(57)【要約】【課題】作業者の負担を軽減して、作業効率を高めることができるプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置を提供する。【解決手段】電極体２が、長さ方向に沿って連結可能に設けられた円柱状の電極部材２ａを、複数連結して成っている。収納部１１が、電極部材２ａを複数収納可能に設けられている。取出手段１２が、収納部１１から電極部材２ａを一つずつ取り出し可能に設けられている。移動手段１３が、取出手段１２により取り出された電極部材２ａを、電極体２の他方の端部側で、電極体２と一列に並ぶ連結位置まで移動可能に設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
細長い円柱状の電極体を、その長さ方向に沿った中心軸周りに回転させ、回転する前記電極体の一方の端部にプラズマを照射して、金属製または合金製の粉末を製造するプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置であって、
収納部と取出手段と移動手段とを有し、
前記電極体は、長さ方向に沿って連結可能に設けられた円柱状の電極部材を、複数連結して成り、
前記収納部は、前記電極部材を複数収納可能に設けられ、
前記取出手段は、前記収納部から前記電極部材を一つずつ取り出し可能に設けられ、
前記移動手段は、前記取出手段により取り出された前記電極部材を、前記電極体の他方の端部側で、前記電極体と一列に並ぶ連結位置まで移動可能に設けられていることを
特徴とするプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置。
【請求項２】
前記移動手段は、
前記取出手段により取り出された前記電極部材を、前記連結位置の方向に転がして、前記連結位置の近傍まで移動可能に設けられた傾斜面と、
前記傾斜面の下端部に、前記傾斜面に沿った傾斜位置と前記傾斜面に対して立ち上がる停止位置との間で回転移動可能、かつ、前記停止位置の側に付勢するよう設けられたストッパと、
前記傾斜面の下端部まで転がり、前記停止位置の前記ストッパで停止した前記電極部材を把持して、前記連結位置まで移動可能に設けられた把持部とを
有することを特徴とする請求項１記載のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置。
【請求項３】
前記把持部は、一端が接続され、他端が前記電極部材を把持可能な間隔を開けて設けられた１対の把持アームを有し、各把持アームの前記一端が回転して、前記停止位置の前記ストッパで停止した前記電極部材を把持する把持位置と、把持した前記電極部材を前記連結位置に位置付ける位置との間で移動可能に設けられており、各把持アームが前記把持位置に回転移動するとき、各把持アームのうち前記電極部材側のアームが、前記電極部材に接触して前記連結位置側に曲がり、前記電極部材を通過すると元の形状に戻って、各把持アームで前記電極部材を把持するよう構成されていることを特徴とする請求項２記載のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置。
【請求項４】
前記移動手段は、
前記取出手段により取り出された前記電極部材を、前記連結位置の方向に転がして、前記連結位置まで移動可能に設けられた傾斜面と、
前記傾斜面を転がった前記電極部材が前記連結位置に位置付けられるよう、前記傾斜面の下端部に、前記傾斜面に対して立ち上がるよう設けられたストッパとを
有することを特徴とする請求項１記載のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置。
【請求項５】
前記収納部は、上部に前記傾斜面に連続した前記電極部材の取出位置と、複数の前記電極部材を前記傾斜面の方向で隣り合うよう並べて収納可能に、前記傾斜面に平行に設けられた底面とを有し、収納した前記電極部材を前記取出位置の高さまで移動可能に、前記底面が上昇するよう構成されていることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置。
【請求項６】
前記取出手段は、前記収納部に収納された複数の前記電極部材のうち、前記取出位置の電極部材を前記傾斜面に移動させて取り出し可能に設けられていることを特徴とする請求項５記載のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置。
【請求項７】
前記収納部は、複数の前記電極部材を前記傾斜面の方向で隣り合うよう並べて収納可能に、前記傾斜面に連続するよう設けられた底面と、前記電極部材が前記底面から前記傾斜面に沿って一つずつ転がって排出されるよう、前記底面と前記傾斜面との間に設けられた排出口とを有し、
前記取出手段は、前記排出口から排出される前記電極部材を留めると共に、前記傾斜面の前記連結位置の側に移動させて取り出し可能に設けられていることを
特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置。
【請求項８】
細長い円柱状の電極体を、その長さ方向に沿った中心軸周りに回転させ、回転する前記電極体の一方の端部にプラズマを照射して、金属製または合金製の粉末を製造するプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置であって、
収納部と取出移動手段とを有し、
前記電極体は、長さ方向に沿って連結可能に設けられた円柱状の電極部材を、複数連結して成り、
前記収納部は、前記電極部材を複数収納可能に設けられ、
前記取出移動手段は、前記収納部から前記電極部材を一つずつ取り出すと共に、取り出した前記電極部材を、前記電極体の他方の端部側で、前記電極体と一列に並ぶ連結位置まで移動可能に設けられていることを
特徴とするプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置。
【請求項９】
前記収納部は、収納した前記電極部材を一つずつ排出可能に設けられた排出口を有し、
前記取出移動手段は、中心軸周りに回転可能に設けられた円柱状の回転体を有し、前記回転体は、外側面に、前記中心軸方向に沿って前記電極部材を一つずつ収納可能に、所定の間隔で設けられた複数の溝部を有し、前記中心軸周りに回転することにより、各溝部が前記排出口から排出される前記電極部材を収納可能な位置と、前記電極体の他方の端部側で、前記電極体と一列に並ぶ連結位置とに、位置付け可能に設けられていることを
特徴とする請求項８記載のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置。
【請求項１０】
前記収納部は、収納した前記電極部材を一つずつ排出可能で、前記連結位置の近傍に設けられた排出口を有し、
前記取出移動手段は、前記排出口から排出される前記電極部材を留めると共に、前記連結位置まで移動可能に設けられていることを
特徴とする請求項８記載のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置。
【請求項１１】
前記取出移動手段は、前記収納部から前記電極部材を一つずつ取り出して、前記連結位置まで移動可能に設けられたロボットアームから成ることを特徴とする請求項８記載のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマ回転電極法用の電極部材供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のプラズマ回転電極法は、図７に示すように、金属製または合金製の細長い電極体５２の先端部５２ａをチャンバー５１の内部に配置し、電極体５２を、その長さ方向に沿った中心軸周りに回転させながら、チャンバー５１の内部で電極体５２の先端部５２ａにプラズマ照射手段５３からプラズマを照射することにより、電極体５２の先端部５２ａを溶解し、その融液を電極体５２の回転の遠心力によりチャンバー５１の内部で吹き飛ばして凝固させ、球状の金属製または合金製の粉末を製造するようになっている（例えば、非特許文献１乃至３参照）。
【０００３】
この従来のプラズマ回転電極法では、量産化するために、細長い複数の電極部材を、その長さ方向に沿って連結することにより、電極体５２を構成している。各電極部材は、例えば、一方の端面に設けられた雄ネジ部と、他方の端面に設けられた雌ネジ部とを有し、隣り合う電極部材の雄ネジ部と雌ネジ部とを螺合して連結するようになっている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】筧幸次、横森玲、西牧智大、「プラズマ回転電極法を用いて作製した粉末焼結ニッケル超合金の組織と強度」、日本金属学会誌、2016年、第80巻、第8号、p.508-514
【非特許文献２】時実正治、磯西和夫、「プラズマ回転電極法によるＴｉ合金粉末の製造」、資源処理技術、1990年、Vol.37、No.4、p.215-221
【非特許文献３】熊谷良平、「プラズマ回転電極法による金属球形粉末の作製」、まてりあ、1998年、第37巻、第6号、p.488-494
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
非特許文献１乃至３に記載のような、従来のプラズマ回転電極法では、金属製または合金製の粉末を製造し続けると、チャンバー内部の電極体の一方の端部（先端部）が徐々に削れて電極体が短くなるため、チャンバー外部の電極体の他方の端部（末端部）に、新たな電極部材を連結する必要があった。このとき、電極部材を連結するために、一旦、電極体の回転を停止して粉末の製造を中断し、人力で新たな電極部材を運んで、電極体の他方の端部に連結する作業を行っていた。しかしながら、電極部材を連結するたびに、人力で電極部材を運ぶのは、作業者の負担が非常に大きいという課題があった。また、作業者の疲労により、作業効率が低下してしまうという課題もあった。
【０００６】
本発明は、このような課題に着目してなされたもので、作業者の負担を軽減して、作業効率を高めることができるプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、第１の本発明に係るプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置は、細長い円柱状の電極体を、その長さ方向に沿った中心軸周りに回転させ、回転する前記電極体の一方の端部にプラズマを照射して、金属製または合金製の粉末を製造するプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置であって、収納部と取出手段と移動手段とを有し、前記電極体は、長さ方向に沿って連結可能に設けられた円柱状の電極部材を、複数連結して成り、前記収納部は、前記電極部材を複数収納可能に設けられ、前記取出手段は、前記収納部から前記電極部材を一つずつ取り出し可能に設けられ、前記移動手段は、前記取出手段により取り出された前記電極部材を、前記電極体の他方の端部側で、前記電極体と一列に並ぶ連結位置まで移動可能に設けられていることを特徴とする。
【０００８】
第１の本発明に係るプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置は、電極体が短くなって、電極体の他方の端部に新たな電極部材を連結するとき、取出手段により、収納部から新たな電極部材を取り出し、移動手段により、その電極部材を電極体の他方の端部側の連結位置まで移動させることができる。これにより、人力で電極部材を運ぶ必要がなく、作業者の負担を軽減することができ、作業効率を高めることができる。
【０００９】
第１の本発明に係るプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置で、前記移動手段は、前記取出手段により取り出された前記電極部材を、前記連結位置の方向に転がして、前記連結位置の近傍まで移動可能に設けられた傾斜面と、前記傾斜面の下端部に、前記傾斜面に沿った傾斜位置と前記傾斜面に対して立ち上がる停止位置との間で回転移動可能、かつ、前記停止位置の側に付勢するよう設けられたストッパと、前記傾斜面の下端部まで転がり、前記停止位置の前記ストッパで停止した前記電極部材を把持して、前記連結位置まで移動可能に設けられた把持部とを有していてもよい。この場合、傾斜面や把持部を利用して、新しい電極部材を連結位置まで移動させることができる。ストッパで停止した電極部材を把持部で把持して移動する際に、停止位置の側に付勢されたストッパを、把持部や把持した電極部材により傾斜位置まで回転移動させることにより、容易に電極部材を移動させることができる。
【００１０】
また、この場合、前記把持部は、一端が接続され、他端が前記電極部材を把持可能な間隔を開けて設けられた１対の把持アームを有し、各把持アームの前記一端が回転して、前記停止位置の前記ストッパで停止した前記電極部材を把持する把持位置と、把持した前記電極部材を前記連結位置に位置付ける位置との間で移動可能に設けられており、各把持アームが前記把持位置に回転移動するとき、各把持アームのうち前記電極部材側のアームが、前記電極部材に接触して前記連結位置側に曲がり、前記電極部材を通過すると元の形状に戻って、各把持アームで前記電極部材を把持するよう構成されていることが好ましい。各把持アームのうち電極部材側のアームが曲がることにより、各把持アームで電極部材を容易に把持することができる。
【００１１】
また、第１の本発明に係るプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置で、前記移動手段は、前記取出手段により取り出された前記電極部材を、前記連結位置の方向に転がして、前記連結位置まで移動可能に設けられた傾斜面と、前記傾斜面を転がった前記電極部材が前記連結位置に位置付けられるよう、前記傾斜面の下端部に、前記傾斜面に対して立ち上がるよう設けられたストッパとを有していてもよい。この場合、傾斜面を利用して、新しい電極部材を連結位置まで容易に移動させることができる。
【００１２】
また、第１の本発明に係るプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置で、前記収納部は、上部に前記傾斜面に連続した前記電極部材の取出位置と、複数の前記電極部材を前記傾斜面の方向で隣り合うよう並べて収納可能に、前記傾斜面に平行に設けられた底面とを有し、収納した前記電極部材を前記取出位置の高さまで移動可能に、前記底面が上昇するよう構成されていてもよい。この場合、前記取出手段は、前記収納部に収納された複数の前記電極部材のうち、前記取出位置の電極部材を前記傾斜面に移動させて取り出し可能に設けられていることが好ましい。収納部の底面が上昇することにより、取出手段を利用して、取出位置から電極部材を取り出しやすくすることができる。
【００１３】
また、第１の本発明に係るプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置で、前記収納部は、複数の前記電極部材を前記傾斜面の方向で隣り合うよう並べて収納可能に、前記傾斜面に連続するよう設けられた底面と、前記電極部材が前記底面から前記傾斜面に沿って一つずつ転がって排出されるよう、前記底面と前記傾斜面との間に設けられた排出口とを有し、前記取出手段は、前記排出口から排出される前記電極部材を留めると共に、前記傾斜面の前記連結位置の側に移動させて取り出し可能に設けられていてもよい。この場合、排出口から排出された電極部材を、取出手段により、一つずつ容易に取り出すことができる。
【００１４】
第２の本発明に係るプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置は、細長い円柱状の電極体を、その長さ方向に沿った中心軸周りに回転させ、回転する前記電極体の一方の端部にプラズマを照射して、金属製または合金製の粉末を製造するプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置であって、収納部と取出移動手段とを有し、前記電極体は、長さ方向に沿って連結可能に設けられた円柱状の電極部材を、複数連結して成り、前記収納部は、前記電極部材を複数収納可能に設けられ、前記取出移動手段は、前記収納部から前記電極部材を一つずつ取り出すと共に、取り出した前記電極部材を、前記電極体の他方の端部側で、前記電極体と一列に並ぶ連結位置まで移動可能に設けられていることを特徴とする。
【００１５】
第２の本発明に係るプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置は、電極体が短くなって、電極体の他方の端部に新たな電極部材を連結するとき、取出移動手段により、収納部から新たな電極部材を取り出して、その電極部材を電極体の他方の端部側の連結位置まで移動させることができる。これにより、人力で電極部材を運ぶ必要がなく、作業者の負担を軽減することができ、作業効率を高めることができる。
【００１６】
第２の本発明に係るプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置で、前記収納部は、収納した前記電極部材を一つずつ排出可能に設けられた排出口を有し、前記取出移動手段は、中心軸周りに回転可能に設けられた円柱状の回転体を有し、前記回転体は、外側面に、前記中心軸方向に沿って前記電極部材を一つずつ収納可能に、所定の間隔で設けられた複数の溝部を有し、前記中心軸周りに回転することにより、各溝部が前記排出口から排出される前記電極部材を収納可能な位置と、前記電極体の他方の端部側で、前記電極体と一列に並ぶ連結位置とに、位置付け可能に設けられていてもよい。この場合、取出移動手段の回転体を回転させることにより、収納部の排出口から排出された電極部材を、溝部に収納すると共に、溝部に収納された電極部材を連結位置に移動させることができる。
【００１７】
また、第２の本発明に係るプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置で、前記収納部は、収納した前記電極部材を一つずつ排出可能で、前記連結位置の近傍に設けられた排出口を有し、前記取出移動手段は、前記排出口から排出される前記電極部材を留めると共に、前記連結位置まで移動可能に設けられていてもよい。この場合にも、取出移動手段により、新しい電極部材を連結位置まで容易に移動させることができる。
【００１８】
また、第２の本発明に係るプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置で、前記取出移動手段は、前記収納部から前記電極部材を一つずつ取り出して、前記連結位置まで移動可能に設けられたロボットアームから成っていてもよい。この場合にも、取出移動手段のロボットアームにより、新しい電極部材を連結位置まで容易に移動させることができる。
【００１９】
なお、第１および第２の本発明に係るプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置で、連結位置まで移動した電極部材を、電極体の他方の端部に連結する際には、人力で行っても良いが、ロボットアームなどを用いてもよい。ロボットアームを用いる場合には、回転により熱くなった電極体を作業者が把持することなく、新しい電極部材を連結することができ、作業の安全性や効率性を高めることができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、作業者の負担を軽減して、作業効率を高めることができるプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１の実施の形態のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置を示す（ａ）正面図、（ｂ）ストッパで停止した電極部材周辺の左側面図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置を示す（ａ）正面図、（ｂ）ストッパで停止した電極部材周辺の左側面図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置を示す（ａ）正面図、（ｂ）ストッパで停止した電極部材周辺の左側面図である。
【図４】本発明の第４の実施の形態のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置を示す（ａ）正面図、（ｂ）回転体周辺の左側面図である。
【図５】本発明の第４の実施の形態のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置の、第１の変形例を示す正面図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置の、第２の変形例を示す正面図である。
【図７】従来のプラズマ回転電極法による粉末製造装置を示す、チャンバーの内部を透過した側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態について説明する。
図１は、本発明の第１の実施の形態のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置を示している。
図１に示すように、本発明の第１の実施の形態のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置１０は、収納部１１と取出手段１２と移動手段１３とを有している。
【００２３】
プラズマ回転電極法用の電極部材供給装置１０は、長さ方向に沿ってチャンバー１の内部から外部にかけて伸びるよう配置した細長い円柱状の電極体２を、その長さ方向に沿った中心軸周りに回転させ、チャンバー１の内部で、回転する電極体２の一方の端部にプラズマを照射して、金属製または合金製の粉末を製造するよう構成されたプラズマ回転電極法で使用される装置である。
【００２４】
電極体２は、長さ方向に沿って連結可能に設けられた円柱状の電極部材２ａを、複数連結して成っている。各電極部材２ａは、一端部に雄ネジを有し、他端部にその雄ネジに螺合するよう設けられた雌ネジを有しており、雄ネジを他の電極部材２ａの雌ネジに螺合することにより連結可能になっている。
【００２５】
図１（ａ）に示すように、収納部１１は、上部が開口した直方体形状の箱から成り、一つの側壁１１ａに向かって下向きに傾斜した底面１１ｂを有している。収納部１１は、複数の電極部材２ａを、底面１１ｂの傾斜方向で隣り合うよう並べ、複数段に重ねて収納可能になっている。また、収納部１１は、底面１１ｂが傾斜した側壁１１ａの上部が他の側壁１１ａよりも低く形成されており、電極部材２ａの取出位置１１ｃを成している。収納部１１は、収納した電極部材２ａを取出位置１１ｃの高さまで移動可能に、底面１１ｂを上昇させるよう設けられた上昇機構１１ｄを有している。上昇機構１１ｄは、内歯車やウォームギアを利用して構成されている。
【００２６】
取出手段１２は、収納部１１の取出位置１１ｃ付近に、収納部１１に収納された電極部材２ａの長さ方向に沿った軸１２ａを中心として回転可能に設けられている。取出手段１２は、取出位置１１ｃの電極部材２ａを把持する位置と、把持した電極部材２ａを収納部１１の外側に移動させる位置との間で回転し、把持した電極部材２ａを収納部１１から一つずつ取り出し可能になっている。
【００２７】
移動手段１３は、取出手段１２により取り出された電極部材２ａを、チャンバー１の外部の電極体２の他方の端部側で、電極体２と一列に並ぶ連結位置まで移動可能に設けられ、傾斜面１３ａとストッパ１３ｂと把持部１３ｃとを有している。傾斜面１３ａは、電極部材２ａより短い幅を有し、収納部１１の取出位置１１ｃに連続して設けられ、収納部１１の底面１１ｂとほぼ平行を成している。傾斜面１３ａは、収納部１１の取出位置１１ｃから、連結位置に向かって下向きに傾斜して、連結位置の手前まで伸びている。傾斜面１３ａは、取出手段１２により取り出された電極部材２ａを載せて連結位置の方向に転がし、連結位置の近傍まで移動可能になっている。
【００２８】
図１（ｂ）に示すように、ストッパ１３ｂは、傾斜面１３ａの下端部に設けられている。図１（ａ）に示すように、ストッパ１３ｂは、傾斜面１３ａに沿った傾斜位置と傾斜面１３ａに対して立ち上がる停止位置との間で回転移動可能、かつ、スプリング１３ｄにより停止位置の側に付勢するよう設けられている。
【００２９】
把持部１３ｃは、一端が接続され、他端が電極部材２ａを把持可能な間隔を開けて設けられた１対の把持アーム１３ｅ，１３ｆを有している。把持部１３ｃは、各把持アーム１３ｅ，１３ｆの一端が回転して、停止位置のストッパ１３ｂで停止した電極部材２ａを把持する把持位置と、把持した電極部材２ａを連結位置に位置付ける位置との間で移動可能に設けられている。図１（ｂ）に示すように、電極部材２ａの側の把持アーム１３ｆは、ストッパ１３ｂの幅より広く電極部材２ａより短い間隔で配置された１対のアームから成り、中央部にスプリング１３ｇが設けられている。把持アーム１３ｆは、スプリング１３ｇにより真っ直ぐ伸びるよう付勢された状態で、スプリング１３ｇの位置で連結位置側に曲がるよう構成されている。また、各把持アーム１３ｅ，１３ｆは、電極部材２ａを把持するとき、互いの間隔を狭くして電極部材２ａを挟むよう構成されている。
【００３０】
把持部１３ｃは、各把持アーム１３ｅ，１３ｆが把持位置に回転移動するとき、把持アーム１３ｆが、電極部材２ａに接触してスプリング１３ｇの位置で連結位置側に曲がり、電極部材２ａを通過すると元の形状に戻って、各把持アーム１３ｅ，１３ｆで電極部材２ａを把持するようになっている。こうして、把持部１３ｃは、傾斜面１３ａの下端部まで転がり、停止位置のストッパ１３ｂで停止した電極部材２ａを把持して、連結位置まで移動可能になっている。
【００３１】
次に、作用について説明する。
プラズマ回転電極法用の電極部材供給装置１０は、電極体２が短くなって、電極体２の他方の端部に新たな電極部材２ａを連結するとき、取出手段１２により、収納部１１から新たな電極部材２ａを取り出し、移動手段１３により、その電極部材２ａを電極体２の他方の端部側の連結位置まで移動させることができる。これにより、人力で電極部材２ａを運ぶ必要がなく、作業者の負担を軽減することができ、作業効率を高めることができる。
【００３２】
プラズマ回転電極法用の電極部材供給装置１０は、収納部１１の底面１１ｂが上昇することにより、取出手段１２を利用して、取出位置１１ｃから電極部材２ａを取り出しやすくすることができる。また、電極部材２ａの側の把持アーム１３ｆが中央部で曲がることにより、各把持アーム１３ｅ，１３ｆで電極部材２ａを容易に把持することができる。また、ストッパ１３ｂで停止した電極部材２ａを把持部１３ｃで把持して移動する際に、停止位置の側に付勢されたストッパ１３ｂを、把持した電極部材２ａにより傾斜位置まで回転移動させることにより、容易に電極部材２ａを移動させることができる。
【００３３】
なお、プラズマ回転電極法用の電極部材供給装置１０で、連結位置まで移動した電極部材２ａを、電極体２の他方の端部に連結する際には、人力で行っても良いが、ロボットアームなどを用いてもよい。ロボットアームを用いる場合には、回転により熱くなった電極体２を作業者が把持することなく、新しい電極部材２ａを連結することができ、作業の安全性や効率性を高めることができる。
【００３４】
図２は、本発明の第２の実施の形態のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置を示している。
図２に示すように、本発明の第２の実施の形態のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置２０は、収納部１１と取出手段１２と移動手段１３とを有している。なお、以下の説明では、本発明の第１の実施の形態のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置１０と同一の構成には同一の符号を付して、重複する説明を省略する。
【００３５】
移動手段１３は、取出手段１２により取り出された電極部材２ａを、チャンバー１の外部の電極体２の他方の端部側で、電極体２と一列に並ぶ連結位置まで移動可能に設けられ、傾斜面１３ａとストッパ１３ｂとを有している。傾斜面１３ａは、電極部材２ａより短い幅を有し、収納部１１の取出位置１１ｃに連続して設けられ、収納部１１の底面１１ｂとほぼ平行を成している。傾斜面１３ａは、収納部１１の取出位置１１ｃから、連結位置に向かって下向きに傾斜して、連結位置まで伸びている。傾斜面１３ａは、取出手段１２により取り出された電極部材２ａを載せて連結位置の方向に転がし、連結位置まで移動可能になっている。
【００３６】
ストッパ１３ｂは、傾斜面１３ａの下端部に設けられている。ストッパ１３ｂは、傾斜面１３ａを転がった電極部材２ａが連結位置に位置付けられるよう、傾斜面１３ａの下端部に、傾斜面１３ａに対して立ち上がるよう設けられている。
【００３７】
プラズマ回転電極法用の電極部材供給装置２０は、把持部１３ｃなしで、傾斜面１３ａを利用して、新しい電極部材２ａを連結位置まで容易に移動させることができる。
【００３８】
図３は、本発明の第３の実施の形態のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置を示している。
図３に示すように、本発明の第３の実施の形態のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置３０は、収納部１１と取出手段１２と移動手段１３とを有している。なお、以下の説明では、本発明の第１および第２の実施の形態のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置１０、２０と同一の構成には同一の符号を付して、重複する説明を省略する。
【００３９】
収納部１１は、上部が開口した直方体形状の箱から成り、一つの側壁１１ａに向かって下向きに傾斜した底面１１ｂを有している。収納部１１は、複数の電極部材２ａを、底面１１ｂの傾斜方向で隣り合うよう並べ、複数段に重ねて収納可能になっている。また、収納部１１は、収納した電極部材２ａが底面１１ｂに沿って一つずつ転がって排出されるよう、底面１１ｂが傾斜した側壁１１ａの下部に、底面１１ｂから連続して設けられた排出口３１を有している。
【００４０】
取出手段１２は、収納部１１の排出口３１付近に、収納部１１に収納された電極部材２ａの長さ方向に沿った軸１２ａを中心として回転可能に設けられている。取出手段１２は、排出口３１から排出される電極部材２ａを留めると共に、排出口３１の電極部材２ａを把持する位置と、把持した電極部材２ａを排出口３１の外側に移動させる位置との間で回転し、把持した電極部材２ａを収納部１１から一つずつ取り出し可能になっている。
【００４１】
移動手段１３は、取出手段１２により取り出された電極部材２ａを、チャンバー１の外部の電極体２の他方の端部側で、電極体２と一列に並ぶ連結位置まで移動可能に設けられ、傾斜面１３ａとストッパ１３ｂとを有している。傾斜面１３ａは、電極部材２ａより短い幅を有し、排出口３１を介して収納部１１の底面１１ｂに連続して設けられ、収納部１１の底面１１ｂとほぼ平行を成している。傾斜面１３ａは、収納部１１の底面１１ｂから、連結位置に向かって傾斜して、連結位置まで伸びている。傾斜面１３ａは、取出手段１２により取り出された電極部材２ａを載せて連結位置の方向に転がし、連結位置まで移動可能になっている。
【００４２】
ストッパ１３ｂは、傾斜面１３ａの下端部に設けられている。ストッパ１３ｂは、傾斜面１３ａを転がった電極部材２ａが連結位置に位置付けられるよう、傾斜面１３ａの下端部に、傾斜面１３ａに対して立ち上がるよう設けられている。
【００４３】
プラズマ回転電極法用の電極部材供給装置３０は、上昇機構１１ｄなしで、電極部材２ａを一つずつ収納部１１の排出口３１から排出することができる。また、排出口３１から排出された電極部材２ａを、取出手段１２により、一つずつ容易に取り出すことができる。また、把持部１３ｃなしで、傾斜面１３ａを利用して、新しい電極部材２ａを連結位置まで容易に移動させることができる。
【００４４】
図４乃至図６は、本発明の第４の実施の形態のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置を示している。
図４に示すように、本発明の第４の実施の形態のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置４０は、収納部１１と取出移動手段４１とを有している。なお、以下の説明では、本発明の第１乃至第３の実施の形態のプラズマ回転電極法用の電極部材供給装置１０、２０、３０と同一の構成には同一の符号を付して、重複する説明を省略する。
【００４５】
収納部１１は、ホッパーから成り、上部が開口し、下に向かって細くなる四角錐状を成している。収納部１１は、複数の電極部材２ａを隣り合うよう並べ、重ねて収納可能になっている。また、収納部１１は、下端部に、収納した電極部材２ａを一つずつ横向きで排出可能に設けられた排出口４２を有している。
【００４６】
取出移動手段４１は、中心軸周りに回転可能に設けられた円柱状の回転体４１ａと、板を円弧状に曲げて形成されたカバー４１ｂとを有している。回転体４１ａは、外側面に、中心軸方向に沿って電極部材２ａを一つずつ収納可能に、所定の間隔で設けられた複数の溝部４１ｃを有している。回転体４１ａは、中心軸周りに回転することにより、各溝部４１ｃが排出口４２から排出される電極部材２ａを収納可能な位置と連結位置とに位置付け可能に設けられている。回転体４１ａは、溝部４１ｃが比較的高い位置のとき、排出口４２から排出される電極部材２ａを収納し、溝部４１ｃが最も低い位置のとき、電極部材２ａを連結位置に位置付けるようになっている。なお、図４に示す具体的な一例では、回転体４１ａは、溝部４１ｃを８つ有している。
【００４７】
カバー４１ｂは、排出口４２から回転体４１ａの回転方向に沿って連結位置まで、回転体４１ａの外側面を覆うよう設けられている。カバー４１ｂは、回転体４１ａが回転している間に、溝部４１ｃに収納された電極部材２ａが溝部４１ｃから外れて落下しないよう、回転体４１ａの外側面との間に所定の間隔をあけて配置されている。
【００４８】
プラズマ回転電極法用の電極部材供給装置４０は、取出移動手段４１の回転体４１ａを回転させることにより、収納部１１の排出口４２から排出された電極部材２ａを、溝部４１ｃに収納すると共に、溝部４１ｃに収納された電極部材２ａを、連結位置に移動させることができる。このため、電極体２が短くなって、電極体２の他方の端部に新たな電極部材２ａを連結するとき、回転体４１ａを回転させて、新しい電極部材２ａを連結位置に供給することができる。
【００４９】
なお、図５に示すように、プラズマ回転電極法用の電極部材供給装置４０は、収納部１１の排出口４２が連結位置の近傍に設けられ、取出移動手段４１は、排出口４２付近に、収納部１１に収納された電極部材２ａの長さ方向に沿った軸４１ｄを中心として回転可能に設けられ、排出口４２の電極部材２ａを把持する位置と、把持した電極部材２ａを連結位置に移動させる位置との間で回転するようになっていてもよい。このとき、取出移動手段４１は、排出口４２から排出される電極部材２ａのうち、把持した電極部材２ａ以外の電極部材２ａを留めるようになっている。この場合にも、取出移動手段４１により、新しい電極部材２ａを連結位置まで容易に移動させることができる。
【００５０】
また、図６に示すように、プラズマ回転電極法用の電極部材供給装置４０で、取出移動手段４１は、収納部１１から電極部材２ａを一つずつ取り出して、連結位置まで移動可能に設けられたロボットアームから成っていてもよい。このとき、収納部１１は、通常の直方体形状の箱など、いかなるものであってもよい。この場合にも、取出移動手段４１のロボットアームにより、新しい電極部材２ａを連結位置まで容易に移動させることができる。
【符号の説明】
【００５１】
１  チャンバー
２  電極体
２ａ  電極部材
１０、２０、３０、４０  プラズマ回転電極法用の電極部材供給装置
１１  収納部
１１ａ  側壁
１１ｂ  底面
１１ｃ  取出位置
１１ｄ  上昇機構
１２  取出手段
１２ａ  軸
１３  移動手段
１３ａ  傾斜面
１３ｂ  ストッパ
１３ｃ  把持部
１３ｄ、１３ｇ  スプリング
１３ｅ、１３ｆ  把持アーム
３１、４２  排出口
４１  取出移動手段
４１ａ  回転体
４１ｂ  カバー
４１ｃ  溝部
４１ｄ  軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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