(57)【要約】【課題】十分な気泡除去性能を発揮させつつ、気泡除去のためのスペース効率を向上させることができる脱気チューブ等を提供することを課題とする。【解決手段】機能液供給源からインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド２５に機能液を供給する機能液流路の、少なくとも一部を構成すると共に、通液されてゆく機能液から気体を取り除く脱気チューブ５４であって、機能液流路を構成すると共に、気体透過性材料で構成された内部チューブ６０と、脱気空間６２を存して内部チューブ６０を覆う外部チューブ６１と、外部チューブ６１に設けられ、脱気空間６２に連通する真空吸引ポート７３と、を備え、内部チューブ６０は、複数本の細チューブ６３から成るバンドルチューブで構成されている。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液供給源からインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液流路の、少なくとも一部を構成すると共に、通液されてゆく前記機能液から気体を取り除く脱気チューブであって、
前記機能液流路を構成すると共に、気体透過性材料で構成された内部チューブと、
脱気空間を存して前記内部チューブを覆う外部チューブと、
前記外部チューブに設けられ、前記脱気空間に連通する真空吸引ポートと、を備えたことを特徴とする脱気チューブ。
【請求項２】
前記内部チューブは、複数本の細チューブから成るバンドルチューブで構成されていることを特徴とする請求項１に記載の脱気チューブ。
【請求項３】
前記外部チューブは、チューブ本体と、前記チューブ本体の上流側端部を閉止すると共に前記内部チューブの上流側ジョイントを兼ねる上流側端部キャップと、前記チューブ本体の下流側端部を閉止すると共に前記内部チューブの下流側ジョイントを兼ねる下流側端部キャップと、を有し、
前記真空吸引ポートは、前記上流側端部キャップおよび前記下流側端部キャップの少なくとも一方に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の脱気チューブ。
【請求項４】
前記チューブ本体には、接続ジョイントが介設されており、
前記真空吸引ポートは、前記接続ジョイントに、更に設けられていることを特徴とする請求項３に記載の脱気チューブ。
【請求項５】
機能液供給源であるメインタンクの機能液をサブタンクに圧力送液すると共に、前記サブタンクの機能液をインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに重力供給する機能液供給装置であって、
前記メインタンクから前記サブタンクに至る１次側供給流路と、前記サブタンクから前記機能液滴吐出ヘッドに至る２次側供給流路と、を備え、
前記１次側供給流路の少なくとも一部を、請求項１ないし４のいずれかに記載の脱気チューブで構成したことを特徴とする機能液供給装置。
【請求項６】
請求項５に記載の機能液供給装置と、
前記機能液滴吐出ヘッドと、を備え、
ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に前記機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに供給する機能液の供給流路となると共に、通過する機能液から気体を取り除く脱気チューブ、これを備えた機能液供給装置および液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、機能液の供給源となる２つのメインタンクと、複数の機能液滴吐出ヘッドに自然水頭を利用し機能液を供給する８つのサブタンクと、メインタンクと各サブタンクとを接続する上流側流路と、各サブタンクと各機能液滴吐出ヘッドとを接続する下流側流路と、上流側流路に介設された気泡除去ユニットと、を有する機能液供給装置を搭載した液滴吐出装置が知られている（特許文献１参照）。
この機能液供給装置に設けられた気泡除去ユニットは、これから機能液滴吐出ヘッドに至る全流路およびサブタンクに充填される機能液の容量よりも多い機能液を滞留可能に構成されており、真空引きの状態で導入された機能液を滞留させることで、機能液に混入したマイクロバブルを除去するようになっている。なお、この気泡除去ユニットの気泡除去率は、気泡除去ユニット内への通液流量（滞留時間）に依存するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２４６４５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、このような液滴吐出装置により製造されるカラーフィルター等の大型化に伴い、使用する機能液滴吐出ヘッド数が増加し、機能液の供給量も増加している。そのため、マイクロバブルを除去するための気泡除去ユニットの大型化および設置数が増加し、機能液供給装置（液滴吐出装置）における設置スペースの確保が困難であるという問題や、流路が長くなると共に配管の引き回しの自由度が制約される等の問題を生じていた。
【０００５】
本発明は、十分な気泡除去（脱気）性能を発揮させつつ、気泡除去のためのスペース効率を向上させることができる脱気チューブ、これを備えた機能液供給装置および液滴吐出装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の脱気チューブは、機能液供給源からインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液流路の、少なくとも一部を構成すると共に、通液されてゆく機能液から気体を取り除く脱気チューブであって、機能液流路を構成すると共に、気体透過性材料で構成された内部チューブと、脱気空間を存して内部チューブを覆う外部チューブと、外部チューブに設けられ、脱気空間に連通する真空吸引ポートと、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、自身が機能液を供給するための機能液流路の少なくとも一部を構成しているため、別途、気泡除去のための手段を設ける必要がない。これにより、気泡除去のために配管スペース以外のスペースを必要とせず、また配管の長さや取り回しに制約を受けることがない。すなわち、必要十分な気泡除去性能を維持しつつ、高い自由度をもって配管することができる。
【０００８】
この場合、内部チューブは、複数本の細チューブから成るバンドルチューブで構成されていることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、脱気空間との接触面積を増大させつつ、機能液の供給流量を増加させることができ、供給流量が多くなっても脱気度が低下することがない。
【００１０】
また、この場合、外部チューブは、チューブ本体と、チューブ本体の上流側端部を閉止すると共に内部チューブの上流側ジョイントを兼ねる上流側端部キャップと、チューブ本体の下流側端部を閉止すると共に内部チューブの下流側ジョイントを兼ねる下流側端部キャップと、を有し、真空吸引ポートは、上流側端部キャップおよび下流側端部キャップの少なくとも一方に設けられていることが好ましい。
【００１１】
さらに、チューブ本体には、接続ジョイントが介設されており、真空吸引ポートは、接続ジョイントに、更に設けられていることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、配管に必要となる上流側端部キャップ、下流側端部キャップおよび接続ジョイントに、真空吸引ポートを形成することにより、継手類を用いて真空吸引手段を接続することができ、真空吸引配管を簡単に繋ぎ込むことができる。
【００１３】
本発明の機能液供給装置は、機能液供給源であるメインタンクの機能液をサブタンクに圧力送液すると共に、サブタンクの機能液をインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに重力供給する機能液供給装置であって、メインタンクからサブタンクに至る１次側供給流路と、サブタンクから機能液滴吐出ヘッドに至る２次側供給流路と、を備え、１次側供給流路の少なくとも一部を、上記した脱気チューブで構成したことを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、マイクロバブルの混入のない機能液を、過不足なく適切にサブタンクに供給することができるため、機能液滴吐出ヘッドに対しても機能液を安定供給することができる。
【００１５】
本発明の液滴吐出装置は、上記した機能液供給装置と、機能液滴吐出ヘッドと、を備え、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする。
【００１６】
この構成によれば、マイクロバブルの混入のない機能液を、機能液滴吐出ヘッドに対して供給することができるため、吐出不良を適切に防止することができる。これにより、液滴吐出装置で製造する製品の信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の側面図である。
【図４】機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニット（キャリッジユニット）を模式的に表した平面図である。
【図５】機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。
【図６】機能液供給ユニットの配管系統図である。
【図７】脱気チューブの軸方向断面図（ａ）および径方向断面図（ｂ）である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係る機能液供給ユニット（機能液供給装置）を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、有機ＥＬ装置の各画素となる発光層やカラーフィルターのフィルターエレメント等を形成するものである。また、機能液供給ユニットは、サブタンクを介して自然水頭を利用し、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給するものである。
【００１９】
図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１２ａ上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在してワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル１２と、複数本の支柱１１を介してＸ軸テーブル１２を跨ぐように架け渡された一対のＹ軸支持ベース１３ａ上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１３と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に吊設され、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド２５が搭載された１３個のキャリッジユニット１４と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバー１５と、チャンバー１５を貫通して、機能液滴吐出ヘッド２５に機能液を供給する機能液供給ユニット１６（機能液供給装置）と、を備えており、チャンバー１５の側壁の一部には、機能液供給ユニット１６の主要部を為すメインタンク４０等を収納するタンクキャビネット４１が設けられている。液滴吐出装置１は、制御装置１７により装置全体が統括制御され、Ｘ軸テーブル１２およびＹ軸テーブル１３の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド２５を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット１６から供給された６色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。
【００２０】
また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット２１、吸引ユニット２２、ワイピングユニット２３、吐出性能検査ユニット２４から成るメンテナンス装置１８を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド２５の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド２５の機能維持・機能回復を図るようになっている。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル１２とＹ軸テーブル１３とが交わる部分にキャリッジユニット１４を臨ませてワークＷの描画を行い、Ｙ軸テーブル１３とメンテナンス装置１８（吸引ユニット２２、ワイピングユニット２３）が交わる部分にキャリッジユニット１４を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド２５の機能維持・機能回復を行う。
【００２１】
図２および図３に示すように、Ｘ軸テーブル１２は、ワークＷを吸着セットすると共にθ軸方向に補正可能な機構を有するセットテーブル１２ｂと、セットテーブル１２ｂをＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダー１２ｃと、上記のフラッシングユニット２１および吐出性能検査ユニット２４をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダー１２ｄと、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダー１２ｃおよびＸ軸第２スライダー１２ｄをＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。
【００２２】
Ｙ軸テーブル１３は、１３個のキャリッジユニット１４をそれぞれ吊設した１３個のブリッジプレート１３ｂと、１３個のブリッジプレート１３ｂを両持ちで支持する１３組のＹ軸スライダー（図示省略）と、一対のＹ軸支持ベース１３ａ上に設置され、ブリッジプレート１３ｂをＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル１３は、各キャリッジユニット１４を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド２５を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド２５を吸引ユニット２２およびワイピングユニット２３に臨ませる。この場合、各キャリッジユニット１４を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１３個のキャリッジユニット１４を一体として移動させることも可能である。
【００２３】
各キャリッジユニット１４は、Ｒ・Ｇ・Ｂ・Ｃ・Ｍ・Ｙの６色、各２個（計１２個）の機能液滴吐出ヘッド２５と、１２個の機能液滴吐出ヘッド２５を６個ずつ２群に分けて支持するヘッドプレート１９ａと、から成るヘッドユニット１９を備えている（図４参照）。また、各キャリッジユニット１４は、ヘッドユニット１９をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構１４ａと、θ回転機構１４ａを介して、ヘッドユニット１９をブリッジプレート１３ｂに支持させる吊設部材１４ｂと、を備えている。加えて、各キャリッジユニット１４は、その上部にサブタンク４２が配設されており（実際には、ブリッジプレート１３ｂ上に配設）、このサブタンク４２から自然水頭を利用し、かつ圧力調整弁５８（図６参照）を介して各機能液滴吐出ヘッド２５に機能液が供給されるようになっている。なお、本実施形態においては、キャリッジユニット１４の個数および各キャリッジユニット１４に搭載される機能液滴吐出ヘッド２５の個数は任意である。また、本実施形態においては、Ｒ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）、Ｃ（シアン）、Ｍ（マゼンダ）、Ｙ（イエロー）の６色の機能液が供給される機能液滴吐出ヘッド２５を用いたものを使用しているが、供給される機能液の色数、色種は任意である。
【００２４】
図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド２５は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針３４を有する機能液導入部３１と、機能液導入部３１の側方に連なる２連のヘッド基板３２と、ヘッド基板３２の下方に連なる２連のポンプ部３３と、ポンプ部３３に連なるノズルプレート３５と、を備えている。機能液導入部３１は、２連の接続針３４を介してサブタンク４２から機能液の供給を受けるようになっている。ノズルプレート３５のノズル面ＮＦには、２列のノズル列ＮＬが相互に平行に列設されており、各ノズル列ＮＬは、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル３６で構成されている。ヘッド基板３２は、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介して上記の制御装置１７が接続されており、制御装置１７から出力された駆動波形が各ポンプ部３３（の圧電素子）に印加されることで、各吐出ノズル３６から機能液が吐出される。
【００２５】
次に、図６を参照して、機能液供給ユニット１６（機能液供給装置）について説明する。機能液供給ユニット１６は、機能液の供給源を構成する各色（６色）につき２つのメインタンク４０と、各キャリッジユニット１４に対応して設けた１３個のサブタンク４２と、一のメインタンク４０と１３個のサブタンク４２を接続する上流側機能液流路４３（１次側供給流路）と、各サブタンク４２と各機能液滴吐出ヘッド２５とを接続する１３組の下流側機能液流路４４（２次側供給流路）と、を備えている。なお、上流側機能液流路４３の一部および下流側機能液流路４４は、気体非透過性の樹脂製のチューブで構成されている。
【００２６】
また、機能液供給ユニット１６は、メインタンク４０およびサブタンク４２等に制御用の圧縮窒素ガスを供給する窒素ガス供給設備４５と、各種開閉弁の制御用の圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給設備４６と、各部からガス排気を行うためのガス排気設備４７と、吸引ユニット２２や後述する脱気チューブ５４等に吸引力を作用させる真空吸引設備４８と、を備えている。これにより、各色の機能液滴吐出ヘッド２５には対応する色の機能液が供給される。
【００２７】
各メインタンク４０内の機能液は、これに接続して窒素ガス供給設備４５からの圧縮窒素ガスにより加圧され、上流側機能液流路４３を介して１３個のサブタンク４２に選択的に供給される。その際、圧縮エアー供給設備４６の圧縮エアーにより、各開閉弁が開閉制御される。同時に、各サブタンク４２は、ガス排気設備４７を介して大気開放され、必要量の機能液を受容する。各サブタンク４２の機能液は、これに連なる機能液滴吐出ヘッド２５の駆動により、所定の水頭圧を維持しながら、下流側機能液流路４４を介して機能液滴吐出ヘッド２５に供給される。
【００２８】
また、各色、一対のメインタンク４０に接続された一対のタンク流路５０は、上流側でタンク流路継手５１に接続されて一に合流している。そして、メインタンク４０からの機能液の供給は、各タンク流路５０に介設されたタンク開閉弁５２を切り替えることにより、相互に切替えられるようになっている。なお、詳細な説明は省略するが、サブタンク４２からの機能液逆送時には、圧縮窒素ガスが各サブタンク４２に供給される一方、各メインタンク４０は、ガス排気設備４７を介して大気開放される。
【００２９】
各上流側機能液流路４３には、各流路の圧力損失が均等になるように形成された１３分岐流路５３が介設されており、その下流側は１３本に分流され、各サブタンク４２に接続されている。また、各上流側機能液流路４３は、タンク流路継手５１と１３分岐流路５３とを連通し、通液される機能液から気泡（マイクロバブル）を取り除く脱気チューブ５４と、１３分岐流路５３とサブタンク４２とを連通し、気体非透過性の樹脂から成る供給チューブ５５と、で構成されている。
【００３０】
各下流側機能液流路４４には、２分岐流路５７が介設されており、その下流側は２本に分流され、機能液滴吐出ヘッド２５の２連の接続針３４に、それぞれ接続されている。また、２分岐流路５７の上流側近傍には、圧力調整弁５８が介設されている。
【００３１】
各サブタンク４２の上流側および下流側近傍の供給チューブ５５および下流側機能液流路４４には、それぞれ流入開閉弁５６および流出開閉弁５９が介設されている。流入開閉弁５６および流出開閉弁５９は、容積変化なく開閉可能なエアーオペレートバルブで構成されており、開閉弁を開閉した際に発生する機能液の脈動を抑えることができる。そのため、機能液滴吐出ヘッド２５に脈動（水頭値変動）が伝わることを抑え、機能液滴吐出ヘッド２５による吐出不良を抑えることができる。なお、これらの開閉弁は、ダイヤフラム式のエアーオペレートバルブで構成することが好ましい。これにより、圧縮エアー供給設備４６からの圧縮エアーにより開閉が制御できると共に、開閉弁の開閉をゆっくり行うことができるため、容易に容積変化なく開閉することができ、開閉弁を通過する機能液の温度上昇を抑えることができる。
【００３２】
次に、図６および図７を参照して、脱気チューブ５４について詳細に説明する。脱気チューブ５４は、機能液の流路となる内部チューブ６０と、脱気空間６２を存して内部チューブ６０を覆う外部チューブ６１と、から構成されている。すなわち、脱気チューブ５４は、機能液流路の外側に真空引き用の脱気空間６２を構成した、いわゆる２重管（鞘管）の構成を有している。
【００３３】
内部チューブ６０は、複数（図７（ｂ）では１９本）の細チューブ６３が束ねられた、いわゆるバンドルチューブ構造を為している。この細チューブ６３は、気体透過性材料で構成されており、各細チューブ６３を通過する機能液中に溶け込んでいる気泡（マイクロバブル）は、細チューブ６３の壁面を透過して脱気空間６２へと移動する。このようにして、機能液中のマイクロバブルが除去される。この内部チューブ６０では、バンドルチューブ構造の採用により、脱気空間６２との接触面積を増大させることができるため、効率良くマイクロバブルを除去することができる。また、機能液の供給流量の増加にも柔軟に対応することができ、この場合でも、気泡除去率（脱気度）が低下することがない。
【００３４】
外部チューブ６１は、脱気チューブ５４の外観を為すチューブ本体６４と、チューブ本体６４の上流側端部を閉止すると共に内部チューブ６０の上流側ジョイントを兼ねる上流側端部キャップ６５と、チューブ本体６４の下流側端部を閉止すると共に内部チューブ６０の下流側ジョイントを兼ねる下流側端部キャップ６６と、チューブ本体６４の全長略中央に介設された接続ジョイント６７と、を有している。
【００３５】
チューブ本体６４は、気体非透過性のやや硬質の樹脂（流路配管時に引き回し可能な程度の柔軟性をもつ）で、断面円形に形成されており、その内径は、内部チューブ６０よりも十分に大径に形成されている。そのため、チューブ本体６４内に内部チューブ６０を挿通させると、チューブ本体６４と内部チューブ６０との間には、間隙が形成される。この間隙は、脱気空間６２を為しており、脱気空間６２を負圧（真空）にすることで、内部チューブ６０を流れる機能液中のマイクロバブルが脱気空間６２へと移動し、除去される。
【００３６】
上流側端部キャップ６５および下流側端部キャップ６６は、同一形状の継手様の部材であり、それぞれ側面視Ｔ字状に形成されている。上流側端部キャップ６５および下流側端部キャップ６６は、チューブ本体６４および内部チューブ６０が接続するキャップ部６８と、キャップ部６８の中央から軸方向、直角（同軸上）に突出するように設けられたジョイント部６９と、で一体に形成されている。
【００３７】
各キャップ部６８は、略円筒形に形成されており、各キャップ部６８の軸心には、嵌合孔７１が円形に窪入形成されている。この嵌合孔７１は、内部チューブ６０（複数本の細チューブ６３）が液密に接合し得るように蜂の巣状に形成されている。嵌合孔７１の端部壁側は、マニホールドの機能を有しており、この部分から機能液が複数本の細チューブ６３に均一に流入する（流出する）。また、各嵌合孔７１の底面の軸心には、ジョイント部６９に連通するジョイント流路７５が開口している。さらに、嵌合孔７１の外側には、チューブ本体６４が結合する環状の接合溝７２が形成されている。この接合溝７２には、チューブ本体６４の端部が嵌り込んで接着剤等で気密に接合される。なお、チューブ本体６４とキャップ部６８との連結は、シール材等を介してネジ留めするようにしてもよい。
【００３８】
各キャップ部６８の嵌合孔７１と接合溝７２との間には、脱気空間６２に連通する真空吸引ポート７３が開口している。この真空吸引ポート７３は、軸方向から水平に貫通形成されている。各真空吸引ポート７３には、接続継手（図示省略）を介して真空吸引流路７４の一方の端部が接続されており、各真空吸引流路７４の他方の端部は、真空吸引設備４８に接続されている。
【００３９】
各ジョイント部６９は、キャップ部６８よりも小径（１／３程度）のチューブ状に形成されており、その軸心にはジョイント流路７５が貫通形成されている。また、各ジョイント部６９には、接続チューブ７６（供給チューブ５５と同じもの）が接続される。そして、上流側端部キャップ６５の接続チューブ７６は、タンク流路継手５１に接続され、下流側端部キャップ６６の接続チューブ７６は、１３分岐流路５３に接続される。なお、各ジョイント部６９と各接続チューブ７６との接続は、ジョイント部６９に形成された雄ねじ（図示省略）に螺合する押えナット７７を外し、これを接続チューブ７６に通した後、接続チューブ７６の下流端部をジョイント部６９に挿入装着し、そして、接続チューブ７６に通した押えナット７７を雄ねじに螺合することにより、接続チューブ７６が、ジョイント部６９に抜止め状態で接続される。
【００４０】
接続ジョイント６７は、Ｔ字継手の形態を有しており、軸方向両端部、それぞれには、上記の上流側端部キャップ６５等と同様に、チューブ本体６４が接合する環状の接合溝７２が形成されている。また、接続ジョイント６７は、その軸方向略中央において、径方向に向かって直角に突出するように突出部７８が設けられている。この突出部７８の先端には、真空吸引ポート７３が開口しており、この真空吸引ポート７３は、脱気空間６２に連通するように、径方向から垂直に貫通形成されている。この真空吸引ポート７３も、同様に真空吸引流路７４を介して真空吸引設備４８に接続されている。
【００４１】
以上のように、本実施形態では、３つの真空吸引ポート７３が、真空吸引設備４８に接続され、真空吸引設備４８を駆動することで脱気空間６２を負圧（真空）にする。なお、真空吸引ポート７３の設置数は任意である。また、脱気チューブ５４の全長によっては（短ければ）、接続ジョイント６７を省略してもよし、（長ければ）複数設けてもよい。
【００４２】
この機能液供給ユニット１６の機能液供給動作における気泡除去方法について説明する。機能液供給ユニット１６は、メインタンク４０から機能液の送液を開始すると共に、真空吸引設備４８の駆動を開始する。そして、脱気空間６２が真空状態となった脱気チューブ５４に流れ込んだ機能液は、内部チューブ６０中を通液している間に、マイクロバブルが取り除かれ、サブタンク４２に至る。このような、気泡除去方法における気泡除去率は、脱気空間６２に対する内部チューブ６０への通液流量（滞留時間）に依存するため、脱気チューブ５４の全長を変更するだけで、所望の気泡除去率に設定することができる。したがって、例えば、上流側機能液流路４３全てを脱気チューブ５４で構成したり、本実施形態のように上流側機能液流路４３の一部のみを脱気チューブ５４で構成することにより、機能液の気泡含有量の設定・変更を、容易に行うことができる。なお、気泡除去率を、更に向上させる場合には、細チューブ６３の本数を増加させたり、各細チューブ６３の径を、より大径のもので構成する（つまり、脱気空間６２との接触面積を増大させる）。
【００４３】
以上の構成によれば、脱気チューブ５４自身が機能液を供給するための流路の一部を為すと共に、気泡除去手段をも兼ねているため、別途、気泡除去手段を設ける必要がない。これにより、配管スペースを有効利用することができ、配管の長さや取り回しに制約を受けることがない。また、マイクロバブルの混入のない機能液を、過不足なく適切にサブタンク４２に供給することができるため、機能液滴吐出ヘッド２５に対しても機能液を安定供給することができる。これにより、吐出不良を適切に防止することができ、液滴吐出装置１で製造する製品の信頼性を向上させることができる。
【符号の説明】
【００４４】
１：液滴吐出装置、１６：機能液供給ユニット、２５：機能液滴吐出ヘッド、４０：メインタンク、４２：サブタンク、４３：上流側機能液流路、４４：下流側機能液流路、５４：脱気チューブ、５５：供給チューブ、６０：内部チューブ、６１：外部チューブ、６２：脱気空間、６３：細チューブ、６４：チューブ本体、６５：上流側端部キャップ、６６：下流側端部キャップ、６７：接続ジョイント、７３：真空吸引ポート、Ｗ：ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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