(57)【要約】      （修正有）【課題】水晶デバイスの製造者が水晶デバイスの品質を向上させやすくする。【解決手段】水晶デバイスを製造する複数の水晶デバイス製造者に提供する複数種類の水晶片アレイを製造する方法は、それぞれが水晶片に加工される複数の分割領域それぞれに電極が設けられた水晶片アレイを製造するための基礎設計情報を作成する作成ステップＳ１と、基礎設計情報に基づいて製造した第１水晶片アレイを水晶デバイス製造者に提供する第１提供ステップＳ２と、第１水晶片アレイを分割領域ごとに分割して得られた水晶片を用いて製造された水晶デバイスの第１評価結果を取得する第１取得ステップＳ３と、第１評価結果に基づいて、基礎設計情報を更新した更新設計情報を作成する更新ステップＳ４と、更新設計情報に基づいて第１水晶片アレイと異なる第２水晶片アレイを製造し、製造した第２水晶片アレイを水晶デバイス製造者に提供する第２提供ステップＳ５と、を有する。【選択図】図５
2020191488.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶デバイスを製造する複数の水晶デバイス製造者に提供する複数種類の水晶片アレイを製造する方法であって、
それぞれが水晶片に加工される複数の分割領域それぞれに電極が設けられた水晶片アレイを製造するための基礎設計情報を作成する作成ステップと、
前記基礎設計情報に基づいて製造した第１水晶片アレイを水晶デバイス製造者に提供する第１提供ステップと、
前記第１水晶片アレイを前記分割領域ごとに分割して得られた水晶片を用いて製造された水晶デバイスの第１評価結果を取得する第１取得ステップと、
前記第１評価結果に基づいて、前記基礎設計情報を更新した更新設計情報を作成する更新ステップと、
前記更新設計情報に基づいて前記第１水晶片アレイと異なる第２水晶片アレイを製造し、製造した前記第２水晶片アレイを前記水晶デバイス製造者に提供する第２提供ステップと、
を有する水晶片アレイの製造方法。
【請求項２】
前記作成ステップにおいて、前記水晶デバイス製造者の識別情報に関連付けて前記基礎設計情報を記憶部に記憶させ、
前記更新ステップにおいて、前記識別情報に関連付けて前記記憶部に記憶された前記基礎設計情報を更新する、
請求項１に記載の水晶片アレイの製造方法。
【請求項３】
前記更新ステップにおいて、複数の前記第１評価結果と、前記基礎設計情報を更新する手段を示す複数の更新手段情報とが関連付けられた更新用データを参照することにより、前記更新設計情報を作成する、
請求項１又は２に記載の水晶片アレイの製造方法。
【請求項４】
前記第２提供ステップの後に、
前記第２水晶片アレイを前記分割領域ごとに分割して得られた水晶片を用いて製造された水晶デバイスの第２評価結果を取得する第２取得ステップと、
前記第１評価結果よりも良好な前記第２評価結果に対応する前記更新設計情報と前記基礎設計情報との差を示す情報を前記第１評価結果に対応する前記更新手段情報とする前記更新用データを作成するデータ作成ステップと、
をさらに有する、
請求項３に記載の水晶片アレイの製造方法。
【請求項５】
前記第２提供ステップの後に、
前記第２水晶片アレイを前記分割領域ごとに分割して得られた水晶片を用いて製造された水晶デバイスの第２評価結果を取得する第２取得ステップと、
前記基礎設計情報及び前記第１評価結果と、前記第１評価結果よりも良好な前記第２評価結果に対応する前記更新設計情報との組み合わせを教師データとして、前記水晶片アレイの設計情報と評価結果とが入力された場合に前記更新手段情報を出力する機械学習モデルを前記更新用データとして作成するデータ作成ステップと、
をさらに有する、
請求項３又は４に記載の水晶片アレイの製造方法。
【請求項６】
前記データ作成ステップにおいて、同一の属性を有する前記水晶デバイスの前記第１評価結果及び前記第２評価結果に基づいて前記更新用データを作成する、
請求項４又は５に記載の水晶片アレイの製造方法。
【請求項７】
複数の水晶デバイス製造者に提供する複数種類の水晶片アレイの設計を支援する装置であって、
それぞれが水晶片に加工される複数の分割領域のそれぞれに電極が設けられた水晶片アレイを製造するための基礎設計情報を作成する設計情報作成部と、
前記基礎設計情報に基づいて製造された第１水晶片アレイを前記分割領域ごとに分割して得られた水晶片を用いて製造された水晶デバイスの評価結果を、前記基礎設計情報が関連付けられた水晶デバイス製造者の識別情報に関連付けて取得する取得部と、
を有し、
前記設計情報作成部は、前記評価結果に基づいて前記基礎設計情報を更新した更新設計情報を作成する設計支援装置。
【請求項８】
複数の水晶デバイス製造者に提供する複数種類の水晶片アレイの設計を支援するためのコンピュータに、
それぞれが水晶片に加工される複数の分割領域のそれぞれに電極が設けられた水晶片アレイを製造するための基礎設計情報を作成する作成ステップと、
前記基礎設計情報に基づいて製造した第１水晶片アレイを水晶デバイス製造者の識別情報に関連付けられた水晶デバイス製造者に提供する第１提供ステップと、
前記第１水晶片アレイを前記分割領域ごとに分割して得られた水晶片を用いて製造された水晶デバイスの第１評価結果を取得する第１取得ステップと、
前記第１評価結果に基づいて、前記基礎設計情報を更新した更新設計情報を作成する更新ステップと、
を実行させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶振動子及び水晶発振器等の水晶デバイスを生産する際に使用される水晶片アレイの製造方法、水晶片アレイの設計を支援するための設計支援装置、及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
水晶振動子及び水晶発振器等の水晶デバイスは、矩形形状の水晶片を備えている。水晶デバイスを大量生産する際には大量の水晶片が必要になる。効率的に大量の水晶片を提供するために、複数の水晶片を切り出すことができる水晶片アレイが用いられている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−０５０１５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来、水晶振動子及び水晶発振器等の水晶デバイスの製造者は、水晶片の製造者が製造した水晶片を購入し、水晶片に電極を設けてからパッケージに組み込むことにより水晶デバイスを製造してきた。製造した水晶デバイスに問題がある場合、水晶片の形状、大きさ、又は電極の形状若しくは位置を変更する必要があったため、水晶デバイスの品質を向上させるために長時間を要していた。
【０００５】
そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、水晶デバイスの製造者が水晶デバイスの品質を向上させやすくすることができる水晶片アレイを製造するための方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様の水晶片アレイの製造方法は、水晶デバイスを製造する複数の水晶デバイス製造者に提供する複数種類の水晶片アレイを製造する方法であって、それぞれが水晶片に加工される複数の分割領域それぞれに電極が設けられた水晶片アレイを製造するための基礎設計情報を作成する作成ステップと、前記基礎設計情報に基づいて製造した第１水晶片アレイを水晶デバイス製造者に提供する第１提供ステップと、前記第１水晶片アレイを前記分割領域ごとに分割して得られた水晶片を用いて製造された水晶デバイスの第１評価結果を取得する第１取得ステップと、前記第１評価結果に基づいて、前記基礎設計情報を更新した更新設計情報を作成する更新ステップと、前記更新設計情報に基づいて前記第１水晶片アレイと異なる第２水晶片アレイを製造し、製造した前記第２水晶片アレイを前記水晶デバイス製造者に提供する第２提供ステップと、を有する。
【０００７】
前記作成ステップにおいて、前記水晶デバイス製造者の識別情報に関連付けて前記基礎設計情報を記憶部に記憶させ、前記更新ステップにおいて、前記識別情報に関連付けて前記記憶部に記憶された前記基礎設計情報を更新してもよい。
【０００８】
前記更新ステップにおいて、複数の前記第１評価結果と、前記基礎設計情報を更新する手段を示す複数の更新手段情報とが関連付けられた更新用データを参照することにより、前記更新設計情報を作成してもよい。
【０００９】
前記第２提供ステップの後に、前記第２水晶片アレイを前記分割領域ごとに分割して得られた水晶片を用いて製造された水晶デバイスの第２評価結果を取得する第２取得ステップと、前記第１評価結果よりも良好な前記第２評価結果に対応する前記更新設計情報と前記基礎設計情報との差を示す情報を前記第１評価結果に対応する前記更新手段情報とする前記更新用データを作成するデータ作成ステップと、をさらに有してもよい。
【００１０】
前記第２提供ステップの後に、前記第２水晶片アレイを前記分割領域ごとに分割して得られた水晶片を用いて製造された水晶デバイスの第２評価結果を取得する第２取得ステップと、前記基礎設計情報及び前記第１評価結果と、前記第１評価結果よりも良好な前記第２評価結果に対応する前記更新設計情報との組み合わせを教師データとして、前記水晶片アレイの設計情報と評価結果とが入力された場合に前記更新手段情報を出力する機械学習モデルを前記更新用データとして作成するデータ作成ステップと、をさらに有してもよい。
【００１１】
前記データ作成ステップにおいて、同一の属性を有する前記水晶デバイスの前記第１評価結果及び前記第２評価結果に基づいて前記更新用データを作成してもよい。
【００１２】
本発明の第２の態様の設計支援装置は、複数の水晶デバイス製造者に提供する複数種類の水晶片アレイの設計を支援する装置であって、それぞれが水晶片に加工される複数の分割領域のそれぞれに電極が設けられた水晶片アレイを製造するための基礎設計情報を作成する設計情報作成部と、前記基礎設計情報に基づいて製造された第１水晶片アレイを前記分割領域ごとに分割して得られた水晶片を用いて製造された水晶デバイスの評価結果を、前記基礎設計情報が関連付けられた水晶デバイス製造者の識別情報に関連付けて取得する取得部と、を有し、前記設計情報作成部は、前記評価結果に基づいて前記基礎設計情報を更新した更新設計情報を作成する。
【００１３】
本発明の第３の態様のプログラムは、複数の水晶デバイス製造者に提供する複数種類の水晶片アレイの設計を支援するためのコンピュータに、それぞれが水晶片に加工される複数の分割領域のそれぞれに電極が設けられた水晶片アレイを製造するための基礎設計情報を作成する作成ステップと、前記基礎設計情報に基づいて製造した第１水晶片アレイを水晶デバイス製造者の識別情報に関連付けられた水晶デバイス製造者に提供する第１提供ステップと、前記第１水晶片アレイを前記分割領域ごとに分割して得られた水晶片を用いて製造された水晶デバイスの第１評価結果を取得する第１取得ステップと、前記第１評価結果に基づいて、前記基礎設計情報を更新した更新設計情報を作成する更新ステップと、を実行させるためのプログラムである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、水晶デバイスの製造者が水晶デバイスの品質を向上させやすくすることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】水晶片アレイの製造方法の概要を説明するための図である。
【図２】水晶片アレイの製造方法によって製造される水晶片アレイの概要を示す図である。
【図３】水晶片アレイの製造方法において更新用データとして機械学習モデルを用いる処理の概要を示す図である。
【図４】設計支援装置の概要を示す図である。
【図５】水晶片アレイの製造方法における処理の流れを示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
［水晶片アレイの製造方法の概要］
図１は、本実施形態に係る水晶片アレイ（例えばＡＴカット水晶片又は音叉水晶片）の製造方法の概要を説明するための図である。水晶片アレイの製造方法は、水晶デバイスを製造する複数の水晶デバイス製造者Ｂに提供する複数種類の水晶片アレイＣを製造する方法であり、水晶片製造者Ａが、水晶デバイス製造者Ｂから水晶片アレイＣの評価結果を得ることにより、より高品質な水晶片アレイＣを製造するための方法である。
【００１７】
図１に示すように、水晶片アレイの製造方法においては、まず、水晶片製造者Ａが、それぞれが水晶片に加工される複数の分割領域それぞれに電極が設けられた水晶片アレイＣを製造するための基礎設計情報を作成する。基礎設計情報は、水晶片又は水晶片アレイの外形寸法や厚みを示す情報、水晶片アレイにおける分割領域の位置を示す情報、並びに電極の位置及び大きさを示す情報のうち少なくともいずれかを含む。水晶片製造者Ａにおいては、例えば設計者が、設計支援装置１にアクセス可能な設計用コンピュータを使用して基礎設計情報を作成する。水晶片製造者Ａは、基礎設計情報に基づいて製造した第１水晶片アレイＣを水晶デバイス製造者Ｂに提供する（図１の（１））。
【００１８】
続いて、水晶デバイス製造者Ｂが、第１水晶片アレイＣを分割領域ごとに分割して得られた水晶片を用いて水晶デバイスを製造する。水晶デバイスは、例えば水晶振動子又は水晶発振器である。水晶デバイス製造者Ｂは、製造した水晶デバイスの評価試験を実施し、第１評価結果を取得する。水晶片製造者Ａは、製造された水晶デバイスの第１評価結果を水晶デバイス製造者Ｂから取得する（図１の（２））。
【００１９】
続いて、水晶片製造者Ａが、第１評価結果に基づいて、基礎設計情報を更新した更新設計情報を作成する。詳細については後述するが、具体的には、水晶片製造者Ａの設計者が、設計用コンピュータを用いて、第１評価結果において改善が必要な項目（例えば、共振周波数、クリスタルインピーダンスの温度特性、位相雑音特性、可変感度）に対応する基礎設計情報を変更することにより更新設計情報を作成する。水晶片製造者Ａは、更新設計情報に基づいて第１水晶片アレイＣと異なる第２水晶片アレイＣ’を製造し、製造した第２水晶片アレイＣ’を再度水晶デバイス製造者Ｂに提供する（図１の（３））。
【００２０】
水晶片製造者Ａは、基礎設計情報を作成し、水晶デバイス製造者Ｂから提供された第１評価結果に基づいて基礎設計情報を更新した更新設計情報を作成するために、設計支援装置１を用いる。第１水晶片アレイＣ及び第２水晶片アレイＣ’を設計するために用いられる設計用コンピュータは、ネットワークを介して設計支援装置１に接続されている。また、設計支援装置１は、ネットワークを介してモデル作成装置２に接続されている。
【００２１】
基礎設計情報の作成において、設計支援装置１は、水晶デバイス製造者Ｂの識別情報に関連付けて基礎設計情報を設計支援装置１の記憶部に記憶させる。基礎設計情報を更新した更新設計情報の作成において、設計支援装置１は、識別情報に関連付けて設計支援装置１の記憶部に記憶された基礎設計情報を更新する。水晶デバイス製造者Ｂの識別情報は、例えば水晶デバイス製造者Ｂに固有の番号及び記号を含む。水晶デバイス製造者Ｂの識別情報は、水晶デバイス製造者Ｂが製造する水晶デバイスの仕様、型番又は製造ロット番号等を含んでもよい。
【００２２】
水晶片製造者Ａが、このように識別情報ごとに基礎設計情報を更新することで、水晶片製造者Ａは、複数の水晶デバイス製造者Ｂそれぞれの評価基準に適合した品質の水晶片アレイを製造することができる。その結果、水晶片製造者Ａが、所望する品質の水晶デバイスを短期間で製造することが可能になる。
【００２３】
基礎設計情報を更新した更新設計情報の作成において、設計支援装置１は、モデル作成装置２に記憶された、水晶デバイス製造者Ｂから提供された複数の第１評価結果と、基礎設計情報を更新する手段を示す複数の更新手段情報とが関連付けられた更新用データを参照することにより、更新設計情報を作成する。更新用データにおいては、例えば、評価結果と、設計変更すべき項目と、設計変更量とが関連付けられている。
【００２４】
基礎設計情報を更新する手段を示す複数の更新手段情報は、基礎設計情報をどのように更新するかを示す情報である。更新手段情報は、例えば、第１評価結果が示す水晶デバイスの特性と基準となる特性との差に対応する設計変更内容と設計変更値を示すデータである。具体的には、更新手段情報は、例えば、製造された水晶デバイスが要求仕様の周波数温度特性を満たさないという第１評価結果が提供された場合に、水晶片アレイの基礎設計情報のうち、第１水晶片アレイＣの外形寸法や厚みを変更することや、第１水晶片アレイＣの電極の大きさを変更すること等を示す情報を含む。更新手段情報は、厚さ及び大きさ等の設計パラメータの変更量を示す情報を含んでもよい。
【００２５】
設計支援装置１がこのように更新用データを参照して更新設計情報を作成することで、水晶片製造者Ａは、水晶デバイス製造者Ｂから第１評価結果を取得することにより、基礎設計情報を更新するための更新手段情報を取得することができる。設計支援装置１が更新手段情報を用いて更新設計情報を作成することで、水晶デバイスの特性が改善されるように短時間で設計情報を改善することができる。
【００２６】
さらに、水晶片アレイの製造方法において、設計支援装置１は、水晶片製造者Ａが第２水晶片アレイＣ’を水晶デバイス製造者Ｂに提供した後に、第２水晶片アレイＣ’を分割領域ごとに分割して得られた水晶片を用いて製造された水晶デバイスの第２評価結果を水晶デバイス製造者Ｂから取得してもよい。
【００２７】
設計支援装置１は、例えば、水晶片製造者Ａを介して、水晶デバイスの第２評価結果を取得する。設計支援装置１は、第１評価結果よりも良好な第２評価結果に対応する更新設計情報と基礎設計情報との差を示す情報を第１評価結果に対応する更新手段情報とする更新用データを作成する。設計支援装置１が、第１評価結果よりも良好な第２評価結果に対応する更新設計情報に基づいて更新手段情報を作成し、基礎設計情報を更新手段情報に基づいて更新することで、高品質の水晶デバイス製造を可能にする水晶片アレイが製造される確率が高まる。
【００２８】
第１評価結果よりも良好な前記第２評価結果に対応する更新設計情報と基礎設計情報との差を示す情報は、例えば、第１評価結果において、製造された水晶デバイスが要求仕様の周波数温度特性を満たさず、第２評価結果において、水晶片アレイの外形寸法や厚みを変更した更新設計情報によって製造された水晶デバイスが要求仕様の周波数範囲を満たした場合、基礎設計情報の水晶片アレイの厚さと更新設計情報の水晶片アレイの厚さとの差を示す情報である。
【００２９】
モデル作成装置２は、例えば、設計支援装置１が作成した更新用データを記憶する。モデル作成装置２は、基礎設計情報、更新設計情報及び評価結果の組み合わせを教師データとして機械学習した機械学習モデルを更新用データとして記憶してもよい。具体的には、モデル作成装置２は、良好な評価結果を得ることができた更新設計情報と基礎設計情報との関係を示すデータを正の教師データとして使用することにより機械学習モデルを作成する。
【００３０】
また、モデル作成装置２は、設計情報を更新することにより評価結果が悪化した場合の更新設計情報と基礎設計情報との関係を示すデータを負の教師データとして使用することにより機械学習モデルを作成する。モデル作成装置２は、このような教師データを用いて機械学習モデルを作成することにより、機械学習モデルを用いる設計支援装置１が、設計情報が入力された場合に入力された設計情報よりも品質が高い水晶デバイスの製造を可能にする更新設計情報を作成することが可能になる。
【００３１】
［水晶片アレイの概要］
図２は、本実施形態に係る水晶片アレイの製造方法によって製造される第１水晶片アレイＣ及び第２水晶片アレイＣ’（以下、単に水晶片アレイＣと称する）の概要を示す図である。水晶片アレイＣは、ウェハ形状を有しており、それぞれが水晶片Ｃ１に分割される複数の分割領域それぞれに電極Ｃ２及びＣ３を有する。
【００３２】
水晶片Ｃ１は、矩形状であり、水晶片アレイＣには、同一形状の水晶片Ｃ１が複数形成されている。電極Ｃ２は、水晶片Ｃ１の表面側に形成されており、電極Ｃ３は、水晶片Ｃ１の裏面側に形成されている。電極Ｃ２及び電極Ｃ３は、水晶片Ｃ１の中央付近に形成される励振電極部と、励振電極部から水晶片Ｃ１の端部に向かって形成される引き出し電極部とをそれぞれ有している。電極Ｃ２及び電極Ｃ３は、真空蒸着又はスパッタ等を用いて水晶片Ｃ１上に形成される。電極Ｃ２及び電極Ｃ３の材料は、金、銀、アルミニウム等が用いられる。電極Ｃ２及び電極Ｃ３は、図２においては略矩形状で示されているが、任意の形状であってもよい。
【００３３】
水晶デバイス製造者Ｂは、ダイシング、割断、又は折り取りすること等によって、水晶片製造者Ａから提供された水晶片アレイＣを個々の水晶片Ｃ１に分割する。続いて、水晶デバイス製造者Ｂは、電極Ｃ２及び電極Ｃ３を、パッケージに形成される電極パッド、接続電極及び実装端子等の部位と接続する。そして、水晶デバイス製造者Ｂは、電極Ｃ２及び電極Ｃ３がパッケージの電極と接続された水晶片をパッケージに組み込むことにより水晶振動子及び水晶発振器等の水晶デバイスを製造する。水晶デバイス製造者Ｂは、製造した水晶デバイスの各種特性（例えば周波数特性及び電気的特性等）を評価し、評価結果を水晶片製造者Ａに提供する。
【００３４】
［機械学習モデルを用いる処理の概要］
図３は、本実施形態に係る水晶片アレイの製造方法において更新用データとして機械学習モデルＭ１を用いる処理の概要を示す図である。図３（ａ）は、モデル作成装置２が機械学習モデルＭ１を作成する処理の概要を示す図である。図３（ｂ）は、設計支援装置１が、機械学習モデルＭ１を使用して更新手段情報を取得する処理の概要を示す図である。
【００３５】
水晶片アレイの製造方法において、第２水晶片アレイＣ’を水晶デバイス製造者Ｂに提供した後に、水晶片製造者Ａは、第２水晶片アレイＣ’を分割領域ごとに分割して得られた水晶片を用いて製造された水晶デバイスの第２評価結果を水晶デバイス製造者Ｂから取得する。
【００３６】
続いて、水晶片製造者Ａは、基礎設計情報及び第１評価結果と、第１評価結果よりも良好な第２評価結果に対応する更新設計情報及び第２評価結果とをモデル作成装置２に入力する。モデル作成装置２は、基礎設計情報及び第１評価結果と、更新設計情報及び第２評価結果との組み合わせを教師データとして機械学習モデルＭ１を作成する（図３の（ａ））。
【００３７】
具体的には、モデル作成装置２は、機械学習モデルＭ１が多層構造のニューラルネットワークにより構成されている場合、基礎設計情報及び第１評価結果が入力されると基礎設計情報と更新設計情報との差分に相当する更新手段情報をニューラルネットワークが出力するように、ニューラルネットワークの各ノードに関連付けられた重み係数を更新する。更新手段情報は、例えば厚み又は長さの変更量を示す値である。
【００３８】
設計支援装置１は、図３（ａ）に示すようにして作成された機械学習モデルＭ１に、水晶片アレイの設計情報と評価結果とを入力することにより、更新手段情報を取得する（図３の（ｂ））。機械学習モデルＭ１は、例えば評価結果が基準レベルよりも低いことを条件として、入力された設計情報が更新された更新手段情報を出力する。評価結果が基準レベル以上である場合に、更新手段情報を出力せず、更新が不要であることを通知する情報を出力してもよい。
【００３９】
機械学習モデルＭ１を作成するための学習に使用するアルゴリズムは任意であるが、機械学習モデルＭ１は、周知の特徴抽出アルゴリズムや周知の特徴選択アルゴリズムに基礎設計情報及び第１評価結果と、第１評価結果よりも良好な第２評価結果に対応する更新設計情報との多数の組み合わせ（例えば１０万種類の組み合わせ）を教師データとして入力することにより作成される。
【００４０】
このように水晶片製造者Ａは、多数の教師データに基づいて作成された機械学習モデルＭ１を更新用データとして作成するので、高い精度の更新用データを用いて更新設計情報を作成することができる。したがって、水晶片製造者Ａは、高い精度の更新設計情報を用いてより高品質な水晶片アレイを製造することができる。
【００４１】
また、図３（ａ）に示すように、更新用データの作成において、モデル作成装置２は、同一の属性を有する水晶デバイスの第１評価結果及び第２評価結果に基づいて更新用データを作成する。同一の属性は、例えば、同一の水晶デバイス製造者Ｂ、同一の水晶片の設計仕様又は同一の水晶デバイスの設計仕様等である。モデル作成装置２は、例えば属性ごとに異なる機械学習モデルＭ１を作成する。図３（ｂ）に示すように、設計支援装置１は、水晶片製造者Ａが製造する水晶片アレイの属性に対応する機械学習モデルＭ１に設計情報（例えば基礎設計情報）と評価結果（例えば第１評価結果）とを入力することにより、更新手段情報を取得する。設計支援装置１は、更新手段情報に基づいて基礎設計情報を更新することにより更新設計情報を作成する。
【００４２】
このように、設計支援装置１は、属性ごとに異なる更新用データを使用して更新手段情報を取得することで、水晶片アレイ又は水晶片デバイスの属性に適した更新設計情報を作成することができる。水晶片製造者Ａは、同一の属性ごとに高品質な水晶片アレイを製造することができる。
【００４３】
［設計支援装置１の概要］
図４は、本実施形態に係る設計支援装置１の概要を示す図である。設計支援装置１は、複数の水晶デバイス製造者Ｂに提供する複数種類の水晶片アレイＣの設計を支援する装置である。設計支援装置１は、通信部１１と、制御部１２と、記憶部１３とを有する。制御部１２は、取得部１２１と、設計情報作成部１２２とを有する。
【００４４】
通信部１１は、他のコンピュータ等の電子機器との間でデータを送受信するための通信インターフェースであり、例えばＬＡＮ（Local Area Network）コントローラを含む。通信部１１は、例えばインターネット又はＬＡＮ等のネットワークに接続されており、ネットワークを介して受信した水晶デバイスの評価結果を取得部１２１に入力する。また、通信部１１は、設計情報作成部１２２から入力された更新設計情報をネットワークに送信する。
【００４５】
制御部１２は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を含んでおり、記憶部１３に記憶されたプログラムを実行することにより、取得部１２１及び設計情報作成部１２２として機能する。制御部１２は、ＣＰＵとともに、又はＣＰＵの代わりに他の回路を含んでもよい。
【００４６】
記憶部１３は、例えばＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びハードディスク等の記憶媒体を含む。記憶部１３は、制御部１２が実行するプログラムを記憶する。また、記憶部１３は、制御部１２が更新設計情報を作成するために必要な各種のデータを記憶する。
【００４７】
取得部１２１は、基礎設計情報に基づいて製造された第１水晶片アレイＣを分割領域ごとに分割して得られた水晶片Ｃ１を用いて製造された水晶デバイスの評価結果を、基礎設計情報が関連付けられた水晶デバイス製造者Ｂの識別情報に関連付けて取得する。
【００４８】
設計情報作成部１２２は、それぞれが水晶片に加工される複数の分割領域のそれぞれに電極Ｃ２及び電極Ｃ３が設けられた第１水晶片アレイＣを製造するための基礎設計情報を作成する。設計情報作成部１２２は、取得部１２１が取得した評価結果に基づいて基礎設計情報を更新した更新設計情報を作成する。制御部１２は、設計情報作成部１２２が作成した更新設計情報を通信部１１によりネットワークを介して水晶片製造者Ａへ送信する。
【００４９】
［水晶片アレイの製造方法における処理の流れ］
図５は、水晶片アレイの製造方法における処理の流れを示すフローチャートである。まず、水晶片製造者Ａが、それぞれが水晶片Ｃ１に加工される複数の分割領域それぞれに電極Ｃ２及び電極Ｃ３が設けられた第１水晶片アレイＣを製造するための基礎設計情報を作成する（Ｓ１）。水晶片製造者Ａは、例えば、水晶片の要求仕様に基づいて基礎設計情報を作成する。水晶片製造者Ａは、基礎設計情報に基づいて製造した第１水晶片アレイＣを水晶デバイス製造者Ｂに提供する（Ｓ２）。
【００５０】
水晶デバイス製造者Ｂが、第１水晶片アレイＣを分割領域ごとに分割して得られた水晶片Ｃ１を用いて水晶デバイスを製造する。水晶片製造者Ａが、製造された水晶デバイスの第１評価結果を水晶デバイス製造者Ｂから取得する（Ｓ３）。水晶片製造者Ａが、第１評価結果に基づいて、基礎設計情報を更新した更新設計情報を作成する（Ｓ４）。
【００５１】
水晶片製造者Ａは、更新設計情報に基づいて第１水晶片アレイＣと異なる第２水晶片アレイＣ’を製造し、製造した第２水晶片アレイＣ’を再度水晶デバイス製造者Ｂに提供する（Ｓ５）。水晶片製造者Ａは、第２水晶片アレイＣ’を水晶デバイス製造者Ｂに提供した後に、第２水晶片アレイＣ’を分割領域ごとに分割して得られた水晶片を用いて製造された水晶デバイスの第２評価結果を水晶デバイス製造者Ｂから取得する（Ｓ６）。
【００５２】
水晶片製造者Ａは、水晶デバイスの第２評価結果を設計支援装置１に提供する。設計支援装置１は、第１評価結果よりも良好な第２評価結果に対応する更新設計情報と基礎設計情報との差を示す情報を第１評価結果に対応する更新手段情報とする更新用データを作成する（Ｓ７）。
【００５３】
［水晶片アレイの製造方法による効果］
以上説明したように、水晶片アレイの製造方法においては、水晶片製造者Ａが、水晶片アレイを製造するための基礎設計情報に基づいて製造した第１水晶片アレイＣを水晶デバイス製造者Ｂに提供し、第１水晶片アレイＣの水晶片を用いて製造された水晶デバイスの第１評価結果を取得する。続いて、水晶片製造者Ａは、第１評価結果に基づいて、基礎設計情報を更新した更新設計情報を作成し、更新設計情報に基づいて第１水晶片アレイＣと異なる第２水晶片アレイＣ’を製造し、第２水晶片アレイＣ’を水晶デバイス製造者Ｂに提供する。
【００５４】
水晶片アレイの製造方法においてこのような処理を行うことで、水晶片製造者Ａが、水晶デバイス製造者Ｂからの水晶デバイスの第１評価結果に基づいて更新設計情報を作成し、更新設計情報に基づいて水晶片アレイを製造する。このようにすることで、水晶片製造者Ａは、水晶デバイスの第１評価結果に基づいたより高品質な第２水晶片アレイＣ’を製造することができる。
【００５５】
また、水晶デバイス製造者Ｂが、水晶デバイスの第１評価結果に基づいたより高品質な第２水晶片アレイＣ’を用いて水晶デバイスを作成することができるため、水晶デバイス製造者Ｂは、水晶デバイスの品質を向上させやすくすることができる。また、水晶片アレイの製造方法においては、水晶片製造者Ａが、電極形成済みの水晶片アレイを提供するため、水晶デバイス製造者Ｂが、電極の設計及び電極の形成を行わずに水晶デバイスを製造することができる。
【００５６】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、装置の全部又は一部は、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合して構成することができる。また、複数の実施の形態の任意の組み合わせによって生じる新たな実施の形態も、本発明の実施の形態に含まれる。組み合わせによって生じる新たな実施の形態の効果は、もとの実施の形態の効果を併せ持つ。
【符号の説明】
【００５７】
Ａ  水晶片製造者
Ｂ  水晶デバイス製造者
Ｃ  第１水晶片アレイ
Ｃ’  第２水晶片アレイ
Ｃ１  水晶片
Ｃ２  電極
Ｃ３  電極
１  設計支援装置
１１  通信部
１２  制御部
１３  記憶部
１２１  取得部
１２２  設計情報作成部
２  モデル作成装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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