(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドの損傷を防ぐ。【解決手段】インクジェット装置１００は、インクジェットヘッド１０３と、ヘッドキャップ１１１と、インクジェットヘッド１０３の駆動を制御可能とされ、インクジェットヘッド１０３をヘッドキャップ１１１に嵌合した保護位置と、ヘッドキャップ１１１から離脱した離脱位置との間で移動させる主制御装置１２０と、インクジェットヘッド１０３が保護位置と離脱位置とのいずれにあるかを検出可能なセンサ１３１と、インクジェットヘッド１０３の移動を規制可能なインターロック部１３２と、主制御装置１２０が停止された状態でセンサ１３１及びインターロック部１３２の駆動を制御可能とされ、センサ１３１から出力される検出信号に基づき、離脱位置ではインターロック部１３２を非作動とし、保護位置ではインターロック部１３２を作動させる副制御装置１３０とを備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを備えるインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドに嵌合することで前記ノズルを保護可能なヘッドキャップと、
前記インクジェットヘッドの駆動を制御可能とされ、前記インクジェットヘッドを前記ヘッドキャップに嵌合した保護位置と、前記ヘッドキャップから離脱した離脱位置との間で移動させる主制御部と、
前記インクジェットヘッドが前記保護位置と前記離脱位置とのいずれにあるかを検出可能なセンサと、
前記インクジェットヘッドの移動を規制可能なインターロック部と、
少なくとも前記主制御部が停止された状態で前記センサ及び前記インターロック部の駆動を制御可能とされ、前記センサから出力される検出信号に基づき、前記インクジェットヘッドが前記離脱位置にある場合には前記インターロック部を非作動とし、前記インクジェットヘッドが前記保護位置にある場合には前記インターロック部を作動させる副制御部とを備えるインクジェット装置。
【請求項２】
前記インクジェットヘッドは、前記ヘッドキャップに対する嵌合方向に沿う方向と、前記嵌合方向と交差する方向とにそれぞれ移動可能とされるのに対し、前記インターロック部は、前記保護位置とされた前記インクジェットヘッドが前記嵌合方向に沿う方向に移動するのは許容するものの、前記嵌合方向と交差する方向に移動するのを規制可能とされており、
前記副制御部は、前記主制御部が駆動された状態でも前記センサ及び前記インターロック部の駆動を制御可能とされている請求項１記載のインクジェット装置。
【請求項３】
前記インクジェットヘッドが前記離脱位置と前記保護位置とのいずれにあるかを報知可能な報知部を備え、前記副制御部は、前記センサから出力される検出信号に基づいて前記報知部の駆動を制御可能とされる請求項１または請求項２記載のインクジェット装置。
【請求項４】
前記副制御部は、前記インクジェットヘッドが前記保護位置にある場合は前記報知部を非作動とし、前記インクジェットヘッドが前記離脱位置にある場合に、前記報知部を作動させるよう制御する請求項３記載のインクジェット装置。
【請求項５】
前記主制御部と前記副制御部とが互いに独立した電源からの電力供給により駆動される請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のインクジェット装置。
【請求項６】
前記センサは、一定の投射方向へ光を投射する投光部と、前記投光部に対して対向状に配されるとともに前記投光部からの光を受光可能な受光部とを備える請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のインクジェット装置。
【請求項７】
面内に複数の着色部を配置した液晶用カラーフィルタ基板を処理するのに用いられるものであって、前記インクジェットヘッドは、前記ノズルから前記着色部を構成するインクを吐出可能とされる請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のインクジェット装置。
【請求項８】
前記主制御部は、前記液晶用カラーフィルタ基板における前記着色部に生じた欠陥に対して前記インクを塗布して前記欠陥を修正するよう、前記インクジェットヘッドの駆動を制御可能とされる請求項７記載のインクジェット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルを構成するカラーフィルタの修正に用いられるインクジェット装置の一例として下記特許文献１に記載されたものが知られている。このものは、移動および停止を繰り返しながらカラーフィルタを搬送するステージと、ステージによって搬送されるカラーフィルタに対して欠陥部への液滴の塗布を行う液滴塗布機構ユニットとを備えている。この液滴塗布ユニットは、ステージによるカラーフィルタの搬送停止中にカラーフィルタに対して液滴の塗布を行うものとされる。
【特許文献１】特開２００７−１０１７５８公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、一般的にインクジェット装置は、インクの液滴を吐出する多数のノズルを有したインクジェットヘッドを備えるとともに、ノズル内のインクが乾燥するのを防ぐため、インクジェットヘッドの先端部に嵌合するヘッドキャップを備えている。そして、インクジェットヘッドは、インクを吐出しない待機状態では、ヘッドキャップに嵌合した保護位置に配されるよう駆動制御される。
【０００４】
その一方、インクジェットヘッドは、ノズルに目詰まりなどの不具合が生じる場合があり、その場合は適宜メンテナンス作業を行う必要がある。このメンテナンス作業は、インクジェット装置の主電源をＯＦＦにした状態で行うのであるが、作業内容によってはインクジェットヘッドを移動させる場合がある。このとき、インクジェットヘッドがヘッドキャップに嵌合した状態（保護位置）のまま、誤ってインクジェットヘッドをスライドさせると、インクジェットヘッドが損傷してしまうおそれがあった。
【０００５】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、インクジェットヘッドの損傷を防ぐことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のインクジェット装置は、複数のノズルを備えるインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドに嵌合することで前記ノズルを保護可能なヘッドキャップと、前記インクジェットヘッドの駆動を制御可能とされ、前記インクジェットヘッドを前記ヘッドキャップに嵌合した保護位置と、前記ヘッドキャップから離脱した離脱位置との間で移動させる主制御部と、前記インクジェットヘッドが前記保護位置と前記離脱位置とのいずれにあるかを検出可能なセンサと、前記インクジェットヘッドの移動を規制可能なインターロック部と、少なくとも前記主制御部が停止された状態で前記センサ及び前記インターロック部の駆動を制御可能とされ、前記センサから出力される検出信号に基づき、前記インクジェットヘッドが前記離脱位置にある場合には前記インターロック部を非作動とし、前記インクジェットヘッドが前記保護位置にある場合には前記インターロック部を作動させる副制御部とを備える。
【０００７】
このようにすれば、主制御部によりインクジェットヘッドの駆動を制御することで、インクジェットヘッドをヘッドキャップに嵌合した保護位置と、ヘッドキャップから離脱した離脱位置との間で移動させることができる。一方、例えばメンテナンスなどの事情により、主制御部を停止した状態で手動でインクジェットヘッドを移動させようとする場合があるが、その場合でも副制御部によりセンサから出力される検出信号に基づいてインターロック部の駆動が制御されている。すなわち、インクジェットヘッドが離脱位置にある場合は、移動させても支障がないので、インターロック部を非作動としてインクジェットヘッドの移動を許容する。その一方で、インクジェットヘッドが保護位置にある場合は、インターロック部を作動させてインクジェットヘッドの移動を規制することで、ヘッドキャップに嵌合した状態のインクジェットヘッドを不用意に移動させてノズルなどを損傷させるといった問題が生じるのを回避することができる。
【０００８】
本発明の実施態様として、次の構成が好ましい。
（１）前記インクジェットヘッドは、前記ヘッドキャップに対する嵌合方向に沿う方向と、前記嵌合方向と交差する方向とにそれぞれ移動可能とされるのに対し、前記インターロック部は、前記保護位置とされた前記インクジェットヘッドが前記嵌合方向に沿う方向に移動するのは許容するものの、前記嵌合方向と交差する方向に移動するのを規制可能とされており、前記副制御部は、前記主制御部が駆動された状態でも前記センサ及び前記インターロック部の駆動を制御可能とされている。このようにすれば、主制御部が駆動されている状態で、何らかの不具合（例えば駆動制御用ソフトウェアのバグなど）に因り保護位置にあるインクジェットヘッドが誤って嵌合方向と交差する方向に移動されようとした場合でも、副制御部によりセンサからの検出信号に基づいてインターロック部の駆動を制御しているので、上記のようなインクジェットヘッドの誤移動を防止することができる。
【０００９】
（２）前記インクジェットヘッドが前記離脱位置と前記保護位置とのいずれにあるかを報知可能な報知部を備え、前記副制御部は、前記センサから出力される検出信号に基づいて前記報知部の駆動を制御可能とされる。このようにすれば、インクジェットヘッドが離脱位置と保護位置とのいずれにあるかを作業者に報知することができる。
【００１０】
（３）前記副制御部は、前記インクジェットヘッドが前記保護位置にある場合は前記報知部を非作動とし、前記インクジェットヘッドが前記離脱位置にある場合に、前記報知部を作動させるよう制御する。このようにすれば、報知部の作動をもって、インクジェットヘッドを手動で移動させることができる旨を作業者に報知することができる。仮に離脱位置にある場合と保護位置にある場合との双方において報知部を異なる態様で作動させる場合と比べると、作業者に与える指示を単純化することができ、作業の効率化を図ることができる。
【００１１】
（４）前記主制御部と前記副制御部とが互いに独立した電源からの電力供給により駆動される。仮に電源を共通化し、主制御部及び副制御部に対する電力供給の是非を回路的に制御した場合には回路の故障により誤って副制御部が停止されるおそれがあるのと比べると、本発明によれば、主制御部と副制御部とで電源を独立させているので、確実に副制御部を駆動状態に維持することができる。
【００１２】
（５）前記センサは、一定の投射方向へ光を投射する投光部と、前記投光部に対して対向状に配されるとともに前記投光部からの光を受光可能な受光部とを備える。このようにすれば、センサを投光部と受光部とにより構成しているから、動作安定性を高めることができる。
【００１３】
（６）面内に複数の着色部を配置した液晶用カラーフィルタ基板を処理するのに用いられるものであって、前記インクジェットヘッドは、前記ノズルから前記着色部を構成するインクを吐出可能とされる。このようにすれば、液晶用カラーフィルタ基板を処理するものに好適となる。
【００１４】
（７）前記主制御部は、前記液晶用カラーフィルタ基板における前記着色部に生じた欠陥に対して前記インクを塗布して前記欠陥を修正するよう、前記インクジェットヘッドの駆動を制御可能とされる。このようにすれば、液晶用カラーフィルタ基板の着色部に生じた欠陥を良好に修正することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、インクジェットヘッドの損傷を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
＜実施形態１＞
以下、図面を参照して本発明に係る実施形態について説明する。
図１は本発明に係るインクジェット装置による修理を経て製造された液晶パネルを備える液晶表示装置（液晶装置）について、その概略構成を分解して示す斜視図、図２は同液晶表示装置の概略構成を示す断面図、図３は同液晶表示装置の要部構成（液晶パネルの一部分）について示す断面図である。
【００１７】
図１及び図２に示した液晶表示装置１０は、矩形をなす液晶パネル１１と、外部光源であるバックライト装置１２とを備え、これらがベゼル１３などにより一体的に保持されるようになっている。
バックライト装置１２は、所謂直下型のバックライト装置であって、液晶パネル１１のパネル面（表示面）の背面直下に、当該パネル面に沿って光源（ここでは冷陰極管１７）が並列配置された構成を具備している。バックライト装置１２は、上面側が開口した矩形の略箱型をなす金属製のシャーシ１４と、シャーシ１４の開口部を覆うようにして取り付けられる複数の光学部材１５（図示下側から順に拡散板、拡散シート、レンズシート、光学シート）と、これら光学部材１５をシャーシ１４に保持するためのフレーム１６と、シャーシ１４内に収容されるランプである冷陰極管１７と、冷陰極管１７の両端部を保持するためのゴム製（例えばシリコンゴム製）のホルダ１８と、冷陰極管１７群及びホルダ１８群を一括して覆うランプホルダ１９と、冷陰極管１７における両端部を除いた途中の部分を保持するためのランプクリップ２０とを備える。
【００１８】
液晶パネル１１は、図３に示すように、一対の基板３０，４０が所定のギャップを隔てた状態で貼り合わせられるとともに、両基板３０，４０間に液晶が封入された構成とされ、当該液晶により液晶層５０が形成されている。
基板４０は素子基板（アクティブマトリクス基板）であって、ガラス基板４１と、ガラス基板４１の液晶層５０側に形成された薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）６０と、当該薄膜トランジスタ６０に対して電気的に接続された画素電極４４と、これら薄膜トランジスタ６０及び画素電極４４の液晶層５０側に形成された配向膜４５と、を備えている。また、ガラス基板４１の液晶層５０側とは反対側には偏光板４２が配されている。
【００１９】
画素電極４４は例えばＩＴＯ（インジウム錫酸化物）等の透明導電膜からなり、素子基板４０の液晶層５０側にマトリクス状のパターンで形成されている。詳しくは、薄膜トランジスタ６０のドレイン電極（図示略）と接続され、当該薄膜トランジスタ６０のスイッチング作動により選択的に電圧が印加されるものとなっている。また、配向膜４５は例えばポリイミドのラビング配向膜から構成されており、偏光板４２は例えば透明フィルムにヨウ素や染料を染み込ませたものを、一方向に延伸してなるものを採用している。
【００２０】
一方、基板３０はカラーフィルタ基板（対向基板）であって、ガラス基板３１と、ガラス基板３１の液晶層５０側に形成され、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の各色光を選択的に透過可能な着色部Ｒ，Ｇ，Ｂを備えたカラーフィルタ３３と、カラーフィルタ３３の液晶層５０側に形成された共通電極３４と、共通電極３４の液晶層５０側に形成された配向膜３５と、を備えている。また、ガラス基板３１の液晶層５０側とは反対側には偏光板３２が配されている。
【００２１】
カラーフィルタ３３は、着色部Ｒ，Ｇ，Ｂの境界に配されたブラックマトリクスＢＭを備え、当該ブラックマトリクスＢＭは素子基板４０の非画素部（つまり薄膜トランジスタ６０が形成された領域）を覆うように、当該非画素部に重畳して配されている。また、共通電極３４は例えばＩＴＯ（インジウム錫酸化物）等の透明導電膜からなり、対向基板３０の液晶層５０側に全面ベタ状に形成されている。また、配向膜３５は例えばポリイミドのラビング配向膜から構成されており、偏光板３２は例えば透明フィルムにヨウ素や染料を染み込ませたものを、一方向に延伸してなるものを採用している。
【００２２】
このような液晶表示装置１０の液晶パネル１１は、下記のような修正工程を経て製造されるものとなっている。なお、当該液晶パネル１１の素子基板４０及びカラーフィルタ基板３０を作成する工程は、公知の方法が採用されており、この公知の方法により作成された基板に対して所定の欠陥検査工程を行った後、欠陥が検出された場合に修正工程を行うものとしている。
【００２３】
修正工程では、図４に示すようなインクジェット装置（修正装置）１００により、欠陥の修正を行うものとしている。このインクジェット装置１００は、液晶装置の製造装置２００の一部を構成する。
図４はインクジェット装置１００の概略構成を示す斜視図であり、図５及び図６はインクジェット装置１００のブロック図を示している。また、図７〜図９は、インクジェット装置１００の動作を説明するための概略を示す正面図である。
なお、以下では、カラーフィルタ基板３０の着色部Ｒ，Ｇ，Ｂにおける混色或いは色抜け（着色がなされていない場合）等の欠陥を修正する場合について説明するものとする。
【００２４】
図５に示したインクジェット装置１００は、欠陥検出装置１９０により検出された欠陥の位置等を表す欠陥データに基づいて、欠陥基板３０の欠陥を修正するものである。なお、インクジェット装置１００による欠陥修正に先立って、レーザ照射等により欠陥部分の着色部を除去する除去工程を行うものとしている。
【００２５】
図４に示すように、インクジェット装置１００は、定盤１０１と、定盤１０１の上面にＹ軸方向に往復移動可能に設けられたステージ１０２と、定盤１０１上に固定して架設された走査基台１０８と、走査基台１０８に対してＸ軸方向に往復移動可能に設けられたインクジェットヘッド１０３と、このインクジェットヘッド１０３に一体に取り付けられた観察カメラ１０４とを備えている。
【００２６】
ステージ１０２のＸＹ平面に沿った上面には、基板搬送装置（搬入装置兼搬出装置；図５参照）１７０によって、平板状の基板（欠陥基板）３０が載置されている。このステージ１０２は、図示しないスクリューシャフト等を介してＹ軸駆動モータ１０６と連結されている。ステージ１０２は、Ｙ軸駆動モータ１０６による駆動に伴って、Ｙ軸方向に延びる図示しない一対のガイドレールに案内されて、Ｙ軸方向に往復移動する。ステージ１０２自体は、定盤１０１上で基板３０の直交２軸の位置と姿勢を制御するための図示しないＸＹθ軸を備える。
【００２７】
走査基台１０８は、定盤１０１の上面のうちステージ１０２のＹ軸方向の移動経路の両側に相当する位置に立設された一対のコラム部１０８ａ，１０８ｂと、そのコラム部１０８ａ，１０８ｂの頂部に架けわたされたビーム部１０８ｃとを有する。ビーム部１０８ｃには、スライダ１０９がＸ軸方向に往復移動可能に取り付けられている。このスライダ１０９は、コラム部１０８ａの頂部に設けられたＸ軸駆動モータ１０７による駆動に伴って、Ｘ軸方向に往復移動する。ビーム部１０８ｃは、コラム部１０８ａ，１０８ｂに対してＺ軸方向に往復移動可能に取り付けられており、Ｚ軸駆動モータ１１０による駆動に伴って、Ｚ軸方向に往復移動されるようになっている。
なお、上記したスライダ１０９及びビーム部１０８ｃ、すなわちインクジェットヘッド１０３は、その駆動を制御する主制御装置１２０及びヘッド制御部１２５が停止された状態では、外力が作用すると、Ｘ軸方向及びＺ軸方向のいずれにも自由に移動させるのが可能とされている。これにより、メンテナンス時にインクジェットヘッド１０３を交換する作業を容易に行うことができるようになっている。
【００２８】
インクジェットヘッド１０３は、Ｘ軸方向に往復移動可能なスライダ１０９並びにＺ軸方向に往復移動可能なビーム部１０８ｃを介して走査基台１０８に取り付けられている。インクジェットヘッド１０３は、スライダ１０９に対してＸ軸方向に沿って３つ並列した状態で装着されている。この例では、インクジェットヘッド１０３は、着色部（要素）Ｒ，Ｇ，Ｂの修正処理を行うために、基板３０上に着色材料を塗布する装置である。インクジェットヘッド１０３は、基板３０上に配されて着色材料を含んだインクの液滴を塗布可能な塗布位置（図７）と、基板３０上から側方に退避した待機位置（図４及び図８）とを、Ｘ軸駆動モータ１０７によってＸ軸方向に沿って移動されるとともに、塗布位置において所定の塗布タイミングに合わせて図示しないノズルから着色材料を吐出するように、後述するヘッド制御部１２５によって制御される。この制御に応じて、インクジェットヘッド１０３のノズルから基板３０上の処理目標へ向けてインクの液滴が吐出される（修正処理）。さらには、インクジェットヘッド１０３は、基板３０上から側方に退避した待機位置（図４及び図８）と、ノズルの乾燥を防止するためのヘッドキャップ１１１に嵌合した保護位置（図９）とを、Ｚ軸駆動モータ１１０によってＺ軸方向に沿って移動されるよう、ヘッド制御部１２５により制御される。ヘッドキャップ１１１には、各インクジェットヘッド１０３のうちノズルの開口を有する先端部を嵌合可能な嵌合凹部１１１ａが３つＸ軸方向に沿って並列配置されている。なお、上記した塗布位置及び待機位置は、いずれもインクジェットヘッド１０３がヘッドキャップ１１１から離脱していて非嵌合状態とされ、つまり離脱位置である点で共通している。
【００２９】
観察カメラ１０４は、インクジェットヘッド１０３による基板３０上の修正箇所をレビュー（点検）するために設けられている。そのため、観察カメラ１０４のための照明（レンズを含む）１０５は下方へ向けられている。観察カメラ１０４によって撮影された画像は、次に述べるモニタ１２６（図５参照）に表示される。
【００３０】
さらに、このインクジェット装置１００は、図５に示すように、主制御装置１２０と、この主制御装置１２０によって参照される記憶装置１２１と、画像処理部１２２と、ステージ制御部１２３と、基板位置決め制御部１２４と、ヘッド制御部１２５と、モニタ１２６とを備えるのに加え、図６に示すように、副制御装置１３０と、この副制御装置１３０によってそれぞれ駆動が制御されるセンサ１３１と、インターロック部１３２と、報知部１３３とを備えている。
【００３１】
主制御装置１２０は、図５に示すように、ＣＰＵ（中央処理ユニット）からなり、センサ１３１、インターロック部１３２及び報知部１３３を除くインクジェット装置１００全体の制御を行う。記憶装置１２１は、この例ではハードディスクドライブからなり、必要な情報を記憶する。画像処理部１２２は、観察カメラ１０４が撮影した画像を処理するとともに、良好な画像が得られるように照明１０５を制御する。ステージ制御部１２３は、Ｙ軸駆動モータ１０６を制御し、インクジェットヘッド１０３に対するステージ１０２（基板３０）のＹ軸方向についての相対的な位置関係を調整可能とされる。基板位置決め制御部１２４は、図示しないＸＹθ軸を介して、定盤１０１上で基板３０の直交２軸の位置と姿勢を制御する。ヘッド制御部１２５は、Ｘ軸駆動モータ１０７及びＺ軸駆動モータ１１０を制御し、ステージ１０２（基板３０）に対する塗布位置のインクジェットヘッド１０３のＸ軸方向についての相対的な位置関係、及びヘッドキャップ１１１に対するインクジェットヘッド１０３のＺ軸方向についての相対的な位置関係を調整可能とされる。なお、主制御装置１２０は、モニタ１２６と協働して処理結果表示部として働く。
【００３２】
副制御装置１３０は、図６に示すように、ＣＰＵ（中央処理ユニット）からなり、インクジェット装置１００のうちセンサ１３１、インターロック部１３２及び報知部１３３の制御を行う。なお、副制御装置１３０は、上記した主制御装置１２０（ヘッド制御部１２５）に電力供給する電源（主電源）とは独立した電源（副電源）からの電力供給を受けるものとされており、主制御装置１２０が停止された状態であっても駆動されるようになっている。
【００３３】
センサ１３１は、副制御装置１３０によりその駆動が制御されることで、インクジェットヘッド１０３におけるＺ軸方向についての位置を検出可能とされている。センサ１３１は、透過型の光電センサであり、図４及び図７に示すように、ＬＥＤなどの光源を内蔵していて光を投射可能な投光部１３１ａと、投光部１３１ａからの光を受光可能な受光部１３１ｂとから構成される。これら投光部１３１ａ及び受光部１３１ｂは、それぞれ異なるコラム部１０８ａ，１０８ｂの壁面上に取り付けられるとともに、Ｘ軸方向について対向状に配されている。投光部１３１ａは、副制御装置１３０により制御されることで、図７〜図９に示す二点鎖線上をＸ軸方向に沿ってほぼ真っ直ぐに光を投射するものとされる。受光部１３１ｂは、投光部１３１ａから投射された光の光路Ｌ上（図７〜図９に示す二点鎖線上）に配されるとともに、受光に伴って検出信号を副制御装置１３０に出力するものとされる。そして、互いに対向する投光部１３１ａと受光部１３１ｂとの間には、図８及び図９に示すように、検出対象であるノズルヘッド１０３が待機位置と保護位置との間を移動する際の移動経路が介在している。待機位置とされたインクジェットヘッド１０３は、図８に示すように、投光部１３１ａからの光の光路Ｌから外れるものの、保護位置とされたインクジェットヘッド１０３は、図９に示すように、投光部１３１ａからの光の光路Ｌ上に位置し、光の進行を遮っている。従って、インクジェットヘッド１０３が離脱位置（待機位置、または待機位置とＺ軸方向の位置関係が同じ塗布位置）にある場合には、受光部１３１ｂにて光が検知されて副制御装置１３０へ検出信号が出力されるのに対し、インクジェットヘッド１０３が保護位置にある場合には、受光部１３１ｂにて光が検知されず副制御装置１３０へ検出信号が出力されない。
【００３４】
インターロック部１３２は、副制御装置１３０によりその駆動が制御されることで、インクジェットヘッド１０３の移動を規制可能とされる。詳しくは、インターロック部１３２は、インクジェットヘッド１０３がＸ軸方向、つまりヘッドキャップ１１１に対する嵌合方向（Ｚ軸方向）と直交する方向について移動不能となるよう、スライダ１０９のスライド機構を機械的にロックできるようになっている。一方、インターロック部１３２は、インクジェットヘッド１０３をＺ軸方向（ヘッドキャップ１０３に対する嵌合方向に沿う方向）へ移動させる、ビーム部１０８ｃのスライド機構についてはロック不能とされる。そして、副制御装置１３０は、センサ１３１からの検出信号の有無に基づいてインターロック部１３２の駆動を制御しており、センサ１３１から検出信号が入力されれば（離脱位置）、インターロック部１３２を非作動状態とし、検出信号が入力されなければ（保護位置）、インターロック部１３２を作動状態とする。
【００３５】
報知部１３３は、副制御装置１３０によりその駆動が制御されることで、インクジェットヘッド１０３が離脱位置（待機位置または塗布位置）と、保護位置とのいずれにあるかを報知可能とされる。詳しくは、報知部１３３は、当該インクジェット装置１００外の作業者が視認可能な位置に設置されたランプ（図示せず）を備え、その点灯・消灯が副制御装置１３０により制御される。そして、副制御装置１３０は、センサ１３１からの検出信号の有無に基づいて報知部１３３の駆動を制御しており、センサ１３１から検出信号が入力されれば（離脱位置）、報知部１３３を作動させてランプを点灯状態とし、検出信号が入力されなければ、報知部１３３を非作動としてランプを消灯状態とする。これにより、報知部１３３のランプが点灯していれば、インクジェットヘッド１０３が離脱位置（待機位置または塗布位置）にあって、インターロック部１３２が作動しておらず、メンテナンス時にインクジェットヘッド１０３を移動させることが可能であることが作業者に報知される。
【００３６】
上記した構成のインクジェット装置１００は、液晶パネル１１をなすカラーフィルタ基板３０の製造工程のうち、カラーフィルタ基板３０の着色部Ｒ，Ｇ，Ｂにおける混色或いは色抜け（着色がなされていない場合）等の欠陥を修正する修正工程で用いられる。以下、修正工程において駆動される主制御装置１２０の具体的な制御について説明する。
【００３７】
修正工程では、図５に示すように、予め欠陥検出装置１９０により欠陥を検出するとともにその欠陥データを記憶装置１２１に記憶させておくとともに、レーザ照射等により欠陥部分の着色部Ｒ，Ｇ，Ｂを除去しておく。そして、基板搬送装置１７０にて欠陥が生じたカラーフィルタ基板３０をステージ１０２上に搬送し、基板位置決め制御部１２４によりカラーフィルタ基板３０をステージ１０２上にて位置決めする。それから、記憶装置１２１に記憶された欠陥データを参照しつつ、ステージ制御部１２４及びヘッド制御部１２５を駆動させ、塗布位置としたインクジェットヘッド１０３のノズルを欠陥に対して位置合わせするとともに、着色材料を含んだインクの液滴を吐出・塗布する。これにより、カラーフィルタ基板３０の欠陥が修正される。なお、欠陥の修正前後の状態を確認するには、観察カメラ１０４にて撮影された画像を画像処理部１２２にて処理し、モニタ１２６に映すようにすればよい。
【００３８】
ところで、インクジェットヘッド１０３には目詰まりなどの不具合が生じる場合があるため、定期的にメンテナンス作業を行う必要があり、場合によってはインクジェットヘッド１０３を交換することがある。このメンテナンス作業は、作業者の安全性を担保する必要から、主制御装置１２０を駆動する主電源をＯＦＦにした状態で行われる。このメンテナンスの作業内容によっては、装置内に入った作業者がインクジェットヘッド１０３を手動により移動させることがあるのだが、仮にインクジェットヘッド１０３がヘッドキャップ１１１に嵌合した状態（保護位置）のままＸ軸方向にスライドされると、インクジェットヘッド１０３がヘッドキャップ１１１に干渉して損傷を受ける可能性がある。
【００３９】
そこで、本実施形態では、主電源をＯＦＦした状態であっても、それとは独立した副電源により駆動される副制御装置１３０により適宜にインターロックがかけられるようになっている。すなわち、インクジェットヘッド１０３が保護位置に配されていた場合には（図９）、センサ１３１から検出信号が出力されないので、副制御装置１３０は、インターロック部１３２を作動状態とする。従って、保護位置とされたインクジェットヘッド１０３は、Ｘ軸方向に移動するのが規制されるので、誤って作業者が保護位置とされたインクジェットヘッド１０３をＸ軸方向に移動させようとしてもその移動が阻止される。これにより、インクジェットヘッド１０３の損傷を防止することができる。なお、保護位置とされたインクジェットヘッド１０３は、Ｚ軸方向については移動させることが可能とされているので、待機位置まで持ち来してから改めてメンテナンス作業を行えばよい。一方、インクジェットヘッド１０３がヘッドキャップ１１１から離脱した塗布位置または待機位置に配されていた場合には（図７及び図８）、センサ１３１から検出信号が出力されるので、副制御装置１３０は、インターロック部１３２を非作動状態とする。従って、塗布位置または待機位置とされたインクジェットヘッド１０３は、Ｘ軸方向及びＺ軸方向のいずれにも何ら支障なく移動させることができる。
【００４０】
副制御装置１３０は、上記のようにインターロック部１３２の駆動を制御する一方、報知部１３３の駆動についても制御している。すなわち、インクジェットヘッド１０３が塗布位置または待機位置に配されていた場合には（図７及び図８）、センサ１３１から検出信号が出力されるので、副制御装置１３０は、報知部１３３を作動させそのランプを点灯状態とする。このランプの点灯をもって作業者は、メンテナンス作業においてインクジェットヘッド１０３を自由に移動させることができる旨を予め知ることができる。一方、インクジェットヘッド１０３が保護位置に配されていた場合には（図９）、センサ１３１から検出信号が出力されないので、副制御装置１３０は、報知部１３３を非作動としランプを消灯状態とする。
【００４１】
ところで、本実施形態では、主制御装置１２０が駆動されている状態であっても、副制御装置１３０が駆動される設定とされている。従って、主制御装置１２０が駆動されている状態で、万が一に主制御装置１２０に係る駆動制御ソフトウェアにバグが生じるなどの不具合が発生し、インクジェットヘッド１０３が保護位置にあるにも拘わらず、誤ってＸ軸方向へ移動させられようとした場合でも、副制御装置１２０によりインターロック部１２２が作動状態に制御されているので、上記のような誤移動を防止することが可能とされる。なお、保護位置に配されたインクジェットヘッド１０３は、インターロック部１３２によりＸ軸方向については移動が規制されるものの、Ｚ軸方向については移動が許容されているので、主制御装置１２０の制御により待機位置へ支障なく移動可能とされている。
【００４２】
以上説明したように本実施形態のインクジェット装置１００は、複数のノズルを備えるインクジェットヘッド１０３と、インクジェットヘッド１０３に嵌合することでノズルを保護可能なヘッドキャップ１１１と、インクジェットヘッド１０３の駆動を制御可能とされ、インクジェットヘッド１０３をヘッドキャップ１１１に嵌合した保護位置と、ヘッドキャップ１１１から離脱した離脱位置との間で移動させる主制御装置１２０と、インクジェットヘッド１０３が保護位置と離脱位置とのいずれにあるかを検出可能なセンサ１３１と、インクジェットヘッド１０３の移動を規制可能なインターロック部１３２と、少なくとも主制御装置１２０が停止された状態でセンサ１３１及びインターロック部１３２の駆動を制御可能とされ、センサ１３１から出力される検出信号に基づき、インクジェットヘッド１０３が離脱位置にある場合にはインターロック部１３２を非作動とし、インクジェットヘッド１０３が保護位置にある場合にはインターロック部１３２を作動させる副制御装置１３０とを備える。
【００４３】
このようにすれば、主制御装置１２０によりインクジェットヘッド１０３の駆動を制御することで、インクジェットヘッド１０３をヘッドキャップ１１１に嵌合した保護位置と、ヘッドキャップ１１１から離脱した離脱位置との間で移動させることができる。一方、例えばメンテナンスなどの事情により、主制御装置１２０を停止した状態で手動でインクジェットヘッド１０３を移動させようとする場合があるが、その場合でも副制御装置１３０によりセンサ１３１から出力される検出信号に基づいてインターロック部１３２の駆動が制御されている。すなわち、インクジェットヘッド１０３が離脱位置にある場合は、移動させても支障がないので、インターロック部１３２を非作動としてインクジェットヘッド１０３の移動を許容する。その一方で、インクジェットヘッド１０３が保護位置にある場合は、インターロック部１３２を作動させてインクジェットヘッド１０３の移動を規制することで、ヘッドキャップ１１１に嵌合した状態のインクジェットヘッド１０３を不用意に移動させてノズルなどを損傷させるといった問題が生じるのを回避することができる。
【００４４】
より好ましくは、本実施形態では、以下に示す構成を備えている。
（１）インクジェットヘッド１０３は、ヘッドキャップ１１１に対する嵌合方向に沿う方向と、嵌合方向と交差する方向とにそれぞれ移動可能とされるのに対し、インターロック部１３２は、保護位置とされたインクジェットヘッド１０３が嵌合方向に沿う方向に移動するのは許容するものの、嵌合方向と交差する方向に移動するのを規制可能とされており、副制御装置１３０は、主制御装置１２０が駆動された状態でもセンサ１３１及びインターロック部１３２の駆動を制御可能とされている。このようにすれば、主制御装置１２０が駆動されている状態で、何らかの不具合（例えば駆動制御用ソフトウェアのバグなど）に因り保護位置にあるインクジェットヘッド１０３が誤って嵌合方向と交差する方向に移動されようとした場合でも、副制御装置１３０によりセンサ１３１からの検出信号に基づいてインターロック部１３２の駆動を制御しているので、上記のようなインクジェットヘッド１０３の誤移動を防止することができる。
【００４５】
（２）インクジェットヘッド１０３が離脱位置と保護位置とのいずれにあるかを報知可能な報知部１３３を備え、副制御装置１３０は、センサ１３１から出力される検出信号に基づいて報知部１３３の駆動を制御可能とされる。このようにすれば、インクジェットヘッド１０３が離脱位置と保護位置とのいずれにあるかを作業者に報知することができる。
【００４６】
（３）副制御装置１３０は、インクジェットヘッド１０３が保護位置にある場合は報知部１３３を非作動とし、インクジェットヘッド１０３が離脱位置にある場合に、報知部１３３を作動させるよう制御する。このようにすれば、報知部１３３の作動をもって、インクジェットヘッド１０３を手動で移動させることができる旨を作業者に報知することができる。仮に離脱位置にある場合と保護位置にある場合との双方において報知部を異なる態様で作動させる場合と比べると、作業者に与える指示を単純化することができ、作業の効率化を図ることができる。
【００４７】
（４）主制御装置１２０と副制御装置１３０とが互いに独立した電源からの電力供給により駆動される。仮に電源を共通化し、主制御装置１２０及び副制御装置１３０に対する電力供給の是非を回路的に制御した場合には回路の故障により誤って副制御装置１３０が停止されるおそれがあるのと比べると、本実施形態によれば、主制御装置１２０と副制御装置１３０とで電源を独立させているので、確実に副制御装置１３０を駆動状態に維持することができる。
【００４８】
（５）センサ１３１は、一定の投射方向へ光を投射する投光部１３１ａと、投光部１３１ａに対して対向状に配されるとともに投光部１３１ａからの光を受光可能な受光部１３１ｂとを備える。このようにすれば、センサ１３１を投光部１３１ａと受光部１３１ｂとにより構成しているから、動作安定性を高めることができる。
【００４９】
（６）面内に複数の着色部Ｒ，Ｇ，Ｂを配置したカラーフィルタ基板３０を処理するのに用いられるものであって、インクジェットヘッド１０３は、ノズルから着色部Ｒ，Ｇ，Ｂを構成するインクを吐出可能とされる。このようにすれば、カラーフィルタ基板３０を処理するものに好適となる。
【００５０】
（７）主制御装置１２０は、カラーフィルタ基板３０における着色部Ｒ，Ｇ，Ｂに生じた欠陥に対してインクを塗布して欠陥を修正するよう、インクジェットヘッド１０３の駆動を制御可能とされる。このようにすれば、カラーフィルタ基板３０の着色部Ｒ，Ｇ，Ｂに生じた欠陥を良好に修正することができる。
【００５１】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）上記した実施形態では、主制御装置を駆動させた場合でも副制御装置を駆動させるようにした場合を示したが、主制御装置が駆動される間は副制御装置を停止し、主制御装置が停止された場合にのみ副制御装置を駆動するようにしたものも本発明に含まれる。その場合、インターロック部がインクジェットヘッドの移動をＸ軸方向及びＺ軸方向のいずれについても規制するような設定とすることもできる。
【００５２】
（２）上記した実施形態では、インクジェットヘッドが離脱位置（塗布位置または待機位置）にある場合にセンサから検出信号を出力させたものを示したが、逆にインクジェットヘッドが保護位置にある場合にセンサから検出信号を出力させるようにしたものも本発明に含まれる。その場合、副制御装置には、検出信号の入力をもってインターロック部を作動させるとともに報知部を非作動とするよう制御させればよい。
【００５３】
（３）上記した実施形態では、インクジェットヘッドが離脱位置（塗布位置または待機位置）にある場合にのみセンサから検出信号を出力させたものを示したが、例えばインクジェットヘッドが離脱位置にある場合と保護位置にある場合とでセンサから異なる検出信号を出力させるようにし、それらの検出信号に基づいて副制御装置にインターロック部及び報知部の駆動を制御させるようにしたものも本発明に含まれる。
【００５４】
（４）上記した実施形態では、インクジェットヘッドが離脱位置（塗布位置または待機位置）にある場合に報知部に報知させるものを例示したが、逆にインクジェットヘッドが保護位置にある場合に報知部に報知させるようにしてもよく、そのようなものも本発明に含まれる。
【００５５】
（５）上記した実施形態では、インクジェットヘッドが離脱位置（塗布位置または待機位置）にある場合にのみ報知部に報知させるものを例示したが、インクジェットヘッドが離脱位置と保護位置とのいずれにある場合にも報知部に報知させるようにしてもよい。例えば、離脱位置にある場合はメンテナンスが可能であることを認知させるべくランプを青色に点灯させ、保護位置にある場合はメンテナンスが不能であることを認知させるべくランプを赤色に点灯させるようにしてもよい。
【００５６】
（６）上記した実施形態では、主制御装置（インクジェットヘッド）と副制御装置（センサ、インターロック部及び報知部）とに独立した別の電源から電力供給する場合を例示したが、同一の電源からの電力供給により主制御装置と副制御装置とを駆動するようにしたものも本発明に含まれる。その場合、電源をＯＮにした状態で、副制御装置への電力供給については維持しつつも主制御装置についてのみ電力供給を断つよう回路設計を工夫することで対応することができる。
【００５７】
（７）上記した実施形態では、メンテナンス時に主制御装置に電力供給する電源をＯＦＦすることで、主制御装置を停止させるものを例示したが、電力供給を維持しつつも主制御装置を一時停止させる、スリープ状態（休止状態）とするようにしたものも本発明に含まれる。
【００５８】
（８）上記した実施形態では、離脱位置とされたインクジェットヘッドがセンサの光路から外れ、保護位置とされたインクジェットヘッドがセンサの光路上に配されるものを示したが、離脱位置とされたインクジェットヘッドがセンサの光路上に配され、保護位置とされたインクジェットヘッドがセンサの光路から外れるような設定とするようにしてもよい。
【００５９】
（９）上記した実施形態では、センサとして透過型の光電センサを用いた場合を例示したが、拡散反射型の光電センサや回帰反射型の光電センサなど、他の種類の光電センサを用いることも可能である。
【００６０】
（１０）上記した実施形態では、センサとして光電式のものを用いた場合を例示したが、光電式以外にも、磁気式や圧力感知式など他の方式のセンサを用いることも可能である。
【００６１】
（１１）上記した実施形態では、カラーフィルタ基板における着色部を修正するのに用いられるものを示したが、例えば配向膜やスペーサを修正するのに用いるようにしてもよく、そのようなものも本発明に含まれる。
【００６２】
（１２）上記した実施形態では、カラーフィルタ基板の修正工程において着色部を修正するのに用いられるものを示したが、カラーフィルタ基板の製造工程において着色部を形成するのに用いるようにしてもよく、そのようなものも本発明に含まれる。同様にカラーフィルタ基板の製造工程において配向膜またはスペーサを形成するのに用いることも可能である。
【００６３】
（１３）上記した実施形態では、カラーフィルタ基板の修正工程を示したが、面内に複数の要素を配置した液晶用基板、例えば要素として面内に複数のＴＦＴや画素を備える素子基板についても、ＴＦＴや画素の欠陥を修正する際にインクジェット装置を用いて当該修正工程を採用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本実施形態の液晶表示装置の概略構成を示す斜視図
【図２】図１の液晶表示装置の概略構成を示す断面図
【図３】図１の液晶表示装置の要部構成（液晶パネルの一部分）について示す断面図
【図４】インクジェット装置の概略構成を示す斜視図
【図５】インクジェット装置における主制御装置に係る構成を示すブロック図
【図６】インクジェット装置における副制御装置に係る構成を示すブロック図
【図７】インクジェットヘッドを塗布位置とした状態のインクジェット装置の概略を示す正面図
【図８】インクジェットヘッドを待機位置とした状態のインクジェット装置の概略を示す正面図
【図９】インクジェットヘッドを保護位置とした状態のインクジェット装置の概略を示す正面図
【符号の説明】
【００６５】
３０…基板（液晶用カラーフィルタ基板）
１００…インクジェット装置
１０３…インクジェットヘッド
１１１…ヘッドキャップ
１２０…主制御装置（主制御部）
１３０…副制御装置（副制御部）
１３１…センサ
１３１ａ…投光部
１３１ｂ…受光部
１３２…インターロック部
１３３…報知部
Ｒ，Ｇ，Ｂ…着色部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2010181620.tif 000008
【図７】
2010181620.tif 000009
【図８】
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【図９】
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