(57)【要約】【課題】ＯＭ像とＴＥＭ像とを重ねて表示させる際に、薄片化による試料の歪みによるずれを低減できる画像処理方法を提供する。【解決手段】試料の光学顕微鏡像を取得する工程と、薄片化された前記試料の透過電子顕微鏡像を取得する工程と、前記光学顕微鏡像と前記透過電子顕微鏡像とを重ねて前記表示部に表示させる工程と、を含み、前記光学顕微鏡像と前記透過電子顕微鏡像とを重ねて前記表示部に表示させる工程では、前記光学顕微鏡像を歪ませて、前記光学顕微鏡像の視野と前記透過電子顕微鏡像の視野とを一致させる、画像処理方法。【選択図】図２５
2020191257.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の光学顕微鏡像を取得する工程と、
薄片化された前記試料の透過電子顕微鏡像を取得する工程と、
前記光学顕微鏡像と前記透過電子顕微鏡像とを重ねて表示部に表示させる工程と、
を含み、
前記光学顕微鏡像と前記透過電子顕微鏡像とを重ねて前記表示部に表示させる工程では、前記光学顕微鏡像を歪ませて、前記光学顕微鏡像の視野と前記透過電子顕微鏡像の視野とを一致させる、画像処理方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記光学顕微鏡像と前記透過電子顕微鏡像とを重ねて前記表示部に表示させる工程は、
前記光学顕微鏡像上の第１点と前記第１点と同じ試料位置である前記透過電子顕微鏡像の第２点とが重なり、かつ、前記光学顕微鏡像上の第３点と前記第３点と同じ試料位置である前記透過電子顕微鏡像上の第４点とが重なるように、第１軸に沿って、前記光学顕微鏡像を伸縮させる工程と、
前記光学顕微鏡像上の第５点と前記第５点と同じ試料位置である前記透過電子顕微鏡像の第６点とが重なり、かつ、前記光学顕微鏡像上の第７点と前記第７点と同じ試料位置である前記透過電子顕微鏡像上の第８点とが重なるように、前記第１軸と直交する第２軸に沿って、前記光学顕微鏡像を伸縮させる工程と、
を含む、画像処理方法。
【請求項３】
請求項２において、
前記光学顕微鏡像と同じ画像シリーズの他の光学顕微鏡像を取得する工程と、
前記他の光学顕微鏡像と前記透過電子顕微鏡像とを重ねて前記表示部に表示させる工程と、
を含み、
前記他の光学顕微鏡像と前記透過電子顕微鏡像とを重ねて前記表示部に表示させる工程では、前記他の光学顕微鏡像を歪ませて、前記他の光学顕微鏡像の視野と前記透過電子顕微鏡像の視野とを一致させ、
前記他の光学顕微鏡像と前記透過電子顕微鏡像とを重ねて前記表示部に表示させる工程は、
前記第１軸に沿って前記光学顕微鏡像を伸縮させる工程における前記光学顕微鏡像の伸縮率に基づいて、前記他の光学顕微鏡像を前記第１軸に沿って伸縮させる工程と、
前記第２軸に沿って前記光学顕微鏡像を伸縮させる工程における前記光学顕微鏡像の伸縮率に基づいて、前記他の光学顕微鏡像を前記第２軸に沿って伸縮させる工程と、
を含む、画像処理方法。
【請求項４】
請求項３において、
前記他の光学顕微鏡像の観察倍率と、前記光学顕微鏡像の観察倍率とは異なる、画像処理方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項において、
前記透過電子顕微鏡像は、ライブ画像である、画像処理方法。
【請求項６】
試料の光学顕微鏡像を取得する光学顕微鏡像取得部と、
薄片化された前記試料の透過電子顕微鏡像を取得する透過電子顕微鏡像取得部と、
前記光学顕微鏡像と前記透過電子顕微鏡像とを重ねて表示部に表示させる表示制御部と、
を含み、
前記表示制御部は、前記光学顕微鏡像を歪ませて、前記光学顕微鏡像の視野と前記透過電子顕微鏡像の視野とを一致させる、透過電子顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像処理方法および透過電子顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学顕微鏡と電子顕微鏡との間で試料の同一箇所を観察可能とする手法が知られている。例えば、特許文献１には、試料上の欠陥を観察する電子顕微鏡および光学顕微鏡において、電子顕微鏡像の倍率と光学顕微鏡像の倍率とが等しくなるように倍率調整し、電子顕微鏡像と光学顕微鏡像の位置関係が一致するように位置調整して、電子顕微鏡像と光学顕微鏡像とを同一表示画面上に重ね合わせて表示する装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−１６２０５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
光学顕微鏡で観察した試料を透過電子顕微鏡で観察する場合、ミクロトームなどを用いて試料を薄片化しなければならない。しかしながら、試料を薄片化すると試料に歪みが生じてしまうため、光学顕微鏡像と透過電子顕微鏡像とを同一画面上に重ねて表示してもずれが生じてしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（１）本発明に係る画像処理方法の一態様は、
試料の光学顕微鏡像を取得する工程と、
薄片化された前記試料の透過電子顕微鏡像を取得する工程と、
前記光学顕微鏡像と前記透過電子顕微鏡像とを重ねて表示部に表示させる工程と、
を含み、
前記光学顕微鏡像と前記透過電子顕微鏡像とを重ねて前記表示部に表示させる工程では、前記光学顕微鏡像を歪ませて、前記光学顕微鏡像の視野と前記透過電子顕微鏡像の視野とを一致させる。
【０００６】
このような画像処理方法では、光学顕微鏡像を歪ませて、光学顕微鏡像の視野と透過電子顕微鏡像の視野とを一致させるため、光学顕微鏡像と透過電子顕微鏡像とを重ねて表示させる際に、薄片化による試料の歪みによるずれを低減できる。
【０００７】
（２）本発明に係る透過電子顕微鏡の一態様は、
試料の光学顕微鏡像を取得する光学顕微鏡像取得部と、
薄片化された前記試料の透過電子顕微鏡像を取得する透過電子顕微鏡像取得部と、
前記光学顕微鏡像と前記透過電子顕微鏡像とを重ねて表示部に表示させる表示制御部と、
を含み、
前記表示制御部は、前記光学顕微鏡像を歪ませて、前記光学顕微鏡像の視野と前記透過電子顕微鏡像の視野とを一致させる。
【０００８】
このような透過電子顕微鏡では、光学顕微鏡像を歪ませて、光学顕微鏡像の視野と透過電子顕微鏡像の視野とを一致させるため、光学顕微鏡像と透過電子顕微鏡像とを重ねて表示させる際に、薄片化による試料の歪みによるずれを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施形態に係る透過電子顕微鏡の構成を示す図。
【図２】画像処理装置の構成を示す機能ブロック図。
【図３】生物顕微鏡の構成を示す図。
【図４】生物顕微鏡で撮影された画像シリーズを模式的に示す図。
【図５】蛍光顕微鏡で撮影された画像シリーズを模式的に示す図。
【図６】透過電子顕微鏡で撮影されたＴＥＭ像を模式的に示す図。
【図７】透過電子顕微鏡のＵＩ画面を模式的に示す図。
【図８】透過電子顕微鏡のＵＩ画面を模式的に示す図。
【図９】透過電子顕微鏡のＵＩ画面を模式的に示す図。
【図１０】透過電子顕微鏡のＵＩ画面を模式的に示す図。
【図１１】透過電子顕微鏡のＵＩ画面を模式的に示す図。
【図１２】透過電子顕微鏡のＵＩ画面を模式的に示す図。
【図１３】透過電子顕微鏡のＵＩ画面を模式的に示す図。
【図１４】透過電子顕微鏡のＵＩ画面を模式的に示す図。
【図１５】ＯＭ像とＴＥＭ像を重ねて表示させる手法の一例を説明するための図。
【図１６】ＯＭ像とＴＥＭ像を重ねて表示させる手法の一例を説明するための図。
【図１７】ＯＭ像とＴＥＭ像を重ねて表示させる手法の一例を説明するための図。
【図１８】ＯＭ像とＴＥＭ像を重ねて表示させる手法の一例を説明するための図。
【図１９】ＯＭ像とＴＥＭ像を重ねて表示させる手法の一例を説明するための図。
【図２０】ＯＭ像とＴＥＭ像を重ねて表示させる手法の一例を説明するための図。
【図２１】ＯＭ像とＴＥＭ像を重ねて表示させる手法の一例を説明するための図。
【図２２】ＯＭ像とＴＥＭ像を重ねて表示させる手法の一例を説明するための図。
【図２３】ＯＭ像とＴＥＭ像を重ねて表示させる手法の一例を説明するための図。
【図２４】ＯＭ像とＴＥＭ像を重ねて表示させる手法の一例を説明するための図。
【図２５】実施形態に係る透過電子顕微鏡の処理部の処理の一例を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００１１】
１．  透過電子顕微鏡
まず、本実施形態に係る透過電子顕微鏡について、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係る透過電子顕微鏡１００の構成を示す図である。
【００１２】
透過電子顕微鏡１００は、図１に示すように、電子顕微鏡本体１０と、制御ユニット２０と、画像処理装置３０と、を含む。透過電子顕微鏡１００は、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）である。なお、透過電子顕微鏡１００は、走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）であってもよい。
【００１３】
電子顕微鏡本体１０は、電子源１１と、照射レンズ１２と、試料ステージ１３と、試料ホルダー１４と、対物レンズ１５と、中間レンズ１６と、投影レンズ１７と、撮像装置１８と、を含む。
【００１４】
電子源１１は、電子を発生させる。電子源１１は、例えば、陰極から放出された電子を陽極で加速し電子線ＥＢを放出する電子銃である。
【００１５】
照射レンズ１２は、電子源１１から放出された電子線ＥＢを集束して試料Ｓに照射する。照射レンズ１２は、図示はしないが、複数の電子レンズで構成されていてもよい。
【００１６】
試料ステージ１３は、試料Ｓを保持する。図示の例では、試料ステージ１３は、試料ホルダー１４を介して、試料Ｓを保持している。試料ステージ１３は、例えば、試料Ｓを水平方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）に移動させる動作や、試料Ｓを鉛直方向（Ｚ軸方向）に移動させる動作、試料Ｓを傾斜させる動作などの動作を行うための駆動機構を含む。試料ステージ１３によって、試料Ｓの位置決めを行うことができる。
【００１７】
対物レンズ１５は、試料Ｓを透過した電子線ＥＢで透過電子顕微鏡像（ＴＥＭ像）を結像するための初段のレンズである。
【００１８】
中間レンズ１６および投影レンズ１７は、対物レンズ１５によって結像された像を拡大し、撮像装置１８上に結像させる。対物レンズ１５、中間レンズ１６、投影レンズ１７は、電子顕微鏡本体１０の結像系を構成している。
【００１９】
撮像装置１８は、結像系によって結像されたＴＥＭ像を撮影する。撮像装置１８は、例えば、ＣＣＤ（Charged-coupled devices）カメラ、ＣＭＯＳ（Complementary metal-oxide-semiconductor）カメラ等のデジタルカメラである。撮像装置１８は、撮影されたＴＥＭ像を制御ユニット２０に送る。
【００２０】
電子顕微鏡本体１０では、電子源１１から放出された電子線ＥＢは、照射レンズ１２によって集束されて試料Ｓに照射される。試料Ｓに照射された電子線ＥＢは、試料Ｓを透過して対物レンズ１５によって結像される。対物レンズ１５によって結像されたＴＥＭ像は、中間レンズ１６および投影レンズ１７によってさらに拡大されて、撮像装置１８で撮影される。撮像装置１８で撮影されたＴＥＭ像は、制御ユニット２０に送られる。
【００２１】
制御ユニット２０は、電子顕微鏡本体１０の各部を制御する。また、制御ユニット２０は、撮像装置１８からのＴＥＭ像を受け付け、撮影条件情報とともに、画像処理装置３０に送る。撮影条件情報は、倍率情報と、試料位置情報と、を含む。
【００２２】
倍率情報は、ＴＥＭ像が撮影されたときの倍率の情報である。なお、制御ユニット２０は、ＴＥＭ像が撮影されたときの倍率を補正する補正情報を有しており、倍率情報は、補正情報で補正された倍率であってもよい。
【００２３】
試料位置情報は、ＴＥＭ像が撮影された試料位置の情報である。試料位置は、例えば、試料ステージ１３における試料ステージ座標系の座標として表される。試料ステージ座標系は、試料ステージ１３上の各位置を特定するための座標系であり、例えば直交する２つの座標軸（Ｘ軸およびＹ軸）を持つ直交座標系である。なお、電子顕微鏡本体１０が、電磁的に電子線ＥＢを偏向して観察視野を移動可能に構成されている場合（例えばイメージシフト等）、この電磁的な観察視野の移動についても、試料位置の情報に反映される。
【００２４】
撮影条件情報は、倍率情報および試料位置情報以外の情報を含んでいてもよい。例えば、観察条件は、試料Ｓの傾斜の情報、加速電圧の情報、などを含んでいてもよい。
【００２５】
画像処理装置３０は、制御ユニット２０から、ＴＥＭ像を当該ＴＥＭ像の撮影条件情報とともに受け付けて、当該ＴＥＭ像を表示部に表示させる。また、画像処理装置３０は、光学顕微鏡で撮影された光学顕微鏡像（ＯＭ像）を、ＴＥＭ像に重ねて表示部に表示させる。また、画像処理装置３０は、ＯＭ像およびＯＭ像を撮影した試料位置情報を取得し、当該試料位置情報に基づいて試料ステージ１３を動作させ、ＯＭ像と同じ試料位置に試料
Ｓを移動させることができる。これにより、ＯＭ像と同じ試料位置でＴＥＭ像を撮影できる。
【００２６】
図２は、画像処理装置３０の構成を示す機能ブロック図である。
【００２７】
画像処理装置３０は、図２に示すように、処理部３２と、操作部３４と、表示部３６と、記憶部３８と、を含む。
【００２８】
操作部３４は、ユーザーからの指示を信号に変換して処理部３２に送る処理を行う。操作部３４は、例えば、トラックボール、ボタン、キー、タッチパネル型ディスプレイ、マイクなどの入力機器である。
【００２９】
表示部３６は、処理部３２で生成された画像を出力する。表示部３６は、例えば、ＬＣＤ（liquid crystal display）などのディスプレイである。
【００３０】
記憶部３８は、処理部３２が各種計算処理や制御処理を行うためのプログラムやデータを記憶している。また、記憶部３８は、処理部３２のワーク領域としても用いられる。記憶部３８は、例えば、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、およびハードディスクなどである。
【００３１】
処理部３２は、制御ユニット２０から送られたＴＥＭ像および当該ＴＥＭ像の撮影条件情報を取得する処理、ＯＭ像および当該ＯＭ像の撮影条件情報を取得する処理、ＯＭ像とＴＥＭ像とを重ねて表示部３６に表示させる処理などの処理を行う。処理部３２の機能は、各種プロセッサ（ＣＰＵ等）で記憶部３８に記憶されたプログラムを実行することにより実現することができる。処理部３２は、ＴＥＭ像取得部３２０と、ＯＭ像取得部３２２と、表示制御部３２４と、を含む。
【００３２】
ＴＥＭ像取得部３２０は、電子顕微鏡本体１０で撮影され、制御ユニット２０から送られたＴＥＭ像および撮影条件情報を受け付ける。これにより、ＴＥＭ像および撮影条件情報を取得する。
【００３３】
ＯＭ像取得部３２２は、ＯＭ像を取得する。ＯＭ像および撮影条件情報は、例えば、記憶部３８に記憶される。ＯＭ像取得部３２２は、記憶部３８に記憶されたＯＭ像および撮影条件情報を読み出して、ＯＭ像および撮影条件情報を取得する。
【００３４】
表示制御部３２４は、ＴＥＭ像取得部３２０が取得したＴＥＭ像と、ＯＭ像取得部３２２が取得したＯＭ像と、を重ねて表示部３６に表示させる。表示制御部３２４は、ＯＭ像を歪ませて、ＯＭ像の視野とＴＥＭ像の視野とを一致させる。
【００３５】
２．  画像処理方法
次に、本実施形態に係る画像処理方法について説明する。
【００３６】
本実施形態に係る画像処理方法は、試料のＯＭ像を取得する工程と、薄片化された試料のＴＥＭ像を取得する工程と、ＯＭ像とＴＥＭ像とを重ねて表示部３６に表示させる工程と、を含み、表示部３６に表示させる工程では、ＯＭ像を歪ませて、ＯＭ像の視野とＴＥＭ像の視野とを一致させる。
【００３７】
ＯＭ像は、光学顕微鏡で撮影された像である。光学顕微鏡は、例えば、試料に光を照射して、透過光や、反射光、蛍光など試料が発する光を結像させて観察する。光学顕微鏡としては、例えば、金属顕微鏡や、生物顕微鏡、倒立顕微鏡、微分干渉顕微鏡、蛍光顕微鏡
などが挙げられる。
【００３８】
以下では、まず、生体試料を生物顕微鏡で撮影する手法、試料を蛍光顕微鏡で撮影する手法、試料を透過電子顕微鏡で撮影する手法について説明する。
【００３９】
２．１．  生物顕微鏡を用いたＯＭ像の撮影
まず、生物顕微鏡でＯＭ像を撮影する手法について説明する。
【００４０】
図３は、生物顕微鏡２００の構成を示す図である。生物顕微鏡２００は、光学顕微鏡本体２１０と、制御コンピューター２２０と、を含む。
【００４１】
光学顕微鏡本体２１０は、照明装置や、光学系、ＯＭ像を撮影するための撮像装置２１２などを含む。撮像装置２１２は、例えば、ＣＣＤカメラ、ＣＭＯＳカメラなどのデジタルカメラである。撮像装置２１２で撮影されたＯＭ像は、制御コンピューター２２０に送られる。
【００４２】
光学顕微鏡本体２１０は、さらに、試料ステージを動作させる駆動機構２１４を備えている。駆動機構２１４は、制御コンピューター２２０によって制御される。
【００４３】
制御コンピューター２２０は、撮像装置２１２で撮影されたＯＭ像を取得し、当該ＯＭ像を、撮影条件情報とともに、制御コンピューター２２０の記憶部に記憶させる。ＯＭ像の撮影条件情報は、倍率情報と、試料位置情報と、を含む。
【００４４】
倍率情報は、ＯＭ像が撮影されたときの倍率の情報である。倍率情報は、例えば、ＯＭ像のピクセルサイズの情報である。試料位置情報は、ＯＭ像が撮影された試料位置の情報である。試料位置は、例えば、生物顕微鏡２００の試料ステージにおける試料ステージ座標系の座標として表される。また、撮影条件情報は、ＯＭ像のピクセル数を含む。
【００４５】
生物顕微鏡２００では、例えば、試料の画像シリーズを撮影する。画像シリーズは、同じ顕微鏡で撮影された一連の画像であり、試料を試料ステージから取り外すことなく撮影された画像である。そのため、同じ画像シリーズに含まれる画像間では、共通の座標系で試料位置が表される。
【００４６】
図４は、生物顕微鏡２００で撮影された画像シリーズＩ２００を模式的に示す図である。
【００４７】
図４に示す例では、画像シリーズＩ２００は、ＯＭ像Ｉ２０１、ＯＭ像Ｉ２０２、およびＯＭ像Ｉ２０３を含む。ＯＭ像Ｉ２０１は、ピクセルサイズがＡμｍであり、試料位置（Ｘ，Ｙ）＝（Ｘａ１，Ｙａ１）である。ＯＭ像Ｉ２０２は、ピクセルサイズがＢμｍであり、試料位置（Ｘ，Ｙ）＝（Ｘａ２，Ｙａ２）である。ＯＭ像Ｉ２０３は、ピクセルサイズがＢμｍであり、試料位置（Ｘ，Ｙ）＝（Ｘａ３，Ｙａ３）である。試料位置は、例えば、視野の中心の座標で表される。
【００４８】
生物顕微鏡２００で撮影された画像シリーズＩ２００をＴＥＭ像と重ねる場合には、画像処理装置３０の記憶部３８に、画像シリーズＩ２００を構成するＯＭ像の画像データおよび観察条件情報を記憶させる。
【００４９】
２．２．  蛍光顕微鏡を用いたＯＭ像の撮影
次に、蛍光顕微鏡でＯＭ像を撮影する手法について説明する。蛍光顕微鏡では、蛍光タンパク質や蛍光色素で特定の細胞や特定のタンパク質などを標識することによって、目的
の細胞や目的のタンパク質の局在を観察することができる。
【００５０】
蛍光顕微鏡は、例えば、特定の波長の光だけを試料に照射する点を除いて、上述した図３に示す生物顕微鏡２００と同様の構成を有している。
【００５１】
図５は、蛍光顕微鏡で撮影された画像シリーズＩ３００を模式的に示す図である。
【００５２】
図５に示す例では、画像シリーズＩ３００は、ＯＭ像Ｉ３０１、ＯＭ像Ｉ３０２、ＯＭ像Ｉ３０３、ＯＭ像Ｉ３０４、およびＯＭ像Ｉ３０５を含む。ＯＭ像Ｉ３０４およびＯＭ像は、ピクセルサイズがＡμｍであり、試料位置（Ｘ，Ｙ）＝（Ｘｂ１，Ｙｂ１）である。なお、ＯＭ像Ｉ３０１とＯＭ像Ｉ３０２とは、試料が発する光の波長が異なっている。ＯＭ像Ｉ３０３およびＯＭ像Ｉ３０４は、ピクセルサイズがＢμｍであり、試料位置（Ｘ，Ｙ）＝（Ｘｂ２，Ｙｂ２）である。なお、ＯＭ像Ｉ３０３とＯＭ像Ｉ３０４とは、試料が発する光の波長が異なっている。ＯＭ像Ｉ３０５は、ピクセルサイズがＢμｍであり、試料位置（Ｘ，Ｙ）＝（Ｘｂ３，Ｙｂ３）である。
【００５３】
蛍光顕微鏡で撮影された画像シリーズＩ３００をＴＥＭ像と重ねる場合には、画像処理装置３０の記憶部３８に、画像シリーズＩ３００を構成するＯＭ像の画像データおよび観察条件情報を記憶させる。
【００５４】
２．３．  透過電子顕微鏡を用いたＴＥＭ像の撮影
次に、透過電子顕微鏡でＴＥＭ像を撮影する手法について説明する。上述した生物顕微鏡や蛍光顕微鏡などの光学顕微鏡では、試料を直接観察することができる。これに対して、透過電子顕微鏡で試料を観察する場合には、試料を薄片化しなければならない。
【００５５】
透過電子顕微鏡用の試料は、例えば、まず、試料を樹脂包埋し、樹脂包埋された試料をミクロトームなどで薄く切り出し、切り出された試料片をＴＥＭ用のグリッドに置くことで作製できる。なお、透過電子顕微鏡用の試料作製方法は、これに限定されず、公知の様々な手法を用いることができる。
【００５６】
図６は、透過電子顕微鏡１００で撮影されたＴＥＭ像Ｉ１００を模式的に示す図である。
【００５７】
図６に示す例では、ＴＥＭ像Ｉ１００は、ピクセルサイズがＣμｍであり、試料位置（Ｘ，Ｙ）＝（Ｘｃ１，Ｙｃ１）である。
【００５８】
２．４．  画像処理
２．４．１．  基本動作
次に、画像処理装置３０の表示制御部３２４の基本動作について、図面を参照しながら説明する。
【００５９】
図７〜図１４は、透過電子顕微鏡１００のＵＩ画面２を模式的に示す図である。
【００６０】
ＵＩ画面２には、画像が表示される画像表示領域４と、画像のレイヤーの情報を示すレイヤー表示領域８と、が表示されている。
【００６１】
ＵＩ画面２は、透過電子顕微鏡１００の試料ステージ１３の座標系と同様の座標系を有している。例えば、ＵＩ画面２の横方向が試料ステージ１３のＸ軸方向に対応し、ＵＩ画面２の縦方向が試料ステージ１３のＹ軸方向に対応している。すなわち、試料ステージ１３をＸ軸方向に移動させた場合、ＵＩ画面２に表示されたＴＥＭ像はＵＩ画面２の横方向
に移動する。また、試料ステージ１３をＹ軸方向に移動させた場合、ＵＩ画面２に表示されたＴＥＭ像はＵＩ画面２の縦方向に移動する。
【００６２】
図７では、画像表示領域４には、ＴＥＭ像Ｉ１００が表示されている。図７に示す例では、ＴＥＭ像Ｉ１００の試料位置は、（Ｘ，Ｙ）＝（１００，１００）である。
【００６３】
図８では、ＵＩ画面２において、ＴＥＭ像Ｉ１００を非表示にし、ＯＭ像Ｉ２０１をレイヤー１として表示させている。図８に示す例では、ＯＭ像Ｉ２０１の試料位置は、（Ｘ，Ｙ）＝（１００，１００）である。
【００６４】
図９では、ＯＭ像Ｉ２０１とＴＥＭ像Ｉ１００を重ねて表示させている。ここでは、ＯＭ像Ｉ２０１の透過度を調整して、ＴＥＭ像Ｉ１００上にＯＭ像Ｉ２０１を重ねて表示させている。ＯＭ像Ｉ２０１の試料位置（Ｘ，Ｙ）＝（１００，１００）とＴＥＭ像Ｉ１００の試料位置（Ｘ，Ｙ）＝（１００，１００）とは一致している。しかしながら、生物顕微鏡２００における試料位置の座標と、透過電子顕微鏡１００における試料位置の座標とを完全に一致させることは困難であるため、図９に示すように、ＯＭ像Ｉ２０１とＴＥＭ像Ｉ１００とにはずれがある。
【００６５】
図１０では、ＯＭ像Ｉ２０１を平行移動させて、ＴＥＭ像Ｉ１００に重ねている。図１０では、ＯＭ像Ｉ２０１を平行移動させて、ＯＭ像Ｉ２０１の試料位置を（Ｘ，Ｙ）＝（１００＋Ｘ１，１００＋Ｙ１）としている。このように、ＯＭ像Ｉ２０１に対して座標の補正を行い、生物顕微鏡２００における試料位置の座標と、透過電子顕微鏡１００における試料位置の座標とを一致させている。
【００６６】
図１１では、図１０に示すＯＭ像Ｉ２０１とＴＥＭ像Ｉ１００を重ねた状態で、さらに、ＯＭ像Ｉ２０２およびＯＭ像Ｉ２０３を重ねて表示させている。ここでは、ＯＭ像Ｉ２０１を１番目のレイヤーとし、ＯＭ像Ｉ２０２およびＯＭ像Ｉ２０３を２番目のレイヤーとしている。
【００６７】
ここで、ＯＭ像Ｉ２０２およびＯＭ像Ｉ２０３には、ＯＭ像Ｉ２０１で設定された座標補正が適用される。すなわち、ＯＭ像Ｉ２０２は、試料位置（Ｘ，Ｙ）＝（Ｘａ２＋Ｘ１，Ｙａ２＋Ｙ１）に表示され、ＯＭ像Ｉ２０３は、試料位置（Ｘ，Ｙ）＝（Ｘａ３＋Ｘ１，Ｙａ３＋Ｙ１）に表示される。したがって、ＯＭ像Ｉ２０１と、ＯＭ像Ｉ２０２およびＯＭ像Ｉ２０３とは、試料の位置関係を保った状態で、ＴＥＭ像Ｉ１００と重ねることができる。また、ＯＭ像Ｉ２０１のピクセルサイズとピクセル数、ＯＭ像Ｉ２０２のピクセルサイズとピクセル数、およびＯＭ像Ｉ２０３のピクセルサイズとピクセル数に基づいて、ＯＭ像Ｉ２０２およびＯＭ像Ｉ２０３を適切な画像サイズで表示させることができる。
【００６８】
図１２では、蛍光顕微鏡で撮影されたＯＭ像Ｉ３０１を３番目のレイヤーとし、ＯＭ像Ｉ３０２を４番目のレイヤーとして表示させている。
【００６９】
ＯＭ像Ｉ３０１についても、ＯＭ像Ｉ２０１と同様の手法で試料位置を補正する。そして、ＯＭ像Ｉ３０１で設定された座標補正を、ＯＭ像Ｉ３０２に適用して、ＯＭ像Ｉ３０２の試料位置を補正する。
【００７０】
図１３では、図１２に示す画像をデジタルズームした状態を示している。図１３に示すように、ＵＩ画面２に表示されている画像は、位置および倍率の関係が相互に保たれた状態でデジタルズームを行うことができる。
【００７１】
図１４では、ＴＥＭ像Ｉ１００に変えて、透過電子顕微鏡１００で撮影されたＴＥＭ像
のライブ画像Ｉ１０１をＵＩ画面２に表示させている。すなわち、ＵＩ画面２には、透過電子顕微鏡１００で撮影されたＴＥＭ像がリアルタイムに表示されている。このように、ライブ画像Ｉ１０１を、ＯＭ像と重ねて表示させることができる。
【００７２】
なお、観察倍率に応じてＴＥＭ像が回転する場合、各観察倍率に応じた像回転角に応じて、ＴＥＭ像を回転させる。これにより、観察倍率を変更しても、ＯＭ像とＴＥＭ像を重ねて表示させることができる。
【００７３】
２．４．２．  歪み補正
上述したように、試料は光学顕微鏡で観察した後、薄片化されてＴＥＭ用の試料に加工される。この薄片化により、試料には歪みが生じる。そのため、ＯＭ像とＴＥＭ像を重ねて表示させる場合、この歪みを補正しなければ、ＯＭの視野とＴＥＭ像の視野を一致させることができない。したがって、本実施形態では、ＯＭ像を歪ませて、ＯＭ像の視野とＴＥＭ像の視野を一致させる。
【００７４】
図１５〜図２４は、ＯＭ像とＴＥＭ像を重ねて表示させる手法の一例を説明するための図である。以下では、ＴＥＭ像Ｉ１００にＯＭ像Ｉ３０１を重ねて表示させる場合について説明する。
【００７５】
まず、図１５に示すように、ＯＭ像Ｉ３０１とＴＥＭ像Ｉ１００を表示部３６のＵＩ画面２に表示させる。ここでは、ＴＥＭ像Ｉ１００の観察条件情報およびＯＭ像の観察条件情報に基づいて、ＴＥＭ像Ｉ１００を表示させる位置および大きさ、およびＯＭ像Ｉ３０１を表示させる位置および大きさが決定されている。
【００７６】
次に、図１６に示すように、ＯＭ像Ｉ３０１とＴＥＭ像Ｉ１００において、それぞれ基準となる特徴点を選択する。基準となる特徴点は、ＯＭ像Ｉ３０１とＴＥＭ像Ｉ１００において、同じ試料位置である箇所である。図１６に示す例では、ＯＭ像Ｉ３０１上の点Ａ１と、点Ａ１と同じ試料位置であるＴＥＭ像Ｉ１００上の点Ａ２と、が特徴点として選択されている。
【００７７】
次に、図１７に示すように、ＯＭ像Ｉ３０１の点Ａ１と、ＴＥＭ像Ｉ１００上の点Ａ２と、が重なるように、ＯＭ像Ｉ３０１を平行移動させる。
【００７８】
次に、図１８に示すように、ＯＭ像Ｉ３０１とＴＥＭ像Ｉ１００において、それぞれ基準となる特徴点を２つ選択する。図１８に示す例では、ＯＭ像Ｉ３０１上の点Ａ１、点Ａ１と同じ試料位置であるＴＥＭ像Ｉ１００上の点Ａ２、ＯＭ像Ｉ３０１上の点Ｂ１、点Ｂ１と同じ試料位置であるＴＥＭ像Ｉ１００上の点Ｂ２、が特徴点として選択されている。このように、ＯＭ像Ｉ３０１を平行移動させるときの特徴点として用いた点Ａ１と点Ａ２を、本処理においても特徴点として選択している。
【００７９】
次に、点Ａ１と点Ｂ１と結ぶ直線Ｌ１と、点Ａ２と点Ｂ２とを結ぶ直線Ｌ２と、が一致するように、点Ａ１を回転中心として、ＯＭ像Ｉ３０１を回転させる。これにより、図１９に示すように、ＯＭ像Ｉ３０１とＴＥＭ像Ｉ１００の回転角をあわせることができる。
【００８０】
次に、図２０に示すように、直線Ｌ１と平行な軸をＸ軸（第２軸）とし、直線Ｌ１と直交する軸をＹ軸（第１軸）に設定する。なお、Ｘ軸とＹ軸とが交わる原点は、点Ａ１とする。なお、Ｘ軸およびＹ軸は、互いに直交すれば任意に設定可能である。
【００８１】
次に、ＯＭ像Ｉ３０１とＴＥＭ像Ｉ１００において、それぞれ基準となる特徴点を２つ選択する。図２０に示す例では、ＯＭ像Ｉ３０１上の点Ａ１（第１点）、点Ａ１と同じ試
料位置であるＴＥＭ像Ｉ１００上の点Ａ２（第２点）、ＯＭ像Ｉ３０１上の点Ｃ１（第３点）、点Ｃ１と同じ試料位置であるＴＥＭ像Ｉ１００上の点Ｃ２（第４点）、が特徴点として選択されている。
【００８２】
次に、図２１に示すように、ＯＭ像Ｉ３０１上の点Ａ１とＴＥＭ像Ｉ１００上の点Ａ２とが重なり、かつ、ＯＭ像Ｉ３０１上の点Ｃ１とＴＥＭ像Ｉ１００上の点Ｃ２とが重なるように、Ｙ軸に沿って、ＯＭ像Ｉ３０１を伸縮させる。図２１に示す例では、点Ａ１を固定した状態で、点Ｃ１が点Ｃ２に重なるように、ＯＭ像Ｉ３０１を縮めている。点Ｃ１および点Ｃ２は、点Ａ１を固定してＯＭ像Ｉ３０１を伸縮させたときに重なる点が選択される。
【００８３】
次に、図２２に示すように、ＯＭ像Ｉ３０１とＴＥＭ像Ｉ１００において、それぞれ基準となる特徴点を２つ選択する。図２２に示す例では、ＯＭ像Ｉ３０１上の点Ａ１（第５点）、点Ａ１と同じ試料位置であるＴＥＭ像Ｉ１００上の点Ａ２（第６点）、ＯＭ像Ｉ３０１上の点Ｄ１（第７点）、点Ｄ１と同じ試料位置であるＴＥＭ像Ｉ１００上の点Ｄ２（第８点）、が特徴点として選択されている。
【００８４】
次に、図２３に示すように、ＯＭ像Ｉ３０１上の点Ａ１とＴＥＭ像Ｉ１００上の点Ａ２とが重なり、かつ、ＯＭ像Ｉ３０１上の点Ｄ１とＴＥＭ像Ｉ１００上の点Ｄ２とが重なるように、Ｘ軸に沿って、ＯＭ像Ｉ３０１を伸縮させる。図２３に示す例では、点Ａ１を固定した状態で、点Ｄ１が点Ｄ２に重なるように、ＯＭ像Ｉ３０１を縮めている。点Ｄ１および点Ｄ２は、同じ試料位置であれば任意の位置に設定可能である。
【００８５】
以上の工程によって、試料の薄片化による歪みの影響を低減でき、ＯＭ像とＴＥＭ像とを重ねて表示させることができる。
【００８６】
なお、上記では、Ｙ軸に沿ってＯＭ像Ｉ３０１を伸縮させた後に、Ｘ軸に沿ってＯＭ像Ｉ３０１を伸縮させたが、その順序は特に限定されない。また、Ｙ軸に沿ったＯＭ像Ｉ３０１の伸縮と、Ｘ軸に沿ったＯＭ像Ｉ３０１の伸縮とを同時に行ってもよい。
【００８７】
図２４では、ＴＥＭ像Ｉ１００に、ＯＭ像Ｉ３０１に加えて、さらに同じ画像シリーズＩ３００のＯＭ像Ｉ３０３を重ねて表示させている。このとき、ＯＭ像Ｉ３０１の平行移動させる移動方向および移動距離、ＯＭ像Ｉ３０１を回転させる回転角、ＯＭ像Ｉ３０１のＹ軸に沿った伸縮率、およびＸ軸に沿った伸縮率を含む補正情報は、ＯＭ像Ｉ３０３にも適用される。すなわち、ＯＭ像Ｉ３０３は、ＯＭ像Ｉ３０１と同じ補正値を用いて補正され、ＴＥＭ像Ｉ１００に重ねられる。このように、同じ画像シリーズのＯＭ像であれば、共通の補正値に基づいて、補正が可能である。
【００８８】
なお、上記では、ＴＥＭ像Ｉ１００に、ＯＭ像Ｉ３０１およびＯＭ像Ｉ３０３を重ねたが、同様の手法を用いて、ＴＥＭ像のライブ画像に、ＯＭ像Ｉ３０１およびＯＭ像Ｉ３０３を重ねることもできる。
【００８９】
３．  処理
図２５は、透過電子顕微鏡１００の処理部３２の処理の一例を示すフローチャートである。以下では、ＴＥＭ像Ｉ１００とＯＭ像Ｉ３０１とを重ね合わせて表示部３６に表示させる処理について説明する。
【００９０】
まず、処理部３２は、ユーザーがＯＭ像とＴＥＭ像とを重ねて表意する処理を開始する指示（開始指示）を行ったか否かを判定する（Ｓ１００）。処理部３２は、例えば、操作部３４を介してユーザーからの開始指示が入力された場合に、開始指示が行われたと判断
する。
【００９１】
開始指示が行われたと判定した場合（Ｓ１００のＹｅｓ）、ＴＥＭ像取得部３２０は、記憶部３８に記憶されているＴＥＭ像Ｉ１００、およびＴＥＭ像Ｉ１００の撮影条件情報を取得する（Ｓ１０２）。また、ＯＭ像取得部３２２は、記憶部３８に記憶されているＯＭ像Ｉ３０１、およびＯＭ像Ｉ３０１の撮影条件情報を取得する（Ｓ１０４）。
【００９２】
次に、表示制御部３２４は、ＴＥＭ像の撮影条件情報およびＯＭ像の撮影条件情報に基づいて、ＴＥＭ像Ｉ１００およびＯＭ像Ｉ３０１を表示部３６に表示させる（Ｓ１０６）。これにより、図１５に示すように、表示部３６には、ＴＥＭ像Ｉ１００およびＯＭ像Ｉ３０１が表示される。
【００９３】
次に、表示制御部３２４は、図１６に示すように、選択されたＯＭ像Ｉ３０１上の点Ａ１の座標情報および選択されたＴＥＭ像Ｉ１００上の点Ａ２の座標情報を取得し、取得した座標情報に基づいて、点Ａ１と点Ａ２とが重なるようにＯＭ像Ｉ３０１を平行移動させる（Ｓ１０８）。これにより、図１７に示すように、点Ａ１と点Ａ２とが重なる。表示制御部３２４は、ＯＭ像Ｉ３０１の移動方向および移動距離の情報を記憶部３８に記憶させる。
【００９４】
点Ａ１および点Ａ２の選択は、操作部３４を操作して、ユーザーが表示部３６に表示されたＴＥＭ像Ｉ１００上の点およびＯＭ像Ｉ３０１上の点を選択することで行われる。ユーザーが操作部３４を介して点Ａ１および点Ａ２を選択することで、点Ａ１の座標情報および点Ａ２の座標情報を取得できる。
【００９５】
なお、点Ａ１および点Ａ２の選択は、画像処理によって同じ試料位置の箇所を抽出することで行われてもよい。後述する点Ｂ１、点Ｂ２、点Ｃ１、点Ｃ２、点Ｄ１、および点Ｄ２についても、点Ａ１および点Ａ２と同様に選択される。
【００９６】
次に、表示制御部３２４は、図１８に示すように、選択されたＯＭ像Ｉ３０１上の２点（点Ａ１および点Ｂ１）の座標情報、および選択されたＴＥＭ像Ｉ１００上の２点（点Ａ２および点Ｂ２）の座標情報に基づいて、ＯＭ像Ｉ３０１とＴＥＭ像Ｉ１００の回転角を合わせる（Ｓ１１０）。
【００９７】
表示制御部３２４は、点Ａ１および点Ｂ１の座標情報に基づいて、点Ａ１と点Ｂ１とを結ぶ直線Ｌ１を引き、点Ａ２および点Ｂ２の座標情報に基づいて、点Ａ２と点Ｂ２とを結ぶ直線Ｌ２を引く。そして、直線Ｌ１と直線Ｌ２とが一致するように、ＯＭ像Ｉ３０１を回転させる。これにより、図１９に示すように、ＯＭ像Ｉ３０１とＴＥＭ像Ｉ１００の回転角をあわせることができる。表示制御部３２４は、ＯＭ像Ｉ３０１の回転角の情報を記憶部３８に記憶させる。
【００９８】
表示制御部３２４は、図２０に示すように、互い直交する２つの軸であるＸ軸およびＹ軸を設定する（Ｓ１１２）。図２０に示す例では、Ｘ軸は、直線Ｌ１と平行であり、かつ、点Ａ１を通る軸に設定され、Ｙ軸は、Ｘ軸に直交し、かつ、点Ａ１を通る軸に設定されている。
【００９９】
表示制御部３２４は、図２１に示すように、選択されたＯＭ像Ｉ３０１上の２点（点Ａ１および点Ｃ１）の座標情報、および選択されたＴＥＭ像Ｉ１００上の２点（点Ａ２および点Ｃ２）の座標情報に基づいて、点Ａ１と点Ａ２とが重なり、かつ、点Ｃ１と点Ｃ２とが重なるように、ＯＭ像Ｉ３０１をＹ軸に沿って伸縮させる（Ｓ１１４）。表示制御部３２４は、本工程におけるＹ軸に沿ったＯＭ像Ｉ３０１に伸縮率を記憶部３８に記憶させる
。
【０１００】
表示制御部３２４は、図２２に示すように、選択されたＯＭ像Ｉ３０１上の２点（点Ａ１および点Ｄ１）の座標情報、および選択されたＴＥＭ像Ｉ１００上の２点（点Ａ２および点Ｄ２）の座標情報に基づいて、点Ａ１と点Ａ２とが重なり、かつ、点Ｄ１と点Ｄ２とが重なるように、ＯＭ像Ｉ３０１をＸ軸に沿って伸縮させる（Ｓ１１６）。表示制御部３２４は、本工程におけるＸ軸に沿ったＯＭ像Ｉ３０１に伸縮率を記憶部３８に記憶させる。
【０１０１】
以上の処理により、図２３に示すように、ＴＥＭ像Ｉ１００とＯＭ像Ｉ３０１とを重ねて表示部３６に表示させることができる。
【０１０２】
なお、ＯＭ像Ｉ３０１と同じ画像シリーズのＯＭ像（例えば、ＯＭ像Ｉ３０３）を、ＴＥＭ像Ｉ１００に重ねて表示させる場合には、表示制御部３２４は、記憶部３８に記憶された、ＯＭ像Ｉ３０１を平行移動させる移動方向および移動距離、ＯＭ像Ｉ３０１を回転させる回転角、ＯＭ像Ｉ３０１のＹ軸に沿った伸縮率、およびＸ軸に沿った伸縮率を含む補正情報を読み出して、当該補正情報に基づきＯＭ像Ｉ３０３を補正する。これにより、効率よく同じ画像シリーズのＯＭ像をＴＥＭ像に重ねて表示させることができる。
【０１０３】
すなわち、例えば、歪みを補正する処理では、ＯＭ像取得部３２２は、ＯＭ像Ｉ３０１と同じ画像シリーズの他のＯＭ像であるＯＭ像Ｉ３０３を取得し、表示制御部３２４は、ＯＭ像Ｉ３０３とＴＥＭ像Ｉ１００とを重ねて表示部３６に表示させる。表示制御部３２４は、ＯＭ像Ｉ３０３を歪ませて、ＯＭ像Ｉ３０３の視野とＴＥＭ像の視野とを一致させる。
【０１０４】
このとき、表示制御部３２４は、Ｙ軸に沿ってＯＭ像Ｉ３０１を伸縮させる工程におけるＯＭ像Ｉ３０１の伸縮率と同じ伸縮率でＯＭ像Ｉ３０３をＹ軸に沿って伸縮させ、Ｘ軸に沿ってＯＭ像Ｉ３０１を伸縮させる工程におけるＯＭ像Ｉ３０１の伸縮率と同じ伸縮率でＯＭ像Ｉ３０３をＸ軸に沿って伸縮する。
【０１０５】
４．  効果
本実施形態に係る画像処理方法は、試料のＯＭ像を取得する工程と、薄片化された試料のＴＥＭ像を取得する工程と、ＯＭ像とＴＥＭ像とを重ねて表示部３６に表示させる工程と、を含み、ＯＭ像とＴＥＭ像とを重ねて表示部３６に表示させる工程では、ＯＭ像を歪ませて、ＯＭ像の視野とＴＥＭ像の視野とを一致させる。そのため、ＯＭ像とＴＥＭ像とを重ねて表示させる際に、薄片化による試料の歪みによるずれを低減できる。
【０１０６】
また、本実施形態では、ＯＭ像を歪ませている。ここで、ＯＭ像は、薄片化する前の状態の試料を撮影したものであり、ＴＥＭ像は、薄片化後の試料を撮影したものである。そのため、ＴＥＭ像を歪ませた場合、ＯＭ像を歪ませた場合と比べて、試料の厚み方向への影響が大きく、本来の試料の状態からのずれが大きくなってしまう。したがって、本実施形態ではＯＭ像を歪ませることによって、より試料本来の状態に近い状態で、ＯＭ像とＴＥＭ像とを重ねて表示できる。
【０１０７】
本実施形態に係る画像処理方法では、ＯＭ像とＴＥＭ像とを重ねて表示部３６に表示させる工程は、ＯＭ上の第１点Ａ１と第１点と同じ試料位置であるＴＥＭ像の第２点Ａ２とが重なり、かつ、ＯＭ像上の第３点Ｃ１と第３点と同じ試料位置であるＴＥＭ像上の第４点Ｃ２とが重なるように、第１軸（Ｙ軸）に沿って、ＯＭ像を伸縮させる工程と、ＯＭ像上の第５点Ａ１と第５点と同じ試料位置であるＴＥＭ像の第６点Ｄ１とが重なり、かつ、ＯＭ像上の第７点Ａ２と第７点と同じ試料位置であるＴＥＭ像上の第８点Ｄ２とが重なる
ように、第１軸と直交する第２軸（Ｘ軸）に沿って、ＯＭ像を伸縮させる工程と、を含む。そのため、ＯＭ像の視野が、ＴＥＭ像の視野と一致するように、ＯＭ像を歪ませることができる。
【０１０８】
本実施形態に係る画像処理方法では、ＯＭ像と同じ画像シリーズの他のＯＭ像を取得する工程と、他のＯＭ像とＴＥＭ像とを重ねて表示部３６に表示させる工程と、を含み、他のＯＭ像とＴＥＭ像とを重ねて表示部３６に表示させる工程では、他のＯＭ像を歪ませて、他のＯＭ像の視野とＴＥＭ像の視野とを一致させる。また、他のＯＭ像とＴＥＭ像とを重ねて表示部３６に表示させる工程は、Ｙ軸に沿ってＯＭ像を伸縮させる工程におけるＯＭ像の伸縮率に基づいて、他のＯＭ像をＹ軸に沿って伸縮する工程と、Ｘ軸に沿ってＯＭ像を伸縮させる工程におけるＯＭ像の伸縮率に基づいて、他のＯＭ像をＸ軸に沿って伸縮する工程と、を含む。そのため、容易に、他のＯＭ像を、ＴＥＭ像と重ねて表示できる。
【０１０９】
また、本実施形態に係る画像処理方法では、ＯＭ像の観察倍率と他のＯＭ像の観察倍率とは、異なっている。そのため、例えば、低い倍率のＯＭ像とＴＥＭ像とを重ねた後に、高い倍率のＯＭ像とＴＥＭ像をと重ねて表示させることができる。これにより、試料を高い低倍率から高倍率まで確認できる。
【０１１０】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、さらに種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成を含む。実質的に同一の構成とは、例えば、機能、方法、及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成である。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０１１１】
２…ＵＩ画面、４…画像表示領域、８…レイヤー表示領域、１０…電子顕微鏡本体、１１…電子源、１２…照射レンズ、１３…試料ステージ、１４…試料ホルダー、１５…対物レンズ、１６…中間レンズ、１７…投影レンズ、１８…撮像装置、２０…制御ユニット、３０…画像処理装置、３２…処理部、３４…操作部、３６…表示部、３８…記憶部、１００…透過電子顕微鏡、２００…生物顕微鏡、２１０…光学顕微鏡本体、２１２…撮像装置、２１４…駆動機構、２２０…制御コンピューター、３２０…ＴＥＭ像取得部、３２２…ＯＭ像取得部、３２４…表示制御部
【図１】
2020191257.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2020191257.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2020191257.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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