(57)【要約】【課題】稼動中に装置が使用する電力、エア、純水の消費量を、待機中のとき大幅削減し、且つ、再稼動において、直ちに洗浄を開始することができる液晶枚葉洗浄装置を提供する。【解決手段】搬送手段１５を具備するロードバッファ部１０とアンロードバッファ部５０と、ブラシ洗浄手段２５を具備するロールブラシ部２０と、バブルジェット手段３５を具備するバブルジェットアクアナイフ部３０と、エア噴射手段４５を具備するエアナイフ部４０と、純水供給制御手段６４を具備する純水供給部６０と、装置コントロール手段７５を具備する装置制御部７０とを有し、装置コントロール手段７５は、待機のとき、待機信号により純水供給機能以外の全ての機能を停止させ、純水供給制御手段６４は、待機信号を受けて純水供給手段６２の純水の供給を制御する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶基板を枚葉洗浄処理する液晶枚葉洗浄装置において、
ロードバッファ部とロールブラシ部とバブルジェット（登録商標）アクアナイフ部とエアナイフ部とアンロードバッファ部と純水供給部と装置制御部とを有し、
前記ロードバッファ部は、前記液晶基板を上流工程より受け入れて搬送するための搬送手段を具備し、
前記ロールブラシ部は、前記搬送手段と、前記純水供給部により供給される純水をシャワー化して回転ブラシにより前記液晶基板を洗浄するブラシ洗浄手段とを具備し、
前記バブルジェットアクアナイフ部は、前記搬送手段と、前記純水供給部により供給される純水をバブルジェット化して前記液晶基板をリンスするバブルジェット手段とを具備し、
前記エアナイフ部は、前記搬送手段と、エアの噴射により前記液晶基板を乾燥するエア噴射手段とを具備し、
前記アンロードバッファ部は、前記液晶基板を下流工程へ払い出すための前記搬送手段を具備し、
前記純水供給部は、純水供給手段と、純水の供給をＯＮ／ＯＦＦ制御する純水供給制御手段とを具備し、
前記装置制御部は、前記装置の稼動及び待機のための信号を出力する装置コントロール手段を具備し、
前記装置制御部の装置コントロール手段は、待機のとき、待機信号により純水供給機能、回転ブラシを除くブラシ洗浄手段、バブルジェット手段以外の全ての機能を停止させ、前記純水供給部の前記純水供給制御手段、回転ブラシを除くブラシ洗浄手段、バブルジェット手段は、前記待機信号を受けて前記純水供給手段の純水の供給を制御することを特徴とする液晶枚葉洗浄装置。
【請求項２】
前記純水供給部は、前記純水供給手段及び前記純水供給制御手段の他に、さらに、前記純水を温める加熱手段を具備することを特徴とする請求項１に記載の液晶枚葉洗浄装置
【請求項３】
前記純水供給部の前記純水供給制御手段は、前記待機のとき、前記純水の供給を一定の時間間隔で供給するインタ−バルランニングにより前記純水供給手段を制御することを特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載の液晶枚葉洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶基板を枚葉洗浄処理する液晶枚葉洗浄装置に係り、詳しくは、稼動中に装置が使用する電力、エア、純水の消費量を待機中のとき大幅削減し、且つ、再稼動において直ちに洗浄を開始することができる液晶枚葉洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被洗浄物の搬入部、洗浄部、リンス部、乾燥部、搬出部等から構成される湿式洗浄装置は、搬送ローラ、洗浄ブラシ等を駆動するモータ、洗浄及びリンスのための純水を供給するポンプ等、及び洗浄及びリンスのための純水、乾燥のための圧縮エア等を用いて洗浄動作を行っている。ところで、従来の湿式洗浄装置は、稼動中、待機中に関わらず、これらモータ、ポンプ等の電源は常にＯＮ状態を維持し、純水、圧縮エアも常に供給されていた。
【０００３】
これにより、再稼動時においても、常に同じ条件で直ちに洗浄を開始することが可能となる。ところがこの運用方法によると、稼働時間が待機時間に比べて十分に長い場合は問題とならないが、稼働時間が待機時間に近づくにつれ、電力、純水、及び圧縮エアの使用量が問題となり、ランニングコストが増加する結果となる。
【０００４】
特許文献１には、洗浄処理装置内に、同じ洗浄処理液を貯留する処理容器を複数配設しておき、被処理体例えばウエハを洗浄処理する処理容器に使用不可能な事態、例えば登録されている処理容器がウエハ投入予定時刻に液交換中となっている場合や洗浄処理液供給用ポンプの故障等が生じた場合に、この処理容器と同じ洗浄処理液を貯留する他の処理容器を代替の処理容器としてウエハを投入して、洗浄処理する、旨の記載がある。
【特許文献１】特開平１１−１６２９０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、稼動中に装置が使用する電力、エア、純水の消費量を、待機中のとき大幅削減し、且つ、再稼動において、直ちに洗浄を開始することができる液晶枚葉洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液晶枚葉洗浄装置は、液晶基板を枚葉洗浄処理する液晶枚葉洗浄装置において、ロードバッファ部とロールブラシ部とバブルジェットアクアナイフ部とエアナイフ部とアンロードバッファ部と純水供給部と装置制御部とを有し、ロードバッファ部は、液晶基板を上流工程より受け入れて搬送するための搬送手段を具備し、ロールブラシ部は、搬送手段と、純水供給部により供給される純水をシャワー化して回転ブラシにより液晶基板を洗浄するブラシ洗浄手段とを具備し、バブルジェットアクアナイフ部は、搬送手段と、純水供給部により供給される純水をバブルジェット化して液晶基板をリンスするバブルジェット手段とを具備し、エアナイフ部は、搬送手段と、エアの噴射により液晶基板を乾燥するエア噴射手段とを具備し、アンロードバッファ部は、液晶基板を下流工程へ払い出すための搬送手段を具備し、純水供給部は、純水供給手段と、純水をＯＮ／ＯＦＦ制御する純水供給制御手段とを具備し、装置制御部は、装置の稼動及び待機のための信号を出力する装置コントロール手段を具備し、装置制御部の装置コントロール手段は、待機のとき、待機信号により純水供給機能、回転ブラシを除くブラシ洗浄手段、バブルジェット手段以外の全ての機能を停止させ、純水供給部の純水供給制御手段、回転ブラシを除くブラシ洗浄手段、バブルジェット手段は、待機信号を受けて純水供給手段の純水の供給を制御することを特徴とする。
【０００７】
本発明の液晶枚葉洗浄装置の純水供給部は、純水供給手段及び純水供給制御手段の他に、さらに、純水を温める加熱手段を具備することを特徴とする。
【０００８】
本発明の液晶枚葉洗浄装置の純水供給部の純水供給制御手段は、待機のとき、純水の供給を一定の時間間隔で供給するインタ−バルランニングにより純水供給手段を制御することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、稼動中に装置が使用する電力、エア、純水の消費量を、待機中のとき大幅削減し、且つ、再稼動において、直ちに洗浄を開始することができる液晶枚葉洗浄装置を提供することが可能となる。これにより、電力量、純水使用量、及びエア使用量を削減できるだけでなく、各停止動作による装置部品の長寿命化が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の実施の形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明による液晶枚葉洗浄装置の構成を示す装置構成図である。図１において、液晶枚葉洗浄装置１００は、ロードバッファ部１０とロールブラシ部２０とバブルジェットアクアナイフ部３０とエアナイフ部４０とアンロードバッファ部５０と純水供給部６０と装置制御部７０とを有している。
【００１１】
ロードバッファ部１０は、上流工程から液晶基板８０を受け入れて搬送するための搬送手段１５を具備している。ロールブラシ部２０は、搬送手段１５と、純水供給部６０により供給される純水をシャワー化して回転ブラシにより液晶基板８０を洗浄するブラシ洗浄手段２５とを具備している。バブルジェットアクアナイフ部３０は、搬送手段１５と、純水供給部６０により供給される純水をバブルジェット化して液晶基板８０をリンスするバブルジェット手段３５とを具備している。
【００１２】
エアナイフ部４０は、搬送手段１５と、エアの噴射により液晶基板８０を乾燥するエア噴射手段４５とを具備している。アンロードバッファ部５０は、液晶基板８０を下流工程へ払い出すための搬送手段１５を具備している。純水供給部６０は、純水供給手段６２と、純水の供給をＯＮ／ＯＦＦ制御する純水供給制御手段６４と純水を温める加熱手段６６とを具備している。装置制御部７０は、装置の稼動及び待機のための信号を出力する装置コントロール手段７５を具備している。
【００１３】
搬送手段１５は、液晶基板８０を搬送するため、純水供給部６０以外の各部の両側に位置し、シャフトにより連結された回転ローラと、回転ローラを駆動する搬送モータと、搬送モータの回転を回転ローラに伝達するベルトとを具備している。ブラシ洗浄手段２５は、液晶基板８０を洗浄するため、回転ブラシと、回転ブラシを駆動するブラシ回転モータと、モータの回転を回転ブラシに伝達する駆動シャフトと、純水供給部６０からの純水を回転ブラシに供給する純水供給パイプと、純水をシャワー化するためのバブルジェット用ポンプとを具備している。
【００１４】
バブルジェット手段３５は、純水供給部６０から供給される純水をバブルジェット用ポンプへ供給し、且つ、バブルジェット化した純水をバブルジェットアクアナイフへ供給する純水供給パイプと、純水をバブルジェット化するためのバブルジェット用ポンプと、バブルジェット化した純水により液晶基板８０をリンスするアクアナイフとを具備している。エア噴射手段４５は、乾燥した圧縮エアを、電磁弁を介してエアナイフへ供給するエア供給パイプと、エアの噴射により液晶基板８０を乾燥するエアナイフとを具備している。
【００１５】
純水供給手段６２は、フィルタ類と、電磁弁及び流量調整バルブを介してブラシ洗浄手段２５及びバブルジェット手段３５へ供給する純水供給パイプとを具備している。純水供給制御手段６４は、電磁弁及び流量調整バルブを制御することにより、供給する純水の供給をＯＮ／ＯＦＦ制御する制御回路を具備している。加熱手段６６は、純水を温めるヒータ等の熱源を具備している。装置コントロール手段７５は、装置１００の稼動及び待機のための信号を出力する制御回路を具備している。
【００１６】
図１において、液晶枚葉洗浄装置１００が稼動する場合は、装置制御部７０の装置コントロール手段７５は、通常の洗浄工程を実行するための稼動信号を各部へ出力する。この信号を入力した純水供給部６０の純水供給制御手段６４は、純水供給手段６２から純水を供給するため、電磁弁を開け、所定の水量に流量調整バルブを調節して純水をブラシ洗浄手段２５及びバブルジェット手段３５へ供給する。また、純水が温水である場合は、加熱手段６６が起動し、純水を所定の温度に温めるヒータ等の熱源が動作する。
【００１７】
ロールブラシ部２０のブラシ洗浄手段２５は、ブラシ回転モータを起動し、所定の回転数に回転ブラシを設定し、純水供給部６０から供給される純水をシャワー用ポンプへ供給し、シャワー化した純水を回転ブラシ及び、洗浄槽内へ供給する。バブルジェットアクアナイフ部３０のバブルジェットアクアナイフ手段３５は、純水供給部６０から供給される純水をバブルジェット用ポンプへ供給し、バブルジェット化した純水を洗浄槽内へ供給する。また、純水供給部６０から供給される純水を直接アクアナイフへ供給する。エアナイフ部４０のエア噴射手段４５は、電磁弁を開けて乾燥した圧縮エアをエアナイフへ供給する。また各部の具備する搬送手段１５は、搬送モータ起動し、回転ローラを所定の回転数に設定する。
【００１８】
上流工程から搬送されてきた液晶基板８０は、ロードバッファ部１０において一旦受け入れられた後、ロールブラシ部２０へ搬送される。次に、ロールブラシ部２０において、シャワー化した純水と回転ブラシにより洗浄される。次に、バブルジェットアクアナイフ部３０において、バブルジェット化した純水によりリンスされる。次に、エアナイフ部４０において、噴射される乾燥するエアにより乾燥される。次に、アンロードバッファ部５０において、一旦受け入れられた後、下流工程へ搬送される。装置内に処理する液晶基板８０が無くなると、装置コントロール手段７５は、洗浄処理を継続するのか、待機するのかの制御信号を出力する。
【００１９】
次に、液晶枚葉洗浄装置１００が待機する場合は、装置制御部７０の装置コントロール手段７５は、待機動作を実行するため待機信号を各部へ出力する。待機信号を入力した各部の搬送手段１５は、搬送モータの動作を停止する。また、ロールブラシ部２０は、ブラシ回転モータを止め、回転ブラシの動作を停止する。エアナイフ部４０は、電磁弁を閉じてエアナイフへの乾燥エアの供給を停止する。
【００２０】
純水供給部６０の純水供給制御手段６４、ブラシ洗浄手段２５及びバブルジェット手段３５は、純水の供給及びポンプのＯＮ／ＯＦＦを一定の時間間隔で繰り返すインタ−バルランニングによる純水供給手段６２の制御を開始する。すなわち、所定の時間間隔により純水の供給と停止、ポンプのＯＮ／ＯＦＦが繰り返されるインタ−バルランニングにより、ブラシ洗浄手段２５及びバブルジェット手段３５への純水の供給が維持される。
【００２１】
これにより、純水の供給及び、ポンプ循環状態が維持されるため、供給される純水にバクテリアが発生し、直ちに再稼動できないという問題を解決することができる。また、純水供給部６０、ブラシ洗浄手段２５及びバブルジェット手段３５以外の各部は、待機信号を入力すると、純水供給機能、回転ブラシを除くブラシ洗浄手段、バブルジェット手段以外の全ての手段の機能を停止するため、電力、エア、さらに純水の使用量を削減できると共に、各停止動作による装置部品の長寿命化が可能となる。したがって、再び稼動信号が各部へ出力されると、直ちに上記稼動時の動作を開始することができる。
【００２２】
ロールブラシ部２０の回転ブラシに供給される純水には、洗浄用薬液が混合されても良い。また、純水供給手段６２による純水の供給は、外部の純水供給手段により行なわれても良い。さらに、純水供給制御手段６４は、装置コントロール手段７５により直接行なわれても良い。
【００２３】
図２は、本発明の液晶枚葉洗浄装置の待機モード動作を示すフローチャートである。図２において、液晶枚葉洗浄装置１００の装置制御部７０は動作を開始し、自動運転による通常の洗浄工程を実行するため稼動信号を各部へ出力する。これにより、上流工程から搬送されてきた液晶基板８０は、ロードバッファ部１０において一旦受け入れられた後、ロールブラシ部２０へ搬送される。次に、ロールブラシ部２０において、シャワー化した純水供給部６０から供給された所定の温度の純水と回転ブラシにより洗浄される。次に、バブルジェットアクアナイフ部３０において、バブルジェット化した純水供給部６０から供給された所定の温度の純水によりリンスされる。次に、エアナイフ部４０において、噴射される乾燥したエアにより乾燥される。次に、アンロードバッファ部５０において、一旦受け入れられた後、下流工程へ搬送される。この工程が繰り返されて複数の液晶基板８０の洗浄が行なわれる（ステップ２００、ステップ２１０、ステップ２９０、ステップ３００）。処理する液晶基板８０が無くなると、装置コントロール手段７５は、洗浄処理を継続するのか、待機するのかの指令を出す（ステップ３００、ステップ２００）。
【００２４】
自動運転停止（待機モード）であれば、液晶枚葉洗浄装置１００の装置制御部７０の装置コントロール手段７５は、待機動作を実行するため待機信号を各部へ出力する。待機信号を入力した各部の搬送手段１５は、搬送モータの動作を停止する。また、ロールブラシ部２０は、回転ブラシの動作を停止し、エアナイフ部４０は乾燥用エアを停止する。純水供給部６０の純水供給制御手段６４、ブラシ洗浄手段２５及びバブルジェット手段３５は、純水の供給、ポンプのＯＮ／ＯＦＦを一定の時間間隔で繰り返すインタ−バルランニングによる純水供給手段６２の制御を開始する。すなわち、所定の時間間隔により供給と停止、ポンプのＯＮ／ＯＦＦが繰り返されるインタ−バルランニングが行なわれ、ブラシ洗浄手段２５及びバブルジェット手段３５への純水の供給は維持される（ステップ２１０−ステップ２７０）。インターバルランニングが終了すると、自動運転による通常の洗浄工程が直ちに実行され、処理する液晶基板８０が無くなると、装置コントロール手段７５は、洗浄処理を継続するのか、待機するのかの指令を出す（ステップ２７０、ステップ２９０、ステップ３００、ステップ２００）。
【００２５】
以上説明したように本発明によれば、稼動中に装置が使用する電力、エア、純水の消費量を、待機中のとき大幅削減し、且つ、再稼動において、直ちに洗浄を開始することができる液晶枚葉洗浄装置を提供することが可能となる。これにより、電力量、純水使用量、及びエア使用量を削減できるだけでなく、各停止動作による装置部品の長寿命化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明による液晶枚葉洗浄装置の構成を示す装置構成図。
【図２】本発明の液晶枚葉洗浄装置の待機モード動作を示すフローチャート。
【符号の説明】
【００２７】
１０  ロードバッファ部
１５  搬送手段
２０  ロールブラシ部
２５  ブラシ洗浄手段
３０  バブルジェットアクアナイフ部
３５  バブルジェット手段
４０  エアナイフ部
４５  エア噴出手段
５０  アンロードバッファ部
６０  純水供給部
６２  純水供給手段
６４  純水供給制御手段
６６  加熱手段
７０  装置制御部
７５  装置コントローラ
８０  液晶基板
１００  液晶枚葉洗浄装置
【図１】
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【図２】
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