(57)【要約】【課題】溶剤の突沸に起因する欠陥やモヤムラ等が発生せず、塗膜全体にわたって均一で、高品質な塗膜を形成することができる感光性樹脂組成物及びそれを用いた表示装置等を提供することを目的とする。【解決手段】樹脂（Ａ）、重合性モノマー（Ｂ）、重合開始剤（Ｃ）、溶剤（Ｄ）及び界面活性剤（Ｅ）を含んでなる感光性樹脂組成物であって、溶剤（Ｄ）が、沸点が１７５℃以下の溶剤を二種類以上含む溶剤であり、界面活性剤（Ｅ）の含有量が、界面活性剤を除いた感光性樹脂組成物１００質量％に対して０．００２５〜０.０２５０質量％であり、固形分量が１０〜３０質量％である感光性樹脂組成物。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂（Ａ）、重合性モノマー（Ｂ）、重合開始剤（Ｃ）、溶剤（Ｄ）及び界面活性剤（Ｅ）を含んでなる感光性樹脂組成物であって、
溶剤（Ｄ）が、沸点が１７５℃以下の溶剤を二種類以上含む溶剤であり、
界面活性剤（Ｅ）の含有量が、界面活性剤を除いた感光性樹脂組成物１００質量％に対して０．００２５〜０.０２５０質量％であり、
固形分量が１０〜３０質量％である感光性樹脂組成物。
【請求項２】
溶剤（Ｄ）が、１４０℃以上１７５℃以下の沸点の溶剤を二種類以上含む溶剤である請求項１記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
溶剤（Ｄ）が、炭素数１〜６のアルコールを含む溶剤である請求項１又は２記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
溶剤（Ｄ）が、３-メトキシブタノールを含む溶剤である請求項１〜３のいずれか記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
界面活性剤（Ｅ）が、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤及びフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも１種である請求項１〜４のいずれか記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか記載の感光性樹脂組成物を用いて形成される塗膜。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれか記載の感光性樹脂組成物を用いて形成されるパターン。
【請求項８】
請求項６記載の塗膜及び請求項７記載のパターンからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、塗膜、パターン及び表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の液晶表示パネル等では、基板サイズの大型化が進行しており、通常、基板面には、コート層等の透明膜又はパターンを形成するために、感光性樹脂組成物が、スピン塗布法、スリット＆スピン法等により塗布形成されている。
一方、生産性向上、大型画面への対応等の観点から、感光性樹脂組成物溶液を省液化しながら、高品質の均一な塗膜を形成する方法が研究されている。
【０００３】
このような背景から、優れた品質の塗膜を形成するために、溶剤種の選択が模索されている。例えば、低沸点溶剤を用いると、塗膜の乾燥が速やかに行われるが、その一方、溶剤の蒸発時に、塗膜形成用の組成物中に含まれる微小な気泡の突沸を招くことがある。このような突沸は、気泡を塗膜表面に出現させ、クレータ状の欠陥をもたらす。
そこで、従来から、溶剤として高沸点溶剤が用いられていた。例えば、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル（沸点１７６℃）及びベンジルアルコール（沸点２０５℃）等の高沸点溶剤を含む感光性樹脂組成物が提案されている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２５６４５号公報  段落４６、表１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上述した溶剤を用いた感光性樹脂組成物を、代表的な塗布方法であるスリットダイ塗布法等に適用しても、必ずしもモヤムラや欠陥等が発生しない高品質の塗膜が得られない場合があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、以下の[１]〜[８]の発明を提供する。
[１]樹脂（Ａ）、重合性モノマー（Ｂ）、重合開始剤（Ｃ）、溶剤（Ｄ）及び界面活性剤（Ｅ）を含んでなる感光性樹脂組成物であって、
溶剤（Ｄ）が、沸点が１７５℃以下の溶剤を二種類以上含む溶剤であり、
界面活性剤（Ｅ）の含有量が、界面活性剤を除いた感光性樹脂組成物１００重量％に対して０．００２５〜０.０２５０重量％であり、
固形分量が１０〜３０重量％である感光性樹脂組成物。
【０００７】
[２]溶剤（Ｄ）が、１４０℃以上１７５℃以下の沸点の溶剤を二種類以上含む溶剤である[１]の感光性樹脂組成物。
[３]溶剤（Ｄ）が、炭素数１〜６のアルコールを含む溶剤である[１]又は[２]の感光性樹脂組成物。
[４]溶剤（Ｄ）が、３-メトキシブタノールを含む溶剤である[１]〜[３]のいずれかの感光性樹脂組成物。
【０００８】
[５]界面活性剤（Ｅ）が、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤及びフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも１種である[１]〜[４]のいずれかの感光性樹脂組成物。
【０００９】
[６]上記[１]〜[５]のいずれかの感光性樹脂組成物を用いて形成される塗膜。
[７]上記[１]〜[５]のいずれかの感光性樹脂組成物を用いて形成されるパターン。
[８]上記[６]の塗膜及び上記[７]のパターンからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む表示装置。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の感光性樹脂組成物によれば、溶剤の突沸に起因する欠陥やモヤムラ等の発生が抑制され、塗膜全体にわたって均一で、高品質な塗膜を形成することができる。
また、このような感光性樹脂組成物を用いることにより、高品質な表示装置を得ることができる。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の感光性樹脂組成物は、主として、樹脂（Ａ）、重合性モノマー（Ｂ）、重合開始剤（Ｃ）、溶剤（Ｄ）及び界面活性剤（Ｅ）を含んでなる。
【００１２】
本発明の感光性樹脂組成物に用いられる樹脂（Ａ）は、特に限定されず、アルカリ溶解性であるもの（Ａ１）（以下「樹脂（Ａ１）」という場合がある）が好ましく、光及び熱の少なくともいずれか一方の作用による反応性を示すもの（Ａ２）（以下「樹脂（Ａ２）」という場合がある）がより好ましい。
【００１３】
樹脂（Ａ１）としては、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種（Ａ−ａ）（以下「（Ａ−ａ）」という場合がある）と、（Ａ−ａ）と共重合可能な単量体（Ａ−ｂ）（ただし、（Ａ−ａ）を除く。）（以下「（Ａ−ｂ）」という場合がある）との共重合体等が例示される。
【００１４】
（Ａ−ａ）としては、例えば、脂肪族不飽和カルボン酸及び／又は脂肪族不飽和カルボン酸無水物等が挙げられ、具体的には、
アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸等の不飽和モノカルボン酸類；
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等の不飽和ジカルボン酸類；及び
これら不飽和ジカルボン酸類の無水物；
こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕等の２価以上の多価カルボン酸の不飽和モノ〔（メタ）アクリロイロキシアルキル〕エステル類；
α−（ヒドロキシメチル）アクリル酸等の、同一分子中にヒドロキシ基及びカルボキシ基を含有する不飽和アクリレート類；
５−カルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジカルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジカルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン無水物（ハイミック酸無水物）などのカルボキシ基を含有するビシクロ不飽和化合物類等が挙げられる。
なかでも、アクリル酸、メタクリル酸又は無水マレイン酸等が、共重合反応性及びアルカリ溶解性の点から好ましい。
これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００１５】
なお、本明細書においては、特に断りのない限り、例示した化合物、成分、剤等はいずれも単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
また、「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸及びメタクリル酸よりなる群から選ばれる少なくとも１種を表す。「（メタ）アクリロイル」及び「（メタ）アクリレート」等の表記も同様の意味を有する。
【００１６】
（Ａ−ｂ）としては、
メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アルキルエステル類；
シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−メチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、トリシクロ［５．２．１．０２,６］デカン−８−イル（メタ）アクリレート（当該技術分野では、慣用名として、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートといわれている）、ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレート、イソボロニル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸環状アルキルエステル類；
シクロヘキシルアクリレート、２−メチルシクロヘキシルアクリレート、トリシクロ［５．２．１．０２,６］デカン−８−イルアクリレート（当該技術分野で慣用名としてジシクロペンタニルアクリレートといわれている）、ジシクロペンタオキシエチルアクリレート、イソボロニルアクリレート等のアクリル酸環状アルキルエステル類；
フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アリールエステル類；
フェニルアクリレート、ベンジルアクリレート等のアクリル酸アリールエステル類；
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等のジカルボン酸ジエステル；
２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキルエステル類；
【００１７】
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（２’−ヒドロキシエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−エトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジヒドロキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（ヒドロキシメチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（２’−ヒドロキシエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジメトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジエトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチル−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−フェノキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（シクロヘキシルオキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等のビシクロ不飽和化合物類；
Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドベンゾエート、Ｎ−スクシンイミジル−４−マレイミドブチレート、Ｎ−スクシンイミジル−６−マレイミドカプロエート、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドプロピオネート、Ｎ−（９−アクリジニル）マレイミド等のジカルボニルイミド誘導体類；
スチレン、α−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ビニルトルエン、ｐ−メトキシスチレン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、１，３−ブタジエン、イソプレン、２，３−ジメチル−１，３−ブタジエン等が挙げられる。
【００１８】
なかでも、スチレン、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等が、共重合反応性及びアルカリ溶解性の点から好ましい。
【００１９】
（Ａ−ａ）及び（Ａ−ｂ）を共重合させて得られる樹脂（Ａ１）は、それぞれから導かれる構成単位の比率が、樹脂（Ａ１）を構成する構成単位の合計モル数を１００モル％としたときにモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
（Ａ−ａ）から導かれる構成単位；２〜４０モル％
（Ａ−ｂ）から導かれる構成単位；６０〜９８モル％
また、前記の構成単位の比率が以下の範囲であると、より好ましい。
（Ａ−ａ）から導かれる構成単位；５〜３５モル％
（Ａ−ｂ）から導かれる構成単位；６５〜９５モル％
前記の構成比率がこの範囲にあると、保存安定性、現像性及び耐溶剤性が良好になる傾向がある。
【００２０】
樹脂（Ａ１）は、例えば、文献「高分子合成の実験法」（大津隆行著  発行所（株）化学同人  第１版第１刷  １９７２年３月１日発行）に記載された方法及び当該文献に記載された引用文献を参考にして製造することができる（樹脂（Ａ２）においても同様）。
【００２１】
具体的には、共重合体を構成する単位（Ａ−ａ）及び（Ａ−ｂ）の所定量、重合開始剤及び溶剤を反応容器中に仕込んで、窒素により酸素を置換し、酸素不存在下で、攪拌、加熱、保温することにより、重合体が得られる。
ここで用いられる重合開始剤は、当該分野で通常使用されているもののいずれをも使用することができる。例えば、後述する重合開始剤（Ｃ）等を用いることができる。
得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体（粉体）として取り出したものを使用してもよい。
特に、この重合の際に溶剤として、後述する溶剤（Ｄ）を使用することにより、反応後の溶液をそのまま使用することができ、製造工程を簡略化することができる（樹脂（Ａ２）においても同様）。
【００２２】
樹脂（Ａ１）のポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは３，０００〜１００，０００、より好ましくは５，０００〜５０，０００である。樹脂（Ａ１）の重量平均分子量がこの範囲にあると、塗布性が良好となる傾向があり、また、現像時に膜減りが生じにくく、さらに現像時に非画素部分の抜け性が良好である傾向にある。
樹脂（Ａ１）の分散度（分子量分布）、［重量平均分子量（Ｍｗ）／数平均分子量（Ｍｎ）］は、好ましくは１．１〜６．０であり、より好ましくは１．２〜４．０である。分散度がこの範囲にあると、現像性に優れる傾向がある。
【００２３】
本発明の感光性樹脂組成物に用いることができる樹脂（Ａ１）の含有量は、感光性樹脂組成物中の固形分に対して、好ましくは５〜９０質量％、より好ましくは１０〜７０質量％である。樹脂（Ａ１）の含有量がこの範囲にあると、現像液への溶解性が十分となり、非画素部分の基板上に現像残渣が発生しにくく、現像時に露光部の画素部分の膜減りが生じにくく、非露光部分の抜け性が良好な傾向にある。
【００２４】
アルカリ溶解性ならびに光及び熱の少なくとも一方の作用による反応性を示す樹脂（Ａ２）としては、（Ａ２−１）〜（Ａ２−３）が例示される。
樹脂（Ａ２−１）は、（Ａ−ａ）と、（Ａ−ｂ）と、炭素数２〜４の環状エーテル結合を有する基を有する単量体（Ａ−ｃ）（以下「（Ａ−ｃ）」という場合がある）との共重合体が挙げられる。
樹脂（Ａ２−２）は、（Ａ−ａ）と（Ａ−ｂ）との共重合体において、（Ａ−ａ）に由来するカルボキシ基の一部を、（Ａ−ｃ）に由来する炭素数２〜４の環状エーテル結合を有する基と反応させることで得られる共重合体が挙げられる。
樹脂（Ａ２−３）は、（Ａ−ａ）と（Ａ−ｃ）との共重合体が挙げられる。
【００２５】
（Ａ−ｃ）は、例えば、炭素数２〜４の環状エーテル結合を有する基（例えば、エポキシ基（オキシラニル基）、オキセタニル基及びテトラヒドロフリル基）からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有する重合性化合物を指す。（Ａ−ｃ）は、炭素数２〜４の環状エーテル結合を有する基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましい。（Ａ−ｃ）は、炭素数２〜４の環状エーテル結合を有する基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有し、かつ（メタ）アクリロイルオキシ基を有する化合物であることがより好ましい。
【００２６】
（Ａ−ｃ）としては、例えば、エポキシ基を有する単量体、オキセタニル基を有する単量体、テトラヒドロフリル基を有する単量体等が挙げられる。
【００２７】
前記のエポキシ基を有する単量体とは、例えば、脂肪族エポキシ基及び脂環式エポキシ基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有する重合性化合物を指す。
エポキシ基を有する単量体は、脂肪族エポキシ基及び脂環式エポキシ基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましい。
【００２８】
脂肪族エポキシ基とは、鎖式オレフィンをエポキシ化した構造をもつ基を指す。
脂肪族エポキシ基を有する化合物としては、具体的には、グリシジル（メタ）アクリレート、β−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、β−エチルグリシジル（メタ）アクリレート、グリシジルビニルエーテル、特開平７−２４８６２５号公報に記載の下記の式（III）で示される化合物等が挙げられる。
2010181865.tif 000002
（式（III)中、Ｒ１１〜Ｒ１３は、それぞれ独立に水素原子又は炭素原子数１〜１０のアルキル基であり、ｍは１〜５の整数である。）。
【００２９】
ここで、アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、１−メチル−ｎ−プロピル基、２−メチル−ｎ−プロピル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、１−メチル−ｎ−ブチル基、２−メチル−ｎ−ブチル基、３−メチル−ｎ−ブチル基、１，１−ジメチル−ｎ−プロピル基、１，２−ジメチル−ｎ−プロピル基、２，２−ジメチル−ｎ−プロピル基、ｎ−ヘキシル基、シクロヘキシル基等が例示される。
【００３０】
本明細書においては、いずれの化学構造式においても、炭素数によって異なるが、特に断りのない限り、置換基等の例示は、本明細書全体にわたって同様に適用することができる。また、直鎖又は分岐の双方をとることができるものは、そのいずれをも含む。
【００３１】
前記の式（III)で示される化合物としては、例えば、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、２，３−ジグリシジルオキシメチルスチレン、２，４−ジグリシジルオキシメチルスチレン、２，５−ジグリシジルオキシメチルスチレン、２，６−ジグリシジルオキシメチルスチレン、２，３，４−トリグリシジルオキシメチルスチレン、２，３，５−トリグリシジルオキシメチルスチレン、２，３，６−トリグリシジルオキシメチルスチレン、３，４，５−トリグリシジルオキシメチルスチレン、２，４，６−トリグリシジルオキシメチルスチレン等が挙げられる。
【００３２】
脂環式エポキシ基を有する単量体としては、例えば、脂肪族単環式エポキシ基を有する単量体、脂肪族多環式エポキシ基を有する単量体等が挙げられる。
脂環式エポキシ基とは、環式オレフィンをエポキシ化した構造をもつ基を指す。
脂肪族単環式エポキシ基とは、単環の環式オレフィンをエポキシ化した構造をもつ基を指す。
脂肪族多環式エポキシ基とは、多環の環式オレフィンをエポキシ化した構造をもつ基を指す。
【００３３】
前記の脂肪族単環式エポキシ基を有する単量体とは、脂肪族単環式化合物の環上にエポキシ基を有する重合性化合物を指す。脂肪族単環式エポキシ基を有する単量体は、脂肪族単環式化合物の環上にエポキシ基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましく、脂肪族単環式化合物の環上にエポキシ基を有し、かつ（メタ）アクリロイルオキシ基を有する化合物であることがより好ましい。
脂肪族単環式化合物としては、例えば、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン等が挙げられる。なかでも、炭素数５〜７の化合物が好ましい。
脂肪族単環式エポキシ基を有する単量体としては、具体的には、ビニルシクロヘキセンモノオキサイド１，２−エポキシ−４−ビニルシクロヘキサン（例えば、セロキサイド２０００；ダイセル化学工業（株）製）、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート（例えば、サイクロマーＡ４００；ダイセル化学工業（株）製）、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレート（例えば、サイクロマーＭ１００；ダイセル化学工業（株）製）等が挙げられる。
【００３４】
前記の脂肪族多環式エポキシ基を有する単量体とは、脂肪族多環式化合物の環上にエポキシ基を有する重合性化合物を指す。脂肪族多環式エポキシ基を有する単量体は、脂肪族多環式化合物の環上にエポキシ基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましく、脂肪族多環式化合物の環上にエポキシ基を有し、かつ（メタ）アクリロイルオキシ基を有する化合物であることがより好ましい。
脂肪族多環式化合物としては、例えば、ジシクロペンタン、トリシクロデカン、ノルボルナン、イソノルボルナン、ビシクロオクタン、ビシクロノナン、ビシクロウンデカン、トリシクロウンデカン、ビシクロドデカン、トリシクロドデカン等が挙げられる。なかでも、炭素数８〜１２の化合物が好ましい。
【００３５】
前記の脂肪族多環式エポキシ基を有する単量体としては、例えば、３，４−エポキシノルボルニルアクリレート、３，４−エポキシノルボルニルメタクリレート、式（Ｉ）で表される化合物及び式（II）で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物等が挙げられる。
【００３６】
2010181865.tif 000003
式（Ｉ）及び式（II）において、Ｒ１及びＲ２は、それぞれ独立に、水素原子又は水酸基で置換されていてもよい炭素数１〜４のアルキル基を表す。
Ｘ１及びＸ２は、それぞれ独立に、単結合又はヘテロ原子を含んでもよい炭素数１〜６のアルキレン基を表す。
【００３７】
Ｒ１及びＲ２としては、具体的には、水素原子；メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基等のアルキル基；
ヒドロキシメチル基、１−ヒドロキシエチル基、２−ヒドロキシエチル基、１−ヒドロキシ−ｎ−プロピル基、２−ヒドロキシ−ｎ−プロピル基、３−ヒドロキシ−ｎ−プロピル基、１−ヒドロキシ−イソプロピル基、２−ヒドロキシ−イソプロピル基、１−ヒドロキシ−ｎ−ブチル基、２−ヒドロキシ−ｎ−ブチル基、３−ヒドロキシ−ｎ−ブチル基、４−ヒドロキシ−ｎ−ブチル基等の水酸基置換アルキル基が挙げられる。
なかでも、好ましくは水素原子、メチル基、ヒドロキシメチル基、１−ヒドロキシエチル基、２−ヒドロキシエチル基であり、より好ましくは水素原子、メチル基である。
【００３８】
Ｘ１及びＸ２としては、具体的には、単結合；メチレン基、エチレン基、プロピレン基等のアルキレン基；
オキシアルキレン基、チオアルキレン基、イミノアルキレン基等のヘテロ原子含有アルキレン基が挙げられる。具体的には、オキシメチレン基、オキシエチレン基、オキシプロピレン基、チオメチレン基、チオエチレン基、チオプロピレン基、イミノメチレン基、イミノエチレン基、イミノプロピレン基等が例示される。
なかでも、好ましくは単結合、メチレン基、エチレン基、オキシメチレン基、オキシエチレン基が挙げられる。より好ましくは単結合、オキシエチレン基が挙げられる。
【００３９】
式（Ｉ）で表される化合物及び式（II）で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物としては、下記の式（Ｉ’）で表される化合物及び式（II’）で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物であることが好ましい。
2010181865.tif 000004
式（Ｉ’）及び式（II’）において、Ｒ１’及びＲ２’は、それぞれ前記Ｒ１及びＲ２と同義である。
【００４０】
式（Ｉ）で表される化合物としては、例えば、式（Ｉ−１）〜式（Ｉ−１５）で表される化合物等が挙げられる。好ましくは式（Ｉ−１）、式（Ｉ−３）、式（Ｉ−５）、式（Ｉ−７）、式（Ｉ−９）、式（Ｉ−１１）〜式（Ｉ−１５）が挙げられる。より好ましくは式（Ｉ−１）、式（Ｉ−７）、式（Ｉ−９）、式（Ｉ−１５）が挙げられる。
【００４１】
2010181865.tif 000005
【００４２】
式（II）で表される化合物としては、具体的には、例えば、式（II−１）〜式（II−１５）で表される化合物等が挙げられる。好ましくは式（II−１）、式（II−３）、式（II−５）、式（II−７）、式（II−９）、式（II−１１）〜式（II−１５）が挙げられる。
より好ましくは式（II−１）、式（II−７）、式（II−９）、式（II−１５）が挙げられる。
【００４３】
2010181865.tif 000006
【００４４】
式（Ｉ）で表される化合物及び式（II）で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物は、それぞれ単独でも、任意の比率で混合して用いてもよい。混合する場合、その混合比率はモル比で、好ましくは式（Ｉ）：式（II）で５：９５〜９５：５、より好ましくは１０：９０〜９０：１０、さらに好ましくは２０：８０〜８０：２０である。
【００４５】
前記のオキセタニル基を有する単量体とは、例えば、オキセタニル基を有する重合性化合物を指す。オキセタニル基を有する単量体は、オキセタニル基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましく、オキセタニル基を有し、かつ（メタ）アクリロイルオキシ基を有する化合物であることがより好ましい。
オキセタニル基を有する単量体としては、具体的には、３−メチル−３−メタクリロイルオキシメチルオキセタン、３−メチル−３−アクリロイルオキシメチルオキセタン、３−エチル−３−メタクリロイルオキシメチルオキセタン、３−エチル−３−アクリロイルオキシメチルオキセタン、３−メチル−３−メタクリロイルオキシエチルオキセタン、３−メチル−３−アクリロイルオキシエチルオキセタン、３−エチル−３−メタクリロイルオキシエチルオキセタン又は３−エチル−３−アクリロイルオキシエチルオキセタン等が挙げられる。
【００４６】
前記のテトラヒドロフリル基を有する単量体とは、例えば、テトラヒドロフリル基を有する重合性化合物を指す。テトラヒドロフリル基を有する単量体は、テトラヒドロフリル基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましく、テトラヒドロフリル基を有し、かつ（メタ）アクリロイルオキシ基を有する化合物であることがより好ましい。
テトラヒドロフリル基を有する単量体としては、具体的には、テトラヒドロフルフリルアクリレート（例えば、ビスコートＶ＃１５０、大阪有機化学工業（株）製）、テトラヒドロフルフリルメタクリレート等が挙げられる。
【００４７】
樹脂（Ａ２−１）では、それぞれから導かれる構成単位の比率が、樹脂（Ａ２−１）を構成する構成単位の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
（Ａ−ａ）から導かれる構成単位；２〜４０モル％
（Ａ−ｂ）から導かれる構成単位；１〜６５モル％
（Ａ−ｃ）から導かれる構成単位；２〜９５モル％
また、前記の構成単位の比率が以下の範囲であると、より好ましい。
（Ａ−ａ）から導かれる構成単位；５〜３５モル％
（Ａ−ｂ）から導かれる構成単位；１〜６０モル％
（Ａ−ｃ）から導かれる構成単位；５〜８０モル％
前記の構成比率がこの範囲にあると、保存安定性、現像性、耐溶剤性、耐熱性及び機械強度が良好になる傾向がある。
【００４８】
樹脂（Ａ２−１）は、（Ａ−ａ）、（Ａ−ｂ）及び（Ａ−ｃ）を用いる以外、樹脂（Ａ１）と同様の製造方法により製造することができる。
【００４９】
樹脂（Ａ２−２）は、二段階の工程を経て製造することができる。例えば、文献「高分子合成の実験法」（大津隆行著  発行所（株）化学同人  第１版第１刷  １９７２年３月１日発行）に記載された方法や、特開２００１−８９５３３号公報に記載された方法を参考にして製造することができる。
まず、（Ａ−ａ）及び（Ａ−ｂ）を共重合させて得られる共重合体を用いて、樹脂（Ａ１）と同様の方法により、樹脂を得る。
この場合、それぞれから導かれる構成単位の比率が、前記の共重合体を構成する構成単位の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
（Ａ−ａ）から導かれる構成単位；５〜５０モル％
（Ａ−ｂ）から導かれる構成単位；５０〜９５モル％
また、前記の構成単位の比率が以下の範囲であると、より好ましい。
（Ａ−ａ）から導かれる構成単位；１０〜４５モル％
（Ａ−ｂ）から導かれる構成単位；５５〜９０モル％
得られた樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量、分子量分布［重量平均分子量（Ｍｗ）／数平均分子量（Ｍｎ）］は、樹脂（Ａ１）と同程度とすることができる。
【００５０】
次に、光や熱の作用による反応性を与えるため、（Ａ−ａ）及び（Ａ−ｂ）を共重合させて得られる共重合体に由来する（Ａ−ａ）のカルボン酸及びカルボン酸無水物の一部を、（Ａ−ｃ）に由来するエポキシ基、オキセタニル基又はテトラヒドロフリル基と反応させる。
そのために、引き続き、フラスコ内雰囲気を窒素から空気に置換し、（Ａ−ｃ）、反応触媒及び重合禁止剤等をフラスコ内に入れて、例えば、６０〜１３０℃で、１〜１０時間反応を続ける。
【００５１】
なお、重合条件と同様に、製造設備や重合による発熱量等を考慮し、仕込方法や反応温度を適宜調整することができる。
例えば、（Ａ−ｃ）のモル数は、（Ａ−ａ）のモル数に対して、５〜８０モル％であり、好ましくは１０〜７５モル％であり、より好ましくは１５〜７０モル％である。構成比率がこの範囲にあると、保存安定性、現像性、耐溶剤性、耐熱性、機械強度及び感度のバランスが良好になる傾向がある。
反応触媒は、例えば、カルボキシ基とエポキシ基、オキセタニル基又はテトラヒドロフリル基との反応触媒として用いられるものが適している。具体的には、トリスジメチルアミノメチルフェノール等が例示される。
この場合の反応触媒の使用量は、例えば、モノマー（Ａ−ａ）〜（Ａ−ｃ）の合計量に対して０．００１〜５質量％程度が例示される。
重合禁止剤は、例えば、ハイドロキノンが例示される。
重合禁止剤の使用量は、例えば、モノマー（Ａ−ａ）〜（Ａ−ｃ）の合計量に対して０．００１〜５質量％程度が例示される。
【００５２】
樹脂（Ａ２−３）は、（Ａ−ａ）及び（Ａ−ｃ）を用いる以外、樹脂（Ａ１）と同様の製造方法によって製造することができる。
樹脂（Ａ２−３）では、それぞれから導かれる構成単位の比率が、樹脂（Ａ２−３）を構成する構成単位の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
（Ａ−ａ）から導かれる構成単位；５〜９５モル％
（Ａ−ｃ）から導かれる構成単位；５〜９５モル％
また、前記の構成単位の比率が以下の範囲であると、より好ましい。
（Ａ−ａ）から導かれる構成単位；１０〜９０モル％
（Ａ−ｃ）から導かれる構成単位；１０〜９０モル％
前記の構成比率がこの範囲にあると、保存安定性、現像性、耐溶剤性、耐熱性及び機械強度が良好になる傾向がある。
【００５３】
本発明の感光性樹脂組成物に含まれる重合性モノマー（Ｂ）としては、単官能モノマー、２官能モノマー又は３官能以上の多官能モノマー等が挙げられる。
単官能モノマーとしては、ノニルフェニルカルビトール（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシルカルビトール（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、２−（２−エトキシエトキシ）エチル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、カプロラクトン（メタ）アクリレート、エトキシ化ノニルフェノール（メタ）アクリレート、プロポキシ化ノニルフェノール（メタ）アクリレート又はＮ−ビニルピロリドン等が挙げられる。
【００５４】
２官能モノマーとしては、１，３―ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブタンジオール（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ビスフェノールＡのビス（アクリロイロキシエチル）エーテル、エトキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、エトキシ化ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート又は３−メチルペンタンジオールジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００５５】
３官能以上の多官能モノマーとしては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレートトリ（メタ）アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物、トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレートと酸無水物カプロラクトン変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレートトリ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールオクタ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物、又はカプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレートと酸無水物等が挙げられる。
【００５６】
本明細書において、カプロラクトン変性とは、（メタ）アクリレート化合物のアルコール由来部位と（メタ）アクリロイルオキシ基との間に、カプロラクトンの開環体又は開環重合体が導入されることを意味する。
なかでも、２官能以上の多官能モノマーを用いることが好ましい。
【００５７】
重合性モノマー（Ｂ）の含有量は、樹脂（Ａ）及び重合性モノマー（Ｂ）の合計量に対して、好ましくは１〜７０質量％、より好ましくは５〜６０質量％である。重合性モノマー（Ｂ）の含有量がこの範囲にあると、感度、塗膜及びパターンの強度、平滑性、信頼性及び機械強度が良好になる傾向がある。
【００５８】
本発明の感光性樹脂組成物には、さらに、カルボン酸無水物及び少なくとも２個のカルボキシ基を有する化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物（Ｙ）が含有されていてもよい。後者の化合物としては、例えば、多価カルボン酸無水物、多価カルボン酸等が挙げられる。
【００５９】
カルボン酸無水物としては、市販の無色の酸無水物からなるエポキシ樹脂硬化剤も好適に用いることができる。具体的には、アデカハードナ−ＥＨ−７００（商品名（以下同様）、（株）ＡＤＥＫＡ製）、リカシッド−ＨＨ、同ＭＨ−７００（新日本理化（株）製）、エピキニア１２６、同ＹＨ−３０６、同ＤＸ−１２６（油化シェルエポキシ（株）製）等が挙げられる。
【００６０】
多価カルボン酸無水物としては、例えば、
無水イタコン酸、無水コハク酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マイレン酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルテトラヒドロフタル酸、ノルボルネンジカルボン酸、無水ハイミック酸等の脂肪族ジカルボン酸無水物；
１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物等の脂肪族多価カルボン酸二無水物；
無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、無水ベンゾフェノンテトラカルボン酸等の芳香族多価カルボン酸無水物；
エチレングリコールビストリメリテイト、グリセリントリストリメリテイト等のエステル基含有酸無水物、等が挙げられる。
なかでも、透明性が高く、解像度が高い点から、無水フタル酸、無水トリメリット酸が好ましい。
【００６１】
多価カルボン酸としては、例えば、
コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、イタコン酸等の脂肪族多価カルボン酸；
ヘキサヒドロフタル酸、１，２−シクロヘキサンカルボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸等の脂環式多価カルボン酸；
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸等の芳香族多価カルボン酸等が挙げられる。
なかでも、透明性が高く、解像度が高い点から、フタル酸、トリメリット酸が好ましい。
【００６２】
本発明の感光性樹脂組成物における化合物（Ｙ）の含有量は、バインダー樹脂（Ａ）及び重合性モノマー（Ｂ）の合計量に対して、好ましくは０．１〜２０質量％、より好ましくは１〜１５質量％である。化合物（Ｙ）がこの範囲にあると、解像度及び残膜率を向上させることができる。
【００６３】
本発明の感光性樹脂組成物に含まれる重合開始剤（Ｃ）としては、光又は熱の作用により重合を開始する化合物が挙げられる。例えば、ビイミダゾール系化合物、アセトフェノン系化合物、トリアジン系化合物、アシルフォスフィンオキサイド系化合物又はオキシム系化合物等が挙げられる。なかでも、ビイミダゾール系化合物が感度に優れるので特に好ましい。
【００６４】
ビイミダゾール化合物としては、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２，３−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール（例えば、特開平６−７５３７２号公報、特開平６−７５３７３号公報等参照）、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（アルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ジアルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（トリアルコキシフェニル）ビイミダゾール（例えば、特公昭４８−３８４０３号公報、特開昭６２−１７４２０４号公報等参照）、４，４’５，５’−位のフェニル基がカルボアルコキシ基により置換されているイミダゾール化合物（例えば、特開平７−１０９１３号公報等参照）等が挙げられる。
好ましくは２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２、３−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２、４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾールが挙げられる。
【００６５】
アセトフェノン系化合物としては、ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕−２−メチルプロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−１−｛４−［４−（２−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオニル）−ベンジル］―フェニル｝−２−メチル−プロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−（４−メチルスルファニルフェニル）−２−モルホリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン、２−（２−メチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（３−メチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（４−メチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−エチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−プロピルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−ブチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２，３−ジメチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２、４−ジメチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−クロロベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−ブロモベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（３−クロロベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（４−クロロベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（３−ブロモベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（４−ブロモベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−メトキシベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（３−メトキシベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（４−メトキシベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−メチル−４−メトキシベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−メチル−４−ブロモベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−ブロモ−４−メトキシベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマー等が挙げられる。
【００６６】
トリアジン系化合物としては、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシスチリル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン等が挙げられる
【００６７】
アシルホスフィンオキサイド系開始剤としては、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等が挙げられる。
【００６８】
オキシム化合物としては、Ｏ−エトキシカルボニル−α−オキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オン、式（１）で表される化合物、式（２）で表される化合物等が挙げられる。
2010181865.tif 000007
【００６９】
本発明の感光性樹脂組成物の重合開始剤（Ｃ）には、以下の光重合開始剤等が含まれていてもよい。
光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物又はチオキサントン系化合物等が挙げられる。
【００７０】
ベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル及びベンゾインイソブチルエーテル等が挙げられる。
【００７１】
ベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン及び２，４，６−トリメチルベンゾフェノン等が挙げられる。
【００７２】
チオキサントン系化合物としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン及び１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン等が挙げられる。
【００７３】
さらに、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、２−エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル又はチタノセン化合物等を光重合開始剤として用いてもよい。
【００７４】
また、連鎖移動を起こしうる基を有する光重合開始剤として、特表２００２−５４４２０５号公報に記載されている光重合開始剤を使用することができる。
前記の連鎖移動を起こしうる基を有する光重合開始剤としては、例えば、下記式（３）〜下記式（８）の光重合開始剤が挙げられる。
【００７５】
2010181865.tif 000008
【００７６】
また、光及び／又は熱カチオン重合開始剤を使用することができる。
光及び／又は熱カチオン重合開始剤としては、オニウムカチオンとルイス酸由来のアニオンとから構成されているものも使用することができる。
【００７７】
オニウムカチオンの具体例としては、ジフェニルヨードニウム、ビス（ｐ−トリル）ヨードニウム、ビス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウム、ビス（ｐ−オクチルフェニル）ヨードニウム、ビス（ｐ−オクタデシルフェニル）ヨードニウム、ビス（ｐ−オクチルオキシフェニル）ヨードニウム、ビス（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニウム、フェニル（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニウム、（ｐ−トリル）（ｐ−イソプロピルフェニル）ヨードニウム、トリフェニルスルホニウム、トリス（ｐ−トリル）スルホニウム、トリス（ｐ−イソプロピルフェニル）スルホニウム、トリス（２，６−ジメチルフェニル）スルホニウム、トリス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）スルホニウム、トリス（ｐ−シアノフェニル）スルホニウム、トリス（ｐ−クロロフェニル）スルホニウム、ジメチル（メトキシ）スルホニウム、ジメチル（エトキシ）スルホニウム、ジメチル（プロポキシ）スルホニウム、ジメチル（ブトキシ）スルホニウム、ジメチル（オクチルオキシ）スルホニウム、ジメチル（オクタデカンオキシ）スルホニウム、ジメチル（イソプロポキシ）スルホニウム、ジメチル（ｔｅｒｔ−ブトキシ）スルホニウム、ジメチル（シクロペンチルオキシ）スルホニウム、ジメチル（シクロヘキシルオキシ）スルホニウム、ジメチル（フルオロメトキシ）スルホニウム、ジメチル（２−クロロエトキシ）スルホニウム、ジメチル（３−ブロモプロポキシ）スルホニウム、ジメチル（４−シアノブトキシ）スルホニウム、ジメチル（８−ニトロオクチルオキシ）スルホニウム、ジメチル（１８−トリフルオロメチルオクタデカンオキシ）スルホニウム、ジメチル（２−ヒドロキシイソプロポキシ）スルホニウム、又はジメチル（トリス（トリクロロメチル）メチル）スルホニウム等が挙げられる。
【００７８】
好ましいオニウムカチオンとしては、ビス（ｐ−トリル）ヨードニウム、（ｐ−トリル）（ｐ−イソプロピルフェニル）ヨードニウム、ビス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウム、トリフェニルスルホニウム又はトリス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）スルホニウム等が挙げられる。
【００７９】
前記ルイス酸由来のアニオンの具体例としては、ヘキサフルオロホスフェート、ヘキサフルオロアルセネート、ヘキサフルオロアンチモネート又はテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等が挙げられる。好ましいルイス酸由来のアニオンとしては、ヘキサフルオロアンチモネート又はテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートが挙げられる。
これらのオニウムカチオン及びルイス酸由来のアニオンは、任意に組合せることができる。
【００８０】
カチオン重合開始剤の具体例としては、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ビス（ｐ−トリル）ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ビス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ビス（ｐ−オクチルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ビス（ｐ−オクタデシルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ビス（ｐ−オクチルオキシフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ビス（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、フェニル（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、（ｐ−トリル）（ｐ−イソプロピルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、メチルナフチルヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、エチルナフチルヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリス（ｐ−トリル）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリス（ｐ−イソプロピルフェニル）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリス（２，６−ジメチルフェニル）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリス（ｐ−シアノフェニル）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリス（ｐ−クロロフェニル）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチルナフチルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジエチルナフチルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル（メトキシ）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル（エトキシ）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル（プロポキシ）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル（ブトキシ）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル（オクチルオキシ）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル（オクタデカンオキシ）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル（イソプロポキシ）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル（ｔｅｒｔ−ブトキシ）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル（シクロペンチルオキシ）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル（シクロヘキシルオキシ）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル（フルオロメトキシ）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル（２−クロロエトキシ）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル（３−ブロモプロポキシ）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル（４−シアノブトキシ）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル（８−ニトロオクチルオキシ）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル（１８−トリフルオロメチルオクタデカンオキシ）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル（２−ヒドロキシイソプロポキシ）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ジメチル（トリス（トリクロロメチル）メチル）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート；
【００８１】
ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス（ｐ−トリル）ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス（ｐ−オクチルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス（ｐ−オクタデシルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス（ｐ−オクチルオキシフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、フェニル（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、（ｐ−トリル）（ｐ−イソプロピルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、メチルナフチルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、エチルナフチルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリス（ｐ−トリル）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリス（ｐ−イソプロピルフェニル）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリス（２，６−ジメチルフェニル）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリス（ｐ−シアノフェニル）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリス（ｐ−クロロフェニル）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチルナフチルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジエチルナフチルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル（メトキシ）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル（エトキシ）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル（プロポキシ）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル（ブトキシ）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル（オクチルオキシ）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル（オクタデカンオキシ）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル（イソプロポキシ）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル（ｔｅｒｔ−ブトキシ）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル（シクロペンチルオキシ）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル（シクロヘキシルオキシ）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル（フルオロメトキシ）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル（２−クロロエトキシ）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル（３−ブロモプロポキシ）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル（４−シアノブトキシ）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル（８−ニトロオクチルオキシ）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル（１８−トリフルオロメチルオクタデカンオキシ）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル（２−ヒドロキシイソプロポキシ）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ジメチル（トリス（トリクロロメチル）メチル）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート；
【００８２】
ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス（ｐ−トリル）ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス（ｐ−オクチルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス（ｐ−オクタデシルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス（ｐ−オクチルオキシフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、フェニル（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、（ｐ−トリル）（ｐ−イソプロピルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、メチルナフチルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、エチルナフチルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス（ｐ−トリル）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス（ｐ−イソプロピルフェニル）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス（２，６−ジメチルフェニル）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス（ｐ−シアノフェニル）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス（ｐ−クロロフェニル）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチルナフチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジエチルナフチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル（メトキシ）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル（エトキシ）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル（プロポキシ）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル（ブトキシ）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル（オクチルオキシ）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル（オクタデカンオキシ）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル（イソプロポキシ）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル（ｔｅｒｔ−ブトキシ）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル（シクロペンチルオキシ）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル（シクロヘキシルオキシ）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル（フルオロメトキシ）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル（２−クロロエトキシ）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル（３−ブロモプロポキシ）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル（４−シアノブトキシ）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル（８−ニトロオクチルオキシ）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル（１８−トリフルオロメチルオクタデカンオキシ）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル（２−ヒドロキシイソプロポキシ）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジメチル（トリス（トリクロロメチル）メチル）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート；
【００８３】
ジフェニルヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ビス（ｐ−トリル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ビス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ビス（ｐ−オクチルフェニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ビス（ｐ−オクタデシルフェニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ビス（ｐ−オクチルオキシフェニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ビス（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、フェニル（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、（ｐ−トリル）（ｐ−イソプロピルフェニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、メチルナフチルヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、エチルナフチルヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニルスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリス（ｐ−トリル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリス（ｐ−イソプロピルフェニル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリス（２，６−ジメチルフェニル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリス（ｐ−シアノフェニル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリス（ｐ−クロロフェニル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチルナフチルスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジエチルナフチルスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（メトキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（エトキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（プロポキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ブトキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（オクチルオキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（オクタデカンオキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（イソプロポキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｔｅｒｔ−ブトキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（シクロペンチルオキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（シクロヘキシルオキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（フルオロメトキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（２−クロロエトキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（３−ブロモプロポキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（４−シアノブトキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（８−ニトロオクチルオキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（１８−トリフルオロメチルオクタデカンオキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（２−ヒドロキシイソプロポキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（トリス（トリクロロメチル）メチル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等が挙げられる。
【００８４】
好ましくは、ビス（ｐ−トリル）ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、（ｐ−トリル）（ｐ−イソプロピルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ビス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ビス（ｐ−トリル）ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、（ｐ−トリル）（ｐ−イソプロピルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリス（ｐ−ｔ−ブチルフェニル）スルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス（ｐ−トリル）ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、（ｐ−トリル）（ｐ−イソプロピルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス（ｐ−トリル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、（ｐ−トリル）（ｐ−イソプロピルフェニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ビス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウム、トリフェニルスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等が挙げられる。
【００８５】
より好ましくは、ビス（ｐ−トリル）ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、（ｐ−トリル）（ｐ−イソプロピルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス（ｐ−トリル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、（ｐ−トリル）（ｐ−イソプロピルフェニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ビス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニルスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等が挙げられる。
【００８６】
重合開始剤（Ｃ）の含有量は、樹脂（Ａ）及び重合性モノマー（Ｂ）の合計量に対して、好ましくは０．１〜４０質量％、より好ましくは１〜３０質量％である。
重合開始剤（Ｃ）の合計量がこの範囲にあると、感光性樹脂組成物が高感度となり、前記の感光性樹脂組成物を用いて形成した塗膜やパターンの強度や、前記の塗膜やパターンの表面における平滑性が良好になる傾向がある。
【００８７】
また、本発明の感光性樹脂組成物には、本発明の効果を損なわない程度に、重合開始剤（Ｃ）に重合開始助剤（Ｃ−１）を組み合わせて用いてもよい。
重合開始助剤（Ｃ−１）としては、アミン化合物、カルボン酸化合物、多官能チオール化合物、式（IV）で表される化合物、式（V）又は式（VI）で表される化合物等が挙げられる。
【００８８】
アミン化合物としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン等の脂肪族アミン化合物、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称；ミヒラーズケトン）又は４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等の芳香族アミン化合物が挙げられる。
【００８９】
カルボン酸化合物としては、フェニルチオ酢酸、メチルフェニルチオ酢酸、エチルフェニルチオ酢酸、メチルエチルフェニルチオ酢酸、ジメチルフェニルチオ酢酸、メトキシフェニルチオ酢酸、ジメトキシフェニルチオ酢酸、クロロフェニルチオ酢酸、ジクロロフェニルチオ酢酸、Ｎ−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、Ｎ−ナフチルグリシン又はナフトキシ酢酸等の芳香族ヘテロ酢酸類が挙げられる。
【００９０】
多官能チオール化合物は、分子内に二個以上のスルファニル基を有する化合物である。
多官能チオール化合物としては、具体的には、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、１，４−ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトブチレート）又は１，４−ビス（３−メルカプトブチリルオキシ）ブタン等が挙げられる。
なかでも、脂肪族炭化水素基の炭素原子と結合するスルファニル基を二個以上有する化合物が、本発明の感光性樹脂組成物の感度が高くなるのでより好ましい。
【００９１】
式（IV）で表される化合物は、以下の化合物である。
2010181865.tif 000009
【００９２】
式（IV）中、Ｘで示される環はハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数６〜１２の芳香環を表す。
Ｙは、酸素原子、硫黄原子を表す。
Ｒ２１は、炭素数１〜６のアルキル基を表す。
Ｒ２２は、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数１〜１２のアルキル基又はハロゲン原子で置換されていてもよいアリール基を表す。
【００９３】
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられる。
炭素数６〜１２の芳香環としては、ベンゼン環、メチルベンゼン環、ジメチルベンゼン環、エチルベンゼン環、プロピルベンゼン環、ブチルベンゼン環、ペンチルベンゼン環、ヘキシルベンゼン環、シクロヘキシルベンゼン環、クロロベンゼン環、ジクロロベンゼン環、ブロモベンゼン環、ジブロモベンゼン環、フェニルベンゼン環、クロロフェニルベンゼン環、ブロモフェニルベンゼン環、ナフタレン環、クロロナフタレン環、ブロモナフタレン環、フェナントレン環、クリセン環、フルオランテン環、ベンゾ［ａ］ピレン環、ベンゾ［ｅ］ピレン環、ペリレン環及びそれらの誘導体等が挙げられる。なかでも、ベンゼン環、ナフタレン環等が好ましい。
【００９４】
ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数６〜１２の芳香環としては、ベンゼン環、メチルベンゼン環、ジメチルベンゼン環、エチルベンゼン環、プロピルベンゼン環、ブチルベンゼン環、ペンチルベンゼン環、ヘキシルベンゼン環、シクロヘキシルベンゼン環、クロロベンゼン環、ジクロロベンゼン環、ブロモベンゼン環、ジブロモベンゼン環、フェニルベンゼン環、クロロフェニルベンゼン環、ブロモフェニルベンゼン環、ナフタレン環、クロロナフタレン環、ブロモナフタレン環等が挙げられる。
【００９５】
炭素数１〜６のアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、１−メチル−ｎ−プロピル基、２−メチル−ｎ−プロピル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、１−メチル−ｎ−ブチル基、２−メチル−ｎ−ブチル基、３−メチル−ｎ−ブチル基、１，１−ジメチル−ｎ−プロピル基、１，２−ジメチル−ｎ−プロピル基、２，２−ジメチル−ｎ−プロピル基、ｎ−ヘキシル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。
【００９６】
ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数１〜１２のアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、１−メチル−ｎ−プロピル基、２−メチル−ｎ−プロピル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、１−メチル−ｎ−ブチル基、２−メチル−ｎ−ブチル基、３−メチル−ｎ−ブチル基、１，１−ジメチル−ｎ−プロピル基、１，２−ジメチル−ｎ−プロピル基、２，２−ジメチル−ｎ−プロピル基、ｎ−ヘキシル基、シクロヘキシル基、１−クロロ−ｎ−ブチル基、２−クロロ−ｎ−ブチル基、３−クロロ−ｎ−ブチル基等が挙げられる。
【００９７】
ハロゲン原子で置換されていてもよいアリール基としては、フェニル基、クロロフェニル基、ジクロロフェニル基、ブロモフェニル基、ジブロモフェニル基、クロロブロモフェニル基、ビフェニル基、クロロビフェニル基、ジクロロビフェニル基、ブロモフェニル基、ジブロモフェニル基、ナフチル基、クロロナフチル基、ジクロロナフチル基、ブロモナフチル基、ジブロモナフチル基等が挙げられる。
【００９８】
式（IV）で表される化合物として、具体的には、
２−ベンゾイルメチレン−３−メチル−ナフト［２，１−ｄ］チアゾリン、
２−ベンゾイルメチレン−３−メチル−ナフト［１，２−ｄ］チアゾリン、
２−ベンゾイルメチレン−３−メチル−ナフト［２，３−ｄ］チアゾリン、
２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチルベンゾチアゾリン、
２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチルベンゾチアゾリン、
２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−フェニルベンゾチアゾリン、
２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−フェニルベンゾチアゾリン、
２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−フルオロベンゾチアゾリン、
２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−フルオロベンゾチアゾリン、
２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−クロロベンゾチアゾリン、
２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−クロロベンゾチアゾリン、
２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−ブロモベンゾチアゾリン、
２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−ブロモベンゾチアゾリン、
２−（４−ビフェノイルメチレン）−３−メチルベンゾチアゾリン、
２−（４−ビフェノイルメチレン）−３−メチル−５−フェニルベンゾチアゾリン、
２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−ナフト［２，１−ｄ］チアゾリン、
２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−ナフト［１，２−ｄ］チアゾリン、
２−（４−ビフェノイルメチレン）−３−メチル−ナフト［２，１−ｄ］チアゾリン、
２−（４−ビフェノイルメチレン）−３−メチル−ナフト［１，２−ｄ］チアゾリン、
２−（ｐ−フルオロベンゾイルメチレン）−３−メチル−ナフト［2,1−ｄ]チアゾリン、２−（ｐ−フルオロベンゾイルメチレン）−３−メチル−ナフト［1,2−ｄ]チアゾリン、２−ベンゾイルメチレン−３−メチル−ナフト［２，１−ｄ］オキサゾリン、
２−ベンゾイルメチレン−３−メチル−ナフト［１，２−ｄ］オキサゾリン、
２−ベンゾイルメチレン−３−メチル−ナフト［２，３−ｄ］オキサゾリン、
２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチルベンゾオキサゾリン、
２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチルベンゾオキサゾリン、
２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−フェニルベンゾオキサゾリン、
２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−フェニルベンゾオキサゾリン、
２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−フルオロベンゾオキサゾリン、
２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−フルオロベンゾオキサゾリン、
２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−クロロベンゾオキサゾリン、
２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−クロロベンゾオキサゾリン、
２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−ブロモベンゾオキサゾリン、
２−（１−ナフトイルメチレン）−３−メチル−５−ブロモベンゾオキサゾリン、
２−（４−ビフェノイルメチレン）−３−メチルベンゾオキサゾリン、
２−（４−ビフェノイルメチレン）−３−メチル−５−フェニルベンゾオキサゾリン、
２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−ナフト［２，１−ｄ］オキサゾリン、
２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチル−ナフト［１，２−ｄ］オキサゾリン、
２−（４−ビフェノイルメチレン）−３−メチル−ナフト［２，１−ｄ］オキサゾリン、２−（４−ビフェノイルメチレン）−３−メチル−ナフト［１，２−ｄ］オキサゾリン、２−（ｐ−フルオロベンゾイルメチレン）−３−メチル−ナフト[2,1-ｄ]オキサゾリン、２−（ｐ−フルオロベンゾイルメチレン）−３−メチル−ナフト[1,2-ｄ]オキサゾリン、等が挙げられる。
【００９９】
なかでも、式（９）で表される２−（２−ナフトイルメチレン）−３−メチルベンゾチアゾリン、式（１０）で表される２−ベンゾイルメチレン−３−メチルーナフト［１，２−ｄ］チアゾリン及び式（１１）で表される２−（４−ビフェノイルメチレン）−３−メチル−ナフト［１，２−ｄ］チアゾリンが好ましい。
2010181865.tif 000010
【０１００】
式（V）及び式（VI）で表される化合物は、以下の化合物である。
2010181865.tif 000011
【０１０１】
式（V）及び式（VI）において、環Ｘ３１及び環Ｘ３２は、それぞれ独立に、炭素数６〜１２の芳香環を表す。Ｙ３１及びＹ３２は、酸素原子又は硫黄原子を表す。Ｒ３１及びＲ３２は、炭素数１〜１２のアルキル基又は炭素数６〜１２のアリール基を表す。
これら芳香環、アルキル基又はアリール基に含まれる炭素原子は酸素原子、窒素原子、硫黄原子で置換されていてもよく、これら芳香環、アルキル基又はアリール基に含まれる水素原子はハロゲン原子で置換されてもよい。また、アリール基に含まれる水素原子は水酸基又はアルコキシ基で置換されていてもよい。］
【０１０２】
水酸基置換アリール基としては、ヒドロキシフェニル基、ヒドロキシナフチル基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、例えば、炭素数１〜６のアルコキシ基が挙げられる。具体的には、メトキシ、エトキシ、ブロポキシ、ブトキシ等が挙げられる。
アルコキシ基置換アリール基としては、メトキシフェニル、エトキシフェニル、プロポキシフェニル、メトキシナフチル、エトキシナフチル、プロポキシナフチル等が挙げられる。
【０１０３】
式（V）又は式（VI）で表される化合物として、具体的に、
ジメトキシナフタレン、ジエトキシナフタレン、ジプロポキシナフタレン、ジイソプロポキシナフタレン、ジブトキシナフタレン等のジアルコキシナフタレン類；
ジメトキシアントラセン、ジエトキシアントラセン、ジプロポキシアントラセン、ジイソプロポキシアントラセン、ジブトキシアントラセン、ジペンタオキシアントラセン、ジヘキサオキシアントラセン、メトキシエトキシアントラセン、メトキシプロポキシアントラセン、メトキシイソプロポキシアントラセン、メトキシブトキシアントラセン、エトキシプロポキシアントラセン、エトキシイソプロポキシアントラセン、エトキシブトキシアントラセン、プロポキシイソプロポキシアントラセン、プロポキシブトキシアントラセン、イソプロポキシブトキシアントラセン等のジアルコキシアントラセン類；
ジメトキシナフタセン、ジエトキシナフタセン、ジプロポキシナフタセン、ジイソプロポキシナフタセン、ジブトキシナフタセン等のジアルコキシナフタセン類等が挙げられる。
【０１０４】
重合開始助剤（Ｃ−１）の含有量は、樹脂（Ａ）及び重合性モノマー（Ｂ）の合計量に対して、好ましくは０．０１〜５０質量％、より好ましくは０．１〜４０質量％である。
特に、重合開始助剤（Ｃ−１）として多官能チオール化合物を用いる場合には、その含有量は、重合開始剤（Ｃ）に対して、好ましくは０．５〜２０質量％、より好ましくは１〜１５質量％である。
また、式（V）及び式（VI）からなる群から選ばれる少なくとも１種で表される化合物の含有量は、重合開始助剤（Ｃ−１）の含有量に対して、好ましくは５０〜１００質量％、より好ましくは６０〜１００質量％、さらに好ましくは６５〜１００質量％である。これらの化合物の含有量がこの範囲にあると、これを含む感光性樹脂組成物を用いて塗膜を形成したときに、塗膜の透明性が良好になり好ましい。
重合開始助剤（Ｃ−１）の量が前記の範囲にあると、得られる感光性樹脂組成物の感度がさらに高くなり、現像性が良好になり、この感光性樹脂組成物を用いて形成するパターンの生産性が向上する傾向にある。
【０１０５】
本発明の感光性樹脂組成物は、溶剤（Ｄ）を含有する。溶剤（Ｄ）としては、感光性樹脂組成物の分野で用いられている各種の有機溶剤が挙げられる。
具体例としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル及びエチレングリコールモノブチルエーテル等のエチレングリコールモノアルキルエーテル類；
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル等などのジエチレングリコールジアルキルエーテル類；
【０１０６】
メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類；
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート等のアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類；
【０１０７】
プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル等のプロピレングリコールモノアルキルエーテル類；
プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールジプロピルエーテルプロピレングリコールプロピルメチルエーテル、プロピレングリコールエチルプロピルエーテル等のプロピレングリコールジアルキルエーテル類
プロピレングリコールメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールエチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールプロピルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールブチルエーテルプロピオネート等のプロピレングリコールアルキルエーテルプロピオネート類；
【０１０８】
メトキシブチルアルコール、エトキシブチルアルコール、プロポキシブチルアルコール、ブトキシブチルアルコール等のブチルジオールモノアルキルエーテル類；
メトキシブチルアセテート、エトキシブチルアセテート、プロポキシブチルアセテート、ブトキシブチルアセテート等のブタンジオールモノアルキルエーテルアセテート類；
メトキシブチルプロピオネート、エトキシブチルプロピオネート、プロポキシブチルプロピオネート、ブトキシブチルプロピオネート等のブタンジオールモノアルキルエーテルプロピオネート類；
ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエチルエーテル等のジプロピレングリコールジアルキルエーテル類；
ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン等の芳香族炭化水素類；
メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類；
エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリン等のアルコール類；
【０１０９】
酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、２−ヒドロキシプロピオン酸エチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ヒドロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、３−ヒドロキシプロピオン酸メチル、３−ヒドロキシプロピオン酸エチル、３−ヒドロキシプロピオン酸プロピル、３−ヒドロキシプロピオン酸ブチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プロピル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブチル、プロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、プロポキシ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、ブトキシ酢酸メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プロピル、ブトキシ酢酸ブチル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸ブチル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−エトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸ブチル、２−ブトキシプロピオン酸メチル、２−ブトキシプロピオン酸エチル、２−ブトキシプロピオン酸プロピル、２−ブトキシプロピオン酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸プロピル、３−メトキシプロピオン酸ブチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸プロピル、３−エトキシプロピオン酸ブチル、３−プロポキシプロピオン酸メチル、３−プロポキシプロピオン酸エチル、３−プロポキシプロピオン酸プロピル、３−プロポキシプロピオン酸ブチル、３−ブトキシプロピオン酸メチル、３−ブトキシプロピオン酸エチル、３−ブトキシプロピオン酸プロピル、３−ブトキシプロピオン酸ブチル等のエステル類；
テトラヒドロフラン、ピラン等の環状エーテル基類；
γ−ブチロラクトン等の環状エステル類等が挙げられる。
【０１１０】
前記の溶剤（Ｄ）は、沸点が１７５℃以下の溶剤を二種類以上含む溶剤が適しており、塗布性、乾燥性の観点から、好ましくは沸点が１４０℃以上１７５℃以下の溶剤が含有されていることであり、より好ましくは、沸点が１４０℃以上１７５℃以下の溶剤を二種類以上含む溶剤である。
沸点が１４０℃以上１７５℃以下の溶剤としては、アルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類；メトキシブタノール及びエトキシブタノール等のアルコール類、シクロヘキサノン等のケトン類；３−エトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシ酢酸エチル、３−メトキシ酢酸ブチル、３−エトキシ酢酸ブチル等のエステル類が挙げられる。
好ましくは、３−メトキシブタノール、メトキシブチルアセテート、３−エトキシプロピオン酸エチル及び３−メトキシプロピオン酸メチルが挙げられる。なかでも、より好ましくは、３−メトキシブタノールである。
【０１１１】
これらの溶剤（Ｄ）には、沸点が１７５℃を超える溶剤が含まれていてもよい。
また、溶剤（Ｄ）には、炭素数１〜６のアルコールが含有されていることが好ましい。
このようなアルコールは、上述した溶剤の中から適宜選択することができる。このようなアルコールは、沸点が１７５℃以下であることが好ましいが、沸点１７５℃を超える溶剤であってもよい。
【０１１２】
本発明の感光性樹脂組成物における溶剤（Ｄ）の含有量は、感光性樹脂組成物に対して、好ましくは６０〜９０質量％、より好ましくは６５〜８５質量％である。溶剤（Ｄ）の含有量がこの範囲にあると、後述する種々の塗布装置で塗布したときに塗布性が良好になる。なお、沸点が１７５℃を超える溶剤が含まれている場合は、そのような溶剤は、全溶媒において３０質量％程度以下が好ましい。
【０１１３】
本発明の感光性樹脂組成物における界面活性剤（Ｅ）は、特に限定されるものではなく、例えば、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤等が挙げられる。なかでもフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤が好ましい。このような界面活性剤（Ｅ）を用いることにより、感光性樹脂組成物中の他の成分及びその含有量と相まって、組成物中に含有される微小な気泡の発生を防止することができる。その結果、溶剤蒸発時の突沸を効果的に抑制することができる。
【０１１４】
シリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合を有する界面活性剤が挙げられる。
具体的には、東レシリコーンＤＣ３ＰＡ、同ＳＨ７ＰＡ、同ＤＣ１１ＰＡ、同ＳＨ２１ＰＡ、同ＳＨ２８ＰＡ、同２９ＳＨＰＡ、同ＳＨ３０ＰＡ、ポリエーテル変性シリコーンオイルＳＨ８４００（商品名：東レ・ダウコーニング（株）製）、ＫＰ３２１、ＫＰ３２２、ＫＰ３２３、ＫＰ３２４、ＫＰ３２６、ＫＰ３４０、ＫＰ３４１（信越化学工業製）、ＴＳＦ４００、ＴＳＦ４０１、ＴＳＦ４１０、ＴＳＦ４３００、ＴＳＦ４４４０、ＴＳＦ４４４５、ＴＳＦ−４４４６、ＴＳＦ４４５２、ＴＳＦ４４６０（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製）等が挙げられる。
【０１１５】
フッ素系界面活性剤としては、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。
具体的には、フロリナート（登録商標）ＦＣ４３０、同ＦＣ４３１（住友スリーエム（株）製）、メガファック（登録商標）Ｆ１４２Ｄ、同Ｆ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７７、同Ｆ１８３、同Ｒ３０（ＤＩＣ（株）製）、エフトップ（登録商標）ＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５１、同ＥＦ３５２（三菱マテリアル電子化成（株）製）、サーフロン（登録商標）Ｓ３８１、同Ｓ３８２、同ＳＣ１０１、同ＳＣ１０５（旭硝子（株）製）、Ｅ５８４４（（株）ダイキンファインケミカル研究所製）、ＢＭ−１０００、ＢＭ−１１００（いずれも商品名：ＢＭ、Ｃｈｅｍｉｅ社製）等が挙げられる。
【０１１６】
フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合及びフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、メガファック（登録商標）Ｒ０８、同ＢＬ２０、同Ｆ４７５、同Ｆ４７７、同Ｆ４４３（ＤＩＣ（株）製）等が挙げられる。好ましくはメガファック（登録商標）Ｆ４７５が挙げられる。
【０１１７】
界面活性剤（Ｅ）は、界面活性剤を除く感光性樹脂組成物１００質量％に対して、０．００２５〜０.０２５０質量％であり、好ましくは０.００２５〜０.０２００質量％、より好ましくは０.０５〜０.０１００質量％である。界面活性剤をこの範囲で含有することにより、平坦性を良好にすることができるとともに、上述したように、突沸を有効に防止することが可能となる。
【０１１８】
本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、充填剤、樹脂（Ａ）以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、凝集防止剤、連鎖移動剤等の添加剤を併用してもよい。
本発明の感光性樹脂組成物は、顔料および染料などの着色剤を実質的に含有しないことが適している。つまり、本発明の感光性樹脂組成物において、組成物全体に対する着色剤の含量は、１質量％未満が適しており、好ましくは０．５質量％未満である。
【０１１９】
充填剤としては、ガラス、シリカ、アルミナ等が挙げられる。
樹脂（Ａ）以外の高分子化合物として、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂等の硬化性樹脂やポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレート、ポリエステル、ポリウレタン等の熱可塑性樹脂等が挙げられる。
【０１２０】
密着促進剤としては、シラン系化合物が好ましい。具体的には、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。
【０１２１】
酸化防止剤としては、２−ｔｅｒｔ−ブチル−６−（３−ｔｅｒｔ−ブチル−２−ヒドロキシ−５−メチルベンジル）−４−メチルフェニルアクリレート、２−［１−（２−ヒドロキシ−３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ペンチルフェニル）エチル］−４，６−ジ−ｔｅｒｔ−ペンチルフェニルアクリレート、６−［３−（３−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロポキシ］−２，４，８，１０−テトラ−ｔｅｒｔ−ブチルジベンズ［ｄ、ｆ］［１，３，２］ジオキサフォスフェピン、３，９−ビス［２−｛３−（３−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロピオニルオキシ｝−１，１−ジメチルエチル］−２，４，８，１０−テトラオキサスピロ［５．５］ウンデカン、２，２’−メチレンビス（６−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノール）、４，４’−ブチリデンビス（６−ｔｅｒｔ−ブチル−３−メチルフェノール）、４，４’−チオビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−メチルフェノール）、２，２’−チオビス（６−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノール）、ジラウリル３，３’−チオジプロピオネート、ジミリスチル３，３’−チオジプロピオネート、ジステアリル３，３’−チオジプロピオネート、ペンタエリスリチルテトラキス（３−ラウリルチオプロピオネート）、１，３，５−トリス（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）−１，３，５−トリアジン−２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）−トリオン、３，３’，３’’，５，５’，５’’−ヘキサ−ｔｅｒｔ−ブチル−ａ，ａ’，ａ’’−（メシチレン−２，４，６−トリイル）トリ−ｐ−クレゾール、ペンタエリスリトールテトラキス［３−（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノール等が挙げられる。
【０１２２】
紫外線吸収剤としては、２−（２−ヒドロキシ−５−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−２Ｈ−ベンゾトリアゾール、オクチル−３−［３−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−（５−クロロ−２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）フェニル］プロピオネート、２−［４−［（２−ヒドロキシ−３−ドデシルオキシプロピル）オキシ］−２−ヒドロキシフェニル］−４，６−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−［４−［（２−ヒドロキシ−３−（２’−エチル）ヘキシル）オキシ］−２−ヒドロキシフェニル］−４，６−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（２−ヒドロキシ−４−ブチルオキシフェニル）−６−（２，４−ビス−ブチルオキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−（２−ヒドロキシ−４−［１−オクチルオキシカルボニルエトキシ］フェニル）−４，６−ビス（４−フェニルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−４，６−ビス（１−メチル−１−フェニルエチル）フェノール、２−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−６−（１−メチル−１−フェニルエチル）−４−（１，１，３，３−テトラメチルブチル）フェノール、２−（３−ｔｅｒｔ−ブチル−２−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール又はアルコキシベンゾフェノン等が挙げられる。
【０１２３】
光安定剤としては、こはく酸と（４−ヒドロキシ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン−１−イル）エタノールからなる高分子、Ｎ，Ｎ’，Ｎ’’，Ｎ’’’−テトラキス（４，６−ビス（ブチル−（Ｎ−メチル−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン−４−イル）アミノ）トリアジン−２−イル）−４，７−ジアザデカン−１，１０−ジアミン、デカンジオイックアシッドと、ビス（２，２，６，６−テトラメチル−１−（オクチルオキシ）−４−ピペリジニル）エステルと、１，１−ジメチルエチルヒドロパーオキシドとの反応物、ビス（１，２，２，６，６−ペンタメチル−４−ピペリジニル）−［［３，５−ビス（１，１−ジメチルエチル）−４−ヒドロキシフェニル］メチル］ブチルマロネート、２，４−ビス［Ｎ−ブチル−Ｎ−（１−シクロヘキシルオキシ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン−４−イル）アミノ］−６−（２−ヒドロキシエチルアミン）−１，３，５−トリアジン、ビス（１，２，２，６，６−ペンタメチル−４−ピペリジニル）セバケート又はメチル（１，２，２，６，６−ペンタメチル−４−ピペリジニル）セバケート等が挙げられる。
【０１２４】
凝集防止剤としては、ポリアクリル酸ナトリウム等が挙げられる。
連鎖移動剤としては、ドデシルメルカプタン、２，４−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテン等が挙げられる。
【０１２５】
本発明の感光性樹脂組成物は、固形分量が、１０〜３０質量％程度であることが好ましく、より好ましくは１２〜２８質量％、さらに好ましくは１５〜２５質量％である。この範囲とすることにより、種々の塗布方法、特にスリット法によっても、欠陥やモヤムラ等が発生せず、均一な塗膜を形成することができる。
また、本発明の感光性樹脂組成物は、光路長が１ｃｍの石英セルに充填し、分光光度計を使用して、測定波長４００〜７００ｎｍの条件下で透過率を測定すると、透過率が７０％以上であり、好ましくは８０％以上である。
【０１２６】
本発明の感光性樹脂組成物は、塗膜とした際に、塗膜の透過率が９０％以上であり、さらに９５％以上となることが好ましい。この透過率は、加熱硬化（例えば、１００〜２５０℃、５分〜３時間）後の厚みが３μｍの塗膜に対して、分光光度計を使用して、測定波長４００〜７００ｎｍの条件下で測定した場合の値である。これにより、透明性に優れた塗膜を提供することができる。
【０１２７】
本発明の感光性樹脂組成物は、例えば、後述するように、基材、例えば、ガラス、金属、プラスチック等の基板、カラーフィルタ、各種絶縁又は導電膜、駆動回路等を形成したこれらの基板などの上に塗布することによって、塗膜を形成することができる。塗膜は、乾燥及び硬化したものであることが好ましい。また、得られた塗膜を所望の形状にパターニングして、パターンとして用いることもできる。さらに、これら塗膜又はパターンを、表示装置等の構成部品の一部として形成してもよい。
【０１２８】
まず、本発明の感光性樹脂組成物を、基材又は先に形成された感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布する。
塗布方法は、特に限定されず、例えば、スピンコーター、スリット＆スピンコーター、スリットコーター（ダイコーター、カーテンフローコーターとも呼ばれることがある）、インクジェット、ロールコータ、ディップコーター等の塗布装置を用いて行うことができる。なかでも、溶解性、乾燥防止、異物の発生防止等から、スリット塗布法による塗布、つまり、スリット＆スピンコーター及びスリットコーター等を利用することが好ましい。
【０１２９】
次いで、乾燥又はプリベークして、溶剤等の揮発成分を除去することが好ましい。これにより、平滑な未硬化塗膜を得ることができる。特に、減圧乾燥を行うことが好ましい。ここでの減圧乾燥は、溶媒の少なくとも一部を除去することで、その後の工程において障害にならない程度除去されればよく、必ずしもすべての溶剤を塗膜から除去する必要はない。減圧乾燥は、室温（２５℃）条件下、常圧から到達圧力１０〜５００Ｐａの範囲で行うことが好ましく、より好ましく３０〜４００Ｐａ、さらに好ましくは５０〜３００Ｐａである。減圧乾燥時間の制限はなく、膜厚、基板の大きさ、感光性樹脂組成物の溶剤量などを考慮して便宜設定することができる。通常１０秒〜６０秒間が好ましい。このような比較的厳しい減圧乾燥の条件を適用するためには、最終到達圧力に達するまでに減圧速度を多段階に変化させてもよい。例えば、常圧から１３０Ｐａまでに要する時間を１０秒間程度、１３０Ｐａから６６Ｐａまでを１０秒間程度と２段階に減圧速度を制御することで、より平滑な未硬化膜を得ることができる。
この場合の塗膜の膜厚は、特に限定されず、用いる材料、用途等によって適宜調整することができ、例えば、０．１〜３０μｍ程度、好ましくは１〜２０μｍ程度、より好ましくは１〜６μｍ程度が例示される。
【０１３０】
さらに、得られた未硬化塗膜に、目的のパターンを形成するためのマスクを介して、光、例えば、水銀灯、発光ダイオード等から発生する紫外線等を照射する。この際のマスクの形状は特に限定されず、種々の形状が挙げられる。また、線幅等も、マスクサイズ等によって、適宜調整することができる。
近年の露光機では、３５０ｎｍ未満の光を、この波長域をカットするフィルタを用いてカットしたり、４３６ｎｍ付近、４０８ｎｍ付近、３６５ｎｍ付近の光を、これらの波長域を取り出すバンドパスフィルタを用いて選択的に取り出して、露光面全体に均一に平行光線を照射したりすることができる。このときマスクと基材との正確な位置合わせを行うために、マスクアライナ、ステッパ等の装置を使用してもよい。
【０１３１】
この後、塗膜をアルカリ水溶液に接触させて所定部分、例えば、非露光部を溶解させ、現像することにより、目的とするパターン形状を得ることができる。
現像方法は、液盛り法、ディッピング法、スプレー法等のいずれでもよい。さらに現像時に基材を任意の角度に傾けてもよい。
【０１３２】
現像に使用する現像液は、通常、アルカリ性化合物と界面活性剤とを含む水溶液である。
アルカリ性化合物は、無機又は有機のアルカリ性化合物のいずれでもよい。
無機アルカリ性化合物としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム又はアンモニア等が挙げられる。
また、有機アルカリ性化合物としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、２−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン又はエタノールアミン等が挙げられる。
アルカリ現像液中のアルカリ性化合物の含有量は、好ましくは０．０１〜１０質量％であり、より好ましくは０．０３〜５質量％である。
【０１３３】
また、アルカリ現像液中の界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤又はアニオン系界面活性剤又はカチオン系界面活性剤のいずれでもよい。
ノニオン系界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン／オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン等が挙げられる。
アニオン系界面活性剤としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナトリウム等の高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウム等のアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウム等のアルキルアリールスルホン酸塩類等が挙げられる。
カチオン系界面活性剤としては、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライド等のアミン塩又は第四級アンモニウム塩等が挙げられる。
アルカリ現像液中の界面活性剤の含有量は、好ましくは０．０１〜１０質量％、より好ましくは０．０５〜８質量％、より好ましくは０．１〜５質量％である。
【０１３４】
現像後、水洗を行い、さらに必要に応じて、ポストベークを行ってもよい。ポストベークは、例えば、１５０〜２３０℃の温度範囲、１０〜１８０分間が好ましい。
【０１３５】
特に、本発明の感光性樹脂組成物は、基板上に、スリットコーターを用いて本発明の感光性樹脂組成物を塗布して膜を形成し、基板上に形成された膜を減圧乾燥することにより、塗膜を製造するために用いることが好ましい。
また、得られた塗膜をフォトマスクを介して露光し、露光された塗膜を現像することによりパターンを製造するために用いることが好ましい。
【０１３６】
このようにして得られる塗膜又はパターンは、例えば、液晶表示装置に使用されるフォトスペーサ、パターニング可能なオーバーコートとして有用である。また、未硬化塗膜へのパターニング露光の際に、ホール形成用フォトマスクを使用することにより、ホールを形成することができ、層間絶縁膜として有用である。さらに、未硬化塗膜への露光の際に、フォトマスクを使用せず、全面露光及び加熱硬化又は加熱硬化のみを行うことにより、透明膜を形成することができる。この透明膜は、オーバーコートとして有用である。また、タッチパネル等の表示装置にも用いることができる。これにより、高品質の塗膜又はパターンを備えた表示装置を、高い歩留りで製造することが可能である。
本発明の感光性樹脂組成物は、種々の膜及びパターンを形成するための材料、例えば、透明膜、特に、カラーフィルタの一部を構成する透明膜、パターン、フォトスペーサ、オーバーコート、絶縁膜、液晶配向制御用突起、マイクロレンズ、異なる膜厚を組み合わせた着色パターン、コート層等を形成するために好適に利用することができる。また、これらの塗膜又はパターンをその構成部品の一部として備えるカラーフィルタ、アレイ基板等、さらに、これらカラーフィルタ及び／又はアレイ基板等を具備する表示装置、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ装置等に利用することができる。
【実施例】
【０１３７】
以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。また、以下の実施例及び比較例において、含有量又は使用量を表す％及び部は、特に断らないかぎり質量基準である。
【０１３８】
合成例１
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えた１リットルのフラスコ内に窒素を０．０２Ｌ／分で流して窒素雰囲気とし、３−メトキシ−１−ブタノール２００質量部及び３−メトキシブチルアセテート１０５質量部を入れ、撹拌しながら７０℃まで加熱した。
次いで、メタクリル酸６０質量部、３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２．６］デシルアクリレート（式（Ｉ−１）で表される化合物及び式（II−１）で表される化合物の混合物、モル比＝５０：５０）２４０質量部を３−メトキシブチルアセテート１４０質量部に溶解して、溶液を調製した。
得られた溶解液を、滴下ロートを用いて４時間かけて、７０℃に保温したフラスコ内に滴下した。
一方、重合開始剤２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）４５質量部を３−メトキシブチルアセテート２２５質量部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて４時間かけてフラスコ内に滴下した。
重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、４時間、７０℃に保持し、その後室温まで冷却して、固形分３２．３質量％、酸価３５．６ｍｇ−ＫＯＨ／ｇの共重合体（樹脂Ａａ）の樹脂溶液を得た。得られた樹脂Ａａの重量平均分子量Ｍｗは、９．１×１０３、分散度は２．０２であった。
【０１３９】
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【０１４０】
合成例２
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えた１Ｌのフラスコ内に窒素を０．０２Ｌ／分で流して窒素雰囲気とし、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル１４０質量部を入れ、撹拌しながら７０℃まで加熱した。
次いで、メタクリル酸４０質量部、３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２．６］デシルアクリレート（式（Ｉ−１）で表される化合物及び式（II−１）で表される化合物の混合物、モル比＝５０：５０）３６０質量部をジエチレングリコールエチルメチルエーテル１９０質量部に溶解して、溶液を調製した。
得られた溶解液を、滴下ポンプを用いて４時間かけて、７０℃に保温したフラスコ内に滴下した。
一方、重合開始剤２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）３０質量部をジエチレングリコールエチルメチルエーテル２４０質量部に溶解した溶液を、別の滴下ポンプを用いて、５時間かけてフラスコ内に滴下した。
重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、４時間、７０℃に保持し、その後室温まで冷却して、固形分４２.６質量％、酸価６０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇの共重合体（樹脂Ａｂ）の溶液を得た。得られた樹脂Ａｂの重量平均分子量（Ｍｗ）は８．０×１０３、分散度は１.９１であった。
【０１４１】
前記のバインダーポリマーの重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）の測定については、ＧＰＣ法を用いて、以下の条件で行なった。
装置；Ｋ２４７９（（株）島津製作所製）
カラム；ＳＨＩＭＡＤＺＵ  Ｓｈｉｍ−ｐａｃｋ  ＧＰＣ−８０Ｍ
カラム温度；４０℃
溶媒；ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）
流速；１．０ｍＬ／ｍｉｎ
検出器；ＲＩ
上記で得られたポリスチレン換算の重量平均分子量及び数平均分子量の比を分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）とした。
【０１４２】
実施例１〜８、比較例１〜３
表１の組成で各成分を混合し、感光性樹脂組成物を得た。
【表１】
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【０１４３】
なお、表１中、
樹脂（Ａ）は、固形分換算の質量部を表す。
重合性モノマー（Ｂ）；ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製）
光重合開始剤（Ｃ）；２-メチル-２-モルホリノ（４-メチルスルファニルフェニル）プロパン-１-オン（イルガキュア９０７；チバ・ジャパン社製）
溶剤（Ｄａ）；３−メトキシ−１−ブタノール（沸点１６１℃）
溶剤（Ｄｂ）；エチル３−エトキシプロピオネート（沸点１７０℃）
溶剤（Ｄｃ）；３−メトキシブチルアセテート（沸点１７１℃）
溶剤（Ｄｄ）；ジエチレングリコールエチルメチルエーテル（沸点１７６℃）
溶剤（Ｄｅ）；プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（沸点１４６℃）
溶剤（Ｄｆ）；ベンジルアルコール（沸点２０５℃）
溶剤（Ｄｇ）；エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（沸点１９２℃）
界面活性剤（Ｅ）；ポリエーテル変性シリコーンオイル（東レ・ダウコーニング（株）製  ＳＨ８４００）である。
溶剤（Ｄ）は、組成物の固形分が表１の「固形分量（％）」となるように混合し、溶剤（Ｄ）中の溶剤成分（Ｄａ）〜（Ｄｇ）の値は、溶剤（Ｄ）中での質量比を表す。
界面活性剤（Ｅ）の含有量は、界面活性剤を除いた感光性樹脂組成物１００質量％に対する質量比（％）を表す。
【０１４４】
＜突沸及びモヤムラの評価＞
１５ｃｍ角のＩＴＯ成膜ガラス基板上に、調製した感光性樹脂組成物を、スリットダイコーター（卓ダイ−１００伊藤忠産機株式会社製）を用いて硬化後の膜厚が３.０μｍになるような条件で塗布した。その後、減圧乾燥機（ＶＣＤマイクロテック（株）製）で減圧度を０．５ｔｏｒｒまで減圧して乾燥し、さらに、ホットプレート上で、９０℃で２分間プレベークして塗膜Ａを形成した。
得られた塗膜Ａを冷却し、その表面をＮａランプにて照らし、目視にて塗膜表面を確認した。
突沸に起因する欠陥がはっきり確認できた場合は×、僅かに確認できた場合は△、ほとんど確認されなかった場合は○とした。
モヤムラがはっきり確認できた場合は×、僅かに確認できた場合は△、ほとんど確認されなかった場合は○とした。
【０１４５】
＜ユニフォミティの評価＞
得られた塗膜Ａについて、端からの距離１２.５ｍｍ以内を１２.５ｍｍ間隔でマトリックス上に並べた測定点での膜厚を測定した。最大膜厚、最小膜厚、平均膜厚を求めて、式（１）によって評価した。
ユニフォミティ（％）＝（最大膜厚×最小膜厚）/（２×平均膜厚）×１００  （１）  ユニフォミティが３％未満の場合は○、３〜５％の場合は△、５％以上の場合は×とした。
【０１４６】
＜減圧乾燥時間の評価＞
１５ｃｍ角のＩＴＯ成膜ガラス基板上に、調製した組成物溶液を、スリットダイコーター（卓ダイ−１００伊藤忠産機株式会社製）を用いて硬化後の膜厚が３.０μｍになるような条件で塗布した。その後、減圧乾燥機（ＶＣＤマイクロテック株式会社製）でロータリーポンプ回転数を１８００ｒｐｍ、ブースターポンプ回転数３６００ｒｐｍ、常温２５℃の条件下で減圧度が６６Ｐａに達するまでの時間（以下、ＶＣＤ時間という）を測定した。
ＶＣＤ時間は短い方が有利である。
【産業上の利用可能性】
【０１４７】
本発明の感光性樹脂組成物は、大面積の面の全体にわたって均一な塗布を行うことができるとともに、溶剤の突沸に起因する欠陥やモヤムラ等の発生が抑制される。また、優れた解像度を示し、高い透過率の塗膜やパターンを形成することが可能である。したがって、オーバーコート、フォトスペーサ、絶縁膜、液晶配向制御用突起、着色パターンの膜厚をあわせるためのコート層等、表示装置に用いられる塗膜やパターンの形成に好適に用いることができる。