(57)【要約】      （修正有）【課題】マルチ荷電粒子ビーム試料検査装置において、シングルビームとマルチビームの切換えを可能にし、マルチビームのビームレットの収差を補正する。【解決手段】可変マルチ荷電粒子ビーム装置１００の収束カラム１２２は複数の荷電粒子ビームレット１０８の１つ以上のクロスオーバー１２４を形成する。可変マルチ荷電粒子ビーム装置１００は複数の荷電粒子ビームレットの電流を変化させるように構成され、試料に最も近い最終クロスオーバー１２４の位置に可変アパーチャ１２６が設けられる。可変アパーチャ１２６を並進移動させることによってマルチビーム動作とシングルビーム動作を切り替える。可変アパーチャはレンズ収差を補正するように構成される。【選択図】図１
2020191283.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の検査のための可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、
複数の荷電粒子ビームレットを生成するように構成されたマルチビームソースと、
前記試料を保持する試料ホルダーと、
前記複数の荷電粒子ビームレットを誘導して前記試料に入射させるように構成された収束カラムであって、前記収束カラムが、前記複数の荷電粒子ビームレットを誘導して、前記複数の荷電粒子ビームレットの１つ以上のクロスオーバーが現われるようにし、前記１つ以上のクロスオーバーの各クロスオーバーが、前記複数の荷電粒子ビームレットが共通位置内を通過するときの１つの点に対応する、収束カラムと、
前記１つ以上のクロスオーバーのうち、前記試料に最も近い最終クロスオーバーに位置付けられる可変アパーチャであって、前記可変アパーチャが、前記複数の荷電粒子ビームレットの電流を変化させるように構成されている、可変アパーチャと、
対物レンズと、を含み、前記試料は、前記対物レンズと前記マルチビームソースとの間に位置付けられる、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【請求項２】
前記可変アパーチャは、前記複数の荷電粒子ビームレットの部分集合が前記収束カラムの中心軸に沿って移動しないことから生じるレンズ収差を補正するように構成されている、請求項１に記載の可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【請求項３】
前記可変アパーチャは、前記試料と前記マルチビームソースとの間のコマ収差のない領域に位置決めされる、請求項１または２に記載の可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【請求項４】
前記可変アパーチャは、少なくとも第１のアパーチャと、前記第１のアパーチャとは異なるサイズを有する第２のアパーチャと、を含み、前記可変マルチ荷電粒子ビーム装置は、前記可変アパーチャを第１の位置と第２の位置との間で並進移動させるように構成され、
前記可変アパーチャが前記第１の位置にある場合、前記複数の荷電粒子ビームレットのうちの１つ以上の荷電粒子ビームレットは前記第１のアパーチャ内を通過し、
前記可変アパーチャが前記第２の位置にある場合、前記複数の荷電粒子ビームレットのうちの前記１つ以上の荷電粒子ビームレットは前記第２のアパーチャ内を通過する、請求項１〜３のいずれかに記載の可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【請求項５】
前記複数の荷電粒子ビームレットのうちの前記１つ以上の荷電粒子ビームレットが前記第１のアパーチャ内を通過する場合、前記複数の荷電粒子ビームレットは、前記試料に入射するときに第１の電流を有し、
前記複数の荷電粒子ビームレットのうちの前記１つ以上の荷電粒子ビームレットが前記第２のアパーチャ内を通過する場合、前記複数の荷電粒子ビームレットは、前記試料に入射するときに、前記第１の電流とは異なる第２の電流を有する、請求項４に記載の可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【請求項６】
前記可変アパーチャは、第１の状態と第２の状態との間で切り替わるように構成される調整可能なアパーチャを含み、前記調整可能なアパーチャは、前記調整可能なアパーチャが前記第２の状態にある場合に、前記調整可能なアパーチャが前記第１の状態にあるときとは異なるサイズを有する、請求項１〜５のいずれかに記載の可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【請求項７】
前記調整可能なアパーチャが前記第１の状態にある場合、前記複数の荷電粒子ビームレットは、前記試料に入射するときに第１の電流を有し、
前記調整可能なアパーチャが前記第２の状態にある場合、前記複数の荷電粒子ビームレットは、前記試料に入射するときに、前記第１の電流とは異なる第２の電流を有する、請求項６に記載の可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【請求項８】
前記可変アパーチャは、前記可変マルチ荷電粒子ビーム装置をシングルビーム動作モードとマルチビーム動作モードとの間で切り替えるように構成されている、請求項１〜７のいずれかに記載の可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【請求項９】
前記可変マルチ荷電粒子ビーム装置は、前記可変アパーチャを第１の位置と第２の位置との間で並進移動させるように構成され、
前記可変マルチ荷電粒子ビーム装置は、前記可変アパーチャが前記第１の位置にあるときに前記マルチビーム動作モードで動作し、
前記可変マルチ荷電粒子ビーム装置は、前記可変アパーチャが前記第２の位置にあるときに前記シングルビーム動作モードで動作する、請求項８に記載の可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【請求項１０】
前記可変マルチ荷電粒子ビーム装置は、前記最終クロスオーバーを第１の位置と第２の位置との間で並進移動させるように構成され、
前記可変マルチ荷電粒子ビーム装置は、前記最終クロスオーバーが前記第１の位置にあるときに前記マルチビーム動作モードで動作し、
前記可変マルチ荷電粒子ビーム装置は、前記最終クロスオーバーが前記第２の位置にあるときに前記シングルビーム動作モードで動作する、請求項８に記載の可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【請求項１１】
前記マルチビームソースは、
荷電粒子ビームを生成するソースと、
前記荷電粒子ビームを前記複数の荷電粒子ビームレットに変換するように構成された照射器と、を含む、請求項１〜１０のいずれかに記載の可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【請求項１２】
前記対物レンズは反転磁気対物レンズである、請求項１〜１１のいずれかに記載の可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【請求項１３】
前記１つ以上のクロスオーバーは、複数のクロスオーバーを前記マルチビームソースと前記試料との間に含む、請求項１〜１２のいずれかに記載の可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【請求項１４】
前記１つ以上のクロスオーバーは、単一のクロスオーバーを含む、請求項１〜１３のいずれかに記載の可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【請求項１５】
前記収束カラムはブースターチューブを含む、請求項１〜１４のいずれかに記載の可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【請求項１６】
試料の検査のための可変マルチ荷電粒子ビーム装置の電流を調整する方法であって、前記方法は、
マルチビームソースからの複数の荷電粒子ビームレットを収束させて試料に入射させることであって、前記複数の荷電粒子ビームレットを収束させることは、前記複数の荷電粒子ビームレットを誘導して、前記複数の荷電粒子ビームレットの１つ以上のクロスオーバーが現われるようにし、前記１つ以上のクロスオーバーの各クロスオーバーは、前記複数の荷電粒子ビームレットが共通位置内を通過するときの１つの点に対応することと、
前記荷電粒子ビームレットの各々の電流を、前記１つ以上のクロスオーバーのうち、前記試料に最も近い最終クロスオーバーに位置付けられる可変アパーチャにより変化させることと、
前記試料から放出される、および／または前記試料内を透過する荷電粒子を対物レンズで検出器に収束させることと、を含む、方法。
【請求項１７】
前記荷電粒子ビームレットの各々の前記電流を変化させることは、前記複数の荷電粒子ビームレットの部分集合が前記可変マルチ荷電粒子ビーム装置の中心軸に沿って移動しないことから生じるレンズ収差を補正することを含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記可変アパーチャは調整可能なアパーチャを含み、前記１つ以上のクロスオーバーのうちの前記最終クロスオーバーは前記調整可能なアパーチャ内を通過し、前記荷電粒子ビームレットの各々の前記電流を変化させることは、前記可変アパーチャのサイズを調整することを含む、請求項１６または１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記可変アパーチャは、少なくとも第１のアパーチャおよび第２のアパーチャを含み、前記第１のアパーチャは、前記第２のアパーチャとは異なるサイズを有し、前記荷電粒子ビームレットの各々の前記電流を変化させることは、前記可変アパーチャを、
前記複数の荷電粒子ビームレットのうちの１つ以上の荷電粒子ビームレットが前記第１のアパーチャ内を通過するときの第１の位置と、
前記複数の荷電粒子ビームレットのうちの前記１つ以上の荷電粒子ビームレットが前記第２のアパーチャ内を通過するときの第２の位置との間で並進移動させることを含む、請求項１６〜１８のいずれかに記載の方法。
【請求項２０】
前記可変マルチ荷電粒子ビーム装置をマルチビーム動作モードとシングルビーム動作モードとの間で切り替えることをさらに含む、請求項１６〜１９のいずれかに記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
試料を検査するマルチ荷電粒子ビームシステムは、試料を撮像／分析するプロセスを大幅にスピードアップするマルチ荷電粒子ビームシステムの機能により、益々より一層望まれるようになっている。これは、試料上の複数位置を同時に照射するマルチ荷電粒子ビームシステムの機能によるものである。この同時照射により、試料を撮像および／または分析するためにかかる時間を大幅に短縮することが可能になる。例えば、シングル荷電粒子ビームシステムで試料を撮像するためには２４時間かかるのに対し、１９６ビームシステムで試料を撮像するためには１０分未満しかかからない［参考文献：Ａｌｉ  Ｍｏｈａｍｍａｄｉ−Ｇｈｅｉｄａｒｉ、博士論文、デルフト工科大学（Ｄｅｌｆｔ  Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ  ｏｆ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）、２０１３年］。しかしながら、最新のマルチビームシステムは非常に複雑であり、非常に高価である。具体的には、最新のマルチビームシステムは、マルチビーム機能を実現するように特殊に設計されており、シングル荷電粒子ビームシステムとは全く別のシステムである。
【発明の概要】
【０００２】
本開示による試料の検査のための可変電流マルチ荷電粒子ビーム装置は、複数の荷電粒子ビームレットを生成するマルチビームソースと、対物レンズと、試料を対物レンズとマルチビームソースとの間に保持する試料ホルダーと、複数の荷電粒子ビームレットを誘導して収束させて、これらの荷電粒子ビームレットが試料に入射するようにする収束カラムと、を含む。収束カラムはまた、複数の荷電粒子ビームを誘導して、複数の荷電粒子ビームレットの１つ以上のクロスオーバーが現われるように構成される。１つ以上のクロスオーバーの各クロスオーバーは、複数の荷電粒子ビームレットが共通位置内を通過するときの１つの点に対応する。可変電流マルチ荷電粒子ビーム装置はまた、複数の荷電粒子ビームレットの電流を変化させるように構成され、１つ以上のクロスオーバーのうち試料に最も近い最終クロスオーバーに位置付けられる可変アパーチャを含む。
【図面の簡単な説明】
【０００３】
詳細な説明は、添付の図を参照して記述される。これらの図では、参照番号の最も左側の数字（複数可）で、当該参照番号が最初に現われる図を同定する。異なる図の同じ参照番号は、類似または同一のアイテムを示している。
【図１】試料の検査のための例示的な可変電流マルチ荷電粒子ビームシステムを示している。
【図２】試料を、可変電流マルチ荷電粒子ビームシステムを使用して検査する試料プロセスを示す。
【図３】収束カラムがブースターチューブを含む例示的な可変電流マルチ荷電粒子ビームシステムを示す。
【図４】収束カラムが複数のレンズ／アパーチャを含む例示的な可変電流マルチ荷電粒子ビームシステムを示す。
【図５】可変アパーチャを、小径アパーチャを有するものとして示す図である。
【図６】可変アパーチャを、小径アパーチャよりも大きなサイズおよび／または形状を有する大径アパーチャを有するものとして示す図である。
【図７】マルチビームモードで動作している可変電流マルチ荷電粒子ビームシステムを示す図である。
【図８】可変アパーチャの並進移動によりシングルビームモードで動作している可変電流マルチ荷電粒子ビームシステムを示す図である。
【図９】ビームレットの共通クロスオーバーの並進移動によりシングルビームモードで動作している可変電流マルチ荷電粒子ビームシステムを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００４】
同様の参照番号は、図面のいくつかの図を通じて、対応する構成部分を指している。
【０００５】
試料の検査のための可変電流マルチ荷電粒子ビーム装置およびシステムが開示される。より具体的には、本開示は、マルチ荷電粒子ビーム機能を実現するとともに、マルチビームのビームレットの電流を選択的に変化させることも可能にし、ユーザが、シングルビーム動作モードとマルチビーム動作モードとの間の切り替え（ｔｏｇｇｌｅ）を行うことを可能にして、マルチビームのビームレットの収差またはマルチビームのビームレットの組み合わせの収差を補正することを可能にする装置およびシステムを含む。さらに、本開示において説明される装置およびシステムは、電流シングル荷電粒子ビームシステム／技術を使用して実現することができ、開示される可変マルチ荷電粒子ビームシステムのコストを低減することができる可能性がある。これにより、マルチビーム機能をより多くの科学者が取得することが可能になって、将来の科学的イノベーションのスピードを大幅に向上させる可能性がある。
【０００６】
一般に、これらの図では、所定の例に含まれる可能性が高い要素が実線で示されているのに対し、所定の例には任意である要素は破線で示されている。しかしながら、実線で示される要素は、本開示の全ての例に必須である訳ではなく、実線で示される要素は、特定の例から、本開示の範囲から逸脱しない限り省略されてもよい。
【０００７】
図１は、試料１０２の検査のための例示的な可変マルチ荷電粒子ビームシステム（複数可）１００の図である。例示的な可変マルチ荷電粒子ビームシステム（複数可）１００は、電子顕微鏡（ＥＭ）セットアップおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップを含むことができる。様々な実施形態では、可変マルチ荷電粒子ビームシステム１００は、これらには限定されないが、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、走査型透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）、荷電粒子顕微鏡（ＣＰＭ）、デュアルビーム顕微鏡システムなどのような１つ以上の異なるタイプのＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡とすることができる、または１つ以上の異なるタイプのＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡を含むことができる。
【０００８】
図１は、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００を、試料１０２を検査する可変マルチビームＳＥＭおよびＳＴＥＭシステム１０４であるものとして示している。しかしながら、当業者であれば、本開示の方法およびシステムがどのようにして、他のタイプのＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡で具体化されるかを図１から理解できるであろう。例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００は、複数の荷電粒子（例えば、電子）ビームレット１０８を放出するマルチビームソース１０６を含む。マルチビームソース１０６は、荷電粒子（例えば、電子）の発散ビーム１１２を生成する荷電粒子ソース１１０と、荷電粒子の発散ビーム１１２を複数の荷電粒子ビームレット１０８に分割するように構成されるアパーチャレンズアレイ１１４と、を含むことができる。複数の荷電粒子ビームレット１０８は、マルチビームソース１０６から放出軸１１８に沿って加速レンズ１２０に向かって放出される中心ビームレット１１６を含む。放出軸１１８は、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００の長さに沿ってマルチビームソース１０６から試料１０２内を通って延びる中心軸である。理解を容易にするために、ビームレット１０８は、ペンシルビームとして図１、図３、図４、および図７〜図９に示されている。しかしながら、ビームレット１０８の各々は、ビームレットが例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００内を通過するときに変化する直径を有する。例えば、ビームレット１０８は、有限の直径を可変アパーチャ１２６の平面に有することができ、ビームレットが試料１０２に衝突するときに、１つの点に収束させることができる。
【０００９】
加速レンズ１２０は、収束カラム１２２に向かう荷電粒子ビームレット１０８を加速／減速する、収束させる、および／または誘導する。収束カラム１２２は、電子ソース１０８からの荷電粒子ビームレットを収束させて、荷電粒子ビームレットが試料１０２に入射するようにする。例えば、収束カラム１２２は、マルチビームソース１０６からの荷電粒子ビームレット１０８を収束させる、および／または誘導して、各個々の荷電粒子ビームレット１０８が試料１０２の個別の位置に入射するようにすることができる。いくつかの実施形態では、収束カラム１２２は、ブースターチューブ、並んで配置されたレンズおよびアパーチャ、またはこれらの組み合わせを含むことができる。複数の荷電粒子ビームレット１０８を収束させて荷電粒子ビームレット１０８が試料１０２に入射するようにする他に、加速レンズ１２０および／または収束カラム１２２は、複数の荷電粒子ビームレット１０８を誘導して、これらの荷電粒子ビームレットの収集経路が１つ以上のクロスオーバー１２４を含むようにする。個々のクロスオーバー１２４は、複数の荷電粒子ビームレット１０８の経路が共通位置内を通過するときの１つの点に対応する。
【００１０】
図１はさらに、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００を、試料１０２に最も近い最終クロスオーバー１２４に位置決めされる可変アパーチャ１２６を含むものとして示している。最終クロスオーバー１２４に位置決めされることにより、可変アパーチャ１２６は、複数の荷電粒子ビームレット１０８の各ビームレットの対物角を定義および／または調整することができる。例えば、可変アパーチャ１２６のアパーチャのサイズおよび／または形状を調整することにより、試料１０２に入射するときの複数の荷電粒子ビームレット１０８の各ビームレットの電流を調整する。具体的には、各個々のビームレットの電流は、可変アパーチャ１２６のアパーチャの調整量に合わせて調整される。
【００１１】
いくつかの実施形態では、可変アパーチャ１２６は、調整可能なサイズおよび／または形状を有する単一のアパーチャを含むことができる。このような可変アパーチャ１２６は、試料１０２に入射するときの複数の荷電粒子ビームレット１０８の各々の電流を、単一のアパーチャのサイズおよび／または形状を調整することにより調整することができる。代替的に、またはさらに、可変アパーチャ１２６は、異なるサイズおよび／または形状を有する複数のアパーチャを含むことができる。例えば、可変アパーチャ１２６は、異なる直径を有する一列に並べたアパーチャを含むことができる。このような可変アパーチャ１２６は、試料１０２に入射するときの複数の荷電粒子ビームレット１０８の各々の電流を、複数のアパーチャの１つ以上のアパーチャを並進移動させて、異なるアパーチャが最終クロスオーバー１２４に位置決めされるようにすることにより調整することができる。例えば、複数の荷電粒子ビームレット１０８の各々の電流は、アパーチャを、より小さなサイズおよび／または形状を有するアパーチャが最終クロスオーバー１２４に位置決めされるように移動させることにより低減させることができる。同様に、複数の荷電粒子ビームレット１０８の各々の電流は、アパーチャを、より大きなサイズおよび／または形状を有するアパーチャが最終クロスオーバー１２４に位置決めされるように移動トさせることにより増加させることができる。
【００１２】
中心ビームレット１１６が放出軸１１８に沿って加速レンズ１２０内および収束カラム１２２内を通って移動している間、複数の荷電粒子ビームレット１０８の他のビームレットは放出軸１１８に沿って移動しない。このことから、複数の荷電粒子ビームレット１０８の他のビームレットは、軸外収差の影響を受ける。最終クロスオーバー１２４に位置決めされることにより、可変アパーチャ１２６は、試料１０２とマルチビームソース１０６との間のコマ収差のない平面および／または分散のない平面１２８にさらに位置決めされ、これにより、可変アパーチャ１２６が、複数の荷電粒子ビームレット１０８の幾何収差および／または色収差を補正することが可能になる。
【００１３】
複数の荷電粒子ビームレット１０８の収差を除去して、複数の荷電粒子ビームレット１０８の各々の電流を調整することの他に、いくつかの実施形態では、可変アパーチャ１２６は、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００が、マルチビーム動作モードとシングルビーム動作モードとの間で切り替わることが可能になるようにさらに構成される。例えば、いくつかの実施形態では、可変アパーチャ１２６を放出軸１１８に沿って、最終クロスオーバー１２４にある可変アパーチャの位置から、最終クロスオーバー１２４ではない新規位置に並進移動させることができる。換言すれば、可変アパーチャ１２６が放出軸１１８に沿って最終クロスオーバー１２４ではない位置に並進移動する場合、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００は、シングルビームモードで動作する。例えば、可変アパーチャ１２４が最終クロスオーバー１２４に位置決めされない場合、中心ビームレット１１６だけが、可変アパーチャ１２６内を通過することを許可され、中心ビームレット１１６だけが試料１０２に入射することを意味している。代替的に、可変アパーチャ１２４が最終クロスオーバー１２４に位置決めされない場合、偏向コイルまたは他のビームレット操作手段を使用して、ビームレット１０８の任意の個々のビームレットを誘導して、当該ビームレットが可変アパーチャ内を通過するようにすることができる。このように、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００がシングルビームモードで動作している場合、ビームレット１０８のいずれかのビームレットを試料に衝突させることができる。
【００１４】
代替的に、またはさらに、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００は、最終クロスオーバー１２４の位置を調整するように構成することができる。例えば、加速レンズ１２０、収束カラム１２２、またはこれらを組み合わせた構成素子の１つ以上の素子は、複数の荷電粒子ビームレット１０８の経路を調整して最終クロスオーバー１２４の位置を移動させるように構成することができる。このような実施形態では、最終クロスオーバー１２４を放出軸１１８に沿った新規位置に移動させて、荷電粒子ビームレット１０８の各々が通過する共通位置が可変アパーチャ１２６のアパーチャ内に位置付けられないようにすることができる。最終クロスオーバー１２４が、このような新規位置に位置付けられる場合、中心ビームレット１１６だけが、可変アパーチャ１２６内を通過することができる。このように、最終クロスオーバー１２４が、このような新規位置に位置付けられる場合、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００は、シングルビームモードで動作する。
【００１５】
図１はさらに、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００を、試料がマルチビームソース１０６と対物レンズ１３２との間に位置付けられるように試料１０２を保持する試料ホルダー１３０を含むものとして示している。対物レンズ１３２は、複数の荷電粒子ビームレット１０８が試料１０２に入射して、これらのビームレットが、これに限定されないが、光検出器とすることができる検出器１３４により検出される結果として試料１０２から放出される、および／または試料１０２内を透過する荷電粒子を収束させる。いくつかの実施形態では、対物レンズ１３２は、反転磁場対物レンズおよび光学レンズのうち１つ以上のレンズから構成することができる。例えば、図１は、対物レンズ１３２を、磁場レンズ構成素子１３３および光学レンズ構成素子１３５の両方を任意に含むものとして示している。代替的に、対物レンズ１３２は、非対称磁場レンズを含むことができる。
【００１６】
さらに、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００は、複数の荷電粒子ビームレット１０８で試料１０２の表面を走査する非点収差補正用の走査コイル１３８を含むものとして示されている。例えば、走査コイル１３８を操作することにより、複数の荷電粒子ビームレット１０８の各々の方向を移動させて、各個々のビームレットを試料１０２の異なる位置に収束させることができる。
【００１７】
図１はまた、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００を、試料１０２と対物レンズ１３２との間に位置決めされるシンチレータ１３６を任意に含むものとして示している。シンチレータ１３６は、試料１０２内を透過する、および／または試料１０２から放出される荷電粒子を、対物レンズ１３２により検出器１３４に収束させることができる光に変換するように構成される。いくつかの実施形態では、シンチレータ１３６はＹＡＧスクリーンである。
【００１８】
図１は、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００を、コンピューティング装置（複数可）１４０を任意に含むものとして示している。当業者であれば、図１に示すコンピューティング装置１４０は、単なる例示であり、本開示の範囲を限定するものではないことを理解できるであろう。コンピューティングシステムおよび装置は、コンピュータ、ネットワーク装置、インターネット家電製品、ＰＤＡ、無線電話、コントローラ、オシロスコープ、アンプなどを含む指定機能を実行することができるハードウェアまたはソフトウェアの任意の組み合わせを含むことができる。コンピューティング装置１４０はまた、図示されていない他の装置に接続することができる、または代わりに、スタンドアロンシステムとして動作することができる。さらに、図示の構成要素により実現される機能は、いくつかの実施態様では、より少ない構成要素に組み合わせることができる、または追加の構成要素に分散させることができる。同様に、いくつかの実施態様では、図示の構成要素のうちいくつかの構成要素の機能は実現されなくてもよい、および／または他の追加機能を利用可能とすることができる。
【００１９】
コンピューティング装置（複数可）１４０は、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００の構成要素とすることができ、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００とネットワーク通信インターフェースを介して通信し、かつ例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００とは別の装置とすることができる、またはこれらの構成要素の組み合わせとすることができる。例えば、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ１００は、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ１００の構成部分であり、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ１００の動作を駆動するコントローラとして機能する第１のコンピューティング装置１４０を含むことができる（例えば、試料１０２上の走査位置を、走査コイル１３８を操作することにより調整する、可変アパーチャ１２６のサイズ／形状／位置を調整する、最終クロスオーバーの位置を調整するなどである）。このような実施形態では、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００は、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００とは別のデスクトップコンピュータである第２のコンピューティング装置１４０を含むこともでき、第２のコンピューティング装置１４０は、検出器１３４から受信されるデータを処理して、試料１０２の画像を生成する、および／または他のタイプの分析を実行するように実行可能である。コンピューティング装置１４０は、ユーザ選択を、キーボード、マウス、タッチパッド、タッチスクリーンなどを介して受信することができる。
【００２０】
コンピューティング装置１４０は、１つ以上のプロセッサがアクセス可能なメモリ（複数可）に格納されている命令、アプリケーション、またはプログラムを実行するように構成される１つ以上のプロセッサを含む。いくつかの例では、１つ以上のプロセッサは、これらに限定されないが、ハードウェア中央処理装置（ＣＰＵ）、グラフィックス処理装置（ＧＰＵ）などを含むハードウェアプロセッサを含むことができる。多くのインスタンスでは、本技術は本明細書において、１つ以上のプロセッサにより実行されるものとして説明されているが、いくつかのインスタンスでは、本技術は、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、複合プログラマブルロジック装置（ＣＰＬＤ）、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、システムオンチップ（ＳｏＣ）、またはこれらの組み合わせのような１つ以上のハードウェアロジックコンポーネントにより実現することができる。
【００２１】
１つ以上のプロセッサがアクセス可能なメモリは、コンピュータ可読媒体の例である。コンピュータ可読媒体は、２つのタイプのコンピュータ可読媒体、すなわちコンピュータ記憶媒体および通信媒体を含むことができる。コンピュータ記憶媒体は、コンピュータ可読命令、データ構造、プログラムモジュール、または他のデータのような情報を格納する任意の方法または技術で実現される揮発性媒体および不揮発性媒体、着脱可能媒体、および着脱不能媒体を含むことができる。コンピュータ記憶媒体は、これらに限定されないが、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、リードオンリーメモリ（ＲＯＭ）、消去可能なプログラマブルリードオンリーメモリ（ＥＥＰＲＯＭ）、フラッシュメモリまたは他のメモリ技術、コンパクトディスクリードオンリーメモリ（ＣＤ−ＲＯＭ）、デジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）、もしくは他の光ストレージ、磁気カセット、磁気テープ、磁気ディスクストレージ、または他の磁気ストレージ装置、もしくは所望の情報を格納するために使用することができ、かつコンピューティング装置によりアクセスすることができる任意の他の非伝送媒体を含む。一般に、コンピュータ記憶媒体は、１つ以上の処理装置により実行されると、本明細書において説明される様々な機能および／または操作を実行するようになるコンピュータ実行可能命令を含むことができる。これとは異なり、通信媒体は、コンピュータ可読命令、データ構造、プログラムモジュールを具体化する、または搬送波のような変調データ信号の他のデータを具体化する、もしくは他の伝送機構を具体化する。本明細書において定義されるように、コンピュータ記憶媒体は通信媒体を含まない。
【００２２】
当業者であれば、アイテムまたはアイテムの構成部分が、メモリと他のストレージ装置との間で転送されて、メモリ管理およびデータ完全性を確保することができることを理解することもできるであろう。代替的に、他の実施態様では、ソフトウェアコンポーネントのいくつかは、または全ては、別の装置のメモリで実行することができ、コンピューティング装置１４０と通信することができる。システムコンポーネントまたはデータ構造のいくつかは、または全ては、非一時的なコンピュータアクセス可能媒体に格納する、または適切なドライブにより読み取られるポータブル製品に格納することもでき（例えば、命令または構造化データとして）、適切なドライブの様々な例は、上に説明されている。いくつかの実施態様では、コンピューティング装置１４０とは別のコンピュータアクセス可能媒体に格納されている命令は、コンピューティング装置１４０に伝送媒体を介して、または無線リンクのような通信媒体を介して伝送される電気信号、電磁信号、もしくはデジタル信号のような信号を介して送信することができる。様々な実施態様は、コンピュータアクセス可能媒体に関するこれまでの記述に従って実現される命令および／またはデータを受信する、送信する、または格納することをさらに含むことができる。
【００２３】
図２は、ハードウェア、ソフトウェア、またはハードウェアおよびソフトウェアの組み合わせで実現することができる一連の操作を表わす論理フローグラフのブロック集合として示される例示的なプロセスのフロー図である。ソフトウェアの状況では、ブロックは、１つ以上のコンピュータ可読記憶媒体に格納されているコンピュータ実行可能命令を表わし、コンピュータ実行可能命令が１つ以上のプロセッサにより実行されると、列挙される操作を実行するようになる。一般に、コンピュータ実行可能命令は、特定の機能を実行する、または特定の抽象データタイプを実現するルーチン、プログラム、オブジェクト、コンポーネント、データ構造などを含む。操作が記述される順序は、限定として解釈されるべきではなく、任意の数の記述ブロックは、任意の順序で組み合わせる、および／または同時に行われるように組み合わせてプロセスを実現することができる。
【００２４】
図２は、試料を、可変マルチ荷電粒子ビームシステムを使用して検査する例示的なプロセス２００のフロー図である。プロセス２００は、例示的なＥＭおよび／または荷電粒子顕微鏡セットアップ（複数可）１００で実現する、および／または上に説明したコンピューティング装置（複数可）１４０により実現する、もしくは他の環境およびコンピューティング装置で実現することができる。
【００２５】
２０２では、複数の荷電粒子ビームを任意に放出するようにする。具体的には、マルチ荷電粒子ビームソースから、複数の荷電粒子ビームを可変マルチ荷電粒子ビームシステムの収束カラムに向けて放出することができる。複数の荷電粒子ビームレットは、マルチビームソースから試料内を通って延びる放出軸に沿ってマルチビームソースから放出される中心ビームレットを含む。いくつかの実施形態では、マルチビームソースは、荷電粒子（例えば、電子）発散ビームを生成する荷電粒子ソースと、発散する荷電粒子を複数の荷電粒子ビームレットに分割するように構成されるアパーチャレンズアレイと、を含む。
【００２６】
２０４では、複数の荷電粒子ビームを試料に収束させる。複数の荷電粒子ビームを収束させることは、複数の荷電粒子ビームを誘導して、複数の荷電粒子ビームレットの１つ以上のクロスオーバーが現われるようにすることを含む。いくつかの実施形態では、収束させることは、並んで配置されたレンズおよびアパーチャ、またはレンズおよびアパーチャの組み合わせを使用して行うことができる。代替的に、またはさらに、収束させることは、加速レンズおよびブースターチューブにより、少なくとも部分的に行われる。
【００２７】
２０６では、荷電粒子ビームの各々の電流を変化させる。具体的には、各荷電粒子ビームレットが試料に入射するときの荷電粒子ビームレットの各々の電流を、最終クロスオーバーに位置付けられる可変アパーチャにより変化させる。最終クロスオーバーは、１つ以上のクロスオーバーのうち、試料に最も近いクロスオーバーである。いくつかの実施形態では、荷電粒子ビームの各々の電流は、最終クロスオーバーが可変アパーチャ内を通過する当該可変アパーチャの調整可能なアパーチャのサイズおよび／または形状を調整することにより変化させる。調整可能なアパーチャのサイズおよび／または形状が小さくなるにつれて、各個々の荷電粒子ビームレットの電流は、それに応じて小さくなる。同様に、各個々の荷電粒子ビームレットの電流は、調整可能なアパーチャのサイズおよび／または形状が大きくなるのに合わせて大きくなる。代替実施形態では、可変アパーチャは、異なるサイズおよび／または形状を有する複数のアパーチャを含む。このような実施形態では、荷電粒子ビームレットの電流は、最終クロスオーバーがアパーチャ内を通過する複数のアパーチャの当該アパーチャを変化させることにより変化させる。
【００２８】
２０８では、可変マルチ荷電粒子ビームシステムを、マルチビーム動作モードとシングルビーム動作モードとの間で任意に切り替える。例えば、可変マルチ荷電粒子ビームシステムは、可変マルチ荷電粒子ビームシステムが、複数の荷電粒子ビームレットのうち１本のビームレットだけが試料に入射することを許可されるシングルビーム動作モード、および複数の荷電粒子ビームレットが試料に入射することを許可されたマルチビーム動作モードの両方の動作モードで動作することができるように設計することができる。
【００２９】
いくつかの実施形態では、可変マルチ荷電粒子ビームシステムをマルチビーム動作モードとシングルビーム動作モードとの間で切り替えることは、可変アパーチャを放出軸に沿って移動させることを含む。例えば、可変アパーチャをこの放出軸に沿って並進移動させて、可変アパーチャが最終クロスオーバーに位置決めされないようにした場合、放出軸に沿って移動する中心ビームレットだけが、可変アパーチャ内を通過することになる。このように、可変アパーチャをこのようにして並進移動させると、可変マルチ荷電粒子ビームシステムは、マルチビーム動作モードからシングルビーム動作モードに切り替わる（ｓｗｉｔｃｈ）。代替実施形態では、最終クロスオーバーの位置を移動させて最終クロスオーバーが、可変アパーチャに位置決めされなくなるようにしてもよい。
【００３０】
２１０では、試料から放出される、および／または試料内を透過する荷電粒子を収束させる。具体的には、試料から放出される、および／または試料内を透過する荷電粒子は、試料の下方に位置付けられる反転対物レンズで収束させる。対物レンズを反転させて試料の下方に位置決めするので、可変アパーチャを、試料の上方のコマ収差のない平面内に位置決めすることができる。これにより、可変アパーチャで、可変マルチ荷電粒子ビームシステムの放出軸に沿って移動しないことにより生じる、個々の荷電粒子ビームレットの軸外収差を補正することができる。
【００３１】
図３および図４は、試料１０２の検査のための例示的な可変電流マルチ荷電粒子ビームシステム（複数可）１００の図であり、収束カラム１２２は、ブースターチューブ３０２および複数のレンズ／アパーチャ４０２をそれぞれ含む。
【００３２】
図３は、収束カラム１２２がブースターチューブ３０２を含む例示的な可変マルチ荷電粒子ビームシステム３０４を示している。ブースターチューブ３０２は、高電圧がブースターチューブ３０２に印加される作動状態と接地状態との間で選択的に切り替わるように構成される。ブースターチューブ３０２は、収束カラム１２２の中央構成部材を封止するチューブから構成することができ、中央構成部材は、収束カラム１２２および／または可変マルチ荷電粒子ビームシステム３０４の他の領域よりも高い電圧レベルに設定することができる。代替的に、ブースターチューブ３０２は、より高い電圧レベルに設定することができるが、収束カラム１２２の構成部材を物理的に封止することはない。より高い電圧のブースターチューブ３０２内を通過することにより、複数の荷電粒子ビーム１０８は、収束カラム１２２を通過するときに、より少ないビーム広がりを伴う（すなわち、顕微鏡の性能に悪影響する電子間相互作用が少ない）。これは、より高い電圧のブースターチューブ３０２から、個々のビームレットを構成する荷電粒子の間の反発力を相殺する内向きの反発力が加わるからである。さらに、より高い電圧のブースターチューブ３０２は、ブースターチューブ３０２と周囲の電極／試料１０２との間に電位差があるので、静電レンズ作用を起こす。実際、いくつかの実施形態では、この静電レンズ作用は、ブースターチューブ３０２の下方の磁気レンズと組み合わせることができる、および／または試料１０２は、対物レンズとして作用することができる。図３には図示されていないが、可変マルチ荷電粒子ビームシステム３０４は、追加のレンズ（例えば、電子レンズ）をブースターチューブ３０２と可変アパーチャ１２６との間に任意に含むことができる。代替的に、またはさらに、追加のレンズは、シールド電極を含むことができる、またはシールド電極に対応することができ、シールド電極とブースターチューブ３０２との間の電位差は、レンズ作用効果を生み出す。
【００３３】
図３はさらに、対物レンズ１３２を、非対称磁気レンズ３０６セットアップであるものとして示している。非対称磁気レンズセットアップ３０６は、軟磁性鉄により形成される磁気レンズ３０８、および光学レンズ３０８（例えば、ガラスレンズ）を含むものとして示されている。図３はまた、例示的な可変マルチ荷電粒子ビームシステム３０４を、回動点を可変アパーチャ１２６に有する２層の走査コイル１３８を任意に含むものとして示している。
【００３４】
図４は、収束カラム１２２が複数のレンズ／アパーチャ４０２を含む例示的な可変マルチ荷電粒子ビームシステム４０４を示している。複数のレンズ／アパーチャは、コンデンサレンズ、収束アパーチャ、走査コイル１３８、上側対物レンズなどのうち１つ以上を含むことができ、これらの構成部材は一体となって、マルチビームソース１０６からの複数の荷電粒子ビームレットを試料１０２に収束させる。
【００３５】
図５および図６は、複数の荷電粒子ビームの電流を変化させる可変アパーチャ１２６を示す図５００および図６００である。図５は、可変アパーチャ１２６を、小径アパーチャ５０２を有するものとして示す図５００である。図５はまた、可変マルチ荷電粒子ビームシステムがマルチビームモードで動作している場合（すなわち、複数の荷電粒子ビームが試料に入射する場合）の試料部分１０２の第１の図５０４を含む。図５０４から分かるように、複数の荷電粒子ビームは、試料１０２の被照射部／被照部配列５０６を形成する。配列５０６は、可変マルチ荷電粒子ビームシステムの放出軸に沿って移動する中心荷電粒子ビームが試料１０２に入射するときに形成される中心被照射部／被照部５０８を含む。図５はまた、可変マルチ荷電粒子ビームシステムがシングルビームモードで動作しているときの試料１０２の第２の図５１０を含む。すなわち、第２の図５１０は、中心荷電粒子ビーム５０８だけが試料１０２に入射するときに入射する試料部分１０２の一部を示している。
【００３６】
同様に、図６は、可変アパーチャ１２６を、小径アパーチャ５０２よりも大きいサイズおよび／または形状を有する大径アパーチャ６０２を有するものとして示す図６００である。図６はまた、可変マルチ荷電粒子ビームシステムがマルチビームモードで動作している場合（すなわち、複数の荷電粒子ビームが試料に入射する場合）の試料部分１０２の第１の図６０４を含む。図６０４から分かるように、複数の荷電粒子ビームは、試料１０２の被照射部／被照部配列６０６を形成する。大径アパーチャ６０２は小径アパーチャ５０２よりも大きいサイズおよび／または形状を有するので、複数の荷電粒子ビームの各々の大きい方の部分が、可変アパーチャ内を通過することを許可されて、試料１０２に入射するときのビーム電流がより大きくなる。図６０４から分かるように、これにより、配列６０６の各被照射部／被照部が、図５に示す配列５０６よりも大きいサイズ／形状を有するようになる。配列６０６は、可変マルチ荷電粒子ビームシステムの放出軸に沿って移動する中心荷電粒子ビームが試料１０２に入射するときに形成される中心被照射部／被照部６０８を含む。図６はまた、可変マルチ荷電粒子ビームシステムがシングルビームモードで動作しているときの試料１０２の第２の図６１０を含む。すなわち、第２の図６１０は、中心荷電粒子ビーム６０８だけが試料１０２に入射するときに入射する試料部分１０２の一部を示している。
【００３７】
図７は、マルチビームモードで動作する可変マルチ荷電粒子ビームシステムを示す図７００である。図７は、最終クロスオーバー１２４に収束する複数の荷電粒子ビーム１０８を示している。図７はまた、最終交差点１２４が可変アパーチャ１２６のアパーチャ内を通過するように第１の位置に位置付けられる可変アパーチャ１２６を示している。これにより、複数の荷電粒子ビームの各々が、可変アパーチャ１２６内を通過することが可能になり、試料１０２に入射することが可能になる。
【００３８】
図８は、可変アパーチャの並進移動によりシングルビームモードで動作する可変マルチ荷電粒子ビームシステムを示す図８００である。図８は、第１の位置７０２とは異なる第２の位置８０２にある可変アパーチャ１２６を示している。具体的には、図８は、試料１０２から離反して放出軸１１８に沿って移動した可変アパーチャ１２６を示している。分かるように、可変アパーチャ１２６は最終クロスオーバー１２４に位置付けられなくなっているので、放出軸１１８に沿って移動する中心ビームレット１１６だけが、可変アパーチャ１２４のアパーチャ内を通過することができる。荷電粒子ビーム１０８の残りの荷電粒子ビームは、可変アパーチャにより阻止されるので、可変マルチ荷電粒子ビームシステムは、可変アパーチャが第２の位置８０２にあるときにシングルビームモードで動作する。
【００３９】
図９は、ビームレットの共通クロスオーバーの並進移動によりシングルビームモードで動作する可変マルチ荷電粒子ビームシステムを示す図９００である。具体的には、図９は、可変マルチ荷電粒子ビームシステムがシステムの収束点を変更して最終クロスオーバー１２４の位置が可変アパーチャ１２６に位置付けられなくなった後の可変マルチ荷電粒子ビームシステムを示している。最終クロスオーバー１２４が可変アパーチャ１２６に位置付けられなくなっているので、中心ビームレット１１６だけが、可変アパーチャ１２４のアパーチャ内を通過することができ、複数の荷電粒子ビームレット１０８の残りの荷電粒子ビームレットは、可変アパーチャ１２４により阻止される。このように、可変マルチ荷電粒子ビームシステムは、最終クロスオーバー１２４の位置が可変アパーチャ１２６に位置付けられなくなったときにシングルビームモードで動作する。
【００４０】
本開示による本発明の主題の例は、以下に列挙される段落で説明される。
【００４１】
Ａ１．試料の検査のための可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって：複数の荷電粒子ビームレットを生成するように構成されたマルチビームソースと、試料を保持する試料ホルダーと、複数の荷電粒子ビームレットを誘導して試料に入射させるように構成された収束カラムと、複数の荷電粒子ビームレットの１つ以上のクロスオーバーであって、１つ以上のクロスオーバーの各クロスオーバーが、複数の荷電粒子ビームレットが共通位置内を通過するときの１つの点に対応する、当該１つ以上のクロスオーバーと、１つ以上のクロスオーバーのうち、試料に最も近い最終クロスオーバーに位置付けられる可変アパーチャであって、可変アパーチャが、複数の荷電粒子ビームレットの電流を変化させるように構成される、当該可変アパーチャと、対物レンズと、を含み、試料は、対物レンズとマルチビームソースとの間に位置付けられる、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００４２】
Ａ２．段落Ａ１の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、１つ以上のクロスオーバーが、複数のクロスオーバーをマルチビームソースと試料との間に含む、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００４３】
Ａ３．段落Ａ１〜Ａ２のいずれかの段落の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、１つ以上のクロスオーバーが単一のクロスオーバーを含む、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００４４】
Ａ４．段落Ａ１〜Ａ３のいずれかの段落の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、マルチビームソースが：荷電粒子ビームを生成するソースと、荷電粒子ビームを複数の荷電粒子ビームレットに変換するように構成された照射器と、を含む、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００４５】
Ａ５．段落Ａ１〜Ａ４のいずれかの段落の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、可変アパーチャが、装置をシングルビーム動作モードとマルチビーム動作モードとの間で切り替えるように構成される、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００４６】
Ａ５．１．段落Ａ５の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、可変マルチ荷電粒子ビーム装置が、可変アパーチャを第１の位置と第２の位置との間で並進移動させるように構成され、可変マルチ荷電粒子ビーム装置が、可変アパーチャが第１の位置にあるときにマルチビーム動作モードで動作し、可変マルチ荷電粒子ビーム装置が、可変アパーチャが第２の位置にあるときにシングルビーム動作モードで動作する、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００４７】
Ａ５．２．段落Ａ５の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、可変マルチ荷電粒子ビーム装置が、最終クロスオーバーを第１の位置と第２の位置との間で並進移動させるように構成され、可変マルチ荷電粒子ビーム装置が、最終クロスオーバーが第１の位置にあるときにマルチビーム動作モードで動作し、可変マルチ荷電粒子ビーム装置が、最終クロスオーバーが第２の位置にあるときにシングルビーム動作モードで動作する、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００４８】
Ａ６．段落Ａ１〜Ａ５．２のいずれかの段落の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、可変アパーチャが、試料とマルチビームソースとの間のコマ収差のない領域に位置決めされる、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００４９】
Ａ７．段落Ａ１〜Ａ６のいずれかの段落の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、可変アパーチャが、複数の荷電粒子ビームレットの部分集合が、収束カラムの中心軸に沿って移動しないことから生じるレンズ収差を補正するように構成される、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００５０】
Ａ８．段落Ａ１〜Ａ７のいずれかの段落の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、可変アパーチャが、少なくとも第１のアパーチャおよび第２のアパーチャを含む、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００５１】
Ａ８．１．段落Ａ８の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、第１のアパーチャが第２のアパーチャとは異なるサイズおよび／または形状を有する、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００５２】
Ａ８．２．段落Ａ８〜Ａ８．１のいずれかの段落の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、可変マルチ荷電粒子ビーム装置が、可変アパーチャを第１の位置と第２の位置との間で並進移動させるように構成される、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００５３】
Ａ８．２．１．段落８．２の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、可変アパーチャが第１の位置にある場合、複数の荷電粒子ビームレットのうちの１つ以上の荷電粒子ビームレットが第１のアパーチャ内を通過し、可変アパーチャが第２の位置にある場合、複数の荷電粒子ビームレットのうちの１つ以上の荷電粒子ビームレットが第２のアパーチャ内を通過する、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００５４】
Ａ８．２．２．段落Ａ８〜Ａ８．１のいずれかの段落の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、可変アパーチャが最初の位置にある場合、最終クロスオーバーが第１のアパーチャ内を通過し、可変アパーチャが第２の位置にある場合、最終クロスオーバーが第２のアパーチャ内を通過する、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００５５】
Ａ８．２．３．段落Ａ８．２．１〜Ａ８．２．２のいずれかの段落の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、最終クロスオーバーおよび／または複数の荷電粒子ビームレットのうちの１つ以上の荷電粒子ビームレットが第１のアパーチャ内を通過する場合、複数の荷電粒子ビームレットは、試料に入射するときに第１の電流を有し、最終クロスオーバーおよび／または複数の荷電粒子ビームレットのうちの１つ以上の荷電粒子ビームレットが第２のアパーチャ内を通過する場合、複数の荷電粒子ビームレットは、試料に入射するときに第１の電流とは異なる第２の電流を有する、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００５６】
Ａ９．段落Ａ１〜Ａ８．２．３のいずれかの段落の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、可変アパーチャが調整可能なアパーチャを含む、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００５７】
Ａ９．１．段落Ａ９の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、調整可能なアパーチャが、第１の状態と第２の状態との間で切り替わるように構成され、調整可能なアパーチャが、当該アパーチャが第２の状態にある場合に、第１の状態にある場合とは異なるサイズおよび／または形状を有する、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００５８】
Ａ９．１．１．段落Ａ９．１の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、調整可能なアパーチャが第１の状態にある場合、複数の荷電粒子ビームレットが試料に入射するときに第１の電流を有し、調整可能なアパーチャが第２の状態にある場合、複数の荷電粒子ビームレットが、試料に入射するときに第１の電流とは異なる第２の電流を有する、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００５９】
Ａ１０．段落Ａ１〜Ａ９．１．１のいずれかの段落の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、可変マルチ荷電粒子ビーム装置が、試料と対物レンズとの間に位置決めされ、試料内を透過する、および／または試料から放出される荷電粒子を光に変換するように構成されるシンチレータをさらに含む、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００６０】
Ａ１０．１．段落Ａ１０の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、シンチレータがＹＡＧスクリーンである、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００６１】
Ａ１０．２．段落Ａ１０〜Ａ１０．１のいずれかの段落の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、可変マルチ荷電粒子ビーム装置が、シンチレータからの光を検出する検出器をさらに含む、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００６２】
Ａ１０．２．１．段落Ａ１０．２の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、シンチレータからの光が、検出器で検出される前に、対物レンズ内を通過する、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００６３】
Ａ１１．段落Ａ１〜Ａ１０．２．１のいずれかの段落の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、可変マルチ荷電粒子ビーム装置が透過検査システムである、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００６４】
Ａ１２．段落Ａ１〜Ａ１１のいずれかの段落の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、対物レンズが磁気対物レンズである、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００６５】
Ａ１３．段落Ａ１〜Ａ１２のいずれかの段落の可変マルチ荷電粒子ビーム装置であって、収束カラムがブースターチューブを含む、可変マルチ荷電粒子ビーム装置。
【００６６】
Ｂ１．試料の検査のための可変マルチ荷電粒子ビーム装置の電流を調整する方法であって、当該方法は：マルチビームソースからの複数の荷電粒子ビームを収束させて試料に入射させることであって、複数の荷電粒子ビームを収束させることが、複数の荷電粒子ビームを誘導して、複数の荷電粒子ビームレットの１つ以上のクロスオーバーが現われるようにすることを含み、１つ以上のクロスオーバーの各クロスオーバーは、複数の荷電粒子ビームレットが共通位置内を通過するときの１つの点に対応することと、荷電粒子ビームの各々の電流を、１つ以上のクロスオーバーのうち、試料に最も近い最終クロスオーバーに位置付けられる可変アパーチャにより変化させることと、試料から放出される、および／または試料内を透過する荷電粒子を対物レンズで検出器に収束させることと、を含む。
【００６７】
Ｂ２．段落Ｂ１の方法であって、可変アパーチャが調整可能なアパーチャを含み、１つ以上のクロスオーバーの最終クロスオーバーが調整可能なアパーチャ内を通過し、荷電粒子ビームの各々の電流を変化させることが、可変アパーチャのサイズおよび／または形状を調整することを含む、方法。
【００６８】
Ｂ２．１．段落Ｂ２の方法であって、荷電粒子ビームの各々の電流を変化させることが、調整可能なアパーチャを、調整可能なアパーチャが第１のサイズおよび／または形状を有する第１の状態と、調整可能なアパーチャが第２のサイズおよび／または形状を有する第２の状態との間で切り替えることを含む、方法。
【００６９】
Ｂ２．１．１．段落Ｂ２．１の方法であって、第２のサイズおよび／または形状が第１のサイズおよび／または形状とは異なるサイズである、方法。
【００７０】
Ｂ２．１．２．段落Ｂ２．１〜Ｂ２．１．１のいずれかの段落の方法であって、第２のサイズおよび／または形状が第１のサイズおよび／または形状とは異なるサイズである、方法。
【００７１】
Ｂ２．１．３．段落Ｂ２．１〜Ｂ２．１．２のいずれかの段落の方法であって、調整可能なアパーチャが第１の状態にある場合、複数の荷電粒子ビームレットが、試料に入射するときに第１の電流を有し、調整可能なアパーチャが第２の状態にある場合、複数の荷電粒子ビームレットが、試料に入射するときに第１の電流とは異なる第２の電流を有する、方法。
【００７２】
Ｂ３．段落Ｂ１の方法であって、可変アパーチャが少なくとも第１のアパーチャおよび第２のアパーチャを含む、方法。
【００７３】
Ｂ３．１．段落Ｂ３の方法であって、第１のアパーチャが第２のアパーチャとは異なるサイズおよび／または形状を有する、方法。
【００７４】
Ｂ３．２．段落Ｂ３〜Ｂ３．１のいずれかの段落の方法であって、荷電粒子ビームの各々の電流を変化させることが、可変アパーチャを、複数の荷電粒子ビームレットのうちの１つ以上の荷電粒子ビームレットが第１のアパーチャ内を通過するときの第１の位置と、複数の荷電粒子ビームレットのうちの１つ以上の荷電粒子ビームレットが第２のアパーチャ内を通過するときの第２の位置との間で並進移動させることを含む、方法。
【００７５】
Ｂ３．２．１．段落Ｂ３．２の方法であって、可変アパーチャが第１の位置にある場合、最終クロスオーバーが第１のアパーチャ内を通過し、可変アパーチャが第２の位置にある場合、最終クロスオーバーが第２のアパーチャ内を通過する、方法。
【００７６】
Ｂ３．２．２．段落Ｂ３．２〜Ｂ３．２．１のいずれかの段落の方法であって、最終クロスオーバーおよび／または複数の荷電粒子ビームレットのうちの１つ以上の荷電粒子ビームレットが第１のアパーチャ内を通過する場合、複数の荷電粒子ビームレットが、試料に入射するときに第１の電流を有し、最終クロスオーバーおよび／または複数の荷電粒子ビームレットのうちの１つ以上の荷電粒子ビームレットが第２のアパーチャ内を通過する場合、複数の荷電粒子ビームレットが、試料に入射するときに、第１の電流とは異なる第２の電流を有する、方法。
【００７７】
Ｂ４．段落Ｂ１〜Ｂ３のいずれかの段落の方法であって、可変マルチ荷電粒子ビーム装置を、マルチビーム動作モードとシングルビーム動作モードとの間で切り替えることをさらに含む、方法。
【００７８】
Ｂ４．１．段落Ｂ４の方法であって、可変マルチ荷電粒子ビーム装置をマルチビーム動作モードとシングルビーム動作モードとの間で切り替えることが、可変アパーチャを可変マルチ荷電粒子ビーム装置の中心軸に沿って、第１の位置と第２の位置との間で並進移動させることを含む、方法。
【００７９】
Ｂ４．１．１．段落Ｂ４．１の方法であって、可変アパーチャが第１の位置にある場合、最終クロスオーバーが可変アパーチャ内を通過し、可変アパーチャが第２の位置にある場合、複数の荷電粒子ビームレットのうち１本のビームレットだけが、可変アパーチャ内を通過する、方法。
【００８０】
Ｂ４．１．２．段落Ｂ４．１〜Ｂ４．１．１のいずれかの段落の方法であって、可変マルチ荷電粒子ビーム装置が、可変アパーチャが第１の位置にある場合にマルチビーム動作モードで動作し、可変マルチ荷電粒子ビーム装置が、可変アパーチャが第２の位置にある場合にシングルビーム動作モードで動作する、方法。
【００８１】
Ｂ４．２．段落Ｂ４の方法であって、可変マルチ荷電粒子ビーム装置をマルチビーム動作モードとシングルビーム動作モードとの間で切り替えることが、最終クロスオーバーを第１の位置と第２の位置との間で並進移動させることを含む、方法。
【００８２】
Ｂ４．２．１．段落Ｂ４．２の方法であって、最終クロスオーバーが第１の位置にある場合、最終クロスオーバーが可変アパーチャ内を通過し、最終クロスオーバーが第２の位置にある場合、複数の荷電粒子ビームレットのうち１本のビームレットだけが、可変アパーチャ内を通過する、方法。
【００８３】
Ｂ４．２．２．段落Ｂ４．２〜Ｂ４．２．１のいずれかの段落の方法であって、可変マルチ荷電粒子ビーム装置が、最終クロスオーバーが第１の位置にある場合にマルチビーム動作モードで動作し、可変マルチ荷電粒子ビーム装置が、最終クロスオーバーが第２の位置にある場合にシングルビーム動作モードで動作する、方法。
【００８４】
Ｂ５．段落Ｂ１〜Ｂ４．２．２のいずれかの段落の方法であって、マルチビームソースから複数の荷電粒子ビームレットを生成することをさらに含む、方法。
【００８５】
Ｂ６．段落Ｂ１〜Ｂ５のいずれかの段落の方法であって、荷電粒子ビームの各々の電流を変化させることが、複数の荷電粒子ビームレットの部分集合が、可変マルチ荷電粒子ビーム装置の中心軸に沿って移動しないことから生じるレンズ収差を補正することを含む、方法。
【００８６】
Ｃ１．段落Ｂ１〜Ｂ６のいずれかの段落の方法を実行する、段落Ａ１〜Ａ１３のいずれかの段落の可変マルチ荷電粒子ビーム装置の使用。
【００８７】
Ｄ１．非一時的なコンピュータ可読命令を格納するコンピュータ可読媒体であって、非一時的なコンピュータ可読命令が、１つ以上のプロセッサにより実行されると、可変マルチ荷電粒子ビーム装置が、段落Ｂ１〜Ｂ６のいずれかの段落の方法を実行するようになる、コンピュータ可読媒体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【外国語明細書】
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