(57)【要約】      （修正有）【課題】水晶デバイスの製造者が水晶デバイスの品質を向上させやすくする。【解決手段】水晶デバイスを製造する複数の水晶デバイス製造者に提供する水晶片アレイを製造する方法は、水晶片アレイから製造される水晶片の要求仕様を取得するステップＳ１と、仕様が入力されると水晶片アレイを製造するための設計情報を出力する機械学習モデルに、取得した要求仕様を入力することにより、水晶デバイス製造者に提供する水晶片アレイの設計情報である第１設計情報を作成するステップＳ２と、第１設計情報に基づいて水晶片アレイを製造するステップＳ３と、製造した水晶片アレイの評価結果を水晶デバイス製造者から取得するステップＳ４と、評価結果に基づいて第１設計情報を変更することにより第２設計情報を作成するステップＳ５と、第２設計情報を教師データとして用いて機械学習モデルを更新するステップＳ８と、を有する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶デバイスを製造する複数の水晶デバイス製造者に提供する水晶片アレイを製造する方法であって、
水晶片アレイから製造される水晶片の要求仕様を取得する第１取得ステップと、
仕様が入力されると水晶片アレイを製造するための設計情報を出力する機械学習モデルに、取得した前記要求仕様を入力することにより、前記水晶デバイス製造者に提供する水晶片アレイの設計情報である第１設計情報を作成する第１作成ステップと、
前記第１設計情報に基づいて前記水晶片アレイを製造する第１製造ステップと、
製造した前記水晶片アレイの評価結果を前記水晶デバイス製造者から取得する第２取得ステップと、
前記評価結果に基づいて前記第１設計情報を変更することにより第２設計情報を作成する第２作成ステップと、
前記第２設計情報を教師データとして用いて前記機械学習モデルを更新する更新ステップと、
を有する水晶片アレイの製造方法。
【請求項２】
前記第２作成ステップの後に、前記第２設計情報に基づいて前記水晶片アレイを製造する第２製造ステップと、
前記第２製造ステップにおいて製造した前記水晶片アレイの評価結果を前記水晶デバイス製造者から取得する第３取得ステップと、
をさらに有し、
前記更新ステップにおいて、前記第３取得ステップにおいて取得した評価結果が基準レベルよりも良好である場合に、前記第２設計情報を良品の教師データとして使用する、
請求項１に記載の水晶片アレイの製造方法。
【請求項３】
前記第２取得ステップにおいて、複数の異なる前記水晶デバイス製造者から複数の前記評価結果を取得し、
前記第２作成ステップにおいて、前記複数の異なる水晶デバイス製造者から取得した前記複数の評価結果に基づいて、複数の前記第２設計情報を作成し、
前記更新ステップにおいて、前記複数の第２設計情報を教師データとして用いて前記機械学習モデルを更新する、
請求項１又は２に記載の水晶片アレイの製造方法。
【請求項４】
前記第１作成ステップにおいて、複数の機械学習モデルから、前記要求仕様が示す前記水晶片の属性に基づいて選択した前記機械学習モデルに前記要求仕様を入力することにより、前記第１設計情報を作成する、
請求項１から３のいずれか一項に記載の水晶片アレイの製造方法。
【請求項５】
複数の水晶デバイス製造者に提供する複数種類の水晶片アレイの設計を支援する装置であって、
水晶片アレイから製造される水晶片の要求仕様を取得する取得部と、
仕様が入力されると水晶片アレイを製造するための設計情報を出力する機械学習モデルに、取得した前記要求仕様を入力することにより、前記水晶デバイス製造者に提供する水晶片アレイの設計情報である第１設計情報を作成する設計情報作成部と、
前記機械学習モデルを更新する更新部と、
を有し、
前記設計情報作成部は、製造した前記水晶片アレイの評価結果に基づいて前記第１設計情報を変更することにより第２設計情報を作成し、
前記更新部は、前記第２設計情報を教師データとして用いて前記機械学習モデルを更新する設計支援装置。
【請求項６】
複数の水晶デバイス製造者に提供する複数種類の水晶片アレイの設計を支援するためのコンピュータに、
水晶片アレイから製造される水晶片の要求仕様を取得するステップと、
仕様が入力されると水晶片アレイを製造するための設計情報を出力する機械学習モデルに、取得した前記要求仕様を入力することにより、前記水晶デバイス製造者に提供する水晶片アレイの設計情報である第１設計情報を作成するステップと、
前記第１設計情報に基づいて製造した前記水晶片アレイの評価結果に基づいて前記第１設計情報を変更することにより第２設計情報を作成するステップと、
前記第２設計情報を教師データとして用いて前記機械学習モデルを更新するステップと、
を実行させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶振動子及び水晶発振器等の水晶デバイスを生産する際に使用される水晶片アレイの製造方法、水晶片アレイの設計を支援するための設計支援装置、及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
水晶振動子及び水晶発振器等の水晶デバイスは、矩形形状の水晶片を備えている。水晶デバイスを大量生産する際には大量の水晶片が必要になる。効率的に大量の水晶片を提供するために、複数の水晶片を切り出すことができる水晶片アレイが用いられている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−０５０１５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来、水晶振動子及び水晶発振器等の水晶デバイスの製造者は、水晶片の製造者が製造した水晶片を購入し、水晶片に電極を設けてからパッケージに組み込むことにより水晶デバイスを製造してきた。製造した水晶デバイスに問題がある場合、水晶片の形状、大きさ、又は電極の形状若しくは位置を変更する必要があったため、水晶デバイスの品質を向上させるために長時間を要していた。
【０００５】
そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、水晶デバイスの製造者が水晶デバイスの品質を向上させやすくすることができる水晶片アレイを製造するための方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様の水晶片アレイの製造方法は、水晶デバイスを製造する複数の水晶デバイス製造者に提供する水晶片アレイを製造する方法であって、水晶片アレイから製造される水晶片の要求仕様を取得する第１取得ステップと、仕様が入力されると水晶片アレイを製造するための設計情報を出力する機械学習モデルに、取得した前記要求仕様を入力することにより、前記水晶デバイス製造者に提供する水晶片アレイの設計情報である第１設計情報を作成する第１作成ステップと、前記第１設計情報に基づいて前記水晶片アレイを製造する第１製造ステップと、製造した前記水晶片アレイの評価結果を前記水晶デバイス製造者から取得する第２取得ステップと、前記評価結果に基づいて前記第１設計情報を変更することにより第２設計情報を作成する第２作成ステップと、前記第２設計情報を教師データとして用いて前記機械学習モデルを更新する更新ステップと、を有する。
【０００７】
前記第２作成ステップの後に、前記第２設計情報に基づいて前記水晶片アレイを製造する第２製造ステップと、前記第２製造ステップにおいて製造した前記水晶片アレイの評価結果を前記水晶デバイス製造者から取得する第３取得ステップと、をさらに有し、前記更新ステップにおいて、前記第３取得ステップにおいて取得した評価結果が基準レベルよりも良好である場合に、前記第２設計情報を良品の教師データとして使用してもよい。
【０００８】
前記第２取得ステップにおいて、複数の異なる前記水晶デバイス製造者から複数の前記評価結果を取得し、前記第２作成ステップにおいて、前記複数の異なる水晶デバイス製造者から取得した前記複数の評価結果に基づいて、複数の前記第２設計情報を作成し、前記更新ステップにおいて、前記複数の第２設計情報を教師データとして用いて前記機械学習モデルを更新してもよい。
【０００９】
前記第１作成ステップにおいて、複数の機械学習モデルから、前記要求仕様が示す前記水晶片の属性に基づいて選択した前記機械学習モデルに前記要求仕様を入力することにより、前記第１設計情報を作成してもよい。
【００１０】
本発明の第２の態様の設計支援装置は、複数の水晶デバイス製造者に提供する複数種類の水晶片アレイの設計を支援する装置であって、水晶片アレイから製造される水晶片の要求仕様を取得する取得部と、仕様が入力されると水晶片アレイを製造するための設計情報を出力する機械学習モデルに、取得した前記要求仕様を入力することにより、前記水晶デバイス製造者に提供する水晶片アレイの設計情報である第１設計情報を作成する設計情報作成部と、前記機械学習モデルを更新する更新部と、を有し、前記設計情報作成部は、製造した前記水晶片アレイの評価結果に基づいて前記第１設計情報を変更することにより第２設計情報を作成し、前記更新部は、前記第２設計情報を教師データとして用いて前記機械学習モデルを更新する。
【００１１】
本発明の第３の態様のプログラムは、複数の水晶デバイス製造者に提供する複数種類の水晶片アレイの設計を支援するためのコンピュータに、水晶片アレイから製造される水晶片の要求仕様を取得するステップと、仕様が入力されると水晶片アレイを製造するための設計情報を出力する機械学習モデルに、取得した前記要求仕様を入力することにより、前記水晶デバイス製造者に提供する水晶片アレイの設計情報である第１設計情報を作成するステップと、前記第１設計情報に基づいて製造した前記水晶片アレイの評価結果に基づいて前記第１設計情報を変更することにより第２設計情報を作成するステップと、前記第２設計情報を教師データとして用いて前記機械学習モデルを更新するステップと、を実行させるためのプログラムである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、水晶デバイスの製造者が水晶デバイスの品質を向上させやすくすることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】水晶片アレイの製造方法の概要を説明するための図である。
【図２】水晶片アレイの製造方法によって製造される水晶片アレイの概要を示す図である。
【図３】水晶片アレイの製造方法において機械学習モデルを用いる処理の概要を示す図である。
【図４】設計支援装置の概要を示す図である。
【図５】水晶片アレイの製造方法における処理の流れを示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
［水晶片アレイの製造方法の概要］
図１は、本実施形態に係る水晶片アレイ（例えばＡＴカット水晶片又は音叉水晶片）の製造方法の概要を説明するための図である。水晶片アレイの製造方法は、水晶片製造者Ａが、水晶デバイスを製造する複数の水晶デバイス製造者Ｂに提供する複数種類の水晶片アレイＣを製造する方法であり、水晶片製造者Ａが、水晶デバイス製造者Ｂから水晶片アレイＣの評価結果を得ることにより、より高品質な水晶片アレイＣを製造するための方法である。
【００１５】
図１に示すように、水晶片アレイの製造方法においては、まず、設計支援装置１が、水晶片アレイから製造される水晶片の要求仕様を水晶片製造者Ａから取得する（図１の（１））。水晶片製造者Ａにおいては、例えば設計者が、設計支援装置１にアクセス可能な設計用コンピュータを使用して水晶片の要求仕様を設計支援装置１へ提供する。水晶片の要求仕様は、水晶片製造者Ａの設計者によって提供された要求仕様、及び水晶デバイス製造者Ｂから水晶片製造者Ａへ提供された要求仕様を含む。
【００１６】
ここで、水晶片製造者Ａは、設計情報を作成し、水晶デバイス製造者Ｂから提供された評価結果に基づいて設計情報を変更するために、設計支援装置１を用いる。水晶片アレイＣ及び水晶片アレイＣ’を設計するために用いられる水晶片製造者Ａの設計用コンピュータは、ネットワークを介して設計支援装置１に接続されている。また、設計支援装置１は、ネットワークを介してモデル作成装置２に接続されている。
【００１７】
続いて、設計支援装置１は、モデル作成装置２に記憶され、仕様が入力されると水晶片アレイを製造するための設計情報を出力する機械学習モデルＭ１に、取得した要求仕様を入力することにより、水晶デバイス製造者Ｂに提供する水晶片アレイの設計情報である第１設計情報を作成する（図１の（２））。水晶片製造者Ａは、第１設計情報に基づいて水晶片アレイＣを製造し、製造した水晶片アレイＣを水晶デバイス製造者Ｂに提供する（図１の（３））。
【００１８】
水晶デバイス製造者Ｂは、水晶片アレイＣを分割領域ごとに分割して得られた水晶片を用いて水晶デバイスを製造する。水晶デバイスは、例えば水晶振動子又は水晶発振器である。水晶デバイス製造者Ｂは、製造した水晶デバイスの評価試験を実施し、評価試験の評価結果を取得する。
【００１９】
水晶片製造者Ａは、水晶片アレイＣを用いて製造された水晶デバイスの評価結果を水晶デバイス製造者Ｂから取得する（図１の（４））。
【００２０】
水晶片製造者Ａは、水晶デバイス製造者Ｂから取得した評価結果を設計支援装置１へ提供する。設計支援装置１は、評価結果に基づいて第１設計情報を変更することにより第２設計情報を作成する。具体的には、設計支援装置１は、評価結果において改善が必要な項目（例えば、共振周波数やクリスタルインピーダンスの温度特性、位相雑音特性、可変感度）に対応する第１設計情報を変更することにより第２設計情報を作成する。また、設計支援装置１は、作成した第２設計情報を教師データとして用いてモデル作成装置２に記憶される機械学習モデルＭ１を更新する。
【００２１】
第２設計情報の作成後に、水晶片製造者Ａは、第２設計情報に基づいて水晶片アレイＣ’を製造し、製造した水晶片アレイＣ’を水晶デバイス製造者Ｂに提供する（図１の（５））。
【００２２】
このようにすることで、評価結果が基準レベルよりも良好な第２設計情報を良品の教師データとして使用することにより、水晶片製造者Ａは、機械学習モデルＭ１から出力される設計情報を用いた水晶片アレイの品質を高めることができる。また、水晶デバイス製造者Ｂは、機械学習モデルＭ１から出力される設計情報を用いた水晶片アレイから製造される水晶デバイスが良品になる確率を高めることができる。
【００２３】
続いて、水晶片製造者Ａは、第２設計情報に基づいて製造した水晶片アレイＣ’を用いて製造した水晶デバイスの評価結果を水晶デバイス製造者Ｂから取得する。また、機械学習モデルＭ１の更新において、設計支援装置１は、取得した評価結果が基準レベルよりも良好である場合に、第２設計情報を良品の教師データとして使用し、取得した評価結果が基準レベルよりも悪化している場合に、第２設計情報を不良品の教師データとして使用する。
【００２４】
また、製造した水晶片アレイの評価結果の取得において、水晶片製造者Ａは、複数の異なる水晶デバイス製造者Ｂから複数の評価結果を取得してもよい。この場合、第２設計情報の作成において、設計支援装置１は、複数の異なる水晶デバイス製造者Ｂから取得した複数の評価結果に基づいて、複数の第２設計情報を作成する。そして、機械学習モデルＭ１の更新において、設計支援装置１は、複数の第２設計情報を教師データとして用いて機械学習モデルＭ１を更新する。
【００２５】
このようにすることで設計支援装置１は、複数の異なる水晶デバイス製造者から取得した複数の評価結果に基づく第２設計情報を教師データとして用いることにより、多数の評価結果から機械学習モデルＭ１を更新する。したがって、設計支援装置１は、高い精度の機械学習モデルを用いて設計情報を作成することができる。
【００２６】
また、第１設計情報の作成において、設計支援装置１は、モデル作成装置２が作成した複数の機械学習モデルから、要求仕様が示す水晶片の属性に基づいて選択した機械学習モデルＭ１に要求仕様を入力することにより、第１設計情報を作成してもよい。
【００２７】
属性は、例えば、水晶デバイス製造者Ｂの名称、水晶片の設計仕様又は水晶デバイスの設計仕様等である。モデル作成装置２は、例えば属性ごとに異なる機械学習モデルを作成し、設計支援装置１は、水晶片製造者Ａが製造する水晶片アレイの属性に対応する機械学習モデルＭ１に水晶片アレイの要求仕様を入力することにより、第１設計情報を取得してもよい。
【００２８】
このようにすることで設計支援装置１は、水晶片アレイ又は水晶片デバイスの属性に適した設計情報を作成することができる。また、水晶片製造者Ａは、属性ごとに高品質な水晶片アレイを製造することができる。
【００２９】
［水晶片アレイの概要］
図２は、本実施形態に係る水晶片アレイの製造方法によって製造される水晶片アレイＣ及び水晶片アレイＣ’（以下、単に水晶片アレイＣと称する）の概要を示す図である。水晶片アレイＣは、ウェハ形状を有しており、それぞれが水晶片Ｃ１に分割される複数の分割領域それぞれに電極Ｃ２及びＣ３を有する。
【００３０】
水晶片Ｃ１は、矩形状であり、水晶片アレイＣには、同一形状の水晶片Ｃ１が複数形成されている。電極Ｃ２は、水晶片Ｃ１の表面側に形成されており、電極Ｃ３は、水晶片Ｃ１の裏面側に形成されている。電極Ｃ２及び電極Ｃ３は、水晶片Ｃ１の中央付近に形成される励振電極部と、励振電極部から水晶片Ｃ１の端部に向かって形成される引き出し電極部とをそれぞれ有している。電極Ｃ２及び電極Ｃ３は、真空蒸着又はスパッタ等を用いて水晶片Ｃ１上に形成される。電極Ｃ２及び電極Ｃ３の材料は、金、銀、アルミニウム等が用いられる。電極Ｃ２及び電極Ｃ３は、図２においては略矩形状で示されているが、任意の形状であってもよい。
【００３１】
水晶デバイス製造者Ｂは、ダイシング、割断、又は折り取りすること等によって、水晶片製造者Ａから提供された水晶片アレイＣを個々の水晶片Ｃ１に分割する。続いて、水晶デバイス製造者Ｂは、電極Ｃ２及び電極Ｃ３を、パッケージに形成される電極パッド、接続電極及び実装端子等の部位と接続する。そして、水晶デバイス製造者Ｂは、電極Ｃ２及び電極Ｃ３がパッケージの電極と接続された水晶片をパッケージに組み込むことにより水晶振動子及び水晶発振器等の水晶デバイスを製造する。水晶デバイス製造者Ｂは、製造した水晶デバイスの各種特性（例えば周波数特性及び電気的特性等）を評価し、評価結果を水晶片製造者Ａに提供する。
【００３２】
［機械学習モデルを用いる処理の概要］
図３は、本実施形態に係る水晶片アレイの製造方法において機械学習モデルＭ１を用いる処理の概要を示す図である。図３（ａ）は、モデル作成装置２が機械学習モデルＭ１を作成する処理の概要を示す図である。図３（ｂ）は、設計支援装置１が、機械学習モデルＭ１を使用して設計情報を取得する処理の概要を示す図である。
【００３３】
モデル作成装置２は、要求仕様、設計情報及び基準レベルよりも良好な評価結果と、要求仕様、設計情報及び基準レベルよりも悪化した評価結果との組み合わせを教師データとして機械学習モデルＭ１を作成する（図３の（ａ））。具体的には、モデル作成装置２は、機械学習モデルＭ１が多層構造のニューラルネットワークにより構成されている場合、要求仕様が入力されると、基準レベルと同等又は基準レベルよりも良好な設計情報をニューラルネットワークが出力するように、ニューラルネットワークの各ノードに関連付けられた重み係数を更新する。
【００３４】
機械学習モデルＭ１を作成するための学習に使用するアルゴリズムは任意であるが、機械学習モデルＭ１は、周知の特徴抽出アルゴリズムや周知の特徴選択アルゴリズムに要求仕様、設計情報及び基準レベルよりも良好な評価結果と、要求仕様、設計情報及び基準レベルよりも悪化した評価結果との多数の組み合わせ（例えば１０万種類の組み合わせ）を教師データとして入力することにより作成される。
【００３５】
設計支援装置１は、図３（ａ）に示すようにして作成された機械学習モデルＭ１に要求仕様を入力することにより、設計情報を取得する。このようにして作成された機械学習モデルＭ１は、要求仕様が入力されると、基準レベルと同等又は基準レベルよりも良好な設計情報を出力する（図３（ｂ））。
【００３６】
［設計支援装置１の概要］
図４は、本実施形態に係る設計支援装置１の概要を示す図である。設計支援装置１は、複数の水晶デバイス製造者Ｂに提供する複数種類の水晶片アレイＣの設計を支援する装置である。設計支援装置１は、通信部１１と、制御部１２と、記憶部１３とを有する。制御部１２は、取得部１２１と、設計情報作成部１２２と、更新部１２３とを有する。
【００３７】
通信部１１は、他のコンピュータ等の電子機器との間でデータを送受信するための通信インターフェースであり、例えばＬＡＮ（Local Area Network）コントローラを含む。通信部１１は、例えばインターネット又はＬＡＮ等のネットワークに接続されており、ネットワークを介して受信した水晶デバイスの評価結果を取得部１２１に入力する。また、通信部１１は、設計情報作成部１２２から入力された設計情報をネットワークに送信する。
【００３８】
制御部１２は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を含んでおり、記憶部１３に記憶されたプログラムを実行することにより、取得部１２１、設計情報作成部１２２及び更新部１２３として機能する。制御部１２は、ＣＰＵとともに、又はＣＰＵの代わりに他の回路を含んでもよい。
【００３９】
記憶部１３は、例えばＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びハードディスク等の記憶媒体を含む。記憶部１３は、制御部１２が実行するプログラムを記憶する。また、記憶部１３は、制御部１２が設計情報を作成するために必要な各種のデータを記憶する。例えば、記憶部１３は、水晶デバイス製造者Ｂの識別情報に関連付けて水晶片アレイの設計情報を記憶してもよい。水晶デバイス製造者Ｂの識別情報は、例えば水晶デバイス製造者Ｂに固有の番号及び記号を含む。水晶デバイス製造者Ｂの識別情報は、水晶デバイス製造者Ｂが製造する水晶デバイスの仕様、型番又は製造ロット番号等を含んでもよい。
【００４０】
取得部１２１は、水晶片アレイＣから製造される水晶片の要求仕様を水晶片製造者Ａから取得する。設計情報作成部１２２は、仕様が入力されると水晶片アレイを製造するための設計情報を出力する機械学習モデルＭ１に、取得した要求仕様を入力することにより、水晶デバイス製造者Ｂに提供する水晶片アレイの設計情報である第１設計情報を作成する。
【００４１】
また、設計情報作成部１２２は、水晶デバイス製造者Ｂからの評価結果に基づいて第１設計情報を変更することにより第２設計情報を作成する。制御部１２は、設計情報作成部１２２が作成した第２設計情報を通信部１１によりネットワークを介して水晶片製造者Ａへ送信する。
【００４２】
更新部１２３は、通信部１１を介して、設計情報作成部１２２が作成した第２設計情報を教師データとして用いて、モデル作成装置２に記憶される機械学習モデルＭ１を更新する。
【００４３】
［水晶片アレイの製造方法における処理の流れ］
図５は、水晶片アレイの製造方法における処理の流れを示すフローチャートである。まず、設計支援装置１は、水晶片アレイから製造される水晶片の要求仕様を取得する（Ｓ１）。続いて、設計支援装置１は、仕様が入力されると水晶片アレイを製造するための設計情報を出力する機械学習モデルＭ１に、取得した要求仕様を入力することにより、水晶デバイス製造者Ｂに提供する水晶片アレイの設計情報である第１設計情報を作成する（Ｓ２）。
【００４４】
水晶片製造者Ａは、第１設計情報に基づいて水晶片アレイＣを製造し、製造した水晶片アレイＣを水晶デバイス製造者Ｂに提供する。水晶デバイス製造者Ｂが、水晶片アレイＣを分割領域ごとに分割して得られた水晶片を用いて水晶デバイスを製造する（Ｓ３）。水晶デバイス製造者Ｂは、製造した水晶デバイスの評価試験を実施し、評価試験の評価結果を取得する（Ｓ４）。
【００４５】
水晶片製造者Ａは、水晶片アレイＣを用いて製造された水晶デバイスの評価結果を水晶デバイス製造者Ｂから取得する。設計支援装置１は、評価結果に基づいて第１設計情報を変更することにより第２設計情報を作成する（Ｓ５）。水晶片製造者Ａは、第２設計情報に基づいて水晶片アレイＣ’を製造し、製造した水晶片アレイＣ’を水晶デバイス製造者Ｂに提供する（Ｓ６）。
【００４６】
続いて、水晶デバイス製造者Ｂが、水晶片アレイＣ’を分割領域ごとに分割して得られた水晶片を用いて水晶デバイスを製造する。水晶片製造者Ａは、第２設計情報に基づいて製造した水晶片アレイを用いて製造した水晶デバイスの評価結果を水晶デバイス製造者Ｂから取得する（Ｓ７）。設計支援装置１は、第２設計情報を教師データとして用いて機械学習モデルＭ１を更新する（Ｓ８）。
【００４７】
［変形例］
設計支援装置１は、第１設計情報に基づいて製造された水晶片アレイＣの評価結果が良好である場合、第２設計情報を作成しなくてもよい。具体的には、設計支援装置１は、製造された水晶デバイスの評価結果に基づいて第１設計情報を変更するか否かを判定する判定部を有してもよい。
【００４８】
設計支援装置１は、第１設計情報を変更すると判定した場合、評価結果に基づいて第１設計情報を変更することにより第２設計情報を作成し、上述した実施形態と同様の処理を行う。また、設計支援装置１は、第１設計情報を変更しないと判定した場合、第１設計情報を教師データとして用いて機械学習モデルＭ１を更新する。このようにすることで水晶片アレイの製造方法においては、適切な設計情報を用いて水晶片アレイＣを製造することができる。
【００４９】
［水晶片アレイの製造方法による効果］
以上説明したように、水晶片アレイの製造方法においては、設計支援装置１は、仕様が入力されると水晶片アレイを製造するための設計情報を出力する機械学習モデルＭ１に、取得した要求仕様を入力することにより、水晶デバイス製造者に提供する水晶片アレイの設計情報である第１設計情報を作成する。続いて、水晶片製造者Ａは、第１設計情報に基づいて水晶片アレイを製造する。続いて、水晶片製造者Ａは、製造した水晶片アレイの評価結果に基づいて第１設計情報を変更することにより第２設計情報を作成し、第２設計情報を教師データとして用いて機械学習モデルＭ１を更新する。
【００５０】
水晶片アレイの製造方法においてこのような処理を行うことで、評価結果に基づいて変更された第２設計情報を教師データとして用いて機械学習モデルＭ１を更新することにより、水晶片製造者Ａは、高い精度で作成された設計情報を用いてより高品質な水晶片アレイを製造することができる。
【００５１】
また、水晶デバイス製造者Ｂが、より高品質な水晶片アレイを用いて水晶デバイスを作成することができるため、水晶デバイス製造者Ｂは、水晶デバイスの品質を向上させやすくすることができる。また、水晶片アレイの製造方法においては、水晶片製造者Ａが、電極形成済みの水晶片アレイを提供するため、水晶デバイス製造者Ｂが、電極の設計及び電極の形成を行わずに水晶デバイスを製造することができる。
【００５２】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、装置の全部又は一部は、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合して構成することができる。また、複数の実施の形態の任意の組み合わせによって生じる新たな実施の形態も、本発明の実施の形態に含まれる。組み合わせによって生じる新たな実施の形態の効果は、もとの実施の形態の効果を併せ持つ。
【符号の説明】
【００５３】
Ａ  水晶片製造者
Ｂ  水晶デバイス製造者
Ｃ  水晶片アレイ
Ｃ’  水晶片アレイ
Ｃ１  水晶片
Ｃ２  電極
Ｃ３  電極
１  設計支援装置
２  モデル作成装置
１１  通信部
１２  制御部
１３  記憶部
１２１  取得部
１２２  設計情報作成部
１２３  更新部
【図１】
2020191489.tif 000003
【図２】
2020191489.tif 000004
【図３】
2020191489.tif 000005
【図４】
2020191489.tif 000006
【図５】
2020191489.tif 000007