(57)【要約】【課題】測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合におけるビーム部の破損を防止することのできる加速度センサを提供する。【解決手段】平面視略正方形状の第１の可動電極４０と、第１の可動電極４０を所定の間隔を空けて囲む平面視略正方形状の第１の枠部３０と、第１の可動電極４０と第１の枠部３０とを連結するとともに第１の可動電極４０を第１の枠部３０に対して揺動自在に支持する１対の第１のビーム部５ａ，５ｂとを備え、第１のビーム部５ａ，５ｂを、その軸部が第１の枠部３０の対角線上に位置するように形成し、第１の枠部３０の前記対角線と直交する対角線上に、第１の可動電極４０に向かって突出する平面視略矩形状の１対の突片３０ａを第１の枠部３０と一体に形成し、第１の可動電極４０の各突片３０ａと対向する部位に、第１の枠部３０と対向する一面が開口した凹所４０ｃをそれぞれ厚み方向に貫設した。【選択図】図１
2010210430.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動電極と、可動電極を所定の間隔を空けて囲む枠部と、可動電極と枠部とを連結するとともに可動電極を枠部に対して揺動自在に支持する１対のビーム部と、可動電極の表面における１対のビーム部を結ぶ直線を境界線とした一方側および他方側に対してそれぞれ所定の間隔を空けて対向配置される１対の固定電極とを備え、ビーム部を軸とした可動電極の揺動に伴う可動電極と固定電極との間の静電容量の変化から加速度を検出する加速度センサであって、可動電極の表面と平行する平面において可動電極が少なくともビーム部の軸方向と直交する方向へ移動するのを制限するストッパ手段を設けたことを特徴とする加速度センサ。
【請求項２】
前記ストッパ手段は、可動電極の外周縁に設けられて枠部と対向する一面が開口するとともにビーム部の軸方向において対向する内壁、及びビーム部の軸方向と直交する方向において枠部と対向する内壁を有する凹所と、枠部に設けられてその一部が凹所の内側に進入するとともに加速度が加えられていない状態で凹所の各内壁との間に所定の隙間を有する突片とから成ることを特徴とする請求項１記載の加速度センサ。
【請求項３】
前記ストッパ手段は、可動電極の外周縁において少なくともビーム部の軸方向と直交する方向の各々に設けられて枠部と可動電極との間の距離を他の部位よりも狭める突部から成ることを特徴とする請求項１記載の加速度センサ。
【請求項４】
前記可動電極及び枠部は平面視略矩形状であって、ビーム部は、その軸部が可動電極及び枠部の対角線上に位置するように形成され、突部は、可動電極において前記対角線とは異なる対角線上に位置するように形成されたことを特徴とする請求項３記載の加速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動電極の揺動に伴う可動電極と固定電極との間の静電容量の変化に基づいて加速度を検出する静電容量型の加速度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、平面視矩形状の可動電極と、可動電極の対向する２辺の略中央において可動電極を揺動自在に支持する１対のビーム部と、可動電極の表面において１対のビーム部を結ぶ直線を境界線とした一方側と他方側のそれぞれに対して所定の距離を空けて対向配置された固定電極とを備え、可動電極の揺動に伴う可動電極と固定電極との間の静電容量の変化を検出することで加速度を検出する静電容量型の加速度センサが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
以下、このような加速度センサの従来例について図面を用いて説明する。尚、以下の説明では、図５における上下を上下方向と定めるものとする。また、センサチップ１の短手方向と平行な方向をｘ方向、センサチップ１の長手方向と平行な方向をｙ方向、ｘ方向及びｙ方向に互いに直交する方向をｚ方向と定めるものとする。この従来例は、図５に示すように、ＳＯＩ（Silicon on Insulator）基板で形成されたセンサチップ１が上部固定板２ａと下部固定板２ｂとで挟持された構成となっている。センサチップ１は、２つの平面視略矩形状の第１の枠部３０及び第２の枠部３１を有するフレーム部３と、枠部３０，３１の側壁部に対して隙間を空けて各枠部３０，３１に囲まれた空間に配設される平面視略矩形状の２つの第１の可動電極４０及び第２の可動電極４１と、各可動電極４０，４１上面の対向する２辺の略中央部と各枠部３０，３１の側壁部とを連結することにより各可動電極４０，４１をフレーム部３に対して揺動自在に支持する２対のビーム部５ａ〜５ｄとを備える。
【０００４】
上部固定板２ａはガラス基板により形成され、図５に示すように、第１の可動電極４０と対向する下面には１対の第１のビーム部５ａ，５ｂを結ぶ直線を境界線として第１の固定電極２０ａ及び第２の固定電極２０ｂが設けられている。また、第２の可動電極４１と対向する下面には、１対の第２のビーム部５ｃ，５ｄを結ぶ直線を境界線として第３の固定電極２０ｃ及び第４の固定電極２０ｄが設けられている。各固定電極２０ａ〜２０ｄはアルミニウム系合金から形成されている。
【０００５】
下部固定板２ｂは、上部固定板２ａと同様にガラス基板により形成され、図５，６に示すように、各可動電極４０，４１と間隔を空けて付着防止膜２３ａ，２３ｂが配設されている。付着防止膜２３ａ，２３ｂは各固定電極２０ａ〜２０ｄと同じ材料から成り、各可動電極４０，４１が動作時に下部固定板２ｂに付着するのを防止する。また、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合には、付着防止膜２３ａ，２３ｂによって各可動電極４０，４１と下部固定板２ｂとが直接接触するのを防ぐことから衝撃緩和の効果を奏する。
【０００６】
センサチップ１には、図５に示すように、第１の可動電極４０と各固定電極２０ａ，２０ｂとの間の静電容量Ｃ１，Ｃ２を各々検出する検出電極６ａ，６ｂと、第２の可動電極４１と各固定電極２０ｃ，２０ｄとの間の静電容量Ｃ３，Ｃ４を各々検出する検出電極６ｃ，６ｄと、接地電極７とが設けられている。上部固定板２ａの各検出電極６ａ〜６ｄ及び接地電極７と対向する部位にはスルーホール２１ａ〜２１ｄ，２２が貫設されており、当該スルーホール２１ａ〜２１ｄ，２２を介して各固定電極２０ａ〜２０ｄに各々接続された検出電極６ａ〜６ｄ、及び接地電極７の出力が取り出されるようになっている。また、検出電極６ａと検出電極６ｂとの間、検出電極６ｃと検出電極６ｄとの間、各検出電極６ａ〜６ｄとフレーム部３との間、各検出電極６ａ〜６ｄと各可動電極４０，４１との間には各々隙間が形成されている。このように構成することで、各検出電極６ａ〜６ｄが互いに電気的に絶縁されるので、各検出電極６ａ〜６ｄの寄生容量や電極間のクロストークを低減し、高精度な静電容量の検出を行うことができる。
【０００７】
第１の可動電極４０の下面における１対の第１のビーム部５ａ，５ｂを結ぶ直線を境界線とした一方側には、図６に示すように、厚み寸法が前記他方側の厚み寸法よりも小さくなるように凹部４０ａが設けられている。同様に、第２の可動電極４１の下面における１対の第２のビーム５ｃ，５ｄを結ぶ直線を境界線とした一方側にも、図示しないが、厚み寸法が前記他方側の寸法よりも小さくなるように凹部４１ａが設けられている。何れの凹部４０ａ，４１ａも、図６に示すように、各可動電極４０，４１の重心位置Ｏとビーム部５ａ〜５ｄとが成す角度θが４５度となるように設けられている。このように構成することで、加速度が加えられた際にビーム部５ａ〜５ｄを軸とした回転モーメントが各可動電極４０，４１に発生し、ｘ方向及びｚ方向の検出感度が等価になる。尚、この従来例では、図５に示すように２つの加速度センサがｘｙ平面に配置され、一方の加速度センサが他方の加速度センサに対してｘｙ平面内で１８０度回転して配置されている。
【０００８】
各可動電極４０，４１の上部固定板２ａ及び下部固定板２ｂと対向する面には、図６に示すように（図６では第１の可動電極４０のみ図示）、シリコン又はシリコン酸化膜により形成された複数の突起部４０ｂが設けられている。このような突起部４０ｂを設けることにより、各可動電極４０，４１に測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合であっても、各可動電極４０，４１が対向する上部固定板２ａ及び下部固定板２ｂと直接衝突することがなく、センサチップ１の破損を防止することができる。尚、この従来例では各可動電極４０，４１の上部固定板２ａ及び下部固定板２ｂと対向する面に突起部４０ｂを設けているが、上部固定板２ａ及び下部固定板２ｂの各可動電極４０，４１と対向する面に突起部４０ｂを設けても構わない。
【０００９】
以下、上記従来例における加速度検出について説明する。先ず、ｘ方向における加速度の検出について説明する。第１の可動電極４０にｘ方向の加速度が加えられた場合、第１の可動電極４０と各固定電極２０ａ，２０ｂとの間の静電容量Ｃ１，Ｃ２は、それぞれ以下に示す数式で表される。尚、数式（１），（２）中のパラメータＣ０は、第１の可動電極４０にｘ方向の加速度が加えられていない状態における第１の可動電極４０と各固定電極２０ａ，２０ｂとの間の静電容量を示す。
【００１０】
Ｃ１＝Ｃ０−ΔＣ  …（１）
Ｃ２＝Ｃ０＋ΔＣ  …（２）
同様に、第２の可動電極４１にｘ方向の加速度が加えられた場合、第２の可動電極４１と各固定電極２０ｃ，２０ｄとの間の静電容量Ｃ３，Ｃ４は、それぞれ以下に示す数式で表される。尚、数式（３），（４）中のパラメータＣ０は、上記と同様に第２の可動電極４１にｘ方向の加速度が加えられていない状態における第２の可動電極４１と各固定電極２０ｃ，２０ｄとの間の静電容量を示す。
【００１１】
Ｃ３＝Ｃ０−ΔＣ  …（３）
Ｃ４＝Ｃ０＋ΔＣ  …（４）
而して、各検出電極６ａ〜６ｄを介して上記静電容量Ｃ１〜Ｃ４を検出し、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等を利用して静電容量Ｃ１，Ｃ２の差分値ＣＡ（＝Ｃ１−Ｃ２）、及び静電容量Ｃ３，Ｃ４の差分値ＣＢ（＝Ｃ３−Ｃ４）を算出し、算出された差分値ＣＡ，ＣＢの和（±４ΔＣ）をＸ出力として出力することにより、静電容量の変化から第１の可動電極４０及び第２の可動電極４１に加えられたｘ方向の加速度を検出することができる。
【００１２】
次に、ｚ方向における加速度の検出について説明する。第１の可動電極４０にｚ方向の加速度が加えられた場合、第１の可動電極４０と各固定電極２０ａ，２０ｂとの間の静電容量Ｃ１，Ｃ２は、それぞれ以下に示す数式で表される。尚、数式（５），（６）中のパラメータＣ０は、第１の可動電極４０にｚ方向の加速度が加えられていない状態における第１の可動電極４０と各固定電極２０ａ，２０ｂとの間の静電容量を示す。
【００１３】
Ｃ１＝Ｃ０＋ΔＣ  …（５）
Ｃ２＝Ｃ０−ΔＣ  …（６）
同様に、第２の可動電極４１にｚ方向の加速度が加えられた場合、第２の可動電極４１と各固定電極２０ｃ，２０ｄとの間の静電容量Ｃ３，Ｃ４は、それぞれ以下に示す数式で表される。尚、数式（７），（８）中のパラメータＣ０は、上記と同様に第２の可動電極４１にｚ方向の加速度が加えられていない状態における第２の可動電極４１と各固定電極２０ｃ，２０ｄとの間の静電容量を示す。
【００１４】
Ｃ３＝Ｃ０−ΔＣ  …（７）
Ｃ４＝Ｃ０＋ΔＣ  …（８）
而して、各検出電極６ａ〜６ｄを介して上記静電容量Ｃ１〜Ｃ４を検出し、ＡＳＩＣ等を利用して静電容量Ｃ１，Ｃ２の差分値ＣＡ（＝Ｃ１−Ｃ２）、及び静電容量Ｃ３，Ｃ４の差分値ＣＢ（＝Ｃ３−Ｃ４）を算出し、算出された差分値ＣＡ，ＣＢの和（±４ΔＣ）をＺ出力として出力することにより、静電容量の変化から第１の可動電極４０及び第２の可動電極４１に加えられたｚ方向の加速度を検出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】米国特許公開２００７−００００３２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
ところで、上記従来例では、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合において、各ビーム部５ａ〜５ｄを軸とした回転方向に対しては、突起部４０ｂや付着防止膜２３ａ，２３ｂによって上部固定板２ａ及び下部固定板２ｂとセンサチップ１とが直接衝突するのを防ぐことでセンサチップ１の破損を防止している。しかしながら、ｘｙ平面における各ビーム部５ａ〜５ｄの軸と直交する方向に対しては何の手段も講じられていない。
このため、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合において、各可動電極４０，４１が前記方向において過度に揺動することで各ビーム部５ａ〜５ｄに生じる曲げ応力によって各ビーム部５ａ〜５ｄが破損する虞があった。
【００１７】
本発明は、上記の点に鑑みて為されたもので、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合におけるビーム部の破損を防止することのできる加速度センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
請求項１の発明は、上記目的を達成するために、可動電極と、可動電極を所定の間隔を空けて囲む枠部と、可動電極と枠部とを連結するとともに可動電極を枠部に対して揺動自在に支持する１対のビーム部と、可動電極の表面における１対のビーム部を結ぶ直線を境界線とした一方側および他方側に対してそれぞれ所定の間隔を空けて対向配置される１対の固定電極とを備え、ビーム部を軸とした可動電極の揺動に伴う可動電極と固定電極との間の静電容量の変化から加速度を検出する加速度センサであって、可動電極の表面と平行する平面において可動電極が少なくともビーム部の軸方向と直交する方向へ移動するのを制限するストッパ手段を設けたことを特徴とする。
【００１９】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、ストッパ手段は、可動電極の外周縁に設けられて枠部と対向する一面が開口するとともにビーム部の軸方向において対向する内壁、及びビーム部の軸方向と直交する方向において枠部と対向する内壁を有する凹所と、枠部に設けられてその一部が凹所の内側に進入するとともに加速度が加えられていない状態で凹所の各内壁との間に所定の隙間を有する突片とから成ることを特徴とする。
【００２０】
請求項３の発明は、請求項１の発明において、ストッパ手段は、可動電極の外周縁において少なくともビーム部の軸方向と直交する方向の各々に設けられて枠部と可動電極との間の距離を他の部位よりも狭める突部から成ることを特徴とする。
【００２１】
請求項４の発明は、請求項３の発明において、可動電極及び枠部は平面視略矩形状であって、ビーム部は、その軸部が可動電極及び枠部の対角線上に位置するように形成され、突部は、可動電極において前記対角線とは異なる対角線上に位置するように形成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１の発明によれば、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合において、可動電極の表面と平行する平面上であってビーム部の軸方向と直交する方向へ可動電極が移動するのをストッパ手段によって制限することができる。したがって、可動電極の過度の揺動によってビーム部に曲げ応力が発生するのを防ぐことができ、ビーム部の破損を防止することができる。
【００２３】
請求項２の発明によれば、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合において、枠部の突片が可動電極の凹所の内壁に当接することで、可動電極の表面と平行する平面上であってビーム部の軸方向、及び軸方向と直交する方向での可動電極の移動を制限することができる。したがって、可動電極の過度の揺動によってビーム部に曲げ応力が発生するのを防ぐことができ、ビーム部の破損を防止することができる。
【００２４】
請求項３の発明によれば、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合において、可動電極の突部が枠部に当接することで可動電極の表面と平行する平面上であってビーム部の軸方向と直交する方向への可動電極の移動を制限することができる。したがって、可動電極の過度の揺動によってビーム部に曲げ応力が発生するのを防ぐことができ、ビーム部の破損を防止することができる。
【００２５】
請求項４の発明によれば、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合において、可動電極の突部が枠部に当接することで可動電極の表面と平行する平面上であってビーム部の軸方向、及び軸方向と直交する方向への可動電極の移動を制限することができる。したがって、可動電極の過度の揺動によってビーム部に曲げ応力が発生するのを防ぐことができ、ビーム部の破損を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係る加速度センサの実施形態１を示す図で、（ａ）は平面図で、（ｂ）は固定電極との位置関係を示す平面図である。
【図２】（ａ）は同上の断面図で、（ｂ）は同上の突片の厚みを変更した場合における断面図である。
【図３】本発明に係る加速度センサの実施形態２を示す図で、（ａ）は平面図で、（ｂ）は固定電極との位置関係を示す平面図である。
【図４】（ａ）は同上の断面図で、（ｂ）は同上の突部の厚みを変更した場合における断面図である。
【図５】従来の加速度センサを示す分解斜視図である。
【図６】同上のｙｚ平面における断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
（実施形態１）
以下、本発明に係る加速度センサの実施形態１について図面を用いて説明する。但し、本実施形態の基本的な構成は従来例と共通であるので、共通する部位には同一の番号を付して説明を省略する。また、以下の説明では、従来例での説明と同様に、図５における上下を上下方向、センサチップ１の短手方向と平行な方向をｘ方向、センサチップ１の長手方向と平行な方向をｙ方向と定めるものとする。
【００２８】
本実施形態は、図１（ａ），（ｂ）に示すように、平面視略正方形状の第１の可動電極４０と、第１の可動電極４０を所定の間隔を空けて囲む平面視略正方形状の第１の枠部３０と、第１の可動電極４０と第１の枠部３０とを連結するとともに第１の可動電極４０を第１の枠部３０に対して揺動自在に支持する１対の第１のビーム部５ａ，５ｂと、第１の可動電極４０の上面（表面）における１対の第１のビーム部５ａ，５ｂを結ぶ直線を境界線とした一方側および他方側に対してそれぞれ所定の間隔を空けて対向配置される第１の固定電極２０ａ及び第２の固定電極２０ｂとを備え、第１の可動電極４０の下面（裏面）における１対の第１のビーム部５ａ，５ｂを結ぶ直線を境界線とした一方の側に凹部４０ａが設けられている。
【００２９】
第１のビーム部５ａ，５ｂは、図１（ａ）に示すように、その軸部が第１の枠部３０の対角線上に位置するように形成されている。そして、第１の枠部３０の前記対角線と直交する対角線上には、第１の可動電極４０に向かって突出する平面視略矩形状の１対の突片３０ａが第１の枠部３０と一体に形成されている。また、第１の可動電極４０の各突片３０ａと対向する部位には、第１の枠部３０と対向する一面が開口した凹所４０ｃがそれぞれ厚み方向（上下方向）に貫設されている。これら突片３０ａと凹所４０ｃとで、第１の可動電極４０の表面と平行する平面（ｘｙ平面）において第１の可動電極４０が少なくとも第１のビーム部５ａ，５ｂの軸方向と直交する方向へ移動するのを制限するストッパ手段を構成している。
【００３０】
凹所４０ｃは、第１のビーム部５ａ，５ｂの軸方向において対向する内壁と、前記軸方向と直交する方向において第１の枠部３０と対向する内壁とを有する。各突片３０ａは、その端部が各凹所４０ｃの内側に進入し、且つ加速度が加えられていない状態で凹所４０ｃの各内壁との間に所定の隙間を有するように配設されている。このように突片３０ａの端部と凹所４０ｃの各内壁との間に所定の隙間を設けることで、第１の可動電極４０が第１のビーム部５ａ，５ｂを軸として回動する際に、測定レンジの範囲内において突片３０ａと凹所４０ｃとが当接してその回動を阻害するのを防ぐことができる。
【００３１】
而して、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合において、第１の枠部３０の各突片３０ａが第１の可動電極４０の各凹所４０ｃの内壁に当接することで、ｘｙ平面における第１のビーム部５ａ，５ｂの軸方向、及び軸方向と直交する方向での第１の可動電極４０の移動を制限することができる。したがって、第１の可動電極４０の過度の揺動によって第１のビーム部５ａ，５ｂに曲げ応力が発生するのを防ぐことができ、第１のビーム部５ａ，５ｂの破損を防止することができる。
【００３２】
ところで、第１の枠部３０の角部と第１の可動電極４０の角部との間の距離が長い場合、突片３０ａの長さも長くなるために突片３０ａの強度が低下してしまう。また、第１の可動電極４０に凹所４０ｃを貫設すると、第１の可動電極４０の質量が小さくなり、加速度の検出感度が低下してしまう。このため、本実施形態では第１の可動電極４０を大きく形成することでこれらの問題を解決している。しかしながら、第１の可動電極４０を大きくすると、第１の枠部３０と第１の可動電極４０との間の距離が短くなるために第１のビーム部５ａ，５ｂの軸方向の長さが短くなってしまい、加速度の検出感度が低下してしまう。
【００３３】
そこで、本実施形態では、第１の可動電極４０の第１のビーム部５ａ，５ｂが設けられている角部において、それぞれ第１のビーム部５ａ，５ｄの幅方向における両側縁に切り欠き４０ｄを貫設し、第１の枠部３０の角部と、第１の可動電極４０の角部よりも内側の部位とを連結するように第１のビーム部５ａ，５ｂを形成している。このため、第１の枠部３０の角部と第１の可動電極４０の角部とを連結する場合と比較して軸方向の長さが長くなるので、第１の可動電極４０が大きくなっても第１のビーム部５ａ，５ｂが必要な軸方向の長さを確保することができる。
【００３４】
また、本実施形態では、センサチップ１が支持基板Ｃと活性層Ａにより酸化膜Ｂを挟持したＳＯＩ基板から成る。このため、図２（ａ）に示すように、突片３０ａを活性層Ａで形成すれば第１のビーム部５ａ，５ｂと同時に形成することが可能であり、製造が容易となる。また、図２（ｂ）に示すように、突片３０ａを活性層Ａのみならず酸化膜Ｂ及び支持基板Ｃも含めて形成すれば、突片３０ａの強度を高めることができる。
【００３５】
尚、従来例のように第１の可動電極４０の対向する２辺の略中央部と第１の枠部３０の側壁部とを連結するように第１のビーム部５ａ，５ｂを形成した場合でも、第１のビーム部５ａ，５ｂの軸方向と直交する方向において第１の枠部３０及び第１の可動電極４０にそれぞれ突片３０ａ及び凹所４０ｃを設けることで、本実施形態と同様の効果を奏することができる。また、本実施形態では、第１の枠部３０、第１の可動電極４０、第１のビーム部５ａ，５ｂに関する構成についてのみ記載しているが、従来例における第２の枠部３１、第２の可動電極４１、第２のビーム部５ｃ，５ｄに関する構成に対して本実施形態の構成を採用しても構わないことは言うまでもない。
【００３６】
（実施形態２）
以下、本発明に係る加速度センサの実施形態２について図面を用いて説明する。但し、本実施形態の基本的な構成は実施形態１と共通であるので、共通する部位には同一の番号を付して説明を省略する。また、以下の説明では、従来例での説明と同様に、図５における上下を上下方向、センサチップ１の短手方向と平行な方向をｘ方向、センサチップ１の長手方向と平行な方向をｙ方向と定めるものとする。本実施形態は、図３（ａ），（ｂ）に示すように、実施形態１の突片３０ａ及び凹所４０ｃを設ける代わりに、突部４０ｅをストッパ手段として設けている。
【００３７】
突部４０ｅは、図３（ａ）に示すように、第１の可動電極４０の第１のビーム部５ａ，５ｂの軸方向と直交する対角線上において、対向する第１の枠部３０の角部との間の距離が他の部位における第１の枠部３０と第１の可動電極４０との間の距離よりも狭くなるように平面視略矩形状に形成されている。また、第１の枠部３０の突部４０ｅと対向する角部には、突部４０ｅの衝突による応力を緩和するために突部４０ｅの端面と平行な面を有する平坦部３０ｂが形成されている。
【００３８】
而して、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合において、第１の可動電極４０の突部４０ｅが第１の枠部３０の平坦部３０ｂに当接することで、ｘｙ平面における第１のビーム部５ａ，５ｂの軸方向、及び軸方向と直交する方向での第１の可動電極４０の移動を制限することができる。したがって、第１の可動電極４０の過度の揺動によって第１のビーム部５ａ，５ｂに曲げ応力が発生するのを防ぐことができ、第１のビーム部５ａ，５ｂの破損を防止することができる。
【００３９】
ところで、本実施形態では、センサチップ１が支持基板Ｃと活性層Ａにより酸化膜Ｂを挟持したＳＯＩ基板から成る。このため、図４（ａ）に示すように、突部４０ｅを活性層Ａで形成すれば第１のビーム部５ａ，５ｂと同時に形成することが可能であり、製造が容易となる。また、図４（ｂ）に示すように、突部４０ｅを活性層Ａのみならず酸化膜Ｂ及び支持基板Ｃも含めて形成すれば、突部４０ｅの強度を高めることができる。
【００４０】
尚、従来例のように第１の可動電極４０の対向する２辺の略中央部と第１の枠部３０の側壁部とを連結するように第１のビーム部５ａ，５ｂを形成した場合でも、第１のビーム部５ａ，５ｂの軸方向と直交する方向において第１の可動電極４０に突部４０ｅを設けることで、ｘｙ平面における第１のビーム部５ａ，５ｂの軸方向と直交する方向での第１の可動電極４０の移動を制限することができる。また、本実施形態では、第１の枠部３０、第１の可動電極４０、第１のビーム部５ａ，５ｂに関する構成についてのみ記載しているが、従来例における第２の枠部３１、第２の可動電極４１、第２のビーム部５ｃ，５ｄに関する構成に対して本実施形態の構成を採用しても構わないことは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４１】
２０ａ  第１の固定電極
２０ｂ  第２の固定電極
３０  第１の枠部
３０ａ  突片
４０  第１の可動電極
４０ｃ  凹所
５ａ，５ｂ  第１のビーム部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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