【事件の表示】
　特許第６３４７６４４号発明「表面改質シリカ粉末及びスラリー組成物」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第６３４７６４４号の明細書及び特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正明細書及び訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１−３〕について訂正することを認める。
　特許第６３４７６４４号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯 
　特許第６３４７６４４号の請求項１〜３に係る特許（以下「本件特許」という。）についての出願は、平成２６年３月２８日に出願され、平成３０年６月８日にその特許権の設定登録がされ、平成３０年６月２７日に特許掲載公報が発行された。その後、本件特許に対して特許異議の申立てがあり、次のとおりに手続が行われた。
平成３０年１２月２７日　　　特許異議申立人　丹羽良子（以下、「特許異
　　　　　　　　　　　　　　議申立人」という。）による請求項１〜３に
　　　　　　　　　　　　　　係る特許に対する特許異議の申立て
平成３１年　４月１８日付け （特許権者及び特許異議申立人に対して）審
　　　　　　　　　　　　　　尋
令和　１年　６月　３日　　　特許権者による回答書
令和　１年　６月　６日　　　特許異議申立人による回答書
令和　１年　９月　３日付け　取消理由通知
令和　１年１０月３１日　　　特許権者による意見書及び訂正請求書の提出
令和　１年１２月２５日　　　特許異議申立人による意見書の提出
令和　２年　２月２８日付け　取消理由通知（決定の予告）
令和　２年　５月　１日　　　特許権者による意見書及び訂正請求書の提出
令和　２年　７月１４日　　　特許異議申立人による上申書の提出 
第２　訂正の適否についての判断
１　訂正の内容
　令和２年５月１日にされた訂正の請求（以下、その訂正を「本件訂正」という。）は、特許法第１２０条の５第４項及び同法同条第９項で準用する同法第１２６条第４項の規定に従い、一群の請求項を構成する請求項１〜３を訂正の単位とするものであり、本件訂正の内容は、以下のとおりである（下線部は、訂正箇所）。
　なお、令和１年１０月３１日にされた訂正の請求は、本件訂正の請求がされたため、特許法第１２０条の５第７項の規定により取り下げられたものとみなす。
（１）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１に、
「シリカ粒子表面のシランカップリング剤の反応量（Ａ）が単位表面積（ｎｍ２）あたり１．５〜３．０個、非反応量（Ｂ）が単位表面積（ｎｍ２）あたり反応量（Ａ）の０．１〜０．６倍であり、ＢＥＴ比表面積が３〜４５ｍ２／ｇである表面改質球状シリカ粉末。」
とあるのを、
「
加水分解基としてトリメトキシ基を有するシランカップリング剤で表面処理された
ｍ２）あたり反応量（Ａ）の０．１〜０．６倍であり、ＢＥＴ比表面積
が３〜４５ｍ２／ｇである表面改質球状シリカ粉末
（ただし、(1)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量２５５のフェニルアミノシラン０．５部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．３０ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」、(2)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量２３６のエポキシシラン０．５部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．１９ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」、及び(3)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量３４１のビス（トリメトキシシリルプロピル」アミン０．８部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．４０ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」を除く。）
に訂正する。
（なお、上記訂正箇所中の「(1)」、「(2)」、「(3)」は、それぞれ○で囲まれた数字を表す。以下、同様。）
（２）訂正事項２
　本件明細書の段落【０００９】に、
「（１）シリカ粒子表面のシランカップリング剤の反応量（Ａ）が単位表面積（ｎｍ２）あたり１．５〜３．０個、非反応量（Ｂ）が単位表面積（ｎｍ２）あたり反応量（Ａ）の０．１〜０．６倍であり、ＢＥＴ比表面積が３〜４５ｍ２／ｇである表面改質球状シリカ粉末。」
とあるのを、
「（１）
加水分解基としてトリメトキシ基を有するシランカップリング剤で表面処理された
（ただし、(1)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量２５５のフェニルアミノシラン０．５部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．３０ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」、(2)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量２３６のエポキシシラン０．５部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．１９ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」、及び(3)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量３４１のビス（トリメトキシシリルプロピル」アミン０．８部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．４０ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」を除く。）
に訂正する。
２　訂正の適否について
（１）訂正事項１について
ア 訂正の目的について
　訂正前の請求項１に係る発明は、「シリカ粒子表面のシランカップリング剤の反応量（Ａ）が単位表面積（ｎｍ２）あたり１．５〜３．０個、非反応量（Ｂ）が単位表面積（ｎｍ２）あたり反応量（Ａ）の０．１〜０．６倍であり、ＢＥＴ比表面積が３〜４５ｍ２／ｇである表面改質球状シリカ粉末。」と特定している。
　これに対して、訂正事項１は、訂正前の請求項１に係る発明の上記「表面改質球状シリカ粉末。」から、(1)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量２５５のフェニルアミノシラン０．５部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．３０ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」、(2)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量２３６のエポキシシラン０．５部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．１９ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」、及び(3)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量３４１のビス（トリメトキシシリルプロピル」アミン０．８部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．４０ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」を除くものであり、また、「シリカ粒子表面のシランカップリング剤」を「加水分解基としてトリメトキシ基を有するシランカップリング剤で表面処理されたシリカ粒子表面のシランカップリング剤」に限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ 新規事項の有無について
　訂正事項１は、訂正前の請求項１に係る発明の上記「表面改質球状シリカ粉末」から、(1)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量２５５のフェニルアミノシラン０．５部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．３０ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」、(2)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量２３６のエポキシシラン０．５部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．１９ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」、及び(3)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量３４１のビス（トリメトキシシリルプロピル」アミン０．８部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．４０ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」を除くものであって、新たな技術的事項を導入しないものであることは明らかである。
　また、訂正事項１の「シリカ粒子表面のシランカップリング剤」を「加水分解基としてトリメトキシ基を有するシランカップリング剤で表面処理されたシリカ粒子表面のシランカップリング剤」に限定する訂正は、本件明細書の段落【００１９】の「シランカップリング剤１個あたり、３つの加水分解基を有する」という記載及び実施例に記載されたシランカップリング剤が全て加水分解基としてトリメトキシ基を有することを根拠にするものである。
　したがって、訂正事項１は、願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内においてするものであって、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
　
ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の存否について
　訂正事項１は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないことは明らかであるから、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。　
（２）訂正事項２について
ア 訂正の目的について
　訂正事項２は、訂正事項１に係る請求項１の訂正に伴って、本件明細書の段落【０００９】に記載された「表面改質球状シリカ粉末」について、(1)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量２５５のフェニルアミノシラン０．５部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．３０ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」、(2)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量２３６のエポキシシラン０．５部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．１９ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」、及び(3)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量３４１のビス（トリメトキシシリルプロピル」アミン０．８部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．４０ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」を除くものであり、また、「シリカ粒子表面のシランカップリング剤」を「加水分解基としてトリメトキシ基を有するシランカップリング剤で表面処理されたシリカ粒子表面のシランカップリング剤」と限定して訂正するものであるから、請求項１の記載と明細書の記載との整合を図るための訂正である。
　したがって、訂正事項２は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
イ 新規事項の有無について
　訂正事項２は，訂正事項１と同じく願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内においてするものであって、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の存否について
　訂正事項２は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないことは明らかであるから、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。　　　
３　むすび
　以上のとおりであるから、本件訂正は特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号及び第３号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項において準用する同法第１２６条第第５項及び第６項の規定に適合するので、訂正請求書に添付された訂正明細書及び訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１〜３〕について訂正することを認める。
第３ 本件発明
　本件訂正の請求により訂正された特許請求の範囲の請求項１〜３に係る発明（以下、それぞれ「本件発明１」〜「本件発明３」といい、これらをまとめて「本件発明」ということがある。）は、訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲の請求項１〜３に記載された以下の事項により特定されるとおりのものである（下線部は、訂正箇所）。
「【請求項１】
　
加水分解基としてトリメトキシ基を有するシランカップリング剤で表面処理された
（ただし、(1)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量２５５のフェニルアミノシラン０．５部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．３０ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」、(2)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量２３６のエポキシシラン０．５部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．１９ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」、及び(3)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量３４１のビス（トリメトキシシリルプロピル」アミン０．８部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．４０ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」を除く。）
【請求項２】
　請求項１に記載の表面改質球状シリカ粉末を含むスラリー組成物。
【請求項３】
　請求項２に記載のスラリー組成物を用いた樹脂組成物。」
第４ 特許異議の申立ての理由及び証拠方法について
１ 申立ての理由
　特許異議申立人は、証拠方法として甲第１号証〜甲第４号証（以下、「甲１」〜「甲４」という。）を提出し、本件特許は、以下の申立理由１〜４により取り消すべきものである旨主張している。 
（１）申立理由１（特許法第２９条第１項第３号）　　 
　訂正前の請求項１〜３に係る発明は、甲１又は甲２に記載された発明であって、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができないから、その特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものである。
（２）申立理由２（特許法第２９条第２項）　　 
　訂正前の請求項１〜３に係る発明は、甲１又は甲２に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、その特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。　　 
（３）申立理由３（特許法第３６条第４項第１号）　 
　訂正前の請求項１〜３に係る特許は、発明の詳細な説明の記載が特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。　
（４）申立理由４（特許法第３６条第６項第２号）
　訂正前の請求項１〜３に係る特許は、特許請求の範囲の記載が特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。
２ 証拠方法
　特許異議申立人が提出した証拠方法は、以下のとおりである。
甲１：特開２０１４−２８８８０号公報
甲２：特開２０１４−１５６０６号公報
甲３：信越化学工業株式会社の「シランカップリング剤」のカタログ、２０　　　１７年１２月現在の内容（甲４のダウンロードサイトより入手可能）
　　　（https://www.silicone.jp/catalog/pdf/SilaneCouplingAgents_J.p　　　　df）
甲４：信越化学工業株式会社のカタログダウンロードサイト
　　　（https://www.silicone.jp/catalog/index.shtml）
第５ 取消理由について
　当審において通知した令和　２年　２月２８日付けの取消理由通知（決定の予告）における取消理由の概要は、以下のとおりである。
１ 先の訂正請求により訂正された請求項１〜３に係る発明は、甲２に記載された発明であって、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができないから、その特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものである。
２ 本件特許は、先の訂正請求により訂正された請求項１〜３の記載が、下記の点で不備があるため、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　本件発明１で特定された反応量及び非反応量についての計算は、シランカップリング剤の構造や加水分解の程度により異なるため一義的に定まるものではないから、上記反応量及び非反応量についてどのように算出されるのか明らかでない。
　よって、本件発明１及び本件発明１を直接又は間接的に引用する本件発明２、３は、明確でない。
第６ 当審の判断
１ 取消理由についての判断
（１）取消理由（特許法第２９条第１項第３号）について
ア 本件発明１について
（ア）甲２の記載事項
２ａ「【００２９】
　アミノビス（アルコキシシラン）の分子量は、表面処理時や乾燥時の揮発抑止という点から、２６０以上が好ましく、２８０以上がより好ましく、３００以上が更に好ましい。一方、適切な反応性という点から、２０００以下が好ましく、１７００以下がより好ましく、１４００以下が更に好ましい。市販品としては、信越化学工業（株）製「ＫＢＭ６６６Ｐ」（ビス（トリメトキシシリルプロピル）アミン、分子量３４１）等が挙げられる。」
２ｂ「【００３４】
　また、アミノビス（アルコキシシラン）で表面処理された無機充填材において、該無機充填材の表面組成を分析することによって、炭素原子の存在を確認し、該無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を求めることができる。カーボン分析計としては、堀場製作所製「ＥＭＩＡ−３２０Ｖ」等を使用することができる。
【００３５】
　具体的には、溶剤として十分な量のＭＥＫをアミノビス（アルコキシシラン）で表面処理された無機充填材に加えて、２５℃で５分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて該無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、堀場製作所製「ＥＭＩＡ−３２０Ｖ」等を使用することができる。」
２ｃ「【００３８】
　アミノビス（アルコキシシラン）で表面処理された無機充填材への表面処理方法は、特に限定されないが、乾式法や湿式法が挙げられる。乾式法としては、回転ミキサーに無機充填材を仕込んで、攪拌しながらアミノビス（アルコキシシラン）のアルコール溶液又は水溶液を滴下又は噴霧した後、さらに攪拌し、ふるいにより分級する。その後、加熱によりアミノビス（アルコキシシラン）と無機充填材とを脱水縮合させることにより得ることができる。湿式法としては、無機充填材と有機溶媒とのスラリーを攪拌しながらアミノビス（アルコキシシラン）を添加し、攪拌した後、濾過、乾燥及びふるいによる分級を行う。その後、加熱によりアミノビス（アルコキシシラン）と無機充填材とを脱水縮合させることにより得ることができる。さらに、樹脂組成物中にアミノビス（アルコキシシラン）を添加するインテグラルブレンド法でも可能である。」
２ｄ「【００９８】
無機充填材７：球形シリカ（電気化学工業（株）製「ＳＦＰ−１３０ＭＣ」、平均粒径０．６μｍ）１００部に対して、アミノビス（アルコキシシラン）（信越化学工業（株）製、「ＫＢＭ６６６Ｐ」、分子量３４１）０．８部で表面処理したもの、単位表面積当たりのカーボン量０．４０ｍｇ／ｍ２。」
２ｅ「【０１０２】
　＜実施例４＞ 液状ビスフェノール型エポキシ樹脂（新日鐵化学（株）製「ＺＸ１０５９」、ビスフェノールＡ型とビスフェノールＦ型の１：１混合品）１０部、結晶性２官能エポキシ樹脂（三菱化学（株）製「ＹＸ４０００ＨＫ」、エポキシ当量約１８５）５部、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂（ＤＩＣ（株）製「ＨＰ７２００Ｈ」、エポキシ当量約２７５）１０部、フェノキシ樹脂（重量平均分子量３５０００、三菱化学（株）製「ＹＬ７５５３ＢＨ３０」、不揮発成分３０質量％のＭＥＫとシクロヘキサノンの１：１溶液）１５部をソルベントナフサ５０部に撹拌しながら加熱溶解させ、その後室温にまで冷却した。次いで、活性エステル化合物（ＤＩＣ（株）製「ＨＰＣ８０００−６５Ｔ」、活性エステル当量２２３、固形分６５％のトルエン溶液）４０部、難燃剤（三光（株）製「ＨＣＡ−ＨＱ」、10-(2,5-ジヒドロキシフェニル)-10-ヒドロ-9-オキサ-10-フォスファフェナンスレン-10-オキサイド、平均粒径１μｍ）３部、硬化促進剤（４−ジメチルアミノピリジン、固形分４質量％のＭＥＫ溶液）３．５部を加え、更に無機充填材７を１５０部混合し、回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。」
（イ）甲２に記載された発明
　記載事項２ａ〜２ｄによると、球形シリカ（電気化学工業（株）製「ＳＦＰ−１３０ＭＣ」、平均粒径０．６μｍ）１００部を、ビス（トリメトキシシリルプロピル）アミン（信越化学工業（株）製、「ＫＢＭ６６６Ｐ」、分子量３４１）０．８部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．４０ｍｇ／ｍ２である無機充填剤７（表面処理球形シリカ）が記載されているといえる。
　そうすると、甲２には、次の発明（以下、「甲２発明」という。）が記載されていると認められる。
「球形シリカ（電気化学工業（株）製「ＳＦＰ−１３０ＭＣ」、平均粒径０．６μｍ）１００部をビス（トリメトキシシリルプロピル）アミン（信越化学工業（株）製、「ＫＢＭ６６６Ｐ」、分子量３４１）０．８部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．４０ｍｇ／ｍ２である表面処理球形シリカ。」　
（ウ）対比・判断
　本件発明１と甲２発明とを対比する。
　甲２発明の「球形シリカ」及び「表面処理球形シリカ」は、本件発明１の「シリカ粒子」及び「表面改質球状シリカ粉末」に相当する。
　また、甲１の段落【００９４】には、「球形シリカ（電気化学工業（株）製「ＳＦＰ−１３０ＭＣ」、平均粒径０．６μｍ、比表面積６．２ｍ２／ｇ）」と記載されており、当該比表面積は、常用のＢＥＴ比表面積と解するのが合理的であるから、甲２発明における「球形シリカ（電気化学工業（株）製「ＳＦＰ−１３０ＭＣ」、平均粒径０．６μｍ）」のＢＥＴ比表面積は６．２ｍ２／ｇであると解することができる。
　そうすると、甲２発明に係る表面処理球状シリカ粉末は、本件発明１において「（ただし、 ・・・ (3)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量３４１のビス（トリメトキシシリルプロピル」アミン０．８部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．４０ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」を除く。）」として除かれているものにほかならないから、本件発明１と甲２発明との間に一致点はなく、本件発明１は、甲２に記載された発明であるとはいえない。
イ 本件発明２、３について
　本件発明２，３は、本件発明１を直接又は間接的に引用するものであるから、本件発明１と同様に、甲２に記載された発明であるとはいえない。
（２）取消理由（特許法第３６条第６項第２号）について
　本件訂正により、表面処理により用いるシランカップリング剤は、「加水分解基としてトリメトキシ基を有する」ことが特定され、本件明細書の実施例の記載及び技術常識からすると、本件発明１で特定する反応量及び非反応量は、表面処理に使用したシランカップリング剤の量から求められる全体の炭素量と、トリメトキシ基が加水分解した後の炭素数が減少した表面に化学吸着したシランカップリング剤の炭素量とを用いて計算されることが明らかとなった。
　よって、本件発明１及び本件発明１を直接又は間接的に引用する本件発明２、３は、明確でないとはいえない。
２ 取消理由に採用しなかった特許異議申立ての理由についての判断
（１）申立理由１（特許法第２９条第１項第３号）について
　特許異議申立人は、特許異議申立書において、甲１に記載された無機充填材２、４、５及び甲２に記載された無機充填材３から認定した各発明は、訂正前の請求項１〜３に係る発明と同一であるから、訂正前の請求項１〜３に係る発明は、甲１又は甲２に記載された発明であると主張しているので、以下に検討する。
ア 本件発明１について
（ア）甲１の記載事項
１ａ「【００３４】
　また、アミノアルキルシランで表面処理された無機充填材においては、該無機充填材の表面組成を分析することによって、炭素原子の存在を確認し、該無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を求めることができる。具体的には、溶剤として十分な量のＭＥＫをアミノアルキルシランで表面処理された無機充填材に加えて、２５℃で５分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて該無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、堀場製作所製「ＥＭＩＡ−３２０Ｖ」等を使用することができる。」
１ｂ「【００３７】
　アミノアルキルシランで表面処理された無機充填材への表面処理方法は、特に限定されないが、乾式法や湿式法が挙げられる。乾式法としては、回転ミキサーに無機充填材を仕込んで、攪拌しながらアミノアルキルシランのアルコール溶液又は水溶液を滴下又は噴霧した後、さらに攪拌し、ふるいにより分級する。その後、加熱によりアミノアルキルシランと無機充填材とを脱水縮合させることにより得ることができる。湿式法としては、無機充填材と有機溶媒とのスラリーを攪拌しながらアミノアルキルシランを添加し、攪拌した後、濾過、乾燥及びふるいによる分級を行う。その後、加熱によりアミノアルキルシランと無機充填材とを脱水縮合させることにより得ることができる。さらに、樹脂組成物中にアミノアルキルシランを添加するインテグラルブレンド法でも可能である。」
１ｃ「【００９５】
無機充填材２：球形シリカ（アドマテックス（株）製「ＳＯ−Ｃ２」、平均粒径０．５μｍ、比表面積５．５ｍ２／ｇ）１００部に対して、３−アミノプロピルシラン（信越化学工業（株）製、「ＫＢＥ９０３」、分子量２２１）０．４部で表面処理したもの、単位表面積当たりのカーボン量０．１５ｍｇ／ｍ２。
　・・・
【００９７】
無機充填材４：球形シリカ（電気化学工業（株）製「ＳＦＰ−１３０ＭＣ」、平均粒径０．６μｍ、比表面積６．２ｍ２／ｇ）１００部に対して、フェニルアミノシラン（信越化学工業（株）製、「ＫＢＭ５７３」、分子量２５５）０．５部で表面処理したもの、単位表面積当たりのカーボン量０．３０ｍｇ／ｍ２。
【００９８】
無機充填材５：球形シリカ（電気化学工業（株）製「ＳＦＰ−１３０ＭＣ」、平均粒径０．６μｍ、比表面積６．２ｍ２／ｇ）１００部に対して、エポキシシラン（信越化学工業（株）製、「ＫＢＭ４０３」、分子量２３６）０．５部で表面処理したもの、単位表面積当たりのカーボン量０．１９ｍｇ／ｍ２。」
１ｄ「【００９９】
　＜実施例１＞
　ナフタレン型エポキシ樹脂（ＤＩＣ（株）製「ＨＰ４０３２ＳＳ」）１０部、液状ビスフェノール型エポキシ樹脂（新日鐵化学（株）製「ＺＸ１０５９」、ビスフェノールＡ型とビスフェノールＦ型の１：１混合品）５部、ナフトール型エポキシ樹脂（新日鐵化学（株）製「ＥＳＮ−４７５Ｖ」）２０部、フェノキシ樹脂（重量平均分子量３５０００、三菱化学（株）製「ＹＬ７５５３ＢＨ３０」、不揮発成分３０質量％のＭＥＫとシクロヘキサノンの１：１溶液）５部をソルベントナフサ５０部に撹拌しながら加熱溶解させ、その後室温にまで冷却した。次いで、活性エステル化合物（ＤＩＣ（株）製「ＨＰＣ８０００−６５Ｔ」、活性エステル当量２２３、固形分６５％のトルエン溶液）１０部、ビスフェノールＡジシアネートのプレポリマー（ロンザジャパン（株）製「ＢＡ２３０Ｓ７５」、シアネート当量約２３２、不揮発分７５質量％のＭＥＫ溶液）２０部、フェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂（ロンザジャパン（株）製「ＰＴ３０Ｓ」、シアネート当量約１３３、不揮発分８５質量％のＭＥＫ溶液）１０部、ゴム粒子（ガンツ化成（株）製、スタフィロイドＡＣ３８１６Ｎ）４部をソルベントナフサ１６部に室温で１２時間膨潤させておいたもの、難燃剤（三光（株）製「ＨＣＡ−ＨＱ」、10-(2,5-ジヒドロキシフェニル)-10-ヒドロ-9-オキサ-10-フォスファフェナンスレン-10-オキサイド、平均粒径１μｍ）３部、硬化促進剤（４−ジメチルアミノピリジン、固形分４質量％のＭＥＫ溶液）０．５部、硬化促進剤（東京化成（株）製、コバルト（III）アセチルアセトナート、固形分１質量％のＭＥＫ溶液）４．５部を加え、更に無機充填材１を１５０部混合し、回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。次に、かかる樹脂ワニスをアルキド系離型処理付きポリエチレンテレフタレートフィルム（リンテック（株）製「ＡＬ５」、厚さ３８μｍ）の離型面上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが４０μｍとなるようにダイコーターにて均一に塗布し、８０〜１１０℃（平均９５℃）で５分間乾燥し、接着フィルムを得た。
　・・・
【０１０２】
　＜比較例２＞
　無機充填材１を無機充填材４に変更した以外は、実施例１と全く同様にして樹脂ワニスを作製した。次いで、実施例１と全く同様にして接着フィルムを得た。
【０１０３】
　＜比較例３＞
　無機充填材１を無機充填材５に変更した以外は、実施例１と全く同様にして樹脂ワニスを作製した。次いで、実施例１と全く同様にして接着フィルムを得た。
（イ）甲２の記載事項
２ａ「【００３４】
　また、アミノビス（アルコキシシラン）で表面処理された無機充填材において、該無機充填材の表面組成を分析することによって、炭素原子の存在を確認し、該無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を求めることができる。カーボン分析計としては、堀場製作所製「ＥＭＩＡ−３２０Ｖ」等を使用することができる。
【００３５】
　具体的には、溶剤として十分な量のＭＥＫをアミノビス（アルコキシシラン）で表面処理された無機充填材に加えて、２５℃で５分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて該無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、堀場製作所製「ＥＭＩＡ−３２０Ｖ」等を使用することができる。」
２ｂ「【００３８】
　アミノビス（アルコキシシラン）で表面処理された無機充填材への表面処理方法は、特に限定されないが、乾式法や湿式法が挙げられる。乾式法としては、回転ミキサーに無機充填材を仕込んで、攪拌しながらアミノビス（アルコキシシラン）のアルコール溶液又は水溶液を滴下又は噴霧した後、さらに攪拌し、ふるいにより分級する。その後、加熱によりアミノビス（アルコキシシラン）と無機充填材とを脱水縮合させることにより得ることができる。湿式法としては、無機充填材と有機溶媒とのスラリーを攪拌しながらアミノビス（アルコキシシラン）を添加し、攪拌した後、濾過、乾燥及びふるいによる分級を行う。その後、加熱によりアミノビス（アルコキシシラン）と無機充填材とを脱水縮合させることにより得ることができる。さらに、樹脂組成物中にアミノビス（アルコキシシラン）を添加するインテグラルブレンド法でも可能である。」
２ｃ「【００９４】
無機充填材３：球形シリカ（電気化学工業（株）製「ＳＦＰ−１３０ＭＣ」、平均粒径０．６μｍ）１００部に対して、フェニルアミノシラン（信越化学工業（株）製、「ＫＢＭ５７３」、分子量２５５）０．５部で表面処理したもの、単位表面積当たりのカーボン量０．３０ｍｇ／ｍ２。」
２ｄ「【００９９】
　＜実施例１＞
　ナフタレン型エポキシ樹脂（ＤＩＣ（株）製「ＨＰ４０３２ＳＳ」）１０部、液状ビスフェノール型エポキシ樹脂（新日鐵化学（株）製「ＺＸ１０５９」、ビスフェノールＡ型とビスフェノールＦ型の１：１混合品）５部、ナフトール型エポキシ樹脂（新日鐵化学（株）製「ＥＳＮ−４７５Ｖ」）２０部、フェノキシ樹脂（重量平均分子量３５０００、三菱化学（株）製「ＹＬ７５５３ＢＨ３０」、不揮発成分３０質量％のＭＥＫとシクロヘキサノンの１：１溶液）５部をソルベントナフサ５０部に撹拌しながら加熱溶解させ、その後室温にまで冷却した。次いで、活性エステル化合物（ＤＩＣ（株）製「ＨＰＣ８０００−６５Ｔ」、活性エステル当量２２３、固形分６５％のトルエン溶液）１０部、ビスフェノールＡジシアネートのプレポリマー（ロンザジャパン（株）製「ＢＡ２３０Ｓ７５」、シアネート当量約２３２、不揮発分７５質量％のＭＥＫ溶液）２０部、フェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂（ロンザジャパン（株）製「ＰＴ３０Ｓ」、シアネート当量約１３３、不揮発分８５質量％のＭＥＫ溶液）１０部、ゴム粒子（ガンツ化成（株）製、スタフィロイドＡＣ３８１６Ｎ）４部をソルベントナフサ１６部に室温で１２時間膨潤させておいたもの、難燃剤（三光（株）製「ＨＣＡ−ＨＱ」、10-(2,5-ジヒドロキシフェニル)-10-ヒドロ-9-オキサ-10-フォスファフェナンスレン-10-オキサイド、平均粒径１μｍ）３部、硬化促進剤（４−ジメチルアミノピリジン、固形分４質量％のＭＥＫ溶液）０．５部、硬化促進剤（東京化成（株）製、コバルト（III）アセチルアセトナート、固形分１質量％のＭＥＫ溶液）４．５部を加え、更に無機充填材１を１５０部混合し、回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。次に、かかる樹脂ワニスをアルキド系離型処理付きポリエチレンテレフタレートフィルム（リンテック（株）製「ＡＬ５」、厚さ３８μｍ）の離型面上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが４０μｍとなるようにダイコーターにて均一に塗布し、８０〜１１０℃（平均９５℃）で５分間乾燥し、接着フィルムを得た。
　・・・
【０１０４】
　＜比較例２＞
　無機充填材１を、無機充填材３に変更した以外は、実施例１と全く同様にして樹脂ワニスを作製した。次いで、実施例１と全く同様にして接着フィルムを得た。」
（ウ）甲１に記載された発明（無機充填剤２、４、５）
　記載事項１ｃによると、甲１には、無機充填剤２、４、５として、次の表面処理球形シリカが記載されているといえる。
・無機充填材２：球形シリカ（アドマテックス（株）製「ＳＯ−Ｃ２」、平均粒径０．５μｍ、比表面積５．５ｍ２／ｇ）１００部に対して、３−アミノプロピルシラン（信越化学工業（株）製、「ＫＢＥ９０３」、分子量２２１）０．４部で表面処理したもの（単位表面積当たりのカーボン量０．１５ｍｇ／ｍ２）
・無機充填材４：球形シリカ（電気化学工業（株）製「ＳＦＰ−１３０ＭＣ」、平均粒径０．６μｍ、比表面積６．２ｍ２／ｇ）１００部に対して、フェニルアミノシラン（信越化学工業（株）製、「ＫＢＭ５７３」、分子量２５５）０．５部で表面処理したもの（単位表面積当たりのカーボン量０．３０ｍｇ／ｍ２）
・無機充填材５：球形シリカ（電気化学工業（株）製「ＳＦＰ−１３０ＭＣ」、平均粒径０．６μｍ、比表面積６．２ｍ２／ｇ）１００部に対して、エポキシシラン（信越化学工業（株）製、「ＫＢＭ４０３」、分子量２３６）０．５部で表面処理したもの（単位表面積当たりのカーボン量０．１９ｍｇ／ｍ２）
（エ）甲２に記載された発明（無機充填材３）
　記載事項２ｃによると、甲２には、無機充填剤３として、次の表面処理球形シリカが記載されているといえる。
・無機充填材３：球形シリカ（電気化学工業（株）製「ＳＦＰ−１３０ＭＣ」、平均粒径０．６μｍ）１００部に対して、フェニルアミノシラン（信越化学工業（株）製、「ＫＢＭ５７３」、分子量２５５）０．５部で表面処理したもの（単位表面積当たりのカーボン量０．３０ｍｇ／ｍ２）
（オ）甲１に記載された発明（無機充填材２、４、５）との対比・判断
　本件発明１と甲１に記載された無機充填剤２、４、５とを対比すると、当該無機充填材４、５は、本件発明１において「（ただし、(1)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量２５５のフェニルアミノシラン０．５部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．３０ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」、(2)「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量２３６のエポキシシラン０．５部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．１９ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」 ・・・ を除く。）」として、本件発明１から除かれているものであるし、無機充填材２は、「３−アミノプロピルシラン（信越化学工業（株）製、「ＫＢＥ９０３」、分子量２２１）」で表面処理されたものであるところ、当該「ＫＢＥ９０３」は、甲３の製品カタログ（２０頁を参照した。）によれば、「３−アミノプロピルトリエトキシシラン」であることが分かるから、加水分解基としてトリメトキシ基を有するシランカップリング剤で表面処理することが特定されている本件発明１とは相違するものである。
　したがって、本件発明１は、上記甲１の無機充填剤２、４、５、すなわち、甲１に記載された発明であるとはいえない。
（カ）甲２に記載された発明（無機充填材３）との対比・判断
　甲２に記載された無機充填材３は、上記（オ）において検討した甲１の「無機充填材４」と同一のものであり、これが本件発明１と相違することも前述のとおりである。
　したがって、本件発明１は、甲２の無機充填材３、すなわち甲２に記載された発明であるとはいえない。
イ 本件発明２、３について
　本件発明２，３は、本件発明１を直接又は間接的に引用するものであるから、本件発明１と同様に、甲１又は甲２に記載された発明であるとはいえない。
（２）申立理由２（特許法第２９条第２項）について
　甲１及び甲２には、無機充填材であるシリカの単位表面積当たりのカーボン量が、０．０５〜１ｍｇ／ｍ２であることが好ましいことが記載されている（甲１：請求項６、９、段落【００３５】、甲２：請求項６、９、段落【００３６】）。　　
　しかし、甲１及び甲２には、本件発明１のように、シリカ粒子表面のシランカップリング剤の反応量に対する非反応量の比率を制御するという技術思想はなく、また、シランカップリング剤の仕込み量を調整するなどして表面処理を制御することで、本件発明１で特定する反応量及び反応量に対する非反応量の範囲になるともいえない。
　したがって、本件発明１及び本件発明１を直接又は間接的に引用する本件発明２、３は、甲１又は甲２に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
（３）申立理由３（特許法第３６条第４項第１号）及び申立理由４（特許法第３６条第６項第２号）について
　申立理由３及び申立理由４は、本件明細書及び特許請求の範囲にはＢＥＴ法の測定のための吸着ガスについて開示がないから、ＢＥＴ法による表面積が特定された訂正前の請求項１及びこれを引用する請求項２、３に係る発明は、発明の詳細な説明が、当業者がその実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものでなく、また、明確ではないというものである。
　しかし、本件明細書の段落【００１５】、【００３４】には、ＢＥＴ比表面積の測定機として「Ｍａｃｓｏｒｂ ＨＭ ｍｏｄｅｌ−１２０８」（ＭＡＣＳＯＲＢ社製）を使用することが記載され、測定装置の情報から吸着ガスについて明らかであるといえるから（なお、吸着ガスについては、特許権者の令和元年６月３日付けの回答書及び添付された乙第１号証（上記装置の取扱説明書）からも明らかである。）、本件発明１〜３のＢＥＴ比表面積についての特定は明確でないとはいえず、また、発明の詳細な説明は当業者が本件発明１〜３の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものでないとはいえない。
３ 特許異議申立人の意見について
　特許異議申立人は、令和２年７月１４日付けの上申書において、甲１及び甲２には、種々のシランカップリング剤による処理が行われることが前提とすることが記載されているから、本件発明１は、上記甲１に記載された発明等のシランカップリング剤に代えて他のシランカップリング剤を用いることにより容易に発明をすることができた旨主張している。
　しかし、上記２（２）に記載したように、甲１及び甲２には、本件発明１のように、シリカ粒子表面のシランカップリング剤の反応量に対する非反応量の比率を制御するという技術思想の開示はなく、また、甲１に記載された発明等において、他のシランカップリング剤を用いた場合に一分子当たりの炭素数が異なり、同様なシリカ表面のカーボン量が得られるともいえないから、本件発明１の反応量及び非反応量についての特定事項が導出できるとはいえない。
　よって、特許異議申立人の主張は採用できない。
第７ むすび
　以上のとおりであるから、取消理由通知（決定の予告）に記載した取消理由及び特許異議申立書に記載した特許異議の申立ての理由によっては、本件請求項１〜３に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１〜３に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
令和２年９月２９日（２０２０．９．２９）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
表面改質シリカ粉末及びスラリー組成物
　【技術分野】
　【０００１】
本発明は、表面改質シリカ粉末に関する。
　【背景技術】
　【０００２】
近年、電子機器の高速化、小型軽量化、高機能化に伴い、高密度実装・配線微細化に対応したプリント配線板が開発されている。多層ビルドアップ基板では、絶縁層と銅配線やＩＣチップとの熱膨張率の違いによるクラック発生、製造時の耐熱性等の問題が生じ、微細配線の信頼性向上を目的として、従来にも増して、低熱膨張が要求されている。
　【０００３】
基板の熱膨張率低減には、シリカ粉末などのフィラーをエポキシ樹脂等のマトリックス樹脂に高充填する方法、剛直な樹脂を利用する等の方法が知られている。しかし、フィラーを樹脂に高充填すると、フィラーの分散性が低下し、流動性及び成形性が著しく低下する。更に、薄型化の場合、基板自体の剛性が低いため、絶縁信頼性が低下する問題があった。
　【０００４】
フィラーを樹脂に分散させるために、表面処理状態の制御が有効である。シリカの粒子表面にはシランカップリング剤等の表面処理剤との反応サイトとして、シラノール基が存在しており、表面処理剤を処理することで、シリカの樹脂への分散性を改善し、樹脂硬化物の機械的強度の向上がなされている。
　【０００５】
表面処理剤の機能を発揮させるためには、表面に均一に処理すること、表面処理剤の添加量が重要である。特許文献１では、シランカップリング剤、オルガノシラザンにおける単位表面積（ｎｍ２）あたりの官能基数を規定、特許文献２では、シランカップリング剤で処理された金属酸化物表面処理粒子の表面処理層の状態にすることで、表面状態の制御による高分散を達成している。しかし、表面処理剤の添加量を多量にすると、表面と反応していない非反応性の表面処理剤の量が多くなり、機械的強度が低下する問題があった。
　【先行技術文献】
　【特許文献】
　【０００６】
　【特許文献１】特開２０１２−２１４５５４号公報
　【特許文献２】特開２００５−２９８７４０号公報
　【発明の概要】
　【発明が解決しようとする課題】
　【０００７】
一般的な表面処理方法として、湿式処理方法と乾式処理方法がある。湿式処理方法では、表面処理剤の添加量に対するシリカ表面への反応率が１０％程度であり、非反応性の表面処理剤が過剰に存在し、ワニス中のシリカ分散安定性が得られないため、機械的強度が低下する問題があった。乾式表面処理法では、反応率は非常に高いが、表面処理剤同士の反応が優先的に進み、不均一な反応層がシリカ粒子表面に形成されるため、同様に機械的強度が低下する問題があった。以上のことから、表面処理剤の反応量が非反応量と比較して多く、樹脂への密着性が高いかつ樹脂マトリックスからの脱落が少ないシリカ粉末を得ることは困難であった。
　【０００８】
本発明は、上記を鑑みてなされたものであり、表面処理剤のシリカ粒子表面への反応量が高く、シリカ粒子が良好に分散し、優れた基板強度を有する樹脂硬化物を提供することを解決すべき課題とする。
　【課題を解決するための手段】
　【０００９】
本発明は、上記の課題を解決するために、以下の手段を採用する。
　（１）加水分解基としてトリメトキシ基を有するシランカップリング剤で表面処理されたシリカ粒子表面のシランカップリング剤の反応量（Ａ）が単位表面積（ｎｍ２）あたり１．５〜３．０個、非反応量（Ｂ）が単位表面積（ｎｍ２）あたり反応量（Ａ）の０．１〜０．６倍であり、ＢＥＴ比表面積が３〜４５ｍ２／ｇである表面改質球状シリカ粉末（ただし、▲１▼「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量２５５のフェニルアミノシラン０．５部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．３０ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」、▲２▼「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量２３６のエポキシシラン０．５部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．１９ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」、及び▲３▼「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量３４１のビス（トリメトキシシリルプロピル）アミン０．８部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．４０ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」を除く。）。
　（２）前記（１）に記載の表面改質球状シリカ粉末を含むスラリー組成物。
　（３）前記（２）に記載のスラリー組成物を用いた樹脂組成物。
　【００１０】
表面改質されたシリカ粉末には、反応層と非反応層が存在する。反応層とは、シリカ表面のシラノール基とシランカップリング剤が化学吸着している層である。反応層が存在することで、樹脂中のシリカ同士の凝集を抑制する効果が発現される。
非反応層とは、反応層の表面あるいはシリカ粒子の表面に物理的に吸着しているシランカップリング剤の層である。非反応層が存在することで、樹脂への相溶性を向上させている。非反応層は、物理的に吸着されているため、有機溶剤を用いた洗浄処理により、除去することができる。
　【発明の効果】
　【００１１】
本発明の表面改質されたシリカ粉末は、シランカップリング処理を行ったシリカ粒子の反応層と非反応層を制御することで、分散が良好で、スラリー組成物の流動性が極めて高く、シリカ粒子の凝集物が少ない樹脂硬化物を提供することができる。
　【発明を実施するための形態】
　【００１２】
本発明は、シランカップリング剤で表面改質されたシリカ粉末であって、シリカ粒子表面への表面処理剤の反応量（Ａ）が単位表面積（ｎｍ２）あたり１．５〜３．０個、シリカ粒子表面への表面処理剤の非反応量（Ｂ）が単位表面積（ｎｍ２）あたり反応量（Ａ）の０．１〜０．６倍であることを特徴とする表面改質シリカ粉末である。
　【００１３】
シランカップリング剤の反応量は１．５〜３．０個／ｎｍ２である。反応量が１．５個／ｎｍ２未満であると、樹脂への相溶性が向上しないため、優れた機械的強度が得られない。３．０個／ｎｍ２を超えると、シランカップリング剤同士の反応が優先的に進み、凝集が発生する。好ましい反応量は１．８〜２．８個／ｎｍ２である。
非反応量は、単位表面積（ｎｍ２）あたり反応量（個）の０．１〜０．６倍である。０．１倍未満、０．６倍を超えると、ワニス中のシリカ分散安定性が得られないため、機械的強度が低下する。
　【００１４】
シランカップリング剤の反応量、非反応量は、Ｃ／Ｓアナライザー（ＣＳ−４４４ＬＳ、ＬＥＣＯ社製）を用いた炭素量結果から求めることができる。表面処理されたシリカ粉末には、反応層と非反応層が存在する。非反応層は、物理的に吸着されているため、有機溶剤を用いた洗浄処理により、除去することができる。反応層は、シリカ表面のシラノール基とシランカップリング剤が化学吸着しているため、有機溶剤で洗浄しても除去されない。つまり、洗浄前のシリカ粉末には、反応層と非反応層が存在し、洗浄後のシリカ粉末には反応層のみ存在する。非反応量は、洗浄前のシリカ粉末中の炭素量と洗浄後のシリカ粉末中の炭素量の差より、式（２）にて求めることができる。
反応量、非反応量は下記の式（１）、（２）で示される。
　（１）反応量（個／ｎｍ２）＝
〔洗浄後のシリカ粉末中の炭素量（質量％）／（ＳＣ剤の炭素数×１２．０１）／１００〕（ｍｏｌ／ｇ）／ＢＥＴ比表面積（ｍ２／ｇ）×６．０２×１０２３／１０１８
ＳＣ剤：シランカップリング剤
１２．０１：炭素の原子量
１０１８　　：ｍ２からｎｍ２に単位変換
　（２）非反応量（個／ｎｍ２）＝
〔洗浄前のシリカ粉末中の炭素量（質量％）−洗浄後のシリカ粉末中の炭素量（質量％）／（ＳＣ剤の炭素数×１２．０１）／１００〕（ｍｏｌ／ｇ）／ＢＥＴ比表面積（ｍ２／ｇ）×６．０２×１０２３／１０１８
ＳＣ剤：シランカップリング剤
１２．０１：炭素の原子量
１０１８　　：ｍ２からｎｍ２に単位変換
　【００１５】
本発明の球状シリカ粉末の比表面積は、ＢＥＴ法に基づく値であり、比表面積測定機としては、「ＭａｃｓｏｒｂＨＭ　ｍｏｄｅｌ−１２０８」（ＭＡＣＳＯＲＢ社製）を用いて測定することができる。
シリカ粒子表面に存在する反応サイト量の観点から、ＢＥＴ比表面積が３〜４５ｍ２／ｇの範囲であることが好ましい。
　【００１６】
表面改質球状シリカ粉末の製造方法について、説明する。
本発明を構成する球状シリカ粉末の製造方法は、金属粉末スラリーを製造炉で可燃性ガスと助燃性ガスとからなる高温火炎中に供給し、該火炎中で該金属粉末を気化、酸化させることにより得られる。シリカ粉末を得る場合にはシリコン粉末を利用し、使用する金属シリコン粉末の粒子径、供給量、火炎温度等を調整することにより、得られるシリカ粉末の粒径、ＢＥＴ比表面積を調整することが可能である。
　【００１７】
本発明の球状シリカ粉末は、表面処理が施され、表面改質球状シリカ粉末となる。表面処理を予め施すことで、シリカ粒子の凝集を抑制することができ、樹脂組成物中にシリカ粒子を良好に分散させることができる。球状シリカ粉末のシランカップリング処理は、既に公知の種々のシランカップリング剤を用いて行うことができる。シランカップリング剤として、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン等のエポキシシラン、アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノシラン、ビニルトリメトキシシラン等のビニルシラン、アクリロキシトリメトキシシラン等のアクリルシラン等が例示される。
　【００１８】
シランカップリング剤による表面処理は、シリカ粉末を処理容器内で混合させた状態で、加水分解したシランカップリング剤を含む塩基性水溶液を、超音波噴霧器を用いて、噴霧させることで、予めシランカップリング剤をシリカ粒子の表面と接触させた後、湿式分散機で処理することにより行う。
　【００１９】
加水分解したシランカップリング剤は、メタノールを混合した塩基性水溶液を用いて調製する。加水分解反応が進行すれば、塩基性水溶液を構成する材料のモル比は特に限定されないが、シランカップリング剤１個あたり、３つの加水分解基を有することから、シランカップリング剤：水：メタノール＝１：３：１が好ましい。
　【００２０】
塩基性水溶液としては、有機アミン、シラザン類、窒素を含む環状化合物を含む溶液、アミン系シランカップリング剤等があげられる。水溶液のｐＨは、特に限定されないが、シランカップリング剤の加水分解、重縮合反応が過剰に進むと、水溶液が白濁し、シリカ粒子の表面と反応する前に、ポリマー層を形成する。反応速度制御の観点から、ｐＨは１０〜１２の範囲にあることが好ましい。
　【００２１】
超音波噴霧器は、特に限定されず、公知のものを使用すれば良い。超音波噴霧時の噴霧サイズは、超音波振動の周波数に依存し、周波数が高くなればなるほど、噴霧サイズを小さくすることができる。好ましい噴霧サイズは１μｍ以下である。
　【００２２】
本発明のシランカップリング処理は、超音波噴霧器を用いて、シリカ粒子の表面に予めシランカップリング剤を均一に吸着させた後、各種有機溶剤、水への分散性が高い状態で、ビーズミル、高圧式ホモジナイザー等の湿式分散機を用いた分散処理を行うことに特徴があり、シランカップリング剤の高い反応率を実現することができる。
　【００２３】
シランカップリング処理を行ったシリカ粉末の溶液は、シランカップリング処理後に粉末化させても良い。粉末化工程は、特に限定されないが、有機溶剤、水を加熱、減圧させることで、蒸発させる工程が好ましい。
　【００２４】
スラリー組成物について、説明する。
表面改質シリカ粉末は、水、有機溶媒を用いたスラリー組成物として、好適に使用することができる。シリカ粒子を分散させる有機溶媒としては、その種類が特に限定されるものではない。樹脂に応じて選択すればよい。例えば、メチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸メチル、酢酸エチル等の極性溶媒が用いられる。
その中でも特に、メチルエチルケトンが好ましい。
　【００２５】
分散処理は、ボールミル、超音波分散機、各種ミキサー、高圧ホモジナイザー等の機器を使用して行えばよい。尚、スラリーの変性を防ぐため、窒素雰囲気下等の非酸化性雰囲気下で製造を行うことが望ましい。
　【００２６】
スラリー組成物に含まれる表面改質シリカ粉末の含有量は特に制限はないが、樹脂組成物の成形性の観点から７５．０質量％以下が好ましい。７５．０質量％を超えると、分散処理が難しくなる。
　【００２７】
樹脂組成物について、説明する。
スラリー組成物を用いて、パッケージ用基板や層間絶縁フィルム等の樹脂基板を製造する場合には、樹脂としてエポキシ樹脂を採用することが好ましい。
　【００２８】
樹脂組成物に用いるエポキシ樹脂は、特に限定されないが、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フェノキシ型エポキシ樹脂等が挙げられる。これらの中の１種類を単独で用いることもできるし、異なる重要分子量を有する２種類以上を併用もでき、１種類または２種類以上することもできる。
これらエポキシ樹脂中でも特にビスフェノールＡ型エポキシ樹脂が好ましい。
　【００２９】
本発明の樹脂組成物は、公知の硬化剤を用いればよいが、フェノール系硬化剤を使用することができる。フェノール系硬化剤としてはフェノールノボラック樹脂、アルキルフェノールノボラック樹脂、ポリビニルフェノール類などを単独あるいは２種以上組み合わせて使用することができる。
　【００３０】
前記フェノール硬化剤の配合量は、エポキシ樹脂との当量比（フェノール性水酸基当量／エポキシ基当量）が１．０未満、０．１以上が好ましい。これにより、未反応のフェノール硬化剤の残留がなくなり、吸湿耐熱性が向上する。
　【００３１】
樹脂組成物に配合される球状シリカ粉末の量は、耐熱性、熱膨張率の観点から、多いことが好ましい。樹脂組成物の全体質量に対して、８０質量％以上であることが望ましい。
　【実施例】
　【００３２】
以下、本発明を実施例、比較例をあげて更に具体的に説明する。
（実施例１〜９）
表面改質シリカ粉末の作製
　（１）実施例１
金属粉末スラリー法で製造された平均粒径０．６μｍ、ＢＥＴ比表面積５．５ｍ２／ｇの球状シリカ粉末（ＳＦＰ−３０Ｍ：電気化学工業社製）を０．５ｋｇ処理容器内に投入した。シランカップリング剤として、単位面積（ｎｍ２）あたり４．０個にあたる４．３ｇのγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン「ＫＢＭ−４０３」（信越化学工業株式会社製、分子量２３６．３）、０．９９ｇのイオン交換水、０．５９ｇのメタノールを計量し、塩基性物質として、ヘキサメチルジシラザン「ＳＺ−３１」（信越化学工業株式会社製、分子量１６６．５）をシランカップリング剤の３倍モル量投入し、シランカップリング剤入り塩基性溶液を調製した。次いで、超音波噴霧器を用いて、噴霧量２．５Ｌ／ｍｉｎ、周波数１．６ＭＨｚ、Ｎ２圧力０．０４ＭＰａの条件にて、シリカ粉末に噴霧した。その後、メチルエチルケトンに混合させて、固形分が７０重量％のスラリーを調製後、ビーズミルを用いて、ビーズ径５００μｍ、ビーズ充填率６５ｖｏｌ％、周速７ｍ／ｓｅｃ、流量４Ｌ／ｍｉｎ、１Ｐａｓｓの条件にて、分散させた。最後に、真空下、５０℃にて、真空乾燥させることで、表面改質シリカ粉末を得た。
　（２）実施例２
　実施例１の表面処理において、被処理粉末を平均粒径０．３μｍ、ＢＥＴ比表面積１３ｍ２／ｇの球状シリカ粉末（ＳＦＰ−２０Ｍ：電気化学工業社製）、シランカップリング剤として、１０．２ｇのγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン「ＫＢＭ−４０３」（信越化学工業株式会社製、分子量２３６．３）、１．４ｇのイオン交換水、２．３ｇのメタノールを用いた以外は実施例１と同様にして、表面改質シリカ粉末を得た。
　（３）実施例３
　上記実施例１の表面処理において、シランカップリング剤として、２．７ｇのビニルトリメトキシシラン「ＫＢＭ−１００３」（信越化学工業株式会社製、分子量１４８．２）を用いた以外は実施例１と同様にして、表面改質シリカ粉末を得た。
　（４）実施例４
　実施例１の表面処理において、被処理粉末を平均粒径０．３μｍ、ＢＥＴ比表面積１３ｍ２／ｇの球状シリカ粉末（ＳＦＰ−２０Ｍ：電気化学工業社製）、シランカップリング剤として、６．４ｇのビニルトリメトキシシラン「ＫＢＭ−１００３」（信越化学工業株式会社製、分子量１４８．２）、１．４ｇのイオン交換水、２．３ｇのメタノールを用いた以外は実施例１と同様にして、表面改質シリカ粉末を得た。
　（５）実施例５
　実施例１の表面処理において、シランカップリング剤として、単位面積（ｎｍ２）あたり３．０個にあたる３．５ｇのＮ−フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン「ＫＢＭ−５７３」（信越化学工業株式会社製、分子量２５５．４）、０．７４ｇのイオン交換水、０．４４ｇのメタノールを用いた以外は実施例１と同様にして、表面改質シリカ粉末を得た。
　（６）実施例６
　実施例１の表面処理において、被処理粉末を平均粒径０．３μｍ、ＢＥＴ比表面積１３ｍ２／ｇの球状シリカ粉末（ＳＦＰ−２０Ｍ：電気化学工業社製）、シランカップリング剤として、単位面積（ｎｍ２）あたり２．０個にあたる５．５ｇのＮ−フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン「ＫＢＭ−５７３」（信越化学工業株式会社製、分子量２５５．４）、０．６９ｇのイオン交換水、１．２ｇのメタノールを用いた以外は実施例１と同様にして、表面改質シリカ粉末を得た。
　（７）実施例７
　実施例１の表面処理において、湿式分散機として、高圧式ホモジナイザーを用いた以外は実施例１と同様にして、表面改質シリカ粉末を得た。
　（８）実施例８
　実施例１の表面処理において、被処理粉末を平均粒径０．３μｍ、ＢＥＴ比表面積１３ｍ２／ｇの球状シリカ粉末（ＳＦＰ−２０Ｍ：電気化学工業社製）、湿式分散機として、高圧式ホモジナイザーを用いた以外は実施例２と同様にして、表面改質シリカ粉末を得た。
　（９）実施例９
　実施例１の表面処理において、被処理粉末を平均粒径０．１μｍ、ＢＥＴ比表面積４５ｍ２／ｇの球状シリカ粉末（ＵＦＰ−４０：電気化学工業社製）、シランカップリング剤として、２６．５ｇのγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン「ＫＢＭ−４０３」（信越化学工業株式会社製、分子量２３６．３）、５．６ｇのイオン交換水、４．２ｇのメタノール、超音波ホモジナイザーを用いた以外は実施例１と同様にして、表面改質シリカ粉末を得た。
　【００３３】
（比較例１〜８）
　（１０）比較例１
　実施例１の表面処理において、塩基性物質を用いなかった以外は実施例１と同様にして、表面改質シリカ粉末を得た。
　（１１）比較例２
　実施例２の表面処理において、塩基性物質を用いなかった以外は実施例１と同様にして、表面改質シリカ粉末を得た。
　（１２）比較例３
　実施例３の表面処理において、塩基性物質を用いなかった以外は実施例１と同様にして、表面改質シリカ粉末を得た。
　（１３）比較例４
　実施例５の表面処理において、塩基性物質を用いなかった以外は実施例１と同様にして、表面改質シリカ粉末を得た。
　（１４）比較例５
　実施例１の表面処理において、表面処理剤の噴霧方法として、２流体スプレーノズルによる液噴霧を用いた以外は実施例１と同様にして、表面改質シリカ粉末を得た。
　（１５）比較例６
　実施例２の表面処理において、表面処理剤の噴霧方法として、２流体スプレーノズルによる液噴霧を用いた以外は実施例１と同様にして、表面改質シリカ粉末を得た。
　（１６）比較例７
　実施例３の表面処理において、表面処理剤の噴霧方法として、２流体スプレーノズルによる液噴霧を用いた以外は実施例１と同様にして、表面改質シリカ粉末を得た。
　（１７）比較例８
　実施例５の表面処理において、表面処理剤の噴霧方法として、２流体スプレーノズルによる液噴霧を用いた以外は実施例１と同様にして、表面改質シリカ粉末を得た。
　（１８）比較例９
　実施例６の表面処理において、ビーズミルを用いなかった以外は実施例５と同様にして、表面改質シリカ粉末を得た。
　（１９）比較例１０
　実施例５の表面処理において、表面処理剤の噴霧方法として、２流体スプレーノズルによる液噴霧を用いた以外は実施例５と同様にして、表面改質シリカ粉末を得た。
　【００３４】
比表面積とカーボン量の測定方法を下記に示す。
（比表面積測定）
　球状シリカ粉末を１．０ｇ計量し、測定用のセルに投入、前処理後、ＢＥＴ比表面積値を測定した。測定機は「Ｍａｃｓｏｒｂ　ＨＭ　ｍｏｄｅｌ−１２０８」（ＭＡＣＳＯＲＢ社製）を使用した。以下の条件にて、前処理を行った。
脱気温度　：３００℃
脱気時間　：１８分
冷却時間　：４分
（カーボン量測定）
　反応量測定用サンプルの前処理
スラリー５ｇにアセトン３５ｇを混合後、振とう機を用いて、１０分処理した。次に、遠心分離機を用いて、固液分離後、上澄み液を廃棄した。沈降物とアセトン３５ｇを混合後、前記と同様な操作を行った。最後に、沈降物を乾燥させ、反応量測定用サンプルを得た。
　カーボン量測定
炭素／硫黄同時分析計にＬＥＣＯ社製商品名「ＣＳ−４４４ＬＳ型」、炭素標準試料にＪＳＳ０６１−８を用いて、カーボン量を測定した。
　【００３５】
（樹脂硬化物の作製）
　エポキシ樹脂としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂「ＥＰＩＣＬＯＮ−８５０」（ＤＩＣ株式会社製、エポキシ当量１８６ｇ／ｅｑ）２０．０質量部、硬化剤としてノボラック型フェノール樹脂「ＰＳＭ−４２６１」（群栄化学工業株式会社製、水酸基当量１０６ｇ／ｅｑ、軟化点８０℃）１１．７質量部、硬化促進剤として２−フェニルイミダゾール（２ＰＺ）「四国化成工業株式会社製」０．３質量部を表面改質シリカ粉末の製造過程で得られたスラリー組成物１００質量部に溶解し、樹脂組成物（エポキシ樹脂ワニス）を調製した。この樹脂組成物を基材にアプリケーターを用いて塗布し、５０℃下で真空脱泡後、温度１５０℃、２時間乾燥し、樹脂硬化物を得た。得られた樹脂組成物の流動性、分散性及び樹脂硬化物の成型性を以下に示す方法に従って評価した。それらの評価結果を表１〜３に示す。
　【００３６】
樹脂組成物及び樹脂硬化物の評価方法を以下の（１）〜（４）に示す。
　（１）流動性／ワニス粘度
　真空脱泡後の樹脂組成物をＥ型粘度計（東機産業株式会社製：ＴＶＥ−１０）にて２０ｒｐｍ時（測定温度２５℃）の粘度を測定した。この際、１．０Ｐａ・ｓ以上を不良とした。
　（２）分散安定性
　得られた樹脂組成物を温度４０℃、湿度８０％下で１日静置後、粒度分布測定機「モデルＬＳ−２３０」（ベックマン・コールター社製）により測定した。この際、５μｍ以上の位置に０．０１％以上の粒度分布が存在した場合、不良とした。
　（３）樹脂密着性／破断面ＳＥＭ観察
　実施例１、比較例１で製造した樹脂硬化物を破断して破断面をＳＥＭ（倍率：１００００）にて、観察した。樹脂マトリックスからの粒子脱落度合いを比較した。粒子が脱落した形跡が１視野あたり５個以上存在する場合、不良とした。
　（４）成形性／シリカ粒子の凝集物
　得られた樹脂硬化物の面積１ｃｍ３中に存在する１０μｍ以上のシリカ粒子の凝集物の個数を表面形状検査システムＫＵＲＡＳＵＲＦ−ＰＨ（倉敷紡績株式会社製）を用いて、縞パターンを照射し位相差シフトを行うことで表面形状の凹凸を検出し、次の基準で成形性として評価した。
各符号は以下の評価基準である。
◎：１０μｍ未満の凝集物なし
○：１０μｍ未満の凝集物５個未満
×：１０μｍ以上の凝集物５個以上
　【００３７】
　【表１】
　【００３８】
　【表２】
　【００３９】
　実施例および比較例の対比から明らかなように、本発明の球状シリカ粉末をエポキシ樹脂に充填した際には、球状シリカ粒子の分散が良好で、スラリー組成物の流動性が極めて高く、シリカ粒子の凝集物が少ない樹脂硬化物が得られた。
　【産業上の利用可能性】
　【００４０】
本発明のスラリー組成物、樹脂組成物は、例えば、プリント配線板等の電子機器分野において、半導体パッケージ基板に使用することができる。
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　加水分解基としてトリメトキシ基を有するシランカップリング剤で表面処理されたシリカ粒子表面のシランカップリング剤の反応量（Ａ）が単位表面積（ｎｍ２）あたり１．５〜３．０個、非反応量（Ｂ）が単位表面積（ｎｍ２）あたり反応量（Ａ）の０．１〜０．６倍であり、ＢＥＴ比表面積が３〜４５ｍ２／ｇである表面改質球状シリカ粉末（ただし、▲１▼「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量２５５のフェニルアミノシラン０．５部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．３０ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」、▲２▼「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量２３６のエポキシシラン０．５部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．１９ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」、及び▲３▼「ＢＥＴ比表面積が６．２ｍ２／ｇであるシリカ粒子１００部を分子量３４１のビス（トリメトキシシリルプロピル）アミン０．８部で表面処理した、単位表面積当たりのカーボン量が０．４０ｍｇ／ｍ２である表面改質球状シリカ粉末」を除く。）。
　【請求項２】
　請求項１に記載の表面改質球状シリカ粉末を含むスラリー組成物。
　【請求項３】
　請求項２に記載のスラリー組成物を用いた樹脂組成物。