(57)【要約】【課題】ワークを略水平に支持することによって、積み卸し時の発塵を減らし、ワークヘのゴミの影響を少なくするとともに、ワーク内のガラス基板が飛び出す可能性を少なくすることができる移載機を提供すること。【解決手段】伸縮するフォーク１と、このフォーク１を昇降させる昇降装置とを備えた移載機において、フォーク１を、ワーク重量によるフォーク１のたわみを相殺し、積み卸し状態でワークＷを略水平に保つ上向き円弧状に湾曲させる。【選択図】図１
2010070284.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォークに設けたガイド溝に、隣接するフォークに設けた複数のガイドローラを挿入して支持することにより、テレスコピック状に設けた複数のフォークを伸縮するようにした移載装置において、ガイド溝及びガイドローラの並び方向を、ワーク重量によるフォークのたわみを相殺し、かつ積み卸し状態でワークを略水平に保つ上向き円弧状に湾曲させたことを特徴とする移載装置。
【請求項２】
フォークを前記上向き円弧状に湾曲させたことを特徴とする請求項１記載の移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム等で使用される移載装置に関し、特に、ワークを略水平に支持することによって、積み卸し時の発塵を減らし、ワークヘのゴミの影響を少なくするとともに、ワーク内のガラス基板が飛び出す可能性を少なくすることができる移載装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
移載装置は、例えば、図７に示すように、伸縮するフォーク１と、該フォーク１を昇降させる昇降装置（図示省略）とを備え、フォーク１の伸縮によりワークの下にフォークを差し込むとともに、昇降装置でフォーク１を昇降させることにより、ワークの移載を行っている。
【０００３】
ところで、このような移載装置を搭載するスタッカクレーンにおいて、図６に示すように、ワークＷの移載を行う際に、ワーク重量によりフォーク１が撓んでワークＷが傾くことがあり、このワークＷの傾きによって、ワークＷと置台、ワークＷとフォーク１の間で滑りが生じて発塵の原因となる。
【０００４】
また、ワーク（カセット）内にある液晶ガラス基板は、ワークが傾いたときに取り出し側が下を向くようになり、移載中に非常停止等の急な動作が発生したときに、ガラス基板がワークから飛び出す可能性がある。
【０００５】
このような移載時のワークの傾きに対しては、従来は、フォークの材質や構造による剛性の向上によってたわみを減少させ対処していたが、ガラス基板の大型化等でこのたわみが大きくなる場合は、上記剛性の向上によりたわみを小さくするには移載装置の重量やコストが増加するという問題がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記従来の移載装置が有する問題点に鑑み、ワークを略水平に支持することによって、積み卸し時の発塵を減らし、ワークヘのゴミの影響を少なくするとともに、ワーク内のガラス基板が飛び出す可能性を少なくすることができる移載装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の移載装置は、フォークに設けたガイド溝に、隣接するフォークに設けた複数のガイドローラを挿入して支持することにより、テレスコピック状に設けた複数のフォークを伸縮するようにした移載装置において、ガイド溝及びガイドローラの並び方向を、ワーク重量によるフォークのたわみを相殺し、かつ積み卸し状態でワークを略水平に保つ上向き円弧状に湾曲させたことを特徴とする。
【０００８】
この場合において、フォークを前記上向き円弧状に湾曲させることができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の移載装置によれば、フォークに設けたガイド溝に、隣接するフォークに設けた複数のガイドローラを挿入して支持することにより、テレスコピック状に設けた複数のフォークを伸縮するようにした移載装置において、ガイド溝及びガイドローラの並び方向を、ワーク重量によるフォークのたわみを相殺し、かつ積み卸し状態でワークを略水平に保つ上向き円弧状に湾曲させることから、ワークを略水平に支持し、ワークと置台間やワークとフォーク間の滑りをなくして積み卸し時の発塵を減らし、ワークヘのゴミの影響を少なくするとともに、ワーク内のガラス基板が飛び出す可能性を少なくすることができる。
また、材質や構造の変更による剛性の向上の必要がなくなるため、移載装置の重量やコストの増加を抑えることができ、さらに、移載装置の重量増加を抑えることで、それを支える昇降装置や走行装置の重量やコストの増加を抑えることができる。
【００１０】
また、フォークを前記上向き円弧状に湾曲させることにより、ガイド溝やガイドローラの並び方向の湾曲量を減じて、ワーク重量によるフォークのたわみをより相殺しやすくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の移載装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１２】
図１〜図５に、本発明の移載装置の一実施例を示す。
この移載装置は、テレスコピック状に伸縮するフォーク１と、該フォーク１を昇降させる昇降装置（図示省略）とを備え、先端フォーク１３に設けたガイド溝３に、次段の中段フォーク１２に設けた複数のガイドローラ２を挿入し、該ガイドローラ２で前段の先端フォーク１３を支持することにより、複数のフォーク１を伸縮するようにしている。
そして、この移載装置は、ガイド溝３及びガイドローラ２の並び方向を、ワーク重量によるフォーク１のたわみを相殺し、かつ積み卸し状態でワークＷを略水平に保つ上向き円弧状に湾曲させている。
【００１３】
フォーク１は、複数の段で伸縮する左右１対のテレスコピック状のものからなり、ベース１１にガイドローラ２で出入り可能に支持された中段フォーク１２と、該中段フォーク１２にガイドローラ２で出入り可能に支持された先端フォーク１３とを備えている。
本実施例では、前記ガイド溝３及びガイドローラ２の並び方向に加えて、ワークＷを積載する先端フォーク１３が、ワーク重量によるたわみを相殺してワークＷを略水平に保つ上向き円弧状に形成されている。
なお、先端フォーク１３は、図１に示すように、ワークＷを積載して積み卸し状態まで移動すると、中段フォーク１２の先端ガイドローラ２ａでその基部が片持ちされることにより、円弧の湾曲が弱められる。
【００１４】
また、図３（ｄ）に示すように、ガイド溝３及びガイドローラ２の並び方向だけを前記上向き円弧状に湾曲させ、フォーク１は直線状に形成することができる。
これにより、フォーク１の加工を簡略化することができる。
【００１５】
また、図３（ｅ）に示すように、先端フォーク１３と中段フォーク１２の２段において、各フォーク１２、１３、ガイド溝３及びガイドローラ２の並び方向を、前記上向き円弧状に湾曲させることもできる。
この場合、中段フォーク１２はベース１１のガイドローラ２に支持されるため、このベース１１のガイドローラ２の並び方向が前記円弧状に湾曲される。
２段のフォーク１２、１３を円弧状に伸縮させることにより、１段あたりの湾曲量を１／２にすることができる。
また、ｎ段のフォークを円弧状に伸縮させることにより、１段あたりの湾曲量を１／ｎにすることができる。
【００１６】
図４に示すように、仮にフォーク１の出入ストロークが３０００ｍｍ、たわみ量が２５ｍｍとなる場合、ワークの積み卸し状態で水平となるようにたわみ補正を実施するためには、先端フォーク１３に設ける円弧の曲率半径は５４５００ｍｍとなる。
ここで、上記たわみ量は、中段フォーク１２と、先端フォーク１３の片持ちとによる全体の曲がり分、及びガイドローラ２とガイド溝３のクリアランスを足したトータルのたわみ量である。
なお、先端フォーク長は２０００ｍｍ、たわみに関係する実質的な先端フォーク長、すなわち先端フォーク１３を支持する中段フォーク１２の先端ガイドローラ２ａから先端フォーク１３の先端までの距離は１６５０ｍｍである。
【００１７】
上記のたわみ補正量について、図５を参照して説明する。
実質的な先端フォーク長１６５０ｍｍに対して２５ｍｍの補正量としたとき、たわみ補正のために必要な先端フォーク１３の形状は図４のａ部の曲線となるため、円の半径Ｒを求めると、
Ｘ２＋Ｙ２＝Ｒ２、Ｘ＝１６５０、Ｙ＝Ｒ−２５より、
１６５０２＋（Ｒ−２５）２＝Ｒ２
Ｒ２−５０Ｒ＋２５２＋１６５０２＝Ｒ２
Ｒ＝（２５２＋１６５０２）／５０＝５４５００となる。
【００１８】
一方、昇降装置は、図では省略しているが、ベース１１を昇降させることによりフォーク１の昇降を行う。
例えば、置台のワークＷの下に差し込んだ先端フォーク１３を上昇させることにより、先端フォーク１３上にワークＷを積載し、その状態でフォーク１を収縮させた後、ベース１１を下降させることにより、移載装置へのワークＷの移載が完了する。
また、この状態でベース１１を上昇させた後、先端フォーク１３を置台の位置まで水平移動させ、ベース１１を下降させることによりワークＷを置台に移載する。
【００１９】
次に、本実施例の移載装置の作用を説明する。
従来の移載装置では、図６〜図７に示すように、ワークＷが傾いた状態で出動作中に非常停止がかかった場合、ワークＷの中身に傾斜を下る方向の慣性力が働き、飛び出しやすくなる。
また、卸し動作時にはワークＷの先端側が置台（図示省略）と先に接し、続いて根元側が置台と接して移載が完了する。
この場合、先にワークＷの先端側が置台に預けられ、移載装置に対する負荷が軽減されるため、たわみの減少による移載方向への微小な移動と移載の下降動作が同時に発生し、ワークＷと置台間で滑り磨耗が生じる。
積み動作時にはこの逆の現象により、同じく滑り磨耗を生じる。たわみが大きい場合には、滑りによる位置ずれも問題となる。
【００２０】
これに対し、本実施例の移載装置では、図１に示すように、ワークＷの傾きを抑えて水平を保つことにより、出入動作中に非常停止時がかかった場合でも、傾斜がないため飛び出しやすくなる方向の力が小さくなる。
また、卸し動作時には、たわみの減少によるワークＷの移載方向への微小な移動が発生しないため、ワークＷと置台間での滑り磨耗を生じず、また位置ずれも発生しない。
従来のたわみ対策では、装置全体の剛性の向上を検討しなければならないが、本実施例ではフォーク１の形状のみで対応が可能であるため、重量やコストに与える影響を抑えることができる。
【００２１】
かくして、本実施例の移載装置によれば、先端フォーク１３に設けたガイド溝３に、次段の中段フォーク１２に設けた複数のガイドローラ２を挿入し、該ガイドローラ２で前段の先端フォーク１３を支持することにより、複数のフォークを伸縮するようにした移載装置において、ガイド溝３及びガイドローラ２の並び方向を、ワーク重量によるフォーク１のたわみを相殺し、かつ積み卸し状態でワークＷを略水平に保つ上向き円弧状に湾曲させることから、ワークＷを略水平に支持し、ワークＷと置台間やワークＷとフォーク１間の滑りをなくして積み卸し時の発塵を減らし、ワークＷヘのゴミの影響を少なくするとともに、ワークＷ内のガラス基板が飛び出す可能性を少なくすることができる。
また、材質や構造の変更による剛性の向上の必要がなくなるため、移載装置の重量やコストの増加を抑えることができ、さらに、移載装置の重量増加を抑えることで、それを支える昇降装置や走行装置の重量やコストの増加を抑えることができる。
【００２２】
また、フォークを前記上向き円弧状に湾曲させることにより、ガイド溝３やガイドローラ２の並び方向の湾曲量を減じて、ワーク重量によるフォーク１のたわみをより相殺しやすくすることができる。
【００２３】
以上、本発明の移載装置について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明の移載装置は、ワークを略水平に支持することによって、積み卸し時の発塵を減らし、ワークヘのゴミの影響を少なくするとともに、ワーク内の液晶ガラス基板が飛び出す可能性を少なくするという特性を有していることから、例えば、クリーンルームのスタッカクレーンやＲＧＶ：Ｒａｉｌ  Ｇｕｉｄｅｄ  Ｖｅｈｉｃｌｅ（有軌道搬送台車）、ＯＨＶ：Ｏｖｅｒ  Ｈｅａｄ  Ｖｅｈｉｃｌｅ（天井搬送台車）等に搭載する高精度の移載装置に好適に用いることができるほか、その他一般の搬送装置の移載装置にも好適に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の移載装置の一実施例を示し、（ａ）はフォークを収縮した状態を示す側面図、（ｂ）はフォークを伸長した状態を示す側面図である。
【図２】同移載装置を示し、（ａ）はその正面図、（ｂ）はＡ部の分解図である。
【図３】同移載装置を示し、（ａ）は空荷状態でフォークを伸長した状態を示す側面図、（ｂ）はガイドローラ付近の断面図、（ｃ）はフォークを収縮した状態を示す側面図、（ｄ）はガイド溝及びガイドローラの並び方向を上向き円弧状に湾曲させ、フォークを直線状に形成した実施例を示す側面図、（ｅ）は先端フォークと次段のフォークのガイド溝及びガイドローラの並び方向を上向き円弧状に湾曲させた実施例を示す側面図である。
【図４】（ａ）は伸長したフォークのたわみ量を示す側面図、（ｂ）はたわみ量を補正する先端フォークの円弧を示す側面図である。
【図５】先端フォークの円弧の曲率半径をきめる模式図である。
【図６】従来の移載装置を示し、（ａ）はフォークを収縮した状態を示す側面図、（ｂ）はフォークを伸長した状態を示す側面図である。
【図７】同移載装置を示し、（ａ）はその正面図、（ｂ）はＡ部の分解図である。
【符号の説明】
【００２６】
１    フォーク
１１  ベース
１２  中段フォーク
１３  先端フォーク
２    ガイドローラ
２ａ  先端ガイドローラ
３    ガイド溝
Ｗ    ワーク    
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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