(57)【要約】【課題】熱圧着に要する時間（ワークタイム）の短縮の要求に対してもより確実に対応できる耐熱離型シートを提供する。【解決手段】熱加圧ヘッドによる圧着対象物の熱圧着時に圧着対象物と熱加圧ヘッドとの間に配置されて、圧着対象物と熱加圧ヘッドとの固着を防ぐための耐熱離型シートであって、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）又は変性ＰＴＦＥのシートを含む耐熱離型シートとする。ただし、変性ＰＴＦＥにおけるテトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）単位の含有率は９９質量％以上である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱加圧ヘッドによる圧着対象物の熱圧着時に前記圧着対象物と前記熱加圧ヘッドとの間に配置されて、前記圧着対象物と前記熱加圧ヘッドとの固着を防ぐための耐熱離型シートであって、
ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）又は変性ＰＴＦＥのシートを含む耐熱離型シート。
ただし、前記変性ＰＴＦＥにおけるテトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）単位の含有率は９９質量％以上である。
【請求項２】
昇温速度１０℃／分の示差走査熱量測定（ＤＳＣ）により評価した前記ＰＴＦＥ又は前記変性ＰＴＦＥの結晶融解熱量が２５．０Ｊ／ｇ以上である請求項１に記載の耐熱離型シート。
【請求項３】
厚さが１〜５０μｍである請求項１又は２に記載の耐熱離型シート。
【請求項４】
３０．０ＭＰａ以上の引張強度を有する請求項１〜３のいずれかに記載の耐熱離型シート。
【請求項５】
３８０％以下の最大引張伸びを有する請求項１〜４のいずれかに記載の耐熱離型シート。
【請求項６】
熱加圧ヘッドによる圧着対象物の熱圧着方法であって、
前記熱加圧ヘッドと前記圧着対象物との間に耐熱離型シートを配置した状態で、前記熱加圧ヘッドにより前記圧着対象物を熱圧着し、
前記耐熱離型シートが、請求項１〜５のいずれかに記載の耐熱離型シートである熱圧着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、耐熱離型シート及びこれを用いた熱圧着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＮＣＦ（Non-Conductive Film）及びＮＣＰ（Non-Conductive Paste）等のアンダーフィルを用いた半導体チップの製造及びフリップチップ実装、並びにプリント回路基板（ＰＣＢ）の製造に、熱圧着の手法が採用されている。熱圧着の手法は、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を用いたＰＣＢと電子部品との接続等にも利用される。圧着対象物の熱圧着には、熱源及び圧力源である熱加圧ヘッドが一般に使用される。熱圧着時における圧着対象物と熱加圧ヘッドとの固着を防ぐために、圧着対象物と熱加圧ヘッドとの間には、通常、耐熱離型シートが配置される。
【０００３】
特許文献１には、耐熱離型シートそのものではないが、圧着対象物と熱加圧ヘッドとの間に配置されて使用されるポリイミドフィルムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−９１７６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ポリイミドは、耐熱性に優れた樹脂として知られている。耐熱離型シートへのポリイミドフィルムの使用によって熱圧着温度を高めることが可能となり、これにより、半導体チップの製造効率及び実装効率の向上が期待される。しかし、上記効率のさらなる向上のためには、熱圧着に要する時間（ワークタイム）の短縮が必要である。本発明者らの検討によれば、ポリイミドフィルムを耐熱離型シートに使用した場合、ワークタイムの短縮に対して十分な対応が難しいことが判明した。
【０００６】
本発明の目的は、ワークタイムの短縮の要求に対してもより確実に対応できる耐熱離型シートの提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、
熱加圧ヘッドによる圧着対象物の熱圧着時に前記圧着対象物と前記熱加圧ヘッドとの間に配置されて、前記圧着対象物と前記熱加圧ヘッドとの固着を防ぐための耐熱離型シートであって、
ポリテトラフルオロエチレン（以下、「ＰＴＦＥ」と記載）又は変性ＰＴＦＥのシートを含む耐熱離型シート、
を提供する。
ただし、前記変性ＰＴＦＥにおけるテトラフルオロエチレン（以下、「ＴＦＥ」と記載する）単位の含有率は９９質量％以上である。
【０００８】
別の側面から、本発明は、
熱加圧ヘッドによる圧着対象物の熱圧着方法であって、
前記熱加圧ヘッドと前記圧着対象物との間に耐熱離型シートを配置した状態で、前記熱加圧ヘッドにより前記圧着対象物を熱圧着し、
前記耐熱離型シートが、上記本発明の耐熱離型シートである熱圧着方法、
を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の耐熱離型シートに含まれるＰＴＦＥシート又は変性ＰＴＦＥシートは、ＰＴＦＥ又は変性ＰＴＦＥに由来する高い耐熱性を有している。また、ＰＴＦＥシート及び変性ＰＴＦＥシートは、ポリイミドフィルムに比べて、熱加圧ヘッドを用いた熱圧着時における圧着対象物への熱伝導性に優れている。したがって、本発明の耐熱離型シートによれば、ワークタイムの短縮の要求に対してもより確実な対応が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本発明の耐熱離型シートの一例を模式的に示す断面図である。
【図２】図２は、本発明の耐熱離型シートを用いた熱圧着方法の一例を説明するための模式図である。
【図３】図３は、実施例及び比較例の耐熱離型シートについて、熱加圧ヘッドを用いた熱圧着時における圧着対象物への熱伝導性を評価する方法を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１２】
［耐熱離型シート］
本発明の耐熱離型シートの一例を図１に示す。図１に示す耐熱離型シート１は、ＰＴＦＥシート２から構成される。図１の耐熱離型シート１は、ＰＴＦＥシート２の単層構造を有している。耐熱離型シート１は、シート２に含まれるＰＴＦＥに由来する高い耐熱性及び離型性を有している。
【００１３】
工業的な熱圧着工程では、一般に、圧着対象物の搬送経路に熱加圧ヘッドを配置し、当該経路を搬送されてくる圧着対象物を順次、熱圧着する。この熱圧着工程において、帯状の耐熱離型シートが、熱加圧ヘッドと圧着対象物との間に搬送により供給されることがある。この場合、１回の熱圧着ごとに新たな耐熱離型シートが供給されることが通常である。言い換えると、毎回の熱圧着ごとに、常温から熱圧着温度にまで耐熱離型シートが加熱されて、必要な熱が圧着対象物に伝えられる。このため、耐熱離型シートが持つ熱伝導性の僅かな差がワークタイムに与える影響は大きい。また、熱圧着温度が上昇するにつれて、この影響はさらに大きくなる。しかし、ＰＴＦＥシート２を含む耐熱離型シート１は、熱加圧ヘッドを用いた熱圧着時における圧着対象物への熱伝導性に優れている。したがって、耐熱離型シート１によれば、熱圧着温度の上昇に加えて、ワークタイムの短縮の要求に対してもより確実な対応が可能となる。
【００１４】
ＰＴＦＥシート２に含まれるＰＴＦＥは、以下の特性（１）〜（３）から選ばれる少なくとも１つの特性を満たすことが好ましく、少なくとも２つの特性を満たすことがより好ましく、全ての特性を満たすことがさらに好ましい。
【００１５】
特性（１）：昇温速度１０℃／分の示差走査熱量測定（以下、「ＤＳＣ」と記載）により評価した結晶融解熱量（以下、単に「融解熱量」と記載）が２５．０Ｊ／ｇ以上である。融解熱量は、２７．０Ｊ／ｇ以上、２８．０Ｊ／ｇ以上、２９．０Ｊ／ｇ以上、さらには３０．０Ｊ／ｇ以上であってもよい。融解熱量の上限は、例えば８２．０Ｊ／ｇ以下であり、７０．０Ｊ／ｇ以下であってもよい。ＰＴＦＥが特性（１）を満たす場合、優れた熱伝導性を保持したまま、耐熱離型シート１の耐熱性をさらに向上できる。なお、ＰＴＦＥの融解熱量は、ＤＳＣを用いて一定の昇温速度でＰＴＦＥを昇温した場合に測定される「ＰＴＦＥの結晶融解に基づく吸熱ピーク」のピーク面積から求めることができる。融解熱量を評価する際のＰＴＦＥの昇温は、例えば、室温から３７０℃まで実施する。ＰＴＦＥシート２に含まれるＰＴＦＥは、好ましくは、焼成を経たＰＴＦＥであり、この場合、結晶融解に基づく吸熱ピークは、通常、２５０〜３４０℃の温度域に出現する。
【００１６】
特性（２）：結晶化度が３３．０％以上である。結晶化度は、３４．０％以上、３５．０％以上、さらには３６．０％以上であってもよい。結晶化度の上限は、例えば１００．０％以下であり、８５．４％以下であってもよい。ＰＴＦＥが特性（２）を満たす場合、優れた熱伝導性を保持したまま、耐熱離型シート１の耐熱性をさらに向上できる。なお、ＰＴＦＥの結晶化度は、上記融解熱量の測定値を、ＰＴＦＥの完全結晶が持つとされる結晶融解熱量の理論値で除して求めることができる。ＰＴＦＥシート２に含まれるＰＴＦＥは、典型的には焼成を経たＰＴＦＥであり、この場合、上記理論値は８２．０Ｊ／ｇとなる。
【００１７】
特性（３）：上記「ＰＴＦＥの結晶融解に基づく吸熱ピーク」のピーク温度（以下、「ピーク温度」と記載）が３２５．０℃以上である。ピーク温度は、３２６．０℃以上、さらには３２７．０℃以上であってもよい。ピーク温度の上限は、例えば３５０．０℃以下である。ＰＴＦＥが特性（３）を満たす場合、優れた熱伝導性を保持したまま、耐熱離型シート１の耐熱性をさらに向上できる。
【００１８】
ＰＴＦＥの融解熱量、結晶化度及びピーク温度は、例えば、ＰＴＦＥの分子量、分子量分布、焼成を含む熱履歴、並びに重合方法及び重合の履歴により変化する。
【００１９】
ＰＴＦＥシート２の厚さは、例えば１〜５０μｍであり、５〜４０μｍ、１０〜３５μｍ、２０〜３５μｍ、さらには２５〜３５μｍであってもよい。
【００２０】
ＰＴＦＥシート２は、好ましくは、焼成を経たＰＴＦＥを含む焼成ＰＴＦＥシートである。なお、本明細書においてＰＴＦＥの焼成とは、重合により得たＰＴＦＥをその融点（３２７℃）以上の温度、例えば３４０〜３８０℃、に加熱することを意味する。
【００２１】
ＰＴＦＥシート２は、好ましくは、非多孔質層である。ＰＴＦＥシート２は、ＰＴＦＥの有する高い撥液性（撥水性及び撥油性）に基づいて、水等の流体（fluid）を厚さ方向に透過しない不透性層であってもよい。また、ＰＴＦＥシート２は、ＰＴＦＥの有する高い絶縁性に基づいて、絶縁層（非導電層）であってもよい。
【００２２】
ＰＴＦＥシート２の形状は、例えば、正方形及び長方形を含む多角形、円形、楕円形、並びに帯状である。多角形の角は丸められていてもよい。ただし、ＰＴＦＥシート２の形状は、これらの例に限定されない。
【００２３】
ＰＴＦＥシート２は、変性ＰＴＦＥシートであってもよい。変性ＰＴＦＥシートは、上記特性（１）〜（３）をはじめ、ＰＴＦＥシート２の説明において述べた各種の特性を任意の組み合わせで有しうる。変性ＰＴＦＥは、ＴＦＥと変性コモノマーとの共重合体である。変性ＰＴＦＥとして分類されるためには、共重合体におけるＴＦＥ単位の含有率は９９質量％以上が必要とされている。変性ＰＴＦＥは、例えば、ＴＦＥと、エチレン、パーフルオロアルキルビニルエーテル及びヘキサフルオロプロピレンから選ばれる少なくとも１種の変性コモノマーとの共重合体である。
【００２４】
変性ＰＴＦＥの融解熱量、結晶化度及びピーク温度は、例えば、変性ＰＴＦＥの分子量、分子量分布、焼成を含む熱履歴、重合方法及び重合の履歴、並びにＴＦＥ単位との共重合成分である構成単位の種類及び含有率により変化する。
【００２５】
耐熱離型シート１の厚さは、例えば１〜５０μｍであり、５〜４０μｍ、１０〜３５μｍ、２０〜３５μｍ、さらには２５〜３５μｍであってもよい。
【００２６】
耐熱離型シート１の引張強度は、例えば３０．０ＭＰａ以上であり、３３．０ＭＰａ以上、３４．０ＭＰａ以上、３６．０ＭＰａ以上、４０．０ＭＰａ以上、４５．０ＭＰａ以上、５０．０ＭＰａ以上、５５．０ＭＰａ以上、さらには６０．０ＭＰａ以上であってもよい。引張強度の上限は、例えば１００ＭＰａ以下である。これらの範囲の引張強度を有する耐熱離型シート１、特に５０．０ＭＰａ以上の引張強度を有する耐熱離型シート１、によれば、熱加圧ヘッドと圧着対象物との間への搬送による供給をより確実かつ安定して実施できる。
【００２７】
耐熱離型シート１の最大引張伸びは、例えば３８０％以下であり、３６０％以下、３４０％以下、３２０％以下、３００％以下、２５０％以下、２００％以下、１５０％以下、さらには１３０％以下であってもよい。最大引張伸びの下限は、例えば３０％以上である。これらの範囲の最大引張伸びを有する耐熱離型シート１、特に１５０％以下の最大引張伸びを有する耐熱離型シート１、によれば、熱加圧ヘッドと圧着対象物との間への搬送による耐熱離型シート１の供給時に、熱加圧ヘッド及び／又は圧着対象物と耐熱離型シート１との間に部分的に接合が生じたときにも、伸びによってシート１がこれらの部材に追従することを抑制できる。言い換えると、熱加圧ヘッド及び／又は圧着対象物に対する耐熱離型シート１の離型性をさらに向上できる。
【００２８】
耐熱離型シート１では、ＰＴＦＥシート２の主面上に他の層が配置されていてもよい。しかし、ワークタイムの短縮の要求に対してさらに確実な対応が可能となることから、ＰＴＦＥシート２の主面上には他の層が配置されていないことが好ましい。即ち、耐熱離型シート１は、ＰＴＦＥシート２の単層構造を有することが好ましい。
【００２９】
耐熱離型シート１の形状は、例えば、正方形及び長方形を含む多角形、円形、楕円形、並びに帯状である。多角形の角は丸められていてもよい。ただし、耐熱離型シート１の形状は、これらの例に限定されない。多角形、円形及び楕円形の耐熱離型シート１は枚葉としての流通が、帯状の耐熱離型シート１は、巻芯に巻回した巻回体（ロール）としての流通が、それぞれ可能である。帯状である耐熱離型シート１の幅、及び、帯状である耐熱離型シート１を巻回した巻回体の幅は自由に設定できる。
【００３０】
［耐熱離型シートの製造方法］
耐熱離型シート１は、例えば、以下の方法により製造できる。
【００３１】
最初に、ＰＴＦＥ粉末（モールディングパウダー）を金型に導入し、金型内の粉末に対して所定の圧力を所定の時間加えて予備成形する。予備成形は常温で実施できる。金型の内部空間の形状は、後述の切削旋盤による切削を可能とするために円柱状であることが好ましい。この場合、円柱状の予備成形品及びＰＴＦＥブロックを得ることができる。次に、得られた予備成形品を金型から取り出し、ＰＴＦＥの融点（３２７℃）以上の温度で所定の時間焼成して、ＰＴＦＥブロックを得る。次に、得られたＰＴＦＥブロックを所定の厚さに切削することで、切削シート（スカイブシート）であるＰＴＦＥシート２が得られる。得られたＰＴＦＥシート２は、そのまま耐熱離型シート１として使用しても、所定の処理や他の層の積層等を経た後に耐熱離型シート１として使用してもよい。ＰＴＦＥブロックが円柱状である場合には、ブロックを回転させながら連続的に表面を切削する切削旋盤の利用が可能となり、ＰＴＦＥシート２及び耐熱離型シート１を効率的に形成できる。また、切削旋盤によれば、形成するＰＴＦＥシート２及び耐熱離型シート１の厚さの制御が比較的容易であり、帯状のＰＴＦＥシート２及び耐熱離型シート１も形成できる。また、ＰＴＦＥ粉末に代わって変性ＰＴＦＥ粉末を用いることで、上記方法により、変性ＰＴＦＥシートを形成できる。
【００３２】
耐熱離型シート１は、以下の方法により製造してもよい。
【００３３】
最初に、ＰＴＦＥ分散液を表面に塗布する基材シートを準備する。基材シートは、例えば、樹脂、金属、紙及びこれらの複合材料から構成される。基材シートにおけるＰＴＦＥ分散液を塗布する表面には、基材シートからのＰＴＦＥシート２の剥離を容易にするための剥離処理が施されていてもよい。剥離処理には公知の方法を適用できる。次に、基材シートの表面にＰＴＦＥ分散液の塗布膜を形成する。ＰＴＦＥ分散液の塗布には、公知の各種のコーターを使用できる。基材シートをＰＴＦＥ分散液に浸漬することにより、基材シートの表面にＰＴＦＥ分散液を塗布してもよい。次に、基材シートの表面に形成したＰＴＦＥ分散液の塗布膜から、乾燥及び焼成によってＰＴＦＥシートを形成する。次に、形成したＰＴＦＥシートを基材シートから剥離して、キャストシートであるＰＴＦＥシート２を得る。得られたＰＴＦＥシート２は、そのまま耐熱離型シート１として使用しても、所定の処理や他の層の積層等を経た後に耐熱離型シート１として使用してもよい。この方法では、基材シートに対するＰＴＦＥ分散液の塗布厚み及び／又は塗布回数によって、形成するＰＴＦＥシート２及び耐熱離型シート１の厚さを制御できる。なお、ＰＴＦＥ分散液に代わって変性ＰＴＦＥ分散液を用いることで、上記方法により、変性ＰＴＦＥシートを形成できる。
【００３４】
耐熱離型シート１の引張強度を高めたり、最大引張伸びを抑制するためには、ＰＴＦＥシート２を延伸及び／又は圧延してもよい。
【００３５】
［耐熱離型シートの使用］
図２に示すように、耐熱離型シート１は、熱加圧ヘッド２１による圧着対象物２２の熱圧着時に熱加圧ヘッド２１と圧着対象物２２との間に配置して両者の固着を防ぐ耐熱離型シートとして使用できる。耐熱離型シート１は離型性に優れている。耐熱離型シート１によれば、熱圧着時の熱による、熱加圧ヘッド２１及び／又は圧着対象物２２に対する当該シート１の固着（熱固着）を防ぐことができる。
【００３６】
耐熱離型シート１は、熱加圧ヘッド２１と圧着対象物２２との間に搬送により供給及び配置してもよい。搬送により供給及び配置される耐熱離型シート１は、例えば、帯状である。
【００３７】
圧着対象物２２は、例えば、半導体チップ、ＰＣＢ、電子部品である。耐熱離型シート１は、例えば、熱圧着による半導体チップの製造及びフリップチップ実装、ＰＣＢの製造、並びに電子部品の接続等に使用できる。
【００３８】
［熱圧着方法］
本発明の耐熱離型シート１を用いて圧着対象物２２を熱圧着できる。当該熱圧着方法は、熱加圧ヘッド２１による圧着対象物２２の熱圧着方法であって、熱加圧ヘッド２１と圧着対象物２２との間に耐熱離型シート１を配置した状態で、熱加圧ヘッド２１により圧着対象物２２を熱圧着する。耐熱離型シート１は、例えば搬送により、熱加圧ヘッド２１と圧着対象物２２との間に供給及び配置できる。
【００３９】
［熱圧着物の製造方法］
本発明の耐熱離型シート１を用いて熱圧着物を製造できる。当該熱圧着物の製造方法は、熱加圧ヘッド２１と圧着対象物２２との間に耐熱離型シート１を配置した状態で熱加圧ヘッド２１を用いた圧着対象物２２の熱圧着を実施して、圧着対象物２２の熱圧着体である熱圧着物を得る工程、を含む。熱圧着物の例は、ＰＣＢ及び電子部品である。
【実施例】
【００４０】
以下、実施例により本発明をより詳細に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。
【００４１】
最初に、本実施例において作製した耐熱離型シートの評価方法を示す。
【００４２】
［融解熱量、結晶化度及びピーク温度］
ＰＴＦＥシート又は変性ＰＴＦＥシートの単層構造を有する実施例１〜６の耐熱離型シート、及びテトラフルオロエチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合体（以下、「ＰＦＡ」と記載）シートの単層構造を有する比較例１の耐熱離型シートについて、当該シートを構成するフッ素樹脂（ＰＴＦＥ、変性ＰＴＦＥ及びＰＦＡ）の融解熱量を、以下の手法により評価した。
【００４３】
評価対象の耐熱離型シートから、当該シートを構成するフッ素樹脂のサンプルを１０ｍｇ採取した。次に、採取したサンプルをＤＳＣ装置（ＮＥＴＺＳＣＨ製、ＤＳＣ２００Ｆ３）にセットして、室温から４００℃まで昇温速度１０℃／分で昇温したときのＤＳＣ曲線を得た。得られたＤＳＣ曲線の２５０〜３４０℃の温度域に出現したフッ素樹脂の結晶融解に基づく吸熱ピークを解析して、フッ素樹脂のピーク温度及び融解熱量を求めた。また、焼成ＰＴＦＥが持つ結晶融解熱量の理論値（８２．０Ｊ／ｇ）により上記求めた各融解熱量を除して、ＰＴＦＥ及び変性ＰＴＦＥ（実施例１〜６）並びにＰＦＡ（比較例１）のそれぞれの結晶化度を求めた。
【００４４】
［引張強度及び最大引張伸び］
引張強度（引張破断強度）及び最大引張伸びは、引張試験機（島津製作所製、ＡＧ−Ｉ）を用いた引張試験により求めた。引張方向は、耐熱離型シートの長手方向（ＭＤ方向）とした。試験片の形状は、ＪＩＳ  Ｋ６２５１：１９９３に定められたダンベル１号形とした。測定条件は、測定温度２５℃、試験片の標線間距離４０ｍｍ、チャック間距離７０ｍｍ及び引張速度２００ｍｍ／分とした。最大引張伸びは、試験前の上記標線間距離と、破断時の標線間距離とから算出した。
【００４５】
［熱圧着時の離型性］
熱圧着時における離型性を以下のように評価した。
【００４６】
熱加圧ヘッドとステージとを備える熱圧着装置（東レエンジニアリング製、フリップチップボンダーＦＣ−３０００Ｗ）のステージ上に、模擬的な圧着対象物として半導体チップ（サイズ７．３ｍｍ×７．３ｍｍ、厚さ７２５μｍ）を配置し、さらに当該半導体チップの上に、サイズ７５ｍｍ×７５ｍｍに裁断した評価対象の耐熱離型シートを配置した。耐熱離型シートは、ステージの配置面に垂直な方向から見て、耐熱離型シートのほぼ中央に半導体チップが位置するように配置した。ステージの設定温度は１２０℃とした。次に、熱加圧ヘッドを２０Ｎの加圧圧力に達するように下降させた後、当該ヘッドを３００℃に昇温して加圧時間１０秒の熱圧着試験を実施して、熱加圧ヘッド又は圧着対象物である半導体チップに対する耐熱離型シートの熱固着が生じるかを評価した。熱圧着試験後に熱加圧ヘッド又は半導体チップから耐熱離型シートが自然に、又は手で当該シートを引っ張ることにより剥離した場合を離型性良（○）、手で当該シートを引っ張っても剥離しなかった場合を離型性不可（×）と判断した。
【００４７】
［熱圧着時の熱伝導性］
熱圧着時における熱伝導性を以下のように評価した。具体的な評価方法を、図３を参照しながら説明する。
【００４８】
模擬的なフリップチップ実装を想定して、熱加圧ヘッド５７とステージ５１とを備える熱圧着装置（東レエンジニアリング製、フリップチップボンダーＦＣ−３０００Ｗ）のステージ５１上に、シリコン基盤５２（厚さ３６０μｍ）、ＮＣＦを想定した接着シート５３（日東電工製、ＥＭ−３５０ＺＴ−Ｐ、厚さ６０μｍ）及び半導体チップ５４（サイズ７．３ｍｍ×７．３ｍｍ、厚さ７２５μｍ）を順に配置した。なお、接着シート５３の中に、熱圧着試験時における接着シート５３の最大到達温度を測定するための熱電対５５を埋め込んだ。熱電対５５は、ステージ５１の配置面に垂直な方向から見て、接着シート５３のほぼ中央に先端の測定部が位置するように配置した。次に、半導体チップ５４上に、サイズ１５０ｍｍ×１５０ｍｍに裁断した評価対象の耐熱離型シート５６を配置した。耐熱離型シート５６は、ステージ５１の配置面に垂直な方向から見て、耐熱離型シート５６のほぼ中央に半導体チップ５４が位置するように配置した。ステージ５１の設定温度は１２０℃とした。次に、熱加圧ヘッド５７を２０Ｎの加圧圧力に達するように下降させた後、当該ヘッドを２８０℃に昇温して加圧時間１０秒の熱圧着試験を実施して、試験時における接着シート５３の最大到達温度を熱電対５５により測定した。測定した最大到達温度により、熱加圧ヘッドを用いた熱圧着時における耐熱離型シートの熱伝導性を評価した。
【００４９】
［耐熱性］
２８０℃、２９０℃又は３００℃に設定した半田ごての先端を押し当てることにより、耐熱性を評価した。具体的には、上記各温度に設定した半田ごての先端を評価対象の耐熱離型シートの表面に１０秒押し当て、耐熱離型シートの表面が半田ごての熱により溶融しなかった場合を耐熱性良（○）、溶融した場合を耐熱性不可（×）と判断した。
【００５０】
（実施例１）
ＰＴＦＥ粉末（ダイキン工業製、ポリフロン  ＰＴＦＥ  Ｍ−１８）を円筒状の金型に導入し、温度２３℃、圧力８．５ＭＰａ及び圧力印加時間１時間の条件で予備成形した。次に、形成された予備成形品を金型から取り出し、３７０℃で２４時間焼成して、高さ３００ｍｍ、外径４７０ｍｍの円柱状であるＰＴＦＥブロックを得た。次に、得られたＰＴＦＥブロックを切削旋盤により切削して厚さ３０μｍのＰＴＦＥシートを作製し、これを実施例１の耐熱離型シートとした。
【００５１】
（実施例２）
ＰＴＦＥ粉末の代わりに変性ＰＴＦＥ粉末（３Ｍ製、ダイニオンＴＦＭ  変性ＰＴＦＥ  ＴＦＭ１７００、ＴＦＥ単位の含有率９９質量％以上）を使用した以外は実施例１と同様にして厚さ３０μｍの変性ＰＴＦＥシートを作製し、これを実施例２の耐熱離型シートとした。
【００５２】
（実施例３）
市販のＰＴＦＥ分散液（旭硝子製フルオンＡＤ９１１Ｅ）に対して、フッ素系界面活性剤（ＣＦ3（ＣＦ2）7ＣＨ2ＣＨ2−（ＯＣＨ2ＣＨ2）mＯＨ：ｍ＝３〜５）をＰＴＦＥ固形分を基準に０．６７重量％添加して、基材シート上に塗布膜を形成するためのＰＴＦＥ分散液を調製した。次に、基材シートである帯状のアルミニウム箔（三菱アルミニウム製、厚さ６０μｍ）を上記調製したＰＴＦＥ分散液に浸漬し、引き上げて、基材シートの表面にＰＴＦＥ分散液の塗布膜を形成した。次に、１００℃に設定した加熱炉内で基材シートを加熱して塗布膜を乾燥させた後、３８０℃に設定した加熱炉内でさらに加熱して乾燥後の膜を焼成した。ＰＴＦＥ分散液への基材シートの浸漬、並びに浸漬後の乾燥及び焼成は、基材シートを０．７ｍ／分の速度でロール搬送しながら連続的に実施した。次に、上記ＰＴＦＥ分散液への浸漬、並びにその後の乾燥及び焼成を再度繰り返して、厚さ３０μｍのＰＴＦＥシートを基材シート上に形成した。次に、形成したＰＴＦＥシートを基材シートから剥離して、これを実施例３の耐熱離型シートとした。
【００５３】
（実施例４）
実施例１で作製したＰＴＦＥブロックを切削旋盤により切削して、厚さ５０μｍのＰＴＦＥ切削フィルムを得た。次に、得られた切削フィルムを、１７０℃に保持した一対の金属ロールを備えるロール圧延装置により圧延して厚さ３０μｍのＰＴＦＥシートを作製し、これを実施例４の耐熱離型シートとした。
【００５４】
（実施例５）
基材シート上に形成したＰＴＦＥシートの厚さを５μｍとし、これを基材シートから剥離して耐熱離型シートとした以外は実施例３と同様にして、実施例５の耐熱離型シートを得た。
【００５５】
（実施例６）
基材シート上に形成したＰＴＦＥシートの厚さを１０μｍとし、これを基材シートから剥離して耐熱離型シートとした以外は実施例３と同様にして、実施例６の耐熱離型シートを得た。
【００５６】
（比較例１）
比較例１の耐熱離型シートとして、厚さ２５μｍのＰＦＡシート（ダイキン工業製、ネオフロン  ＰＦＡ  ＡＦ−００２５、パーフルオロアルコキシエチレン単位の含有率１質量％以上）を準備した。
【００５７】
（比較例２）
比較例２の耐熱離型シートとして、厚さ２５μｍのポリイミドシート（東レ・デュポン製、カプトン１００Ｈ）を準備した。
【００５８】
実施例及び比較例の各耐熱離型シートに対する特性の評価結果を、以下の表１に示す。比較例１の熱伝導性（最大到達温度）は、耐熱離型シートが溶融したため、測定不能であった。
【００５９】
【表１】
2020059271.tif 000003
【産業上の利用可能性】
【００６０】
本発明の耐熱離型シートは、熱加圧ヘッドによる圧着対象物の熱圧着時に熱加圧ヘッドと圧着対象物との間に配置して、両者の固着を防ぐために使用できる。本発明の耐熱離型シートを用いた熱圧着は、例えば、半導体チップの製造及びフリップチップ実装、ＰＣＢの製造、並びに電子部品の接続等に適用できる。
【符号の説明】
【００６１】
１  耐熱離型シート
２  ＰＴＦＥシート
２１  熱加圧ヘッド
２２  圧着対象物
【図１】
2020059271.tif 000004
【図２】
2020059271.tif 000005
【図３】
2020059271.tif 000006