(57)【要約】【課題】圧力発生室を区画する隔壁の端部近傍の破壊や端部近傍の振動板の破壊を防止し得る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】ノズル開口２１に連通し隔壁１１によって区画された複数の圧力発生室１２が並設された流路形成基板１０と、この流路形成基板１０に接合された振動板５０と、圧力発生室１２の共通の液体室となるリザーバ１００と、隔壁１１のリザーバ１００側の先端部１１ａに、流路形成基板１０の厚さ方向に亘って設けられた溝部１６と、溝部１６から隔壁１１の先端部１１ａと振動板５０とが形成する角部１８に亘って連続して設けられて振動板５０に接着された接着剤１７とを備える。【選択図】図２
2010131821.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口に連通し隔壁によって区画された複数の圧力発生室が並設された第１の基材と、
前記第１の基材の一方面に設けられた第２の基材と、
前記圧力発生室の共通の液体室となるリザーバと、
前記隔壁の前記リザーバ側の先端部に、第２の基材の厚さ方向に亘って設けられた溝部と、
前記溝部から前記隔壁の前記先端部と前記第２の基材とが形成する角部に亘って連続して設けられて前記第２の基材に接着された接着剤とを備える
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記リザーバと前記圧力発生室との間に、隣り合う前記隔壁の間の幅が前記圧力発生室の幅よりも狭い液体供給路が設けられ、
前記溝部は、前記隔壁の前記液体供給路よりも前記リザーバ側に設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記隔壁は、前記圧力発生室の並設方向における当該隔壁の幅が前記リザーバ側に向かって漸減するように形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記第１の基材には、前記ノズル開口が設けられたノズルプレートが前記接着剤で接合され、
前記接着剤は、前記溝部から前記角部にまで延設されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドとしては、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させる撓み振動モードの圧電素子を有するアクチュエータ装置を使用したものが知られている。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドとしては、ノズル開口に連通し、隔壁によって区画された複数の圧力発生室が並設された流路形成基板と、流路形成基板の圧力発生室に相対向する領域に振動板となる絶縁膜を介して下電極膜、圧電体層及び上電極膜を積層形成した圧電素子と、流路形成基板に接合されて圧力発生室の共通のインク室となるリザーバの一部を構成するリザーバ部が設けられたリザーバ形成基板とを備えている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、流路形成基板には、リザーバ部からのインクを各圧力発生室に供給するためのインク供給経路が圧力発生室毎に設けられている。これら各インク供給経路は、圧力発生室の幅方向両側の隔壁を延設することで圧力発生室毎に区画されている。さらに、各隔壁の上面が振動板を介してリザーバ形成基板に接合されると共に、各隔壁の下面がノズルプレートに接合されている。
【特許文献１】特開２００７−２６１２１５号公報（第２図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような構造のインクジェット式記録ヘッドにおいては、例えば、流路形成基板とノズルプレートとの線膨張係数の差から全体に反り応力が発生し、流路形成基板の強度が比較的弱い部分、具体的には、インク供給経路の幅方向両側の隔壁の端部近傍に応力が加わり、その隔壁の端部近傍が破壊されるという問題がある。
【０００６】
そして、上述した接合体に反り応力、詳細には、ノズルプレートの表面が凹面となる反り応力が発生し、隔壁がノズルプレートに引っ張られると共に、この隔壁の上面が接合された振動板が引っ張られ、その結果、振動板がクラック（割れ）等で破壊されるという問題がある。
【０００７】
このように、各圧力発生室を区画する隔壁の端部近傍で、反り応力に起因する破壊が生じる虞があり、インクジェット式記録ヘッドの品質及び性能が低下する虞があるという問題がある。なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、勿論、インク以外の液体を噴射する他の液体噴射ヘッドにおいても、同様に存在する。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、各圧力発生室を区画する隔壁の端部近傍の破壊や当該端部近傍の振動板の破壊を防止し得る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通し隔壁によって区画された複数の圧力発生室が並設された第１の基材と、前記第１の基材の一方面に設けられた第２の基材と、前記圧力発生室の共通の液体室となるリザーバと、前記隔壁の前記リザーバ側の先端部に、第２の基材の厚さ方向に亘って設けられた溝部と、前記溝部から前記隔壁の前記先端部と前記第２の基材とが形成する角部に亘って連続して設けられて前記第２の基材に接着された接着剤とを備えることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、接着剤が溝部から角部に延設されることで、角部に加わる応力が緩和され、応力破壊に弱い隔壁の先端部を接着剤で保護することができる。これにより、隔壁の先端部に応力が加わっても、当該応力を緩和して先端部の破壊を防止することができる。また、角部にまで設けられた接着剤により応力が緩和されるので、反りに伴い隔壁が引っ張られ、更に振動板が引っ張られても、振動板にクラックが生じることが抑止される。
【００１０】
ここで、前記リザーバと前記圧力発生室との間に、隣り合う前記隔壁の間の幅が前記圧力発生室の幅よりも狭い液体供給路が設けられ、前記溝部は、前記隔壁の前記液体供給路よりも前記リザーバ側に設けられていることが好ましい。これによれば、隔壁の先端部に近い位置に溝部が設けられているので、接着剤を溝部から角部にまで確実に延設して当該角部を保護できる。
【００１１】
また、前記隔壁は、前記圧力発生室の並設方向における当該隔壁の幅が前記リザーバ側に向かって漸減するように形成されていてもよい。これによれば、幅が漸減した先端部であっても、接着剤により角部が保護されるので、先端部や振動板にクラックが生じることを防止できる。
【００１２】
また、前記第１の基材には、前記ノズル開口が設けられたノズルプレートが前記接着剤で接合され、前記接着剤は、前記溝部から前記角部にまで延設されていることが好ましい。これによれば、ノズルプレートを流路形成基板に接着すれば、接着剤が毛細管現象で溝部から角部にまで達するので、当該接着の工程と、溝部から角部に至る接着剤を設ける工程とを個別に行う必要が無く、合理的に液体噴射ヘッドが製造され、これによる低コスト化した液体噴射ヘッドが提供される。
【００１３】
また、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、耐久性に優れた液体噴射装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。
〈実施形態１〉
図１は、本実施形態に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図、図２（ａ）は図１の平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ′線断面図、図３（ａ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ′線断面図、図３（ｂ）は図２（ａ）のＣ−Ｃ′線断面図である。
【００１５】
図示するように、第１の基材の一例である流路形成基板１０は、本実施形態では結晶面方位が（１１０）であるシリコン単結晶基板からなり、その一方面には酸化膜からなる弾性膜５１が形成されている。流路形成基板１０には、隔壁１１によって区画され一方側の面が弾性膜５１で構成される複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設されている。
【００１６】
流路形成基板１０には、圧力発生室１２の長手方向一端部側に、隔壁１１によって区画され各圧力発生室１２に連通するインク供給路１３と連通路１４とが設けられている。連通路１４の外側には、各連通路１４と連通する連通部１５が設けられている。この連通部１５は、後述するリザーバ形成基板３０のリザーバ部３２と連通して、各圧力発生室１２の共通のインク室（液体室）となるリザーバ１００の一部を構成する。
【００１７】
ここで、インク供給路１３は、圧力発生室１２よりも狭い断面積となるように形成されており、連通部１５から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。例えば、インク供給路１３は、リザーバ１００と各圧力発生室１２との間の圧力発生室１２側の流路を幅方向に絞ることで、圧力発生室１２の幅より小さい幅で形成されている。なお、本実施形態では、流路の幅を片側から絞ることでインク供給路１３を形成したが、流路の幅を両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。また、流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向から絞ることでインク供給路を形成してもよい。また、各連通路１４は、圧力発生室１２の幅方向両側の隔壁１１を連通部１５側に延設してインク供給路１３と連通部１５との間の空間を区画することで形成されている。
【００１８】
なお、流路形成基板１０の材料として、本実施形態ではシリコン単結晶基板を用いているが、勿論これに限定されず、例えば、ガラスセラミックス、ステンレス鋼等を用いてもよい。
【００１９】
流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１３とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤１７によって固着されている。なお、ノズルプレート２０は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、ステンレス鋼などからなる。
【００２０】
一方、このような流路形成基板１０の開口面とは反対側には、振動板５０を介して圧電素子３００が形成されている。そして、ここでは、この圧電素子３００と圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板５０とを合わせてアクチュエータと称する。本実施形態では、流路形成基板１０上に、上述したように弾性膜５１が形成され、この弾性膜５１上には、弾性膜５１とは異なる材料の酸化膜からなる絶縁体膜５２が形成され、これら弾性膜５１と絶縁体膜５２とで振動板５０が構成されている。
【００２１】
隔壁１１のリザーバ１００側の先端部１１ａには、流路形成基板１０の厚さ方向に亘り、流路形成基板１０の開口面からその反対側の面に達する溝部１６が延設されている。本実施形態では、ウェットエッチングにより、断面形状がくさび状の溝部１６が形成されている。なお、隔壁１１の先端部１１ａとは、本実施形態では、インク供給路１３よりもリザーバ１００側、すなわち隔壁１１の連通路１４を区画している部分をいう。
【００２２】
流路形成基板１０とノズルプレート２０とを接合する接着剤１７は、この溝部１６から振動板５０と先端部１１ａとが形成する角部１８（振動板５０と先端部１１ａとの境界部）にまで延設され、接着剤１７は振動板５０に接着されている。
【００２３】
接着剤１７は、例えばエポキシ樹脂などからなり、ノズルプレート２０の一方面に塗布され、そのノズルプレート２０が流路形成基板１０に接合されたときに、毛細管現象により溝部１６を経由し、反対側の振動板５０に達し、更に先端部１１ａと振動板５０との角部１８にまで至り硬化したものである。本実施形態では、インク供給路１３よりもリザーバ１００側、すなわち、隔壁１１の連通路１４を区画する部分と振動板５０とが形成する角部１８に接着剤１７が設けられている。
【００２４】
接着剤１７が溝部１６から角部１８に延設されることで、角部１８に接着剤１７でフィレットを形成したことと同等の効果が得られ、角部１８に加わる応力が緩和される。これにより、応力破壊に弱い隔壁１１の先端部１１ａを接着剤１７で保護することができる。したがって、ノズルプレート２０に反り応力が生じたこと等により隔壁１１の先端部１１ａに応力が加わっても、当該応力を緩和して先端部１１ａの破壊を防止することができる。また、角部１８にまで設けられた接着剤１７により応力が緩和されるので、ノズルプレート２０の反りに伴い隔壁１１が引っ張られ、更に振動板５０が引っ張られても、振動板５０にクラックが生じることが抑止される。
【００２５】
また、仮に振動板５０の角部１８近傍でクラックが生じても、接着剤１７で角部１８が覆われているので、リザーバ１００等のインクが振動板５０のクラックに侵入してしまうことを防止できる。
【００２６】
このように、隔壁１１の先端部１１ａやその近傍の振動板５０にクラックが生じることが防止されるため、耐久性の高いインクジェット式記録ヘッドが提供される。
【００２７】
なお、接着剤１７は、溝部１６から角部１８に連続して設けられているので、角部１８にのみ接着剤１７を設けた場合よりも振動板５０から剥がれにくくなっている。このため、角部１８を接着剤１７で確実に保護できるようになっている。更に、ノズルプレート２０を流路形成基板１０に接着すれば、接着剤１７が毛細管現象で溝部１６から角部１８にまで達するので、当該接着の工程と、溝部１６から角部１８に至る接着剤１７を設ける工程とを個別に行う必要が無く、合理的に液体噴射ヘッドが製造され、これにより低コスト化した液体噴射ヘッドが提供される。
【００２８】
振動板５０（第２の基材）上には、下電極膜６０と圧電体層７０と上電極膜８０とからなる圧電素子３００が形成されている。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を有する部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極を圧電体層７０と共に圧力発生室１２毎にパターニングして個別電極とする。
【００２９】
本実施形態では、下電極膜６０を圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板５０とを合わせてアクチュエータ装置と称する。なお、上述した例では、弾性膜５１、絶縁体膜５２が振動板５０として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜５１及び絶縁体膜５２を設けずに、下電極膜６０のみが振動板として作用するようにしてもよいし、弾性膜５１、絶縁体膜５２及び下電極膜６０が振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電素子３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００３０】
圧電体層７０は、下電極膜６０上に形成される電気機械変換作用を示す圧電材料、特に圧電材料の中でもペロブスカイト構造の強誘電体材料からなる。圧電体層７０としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電体材料や、これに酸化ニオブ、酸化ニッケル又は酸化マグネシウム等の金属酸化物を添加したもの等が好適である。具体的には、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）、ジルコニウム酸鉛（ＰｂＺｒＯ３）、チタン酸鉛ランタン（（Ｐｂ，Ｌａ），ＴｉＯ３）、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン（（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）又は、マグネシウムニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）（Ｍｇ，Ｎｂ）Ｏ３）等を用いることができる。
【００３１】
また、圧電素子３００の個別電極である各上電極膜８０には、インク供給路１３側の端部近傍から引き出され、絶縁体膜５２上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されている。
【００３２】
このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上、すなわち、下電極膜６０、絶縁体膜５２及びリード電極９０上には、リザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部３２を有するリザーバ形成基板３０が接着剤３５を介して接合されている。このリザーバ部３２は、本実施形態では、リザーバ形成基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１５と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。
【００３３】
また、リザーバ形成基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３１が設けられている。圧電素子保持部３１は、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。
【００３４】
このようなリザーバ形成基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００３５】
また、リザーバ形成基板３０には、リザーバ形成基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられている。そして、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、貫通孔３３内に露出するように設けられている。
【００３６】
また、リザーバ形成基板３０上には、並設された圧電素子３００を駆動するための駆動回路２００が固定されている。この駆動回路２００としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。そして、駆動回路２００とリード電極９０とは、ボンディングワイヤ等の導電性ワイヤからなる接続配線２１０を介して電気的に接続されている。
【００３７】
また、このようなリザーバ形成基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってリザーバ部３２の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバ１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバ１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００３８】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段と接続したインク導入口からインクを取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路２００からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５１、絶縁体膜５２、下電極膜６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００３９】
〈実施形態２〉
上述した実施形態においては、溝部１６は、断面形状がくさび状であったがこのような形状に限定されず、また、溝部１６は、リザーバ１００に臨むよう設けられていたが、このような位置に設けられる場合に限定されない。
【００４０】
図４は、本発明の実施形態２に係る溝部を説明するための流路形成基板の平面図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図示するように、隔壁１１Ａは、圧力発生室１２の並設方向における隔壁１１Ａの幅が、リザーバ１００の一部を構成する連通部１５に向かって漸減している。この隔壁１１Ａの幅が漸減している領域近傍の先端部１１ｂであっても、接着剤１７により角部１８が保護されるので、先端部１１ｂや振動板５０にクラックが生じることが防止される。
【００４１】
また、隔壁１１Ａには、流路形成基板１０の厚さ方向に亘って複数の溝部１６Ａがドライエッチングにより形成され、これらの断面形状は半球状になっている。もちろん、このように複数設ける必要はなく、一つでもよい。
【００４２】
これらの複数の溝部１６Ａはいずれも、隔壁１１Ａのインク供給路１３よりも連通部１５（リザーバ１００）側に設けられている。すなわち、いずれの溝部１６Ａも、隔壁１１Ａの先端に近い位置に設けられているので、ノズルプレート２０からの接着剤１７を先端部１１ｂと振動板５０との角部１８にまで確実に延設することができる。なお、隔壁１１、１１Ａにインク供給路１３が設けられていない場合は、隔壁１１、１１Ａの先端近傍の領域に溝部を設ければよい。この場合でも、隔壁１１、１１Ａの先端部と振動板５０との角部１８を接着剤１７で保護することができる。
【００４３】
〈他の実施形態〉
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。
【００４４】
実施形態１では、溝部１６から角部１８にまで延設された接着剤１７は、ノズルプレート２０と流路形成基板１０とを接着する接着剤１７が延設されたものであったが、別であってもよい。すなわち、溝部１６から角部１８にまで接着剤１７を設け、その後、ノズルプレート２０を流路形成基板１０に接合してもよい。この場合でも、隔壁１１の先端部１１ａと振動板５０との角部１８に接着剤１７が設けられていることで、先端部１１ａにかかる応力を緩和し、クラックの発生を防止できる。
【００４５】
また上述した実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図５は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図示するように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の被記録媒体Ｓがプラテン８上を搬送されるようになっている。
【００４６】
もちろん、上述したインクジェット式記録装置では、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂがキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂが固定されて、紙等の被記録媒体Ｓを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００４７】
なお、上述した実施形態においては、本発明の液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを説明したが、液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。本発明は、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射するものにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図及び断面図である。
【図３】実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【図４】実施形態２に係る溝部を説明するための流路形成基板の平面図である。
【図５】他の実施形態に係る記録装置の一例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００４９】
１０  流路形成基板、  １１、１１Ａ  隔壁、  １１ａ、１１ｂ  先端部、  １２  圧力発生室、  １３  インク供給路、  １４  連通路、  １５  連通部、  １６、１６Ａ  溝部、  １７  接着剤、  １８  角部、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ３０  リザーバ形成基板、  ３１  圧電素子保持部、  ３２  リザーバ部、  ３３  貫通孔、  ４０  コンプライアンス基板、  ５０  振動板、  ６０  下電極膜、  ７０  圧電体層、  ８０  上電極膜、  ９０  リード電極、  １００  リザーバ、  ２００  駆動回路、  ２１０  接続配線、  ３００  圧電素子
【図１】
2010131821.tif 000003
【図２】
2010131821.tif 000004
【図３】
2010131821.tif 000005
【図４】
2010131821.tif 000006
【図５】
2010131821.tif 000007