(57)【要約】【課題】スペース面、仕分け時間、ランニングコスト面のいずれにおいても有利な被搬送物仕分け装置及び被搬送物仕分け方法を提供する。【解決手段】複数の被搬送物を一個ずつ搬送開始位置Ｈ１から搬送終了位置Ｈ２に渡る搬送経路に沿って搬送する搬送部Ｈと、該搬送部Ｈによって搬送される被搬送物を搬送経路から外れた位置で種別毎に一時保管する複数の第１保管部３と、搬送部Ｈによって搬送終了位置Ｈ２まで搬送されてきた所定種別の被搬送物を受け取って他の場所へ搬出するための第２保管部４とを備え、第１保管部３は、搬送経路に沿って配置され、第２保管部４は、搬送終了位置Ｈ２に配置されている。【選択図】図１
2010070328.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被搬送物を種別に仕分けるための被搬送物仕分け装置であって、
前記複数の被搬送物を一個ずつ搬送開始位置から搬送終了位置に渡る搬送経路に沿って搬送する搬送部を備え、該搬送部によって搬送される被搬送物を搬送経路から外れた位置で一時保管する複数の第１保管部を該搬送経路に沿って配置し、前記搬送部によって搬送終了位置まで搬送されてきた被搬送物を受け取って他の場所へ搬出するための第２保管部を備え、
前記被搬送物の種別を記憶する記憶手段と、前記搬送部によって搬送される被搬送物の種別を該記憶手段に記憶されている種別情報に基づいて特定し該特定された種別に対応する前記第１保管部に該被搬送物を保管するための保管制御手段と、前記被搬送物が種別毎に順次保管される複数の第１保管部のうちの予め決められた設定保管数に達した第１保管部を検出する設定保管数検出手段と、該設定保管数検出手段によって検出された第１保管部に保管すべき被搬送物を該第１保管部へ保管することを止めて搬送終了位置まで搬送し該搬送された被搬送物を前記第２保管部へ保管する搬送制御手段とを備えていることを特徴とする被搬送物仕分け装置。
【請求項２】
前記搬送制御手段によって被搬送物の保管が止められている第１保管部に保管されている被搬送物を一個ずつ搬送経路に送り出し、該送り出された被搬送物を搬送終了位置まで搬送して前記第２保管部に保管するための送出し制御手段を更に備えている請求項１記載の被搬送物仕分け装置。
【請求項３】
前記搬送部は、被搬送物を搬送する搬送駆動部を備えた複数の搬送ユニットを搬送経路に沿って配設してなり、各搬送ユニットに前記第１保管部が設けられており、該第１保管部は、前記搬送駆動部にて搬送される被搬送物を下方から順次受け取って上方の保管位置まで移動させるとともに該移動された被搬送物を保管位置から下方の搬送位置まで移動させるための複数の受取部と、該受取部を上下動させるための昇降駆動部とを備えている請求項２記載の被搬送物仕分け装置。
【請求項４】
前記搬送経路で隣り合う搬送ユニット間に補助搬送ユニットを備えている請求項３記載の被搬送物仕分け装置。
【請求項５】
複数の被搬送物を種別に仕分けるための被搬送物仕分け装置であって、
前記複数の被搬送物を一個ずつ搬送開始位置から搬送終了位置に渡る搬送経路に沿って搬送する搬送部と、該搬送部によって搬送される被搬送物を搬送経路から外れた位置で前記種別毎に一時保管する複数の第１保管部と、前記搬送部によって搬送終了位置まで搬送されてきた所定種別の被搬送物を受け取って他の場所へ搬出するための第２保管部とを備え、
前記第１保管部は、前記搬送経路に沿って配置され、前記第２保管部は、前記搬送終了位置に配置されていることを特徴とする被搬送物仕分け装置。
【請求項６】
複数の被搬送物を複数の種別に仕分けるための被搬送物仕分け方法であって、
前記複数の被搬送物を一個ずつ搬送開始位置から搬送終了位置に渡る搬送経路に沿って搬送し、該搬送される被搬送物を種別毎に仕分けて一時保管し、
種別毎に一時保管される被搬送物の保管数が予め設定された設定保管数に達すると、その達した種別の被搬送物を一時保管しないで搬送終了位置まで搬送し、該搬送終了位置まで搬送された被搬送物を受け取って保管することを特徴とする被搬送物仕分け方法。
【請求項７】
前記一次保管されている被搬送物の保管数が前記設定保管数に達すると、該一時保管されている被搬送物を一個ずつ搬送経路に送り出して搬送終了位置まで搬送し、該搬送された被搬送物と該一時保管しないで搬送終了位置まで搬送される同一の種別の被搬送物とを順次受け取って保管することを特徴とする請求項６記載の被搬送物仕分け方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の被搬送物を複数の種別に仕分けるための被搬送物仕分け装置及び被搬送物仕分け方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶の基板を製造している工場では、製造された基板は、品質に基づいてランク付けがされ、各基板に設けられたＩＤタグにランク情報が付与された後、カセットと言われる保管部に順次保管される。
このランク情報は、例えば品質毎に、Ａランク、Ｂランク、…のように区別され、基板の種類や工程によっては８０種類以上に及ぶ場合もある。
このため、保管部には色々な種別（ランク）の基板が混在して保管されることとなる。
従って、従来では、保管部に保管されている基板を種別毎に仕分けるために、該基板を種別毎に設けられた別の保管部に仕分けて保管し直していた。
例えば、特許文献１では、仕分けを行うための基板が混在して保管されたカセットと、仕分けたい種別分の空のカセットとを一列に配置し、それら一列に配置されたカセット群の前方にカセット群と平行に移動するように搬送ロボットを設置し、仕分けを行うための基板が混在して保管されたカセットの中から搬送ロボットが基板を一枚ずつ取り出し、その取り出した基板を保管したいカセットの位置まで搬送ロボットを移動させて保管する技術が開示されている。
【特許文献１】特開平８−２６８５１２号公報（図１参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１の構成では、複数のカセットを一列に配置するスペースの他に、搬送ロボットがカセットと平行に移動するための別の搬送ロボット用の移動スペースが必要になり、スペース効率が悪い不都合があった。
また、一枚の基板を搬送ロボットが空のカセットまで移動して保管した後、再度仕分けを行う基板が詰まったカセットまで搬送ロボットを移動させなければならず、仕分け時間が多くかかるだけでなく、搬送ロボットを往復移動させるためのランニングコストが多くかかる不都合があった。
【０００４】
本発明は、前記問題に鑑みてなされたもので、スペース面、仕分け時間、ランニングコスト面のいずれにおいても有利な被搬送物仕分け装置及び被搬送物仕分け方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、複数の被搬送物を種別に仕分けるための被搬送物仕分け装置であって、前記複数の被搬送物を一個ずつ搬送開始位置から搬送終了位置に渡る搬送経路に沿って搬送する搬送部を備え、該搬送部によって搬送される被搬送物を搬送経路から外れた位置で一時保管する複数の第１保管部を該搬送経路に沿って配置し、前記搬送部によって搬送終了位置まで搬送されてきた被搬送物を受け取って他の場所へ搬出するための第２保管部を備え、前記被搬送物の種別を記憶する記憶手段と、前記搬送部によって搬送される被搬送物の種別を該記憶手段に記憶されている種別情報に基づいて特定し該特定された種別に対応する前記第１保管部に該被搬送物を保管するための保管制御手段と、前記被搬送物が種別毎に順次保管される複数の第１保管部のうちの予め決められた設定保管数に達した第１保管部を検出する設定保管数検出手段と、該設定保管数検出手段によって検出された第１保管部に保管すべき被搬送物を該第１保管部へ保管することを止めて搬送終了位置まで搬送し該搬送された被搬送物を前記第２保管部へ保管する搬送制御手段とを備えていることを特徴としている。
また、複数の被搬送物を複数の種別に仕分けるための被搬送物仕分け方法であって、前記複数の被搬送物を一個ずつ搬送開始位置から搬送終了位置に渡る搬送経路に沿って搬送し、該搬送される被搬送物を種別毎に仕分けて一時保管し、種別毎に一時保管される被搬送物の保管数が予め設定された設定保管数に達すると、その達した種別の被搬送物を一時保管しないで搬送終了位置まで搬送し、該搬送終了位置まで搬送された被搬送物を受け取って保管することを特徴とする被搬送物仕分け方法であってもよい。
上記構成の被搬送物仕分け装置及び被搬送物仕分け方法によれば、複数の被搬送物を搬送経路に沿って搬送するだけで、それら被搬送物を複数の第１保管部へ振り分けて種別毎に一時保管することができる。前記被搬送物の保管中に、特定の第１保管部の保管数が設定保管数に達すると、設定保管数に達した特定の第１保管部への被搬送物の保管を止める。保管を止めた前記被搬送物が搬送部によって搬送されると、該被搬送物は搬送終了位置まで搬送された後、第２保管部に保管される。前記被搬送物が保管された第２保管部は他の場所へ搬出される。
【０００６】
前記搬送制御手段によって被搬送物の保管が止められている第１保管部に保管されている被搬送物を一個ずつ搬送経路に送り出し、該送り出した被搬送物を搬送終了位置まで搬送して前記第２保管部に保管するための送出し制御手段を更に備えていてもよい。
上記のように、送出し制御手段が、第１保管部に保管されている被搬送物を一個ずつ送り出すことによって、該第１保管部内の被搬送物を少なくする又は該第１保管部内を空にすることができる。従って、第１保管部に被搬送物を再び保管することができ、被搬送物の仕分け作業を続行することができる。
また、前記被搬送物仕分け方法では、前記一次保管されている被搬送物の保管数が前記設定保管数に達すると、該一時保管されている被搬送物を一個ずつ搬送経路に送り出して搬送終了位置まで搬送し、該搬送された被搬送物と該一時保管しないで搬送終了位置まで搬送される同一の種別の被搬送物とを順次受け取って保管してもよい。
【０００７】
前記搬送部は、被搬送物を搬送する搬送駆動部を備えた複数の搬送ユニットを搬送経路に沿って配設してなり、各搬送ユニットに前記第１保管部が設けられており、該第１保管部は、前記搬送駆動部にて搬送される被搬送物を下方から順次受け取って上方の保管位置まで移動させるとともに該移動された被搬送物を保管位置から下方の搬送位置まで移動させるための複数の受取部と、該受取部を上下動させるための昇降駆動部とを備えていてもよい。
上記のように、第１保管部を搬送経路上に位置させることができるから、複数の搬送ユニットを配置することができるスペースを確保するだけで、搬送部のスペース及び第１保管部のスペースの２つのスペースを平面内の同一位置に配置することができる。しかも、各搬送ユニットの駆動を独立して制御することができるから、被搬送物の搬送制御を的確に行うことができる。従って、スペース面及び制御面のいずれにおいても有利になる。
【０００８】
前記搬送経路で隣り合う搬送ユニット間に補助搬送ユニットを備えていてもよい。
【０００９】
複数の被搬送物を種別に仕分けるための被搬送物仕分け装置であって、前記複数の被搬送物を一個ずつ搬送開始位置から搬送終了位置に渡る搬送経路に沿って搬送する搬送部と、該搬送部によって搬送される被搬送物を搬送経路から外れた位置で前記種別毎に一時保管する複数の第１保管部と、前記搬送部によって搬送終了位置まで搬送されてきた所定種別の被搬送物を受け取って他の場所へ搬出するための第２保管部とを備え、前記第１保管部は、前記搬送経路に沿って配置され、前記第２保管部は、前記搬送終了位置に配置されていることを特徴とする被搬送物仕分け装置であってもよい。
前記被搬送物仕分け装置では、搬送される被搬送物を第１保管部に一時保管し、第１保管部に一時保管されずに搬送終了位置まで搬送されてきた所定種別の被搬送物を第２保管部で受け取って他の場所へ搬出することができる。前記所定種別の被搬送物とは、第１保管部に一時保管される複数の種別の被搬送物のうちの一部の種別の被搬送物をいう。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、複数の被搬送物を搬送経路に沿って搬送するだけで、それら被搬送物を搬送経路内で複数の第１保管部へ振り分けて種別毎に一時保管することができるだけでなく、一時保管されずに搬送終了位置まで搬送されてきた所定種別の被搬送物を第２保管部で受け取り、受け取った所定種別の被搬送物を他の場所へ搬出することができる。
従って、被搬送物の仕分けから搬出までを搬送ロボットを用いることなく、連続して行うことができるだけでなく、搬送ロボットが移動するための移動スペースを不要にすることができるとともに、搬送ロボットをカセット間で往復移動させるためのランニングコストも不要になる。このことから、スペース面、仕分け時間、ランニングコスト面のいずれにおいても有利な被搬送物仕分け装置及び被搬送物仕分け方法を提供することができる。
また、第１保管部に保管する被搬送物が設定保管数になると、その達した種別の被搬送物を一時保管することを止めて搬送終了位置まで搬送し該搬送された被搬送物を前記第２保管部へ保管することによって、例えば第１保管部が満杯状態になった場合でも、第２保管部へ保管することができるから、被搬送物の仕分け作業を続行することができる利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の被搬送物仕分け装置の一実施形態について図面を参酌しつつ説明する。
前記被搬送物仕分け装置は、複数の被搬送物を種別毎に仕分ける装置である。前記被搬送物として、クリーンルーム内で製造・仕分け作業を行う液晶の基板を例に挙げて説明するが、その他の仕分けが必要となる電気機器などであってもよい。
【００１２】
図１は、無人工場内に、前記被搬送物仕分け装置Ｓが設置されている平面図を示す。
製造された液晶の基板は、品質が判定され、各基板に設けられたＩＤタグに種別（ランク）情報が付されてからカセット１へ順番に保管される。このとき、カセット１にどの種別の基板がどの順番で保管されたかを後述するＩＤリーダーで読み取り、保管情報を後述する記憶手段に記憶する。
そして、図１において、カセット１は直線状の搬送路２によって搬送され、２点鎖線で示す位置に来た場合に矢印Ｘのように移動され搬送開始位置Ｈ１に並設された状態となる。また、搬送終了位置Ｈ２に配置している後述する第２保管部４（Ａ），４（Ｂ）が基板で満杯になった場合には、第２保管部４は矢印Ｙのように移動され２点鎖線で示す位置まで移動すると、前記搬送路２によって所定の場所まで搬送される。
【００１３】
前記被搬送物仕分け装置Ｓは、前記カセット１からの基板を搬送開始位置Ｈ１から搬送終了位置Ｈ２に渡る搬送経路に沿って搬送する搬送部Ｈと、搬送部Ｈにて搬送される被搬送物を搬送経路から外れた位置（搬送経路の上方位置）にて一時保管する１８個の第１保管部３と、前記搬送部Ｈにて搬送終了位置まで搬送されてきた被搬送物を受け取って他の場所へ搬出するための２個の第２保管部４とを備えている。尚、前記１８個の第１保管部３はそれぞれ、対応する種別、具体的には、ランクＡ〜ランクＲのうちの対応するランクの基板を保管できるようになっている。また、前記第２保管部４（Ａ），４（Ｂ）には、何れかの第１保管部３に保管されている基板が保管されるようになっており、この実施形態ではランクＡの基板及びランクＢの基板がそれぞれ保管される。
【００１４】
前記搬送部Ｈは、図１において搬送始端部Ｈ１に位置する前記カセット１から送り出された基板を第１番目に位置する第１保管部３（Ａ）まで搬送する３台のローラコンベア５，６，７と、前記第１番目の第１保管部３（Ａ）から数えて９番目に位置する第１保管部３（Ｉ）から１０番目に位置する第１保管部３（Ｊ）まで搬送する２台のローラコンベア８，９と、第１８番目に位置する第１保管部３（Ｒ）からの基板を第２保管部４（Ａ）又は４（Ｂ）まで搬送する３台のローラコンベア１０，１１，１２とを備えている。
そして、各第１保管部３は、側面図を図７（ａ）に示すように、基板Ｚを搬送する搬送駆動部を構成する４本の駆動ローラ１３を搬送幅方向の軸芯回りに駆動回転自在に備えた搬送ユニット１４を備えており、これら搬送ユニット１４によって、第１保管部３にて形成される搬送経路に沿って基板Ｚを搬送することができるようになっている。前記各搬送ユニット１４に第１保管部３を備えることによって、搬送ユニット１４と第１保管部３とを上下方向で重複する状態で一体化している。つまり、搬送ユニット１４のスペースと第１保管部３のスペースの２つのスペースを平面内の同一位置に設置することができる。前記各駆動ローラ１３は、図６に示すように、第１保管部３の両側に立設された左右一対の固定部材１３Ｂ，１３Ｂに駆動回転自在に支持された回転軸１３Ａと、この回転軸１３Ａの長手方向に間隔をおいて回転軸１３Ａに一体回転自在に取り付けられた３個の回転体１３ａとからなっている。
【００１５】
前記第１保管部３は、図６及び図７（ａ）〜（ｄ）に示すように、前記駆動ローラ１３にて搬送される基板Ｚを下方から支持可能な受取部１５と、基板Ｚを受取部１５で支持したまま前記第１保管部３を上下動させるための昇降駆動部１６とを備えている。なお、本実施例では受取部１５を９本のワイヤで構成し、昇降駆動部１６はリンク式で構成している。
【００１６】
前記昇降駆動部１６は、前記第１保管部３の下端と床面上に設置された固定部材１３Ｃとの間に配設されたパンタグラフからなっている。
このパンタグラフは、図７（ａ）〜（ｄ）の側面図において、Ｘ字リンクの２組を上下方向で連結し、これら上下方向で連結されたリンク体を図６に示すように左右方向に間隔を置いて配置すると共に両リンク体を連結した構成になっている。前記Ｘ字リンクは、２本のリンク１６Ａ，１６Ａの中間部がピン１６Ｐを介して連結され、又、両リンク体は、６本の連結ロッド１６Ｒを介して連結されている。
なお、前記上側の２本のリンク１６Ａ，１６Ａの上端それぞれが、前記第１保管部３の下端の搬送方向前後に配設された一対のブラケット１６Ｃ，１６Ｃに前記連結ロッド１６Ｒを介して軸支され、又下側の２本のリンク１６Ａ，１６Ａの下端それぞれが、前記固定部材１３Ｃの上面の前後に配設された一対のブラケット１６Ｄ，１６Ｄに前記連結ロッド１６Ｒを介して軸支されている。
【００１７】
また、前記第１保管部３は、その枠体が図５に示すように、下部に所定間隔を置いて平行に配置した２組のフレーム１７ａ，１７ｂ、１７ｃ，１７ｄからなる矩形状の下枠１７と、上部に所定間隔を置いて平行に配置した２組のフレーム１８ａ，１８ｂ、１８ｃ，１８ｄからなる矩形状の上枠１８と、上枠１８と下枠１７との対向する角部同士をそれぞれ連結する縦フレーム１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄと、縦フレーム１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄに平行で、かつ、搬送幅方向に所定の間隔で並んでフレーム１７ａと１８ａ及び１７ｃと１８ｃをそれぞれ連結する縦フレーム２０ａ，２０ｂ，２０ｃ及び２１ａ，２１ｂ，２１ｃと、から構成される。なお、枠体の上枠１８及び下枠１７は、基板Ｚよりも外周寸法が大きく、また、縦フレーム２０ａ，２０ｂ，２０ｃ及び２１ａ，２１ｂ，２１ｃは互いに平行であり、前記所定の間隔は搬送ローラ１３が干渉しないよう搬送ローラ１３の直径よりも充分広くなっている。
そして、前記第１保管部３は、前記搬送幅方向の両側に位置する縦フレーム１９ａ，２０ａ、１９ｂ，２０ｂ、１９ｃ，２０ｃ間にそれぞれ、３本の前記ワイヤ１５を上下３箇所に同一高さ位置となるように張設して、合計９本のワイヤ１５を備えている。
このように前記枠体の搬送幅方向両端に位置するフレーム１９ａ，２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，１９ｂ及び１９ｄ，２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，１９ｃが駆動ローラ１３にて搬送される基板Ｚの搬送幅方向両端よりも外側に位置しているため、基板Ｚの搬送時に後述のように枠体が昇降しても基板Ｚが枠体に当接するようなことがなく、スムーズな搬送を行うことができるようになっている。
【００１８】
従って、図７（ａ）に示すように、基板Ｚが駆動ローラ１３上で停止した状態で、昇降駆動部１６を設定時間駆動して上昇させることにより、図７（ｂ）に示すように、前記枠体に備えさせた３本のワイヤ１５にて基板Ｚを上方の保管位置まで持ち上げるようにしている。
そして、３本のワイヤ１５が基板Ｚの搬送経路から少し上方に位置していることから、ワイヤ１５が基板Ｚの搬送に支障を来たすことがなく、良好な搬送が行えるようになっている。図７（ｃ）では、２枚目の基板Ｚを保管するために、前記同様に駆動ローラ１３上で基板Ｚが停止した状態で、更に昇降駆動部１６を設定時間駆動して上昇させることにより、２段目に備える３本のワイヤ１５にて基板Ｚを上方の保管位置まで持ち上げた場合を示している。又、図７（ｄ）では、３枚目の基板Ｚを保管するために、前記同様に駆動ローラ１３上で基板Ｚが停止した状態で、更に昇降駆動部１６を設定時間駆動して上昇させることにより、３段目に備える３本のワイヤ１５にて基板Ｚを上方の保管位置まで持ち上げた場合を示している。ここでは、３段階に枠体を昇降させることにより、３枚の基板Ｚを保管することができるようにしている。尚、図７（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、駆動ローラ１３の上面よりもワイヤ１５が少し下がった位置に位置していることにより、ワイヤ１５が基板Ｚに干渉することがなく、基板Ｚを良好に搬送することができるようになっている。
【００１９】
前記基板Ｚの保管状態が、図２に示されている。図２では、搬送経路に沿って配置された枠体が、基板Ｚの搬送ラインＬＲに対して昇降した状態を示している。そして、３枚の基板Ｚが保管された状態になっているのが、第１０番目に位置する第１保管部３（Ｊ）、第１４番目に位置する第１保管部３（Ｎ）、第１６番目に位置する第１保管部３（Ｐ）である。
又、２枚の基板Ｚが保管された状態になっているのが、第１１番目に位置する第１保管部３（Ｋ）、第１３番目に位置する第１保管部３（Ｍ）、第１５番目に位置する第１保管部３（Ｏ）、第１８番目に位置する第１保管部３（Ｒ）である。
又、基板Ｚが全く保管されていない状態になっているのが、第１２番目に位置する第１保管部３（Ｌ）、第１７番目に位置する第１保管部３（Ｑ）である。なお、図２では、基板Ｚの搬送ラインＬＲに対する枠体の上下位置を単に例示しているだけであり、図４のフローチャートによる基板Ｚの保管動作との関連性はないものとする。
【００２０】
また、前記第１保管部３は、それに保管されている３枚の基板Ｚを前記駆動ローラ１３にて搬送経路に送り出すことができるように構成されている。つまり、前記昇降駆動部１６を前記とは反対方向に設定時間駆動することにより枠体を前記のように一段ずつ下降させて、一枚ずつ基板Ｚを駆動ローラ１３の下面に接触させることで搬送経路に送り出すことができるようにしている。なお、図７では基板Ｚは３枚だけ保管可能となっているが、基板Ｚの最大保管数は、枠体の大きさやワイヤ１５の本数を変えることにより適宜変更が可能である。
【００２１】
前記被搬送物仕分け装置は、複数の基板Ｚをその種別毎に仕分けるために必要となる制御部Ｕを備えている。この制御部Ｕは、図３に示すように、製造後の基板Ｚの品質を判定し、その判定結果に基づいて決定された基板Ｚの種別（ランク）を記憶する記憶手段２２と、該記憶手段２２に記憶されている種別情報に基づいて前記搬送部Ｈにて搬送される基板Ｚの種別を特定し該特定された種別に対応する前記第１保管部３に該基板Ｚを保管するための保管制御手段２３と、前記基板Ｚが種別毎に順次保管される複数の第１保管部３のうちの設定保管数に達した第１保管部３を検出する設定保管数検出手段２４と、該設定保管数検出手段２４によって検出された第１保管部３へ新たに基板Ｚを保管することを防止し、かつ、搬送終了位置まで基板Ｚを搬送し、前記第２保管部４へ保管する搬送制御手段２５とを備えている。
前記搬送部Ｈにて搬送される基板Ｚの種別を特定するには、前記ローラコンベア５，６に備えているＩＤリーダー２６（図１参照）によって搬送される基板Ｚに付加されたＩＤ番号や種別情報を読み取ることになる。尚、前記第２保管部４は、前記第１保管部３と同一構成（図５及び図６で示す構成と同一）であり、第１保管部３と同様に図３に示す昇降駆動部２８及びローラコンベア（図７参照）を備えている。
【００２２】
また、制御部Ｕは、設定保管数（ここでは３枚）に達している第１保管部３に保管されている基板Ｚを一枚ずつ搬送経路に送り出し、搬送終了位置まで搬送して前記第２保管部４に保管するための送出し制御手段２７を更に備えている。
【００２３】
従って、基板Ｋを種別毎に各第１保管部３に保管する場合には、保管制御手段２３は、ローラコンベア５〜９及び第１保管部３のローラコンベア１３の駆動及び駆動停止を制御し、基板Ｚが例えば図７（ａ）のように保管すべき種別の第１保管部３に搬送されると、ローラコンベア１３の駆動を停止させる。そして、昇降駆動部１６を作動させて、第１保管部３を図７（ｂ）のように駆動させて基板下側をワイヤ１５で支持することによって基板Ｚを保管する。
また、特定の第１保管部３の基板Ｚが設定保管数（３枚）に達すると、該設定保管数に達した第１保管部３へ該基板Ｚを保管することを止めて第２保管部４まで搬送する。この搬送されてきた基板Ｚは、前記第２保管部４に受け取られて保管する。この場合、搬送制御手段２５は、前記ローラコンベア５〜９及び第１保管部３のローラコンベア１３を駆動する他、搬送終端側のローラコンベア１０，１１，１２及び第２保管部４のローラコンベアを駆動する。そして、前記第２保管部４に基板Ｚが移動すると、第２保管部４のローラコンベア（図示せず）の駆動を停止してから、第１保管部３と同様に第２保管部４の昇降駆動部２８を作動させて基板Ｚを保管する。実際には、前記ローラコンベア５〜１２及び第１保管部３並びに第２保管部４には、搬送される基板Ｚが位置したことを検出するセンサ（図示せず）が設けられており、それらセンサからの検出情報が前記制御部Ｕに入力されることにより、昇降駆動部１６，２８及びローラコンベア５〜１２及び第１保管部３のローラコンベア１３並びに第２保管部４のローラコンベア（図示せず）の駆動を制御するようにしている。
【００２４】
図４に示すフローチャートに基づいて前記のように構成された制御部Ｕにて基板Ｚを仕分けして所定の第１保管部３に保管する動作を説明する。
まず、図１に示す状態、つまり、基板Ｚを一時保管するための２台のカセット１，１が搬送開始位置Ｈ１に配置され、基板Ｚを他の場所に搬出するための２台の第２保管部４，４が搬送終了位置Ｈ２に配置された状態にする。
この状態になると、制御部Ｕは、仕分け開始であるか否かを判別し（ステップＳ１）、仕分け開始であると判別した場合には、搬送部Ｈの駆動を開始する（ステップＳ２）。そして、例えば、図１の２台のカセット１，１のうちの一方のカセット１から保管されている基板Ｚを一枚ずつローラコンベア５に送り出す（ステップ３）。送り出された基板Ｚは、ローラコンベア５によって次のローラコンベア６まで搬送される。搬送されてきた基板Ｚの種別情報が、ＩＤリーダー２６によって読み取られ、読み取られた種別情報は制御部Ｕに出力され、出力された種別情報が制御部Ｕによって確認される（ステップＳ４）。前記確認した種別情報に基づいて１８個の第１保管部３の中から該種別情報を有する基板Ｚを保管する第１保管部３を特定する。
そして、特定された第１保管部３に基板Ｚが到着したことが判別されると（ステップ５）、基板Ｚの搬送を停止し（ステップＳ６）、前述のように昇降駆動部１６を作動させて基板Ｚを上方の保管位置へ移動させて保管する（ステップＳ７）。このとき、前記設定保管数検出手段２４を用いて保管された第１保管部３における基板Ｚの保管数を検出し、前記特定の第１保管部３が満杯になったか否かを確認し（ステップＳ８）、満杯ではない場合には、停止している搬送部Ｈの駆動を再開して（ステップＳ９）、前述のように確認した種別情報に基づいて基板Ｚを第１保管部３に保管する。
【００２５】
前記特定の第１保管部３、例えば種別がランクＡの基板Ｚを保管している第１保管部３（搬送方向第１番目に位置する保管部）が満杯になると、搬送制御手段２５によって、前記その満杯になった第１保管部３へのランクＡの基板Ｚの保管を止め、搬送経路に沿って搬送されてくるランクＡの基板Ｚを搬送終了位置まで搬送する制御を行う。そして、ランクＡ以外の他の基板Ｚについては、種別に応じた第１保管部３へ保管するべく搬送部Ｈの駆動を再開して（ステップＳ１０）、次の基板Ｚの搬送を行う。このとき、前記送出し制御手段２７を作動させて、満杯になった特定の第１保管部３、即ち種別がランクＡの基板Ｚを保管している第１保管部３からランクＡの基板Ｚを搬送経路へ送り出す（ステップＳ１１）。前記送り出されたランクＡの基板Ｚ及びカセット１からランクＡの基板Ｚが搬送されると、前記搬送制御手段２５は、前記のように第１保管部３へのランクＡの基板Ｚの保管を止めるとともに、ランクＡの基板Ｚを第２保管部４まで搬送し、ランクＡの基板Ｚが第２保管部４に到着する（ステップＳ１２）。
ランクＡの基板Ｚが第２保管部４に到着すると、ランクＡの基板Ｚの搬送を停止し（ステップＳ１３）、第２保管部４の昇降駆動部２８を駆動して（ステップＳ１４）、第２保管部４にランクＡの基板Ｚを保管する。
【００２６】
このとき、第２保管部４におけるランクＡの基板Ｚの保管数を、前記設定保管数検出手段２４と同一構成の設定保管数検出手段（図示せず）を用いて検出し、前記特定の第２保管部４が満杯になったか否かを確認し（ステップＳ１５）、満杯ではない場合には、第１保管部３からのランクＡの基板Ｚの送り出し及びカセット１からの基板Ｚの搬送を再開して（ステップＳ９）、次に保管する基板Ｚを前述同様に特定された第１保管部３へ保管するように基板Ｚを搬送する。
【００２７】
前記制御部Ｕは、前記特定の第２保管部４、つまりランクＡの基板Ｚを保管する第２保管部４が満杯になったことを判別すると、搬送部Ｈの駆動を一旦停止（ステップＳ１６）して制御を終了する。そして、前記満杯になった第２保管部４を前記搬送路２を介して他の場所まで移動するとともに、空の第２保管部４を搬送終了位置Ｈ２に補充することによって、前記仕分け作業を再開する。尚、前記説明では、一種類の基板Ｚ（ランクＡの基板Ｚ）を第２保管部４に保管して他の場所へ搬出する場合のみを説明したが、図１に示す第２番目の第１保管部３（Ｂ）がランクＢの基板Ｚで満杯になり、ランクＡの基板Ｚに続いてランクＢの基板Ｚを第２保管部４（Ｂ）に保管し、該第２保管部４（Ｂ）がランクＢの基板Ｚで満杯になると、この第２保管部４（Ｂ）を前記のように他の場所まで移動することによって、２種類の基板を他の場所へ移動することができるが、１種類又は３種類以上の基板Ｚを他の場所へ移動させる構成であってもよい。
【００２８】
前記搬送経路において隣り合う搬送ユニット間、つまり第１保管部３，３間に補助搬送ユニット（図示せず）を備えて実施することによって、補助搬送ユニットを移動させて搬送ユニット間に隙間を持たせることでメンテナンスする上において有利になるだけでなく、制御の精度も多少ラフにしても基板の停止時において基板とのスリップ等に起因する基板同士の当接などが発生することを抑制し易い利点がある。前記補助搬送ユニットとして、例えば搬送ユニットよりも搬送長さが短い搬送ユニットから構成し、その補助搬送ユニットをフリーローラ等の非駆動式の案内ユニットで構成することが好ましいが、駆動ローラ等からなる駆動案内装置で構成することもできる。
【００２９】
図３及び図４では、満杯になった第１保管部３の基板Ｚを仕分け制御中に送出し制御手段２７によって送り出す場合を示したが、図８に示すように、仕分け制御中に送出し制御を行わず（図４のステップＳ１１を省略している）、制御が一旦終了した時点で満杯になった第１保管部３の基板Ｚを第２保管部４へ送り出すようにしてもよい。尚、第１保管部３が満杯になった場合の制御について説明したが、満杯ではなく、設定数の基板Ｚが第１保管部３に保管された場合に、前記のように設定数になった第１保管部３への基板Ｚの保管を止めるようにしてもよい。また、満杯又は設定数となる具体的な数については特に限定されない。
【００３０】
また、前記第１保管部３に設定数の基板Ｚが保管されることにより、設定数となった第１保管部３への基板Ｚの保管を止める搬送制御手段２５を備えたが、搬送制御手段２５を省略してもよい。つまり、前記搬送経路に沿って配置された複数の第１保管部３と、搬送終了位置Ｈ２に配置された第２保管部４とを備え、第１保管部３に基板Ｚを一時保管しながら、この一時保管する基板Ｚのうちの所定種別の基板Ｚを第２保管部４へも順次保管するように構成してもよい。例えば第１保管部３とこれと同一種別の基板Ｚを保管する第２保管部４とに基板Ｚを交互に保管する制御であってもよい。また、第２保管部４を先に基板Ｚで満杯にしてから、この第２保管部４と同一種別の基板Ｚを保管する第１保管部３に保管するような制御をするようにしてもよい。この場合、仕分けたい総数に対して多い種別の基板Ｚを制御する前に制御部によって把握しておき、その多い種別の基板Ｚから第２保管部４に保管することによって、仕分け作業を効率よく行うことができる利点がある。
【００３１】
前記カセット１及び第２保管部４のそれぞれを、第１保管部３と同一構成のものから構成したが、異なる構成のものから構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】被搬送物仕分け装置の概略平面図である。
【図２】被搬送物仕分け装置の概略側面図である。
【図３】制御ブロック図である。
【図４】被搬送物仕分け装置の動作を示すフローチャートである。
【図５】第１保管部の上部の構成を示す概略図である。
【図６】第１保管部を基板の搬送方向から見た概略図である。
【図７】（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は第１保管部の昇降状態を示す説明図である。
【図８】被搬送物仕分け装置の別の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００３３】
１…カセット、２…搬送路、３…第１保管部、４…第２保管部、５〜１２…ローラコンベア、１３…駆動ローラ、１３Ａ…回転軸、１３ａ…回転体、１３Ｂ…固定部材、１４…搬送ユニット、１５…ワイヤ（受取部）、１６，２８…昇降駆動部、１６Ａ…リンク、１６Ｃ，１６Ｄ…ブラケット、１６Ｐ…ピン、１６Ｒ…連結ロッド、１７…下枠、１７ａ，１７ｂ，１７ａ，１７ｃ…フレーム、１８…上枠、１８ａ，１７ａ…フレーム、１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ…縦フレーム、１９ａ，２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，１９ｂ…フレーム、２２      …記憶手段、２３…保管制御手段、２４…設定保管数検出手段、２５…搬送制御手段、２６…ＩＤリーダー、２７…制御手段、Ｈ…搬送部、Ｚ…基板、Ｓ…被搬送物仕分け装置、Ｕ…制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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