(57)【要約】【課題】半導体試験装置に備えられる複数の電源をテスト対象の被試験デバイスに応じて最適にオン・オフ制御することにより消費電力の低減を図ることを目的とする。【解決手段】被試験デバイスのテストを行う複数のテストモジュールと各テストモジュールに電源を供給する複数の電源部とを備える半導体試験装置であって、前記電源部にそれぞれ備えられ、前記電源部をオンまたはオフに切り替える電源切替部と、前記被試験デバイスのテストを行うためのテストプログラムに記述されている前記テストモジュールの使用情報に基づいて、前記電源部をオンまたはオフに切り替えるための電源制御信号を生成して前記電源切替部に出力する電源制御部と、を備えている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスのテストを行う複数のテストモジュールと各テストモジュールに電源を供給する複数の電源部とを備える半導体試験装置であって、
前記電源部にそれぞれ備えられ、前記電源部をオンまたはオフに切り替える電源切替部と、
前記被試験デバイスのテストを行うためのテストプログラムに記述されている前記テストモジュールの使用情報に基づいて、前記電源部をオンまたはオフに切り替えるための電源制御信号を生成して前記電源切替部に出力する電源制御部と、
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
前記電源制御部は、
前記テストプログラムを記憶するプログラム記憶部と、
このプログラム記憶部から前記テストプログラムを読み出して、前記使用情報を解析するプログラム解析部と、
前記使用情報に基づいて前記電源制御信号を生成する電源制御信号生成部と、
を備えていることを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項３】
前記電源部は、
交流電源から直流電源に変換して直流電源を生成する電源生成部と、
前記電源生成部から直流電源を入力して、前記テストモジュールに必要な直流電源を供給する電源供給部と、
を備えていることを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項４】
前記電源制御部は、各電源生成部が出力可能な電力と各電源供給部が消費する電力との情報を記憶する電源情報記憶部を備え、
各電源供給部が消費する総電力と各電源生成部が出力可能な電力とに基づいて必要な電源生成部のみの電源をオンにするように前記電源制御信号を生成すること
を特徴とする請求項３記載の半導体試験装置。
【請求項５】
前記電源部は、前記電源部をオフに切り替えるときには、スタンバイ状態に切り替えること
を特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項６】
前記使用情報は前記テストプログラムのコンフィギュレーション情報に記述されているものであること
を特徴とする請求項２記載の半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は被試験デバイスのテストを行う半導体試験装置に関し、特に電源の供給を行う電源部を複数備えている半導体試験装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体試験装置は、被試験デバイス（以下、ＤＵＴ）に対して所定のテストを行って良否判定を行うものである。ＤＵＴには複数のピンが備えられており、半導体試験装置の複数のテストモジュール（テストチャネル）を各ピンに接続して同時にテストを行うことで、試験速度の高速化を図っている。特に、近年のＤＵＴは多ピン化の傾向にあり、半導体試験装置側に多数のテストモジュールを備えることにより、ピン数の多いＤＵＴのテストにも対応している。一方で、ピン数の少ないＤＵＴも依然としてテストの対象とされているため、テスト対象のＤＵＴはその種類によってピン数が大きく変化する。
【０００３】
従って、半導体試験装置のテストモジュールの数を多数備えておき、ピン数の多いＤＵＴに対してもピン数の少ないＤＵＴに対してもテスト可能なように対応している。このため、ピン数の多いＤＵＴであればともかく、ピン数の少ないＤＵＴのテストを行うときには使用されないテストモジュールが多数発生する。半導体試験装置に複数備えられる各テストモジュールは個別的に電源をオンまたはオフにするような構成になっておらず、一括して電源をオンまたはオフにするようにしている。このため、未使用のテストモジュールであるにもかかわらず、電源が通電されることにより無駄な電力を消費する。特に、半導体試験装置は長時間稼動状態になっていることから、未使用のテストモジュールによる消費電力は膨大なものになる。
【０００４】
この問題に対して、半導体試験装置に備えられる複数の電源を休止用と現用（常時通電用）との２つのグループに分割して、電源のオン・オフ制御を行っている技術が特許文献１に開示されている。休止用グループの電源に対してそれぞれ制御信号を入力し、制御信号に基づいて休止用グループの電源のオン・オフ制御を行っている。これにより、半導体試験装置全体の消費電力を低減させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平２００１−４７１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述した特許文献１の技術では、複数の電源を予め休止用と現用との２つのグループに分割しており、それ専用に回路を構成している。特許文献１の図１および図２に示されるように、電源（ユニット電源）および負荷ユニットをＡ系統とＢ系統とに分割し、Ａ系統とＢ系統との電源と負荷ユニットとを相互に接続する構成としている。従って、回路構成そのものの設定を伴うことから、一度設定された休止用と現用との２つのグループの電源の個数を再度設定することはできない。つまり、休止用グループと現用グループとの電源の個数は固定になる。
【０００７】
前述したように、ＤＵＴはその種類によってピン数が大きく変化し、従って使用されるテストモジュールの数も大きく変化する。このため、休止用グループと現用グループとの電源の数を固定すると、ＤＵＴの種類によって未使用のテストモジュールによる無駄な消費電力の問題は依然として生じる。例えば、特許文献１では１０００の電源のうち５００の電源を休止用グループと現用グループとに割り当てているが、ＤＵＴの種類によって使用されるテストモジュールの数が１００の場合には、現用グループの残りの４００の電源は無駄に電力を消費していることになる。従って、ＤＵＴの種類によっては依然として無駄な電力が大きく消費されていることになる。また、複数の電源を２つのグループではなく、さらに多くのグループに再分化することにより、未使用の電源を低減させることはできるが、グループを細分化することにより、回路構成が複雑化し、また実装スペースが増大することにより装置構成が大型化するという問題が生じる。
【０００８】
そこで、本発明は、半導体試験装置に備えられる複数の電源をテスト対象の被試験デバイスに応じて最適にオン・オフ制御することにより消費電力の低減を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
以上の課題を解決するため、本発明の請求項１の半導体試験装置は、被試験デバイスのテストを行う複数のテストモジュールと各テストモジュールに電源を供給する複数の電源部とを備える半導体試験装置であって、前記電源部にそれぞれ備えられ、前記電源部をオンまたはオフに切り替える電源切替部と、前記被試験デバイスのテストを行うためのテストプログラムに記述されている前記テストモジュールの使用情報に基づいて、前記電源部をオンまたはオフに切り替えるための電源制御信号を生成して前記電源切替部に出力する電源制御部と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
この半導体試験装置によれば、各電源部に電源切替部をそれぞれ設けており、テストプログラムに記述されているテストモジュールの使用情報に基づいて電源部のオフまたはオフの制御を行っているため、被試験デバイスの種類に応じて最適に電源の設定がなされる。これにより、無駄な電力消費を大幅に低減することができるようになる。
【００１１】
本発明の請求項２の半導体試験装置は、請求項１記載の半導体試験装置において、前記電源制御部は、前記テストプログラムを記憶するプログラム記憶部と、このプログラム記憶部から前記テストプログラムを読み出して、前記使用情報を解析するプログラム解析部と、前記使用情報に基づいて前記電源制御信号を生成する電源制御信号生成部と、を備えていることを特徴とする。
【００１２】
この半導体試験装置によれば、プログラム解析部がテストプログラムを解析して電源制御信号生成部が電源制御信号を生成しているため、各電源部のオン・オフ制御がなされるようになり、しかもテストプログラムの読み込み、解析および電源制御信号の生成が自動的になされるようになる。
【００１３】
本発明の請求項３の半導体試験装置は、請求項１記載の半導体試験装置において、前記電源部は、交流電源から直流電源に変換して直流電源を生成する電源生成部と、前記電源生成部から直流電源を入力して、前記テストモジュールに必要な直流電源を供給する電源供給部と、を備えていることを特徴とする。
【００１４】
この半導体試験装置によれば、電源生成部と電源供給部との２つの電源部を備えているような場合であっても、それぞれ個別的にテストプログラムに基づいて電源のオン・オフの制御ができるようになる。電源供給部の電源のオン・オフにより大幅に消費電力を低減できるようになるが、電源生成部の電源のオン・オフ制御をも行うことにより、さらに消費電力の低減を図ることができるようになる。
【００１５】
本発明の請求項４の半導体試験装置は、請求項３の半導体試験装置において、前記電源制御部は、各電源生成部が出力可能な電力と各電源供給部が消費する電力との情報を記憶する電源情報記憶部を備え、各電源供給部が消費する総電力と各電源生成部が出力可能な電力とに基づいて必要な電源生成部のみの電源をオンにするように前記電源制御信号を生成することを特徴とする。
【００１６】
この半導体試験装置によれば、複数の電源生成部のうち必要となる電源生成部を算出し、算出結果に基づいて電源制御信号を生成しているため、電源生成部の電源のオン・オフ制御を最適に且つ自動的に行うことができるようになる。
【００１７】
本発明の請求項５の半導体試験装置は、請求項１記載の半導体試験装置において、前記電源部は、前記電源部をオフに切り替えるときには、スタンバイ状態に切り替えることを特徴とする。
【００１８】
この半導体試験装置によれば、電源をオフにする場合には完全に電源の供給を停止するのではなく、スタンバイ状態に切り替えることができるようになる。スタンバイ状態は微小に電力を消費しているが、電源を完全にオフにしてはいないため、電源をオンにするときに即時にオンの状態に切り替えることが可能になる。
【００１９】
本発明の請求項６の半導体試験装置は、請求項２記載の半導体試験装置において、前記使用情報は前記テストプログラムのコンフィギュレーション情報に記述されているものであることを特徴とする。
【００２０】
この半導体試験装置によれば、テストプログラムの先頭領域に記述されているコンフィギュレーション情報を参照することにより、テストモジュールの使用情報を容易に且つ迅速に取得することができるようになる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明は、複数の電源部にそれぞれ電源切替部を設けて、テストプログラムに記述されているテストモジュールの使用情報に基づいて電源部のオン・オフ制御を行っている。これにより、ＤＵＴのテストに応じた電源部のオン・オフ制御が最適に且つ自動的にされるようになり、未使用のテストモジュールによる電源の消費が抑制され、無駄な電力消費を大幅に低減することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】半導体試験装置の概略構成図である。
【図２】テストモジュールの構成を示すブロック図であるである。
【図３】電源制御部の構成を示すブロック図である。
【図４】テストプログラムおよびテストモジュールの使用情報を示す図である。
【図５】テストモジュールと電力との関係を示す表である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態について説明する。図１において、本発明の半導体試験装置は、主に電源生成ユニット１とテストユニット２と電源制御部３とを備えて概略構成している。テストユニット２には複数のＤＵＴ４が接続されており、このテストユニット２によりＤＵＴ４のテストが行われる。ＤＵＴ４としては、ＩＣやＬＳＩ、メモリ等の任意の被試験デバイスを適用可能である。なお、図１にはＤＵＴ４を複数接続している例を示しているが、１つのＤＵＴ４を接続するものであってもよい。
【００２４】
電源生成ユニット１は商用電源を入力して交流電源から直流電源に変換しており、デジタル用電源生成ユニット５とアナログ用電源生成ユニット６とを備えている。デジタル用電源生成ユニット５はＮ（Ｎは自然数）個のデジタル用電源生成部１０−１〜１０−Ｎ（総称してデジタル用電源生成部１０とする）を備え、アナログ用電源生成ユニット６はＭ（Ｍは自然数）個のアナログ用電源生成部２０−１〜２０−Ｍ（総称してアナログ用電源生成部２０とする）を備えている。
【００２５】
デジタル用電源生成部１０はＤＵＴ４のデジタル試験を行うために必要な電源を生成するための電源部であり、入力部１１と出力部１２と電源切替部１３とを備えている。入力部１１が商用電源から交流電源を入力して、交流電源から変換された直流電源を出力部１２が出力する。従って、デジタル用電源生成部１０の内部には交流電源を直流電源に変換する機構が備えられている。電源切替部１３はデジタル用電源生成部１０をオン（稼動状態）またはオフ（停止状態）に切り替えており、この切り替え制御は電源制御部３からの電源制御信号に基づいて行う。この点については後述する。なお、図１において、入力部を「ｉｎ」として、出力部を「ｏｕｔ」として、電源切替部を「ｐｗｒ」として示している。
【００２６】
アナログ用電源生成部２０はＤＵＴ４のアナログ試験を行うために必要な電源を生成するための電源部であり、入力部２１と出力部２２と電源切替部２３とを備えている。アナログ用電源生成部２０はデジタル用電源生成部１０と同じ構成を採用しており、アナログ試験用の直流電源を生成して出力している。従って、アナログ用電源生成部２０の内部には交流電源を直流電源に変換する機構が備えられている。電源切替部３３はアナログ用電源生成部２０をオンまたはオフに切り替えている。デジタル用電源生成部１０はデジタル試験用の電力を生成し、アナログ用電源生成部２０はアナログ試験用の電力を生成する点で両者は異なる。
【００２７】
テストユニット２について説明する。テストユニット２はＸ（Ｘは自然数）個のテストモジュール３０−１〜３０−Ｘ（総称してテストモジュール３０とする）を備えて構成している。図２は各テストモジュール３０の構成について示しており、この図に示すように、テストモジュール３０は計測機能ブロック３１と電源供給ユニット３２とを備えて概略構成している。計測機能ブロック３１はＤＵＴ４のテストを行うための機能を発揮するための各種回路を備えている。
【００２８】
テストモジュール３０はＤＵＴ４のテストを行う種々の機能を発揮するテストチャネルになる。例えば、ＤＵＴ４に所定のデジタル信号を入出力して良否判定を行うデジタルファンクションモジュールやＤＵＴ４にテスト用の電源を入力する電源モジュール、ＤＵＴ４に対して入力する波形を発生させる任意波形発生モジュール、ＤＵＴ４から波形を取り込む波形デジタイザモジュール等をテストモジュール３０として適用できる。勿論、これら以外のＤＵＴ４のテストを行う任意のモジュールをテストモジュール３０として適用できる。
【００２９】
前述したように、図２に示すテストモジュール３０は電源供給ユニット３２を備えている。この電源供給ユニット３２は計測機能ブロック３１の動作、つまりテストモジュール３０の動作に必要な電源を供給しており、デジタル用電源供給ユニット３４とアナログ用電源供給ユニット３５とを備えて構成している。デジタル用電源供給ユニット３４は計測機能ブロック３１がデジタル試験を行うときに必要な電源の供給を行い、アナログ用電源供給ユニット３５はアナログ試験を行うときに必要な電源の供給を行う。
【００３０】
デジタル用電源供給ユニット３４はＹ（Ｙは自然数）個のデジタル用電源供給部４０−１〜４０−Ｙ（総称してデジタル用電源供給部４０とする）を備えている。各デジタル用電源供給部４０は計測機能ブロック３１にデジタル試験用の電源を供給する電源部であり、デジタル用電源生成部１０が生成したデジタル試験用の電力を入力している。１つのデジタル用電源供給部４０から出力される電力をＶＤとしたときに合計Ｙ×ＶＤの電力供給が可能になる。この電力を１つのデジタル用電源供給部４０により供給可能な場合には、デジタル用電源供給部４０は１つであってもよい。
【００３１】
各デジタル用電源供給部４０は入出力電源の種類が異なる以外はデジタル用電源生成部１０と同じ構成になっており、入力部４１と出力部４２と電源切替部４３とを備えている。入力部４１はデジタル用電源生成部１０が生成した電力を入力しており、計測機能ブロック３１に適した電力を出力部４２が出力する。従って、デジタル用電源供給部４０は入力した電力を計測機能ブロック３１に適した電力にする機構を備えている。電源切替部４３はデジタル用電源供給部４０のオンまたはオフの切り替え制御を行っている。
【００３２】
アナログ用電源供給ユニット３５はＺ（Ｚは自然数）個のアナログ用電源供給部５０−１〜５０−Ｚ（総称してアナログ用電源供給部５０とする）を備えている。各アナログ用電源供給部５０は計測機能ブロック３１にアナログ試験用の電源を供給する電源部であり、入力部５１と出力部５２と電源切替部５３とを備えている。各アナログ用電源供給部５０はアナログ用電源生成部２０からアナログ用電源の供給を受けて、計測機能ブロック３１がアナログ試験を行うために適した直流電源を出力している。アナログ用電源供給部５０はデジタル用電源供給部４０と同じものであり、アナログ試験用に電力を供給するのかデジタル試験用に電力を供給するのかが異なる。デジタル用電源供給部４０と同じ理由で、アナログ用電源供給部５０も１つであってもよい。また、デジタル用電源供給ユニット３４とアナログ用電源供給ユニット３５との間には両者を回路的に分離するためのアイソレーション回路３６が設けられている（図２には「Ｉｓｏｌａｔｉｏｎ」として示している）。
【００３３】
図１に戻って、電源生成ユニット１とテストユニット２との接続関係について説明する。各デジタル用電源生成部１０および各アナログ用電源生成部２０は各テストモジュール３０と相互に接続されている関係になっている。図１に示すように、各デジタル用電源生成部１０から出力された電力は合流および分岐されて各テストモジュール３０にそれぞれ入力されるようになっている。同様に、各アナログ用電源生成部２０から出力された電力は合流および分岐されて各テストモジュール３０にそれぞれ入力されるようになっている。このような接続関係にしたことにより、１または複数の任意のデジタル用電源生成部１０から１または複数の任意のテストモジュール３０にデジタル用電源を入力することができるようになる。また、１または複数の任意のアナログ用電源生成部２０から１または複数の任意のテストモジュール３０にデジタル用電源を入力することができるようになる。
【００３４】
図３を参照して、電源制御部３について説明する。電源制御部３はプログラム記憶部７１とプログラム解析部７２と電源情報記憶部７３と電源制御信号生成部７４と電源制御信号出力部７５とを備えて概略構成している。プログラム記憶部７１はＤＵＴ４のテストを行うための手順が記述されたテストプログラムを記憶している。プログラム解析部７２はプログラム記憶部７１からテストプログラムを読み出して解析を行う。電源情報記憶部７３には各テストモジュール３０の消費電力の情報および各デジタル用電源生成部１０と各アナログ用電源生成部２０とが出力可能な電力の情報が記憶されている。以下、電源情報記憶部７３が記憶する情報を電源情報とする。
【００３５】
なお、図３では、プログラム記憶部７１とプログラム解析部７２と電源情報記憶部７３と電源制御信号生成部７４と電源制御信号出力部７５とが電源制御部３に備えられるブロックとして示しているが、これらのうちプログラム記憶部７１とプログラム解析部７２と電源情報記憶部７３と電源制御信号生成部７４とについては半導体試験装置全体の制御を行うテスタコントローラに備えられるものが多い。本実施形態では、このテスタコントローラと電源制御信号出力部７５とにより電源制御部３が構成されているものとする。
【００３６】
プログラム解析部７２はテストプログラムに記述されているテストモジュールの使用情報を解析して電源制御信号生成部７４に出力する。電源制御信号生成部７４はテストモジュールの使用情報に基づいて電源制御信号を生成する。電源制御信号は、デジタル用電源生成部１０とアナログ用電源生成部２０とテストモジュール３０との電源をオフまたはオフに切り替えるための信号になる。
【００３７】
電源制御信号生成部７４は、デジタル用電源生成部１０−１〜１０−Ｎの電源切替部１３に出力される電源制御信号Ｄ１〜ＤＮ（総称して電源制御信号Ｄ）と、アナログ用電源生成部２０−１〜２０−Ｍの電源切替部２３に出力される電源制御信号Ａ１〜ＡＭ（総称して電源制御信号Ａ）と、テストモジュール３０−１〜３０―Ｘに対して出力される電源制御信号Ｍ１〜ＭＸ（総称して電源制御信号Ｍ）とを生成して出力する。テストモジュール３０にはそれぞれデジタル用電源供給部４０−１〜４０−Ｙとアナログ用電源供給部５０−１〜５０−Ｚとが備えられており、各テストモジュール３０に出力された電源制御信号Ｍが各デジタル用電源供給部４０と各アナログ用電源供給部５０とに分配される。従って、Ｙ個のデジタル用電源供給部４０とＺ個のアナログ用電源供給部５０とに対して同じ電源制御信号Ｍが入力されて、オンまたはオフの切り替え制御が行われる。
【００３８】
電源制御信号Ｄ、Ａ、Ｍはそれぞれ１ビットの信号であり、「０」を示している場合には電源をオフに切り替えるように制御を行い、「１」を示している場合には電源をオンに切り替えるように制御を行う。
【００３９】
以上の構成における動作について説明する。ＤＵＴ４のテストは、プログラム記憶部７１に記憶されているテストプログラムに基づいて行われる。テストプログラムは、図４に示すように、テスト情報とコンフィギュレーション情報とを有している。テスト情報はテスト対象であるＤＵＴ４に応じた試験の手順が記述されている部分であり、テストプログラムの本体部分になる。一方、テスト情報の前段にはコンフィギュレーション情報が記述されている。コンフィギュレーション情報はＤＵＴ４のテストを行うための各種設定情報である。この設定情報の中にはテストで使うピン情報が記述されており、それにより複数のテストモジュール３０のうち何れのテストモジュール３０を用いてＤＵＴ４のテストを行うかを認識できる。各テストモジュール３０にはそれぞれ複数のピンが設けられており、コンフィギュレーション情報に記述されている使用ピン情報に基づいて使用するテストモジュールを認識できる。プログラム解析部７２はこのテストプログラムのコンフィギュレーション情報を解析して使用情報を取得する。
【００４０】
コンフィギュレーション情報はテストプログラムの先頭領域に記述された設定情報であり、その情報量はテストプログラムに比べて極めて少ないものになる。従って、プログラム解析部７２がコンフィギュレーション情報にアクセスするときには、情報量の少ない先頭領域の設定情報にアクセスすればよいため、容易に且つ迅速にアクセスすることが可能になる。これにより、処理の簡略化および迅速化を図ることができるようになる。
【００４１】
図４のテストモジュールの使用情報の例において、テストモジュール３０としてデジタルファンクションモジュールと電源モジュールと任意波形発生モジュールと波形デジタイザモジュールとを適用し、デジタルファンクションモジュールが３２個、電源モジュールが８個、任意波形発生モジュールおよび波形デジタイザモジュールがそれぞれ４個であるものとする。同図に示すように、各テストモジュール３０について使用するか否かの使用情報がテストプログラムのコンフィギュレーション情報より分かり、この使用情報の解析をプログラム解析部７２が行う。
【００４２】
プログラム解析部７２は解析した使用情報を電源制御信号生成部７４に出力する。電源制御信号生成部７４は使用情報に基づいて電源制御信号を生成する。前述したように電源制御信号はＤ、Ａ、Ｍの３種類を生成しており、電源制御信号ＤおよびＡは電源生成ユニット１に入力され、電源制御信号Ｍはテストユニット２に入力される。従って、各デジタル用電源生成部１０と各アナログ用電源生成部２０と各テストモジュール３０とがそれぞれ個別的に電源のオン・オフ制御がされることになる。
【００４３】
各デジタル用電源生成部１０と各アナログ用電源生成部２０と各テストモジュール３０とのうちテストモジュール３０の電源のオン・オフ制御を行うことにより使用しないテストモジュール３０による電力消費を抑制できる。従って、まずテストモジュール３０の電源のオン・オフ制御について説明する。複数のテストモジュール３０のうちＤＵＴ４の種類によっては一部のテストモジュール３０だけが使用され、残りのテストモジュール３０は使用されない。そこで、使用するテストモジュール３０に入力する電源制御信号Ｍを「１」として生成し、使用しないテストモジュール３０に入力する電源制御信号Ｍを「０」として生成する。
【００４４】
例えば、図４の例によると、デジタルファンクションモジュール（３２個）と電源モジュール（８個）と任意波形発生モジュール（４個）と波形デジタイザモジュール（４個）との合計は４８個になり、従って４８個のテストモジュール３０が予め設けられている（つまり、Ｘ＝４８）。デジタルファンクションモジュールをテストモジュール３０−１〜３０−３２、電源モジュールをテストモジュール３０−３３〜３０−４０、任意波形発生モジュールをテストモジュール３０−４１〜３０−４４、波形デジタイザモジュールをテストモジュール３０−４５〜３０−４８としたときに、図４の例によれば、テストモジュール３０−１および３０−２に入力する電源制御信号Ｍ−１およびＭ−２は「１」になり、テストモジュール３０−３および３０−３２に入力する電源制御信号Ｍ−３およびＭ−３２は「０」になる。
【００４５】
「１」を示す電源制御信号Ｍは使用するテストモジュール３０における各デジタル用電源供給部４０の電源切替部４３および各アナログ用電源供給部５０の電源切替部５３に入力される。「１」を示す電源制御信号Ｍを入力した場合には、電源切替部４３はデジタル用電源供給部４０をオンにし、また電源切替部５３はアナログ用電源供給部５０をオンにする。これにより、テストモジュール３０が稼動状態になり、計測機能ブロック３１に必要な電力が供給される。一方、「０」を示す電源制御信号Ｍを入力した場合には、電源切替部４３はデジタル用電源供給部４０をオフにし、また電源切替部５３はアナログ用電源供給部５０をオフにする。これにより、テストモジュール３０が停止状態になり、計測機能ブロック３１に必要な電力が供給されず、電力を消費しなくなる。
【００４６】
以上により、テストプログラムのコンフィギュレーション情報に記述されている使用情報に基づいて、使用するテストモジュール３０を稼動状態にして、使用しないテストモジュール３０を停止状態にすることができるようになる。これにより、使用しないテストモジュール３０による電力消費を抑制できるようになる。
【００４７】
次に、電源制御信号ＤおよびＡについて説明する。電源制御信号Ｍと同様に電源制御信号Ｄをデジタル用電源生成部１０の電源切替部１３に入力することで電源のオンまたはオフの切り替えを行い、電源制御信号Ａをアナログ用電源生成部２０の電源切替部２３に入力することで電源のオンまたはオフの切り替えを行う。図１に示すように、電源生成ユニット１には複数のデジタル用電源生成部１０およびアナログ用電源生成部２０が備えられており、テストで必要な総電力が一部のデジタル用電源生成部１０とアナログ用電源生成部２０とで足りる場合がある。デジタル用電源生成部１０およびアナログ用電源生成部２０は、テストモジュール３０とは無関係にそれ自体で僅かな電力を消費するものであるが、必要のないデジタル用電源生成部１０、アナログ用電源生成部２０をオンにしていることにより、無駄な電力を消費している。
【００４８】
そこで、必要なデジタル用電源生成部１０およびアナログ用電源生成部２０のみをオンにして、不要なデジタル用電源生成部１０およびアナログ用電源生成部２０をオフにするように制御している。このために、電源制御部３に電源情報記憶部７３を設けている。前述したように、電源情報記憶部７３に記憶される電源情報には各テストモジュール３０の消費電力の情報が含まれており、電源制御信号生成部７４は各テストモジュール３０の使用情報と前記の消費電力の情報とに基づいて、必要とされる総電力を求めることができる。また、電源情報にはデジタル用電源生成部１０およびアナログ用電源生成部２０の出力可能な電力の情報が含まれている。このため、求められた総電力と前記の出力可能な電力の情報から必要なデジタル用電源生成部１０およびアナログ用電源生成部２０の個数を求めることができる。
【００４９】
電源制御信号生成部７４は、求められたデジタル用電源生成部１０およびアナログ用電源生成部２０の個数に基づいて、電源制御信号ＤおよびＡを「１」または「０」として生成する。そして、各デジタル用電源生成部１０に対して電源制御信号Ｄを入力し、また各アナログ用電源生成部２０に対して電源制御信号Ａを入力する。
【００５０】
図５はテストモジュール３０と電力（テストモジュール３０の消費電力、デジタル用電源生成部１０およびアナログ用電源生成部２０の出力可能な電力）との関係を示している。前述したように、テストモジュール３０としてデジタルファンクションモジュールと電源モジュールと任意波形発生モジュールと波形デジタイザモジュールとの４つを適用している。デジタルファンクションモジュールはデジタル試験のみに３５０ワットの電力を消費している。電源モジュールのデジタル試験の消費電力は５０ワットであり、アナログ試験の消費電力は３００ワットである。任意波形発生モジュールおよび波形デジタイザモジュールはそれぞれデジタル試験に１５０ワット、アナログ試験に２００ワットの電力を消費する。また、デジタル用電源生成部１０およびアナログ用電源生成部２０は１つあたり３０００ワットの電力が出力可能である。
【００５１】
図５の表における標準構成は、テストユニット２に備えられる各テストモジュール３０の個数の内訳を示している。つまり、デジタルファンクションモジュールを３２個、電源モジュールを８個、任意波形発生モジュールおよび波形デジタイザモジュールをそれぞれ４個備えている。従って、標準構成の全てのテストモジュール３０をデジタル試験用として使用した場合の電力は、「３５０×３２＋５０×８＋１５０×４＋１５０×４＝１２８００ワット」になる。また、同様に、アナログ試験用として使用した場合の電力は、「３００×８＋２００×４＋２００×４＝４０００ワット」になる。そして、デジタル試験とアナログ試験とに使用される電力は合計「１２８００＋４０００＝１６８００ワット」になる。
【００５２】
デジタル試験用に最大１２８００ワットの電力が必要になるため、３０００ワットの電力を出力可能なデジタル用電源生成部１０は合計５個を必要とする。また、アナログ試験用に最大４０００ワットの電力が必要になるため、３０００ワットの電力を出力可能なアナログ用電源生成部２０は合計２個を必要とする。従って、電源生成ユニット１のデジタル用電源生成ユニット５は合計５個のデジタル用電源生成部１０を備えて構成し（つまり、Ｎ＝５）、またアナログ用電源生成ユニット６は合計２個のアナログ用電源生成部２０を備えて構成する（つまり、Ｍ＝２）。
【００５３】
図５のＤＵＴ−１およびＤＵＴ−２は異なる種類のＤＵＴを示しており、それぞれ使用されるテストモジュール３０が異なる。ＤＵＴ−１のテストを行うときにはデジタルファンクションモジュールを１６個使用し、電源モジュールを２個使用する。また、ＤＵＴ−２のテストを行うときにはデジタルファンクションモジュールを３２個使用し、電源モジュールを４個使用する。また、ＤＵＴ−１およびＤＵＴ−２は任波形発生モジュールおよび波形デジタイザモジュールを使用しない。
【００５４】
ＤＵＴ−１のテストを行うときには、テストプログラムにはＤＵＴ−１のテストに応じたコンフィギュレーション情報が記述されており、コンフィギュレーション情報には使用情報としてデジタルファンクションモジュールを１６個、電源モジュールを４個使用し、任意波形発生モジュールおよび波形デジタイザモジュールは使用しない旨の情報が記述されている。プログラム解析部７２はこの使用情報を電源制御信号生成部７４に出力する。
【００５５】
電源制御信号生成部７４は電源情報を参照して、ＤＵＴ−１のテストに必要な電力量をデジタル試験用とアナログ試験用とに分けて算出する。デジタルファンクションモジュールを１６個使用し、電源モジュールを２個使用するため、「３５０×１６＋５０×２＋１５０×０＋１５０×０＝５７００ワット」がデジタル試験用に必要とされ、「３００×２＋２００×０＋２００×０＝６００ワット」がアナログ試験用に必要とされることを認識する。
【００５６】
次に、電源制御信号生成部７４は電源情報を参照して、デジタル用電源生成部１０およびアナログ用電源生成部２０のそれぞれの出力電圧が３０００ワットであることを認識する。前記のように、デジタル試験用には５７００ワットが必要になるため、２個のデジタル用電源生成部１０が必要であることを認識する。同様に、アナログ試験用には６００ワットの電力が必要になるため、１個のアナログ用電源生成部２０が必要であることを認識する。
【００５７】
そこで、電源制御信号生成部７４は電源生成ユニット１のデジタル用電源生成ユニット５に備えられている５個のデジタル用電源生成部１０（１０−１〜１０−５）のうちデジタル用電源生成部１０−１および１０−２に出力する電源制御信号Ｄ１およびＤ２を「１」とし、デジタル用電源生成部１０−３〜１０−５に出力する電源制御信号Ｄ３〜Ｄ５を「０」とする。同様に、電源生成ユニット１のアナログ用電源生成ユニット６に備えられている２個のアナログ用電源生成部２０（２０−１および２０−２）のうちアナログ用電源生成部２０−１に出力する電源制御信号Ａ１を「１」とし、アナログ用電源生成部２０−２に出力する電源制御信号Ａ２を「０」とする。
【００５８】
以上により、複数のデジタル用電源生成部１０とアナログ用電源生成部２０との全てが稼動状態にされず、必要最低限の数だけ稼動状態にし、残りは停止状態にされる。前述したように、デジタル用電源生成部１０とアナログ用電源生成部２０とはテストモジュール３０の使用・未使用にかかわらず一定の電力を消費しているため、必要のないデジタル用電源生成部１０とアナログ用電源生成部２０とを停止状態にすることで、さらなる電力消費の低減を図ることができるようになる。
【００５９】
ＤＵＴ−２についても同様であり、デジタルファンクションモジュールを３２個、電源モジュールを４個使用する場合、デジタル用試験に必要な電力は「３２×３５０＋５０×４＝１１４００ワット」であり、アナログ用試験に必要な電力は「４×３００＝１２００ワット」である。電源制御信号生成部７４はデジタル用電源生成部１０の必要個数を４、アナログ用電源生成部２０の必要個数を１として認識し、デジタル用電源生成部１０−１〜１０−４の電源制御信号Ｄ１〜Ｄ４を「１」にして、Ｄ５を「０」にする。また、アナログ用電源生成部２０−１の電源制御信号Ａ１を「１」にして、Ａ２を「０」にする。これにより、デジタル試験およびアナログ試験に必要な電力を供給でき、且つ不要なデジタル用電源生成部１０−５およびアナログ用電源生成部２０−２を停止状態することができるようになる。
【００６０】
以上説明したように、テストプログラムのコンフィギュレーション情報に記述されている使用情報に基づいて、使用するテストモジュール３０の電源をオンおよび使用しないテストモジュール３０の電源をオフにすることにより、必要な電力を供給しながら消費電力の低減を図ることができるようになる。ＤＵＴ４の種類によって使用するテストモジュール３０が大きく変化したとしても、テストプログラムに記述されているテストモジュールの使用情報に基づいて電源制御信号Ｍを生成してテストモジュール３０の電源制御を行っているため、大幅に消費電力を低減することができるようになる。また、必要最小限のデジタル用電源生成部１０とアナログ用電源生成部２０とを稼動状態にし、残りを停止状態にしていることから、さらに消費電力の低減を達成できるようになる。
【００６１】
以上において、デジタル試験用とアナログ試験用との２つの試験に対応した例を示したが、デジタル試験用とアナログ試験用とのうち何れか一方の試験を行う半導体試験装置に適用するものであってもよい。この場合には、デジタル試験用の構成（デジタル用電源生成部１０およびデジタル用電源供給部４０）とアナログ試験用の構成（アナログ用電源生成部２０およびアナログ用電源供給部５０）とのうち何れか一方の構成を省略することができる。
【００６２】
また、デジタル用電源生成部１０およびアナログ用電源生成部２０が商用電源から交流電源を入力して直流電源に変換して生成する例を示したが、他の電源から直接テストモジュール３０に直流電源を供給するものであってもよい。この場合には、デジタル用電源生成部１０およびアナログ用電源生成部２０を省略することができる。
【００６３】
また、デジタル用電源生成部１０とアナログ用電源生成部２０とは同じ電力を出力するようにしているが、それぞれが異なる電力を出力するようにしてもよい。また、デジタル用電源供給部４０とアナログ用電源供給部５０とは同じ電力を出力するようにしているが、それぞれが異なる電力を出力するようにしてもよい。
【００６４】
また、図２において、複数のデジタル用電源供給部４０と複数のアナログ用電源供給部５０とは同時にオンまたはオフにされるように制御されているが、それぞれの電源のオン・オフ制御を異なるようにしてもよい。この場合には、各デジタル用電源供給部４０の電源切替部４３とアナログ用電源供給部５０の電源切替部５３とに異なる電源制御信号を入力するようにする。
【００６５】
例えば、テストモジュール３０がデジタル試験のみに使用されるようなデジタルファンクションモジュールである場合には、各デジタル用電源供給部４０のみが電源供給を行うようにし、各アナログ用電源供給部５０は電源供給を行わないようにする。このために、各デジタル用電源供給部４０には電源制御信号として「１」を入力するようにし、各アナログ用電源供給部５０には電源制御信号として「０」を入力するようにする。これにより、テストモジュール３０の内部の電源部を個別的に制御することができるようになる。
【００６６】
また、電源制御信号Ｍによりテストモジュール３０は電源をオンまたはオフにする制御を行っているが、電源をオフにするときには完全に電源を停止するのではなく、スタンバイ状態にするようにしてもよい。スタンバイ状態は完全には電源を停止するのではなく、ごく微量の電源の供給を行うことにより、テストモジュール３０をオフからオンに切り替えるときに、瞬時にテストモジュール３０を稼動状態にすることができるようになる。特に、アナログ試験を行う回路は温度ドリフトにより状態が不安定になるが、スタンバイ状態にして微量の電源を供給することにより、温度ドリフトを非常に小さくすることができるようになる。
【００６７】
また、電源制御信号Ｍを２ビットの信号となし、電源のオフを２通りにすることもできる。つまり、電源制御信号Ｍが「００」のときは電源を完全に停止状態にし、「０１」のときはスタンバイ状態にし、「１０」のときは電源を稼動状態にするようにしてもよい。このように電源を複数の状態に制御することにより、柔軟な電源制御が可能になる。
【符号の説明】
【００６８】
１    電源生成ユニット        ２    テストユニット
３    電源制御部            ５    デジタル用電源生成ユニット
６    アナログ用電源生成ユニット    １０    デジタル用電源生成部
２０    アナログ用電源生成部        ３０    テストモジュール
３１    計測機能ブロック        ３２    電源供給ユニット
３４    デジタル用電源供給ユニット    ３５    アナログ用電源供給ユニット
３６    アイソレーション回路        ４０    デジタル用電源供給部
５０    アナログ用電源供給部        ７１    プログラム記憶部
７２    プログラム解析部        ７３    電源情報記憶部
７４    電源制御信号生成部        ７５    電源制御信号出力部
１１、２１、４１、５１    入力部
１２、２２、４２、５２    出力部
１３、２３、４３、５３    電源切替部
Ａ、Ｄ、Ｍ            電源制御信号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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