【事件の表示】
　特許第６５３９４２５号発明「架橋性エラストマー組成物、成型品、シール材、該シール材を含むプラズマ処理装置及び半導体製造装置、並びに、成型品の硬度低下剤、成型品の製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第６５３９４２５号の明細書及び特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正明細書及び訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１−７〕、８、９について訂正することを認める。
　特許第６５３９４２５号の請求項１−９に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯及び証拠方法
１　手続の経緯
　特許第６５３９４２５号（請求項の数９。以下、「本件特許」という。）は、平成２８年１１月１９日（優先権主張：平成２７年１１月３０日）を国際出願日とする特許出願（特願２０１７−５５３８６７号）の一部を、平成３１年４月１２日に新たな出願とした特許出願（特願２０１９−０７６６５９号）に係るものであって、令和１年６月１４日に特許権の設定登録がされたものである（特許掲載公報の発行日は、令和１年７月３日である。）。
　その後、令和１年１２月２７日に、本件特許の全請求項（請求項１〜９）に係る特許に対し、竹原尚彦（以下「申立人」という。）により特許異議の申立てがされたものである。
　本件特許異議の申立てにおける手続の経緯は以下のとおりである。
　令和１年１２月２７日　　　特許異議申立書
　令和２年　３月２４日付け　取消理由通知書
　　　同年　５月２５日　　　意見書・訂正請求書（特許権者）
　　　同年　７月１３日　　　通知書（訂正請求があった旨の通知）
　　　同年　８月１２日　　　意見書（申立人）
２　証拠方法
　申立人が異議申立書に添付した証拠方法は、以下のとおりである。
　甲第１号証：特開２００６−２０６８７４号公報
　甲第２号証：特開平０１−１９３３４９号公報
　甲第３号証：特開２００４−２５０５２０号公報
　甲第４号証：特開２００８−１９５９４７号公報 
　甲第５号証：特開２０１０−２３５９０６号公報
（以下、「甲第１号証」〜「甲第５号証」を、「甲１」〜「甲５」という。）
第２　訂正の適否についての判断
１　訂正の内容
　令和２年５月２５日提出の訂正請求書による訂正（以下、「本件訂正」という。）の請求は、願書に添付した明細書及び特許請求の範囲を上記訂正請求書に添付された訂正明細書及び特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１〜９について訂正することを求めるものであり、その内容は、以下のとおりである。下線は、訂正箇所を示す。
（１）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１に、
「
」
とあるのを、
「
」
に訂正する。
（２）訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項８に、
「
」
とあるのを、
「
」
に訂正する。
（３）訂正事項３
　特許請求の範囲の請求項９に、
「
」
とあるのを、
「
」
に訂正する。
（４）訂正事項４
　願書に添付した明細書の段落【００１６】に、
「
」
とあるのを、
「
」
に訂正する。
（５）訂正事項５
　願書に添付した明細書の段落【００７６】に
「〔架橋性エラストマー成分を変えた場合の硬度変化の評価〕
《実施例３２、３３、比較例８》
　架橋性エラストマーとして、パーフルオロエラストマー（Ａ）のみを用いた場合の硬度変化を評価した。各原料の配合は表７に示すとおりで、パーフロエラストマー（Ａ）は《実施例２４〜２９》で用いた製品と同様で、その他の原料は《実施例１〜１０》と同様である。次に、実施例１〜１０と同様の手順で、シール材を製造し、耐プラズマ性の評価を行った。また、硬度については、上記〔フッ素オリゴマー（ａ）の添加量と硬度の関係〕と同様の手順で行った。評価結果も表７に示す。」
とあるのを、
「〔架橋性エラストマー成分を変えた場合の硬度変化の評価〕
《実施例３２、３３、比較例８》
　架橋性エラストマーとして、パーフルオロエラストマー（Ａ）のみを用いた場合の硬度変化を評価した。各原料の配合は表７に示すとおりで、パーフロエラストマー（Ａ）は《実施例２４〜２９》で用いた製品と同様で、その他の原料は《実施例１〜１０》と同様である。次に、実施例１〜１０と同様の手順で、シール材を製造し、耐プラズマ性の評価を行った。また、硬度については、上記〔フッ素オリゴマー（ａ）の添加量と硬度の関係〕と同様の手順で行った
。
と訂正する。
（６）訂正事項６
　願書に添付した明細書の段落【００７７】の【表７】を、
「
」
とあるのを、
「
」
と訂正する。
（７）訂正事項７
　願書に添付した明細書の段落【００７８】に
「表７に示すように、架橋性エラストマーとしてパーフルオロエラストマー（Ａ）のみを用いた場合でも、フッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、成型品の硬度を低下できることが明らかとなった。なお、パーフルオロエラストマー（Ａ）のみを用いた場合、フッ素オリゴマー（ａ）を添加しても耐プラズマ性はほぼ同じであった。これは、パーフルオロエラストマー（Ａ）が耐プラズマ性に特に優れている材料であるため、耐プラズマ性が変化しなかったと考えられる。」
とあるのを、
「
架
と訂正する。
（８）訂正事項８
　願書に添付した明細書の段落【００７９】に
「《実施例３４、比較例９》
　次に、架橋性エラストマーとして、エラストマー（Ｂ）及びパーフルオロエラストマー（Ａ）以外の、架橋性エラストマーを用いた場合の硬度変化を評価した。各原料の配合は表８に示すとおりで、架橋性エラストマーとして用いたエチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ、ＬＵＮＸＥＳＳ社製　Ｋｅｌｔａｎ　８３４０Ａ）以外の原料は、《実施例１〜１０》と同様である。次に、実施例１〜１０と同様の手順で、シール材を製造した。また、硬度については、上記〔フッ素オリゴマー（ａ）の添加量と硬度の関係〕と同様の手順で行った。評価結果も表に示す。」
とあるのを、
「《実施例３４、比較例９》
　次に、架橋性エラストマーとして、エラストマー（Ｂ）及びパーフルオロエラストマー（Ａ）以外の、架橋性エラストマーを用いた場合の硬度変化を評価した。各原料の配合は表８に示すとおりで、架橋性エラストマーとして用いたエチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ、ＬＵＮＸＥＳＳ社製　Ｋｅｌｔａｎ　８３４０Ａ）以外の原料は、《実施例１〜１０》と同様である。次に、実施例１〜１０と同様の手順で、シール材を製造した。また、硬度については、上記〔フッ素オリゴマー（ａ）の添加量と硬度の関係〕と同様の手順で行った
。
と訂正する。
（９）訂正事項９
　願書に添付した明細書の段落【００８０】の【表８】を、
「
」
とあるのを、
「
」
と訂正する。
（１０）訂正事項１０
　願書に添付した明細書の段落【００８１】を
「表８に示すように、エラストマー（Ｂ）及びパーフルオロエラストマー（Ａ）以外の架橋性エラストマーを用いた場合でも、フッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、成型品の硬度を低下できることが明らかとなった。」
とあるのを、
「
エ
と訂正する。
（１１）一群の請求項について
　訂正事項１に係る訂正前の請求項１について、請求項２〜７はそれぞれ請求項１を直接的又は間接的に引用するものであって、訂正事項１によって記載が訂正される請求項１に連動して訂正されるものである。
　よって、訂正前の請求項１〜７に対応する訂正後の請求項１〜７は、一群の請求項である。
　したがって、本件訂正は、一群の請求項ごとに請求がなされたものである。
（１２）願書に添付した明細書の訂正に係る請求項について 
　訂正事項４〜１０は、願書に添付した明細書の訂正を含むものであるところ、本件訂正は、該明細書の訂正に係る請求項の全てについて行われたものである。
　したがって、願書に添付した明細書に係る訂正は、一群の請求項〔１−７〕、８、９について行われたものである。
２　訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
（１）訂正事項１〜３について
　訂正事項１〜３は、それぞれ、訂正前の請求項１，８，９に記載された式（７）において、繰り返し単位を意味する「（　）」があるものの、繰り返し単位数が存在せず、化学構造式として正しくないことが技術的に明らかである不明瞭な記載に対して、その繰り返し単位数としての下付の「ｎ」を追加するものであるから、明瞭でない記載の釈明を目的とするものであると認められる。
　そして、訂正事項１〜３は、それぞれ、訂正前の請求項１，８，９に記載された式（７）において、もともと記載されていた繰り返し単位「（　）」の繰り返し数を追加して、化学構造式の記載を明瞭にするものであるから、新たな技術的事項を導入するものではなく、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
（２）訂正事項４について
　訂正事項４は、訂正事項１〜３において請求項１，８，９を訂正したことと同様に、願書に添付した明細書の段落【００１６】を訂正するものである。してみると、この訂正は、明瞭でない記載の釈明を目的とするものであると認められる。
　そして、訂正事項４は、訂正事項１〜３における請求項１，８，９の訂正と同様に、願書に添付した明細書の該当段落の記載を訂正したものであるから、新たな技術的事項を導入するものではなく、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
（３）訂正事項５〜７について
　訂正事項５〜７は、訂正前の願書に添付した明細書の段落【００７８】の「表７に示すように、架橋性エラストマーとしてパーフルオロエラストマー（Ａ）のみを用いた場合でも、フッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、成型品の硬度を低下できることが明らかとなった。」という記載と【表７】の硬度の数値が矛盾し、その内容が不明瞭であったものを、矛盾を解消し、明瞭とするものである。
　具体的には、訂正事項６に係る訂正により、【表７】中の硬度数値を削除し、それに伴い訂正事項５，７に係る訂正により、それぞれ、段落【００７６】における「評価結果も表７に示す。」との記載、段落【００７８】における「表７に示すように、」との記載を削除し、願書に添付した明細書の記載を整合させるものである。してみると、これらの訂正は、明瞭でない記載の釈明を目的とするものであると認められる。
　そして、願書に添付した明細書には以下の記載がある。下線は当審が付した。
「【００１８】
　基本骨格に水素を含むフッ素オリゴマーとしては、例えば、３Ｍ社製のノベック等が知られている。しかしながら、後述する実施例及び比較例に示すとおり、
基本骨格に水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）を架橋性エラストマーに添加した場合には、成型品の硬度を下げるとともに、架橋性エラストマーの種類によっては、成型品の耐プラズマ性を向上することができる。
耐プラズマ性が優れている架橋性エラストマーに水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）を添加した場合も成型品の硬度を下げることができ、架橋性エラストマーが元々有している耐プラズマ性を損なうことはない。
「【００２４】
　
フッ素オリゴマー（ａ）をエラストマー（Ｂ）に加えることで、エラストマー（Ｂ）から得られた成型品の硬度を低下するとともに、更に、耐プラズマ性を向上することもできる。
一方、耐プラズマ性能に加え、耐薬品性能及び／又は耐熱性能が求められる場合は、架橋性エラストマー成分として、未架橋のパーフルオロエラストマー（Ａ）のみを用いてもよい。
　そうすると、願書に添付した明細書には、一般に、架橋性エラストマーにフッ素オリゴマー（ａ）を添加することで成型品の硬度を低下できること、さらに、耐プラズマ性、耐薬品性、耐熱性の求めに応じて架橋性エラストマーとして、エラストマー（Ｂ）やパーフルオロエラストマー（Ａ）を用いることができ、エラストマー（Ｂ）のみだけでなく、パーフルオロエラストマー（Ａ）のみを用いた場合でも成型品の硬度を低下できることが記載されているといえ、表７に限らず、パーフルオロエラストマー（Ａ）にフッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、成型品の硬度を低下できることが記載されているといえるから、訂正事項５〜７は、新たな技術的事項を導入するものではなく、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
（４）訂正事項８〜１０について
　訂正事項８〜１０は、訂正前の願書に添付した明細書の段落【００８１】の「表８に示すように、エラストマー（Ｂ）及びパーフルオロエラストマー（Ａ）以外の架橋性エラストマーを用いた場合でも、フッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、成型品の硬度を低下できることが明らかとなった。」という記載と【表８】の硬度の数値が矛盾し、その内容が不明瞭であったものを、矛盾を解消し、明瞭とするものである。
　具体的には、訂正事項９に係る訂正により、【表８】中の硬度数値を削除し、それに伴い訂正事項８，１０に係る訂正により、それぞれ、段落【００７９】における「評価結果も表に示す。」との記載、段落【００８１】における「表８に示すように、」との記載を削除し、願書に添付した明細書の記載を整合させるものである。してみると、これらの訂正は、明瞭でない記載の釈明を目的とするものであると認められる。
　そして、願書に添付した明細書には以下の記載がある。下線は当審が付した。
「【００１８】
　基本骨格に水素を含むフッ素オリゴマーとしては、例えば、３Ｍ社製のノベック等が知られている。しかしながら、後述する実施例及び比較例に示すとおり、
基本骨格に水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）を架橋性エラストマーに添加した場合には、成型品の硬度を下げるとともに、架橋性エラストマーの種類によっては、成型品の耐プラズマ性を向上することができる。
耐プラズマ性が優れている架橋性エラストマーに水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）を添加した場合も成型品の硬度を下げることができ、架橋性エラストマーが元々有している耐プラズマ性を損なうことはない。
　そうすると、願書に添付した明細書には、一般に、架橋性エラストマーにフッ素オリゴマー（ａ）を添加することで成型品の硬度を低下できることが記載されているといえ、表８に限らず、エラストマー（Ｂ）及びパーフルオロエラストマー（Ａ）以外の架橋性エラストマーにフッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、成型品の硬度を低下できることが記載されているといえるから、訂正事項８〜１０は、新たな技術的事項を導入するものではなく、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
３　まとめ
　以上のとおりであるから、本件訂正は特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項において準用する同法第１２６条第５項ないし第６項の規定に適合するので、本件訂正を認める。
第３　訂正後の本件発明
　上記第２で述べたように、本件訂正は認められるので、本件訂正により訂正された請求項１〜９に係る発明（以下、「本件訂正発明１」〜「本件訂正発明９」といい、これらをまとめて「本件訂正発明」という。）は、訂正特許請求の範囲の請求項１〜９に記載された以下の事項によって特定されるとおりのものである（以下、本件訂正後の明細書を「本件明細書」という。）。
「【請求項１】
　水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）、及び、架橋性エラストマー、
を少なくとも含み、
　前記水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）は、
　　分子量が３８３０〜８２００であり、
　　下記式（１）乃至（８）で表される基本骨格を含むフッ素オリゴマーから選択され、
　前記架橋性エラストマーが、
　　ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン系共重合体、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体、テトラフロロエチレン／プロピレン系共重合体、これらの共重合体にエチレンまたはパーフロロアルキルビニルエーテルを共重合させたもの、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体とテトラフロロエチレン／エチレン交互共重合体またはポリビニリデンフロライドとのブロック共重合体、シリコーンゴムから選ばれる少なくとも１種のエラストマー（Ｂ）、及び、
　　パーフルオロオレフィンと、パーフルオロ（アルキルビニル）エーテル、パーフルオロ（アルコキシビニル）エーテル及びその混合物からなる群より選択されたパーフルオロビニルエーテルと、硬化部位モノマーとの共重合単位を含有するパーフルオロエラストマー（Ａ）、
を含み、
　前記架橋性エラストマーに対する前記水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）の割合が、０．１〜３０重量％である、
　架橋性エラストマー組成物。
【請求項２】
　前記架橋性エラストマーの合計重量を１００とした時、前記パーフルオロエラストマー（Ａ）の割合が９９．５以下である、
　請求項１に記載の架橋性エラストマー組成物。
【請求項３】
　前記架橋性エラストマーに対する前記水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）の割合が１〜１５重量％である、
　請求項１に記載の架橋性エラストマー組成物。
【請求項４】
　請求項１〜３の何れか一項に記載の架橋性エラストマー組成物を架橋して得られる成型品。
【請求項５】
　請求項４に記載の成型品の形状がシール状であるシール材。
【請求項６】
　請求項５に記載のシール材を含むプラズマ処理装置。
【請求項７】
　請求項５に記載のシール材を含む半導体製造装置。
【請求項８】
　水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）、及び、架橋性エラストマーを少なくとも含む架橋性エラストマー組成物を架橋する工程を含み、
　前記水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）は、
　　分子量が３８３０〜８２００であり、
　　下記式（１）乃至（８）で表される基本骨格を含むフッ素オリゴマーから選択され、
　前記架橋性エラストマーが、
　　ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン系共重合体、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体、テトラフロロエチレン／プロピレン系共重合体、これらの共重合体にエチレンまたはパーフロロアルキルビニルエーテルを共重合させたもの、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体とテトラフロロエチレン／エチレン交互共重合体またはポリビニリデンフロライドとのブロック共重合体、シリコーンゴムから選ばれる少なくとも１種のエラストマー（Ｂ）、及び、
　　パーフルオロオレフィンと、パーフルオロ（アルキルビニル）エーテル、パーフルオロ（アルコキシビニル）エーテル及びその混合物からなる群より選択されたパーフルオロビニルエーテルと、硬化部位モノマーとの共重合単位を含有するパーフルオロエラストマー（Ａ）、
を含み、
　前記架橋性エラストマーに対する前記水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）の割合が、０．１〜３０重量％である、
　成型品の製造方法。
【請求項９】
　ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン系共重合体、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体、テトラフロロエチレン／プロピレン系共重合体、これらの共重合体にエチレンまたはパーフロロアルキルビニルエーテルを共重合させたもの、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体とテトラフロロエチレン／エチレン交互共重合体またはポリビニリデンフロライドとのブロック共重合体、シリコーンゴムから選ばれる少なくとも１種のエラストマー（Ｂ）、及び、
　パーフルオロオレフィンと、パーフルオロ（アルキルビニル）エーテル、パーフルオロ（アルコキシビニル）エーテル及びその混合物からなる群より選択されたパーフルオロビニルエーテルと、硬化部位モノマーとの共重合単位を含有するパーフルオロエラストマー（Ａ）、
を含む架橋性エラストマーを架橋して得られる成型品の硬度低下および耐プラズマ性向上
のための、
　分子量が３８３０〜８２００であり、下記式（１）乃至（８）で表される基本骨格を含む、
　水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）の使用。
」
第４　特許異議申立理由及び取消理由の概要
１　取消理由通知の概要
　当審が取消理由通知で通知した取消理由の概要は、以下に示すとおりである。
（１）取消理由１
　本件訂正前の請求項１〜９の記載は、いずれも記載不備であり、特許法第３６条第６項第１号に適合するものではなく、同法同条同項に規定する要件を満たしておらず、それらの請求項に係る発明についての特許は、上記要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるから、同法第１１３条第４号に該当し、取り消すべきものである。
（２）取消理由２
　本件訂正前の請求項１〜９の記載は、下記の点で、いずれも記載不備であり、特許法第３６条第６項第２号に適合するものではなく、同法同条同項に規定する要件を満たしておらず、それらの請求項に係る発明についての特許は、上記要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるから、同法第１１３条第４号に該当し、取り消すべきものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　記
　本件訂正前の請求項１，８，９の「式（７）」で表される化学構造式は、「水素フッ素オリゴマー（ａ）」として適切でない。
２　特許異議申立理由の概要
　申立人が特許異議申立書で申立てた取消理由の概要は、以下に示すとおりである。
（１）申立理由１
　本件訂正前の請求項１〜９に係る発明は、甲１に記載された発明及び甲２〜５に記載された事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。よって、これらの発明に係る特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
（２）申立理由２
　本件訂正前の請求項１〜９の記載は、いずれも記載不備であり、特許法第３６条第６項第１号に適合するものではなく、同法同条同項に規定する要件を満たしておらず、それらの請求項に係る発明についての特許は、上記要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるから、同法第１１３条第４号に該当し、取り消すべきものである。
（３）申立理由３
　本件訂正前の請求項１〜９の記載は、下記の点で、いずれも記載不備であり、特許法第３６条第６項第２号に適合するものではなく、同法同条同項に規定する要件を満たしておらず、それらの請求項に係る発明についての特許は、上記要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるから、同法第１１３条第４号に該当し、取り消すべきものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　記
　表７、表８のデータは、フッ素オリゴマーを添加していない組成物よりもフッ素オリゴマーを添加した組成物の方が硬度が高くなっており、フッ素オリゴマーを添加することによって硬度が低下するとの効果を発現していない。
　式（１）〜（８）に示された化学構造式には、基本骨格にエーテル結合を含まないものが記載されている。
第５　当審の判断
　当審は、当審が通知した取消理由１及び２、並びに、特許異議申立人が申し立てた申立理由１〜３によっては、いずれも、本件訂正発明１〜９に係る特許を取り消すことはできないと判断する。
　その理由は以下のとおりである。
　なお、取消理由１と申立理由２は、いずれも特許法第３６条第６項第１号に適合するものではないというものであるから、併せて検討する。
１　取消理由について
（１）取消理由１について
ア　特許法第３６条第６項第１号について
　特許請求の範囲の記載が、明細書のサポート要件に適合するか否かは、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載とを対比し、特許請求の範囲に記載された発明が、発明の詳細な説明に記載された発明で、発明の詳細な説明の記載により、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下、「当業者」という。）が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否か、また、その記載や示唆がなくとも当業者が出願時の技術常識に照らし当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否かを検討して判断すべきものである。そこで、この点について、以下に検討する。
イ　本件明細書に記載された事項
　本件明細書には、以下の事項が記載されている。
（ア）「【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
　ところで、成型品の一例であるシール材はプラズマ処理装置や半導体製造装置に装着した時に、弾性変形することで装置の密閉性を高めることができる。特許文献３に記載されている架橋物は、耐プラズマ性、耐薬品性に優れ、かつ耐熱性や機械的強度を兼備するシール材を提供することができるが、硬度が比較的高い。そのため、耐プラズマ性等の性能を有し、より硬度が低く柔軟性があるシール材等の成型品が望まれているが、現在のところ、そのような成型品を形成するための材料は知られていない。
【０００７】
　本願は、上記問題を解決する為になされたものであり、鋭意研究を行ったところ、水素を含まないフッ素オリゴマー（以下、単に「フッ素オリゴマー」と記載することがある。）（ａ）を架橋性エラストマーに加えると、架橋性エラストマーを架橋して得られる成型品の硬度を低くできること、を新たに見出した。
【０００８】
　すなわち、本願の目的は、成型品の硬度を低くする機能を有するフッ素オリゴマーを含む架橋性エラストマー組成物、架橋性エラストマー組成物を架橋して得られる成型品、シール材、該シール材を含むプラズマ処理装置及び半導体製造装置、並びに、成型品の硬度低下剤、成型品の製造方法を提供することである。
・・・
【発明の効果】
【００１１】
　本願で開示する架橋性エラストマー組成物は、水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）を添加しなかった組成物と比較して、成型品の硬度を低下することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、実施例１〜１０及び比較例１のシール材の耐プラズマ性能の評価結果を表すグラフである。
【図２】図２は、ＭＤＲで算出したＴｃ９０を基に決定した、実施例１〜１０及び比較例１のシール材の成型時間のグラフである。
【図３】図３は、図面代用写真で、実施例５の試験片の透過電子顕微鏡写真である。
【図４】図４は、実施例５、１１〜１９及び比較例１のシール材の耐プラズマ性能の評価結果を表すグラフである。
【図５】図５は、実施例２４〜２９及び比較例３のシール材の耐プラズマ性能の評価結果を表すグラフである。
【図６】図６は、図面代用写真で、実施例２７の試験片の透過電子顕微鏡写真である。
【図７】図７は、シール材の硬度の変化率を示すグラフである。」
（イ）「【００１８】
　基本骨格に水素を含むフッ素オリゴマーとしては、例えば、３Ｍ社製のノベック等が知られている。しかしながら、後述する実施例及び比較例に示すとおり、基本骨格に水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）を架橋性エラストマーに添加した場合には、成型品の硬度を下げるとともに、架橋性エラストマーの種類によっては、成型品の耐プラズマ性を向上することができる。また、耐プラズマ性が優れている架橋性エラストマーに水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）を添加した場合も成型品の硬度を下げることができ、架橋性エラストマーが元々有している耐プラズマ性を損なうことはない。つまり、架橋性エラストマーを架橋した成型品の硬度を低下するとともに、耐プラズマ性を向上または維持することができる。一方、基本骨格に水素を含むフッ素オリゴマーを添加した場合には、成型品の耐プラズマ性を向上させることはできない。したがって、基本骨格に水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）のほうが好ましい。
・・・
【００２４】
　フッ素オリゴマー（ａ）をエラストマー（Ｂ）に加えることで、エラストマー（Ｂ）から得られた成型品の硬度を低下するとともに、更に、耐プラズマ性を向上することもできる。したがって、耐プラズマ性が求められる成型品の架橋性エラストマー成分としては、エラストマー（Ｂ）のみでもよい。一方、耐プラズマ性能に加え、耐薬品性能及び／又は耐熱性能が求められる場合は、架橋性エラストマー成分として、未架橋のパーフルオロエラストマー（Ａ）のみを用いてもよい。又は、未架橋のパーフルオロエラストマー（Ａ）と未架橋のエラストマー（Ｂ）とを混合してもよい。」
（ウ）「【００６３】
〔エラストマー（Ｂ）及びパーフルオロエラストマー（Ａ）を混合した場合の影響〕
《実施例２４〜２９、比較例３》
　次に、架橋性エラストマーとして、エラストマー（Ｂ）と、耐薬品性能を付与することができるパーフルオロエラストマー（Ａ）を混合した実験を行った。
　原料は、実施例１〜１０と同様の原料に加え、
・パーフルオロエラストマー（Ａ）：ダイキン工業社製、ダイエルパーフロＧＡ−１５
を用いた。各原料の配合は表４のとおりで、実験手順は、上記＜混練組成物＞、＜成型温度、成型時間＞、＜成型、２次架橋（Ｏリングの製造）＞と同様に行い、耐プラズマ性の評価も、上記「（１）耐プラズマ性評価」と同様の手順で行った。
【００６４】
【表４】
・・・
【００６７】
〔水素を含むフッ素オリゴマーを添加した時の耐プラズマ性能〕
《比較例１、４〜７》
　次に、水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）に代え、水素を含むフッ素オリゴマーを添加した場合の影響について実験を行った。実験は、下記表５に示す配合及び原料とした以外は、上記《実施例１〜１０、比較例１》と同様の手順で耐プラズマ性能を調べた。各比較例の重量減少率（重量％）についても、表５に示す。
【００６８】
【表５】
【００６９】
　上記表５に示すように、水素を含むフッ素オリゴマーを添加した場合には、硬度の低下は見られるものの、耐プラズマ性能の向上は見られず、フッ素オリゴマーを添加しなかった場合とほぼ同様の結果となった。以上の結果より、フッ素オリゴマーが水素を含む場合、エラストマー（Ｂ）をプラズマから保護する機能を発揮しないことが明らかとなった。したがって、成型品の硬度を低下するとの観点に加え、耐プラズマ性を向上するとの観点からは、水素を含むフッ素オリゴマーより、水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）の方が好ましいことを確認した。
【００７０】
〔フッ素オリゴマー（ａ）の添加量と硬度の関係〕
　実施例１〜１０で作製したシール材の硬度は、成型体（Ｏリング）をＢＡＲＥＩＳＳ製マイクロゴム硬度計（型式：ＨＰＥII ｓｈｏｒｅＡＭ／Ｍ）に設置して測定した。なお、比較のため、パーフルオロエラストマー（Ａ）の添加量を変えたシール材も複数作製し、同様の手順で硬度を調べた。
【００７１】
　図７は、シール材の硬度の変化率を示すグラフである。なお、グラフはエラストマー（Ｂ）のみの硬度を１００とし、そして、パーフルオロエラストマー（Ａ）を添加した各シール材と同じ添加量のフッ素オリゴマー（ａ）を添加した時の硬度を、エラストマー（Ｂ）のみの硬度（１００）に対する比で表している。図７から明らかなように、エラストマー（Ｂ）に対してパーフルオロエラストマー（Ａ）を添加した場合、エラストマー（Ｂ）の硬度は殆ど変化しなかった。一方、エラストマー（Ｂ）にフッ素オリゴマー（ａ）を添加した場合、エラストマー（Ｂ）の硬度は低くなった。
【００７２】
〔充填材を変えた場合の耐プラズマ性の評価〕
《実施例３０、３１》
　図７に示したように、架橋性エラストマーにフッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、成型品の硬度を下げられることを確認した。次に、実施例１〜１０において充填材として用いたカンカーブに換え、耐プラズマ性能に優れるＳｉＣを用いた。原料には、以下の製品を用いた。
・フッ素オリゴマー（ａ）：デュポン社製、Ｋｒｙｔｏｘ １４３ＡＤ、分子量７４８０
・パーフルオロエラストマー（Ａ）：ダイキン工業社製、ダイエルパーフロＧＡ−１５
・エラストマー（Ｂ）：ソルベイスペシャルティポリマーズジャパン株式会社、フッ素ゴム Ｐ９５９
・共架橋剤：日本化成社製、ＴＡＩＣ
・架橋剤：日本油脂社製、２５Ｂ
・充填材：ＳｉＣ（ナノメーカーズ社製）、かさ密度：０．６ｇ／ｃｍ３
　なお、充填材のかさ密度は、１００ｍｌメスシリンダー（内径２８ｍｍ）に５ｇの粉末を投入し、２ｃｍの高さから２０回タッピングした後の目盛りをよみ、その体積から算出した。
【００７３】
　各原料を表６に示す配合とし、実施例１〜１０の＜成型、２次架橋（Ｏリングの製造）＞において、１６０℃で１５分成型した以外は、実施例１〜１０と同様の手順で、シール材を製造し、耐プラズマ性の評価を行った。評価結果も表６に示す。
【００７４】
【表６】
【００７５】
　表６に示すように、充填材としてＳｉＣを添加することで、耐プラズマ性が著しく向上した。フッ素オリゴマー（ａ）を添加することで成型品の硬度が下げられる。したがって、従来と同じ硬度の成型品を製造する場合、硬度の低下分を所期の特性を持つ充填材を添加できるので、充填材の種類や添加量等、原料の配合の自由度が大きくなることが明らかとなった。
【００７６】
〔架橋性エラストマー成分を変えた場合の硬度変化の評価〕
《実施例３２、３３、比較例８》
　架橋性エラストマーとして、パーフルオロエラストマー（Ａ）のみを用いた場合の硬度変化を評価した。各原料の配合は表７に示すとおりで、パーフロエラストマー（Ａ）は《実施例２４〜２９》で用いた製品と同様で、その他の原料は《実施例１〜１０》と同様である。次に、実施例１〜１０と同様の手順で、シール材を製造し、耐プラズマ性の評価を行った。また、硬度については、上記〔フッ素オリゴマー（ａ）の添加量と硬度の関係〕と同様の手順で行った。
【００７７】
【表７】
【００７８】
　架橋性エラストマーとしてパーフルオロエラストマー（Ａ）のみを用いた場合でも、フッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、成型品の硬度を低下できることが明らかとなった。なお、パーフルオロエラストマー（Ａ）のみを用いた場合、フッ素オリゴマー（ａ）を添加しても耐プラズマ性はほぼ同じであった。これは、パーフルオロエラストマー（Ａ）が耐プラズマ性に特に優れている材料であるため、耐プラズマ性が変化しなかったと考えられる。
【００７９】
　《実施例３４、比較例９》
　次に、架橋性エラストマーとして、エラストマー（Ｂ）及びパーフルオロエラストマー（Ａ）以外の、架橋性エラストマーを用いた場合の硬度変化を評価した。各原料の配合は表８に示すとおりで、架橋性エラストマーとして用いたエチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ、ＬＵＮＸＥＳＳ社製 Ｋｅｌｔａｎ ８３４０Ａ）以外の原料は、《実施例１〜１０》と同様である。次に、実施例１〜１０と同様の手順で、シール材を製造した。また、硬度については、上記〔フッ素オリゴマー（ａ）の添加量と硬度の関係〕と同様の手順で行った。
【００８０】
【表８】
【００８１】
　エラストマー（Ｂ）及びパーフルオロエラストマー（Ａ）以外の架橋性エラストマーを用いた場合でも、フッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、成型品の硬度を低下できることが明らかとなった。
【００８２】
　上記実施例１〜３４、及び比較例１〜９の結果より、水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）を架橋性エラストマーに添加することで、得られた成型品の硬度を低くできることが明らかとなった。更に、架橋性エラストマーの種類によるが、フッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、成型品の耐プラズマ性を向上することができた。したがって、架橋性エラストマーにフッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、成型品の硬度を低下することができ、成型品の柔軟性が高くできる。また、充填材の添加等、組成物・成型品の原料の配合の自由度が大きくできることが明らかとなった。」
（エ）「【図５】
」
（オ）「【図７】
」
ウ　本件訂正発明の課題について
　本件明細書の段落【０００６】には、「耐プラズマ性等の性能を有し、より硬度が低く柔軟性があるシール材等の成型品が望まれているが、現在のところ、そのような成型品を形成するための材料は知られていない。」と記載され、同【０００７】には、「本願は、上記問題を解決する為になされたものであ」る旨記載されている。そして、同【０００８】には、「本願の目的は、成型品の硬度を低くする機能を有するフッ素オリゴマーを含む架橋性エラストマー組成物、架橋性エラストマー組成物を架橋して得られる成型品、シール材、該シール材を含むプラズマ処理装置及び半導体製造装置、並びに、成型品の硬度低下剤、成型品の製造方法を提供することである。」と記載されている。また、同【００１８】には、「基本骨格に水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）を架橋性エラストマーに添加した場合には、成型品の硬度を下げるとともに、架橋性エラストマーの種類によっては、成型品の耐プラズマ性を向上することができる。・・・（中略）・・・つまり、架橋性エラストマーを架橋した成型品の硬度を低下するとともに、耐プラズマ性を向上または維持することができる。」と記載されている（摘記イ（ア）、（イ））。
　これらの記載から、本件訂正発明が解決しようとする課題は、「架橋した成型品の硬度を低下するとともに、耐プラズマ性を向上または維持することができる」「架橋性エラストマー組成物、架橋性エラストマー組成物を架橋して得られる成型品、シール材、該シール材を含むプラズマ処理装置及び半導体製造装置、並びに、成型品の硬度低下剤、成型品の製造方法を提供すること」であると解される。
エ　本件訂正発明１について
　本件訂正により、【表７】と段落【００７８】の記載、【表８】と段落【００８１】の記載に矛盾はなくなり、取消理由１における「架橋性エラストマーの種類によって、「水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）」を添加しても、成型品の硬度が低下せず、むしろ上昇する場合もある」、「架橋性エラストマーとして、パーフルオロエラストマー（Ａ）のみを用いた場合に、「水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）」を添加すると硬度が上昇することが示されている」という根拠はなくなった。
　そして、本件訂正発明１においては、架橋性エラストマーが「エラストマー（Ｂ）」及び「パーフルオロエラストマー（Ａ）」を含むことが特定されるところ、本件明細書の段落【００１８】，【００２４】には（摘記イ（イ））、「基本骨格に水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）を架橋性エラストマーに添加した場合には、成型品の硬度を下げるとともに、架橋性エラストマーの種類によっては、成型品の耐プラズマ性を向上することができる。また、耐プラズマ性が優れている架橋性エラストマーに水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）を添加した場合も成型品の硬度を下げることができ、架橋性エラストマーが元々有している耐プラズマ性を損なうことはない。」、「フッ素オリゴマー（ａ）をエラストマー（Ｂ）に加えることで、エラストマー（Ｂ）から得られた成型品の硬度を低下するとともに、更に、耐プラズマ性を向上することもできる。・・・（中略）・・・耐プラズマ性能に加え、耐薬品性能及び／又は耐熱性能が求められる場合は、架橋性エラストマー成分として、未架橋のパーフルオロエラストマー（Ａ）のみを用いてもよい。又は、未架橋のパーフルオロエラストマー（Ａ）と未架橋のエラストマー（Ｂ）とを混合してもよい。」と記載されている。
　これらの記載から、フッ素オリゴマー（ａ）を架橋性エラストマーに添加することで、上記ウの課題である成型品の硬度を下げることができ、架橋性エラストマーの種類によっては、上記ウの課題である耐プラズマ性の向上もでき、耐薬品性能や耐熱性能の付与も行えるものと解される。
　そして、本件明細書の実施例の記載を検討すると、架橋性エラストマーが「エラストマー（Ｂ）」及び「パーフルオロエラストマー（Ａ）」を含むものである実施例２４〜２９及び実施例３０〜３１について、それらの実施例の評価結果である表４、図５及び表６には、耐プラズマ性の評価（重量減少率）が示されている（摘記イ（ウ）、（エ））。そして、これらの結果から、「エラストマー（Ｂ）」及び「パーフルオロエラストマー（Ａ）」を含む架橋性エラストマーに対し、フッ素オリゴマー（ａ）を加えた場合に、得られた成型品の耐プラズマ性が向上することは、具体的なデータとともに示されている。
　さらに、図７は、本件明細書の段落【００７１】の記載によれば、架橋性エラストマーとして、エラストマー（Ｂ）のみを用い、「水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）」を添加した場合の成型品（シール材）の硬度の変化率を示したグラフある（摘記イ（ウ）、（オ））。このグラフから、エラストマー（Ｂ）に対して該フッ素オリゴマー（ａ）を添加することにより、成型品の硬度が低下することが読み取れる。
　そうすると、本件明細書の実施例には、パーフルオロエラストマー（Ａ）とエラストマー（Ｂ）とを混合した架橋性エラストマー成分に、フッ素オリゴマー（ａ）に加えることで、得られる成型品の硬度を低下することは記載されていないものの、上述のとおり、架橋性エラストマーの種類は、硬度への影響ではなく、耐プラズマ性、耐薬品性、耐熱性に影響するものであるから、エラストマー（Ｂ）に対してフッ素オリゴマー（ａ）を添加することにより成型品の硬度が低下することが示されていれば、パーフルオロエラストマー（Ａ）とエラストマー（Ｂ）とを混合した架橋性エラストマー成分に、フッ素オリゴマー（ａ）に加えることで、得られる成型品の硬度が低下することが、本件明細書の記載から理解できるものといえる。
　したがって、本件訂正発明１は、発明の詳細な説明の記載により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものである。
　よって、本件訂正発明１は、発明の詳細な説明に記載したものでないとはいえない。
オ　本件訂正発明２〜７について
　本件訂正発明２〜７は、本件訂正発明１を直接又は間接的に引用するものであるから、上記エで述べたのと同様の理由により、発明の詳細な説明に記載したものであるとはいえない。
カ　本件訂正発明８について
　本件訂正発明８は、特定の「架橋性エラストマー組成物」「を架橋する工程を含」む「成型品の製造方法」であり、該「架橋性エラストマー組成物」は、本件特許の請求項１に記載された事項で特定された「架橋性エラストマー組成物」と同一のものである。
　そして、上記発明が解決しようとする課題は、上記ウで示したとおりのものであるといえるから、上記エで述べたのと同様の理由により、発明の詳細な説明に記載したものであるとはいえない。
キ　本件訂正発明９について
　本件訂正発明９は、「エラストマー（Ｂ）」及び「パーフルオロエラストマー（Ａ）」を含む架橋性エラストマーを架橋して得られる成型品の硬度低下及び耐プラズマ性向上のための、「水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）の使用。」である。
　そして、上記発明が解決しようとする課題は、上記ウで示したとおりのものであるといえるから、上記エで述べたのと同様の理由により、発明の詳細な説明に記載したものであるとはいえない。
ク　申立人の主張
　申立人は、「本件特許発明では、本件発明１の構成をすべて充足する実施例の開示が極めて少ない。すなわち、本件明細書には、本件発明１に相当する実施例は、表４（図５）と表６のみである。・・・具体的には、（１）各成分は、それぞれ１種類の物質のみしか実験を行っていない。（２）フッ素オリゴマーの分子量は、７４８０しか開示がない。（３）フッ素オリゴマーの含有量は、１〜１０質量％しか開示がない。」旨主張している。
　しかしながら、上記エに示したとおり、本件明細書の一般的な記載の箇所には、パーフルオロエラストマー（Ａ）とエラストマー（Ｂ）とを混合した架橋性エラストマー成分に、フッ素オリゴマー（ａ）に加えることで、得られる成型品の硬度が低下すること、耐プラズマ性が向上することが理解できるように記載されているし、フッ素オリゴマー（ａ）の分子量が「３８３０〜８２００」以外の場合やフッ素オリゴマー（ａ）の含有量が「０．１〜３０重量％」以外の場合には課題を解決しない例や、その技術的根拠を申立人は示していないので、申立人の主張のみでは、サポート要件を満足しない理由にはならない。
　また、申立人は、「効果についても、限られた結果しか開示されていない。」旨も主張しているが、上記エに示したとおり、耐プラズマ性については、図５をみれば、もともと耐プラズマ性が優れている組成物にフッ素オリゴマー（ａ）を配合することにより、さらに耐プラズマ性が向上することが見てとれるし、成型品の硬度低下については、図７をみれば、エラストマー（Ｂ）に対して該フッ素オリゴマー（ａ）を添加することにより、成型品の硬度が低下することが読み取れ、本件明細書の段落【００１８】，【００２４】の記載を併せてみてみれば、パーフルオロエラストマー（Ａ）とエラストマー（Ｂ）とを混合した架橋性エラストマー成分に、フッ素オリゴマー（ａ）に加えることで、得られる成型品の硬度が低下することが理解できるものといえる。
　したがって、申立人の主張は採用できない。
ケ　まとめ
　以上のとおりであるから、取消理由１は解消したということができる。
（２）取消理由２について
ア　判断
　取消理由２は、本件訂正前の請求項１，８，９には、「水素フッ素オリゴマー（ａ）」について、その分子量が「３８３０〜８２００」である旨規定されているが、同項には、「水素フッ素オリゴマー（ａ）」の基本骨格として、「式（１）乃至（８）で表される」化学構造式が記載されているところ、このうち、式（７）で示される化合物は、その分子量が２６６であり、上記「３８３０〜８２００」なる範囲に包含されないものであるから、同項の「式（７）」で表される化学構造式は、「水素フッ素オリゴマー（ａ）」として適切でない、というものである。
　本件訂正前の請求項１，８，９の「式（７）」は、本件訂正により、繰り返し単位数が明瞭となり、上記「３８３０〜８２００」なる範囲との関係も適切となった。
イ　まとめ
　以上のとおりであるから、取消理由２は解消したことは明らかである。
２　取消理由通知において採用しなかった申立人がした申立理由について
　申立理由２は、取消理由１と同様に特許法第３６条第６項第１号に適合するものではないというものであり、その理由及び結論は上記１（１）で述べたとおりであるから、ここでは、申立理由１及び３について述べる。
（１）申立理由１について
ア　甲号証の記載事項
（ア）甲１の記載事項について
　甲１には以下の記載がある。
（１ａ）「【請求項１】
　パーフルオロエラストマー（Ａ）と、フッ素ゴム、シリコーンゴム、エチレンプロピレン系ゴムから選ばれる少なくとも１種のエラストマー（Ｂ）とが、質量比で、０．５対９９．５〜８０対２０で混合されていることを特徴とするエラストマー組成物。
【請求項２】
　パーフルオロエラストマー（Ａ）とエラストマー（Ｂ）との混合比が、重量比で５対９５〜６０対４０であることを特徴とする請求項1記載のエラストマー組成物。
【請求項３】
　パーフルオロエラストマー（Ａ）及びエラストマー（Ｂ）が有機過酸化物により架橋され、かつ、有機過酸化物及び共架橋剤を含むことを特徴とする請求項１または２に記載のエラストマー組成物。
【請求項４】
　パーフルオロエラストマー（Ａ）とエラストマー（Ｂ）とが相溶しているか、一方に、他方が平均粒径１０μｍ以下の凝集体となって分散した海島構造を形成していることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のエラストマー組成物。
【請求項５】
　請求項１〜４記載の何れか１項に記載のエラストマー組成物を成形してなることを特徴とする成形体。
【請求項６】
　パーフルオロエラストマー（Ａ）とエラストマー（Ｂ）とが相溶しているか、一方に、他方が平均粒径１０μｍ以下の凝集体となって分散していることを特徴とする請求項５に記載の成形体。」
（１ｂ）「【技術分野】
【０００１】
　本発明は耐プラズマ性、耐薬品性、耐熱性等が要求される部位に使用される成形体、並びに前記成形体を成形するためのエラストマー組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
　プラズマ雰囲気や薬品雰囲気等の環境下で使用される装置に用いるシール材の成形体には、様々な化学種に対して高い安定性が求められており、主にフッ素系エラストマーからなる成形体が使用される（例えば、特許文献１参照）。
・・・
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
　本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、耐プラズマ性、耐薬品性に優れ、かつ耐熱性や十分な機械的強度を兼備する成形体、並びに前記成形体を成形するためのエラストマー組成物を提供することを目的とする。」
（１ｃ）「【００１１】
　本発明におけるパーフルオロエラストマー（Ａ）は特に限定されないが、パーフルオロオレフィンと、パーフルオロ（アルキルビニル）エーテル、パーフルオロ（アルコキシビニル）エーテル、及びその混合物からなる群より選択されたパーフルオロビニルエーテルと、硬化部位モノマーとの共重合単位を含有するパーフルオロエラストマーであることが好ましく、更には有機過酸化物で架橋し得るものが望ましい。」
（１ｄ）「【００１３】
　フッ素ゴムは特に限定されないが、成形体の機械的強度の観点から有機過酸化物により架橋可能なフッ素ゴムが望ましい。例えばビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン系共重合体、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体、テトラフロロエチレン／プロピレン系共重合体等が挙げられる。また、これらの共重合体にエチレンやパーフロロアルキルビニルエーテル等を更に共重合させたものでもよい。また、フッ素ゴム（ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体）とフッ素樹脂（テトラフロロエチレン／エチレン交互共重合体及びポリビニリデンフロライド）とのブロック共重合体であるフッ素系熱可塑性エラストマー等も使用可能である。また、複数のフッ素ゴムを混合することも可能である。」
（１ｅ）「【００１８】
　上記のパーフルオロエラストマー（Ａ）と、エラストマー（Ｂ）との混合比は、質量比で０．５対９９．５〜８０対２０、好ましくは５対９５〜６０対４０である。この範囲を逸脱すると、所期の目的が達成されない。」
（１ｆ）「【００２１】
　また、上記のエラストマー組成物を架橋することにより本発明の成形体が得られる。架橋方法としては通常の過酸化物架橋による成形方法に従うことができる。一般的には、エラストマー組成物を所望形状の金型に所定量充填し、加熱プレスする。必要に応じて、オーブンで１５０℃〜２５０℃、１時間〜３２時間の二次架橋を施してもよい。成形体の形状は、例えばシート状、棒状、リング状、各種の複雑なブロック形状等、その用途に応じて任意の形状が挙げられ、特に限定されない。」
（１ｇ）「【００２３】
　上記の特性を有することから、本発明の成形体は高温、真空といった厳しい環境下での使用に好適であり、例えばプラズマや薬品等に曝される半導体製造装置のシール材として有用である。尚、プラズマガスの種類は不問であり、例えばプラズマ処理装置ではＯ２、ＣＦ４、Ｏ２＋ＣＦ４、Ｈ２、ＣＨＦ３、ＣＨ３Ｆ、ＣＨ２Ｆ２、Ｃｌ２、Ｃ２Ｆ６、ＢＣｌ３、ＮＦ３、ＮＨ３等が一般的であるが、本発明の成形体は何れのプラズマに対しても優れた耐性を有する。従って本発明は、特定のプラズマに対するものではない。」
（イ）甲２の記載事項について
　甲２には以下の記載がある。
（２ａ）「特許請求の範囲
　１．過酸化物架橋性基を有するテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（低級アルキルビニルエーテル）共重合体、平均分子量約２００〜２５０００のパーフルオロポリエーテル化合物またはその末端ヨウ素および／または臭素基置換体および有機過酸化物を含有してなる含フッ素エラストマー組成物。」
（２ｂ）「〔産業上の利用分野〕
　本発明は、含フッ素エラストマー組成物に関する。更に詳しくは、低温特性を改善せしめたパーフルオロタイプ含フッ素エラストマー組成物に関する。」（第１頁左欄第１１行〜第１５行）
（２ｃ）「〔発明が解決しようとする課題〕
　本発明は、従来技術にみられるこれらの問題点を克服し、重合性の点で問題がなくしかも耐低温性にすぐれたパーフルオロタイプ含フッ素エラストマーを組成物の形で提供することを目的とする。」（第２頁左上欄第１７行〜右上欄第１行）
（２ｄ）「テトラフルオロエチレンとパーフルオロ（メチルビニルエーテル）によって代表されるパーフルオロ（低級アルキルビニルエーテル）との共重合は、一般に共重合体中前者が約９０〜３０モル％、また後者が約９０〜３０モル％を占めるような割合で行われ、共重合反応自体は容易かつ安定的に行われるので重合性の点では問題がみられない。」（第２頁右上欄第１０行〜第１６行）
（２ｅ）「かかる過酸化物架橋性基含有共重合体に添加されるパーフルオロポリエーテル化合物としては、例えば次のようなものが用いられる。
　　ＲｆＯ（ＣＦＸＣＦ２Ｏ）３〜５０ＣＦ２Ｘ　　　　　　　［Ｉ］
　　　　　　　　　　　　Ｒｆ：パーフルオロ低級アルキル基
　　　　　　　　　　　　　Ｘ：ＣＦ３基またはＦ原子」（第２頁左下欄第１４行〜第１９行）
（２ｆ）「このパーフルオロポリエーテルは、ダイキン製品デムナムとして市販されている。」（第３頁左上欄第１５行〜第１７行）
（２ｇ）「本発明に係る組成物にあっては、これらのパーフルオロポリエーテル化合物類がテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（低級アルキルビニルエーテル）共重合体１００重量部に対し約５〜１００重量部、好ましくは約５〜５０重量部の割合で用いられる。」（第３頁左下欄第１行〜第５行）
（２ｈ）「〔発明の効果〕
　テトラフルオロエチレンとパーフルオロ（低級アルキルビニルエーテル）とは重合性にすぐれており、得られた過酸化物架橋性基含有共重合体にパーフルオロポリエーテル化合物またはその末端ヨウ素および／または臭素基置換体を添加剤として添加することにより、この共重合体よりなる含フッ素エラストマーの低温特性が著しく改善され、広い低温温度範囲での弾性特性や耐薬品性などが要求される用途、例えばロケット、燃料タンク、石油化学プラントなどに用いられるオイルシール、パッキン、ガスケットなどのシール材の有効な成形材料が提供される。」（第３頁右下欄第１０行〜第４頁左上欄第２行）
（２ｉ）「〔実施例〕
　次に、実施例について本発明の効果を説明する。
　実施例
　含フッ素エラストマーＩ：
　含ヨウ素臭素化合物（１−ヨード−２ブロモテトラフルオロエタン）の存在下にテトラフルオロエチレンとパーフルオロ（メチルビニルエーテル）とを共重合させた共重合体（共重合モル比５５／４５、ヨウ素および臭素含有率０．５重量％）
　含フッ素エラストマーＩＩ，ＩＩＩ：ダイキン工業製品ダイエルパーフロＧＡ−５０，ＧＡ−５５
　末端ヨウ素基含有テトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルコキシ低級アルキルビニルエーテル共重合体）：カーボンブラック、加硫剤配合品
　補強剤：ＭＴカーボンブラック
　加硫剤：２，５−ジメチル−２，５−ジ（第３ブチルペルオキシ）ヘキサン（濃度６０重量％）
　加硫助剤：トリアリルイソシアヌレート（濃度６０重量％）
　受酸剤：酸化鉛
　添加剤Ｉ：へキサフルオロプロペンオキシド重合体
　　　　　　平均分子量約７３００
　　　　　　粘度４０８Ｃｓｔ（４０℃）
　添加剤ＩＩ：テトラフルオロエチレンオキシド重合体
　　　　　　　平均分子量約１８０００
　　　　　　　粘度４００Ｃｓｔ（４０℃）
　添加剤ＩＩＩ：下記方法により合成した重合体
　　　　　　　　平均分子量約５７００
　　　　　　　　粘度２８０Ｃｓｔ（４０℃）、ｍ＋ｎ＝３１
　米国特許第３，６００，３１５号明細書記載の方法により得られた上記式の両末端ＣＯＦ基パーフルオロポリエーテル５６０ｇを、３０００ｍｌのＲ−１１３および１０００ｍｌの水と室温下に８時間攪拌して加水分解し、分離された下層にフッ化ナトリウム２０ｇを加え、約１０分間攪拌後ロ過する。ロ液にモレキュラシーブ３Ａを入れ、一夜放置後ロ別し、ロ液に２００ｍｌのエタノールに溶解させた水酸化カリウム１６．８ｇを加え、１時間攪拌する。反応液を活性炭で脱色し、活性炭をロ別した後Ｒ−１１３およびエタノールを減圧下で留去し、残渣の粉末を更に０．ｌｍｍＨｇの減圧下で乾燥する。この粉末を１００ｍｌのエタノールで３回抽出し、ロ過する。ロ過物に５００ｍｌの脱水ベンゼンを加えた後、ベンゼンを減圧下に留去する。残渣の粉末を１００℃で減圧乾燥し、この粉末に７００ｍｌの脱水Ｒ−１１３、３００ｍｌの脱水アセトニトリルおよび２５ｍｌのオキシ塩化リンを加え、２４時間還流する。反応生成物をロ過し、ロ液からＲ−１１３などを減圧下に留去して、油状の両末端ＣＯＣｌ基パーフルオロポリエーテル４２０ｇを得た。この油状物５７ｇ、酸化銀５．０ｇおよびフレオンＥ−３（デュポン社製品）１００ｍｌを混合し、５．５時間還流した後５ｇの臭素を加え、更に２時間還流する。それをロ過し、ロ液を５％亜硫酸ナトリウム水溶液で洗浄した後、硫酸マグネシウムで脱水し、減圧蒸留して油状の両末端Ｂｒ基パーフルオロポリエーテル（Ｂｒ含有量２．６７％；計算値２．８１％）４７ｇを得た。
　添加剤ＩＶ：２，２，３，３−テトラフルオロオキセタン重合体
　　　　　　　平均分子量約７０００
　　　　　　　粘度２００Ｃｓｔ（４０℃）
　添加剤Ｖ：下記方法により合成した重合体
　　　　　　平均分子量約４８００
　　　　　　粘度１９０Ｃｓｔ（４０℃）
　オートクレーブ中に、ＢｒＣＦ２ＣＯＦ　１７７ｇ（１．０モル）、フッ化セシウム７６ｇおよびテトラグライム３００ｍｌを仕込み、室温下で１５時間激しく攪拌する。これを、−３０℃の冷却槽中に浸漬し、ヘキサフルオロプロペンオキシド４９８０ｇを２４時間かけて少量宛分添する。添加終了後、−２５℃で２４時間攪拌を続け、油状物を得る。この油状物中から、減圧下１００℃迄の留出物を除去し、一方の末端基がＢｒ基であるパーフルオロポリエーテルが茶褐色の油状物として取得される。この油状物４６６．５ｇについて、添加剤ＩＩＩの場合と同様に末端ＣＯＣｌ基化反応を行ない（ただし、１００ｍｌのエタノールに溶解させた水酸化カリウム７．０ｇが用いられている）、他方の末端基がＣＯＣｌ基（赤外線吸収スペクトル：１８００ｃｍ−１）である油状のパーフルオロポリエーテル４０３ｇを得た。この油状物４７．４ｇ、酸化銀２．７ｇおよびフレオンＥ−３（デュポン社製品）１００ｍｌを混合し、５．５時間還流した後２．７ｇのヨウ素を加え、以下添加剤ＩＩＩの場合と同様に処理し、一方の末端基がＢｒ基で、他方の末端基がＩ基である油状のパーフルオロポリエーテル３３ｇを得た。
　（放射化分析値）Ｉ　１．７％、Ｂｒ　２．７％
　（元素分析値）　計算値Ｃ：２０．７６％，Ｆ：６５．７５％
　　　　　　　　　実測値Ｃ：２０．６５％，Ｆ：６４．２２％
　以上の各成分を用いての含フッ素エラストマー組成物の調製は、次のようにして行われた。
　冷却水を流した２本ロールの間隙に含フッ素エラストマーを投入し、エラストマーがロールに巻き付いたことを確認した上で、補強剤に分散させた添加剤を加える。このときのロールの間隙は、補強剤および添加剤が受皿に多量に落下しない程度に狭くしておくことが好ましい。全量の補強剤および添加剤を加えた後、ロールナイフを使用し、分散を高めるための切り返しを行なう。この後、これ以外の各成分を予め混合した状態で加え、更に１５分間切り返しを行ない、エラストマー中に各成分を均一に分散させた。
　得られた組成物について、常態物性、圧縮永久歪および低温特性を次のようにして測定した。
　常態物性：組成物を１６０℃で１０分間プレス加硫した後、１７５℃で６時間オーブン加硫し、シート状およびＯリング状の加硫物を得、これらの加硫物についてＪＩＳ　Ｋ−６３０１に従って測定
　圧縮永久歪：線径３．５ｍｍのＰ−２４　Ｏリングを２５％圧縮（２００℃、７０時間）して測定
　低温特性：ＴＲ−試験を行ない、低温貯蔵中の結晶化傾向を読みとるために、ＴＲ−１０値およびＴＲ−７０値を測定
　得られた結果は、次の表に示される。なお、Ｎｏ１、Ｎｏ１５およびＮｏ１７は比較例である。また、Ｎｏ１５〜１８については、離型性（２２０×１２０×２ｍｍの金型内に組成物１４０ｇを入れ、１６０℃で１０分間プレス加硫したときの加硫シートの離型の容易さ）の試験を行なった。その結果は、添加剤Ｉを加えたＮｏ１６とＮｏ１８については離型性が良好であったが、添加剤Ｉを加えないＮｏ１５とＮｏ１７では離型性が不良であった。
」（第４頁右上欄第１行〜第６頁の表）
（ウ）甲３の記載事項について
　甲３には以下の記載がある。
（３ａ）「【請求項１】
フッ化ビニリデン−パーフルオロ(メチルビニルエーテル)−テトラフルオロエチレン３元共重合体１００重量部に、１００℃における粘度が５００〜３０００ｃｐｓである液状フッ素ゴム１０〜５０重量部を添加してなるフッ素ゴム組成物。
・・・
【請求項７】
架橋物または加硫物が２０〜５０(デュロメータＡ)の硬さ(ＪＩＳ　Ｋ−６２６２準拠)を示す請求項５または６記載のフッ素ゴム組成物。」
（３ｂ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フッ素ゴム組成物に関する。さらに詳しくは、低硬度のシール部材の成形材料として好適に用いられるフッ素ゴム組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、フッ素ゴムは耐熱性、耐薬品性にすぐれた素材として広く用いられているが、その架橋物の硬さ(デュロメータＡ)の下限値は６０程度である。一般的に用いられているゴム材料の硬さの調節法としては、主に補強剤であるカーボンブラックや可塑剤の量のバランスをとる方法が用いられており、低硬度化する場合には、通常パラフィン系、エステル系等の可塑剤を多量に配合する方法がとられているが、フッ素ゴムとの相溶性の良い可塑剤はあまり存在しない。また、フッ素ゴムは、基本的には高温環境下で使用される場合が多く、このような環境に長時間暴露した場合、可塑剤の多くは揮発し、所期の目的を達成し得ない。また、射出成形においてフッ素ゴムを流動長が長くかつ細かい製品に適用した場合、ショートショットが生じ製品を附型できないという問題がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、架橋物または加硫物が硬さ(デュロメータＡ)５０以下であって、加工性や耐圧縮永久歪特性にすぐれているものを与え得るフッ素ゴム組成物を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
かかる本発明の目的は、フッ化ビニリデン−パーフルオロ(メチルビニルエーテル)−テトラフルオロエチレン３元共重合体またはフッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロペン共重合体１００重量部に、１００℃における粘度が５００〜３０００ｃｐｓである液状フッ素ゴム１０〜５０重量部を添加してなるフッ素ゴム組成物によって達成され、このフッ素ゴム組成物にさらに有機過酸化物０．５〜５重量部および多官能性不飽和化合物０．５〜１０重量部を添加することによりあるいはポリオール系加硫剤０．５〜１０重量部を添加することにより、架橋性または加硫性フッ素ゴム組成物を形成し得る。」
（３ｃ）「【００１０】
ＶｄＦ−ＦＭＶＥ−ＴＦＥ３元共重合体またはＶｄＦ−ＨＥＰ共重合体に添加される液状フッ素ゴムとしては、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロペン共重合体、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロペン−テトラフルオロエチレン３元共重合体、パーフルオロプロペンオキサイド重合体などであって、その粘度(１００℃)が約５００〜３０００ｃｐｓ、好ましくは約５５０〜２０００ｃｐｓのものが、ＶｄＦ−ＦＭＶＥ−ＴＦＥ３元共重合体またはＶｄＦ−ＨＥＰ共重合体１００重量部当り約１０〜５０重量部、好ましくは約１０〜３０重量部の割合で用いられる。
・・・
【００１２】
実際には、液状フッ素ゴムとして、市販品、例えばデュポン社製品バイトンＬＭ、ダイキン製品Ｇ１０１などをそのまま用いることができる。」
（エ）甲４の記載事項について
　甲４には以下の記載がある。なお、甲４は、甲３の分割出願である。
（４ａ）「【請求項１】
　フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロペン共重合体100重量部に、100℃における粘度が500〜3000cpsである液状フッ素ゴム10〜50重量部を添加してなるフッ素ゴム組成物。
・・・
【請求項５】
　架橋物または加硫物が20〜50(デュロメータA)の硬さ(JIS K-6253準拠)を示す請求項３または４記載のフッ素ゴム組成物。
・・・
【請求項７】
　シール部材の成形材料として用いられる請求項１、２、３または４記載のフッ素ゴム組成物。」
（４ｂ）「【０００１】
　本発明は、フッ素ゴム組成物に関する。さらに詳しくは、低硬度のシール部材の成形材料として好適に用いられるフッ素ゴム組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
　一般に、フッ素ゴムは耐熱性、耐薬品性にすぐれた素材として広く用いられているが、その架橋物の硬さ(デュロメータA)の下限値は60程度である。一般的に用いられているゴム材料の硬さの調節法としては、主に補強剤であるカーボンブラックや可塑剤の量のバランスをとる方法が用いられており、低硬度化する場合には、通常パラフィン系、エステル系等の可塑剤を多量に配合する方法がとられているが、フッ素ゴムとの相溶性の良い可塑剤はあまり存在しない。また、フッ素ゴムは、基本的には高温環境下で使用される場合が多く、このような環境に長時間暴露した場合、可塑剤の多くは揮発し、所期の目的を達成し得ない。また、射出成形においてフッ素ゴムを流動長が長くかつ細かい製品に適用した場合、ショートショットが生じ製品を附型できないという問題がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
　本発明の目的は、架橋物または加硫物が硬さ(デュロメータA)50以下であって、加工性や耐圧縮永久歪特性にすぐれているものを与え得るフッ素ゴム組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
　かかる本発明の目的は、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロペン共重合体100重量部に、100℃における粘度が500〜3000cpsである液状フッ素ゴム10〜50重量部を添加してな
るフッ素ゴム組成物によって達成され、このフッ素ゴム組成物にさらに有機過酸化物0.5〜5重量部および多官能性不飽和化合物0.5〜10重量部を添加することによりあるいはポリオール系加硫剤0.5〜10重量部を添加することにより、架橋性または加硫性フッ素ゴム組成物を形成し得る。」
（４ｃ）「【００１０】
　VdF-HFP共重合体に添加される液状フッ素ゴムとしては、フッ化ビニリデン-ヘキサフルオロプロペン共重合体、フッ化ビニリデン-ヘキサフルオロプロペン-テトラフルオロエチレン3元共重合体、パーフルオロプロペンオキサイド重合体などであって、その粘度(100℃)が約500〜3000cps、好ましくは約550〜2000cpsのものが、VdF-HFP共重合体100重量部当り約10〜50重量部、好ましくは約10〜30重量部の割合で用いられる。
・・・
【００１２】
　実際には、液状フッ素ゴムとして、市販品、例えばデュポン社製品バイトンLM、ダイキン製品G101などをそのまま用いることができる。」
（オ）甲５の記載事項について
　甲５には以下の記載がある。
（５ａ）「【請求項１】
　フッ素ゴムからなるゴム組成物において、前記フッ素ゴムの架橋密度が１．０×１０−３ｍｏｌｅ／ｃｃ以下であることを特徴とするフッ素ゴム組成物。」
（５ｂ）「【００３４】
　本発明において、硬度調整や充填剤の増量を目的として可塑剤を添加してもよく、これにはバイトンＬＭ（デュポンエラストマー株式会社製商品名）やダイエルＧ−１０１（ダイキン工業株式会社製商品名）のような液状フッ素ゴム、ＦＳ−１２４５（ダウコーニング（Ｄｏｗ　Ｃｏｒｎｉｎｇ）社製商品名：米国）のようなフロロシリコーンオイル、ＤＢＳ（ジブチルセバケート、株式会社大八化学工業所製商品名）のような高分子エステル、クライトックスＧＰＬ（デュポン（ＤｕＰｏｎｔ）社製商品名：米国）のようなフッ素オイルが例示され１〜１５重量部の範囲で添加される。」
イ　甲１に記載された発明
　甲１には、耐プラズマ性、耐薬品性、耐熱性等が要求される部位に使用される成形体、並びに前記成形体を成形するためのエラストマー組成物が記載されており（記載事項（１ｂ））、請求項１を引用する請求項３には、以下の発明が記載されていると認められる。
「パーフルオロエラストマー（Ａ）と、フッ素ゴム、シリコーンゴム、エチレンプロピレン系ゴムから選ばれる少なくとも１種のエラストマー（Ｂ）とが、質量比で、０．５対９９．５〜８０対２０で混合され、パーフルオロエラストマー（Ａ）及びエラストマー（Ｂ）が有機過酸化物により架橋され、かつ、有機過酸化物及び共架橋剤を含むことを特徴とするエラストマー組成物。」（以下、「甲１発明」という。） 
ウ　対比・判断
（ア）本件訂正発明１について
ａ　対比
　甲１発明の「パーフルオロエラストマー（Ａ）」は、有機過酸化物により架橋されるものであるから、架橋性エラストマーであり、本件訂正発明１の「パーフルオロオレフィンと、パーフルオロ（アルキルビニル）エーテル、パーフルオロ（アルコキシビニル）エーテル及びその混合物からなる群より選択されたパーフルオロビニルエーテルと、硬化部位モノマーとの共重合単位を含有するパーフルオロエラストマー（Ａ）」と、「パーフルオロエラストマー」である限りにおいて一致する。
　甲１発明の「フッ素ゴム、シリコーンゴム、エチレンプロピレン系ゴムから選ばれる少なくとも１種のエラストマー（Ｂ）」は、有機過酸化物により架橋されるものであるから、架橋性エラストマーであり、本件訂正発明１の「ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン系共重合体、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体、テトラフロロエチレン／プロピレン系共重合体、これらの共重合体にエチレンまたはパーフロロアルキルビニルエーテルを共重合させたもの、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体とテトラフロロエチレン／エチレン交互共重合体またはポリビニリデンフロライドとのブロック共重合体、シリコーンゴムから選ばれる少なくとも１種のエラストマー（Ｂ）」に相当する。
　甲１発明の「エラストマー組成物」は、有機過酸化物により架橋されるものであるから、本件訂正発明１の「架橋性エラストマー組成物」に相当する。
　そうすると、本件訂正発明１と甲１発明とは、
「架橋性エラストマーを少なくとも含み、前記架橋性エラストマーが、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン系共重合体、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体、テトラフロロエチレン／プロピレン系共重合体、これらの共重合体にエチレンまたはパーフロロアルキルビニルエーテルを共重合させたもの、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体とテトラフロロエチレン／エチレン交互共重合体またはポリビニリデンフロライドとのブロック共重合体、シリコーンゴムから選ばれる少なくとも１種のエラストマー（Ｂ）、及び、パーフルオロエラストマー（Ａ）、を含む、架橋性エラストマー組成物」である点で一致し、以下の点で相違する。
（相違点１）
　本件訂正発明１は、架橋性エラストマー組成物について、「水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）を少なくとも含み、前記水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）は、分子量が３８３０〜８２００であり、下記式（１）乃至（８）で表される基本骨格を含むフッ素オリゴマーから選択され、
　前記架橋性エラストマーに対する前記水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）の割合が、０．１〜３０重量％である」のに対して、甲１発明では、そのような特定がされていない点
（相違点２）
　本件訂正発明１は、パーフルオロエラストマー（Ａ）について、「パーフルオロオレフィンと、パーフルオロ（アルキルビニル）エーテル、パーフルオロ（アルコキシビニル）エーテル及びその混合物からなる群より選択されたパーフルオロビニルエーテルと、硬化部位モノマーとの共重合単位を含有する」のに対して、甲１発明では、そのような特定がされていない点
ｂ　判断
　上記相違点１について検討する。
　甲１には、耐プラズマ性、耐薬品性に優れ、かつ耐熱性や十分な機械的強度を兼備する成形体、並びに前記成形体を成形するためのエラストマー組成物が記載され（記載事項（１ｂ））、該成形体は高温、真空といった厳しい環境下での使用に好適であり、例えばプラズマや薬品等に曝される半導体製造装置のシール材として有用であることが記載されているものの（記載事項（１ｇ））、硬度に関する記載はなく、甲１発明において、硬度を低くしようとする課題はない。
　また、甲２には、過酸化物架橋性基を有するテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（低級アルキルビニルエーテル）共重合体、平均分子量約２００〜２５０００のパーフルオロポリエーテル化合物またはその末端ヨウ素および／または臭素基置換体および有機過酸化物を含有してなる含フッ素エラストマー組成物が記載され（記載事項（２ａ））、該含フッ素エラストマー組成物は、過酸化物架橋性基を有するテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（低級アルキルビニルエーテル）共重合体にパーフルオロポリエーテル化合物またはその末端ヨウ素および／または臭素基置換体を添加剤として添加することにより、低温特性が改善され（ガラス転移温度Ｔｇを低くする）、広い低温温度範囲での弾性特性や耐薬品性などが要求される用途、例えばロケット、燃料タンク、石油化学プラントなどに用いられるオイルシール、パッキン、ガスケットなどのシール材の有効であることが記載されている（記載事項（２ａ）、（２ｈ））。
　しかしながら、甲２は、低温特性を改善するために「パーフルオロポリエーテル化合物」を配合しているのであって、実施例において結果的に硬度が低くなっているものの（記載事項（２ｉ））、硬度を低下させるために「パーフルオロポリエーテル化合物」を配合する積極的な動機付けは存在しない。加えて、甲１と甲２は、「シール材」として有用である点は共通しているが、前者は耐熱性に着目するような高温下で用いられるものであり、後者は低温下で用いられるものであるから、両者を組み合わせるほど技術分野が共通するとはいえない。
　そうすると、いくら甲２の記載をみても、甲１発明において、相違点１に関する構成を導くことはできない。
　さらに、甲３〜甲５には、フッ素ゴム組成物に関し、液状フッ素ゴムを添加することによって硬度調整することが記載されているものの（記載事項（３ａ）〜（５ｂ））、本件訂正発明１における「式（１）乃至（８）で表される基本骨格を含むフッ素オリゴマー」は記載されていない。
　そうすると、いくら甲３〜甲５の記載をみても、甲１発明において、相違点１に関する構成を導くことはできない。
　したがって、相違点２について検討するまでもなく、本件訂正発明１は、甲１に記載された発明及び甲２〜甲５に記載された事項に基いて、又は、甲１に記載された発明及び甲３〜甲５に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
ｃ　申立人の主張
　申立人は、「甲２発明は、パーフルオロタイプ含フッ素エラストマー組成物であって、シール材に有効な成形材料であり、甲１発明と技術分野や用途が共通であり、耐薬品性などを効果としていることから、甲１発明と組み合わせる動機付けが存在する。」旨主張している。
　しかしながら、上記ｂで述べたとおり、甲１と甲２は、両者を組み合わせるほど技術分野が共通するとはいえず、さらに、甲２には、硬度を低下させるために「パーフルオロポリエーテル化合物」を配合する積極的な動機付けも存在しない。
　また、申立人は、「甲１発明の架橋性フッ素ゴム組成物に甲第３号証〜甲第５号証に記載された各種液状フッ素ゴムを添加することを検討して、硬度の低下や他の特性を阻害しないように、添加する液状フッ素ゴムの分子量や粘度を適宜最適化することは、当業者の通常の創作能力の発揮に過ぎない。」旨主張している。
　しかしながら、上記ｂで述べたとおり、甲３〜甲５には、本件訂正発明１における「式（１）乃至（８）で表される基本骨格を含むフッ素オリゴマー」がそもそも記載されておらず、甲３〜甲５のみの記載から、甲１発明において、相違点１に関する構成を導くことはできない。
　したがって、申立人の主張は採用できない。
ｄ　小括
　以上のとおり、本件訂正発明１は、甲１に記載された発明及び甲２〜甲５に記載された事項に基いて、又は、甲１に記載された発明及び甲３〜甲５に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
（イ）本件訂正発明２〜７について
　本件訂正発明２〜７は、本件訂正発明１を直接的又は間接的に引用する発明であるから、上記（ア）で述べた理由と同じ理由により、当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
（ウ）本件訂正発明８について
　本件訂正発明８は、特定の「架橋性エラストマー組成物」「を架橋する工程を含」む「成型品の製造方法」であり、該「架橋性エラストマー組成物」は、本件訂正発明１の「架橋性エラストマー組成物」と同一のものである。
　そして、上記「成型品の製造方法」は、上記（ア）で述べたのと同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
（エ）本件訂正発明９について
　本件訂正発明９は、「エラストマー（Ｂ）」及び「パーフルオロエラストマー（Ａ）」を含む架橋性エラストマーを架橋して得られる成型品の硬度低下及び耐プラズマ性向上のための、「水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）の使用」である。
　そして、上記「水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）の使用」は、上記（ア）で述べたのと同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
エ　まとめ
　以上のとおりであるから、申立理由１によっては、本件訂正発明１〜９に係る特許を取り消すことはできない。
（２）申立理由３について
ア　申立人の主張
　申立人は、「表７、表８のデータは、フッ素オリゴマーを添加していない組成物よりもフッ素オリゴマーを添加した組成物の方が硬度が高くなっており、フッ素オリゴマーを添加することによって硬度が低下するとの効果を発現していない。すなわち、本件発明１の効果の記載と整合していない、発明が不明確である。」旨主張している。
　しかしながら、本件訂正により、表７、表８のデータが訂正され、「フッ素オリゴマーを添加することによって硬度が低下するとの効果を発現していない。」という主張の根拠となる記載がなくなった。
　また、申立人は、「本件明細書の段落００１７には、フッ素オリゴマー（ａ）の化学構造について、「上記式（１）〜（８）に示すように、フッ素オリゴマー（ａ）は基本骨格にエーテル結合を含み、また、後述する架橋性エラストマーの架橋工程において架橋しない。一方、特許文献３の未架橋のパーフルオロエラストマー（Ａ）は側鎖にエーテル結合を含んでおり、基本骨格が異なっている。」と記載されている。しかしながら、式（１）〜（８）に示された化学構造式には、基本骨格にエーテル結合を含まないものが記載されている。そうすると、本件発明１のフッ素オリゴマー（ａ）に該当するかどうかを明確に判断することが困難であり、発明が不明確である。」旨も主張している。
　しかしながら、本件訂正発明１，８，９における「式（１）乃至（８）で表される基本骨格を含むフッ素オリゴマー」は、本件明細書の段落【００１７】の記載と矛盾はあるものの、式（１）乃至（８）の化学構造自体は明確であり、発明が不明確であるとはいえない。
　したがって、申立人の主張は採用できない。
イ　まとめ
　以上のとおりであるから、申立理由３によっては、本件訂正発明１〜９を取り消すことはできない。
第６　むすび
　以上のとおりであるから、取消理由通知に記載した取消理由及び申立人が申立書に記載した特許異議申立ての理由によっては、請求項１〜９に係る本件特許を取り消すことはできない。
　また、他に請求項１〜９に係る本件特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
令和２年１１月９日（２０２０．１１．９）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
架橋性エラストマー組成物、成型品、シール材、該シール材を含むプラズマ処理装置及び半導体製造装置、並びに、成型品の硬度低下剤、成型品の製造方法
【発明の詳細な説明】
　【技術分野】
　【０００１】
　本願は、成型品を製造するための架橋性エラストマー組成物、該架橋性エラストマー組成物を架橋して得られる成型品、シール材、該シール材を含むプラズマ処理装置及び半導体製造装置、並びに、成型品の硬度低下剤、成型品の製造方法に関する。
　【０００２】
　プラズマ雰囲気や薬品雰囲気等の環境下で使用される装置に用いるシール材等の成型品には、様々な化学種に対して高い安定性が求められており、主にフッ素系エラストマーからなる成型品が使用される（特許文献１参照）。これらの装置では、近年効率化等の理由から高濃度で化学反応性の高いガス、薬液等が使用されるようになっており、これまで広く用いられているフッ素系エラストマーからなる成型品では、劣化が激しく使用できないという問題が起こっている。
　【０００３】
　フッ素系エラストマーの中でもパーフルオロエラストマーは特に優れた耐プラズマ性、耐薬品性を示すことから、上記の厳しい環境下で使用される装置に多用されている（特許文献２参照）。しかしながら、パーフルオロエラストマーは熱間強度が低く、高温処理中にＯ−リング成型体が切れる等の不具合が発生するおそれがある。
　【０００４】
　上記問題点を解決するために、特定の未架橋のパーフルオロエラストマー（Ａ）と、前記未架橋のパーフルオロエラストマー（Ａ）と相溶しない特定の未架橋のエラストマー（Ｂ）とを一定の比率で混合することが知られている（特許文献３参照）。
　【先行技術文献】
　【特許文献】
　【０００５】
　【特許文献１】特開２０００−１１９４６８号公報
　【特許文献２】特開２０００−０４４９３０号公報
　【特許文献３】特許第４７７８７８２号公報
　【発明の概要】
　【発明が解決しようとする課題】
　【０００６】
　ところで、成型品の一例であるシール材はプラズマ処理装置や半導体製造装置に装着した時に、弾性変形することで装置の密閉性を高めることができる。特許文献３に記載されている架橋物は、耐プラズマ性、耐薬品性に優れ、かつ耐熱性や機械的強度を兼備するシール材を提供することができるが、硬度が比較的高い。そのため、耐プラズマ性等の性能を有し、より硬度が低く柔軟性があるシール材等の成型品が望まれているが、現在のところ、そのような成型品を形成するための材料は知られていない。
　【０００７】
　本願は、上記問題を解決する為になされたものであり、鋭意研究を行ったところ、水素を含まないフッ素オリゴマー（以下、単に「フッ素オリゴマー」と記載することがある。）（ａ）を架橋性エラストマーに加えると、架橋性エラストマーを架橋して得られる成型品の硬度を低くできること、を新たに見出した。
　【０００８】
　すなわち、本願の目的は、成型品の硬度を低くする機能を有するフッ素オリゴマーを含む架橋性エラストマー組成物、架橋性エラストマー組成物を架橋して得られる成型品、シール材、該シール材を含むプラズマ処理装置及び半導体製造装置、並びに、成型品の硬度低下剤、成型品の製造方法を提供することである。
　【課題を解決するための手段】
　【０００９】
　本願は、以下に示す、架橋性エラストマー組成物、成型品、シール材、該シール材を含むプラズマ処理装置及び半導体製造装置、並びに、成型品の硬度低下剤、成型品の製造方法に関する。
　【００１０】
　（１）水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）、及び、架橋性エラストマー、
を少なくとも含む、
　架橋性エラストマー組成物。
　（２）前記架橋性エラストマーが、
　ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン系共重合体、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体、テトラフロロエチレン／プロピレン系共重合体、これらの共重合体にエチレンまたはパーフロロアルキルビニルエーテルを共重合させたもの、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体とテトラフロロエチレン／エチレン交互共重合体またはポリビニリデンフロライドとのブロック共重合体、シリコーンゴムから選ばれる少なくとも１種のエラストマー（Ｂ）、及び／又は、
　パーフルオロオレフィンと、パーフルオロ（アルキルビニル）エーテル、パーフルオロ（アルコキシビニル）エーテル及びその混合物からなる群より選択されたパーフルオロビニルエーテルと、硬化部位モノマーとの共重合単位を含有するパーフルオロエラストマー（Ａ）、
を少なくとも含む、
　上記（１）に記載の架橋性エラストマー組成物。
　（３）前記架橋性エラストマーが、前記パーフルオロエラストマー（Ａ）を含み、
　前記架橋性エラストマーの合計重量を１００とした時、前記パーフルオロエラストマー（Ａ）の割合が９９．５以下である、
　上記（２）に記載の架橋性エラストマー組成物。
　（４）前記架橋性エラストマーが、前記エラストマー（Ｂ）及び前記パーフルオロエラストマー（Ａ）のみを含む、
　上記（３）に記載の架橋性エラストマー組成物。
　（５）前記架橋性エラストマーに対する前記水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）の割合が、０．１〜３０重量％である、
　上記（１）〜（４）の何れか一つに記載の架橋性エラストマー組成物。
　（６）前記架橋性エラストマーに対する前記水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）の割合が１〜１５重量％である、
　上記（５）に記載の架橋性エラストマー組成物。
　（７）上記（１）〜（６）の何れか一つに記載の架橋性エラストマー組成物を架橋して得られる成型品。
　（８）上記（７）に記載の成型品の形状がシール状であるシール材。
　（９）上記（８）に記載のシール材を含むプラズマ処理装置。
　（１０）上記（８）に記載のシール材を含む半導体製造装置。
　（１１）水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）を有効成分として含む、成型品の硬度低下剤。
　（１２）水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）、及び、架橋性エラストマーを少なくとも含む架橋性エラストマー組成物を架橋する工程を含む、
成型品の製造方法。
　【発明の効果】
　【００１１】
　本願で開示する架橋性エラストマー組成物は、水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）を添加しなかった組成物と比較して、成型品の硬度を低下することができる。
　【図面の簡単な説明】
　【００１２】
　【図１】図１は、実施例１〜１０及び比較例１のシール材の耐プラズマ性能の評価結果を表すグラフである。
　【図２】図２は、ＭＤＲで算出したＴｃ９０を基に決定した、実施例１〜１０及び比較例１のシール材の成型時間のグラフである。
　【図３】図３は、図面代用写真で、実施例５の試験片の透過電子顕微鏡写真である。
　【図４】図４は、実施例５、１１〜１９及び比較例１のシール材の耐プラズマ性能の評価結果を表すグラフである。
　【図５】図５は、実施例２４〜２９及び比較例３のシール材の耐プラズマ性能の評価結果を表すグラフである。
　【図６】図６は、図面代用写真で、実施例２７の試験片の透過電子顕微鏡写真である。
　【図７】図７は、シール材の硬度の変化率を示すグラフである。
　【発明を実施するための形態】
　【００１３】
　以下に、架橋性エラストマー組成物、成型品、シール材、該シール材を含むプラズマ処理装置及び半導体製造装置、並びに、成型品の硬度低下剤、成型品の製造方法について詳しく説明する。なお、本明細書において、「架橋性エラストマー組成物」とは、架橋性エラストマーを架橋する前の組成物を意味する（以下、「架橋性エラストマー組成物」は、単に「組成物」と記載することがある。）。また、「架橋性」と「未架橋」とは同義である。「シール材」とは、組成物を混練後、装置等のシールに適した形状にした後、架橋・硬化させたものを意味する。「成型品」とは、シールに適した形状に加え、シール以外の用途に適した形状を含めたものを意味する。
　【００１４】
　成型品・シール材（以下、まとめて「成型品」と記載することもある。）の原料である組成物の実施形態は、フッ素オリゴマー（ａ）及び架橋性エラストマーを少なくとも含んでいる。
　【００１５】
　フッ素オリゴマー（ａ）は、Ｃ、Ｆ、Ｏの元素から構成されるオリゴマーであって、例えば、以下の基本骨格を含むフッ素オリゴマー（ａ）が挙げられる。
　【００１６】
　【化１】
　【００１７】
　上記式（１）〜（８）で表されるフッ素オリゴマー（ａ）は、ｎ、ｍの数により分子量が異なり、分子量が大きくなるほど一般的に粘度及び沸点が高くなる。上記基本骨格を含むフッ素オリゴマー（ａ）は、合成したものを用いてもよいし、フッ素系溶剤（オイル、グリース）として市販されているものを用いてもよい。市販されているフッ素オリゴマー（ａ）は、ｎ、ｍの数により粘性等の特性が異なる様々なグレードの製品が知られている。例えば、デュポン社製のクライトックス（登録商標）シリーズ；ソルベイ社のフォンブリン（登録商標）シリーズ、ガルデン（登録商標）シリーズ；ダイキン社製のデムナムシリーズ；等が挙げられる。なお、上記の製品及び骨格は、単なる例示に過ぎず、水素を含まなければ、その他の骨格、製品であってもよい。また、上記式（１）〜（８）に示すように、フッ素オリゴマー（ａ）は基本骨格にエーテル結合を含み、また、後述する架橋性エラストマーの架橋工程において架橋しない。一方、特許文献３の未架橋のパーフルオロエラストマー（Ａ）は側鎖にエーテル結合を含んでおり、基本骨格が異なっている。また、架橋性エラストマーの架橋工程において、パーフルオロエラストマー（Ａ）自身も架橋する点で異なっている。
　【００１８】
　基本骨格に水素を含むフッ素オリゴマーとしては、例えば、３Ｍ社製のノベック等が知られている。しかしながら、後述する実施例及び比較例に示すとおり、基本骨格に水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）を架橋性エラストマーに添加した場合には、成型品の硬度を下げるとともに、架橋性エラストマーの種類によっては、成型品の耐プラズマ性を向上することができる。また、耐プラズマ性が優れている架橋性エラストマーに水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）を添加した場合も成型品の硬度を下げることができ、架橋性エラストマーが元々有している耐プラズマ性を損なうことはない。つまり、架橋性エラストマーを架橋した成型品の硬度を低下するとともに、耐プラズマ性を向上または維持することができる。一方、基本骨格に水素を含むフッ素オリゴマーを添加した場合には、成型品の耐プラズマ性を向上させることはできない。したがって、基本骨格に水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）のほうが好ましい。
　【００１９】
　フッ素オリゴマー（ａ）の分子量は、成型品の硬度が低下し、耐プラズマ性能が得られれば（又は維持）特に制限はない。しかしながら、粘度が低すぎると架橋性エラストマーに練り込みにくく、また、粘度が高いとせん断力が必要である。したがって、混練に好適な範囲となるように、適宜調整すればよい。
　【００２０】
　架橋性エラストマーは、工業用に用いられている未架橋のエラストマーであれば、特に制限はない。例えば、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、ポリイソブチレン、エチレンプロピレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、アクリルゴム、フッ素ゴム、エピクロルヒドリンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム等が挙げられる。例示したゴムは、それぞれ単独で、あるいは混合して使用してもよい。例示した架橋性エラストマーは、水密用または気密用等の用途、使用する装置、環境等に応じて適宜選択すればよい。
　【００２１】
　プラズマ処理装置や半導体製造装置等、耐プラズマ性が求められる装置に成型品を使用する場合は、架橋性エラストマーの中でも耐プラズマ性に優れている、パーフルオロエラストマー（Ａ）、及び／又は、フッ素ゴム、シリコーンゴム（以下、フッ素ゴム及びシリコーンゴムをまとめて「エラストマー（Ｂ）」と記載することがある。）を使用する、又は架橋性エラストマーの一部として含むことが好ましい。
　【００２２】
　フッ素ゴムとしては、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン系共重合体、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体、テトラフロロエチレン／プロピレン系共重合体、等が挙げられる。また、これらの共重合体にエチレンやパーフロロアルキルビニルエーテルを更に共重合させたものでもよい。また、フッ素ゴム（ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体）とフッ素樹脂（テトラフロロエチレン／エチレン交互共重合体及びポリビニリデンフロライド）とのブロック共重合体であるフッ素系熱可塑性エラストマーも使用可能である。また、これらのフッ素ゴムを混合することも可能である。
　【００２３】
　シリコーンゴムとしては、メチルビニルシリコーンゴム、メチルビニルフェニルシリコーンゴム、フロロシリコーンゴム、等が挙げられる。また、これらのシリコーンゴムを混合してもよい。
　【００２４】
　フッ素オリゴマー（ａ）をエラストマー（Ｂ）に加えることで、エラストマー（Ｂ）から得られた成型品の硬度を低下するとともに、更に、耐プラズマ性を向上することもできる。したがって、耐プラズマ性が求められる成型品の架橋性エラストマー成分としては、エラストマー（Ｂ）のみでもよい。一方、耐プラズマ性能に加え、耐薬品性能及び／又は耐熱性能が求められる場合は、架橋性エラストマー成分として、未架橋のパーフルオロエラストマー（Ａ）のみを用いてもよい。又は、未架橋のパーフルオロエラストマー（Ａ）と未架橋のエラストマー（Ｂ）とを混合してもよい。
　【００２５】
　未架橋のパーフルオロエラストマー（Ａ）としては、パーフルオロオレフィンと、パーフルオロ（アルキルビニル）エーテル、パーフルオロ（アルコキシビニル）エーテル、及びその混合物からなる群より選択されたパーフルオロビニルエーテルと、硬化部位モノマーとの共重合単位を含有するパーフルオロエラストマー、等が挙げられる。
　【００２６】
　硬化部位モノマーとしては、ヨウ素や臭素を含む硬化部位モノマーやシアノ基を含む硬化部位モノマーが挙げられる。ヨウ素や臭素を含む硬化部位モノマーとしては、ＣＦ２＝ＣＦ（ＣＦ２）ｎＩ、ＣＦ２＝ＣＦ（ＣＦ２）ｎＢｒ、Ｉ（ＣＦ２）ｎＩ等が挙げられる。またシアノ基を含む硬化部位モノマーの例としては、シアノ基含有パーフルオロビニルエーテルが挙げられ、例えば、ＣＦ２＝ＣＦＯ（ＣＦ２）ｎＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＮ（ｎ：２〜４）、ＣＦ２＝ＣＦＯ（ＣＦ２）ｎＣＮ（ｎ：２〜１２）、ＣＦ２＝ＣＦＯ［ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ］ｍ（ＣＦ２）ｎＣＮ（ｎ：２、ｍ：１〜５）、ＣＦ２＝ＣＦＯ［ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ］ｍ（ＣＦ２）ｎＣＮ（ｎ：１〜４、ｍ：１〜２）、ＣＦ２＝ＣＦＯ［ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ］ｎＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）ＣＮ（ｎ：０〜４）等が挙げられる。
　【００２７】
　パーフルオロエラストマー（Ａ）と他の架橋性エラストマー成分を混合する場合、架橋性エラストマーの合計重量を１００とした時、パーフルオロエラストマー（Ａ）の割合が９９．５以下であることが好ましい。パーフルオロエラストマー（Ａ）以外の架橋性エラストマーにフッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、成型品の耐プラズマ性を向上できるので、パーフルオロエラストマー（Ａ）の添加量を少なくしても耐プラズマ性能を発揮できる。架橋性エラストマーとして、エラストマー（Ｂ）及びパーフルオロエラストマー（Ａ）のみを用いた場合も、エラストマー（Ｂ）及びパーフルオロエラストマー（Ａ）の合計重量を１００とした時、パーフルオロエラストマー（Ａ）の割合が９９．５以下とすればよい。ところで、成型品（架橋性エラストマー組成物）には、耐プラズマ性や耐熱性等を向上させるために、充填材を添加することがあるが、一般的に充填材を添加すると、成型品の硬度は高くなる。しかしながら、実施形態に示す成型品（架橋性エラストマー組成物）は、架橋性エラストマーにフッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、フッ素オリゴマー（ａ）を添加しなかった成型品と比較して、硬度を低くできる。したがって、フッ素オリゴマー（ａ）を添加することで得られる硬度の低下分については、充填材を添加することもできることから、成型品（架橋性エラストマー組成物）の原料の配合の自由度が大きくなる。
　【００２８】
　なお、フッ素オリゴマー（ａ）の原料単価は、パーフルオロエラストマー（Ａ）の約１／１００程度である。フッ素オリゴマー（ａ）を架橋性エラストマーに添加することで耐プラズマ性を付与できるので、パーフルオロエラストマー（Ａ）の一部又は全部を他の架橋性エラストマー成分に換えることができ、成型品の原料コストも下げることができる。
　【００２９】
　架橋性エラストマーに対するフッ素オリゴマー（ａ）の割合は、硬度を低くできれば特に制限はない。また、硬度の低下に加え、得られた成型品の耐プラズマ性を向上させる場合も、耐プラズマ性が向上できる範囲であれば特に制限はない。フッ素オリゴマー（ａ）の添加量が少なくとなると、硬度が低下せず、耐プラズマ性を向上することができない。したがって、架橋性エラストマーに対するフッ素オリゴマー（ａ）の割合は、０．１重量％以上が好ましく、１重量％以上がより好ましい。一方、フッ素オリゴマー（ａ）の添加量が多くなると、硬度が低下し、耐プラズマ性能は向上するので、硬度の低下及び耐プラズマ性能との観点からはフッ素オリゴマー（ａ）の添加量の上限は特にない。ところで、成型品を製造するためには、フッ素オリゴマー（ａ）と架橋性エラストマーを混練した後に、架橋性エラストマーを架橋して成型する工程が必要である。しかしながら、フッ素オリゴマー（ａ）の添加量が多くなるほど成型する時間が長くなり、生産効率が悪くなる。したがって、成型品の生産効率との観点からは、架橋性エラストマーに対するフッ素オリゴマー（ａ）の添加量は、３０重量％以下が好ましく、１５重量％以下がより好ましい。したがって、架橋性エラストマーに対するフッ素オリゴマー（ａ）の添加量は、０．１〜３０重量％が好ましく、１〜１５重量％がより好ましい。
　【００３０】
　なお、上記の架橋性エラストマーに対するフッ素オリゴマー（ａ）の割合は、成型品における割合である。組成物においても、架橋性エラストマーに対するフッ素オリゴマー（ａ）の割合を上記と同様にしてもよいが、組成物をマスターバッチとして用い、成型する前に更に架橋性エラストマー等を加えて混練する場合は、フッ素オリゴマー（ａ）の割合は、上記範囲以外でもよい。また、組成物には、必要に応じて後述する架橋剤、共架橋剤、充填材等を含んでいてもよいが、架橋剤、共架橋剤、充填材等は、成型品を製造する工程で必要に応じて加えてもよい。
　【００３１】
　架橋性エラストマーの架橋は、加熱、電離放射線等の公知の方法を用いればよい。ところで、特許文献３に記載されているシール材は、未架橋のパーフルオロエラストマー（Ａ）と未架橋のエラストマー（Ｂ）を混練後に架橋することで、パーフルオロエラストマー（Ａ）とエラストマー（Ｂ）はそれぞれが架橋した高分子となる。一方、実施形態に示す成型品では、架橋性エラストマーは架橋するが、フッ素オリゴマー（ａ）は架橋せず、微粒子状の凝集体のままである。そのため、実施形態に示す成型品・シール材と特許文献３に記載されているシール材とは、物として異なる。
　【００３２】
　ところで、加熱により架橋性エラストマーを架橋する場合、架橋性エラストマーの種類により異なるものの、１５０℃前後の温度で加熱することで架橋反応を進行させる。また、必要に応じて、１５０℃〜２５０℃の温度で２次架橋を行う。その際、上記のとおりフッ素オリゴマー（ａ）は架橋せず、微粒子状の凝集体として架橋性エラストマーが架橋したエラストマー中に分散するが、フッ素オリゴマー（ａ）の沸点が低いと、加熱による架橋の際に蒸発する可能性がある。そのため、加熱により架橋反応を進行させる場合、沸点が加熱温度より高いフッ素オリゴマー（ａ）を用いることが好ましい。フッ素オリゴマー（ａ）は、一般的に分子量が大きくなるほど沸点も高くなるので、分子量が比較的高いフッ素オリゴマー（ａ）を用いればよい。
　【００３３】
　一方、加熱によらない電離放射線等の方法により架橋する場合は、加熱により架橋する場合より沸点の低いフッ素オリゴマー（ａ）を用いることができる。その場合、電離放射線の照射環境の温度より、沸点が高いフッ素オリゴマーを用いればよい。
　【００３４】
　架橋性エラストマーの架橋方法としては、有機過酸化物による架橋が挙げられる。有機過酸化物架橋剤としては、架橋性エラストマー架橋用の公知のものを用いることができ、例えば、ジクミルパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキシジイソプロピルベンゼン、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、等が挙げられる。
　【００３５】
　共架橋剤としては、架橋性エラストマー架橋用の公知のものを用いることができる。例えば、トリアリルイソシアヌレート、トリアリルシアヌレート、トリアリルトリメリレート、Ｎ，Ｎ’−ｍ−フェニレンジマレイミド、トリメチロールプロパントリメタクリレート、等が挙げられる。その他、アクリレート系、メタクリレート系モノマー、等も用いることができる。
　【００３６】
　また、成型品の実施形態は、効果を損なわない範囲で、カーボンブラック、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、炭酸カルシウム、シリカ、アルミナ、珪酸塩鉱物（例えば、マイカ、タルク等）、硫酸バリウム、及び、有機補強材等の充填材、又は老化防止剤等を含んでもよい。なお、充填材の粒径は、種類により異なるものの１０ｎｍ〜５００ｎｍのナノ粒子であり、そのままでは飛散等により取扱が難しい。そのため、充填材を添加する場合は、造粒した充填材を用いてもよい。造粒は、公知の造粒技術を用いて造粒してもよいし、造粒済みの市販品を用いてもよい。造粒した充填材のかさ密度は、０．０５〜５．０ｇ／ｃｍ３程度が好ましい。かさ密度が０．０５ｇ／ｃｍ３より小さいと、造粒効果が得られ難くなる。一方、かさ密度が５．０ｇ／ｃｍ３超えると、架橋性エラストマーに充填材を混練する際に、均一に分散し難くなる。
　【００３７】
　成型品は、先ず、フッ素オリゴマー（ａ）、架橋性エラストマー、有機過酸化物架橋剤及び共架橋剤を混練して組成物を作製する。なお、フッ素オリゴマー（ａ）及び架橋性エラストマーのみを含む組成物のマスターバッチを用いる場合は、混練する際に、架橋性エラストマー、有機過酸化物架橋剤及び共架橋剤を適宜添加すればよい。更に、必要に応じて、充填材等を混練してもよい。混練には、オープンロール、ニーダー、バンバリーミキサー、２軸押出し機、等の公知の混練機を用いればよいが、これらに限定されるものではない。得られた組成物は、架橋性エラストマー中に、フッ素オリゴマー（ａ）が分散した構造となる。なお、架橋性エラストマー成分であるパーフルオロエラストマー（Ａ）は、他の架橋性エラストマー成分と混合せずに、添加量に応じて海島構造となる。したがって、フッ素オリゴマー（ａ）は海島構造中に分散した構造となる。
　【００３８】
　そして、上記の組成物を架橋することにより成型品が得られる。架橋方法としては通常の過酸化物架橋による成型方法に従うことができる。一般的には、組成物を所望形状の金型に所定量充填し、加熱プレスする。必要に応じて、オーブンで１５０℃〜２５０℃、１時間〜３２時間の二次架橋を施してもよい。
　【００３９】
　また、加熱プレスに代え、電離放射線を用いる場合、電離放射線の種類としては、直接または間接に空気を電離する能力を持つ電磁波または粒子線であれば適用可能である。例えば、α線、β線、γ線、重陽子線、陽子線、中性子線、Ｘ線、電子線が挙げられるが、これらに限定されない。また、これら放射線を組み合わせて使用しても良いが、特にγ線が好適に使用される。γ線は、透過力が高いため、架橋性エラストマーを均一に架橋することができる。
　【００４０】
　なお、組成物中のフッ素オリゴマー（ａ）の分散は、架橋後の成型品においてもほぼそのまま維持される。したがって、成型品は、架橋性エラストマーの架橋物中に、原料として添加したフッ素オリゴマー（ａ）の凝集体が分散する。フッ素オリゴマー（ａ）は、架橋性エラストマーの架橋物中に、平均粒径が１０μｍ以下となるように分散することが好ましく、２μｍ以下がより好ましい。平均粒子径は、混練する時間及び混練速度等により調整できる。
　【００４１】
　シール材の形状（以下、「シール状」と記載することがある。）は、例えば、シート状、棒状、リング状、各種の複雑なブロック形状等、その用途に応じて任意の形状が挙げられる。また、成型品の形状は、上記のシール状に加え、容器状、板状、プラズマ処理が必要な物品のホルダー等が挙げられる。例えば、プラズマ処理が必要な物品をチャンバー内に置く際に、当該物品を保持し且つプラズマ処理が必要な部分は露出し、プラズマ処理が不要な部分は被覆するような形状のホルダーを作製することで、チャンバー内で所望の物品をプラズマ処理することができる。
　【００４２】
　シール材は、フッ素オリゴマー（ａ）を加えると硬度が低下することから弾性変形しやすくなり、密閉性に優れた成型品（シール材）を製造できる。そのため、装置、配管用のシール材等に有用である。また、後述する実施例からも明らかなように、フッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、シール材の耐プラズマ性を向上することもできる。
　【００４３】
　上記の特性を有することから、成型品は高温、真空といった厳しい環境下での使用に好適である。したがって、プラズマに曝されるプラズマ処理装置や半導体製造装置に、シール材として組み込むことができる。プラズマ処理装置や半導体製造装置は、シール材を使用するものであれば、公知の装置を用いることができる。なお、プラズマガスの種類は不問であり、例えば、プラズマ処理装置ではＯ２、ＣＦ４、Ｏ２＋ＣＦ４、Ｈ２、ＣＨＦ３、ＣＨ３Ｆ、ＣＨ２Ｆ２、Ｃｌ２、Ｃ２Ｆ６、ＢＣｌ３、ＮＦ３、ＮＨ３等が一般的であるが、成型品は何れのプラズマに対しても優れた耐性を有する。従って成型品は、特定のプラズマに対するものではない。
　【００４４】
　上記のとおり、フッ素オリゴマー（ａ）は、架橋性エラストマーを架橋して得られた成型品の硬度を低下できるので、成型品の硬度低下剤として用いることもできる。フッ素オリゴマー（ａ）を成型品の硬度低下剤として用いる場合、合成または市販のフッ素オリゴマー（ａ）をそのまま用いてもよい。フッ素オリゴマー（ａ）は分子量が低いことから単体でも液体に近い粘度を有するため、市販のフッ素オリゴマー（ａ）の純度は１００％である。なお、必要に応じて、フッ素オリゴマー（ａ）を溶剤で溶解したもの、あるいは、架橋性エラストマー等に混練したものを硬度低下剤としてもよい。有効成分としてフッ素オリゴマー（ａ）が含まれていれば、形態について特に制限はない。
　【００４５】
　以下に実施例を掲げ、本願の実施形態の具体例を説明するが、本願で開示する実施形態の範囲を限定したり、あるいは制限することを表すものではない。
　【実施例】
　【００４６】
〔水素を含まないフッ素オリゴマーの添加量の影響〕
《実施例１〜１０、比較例１》
＜原料＞
　原料には、以下の製品を用いた。
・フッ素オリゴマー（ａ）：デュポン社製、Ｋｒｙｔｏｘ　１４３ＡＤ、分子量７４８０
・エラストマー（Ｂ）：ソルベイスペシャルティポリマーズジャパン株式会社、フッ素ゴム　Ｐ９５９
・共架橋剤：日本化成社製、ＴＡＩＣ
・架橋剤：日本油脂社製、２５Ｂ
・充填材：カンカーブ（ｃａｎｃａｒｂ　ｌｉｍｉｔｅｄ）社製、ＭＴカーボンＮ９９０
　【００４７】
＜混練組成物の作製＞
　２軸オープンロールに、エラストマー（Ｂ）、充填材、共架橋剤、架橋剤、フッ素オリゴマーを表１に示す配合となるように投入し混練した。混練時間は、フッ素オリゴマーの添加量が多くなるほど長くし、フッ素オリゴマーの大きさが同程度になるように調整した。
　【００４８】
＜成型温度、成型時間＞
　先ず、ＭＤＲ装置（Ｆｌｅｘｓｙｓ社製、ＲＨＥＯＭＥＴＥＲ　ＭＤＲ　２０００）に、上記混練組成物を適量投入した。そして、１５０℃、１時間で試験を実施し、成型時間の指標となるＴｃ９０のデータを得た。
　【００４９】
＜成型、２次架橋（Ｏリングの製造）＞
　１５０℃に加熱したＯリング成型用金型に混練組成物を適量投入した。次に、ＭＤＲで算出したＴｃ９０を基に決定した時間の１．２倍の時間にて各サンプルを成型した。成型終了後、金型から成型体を取り出し、不要なバリを取り除いた。そして、１８０℃のオーブン中で４時間二次架橋を実施し、シール材を製造した。
　【００５０】
　【表１】
　【００５１】
　（１）耐プラズマ性評価
　以下の条件でプラズマを曝露し、曝露前後での試験片の質量減少率で耐プラズマ性を評価した。
・装置：神港精機製表面波プラズマエッチング装置
・試験片：φ３．５３×３０ｍｍ（ＡＳ５６８−２１４サイズのカット品）
・ガス：Ｏ２＋ＣＦ４
・処理圧力：１３３Ｐａ
・出力：３ｋＷ
・曝露時間：２時間
・重量減少率（重量％）＝〔（プラズマ曝露前の重量−プラズマ曝露直後の重量）／（プラズマ曝露前の重量）〕×１００
　【００５２】
　図１は、耐プラズマ性能の評価結果を表すグラフである。図１から明らかなように、エラストマー（Ｂ）に対するフッ素オリゴマー（ａ）の添加割合が、０．１重量％でも耐プラズマ性能が向上した。そして、フッ素オリゴマー（ａ）の添加量が３重量％までは、耐プラズマ性能が急激に向上し、以後はフッ素オリゴマー（ａ）の添加量が増えるにしたがって、耐プラズマ性能が徐々に向上した。
　【００５３】
　また、図２は成型時間のグラフである。図２から明らかなように、フッ素オリゴマー（ａ）の添加量が多くなるほど、成型時間が増加した。
　【００５４】
　図１及び図２に示す結果より、エラストマー（Ｂ）に耐プラズマ性能を付与するとの観点では、エラストマー（Ｂ）に対するフッ素オリゴマー（ａ）の添加量は、実施例１〜１０に示す０．１〜３０重量％の範囲であればよい。一方、フッ素オリゴマー（ａ）の添加量に対する耐プラズマ性能と成型時間、つまり、生産効率を考えると、エラストマー（Ｂ）に対するフッ素オリゴマーの添加量は、１〜１５重量％程度がより好ましいことが明らかとなった。
　【００５５】
　（２）シール材中のフッ素オリゴマー（ａ）の測定
　実施例５の試験片から切片を採取し、透過型電子顕微鏡（日本電子株式会社製「ＪＥＭ−２０００Ｘ」）を用いて透過電子顕微鏡写真を撮影した。図３は、撮影した写真で、写真中の白い点がフッ素オリゴマー（ａ）の微粒子状の凝集体である。写真から明らかなように、フッ素オリゴマー（ａ）の凝集体が、シール材中に分散していることを確認した。写真中の凝集体の平均粒径は０．４μｍであった。なお粒径は、対象となる白い点の重心を通りかつ対象の外周２点を結ぶ径のうちで最大の長さを、その対象の粒径とした。
　【００５６】
〔フッ素オリゴマーの種類の影響〕
《実施例１１〜１９》
　次に、実施例５の各原料の配合をベースに、フッ素オリゴマーの種類を変えた実験を行った。実施例１１〜１９で用いたフッ素オリゴマーの種類及び分子量、並びに、各原料の配合は表２のとおりである。また、実験手順は、上記＜混練組成物＞、＜成型温度、成型時間＞、＜成型、２次架橋（Ｏリングの製造）＞と同様の手順で行い、耐プラズマ性の評価も、上記「（１）耐プラズマ性評価」と同様の手順で行った。
　【００５７】
　【表２】
　【００５８】
　図４は、実施例５、１１〜１９及び比較例１のシール材の耐プラズマ性能の評価結果を表すグラフである。なお、図中の白抜き番号は実施例の番号を表す。図４から明らかなように、製造メーカー及び種類によらず、フッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、耐プラズマ性能が向上した。なお、フッ素オリゴマーの種類、同じシリーズでも分子量により耐プラズマ性能に差異が見られた。したがって、製造に際しては、好適な種類のフッ素オリゴマー（ａ）を用いればよい。
　【００５９】
〔架橋方法の違いによる耐プラズマ性能への影響〕
《実施例２０〜２３、比較例２》
　上記の実施例１〜１９に示したシール材は加熱により架橋したが、γ線によりエラストマー（Ｂ）を架橋した場合の耐プラズマ性について実験を行った。
　表３に示す配合及び原料を用い、上記＜混練組成物＞と同様の手順で組成物を作製し、シート状に成型した。次に、常温でγ線照射装置（ラジエ工業株式会社）を用いて、γ線量１２０ｋＧｙで照射を行った。架橋したシール材は、上記「（１）耐プラズマ性評価」と同様の手順で評価を行った。
　また、γ線架橋と熱による架橋と比較する為、表３に示す配合及び原料を用いて、上記＜混練組成物＞、＜成型温度、成型時間＞、＜成型、２次架橋（Ｏリングの製造）＞と同様の手順でシール材を製造し、上記「（１）耐プラズマ性評価」と同様の手順で評価を行った。表３に評価結果を示す。
　【００６０】
　【表３】
　【００６１】
　表３から明らかなように、エラストマー（Ｂ）をγ線で架橋すると、熱で架橋した場合より耐プラズマ性能はやや劣るものの、分子量や添加量を調整することで充分な耐プラズマ性能が得られることが分かった。
　【００６２】
　以上の結果より、エラストマー（Ｂ）の架橋方法によらず、フッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、耐プラズマ性能が得られることが明らかとなった。したがって、エラストマー（Ｂ）を架橋する際の温度に応じて幅広い範囲のフッ素オリゴマー（ａ）を用いることができる。
　【００６３】
〔エラストマー（Ｂ）及びパーフルオロエラストマー（Ａ）を混合した場合の影響〕
《実施例２４〜２９、比較例３》
　次に、架橋性エラストマーとして、エラストマー（Ｂ）と、耐薬品性能を付与することができるパーフルオロエラストマー（Ａ）を混合した実験を行った。
　原料は、実施例１〜１０と同様の原料に加え、
・パーフルオロエラストマー（Ａ）：ダイキン工業社製、ダイエルパーフロＧＡ−１５
を用いた。各原料の配合は表４のとおりで、実験手順は、上記＜混練組成物＞、＜成型温度、成型時間＞、＜成型、２次架橋（Ｏリングの製造）＞と同様に行い、耐プラズマ性の評価も、上記「（１）耐プラズマ性評価」と同様の手順で行った。
　【００６４】
　【表４】
　【００６５】
　図５は、耐プラズマ性能の評価結果を表すグラフである。図５から明らかなように、エラストマー（Ｂ）とパーフルオロエラストマー（Ａ）を混合した場合でも、フッ素オリゴマー（ａ）の添加量を多くするほど耐プラズマ性能が向上した。上記結果よりエラストマー（Ｂ）とパーフルオロエラストマー（Ａ）を混合した架橋性エラストマーにフッ素オリゴマー（ａ）を添加しても、耐プラズマ性能を向上することができ、負の相互作用はない。したがって、耐薬品性能等が必要な場合は、パーフルオロエラストマー（Ａ）を添加してもよいことが明らかとなった。
　【００６６】
　図６は、実施例２７の試験片の切片を採取し、上記「（２）シール材中のフッ素オリゴマー（ａ）の測定」と同様の手順で撮影した写真である。フッ素オリゴマー（ａ）とパーフルオロエラストマー（Ａ）は写真中の白い点であるが、写真から両者を区別することは困難である。写真から明らかなように、白い小さな点はエラストマー（Ｂ）中に凝集せずに分散していたことから、フッ素オリゴマー（ａ）とパーフルオロエラストマー（Ａ）を同時にエラストマー（Ｂ）に添加しても、分散することが明らかとなった。
　【００６７】
〔水素を含むフッ素オリゴマーを添加した時の耐プラズマ性能〕
《比較例１、４〜７》
　次に、水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）に代え、水素を含むフッ素オリゴマーを添加した場合の影響について実験を行った。実験は、下記表５に示す配合及び原料とした以外は、上記《実施例１〜１０、比較例１》と同様の手順で耐プラズマ性能を調べた。各比較例の重量減少率（重量％）についても、表５に示す。
　【００６８】
　【表５】
　【００６９】
　上記表５に示すように、水素を含むフッ素オリゴマーを添加した場合には、硬度の低下は見られるものの、耐プラズマ性能の向上は見られず、フッ素オリゴマーを添加しなかった場合とほぼ同様の結果となった。以上の結果より、フッ素オリゴマーが水素を含む場合、エラストマー（Ｂ）をプラズマから保護する機能を発揮しないことが明らかとなった。したがって、成型品の硬度を低下するとの観点に加え、耐プラズマ性を向上するとの観点からは、水素を含むフッ素オリゴマーより、水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）の方が好ましいことを確認した。
　【００７０】
〔フッ素オリゴマー（ａ）の添加量と硬度の関係〕
　実施例１〜１０で作製したシール材の硬度は、成型体（Ｏリング）をＢＡＲＥＩＳＳ製マイクロゴム硬度計（型式：ＨＰＥＩＩ　ｓｈｏｒｅ　ＡＭ／Ｍ）に設置して測定した。なお、比較のため、パーフルオロエラストマー（Ａ）の添加量を変えたシール材も複数作製し、同様の手順で硬度を調べた。
　【００７１】
　図７は、シール材の硬度の変化率を示すグラフである。なお、グラフはエラストマー（Ｂ）のみの硬度を１００とし、そして、パーフルオロエラストマー（Ａ）を添加した各シール材と同じ添加量のフッ素オリゴマー（ａ）を添加した時の硬度を、エラストマー（Ｂ）のみの硬度（１００）に対する比で表している。図７から明らかなように、エラストマー（Ｂ）に対してパーフルオロエラストマー（Ａ）を添加した場合、エラストマー（Ｂ）の硬度は殆ど変化しなかった。一方、エラストマー（Ｂ）にフッ素オリゴマー（ａ）を添加した場合、エラストマー（Ｂ）の硬度は低くなった。
　【００７２】
〔充填材を変えた場合の耐プラズマ性の評価〕
《実施例３０、３１》
　図７に示したように、架橋性エラストマーにフッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、成型品の硬度を下げられることを確認した。次に、実施例１〜１０において充填材として用いたカンカーブに換え、耐プラズマ性能に優れるＳｉＣを用いた。原料には、以下の製品を用いた。
・フッ素オリゴマー（ａ）：デュポン社製、Ｋｒｙｔｏｘ　１４３ＡＤ、分子量７４８０
・パーフルオロエラストマー（Ａ）：ダイキン工業社製、ダイエルパーフロＧＡ−１５
・エラストマー（Ｂ）：ソルベイスペシャルティポリマーズジャパン株式会社、フッ素ゴム　Ｐ９５９
・共架橋剤：日本化成社製、ＴＡＩＣ
・架橋剤：日本油脂社製、２５Ｂ
・充填材：ＳｉＣ（ナノメーカーズ社製）、かさ密度：０．６ｇ／ｃｍ３
　なお、充填材のかさ密度は、１００ｍｌメスシリンダー（内径２８ｍｍ）に５ｇの粉末を投入し、２ｃｍの高さから２０回タッピングした後の目盛りをよみ、その体積から算出した。
　【００７３】
　各原料を表６に示す配合とし、実施例１〜１０の＜成型、２次架橋（Ｏリングの製造）＞において、１６０℃で１５分成型した以外は、実施例１〜１０と同様の手順で、シール材を製造し、耐プラズマ性の評価を行った。評価結果も表６に示す。
　【００７４】
　【表６】
　【００７５】
　表６に示すように、充填材としてＳｉＣを添加することで、耐プラズマ性が著しく向上した。フッ素オリゴマー（ａ）を添加することで成型品の硬度が下げられる。したがって、従来と同じ硬度の成型品を製造する場合、硬度の低下分を所期の特性を持つ充填材を添加できるので、充填材の種類や添加量等、原料の配合の自由度が大きくなることが明らかとなった。
　【００７６】
〔架橋性エラストマー成分を変えた場合の硬度変化の評価〕
《実施例３２、３３、比較例８》
　架橋性エラストマーとして、パーフルオロエラストマー（Ａ）のみを用いた場合の硬度変化を評価した。各原料の配合は表７に示すとおりで、パーフロエラストマー（Ａ）は《実施例２４〜２９》で用いた製品と同様で、その他の原料は《実施例１〜１０》と同様である。次に、実施例１〜１０と同様の手順で、シール材を製造し、耐プラズマ性の評価を行った。また、硬度については、上記〔フッ素オリゴマー（ａ）の添加量と硬度の関係〕と同様の手順で行った
。
　【００７７】
　【表７】
　【００７８】
　
架
　【００７９】
　《実施例３４、比較例９》
　次に、架橋性エラストマーとして、エラストマー（Ｂ）及びパーフルオロエラストマー（Ａ）以外の、架橋性エラストマーを用いた場合の硬度変化を評価した。各原料の配合は表８に示すとおりで、架橋性エラストマーとして用いたエチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ、ＬＵＮＸＥＳＳ社製　Ｋｅｌｔａｎ　８３４０Ａ）以外の原料は、《実施例１〜１０》と同様である。次に、実施例１〜１０と同様の手順で、シール材を製造した。また、硬度については、上記〔フッ素オリゴマー（ａ）の添加量と硬度の関係〕と同様の手順で行った
。
　【００８０】
　【表８】
　【００８１】
　
エ
　【００８２】
　上記実施例１〜３４、及び比較例１〜９の結果より、水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）を架橋性エラストマーに添加することで、得られた成型品の硬度を低くできることが明らかとなった。更に、架橋性エラストマーの種類によるが、フッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、成型品の耐プラズマ性を向上することができた。したがって、架橋性エラストマーにフッ素オリゴマー（ａ）を添加することで、成型品の硬度を低下することができ、成型品の柔軟性が高くできる。また、充填材の添加等、組成物・成型品の原料の配合の自由度が大きくできることが明らかとなった。
　【産業上の利用可能性】
　【００８３】
　実施形態に示す組成物、該組成物から得られた成型品は、硬度を低くでき、また、原料の配合の自由度が向上する。したがって、プラズマ処理装置や半導体製造装置をはじめ、各種装置のシール材等の成型品として好適に用いることができる。
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）、及び、架橋性エラストマー、
を少なくとも含み、
　前記水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）は、
　分子量が３８３０〜８２００であり、
　下記式（１）乃至（８）で表される基本骨格を含むフッ素オリゴマーから選択され、
　前記架橋性エラストマーが、
　ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン系共重合体、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体、テトラフロロエチレン／プロピレン系共重合体、これらの共重合体にエチレンまたはパーフロロアルキルビニルエーテルを共重合させたもの、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体とテトラフロロエチレン／エチレン交互共重合体またはポリビニリデンフロライドとのブロック共重合体、シリコーンゴムから選ばれる少なくとも１種のエラストマー（Ｂ）、及び、
　パーフルオロオレフィンと、パーフルオロ（アルキルビニル）エーテル、パーフルオロ（アルコキシビニル）エーテル及びその混合物からなる群より選択されたパーフルオロビニルエーテルと、硬化部位モノマーとの共重合単位を含有するパーフルオロエラストマー（Ａ）、
を含み、
　前記架橋性エラストマーに対する前記水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）の割合が、０．１〜３０重量％である、
　架橋性エラストマー組成物。
　【請求項２】
　前記架橋性エラストマーの合計重量を１００とした時、前記パーフルオロエラストマー（Ａ）の割合が９９．５以下である、
　請求項１に記載の架橋性エラストマー組成物。
　【請求項３】
　前記架橋性エラストマーに対する前記水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）の割合が１〜１５重量％である、
　請求項１に記載の架橋性エラストマー組成物。
　【請求項４】
　請求項１〜３の何れか一項に記載の架橋性エラストマー組成物を架橋して得られる成型品。
　【請求項５】
　請求項４に記載の成型品の形状がシール状であるシール材。
　【請求項６】
　請求項５に記載のシール材を含むプラズマ処理装置。
　【請求項７】
　請求項５に記載のシール材を含む半導体製造装置。
　【請求項８】
　水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）、及び、架橋性エラストマーを少なくとも含む架橋性エラストマー組成物を架橋する工程を含み、
　前記水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）は、
　分子量が３８３０〜８２００であり、
　下記式（１）乃至（８）で表される基本骨格を含むフッ素オリゴマーから選択され、
　前記架橋性エラストマーが、
　ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン系共重合体、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体、テトラフロロエチレン／プロピレン系共重合体、これらの共重合体にエチレンまたはパーフロロアルキルビニルエーテルを共重合させたもの、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体とテトラフロロエチレン／エチレン交互共重合体またはポリビニリデンフロライドとのブロック共重合体、シリコーンゴムから選ばれる少なくとも１種のエラストマー（Ｂ）、及び、
　パーフルオロオレフィンと、パーフルオロ（アルキルビニル）エーテル、パーフルオロ（アルコキシビニル）エーテル及びその混合物からなる群より選択されたパーフルオロビニルエーテルと、硬化部位モノマーとの共重合単位を含有するパーフルオロエラストマー（Ａ）、
を含み、
　前記架橋性エラストマーに対する前記水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）の割合が、０．１〜３０重量％である、
　成型品の製造方法。
　【請求項９】
　ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン系共重合体、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体、テトラフロロエチレン／プロピレン系共重合体、これらの共重合体にエチレンまたはパーフロロアルキルビニルエーテルを共重合させたもの、ビニリデンフロライド／ヘキサフロロプロペン／テトラフロロエチレン系共重合体とテトラフロロエチレン／エチレン交互共重合体またはポリビニリデンフロライドとのブロック共重合体、シリコーンゴムから選ばれる少なくとも１種のエラストマー（Ｂ）、及び、
　パーフルオロオレフィンと、パーフルオロ（アルキルビニル）エーテル、パーフルオロ（アルコキシビニル）エーテル及びその混合物からなる群より選択されたパーフルオロビニルエーテルと、硬化部位モノマーとの共重合単位を含有するパーフルオロエラストマー（Ａ）、
を含む架橋性エラストマーを架橋して得られる成型品の硬度低下および耐プラズマ性向上のための、
　分子量が３８３０〜８２００であり、下記式（１）乃至（８）で表される基本骨格を含む、
　水素を含まないフッ素オリゴマー（ａ）の使用。