(57)【要約】      （修正有）【課題】半導体素子の電極の変色を抑制することができる方法を提供する。【解決手段】粒子状の蛍光体１１の表面にプラズマを照射する工程と、プラズマが照射された蛍光体と、液状の樹脂部材とを混合してスラリーを形成する工程と、スラリーを硬化させる工程と、を備える波長変換部材の製造方法。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒子状の蛍光体の表面にプラズマを照射する工程と、
前記プラズマが照射された蛍光体と、液状の樹脂部材とを混合してスラリーを形成する工程と、
前記スラリーを硬化させる工程と、
を備える波長変換部材の製造方法。
【請求項２】
前記プラズマを照射する工程は、前記蛍光体を、前記蛍光体の平均粒径よりも目開きの小さいフィルタを備える保持部材内に収容した状態で行う、請求項１に記載の波長変換部材の製造方法。
【請求項３】
前記保持部材は、表面及び裏面にフィルタを備え、前記プラズマを照射する工程は、保持部材の表面側から照射する工程と、裏面側から照射する工程と、を備える請求項２に記載の波長変換部材の製造方法。
【請求項４】
前記プラズマは、キャリアガスとして空気、又は窒素ガスを用いる、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の波長変換部材の製造方法。
【請求項５】
前記蛍光体は、ＫＳＦ、ＹＡＧ、ＬＡＧの少なくとも１つを含む、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の波長変換部材の製造方法。
【請求項６】
前記蛍光体は、前記液状の樹脂部材に対して、５質量％〜５８質量％である、請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の波長変換部材の製造方法。
【請求項７】
前記波長変換部材は、厚みが３０μｍ〜１５０μｍのシート状である、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の波長変換部材の製造方法。
【請求項８】
粒子状の蛍光体の表面にプラズマを照射する工程と、
前記プラズマが照射された蛍光体と、液状の樹脂部材とを混合してスラリーを形成する工程と、
支持体上に載置された発光素子を準備する工程と、
前記発光素子を覆うように前記スラリーを配置した後、硬化する工程と、
を備える発光装置の製造方法。
【請求項９】
前記プラズマを照射する工程は、前記蛍光体を、前記蛍光体の平均粒径よりも目開きの小さいフィルタを備える保持部材内に収容した状態で行う、請求項８に記載の発光装置の製造方法。
【請求項１０】
前記保持部材は、表面及び裏面にフィルタを備え、前記プラズマを照射する工程は、保持部材の表面側から照射する工程と、裏面側から照射する工程と、を備え請求項９に記載の発光装置の製造方法。
【請求項１１】
前記プラズマは、キャリアガスとして空気、又は窒素ガスを用いる、請求項８〜１０のいずれか１項に記載の発光装置の製造方法。
【請求項１２】
前記蛍光体は、ＫＳＦ、ＹＡＧ、ＬＡＧの少なくとも１つを含む、請求項８〜請求項１１のいずれか１項に記載の発光装置の製造方法。
【請求項１３】
前記蛍光体は、前記液状の樹脂部材に対して、５質量％〜５８質量％である、請求項８〜請求項１２のいずれか１項に記載の発光装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は波長変換部材の製造方法、及び、発光装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
樹脂内に蛍光体が混合された波長変換部材と、半導体発光素子（以下、発光素子）を備えた発光装置が知られている。波長変換部材は、液状の樹脂材料に粒子状の蛍光体を混合して得られた混合液を硬化して得られる（例えば、特許文献１、２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−０５６８９６号公報
【特許文献２】特開２０１５−０６３６１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
樹脂材料を含む波長変換部材は、硬化することで主に樹脂材料の体積が減少する。しかしながら、樹脂材料の種類や、蛍光体の種類によっては、波長変換部材の体積の減少率が大きい場合がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示は、以下の構成を含む。
粒子状の蛍光体の表面にプラズマを照射する工程と、プラズマが照射された蛍光体と、液状の樹脂部材とを混合してスラリーを形成する工程と、スラリーを硬化させる工程と、を備える波長変換部材の製造方法。
【発明の効果】
【０００６】
以上に示す波長変換部材の製造方法により、波長変換部材の体積変化率を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】実施形態１に係る波長変換部材の製造方法で得られる波長変換部材の概略図である。
【図２Ａ】実施形態１に係る波長変換部材の製造方法を示す概略図である。
【図２Ｂ】実施形態１に係る波長変換部材の製造方法を示す概略図である。
【図３】実施形態に係る波長変換部材の製造方法を示す概略図である。
【図４Ａ】実施形態１に係る波長変換部材の製造方法を示す概略図である。
【図４Ｂ】実施形態１に係る波長変換部材の製造方法を示す概略図である。
【図５Ａ】実施形態１に係る波長変換部材の製造方法を示す概略図である。
【図５Ｂ】実施形態１に係る波長変換部材の製造方法を示す概略図である。
【図５Ｃ】実施形態１に係る波長変換部材の製造方法を示す概略図である。
【図６】実施形態１に係る波長変換部材の製造方法で得られる波長変換部材を用いて得られる発光装置の概略断面図である。
【図７Ａ】実施形態１に係る波長変換部材の製造方法で得られる波長変換部材を用いた発光装置の製造方法を示す概略図である。
【図７Ｂ】実施形態１に係る波長変換部材の製造方法で得られる波長変換部材を用いた発光装置の製造方法を示す概略図である。
【図７Ｃ】実施形態１に係る波長変換部材の製造方法で得られる波長変換部材を用いた発光装置の製造方法を示す概略図である。
【図７Ｄ】実施形態１に係る波長変換部材の製造方法で得られる波長変換部材を用いた発光装置の製造方法を示す概略図である。
【図７Ｅ】実施形態１に係る波長変換部材の製造方法で得られる波長変換部材を用いた発光装置の製造方法を示す概略図である。
【図７Ｆ】実施形態１に係る波長変換部材の製造方法で得られる波長変換部材を用いた発光装置の製造方法を示す概略図である。
【図８】実施形態３に係る発光装置の製造方法で得られる発光装置の概略断面図である。
【図９Ａ】実施形態３に係る発光装置の製造方法を示す概略図である。
【図９Ｂ】実施形態３に係る発光装置の製造方法を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本発明を実施するための形態を、以下に図面を参照しながら説明する。ただし、以下に示す形態は、本発明の技術思想を具体化するための発光装置の製造方法を例示するものであって、本発明は、発光装置の製造方法を以下に限定するものではない。
【０００９】
また、本明細書は、特許請求の範囲に示される部材を、以下に示す実施形態の部材に特定するものでは決してない。特に、実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、特定的な記載がない限りは、本発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではない。尚、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。さらに以下の説明において、同一の名称、符号については同一もしくは同質の部材を示しており、詳細説明を適宜省略する。
【００１０】
実施形態に係る波長変換部材の製造方法又は発光装置の製造方法は、波長変換部材に含まれる粒子状の蛍光体の表面にプラズマを照射する工程を備える。これにより、蛍光体の表面を改質することができ、蛍光体と樹脂材料との濡れ性を向上させることができる。そのため、樹脂材料との濡れ性が低い蛍光体を用いた場合であっても、波長変換部材の体積減少率を低減することができる。
【００１１】
＜実施形態１＞
図１は、実施形態１に係る波長変換部材の製造方法によって得られる波長変換部材１０の一例を示す概略図である。波長変換部材１０は、樹脂部材１２と、蛍光体１１と、を含む。
【００１２】
このような波長変換部材１０は、以下の工程により得ることができる。詳細には、粒子状の蛍光体１１Ａ（プラズマ照射前の蛍光体）の表面にプラズマを照射する工程と、プラズマが照射された蛍光体１１と液状の樹脂部材１２とを混合してスラリー１０Ａを形成する工程と、スラリー１０Ａを硬化させる工程と、を備える。
【００１３】
（蛍光体の表面にプラズマを照射する工程）
まず、粒子状の蛍光体１１Ａ（プラズマ照射前の蛍光体）を準備する。蛍光体１１Ａ、１０Ａは、紫外〜緑色の波長の光を吸収して、その光を異なる波長の光に変換することができる。
【００１４】
蛍光体１１Ａは粒子状であり、球形、立方体、直方体、表面に凹凸を備えた不定形等の形状である。蛍光体１１Ａの平均粒径は、特に限定されず、例えば、０．１μｍ〜１００μｍ程度のものを用いることができる。蛍光体１１Ａの平均粒径は、取り扱いやすさの観点から、好ましくは１μｍ〜５０μｍ、より好ましくは２μｍ〜３０μｍのものを用いることができる。
【００１５】
なお、平均粒径（Ｄバー）の値は、空気透過法又はＦ．Ｓ．Ｓ．Ｓ．Ｎｏ（Ｆｉｓｈｅｒ−ＳｕｂＳｉｅｖｅ−Ｓｉｚｅｒｓ−Ｎｏ．）によるものとする。また、プラズマ照射前の蛍光体１１Ａと、プラズマ照射後の蛍光体１１とは、表面の特性が異なるのみであり、平均粒径や発光波長等はプラズマ照射前後において変化しない。
【００１６】
これらの蛍光体１１Ａは、風、振動などにより飛散しないように、例えば、図２Ａに示すように、保持部材２０で保持する。保持部材２０は、保持した蛍光体１１Ａと共にプラズマを照射されるため、耐候性、耐熱性等に優れた材料を用いることが好ましい。例えば、テフロン（登録商標）、ＥＴＦＥ、ＦＥＰ等が挙げられる。
【００１７】
保持部材２０の形態は、例えば、袋状、箱状とすることができる。また、保持部材２０の大きさは、所望の量の蛍光体１１Ａを収容できる容量を備えていればよい。保持部材２０は、少なくとも一部が、後述のプラズマが透過可能な部材を用いる。例えば、少なくとも一部が、蛍光体１１Ａの平均粒径よりも目開きの小さいフィルタなどを備える保持部材２０とすることができる。例えば、図２Ａに示すように、シート状のフィルタ（保持部材）２０の間に蛍光体１１Ａを挟み、シールすることで袋状の保持部材とすることができる。これにより、保持部材２０は、表面及び裏面の両面に、蛍光体１１Ａの平均粒径よりも目開きの小さいフィルタを備えることができる。
【００１８】
緑色発光する蛍光体としては、イットリウム・アルミニウム・ガーネット（ＹＡＧ）系蛍光体（例えばＹ３（Ａｌ，Ｇａ）５Ｏ１２：Ｃｅ）、ルテチウム・アルミニウム・ガーネット（ＬＡＧ）系蛍光体（例えばＬｕ３（Ａｌ，Ｇａ）５Ｏ１２：Ｃｅ）、テルビウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体（例えばＴｂ３（Ａｌ，Ｇａ）５Ｏ１２：Ｃｅ）系蛍光体、シリケート系蛍光体（例えば（Ｂａ，Ｓｒ）２ＳｉＯ４：Ｅｕ）、クロロシリケート系蛍光体（例えばＣａ８Ｍｇ（ＳｉＯ４）４Ｃｌ２：Ｅｕ）、βサイアロン系蛍光体（例えばＳｉ６−ｚＡｌｚＯｚＮ８−ｚ：Ｅｕ（０＜ｚ＜４．２））、ＳＧＳ系蛍光体（例えばＳｒＧａ２Ｓ４：Ｅｕ）などが挙げられる。
【００１９】
黄色発光の蛍光体としては、αサイアロン系蛍光体（例えばＭｚ（Ｓｉ，Ａｌ）１２（Ｏ，Ｎ）１６（但し、０＜ｚ≦２であり、ＭはＬｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｙ、及びＬａとＣｅを除くランタニド元素）などが挙げられる。このほか、上記緑色発光する蛍光体の中には黄色発光する蛍光体もある。
【００２０】
例えば、イットリウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体は、Ｙの一部をＧｄで置換することで発光ピーク波長を長波長側にシフトさせることができ、黄色発光が可能である。また、これらの中には、橙色発光が可能な蛍光体もある。
【００２１】
赤色発光する蛍光体としては、窒素含有アルミノ珪酸カルシウム（ＣＡＳＮ又はＳＣＡＳＮ）系蛍光体（例えば（Ｓｒ，Ｃａ）ＡｌＳｉＮ３：Ｅｕ）などが挙げられる。このほか、マンガン賦活フッ化物系蛍光体（一般式（Ｉ）Ａ２［Ｍ１−ａＭｎａＦ６］で表される蛍光体である（但し、上記一般式（Ｉ）中、Ａは、Ｋ、Ｌｉ、Ｎａ、Ｒｂ、Ｃｓ及びＮＨ４からなる群から選ばれる少なくとも１種であり、Ｍは、第４族元素及び第１４族元素からなる群から選ばれる少なくとも１種の元素であり、ａは０＜ａ＜０．２を満たす））が挙げられる。このマンガン賦活フッ化物系蛍光体の代表例としては、マンガン賦活フッ化珪酸カリウム（ＫＳＦ）の蛍光体（例えばＫ２ＳｉＦ６：Ｍｎ）がある。
【００２２】
上記の蛍光体のうち、プラズマを照射しない場合、波長変換部材の体積変化が大きい材料としては、例えば、ＫＳＦ，ＹＡＧ、ＬＡＧ等が挙げられる。これらの蛍光体を用いた波長変換部材は、プラズマを照射した蛍光体を用いることで、体積減少率を少なくする効果が大きい。
【００２３】
（蛍光体の表面にプラズマを照射する工程）
蛍光体１１Ａの表面に、プラズマを照射する。詳細には、蛍光体１１Ａを保持部材２０内に収容した状態で、プラズマを照射する。プラズマを照射する装置として、大気圧プラズマ処理装置を準備する。図３は、大気圧プラズマ処理装置３１の要部を示す概略図である。大気圧プラズマ処理装置３１は、支柱３０と、試料を載置する台座３２と、を備える。大気圧プラズマ処理装置３１と台座３２とは、少なくともいずれかが可動式としてもよい。大気圧プラズマ処理装置３１は、密封された空間、又は、開放された空間に配置することができる。プラズマのキャリアガスとしては、空気、窒素ガス等の人体に対して無害なガスを用いることができる。
【００２４】
大気圧プラズマ処理装置３１は、ジェネレータと呼ばれる装置と接続されており、ジェネレータで制御されたガスが、大気圧プラズマ処理装置３１の内部に供給される。大気圧プラズマ処理装置３１は、ジェネレータで制御されたガスが供給されるガス供給口と、プラズマ化したガスを外部に照射する先端部（プラズマ照射口）とを備える。さらに、大気圧プラズマ処理装置３１の内部にはプラズマ発生部が備えられている。大気圧プラズマ処理装置３１の内部に供給されたガスは、プラズマ発生部で発生したプラズマに晒された後、図３に示すように、大気圧プラズマ処理装置３１の先端部からプラズマ化したガスとして外部に照射（プラズマＰ照射）される。
【００２５】
台座３２は、その上に載置される試料（蛍光体１１Ａを収容した保持部材２０）と共にプラズマを照射される。そのため、台座３２には耐候性、耐熱性等に優れた材料を用いることが好ましい。例えば、台座３２はステンレスなどを用いることができる。台座３２の上面（試料載置面）と、大気圧プラズマ処理装置３１の先端部との距離は、例えば、１０ｍｍ〜１００ｍｍとすることができる。
【００２６】
台座３２上に、蛍光体１１Ａを収容した保持部材２０を載置し、プラズマノズル３１からプラズマＰを照射する。印加電圧は、例えば、２５０Ｖ〜３２０Ｖの範囲とすることができ、好ましくは２８０Ｖである。ガスの導入量は、例えば、１ｇ／ｈ〜８０ｇ／ｈの範囲とすることができ、好ましくは、１０ｇ／ｈ〜４０ｇ／ｈである。
【００２７】
プラズマＰを照射する時間は、１度に照射する時間は１秒〜１００秒とすることができ、これを、例えば、１回〜３回行うことができる。また、図２Ａに示すような、表面及び裏面にフィルタを備える袋状の保持部材２０内に蛍光体１１Ａを収容し、平らな状態にしてプラズマＰを照射する場合は、その両面からプラズマＰを照射することが好ましい。つまり、保持部材２０の表面側からプラズマＰを照射する工程と、保持部材２０の裏面側からプラズマＰを照射する工程と、を備えることが好ましい。まず、図３に示すように平たい保持部材２０の表面を上にして上方からプラズマＰを照射する。保持部材２０の裏面を上にして（ひっくり返して）上方からプラズマＰを照射する。これにより、保持部材２０内の蛍光体１１Ａの全表面の略全体に、プラズマを照射することができる。
【００２８】
（スラリーを形成する工程）
上述のようにプラズマＰを照射した蛍光体１１を、液状の樹脂部材１２に混合してスラリー１０Ａを形成する。例えば、図４Ａに示すように、攪拌機能を備えた混合容器４０に、液状の樹脂部材１２及び蛍光体１１を投入し、撹拌する。このとき、蛍光体１１に加え、拡散材なども混合することができる。
【００２９】
撹拌する際は、温度を約２０℃〜５０℃程度とすることが好ましい。また、撹拌は、遠心撹拌、真空遠心撹拌、手動による撹拌などを用いることができる。遠心撹拌の場合、例えば、スラリー１０Ａが１５０ｍｌ程度の場合、回転数４００ｒｐｍ〜２０００ｒｐｍの範囲とすることができる。また、撹拌時間は１分〜２０分の範囲とすることができる。
【００３０】
液状の樹脂部材１２としては、二液混合型、一液型等の樹脂材料を用いることができる。液状の樹脂部材１２としては、シリコーン樹脂、変性シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、変性エポキシ樹脂、アクリル樹脂等を挙げることができる。また、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ユリア樹脂、フッ素樹脂及びこれらの樹脂を少なくとも１種以上含むハイブリッド樹脂等も用いることができる。蛍光体１１は、液状の樹脂部材１２に対して、５質量％〜５８質量％程度混合することができる。
【００３１】
（スラリーを硬化する工程）
上述のようにして得られたスラリー１０Ａを、例えば、図５Ａに示すように支持体５１上に塗布して硬化する。ここでは、支持体５１として耐熱シートを用い、その上にスキージ５０を用いて所定の厚みとなるようにスラリー１０Ａを塗布する。その後、加熱等により硬化することで、図１に示すようなシート状の波長変換部材１０とすることができる。
【００３２】
シート状の波長変換部材１０としては、例えば、厚みが３０μｍ〜１５０μｍとすることができる。シート状の波長変換部材１０は、全体が同じ厚み、あるいは、一部が厚い又は薄い等とすることができる。波長変換部材１０の大きさは特に限られず、例えば、面積が５０ｃｍ２〜４００ｃｍ２程度とすることができる。波長変換部材１０の平面視形状は特に限られず、例えば、正方形、長方形、三角形、六角形等の多角形や、円形、楕円形、更には、これらの一部が欠けた形状等とすることができる。
【００３３】
上述のようにして得られた波長変換部材１０は、例えば、蛍光体としてＫＳＦを用いる場合、硬化前の液状の波長変換部材の体積に対して９７％〜９９％の体積であり、硬化前後における体積変化が少ない。これは、プラズマ照射により蛍光体粒子の表面が改質されて樹脂部材との濡れ性が向上し、その結果、蛍光体と樹脂部材との混合時に空気が混入しにくいことが一因として考えられる。
【００３４】
＜実施形態２＞
図６は、実施形態１に係る波長変換部材の製造方法によって得られる波長変換部材１０を用いた発光装置６０の一例を示す概略断面図である。発光装置６０は、素子電極６２ａを備える発光素子６２と、波長変換部材１０と、を備える。さらに、波長変換部材１０と発光素子６２とを接合する導光部材６１と、発光素子６２の側方を被覆する被覆部材６３と、とを備える。このような発光装置６０は、例えば、図７Ａ〜図７Ｆに示す工程により得ることができる。
【００３５】
まず、図７Ａに示すように、実施形態１に示す方法により形成されたシート状の波長変換部材１０を準備する。ここでは、すでに硬化された（成型された）波長変換部材１０を準備する。また、ここでは、複数の発光装置が形成可能な大きさの波長変換部材１０を例に挙げて説明している。
【００３６】
発光素子６２として、発光層を備えた半導体発光素子を用いることができる。半導体層としては、例えば、紫外光、青色光、緑色光の発光素子としては、窒化物系半導体（ＩｎＸＡｌＹＧａ１−Ｘ−ＹＮ、０≦Ｘ、０≦Ｙ、Ｘ＋Ｙ≦１）を用いたものを用いることができる。発光素子の電極は、半導体層の同一面側に一対、または、対向する面に少なくとも一対配置されている。これらの一対の電極は、それらが設けられる半導体層と、それぞれ電流−電圧特性が直線または略直線となるようなオーミック接続されるものであればよい。発光素子の電極としては、当該分野で公知の材料を用いることができる。例えば、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕなどを含むものが挙げられる。
【００３７】
次に、図７Ｂに示すように、波長変換部材１０上に導光部材６１を配置する。導光部材６１は波長変換部材１０と発光素子６２とを接着させる接着剤として機能する。このとき、図７Ｃに示すように導光部材６１は発光素子６２の側面にも這い上がる。その後、図７Ｄに示すように光反射性の被覆部材６３で発光素子６２の全体を被覆する。次に、図７Ｅに示すように発光素子６２の素子電極６２ａが露出するように、被覆部材６３の一部を除去する。なお、あらかじめ素子電極６２ａが露出するように被覆部材６３を設ける場合は、この工程は省略することができる。次に、図７Ｆに示すように波長変換部材１０と被覆部材６３とを切断することで、図６に示す発光装置６０を得ることができる。導光部材６１としては例えば、シリコーン樹脂を用いることができる。被覆部材６３としては、例えば、反射部材として酸化チタンを含むシリコーン樹脂を用いることができる。
【００３８】
実施形態１に係る波長変換部材１０を用いることで、例えば、波長変換部材１０の厚みを設計する際に、硬化時の体積減少率を考慮する手間を減らすことができる。そのため、発光装置の色度の調整が容易となる。
【００３９】
＜実施形態３＞
実施形態３に係る発光装置の製造方法で得られる発光装置６０Ａを図８に示す。実施形態２では、あらかじめ成型された波長変換部材を用いて発光装置を形成しているのに対し、実施形態３では、硬化前の波長変換部材であるスラリーを用い、発光装置の製造工程内で波長変換部材を硬化する工程を備える点が実施形態２と異なる。
【００４０】
図９Ａに示すように、凹部を備えた支持体６４と、凹部の底面上に載置された発光素子６２とが、ワイヤ６５で電気的に接続された中間体を準備する。ワイヤ６５を用いずに、発光素子６２の電極と支持体６４の配線とを、導電性の接合部材で接合した中間体でもよい。また、中間体は、ツェナーダイオードなどの保護素子をさらに備えていてもよい。支持体６４としては、リードフレームと成形樹脂とを備えた樹脂パッケージ、配線とセラミックとを備えたセラミックパッケージ、配線とガラスエポキシ樹脂とを備えたガラスエポキシパッケージ、可撓性の樹脂シートと配線とを備えたフレキシブルパッケージ等が挙げられる。これらの支持体は、例えば、図９Ｂに示すような凹部を備えるほか、平板状であってもよい。また、スラリーを配置する際に、発光素子と共に覆うようにしてもよい。支持体の大きさや形状、載置する発光素子の数、大きさ、発光波長等は、目的や用途に応じて適宜選択することができる。
【００４１】
図４Ｂに示すように、プラズマを照射した蛍光体１１と樹脂部材１２とを混合したスラリー１０Ａを準備する。このスラリー１０Ａを図９Ｂに示すように、支持体６４の凹部内に供給する。スラリー１０Ａの供給方法としては、例えば、図９Ｂに示すような、ディスペンスノズル６７を用いてポッティングする方法や、スプレー、印刷等を挙げることができる。その後、加熱等により、発光素子６２等を内包した状態でスラリー１０Ａを硬化する。これにより、発光素子６２及びワイヤ６５等を封止する封止部材６６を形成することができる。
【００４２】
上述のようにして得られた発光装置６０Ａの一部を構成する波長変換部材１０（封止部材６６）は、硬化前の液状の波長変換部材１０Ａの体積に対して９７％〜９９％の体積であり、硬化前後における体積変化が少ない。これにより、凹部の上面において、図８に示すように引けの少ない封止部材６６とすることができる。
【００４３】
封止部材６６を硬化する際に体積減少率が大きいと、硬化後にワイヤや発光素子が封止部材６６から露出する可能性がある。本実施形態にかかる発光装置の製造方法により、封止部材６６が大きく引けることを抑制することができ、ワイヤ等が露出することを抑制することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本開示の実施形態に係る半導体装置の製造方法は、広範囲の用途に用いられる半導体装置に利用することができる。
【符号の説明】
【００４５】
１０…波長変換部材
１１…蛍光体（プラズマ照射後）
１１Ａ…蛍光体（プラズマ照射前）
１２…樹脂部材
２０…保持部材
３０…支柱
３１…大気圧プラズマ処理装置
３２…台座
Ｐ…プラズマ
４０…混合容器
１０Ａ…スラリー
５０…スキージ
５１…支持体
６０、６０Ａ…発光装置
６１…導光部材
６２…発光素子
６２ａ…素子電極
６３…被覆部材
６４…支持体
６５…ワイヤ
６６…封止部材（波長変換部材）
６７…ノズル
【図１】
2020086356.tif 000003
【図２Ａ】
2020086356.tif 000004
【図２Ｂ】
2020086356.tif 000005
【図３】
2020086356.tif 000006
【図４Ａ】
2020086356.tif 000007
【図４Ｂ】
2020086356.tif 000008
【図５Ａ】
2020086356.tif 000009
【図５Ｂ】
2020086356.tif 000010
【図５Ｃ】
2020086356.tif 000011
【図６】
2020086356.tif 000012
【図７Ａ】
2020086356.tif 000013
【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図７Ｅ】
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【図７Ｆ】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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