(57)【要約】【課題】機能液タンクの設置高さが変更されても、機能液滴吐出ヘッドに機能液を適切に減圧供給することができる機能液供給装置およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題としている。【解決手段】機能液供給手段とインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドとを連通する機能液供給流路に、機能液供給手段側の第１圧力調整弁および機能液滴吐出ヘッド側の第２圧力調整弁を直列となるように介設し、いずれの圧力調整弁もバルブハウジング内の１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を、２次室の１の面を構成する受圧膜体により大気圧基準で開閉し、流入ポートから１次室に供給された機能液を、圧力調整し２次室を介して流出ポートに供給する、減圧機能を有する。【選択図】図５
2010210661.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液供給手段とインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドとを連通する機能液供給流路に、直列となるように２つの圧力調整弁を介設し、機能液を前記機能液供給手段から前記機能液滴吐出ヘッドに変動幅の小さな適正圧力で供給する機能液供給装置であって、
前記２つの圧力調整弁は、それぞれ減圧機能を有する前記機能液供給手段側の第１圧力調整弁と前記機能液滴吐出ヘッド側の第２圧力調整弁と、から成り、
前記第１圧力調整弁および前記第２圧力調整弁は、いずれも、バルブハウジング内の１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を、前記２次室の１の面を構成する受圧膜体により大気圧基準で開閉し、流入ポートから前記１次室に供給された機能液を、圧力調整し前記２次室を介して流出ポートに供給するものであることを特徴とする機能液供給装置。
【請求項２】
前記第１圧力調整弁は、主として前記第２圧力調整弁における１次側圧力が適正作動圧力となるように減圧する機能を有し、
前記第２圧力調整弁は、主として前記機能液滴吐出ヘッド内の圧力の変動幅を抑える機能を有することを特徴とする請求項１に記載の機能液供給装置。
【請求項３】
前記第１圧力調整弁の受圧膜体に比して前記第２圧力調整弁の受圧膜体は、応答性の低いもので構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の機能液供給装置。
【請求項４】
前記第２圧力調整弁は、前記機能液滴吐出ヘッドの上流側近傍における前記機能液供給流路に介設されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の機能液供給装置、を備え、
ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力調整弁を介して機能液供給手段から機能液滴吐出ヘッドに機能液を減圧供給する機能液供給装置およびこれを備えた液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液滴吐出装置の機能液供給装置において、機能液タンクから圧力調整弁を経て機能液滴吐出ヘッドに機能液を減圧供給するものが知られている（特許文献１参照）。この圧力調整弁は、機能液タンクに接続した１次室と機能液滴吐出ヘッドに接続した２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を、２次室の１の面を構成すると共に外部に面したダイヤフラム（受圧膜体）によって大気圧基準で開閉動作させ、機能液滴吐出ヘッドに対して機能液を所定の圧力で減圧供給するようになっている。
そして、機能液タンクは、Ｙ軸テーブルに搭載されたキャリッジユニットの最上部に設けたブリッジプレートに搭載され、圧力調整弁は、キャリッジユニットの最下部に設けた機能液滴吐出ヘッドの近傍に配設されている。すなわち、圧力調整弁は、機能液滴吐出ヘッドの吐出特性に影響を与えないように機能液滴吐出ヘッドに近傍に配設される一方、重量物である機能液タンクは、慣性の影響が極力機能液滴吐出ヘッドに及ばないように、Ｙ軸テーブルのスライダに設けたブリッジプレートに搭載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−０８２５３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような従来の機能液供給装置では、液滴吐出装置の大型化に伴って、機能液滴吐出ヘッドに対する機能液タンクの設置位置が、高くなる傾向にある。かかる場合に、圧力調整弁の１次側にも高い圧力が作用し、弁体が開きにくくなるため、２次側の圧力の絶対値が変化してしまい、機能液滴吐出ヘッドの吐出特性に影響を与えるおそれがある。
すなわち、上記の圧力調整弁の構造では、弁体が閉弁するときには、弁体が弁座に接近するにしたがって機能液タンクからの水頭が急激に作用する。一方、弁体を開弁するときには、機能液タンクからの水頭に打ち勝つ力が、受圧膜体から加わることになる。このため、１次側の圧力が高ければ高いほど、弁体が開弁しづらくなり、２次側の圧力の絶対値が機能液滴吐出ヘッドの吐出動作に悪影響を及ぼすほどに低下してしまう。したがって、機能液タンクの高さの変更に伴って、圧力調整弁を汎用的に使用することができなくなる問題がある。
【０００５】
本発明は、機能液タンクの設置高さが変更されても、機能液滴吐出ヘッドに機能液を適切な一定の圧力で減圧供給することができる機能液供給装置およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の機能液供給装置は、機能液供給手段とインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドとを連通する機能液供給流路に、直列となるように２つの圧力調整弁を介設し、機能液を機能液供給手段から機能液滴吐出ヘッドに変動幅の小さな適正圧力で供給する機能液供給装置であって、２つの圧力調整弁は、それぞれ減圧機能を有する機能液供給手段側の第１圧力調整弁と機能液滴吐出ヘッド側の第２圧力調整弁と、から成り、第１圧力調整弁および第２圧力調整弁は、いずれも、バルブハウジング内の１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を、２次室の１の面を構成する受圧膜体により大気圧基準で開閉し、流入ポートから１次室に供給された機能液を、圧力調整し２次室を介して流出ポートに供給するものであることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、第１圧力調整弁と第２圧力調整弁とにより、機能液供給手段からの機能液の供給圧力を２段階で減圧して、機能液滴吐出ヘッドに供給することができる。これにより、各圧力調整弁が負担する減圧機能および圧力変動の抑制機能を略半減させることができ、装置の大型化に伴って機能液供給手段からの供給圧力が変更されることがあっても、圧力調整弁を設計変更することなく或いは軽度の設計変更により、これを汎用的に使用することができる。なお、機能液供給手段は、機能液滴吐出ヘッドに自然水頭で供給するタンクユニットでも良いし、圧力送液で供給する圧液気体またはポンプを用いた圧送ユニットでもよい。
【０００８】
この場合、第１圧力調整弁は、主として第２圧力調整弁における１次側圧力が適正作動圧力となるように減圧する機能を有し、第２圧力調整弁は、主として機能液滴吐出ヘッドへの流出圧力が適正作動圧力となるように減圧すると共に機能液滴吐出ヘッド内の圧力の変動幅を抑える機能を有することが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、所定の圧力に減圧した機能液を機能液滴吐出ヘッドに供給することができるだけでなく、圧力変動の小さい減圧機能液を機能液滴吐出ヘッドに供給することができる。したがって、機能液滴吐出ヘッドの吐出特性を損なうことなく、これを適切に機能させることができる。
【００１０】
これらの場合、第１圧力調整弁の受圧膜体に比して第２圧力調整弁の受圧膜体は、応答性の低いもので構成されていることが好ましい。
【００１１】
また、第２圧力調整弁は、機能液滴吐出ヘッドの上流側近傍における機能液供給流路に介設されていることが、好ましい。
【００１２】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドに、所定の圧力で且つ安定に機能液を減圧供給することができると共に、供給する機能液の圧力変動を極力抑えることができる。特に、受圧膜体を応答性の低いもので構成すれば、弁体の開閉動作がゆっくり且つ緩慢となるため、圧力変動を効果的に抑えることができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置は、上記した機能液供給装置、を備え、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドに機能液を安定的に減圧供給することができるため、機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動を安定化することができ、ワークへの描画品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。
【図２】液滴吐出装置に搭載されたキャリッジユニット（ヘッドユニット）の下半部の斜視図（ａ）および機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットを模式的に表した平面図（ｂ）である。
【図３】機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。
【図４】機能液供給装置の配管系統図である。
【図５】機能液滴供給装置を模式的に示した系統図である。
【図６】圧力調整弁の流入口側の縦断面図（ａ）および流出口側の縦断面図（ｂ）である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態に係る機能液供給装置を備えた液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）を用い、有機ＥＬ装置の各画素となる発光層やカラーフィルタのフィルタエレメント等を形成するものである。また、機能液供給装置は、圧力調整弁を介して機能液を適正圧力に減圧し、機能液滴吐出ヘッドに供給するものである。
【００１７】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１２ａ上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在してワークをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル１２と、複数本の支柱１１を介してＸ軸テーブル１２を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース１３ａ上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１３と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に吊設され、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド２５が搭載された１３個のキャリッジユニット１４と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバー１５と、チャンバー１５を貫通して機能液滴吐出ヘッド２５に機能液を供給する機能液供給ユニット１６（機能液供給手段）と、を備えており、チャンバー１５の側壁の一部には、機能液供給ユニット１６の主要部を為すメインタンク４０等を収納するタンクキャビネット５０が設けられている。この液滴吐出装置１は、制御装置１７により装置全体が統括制御され、Ｘ軸テーブル１２およびＹ軸テーブル１３の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド２５を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット１６から供給された３色の機能液滴を吐出させ、ワークに所定の描画パターンが描画される。
【００１８】
また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット２１、吸引ユニット２２、ワイピングユニット２３、吐出性能検査ユニット２４から成るメンテナンス装置１８を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド２５の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド２５の機能維持・機能回復を図るようになっている。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル１２とＹ軸テーブル１３とが交わる部分にキャリッジユニット１４を臨ませてワークの描画を行い、Ｙ軸テーブル１３とメンテナンス装置１８（吸引ユニット２２、ワイピングユニット２３）が交わる部分にキャリッジユニット１４を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド２５の機能維持・機能回復を行う。
【００１９】
図２に示すように、各キャリッジユニット１４は、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色、各４個（計１２個）の機能液滴吐出ヘッド２５と、１２個の機能液滴吐出ヘッド２５を６個ずつ２群に分けて支持するヘッドプレート２６から成るヘッドユニット１９を備えている。各キャリッジユニット１４は、一対のＹ軸支持ベース１３ａに掛け渡されたブリッジプレート１３ｂに吊設されている（図１参照）。また、ブリッジプレート１３ｂ上にはサブタンク４１が搭載されており、このサブタンク４１から自然水頭を利用し、かつ後述する２つの圧力調整弁２７，２８を介して各キャリッジユニット１４の機能液滴吐出ヘッド２５に機能液が供給されるようになっている（図５参照）。なお、キャリッジユニット１４の個数および各キャリッジユニット１４に搭載される機能液滴吐出ヘッド２５の個数は任意である。
【００２０】
図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド２５は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針３４を有する機能液導入部３１と、機能液導入部３１の側方に連なる２連のヘッド基板３２と、ヘッド基板３２の下方に連なる２連のポンプ部３３と、ポンプ部３３に連なるノズルプレート３５と、を備えている。機能液導入部３１には、後述する２本の第３流路４３ｃが接続され、ノズルプレート３５のノズル面ＮＦには、２列のノズル列ＮＬが相互に平行に列設されており、各ノズル列ＮＬは、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル３６で構成されている。ヘッド基板３２は、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介して上記の制御装置１７が接続されており、制御装置１７から出力された駆動波形が各ポンプ部３３（の圧電素子）に印加されることで、各吐出ノズル３６から機能液が吐出される。
【００２１】
図１および図４に示すように、機能液供給ユニット（機能液供給手段）１６は、チャンバー１５に併設のタンクキャビネット５０に収容された３個（３色）のメインタンク４０と、各ブリッジプレート１３ｂ上に配設された複数（１３個）のサブタンク４１と、メインタンク４０と複数のサブタンク４１とを接続するタンク連通流路４２と、を備えている。また、各サブタンク４１は機能液供給流路４３によって各機能液滴吐出ヘッド２５へ接続され、このサブタンク４１、機能液供給流路４３および機能液供給流路４３に介設した２つの圧力調整弁２７，２８により、各機能液供給装置２９が構成されている。メインタンク４０から送液された機能液は、タンク連通流路４２を通って各サブタンク４１に貯留される。機能液供給装置２９におけるサブタンク４１の機能液は、各機能液滴吐出ヘッド２５の駆動に応じ、機能液供給流路４３および２つの圧力調整弁２７，２８を介して、機能液滴吐出ヘッド２５に自然水頭で減圧供給される。
【００２２】
図１に示すように、フラッシングユニット２１は、一対の描画前フラッシングユニット２１ａと、定期フラッシングユニット２１ｂと、を有し、描画処理直前や、ワークの載換え時等の描画処理休止時に行われる、機能液滴吐出ヘッド２５の捨て吐出を受ける。吸引ユニット２２は、１３台のキャップユニット４４を有し、各機能液滴吐出ヘッド２５の吐出ノズル３６から機能液を強制的に吸引すると共に、キャッピングを行う。ワイピングユニット２３は、吸引後の機能液滴吐出ヘッド２５のノズル面ＮＦを拭取る。吐出性能検査ユニット２４は、機能液滴吐出ヘッド２５の吐出の有無および飛行曲りを検査する。
【００２３】
次に、図５を参照して、各機能液供給装置２９について詳細に説明する。機能液供給装置２９は、サブタンク４１（機能液供給手段）と、機能液滴吐出ヘッド２５を接続するチューブとしての機能液供給流路４３と、この機能液供給流路４３に直列となるように介設した上流側の第１圧力調整弁２７および下流側の第２圧力調整弁２８と、で構成されている。上述したように、サブタンク４１は、ブリッジプレート１３ｂ上に搭載されており、メインタンク４０から機能液の補給を受けると共に、機能液滴吐出ヘッド２５（実施形態では４つ）に機能液を供給する。
【００２４】
機能液供給流路４３は、気体不透過のチューブで構成され、サブタンク４１−第１圧力調整弁２７を接続する第１流路４３ａと、第１圧力調整弁２７−第２圧力調整弁２８を接続する第２流路４３ｂと、第２圧力調整弁２８−機能液滴吐出ヘッド２５を接続する第３流路４３ｃと、を有している。すなわち、第１圧力調整弁２７は、１次側に第１流路４３ａが２次側に第２流路４３ｂが接続され、第２圧力調整弁２８は、１次側に第２流路４３ｂが２次側に第３流路４３ｃ接続されている。また、第１流路４３ａには、開閉バルブ４３ｄが介設されており、例えばメインタンク４０からサブタンク４１に機能液を補給するときや、キャリッジユニット１４を交換（ヘッド交換）するとき、に機能液供給流路４３を閉止するようになっている。なお、第３流路４３ｃは分岐して、４つの機能液滴吐出ヘッド２５に接続されている。
【００２５】
実施形態の第１圧力調整弁２７と第２圧力調整弁２８とは、全く同一のものであり、サブタンク４１の機能液を２段階に減圧して、機能液滴吐出ヘッド２５に供給する。この場合、第１圧力調整弁２７には、主として第２圧力調整弁２８における１次側圧力が適正作動圧力となるように減圧する機能を持たせ、第２圧力調整弁２８には、主として機能液滴吐出ヘッド２５への流出圧力が適正作動圧力となるように減圧すると共に機能液滴吐出ヘッド２５内の圧力の変動幅を抑える機能を持たせるようにしている。このため、高さレベルにおいて、第２圧力調整弁２８は、機能液滴吐出ヘッド２５の近傍位置（ヘッドプレート２６に搭載）に、第１圧力調整弁２７は、サブタンク４１と第２圧力調整弁２８との略中間位置に配設されている。なお、本実施形態は、上記のように第１圧力調整弁２７が第２圧力調整弁２８の１次側の減圧に特化しているため、メインタンク４０から圧力調整弁への機能液の液面管理にそれほど精度が求められない。すなわち、サブタンク４１を介さずに、メインタンク４０から直接、圧力送液で機能液を供給するようにしてもよい。
【００２６】
また、実施形態の機能液供給装置２９では、１のサブタンク４１宛て４つ機能液滴吐出ヘッド２５（同色）が配設され（図４参照）、第１圧力調整弁２７および第２圧力調整弁２８も、４つ機能液滴吐出ヘッド２５に機能液を供給しているが、４つ（複数）機能液滴吐出ヘッド２５毎に第１圧力調整弁２７および第２圧力調整弁２８を設けるようにしてもよい。また、第１圧力調整弁２７をサブタンク４１に対応させて１個とし、第２圧力調整弁２８を機能液滴吐出ヘッド２５に対応させて４個（複数）としてもよい。いずれにあっても、流路分岐が必要となるが、複数の分岐流路は、同一の圧力損失となるように構成することは、言うまでもない。
【００２７】
第１圧力調整弁２７は、サブタンク４１よりも低位置且つ第２圧力調整弁２８よりも高位置に配設され、サブタンク４１から供給された機能液を第２圧力調整弁２８に大気圧基準（一定圧）で減圧供給するものであり、主要部を成す調整弁本体６０Ａと、調整弁本体６０Ａの流入側に差込み接合した流入コネクター６１Ａと、調整弁本体６０Ａの流出側に差込み接合した流出コネクター６２Ａと、を備えている。そして、流入コネクター６１Ａには、サブタンク４１に連なる第１流路４３ａが接続され、他方、流出コネクター６２Ａには、第２圧力調整弁２８に連なる第２流路４３ｂが接続されている。
【００２８】
第２圧力調整弁２８は、第１圧力調整弁２７よりも低位置且つ機能液滴吐出ヘッド２５に近接して配設され、第１圧力調整弁２７から供給された機能液をさらに大気圧基準（一定圧）で減圧して、機能液滴吐出ヘッド２５に供給するものであり、第１圧力調整弁２７と同様、主要部を成す調整弁本体６０Ｂと、調整弁本体６０Ｂの流入側に差込み接合した流入コネクター６１Ｂと、調整弁本体６０Ｂの流出側に差込み接合した流出コネクター６２Ｂと、を備えている。そして、流入コネクター６１Ｂには、第１圧力調整弁２７に連なる第２流路４３ｂが接続され、他方、流出コネクター６２Ｂには、機能液滴吐出ヘッド２５に連なる第３流路４３ｃが接続されている。
【００２９】
以下、図６を参照して、第１圧力調整弁２７の構造について説明する。なお、第２圧力調整弁２８においても略同様の構造を有しているため、説明の重複を避けるため、以下の説明に兼ねる。
【００３０】
調整弁本体６０は、略円板状で、かつ前面および後面の中央部が凹型形成されたバルブハウジング６４と、バルブハウジング６４と共に１次室６７を画成する蓋体６５と、バルブハウジング６４に受圧膜体８４（ダイヤフラム）を固定することでバルブハウジング６４と共に２次室６８を画成するドーナツ状の膜体押え部材６６と、で構成されており、バルブハウジング６４の中心部には、１次室６７および２次室６８を連通する調整弁連通流路６９が形成されている。なお、バルブハウジング６４、蓋体６５および膜体押え部材６６は、ステンレス等の耐食性材料で形成されている。
【００３１】
蓋体６５および膜体押え部材６６は、円形の受圧膜体８４の中心を通る軸線と同心円となる外形を有しており、バルブハウジング６４を前後方向から挟み込むようにネジ止めされている。また、蓋体６５および膜体押え部材６６は、バルブハウジング６４に対し、各々シールリングＳを挟込み込んで相互に固定され、１次室６７および２次室６８を液密に構成している。
【００３２】
１次室６７は、受圧膜体８４と同心となる略円柱形状に形成され、１次室６７の上部には、１次室６７から径方向斜めに延びる流入ポート７１が形成されている。また、１次室６７の中心部には、調整弁連通流路６９が開口している。そして、調整弁連通流路６９の１次室６７側には、調整弁連通流路６９の開口周縁部を弁座として、調整弁連通流路６９を開閉する弁体７０が臨んでいる。また、弁体７０は、これと蓋体６５との間に介設した弁体付勢ばね７２によって、閉弁方向（２次室６８側）に弱い力で付勢されている。
【００３３】
図６（ａ）に示すように、流入ポート７１は、流入コネクター６１が差込み接合される流入接合受け部７３と、流入接合受け部７３に連なるフィルター７５を収容するフィルター収容部７４と、フィルター収容部７４と１次室６７とを連通する流入流路部７６と、から構成されている。流入接合受け部７３には、流入コネクター６１の流入接続口部６１ａが差し込み接合される。フィルター収容部７４には、フィルター７５が、流入コネクター６１との間に介設した押えばね７７に付勢された状態で収容されている。
【００３４】
２次室６８は、受圧膜体８４が膜体押え部材６６によりバルブハウジング６４に取り付けられ、バルブハウジング６４に凹型形成した内面壁６８ａと受圧膜体８４とによって、全体として受圧膜体８４を底面とする円錐台形状に形成されている。すなわち、内面壁６８ａは、テーパー部位６８ｂを有する有底すり鉢状に形成されている。また、２次室６８の下部には、２次室６８から真下に延びる流出ポート８１（の流出流路部８６）が、テーパー部位６８ｂに開口している（いずれも図６（ｂ）参照）。また、２次室６８の中心部には、上記した調整弁連通流路６９が開口しており、調整弁連通流路６９の２次室６８側の周縁部と受圧膜体８４との間には、受圧膜体８４を前方向に向かって付勢する膜体付勢ばね８２が介設されている。
【００３５】
受圧膜体８４（ダイヤフラム）は、樹脂フィルムで構成した膜体本体８４ａと、膜体本体８４ａの中央部に接着した樹脂製の受圧板８４ｂとで構成されている。受圧板８４ｂは、膜体本体８４ａと同心の円板状に、且つ膜体本体８４ａに対し十分に小さい径に形成されており、その中央に上記の弁体７０が離接するようになっている。
【００３６】
弁体７０は弾性材で構成され、弁座となる調整弁連通流路６９の１次室６７側の開口周縁部に離接することで調整弁連通流路６９を開閉する。また、弁体７０に先端部は、調整弁連通流路６９を挿通して延在しており、この先端部が上記の受圧板８４ｂに当接し開閉動作するようになっている。
【００３７】
図６（ｂ）に示すように、流出ポート８１は、流入ポート７１と同様の形態を有しており、流出コネクター６２が差込み接合される流出接合受け部８５と、流出接合受け部８５と２次室６８とを連通する流出流路部８６と、から構成されている。流出接合受け部８５には、流出コネクター６２の流出接続口部６２ａが差し込み接合される。なお、流入ポート７１および流出ポート８１は、機能液の流れ方向とフィルター７５の有無とにおいて異なるが、接合部分の基本形態は同一である。
【００３８】
以上の構成により、第１圧力調整弁２７および第２圧力調整弁２８では、機能液の流出および吐出により２次室６８の圧力が低くなると、受圧膜体８４が後方（内側）に変形し、受圧板８４ｂが弁体７０を後方に押して開弁し、１次室６７から２次室６８に機能液が流入する。機能液の流入が進み２次室６８の圧力が高まると、受圧膜体８４が前方（外側）に変形し、弁体７０が閉弁する。このように、第１圧力調整弁２７および第２圧力調整弁２８は、大気圧と２次室６８の内部圧力とのバランスにより受圧膜体８４が変形することで調整弁連通流路６９を開閉する。
【００３９】
その際、弁体付勢ばね７２および膜体付勢ばね８４に力が分散して作用し、且つ弁体７０の弾性力により、弁体７０は極めてゆっくり開閉動作する。このため、弁体７０の開閉による圧力変動（キャビテーション）が抑制され、２次室６８からの機能液の流出への影響を抑えている。もちろん、１次室６７側で発生する脈動等も、弁体７０で縁切りされるため、これを吸収（ダンパー機能）することができる。
【００４０】
第１圧力調整弁２７は、サブタンク４１の水頭が１次室６７Ａ側にかかっているが、上記の減圧機能により２次室６８Ａ側を減圧調整すると共に、サブタンク４１の水頭によって弁体７０Ａの開閉動作から生じる圧力変動も抑制する。すなわち、第１圧力調整弁２７は、減圧され且つ一定の圧力で第２圧力調整弁２８に機能液を供給する。
【００４１】
第２圧力調整弁２８は、第１圧力調整弁２７によって減圧されたものの、第１圧力調整弁２７が第２圧力調整弁２８よりも低位置に設置されているため、１次室６７Ｂ側には第１圧力調整弁２７の水頭が作用している。第１圧力調整弁２７と同様、上記の減圧機能により、さらに２次室６８Ｂ側を減圧調整すると共に、弁体７０Ｂの開閉動作から生じる圧力変動を効果的に抑制する。このように、第１圧力調整弁２７および第２圧力調整弁２８の高さ位置を考慮することにより、同一の圧力調整弁２７，２８に別々の主機能を発揮させ、機能液滴吐出ヘッド２５に適正圧力で且つ圧力変動の極めて少ない機能液を供給するようにしている。すなわち、第１圧力調整弁２７は、サブタンク４１の高さが変わっても常に２次側の圧力が一定となるように調節する。これにより、第２圧力調整弁２８は、サブタンク４１の高さが変わっても、１次側に常に一定圧力の機能液が供給されるため、圧力調整が安定して行われ、２次側圧力を高精度に調整することができる。
【００４２】
なお、上記の主機能をより顕著に発揮させるため、以下のように第１圧力調整弁２７と第２圧力調整弁２８と、を一部異なる構造としてもよい。例えば第２圧力調整弁２８の受圧膜体８４Ｂを構成する膜体本体８４Ｂａを、第１圧力調整弁２７の膜体本体８４Ａａよりも厚い樹脂フィルムや金属フィルムで構成し、大気圧と２次室６８の内部圧力とのバランス変動への応答性が低いものとする。また、受圧膜体８４Ｂの径を大きくする。これにより、弁体７０Ａの開閉動作が緩慢となり、更に圧力変動が抑制することができる。
一方、第１圧力調整弁２７では、その膜体本体８４Ａａを薄くし、或いは受圧膜体８４Ａの径を小さくする。これにより、弁体７０Ａの応答性が高まり、第１圧力調整弁２７の減圧機能を向上させることができる。
【００４３】
本実施形態の機能液供給装置２９は、上記のような減圧機能および圧力変動の抑制機能を持った第１圧力調整弁２７および第２圧力調整弁２８を備えているため、サブタンク４１の水頭により作用する圧力を２段階で減圧および圧力変動を抑制する。このため、所望の圧力に機能液を減圧することができ、より圧力変動幅の小さい安定した機能液を機能液滴吐出ヘッド２５に供給することができる。また、この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドに対するサブタンク４１の設置位置が変更されても、圧力が安定した機能液を供給することができる。すなわち、機能液滴吐出ヘッド２５は、精度良くワーク上に描画動作を行うことができる。
【符号の説明】
【００４４】
１：液滴吐出装置  １４：キャリッジユニット  １６：機能液滴供給ユニット  ２５：機能液滴吐出ヘッド  ２７：第１圧力調整弁  ２８：第２圧力調整弁  ２９：機能液供給装置  ４１：サブタンク  ６４：バルブハウジング  ６７：１次室  ６８：２次室  ６９：調整弁連通流路  ７０：弁体  ８４：受圧膜体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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