(57)【要約】【課題】貼着不良が発生した際に容易に剥離して貼り直すことが可能な粘着テープを提供する。【解決手段】貼着不良が発生した際に容易に剥離して貼り直すことが可能な粘着テープであって、基材の少なくとも一方の面に粘着剤層を有するものであり、前記粘着剤層は、ガラス転移温度が０〜１５℃である樹脂からなり、かつ、ゲル分率が４０〜７０％である貼り直しが容易な粘着テープ。【選択図】    なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
貼着不良が発生した際に容易に剥離して貼り直すことが可能な粘着テープであって、
基材の少なくとも一方の面に粘着剤層を有するものであり、
前記粘着剤層は、ガラス転移温度が０〜１５℃である樹脂からなり、かつ、ゲル分率が４０〜７０％である
ことを特徴とする貼り直しが容易な粘着テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、貼着不良が発生した際に容易に剥離して貼り直すことが可能な粘着テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
基材の片面又は両面に粘着剤層が積層された粘着テープは、現在では多種多様な分野に用いられており、あらゆる産業に必須のものとなっている。このような粘着テープの問題点の一つとして、被着体に貼着する際に誤って粘着テープが撚れてしまう等の貼着不良が生じたときに、粘着フィルムを剥離して貼り直すのが困難な場合があるということがある。
【０００３】
例えば、半導体ウエハをダイシングして個々の半導体チップを製造する工程においては、半導体ウエハの破損等を保護する目的で、ダイシングテープと呼ばれる粘着テープを半導体ウエハに貼着することが行われている（例えば、特許文献１）。ダイシングテープを半導体ウエハに貼着する工程では、通常、空気噛み等が生じないように減圧化で貼着が行われることが多いが、この際に誤ってダイシングテープが撚れてしまう等の貼着不良が発生することがある。このようにダイシングテープが撚れて貼着された状態でダイシングを行うと、正確なダイシングを行うことが困難であるばかりでなく、半導体ウエハを破損してしまうこともある。従って、撚れてしまったダイシングテープを半導体ウエハから剥離して、貼り直すことが望まれる。しかしながら、ダイシングテープを剥離しようとするとする際に、半導体ウエハが破損してしまうことがある。とりわけ、半導体ウエハの厚さが５０μｍ程度の薄膜である場合には、事実上剥離は不可能であった。
【０００４】
粘着テープの貼り直しを容易にするためには、例えば、粘着力を低く設定することが考えられる。しかしながら、上述のダイシングテープ等の用途では、ダイシング時の衝撃に耐えるためには、充分な粘着力が要求されており、粘着力を低く設定するにも限界がある。
貼着直後の初期粘着力が小さい一方で、その後に充分に高い粘着力を発揮することができる粘着テープが求められていた。
【特許文献１】特開平６−２０９０４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、貼着不良が発生した際に容易に剥離して貼り直すことが可能な粘着テープを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、貼着不良が発生した際に容易に剥離して貼り直すことが可能な粘着テープであって、基材の少なくとも一方の面に粘着剤層を有するものであり、前記粘着剤層は、ガラス転移温度が０〜１５℃である樹脂からなり、かつ、ゲル分率が４０〜７０％である貼り直しが容易な粘着テープである。
以下に本発明を詳述する。
【０００７】
本発明者らは、粘着テープの粘着剤層を、ガラス転移温度が一定範囲である樹脂からなり、かつ、ゲル分率が一定範囲になるように調整することにより、貼着直後の初期粘着力は充分に小さく、容易に剥離して貼り直しができる一方、貼着後に時間が経過するに従って粘着力が向上する粘着テープが得られることを見出し、本発明を完成した。
【０００８】
本発明の貼り直しが容易な粘着テープ（以下、単に「粘着テープ」ともいう。）は、基材の少なくとも一方の面に粘着剤層を有するものである。
本発明の粘着テープは、一方の面にのみ粘着剤層が形成された片面粘着テープであってもよく、両面に粘着剤層が形成された両面粘着テープであってもよい。
【０００９】
上記基材としては特に限定されず、例えば、アクリル、オレフィン、ポリカーボネート、塩化ビニル、ＡＢＳ、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ナイロン、ウレタン、ポリイミド等の透明な樹脂からなるシート、網目状の構造を有するシート、孔が開けられたシート等が挙げられる。
【００１０】
上記粘着剤層を構成する樹脂は、ガラス転移温度の下限が０℃、上限が１５℃である。樹脂のガラス転移温度が０℃未満であると、貼着直後の初期粘着力が高くなり剥離が困難となり、１５℃を超えると、貼着後に時間が経過しても充分な粘着力を発揮できない。樹脂のガラス転移温度の好ましい下限は２℃、好ましい上限は１０℃である。
なお、２種以上の樹脂を併用したり、樹脂として共重合体を用いる場合には、該樹脂混合物や共重合体のガラス転移温度が上記範囲に調整されていれば同様の性能が得られる。
【００１１】
上記粘着剤層を形成する樹脂としては特に限定されないが、例えば、（メタ）アクリル系モノマーを共重合してなる（メタ）アクリル系共重合体が好適である。
上記（メタ）アクリル系モノマーとしては特に限定されず、例えば、アルキル基の炭素数が２〜１８であるアクリル酸アルキルエステル、アルキル基の炭素数が２〜１８であるメタクリル酸アルキルエステル等が挙げられる。これらの（メタ）アクリル系モノマーは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。なかでも、メチルメタクリレートやアクリルニトリル等を主成分として用いることにより、得られる（メタ）アクリル系共重合体のガラス転移温度を容易に所期の範囲に調整することができる。
【００１２】
上記（メタ）アクリル系モノマーとしては、ゲル分率を調整するために、２−ヒドロキシエチルアクリレート等の水酸基を有するモノマーや、アクリル酸等のカルボキシル基を有する極性モノマーを含有することが好ましい。
【００１３】
上記粘着剤層は、光硬化性を有してもよい。光硬化型粘着剤からなる粘着剤層は、使用後に光の照射により粘着剤層の全体が均一にかつ速やかに重合架橋して一体化するため、重合硬化による弾性率の上昇が著しくなり、粘着力が大きく低下して剥離を行うことができる。
【００１４】
上記粘着剤層に光硬化性を付与する方法としては特に限定されず、例えば、上記（メタ）アクリル系共重合体として分子内にラジカル重合性の不飽和結合を有する重合性ポリマーを用い、更に、ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマー、及び、光重合開始剤を配合する方法が挙げられる。
【００１５】
上記粘着剤層は、ゲル分率の下限が４０％、上限が７０％である。ゲル分率が４０％未満であると、貼着直後の初期粘着力が高くなり剥離が困難となり、７０％を超えると、貼着後に時間が経過しても充分な粘着力を発揮できない。ゲル分率の好ましい下限は５０％、好ましい上限は６５％である。
なお、上記ゲル分率は、以下の方法により測定することができる。
上記粘着剤層の重量Ｗ１を測定する。これを酢酸エチル中に２３℃にて２４時間浸漬した後、２００メッシュのステンレスメッシュを介して試験片を酢酸エチルから取り出して、１１０℃の条件下で１時間乾燥させる。そして、乾燥後の試験片の重量Ｗ２を測定し、下記式を用いてゲル分率を算出する。
ゲル分率（重量％）＝１００×Ｗ２／Ｗ１
【００１６】
上記粘着剤層のゲル分率を調整する方法としては、例えば、架橋剤の添加量を調整する方法が挙げられる。
上記架橋剤としては特に限定されず、例えば、イソシアネート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、エポキシ系架橋剤、金属キレート型架橋剤等が挙げられる。これらの架橋剤は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００１７】
本発明の粘着テープは、貼着直後の初期粘着力は充分に小さく、容易に剥離して貼り直しができる一方、貼着後に時間が経過するに従って粘着力が向上するという性能を発揮する。この理由については明らかではないが、以下のように推測される。
そもそも、ガラス転移温度が０〜１５℃である樹脂からなり、かつ、ゲル分率が４０〜７０％である粘着剤層は、粘着力が低く、通常では粘着テープに用いられることはない。このため、貼着直後にはほとんど粘着力がなく、容易に貼り直しができる。しかしながら、被着体が平滑面である場合には、貼着後に時間が経過するに従って粘着力が向上する。これは、粘着剤の流動成分（ゾル分）が時間とともに流動し、被着体表面に濡れていき、接着面積を増大させるためであると考えられる。
【００１８】
常温（２３℃程度）で貼着を行う場合、上記範囲のガラス転移温度を有する樹脂はその流動性が小さいことから、被着体の表面が大きな凹凸を有する粗面であると接着面積を有効に拡大させることは難しい。従って、本発明の粘着テープが適用可能な被着体は平滑面を有するものに限られる。最終的に要求される粘着力にもよるが、本発明の粘着テープが適用等被着体としては、表面の粗さが３μｍ以下であるもの、好ましくは１μｍ以下であるものとなる。この程度の平滑面を有するものであれば、シリコンウエハ、ガラス、金属等のいずれであっても本発明の効果を得ることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、貼着不良が発生した際に容易に剥離して貼り直すことが可能な粘着テープを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に実施例を挙げて本発明の態様を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例にのみ限定されるものではない。
【００２１】
（実験例１）
（１）下記の化合物を酢酸エチルに溶解させ、紫外線を照射して重合を行い、重量平均分子量４０万のアクリル共重合体からなる粘着剤の酢酸エチル溶液を得た。
エチルアクリレート                ８０重量部
２−ヒドロキシエチルメタクリレート  ５重量部
アクリル酸                          ５重量部
アクリロニトリル                    ９重量部
光重合開始剤                        １重量部
（イルガキュア６５１、５０％酢酸エチル溶液）
ラウリルメルカプタン            ０．５重量部
得られたアクリル共重合体について、動的粘弾性測定ＤＶＡ−２００（アイティー計測制御社製）を用いて、剪断弾性率、歪５％、周波数１０Ｈｚの条件にてガラス転移温度を測定したところ、−５℃であった。
【００２２】
（２）粘着剤層用組成物溶液の調製
得られた粘着剤の酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、２−イソシアナトエチルメタクリレートを加えて反応させた。この際、形成される粘着剤層のゲル分率が３５、４０、５５、７０、７５％となるように、２−イソシアナトエチルメタクリレートの配合量の異なる５種類の粘着剤層用組成物溶液を調製した。
【００２３】
（３）粘着テープの製造
得られた粘着剤層用組成物溶液を、片面にコロナ処理を施した厚さ７５μｍの透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムのコロナ処理上に乾燥皮膜の厚さが約１５μｍとなるようにドクターナイフで塗工し１１０℃、５分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。次いで、粘着剤層の表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムを貼り付けた。その後、４０℃、３日間静置養生を行い、粘着テープを得た。
【００２４】
（実験例２）
（１）下記の化合物を酢酸エチルに溶解させ、紫外線を照射して重合を行い、重量平均分子量４５万のアクリル共重合体からなる粘着剤の酢酸エチル溶液を得た。
エチルアクリレート                ７０重量部
２−ヒドロキシエチルメタクリレート  ３重量部
メチルメタクリレート              ２７重量部
光重合開始剤                        １重量部
（イルガキュア６５１、５０％酢酸エチル溶液）
ラウリルメルカプタン            ０．５重量部
得られたアクリル共重合体について、実験例１と同様の方法によりガラス転移温度を測定したところ、０℃であった。
【００２５】
（２）粘着剤層用組成物溶液の調製
得られた粘着剤の酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、２−イソシアナトエチルメタクリレートを加えて反応させた。この際、形成される粘着剤層のゲル分率が３５、４０、５５、７０、７５％となるように、２−イソシアナトエチルメタクリレートの配合量の異なる５種類の粘着剤層用組成物溶液を調製した。
【００２６】
（３）粘着テープの製造
得られた粘着剤層用組成物溶液を、片面にコロナ処理を施した厚さ７５μｍの透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムのコロナ処理上に乾燥皮膜の厚さが約１５μｍとなるようにドクターナイフで塗工し１１０℃、５分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。次いで、粘着剤層の表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムを貼り付けた。その後、４０℃、３日間静置養生を行い、粘着テープを得た。
【００２７】
（実験例３）
（１）下記の化合物を酢酸エチルに溶解させ、紫外線を照射して重合を行い、重量平均分子量４３万のアクリル共重合体からなる粘着剤の酢酸エチル溶液を得た。
エチルアクリレート                ６５重量部
２−ヒドロキシエチルメタクリレート  ３重量部
メチルメタクリレート              ３２重量部
光重合開始剤                        １重量部
（イルガキュア６５１、５０％酢酸エチル溶液）
ラウリルメルカプタン            ０．５重量部
得られたアクリル共重合体について、実験例１と同様の方法によりガラス転移温度を測定したところ、１０℃であった。
【００２８】
（２）粘着剤層用組成物溶液の調製
得られた粘着剤の酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、２−イソシアナトエチルメタクリレートを加えて反応させた。この際、形成される粘着剤層のゲル分率が３５、４０、５５、７０、７５％となるように、２−イソシアナトエチルメタクリレートの配合量の異なる５種類の粘着剤層用組成物溶液を調製した。
【００２９】
（３）粘着テープの製造
得られた粘着剤層用組成物溶液を、片面にコロナ処理を施した厚さ７５μｍの透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムのコロナ処理上に乾燥皮膜の厚さが約１５μｍとなるようにドクターナイフで塗工し１１０℃、５分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。次いで、粘着剤層の表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムを貼り付けた。その後、４０℃、３日間静置養生を行い、粘着テープを得た。
【００３０】
（実験例４）
（１）下記の化合物を酢酸エチルに溶解させ、紫外線を照射して重合を行い、重量平均分子量４８万のアクリル共重合体からなる粘着剤の酢酸エチル溶液を得た。
エチルアクリレート                ６０重量部
２−ヒドロキシエチルメタクリレート  ３重量部
メチルメタクリレート              ３７重量部
光重合開始剤                        １重量部
（イルガキュア６５１、５０％酢酸エチル溶液）
ラウリルメルカプタン            ０．５重量部
得られたアクリル共重合体について、実験例１と同様の方法によりガラス転移温度を測定したところ、１５℃であった。
【００３１】
（２）粘着剤層用組成物溶液の調製
得られた粘着剤の酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、２−イソシアナトエチルメタクリレートを加えて反応させた。この際、形成される粘着剤層のゲル分率が３５、４０、５５、７０、７５％となるように、２−イソシアナトエチルメタクリレートの配合量の異なる５種類の粘着剤層用組成物溶液を調製した。
【００３２】
（３）粘着テープの製造
得られた粘着剤層用組成物溶液を、片面にコロナ処理を施した厚さ７５μｍの透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムのコロナ処理上に乾燥皮膜の厚さが約１５μｍとなるようにドクターナイフで塗工し１１０℃、５分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。次いで、粘着剤層の表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムを貼り付けた。その後、４０℃、３日間静置養生を行い、粘着テープを得た。
【００３３】
（実験例５）
（１）下記の化合物を酢酸エチルに溶解させ、紫外線を照射して重合を行い、重量平均分子量４０万のアクリル共重合体からなる粘着剤の酢酸エチル溶液を得た。
エチルアクリレート                ５６重量部
２−ヒドロキシエチルメタクリレート  ４重量部
メチルメタクリレート              ３５重量部
アクリロニトリル                    ５重量部
光重合開始剤                        １重量部
（イルガキュア６５１、５０％酢酸エチル溶液）
ラウリルメルカプタン            ０．５重量部
得られたアクリル共重合体について、実験例１と同様の方法によりガラス転移温度を測定したところ、２０℃であった。
【００３４】
（２）粘着剤層用組成物溶液の調製
得られた粘着剤の酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、２−イソシアナトエチルメタクリレートを加えて反応させた。この際、形成される粘着剤層のゲル分率が３５、４０、５５、７０、７５％となるように、２−イソシアナトエチルメタクリレートの配合量の異なる５種類の粘着剤層用組成物溶液を調製した。
【００３５】
（３）粘着テープの製造
得られた粘着剤層用組成物溶液を、片面にコロナ処理を施した厚さ７５μｍの透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムのコロナ処理上に乾燥皮膜の厚さが約１５μｍとなるようにドクターナイフで塗工し１１０℃、５分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。次いで、粘着剤層の表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムを貼り付けた。その後、４０℃、３日間静置養生を行い、粘着テープを得た。
【００３６】
（評価）
実験例１〜５で製造した、樹脂のガラス転移温度とゲル分率とが異なる２５種類の粘着テープについて、以下のように評価を行った。
結果を表１に示した。
【００３７】
（１）貼着直後の剥離力の測定
被着体として、表面の粗さが０．５μｍ以下であるシリコンミラーウエハを準備した。得られた粘着テープを２５ｍｍ幅×１００ｍｍ長さにカットしたサンプルから離型処理が施されたＰＥＴフィルムを剥離し、その粘着剤層面を上記シリコンウエハ上に重ね合わせて２ｋｇのローラで１往復押圧し、粘着テープをシリコンウエハ上に貼着した。
【００３８】
貼着直後に、ＪＩＳ  Ｋ  ６８５４に準拠した１８０°ピール剥離力を測定した。剥離測定速度は３００ｍｍ／ｍｉｎとした。
【００３９】
（２）貼着３０分後の剥離力の測定
（１）と同様の方法により粘着テープをシリコンウエハ上に貼着した後、２３℃の温度条件下、３０分間放置した。その後、ＪＩＳ  Ｋ  ６８５４に準拠した１８０°ピール剥離力を測定した。剥離測定速度は３００ｍｍ／ｍｉｎとした。
【００４０】
（３）全体評価
得られた貼着直後の剥離力及び貼着３０分後の剥離力より、貼着直後の剥離力が１Ｎ／２５ｍｍ以下であり、かつ、貼着３０分後の剥離力が８Ｎ／２５ｍｍ以上である場合を「○」と、貼着直後の剥離力が１Ｎ／２５ｍｍ以下であるが、貼着３０分後の剥離力が８Ｎ／２５ｍｍ未満である場合を「△」と、貼着直後の剥離力が１Ｎ／２５ｍｍを超えるが、貼着３０分後の剥離力が８Ｎ／２５ｍｍ以上である場合を「▲」と、貼着直後の剥離力が１Ｎ／２５ｍｍを超え、かつ、貼着３０分後の剥離力が８Ｎ／２５ｍｍ未満である場合を「×」と評価した。
なお、剥離力が１Ｎ／２５ｍｍを超えると剥離が困難であり、また、剥離力が８Ｎ／２５ｍｍ未満であるとダイシングテープとしては使用困難であることから、基準を設定した。
【００４１】
【表１】
2010070609.tif 000002
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明によれば、貼着不良が発生した際に容易に剥離して貼り直すことが可能な粘着テープを提供することができる。