(57)【要約】【課題】半導体ウエハ等の円板状の基板を反転させる基板反転装置において、基板反転装置に保持される基板の表面に過剰な力が作用するのを防止することが可能な基板反転装置を提供する。【解決手段】この基板反転装置は、基板２の径方向のうちの所定の方向であるＹ方向における基板２の一方側の周縁部を保持するための爪部材３と、Ｙ方向における基板２の他方側の周縁部を保持するための爪部材４とを備えている。爪部材３、４には、基板２の周縁部が配置される切欠き３ａ、４ａが形成されており、Ｙ方向に直交するＸ方向から見たときの切欠き３ａ、４ａの形状は、Ｌ形状となっている。この基板反転装置では、切欠き３ａと切欠き４ａとがＹ方向において向き合うことで爪部材３、４によって基板２の移動が規制されている。【選択図】図４
2020191431.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円板状の基板を保持するための複数の爪部材を備えるとともに、円板状に形成される前記基板の径方向のうちの所定の方向を第１方向とし、第１方向に直交するとともに上下方向に直交する方向を第２方向とすると、第１方向における前記基板の一方側で前記爪部材を保持する第１爪保持部材と、第１方向における前記基板の他方側で前記爪部材を保持する第２爪保持部材と、前記第１爪保持部材の基端部および前記第２爪保持部材の基端部が回動可能に連結される反転部材と、第２方向を回動の軸方向として前記反転部材に対して前記第１爪保持部材および前記第２爪保持部材を回動させる回動機構と、第２方向を回動の軸方向として前記反転部材を回動させて前記基板を反転させる反転機構とを備え、
前記第１爪保持部材および前記第２爪保持部材の少なくともいずれか一方は、第２方向において間隔をあけた状態で配置される少なくとも２個の前記爪部材を保持し、
前記爪部材には、前記基板の周縁部が配置される切欠きが形成され、
第２方向から見たときの前記切欠きの形状は、Ｌ形状となっており、
前記回動機構は、前記第１爪保持部材に保持される前記爪部材の前記切欠きと前記第２爪保持部材に保持される前記爪部材の前記切欠きとが第１方向において向き合うことで複数の前記爪部材によって前記基板の移動が規制される基板保持位置と、前記基板の周縁部の上側が開放されて前記切欠きから上側への前記基板の移動が可能となる開放位置との間で、前記第１爪保持部材および前記第２爪保持部材を回動させ、
前記反転機構は、前記第１爪保持部材および前記第２爪保持部材が前記基板保持位置に配置されている状態で前記反転部材を回動させて前記基板を反転させることを特徴とする基板反転装置。
【請求項２】
前記回動機構は、前記第１爪保持部材と前記第２爪保持部材とを同期させながら回動させることを特徴とする請求項１記載の基板反転装置。
【請求項３】
前記第１爪保持部材および前記第２爪保持部材が前記開放位置に配置されている状態では、前記切欠きの一方の側面が上下方向に直交していることを特徴とする請求項１または２記載の基板反転装置。
【請求項４】
第２方向から見たときに、前記切欠きの一方の側面と前記切欠きの他方の側面とがなす角は直角であることを特徴とする請求項３記載の基板反転装置。
【請求項５】
第２方向から見たときに、前記爪部材の回動中心と前記爪部材の中心とがずれており、
前記爪部材の回動中心は、前記爪部材の中心よりも前記切欠きから離れていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の基板反転装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の円板状の基板を反転させる基板反転装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハを把持して反転させるウエハ反転装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のウエハ反転装置は、半導体ウエハを把持する把持部と、把持部を反転させる駆動部とを備えている。把持部は、回転フレームと、回転フレームの両端のそれぞれから前方に突出する一対の爪用フレームと、爪用フレームに回転自在に設けられた一対のフォークとを備えている。一対のフォークのうちの上側に配置されるフォークに形成された爪は、半導体ウエハの下面に接触するように屈曲し、下側に配置されるフォークに形成された爪は、半導体ウエハの上面に接触するように屈曲している。
【０００３】
特許文献１に記載のウエハ反転装置では、把持部は、半導体ウエハの下面に接触する爪と半導体ウエハの上面に接触する爪との間に半導体ウエハを挟むことで半導体ウエハを把持している。また、このウエハ反転装置では、半導体ウエハを把持している把持部を駆動部によって反転させることで、半導体ウエハを反転させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１７−１７５０８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載のウエハ反転装置では、把持部は、半導体ウエハの下面に接触する爪と半導体ウエハの上面に接触する爪との間に半導体ウエハを挟むことで半導体ウエハを把持している。そのため、特許文献１に記載のウエハ反転装置では、ウエハ反転装置に保持される半導体ウエハの表面と爪との接触圧が高くなって、半導体ウエハの表面に過剰な力が作用するおそれがある。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、半導体ウエハ等の円板状の基板を反転させる基板反転装置において、基板反転装置に保持される基板の表面に過剰な力が作用するのを防止することが可能な基板反転装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の基板反転装置は、円板状の基板を保持するための複数の爪部材を備えるとともに、円板状に形成される基板の径方向のうちの所定の方向を第１方向とし、第１方向に直交するとともに上下方向に直交する方向を第２方向とすると、第１方向における基板の一方側で爪部材を保持する第１爪保持部材と、第１方向における基板の他方側で爪部材を保持する第２爪保持部材と、第１爪保持部材の基端部および第２爪保持部材の基端部が回動可能に連結される反転部材と、第２方向を回動の軸方向として反転部材に対して第１爪保持部材および第２爪保持部材を回動させる回動機構と、第２方向を回動の軸方向として反転部材を回動させて基板を反転させる反転機構とを備え、第１爪保持部材および第２爪保持部材の少なくともいずれか一方は、第２方向において間隔をあけた状態で配置される少なくとも２個の爪部材を保持し、爪部材には、基板の周縁部が配置される切欠きが形成され、第２方向から見たときの切欠きの形状は、Ｌ形状となっており、回動機構は、第１爪保持部材に保持される爪部材の切欠きと第２爪保持部材に保持される爪部材の切欠きとが第１方向において向き合うことで複数の爪部材によって基板の移動が規制される基板保持位置と、基板の周縁部の上側が開放されて切欠きから上側への基板の移動が可能となる開放位置との間で、第１爪保持部材および第２爪保持部材を回動させ、反転機構は、第１爪保持部材および第２爪保持部材が基板保持位置に配置されている状態で反転部材を回動させて基板を反転させることを特徴とする。
【０００８】
本発明の基板反転装置は、円板状に形成される基板の径方向のうちの所定の方向である第１方向における基板の一方側で爪部材を保持する第１爪保持部材と、第１方向における基板の他方側で爪部材を保持する第２爪保持部材とを備えている。また、本発明では、爪部材に、基板の周縁部が配置される切欠きが形成されており、第２方向から見たときの切欠きの形状はＬ形状となっている。さらに、本発明では、第１爪保持部材に保持される爪部材の切欠きと第２爪保持部材に保持される爪部材の切欠きとが第１方向において向き合うことで複数の爪部材によって基板の移動が規制されている。
【０００９】
すなわち、本発明では、第１爪保持部材側のＬ形状の切欠きと第２爪保持部材側のＬ形状の切欠きとが第１方向において向き合うことで複数の爪部材によって基板が保持されている。そのため、本発明では、複数の爪部材によって保持される基板の表面と爪部材とが過剰な接触圧で接触することはない。したがって、本発明では、基板反転装置に保持される基板の表面に過剰な力が作用するのを防止することが可能になる。
【００１０】
本発明において、回動機構は、第１爪保持部材と第２爪保持部材とを同期させながら回動させることが好ましい。このように構成すると、第１爪保持部材と第２爪保持部材とを回動させる際に、基板に過剰な力が作用するのを防止することが可能になる。
【００１１】
本発明において、第１爪保持部材および第２爪保持部材が開放位置に配置されている状態では、切欠きの一方の側面が上下方向に直交していることが好ましい。このように構成すると、第１爪保持部材および第２爪保持部材が開放位置に配置されている状態で、たとえば、基板を搬送するロボットと基板反転装置との間で基板の受渡しを行う場合、ロボットから基板反転装置が受け取った後の基板の下面、および、基板反転装置からロボットに引き渡す前の基板の下面は、上下方向に直交する切欠きの一方の側面に接触する。
【００１２】
したがって、ロボットから基板反転装置が受け取った後の基板の状態、および、基板反転装置からロボットに引き渡す前の基板の状態を安定させることが可能になり、その結果、ロボットと基板反転装置との間で行われる基板の受渡しを安定させることが可能になる。また、ロボットと基板反転装置との間で基板の受渡しを行うときの基板の傷の発生を抑制することが可能になるとともに、基板保持位置と開放位置との間で第１爪保持部材および第２爪保持部材が回動するときの基板の傷の発生を抑制することが可能になる。
【００１３】
本発明において、第２方向から見たときに、切欠きの一方の側面と切欠きの他方の側面とがなす角は直角であることが好ましい。このように構成すると、第１爪保持部材および第２爪保持部材が開放位置に配置されているときに、切欠きの他方の側面が上下方向と平行になっているため、第２方向から見たときの切欠きの一方の側面と切欠きの他方の側面とがなす角が鋭角になっている場合と比較して、切欠きに対して上下方向へ基板を移動させやすくなる。また、このように構成すると、第２方向から見たときの切欠きの一方の側面と切欠きの他方の側面とがなす角が鈍角になっている場合と比較して、第１爪保持部材および第２爪保持部材が基板保持位置に配置されているときに、基板の厚さ方向への基板の移動を規制しやすくなる。
【００１４】
本発明において、第２方向から見たときに、爪部材の回動中心と爪部材の中心とがずれており、爪部材の回動中心は、爪部材の中心よりも切欠きから離れていることが好ましい。このように構成すると、第１爪保持部材および第２爪保持部材が基板保持位置に配置されているときの、第１爪保持部材側の爪部材および第２爪保持部材側の爪部材と、基板との間の第１方向の隙間が狭くなっていても、第１爪保持部材および第２爪保持部材が開放位置に配置されているときの、第１爪保持部材側の爪部材および第２爪保持部材側の爪部材と、基板との間の第１方向の隙間を広くすることが可能になる。したがって、第１爪保持部材および第２爪保持部材が基板保持位置に配置されているときの基板の移動を効果的に規制しつつ、第１爪保持部材および第２爪保持部材が開放位置に配置されているときに、切欠きに対して上下方向へ基板を移動させやすくなる。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明では、半導体ウエハ等の円板状の基板を反転させる基板反転装置において、基板反転装置に保持される基板の表面に過剰な力が作用するのを防止することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態にかかる基板反転装置の斜視図である。
【図２】図１に示す基板反転装置の平面図である。
【図３】（Ａ）は、図１に示す回動機構の構成を説明するための平面図であり、（Ｂ）は、図１に示す回動機構の構成を説明するための側面図である。
【図４】図１に示す爪部材の構成および動きを説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００１８】
（基板反転装置の構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる基板反転装置１の斜視図である。図２は、図１に示す基板反転装置１の平面図である。図３（Ａ）は、図１に示す回動機構９の構成を説明するための平面図であり、図３（Ｂ）は、図１に示す回動機構９の構成を説明するための側面図である。図４は、図１に示す爪部材３、４の構成および動きを説明するための図である。なお、図４（Ｃ）は、図４（Ａ）のＥ部の拡大図であり、図４（Ｄ）は、図４（Ｂ）のＦ部の拡大図である。
【００１９】
本形態の基板反転装置１は、円板状の基板である半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を反転させるための装置である。したがって、以下の説明では、基板反転装置１を「ウエハ反転装置１」とする。ウエハ反転装置１は、半導体の製造システムに組み込まれて使用される。ウエハ反転装置１は、ウエハ２を保持するための複数の爪部材３、４を備えている。本形態のウエハ反転装置１は、４個の爪部材３、４を備えている。具体的には、ウエハ反転装置１は、２個の爪部材３と２個の爪部材４とを備えている。
【００２０】
円板状に形成されるウエハ２の径方向のうちの所定の方向（図１等のＹ方向）を第１方向とすると、２個の爪部材３は、第１方向におけるウエハ２の一端側の周縁部を保持し、２個の爪部材４は、第１方向におけるウエハ２の他端側の周縁部を保持している。ウエハ反転装置１は、第１方向におけるウエハ２の一方側で爪部材３を保持する第１爪保持部材としての爪保持部材５と、第１方向におけるウエハ２の他方側で爪部材４を保持する第２爪保持部材としての爪保持部材６と、爪保持部材５、６の基端部が回転可能に連結される反転部材７と、反転部材７が回動可能に連結される本体部８と、反転部材７に対して爪保持部材５、６を回動させる回動機構９と、本体部８に対して反転部材７を回動させてウエハ２を反転させる反転機構１０とを備えている。
【００２１】
爪保持部材５、６は、水平方向のうちの所定の方向（すなわち、上下方向（鉛直方向、図１等のＺ方向）に直交する方向）を回動の軸方向として反転部材７に対して回動可能となっている。また、爪保持部材５、６は、第１方向に直交する方向を回動の軸方向として反転部材７に対して回動可能となっている。以下の説明では、反転部材７に対する爪保持部材５、６の回動の軸方向（図１等のＸ方向）を「前後方向」とする。また、前後方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図１等のＸ２方向側を「後ろ」側とする。本形態の前後方向（Ｘ方向）は、第１方向に直交するとともに上下方向に直交する第２方向である。
【００２２】
反転部材７は、本体部８の上端部に回動可能に連結されている。具体的には、第１方向における反転部材７の中心部が本体部８の上端部に回動可能に連結されている。また、反転部材７は、本体部８の前側に配置されている。反転部材７は、本体部８に対して前後方向を回動の軸方向として回動可能となっている。反転機構１０は、前後方向を回動の軸方向として本体部８に対して反転部材７を回動させる。反転機構１０は、本体部８の内部に配置されている。反転機構１０は、たとえば、駆動源であるモータと、モータの動力を反転部材７に伝達するプーリおよびベルトとを備えている。なお、反転部材７が本体部８に対して前後方向を回動の軸方向として回動可能となっているため、反転部材７が図１に示す状態から９０°回動すると、第１方向と上下方向とが一致する。
【００２３】
爪保持部材５は、全体として細長い段付きの円柱状に形成されている。爪保持部材５は、爪保持部材５の軸方向と前後方向とが一致するように配置されている。爪保持部材５は、爪部材３が固定される細長い円柱状の爪固定部５ａと、爪保持部材５の後端部を構成する連結部５ｂとから構成されている。連結部５ｂは、爪固定部５ａの外径よりも外径の大きな円柱状に形成されている。爪固定部５ａの後端は、連結部５ｂの前端に繋がっている。爪固定部５ａと連結部５ｂとは、同軸上に配置されている。
【００２４】
爪保持部材６は、爪保持部材５と同形状に形成されている。すなわち、爪保持部材６は、全体として細長い段付きの円柱状に形成されており、爪保持部材６の軸方向と前後方向とが一致するように配置されている。また、爪保持部材６は、爪部材４が固定される細長い円柱状の爪固定部６ａと、爪保持部材６の後端部を構成する連結部６ｂとから構成されている。
【００２５】
爪保持部材５と爪保持部材６とは、４個の爪部材３、４に保持されるウエハ２の厚さ方向において同じ位置に配置されている。反転部材７には、連結部５ｂ、６ｂの後端部が回動可能に連結されている。また、連結部５ｂは、第１方向の一端側で反転部材７に連結され、連結部６ｂは、第１方向の他端側で反転部材７に連結されている。爪保持部材５は、爪保持部材５の軸心を中心にして回転し、爪保持部材６は、爪保持部材６の軸心を中心にして回転する。
【００２６】
爪固定部５ａには、前後方向に間隔をあけた状態で２個の爪部材３が固定され、爪固定部６ａには、前後方向に間隔をあけた状態で２個の爪部材４が固定されている。すなわち、爪保持部材５は、前後方向に間隔をあけた状態で配置される２個の爪部材３を保持し、爪保持部材６は、前後方向に間隔をあけた状態で配置される２個の爪部材４を保持している。爪保持部材５に保持される２個の爪部材３のそれぞれと、爪保持部材６に保持される２個の爪部材４のそれぞれとは、前後方向において同じ位置に配置されている。
【００２７】
爪保持部材５に保持される２個の爪部材３のうちの一方の爪部材３は、爪保持部材５の前端部（すなわち、爪固定部５ａの前端部）に固定され、爪保持部材６に保持される２個の爪部材４のうちの一方の爪部材４は、爪保持部材６の前端部（すなわち、爪固定部６ａの前端部）に固定されている。一方の爪部材３、４は、４個の爪部材３、４に保持されるウエハ２の中心よりも前側に配置されている。他方の爪部材３、４は、４個の爪部材３、４に保持されるウエハ２の中心よりも後ろ側に配置されている。本形態では、４個の爪部材３、４に保持されるウエハ２の中心は、前後方向において、２個の爪部材３の間の前後方向の中心および２個の爪部材４の間の前後方向の中心と同じ位置に配置されている。
【００２８】
爪部材３は、略円板状に形成されており、爪部材３の厚さ方向と前後方向とが一致するように爪保持部材５に固定されている。爪部材３には、爪固定部５ａが挿通される貫通穴が形成されている。また、爪部材３には、ウエハ２の周縁部が配置される切欠き３ａが形成されている。切欠き３ａは、爪部材３の外周面から爪部材３の径方向の内側に向かって形成されている。前後方向から見たときの切欠き３ａの形状はＬ形状となっている。本形態では、前後方向から見たときに、切欠き３ａの一方の側面３ｂと切欠き３ａの他方の側面３ｃとがなす角は直角となっている。なお、切欠き３ａは、前後方向から見たときに、爪部材３の中心までは達していない。また、図４では、爪部材３に形成される貫通穴の図示を省略している。
【００２９】
前後方向から見たときの爪部材３の形状は、略扇形状となっている。爪部材３は、爪保持部材５の軸心と爪部材３の中心とがずれた状態で爪保持部材５に固定されている。すなわち、前後方向から見たときに、爪保持部材５と一緒に回動する爪部材３の回動中心Ｃ１と爪部材３の中心とがずれている。爪部材３の回動中心Ｃ１は、爪部材３の中心よりも切欠き３ａから離れている。また、爪部材３の回動中心Ｃ１および爪部材３の中心は、前後方向から見たときに、切欠き３ａの側面３ｂと切欠き３ｂの側面３ｃとがなす角の二等分線ＢＬ１の延長線上に配置されている。
【００３０】
爪部材４は、爪部材３と同形状に形成されており、爪部材４には、爪固定部６ａが挿通される貫通穴と、ウエハ２の周縁部が配置される切欠き４ａとが形成されている。切欠き４ａは、切欠き３ａと同形状に形成されており、前後方向から見たときの切欠き４ａの形状はＬ形状となっている。また、切欠き４ａの一方の側面４ｂと切欠き４ａの他方の側面４ｃとがなす角は直角となっている。なお、図４では、爪部材４に形成される貫通穴の図示を省略している。
【００３１】
爪部材４は、爪部材３が爪保持部材５に固定されるのと同様に爪保持部材６に固定されており、前後方向から見たときに、爪部材４の回動中心Ｃ２と爪部材４の中心とがずれている。爪部材４の回動中心Ｃ２は、爪部材４の中心よりも切欠き４ａから離れている。また、爪部材４の回動中心Ｃ２および爪部材４の中心は、前後方向から見たときに、切欠き４ａの側面４ｂと切欠き４ａの側面４ｃとがなす角の二等分線ＢＬ２の延長線上に配置されている。
【００３２】
回動機構９は、前後方向を回動の軸方向として反転部材７に対して爪保持部材５、６を回動させる。また、回動機構９は、爪保持部材５と爪保持部材６とを同期させながら回動させる。回動機構９は、駆動源であるモータと、モータの動力を爪保持部材５、６に伝達する動力伝達機構１４とを備えている。回動機構９は、反転部材７の内部に配置されている。
【００３３】
動力伝達機構１４は、モータの動力で回転する歯車１５と、歯車１５が固定される回転軸１６と、回転軸１６に固定されるプーリ１７と、プーリ１８と、プーリ１８が固定される回転軸１９と、プーリ１７とプーリ１８とに架け渡されるベルト２０と、ベルト２０の張力を調整するテンションプーリ２１とを備えている。また、動力伝達機構１４は、歯車１５と噛み合う歯車２５と、歯車２５が固定される回転軸２６と、回転軸２６に固定されるプーリ２７と、プーリ２８と、プーリ２８が固定される回転軸２９と、プーリ２７とプーリ２８とに架け渡されるベルト３０と、ベルト３０の張力を調整するテンションプーリ３１とを備えている。
【００３４】
回転軸１６、１９、２６、２９は、前後方向を回転の軸方向として回転する。歯車１５、２５は、第１方向における反転部材７の中心部に配置されている。回転軸１９は、第１方向における反転部材７の一端側に配置され、回転軸２９は、第１方向における反転部材７の他端側に配置されている。回転軸１９には、爪保持部材５の後端部が連結され、回転軸２９には、爪保持部材６の後端部が連結されている。
【００３５】
回動機構９は、爪保持部材５に保持される爪部材３の切欠き３ａと爪保持部材６に保持される爪部材４の切欠き４ａとが第１方向において向き合うことで４個の爪部材３、４によってウエハ２の移動が規制される基板保持位置（図４（Ｂ）参照）と、ウエハ２の周縁部の上側が開放されて切欠き３ａ、４ａから上側へのウエハ２の移動が可能となる開放位置（図４（Ａ）参照）との間で、爪保持部材５、６を回動させる。本形態では、回動機構９は、爪保持部材５、６を４５°回動させる。また、本形態では、前後方向と上下方向とに直交する左右方向と第１方向とが一致している状態（図１、図２に示す状態）で、回動機構９は、基板保持位置と開放位置との間で爪保持部材５、６を回動させる。
【００３６】
爪保持部材５、６が基板保持位置に配置されている状態では、二等分線ＢＬ１、ＢＬ２が第１方向と平行になっており、切欠き３ａは、切欠き４ａ側を向き、切欠き４ａは、切欠き３ａ側を向いている。また、切欠き３ａ、４ａにウエハ２の周縁部が配置された状態で爪保持部材５、６が基板保持位置に配置されているときには、ウエハ２の端面のエッジが側面３ｂ、３ｃ、４ｂ、４ｃに軽く接触しているか（図４（Ｄ）参照）、あるいは、ウエハ２の端面のエッジと側面３ｂ、３ｃ、４ｂ、４ｃとの間にわずかな隙間が形成されており、切欠き３ａ、４ａによって、第１方向に直交するウエハ２の厚さ方向および第１方向へのウエハ２の移動が規制されている。
【００３７】
また、前後方向へのウエハ２の移動は、前後方向に間隔をあけた状態で配置される２個の爪部材３と、前後方向に間隔をあけた状態で配置される２個の爪部材４とによって規制されている。すなわち、切欠き３ａ、４ａにウエハ２の周縁部が配置された状態で爪保持部材５、６が基板保持位置に配置されているときには、第１方向、ウエハ２の厚さ方向および前後方向へのウエハ２の移動が規制されており、切欠き３ａと切欠き４ａとが第１方向において向き合うことで４個の爪部材３、４によってウエハ２が保持されている。また、爪保持部材５、６が開放位置に配置されている状態では、側面３ｂ、４ｂは上下方向に直交し、側面３ｃ、４ｃは、上下方向と平行になっている。
【００３８】
本形態では、爪保持部材５、６が開放位置に配置されている状態で、ウエハ２を搬送するロボットとウエハ反転装置１との間でウエハ２が受け渡される。具体的には、ロボットがウエハ反転装置１にウエハ２を引き渡すときには、爪保持部材５、６が開放位置に配置されている状態で、ウエハ２が載置されたロボットのハンドが下側に移動して、側面３ｂ、４ｂにウエハ２を載置する。また、ロボットがウエハ反転装置１からウエハ２を受け取るときには、爪保持部材５、６が開放位置に配置されている状態で、ロボットのハンドが上側に移動して、側面３ｂ、４ｂに載置されているウエハ２をロボットのハンドに載置する。
【００３９】
また、本形態では、側面３ｂ、４ｂにウエハ２が載置されると、回動機構９が開放位置に配置されている爪保持部材５、６を基板保持位置まで回動させる。爪保持部材５、６が基板保持位置まで回動すると、反転機構１０は、爪保持部材５、６が基板保持位置に配置されている状態で反転部材７を回動させてウエハ２を反転させる。
【００４０】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、爪部材３の切欠き３ａと爪部材４の切欠き４ａとが第１方向において向き合うことで４個の爪部材３、４によってウエハ２が保持されており、このときには、ウエハ２の端面のエッジが切欠き３ａ、４ａの側面３ｂ、３ｃ、４ｂ、４ｃに軽く接触しているか、あるいは、ウエハ２の端面のエッジと側面３ｂ、３ｃ、４ｂ、４ｃとの間にわずかな隙間が形成されている。そのため、本形態では、ウエハ２の表面と爪部材３、４とが過剰な接触圧で接触することはない。したがって、本形態では、ウエハ反転装置１に保持されるウエハ２の表面に過剰な力が作用するのを防止することが可能になる。
【００４１】
本形態では、回動機構９は、爪保持部材５と爪保持部材６とを同期させながら回動させている。すなわち、本形態では、爪部材３が停止している状態で爪部材４が回動したり、爪部材４が停止している状態で爪部材３が回動したりすることはない。したがって、本形態では、爪保持部材５、６を回動させる際に、ウエハ２に過剰な力が作用するのを防止することが可能になる。
【００４２】
本形態では、爪保持部材５、６が開放位置に配置されているときに、切欠き３ａ、４ａの側面３ｂ、４ｂは上下方向に直交している。また、本形態では、爪保持部材５、６が開放位置に配置されている状態で、ロボットとウエハ反転装置１との間でウエハ２の受渡しが行われている。そのため、本形態では、ロボットからウエハ反転装置１が受け取った後のウエハ２の下面、および、ウエハ反転装置１からロボットに引き渡す前のウエハ２の下面は、上下方向に直交する側面３ｂ、４ｂに接触している。
【００４３】
したがって、本形態では、ロボットからウエハ反転装置１が受け取った後のウエハ２の状態、および、ウエハ反転装置１からロボットに引き渡す前のウエハ２の状態を安定させることが可能になり、その結果、ロボットとウエハ反転装置１との間でウエハ２の受渡しを安定して行うことが可能になる。また、本形態では、ロボットとウエハ反転装置１との間でウエハ２の受渡しを行うときのウエハ２の傷の発生を抑制することが可能になるとともに、基板保持位置と開放位置との間で爪保持部材５、６が回動するときのウエハ２の傷の発生を抑制することが可能になる。
【００４４】
本形態では、前後方向から見たときに、切欠き３ａの側面３ｂと側面３ｃとがなす角、および、切欠き４ａの側面４ｂと側面４ｃとがなす角が直角となっており、爪保持部材５、６が開放位置に配置されているときに、側面３ｃ、４ｃが上下方向と平行になっている。そのため、本形態では、前後方向から見たときに側面３ｂ、４ｂと側面３ｃ、４ｃとがなす角が鋭角になっている場合と比較して、爪保持部材５、６が開放位置に配置されているときに、切欠き３ａ、４ａに対して上下方向へウエハ２を移動させやすくなる。また、本形態では、前後方向から見たときに側面３ｂ、４ｂと側面３ｃ、４ｃとがなす角が鈍角になっている場合と比較して、爪保持部材５、６が基板保持位置に配置されているときに、ウエハ２の厚さ方向へのウエハ２の移動を規制しやすくなる。
【００４５】
本形態では、前後方向から見たときに、爪部材３、４の回動中心Ｃ１、Ｃ２と爪部材３、４の中心とがずれており、爪部材３、４の回動中心Ｃ１、Ｃ２は、爪部材３、４の中心よりも切欠き３ａ、４ａから離れている。そのため、本形態では、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、爪保持部材５、６が基板保持位置に配置されているときの、爪部材３、４とウエハ２との間の第１方向の隙間が狭くなっていても、爪保持部材５、６が開放位置に配置されているときの、爪部材３、４とウエハ２との間の第１方向の隙間を広くすることが可能になる。したがって、本形態では、爪保持部材５、６が基板保持位置に配置されているときの、ウエハ２の厚さ方向および第１方向へのウエハ２の移動を効果的に規制しつつ、爪保持部材５、６が開放位置に配置されているときに、切欠き３ａ、４ａに対して上下方向へウエハ２を移動させやすくなる。
【００４６】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００４７】
上述した形態において、爪保持部材５、６が開放位置に配置されているときに、切欠き３ａ、４ａの側面３ｂ、４ｂが、第１方向の外側に向かうにしたがって下側に向かうように傾斜していても良い。また、上述した形態において、爪保持部材５、６が開放位置に配置されているときに、切欠き３ａ、４ａの側面３ｂ、４ｂが、第１方向の外側に向かうにしたがって上側に向かうように傾斜していても良い。また、上述した形態において、爪保持部材５、６が基板保持位置に配置されているときに、二等分線ＢＬ１、ＢＬ２が第１方向と平行になっていなくても良い。
【００４８】
上述した形態において、前後方向から見たときの形状がＬ形状となる切欠き３ａ、４ａの側面３ｂ、４ｂと側面３ｃ、４ｃとがなす角は鈍角となっていても良い。この場合、爪保持部材５、６が基板保持位置に配置されている状態においてウエハ２の厚さ方向へのウエハ２の移動を適切に規制するためには、前後方向から見たときに側面３ｂ、４ｂと側面３ｃ、４ｃとがなす角は１２０°以下であることが好ましい。
【００４９】
また、上述した形態において、前後方向から見たときの形状がＬ形状となる切欠き３ａ、４ａの側面３ｂ、４ｂと側面３ｃ、４ｃとがなす角は鋭角となっていても良い。この場合には、たとえば、爪保持部材５、６が開放位置に配置されているときに、切欠き３ａ、４ａの側面３ｃ、４ｃが上下方向と平行になるように、切欠き３ａ、４ａの側面３ｂ、４ｂは、第１方向の外側に向かうにしたがって下側に向かうように傾斜している。ただし、爪保持部材５、６が開放位置に配置されているときに、ウエハ２の周縁部の上側が開放されるのであれば、側面３ｂ、４ｂは、上下方向に直交していても良い。
【００５０】
上述した形態において、前後方向から見たときに、爪部材３、４の中心が爪部材３、４の回動中心Ｃ１、Ｃ２よりも切欠き３ａ、４ａから離れていても良い。また、上述した形態において、前後方向から見たときに、爪部材３、４の回動中心Ｃ１、Ｃ２と爪部材３、４の中心とが一致していても良い。また、上述した形態では、回動機構９は、１台の共通のモータによって爪保持部材５と爪保持部材６とを回動させているが、回動機構９は、爪保持部材５を回動させるモータと、爪保持部材６を回動させるモータとの２台のモータを備えていても良い。この場合には、２台のモータが同期制御される。また、この場合には、歯車１５、２５が不要になる。
【００５１】
上述した形態において、爪保持部材５に保持される爪部材３は１個であっても良い。この場合には、１個の爪部材３は、前後方向において２個の爪部材４の間の中心位置に配置されていることが好ましい。また、上述した形態において、爪保持部材６に保持される爪部材４は１個であっても良い。この場合には、１個の爪部材４は、前後方向において２個の爪部材３の間の中心位置に配置されていることが好ましい。さらに、上述した形態において、前後方向に間隔をあけた状態で配置される３個以上の爪部材３が爪保持部材５に保持されていても良いし、前後方向に間隔をあけた状態で配置される３個以上の爪部材４が爪保持部材６に保持されていても良い。
【００５２】
上述した形態において、爪部材３、４は、略円板状以外の形状に形成されていても良い。たとえば、爪部材３、４は、略四角板状等の略多角板状に形成されていても良い。また、本発明が適用される基板反転装置１は、ウエハ２以外の円板状の基板を反転させても良い。たとえば、基板反転装置１は、円板状のガラス基板を反転させても良い。
【符号の説明】
【００５３】
１  ウエハ反転装置（基板反転装置）
２  ウエハ（半導体ウエハ、基板）
３、４  爪部材
３ａ、４ａ  切欠き
３ｂ、４ｂ  側面（切欠きの一方の側面）
３ｃ、４ｂ  側面（切欠きの他方の側面）
５  爪保持部材（第１爪保持部材）
６  爪保持部材（第２爪保持部材）
７  反転部材
９  回動機構
１０  反転機構
Ｃ１、Ｃ２  爪部材の回動中心
Ｘ  第２方向
Ｙ  第１方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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