(57)【要約】【課題】  加工穴入口から出口に向かって穴径が大きくなる精密なテーパ穴加工を短時間で行える細穴放電加工機によるテーパ穴の加工方法および同方法に使用する細穴放電加工機の提供。【解決手段】  電極ホルダ27を回転可能に設けると共に、該電極をワークに対して自転させながら給送する細穴放電加工機において、ワーク直上の位置において前記電極の下端部を揺動可能に軸支する軸支する電極ガイドと、該電極ガイドの上方に位置する水平面内において前記電極に前記電極ガイドを支点にした円運動を与える偏心ガイド手段40とを備えた電極ガイド装置41を昇降可能に設け、前記偏心ガイド手段により前記電極に前記水平面内において前記電極ガイドを支点にした円運動を与えながら前記ワークに対して該電極を給送することにより、加工穴入口から出口に向かって穴径が大きくなるテーパ穴を加工することを特徴とする細穴放電加工機。【選択図】 図３
2010131689.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
棒状電極の上端部を保持する電極ホルダと、ワーク直上の位置において前記電極の下端部を揺動可能に軸支する電極ガイドとを有し、前記電極ホルダによって把持された前記電極を前記ワークに対して自転させながら給送する細穴放電加工装置において、前記電極ガイドの上方に位置する水平面内において、前記電極に前記電極ガイドの電極軸支部を支点にした円運動を与えながら前記ワークに対して該電極を給送することにより、加工穴入口から出口に向かって穴径が大きくなるテーパ穴を加工することを特徴とする細穴放電加工機によるテーパ穴の加工方法。
【請求項２】
上下方向に位置決め自在のスライドに棒状電極の上端部を保持する電極ホルダを回転可能に設けると共に、該電極ホルダによって把持された前記電極をワークに対して自転させながら給送する細穴放電加工機において、前記ワーク直上の位置において前記電極の下端部を揺動可能に軸支する軸支する電極ガイドと、該電極ガイドの上方に位置する水平面内において前記電極に前記電極ガイドを支点にした円運動を与える偏心ガイド手段とを備えた電極ガイド装置を昇降可能に設け、前記偏心ガイド手段により前記電極に前記水平面内において前記電極ガイドを支点にした円運動を与えながら前記ワークに対して該電極を給送することにより、加工穴入口から出口に向かって穴径が大きくなるテーパ穴を加工することを特徴とする細穴放電加工機。
【請求項３】
上下方向に位置決め自在のスライドに棒状電極の上端部を保持する電極ホルダを設け、該電極ホルダによって把持された前記電極をワークに対して給送する細穴放電加工機において、前記ワーク直上の位置において前記電極の下端部を揺動可能に軸支する電極ガイドと、該電極ガイドの上方に位置する水平面内の円軌道上に前記電極を公転自在にガイドする公転ガイドとを同軸に設けた電極ガイド装置を昇降可能に設け、前記電極ホルダを前記電極ガイド装置の軸心に対して偏心回転可能に設け、該電極ホルダを偏心回転させることにより、前記電極に前記水平面内において前記電極ガイドを支点にした円運動を与えながら前記ワークに対して該電極を給送し、加工穴入口から出口に向かって穴径が大きくなるテーパ穴を加工することを特徴とする細穴放電加工機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は細穴放電加工機によるテーパ穴の加工方法および同方法に使用する細穴放電加工機に関する。
【背景技術】
【０００２】
細穴放電加工機によるテーパ穴加工方法としては、まず、被加工材に貫通する下穴を明けるべく、棒状の加工電極をＺ軸駆動手段によりＺ軸方向（Ｘ軸方向とＹ軸方向に直交する方向）に放電電流を流しながら下降させて、ＸＹテーブル上に載置された被加工材に下穴加工を行い、加工電極が被加工材を貫通したら、次いで、その貫通位置から棒状の加工電極をＺ軸方向に上昇ささながら、被加工材に小さな円弧の円運動から徐々に大きくなる円弧の円運動を行わせるようにＸＹテーブルをＮＣ装置により制御することにより、被加工材に上方に開いた漏斗状のテーパ穴加工を行う方法がある（例えば、特許文献１）。
【０００３】
細穴放電加工機による別のテーパ穴加工方法としては、まず、被加工材を貫通する下穴を明け、次いで貫通完了位置で放電を維持した状態で適宜な時間だけ棒状電極の下降を停止させることにより、棒状電極の下方に生ずる電極の振動を利用して出口側の穴径を僅かに拡大する方法がある。
【特許文献１】特開２００２−１１３６１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１に記載のテーパ穴加工方法は、加工穴の入口径が出口径より大きなテーパ穴の加工を行う方法であり、表面側からしか加工が出来ない形状部品、例えば、パイプの側面や中空の球体等に加工穴入口から出口に向かって穴径が大きくなるテーパ穴を加工することは不可能である。また、テーパ穴加工が２工程となるため加工時間が長く、かつまた、Ｘ軸とＹ軸との２軸を制御してテーパ穴加工を行うための複雑な制御プログラムも必要となり加工コストが高くなるという問題がある。
【０００５】
後述の別のテーパ穴加工方法は加工方法は簡単ではあるが、出口穴径を制御することが出来ないので精密なテーパ穴の加工は不可能であり、かつ加工時間が長くなり加工コストが高くなるという問題がある。
【０００６】
本発明は上述の如き問題を解決するためになされたものであり、本発明の課題は、加工穴入口から出口に向かって穴径が大きくなる精密なテーパ穴加工を短時間で行える細穴放電加工機によるテーパ穴の加工方法および同方法に使用する細穴放電加工機を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する手段として請求項１に記載の細穴放電加工機によるテーパ穴の加工方法は、棒状電極の上端部を保持する電極ホルダと、ワーク直上の位置において前記電極の下端部を揺動可能に軸支する電極ガイドとを有し、前記電極ホルダによって把持された前記電極を前記ワークに対して自転させながら給送する細穴放電加工装置において、前記電極ガイドの上方に位置する水平面内において、前記電極に前記電極ガイドの電極軸支部を支点にした円運動を与えながら前記ワークに対して該電極を給送することにより、加工穴入口から出口に向かって穴径が大きくなるテーパ穴を加工することを要旨とするものである。
【０００８】
請求項２に記載の細穴放電加工機は、上下方向に位置決め自在のスライドに棒状電極の上端部を保持する電極ホルダを回転可能に設けると共に、該電極ホルダによって把持された前記電極をワークに対して自転させながら給送する細穴放電加工機において、前記ワーク直上の位置において前記電極の下端部を揺動可能に軸支する軸支する電極ガイドと、該電極ガイドの上方に位置する水平面内において前記電極に前記電極ガイドを支点にした円運動を与える偏心ガイド手段とを備えた電極ガイド装置を昇降可能に設け、前記偏心ガイド手段により前記電極に前記水平面内において前記電極ガイドを支点にした円運動を与えながら前記ワークに対して該電極を給送することにより、加工穴入口から出口に向かって穴径が大きくなるテーパ穴を加工することを要旨とするものである。
【０００９】
請求項３に記載の細穴放電加工機は、上下方向に位置決め自在のスライドに棒状電極の上端部を保持する電極ホルダを設け、該電極ホルダによって把持された前記電極をワークに対して給送する細穴放電加工機において、前記ワーク直上の位置において前記電極の下端部を揺動可能に軸支する電極ガイドと、該電極ガイドの上方に位置する水平面内の円軌道上に前記電極を公転自在にガイドする公転ガイドとを同軸に設けた電極ガイド装置を昇降可能に設け、前記電極ホルダを前記電極ガイド装置の軸心に対して偏心回転可能に設け、該電極ホルダを偏心回転させることにより、前記電極に前記水平面内において前記電極ガイドを支点にした円運動を与えながら前記ワークに対して該電極を給送し、加工穴入口から出口に向かって穴径が大きくなるテーパ穴を加工することを要旨とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の細穴放電加工機によるテーパ穴の加工方法および同方法に使用する細穴放電加工機によれば、加工穴入口から出口に向かって穴径が大きくなる精密なテーパ穴加工を複雑な制御プログラムも必要とせずに短時間で安価に行うことができる。
【００１１】
また、従来は加工不可能であったパイプの側面や中空の球体等に加工穴入口から出口に向かって穴径が大きくなるテーパ穴の加工を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態を図面によって説明する。
【００１３】
図１、図２は本発明に係る細穴放電加工装置の第１の実施形態の正面図と側面図、図３は図２におけるＺ軸スライド部の拡大図である。
【００１４】
細穴放電加工装置１の基台３上にワークＷを固定するワークテーブル５が設けてあり、このワークテーブル５上にワークＷを収容する加工槽７が設けてある。また、前記ワークテーブル５の後方（図２の右方）には、ワークテーブル５より上方に延伸するコラム９（ａ，ｂ）が設けてある。
【００１５】
上述のコラム９（ａ，ｂ）の上部には、Ｘ軸方向（図１において左右方向）へ移動位置決め自在のＸ軸キャリッジ１１が設けてあり、このＸ軸キャリッジ１１上には、前記Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向へ移動位置決め自在のＹ軸キャリッジ１３が設けてある。
【００１６】
図３を参照するに、上述のＹ軸キャリッジ１３の前端（図２における左側端部）には、スライドベース１７が上下動可能に係合してある。このスライドベース１７には、Ｚ軸スライド１９が図示省略のガイドに上下動自在に係合してある。
【００１７】
前記スライドベース１７には、Ｚ方向に延伸するＺ軸送りねじ２１が回転自在に軸支してあり、このＺ軸送りねじ２１の上方の端部には、Ｚ軸送りねじ２１を回転駆動するサーボモータ２３が設けてある。また、このＺ軸送りじ２１には、前記Ｚ軸スライド１９に取り付けたナット２４が螺合してある。
【００１８】
したがって、図示省略の制御装置の制御の下に、上述のサーボモータ２３によってＺ軸送りねじ２１を適宜に回転駆動することにより、Ｚ軸スライド１９をＺ軸方向の所望の位置に移動することができる。
【００１９】
上述のＺ軸スライド１９の下部には、ワンタッチカプラ２５を備えた電極ホルダ２７が回転自在に設けてある。また、この電極ホルダ２７には、Ｚ軸スライド１９の上部に延伸する中空の回転軸２９がワンタッチカプラ２５を介して固定してある。
【００２０】
回転軸２９の上端部には、回転軸駆動用のタイミングプーリの如きプーリ３１が設けてある。また前記中空の回転軸２９は、その上端部に設けたロータリジョイント３３を介して図示省略の給水装置に連通する管路３５に連結してある。
【００２１】
また、前記プーリ３１は電極回転用の電極モータ３７に設けた駆動プーリ（図示省略）に駆動ベルト（図示省略）を介して連結してある。
【００２２】
したがって、給水装置から供給される水は、中空の回転軸２９の中空部を通って電極ホルダ２７に供給されることになる。また、電極ホルダ２７は、電極回転用の電極モータ３７によって回転駆動することができる。
【００２３】
図４に示すように、電極ホルダ２７は、充実または中空の棒状電極３９の端部を保持するコレット４７を備えており、このコレット４７は、コレット４７を保持するコレットホルダ４９に設けた下方に開口するコレット保持穴５１に着脱可能に嵌入してある。このコレット保持穴５１には、前記回転軸２９の中空穴に連通する水路５３が設けてある。
【００２４】
前記コレット保持穴５１の上部とコレット４７との間には、コレット４７とほぼ同径の環状スペーサ５５が挿入してあり、この環状スペーサ内部に前記水路５３からの水を貯留する貯留室５７が形成してある。
【００２５】
上述のコレット４７の外周には、前記貯留室５７からコレット４７の先端部４７ｈに連通する複数の水路溝５９が設けてある。
【００２６】
なお、コレット４７の先端部４７ｈには、先端部４７ｈが径方向に容易に弾性変形できるように、コレット４７のチャック穴６１に至る十文字状の割溝（図示省略）が設けてある。また、前記コレットホルダ４９の下部外周には、前記ワンタッチカプラ２５の下端部に当接する鍔状の係止部６５が設けてある。
【００２７】
前記コレットホルダ４９の下端部には、コレット４７の先端のテーパ部に係合してコレット４７を締め付けるコレット固定部材６７が設けてある。このコレット固定部材６７は、コレットホルダ４９の下端部の雄ねじ６９に螺合する雌ねじ７１を備えており、このコレット固定部材６７を回動することによって、コレット４７の開放または固定を行うことができる。
【００２８】
また、上述のコレット固定部材６７には、前記コレット４７の水路溝５９から下方に流出する水を水ジェットにして前記電極３９を包囲するように噴射させるジェットノズル７３が設けてある。
【００２９】
前記電極ホルダ２７の下方には、充実または中空の棒状電極３９の下端部（先端部）をガイドする電極ガイド装置４１が設けてある。この電極ガイド装置４１は、前記スライドベース１７の下端部に一体的に設けた支持板４３にボルトなどの締結部材により固定してある。
【００３０】
図５を参照するに、電極ガイド装置４１は電極ガイド７５の上方に偏心ガイド手段４０を備えた構成である。
【００３１】
前記スライドベース１７下部の支持板４３には電極ガイドホルダ７７が一体的に固定してある。この電極ガイドホルダ７７には、上部に大径部７９Ｒを備えた上面から下面に貫通する段付き孔７９が設けてある。この段付き孔７９の小径部には、電極ガイドブロック８１を保持した筒状の電極ガイド押さえ８３が下方から挿入され、電極ガイド押さえ８３のフランジ部８３Ｆが電極ガイドホルダ７７にボルト８５により着脱可能に取り付けてある。
【００３２】
前記電極ガイドブロック８１には、ワークＷの表面直上の位置Ｌ２において前記電極３９の下端部を摺動自在にかつ揺動可能に軸支する電極ガイド７５が設けてある。この電極ガイド７５が電極３９に接触する部分は球面状に形成してあるので、電極３９と電極ガイド７５との接触部において電極３９を摺動自在にかつ揺動可能に軸支することができる。
【００３３】
前記電極ガイドブロック８１の軸心には、前記電極３９が上下に通過自在の電極通過孔８７が設けてあり、この電極通過孔８７は、電極３９が揺動する範囲において電極３９と電極ガイドブロック８１とが接触しないように上方に発散したテーパ穴または上方に発散した段付き孔となっている。
【００３４】
また、電極ガイドブロック８１の上部には前記電極ガイド押さえ８３の上部に設けた雌ねじ部に螺合するた電極ガイド押さえ用の環状ナット８９を設け、前記電極ガイドブロック８１を電極ガイド押さえ８３に押圧固定してある。
【００３５】
なお、環状ナット８９の中心穴径は、前記電極３９が揺動する範囲において環状ナット８９に接触しない十分な直径を有している。  
前記電極ガイドブロック８１の上方には、電極ガイド７５の上方に位置して前記電極ガイド７５から距離Ｌ１に位置する水平面内において前記電極３９に前記電極ガイド７５を支点にした円運動を与える回転自在の偏心ガイド手段４０が設けてある。
【００３６】
上述の偏心ガイド手段４０は、前記電極ガイドホルダ７７の大径部７９Ｒに設けたベアリング９１に軸支され、前記電極ガイド７５の軸心Ｇ．Ｃに対して偏心量ｅだけ偏心した偏心回転軸９３が回転自在に軸支してある。なお、ベアリング９１の上部のベアリング押さえ９５によりベアリング９１は電極ガイドホルダ７７に固定してある。また、ベアリング９１の上下面にはダストシール９６が設けてある、
上述の偏心回転軸９３には、前記電極３９が通過自在の貫通穴９７を備えた偏心ガイド支持体９９が同軸に嵌合してあり、そして、この偏心ガイド支持体９９の上部には前記偏心回転軸９３上部の雌ねじ部に螺合する環状ナット１０１が設けてある。
【００３７】
偏心ガイド支持体９９の下部には、前記電極ガイド７５から前記距離Ｌ１に位置する位置において、前記電極３９に摺動自在に接触して電極３９を軸支する偏心ガイド部材１０３が偏心回転軸９３と同軸に設けてある。
【００３８】
なお、偏心ガイド部材１０３が電極３９に接触する部分は、前記電極ガイド７５と同様に球面状に形成してあるので、電極３９と偏心ガイド部材１０３との接触部において電極３９を摺動自在にかつ摺動揺動可能に軸支することができる。
【００３９】
前記偏心回転軸９３の上部にはプーリ１０５が固定してある。また、前記電極ガイドホルダ７７には偏心回転軸９３を回転駆動するための駆動モータ１０７が設けてある。この駆動モータ１０７の出力軸には駆動プーリ１０９が設けてあり、この駆動プーリ１０９と前記プーリ１０５の間に偏心回転軸用の駆動ベルト１１１が巻回してある。
【００４０】
上記構成において、駆動モータ１０７を回転駆動させると共に、電極３９をワークＷに対して適宜な速度で給送することにより、加工穴入口から出口に向かって穴径が大きくなるテーパ穴１１３を加工することができる。
【００４１】
以下に、図５、図６を参照しながらテーパ穴１１３の加工方法について説明する。
【００４２】
例えば、電極径をφｄ、偏心量をｅ、ワークＷと電極ガイド７５と間の距離をＬ２、電極ガイド７５と偏心ガイド部材１０３との間の距離をＬ１、放電ギャップをＧ、ワークＷの板厚をＬ３とすると、テーパ穴１１３の入口径ｄｉと、出口径ｄｏは、次の計算式によって求められる。
【００４３】
［数１］
ｄｉ＝２（Ｌ２tanθ＋２Ｇ）＋φｄ・・・（１）
［数２］
ｄｏ＝[２（Ｌ２tanθ＋２Ｇ）＋φｄ]＋２Ｌ３tanθ・・・（２）
例えば、図７に示す加工例では、電極径φｄ＝0.1、偏心量ｅ＝0.1、Ｌ１＝10、Ｌ２＝0.4、ワークＷの板厚Ｌ３＝1.0、放電ギャップＧ＝0.01の場合であって、tanθ＝ｅ／Ｌ１＝0.01であるから、テーパ穴１１３の入口径ｄｉ[mm]と出口径ｄｏ[mm]は、ｄｉ＝2×(0.4×0.01＋2×0.01)＋0.1＝0.15[mm]、ｄｏ＝0.15＋2.0×1×0.01＝0.17[mm]となる。
【００４４】
ここで、上述の条件で、電極ガイド７５を適宜な量だけ上下動させてＬ２を増減させれば、テーパ角度を同じにしたまま入口径ｄｉと出口径ｄｏを変更することができる。
【００４５】
図８〜図１１は、本発明に係る細穴放電加工装置の第２の実施の形態の説明図である。なお、前記第１の実施形態の細穴放電加工装置１と同一の構成部材には同一の符号を付し詳細な説明は省略してある。  
図８、図９、図１０を参照するに、上下動自在のＺ軸スライド１９の下部には、ワンタッチカプラ２５を備えた電極ホルダ２０３が偏心回転自在に設けてある。
【００４６】
電極ホルダ２０３にはコレットホルダ４９が前記ワンタッチカプラ２５により着脱可能に嵌合保持してある。前記コレットホルダ４９に設けた下方に開口するコレット保持穴５１に充実または中空の棒状電極３９の端部を保持するコレット４７が着脱可能に設けてある。
【００４７】
コレット４７の先端部４７ｈには、先端部４７ｈが径方向に容易に弾性変形できるように、コレット４７のチャック穴６１に至る十文字状の割溝２０５が設けてある。また、前記コレットホルダ４９の下部外周には、前記ワンタッチカプラ２５の下端部に当接する鍔状の係止部６５が設けてある。
【００４８】
前記コレットホルダ４９の下端部には、コレット４７の先端のテーパ部に係合してコレット４７を締め付けるコレット固定部材６７が設けてある。このコレット固定部材６７は、コレットホルダ４９の下端部の雄ねじに螺合するナットとなっており、このコレット固定部材６７を回動することによって、コレット４７の開放または固定を行うことができる。
【００４９】
図８、図１１に示す様に、上述の電極ホルダ２０３の下方には、前記スライドベース１７の下端部に一体的に設けた支持板４３に前記電極３９の下端部をガイドする電極ガイド装置２０７が設けてある。
【００５０】
上述のコレットホルダ４９の軸心は、前記電極ガイド装置２０７の軸心Ｇ．Ｃから距離ｅだけ偏心して設けてある。したがって、前記回転軸２９が回転駆動されると、ワンタッチカプラ２５を介してコレットホルダ４９が回転駆動され、コレット４７に装着された電極３９が前記電極ガイド装置２０７の軸心に対して偏心量ｅで偏心回転することになる。
【００５１】
上述の電極ガイド装置２０７には、前記ワークＷの表面直上の位置Ｌ２において前記電極３９の下端部を摺動自在にかつ揺動可能に軸支する電極ガイド７５と、この電極ガイド７５の上方に位置して前記電極ガイド７５から距離Ｌ１に位置する水平面内において、前記電極３９を円軌道上に公転自在にガイドする公転ガイド２０９とを備えた電極ガイドブロック２１１が設けてある。
【００５２】
なお、この電極ガイド７５が電極３９に接触する部分は球面状に形成してあるので、電極３９と電極ガイド７５との接触部において電極３９を摺動自在にかつ揺動可能に軸支することができる。
【００５３】
前記スライドベース１７下部の支持板４３には、電極ガイド装置２０７を保持するための電極ガイド支持体２１３が設けてある。この電極ガイド支持体２１３に前記電極ガイドブロック２１１を嵌合保持したブロックホルダ２１５がボルト２１７等の固定手段により固定してある。
【００５４】
ブロックホルダ２１５の上部には、ブロックホルダ２１５上部の雌ねじに螺合する環状のナット部材２１９が設けてあり、このナット部材２１９により電極ガイドブロック２１１をブロックホルダ２１５に押圧固定してある。
【００５５】
上述の第２の実施の形態の構成において、前記回転軸２９が回転駆動されると、ワンタッチカプラ２５を介してコレットホルダ４９が回転駆動され、コレット４７に装着された電極３９が前記電極ガイド装置２０７の軸心に対して偏心量ｅで偏心回転することになる。
【００５６】
したがって、電極３９をワークＷに対して適宜な速度で給送することにより、加工穴入口から出口に向かって穴径が大きくなるテーパ穴１１３を加工することができる。
【００５７】
例えば、図１２に示すように、電極ガイド７５の内径をｄ１（≒φｄ）、偏心量をｅ、ワークＷと電極ガイド７５と間の距離をＬ２、電極ガイド７５と公転ガイド２０９との間の距離をＬ１、公転ガイド２０９の内径をｄ２とすると、テーパ穴の傾斜角度θは、次式（３）から求められ、入口径ｄｉと出口径ｄｏは前記計算式（１）、（２）より求められる。
【００５８】
［数３］
tanθ＝[（ｄ２−ｄ１）／２]／Ｌ１・・・（３）
例えば、図１３に示す例では電極ガイド７５の内径ｄ１＝0.1、公転ガイド２０９の内径ｄ２＝0.2、Ｌ１＝5.0、Ｌ２＝0.4、ワークＷの板厚Ｌ３＝1.0、電極径φｄ＝0.1、放電ギャップＧ＝0.01の場合で、tanθ＝[(0.2−0.1）／2]／5.0＝0.01であるからテーパ穴１１３の入口径ｄｉ[mm]と出口径ｄｏ[mm]は、計算式（１）および（２）から、ｄｉ＝0.15[mm]、ｄｏ＝ｄｉ＋２Δd＝0.17[mm]となる。
【００５９】
図１４は本発明に係る細穴放電加工機により、例えば、中空形状で表面側からしか加工が出来ない形状の部品の一例である、エンジンの燃料噴射ノズルに加工穴入口から出口に向かって穴径が大きくなる精密な燃料噴射穴を加工する例を示したものである。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明に係る細穴放電加工装置の正面図。
【図２】本発明に係る細穴放電加工装置の右側面図。
【図３】図２における、Ｚ軸スライド部の拡大図。
【図４】図３におけるＡ部の拡大説明図。
【図５】図３におけるＢ部の拡大説明図。
【図６】本発明に係る第１の実施形態の細穴放電加工機を用いたテーパ穴加工方法の説明図。
【図７】第１の実施形態の細穴放電加工機を用いたテーパ穴加工の具体的な加工例。
【図８】本発明に係る第２の実施形態の細穴放電加工機を用いたテーパ穴加工方法の説明図。
【図９】図８におけるＣ部の拡大第説明図。
【図１０】図におけるＤ−Ｄ断面図。
【図１１】第２の実施形態の細穴放電加工機における電極ガイド装置の説明図。
【図１２】本発明に係る第２の実施形態の細穴放電加工機を用いたテーパ穴加工方法の説明図。
【図１３】第２の実施形態の細穴放電加工機を用いたテーパ穴加工の具体的な加工例。
【図１４】本発明に係る第１の実施形態の細穴放電加工装置を用いたテーパ穴加工の具体的な加工例。
【符号の説明】
【００６１】
１  細穴放電加工装置
３  基台
５  ワークテーブル
７  加工槽
９（ａ，ｂ）  コラム
１１  Ｘ軸キャリッジ
１３  Ｙ軸キャリッジ
１７  スライドベース
１９  Ｚ軸スライド
２１  Ｚ軸送りねじ
２３  サーボモータ
２４  ナット
２５  ワンタッチカプラ
２７  電極ホルダ
２９  回転軸
３１  プーリ
３３  ロータリジョイント
３５  管路
３７  電極モータ
３９  棒状電極
４１  電極ガイド装置
４３  支持板
４７  コレット
４９  コレットホルダ
５１  コレット保持穴
５３  水路
５５  環状スペーサ
５７  貯留室
５９  水路溝
６１  チャック穴
６５  係止部
６７  固定部材
６９  雄ねじ
７１  雌ねじ
７３  ジェットノズル
７５  電極ガイド
７７  電極ガイドホルダ
７９  段付き孔
７９Ｒ  大径部
８１  電極ガイドブロック
８３  電極ガイド押さえ
８３Ｆ  フランジ部
８５  ボルト
８７  電極通過孔
８９  環状ナット
９１  ベアリング
９３  偏心回転軸
９５  ベアリング押さえ
９７  貫通穴
９９  偏心ガイド支持
１０１  環状ナット
１０３  偏心ガイド部材
１０５  プーリ
１０７  駆動モータ
１０９  駆動プーリ
１１１  駆動ベルト
１１３  テーパ穴
２０３  電極ホルダ
２０５  割溝
２０７  電極ガイド装置
２０９  公転ガイド
２１１  電極ガイドブロック
２１３  電極ガイド支持体
２１５  ブロックホルダ
２１７  ボルト
２１９  ナット部材
２２１  ナット部材
Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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