(57)【要約】   【課題】  プリント配線用基板の片面及び両面露光を効率的に行える露光装置を提供する。  【解決手段】上流露光機１は、プリント配線用基板を載置するプラテン１５を備え、露光光１６により、プリント配線用基板にフォトマスクのパターンを露光する。下流露光機３も同様に露光光３６により露光を行う。反転／搬送機２は反転機の機能と、単なる搬送機の機能を備えており、制御装置５から制御により、反転機モードと搬送機モードに切り換るように構成され、反転機モードの場合には、反転／搬送機２においてプリント配線用基板を表裏反転させ、プリント配線用基板の裏面側を表にして下流露光機３に送る。プリント配線用基板の片面露光の時は、反転／搬送機２を搬送機モードとし、反転／搬送機２はプリント配線用基板を反転せず、そのまま下流露光機３に送る。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線用基板の両面に回路パターンなどを露光可能な露光装置において、
前工程から送られてくるプリント配線用基板の露光を行う上流露光機と、
該上流露光機から送られてくるプリント配線用基板を反転させるか或は反転させずに送る反転／搬送機と、
該反転／搬送機から送られてくるプリント配線用基板の露光を行う下流露光機と、
前記プリント配線用基板を反転させて下流露光機に送るか或はプリント配線用基板を反転させずに下流露光機に送るように、反転／搬送機を制御する制御装置と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
プリント配線用基板の片面を露光する場合、１のプリント配線用基板を上流露光機で露光させず、反転／搬送機において該１のプリント配線用基板を反転させずに下流露光機に送り、次のプリント配線用基板を上流露光機に送り、前記上流露光機と下流露光機において、１のプリント配線用基板と次のプリント配線用基板とを露光させる、ように制御する制御装置を、
更に備えた請求項１の露光装置。
【請求項３】
上流露光機においてプリント配線用基板の露光を行わなかった時、該プリント配線用基板を反転／搬送機において反転せずに下流露光機に送り、下流露光機において再度露光を行わせる、ように制御する制御装置を、
更に備えた請求項１又は２の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線用基板の生産では、通常基板の表裏両面に対して露光処理を行っている。そのため、プリント配線用基板の露光装置は、上流露光機と反転機及び下流露光機を有しており、上流露光機にて表面を露光処理した後、反転機においてプリント配線用基板を反転し、下流露光機において裏面を露光処理する構成になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６ー２５１０１６号公報
【特許文献２】特開平１１ー１０９６４３号公報
【特許文献３】特許第４１５８１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、プリント配線用基板は常に両面を露光処理するわけではなく、片面のみしか露光処理しない場合もあり、片面処理の場合には、例えば上流露光機でプリント配線用基板を露光処理し、反転機と下流露光機ではプリント配線用基板を搬送させるのみとなり、生産性が悪い問題があった。
そのため片面露光専用の露光装置を設備することも行われているが、設備コストが大きくなる問題があった。
本発明は上記従来技術の問題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明は、プリント配線用基板の両面に回路パターンなどを露光可能な露光装置において、前工程から送られてくるプリント配線用基板の露光を行う上流露光機と、該上流露光機から送られてくるプリント配線用基板を反転させるか或は反転させずに送る反転／搬送機と、該反転／搬送機２から送られてくるプリント配線用基板の露光を行う下流露光機と、前記プリント配線用基板を反転させて下流露光機に送るか或はプリント配線用基板を反転させずに下流露光機に送るように、反転／搬送機を制御する制御装置と、を有することを特徴とする。
上記構成において、反転／搬送機は反転機としても搬送機としても使用できるから、片面露光の場合には、反転／搬送機を搬送機として使用することにより、プリント配線用基板を反転させずに下流露光機に送ることができ、上流露光機と下流露光機の両方を有効に使用することが可能になる。
またプリント配線用基板の片面を露光する場合、１のプリント配線用基板を上流露光機で露光させず、反転／搬送機において該１のプリント配線用基板を反転させずに下流露光機に送り、次のプリント配線用基板を上流露光機に送り、前記上流露光機と下流露光機において、１のプリント配線用基板と次のプリント配線用基板とを露光させる、ように制御する制御装置を、設けることが可能であり、この構成により上流露光機と下流露光機による露光を並行的に行うことができ、効率の良い片面露光を実現できる。
更に、 上流露光機においてプリント配線用基板の露光を行わなかった時、該プリント配線用基板を反転／搬送機において反転せずに下流露光機に送り、下流露光機において再度露光を行わせる、ように制御する制御装置を、更に備えることも可能である。上流露光機において、位置合わせ等が十分に行われない場合、未露光のまま反転／搬送機から下流露光機に送って、下流露光機で再度露光を行わせることが可能である。この構成により歩留まりの向上が可能になる。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の露光装置によれば、プリント配線用基板の両面を露光する場合も、プリント配線用基板の片面を露光する場合も、適切に対処可能であり、片面露光の場合であっても効率的に露光処理を行える効果がある。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の一実施形態を示す概略図。
【図２】本発明の一実施形態の動作を示す説明図。
【図３】本発明の一実施形態の動作を示す説明図。
【図４】本発明の一実施形態の動作を示すフローチャート図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１において、図面上左（上流）から右（下流）へプリント配線用基板が移動して、処理を受ける構成になっている。この露光装置Ａは、左から順に上流露光機１と反転／搬送機２及び下流露光機３とを備えている。上流露光機１の出口側と入口側にはそれぞれ入口搬送装置１０と出口搬送装置１１が設けられており、また同様に下流露光機３の出口側と入口側にはそれぞれ入口搬送装置３０と出口搬送装置３１が設けられている。
【０００９】
この露光装置Ａ全体は、制御装置５により制御されており、該制御装置５に操作装置６を介して操作者が種々の指令を送ることができるように構成されている。
反転／搬送機２は、通常はプリント配線用基板を反転させる反転機として機能し、制御装置５からの切り替え指令により、プリント配線用基板を反転させずに、単に上流露光機１から下流露光機３へプリント配線用基板を搬送する搬送機として機能することが可能になっている。
【００１０】
上流露光機１は、プリント配線用基板を載置するプラテン１５を備えており、このプラテン１５をｘｙ及びθ方向に移動させて、フォトマスク（図示せず）とプリント配線用基板との位置合わせを行い、露光光源（図示せず）からの露光光１６により、プリント配線用基板にフォトマスクのパターンを露光するように構成されている。
下流露光機３も同様にプラテン３５、フォトマスク、露光光源を備え、同様にプリント配線用基板とフォトマスクとの位置合わせを行った上、露光光３６により露光を行うように構成されている。
【００１１】
反転／搬送機２は反転機の機能と、単なる搬送機の機能の両方を備えており、制御装置５から制御により、反転機モードと搬送機モードに切り換るように構成されている。反転機モードの場合には、反転／搬送機２においてプリント配線用基板を表裏反転させ、プリント配線用基板の裏面側を表にして下流露光機３に送るようになっている。この構成により、プリント配線用基板の両面の露光が行われる。
【００１２】
プリント配線用基板の片面露光の時は、反転／搬送機２を搬送機モードとし、この搬送機モードでは反転／搬送機２はプリント配線用基板を反転せず、そのまま下流露光機３に送るように構成されている。
以上の構成により、プリント配線用基板の両面露光の時も、プリント配線用基板の片面露光の時も、同一の露光装置を用いて、制御装置５から切り換え指令を送るだけで、効率的な露光が行われる。
また、片面露光の場合、上流露光機１で位置合わせができず、露光不能となった場合、下流露光機３において再度露光を試みるなどの使用方法や、下記するように並行露光などが可能になる。
【００１３】
制御装置５は、片面露光の際に、反転／搬送機２と下流露光機３の両方で並行的に露光を行う並行露光モードのプログラミングを備えており、上流露光機１と下流露光機３とで２つのプリント配線用基板を並行的に露光処理することができるように構成されている。
これを図２乃至図４により説明する。
【００１４】
図４に示すように、制御装置５は最初に片面露光とするか否か判断する（ステップＳ１）。この判断は操作装置６からの指令或は他の信号に基づいて行う。片面露光ではない場合には、両面露光モードとして、両面露光処理を行う（ステップＳ２）。
片面露光の場合には、片面露光モードとし、反転／搬送機２を搬送機モードに切り換える（ステップＳ３）。
【００１５】
そして、図２Ａに示すように、１枚目の基板５１を上流露光機１と反転／搬送機２を通過して下流露光機３に送り、プラテン３５上に載置する。２枚目の基板５２は上流露光機１に送り、プラテン１５に載置する（ステップＳ４）。
そして、図２Ｂに示すように上流露光機１と下流露光機３において基板５１と基板５２を並行的に露光処理する（ステップＳ５）。露光処理後、図２ｃに示すように基板５２及び基板５１を次の工程に送る（ステップＳ９）。
なお上流露光機１において、位置合わせ不良などにより基板５２の露光を行わなかった場合（ステップＳ６）、図３に示すように基板５２を下流露光機３に送って（ステップＳ７）、再露光を試みる（ステップＳ８）。
露光作業が終了しない場合は（ステップＳ１０）、ステップＳ４に戻り図２Ｄに示すように次の基板５３、５４をプラテン３５、プラテン１５上に載置して同じ動作を繰り返す。
【００１６】
以上のように、上記実施形態においては、片面露光に際して上流露光機１と下流露光機３により並行的な処理を行うことができ、効率の良い露光処理が行える。また、未露光が生じたときに、再露光を行うことができるなどの効果がある。
【符号の説明】
【００１７】
１：上流露光機、２：反転／搬送機、３：下流露光機、５：制御装置、６：操作装置、１０：入口搬送装置、１１：出口搬送装置、１５：プラテン、１６：露光光、３０：入口搬送装置、３１：出口搬送装置、３５：プラテン、３６：露光光、５１：基板、５２：基板、５３：基板、５４：基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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