(57)【要約】【課題】コア軸におけるセンサケース本体に対する出没動作をスムーズにすること。【解決手段】把持装置１０は、センサケース本体５１に対してセンサケース本体５１の軸線の周囲に当接するとともにセンサケース本体５１をヘッドカバー３９に向けて付勢してヘッドカバー３９と協働してセンサケース本体５１を挟み込む付勢部材６５を備えている。これによれば、センサケース本体５１は、センサケース本体５１の軸線の周囲に当接する付勢部材６５とヘッドカバー３９とによって挟み込まれているため、センサケース本体５１が、コア軸６３の軸線に対して傾いた状態でボディ１１内に配置されてしまうことが抑制される。したがって、コア軸６３におけるセンサケース本体５１に対する出没動作がスムーズになる。【選択図】図２
2020023031.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が給排されるシリンダ室を有する筒状のボディと、
前記シリンダ室に収容されるとともに前記シリンダ室に給排される流体によって往復動するピストンと、
前記ボディにおける軸線方向の端部に取り付けられるヘッドカバーと、
前記ピストンの往復動に伴って開閉動作を行う一対のマスタージョウと、
前記ピストンと同軸に配置された状態で前記ボディに内蔵されるとともに前記一対のマスタージョウの位置を検出するＬＶＤＴセンサと、を備え、
前記ＬＶＤＴセンサは、
筒状のセンサケース本体と、
前記センサケース本体に巻回された一次コイル及び２つの二次コイルと、
前記ピストンと一体的に往復動するとともに前記センサケース本体に対して出没可能であるコア軸と、を有している把持装置であって、
前記センサケース本体に対して前記センサケース本体の軸線の周囲に当接するとともに前記センサケース本体を前記ヘッドカバーに向けて付勢して前記ヘッドカバーと協働して前記センサケース本体を挟み込む付勢部材を備えたことを特徴とする把持装置。
【請求項２】
前記センサケース本体の外周面には、前記センサケース本体の外周面と前記ボディの内周面との間をシールして前記シリンダ室からの流体の洩れを抑制する環状のシール部材が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の把持装置。
【請求項３】
前記ヘッドカバーは、前記ボディに対してねじ込まれる雄ねじ部を有し、
前記センサケース本体における前記ボディに対する回転を防止する回転止め機構をさらに備えていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の把持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、把持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図７に示すように、例えば特許文献１の把持装置１００は、流体が給排されるシリンダ室１０１を有する筒状のボディ１０２と、シリンダ室１０１に収容されるとともにシリンダ室１０１に給排される流体によって往復動するピストン１０３と、ピストン１０３の往復動に伴って開閉動作を行う一対のマスタージョウ１０４と、を備えている。
【０００３】
また、特許文献１では、一対のマスタージョウ１０４の位置を検出するために、ＬＶＤＴセンサ１０５（差動トランス）を用いている。ＬＶＤＴセンサ１０５は、筒状のセンサケース本体１０６と、センサケース本体１０６に巻回された一次コイル１０７及び２つの二次コイル１０８と、ピストン１０３と一体的に往復動するとともにセンサケース本体１０６に対して出没可能であるコア軸１０９と、を有している。一次コイル１０７には、交流電圧が印加される。そして、ピストン１０３の往復動に伴ってコア軸１０９が往復動することにより、各二次コイル１０８それぞれに発生する誘起電圧に差が生じる。この誘起電圧の差は、コア軸１０９の位置に応じて変化する。また、一対のマスタージョウ１０４の移動量とピストン１０３の移動量とは比例関係にある。したがって、この誘起電圧の差の変化量によって、コア軸１０９の移動量、すなわちピストン１０３の移動量が検出可能となり、結果として、一対のマスタージョウ１０４の移動量が検出可能となる。これによれば、一対のマスタージョウ１０４の位置がリニアに検出可能となり、一対のマスタージョウ１０４の位置検出が高精度に行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−３２０４７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１の把持装置１００においては、ボディ１０２における軸線方向の端部に第１ヘッドカバー１１１及び第２ヘッドカバー１１２が取り付けられている。第１ヘッドカバー１１１には、センサケース本体１０６が貫通する貫通孔１１１ａが形成されている。センサケース本体１０６は、第１ヘッドカバー１１１の貫通孔１１１ａを貫通した状態で、その一部分が第１ヘッドカバー１１１及び第２ヘッドカバー１１２によって挟み込まれることにより、第１ヘッドカバー１１１及び第２ヘッドカバー１１２に固定されている。そして、第１ヘッドカバー１１１及び第２ヘッドカバー１１２がボディ１０２の端部に取り付けられることにより、センサケース本体１０６は、ピストン１０３と同軸に配置された状態でボディ１０２内に位置している。
【０００６】
このとき、センサケース本体１０６は、第１ヘッドカバー１１１及び第２ヘッドカバー１１２によって片持ち支持された状態でボディ１０２内に位置している。このため、第１ヘッドカバー１１１及び第２ヘッドカバー１１２におけるボディ１０２に対する取り付け状態によっては、センサケース本体１０６が、コア軸１０９の軸線に対して傾いた状態でボディ１０２内に配置されてしまう場合がある。すると、コア軸１０９におけるセンサケース本体１０６に対する出没動作が行われ難くなる虞があり、一対のマスタージョウ１０４の位置を精度良く検出することができなくなってしまう。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、コア軸におけるセンサケース本体に対する出没動作をスムーズにすることができる把持装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する把持装置は、流体が給排されるシリンダ室を有する筒状のボディと、前記シリンダ室に収容されるとともに前記シリンダ室に給排される流体によって往復動するピストンと、前記ボディにおける軸線方向の端部に取り付けられるヘッドカバーと、前記ピストンの往復動に伴って開閉動作を行う一対のマスタージョウと、前記ピストンと同軸に配置された状態で前記ボディに内蔵されるとともに前記一対のマスタージョウの位置を検出するＬＶＤＴセンサと、を備え、前記ＬＶＤＴセンサは、筒状のセンサケース本体と、前記センサケース本体に巻回された一次コイル及び２つの二次コイルと、前記ピストンと一体的に往復動するとともに前記センサケース本体に対して出没可能であるコア軸と、を有している把持装置であって、前記センサケース本体に対して前記センサケース本体の軸線の周囲に当接するとともに前記センサケース本体を前記ヘッドカバーに向けて付勢して前記ヘッドカバーと協働して前記センサケース本体を挟み込む付勢部材を備えた。
【０００９】
上記把持装置において、前記センサケース本体の外周面には、前記センサケース本体の外周面と前記ボディの内周面との間をシールして前記シリンダ室からの流体の洩れを抑制する環状のシール部材が設けられているとよい。
【００１０】
上記把持装置において、前記ヘッドカバーは、前記ボディに対してねじ込まれる雄ねじ部を有し、前記センサケース本体における前記ボディに対する回転を防止する回転止め機構をさらに備えているとよい。
【発明の効果】
【００１１】
この発明によれば、コア軸におけるセンサケース本体に対する出没動作をスムーズにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施形態における把持装置の断面図。
【図２】把持装置を拡大して示す断面図。
【図３】ワークを把持した状態を示す把持装置の断面図。
【図４】ボディの平面図。
【図５】把持装置の分解断面図。
【図６】別の実施形態における把持装置を拡大して示す断面図。
【図７】従来例における把持装置の断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、把持装置を具体化した一実施形態を図１〜図５にしたがって説明する。
図１に示すように、把持装置１０は、四角筒状のボディ１１を備えている。ボディ１１には、ボディ１１の軸線方向に貫通する円孔状の貫通孔１２が形成されている。貫通孔１２は、雌ねじ孔１３、センサ収容孔１４、シリンダ孔１５、ロッド挿通孔１６、及び収容孔１７により形成されている。雌ねじ孔１３、センサ収容孔１４、シリンダ孔１５、ロッド挿通孔１６、及び収容孔１７は、ボディ１１の軸線方向の一端部から他端部にかけてこの順に並んでボディ１１に形成されている。よって、雌ねじ孔１３は、ボディ１１の一端面１１ａに開口している。収容孔１７は、ボディ１１の他端面１１ｂに開口している。
【００１４】
雌ねじ孔１３におけるボディ１１の一端面１１ａとは反対側の端部は、センサ収容孔１４に連通している。センサ収容孔１４における雌ねじ孔１３とは反対側の端部は、シリンダ孔１５に連通している。シリンダ孔１５におけるセンサ収容孔１４とは反対側の端部は、ロッド挿通孔１６に連通している。ロッド挿通孔１６におけるシリンダ孔１５とは反対側の端部は、収容孔１７に連通している。
【００１５】
雌ねじ孔１３の孔径は、センサ収容孔１４の孔径よりも大きい。また、センサ収容孔１４の孔径は、シリンダ孔１５の孔径よりも大きい。よって、ボディ１１は、センサ収容孔１４の内周面とシリンダ孔１５の内周面とを接続するとともにボディ１１の軸線方向に対して直交する方向に延びる環状の第１段差面１８を有している。また、シリンダ孔１５の孔径は、ロッド挿通孔１６の孔径よりも大きい。よって、ボディ１１は、シリンダ孔１５の内周面とロッド挿通孔１６の内周面とを接続するとともにボディ１１の軸線方向に対して直交する方向に延びる環状の第２段差面１９を有している。
【００１６】
ロッド挿通孔１６の孔径は、収容孔１７の孔径よりも小さい。よって、ボディ１１は、ロッド挿通孔１６の内周面と収容孔１７の内周面とを接続するとともにボディ１１の軸線方向に対して直交する方向に延びる環状の第３段差面２０を有している。ロッド挿通孔１６の内周面には、環状のシール装着溝１６ａが形成されている。シール装着溝１６ａは、第３段差面２０に開口している。
【００１７】
図２に示すように、センサ収容孔１４は、小径孔１４ａと、小径孔１４ａよりも孔径が大きい大径孔１４ｂとから形成されている。小径孔１４ａは、大径孔１４ｂよりもシリンダ孔１５側に位置しており、シリンダ孔１５に連通している。大径孔１４ｂは、雌ねじ孔１３に連通している。小径孔１４ａの内周面と大径孔１４ｂの内周面とは、円錐状のテーパ面１４ｃによって接続されている。テーパ面１４ｃは、大径孔１４ｂから小径孔１４ａに向かうにつれて縮径していく。
【００１８】
図１に示すように、ボディ１１の他端面１１ｂには、平板状の一対の支持部２１が突出している。図１では、図面の都合上、一対の支持部２１の一方のみが図示されている。一対の支持部２１は、ボディ１１の他端面１１ｂからボディ１１の軸線方向に突出している。一対の支持部２１は、互いに平行に延びている。貫通孔１２は、一対の支持部２１の間に開口している。
【００１９】
貫通孔１２内には、円板状のばね受け部材２２が収容されている。ばね受け部材２２の外径は、シリンダ孔１５の孔径よりも大きく、且つセンサ収容孔１４の小径孔１４ａの孔径よりも僅かに小さい。ばね受け部材２２の一端面２２ａの外周部は、第１段差面１８に当接している。ばね受け部材２２の他端面２２ｂには、円環状のばね収容溝２２ｃが形成されている。ばね受け部材２２の中央部には、円孔状の挿通孔２２ｈが形成されている。
【００２０】
そして、貫通孔１２内には、ばね受け部材２２の一端面２２ａ、シリンダ孔１５の内周面、及び第２段差面１９によってシリンダ室２３が区画されている。よって、ボディ１１は、シリンダ室２３を有している。シリンダ室２３には、円環状のピストン２４が収容されている。ピストン２４の外周面には、円環状のピストンパッキン２５が装着されている。ピストンパッキン２５は、ピストン２４の外周面とシリンダ孔１５の内周面との間をシールする。
【００２１】
ピストン２４は、シリンダ室２３を、ばね受け部材２２側の第１圧力作用室２６と、第２段差面１９側の第２圧力作用室２７とに区画している。ボディ１１の外周壁におけるばね受け部材２２寄りには、第１圧力作用室２６に連通する第１流体給排ポート２８が形成されている。そして、第１圧力作用室２６には、第１流体給排ポート２８によって流体が給排される。また、ボディ１１の外周壁における第２段差面１９寄りには、第２圧力作用室２７に連通する第２流体給排ポート２９が形成されている。そして、第２圧力作用室２７には、第２流体給排ポート２９によって流体が給排される。したがって、シリンダ室２３には流体が給排される。ピストン２４は、第１圧力作用室２６及び第２圧力作用室２７に対して流体の給排が行われることにより、シリンダ室２３を往復動する。したがって、ピストン２４は、シリンダ室２３に給排される流体によってシリンダ室２３を往復動する。
【００２２】
ピストン２４には、ピストン２４におけるばね受け部材２２とは反対側の端面からボディ１１の軸線方向に延びるピストンロッド３０が一体化されている。よって、ピストンロッド３０は、ピストン２４と一体的に移動する。ピストンロッド３０は、ロッド挿通孔１６及び収容孔１７を通過してボディ１１の他端面１１ｂから突出している。ピストンロッド３０におけるピストン２４とは反対側の先端部は、一対の支持部２１の間に位置している。よって、ピストンロッド３０は、一対の支持部２１の間で、ボディ１１に対して出没可能になっている。
【００２３】
シール装着溝１６ａ内にロッドパッキン３１が装着されている。ロッドパッキン３１は、ロッド挿通孔１６の内周面とピストンロッド３０の外周面との間をシールする。また、収容孔１７内には抜け止め部材３２が配置されている。抜け止め部材３２は、ロッドパッキン３１におけるシール装着溝１６ａからの抜けを防止する。
【００２４】
把持装置１０は、ピストン２４の往復動に伴って開閉動作を行う一対のマスタージョウ３３を備えている。また、把持装置１０は、一対のマスタージョウ３３を互いに接離する方向へ案内するガイドプレート３４を備えている。ガイドプレート３４は、一対の支持部２１におけるボディ１１の他端面１１ｂとは反対側の端部に取り付けられている。ガイドプレート３４における一対の支持部２１とは反対側の端面には、一対のマスタージョウ３３を互いに接離する方向へ案内するガイド凹部３４ａが形成されている。また、ガイドプレート３４には、一対のレバー用貫通孔３４ｈが形成されている。
【００２５】
把持装置１０は、一対のレバー３５を備えている。各レバー３５は、略Ｌ字板状である。各レバー３５の一部は、一対の支持部２１の間に配置されている。各レバー３５の一端部には、Ｕ字形状の係合溝３５ａが形成されている。各レバー３５の係合溝３５ａは、ピストンロッド３０の先端部に設けられた係合軸３６に係合されている。また、各レバー３５のＬ字の屈曲部分には、支持軸３７がそれぞれ貫通している。各支持軸３７は、一対の支持部２１に架け渡された状態で一対の支持部２１に固定されている。そして、ピストンロッド３０が、ボディ１１に対して出没動作を行うことによって、各レバー３５が各支持軸３７を回動中心として回動する。
【００２６】
各レバー３５の他端部は、各レバー用貫通孔３４ｈを通過してガイドプレート３４における一対の支持部２１とは反対側の端面から突出している。各レバー３５の他端部には、係合子３８が設けられている。そして、各レバー３５の係合子３８は、各マスタージョウ３３に形成された収容凹部３３ｈに挿入されている。これにより、各係合子３８と各収容凹部３３ｈとが互いに掛止されている。この各係合子３８と各収容凹部３３ｈとの掛止によって、各レバー３５の先端部に各マスタージョウ３３が連結されている。
【００２７】
図３に示すように、第２流体給排ポート２９から第２圧力作用室２７に流体が供給されると、ピストン２４がばね受け部材２２に向けて移動し始め、第１圧力作用室２６の流体が第１流体給排ポート２８を介して外部へ排出され、ピストン２４がばね受け部材２２に向けて移動していく。これにより、ピストンロッド３０がボディ１１に対して没入する方向へ移動する。このピストンロッド３０におけるボディ１１に対する没入方向への移動に伴って、一対のレバー３５の一端部が係合軸３６を介してピストンロッド３０に引き込まれて、各レバー３５が各支持軸３７を回動中心として各係合子３８が互いに接近する方向へ回動する。この各係合子３８における互いに接近する方向への移動によって、一対のマスタージョウ３３が互いに接近する方向へ移動し、ワークＷ１を把持する。
【００２８】
図１に示すように、第１流体給排ポート２８から第１圧力作用室２６に流体が供給されると、ピストン２４が第２段差面１９に向けて移動し始め、第２圧力作用室２７の流体が第２流体給排ポート２９を介して外部へ排出され、ピストン２４が第２段差面１９に向けて移動していく。これにより、ピストンロッド３０がボディ１１に対して突出する方向へ移動する。このピストンロッド３０におけるボディ１１に対する突出方向への移動に伴って、一対のレバー３５の一端部が係合軸３６を介してピストンロッド３０に押し込まれて、各レバー３５が各支持軸３７を回動中心として各係合子３８が互いに離間する方向へ回動する。この各係合子３８における互いに離間する方向への移動によって、一対のマスタージョウ３３が互いに離間する方向へ移動し、ワークＷ１の把持状態が解除される。
【００２９】
図２に示すように、雌ねじ孔１３には、円板状のヘッドカバー３９が取り付けられている。よって、ヘッドカバー３９は、ボディ１１における軸線方向の一端部に取り付けられている。ヘッドカバー３９の外周面には、雌ねじ孔１３に対してねじ込まれる雄ねじ部３９ａが形成されている。よって、ヘッドカバー３９は、ボディ１１に対してねじ込まれる雄ねじ部３９ａを有している。そして、貫通孔１２内には、ヘッドカバー３９、センサ収容孔１４の内周面、及びばね受け部材２２の他端面２２ｂによってセンサ収容室４０が区画されている。よって、ボディ１１は、センサ収容室４０を有している。
【００３０】
把持装置１０は、一対のマスタージョウ３３の位置を検出するＬＶＤＴセンサ５０を備えている。ＬＶＤＴセンサ５０は、円筒状のセンサケース本体５１と、センサケース本体５１に巻回された一次コイル６１及び２つの二次コイル６２と、ピストン２４と一体的に往復動するとともにセンサケース本体５１に対して出没可能であるコア軸６３と、を有している。
【００３１】
センサケース本体５１は、樹脂製である有底円筒状の本体部５２を有している。本体部５２は、円板状の底壁５２ａと、底壁５２ａの外周部から延びる円筒状の周壁５２ｂと、を有している。周壁５２ｂの内径は、ばね受け部材２２の挿通孔２２ｈの孔径と同じである。また、本体部５２は、周壁５２ｂにおける底壁５２ａとは反対側の端部から外方へ突出する環状のフランジ５２ｃを有している。センサケース本体５１においては、一次コイル６１及び２つの二次コイル６２が本体部５２に樹脂モールドされており、一次コイル６１及び２つの二次コイル６２は本体部５２の周壁５２ｂに埋設されている。一次コイル６１及び２つの二次コイル６２は、本体部５２の軸線方向に並んで配置されている。本体部５２の軸線方向において、一次コイル６１は、２つの二次コイル６２の間に配置されている。
【００３２】
また、センサケース本体５１は、本体部５２の周壁５２ｂの外周面を覆う円筒状の被覆部材５３を有している。被覆部材５３は、例えば、鉄製である。さらに、センサケース本体５１は、被覆部材５３の外周面を覆う円筒状のケース部材５４を有している。ケース部材５４は、例えば、アルミニウム製である。ケース部材５４の外径は、フランジ５２ｃの外径と略同じである。ケース部材５４におけるフランジ５２ｃ側の端面は、フランジ５２ｃに接触している。また、ケース部材５４におけるヘッドカバー３９側の端面は、ヘッドカバー３９に当接している。
【００３３】
フランジ５２ｃの外径、及びケース部材５４の外径は、センサ収容孔１４の小径孔１４ａの孔径よりも僅かに小さい。センサケース本体５１は、センサ収容室４０に収容されている。フランジ５２ｃは、小径孔１４ａの内側に配置されている。本体部５２の周壁５２ｂの軸心は、ばね受け部材２２の挿通孔２２ｈの軸心と一致している。
【００３４】
コア軸６３は、ピストン２４におけるばね受け部材２２側の端面に形成された雌ねじ孔２４ｈに螺合される雄ねじ６３ａが形成されている。そして、コア軸６３は、雄ねじ６３ａが雌ねじ孔２４ｈに螺合されることにより、ピストン２４におけるばね受け部材２２側の端面からボディ１１の軸線方向に延びた状態でピストン２４に一体化されている。なお、雄ねじ６３ａにはナット６４が螺着されており、雄ねじ６３ａにおける雌ねじ孔２４ｈに対するねじの緩みが抑制されている。
【００３５】
コア軸６３は、シリンダ室２３からばね受け部材２２の挿通孔２２ｈを通過して本体部５２の周壁５２ｂの内側に挿入されている。コア軸６３の外径は、周壁５２ｂの内径、及びばね受け部材２２の挿通孔２２ｈの孔径よりも小さい。ＬＶＤＴセンサ５０は、ピストン２４と同軸に配置された状態でボディ１１に内蔵されている。
【００３６】
一次コイル６１には交流電圧が印加されている。各二次コイル６２には、ピストン２４の往復動に伴ってコア軸６３が各二次コイル６２の内側を往復動することにより誘起電圧がそれぞれ発生する。
【００３７】
ばね受け部材２２のばね収容溝２２ｃ内には、付勢部材６５が収容されている。付勢部材６５は、例えば、ウェーブワッシャである。付勢部材６５は、本体部５２における底壁５２ａとは反対側の端面に当接している。よって、付勢部材６５は、センサケース本体５１に対してセンサケース本体５１の軸線の周囲に当接するとともにセンサケース本体５１をヘッドカバー３９に向けて付勢している。そして、付勢部材６５は、ヘッドカバー３９と協働してセンサケース本体５１を挟み込んでいる。
【００３８】
フランジ５２ｃの外周面には、円環状のシール部材６６が装着されている。シール部材６６は、フランジ５２ｃの外周面と小径孔１４ａの内周面との間をシールしている。よって、センサケース本体５１の外周面には、センサケース本体５１の外周面とボディ１１の内周面との間をシールしてシリンダ室２３からの流体の洩れを抑制するシール部材６６が設けられている。
【００３９】
把持装置１０は、センサケース本体５１におけるボディ１１に対する回転を防止する回転止め機構７０をさらに備えている。回転止め機構７０は、ケース部材５４の外周面にねじ込まれるボルト７１と、ボディ１１に形成されるとともにボルト７１の頭部７１ａが内側に配置される孔７２とから構成されている。
【００４０】
図４に示すように、ボディ１１の外周壁の外側面には、凹部１１ｃが形成されている。そして、孔７２は、凹部１１ｃの底面１１ｄに形成されている。孔７２は、センサ収容孔１４の大径孔１４ｂに連通している。孔７２は、平面視すると、楕円孔形状である。孔７２の長手方向は、ボディ１１の軸線方向に一致している。孔７２の内周縁は、孔７２の長手方向に互いに平行に延びる一対の長側縁７２ａと、一対の長側縁７２ａにおけるばね受け部材２２側の端部同士を接続するとともに弧状に湾曲する第１湾曲縁７２ｂと、一対の長側縁７２ａにおけるヘッドカバー３９側の端部同士を接続するとともに弧状に湾曲する第２湾曲縁７２ｃとから形成されている。
【００４１】
図２に示すように、フランジ５２ｃが小径孔１４ａの内側に配置されており、センサケース本体５１が、付勢部材６５とヘッドカバー３９とによって挟み込まれている状態において、ボルト７１の頭部７１ａは、孔７２の第１湾曲縁７２ｂ寄りに位置している。このとき、ボディ１１の軸線方向において、ボルト７１の頭部７１ａと孔７２の第２湾曲縁７２ｃとの間の距離Ｌ１は、テーパ面１４ｃからシール部材６６までの距離Ｌ２よりも大きくなっている。
【００４２】
図４に示すように、凹部１１ｃの底面１１ｄには、配線用挿通孔１１ｈが形成されている。図２に示すように、配線用挿通孔１１ｈは、孔７２よりもヘッドカバー３９寄りに位置するとともに、センサ収容孔１４の大径孔１４ｂに連通している。また、ケース部材５４には、切欠５４ｋが形成されている。配線用挿通孔１１ｈと切欠５４ｋとは、ボディ１１の軸線方向に対して直交する方向で重なり合っている。そして、一次コイル６１及び２つの二次コイル６２から引き出された電気配線７３は、切欠５４ｋ及び配線用挿通孔１１ｈを通過して凹部１１ｃ内に向けて延びている。
【００４３】
図１に示すように、ボディ１１の外周壁の外側面には、増幅器７４が搭載されている。よって、増幅器７４は、把持装置１０に一体化されている。増幅器７４は、凹部１１ｃを閉塞した状態でボディ１１の外周壁の外側面に取り付けられている。電気配線７３における一次コイル６１及び２つの二次コイル６２とは反対側の端部は、増幅器７４に電気的に接続されている。増幅器７４は、コネクタ７４ａを介して外部制御機器７５に電気的に接続されている。増幅器７４は、各二次コイル６２から出力される誘起電圧を増幅する。そして、増幅器７４によって増幅された電圧は、コネクタ７４ａを介して外部制御機器７５へ供給される。
【００４４】
次に、本実施形態の作用について説明する。
ピストン２４の往復動に伴ってコア軸６３が往復動することにより、各二次コイル６２それぞれに発生する誘起電圧に差が生じる。この誘起電圧の差は、コア軸６３の位置に応じて変化する。また、一対のマスタージョウ３３の移動量とピストン２４の移動量とは比例関係にある。したがって、外部制御機器７５は、各二次コイル６２から電気配線７３及び増幅器７４を介して供給される誘起電圧の差の変化量を検出することによって、コア軸６３の移動量、すなわちピストン２４の移動量が検出可能となり、結果として、一対のマスタージョウ３３の移動量が検出可能となる。これによれば、一対のマスタージョウ３３の位置がリニアに検出可能となり、一対のマスタージョウ３３の位置検出が高精度に行われる。
【００４５】
また、外部制御機器７５は、一対のマスタージョウ３３がワークＷ１を把持している際に、一対のマスタージョウ３３の位置を検出することにより、一対のマスタージョウ３３の位置情報に基づいて、ワークＷ１の寸法を測定することもできる。したがって、本実施形態のＬＶＤＴセンサ５０は、ワークＷ１の寸法を測定するために用いられる測長センサとしても機能する。
【００４６】
図５に示すように、ところで、例えば、メンテナンス時など、ボディ１１に対するヘッドカバー３９の組み付けや取り外しが行われる。このとき、ケース部材５４におけるヘッドカバー３９側の端面とヘッドカバー３９とが当接した状態でヘッドカバー３９の雄ねじ部３９ａにおける雌ねじ孔１３に対する螺進又は螺退が行われると、センサケース本体５１がヘッドカバー３９と共に連れ回ろうとする。このとき、ボルト７１の頭部７１ａが、孔７２の一対の長側縁７２ａの一方に接触することにより、センサケース本体５１におけるボディ１１に対する回転が防止される。
【００４７】
例えば、メンテナンス時など、センサケース本体５１をボディ１１から取り外す際には、まず、ヘッドカバー３９をボディ１１から取り外すとともに、増幅器７４をボディ１１の外周壁の外側面から取り外す。そして、ボルト７１の頭部７１ａが孔７２の第２湾曲縁７２ｃに当接するまで、ボルト７１の頭部７１ａを第２湾曲縁７２ｃに向けて移動させる。すると、センサケース本体５１が雌ねじ孔１３に向けて移動し、フランジ５２ｃが、小径孔１４ａからテーパ面１４ｃを介して大径孔１４ｂの内側に位置する。これにより、シール部材６６におけるフランジ５２ｃの外周面と小径孔１４ａの内周面との間のシールが解除され、シール部材６６とボディ１１との間の摺動抵抗が低下する。その結果、センサケース本体５１におけるボディ１１内での軸線方向への移動がスムーズになり、センサケース本体５１がボディ１１から取り外し易くなる。そして、ボルト７１をケース部材５４から取り外して、センサケース本体５１を貫通孔１２から引き抜くことにより、センサケース本体５１がボディ１１から取り外される。
【００４８】
上記実施形態では以下の効果を得ることができる。
（１）把持装置１０は、センサケース本体５１に対してセンサケース本体５１の軸線の周囲に当接するとともにセンサケース本体５１をヘッドカバー３９に向けて付勢してヘッドカバー３９と協働してセンサケース本体５１を挟み込む付勢部材６５を備えている。これによれば、センサケース本体５１は、センサケース本体５１の軸線の周囲に当接する付勢部材６５とヘッドカバー３９とによって挟み込まれているため、センサケース本体５１が、コア軸６３の軸線に対して傾いた状態でボディ１１内に配置されてしまうことを抑制することができる。したがって、コア軸６３におけるセンサケース本体５１に対する出没動作をスムーズにすることができる。
【００４９】
（２）センサケース本体５１の外周面には、センサケース本体５１の外周面とボディ１１の内周面との間をシールしてシリンダ室２３からの流体の洩れを抑制する環状のシール部材６６が設けられている。これによれば、センサケース本体５１の軸線に対して直交する方向において、ボディ１１内におけるセンサケース本体５１の位置を、シリンダ室２３からの流体の洩れを抑制する環状のシール部材６６の弾性力を利用して位置決めすることができる。したがって、センサケース本体５１の軸線が、コア軸６３の軸線に対してずれてしまうことを抑制することができるため、コア軸６３におけるセンサケース本体５１に対する出没動作をさらにスムーズにすることができる。
【００５０】
（３）ヘッドカバー３９は、ボディ１１に対してねじ込まれる雄ねじ部３９ａを有している。また、把持装置１０は、センサケース本体５１におけるボディ１１に対する回転を防止する回転止め機構７０をさらに備えている。これによれば、例えば、ヘッドカバー３９が、ボディ１１に対して圧入によって取り付けられている場合に比べると、ボディ１１に対するヘッドカバー３９の組み付け性を向上させることができる。また、例えば、メンテナンス時など、ヘッドカバー３９をボディ１１に対して取り外す必要がある場合においても、ヘッドカバー３９がボディ１１に対して圧入によって取り付けられている場合に比べると、ヘッドカバー３９をボディ１１に対して容易に取り外すことができる。さらに、ボディ１１に対するヘッドカバー３９の組み付けや取り外しを行う際に、センサケース本体５１がヘッドカバー３９と共に連れ回りしてしまうことを回転止め機構７０によって防止することができる。よって、センサケース本体５１が回転することに伴って、一次コイル６１及び二次コイル６２それぞれに接続されている電気配線７３が引っ張られて損傷してしまう等の不具合が生じてしまうことを回避することができる。
【００５１】
（４）メンテナンス時など、センサケース本体５１をボディ１１から取り外す際には、ボルト７１の頭部７１ａが孔７２の第２湾曲縁７２ｃに当接するまで、ボルト７１の頭部７１ａを第２湾曲縁７２ｃに向けて移動させる。これにより、センサケース本体５１が雌ねじ孔１３に向けて移動して、フランジ５２ｃを、小径孔１４ａからテーパ面１４ｃを介して大径孔１４ｂの内側に位置させることができる。その結果、シール部材６６におけるフランジ５２ｃの外周面と小径孔１４ａの内周面との間のシールが解除されて、シール部材６６とボディ１１との間の摺動抵抗を低下させることができ、センサケース本体５１におけるボディ１１内での軸線方向への移動がスムーズになり、センサケース本体５１をボディ１１から容易に取り外すことができる。
【００５２】
（５）本実施形態によれば、コア軸６３におけるセンサケース本体５１に対する出没動作がスムーズに行われるため、外部制御機器７５での一対のマスタージョウ３３の位置を精度良く検出することができる。
【００５３】
なお、上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
【００５４】
・  図６に示すように、回転止め機構７０が、ボディ１１にねじ込まれるボルト８１と、センサケース本体５１に形成されるとともにボルト８１の軸部８１ａが内側に配置される穴８２とから構成されていてもよい。凹部１１ｃの底面１１ｄには、ボルト８１の軸部８１ａがねじ込まれる雌ねじ孔１１ｅが形成されている。被覆部材５３には、ボルト８１の軸部８１ａが挿通される溝５３ｅが形成されている。穴８２、溝５３ｅ、及び雌ねじ孔１１ｅは、ボディ１１の軸線方向に対して直交する方向で重なり合っている。そして、雌ねじ孔１１ｅ及び溝５３ｅを通過したボルト８１の軸部８１ａの先端部が穴８２に挿入されている。これによれば、センサケース本体５１がヘッドカバー３９と共に連れ回ろうとすると、穴８２の内周面が、ボルト８１の軸部８１ａの先端部に接触することにより、センサケース本体５１におけるボディ１１に対する回転が防止される。なお、図６に示す実施形態では、把持装置１０の小型化を図るために、ピストン２４の外径が上記実施形態よりも小さくなっている。それに伴って、センサケース本体５１の外径も小さくなっている。具体的には、図６に示す実施形態のセンサケース本体５１は、上記実施形態で説明したケース部材５４が省略された構成になっている。
【００５５】
・  実施形態において、シリンダ室２３からの流体の洩れを抑制する環状のシール部材６６が、センサケース本体５１の外周面に設けられておらず、例えば、ばね受け部材２２の外周面、及びばね受け部材２２の他端面２２ｂとセンサケース本体５１との間にそれぞれ設けられていてもよい。
【００５６】
・  実施形態において、ヘッドカバー３９が、ボディ１１に対して圧入によって取り付けられていてもよい。
・  実施形態において、付勢部材６５が、例えば、コイルスプリングであってもよい。
【００５７】
・  実施形態において、ＬＶＤＴセンサ５０は、一次コイル６１及び２つの二次コイル６２が、本体部５２の軸線方向に並んで配置されている構成でなくてもよく、例えば、２つの二次コイル６２の内周側に一次コイル６１が配置されている構成であってもよい。
【００５８】
・  実施形態において、増幅器７４が、ボディ１１の外周壁の外側面に搭載されていなくてもよい。要は、増幅器７４が、把持装置１０に一体化されていなくてもよい。
・  実施形態において、ボディ１１は、四角筒状に限らず、例えば、円筒状であってもよい。
【符号の説明】
【００５９】
１０…把持装置、１１…ボディ、２３…シリンダ室、２４…ピストン、３３…マスタージョウ、３９…ヘッドカバー、３９ａ…雄ねじ部、５０…ＬＶＤＴセンサ、５１…センサケース本体、６１…一次コイル、６２…二次コイル、６３…コア軸、６５…付勢部材、６６…シール部材、７０…回転止め機構。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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