(57)【要約】【課題】吐出する液滴の量を高精度に補正可能な液滴吐出方法を提供する。【解決手段】ノズルから液滴を複数吐出して、シート部材に塗布する塗布工程と、シート部材に塗布された液滴を撮像する撮像工程と、撮像した複数の液滴の面積をそれぞれ計測する計測工程と、計測した複数の液滴の面積を統計処理して、ノズルから吐出する液滴の量を補正する補正工程とを有し、補正工程は、計測工程における複数の計測結果のうち、シート部材の表面特性に基づく第１閾値を超える計測結果を除外する第１除外工程Ｓ３２と、第１閾値を超えた計測結果を除外した計測結果を統計処理する第２統計処理工程Ｓ３３と、第１除外工程で除外した計測結果を除いた残りの計測結果のうち、第２統計処理工程の処理結果に基づく第２閾値を超える計測結果を除外する第２除外工程Ｓ３４とを含む。【選択図】図９
2010210741.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドのノズルから機能液の液滴を吐出する液滴吐出方法であって、
前記ノズルから前記液滴を複数吐出して、シート部材に塗布する塗布工程と、
前記シート部材に塗布された前記液滴を撮像する撮像工程と、
撮像した前記複数の液滴の面積をそれぞれ計測する計測工程と、
計測した前記複数の液滴の面積を統計処理して、前記ノズルから吐出する前記液滴の量を補正する補正工程とを有し、
前記補正工程は、前記計測工程における複数の計測結果のうち、前記シート部材の表面特性に基づく第１閾値を超える計測結果を除外する第１除外工程と、
前記第１閾値を超えた計測結果を除外した計測結果を統計処理する第２統計処理工程と、
前記第１除外工程で除外した計測結果を除いた残りの計測結果のうち、前記第２統計処理工程の処理結果に基づく第２閾値を超える計測結果を除外する第２除外工程とを含むことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項２】
請求項１記載の液滴吐出方法において、
前記統計処理は、平均化処理を含むことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項３】
請求項１または２記載の液滴吐出方法を用いて、前記ノズルから吐出する前記液滴の量を補正する工程と、
基材上に設けられた所定領域に前記機能液を配置してカラーフィルターを形成する工程とを有することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出方法及びカラーフィルターの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話機、携帯型コンピューターなどの電子機器の表示部に液晶装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ-Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ）装置等の電気光学装置が用いられている。これらの電気光学装置は、一般にフルカラー表示が行われる。例えば、液晶装置によるフルカラー表示は、液晶層によって変調される光をカラーフィルターに通すことによって表示される。このようなカラーフィルターは、液滴吐出法を用いた成膜技術によって、基板表面にインクをドット状に吐出することで形成される。
【０００３】
ところで、液滴吐出法を用いた成膜技術においては、複数のノズルのインク吐出量に僅かながらばらつきが生じる。そして、インク吐出量にばらつきを有した状態で描画した場合には、カラーフィルターに筋状の濃淡ムラ（スジムラ）が発生する場合がある。このようなスジムラは視認されやすく、カラーフィルターを介して表示される画像の画質が低下してしまう惧れがある。
【０００４】
このような問題点を解決するための技術が検討されており、例えば特許文献1では、複数の異なるインク吐出密度で被着色媒体を着色し、この着色部分の色濃度を測定して、複数の異なるインク吐出密度で着色された着色部分の各々の色濃度と、それに対応するインク吐出密度と、の関係を算出している。この関係に基づいて、所望の色濃度が得られるインク吐出密度になるように補正することにより、表示画像の画質の低下を抑えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−２６０３０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
特許文献１では、複数の異なるインク吐出密度で着色された着色部分の各々の色濃度を、被着色媒体の着色部の吸光度により表している。この吸光度の測定の際に誤差が生じると、精度の高い補正ができず、画質の低下を抑制することが困難な場合がある。
【０００７】
一方、複数のノズルから吐出されたインクの重量を測定する方法が、従来用いられている。しかしながら、インクの重量を測定することは、測定が容易ではなく膨大な工数を要するので、生産効率に劣るため量産面で好ましくない。
そこで、吐出したインクを、例えば撮像装置を用いて撮像した結果に基づいて、吐出量を補正することも考えられるが、インクを着弾させたメディアの表面にキズ等があると、着弾したインクの形状がくずれて正確な補正ができない可能性がある。
【０００８】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、吐出する液滴の量を高精度に補正可能な液滴吐出方法及びカラーフィルターの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明の液滴吐出方法は、液滴吐出ヘッドのノズルから機能液の液滴を吐出する液滴吐出方法であって、前記ノズルから前記液滴を複数吐出して、シート部材に塗布する塗布工程と、前記シート部材に塗布された前記液滴を撮像する撮像工程と、撮像した前記複数の液滴の面積をそれぞれ計測する計測工程と、計測した前記複数の液滴の面積を統計処理して、前記ノズルから吐出する前記液滴の量を補正する補正工程とを有し、前記補正工程は、前記計測工程における複数の計測結果のうち、前記シート部材の表面特性に基づく第１閾値を超える計測結果を除外する第１除外工程と、前記第１閾値を超えた計測結果を除外した計測結果を統計処理する第２統計処理工程と、前記第１除外工程で除外した計測結果を除いた残りの計測結果のうち、前記第２統計処理工程の処理結果に基づく第２閾値を超える計測結果を除外する第２除外工程とを含むことを特徴とするものである。
【００１０】
従って、本発明の液滴吐出方法では、複数のノズル間の吐出量の差は、撮像した液滴の面積の差として計測できるため、複数の液滴の面積を計測・統計処理して得られた吐出量を用いて、ノズルからの吐出量を補正することにより、容易に液滴吐出量のばらつきを抑制することができる。
また、本発明では、シート部材の表面にキズ等、表面特性に問題があって、面積計測結果が第１閾値を超えた場合には、当該面積計測結果が除外されるため、除外された面積計測結果が他の液滴の面積計測結果の統計処理に悪影響を及ぼすことを防止できる。そのため、本発明では、第１除外工程で除外した面積計測結果を除いた計測結果を統計処理することにより、液滴吐出ヘッドの吐出特性とは無関係な異常値を除外した計測結果により適切な統計処理を実施できる。そして、本発明では、このように統計処理された計測結果から、液滴吐出量を算出する計測結果として不適な計測結果を、例えば標準偏差（３σ等）に基づく第２閾値を用いて除外することにより、信頼性の高い面積計測結果、すなわち当該ノズルの吐出量を求めることが可能となり、高精度の吐出量補正を実施できる。
前記統計処理としては、平均化処理を含む手順を好適に採用できる。
【００１１】
そして、本発明のカラーフィルターの製造方法は、先に記載の液滴吐出方法を用いて、前記ノズルから吐出する前記液滴の量を補正する工程と、基材上に設けられた所定領域に前記機能液を配置してカラーフィルターを形成する工程とを有することを特徴とするものである。
従って、本発明のカラーフィルターの製造方法では、上述したように、各ノズルからの吐出量を高精度に補正して、液滴吐出ヘッドの全ノズルから均一な量のインクが吐出されるので、スジムラの無い高品質なカラーフィルターを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の液滴吐出装置の概略構成を示す模式図である。
【図２】液滴吐出ヘッドの概略構成を示す模式図である。
【図３】基板上にカラーフィルターを形成する方法の説明図である。
【図４】液滴吐出方法の工程を示すフローチャートである。
【図５】インク吐出量と着弾面積の関係を示す図である。
【図６】印加電圧と着弾面積の関係を示す図である。
【図７】インク吐出量のばらつき補正前後の液滴吐出ヘッドの吐出特性を示す図である。
【図８】吐出したインク滴と面積との関係を示す図である。
【図９】第１着弾面積測定工程の詳細工程を示すフローチャート図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の液滴吐出方法及びカラーフィルターの製造方法の実施の形態を、図１ないし図９を参照して説明する。
かかる実施の形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。
【００１４】
以下の説明においては、図１中に示されたＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。ＸＹＺ直交座標系は、Ｘ軸及びＹ軸がワークステージ１６に対して平行な方向に設定され、Ｚ軸がワークステージ１６に対して直交する方向に設定されている。図１中のＸＹＺ座標系は、実際にはＸＹ平面が水平面に平行な面に設定され、Ｚ軸が鉛直上方向に設定される。
【００１５】
（液滴吐出装置）
図１は本発明に係る液滴吐出装置１の概略構成を示す模式図である。液滴吐出装置１は、例えばインクジェット方式によりカラーフィルター基板（基材）Ｐの所定領域にカラーフィルター材料（機能液）の液滴を吐出してカラーフィルター層を形成する装置である。また、液滴吐出装置１は、本発明の液滴吐出方法を行うものでもある。
【００１６】
液滴吐出装置１は、ワークステージ１６、液滴吐出ヘッド５、チューブ４４、タンク３３、シート部材搬送台１１、供給リール１２、巻取リール１３、面積計測用カメラ１４、制御ユニット（制御手段）３１、面積測定解析ユニット（着弾面積測定手段）３２、第１配線４１、第２配線４２、第３配線４３を備えている。
【００１７】
ワークステージ１６は、ステージ移動装置（図示略）によってＸ軸方向に移動可能に設置されている。また、ワークステージ１６は、搬送装置（図示略）から搬送されるカラーフィルター基板Ｐを、真空吸着機構（図示略）によりＸＹ平面上に保持する。
【００１８】
液滴吐出ヘッド５は、第１配線４１を介して制御ユニット３１に電気的に接続されている。液滴吐出ヘッド５は、複数のノズルＮ（図２参照）を有し、制御ユニット３１から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、カラーフィルター材料の液滴を吐出する。また、液滴吐出ヘッド５は、カラーフィルター材料のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応して設けられている。また、液滴吐出ヘッド５は、チューブ４４を介してタンク３３と連結されている。
【００１９】
液滴吐出ヘッド５は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に対してポールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構（図示略）を備えている。そして、液滴吐出ヘッド５は、制御ユニット３１から入力されるＹ座標及びＺ座標を示す位置制御信号に基づいて、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能になっている。
【００２０】
チューブ４４は、タンク３３と液滴吐出ヘッド５とを連結するカラーフィルター材料の供給用チューブである。タンク３３は、Ｒ（赤）用のカラーフィルター材料、Ｇ（緑）用のカラーフィルター材料、Ｂ（青）用のカラーフィルター材料、の３色のカラーフィルター材料を貯蔵している。タンク３３は、３色のカラーフィルター材料を貯蔵するとともに、チューブ４４を介して３色に対応する液滴吐出ヘッド５にカラーフィルター材料を供給する。
【００２１】
シート部材搬送台１１は、搬送台移動装置（図示略）によってＸ軸方向に移動可能になっている。シート部材搬送台１１は、供給リール１２から供給される帯状のシート部材１５を搬送するシート部材１５の搬送台である。供給リール１２から供給されたシート部材１５は、巻取リール１３によって巻き取られる。
【００２２】
シート部材１５は、液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮから吐出されたインク（機能液）のドット状の着弾面積が記録可能な記録媒体である。このシート部材１５としては、例えばロール紙等の記録紙を用いることができる。なお、シート部材１５としては、ロール紙に代えて例えばガラス基板等の撥水性を有する基板を用いることもできる。
【００２３】
また、シート部材１５は、生産前、つまりカラーフィルター基板Ｐ上への描画前に、液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮの吐出状態（ノズル抜け、曲がり）を確認するために用いられるものでもある。
【００２４】
面積計測用カメラ１４は、シート部材搬送台１１上のシート部材１５の記録面（上面）に対向する位置に配置されている。面積計測用カメラ１４は、複数のノズルＮからシート部材１５に吐出されたインクの着弾面積を撮像するカメラである。面積計測用カメラ１４は、第２配線４２を介して面積測定解析ユニット３２に電気的に接続されている。面積計測用カメラ１４は、撮影したインクの着弾面積の画像データを面積測定解析ユニット３２に出力する。
【００２５】
面積測定解析ユニット３２は、面積計測用カメラ１４によって撮影されたインクの着弾面積を測定する機能を有するものである。面積測定解析ユニット３２は、第３配線４３を介して制御ユニット３１に電気的に接続されている。面積測定解析ユニット３２は、測定した複数のノズルＮにおけるインクの着弾面積の測定データを制御ユニット３１に出力する。
【００２６】
制御ユニット３１は、面積測定解析ユニット３２から入力される着弾面積の測定データに基づいて、駆動素子ＰＺ（図２参照）を有する液滴吐出ヘッド５に印加する電圧を調整する。そして、駆動素子ＰＺにより複数のノズルＮにおけるインクの着弾面積のばらつきが調整される。つまり、複数のノズルＮにおけるインクの着弾面積のばらつきが補正される。駆動素子ＰＺによりインクの着弾面積のばらつきが補正された後、液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮからカラーフィルター基板Ｐ上の所定の位置にカラーフィルター材料の液滴が吐出される。
【００２７】
図２は液滴吐出ヘッド５の概略構成を示す模式図である。図２（ａ）は液滴吐出ヘッド５をワークステージ１６から見た平面図、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッド５の部分斜視図、図２（ｃ）は液滴吐出ヘッド５の１ノズルの部分断面図である。
【００２８】
図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、Ｙ軸方向に配列された複数（例えば１８０個）のノズルＮ１〜Ｎ１８０を備えている。ノズルＮ１〜Ｎ１８０によってノズル列ＮＡが形成されている。図２（ａ）では１列分のノズルを示しているが、液滴吐出ヘッド５に設けるノズル数及びノズル列数は任意に変更可能であり、Ｙ軸方向に配列した１列分ノズルをＸ軸方向に複数列設けても良い。
【００２９】
図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、チューブ４４と連結される材料供給孔２０ａが設けられた振動板２０と、ノズルＮ１〜Ｎ１８０が設けられたノズルプレート２１と、振動板２０とノズルプレート２１との間に設けられた液溜まり２２と、複数の隔壁２３と、複数の収容室２４とを備えている。振動板２０上には、各ノズルＮ１〜Ｎ１８０に対応して駆動素子ＰＺ１〜ＰＺ１８０が配置されている。駆動素子ＰＺ１〜ＰＺ１８０は、例えばピエゾ素子である。
【００３０】
液溜まり２２には、材料供給孔２０ａを介して供給される液状のカラーフィルター材料が充填されるようになっている。収容室２４は、振動板２０と、ノズルプレート２１と、１対の隔壁２３とによって囲まれるようにして形成されている。また、収容室２４は、各ノズルＮ１〜Ｎ１８０に１対１に対応して設けられている。また、各収容室２４には、一対の隔壁２３の間に設けられた供給口２４ａを介して、液溜まり２２からカラーフィルター材料が導入されるようになっている。
【００３１】
図２（ｃ）に示すように、駆動素子ＰＺ１は、圧電材料２５を一対の電極２６で挟持したものである。この駆動素子ＰＺ１は、一対の電極２６に駆動信号を印加すると圧電材料２５が収縮するよう構成されたものである。そして、このような駆動素子ＰＺ１が配置されている振動板２０は、一対の電極２６に駆動信号を印加すると駆動素子ＰＺ１と一体になって同時に外側（収容室２４の反対側）へ撓曲するようになっており、これによって収容室２４の容積が増大するようになっている。
【００３２】
したがって、収容室２４内に増大した容積分に相当するカラーフィルター材料が、液溜まり２２から供給口２４ａを介して流入する。また、このような状態から駆動素子ＰＺ１への駆動信号の印加を停止すると、駆動素子ＰＺ１と振動板２０はともに元の形状に戻り、収容室２４も元の容積に戻る。これにより、収容室２４内のカラーフィルター材料の圧力が上昇し、ノズルＮ１からカラーフィルター基板Ｐに向けてカラーフィルター材料の液滴Ｌが吐出される。また、駆動素子ＰＺ１を用いることにより、収容室２４内に微振動を生じさせてインク吐出量を精度よく調整することができる。
【００３３】
図３は、液滴吐出ヘッド５を用いてカラーフィルター基板Ｐ上にカラーフィルター層（カラーフィルター）ＣＦを形成する方法の説明図である。図３（ａ）は、インクの吐出対象物であるカラーフィルター基板Ｐの概略平面図である。図３（ｂ）は、カラーフィルター基板Ｐの部分拡大平面図である。
【００３４】
図３（ａ）において、ガラス、プラスチック等によって形成された大面積のカラーフィルター基板Ｐの表面には複数のパネル領域ＣＡが設定されている。各パネル領域ＣＡは、互いに分離（切断）されて個々のカラーフィルター基板として提供される。各パネル領域ＣＡの内部には、図３（ｂ）に示すように、ドット状に配列された複数の画素ＰＸ（所定領域）が設けられている。画素ＰＸは各パネル領域ＣＡ内にマトリクス状に配列されており、それぞれの画素ＰＸ毎にカラーフィルター層（着色層）ＣＦが形成される。
【００３５】
図３（ｂ）の図示上下方向（矢印Ａ１及び矢印Ａ２で示す方向）を主走査方向とし、主走査方向と直交する方向（図示左右方向）を副走査方向として、液滴吐出ヘッド５をカラーフィルター基板Ｐ上に配置する。そして、カラーフィルター基板Ｐを液滴吐出ヘッド５に対して主走査方向及び副走査方向に相対的に移動（走査）させながら、液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮから着色材料を含むインク（カラーフィルター材料）を吐出させ、カラーフィルター基板Ｐ上の各画素ＰＸにカラーフィルター層ＣＦを形成する。
【００３６】
液滴吐出ヘッド５の走査は、１つのパネル領域ＣＡに関して複数回行う。例えば、主走査方向に液滴吐出ヘッド５を走査した後、副走査方向に液滴吐出ヘッド５を移動（走査）し、再度主走査方向に走査を行う。１つのパネル領域ＣＡの左端から右端まで移動（副走査）したら、再びパネル領域ＣＡの左端に戻り、既に吐出を行った位置とは若干異なる位置で主走査方向に走査を行う。そして、このような走査を複数回行うことによって、パネル領域ＣＡ内の全ての画素ＰＸに所望の膜厚のカラーフィルター層ＣＦを形成する。
【００３７】
なお、図３（ｂ）において液滴吐出ヘッド５が副走査方向に対して斜めに傾いているのは、液滴吐出ヘッド５のノズルＮのピッチを画素ＰＸのピッチに合わせるためである。ノズルＮのピッチと画素ＰＸのピッチとが所定の対応関係を満たして設定されていれば、液滴吐出ヘッド５を斜めに傾ける必要はない。
【００３８】
カラーフィルター層ＣＦは、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色をいわゆるストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等といった適宜の配列形態で配列することによって形成される。したがって、図３（ｂ）に示すインクの吐出工程においては、Ｒ、Ｇ、Ｂのカラーフィルター材料を吐出する液滴吐出ヘッド５を、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色分だけ予め用意する。そして、これらの液滴吐出ヘッド５を順次に用いて１つのカラーフィルター基板Ｐ上にＲ、Ｇ、Ｂの３色のカラーフィルター層ＣＦの配列を形成する。
【００３９】
ところで、一般的に液滴吐出ヘッドにおいては、ノズル間でインクの吐出特性（吐出量）に僅かながらばらつきが存在する（図７中の補正前の実線参照）。ノズル間でインクの吐出量にばらつきがあると、これに起因してカラーフィルター基板Ｐ上へのインクの配置量がばらついてしまい、カラーフィルターにスジムラを発生させる原因となってしまう。
【００４０】
図７は、インク吐出量のばらつきの補正前後の液滴吐出ヘッドの吐出特性を示す図である。図７において、横軸はノズル列ＮＡのノズル番号１〜１８０、縦軸は各ノズル番号に対応するノズルの吐出量を示している。図７に示すように、インク吐出量のばらつきの補正前の実線を見ると、両端部と中央部のノズルにおけるインク吐出量が相対的に多くなる傾向があることがわかる。
【００４１】
そこで、本実施形態では、補正前（生産前）となるカラーフィルター基板Ｐ上への描画前に、液滴吐出ヘッド５の駆動素子ＰＺに印加する電圧を調整し、複数のノズルＮにおけるインクの吐出特性を調整する工程を設けている。以下、液滴吐出方法について一例を挙げて説明する。
【００４２】
（液滴吐出方法）
図４は、本発明の液滴吐出方法の工程を示すフローチャートである。本発明の液滴吐出方法は、装置を所定の位置に配置して装置の位置合わせを行う「装置の位置合わせ工程」（ステップＳ１）と、駆動素子ＰＺに印加する電圧を一定にしてインクをシート部材１５に着弾する「第１着弾工程」（ステップＳ２）と、第１着弾工程の後にシート部材１５にインクが着弾された第１着弾面積を測定する「第１着弾面積測定工程」（ステップＳ３）と、シート部材１５を巻き取る「シート部材巻取工程」（ステップＳ４）と、第１着弾面積のばらつきを調整するように駆動素子ＰＺに印加する電圧を調整してインクをシート部材１５に着弾する「第２着弾工程」（ステップＳ５）と、を有する。
【００４３】
先ず、装置を所定の位置に配置して装置の位置合わせを行う（図４のステップＳ１）。具体的には、シート部材搬送台１１をワークステージ１６に向かってＸ軸方向に移動させ、液滴吐出ヘッド５の直下に配置する。これにより、シート部材搬送台１１上のシート部材１５が液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮに対向するように配置される。
【００４４】
次に、駆動素子ＰＺに印加する電圧を一定にして、インクをシート部材１５に着弾・塗布する（図４のステップＳ２、塗布工程）。インクは、カラーフィルター層ＣＦにならって、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等といった適宜の配列形態で着弾するのがよい。これにより、液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮの補正前（シート部材１５への吐出時）の吐出状態と、補正後（カラーフィルター基板Ｐへの吐出時）の吐出状態と、が確実に整合するようになる。
【００４５】
また、インクＬをシート部材１５に着弾させる際は、複数回に分けて着弾させるのがよい。具体的には、先ず、第１のインクをシート部材１５上の所定の領域に着弾させる。次に、第２のインクを第１のインクの着弾されていない領域に着弾させる。これにより、インクＬをシート部材１５へ複数回繰り返して着弾できるので、シート部材１５を無駄なく有効に利用することができる。
【００４６】
次に、シート部材１５にインクが着弾された着弾面積を測定する（図４のステップＳ３）。具体的には、シート部材１５の上面に対向する位置に配置された面積計測用カメラ１４により、複数のノズルＮからシート部材１５に吐出されたインクＬの着弾面積を撮像する（撮像工程）。このとき、面積計測用カメラ１４のレンズの倍率は、測定精度と測定時間の点から、例えば４〜１０倍に設定するのがよい。また、インクＬの着弾面積を測定する際のＮ数は、測定精度の点から、例えばＮ＝１８〜３０に設定するのがよい。
【００４７】
面積計測用カメラ１４によって撮像されたインクの着弾面積の画像データは、面積測定解析ユニット３２に出力される。そして、面積測定解析ユニット３２よって測定された（計測工程）複数のノズルＮにおけるインクの着弾面積の測定データは制御ユニット３１に出力される。
なお、ステップＳ３の第１着弾面積測定工程の詳細については後述する。
【００４８】
本実施形態では、従来の複数のノズルから吐出されたインクの重量を測定する方法に対して、着弾面積に基づいて吐出量を測定する方法を用いている。これにより、測定が容易となり、吐出量の測定に膨大な工数がかからなくなる。これは、インク吐出量と着弾面積との間に一定の関係があることによる。
【００４９】
図５は、インク吐出量と着弾面積の関係を示す図である。図５において、横軸はインク吐出量、縦軸は着弾面積を示している。また、図５中の○は、インク吐出量に対応する着弾面積のデータを複数プロットしたものである。そして、図５中の実線は、例えば複数のデータから最小二乗法による回帰分析により求めた線（検量線）である。この検量線からの複数のデータのばらつきを相関係数ρで表すと、ρ＞０．９となる。図５から明かなように、データのプロットが略一直線に並んでいることが確認される。これにより、本願発明者は、信頼性の高い、インク吐出量と着弾面積との間の相関関係が存在することがわかる。
【００５０】
次に、シート部材１５を巻き取る（図４のステップＳ４）。具体的には、巻取リール１３によってインクが着弾されたシート部材１５が巻き取られる。つまり、供給リール１２からインクが着弾されていない新たなシート部材１５が供給される。
【００５１】
次に、駆動素子ＰＺに印加する電圧を調整して、インクをシート部材１５に着弾させる（図４のステップＳ５）。具体的には、制御ユニット３１によって複数のノズルＮ毎に備えられた駆動素子ＰＺに印加する電圧が調整される。
【００５２】
例えば、初期状態（図７中の補正前の実線参照）におけるインク吐出量が相対的に少ない領域のノズルに対応する駆動素子ＰＺに対して所定の電圧を印加する。一方、初期状態におけるインク吐出量が相対的に多い領域のノズルに対応する駆動素子ＰＺに対しては電圧を印加しない。このようにして、駆動素子ＰＺによって複数のノズルＮ間で生じている吐出量のばらつきが調整される。これにより、複数のノズルＮにおけるインクの着弾面積のばらつきが補正される（補正工程）。これは、本願発明者が、印加電圧と着弾面積との間に一定の関係が存在することによる。
【００５３】
図６は、印加電圧と着弾面積の関係を示す図である。図６において、横軸は印加電圧、縦軸は着弾面積を示している。図６に示すように、印加電圧と着弾面積との間には相関関係があることが確認される。この関係を利用して駆動素子ＰＺに対して所定の電圧を印加することで、図７に示したように初期状態（補正前の実線）において複数のノズルＮ間で生じていたインク吐出量のばらつきを、補正後の実線に示すように略平均化することができる。
【００５４】
続いて、ステップＳ３の第１着弾面積測定工程について、図８及び図９を参照して詳細に説明する。図８は、吐出したインク滴と面積との関係を示す図であり、図９は、第１着弾面積測定工程の詳細工程を示すフローチャート図である。ここでは、図８に示すように、各ノズルＮ毎に１８滴のインク滴（液滴）を吐出してシート部材１５に塗布し、全インク滴の平均面積を当該ノズルＮから吐出されるインク滴の面積とする場合について説明する。
【００５５】
まず、ステップＳ２の第１着弾工程でシート部材１５に塗布された全てのインク滴に対して、上述した面積計測用カメラ１４で撮像し、面積測定解析ユニット３２で解析することにより、それぞれインク滴毎に面積を計測するとともに、統計演算処理して全ての面積データの平均値ＶＬ１（図８参照）を算出する（ステップＳ３１）。
【００５６】
次に、得られた面積データのうち、シート部材１５の表面特性に基づく第１閾値を超えるデータを除外する（ステップＳ３２；第１除外工程）。この第１閾値は、例えばシート部材１５の表面に規格値を超えるキズ等が生じていて、シート部材１５に塗布されたインク滴がキズに沿って濡れ拡がることで、異常値となって計測される面積データを除外するために設定されるものであり、本実施形態では、全インク滴の平均面積ＶＬ１に対して５％を第１閾値Ｔ１とし、図８に示すように、この第１閾値Ｔ１を超えるデータ（図８では、インク滴番号１３のデータ）を除外する。
【００５７】
続いて、インク滴番号１３の面積データを除外した残りの面積データ（すなわち１７個の面積データ）を用いて統計演算処理して平均値ＶＬ２を算出する（ステップＳ３３；第２統計処理工程）。そして、ステッＳ３４では、インク滴番号１３の面積データを除外した残りの面積データのうち、統計演算処理に基づく第２閾値を超えたデータを除外する。この第２閾値は、予めインク滴面積を複数回計測して統計演算処理した結果で求められたものであり、例えば偶発的に生じた異常値（シート部材１５に規格値内ではあるもののインク滴の濡れ拡がりに影響を及ぼすキズが存在する箇所に塗布した場合に生じる異常値や、インクの吐出特性で生じた異常値等）となって計測されるものであり、本実施形態では、標準偏差に基づく３σ相当を採用し、上記平均面積ＶＬ２に対して２％を第２閾値Ｔ２とし、図８に示すように、この第２閾値Ｔ２を超えるデータ（図８では、インク滴番号３のデータ）を除外する（第２除外工程）。
【００５８】
この後、上記異常値を示す面積データ（インク滴番号３、１３のデータ）を除外した残りのデータ（すなわち、１６個の面積データ）を用いて統計演算処理して平均値ＶＬ３を算出する（ステップＳ３５）。そして、この平均面積ＶＬ３を用いて上述した手順により、インク吐出量を求め、当該インク滴を吐出したノズルＮの平均吐出量とする（ステップＳ３６）。そして、これらの手順を複数のノズルＮ毎に繰り返して行うことにより、各ノズルＮの平均吐出量を求め、求めた平均吐出量に基づいてノズル毎に印加電圧を調整し、インク吐出量を補正する（ステップＳ３７）。
【００５９】
以上説明したように、本実施形態では、主としてシート部材１５の表面特性に基づき生じた異常な面積データを第１除外工程で除外するため、実質的にノズルＮからの吐出特性とは無関係な異常な面積データに影響を受けることなく、インク滴の平均面積ＶＬ２を算出することが可能になり、また、偶発的に生じる異常な面積データを統計演算処理に基づき第２除外工程で除外するため、より信頼性の高い面積計測結果、すなわち当該ノズルＮの吐出量を求めることが可能となり、高精度の吐出量補正を実施できる。
そのため、本実施形態では、ノズルＮ毎のインク吐出量を高精度に計測して補正することが可能となり、吐出量が均一化されることで、高品質のカラーフィルターを製造することができる。
【００６０】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００６１】
例えば、上記実施形態で示した第１閾値の５％、及び第２閾値の２％は一例であり、シート部材１５の表面特性及びノズルＮからの吐出特性の統計処理結果に応じて適宜変更可能である。また、上記実施形態では、統計演算処理として平均化処理を例示したが、これに限定されるものではなく、例えば最小自乗法等を用いてもよい。
【００６２】
また、上記実施形態においては、第２着弾工程の後に、シート部材１５にインクが着弾された第２着弾面積を測定する第２着弾面積測定工程と、第２着弾面積のばらつきを調整するように駆動素子ＰＺに印加する電圧を調整してインクをシート部材１５に着弾する第３着弾工程と、を少なくとも１回有していてもよい。
この方法によれば、第２着弾工程の後に、着弾面積測定工程と着弾工程と、を複数回繰り返して行うことにより、複数のノズルＮにおけるインク吐出量のばらつきが確実に調整される。このため、液滴吐出ヘッド５の全ノズルＮから格段に均一な量のインクを吐出することが可能となる。したがって、スジムラをより目立たなくして画質の低下を格段に抑制することができる。
【００６３】
また、本発明のカラーフィルターの製造方法によれば、上述したように液滴吐出ヘッドの全ノズルから均一な量のインクが吐出されるので、スジムラの無い高品質なカラーフィルターを製造することができる。
なお、上記実施形態では、ノズル間のインク吐出量のばらつきが調整された液滴吐出装置１を用いてカラーフィルターを製造する場合について説明したが、これに限らない。例えば、本発明の液滴吐出装置１はカラーフィルターの製造だけでなく、均一な膜厚を必要とされ、スジムラの形成が問題となる成膜工程においても適用可能である。
【符号の説明】
【００６４】
１…液滴吐出装置、  ５…液滴吐出ヘッド、  １５…シート部材、  Ｌ…液滴、  Ｎ…ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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