【事件の表示】
　特許第６７１５６９９号発明「セラミックスヒータ」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第６７１５６９９号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１〜４〕について訂正することを認める。
　特許第６７１５６９９号の請求項２〜４に係る特許を維持する。
　特許第６７１５６９９号の請求項１に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第６７１５６９９号（以下「本件特許」という。）の請求項１〜４に係る特許についての出願は、平成２８年６月２７日の出願であって、令和２年６月１１日にその特許権の設定登録がされ、令和２年７月１日に特許掲載公報が発行された。
　これに対して令和２年１２月２４日に特許異議申立人である池田　和雄（以下「申立人」という。）により、本件特許の請求項１〜４に係る特許について特許異議の申立てがされた。
　そして、その後の手続は以下のとおりである。
・令和３年３月５日付けで取消理由通知
・令和３年４月２２日に特許権者による意見書及び訂正請求書の提出
・令和３年５月７日付けで訂正請求があった旨の通知
　なお、申立人は、訂正請求があった旨の通知に対して指定期間内に意見書の提出はしなかった。
第２　訂正の適否
１　訂正の内容
　令和３年４月２２日に提出された訂正請求書による訂正の請求は、本件特許の特許請求の範囲を、訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１〜４について訂正すること（以下「本件訂正」という。）を求めるものであって、その内容は以下の訂正事項１〜３のとおりである。なお、下線は、特許権者が訂正箇所を示すために付したものである。
（１）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１を削除する。
（２）訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項２に「前記第１下側発熱抵抗要素は、前記上側用端子と電気的に接続される構造と離間しつつ、前記セラミックス基材を上下方向に貫通する孔を除き、上面視において前記上側発熱抵抗体の最外周より内側の領域の全面に亘って配置されていることを特徴とする請求項１に記載のセラミックスヒータ。」と記載されているのを独立形式に改め、
「
セラミックスからなり、上面に被加熱物が載置されるセラミックス基材と、
　前記セラミックス基材に埋設された下側発熱抵抗体と、
　前記下側発熱抵抗体より上側にて前記セラミックス基材に埋設された上側発熱抵抗体と、
　セラミックスからなり、前記セラミックス基材の下面の中心部に接続された中空のシャフトと、
　前記下側発熱抵抗体に電流を流すための下側用端子と、
　前記上側発熱抵抗体に電流を流すための上側用端子とを備えたセラミックスヒータであって、
　前記下側発熱抵抗体は、前記下側用端子と接続された第１下側発熱抵抗要素と、前記第１下側発熱抵抗要素と接続され、上面視において前記上側発熱抵抗体の最外周より外側であって、前記第１下側発熱抵抗要素を重畳的に囲む相互に離間している１又は複数の下側環状区域のそれぞれに配置されている第２下側発熱抵抗要素と、隣り合う前記下側環状区域に配置されている前記第２下側発熱抵抗要素同士を接続する第３下側発熱抵抗要素とにより構成され、
　前記上側発熱抵抗体は、上面視において、前記シャフトの外周の内側及び外側に位置する領域に配置されており、
　前記第１下側発熱抵抗要素は、少なくとも、上面視において、前記シャフトの外周の外側であって、かつ、前記上側発熱抵抗体の最外周より内側に位置する領域を含み、前記下側用端子と前記第２下側発熱抵抗要素とを前記第３下側発熱抵抗要素の幅で直線的に接続した領域の面積を超える面積を有する領域に配置され、
るセ
（３）訂正事項３
　特許請求の範囲の請求項３に「抵抗値が大きいことを特徴とする請求項１又は２に記載のセラミックスヒータ。」と記載されているのを、
「抵抗値が大きいことを特徴とする請求項
２
２　訂正の目的の適否、新規事項の有無及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
（１）訂正事項１について
ア　訂正の目的について
　訂正事項１は、特許請求の範囲の請求項１を削除するというものである。
　したがって、訂正事項１は、「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（以下「特許明細書等」という。）に記載した事項の範囲内の訂正であること
　上記アに記載したとおり、訂正事項１は、特許請求の範囲の請求項１を削除するというものであるから、特許明細書等に記載した事項の範囲内の訂正である。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アに記載したとおり、訂正事項１は、特許請求の範囲の請求項１を削除するというものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
（２）訂正事項２について
ア　訂正事項２は、訂正前の請求項１を引用する訂正前の請求項２について、訂正後の請求項２において、その内容を変更することなく訂正前の請求項１の記載を引用しない形へと書き換える記載としたものである。
　したがって、訂正事項２は、「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること。」を目的とするものである。
イ　特許明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であること
　上記アに記載したとおり、訂正事項２は、訂正後の請求項２において、訂正前の請求項１を引用する訂正前の請求項２の内容を変更するものではないから、特許明細書等に記載した事項の範囲内の訂正である。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アに記載したとおり、訂正事項２は、訂正後の請求項２において、訂正前の請求項１を引用する訂正前の請求項２の内容を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
（３）訂正事項３について
ア　訂正の目的について
　訂正事項３は、訂正前の請求項３の記載が請求項１又は請求項２を引用する記載であったものを、請求項１の削除に伴い請求項２のみを引用する請求項の選択肢を削除する訂正であるから、「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。
イ　特許明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であること
　訂正事項３は、引用する請求項の選択肢を削除する訂正であるから、特許明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　訂正事項３は、引用する請求項の選択肢を削除する訂正であるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
３　一群の請求項について
　訂正前の請求項１〜４は、請求項２〜４が、請求項１を引用する関係にあり、訂正される請求項１に連動して訂正されるから、訂正前において一群の請求項に該当するものである。
　したがって、本件訂正の請求は、特許法第１２０条の５第４項に規定する一群の請求項ごとにされたものである。
４　小括
　以上のとおりであるから、本件訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号及び第４号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合する。
　よって、結論のとおり本件訂正を認める。
第３　訂正後の本件発明
　本件訂正後の特許請求の範囲の記載は、以下のとおりであり、本件訂正後の請求項２〜４に係る発明（以下「本件訂正発明２」〜「本件訂正発明４」という。）は、それぞれ本件訂正後の特許請求の範囲の請求項２〜４に記載された事項により特定されるとおりのものである。
「【請求項１】
（削除）
【請求項２】
　セラミックスからなり、上面に被加熱物が載置されるセラミックス基材と、
　前記セラミックス基材に埋設された下側発熱抵抗体と、
　前記下側発熱抵抗体より上側にて前記セラミックス基材に埋設された上側発熱抵抗体と、
　セラミックスからなり、前記セラミックス基材の下面の中心部に接続された中空のシャフトと、
　前記下側発熱抵抗体に電流を流すための下側用端子と、
　前記上側発熱抵抗体に電流を流すための上側用端子とを備えたセラミックスヒータであって、
　前記下側発熱抵抗体は、前記下側用端子と接続された第１下側発熱抵抗要素と、前記第１下側発熱抵抗要素と接続され、上面視において前記上側発熱抵抗体の最外周より外側であって、前記第１下側発熱抵抗要素を重畳的に囲む相互に離間している１又は複数の下側環状区域のそれぞれに配置されている第２下側発熱抵抗要素と、隣り合う前記下側環状区域に配置されている前記第２下側発熱抵抗要素同士を接続する第３下側発熱抵抗要素とにより構成され、
　前記上側発熱抵抗体は、上面視において、前記シャフトの外周の内側及び外側に位置する領域に配置されており、
　前記第１下側発熱抵抗要素は、少なくとも、上面視において、前記シャフトの外周の外側であって、かつ、前記上側発熱抵抗体の最外周より内側に位置する領域を含み、前記下側用端子と前記第２下側発熱抵抗要素とを前記第３下側発熱抵抗要素の幅で直線的に接続した領域の面積を超える面積を有する領域に配置され、
るセ
【請求項３】
　前記上側発熱抵抗体は、前記上側用端子と接続された第１上側発熱抵抗要素と、前記第１上側発熱抵抗要素と接続され、前記第１上側発熱抵抗要素を重畳的に囲む相互に離間している１又は複数の上側環状区域のそれぞれに配置されている第２上側発熱抵抗要素と、隣り合う前記上側環状区域に配置されている前記第２上側発熱抵抗要素同士を接続する第３上側発熱抵抗要素とにより構成され、
　上面視において前記シャフトの内側に位置し当該シャフトに最も近い前記第２上側発熱抵抗要素は、上面視において前記シャフトの外側に位置し最も近い前記第２上側発熱抵抗要素と比較して、抵抗値が大きいことを特徴とする請求項
２
【請求項４】
　前記上面視において前記シャフトの内側に位置し当該シャフトに最も近い前記第２上側発熱抵抗要素は、外側から中心部に向う部分を有するように蛇行していることを特徴とする請求項３に記載のセラミックスヒータ。」
第４　特許異議申立理由の概要及び証拠方法
　特許異議申立書における特許異議申立理由の概要及び証拠方法は以下のとおりである。
１　特許異議申立理由の概要
（１）理由１：特許法第２９条第１項第３号（請求項１）について
　本件の請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と同一である。
　よって、本件の請求項１に係る特許は、特許法第２９条第１項第３号に該当し、同法第１１３条第２号により取り消されるべきものである。
（２）理由２：特許法第２９条第２項（請求項１〜４）について
　仮に、本件の請求項１に係る発明が特許法第２９条第１項第３号に該当しないとしても、本件の請求項１に係る発明は、甲第１号証及び甲第２号証の記載に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　本件の請求項２に係る発明は、甲第１号証及び甲第３号証の記載に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　本件の請求項３及び請求項４に係る発明は、甲第１号証及び甲第４号証の記載に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　よって、本件の請求項１、請求項２、請求項３及び請求項４に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に該当し、同法第１１３条第２号により取り消されるべきものである。
（３）理由３：特許法第３６条第６項第１号（請求項１）について
　本件の請求項１に係る発明は、特許査定時の発明の詳細な説明に記載したものではない。
　よって、本件の請求項１に係る特許は、特許法第３６条第６項第１号の規定を満たしておらず、同法第１１３条第４号により取り消されるべきものである。
（４）理由４：特許法第３６条第４項第１号（請求項１）について
　特許査定時の発明の詳細な説明の記載は、当業者が本件の請求項１に係る発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものではない。
　よって、本件の請求項１に係る特許は、特許法第３６条第４項第１号の規定を満たしていない特許出願に対してされたものであり、同法第１１３条第４号により取り消されるべきものである。
２　証拠方法
・甲第１号証：特開２００２−５７１０７号公報（以下「甲１」という。）
・甲第２号証：特開２０１４−９９３１３号公報（以下「甲２」という。）
・甲第３号証：特開２００２−５０４６１号公報（以下「甲３」という。）
・甲第４号証：特開平１１−３３９９３９号公報（以下「甲４」という。）
第５　取消理由の概要
　当審において、令和３年３月５日付けで通知した取消理由の概要は以下のとおりである。
　ここで、甲１、２及び４は、本件特許の出願前に日本国内又は外国において、頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった文献である。
１　理由１（新規性）
　本件特許の請求項１に係る発明は、甲１に記載された発明であって、特許法第２９条第１項第３号に該当するから、本件特許の請求項１に係る特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものであり、同法第１１３条第２号に該当し、取り消すべきものである。
２　理由２（進歩性）
　本件特許の請求項１に係る発明は、甲１に記載された発明及び甲２に記載された事項に基いて、本件特許の出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものである。
　本件特許の請求項３に係る発明は、甲１に記載された発明及び甲４に記載された事項に基いて、又は、甲１に記載された発明、甲２に記載された事項及び甲４に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　本件特許の請求項４に係る発明は、甲１に記載された発明及び甲４に記載された事項に基いて、又は、甲１に記載された発明、甲２に記載された事項及び甲４に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　したがって、本件特許の請求項１、３及び４に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、同法第１１３条第２号に該当し、取り消すべきものである。
３　理由３（サポート要件）
　本件特許の請求項１、３及び４の記載は、発明の詳細な説明において、本件発明の課題が解決できることを当業者が認識できるように記載された範囲を超えるものとなっている。
　したがって、本件特許の請求項１、３及び４に係る特許は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるから、同法第１１３条第４号に該当し、取り消すべきものである。
第６　本件特許の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて
　本件特許の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立ては、本件特許の請求項１が本件訂正により削除されたことにより、申立ての対象が存在しないものとなったため、不適法な特許異議の申立てであって、その補正をすることができないものである。
　したがって、本件特許の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立ては、特許法第１２０条の８第１項で準用する同法第１３５条の規定により却下すべきものである。
　そして、上記第５の取消理由における理由１、理由２の請求項１についての理由、理由３の請求項１についての理由は検討を要しないものとなった。
　また、上記第４の特許異議申立理由における理由１、理由２の請求項１についての理由、理由３及び理由４は検討を要しないものとなった。
　そこで、取消理由における理由２の請求項３、４についての理由、取消理由における理由３の請求項３、４についての理由及び取消理由で採用しなかった特許異議申立理由における理由２の請求項２についての理由を検討することとする。
第７　取消理由通知に記載した取消理由について
１　取消理由における理由２（進歩性）について
（１）理由２（進歩性）の概要
　訂正前の請求項３及び４に係る特許に対して、当審が令和３年３月５日に特許権者に通知した取消理由における理由２の要旨は、上記第５の「２　理由２（進歩性）」に示したとおりである。
（２）甲１、甲２及び甲４について
ア　甲１について
（ア）甲１の記載
　本件特許の出願前に頒布された刊行物である甲１には、次の記載がある。なお、下線は当審で付したものである。
ａ　「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、
ウエハを加熱するのに用いるウエハ加熱部材
に関するものである。
ｂ　「【００２６】次に、本発明の他の実施形態について図６乃至図１０を基に説明する。
【００２７】この
加熱部材２２は、円盤状をした板状セラミック体２３の内部中央には、図８に示すような平面形状が円形をなし、単一パターンからなる発熱体Ｗ1を載置面４近傍に埋設するとともに、板状セラミック体２３の内部周辺には、図９に示すような平面形状がリング状をなし、単一パターンからなる発熱体Ｗ2、及び図１０に示すような平面形状がリング状をなし、単一パターンからなる発熱体Ｗ3を各々埋設し、板状セラミック体２３の下面には、各発熱体Ｗ1，Ｗ2，Ｗ3とそれぞれ電気的に接続される給電端子２９，３０，３１を接合し、筒状体２４内を通って真空処理室１２外へ取り出すようになっており
【００２８】なお、
板状セラミック体２３の下面中央で、かつ最も内側に位置する発熱体Ｗ1の近傍には、熱電対等の温度検出手段３２を内蔵してあり、載置面２５上に載せたウエハ３４の温度変化を疑似的にモニターするようになっている。
ｃ　「【００３５】ところで、上記
ウエハ加熱部材１，２２を構成する板状セラミック体２，２３の材質としては、
窒化アルミニウムを主成分とするセラミックスを用いることができる
窒化アルミニウムを主成分とするセラミックスは他のセラミックスと比較して高い熱伝導率を有することから好適であり、具体的には窒化アルミニウムの含有量が９０％以上であるものが良い。
【００３６】また、上記板状セラミック体２，２３中に埋設する発熱体Ｗ1，Ｗ2，Ｗ3の材質としては、板状セラミック体２，２３を形成するセラミックスとの熱膨張差ができるだけ小さいものが良く、例えば、ＷやＭｏ等の金属やＷＣを用いることができ、これらにＡｌＮ，Ａｌ2Ｏ3，Ｓｉ3Ｎ4等のセラミック粉体を添加することが好ましい。特に室温（２５℃）付近から９００℃程度の処理温度域における数１のＫｘが５０〜７００の範囲にあるものが良い。即ち、室温（２５℃）付近から９００℃程度の処理温度域における数１のＫｘが５０未満又は７００を超えると、温度変動が大きくなり、温度制御できなくなるからで、好ましくは９０〜４００とすることが良い。更に好ましくは９０〜３００の範囲が良い。
【００３７】更に、上記板状セラミック体２，２３中に埋設する発熱体Ｗ1，Ｗ2，Ｗ3の間隔が２ｍｍ以下では、発熱体Ｗ1，Ｗ2，Ｗ3間の絶縁不良を起こすことがあり、また８ｍｍ以上では発熱体Ｗ1，Ｗ2，Ｗ3間に温度の低い領域が発生し、ウエハ面内の温度差が大きくなり好ましくない。その為
、各発熱体Ｗ1，Ｗ2，Ｗ3の間隔は２ｍｍから８ｍｍが好ましく、更には２ｍｍから５ｍｍであると更にウエハ面の温度差を低減することができ望ましい。
ｄ　「【００６１】（実施例４）次に、図６に示す
ウエハ加熱部材２２
【００６２】本実験にあたり、
ウエハ加熱部材２２を構成する板状セラミック体２３は窒化アルミニウム質セラミックスにより形成
板状セラミック体２３中の内側で外径１００ｍｍの範囲内には図８に示すパターン形状を有する発熱体Ｗ1を、その外側で外径２００ｍｍ、内径１０２ｍｍの範囲内には図９に示すパターン形状を有する発熱体Ｗ2を、その外側で外径３２０ｍｍ、内径２０２ｍｍの範囲内には図１０に示すパターン形状を有する幅２ｍｍの発熱体Ｗ3をそれぞれ厚み方向に２ｍｍの間隔で深さを異ならせて埋設したものを用いた。
【００６３】また、
ウエハ加熱部材２２の下面に接合する筒状体２４は板状セラミック体２３と同様に窒化アルミニウム質セラミックスにより形成し
【００６４】
筒状支持体２４は、板状セラミック体２３の下面に気密に接合し
ウエハ加熱部材２２
【００６５】そして、
ウエハ加熱部材２２
ｅ　「【００７１】そこで、
ウエハ加熱部材２２
１２４．２５１×Ｒ1−１７３．７３１＝１１５．９８９×Ｒ2−２５２．２６６＝９８．９５８×Ｒ3−３５４．３１３
この結果、表４に示すように、
本発明のウエハ加熱部材２２
ｆ　「【００８０】
【発明の効果】以上のように、請求項１に係る発明によれば、
ウエハの載置面を有する板状セラミック体中に、複数の発熱体を埋設したウエハ加熱部材において、上記各発熱体のＫXの値をそれぞれ５０〜７００としたことによって、３００℃〜９００℃の処理温度域における各発熱体の温度変動が小さいため、この範囲で容易に温度制御を行うことができる。
板状セラミック体を窒化アルミニウム質セラミックスで形成すれば、熱伝導性に優れるため、ウエハをより均一に加熱することができる。
ｇ　「
」
（イ）上記（ア）の記載から分かること
ａ　上記（ア）の段落０００１、００２７、００３５、００６１〜００６５及び００７１並びに図６の記載によれば、甲１にはウエハ加熱部材２２が記載されている。
ｂ　上記（ア）の段落００２６〜００２８、００３５及び００６２並びに図６の記載によれば、ウエハ加熱部材２２は、窒化アルミニウム質セラミックスからなり、上面にウエハ３４が載置される板状セラミック体２３を備えることが分かる。
ｃ　上記（ア）の段落００２７及び００６２並びに図６及び１０の記載によれば、ウエハ加熱部材２２は、板状セラミック体２３に埋設された発熱体Ｗ３を備えることが分かる。
ｄ　上記（ア）の段落００２７及び００６２並びに図６及び９の記載によれば、ウエハ加熱部材２２は、発熱体Ｗ３より上側にて板状セラミック体２３に埋設された発熱体Ｗ２を備えることが分かる。
ｅ　上記（ア）の段落００２７及び００６２〜００６４並びに図６の記載によれば、ウエハ加熱部材２２は、窒化アルミニウム質セラミックスからなり、板状セラミック体２３の下面の中心部に接続された筒状体２４を備えることが分かる。
ｆ　上記（ア）の段落００２７並びに図６及び１０の記載によれば、ウエハ加熱部材２２は、発熱体Ｗ３に電流を流すための給電端子３１を備えることが分かる。
ｇ　上記（ア）の段落００２７並びに図６及び９の記載によれば、ウエハ加熱部材２２は、発熱体Ｗ２に電流を流すための給電端子３０を備えることが分かる。
ｈ　上記（ア）の段落００６２並びに図６及び１０の記載によれば、発熱体Ｗ３は、給電端子３１と接続された第１下側発熱抵抗要素と、前記第１下側発熱抵抗要素と接続され、上面視において発熱体Ｗ２の最外周より外側であって、前記第１下側発熱抵抗要素を重畳的に囲む相互に離間している１又は複数の下側環状区域のそれぞれに配置されている第２下側発熱抵抗要素と、隣り合う前記下側環状区域に配置されている前記第２下側発熱抵抗要素同士を接続する第３下側発熱抵抗要素とにより構成されることが分かる。
ｉ　上記（ア）の段落００６２及び００６３並びに図６及び９の記載によれば、発熱体Ｗ２は、上面視において、筒状体２４の外周の内側及び外側に位置する領域に配置されていることが分かる。
ｊ　上記（ア）の段落００６２及び００６３並びに図４、６、９及び１０の記載によれば、第１下側発熱抵抗要素は、少なくとも、上面視において、筒状体２４の外周の外側であって、かつ、発熱体Ｗ２の最外周より内側に位置する領域を含み、給電端子３１と第２下側発熱抵抗要素とを第３下側発熱抵抗要素の幅で直線的に接続した領域の面積を超える面積を有する領域に配置されていることが分かる。
（ウ）　甲１発明１
　上記（ア）及び（イ）を総合して整理すると、甲１には、次の事項からなる発明（以下「甲１発明１」という。）が記載されていると認める。
「窒化アルミニウム質セラミックスからなり、上面にウエハ３４が載置される板状セラミック体２３と、
　前記板状セラミック体２３に埋設された発熱体Ｗ３と、
　前記発熱体Ｗ３より上側にて前記板状セラミック体２３に埋設された発熱体Ｗ２と、
　窒化アルミニウム質セラミックスからなり、前記板状セラミック体２３の下面の中心部に接続された筒状体２４と、
　前記発熱体Ｗ３に電流を流すための給電端子３１と、
　前記発熱体Ｗ２に電流を流すための給電端子３０とを備えたウエハ加熱部材２２であって、
　前記発熱体Ｗ３は、前記給電端子３１と接続された第１下側発熱抵抗要素と、前記第１下側発熱抵抗要素と接続され、上面視において前記発熱体Ｗ２の最外周より外側であって、前記第１下側発熱抵抗要素を重畳的に囲む相互に離間している１又は複数の下側環状区域のそれぞれに配置されている第２下側発熱抵抗要素と、隣り合う前記下側環状区域に配置されている前記第２下側発熱抵抗要素同士を接続する第３下側発熱抵抗要素とにより構成され、
　前記発熱体Ｗ２は、上面視において、前記筒状体２４の外周の内側及び外側に位置する領域に配置されており、
　前記第１下側発熱抵抗要素は、少なくとも、上面視において、前記筒状体２４の外周の外側であって、かつ、前記発熱体Ｗ２の最外周より内側に位置する領域を含み、前記給電端子３１と前記第２下側発熱抵抗要素とを前記第３下側発熱抵抗要素の幅で直線的に接続した領域の面積を超える面積を有する領域に配置されている、ウエハ加熱部材２２。」
（エ）甲１発明２
　上記（ア）及び（イ）を総合して整理すると、甲１には、次の事項からなる発明（以下「甲１発明２」という。）が記載されていると認める。
「甲１発明１において、前記発熱体Ｗ２は、前記給電端子３０と接続された第１上側発熱抵抗要素と、前記第１上側発熱抵抗要素と接続され、前記第１上側発熱抵抗要素を重畳的に囲む相互に離間している１又は複数の上側環状区域のそれぞれに配置されている第２上側発熱抵抗要素と、隣り合う前記上側環状区域に配置されている前記第２上側発熱抵抗要素同士を接続する第３上側発熱抵抗要素とにより構成された、ウエハ加熱部材２２。」
イ　甲２について
（ア）甲２の記載
　本件特許の出願前に頒布された刊行物である甲２には、次の記載がある。
ａ　「【０００７】
　２ゾーン制御でＴ型構造のヒータユニットにおいて、加熱面と発熱体とを同一平面上に配置すると、
ヒータ中央部の電極と外ヒータとを接続する経路、いわゆる渡り部が、加熱面に形成される。この渡り部は、他の領域と比較して発熱増大による温度上昇（ホットスポット）又は発熱減少による温度低下（コールドスポット）が多く見られ、温度制御が困難であった。
【０００８】
　そこで、本発明は、２ゾーン制御でＴ型構造の
ヒータユニットにおいて、均熱性を向上させる
ｂ　「【００１０】
　上記の課題を解決するために、本発明は、以下の特徴を有する。本発明の第１の特徴は、
帯状の発熱体（発熱体３３）によって形成される略円形状の加熱面（加熱面３１）を備えるヒータユニットであって、
中央部から径方向外側に延びる前記発熱体によって前記内側領域に形成される連絡部（渡り部３６）、及び前記連絡部から延びる前記発熱体によって前記外側領域に形成される外側部分を含む外側ヒータ（外ヒータ３５）と、を有し、前記連絡部における前記発熱体の幅は、前記外側部分における前記発熱体の幅よりも広い
【００１１】
　かかる特徴によれば、
外側ヒータにおいて、連絡部における発熱体の幅が、外側部分における発熱体の幅よりも広いことにより、連絡部の抵抗が外側部分よりも小さくなる。そのため、連絡部における発熱が抑制されると共に、外側部分における発熱量が増大し、均熱性が向上する。
ｃ　「【００３０】
　加熱面３１は、加熱面３１の中心を含む中央部Ｃと、中央部を囲む内側領域Ｉと、内側領域を囲む外側領域Ｏとに区分される。内側領域Ｉの外周は、加熱面３１より小径の同心円であるが、内側領域Ｉの径は任意に定めることができる。
ヒータユニット３０は、加熱面３１の中央部Ｃで複数の電極３２と接続する。
【００３１】
　
加熱面３１は、内ヒータ３４と、外ヒータ３５とに区分される。
外ヒータ３５は、中央部Ｃから径方向外側に延びる発熱体３３によって内側領域Ｉに形成される渡り部３６と、渡り部３６から延びる発熱体３３によって外側領域Ｏに形成される外側部分３７とを含む。
【００３２】
　内ヒータ３４及び外ヒータ３５には、中央部Ｃから延びる帯状の発熱体３３が一筆書き状に連続したパターンが形成されている。内ヒータ３４の発熱体３３は、外ヒータ３５の渡り部３６と当接する位置で折り返すことによって、内ヒータ３４をＣ形の形状に形成する。これにより、電極３２と接続する中央部Ｃで生じた熱が、発熱体３３を介して内ヒータ３４全域に伝達される。
外ヒータ３５の発熱体３３は、中央部Ｃから渡り部３６を介して外側領域Ｏに至り、外側領域Ｏにおいて円環状の外側部分３７を形成する。これにより、電極３２と接続する中央部Ｃで生じた熱が、渡り部３６の発熱体３３を介して外側部分３７まで伝達され、外ヒータ３５全域に伝達される。
【００３３】
ここで、
外ヒータ３５において、連絡部３６における発熱体３３の幅は、外側部分３７における発熱体３３の幅よりも広く形成されている。
ｄ　「【００３６】
　
発熱体３３は、加熱面３１の周方向に延びる帯状部３３Ａと、帯状部３３Ａを、その端部において、隣接する帯状部３３Ａの端部と接続する接続部３３Ｂとを含む。接続部３３Ｂが帯状部３３Ａと径方向溝３９との間に介在する
ｅ　「【００３８】
　
発熱体３３の抵抗は、原則として、発熱体３３の幅に反比例する。
ヒータユニット３０では、渡り部３６における発熱体３３の幅が、外ヒータ３５の外側部分３７における発熱体３３の幅よりも広く構成される。これにより、渡り部３６の抵抗が外側部分３７の抵抗よりも小さくなるため、渡り部３６における発熱が抑制される
外ヒータ２５（特に、外側部分３７）における熱引きや、渡り部２６のホットスポット化が防止され、均熱性が向上する。
ｆ　「
」
（イ）上記（ア）によると、甲２には、次の事項（以下「甲２の記載事項」という。）が記載されていると認める。
「ヒータユニット３０において、発熱体３３の渡り部３６を、電極３２と外側部分３７とを前記外側部分３７における径方向に延びる接続部の幅で直線的に接続した領域の面積を超える面積を有するように前記接続部より幅広に配置すること。」
ウ　甲３について
（ア）甲３の記載
　本件特許の出願前に頒布された刊行物である甲３には、次の記載がある。
ａ　「【０００４】
上記第１の従来例は、加熱の均一性の観点で改善すべきものであった。
【０００５】係る観点から、
上記第１の従来例を改良した基板加熱装置として、図６及び図７に示す第２の従来例に係る基板加熱装置が用いられていた。
基板加熱装置３０は、面状ヒータ３１ａ、３１ｂ、給電用電極３３ａ、３３ａ、３３ｂ、３３ｂ及びヒータケース４とを備えている。この面状ヒータ３１ａ、３１ｂは各々同一平面内の内周部と外周部とに配置されており、共に、ヒーターケース４内に収容されている。
半円形の円弧を折り返すようにして配置された帯状の発熱体３２ａ、
を備えている。この発熱体３２ａ、
の幅Ｗは、発熱体３２ａの方が発熱体３２ｂより大きく、
各々の幅Ｗは、内周部中心に近づくほど大きく、
ｂ　「【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、
前記第２の従来例の基板加熱装置では、いわゆる熱処理環境が変化しても基板の面内温度の均一性は充分確保されるものの、膜形成工程に使用されて各種の薄膜を成膜する場合には、成膜性が悪く、良質の膜を成膜することが困難であった。
ｃ　「【００２０】
面状ヒータ１１Ａ、１１Ｂは、共に基板５とほぼ同径でほぼ同面積に形成されている。
下側に配置された面状ヒータ１１Ｂ（第２の面状ヒータ）の発熱体１２Ｂは、その幅ＷBが内周部の中心に近づくほど大きく
ｄ　「
」
（イ）上記（ア）によると、甲３には、次の事項（以下「甲３の記載事項」という。）が記載されていると認める。
「基板加熱装置において、発熱体のうち、給電用電極が設けられている最内周側の部分を二つの半円形状にすることは従来より行われており、また、基板の面積全面にわたって、半円形の円弧を折り返すようにして配置された帯状の発熱体を備えた二つの面状ヒータは、共に基板とほほ同径でほぼ同面積に形成され、下側に配置された面状ヒータの発熱体の幅が内周部の中心に近づくほど大きくされること。」
エ　甲４について
（ア）甲４の記載
　本件特許の出願前に頒布された刊行物である甲４には、次の記載がある。
ａ　「【００１１】図１（ａ）は本発明のセラミックヒータを示す斜視図、（ｂ）は（ａ）のＸ?Ｘ線断面図であり、
抵抗発熱体４を埋設してなる円盤状をしたセラミック体２からなり、該セラミック体２の上面を被加熱物Ｗの載置面３としてある。
記セラミック体２の下面中央にはセラミックヒータ１を反応処理室（不図示）内に設置するためのセラミックスからなる筒状支持体６を接合してあり
記筒状支持体６の内側より前記抵抗発熱体４へ通電するための給電端子５を反応処理室外へ取り出するようになっている。
【００１２】また、上記
セラミック体２中に埋設する抵抗発熱体４の発熱パターンは、例えば、図２に示すような略同心円状としてあり
【００１３】そして、本発明は、上記
発熱パターンＱのうち筒状支持体６の最外周より内側に位置する領域Ｑ１の面積をＳ１、上記筒状支持体６の最外周より内側に位置する領域Ｑ１における抵抗発熱体４ａの抵抗値をＲ１とするとともに、上記発熱パターンＱのうち筒状支持体６の最外周より外側に位置する領域Ｑ２の面積をＳ２、上記筒状支持体６の最外周より外側に位置する領域Ｑ２における抵抗発熱体４ｂの抵抗値をＲ２とした時、上記筒状支持体６の内側に位置する領域Ｑ１における抵抗発熱体４ａの単位面積当たりの抵抗値（Ｒ１／Ｓ１）を、上記筒状支持体６の外側に位置する領域Ｑ２における抵抗発熱体４ｂの単位面積当たりの抵抗値（Ｒ２／Ｓ２）より大きくした
【００１４】即ち、上記セラミックヒータ１を発熱させると、筒状支持体６を介して反応処理室側へ熱が奪われて熱引けが発生し、載置面３の均熱化が阻害されるとともに、特に昇温時において、筒状支持体６が接合されているセラミックヒータ１の中央と、筒状支持体６が接合されていないセラミックヒータ１の周縁との境界に大きな熱応力が発生し、セラミックヒータ１が割れてしまうといった恐れがあるが、本発明では、
発熱パターンＱの筒状支持体６より内側に位置する領域Ｑ１における抵抗発熱体４ａの単位面積当たりの抵抗値（Ｒ１／Ｓ１）を、筒状支持体６より外側に位置する領域Ｑ２における抵抗発熱体４ｂの単位面積当たりの抵抗値（Ｒ２／Ｓ２）より大きくし、筒状支持体６が接合されているセラミックヒータ１の中央の発熱量を周縁より大きくしてあることから、熱引けに伴う温度損失を補い、載置面６の温度分布を均一化することができる
ｂ　「
」
（イ）上記（ア）によると、甲４には、次の事項（以下「甲４の記載事項」という。）が記載されていると認める。
「セラミックヒータ１（セラミックスヒータ）において、抵抗発熱体４（発熱抵抗体）は、給電端子５（端子）と接続された第１発熱抵抗要素と、前記第１発熱抵抗要素と接続され、前記第１発熱抵抗要素を重畳的に囲む相互に離間している１又は複数の環状区域のそれぞれに配置されている第２発熱抵抗要素と、隣り合う前記環状区域に配置されている前記第２発熱抵抗要素同士を接続する第３発熱抵抗要素とにより構成され、上面視において筒状支持体６（シャフト）の内側に位置する領域Ｑ１における抵抗発熱体４ａ（シャフトに最も近い第２発熱抵抗要素を含む）が、上面視において前記筒状支持体６の外側に位置する領域Ｑ２における抵抗発熱体４ｂ（シャフトに最も近い第２発熱抵抗要素を含む）と比較して、単位面積あたりの抵抗値が大きいものとされ、前記上面視において前記筒状支持体６の内側に位置し当該筒状支持体６に最も近い前記第２発熱抵抗要素が、外側から中心部に向う部分を有するように蛇行していること。」
（３）当審の判断
ア　本件訂正発明３について
（ア）対比
　本件訂正発明３と甲１発明２とを対比する。
・後者の「窒化アルミニウム質セラミックス」は、前者の「セラミックス」に相当し、同様に、「ウエハ３４」は「被加熱物」に、「板状セラミック体２３」は「セラミックス基材」に、「発熱体Ｗ３」は「下側発熱抵抗体」に、「発熱体Ｗ２」は「上側発熱抵抗体」に、「筒状体２４」は「中空のシャフト」に、「給電端子３１」は「下側用端子」に、「給電端子３０」は「上側用端子」に、「ウエハ加熱部材２２」は「セラミックスヒータ」に、「第１下側発熱抵抗要素」は「第１下側発熱抵抗要素」に、「下側環状区域」は「下側環状区域」に、「第２下側発熱抵抗要素」は「第２下側発熱抵抗要素」に、「第３下側発熱抵抗要素」は「第３下側発熱抵抗要素」に、「上側環状区域」は「上側環状区域」に、「第３上側発熱抵抗要素」は「第３上側発熱抵抗要素」に、それぞれ相当する。
　そうすると、両者の間には次の一致点及び相違点が認められる。
［一致点］
「セラミックスからなり、上面に被加熱物が載置されるセラミックス基材と、
　前記セラミックス基材に埋設された下側発熱抵抗体と、
　前記下側発熱抵抗体より上側にて前記セラミックス基材に埋設された上側発熱抵抗体と、
　セラミックスからなり、前記セラミックス基材の下面の中心部に接続された中空のシャフトと、
　前記下側発熱抵抗体に電流を流すための下側用端子と、
　前記上側発熱抵抗体に電流を流すための上側用端子とを備えたセラミックスヒータであって、
　前記下側発熱抵抗体は、前記下側用端子と接続された第１下側発熱抵抗要素と、前記第１下側発熱抵抗要素と接続され、上面視において前記上側発熱抵抗体の最外周より外側であって、前記第１下側発熱抵抗要素を重畳的に囲む相互に離間している１又は複数の下側環状区域のそれぞれに配置されている第２下側発熱抵抗要素と、隣り合う前記下側環状区域に配置されている前記第２下側発熱抵抗要素同士を接続する第３下側発熱抵抗要素とにより構成され、
　前記上側発熱抵抗体は、上面視において、前記シャフトの外周の内側及び外側に位置する領域に配置されており、
　前記第１下側発熱抵抗要素は、少なくとも、上面視において、前記シャフトの外周の外側であって、かつ、前記上側発熱抵抗体の最外周より内側に位置する領域を含み、前記下側用端子と前記第２下側発熱抵抗要素とを前記第３下側発熱抵抗要素の幅で直線的に接続した領域の面積を超える面積を有する領域に配置されており、
　前記上側発熱抵抗体は、前記上側用端子と接続された第１上側発熱抵抗要素と、前記第１上側発熱抵抗要素と接続され、前記第１上側発熱抵抗要素を重畳的に囲む相互に離間している１又は複数の上側環状区域のそれぞれに配置されている第２上側発熱抵抗要素と、隣り合う前記上側環状区域に配置されている前記第２上側発熱抵抗要素同士を接続する第３上側発熱抵抗要素とにより構成された、セラミックスヒータ。」
［相違点］
［相違点３−１］
　本件訂正発明３では、「前記第１下側発熱抵抗要素」は、「前記上側用端子と電気的に接続される構造と離間しつつ、前記セラミックス基材を上下方向に貫通する孔を除き、上面視において前記上側発熱抵抗体の最外周より内側の領域の全面に亘って配置されている」のに対して、甲１発明２では、そのような構成を有していない点。
［相違点３−２］
　本件訂正発明３では、「上面視において前記シャフトの内側に位置し当該シャフトに最も近い前記第２上側発熱抵抗要素は、上面視において前記シャフトの外側に位置し最も近い前記第２上側発熱抵抗要素と比較して、抵抗値が大きい」のに対して、甲１発明２では、そのような構成を有していない点。
（イ）判断
　上記相違点について検討する。
ａ　相違点３−１について
　甲２の記載事項における「ヒータユニット３０」は甲１発明２の「ヒータ」に対応し、同様に、「発熱体３３」は「発熱抵抗体」に、「渡り部３６」は「第１下側発熱抵抗要素」に、「電極３２」は「下側用端子」に、「外側部分３７」は「第２下側発熱抵抗要素」に、「接続部」は「第３下側発熱抵抗要素」に、それぞれ対応しており、甲２の記載事項は次のとおりのものといえる。
「ヒータにおいて、発熱抵抗体の第１下側発熱抵抗要素を、下側用端子と第２下側発熱抵抗要素とを前記第２下側発熱抵抗要素における径方向に延びる第３下側発熱抵抗要素の幅で直線的に接続した領域の面積を超える面積を有するように前記第３下側発熱抵抗要素より幅広に配置すること。」
　また、甲３の記載事項における「基板加熱装置」は甲１発明２の「セラミックスヒータ」に対応し、同様に、「発熱体」は「発熱抵抗要素」に、「給電用電極」は「電流を流すための」「端子」に、「面状ヒータ」は「発熱抵抗体」に、「基板」は「被加熱物」に、それぞれ対応しており、甲３の記載事項は次のとおりのものといえる。
「基板加熱装置において、発熱抵抗要素のうち、電流を流すための端子が設けられている最内周側の部分を二つの半円形状にすることは従来より行われており、また、被加熱物の面積全面にわたって、半円形の円弧を折り返すようにして配置された帯状の発熱抵抗要素を備えた二つの発熱抵抗体は、共に被加熱物とほほ同径でほぼ同面積に形成され、下側に配置された発熱抵抗体の発熱抵抗要素の幅が内周部の中心に近づくほど大きくされること。」
　しがしながら、これら甲２の記載事項及び甲３の記載事項は、上記相違点３−１に係る本件訂正発明３の構成を示すものでない。
　さらに、上記相違点３−１に係る本件訂正発明３の構成は、下記（イ）の検討で挙げた甲４の記載事項においても示されておらず、本件特許の出願前において技術常識であるとも認めることができない。
　そうすると、甲１発明２において、上記相違点３−１に係る本件訂正発明３の構成とすることは、当業者が容易に想到し得たことではない。
ｂ　相違点３−２について
　甲４の記載事項における「セラミックヒータ１」は甲１発明２の「セラミックスヒータ」に対応し、同様に、「抵抗発熱体４」は「発熱抵抗体」に、「給電端子５」は「電流を流すための」「端子」に、「筒状支持体６」は「シャフト」に、「単位面積あたりの抵抗値が大きい」は「抵抗値が大きい」に、それぞれ対応し、「上面視において筒状支持体６の内側に位置する領域Ｑ１における抵抗発熱体４ａ」は「シャフトに最も近い第２発熱抵抗要素」を含むものといえ、「上面視において前記筒状支持体６の外側に位置する領域Ｑ２における抵抗発熱体４ｂ」は「シャフトに最も近い第２発熱抵抗要素」を含むものといえ、甲４の記載事項は次のとおりのものといえる。
「セラミックスヒータにおいて、発熱抵抗体は、電流を流すための端子と接続された第１発熱抵抗要素と、前記第１発熱抵抗要素と接続され、前記第１発熱抵抗要素を重畳的に囲む相互に離間している１又は複数の環状区域のそれぞれに配置されている第２発熱抵抗要素と、隣り合う前記環状区域に配置されている前記第２発熱抵抗要素同士を接続する第３発熱抵抗要素とにより構成され、上面視においてシャフトの内側に位置しシャフトに最も近い第２発熱抵抗要素が、上面視において前記シャフトの外側に位置しシャフトに最も近い第２発熱抵抗要素と比較して、抵抗値が大きいものとされ、前記上面視において前記シャフトの内側に位置し当該シャフトに最も近い前記第２発熱抵抗要素が、外側から中心部に向う部分を有するように蛇行していること。」
　そして、甲４の記載事項は、第１発熱抵抗要素、第２発熱抵抗要素及び第３発熱抵抗要素により構成されているセラミックスヒータの発熱抵抗体という基本的構造において甲１発明２と共通しており、また、被加熱物の載置面の温度分布を均一化するものであるところ、甲１発明２においても均一加熱を課題とするものであるから（甲１の段落０００５〜０００７、００３７及び００８０）、甲１発明２の発熱体Ｗ２（上側発熱抵抗体）に甲４の記載事項を適用し、上記相違点３−２に係る本件訂正発明３の構成とすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
ｃ　効果について
　そして、本件訂正発明３は、上記相違点３−１を備えることにより、「第１下側発熱抵抗要素の抵抗値が小さくなり、この部分での発熱が抑制されることにより、基材の均熱化を図ることが可能となる。」（本件特許の明細書の段落０００９）という効果に加え、「第１下側発熱抵抗要素の領域を可能な限り広くできる。これに、第１下側発熱抵抗要素の抵抗値がさらに小さくなり、この部分での発熱がさらに抑制されることにより、基材のさらなる均熱化を図ることが可能となる。」（本件特許明細書の段落００１２）という所期の効果を奏するものである。
ｄ　まとめ
　したがって、本件訂正発明３は、甲１発明２、甲２の記載事項、甲３の記載事項及び甲４の記載事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
イ　本件訂正発明４について
（ア）対比
　本件訂正発明４と甲１発明２とを、上記ア（ア）の対比を踏まえて対比すると、両者は相違点３−１及び相違点３−２に加えて、次の点で相違する。
［相違点４−１］
　本件訂正発明４は、前記上面視において前記シャフトの内側に位置し当該シャフトに最も近い前記第２上側発熱抵抗要素は、外側から中心部に向う部分を有するように蛇行している」のに対して、甲１発明２は、そのような構成を有していない点。
（イ）判断
ａ　相違点３−１について
　上記ア（イ）ａのとおり、甲１発明２において、上記相違点３−１に係る本件訂正発明４の構成とすることは、当業者が容易に想到し得たことではない。
ｂ　相違点３−２について
　上記ア（イ）ｂのとおり、甲１発明２の発熱体Ｗ２（上側発熱抵抗体）に甲４の記載事項を適用し、上記相違点３−２に係る本件訂正発明４の構成とすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
ｃ　相違点４−１について
　上記ア（イ）ｂで示したように、甲４の記載事項において、上面視においてシャフトの内側に位置し当該シャフトに最も近い第２発熱抵抗要素が、外側から中心部に向う部分を有するように蛇行している構成を備えているといえる。
　したがって、上記ア（イ）ｂの検討を踏まえると、甲１発明２の発熱体Ｗ２（上側発熱抵抗体）に甲４の記載事項を適用し、上記相違点４−１に係る本件訂正発明４の構成とすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
ｄ　効果について
　そして、本件訂正発明４は、上記相違点３−１を備えることにより、「第１下側発熱抵抗要素の抵抗値が小さくなり、この部分での発熱が抑制されることにより、基材の均熱化を図ることが可能となる。」（本件特許の明細書の段落０００９）という効果に加え、「第１下側発熱抵抗要素の領域を可能な限り広くできる。これに、第１下側発熱抵抗要素の抵抗値がさらに小さくなり、この部分での発熱がさらに抑制されることにより、基材のさらなる均熱化を図ることが可能となる。」（本件特許明細書の段落００１２）という所期の効果を奏するものである。
ｅ　まとめ
　したがって、本件訂正発明４は、甲１発明２、甲２の記載事項、甲３の記載事項及び甲４の記載事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
（４）小活
　上記（３）ア及びイのとおりであるから、本件特許の請求項３及び４に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものとはいえず、特許法第１１３条第２号に該当しない。
２　取消理由における理由３（サポート要件）について
（１）理由３（サポート要件）の概要
　訂正前の請求項３及び４に係る特許に対して、当審が令和３年３月５日に特許権者に通知した取消理由における理由３の要旨は、上記第５の「３　理由３（サポート要件）」に示したとおりである。
（２）当審の判断
　本件特許の発明が解決しようとする課題（以下「本件発明の課題」という。）は、「基材の均熱化を図ることが可能なセラミックスヒータを提供すること」（本件特許明細書の段落０００７）である。
　そして、本件訂正後の請求項３及び４において直接又は間接的に引用する請求項２には、「前記第１下側発熱抵抗要素は、少なくとも、上面視において、前記シャフトの外周の外側であって、かつ、前記上側発熱抵抗体の最外周より内側に位置する領域を含み、前記下側用端子と前記第２下側発熱抵抗要素とを前記第３下側発熱抵抗要素の幅で直線的に接続した領域の面積を超える面積を有する領域に配置されている」（１８〜２１行）という特定事項に加え、「前記第１下側発熱抵抗要素」は、「前記上側用端子と電気的に接続される構造と離間しつつ、前記セラミックス基材を上下方向に貫通する孔を除き、上面視において前記上側発熱抵抗体の最外周より内側の領域の全面に亘って配置されている」（１９〜２１）という特定事項を備えており、これにより、下側用端子と第２下側発熱抵抗要素とを第３下側発熱抵抗要素の幅と同程度の幅で直線的に接続する領域に第１下側発熱抵抗要素が配置されている従来のセラミックスヒータと比較して、第１下側発熱抵抗要素の存在する領域の面積が大きくなることで、第１下側発熱抵抗要素の抵抗値が小さくなり、この部分での発熱が抑制されることにより、基材の均熱化を図ることが可能となることから（本件特許の明細書の段落０００９）、本件訂正発明３及び４は本件発明の課題を解決することができるものと認められる。
　そうすると、本件訂正後の特許請求の範囲における請求項３及び４の記載は、本件訂正発明３及び４が、発明の詳細な説明において、本件発明の課題が解決できることを当業者が認識できるように記載された範囲を超えるものとはいえない。
（３）小活
　したがって、本件特許の請求項３及び４に係る特許は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものでないから、特許法第１１３条第４号に該当しない。
第８　取消理由通知において採用しなかった特許異議申立理由について
１　特許法第２９条第２項（進歩性）の特許異議申立理由の概要について
　取消理由通知において採用しなかった特許異議申立理由の要旨は、上記第４の１（２）に示したとおり、「本件の請求項２に係る発明は、甲第１号証及び甲第３号証の記載に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。」というものである。
２　甲１及び甲３について
　甲１及び甲３の記載並びに甲１発明１及び甲３の記載事項は、上記第７の１（２）ア及びウに示したとおりである。
３　当審の判断
（１）対比
　本件訂正発明２と甲１発明１とを、上記第７の１（３）ア（ア）の対比を踏まえて対比すると、両者の間には次の一致点及び相違点が認められる。
［一致点］
「セラミックスからなり、上面に被加熱物が載置されるセラミックス基材と、
　前記セラミックス基材に埋設された下側発熱抵抗体と、
　前記下側発熱抵抗体より上側にて前記セラミックス基材に埋設された上側発熱抵抗体と、
　セラミックスからなり、前記セラミックス基材の下面の中心部に接続された中空のシャフトと、
　前記下側発熱抵抗体に電流を流すための下側用端子と、
　前記上側発熱抵抗体に電流を流すための上側用端子とを備えたセラミックスヒータであって、
　前記下側発熱抵抗体は、前記下側用端子と接続された第１下側発熱抵抗要素と、前記第１下側発熱抵抗要素と接続され、上面視において前記上側発熱抵抗体の最外周より外側であって、前記第１下側発熱抵抗要素を重畳的に囲む相互に離間している１又は複数の下側環状区域のそれぞれに配置されている第２下側発熱抵抗要素と、隣り合う前記下側環状区域に配置されている前記第２下側発熱抵抗要素同士を接続する第３下側発熱抵抗要素とにより構成され、
　前記上側発熱抵抗体は、上面視において、前記シャフトの外周の内側及び外側に位置する領域に配置されており、
　前記第１下側発熱抵抗要素は、少なくとも、上面視において、前記シャフトの外周の外側であって、かつ、前記上側発熱抵抗体の最外周より内側に位置する領域を含み、前記下側用端子と前記第２下側発熱抵抗要素とを前記第３下側発熱抵抗要素の幅で直線的に接続した領域の面積を超える面積を有する領域に配置されている、セラミックスヒータ。」
［相違点］
［相違点２−１］
　本件訂正発明２は、「前記第１下側発熱抵抗要素」は、「前記上側用端子と電気的に接続される構造と離間しつつ、前記セラミックス基材を上下方向に貫通する孔を除き、上面視において前記上側発熱抵抗体の最外周より内側の領域の全面に亘って配置されている」のに対して、甲１発明１では、そのような構成を有していない点。
（２）判断
ア　相違点２−１について
　上記相違点２−１は上記相違点３−１と同じであり、上記第７の１（３）ア（イ）ａの検討を踏まえると、甲１発明１において、甲３の記載事項を考慮しても、上記相違点２−１に係る本件訂正発明２の構成とすることは、当業者が容易に想到し得たことではない。
イ　効果について
　そして、本件訂正発明２は、上記相違点２−１を備えることにより、「第１下側発熱抵抗要素の抵抗値が小さくなり、この部分での発熱が抑制されることにより、基材の均熱化を図ることが可能となる。」（本件特許の明細書の段落０００９）という効果に加え、「第１下側発熱抵抗要素の領域を可能な限り広くできる。これに、第１下側発熱抵抗要素の抵抗値がさらに小さくなり、この部分での発熱がさらに抑制されることにより、基材のさらなる均熱化を図ることが可能となる。」（本件特許明細書の段落００１２）という所期の効果を奏するものである。
ウ　まとめ
　したがって、本件訂正発明２は、甲１発明１及び甲３の記載事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
（３）小活
　上記（２）のとおりであるから、本件特許の請求項２に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものとはいえず、特許法第１１３条第２号に該当しない。
第９　むすび
　以上のとおり、本件特許の請求項２〜４に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反するものではないとともに、本件特許の請求項３、４に係る特許は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たさない特許出願に対してされたものではないから、特許法第１１３条第２号及び第４号には該当せず、取消理由通知書に記載した取消理由又は特許異議申立書に記載された特許異議申立理由によっては、取り消すことができない。
　また、他に本件特許の請求項２〜４に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　さらに、本件特許の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについては、不適法な特許異議の申立てであって、その補正をすることができないものであるから、特許法第１２０条の８第１項で準用する同法第１３５条の規定により却下すべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
令和３年８月２０日（２０２１．８．２０）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
（削除）
　【請求項２】
　セラミックスからなり、上面に被加熱物が載置されるセラミックス基材と、
　前記セラミックス基材に埋設された下側発熱抵抗体と、
　前記下側発熱抵抗体より上側にて前記セラミックス基材に埋設された上側発熱抵抗体と、
　セラミックスからなり、前記セラミックス基材の下面の中心部に接続された中空のシャフトと、
　前記下側発熱抵抗体に電流を流すための下側用端子と、
　前記上側発熱抵抗体に電流を流すための上側用端子とを備えたセラミックスヒータであって、
　前記下側発熱抵抗体は、前記下側用端子と接続された第１下側発熱抵抗要素と、前記第１下側発熱抵抗要素と接続され、上面視において前記上側発熱抵抗体の最外周より外側であって、前記第１下側発熱抵抗要素を重畳的に囲む相互に離間している１又は複数の下側環状区域のそれぞれに配置されている第２下側発熱抵抗要素と、隣り合う前記下側環状区域に配置されている前記第２下側発熱抵抗要素同士を接続する第３下側発熱抵抗要素とにより構成され、
　前記上側発熱抵抗体は、上面視において、前記シャフトの外周の内側及び外側に位置する領域に配置されており、
　前記第１下側発熱抵抗要素は、少なくとも、上面視において、前記シャフトの外周の外側であって、かつ、前記上側発熱抵抗体の最外周より内側に位置する領域を含み、前記下側用端子と前記第２下側発熱抵抗要素とを前記第３下側発熱抵抗要素の幅で直線的に接続した領域の面積を超える面積を有する領域に配置され、
るセ
　【請求項３】
　前記上側発熱抵抗体は、前記上側用端子と接続された第１上側発熱抵抗要素と、前記第１上側発熱抵抗要素と接続され、前記第１上側発熱抵抗要素を重畳的に囲む相互に離間している１又は複数の上側環状区域のそれぞれに配置されている第２上側発熱抵抗要素と、隣り合う前記上側環状区域に配置されている前記第２上側発熱抵抗要素同士を接続する第３上側発熱抵抗要素とにより構成され、
　上面視において前記シャフトの内側に位置し当該シャフトに最も近い前記第２上側発熱抵抗要素は、上面視において前記シャフトの外側に位置し最も近い前記第２上側発熱抵抗要素と比較して、抵抗値が大きいことを特徴とする請求項
２
　【請求項４】
　前記上面視において前記シャフトの内側に位置し当該シャフトに最も近い前記第２上側発熱抵抗要素は、外側から中心部に向う部分を有するように蛇行していることを特徴とする請求項３に記載のセラミックスヒータ。