(57)【要約】【課題】粘着剤、粘着剤を用いた粘着シート、粘着シートを用いたガラス部品の製造方法を提供する。【解決手段】（メタ）アクリル酸エステル重合体、ビニル基を４個以上有するウレタンアクリレートオリゴマ、及びシリコーングラフト重合体を含有する粘着剤において、ビニル基を４個以上有するウレタンアクリレートオリゴマのイソシアネート成分が、脂肪族のジイソシアネートである粘着剤。本発明の粘着シートは、ダイシング時のチッピング性に優れ、ピックアップ作業時にチップの剥離が容易であり、かつピックアップピン起因の糊割れを生じないという特徴を有する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（メタ）アクリル酸エステル重合体１００質量部、ビニル基を４個以上有するウレタンアクリレートオリゴマ２０〜２００質量部、及びシリコーングラフト重合体０．０５〜１０質量部を含有する粘着剤において、ビニル基を４個以上有するウレタンアクリレートオリゴマのイソシアネート成分が、脂肪族のジイソシアネートである粘着剤。
【請求項２】
シリコーングラフト重合体が（メタ）アクリル酸エステル単量体単位を有する請求項１に記載の粘着剤。
【請求項３】
シリコーングラフト重合体を構成する（メタ）アクリル酸エステル単量体単位がヒドロキシル基を有する請求項２に記載の粘着剤。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の粘着剤を用いた粘着シート。
【請求項５】
ガラス基板固定用である請求項４に記載の粘着シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着剤、粘着剤を用いた粘着シート、粘着シートを用いたガラス基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコーングラフト重合体を配合した粘着剤としては、特許文献１がある。
【０００３】
ガラス基板ダイシング用粘着シートとしては、ポリエステルフィルムのような硬質の基材フィルムに薄肉化した糊厚を有するものが知られている（特許文献２参照）。
【０００４】
しかしながら、ガラス基板は、様々な表面処理が施されている場合が多く、粘着剤との密着性が高くなり、ダイシング後のピックアップ作業が困難となるケースが増加している。そのためピックアップ時には突き上げピンを高く設定しなければならず、突き上げピン部に糊割れが発生してしまい、割れた糊がチップに付着してしまうという課題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−００１８１７号公報
【特許文献２】特許第３８３８６３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の粘着シートは、ダイシング時のチッピング性に優れ、ピックアップ作業時にチップの剥離が容易であり、かつピックアップピン起因の糊割れを生じないという特徴を有する粘着剤、粘着剤を用いた粘着シート、粘着シートを用いたガラス基板の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、（メタ）アクリル酸エステル重合体１００質量部、ビニル基を４個以上有するウレタンアクリレートオリゴマ２０〜２００質量部、及びシリコーングラフト重合体０．０５〜１０質量部を含有する粘着剤において、ビニル基を４個以上有するウレタンアクリレートオリゴマである粘着剤において、ビニル基を４個以上有するウレタンアクリレートオリゴマのイソシアネート成分が、脂肪族のジイソシアネートである粘着剤、粘着剤を用いた粘着シート、粘着シートを用いたガラス基板の製造方法である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の粘着シートは、ダイシング後のピックアップ作業時にチップの剥離が容易であり、更にチッピング性に優れるという効果を奏する。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本明細書において、単量体単位とは単量体に由来する構造単位を意味する。本明細書の部及び％は、特に記載がない限り質量基準とする。本明細書において（メタ）アクリレートとはアクリレート及びメタアクリレートの総称である。同様に（メタ）アクリル酸等の（メタ）を含む化合物も「メタ」を有する化合物と、有しない化合物の総称である。ウレタンアクリレートオリゴマの官能基数とは、ウレタンアクリレートオリゴマ分子１個あたりのビニル基数をいう。
【００１０】
本発明は（メタ）アクリル酸エステル重合体、ビニル基を４個以上有するウレタンアクリレートオリゴマ、及びシリコーングラフト重合体からなる粘着剤である。
【００１１】
（（メタ）アクリル酸エステル重合体）
（メタ）アクリル酸エステル重合体は、（メタ）アクリル酸エステル単量体を重合した重合体である。（メタ）アクリル酸エステル重合体は、（メタ）アクリル酸エステル単量体以外のビニル化合物に由来する単量体単位を有してもよい。
【００１２】
（メタ）アクリル酸エステルの単量体としては、例えばブチル（メタ）アクリレート、２−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ノニル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、ミリスチル（メタ）アクリレート、セチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボロニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、メトキシエチル（メタ）アクリレート、エトキシエチル（メタ）アクリレート、ブトキシメチル（メタ）アクリレート、及びエトキシ−ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、等が挙げられる。
【００１３】
（メタ）アクリル酸エステル重合体には、ビニル化合物単量体としてヒドロキシル基、カルボキシル基、エポキシ基、アミド基、アミノ基、メチロール基、スルホン酸基、スルファミン酸基、及び（亜）リン酸エステル基からなる官能基群の１種以上を有する官能基含有単量体が好適に用いられる。官能基含有単量体としては、官能基としてヒドロキシル基、カルボキシル基、エポキシ基、アミド基、アミノ基、メチロール基、スルホン酸基、スルファミン酸基、（亜）リン酸エステル基を有するビニル化合物が挙げられる。
【００１４】
ヒドロキシル基を有する官能基含有単量体としては、例えば２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、及び２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシビニルエーテル等が挙げられる。
【００１５】
カルボキシル基を有する官能基含有単量体としては、例えば（メタ）アクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、フマール酸、アクリルアミドＮ−グリコール酸、及びケイ皮酸等が挙げられる。
【００１６】
エポキシ基を有する官能基含有単量体としては、例えばグリシジル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００１７】
アミド基を有する官能基含有単量体としては、例えば（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。
【００１８】
アミノ基を有する単量体としては、例えばＮ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、N−t−ブチルアミノエチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００１９】
メチロール基を有する官能基含有単量体としては、例えばＮ−メチロール（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。
【００２０】
（メタ）アクリル酸エステル重合体の製造方法は、乳化重合、溶液重合等が使用できる。ガラス基板の表面処理との相互作用により放射線照射後に粘着シートがガラス基板と容易に剥離できるように、乳化重合により製造できるアクリルゴムが好ましい。
【００２１】
（ビニル基を４個以上有するウレタンアクリレートオリゴマ）
ビニル基を４個以上有するウレタンアクリレートオリゴマ（以下、単に「ウレタンアクリレートオリゴマ」ともいう。）とは、ビニル基を４個以上有し、分子内にウレタン結合を有する（メタ）アクリレートオリゴマである。
【００２２】
ウレタンアクリレートオリゴマの製造方法は特に限定されないが、例えばヒドロキシル基と複数の（メタ）アクリレート基を含有する（メタ）アクリレート化合物と、複数のイソシアネート基を有する化合物（例えばジイソシアネート化合物）を反応させてウレタンアクリレートオリゴマとする方法が挙げられる。複数のヒドロキシル基末端を有するポリオールオリゴマに、複数のイソシアネート基を有する化合物（例えばジイソシアネート化合物）を過剰に添加して反応させて複数のイソシアネート末端を有するオリゴマとし、更にヒドロキシル基と複数の（メタ）アクリレート基を含有する（メタ）アクリレート化合物と反応させてウレタンアクリレートオリゴマとしてもよい。
【００２３】
ヒドロキシル基と複数の（メタ）アクリレート基を含有する（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、ヒドロキシプロピル化トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトール−ジドロキシ−ペンタアクリレート、ビス（ペンタエリスリトール）−テトラアクリレート、テトラメチロールメタン−トリアクリレート、グリシドール−ジアクリレートや、これらのアクリレート基の一部又は全部をメタアクリレート基とした化合物等が挙げられる。
【００２４】
複数のイソシアネート基を有するイソシアネートとしては、脂肪族イソシアネートが好適に用いられる。イソシアネート化合物の形態としては単量体、二量体、及び三量体があり、単量体が好適に用いられる。
【００２５】
脂肪族ジイソシアネートとしては、例えばヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等が挙げられる。
【００２６】
ポリオール成分としては、例えばポリ（プロピレンオキサイド）ジオール、ポリ（プロピレンオキサイド）トリオール、コポリ（エチレンオキサイド−プロピレンオキサイド）ジオール、ポリ（テトラメチレンオキサイド）ジオール、エトキシ化ビスフェノールＡ、エトキシ化ビスフェノールＳスピログリコール、カプロラクトン変性ジオール、及びカーボネートジオール等が挙げられる。
【００２７】
ウレタンアクリレートオリゴマのビニル基の数が少ないと放射線照射後の粘着シートがガラス基板から容易に剥離せず、チップのピックアップ性が低下することがある。
【００２８】
ウレタンアクリレートオリゴマの配合量は特に限定されないが、（メタ）アクリル酸エステル重合体１００質量部に対して２０〜２００質量部とすることが好ましい。ビニル基を４個以上有するウレタンアクリレートオリゴマの配合量が少ないと放射線照射後に粘着シートがガラス基板と容易に剥離せず、チップのピックアップ性に問題が発生する場合がある。過剰に配合するとダイシング時に糊の掻き上げによりピックアップ不良を引き起こす場合があるとともに、反応残渣による微小な糊残りが生じる場合がある。
【００２９】
（シリコーングラフト重合体）
シリコーングラフト重合体は、シリコーン分子鎖の末端にビニル基を有する単量体（以下、「シリコーンマクロモノマ」という）に由来する単量体単位を有する点以外は特に限定されず、例えばシリコーンマクロモノマのホモポリマーや、シリコーンマクロモノマと他のビニル化合物を重合してなるビニル重合体が挙げられる。シリコーンマクロモノマは、シリコーン分子鎖の末端が（メタ）アクリロイル基またはスチリル基等のビニル基となっている化合物が好適に用いられる（たとえば特開２０００−０８０１３５号公報等参照）。
【００３０】
シリコーングラフト重合体は、シリコーンマクロモノマに由来する単量体単位を有する点以外ば特に限定されないが、（メタ）アクリル単量体を用いると均質な粘着剤が得られるため好ましい。
【００３１】
（メタ）アクリル単量体は特に限定されないが、例えばアルキル（メタ）アクリレート、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート、変性ヒドロキシ（メタ）アクリレート、及び（メタ）アクリル酸等が挙げられるが、パーティクルと呼ばれる微小な糊残りを防止するために、反応性を有するヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート、又は変性ヒドロキシ（メタ）アクリレートが好適に用いられる。
【００３２】
アルキル（メタ）アクリレートとしては、例えばメチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、及びイソボルニル（メタ）アクリレート、及びヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００３３】
ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートとしては、例えばヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、及びヒドロキシブチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００３４】
変性ヒドロキシ（メタ）アクリレートとしては、例えばエチレンオキシド変性ヒドロキシ（メタ）アクリレート、及びラクトン変性ヒドロキシ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００３５】
シリコーングラフト重合体中のシリコーンマクロモノマ単位の割合は特に限定されないが、シリコーングラフト重合体１００質量部中、シリコーンマクロモノマ単位を１５〜５０質量部とすることが好ましい。シリコーンマクロモノマ単位の含有量が少ないと、放射線照射後の粘着シートがガラス基板から容易に剥離せず、チップのピックアップ性が低下する場合があり、過剰だと粘着剤表面にブリードアウトし、ガラス基板に付着する場合がある。
【００３６】
シリコーングラフト重合体の配合量は特に限定されないが、（メタ）アクリル酸エステル重合体１００質量部に対して０．０５〜１０質量部とすることが好ましい。シリコーングラフト重合体の配合量が少ないと放射線照射後に粘着シートがガラス基板と容易に剥離せず、チップのピックアップ性に問題が発生する場合がある。過剰に配合すると初期の粘着力が低化し、ダイシング時にチップ飛びが発生する場合がある。
【００３７】
粘着剤には、粘着強度を調整するために粘着付与樹脂を添加してもよい。粘着付与樹脂は特に限定されず、例えばロジン樹脂、ロジンエステル樹脂、テルペン樹脂、テルペンフェノール樹脂、フェノール樹脂、キシレン樹脂、クマロン樹脂、クマロンインデン樹脂、スチレン樹脂、脂肪族石油樹脂、芳香族石油樹脂、脂肪族芳香族共重合石油樹脂、脂環族炭化水素樹脂、及びこれらの変性品、誘導体、水素添加品等が挙げられる。
【００３８】
粘着付与樹脂の配合量は特に限定されず、（メタ）アクリル酸エステル重合体１００質量部に対して２００質量部以下、好ましくは３０質量部以下とすることが好ましい。
【００３９】
(添加剤等)
粘着剤には、例えば、硬化剤、重合開始剤、軟化剤、老化防止剤、充填剤、紫外線吸収剤、及び光安定剤等の各種添加剤を添加してもよい。
【００４０】
粘着剤層の厚さは１〜１００μｍが好ましく、５〜４０μｍがより好ましい。粘着剤層が薄いと粘着力が低下し、ダイシング時のチップ保持性、及びリングフレームからの剥がれが生じる場合がある。粘着剤層が厚いと粘着力が高く、ピックアップ不良が発生する場合がある。
【００４１】
（粘着シート）
粘着シートは基材フィルム上に粘着剤を塗布して製造する。基材フィルムの厚さは３０〜３００μｍが好ましく、６０〜２００μｍがより好ましい。
【００４２】
基材フィルムの素材は特に限定されず、例えばポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸−アクリル酸エステルフィルム、エチレン−エチルアクリレート共重合体、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−アクリル酸共重合体、及び、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体やエチレン−（メタ）アクリル酸−（メタ）アクリル酸エステル共重合体等を金属イオンで架橋してなるアイオノマ樹脂が挙げられる。基材フィルムにはこれらの樹脂の混合物、共重合体、及び多層フィルム等を使用できる。
【００４３】
基材フィルムの素材はアイオノマ樹脂を用いることが好ましい。アイオノマ樹脂の中でも、エチレン単位、（メタ）アクリル酸単位、及び（メタ）アクリル酸アルキルエステル単位を有する共重合体をＮａ＋、Ｋ＋、Ｚｎ２＋等の金属イオンで架橋したアイオノマ樹脂を用いると、ヒゲ状の切削屑発生を抑制や近年求められているエキスパンド性能が優れるため、好適に用いられる。
【００４４】
基材フィルムの成型方法は特に限定されず、例えばカレンダー成形法、Ｔダイ押出し法、インフレーション法、及びキャスティング法等が挙げられる。
【００４５】
基材フィルムには、剥離フィルム剥離時における帯電を防止するために、基材フィルムの粘着剤接触面及び／又は非接触に帯電防止処理を施してもよい。帯電防止剤は樹脂中に練り込んでもよい。帯電防止処理には、四級アミン塩単量体等の帯電防止剤を用いることができる。
【００４６】
四級アミン塩単量体としては、例えば、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート四級塩化物、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート四級塩化物、メチルエチルアミノエチル（メタ）アクリレート四級塩化物、ｐ−ジメチルアミノスチレン四級塩化物、及びｐ−ジエチルアミノスチレン四級塩化物等が挙げられ、ジメチルアミノエチルメタクリレート四級塩化物が好適に用いられる。
【００４７】
滑り剤及び帯電防止剤の使用方法は特に限定されないが、例えば基材フィルムの片面に粘着剤を塗布し、その裏面に滑り剤及び／又は帯電防止剤を塗布してもよく、滑り剤及び／又は帯電防止剤を基材フィルムの樹脂に練り込んでシート化しても良い。
【００４８】
基材フィルムの片面に粘着剤を積層し、他方の面は平均表面粗さ（Ｒａ）が０．３〜１．５μｍのエンボス面とすることが可能である。エキスパンド装置の機械テーブル側にエンボス面を設置することにより、ダイシング後のエキスパンド工程で基材フィルムを容易に拡張することができる。
【００４９】
（滑り剤）
ダイシング後のエキスパンド性を向上させるために、基材フィルムの粘着剤非接触面に滑り剤を施したり、基材フィルムに滑り剤を練り込まさせたりすることができる。
【００５０】
滑り剤は、粘着シートとエキスパンド装置の摩擦係数を低下させる物質であれば特に限定されず、例えばシリコーン樹脂や（変性）シリコーン油等のシリコーン化合物、フッ素樹脂、六方晶ボロンナイトライド、カーボンブラック、及び二硫化モリブデン等が挙げられる。これらの摩擦低減剤は複数の成分を混合してもよい。電子部品の製造はクリーンルームで行われるため、シリコーン化合物又はフッ素樹脂を用いることが好ましい。シリコーン化合物の中でも特にシリコーンマクロモノマ単位を有する共重合体は帯電防止層との相溶性が良く、帯電防止性とエキスパンド性のバランスが図れるため、好適に用いられる。
【００５１】
（粘着シートの製造）
基材フィルム上に粘着剤層を形成して粘着シートとする方法は特に限定されず、例えばグラビアコーター、コンマコーター、バーコーター、ナイフコーター、又はロールコーター等のコーターで基材フィルム上に粘着剤を直接塗布する方法が挙げられる。凸板印刷、凹板印刷、平板印刷、フレキソ印刷、オフセット印刷、又はスクリーン印刷等で基材フィルム上に粘着剤を印刷してよい。粘着剤層の厚みは限定されないが、乾燥後の厚みで１〜１００μｍ程度とすることが好ましく、５〜４０μｍが更に好ましい。
【００５２】
紫外線及び／又は放射線の光源は特に限定されず、公知のものが使用できる。紫外線源として、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。放射線は電子線、α線、β線、γ線が好適に用いられる。
【実施例】
【００５３】
実施例に係る粘着剤、粘着シート、及び多層粘着シートは次の処方で製造した。主な配合と、各実験例の結果を表１に示す。
【００５４】
【表１】
2010163518.tif 000002
【００５５】
メタアクリル酸エステル重合体Ａ：エチルアクリレート５４％、ブチルアクリレート２２％、メトキシエチルアクリレート２４％の共重合体、懸濁重合、市販品。
メタアクリル酸エステル重合体Ｂ：２−エチルヘキシルアクリレート９５％、２−ヒドロキシエチルアクリレート５％の共重合体、溶液重合、市販品。
ウレタンアクリレートオリゴマＡ：脂肪族ジイソシアネートであるヘキサメチレンジイソシアネート（１モル）にジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート（２モル）を反応させてなるウレタンアクリレートオリゴマ。数平均分子量（Ｍｎ）が１，５００でアクリレート官能基数１０個（１０官能）のウレタンアクリレートオリゴマ、市販品。
ウレタンアクリレートオリゴマＢ：脂環族ジイソシアネートであるイソホロンジイソシアネート（１モル）にペタエリスリトールトリアクリレート（２モル）を反応させてなるウレタンアクリレートオリゴマ。数平均分子量（Ｍｎ）が６３０でアクリレート官能基数６個（６官能）、市販品。
ウレタンアクリレートオリゴマＣ：ポリ（プロピレンオキサイド）ジオールの末端に２−ヒドロキシエチルアクリレートを反応させてなる末端イソシアネートオリゴマに、更に２−ヒドロキシエチルアクリレートを反応させてなる末端アクリレートオリゴマ。数平均分子量（Ｍｎ）が３，４００、ビニル基数は１分子あたり２個（２官能）、市販品。
シリコーンマクロモノマ ：シリコーン分子鎖の末端にメタアクリロイル基を有するシリコーングラフトオリゴマ、市販品。
シリコーングラフト重合体Ａ：シリコーンマクロモノマ３０質量部、ブチルアクリレート２０質量部、メチルアクリレート３０質量部、及び２−ヒドロキシメチルアクリレート２０質量部を重合してなるシリコーングラフト重合体、市販品。
シリコーングラフト重合体Ｂ：シリコーンマクロモノマ３０質量部、ブチルアクリレート２０質量部、メチルアクリレート２０質量部、２−ヒドロキシメチルアクリレート２０質量部、メタクリル酸１０質量部を重合し、更にグリシジルメタクリレートを付加重合してなるシリコーングラフト重合体、市販品。
シリコーン化合物Ａ：シリコーン油、市販品。
光重合開始剤：ベンジルジメチルケタール、市販品。
硬化剤：２，４−トリレンジイソシアネートのトリメチロールプロパンアダクト体、市販品。
【００５６】
実験番号１に係る粘着剤は、メタアクリル酸エステル重合体Ａ１００質量部、ビニル基を４個以上有するウレタンアクリレートオリゴマＡ１００質量部、シリコーングラフト重合体Ａ１質量部、光重合開始剤３質量部、及び硬化剤３質量部の混合物である。他の粘着剤の配合は、表１に示した点以外は実験番号１と同様の処方で作製した。
【００５７】
粘着剤をＰＥＴセパレーターフィルム上に塗布し、乾燥後の粘着剤層の厚みが１０μｍとなるように塗工し、１００μｍの基材フィルムに積層し粘着シートを得た。
アイオノマ樹脂：エチレン−メタアクリル酸−メタアクリル酸アルキルエステル共重合体のＺｎ塩を主体、ＭＦＲ値１．５ｇ／１０分（ＪＩＳＫ７２１０、２１０℃）、融点９６℃、Ｚｎ２＋イオンを含有、三井・デュポンポリケミカル社製、市販品。
【００５８】
（ガラス基板）
５ｍｍ厚のＴｉＯ２コーティングガラス（８０ｍｍ×８０ｍｍ）を用いた。粘着シートへの切り込み量は３０μｍとした。ダイシングは５ｍｍ×５ｍｍのチップサイズで行った。
【００５９】
ダイシング装置はＤＩＳＣＯ社製 ＤＡＤ３４１を用いた。ダイシングブレードはＤＩＳＣＯ社製Ｇ１Ａ８５１ＳＤ４００Ｒ１３Ｂ０１を用いた。
ダイシングブレード回転数 ：４０，０００ｒｐｍ
ダイシングブレード送り速度：４０ｍｍ／秒。
切削水温度：２５℃
切削水量 ：１．０Ｌ／分。
【００６０】
（エキスパンド）
ガラス基板をダイシングした後、エキスパンド装置（ＨＵＧＬＥ社製ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳＨＳ−１８００型）を用いてエキスパンドを行った。
引き落とし量：２０ｍｍ
引き落とし速度：２０ｍｍ／秒
加温条件：４０℃×１分
【００６１】
（粘着力）
対ガラス基板粘着力：ガラス基板に粘着シートを貼り合わせ、２ｋｇロ−ラの１往復で圧着し、圧着１日後に、紫外線を３００ｍＪ／ｃｍ２照射した前後の試料を用いて１８０°ピ−ル、引張り速度３００ｍｍ／分の条件で粘着力を測定した。
【００６２】
（粘着シートの評価方法）
チップ保持性：ガラス基板を前記条件にてダイシングした際に、チップが粘着シートに保持されている数を評価した。
○（良）：粘着シートに保持されているチップが９０％以上。
×（不可）：粘着シートに保持されているチップが９０％未満。
【００６３】
ピックアップ性：ガラス基板を前記条件にてダイシング、エキスパンドした後、ピックアップできた数を評価した。
○（（良）：８０％以上のチップがピックアップできた。
×（不可）：８０％未満のチップがピックアップできた。
【００６４】
糊掻き上げ性：ガラス基板を前記条件にてダイシング、エキスパンドした後、ピックアップできたチップの側面を顕微鏡にて観察し、糊の付着が確認された数を評価した。
○（良）：９０％以上のチップに糊の付着が観察されなかった。
×（不可）：９０％未満のチップに糊の付着が観察されなかった。
【００６５】
糊割れ：ガラス基板を前記条件にてダイシング、エキスパンド、ピックアップした後のテープ面を顕微鏡にて観察し、チップが貼り付けてあった個々のエリアに糊の割れが確認された数を評価した。
○（良）：９０％以上のエリアに糊割れが観察されなかった。
×（不可）：９０％未満のエリアに糊割れが観察されなかった。
【００６６】
汚染性：粘着シートをシリコン製ミラーウエハに貼り付けて、２０分後に高圧水銀灯で紫外線を３００ｍＪ／ｃｍ２照射した後、粘着シートを剥離した。シリコン製ミラーウエハの貼り付け面上に残留した０．２８μｍ以上の粒子数をパーティクルカウンターにて測定した。
○（良）：パーティクルが５００個未満。
×（不可）：パーティクルが２０００個以上。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明の粘着シートは、ダイシング時のチッピング性に優れ、ピックアップ作業時にチップの剥離が容易であり、かつピックアップピン起因の糊割れを生じないという特徴を有する粘着剤、粘着剤を用いた粘着シート、粘着シートを用いたガラス基板の製造方法に適する。