(57)【要約】【課題】矩形パターンの修正作業を簡素化できるようにする。【解決手段】４つの隅部を有する矩形パターンがデザインルールに合致しているか否かの検証を行うデザインルール検証方法において、前記４つの隅部の少なくとも１つの隅部に切欠けが発生している矩形パターンを抽出し、抽出された前記矩形パターンの前記切欠けの大きさが所定の大きさか否かの判定を行い、所定の大きさより小さい切欠けの隅部は直角隅部の形状に補正するとともに所定の大きさより大きい切欠けの隅部はそのままとした検証用矩形パターンを生成し、生成された該検証用矩形パターンについてデザインルールの検証を行う。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
４つの隅部を有する矩形パターンがデザインルールに合致しているか否かの検証を行うデザインルール検証方法において、
前記４つの隅部の少なくとも１つの隅部に切欠けが発生している矩形パターンを抽出し、
抽出された前記矩形パターンの前記切欠けの大きさが所定の大きさか否かの判定を行い、
前記所定の大きさより小さい切欠けの隅部は直角隅部の形状に補正するとともに前記所定の大きさより大きい切欠けの隅部はそのままとした検証用矩形パターンを生成し、
生成された前記検証用矩形パターンについてデザインルールの検証を行う、
ことを特徴とするデザインルール検証方法。
【請求項２】
請求項１に記載のデザインルール検証方法において、
前記判定は、前記隅部の切欠けを構成する２辺の一方の辺の延長線と他方の辺の延長線の交点を頂点とする直角隅部の一方の辺の長さと前記直角隅部の他方の辺の長さが規定値以下のとき前記隅部の切欠けが前記所定の大きさより小さい切欠けであると判定し、前記直角隅部の前記２辺の一方の辺の長さと他方の辺の長さの少なくとも一方が前記規定値を超えるとき前記隅部の切欠けが前記所定の大きさより大きい切欠けであると判定することを特徴とするデザインルール検証方法。
【請求項３】
請求項１に記載のデザインルール検証方法において、
前記判定は、前記隅部の切欠けを構成する斜線の長さが規定値以下のとき前記隅部の切欠けが前記所定の大きさより小さい切欠けであると判定し、前記斜線の長さが前記規定値を超えるとき前記隅部の切欠けが前記所定の大きさより大きい切欠けであると判定することを特徴とするデザインルール検証方法。
【請求項４】
請求項１、２又は３に記載のデザインルール検証方法において、
前記検証用矩形パターンの生成は、前記所定の大きさより小さい切欠けのある隅部を、当該隅部の切欠けを構成する２辺の一方の辺の延長線と他方の辺の延長線の交点を頂点とする直角隅部に補正して行うことを特徴とするデザインルール検証方法。
【請求項５】
４つの隅部を有する矩形パターンがデザインルールに合致しているか否かの検証を行うデザインルール検証装置において、
前記４つの隅部の少なくとも１つの隅部に切欠けが発生している矩形パターンを抽出する抽出手段と、
抽出された前記矩形パターンの前記切欠けの大きさが所定の大きさか否かの判定を行う判定手段と、
前記所定の大きさより小さい切欠けの隅部は直角隅部の形状に補正するとともに前記所定の大きさより大きい切欠けの隅部はそのままとした検証用矩形パターンを生成する検証用矩形パターン生成手段と、
生成された前記検証用矩形パターンについてデザインルールの検証を行う検証手段と、
を備えることを特徴とするデザインルール検証装置。
【請求項６】
請求項５に記載のデザインルール検証装置において、
前記判定手段は、前記隅部の切欠けを構成する２辺の一方の辺の延長線と他方の辺の延長線の交点を頂点とする直角隅部の一方の辺の長さと前記直角隅部の他方の辺の長さが規定値以下のとき前記隅部の切欠けが前記所定の大きさより小さい切欠けであると判定し、前記直角隅部の前記２辺の一方の辺の長さと他方の辺の長さの少なくとも一方が前記規定値を超えるとき前記隅部の切欠けが前記所定の大きさより大きい切欠けであると判定することを特徴とするデザインルール検証装置。
【請求項７】
請求項５に記載のデザインルール検証装置において、
前記判定手段は、前記隅部の切欠けを構成する斜線の長さが規定値以下のとき前記隅部の切欠けが前記所定の大きさより小さい切欠けであると判定し、前記斜線の長さが前記規定値を超えるとき前記隅部の切欠けが前記所定の大きさより大きい切欠けであると判定することを特徴とするデザインルール検証装置。
【請求項８】
請求項５、６又は７に記載のデザインルール検証装置において、
前記検証用矩形パターン生成手段は、前記所定の大きさより小さい切欠けのある隅部を、当該隅部の切欠けを構成する２辺の一方の辺の延長線と他方の辺の延長線の交点を頂点とする直角隅部に補正して行うことを特徴とするデザインルール検証装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、４つの隅部を有する矩形パターンがデザインルールに合致しているか否かの検証を行うデザインルール検証方法及びデザインルール検証装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置製造で使用するマスクパターンや電気回路基板の配線パターン及びそれらのレイアウトは、製造プロセス上や製品仕様上の不具合を生じるおそれがあるか否かについて、それらのパターンの形状、大きさ、幅、隣のパターンとの隙間、他のパターンとの重なり余裕等を予め設定されたデザインルールと比較して検証するデザインルール検証（ＤＲＣ：Design Rule Check ）が行われる。パターンやそのレイアウトは、通常ではＣＡＤシステムによって所定のグリッドに合致するように作成される。
【０００３】
例えば、半導体装置では、下層配線とその下層配線の上面に絶縁層を介して上層配線を形成する際に、それら下層配線と上層配線を電気的に接続する必要があるときは、中間の絶縁層にコンタクトホールを形成し、そのコンタクトホールを介して上層配線を下層配線に接続させることが行われる。
【０００４】
このコンタクトホールは、通常では正方形あるいは長方形の矩形パターンに形成され、デザインルール検証では、その矩形パターンの縦方向の単位グリッドごとの横幅、横方向の単位グリッドごとの縦幅が、デザインルールに合致するか否かについて検証が行われる。
【０００５】
このとき、矩形パターンの４つの隅部、つまり左下隅部、左上隅部、右上隅部、右下隅部は、本来的には直角隅部であるべきであるが、それらの隅部に切り欠きが発生しているときは、その切欠けにおいて、上記した横幅、あるいは縦幅がデザインルールで決められた長さよりも短くなり、エラーの検証結果となるので、このエラーとなった切欠け隅部を直角隅部に修正する必要がある。なお、特許文献１には、８角形のパターンの４つの隅部を直角にして矩形パターンを形成する矩形化についての記載がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平４−１１１４４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、矩形パターンの隅部の切欠けがエラーとなる場合において、その切欠けの大きさが許容できる程度に小さいときは、あえてその切欠け隅部を直角隅部に修正する必要はない。このようなエラーは疑似エラーと呼ばれる。しかし、疑似エラーであってもデザインルール検証ではエラーと判定される。このため、検証結果が得られた矩形パターンを正規の矩形パターンに修正する作業に先立って、疑似エラーについても真エラーと同等に個々にチェックして、修正の不要な疑似エラーの部分を識別しておく必要がある。疑似エラーは通常では膨大な量に及ぶので、矩形パターンの修正に手間がかかっていた。
【０００８】
本発明の目的は、擬似エラーをなくした検証用矩形パターンを生成して、その矩形パターンにより検証を行うようにし、矩形パターンの修正作業を簡素化できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、請求項１にかかる発明は、４つの隅部を有する矩形パターンがデザインルールに合致しているか否かの検証を行うデザインルール検証方法において、前記４つの隅部の少なくとも１つの隅部に切欠けが発生している矩形パターンを抽出し、抽出された前記矩形パターンの前記切欠けの大きさが所定の大きさか否かの判定を行い、前記所定の大きさより小さい切欠けの隅部は直角隅部の形状に補正するとともに前記所定の大きさより大きい切欠けの隅部はそのままとした検証用矩形パターンを生成し、生成された前記検証用矩形パターンについてデザインルールの検証を行う、ことを特徴とする。
請求項２にかかる発明は、請求項１に記載のデザインルール検証方法において、前記判定は、前記隅部の切欠けを構成する２辺の一方の辺の延長線と他方の辺の延長線の交点を頂点とする直角隅部の一方の辺の長さと前記直角隅部の他方の辺の長さが規定値以下のとき前記隅部の切欠けが前記所定の大きさより小さい切欠けであると判定し、前記直角隅部の前記２辺の一方の辺の長さと他方の辺の長さの少なくとも一方が前記規定値を超えるとき前記隅部の切欠けが前記所定の大きさより大きい切欠けであると判定することを特徴とする。
請求項３にかかる発明は、請求項１に記載のデザインルール検証方法において、前記判定は、前記隅部の切欠けを構成する斜線の長さが規定値以下のとき前記隅部の切欠けが前記所定の大きさより小さい切欠けであると判定し、前記斜線の長さが前記規定値を超えるとき前記隅部の切欠けが前記所定の大きさより大きい切欠けであると判定することを特徴とする。
請求項４にかかる発明は、請求項１、２又は３に記載のデザインルール検証方法において、前記検証用矩形パターンの生成は、前記所定の大きさより小さい切欠けのある隅部を、当該隅部の切欠けを構成する２辺の一方の辺の延長線と他方の辺の延長線の交点を頂点とする直角隅部に補正して行うことを特徴とする。
請求項５にかかる発明は、４つの隅部を有する矩形パターンがデザインルールに合致しているか否かの検証を行うデザインルール検証装置において、前記４つの隅部の少なくとも１つの隅部に切欠けが発生している矩形パターンを抽出する抽出手段と、抽出された前記矩形パターンの前記切欠けの大きさが所定の大きさか否かの判定を行う判定手段と、前記所定の大きさより小さい切欠けの隅部は直角隅部の形状に補正するとともに前記所定の大きさより大きい切欠けの隅部はそのままとした検証用矩形パターンを生成する検証用矩形パターン生成手段と、生成された前記検証用矩形パターンについてデザインルールの検証を行う検証手段と、を備えることを特徴とする。
請求項６にかかる発明は、請求項５に記載のデザインルール検証装置において、前記判定手段は、前記隅部の切欠けを構成する２辺の一方の辺の延長線と他方の辺の延長線の交点を頂点とする直角隅部の一方の辺の長さと前記直角隅部の他方の辺の長さが規定値以下のとき前記隅部の切欠けが前記所定の大きさより小さい切欠けであると判定し、前記直角隅部の前記２辺の一方の辺の長さと他方の辺の長さの少なくとも一方が前記規定値を超えるとき前記隅部の切欠けが前記所定の大きさより大きい切欠けであると判定することを特徴とする。
請求項７にかかる発明は、請求項５に記載のデザインルール検証装置において、前記判定手段は、前記隅部の切欠けを構成する斜線の長さが規定値以下のとき前記隅部の切欠けが前記所定の大きさより小さい切欠けであると判定し、前記斜線の長さが前記規定値を超えるとき前記隅部の切欠けが前記所定の大きさより大きい切欠けであると判定することを特徴とする。
請求項８にかかる発明は、請求項５、６又は７に記載のデザインルール検証装置において、前記検証用矩形パターン生成手段は、前記所定の大きさより小さい切欠けのある隅部を、当該隅部の切欠けを構成する２辺の一方の辺の延長線と他方の辺の延長線の交点を頂点とする直角隅部に補正して行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、疑似エラーが発生する切欠けがある隅部を直角隅部に補正した検証用矩形パターンを生成し、その検証用矩形パターンをデザインルール検証用とするので、デザインルール検証で擬似エラーが発生することはなくなる。このため、その後の矩形パターンの修正作業でエラーから真エラーと膨大な量に及ぶ疑似エラーを識別する必要がなくなり、その修正作業を簡素化できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施例のデザインルール検証装置の構成図である。
【図２】本発明の実施例のデザインルール検証のフローチャートである。
【図３】検証の対象となる一例の矩形パターンの平面図である。
【図４】図３の矩形パターンから擬似エラーとなる隅部を判定する説明図である。
【図５】検証用矩形パターンの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に本発明の実施例のデザインルール検証装置の構成を示す。このデザインルール検証装置は、レイアウトデータをデザインするＣＡＤシステムに組み込まれる。１０はデザインルールが記述されているデザインルールファイル、２０はデザインされたパターンを含むレイアウトデータが格納されている検証前レイアウトデータ記憶装置、３０は検証前レイアウトデータ記憶装置２０から読み出した検証前レイアウトデータがデザインルールファイル１０から読み出したデザインルールに適合しているか否かを検証するデザインルール検証部、４０はデザインルール検証部３０で検証を終えたレイアウトデータを格納する検証後レイアウトデータ記憶装置である。
【００１３】
ユーザは、検証後レイアウトデータ記憶装置４０に格納された検証済のレイアウトデータについてエラーがある場合に、検証前レイアウトデータ記憶装置２０の当該のレイアウトデータを修正することで、最終的にルール違反のないレイアウトデータを得ることができる。
【００１４】
以下、デザインルール検証の対象を矩形パターンのレイアウトデータとする場合を例にして説明する。図３に一例の矩形パターン５０を示す。矩形パターン５０は図示しないグリッドの交点を結ぶラインで形成されているが、４つの隅部５１，５２，５３，５４のうちの隅部５１，５２，５３において、切り欠き５１ａ，５２ａ，５３ａが発生している。切り欠き５１ａ，５３ａが所定の大きさより小さく、切り欠き５２ａが所定の大きさより大きい場合は、この矩形パターン５０をデザインルール検証すると、隅部５２は真エラーとなるが、隅部５１，５３は疑似エラーとなる。なお、隅部５４はエラー無しとなる。したがって、後にこの矩形パターン５０を修正するためには、従来では、真エラーとなった隅部５２のみならず、疑似エラーとなった隅部５１，５３についてもチェックが必要となり、チェック作業が煩雑となる。
【００１５】
そこで本実施例では、複数の矩形パターンのデザインルール検証を行うに先立って、記憶装置２０から、図２のステップＳ１において、隅部に切り欠きが発生している矩形パターン５０の図形を抽出する。この抽出方法は、一例として、図３に示すように、まず、矩形パターン５０の下辺の延長線をＬ１、上辺の延長線をＬ２、左辺の延長線をＬ３、右辺の延長線をＬ４とする。そして、延長線Ｌ１とＬ３の交点をＰａ、延長線Ｌ２とＬ３の交点をＰｂ、延長線Ｌ２とＬ４の交点をＰｃ、延長線Ｌ１とＬ４の交点をＰｄとする。これらの交点Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄが矩形パターン５０に含まれているか否かによって切欠けの有無の検出が行われる。含まれていなければ、当該交点の隅部に切欠けが発生していることが検出される。図３の矩形パターン５０は、隅部５１，５２，５３に切欠けが発生していることが検出され、この矩形パターン５０はステップＳ１によって抽出される。
【００１６】
次に、図２のステップＳ２において、切欠け５１ａ〜５３ａの大きさが所定の大きさより大きいか否かの判定を行う。この判定では、例えば、規定値Ｒを用いて、隅部を構成する直角の２辺の長さ（隅部の切欠けを構成する２辺の一方の辺の延長線と他方の辺の延長線の交点を頂点とする直角隅部の一方の辺の長さと前記直角隅部の他方の辺の長さ）、つまり隅部のｘ軸の長さ、ｙ軸の長さの両方が規定値Ｒより小さいときは、当該隅部が疑似エラーであると判定する。また、隅部を構成するｘ軸の長さ、ｙ軸の長さの少なくとも一方が規定値Ｒよりも大きいときは、当該隅部が真エラーであると判定する。
【００１７】
図４に示すように、隅部５１については、切欠け５１ａを構成するｘ軸の長さＡ１（＝ｘ２−ｘ１）、ｙ軸の長さＢ１（＝ｙ２−ｙ１）を求める。このときは、Ａ１，Ｂ１のいずれも規定値Ｒを超えていないので、その隅部５１の切欠け５１ａは疑似エラーであると判定される。
【００１８】
隅部５２については、切欠け５２ａを構成するｘ軸の長さＡ２（＝ｘ３−ｘ１）、ｙ軸の長さＢ２（＝ｙ５−ｙ３）を求める。このときは、長さＡ２は規定値Ｒを超えていないが、長さＢ２が規定値Ｒを超えているので、その隅部５２の切欠け５２ａは真エラーであると判定される。
【００１９】
隅部５３については、切欠け５３ａを構成するｘ軸の長さＡ３（＝ｘ５−ｘ４）、ｙ軸の長さＢ３（＝ｙ５−ｙ４）を求める。このときは、長さＡ３，Ｂ３のいずれも規定値Ｒを超えていないので、その隅部５２の切欠け５２ａは疑似エラーであると判定される。
【００２０】
なお、隅部５４については、切欠けが発生していなので、真エラーか擬似エラーかの判定は行われない。
【００２１】
次に、ステップＳ３において、所定の大きさよりも小さい切欠けをもつ隅部がある場合、つまり疑似エラーをもつ隅部がある場合に、当該隅部を切欠けの部分を埋めた形の直角隅部に補正し、元の矩形パターン５０とマージして検証用矩形パターン５０Ａを作成する。図５はこのようにして作成された検証用矩形パターン５０Ａを示す図であり、真エラーとなる隅部５２についてはそのままとなっているが、疑似エラーが発生していた隅部５１，５３は切欠けが直角隅部に補正されている。
【００２２】
次に、ステップＳ４において、検証用矩形パターン５０Ａのデザインルール検証を行う。このデザインルール検証では、矩形パターンのｙ軸方向の単位グリッドごとのｘ軸方向の幅、ｘ軸方向の単位グリッドごとｙ軸方向の幅が所定の許容値内に含まれれるか否かが検証される。そして、この検証結果に基づいて、元の矩形パターン５０について修正が行われる。なお、矩形パターンの修正については本発明にかかわらないので、説明は省略する。
【００２３】
このように、本実施例では、疑似エラーとなる切欠けがある隅部を直角隅部に補正した検証用矩形パターンを生成し、その検証用矩形パターンをデザインルール検証用とするので、デザインルール検証で擬似エラーが発生することはなくなる。このため、その後の矩形パターンの修正作業でエラーから真エラーと膨大な量に及ぶ疑似エラーを識別する必要がなくなり、その修正作業を簡素化できる。
【００２４】
なお、以上説明した実施例では、隅部の切欠けの大きさの判定を、切欠けを構成するｘ軸の長さ及びｙ軸の長さを規定値Ｒと比較することで実施していたが、これに限られない。例えば、切欠けを構成する斜線の長さ（図４に示すように、切欠け５１ａでは長さＣ１、切欠け５２ａでは長さＣ２、切欠け５３ａでは長さＣ３）を所望の規定値と比較することで実施しても良い。この場合は三角演算が必要になる。
【符号の説明】
【００２５】
１０：デザインルールファイル
２０：検証前レイアウトデータ記憶装置
３０：デザインルール検証部
４０：検証後レイアウトデータ記憶装置
５０：矩形パターン、５１〜５４：隅部、５１ａ〜５３ａ：切欠け
５０Ａ：検証用矩形パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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