(57)【要約】【課題】搬送時におけるワークの位置ずれや脱落を確実に防止する。【解決手段】吸着装置１０は、負圧流体の供給される供給通路３０を内部に有したアダプタ１２と、該アダプタ１２の先端に連結されるベローズ１４と、該ベローズ１４の先端に設けられワークＷを吸着するパッド部１６とを有し、前記供給通路３０及び前記ベローズ１４を通じて前記パッド部１６へと供給される前記負圧流体によって前記ワークＷを吸着する。このベローズ１４の内部には、該ベローズ１４の軸線に対して傾動自在なアタッチメント１８が設けられ、該アタッチメント１８は、その本体部４２が前記スカート４０の吸着面４０ａに臨むように設けられ、シャフト部４４が前記ワークＷの吸着時に前記供給通路３０内へ挿入される。【選択図】図２
2020023023.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧流体の供給される通路を内部に有したボディと、該ボディの端部に連結されるベローズと、該ベローズの端部に設けられワークを吸着する吸着部とを有し、前記通路及び前記ベローズを通じて前記吸着部へと供給される前記負圧流体によって前記ワークを吸着する吸着装置において、
前記ベローズの内部には、該ベローズの軸線に対して傾動自在な傾動部材が設けられ、該傾動部材は、軸方向に沿った一端部が前記吸着部において前記ワークを吸着する吸着面に臨むように設けられ、他端部が前記ワークの吸着時に前記通路内へ挿入されると共に、前記吸着面と連通し前記負圧流体の流通する流路を内部に備える、吸着装置。
【請求項２】
請求項１記載の吸着装置において、
前記傾動部材の他端部には、略球面状に形成され前記通路の内周面に当接可能な球面部を有する、吸着装置。
【請求項３】
請求項２記載の吸着装置において、
前記通路には、前記ベローズ側に向かって徐々に拡径するテーパ部を有し、前記テーパ部に対して前記球面部が当接する、吸着装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の吸着装置において、
前記傾動部材は、前記一端部側が前記ベローズの端部に係合される、吸着装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の吸着装置において、
前記傾動部材の他端部側には軸方向に沿って延在する軸部を有し、前記軸部が、前記ベローズの内周部に対して所定間隔離間して設けられる、吸着装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の吸着装置において、
前記吸着部の吸着面には、前記ワーク側に向かって突出した複数のリブを備える、吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、負圧流体の供給作用下にワークを吸着して搬送することが可能な吸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、供給された負圧流体によってワークを吸着して搬送するための吸着装置が知られており、この吸着装置では、例えば、吸着パッドに対して傾いたワークを吸着することがあり、このような場合には、該吸着パッドが前記ワークに密着せずに負圧流体が該ワークに対して有効に作用せずに吸着不良となることがある。
【０００３】
そこで、上述したような課題を解決するために、特許文献１に開示された吸着装置では、取付具の下端に中空状の接続ねじが接続され、その下端部に球状のボールジョイントが設けられている。そして、吸着パッドを保持するボールサポートが、ボールジョイントに対して回動自在に保持される。これにより、ワークが吸着パッドに対して傾いている場合でも、ボールジョイントを介してボールサポートと共に吸着パッドが傾動することで前記ワークへと密着させて吸着できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実公平５−３５９７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したような吸着装置において、例えば、フィルムから袋状に形成され流動性を有した内容物の充填されたワークを搬送する場合には、搬送時に働く慣性によって内容物がワーク内で移動し、それに伴って、前記ワークが吸着パッドに対して揺動することがある。これにより、例えば、ワークに働く慣性力が吸着パッドによる吸着力に対して大きい場合には、前記吸着パッドに対して前記ワークがすべってしまい位置ずれが生じたり、前記ワークが高速で搬送される場合は、吸着パッドから前記ワークが脱落してしまうおそれがある。
【０００６】
本発明は、前記の課題を考慮してなされたものであり、搬送時におけるワークの位置ずれや脱落を確実に防止することが可能な吸着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記の目的を達成するために、本発明の態様は、負圧流体の供給される通路を内部に有したボディと、ボディの端部に連結されるベローズと、ベローズの端部に設けられワークを吸着する吸着部とを有し、通路及びベローズを通じて吸着部へと供給される負圧流体によってワークを吸着する吸着装置において、
ベローズの内部には、ベローズの軸線に対して傾動自在な傾動部材が設けられ、傾動部材は、軸方向に沿った一端部が吸着部においてワークを吸着する吸着面に臨むように設けられ、他端部がワークの吸着時に通路内へ挿入されると共に、吸着面と連通し負圧流体の流通する流路を内部に備える。
【０００８】
本発明によれば、吸着装置においてボディと吸着部との間に設けられたベローズの内部には、ベローズの軸線に対して傾動自在な傾動部材が設けられ、傾動部材は、軸方向に沿った一端部が吸着部においてワークを吸着する吸着面に臨むように設けられ、他端部がワークの吸着時に通路内へ挿入されると共に、その内部には吸着面と連通し負圧流体が流通する流路を備えている。
【０００９】
従って、流動性の内容物が収納されたワークを吸着装置によって吸着して搬送する際に、ワークに対して働く慣性力によって内容物が移動してワークの形状（重心位置）が変化した場合でも、ワークの重心位置の変化に追従して傾動部材がベローズ内で傾動することで対応させることができると共に、他端部が通路内でボディに当接することで傾動量が規制される。
【００１０】
その結果、吸着装置で吸着されたワークの搬送途中において、ワークに対して慣性力が働いて形状及び重心位置が変化した場合でも、傾動部材の傾動動作によって吸着装置に対するワークの脱落や位置ずれが確実に防止され、ワークの吸着状態を確実に維持したままで所定の位置へと搬送することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００１２】
すなわち、ボディと吸着部との間に設けられたベローズの内部には、ベローズの軸線に対して傾動自在な傾動部材を備え、軸方向に沿った一端部を吸着部の吸着面に臨むように設け、他端部をワークの吸着時に通路内へ挿入するように設けることで、流動性の内容物が収納されたワークを吸着装置によって吸着して搬送する際に、慣性力によってワークの重心位置が変化して形状が変化した場合でも、傾動部材がベローズ内で傾動することでワークの重心位置の変化に対応させることができると共に、他端部が通路内でボディに当接することで傾動量が好適に規制される。
【００１３】
その結果、吸着装置で吸着されたワークの搬送途中において、ワークに対して慣性力が働いた場合でも、傾動部材が好適に傾動動作することでワークの脱落や位置ずれが確実に防止される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る吸着装置の全体断面図である。
【図２】図１の吸着装置におけるパッド部及びアタッチメント近傍の拡大断面図である。
【図３】図１の吸着装置によってワークを吸着して上方へと移動させた状態を示す動作説明図である。
【図４】図３の吸着装置において搬送途中にワークに慣性が働いて揺動した状態を示す動作説明図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係る吸着装置の全体断面図である。
【図６】図５のパッド部側から見た吸着装置の正面図である。
【図７】図６の吸着装置においてワークを吸着した状態のパッド部の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明に係る吸着装置について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。図１において、参照符号１０は、本発明の第１の実施の形態に係る吸着装置を示す。
【００１６】
この吸着装置１０は、図１〜図４に示されるように、図示しない負圧供給装置に配管を介して接続されるアダプタ（ボディ）１２と、該アダプタ１２の下端部に連結されるベローズ１４と、該ベローズ１４の下端部（先端）に形成されたパッド部（吸着部）１６と、前記ベローズ１４及びパッド部１６の内部に収納されるアタッチメント（傾動部材）１８とを含む。
【００１７】
アダプタ１２は、例えば、金属製材料から円筒状に形成され、その下端部にはベローズ１４の連結される連結部２０が形成され、上端部には継手２２の接続されるねじ部２４が形成されると共に、前記連結部２０と前記ねじ部２４との間には、軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）と直交方向に突出したフランジ部２６が形成されている。
【００１８】
そして、フランジ部２６には、ねじ部２４側（矢印Ａ方向）となる端面に環状溝を介してシールリング２８が装着されている。そして、アダプタ１２に対して継手２２を接続する際、前記継手２２がシールリング２８へと当接することで、両者の間を通じた負圧流体の漏出が防止される。
【００１９】
また、アダプタ１２の内部には、連結部２０、フランジ部２６及びねじ部２４を貫通するように軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って供給通路（通路）３０が形成され、この供給通路３０には、前記ねじ部２４に接続された継手２２及び配管を通じて負圧供給装置（図示せず）から負圧流体が供給される。さらに、供給通路３０には、連結部２０の内側となる位置に下方となるベローズ１４側（矢印Ｂ方向）に向かって徐々に拡径したテーパ部３２が形成される。
【００２０】
ベローズ１４は、例えば、弾性を有したゴム等から円筒状に形成され、軸方向に伸縮及び屈曲自在な蛇腹構造を有している。ベローズ１４の上端には、一定径で円筒状に形成された筒部３４を有し、該筒部３４がアダプタ１２の連結部２０を覆うように装着されることで、該アダプタ１２の下端部に対して同軸上に連結される。
【００２１】
また、ベローズ１４には、その軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って交互となるように拡径した環状山部３６と縮径した環状谷部（内周部）３８とが形成され、その下端にはワークＷ（図３及び図４参照）に対して接触して吸着するパッド部１６が一体的に形成されている。
【００２２】
なお、中空状に形成されたベローズ１４の内部は、負圧流体が供給され流通する流路として機能し、前記負圧流体の供給作用下にアダプタ１２側（矢印Ａ方向）に向かって軸方向に収縮する。
【００２３】
パッド部１６は、ベローズ１４の下端に設けられるスカート４０を有し、前記スカート４０は、例えば、ベローズ１４と同様の弾性を有したゴム等から薄膜状で環状に形成され、下方（矢印Ｂ方向）に向かって斜め方向に拡開するように形成されると共に撓曲自在に形成される。そして、スカート４０は、その先端がワークＷ（図３参照）に対して接触する部位となる。なお、このスカート４０は、ベローズ１４とは別の材質で２色成形等によって形成してもよい。
【００２４】
アタッチメント１８は、例えば、樹脂製材料から形成され、パッド部１６側（矢印Ｂ方向）となるベローズ１４の先端に係合される本体部４２と、該本体部４２の中心からアダプタ１２側（矢印Ａ方向）に向かって延在するシャフト部（軸部）４４とを有する。この本体部４２及びシャフト部４４は、吸着装置１０の軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って一直線状に形成されている。
【００２５】
本体部４２は、パッド部１６側となる一端部側からシャフト部４４側（矢印Ａ方向）に向かって徐々に拡径した円錐状に形成され、ベローズ１４における最も下方（矢印Ｂ方向）の環状山部３６の内側に係合されることで該ベローズ１４の下端部中央に一体的に保持される。
【００２６】
また、本体部４２の一端部中央は、ワークＷから離間する方向（矢印Ａ方向）に向かって凹状となる断面円弧状に形成され、中央に開口した第１連通孔４６と、該第１連通孔４６の外周側に開口した複数の第２連通孔４８とを有し、前記第１及び第２連通孔４６、４８は、本体部４２を軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に貫通するように形成されている。
【００２７】
シャフト部４４は、図１及び図２に示されるように、負圧流体の供給されていないワークＷの非吸着時において、ベローズ１４の内部に収納され、該ベローズ１４の環状谷部３８に対して径方向に所定間隔離間して設けられ、本体部４２の中央から所定長さだけ軸方向に突出するように形成されている。
【００２８】
また、シャフト部４４の上端部には略球面状に形成された球面部５０が形成され、図３及び図４に示されるように、負圧流体が供給されたワークＷの吸着時において、ベローズ１４が軸方向（矢印Ａ方向）に収縮することで、前記上端部がアダプタ１２の供給通路３０内に挿入され、球面部５０がテーパ部３２に臨む位置となる。
【００２９】
さらに、シャフト部４４の中心には軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って貫通した貫通孔５２が形成され、第１連通孔４６とベローズ１４の内部とが前記貫通孔５２によって連通している。
【００３０】
また、シャフト部４４の外周面には、径方向内側に向かって窪んだ複数の連通溝５４が形成され、この連通溝５４は軸方向に沿って延在し、ベローズ１４の内部と本体部４２の第２連通孔４８とを連通させている。
【００３１】
そして、アタッチメント１８は、ベローズ１４及びパッド部１６の内部において、吸着装置１０の軸線Ｌに対して所定角度θ（図４参照）だけ傾動自在に設けられている。
【００３２】
本発明の第１の実施の形態に係る吸着装置１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、ここでは、図３及び図４に示されるように、薄膜のフィルムを袋状として内部に流動性の内容物を収納したワークＷを吸着して搬送する場合について説明する。
【００３３】
先ず、吸着装置１０を図示しない搬送装置のアーム等に装着して移動自在に設けると共に、図示しない負圧供給装置に対して配管及び継手２２を介してアダプタ１２を接続しておく。
【００３４】
このような準備作業を経た後、図示しない搬送装置のアームの操作に基づいて吸着装置１０を下方（矢印Ｂ方向）へと変位させ、床面等に載置されたワークＷの上部に対してスカート４０を密着させると共に、図示しない負圧供給装置から配管及び継手２２を介してアダプタ１２の供給通路３０へと負圧流体を供給する。
【００３５】
この際、ワークＷが傾いていたり、該ワークＷの上部が平坦でない場合でも、前記ワークＷに応じてベローズ１４が伸縮動作したり、パッド部１６が弾性変形することで、前記ワークＷの傾き等に追従して前記パッド部１６を確実に密着させることが可能となる。
【００３６】
そして、パッド部１６のスカート４０がワークＷの表面に密着し、アダプタ１２の供給通路３０へと供給された負圧流体が、ベローズ１４の内部を通じてアタッチメント１８の貫通孔５２、連通溝５４から第１及び第２連通孔４６、４８を通じてパッド部１６の内部空間へと供給される。
【００３７】
これにより、図３に示されるように、スカート４０の吸着面４０ａとワークＷとの間に供給された負圧流体によって前記ワークＷの上部がスカート４０及びアタッチメント１８の本体部４２の下端部に沿うように上方に向かって凸状に変形して吸着されると同時に、ベローズ１４が軸方向に沿って上方（矢印Ａ方向）へと収縮し、アタッチメント１８の上端部がアダプタ１２の供給通路３０内へと挿入される。
【００３８】
そして、図３に示されるように、吸着装置１０でワークＷを吸着した状態で図示しない搬送装置のアームによって上方（矢印Ａ方向）へと移動させることで、前記ワークＷは、その内容物の重量によって重力方向下方（矢印Ｂ方向）へと撓むように変形し、それに伴って、前記スカート４０が、吸着している前記ワークＷの上部形状に追従するように弾性変形して下方に向かって撓曲した湾曲形状となる。
【００３９】
このワークＷの吸着された吸着装置１０を、例えば、搬送装置によって略水平方向に移動させて所定位置へと搬送する。この際、図４に示されるように、搬送中における吸着装置１０（ワークＷ）の搬送方向（矢印Ｃ方向）とは反対方向（矢印Ｄ方向）に生じる慣性によってワークＷの内部で内容物が移動し、それに伴って、袋状のワークＷが変形すると同時に重心位置が変化する。
【００４０】
すなわち、ワークＷに対して慣性力が働くことで、吸着装置１０に吸着されていないワークＷの重心位置が慣性の働く方向（矢印Ｄ方向）へと移動し、それに伴って、前記ワークＷの下部が前記慣性の働く方向へと変形する。
【００４１】
このワークＷの変形（重心位置の変化）に伴って、慣性の働いている方向（矢印Ｄ方向）へとスカート４０がさらに弾性変形すると共に、アタッチメント１８の本体部４２が前記ワークＷを吸着した状態で、吸着装置１０の軸線Ｌに対して前記ワークＷの移動方向（慣性の働いている方向）に所定角度θだけ傾斜するように傾動する。また、アタッチメント１８の傾動に伴って、慣性の働いている方向（矢印Ｄ方向）のベローズ１４がさらに軸方向に圧縮され、慣性の働いている方向とは反対方向、すなわち、吸着装置１０の移動方向（矢印Ｄ方向）となるベローズ１４が若干だけ軸方向に伸長するように変形する。
【００４２】
これにより、パッド部１６及びアタッチメント１８と共にベローズ１４も若干だけ吸着装置１０の軸線Ｌに対して傾斜している。
【００４３】
このように、ワークＷの重心位置が移動して形状変化した場合でも、前記ワークＷを吸着しているパッド部１６及びアタッチメント１８を好適に慣性力の働く方向（矢印Ｄ方向）へと追従させることができるため、前記パッド部１６及びアタッチメント１８がワークＷの上部に密着して吸着した状態を確実に維持することが可能となり、搬送途中においてワークＷに働く慣性力によってパッド部１６における所定の吸着位置から該ワークＷが滑って位置ずれしてしまったり脱落してしまうことが防止される。
【００４４】
また、搬送中に働く慣性によってワークＷが変形してアタッチメント１８が傾動した際、シャフト部４４の球面部５０がアダプタ１２のテーパ部３２へと接触することでさらなる傾動動作が規制されるため、前記ワークＷの慣性による移動量（変形量）で抑制して保持することができる。換言すれば、アタッチメント１８を傾動させて該ワークＷを揺動可能とすることで、ワークＷに働く慣性力を吸収することが可能となる。
【００４５】
そして、ワークＷが所定位置へと到達した後に、供給通路３０に対する負圧流体の供給を停止することで、吸着装置１０のパッド部１６によるワークＷの吸着状態が解除される。
【００４６】
以上のように、第１の実施の形態では、吸着装置１０を構成するベローズ１４の内部にアタッチメント１８を傾動自在に収納し、前記アタッチメント１８の一端部に設けられた本体部４２をパッド部１６の吸着面４０ａに臨むように設け、他端部に形成されたシャフト部４４を、前記ワークＷの吸着時にアダプタ１２の供給通路３０内に挿入可能としている。
【００４７】
従って、流動性の内容物を収納した袋状のワークＷを吸着装置１０で吸着してアタッチメント１８が傾動した場合に、前記ワークＷに対して付与される慣性力によって内容物が移動して該ワークＷの重心位置が変化して形状変化した場合でも、パッド部１６のスカート４０が弾性変形すると同時にアタッチメント１８がベローズ１４内で傾動することで、前記ワークＷの重心位置の変化に追従させ形状の変化に対応させることができる。
【００４８】
その結果、吸着装置１０で吸着されたワークＷの搬送途中において、前記ワークＷに対して大きな慣性力が働いた場合でも、ワークＷに対してパッド部１６を密着させて吸着した状態を維持できるため、前記ワークＷの脱落やパッド部１６に対する位置ずれが確実に防止され、吸着状態を確実に維持して所定の位置へと搬送することができる。
【００４９】
また、アタッチメント１８のシャフト部４４には、アダプタ１２における供給通路３０のテーパ部３２へと当接可能な球面部５０を有している。そのため、ワークＷに慣性力が働くことで前記球面部５０がテーパ部３２へと当接することで、該アタッチメント１８のさらなる傾動動作を規制することができる。その結果、慣性によるワークＷの過大な形状変化及び慣性の働く方向への移動が好適に防止される。
【００５０】
さらに、アタッチメント１８のシャフト部４４の外周面に複数の連通溝５４を設けることで、貫通孔５２のみを通じて負圧流体をパッド部１６へと供給する場合と比較し、ベローズ１４内に供給された負圧流体のパッド部１６への供給量を増加させることができるため、前記パッド部１６におけるワークＷの吸着性能を高めることができる。
【００５１】
さらにまた、アタッチメント１８における本体部４２の一端部（下端部）を、上方に向かって凹状となる断面円弧状の曲面とすることで、ワークＷを吸着した際に第１及び第２連通孔４６、４８への吸い込みを防止することができ、吸着不良の発生を確実に回避することができる。
【００５２】
またさらに、吸着装置１０において、ベローズ１４の内部にアタッチメント１８のシャフト部４４を設けることにより、慣性によってワークＷが揺動して前記ベローズ１４が前記吸着装置１０の軸線Ｌに対して傾動した場合でも、その環状谷部３８が前記アタッチメント１８のシャフト部４４へと接触することで、前記ベローズ１４のさらなる変形が規制される。すなわち、アタッチメント１８のシャフト部４４を設けることで、該シャフト部４４を設けていない場合と比較して、ワークＷが揺動した際のベローズ１４の変形量を抑制することが可能となる。なお、ベローズ１４における環状谷部３８とシャフト部４４の径方向のクリアランスは、両者が接触することがない程度に適宜設定するとよい。
【００５３】
また、上述したようにワークＷの搬送中におけるベローズ１４の変形を防止可能な構成とすることで、パッド部１６の変形も抑制され、それに伴って、前記パッド部１６に対するワークＷの位置ずれを防止することが可能となる。
【００５４】
次に、第２の実施の形態に係る吸着装置７０を図５〜図７に示す。なお、上述した第１の実施の形態に係る吸着装置１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００５５】
この第２の実施の形態に係る吸着装置７０では、パッド部７２においてワークＷを吸着するスカート７４の吸着面７４ａに複数の第１及び第２リブ７６、７８が設けられている点で、第１の実施の形態に係る吸着装置１０と相違している。
【００５６】
この吸着装置７０では、図５〜図７に示されるように、パッド部７２を構成するスカート７４において、該ワークＷ側（矢印Ｂ方向）となる吸着面７４ａに、アタッチメント１８の本体部４２の外縁部に臨むように形成された複数の第１リブ７６と、該第１リブ７６に対して外周側に設けられる複数の第２リブ７８とを備える。
【００５７】
この第１及び第２リブ７６、７８は、スカート７４の吸着面７４ａに対してワークＷ側へとそれぞれ所定高さだけ突出して形成される。なお、ここでは、１５個の第１及び第２リブ７６、７８がスカート７４にそれぞれ設けられる場合について説明する。
【００５８】
第１リブ７６は、図６に示されるように吸着装置７０の軸方向から見て、スカート７４の内周側に底部を有し外周側に開口した断面Ｖ字状に形成され、外周側の二股状となった外周側端部には、中央の凹部８０側に向かって傾斜した傾斜部８２が形成されている。すなわち、第１リブ７６は、凹部８０を挟んで一方の傾斜部８２と他方の傾斜部８２とが対称形状で対となるように形成されている。
【００５９】
そして、複数の第１リブ７６は、スカート７４の周方向（矢印Ｅ方向）に沿って互いに等間隔離間するように配置され、隣接する２つの第１リブ７６の間に負圧流体の供給される供給路８４がそれぞれ形成される。この第１リブ７６及び供給路８４は、スカート７４の径方向に沿って放射状となるように延在している。
【００６０】
また、第１リブ７６及び供給路８４の内側に臨むようにアタッチメント１８のガイド溝８６が配置されている。
【００６１】
第２リブ７８は、図６に示されるように吸着装置７０の軸方向から見て、スカート７４の外周側に向かって突出して折曲された断面Ｖ字状に形成され、隣接して配置される２つの第１リブ７６のうち、一方の第１リブ７６の外周側端部と他方の第１リブ７６の外周側端部とに跨るように配置されている。
【００６２】
すなわち、第２リブ７８は、隣接する第１リブ７６の間に形成された供給路８４に臨んだ中央部が最もスカート７４の外周側へと突出した頂部８８となり、この頂部８８から両端に向かって徐々に第１リブ７６の外周側端部へと接近するようにそれぞれ径方向内側へ傾斜して形成される。
【００６３】
なお、第２リブ７８の頂部８８を中心とした傾斜角度は、第１リブ７６における傾斜部８２の角度と略同一角度となるように形成されている。
【００６４】
次に、上述した吸着装置７０でワークＷを吸着する場合について説明する。ここでも、薄膜のフィルムを袋状として内部に流動性の内容物を収納したワークＷを吸着して搬送する場合について説明する。
【００６５】
先ず、この吸着装置７０に対して図示しない負圧供給装置から配管及び継手２２を介してアダプタ１２の供給通路３０へと負圧流体を供給すると共に、パッド部７２のスカート７４をワークＷの表面に密着させることで、アダプタ１２の供給通路３０へと供給された負圧流体が、ベローズ１４の内部を通じてアタッチメント１８の第１及び第２連通孔４６、４８からパッド部７２の内部空間へと供給される。そして、第２連通孔４８へ供給された負圧流体の一部が、ガイド溝８６を通じて外周側となるスカート７４側へと流れ、各供給路８４に沿って外周側へと流れる。
【００６６】
その結果、スカート７４の密着したワークＷの上部が負圧流体によってパッド部７２に対して吸着されると同時に、ベローズ１４が軸方向に収縮する。この際、スカート７４の外縁部が平坦状のワークＷの上部へと密着しているため、各供給路８４に沿って外周側へと供給される負圧流体が外部へと漏出してしまうことがなく、ワークＷに対する吸着力が維持される。
【００６７】
また、ワークＷの搬送中において内容物の移動によって形状が変化した場合、スカート７４の弾性変形に伴って、図７に示されるように、複数の各第１リブ７６が互いに周方向（矢印Ｅ方向）に接近し、且つ、第２リブ７８が前記第１リブ７６の外周側端部側へと接近して該外周側端部と当接すると共に、前記第１リブ７６と前記第２リブ７８とが互いに径方向にも接近することで、供給路８４の外周側が前記第２リブ７８によって塞がれた状態となる。
【００６８】
さらに、スカート７４の弾性変形に伴って、第２リブ７８の両端が互いに接近するように曲がることで、第１リブ７６の傾斜部８２へと当接して供給路８４が塞がれる。
【００６９】
そのため、スカート７４において各供給路８４を通じて外周側へと供給される負圧流体が、第２リブ７８によって該供給路８４からさらに外周側へと流れることがなく、前記第２リブ７８、第１リブ７６に囲まれた供給路８４内に保持され、各供給路８４内に保持された負圧流体によって変形したワークＷの上部が確実且つ好適に吸着される。
【００７０】
また、吸着したワークＷによってアタッチメント１８の下面が覆われた場合でも、第２連通孔４８と連通して外周側へと延在したガイド溝８６によって負圧流体が確実にスカート７４の各供給路８４へと供給されることで、ワークＷに対する吸着力が維持される。
【００７１】
以上のように、第２の実施の形態では、吸着装置７０を構成するパッド部７２の吸着面７４ａに、ワークＷ側に向かって突出した複数の第１及び第２リブ７６、７８を設けることで、搬送途中にワークＷの形状が変化した場合でも、スカート７４の弾性変形に伴って第２リブ７８が第１リブ７６の外周側端部を覆うことで各供給路８４の外側を塞いで負圧流体の漏出を防止できる。そのため、ワークＷに対してスカート７４を密着させた状態で負圧流体を確実に保持できるため、前記ワークＷに対する吸着力を維持して確実且つ安定的に吸着し続けることが可能となる。
【００７２】
さらに、ワークＷを搬送させる際に該ワークＷに対して慣性力が働いた場合でも、アタッチメント１８をベローズ１４の内部で軸線に対して傾動させることで前記ワークＷの重心位置の変化に追従させ形状の変化に対応させることができ、常にパッド部７２をワークＷに対して密着させ吸着した状態とすることで、前記ワークＷの脱落や位置ずれを確実に防止して吸着状態を維持しながら所定の位置へと搬送することが可能となる。
【００７３】
なお、本発明に係る吸着装置は、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【符号の説明】
【００７４】
１０、７０…吸着装置                １２…アダプタ
１４…ベローズ                      １６、７２…パッド部
１８…アタッチメント                ３０…供給通路
３２…テーパ部                      ４０、７４…スカート
４２…本体部                        ４４…シャフト部
５０…球面部                        ５４…連通溝
７６…第１リブ                      ７８…第２リブ
８４…供給路                        ８６…ガイド溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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