(57)【要約】【課題】液体中に含まれている気体を短時間で除去する。【解決手段】脱泡装置３０は、液体９が流れる供給流路３２と、前記供給流路３２の下流側に設けられ当該供給流路３２よりも流路面積の小さい微細流路孔３６を複数有する微細流路要素３４と、内部に拡大空間４０を有し前記微細流路孔３６を通過した前記液体９を溜めるタンク３８と、前記拡大空間４０を減圧する減圧機構４２と、を備える。【選択図】      図２
2020059005.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が流れる供給流路と、
前記供給流路の下流側に設けられ当該供給流路よりも流路面積の小さい微細流路孔を複数有する微細流路要素と、
内部に拡大空間を有し前記微細流路孔を通過した前記液体を溜めるタンクと、
前記拡大空間を減圧する減圧機構と、
を備える、脱泡装置。
【請求項２】
前記タンクは、前記微細流路要素から当該タンクの底部側に向かって、前記液体を遠回りして誘導する誘導路を有する、請求項１に記載の脱泡装置。
【請求項３】
前記微細流路要素の上流側に、前記供給流路よりも流路面積が拡大し前記液体を溜める液溜め空間が設けられている、請求項１又は２に記載の脱泡装置。
【請求項４】
被塗布部材を載せるステージと、前記被塗布部材に対して液体を吐出するスリットを有する塗布器と、前記ステージ上の前記被塗布部材と前記塗布器との内の一方を他方に対して移動させる駆動機構と、前記塗布器に前記液体を供給する送液機構と、を備え、
前記送液機構は、請求項１〜３のいずれか一項に記載の脱泡装置を有する、塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体中の溶存気体及びマイクロバブル等の気体を除去するための脱泡装置、及びこの脱泡装置を備える塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フレキシブルディスプレイには、基材としてポリイミドフィルムが使用される。ポリイミドフィルムは、ガラス基板上に液状であるポリイミド材料（ポリイミドワニス）を、塗布装置（スリットコーター）によって薄く塗布し、その後、乾燥、焼成の工程を経て成膜される。ポリイミドフィルムに気泡が多く混入していると製品不良となることから、成膜の際、気泡の発生を防止することが重要である。従来、液状のポリイミド材料をガラス基板上へ塗布する前に、ポリイミド材料に含まれる溶存気体及びマイクロバブル等の気体が除去される。このために、撹拌式の脱泡装置が用いられる。特許文献１には、タンク内で液体を羽根により撹拌することで液体中に含まれる気体を浮上させて除去する撹拌式の脱泡装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１０３１１０公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示されている撹拌式の脱泡装置の場合、液体中の気体の除去を完了（脱泡完了）するためには、多くの時間を要する。特に、脱泡の対象となる液体が、粘度の高いポリイミド材料（例えば、３０００ｃｐの液体）である場合、顕著である。例えば、３〜４リットルのポリイミド材料の脱泡を完了するためには４時間程度、要する。前記のようなフレキシブルディスプレイの製造のために用いられる塗布装置の場合、タンクに溜めておく液体の必要量が、例えば２０リットル〜４０リットルとなることがある。このような多量の液体に対して、塗布の前に脱泡を完了するためには、従来の脱泡装置では時間がかかり過ぎ、生産効率が悪くなる。
【０００５】
そこで、本発明は、液体中に含まれている気体を短時間で除去することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、液体が流れる供給流路と、前記供給流路の下流側に設けられ当該供給流路よりも流路面積の小さい微細流路孔を複数有する微細流路要素と、内部に拡大空間を有し前記微細流路孔を通過した前記液体を溜めるタンクと、前記拡大空間を減圧する減圧機構と、を備える。この脱泡装置によれば、タンクの拡大空間が減圧されることで、供給流路の液体は微細流路孔を通過しタンク内に流れる。拡大空間は減圧されていることから、微細流路孔を通過した液体中に含まれる気体は発泡し、更に、その液体は、微細流路孔を通過するとオリフィス作用により減圧され、発泡が促進される。よって、液体中に含まれていた気体が短時間で除去される。
【０００７】
また、好ましくは、前記タンクは、前記微細流路要素から当該タンクの底部側に向かって、前記液体を遠回りして誘導する誘導路を有する。この誘導路によれば、微細流路要素を通過した液体の表面に泡が付着していても、液体を誘導路に沿って流す間にその泡を消滅させやすい。
【０００８】
また、好ましくは、前記微細流路要素の上流側に、前記供給流路よりも流路面積が拡大し前記液体を溜める液溜め空間が設けられている。この構成によれば、供給流路を流れた液体は、一旦、前記液溜め空間に入る。液溜め空間に入った液体は、微細流路要素の全体に広く分布して設けられている複数の微細流路孔から流出する。このため、タンク内の拡大空間に開放される液体の表面積が広くなり、発泡がより一層促進される。
【０００９】
本発明は、被塗布部材を載せるステージと、前記被塗布部材に対して液体を吐出するスリットを有する塗布器と、前記ステージ上の前記被塗布部材と前記塗布器との内の一方を他方に対して移動させる駆動機構と、前記塗布器に前記液体を供給する送液機構と、を備え、前記送液機構は、前記脱泡装置を有する。この塗布装置によれば、脱泡装置によって脱泡された液体が塗布器に供給され、被塗布部材に対して塗布器から当該液体が吐出され、被塗布部材上に薄膜が形成される。前記脱泡装置により、薄膜の形成の際に気泡の発生が防止される。更に、液体中に含まれていた気体が短時間で除去されることから、生産効率が良い。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の脱泡装置によれば、液体中に含まれている気体を短時間で除去することが可能となる。
本発明の塗布装置によれば、液体中に含まれていた気体が短時間で除去されることから、生産効率が良い。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】塗布装置の概略構成図である。
【図２】脱泡装置の概略構成を示す断面図である。
【図３】オリフィス作用を説明する図である。
【図４】微細流路要素の変形例を示す正面図である。
【図５】他の形態を有する脱泡装置の概略構成を示す断面図である。
【図６】微細流路要素の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
〔塗布装置について〕
図１は、塗布装置の概略構成図である。塗布装置１０は、ガラス等の基板（被塗布部材）７を載せるステージ１２と、塗布器１４と、駆動機構１６と、送液機構１８とを備える。塗布器１４は、スリット２０を有する。スリット１５からステージ１２上の基板７に対して液体９が吐出される。駆動機構１６は、ステージ１２上の基板７と塗布器１４との内の一方を他方に対して移動させる。本実施形態の駆動機構１６は、固定状態にあるステージ１２に対して塗布器１４を移動させる。このために、駆動機構１６は、塗布器１４を水平方向に移動させるための（図示しない）アクチュエータを備える。送液機構１８は、塗布器１４に液体９を供給する。
【００１３】
塗布器１４は、当該塗布器１４の移動方向に直交する方向に長い。塗布器１４内には、スリット２０の他に、スリット２０と繋がる拡大液溜め部（マニホールド）２２が形成されている。スリット１５及び拡大液溜め部２２は、塗布器１４の長手方向に沿って長く形成されている。送液機構１８は、液体９を溜める主タンク２４と、主タンク２４の液体９を送り出すポンプ２６と、ポンプ２６と塗布器１４（拡大液溜め部２２）とを繋ぐ配管２８とを有する。送液機構１８は、更に、液体９中の溶存気体及びマイクロバブル等の気体を除去するための脱泡装置３０を有する。図１に示す形態では、脱泡装置３０によって脱泡された液体９が主タンク２４に供給される。ポンプ２６が駆動することで、主タンク２４の液体９が塗布器１４に供給される。塗布器１４の拡大液溜め部２２に供給された液体９がスリット１５を通じて吐出される。この吐出に併せて駆動機構１６により塗布器１４が水平方向に移動する。これにより、基板７上に液体９による薄膜が形成される。
【００１４】
〔液体９について〕
本実施形態の液体９は、液状であるポリイミド材料（ポリイミドワニス）である。塗布装置１０は、基板７上に液体９としてポリイミド材料を塗布する。塗布後、液体９を乾燥及び焼成することで、基板７上にポリイミドフィルムが形成される。ポリイミド材料は、比較的、高粘度の液体である。その粘度は高く、例えば１０００ｃｐ以上である。本実施形態の塗布装置１０及び脱泡装置３０は、１０００ｃｐ以上である（７０００ｃｐ以下の）高粘度の液体９に対して好適であり、３０００ｃｐ以上である液体９に対して特に好適である。なお、液体９は、ポリイミド材料以外であってもよく、例えば他の樹脂を含むワニスであってもよい。また、脱泡装置３０によって脱泡を行う対象となる液体は、樹脂を含む液体以外であってもよく、その他として、様々な分野で用いられる液体であってもよい。また、脱泡装置３０によって脱泡を行う対象となる液体は、高粘度の液体以外であってもよい（つまり、１０００ｃｐ未満の液体であってもよい）。
【００１５】
〔脱泡装置３０について〕
図２は、脱泡装置３０の概略構成を示す断面図である。脱泡装置３０は、高粘度の前記液体９が流れる供給流路３２と、供給流路３２の下流側に設けられている微細流路要素３４と、内部に拡大空間４０を有するタンク３８と、拡大空間４０を減圧する（真空圧とする）減圧機構４２とを備える。脱泡装置３０は、更に、液体９が収容されている容器４４を備える。以下において、タンク３８を「（脱泡用の）副タンク３８」と称する。
【００１６】
供給流路３２は、配管により構成されている。供給流路３２の一端３３ａ側は、容器４４内の液体９中にある。供給流路３２の他端３３ｂ側が副タンク３８の壁部３９に接続されている。供給流路３２の途中には開閉バルブ４６が設けられている。開閉バルブ４６が開状態で液体９は供給流路３２を流れることができる。供給流路３２の流路径（内径）は、例えば、１０ミリメートル以上、１９ミリメートル以下である。なお、この流路径は供給流路３２における最小値である。
【００１７】
脱泡装置３０の説明において「上流側」及び「下流側」は液体９の流れる方向が基準とされる。つまり、液体９が収容されている容器４４中の供給流路３２の一端３３ａ側が上流側であり、液体９が排出される副タンク３８の底部４９側が下流側である。
【００１８】
本実施形態の微細流路要素３４は、板状の部材により構成されている。この板状の部材に、複数（多数）の微細流路孔３６が形成されている。微細流路孔３６は、板状の部材を、その厚さ方向に貫通した孔により構成されている。各微細流路孔３６は、供給流路３２よりも流路面積が小さい。微細流路孔３６の直径は、例えば０．１ミリメール以上、１．０ミリメートル以下である。微細流路孔３６を液体９は通過可能である。このように、微細流路要素３４は、供給流路３２の下流側に設けられていて、この供給流路３２よりも流路面積の小さい微細流路孔３６を複数有する。微細流路要素３４は、副タンク３８の上部側における壁部３９に取付けられている。
【００１９】
副タンク３８は、微細流路要素３４の下流側（供給流路３２の反対側）に設けられている。副タンク３８は、微細流路孔３６を通過した液体９を溜める。副タンク３８が有する拡大空間４０は、微細流路孔３６から拡大した空間である。副タンク３８は、密閉容器となる。副タンク３８が有する別の壁部４８に、第一の配管５０を通じて減圧機構４２が接続されている。副タンク３８の底部（底壁部）４９に、第二の配管５２が接続されている。第二の配管５２に開閉バルブ５４が設けられている。開閉バルブ５４が開状態で、副タンク３８の液体９を外部へ排出可能とする。排出された液体９は、外部装置（図１の形態では、主タンク２４）へと流れる。
【００２０】
壁部３９の構成について説明する。副タンク３８の壁の一部に孔が設けられており、この孔を塞ぐように板状である微細流路要素３４が設けられる。微細流路要素３４を覆うように、蓋部材５６が取付けられている。微細流路要素３４の周囲（縁部）にはシール部材（Ｏリング）３７が設けられている。蓋部材５６に供給流路３２が接続されている。蓋部材５６は微細流路要素３４と対面しかつ間隔をあけて設けられていて、これにより、蓋部材５６と微細流路要素３４との間に液溜め空間５８が設けられる。つまり、微細流路要素３４の上流側（直上流側）に、液溜め空間５８が設けられる。液溜め空間５８は、供給流路３２よりも流路面積が拡大している空間であり、供給流路３２を流れた液体９を溜めることができる。
【００２１】
副タンク３８は、内部に誘導路６０を有する。誘導路６０は、微細流路要素３４から副タンク３８の底部４９側に向かって、液体９を遠回りして（迂回して）誘導する。なお、前記「遠回り」とは、微細流路要素３４から副タンク３８に溜められている液体９の液面までの最短距離よりも、長い道のりを有することである。微細流路孔３６を通過した液体９は、下向きに流れ、誘導路６０の上部６２に到達する。上部６２に到達した液体９は、誘導路６０に沿って副タンク３８の底部４９側へ流れる。誘導路６０は、例えば凹溝を有する部材であり、この凹溝に沿って液体９が流れる。なお、誘導路６０は、凹溝を有する構造以外であってもよい。図２に示す誘導路６０は、複数の誘導部材６４ａ，６４ｂを含む。一つの誘導部材６４ａと他の誘導部材６４ｂとの間に、液体９の流れる方向が変化する折返し部６５が設けられている。誘導路６０は、上部６２から、副タンク３８に溜められている液体９（液面、又は、液面の近く）まで延びて設けられている。誘導路６０は、図示した形態以外であってもよい。例えば、誘導路６０は、図示しないが、螺旋状の誘導部材を有していてもよい。螺旋状とすることで「遠回り」をコンパクトに実現できる。
【００２２】
減圧機構４２は、真空ポンプを含む。減圧機構４２は、第一の配管５０を通じて副タンク３８内の気体を吸引し、拡大空間４０を減圧する（拡大空間４０を真空圧とする）。副タンク３８の外部は、大気圧であり、容器４４内も大気圧である。減圧機構４２によって拡大空間４０が大気圧に対して減圧されると、副タンク３８の内外の差圧によって、容器４４の液体９が副タンク３８に向かって供給流路３２を流れ、更に、その液体９は、微細流路孔３６を通過し拡大空間４０に到達する。
【００２３】
以上の構成を備える脱泡装置３０によれば、副タンク３８の拡大空間４０が減圧されることで、供給流路３２の液体９は微細流路孔３６を通過し副タンク３８内に流れる。拡大空間４０は減圧されていることから、微細流路孔３６を通過した液体９中に含まれる溶存気体及びマイクロバブル等の気体は発泡する。更に、その液体９は、微細流路孔３６を通過するとオリフィス作用により急激に減圧され、発泡が促進される。図３は、オリフィス作用を説明する図である。液体９が微細流路孔３６を通過すると、図３の上部の図に示すように、液体９の圧力はＱ１（ｐａ：パスカル）からＱ２（ｐａ：パスカル）に低下する。つまり、微細流路孔３６がオリフィスとしての機能を有する。本実施形態では、液体９が、微細流路孔３６を通じて、減圧された拡大空間４０（真空圧となる拡大空間４０）側へ吸い出される際に、拡大空間４０が真空圧であることによる作用と、前記オリフィス作用との相乗効果によって、急激に液体９の圧力が低下する。このため、液体９中の溶存気体及びマイクロバブルは気泡８となって拡大空間４０において析出する。これにより、液体９中の溶存気体及びマイクロバブルが液体９から除去される。発生した気泡８は副タンク３８内で潰れる。
【００２４】
図４は、微細流路要素３４の変形例を示す正面図である。微細流路要素３４は、円板状の部材であって、円形の範囲内に微細流路孔３６が多く設けられていてもよいが、図４に示すように、微細流路要素３４は、一方向に長い長尺状の板部材（正面視において、矩形の板部材）であってもよい。この一方向の直交方向（他方向）よりも、当該一方向に微細流路孔３６が多く並んで設けられている。そして、前記一方向が水平方向となって、副タンク３８に設けられる。下段において並ぶ微細流路孔３６と、その一つ上の段において並ぶ微細流路孔３６とは、前記一方向に沿う位置が異なっている。つまり、微細流路要素３４において、微細流路孔３６は千鳥配置にある。図２に示す形態（円板状）の場合、微細流路要素３４の全体の微細流路孔３６を液体９は通過するが、比較的下部の微細流路孔３６を通過した液体９は、上部の微細流路孔３６を通過した液体９に覆われやすい。このため、下部の微細流路孔３６を通過した液体９から脱泡した泡が、上部の微細流路孔３６を通過した多くの液体９に巻き込まれやすくなる。これに対して、図４に示す形態の場合、微細流路要素３４の上部から下部へと流れる液体９が少なくなるため、脱泡した泡の巻き込みが低減される。すなわち、微細流路孔３６は、上下方向よりも水平方向に多く並んで分布している構成が好ましい。
【００２５】
図２において、副タンク３８に溜められている液体９は脱泡が完了している。液体９は、副タンク３８の底部４９から第二の配管５２を通じて、外部装置（図１の形態では、主タンク２４）に供給される。この供給の際、減圧機構４２による副タンク３８内を減圧する動作は停止されている。副タンク３８の拡大空間４０を大気開放し（大気圧とし）、副タンク３８内の液体９を排出する。なお、図２に示す副タンク３８を主タンク２４（図１参照）と兼用させ、つまり、主タンク２４を省略し、副タンク３８の液体９を塗布器１４に供給するように構成してもよい。
【００２６】
〔脱泡装置の他の形態〕
図５は、他の形態を有する脱泡装置３０の概略構成を示す断面図である。以下において、図５に示す脱泡装置３０を「第二の形態」と称する。図２に示す脱泡装置３０と、同一の構成要素に対しては可能な限り同一の符号（参照番号）を付し、重複する説明は省略する。第二の形態では、図６に示すように、微細流路要素３４が円環状の部材により構成されていて、この円環状の部材に、微細流路孔３６が設けられている。微細流路孔３６は千鳥配置にある。また、微細流路孔３６は、上下方向よりも水平方向に多く並んで分布している。
【００２７】
図５に示すように、微細流路要素３４は、上側部材６６と下側部材６７とに挟まれた状態となって、副タンク３８の上部に設けられている。上側部材６６及び下側部材６７は円板状の部材である。供給流路３２が上側部材６６の中央を貫通するようにして副タンク３８に接続されている。上側部材６６と下側部材６７との間であって、環状である微細流路要素３４の内周側の領域が、液溜め空間５８となる。液溜め空間５８に、一旦、溜められた液体９が、微細流路孔３６を通過し、副タンク３８の拡大空間４０へと流れる。上側部材６６及び下側部材６７それぞれと微細流路要素３４との間にはシール部材（Ｏリング）６８が設けられている。第二の形態では、下側部材６７に誘導路６０の上部６２が取付けられている。誘導路６０は、筒状の部材により構成されている。微細流路要素３４から副タンク３８の底部４９側に向かって、液体９を遠回りして誘導するために、誘導路６０は、テーパー形状の筒部６９を有する。
【００２８】
前記の各形態において、微細流路要素３４を通過させて副タンク３８内に流入させる液体９の量（流量）を増加させるためには、微細流路孔３６の数を増やせばよい。第二の形態によれば、多くの微細流路孔３６が省スペースで設けられる。更に、第二の形態によれば、図４に示す微細流路要素３４と同様に、微細流路要素３４の上部から下部へと流れる液体９が少なくなるため、脱泡した泡の巻き込みが低減される（つまり、脱泡の効率が良い）。
【００２９】
第二の形態の場合、前記のとおり、微細流路孔３６の数を増やすことが容易であり、多くの液体９の脱泡が可能となる。このため、短時間で多くの液体９の脱泡が可能となる。そこで、副タンク３８の液体９の収容能力（容量）を高く（大きく）することで、副タンク３８は、図１に示す主タンク２４を兼ねることが可能となる。つまり、主タンク２４を省略できる。この場合、副タンク３８の拡大空間４０を大気開放して（大気圧として）、副タンク３８内の液体９が塗布器１４（図１参照）に供給される。なお、第二の形態の脱泡装置３０を図１に示す塗布装置１０に適用してもよく、脱泡用の副タンク３８に溜められている液体９を、主タンク２４に一旦送り、主タンク２４から塗布器１４へ液体９が送られるように構成されていてもよい。
【００３０】
〔各形態の脱泡装置３０について〕
以上のように、前記各形態の脱泡装置３０は、供給流路３２と、微細流路要素３４と、副タンク３８と、減圧機構４２とを備える。この脱泡装置３０によれば、副タンク３８の拡大空間４０が減圧機構４２によって減圧されることで、供給流路３２の液体９は微細流路孔３６を通過し副タンク３８内に流れる。拡大空間４０は減圧されていることから、微細流路孔３６を通過した液体９中に含まれる溶存気体及びマイクロバブル等の気体は発泡し、更に、その液体９は、微細流路孔３６を通過するとオリフィス作用により急激に減圧され、発泡が促進される。よって、容器４４内の液体９中に含まれていた気体が短時間で除去される。
【００３１】
このため、前記各形態の脱泡装置３０を備える塗布装置１０によれば、脱泡された液体９が塗布器１４に供給され、基板７に対して塗布器１４から当該液体９が吐出され、基板７上に薄膜が形成される。脱泡装置３０により、薄膜の形成の際に気泡の発生が防止される。更に、液体９中に含まれていた気体が短時間で除去されることから、生産効率が良い。塗布装置１０は、脱泡装置３０を複数備えていてもよく、複数の脱泡装置３０は、交互に主タンク２４（又は塗布器１４）と繋がって液体９を排出するように構成していてもよい。この場合、一つの脱泡装置３０において脱泡処理を行っている間、他の脱泡装置３０から脱泡済みの液体９を主タンク２４（又は塗布器１４）へ供給する。そして、前記他の脱泡装置３０において脱泡処理を行っている間、前記一つの脱泡装置３０から脱泡済みの液体９を主タンク２４（又は塗布器１４）へ供給する。このように、塗布装置１０は脱泡装置３０を複数備えていて、複数の脱泡装置３０を切り替えて使用してもよい。
【００３２】
前記各形態の脱泡装置３０において（図２、図５）、副タンク３８は、誘導路６０を有していて、誘導路６０は、微細流路要素３４から副タンク３８の底部４９側に向かって、液体９を遠回りして（迂回して）誘導する。この誘導路６０によれば、微細流路要素３４を通過した液体９の表面に泡が付着していても、液体９を誘導路６０に沿って流す間にその泡を消滅させることができる。なお、泡が残った状態であっても、その泡は、溜められている液体９の表層に残る。液体９は、副タンク３８の底部４９から外部へ排出されるので、泡が、外部装置である（図１に示す）主タンク２４及び塗布器１４へ供給されない。
【００３３】
前記各形態の脱泡装置３０において（図２、図５）、微細流路要素３４の上流側に、液溜め空間５８が設けられている。液溜め空間５８は、供給流路３２よりも流路面積が拡大していて、微細流路要素３４の直前で液体９を溜める。このため、供給流路３２を流れた液体９は、一旦、液溜め空間５８に入る。そして、液溜め空間５８に入った液体９は、微細流路要素３４の全体に広く分布して設けられている多くの微細流路孔３６から流出することができる。このため、副タンク３８内の拡大空間４０に開放される液体９の表面積が広くなり、発泡がより一層促進される。
【００３４】
〔その他〕
今回開示した実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の権利範囲は、上述の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の範囲に記載された構成と均等の範囲内でのすべての変更が含まれる。図４及び図６に示す微細流路要素３４では、微細流路孔３６が上下二列に設けられている場合について説明したが、列数（段数）は変更可能であり、三列以上であってもよい。また、微細流路要素３４の形状は、図示した形状以外であってもよい。副タンク３８における微細流路要素３４の設置位置及び設置姿勢等についても、図示した形態以外であってもよい。
【符号の説明】
【００３５】
７：基板（被塗布部材）    ９：液体                １０：塗布装置
１２：ステージ            １４：塗布器            １５：スリット
１６：駆動機構            １８：送液機構          ３０：脱泡装置
３２：供給流路            ３４：微細流路要素      ３６：微細流路孔
３８：副タンク（タンク）  ４０：拡大空間          ４２：減圧機構
４９：底部                ５８：液溜め空間        ６０：誘導路
【図１】
2020059005.tif 000003
【図２】
2020059005.tif 000004
【図３】
2020059005.tif 000005
【図４】
2020059005.tif 000006
【図５】
2020059005.tif 000007
【図６】
2020059005.tif 000008