(57)【要約】【課題】装置自体の製造コストが安価で且つ高精度な位置決めを維持し得る真空蒸着用アライメント装置を提供する。【解決手段】真空容器３内に保持されたマスクの上方に、真空容器の取付用フランジ１ａに形成された貫通穴１ｂを挿通された吊持部材12を介して保持された基板ホルダ11と、真空容器の外部に設けられると共に吊持部材に連結された連結用板体13と、この連結用板体を移動させて基板ホルダに保持された蒸着室２内の基板のマスクに対する位置を調整し得る位置調整手段14と、吊持部材に外嵌されると共に取付用フランジの貫通穴の外周と連結用板体との間に設けられて真空側と大気側とを遮断する伸縮式筒状遮断部材15と、連結用板体と取付用フランジとの間に設けられて、筒状遮断部材の内側が真空状態であることにより発生する連結用板体への押圧力と同等の付勢力を、当該押圧力と逆方向に発生させる空気圧シリンダ61とを具備したもの。【選択図】図４
2010163692.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器内に保持された基板の表面に蒸着材料を所定パターンでもって蒸着させる際に用いられるマスクに対して当該基板の位置決めを行うアライメント装置であって、
上記真空容器内に保持されたマスクの上方に、当該真空容器の壁体部に形成された貫通穴を挿通された吊持部材を介して保持された基板の保持体と、
上記真空容器の外方に設けられるとともに上記吊持部材に連結された連結用板体と、
この連結用板体を移動させて保持体に保持された蒸着室内の基板のマスクに対する位置を調整し得る位置調整手段と、
上記吊持部材に外嵌されるとともに壁体部の貫通穴の外周と上記連結用板体との間に設けられて真空側と大気側とを遮断する伸縮式筒状遮断部材と、
上記連結用板体と当該連結用板体を跨ぐように壁体部上に立設された側面視が門形状の取付用フレームとの間に設けられて、上記伸縮式筒状遮断部材の内側が真空状態であることにより発生する連結用板体への押圧力と同等の付勢力を、当該押圧力と逆方向に発生させる空気圧シリンダとを具備し、
上記位置調整手段を、上記連結用板体をマスクの表面と平行な平面内で平行移動および回転させ得る平面内移動装置と、上記連結用板体をマスクと直交する軸心方向で移動させ得る鉛直移動装置とから構成し、
さらに上記平面内移動装置を、真空容器の壁体部側に設けられる駆動用支持機構および案内用支持機構と、これら支持機構により支持されてマスクの表面と平行に移動し得る移動板とから構成するとともに、この移動板と連結用板体とを昇降用案内機構を介して鉛直方向での移動を許容し得るようになし、
且つ上記昇降用案内機構を、上記移動板に立設されたガイド軸と、上記連結用板体側に設けられて上記ガイド軸をマスクと直交する軸心方向で移動自在に案内するガイド筒とから構成したことを特徴とする真空蒸着用アライメント装置。
【請求項２】
真空容器内に保持された基板の表面に蒸着材料を所定パターンでもって蒸着させる際に用いられるマスクに対して当該基板の位置決めを行うアライメント装置であって、
上記真空容器内に保持されたマスクの上方に、当該真空容器の壁体部に形成された貫通穴を挿通された吊持部材を介して保持された基板の保持体と、
上記真空容器の外方に設けられるとともに上記吊持部材に連結された連結用板体と、
この連結用板体を移動させて保持体に保持された蒸着室内の基板のマスクに対する位置を調整し得る位置調整手段と、
上記吊持部材に外嵌されるとともに壁体部の貫通穴の外周と上記連結用板体との間に設けられて真空側と大気側とを遮断する伸縮式筒状遮断部材と、
上記連結用板体と上記壁体部との間に設けられて、上記伸縮式筒状遮断部材の内側が真空状態であることにより発生する連結用板体への押圧力と同等の付勢力を、当該押圧力と逆方向に発生させる空気圧シリンダとを具備し、
上記位置調整手段を、上記連結用板体をマスクの表面と平行な平面内で平行移動および回転させ得る平面内移動装置と、上記連結用板体をマスクと直交する軸心方向で移動させ得る鉛直移動装置とから構成し、
さらに上記平面内移動装置を、真空容器の壁体部側に設けられる駆動用支持機構および案内用支持機構と、これら支持機構により支持されてマスクの表面と平行に移動し得る移動板とから構成するとともに、この移動板と連結用板体とを昇降用案内機構を介して鉛直方向での移動を許容し得るようになし、
且つ上記昇降用案内機構を、上記移動板に立設されたガイド軸と、上記連結用板体側に設けられて上記ガイド軸をマスクと直交する軸心方向で移動自在に案内するガイド筒とから構成したことを特徴とする真空蒸着用アライメント装置。
【請求項３】
空気圧シリンダによる付勢力を調整可能に構成したことを特徴とする請求項１または２に記載の真空蒸着用アライメント装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空蒸着用アライメント装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体基板などを製造する際に、真空容器内で半導体材料が蒸発されるとともに、基板表面に蒸着されて所定の導体パターンが形成されている。
この導体パターンを形成する場合、通常、基板の表面に導体パターンが形成されたマスクを配置し、その表面に塗布されたフォトレジストが露光されることにより行われている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１５７９７３
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、真空容器内において、マスクに対して基板を所定位置に配置する必要があり、この位置合わせのためのアライメント装置が設けられている。
このアライメント装置は真空容器内に配置されることになるが、位置決め精度が高いアライメント装置を真空容器内に配置する場合、ガス放出が少ない特種な材料の部品、潤滑剤、放熱対策などを必要とするため、装置そのものが非常に高価なものとなる。
【０００５】
一方、このような事態を回避するために、アライメント装置を真空容器の外部に配置することが考えられる。
このように、アライメント装置を真空容器の外部に配置する場合には、アライメント装置におけるマスク保持部材の真空容器内への挿入部分における真空維持機構が必要となり、したがって特殊なシール機構、または加工が必要となり、やはり装置が高価なものとなる。
【０００６】
さらに、マスク保持部材の真空容器内への挿入部分には、真空力により、言い換えれば、大気圧による大きい外力を受けて、歪が生じ位置合わせ精度が低下する虞れがあった。
そこで、上記課題を解決するため、本発明は、装置自体の製造コストが安価で且つ高精度な位置決めを維持し得る真空蒸着用アライメント装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明の請求項１に係る真空蒸着用アライメント装置は、真空容器内に保持された基板の表面に蒸着材料を所定パターンでもって蒸着させる際に用いられるマスクに対して当該基板の位置決めを行うアライメント装置であって、
上記真空容器内に保持されたマスクの上方に、当該真空容器の壁体部に形成された貫通穴を挿通された吊持部材を介して保持された基板の保持体と、
上記真空容器の外方に設けられるとともに上記吊持部材に連結された連結用板体と、
この連結用板体を移動させて保持体に保持された蒸着室内の基板のマスクに対する位置を調整し得る位置調整手段と、
上記吊持部材に外嵌されるとともに壁体部の貫通穴の外周と上記連結用板体との間に設けられて真空側と大気側とを遮断する伸縮式筒状遮断部材と、
上記連結用板体と当該連結用板体を跨ぐように壁体部上に立設された側面視が門形状の取付用フレームとの間に設けられて、上記伸縮式筒状遮断部材の内側が真空状態であることにより発生する連結用板体への押圧力と同等の付勢力を、当該押圧力と逆方向に発生させる空気圧シリンダとを具備し、
上記位置調整手段を、上記連結用板体をマスクの表面と平行な平面内で平行移動および回転させ得る平面内移動装置と、上記連結用板体をマスクと直交する軸心方向で移動させ得る鉛直移動装置とから構成し、
さらに上記平面内移動装置を、真空容器の壁体部側に設けられる駆動用支持機構および案内用支持機構と、これら支持機構により支持されてマスクの表面と平行に移動し得る移動板とから構成するとともに、この移動板と連結用板体とを昇降用案内機構を介して鉛直方向での移動を許容し得るようになし、
且つ上記昇降用案内機構を、上記移動板に立設されたガイド軸と、上記連結用板体側に設けられて上記ガイド軸をマスクと直交する軸心方向で移動自在に案内するガイド筒とから構成したものである。
【０００８】
また、請求項２に係る真空蒸着用アライメント装置は、真空容器内に保持された基板の表面に蒸着材料を所定パターンでもって蒸着させる際に用いられるマスクに対して当該基板５の位置決めを行うアライメント装置であって、
上記真空容器内に保持されたマスクの上方に、当該真空容器の壁体部に形成された貫通穴を挿通された吊持部材を介して保持された基板の保持体と、
上記真空容器の外方に設けられるとともに上記吊持部材に連結された連結用板体と、
この連結用板体を移動させて保持体に保持された蒸着室内の基板のマスクに対する位置を調整し得る位置調整手段と、
上記吊持部材に外嵌されるとともに壁体部の貫通穴の外周と上記連結用板体との間に設けられて真空側と大気側とを遮断する伸縮式筒状遮断部材と、
上記連結用板体と上記壁体部との間に設けられて、上記伸縮式筒状遮断部材の内側が真空状態であることにより発生する連結用板体への押圧力と同等の付勢力を、当該押圧力と逆方向に発生させる空気圧シリンダとを具備し、
上記位置調整手段を、上記連結用板体をマスクの表面と平行な平面内で平行移動および回転させ得る平面内移動装置と、上記連結用板体をマスクと直交する軸心方向で移動させ得る鉛直移動装置とから構成し、
さらに上記平面内移動装置を、真空容器の壁体部側に設けられる駆動用支持機構および案内用支持機構と、これら支持機構により支持されてマスクの表面と平行に移動し得る移動板とから構成するとともに、この移動板と連結用板体とを昇降用案内機構を介して鉛直方向での移動を許容し得るようになし、
且つ上記昇降用案内機構を、上記移動板に立設されたガイド軸と、上記連結用板体側に設けられて上記ガイド軸をマスクと直交する軸心方向で移動自在に案内するガイド筒とから構成したものである。
【０００９】
さらに、請求項３に係る真空蒸着用アライメント装置は、請求項１または２に記載のアライメント装置における空気圧シリンダによる付勢力を調整可能に構成したものである。
【発明の効果】
【００１０】
上記の各真空蒸着用アライメント装置の構成によると、所定の真空下でマスクに対する基板の位置合わせを行う際に、真空容器の外部に基板のアライメント装置を配置したので、真空下を考慮した材料等を用いる必要がないとともに、特殊なシール機構などについても必要とせず、したがって装置自体の製造コストを安価にすることができる。
【００１１】
また、真空下で大気圧による押圧力に対向し得る付勢力を付与し得る空気圧シリンダを具備したので、アライメント装置に余分な外力が作用するのを防止することができ、したがってマスクに対する基板の位置合わせを高精度に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態１に係るアライメント装置が設けられた真空蒸着装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】同アライメント装置における基板ホルダおよびマスクの概略斜視図である。
【図３】同アライメント装置の概略斜視図である。
【図４】同アライメント装置の断面図である。
【図５】同アライメント装置における平面内移動装置の平面図で、（ａ）は平面内移動装置の構成を示すもので、（ｂ）〜（ｆ）はその動作を説明するものである。
【図６】同アライメント装置における基板とマスクとの位置合わせ動作を説明する平面図である。
【図７】本発明の実施の形態２に係るアライメント装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の実施の形態に係る真空蒸着用アライメント装置について説明する。
この真空蒸着用アライメント装置は真空蒸着装置に設けられるもので、例えば有機ＥＬディスプレイの表示部の製造時に、マスクを用いてガラス基板の表面に有機材料を所定のパターンでもって蒸着させて導体パターンを得る際に、ガラス基板を保持するとともにマスクに対する当該ガラス基板の位置調整（アライメント）を行うためのものである。
［実施の形態１］
以下、実施の形態１に係る真空蒸着用アライメント装置を、図１〜図６に基づき説明する。
【００１４】
図１に示すように、このアライメント装置１は、真空下でガラス基板の表面に有機材料を蒸着させるための蒸着室２を有する真空容器３の上壁部３ａに取付用フランジ（壁体部の一例である）１ａを介して設けられている。なお、取付用フランジを介さずに、真空容器の上面全体に亘って設けられる上壁部に、直接、取り付けるようにしてもよい。
【００１５】
上記真空容器３の蒸着室２の下部には蒸発源４が配置されるとともに、真空容器３の蒸着室２内の上方位置には、アライメント装置１を介してガラス基板（以下、基板という）５が保持され、またこの基板５の下方には、所定の導体パターンを形成するためのマスク６がその取付枠７を介してマスク保持体８により保持されている。なお、真空容器３の側壁部３ｂには、基板５およびマスク６の搬入出用開口部９が設けられており、基板５およびマスク６の搬入および搬出については、ロボットハンド（図示せず）が用いられる。
【００１６】
上記アライメント装置１には、図２〜図４に示すように、板状のホルダ本体部１１ａに基板５を吸着し得るシート状の静電チャック部１１ｂが設けられてなる例えば平面視が矩形状の基板ホルダ（基板の保持体）１１と、この基板ホルダ１１の左右２箇所に下端部が連結されるとともに上端部が取付用フランジ１ａに形成された貫通穴１ｂを挿通されて真空容器３の外部に突出された２本の円筒状の吊持部材１２と、真空容器３の外部に設けられて上記２本の吊持部材１２の上端部に且つその上端開口部が上面に開口するように貫通して連結された例えば平面視矩形状の連結用板体１３と、上記取付用フランジ１ａの上面に配置されて連結用板体１３を移動させて基板ホルダ１１に保持された蒸着室２内における基板５のマスク６に対する位置を調整し得る位置調整手段１４と、上記各吊持部材１２に外嵌されるとともに取付用フランジ１ａの貫通穴１ｂの外周と上記連結用板体１３との間に設けられて真空側と大気側とを遮断する伸縮式筒状遮断部材（例えば、真空ベローズが用いられる）１５と、この筒状遮断部材１５の内側が真空状態であることにより発生する連結用板体１３への押圧力（押付力）と逆方向の付勢力を発生させる（付与する）付勢手段１６とが具備されている。なお、上記筒状遮断部材１５と取付用フランジ１ａ側および連結用板体１３側とは、それぞれ所定内径の下部環状取付座１７および上部環状取付座１８を介して連結されており、取付用フランジ１ａ側に設けられる上部環状取付座１８への筒状遮断部材１５における取付部開口面積（接触面積）に真空による力（大気圧による押圧力）が作用することになる。
【００１７】
上記位置調整手段１４は、連結用板体１３を、マスク６の表面と平行な平面内で平行移動、回転（板体の中心を回転中心とした回転）および旋回（板体の中心とは異なる位置を中心にした回転）させ得る平面内移動装置２１と、マスク６（連結用板体の表面でもある）と直交する鉛直方向（軸心方向）で移動させ得る鉛直移動装置２２とから構成されている。
【００１８】
上記平面内移動装置２１は、図４および図５に示すように、平面視が矩形状の支持板３１と、この支持板３１上の４隅の内、３箇所に配置された駆動用支持機構３２および残りの１箇所に配置された案内用支持機構３３と、これら各支持機構３２，３３に設けられた連結具３４を介して支持された移動板３５とから構成されており、またこの移動板３５と連結用板体１３とは昇降用案内機構３６を介して鉛直方向での移動を許容するとともに水平面内での移動が連動（追従）するように構成されている。
【００１９】
上記駆動用支持機構３２は、公知の技術であり、図５に示すように、水平面内で、すなわちＸ−Ｙ軸方向でリニアガイド機構３７を介して移動し得るとともに、サーボモータ３８により一方の軸方向（Ｘ軸またはＹ軸方向）に沿って強制移動を行い得るもので、また案内用支持機構３３は、上記と同様のリニアガイド機構３９を介してＸ−Ｙ軸方向で自由に移動し得るようにされたものである。
【００２０】
そして、３個の駆動用支持機構３２の内、２個については、同一方向で強制移動し得るように配置されるとともに、残りの１個については、上記２個の強制移動方向と直交する方向で強制移動し得るように配置されて、これら３個の内、所定（１個、２個または３個）の駆動用支持機構３２におけるサーボモータ３８を駆動することにより、移動板３５を、Ｘ軸方向（図５（ｂ）参照）、Ｙ軸方向（図５（ｃ）参照）、Ｘ軸およびＹ軸に対して斜め方向（図５（ｄ）参照）、並びに移動板３５の中心を回転軸とする回転方向でもって（図５（ｅ）参照）、また任意の支持機構３２側を中心として旋回させる旋回方向でもって（図５（ｆ）参照）、移動板３５を水平面内で任意の方向並びに任意の回転角または旋回角でもって移動させ得るものである。
【００２１】
上記昇降用案内機構３６は、図３および図４に示すように、移動板３５の上面に一体に設けられた平面視矩形状の取付板４１と、この取付板４１の前後で且つ左右位置で立設された４本のガイド軸４２と、連結用板体１３側に設けられてこれら各ガイド軸４２に外嵌して上下方向で移動自在に案内される４個のガイド筒４３とから構成されている。なお、図面上では、前部または後部に係る左右のガイド軸４２およびガイド筒４３だけを示している。
【００２２】
そして、鉛直移動装置２２として、電動シリンダ（サーボモータにより駆動されるもの）が用いられ、この電動シリンダの出退用ロッド部２２ａが上記取付板４１に連結されており、その出退用ロッド部２２ａを出退させることにより、連結用板体１３を介して基板ホルダ１１が昇降されて、マスク６に対する基板５の間隔が調整される。
【００２３】
上記付勢手段１６は、貫通穴１ｂを介して蒸着室２に連通されて真空状態になる筒状遮断部材１５内の端面側に作用する大気圧による押圧力を打ち消す（または、軽減する）ためのものである。
【００２４】
すなわち、この付勢手段１６は、連結用板体１３を跨ぐように取付用フランジ１ａ上に立設された側面視が門形状の取付用フレーム５１と、上記連結用板体１３の左右位置に設けられた台座部５２と、この台座部５２と上記取付用フレーム５１の水平部５１ａとの間に配置された空気圧シリンダ６１とから構成され、またこの空気圧シリンダ６１としては、例えば片ロッド式のものが用いられるとともに、そのロッド側シリンダ室６２の空気供給口６３には、途中に圧力調整器６４を有する空気配管６５を介して空気供給ポンプ６６が接続されたものである。
【００２５】
また、図４に示すように、上記吊持部材１２としては筒状のものが用いられるとともに、基板ホルダ１１には両吊持部材１２内の連通用穴１２ａに接続される通路（穴部である）１１ｃが設けられて、吊持部材１２の上端開口から水などの冷却流体を供給することにより、基板５を冷却し得るようにされており、またこれらの連通用穴１２ａの上端から静電チャック部１１ｂへの電気配線が行われる。
【００２６】
さらに、図１および図３に示すように、マスク保持体８に保持されたマスク６に対して基板５の位置合わせを行うために、すなわち図６に示すように、マスク６の対角線上の隅部に設けられた円形のマスク側マークＭ１内に、基板５側に設けられた点状の基板側マークＭ２が入るように位置合わせを行うためのＣＣＤカメラ装置５７が連結用板体１３側に設けられており、勿論、取付用フランジ１ａ側には、覗き窓５８が設けられている。
【００２７】
上記構成において、真空容器３内にてマスク６に対する基板５の位置合わせを行う作業について説明する。
まず、図１に示すように、真空容器３の側壁部３ｂに形成された搬入出用開口部９より、ロボットハンドを用いて、基板５をマスク保持体８により保持されたマスク６の上方に挿入するとともに、静電チャック部１１ｂにて基板５を保持した後、ロボットハンドを真空容器３から出し、そして搬入出用開口部９を閉じる。なお、真空容器３内にマスク等を搬入または搬出する際には、少なくとも搬入出用開口部（正確に言えば、搬入出用開口部９に接続された空間側）９については、真空容器３内と同じ真空度に保たれた状態にされている。
【００２８】
そして、真空容器３内を、すなわち蒸着室２内を真空下にする際には、空気供給ポンプ６６を作動させて、空気圧シリンダ６１に、真空による押圧力に対向し得る付勢力として引張力が発生される。したがって、連結用板体１３には、真空による余分な外力が働くことはない。
【００２９】
次に、マスク保持体８により蒸着室２内に保持されたマスク６に対して、上記基板ホルダ１１により保持された基板５の位置合わせが行われる。
このマスク６に対する基板５の位置合わせには、対角線上に配置された２台のＣＣＤカメラ装置５７が用いられる。
【００３０】
すなわち、図６に示すように、マスク６側に設けられた円形のマスク側マークＭ１内に、基板５側に設けられた点状の基板側マークＭ２が入るように、位置調整手段１４の平面内移動装置２１が駆動された後、鉛直移動装置２２により、マスク６の表面に、殆ど接触するように基板５が移動される。
【００３１】
マスク６に対する基板５の位置合わせが完了すると、蒸発源４の加熱により、蒸着材料がマスク６のパターンに応じて基板５の表面に付着されて所定の導体パターンが形成される。
【００３２】
所定の導体パターンが形成されると、ロボットアームにより搬入出用開口部９から基板５を取り出した後、新しい基板５を真空容器３内に挿入して基板ホルダ１１に保持させ、そして上述したように、位置合わせを行い導体パターンを形成すればよい。
【００３３】
このように、所定の真空下で、マスク６に対する基板５の位置合わせを行う際に、真空容器３の外部に基板５のアライメント装置１を配置したので、装置自体の構成を安価なものにすることができる。
【００３４】
また、このアライメント装置１における基板５の吊持部材１２を真空容器３の外部に導くための貫通穴１ｂを形成した際に、この貫通穴１ｂを大気側と遮断するための筒状遮断部材１５の連結用板体１３への取付部分の反対側に、真空下で大気圧による押圧力に対向し得る付勢手段１６を具備したので、アライメント装置１に余分な外力が作用するのを防止することができ、したがって装置に歪が発生することがないので、マスクに対する基板の位置合わせを高精度でもって行うことができる。
【００３５】
詳しく説明すると、下記のような効果が得られる。
１．基板５を水平面内で移動させる平面内移動装置２１および鉛直方向で移動させる鉛直移動装置２２を真空容器３の外部（大気圧下）に配置したので、特殊な真空用機械要素や、モータの冷却装置を必要としないので、安価で且つ高精度なアライメント装置を提供することができる。
２．各移動装置２１，２２を真空容器３の外部（大気圧下）に配置するとともに、真空下で作用する押圧力に対向し得る付勢力を付与し得る付勢手段１６を具備したので、真空により生じる各移動装置２１，２２に作用する力を軽減することができ、したがって移動装置におけるモータなどの駆動機器として容量の小さいものを用いることができるので、より安価な構成にし得る。
３．また、各移動装置２１，２２を真空容器３の外部（大気圧下）に配置するとともに、真空下で作用する押圧力に対向し得る付勢力を付与し得る付勢手段１６を具備したので、装置自体に歪が発生するのを抑制し得るとともに、基板５の位置合わせ用のカメラ装置５７における視野ずれを防止でき、したがって高精度な位置合わせを行うことができる。
４．静電チャック部１１ｂにより基板５を保持するようにしているので、基板５の平面度を維持することが可能となり、したがってマスク６との距離を非常に小さくすることができるので、より高精度な位置合わせを行うことができる。
５．また、静電チャック部１１ｂにより基板５を保持するようにしているので、基板５の平面度を維持して基板５をマスク６に均等な面圧で接触させることが可能となり、したがってより高精度な位置合わせを行うことができる。
６．基板ホルダ１１を支持する吊持部材１２およびホルダ本体部１１ａ内に連通用穴１２ａおよび通路１１ｃを形成するとともに、これら連通用穴１２ａおよび通路１１ｃ内を大気圧下としたので、基板ホルダ１１の冷却を容易に行い得るとともに、静電チャック部１１ｂへの電気配線についても容易に行うことができる。
［実施の形態２］
次に、実施の形態２に係る真空蒸着用アライメント装置を、図７に基づき説明する。
【００３６】
上記実施の形態１においては、付勢手段１６としての空気圧シリンダ６１を連結用板体１３と側面視が門形状にされた取付用フレーム５１との間に配置したが、本実施の形態２においては、連結用板体１３と壁体部１ａとの間に配置したものである。
【００３７】
すなわち、図７に示すように、連結用板体１３と取付用フランジ１ａとの間に空気圧シリンダ６１を配置して、連結用板体１３を下方から上方に付勢するように構成したものである。
【００３８】
したがって、蒸着室２内を真空下にする際には空気供給ポンプ６６を作動させて、空気圧シリンダ６１に、真空による押圧力に対向し得る付勢力としての引張力を発生させるようにすればよい。
【００３９】
この場合も、実施の形態１と同様の効果が得られ、また空気圧シリンダ６１に供給する空気圧を調整することにより、押圧力に対向し得る引張力の大きさを調整することができる。
【００４０】
この構成によれば、図７に示すように、取付用フレームおよび台座部が不要となり、装置のコンパクト化、軽量化および製作コストの低減化を図ることができる。
ここで、本実施の形態２に係るアライメント装置の概略構成を示すと以下のようになる。
【００４１】
すなわち、この真空蒸着用アライメント装置は、真空容器内に保持された基板の表面に蒸着材料を所定パターンでもって蒸着させる際に用いられるマスクに対して当該基板の位置決めを行うアライメント装置であって、
上記真空容器内に保持されたマスクの上方に、当該真空容器の壁体部に形成された貫通穴を挿通された吊持部材を介して保持された基板の保持体と、
上記真空容器の外方に設けられるとともに上記吊持部材に連結された連結用板体と、
この連結用板体を移動させて保持体に保持された蒸着室内の基板のマスクに対する位置を調整し得る位置調整手段と、
上記吊持部材に外嵌されるとともに壁体部の貫通穴の外周と上記連結用板体との間に設けられて真空側と大気側とを遮断する伸縮式筒状遮断部材と、
上記連結用板体と上記壁体部との間に設けられて、上記伸縮式筒状遮断部材の内側が真空状態であることにより発生する連結用板体への押圧力と同等の付勢力を、当該押圧力と逆方向に発生させる空気圧シリンダとを具備し、
上記位置調整手段を、上記連結用板体をマスクの表面と平行な平面内で平行移動および回転させ得る平面内移動装置と、上記連結用板体をマスクと直交する軸心方向で移動させ得る鉛直移動装置とから構成し、
さらに上記平面内移動装置を、真空容器の壁体部側に設けられる駆動用支持機構および案内用支持機構と、これら支持機構により支持されてマスクの表面と平行に移動し得る移動板とから構成するとともに、この移動板と連結用板体とを昇降用案内機構を介して鉛直方向での移動を許容し得るようになし、
且つ上記昇降用案内機構を、上記移動板に立設されたガイド軸と、上記連結用板体側に設けられて上記ガイド軸をマスクと直交する軸心方向で移動自在に案内するガイド筒とから構成したものである。
【００４２】
なお、上述した各実施の形態によると、空気圧シリンダ６１については、連結用板体１３の台座部５２と取付用フレーム５１との間、または連結用板体１３と取付用フランジ１ａとの間に配置されるが、連結用板体１３側が少なくとも水平方向に移動し得るため、空気圧シリンダ６１の両端部には自在継手が介装される。また、図７において、空気圧シリンダ６１の下側であるシリンダ本体を取付用フランジ１ａ側に固定するとともに、上側であるロッド部の先端に転動用ボール（ボール軸受）６７を配置して、単に、下側から連結用板体１３を支持するだけの構成にしてもよい。
【００４３】
ところで、上述した各実施の形態においては、有機ＥＬ材料をガラス基板に蒸着させる真空蒸着装置におけるアライメント装置として説明したが、勿論、真空蒸着の対象としては、この有機ＥＬ材料に限定されるものでもなく、例えば半導体装置の製造に際して、真空容器内でマスクを用いて基板上に導体パターンを形成するための装置であれば、どのような真空蒸着装置にでも適用し得るものである。
【符号の説明】
【００４４】
１      アライメント装置
１ａ    取付用フランジ
１ｂ    貫通穴
２      蒸着室
３      真空容器
５      ガラス基板
６      マスク
１１      基板ホルダ
１２      吊持部材
１２ａ    連通用穴
１３      連結用板体
１４      位置調整手段
１５      筒状遮断部材
１６      付勢手段
１８      上部環状取付座
２１      平面内移動装置
２２      鉛直移動装置
３２      駆動用支持機構
３３      案内用支持機構
３５      移動板
３６      昇降用案内機構
４２      ガイド軸
４３      ガイド筒
５１      取付用フレーム
６１      空気圧シリンダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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