【事件の表示】
　特許第６５２９８０９号発明「光照射装置及び露光装置」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第６５２９８０９号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項［１、３〜９］について訂正することを認める。
　特許第６５２９８０９号の請求項３ないし９に係る特許を維持する。
　特許第６５２９８０９号の請求項１に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第６５２９８０９号（以下「本件特許」という。)についての主な経緯は次のとおりである。
　平成２７年　４月１４日　　：出願
　令和　元年　５月２４日　　：特許登録（請求項の数９）
　令和　元年　６月１２日　　：特許公報発行
　令和　元年１２月１１日　　：特許異議申立人ウシオ電機株式会社による　　　　　　　　　　　　　　　請求項１，３〜９に係る特許に対する特許　　　　　　　　　　　　　　　異議の申立て
　令和　２年　２月　３日付け：取消理由通知書
　令和　２年　３月２６日　　：意見書（特許権者）及び訂正請求書
　なお、令和２年３月２６日付け訂正請求書による訂正の請求があったので、当審は、特許法第１２０条の５第５項の規定に基づき、特許異議申立人に対して、令和２年５月２９日付け通知書により、相当の期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、特許異議申立人は、その期間内に、意見書を提出しなかった。
第２　訂正の適否
　１　訂正の内容
　令和２年３月２６日付け訂正請求書による訂正（以下「本件訂正」という。）は、次のとおりである。
　なお、本件訂正は、一群の請求項である訂正後の請求項１，３〜９について請求されている。
訂正事項１
　　請求項１を削除する。
（２）訂正事項２
　請求項３に、
「請求項１又は２」とあるのを、「請求項２」に訂正する。
（３）訂正事項３
　請求項４に「請求項１〜３のいずれか１項」とあるのを、「請求項２又は３」に訂正する。
（４）訂正事項４
　請求項５に、「請求項１〜４のいずれか１項」とあるのを、「請求項２〜４のいずれか１項」に訂正する。
（５）訂正事項５
　請求項６に「請求項１〜５のいずれか１項」とあるのを、「請求項２〜５のいずれか１項」に訂正する。
（６）訂正事項６
　請求項７に「請求項１〜６のいずれか１項」とあるのを、「請求項２〜６のいずれか１項」に訂正する。
（７）訂正事項７
　請求項８に「請求項１〜７のいずれか１項」とあるのを、「請求項２〜７のいずれか１項」に訂正する。
（８）訂正事項８
　請求項９に「請求項１〜８のいずれか１項」とあるのを、「請求項２〜８のいずれか１項」に訂正する。
　２　訂正要件の判断
（１）訂正事項１について
　ア　訂正の目的
　訂正事項１は、請求項１を削除するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　イ　新規事項追加の有無
　請求項１を削除することによって、新たな技術的事項が導入されることはないから、訂正事項１は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　ウ　特許請求の範囲の実質拡張変更の有無
　上記ア及びイにも照らせば、訂正事項１は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　エ　訂正事項１の小括
　よって、訂正事項１は、訂正要件を満たす。
（２）訂正事項２〜８について
　ア　訂正の目的
　訂正事項２〜８は、請求項３〜９のうち請求項１を引用しないものとするためのものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　イ　新規事項追加の有無
上記訂正は、請求項３〜９のうち請求項１を引用しないものとするためのものであるから、これによって、新たな技術的事項が導入されることはない。
　したがって、訂正事項２は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　ウ　特許請求の範囲の実質拡張変更の有無
　上記ア及びイにも照らせば、訂正事項２は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　エ　訂正事項２〜８の小括
　よって、訂正事項２〜８は、訂正要件を満たす。
　３　訂正の適否の小括
　以上のとおり、本件訂正は、訂正要件を満たす。
　よって、特許請求の範囲を、訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項［１、３〜９］について訂正することを認める。
第３　本件発明の認定
　本件訂正は上記第２のとおり認められたので、本件訂正後の請求項１〜９に係る発明（以下、「本件発明１」〜「本件発明９」という。）は、訂正特許請求の範囲の請求項１〜９に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。
［本件発明１］
（削除）
［本件発明２］
複数の発光素子を平面上に配列したＬＥＤアレイ光源と、
  各発光素子から出射された光をそれぞれコリメートする第１照明光学系と、
  前記第１照明光学系から出射された光を焦点位置に集光させる第２照明光学系と、
  前記第２照明光学系から出射された光を平行光にする第３照明光学系と、
  柱状のレンズであり、前記第３照明光学系から出射された光を入射して照度の均一性を高めるロッド・インテグレータと、を備え、
  前記第３照明光学系の入射瞳の位置は、前記第２照明光学系の焦点位置にあり、前記ロッド・インテグレータの入射面は、第３照明光学系の焦点位置に配置され、各発光素子の瞳像が、前記ロッド・インテグレータの入射面に結像されることを特徴とする光照射装置。
［本件発明３］
  前記ＬＥＤアレイ光源を構成する前記複数の発光素子には、一の発光波長を有する複数の第１発光素子と、他の発光波長を有する複数の第２発光素子とが含まれ、前記第１又は第２発光素子を選択的に発光させることで、前記ＬＥＤアレイ光源の発光波長を変更可能とした請求項２に記載の光照射装置。
［本件発明４］
  前記ＬＥＤアレイ光源を構成する前記複数の発光素子の発光波長が、ｇ線、ｈ線、ｉ線のうちのいずれか一以上である請求項２又は３に記載の光照射装置。
［本件発明５］
  前記ＬＥＤアレイ光源を構成する前記複数の発光素子の全部又は一部をＯＮ又はＯＦＦにする点灯制御手段を備えた請求項２〜４のいずれか１項に記載の光照射装置。
［本件発明６］
  前記ＬＥＤアレイ光源を構成する前記複数の発光素子の向きが、各発光素子の発光面に垂直な軸を中心にして回転方向に異なることを特徴とする請求項２〜５のいずれか１項に記載の光照射装置。
［本件発明７］
  前記ＬＥＤアレイ光源を構成する前記複数の発光素子の全部又は一部に流れる電流値を制御する電流制御手段を備えた請求項２〜６のいずれか１項に記載の光照射装置。
［本件発明８］
  前記ＬＥＤアレイ光源を構成する前記複数の発光素子から出射された光を、光軸上のいずれかの位置で遮断する機械式のシャッターを備えた請求項２〜７のいずれか１項に記載の光照射装置。
［本件発明９］
  前記フライアイ・インテグレータ又は前記ロッド・インテグレータから出射された照明光をマスクに照射し、前記マスクのパターン像を感光性基板上に露光する露光装置であって、請求項２〜８のいずれか１項に記載した光照射装置を備えたことを特徴とする露光装置。
第４　取消理由通知に記載した取消理由について
　１　取消理由の概要
（１）拡大先願
　本件出願の請求項１、３−９に係る発明は、その出願の日前の特許出願であって、その出願後に出願公開がされた次の特許出願の願書に最初に添付された明細書又は図面に記載された発明と同一であり、しかも、この出願の発明者がその出願前の特許出願に係る上記の発明をした者と同一ではなく、またこの出願の時において、その出願人が上記特許出願の出願人と同一でもないので、当該請求項１，３−９に係る特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してされたものである。
　特願２０１５−６７７６２号（特開２０１６−１８８８７８号公報）（先願１、甲第１号証）
（２）進歩性欠如
　本件出願の請求項１，３−９に係る発明は、次の引用例１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、当該請求項１，３〜９係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　特開２０１５−４０８９２号公報（引用文献１、甲第１０号証）
　特開２０１４−１５３６３６号公報（引用文献２、甲第１１号証）
　特開２００３−１４９７４１号公報（引用文献３、甲第１２号証）
　２　拡大先願についての判断
（１）本件発明３〜９について
訂正により、請求項１が削除され、請求項３〜９は請求項２を引用するものの、請求項１を引用しないものとなった。その結果、本件発明３〜９は、
「第２照明光学系から出射された光を平行光にする第３照明光学系と、
  柱状のレンズであり、前記第３照明光学系から出射された光を入射して照度の均一性を高めるロッド・インテグレータと、を備え、
  前記第３照明光学系の入射瞳の位置は、前記第２照明光学系の焦点位置にあり、前記ロッド・インテグレータの入射面は、第３照明光学系の焦点位置に配置され、各発光素子の瞳像が、前記ロッド・インテグレータの入射面に結像される」という発明特定事項を備えるものとなった。
（２）先願発明について
先願１には、には次の記載がある。
（ア）「図１を参照すると、本実施形態の露光装置は、転写すべきパターンが形成されたマスク（レチクル）Ｍを照明する照明光学系ＩＬを備えている。照明光学系ＩＬの内部構成については、図２を参照して後述する。照明光学系ＩＬは、例えばマスクＭの矩形状のパターン領域全体、あるいはパターン領域全体のうちＸ方向に沿って細長いスリット状の領域（例えば矩形状の領域）を照明する。」（【００１０】）
（イ）「マスクＭのパターンからの光は、投影光学系ＰＬを介して、感光性のレジストが塗布された基板Ｗの単位露光領域にマスクＭのパターン像を形成する。すなわち、マスクＭ上での照明領域に光学的に対応するように、基板Ｗの単位露光領域において、マスクＭのパターン領域全体と相似な矩形状の領域、あるいはＸ方向に細長い矩形状の領域（静止露光領域）にマスクパターン像が形成される。」（【００１１】）
（ウ）「図２を参照すると、本実施形態の照明光学系ＩＬは、固体発光光源としてのＬＥＤ（Light Emission Diode）光源１を備えている。ＬＥＤ光源１は、縦横に間隔を隔てて配置された複数の発光部を備える。それぞれの発光部は、発光面から照明光を射出する固体発光素子１ａを有する。以下の説明では、発光面を有する固体発光素子１ａをチップ１ａと称する。ただし、図２およびこれに関連する図では、説明の理解を容易にするとともに図面の明瞭化を図るために、ＬＥＤ光源１は、Ｘ方向に２列でＹ方向に３列の合計６つのチップ１ａを有し、その発光面は円形状であるものとする。なお、本実施形態における発光面とは、チップ１ａにおいて光が射出される面とすることができる。」（【００１７】）
（エ）「６つのチップ１ａの発光面から射出された照明光は、それぞれのチップ１ａと対応するように配置された６つのコレクタレンズ２により集光された後に、リレーレンズ３を介してフライアイレンズ４に入射する。各コレクタレンズ２は、その前側焦点位置が対応するチップ１ａの発光面の位置とほぼ一致するように配置されている。また、各コレクタレンズ２の後側焦点位置が位置する面に、リレーレンズ３の前側焦点位置がほぼ一致している。各コレクタレンズ２は、その光軸がリレーレンズ３の光軸（ひいては照明光学系ＩＬの光軸ＡＸｉ）とほぼ平行になるように配置されている。」（【００１８】）
（オ）「したがって、図２において細い実線で示すように、各チップ１ａの発光面の中心から射出された光は、対応するコレクタレンズ２を経てほぼ平行な光束になり、光軸ＡＸｉとほぼ平行な経路に沿ってリレーレンズ３に入射する。リレーレンズ３に入射した６つのほぼ平行な光束は、その後側焦点位置の近傍に位置するフライアイレンズ４の入射側の面に集光する。」（【００２０】）
（カ）「図２において破線で示すように、各チップ１ａの発光面の端からコレクタレンズ２の光軸とほぼ平行（ひいては照明光学系ＩＬの光軸ＡＸｉとほぼ平行）に射出された光は、コレクタレンズ２の後側焦点位置の近傍に集光した後、リレーレンズ３の作用により、その後側焦点面の近傍に位置するフライアイレンズ４の入射側の面に投影される。こうして、各チップ１ａからの照明光は、対応するコレクタレンズ２およびリレーレンズ３を経て、フライアイレンズ４の入射側の面で重畳される。」（【００２１】）
（キ）「すなわち、ＬＥＤ光源１の各チップ１ａの円形状の発光面の像が、フライアイレンズ４の入射側の面でほぼ重なり合うように形成される。このとき、ＬＥＤ光源１の各チップ１ａの発光面は、コレクタレンズ２およびリレーレンズ３の作用により、フライアイレンズ４の入射側の面の有効領域を覆う大きさまで拡大されて投影される。」（【００２２】）
（ク）「フライアイレンズ４の複数のレンズエレメント４ａを経た光束は、その出射端の近傍に配置された開口絞り５、およびコンデンサレンズ６を介して、マスクＭを照明する。コンデンサレンズ６は、その前側焦点位置がフライアイレンズ４の出射端の位置とほぼ一致し、後側焦点位置がマスクＭのパターン面の位置とほぼ一致するように配置されている。すなわち、各レンズエレメント４ａの入射側の面とマスクＭのパターン面とは、光学的にほぼ共役に配置されている。開口絞り５には、例えば光軸ＡＸｉを中心とした円形状の開口部（光透過部）が形成されている。ここで、開口絞り５が配置されている面は、投影光学系ＰＬの開口数を決定するための投影開口絞り（不図示）が配置されている面と光学的に共役な関係である。」（【００２５】）
  
（ア）〜（ク）の記載からみて、先願１には次の発明（以下「先願発明１」という。）が記載されているものと認められる。
「縦横に間隔を隔てて配置された複数の発光部（チップ１ａ）を備えるＬＥＤ光源１と、それぞれのチップ１ａと対応するように配置されたコレクタレンズ２と、リレーレンズ３と、複数のレンズエレメント４ａを有するフライアイレンズ４と、フライアイレンズ４の出射端の近傍に配置された開口絞り５と、コンデンサレンズ６とを備え、各チップ１ａの発光面の中心から射出された光は、対応するコレクタレンズ２を経てほぼ平行な光束になり、光軸ＡＸｉとほぼ平行な経路に沿ってリレーレンズ３に入射し、リレーレンズ３に入射したほぼ平行な光束は、その後側焦点位置の近傍に位置するフライアイレンズ４の入射側の面に集光し、ＬＥＤ光源１の各チップ１ａの円形状の発光面の像が、フライアイレンズ４の入射側の面でほぼ重なり合うように形成される照明光学系ＩＬ。」
（３）対比・判断
　本件発明３〜９と先願発明１とを対比すると、両者は、少なくとも次の点で相違する。
相違点１
　照度の均一性を高めるための光学素子として本件発明３〜９がロッド・インテグレータを備えたのに対し、先願発明１がフライアイレンズ４を用いた点。
相違点２
　本件発明３〜９が、第２照明光学系から出射された光を平行光にする第３照明光学系を備え、第３照明光学系の入射瞳の位置は、第２照明光学系の焦点位置にあり、ロッド・インテグレータの入射面は、第３照明光学系の焦点位置に配置され、各発光素子の瞳像が、ロッド・インテグレータの入射面に結像されるようにしたのに対し、先願発明１が本件発明３〜９の第３照明光学系に相当する構成を備えていない点。
　まず、上記相違点２について検討すると、本件発明３〜９は、第２照明光学系から出射された光を平行光にし、また、その焦点位置にロッド・インテグレータの入射面を配置するようにした第３照明光学系を備えるから、ＬＥＤアレイ光源のロッド・インテグレータの入射面位置に対する照明は、いわゆるケーラー照明となっている。これに対して、引用発明１は、アレイ状に配列された複数のＬＥＤ８を備える励起光源部２の像をロッドインテグレーター５の光入射端面５ａ上に結像させており、いわゆるクリティカル照明となっている。そうすると、本件発明３〜９と、先願発明１とでは、光学系としての基本構成が異なるものというべきである。
　してみれば、先願発明１において、相違点２に係る本件発明３〜９の構成を採用することは周知技術の単なる付加・削除・転換とはいえないから、相違点１について検討するまでもなく、本件発明３〜９と先願発明１とは実質的に同一であるとはいえない。
　３　進歩性についての判断
（１）本件発明３〜９について
　本件発明３〜９は、第４２（１）に記載したとおりの発明特定事項を備えるものとなった。
（２）引用発明について
　引用文献１には次の記載がある。
（ア）「図１に示すように、第１実施形態の光源装置１は、励起光源部２と、平行化光学系３と、集光レンズ４と、ロッドインテグレーター５と、結像レンズ６と、波長変換素子７と、を備えている。励起光源部２は、複数の発光ダイオード８（Light Emitting Diode, 以下、ＬＥＤと略記する）を備えている。複数のＬＥＤ８は、例えばｍ行×ｎ列（ｍ，ｎはともに自然数）のアレイ状に配列されている。励起光源部２のＬＥＤ８は、後述する波長変換素子７の蛍光体層を励起させる励起光Ｌ１を射出する。励起光Ｌ１は、例えば４５０ｎｍの近傍にピーク波長を有する青色光である。ただし、励起光Ｌ１は、後述する蛍光体層を励起できる光であればよく、必ずしも波長が４５０ｎｍ近傍の青色光に限るものではない。」（【００２２】）
（イ）「平行化光学系３は、励起光源部２を構成するＬＥＤ８と同数の平行化レンズ９を備えている。個々の平行化レンズ９は、個々のＬＥＤ８に対応して配置されている。すなわち、複数の平行化レンズ９は、ＬＥＤ８と同様、ｍ行×ｎ列（ｍ，ｎはともに自然数）のアレイ状に配列されている。平行化レンズ９は、ＬＥＤ８から射出された励起光Ｌ１を平行化する作用を有する。したがって、ＬＥＤ８から射出された時点である程度の広がりを持つ励起光Ｌ１は、平行化レンズ９によって平行化される」（【００２３】）
（ウ）「平行化光学系３を構成する複数の平行化レンズ９から射出された励起光Ｌ１は、集光レンズ４に入射する。集光レンズ４に入射した励起光は、集光レンズ４により集束され、ロッドインテグレーター５に向けて射出される。」（【００２４】）
（エ）「ロッドインテグレーター５は、互いに平行な光入射端面５ａと光射出端面５ｂとを有するロッド状部材で構成されている。ロッドインテグレーター５は、入射した励起光Ｌ１を内部で多重反射させつつ、光入射端面５ａから光射出端面５ｂに向けて進行させる。ロッドインテグレーター５は、様々な角度成分を持って入射する励起光Ｌ１の光束を多重反射により混合し、励起光Ｌ１の強度分布を均一化する作用を有する。ロッドインテグレーター５の光入射端面５ａは、集光レンズ４の焦点位置に配置されている。そのため、集光レンズ４から射出された励起光Ｌ１は、集束された状態でロッドインテグレーター５の光入射端面５ａに入射する。」（【００２５】）
  
（ア）〜（エ）の記載からみて、引用文献１には次の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されているものと認められる。
「アレイ状に配列された複数のＬＥＤ８を備える励起光源部２と、個々のＬＥＤ８に対応して配置され、ＬＥＤ８から射出された励起光Ｌ１を平行化する個々の平行化レンズ９を備える平行化光学系３と、平行化レンズ９から射出された励起光Ｌ１を集束する集光レンズ４と、互いに平行な光入射端面５ａと光射出端面５ｂとを有するロッド状部材で構成され、入射した励起光Ｌ１を内部で多重反射させつつ、光入射端面５ａから光射出端面５ｂに向けて進行させ、様々な角度成分を持って入射する励起光Ｌ１の光束を多重反射により混合し、励起光Ｌ１の強度分布を均一化するロッドインテグレーター５と、を備え、ロッドインテグレーター５の光入射端面５ａは、集光レンズ４の焦点位置に配置される光源装置１。」
（３）対比・判断
　本件発明３〜９と引用発明１とを対比すると、両者は、少なくとも次の点で相違する。
相違点３
　本件発明３〜９が、第２照明光学系から出射された光を平行光にする第３照明光学系を備え、第３照明光学系の入射瞳の位置は、第２照明光学系の焦点位置にあり、ロッド・インテグレータの入射面は、第３照明光学系の焦点位置に配置され、各発光素子の瞳像が、ロッド・インテグレータの入射面に結像されるようにしたのに対し、引用発明１が、本件発明３〜９の第３照明光学系に相当する構成を備えていない点。
　上記相違点３について検討すると、本件発明３〜９は、第２照明光学系から出射された光を平行光にし、また、その焦点位置にロッド・インテグレータの入射面を配置するようにした第３照明光学系を備えるから、ＬＥＤアレイ光源のロッド・インテグレータの入射面位置に対する照明は、いわゆるケーラー照明となっている。これに対して、引用発明１は、アレイ状に配列された複数のＬＥＤ８を備える励起光源部２の像をロッドインテグレーター５の光入射端面５ａ上に結像させており、いわゆるクリティカル照明となっている。
　確かに、ケーラー照明とクリティカル照明とはそれぞれよく知られた照明法であるものの、引用文献１に記載された基材１１を照明する光源装置１は、励起光源部２の像をロッドインテグレーター５の光入射端面５ａ上に結像させるクリティカル照明とした上で全体の光学系を構成しており、当該クリティカル照明をケーラー照明に変更すれば、ロッドインテグレーター５の光学性能や、結像レンズ６、基材１１の配置位置なども変更しなければならず、そのような変更をする理由がない。
　また、引用文献２、３も、ＬＥＤアレイ光源のロッド・インテグレータの入射面位置に対する照明をケーラー照明にする点については、開示も示唆もしない。
　そうすると、引用発明１において、相違点３に係る本件発明３〜９の構成を採用することは、当業者が容易に想到し得たものとはいえない。
第５　むすび
　以上のとおりであるから、取消理由通知に記載した取消理由によっては、本件発明３〜９に係る特許を取り消すことはできない。
また、特許異議申立書に記載した特許異議申立理由についてはすべて取消理由として通知したため、特許異議申立書に記載した特許異議申立理由によっても、本件発明３〜９に係る特許を取り消すことはできない。
　さらに、他に本件発明３〜９に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　請求項１に係る特許は、本件訂正により削除されたので、請求項１に係る特許についての特許異議の申立ては、特許法第１２０条の８第１項で準用する同法第１３５条の規定により却下する。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
令和２年９月３０日（２０２０．９．３０）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】（削除）
　【請求項２】
　複数の発光素子を平面上に配列したＬＥＤアレイ光源と、
　各発光素子から出射された光をそれぞれコリメートする第１照明光学系と、
　前記第１照明光学系から出射された光を焦点位置に集光させる第２照明光学系と、
　前記第２照明光学系から出射された光を平行光にする第３照明光学系と、
　柱状のレンズであり、前記第３照明光学系から出射された光を入射して照度の均一性を高めるロッド・インテグレータと、を備え、
　前記第３照明光学系の入射瞳の位置は、前記第２照明光学系の焦点位置にあり、前記ロッド・インテグレータの入射面は、第３照明光学系の焦点位置に配置され、各発光素子の瞳像が、前記ロッド・インテグレータの入射面に結像されることを特徴とする光照射装置。
　【請求項３】
　前記ＬＥＤアレイ光源を構成する前記複数の発光素子には、一の発光波長を有する複数の第１発光素子と、他の発光波長を有する複数の第２発光素子とが含まれ、前記第１又は第２発光素子を選択的に発光させることで、前記ＬＥＤアレイ光源の発光波長を変更可能とした請求項
２
　【請求項４】
　前記ＬＥＤアレイ光源を構成する前記複数の発光素子の発光波長が、ｇ線、ｈ線、ｉ線のうちのいずれか一以上である請求項
２又は３
　【請求項５】
　前記ＬＥＤアレイ光源を構成する前記複数の発光素子の全部又は一部をＯＮ又はＯＦＦにする点灯制御手段を備えた請求項
２
　【請求項６】
　前記ＬＥＤアレイ光源を構成する前記複数の発光素子の向きが、各発光素子の発光面に垂直な軸を中心にして回転方向に異なることを特徴とする請求項
２
　【請求項７】
　前記ＬＥＤアレイ光源を構成する前記複数の発光素子の全部又は一部に流れる電流値を制御する電流制御手段を備えた請求項
２
　【請求項８】
　前記ＬＥＤアレイ光源を構成する前記複数の発光素子から出射された光を、光軸上のいずれかの位置で遮断する機械式のシャッターを備えた請求項
２
　【請求項９】
　前記フライアイ・インテグレータ又は前記ロッド・インテグレータから出射された照明光をマスクに照射し、前記マスクのパターン像を感光性基板上に露光する露光装置であって、請求項
２