーク部Ｔを動作させて、フォーク部Ｔ上のFOUP５を載置台10上に位置させ、その後、フォーク部Ｔを下降させて、FOUP５を位置決めピン11上に載置する（移載動作、図５（Ａ）参照）。すると、検知ピン13がFOUP５が載置されたことを検知する。そして、これにより、FOUP５が位置決めピン11によって所定のFOUP載置位置に位置決めされた状態で支持される。
　なお、搬入工程では、載置台10は、その前端10a（図１参照）がFOUP搬入出の向きD1に向いた状態（図５（Ａ）参照）になっており、幅広のゲート幅の前側ゲート部11gがFOUP搬入出の向きD1に向けられている。従って、フォーク部Ｔを前側ゲート部11gから移載したFOUP５の底面と載置台10の上面との間に形成された作業空間S1内に挿入することができる。また、FOUP５は、蓋体で閉じられた開口が載置台10の前端10a側に向けられた状態で、載置台10上に移載される。
　その後、フォーク部Ｔをさらに下降させて、移載したFOUP５の底面からフォーク部Ｔを離間させた後（フォーク部下降動作）、フォーク部Ｔを作業空間S1から抜き取るように移動させる（退避動作）。これにより、搬入工程が完了する。ここで、作業空間S1は、前述した移載動作、フォーク部下降動作、および退避動作を行うことが可能な空間である。位置決めピン11の高さは、これら３つの動作を十分に行うことができるように設定される。
【００２２】
　次に、クランプ工程を実行する。クランプ工程は、載置台10に移載されたFOUP５を載置台10に対して固定する工程である。
　クランプ工程では、アンロック位置に位置するクランプ部材12をロック位置に向けて立ち上がるように回動させる。すると、クランプ部材20の先端の爪部がFOUP５の底面の係合部に係合し、FOUP５が載置台10に固定される。FOUP５を載置台10に固定すると、載置台10をロードポートドア側に向けて移動させる際、FOUP５の脱落等が確実に防止される。本クランプ工程は、クランプ部材12の動作だけであり、載置台10を昇降させるような動作は不要である。従って、搬入工程が完了すると、迅速にクランプ工程を実行してクランプ状態にすることができる。
【００２３】
　次に、第１移動工程を実行する。第１移動工程は、クランプ工程でのクランプを維持した状態で、FOUP５が載置された載置台10をFOUP搬入出位置（図５（Ａ）参照）から回転位置（図５（Ｂ）参照）に移動させ、停止させる工程である。
　第１移動工程開始時、スライド機構20のエアシリンダ23aのロッド23bは、フープ搬入出の向きD1に向けて進出した状態であり、スライダ22も進出した状態である（図５（Ａ）参照）。第１移動工程では、この状態のロッド23bを縮むように没動させる。これにより、載置台10がフープドア側に水平方向に後退移動DBし、回転位置に位置する状態になる（図５（Ｂ）参照）。
　このとき、載置台10のガイドピン44は、第１直動ガイド部41に沿って移動する。第１直動ガイド部41があるので、載置台10は、回転が防止された状態で後退移動DBする。
【００２４】
　次に、回転工程を実行する。回転工程は、クランプ工程でのクランプを維持した状態で、回転位置の載置台10を回転させる工程である。
　回転工程開始前の載置台10は、その前端10aがフープ搬入出の向きD1に向く状態であり、ガイドピン44がポジションP2（図１参照）に位置する状態である。
　この状態で、回転機構を作動させて、載置台10の前端10aがロードポートドアの向き（基板搬入出時の向き）D2に向く状態（図５（Ｃ）参照）になるまで載置台10を回転させる。これにより、エアシリンダ23aのロッド23bの向きが逆になり、ロードポートドア側に向いた状態になる。つまり、回転工程によって、載置台10の向きが１８０°反転する。
　このとき、ガイドピン44は、回転ガイド部42に沿って移動して、ポジションP3（図１参照）の位置に達する。回転ガイド部42があるので、載置台10を、進退移動を防止しつつ安定した状態で回転させることができる。
　回転位置以外の位置で回転すると、載置台10や載置台上のFOUP５が周辺の部材に衝突するなどの不具合が発生するおそれがあるが、本実施形態の装置は、上述したガイド部41〜43を設けることで、このような不具合を確実に防止している。
【００２５】
　次に、
第２移動工程を実行する
第２移動工程は
FOUP５が載置された載置台10を
基板搬入出位置（図５（Ｄ）参照）に移動させる工程
　第２移動工程では、スライド機構20のエアシリンダ23aを作動させて、ロッド23bを突出移動させる。これにより、載置台10が水平方向に後退移動DB（ロードポートドア側に移動）して、基板搬入出位置に位置する状態になる（図５（Ｂ）参照）。
　このとき、載置台10のガイドピン44は、第２直動ガイド部43に沿って移動する。この第２直動ガイド部43があるので、載置台10を、回転を防止しつつ
後退移動DBさせる
【００２６】
　このようにして、
FOUP５を基板搬入出位置に移動させると、基板搬入出工程を実行することができる状態になる
　
第２移動工程終了後
給排気工程
を実行
給排気工程（合議体注：「吸排気工程」は誤記と認定した。）は、FOUP５内にパージ用気体を充填したり、FOUP５内の気体を排気したりする工程である。
　
給排気工程
では、まず、ノズルユニットの昇降機構を作動させて、ノズル支持体を給気位置に上昇させる。これにより、給気ノズル（合議体注：「吸気ノズル」は誤記と認定した。）及び排気ノズルがFOUP５の底部の対応するポート（不図示）に接続される。その後、給気ノズル
を介してFOUP５内にパージ用気体を充填すると共にFOUP５内の気体を排気ノズルを介して排気する
【００２７】
　そして、基板搬入出工程が完了すると、基板搬入出位置のFOUP５をFOUP搬入出位置に移動させて、搬入出装置１から搬出する。ただし、基板搬入出工程が完了したFOUP５を搬入出装置１から搬出するまでの動作は、上述した工程を逆の順番で行う動作であるので、ここでは、その詳細な説明を書略する。
【００２８】
　上述したように、本実施形態の搬入出装置１では、載置台10に移載されたFOUP５は、基板搬入出位置に移動され、載置台10から搬出するまで、常に載置台10にクランプされた状態であるので、FOUP５を安定した状態で移動させることができる。
　また、載置台10は、進退移動時、上下動させることはないので、載置台10に載置されたFOUP５を安定した状態で迅速に搬送することができる。」
　図１、３〜５は、以下のとおりのものである。
　図３、図５から、ノズル支持体53には、ノズル51,52よりも内側の位置であって、昇降機構54に設けられた別のノズル（ノズルポート）52a,52a、またはノズル支持体55に設けられた給気用ノズル（ノズルポート）51a、51aが対向する位置に、２つの孔が設けられていることが見てとれ、図１、図４、図５（Ａ）〜（Ｅ）から、別のノズル（ノズルポート）52a,52aは、ノズル支持体53の当該孔に挿入され、図５（Ｂ）から、別のノズル（ノズルポート）52a、52aは、さらに給気用ノズル（ノズルポート）51a、51に挿入されていることが見てとれる。
（２）先願５発明
　そうすると、先願５明細書等には、以下の発明（以下「先願５発明」という。）が記載されていると認められる。
「搬入出装置１が備えている載置台10上に載置されたFOUP５内のパージを行うためのノズルユニット50であって、
　ノズルユニット50は、載置台10に載置されたFOUP５内に不活性ガス（パージ用気体）を充填するため給気ノズル51と、FOUP５内のガスを排出するための排気ノズル52と、これらのノズル51,52を支持するノズル支持体53と、ノズル支持体53を昇降させる昇降機構54とを備え、
　ノズルユニット50は、FOUP５内に対して、パージ用の気体を給排気する際に用いられ、
　ノズル支持体53は、載置台10よりも高い位置まで上昇可能とされ、
　載置台10の基板搬入出位置への移動が完了した状態で、ノズル支持体53を上昇させて（図５（Ｅ）の状態）、パージ動作を行うことができ、
　昇降機構54は、ノズル支持体53を通気位置（図５（Ｅ）参照）と下降位置（図５（Ｄ）参照）とに昇降させるものであり、
　ノズル支持体53は、FOUP５が載置された載置台10が基板搬入出位置（図５（Ｄ）参照）に位置するとき、通気位置に上昇され、ノズル支持体53が通気位置に上昇されると、給気ノズル51及び排気ノズル52が、載置台10のFOUP５の底面に形成された対応するノズルポート（不図示）に接続され、
　また、ノズル支持体53には、ノズル51,52よりも内側の位置であって、昇降機構54に設けられた別のノズル（ノズルポート）52a,52a、またはノズル支持体55に設けられた給気用ノズル（ノズルポート）51a、51aが対向する位置に、２つの孔が設けられ、
　別のノズル（ノズルポート）52a,52aは、ノズル支持体53の当該２つの孔に挿入され、
　昇降機構54内の給気配管は、各容器のノズルポートの位置に合わせ、給排気口を変更できるように切り替え可能となっており、且つ、給気・排気の経路も接続により容易に変更可能としており、
　搬入出装置の動作において、
　FOUP５が載置された載置台10を基板搬入出位置（図５（Ｄ）参照）に後退移動DBさせる工程である第２移動工程を実行し、
　第２移動工程終了後、FOUP５内にパージ用気体を充填したり、FOUP５内の気体を排気したりする工程である給排気工程を実行するものであり、
　給排気工程では、まず、ノズルユニットの昇降機構を作動させて、ノズル支持体を給気位置に上昇させ、これにより、給気ノズル及び排気ノズルがFOUP５の底部の対応するポート（不図示）に接続され、その後、給気ノズルを介してFOUP５内にパージ用気体を充填すると共にFOUP５内の気体を排気ノズルを介して排気する、
　ノズルユニット50。」
６　原出願明細書等の記載
（１）原出願（特願２０１２−１３２２１０号）の出願当初の明細書には、以下の記載がある。
「【００１６】
　そして、本発明に係るパージノズルユニットは、
パージ用気体を通過させ得る胴部、及び胴部よりも側方に張り出した鍔部を有するノズル本体と、鍔部の外向き面に添接する側壁、及び胴部の外向き面を添接させて胴部を挿通させた貫通孔を形成した底壁を有するホルダ
【００１７】
　このように、本発明に係るパージノズルユニットであれば、ノズル本体とホルダとの間に形成される圧力調整空間内の圧力を、ホルダに形成した通気孔を通じて調整することによって、ノズル本体をホルダに対して昇降移動させるように構成しているため、これら２つのパーツ以外にノズル本体を昇降移動させるための専用の機構を別途設ける必要がなく、構造の簡素化及びコスト削減を有効に図ることができる。」
「【００３１】
　本実施形態で適用するＦＯＵＰ１００は、内部に複数枚のウェーハを収容し、前面に形成した搬出入口を介してこれらウェーハを出し入れ可能に構成され、搬出入口を開閉可能な扉を備えた既知のものであるため、詳細な説明は省略する。なお、本実施形態においてＦＯＵＰ１００の前面とは、ロードポートＸに載置した際にロードポートＸのドア部Ｄと対面する側の面を意味する。ＦＯＵＰ１００の底面には、後述する図５に示すように、パージ用のポート１０１が所定箇所に設けられている。ポート１０１は、例えば、ＦＯＵＰ１００の底面に形成した開口部１０２に嵌め込まれた中空筒状のグロメットシールを主体としてなり、グロメットシール内に、後述する窒素や不活性ガス又は乾燥空気等の気体（本実施形態では窒素ガスを用いており、以下の説明では「パージ用気体」と称する場合がある）の注入圧または排出圧によって閉状態から開状態に切り替わる弁（図示省略）を設けている。
・・・
【００３７】
　これら複数のパージノズルユニット１は、ＦＯＵＰ１００の底面に設けたポート１０１の位置に応じて載置台Ｂ上の適宜位置に取り付けることができる。各パージノズルユニット１（注入用パージノズルユニット、排出用パージノズルユニット）は、気体の逆流を規制する弁機能を有するものであり、ＦＯＵＰ１００の底部に設けたポート１０１に接触可能なものである。なお、ＦＯＵＰ１００の底部に設けた複数のポート１０１のうち、注入用パージノズルユニットに接触するポート１０１は注入用ポートとして機能し、排出用パージノズルユニットに接触するポート１０１は排出用ポートとして機能する。
【００３８】
　各パージノズルユニット１は、図２乃至図６（図２はパージノズルユニット１の平面図、図３及び図４は図２のｘ方向矢視図、図５及び図６は図２のｙ−ｙ線断面図である）に示すように、ノズル本体２と、ノズル本体２を昇降可能な状態で保持するホルダ３とを備えたものである。
【００３９】
　ノズル本体２は、円筒状の胴部４１及び胴部４１よりも外径が大きい大径筒状部４２を主体とする本体部４と、本体部４の上端部に取付可能なノズル頭部５と、本体部４の下端部に取付可能なノズル底部６とを備えたものである。
【００４０】
　本体部４の上端部（大径筒状部４２の上向き面）には、ノズル頭部５を取り付けるための凹部４３を形成している。また、大径筒状部４２の外側面には後述するホルダ３の側壁３１に接触するシール部材７を取り付けるためのリング状凹部４４を形成している。本実施形態では、胴部４１の下端部に、胴部４１よりも外径を小さく設定した小径筒状部４５を設け、この小径筒状部４５にノズル底部６を嵌合させて取付可能に構成している。本体部４の軸心部分には高さ方向に貫通するパージ用気体流路４６を形成している。本実施形態の本体部４は、これら各部を一体に有する金属製のものである。
【００４１】
　ノズル頭部５は、本体部４の大径筒状部４２と同一の外径を有する頭部本体５１と、頭部本体５１の下端部から下方に突出して本体部４の凹部４３に嵌合（圧入）可能な嵌合突部５２と、頭部本体５１の上向き面に設けられてポート１０１（注入用ポート、排出用ポート）に接触可能なポート接触部５３とを備えたものである。本実施形態では、ポート接触部５３を、頭部本体５１の上向き面よりも上方に突出したリング状の上方突出部によって構成している。ノズル頭部５の軸心部分には、高さ方向に貫通し且つ本体部４のパージ用気体流路４６に連通する頭部側パージ用気体流路５４を形成している。本実施形態のノズル頭部５は、これら各部を一体に有する金属製のものである。
【００４２】
　そして、ノズル頭部５の嵌合突部５２を本体部４の凹部４３に嵌合して両部材を一体的に組み付けた状態において、本体部４の大径筒状部４２と、ノズル頭部５の頭部本体５１が高さ方向に滑らかに連続する外側面（外向き面）を形成する。これら本体部４の大径筒状部４２及び
ノズル頭部５の頭部本体５１が、本発明の鍔部８に相当する部分
【００４３】
　ノズル底部６は、本体部４の小径筒状部４５に嵌合可能な嵌合凹部６１を上向き面に形成した有底角筒状をなすものであり、図示しないパージ用気体供給源に接続されたフレキシブルな配管が取付可能な配管取付用凹部６２と、この配管取付用凹部６２に取り付けた配管の内部空間に連通し且つ本体部４のパージ用気体流路４６に連通する底部側パージ用気体流路６３を有する。そして、ノズル底部６の嵌合凹部６１を本体部４の小径筒状部４５に嵌合して両部材を一体的に組み付けた状態において、ノズル底部６の幅寸法が本体部４の胴部４１の外径よりも大きくなるように設定している。
【００４４】
　
ホルダ３は、ノズル本体２の鍔部８の外向き面（外周面）が添接する側壁３１
底壁３３に形成した貫通孔３２の開口径は、ノズル本体２のうち胴部４１の外向き面が添接する大きさに設定されている
「【００６３】
　さらに、本実施形態に係るパージノズルユニット１は、ノズル本体２のうち
鍔部８
「【０１０１】
　また、上述した実施形態では、
ノズル本体の本体部とノズル頭部とを別々のパーツから構成しているため、ノズル本体のうちポートと接触し得るポート接触部が、経年劣化や使用頻度に応じて摩耗損傷・変形した場合であっても、使用中のノズル頭部に替えて、新品のノズル頭部、あるいは摩耗損傷・変形していていない別のノズル頭部に交換することによって、ポートとの高い気密性を確保した良好な接触状態を確保することができ
（２）原出願の（特願２０１２−１３２２１０号）の分割直前の明細書には、特許第６１３１５３４号公報の記載からみて、以下の記載がある。
「【００１６】
　そして、本発明に係るパージノズルユニットは、
パージ用気体を通過させ得る胴部、及び胴部よりも側方に張り出した鍔部を有するノズル本体と、鍔部の外向き面に添接する側壁、及び胴部の外向き面を添接させて胴部を挿通させた貫通孔を形成した底壁を有するホルダ
【００１７】
　このように、本発明に係るパージノズルユニットであれば、ノズル本体とホルダとの間に形成される圧力調整空間内の圧力を、ホルダに形成した通気孔を通じて調整することによって、ノズル本体をホルダに対して昇降移動させるように構成しているため、これら２つのパーツ以外にノズル本体を昇降移動させるための専用の機構を別途設ける必要がなく、構造の簡素化及びコスト削減を有効に図ることができる。」
「【００３１】
　本実施形態で適用するＦＯＵＰ１００は、内部に複数枚のウェーハを収容し、前面に形成した搬出入口を介してこれらウェーハを出し入れ可能に構成され、搬出入口を開閉可能な扉を備えた既知のものであるため、詳細な説明は省略する。なお、本実施形態においてＦＯＵＰ１００の前面とは、ロードポートＸに載置した際にロードポートＸのドア部Ｄと対面する側の面を意味する。ＦＯＵＰ１００の底面には、後述する図５に示すように、パージ用のポート１０１が所定箇所に設けられている。ポート１０１は、例えば、ＦＯＵＰ１００の底面に形成した開口部１０２に嵌め込まれた中空筒状のグロメットシールを主体としてなり、グロメットシール内に、後述する窒素や不活性ガス又は乾燥空気等の気体（本実施形態では窒素ガスを用いており、以下の説明では「パージ用気体」と称する場合がある）の注入圧または排出圧によって閉状態から開状態に切り替わる弁（図示省略）を設けている。
・・・
【００３７】
　これら複数のパージノズルユニット１は、ＦＯＵＰ１００の底面に設けたポート１０１の位置に応じて載置台Ｂ上の適宜位置に取り付けることができる。各パージノズルユニット１（注入用パージノズルユニット、排出用パージノズルユニット）は、気体の逆流を規制する弁機能を有するものであり、ＦＯＵＰ１００の底部に設けたポート１０１に接触可能なものである。なお、ＦＯＵＰ１００の底部に設けた複数のポート１０１のうち、注入用パージノズルユニットに接触するポート１０１は注入用ポートとして機能し、排出用パージノズルユニットに接触するポート１０１は排出用ポートとして機能する。
【００３８】
　各パージノズルユニット１は、図２乃至図６（図２はパージノズルユニット１の平面図、図３及び図４は図２のｘ方向矢視図、図５及び図６は図２のｙ−ｙ線断面図である）に示すように、ノズル本体２と、ノズル本体２を昇降可能な状態で保持するホルダ３とを備えたものである。
【００３９】
　ノズル本体２は、円筒状の胴部４１及び胴部４１よりも外径が大きい大径筒状部４２を主体とする本体部４と、本体部４の上端部に取付可能なノズル頭部５と、本体部４の下端部に取付可能なノズル底部６とを備えたものである。
【００４０】
　本体部４の上端部（大径筒状部４２の上向き面）には、ノズル頭部５を取り付けるための凹部４３を形成している。また、大径筒状部４２の外側面には後述するホルダ３の側壁３１に接触するシール部材７を取り付けるためのリング状凹部４４を形成している。本実施形態では、胴部４１の下端部に、胴部４１よりも外径を小さく設定した小径筒状部４５を設け、この小径筒状部４５にノズル底部６を嵌合させて取付可能に構成している。本体部４の軸心部分には高さ方向に貫通するパージ用気体流路４６を形成している。本実施形態の本体部４は、これら各部を一体に有する金属製のものである。
【００４１】
　ノズル頭部５は、本体部４の大径筒状部４２と同一の外径を有する頭部本体５１と、頭部本体５１の下端部から下方に突出して本体部４の凹部４３に嵌合（圧入）可能な嵌合突部５２と、頭部本体５１の上向き面に設けられてポート１０１（注入用ポート、排出用ポート）に接触可能なポート接触部５３とを備えたものである。本実施形態では、ポート接触部５３を、頭部本体５１の上向き面よりも上方に突出したリング状の上方突出部によって構成している。ノズル頭部５の軸心部分には、高さ方向に貫通し且つ本体部４のパージ用気体流路４６に連通する頭部側パージ用気体流路５４を形成している。本実施形態のノズル頭部５は、これら各部を一体に有する金属製のものである。
【００４２】
　そして、ノズル頭部５の嵌合突部５２を本体部４の凹部４３に嵌合して両部材を一体的に組み付けた状態において、本体部４の大径筒状部４２と、ノズル頭部５の頭部本体５１が高さ方向に滑らかに連続する外側面（外向き面）を形成する。これら本体部４の大径筒状部４２及び
ノズル頭部５の頭部本体５１が、本発明の鍔部８に相当する部分
【００４３】
　ノズル底部６は、本体部４の小径筒状部４５に嵌合可能な嵌合凹部６１を上向き面に形成した有底角筒状をなすものであり、図示しないパージ用気体供給源に接続されたフレキシブルな配管が取付可能な配管取付用凹部６２と、この配管取付用凹部６２に取り付けた配管の内部空間に連通し且つ本体部４のパージ用気体流路４６に連通する底部側パージ用気体流路６３を有する。そして、ノズル底部６の嵌合凹部６１を本体部４の小径筒状部４５に嵌合して両部材を一体的に組み付けた状態において、ノズル底部６の幅寸法が本体部４の胴部４１の外径よりも大きくなるように設定している。
【００４４】
　
ホルダ３は、ノズル本体２の鍔部８の外向き面（外周面）が添接する側壁３１
底壁３３に形成した貫通孔３２の開口径は、ノズル本体２のうち胴部４１の外向き面が添接する大きさに設定されている
「【００６３】
　さらに、本実施形態に係るパージノズルユニット１は、ノズル本体２のうち
鍔部８
「【０１０１】
　また、上述した実施形態では、
ノズル本体の本体部とノズル頭部とを別々のパーツから構成しているため、ノズル本体のうちポートと接触し得るポート接触部が、経年劣化や使用頻度に応じて摩耗損傷・変形した場合であっても、使用中のノズル頭部に替えて、新品のノズル頭部、あるいは摩耗損傷・変形していていない別のノズル頭部に交換することによって、ポートとの高い気密性を確保した良好な接触状態を確保することができ
７　第１世代分割出願の明細書等の記載
（１）第１世代分割出願（特願２０１７−７４１４５号）の出願当初の明細書には、以下の記載がある。
「【００１６】
　そして、本発明に係るパージノズルユニットは、パージ用気体を通過させ得る第一流路を有する胴部と胴部よりも側方に張り出した鍔部とを有する第一流路形成部材、第一流路形成部材の第一流路と連通する第二流路を有する第二流路形成部材、及び鍔部の外向き面に添接する側壁と胴部の外向き面を添接させて胴部を挿通させた貫通孔を形成した底壁とを有するホルダ、を備え、第二流路形成部材は、第一流路形成部材及びホルダの下方に、第一流路と第二流路とを連通するように設けられることで、第二流路形成部材に設けられるパージ用気体供給部から供給されるパージ用気体が、第二流路、第一流路、ポートを介してパージ対象容器に注入可能に設けられ、さらにホルダの少なくとも一部に外部に連通する通気孔が形成され、第一流路形成部材とホルダとの間に形成され且つ通気孔に連通する圧力調整空間の圧力を調整することによって、第一流路形成部材をホルダに対して昇降移動させることを特徴としている。」
「【００３１】
　本実施形態で適用するＦＯＵＰ１００は、内部に複数枚のウェーハを収容し、前面に形成した搬出入口を介してこれらウェーハを出し入れ可能に構成され、搬出入口を開閉可能な扉を備えた既知のものであるため、詳細な説明は省略する。なお、本実施形態においてＦＯＵＰ１００の前面とは、ロードポートＸに載置した際にロードポートＸのドア部Ｄと対面する側の面を意味する。ＦＯＵＰ１００の底面には、後述する図５に示すように、パージ用のポート１０１が所定箇所に設けられている。ポート１０１は、例えば、ＦＯＵＰ１００の底面に形成した開口部１０２に嵌め込まれた中空筒状のグロメットシールを主体としてなり、グロメットシール内に、後述する窒素や不活性ガス又は乾燥空気等の気体（本実施形態では窒素ガスを用いており、以下の説明では「パージ用気体」と称する場合がある）の注入圧または排出圧によって閉状態から開状態に切り替わる弁（図示省略）を設けている。
・・・
【００３７】
　これら複数のパージノズルユニット１は、ＦＯＵＰ１００の底面に設けたポート１０１の位置に応じて載置台Ｂ上の適宜位置に取り付けることができる。各パージノズルユニット１（注入用パージノズルユニット、排出用パージノズルユニット）は、気体の逆流を規制する弁機能を有するものであり、ＦＯＵＰ１００の底部に設けたポート１０１に接触可能なものである。なお、ＦＯＵＰ１００の底部に設けた複数のポート１０１のうち、注入用パージノズルユニットに接触するポート１０１は注入用ポートとして機能し、排出用パージノズルユニットに接触するポート１０１は排出用ポートとして機能する。
【００３８】
　各パージノズルユニット１は、図２乃至図６（図２はパージノズルユニット１の平面図、図３及び図４は図２のｘ方向矢視図、図５及び図６は図２のｙ−ｙ線断面図である）に示すように、ノズル本体２と、ノズル本体２を昇降可能な状態で保持（より具体的には、ノズル本体２を構成する本体部（第一流路形成部材）４を保持）するホルダ３とを備えたものである。
【００３９】
　ノズル本体２は、円筒状の胴部４１及び胴部４１よりも外径が大きい大径筒状部４２を主体とする本体部（第一流路形成部材）４と、本体部４の上端部に取付可能なノズル頭部５と、本体部４の下端部に取付可能なノズル底部（第二流路形成部材）６とを備えたものである。
【００４０】
　本体部４の上端部（大径筒状部４２の上向き面）には、ノズル頭部５を取り付けるための凹部４３を形成している。また、大径筒状部４２の外側面には後述するホルダ３の側壁３１に接触するシール部材７を取り付けるためのリング状凹部４４を形成している。本実施形態では、胴部４１の下端部に、胴部４１よりも外径を小さく設定した小径筒状部４５を設け、この小径筒状部４５にノズル底部６を嵌合させて取付可能に構成している。本体部４の軸心部分には高さ方向に貫通するパージ用気体流路（第一流路）４６を形成している。本実施形態の本体部４は、これら各部を一体に有する金属製のものである。
【００４１】
　ノズル頭部５は、本体部４の大径筒状部４２と同一の外径を有する頭部本体５１と、頭部本体５１の下端部から下方に突出して本体部４の凹部４３に嵌合（圧入）可能な嵌合突部５２と、頭部本体５１の上向き面に設けられてポート１０１（注入用ポート、排出用ポート）に接触可能なポート接触部５３とを備えたものである。本実施形態では、ポート接触部５３を、頭部本体５１の上向き面よりも上方に突出したリング状の上方突出部によって構成している。ノズル頭部５の軸心部分には、高さ方向に貫通し且つ本体部４のパージ用気体流路４６に連通する頭部側パージ用気体流路５４を形成している。本実施形態のノズル頭部５は、これら各部を一体に有する金属製のものである。
【００４２】
　そして、ノズル頭部５の嵌合突部５２を本体部４の凹部４３に嵌合して両部材を一体的に組み付けた状態において、本体部４の大径筒状部４２と、ノズル頭部５の頭部本体５１が高さ方向に滑らかに連続する外側面（外向き面）を形成する。これら本体部４の大径筒状部４２及びノズル頭部５の頭部本体５１が、本発明の鍔部８に相当する部分である。
【００４３】
　ノズル底部６は、本体部４の小径筒状部４５に嵌合可能な嵌合凹部６１を上向き面に形成した有底角筒状をなすものであり、図示しないパージ用気体供給源に接続されたフレキシブルな配管が取付可能な配管取付用凹部６２と、この配管取付用凹部６２に取り付けた配管の内部空間に連通し且つ本体部４のパージ用気体流路４６に連通する底部側パージ用気体流路（第二流路）６３を有する。そして、ノズル底部６の嵌合凹部６１を本体部４の小径筒状部４５に嵌合して両部材を一体的に組み付けた状態において、ノズル底部６の幅寸法が本体部４の胴部４１の外径よりも大きくなるように設定している。
【００４４】
　ホルダ３は、ノズル本体２の鍔部８の外向き面（外周面）が添接する側壁３１と、側壁３１の下端部から内方（中心側）に突出してノズル本体２のうち胴部４１のみが挿通可能な貫通孔３２を中央部に形成した底壁３３とを有するホルダ本体３４を主体としてなり、ホルダ本体３４から側方に突出し且つ所定箇所にネジ挿入孔３５を形成した固定部３６を備えている。本実施形態では、側壁３１のうち上方側領域を円筒状に設定し、他の領域を四角筒状に設定している。このようなホルダ３のうち側壁３１の一部には、外部に連通する通気孔３０を形成している。また、
底壁３３に形成した貫通孔３２の開口径は、ノズル本体２のうち胴部４１の外向き面が添接する大きさに設定されている
「【００６３】
　さらに、本実施形態に係るパージノズルユニット１は、ノズル本体２のうち鍔部８の外向き面がホルダ３のうち側壁３１の内向き面に添接し且つノズル本体２のうち胴部４１の外向き面がホルダ３のうち底壁３３の貫通孔３２の内向き面に添接した状態でノズル本体２を昇降移動させるように構成しているため、ノズル本体２の昇降移動をスムーズ且つ適切に行うことができる。」
「【０１０１】
　また、上述した実施形態では、ノズル本体の本体部とノズル頭部とを別々のパーツから構成しているため、ノズル本体のうちポートと接触し得るポート接触部が、経年劣化や使用頻度に応じて摩耗損傷・変形した場合であっても、使用中のノズル頭部に替えて、新品のノズル頭部、あるいは摩耗損傷・変形していていない別のノズル頭部に交換することによって、ポートとの高い気密性を確保した良好な接触状態を確保することができる。一方で、このようなノズル頭部だけの交換や修理ができないというデメリットはあるが、ノズル頭部及び本体部を一体成形したノズル本体を適用することも可能である。」
（２）第１世代分割出願（特願２０１７−７４１４５号）の分割直前の明細書には、特許第６４０９８９８号公報の記載からみて、以下の記載がある。
「【請求項１】
ウェーハが収容されるパージ対象容器の底面に設けたポートを通じて窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体を供給することで、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を前記パージ用気体に置換可能なパージノズルユニットであり、
前記パージノズルユニットは、
前記パージ用気体を通過させ得る第一流路を有する胴部と前記胴部よりも側方に張り出した鍔部とを有する第一流路形成部材、前記第一流路と連通する第二流路を有する第二流路形成部材、及び前記第一流路形成部材の前記鍔部の外向き面に添接する側壁と前記胴部の外向き面を添接させ且つ挿通させた貫通孔を形成した底壁とを有するホルダ
前記第二流路形成部材は、前記第一流路形成部材及び前記ホルダの下方に、前記第一流路と前記第二流路とを連通するよう設けられることで前記第二流路形成部材に設けられるパージ用気体供給部から供給される前記パージ用気体が、前記第二流路、前記第一流路及び前記ポートを介して前記パージ対象容器に注入可能に設けられ、
前記ホルダの少なくとも一部に外部に連通する通気孔が形成され、前記第一流路形成部材と前記ホルダとの間に形成され且つ前記通気孔に連通する圧力調整空間の圧力を調整することによって、前記第一流路形成部材を前記ホルダに対して昇降移動させる、
ことを特徴とするパージノズルユニット。」
「【００３１】
　本実施形態で適用するＦＯＵＰ１００は、内部に複数枚のウェーハを収容し、前面に形成した搬出入口を介してこれらウェーハを出し入れ可能に構成され、搬出入口を開閉可能な扉を備えた既知のものであるため、詳細な説明は省略する。なお、本実施形態においてＦＯＵＰ１００の前面とは、ロードポートＸに載置した際にロードポートＸのドア部Ｄと対面する側の面を意味する。ＦＯＵＰ１００の底面には、後述する図５に示すように、パージ用のポート１０１が所定箇所に設けられている。ポート１０１は、例えば、ＦＯＵＰ１００の底面に形成した開口部１０２に嵌め込まれた中空筒状のグロメットシールを主体としてなり、グロメットシール内に、後述する窒素や不活性ガス又は乾燥空気等の気体（本実施形態では窒素ガスを用いており、以下の説明では「パージ用気体」と称する場合がある）の注入圧または排出圧によって閉状態から開状態に切り替わる弁（図示省略）を設けている。
・・・
【００３７】
　これら複数のパージノズルユニット１は、ＦＯＵＰ１００の底面に設けたポート１０１の位置に応じて載置台Ｂ上の適宜位置に取り付けることができる。各パージノズルユニット１（注入用パージノズルユニット、排出用パージノズルユニット）は、気体の逆流を規制する弁機能を有するものであり、ＦＯＵＰ１００の底部に設けたポート１０１に接触可能なものである。なお、ＦＯＵＰ１００の底部に設けた複数のポート１０１のうち、注入用パージノズルユニットに接触するポート１０１は注入用ポートとして機能し、排出用パージノズルユニットに接触するポート１０１は排出用ポートとして機能する。
【００３８】
  各パージノズルユニット１は、図２乃至図６（図２はパージノズルユニット１の平面図、図３及び図４は図２のｘ方向矢視図、図５及び図６は図２のｙ−ｙ線断面図である）に示すように、ノズル本体２と、ノズル本体２を昇降可能な状態で保持
（より具体的には、ノズル本体２を構成する本体部（第一流路形成部材）４を保持）
【００３９】
　ノズル本体２は、円筒状の胴部４１及び胴部４１よりも外径が大きい大径筒状部４２を主体とする本体部
（第一流路形成部材）
（第二流路形成部材）
【００４０】
　本体部４の上端部（大径筒状部４２の上向き面）には、ノズル頭部５を取り付けるための凹部４３を形成している。また、大径筒状部４２の外側面には後述するホルダ３の側壁３１に接触するシール部材７を取り付けるためのリング状凹部４４を形成している。本実施形態では、胴部４１の下端部に、胴部４１よりも外径を小さく設定した小径筒状部４５を設け、この小径筒状部４５にノズル底部６を嵌合させて取付可能に構成している。本体部４の軸心部分には高さ方向に貫通するパージ用気体流路
（第一流路）
【００４１】
　ノズル頭部５は、本体部４の大径筒状部４２と同一の外径を有する頭部本体５１と、頭部本体５１の下端部から下方に突出して本体部４の凹部４３に嵌合（圧入）可能な嵌合突部５２と、頭部本体５１の上向き面に設けられてポート１０１（注入用ポート、排出用ポート）に接触可能なポート接触部５３とを備えたものである。本実施形態では、ポート接触部５３を、頭部本体５１の上向き面よりも上方に突出したリング状の上方突出部によって構成している。ノズル頭部５の軸心部分には、高さ方向に貫通し且つ本体部４のパージ用気体流路４６に連通する頭部側パージ用気体流路５４を形成している。本実施形態のノズル頭部５は、これら各部を一体に有する金属製のものである。
【００４２】
　そして、ノズル頭部５の嵌合突部５２を本体部４の凹部４３に嵌合して両部材を一体的に組み付けた状態において、本体部４の大径筒状部４２と、ノズル頭部５の頭部本体５１が高さ方向に滑らかに連続する外側面（外向き面）を形成する。これら本体部４の大径筒状部４２及びノズル頭部５の頭部本体５１が、本発明の
鍔部８
【００４３】
　ノズル底部６は、本体部４の小径筒状部４５に嵌合可能な嵌合凹部６１を上向き面に形成した有底角筒状をなすものであり、図示しないパージ用気体供給源に接続されたフレキシブルな配管が取付可能な配管取付用凹部６２と、この配管取付用凹部６２に取り付けた配管の内部空間に連通し且つ本体部４のパージ用気体流路４６に連通する底部側パージ用気体流路
（第二流路）
【００４４】
　ホルダ３は、ノズル本体２の鍔部８の外向き面（外周面）が添接する側壁３１と、側壁３１の下端部から内方（中心側）に突出してノズル本体２のうち胴部４１のみが挿通可能な貫通孔３２を中央部に形成した底壁３３とを有するホルダ本体３４を主体としてなり、ホルダ本体３４から側方に突出し且つ所定箇所にネジ挿入孔３５を形成した固定部３６を備えている。本実施形態では、側壁３１のうち上方側領域を円筒状に設定し、他の領域を四角筒状に設定している。このようなホルダ３のうち側壁３１の一部には、外部に連通する通気孔３０を形成している。また、底壁３３に形成した貫通孔３２の開口径は、ノズル本体２のうち胴部４１の外向き面が添接する大きさに設定されている。この貫通孔３２の内向き面には、ノズル本体２の胴部４１に接触するシール部材７を取り付けるためのリング状凹部３７を形成している。」
「【００６３】
　さらに、本実施形態に係るパージノズルユニット１は、ノズル本体２のうち鍔部８の外向き面がホルダ３のうち側壁３１の内向き面に添接し且つノズル本体２のうち胴部４１の外向き面がホルダ３のうち底壁３３の貫通孔３２の内向き面に添接した状態でノズル本体２を昇降移動させるように構成しているため、ノズル本体２の昇降移動をスムーズ且つ適切に行うことができる。」
「【０１０１】
　また、上述した実施形態では、ノズル本体の本体部とノズル頭部とを別々のパーツから構成しているため、ノズル本体のうちポートと接触し得るポート接触部が、経年劣化や使用頻度に応じて摩耗損傷・変形した場合であっても、使用中のノズル頭部に替えて、新品のノズル頭部、あるいは摩耗損傷・変形していていない別のノズル頭部に交換することによって、ポートとの高い気密性を確保した良好な接触状態を確保することができる。一方で、このようなノズル頭部だけの交換や修理ができないというデメリットはあるが、ノズル頭部及び本体部を一体成形したノズル本体を適用することも可能である。」
　
第５　当審の判断
１　申立理由１（特許法第２９条第１項の規定違反）
（１）請求項１に係る発明について
　請求項１に係る発明（以下「本件発明１」という。また、請求項２〜６に係る発明をそれぞれ順に「本件発明２」〜「本件発明６」という。）と引用発明１とを対比する。
ア　引用発明１の「ＦＯＵＰ本体２１」、「クリーンガス」は、それぞれ本件発明１の「基板が収容されるパージ対象容器」、「パージ用気体」に相当する。
　また、引用発明１のＦＯＵＰ本体２１の「クリーンガス導入側のチェック弁２２」は、「クリーンガスがＦＯＵＰ本体２１内に入り込」む部分であるから、本件発明１の「ポート」に対応する。
イ　引用発明１において、「ガス通路２３」は、クリーンガスを通過させ得る流路であるといえるから、「フランジ（２）１３、ピストンロッド８、ばね（１）１１、シール材（１）７」は、併せて本件発明１の「パージ用気体を通過させ得るノズル」に対応する。
ウ　引用発明１において、「重量物が存在しないときは、アクチュエータ２が、ばね（１）１１により上方に押し上げられたままの状態にあり」、「重量物が存在するときは、アクチュエータ２が下方に移動し、ピストンロッド８も下方に移動し、シール材（１）７も下方に移動し」、「アクチュエータ２とは、フランジ（１）１３、ピストンロッド８、ばね（１）１１からなる重量または機械的外力によってバルブ開閉作用を行う操作部」をいうところ、「バルブ本体ハウジング１０」は、「フランジ（２）１３、ピストンロッド８、ばね（１）１１、シール材（１）７」を、昇降可能な状態で保持するものであるいえるから、本件発明１の「前記ノズルを昇降可能な状態で保持するホルダ」に対応する。
エ　引用発明１では、「クリーンガス供給源１８とバルブ本体ハウジング１０が接続フランジ（１）１２により接続され、アクチュエータ２と保管室をフランジ（２）１３により接続されており、パージバルブ作動部分に重量物が存在しないときは、アクチュエータ２が、ばね（１）１１により上方に押し上げられたままの状態にあり作動せず、パージバルブ１が閉状態となり、パージバルブ作動部分に重量物が存在するときは、アクチュエータ２が下方に移動し、ピストンロッド８も下方に移動し、シール材（１）７も下方に移動し、パージバルブ１の開時にガス通路２３とガス導入孔５が導通孔を介して導通させる中継導通孔６により開放され、底部に２つチェック弁２２が設けられたＦＯＵＰ本体２１が、保管装置または保管エリアに載置されると、アクチュエータ２が作動し、クリーンガス導入側のチェック弁２２に当該パージバルブ１が接続され、開状態になり、クリーンガスがＦＯＵＰ本体２１内に入り込み、ＦＯＵＰ内圧により排気側チェック弁２２が開き、クリーンガスが排気されＦＯＵＰ本体２１内がクリーンガスよりパージされる」ところ、アクチュエータ２の「フランジ（２）１３」は、チェック弁２２（ポート）に接続することは明らかであり、本件発明１の「ノズル頭部」に対応するといえるから、「フランジ（２）１３、ピストンロッド８、ばね（１）１１、シール材（１）７」（ノズル）のうち、「ピストンロッド８」は「フランジ（２）１３のチェック弁２２とは反対側に設けられる」部分であるから、本件発明１の「前記ノズル頭部の前記ポート側とは反対側に設けられる本体部」に対応するといえる。
　したがって、本件発明１と引用発明１とは、「前記ノズルは、前記ポートに接続するノズル頭部と、前記ノズル頭部の前記ポート側とは反対側に設けられる本体部とを有」する点で共通する。
オ　引用発明１において、「フランジ（２）１３」は、ピストンロッド８に対して交換可能であるから、本件発明１と引用発明１とは、「前記ノズル頭部は前記本体部に対して交換可能に設けられる」ものである点で、一致する。
カ　上記イ、ウより、引用発明１の「パージバルブ１」はユニットであるといえるから、本件発明１と引用発明１とは、「基板が収容されるパージ対象容器の底面に設けたポートを通じてパージ用気体を供給することで、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を前記パージ用気体に置換可能なパージノズルユニット」である点で共通する。
キ　以上をまとめると、本件発明１と引用発明１との間には、次の一致点、相違点があるといえる。
＜一致点＞
「基板が収容されるパージ対象容器の底面に設けたポートを通じてパージ用気体を供給することで、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を前記パージ用気体に置換可能なパージノズルユニットであり、
前記パージノズルユニットは、前記パージ用気体を通過させ得る流路を有するノズルと、
前記ノズルを昇降可能な状態で保持するホルダとを備え、
前記ノズルは、前記ポートに接続するノズル頭部と、前記ノズル頭部の前記ポート側とは反対側に設けられる本体部とを有し、
前記ノズル頭部は前記本体部に対して交換可能に設けられる、
パージノズルユニット。」
＜相違点＞
＜相違点１＞
　パージ対象容器の底面に設けたポートが、本件発明１では、「中空筒状のシール部であるポート」であるのに対し、引用発明１では、チェック弁２２であり、本件発明１のような特定はなされていない点。
＜相違点２＞
　ノズル頭部について、本件発明１では、「上昇移動したとき前記ポートに接触するノズル頭部」であるのに対し、引用発明１では、「アクチュエータ２と保管室をフランジ（２）１３により接続されており、パージバルブ作動部分に重量物が存在しないときは、アクチュエータ２が、ばね（１）１１により上方に押し上げられたままの状態にあり作動せず、パージバルブ１が閉状態とな」るものであり、フランジ（２）１３は、「上昇移動したとき前記ポートに接触する」ものではない点。
　よって、上記相違点１、２は実質的なものであり、本件発明１が、引用発明１であるとはいえないから、本件発明１は、特許法第２９条第１項第３号に該当するものではない。
ク　特許異議申立人の主張について
　特許異議申立人星正美は、特許異議申立書２２ページ「ウ（ア）」において、「また、甲１発明において昇降運動する部材である「フランジ（１）１３」、「ピストンロッド８」、「ばね（１）１」および「シール材（１）７」で構成される一連の部材のうち、「フランジ（１）１３」が、『上昇したとき前記ポートに接触する』ため、本件発明の『ノズル頭部』に相当する」と主張するが、上記エ、キで検討したとおり、フランジ（２）１３は、「上昇移動したとき前記ポートに接触する」ものではないから、特許異議申立人の当該主張を採用することはできない。
ケ　申立理由１〜４には含まれていないが、念のため、請求項１に係る特許は、文献１を主たる証拠として、特許法第２９条第２項の規定に違反しているかについて、以下において検討する。
　上記相違点について検討する。
（ア）相違点２について　
　事案に鑑み、まず、上記相違点２について検討する。
　引用発明１において、「アクチュエータ２と保管室をフランジ（２）１３により接続されており、
パージバルブ作動部分に重量物が存在しないときは、アクチュエータ２が
上方に押し上げられたままの状態にあり作動せず
パージバルブ作動部分に重量物が存在するときは、アクチュエータ２が下方に移動し
保管装置または保管エリアに載置されると、アクチュエータ２が作動し
　したがって、引用発明１において、相違点２に係る本件発明１の構成とすることには阻害要因がある。
（イ）したがって、相違点１について検討するまでもなく、本件発明１は、引用発明１に基いて、当業者が容易に想到し得るものではない。
　よって、請求項１に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものではない。
（２）請求項３、４、６に係る発明について
　本件発明３、４、６も、本件発明１の「上昇移動したとき前記ポートに接触するノズル頭部」と同一の構成を備えるものであるから、本件発明１と同じ理由により、文献１に記載された発明とはいえない。
（３）申立理由１についてのまとめ
　以上のとおりであり、本件発明１、３、４、６は、特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものであるとはいえず、請求項１、３、４、６に係る特許を、申立理由１によって取り消すことはできない。
２　申立理由２（特許法第２９条第２項の規定違反）
（１）請求項１に係る発明について
ア　対比
　本件発明１と引用発明２とを対比する。
（ア）引用発明２の「製品を収容する容器であるポッド（ＦＯＵＰ）」、「ガス」は、それぞれ本件発明１の「基板が収容されるパージ対象容器」、「パージ用気体」に相当する。
（イ）また、引用発明２では、「ＦＯＵＰシステムにおけるパージ操作において」、「ポッド側の給気ポート７および排気ポート９は、各々シール部材２０を介して台５３側の給気ポート１４および排気ポート１６と当接し」、「当該操作終了後、あるいは当該操作を継続しながら、ポッド２内部のパージ操作を行い、ポッド２内部雰囲気の置換が行われ」るから、引用発明２の「ポッド側の給気ポート７」は、本件発明１の、「『パージ用気体を供給する』『中空筒状のシール部であるポート』」に相当するといえるから、本件発明１と引用発明２とは、「基板が収容されるパージ対象容器の底面に設けた中空筒状のシール部であるポートを通じてパージ用気体を供給することで、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を前記パージ用気体に置換可能なパージノズル部材」である点で共通する。
（ウ）引用発明２において、「『シール部材２０』と『台５３側の給気ポート１４および排気ポート１６』」は、パージ操作の際にガスを通過させ得る流路であるといえるから、本件発明１の「パージ用気体を通過させ得るノズル」に対応する。
（エ）引用発明２において、「ポッド側の給気ポート７および排気ポート９は、各々シール部材２０を介して台５３側の給気ポート１４および排気ポート１６と当接」するところ、「シール部材２０」は、「ポッド側の給気ポート７」に接触するといえるから、本件発明１の「ノズル頭部」に対応するといえる。そうすると、引用発明２において、「『シール部材２０』と『台５３側の給気ポート１４および排気ポート１６』」（ノズル）のうち、「給気ポート１４および排気ポート１６」の、「シール部材２０」の下方に接続される部材は「シール部材２０のポッド側の給気ポート７とは反対側に設けられる」部分であるから、本件発明１の「前記ノズル頭部の前記ポート側とは反対側に設けられる本体部」に対応するといえる。
　したがって、本件発明１と引用発明２とは、「前記ノズルは、前記ポートに接触するノズル頭部と、前記ノズル頭部の前記ポート側とは反対側に設けられる本体部とを有」する点で共通する。
（オ）引用発明２において、「シール部材２０」と、「給気ポート１４および排気ポート１６」の、「シール部材２０」の下方に接続される部材とは、別個の部材であるから、交換可能であるといえる。
　したがって、本件発明１と引用発明２とは、「前記ノズル頭部は前記本体部に対して交換可能に設けられる」ものである点で一致する。
（カ）以上をまとめると、本件発明１と引用発明２との間には、次の一致点、相違点があるといえる。
＜一致点＞
「基板が収容されるパージ対象容器の底面に設けた中空筒状のシール部であるポートを通じてパージ用気体を供給することで、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を前記パージ用気体に置換可能なパージノズル部材であり、
前記パージノズル部材は、前記パージ用気体を通過させ得る流路を有するノズルを備え、
前記ノズルは、前記ポートに接続するノズル頭部と、前記ノズル頭部の前記ポート側とは反対側に設けられる本体部とを有し、
前記ノズル頭部は前記本体部に対して交換可能に設けられる、
パージノズル部材。」
＜相違点＞
＜相違点３＞
　本件発明１は、「パージノズルユニット」に係る発明であるのに対し、引用発明２は、その点が不明である点。
＜相違点４＞
　本件発明１は、「前記ノズルを昇降可能な状態で保持するホルダ」を備えるのに対し、引用発明２は、そのようなものを備えていない点。
＜相違点５＞
　「前記ポートに接触するノズル頭部」について、本件発明１は、「上昇移動したとき」接触するのに対し、引用発明２では、「ポッド２が台５３上方まで運ばれ、台５３上に載置され、この状態において、ポッド側の給気ポート７および排気ポート９は、各々シール部材２０を介して台５３側の給気ポート１４および排気ポート１６と当接」するものであり、「シール部材２０」は、
ポッド２が台５３上に載置された状態において
イ　判断
　以下、上記相違点について検討する。
（ア）相違点４、５について
　事案に鑑み、まず、相違点４、５について検討する。
ａ　引用発明２において、「ポッド２が台５３上方まで運ばれ、台５３上に載置され、この状態において、ポッド側の給気ポート７および排気ポート９は、各々シール部材２０を介して台５３側の給気ポート１４および排気ポート１６と当接」するものであり、「シール部材２０」は、
ポッド２が台５３上に載置された状態において
ｂ　一方、上記「第４」「１（３）」のとおり、文献１には、「パージバルブ１において、フランジ（２）１３、ピストンロッド８、ばね（１）１１、及びシール材（１）７を保持するバルブ本体ハウジング１０」という技術的事項が記載されていると認められる。
ｃ　上記「第４」「３」のとおり、文献３には、「ロードポートにおける、キャリア１０（ＦＯＵＰ）を載置させる載置台２が有するキャリアベース２１の周縁部に配置され、キャリア１０内に不活性ガスを注入するための注入ノズル５、排出ノズル５’を保持するノズルホルダ６について、下部に設けられた円柱状の凹部６２ａを有する本体６２と、凹部６２ａを塞ぐように本体６２上に設けられたカバー６１とを有し、
注入ノズル５ａを昇降可能に保持するノズルホルダ６
ｄ　上記「第４」「４」のとおり、文献４には、
「基板処理装置２１に備えられたロードポート装置３００であって、
　ロードポート基台３０Ａ、キネマ面３１、キネマティックピン３１Ａを含んで、ロードポート装置３００の台部３０が構成され、
　キネマティックピン３１Ａと、ウェーハキャリア１００に備えられたＶ溝１３とが嵌まりあって、ウェーハキャリア１００がロードポート装置３００に載置される際の位置が決定され、
　ロードポート装置３００に備えられた、ウェーハキャリア１００内部を加圧するための気体供給手段４００において、
　ウェーハキャリア１００に備えられた導入口１４に接続される接続部１８は、ウェーハキャリア１００がキネマ面３１に載置されると、これに連動して自動的に導入口１４に接続されるようになっており、
　バルブ１５、圧力センサ１６、制御手段１７、接続部１８を含めて、気体供給手段４００が構成される、気体供給手段４００に関し、
　基板の移送方法については、
　ウェーハキャリア１００を、基板処理装置２１に備えられたロードポート基台３０A上のキネマ面３１上へ降ろして所定位置にセットすることで、ウェーハキャリア１００は、そのベースプレート面１２に設けられたＶ溝１３に、キネマ面３１の上面に設けられたキネマティックピン３１Ａが嵌まることにより、ロードポート基台３０Ａの上の適切な位置に載置され、
　
キネマ面３１に、ウェーハキャリア１００が載置されると、これに連動して、気体供給手段４００の接続部１８が、前記導入口１４に接続される
ｅ　上記「第４」「１（１）」で摘記の文献１の段落【００１７】〜【００１９】には、「重量物が存在しないときは、アクチュエータ２が、ばね（１）１１により上方に押し上げられたままの状態にあり」、「重量物が存在するときは、アクチュエータ２が下方に移動し、ピストンロッド８も下方に移動し、シール材（１）７も下方に移動し」、「アクチュエータ２とは、フランジ（１）１３、ピストンロッド８、ばね（１）１１からなる重量または機械的外力によってバルブ開閉作用を行う操作部」が開示されているので、上記ｂの文献１に記載の技術的事項における、「バルブ本体ハウジング１０」は、「フランジ（２）１３、ピストンロッド８、ばね（１）１１、シール材（１）７」を昇降可能な状態で保持するものであるということができる。
　また、上記ｃのとおり、文献３には、「注入ノズル５ａを昇降可能に保持するノズルホルダ６」という技術的事項が記載されている。
　加えて、上記ｄのとおり、文献４に記載の技術的事項は、「キネマ面３１に、ウェーハキャリア１００が載置されると、これに連動して、気体供給手段４００の接続部１８が、前記導入口１４に接続される」から、接続部１８は「昇降可能」であり、かつ、台部３０のロードポート基台３０Ａ上のキネマ面３１が、接続部１８を「保持する」部材であるということができる。
　したがって、引用発明２において、ノズル頭部２０、給気ポート１４、排気ポート１６は、いずれも「昇降可能」ではなく、一方、文献１、３、４には、昇降可能な部材及びそれを保持する部材が開示されているものの、引用発明２は、「ＦＯＵＰシステムにおけるパージ操作において、まず、内部に半導体ウエハ１を収容し、蓋４によってその内部が密閉空間とされたポッド２が台５３上方まで運ばれ、台５３上に載置され、この状態において、ポッド側の給気ポート７および排気ポート９は、各々シール部材２０を介して台５３側の給気ポート１４および排気ポート１６と当接し、シール部材２０とポッド２側の給排気ポート端部との間に形成される空間２０ｅ内部を排気する操作を行うことによって、空間２０ｅは減圧され、シール部材２０は、この減圧空間２０ｅの効果によって、当接するポッド２側の給排気ポート端部と強固に密着することとなり、当該操作終了後、あるいは当該操作を継続しながら、ポッド２内部のパージ操作を行い、ポッド２内部雰囲気の置換が行われ」、「シール部材を押しつぶすための加重がわずかな場合であっても、良好なシール特性を得ることが可能となる」、システムであるから、文献１、３、４を参照した当業者であっても、引用発明２において、給気ポート１４（ノズル）を「昇降可能」とし、シール部材２０（ノズル頭部）を「上昇移動」させるものとする動機付けはなく、そのようにする必要性を認めることもできない。
　よって、引用発明２において、文献１、３、４に記載された技術的事項に基づき、相違点４、５に係る本件発明１の構成とすることは当業者が容易になし得たこととはいえない。
（イ）以上のとおりであるから、相違点３について検討するまでもなく、本件発明１は、引用発明２及び文献１、３、４に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
（ウ）特許異議申立人の主張について
　特許異議申立人星正美は、特許異議申立書２５ページ「ウ（オ）」において、「しかしながら、甲第１号証に記載の甲１発明、甲第３号証に記載の甲３発明、甲第４号証に記載の甲４発明などから理解されるように、「給排気ポート１４、１６」を、ホルダを用いて昇降可能な状態に保持する技術は、本件特許発明１に係る原出願日の時点における周知技術である（・・・）。そうすると、・・・、甲２発明のパージシステムに対して周知技術を適用し、「シール部材２０」を含む「給排気ポート１４、１６」を昇降可能とすることは、当業者が容易に想到できるものであると認められる。」と主張するが、上記（ア）ｅで検討したとおり、引用発明２において、ノズル頭部２０、給気ポート１４、排気ポート１６は、いずれも「昇降可能」ではなく、一方、文献１、３、４には、昇降可能な部材及びそれを保持する部材が開示されているものの、文献１、３、４を参照した当業者であっても、引用発明２において、給気ポート１４（ノズル）を「昇降可能」とし、シール部材２０（ノズル頭部）を「上昇移動」させるものとする動機付けはなく、そのようにする必要性を認めることもできないから、特許異議申立人の当該主張を採用することはできない。
（２）請求項２〜６に係る発明について
　本件発明２〜６も、本件発明１の「前記ノズルを昇降可能な状態で保持するホルダ」、及び、「『前記ノズルは、上昇移動したとき前記ポートに接触するノズル頭部』を『有し』」と同一の構成を備えるものであるから、本件発明１と同じ理由により、引用発明２及び文献１、３、４に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
（３）申立理由２についてのまとめ
　以上のとおりであり、本件発明１〜６は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるとはいえず、請求項１〜６に係る特許を、申立理由２によって取り消すことはできない。
３　申立理由３（特許法第２９条の２の規定違反）
（１）請求項１に係る発明について
ア　本件発明１と先願５発明とを対比する。
（ア）先願５発明の「FOUP５」、「不活性ガス（パージ用気体）」、「FOUP５の底面に形成された対応するノズルポート」は、それぞれ本件発明１の「基板が収容されるパージ対象容器」、「パージ用気体」、「ポート」に相当する。
（イ）先願５発明は、「FOUP５内に不活性ガス（パージ用気体）を充填するため給気ノズル51」と、「FOUP５内のガスを排出するための排気ノズル52」と、「これらのノズル51,52を支持するノズル支持体53」とを備え、「ノズル支持体53が通気位置に上昇されると、給気ノズル51及び排気ノズル52が、載置台10のFOUP５の底面に形成された対応するノズルポート（不図示）に接続され、また、ノズル支持体53には、ノズル51,52よりも内側の位置であって、昇降機構54に設けられた別のノズル（ノズルポート）52a,52a、またはノズル支持体55に設けられた給気用ノズル（ノズルポート）51a、51aが対向する位置に、２つの孔が設けられ、別のノズル（ノズルポート）52a,52aは、ノズル支持体53の当該２つの孔に挿入され」ているものであるところ、「給気ノズル51及び排気ノズル52」は、パージガスを通過させ得る流路であるといえるから、「給気ノズル51及び排気ノズル52とノズル支持体53」は、併せて本件発明１の「パージ用気体を通過させ得るノズル」に対応する。
（ウ）先願５発明は、「ノズル支持体53を昇降させる昇降機構54」を備えるから、先願５発明の「昇降機構54」は、本件発明１の「前記ノズルを昇降可能な状態で保持するホルダ」に相当する。
（エ）上記（イ）、（ウ）より、先願５発明において、「『給気ノズル51及び排気ノズル52とノズル支持体53』と『昇降機構54』」を備える構成は、本件発明１の「パージノズルユニット」に対応するといえ、また、先願５発明において、「ノズルユニット50」は、「FOUP５内のパージを行うためのノズルユニット50」であって、「FOUP５内にパージ用気体を充填したり、FOUP５内の気体を排気したりする工程である給排気工程を実行するものであ」る。
　したがって、本件発明１と先願５発明とは、「基板が収容されるパージ対象容器の底面に設けたポートを通じてパージ用気体を供給することで、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を前記パージ用気体に置換可能なパージノズルユニットであり」、「前記パージノズルユニットは、前記パージ用気体を通過させ得る流路を有するノズルと、前記ノズルを昇降可能な状態で保持するホルダとを備え」る点で共通する。
（オ）先願５発明において、「給気ノズル51及び排気ノズル52」、「ノズル支持体53」は、それぞれ本件発明１の「ノズル頭部」、「本体部」に対応し、先願５発明において、「ノズル支持体53は、FOUP５が載置された載置台10が基板搬入出位置（図５（Ｄ）参照）に位置するとき、通気位置に上昇され、ノズル支持体53が通気位置に上昇されると、給気ノズル51及び排気ノズル52が、載置台10のFOUP５の底面に形成された対応するノズルポート（不図示）に接続され」るから、本件発明１と先願５発明とは、「前記ノズルは、上昇移動したとき前記ポートに接続するノズル頭部と、前記ノズル頭部の前記ポート側とは反対側に設けられる本体部とを有」する点で共通する。
（カ）以上をまとめると、本件発明１と先願５発明との間には、次の一致点、相違点があるといえる。
＜一致点＞
「基板が収容されるパージ対象容器の底面に設けたポートを通じてパージ用気体を供給することで、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を前記パージ用気体に置換可能なパージノズルユニットであり、
前記パージノズルユニットは、前記パージ用気体を通過させ得る流路を有するノズルと、
前記ノズルを昇降可能な状態で保持するホルダとを備え、
前記ノズルは、前記ポートに接続するノズル頭部と、前記ノズル頭部の前記ポート側とは反対側に設けられる本体部とを有する、
パージノズルユニット。」
＜相違点１＞
　パージ対象容器の底面に設けたポートが、本件発明１では、「中空筒状のシール部であるポート」であるのに対して、先願５発明では、「FOUP５の底面に形成された対応するノズルポート」について、そのような特定はなされていない点。
＜相違点２＞
　ノズル頭部について、本件発明１では、「上昇移動したとき前記ポートに接触するノズル頭部」であるのに対し、先願５発明では、「給気ノズル51及び排気ノズル52」は、「FOUP５の底面に形成された対応するノズルポート」に接触するか不明である点。
＜相違点３＞
　ノズル頭部について、本件発明１では、「前記ノズル頭部は前記本体部に対して交換可能に設けられる」のに対し、先願５発明では、「給気ノズル51及び排気ノズル52」は「ノズル支持体53」に対して交換可能であるとの特定はなされていない点。
イ　事案に鑑み、まず、相違点３について検討する。
　先願５明細書等には、「給気ノズル51及び排気ノズル52」と「ノズル支持体53」の具体的な構成について、段落【００１９】に、「ノズルユニット50は、載置台10に載置されたFOUP５内に不活性ガス（パージ用気体）を充填するため給気ノズル51と、FOUP５内のガスを排出するための排気ノズル52と、これらのノズル51,52を支持するノズル支持体53と、ノズル支持体53を昇降させる昇降機構54とを備えている。」と記載されている他には、記載も示唆もなく、また、「給気ノズル51及び排気ノズル52」が「ノズル支持体53」に対して交換可能であることが、周知・慣用手段であるとの証拠も示されておらず、相違点３は実質的であるというべきである。
　そして、本件発明１と先願５発明との間の上記相違点３が課題解決のための具体化手段における微差(周知技術、慣用技術の付加、削除、転換等であって、新たな効果を奏するものではないもの)であると解することもできない。
　よって、相違点１、２について検討するまでもなく、本件発明１は、先願５発明と同一又は実質同一であるとはいえない。
ウ　特許異議申立人の主張について
　特許異議申立人星正美は、特許異議申立書２６〜２７ページ「ウ（キ）」において、「これらの給気ノズル51、排気ノズル52および別のノズル52a，52aとノズル支持体53は、昇降機構54で昇降させられるため、『ノズル』に相当する（発明特定事項B）。
・・・
給気ノズル51、排気ノズル52および別のノズル52a，52aが、・・・、これらのノズルが本件発明の『ノズル頭部』に相当し、・・・
　また、・・・、少なくとも別のノズル52a，52aは、ノズル支持体53に対して交換可能に設けられていると認められる。・・・したがって、給気ノズル51、排気ノズル52および別のノズル52a，52aは、ノズル支持体53に対して交換可能に設けられている（発明特定事項Ｅ）。」と主張する。
　しかしながら、上記「第４」「５（１）」の段落【００１９】の「尚、容器メーカーによっては、給気用のノズルポートがFOUPの後方側の底面（FOUPドアと反対側の底面）に、排気用のノズルポートがFOUPの前方側の中央寄りの底面（FOUPドア側の底面）に設けられる場合がある。本実施の形態に係る搬入出装置１は、図３に示すように、載置台10における位置決めピン11bの両側にノズル支持体55,55を設けており、その
ノズル支持体55,55に給気用ノズル51a,51aを、また、ノズル支持体53のノズル51,52よりも内側の位置に、別のノズル52a,52aを設けている
　これにより、本実施の形態に係る搬入出装置１における
昇降機構54内の給気配管は、各容器のノズルポートの位置に合わせ、給排気口を変更できるように切り替え可能
　したがって、先願５明細書等の記載において、「別のノズル52a,52a」は、給気用ノズル（ノズルポート）51a,51aとで、給排気を行うものであり、「給気ノズル51、排気ノズル52」と併せて、本件発明１の『ノズル頭部』に相当するとはいえず、さらに、「給気ノズル51、排気ノズル52および別のノズル52a，52aとノズル支持体53」は、『ノズル』に相当するとはいえず、「給気ノズル51、排気ノズル52および別のノズル52a，52aは、ノズル支持体53に対して交換可能に設けられている（発明特定事項Ｅ）」ということもできず、上記の特許異議申立人の主張を採用することはできない。
（２）請求項２、５に係る発明について
　本件発明２、５も、本件発明１の「前記ノズル頭部は前記本体部に対して交換可能に設けられる」と同一の構成を備えるものであるから、本件発明１と同じ理由により、本件発明１は、先願５発明と同一又は実質同一であるとはいえない。
（３）申立理由３についてのまとめ
　以上のとおりであり、本件発明１、２、５は、特許法第２９条の２の規定に違反してされたものであるとはいえず、請求項１、２、５に係る特許を、申立理由３によって取り消すことはできない。
４　申立理由４（分割要件違反による特許法第２９条第１項、第２項の規定違反）
（１）本件特許の出願日について 
　本件特許に係る出願は、上記第１のとおり、第１世代分割出願の一部を更に分割出願とした分割出願（分割出願を原出願とする分割出願）であるところ、本件特許出願が原出願の出願の時にしたものとみなされるには、下記イ（イ）の(i)から(iii)までの全ての条件を満たすことが必要である。そこで、下記ウ〜オで各分割出願の分割要件について検討し、下記カで本件特許の出願日について判断する。
ア　原出願の出願から本件特許出願までの手続の経緯は、上記第１のとおりであるが、詳細な経緯は次のとおりである。
　平成２４年　６月　１日：原出願（特願２０１２−１３２２１０号）の出願
　平成２９年　３月２１日：原出願の特許査定の謄本送達
　平成２９年　４月　４日：第１世代分割出願（特願２０１７−７４１４５号）の出願
　平成３０年　８月２８日：第１世代分割出願の特許査定の謄本送達
　平成３０年　９月２６日：本件特許出願
イ　分割要件（特許法第４４条第１項）の判断
（ア）「特許出願の分割は、二以上の発明を包含する特許出願の一部を新たな特許出願とするものである（特許法第４４条第１項柱書き）から、適法に分割されたものというためには、以下の（要件１）及び（要件３）が満たされる必要がある。
　また、分割出願が原出願の時にしたものとみなされる（特許法第４４条第２項本文）という特許出願の分割の効果を考慮すると、更に以下の（要件２）も満たされる必要がある。」
（参考：特許・実用新案審査基準 第ＶＩ部第１章第１節「2.2 特許出願の分割の実体的要件」）
「（要件１） 原出願の分割直前の明細書等に記載された発明の全部が分割出願の請求項に係る発明とされたものでないこと。
（要件２） 分割出願の明細書等に記載された事項が、原出願の出願当初の明細書等に記載された事項の範囲内であること。
（要件３） 分割出願の明細書等に記載された事項が、原出願の分割直前の明細書等に記載された事項の範囲内であること。
　
　ただし、原出願の明細書等について補正をすることができる時期に特許出願の分割がなされた場合は、(要件２)が満たされれば、(要件３)も満たされることとする。」
（イ）「5.1 分割出願を原出願とする分割出願
　出願人は、特許出願(親出願)を原出願として分割出願(子出願)をし、更に子出願を原出願として分割出願(孫出願)をすることができる。
　この場合は、審査官は、以下の(i)から(iii)までの全ての条件を満たすときに、孫出願を親出願の時にしたものとみなして審査をする。
(i) 子出願が親出願に対し分割要件の全てを満たすこと。
(ii) 孫出願が子出願に対し分割要件の全てを満たすこと。
(iii) 孫出願が親出願に対し分割要件のうちの実体的要件の全てを満たすこと(注)。
(注) 2.2 の（要件３）における「原出願の分割直前の明細書等」とは、「親出願から子出願を分割する直前の親出願の明細書等」のことである。」
（参考：特許・実用新案審査基準 第ＶＩ部第１章第１節「5.1 分割出願を原出願とする分割出願特許出願の分割の実体的要件」）
ウ　第１世代分割出願の原出願に対する分割要件について
　そこで、まず、(i)について、第１世代分割出願が、原出願に対し分割要件を満たしているかについて、検討する。
（ア）（要件２）が満たされているか否かについて
　第１世代分割出願において、（要件１）は満たされているので、（要件２）が満たされているか否かを検討する。
ａ　第１世代分割出願の請求項１に係る発明
　第１世代分割出願の請求項１に係る発明（以下「第１世代発明１」という。）は、上記「第４」「７（２）」のとおりのものである。
ｂ　原出願の出願当初の明細書等が包含する発明について
（ａ）上記「第４」「６（１）」の原出願の出願当初の明細書の段落【００１６】、【００３８】〜【００４４】、【００６３】の記載によると、原出願の出願当初の明細書等は、「パージ用気体を通過させ得るパージ用気体流路４６（第一流路）を有する胴部４１と前記胴部４１よりも側方に張り出した鍔部８（頭部本体５１）とを有する本体部４（第一流路形成部材）、前記第一流路と連通する底部側パージ用気体流路６３（第二流路）を有するノズル底部６（第二流路形成部材）、及び前記第一流路形成部材４の前記鍔部８の外向き面に添接する側壁３１と前記胴部４１の外向き面を添接させ且つ挿通させた貫通孔３２を形成した底壁３３とを有するホルダ３」を備えるパージノズルユニット１の発明を包含する。
（ｂ）したがって、第１世代発明１と原出願の出願当初の明細書等が包含する発明とを対比すると、第１世代発明１は、原出願の出願当初の明細書等が包含する発明であるといえる。
　よって、第１世代分割出願は原出願に対し、（要件２）を満たしている。
（イ）（要件３）が満たされているか否かについて
　第１世代分割出願は、原出願の「特許査定の謄本送達日から30日以内（特許法第４４条第１項第２号）」に分割出願されたものであり、原出願の明細書等について補正をすることができる時期(第４４条第１項第１号)に分割出願されたものではないので、上記ただし書き、「ただし、原出願の明細書等について補正をすることができる時期に特許出願の分割がなされた場合は、(要件２)が満たされれば、(要件３)も満たされることとする。」は適用されない。
　そこで、（要件３）が満たされているか否かについて、検討する。
ａ　第１世代分割出願の請求項１に係る発明
　第１世代分割出願の請求項１に係る発明（以下「第１世代発明１」という。）は、上記「第４」「７（２）」のとおりのものである。
ｂ　原出願の分割直前の明細書等が包含する発明について
（ａ）上記「第４」「６（２）」の原出願の分割直前の明細書（特許第６１３１５３４号公報）の段落【００１６】、【００３８】〜【００４４】、【００６３】の記載によると、原出願の分割直前の明細書等は、「パージ用気体を通過させ得るパージ用気体流路４６（第一流路）を有する胴部４１と前記胴部４１よりも側方に張り出した鍔部８（頭部本体５１）とを有する本体部４（第一流路形成部材）、前記第一流路と連通する底部側パージ用気体流路６３（第二流路）を有するノズル底部６（第二流路形成部材）、及び前記第一流路形成部材４の前記鍔部８の外向き面に添接する側壁３１と前記胴部４１の外向き面を添接させ且つ挿通させた貫通孔３２を形成した底壁３３とを有するホルダ３」を備えるパージノズルユニット１の発明を包含する。
（ｂ）したがって、第１世代発明１と原出願の分割直前の明細書等が包含する発明とを対比すると、第１世代発明１は、原出願の分割直前の明細書等が包含する発明であるといえる。
　よって、第１世代分割出願は原出願に対し、（要件３）を満たしている。
ｃ　以上のとおりであるから、第１世代分割出願は、「(i)子出願が親出願に対し分割要件の全てを満たすこと。」となっている。
　よって、第１世代分割出願は、特許法第４４条第１項第２号に規定する新たな特許出願である（分割出願の要件を満たす）といえる。
エ　本件特許出願の第１世代分割出願に対する分割要件について
　次に、(ii)について、本件特許出願が、第１世代分割出願に対し分割要件を満たしているかについて、検討する。
（ア）（要件２）が満たされているか否かについて
　本件特許出願において、（要件１）は満たされているので、（要件２）が満たされているか否かを検討する。
ａ　本件発明１
　本件発明１は、上記「第２」のとおりのものである。
ｂ　第１世代分割出願の出願当初の明細書等が包含する発明について
（ａ）上記「第４」「７（１）」の第１世代分割出願の出願当初の明細書の段落【００１６】、【００３１】、【００３７】〜【００３８】、【０１０１】の記載によると、第１世代分割出願の出願当初の明細書等は、「基板が収容されるＦＯＵＰ１００（パージ対象容器）の底面に設けた中空筒状のシール部であるポート１０１を通じてパージ用気体を供給することで、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を前記パージ用気体に置換可能なパージノズルユニット１であり、前記パージノズルユニットは、前記パージ用気体を通過させ得る流路を有するノズル本体１（ノズル）と、前記ノズル本体を昇降可能な状態で保持するホルダ３とを備え、前記ノズル本体は、上昇移動したとき前記ポートに接触するノズル頭部５と、前記ノズル頭部の前記ポート側とは反対側に設けられる本体部４とを有し、前記ノズル頭部は前記本体部に対して交換可能に設けられる」パージノズルユニット１の発明を包含する。
（ｂ）したがって、本件発明１と第１世代分割出願の出願当初の明細書等が包含する発明とを対比すると、本件発明１は、第１世代分割出願の出願当初の明細書等が包含する発明であるといえる。
　よって、本件特許出願は第１世代分割出願に対し、（要件２）を満たしている。
（イ）（要件３）が満たされているか否かについて
　本件特許出願は、第１世代分割出願の「特許査定の謄本送達日から30日以内（特許法第４４条第１項第２号）」に分割出願されたものであり、第１世代分割出願の明細書等について補正をすることができる時期(第４４条第１項第１号)に分割出願されたものではないので、上記ただし書き、「ただし、原出願の明細書等について補正をすることができる時期に特許出願の分割がなされた場合は、(要件２)が満たされれば、(要件３)も満たされることとする。」は適用されない。
　そこで、（要件３）が満たされているか否かについて、検討する。
ａ　本件発明１
　本件発明１は、上記「第２」のとおりのものである。
ｂ　第１世代分割出願の分割直前の明細書等が包含する発明について
（ａ）上記「第４」「７（２）」の第１世代分割出願の分割直前の明細書（特許第６４０９８９８号公報）の段落【００１６】、【００３１】、【００３７】〜【００３８】、【０１０１】の記載によると、第１世代分割出願の出願当初の明細書等は、「基板が収容されるＦＯＵＰ１００（パージ対象容器）の底面に設けた中空筒状のシール部であるポート１０１を通じてパージ用気体を供給することで、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を前記パージ用気体に置換可能なパージノズルユニット１であり、前記パージノズルユニットは、前記パージ用気体を通過させ得る流路を有するノズル本体１（ノズル）と、前記ノズル本体を昇降可能な状態で保持するホルダ３とを備え、前記ノズル本体は、上昇移動したとき前記ポートに接触するノズル頭部５と、前記ノズル頭部の前記ポート側とは反対側に設けられる本体部４とを有し、前記ノズル頭部は前記本体部に対して交換可能に設けられる」パージノズルユニット１の発明を包含する。
（ｂ）したがって、本件発明１と第１世代分割出願の分割直前の明細書等が包含する発明とを対比すると、本件発明１は、第１世代分割出願の分割直前の明細書等が包含する発明であるといえる。
　よって、本件出願は第１世代分割出願に対し、（要件３）を満たしている。
ｃ　以上のとおりであるから、本件特許出願は、「(ii)孫出願が子出願に対し分割要件の全てを満たすこと。」となっている。
　よって、本件特許出願は、特許法第４４条第１項第２号に規定する新たな特許出願である（分割出願の要件を満たす）といえる。
オ　本件特許出願の原出願に対する分割要件について
　最後に、(iii)について、本件特許出願が、原出願に対し分割要件のうちの実体的要件を満たしているかについて、検討する。
（ア）（要件２）が満たされているか否かについて
　本件特許出願において、（要件１）は満たされているので、（要件２）が満たされているか否かを検討する。
ａ　本件発明１
　本件発明１は、上記「第２」のとおりのものである。
ｂ　原出願の出願当初の明細書等が包含する発明について
（ａ）上記「第４」「６（１）」の原出願の出願当初の明細書の段落【００１６】、【００３１】、【００３７】〜【００３８】、【０１０１】の記載によると、第１世代分割出願の出願当初の明細書等は、「基板が収容されるＦＯＵＰ１００（パージ対象容器）の底面に設けた中空筒状のシール部であるポート１０１を通じてパージ用気体を供給することで、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を前記パージ用気体に置換可能なパージノズルユニット１であり、前記パージノズルユニットは、前記パージ用気体を通過させ得る流路を有するノズル本体１（ノズル）と、前記ノズル本体を昇降可能な状態で保持するホルダ３とを備え、前記ノズル本体は、上昇移動したとき前記ポートに接触するノズル頭部５と、前記ノズル頭部の前記ポート側とは反対側に設けられる本体部４とを有し、前記ノズル頭部は前記本体部に対して交換可能に設けられる」パージノズルユニット１の発明を包含する。
（ｂ）したがって、本件発明１と原出願の出願当初の明細書等が包含する発明とを対比すると、本件発明１は、原出願の出願当初の明細書等が包含する発明であるといえる。
　よって、本件特許出願は原出願に対し、（要件２）を満たしている。
（イ）（要件３）が満たされているか否かについて
　（要件３）が満たされているか否かについて、本件特許出願の明細書等に記載された事項が、「原出願から第１世代分割出願を分割する直前の原出願の明細書等」に記載された事項の範囲内であるかについて、検討する。
ａ　本件発明１
　本件発明１は、上記「第２」のとおりのものである。
ｂ原出願の分割直前の明細書等が包含する発明について
（ａ）上記「第４」「６（２）」の原出願の分割直前の明細書（特許第６１３１５３４号公報）の段落【００１６】、【００３１】、【００３７】〜【００３８】、【０１０１】の記載によると、第１世代分割出願の出願当初の明細書等は、「基板が収容されるＦＯＵＰ１００（パージ対象容器）の底面に設けた中空筒状のシール部であるポート１０１を通じてパージ用気体を供給することで、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を前記パージ用気体に置換可能なパージノズルユニット１であり、前記パージノズルユニットは、前記パージ用気体を通過させ得る流路を有するノズル本体１（ノズル）と、前記ノズル本体を昇降可能な状態で保持するホルダ３とを備え、前記ノズル本体は、上昇移動したとき前記ポートに接触するノズル頭部５と、前記ノズル頭部の前記ポート側とは反対側に設けられる本体部４とを有し、前記ノズル頭部は前記本体部に対して交換可能に設けられる」パージノズルユニット１の発明を包含する。
（ｂ）したがって、本件発明１と原出願の分割直前の明細書等が包含する発明とを対比すると、本件発明１は、原出願の分割直前の明細書等が包含する発明であるといえる。
　よって、本件特許出願は原出願に対し、（要件３）を満たしている。
ｃ　以上のとおりであるから、本件特許出願は、「(iii)孫出願が親出願に対し分割要件のうち実体的要件の全てを満たすこと。」となっている。
カ　本件特許の出願日についての判断
　上記ウ〜オのとおり、本件特許出願は、上記イ（イ）の(i)から(iii)のすべての条件を満たすから、本件特許出願は、原出願の出願日である平成２４年６月１日に出願したものとみなすことができる。
キ　特許異議申立人の主張について
　特許異議申立人星正美は、特許異議申立書２７〜３０ページ「エ」において、「本件特許発明１〜６に係る特許査定時の明細書の段落「０１０４」の記載は、原出願（特願２０１２−１３２２１０）の明細書等の記載に対して、実施形態等における具体例の追加に該当し、新たな技術的事項を導入するものであり、また、特許発明１〜６に記載の「ホルダ」は、「胴部を挿通させた貫通孔を形成した底壁を有する」という特徴を特定しないものであるのに対して、原出願（特願２０１２−１３２１０）の特許請求の範囲、明細書および図面には、「胴部を挿通させた貫通孔を形成した底壁を有するホルダ」のみが記載されている。したがって、特許発明１〜６は、原出願の明細書等の記載の発明に対して、発明特定事項の一部が削除されたものであり、新たな技術的事項が導入されたものであるから、本件に係る特許出願は、上述した分割要件を満たさない。」旨を主張している。
　しかしながら、上記カで判断したとおり、「上記ウ〜オのとおり、本件特許出願は、上記イ（イ）の(i)から(iii)のすべての条件を満たす」から、分割出願を原出願とする分割出願である、本件に係る特許出願は、原出願の出願日に出願したものとみなすことができる。
（２）本件特許の出願日と証拠（原出願公開公報）の出願公開日について
　上記（１）での検討より、本件特許の出願日は、原出願の出願日の平成２４年６月１日であると認められる。
　一方、原出願公開公報（特開２０１３−２５８２０６号公報）の出願公開日は平成２５年１２月８日である。
（３）以上のとおりであるから、原出願公開公報は、本件の特許出願の日前の他の特許出願であつて当該特許出願後に出願公開がされたものには該当しないので、請求項１〜６に係る特許は、特許法第２９条第１項または同法同条第２項の規定に違反してされたものであるとはいえない。
（４）申立理由４についてのまとめ
　以上のとおり、本件発明１〜６は、特許法第２９条第１項及び第２項の規定に違反してされたものであるとはいえず、請求項１〜６に係る特許を、申立理由４によって取り消すことはできない。
第６　むすび
　したがって、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、請求項１〜６に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に請求項１〜６に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
令和２年１１月３０日（２０２０．１１．３０）