(57)【要約】【課題】簡便な構成でありながら、再現性の良い試験結果を得ることができる粒子圧縮試験機及び粒子圧縮試験機用試料台を提供する。【解決手段】粒子状の試料Ｓを載置するための試料台２と、試料台２の上方に上下移動可能に備えられた圧子３と、圧子３に荷重を負荷し、圧子３を試料Ｓの表面に押し付ける荷重負荷手段と、荷重負荷手段により圧子３を試料Ｓの表面に押し付けた時の試料Ｓに負荷される試験力を検出する試験力検出手段と、圧子３の変位を検出する変位検出手段と、を備えた粒子圧縮試験機において、試料台２は、試料Ｓの載置面に曲面形状の窪みからなる載置部２１を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒子状の試料を載置するための試料台と、
前記試料台の上方に上下移動可能に備えられた圧子と、
前記圧子に荷重を負荷し、前記圧子を試料の表面に押し付ける荷重負荷手段と、
前記荷重負荷手段により前記圧子を試料の表面に押し付けた時の試料に負荷される試験力を検出する試験力検出手段と、
前記圧子の変位を検出する変位検出手段と、
を備えた粒子圧縮試験機において、
前記試料台は、試料の載置面に曲面形状の窪みからなる載置部を備えることを特徴とする粒子圧縮試験機。
【請求項２】
前記試料台は、試料の載置面に前記載置部を複数備えていることを特徴とする請求項１に記載の粒子圧縮試験機。
【請求項３】
前記複数の載置部の載置面は、それぞれ異なる曲率を有することを特徴とする請求項２に記載の粒子圧縮試験機。
【請求項４】
前記圧子の先端部は、凸又は凹の曲面形状であることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の粒子圧縮試験機。
【請求項５】
前記載置部に載置された試料を載置面に吸着固定するためのエアー吸着手段を備えていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の粒子圧縮試験機。
【請求項６】
前記載置部に載置された試料を載置面に吸着固定するための静電気力を発生させる静電気力発生手段を備えていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の粒子圧縮試験機。
【請求項７】
前記載置部に載置された試料を載置面に吸着固定するための電磁力を発生させる電磁力発生手段を備えていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の粒子圧縮試験機。
【請求項８】
上下移動可能に備えられた圧子により、粒子状の試料に荷重を負荷して圧縮試験を行う粒子圧縮試験機に用いられる粒子圧縮試験機用試料台において、
試料を載置する載置面に、曲面形状の窪みからなる載置部を備えることを特徴とする粒子圧縮試験機用試料台。
【請求項９】
試料の載置面に、前記載置部を複数備えていることを特徴とする請求項８に記載の粒子圧縮試験機用試料台。
【請求項１０】
前記複数の載置部の載置面は、それぞれ異なる曲率を有することを特徴とする請求項９に記載の粒子圧縮試験機用試料台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粒子圧縮試験機及び粒子圧縮試験機用試料台に関する。
【背景技術】
【０００２】
粒径０．１〜数百μｍ程度の粒子状の試料の機械的強度を評価する試験として、粒子圧縮試験機を用いた粒子圧縮試験が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
この粒子圧縮試験は、粒子圧縮試験機に取り付けられた平面圧子により試料に荷重を負荷し、荷重の増加に伴う試料の変位量（押込み深さ）を測定して変位量と荷重との関係から、試料の硬さ等の物性値を測定するものである。
【０００３】
図９（ａ）（ｂ）に、粒子圧縮試験により得られる荷重負荷曲線の一例を示す。なお、図９（ａ）（ｂ）において、縦軸は試料に負荷した荷重（試験力）であり、横軸は試料の変位量（押込み深さ）である。
具体的に、図９（ａ）は、試料Ａ、Ｂを同一条件で圧縮した一例であり、例えば、得られた最大変位量の差から、試料Ａ、Ｂの機械的性質の差異を定性的に判断することができる。また、図９（ｂ）は、変位量が急激に変化する点まで試料Ａ、Ｂに負荷する荷重を漸増させた一例であり、この変位量の急激な変化から試料の降伏点や破壊強度に関する情報を得ることができる。
【０００４】
ところで、このような粒子状試料の圧縮試験においては、試料が球形であるため試料台に載置された試料の固定が難しいという問題がある。即ち、試験機のＸＹステージの作動により試料台の試料が転がってしまい、位置決めした試料を的確に狙えないことがあったり、複数の試料が密着してしまい、試料１つずつを試験できなかったりすることがある。
また、複数の試料を一度に圧縮する方法も考えられるが、これは常に同数の試料を圧縮できるものではないため再現性に乏しい。
【０００５】
こうした問題の対策として、例えば、図１０に示すように、試料を載置する試料台８１に、試料の粒径より僅かに幅の大きいガイド部８２、８２を設けることで試料が転がるのを防止する方法が提案されている（例えば、非特許文献１参照。）。
また、試料台８１と試料とを接着により固定する方法も考えられる（例えば、非特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−１１６３４９号公報
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】SHIMADZU CUSTOMER SUPPORT CENTER NEWS for MATERIAL TESTING No.73
【非特許文献２】東陽テクニカ ナノテクノロジー製品 製品別メニュー
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、試料台８１にガイド部材８２、８２を設ける方法は、試料がガイド部材８２、８２に接触する場合（図１１（ａ）参照。）と、接触しない場合（図１１（ｂ）参照。）と、が想定されるため、試験結果のばらつきの要因となる恐れがある。つまり、物性の測定実験において、できるだけ同一条件で試験を行なうことが重要であることを考慮すると好ましくないという問題があった。また、この試料台８１にガイド部材８２、８２を設ける方法は、粒径が異なる試料に対しては、異なる寸法のガイド部材を用意しなければならず、設定上手間がかかるという問題があった。
また、接着により固定する方法は、使用する接着剤の量のばらつき、試料への巻き込みや湿潤等が想定されるため、常時同一の状態で固定することは極めて困難であるとともに、こうした影響を除去した接着方法を実現するためには高価な設備が必要であるので工業的ではなく、更に接着剤が試料を汚損してしまう可能性も高い、という問題があった。
【０００９】
本発明の課題は、簡便な構成でありながら、再現性の良い試験結果を得ることができる粒子圧縮試験機及び粒子圧縮試験機用試料台を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、
粒子状の試料を載置するための試料台と、
前記試料台の上方に上下移動可能に備えられた圧子と、
前記圧子に荷重を負荷し、前記圧子を試料の表面に押し付ける荷重負荷手段と、
前記荷重負荷手段により前記圧子を試料の表面に押し付けた時の試料に負荷される試験力を検出する試験力検出手段と、
前記圧子の変位を検出する変位検出手段と、
を備えた粒子圧縮試験機において、
前記試料台は、試料の載置面に曲面形状の窪みからなる載置部を備えることを特徴とする。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の粒子圧縮試験機において、
前記試料台は、試料の載置面に前記載置部を複数備えていることを特徴とする。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の粒子圧縮試験機において、
前記複数の載置部の載置面は、それぞれ異なる曲率を有することを特徴とする。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載の粒子圧縮試験機において、
前記圧子の先端部は、凸又は凹の曲面形状であることを特徴とする。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４の何れか一項に記載の粒子圧縮試験機において、
前記載置部に載置された試料を載置面に吸着固定するためのエアー吸着手段を備えていることを特徴とする。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜４の何れか一項に記載の粒子圧縮試験機において、
前記載置部に載置された試料を載置面に吸着固定するための静電気力を発生させる静電気力発生手段を備えていることを特徴とする。
【００１６】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜４の何れか一項に記載の粒子圧縮試験機において、
前記載置部に載置された試料を載置面に吸着固定するための電磁力を発生させる電磁力発生手段を備えていることを特徴とする。
【００１７】
請求項８に記載の発明は、
上下移動可能に備えられた圧子により、粒子状の試料に荷重を負荷して圧縮試験を行う粒子圧縮試験機に用いられる粒子圧縮試験機用試料台において、
試料を載置する載置面に、曲面形状の窪みからなる載置部を備えることを特徴とする。
【００１８】
請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の粒子圧縮試験機用試料台において、
試料の載置面に、前記載置部を複数備えていることを特徴とする。
【００１９】
請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の粒子圧縮試験機用試料台において、
前記複数の載置部の載置面は、それぞれ異なる曲率を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、試料台は、試料を載置する載置面に、曲面形状の窪みからなる載置部を備える構成である。このため、試料を載置部に置くだけで試料の位置決めができるとともに試料の転がりが防止され、常時、同一条件で試料を保持することができる。
また、常時同一条件で試料を保持することができるため、粒子圧縮試験機において、安定した試験結果、ばらつきの少ない試験結果を得ることができる。
よって、簡便な構成でありながら、再現性の良い試験結果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】第１実施形態の粒子圧縮試験機の試験機本体を示す概略構成図である。
【図２】第１実施形態の粒子圧縮試験機の制御構成を示すブロック図である。
【図３】第１実施形態の粒子圧縮試験機の試料台及び圧子を示す拡大断面図であり、（ａ）は試料に荷重を負荷していない状態、（ｂ）は試料に荷重を負荷している状態を示している。
【図４】第１実施形態の粒子圧縮試験機の試料台を示す平面図である。
【図５】圧子の変形例を示す図である。
【図６】エアー吸着手段の変形例である静電気力発生手段を示す図である。
【図７】エアー吸着手段の変形例である電磁力発生手段を示す図である。
【図８】第２実施形態の粒子圧縮試験機の試料台を示す拡大断面図であり、（ａ）はそれぞれ異なる曲率（曲率半径）を有する３つの載置部を備えた試料台、（ｂ）は全て同一の曲率（曲率半径）を有する３つの載置部を備えた試料台を示している。
【図９】粒子圧縮試験により得られる荷重負荷曲線の一例である。
【図１０】従来の技術を説明するための図である。
【図１１】従来の技術を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図を参照して、本発明に係る粒子圧縮試験機について、詳細に説明する。
なお、本発明に係る粒子圧縮試験機は、圧子に負荷する荷重（試験力）と、圧子の変位量（押込み深さ）とを連続してモニター可能な計装化押込み試験機である。
また、本発明の粒子圧縮試験機に適用する試料は、例えば金属やセラミックスの粉末などの、粒径が０．１〜数１００μｍ程度の粒子状の試料である。
【００２３】
［第１実施形態］
図１は、第１実施形態における粒子圧縮試験機１００の試験機本体１を示す概略構成図であり、図２は、粒子圧縮試験機１００の制御構成を示すブロック図である。また、図３は、粒子圧縮試験機１００の試料台２及び圧子３を示す拡大断面図であり、（ａ）は試料Ｓに荷重を負荷していない状態、（ｂ）は試料Ｓに荷重を負荷している状態を示している。また、図４は、粒子圧縮試験機１００の試料台２を示す平面図である。
【００２４】
粒子圧縮試験機１００は、図１、図２に示すように、試料Ｓに試験力を付与する試験機本体１と、試験機本体１の各部を制御する制御部２００と、表示部３００と、操作部４００等を備えて構成されている。
【００２５】
試験機本体１は、試料Ｓが載置される試料台２と、試料Ｓに荷重を負荷する圧子３と、圧子３を先端に有する圧子軸３ａを一端側に備え、他端側にフォースモータ４を備える荷重レバー５と、荷重レバー５の移動量を検出する変位センサ６等を備えている。
【００２６】
試料台２は、その上面（載置面）に載置された試料Ｓが、試験測定中にずれないように保持するものである。
具体的には、試料台２の載置面には、図３、図４に示すように、曲面形状の窪みからなる載置部２１が設けられている。載置部２１は、試料Ｓに対して十分に大きな曲率半径Ｒを有しており、この載置部２１に試料Ｓが載置された場合、載置部２１の中心点Ｐにおいて試料Ｓが支持され、試料Ｓの不用意な転がりによる位置ずれが防止されるようになっている。
試料台２は、ＸＹＺステージ２ａに搭載されており、ＸＹＺステージ２ａによって上下方向、左右方向、前後方向に移動されて、圧子３に対する試料Ｓの位置を調整可能になっている。
【００２７】
また、試料台２には、載置部２１に載置された試料Ｓを載置面に吸着固定するためのエアー吸着手段としてのエアー吸引装置２２が設けられている。
具体的には、試料台２の載置部２１には、図４に示すように、中心点Ｐの周囲に複数の吸引孔２２ａが設けられている。吸引孔２２ａには接続路（図示省略）が接続されており、この接続路は、例えばソレノイドバルブのような切換弁を介して、例えば真空ポンプ等の負圧を発生するエアー吸引装置２２に接続自在かつ大気圧に解放自在に構成されている。すなわち、吸引孔２２ａは負圧状態又は大気圧に開放した状態に切換え自在となっており、吸引孔２２ａを負圧状態に切換えると、試料Ｓを試料台２の載置部２１に吸着固定することができるようになっている。
【００２８】
圧子３は、その先端が平面形状の平面圧子であり、試料台２の上方に上下移動可能に備えられている。圧子３は、この圧子３に荷重を負荷することのできるフォースモータ４及び荷重レバー５に連動して鉛直下方に変位し、試料台２上の試料Ｓに対して圧縮負荷を加える。
【００２９】
荷重レバー５は、略中央部において回動軸５ａによって回動可能に軸支されており、一端の下面側に圧子軸３ａを介して圧子３を備えている。また、荷重レバー５の他端の上面側にフォースモータ４を備えている。
フォースモータ４は、フォースコイル４ａとマグネット４ｂとにより構成されており、マグネット４ｂがつくる磁界と、フォースコイル４ａに流れる電流との電磁誘導に応じて発生する力を駆動力として用い、荷重レバー５を回動させて、荷重レバー５の一端側を押し下げたり、押し上げたりする。
【００３０】
そして、フォースモータ４の駆動によって、荷重レバー５の一端側を押し下げるようにして、圧子３に荷重を負荷し、その圧子３を試料Ｓの表面に押し付けることが可能になっている。
つまり、フォースモータ４と荷重レバー５とが協働し、荷重負荷手段として、圧子３に荷重を負荷し、圧子３を試料Ｓの表面に押し付けるようになっている。
なお、制御部２００が、フォースモータ４のフォースコイル４ａに流す電流量を無段階に調整することによって、フォースモータ４は無段階の駆動力を出力し、荷重レバー５を介して圧子３に無段階の荷重（試験力）を負荷することができる。
【００３１】
変位センサ６は、荷重レバー５の一端側の上面に設けられた被検知部６ａと、その被検知部６ａとの距離（間隔）を検出するセンサ部６ｂとにより構成されており、回動する荷重レバー５の一端側の変位量を検出可能なセンサである。
そして、変位センサ６は、荷重レバー５が回動した際の、その一端側の変位を検出するようにして、荷重レバー５の一端側に設けられている圧子３の変位を検出することができる。
つまり、変位センサ６は、変位検出手段の一部として、圧子３の変位を検出する。
なお、変位センサ６は、検出した荷重レバー５の一端側の変位（圧子３の変位）に基づく圧子変位信号を制御部２００に出力する。
【００３２】
表示部３００は、例えば、液晶表示パネルであって、制御部２００から入力される表示信号に従って、試験結果等、各種表示画面の表示処理を行う。
【００３３】
操作部４００は、例えば、キーボードなどの操作キー群であって、ユーザにより操作されると、その操作に伴う操作信号を制御部２００に出力する。なお、操作部４００は、必要に応じてマウスやタッチパネルなどのポインティングデバイスや、リモートコントローラなど、その他の操作装置を備えるようにしてもよい。
そして、この操作部４００は、ユーザが試料Ｓの粒子圧縮試験を行う指示入力を行う際に操作される。また、操作部４００は、ユーザが試料Ｓの表面に押し付ける荷重の設定を行う際に操作される。
【００３４】
制御部２００は、図２に示すように、ＣＰＵ２１０と、ＲＡＭ２２０と、記憶部２３０を備えている。そして、制御部２００は、システムバスなどを介して、ＸＹＺステージ２ａ、フォースモータ４、変位センサ６、表示部３００、操作部４００、エアー吸引装置２２、等と接続している。
【００３５】
ＣＰＵ２１０は、例えば、記憶部２３０に記憶されている粒子圧縮試験機用の各種処理プログラムに従って、各種制御処理を行う。
【００３６】
ＲＡＭ２２０は、例えば、ＣＰＵ２１０によって実行される処理プログラムなどを展開するためのプログラム格納領域や、入力データや処理プログラムが実行される際に生じる処理結果などを格納するデータ格納領域などを備えている。
【００３７】
記憶部２３０は、例えば、粒子圧縮試験機１００で実行可能なシステムプログラムや、そのシステムプログラムで実行可能な各種処理プログラム、これら各種処理プログラムを実行する際に使用されるデータ、ＣＰＵ２１０によって演算処理された各種処理結果のデータなどを記憶する。なお、プログラムは、コンピュータが読み取り可能なプログラムコードの形で記憶部２３０に記憶されている。
【００３８】
具体的には、記憶部２３０は、例えば、試験力検出プログラム２３１、変位検出プログラム２３２、等を記憶している。
【００３９】
試験力検出プログラム２３１は、例えば、ＣＰＵ２１０に、圧子３を試料Ｓの表面に押し付けた際の試料Ｓに負荷される試験力を検出する機能を実現させるプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ２１０は、試験力検出プログラム２３１を実行することにより、フォースモータ４のフォースコイル４ａに所定の荷重に応じた電流を供給しフォースモータ４を動作させる。そして、そのフォースモータ４の駆動で荷重レバー５を回動させて、圧子３が試料Ｓに対して所定の荷重を負荷して押し込むようになっており、この際、ＣＰＵ２１０は、圧子３に負荷された荷重を、試料Ｓに負荷される試験力として検出する。
ＣＰＵ２１０は、かかる試験力検出プログラム２３１を実行することで、試験力検出手段として機能する。
【００４０】
変位検出プログラム２３２は、例えば、ＣＰＵ２１０に、圧子３の変位を検出する機能を実現させるプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ２１０は、変位検出プログラム２３２を実行することにより、変位センサ６に、荷重レバー５が回動した際の一端側の変位を検出させることにより、荷重レバー５の一端側に設けられている圧子３の変位を検出させる。
ＣＰＵ２１０は、かかる変位検出プログラム２３２を実行することで、変位センサ６と共に変位検出手段として機能する。
【００４１】
次に、粒子圧縮試験機１００による試料Ｓに対する粒子圧縮試験について、図３を用いて説明する。
かかる粒子圧縮試験を実行するにあたり、ユーザは、圧子軸３ａに圧子３を取り付け、試料台２の載置部２１に試料Ｓを載せ、ＸＹＺステージ２ａにより試料台２の位置調整を行う。すなわち、図３（ａ）に示すように、試料Ｓの真上に圧子３が位置するように試料台２の位置調整を行う。このとき、試料Ｓは試料台２の載置部２１の中心点Ｐに位置するようになるため、試料Ｓと圧子３との位置が調整後にずれることがない。
また、ユーザは、圧子３を試料Ｓの表面に押し付ける荷重の設定を入力部３００に入力し、測定を開始する。
圧縮試験が開始されると、ＣＰＵ２１０は、フォースモータ４及び荷重レバー５により圧子３に対して荷重の負荷を開始する。すなわち、図３（ｂ）に示すように、試料Ｓの上方から圧子３が試料Ｓに対して荷重の負荷を開始する。そして、ＣＰＵ２１０は、所定の速度で圧子３に負荷する荷重を増加させて圧子３と試料台２との間で試料Ｓ（１個）を圧縮し、圧縮荷重の増加に伴う圧縮変位（変位量）の変化を測定して圧縮変位が急激に増加した時点の圧縮荷重を崩壊荷重とする。即ち、試料Ｓが完全に崩壊する時点の荷重値が圧縮強度となる。
この圧縮試験中、試料Ｓは試料台２の載置部２１の中心点Ｐに常時固定されることとなる。
【００４２】
以上のように、本第１実施形態の粒子圧縮試験機１００によれば、試料台２が試料Ｓの載置面に曲面形状の窪みからなる載置部２１を備えた構成となっているため、試料Ｓは載置部２１の内部に保持されることとなり、粒子状の試料Ｓが載置部２１の外に転がるのを防止することができ、常時、同一条件で試料を保持することができる。
また、常時同一条件で試料を保持することができるため、粒子圧縮試験機において、安定した試験結果、ばらつきの少ない試験結果を得ることができる。
また、試料Ｓは載置部２１の中心点Ｐで支持されることとなるので、試料台２上の試料Ｓの位置決めを自然に行うことができる。
よって、簡便な構成でありながら、再現性の良い試験結果を得ることができる。
【００４３】
なお、上記実施形態においては、先端面が平面形状の圧子を用いたが、この平面圧子３の代わりに、図５（ａ）（ｂ）に示すように、その先端形状が凸又は凹の曲面形状となるよう構成された圧子３Ａ、３Ｂを用いることとしても良い。
これら圧子３Ａ、３Ｂの先端の曲面形状は、試料Ｓに対して十分に大きい曲率半径をするように構成されている。
このように構成した場合、圧子３Ａ、３Ｂは、平面圧子３と比較して、試料Ｓとの接触面積を小さくできるため、試験の精度をより向上させることができる。
【００４４】
（変形例１）
次に、変形例１として、第１実施形態の変形例について図６を参照して説明する。
変形例１の基本的構成は第１実施形態と同様であるが、変形例１の粒子圧縮試験機１００ａは、第１実施形態のエアー吸引装置２２の代わりに、静電気力発生手段としての静電気力発生装置２３を備えている。
すなわち、静電気力発生装置２３により静電気力を発生させ、この静電気力により載置部２１と試料Ｓとを吸着させる構成となっている。
【００４５】
具体的には、静電気力発生装置２３は、例えば、試料台２に、誘電体内部に２枚の金属電極が埋設された基板を備え、両電極間に電圧を印加することで静電気力を発生させる、いわゆる静電チャック等を用いることができる。
つまり、この静電気力発生装置２３は、金属電極を包囲する誘電体において誘電分極現象が起こり、これにより試料Ｓとの間に静電気力が生じ、基板に試料Ｓが吸着されることとなる。
なお、他の静電気力発生手段として、例えばポリメタクリル酸メチル、ポリエチレン等の高絶縁体又は上述の絶縁体を互いに接触又は摩擦したり、絶縁体と導体とを接触又は摩擦する等して静電気力を発生させてもよい。或いは、コロナ放電により静電気力を発生させたり、紫外線、Ｘ線、電子ビーム、イオンビーム等の照射により静電気力を発生させてもよい。
【００４６】
（変形例２）
次に、変形例２として、第１実施形態の変形例について図７を参照して説明する。
変形例２の基本的構成は第１実施形態と同様であるが、変形例２の粒子圧縮試験機１００ｂは、第１実施形態のエアー吸引装置２２の代わりに、電磁力発生手段としての電磁力発生装置２４を備えている。
すなわち、電磁力発生装置２４により電磁力を発生させ、この電磁力により載置部２１と試料Ｓとを吸着させる構成となっている。
具体的には、電磁力発生装置２４は、例えば、磁極用鋼材に巻いたコイルに電流を通して磁石とし、電流を切って磁力をなくす原理を応用した、多数の電磁石をＳ極とＮ極が交互となるように並べてその間を非磁性体で囲んだいわゆる角テ−ブル型チャック等を用いることができる。
【００４７】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について第１実施形態と異なる点を中心に説明し、同じ箇所には第１実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態の粒子圧縮試験機２００は、試料台２の試料Ｓの載置面に、３つの載置部２１ａ、２１ｂ、２１ｃを備えて構成されている。
図８（ａ）（ｂ）は、粒子圧縮試験機２００の試料台２を示す拡大断面図である。
３つの載置部２１ａ、２１ｂ、２１ｃは、図８（ａ）に示すように、それぞれ異なる曲率（曲率半径）を有するように構成しても良いし、図８（ｂ）に示すように、全て同一の曲率（曲率半径）を有するように構成しても良い。
【００４８】
図８（ａ）に示すように、３つの載置部２１ａ、２１ｂ、２１ｃがそれぞれ異なる曲率（曲率半径）を有する場合、試料Ｓの粒径に応じて載置部を選択できるようになっている。
一方、図８（ｂ）に示すように、３つの載置部２１ａ、２１ｂ、２１ｃが全て同一の曲率（曲率半径）を有する場合、複数の試料Ｓに対して同時に荷重を負荷することができるようになっている。
なお、本実施形態においては、試料台２に３つの載置部２１ａ、２１ｂ、２１ｃを備えた例について説明しているが、載置部の数はこれに限定されるものではい。
【００４９】
以上のように、本実施形態の粒子圧縮試験機２００によれば、第１実施形態と同様の効果が得られるのは勿論のこと、試料台２における試料Ｓの載置面に載置部を複数備えているため、測定試験に応じて適した試料台の態様が選択可能となり、ユーザの使い勝手を向上させることができる。
すなわち、複数の載置部が同一の曲率（曲率半径）を有する場合、常に同数の複数の試料を一度に圧縮できるため再現性がよく、精度の高い測定試験を行うことができる。
また、複数の載置部がそれぞれ異なる曲率（曲率半径）を有する場合、試料Ｓの粒径に応じて載置部を選択することができ、より精度の高い測定試験を行うことができる。
【００５０】
なお、上記実施形態以外にも、例えば、試料台２の試料Ｓの載置面に、３つの載置部２１ａ、２１ｂ、２１ｃを複数列設けるように構成することもできる。
【符号の説明】
【００５１】
１００、１００ａ、１００ｂ  粒子圧縮試験機
２      試料台
２１、２１ａ〜２１ｃ  載置部
２２  エアー吸引装置（エアー吸着手段）
２３  静電気力発生装置（静電気力発生手段）
２４  電磁力発生装置（電磁力発生手段）
３      圧子
４      フォースモータ（荷重負荷手段）
５      荷重レバー（荷重負荷手段）
６      変位センサ（変位検出手段）
２００    制御部
２１０  ＣＰＵ
２２０  ＲＡＭ
２３０  記憶部
２３１  試験力検出プログラム（試験力検出手段）
２３２  変位検出プログラム（変位検出手段）
Ｐ        中心点
Ｓ        試料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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