(57)【要約】【課題】  復元を短時間で行うことができ、元の状態に正確に復元することができ、復元のための作業乃至操作が簡単である走行ガイド付き載物台を提供すること。【解決手段】  左右の前部ガイドベース（１０４，１０５）のそれぞれと左右の後部ガイドベース（２０４，２０５）のそれぞれとの分割点（Ｐ２）は、前部定盤（１０３）と後部定盤（２０３）との分割点（Ｐ１）よりも所定距離（Ｌ１）だけ前部ブロック側へと進入した点に位置決められており、かつ左右の前部ガイドレール（１０９）のそれぞれと左右の後部ガイドレール（２０９）のそれぞれとの分割点（Ｐ３）は、左右の前部ガイドベースのそれぞれと前記左右の後部ガイドベースのそれぞれとの分割点（Ｐ２）よりも所定距離（Ｌ２，Ｌ３）だけ前部ブロック側へと進入した点に位置決められている。【選択図】  図５
2010131696.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
定盤と、
前記定盤上の左右両側縁部に沿って前後方向へと延設される左右のガイドベースと、
前記左右のガイドベースの上に延設される１又は２以上の本数のガイドレールと、
前記定盤を支えるための架台とを包含する走行ガイド付載物台であって、
前記走行ガイド付載物台の全体は、
前側に位置する前部ブロックと後側に位置する後部ブロックとに前後２分割可能とされており、
前記前部ブロックには、前部定盤と、左右の前部ガイドベースと、左右の前部ガイドレールと、前部架台とが含まれており、かつ前記後部ブロックには、後部定盤と、左右の後部ガイドベースと、左右の後部ガイドレールと、後部架台とが含まれており、
前記左右の前部ガイドベースのそれぞれと前記左右の後部ガイドベースのそれぞれとの分割点は、前記前部定盤と前記後部定盤との分割点よりも所定距離だけ前記前部ブロック側へと進入した点に位置決められており、かつ
前記左右の前部ガイドレールのそれぞれと前記左右の後部ガイドレールのそれぞれとの分割点は、前記左右の前部ガイドベースのそれぞれと前記左右の後部ガイドベースのそれぞれとの分割点よりも所定距離だけ前記前部ブロック側へと進入した点に位置決められている、ことを特徴とする走行ガイド付載物台。
【請求項２】
前記左右の前部ガイドレール及び前記左右の後部ガイドレールは、互いに平行な複数本のガイドレールをそれぞれ包含し、かつ
前記複数本のガイドレールのそれぞれにおける前部ガイドレールと後部ガイドレールとの分割点の位置は、各ガイドレール毎に異なるように決められている、ことを特徴とする請求項１に記載の走行ガイド付載物台。
【請求項３】
前記後部架台と前記後部定盤との間には、前後方向へ距離を隔てて、前側除振マウントと後側除振マウントとが介在され、かつ前記前側除振マウントの作動気体圧は前記後側除振マウントの気体圧よりも高めに設定されている、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の走行ガイド付載物台。
【請求項４】
前記定盤は、所定の左右方向長及び前後方向長を有しかつ処理対象となるパネルが載置されるべき矩形状定盤部分と、この矩形状定盤部分の後端部の左右両側部のそれぞれから後方へと延設される左右の細長状定盤部分とを有し、かつ
前記前部定盤と前記後部定盤との分割点は、前記矩形状定盤部分と前記細長状定盤部分との境界点に位置決められている、ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の走行ガイド付載物台。
【請求項５】
前記前部定盤と前記後部定盤との間には、両定盤同士が接近する方向へと締結力を作用させることが可能な締結具が設けられている、ことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の走行ガイド付載物台。
【請求項６】
前記左右の前部ガイドベース及び前記左右の後部ガイドベース上には、リニアモータの固定子が配置されている、ことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の走行ガイド付載物台。
【請求項７】
前記左右のガイドレールのそれぞれの上を移動する左右の前後方向可動台と、
前記左右の可動台の間に架け渡されるガントリビームと、
前記ガントリービームの上に延設された左右方向ガイドレールと、
前記左右方向ガイドレールの上を移動する左右方向可動台とを包含する、ことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の走行ガイド付載物台。
【請求項８】
前記左右方向可動台上には、パネルリペア用ユニット、及び／又は、パネル検査用ユニットが搭載可能とされている、ことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の走行ガイド付載物台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、各種のパネル処理装置（例えば、液晶ガラス基板用レーザリペア装置、液晶マスクレーザリペア装置、液晶ディスプレイ欠陥検査装置、液晶マスク欠陥検査装置、太陽電池パネルパターンニング装置、等々）に好適な走行ガイド付載物台に係り、特に、分割可能な構成を採用することで陸送時や搬入時の通り抜け適性を向上させた走行ガイド付き載物台に関する。
【背景技術】
【０００２】
走行ガイド付き載物台上に門型梁状支持機構（以下、「ガントリ」と言う）を、左右方向へと向けたままで、前後方向へと走行自在に搭載すると共に、このガントリに沿って、パネルリペア用ユニットやパネル検査用ユニットを走行自在とすることで、処理対象パネル面に沿って、パネルリペア用ユニットやパネル検査用ユニットをＸＹ走査可能としたパネル処理装置（例えば、液晶ガラス基板用レーザリペア装置、液晶マスクレーザリペア装置、液晶ディスプレイ欠陥検査装置、液晶マスク欠陥検査装置、太陽電池パネルパターンニング装置等）は、従来より種々知られている。
【０００３】
このようなパネル処理装置の１つである液晶ガラス基板用レーザリペア装置（以下、単に「レーザリペア装置」と言う）の一例が図６に示されている。
【０００４】
同図に示されるように、このレーザリペア装置４は、走行ガイド付き載物台（詳細は後述する）４１上にガントリ（詳細は後述する）５を左右方向へと向けたまま、前後方向へと走行可能に搭載すると共に、このガントリ５に沿って、レーザリペア用光学ユニットＵを走行可能とすることで、処理対象パネル上において、パネルリペア用ユニットＵをＸＹ走査可能としたものである。
【０００５】
図示の走行ガイド付載物台４１は、処理対象パネルが載置される石定盤４０３と、この石定盤４０３上の左右両側縁部に沿って前後方向へと延設される左右のガイドベース４０４，４０５と、これら左右のガイドベース４０４，４０５のそれぞれの上に延設される互いに平行な２本のガイドレール（すなわち、左側ガイドベース４０４上の２本のガイドレール４０６，４０７、及び右側ガイドベース４０５上の２本のガイドレール４０８，４０９）と、複数の除振マウント４０２を介して石定盤４０３を支えるための架台４０１とを包含するものである。
【０００６】
なお、左側ガイドベース４０４の上面には、２本のガイドレール４０６，４０７の他に、リニアモータの固定子４１０が、また外側面には、リニアスケール４１４（図示せず）が取り付けられている。同様に、右側ガイドベース４０５の上面にも、２本のガイドレール４０８，４０９の他に、リニアモータの固定子４１１が、また外側面には、リニアスケール４１４が取り付けられている。それらのリニアスケール４１４は、スケールリーダ４１４ａにより位置情報の読み取りが行われる。
【０００７】
図示の架台４０１は、それぞれ座板４０１ａを介して床面に着座する複数本の脚柱４０１ｂと、それらの脚柱４０１ｂのうちの隣接するもの同士を繋ぐ脚柱間ビーム４０１ｃとから構成されている。架台４０１と石定盤４０３との間には、各脚柱４０１ｂの配置にそれぞれ対応させて除振マウント４０２が介在されている。除振マウント４０２は、当業者にはよく知られているように、圧縮空気を導入することで、その上に載せられた石定盤を、予め設定された空気圧に応じた揚力で持ち上げる作用を有する。
【０００８】
図示の石定盤４０３は、所定の左右方向長及び前後方向長を有しかつ処理対象となるパネル（マザーガラス）が載置されるべき矩形状石定盤部分４０３ａと、この矩形状石定盤部分４０３ａの後端部の左右両側部のそれぞれから後方へと延設される左右の細長状石定盤部分４０３ｂ，４０３ｂとを有する。そして、左右のガイドベース４０４，４０５は、矩形状石定盤部分４０３ａの両側縁部とその後方へ続く左右の細長状石定盤部分４０３ｂ，４０３ｂとに跨るようにしても、それらの全長に亘って延設されている。
【０００９】
なお、矩形状石定盤部分４０３ａの後端部の左右両側部のそれぞれから後方へと延設される左右の細長状石定盤部分４０３ｂ，４０３ｂを設ける理由は、処理対象パネルの受け入れ又は払い出しの際に、ガントリ５を後退させて、レーザリペア機器Ｕの後方退避位置を確保する等のためには、左右のガイドレール４０６，４０７，４０８，４０９を矩形状石定盤部分４０３ａ後方まで延長する必要があるからである。
【００１０】
上述の構成よりなる走行ガイド付載物台４１とガントリ５との関係については、さらに、次のように説明される。
【００１１】
左側ガイドベース４０４上には、リニアモータの可動子と一体をなす可動台５０１が、リニアモータの固定子４１０との間に生ずる磁力により、ガイドレール４０６，４０７に案内されつつ走行可能に搭載されている。右側ガイドベース４０５上には、リニアモータの可動子と一体をなす可動台５０２が、リニアモータの固定子４１１との間に生ずる磁力により、ガイドレール４０８，４０９に案内されつつ、走行可能に搭載されている。
【００１２】
左側の可動台５０１と右側の可動台５０２との間には、門型梁部材（以下、「ガントリビーム」と言う）５０４が左右方向へと架け渡された状態で搭載されている。このガントリビーム５０４の側面にはガイドレール５０５及びリニアモータの固定子５０６が、また上面には互いに平行な２本のガイドレール５０７，５０８及びリニアモータの固定子５０９が延設されている。
【００１３】
ガントリビーム５０４には、リニアモータの可動子と一体をなす可動台５１１が、固定子５０６，５０８との間に生ずる磁力により、ガイドレール５０５，５０７，５０８に案内されつつ、走行可能に搭載されている。そして、この可動台５１１には、レーザ光源及びレーザ出射用光学系を含むレーザリペア用ユニットＵが搭載可能とされている。
【００１４】
このように、レーザリペア装置４は、走行ガイド付き載物台４１上にガントリ５を前後方向へと走行可能にかつ左右方向へと向けて搭載すると共に、このガントリ５に沿って、レーザリペア用ユニットＵを左右方向へと走行可能とすることで、処理対象パネル上において、レーザリペア用ユニットＵをＸＹ走査可能としたものである。
【００１５】
ところで、液晶ディスプレイパネルのＴＦＴ基板を製造する際には、１枚のマザーガラスに複数パネル分のＴＦＴ基板を作り込む、いわゆる「多面取り」が採用されるのが通例である。近年、液晶ディスプレイパネルの価格は、年々値下がりする傾向にあり、パネルメーカは、マザーガラスを大型化して、１枚のマザーガラスから生産できるＴＦＴ基板の枚数を増大させて生産効率を上げ、製造コストを低減させることで、パネルの値下がりに対応している。
【００１６】
走行ガイド付き載物台４１のサイズは、リペア対象となるマザーガラスのサイズに応じて増大し、リペア対象となるマザーガラスが第十世代対応のものになると、走行ガイド付き載物台４１のサイズは、例えば（前後長）４３００ｍｍ×（左右長）４３００ｍｍとなって、最早、そのままでは陸送や工場搬入に支障を来すこととなる。
【００１７】
そこで、従来、装置全体を前部ブロックと後部ブロックとに２分割可能とすることで、陸送時や工場搬入時の通り抜け適性を向上させた走行ガイド付き載物台が種々知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００８−５６６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
しかしながら、装置全体を前部ブロックと後部ブロックとに２分割可能とすることで、陸送時や工場搬入時の通り抜け適性を向上させた従来の走行ガイド付き載物台にあっては、分割後の復元に時間がかかること、分割後に元の状態に正確に復元することが困難であること、分割後の復元のための作業乃至操作が複雑であること、と言った問題点があった。
【００１９】
この発明は、上述の問題点に着目してなされたものであり、その目的とするところは、復元を短時間で行うことができ、元の状態に正確に復元することができ、復元のための作業乃至操作が簡単である走行ガイド付き載物台を提供することにある。
【００２０】
この発明のさらに他の目的並びに作用効果については、明細書の以下の記述を参照することにより、当業者であれば容易に理解されるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上述の［発明が解決しようとする課題］は、以下の構成を有する走行ガイド付き載物台により解決することができると考えられる。
【００２２】
この走行ガイド付載物台は、定盤と、前記定盤上の左右両側縁部に沿って前後方向へと延設される左右のガイドベースと、前記左右のガイドベースの上に延設される１又は２以上の本数のガイドレールと、前記定盤を支えるための架台とを包含する走行ガイド付載物台であって、以下の特徴を有するものである。
【００２３】
すなわち、この走行ガイド付き載物台は、その全体が、前側に位置する前部ブロックと後側に位置する後部ブロックとに前後２分割可能とされている。また、前記前部ブロックには、前部定盤と、左右の前部ガイドベースと、左右の前部ガイドレールと、前部架台とが含まれており、かつ前記後部ブロックには、後部定盤と、左右の後部ガイドベースと、左右の後部ガイドレールと、後部架台とが含まれている。
【００２４】
さらに、前記左右の前部ガイドベースのそれぞれと前記左右の後部ガイドベースのそれぞれとの分割点は、前記前部定盤と前記後部定盤との分割点よりも所定距離だけ前記前部ブロック側へと進入した点に位置決められており、かつ前記左右の前部ガイドレールのそれぞれと前記左右の後部ガイドレールのそれぞれとの分割点は、前記左右の前部ガイドベースのそれぞれと前記左右の後部ガイドベースのそれぞれとの分割点よりも所定距離だけ前記前部ブロック側へと進入した点に位置決められている。
【００２５】
このように構成されているため、両ブロックの分割面同士が向かい合う状態において、後部ブロックの側をジャッキ等で持ち上げ、そのまま前部ブロックに接近させ、定盤同士の分割点、ガイドベース同士の分割点、及びガイドレール同士の分割点がそれぞれ上下に整合する位置まで位置合わせしたのち、ジャッキを緩めて降下させれば、前部ブロック側定盤の後端部領域の上に、後部ブロック側のガイドベースの前端部領域が、前部ブロック側のガイドベースの後端部領域の上に、後部ブロック側のガイドレールが、それぞれ載って加重が支えられるから、定盤同士、ガイドベース同士、ガイドレール同士は独りでに垂直方向の位置合わせが行われて、突き合わせ整合状態となるから、その状態で適宜な締結手段にて前後のブロックを結合することで、元の状態に正確に復元することができ、復元を短時間で行うことができ、しかも復元のための作業乃至操作が簡単となる。
【００２６】
このとき、前記左右の前部ガイドレール及び前記左右の後部ガイドレールを、互いに平行な複数本のガイドレールとすると共に、前記複数本のガイドレールのそれぞれにおける前部ガイドレールと後部ガイドレールとの分割点の位置を、各ガイドレール毎に異なるように決めておけば、ガイドレール上を走行する可動台が安定走行することに加えて、ガイドレール上の継ぎ目が揃わないことから、継ぎ目を走行する際の振動が緩和される。
【００２７】
また、前記後部架台と前記後部定盤との間に、前後方向へ距離を隔てて、前側除振マウントと後側除振マウントとを介在すると共に、前記前側除振マウントの作動気体圧を前記後側除振マウントの気体圧よりも高めに設定しておけば、ガイドレール上を可動台と共に走行する重量物であるガントリが、前部ブロックから後部ブロックへと移り変わったとしても、後部ブロック側ガイドレールの沈み込みを最小に留めることができる。
【００２８】
また、前記定盤を、所定の左右方向長及び前後方向長を有しかつ処理対象となるパネルが載置されるべき矩形状定盤部分と、この矩形状定盤部分の後端部の左右両側部のそれぞれから後方へと延設される左右の細長状定盤部分とで構成すると共に、前記前部定盤と前記後部定盤との分割点を、前記矩形状定盤部分と前記細長状定盤部分との境界点に位置するように決めれば、処理対象となるパネルが置かれる矩形状定盤部分には、前後ブロック分割の影響が及ばないため、分割・復元の前後でステージ平坦度や平滑度に変化が生じないことに加え、後部ブロック側の重量が軽量化されることで、分割作業及び復元作業が容易となる。
【００２９】
また、前記前部定盤と前記後部定盤との間には、両定盤同士が接近する方向へと締結力を作用させることが可能な締結具を設ければ、そもそも、前後ブロック間の垂直方向の動きは既に固定されているため、それだけで、前後ブロックを十分な強度で結合することができる。
【００３０】
また、前記左右の前部ガイドベース及び前記左右の後部ガイドベース上には、リニアモータの固定子が配置れば、それらガイドベース上をガイドレールで案内されつつ走行する可動台側に、リニアモータの可動子を組み込むだけで、直動駆動力を発生させることができる。
【００３１】
また、前記左右のガイドレールのそれぞれの上を移動する左右の前後方向可動台と、前記左右の可動台の間に架け渡されるガントリビームと、前記ガントリービームの上に延設された左右方向ガイドレールと、前記左右方向ガイドレールの上を移動する左右方向可動台とを包含する、ＸＹ走査機構付きの載物台を実現することができる。
【００３２】
このとき、前記左右方向可動台上に、パネルリペア用ユニット、及び／又は、パネル検査用ユニットを搭載可能とすれば、パネルリペア装置、及び／又は、パネル検査装置を容易に実現することができる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、復元を短時間で行うことができ、元の状態に正確に復元することができ、復元のための作業乃至操作が簡単である走行ガイド付き載物台を製作することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下に、本発明に係る走行ガイド付き載物台の好適な実施の一形態を添付図面を参照しながら詳細に説明する。
【００３５】
［レーザリペア装置全体の概略構成］
本発明が適用された液晶ガラス基板用レーザリペア装置（以下、単に「レーザリペア装置」と言う）１の前部ブロック１０、後部ブロック２０、及びそれら１０、２０の組立状態を、それぞれ左前方から見た斜視図が、図１、図２、及び図３に示されている。
【００３６】
図３から明らかなように、このレーザリペア装置１は、走行ガイド付き載物台１１と、この走行ガイド付き載物台１１の上を、その軸を左右方向へ向けたままで、前後方向へと走行するガントリ３と、ガントリ３に沿って走行するレーザリペア用ユニットＵとを含んで構成されている。
【００３７】
レーザリペア用ユニットＵには、前述のように、レーザ光源及びレーザ出射用光学系が含まれており、載物台１１上に載置される液晶ガラス基板（図示せず）に対してレーザビームを適宜に照射することにより、欠陥リペア処理を実行可能とされている。
【００３８】
［走行ガイド付き載物台の構成］
本発明の要部である走行ガイド付き載物台１１の全体は、図３に示されるように、前側に位置する前部ブロック１０（図１参照）と後側に位置する後部ブロック２０（図２参照）とに前後２分割されている。
【００３９】
［前部ブロックの構成］
（１）全体構成について
前部ブロック１０には、図１に示されるように、所定の左右方向長及び前後方向長を有しかつ処理対象となるパネル（この例では、液晶ガラス基板）が載置されるべき矩形状の前部石定盤（前部石定盤部分）１０３と、前部石定盤１０３上の左右両側縁部に沿って前後方向へと延設される左右の前部ガイドベース１０４，１０５と、左右の前部ガイドベース１０４，１０５の上に延設される１又は２以上の本数（この例では、互いに平行な２本）のガイドレール（すなわち、左側の前部ガイドベース１０４の上に延設される互いに平行な２本のガイドレール１０６，１０７と、右側の前部ガイドベース１０５の上に延設される互いに平行な２本のガイドレール１０８，１０９）と、前部石定盤１０３を支えるための前部架台１０１とを包含するものである。
【００４０】
（２）石定盤について
前部石定盤１０３は、この例では、前後方向長３１００ｍｍ×左右方向長４３００ｍｍからなる表面が平滑な矩形状部材とされ、その厚みは３５０ｍｍ程度に設定されている。また、石材としては、公知の黒御影石等々が採用されている。なお、定盤の材質としては、必ずしも、石材に限られるものではなく、例えば、スチール製角パイプを組み合わせて溶接で接合したような金属製のものでもよい。
【００４１】
（３）左右の前部ガイドベースについて
左右の前部ガイドベース１０４，１０５は、この例にあっては、所定の長さ（例えば、２４００ｍｍ）、幅（例えば、３０５ｍｍ）、及び厚み（例えば、１７０ｍｍ）を有する細長状の部材であって、その材質としては、鉄等の剛性の高い金属、石材等が使用されている。なお、この例では、左右の前部ガイドベース１０４，１０５は、同一形状である。
【００４２】
左右の前部ガイドベース１０４，１０５は、それぞれその先端を前部石定盤１０３の先端にほぼ一致させ、かつその後端については、前部石定盤１０３の後端１０３ａよりも所定距離Ｌ１だけ後退した位置と一致するようにして、前部石定盤１０３上に、図示しないボルト等の締結具にてしっかりと固定されている。換言すれば、左右の前部ガイドベース１０４，１０５の各後端と前部石定盤１０３の後端１０３ａとの間には、所定距離Ｌ１が確保されている。
【００４３】
（４）左側２本のガイドレールについて
左側の前部ガイドベース１０４上に延設される２本のガイドレール１０６，１０７は、互いに長さの異なるものであり、短い方のガイドレール１０６は、その先端を当該前部ガイドベース１０４の先端にほぼ一致させ、かつその後端については、当該前部ガイドベース１０４の後端１０４ａよりも所定距離Ｌ３だけ後退した位置と一致するようにして、当該前部ガイドベース１０４の上に、図示しないボルト等の締結具にてしっかりと固定されている。換言すれば、ガイドレール１０６の後端と前部ガイドベース１０４の後端１０４ａとの間には、所定距離Ｌ３が確保されている。
【００４４】
また、長い方のガイドレール１０７は、その先端を当該前部ガイドベース１０４の先端にほぼ一致させ、かつその後端については、当該前部ガイドベース１０４の後端１０４ａよりも所定距離Ｌ２だけ後退した位置と一致するようにして、当該前部ガイドベース１０４の上に、図示しないボルト等の締結具にてしっかりと固定されている。換言すれば、ガイドレール１０７の後端と前部ガイドベース１０４の後端１０４ａとの間には、所定距離Ｌ３が確保されている。
【００４５】
その結果、短い方のガイドレール１０６の後端の位置と長い方のガイドレール１０７の後端の位置とは、前部ガイドベース１０４の長手方向において不一致となるように決められている。
【００４６】
（５）右側２本のガイドレールについて
右側の前部ガイドベース１０５上に延設される２本のガイドレール１０８，１０９は、互いに長さの異なるものであり、短い方のガイドレール１０８は、その先端を当該前部ガイドベース１０５の先端にほぼ一致させ、かつその後端については、当該前部ガイドベース１０５の後端１０５ａよりも所定距離Ｌ３だけ後退した位置と一致するようにして、当該前部ガイドベース１０５の上に、図示しないボルト等の締結具にてしっかりと固定されている。換言すれば、ガイドレール１０８の後端と前部ガイドベース１０５の後端１０５ａとの間には、所定距離Ｌ３が確保されている。
【００４７】
また、長い方のガイドレール１０９は、その先端を当該前部ガイドベース１０５の先端にほぼ一致させ、かつその後端については、当該前部ガイドベース１０５の後端１０５ａよりも所定距離Ｌ２だけ後退した位置と一致するようにして、当該前部ガイドベース１０５の上に、図示しないボルト等の締結具にてしっかりと固定されている。換言すれば、ガイドレール１０９の後端と前部ガイドベース１０５の後端１０５ａとの間には、所定距離Ｌ３が確保されている。
【００４８】
その結果、短い方のガイドレール１０８の後端の位置と長い方のガイドレール１０９の後端の位置とは、前部ガイドベース１０５の長手方向において不一致となるように決められている。
【００４９】
（６）架台について
前部架台１０１は、それぞれ座板１０１ａを介して床面に着座する９本の脚柱１０１ｂと、それらの脚柱１０１ｂのうちの隣接するもの同士を繋ぐ脚柱間ビーム１０１ｃとを包含するものである。脚柱１０１ｂ及び脚柱間ビーム１０１ｃの材質としては、例えばスチール製角パイプ等が使用される。
【００５０】
（７）除振マウントについて
前部架台１０１と前部石定盤１０３との間には、９本の脚柱１０１ｂの配置に対応させて、除振マウント１０２が介在されている。除振マウント１０２は、当業者にはよく知られているように、圧縮された空気を導入することで、その上に載せられた石定盤を、予め設定された空気圧に応じた揚力で持ち上げる作用を有する。
【００５１】
［後部ブロックの構成］
（１）全体構成について
後部ブロック２０には、図２に示されるように、それぞれ細長状を有する左右の後部石定盤２０３Ａ，２０３Ｂと、左右の後部石定盤２０３Ａ，２０３Ｂの上に延設される左右の後部ガイドベース２０４，２０５と、左右の後部ガイドベース２０４，２０５の上に延設される１又は２以上の本数（この例では互いに平行な２本）の後部ガイドレール（すなわち、左側の後部ガイドベース２０４上に延設される互いに平行な２本のガイドレール２０６，２０７と、右側の後部ガイドベース２０５上に延設される互いに平行な２本のガイドレール２０８，２０９）と、左右の後部石定盤２０３Ａ，２０３Ｂを支えるための後部架台２０１とを包含している。
【００５２】
（２）左右の石定盤について
左右の後部石定盤２０３Ａ，２０３Ｂは、この例にあっては、所定の長さ（例えば、１２００ｍｍ）、幅（例えば、４００ｍｍ）、及び前部石定盤１０３と同一の厚み（例えば、３５０ｍｍ）を有する上面が平坦な細長状の部材である。なお、この例では、左右の後部石定盤２０３Ａ，２０３Ｂは同一形状であり、石材としては、公知の黒御影石等々が採用されている。なお、定盤の材質としては、必ずしも、石材に限られるものではなく、金属製のものでもよい。
【００５３】
左側の後部石定盤２０３Ａの先端部両側面には、後述する前後両ブロック結合時のボルト締め作業に供するための作業用空所２１２が凹設され、また同後部石定盤２０３Ａの先端面には、上記の作業用空所２１２と連通する左右のボルト孔群２１３ａ，２１３ｂが前後方向へと向けて貫通形成されている。同様にして、右側の後部石定盤２０３Ｂの先端部両面には、後述する前後両ブロック結合時のボルト締め作業に供するための作業用空所２１２が凹設され、また同後部石定盤２０３Ｂの先端面には、上記の作業用空所２１２と連通する左右のボルト孔群２１４ａ，２１４ｂが前後方向へと向けて貫通形成されている。
【００５４】
一方、左右の後部石定盤２０３Ａ，２０３Ｂの先端面と対向する前部石定盤１０３の後端面にも、図示しないが、左右のボルト孔群（タップ孔）が設けられている。したがって、後述するように、予め用意された六角孔付きボルトａを作業用空所２１２側からボルト孔群２１３ａ，２１３ｂ，２１４ａ，２１４ｂを構成する各ボルト孔に挿入して、左右の後部石定盤２０３Ａ，２０３Ｂの先端面から突出させると共に、これを前部石定盤１０３の対向端面に設けられた図示しないタップ孔にねじ込み、作業用空所２１２の側面から六角孔付きレンチでボルトａを締め付けることで、前後の石定盤１０３，２０３同士が接近する方向の強力な締め付け力を容易に生成可能となる。
【００５５】
（３）左右のガイドベースについて
左右の後部ガイドベース２０４，２０５は、この例にあっては、所定の長さ（例えば、１８９５ｍｍ）を有すると共に、左右の前部ガイドベース１０４，１０５に対応する幅（例えば、３０５ｍｍ）、及び厚み（例えば、１７０ｍｍ）を有する細長状の部材であって、その材質としては、鉄等の剛性の高い金属、石材等が使用されている。なお、この例では、左右の後部ガイドベース２０４，２０５は、同一形状である。
【００５６】
左右の後部ガイドベース２０４，２０５は、それぞれその後端を左右の後部石定盤２０３Ａ，２０３Ｂの後端にほぼ一致させ、かつその先端については、左右の後部石定盤２０３Ａ，２０３Ｂの先端２０３ａ（図４参照）よりも所定距離Ｌ１だけ前進した位置と一致するようにして、左右の後部石定盤２０３Ａ，２０３Ｂ上に、図示しないボルト等の締結具にてしっかりと固定されている。換言すれば、左右の後部ガイドベース２０４，２０５の各先端２０４ａ，２０５ａ（図４参照）と左右の後部石定盤２０３Ａ，２０３Ｂの先端２０３ａとの間には、所定距離Ｌ１が確保されている。
【００５７】
（４）左側２本のガイドレールについて
左側の後部ガイドベース２０４上に延設される２本のガイドレール２０６，２０７は、互いに長さの異なるものであり、長い方のガイドレール２０６は、その後端を当該後部ガイドベース２０４（図４参照）の後端にほぼ一致させ、かつその先端については、当該後部ガイドベース２０４の先端２０４ａよりも所定距離Ｌ３だけ前進した位置と一致するようにして、当該後部ガイドベース２０４の上に、図示しないボルト等の締結具にてしっかりと固定されている。換言すれば、ガイドレール２０６の先端と後部ガイドベース２０４の先端２０４ａとの間には、所定距離Ｌ３が確保されている。
【００５８】
また、短い方のガイドレール２０７は、その先端を当該後部ガイドベース２０４の後端にほぼ一致させ、かつその先端については、当該前部ガイドベース２０４の先端２０４ａ（図４参照）よりも所定距離Ｌ２だけ前進した位置と一致するようにして、当該後部ガイドベース２０４の上に、図示しないボルト等の締結具にてしっかりと固定されている。換言すれば、ガイドレール２０７の先端と後部ガイドベース２０４の先端２０４ａ（図４参照）との間には、所定距離Ｌ２が確保されている。
【００５９】
その結果、長い方のガイドレール２０６の先端の位置と短い方のガイドレール２０７の先端の位置とは、後部ガイドベース２０４の長手方向において不一致となるように決められている。
【００６０】
（５）右側２本のガイドレールについて
右側の後部ガイドベース２０５上に延設される２本のガイドレール２０８，２０９は、互いに長さの異なるものであり、長い方のガイドレール２０８は、その後端を当該後部ガイドベース２０５（図４参照）の後端にほぼ一致させ、かつその先端については、当該後部ガイドベース２０５の先端２０５ａよりも所定距離Ｌ３だけ前進した位置と一致するようにして、当該後部ガイドベース２０５の上に、図示しないボルト等の締結具にてしっかりと固定されている。換言すれば、ガイドレール２０８の先端と後部ガイドベース２０５の先端２０５ａとの間には、所定距離Ｌ３が確保されている。
【００６１】
また、短い方のガイドレール２０９は、その先端を当該後部ガイドベース２０５の後端にほぼ一致させ、かつその先端については、当該前部ガイドベース２０５の先端２０５ａ（図４参照）よりも所定距離Ｌ２だけ前進した位置と一致するようにして、当該後部ガイドベース２０５の上に、図示しないボルト等の締結具にてしっかりと固定されている。換言すれば、ガイドレール２０９の先端と後部ガイドベース２０５の先端２０５ａ（図４参照）との間には、所定距離Ｌ２が確保されている。
【００６２】
その結果、長い方のガイドレール２０８の先端の位置と短い方のガイドレール２０９の先端の位置とは、後部ガイドベース２０５の長手方向において不一致となるように決められている。
【００６３】
（６）架台について
後部架台２０１は、それぞれ座板２０１ａを介して床面に着座する４本の脚柱２０１ｂと、それらの脚柱２０１ｂのうちの隣接するもの同士を繋ぐ脚柱間ビーム２０１ｃとを包含するものである。脚柱２０１ｂ及び脚柱間ビーム２０１ｃの材質としては、例えばスチール製角パイプ等が使用される。
【００６４】
（７）除振マウントについて
後部架台２０１と後部石定盤２０３Ａ，２０３Ｂとの間には、４本の脚柱２０１ｂの配置に対応させて、４個の除振マウント２０２ａ，２０２ｂが介在されている。除振マウント１０２は、当業者にはよく知られているように、圧縮された空気を導入することで、その上に載せられた石定盤を、予め設定された空気圧に応じた揚力で持ち上げるものである。それら４個の除振マウントのうちの前側に位置する左右２個の除振マウント２０２ａの空気圧は、後側に位置する左右２個の除振マウント２０２ｂの空気圧よりも高目に設定されている。そのため、後述するように、ガントリ３が前部ブロック１０から後部ブロック２０へと移行して、後部ブロック２０側に大なる荷重が加わったとしても、上述の除振マウント２０２ａ，２０２ｂの設定圧相違作用によって、前後の石定盤同士の繋ぎ目、前後のガイドベース同士の繋ぎ目、前後のガイドレール同士の繋ぎ目に生ずる歪みが軽減されることとなる。
【００６５】
［ガントリの構成］
図１及び図３に示されるように、ガントリ３は、左側ガイドベース１０４，２０４上を走行する可動台３０１と、右側ガイドベース１０５，２０５上を走行する可動台３０２と、それら２つの可動台３０１，３０２の間に架け渡されるガントリビーム３０４と、ガントリビーム３０４上を走行する可動台３１０とから概略構成される。可動台３１０には、この例では、レーザリペアユニットＵが搭載される。
【００６６】
左右の可動台３０１，３０２の前後方向の動きは、左側固定子１１０，２１０及び右側固定子１１１，２１１と、左右の可動台３０１，３０２に組み込まれた可動子（図示せず）との間で作用するリニアモータ駆動力により実現される。可動台３１０の左右方向の動きは、左右方向の固定子３０６，３０９と可動台３１０に組み込まれた可動子（図示せず）との間で作用するリニアモータ駆動力により実現される。
【００６７】
上記の前後動作は、左側ガイドベース１０４，２０４上の左側ガイドレール１０６，２０６と右側ガイドレール１０７，２０７と、右側ガイドベース１０５，２０５上の左側ガイドレール１０８，２０８と右側ガイドレール１０９，２０９とにより案内される。
【００６８】
［走行ガイド付き載物台の作用］
以上の構成よりなる走行ガイド付き載物台によれば、その全体が、前側に位置する前部ブロック１０と後側に位置する後部ブロック２０とに前後２分割可能とされると共に、前部ブロック１０には、前部石定盤１０３と、左右の前部ガイドベース１０４，１０５と、左右の前部ガイドレール（１０６，１０７、及び１０８，１０９）と、前部架台１０１とが含まれており、かつ後部ブロック２０には、後部石定盤（２０３Ａ，２０３Ｂ）と、左右の後部ガイドベース２０４，２０５と、左右の後部ガイドレール（２０６，２０７、及び２０８，２０９）と、後部架台２０１とが含まれており、さらに、左右の前部ガイドベース１０４，１０５のそれぞれと左右の後部ガイドベース２０４，２０５のそれぞれとの分割点Ｐ２は、前部石定盤１０３と後部石定盤（２０３Ａ，２０３Ｂ）との分割点Ｐ１よりも所定距離Ｌ１だけ前部ブロック１０側へと進入した点に位置決められており、かつ左右の前部ガイドレール（１０６，１０７、及び１０８，１０９）のそれぞれと前記左右の後部ガイドレール（２０６，２０７、及び２０８，２０９）のそれぞれとの分割点Ｐ３は、左右の前部ガイドベース１０４，１０５のそれぞれと左右の後部ガイドベース２０４，２０５のそれぞれとの分割点Ｐ２よりも所定距離（Ｌ２，Ｌ３）だけ前部ブロック側１０へと進入した点に位置決められることとなる。
【００６９】
そのため、図４に示されるよう、両ブロック１０，２０の分割面同士が向かい合う状態において、後部ブロック２０の側をジャッキ等で持ち上げ、そのまま前部ブロック１０に接近させ、石定盤同士の分割点Ｐ１、ガイドベース同士の分割点Ｐ２、及びガイドレール同士の分割点Ｐ３がそれぞれ上下に整合する位置まで位置合わせしたのち、ジャッキを緩めて降下させれば、前部ブロック側石定盤１０３の後端部領域の上に、後部ブロック側のガイドベース２０４，２０５の前端部領域が、前部ブロック側のガイドベース１０４，１０５の後端部領域の上に、後部ブロック側のガイドレール２０６，２０７，２０８，２０９が、それぞれ載って加重が支えられるから、石定盤同士、ガイドベース同士、ガイドレール同士は独りでに垂直方向の位置合わせが行われて、突き合わせ整合状態となるから、その状態で、所定本数の六角孔付きボルトａをボルト孔群２０１ａ，２１３ｂ，２１４ａ，２１４ｂを介して、後部ブロック２０側から前部ブロック１０側へと通して、作業用空所２１２内で六角レンチにて締め付けるだけで、前後のブロック１０，２０をしっかりと結合することができ、元の状態に正確に復元することができると共に、復元を短時間で行うことができ、しかも復元のための作業乃至操作が簡単であると言う利点がある。
【００７０】
また、左右の前部ガイドレール（１０６，１０７、及び１０８，１０９）及び左右の後部ガイドレール（２０６，２０７、及び２０８，２０９）は、互いに平行な２本のガイドレールとなっていることに加えて、２本のガイドレールのそれぞれにおける前部ガイドレールと後部ガイドレールとの分割点の位置Ｐ３は、各ガイドレール毎に異なるように決められているため、ガイドレール上を走行する可動台３０１，３０２が安定走行することに加えて、ガイドレール上の継ぎ目が左右方向に揃わないことから、継ぎ目を走行する際の振動が緩和される。
【００７１】
また、後部架台２０１と後部石定盤２０３Ａ，２０３Ｂとの間には、前後方向へ距離を隔てて、前側除振マウント２０２ａと後側除振マウント２０２ｂとが介在されると共に、前側除振マウント２０２ａの空気圧を後側除振マウント２０２ｂの空気圧よりも高めに設定しているため、ガイドレール上を可動台３０１，３０２と共に走行する重量物であるガントリ３が、前部ブロック１０から後部ブロック２へと移り変わったとしても、後部ブロック側ガイドレール（２０６，２０７、及び２０８，２０９）の沈み込みを最小に留めることができる。
【００７２】
また、石定盤の全体は、所定の左右方向長及び前後方向長を有しかつ処理対象となるパネルが載置されるべき矩形状石定盤部分４０３ａ（図６参照）と、この矩形状定盤部分の後端部の左右両側部のそれぞれから後方へと延設される左右の細長状石定盤部分４０３ｂ，４０３ｂ（図６参照）とで構成されると共に、前部石定盤と後部石定盤との分割点Ｐ１は、矩形状石定盤部分と細長状石定盤部分との境界点に位置するように決められているため、処理対象となるパネルが置かれる矩形状定盤部分４０３ａ（図６参照）には、前後ブロック分割の影響が及ばないため、分割・復元の前後でステージ平坦度や平滑度に変化が生じないことに加え、後部ブロック２０側の重量が軽量化されることで、分割作業及び復元作業が容易となる。
【００７３】
また、前部石定盤１０３と左右の後部細長状石定盤２０３Ａ，２０３Ｂとの間には、両定盤同士が接近する方向へと締結力を作用させることが可能な締結具としてのボルトａを設けているため、そもそも、前後ブロック間の垂直方向の動きは既に固定されているため、それだけで、前後ブロックを十分な強度で結合することができる。
【００７４】
また、左右の前部ガイドベース１０４，１０５及び左右の後部ガイドベース２０４，２０５上には、リニアモータの固定子１１０，１１１，２１０，２１１が配置れているため、それらガイドベース上をガイドレールで案内されつつ走行する可動台３０１，３０２側に、リニアモータの可動子を組み込むだけで、直動駆動力を発生させることができる。
【００７５】
また、左右のガイドレールのそれぞれの上を移動する左右の前後方向可動台３０１，３０２と、左右の可動台３０１，３０２の間に架け渡されるガントリビーム３０４と、ガントリービーム３０４の上に延設された左右方向ガイドレール３０５，３０７，３０８と、左右方向ガイドレール３０５，３０７，３０８の上を移動する左右方向可動台３１０とを包含することから、ＸＹ走査機構付きの載物台を実現することができ、このとき、左右方向可動台３１０上に、パネルリペア用ユニットＵ、及び／又は、パネル検査用ユニットを搭載することによって、パネルリペア装置、及び／又は、パネル検査装置を容易に実現することができる。
【００７６】
［実施形態の変形］
本発明は、ユニットＵを変更するだけで、液晶マスクレーザリペア装置、液晶ディスプレイ欠陥検査装置、液晶マスク欠陥検査装置、太陽電池パネルパターンニング装置等の他のパネル処理装置にも適用できることは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
本発明の走行ガイド付き載物台は、例えば第十世代対応の液晶ガラス基板用レーザリペア装置に応用することで、陸送時や工場搬入時の利便性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明が適用された液晶ガラス基板用レーザリペア装置の前部ブロックの左前方から見た斜視図である。
【図２】本発明が適用された液晶ガラス基板用レーザリペア装置の後部ブロックの左前方から見た斜視図である。
【図３】本発明が適用された液晶ガラス基板用レーザリペア装置の組立状態の左前方から見た斜視図である。
【図４】結合前のジャッキアップ状態を模式的に示す説明図である。
【図５】結合後の状態を模式的に示す説明図である。
【図６】従来の液晶ガラス基板用レーザリペア装置の一例を示す左前方から見た斜視図である。
【符号の説明】
【００７９】
１，４    液晶ガラス基板用レーザリペア装置
３，５    ガントリ
１０      前部ブロック
１１，４１    走行ガイド付き載物台
２０      後部ブロック
１０１    前部架台
１０１ａ  座板
１０１ｂ  脚柱
１０１ｃ  脚柱間ビーム
１０２    除振マウント
１０３    前部石定盤
１０４    前部左側ガイドベース
１０５    前部右側ガイドベースス
１０６，１０７    前部左側ガイドベース上のガイドレール
１０８，１０９    前部右側ガイドベース上のガイドレール
１１０    前部左側ガイドベース上の固定子
１１１    前部右側ガイドベース上の固定子
２０１    後部架台
２０１ａ  座板
２０１ｂ  脚柱
２０１ｃ  脚柱間ビーム
２０２ａ    後部ブロックの前側除振マウント
２０２ｂ    後部ブロックの後側除振マウント
２０３Ａ    後部左側細長状石定盤
２０３Ｂ    後部右側細長状石定盤
２０４    後部左側ガイドベース
２０５    後部右側ガイドベース
２０６，２０７    後部左側ガイドベース上のガイドレール
２０８，２０９    後部右側ガイドベース上のガイドレール
２１０    後部左側ガイドベース上の固定子
２１１    後部右側ガイドベース上の固定子
２１２    作業用空所
２１３ａ，２１３ｂ    後部左側細長状石定盤の左右のボルト孔群
２１４ａ，２１４ｂ    後部右側細長状石状盤の左右のボルト孔群
３０１    前部左側ガイドベース上の可動台
３０２    前部右側ガイドベース上の可動台
３０３    リニアスケール
３０３ａ  リニアリーダ
３０４    ガントリビーム
３０５，３０７，３０８    ガイドレール
３０６，３０９    ガントリビーム上の固定子
３１０    ガントリビーム上の可動台
４０１    架台
４０１ａ  座板
４０１ｂ  脚柱
４０１ｃ  脚柱間ビーム
４０２    除振マウント
４０３    石定盤
４０３ａ  矩形状石定盤部分
４０３ｂ  細長状石状盤部分
４０４，４０５  ガイドベース
４０６，４０７  左側ガイドベース上のガイドレール
４０８，４０９  右側ガイドベース上のガイドレール
４１０，４１１  リニアモータの固定子
４１４    リニアスケール
４１４ａ  リニアリーダ
５０１，５０２  可動台
５０４    ガントリビーム
５０５，５０７，５０８  ガイドレール
５０６，５０９  リニアモータの固定子
Ｕ        レーザリペアユニット
ａ        ボルト
Ｐ１      前部石定盤と後部石定盤との分割点
Ｐ２      前部ガイドベースと後部ガイドベースとの分割点
Ｐ３      前部ガイドレールと後部ガイドベースとの分割点
Ｌ１      ガイドベースの前進又は後退距離
Ｌ２，Ｌ３      ガイドレールの前進又は後退距離
Ｆ        床面
【図１】
2010131696.tif 000003
【図２】
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【図３】
2010131696.tif 000005
【図４】
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【図５】
2010131696.tif 000007
【図６】
2010131696.tif 000008