【事件の表示】
　特許第６５１２３５４号発明「低α線放出量の金属又は錫合金及びその製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第６５１２３５４号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１〜４〕について訂正することを認める。
　特許第６５１２３５４号の請求項１ないし３、５ないし９に係る特許を維持する。
　特許第６５１２３５４号の請求項４に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第６５１２３５４号（以下、「本件特許」という。）の請求項１〜９に係る特許についての出願は、平成３０年　７月３０日（優先権主張平成２９年　８月１７日）を出願日とする特願２０１８−１４２１９５号（以下、「本願」という。）であって、平成３１年　４月１９日にその特許権の設定登録がなされ、令和　１年　５月１５日にその特許掲載公報が発行された。
　その後、本件特許について、令和　１年１１月　８日付けで、特許異議申立人近藤正幸（以下、「申立人１」という。）により、請求項１〜９に係る本件特許に対して特許異議の申立てがなされ、同年１１月１４日付けで、特許異議申立人特許業務法人藤央特許事務所（以下、「申立人２」という。）により、請求項１〜９に係る本件特許に対して特許異議の申立てがなされ、令和　２年　２月１２日付けで取消理由が通知され、同年　４月１７日付けで特許権者により意見書が提出されるとともに、訂正請求（以下、「本件訂正請求」という。）がなされ、同年　８月１９日付けで申立人１及び申立人２に対し本件訂正請求があった旨の通知がなされ、同年　９月１４日付けで申立人２により指定期間の延長を求める上申書が提出され、同年　９月１５日付けで申立人１により意見書が提出され、同年　９月２８日付けで申立人２の指定期間延長を認める通知書が通知され、同年１０月１６日付けで申立人２により意見書が提出されたものである。
第２　訂正請求について  
１　訂正の趣旨、及び、訂正の内容
（１）訂正の趣旨
　本件訂正請求による訂正（以下、「本件訂正」という。）は、特許第６５１２３５４号の特許請求の範囲を令和　２年　４月１７日付けの訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１〜４について訂正を求めるものであり、その訂正の内容は以下のとおりである。
（２）訂正の内容
訂正事項１
　請求項１について、本件訂正前の
「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．００２ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」
を
「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」
と訂正する。
　請求項１を引用する請求項２〜３も同様に訂正する。
訂正事項２
　請求項２について、本件訂正前の
「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．００２ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」
を
「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００７ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」
と訂正する。
　請求項２を引用する請求項３も同様に訂正する。
訂正事項３
　特許請求の範囲の請求項４を削除する。
２　本件訂正の適否についての当審の判断
（１）訂正事項１について
ア　訂正の目的
　訂正事項１は、本件訂正前の請求項１に記載されていた「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量」について、「０．００２ｃｐｈ／ｃｍ2以下」であったものをより狭い範囲の「０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2以下」に限定するとともに、更に、「大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下」という条件を追加するものであるから、「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。
　したがって、訂正事項１は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　新規事項追加の有無
（ア）訂正事項１に関して、本願の願書に添付した明細書（以下、「本件明細書」という。特許掲載公報の明細書のこと。）には次の記載がある（下線は当審が付した。また、「…」は記載の省略を表す。以下同様。）。
「【００５３】
【表２】
（当審注：表２の一部のみ抜粋）
…
【００５５】
（ｂ）金属錫中のＰｂによるα線放出量
　初めに、得られた板状の金属錫を加熱前の試料１とした。この加熱前の試料１から放出されるα線量をアルファサイエンス社製ガスフロー式α線測定装置（ＭＯＤＥＬ−１９５０、測定下限：０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2）で９６時間測定した。この装置の測定下限は０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2である。この時のα線放出量を加熱前のα線放出量とした。次に、加熱前で測定した試料１を
大気中、１００℃で６時間加熱した後、室温まで徐冷して試料２とした。この試料２のα線放出量を試料１と同様の方法で測定した。この時のα線放出量を「加熱後（１００℃）」とした
α線放出量の測定が終わった試料２を大気中、２００℃で６時間加熱した後、室温まで徐冷して試料３とした。この試料３のα線放出量を試料１と同様の方法で測定した。この時のα線放出量を「加熱後（２００℃）」とした
（イ）上記（ア）の表２によれば、実施例１〜１６のいずれにおいても、「加熱後（１００℃）」のα線の放出量、すなわち「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量」が「０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2以下」であり、「加熱後（２００℃）」のα線の放出量、すなわち「大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量」が「０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下」であることが読み取れるから、訂正事項１は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
（ウ）したがって、訂正事項１は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
ウ　特許請求の範囲の拡張又は変更について
　上記アのとおり、訂正事項１による訂正は、「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではなく、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでないことは明らかであるから、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。　
（２）訂正事項２について
ア　訂正の目的
　訂正事項２は、本件訂正前の請求項２に記載されていた「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量」について、「０．００２ｃｐｈ／ｃｍ2以下」とされていたものを、より狭い範囲の「０．０００７ｃｐｈ／ｃｍ2以下」に限定するとともに、更に、「大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下」という条件を追加するものであるから、「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。
　したがって、訂正事項２は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　新規事項追加の有無
（ア）訂正事項２に関して、本件明細書には次の記載がある（下線は当審が付した。）。
「【００７７】
＜実施例２０〜２７及び比較例１３〜２０＞
　実施例２０〜２７では、実施例１で得られた板状の金属錫を用い、比較例１３〜２０では、比較例１で得られた板状の金属錫を用いた。これらの金属錫と、以下の表５に示すα線放出量が０．００２ｃｐｈ／ｃｍ2以下の銀、銅、亜鉛、インジウム、ビスマス、ニッケル、ゲルマニウムの金属原料とを切断、計量し、カーボンルツボに入れ、高周波誘導真空溶解炉を用いて、真空雰囲気下で、各金属原料の溶融温度以上の温度に加熱して、最終製品である錫合金を鋳造した。
【００７８】
【表５】
【００７９】
　＜比較試験及び評価その３＞
　実施例２０〜２７及び比較例１３〜２０で得られた最終製品である錫合金について、前述した方法で、これらの錫合金中のＰｂ濃度及びこのＰｂによるα線放出量を、加熱前と加熱後と１年後で測定した。この結果を以下の表６に示す。
【００８０】
【表６】
…
【００８２】
　これに対して、
実施例２０〜２７では
１００℃での加熱後の錫合金のα線量は、０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2未満であるか、０．０００５〜０．０００７ｃｐｈ／ｃｍ2であり、２００℃での加熱後の錫合金のα線量
は
０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2未満であるか、０．０００５〜０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2であった
（イ）上記（ア）の【００８２】によれば、実施例２０〜２７のいずれにおいても、「加熱後（１００℃）」のα線の放出量、すなわち「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量」が「０．０００７ｃｐｈ／ｃｍ2以下」であり、「加熱後（２００℃）」のα線の放出量、すなわち「大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量」が「０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下」であることが見て取れるから、訂正事項２は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
（ウ）したがって、訂正事項２は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
ウ　特許請求の範囲の拡張又は変更について
　上記アのとおり、訂正事項２による訂正は、「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではなく、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでないことは明らかであるから、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。　
（３）訂正事項３について
　訂正事項３は、請求項４を削除する訂正であるから、「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当しており、また、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであることは明らかであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでないことは明らかである。
　したがって、訂正事項３は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項、第６項の規定に適合する。　
（４）一群の請求項について
　本件訂正によって、本件訂正前の請求項１を引用する請求項２〜４が連動して訂正されるから、本件訂正前の請求項１〜４は一群の請求項であるところ、本件訂正請求は、上記一群の請求項についてされたものであるから、特許法第１２０条の５第４項の規定に適合する。
　そして、本件訂正は、請求項間の引用関係の解消を目的とするものではなく、特定の請求項に係る訂正事項について別の訂正単位とする求めはないから、本件訂正請求は、訂正後の請求項〔１〜４〕を訂正単位として訂正の請求をするものである。
（５）独立して特許を受けることができるかについて
　特許異議は本件特許の全請求項に対して申し立てられているので、特許異議の申立てがされていない請求項について規定された、特許法第１２０条の５第９項において読み替えて準用する同法第１２６条第７項の規定は、本件訂正に適用されず、特許出願の際独立して特許を受けることができるものでなければならないとの要件は課されない。
（６）小括
　以上のとおりであるから、令和　２年　４月１７日付で特許権者が行った本件訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項において準用する同法第１２６条第５項、第６項の規定に適合するので、本件訂正後の請求項〔１〜４〕について訂正することを認める。  
第３　本件発明
　上記第２で検討したとおり、本件訂正は適法になされたものであるから、請求項１〜９に係る発明（以下、それぞれ「本件発明１」〜「本件発明９」といい、これらをまとめて「本件発明」という。）は、訂正特許請求の範囲の請求項１〜９に記載された次のとおりのものである。なお、下線は訂正された箇所を表す。
「【請求項１】
　錫、銀、銅、亜鉛又はインジウムのいずれかの低α線放出量の金属であって、
　大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が
０．０００５
り、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下であ
【請求項２】
　請求項１記載の低α線放出量の錫と、銀、銅、亜鉛、インジウム、ビスマス、ニッケル及びゲルマニウムからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属との合金であって、
　大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が
０．０００７
り、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下であ
【請求項３】
　前記低α線放出量の錫と合金を形成する金属が、銀、銅、亜鉛及びインジウムからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属である請求項２記載の低α線放出量の錫合金。
【請求項４】
（削除）
【請求項５】
　不純物として鉛をそれぞれ含む錫、銀、銅、亜鉛又はインジウムのいずれかの金属を硫酸水溶液に溶解して前記金属の硫酸塩水溶液を調製するとともに前記硫酸塩水溶液中で硫酸鉛を沈殿させる工程(a)と、
　前記工程(a)の前記硫酸塩水溶液をフィルタリングして前記硫酸鉛を前記硫酸塩水溶液から除去する工程(b)と、
　第１槽で、前記工程(b)の前記硫酸鉛を除去した硫酸塩水溶液を少なくとも１００ｒｐｍの回転速度で撹拌しながらα線放出量が１０ｃｐｈ／ｃｍ2以下の鉛を含む所定の濃度の硝酸鉛水溶液を所定の速度で３０分以上かけて添加して、硫酸塩水溶液中で硫酸鉛を沈殿させ、同時に前記硫酸塩水溶液をフィルタリングして前記硫酸鉛を前記硫酸塩水溶液から除去しながら、前記第１槽中で全体液量に対する循環流量が少なくとも１体積％の割合で循環させる工程(c)と、
　前記工程(c)の前記硫酸塩水溶液を前記第１槽から別の第２槽に移した後、前記硫酸塩水溶液を電解液として前記金属を電解採取する工程(d)と
　を含むことを特徴とする低α線放出量の金属の製造方法。
【請求項６】
　前記工程(c)の前記硝酸鉛水溶液中の硝酸鉛の所定の濃度が１０質量％〜３０質量％である請求項５記載の低α線放出量の金属の製造方法。
【請求項７】
　前記工程(c)の前記硝酸鉛水溶液の所定の添加速度が前記硫酸塩水溶液１リットルに対して１ｍｇ／秒〜１００ｍｇ／秒である請求項５又は６記載の低α線放出量の金属の製造方法。
【請求項８】
　金属錫に、銀、銅、亜鉛、インジウム、ビスマス、ニッケル及びゲルマニウムからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属を添加混合して、この混合物を鋳造することによって低α線放出量の錫合金を製造する方法であって、
　前記金属錫は、請求項５ないし７のいずれか１項に記載の方法により製造された金属錫であり、
　前記金属錫に添加する金属は、α線放出量が０．００２ｃｐｈ／ｃｍ2以下であることを特徴とする低α線放出量の錫合金の製造方法。
【請求項９】
　金属錫に、銀、銅、亜鉛及びインジウムからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属を添加混合して、この混合物を鋳造することによって低α線放出量の錫合金を製造する方法であって、
　前記金属錫及び前記金属錫に添加する金属は、それぞれ請求項５ないし７のいずれか１項に記載の方法により製造された金属であることを特徴とする低α線放出量の錫合金の製造方法。」  
第４　申立人及び特許権者の主張
１　申立人１の申立理由
　申立人１は、証拠方法として、いずれも本願の優先日前に、日本国内又は外国において頒布された又は電気通信回路を通じて公衆に利用可能となった、下記甲第１〜３号証を提出して、以下の申立理由１−１〜１−３により、請求項１〜９に係る本件特許を取り消すべきものである旨主張している。なお、取消理由として採用された申立理由に「（採用）」、「（一部採用）」と記載し、採用されなかった申立理由に「（不採用）」と記載している（以下同様。）。
（１）申立理由１−１（実施可能要件）
　発明の詳細な説明の、「加熱温度が高いほどα線放出量は上昇し易く」との記載は、α崩壊に関する技術常識とは矛盾しており、当該技術常識を凌駕する本件発明独自の解決手段は、発明の詳細な説明に全く開示されていない。そのため、本件発明の技術分野における技術常識を考慮しても、発明の詳細な説明は、本件訂正前の本件発明１〜９を実施することができる程度に明確かつ十分に記載したものではないから、本件訂正前の請求項１〜９に係る本件特許は、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない出願に対してされたものであり、取り消されるべきものである。（不採用）
（２）申立理由１−２（明確性）
　本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１〜９の記載は、一見発明が明確そうに見えるが、α崩壊に関する技術常識に反しており、第三者に不測の不利益を及ぼす虞が強く、結局、上記請求項の記載が不明確であるので、請求項１〜９に係る本件特許は、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない出願に対してされたものであり、取り消されるべきものである。（不採用）
（３）申立理由１−３（２９条柱書）
　本件訂正前の本件発明１〜９は、加熱温度を高くすると、はんだ材料からのα線放出量が増加するという、核物理学上の自然法則に反する手段を内包しているから、上記各発明は特許法第２９条第１項柱書にいうところの「発明」に該当しないので、取り消されるべきものである。（不採用）
＜証拠方法＞
　甲第１号証：Ｋ．ホフマン（著）、山崎正勝外２名（訳）、「オットー・ハーン　−科学者の義務と責任とは−」、シュプリンガー・ジャパン株式会社、２００６年９月２１日発行、３２〜３３頁
　甲第２号証：Ｅ・シュボルスキー（著）、玉木英彦外２名（訳）、「原子物理学ＩＩＩ」、東京図書株式会社、１９７７年３月１０日発行、１８０〜１８１頁
　甲第３号証：岐美格、「原子核工学概論」、理工学社、１９８４年１０月３０日発行、１０〜２５頁
　なお、申立人１が提出した、上記甲第１号証〜甲第３号証をそれぞれ「甲Ａ１」〜「甲Ａ３」ということがある。
２　申立人２の申立理由
　申立人２は、証拠方法として、いずれも本願の優先日前に、日本国内又は外国において頒布された又は電気通信回路を通じて公衆に利用可能となった、下記甲第１〜８号証を提出して、以下の申立理由２−１〜２−８により、請求項１〜９に係る本件特許を取り消すべきものである旨主張している。
（１）申立理由２−１（新規性、進歩性）（異議申立書のア−１１、ウ）
　本件訂正前の本件発明１、４（金属の発明）は、甲第１号証に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができないものであるから、もしくは、甲第１号証に記載された発明に基いてその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、同発明に係る特許は、取り消されるべきものである。（一部採用）
（２）申立理由２−２（新規性、進歩性）（異議申立書のア−１１、ウ、エ−２）
　本件訂正前の本件発明１、４（金属の発明）は、甲第３号証に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができないものであるから、もしくは、甲第３号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、同発明に係る特許は、取り消されるべきものである。（一部採用）
（３）申立理由２−３（新規性、進歩性）（異議申立書のア−１１、ウ、エ−３）
　本件訂正前の本件発明１、４（金属の発明）は、甲第４号証に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができないものであるから、もしくは、甲第４号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、同発明に係る特許は、取り消されるべきものである。（一部採用）
（４）申立理由２−４（新規性、進歩性）（異議申立書のア−１１、ウ、エ−４）
　本件訂正前の本件発明１、４（金属の発明）は、甲第５号証に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができないものであるから、もしくは、甲第５号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、同発明に係る特許は、取り消されるべきものである。（一部採用）
（５）申立理由２−５（新規性、進歩性）（異議申立書のア−１１、ウ、エ−５）
　本件訂正前の本件発明１、４（金属の発明）は、甲第６号証に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができないものであるから、もしくは、甲第６号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、同発明に係る特許は、取り消されるべきものである。（一部採用）
（６）申立理由２−６（新規性、進歩性）（異議申立書のイ−１、イ−２、イ−３、イ−４、ウ、オ）
　本件訂正前の本件発明２〜４（錫合金の発明）は、甲第１〜６号証に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができないものであるから、もしくは、甲第１〜６号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、同発明に係る特許は、取り消されるべきものである。（一部採用）
（７）申立理由２−７（新規性、進歩性）（異議申立書のエ−１）
　本件訂正前の本件発明１、４（金属の発明）は、甲第７号証に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができないものであるからから、同発明に係る特許は、取り消されるべきものである。（採用）
（当審注：当該申立理由２−７は、取消理由通知時に申立理由２−６と記載していたものであるが、（６）の申立理由２−６と重複していたので、当該（７）以降、申立理由２−７等と書き換えている。）
（８）申立理由２−８（サポート要件、明確性、実施可能要件）（異議申立書のカ）
　本件訂正前の本件発明１、４に記載された「低α線放出量の金属である」「銀」について本件明細書の実施例として記載はなく、また、本件発明２〜４に記載された「低α線放出量の錫合金」について本件明細書には実施例２０〜２７として８通りの錫合金が記載されているのみであるから、本件発明１〜４は、本件特許明細書の発明の詳細な説明に記載されていない発明を包含するものであり、特許を受けようとする発明が明確なものとはなっておらず、本件発明１〜４について本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は、当業者が実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものではないので、本件発明１〜４に係る特許は、特許法第３６条第６項第１号、第２号と同条第４項第１号に規定する要件を満たしていない出願に対してされたものであり、取り消されるべきものである。（不採用）
（９）申立理由２−９（進歩性）（異議申立書のキ）
　本件訂正前の本件発明５〜９は、甲第１号証、甲第３〜７号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、同発明に係る特許は、取り消されるべきものである。（不採用）
＜証拠方法＞
　甲第１号証：特許第６０８０９４６号公報
　甲第２号証：川崎浩由、「半導体実装におけるはんだ材料用金属粉末表面の化学反応に関する研究」、九州工業大学学術機関リポジトリ、九州工業大学学位授与番号１７１０４甲工第４１７号、学位授与年度平成２７年度、平成２８年３月発行
　甲第３号証：国際公開第２０１１／１１４８２４号
　甲第４号証：国際公開第２０１２／１２０９８２号
　甲第５号証：特開２０１１−２１４０６１号公報
　甲第６号証：特開２０１１−２１４０４０号公報
　甲第７号証：特許第３５２８５３２号公報
　甲第８号証：「半導体実装におけるはんだ材料用金属粉末表面の化学反応に関する研究」（当審注：甲第２号証）の書誌詳細、国立国会図書館オンライン、ＵＲＬ：http://id.ndl.go.jp/digimeta/10191969
　なお、申立人２が提出した、上記甲第１号証〜甲第８号証をそれぞれ「甲１」〜「甲８」ということがある。
３．特許権者の主張の概要
　特許権者は、令和　２年　４月１７日付の意見書において、証拠方法として下記乙第１〜２号証を提出して、下記第５に記載したいずれの取消理由によっても本件発明１〜３を取り消すことができない旨主張している。
＜証拠方法＞
　乙第１号証：２０１７年１１月７日に実施された９th Annual IEEE CMPT SCV Soft Error rate (SER) Workshop　にて発表した資料及びその訳文
　乙第２号証：実験成績証明書
　なお、乙第１号証、乙第２号証をそれぞれ、「乙１」、「乙２」ということがある。
第５　取消理由の概要
　令和　２年　２月１２日付けで通知した取消理由において、上記申立理由２−１〜２−７に基いて、次の取消理由が通知された。
理由１．甲１を主たる引用例とする新規性、進歩性について（申立理由２−１と申立理由２−６を採用）
　本件発明１は、甲１に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができないものである。
　本件発明２、本件発明３、本件発明２、３を引用する本件発明４は、甲１に記載した発明と、甲４、甲５、甲６の記載に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
理由２．甲３を主たる引用例とする新規性について（申立理由２−２と申立理由２−６を採用）
　本件発明１、２、３、４は、甲３に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができないものである。
理由３．甲４を主たる引用例とする新規性について（申立理由２−３を採用）
　本件発明１、４は甲４に記載した発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができないものである。
理由４．甲５を主たる引用例とする新規性、進歩性について（申立理由２−４と申立理由２−６を採用）
　本件発明１、本件発明１を引用する本件発明４は甲５に記載した発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができないものである。
　本件発明２、３、本件発明２又は３を引用する本件発明４は、甲５に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである
理由５．甲６を主たる引用例とする新規性、進歩性について（申立理由２−５と申立理由２−６を採用）
　本件発明１、本件発明１を引用する本件発明４は甲６に記載した発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができないものである。
　本件発明２、３、本件発明２又は３を引用する本件発明４は、甲６に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである
理由６．甲７を主たる引用例とする新規性について（申立理由２−７を採用）
　本件発明１、本件発明１を引用する本件発明４は、甲７に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができないものである。
　第６　当審の判断
１　取消理由として通知した申立理由について
１−１　甲１を主たる引用例とする新規性、進歩性（取消理由１）について
（１）甲１に記載された事項と発明
ア　甲１には、以下の事項が記載されている。なお、「・・・」は記載の省略を表し、下線は当審が付したものである。以下同様。
　１ア　「【０００２】
　[0002]本発明は電子部品の製造において用いる金属材料に関し、特に本発明は、電子部品の製造において用いるタイプの金属材料のα粒子放出ポテンシャルを査定する方法（amethod for assessing an alpha particle emission potential of a metallicmaterial）に関する。」
　
　１イ　「【背景技術】
【０００３】
　[0003]多くの電子デバイスの実装及び他の電子製造用途において、例えば
純金属及び金属合金のような金属材料がハンダとして通常的に用いられている。幾つかの同位体からのα粒子の放出によって、しばしばソフトエラー又はソフトエラーアップセットと呼ばれるシングルイベントアップセット（ＳＥＵ）が引き起こされる可能性があることが周知である
α粒子放出（αフラックスとも呼ばれる）は、実装された電子デバイスに損傷をもたらす可能性があり、より詳しくはソフトエラーアップセット、及び更には幾つかの場合においては電子デバイスの不具合を引き起こす可能性がある
【０００４】
　[0004]金属材料からのα粒子放出に関係する最初の研究は、電子デバイスの実装において用いる鉛ベースのハンダ、並びにこれに引き続く複数のかかる鉛ベースのハンダを改良する努力に集中していた。
より最近では、銀、スズ、銅、ビスマス、アルミニウム、及びニッケルのような非鉛又は「無鉛」金属材料を、合金としてか又は純元素材料として用いることへ移行している
しかしながら、実質的に純粋な非鉛金属材料においても、鉛は不純物として通常的に存在し、かかる材料はしばしば精錬して材料中の鉛不純物の量を最小にしている
【０００５】
　[0005]ウラン及びトリウムは、公知の崩壊系列にしたがって放射性崩壊してα粒子放出性同位体を形成する可能性がある金属材料中にしばしば存在する主要な放射性元素として周知である。ソフトエラーアップセットに関与する主要なα粒子放出物質であると考えられているポロニウム−２１０（２１０Ｐｏ）の存在が、非鉛材料において特に関心が持たれている。
鉛−２１０（２１０Ｐｂ）は
２２．３年の半減期を有し、ビスマス−２１０（２１０Ｂｉ）へβ崩壊する。しかしながら、２１０Ｂｉの非常に短い５．０１日の半減期のために、かかる同位体は、実質的に、２１０Ｐｏへ速やかに崩壊する過渡的中間状態である。２１０Ｐｏは１３８．４日の半減期を有し、５．３０４ＭｅＶのα粒子を放出することによって安定な鉛−２０６（２０６Ｐｂ）に崩壊する
電子デバイス用途において用いる金属材料における最大の関心事は、２１０Ｐｂ崩壊系列の後半の工程、即ちα粒子の放出を伴う２１０Ｐｏの２０６Ｐｂへの崩壊である
【０００６】
　[0006]
２１０Ｐｏ及び／又は２１０Ｐｂは溶融及び／又は精錬技術によって少なくとも部分的に除去することができるが、かかる同位体は溶融又は精錬の後においても金属材料中に不純物として残留する可能性がある
金属材料から２１０Ｐｏを除去すると、金属材料からのα粒子の放出が一時的に減少する。しかしながら、α粒子の放出は、最初は低下するが、通常は、２１０Ｐｂ崩壊プロファイルの永続平衡が金属材料中に残留する２１０Ｐｂに基づいて徐々に復活するにつれて、時間と共に潜在的に許容できないレベルに増加することが観察されている
　
　１ウ　「【発明を実施するための形態】
【００１２】
　[0012]本発明は、例えば
ハンダのために用いる金属材料
金属材料のα粒子放出
金属材料は、それ自体、例えばスズ、鉛、銅、アルミニウム、ビスマス、銀、及びニッケルのような単一又は実質的に純粋な元素材料であってよく、或いは上記の材料の任意の２以上の合金
であってよい
　
　１エ　「【００２０】
　[0020]
バルクの金属材料を圧延して試料材料の薄いシートを与える
【００２１】
　[0021]
試料を得た後、試料中の標的崩壊同位体の原子の濃度が試料体積全体にわたって均一になる時点まで試料材料中の標的崩壊同位体の拡散を促進させるために、試料を熱によって処理する
均一な濃度が得られると、α粒子検出プロセスの検出限界深さ内の標的崩壊同位体の原子の数は、試料全体にわたる標的崩壊同位体の原子の均一な濃度を表し、より詳細にはそれに直接相関する
【００２２】
　[0022]別の言い方をすると、
室温において
標的崩壊同位体の濃度は、試料の１つの側において試料の他の側よりも高く、或いは試料の中心において試料の外側表面よりも高い
試料を加熱することによって化学ポテンシャル勾配が調節され、十分な時間及び温度の曝露においては、化学ポテンシャル勾配は実質的にゼロであり、標的崩壊同位体の濃度は試料全体にわたって実質的に均一である
　
　１オ　「【００２３】
　[0023]本明細書において用いる「検出限界深さ」という用語は、材料の表面に到達し、それによって分析検出のために材料から放出されるために、放出されたα粒子がそれを通って透過することができる所定の金属材料内の距離を指す。選択された金属材料における２１０Ｐｏに関する検出限界深さをミクロンで下表１に与える。これらは２１０Ｐｏの２０６Ｐｂへの崩壊によって放出される５．３０４ＭｅＶのα粒子の透過に基づくものである。
【００２４】
【表１】
【００２５】
　[0024]２１０Ｐｏ以外のα粒子放出性同位体の放射性崩壊によって放出されるα粒子のような異なるエネルギーのα粒子に関する検出限界深さは変化し、検出限界深さは一般にα粒子のエネルギーに比例する。本方法においては、放出されるα粒子は、JEDEC標準規格JESD221によって記載されている方法にしたがって、Hayward,CAのXIA L.L.C.から入手できるXIA1800-UltraLoガス電離チャンバーのようなガスフローカウンターを用いて検出することができる。
【００２６】
　[0025]
２１０Ｐｏのような標的崩壊同位体は、金属材料内に拡散又は移動することが知られており、この点において、本方法の熱処理は、材料試料内における標的崩壊同位体の拡散を促進して濃度勾配を排除するために用いる
【００２７】
【化１】
【００２８】
（式中、∂φ／∂ｘは、２１０Ｐｏのような標的崩壊同位体の濃度勾配であり、Ｄは拡散係数である）
にしたがって表すことができる所定の金属材料中の拡散速度Ｊを有する。・・・」
　
　１カ　「【００３４】
　[0028]等式（１）に基づいて、濃度勾配を排除するために十分に標的崩壊同位体を試料内に拡散させて、試料の検出限界深さ内のα粒子放出量の検出が試料全体にわたる標的崩壊同位体の濃度を示し、且つこれに直接相関するようにするために試料を曝露することができる好適な時間及び温度加熱プロファイルを求めることができる。
例えば、１ミリメートルの厚さを有するスズ試料に関しては、６時間の２００℃の熱処理によって、試料内の２１０Ｐｏ原子の全ての濃度勾配が排除されることが確保される
　
　１キ　「【実施例】
【００４９】
　[0040]下記の非限定的な実施例は本発明の種々の特徴及び特性を示すが、本発明はこれらに限定されると解釈すべきではない。
　実施例１：
　精錬スズ試料における最大α放出量の測定：
　[0041]本方法は、８つの精錬スズ試料における可能な最大α放出量を査定するために用いた。
スズ試料は
精錬した
精錬スズ試料の試験試料は、インゴットから約１キログラムの試料を切り出し、試料を１ミリメートルの厚さに圧延することによって得た
試験試料を２００℃において６時間加熱し
試験試料のα粒子放出量を測定した
【００５０】
【表３】
　　　　　　　　　　　」
　１ク　「【００５８】
　実施例３：
　銅試料における標的崩壊同位体の拡散の測定：
　[0048]本方法は、銅試料における最大可能α放出量を査定するために用いた。
銅試料を、９９．９９％から９９．９９９９％の純度に電解精錬した。精錬の後、精錬した銅を加熱し、インゴットに成形した
【００５９】
　[0049]
銅材料の試験試料は、インゴットから試料を切り出し、試料を３．２ｍｍの厚さに圧延することによって得た
銅試験試料を２００℃において６時間加熱する前及び加熱した後の試験試料のα粒子放出量を測定した
【００６０】
　[0050]加熱の前においては、
銅試験試料は０．００３６カウント／時／ｃｍ２の放射能又はαフラックスを有しており、２００℃で６時間加熱した後においては、銅試験試料は０．００５１カウント／時／ｃｍ２の放射能を有していた
イ　上記１イによれば、ハンダとして用いられる純金属や金属合金は、α粒子を放出する同位体を含んでいるため、α粒子の放出によって電子デバイスにソフトエラー等を引き起こすという問題がある（【０００３】）。そして、ハンダとして用いられる、銀、スズ、銅、ビスマス、アルミニウム、及びニッケルのような非鉛又は「無鉛」の金属材料であっても、不純物として鉛を含んでおり、また、鉛はその同位体である半減期２２．３年の２１０Ｐｂを含んでいるところ、半減期５日の２１０Ｂｉを経て、半減期１３８．４日の２１０Ｐｏに崩壊し、当該２１０Ｐｏは安定な２０６Ｐｂに崩壊する際にα粒子を放出する（【０００５】）。
　したがって、ハンダ用金属である、銀、スズ、銅、ビスマス、アルミニウム、及びニッケルのような非鉛又は「無鉛」の金属材料は精錬によって、α粒子放出源となる放射性不純物が除去されるが、金属材料からα粒子放出源となる２１０Ｐｏを除去しても、金属材料中に残留する２１０Ｐｂの崩壊によって２１０Ｐｏが生成されるので、α粒子の放出は時間と共に許容できないレベルに増加する。（【０００６】）
ウ　上記１イの【０００４】及び１ウによれば、α粒子の放出を伴うハンダ用の無鉛の金属材料として、スズ、銅、アルミニウム、ビスマス、銀、及びニッケルのような単一の元素材料や、上記材料の任意の２以上の合金が挙げられており、かかる材料は精錬して材料中の鉛不純物の量が最小にされている。
エ　上記１エによれば、バルクの金属材料を圧延して得られた薄いシート状の試料は、室温において、当該試料の一つの側は他の側よりも同位体の濃度が高く、あるいは、当該試料の中心は外側表面よりも同位体の濃度が高くなっているが、当該試料を十分な時間及び温度に暴露する加熱処理をすることによって、当該試料に含まれる同位体の濃度を試料全体にわたって実質的に均一とすることができる（【００２２】）。
オ　上記エに記載した加熱処理に関して、上記１カによれば、１ｍｍの厚さの錫試料に関して、６時間の２００℃の熱処理によって、当該試料内の２１０Ｐｏ原子の全ての濃度勾配が排除される、すなわち、２１０Ｐｏの濃度を試料全体にわたって実質的に均一にすることができる（【００３４】）。
　なお、上記１クによれば、電解精錬した銅のインゴットから切り出された、３．２ｍｍの厚さの銅試料に関して、６時間の２００℃の熱処理によって、加熱前に０．００３６カウント／時／ｃｍ２であったものが、加熱後に０．００５１カウント／時／ｃｍ２となったことから、銅試料においても、同位体の拡散が加熱によって促進され、２１０Ｐｏの濃度が試料全体にわたって実質的に均一になることが示されている（【００６０】）。
カ　上記１キによれば、錫の試験試料は、精錬した錫のインゴットから切り出し、厚さ１ｍｍに圧延することによって製造されものであって、この試験試料を２００℃において６時間加熱したもののα粒子放出量を測定した結果が表３に示されている（【００４９】）。
キ　ここで、表３の試料のうち、α粒子放出量が一番少ない試料６に注目すると、精錬から３２日経過した試料を、２００℃にて６時間加熱した後のα粒子放出量が０．０００９カウント／時／ｃｍ２となっているので、甲１には次のハンダ用の錫が記載されているものと認められる（以下「甲１発明」という。）。
「精錬した錫のインゴットから切り出して厚さ１ｍｍに圧延した、精錬から３２日経過後のハンダ用の錫であって、２００℃にて６時間加熱した後のα粒子放出量が０．０００９カウント／時／ｃｍ２であるハンダ用の錫。」
ク　また、上記ウの検討によれば、甲１には、ハンダ用の無鉛の金属材料には、錫、銅、アルミニウム、ビスマス、銀、及びニッケルのような単一の元素材料や、上記材料の任意の２以上の合金があり、これらの材料中の鉛不純物は最小にされているものであると記載されており、鉛不純物を最小にするために、原料の金属についても鉛不純物が最小でα粒子放出量が少ないものが好ましいことは明らかであり、具体的には上記甲１発明の錫をハンダ用合金に使用することが示唆されているといえるから、甲１には、次のハンダ用の合金が記載されているものと認められる（以下「甲１合金発明」という。）。
「甲１発明の錫と、銅、アルミニウム、ビスマス、銀、及びニッケルのいずれか１以上の金属を添加した、精錬によって材料中の鉛不純物の量が最小にされている、ハンダ用の錫合金。」
（２）甲２に記載された事項
ア　甲２には、以下の事項が記載されている。
　２ア　「１−５　ソフトエラーと低α線量はんだ材料
　かつてのワイヤーボンディングによる実装方法がフリップチップとなり、メモリーセルの記憶情報の書き換えが発生する
“ソフトエラー”と呼ばれる不良が１９７８年に報告された
これは当時Ｓｎ−Ｐｂはんだの不純物から発生するα線が原因であった
　実際に
α線を放射する不純物は、安定な２０６Ｐｂと放射性同位体の関係にあるウラン系列の物質である。中でも２１０Ｐｏは半減期約１３９日であり、特に問題視されている
２１０ＰｏはＳｎ中のＰｏ不純物中に含有されるが、それ以上に危惧されるのが２１４Ｐｂ、２１４Ｂｉ、２１０Ｐｂ、２１０Ｂｉが崩壊することで２１０Ｐｏと壊変するため、はんだ組成中または不純物中のＰｂ，Ｂｉに含まれる放射性同位体の存在である
　２イ　「４−１−５　材料α線量の経時変化
　
材料α線量の経時変化に関して
放射線元素の経時変化による崩壊に加えて、最近報告されたポロニウムの拡散の２つを説明する
　まず
１つ目は第１章でも述べた、放射性元素の崩壊によるα線源の発生である。例え２１０Ｐｏが存在しなくとも、Ｂｉ，Ｐｂといった不純物に極微量含まれる放射線同位体は、経時変化により２１０Ｐｏへと壊変し、α線を発生させてしまう
　
次のα線量の経時変化は２１０Ｐｏの拡散である
最近の研究において地金の錫インゴットにおいて、ポロニウムが偏析すること、そしてそれによりα線量が異なることが報告されている
ポロニウムの場合析出しにくく、錫インゴットの直方体形状において、中央の部分が最後に冷却されて固体となるため、その部分に偏析すると報告された。表面側の錫、中央の錫をそれぞれ切り出して、再度加工するとそれぞれ異なるα線量を示す
　このように
偏析したポロニウムは
ポロニウムが均一な状態になろうと自発的に変化する。これはインゴットに限った話ではなく、鋳造にて製造された錫のα線量測定用のシートがあれば、シート中央にポロニウムは偏析しα線量が検出しにくい。しかし経時変化によって表面や表面近傍にもポロニウムが拡散してくれば、それらのα線量を検出できるようになり、α線量が増加する
　
　２ウ　「４−３　次世代実装用低α線量レベルのα線量測定
４−３−１　緒言
　本節では、最近の報告であるα線量の加速試験について吟味した。材料の
錫に含まれる放射線元素、とりわけ２１０Ｐｏは偏析して最後に冷え固まる部分、いわゆる材料の中央に局在する
経時変化と共にポロニウムが拡散して、α線量が一定値に収束するまで上昇するという現象
１００℃で１時間といった加熱をすることで、ポロニウムの拡散を加速できることがわかっている
イ　上記２イによれば、材料に含まれる不純物には極微量の放射性同位体が含まれるために、材料から放出されるα線量は経時的に変化するが、当該経時変化には２つの要因があり、一つは、放射線元素の崩壊によるものであり、もう一つは、ポロニウムの拡散によるものである。
ウ　上記イの２つの要因のうち、前者の要因については、上記２アも参照すると、はんだ組成中またははんだ不純物中に極微量含まれる放射性同位体から発生するα線によるものであり、放射性同位体のうち、特に危惧されるのが崩壊することで２１０Ｐｏに壊変する２１０Ｐｂ、２１０Ｂｉである。たとえ２１０Ｐｏが存在しなくても、極微量含まれる放射性同位体が経時変化により２１０Ｐｏへと壊変し、α線を発生させてしまう。
エ　上記イの２つの要因のうち、後者の要因については上記２ア、２ウも参照すると、鋳造された錫インゴットには、半減期約１３９日でα崩壊する２１０Ｐｏが含まれており、鋳造時に最後に冷却されて固体となる中央部にポロニウムが偏析することで、表面側の錫と中央の錫では検出されるα線量が異なる値となり、経時変化と共にポロニウムが拡散してα線量が一定値に収束するまで上昇する。そして、この拡散は１００℃で１時間といった加熱をすることで加速することができる。また、このことは、インゴットに限ることではなく、鋳造にて製造された錫のシートの場合にも、シート中央はポロニウムが偏析してα線量が検出しにくいが、経時変化によって表面や表面近傍にポロニウムが拡散してくれば、α線量を検出できるようになり、α線量が増加する。
（３）本件発明１と甲１発明の対比
ア　甲１発明の「精錬した錫のインゴットから切り出して厚さ１ｍｍに圧延した」「ハンダ用の錫」は、精錬によってα線源である放射性不純物が低減されている錫であるから、本件発明１の「錫、銀、銅、亜鉛又はインジウム」のうち「錫」である「低α線放出量の金属」に相当する。
イ　甲１発明の「α粒子放出量」は、本件発明１の「α線の放出量」、「α線放出量」に相当する。
ウ　そうすると、本件発明１と甲１発明との一致点と相違点は次のとおりとなる。
＜一致点＞
「錫、銀、銅、亜鉛又はインジウム」のうち「錫」である「低α線放出量の金属」の点。
＜相違点１＞
「低α線放出量の金属」からの「α線の放出量」が、本件発明１では「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」のに対して、甲１発明では「２００℃にて６時間加熱した後のα粒子放出量が０．０００９カウント／時／ｃｍ２である」点。
（４）相違点１についての判断
ア　「低α線放出量の金属」における「大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量」（以下、「２００℃α線放出量」という。）が、甲１発明では「０．０００９カウント／時／ｃｍ２」であるのに対して、本件発明１では「０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下」であるから、相違点１は実質的な相違点である。
　したがって、本件発明１は相違点１で甲１発明と相違するから、本件発明１は甲１に記載された発明ではない。
イ　次に、相違点１の容易想到性について検討する。甲１には、ハンダから放出されるα粒子がソフトエラーの原因となることが記載されており（【０００３】）、α粒子放出量が少ないハンダが好ましいことは技術常識であるから、甲１発明において、２００℃α粒子放出量を極力低減すべきであるという動機は存在しているといえる。
しかしながら、甲１には、２００℃α線放出量の最低量が「０．０００９カウント／時／ｃｍ２」のものが記載されているにすぎず、これよりも低い値のものは記載されていないし、本件明細書には、本件発明１のように「０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下」という低い２００℃α線放出量を実現するためには、本件発明５の製造方法によって、金属中に含まれる放射性同位体の鉛（２１０Ｐｂ）を十分に低減することが必要であることが示されているが、金属中に含まれる放射性同位体の鉛（２１０Ｐｂ）を十分に低減するための具体的な方法は、甲１やその他の甲号証のいずれにも記載されていない。
　したがって、甲１やその他の甲号証を参照しても、甲１発明において、相違点１に係る本件発明１の特定事項とすることが、当業者にとって容易になし得ることであるということはできない。
ウ　なお、申立人２は、令和　２年１０月１６日付けの意見書において、上記相違点１について、「カウント数のオーダーが同じであると理解して、むしろ実質的に同じとみるべき値である」、「この数値の相違をもって、発明の相違をもたらすほどの相違とはなっておらず」と主張しているが（６／２３頁）、はんだ材料に使用される金属は、α粒子放出量が少なければ少ないものであるほど、使用時に高温環境に曝された場合のソフトエラーの発生率が低下するという点でより優れていることは明らかであるし、上記数値の相違が、例えば測定時の誤差の範囲内での相違にすぎないことを実験によって示すなど、実質的に同じであるといえる具体的な理由を説明しているわけでもないので、相違点１が実質的な相違点でないとはいえないから、申立人２の上記主張は採用できない。
（５）本件発明２と甲１合金発明の対比と判断
ア　上記（３）、（４）の検討によれば、甲１合金発明の「甲１発明の錫」と、本件発明２の「請求項１記載の低α線放出量の錫」とは、「低α線放出量の錫」の点で一致している。
イ　甲１合金発明の「銅、アルミニウム、ビスマス、銀、及びニッケルのいずれか１以上の金属」と、本件発明２の「銀、銅、亜鉛、インジウム、ビスマス、ニッケル及びゲルマニウムからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属」は、「銀、銅、ビスマス、ニッケルからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属」の点で共通している。
ウ　上記（１）イの検討によると、銀、スズ、銅、ビスマス、アルミニウム、及びニッケルのようなハンダ用金属は、非鉛又は「無鉛」であっても、不純物として鉛を含んでおり、また、鉛はその同位体である２１０Ｐｂや２１０Ｐｏを極微量含んでいてα線を放出するものであるところ、ハンダ用の錫合金である甲１合金発明において、鉛不純物の量が最小にされているのは、放出されるα線を低減するためであることが理解される。つまり、甲１合金発明の「精錬によって材料中の鉛不純物の量が最小にされている、ハンダ用の錫合金」は、本件発明２の「低α線放出量の錫合金」に相当する。
エ　そうすると、本件発明２と甲１合金発明との一致点と相違点は次のとおりとなる。
＜一致点＞
「低α線放出量の錫と、銀、銅、ビスマス、ニッケルからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属との合金であって、低α線放出量の錫合金」である点。
＜相違点２＞
「低α線放出量の金属」である「錫」からの「α線の放出量」が、本件発明２では、本件発明２が引用する本件発明１の特定事項である「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」のに対して、甲１合金発明では、甲１合金発明が引用する甲１発明の特定事項である「２００℃にて６時間加熱した後のα粒子放出量が０．０００９カウント／時／ｃｍ２である」点。
＜相違点３＞
「低α線放出量の錫合金」からの「α線の放出量」が、本件発明２では「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００７ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」のに対して、甲１合金発明では「甲１発明の錫」すなわち「２００℃にて６時間加熱した後のα粒子放出量を計測すると０．０００９カウント／時／ｃｍ２であるハンダ用の錫」を原料として用いているものの、錫以外の金属を添加した後の錫合金が、どの程度の２００℃α線放出量であるか不明である点。
オ　相違点２は、相違点１と同じ内容であるから、上記（４）で検討した理由と同じ理由によって、甲１合金発明において、「錫」からの「α線の放出量」を、相違点２に係る特定事項とすることは、当業者が容易になし得ることではない。
カ　相違点３について検討する。
　本件明細書の【表６】には、実施例１の金属錫又は比較例１の金属錫と、【表５】に示すα線放出量が０．００２ｃｐｈ／ｃｍ2以下の銀、銅、亜鉛、インジウム、ビスマス、ニッケル、ゲルマニウムの金属原料とを混合し溶融し鋳造した錫合金である、実施例２０〜２７と比較例１３〜２０のα線放出量の測定値が記載されており、実施例１の金属錫を用いた実施例２０〜２７については、２００℃α線放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下となっているが、比較例１の金属錫を用いた比較例１３〜２０については、２００℃α線放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2をはるかに越える数値となっている（上記第２の２（２）イ参照。）。ここで、実施例１は、本件発明５の製造方法で製造された、本件発明１の特定事項の条件を満たす、放射性同位体の鉛（２１０Ｐｂ）が十分に低減された低α線放出量の錫であるのに対して、比較例１は、本件発明５の製造方法の条件を満たさない製造方法で製造された、本件発明１の特定事項の条件を満たさない、放射性同位体の鉛（２１０Ｐｂ）が十分に低減されていない錫である。
　このことから、本件発明２の錫合金は、本件発明１の低α線放出量の錫を金属原料として用いると、当該錫合金中に含まれる放射性同位体の鉛（２１０Ｐｂ）が十分に低減されるので、相違点３に係る本件発明２の特定事項である低α線放出量が実現するものと考えられるところ、甲１やその他の甲号証のいずれにも、本件発明１の低α線放出量の錫やその製造方法は記載されていないため、甲１合金発明の錫合金において、低α線放出量の錫として、本件発明１の低α線放出量の錫を用いることが容易になし得ることであるとはいえず、その結果、甲１合金発明において、相違点３に係る本件発明２の特定事項を備えたものとすることは、当業者が容易になし得ることではない。
キ　したがって、本件発明２は、甲１に記載された発明ではないし、甲１に記載された発明と甲１やその他の甲号証の記載に基いて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
（６）本件発明３と甲１合金発明の対比と判断
　本件発明２を引用することで、本件発明２の特定事項を備えた本件発明３についても、上記（５）と同様の理由によって、甲１に記載された発明ではないし、甲１に記載された発明と甲１やその他の甲号証の記載に基いて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
１−２　甲３を主たる引用例とする新規性、進歩性（取消理由２）について
（１）甲３に記載された事項と発明
ア　甲３には、以下の事項が記載されている。
　３ア　「［０００１］この発明は、半導体の製造等に使用する、
α線量を低減させた錫又は錫合金及びその製造方法に関する
［０００２］・・・
　最近の半導体装置は、高密度化及び動作電圧やセルの容量が低下しているので、半導体チップ近傍の材料からのα線の影響により、ソフトエラーが発生する危険が多くなってきた。このようなことから、前記
はんだ材料及び錫の高純度化の要求があり、またα線の少ない材料が求められている
　
　３イ　「発明が解決しようとする課題
［００１４］最近の半導体装置は、高密度化及び動作電圧やセルの容量が低下しているので、半導体チップ近傍の材料からのα線の影響により、ソフトエラーが発生する危険が多くなってきている。
特に、半導体装置に近接して使用される、はんだ材料若しくは錫に対する高純度化の要求が強く、またα線の少ない材料が求められている
本発明は、錫及び錫合金のα線発生の現象を解明すると共に、要求される材料に適応できる錫のα線量を低減させた高純度錫及びその製造方法を得ることを課題とする
　
　３ウ　「課題を解決するための手段
［００１５］上記の課題を解決するために、以下の発明を提供するものである。　１）
溶解・鋳造した後の試料のα線量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ２未満であることを特徴とする錫
　２）
溶解・鋳造から
３０ヵ月後の、それぞれのα線量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ２未満であることを特徴とする錫
　３）試料の第１回目に測定したα線量が０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２未満であって、そのα線量と、それから５ヶ月経過した後に測定したα線量との差が０．０００３ｃｐｈ／ｃｍ２未満であることを特徴とする錫。
　４）試料の第１回目に測定したα線量が０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２未満であって、そのα線量と、それから５ヶ月経過した後に測定したα線量との差が０．０００３ｃｐｈ／ｃｍ２未満であることを特徴とする１）又は２）記載の錫。　
　５）Ｐｂ含有量が０．１ｐｐｍ以下であることを特徴とする１）〜４）のいずれか一項に記載の錫。
　６）Ｕ，Ｔｈのそれぞれの含有量が５ｐｐｂ以下であることを特徴とする１）〜３）のいずれか一項に記載の錫。　
　７）
前記１）〜６）のいずれか一項に記載の錫を４０％以上含有する錫合金
　８）純度３Ｎレベルの原料錫を塩酸又は硫酸で浸出した後、ｐＨ１．０以下、Ｓｎ濃度２００ｇ／Ｌ以下の電解液を用いて電解精製することを特徴とする前記１）〜６）のいずれか一項に記載の錫の製造方法。　
　９）Ｓｎ濃度を３０〜１８０ｇ／Ｌとして電解することを特徴とする８）記載の錫の製造方法。　
　１０）原料錫中の鉛の同位体２１０Ｐｂの量が３０Ｂｑ／ｋｇ以下である原料錫を用いることを特徴とする８）又は９）記載の錫の製造方法。」
　
　３エ　「発明を実施するための形態
［００１８］α線を発生する放射性元素は数多く存在するが、多くは半減期が非常に長いか非常に短いために実際には問題にならず、実際に問題になるのはＵ崩壊チェーン（図１参照）における、ポロニウムの同位体２１０Ｐｏから鉛の同位体２０６Ｐｂに壊変する時に発生するα線である。
　
半導体用Ｐｂフリーはんだ材料はＳｎ−Ａｇ−Ｃｕ、Ｓｎ−Ａｇ、Ｓｎ−Ｃｕ、Ｓｎ−Ｚｎ等が開発されており、低αの錫材料が求められている
　３オ　「［００２７］　・・・
　以上については、錫から発生するα線量について述べたが、
錫を含有する合金においても、同様にα線量の影響を強く受ける。α線量が少ないか又は殆ど発生しない錫以外の成分によりα線量の影響が緩和されることもあるが、少なくとも合金成分中に、錫が４０％以上含有する錫合金の場合については、α線量が少ない本発明の錫を用いることが望ましい
　
　３カ　「［００３３］（
実施例１
　
純度３Ｎレベルの原料錫を塩酸（または硫酸）で浸出し
電解を行った
　陰極に電着する錫の厚さが２ｍｍ程度になると一旦電解を停止し、陰極を電解槽から引き上げて陰極から電着錫を剥がして回収した。回収後は陰極を電解槽に戻し、電解を再開し、これを繰り返した。
回収した電着錫を洗浄・乾燥し、２６０℃温度で溶解・鋳造し、錫インゴットとした
［００３４］　
この錫インゴットを圧延し、約１．５ｍｍの厚さとし、３１０ｍｍ×３１０ｍｍに切り出した
　この試料中のＰｂ含有量０．０６ｐｐｍ、Ｕ含有量＜５ｐｐｂ、Ｔｈ含有量＜５ｐｐｂとなった。
　また、ここで用いた原料錫（原料Ａ）における、鉛の不安定同位体２１０Ｐｂの量は１４Ｂｑ／ｋｇであった。そして、鉛の４つの安定同位体の合計量は１．８１ｐｐｍ、鉛の安定同位体２０６Ｐｂの存在比は２４．８６％であった。なお、ここでの鉛の同位体２０６Ｐｂの存在比とは、鉛の４つの同位体２０８Ｐｂ、２０７Ｐｂ、２０６Ｐｂ、２０４Ｐｂにおいて、２０６Ｐｂの占める割合のことをいう。以下の実施例においても、同様とする。
［００３５］　α線測定装置はＯｒｄｅｌａ社製のＧａｓＦｌｏｗＰｒｏｐｏｒｔｉｏｎａｌＣｏｕｎｔｅｒモデル８６００Ａ−ＬＢを用いた。使用ガスは９０％アルゴン−１０％メタン、測定時間はバックグラウンド及び試料とも１０４時間で、最初の４時間は測定室パージに必要な時間として５時間後から１０４時間後までのデータをα線量算出に用いた。
［００３６］　上記試料について、
溶解・鋳造から
鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変によるα線を発生させるポロニウムの同位体２１０Ｐｏがない状態において
崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．０００３ｃｐｈ／ｃｍ２であり、本願発明の条件を満たしていた
［００３７］　また、同一試料について、１ヶ月後と６ヶ月後の５ヶ月間の、経時変化を見た場合、測定試料のα線量の双方の差は０．０００１ｃｐｈ／ｃｍ２であり、本願発明の条件を満たしていた。上記の通り、この測定したα線量は、α線測定装置から出るα線を除去した実質のα線量である。以下の実施例においても同様である。
　なお、この実施例では、ｐＨ１．０、Ｓｎ濃度：８０ｇ／Ｌの浸出液を電解液とした場合であるが、この電解液条件（Ｓｎ濃度）を替え、ｐＨ：１．０、Ｓｎ濃度：３０ｇ／Ｌの浸出液、又ｐＨ：１．０、Ｓｎ濃度：１８０ｇ／Ｌの浸出液を用いて電解精製しても、ほぼ同様な結果が得られた。」
　３キ　「［００６３］　（実施例５）
（０．５％Ｃｕ−３％Ａｇ−残部Ｓｎからなる錫合金）
　実施例１で作製した錫を準備した
６Ｎ−Ａｇ及び６Ｎ−Ｃｕとした。これらを前記錫に添加し、２６０℃で溶解・鋳造し、０．５％Ｃｕ−３％Ａｇ−残部ＳｎからなるＳｎ−Ｃｕ−Ａｇ合金インゴットを製造した
　
このインゴットを圧延し、約１．５ｍｍの厚さとし
　この試料中のＰｂ含有量０．０６ｐｐｍ、Ｕ含有量＜５ｐｐｂ、Ｔｈ含有量＜５ｐｐｂとなった。
［００６４］　上記試料について、溶解・鋳造から１週間後、３週間後、１ヵ月後、２ヵ月後、６ヵ月後及び鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変によるα線を発生させるポロニウムの同位体２１０Ｐｏがない状態において、２１０Ｐｂ→２１０Ｂｉ→２１０Ｐｏ→２０６Ｐｂの
崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．０００３ｃｐｈ／ｃｍ２であり、本願発明の条件を満たしていた
　また、同一試料について、１ヶ月後と６ヶ月後の５ヶ月間の、経時変化を見た場合、α線量の差は０．０００１ｃｐｈ／ｃｍ２となり、本願発明の条件を満たしていた。
［００６５］　（実施例６）
（３．５％Ａｇ−残部Ｓｎからなる錫合金）
　実施例１で作製した錫を準備した。本実施例の錫合金の添加元素である銀は、市販のＡｇを硝酸により溶解し、これにＨＣｌを添加してＡｇＣｌを析出させ、これをさらに水素還元して５Ｎ−Ａｇの高純度Ａｇを得た。これを前記錫に添加し、２６０°Ｃで溶解・鋳造し、
３．５％Ａｇ−残部ＳｎからなるＳｎ−Ａｇ合金インゴットを製造した
［００６６］　このインゴットを圧延し、約１．５ｍｍの厚さとし、３１０ｍｍ×３１０ｍｍに切り出した。この表面積は９６１ｃｍ２である。これをα線測定試料とした。
　この試料中のＰｂ含有量０．０６ｐｐｍ、Ｕ含有量＜５ｐｐｂ、Ｔｈ含有量＜５ｐｐｂとなった。
　上記試料について、溶解・鋳造から１週間後、３週間後、１ヵ月後、２ヵ月後、６ヵ月後及び鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変によるα線を発生させるポロニウムの同位体２１０Ｐｏがない状態において、２１０Ｐｂ→２１０Ｂｉ→２１０Ｐｏ→２０６Ｐｂの
崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．０００３ｃｐｈ／ｃｍ２であり、本願発明の条件を満たしていた
［００６７］（実施例７）
（９％Ｚｎ−残部Ｓｎからなる錫合金）
実施例１で作製した錫を準備した。本実施例の錫合金の添加元素は、市販の亜鉛を電解により高純度化し６Ｎ−Ｚｎとした。これらを前記錫に添加し、２４０°Ｃで溶解・鋳造し、
９％Ｚｎ−残部ＳｎからなるＳｎ−Ｚｎ合金インゴットを製造した
［００６８］上記試料について、溶解・鋳造から１週間後、３週間後、１ヵ月後、２ヵ月後、６ヵ月後及び鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変によるα線を発生させるポロニウムの同位体２１０Ｐｏがない状態において、２１０Ｐｂ→２１０Ｂｉ→２１０Ｐｏ→２０６Ｐｂの
崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．０００３ｃｐｈ／ｃｍ２であり、本願発明の条件を満たしていた
イ　上記３カによれば、実施例１の錫は、純度３Ｎレベルの原料錫を用いて電解を行い、回収した電着錫を洗浄・乾燥し、２６０℃で溶解・鋳造して得られた錫インゴットを、さらに圧延することで１．５ｍｍの厚さとしたものであり、溶解・鋳造から崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．０００３ｃｐｈ／ｃｍ２であったものである。
ウ　したがって、甲３の実施例１に注目すると、次のはんだ用の錫が記載されているものと認められる（以下「甲３発明」という。）。
「電解を行って回収された電着錫を溶解・鋳造して得られた錫インゴットを厚さ１．５ｍｍに圧延した、溶解・鋳造から３０ヵ月経過後の錫であって、α線量が最大で０．０００３ｃｐｈ／ｃｍ２であるはんだ用の錫。」
エ　上記３キによれば、実施例５の錫合金は、実施例１で作成した錫、すなわち、上記甲３発明の錫に、６Ｎ−Ａｇ及び６Ｎ−Ｃｕを添加し、２６０℃で溶解・鋳造して得られた０．５％Ｃｕ−３％Ａｇ−残部ＳｎからなるＳｎ−Ｃｕ−Ａｇ合金インゴットを、さらに圧延することで１．５ｍｍの厚さとしたものであり、溶解・鋳造から崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．０００３ｃｐｈ／ｃｍ２であったものである。
　また、実施例６の錫合金は、３．５％Ａｇ−残部ＳｎからなるＳｎ−Ａｇ合金インゴットを圧延したものであり、実施例７の錫合金は、９％Ｚｎ−残部ＳｎからなるＳｎ−Ｚｎ合金インゴットを圧延したものであり、いずれも実施例５と同様のα線量となっている。
　ここで、上記実施例５〜７の錫合金は、上記３エに記載された、半導体用Ｐｂフリーはんだ材料である、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ、Ｓｎ−Ａｇ、Ｓｎ−Ｚｎの錫合金の実例であり、錫に添加される金属元素の組み合わせや添加量は様々に設定可能なものである。
オ　したがって、甲３の実施例５〜７等の錫合金に注目すると、次のはんだ用の錫合金が記載されているものと認められる（以下「甲３合金発明」という。）。
「甲３発明の錫に、Ｃｕ、Ａｇ、Ｚｎのいずれか１種又は２種を添加し、溶解・鋳造して得られた合金インゴットを厚さ１．５ｍｍに圧延した、溶解・鋳造から３０ヵ月経過後の錫合金であって、α線量が最大で０．０００３ｃｐｈ／ｃｍ２であるはんだ用の錫合金。」
（２）本件発明１と甲３発明の対比
ア　甲３発明の「電解を行って回収された電着錫を溶解・鋳造して得られた錫インゴットを厚さ１．５ｍｍに圧延した」「はんだ用の錫」は、電解によってα線源である放射性不純物が低減されている錫であるから、本件発明１の「錫、銀、銅、亜鉛又はインジウム」のうち「錫」である「低α線放出量の金属」に相当する。
イ　そうすると、本件発明１と甲３発明との一致点と相違点は次のとおりとなる。
＜一致点＞
「錫、銀、銅、亜鉛又はインジウム」のうち「錫」である「低α線放出量の金属」の点。
＜相違点４＞
「低α線放出量の金属」からの「α線の放出量」が、本件発明１では「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」のに対して、甲３発明では「溶解・鋳造から３０ヶ月経過後」の「α線量が最大で０．０００３ｃｐｈ／ｃｍ２」である点。
（３）相違点４についての判断
ア　電解錫を溶解・鋳造し圧延して形成された甲３発明の錫には、電解に伴う不純物除去によっても除去しきれなかった微量の２１０Ｐｏと２１０Ｐｂが含まれている。このうち２１０Ｐｏは、甲２の知見によれば、溶解・鋳造直後は厚さ１．５ｍｍに圧延された錫の中で偏析しているが、経時的に拡散することで一定値に収束するまで上昇するα線を放出するものであり、２１０Ｐｂは、崩壊することにより２１０Ｐｏを新たに生成し、新たに生成した２１０Ｐｏはやはりα線を放出するものである。
　
イ　ここで、甲３発明の錫に含まれる２１０Ｐｏに注目すると、当該２１０Ｐｏは、溶解・鋳造直後には当該錫の中で偏析しており、経時的に錫全体に拡散することによって、α線の放出量が一定値に収束するまで上昇するものであるが、２１０Ｐｏの半減期τが１３９日であることを考慮すると、溶解・鋳造から３０ヶ月（９００日と換算すると半減期τの約６．４７倍）経過した甲３発明の錫の中には、溶解・鋳造直後に含まれていた２１０Ｐｏはほぼ全量が２０６Ｐｂへと壊変して、消失しているものと認められる（より正確には、ｔ＝０における放射性同位体の数をＮ０、半減期をτとすると、時刻ｔにおける放射性同位体の数Ｎ（ｔ）＝Ｎ０ｅ＾（−０．６９３ｔ／τ）で表されるから、Ｎ（６．４７τ）＝０．０１１Ｎ０となる。つまり、２１０Ｐｏは、３０ヶ月後には当初の約１．１％程度が残存するのみである。）。
ウ　また、甲３発明の錫に含まれる２１０Ｐｂは、甲２とその他いずれの甲号証においても、溶解・鋳造後に偏析するものとはされていないから、錫の中で均一に分布しているものであり、２１０Ｐｂの半減期τが２２．２年（甲２の図１−４参照）であることを踏まえると、溶解・鋳造から３０ヶ月（半減期τの約０．１１倍）経過した甲３発明の錫の中には、溶解・鋳造直後に含まれていた２１０Ｐｂの約９割（より正確にはＮ（０．１１τ）＝０．９２４Ｎ０）が残存していると考えられる。
エ　そうすると、溶解・鋳造から３０ヶ月経過している甲３発明の錫において、加熱によって拡散しα線の放出量を増加させ得る溶解・鋳造直後の２１０Ｐｏは既にほぼ消失しているが、錫内で均一に分布する２１０Ｐｂが崩壊することにより、錫内で均一に分布するようになった２１０Ｐｏがα線を放出していると考えられる。
そこで、２１０Ｐｏが錫内で均一に分布していると考えられる甲３発明の錫を「大気中で１００℃、６時間加熱した後」もしくは「大気中で２００℃、６時間加熱した後」のα線放出量がどのような値になるかについてさらに検討する。
オ　甲２によれば、はんだ材料である錫を加熱するとα線放出量が増加するという現象は、錫内における２１０Ｐｏの偏析と、加熱による２１０Ｐｏの拡散によって濃度が均一化することに伴って観測されるものと説明されており、仮に、甲２による当該現象の説明が正しいとすると、甲３発明の錫はその内部で既に２１０Ｐｏが錫内で均一に分布しているから、さらなる加熱を行ったとしても、それ以上２１０Ｐｏの分布の変化は生じることがなく、当該加熱によって２１０Ｐｂの崩壊速度が変化することもないので、α線の放出量も変化しないこととなる。したがって、「大気中で１００℃、６時間加熱した後」及び「大気中で２００℃、６時間加熱した後」のいずれにおいても、α線放出量は「最大で０．０００３ｃｐｈ／ｃｍ２」のままであり、甲３発明は、相違点４に係る本件発明１の特定事項を備えていることとなるから、相違点４は実質的な相違点ではないと結論される。
カ　しかしながら、特許権者は、令和２年４月１７日付けの意見書において、甲２で記載されているものは「本件発明者の実験結果から推定されるポロニウム（２１０Ｐｏ）の挙動と相違」しており「鋳造後の経過時間に関係なく、加熱によってポロニウム（２１０Ｐｏ）によるα線量が増大します。」（４頁下から６〜３行）と主張している。仮に、この主張が正しいなら、既に２１０Ｐｏが錫内で均一に分布している甲３発明の錫であっても、加熱することによりα線量が増加することになるので、甲３発明の錫を「大気中で１００℃、６時間加熱した後」及び「大気中で２００℃、６時間加熱した後」のα線放出量が、どれだけ増加するか予測することができず不明であるから、相違点４は実質的な相違点となる。
　なお、特許権者は、上記主張が正しいことを証明するために、上記意見書に添付して乙１及び乙２を提出している。乙１には、Ｓｎ３Ａｇ０．５Ｃｕのハンダ材料を含むペーストをリフローし（工程１）、大気中で２００℃６時間熱処理し（工程２）、表面切削する（工程３）という実験において測定された各工程におけるα線放出量の変化と、当該測定結果からハンダ材料の表面にＰｏが濃縮することによってα線放出量が増加することが判明したと記載されている（下記【テストフロー】、【モデル】参照。）。また、乙２の実験成績証明書では、上記実験の工程３に続いて、大気中で２００℃６時間の再加熱（工程４）を行ったときのα線放出量を追加で測定することによって、ポロニウムがサンプル全体に均一化している状態（工程３の後の状態）においても、再度加熱（工程４）するとα線が増加することが観測されることから、加熱によってポロニウムがサンプル表面に濃縮されることによってα線が増加するという上記主張が立証されたと記載している（下記【表】参照。）。
【テストフロー】
【モデル】
【表】
キ　ここで、上記カの特許権者の主張について検討するに、加熱によってポロニウムがサンプル表面に濃縮されることによってα線が増加するとのポロニウムの挙動モデルが、乙１及び乙２の実験で用いられたハンダ材料（Ｓｎ３Ａｇ０．５Ｃｕ）のα線放出量の変化を説明できるとしても、当該ハンダ材料と組成の異なる本件発明１の金属や甲３発明の錫においても同様に適用できるのか不明であるし、本件発明１や甲３発明の錫を熱処理した後に表面を切削し再度加熱した場合のα線放出量が実際に測定されたというわけでもないから、乙１及び乙２で検証されたポロニウムの挙動が、そのまま本件発明１や甲３発明を加熱した場合の挙動を説明し得るものであるかは不明である。なお、本件明細書の段落【００５３】の【表２】によると、全ての比較例と、例えば加熱前が「＜０．０００５」で、加熱後（200℃）が「０．０００５」である実施例１では、加熱によってα線放出量が増えているが、例えば実施例８のように、加熱前が「０．０００７」で、加熱後（200℃）が「＜０．０００５」であり、加熱によってα線放出量が減っているケースもあるので、どのような場合でも上記説明が有効であるとはいえない。
　その一方で、甲２に記載された、ポロニウムの偏析と加熱による拡散という説明のみによって、甲３発明を加熱した場合のポロニウムの挙動及びα線放出量を正確に予測し得るものであるかも不明である。
　換言すれば、鋳造直後の錫インゴットを加熱するとα線放出量が増加する現象が観測されるとの知見が、本願優先日前の技術常識であり、当該現象が甲２の記載のように、インゴット中央部に偏析しているポロニウムの拡散によるものであると説明できるとしても、鋳造から十分時間が経過してポロニウムの偏析がなくなった錫インゴットを加熱した場合にもα線放出量が増加する、との特許権者の説明を否定することができる具体的な理論や実験事実が示されているわけではないので、甲３発明の錫が本件発明１の所定のα線放出量を満たすと判断するに足る合理的な証拠があるとはいえない。
　したがって、甲３発明の錫を「大気中で１００℃、６時間加熱した後」もしくは「大気中で２００℃、６時間加熱した後」のα線放出量は、上記オで検討したように加熱前と変わらないのか、上記カで検討したように加熱前よりも増加するのか不明であるから、相違点４は実質的な相違点である。
ク　そして、本件明細書の【実施例】の欄の記載によれば、本件発明１が「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」という低いα線放出量を実現しているのは、本件発明５の製造方法によって、金属中に含まれる放射性同位体の鉛（２１０Ｐｂ）を十分に低減しているためであると解されるが、金属中に含まれる放射性同位体の鉛（２１０Ｐｂ）を十分に低減するための具体的な方法は、甲３やその他の甲号証のいずれにも記載されていない。
　したがって、甲３やその他の甲号証を参照しても、甲３発明において、相違点４に係る本件発明１の特定事項とすることが、当業者にとって容易になし得ることであるということはできない。
（４）本件発明２と甲３合金発明の対比と判断
ア　上記（２）、（３）の検討によれば、甲３合金発明の「甲３発明の錫」と、本件発明２の「請求項１記載の低α線放出量の錫」とは、「低α線放出量の錫」の点で一致している。
イ　甲３合金発明の「Ｃｕ、Ａｇ、Ｚｎのいずれか１種又は２種」と、本件発明２の「銀、銅、亜鉛、インジウム、ビスマス、ニッケル及びゲルマニウムからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属」は、「銀、銅、亜鉛からなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属」の点で共通している。
ウ　甲３合金発明の「α線量が最大で０．０００３ｃｐｈ／ｃｍ２であるはんだ用の錫合金」は、本件発明２の「低α線放出量の錫合金」に相当する。
エ　そうすると、本件発明２と甲３合金発明との一致点と相違点は次のとおりとなる。
＜一致点＞
「低α線放出量の錫と、銀、銅、亜鉛からなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属との合金であって、低α線放出量の錫合金」である点。
＜相違点５＞
「低α線放出量の金属」である「錫」からの「α線の放出量」が、本件発明２では、本件発明２が引用する本件発明１の特定事項である「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」のに対して、甲３合金発明では、甲３合金発明が引用する甲３発明の特定事項である「溶解・鋳造から３０ヶ月経過後」の「α線量が最大で０．０００３ｃｐｈ／ｃｍ２」である点。
＜相違点６＞
「低α線放出量の錫合金」からの「α線の放出量」が、本件発明２では「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００７ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」のに対して、甲３合金発明では「α線量が最大で０．０００３ｃｐｈ／ｃｍ２である」点。
オ　相違点５は、相違点４と同じ内容であるから、上記（３）で検討した理由と同じ理由によって、甲３合金発明において、「錫」からの「α線放出量」を、相違点５に係る特定事項とすることは、当業者が容易になし得ることではない。
カ　相違点６について検討する。
　上記１−１（５）カの「相違点３についての検討」に記載したように、本件発明２の錫合金は、本件発明１の低α線放出量の錫を用いて、当該錫合金中に含まれる放射性同位体の鉛（２１０Ｐｂ）が十分に低減されたことによって、相違点６に係る本件発明２の特定事項である低α線放出量が実現しているものと考えられるところ、甲３やその他の甲号証のいずれにも、本件発明１の低α線放出量の錫やその製造方法は記載されていないため、甲３合金発明の錫合金において、低α線放出量の錫として、本件発明１の低α線放出量の錫を用いることが容易になし得ることであるとはいえず、その結果、甲３合金発明において、相違点６に係る本件発明２の特定事項を備えたものとすることは、当業者が容易になし得ることではない。
キ　したがって、本件発明２は、甲３に記載された発明ではないし、甲３に記載された発明と甲３やその他の甲号証の記載に基いて当業者が容易に発明をすることができたものもない。
（５）本件発明３と甲３合金発明の対比と判断
　本件発明２を引用することで、本件発明２の特定事項を備えた本件発明３についても、上記（４）と同様の理由によって、甲３に記載された発明ではないし、甲３に記載された発明と甲３やその他の甲号証の記載に基いて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
１−３　甲４を主たる引用例とする新規性、進歩性（取消理由３）について
（１）甲４に記載された事項と発明
ア　甲４には、以下の事項が記載されている。
　４ア　「技術分野
［０００１］　この発明は、
半導体の製造等に使用する、α線量を低減させた銅又は銅合金及
に関する
背景技術
［０００２］　一般に、銅は、半導体の製造に使用される材料で、特に銅又は銅合金配線、銅又は銅合金ボンディングワイヤ、はんだ材料の主たる原料である。半導体装置を製造する際に、銅又は銅合金配線、銅又は銅合金ボンディングワイヤ、はんだ（Ｃｕ−Ａｇ−Ｓｎ）は、ＩＣやＬＳＩ等のＳｉチップをリードフレームやセラミックスパッケージにボンディングし又は封止する時、ＴＡＢ（テープ・オートメイテッド・ボンディング）やフリップチップ製造時のバンプ形成、半導体用配線材等に使用されている。
　最近の半導体装置は、高密度化及び動作電圧やセルの容量が低下しているので、
半導体チップ近傍の材料からのα線の影響により、ソフトエラーが発生する危険が多くなってきた。このようなことから、銅又は銅合金の高純度化の要求があり、またα線の少ない材料が求められている
　
　４イ　「［００１２］　Ｓｎの精製の際に、Ｐｏは非常に昇華性が高く、製造工程、例えば溶解・鋳造工程で加熱されるとＰｏが昇華する。製造の初期の段階でポロニウムの同位体２１０Ｐｏが除去されていれば、当然ながらポロニウムの同位体２１０Ｐｏから鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変も起こらず、α線も発生しないと考えられる。
　製造工程でのα線の発生は、この２１０Ｐｏから鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変時と考えられたからである。しかし、実際には、製造時にＰｏが殆ど消失したと考えられていたのに、引き続きα線の発生が見られた。したがって、単に製造初期の段階で、高純度錫のα線カウント数を低減させるだけでは、根本的な問題の解決とは言えなかった。」
　
　４ウ　「発明が解決しようとする課題
［００１８］　最近の半導体装置は、高密度化及び動作電圧やセルの容量が低下しているので、半導体チップ近傍の材料からのα線の影響により、ソフトエラーが発生する危険が多くなってきている。
特に、半導体装置に近接して使用される
はんだ材料などの銅又は銅合金に対する高純度化の要求が強く、またα線の少ない材料が求められているので、本発明は、銅又は銅合金のα線発生の現象を解明すると共に、要求される材料に適応できるα線量を低減させた銅又は銅合金
を得ることを課題とする
　
　４エ　「課題を解決するための手段
［００１９］　上記の課題を解決するために、以下の発明を提供するものである。
　１）
溶解・鋳造した後の試料のα線量が０．００１ｃｐｈ／ｃｍ２以下であることを特徴とする銅又は銅合金
　２）
溶解・鋳造から
３０ヵ月後の、それぞれのα線量が０．００１ｃｐｈ／ｃｍ２以下であることを特徴とする銅又は銅合金
　３）純度が４Ｎ（９９．９９％）以上であることを特徴とする上記１）又は２）記載の銅又は銅合金。
この銅合金の場合、ベース（基）となるＣｕと添加元素を含めた純度である。　
　４）Ｐｂ含有量が０．１ｐｐｍ以下であることを特徴とする上記１）〜３）のいずれか一項に記載の銅又は銅合金。　
　５）上記１〜４のいずれか一項に記載の銅又は銅合金を原料とするボンディングワイヤ。」
　
　４オ　「　［００２４］　前述の通り、
Ｐｏは非常に昇華性が高く、製造工程、例えば溶解・鋳造工程で加熱されるとＰｏが昇華する。製造工程でポロニウムの同位体２１０Ｐｏが除去されていれば、ポロニウムの同位体２１０Ｐｏから鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変も起こらず、α線も発生しない
　しかし、
ポロニウムの同位体２１０Ｐｏが殆どない状態において、２１０Ｐｂ→ ２１０Ｂｉ→ ２１０Ｐｏ→ ２０６Ｐｂの崩壊が起こる。そして、この崩壊チェーンが平衡状態になるには約２７ヶ月（２年強）を要することが分かった（図２参照）
［００２５］　すなわち、
銅材料中に鉛の同位体２１０Ｐｂ（半減期２２年）が含有されていると、時間の経過とともに２１０Ｐｂ→ ２１０Ｂｉ（半減期５日）→ ２１０Ｐｏ（半減期１３８日）の壊変（図１）が進み、崩壊チェーンが再構築されて２１０Ｐｏが生じるために、ポロニウムの同位体２１０Ｐｏから鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変によるα線が発生するのである
　従って、製品製造直後はα線量が低くても問題は解決せず
、時間の経過とともに徐々にα線量が高くなり、ソフトエラーが起こる危険性が高まる
［００２６］　製品製造直後は、α線量が低くても時間の経過とともに徐々にα線量が高くなるという問題は、材料中に図１に示すＵ崩壊チェーンの鉛の同位体２１０Ｐｂが含有されているからであり、
鉛の同位体２１０Ｐｂの含有量を極力少なくしなければ、上記の問題を解決することはできない
　４カ　「［００３５］（
実施例１
粗銅（純度約９９％）を原料アノードとし、硫酸銅溶液で電解精製を行った
　陽極で粗銅を電気溶解し、所定の銅濃度になった液をポンプで抜き取り、ろ過後、析出物のない液を陰極に送り、電析を得た。これにより、鉛濃度の低い純度４Ｎの銅電析物を得た。Ｐｂ, Ｕ, Ｔｈの含有量はそれぞれ＜０．０１ｗｔｐｐｍ, ＜５ｗｔｐｐｂ, ＜５ｗｔｐｐｂだった。
［００３６］　
回収した電析銅を洗浄・乾燥し、１２００°Ｃの温度で溶解・鋳造し、溶解・鋳造直後からα線量の経時変化を調べた。α線測定用試料は溶解・鋳造した板を圧延して約１．５ｍｍの厚さにし、３１０ｍｍ×３１０ｍｍのプレートに切り出した
［００３７］α線測定装置はＯｒｄｅｌａ社製のＧａｓＦｌｏｗＰｒｏｐｏｒｔｉｏｎａｌＣｏｕｎｔｅｒモデル８６００Ａ−ＬＢを用いた。使用ガスは９０％アルゴン−１０％メタン、測定時間はバックグラウンド及び試料とも１０４時間で、最初の４時間は測定室パージに必要な時間として５時間後から１０４時間後までである。つまり、α線量算出に用いたのは、溶解・鋳造から１週間後、３週間後、１ヵ月後、２ヵ月後、６ヵ月後の、それぞれにおける５時間後から１０４時間後までのデータである。
［００３８］　上記試料について、溶解・鋳造から１週間後、３週間後、１ヵ月後、２ヵ月後、６ヵ月後及び
鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変によるα線を発生させるポロニウムの同位体２１０Ｐｏがない状態において
崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．００１ｃｐｈ／ｃｍ２であり
　４キ　「図１　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　４ク　「図２
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
イ　上記４オによれば、銅材料中には、鉛の同位体２１０Ｐｂ（半減期２２年）が含有されており、時間の経過とともに２１０Ｐｂ→ ２１０Ｂｉ（半減期５日）→ ２１０Ｐｏ（半減期１３８日）の壊変（図１）が進み、崩壊チェーンが再構築されて２１０Ｐｏが生じるために、ポロニウムの同位体２１０Ｐｏから鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変によるα線が発生し、当該α線によりソフトエラーが発生するという事情を鑑みて、上記４ウによれば、甲４の発明が解決しようとする課題は、α線量を低減させた銅や銅合金を提供することである。
ウ　上記４カによれば、実施例１の銅は、電解を行い、回収した電析銅を洗浄・乾燥し、１２００℃で溶解・鋳造し、さらに圧延することで１．５ｍｍの厚さとしたものであり、溶解・鋳造から崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．００１ｃｐｈ／ｃｍ２であった。
　なお、実施例１の銅は、上記４オの段落【００２４】、【００２５】及び図２によれば、溶解・鋳造工程直後は、２１０Ｐｏが加熱によって昇華されほとんど存在しない状態であり、その後２１０Ｐｂが２１０Ｐｏに崩壊し、当該２１０Ｐｏが２０６Ｐｂへ壊変することによってα線が発生するものであり、約２７ヶ月後に平衡状態となって、α線量が最大となるものである。
エ　したがって、甲４の実施例１に注目すると、次のはんだ用の銅が記載されているものと認められる（以下「甲４発明」という。）。
「電解を行って回収された電析銅を溶解・鋳造し、厚さ１．５ｍｍに圧延した、溶解・鋳造から３０ヵ月経過後の銅であって、α線量が最大で０．００１ｃｐｈ／ｃｍ２であるはんだ用の銅。」
（２）本件発明１と甲４発明の対比
ア　甲４発明の「電解を行って回収された電析銅を溶解・鋳造し、厚さ１．５ｍｍに圧延した」「はんだ用の銅」は、電解によってα線源である放射性不純物が低減されている銅であるから、本件発明１の「錫、銀、銅、亜鉛又はインジウム」のうち「銅」である「低α線放出量の金属」に相当する。
イ　そうすると、本件発明１と甲４発明との一致点と相違点は次のとおりとなる。
＜一致点＞
「錫、銀、銅、亜鉛又はインジウム」のうち「銅」である「低α線放出量の金属」の点。
＜相違点７＞
「低α線放出量の金属」からの「α線の放出量」が、本件発明１では「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」のに対して、甲４発明では「溶解・鋳造から３０ヶ月経過後」の「α線量が最大で０．００１ｃｐｈ／ｃｍ２」である点。
（３）相違点７についての判断
ア　電解銅を溶解・鋳造し圧延して形成された甲４発明の銅は、電解によって不純物が低減しているものではるが、除去しきれなかった微量の２１０Ｐｏと２１０Ｐｂが含まれている。
イ　甲４発明の銅に含まれる上記２１０Ｐｏは、甲２の知見によれば、溶解・鋳造直後は厚さ１．５ｍｍに圧延された錫の中で偏析していると考えられ、経時的に錫全体に拡散することによって、α線の放出量が一定値に収束するまで上昇するものである。そして、２１０Ｐｏの半減期τが１３９日であることを考慮すると、溶解・鋳造から３０ヶ月（９００日と換算すると半減期τの約６．４７７倍）経過した甲４発明の銅の中には、溶解・鋳造直後に含まれていた２１０Ｐｏはほぼ全量が２０６Ｐｂへと壊変して、消失しているものと考えられる（より正確には、Ｎ（６．４７τ）＝０．０１１Ｎ０より、２１０Ｐｏは、３０ヶ月後には当初の約１．１％程度が残存するのみである。）。　　
ウ　また、甲４発明の銅に含まれる上記２１０Ｐｂは、銅の中で偏析せず均一に分布しているものと考えられ、２１０Ｐｂの半減期τが２２．２年（甲２の図１−４参照）であることを踏まえると、溶解・鋳造から３０ヶ月（半減期τの約０．１１倍）経過した甲４発明の銅の中には、溶解・鋳造直後に含まれていた２１０Ｐｂの約９割（より正確にはＮ（０．１１τ）＝０．９２４Ｎ０）が残存していると考えられる。
エ　そうすると、溶解・鋳造から３０ヶ月経過している甲４発明の銅において、加熱によって拡散しα線の放出量を増加させ得る精錬直後の２１０Ｐｏは既にほぼ消失しているが、錫内で均一に分布する２１０Ｐｂが崩壊することにより、錫内で均一に分布するようになった２１０Ｐｏが存在し、α線を放出していると考えられる。
オ　そこで、甲４発明の銅を「大気中で１００℃、６時間加熱した後」もしくは「大気中で２００℃、６時間加熱した後」のα線放出量について検討すると、上記１−２（３）オ〜キにおいて、甲３発明の相違点４について検討したと同様の理由によって、甲２で示された知見を採用すれば、加熱前と変わらない「最大で０．００１ｃｐｈ／ｃｍ２」となるか、乙１及び乙２で示されたポロニウムの挙動モデルを採用すれば、加熱前の「最大で０．００１ｃｐｈ／ｃｍ２」よりも増大するか、のいずれかとなる。
　そして、上記二つの考え方のいずれが適切であるとしても、上記相違点７に係る本件発明１の特定事項で規定されるα線の放出量よりも大きくなるし、その他に、甲４発明の銅の所定の加熱後のα線放出量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2以下又は０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下となることを合理的に示す証拠も見当たらないので、相違点７は実質的な相違点である。
　したがって、本件発明１は相違点７で甲４発明と相違するから、本件発明１は甲４に記載された発明ではない。
カ　そして、本件明細書の【実施例】の欄の記載によれば、本件発明１が「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」という低いα線放出量を実現しているのは、本件発明５の製造方法によって、金属中に含まれる放射性同位体の鉛（２１０Ｐｂ）を十分に低減しているためであると解されるが、金属中に含まれる放射性同位体の鉛（２１０Ｐｂ）を十分に低減するための具体的な方法は、甲４やその他の甲号証のいずれにも記載されていない。
　したがって、甲４やその他の甲号証を参照しても、甲４発明において、相違点７に係る本件発明１の特定事項とすることが、当業者にとって容易になし得ることであるということはできない。
１−４　甲５を主たる引用例とする新規性、進歩性（取消理由４）について
（１）甲５に記載された事項と発明
ア　甲５には、以下の事項が記載されている。
　５ア　「【技術分野】
【０００１】
　この発明は、
半導体の製造等に使用する、α線量を低減させたインジウム又はインジウムを含有する合金に関する
【背景技術】
【０００２】
　一般に、
インジウムは、半導体の製造に使用される材料で、特にはんだ材料の主たる原料である
　最近の半導体装置は、高密度化及び動作電圧やセルの容量が低下しているので、
半導体チップ近傍の材料からのα線の影響により、ソフトエラーが発生する危険が多くなってきた。このようなことから、前記はんだ材料及びインジウムの高純度化の要求があり、またα線の少ない材料が求められている
　
　５イ　「【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
　最近の半導体装置は、高密度化及び動作電圧やセルの容量が低下しているので、半導体チップ近傍の材料からのα線の影響により、ソフトエラーが発生する危険が多くなってきている。特に、半導体装置に近接して使用される、はんだ材料若しくはインジウムに対する高純度化の要求が強く、またα線の少ない材料が求められているので、
本発明は
要求される材料に適応できるインジウムのα線量を低減させた高純度インジウム及びその製造方法を得ることを課題とする
　５ウ　「【発明を実施するための形態】
【００１９】
　α線を発生する放射性元素は数多く存在するが、多くは半減期が非常に長いか非常に短いために実際には問題にならず、実際に問題になるのはＵ崩壊チェーン（図１参照）における、ポロニウムの同位体２１０Ｐｏから鉛の同位体２０６Ｐｂに壊変する時に発生するα線である。
　
半導体用Ｐｂフリーはんだ材料は
低αのインジウム材料が求められているが、インジウム中の微量の鉛を完全に除去することは非常に困難であり、通常半導体用のインジウム材料には１０ｐｐｍレベル以上の鉛が含有されている
【００２０】
　上記の通り、Ｐｏは非常に昇華性が高く、製造工程、例えば溶解・鋳造工程で加熱されるとＰｏが昇華する。製造工程でポロニウムの同位体２１０Ｐｏが除去されていれば、ポロニウムの同位体 ２１０Ｐｏから鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変も起こらず、α線も発生しないと考えられる（図１の「Ｕ崩壊チェーン」参照）。
　しかし、ポロニウムの同位体２１０Ｐｏが殆どない状態において、２１０Ｐｂ→２１０Ｂｉ→２１０Ｐｏ→２０６Ｐｂの崩壊が起こる。そして、この崩壊チェーンが平衡状態になるには約２７ヶ月（２年強）を要することが分かった（図２参照）。
【００２１】
　すなわち、
材料中に鉛の同位体２１０Ｐｂ（半減期２２年）が含有されていると、時間の経過とともに２１０Ｐｂ→２１０Ｂｉ（半減期５日）→２１０Ｐｏ（半減期１３８日）の壊変（図１）が進み、崩壊チェーンが再構築されて２１０Ｐｏが生じるために、ポロニウムの同位体２１０Ｐｏから鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変によるα線が発生する
　従って、製品製造直後はα線量が低くても問題は解決せず、時間の経過とともに徐々にα線量が高くなり、ソフトエラーが起こる危険性が高まるという問題が生ずるのである。前記約２７ヶ月（２年強）は、決して短い期間ではない。」
　５エ「【００３０】
　
本願発明では、純度４Ｎレベルの原料インジウムを加熱し
鉛等の不純物を気化させて除去し、一旦室温まで冷却する
　次に、ここで得られたインジウムを含む残留物を加熱し融解した後、インジウムを蒸発させる一方で、インジウムより蒸気圧の低いアルミニウム、珪素、鉄、ニッケル、銅、ガリウム等の不純物を残留させ、高純度インジウムを得る
【００３１】
　
これにより、鉛を０．１ｐｐｍ以下、０．０１ｐｐｍ以下、さらには０．００１ｐｐｍ以下にまで除去することが可能となった
　鉛中の同位体２１０Ｐｂの低減化は、α線量を測定することにより、確認することができる。鉛を低減させたことが、必ずしもα線量を低減させたことにはならない。重要なのは鉛中の同位体２１０Ｐｂの低減化であり、α線量を測定することによってこれを確認できる。特に、一定時間経過後のα線量を測定することが好ましい。
　このようにして得た本願発明の高純度インジウムは、半導体装置のα線の影響によるソフトエラーの発生を著しく減少できるという優れた効果を有する。」
　５オ　「【００３５】
（実施例１）
　
純度４Ｎレベルの原料インジウムを１０００°Ｃ以上に加熱し、一旦室温まで冷却した。次に、インジウムを含む残留物を１２００°Ｃに加熱し、残留物を融解・蒸発させて、凝縮することで、高純度インジウムを鋳型に回収し、インジウムインゴットとした
　
このインジウムインゴットを圧延し、約１．５ｍｍの厚さとし、３１０ｍｍ×３１０ｍｍに切り出した
【００３６】
　α線測定装置はＯｒｄｅｌａ社製のＧａｓＦｌｏｗＰｒｏｐｏｒｔｉｏｎａｌＣｏｕｎｔｅｒモデル８６００Ａ−ＬＢを用いた。使用ガスは９０％アルゴン−１０％メタン、測定時間はバックグラウンド及び試料とも１０４時間で、最初の４時間は測定室パージに必要な時間として５時間後から１０４時間後までのデータをα線量算出に用いた。
【００３７】
　上記試料について、
溶解・鋳造から
崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２であり
　また、同一試料について、１ヶ月後と６ヶ月後の５ヶ月間の、経時変化を見た場合、測定試料のα線量の双方の差は０．０００１ｃｐｈ／ｃｍ２であり、本願発明の条件を満たしていた。上記の通り、この測定したα線量は、α線測定装置から出るα線を除去した実質のα線量である。以下の実施例においても同様である。」
　５カ　「【００４２】
（実施例３）
（０．５％Ｃｕ−３％Ｉｎ−残部Ｓｎからなる合金）
　
実施例１で作製したインジウムを準備した
５Ｎ−Ｓｎ及び６Ｎ−Ｃｕとした。添加元素であるインジウム及び銅を錫に添加し、２６０°Ｃで溶解・鋳造し、０．５％Ｃｕ−３％Ｉｎ−残部ＳｎからなるＳｎ−Ｃｕ−Ｉｎ合金インゴットを製造した
【００４３】
　
このインゴットを圧延し、約１．５ｍｍの厚さとし、３１０ｍｍ×３１０ｍｍに切り出した
この試料中のＰｂ含有量０．０５ｐｐｍ、Ｕ含有量＜１ｐｐｂ、Ｔｈ含有量＜１ｐｐｂとなった。
【００４４】
　上記試料について、
溶解・鋳造から
崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２であり、本願発明の条件を満たしていた
【００４５】
（実施例４）
（３．５％Ｉｎ−残部Ｓｎからなる合金）
　
実施例１で作製したインジウムを準備した
５Ｎ−Ｓｎとした。添加元素であるインジウムを錫に添加し、２６０°Ｃで溶解・鋳造し、３．５％Ｉｎ−残部ＳｎからなるＳｎ−Ｉｎ合金インゴットを製造した
【００４６】
　
このインゴットを圧延し、約１．５ｍｍの厚さとし、３１０ｍｍ×３１０ｍｍに切り出した
この試料中のＰｂ含有量０．０５ｐｐｍ、Ｕ含有量＜１ｐｐｂ、Ｔｈ含有量＜１ｐｐｂとなった。
【００４７】
　上記試料について、溶解・鋳造から１週間後、３週間後、１ヵ月後、２ヵ月後、６ヵ月後及び鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変によるα線を発生させるポロニウムの同位体２１０Ｐｏがない状態において、２１０Ｐｂ→２１０Ｂｉ→２１０Ｐｏ→２０６Ｐｂの
崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２であり、本願発明の条件を満たしていた
　また、同一試料について、１ヶ月後と６ヶ月後の５ヶ月間の、経時変化を見た場合、α線量の差は０．０００１ｃｐｈ／ｃｍ２であり、本願発明の条件を満たしていた。このように、鉛中の同位体２１０Ｐｂの低減化は、α線量を測定することにより、確認することができる。
【００４８】
（実施例５）
（３．５％Ａｇ−０．５％Ｃｕ−７％Ｉｎ−残部Ｓｎからなる合金）
　
実施例１で作製したインジウムを準備した
５Ｎ−Ｓｎ及び６Ｎ−Ｃｕ及び６Ｎ−Ａｇとした。添加元素であるインジウムと銀と銅を錫に添加し、２６０°Ｃで溶解・鋳造し、３．５％Ａｇ−０．５％Ｃｕ−７％Ｉｎ−残部ＳｎからなるＳｎ−Ａｇ−Ｃｕ−Ｉｎ合金インゴットを製造した
【００４９】
　このインゴットを圧延し、約１．５ｍｍの厚さとし、３１０ｍｍ×３１０ｍｍに切り出した。この表面積は９６１ｃｍ２である。これをα線測定試料とした。
　この試料中のＰｂ含有量０．０５ｐｐｍ、Ｕ含有量＜１ｐｐｂ、Ｔｈ含有量＜１ｐｐｂとなった。
【００５０】
　上記試料について、溶解・鋳造から１週間後、３週間後、１ヵ月後、２ヵ月後、６ヵ月後及び鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変によるα線を発生させるポロニウムの同位体２１０Ｐｏがない状態において、２１０Ｐｂ→２１０Ｂｉ→２１０Ｐｏ→２０６Ｐｂの
崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２であり、本願発明の条件を満たしていた
　また、同一試料について、１ヶ月後と６ヶ月後の５ヶ月間の、経時変化を見た場合、α線量の差は０．０００１ｃｐｈ／ｃｍ２であり、本願発明の条件を満たしていた。このように、鉛中の同位体２１０Ｐｂの低減化は、α線量を測定することにより、確認することができる。
【００５１】
（実施例６）
（３．５％Ａｇ−４％Ｉｎ−０．５％Ｂｉ−残部Ｓｎからなる合金）
　
実施例１で作製したインジウムを準備した
５Ｎ−Ｓｎ及び６Ｎ−Ａｇ及び５Ｎ−Ｂｉとした。添加元素であるインジウムと銀とビスマスを錫に添加し、２６０°Ｃで溶解・鋳造し、３．５％Ａｇ−４％Ｉｎ−０．５％Ｂｉ−残部ＳｎからなるＳｎ−Ａｇ−Ｉｎ−Ｂｉ合金インゴットを製造した
【００５２】
　
このインゴットを圧延し、約１．５ｍｍの厚さとし、３１０ｍｍ×３１０ｍｍに切り出した
　この試料中のＰｂ含有量０．０５ｐｐｍ、Ｕ含有量＜１ｐｐｂ、Ｔｈ含有量＜１ｐｐｂとなった。
【００５３】
　上記試料について、
溶解・鋳造から
崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２であり、本願発明の条件を満たしていた
イ　上記５ウによれば、はんだ材料の原料であるインジウムには、鉛の同位体２１０Ｐｂ（半減期２２年）が含有されており、時間の経過とともに２１０Ｐｂ→ ２１０Ｂｉ（半減期５日）→ ２１０Ｐｏ（半減期１３８日）の壊変が進み、崩壊チェーンが再構築されて２１０Ｐｏが生じるために、ポロニウムの同位体２１０Ｐｏから鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変によるα線が発生し、当該α線によりソフトエラーが発生するという問題があり、甲５の発明が解決しようとする課題は、上記５イによれば、α線量を低減させた高純度インジウム及びその製造方法を得ることを課題とするものである。
ウ　上記５エ、５オによれば、実施例１のインジウムは、原料インジウムを１０００°Ｃ以上に加熱し一旦室温まで冷却した後、１２００℃に加熱して溶融・蒸発させ、凝縮することで得られた高純度インジウムを鋳型に回収してインジウムインゴットとし、さらに圧延することで１．５ｍｍの厚さとしたものであり、溶解・鋳造から崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２であったものである。
エ　したがって、甲５の実施例１に注目すると、次のはんだ用のインジウムが記載されているものと認められる（以下「甲５発明」という。）。
「原料インジウムを１０００°Ｃ以上に加熱し一旦室温まで冷却した後、１２００℃に加熱して溶融・蒸発させ、凝縮することで得られた高純度インジウムを鋳型に回収して得られたインジウムインゴットを、厚さ１．５ｍｍに圧延した、溶解・鋳造から３０ヵ月経過後のインジウムであって、α線量が最大で０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２であるはんだ用のインジウム。」
オ　上記５カによれば、実施例３の錫合金は、実施例１で作成したインジウム、すなわち、甲５発明のインジウムを準備し、添加元素である当該インジウム及び銅を錫に添加し、２６０℃温度で溶解・鋳造して得られた０．５％Ｃｕ−３％Ｉｎ−残部ＳｎからなるＳｎ−Ｃｕ−Ｉｎ合金インゴットを、さらに圧延することで１．５ｍｍの厚さとしたものであり、溶解・鋳造から崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２であったものである。
　また、実施例４の錫合金は、同様に製造した、３．５％Ｉｎ−残部ＳｎからなるＳｎ−Ｉｎ合金インゴットを圧延したものであり、実施例５の錫合金は、３．５％Ａｇ−０．５％Ｃｕ−７％Ｉｎ−残部ＳｎからなるＳｎ−Ａｇ−Ｃｕ−Ｉｎ合金インゴットを圧延したものであり、実施例６の錫合金は、３．５％Ａｇ−４％Ｉｎ−０．５％Ｂｉ−残部ＳｎからなるＳｎ−Ａｇ−Ｉｎ−Ｂｉ合金インゴットを圧延したものであり、いずれも、実施例３と同様のα線量となっている。
カ　したがって、甲５の実施例３〜６に注目すると、次のはんだ用の錫合金が記載されているものと認められる（以下「甲５合金発明」という。）。
「錫に、甲５発明のインジウム、Ｃｕ、Ａｇ、Ｚｎ、Ｂｉのうち、前記インジウムを含む１種以上を添加し、溶解・鋳造して得られた合金インゴットを厚さ１．５ｍｍに圧延した、溶解・鋳造から３０ヵ月経過後の錫合金であって、α線量が最大で０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２であるはんだ用の錫合金。」
（２）本件発明１と甲５発明の対比
ア　甲５発明の「原料インジウムを１０００°Ｃ以上に加熱し一旦室温まで冷却した後、１２００℃に加熱して溶融・蒸発させ、凝縮することで得られた高純度インジウムを鋳型に回収して得られたインジウムインゴットを、厚さ１．５ｍｍに圧延した」「はんだ用のインジウム」は、加熱、冷却、溶融・蒸発、凝縮という一連の工程によってα線源である放射性不純物が低減されているインジウムであるから、本件発明１の「錫、銀、銅、亜鉛又はインジウム」のうち「インジウム」である「低α線放出量の金属」に相当する。
イ　そうすると、本件発明１と甲５発明との一致点と相違点は次のとおりとなる。
＜一致点＞
「錫、銀、銅、亜鉛又はインジウム」のうち「インジウム」である「低α線放出量の金属」の点。
＜相違点８＞
「低α線放出量の金属」からの「α線の放出量」が、本件発明１では「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」のに対して、甲５発明では「溶解・鋳造から３０ヵ月経過後」の「α線量が最大で０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２」である点。
（３）相違点８についての判断
ア　鋳型に回収して得られたインジウムインゴットを圧延して形成された甲５発明のインジウムは、加熱、冷却、溶融・蒸発、凝縮という一連の工程によってα線源である放射性不純物が低減されているものではあるが、除去しれなかった微量の２１０Ｐｏと２１０Ｐｂが含まれている。
イ　甲５発明のインジウムに含まれる上記２１０Ｐｏは、甲２の知見によれば、溶解・鋳造直後は厚さ１．５ｍｍに圧延されたインジウムの中で偏析していると考えられ、経時的にインジウム全体に拡散することによって、α線の放出量が一定値に収束するまで上昇するものである。そして、２１０Ｐｏの半減期τが１３９日であることを考慮すると、溶解・鋳造から３０ヶ月（９００日と換算すると半減期τの約６．４７倍）経過した甲５発明のインジウムの中には、溶解・鋳造直後に含まれていた２１０Ｐｏはほぼ全量が２０６Ｐｂへと壊変して、消失しているものと考えられる（より正確には、Ｎ（６．４７τ）＝０．０１１Ｎ０より、２１０Ｐｏは、３０ヶ月後には当初の約１．１％程度が残存するのみである。）。　　
ウ　また、甲５発明のインジウムに含まれる上記２１０Ｐｂは、インジウムの中で偏析せず均一に分布しているものと考えられ、２１０Ｐｂの半減期τが２２．２年（甲２の図１−４参照）であることを踏まえると、溶解・鋳造から３０ヶ月（半減期τの約０．１１倍）経過した甲５発明のインジウムの中には、溶解・鋳造直後に含まれていた２１０Ｐｂの約９割（より正確にはＮ（０．１１τ）＝０．９２４Ｎ０）が残存していると考えられる。
エ　そうすると、溶解・鋳造から３０ヶ月経過している甲５発明のインジウムにおいて、加熱によって拡散しα線の放出量を増加させ得る精錬直後の２１０Ｐｏは既にほぼ消失しているが、インジウム内で均一に分布する２１０Ｐｂが崩壊することにより、錫内で均一に分布するようになった２１０Ｐｏが存在し、α線を放出していると考えられる。
オ　そこで、甲５発明のインジウムを「大気中で１００℃、６時間加熱した後」もしくは「大気中で２００℃、６時間加熱した後」のα線放出量について検討すると、上記１−２（３）オ〜キにおいて、甲３発明の相違点４について検討したと同様の理由によって、甲２で示された知見を採用すれば、加熱前と変わらない「最大で０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２」となり、本件発明１のα線放出量の条件を満たすことになるが、乙１及び乙２で示されたポロニウムの挙動モデルを採用すれば、加熱前の「最大で０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２」よりも増大することとなり、このときα線放出量を特定することができないので、本件発明１のα線放出量の条件を満たすとはいえなくなる。そして、上記二つの考え方のうちどちらがより適切に甲５発明を説明するものであるか不明であるので、相違点８は実質的な相違点である。
　したがって、本件発明１は相違点８で甲５発明と相違するから、本件発明１は甲５に記載された発明ではない。
カ　そして、本件明細書の【実施例】の欄の記載によれば、本件発明１が「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」という低いα線放出量を実現しているのは、本件発明５の製造方法によって、金属中に含まれる放射性同位体の鉛（２１０Ｐｂ）を十分に低減しているためであると解されるが、金属中に含まれる放射性同位体の鉛（２１０Ｐｂ）を十分に低減するための具体的な方法は、甲５やその他の甲号証のいずれにも記載されていない。
　したがって、甲５やその他の甲号証を参照しても、甲５発明において、相違点８に係る本件発明１の特定事項とすることが、当業者にとって容易になし得ることであるということはできない。
　よって、本件発明１は、甲５に記載された発明とその他甲号証の記載に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
（４）本件発明２と甲５合金発明の対比
ア　甲５合金発明の錫合金自体が「α線量が最大で０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２」という低α線放出量の錫合金であるから、当該錫合金に原料として用いられている錫自体も低α線放出量のものであることは明らかである。したがって、甲５合金発明の「錫」は、本件発明２の「低α線放出量の錫」に相当する。
イ　甲５合金発明の「甲５発明のインジウム、Ｃｕ、Ａｇ、Ｚｎ、Ｂｉのうち、前記インジウムを含む１種以上を添加し、溶解・鋳造して得られた合金インゴットを厚さ１．５ｍｍに圧延」して得られた「はんだ用の錫合金」は、本件発明２の「銀、銅、亜鉛、インジウム、ビスマス、ニッケル及びゲルマニウムからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属との合金」と、「銀、銅、亜鉛、インジウム、ビスマスからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属との合金」の点で共通する。
ウ　甲５合金発明の「α線量が最大で０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２であるはんだ用の錫合金」は、本件発明２の「低α線放出量の錫合金」に相当する。
エ　そうすると、本件発明２と甲５合金発明との一致点と相違点は次のとおりとなる。
＜一致点＞
「低α線放出量の錫と、銀、銅、亜鉛、インジウム、ビスマスからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属との合金である、低α線放出量の錫合金」の点。
＜相違点９＞
「低α線放出量の錫」が、本件発明２では「請求項１記載の」ものであるのに対して、甲５合金発明はそのような特定がされていない点。
＜相違点１０＞　
「低α線放出量の錫合金」からの「α線の放出量」が、本件発明２では「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００７ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」のに対して、甲５合金発明では「溶解・鋳造から３０ヵ月経過後」の「α線量が最大で０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２」である点。
オ　相違点９については、「請求項１記載の低α線放出量の錫」が、甲１、甲３、甲７のいずれにも記載されておらず、また甲１、甲３、甲７に記載された発明とその他の甲号証の記載に基いて当業者が容易に発明をすることができたものでもないことは、上記１−１、１−２と下記１−６で検討したとおりである。
カ　したがって、甲５合金発明において、「錫」として「請求項１記載の低α線放出量の錫」を採用することが容易になし得ることであるとはいえないから、相違点１０について検討するまでもなく、本件発明２は、甲５に記載の発明とその他の甲号証の記載に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
（５）本件発明３と甲５合金発明の対比と判断
　本件発明２を引用することで、本件発明２の特定事項を備えた本件発明３についても、上記（４）と同様の理由によって、甲５に記載された発明ではないし、甲５に記載された発明と甲５やその他の甲号証の記載に基いて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
１−５　甲６を主たる引用例とする新規性、進歩性（取消理由５）について
（１）甲６に記載された事項と発明
ア　甲６には、以下の事項が記載されている。
　６ア　「【技術分野】
【０００１】
　この発明は、半導体の製造等に使用する、
α線量を低減させた銀又は銀を含有する合金及びその製造方法に関する
【背景技術】
【０００２】
　
一般に、銀は、半導体の製造に使用される材料で、特にはんだ材料の主たる原料である
　最近の半導体装置は、高密度化及び動作電圧やセルの容量が低下しているので、
半導体チップ近傍の材料からのα線の影響により、ソフトエラーが発生する危険が多くなってきた。このようなことから、前記はんだ材料及び銀の高純度化の要求があり、またα線の少ない材料が求められている
　
　６イ　「【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
　最近の半導体装置は、高密度化及び動作電圧やセルの容量が低下しているので、半導体チップ近傍の材料からのα線の影響により、ソフトエラーが発生する危険が多くなってきている。特に、半導体装置に近接して使用される、はんだ材料若しくは銀に対する高純度化の要求が強く、またα線の少ない材料が求められているので、
本発明は
要求される材料に適応できる銀のα線量を低減させた高純度銀及びその製造方法を得ることを課題とする
　６ウ　「【発明を実施するための形態】
【００１６】
　α線を発生する放射性元素は数多く存在するが、多くは半減期が非常に長いか非常に短いために実際には問題にならず、実際に問題になるのはＵ崩壊チェーン（図１参照）における、ポロニウムの同位体２１０Ｐｏから鉛の同位体２０６Ｐｂに壊変する時に発生するα線である。
　
半導体用Ｐｂフリーはんだ材料はＳｎ−Ａｇ−Ｃｕ、Ｓｎ−Ａｇ等が開発されており、低αの銀材料が求められているが、銀中の微量の鉛を完全に除去することは非常に困難であり、通常半導体用の銀材料には１０ｐｐｍレベル以上の鉛が含有されている
【００１７】
　上記の通り、Ｐｏは非常に昇華性が高く、製造工程、例えば溶解・鋳造工程で加熱されるとＰｏが昇華する。製造工程でポロニウムの同位体２１０Ｐｏが除去されていれば、ポロニウムの同位体 ２１０Ｐｏから鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変も起こらず、α線も発生しないと考えられる（図１の「Ｕ崩壊チェーン」参照）。
　しかし、ポロニウムの同位体２１０Ｐｏが殆どない状態において、２１０Ｐｂ→２１０Ｂｉ→２１０Ｐｏ→２０６Ｐｂの崩壊が起こる。そして、この崩壊チェーンが平衡状態になるには約２７ヶ月（２年強）を要することが分かった（図２参照）。
【００１８】
　すなわち、
材料中に鉛の同位体２１０Ｐｂ（半減期２２年）が含有されていると、時間の経過とともに２１０Ｐｂ→２１０Ｂｉ（半減期５日）→２１０Ｐｏ（半減期１３８日）の壊変（図１）が進み、崩壊チェーンが再構築されて２１０Ｐｏが生じるために、ポロニウムの同位体２１０Ｐｏから鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変によるα線が発生する
　従って、製品製造直後はα線量が低くても問題は解決せず、時間の経過とともに徐々にα線量が高くなり、ソフトエラーが起こる危険性が高まるという問題が生ずるのである。前記約２７ヶ月（２年強）は、決して短い期間ではない。」
　
　６エ　「【００２８】
　本願発明では、
原料を硝酸又は硫酸で溶解し、次に硝酸又は硫酸を含有する硝酸銀又は硫酸銀溶液を電解液として電解し、陰極板に銀を析出させる。電解液のｐＨ濃度（強酸性のｐＨ領域）や電解液中の銀濃度を制御することで、鉛を０．１ｐｐｍ以下、０．０１ｐｐｍ以下、さらには０．００１ｐｐｍ以下にまで除去することが可能となった
　鉛中の同位体２１０Ｐｂの低減化は、α線量を測定することにより、確認することができる。鉛を低減させたことが、必ずしもα線量を低減させたことにはならない。重要なのは鉛中の同位体２１０Ｐｂの低減化であり、α線量を測定することによってこれを確認できる。特に、一定時間経過後のα線量を測定することが好ましい。
　このようにして得た本願発明の高純度銀は、半導体装置のα線の影響によるソフトエラーの発生を著しく減少できるという優れた効果を有する。」
　６オ　「【００３１】
（実施例１）
　
純度３Ｎレベルの原料銀を硝酸で浸出し、Ａｇ濃度：６０ｇ／Ｌの浸出液を電解液とした。
　陽極には原料銀を鋳込み板形状のものを、陰極にはチタン製の板を用い、電解温度３０°Ｃ、電流密度５Ａ／ｄｍ２という条件で電解を行った。
　陰極に電着する銀の厚さが２ｍｍ程度になると一旦電解を停止し、陰極を電解槽から引き上げて陰極から電着銀を剥がして回収した。回収後は陰極を電解槽に戻し、電解を再開し、これを繰り返した。回収した電着銀を洗浄・乾燥し、１０００°Ｃで溶解・鋳造し、銀インゴットとした
【００３２】
　この銀インゴットを圧延し、約１．５ｍｍの厚さとし、３１０ｍｍ×３１０ｍｍに切り出した
　この試料中のＰｂ含有量０．０５ｐｐｍ、Ｕ含有量＜１ｐｐｂ、Ｔｈ含有量＜１ｐｐｂとなった。
【００３３】
　α線測定装置はＯｒｄｅｌａ社製のＧａｓＦｌｏｗＰｒｏｐｏｒｔｉｏｎａｌＣｏｕｎｔｅｒモデル８６００Ａ−ＬＢを用いた。使用ガスは９０％アルゴン−１０％メタン、測定時間はバックグラウンド及び試料とも１０４時間で、最初の４時間は測定室パージに必要な時間として５時間後から１０４時間後までのデータをα線量算出に用いた。
【００３４】
　上記試料について、
溶解・鋳造から
崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２であり
【００３５】
　また、同一試料について、１ヶ月後と６ヶ月後の５ヶ月間の、経時変化を見た場合、測定試料のα線量の双方の差は０．０００１ｃｐｈ／ｃｍ２であり、本願発明の条件を満たしていた。上記の通り、この測定したα線量は、α線測定装置から出るα線を除去した実質のα線量である。以下の実施例においても同様である。」
　６カ　「【００４０】
（
実施例３
（０．５％Ｃｕ−３％Ａｇ−残部Ｓｎからなる合金）
　
実施例１で作製した銀を準備した
添加元素である銀と銅を錫に添加し、２６０°Ｃで溶解・鋳造し、０．５％Ｃｕ−３％Ａｇ−残部ＳｎからなるＳｎ−Ｃｕ−Ａｇ合金インゴットを製造した
【００４１】
　
このインゴットを圧延し、約１．５ｍｍの厚さとし、３１０ｍｍ×３１０ｍｍに切り出した
　この試料中のＰｂ含有量０．０５ｐｐｍ、Ｕ含有量＜１ｐｐｂ、Ｔｈ含有量＜１ｐｐｂとなった。
【００４２】
　上記試料について、溶解・鋳造から１週間後、３週間後、１ヵ月後、２ヵ月後、６ヵ月後及び鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変によるα線を発生させるポロニウムの同位体２１０Ｐｏがない状態において、２１０Ｐｂ→２１０Ｂｉ→２１０Ｐｏ→２０６Ｐｂの
崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２であり、本願発明の条件を満たしていた
【００４３】
（
実施例４
（３．５％Ａｇ−残部Ｓｎからなる合金）
　
実施例１で作製した銀を準備した
添加元素である銀を錫に添加し、２６０°Ｃで溶解・鋳造し、３．５％Ａｇ−残部ＳｎからなるＳｎ−Ａｇ合金インゴットを製造した
【００４４】
　
このインゴットを圧延し、約１．５ｍｍの厚さとし、３１０ｍｍ×３１０ｍｍに切り出した
　この試料中のＰｂ含有量０．０５ｐｐｍ、Ｕ含有量＜１ｐｐｂ、Ｔｈ含有量＜１ｐｐｂとなった。
【００４５】
　上記試料について、溶解・鋳造から１週間後、３週間後、１ヵ月後、２ヵ月後、６ヵ月後及び鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変によるα線を発生させるポロニウムの同位体２１０Ｐｏがない状態において、２１０Ｐｂ→２１０Ｂｉ→２１０Ｐｏ→２０６Ｐｂの
崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２であり、本願発明の条件を満たしていた
イ　上記６ウによれば、はんだ材料の原料である銀には、鉛の同位体２１０Ｐｂ（半減期２２年）が含有されており、時間の経過とともに２１０Ｐｂ→ ２１０Ｂｉ（半減期５日）→ ２１０Ｐｏ（半減期１３８日）の壊変が進み、崩壊チェーンが再構築されて２１０Ｐｏが生じるために、ポロニウムの同位体２１０Ｐｏから鉛の同位体２０６Ｐｂへの壊変によるα線が発生し、当該α線によりソフトエラーが発生するという問題があり、甲６の発明が解決しようとする課題は、上記６イによれば、α線量を低減させた高純度銀及びその製造方法を得ることを課題とするものである。
ウ　上記６エ、６オによれば、実施例１の銀は、純度３Ｎレベルの原料銀を硝酸で浸出した電解液用いて電解を行い、陰極から回収した電着銀を洗浄・乾燥し、１０００℃で溶解・鋳造して得られた銀インゴットを、さらに圧延することで１．５ｍｍの厚さとしたものであり、溶解・鋳造から崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２であったものである。
エ　したがって、甲６の実施例１に注目すると、次のはんだ用の銀が記載されているものと認められる（以下「甲６発明」という。）。
「純度３Ｎレベルの原料銀を硝酸で浸出した電解液用いて電解を行い、回収された電着錫を溶解・鋳造して得られた銀インゴットを厚さ１．５ｍｍに圧延した、溶解・鋳造から３０ヵ月経過後の銀であって、α線量が最大で０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２であるはんだ用の銀。」
オ　上記６カによれば、実施例３の錫合金は、実施例１で作成した銀、すなわち、甲６発明の銀を準備し、添加元素である銀と銅を錫に添加し、２６０°Ｃで溶解・鋳造して得られた、０．５％Ｃｕ−３％Ａｇ−残部ＳｎからなるＳｎ−Ｃｕ−Ａｇ合金インゴットを、さらに圧延することで１．５ｍｍの厚さとしたものであり、溶解・鋳造から崩壊チェーンが平衡状態になる２７ヶ月を過ぎた３０ヵ月後にα線量を測定した結果、α線量は最大でも０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２であったものである。
　また、実施例４の錫合金は、３．５％Ａｇ−残部ＳｎからなるＳｎ−Ａｇ合金インゴットを圧延したものであり、実施例３と同様のα線量となっている。
カ　したがって、甲６の実施例３〜４に注目すると、次のはんだ用の錫合金が記載されているものと認められる（以下「甲６合金発明」という。）。
「錫に、甲６発明の銀、Ｃｕのうち、前記銀を含む１種以上を添加し、溶解・鋳造して得られた合金インゴットを厚さ１．５ｍｍに圧延した、溶解・鋳造から３０ヵ月経過後の錫合金であって、α線量が最大で０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２であるはんだ用の錫合金。」
（２）本件発明１と甲６発明の対比
ア　甲６発明の「純度３Ｎレベルの原料銀を用いて電解を行い、回収された電着錫を溶解・鋳造して得られた銀インゴットを厚さ１．５ｍｍに圧延した」「はんだ用の銀」は、電解によってα線源である放射性不純物が低減されている銀であるから、本件発明１の「錫、銀、銅、亜鉛又はインジウム」のうち「銀」である「低α線放出量の金属」に相当する。
イ　そうすると、本件発明１と甲６発明との一致点と相違点は次のとおりとなる。
＜一致点＞
「錫、銀、銅、亜鉛又はインジウム」のうち「銀」である「低α線放出量の金属」の点。
＜相違点１１＞
「低α線放出量の金属」からの「α線の放出量」が、本件発明１では「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」のに対して、甲６発明では「溶解・鋳造から３０ヵ月経過後」の「α線量が最大で０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２」である点。
（３）相違点１１についての判断
ア　原料銀を硝酸で浸出した電解液用いて電解を行い、回収された電着錫を溶解・鋳造して得られた銀インゴットを圧延して形成された甲６発明の銀は、上記電解によってα線源である放射性不純物が低減されているものではあるが、除去しれなかった微量の２１０Ｐｏと２１０Ｐｂが含まれている。
イ　甲６発明の銀に含まれる上記２１０Ｐｏは、甲２の知見によれば、溶解・鋳造直後は厚さ１．５ｍｍに圧延された銀の中で偏析していると考えられ、経時的に銀全体に拡散することによって、α線の放出量が一定値に収束するまで上昇するものである。そして、２１０Ｐｏの半減期τが１３９日であることを考慮すると、溶解・鋳造から３０ヶ月（９００日と換算すると半減期τの約６．４７倍）経過した甲６発明の銀の中には、溶解・鋳造直後に含まれていた２１０Ｐｏはほぼ全量が２０６Ｐｂへと壊変して、消失しているものと考えられる（より正確には、Ｎ（６．４７τ）＝０．０１１Ｎ０より、２１０Ｐｏは、３０ヶ月後には当初の約１．１％程度が残存するのみである。）。　　
ウ　また、甲６発明の銀に含まれる上記２１０Ｐｂは、銀の中で偏析せず均一に分布しているものと考えられ、２１０Ｐｂの半減期τが２２．２年（甲２の図１−４参照）であることを踏まえると、溶解・鋳造から３０ヶ月（半減期τの約０．１１倍）経過した甲６発明の銀の中には、溶解・鋳造直後に含まれていた２１０Ｐｂの約９割（より正確にはＮ（０．１１τ）＝０．９２４Ｎ０）が残存していると考えられる。
エ　そうすると、溶解・鋳造から３０ヶ月経過している甲６発明の銀において、加熱によって拡散しα線の放出量を増加させ得る精錬直後の２１０Ｐｏは既にほぼ消失しているが、銀内で均一に分布する２１０Ｐｂが崩壊することにより、錫内で均一に分布するようになった２１０Ｐｏが存在し、α線を放出していると考えられる。
オ　そこで、甲６発明の銀を「大気中で１００℃、６時間加熱した後」もしくは「大気中で２００℃、６時間加熱した後」のα線放出量について検討すると、上記１−２（３）オ〜キにおいて、甲３発明の相違点４について検討したと同様の理由によって、甲２で示された知見を採用すれば、加熱前と変わらない「最大で０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２」となり、本件発明１のα線放出量の条件を満たすことになるが、乙１及び乙２で示されたポロニウムの挙動モデルを採用すれば、加熱前の「最大で０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２」よりも増大することとなり、このときα線放出量を特定することができないので、本件発明１のα線放出量の条件を満たすとはいえなくなる。そして、上記二つの考え方のうちどちらがより適切に甲５発明を説明するものであるか不明であるので、相違点１１は実質的な相違点である。
　したがって、本件発明１は相違点１１で甲６発明と相違するから、本件発明１は甲６に記載された発明ではない。
カ　そして、本件明細書の【実施例】の欄の記載によれば、本件発明１が「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」という低いα線放出量を実現しているのは、本件発明５の製造方法によって、金属中に含まれる放射性同位体の鉛（２１０Ｐｂ）を十分に低減しているためであると解されるが、金属中に含まれる放射性同位体の鉛（２１０Ｐｂ）を十分に低減するための具体的な方法は、甲６やその他の甲号証のいずれにも記載されていない。
　したがって、甲６やその他の甲号証を参照しても、甲６発明において、相違点１１に係る本件発明１の特定事項とすることが、当業者にとって容易になし得ることであるということはできない。
　よって、本件発明１は、甲６に記載された発明とその他甲号証の記載に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
（４）本件発明２と甲６合金発明の対比と判断
ア　甲６合金発明の錫合金自体が「α線量が最大で０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２」という低α線放出量の錫合金であるから、当該錫合金に原料として用いられている錫自体も低α線放出量のものであることは明らかである。したがって、甲６合金発明の「錫」は、本件発明２の「低α線放出量の錫」に相当する。
イ　甲６合金発明の「甲６発明の銀、Ｃｕのうち、前記銀を含む１種以上を添加し、溶解・鋳造して得られた合金インゴットを厚さ１．５ｍｍに圧延」して得られた「はんだ用の錫合金」は、本件発明２の「銀、銅、亜鉛、インジウム、ビスマス、ニッケル及びゲルマニウムからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属との合金」と、「銀、銅からなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属との合金」の点で共通する。
ウ　甲６合金発明の「α線量が最大で０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２であるはんだ用の錫合金」は、本件発明２の「低α線放出量の錫合金」に相当する。
エ　そうすると、本件発明２と甲６合金発明との一致点と相違点は次のとおりとなる。
＜一致点＞
「低α線放出量の錫と、銀、銅からなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属との合金である、低α線放出量の錫合金」の点。
＜相違点１２＞
「低α線放出量の錫」が、本件発明２では「請求項１記載の」ものであるのに対して、甲６合金発明はそのような特定がされていない点。
＜相違点１３＞　
「低α線放出量の錫合金」からの「α線の放出量」が、本件発明２では「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００７ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」のに対して、甲６合金発明では「溶解・鋳造から３０ヵ月経過後」の「α線量が最大で０．０００２ｃｐｈ／ｃｍ２」である点。
オ　相違点１２については、「請求項１記載の低α線放出量の錫」が、甲１、甲３、甲７のいずれにも記載されておらず、また甲１、甲３、甲７に記載された発明とその他の甲号証の記載に基いて当業者が容易に発明をすることができたものでもないことは、上記１−１、１−２と下記１−６で検討したとおりである。
カ　したがって、甲６合金発明において、「錫」として「請求項１記載の低α線放出量の錫」を採用することが容易になし得ることであるとはいえないから、相違点１３について検討するまでもなく、本件発明２は、甲６に記載の発明とその他の甲号証の記載に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
（５）本件発明３と甲６合金発明の対比と判断
　本件発明２を引用することで、本件発明２の特定事項を備えた本件発明３についても、上記（４）と同様の理由によって、甲６に記載された発明ではないし、甲６に記載された発明と甲６やその他の甲号証の記載に基いて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
１−６　甲７を主たる引用例とする新規性、進歩性（取消理由６）について
（１）甲７に記載された事項と発明
ア　甲７には、以下の事項が記載されている。
　７ア　「【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、α線量の極めて少ない低α線量錫の製造方法に関するものであり
はんだ
の原料として用いるα線量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2未満の低α線量錫の製造方法に関するものである
　
　７イ　「【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの方法で得られた錫のα線量は十分に低くはなく、例えば、前記（ａ）の電解により得られた錫のα線量は０．２ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、さらに（ｂ）の電解により得られた錫のα線量は０．０３ｃｐｈ／ｃｍ2以下であって、
現在のところ、錫のα線量を０．００１ｃｐｈ／ｃｍ2以下に下げることのできる技術はなく、なお一層の低α線量の錫が求められていた
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者らは、従来よりも一層の低α線量錫を得るべく研究を行った結果、（イ）通常の錫から放射されるα線源は、不純物として含まれるＰｂの内の放射性核種である210Ｐｂの孫核種210 Ｐｏがほとんどである、（ロ）前記210Ｐｂの含有量の少ない錫は、通常の錫にα線量が１０ｃｐｈ／ｃｍ2以下の鉛を合金化して錫−鉛合金を製造した後、得られた錫−鉛合金を各種の方法（たとえば、従来の前記（ａ）または（ｂ）の方法）で精製すると、合金化したＰｂを除去することができるだけでなく、210Ｐｂをも除去することができ、従来よりも一層α線量の少ない低α線量錫を得ることができる、などの研究結果が得られたのである。
【０００６】この発明は、かかる研究結果に基づいて成されたものであって、（１）
錫とα線量が１０ｃｐｈ／ｃｍ2以下の鉛を合金化した後、錫に含まれる鉛を除去する精練を行う
　
　７ウ　「【００１１】
【発明の実施の形態】表面α線量が５ｃｐｈ／ｃｍ2、
純度：９９．９９％の市販のＳｎと
表面α線量が１０ｃｐｈ／ｃｍ2、純度：９９．９９％の市販のＰｂを用意し、ＳｎとＰｂを窒素雰囲気中、高純度黒鉛ルツボ内で高周波誘導炉で溶解し、Ｓｎ−５ｗｔ％Ｐｂ合金を製造した
【００１２】実施例１
前記Ｓｎ−５ｗｔ％Ｐｂ合金を高純度黒鉛ルツボに入れ、これを真空蒸留装置に装入し、１０-3Ｔｏｒｒの真空雰囲気中、９００℃で１０時間加熱した
真空蒸留装置は、ルツボの設置場所の真上に水で冷却された捕集傘が設置されており、蒸発したＰｂは捕集傘内で凝固し、Ｐｂが除去される
冷却後、高純度黒鉛ルツボ内に残留したＳｎを取り出し、これを原料として同様に再度真空蒸留したＳｎを１ｍｍの厚さに圧延し、Ｓｎ板を作製した
【００１３】
このＳｎ板を３年経過させた後、この合金板の４０００ｃｍ2を試料とし、表面α線量を（株）住化分析センター製（ＬＡＣＳ−４０００Ｍ、測定下限：０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2）で９６時間測定した
表面α線量は０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2未満であることが分かり、その結果を表１に示した
・・・
【００１６】なお、表面α線量および210Ｐｏ量の測定を精練後３年経過後の試料で行うのは、精練によりＳｎ中の主放射性核種である210Ｐｏが減少し、見掛上α線量が減少する現象が存在するためであり、210 Ｐｏの親核種である210Ｐｂが壊変し、210 Ｐｏが放射平衡に達するのに約２．３年かかり、３年経過後に測定すれば、α線量も210Ｐｏも真の値を測定することができるからである。」
・・・　
【００１８】実施例２
前記高純度黒鉛ルツボ内で高周波誘導炉で溶解して得られたＳｎ−１ｗｔ％Ｐｂ合金をアノードとし、
液組成：Ｓｎ：３０ｇ／ｌ、スルファミン酸：１９６ｇ／ｌ
カソード電流密度：２．０Ａ／ｄｍ3、
液温：３５℃、
の条件で電解することによりＰｂを除去し、カソードにＳｎを析出させ、カソードのＳｎを実施例１と同様に圧延して得られたＳｎ板の３年経過後の表面α線量、210Ｐｏおよび不純物Ｐｂ量を実施例１と同様に測定し、その結果を表１に示した。
・・・
【００２０】実施例３
電解液として、ＪＩＳ−Ｋ  ８９５１に規定される試薬特級硫酸と高純度純水を用い、酸濃度：２５０ｇ／ｌの硫酸を作製し、これにゼラチン：２ｇ、βナフトール：２ｇを添加した溶液を用意した。この電解液を用い、前記高純度黒鉛ルツボ内で高周波誘導炉で溶解して得られたＳｎ−１ｗｔ％Ｐｂ合金をアノードとし、ステンレス板をカソードとし、電流密度：０．８Ａ／ｄｍ3、液温：４５℃、の条件で電解することによりカソードにＳｎを析出させ、カソードのＳｎを実施例１と同様に圧延して得られたＳｎ板の３年経過後の表面α線量、210Ｐｏおよび不純物Ｐｂ量を実施例１と同様に測定し、その結果を表１に示した。」
　
　７エ　「【００２２】
【表１】
　　　　」
　
イ　上記７アによれば、甲７には、はんだの原料として用いる、α線量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2未満の低α線量錫を製造する方法について記載されている。
ウ　上記７イの【０００５】によれば、上記低α線量錫は、錫とα線量が１０ｃｐｈ／ｃｍ2以下の鉛を合金化した後、錫に含まれる鉛を除去する精練を行うことによって得ることができる。
エ　上記７ウには、上記低α線量錫を製造するための具体的な精錬方法が記載されており、純度：９９．９９％の市販のＳｎと、表面α線量が１０ｃｐｈ／ｃｍ2である純度：９９．９９％の市販のＰｂを窒素雰囲気中、高純度黒鉛ルツボ内で高周波誘導炉で溶解し、Ｓｎ−５ｗｔ％Ｐｂ合金又はＳｎ−１ｗｔ％Ｐｂ合金を製造した後、実施例１では真空蒸留を行うことによってＰｂを除去することでＳｎを精錬し、１ｍｍの厚さに圧延し、Ｓｎ板を作成している。
オ　上記７エの【表１】には、上記エの精錬方法によって得られた錫の３年経過後の表面α線量が示されている。【表１】によれば、実施例１の表面α線量は、測定限界以下の０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2未満である。
カ　したがって、表１の実施例１に注目すると、甲７には次のはんだ用の錫が記載されているものと認められる（以下「甲７発明」という。）。
「純度：９９．９９％の市販のＳｎと、表面α線量が１０ｃｐｈ／ｃｍ2である純度：９９．９９％の市販のＰｂとを合金化し、真空蒸留によってＰｂを除去する精錬を行った錫を厚さ１ｍｍに圧延した、精錬から３年経過後の錫であって、α線量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ２未満であるはんだ用の錫。」
（２）本件発明１と甲７発明の対比
ア　甲７発明の「真空蒸留又は電解によってＰｂを除去する精錬を行った錫を厚さ１ｍｍに圧延し」た「はんだ用の錫」は、α線源である放射性不純物が低減されている錫であるから、本件発明１の「錫、銀、銅、亜鉛又はインジウム」のうち「錫」である「低α線放出量の金属」に相当する。
イ　そうすると、本件発明１と甲７発明との一致点と相違点は次のとおりとなる。
＜一致点＞
「錫、銀、銅、亜鉛又はインジウム」のうち「錫」である「低α線放出量の金属」の点。
＜相違点１４＞
「低α線放出量の金属」からの「α線の放出量」が、本件発明１では「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」のに対して、甲７発明では「精錬から３年経過後」の「α線量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ２未満」である点。
（２）相違点１４についての判断
ア　真空蒸留によって精錬を行った甲７発明の錫には、当該精錬によっても除去しきれなかった微量の２１０Ｐｏと２１０Ｐｂが含まれている。
イ　甲７発明の錫に含まれる上記２１０Ｐｏは、甲２の知見によれば、９００℃で行われる真空蒸留直後に凝固した錫の中で偏析していると考えられ、経時的に錫全体に拡散することによって、α線の放出量が一定値に収束するまで上昇するものである。そして、２１０Ｐｏの半減期τが１３９日であることを考慮すると、精錬から３年（１０９５日と換算すると半減期τの約７．８７倍）経過した甲７発明の錫の中には、精錬直後に含まれていた２１０Ｐｏはほぼ全量が２０６Ｐｂへと壊変して、消失しているものと考えられる（より正確には、Ｎ（７．８７τ）＝０．００４Ｎ０より、２１０Ｐｏは、３年後には当初の約０．４％程度が残存するのみである。）。　
ウ　また、甲７発明の錫に含まれる上記２１０Ｐｂは、錫の中で偏析せず均一に分布しているものと考えられ、２１０Ｐｂの半減期τが２２．２年（甲２の図１−４参照）であることを踏まえると、精錬から３年（半減期τの約０．１３倍）経過した甲３発明の錫の中には、溶解・鋳造直後に含まれていた２１０Ｐｂの約９割（より正確にはＮ（０．１３τ）＝０．９１３Ｎ０）が残存していると考えられる。
エ　そうすると、精錬から３年経過している甲７発明の錫において、加熱によって拡散しα線の放出量を増加させ得る精錬直後の２１０Ｐｏは既にほぼ消失しているが、錫内で均一に分布する２１０Ｐｂが崩壊することにより、錫内で均一に分布するようになった２１０Ｐｏが存在し、α線を放出していると考えられる。
オ　そこで、甲７発明の錫を「大気中で１００℃、６時間加熱した後」もしくは「大気中で２００℃、６時間加熱した後」のα線放出量について検討すると、上記１−２（３）オ〜キにおいて、甲３発明の相違点４について検討したと同様の理由によって、甲２で示された知見を採用すれば、加熱前と変わらない「０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ２未満」となり、本件発明１のα線放出量の条件を満たすことになるが、乙１及び乙２で示されたポロニウムの挙動モデルを採用すれば、加熱前の「０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ２未満」よりも増大することとなり、このときα線放出量を特定することができないので、本件発明１のα線放出量の条件を満たすとはいえなくなる。そして、上記二つの考え方のうちどちらがより適切に甲７発明を説明するものであるか不明であるので、相違点１４は実質的な相違点である。
　したがって、本件発明１は相違点１４で甲７発明と相違するから、本件発明１は甲７に記載された発明ではない。
カ　そして、本件明細書の【実施例】の欄の記載によれば、本件発明１が「大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００５ｃｐｈ／ｃｍ2以下であり、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ2以下である」という低いα線放出量を実現しているのは、本件発明５の製造方法によって、金属中に含まれる放射性同位体の鉛（２１０Ｐｂ）を十分に低減しているためであると解されるが、金属中に含まれる放射性同位体の鉛（２１０Ｐｂ）を十分に低減するための具体的な方法は、甲７やその他の甲号証のいずれにも記載されていない。
　したがって、甲７やその他の甲号証を参照しても、甲７発明において、相違点１４に係る本件発明１の特定事項とすることが、当業者にとって容易になし得ることであるということはできない。
　よって、本件発明１は、甲７に記載された発明とその他甲号証の記載に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
２　取消理由として通知しなかった申立理由について
（１）　申立人１による申立理由（１−１〜１−３）について
ア　申立人１は、本件明細書の「加熱温度が高いほどα線放出量は上昇し易く」（【００２２】）との記載が、α崩壊に関する技術常識とは矛盾しているので、発明の詳細な説明は、本件発明１〜９を実施することができる程度に明確かつ十分に記載したものではなく、上記記載を前提とする本件発明１〜９は請求項の記載が不明確であり、上記記載は核物理学上の自然法則に反しているので、本件発明１〜９は特許法第２９条第１項柱書にいうところの「発明」に該当しないと主張している。
イ　しかしながら、錫等のはんだ材料の温度が上昇するとα線放出量が増加するという現象について、申立人２の提出した甲１には、試料内の標的崩壊同位体は加熱によって拡散が促進され（【００２１】）、検出されるα粒子放出の数を増加させること（【００３６】）が記載されており、また、同甲２には、材料内に偏析しているポロニウムは、加熱することによって拡散を加速するので、α線量が上昇すること（８７頁の４−１−５、１０１頁の４−３−１）が記載されている。
ウ　したがって、本件明細書の上記記載の事項は、技術常識に矛盾するものではなく、核物理学上の自然法則に反するものでもないことは明らかであるから、申立人１の上記アの主張は採用できない。
（２）申立人２による記載不備についての申立理由（２−８）について
ア　申立人２は、本件発明１、４に記載された「低α線放出量の金属である」「銀」について本件明細書の実施例として記載はなく、また、本件発明２〜４に記載された「低α線放出量の錫合金」について本件明細書には実施例２０〜２７として８通りの錫合金が記載されているのみであるから、本件発明１〜４は、本件特許明細書の発明の詳細な説明に記載されていない発明を包含するものであり、特許を受けようとする発明が明確なものとはなっておらず、本件発明１〜４について本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は、当業者が実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものではないと主張している。
イ　まず、「低α線放出量の金属である」「銀」について、本件明細書には実施例としての記載はないが、図１に示す本件発明の低α線放出量の金属の製造方法において、金属原料Ｍとして錫と同様に銀を用いて製造する方法が記載されており、銀を金属原料とした場合に当該方法が実施できない特段の事情が示されているわけではないので、銀を金属原料とした場合にも低α線放出量の錫と同様に低α線放出量の錫が製造可能であるといえる。また、上記方法で製造された銀は、上記方法で製造された錫と同様に、金属中に含まれる放射性同位体の鉛（２１０Ｐｂ）が低減されることに伴って、α線の放出量が十分に低減されているものであるということができる。
　したがって、本件発明１の「低α線放出量の金属」である「銀」は、本件特許明細書の発明の詳細な説明に記載されている発明であるといえるし、特許を受けようとする発明が明確でないという理由もなく、当業者が実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものではないという理由もない。
ウ　次に、「低α線放出量の錫金属」について、本件明細書には実施例として実施例２０〜２７の８通りが記載されているだけであるが、これら実施例はいずれも本件発明１に該当する実施例１の金属錫と、線放出量が０．００２ｃｐｈ／ｃｍ2以下の銀、銅、亜鉛、インジウム、ビスマス、ニッケル、ゲルマニウムの金属原料を混合し、加熱し、鋳造して得られたものであり（【００７７】）、得られた実施例２０〜２７はいずれも、本件発明２に特定されるα線放出量の条件を満たすものとなっている（【表６】）。してみると、本件発明１の低α線放出量の錫と、銀、銅、亜鉛、インジウム、ビスマス、ニッケル及びゲルマニウムからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属との合金から製造された本件発明２、３の錫合金は、上記実施例２０〜２８以外のものであっても、金属中に含まれる放射性同位体の鉛（２１０Ｐｂ）が低減されることに伴って、α線の放出量が十分に低減されたものとすることができるということができるし、申立人２は、上記実施例２０〜２８以外の錫合金が製造できないという具体的な理由についても何ら説明していない。
　したがって、本件発明２、３に記載の「低α線放出量の錫合金」は、本件特許明細書の発明の詳細な説明に記載されている発明であるといえるし、特許を受けようとする発明が明確でないという理由もなく、当業者が実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものではないという理由もない。
エ　したがって、申立人２の上記アの主張は採用できない。
（３）申立人２による本件発明５〜９についての進歩性の申立理由（２−９）について
ア　申立人２は、本件発明５〜９について、甲７の段落【０００５】〜【０００７】に記載された同位体希釈の原理を用いて当業者が適宜なし得る工程を追加したに過ぎないものであると主張している。
イ　甲７によって同位体希釈の原理自体が公知であったことは認められるものの、金属原料を硫酸水溶液に溶解し、硫酸塩水溶液中で硫酸鉛を沈殿させ、沈殿した硫酸鉛をフィルタリングして除去する方法については、甲７とその他の甲号証のいずれにも記載も示唆もされていないから、本件発明５〜９は、甲７及びその他の甲号証の記載に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
ウ　したがって、申立人２の上記アの主張は採用できない。
第５　まとめ
　以上のとおりであるから、申立人１及び申立人２による特許異議申立書に記載された申立理由及び当審から通知した取消理由によっては、本件請求項１〜３、５〜９に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１〜３、５〜９に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　そして、本件訂正によって請求項４は削除され、特許異議の申立ての対象となる請求項４は存在しないものとなったから、請求項４に係る特許異議の申立ては、特許法第１２０条の８第１項で準用する同法第１３５条の規定によって却下すべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。　
【異議決定日】
令和３年１月１３日（２０２１．１．１３）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　錫、銀、銅、亜鉛又はインジウムのいずれかの低α線放出量の金属であって、
　大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が
０．０００５
り、かつ大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ２以下であ
　【請求項２】
　請求項１記載の低α線放出量の錫と、銀、銅、亜鉛、インジウム、ビスマス、ニッケル及びゲルマニウムからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属との合金であって、
　大気中で１００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が
０．０００７
り、大気中で２００℃、６時間加熱した後のα線の放出量が０．０００６ｃｐｈ／ｃｍ２以下であ
　【請求項３】
　前記低α線放出量の錫と合金を形成する金属が、銀、銅、亜鉛及びインジウムからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属である請求項２記載の低α線放出量の錫合金。
　【請求項４】
（削除）
　【請求項５】
　不純物として鉛をそれぞれ含む錫、銀、銅、亜鉛又はインジウムのいずれかの金属を硫酸水溶液に溶解して前記金属の硫酸塩水溶液を調製するとともに前記硫酸塩水溶液中で硫酸鉛を沈殿させる工程（ａ）と、
　前記工程（ａ）の前記硫酸塩水溶液をフィルタリングして前記硫酸鉛を前記硫酸塩水溶液から除去する工程（ｂ）と、
　第１槽で、前記工程（ｂ）の前記硫酸鉛を除去した硫酸塩水溶液を少なくとも１００ｒｐｍの回転速度で撹拌しながらα線放出量が１０ｃｐｈ／ｃｍ２以下の鉛を含む所定の濃度の硝酸鉛水溶液を所定の速度で３０分以上かけて添加して、硫酸塩水溶液中で硫酸鉛を沈殿させ、同時に前記硫酸塩水溶液をフィルタリングして前記硫酸鉛を前記硫酸塩水溶液から除去しながら、前記第１槽中で全体液量に対する循環流量が少なくとも１体積％の割合で循環させる工程（ｃ）と、
　前記工程（ｃ）の前記硫酸塩水溶液を前記第１槽から別の第２槽に移した後、前記硫酸塩水溶液を電解液として前記金属を電解採取する工程（ｄ）と
　を含むことを特徴とする低α線放出量の金属の製造方法。
　【請求項６】
　前記工程（ｃ）の前記硝酸鉛水溶液中の硝酸鉛の所定の濃度が１０質量％〜３０質量％である請求項５記載の低α線放出量の金属の製造方法。
　【請求項７】
　前記工程（ｃ）の前記硝酸鉛水溶液の所定の添加速度が前記硫酸塩水溶液１リットルに対して１ｍｇ／秒〜１００ｍｇ／秒である請求項５又は６記載の低α線放出量の金属の製造方法。
　【請求項８】
　金属錫に、銀、銅、亜鉛、インジウム、ビスマス、ニッケル及びゲルマニウムからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属を添加混合して、この混合物を鋳造することによって低α線放出量の錫合金を製造する方法であって、
　前記金属錫は、請求項５ないし７のいずれか１項に記載の方法により製造された金属錫であり、
　前記金属錫に添加する金属は、α線放出量が０．００２ｃｐｈ／ｃｍ２以下であることを特徴とする低α線放出量の錫合金の製造方法。
　【請求項９】
　金属錫に、銀、銅、亜鉛及びインジウムからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属を添加混合して、この混合物を鋳造することによって低α線放出量の錫合金を製造する方法であって、
　前記金属錫及び前記金属錫に添加する金属は、それぞれ請求項５ないし７のいずれか１項に記載の方法により製造された金属であることを特徴とする低α線放出量の錫合金の製造方法。