(57)【要約】【課題】コストを低減したフィルターの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供することを目的とする。【解決手段】複数のパンチ部５７ａが列設されたパンチ５７及び被打ち込み部材５８を用い、被打ち込み部材５８の上に載置された被加工板５１に複数の貫通孔を形成してフィルターとするフィルターの製造方法であって、被打ち込み部材５８をその面方向であってパンチ部５７ａの列設方向に対して垂直方向に張力をかけた状態にして、被打ち込み部材５８の上に載置された被加工板５１をパンチ５７で打ち抜き、打ち抜き片を被打ち込み部材５８の内部に押し込むことで、被加工板５１に複数の貫通孔を形成する。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のパンチ部が列設されたパンチ及び被打ち込み部材を用い、被打ち込み部材の上に載置された被加工板に複数の貫通孔を形成するフィルターの製造方法であって、
前記被打ち込み部材をその面方向であって前記パンチ部の列設方向に対して垂直方向に張力をかけた状態にして、前記被打ち込み部材の上に載置された前記被加工板を前記パンチで打ち抜き、打ち抜き片を前記被打ち込み部材の内部に押し込むことで、前記被加工板に複数の貫通孔を形成することを特徴とするフィルターの製造方法。
【請求項２】
前記被打ち込み部材を基台上に設けた状態で、前記被加工板に複数の貫通孔を形成することを特徴とする請求項１に記載のフィルターの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の製造方法によって製造されたフィルターを有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項３記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工板に複数の貫通孔が設けられたフィルターの製造方法及びこれを具備する液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は種々な液体を噴射するもので、中でも広く使用されているものに、インクジェット式記録装置がある。インクジェット式記録装置は、複数のノズル開口から液体であるインク滴を吐出するインク噴射ヘッドを備えている。このインク噴射ヘッドによりインク滴を記録媒体である記録紙等の表面に着弾させて画像や文字を印刷するようになっている。
【０００３】
そして、インク噴射ヘッド内に設けられたインクの供給流路には、インク内に混入した異物、即ち、何らかの原因で供給流路内に残留している合成樹脂等の微細片や気泡を取り除くための平板状のフィルターが配置されている。このフィルターとして、薄板にパンチ加工によって複数の貫通孔を設けたものが提案されている（特許文献１等参照）。特許文献１では、下受けダイとパンチとの間に軟質部材を設け、打ち抜き片を軟質部材の内部に押し込むことにより、パンチを受ける凹部を形成する必要がなくなると共にパンチとの位置あわせが不要となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２７２６３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、パンチの先端のパンチ部を軟質部材内に押し込むとパンチ部に負荷がかかり、長期間に亘って使用するとパンチ部の湾曲や破断などの破損が生じ易いという問題があった。したがって、このようなパンチを長期間に亘って使用すると、所望の貫通孔を形成することができなくなり、歩留まりが低下してしまうという問題がある。
【０００６】
また、パンチ部は、微細な貫通孔を形成するためには高精度な寸法が要求されるものの、湾曲や破断といった破損によって寿命が短くなり、頻繁な交換が必要になってしまうという問題がある。これらの問題により、フィルターのコストが高くなってしまう。
【０００７】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドに搭載されるフィルターに限定されず、他の装置に搭載されるフィルターにおいても同様に存在する。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、コストを低減したフィルターの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の態様は、複数のパンチ部が列設されたパンチ及び被打ち込み部材を用い、被打ち込み部材の上に載置された被加工板に複数の貫通孔を形成するフィルターの製造方法であって、前記被打ち込み部材をその面方向であって前記パンチ部の列設方向に対して垂直方向に張力をかけた状態にして、前記被打ち込み部材の上に載置された前記被加工板を前記パンチで打ち抜き、打ち抜き片を前記被打ち込み部材の内部に押し込むことで、前記被加工板に複数の貫通孔を形成することを特徴とするフィルターの製造方法にある。
かかる態様では、被打ち込み部材をその面方向であってパンチ部の列設方向に対して垂直方向に張力をかけた状態とすることにより、打ち込みの際、被打ち込み部材の一部は、被打ち込み部材の面方向であってパンチ部の列設方向に対して垂直方向に移動する。すなわち、パンチ部の列設方向とは直交する方向に肉寄せが生じて、パンチ部の列設方向への肉寄せが抑制される。これにより、列設方向の端部に設けられたパンチ部の湾曲や破断などの破損が抑制され、フィルターの歩留まりが向上すると共にパンチの寿命が長くなる。したがって、フィルターを低コストで製造することができる。
【００１０】
また、被打ち込み部材に張力をかけることにより、被打ち込み部材の見掛けの剛性が向上して、張力をかけない状態で用いるものと比較して、被打ち込み部材を薄くすることができる。これにより、被打ち込み部材の打ち抜き方向に交差する方向への肉寄せを低減して、パンチに生じる負荷を低減させることができる。
【００１１】
また、前記被打ち込み部材を基台上に設けた状態で、前記被加工板に複数の貫通孔を形成するのが好ましい。
被打ち込み部材を基台上に設けることにより、被加工板に精度の高い貫通孔を形成することができる。
【００１２】
本発明の他の態様は、上記の製造方法により製造したフィルターを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、液体の吐出不良を防止して、信頼性を向上した液体噴射ヘッドを低コストで実現できる。
【００１３】
さらに本発明の他の態様は、このような液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体の吐出不良を防止して、信頼性を向上した液体噴射ヘッドを低コストで実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係るフィルターの平面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係るフィルターの製造方法を示す断面図及び斜視図である。
【図６】本発明の実施形態１に係るフィルターの製造方法を示す断面図である。
【図７】本発明の実施形態１に係るフィルターの製造方法を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
ここで本発明のフィルターの製造方法により製造したフィルターを具備する液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置について説明する。なお、図１は、本発明の液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略斜視図である。
【００１６】
図１に示すように、本実施形態の液体噴射装置であるインクジェット式記録装置１は、例えば、ブラック（Ｂ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）等の複数の異なる色のインクが貯留される貯留室を有するインクカートリッジ（液体貯留手段）２が装着されたインクジェット式記録ヘッド１０（以下、記録ヘッド）を具備する。記録ヘッド１０はキャリッジ３に搭載されており、記録ヘッド１０が搭載されたキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、キャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙装置等により給紙された紙等の被記録媒体Ｓがプラテン８上を搬送されるようになっている。
【００１７】
次に、本実施形態に係る記録ヘッド１０について説明する。なお、図２は、実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図であり、図３はその断面図である。
【００１８】
図２及び図３に示すように、インクジェット式記録ヘッド１０を構成するヘッドホルダーの一例であるカートリッジケース１１は、上述したインクカートリッジ（図示なし）が装着されるカートリッジ装着部１２を有する。例えば、本実施形態では、このカートリッジ装着部１２に、ブラックインク及び複数色のカラーインクが充填された各インクカートリッジがそれぞれ装着されるようになっている。また、カートリッジケース１１の底面には、一端が各カートリッジ装着部１２に開口し、他端が後述するヘッドケース側に開口する複数のインク連通路（第１の液体流路）１３がそれぞれ形成された管状の流路形成部１４が突設されている（図３参照）。
【００１９】
カートリッジケース１１の上面側、すなわち、カートリッジ装着部１２のインク連通路１３の開口部分には、インクカートリッジに挿入される複数のインク供給針１５が、インク内の気泡や異物を除去するためのフィルター１６を介して固定されている。
【００２０】
カートリッジケース１１の下面側には、シール部材１７及び回路基板１８を挟んで、ヘッド部材１９が固定されている。本実施形態に係るヘッド部材１９は、複数の圧電素子を有する圧電素子ユニット２０を収容するための中空箱体状の部材であるヘッドケース２１と、このヘッドケース２１のカートリッジケース１１とは反対側の端面に固定されるヘッド本体２２とで構成されている。ヘッド本体２２は、複数のノズル２３が穿設されたノズルプレート２４と、ノズル２３に連通する圧力発生室２５を含む流路が形成された流路形成基板２６と、流路形成基板２６のノズルプレート２４とは反対面側に配される振動板２７とで構成されている。これらノズルプレート２４及び振動板２７と流路形成基板２６とはそれぞれ接着剤によって接合されている。またヘッドケース２１には、一端側が圧力発生室２５に連通すると共に他端側がカートリッジケース１１のインク連通路１３に連通するインク供給路２８が設けられている。インク連通路１３とインク供給路２８との接続部分は、シール部材１７によって密封されている。
【００２１】
このようにカートリッジケース１１の下面側に、シール部材１７、回路基板１８、ヘッド部材１９を構成するヘッドケース２１及びヘッド本体２２の順で配し、これら各部材の外側にヘッド本体２２のノズル２３を露出する窓部２９を有する枠体３０をはめ込み、ネジ３１によってカートリッジケース１１に固定することで、インクジェット式記録ヘッド１０が形成される。
【００２２】
ここで、フィルター１６について詳細に説明する。なお、図４は、フィルターの平面図である。
【００２３】
図４に示すように、フィルター１６は、ステンレス（ＳＵＳ）等の金属材料からなる平坦な被加工板５１（例えば、厚さ１５μｍ）に多数の微細な貫通孔５２（例えば、内径が１５μｍの穴が１ｃｍ２に数万穴）を穿設して円形に切断したものであり、直径は例えば、８〜９ｍｍ程度とされている。貫通孔５２の内径は、ノズル２３よりも小さく設定されている。なお、フィルター１６の貫通孔５２としては、正方形や六角形の穴とすることも可能であり、この場合、対角線の長さがノズル２３よりも小さく設定されていればよい。異物がフィルター１６を通過してもノズル２３から排出されるからである。また、本実施形態では、貫通孔５２は、隣接する貫通孔５２のピッチが、例えば、４μｍ程度に設定されている。
【００２４】
また、平坦な被加工板５１には格子状に延びる凹凸線５３が形成され、カール力（多数の微細な貫通孔５２が穿設されたことに基づく曲がり方向の残留応力）が除去されて平坦状態が維持されている。凹凸線５３を設けたことにより、極薄のフィルター１６であってもカールが除去されて平坦状態が維持され、取り扱いが容易になって組み立て時の生産性を向上させることが可能になる。凹凸線５３は、山の高さが、例えば、２０μｍ〜５０μｍ程度に設定され、隣接する凹凸線５３同士のピッチが、例えば、６０μｍ程度に設定されている。
【００２５】
ここで、本実施形態のフィルター１６の製造方法について図５〜７を用いて説明する。
【００２６】
まず、図５に示す金型装置５４に被加工板５１を載置する。なお、図５（ａ）は、本発明のフィルターの製造方法の横断面図、図５（ｂ）は、本発明のフィルターの製造方法の斜視図である。  
【００２７】
ここで、金型装置５４について説明する。図５に示すように、金型装置５４は、平盤状の基台５５、角型パンチ５７、凹凸が形成されていない平盤状の被打ち込み部材５８を有する。角型パンチ５７は、平盤状の基台５５の上部にストリッパー５６を介して設けられている。また、被打ち込み部材５８は、基台５５の上面に設けられている。なお、基台５５及び被打ち込み部材５８の表面は凹凸がなく平坦であるため、後述するように被打ち込み部材５８に多数の被加工板５１の打ち抜き片６２を押し込む際に、押し込み量を均一にすることができ、多数の打ち抜き片６２を確実に被打ち込み部材５８の内部に留めることができる。
【００２８】
被打ち込み部材５８に用いる軟質の高分子材料としては、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＯＭ（ポリアセタール）、ＡＢＳ（ＡＢＳ樹脂）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等が挙げられ、本実施形態では、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）を用いた。硬さは、被加工板５１の厚さや貫通孔５２の大きさ、ピッチ等により適宜選択する。このような被打ち込み部材５８を用いることで、基台５５側にパンチ５７のパンチ部５７ａを受けるための凹部を設けることなく、貫通孔５２を打ち抜くことが可能になる。また、パンチ５７のパンチ部５７ａと凹部との位置合わせが不要になり、被加工板５１に貫通孔５２を容易に形成することができる。
【００２９】
また、被打ち込み部材５８の厚さは、少なくとも被加工板５１の厚さの２倍以上であることが好ましい。例えば、本実施形態では、被加工板５１の厚さが１５μｍであるのに対し、被打ち込み部材５８の厚さを０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ程度としている。被打ち込み部材５８をこのような厚さとすることで、被打ち込み部材５８の内部に打ち抜き片６２を確実に留めることができると共に、被加工板５１は完全に貫通させることができるので、貫通不良などによる貫通孔５２の周縁部のバリ発生を抑制できる。
【００３０】
また、パンチ５７には、矩形体状の本体の端面に複数本（本実施形態では５本）の角型のパンチ部５７ａが列設されている。パンチ５７のパンチ部５７ａの一辺は、例えば、１３μｍに形成され、フィルター１６の貫通孔５２の対角線の長さが約１５μｍとなるようになっている。なお、パンチ５７のパンチ部５７ａの形状は円形であってもよい。複数のパンチ部５７ａが列設されたパンチ５７を使用することにより、一度の打ち抜きで一列に並んだ複数（本実施形態では５個）の貫通孔５２を形成することができる。
【００３１】
上述した金型装置５４において、図５に示すように、被打ち込み部材５８を、その面方向であってパンチ部５７ａの列設方向に対して垂直方向に張力をかける。具体的には、被打ち込み部材５８のパンチ部の列設方向と平行な両端部５８Ａ、５８Ｂをそれぞれ把持部材６０Ａ、６０Ｂにより把持する。そして、被打ち込み部材５８を、把持部材６０Ａ、６０Ｂによって外側へと引っ張ることにより、被打ち込み部材５８にパンチ部５７ａの列設方向に対して垂直方向に張力を付与する。このとき、被打ち込み部材５８の端部５８Ａ及び５８Ｂは、パンチ部５７ａの列設方向に亘った端部全体がそれぞれ把持部材６０Ａ、６０Ｂにより把持されているため、被打ち込み部材５８にはパンチ部５７ａの列設方向に亘って均等な張力が付与されることになる。
【００３２】
そして、被打ち込み部材５８に張力をかけたままの状態で、図６（ａ）に示すように、ストリッパー５６を基台５５側に移動させて、被打ち込み部材５８上に載置した被加工板５１にパンチ５７のパンチ部５７ａを貫通させて貫通孔５２を形成する。このとき、パンチ５７のパンチ部５７ａの先端は、被加工板５１を貫通して、被打ち込み部材５８に挿入される。これにより、打ち抜き片６２が被打ち込み部材５８の内部に押し込まれる。
【００３３】
次に、ストリッパー５６を上昇させ打ち抜き片６２が被打ちこみ部材５８内にとどまった状態で、図６（ｂ）に示すように、被打ち込み部材５８と共に被加工板５１を１ピッチ分移動させて、再び被加工板５１にパンチ５７のパンチ部５７ａを貫通させて貫通孔５２を形成する。この動作を繰り返すことで、多数の貫通孔５２を被加工板５１に形成する。
【００３４】
パンチ５７のパンチ部５７ａを被打ち込み部材５８内に打ち込むと、パンチ部５７ａの打ち込みによる変形で被打ち込み部材５８に肉寄せが発生し、打ち抜き方向とは交差する方向に負荷がかかることが問題となるが、本発明では、被打ち込み部材５８の面方向であってパンチ部５７ａの列設方向に対して垂直方向に張力がかけられていることにより、被打ち込み部材５８の一部は、主に、被打ち込み部材５８の面方向であってパンチ部５７ａの列設方向に対して面内垂直方向に移動する。すなわち、パンチ部５７ａの列設方向とは直交する方向に肉寄せが生じて、パンチ部５７ａの列設方向への肉寄せが抑制される。これにより、被打ち込み部材５８の面方向であってパンチ５７のパンチ部５７ａの列設方向に生じる負荷を著しく低減させることができる。特に、複数のパンチ部５７ａが櫛歯状に列設されたパンチ５７を用いた場合、列設方向の端部のパンチ部５７ａに大きな応力がかかるため、端部のパンチ部５７ａが破損しやすいが、上述したように、被打ち込み部材５８の面方向であってパンチ部５７ａの列設方向に対して垂直方向に張力がかけられていることにより、列設方向の端部のパンチ部５７ａの横方向（被打ち込み部材５８の面方向）への押圧力が抑制され、破損を低減することができる。
【００３５】
また、本発明では、被打ち込み部材５８に張力をかけることにより、被打ち込み部材５８の見掛けの剛性が向上して、張力をかけない状態で用いるものと比較して、被打ち込み部材５８を薄くすることができる。これにより、パンチ５７の打ち込み深さを浅く設定することができ、被打ち込み部材５８の打ち抜き方向に交差する方向への肉寄せを低減して、パンチ５７に生じる負荷を低減させることができる。
【００３６】
したがって、パンチ部５７ａの湾曲や破断などの破損が抑制され、フィルターの歩留まりが向上すると共にパンチ５７の寿命が長くなり、フィルターを低コストで製造することができる。
【００３７】
このように、被打ち込み部材５８にかける張力は、パンチ部５７ａにより被打ち込み部材５８の内部に被加工板５１の打ち抜き片６２を押し込んだ後に、被打ち込み部材５８の材肉が、主に、被打ち込み部材５８の面方向であってパンチ部５７ａの列設方向に対して垂直方向に移動する程度とする。すなわち、パンチ部５７ａの列設方向への肉寄せがほとんど発生しない程度とする。
【００３８】
また、被打ち込み部材５８と共に被加工板５１を１ピッチ分移動させてパンチ５７による打ち込みが繰り返されるため、かえりが発生してもストリッパー５６の端面につぶされる等の横かえりが発生する虞が全くない。ちなみに、下側にパンチ５７のパンチ部５７ａが挿入される凹部を備えたダイを使用した場合、被加工板５１を移動させると、凹部以外のダイの上面とストリッパー５６の端面との間でかえりが潰されて貫通孔５２が変形する虞がある。上述した金型装置５４を用いることで、貫通孔５２が変形する虞が生じない。
【００３９】
なお、フィルター１６は、一枚の被加工板５１に複数個一体的に形成された後、１枚のフィルター１６のサイズに打ち抜く（切り抜く）ことで形成する。具体的には、図７に示すように、貫通孔５２が多数形成された被加工板５１は小判抜き型６５により抜かれてフィルター１６の形状に打ち抜かれる。小判抜き型６５の上型６５ａと下型６５ｂの対向面にはそれぞれ凹凸線５３を形成するための凹凸部６６が設けられ、フィルター１６の形状に打ち抜かれると同時に、表面に凹凸線５３が形成される。なお、フィルター１６の周囲に溶着代を残した状態で凹凸線５３を形成するようにしてもよい。凹凸部６６が設けられた小判抜き型６５を用いることにより小判抜き時に加圧矯正によるカール取りが同時に行える。
【００４０】
実施形態１では、基台５５上に被打ち込み部材５８を設けた状態で、被加工板５１に複数の貫通孔５２を形成したが、基台５５を用いずに被加工板５１に複数の貫通孔５２を形成することもできる。この場合には、被打ち込み部材５８をその面方向であってパンチ部５７ａの列設方向に対して垂直方向に張力をかけた状態にして、この上に被加工板５１を載置してパンチ部５７ａで打ち抜くことにより、打ち抜き片６２を被打ち込み部材５８の内部に押し込んで且つ突き抜けるようにすることができる。すなわち、被加工板５１及び被打ち込み部材５８を、パンチ部５７ａで打ち抜くことができる。本発明では、上述のように、被打ち込み部材５８に張力をかけることにより、被打ち込み部材５８の見掛けの剛性が向上しているため、張力をかけない場合に用いるものと比較して、被打ち込み部材５８を薄くして被打ち込み部材５８も打ち抜くことができる。このとき、打ち抜き片６２は、被打ち込み部材５８の被加工板５１側とは反対側に落ちる。このように、被打ち込み部材５８も打ち抜くことにより、被打ち込み部材５８の肉寄せが抑制され、パンチ部５７ａの列設方向に生じる負荷を抑制することができる。肉寄せが発生しても、上述した実施形態１と同様に、被打ち込み部材５８の面方向であってパンチ５７のパンチ部５７ａの列設方向に生じる負荷を著しく低減させることができる。したがって、パンチ部５７ａの湾曲や破断などの破損が抑制され、フィルターの歩留まりが向上すると共にパンチの寿命が長くなり、フィルターを低コストで製造することができる。
【００４１】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、カートリッジケース１１とインク供給針１５との間に設けられたフィルター１６について説明したが、本発明のフィルターは、インクジェット式記録ヘッド１０に代表される液体噴射ヘッドに用いられたフィルターであれば、その設置場所等については特に限定されるものではない。もちろん、フィルター１６は、インクジェット式記録ヘッド１０以外に、インクジェット式記録装置１に代表される液体噴射装置に搭載されるものであってもよい。液体噴射装置に搭載されるフィルターとしては、例えば、インク等の液体を貯留する貯留タンクなどの貯留手段が、キャリッジ３に搭載されず、装置本体４に固定されるものにおいて、貯留手段とインクジェット式記録ヘッド１０との間に設けられたフィルターなどであってもよい。
【００４２】
もちろん、上述したインクジェット式記録装置１では、インクジェット式記録ヘッド１０がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド１０が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００４３】
また、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。  
【００４４】
また、本発明は、インクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッドに搭載されるフィルターの製造方法に限られず、他の装置に搭載されるフィルターの製造方法にも適用することができる。
【符号の説明】
【００４５】
１  インクジェット式記録装置、  １６  フィルター、  １７  シール部材、  １８  回路基板、  １９  ヘッド部材、  ２０  圧電素子ユニット、  ２１  ヘッドケース、  ２２  ヘッド本体、  ２３  ノズル、  ２４  ノズルプレート、  ２５  圧力発生室、  ２６  流路形成基板、  ２７  振動板、  ２８  インク供給路、  ２９  窓部、  ３０  枠体、  ３１  ネジ、  ５１  被加工板、  ５２  貫通孔、  ５３  凹凸線、  ５４  金型装置、  ５５  基台、  ５６  ストリッパー、  ５７  パンチ、  ５８  被打ち込み部材、  ６２  打ち抜き片、  ６５  小判抜き型、  ６６  凹凸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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