(57)【要約】      （修正有）【課題】小型化をしても力検出感度を確保し、ロボットの高速化にも対応した力覚センサ内蔵把持装置を提供する。【解決手段】把持装置１００は、把持部１１０と連結された駆動機構１２０の把持部側と相反する位置に変位式の力センサ１７０を配置して、把持部の重心位置よりもフィンガー側に弾性部材１３０を介して筐体１４０に支持した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を把持する把持装置において、部品を把持する複数のフィンガー及び、前記フィンガーと連結し前記フィンガーを駆動する駆動機構とからなる把持部と、
前記駆動機構を弾性部材を介して弾性支持し、前記駆動機構の一部を内部に収めた筐体と、
前記駆動機構の前記フィンガー側と相反する端部および、前記筐体の前記端部に対向する位置とに配置された、力覚センサ部とを有し、
前記弾性部材は、前記把持部の重心位置近傍からフィンガーの間に配置されていることを特徴とする把持装置。
【請求項２】
前記弾性部材は前記把持部の重心位置近傍に配置されていることを特徴とする請求項１記載の把持装置。
【請求項３】
前記弾性部材は、複数の板バネを積層した構造体からなる請求項１または２のいずれか一項記載の把持装置。
【請求項４】
前記弾性部材は、リング状若しくはバンド状のゴムからなる請求項１〜３記載の把持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、産業用ロボットのアーム先端部等に取り付け、様々な部品を把持し組み付ける際に使用する把持装置に関するものである。特に、本発明は部品を組み立てるときの組み付け反力を検知し、組み付け力を制御しながら組立を行うもので、産業用ロボットによる自動組立用把持装置として利用可能な発明である。
【背景技術】
【０００２】
近年、カメラ等の小型で複雑な構造をした製品に対する自動化の要求が高まっており、これらの製品は小型の産業用ロボットで、高速かつ精密な組付けを微妙な力制御を伴って行う必要がある。
【０００３】
従来より、把持した部品を正確かつ確実に組み付けるため、変位センサがロボットアームとハンドとの間に設けられ、組み付け時の力を変位センサで検知しながらアームやハンドの制御を行っている例として、特許文献１に開示されたものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６１−２４１０８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に関する基本的な装置構成および信号伝達の仕組みを図７に示す。Ａがロボットアーム、１０がセンサ部、Ｇが把持部、ａは部品であり、部品ａは把持部に備えられたフィンガーで把持してワークｂに組み付けられる。２３はロボットアームＡを動作させるモーターなどの駆動機構を表わし、２４はロボットアームＡの動作信号及び位置制御信号を駆動装置２３へ入力する制御装置である。
【０００６】
符号２５は、各変位センサからの検出信号に基づいてロボットアームＡと把持部Ｇとの６軸方向の相対変位を演算する演算器で、部品ａをワークｂへの組み付けが良好に行える許容値を設定する許容値設定器２６を具えている。比較器２７は変位演算器２５から得られた変位と、設定された前記許容値とを比較して駆動装置２３に出力し、実際の変位がこの許容値内に収まるようロボットアームＡを作動させる。
【０００７】
図８はセンサ部１０の詳細図で、図９は図８におけるＢ−Ｂ矢視図である。図８にて、センサ部１０は、ロボットアームＡの先端に取付けられるアーム側プレート１１と、把持部Ｇに取付けられる把持部側プレート１２と、両プレート１１、１２を結合支持する弾性部材１３を有している。また、センサ部１０はプレート１１、１２の間に変位検出機構を備えており、この変位検出機構はアーム側プレート１１に把持部側プレート１２へ向けて先端部が十文字形に形成されたビーム１４を具えている。
【０００８】
図９にて、ビーム１４の十文字形先端部には、Ｙ軸に平行でかつ互いに相反する側面に設けられたＸ方向変位センサ１５、１６と、Ｘ方向に平行でかつ互いに相反する側面にＹ方向変位センサ１７、１８をそれぞれ備えている。十文字形先端部の把持部側プレートに対する面には、把持装置側プレート１２と所定の隙間をもって対向した変位センサ１９、２０、２１、２２が設けられている。Ｘ方向変位センサ１５、１６及びＹ方向変位センサ１７、１８にそれぞれ所定の隙間をもって対向する突片２３、２４、２５、２６が把持装置側プレート１２に備えられている。
【０００９】
これらの構成により、制御装置２４から入力された所定のプログラムに基づいて駆動装置２３によりロボットアームＡを動作させ、把持部Ｇに備えられたフィンガーより把持した部品ａをワークｂに組み付け（挿入）を行う。この際、部品ａとワークｂとの相対的な位置誤差がある場合に、部品ａがワークｂに当接することによる弾性部材１３のたわみで、ロボットアームＡに対する把持部Ｇの相対的変位が検出される。そして、あらかじめ定められた相対変位量の許容値の範囲内で挿入作業を行なうことで、部品ａやワークｂ、把持装置などの破損を防止し、良好な状態で組み付けを行うことを実現するものである。
【００１０】
しかしながら上記従来例による把持装置では、ロボットアームと把持部との間にセンサ部をいわば「直列」に結合する形で構成していた。把持装置やセンサ部を小型化としようとした場合、以下に示すようにセンサ部における力検出感度確保と高速化対応の両立が困難という課題があった。
【００１１】
センサ部をアームの長手方向に小型化する際には、ロボットアーム側プレート１１と把持部側プレート１２との間に弾性部材１３が構成されているため、このプレート間距離を短くするしか手段が無い。この距離を短くすると弾性部材１３とともにビーム１４の柱の長さが短くなる。よってビーム１４の支点と変位センサ部の距離がほとんど取れず、センサ部における変位検出量が小さくなるので検出感度（加わった力に対する変位センサの変位量の比）が落ちる。
【００１２】
一方、弾性部材をより柔軟な部材に置き換えることで弾性部材の剛性を落とせば、検出感度を上げることができる。しかし、弾性部材の剛性を落とすと把持部Ｇがロボットアームにたいしてふらつき易くなるので、ロボットアームを駆動させたとき、把持装置の位置決め静定に時間がかかるという問題が起こる。
【００１３】
この点を詳述すると、図７に示された従来のロボットアームでは、ロボットアームＡと把持部Ｇとの間にセンサ部１０を直列に結合していることから、センサ部１０の弾性部材１３の変形支点と、把持部Ｇの重心位置が離れた位置になってしまう。よって、ロボットアームを駆動させたときの慣性力によって、弾性部材の変位支点と把持部Ｇの重心位置の差によって発生するモーメント力が把持部Ｇに大きく作用するため、把持部Ｇと連結されたセンサ部１０も静定するまでに時間を要するのである。静定に要する時間は、弾性部材の剛性を落とすほど大きくなる。
【００１４】
また作業効率を向上させるために従来の把持装置を高速に駆動させると、高速なほど前述したモーメント力が大きくなってしまい静定するまでに時間を要する。静定するまでに時間を短くするためには弾性部材の剛性を上げる必要があるが、そうすると、センサ部の検出感度が落ちてしまい、高精度な力覚検出が難しくなる。
【００１５】
このように、従来の把持装置ではセンサ部をロボットアームの長手方向に沿って小型化しようとした場合には検出感度と高速化対応の両立が難しい。
【００１６】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、本発明に係る目的は、センサ部の検出感度を落とさずに小型化をするとともに、高速化にも対応した力覚センサを内蔵した把持装置を提供することにある。
【００１７】
また、本発明の他の目的は、ロボットアームが動作したときの慣性力によるセンサ部への余分なモーメント力の影響を極力小さくすることができ、位置決め静定時間を短くし、高速動作への対応が可能とする力覚センサ内蔵把持装置を提供することにある。
【００１８】
更に、本発明の他の目的は、弾性部材の剛性を上げつつ、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸それぞれの力覚センサの検出軸間の感度差を小さくし、高精度な力覚検出が可能な力覚センサ内蔵把持装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
前記課題解決のための第１の発明は、部品を把持する把持装置において、部品を把持する複数のフィンガー及び、前記フィンガーと連結し前記フィンガーを駆動する駆動機構とからなる把持部と、
前記駆動機構を弾性部材を介して弾性支持し、前記駆動機構の一部を内部に収めた筐体と、
前記駆動機構の前記フィンガー側と相反する端部および、前記筐体の前記端部に対向する位置とに配置された、力覚センサ部とを有し、
前記弾性部材は、前記把持部の重心位置近傍からフィンガーの間に配置されていることを特徴とする把持装置である。
【００２０】
上記構成にすることにより、小型化しても力覚センサ部から弾性部材の変形支点との距離を大きくとることができるので、一方の力覚センサに対する他方の力覚センサの変位が拡大され、小型化しても検出感度を落とすことが無くなり、検出感度を十分確保することができる。さらに、把持部がロボットアームに対してふらつくほど弾性部材の剛性を落とす必要が無くなる。したがって力覚センサ部における力検出感度確保と高速化対応の両立が可能となる。
【００２１】
第２の発明は、前記把持部の重心位置近傍に前記弾性部材を具えたことを特徴とする把持装置である。
【００２２】
上記構成により、把持部の重心位置と弾性部材の変形支点が略一致するので、弾性部材の変位支点と把持部重心位置の位置差による慣性力で発生するモーメント力が力覚センサ部に及ぼす影響を極力小さくすることができる。従って、ロボットアームに取り付け動作させたときの慣性力によって発生する余分なモーメント力が影響せず、位置決め静定に要する時間を小さくすることができ、より良い高速化対応が可能となる。
【００２３】
第３の発明は、前記弾性部材が、複数の板バネを積層した構造体により構成されていることを特徴とする把持装置である。
【００２４】
上記構成により、弾性体の組合せによる各変位軸の剛性の設計自由度が上がり、弾性部材の変位軸（方向）ごとの剛性差を小さくし、所望の剛性に設計できる。また、弾性体を板ばねとすることで、弾性部材の剛性をあげることもできる。従って、弾性部材の剛性を上げつつ力覚センサの検出軸間の感度差を小さくできるので、高精度な力覚検出が可能となる。
【発明の効果】
【００２５】
本出願に係る発明によれば、力覚センサ部の検出感度とロボットアームの高速動作による位置決め静定時間の増大を抑制することとを両立させつつ力覚センサ部を小型化ができる。
【００２６】
また本出願に係る発明によれば、弾性部材の変位支点と把持部重心位置の位置差による慣性力で発生するモーメント力が力覚センサ部に及ぼす影響を極力小さくすることができるので、位置決め静定に要する時間を特に小さくすることができ、高速化対応が可能となる。
【００２７】
また本出願に係る第３の発明によれば、力覚センサの検出軸間の感度差を緩和することが可能となる。弾性部材を板ばねとすることで、更に弾性部材の剛性を上げられ、弾性部材の剛性を上げつつ力覚センサの検出軸間の感度差を小さくできるので、高精度な力覚検出が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明を適用した実施例の概略構成図である。
【図２】本発明を適用した実施例で、把持部に部品を把持し組み付け時の力がかかった状態の図である。
【図３】本発明を適用した実施例で、図２におけるＡ−Ａ矢視で変位検出部を拡大した図である。
【図４】本発明を適用した把持装置をロボットアームに取り付けた図である。
【図５】本発明を適用した弾性部材の実施例での図である。
【図６】本発明を適用した実施例で、図５における（ａ）はＡ矢視図、（ｂ）はＢ矢視図である。
【図７】従来の把持装置の概略構成図である。
【図８】従来の把持装置における変位検出部の拡大図である。
【図９】従来の変位検出部を示した図６におけるＢ−Ｂ矢視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下で本発明を適用した基本的な実施形態の構成を図１、図２、図３、図４を用いながら説明する。本発明は、部品を把持する把持装置において、カメラ等の小型製品における部品を、高速で力制御を行いながら組み付けを行うための小型の力覚センサを内蔵した把持装置である。
【００３０】
図１において把持装置１００は、部品を把持する着脱可能なフィンガー１１０、フィンガー１１０を駆動するためのモーター等を示す駆動機構１２０を有し、複数のフィンガー及びフィンガーに連結した駆動機構とで把持部を形成している。
【００３１】
また把持部で受けた力によって弾性変位する弾性部材１３０、部品を把持し組み付けるときの組み付け反力を検出するための力覚センサ部１７０、駆動機構１２０の一部を内部に収めた把持装置筐体１４０から構成されている。二本のフィンガー間の中心と力覚センサ部１７０中心を結ぶ直線をＺ軸とする。また図１の紙面に向かって上方を＋Ｚ、右方向を＋Ｘ方向、紙面奥方向を＋Ｙとする。
【００３２】
フィンガー１１０は、部品や組み付け動作に合わせてフィンガーの本数や関節数、弾性などがそれぞれ選ばれ、さまざまな形態の把持部をとりうる。また、駆動機構１２０はそのままに、さまざまな形状のフィンガーを、用途に合わせて駆動機構１２０に交換可能に取り付けることができるように構成してもよい。その場合、いろいろな種類のフィンガーの取り付けが可能なように駆動機構１２０との結合部分は共通化するとよい。
【００３３】
駆動機構１２０は、フィンガー１１０と連結して駆動する機構が備えられており、駆動するためのギアやリンク等のメカニカルな機構、及びアクチュエータ等を有し、ひとつのユニットとなっている。駆動機構１２０は、弾性部材１３０を介して把持装置筐体１４０に対して姿勢変化が可能なように固定されている。要するに、フィンガー１１０と連結した駆動機構１２０を弾性部材１３０を介して把持装置筐体１４０に対して弾性支持しているため、フィンガーまたは駆動機構に加わった加重によって駆動機構１２０は把持装置筐体１４０に対して姿勢変化が可能なわけである。
【００３４】
駆動機構１２０の、フィンガー側と相反する端部と、該端部に面する筐体の壁面には一対の変位式の力覚センサ部１７０が設けられている。力覚センサ部１７０は、変位出力素子１５０を駆動機構１２０側に具え、対向する把持装置筐体１４０側に変位検出素子１６０を具えている。変位出力素子１５０と変位検出素子１６０との距離を調整するために、駆動機構１２０にさらに部材を設け、前記部材に変位出力素子１５０を設けてもよい。
【００３５】
上記の構成をとると、モーター等からなる駆動機構１２０の振動が部材に伝播する過程で減衰するため、力覚センサ部１７０で検知される信号にノイズが混入することを抑止できる効果も期待できる。
【００３６】
図２及び図１を参照して、部品Ｐを把持して、組み付ける際の把持装置の状態を以下で説明する。図２によると、部品Ｐを把持して組み付けるときにフィンガー１１０にかかる組み付け反力のＸＹ平面内での作用力をＦとすると、駆動機構１２０が図２のように弾性部材１３０を支点に把持装置筐体１４０に対して変位する。
【００３７】
力覚センサ部１７０は、駆動機構１２０の把持装置筐体１４０に対する変位を検知するホール素子と磁場発生源である永久磁石の対などからなる機構である。変位を検出する機構であれば上記の磁気式の変位センサである必要は特にない。
【００３８】
力覚センサ部で検知した変位は、不図示の演算部によって、変位量から作用力Ｆを検出する。図３は、図２におけるＡ−Ａ断面での矢視図である。図３において、例えば変位出力素子１５０を永久磁石として、変位検出素子１６１、１６２、１６３、１６４をホール素子とすると、永久磁石とホール素子との間の距離が変化することでホール素子へ流入する磁束の密度が変化するので、駆動機構１２０の把持装置筐体１４０に対する変位量を検知することができる。
【００３９】
ここで、変位検出素子１６１、１６２、１６３、１６４（合計４個）を把持装置筐体１４０側に＋Ｘ、−Ｘ、＋Ｙ、−Ｙ位置に配置することで変位の大きさとともに変位方向の検出も可能となる。組み付けの際の作用力ＦがＸＹ平面内で−Ｘ、−Ｙ方向に作用したとすると、変位出力素子１５０が＋Ｘ、＋Ｙ方向に変位する。従って＋Ｘ、＋Ｙ位置にある変位検出素子１６１、１６２の出力が大きくなり、−Ｘ、−Ｙ位置にある変位出力素子１６３、１６４の出力は小さくなる。これによって組み付け作用Ｆの大きさと方向を検出することが可能となる。
【実施例】
【００４０】
図４は、ロボットアーム２００に取り付けた上述の把持装置１００と、ロボットアーム及び把持装置の制御部とを模式的に示した図である。把持装置１００には、把持装置１００の動作を制御する把持装置制御部１８０が接続され、ここで力覚センサ部１７０より検出した変位信号から力に変換する演算も行う。
【００４１】
ロボットアーム２００には、ロボットアームの動作を制御するロボットアーム制御部２１０が構成されている。把持装置制御部１８０より把持装置１００のフィンガー１１０に印加された力の情報をロボットアーム制御部２１０が受信し、ロボットアーム２００の動作に反映させるように構成されている。
【００４２】
弾性部材１３０は、駆動機構１２０の壁面を支持するように配置されている。具体的には、把持部の重心位置近傍の壁面を支持するように配置されている。ロボットアームが動作したとき働く慣性力は、弾性部材１３０を介して結合されている駆動機構１２０とフィンガー１１０を合わせた部分に主にかかる。
【００４３】
また、把持部の把持装置筐体１４０に対する静定時間が極端に増大しない限り、弾性部材１３０を把持部の重心位置近傍とフィンガー１１０の間に配置してよい。その場合、姿勢変形の支点から力覚センサ部１７０までの距離をさらに大きくとることができるので、同じ作用力Ｆがフィンガー１１０に印加された場合でも、変位出力素子１５０と変位検出素子１６０の変位を大きく拡大することができる。したがってより高感度な力のセンシングが可能となる。
【００４４】
力制御による組み付け動作を行う一連の流れを説明する。把持した部品Ｐを組み付ける際に、部品Ｐが組み付ける相手部品に当接すると、組み付け時の作用力Ｆを駆動機構１２０に取り付けられたフィンガー１１０で受けるため、弾性部材１３０がたわむ。この作用力Ｆを力覚センサ部１７０で検出することは既に述べた。
【００４５】
力覚センサ部１７０で検出された変位情報は、把持装置制御部１８０に伝送され、制御部の演算器によってフィンガー１１０に負荷された作用力Ｆの大きさと向きとが演算される。その結果は、ロボットアーム制御部２１０に伝送される。ロボットアーム制御装置２１０では、伝送された作用力の情報に基づき、部品およびロボットアームを破壊しないように、負荷される作用力Ｆを一定の範囲内になるように、ロボットアーム２００の動作を制御しながら組み付けを行う。
【００４６】
以上で説明した構成より、弾性部材１３０をフィンガー１１０と力覚センサ部１７０との間に具えたことで、力覚センサ部を小型化しても力覚センサ部１７０から、駆動機構１２０の変位支点である弾性部材１３０との距離を大きくとることができる。
【００４７】
なお、図８に示した従来の力センサ内蔵のロボットハンドでは、弾性部材１３を短くすると、ビーム１４も短くしなければならないため、ビーム１４の変位支点であるプレート１１との接合部とビーム１４の先端までの距離を短くせざるを得ず、作用力Ｆによる変位センサ１５の変位が小さくなるので検出感度が低下していたことは上述の通りである。
【００４８】
本発明では、駆動機構１２０の把持装置筐体１４０に対する変位支点となる弾性部材１３０を把持部の重心位置近傍からフィンガー１１０の間に設置することで、力覚センサ部１７０で変位拡大することができるため、検出感度を十分に確保することができる。また、十分な検出感度が確保されていることから弾性部材１３０の剛性も落とす必要が無いため、ロボットアームの高速移動時に把持部が把持装置筐体１４０に対してふらつくという心配も少なくなり、小型化と同時に高速化への対応も可能となる。
【００４９】
また、把持部の重心位置と弾性部材１３０の変形支点を一致させることで、弾性部材１３０の変形支点と把持部との重心位置の位置差によるモーメント力が力覚センサ部に及ぼす影響を極力小さくすることができる。このような構成をとると、ロボットアームの高速移動時において、把持装置の位置決め静定時間を特に短くし、高速動作への対応がさらに容易となる。
【００５０】
以下では弾性部材１３０の個々の実施例について説明する。
【００５１】
弾性部材１３０は、ゴムなどで一体形成されたリング状もしくはバンド状の支持体や、駆動機構の壁面を複数の支点で支える複数のゴム部材であっても良いが、力覚センサの検出軸をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸などの各軸に対しての感度の違いを調整するために以下に示すような板バネからなる構造物であってもよい。
【００５２】
図５は、弾性部材１３０の具体的な構成を示した例である。
力覚センサ検出軸がＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸の場合である。図６（ａ）は、図５におけるＣ矢視図、図６（ｂ）は図５におけるＤ矢視図である。
【００５３】
図５において、Ｚ方向＋側に駆動機構１２０に固定される上側部材１３３、Ｚ方向−側に把持装置筐体１４０に固定される下側部材１３４が構成されている。板ばね１３２は、上側板ばね１３２ａ、下側板ばね１３２ｂとＺ方向２段に構成され、１８０度対向位置に配置された板ばね支持部材１３１ａと１３１ｂが各２本ずつ組み合わされている。この板ばね支持部材１３１ａと１３１ｂが、板ばね１３２を支持しつつ、上側部材１３３と下側部材１３４にそれぞれ固定されている。
【００５４】
フィンガー１１０に作用力Ｆが加えられると、板ばね１３２がたわむことで弾性部材１３０が弾性変形する。力覚センサのＸ軸、Ｙ軸の検出は、弾性部材においてはＸ軸がＹ軸周りの回転ωｙ軸、Ｙ軸がＸ軸周りのωｙ軸となっている。ここで、ωｘ軸、ωｙ軸の変位は、弾性部材の変位支点に対して、センサ部において変位拡大されているが、Ｚ軸は変位方向とセンサ部での変位検出方向が一致するため変位拡大されない。よって、作用力Ｆが、図２においてＸ方向に作用した場合と、Ｚ方向に作用した場合で、センサ部における検出感度に差が生じることになる。
【００５５】
このＺ軸とωｘ軸、ωｙ軸との感度差を調整するには、単なる弾性部材の材質の選定では不可能で、本発明のように複数の板ばね（弾性部材）を積層した構造体とすることで、ωｘ軸、ωｙ軸の剛性を保ちつつ、変位拡大されないＺ軸方向の剛性を調整することができる。図６（ａ）、図６（ｂ）のように、板ばねの板厚ｔ１、ｔ２、板ばね間隔ｓ１、板ばね支持部材幅ｕ１、ｖ１の各部寸法を調整することで、Ｚ軸とωｘ軸、ωｙ軸の各軸の剛性を所望の値に調整することが可能となる。このとき、板ばね支持部材１３１ａ、１３１ｂの断面積は、板ばねの断面積に対して充分に大きく、板ばねの変位量に対して板ばね支持部材の変位量は充分小さいものとする。これにより、弾性部材の各変位軸の剛性を設計でき、弾性部材の剛性を上げつつも、力覚センサの検出軸間の感度差を小さくできるので、高精度な力覚検出が可能となる。
【００５６】
本実施例は一例であって構成等を限定をするものではない。部品とは把持できるものであれば何でも良く対象は限定しない。フィンガー１１０は部品を把持できるものであれば何でも良く図中のように２本である必要はない。また、駆動機構１２０は、フィンガー１１０による把持を可能とする駆動機構であれば、駆動源（電磁式や圧空式など）や機構部（ギア、リンクなど）も何でも構わない。また、弾性部材は、実施例においては検出軸を３軸としたが、軸数を制限するものでは無く、必要軸数に合わせて板ばね及び板ばね支持部材の形状、数、位置を変えても良い。力覚センサ部は、本実施例ではホール素子などを想定したが、相対変位が検出できるセンサであれば何でも（例えば、レーザ変位計や渦電流センサ等）構わない。また、検出素子の数、位置を変えることで６軸（Ｘ、Ｙ、Ｚ、θｘ、θｙ、θｚ・・・θはＸ、Ｙ、Ｚ各軸周りの回転軸）の検出も可能となる。
【００５７】
以上説明したように本発明を適用した力覚センサ内蔵把持装置では、従来では不可能であった把持装置の小型化と従来以上の力検出感度の確保の両立を実現し、小物の部品等を高速で把持し力制御を行いながら組み付けを行うことが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明は、産業用ロボットによる自動組立用の高速動作対応の小型把持装置に利用可能な発明。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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