(57)【要約】【課題】複数の個別流路に加わる圧力のばらつきを抑制する。【解決手段】ヘッド１は、複数の供給流路３１を連結し、複数の供給流路３１の第１入口３１ａに連通する第１供給連結流路４１と、複数の供給流路３１を連結し、複数の供給流路３１の第２入口３１ｂに連通する第２供給連結流路４２とを備えている。各供給流路３１において、第１入口３１ａと第２入口３１ｂとの間に、複数の個別流路２０の入口２０ａが配置されている。したがって、各供給流路３１において、第１入口３１ａ及び第２入口３１ｂの両方から、複数の個別流路２０にインクが供給される。【選択図】図２
2020023060.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルをそれぞれ含む複数の個別流路と、
それぞれ前記複数の個別流路の入口に連通する複数の供給流路と、
それぞれ前記複数の個別流路の出口に連通する複数の帰還流路と、
前記複数の供給流路を連結し、前記複数の供給流路の第１入口に連通する第１供給連結流路と、
前記複数の供給流路を連結し、前記複数の供給流路の第２入口に連通する第２供給連結流路と、を備え、
前記複数の供給流路のそれぞれにおいて、前記第１入口と前記第２入口との間に、前記複数の個別流路の前記入口が配置されたことを特徴とする、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記複数の帰還流路を連結し、前記複数の帰還流路の第１出口に連通する第１帰還連結流路と、
前記複数の帰還流路を連結し、前記複数の帰還流路の第２出口に連通する第２帰還連結流路と、をさらに備え、
前記複数の帰還流路のそれぞれにおいて、前記第１出口と前記第２出口との間に、前記複数の個別流路の前記出口が配置されたことを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記複数の供給流路及び前記複数の帰還流路は、互いに同じ方向に延び、その延在方向と交差する配列方向に配列され、
前記第１供給連結流路及び前記第１帰還連結流路は、それぞれ前記配列方向に延び、かつ、前記複数の供給流路及び前記複数の帰還流路に対して前記延在方向の一方に位置し、
前記第２供給連結流路及び前記第２帰還連結流路は、それぞれ前記配列方向に延び、かつ、前記複数の供給流路及び前記複数の帰還流路に対して前記延在方向の他方に位置することを特徴とする、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第１供給連結流路及び前記第１帰還連結流路は、前記延在方向において互いに異なる位置にあり、
前記第２供給連結流路及び前記第２帰還連結流路は、前記延在方向において互いに異なる位置にあることを特徴とする、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記延在方向において、前記第１供給連結流路と前記第２供給連結流路との間に、前記第１帰還連結流路及び前記第２帰還連結流路が位置することを特徴とする、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記延在方向において、前記第１帰還連結流路と前記第２帰還連結流路との間に、前記第１供給連結流路及び前記第２供給連結流路が位置することを特徴とする、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記第１供給連結流路及び前記第２供給連結流路は、それぞれ、前記複数の供給流路の連結部を挟む位置に設けられた２つの供給口を介して、液体を貯留する貯留室と連通することを特徴とする、請求項２〜６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記第１帰還連結流路及び前記第２帰還連結流路は、それぞれ、前記複数の帰還流路の連結部を挟む位置に設けられた２つの帰還口を介して、液体を貯留する貯留室と連通することを特徴とする、請求項２〜７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記第１供給連結流路及び前記第２供給連結流路は、それぞれ、前記複数の供給流路の連結部に対して前記配列方向の一方に設けられた供給口を介して、液体を貯留する貯留室と連通し、
前記第１帰還連結流路及び前記第２帰還連結流路は、それぞれ、前記複数の帰還流路の連結部に対して前記配列方向の一方に設けられた帰還口を介して、前記貯留室と連通することを特徴とする、請求項３〜６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記第１供給連結流路及び前記第２供給連結流路は、それぞれ、少なくとも一部がダンパ膜で画定されていることを特徴とする、請求項３〜９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記第１帰還連結流路及び前記第２帰還連結流路は、それぞれ、少なくとも一部がダンパ膜で画定されていることを特徴とする、請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記第１供給連結流路は、前記延在方向の他方の側面において、前記複数の供給流路の前記第１入口と連通し、
前記第２供給連結流路は、前記延在方向の一方の側面において、前記複数の供給流路の前記第２入口と連通し、
前記第１帰還連結流路は、前記延在方向の他方の側面において、前記複数の帰還流路の前記第１出口と連通し、
前記第２帰還連結流路は、前記延在方向の一方の側面において、前記複数の帰還流路の前記第２出口と連通し、
前記第１供給連結流路、前記第２供給連結流路、前記第１帰還連結流路及び前記第２帰還連結流路のそれぞれにおいて、前記側面以外の面に、前記ダンパ膜が設けられたことを特徴とする、請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記第１供給連結流路は、前記第１帰還連結流路に対して、前記延在方向及び前記配列方向と直交する直交方向の一方に位置し、
前記第１供給連結流路に設けられた前記ダンパ膜は、前記第１供給連結流路に対して前記直交方向の一方に位置し、
前記第１帰還連結流路に設けられた前記ダンパ膜は、前記第１帰還連結流路に対して前記直交方向の他方に位置することを特徴とする、請求項１１又は１２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記第２供給連結流路は、前記第２帰還連結流路に対して、前記延在方向及び前記配列方向と直交する直交方向の一方に位置し、
前記第２供給連結流路に設けられた前記ダンパ膜は、前記第２供給連結流路に対して前記直交方向の一方に位置し、
前記第２帰還連結流路に設けられた前記ダンパ膜は、前記第２帰還連結流路に対して前記直交方向の他方に位置することを特徴とする、請求項１１〜１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
前記第１供給連結流路、前記第２供給連結流路、前記第１帰還連結流路及び前記第２帰還連結流路のそれぞれに対し、前記配列方向に互いに離隔した複数の前記ダンパ膜が設けられていることを特徴とする、請求項１１〜１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１６】
前記複数の供給流路及び前記複数の帰還流路は、それぞれ、少なくとも一部がダンパ膜で画定されていることを特徴とする、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１７】
ノズルをそれぞれ含む複数の個別流路と、
それぞれ前記複数の個別流路の入口に連通する複数の供給流路と、
それぞれ前記複数の個別流路の出口に連通する複数の帰還流路と、
前記複数の帰還流路を連結し、前記複数の帰還流路の第１出口に連通する第１帰還連結流路と、
前記複数の帰還流路を連結し、前記複数の帰還流路の第２出口に連通する第２帰還連結流路と、を備え、
前記複数の帰還流路のそれぞれにおいて、前記第１出口と前記第２出口との間に、前記複数の個別流路の前記出口が配置されたことを特徴とする、液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルをそれぞれ含む複数の個別流路を備えた液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１の液体吐出ヘッドは、それぞれ複数の個別流路の入口に連通する複数の第２共通流路（供給流路）と、それぞれ複数の個別流路の出口に連通する複数の第１共通流路（帰還流路）とを備えている。複数の第１共通流路及び複数の第２共通流路は、それぞれ、第１統合流路及び第２統合流路によって連結されている。第２統合流路から各第２共通流路の一端に供給された液体は、第２共通流路の一端から他端に向かって流れる際に、第２共通流路に連通する複数の個別流路の入口に流れ込む。各個別流路に流入した液体は、一部はノズルから吐出され、残りは出口を介して第１共通流路に流れ込む。各第１共通流路に流れ込んだ液体は、第１共通流路の一端から他端に向かって流れ、第１共通流路の他端から第１統合流路に回収される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−０３０３６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１では、第２統合流路から各第２共通流路の一端に液体が供給される。当該液体は、第２共通流路の一端から他端に向かって流れ、第２共通流路に連通する複数の個別流路の入口に流れ込む。この場合、各第２共通流路（供給流路）に連通する複数の個別流路のうち、第２共通流路の一端に近いものほど、大きな圧力が加わる。したがって、各供給流路に連通する複数の個別流路において、加わる圧力にばらつきが生じ、ひいてはノズルから吐出される液体の量に差が生じ得る。
【０００５】
また、特許文献１では、各第１共通流路に流れ込んだ液体は、第１共通流路の一端から他端に向かって流れ、第１共通流路の他端から第１統合流路に回収される。この場合、各第１共通流路（帰還流路）に連通する複数の個別流路のうち、第１共通流路の他端から遠いものほど、大きな圧力が加わる。したがって、各帰還流路に連通する複数の個別流路において、加わる圧力にばらつきが生じ、ひいてはノズルから吐出される液体の量に差が生じ得る。
【０００６】
本発明の目的は、複数の個別流路に加わる圧力のばらつきを抑制できる液体吐出ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１観点に係る液体吐出ヘッドは、ノズルをそれぞれ含む複数の個別流路と、それぞれ前記複数の個別流路の入口に連通する複数の供給流路と、それぞれ前記複数の個別流路の出口に連通する複数の帰還流路と、前記複数の供給流路を連結し、前記複数の供給流路の第１入口に連通する第１供給連結流路と、前記複数の供給流路を連結し、前記複数の供給流路の第２入口に連通する第２供給連結流路と、を備え、前記複数の供給流路のそれぞれにおいて、前記第１入口と前記第２入口との間に、前記複数の個別流路の前記入口が配置されたことを特徴とする。
【０００８】
本発明の第２観点に係る液体吐出ヘッドは、ノズルをそれぞれ含む複数の個別流路と、それぞれ前記複数の個別流路の入口に連通する複数の供給流路と、それぞれ前記複数の個別流路の出口に連通する複数の帰還流路と、前記複数の帰還流路を連結し、前記複数の帰還流路の第１出口に連通する第１帰還連結流路と、前記複数の帰還流路を連結し、前記複数の帰還流路の第２出口に連通する第２帰還連結流路と、を備え、前記複数の帰還流路のそれぞれにおいて、前記第１出口と前記第２出口との間に、前記複数の個別流路の前記出口が配置されたことを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の平面図である。
【図２】ヘッド１の平面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ったヘッド１の断面図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ線に沿ったヘッド１の断面図である。
【図５】（ａ）は、ヘッド１の流路基板１１を構成するプレート１１ｂの図２に示す領域Ｖの平面図である。（ｂ）は、流路基板１１を構成するプレート１１ｈの図２に示す領域Ｖの平面図である。
【図６】プリンタ１００の電気的構成を示すブロック図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係るヘッド２０１の平面図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係るヘッド３０１の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
＜第１実施形態＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の全体構成について説明する。
【００１１】
プリンタ１００は、４つのヘッド１を含むヘッドユニット１ｘ、プラテン３、搬送機構４及び制御部５を備えている。
【００１２】
プラテン３の上面に、用紙９が載置される。
【００１３】
搬送機構４は、搬送方向にプラテン３を挟んで配置された２つのローラ対４ａ，４ｂを有する。制御部５の制御により搬送モータ４ｍが駆動されると、ローラ対４ａ，４ｂが用紙９を挟持した状態で回転し、用紙９が搬送方向に搬送される。
【００１４】
ヘッドユニット１ｘは、ライン式（位置が固定された状態でノズル２１（図２及び図３参照）から用紙９に対してインクを吐出する方式）であって、紙幅方向に長尺である。４つのヘッド１は、紙幅方向に千鳥状に配置されている。
【００１５】
制御部５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、制御部５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、各ヘッド１のドライバＩＣ１ｄ（図３及び図６参照）及び搬送モータ４ｍを制御し、用紙９上に画像を記録する。
【００１６】
次いで、図２〜図５を参照し、ヘッド１の構成について説明する。
【００１７】
ヘッド１は、流路基板１１及びアクチュエータユニット１２を有する。
【００１８】
流路基板１１は、図３及び図４に示すように、互いに接着された９枚のプレート１１ａ〜１１ｉを有する。各プレート１１ａ〜１１ｉには、流路基板１１に設けられた流路や開口を構成する貫通孔が形成されている。
【００１９】
流路基板１１には、図２に示すように、複数の個別流路２０と、それぞれ複数の個別流路２０の入口２０ａに連通する複数の供給流路３１と、それぞれ複数の個別流路２０の出口２０ｂに連通する複数の帰還流路３２と、複数の供給流路３１を連結する供給連結流路４１，４２と、複数の帰還流路３２を連結する帰還連結流路５１，５２とが形成されている。
【００２０】
供給流路３１及び帰還流路３２は、互いに同じ方向（紙幅方向。以下、「延在方向」という。）に延び、搬送方向に沿った方向（以下、「配列方向」という。）に配列されている。本実施形態において、配列方向は延在方向と直交する。供給流路３１及び帰還流路３２は、配列方向に交互に配置されている。
【００２１】
各供給流路３１は、延在方向の一方の端部に設けられた第１入口３１ａを介して、第１供給連結流路４１と連通し、かつ、延在方向の他方の端部に設けられた第２入口３１ｂを介して、第２供給連結流路４２と連通している。
【００２２】
各帰還流路３２は、延在方向の一方の端部に設けられた第１出口３２ａを介して、第１帰還連結流路５１と連通し、かつ、延在方向の他方の端部に設けられた第２出口３２ｂを介して、第２帰還連結流路５２と連通している。
【００２３】
供給連結流路４１，４２及び帰還連結流路５１，５２は、それぞれ配列方向に延びている。第１供給連結流路４１及び第１帰還連結流路５１は、供給流路３１及び帰還流路３２に対して延在方向の一方に位置し、かつ、延在方向において互いに異なる位置にある。第２供給連結流路４２及び第２帰還連結流路５２は、供給流路３１及び帰還流路３２に対して延在方向の他方に位置し、かつ、延在方向において互いに異なる位置にある。第１供給連結流路４１及び第２供給連結流路４２は、流路基板１１の延在方向の中心を通る配列方向及び鉛直方向に沿った平面に関して、対称に配置されている。第１帰還連結流路５１及び第２帰還連結流路５２は、上記平面に関して、対称に配置されている。
【００２４】
本実施形態では、延在方向において、第１供給連結流路４１と第２供給連結流路４２との間に、第１帰還連結流路５１及び第２帰還連結流路５２が位置する。
【００２５】
第１供給連結流路４１は、延在方向の他方の側面において、複数の供給流路３１の第１入口３１ａと連通している。第２供給連結流路４２は、延在方向の一方の側面において、複数の供給流路３１の第２入口３１ｂと連通している。第１帰還連結流路５１は、延在方向の他方の側面において、複数の帰還流路３２の第１出口３２ａと連通している。第２帰還連結流路５２は、延在方向の一方の側面において、複数の帰還流路３２の第２出口３２ｂと連通している。
【００２６】
なお、図２の左側２本の供給流路３１において、第１帰還連結流路５１及び第２帰還連結流路５２と交差する部分があるが、これら供給流路３１は、第１帰還連結流路５１及び第２帰還連結流路５２よりも、上方に位置する。具体的には、図３及び図４に示すように、第１供給連結流路４１、第２供給連結流路４２及び複数の供給流路３１は、第１帰還連結流路５１、第２帰還連結流路５２及び複数の帰還流路３２に対して、鉛直方向（延在方向及び配列方向と直交する方向であり、以下、「直交方向」という。）の上方（一方）に位置する。
【００２７】
第１供給連結流路４１は、図２に示すように、２つの供給口４１ｘ，４１ｙを介して、サブタンク７の貯留室７ａと連通している。２つの供給口４１ｘ，４１ｙは、第１供給連結流路４１の配列方向の一方及び他方の端部にそれぞれ設けられており、複数の供給流路３１の連結部（複数の供給流路３１の第１入口３１ａ）を挟む位置にある。
【００２８】
第２供給連結流路４２は、２つの供給口４２ｘ，４２ｙを介して、貯留室７ａと連通している。２つの供給口４２ｘ，４２ｙは、第２供給連結流路４２の配列方向の一方及び他方の端部にそれぞれ設けられており、複数の供給流路３１の連結部（複数の供給流路３１の第２入口３１ｂ）を挟む位置にある。
【００２９】
第１帰還連結流路５１は、２つの帰還口５１ｘ，５１ｙを介して、貯留室７ａと連通している。２つの帰還口５１ｘ，５１ｙは、第１帰還連結流路５１の配列方向の一方及び他方の端部にそれぞれ設けられており、複数の帰還流路３２の連結部（複数の帰還流路３２の第１出口３２ａ）を挟む位置にある。
【００３０】
第２帰還連結流路５２は、２つの帰還口５２ｘ，５２ｙを介して、貯留室７ａと連通している。２つの帰還口５１ｘ，５１ｙは、第１帰還連結流路５１の配列方向の一方及び他方の端部にそれぞれ設けられており、複数の帰還流路３２の連結部（複数の帰還流路３２の第１出口３２ａ）を挟む位置にある。
【００３１】
サブタンク７は、ヘッド１に搭載されている。貯留室７ａは、インクを貯留するメインタンク（図示略）と連通し、メインタンクから供給されたインクを貯留する。
【００３２】
複数の個別流路２０は、延在方向において、連結流路４１，５１と連結流路４２，５２との間に配置されている。各供給流路３１の第１入口３１ａと第２入口３１ｂとの間に、複数の個別流路２０の入口２０ａが配置されている。各帰還流路３２の第１出口３２ａと第２出口３２ｂとの間に、複数の個別流路２０の出口２０ｂが配置されている。
【００３３】
個別流路２０は、配列方向において、互いに隣接する供給流路３１と帰還流路３２との間に配置されている。複数の個別流路２０は、延在方向に配列され、それぞれ延在方向に延びる５つの列を形成している。５つの列は、配列方向に配列されている。個別流路２０の各列に対して、配列方向の両側に、供給流路３１及び帰還流路３２が配置されている。本実施形態では、配列方向に互いに隣接する２つの個別流路２０の列の間に配置された供給流路３１又は帰還流路３２は、当該２つの列に属する個別流路２０に連通している。
【００３４】
各個別流路２０は、図２及び図３に示すように、ノズル２１と、ノズル２１に連通する圧力室２２と、圧力室２２と入口２０ａとを接続する流入路２３と、圧力室２２と出口２０ｂとを接続する流出路２４とを含む。圧力室２２は、図２に示すように、延在方向及び配列方向に沿った平面において、延在方向に延びる矩形状であり、４つの角部及び４つの辺を有する。ノズル２１は、圧力室２２の直下に位置し、上記平面における圧力室２２の中心点Ｏに設けられている。流入路２３及び流出路２４は、圧力室２２の４つの辺のうち、配列方向に互いに対向する２つの辺から、それぞれ配列方向に延びている。また、流入路２３及び流出路２４は、圧力室２２の４つの角部のうち、中心点Ｏに関して対称に配置された２つの角部に、それぞれ接続している。流入路２３及び流出路２４は、中心点Ｏに関して対称に配置されている。入口２０ａ及び出口２０ｂも、中心点Ｏに関して対称に配置されている。
【００３５】
図３に示すように、ノズル２１は、プレート１１ｈ，１１ｉに形成された貫通孔で構成されている。圧力室２２は、プレート１１ａ〜１１ｇに形成された貫通孔で構成されている。流入路２３は、プレート１１ｃに形成された貫通孔で構成されている。流出路２４は、プレート１１ｇに形成された貫通孔で構成されている。
【００３６】
供給流路３１は、プレート１１ｃ，１１ｄに形成された貫通孔で構成されている。帰還流路３２は、プレート１１ｆ，１１ｇに形成された貫通孔で構成されている。
【００３７】
供給流路３１及び帰還流路３２には、それぞれダンパ膜３５，３７が設けられている。ダンパ膜３５は、供給流路３１の下面を画定している。ダンパ膜３７は、帰還流路３２の上面を画定している。具体的には、プレート１１ｅには、供給流路３１の下方に対応する部分に、ダンパ室３４となる貫通孔が形成され、帰還流路３２の上方に対応する部分に、ダンパ室３６となる貫通孔が形成されている。そして、ダンパ室３４を覆うように、プレート１１ｅの上面にダンパ膜３５が取り付けられ、ダンパ室３６を覆うように、プレート１１ｅの下面にダンパ膜３７が取り付けられている。
【００３８】
図４に示すように、供給連結流路４１，４２は、プレート１１ｃ，１１ｄに形成された貫通孔で構成されている。帰還連結流路５１，５２は、プレート１１ｆ，１１ｇに形成された貫通孔で構成されている。
【００３９】
供給連結流路４１，４２には、それぞれ、図４及び図５に示すように、配列方向に互いに離隔した５つのダンパ膜４５が設けられている。帰還連結流路５１，５２には、それぞれ、配列方向に互いに離隔した５つのダンパ膜５５が設けられている。各ダンパ膜４５は、供給連結流路４１，４２の上面を画定している。各ダンパ膜５５は、帰還連結流路５１，５２の下面を画定している。具体的には、プレート１１ｂには、供給連結流路４１，４２の上方に対応する部分に、５つのダンパ室４４となる貫通孔が形成されている。そして、各ダンパ室４４を覆うように、プレート１１ｂの下面に、ダンパ膜４５が取り付けられている。プレート１１ｈには、帰還連結流路５１，５２の下方に対応する部分に、５つのダンパ室５４となる貫通孔が形成されている。そして、各ダンパ室５４を覆うように、プレート１１ｈの上面にダンパ膜５５が取り付けられている。
【００４０】
ダンパ膜３５，３７，４５，５５は、プレート１１ａ〜１１ｉよりも厚みの小さいフィルム状の部材である。図５では、ダンパ膜４５，５５にハッチングを付している。
【００４１】
なお、図５（ａ）に示すように、プレート１１ｂには、供給口４１ｘ，４１ｙに繋がる貫通孔４１ｘ’，４１ｙ’、及び、帰還口５１ｘ，５１ｙに繋がる貫通孔５１ｘ’，５１ｙ’が形成されている。また、図示を省略するが、プレート１１ｂには、供給口４２ｘ，４２ｙに繋がる貫通孔、及び、帰還口５２ｘ，５２ｙに繋がる貫通孔も形成されている。
【００４２】
ここで、流路基板１１内におけるインクの流れについて説明する。図２及び図３中の矢印は、インクの流れを示す。
【００４３】
図２に示すように、制御部５の制御により循環ポンプ７ｐが駆動されると、貯留室７ａ内のインクが、供給口４１ｘ，４１ｙから第１供給連結流路４１に供給され、供給口４２ｘ，４２ｙから第２供給連結流路４２に供給される。供給口４１ｘから第１供給連結流路４１に供給されたインクは、第１供給連結流路４１内を配列方向の一方から他方に向かって移動しつつ、各供給流路３１の第１入口３１ａに流入する。供給口４１ｙから第１供給連結流路４１に供給されたインクは、第１供給連結流路４１内を配列方向の他方から一方に向かって移動しつつ、各供給流路３１の第１入口３１ａに流入する。供給口４２ｘから第２供給連結流路４２に供給されたインクは、第２供給連結流路４２内を配列方向の一方から他方に向かって移動しつつ、各供給流路３１の第２入口３１ｂに流入する。供給口４２ｙから第２供給連結流路４２に供給されたインクは、第２供給連結流路４２内を配列方向の他方から一方に向かって移動しつつ、各供給流路３１の第２入口３１ｂに流入する。
【００４４】
各供給流路３１の第１入口３１ａに流入したインクは、供給流路３１内を延在方向の一方から他方に向かって移動しつつ、個別流路２０の入口２０ａに流入する。各供給流路３１の第２入口３１ｂに流入したインクは、供給流路３１内を延在方向の他方から一方に向かって移動しつつ、個別流路２０の入口２０ａに流入する。
【００４５】
図３に示すように、各個別流路２０において、供給流路３１から入口２０ａに流入したインクは、流入路２３を通って圧力室２２に入り、一部がノズル２１から吐出され、残りが流出路２４を通って出口２０ｂから帰還流路３２に流入する。
【００４６】
図２に示すように、各帰還流路３２に流入したインクは、帰還流路３２内を延在方向の他方から一方に向かって移動して、第１出口３２ａから第１帰還連結流路５１に流入し、又は、帰還流路３２内を延在方向の一方から他方に向かって移動して、第２出口３２ｂから第２帰還連結流路５２に流入する。第１帰還連結流路５１に流入したインクは、第１帰還連結流路５１内を配列方向の他方から一方に向かって移動し、帰還口５１ｘから貯留室７ａに戻され、又は、第１帰還連結流路５１内を配列方向の一方から他方に向かって移動し、帰還口５１ｙから貯留室７ａに戻される。第２帰還連結流路５２に流入したインクは、第２帰還連結流路５２内を配列方向の他方から一方に向かって移動し、帰還口５２ｘから貯留室７ａに戻され、又は、第２帰還連結流路５２内を配列方向の一方から他方に向かって移動し、帰還口５２ｙから貯留室７ａに戻される。
【００４７】
このように貯留室７ａと複数の個別流路２０との間でインクを循環させることで、各個別流路２０内における気泡の排出やインクの増粘防止が実現される。また、インクが沈降成分（沈降が生じ得る成分。顔料等）を含む場合、当該成分が攪拌されて沈降が防止される。
【００４８】
アクチュエータユニット１２は、流路基板１１の上面に配置され、複数の圧力室２２を覆っている。
【００４９】
アクチュエータユニット１２は、図３に示すように、下から順に、振動板１２ａ、共通電極１２ｂ、複数の圧電体１２ｃ及び複数の個別電極１２ｄを含む。振動板１２ａ及び共通電極１２ｂは、複数の圧力室２２を覆っている。一方、圧電体１２ｃ及び個別電極１２ｄは、圧力室２２毎に設けられており、圧力室２２のそれぞれと直交方向に対向している。
【００５０】
複数の個別電極１２ｄ及び共通電極１２ｂは、ドライバＩＣ１ｄと電気的に接続されている。ドライバＩＣ１ｄは、共通電極１２ｂの電位をグランド電位に維持する一方、個別電極１２ｄの電位を変化させる。具体的には、ドライバＩＣ１ｄは、制御部５からの制御信号に基づいて駆動信号を生成し、当該駆動信号を個別電極１２ｄに付与する。これにより、個別電極１２ｄの電位が所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。このとき、振動板１２ａ及び圧電体１２ｃにおいて個別電極１２ｄと圧力室２２とで挟まれた部分が、圧力室２２に向かって凸となるように変形することにより、圧力室２２の容積が変化し、圧力室２２内のインクに圧力が付与され、ノズル２１からインクが吐出される。
【００５１】
以上に述べたように、本実施形態のヘッド１は、複数の供給流路３１を連結し、複数の供給流路３１の第１入口３１ａに連通する第１供給連結流路４１と、複数の供給流路３１を連結し、複数の供給流路３１の第２入口３１ｂに連通する第２供給連結流路４２と、を備えている（図２参照）。各供給流路３１において、第１入口３１ａと第２入口３１ｂとの間に、複数の個別流路２０の入口２０ａが配置されている。したがって、各供給流路３１において、第１入口３１ａ及び第２入口３１ｂの両方から、複数の個別流路２０にインクが供給される。この場合、各供給流路３１に連通する複数の個別流路２０において、第１入口３１ａ又は第２入口３１ｂに近いものほど大きな圧力が加わるが、各供給流路３１の１つの入口からインクが供給される場合に比べ、加わる圧力のばらつきを抑制できる。
【００５２】
本実施形態のヘッド１は、複数の帰還流路３２を連結し、複数の帰還流路３２の第１出口３２ａに連通する第１帰還連結流路５１と、複数の帰還流路３２を連結し、複数の帰還流路３２の第２出口３２ｂに連通する第２帰還連結流路５２と、を備えている（図２参照）。各帰還流路３２において、第１出口３２ａと第２出口３２ｂとの間に、複数の個別流路２０の出口２０ｂが配置されている。したがって、各帰還流路３２において、第１出口３２ａ及び第２出口３２ｂの両方から、インクが回収される。この場合、各帰還流路３２に連通する複数の個別流路２０において、第１出口３２ａ又は第２出口３２ｂから遠いものほど大きな圧力が加わるが、各帰還流路３２の１つの出口からインクが回収される場合に比べ、加わる圧力のばらつきを抑制できる。
【００５３】
複数の供給流路３１及び複数の帰還流路３２は、互いに同じ方向に延び、その延在方向と交差する配列方向に配列されている（図２参照）。第１供給連結流路４１及び第１帰還連結流路５１は、それぞれ配列方向に延び、かつ、複数の供給流路３１及び複数の帰還流路３２に対して延在方向の一方に位置する。第２供給連結流路４２及び第２帰還連結流路５２は、それぞれ配列方向に延び、かつ、複数の供給流路３１及び複数の帰還流路３２に対して延在方向の他方に位置する。各流路３１，３２，４１，４２，５１，５２がランダムに配置された場合、延在方向及び配列方向に沿った平面における流路全体のサイズが大型化し得る。この点、本実施形態では、上記のように、各流路３１，３２，４１，４２，５１，５２の延びる方向及び配列される方向が延在方向又は配列方向に規定されたことで、上記平面における流路全体のサイズの大型化を抑制できる。
【００５４】
仮に、第１供給連結流路４１及び第１帰還連結流路５１が延在方向において互いに同じ位置にある場合、第１供給連結流路４１及び第１帰還連結流路５１が直交方向に重なることになる。この場合、供給口４１ｘ，４１ｙ及び帰還口５１ｘ、５１ｙを流路基板１１の上面に形成することが困難になり、供給口４１ｘ，４１ｙ及び帰還口５１ｘ、５１ｙへのチューブ等の取付作業が困難になり得る。また、第１供給連結流路４１及び第１帰還連結流路５１が直交方向に重なる場合に、第１供給連結流路４１及び第１帰還連結流路５１の直交方向の長さを大きくすると、流路全体の直交方向のサイズが大型化してしまう。この点、本実施形態では、第１供給連結流路４１及び第１帰還連結流路５１が、延在方向において互いに異なる位置にある（図２参照）。そのため、供給口４１ｘ，４１ｙ及び帰還口５１ｘ、５１ｙを流路基板１１の上面に形成することが容易であり、供給口４１ｘ，４１ｙ及び帰還口５１ｘ、５１ｙへのチューブ等の取付作業を容易に行える。また、第１供給連結流路４１及び第１帰還連結流路５１の直交方向の長さを大きくしても、流路全体の直交方向のサイズが大型化し難い。第２供給連結流路４２及び第２帰還連結流路５２についても、同様である。
【００５５】
仮に、延在方向において、第１供給連結流路４１と第２供給連結流路４２との間に第１帰還連結流路５１が位置し、第２帰還連結流路５２が第２供給連結流路４２よりも延在方向の他方に位置する場合や、延在方向において、第１供給連結流路４１と第２供給連結流路４２との間に第２帰還連結流路５２が位置し、第１帰還連結流路５１が第１供給連結流路４１よりも延在方向の一方に位置する場合、第１供給連結流路４１と第２供給連結流路４２との間、及び、第１帰還連結流路５１と第２帰還連結流路５２との間で、圧力損失のばらつきが生じ易い。また、上記の場合において、流路基板１１の延在方向及び配列方向の中心を通る直交方向に沿った軸回りに流路基板１１を１８０度回転させると、供給連結流路４１，４２と帰還連結流路５１，５２との配置構成が変化し、各連結流路と貯留室７ａとの連通に不具合が生じ得る。この点、本実施形態では、延在方向において、第１供給連結流路４１と第２供給連結流路４２との間に、第１帰還連結流路５１及び第２帰還連結流路５２が位置する（図２参照）。これにより、上記のような問題を抑制できる。
【００５６】
第１供給連結流路４１は、複数の供給流路３１の連結部を挟む位置に設けられた２つの供給口４１ｘ，４１ｙを介して、貯留室７ａと連通する（図２参照）。この場合、各供給口４１ｘ，４１ｙから流入して第１供給連結流路４１内をインクが流れる流路長さが、２つの供給口４１ｘ，４１ｙのうちの１つから流入して第１供給連結流路４１内をインクが流れる流路長さの略半分になるため、第１供給連結流路４１における圧力損失を低減できる。第２供給連結流路４２についても、同様である。
【００５７】
第１帰還連結流路５１は、複数の帰還流路３２の連結部を挟む位置に設けられた２つの帰還口５１ｘ，５１ｙを介して、貯留室７ａと連通する（図２参照）。この場合、第１帰還連結流路５１から各帰還口５１ｘ，５１ｙに向けてインクが流れる流路長さが、第１帰還連結流路５１から２つの帰還口５１ｘ，５１ｙのうちの１つに向けてインクが流れる流路長さの略半分になるため、第１帰還連結流路５１における圧力損失を低減できる。第２帰還連結流路５２についても、同様である。
【００５８】
第１供給連結流路４１及び第２供給連結流路４２は、それぞれ、少なくとも一部がダンパ膜４５で画定されている（図４参照）。これにより、複数の供給流路３１間（ひいては、複数の個別流路２０間）の流体的クロストークを抑制できる。
【００５９】
第１帰還連結流路５１及び第２帰還連結流路５２は、それぞれ、少なくとも一部がダンパ膜５５で画定されている（図４参照）。これにより、複数の帰還流路３２間（ひいては、複数の個別流路２０間）の流体的クロストークを抑制できる。また、各供給連結流路４１，４２に設けられたダンパ膜４５に比べ、各帰還連結流路５１，５２に設けられたダンパ膜５５の方が、複数の個別流路２０間の流体的クロストークの抑制効果が高い。したがって、上記構成によれば、複数の個別流路２０間の流体的クロストークをより効果的に抑制できる。
【００６０】
第１供給連結流路４１、第２供給連結流路４２、第１帰還連結流路５１及び第２帰還連結流路５２のそれぞれにおいて、ダンパ膜４５，５５は、複数の供給流路３１の入口３１ａ，３１ｂや複数の帰還流路３２の出口３２ａ，３２ｂと連通する側面以外の面（即ち、上面又は下面）に設けられている（図２、図４参照）。各連結流路４１，４２，５１，５２の上記側面には、入口３１ａ，３１ｂ又は出口３２ａ，３２ｂがあるため、ダンパ膜を配置し難い。本実施形態では、当該問題を抑制できる。
【００６１】
仮に、ダンパ膜が、連結流路４１，５１の間に位置する場合、連結流路４１，５１間にダンパ膜を支持する部材を設ける必要があり、連結流路４１，５１間の構成が複雑化し得る。この点、本実施形態では、第１供給連結流路４１が、第１帰還連結流路５１に対して直交方向の一方に位置し、第１供給連結流路４１に設けられたダンパ膜４５が、第１供給連結流路４１に対して直交方向の一方に位置する（図４参照）。第１帰還連結流路５１に設けられたダンパ膜５５は、第１帰還連結流路５１に対して直交方向の他方に位置する。これにより、上記のような問題を抑制できる。
【００６２】
上記と同様、仮に、ダンパ膜が、連結流路４２，５２の間に位置する場合、連結流路４２，５２間にダンパ膜を支持する部材を設ける必要があり、連結流路４２，５２間の構成が複雑化し得る。この点、本実施形態では、第２供給連結流路４２が、第２帰還連結流路５２に対して直交方向の一方に位置し、第２供給連結流路４２に設けられたダンパ膜４５が、第２供給連結流路４２に対して直交方向の一方に位置する。第２帰還連結流路５２に設けられたダンパ膜５５は、第２帰還連結流路５２に対して直交方向の他方に位置する。これにより、上記のような問題を抑制できる。
【００６３】
仮に、各連結流路４１，４２，５１，５２に対して配列方向に長尺な１つのダンパ膜を設ける場合、各連結流路４１，４２，５１，５２におけるダンパ性能を調整し難い。また、配列方向に長尺な１つのダンパ膜を平らに接着するのは困難であり、ダンパ膜の平面度によって流路の体積が変化し得る。この点、本実施形態では、各連結流路４１，４２，５１，５２に対して配列方向に互いに離隔した５つのダンパ膜４５，５５が設けられている（図５参照）。そのため、各連結流路４１，４２，５１，５２におけるダンパ性能を、５つのダンパ膜４５，５５の個別の特性に応じて、調整し易い。また、配列方向の長さが比較的小さい５つのダンパ膜４５，５５を用いることで、接着が困難な問題や、流路の体積が変化し得る問題を抑制できる。
【００６４】
複数の供給流路３１及び複数の帰還流路３２は、それぞれ、少なくとも一部がダンパ膜で画定されている（図３参照）。これにより、複数の個別流路２０間の流体的クロストークを抑制できる。
【００６５】
＜第２実施形態＞
続いて、図７を参照し、本発明の第２実施形態に係るヘッド２０１について説明する。本実施形態は、連結流路４１，４２，５１，５２の配置が、第１実施形態と異なる。
【００６６】
具体的には、第１実施形態では、延在方向において、第１供給連結流路４１と第２供給連結流路４２との間に、第１帰還連結流路５１及び第２帰還連結流路５２が位置する（図２参照）。
【００６７】
本実施形態では、延在方向において、第１帰還連結流路５１と第２帰還連結流路５２との間に、第１供給連結流路４１及び第２供給連結流路４２が位置する。
【００６８】
仮に、延在方向において、第１帰還連結流路５１と第２帰還連結流路５２との間に第１供給連結流路４１が位置し、第２供給連結流路４２が第２帰還連結流路５２よりも延在方向の他方に位置する場合や、延在方向において、第１帰還連結流路５１と第２帰還連結流路５２との間に第２供給連結流路４２が位置し、第１供給連結流路４１が第１帰還連結流路５１よりも延在方向の一方に位置する場合、第１供給連結流路４１と第２供給連結流路４２との間、及び、第１帰還連結流路５１と第２帰還連結流路５２との間で、圧力損失のばらつきが生じ易い。また、上記の場合において、流路基板１１の延在方向及び配列方向の中心を通る直交方向に沿った軸回りに流路基板１１を１８０度回転させると、供給連結流路４１，４２と帰還連結流路５１，５２との配置構成が変化し、各連結流路と貯留室７ａとの連通に不具合が生じ得る。この点、本実施形態では、延在方向において、第１帰還連結流路５１と第２帰還連結流路５２との間に、第１供給連結流路４１及び第２供給連結流路４２が位置する。これにより、上記のような問題を抑制できる。
【００６９】
＜第３実施形態＞
続いて、図８を参照し、本発明の第３実施形態に係るヘッド３０１について説明する。本実施形態は、供給口及び帰還口の構成が、第１実施形態と異なる。
【００７０】
具体的には、第１実施形態において、第１供給連結流路４１及び第２供給連結流路４２は、それぞれ複数の供給流路３１の連結部を挟む位置に設けられた２つの供給口４１ｘ，４１ｙ；４２ｘ，４２ｙを介して貯留室７ａと連通し、第１帰還連結流路５１及び第２帰還連結流路５２は、それぞれ複数の帰還流路３２の連結部を挟む位置に設けられた２つの帰還口５１ｘ，５１ｙ；５２ｘ，５２ｙを介して貯留室７ａと連通する（図２参照）。
【００７１】
本実施形態において、第１供給連結流路４１及び第２供給連結流路４２は、それぞれ複数の供給流路３１の連結部に対して配列方向の一方に設けられた供給口４１ｘ，４２ｘを介して貯留室７ａと連通し、第１帰還連結流路５１及び第２帰還連結流路５２は、それぞれ複数の帰還流路３２の連結部に対して配列方向の一方に設けられた帰還口５１ｘ，５２ｘを介して貯留室７ａと連通する。
【００７２】
仮に、供給口４１ｘ，４２ｘが複数の供給流路３１の連結部に対して配列方向の一方、帰還口５１ｘ，５２ｘが複数の帰還流路３２の連結部に対して配列方向の他方に設けられた場合、複数の個別流路２０のうち、配列方向において供給口４１ｘ，４２ｘに近いものほど、個別流路２０の入口２０ａ及び出口２０ｂに加わる圧力が共に大きく、配列方向において供給口４１ｘ，４２ｘから遠いもの（即ち、帰還口５１ｘ，５２ｘに近いもの）ほど、個別流路２０の入口２０ａ及び出口２０ｂに加わる圧力が共に小さくなる。この結果、各個別流路２０に加わる圧力が分布する範囲が大きくなり、メニスカスを保持できない場合がある。この点、本実施形態では、供給口４１ｘ，４２ｘが複数の供給流路３１の連結部に対して配列方向の一方、かつ、帰還口５１ｘ，５２ｘが複数の帰還流路３２の連結部に対して配列方向の一方に設けられたことで、上記のような問題を抑制できる。
【００７３】
＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。
【００７４】
上述の実施形態では、供給連結流路及び帰還連結流路の双方が設けられている。しかしながら、帰還連結流路が省略された構成（本発明の第１観点）や、供給連結流路が省略された構成（本発明の第２観点）でもよい。
【００７５】
連結流路間の延在方向の位置関係は、特に限定されない。例えば、延在方向において、第１供給連結流路と第２供給連結流路との間に第１帰還連結流路が位置し、第２帰還連結流路が第２供給連結流路よりも延在方向の他方に位置してもよい。延在方向において、第１供給連結流路と第２供給連結流路との間に第２帰還連結流路が位置し、第１帰還連結流路が第１供給連結流路よりも延在方向の一方に位置してもよい。また、延在方向において、第１帰還連結流路と第２帰還連結流路との間に第１供給連結流路が位置し、第２供給連結流路が第２帰還連結流路よりも延在方向の他方に位置してもよい。延在方向において、第１帰還連結流路と第２帰還連結流路との間に第２供給連結流路が位置し、第１供給連結流路が第１帰還連結流路よりも延在方向の一方に位置してもよい。或いは、第１供給連結流路及び第１帰還連結流路が、延在方向に互いに同じ位置にあり、直交方向に重なってもよい。同様に、第２供給連結流路及び第２帰還連結流路が、延在方向に互いに同じ位置にあり、直交方向に重なってもよい。
【００７６】
供給口及び帰還口の数や位置は、特に限定されない。例えば、第３実施形態（図８）において、供給口４１ｘ，４２ｘが複数の供給流路３１の連結部に対して配列方向の他方に位置し、帰還口５１ｘ，５２ｘが複数の帰還流路３２の連結部に対して配列方向の一方に位置してもよい。また、第３実施形態（図８）において、供給口４１ｘが複数の供給流路３１の連結部に対して配列方向の一方に位置し、帰還口５１ｘが複数の帰還流路３２の連結部に対して配列方向の一方に位置し、供給口４２ｘが複数の供給流路３１の連結部に対して配列方向の他方に位置し、帰還口５２ｘが複数の帰還流路３２の連結部に対して配列方向の他方に位置してもよい。或いは、供給口及び帰還口が、それぞれ、供給連結流路及び帰還連結流路の中央（当該流路が延びる方向の中央）に位置してもよい。
【００７７】
各連結流路において、供給流路の入口や帰還流路の出口と連通する面に、ダンパ膜を設けてもよい。
【００７８】
第１供給連結流路と第１帰還連結流路との間に、ダンパ膜を設けてもよい。第２供給連結流路と第２帰還連結流路との間に、ダンパ膜を設けてもよい。これらの場合において、流路間に１枚のダンパ膜を設けると、流路間で圧力波を打ち消し合うことができる。或いは、流路間に、直交方向に互いに離隔した２枚のダンパ膜を設けると、２枚のダンパ膜間の空間による圧力波の減衰効果が得られる。
【００７９】
各連結流路に対し、配列方向に互いに離隔した複数のダンパ膜を設けることに限定されず、配列方向に長尺な１枚又は２枚のダンパ膜を設けてもよい。
【００８０】
各連結流路、供給流路及び帰還流路に、ダンパ膜を設けなくてもよい。
【００８１】
各連結流路、供給流路及び帰還流路における直交方向の位置関係は、特に限定されない。例えば、供給連結流路及び帰還連結流路が、直交方向に互いに同じ位置にあってもよい。供給連結流路が帰還連結流路に対して下方（直交方向の他方）に位置してもよい。供給流路及び帰還流路が、直交方向に互いに同じ位置にあってもよい。供給流路が帰還流路に対して下方に位置してもよい。
【００８２】
上述の実施形態（図２）では、配列方向に互いに隣接する２つの個別流路２０の列の間に配置された供給流路３１又は帰還流路３２が、当該２つの列に属する個別流路２０に連通している。しかしながら、これに限定されず、個別流路２０の列毎に、１組の供給流路３１及び帰還流路３２が配置されてもよい。
【００８３】
供給流路の数及び帰還流路の数は、それぞれ２つ以上であればよい。
【００８４】
複数の個別流路は、列をなすことに限定されず、ランダムに配置されてもよい。
【００８５】
各個別流路の構成（例えば、圧力室の形状、圧力室とノズルとの連通態様）は、特に限定されない。例えば、圧力室は、延在方向及び配列方向に沿った平面において、正方形、平行四辺形、菱形、正円形、楕円形等であってもよい。また、ノズルの直上に、圧力室が設けられることに限定されず、圧力室とノズルとを連通させる別の流路が設けられてもよい。各個別流路に含まれるノズルの数及び圧力室の数は、それぞれ、１つに限定されず、２つ以上であってもよい。
【００８６】
各個別流路における入口及び出口の位置は、特に限定されない。例えば、上述の実施形態（図２）では、入口２０ａ及び出口２０ｂが圧力室２２の中心点Ｏに関して対称に配置されているが、入口２０ａ及び出口２０ｂが、圧力室２２の配列方向の中心を通る延在方向に沿った軸に関して対称に配置されてもよい。入口２０ａ及び出口２０ｂが、直交方向に互いに同じ位置にあってもよい。入口２０ａが出口２０ｂに対して下方（直交方向の他方）に位置してもよい。また、上述の実施形態では、流入路２３及び流出路２４が、圧力室２２の配列方向に互いに対向する２つの辺から、それぞれ配列方向に延びている。しかしながら、流入路２３及び流出路２４が、圧力室２２の延在方向に対向する２つの辺から延び、屈曲又は湾曲して供給流路３１及び帰還流路３２のそれぞれに接続してもよい。流入路２３及び流出路２４が、直交方向に互いに同じ位置にあってもよい。流入路２３が流出路２４に対して下方に位置してもよい。
【００８７】
アクチュエータは、圧電素子を用いたピエゾ方式のものに限定されず、その他の方式（例えば、発熱素子を用いたサーマル方式、静電力を用いた静電方式等）のものであってもよい。
【００８８】
ヘッドは、ライン式に限定されず、シリアル式（紙幅方向と平行な走査方向に移動しつつノズルから吐出対象に対して液体を吐出する方式）であってもよい。
【００８９】
吐出対象は、用紙に限定されず、例えば布、基板等であってもよい。
【００９０】
ノズルから吐出される液体は、インクに限定されず、任意の液体（例えば、インク中の成分を凝集又は析出させる処理液等）であってよい。
【００９１】
本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。
【符号の説明】
【００９２】
１；２０１；３０１  ヘッド（液体吐出ヘッド）
７ａ  貯留室
２０  個別流路
２０ａ  入口
２０ｂ  出口
２１ノズル
３１  供給流路
３１ａ  第１入口
３１ｂ  第２入口
３２  帰還流路
３２ａ  第１出口
３２ｂ  第２出口
３５，３７  ダンパ膜
４１  第１供給連結流路
４１ｘ，４１ｙ  供給口
４２  第２供給連結流路
４２ｘ，４２ｙ  供給口
４５  ダンパ膜
５１  第１帰還連結流路
５１ｘ，５１ｙ  帰還口
５２  第２帰還連結流路
５２ｘ，５２ｙ  帰還口
５５  ダンパ膜
１００  プリンタ
【図１】
2020023060.tif 000003
【図２】
2020023060.tif 000004
【図３】
2020023060.tif 000005
【図４】
2020023060.tif 000006
【図５】
2020023060.tif 000007
【図６】
2020023060.tif 000008
【図７】
2020023060.tif 000009
【図８】
2020023060.tif 000010