(57)【要約】【課題】赤外領域を含む広い波長帯域において良好な色収差補正ができる対物レンズ系を提供する。【解決手段】物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第１部分レンズ群と、正の屈折力を有する第２部分レンズ群とを備え、全体として正の屈折力を有し少なくとも一つの正レンズを含む第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、以下の条件を満たす対物レンズ系である。  ３０  ＜  ν２ｐ  ＜  ５０  −０．００４  ＜  Δθ２ｐ（ｇＦ）  ＜  −０．００１５  −０．００３  ＜  Δθ２ｐ（ｃｔ）  ＜  ０．００３  ただし、  ν２ｐ：第２レンズ群に含まれる少なくとも一つの正レンズの硝材のアッベ数、  Δθ２ｐ（ｇＦ）：硝材のｇＦ異常分散性を示す値、  Δθ２ｐ（Ｃｔ）：硝材のＣｔ異常分散性を示す値。【選択図】図３
2020086406.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、
負の屈折力を有する第１部分レンズ群と、正の屈折力を有する第２部分レンズ群とを備え、全体として正の屈折力を有し少なくとも一つの正レンズを含む第２レンズ群と、
負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
以下の条件を満たす対物レンズ系。
３０  ＜  ν２ｐ  ＜  ５０
−０．００４  ＜  Δθ２ｐ（ｇＦ）  ＜  −０．００１５
−０．００３  ＜  Δθ２ｐ（ｃｔ）  ＜  ０．００３
ただし、
ν２ｐ：前記第２レンズ群に含まれる少なくとも一つの正レンズの硝材のアッベ数
Δθ２ｐ（ｇＦ）：前記硝材のｇＦ異常分散性を示す値
Δθ２ｐ（Ｃｔ）：前記硝材のＣｔ異常分散性を示す値
【請求項２】
前記第１レンズ群は、前記物体側からの発散光束を収斂光束に変換する請求項１に記載の対物レンズ系。
【請求項３】
前記第１部分レンズ群は、前記第１レンズ群からの収斂光束を発散光束に変換し、
前記第２部分レンズ群は、前記第１部分レンズ群からの発散光束を収斂光束に変換する請求項１または請求項２に記載の対物レンズ系。
【請求項４】
以下の条件式を満たす請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の対物レンズ系。
３  ＜  ｆ２／ｆ１    ＜  ４５
１．１  ＜  Ｅ２／Ｅ１    ＜  ２．０
ただし、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
Ｅ１：前記第１レンズ群の最大有効直径
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
Ｅ２：前記第２レンズ群の最大有効直径
【請求項５】
前記第２レンズ群は、正レンズと負レンズとからなる第１接合レンズと、正レンズと負レンズとからなる第２接合レンズとを有し、
以下の条件式を満たす請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の対物レンズ系。
４５  ＜  ν２ｎ  ＜  ５５
−０．００６  ＜  Δθ２ｎ（ｇＦ）  ＜  ０
−０．０１５  ＜  Δθ２ｎ（ｃｔ）  ＜  −０．００８
ただし、
ν２ｎ：前記第１接合レンズおよび前記第２接合レンズのうち少なくとも一方に含まれる負レンズの硝材のアッベ数
Δθ２ｎ（ｇＦ）：前記第１接合レンズおよび前記第２接合レンズのうち少なくとも一方に含まれる負レンズの硝材のｇＦ異常分散性を示す値
Δθ２ｎ（ｃｔ）：前記第１接合レンズおよび前記第２接合レンズのうち少なくとも一方に含まれる負レンズの硝材のｃｔ異常分散性を示す値
【請求項６】
以下の条件式を満たす請求項５に記載の対物レンズ系。
５５  ＜  ν２ｎ  ＜  ６５
−０．００２  ＜  Δθ２ｎ（ｇＦ）  ＜  ０
−０．００６  ＜  Δθ２ｎ（ｃｔ）  ＜  ０
−０．００６  ＜  Δθ２ｎ（ｉｇ）  ＜  ０
ただし、
ν２ｎ：前記第１接合レンズおよび前記第２接合レンズのうち少なくとも一方に含まれる負レンズの硝材のアッベ数
Δθ２ｎ（ｇＦ）：前記第１接合レンズおよび前記第２接合レンズのうち少なくとも一方に含まれる負レンズの硝材のｇＦ異常分散性を示す値
Δθ２ｎ（ｃｔ）：前記第１接合レンズおよび前記第２接合レンズのうち少なくとも一方に含まれる負レンズの硝材のｃｔ異常分散性を示す値
Δθ２ｎ（ｉｇ）：前記第１接合レンズおよび前記第２接合レンズのうち少なくとも一方に含まれる負レンズの硝材のｉｇ異常分散性を示す値
【請求項７】
前記第１レンズ群は、１以上のメニスカスレンズを含む請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の対物レンズ系。
【請求項８】
以下の条件式を満たす請求項７に記載の対物レンズ系。
１．６５  ＜  ｎ１ｍ  ＜  １．９５
３０  ＜  ν１ｍ  ＜  ６０
ｎ１ｍ：前記第１レンズ群の最も物体側のメニスカスレンズの硝材のｄ線に対する屈折率
ν１ｍ：前記第１レンズ群の最も物体側のメニスカスレンズの硝材のｄ線に対するアッベ数
【請求項９】
前記第３レンズ群は、少なくとも１つの負レンズと、少なくとも１つの正レンズを含む請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の対物レンズ系。
【請求項１０】
以下の条件式を満たす請求項９に記載の対物レンズ系。
５５  ＜  ν３ｎ    ＜  ９６
３０  ＜  ν３ｐ    ＜  ５０
０．００５  ＜  Δθ３ｐ（ｃｔ）  ＜  ０．０２
ν３ｎ：前記第３レンズ群に含まれる少なくとも１つの負レンズの硝材のアッベ数
ν３ｐ：前記第３レンズ群に含まれる少なくとも１つの正レンズの硝材のアッベ数
Δθ２ｐ（ｃｔ）：前記第３レンズ群に含まれる少なくとも１つの正レンズの硝材のｇＦ異常分散性を示す値
【請求項１１】
請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載の対物レンズ系を含み、物体像を結像する結像光学系を備え、
前記結像光学系を介して形成された前記物体像を観察する観察装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の観察装置と、
基板上へパターンを投影露光するための投影光学系と、
を備える露光装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の露光装置を用いてパターンを基板へ露光することと、
前記露光された前記基板を現像して、前記パターンに対応する露光パターン層を形成することと、
前記露光パターン層を介して前記基板を加工することとを含むデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対物レンズ系、観察装置、露光装置、及びデバイス製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から物体を観察、検出、または計測するための対物レンズが提案されている（例えば、特許文献１を参照）。しかし、このような対物レンズにおいては、赤外領域を含む広い波長帯域において良好な色収差補正が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第５２３５４６５号明細書
【発明の概要】
【０００４】
第１の態様は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第１部分レンズ群と、正の屈折力を有する第２部分レンズ群とを備え、全体として正の屈折力を有し少なくとも一つの正レンズを含む第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、以下の条件を満たす対物レンズ系である。
３０  ＜  ν２ｐ  ＜  ５０
−０．００４  ＜  Δθ２ｐ（ｇＦ）  ＜  −０．００１５
−０．００３  ＜  Δθ２ｐ（ｃｔ）  ＜  ０．００３
ただし、
ν２ｐ：前記第２レンズ群に含まれる少なくとも一つの正レンズの硝材のアッベ数、
Δθ２ｐ（ｇＦ）：前記硝材のｇＦ異常分散性を示す値、
Δθ２ｐ（Ｃｔ）：前記硝材のＣｔ異常分散性を示す値。
【０００５】
第２の態様は、上述の対物レンズ系を含み、物体像を結像する結像光学系を備え、前記結像光学系を介して形成された前記物体像を観察する観察装置である。
【０００６】
第３の態様は、上述の観察装置と、物体上へパターンを投影露光するための投影光学系と、を備える露光装置である。
【０００７】
第４の態様は、上述の露光装置を用いてパターンを基板へ露光する露光することと、前記露光された前記基板を現像して、前記パターンに対応する露光パターン層を形成することと、前記露光パターン層を介して前記基板を加工することと、を含むデバイス製造方法である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１の実施形態に係る露光装置の構成の一例を示す図である。
【図２】第１の実施形態に係るＦＩＡ系アライメント装置の構成の一例を示す図である。
【図３】第１の実施形態に係る第１対物レンズのレンズ構成の一例を示す図である。
【図４】第１の実施形態に係る第１対物レンズから構成された結像光学系の球面収差、非点収差及び歪曲収差の一例を示す図である。
【図５】第１の実施形態に係る第１対物レンズから構成された結像光学系のフォーカスシフトの一例を示す図である。
【図６】第２の実施形態に係る第１対物レンズのレンズ構成の一例を示す図である。
【図７】第２の実施形態に係る第１対物レンズから構成された結像光学系の球面収差、非点収差及び歪曲収差の一例を示す図である。
【図８】第２の実施形態に係る第１対物レンズから構成された結像光学系のフォーカスシフトの一例を示す図である。
【図９】第３の実施形態に係る第１対物レンズのレンズ構成の一例を示す図である。
【図１０】第３の実施形態に係る第１対物レンズから構成された結像光学系の球面収差、非点収差及び歪曲収差の一例を示す図である。
【図１１】第３の実施形態に係る第１対物レンズから構成された結像光学系のフォーカスシフトの一例を示す図である。
【図１２】第４の実施形態に係る第１対物レンズのレンズ構成の一例を示す図である。
【図１３】第４の実施形態に係る第１対物レンズから構成された結像光学系の球面収差、非点収差及び歪曲収差の一例を示す図である。
【図１４】第４の実施形態に係る第１対物レンズから構成された結像光学系のフォーカスシフトの一例を示す図である。
【図１５】第５の実施形態に係る第１対物レンズのレンズ構成の一例を示す図である。
【図１６】第５の実施形態に係る第１対物レンズから構成された結像光学系の球面収差、非点収差及び歪曲収差の一例を示す図である。
【図１７】第５の実施形態に係る第１対物レンズから構成された結像光学系のフォーカスシフトの一例を示す図である。
【図１８】各実施形態に係るマイクロデバイスとしての半導体デバイスを得る際の手法の一例を示すフローチャートである。
【図１９】各実施形態に係るマイクロデバイスとしての液晶表示素子を得る際の手法の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（第１の実施形態）
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳しく説明する。図１は、本実施形態に係る露光装置Ｄ１の構成の一例を示す図である。露光装置Ｄ１は、露光用照明系ＩＬと、レチクルＲと、レチクルステージＲＳと、投影光学系ＰＬと、観察装置（ＦＩＡ系アライメント装置ＡＬ）と、ウェハＷと、ウェハホルダＷＨと、ＺステージＺＳと、ＸＹステージＸＹと、ステージ制御系ＳＣと、主制御系ＭＣとを備える。
【００１０】
図１では、３次元直交座標系が、投影光学系ＰＬの光軸ＯＡに対して平行にＺ軸が設定されている。Ｚ軸に垂直な平面内において図１の紙面に平行な方向にＸ軸が設定されている。Ｚ軸に垂直な平面内において図１の紙面に垂直な方向にＹ軸が設定されている。
【００１１】
露光用照明系ＩＬは、露光光によってマスク（投影原版）としてのレチクルＲを均一に照明する。レチクルＲはレチクルステージＲＳ上においてＸＹ平面とほぼ平行に支持されている。レチクルＲ上のパターン領域ＰＡには転写すべき回路パターンが形成されている。露光光は、例えば、真空紫外光であってよい。
【００１２】
露光用照明系ＩＬによって照明されてレチクルＲを透過した光は、マスクのパターンを感光性材料が塗布された基板上へ投影露光するための投影光学系ＰＬを介してウェハＷに達し、ウェハＷ上にはレチクルＲのパターン領域ＰＡ内に形成されたパターンに応じたパターン像が形成される。なお、ウェハＷは、ウェハホルダＷＨを介してＺステージＺＳ上においてＸＹ平面とほぼ平行に支持されている。ＺステージＺＳは、ステージ制御系ＳＣによって、投影光学系ＰＬの光軸ＯＡに沿って駆動される。
【００１３】
さらに、ＺステージＺＳは、ＸＹステージＸＹ上に支持されている。ＸＹステージＸＹは、ステージ制御系ＳＣによって、投影光学系ＰＬの光軸ＯＡに対して垂直なＸＹ平面内において二次元的に駆動される。なお、ステージ制御系ＳＣは、主制御系ＭＣによって制御される。
前述したように、露光装置Ｄ１では、投影露光に先立って、レチクルＲ上のパターン領域ＰＡとウェハＷ上の各露光領域とを光学的に位置合わせ（アライメント）する必要がある。
【００１４】
オフ・アクシス方式で且つ撮像方式のアライメント装置であるＦＩＡ（Ｆｉｅｌｄ  Ｉｍａｇｅ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）アライメント装置ＡＬは、ウェハマークＷＭ（図１では不図示）の基準座標系におけるＸ方向位置及びＹ方向位置を検出する。ここで、ウェハマークＷＭとは、ウェハＷ上に形成されたパターン（たとえば段差パターン）からなるアライメントマークである。露光装置Ｄ１では、ＦＩＡアライメント装置ＡＬによって検出された位置情報に基づいて、レチクルＲ上のパターン領域ＰＡとウェハＷ上の各露光領域とのアライメントが行われる。
なお、ウェハマークＷＭは、Ｘ方向及びＹ方向にそれぞれ周期性を有する互いに独立した２つの一次元マークであってもよいし、Ｘ方向及びＹ方向に周期性を有する二次元マークであってもよい。
【００１５】
図２は、本実施形態に係るＦＩＡアライメント装置ＡＬの構成の一例を示す図である。
ＦＩＡアライメント装置ＡＬは、光源１を備える。光源１は、超広帯波長域（３８０ｎｍ〜１７００ｎｍ）の照明光を供給する。光源１は、一例として、超広帯波長域（３８０ｎｍ〜１７００ｎｍ）を満たすハロゲンランプ、または、キセノンランプ、ＬＥＤ光源、レーザ励起ランプ光源などである。
【００１６】
光源１からの照明光は、リレーレンズ２を介して、ライトガイド３に入射する。ライトガイド３は、一例として、光ファイバーである。ライトガイド３の内部を伝搬してその射出端から射出された照明光は、リレーレンズ系４（４ａ，４ｂ）を介して、リレーレンズ６に入射する。
【００１７】
リレーレンズ系４の光路中には、光源側から順に、波長フィルター部材２６及び減光フィルター部材２７が設けられている。波長フィルター部材２６は、一例として８つの波長選択フィルターを有し、光路に対して挿脱可能とするためにリレーレンズ系４の光軸と直交する方向に沿って移動可能に構成されている。
【００１８】
ここで、第１波長選択フィルターは、波長が３８０〜４４０ｎｍの光を選択的に透過させる特性を有する。第２波長選択フィルターは、波長が４４０〜５３０ｎｍの光を選択的に透過させる特性を有する。第３波長選択フィルターは、波長が５３０〜６１０ｎｍの光を選択的に透過させる特性を有する。第４波長選択フィルターは、波長が６００〜７１０ｎｍの光を選択的に透過させる特性を有する。第５波長選択フィルターは、波長が７００〜８００ｎｍの光を選択的に透過させる特性を有する。第６波長選択フィルターは、波長が７８０〜９５０ｎｍの光を選択的に透過させる特性を有する。第７波長選択フィルターは、波長が９５０〜１２００ｎｍの光を選択的に透過させる特性を有する。第８波長選択フィルターは、波長が１２００〜１７００ｎｍの光を選択的に透過させる特性を有する。
【００１９】
したがって、第１波長選択フィルター、第２波長選択フィルター、第３波長選択フィルター、第４波長選択フィルター、第５波長選択フィルター、第６波長選択フィルター、第７波長選択フィルター、または第８波長選択フィルターが照明光路中に設定された状態では、波長が３８０〜４４０ｎｍの照明光、波長が４４０〜５３０ｎｍの照明光、波長が５３０〜６１０ｎｍの照明光、波長が６００〜７１０ｎｍの照明光、波長が７００〜８００ｎｍの照明光、波長が７８０〜９５０ｎｍの照明光、波長が９５０〜１２００ｎｍの照明光、または波長が１２００〜１７００ｎｍの照明光が、波長フィルター部材２６を選択的にそれぞれ透過することになる。
【００２０】
また、波長フィルター部材２６が照明光路から完全に退避した状態では、照明光が波長選択されることなく通過することになる。上述したように、波長フィルター部材２６は、光源１が供給する光から所定波長の光を選択してウェハＷの表面へ導く。
【００２１】
波長フィルター部材２６を介した照明光は、減光フィルター部材２７に入射する。減光フィルター部材２７は、３つの減光フィルターを有し、光路に対して挿脱可能とするために、リレーレンズ系４の光軸と直交する方向に沿って移動可能に構成されている。ここで、第１減光フィルターは、入射光の光量を約５０％に減光する特性を有する。また、第２減光フィルターは、入射光の光量を約３０％に減光する特性を有する。さらに、第３減光フィルターは、入射光の光量を約１５％に減光する特性を有する。
【００２２】
したがって、第１減光フィルター、第２減光フィルター、または第３減光フィルターが照明光路中に設定された状態では、入射光の光量が約５０％、約３０％、または約１５％にそれぞれ減光されることになる。また、減光フィルター部材２７が照明光路から完全に退避した状態では、照明光が減光されることなくそのまま通過することになる。このように、減光フィルター部材２７は、入射光を所定光量の光に制限してウェハＷの表面へ導く。
【００２３】
なお、上記に示した波長選択フィルターの波長選択領域及び減光率などは一例であって、これに限定されるものではない。例えば、波長フィルター部材２６は、本実施形態の８つの波長選択フィルターに比べて各々がより広い波長域の光を選択的に透過させる３つの波長選択フィルターを有してもよい。
当該３つの波長選択フィルターは、例えば、波長が３８０〜５３０ｎｍの光を選択的に透過させる特性を有する第１波長選択フィルター、波長が５３０〜９５０ｎｍの光を選択的に透過させる特性を有する第２波長選択フィルター、及び波長が９５０〜１７００ｎｍの光を選択的に透過させる特性を有する第３波長選択フィルターである。
【００２４】
光源１からの照明光は、リレーレンズ６を介して、ライトガイド７に入射する。なお、ライトガイド７は、ランダム光ファイバー、すなわち多数の光ファイバー素線をランダムな配列にして編み込み、入射端面での所定の光量分布を射出端面においてほぼ平坦化することができるものが望ましい。
【００２５】
ライトガイド７の内部を伝搬してその射出端から射出された照明光は、射出端に配置された照明開口絞り（σ絞り）８を介して、コンデンサーレンズ９に入射する。ここで、照明開口絞り８は、後述する第１対物レンズ１５の瞳面と光学的にほぼ共役な面に配置され、ウェハＷに入射する照明光束の開口数を規定するための可変開口部を有する。
【００２６】
コンデンサーレンズ９を介した照明光は、ハーフプリズム１０に入射する。ハーフプリズム１０を透過した照明光は、照明視野絞り１１を介し、さらに照明リレーレンズ１２及びミラー１３を介した後、ハーフプリズム１４に入射する。ここで照明視野絞り１１は、ウェハＷと光学的にほぼ共役な面に配置されてウェハＷ上の照明領域を規定する。ハーフプリズム１４によって反射された照明光は、第１対物レンズ１５を介して、ウェハＷ上に形成されたウェハマークＷＭを照明する。
【００２７】
照明されたウェハマークＷＭからの反射光は、第１対物レンズ１５を介して、ハーフプリズム１４に入射する。ここで当該反射光には、回折光が含まれる。ハーフプリズム１４を透過したウェハマークＷＭからの反射光は、第２対物レンズ１７を介して、ウェハマークＷＭの中間像を形成する。当該中間像の形成位置の近傍には、結像視野絞り１８が配置されている。結像視野絞り１８を介した光束は、第１結像リレーレンズ１９及び結像開口絞り２０を介して、ＸＹ分岐ハーフプリズム２１に入射する。
【００２８】
結像開口絞り２０は、第１対物レンズ１５の射出瞳面と光学的にほぼ共役な面に配置される。結像開口絞り２０は、後述するウェハマーク検出用ＣＣＤ２５ｘ及びウェハマーク検出用ＣＣＤ２５ｙに入射する結像光束の開口数を規定するための可変開口部を有する。
ＸＹ分岐ハーフプリズム２１を透過した光束はＸ方向計測系に導かれる。一方、ＸＹ分岐ハーフプリズム２１で反射された光束はＹ方向計測系に導かれる。
【００２９】
Ｘ方向計測系に導かれた光束は、ミラー２２及び第２結像リレーレンズ２３ｘを介して、ダイクロイックミラー２４ｘに入射する。ダイクロイックミラー２４ｘは、可視光（本実施形態では５３０ｎｍ〜８００ｎｍ）を反射し且つ赤外光（本実施形態では８００ｎｍ〜１７００ｎｍ）を透過させる特性を有する。したがって、ウェハマークＷＭからの反射光のうち可視光は、ダイクロイックミラー２４ｘで反射され、ウェハマーク検出用ＣＣＤ２５ｘに入射する。一方、Ｙ方向計測系に導かれた可視光の光束は、第２結像リレーレンズ２３ｙを介して、ダイクロイックミラー２４ｙに入射する。
【００３０】
ダイクロイックミラー２４ｙは、ダイクロイックミラー２４ｘと同様に、可視光を反射し且つ赤外光を透過させる特性を有する。したがって、ウェハマークＷＭからの反射光のうち可視光は、ダイクロイックミラー２４ｙで反射され、ウェハマーク検出用ＣＣＤ２５ｙに入射する。こうして、ウェハマーク検出用ＣＣＤ２５ｘ及びＣＣＤ２５ｙの撮像面には、ウェハマークＷＭの像が形成される。ウェハマーク検出用ＣＣＤ２５ｘ及びＣＣＤ２５ｙからの出力信号は、図示を省略した信号処理系に供給される。
なお、図２において、ＸＹ分岐ハーフプリズム２１からウェハマーク検出用ＣＣＤ２５ｙ及び赤外光用撮像カメラ３４ｙまでの光路は側面図を用いて示している。
【００３１】
一方、ＸＹ分岐ハーフプリズム２１を透過した赤外反射光は、ミラー２２、第２結像リレーレンズ２３ｘ、及びダイクロイックミラー２４ｘを介して、ミラー３３ｘに入射する。ミラー３３ｘで反射された赤外反射光は、赤外光用撮像カメラ３４ｘに入射する。赤外光用撮像カメラ３４には、例えば、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ−Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサ，ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ−Ｏｘｉｄｅ−Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサなどの撮像素子などが用いられる。
【００３２】
一方、ＸＹ分岐ハーフプリズム２１で反射された赤外反射光は、ミラー２２、第２結像リレーレンズ２３ｙ、及びダイクロイックミラー２４ｙを介して、ミラー３３ｙに入射する。ミラー３３ｙで反射された赤外反射光は、赤外光用撮像カメラ３４ｙに入射する。
こうして、赤外光用撮像カメラ３４ｘ及び赤外光用撮像カメラ３４ｙの撮像面には、ウェハマークＷＭの像が形成される。赤外光用撮像カメラ３４ｘ及び赤外光用撮像カメラ３４ｙからの出力信号は、図示を省略した信号処理系に供給される。
【００３３】
なお、本実施形態では、赤外光用撮像カメラ３４はＸＹ２軸構成である場合について説明したが、これに限らない。赤外光用撮像カメラ３４は、１軸構成であってもよい。
【００３４】
信号処理系では、ウェハマーク検出用ＣＣＤ２５ｘからの出力信号を信号処理（波形処理）することによって、ウェハマークＷＭのＸ方向に沿った位置情報が得られる。また、ウェハマーク検出用ＣＣＤ２５ｙからの出力信号を信号処理（波形処理）することによって、ウェハマークＷＭのＹ方向に沿った位置情報が得られる。
【００３５】
光源１からの照明光で照明されたウェハマークＷＭからの反射光は第１対物レンズ１５を介してハーフプリズム１４に入射するが、ハーフプリズム１４を透過した光は上述したように高倍率計測系へ導かれ、ハーフプリズム１４で反射された光は中倍観察系及び低倍観察系へ導かれる。すなわち、ハーフプリズム１４で反射されたウェハマークＷＭからの反射光は、ミラー１３、照明リレーレンズ１２及び照明視野絞り１１を介して、ハーフプリズム１０に入射する。
【００３６】
ハーフプリズム１０で反射された光は、リレーレンズ４１を介して、ハーフプリズム４２に入射する。ハーフプリズム４２を透過した光は、結像開口絞り４３及びリレーレンズ４４を介して、低倍観察用ＣＣＤ４５に入射する。ここで、結像開口絞り４３は、第１対物レンズ１５の瞳面と光学的にほぼ共役な面に配置され、低倍観察用ＣＣＤ４５に入射する結像光束の開口数を規定するための可変開口部を有する。
【００３７】
一方、ハーフプリズム４２で反射された光は、結像開口絞り４６及びリレーレンズ４７を介して、中倍観察用ＣＣＤ４８に入射する。ここで、結像開口絞り４６は、第１対物レンズ１５の瞳面と光学的にほぼ共役な面に配置され、中倍観察用ＣＣＤ４８に入射する結像光束の開口数を規定するための可変開口部を有する。
こうして、低倍観察用ＣＣＤ４５の撮像面及び中倍観察用ＣＣＤ４８の撮像面には、ウェハマークＷＭの低倍率像及び中倍率像がそれぞれ形成される。低倍観察用ＣＣＤ４５及び中倍観察用ＣＣＤ４８の出力は、図示を省略したモニターに供給される。
なお、本実施形態では、第２対物レンズ１７は無収差の理想的なレンズとする。
【００３８】
上述したように、ＦＩＡアライメント装置ＡＬは、対物レンズ系（第１対物レンズ１５）を含む結像光学系を備え、対物レンズ系（第１対物レンズ１５）を介して形成された物体像を観察する観察装置である。
ここで図３を参照し、第１対物レンズ１５の構成について説明する。
【００３９】
図３は、本実施形態に係る第１対物レンズ１５のレンズ構成の一例を示す図である。第１対物レンズ１５は、物体側（すなわちウェハマークＷＭ側）から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第１部分レンズ群Ｇ２１と、正の屈折力を有する第２部分レンズ群Ｇ２２とを備え、全体として正の屈折力を有し少なくとも一つの正レンズを含む第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを有する。そして、第１レンズ群Ｇ１は、物体側からの発散光束を収斂光束に変換する。また、第１部分レンズ群Ｇ２１は、第１レンズ群Ｇ１からの収斂光束を発散光束に変換する。また、第２部分レンズ群Ｇ２２は、第１部分レンズ群Ｇ２１からの発散光束を収斂光束に変換する。
【００４０】
ここで第１レンズ群Ｇ１が物体側からの発散光束を収斂光束に変換するとは、当該発散光束を第１レンズ群Ｇ１の像側において実像を結ぶ程度に収斂させることである。また、第１レンズ群Ｇ１の倍率β１が０未満であるといってもよい。
【００４１】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１１、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１２、両凹形状の負レンズＬ１３と両凸形状の正レンズＬ１４との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ１１、及び両凹形状の負レンズＬ１５と両凸形状の正レンズＬ１６との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ１２から構成されている。ここで、接合レンズＣＬ１１及び接合レンズＣＬ１２は、それぞれ全体としてメニスカス形状であり、物体側に凹面を向けるように配置されている。
【００４２】
第１レンズ群Ｇ１では、単レンズである正メニスカスレンズＬ１１及び正メニスカスレンズＬ１２において発生した色収差を、正レンズである接合レンズＣＬ１１及び接合レンズＣＬ１２によって減少させている。
【００４３】
第１対物レンズ１５は、以下の条件を満たす。
１．６５  ＜  ｎ１ｍ  ＜  １．９５  …（１３）
３０  ＜  ν１ｍ  ＜  ６０  …（１４）
ｎ１ｍ：第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のメニスカスレンズＭＬ４の硝材Ｍ４のｄ線に対する屈折率、
ν１ｍ：第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のメニスカスレンズＭＬ４の硝材Ｍ４のｄ線に対するアッベ数。
【００４４】
ここで正メニスカスレンズＬ１１は、第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のメニスカスレンズＭＬ４の一例である。先玉であるメニスカスレンズＭＬ４には、屈折率が高く、比較的アッベ数の大きいガラスが使用されることが望ましい。屈折率が高いガラスを用いることで、先玉であるメニスカスレンズＭＬ４の像面側の曲率を小さくすることができる。
【００４５】
第１部分レンズ群Ｇ２１は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と両凸形状の正レンズＬ２２との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２１、負メニスカスレンズＬ２３と両凸形状の正レンズＬ２４との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２２、両凸形状の正レンズＬ２５と両凹形状の負レンズＬ２６との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２３とから構成されている。ここで、接合レンズＣＬ２１はメニスカス形状であり、物体側に凹面を向けるように配置されている。また、接合レンズＣＬ２３はメニスカス形状であり、物体側に凸面を向ける（像側に凹面を向ける）ように配置されている。
【００４６】
第２部分レンズ群Ｇ２２は、物体側から順に、正メニスカスレンズＬ２７、両凹形状の負レンズＬ２８と両凸形状の正レンズＬ２９との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２４、両凸形状の正レンズＬ２１０と両凸形状の正レンズＬ２１１との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２５、両凹形状の負レンズＬ２１２、及び正メニスカスレンズＬ２１３から構成されている。ここで、接合レンズＣＬ２４及びＣＬ２５は、それぞれ全体としてメニスカス形状であり、物体側に凹面を向ける（像側に凸面を向ける）ように配置されている。
【００４７】
第２レンズ群Ｇ２は、主に二次スペクトルを含む色収差を補正するためのレンズ群である。
第１部分レンズ群Ｇ２１は、第２部分レンズ群Ｇ２２における一次の色収差の補正不足を補うため、接合レンズＣＬ２１、接合レンズＣＬ２２、及び接合レンズＣＬ２３により、やや過剰に一次の色収差補正を行う。
第２部分レンズ群Ｇ２２は、正レンズにフリント系の硝材を用いており、一次の色収差を発生させることで二次スペクトルの残渣成分を相殺する役割を担っている。
【００４８】
第１対物レンズ１５は、以下の条件を満たす。
３０  ＜  ν２ｐ  ＜  ５０  …（１）
−０．００４  ＜  Δθ２ｐ（ｇＦ）  ＜  −０．００１５  …（２）
−０．００３  ＜  Δθ２ｐ（ｃｔ）  ＜  ０．００３  …（３）
ただし、
ν２ｐ：第２レンズ群Ｇ２に含まれる少なくとも一つの正レンズＰＬ１の硝材Ｍ１のアッベ数、
Δθ２ｐ（ｇＦ）：第２レンズ群Ｇ２に含まれる少なくとも一つの正レンズＰＬ１の硝材Ｍ１のｇＦ異常分散性を示す値、
Δθ２ｐ（Ｃｔ）：第２レンズ群Ｇ２に含まれる少なくとも一つの正レンズＰＬ１の硝材Ｍ１のＣｔ異常分散性を示す値。
【００４９】
ここで異常分散性について説明する。
二次スペクトルの色消しの効果を有効にするには、輝線ｘ及び輝線ｙについて、その部分分散比θｘ，ｙとアッベ数νｄとの間の関係をある関係にすることが要求される。ここで部分分散比θｘ，ｙは、式（１８）によって示される。
【００５０】
【数１】
2020086406.tif 000003
【００５１】
各硝材の部分分散比θｘ，ｙとアッベ数νｄとの関係は、アッベ数νｄを横軸とし部分分散比θｘ，ｙを縦軸とする座標平面上における点として図示することができる。当該座標平面を、θｘ，ｙ−νｄ図という。
【００５２】
θｘ，ｙ−νｄ図中、多数の硝材は直線に沿って分布する。θｘ，ｙ−νｄ図において、当該直線から離れた位置にある点に対応する硝材は異常分散性のあることを示す。
本明細書においては、θｘ，ｙ−νｄ図において、当該硝材に対応する点の横軸の座標の値における、基準線と当該硝材に対応する点との縦軸の座標の値（部分分散比θｘ，ｙ）の差が、異常分散性を示す値Δθｘ，ｙとして定義される。なお、当該硝材の部分分散比θｘ，ｙが基準線よりも上側にある場合にΔθｘ，ｙは正の値をとり、基準線よりも下側にある場合にΔθｘ，ｙは負の値をとる。
また、本明細書における基準線とは、５１１６０５−ＮＳＬ７及び６２０３６３−ＰＢＭ２（ともに株式会社オハラ社製の硝材名）を基準材として選び、θｘ，ｙ−νｄ図において、５１１６０５−ＮＳＬ７に対応する点と６２０３６３−ＰＢＭ２に対応する点とを結ぶ直線として定義される。
【００５３】
下記の表に５１１６０５−ＮＳＬ７及び６２０３６３−ＰＢＭ２の部分分散比θｘ，ｙと、アッベ数νｄとを示す。
θＣ，ｔ      θＣ，Ａ’    θｇ，ｄ    θｇ，Ｆ    θｉ，ｇ    ｖｄ
ＮＳＬ７    0.8305        0.3492        1.2391      0.5436      1.2185    60.49
ＰＢＭ２    0.7168        0.3198        1.2894      0.5828      1.4214    36.26
【００５４】
ここで正メニスカスレンズＬ２７は、正レンズＰＬ１の一例である。
第１レンズ群Ｇ１は正の屈折力を有し光束を収斂させる。第１部分レンズ群Ｇ２１に入射する収斂光束は、当該第１部分レンズ群Ｇ２１によって発散され、続く第２部分レンズ群Ｇ２２に入射する発散光束は当該第２部分レンズ群Ｇ２２によって収斂される。第１対物レンズ１５では、第２部分レンズ群Ｇ２２に負の異常分散性を持つ硝材Ｍ１を配置することによって、長波長の倍率色収差が過剰にマイナスになることを抑制している。式（１）〜（３）は、硝材Ｍ１が長波長の倍率色収差が過剰にマイナスになるのを抑制するための条件式である。
【００５５】
第１対物レンズ１５は、以下の条件を満たしてもよい。
３  ＜  ｆ２／ｆ１    ＜  ４５  …（４）
１．１  ＜  Ｅ２／Ｅ１    ＜  ２．０  …（５）
ただし、
ｆ１：第１レンズ群Ｇ１の焦点距離、
Ｅ１：第１レンズ群Ｇ１の最大有効直径、
ｆ２：第２レンズ群Ｇ２の焦点距離、
Ｅ２：第２レンズ群Ｇ２の最大有効直径。
【００５６】
条件式（４）及び条件式（５）は、第２レンズ群Ｇ２が有する負の屈折力の適切な範囲を、有効直径の比によって規定するための条件式である。なお、ここでの有効直径とは、各レンズ面を通過する全光束の最大直径とする。
【００５７】
第１対物レンズ１５では、第２レンズ群Ｇ２は、正レンズと負レンズとからなる第１接合レンズと、正レンズと負レンズとからなる第２接合レンズとを有する。
第１対物レンズ１５は、以下の条件を満たしてもよい。
４５  ＜  ν２ｎ  ＜  ５５  …（６）
−０．００６  ＜  Δθ２ｎ（ｇＦ）  ＜  ０  …（７）
−０．０１５  ＜  Δθ２ｎ（ｃｔ）  ＜  −０．００８  …（８）
ただし、
ν２ｎ：第１接合レンズおよび第２接合レンズのうち少なくとも一方に含まれる負レンズＮＬ２の硝材Ｍ２のアッベ数、
Δθ２ｎ（ｇＦ）：第１接合レンズおよび第２接合レンズのうち少なくとも一方に含まれる負レンズＮＬ２の硝材Ｍ２のｇＦ異常分散性を示す値、
Δθ２ｎ（ｃｔ）：第１接合レンズおよび第２接合レンズのうち少なくとも一方に含まれる負レンズＮＬ２の硝材Ｍ２のｃｔ異常分散性を示す値。
【００５８】
なお、ｇＦ異常分散性を示す値とはΔθｇ，Ｆのことであり、ｃｔ異常分散性を示す値とはΔθｃ，ｔのことである。
【００５９】
ここで両凹形状の負レンズＬ２１、及び両凹形状の負レンズＬ２６は、負レンズＮＬ２の一例である。
条件式（６）〜（８）は、第２レンズ群Ｇ２に用いられる負レンズＮＬ２の硝材Ｍ２の部分分散比の異常分散性を規定するための条件式である。
第２レンズ群Ｇ２の第１部分レンズ群Ｇ２１に含まれる接合レンズの正レンズの多くは、通常の可視域の色収差補正と同様に低分散で正の異常分散性を有する硝材が使用される。これらの硝材と組み合わせられる負レンズは、理想的には部分分散比の同じものが望ましいが、ガラスの特性上、近紫外領域から近赤外領域にわたりそれぞれの領域で部分分散比を一致させることができない。例えば、可視光だけを考えれば、できるだけ部部分分散比を近付けるために負レンズにはΔθｇ，Ｆのなるべく小さい硝材を選択すればよいが、あまり小さいとそれより長波長側での色収差を過剰に補正しすぎてしまう傾向がある。したがって、硝材Ｍ２は、組み合わせる正レンズとの部分分散比の差が大きすぎない範囲とし、ｇＦ異常分散性、及びｃｔ異常分散性は、ややマイナスであることが望ましい。硝材Ｍ２は、一例として、Ｓ−ＬＡＬ５８（株式会社オハラ社製の硝材名）である。
【００６０】
第１対物レンズ１５は、以下の条件を満たしてもよい。
５５  ＜  ν２ｎ  ＜  ６５…（９）
−０．００２  ＜  Δθ２ｎ（ｇＦ）  ＜  ０  …（１０）
−０．００６  ＜  Δθ２ｎ（ｃｔ）  ＜  ０  …（１１）
−０．００６  ＜  Δθ２ｎ（ｉｇ）  ＜  ０  …（１２）
ただし、
ν２ｎ：第１接合レンズおよび第２接合レンズのうち少なくとも一方に含まれる負レンズＮＬ３の硝材Ｍ３のアッベ数、
Δθ２ｎ（ｇＦ）：第１接合レンズおよび第２接合レンズのうち少なくとも一方に含まれる負レンズＮＬ３の硝材Ｍ３のｇＦ異常分散性を示す値、
Δθ２ｎ（ｃｔ）：第１接合レンズおよび第２接合レンズのうち少なくとも一方に含まれる負レンズＮＬ３の硝材Ｍ３のｃｔ異常分散性を示す値、
Δθ２ｎ（ｉｇ）：第１接合レンズおよび第２接合レンズのうち少なくとも一方に含まれる負レンズＮＬ３の硝材Ｍ３のｉｇ異常分散性を示す値。
【００６１】
なお、ｇＦ異常分散性を示す値とはΔθｇ，Ｆのことであり、ｃｔ異常分散性を示す値とはΔθｃ，ｔのことであり、ｉｇ異常分散性を示す値とはΔθｉ，ｇのことである。
【００６２】
ここで両凹形状の負レンズＬ２８、及び両凸形状の正レンズＬ２１０は、負レンズＮＬ３の一例である。
条件式（９）〜（１２）は、第２レンズ群Ｇ２に用いられる負レンズＮＬ３の硝材Ｍ３の部分分散比の異常分散性を規定するための条件式である。これらも、条件式（６）〜（８）で定められた条件と同様に、短波長から長波長に亘る広い帯域で二次スペクトルの発生をできるだけ小さく抑えるためのものであり、さらに近紫外領域を含めた部分分散比θｉ，ｇについての条件を定めている。硝材Ｍ３のそれぞれの異常分散性を示す値は０から僅かなマイナスであることが望ましい。硝材Ｍ３は、一例としてＳ−ＢＡＬ１２（株式会社オハラ社製の硝材名）である。
なお、条件式（６）〜（８）を満たす硝材Ｍ２と条件式（９）〜（１２）を満たす硝材Ｍ３はどちらも近い役割を担っており、いずれか一方の硝材を用いるだけでも効果があるが、より好ましくは両方の硝材を用いることで更なる二次スペクトルの低減が期待できる。
【００６３】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、負メニスカスレンズＬ３１、両凹形状の負レンズＬ３２、正メニスカスレンズＬ３３、及び正メニスカスレンズＬ３４から構成されている。ここで、負メニスカスレンズＬ３１と正メニスカスレンズＬ３３とは、物体側に凹面を向けるように配置されている。また、正メニスカスレンズＬ３４は、物体側に凸面を向ける（像側に凹面を向ける）ように配置されている。
第３レンズ群Ｇ３は、第２レンズ群Ｇ２による収斂光束を、結像レンズに導く。第３レンズ群Ｇ３は、当該収斂光束を略平行にして結像レンズに導いてもよい。
【００６４】
第１対物レンズ１５は、以下の条件を満たしてもよい。
５５  ＜  ν３ｎ    ＜  ９６  …（１５）
３０  ＜  ν３ｐ    ＜  ５０  …（１６）
０．００５  ＜  Δθ３ｐ（ｃｔ）  ＜  ０．０２  …（１７）
ν３ｎ：第３レンズ群Ｇ３に含まれる少なくとも１つの負レンズＭＬ５の硝材Ｍ５のアッベ数、
ν３ｐ：第３レンズ群Ｇ３に含まれる少なくとも１つの正レンズＰＬ６の硝材Ｍ６のアッベ数、
Δθ２ｐ（ｃｔ）：第３レンズ群Ｇ３に含まれる少なくとも１つの正レンズＰＬ６の硝材Ｍ６のｃｔ異常分散性を示す値。
【００６５】
なお、ｃｔ異常分散性を示す値とはΔθｃ，ｔのことである。
【００６６】
ここで負メニスカスレンズＬ３１は、負レンズＭＬ５の一例である。正メニスカスレンズＬ３４は、正レンズＰＬ６の一例である。
条件式（１５）〜（１７）は可視光での倍率色収差を補正しつつ、長波長側の主光線に関する倍率色収差が補正過剰となり、倍率色収差がマイナスに行き過ぎるのを防いでいる。そのため、第３レンズ群Ｇ３は、全体では弱い負レンズ色消しではあるが、異常分散性に関しては少なくとも一つの凸レンズ（正レンズＰＬ６）のΔθｃ，ｔが正の値となる。
【００６７】
下記の表１に、第１実施例における各諸元の値を示す。
【００６８】
【表１】
2020086406.tif 000004
【００６９】
図４は、本実施形態に係る第１対物レンズ１５と、無収差で特定の焦点距離を持つ理想レンズとから構成された結像光学系の球面収差、非点収差及び歪曲収差の一例を示す図である。また、図５は、本実施形態に係る第１対物レンズ１５から構成された結像光学系のフォーカスシフトの一例を示す図である。
【００７０】
図４の各収差図において、Ｙは像高（ｍｍ）を示している。各収差図において、１８本の実線は、１７００ｎｍ、１６００ｎｍ、１５００ｎｍ、１４００ｎｍ、１３００ｎｍ、１２００ｎｍ、１１２８ｎｍ、１０１３ｎｍ、９５０ｎｍ、８５２ｎｍ、７６８ｎｍ、６５６ｎｍ、５８７ｎｍ、５４６ｎｍ、４８６ｎｍ、４３５ｎｍ、４０４ｎｍ、３８０ｎｍの波長の光をそれぞれ示している。
また、非点収差を示す収差図において、実線はサジタル像面を示し、破線はタンジェンシャル像面を示している。
図５のフォーカスシフトを示す図では、３８０ｎｍ〜１７００ｎｍの波長帯域において、５８７ｎｍのフォーカス位置を基準とした波長ごとのフォーカス位置（ｍｍ）を示している。
【００７１】
図４及び図５から明らかなように、本実施形態の第１対物レンズ１５から構成された結像光学系は、広い波長帯域に亘って色収差が良好に補正され、良好な光学性能を有することが分かる。
【００７２】
以下、第２実施形態から第５実施形態において、上述した第１実施形態における第１対物レンズ１５の構成の他の例について説明する。露光装置Ｄ１及びＦＩＡ系アライメント装置ＡＬの構成は、各実施形態において共通である。
【００７３】
（第２実施形態）
第２実施形態について、図６〜図８及び表２を用いて説明する。
図６は、本実施形態に係る第１対物レンズ１５のレンズ構成の一例を示す図である。第１対物レンズ１５は、物体側（すなわちウェハマークＷＭ側）から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第１部分レンズ群Ｇ２１と、正の屈折力を有する第２部分レンズ群Ｇ２２とを備え、全体として正の屈折力を有し少なくとも一つの正レンズを含む第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。そして、第１レンズ群Ｇ１は、物体側からの発散光束を収斂光束に変換する。また、第１部分レンズ群Ｇ２１は、第１レンズ群Ｇ１からの収斂光束を発散光束に変換する。また、第２部分レンズ群Ｇ２２は、第１部分レンズ群Ｇ２１からの発散光束を収斂光束に変換する。
【００７４】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１１、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１２、両凸形状の正レンズＬ１３と負メニスカスレンズＬ１４との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ１１、及び両凸形状の正レンズＬ１５と負メニスカスレンズＬ１６との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ１２から構成される。
ここで正メニスカスレンズＬ１１は、第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のメニスカスレンズＭＬ４の一例である。
【００７５】
第１部分レンズ群Ｇ２１は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と両凸形状の正レンズＬ２２との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２１、両凸形状の正レンズＬ２３と負メニスカスレンズＬ２４との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２２、両凸形状の正レンズＬ２５と両凹形状の負レンズＬ２６との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２３、両凸形状の正レンズＬ２７と両凹形状の負レンズＬ２８との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２４、及び両凸形状の正レンズＬ２９と両凹形状の負レンズＬ２１０との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２５から構成される。ここで、接合レンズＣＬ２１は全体としてメニスカス形状であり、物体側に凹面を向けるように配置されている。また、接合レンズＣＬ２４は全体としてメニスカス形状であり、像側に凹面を向けるように配置されている。
ここで両凹形状の負レンズＬ２６は、接合レンズＣＬの少なくとも１つの負レンズＮＬ２の一例である。両凹形状の負レンズＬ２８は、第２レンズ群Ｇ２の接合レンズＣＬのうち少なくとも１つの負レンズＮＬ３の一例である。
【００７６】
第２部分レンズ群Ｇ２２は、両凸形状の正レンズＬ２１１、及び物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２１２から構成される。
ここで両凸形状の正レンズＬ２１１は、第２レンズ群Ｇ２に含まれる少なくとも一つの正レンズＰＬ１の一例である。
【００７７】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、両凸形状の正レンズＬ３３、及び両凹形状の負レンズＬ３４から構成される。
ここで両凹形状の負レンズＬ３４は、第３レンズ群Ｇ３に含まれる少なくとも１つの負レンズＭＬ５の一例である。両凸形状の正レンズＬ３２は、第３レンズ群Ｇ３に含まれる少なくとも１つの正レンズＰＬ６の一例である。
【００７８】
下記の表２に、第２実施形態における各諸元の値を示す。
【００７９】
【表２】
2020086406.tif 000005
【００８０】
図７は、本実施形態に係る第１対物レンズ１５と、無収差で特定の焦点距離を持つ理想レンズとから構成された結像光学系の球面収差、非点収差及び歪曲収差の一例を示す図である。また、図８は、本実施形態に係る第１対物レンズ１５から構成された結像光学系のフォーカスシフトの一例を示す図である。
【００８１】
図７の各収差図において、Ｙは像高（ｍｍ）を示している。各収差図において、１８本の実線は、１７００ｎｍ、１６００ｎｍ、１５００ｎｍ、１４００ｎｍ、１３００ｎｍ、１２００ｎｍ、１１２８ｎｍ、１０１３ｎｍ、９５０ｎｍ、８５２ｎｍ、７６８ｎｍ、６５６ｎｍ、５８７ｎｍ、５４６ｎｍ、４８６ｎｍ、４３５ｎｍ、４０４ｎｍ、３８０ｎｍの波長の光をそれぞれ示している。
また、非点収差を示す収差図において、実線はサジタル像面を示し、破線はタンジェンシャル像面を示している。
図８のフォーカスシフトを示す図では、３８０ｎｍ〜１７００ｎｍの波長帯域において、５８７ｎｍのフォーカス位置を基準とした波長ごとのフォーカス位置（ｍｍ）を示している。
【００８２】
図７及び図８から明らかなように、本実施形態の第１対物レンズ１５から構成された結像光学系では、広い波長帯域において色収差が良好に補正され、良好な光学性能を有することが分かる。
【００８３】
（第３実施形態）
第３実施形態について、図９〜図１１及び表３を用いて説明する。
図９は、本実施形態に係る第１対物レンズ１５のレンズ構成の一例を示す図である。第１対物レンズ１５は、物体側（すなわちウェハマークＷＭ側）から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第１部分レンズ群Ｇ２１と、正の屈折力を有する第２部分レンズ群とを備え、全体として正の屈折力を有し少なくとも一つの正レンズを含む第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。そして、第１レンズ群Ｇ１は、物体側からの発散光束を収斂光束に変換する。また、第１部分レンズ群Ｇ２１は、第１レンズ群Ｇ１からの収斂光束を発散光束に変換する。また、第２部分レンズ群Ｇ２２は、第１部分レンズ群Ｇ２１からの発散光束を収斂光束に変換する。
【００８４】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１１、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１２、両凸形状の正レンズＬ１３と負メニスカスレンズＬ１４との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ１１、及び両凸形状の正レンズＬ１５と負メニスカスレンズＬ１６との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ１２から構成される。
ここで正メニスカスレンズＬ１１は、第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のメニスカスレンズＭＬ４の一例である。
【００８５】
第１部分レンズ群Ｇ２１は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と両凸形状の正レンズＬ２２との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２１、正メニスカスレンズＬ２３と負メニスカスレンズＬ２４との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２２、両凸形状の正レンズＬ２５と両凹形状の負レンズＬ２６との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２３、両凸形状の正レンズＬ２７と両凹形状の負レンズＬ２８との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２４、及び両凸形状の正レンズＬ２９と両凹形状の負レンズＬ２１０との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２５から構成される。ここで、接合レンズＣＬ２１は、全体としてメニスカス形状であり、物体側に凹面を向けるように配置されており、接合レンズＣＬ２３は、全体としてメニスカス形状であり、像側に凹面を向けるように配置されている。
ここで両凹形状の負レンズＬ２６は、接合レンズＣＬの少なくとも１つの負レンズＮＬ２の一例である。両凹形状の負レンズＬ２８は、第２レンズ群Ｇ２の接合レンズＣＬのうち少なくとも１つの負レンズＮＬ３の一例である。
【００８６】
第２部分レンズ群Ｇ２２は、両凸形状の正レンズＬ２１１、及び物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２１２から構成される。
ここで両凸形状の正レンズＬ２１１は、第２レンズ群Ｇ２に含まれる少なくとも一つの正レンズＰＬ１の一例である。
【００８７】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、両凸形状の正レンズＬ３３、及び両凹形状の負レンズＬ３４から構成される。
ここで両凹形状の負レンズＬ３４は、第３レンズ群Ｇ３に含まれる少なくとも１つの負レンズＭＬ５の一例である。両凸形状の正レンズＬ３２は、第３レンズ群Ｇ３に含まれる少なくとも１つの正レンズＰＬ６の一例である。
【００８８】
下記の表３に、第３実施形態における各諸元の値を示す。
【００８９】
【表３】
2020086406.tif 000006
【００９０】
図１０は、本実施形態に係る第１対物レンズ１５と、無収差で特定の焦点距離を持つ理想レンズとから構成された結像光学系の球面収差、非点収差及び歪曲収差の一例を示す図である。また、図１１は、本実施形態に係る第１対物レンズ１５から構成された結像光学系のフォーカスシフトの一例を示す図である。
【００９１】
図１０の各収差図において、Ｙは像高（ｍｍ）を示している。各収差図において、１８本の実線は、１７００ｎｍ、１６００ｎｍ、１５００ｎｍ、１４００ｎｍ、１３００ｎｍ、１２００ｎｍ、１１２８ｎｍ、１０１３ｎｍ、９５０ｎｍ、８５２ｎｍ、７６８ｎｍ、６５６ｎｍ、５８７ｎｍ、５４６ｎｍ、４８６ｎｍ、４３５ｎｍ、４０４ｎｍ、３８０ｎｍの波長の光をそれぞれ示している。
また、非点収差を示す収差図において、実線はサジタル像面を示し、破線はタンジェンシャル像面を示している。
図１１のフォーカスシフトを示す図では、３８０ｎｍ〜１７００ｎｍの波長帯域において、５８７ｎｍのフォーカス位置を基準とした波長ごとのフォーカス位置（ｍｍ）を示している。
【００９２】
図１０及び図１１から明らかなように、本実施形態の第１対物レンズ１５から構成された結像光学系では、広い波長帯域において色収差が良好に補正され、良好な光学性能を有することが分かる。
【００９３】
（第４実施形態）
第４実施形態について、図１２〜図１４及び表３を用いて説明する。
図１２は、本実施形態に係る第１対物レンズ１５のレンズ構成の一例を示す図である。第１対物レンズ１５は、物体側（すなわちウェハマークＷＭ側）から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第１部分レンズ群Ｇ２１と、正の屈折力を有する第２部分レンズ群Ｇ２２とを備え、全体として正の屈折力を有し少なくとも一つの正レンズを含む第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。そして、第１レンズ群Ｇ１は、物体側からの発散光束を収斂光束に変換する。また、第１部分レンズ群Ｇ２１は、第１レンズ群Ｇ１からの収斂光束を発散光束に変換する。また、第２部分レンズ群Ｇ２２は、第１部分レンズ群Ｇ２１からの発散光束を収斂光束に変換する。
【００９４】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１１、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１２、負メニスカスレンズＬ１３と両凸形状の正レンズＬ１４との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ１１、及び負メニスカスレンズＬ１５と両凸形状の正レンズＬ１６との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ１２から構成される。
ここで正メニスカスレンズＬ１１は、第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のメニスカスレンズＭＬ４の一例である。
【００９５】
第１部分レンズ群Ｇ２１は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と両凸形状の正レンズＬ２２との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２１、両凸形状の正レンズＬ２３と負メニスカスレンズＬ２４との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２２、両凸形状の正レンズＬ２５と負メニスカスレンズＬ２６との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２３、両凸形状の正レンズＬ２７と両凹形状の負レンズＬ２８との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２４、及び両凸形状の正レンズＬ２９と両凹形状の負レンズＬ２１０との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２５から構成される。ここで、接合レンズＣＬ２１は、全体としてメニスカス形状であり、物体側に凹面を向けるように配置されている。また、接合レンズＣＬ２５は、全体としてメニスカス形状であり、像側に凹面を向けるように配置されている。
ここで負メニスカスレンズＬ２６は、接合レンズＣＬの少なくとも１つの負レンズＮＬ２の一例である。両凹形状の負レンズＬ２８は、第２レンズ群Ｇ２の接合レンズＣＬのうち少なくとも１つの負レンズＮＬ３の一例である。
【００９６】
第２部分レンズ群Ｇ２２は、負メニスカスレンズＬ２１１と両凸形状の正レンズＬ２１２との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２６から構成される。
ここで両凸形状の正レンズＬ２１２は、第２レンズ群Ｇ２に含まれる少なくとも一つの正レンズＰＬ１の一例である。
【００９７】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、像側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３３、及び両凹形状の負レンズＬ３４から構成される。
ここで両凹形状の負レンズＬ３４は、第３レンズ群Ｇ３に含まれる少なくとも１つの負レンズＭＬ５の一例である。両凸形状の正レンズＬ３２は、第３レンズ群Ｇ３に含まれる少なくとも１つの正レンズＰＬ６の一例である。
【００９８】
下記の表４に、第４実施形態における各諸元の値を示す。
【００９９】
【表４】
2020086406.tif 000007
【０１００】
図１３は、本実施形態に係る第１対物レンズ１５と、無収差で特定の焦点距離を持つ理想レンズとから構成された結像光学系の球面収差、非点収差及び歪曲収差の一例を示す図である。また、図１４は、本実施形態に係る第１対物レンズ１５から構成された結像光学系のフォーカスシフトの一例を示す図である。
【０１０１】
図１３の各収差図において、Ｙは像高（ｍｍ）を示している。各収差図において、１８本の実線は、１７００ｎｍ、１６００ｎｍ、１５００ｎｍ、１４００ｎｍ、１３００ｎｍ、１２００ｎｍ、１１２８ｎｍ、１０１３ｎｍ、９５０ｎｍ、８５２ｎｍ、７６８ｎｍ、６５６ｎｍ、５８７ｎｍ、５４６ｎｍ、４８６ｎｍ、４３５ｎｍ、４０４ｎｍ、３８０ｎｍの波長の光をそれぞれ示している。
また、非点収差を示す収差図において、実線はサジタル像面を示し、破線はタンジェンシャル像面を示している。
図１４のフォーカスシフトを示す図では、３８０ｎｍ〜１７００ｎｍの波長帯域において、５８７ｎｍのフォーカス位置を基準とした波長ごとのフォーカス位置（ｍｍ）を示している。
【０１０２】
図１３及び図１４から明らかなように、本実施形態の第１対物レンズ１５から構成された結像光学系では、多波長の波長の広い帯域において色収差が良好に補正され、良好な光学性能を有することが分かる。
【０１０３】
（第５実施形態）
第５実施形態について、図１５〜図１７及び表５を用いて説明する。
図１５は、本実施形態に係る第１対物レンズ１５のレンズ構成の一例を示す図である。
本実施形態では、光源１が供給する照明光の波長帯域は、上述した実施形態１〜４に比べて狭い。光源１は、一例として、波長が３８０〜１４００ｎｍの照明光を供給する。
【０１０４】
第１対物レンズ１５は、物体側（すなわちウェハマークＷＭ側）から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第１部分レンズ群Ｇ２１と、正の屈折力を有する第２部分レンズ群Ｇ２２とを備え、全体として正の屈折力を有し少なくとも一つの正レンズを含む第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。そして、第１レンズ群Ｇ１は、物体側からの発散光束を収斂光束に変換する。また、第１部分レンズ群Ｇ２１は、第１レンズ群Ｇ１からの収斂光束を発散光束に変換する。また、第２部分レンズ群Ｇ２２は、第１部分レンズ群Ｇ２１からの発散光束を収斂光束に変換する。
【０１０５】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１１、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１２、両凹形状の負レンズＬ１３と両凸形状の正レンズＬ１４との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ１１、及び負メニスカスレンズＬ１５と両凸形状の正レンズＬ１６との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ１２から構成されている。ここで、接合レンズＣＬ１１は、全体としてメニスカス形状であり、物体側に凹面を向けるように配置されている。
正メニスカスレンズＬ１１は、第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のメニスカスレンズＭＬ４の一例である。
【０１０６】
第１部分レンズ群Ｇ２１は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と両凸形状の正レンズＬ２２との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２１、両凹形状の負レンズＬ２３と両凸形状の正レンズＬ２４との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２２、及び負メニスカスレンズＬ２５と両凸形状の正レンズＬ２６との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２３から構成される。ここで、接合レンズＣＬ２１およびＣＬ２２は、全体としてメニスカス形状であり、物体側に凹面を向けるように配置されている。この第５実施形態においても、上述の第１実施形態から第４実施形態と同様に、第１部分レンズ群Ｇ２１のうち最も物体側に配置されるレンズの物体側のレンズ面は物体側に凹面を向けている。
ここで両凹形状の負レンズＬ２３は、接合レンズＣＬの少なくとも１つの負レンズＮＬ２の一例である。
【０１０７】
第２部分レンズ群Ｇ２２は、物体側から順に、負メニスカスレンズＬ２７と正メニスカスレンズＬ２８との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２４、両凹形状の負レンズＬ２９と両凸形状の正レンズＬ２１０との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２５、及び両凹形状の負レンズＬ２１１と両凸形状の正レンズＬ２１２との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ２６から構成される。ここで、接合レンズＣＬ２４からＣＬ２６は、全体としてメニスカス形状であり、物体側に凹面を向けるように配置されている。
ここで正メニスカスレンズＬ２８は、第２レンズ群Ｇ２に含まれる少なくとも一つの正レンズＰＬ１の一例である。負メニスカスレンズＬ２７は、第２レンズ群Ｇ２の接合レンズＣＬのうち少なくとも１つの負レンズＮＬ３の一例である。
【０１０８】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、負メニスカスレンズＬ３１と正メニスカスレンズＬ３２との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との貼り合わせからなる接合レンズＣＬ３２、及び負メニスカスレンズＬ３５から構成される。ここで、接合レンズＣＬ３１は、全体としてメニスカス形状であり、物体側に凹面を向けるように配置されており、接合レンズＣＬ３２は、全体としてメニスカス形状であり、像側に凹面を向けるように配置されている。この第５実施形態においても、上述の第１実施形態から第４実施形態と同様に、第３レンズ群Ｇ３のうち最も物体側に配置されるレンズの物体側のレンズ面は物体側に凹面を向けている。
ここで負メニスカスレンズＬ３１は、第３レンズ群Ｇ３に含まれる少なくとも１つの負レンズＭＬ５の一例である。正メニスカスレンズＬ３２は、第３レンズ群Ｇ３に含まれる少なくとも１つの正レンズＰＬ６の一例である。
【０１０９】
下記の表５に、第５実施形態における各諸元の値を示す。
【０１１０】
【表５】
2020086406.tif 000008
【０１１１】
図１６は、本実施形態に係る第１対物レンズ１５と、無収差で特定の焦点距離を持つ理想レンズとから構成された結像光学系の球面収差、非点収差及び歪曲収差の一例を示す図である。また、図１７は、本実施形態に係る第１対物レンズ１５から構成された結像光学系のフォーカスシフトの一例を示す図である。
【０１１２】
図１６の各収差図において、Ｙは像高（ｍｍ）を示している。各収差図において、１８本の実線は、１７００ｎｍ、１６００ｎｍ、１５００ｎｍ、１４００ｎｍ、１３００ｎｍ、１２００ｎｍ、１１２８ｎｍ、１０１３ｎｍ、９５０ｎｍ、８５２ｎｍ、７６８ｎｍ、６５６ｎｍ、５８７ｎｍ、５４６ｎｍ、４８６ｎｍ、４３５ｎｍ、４０４ｎｍ、３８０ｎｍの波長の光をそれぞれ示している。
また、非点収差を示す収差図において、実線はサジタル像面を示し、破線はタンジェンシャル像面を示している。
図１７のフォーカスシフトを示す図では、３８０ｎｍ〜１７００ｎｍの波長帯域において、５８７ｎｍのフォーカス位置を基準とした波長ごとのフォーカス位置（ｍｍ）を示している。
【０１１３】
図１６及び図１７から明らかなように、本実施形態の第１対物レンズ１５から構成された結像光学系では、多波長の波長の広い帯域において色収差が良好に補正され、良好な光学性能を有することが分かる。
【０１１４】
上述の各実施形態にかかる露光装置Ｄ１では、露光用照明系ＩＬによってマスク（レチクルＲ）を照明し（照明工程）、投影光学系ＰＬを用いてマスクに形成された転写用のパターンを感光性材料が塗布された基板に露光する（露光工程）ことにより、マイクロデバイス（半導体素子、撮像素子、液晶表示素子、薄膜磁気ヘッド等）を製造することができる。
【０１１５】
ここで、上述の各実施形態の露光装置Ｄ１を用いて基板としてのウェハＷ等に所定の回路パターンを形成することによって、マイクロデバイスとしての半導体デバイスを得る際の手法の一例につき図１８のフローチャートを参照して説明する。
図１８は、各実施形態に係るマイクロデバイスとしての半導体デバイスを得る際の手法の一例を示すフローチャートである。
【０１１６】
ステップＳ１００（蒸着工程）：ロットＬＴ１のウェハＷ１上に金属膜が蒸着される。
ステップＳ１１０（塗布工程）：ロットＬＴ１のウェハＷ１上の金属膜上にフォトレジストが塗布される。
ステップＳ１２０（露光工程）：上述の実施形態の露光装置Ｄ１を用いて、マスク上のパターンの像がその投影光学系ＰＬを介して、ロットＬＴ１のウェハＷ１上の各ショット領域に順次露光転写される。つまり、ステップＳ１２０（露光工程）では、露光装置Ｄ１を用いてマスクのパターンを感光性基板へ露光する。
【０１１７】
ステップＳ１３０（現像工程）：ロットＬＴ１のウェハＷ１上のフォトレジストの現像が行われる。つまり、ステップＳ１３０（現像工程）では、露光された感光性基板を現像する。
ステップＳ１４０（エッチング工程）：ロットＬＴ１のウェハＷ１上において、レジストパターンをマスクとしてエッチングが行われる。エッチングによって、マスク上のパターンに対応する回路パターンが、各ウェハ上の各ショット領域に形成される。
【０１１８】
その後、更に上のレイヤの回路パターンの形成等を行うことによって、半導体素子等のデバイスが製造される。上述の半導体デバイス製造方法によれば、極めて微細な回路パターンを有する半導体デバイスをスループット良く得ることができる。
【０１１９】
また、上述の実施形態の露光装置Ｄ１では、プレート（ガラス基板）上に所定のパターン（回路パターン、電極パターン等）を形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることもできる。以下、図１９のフローチャートを参照して、このときの手法の一例につき説明する。
【０１２０】
図１９は、各実施形態に係るマイクロデバイスとしての液晶表示素子を得る際の手法の一例を示すフローチャートである。
ステップＳ２００（パターン形成工程）：上述の実施形態の露光装置Ｄ１を用いてマスクのパターンを感光性材料が塗布された基板（レジストが塗布されたガラス基板等）に転写露光する、所謂光リソグラフィー工程が実行される。当該光リソグラフィー工程によって、感光性基板上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。その後、露光された基板は、現像工程、エッチング工程、レチクル剥離工程等の各工程を経ることによって、基板上に所定のパターンが形成される。なお、基板は可撓性を有する基板であってもよい。
【０１２１】
ステップＳ２１０（カラーフィルター形成工程）：カラーフィルターが形成される。当該カラーフィルターでは、例えば、Ｒ（Ｒｅｄ）、Ｇ（Ｇｒｅｅｎ）、Ｂ（Ｂｌｕｅ）に対応した３つのドットの組がマトリックス状に多数配列される。当該カラーフィルターでは、Ｒ、Ｇ、Ｂの３本のストライプのフィルターの組が複数水平走査線方向に配列されてもよい。
【０１２２】
ステップＳ２２０（セル組み立て工程）：ステップＳ２００（パターン形成工程）にて得られた所定パターンを有する基板、及びステップＳ２１０（カラーフィルター形成工程）にて得られたカラーフィルター等を用いて液晶パネル（液晶セル）が組み立てられる。ステップＳ２２０（セル組み立て工程）では、例えば、ステップＳ２００（パターン形成工程）にて得られた所定パターンを有する基板とステップＳ２１０（カラーフィルター形成工程）にて得られたカラーフィルターとの間に液晶を注入して、液晶パネル（液晶セル）が製造される。
【０１２３】
ステップＳ２３０（モジュール組み立て工程）：ステップＳ２２０（セル組み立て工程）において組み立てられた液晶パネル（液晶セル）の表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。
上述の炉液晶表示素子の製造方法によれば、極めて微細な回路パターンを有する液晶表示素子をスループット良く得ることができる。
【０１２４】
なお、上述の説明では、ウェハ等の基板に形成されたアライメントマークを検出するアライメント系の光学系に、本願の対物レンズを適用した。
ここで、例えば米国特許第８，０５４，４７２号公報や、米国特許第８，４３４，５３４号公報に開示されるアライメント系ＡＬ１，ＡＬ２ｉ〜ＡＬ２４に本願の対物レンズを適用してもよい。
また、米国特許公開第２０１８／００３９１９０号公報、第２０１８／００３９１８１号公報、及び第２０１８／００４６０９６号公報に開示される装置のマーク検出系ＭＤＳの光学系として、本願の対物レンズを適用してもよい。
また、米国特許第７，６３３，６８９号公報、米国特許第９，０６９，２６０号公報、米国特許第９，２２２，８３４号公報、米国特許第９，２８５，６８７号公報、米国特許第９，４８８，９２２号公報、米国特許第９，７７８，０２５号公報、米国特許公開第２０１０／００７９７４８号公報、米国特許公開第２０１２／００８１６８４号公報、または米国特許公開第２０１２／０１３３９３８号公報に開示される装置の対物系として、本願の対物レンズを用いてもよい。
また、米国特許第７．８６９，０２４号公報、米国特許第８，９７０，８３６号公報、米国特許第９，２５５，８８８号公報、または米国特許公開第２０１７／０１４６４６３号公報に開示される欠陥検査装置の対物系として、本願の対物レンズを用いてもよい。
【０１２５】
以上、図面を参照してこの発明の一実施形態について詳しく説明してきたが、具体的な構成は上述のものに限られることはなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲内において様々な設計変更等をすることが可能である。
【符号の説明】
【０１２６】
Ｇ１…第１レンズ群、Ｇ２…第２レンズ群、Ｇ３…第３レンズ群、Ｇ２１…第１部分レンズ群、Ｇ２２…第２部分レンズ群、ＰＬ１…正レンズ、ＮＬ２、ＮＬ３、ＭＬ５…負レンズ、ＭＬ４…メニスカスレンズ、ＰＬ６…正レンズ、Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３、Ｍ４、Ｍ５、Ｍ６…硝材
【図１】
2020086406.tif 000009
【図２】
2020086406.tif 000010
【図３】
2020086406.tif 000011
【図４】
2020086406.tif 000012
【図５】
2020086406.tif 000013
【図６】
2020086406.tif 000014
【図７】
2020086406.tif 000015
【図８】
2020086406.tif 000016
【図９】
2020086406.tif 000017
【図１０】
2020086406.tif 000018
【図１１】
2020086406.tif 000019
【図１２】
2020086406.tif 000020
【図１３】
2020086406.tif 000021
【図１４】
2020086406.tif 000022
【図１５】
2020086406.tif 000023
【図１６】
2020086406.tif 000024
【図１７】
2020086406.tif 000025
【図１８】
2020086406.tif 000026
【図１９】
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