(57)【要約】【課題】空間周波数を考慮した静電潜像の再現性に関する画像評価方法及び画像評価装置を提供する。【解決手段】本発明は、帯電させた感光体１５７に光照射により静電潜像を形成し、荷電粒子により静電潜像を測定して画像評価を行う画像評価方法において、感光体の任意の点で、静電潜像の大きさに関して、該静電潜像の再現性を定義し、順次、空間周波数を変えた静電潜像を形成して測定を行い、静電潜像の再現性を空間周波数毎に求める。そしてこの画像評価を行う画像評価装置１５１は、少なくとも、感光体１５７を帯電させるための荷電粒子を発生させる手段１５２と、感光体上に光照射させる手段１５６と、感光体上に形成された静電潜像を観察する手段１６３，１６０と、静電潜像の再現性を求める手段１６０とを有する。【選択図】図１４
2010176093.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯電させた感光体に光照射により静電潜像を形成し、荷電粒子により前記静電潜像を測定して画像評価を行う画像評価方法において、
前記感光体の任意の点で、前記静電潜像の大きさに関して、該静電潜像の再現性を定義し、順次、空間周波数を変えた静電潜像を形成して、測定を行い、前記静電潜像の再現性を前記空間周波数毎に求めることを特徴とする画像評価方法。
【請求項２】
請求項１に記載の画像評価方法において、
前記画像評価を前記感光体の複数の点で行うことを特徴とする画像評価方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の画像評価方法において、
前記静電潜像の大きさは、該静電潜像の面積を円周率で除した平方根で定義することを特徴とする画像評価方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一つに記載の画像評価方法において、
前記静電潜像の空間周波数は、前記光照射の強度により変えることを特徴とする画像評価方法。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれか一つに記載の画像評価方法において、
前記静電潜像の空間周波数は、前記光照射を複数回隣接させて行うことにより変えることを特徴とする画像評価方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一つに記載の画像評価方法を用いて画像評価を行う装置であって、
少なくとも、
前記感光体を帯電させるための荷電粒子を発生させる手段と、
前記感光体上に光照射させる手段と、
前記感光体上に形成された静電潜像を観察する手段と、
前記静電潜像の再現性を求める手段と、
を有することを特徴とする画像評価装置。
【請求項７】
請求項１乃至５のいずれか一つに記載の画像評価方法、あるいは請求項６に記載の画像評価装置、により得られた静電潜像の再現性を画像形成に反映させる手段を有することを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複写機、プリンタ、ファクシミリ、あるいはこれらの複合機等の電子写真方式の画像形成装置における静電潜像の測定技術に関し、特に、空間周波数を考慮した静電潜像の再現性を評価する画像評価方法及び画像評価装置に関する。また、本発明は、この画像評価方法、画像評価装置により電子写真の画質を向上させることができる画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
複写機、プリンタ、ファクシミリ、あるいはこれらの複合機等の電子写真の技術を応用した画像形成装置、機器（特に、複写機はデジタル複写機、プリンタはレーザプリンタ）において、ある画像に関する元データの入力から、最終的な紙出力までの画像形成の一つのプロセスに、静電潜像の形成がある。静電潜像は、帯電させた感光体に、例えば走査光学系を用いて小さなドットから成る文字、画像等を形成したものである。この静電潜像は、トナーを付着させないうちは目視では見えず、汎用の計測機器を用いても精度よく測定することは難しい。
【０００３】
この静電潜像を測定、或いは可視化する技術が、特許文献１（特開２００３−２９５６９６号公報）に開示されている。これは、帯電させた感光体上の静電潜像の検出に荷電粒子（例えば電子）を用いるものでは、この技術により静電潜像の大きさがμｍレベルの高い精度で測定できる。
【０００４】
また、感光体上の静電潜像にトナーを付着させるのが現像工程であるが、例えば特許文献２（特開２００２−３０４０２５号公報）には、感光体上で、現像後のトナーの集合体の平均円相当径及び標準偏差を用いて、
ＣＶ１値＝標準偏差／平均円相当径
を定義している。そして、
０＜ＣＶ１＜１７９．０１×（トナー集合体の平均円相当径）−１．９０３１
を満足する現像装置が開示されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の従来技術では、ドット径のばらつきを、標準偏差を平均円相当径を除した値で定義している点が後述する本発明と類似している。
しかし、この従来技術が現像装置であるのに対して、後述する本発明は評価方法、及び評価装置である点が異なり、また、静電潜像と現像後のトナー集合体（の像）との違いがある。
【０００６】
以下、本発明が解決しようとする課題について説明する。
電子写真のプロセスを経て、最終的に紙の上に定着させたトナーから成る文字、画像等をトナー像と呼ぶことにする。ここでは、上述の静電潜像に対してトナー像を対比的に用いる。トナー像の評価には形状、濃度などの幾つかの項目があり、これらを繰り返して評価することが再現性の評価である。再現性は、文字、画像の入力値を同じとして、繰り返しトナー像を形成したときに、同じトナー像が形成されるかどうかである。ここで、入力値とは、例えばパーソナルコンピュータ（ＰＣ）を用いて文字、画像形成したときの電子的な情報を指すものである。厳密には、完全に同じトナー像が形成される可能性はほとんど無い。これは、電子写真のプロセスがいつも全く同じにはならないためである。例えば、トナーは、数μｍの微小な粒子であり、粒径分布を有し（サイズが異なり）、また形状も異なっている。従って、微視的に、毎回使われるトナーは同じではない。さらに、静電潜像の形成にもばらつきがあり、これにより、静電潜像へのトナー付着量もばらつく等、種々の要因があるためである。従って、例えば標準偏差で同じトナー像であると表現する。これに対して入力値は常に同一である。
【０００７】
繰り返しトナー像を形成し、測定をして得られた測定値について平均及び標準偏差を求めておき、あるとき測定した値が、それからどれだけずれているかによって再現性の大小を判断することになる。最終的には、人の目でその差が分らなければ良いが、品質を管理する上では、再現性を数値的に把握しなければならない。ここで、再現性はばらつきと同義に用いる。
【０００８】
トナー像に対して、静電潜像は、トナーが関与しない分、使用する測定装置の汎用性は除いて、再現性の把握が比較的容易である。一般的にトナー形状、大きさの多様性、及びトナー付着の現象が複雑な分、トナー像の再現性は、静電潜像の再現性に劣る。
ただ、トナー像は光学顕微鏡を用いれば容易に評価が行える。例えば画像取り込み、画像処理を予めプログラムしておけば、コンピュータ制御で、自動測定も可能である。また、繰り返し測定も容易である。
【０００９】
これに対して静電潜像の観察は、特許文献１に記載の装置等を用いないと行えない。さらに、静電潜像に関しては、現状では繰り返し再現性を評価した例はない。
また、この繰り返し再現性は、文字、画像を構成する空間周波数にも依存する。電子写真としては、像の空間周波数によらず、高い繰り返し再現性が確保できることが好ましい。画質向上には、電子写真の各プロセスにおいて像の空間周波数を考慮した繰り返し再現性を知り、劣化が生じれば要因を突き止める必要がある。このとき、静電潜像におけるこの評価は有益である。
現状では、空間周波数を含めた静電潜像の再現性に関する評価方法はなく、後述の本発明に到った。
【００１０】
また、トナー像は紙全面に形成される。このとき、入力値が同じドットのトナー像を紙全面に形成しても、場所によってトナー像は同じではない。これは、上記の繰り返し再現性に加えて、感光体の均一性も要因に含まれる。感光体の均一性を見る上でも、静電潜像の評価は有効である。
しかしながら、感光体の場所毎の静電潜像の再現性を、空間周波数を考慮して評価する方法は現状ではない。
【００１１】
静電潜像の大きさは例えば面積である。しかし、ここで評価する空間周波数は、長さの逆数の単位を持っている。このため、静電潜像の大きさも、長さの単位で表すと、空間周波数と対比し易い。
【００１２】
静電潜像の空間周波数の変調方法に関しては、細かく変調できることが好ましい。
また、静電潜像の空間周波数の変調方法に関しては、空間周波数の低い（大きなドット）領域であっても、細かく変調できることが好ましい。
【００１３】
本発明は、上記の評価を行う評価装置を具現化するものである。
また、本発明では、空間周波数を含む静電潜像の繰り返し再現性に関する評価結果を、画像形成に反映し、高画質化を図るものであり、この調整手段を有する画像形成装置を提供するものである。
【００１４】
以下に本発明が解決しようとする課題をまとめて示す。
本発明の第一の課題は、空間周波数を考慮した静電潜像の再現性に関する画像評価方法を提供することである。
第二の課題は、感光体の均一性も含めた、静電潜像の再現性に関する画像評価方法を提供することである。
第三の課題は、空間周波数を適切に表す静電潜像の再現性の画像評価方法を提供することである。
第四の課題は、静電潜像の空間周波数の変調が容易な静電潜像の画像評価方法を提供することである。
第五の課題は、静電潜像の空間周波数の変調が、より空間周波数の低い領域で、容易な静電潜像の画像評価方法を提供することである。
第六の課題は、静電潜像の再現性を評価する画像評価装置を提供することである。
第七の課題は、静電潜像再現性の評価結果を反映する手段を有する画像形成装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
以上の課題を解決するため、本発明では以下のような解決手段を採っている。
本発明の第１の解決手段は、帯電させた感光体に光照射により静電潜像を形成し、荷電粒子により前記静電潜像を測定して画像評価を行う画像評価方法において、前記感光体の任意の点で、前記静電潜像の大きさに関して、該静電潜像の再現性を定義し、順次、空間周波数を変えた静電潜像を形成して、測定を行い、前記静電潜像の再現性を前記空間周波数毎に求めることを特徴とする（請求項１）。
【００１６】
本発明の第２の解決手段は、第１の解決手段の画像評価方法において、前記画像評価を前記感光体の複数の点で行うことを特徴とする（請求項２）。
また、本発明の第３の解決手段は、第１または第２の解決手段の画像評価方法において、前記静電潜像の大きさは、該静電潜像の面積を円周率で除した平方根で定義することを特徴とする（請求項３）。
さらに本発明の第４の解決手段は、第１乃至第３のいずれか一つの解決手段の画像評価方法において、前記静電潜像の空間周波数は、前記光照射の強度により変えることを特徴とする（請求項４）。
さらに本発明の第５の解決手段は、第１乃至第３のいずれか一つの解決手段の画像評価方法において、前記静電潜像の空間周波数は、前記光照射を複数回隣接させて行うことにより変えることを特徴とする（請求項５）。
【００１７】
本発明の第６の解決手段は、第１乃至第５のいずれか一つの解決手段の画像評価方法を用いて画像評価を行う装置であって、少なくとも、前記感光体を帯電させるための荷電粒子を発生させる手段と、前記感光体上に光照射させる手段と、前記感光体上に形成された静電潜像を観察する手段と、前記静電潜像の再現性を求める手段と、を有することを特徴とする（請求項６）。
【００１８】
本発明の第７の解決手段は、画像形成装置であって、第１乃至第５のいずれか一つの解決手段の画像評価方法、あるいは第６の解決手段の画像評価装置、により得られた静電潜像の再現性を画像形成に反映させる手段を有することを特徴とする（請求項７）。
【発明の効果】
【００１９】
第１の解決手段の画像評価方法によれば、空間周波数の異なる静電潜像の再現性を評価することができる。
第２の解決手段の画像評価方法によれば、感光体上の異なる位置で、静電潜像を形成することができる。また、感光体上の異なる場所での静電潜像の形成に加え、静電潜像の空間周波数を考慮した、繰り返し測定を行うことにより、感光体上の異なる複数の位置で、空間周波数を考慮した再現性の評価が可能となる。
第３の解決手段の画像評価方法によれば、円相当径を定義し、これを用いることにより、空間周波数を適切に表す静電潜像の再現性の評価方法を提供することができる。
第４の解決手段の画像評価方法によれば、照射光の強度を変えることにより、静電潜像の空間周波数の変調が容易な静電潜像の評価方法を提供することができる。
第５の解決手段の画像評価方法によれば、複数のドットを隣接さて形成することにより、静電潜像の空間周波数の変調が、より空間周波数の低い領域で容易な静電潜像の評価方法を提供することができる。
【００２０】
第６の解決手段の画像評価装置によれば、空間周波数を考慮した静電潜像の再現性、これに加え感光体上の場所のばらつきなどを含めた評価が可能な、評価装置を提供できる。
【００２１】
第７の解決手段の画像形成装置によれば、静電潜像再現性の評価結果を反映する手段を有し、空間周波数を含む静電潜像の繰り返し再現性に関する評価結果を画像形成に反映し、高画質化を図ることができる画像形成装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施形態を示す画像形成装置の概略構成図である。
【図２】本発明に係る感光体の一例を示す図であって、感光体の層構成及び帯電、光照射の様子を模式的に示す図である。
【図３】走査光学系の一例を示す概略斜視図である。
【図４】静電潜像の再現性を説明するための図である。
【図５】静電潜像の再現性を説明するための図である。
【図６】３つの異なる空間周波数のドットを模式的に示す図である。
【図７】ドラム状の感光体の異なる場所での再現性の評価方法を説明するための図である。
【図８】感光体の小片を試料として用いた場合の評価方法の説明図である。
【図９】静電潜像が楕円状の場合の円相当径の説明図である。
【図１０】静電潜像の円相当径の空間周波数と静電潜像再現性の関係の一例を示す図である。
【図１１】ＬＤの出力と円相当径の関係の一例を示す図である。
【図１２】ＬＤの出力と空間周波数の関係の一例を示す図である。
【図１３】複数のドットを隣接させて静電潜像の空間周波数が低いドットを形成する場合の説明図である。
【図１４】本発明に係る画像評価装置の構成例を模式的に示す図である。
【図１５】３種の感光体の空間周波数と再現性の関係の一例を示す図である。
【図１６】ＬＤ出力設定値と、感光体上での露光エネルギー密度の関係の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００２４】
［電子写真と、電子写真プロセスの説明］
まず、一般的な電子写真プロセスについて概要を説明する。
電子写真プロセスは、以下に示す（１）帯電、（２）露光、（３）現像、（４）転写、（５）クリーニング、（６）定着、からなる。
（１）現像：暗所において帯電器を用いて光導電体である感光体の表面を帯電させる。
（２）露光：帯電させた感光体に光照射を行い、光が照射された部分の電荷が除去され、これにより静電潜像を形成する。現在、デジタル機器においてはネガが主流である。
（３）現像：静電潜像と逆極性に帯電させた微小な粒子であるトナーを、静電潜像に静電的に付着させる。
（４）記録媒体である紙を現像後のトナー像に重ね、紙の裏側の帯電器で、トナーの帯電極性とは逆極性の電荷を紙に与え、静電力により、トナーを紙に転写する。
（５）クリーニング：転写されずに感光体に残った残留トナーをブレード、磁気ブラシ等のクリーナを用いて除去する。
（６）定着：転写紙に付着したトナーは熱ローラ定着機に送られ、熱及び圧力で定着される。
【００２５】
（画像形成装置の説明）
上記の（１）から（６）のプロセスを行う手段を備えた画像形成装置の一構成例を図１に示す。
図１において、この画像形成装置は、感光体（ＯＰＣ）７１、帯電チャージャー７２、露光（露光手段）７３、トナー（現像手段）７４、記録媒体（転写紙等の紙）７５、転写チャージャー７６、定着ローラー７７、クリーニングブレード７８、除電用光源７９を備えている。上記のプロセスと対応させると（１）感光体７１の帯電が帯電チャージャー７２により行われ、（２）露光７３が図示しない露光手段（例えば後述する走査光学系等）により行われ、（３）現像が現像手段のトナー７４を静電的に感光体７１に付着させることにより行われ、（４）転写が転写チャージャー７６により感光体上のトナーを紙７５に転写することにより行われ、（５）クリーニングがクリーニングブレード７８により感光体上に残ったトナーを取り除くことにより行われ、（６）定着が定着ローラー７７により紙７５の上のトナーを定着させることにより行われる。また除電用の光源７９から光を照射して、感光体７１に残った電荷を除電する。
【００２６】
（トナーの説明）
上記の電子写真プロセスの（３）の現像には幾つかの方式があり、方式からトナー・現像剤を分類する。まず乾式と湿式があり、高速性の上で乾式が主流である。乾式には、一成分現像剤と二成分現像剤がある。また一成分現像剤には非磁性トナー、磁性トナーがある。二成分現像剤はトナーとキャリアとからなる。このトナーには非磁性トナー、磁性トナーがある。トナーは大部分がポリマーから成り、着色剤等が含まれる。大きさは数μｍから十数μｍ。キャリアは鉄粉などの金属系材料であり、数十から数百μｍの大きさを有する。
【００２７】
（感光体の説明）
感光体は光導電材料（Ｐｈｏｔｏｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）である。現在、低コスト、加工性容易の点から有機電子写真感光体（ＯＰＣ：Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｐｈｏｔｏｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）が主として使われている。一般的にＯＰＣは層構成で作られている。導電性支持体（導電層）の上に、中間層を設け、その上に電荷発生層（ＣＧＬ：Ｃｈａｒｇｅ  Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ  Ｌａｙｅｒ）が積層され、さらに電荷輸送層（ＣＴＬ：Ｃｈａｒｇｅ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ  Ｌａｙｅｒ）が積層されている。この構成（順層構成）では負帯電方式になる。またＣＧＬとＣＴＬとの積層順を逆にした構成では正帯電となる。また、電荷発生と電荷輸送とを混合させた材料を用いた単層感光体もある。中間層は、電荷リークなどの防止のために設けられる。層構成及び帯電、光照射の様子を模式的に図２に示す。除電には、白色光源、或いは発光ダイオード（ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｅｄ  Ｄｉｏｄｅ））等を用いる。
【００２８】
（図２の説明）
順層構成の場合である図２においては、感光体（ＯＰＣ）は導電層（導電性支持体）１２１、電荷発生層（ＣＧＬ）１２２、電荷輸送層（ＣＴＬ）１２３を積層して構成され、図中には電子（負電荷）１２６、ホール（正電荷）１２７、照射光１２４、ホールの電荷輸送層中の移動方向１２５をそれぞれ表してある。
【００２９】
表面を帯電させた感光体（ＯＰＣ）に光を照射すると、ＣＧＬ１２２において、光が吸収され正負の電荷１２６，１２７が発生する。この正負の電荷は表面の電界により、一方の電荷（例えば正電荷（ホール）１２７）がＣＴＬ１２３に、他方の電荷（例えば負電荷（電子）１２６）が導電性支持体１２１に注入される。ＣＴＬ１２３に注入された電荷（例えば正電荷）は、ＣＴＬ１２３を通り感光体表面に到達し、表面にある電荷（例えば負電荷）を打ち消す。そこで電子写真ではこの原理を利用し、照射する光を二次元的に走査させ、文字、画像のパターンを感光体上に形成する。このパターンに応じて、上記の電荷発生、移動が起り、表面の電荷が打ち消される。これが静電潜像である。一般的にＣＧＬ１２２の厚みはサブμｍ程度である。またＣＴＬ１２３は数十μｍである。なお、静電潜像は文字、画像であるが、最小単位はドットである。
【００３０】
（記録媒体の説明）
上記の電子写真プロセスの（６）では、トナーは主として定形の転写紙や厚紙、葉書等の紙に定着されるが、記録媒体としてはオーバーヘッドプロジェクタ（ＯＨＰ）シート等の高分子材料もある。
【００３１】
（露光手段の説明）
露光手段の一つである走査光学系の一例を図３に示す。図３に示す走査光学系は、光源１１１、コリメートレンズ１１２、シリンドカルレンズ１１３、第一のミラー１１４、光偏向器（例えばポリゴンミラー）１１５、第一の走査レンズ１１６、第二の走査レンズ１１７、第二のミラー１１８等を備えているが、これは一例であり、構成、配置はこれに限られるものではない。ポリゴンミラー１１５は回転軸１１５１を中心に数万ｒｐｍ（ｒｏｕｎｄ  ｐｅｒ  ｍｉｎｕｔｅ）の高速で回転し、ポリゴンミラー１１５に入射される光を走査する。この走査方向を主走査方向と呼ぶ。これは、感光体１１９において、長手方向である。また、感光体１１９は、回転軸１１９１の回りに回転する。この方向を副走査方向と呼ぶ。感光体上に光照射により形成される静電潜像は例えば１１９２のようである。ここでは、静電潜像のワンドットを誇張して大きく描いてある。また、感光体自体は走査光学系に含まれなくとも良い。また、光源１１１の直前に、ビーム径調整のために開口（アパーチャ）１２０を設ける。アパーチャ１２０の形状は、正方形、円形、矩形などがある。図では矩形としている。
【００３２】
光源１１１にはレーザーダイオード（ＬＤ：Ｌａｓｅｒ  Ｄｉｏｄｅ）が用いられている。また、発光ダイオード（ＬＥＤ：Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｅｄ  Ｄｉｏｄｅ）、垂直面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ：Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ｃａｖｉｔｙ  Ｓｕｒｃａｆｅ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｌａｓｅｒ）も近年用いられている。なお、ＬＤを数個用いて、光走査を分割することができる。また、ＶＣＳＥＬを用いれば、光走査を数十に分割でき、画像の高解像度化に有効である。
【００３３】
また、所望の解像度により、感光体上のドットの大きさが決まる。解像度が上がるほど、ドットのサイズを小さくしなければならない。これは光源１１１だけでなく、光学系にも高い仕様が要求される場合もある。ドットのサイズを決める要因としてアパーチャ１２０の大きさがある。光学系の性能にもよるが、充分収差が補正されているとして、アパーチャ１２０の大きさを小さくすれば、ドットは大きくなり、逆にアパーチャ１２０の大きさを大きくすれば、ドットは小さくなる。
光照射の条件は、例えば光源１１１にＬＤを用いて、その波長λはλ＝６５５ｎｍである。
【００３４】
感光体１１９の帯電電位は−６００Ｖから−１０００Ｖ程度であり、感光体１１９は、市販のレーザプリンタ、デジタル複写機等に搭載されているものを用いれば良い。図３では円筒状の感光体であるが、板状、シート状、無端ベルト状であっても構わない。
【００３５】
（第１の解決手段の説明）
まず、静電潜像の再現性の定義について説明する。
図４（ａ）は、帯電した感光体の一部１、書込み光２、形成されたドットの静電潜像３をそれぞれ表している。これは、図３に示した走査光学系の感光体１１９の一部の周囲のみを描いたものに相当する。
【００３６】
まず、帯電した感光体上の任意の点に書込み光２を照射してドットの静電潜像３を形成し、測定した後、別の光を照射して除電する。この工程を、所望の回数繰り返す。今、ｎ回繰り返して行ったとすると（ｎは正の整数）、図４（ｂ）に示すように一連のドットの静電潜像が得られる。横方向の並びは、繰り返しを表している。図４（ｂ）のように、ドットの静電潜像は、繰り返し毎に、形状、大きさが異なる（ドットのばらつきと言っても良い）。ただし、図４（ｂ）では非常に誇張して描いている。
このドットの形状、大きさが異なるのは、走査光学系、感光体、測定系全てに要因がある。
ドットの静電潜像の大きさについて、繰り返し回数ｎに対して平均値と、標準偏差とを求める。ここで標準偏差を平均値で除した値を、静電潜像の再現性として定義する。
即ち、
静電潜像の再現性＝標準偏差／平均値    （式１）
である。
【００３７】
図４（ａ）に示したドットの静電潜像３の大きさが、測定回毎に変わり、その変化が大きい場合、（式１）の値は大きくなる。逆に、測定を繰り返しても静電潜像の大きさが変らない場合、この値は小さくなる。これで、再現性が良い場合、この値は小さく、再現性が悪い場合、この値は大きいということになる。
【００３８】
空間周波数は一般的にラインアンドペア（ｌｉｎｅ  ａｎｄ  ｐａｉｒ）やサイクル（ｃｙｃｌｅ）等の周期性のパターンで定義する。ドットで定義するには、図５に示すように一つ飛びにドットを形成し、ドットの「有り」と「無し」とを一周期とする（図５において、横方向のドットの並びは空間的なものであり、図４の繰り返しでは無い）。ドット一つの走査方向の大きさが６００ｄｐｉ（ｄｐｉ：ｄｏｔ  ｐｅｒ  ｉｎｃｈ）であった場合、この一周期は３００ｄｐｉである。３００ｄｐｉは０．０８４７ｍｍである。空間周波数は、この逆数であり、１１．８１サイクル・ｍｍ−１である。１ｍｍ当りこの数の周期パターンがあることを表している。なお、図５では、ドットは横方向に並んでいるが、縦方向でも同様である。
【００３９】
図６に３つの異なる空間周波数のドットを模式的に示す。空間周波数の低、中、高に合わせて、ドットは大、中、小となる。図６において横方向のドットの並びは繰り返しを表している。前述の本発明の第１の解決手段では、図６のようにドットの空間周波数を変えて、繰り返し静電潜像の形成、測定を行うものである。即ち、ある空間周波数のドットをｎ回測定した後、空間周波数を変えた別のドットをｎ回測定し、これを順次行う。また、まず測定回数を固定して（ｎ＝ｉ、ｉは正の整数）、空間周波数を変えて測定し、これが終了後、測定回数を増やして行っても良い（ｎ＝ｉ＋１）。
【００４０】
図４（ｂ）に示したようにドットの大きさにはばらつきがあるが、空間周波数の変化はこのばらつきを上回るように調整する（詳細は後述の第４、第５の解決手段の説明で述べる）。
【００４１】
第１の解決手段で、「静電潜像の大きさ」とは例えば面積である。しかし、面積に限られるものではなく、第３の解決手段に記載の長さの単位を有する量であっても良い。
【００４２】
本発明の第１の解決手段の画像評価方法によれば、感光体の任意の点で、静電潜像の大きさに関して、静電潜像の再現性を定義し、順次、空間周波数を変えた静電潜像を形成して、測定を行い、静電潜像の再現性を空間周波数毎に求めることにより、空間周波数の異なる静電潜像の再現性を評価することができる。
【００４３】
（第２の解決手段の説明）
感光体は場所毎に静電潜像の形成が異なり、従って、感光体の異なる場所での再現性の評価が、場所によるばらつきを知る上で重要になる。図７に示すのは、ドラム状の感光体４１を用いた場合の一例である。帯電させたドラム状の感光体４１に、光照射４２を、感光体の異なる場所で行っている。光照射は、図３に示した様な構成の走査光学系を用いて行う。図７は図３の感光体１１９近傍のみを描いたものである。また、図７では感光体上に同時に露光したように描いてあるが、実際には時間差がある。ドラム状の感光体４１は、例えば、直径が６０ｍｍ、長さが３００ｍｍ程度の大きさである。
【００４４】
感光体４１が小さい場合、或いはドラム状の感光体４１から小片を切り出した場合は、光照射の位置は固定で、感光体を動かしても良い。図８はその一例を示しており、感光体の小片５１を試料ステージ５２に載せる。感光体の小片５１の帯電は、試料ステージ５２に載せた後に行う。試料ステージ５２は、図示しないステッピングモータ或いはピエゾ素子等によりｘ、ｙ方向に動かせる。走査光学系からの照射光５３の入射位置は一定であるとする。試料ステージ５２をｘ方向に少し動かすと（図８の（ａ）から（ｂ））、感光体上での静電潜像の形成位置はｘ方向に試料ステージ５２を動かしたのとは逆方向に移動する。さらに試料ステージ５２をｘ方向に少し動かすと（図８の（ｂ）から（ｃ））、静電潜像の形成位置はさらに移動する。なお、ｙ方向も同様である。
また、試料ステージ５２を充分に大きくする、或いは保持用の治具を設けるなどすれば、図７に示すようなドラム状の感光体を載せることも可能である。
【００４５】
このように、第２の解決手段の画像評価方法によれば、画像評価を感光体の複数の点で行うことにより、感光体上の異なる位置で、静電潜像を形成して評価することができる。また、感光体上の異なる場所での静電潜像の形成に加え、静電潜像の空間周波数を考慮した、繰り返し測定を行うことにより、感光体上の異なる複数の位置で、空間周波数を考慮した再現性の評価が可能となる。
【００４６】
（第３の解決手段の説明）
走査光学系で、感光体上に静電潜像を形成する場合、楕円に近いドット形状（楕円状）になることが多い。これは、図３に示した走査光学系のＬＤ光源１１１の直後に形状が矩形のアパーチャ１２０を設けた場合である。このときのドット形状は図９（ａ）のようである。この楕円状のときの面積がＳであったとすると、この面積を変えずに、楕円に近い形状を完全な円として、その半径がｒの場合、πｒ２＝Ｓである（πは円周率）。従ってｒ＝（Ｓ／π）１／２である。ここで、２ｒを円相当径と呼ぶことにする。
【００４７】
上記の第１の解決手段の例で、静電潜像の大きさは、例えば面積とした。しかし、第３の解決手段では、長さの次元を持つｒ或いは円相当径２ｒを用いる。
ここで、空間周波数は長さの逆数であり、静電潜像の大きさも長さで表すことが好ましい。また、走査光学系のビーム径は、例えば４５μｍ×５０μｍのように表すことが多く、上記の静電潜像の大きさも長さで表したほう適切である。
【００４８】
第３の解決手段の画像評価方法によれば、静電潜像の大きさは、該静電潜像の面積Ｓを円周率πで除した平方根で定義した、長さの次元を持つｒ或いは円相当径２ｒを用いることにより、空間周波数を適切に表す静電潜像の再現性の評価方法を提供することができる。
【００４９】
（第１〜第３の解決手段の具体例）
静電潜像の円相当径の空間周波数と再現性のグラフの一例を図１０に示す。ある感光体について測定結果が図中の(1) であったとする。今、これを基準として、劣る感光体とは(2) のような特性を持ち、優れた感光体とは(3) のような特性を持つものである。理想的に良い感光体は、空間周波数に対する再現性の変化が無く、その再現性の絶対値が小さいものである。
【００５０】
本発明の画像評価方法によれば、このように、空間周波数に対する再現性を求めることにより、感光体の特性を知ることができる。また、製品検査のように同種の複数の感光体間で、或いは製品比較のように種類の異なる複数の感光体間で、本評価方法を用いることにより、感光体の優劣を知ることができる。
【００５１】
また、図１０は、異なる感光体に関する結果でなくとも良く、同じ感光体上の異なる場所での測定と見ることもできる。感光体が均一にできているなら、例えば図中(1)〜(3)の直線は、すべて重なる。この直線の傾き、切片のずれが感光体の不均一性を表している。本評価方法によれば、ある感光体に対して、異なる複数の場所で、空間周波数と再現性を得ることができるため、感光体の不均一性を知ることができる。
【００５２】
図１０では、空間周波数が限定されており、感光体の特性は直線で近似されているが、空間周波数が大きくなると、曲線になることもある。必ずしも直線に限定されるものではない。
【００５３】
（第４の解決手段の説明）
本発明の第４の解決手段では、ドットの静電潜像の空間周波数を変えるのに、走査光学系のＬＤ光源の発光強度を変えるものである。
具体的には、図３に示した走査光学系のＬＤ光源１１１の出力を変えてドットの静電潜像の大きさを変えた。図１１にＬＤの出力と円相当径の関係の一例を示す。図１１の横軸は、ＬＤ出力の設定値であり、縦軸は円相当径である。ＬＤの出力と円相当径の間には直線関係があることが分る。従って、ＬＤ出力の調整により、円相当径を細かく調整することが可能となる。
また図１２は、円相当径の逆数を取り、空間周波数を縦軸にプロットしたものである。
【００５４】
第４の解決手段の画像評価方法によれば、静電潜像の空間周波数は、光照射の強度により変えることにより、静電潜像の空間周波数の変調が容易な静電潜像の評価方法を提供することができる。
【００５５】
（第５の解決手段の説明）
本発明の第５の解決手段では、ドットの静電潜像の空間周波数を変えるのに、複数のドットを隣接させることにより行うものである。一例としては、図１３に示すように、１ドットを２×２＝４ドット隣接させて形成し、これを１ドットとする。このようにすると空間周波数の低いドットが形成可能である。
このようにするのは、第４の解決手段に記載の照射光の強度を調整する方法では、例えばＬＤの出力に上限があるため、ドットサイズを大きくできないからである。例えば、図１１のグラフの右端では、円相当径で１６０μｍ程度までしかドットを大きくできない。これに対して、第５の解決手段では、一方向に二倍程度の３２０μｍまでドットを大きくすることが可能である。面積では四倍である。ただし、ドットを接触させるため、実際には、これ以下となるが、１６０μｍよりかは確実に大きくできる。
【００５６】
第５の解決手段の画像評価方法によれば、光照射を複数回隣接させて行い、複数のドットを隣接さて形成することにより、静電潜像の空間周波数を変えるので、静電潜像の空間周波数の変調が、より空間周波数の低い領域で容易な静電潜像の評価方法を提供することができる。
【００５７】
（第６の解決手段の説明）
図１４に、本発明の第６の解決手段に記載の画像評価装置の構成例を模式的に示す。画像評価装置１５１の基本的な構成は、電子銃１５２、コンデンサレンズ１５３、走査レンズ１５４、対物レンズ１５５、光照射光学系１５６、試料１５７、試料ステージ１６４、電子検出器１６３、真空ポンプ１５９、インターフェース１５８、電子計算機１６０（コンピュータ１６０ａ及びディスプレイ１６０ｂ）である。
【００５８】
第６の解決手段に記載の感光体（試料１５７）を帯電させるための荷電粒子を発生させる手段は具体的には電子銃１５２及び各レンズ１５３、１５４、１５５であり、感光体に光照射させる手段は具体的には光照射光学系１５６であり、感光体上の任意の位置に形成されたドットの静電潜像を観察する手段は、具体的には電子銃１５２、各レンズ１５３、１５４、１５５及び電子検出器１６３である。
【００５９】
電子銃１５２は、例えば走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で用いられているものでよい。電子銃１５２には熱フィラメント、フィールドエミッションなどがあり、いずれであっても構わない。
【００６０】
電子銃１５２を用いて電子で感光体を帯電させることを考えると、電子銃及び感光体他を真空中に置く必要がある。これは、本装置に固有のことではなく、ＳＥＭと同様である。このため真空ポンプ１５９を用いて装置の全体を真空に引く。図１４では真空ポンプ１５９は便宜的に一つのみ描いてあるが、達成させる真空度に応じて、ロータリーポンプ、ターボ分子ポンプ、イオンスパッタポンプ等、複数を併用する。
【００６１】
荷電粒子は負の極性を持つ電子が一般的である。しかし、ＦＩＢ（Ｆｏｃｕｓｅｄ  ｉｏｎ  Ｂｅａｍ）で用いられているイオン銃のように、イオンであっても良い。これは、例えばＧａ＋などのイオン種である。
【００６２】
コンデンサレンズ１５３、走査レンズ１５４、対物レンズ１５５はいずれも磁界レンズ、或いは静電レンズである。走査レンズ１５４により荷電粒子ビームを試料１５７上で二次元的に走査する。ここで試料１５７は感光体である。また、符号１６１は、感光体上に形成された静電潜像を表している。これは最終的に電子計算機１６０のコンピュータ１６０ａを通してディスプレイ１６０ｂで人が観察できるようになる。
【００６３】
感光体の帯電に、好適には電子を用いる。電子を用いた場合、感光体表面の帯電電位は、主として、電子の加速電圧と照射時間による。電子の加速電圧が高いほど、感光体表面の帯電電位は高くなる。本発明においては、電子写真と同等の条件にする必要があり、その条件は、加速電圧（Ｖａｃｃ）は１．０〜数ｋＶ程度であり、時間は数十秒から数十分程度である。帯電電位は例えば汎用の表面電位計を用いて測定すると−６００〜―１０００Ｖ程度の値が得られる。実際の複写機、プリンタと同等の帯電電位となる。
また、Ｖａｃｃを変える代りに、感光体にバイアス電圧を掛けるなどして、帯電電位を調整しても良い。
【００６４】
感光体上に光照射させ任意のパターンの静電潜像を形成する手段は、光照射光学系１５６である。具体的には、図３に示したような走査光学系である。図１４では、光学系は装置内部になっているが、外（大気中）にあっても良い。この場合、真空を維持するために、装置に透過率の高いガラスなどの透明な窓を密封させて設ける等して、走査光学系からの光を感光体（試料）１５７まで導けばよい。また、窓のガラス表面には反射防止膜を設けるのが好ましい。
【００６５】
図１４において試料の感光体１５７は平板（或いはシート状）で描かれているが、円筒或いはドラム（図３の感光体１１９）であっても構わない。試料ステージ１６４はｘ、ｙ、ｚの三次元的に移動できるものである。ドットの静電潜像を形成する任意の位置には試料ステージ１６４のｘ、ｙ方向への移動で移動させる。ｚはＳＥＭで言えば作動距離（ワーキングディスタンス）である。
【００６６】
感光体１５７に静電潜像が形成される原理は図２で示したとおりである。この静電潜像を観察する手段は、好適には、電子を用いる。これは帯電用に用いた電子銃１５２を用いる。ただし、電流値を弱くする必要がある。例えば、帯電の際の電流値が数ｎＡであったとして、観察時の電流値は数ｐＡと、千分の一程度にする。これは静電潜像が電子の照射により、再度帯電して消えてしまうのを防ぐためである。また、強い電流値の電子線を照射する程、静電潜像は速く消失するためである。
【００６７】
電子検出器１６３は二次電子検出器である。観察用の電子は感光体１５７に到達し、感光体１５７から二次電子を放出させる。静電潜像が測定できる原理は、静電潜像が形成されている所からは二次電子はあまり放出されず、静電潜像が形成されていない所から二次電子が良く放出されることによる。二次電子の検出は、二次電子検出器１６３で行う。二次電子検出器１６３は、電子が照射されることにより光を放出する蛍光体、導光路、放出された光を増倍する光電子増倍などから成る。またこれは、走査型の検出器であるが、電子線の感光体上の走査に追随する。
【００６８】
上記の各手段は、インターフェース１５８を介して電子計算機１６０のコンピュータ１６０ａで制御する。各手段の詳細な制御はコンピュータ内のメモリに記憶されているソフトウェアで行う。
【００６９】
上記のような構成の画像評価装置に関して、装置の制約がある場合がある。例えば、電子線を走査する範囲を広くできない、或いは試料（感光体）のサイズに制約があるなどである。電子線の走査範囲に関しては、汎用のＳＥＭと比較して、数ｎｍといった分解能を犠牲にすれば、ある程度（数ｍｍ×数ｍｍ）の範囲を走査することは可能となる。しかし、感光体は直径数ｃｍ、長手方向で数十ｃｍの大きさのものが多い。この感光体全面を一度に走査することは難しい。感光体を動かして部分的な走査を繰り返すことになる。また、この大きさの感光体を試料とすると、試料ステージ１６４が大型になり、また真空槽も大容量にする必要がある。従って、感光体を切り出して測定するなどの工夫が必要になる。この感光体を切り出して測定する場合には、走査はごく狭い範囲で構わなくなる。
【００７０】
一回の静電潜像の評価は、帯電、露光、測定、除電である。この一連の作業を所望の回数繰り返して行う。測定で得られた潜像のデータはコンピュータ内のメモリに蓄えられる。コンピュータ内での処理は、例えば測定回数ごとに面積、円相当径を求め、平均値、標準偏差、その比（再現性）を求めるといったものである。このような処理、演算は、汎用のソフトウェアを用いれば容易に行うことができる。
【００７１】
この静電潜像の評価は、ある静電潜像の大きさ、空間周波数に関するものである。この一連の評価が終ると、次に、空間周波数を変える。これは第４の解決手段、或いは第５の解決手段に記載の方法により行う。空間周波数を変えた後、同様の繰り返し測定を行う。
また、感光体上の静電潜像を形成する位置の変更は第２の解決手段に記載の方法で行う。
【００７２】
このように、第６の解決手段の画像評価装置によれば、少なくとも、感光体を帯電させるための荷電粒子を発生させる手段（電子銃１５２、コンデンサレンズ１５３、走査レンズ１５４、対物レンズ１５５）と、感光体上に光照射させる手段（光照射光学系１５６）と、感光体上に形成された静電潜像を観察する手段（電子検出器１６３、電子計算機１６０））と、静電潜像の再現性を求める手段（電子計算機１６０）とを有することにより、空間周波数を考慮した静電潜像の再現性、これに加え感光体上の場所のばらつきなどを含めた評価が可能な、評価装置を提供することができる。
【００７３】
（第７の解決手段の説明）
図１に電子写真方式の画像形成装置の一例を示したが、本発明に係る画像形成装置では、上記の第１乃至第５のいずれか一つの解決手段の画像評価方法、あるいは第６の解決手段の画像評価装置、により得られた静電潜像の再現性を画像形成に反映させる手段を有している。
具体的には、感光体の検査時に、感光体上で多数の点を測定し、再現性を求めておく。各点の座標及び再現性の電子的なテーブルを作製し、図１に示したような構成の画像形成装置のメモリに格納しておき、必要に応じてテーブルを参照し、画像形成に反映させる。
【００７４】
このように、第７の解決手段の画像形成装置によれば、静電潜像再現性の評価結果を反映する手段を有し、空間周波数を含む静電潜像の繰り返し再現性に関する評価結果を画像形成に反映させるので、高画質化を図ることができる画像形成装置を提供することができる。
【実施例】
【００７５】
次に、本発明のより具体的な実施例を説明する。
【００７６】
［実施例１］（第１、第３、第６の解決手段の実施例）
（１）市販の複写機に用いられている感光体を試料（感光体Ａ）として再現性評価を行った。
感光体Ａは、ドラム状の感光体であったが、これを約２ｃｍ×２ｃｍに切り出して評価を行った。繰り返しは１０回である。このときドットの静電潜像の面積の平均値は、５６００μｍ２であり、標準偏差は、１００μｍ２であった。従って再現性は、０．０１８である。
また、円相当径とした場合の平均値は、８４．６μｍ、標準偏差は０．８μｍであった。従って再現性は、０．００９５である。このときの空間周波数は、５．９ｃｙｃｌｅ・ｍｍ−１である。
【００７７】
次にドットの大きさを変えて、再現性の評価を行った。繰り返しは同じく１０回である。このときドットの静電潜像の面積の平均値は、１６０００μｍ２であり、標準偏差は、２００μｍ２であった。従って再現性は、０．０１３である。また、円相当径とした場合の平均値は、１４２．８μｍ、標準偏差は、０．７μｍであった。従って再現性は、０．００４９である。このときの空間周波数は、３．５ｃｙｃｌｅ・ｍｍ−１である。
従ってドットの静電潜像が大きい方が、言い換えると空間周波数の低いほうが、再現性が良いことが分る。
【００７８】
（２）種類の異なる別の感光体（感光体Ｂ）を試料として同様の再現性評価を行った（感光体Ｂ）。
感光体Ｂは、同じくドラム状の感光体であり、切り出して評価に用いた。繰り返しは１０回である。ドットの静電潜像の面積の平均値は６６００μｍ２であり、標準偏差は２００μｍ２であった。従って再現性は、０．０３である。また、円相当径とした場合の平均値は、９２μｍであり、標準偏差は、１μｍであった。従って再現性は、０．０１である。空間周波数は、５．５ｃｙｃｌｅ・ｍｍ−１である。
【００７９】
次にドットの大きさを変えて、再現性の評価を行った。繰り返しは同じく１０回である。このときドットの静電潜像の面積の平均値は、１６８００μｍ２であり、標準偏差は、２００μｍ２であった。従って、再現性は、０．０１１である。また、円相当径とした場合の平均値は、１４６．４であり、標準偏差は、０．９μｍであった。従って、再現性は０．００６１である。空間周波数は、３．４ｃｙｃｌｅ・ｍｍ−１である。
【００８０】
以上、ドットの静電潜像が大きい方が、言い換えると空間周波数の低いほうが、再現性が良いことが分る。
また、上記の（１）と（２）とでは、ほぼ同じ空間周波数で行っている。このため、比較が可能であり、感光体Ｂよりも感光体Ａが優れていることも分る。
また、（１）、（２）ともに、大きいほうのドットは、２×２＝４ドットを１ドットとしている。
【００８１】
［実施例２］（第１、第２、第３、第５、第６の解決手段の実施例）
上記の感光体Ａ、Ｂに加え、種類の異なる感光体２種（感光体Ｃ、感光体Ｄ）について、感光体上の異なる場所９点で再現性の評価を行った。実施例１と同様に、ドットの静電潜像の面積、円相当径について、平均値、標準偏差を求めた。ただし、繰り返しは３回とし、これに異なる場所９点を掛けた全２７点のデータに関するものである。この平均値と標準偏差とから再現性を求めた。円相当径について、下記の表１に示す。
【００８２】
【表１】
2010176093.tif 000003
【００８３】
表１は、感光体上の異なる場所での再現性であり、空間周波数が小さいほうが、再現性が良いことが分る。また、感光体の同じ場所で評価したときの再現性を下記の表２に示す。この表２の同じ場所での再現性の場合、繰り返しは１０回であり、実施例１と同様の評価である。表１の値と比べて、再現性が良いことが分る。従って、感光体上の異なる場所では再現性が悪いことが分る。また、大きいほうのドットは、２×２＝４ドットを１ドットとしている。
【００８４】
【表２】
2010176093.tif 000004
【００８５】
また、表２の結果をグラフにプロットしたものを図１５に示す。実測値のある４〜６（ｃｙｃｌｅ・ｍｍ−１）前後の空間周波数では、感光体Ｂ、Ｃ、Ｄを比較すると、良いほうからＣ、Ｄ、Ｂとなる。また、近似直線の傾きから評価すると、直線の傾きの小さい感光体Ｄが優れている。もし感光体Ｄの再現性の絶対値が小さければ、より良い感光体である。
【００８６】
［実施例３］（第４、第６の解決手段の実施例）
ＬＤの発光強度（設定値）を３８０〜８３０ｍＶまで変えたときの、ドットの静電潜像の円相当径或いは空間周波数の変化を図１１、図１２に示す。用いた感光体は、市販の複写機、プリンタに用いられているものである（感光体Ａ）。まず図１１のグラフから、ＬＤの発光強度により、円相当径を直線的に変化させることができることが分る。直線で近似すると、直線の傾きが０．０７７７、切片が９６．３８９である。これから、例えば、円相当径で１５０μｍのドットが必要な場合、ＬＤの発光強度を約６９０ｍＶにすれば良いことが分る。ＬＤの発光強度（設定値）と、感光体上での露光エネルギー密度（ｍＪ／ｍ２）との間には図１６に示す直線関係がある。
【００８７】
感光体Ｂを用いて、同じ感光体上の異なる３点の場所で再現性を求めると下記の表３に示す結果が得られた。各点での繰り返しは１０回である。また、ＬＤ出力の設定値は３８５ｍＶで場所に依らず一定とした。場所により再現性が異なる、特に場所２で悪いことが分る。また、場所１、２、３それぞれの、感光体上の座標を求めることができる。
【００８８】
【表３】
2010176093.tif 000005
【００８９】
［実施例４］（第７の解決手段の実施例）
評価結果を画像形成装置の画像形成に反映させる手段の一例として、感光体の検査時に、感光体上で多数の点を測定し、再現性を求めておく。そして各点の座標及び再現性の電子的なテーブルを作製し、図１に示したような構成の複写機、プリンタなどの電子写真方式の画像形成装置のメモリに格納しておき、必要に応じてテーブルを参照し、画像形成に反映させる。例えば、再現性の悪い位置では、常にＬＤの出力を調整するなどである。
このようにすれば、一定の再現性を得ることができ、画質の向上が可能な画像形成装置を提供することができる。
【００９０】
なお、以上の実施例で用いた感光体Ａ〜Ｄの幾つかの特徴に関して下記の表４にまとめて示す。
【００９１】
【表４】
2010176093.tif 000006
【符号の説明】
【００９２】
１：帯電した感光体の一部
２：書込み光
３：静電潜像
４１、７１：感光体（ＯＰＣ）
４２：光照射
５１：感光体の小片
５２：試料ステージ
５３：照射光
７２：帯電チャージャー
７３：露光（露光手段）
７４：トナー（現像手段）
７５：紙（記録媒体）
７６：転写チャージャー
７７：定着ローラー
７８：クリーニングブレード
７９：除電用光源
１１１：光源（ＬＤ）
１１２：コリメートレンズ
１１３：シリンドリカルレンズ
１１４：第一のミラー
１１５：ポリゴンミラー（光偏向器）
１１６：第一の走査レンズ
１１７：第二の走査レンズ
１１８：第二のミラー
１１９：感光体
１２１：導電層
１２２：電荷発生層（ＣＧＬ）
１２３：電荷輸送層（ＣＴＬ）
１２４：照射光
１２６：電子（負電荷）
１２７：ホール（正電荷）
１５１：画像評価装置
１５２：電子銃
１５３：コンデンサレンズ
１５４：走査レンズ
１５５：対物レンズ
１５６：光照射光学系
１５７：試料（感光体）
１５８：インターフェース
１５９：真空ポンプ
１６０：電子計算機
１６０ａ：コンピュータ
１６０ｂ：ディスプレイ
１６３：電子検出器
１６４：試料ステージ
【先行技術文献】
【特許文献】
【００９３】
【特許文献１】特開２００３−２９５６９６号公報
【特許文献２】特開２００２−３０４０２５号公報
【図１】
2010176093.tif 000007
【図２】
2010176093.tif 000008
【図３】
2010176093.tif 000009
【図４】
2010176093.tif 000010
【図５】
2010176093.tif 000011
【図６】
2010176093.tif 000012
【図７】
2010176093.tif 000013
【図８】
2010176093.tif 000014
【図９】
2010176093.tif 000015
【図１０】
2010176093.tif 000016
【図１１】
2010176093.tif 000017
【図１２】
2010176093.tif 000018
【図１３】
2010176093.tif 000019
【図１４】
2010176093.tif 000020
【図１５】
2010176093.tif 000021
【図１６】
2010176093.tif 000022