【事件の表示】
　特許第６８３９３１４号発明「ウエハ載置装置及びその製法」の特許異議申立事件について，次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第６８３９３１４号の請求項１〜５に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第６８３９３１４号の請求項１〜５に係る特許についての出願は，令和２年３月１３日（優先権主張　平成３１年３月１９日）に出願され，令和３年２月１６日にその特許権の設定登録がされ，同年３月３日に特許掲載公報が発行された。その後，その特許に対し，同年９月２日に特許異議申立人　小澤佳郎（以下，「異議申立人」という。）により特許異議の申立てがされたものである。
第２　本件発明
　特許第６８３９３１４号の請求項１〜５の特許に係る発明（以下，それぞれ「本件発明１〜５」といい，まとめて「本件発明」ともいう。）は，それぞれ，その特許請求の範囲の請求項１〜５に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
　「【請求項１】
　上面にウエハ載置面を有し，電極が内蔵された円盤状のセラミックプレートと，
　前記セラミックプレートの前記ウエハ載置面とは反対側の下面に配置された円盤状の冷却プレートと，
　前記セラミックプレートの下面にある接着面と前記冷却プレートの上面にある接着面とを接着する樹脂製の接着シート層と，
　を備え，
　前記セラミックプレートの接着面及び前記冷却プレートの接着面のうちの少なくとも一方は，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い，
　ウエハ載置装置。
【請求項２】
　前記電極は，ヒータ電極であり，前記セラミックプレートのうち前記内周部に対応する内周ゾーンと，前記セラミックプレートのうち前記外周部に対応する外周ゾーンと，に個別に内蔵されている，
　請求項１に記載のウエハ載置装置。
【請求項３】
　前記セラミックプレートの接着面及び前記冷却プレートの接着面は，半径１３５ｍｍ以上である，
　請求項１又は２に記載のウエハ載置装置。
【請求項４】
　前記セラミックプレートの接着面及び前記冷却プレートの接着面のうちの少なくとも一方は，前記外周部の表面粗さＲａが１．６μｍよりも粗い，
　請求項１〜３のいずれか１項に記載のウエハ載置装置。
【請求項５】
（ａ）電極が内蔵された円盤状のセラミックプレートと，円盤状の冷却プレートと，接着シートと，を用意する工程と，
（ｂ）前記セラミックプレートと前記冷却プレートとを前記接着シートを用いて接着する工程と，
　を含み，
　前記工程（ａ）で用意する前記セラミックプレート及び前記冷却プレートのうち少なくとも一方は，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い接着面を有し，
　前記工程（ｂ）では，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い前記接着面で接着する，
　ウエハ載置装置の製法。」
第３　申立理由の概要
　特許異議申立人は，証拠として甲第１号証〜甲第４号証を提出し，以下の理由により，請求項１〜５に係る特許を取り消すべきものである旨主張している。
１　申立理由１（新規性）
　本件発明１，３〜５は，甲第１号証に記載された発明であって，特許法第２９条第１項第３号に該当するから，請求項１，３〜５に係る特許は，特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものである。
２　申立理由２（進歩性）
　本件発明１，３〜５は，甲第１号証に記載された発明に記載された発明に基づいて，その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下，「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであり，また，本件発明２は，甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，請求項１〜５に係る特許は，特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
３　申立理由３（サポート要件）
　本件発明１〜５は，発明の詳細な説明に記載されたものではないから，請求項１〜５に係る特許は，特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。
４　申立理由４（明確性）
　本件発明１〜５は，特許請求の範囲の記載が明確でないから，請求項１〜５に係る特許は，特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。
［証拠方法］
甲第１号証：特開２００３−２２４１８０号公報
甲第２号証：特開２０１６−１７５７号公報
甲第３号証：「株式会社キーエンス社」の「粗さ入門．ｃｏｍ」の「表面粗さとは」と題するページ，［online］，［令和３年８月１９日検索］，インターネット＜ＵＲＬ：https://www.keyence.co.jp/ss/products/microscope/roughness/basics/about.jsp＞
甲第４号証：特開２０１４−５２３０号公報
第４　甲号証の記載事項
１　本件特許に係る出願の優先日前に公知となった甲第１号証（特開２００３−２２４１８０号公報）には，以下の事項が記載されている（なお，下線は当合議体が付加したものである。以下，同様である。）。
　「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，半導体ウエハ等のウエハを支持するのに用いるウエハ支持部材に関するものであり，特にウエハを吸着保持する載置面側の温度が高く，載置面と反対側の温度が低い場合でも載置面の反りが小さいウエハ支持部材に関するものである。」
　「【発明の実施の形態】以下，本発明の実施形態について説明する。
【００１４】図１は本発明のウエハ支持部材の一例を示す断面図である。
【００１５】このウエハ支持部材１は，静電チャック部２とベース部材７とを接着層９を介して接合したもので，上記静電チャック部２は，円盤状をした板状セラミック体３の一方の主面を，半導体ウエハ等のウエハＷを載せる載置面４とし，上記板状セラミック体３の他方の主面５に一対の静電吸着用電極６を備えたもので，ベース部材７には冷却ガスや冷却水を流すための流体通路８を形成してある。
【００１６】図２は本発明のウエハ支持部材の他の例を示す断面図である。
【００１７】この
ウエハ支持部材１１は，静電チャック部１２とベース部材１７とを接着層１９を介して接合したもので，上記静電チャック部１２は，板状セラミック体１３の一方の主面を，半導体ウエハ等のウエハＷを載せる載置面１４とし，上記板状セラミック体１３中に一対の静電吸着用電極１６を備えたもので，ベース部材１７には冷却ガスや冷却水を流すための流体通路１８を形成してある
・・・
【００３３】その為，板状セラミック体３の他方の主面５に静電吸着用電極６を形成する場合，他方の主面５は算術平均粗さ（Ｒａ）で５．０μｍ以下としておくことが好ましい。
・・・
【００３７】次に，図１及び図２に示す
ウエハ支持部材１，１１の製造方法について説明する
・・・
【００３９】図１に示すように，板状セラミック体３の他方の主面５に静電吸着用電極６を備えた静電チャック部２を形成する場合，焼結された板状セラミック体３を用意し，研磨加工，ラッピング，あるいはブラスト加工を施して上下面の表面粗さを略同じ粗さに調整する。好ましくは上下面の表面粗さを算術平均粗さ（Ｒａ）で２μｍ〜５μｍとすることが良い。
・・・
【００４１】また，図２に示すように，板状セラミック体１３中に静電吸着用電極１６を埋設した静電チャック部１２を形成する場合，未焼成のセラミックグリーンシートを複数枚用意し，数枚積層した後，金属ペーストを印刷するか，あるいは金属ペーストをシート状とした静電吸着用電極１６を載せ，残りのセラミックグリーンシートを重ねて積層した後，焼成することにより静電吸着用電極１６が埋設された板状セラミック体１３を製作し，さらに板状セラミック体１３に研磨加工，ラッピング，あるいはブラスト加工を施して上下面の表面粗さを略同じ粗さに調整することにより静電チャック部１２を製作するか，あるいは金型にて未焼成のセラミック成形体を形成した後，金属ペーストを印刷するか，あるいは金属箔又は金属メッシュからなる静電吸着用電極１６を載せ，さらにセラミック粉末を充填してホットプレス成形法により一体的に焼成して
静電吸着用電極１６が埋設された板状セラミック体１３を製作し，さらに板状セラミック体１３に研磨加工，ラッピング，あるいはブラスト加工を施して上下面の表面粗さを略同じ粗さに調整することにより静電チャック部１２を製作する
【００４２】次に，
アルミニウム
からなり，内部に流体通路８，１８を有するベース部材７，１７を用意し，ベース部材７，１７の接合面に接着剤を塗布した後，
静電チャック部２，１２の他方の主面５，１５を貼り合わせ，接着剤を硬化させる
　「【００４７】
【実施例】・・・
【００４９】具体的には，
静電チャック部２を形成する板状セラミック体３には
円板状をした窒化アルミニウム質焼結体を用い
【００５０】次に，
静電チャック部２の静電吸着用電極６側に
シリコン系接着剤を塗布した後，直径３００ｍｍ，厚み３６ｍｍのアルミニウムからなるベース部材７を貼り合わせ
　「【図１】
【図２】
」
２　本件特許に係る出願の優先日前に公知となった甲第２号証（特開２０１６−１７５７号公報）には，以下の事項が記載されている。
　「【０００９】
　（一実施形態）
　以下，一実施形態を説明する。
　図１（ａ）に示すように，
静電チャックは，ベースプレート（基台）１０と，接着層２０と，静電チャック（ＥＳＣ）基板３０を有している。静電チャック基板３０は，接着層２０によりベースプレート１０上に接着されている
・・・
【００１４】
　図１（ａ）に示すように，
静電チャック基板３０は，基板本体（基体）３１と，基板本体３１に内蔵された静電電極３２及び抵抗発熱体３３を有している
・・・
【００１８】
　抵抗発熱体３３は，基板本体３１において，静電電極３２と，接着面３１ｂとの間に内設されている。
　
抵抗発熱体３３は，第１の抵抗発熱体３３ａと第２の抵抗発熱体３３ｂを含む
【００１９】
　図２（ａ）に示すように，
第１の抵抗発熱体３３ａは，基板本体３１の中央部に配置されている。第２の抵抗発熱体３３ｂは，基板本体３１の外周部に配置されている
　「【図１】
【図２】
」
３　甲第３号証（「株式会社キーエンス社」の「粗さ入門．ｃｏｍ」の「表面粗さとは」と題するページ，［online］，［令和３年８月１９日検索］，インターネット＜ＵＲＬ：https://www.keyence.co.jp/ss/products/microscope/roughness/basics/about.jsp＞）には，以下の事項が記載されている。
　「
」
４　本件特許に係る出願の優先日前に公知となった甲第４号証（特開２０１４−５２３０号公報）には，以下の事項が記載されている。
　「【００１０】
　ところで，本願発明者らが，ブラスト処理が終了した表面を実際に観察したところ，測定箇所によるバラツキが大きいものの，さまざまな周期の凹凸が合わさって表面の凹凸が形成されていることを知見している。つまり，ブラスト処理が終了した表面の性状を測定するにあたっては，さまざまな周期の凹凸が含まれるようにある程度は広い範囲に亘って測定をしないと，局所的な特徴だけを捉えた結果となってしまう可能性が大である。」
第５　当審の判断
１　申立理由１（新規性）及び申立理由２（進歩性）について
（１）甲号証に記載された発明
ア　甲第１号証に記載された発明
　甲第１号証の前記第４　１の記載によれば，甲第１号証には，以下の発明が記載されていると認められる。
　「静電チャック部１２とベース部材１７とを接着層１９を介して接合したウエハ支持部材１１であって，
　上記静電チャック部１２は，円板状をした窒化アルミニウム質焼結体を用いた板状セラミック体１３の一方の主面を，半導体ウエハ等のウエハＷを載せる載置面１４とし，上記板状セラミック体１３中に一対の静電吸着用電極１６を備えたものであり，
　ベース部材１７は，直径３００ｍｍ，厚み３６ｍｍのアルミニウムからなり，冷却ガスや冷却水を流すための流体通路１８を形成してあり，
　接着層は，シリコン系接着剤からなり，
　板状セラミック体１３は，研磨加工，ラッピング，あるいはブラスト加工を施して上下面の表面粗さが略同じ粗さに調整されている，
　ウエハ支持部材１１。」（以下，「甲１−１発明」という。）
　「円板状をした窒化アルミニウム質焼結体を用い，静電吸着用電極１６が埋設された板状セラミック体１３を製作し，さらに，板状セラミック体１３に研磨加工，ラッピング，あるいはブラスト加工を施して上下面の表面粗さを略同じ粗さに調整することにより静電チャック部１２を製作する工程と，
　直径３００ｍｍ，厚み３６ｍｍのアルミニウムからなり，内部に冷却ガスや冷却水を流すための流体通路１８を有するベース部材１７を用意し，ベース部材１７の接合面にシリコン系接着剤を塗布した後，静電チャック部１２の他方の主面１５を貼り合わせ，シリコン系接着剤を硬化させる工程と，
　を有するウエハ支持部材１１の製造方法。」（以下，「甲１−２発明」という。）
イ　甲第２号証に記載された発明
　甲第２号証の前記第４　２の記載によれば，甲第２号証には，以下の発明（以下，「甲２発明」という。）が記載されていると認められる。
　「ベースプレート（基台）１０と，接着層２０と，静電チャック（ＥＳＣ）基板３０を有している静電チャックであって，
　静電チャック基板３０は，接着層２０によりベースプレート１０上に接着されており，
　静電チャック基板３０は，基板本体（基体）３１と，基板本体３１に内蔵された静電電極３２及び抵抗発熱体３３を有しており，
　抵抗発熱体３３は，第１の抵抗発熱体３３ａと第２の抵抗発熱体３３ｂを含み，
　第１の抵抗発熱体３３ａは，基板本体３１の中央部に配置されており，第２の抵抗発熱体３３ｂは，基板本体３１の外周部に配置されている，
　静電チャック。」
（２）本件発明１について
ア　対比
　本件発明１と甲１−１発明とを対比する。
（ア）甲１−１発明の「静電チャック部１２」は，「円板状をした窒化アルミニウム質焼結体を用いた板状セラミック体１３の一方の主面を，半導体ウエハ等のウエハＷを載せる載置面１４とし，上記板状セラミック体１３中に一対の静電吸着用電極１６を備えたものであ」るから，上面にウエハ載置面を有し，「一対の静電吸着用電極１６」が内蔵されているといえる。
　また，甲１−１発明の「円板状」と，本件発明１の「円盤状」とは，同義であるといえる。
　そうすると，甲１−１発明の「円板状」，「一対の静電吸着用電極１６」は，それぞれ，本件発明１の「円盤状」，「電極」に相当し，甲１−１発明の「円板状をした窒化アルミニウム質焼結体を用いた板状セラミック体１３の一方の主面を，半導体ウエハ等のウエハＷを載せる載置面１４とし，上記板状セラミック体１３中に一対の静電吸着用電極１６を備えた」「静電チャック部１２」は，本件発明１の「上面にウエハ載置面を有し，電極が内蔵された円盤状のセラミックプレート」に相当する。
（イ）甲１−１発明の「直径３００ｍｍ，厚み３６ｍｍのアルミニウムからなり，冷却ガスや冷却水を流すための流体通路１８を形成してあり」，「静電チャック部１２」と「接着剤１９を介して接合」される「ベース部材１７」は，円盤状であって，「静電チャック部１２」の「半導体ウエハ等のウエハＷを載せる載置面１４」とは反対側の下面に「接着層１９を介して接合」されることは明らかであるから，本件発明１の「前記セラミックプレートの前記ウエハ載置面とは反対側の下面に配置された円盤状の冷却プレート」に相当する。
（ウ）甲１−１発明の「静電チャック部１２とベース部材１７と」は「接着層１９を介して接合」されているから，「静電チャック部１２」の下面にある接着面と，「ベース部材１７」の上面にある接着面とが接着されているといえる。
　そして，甲１−１発明の「シリコン系接着剤からな」る「接着層１９」と，本件発明１の「樹脂製の接着シート層」とは，接着層である点で共通する。
　そうすると，甲１−１発明の「静電チャック部１２とベース部材１７とを」「接合」する「シリコン系接着剤からな」る「接着層１９」と，本件発明１の「前記セラミックプレートの下面にある接着面と前記冷却プレートの上面にある接着面とを接着する樹脂製の接着シート層」とは，「前記セラミックプレートの下面にある接着面と冷却プレートの上面にある前記接着面とを接着する」接着層である点で共通する。
（エ）甲１−１発明の「板状セラミック体３」は，「研磨加工，ラッピング，あるいはブラスト加工を施して上下面の表面粗さを略同じ粗さに調整されている」ところ，「静電チャック部１２」は，「円板状をした窒化アルミニウム質焼結体を用いた板状セラミック体１３の一方の主面を，半導体ウエハ等のウエハＷを載せる載置面１４とし」ており，また，前記（ウ）で検討したように，「静電チャック部１２」の下面にある接着面と，「ベース部材１７」の上面にある接着面とが接着されるものである。
　そうすると，甲１−１発明の「静電チャック部１２」の接着面は，「表面粗さを略同じ粗さに調整されている」といえる。
　一方，本件発明１の「前記セラミックプレートの接着面」は，「内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い」ものである。
（オ）甲１−１発明の「ウエハ支持部材１１」は，本件発明１の「ウエハ載置装置」に対応する。
（カ）以上から，本件発明１と甲１−１発明との一致点と相違点は以下のとおりとなる。
＜一致点＞
　「上面にウエハ載置面を有し，電極が内蔵された円盤状のセラミックプレートと，
　前記セラミックプレートの前記ウエハ載置面とは反対側の下面に配置された円盤状の冷却プレートと，
　前記セラミックプレートの下面にある接着面と前記冷却プレートの上面にある接着面とを接着する接着シート層と，
　を備える，
　　ウエハ載置装置。」
＜相違点＞
相違点１−１：「前記セラミックプレートの下面にある接着面と前記冷却プレートの上面にある接着面とを接着する」接着層について，本件発明１は，「樹脂製の接着シート層」であるのに対し，甲１−１発明は，「シリコン系接着剤からな」る「接着層」である点。
相違点１−２：「セラミックプレートの接着面」について，本件発明１は，「内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い」ものであるのに対し，甲１−１発明は，「表面粗さが略同じ粗さに調整されている」点。
イ　判断
　事案に鑑み相違点１−２から検討する。
（ア）甲第１号証には，「静電チャック部１２」の接着面について，内周部よりも外周部の表面粗さＲａを粗くすることは，何ら記載も示唆もされていない。
　そうすると，甲１−１発明において，「静電チャック部１２」の接着面が，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗くなっているとはいえないから，相違点１−２は実質的な相違点である。
　したがって，相違点１−１について検討するまでもなく，本件発明１は，甲１−１発明ではない。
（イ）また，「静電チャック部１２」の接着面の内周部よりも外周部の表面粗さＲａを粗くすることは，本件特許に係る出願の優先日前において周知技術であったとはいえないから，甲１−１発明において，相違点１−２に係る本件発明１の構成とすることは，当業者が容易に想到し得たものとはいえない。
　したがって，相違点１−１について検討するまでもなく，本件発明１は，甲１−１発明に基づいて，当業者が容易に発明できたものではない。
（３）本件発明２について
　本件発明２は，本件発明１の全ての構成を有するものであるから，本件発明２と甲１−１発明とは，少なくとも前記相違点１−１及び１−２の点で相違する。
　そして，甲第２号証には，前記（１）イで認定したとおりの甲２発明が記載されているものの，相違点１−２に係る本件発明２の構成については，何ら記載も示唆もされていない。
　したがって，甲１−１発明に甲２発明を適用しても，相違点１−２に係る本件発明２の構成は得られない。
　よって，その余の相違点について判断するまでもなく，本件発明２は，甲１−１発明及び甲２発明に基づいて，当業者が容易に発明できたものでもない。
（４）本件発明３，４について
　本件発明３，４は，いずれも本件発明１の全ての構成を有するものであるかから，前記（２）イで検討したのと同様の理由により，本件発明３，４は，甲１−１発明ではないし，また，甲１−１発明に基づいて，当業者が容易に発明できたものでもない。
（５）本件発明５について
ア　対比
　本件発明５と甲１−２発明とを対比する。
（ア）甲１−２発明の「静電チャック部１２」は，「円板状をした窒化アルミニウム質焼結体を用い，静電吸着用電極１６が埋設された板状セラミック体１３を製作し，さらに，板状セラミック体１３に研磨加工，ラッピング，あるいはブラスト加工を施して上下面の表面粗さを略同じ粗さに調整することにより」「製作」されるものであるから，「静電吸着用電極１６」が内蔵されているといえる。
　また，甲１−２発明の「円板状」と，本件発明５の「円盤状」とは，同義であるといえる。
　そうすると，甲１−２発明の「円板状」，「静電吸着用電極１６」は，それぞれ，本件発明５の「円盤状」，「電極」に相当し，甲１−２発明の「円板状をした窒化アルミニウム質焼結体を用い，静電吸着用電極１６が埋設された板状セラミック体１３を製作し，さらに，板状セラミック体１３に研磨加工，ラッピング，あるいはブラスト加工を施して上下面の表面粗さを略同じ粗さに調整することにより」「製作」される「静電チャック部１２」は，本件発明５の「電極が内蔵された円盤状のセラミックプレート」に相当する。
（イ）甲１−２発明の「直径３００ｍｍ，厚み３６ｍｍのアルミニウムからなり，内部に冷却ガスや冷却水を流すための流体通路１８を有するベース部材１７」は，円盤状であることは明らかであるから，本件発明５の「円盤状の冷却プレート」に相当する。
（ウ）甲１−２発明の「シリコン系接着剤」と，本件発明５の「接着シート」とは，接着材料である点で共通する。
（エ）甲１−２発明は，「ベース部材１７を用意」しているところ，「ベース部材１７の接合面に接着剤を塗布した後，前記静電チャック部１２の他方の主面１５を貼り合わせ」る前に，「静電チャック部１２」及び「接着剤」も用意していることは明らかであるから，甲１−２発明と本件発明５とは，「（ａ）電極が内蔵された円盤状のセラミックプレートと，円盤状の冷却プレートと」，接着材料と，を「用意する工程」を含んでいる点で共通する。
（オ）甲１−２発明の「ベース部材１７の接合面にシリコン系接着剤を塗布した後，前記静電チャック部１２の他方の主面１５を貼り合わせ，シリコン系接着剤を硬化させる工程」は，「静電チャック部１２」と「ベース部材１７」とを「シリコン系接着剤」を用いて接着しているといえるから，甲１−２発明と本件発明５とは，「（ｂ）前記セラミックプレートと前記冷却プレート」とを接着材料を「用いて接着する工程」を含んでいる点で共通する。
（カ）前記（エ）で検討したように，甲１−２発明は，「ベース部材１７の接合面に接着剤を塗布した後，前記静電チャック部１２の他方の主面１５を貼り合わせ」る前に，「静電チャック部１２」も用意していることは明らかであり，また，前記（オ）で検討したように，甲１−２発明の「ベース部材１７の接合面に接着剤を塗布した後，前記静電チャック部１２の他方の主面１５を貼り合わせ，接着剤を硬化させる工程」は，「静電チャック部１２」と「ベース部材１７」とを「接着剤」を用いて接着しているといえるところ，甲１−２発明において，「静電チャック部１２」は，「板状セラミック体１３に研磨加工，ラッピング，あるいはブラスト加工を施して上下面の表面粗さを略同じ粗さに調整することにより」「製作する」ものであるから，用意する「静電チャック部１２」は，「上下面の表面粗さを略同じ粗さに調整」されている接着面を有しているといえる。
　一方，本件発明５は，「前記工程（ａ）で用意する前記セラミックプレート」は，「内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い接着面を有し」ている。
　そうすると，甲１−２発明と本件発明５とは，「前記工程（ａ）で用意する前記セラミックプレート」は，「接着面を有し」ている点で共通する。
（キ）前記（カ）で検討したように，甲１−２発明において，用意する「静電チャック部１２」は，「上下面の表面粗さを略同じ粗さに調整」されている接着面を有しているといえるから，「ベース部材１７の接合面に接着剤を塗布した後，前記静電チャック部１２の他方の主面１５を貼り合わせ，接着剤を硬化させる工程」では，前記接着面で接着するものといえる。
　そうすると，甲１−２発明と本件発明５とは，「前記工程（ｂ）では」，「前記接着面で接着する」点で共通する。
（ク）甲１−２発明の「ウエハ支持部材１１の製造方法」は，本件発明５の「ウエハ載置装置の製法」に対応する。
（ケ）以上から，本件発明５と甲１−２発明との一致点と相違点は以下のとおりとなる。
＜一致点＞
　「（ａ）電極が内蔵された円盤状のセラミックプレートと，円盤状の冷却プレートと，接着材料と，を用意する工程と，
（ｂ）前記セラミックプレートと前記冷却プレートとを前記接着材料を用いて接着する工程と，
　を含み，
　前記工程（ａ）で用意する前記セラミックプレート及び前記冷却プレートのうち少なくとも一方は，接着面を有し，
　前記工程（ｂ）では，前記接着面で接着する，
　ウエハ載置装置の製法。」
＜相違点＞
相違点２−１：接着材料について，本件発明５は，「接着シート」であるのに対し，甲１−２発明は，「接着剤」である点。
相違点２−２：「セラミックプレート」の「接着面」について，本件発明５は，「内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い」のに対し，甲１−２発明は，「表面粗さが略同じ粗さに調整されている」点。
イ　判断
　事案に鑑み相違点２−２から検討する。
（ア）甲第１号証には，「静電チャック部１２」の接着面について，内周部よりも外周部の表面粗さＲａを粗くすることは，何ら記載も示唆もされていない。
　そうすると，甲１−２発明において，「静電チャック部１２」の接着面が，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗くなっているとはいえないから，相違点２−２は実質的な相違点である。
　したがって，相違点２−１について検討するまでもなく，本件発明５は，甲１−２発明ではない。
（イ）また，「静電チャック部１２」が，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い接着面を有することは，本件特許に係る出願の優先日前において周知技術であったとはいえないから，甲１−２発明において，相違点２−２に係る本件発明５の構成とすることは，当業者が容易に想到し得たものとはいえない。
　したがって，相違点２−１について検討するまでもなく，本件発明５は，甲１−２発明に基づいて，当業者が容易に発明できたものではない。
（６）異議申立人の主張について
ア　新規性についての異議申立人の主張（異議申立書２０頁下から７行〜２１頁２２行）
　甲１−１発明では，機械研磨の１つであるブラストによる加工処理によって，接着層と接着する静電チャック部の接着面の表面粗さＲａを調整しており（【００３９】，【００４１】），ここで，ブラストなどの機械研磨によって研磨対象面の全面に均一な研磨処理を施した場合でも，研磨対象面の表面粗さＲａは，研磨対象面の全面において一定となるものではなく，表面粗さＲａが相対的に大きい部分と小さい部分とが混在することは，周知の事実であるから，甲１−１発明では，中央寄りの部分の表面粗さＲａよりも外側寄りの部分の表面粗さＲａの方が大きい接着面は，意図しなくても形成される。
　また，「ラッピング」は，一般的に，数μｍ以上の粗い砥粒と，金属やセラミックスなどの硬質工具を用いて，可能限り高速で所定の形状や寸法に近づける研磨方法であり，数μｍ以下の微細砥粒と合成樹脂などの軟質工具を用いて表面粗さを低減させるポリシングに比べて研磨対象面を粗く研磨するため，研磨対象面の各所における表面粗さＲａには，大小関係が発生しやすいから，接着面の外側寄りの部分と中央寄りの部分との間において，外側寄りの部分の表面粗さＲａの方が中央寄りの部分の表面粗さＲａよりも大きくなる関係がさらに生じやすくなるから，甲第１号証には，内周部の表面粗さＲａよりも外周部の表面粗さＲａが大きい静電チャック部が記載されているといえる。
イ　進歩性についての異議申立人の主張（異議申立書２１頁２２行〜２２頁７行）
　甲第１号証にも記載されているように，接着層を介して接合される一対の部材のうちの一方の部材において，接着層に接着する接着面の表面粗さを一定の範囲内に調整することは，一方の部材と接着層との接合力を高めるための周知の技術であるから，接着面の表面粗さを一定の範囲内に調整するのであれば，上述したようなブラストによる加工処理やラッピングによる研磨では，接着面全面における表面粗さのばらつきは一定の範囲内でばらつくこととなり，接着面全面における表面粗さの大小関係を意図的に調整しなくても，接着面の中央寄りの部分の表面粗さと接着面の外側寄りの部分の表面粗さとの間には，大小関係が生じるため，研磨された接着面において，外側寄りの部分の表面粗さＲａの方が中央寄りの部分の表面粗さＲａよりも大きくなる蓋然性は高いから，本件特許発明１は，甲第１号証に記載の事項に基づいて当業者が容易に想到し得たものである。また，そうしたことによる効果も特別なものとは言えないため，本件特許発明1は，進歩性を欠如する発明である。
ウ　判断
　前記ア及びイの異議申立人の主張は，いずれも証拠の記載に基づくものではないし，研磨対象面の全面をラッピングやブラスト加工によって研磨した際に，内周部の表面粗さＲａよりも外周部の表面粗さＲａの方が必ず大きくなるともいえないから，異議申立人の前記主張はいずれも採用できない。
（７）小括
　以上のとおり，本件発明１，３〜５は，甲第１号証に記載された発明ではなく，特許法第２９条第１項第３号に該当しないから，請求項１，３〜５に係る特許は，特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものとはいえず，申立理由１には理由がない。
　また，本件発明１，３〜５は，甲第１号証に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものではないし，本件発明２は，甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものではないから，請求項１〜５に係る特許は，特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものとはいえず，申立理由２には理由がない。
２　申立理由３（サポート要件）について
（１）本件特許の願書に添付した明細書（以下，「本件明細書」という。）の発明の詳細な説明の記載
　本件明細書の発明の詳細な説明には以下の記載がある。
　「【背景技術】
【０００２】
　
ウエハ載置装置としては，上面にウエハ載置面を有する円盤状のセラミックプレートと，セラミックプレートのウエハ載置面とは反対側の下面に配置された円盤状の冷却プレートとが，樹脂製の接着シートで接着されたものが知られている（例えば特許文献１）
　「【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
　しかしながら，
特許文献１のウエハ載置装置では，接着シート層の厚みが外周部で薄くなり，接着シート層の厚みが均一でないことがあった
【０００５】
　本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり，
接着シート層の厚みを均一にして，ウエハの面内温度を均一にすること
　「【課題を解決するための手段】
【０００６】
　
本発明のウエハ載置装置は，
　
上面にウエハ載置面を有し，電極が内蔵された円盤状のセラミックプレートと，
　
前記セラミックプレートの前記ウエハ載置面とは反対側の下面に配置された円盤状の冷却プレートと，
　
前記セラミックプレートの下面にある接着面と前記冷却プレートの上面にある接着面とを接着する樹脂製の接着シート層と，
　
を備え，
　
前記セラミックプレートの接着面及び前記冷却プレートの接着面のうちの少なくとも一方は，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗いものである。
【０００７】
　このウエハ載置装置では，セラミックプレートの下面にある接着面及び冷却プレートの上面にある接着面のうちの少なくとも一方において，内周部よりも外周部の表面粗さ（算術平均粗さ）Ｒａが粗い。接着面の両方において内周部と外周部の表面粗さＲａが同じ場合には，プレスの際などに，外周部の接着シート層が内周部より薄くなりやすい。これは，セラミックプレートと冷却プレートに挟まれた接着シートは，外周だけが拘束されておらず，外周部ほど伸展しやすいためと考えられる。そこで，
接着シートが伸展しやすい外周部において，接着面の表面粗さＲａを粗くすれば，外周部での接着シートの伸展がアンカー効果によって抑制され，ウエハ載置装置の接着シート層の厚みを均一にできる。したがって，ウエハの面内温度を均一にできる
表面粗さＲａが粗い部分，つまり外周部は，接着面の直径の８５％より外周の部分としてもよいし，接着面の直径の９０％より外周の部分としてもよいし，接着面の直径の９５％より外周の部分としてもよい
・・・
【０００９】
　本発明のウエハ載置装置において，
前記電極は，ヒータ電極であり，前記セラミックプレートのうち前記内周部に対応する内周ゾーンと，前記セラミックプレートのうち前記外周部に対応する外周ゾーンと，に個別に内蔵されていてもよい
【００１０】
　本発明のウエハ載置装置において，
前記セラミックプレートの接着面及び前記冷却プレートの接着面は，半径１３５ｍｍ以上であるものとしてもよい
内周部と外周部との境界は，半径１３５ｍｍ以上の円としてもよい
【００１１】
　本発明のウエハ載置装置において，
前記セラミックプレートの接着面及び前記冷却プレートの接着面のうちの少なくとも一方は，前記外周部の表面粗さＲａが１．６μｍよりも粗いものとしてもよい
【００１２】
　
本発明のウエハ載置装置の製法は，
（ａ）電極が内蔵された円盤状のセラミックプレートと，円盤状の冷却プレートと，接着シートと，を用意する工程と，
（ｂ）前記セラミックプレートと前記冷却プレートとを前記接着シートを用いて接着する工程と，
　
を含み，
　
前記工程（ａ）で用意する前記セラミックプレート及び前記冷却プレートのうち少なくとも一方は，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い接着面を有し，
　
前記工程（ｂ）では，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い前記接着面で接着する。
【００１３】
　この
ウエハ載置装置の製法によれば，外周部での接着シートの伸展がアンカー効果によって抑制されるため，ウエハ載置装置の接着シート層の厚みを均一にできる。したがって，ウエハの面内温度を均一にできる
　「【発明を実施するための形態】
【００１５】
　本発明の好適な実施形態を，図面を参照しながら以下に説明する。図１は
本発明のウエハ載置装置の一実施形態である静電チャックヒータ１０
【００１６】
　
静電チャックヒータ１０は，上面にウエハ載置面２０ａを有するセラミックプレート２０と，セラミックプレート２０のウエハ載置面２０ａとは反対側の下面２０ｂに配置された冷却プレート３０とを備えている。セラミックプレート２０の接着面である下面２０ｂと冷却プレート３０の接着面である上面３０ａとは，樹脂製の接着シート層４０を介して接着されている
【００１７】
　
セラミックプレート２０は
セラミック材料からなる円盤状のプレートである
セラミックプレート２０には
内周ヒータ電極２２と外周ヒータ電極２４と静電電極２８とが内蔵されている
内周ヒータ電極２２は
内周ゾーンＺ１
の全体に行き渡るように
配線されている
外周ヒータ電極２４は，内周ゾーンＺ１を取り囲む環状の外周ゾーンＺ２
の全体に行き渡るように
配線されている
【００１８】
　
セラミックプレート２０の下面２０ｂは
内周部２０ｉよりも外周部２０ｏの表面粗さＲａが粗くなっている
外周部２０ｏの表面粗さＲａは特に限定されるものではないが，例えば１．６μｍよりも粗い
【００１９】
　
冷却プレート３０は
円盤状のプレートである
【００２０】
　
冷却プレート３０の上面３０ａは
内周部３０ｉよりも外周部３０ｏの表面粗さＲａが粗くなっている
【００２２】
　次に，
静電チャックヒータ１０の製法について説明する。この製法は，セラミックプレート２０と冷却プレート３０と接着シート４０ｓとを用意する工程（ａ）と，セラミックプレート２０と冷却プレート３０とを接着シート４０ｓを用いて接着する工程（ｂ）とを含む
【００２３】
　
工程（ａ）で用意するセラミックプレート２０は，上述したセラミックプレート２０と同じものであり，内周ヒータ電極２２と外周ヒータ電極２４と静電電極２８とが内蔵されている
セラミックプレート２０の下面２０ｂは
内周部２０ｉよりも外周部２０ｏの表面粗さＲａが粗くなっている
【００２４】
　
工程（ａ）で用意する冷却プレート３０は，上述した冷却プレート３０と同じものであり
冷却プレート３０の上面３０ａは
内周部３０ｉよりも外周部３０ｏの表面粗さＲａが粗くなっている
【００２５】
　工程（ａ）で用意する接着シート４０ｓは，シリコーン樹脂やアクリル樹脂，ポリイミド樹脂，エポキシ樹脂などに代表される絶縁性を有する樹脂製のシートである。接着シート４０ｓは，セラミックプレート２０の下面２０ｂ及び冷却プレート３０の上面３０ａと直径が略同じ円形のシートである。接着シート４０ｓは，単層構造でもよいし，多層構造でもよい。接着シート４０ｓの具体例としては，ポリプロピレン製の芯材の両面にアクリル樹脂層を備えたシートや，ポリイミド製の芯材の両面にシリコーン樹脂層を備えたシート，エポキシ樹脂単独のシートなどが挙げられる。
【００２６】
　
工程（ｂ）では，まず，セラミックプレート２０の下面２０ｂと冷却プレート３０の上面３０ａとの間に接着シート４０ｓが介在するようにセラミックプレート２０と冷却プレート３０と接着シート４０ｓとを配置し，積層体１０ｓを製造する
続いて，積層体１０ｓを加熱しながら真空プレスによる加圧を行い，接着シート４０ｓを硬化させて，セラミックプレート２０と冷却プレート３０とを接着シート層４０で強固に接着する
・・・
【００２８】
　
以上説明した本実施形態の静電チャックヒータ１０及びその製法では，接着面である下面２０ｂ及び上面３０ａにおいて，内周部２０ｉ，３０ｉよりも外周部２０ｏ，３０ｏの表面粗さＲａが粗い。このため，外周部での接着シート４０ｓの伸展がアンカー効果によって抑制され，接着シート層４０の厚みを均一にできる。したがって，ウエハＷの面内温度を均一にできる
・・・
【００３０】
　また，静電チャックヒータ１０において，
セラミックプレート２０の下面２０ｂ及び冷却プレート３０の上面３０ａの半径が１３５ｍｍ以上
【００３１】
　また，静電チャックヒータ１０において，
接着面である下面２０ｂ及び上面３０ａにおいて，外周部２０ｏ，３０ｏの表面粗さＲａが１．６μｍよりも粗い
（２）判断
ア　本件発明が解決しようとする課題
　本件明細書の【０００５】の記載によれば，本件発明が解決しようとする課題は，「接着シート層の厚みを均一にして，ウエハの面内温度を均一にすること」である。
イ　本件明細書の発明の詳細な説明の記載について
　発明の詳細な説明において，【発明を実施するための形態】の【００１５】〜【００２６】には，ウエハ載置装置の一実施形態である静電チャックヒータ及びその製法が記載されているところ，同【００１５】〜【００２０】には，「上面にウエハ載置面を有し，電極が内蔵された円盤状のセラミックプレートと，
　前記セラミックプレートの前記ウエハ載置面とは反対側の下面に配置された円盤状の冷却プレートと，
　前記セラミックプレートの下面にある接着面と前記冷却プレートの上面にある接着面とを接着する樹脂製の接着シート層と，
　を備え，
　前記セラミックプレートの接着面及び前記冷却プレートの接着面のうちの少なくとも一方は，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い，
　ウエハ載置装置。」が記載されており，また，同【００１５】，【００２２】〜【００２６】には，「（ａ）電極が内蔵された円盤状のセラミックプレートと，円盤状の冷却プレートと，接着シートと，を用意する工程と，
（ｂ）前記セラミックプレートと前記冷却プレートとを前記接着シートを用いて接着する工程と，
　を含み，
　前記工程（ａ）で用意する前記セラミックプレート及び前記冷却プレートのうち少なくとも一方は，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い接着面を有し，
　前記工程（ｂ）では，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い前記接着面で接着する，
　ウエハ載置装置の製法。」が記載されている。
　そして，同【００２８】の記載によれば，上記ウエハ載置装置及びその製法は，接着面である下面及び上面において，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗いため，外周部での接着シートの伸展がアンカー効果によって抑制され，接着シート層の厚みを均一にでき，したがって，ウエハＷの面内温度を均一にできるといえる。
　なお，【課題を解決するための手段】の【０００６】，【０００７】及び【００１２】，【００１３】にも同様の記載がある。
ウ　前記イで示した，発明の詳細な説明に記載されたウエハ載置装置及びその製法と，本件発明１及び５とは，同様の構成を有するものであるから，本件発明１及び５は，発明の詳細な説明に記載された発明であるといえる。
　そして，前記イで示したウエハ載置装置及びその製法は，接着面である下面及び上面において，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗いため，外周部での接着シートの伸展がアンカー効果によって抑制され，接着シート層の厚みを均一にでき，したがって，ウエハの面内温度を均一にできるといえるものであるから，本件発明１及び５は，接着シート層の厚みを均一にして，ウエハの面内温度を均一にするという前記課題を解決し得るものであることが理解できる。
　以上によれば，本件発明１及び５は，発明の詳細な説明の記載により当業者が前記課題を解決できると認識できる範囲のものである。
エ　発明の詳細な説明の【発明を実施するための形態】の【００１７】，【００３０】，【００１８】には，本件発明２〜４と同様の構成が記載されているから，本件発明２〜４は，発明の詳細な説明に記載された発明であるといえ，また，本件発明２〜４は，いずれも本件発明１の構成を有するものであるから，本件発明１と同様に，発明の詳細な説明の記載により当業者が前記課題を解決できると認識できる範囲のものである。
オ　異議申立人の主張について
（ア）本件特許の請求項１〜４
ａ　理由１：本件発明１の接着面における「内周部」と「外周部」との関係について
（ａ）異議申立人の主張（異議申立書３０頁最下行〜３２頁１７行）
　本件特許の請求項１には，接着面における「内周部」と「外周部」との関係について，何ら記載がされていない。例えば，「外周部」は，本件特許の図４に示すような環形状であるのか，または，「内周部」の外側に局所的に存在するものなのかについて，本件特許の請求項１には，何ら記載されていないため，本件特許の請求項１に係る発明に，「外周部」が環形状でなく局所的に存在する形態などが含まれることになり，この形態では，「外周部」によるアンカー効果が期待できない部分が発生するため，接着面全体において接着シート層の厚みが均一にならない。また，例えば，接着面における「内周部」が占める割合が１％であって，「外周部」が占める割合が９９％である場合のように，接着面の表面粗さを全面的に均一にした場合と大差がない形態も含まれることとなるが，このような場合，接着面全体において接着シート層の厚みが均一にならない可能性がある。このように，本件特許の請求項１には，接着面における「内周部」と「外周部」との形状や面積割合などの関係について何ら記載がされていないため，本件特許の請求項１に係る発明は，本件特許の課題である「接着シート層の厚みを均一にして，ウエハの面内温度を均一にする」（本件特許の明細書段落０００５）効果がない形態を含むこととなる。したがって，本件特許の請求項１は，発明の詳細な説明に記載した範囲を超えて特許を請求することになり，特許法第３６条第６項第１号の要件を満たしていない。
（ｂ）判断
　本願発明１における「外周部」の「外周」とは，「ものの外側に沿ったまわり」（広辞苑，第六版，ＤＶＤ−ＲＯＭ版）を意味するものであるから，本件発明１の「外周部」は，内周の外側にそったまわりの部分であると認められ，当該「外周部」は，環形状であるといえる。このことは，本件明細書の【０００７】の「表面粗さＲａが粗い部分，つまり外周部は，接着面の直径の８５％より外周の部分としてもよいし，接着面の直径の９０％より外周の部分としてもよいし，接着面の直径の９５％より外周の部分としてもよい。」との記載や，同【００１０】の「セラミックプレートの接着面及び冷却プレートの接着面の半径が１３５ｍｍ以上の場合には，接合面全面の表面粗さＲａに差がないと外周部の接着シートが内周部よりも特に薄くなりやすい。このため，本発明を適用する意義が高い。この場合，内周部と外周部との境界は，半径１３５ｍｍ以上の円としてもよい。」との記載とも整合する。
　そして，同【００２８】の記載によれば，「内周部」よりも，環形状である「外周部」の表面粗さＲａが粗いと，外周部での接着シート４０ｓの伸展がアンカー効果によって抑制され，接着シート層の厚みを均一にできるため，ウエハＷの面内温度を均一にできることが理解できる。
　したがって，本件発明１は，「接着シート層の厚みを均一にして，ウエハの面内温度を均一にする」との前記課題を解決し得ない形態を含むものではない。
　よって，異議申立人の前記主張は採用できない。
ｂ　理由２：本件発明１の「表面粗さＲａ」について
（ａ）異議申立人の主張（異議申立書３２頁１８行〜３４頁下から４行）
　表面粗さＲａは測定条件によって変化するため，表面粗さＲａの大小を比較する場合には，表面粗さＲａを測定するときの基準長さの設定方法や表面粗さＲａの具体的な測定箇所および測定箇所の数など，表面粗さＲａの測定条件が開示されている必要があるが，本件特許の請求項１や明細書には，表面粗さＲａの測定に関する情報は，一切開示されていない。このため，例えば，全面的に表面粗さを均一にした測定対象面に対しても，領域ごとの表面粗さＲａに大小関係があるかのような測定もできてしまうため，本件特許の請求項１に係る発明は，「接着シート層の厚みを均一にして，ウエハの面内温度を均一にする」（本件特許の明細書段落０００５）ことができない形態を含むこととなる。したがって，本件特許の請求項１は，発明の詳細な説明に記載した範囲を超えて特許を請求することになり，特許法第３６条第６項第１号の要件を満たしていない。
（ｂ）判断
　本件明細書【０００７】の「表面粗さ（算術平均粗さ）Ｒａ」との記載によれば，請求項１に記載されている「表面粗さＲａ」は，算術平均粗さＲａである。
　そして，本件明細書には，「表面粗さ（算術平均粗さ）Ｒａ」の定義や測定方法について何ら記載されていない。
　ここで，表面粗さ（算術平均粗さ）Ｒａは，ＪＩＳ　Ｂ０６０１：２０１３に記載の方法により行うことが当業者の技術常識であるところ，当該ＪＩＳ　Ｂ０６０１：２０１３には，以下の記載がある。
「
」
　上記非周期的な粗さ曲線のために評価手順によれば，基準長さｌｒは一義的に決まり，「表面粗さＲａ」も一義的に決まるものであるといえる。なお，「測定箇所および測定箇所の数」については，上記ＪＩＳ　Ｂ０６０１：２０１３においては規定されていない。
　したがって，本件発明１の「表面粗さＲａ」は一義的に決まるものである。
　よって，異議申立人が主張するように，全面的に表面粗さを均一にした測定対象面に対しても，領域ごとの表面粗さＲａに大小関係があるかのような測定もできてしまうとはいえないし，本件発明１は，「接着シート層の厚みを均一にして，ウエハの面内温度を均一にする」ことができない形態を含むものではない。
　よって，異議申立人の前記主張は採用できない。
（イ）本件特許の請求項５
ａ　異議申立人の主張（異議申立書３４頁下から３行〜３５頁１３行）
　請求項５の「内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い接着面」は，意図的に「外周部」を「内周部」より粗くしたものを用意することなのか，単に測定の結果によって外周が粗いと判定されたものなのかが，本件特許の請求項５の記載からは明確になっていない。このため，例えば，単に測定の結果によって接着面の「外周部」が粗いと判定されたものを含む場合，「（４−３−１）　本件特許の請求項１〜４」で述べたような，接着面における「内周部」と「外周部」との関係によっては，上記課題を解決できない形態を含むことになる。したがって，本件特許の請求項５は，発明の詳細な説明に記載された，発明の課題を解決するための手段が反映されていないため，発明の詳細な説明に記載した範囲を超えて特許を請求することになり，特許法第３６条第６項第１号の要件を満たしていない。
ｂ　判断
　請求項５の「内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い接着面」は，意図的に「外周部」を「内周部」より粗くしたものを用意するもの，及び，単に測定の結果によって外周が粗いと判定されたもののいずれも含むものと解される。
　そして，本件明細書には，従来の「ウエハ載置装置としては，上面にウエハ載置面を有する円盤状のセラミックプレートと，セラミックプレートのウエハ載置面とは反対側の下面に配置された円盤状の冷却プレートとが，樹脂製の接着シートで接着されたものが知られている」（【０００２】）が，この「ウエハ載置装置では，接着シート層の厚みが外周部で薄くなり，接着シート層の厚みが均一でないことが」あり，「接着シート層の厚みが均一でないと，接着シート層を介したセラミックプレートと冷却プレートとの間の熱伝導に違いが生じ，ウエハの面内温度が不均一になる」（【０００４】）ため，「本発明のウエハ載置装置の製法」は，「前記工程（ａ）で用意する前記セラミックプレート及び前記冷却プレートのうち少なくとも一方は，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い接着面を有し，前記工程（ｂ）では，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い前記接着面で接着する」（【００１２】）ことによって，「外周部での接着シートの伸展がアンカー効果によって抑制されるため，ウエハ載置装置の接着シート層の厚みを均一にでき」るため，「ウエハの面内温度を均一にできる」（【００１３】）ことが記載されている。
　そうすると，従来のウエハ載置装置の製法では，セラミックプレート及び冷却プレートの接着面は，いずれも，均一の表面粗さＲａを有しているのに対して，本件発明５では，セラミックプレート及び冷却プレートのうち少なくとも一方の接着面を，意図的に，内周部よりも外周部の表面粗さＲａを粗くしていると解するのが自然である。
　このことは，本件明細書【００２３】の「セラミックプレート２０の下面２０ｂは，図６（ａ）に示すように，内周部２０ｉよりも外周部２０ｏの表面粗さＲａが粗くなっている。こうした
セラミックプレート２０の製造時には，例えば，下面２０ｂ全体の表面粗さＲａが１．６μｍ以下のセラミックプレートを用意し，外周部２０ｏに研磨やエッチングなど粗化処理を施して外周部２０ｏの表面粗さＲａを１．６μｍより粗くしてもよい
冷却プレート３０の製造時には，例えば，上面３０ａ全体の表面粗さＲａが１．６μｍ以下の冷却プレートを用意し，外周部３０ｏに研磨やエッチングなどの粗化処理を施して外周部３０ｏの表面粗さＲａを１．６μｍより粗くしてもよい
　そして，セラミックプレート及び冷却プレートのうち少なくとも一方の接着面を，意図的に，内周部よりも外周部の表面粗さＲａを粗くすれば，測定の結果は，必然的に内周部よりも外周部の表面粗さＲａの方が粗いと判定される。
　したがって，本件発明５は，前記課題を解決できない形態を含むものではない。
　よって，異議申立人の前記主張は採用できない。
カ　小括
　以上のとおり，本件発明１〜５は，発明の詳細な説明に記載されたものであるから，請求項１〜５に係る特許は，特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものとはいえず，申立理由３には理由がない。
４　申立理由４（明確性）について
（１）判断
　本件発明１〜５は，前記第２に示したとおりのものであり，その記載は，いずれも明確である。
（２）異議申立人の主張について
ア　本件特許の請求項１〜４
（ア）異議申立人の主張（異議申立書３５頁１５行〜３６頁１１行）
　前記２（２）オ（ア）ａ（ａ）及びｂ（ａ）で述べたように，本件特許の請求項１には，「内周部」および「外周部」のそれぞれの形状や，接着面における「内周部」と「外周部」との面積比率など，接着面における「内周部」と「外周部」との関係について，何ら記載がされておらず，表面粗さＲａの測定対象である「内周部」と「外周部」とを特定することができないため，本件特許の請求項１に係る発明を特定することはできない。また，表面粗さＲａには，上述したように，ばらつきが生じるため，「内周部」の表面粗さＲａと「外周部」の表面粗さＲａとの大小を比較するためには，表面粗さＲａを測定するときの基準長さの設定方法や表面粗さＲａの具体的な測定箇所および測定箇所の数など，表面粗さＲａの測定条件が必要である。しかしながら，本件特許の請求項１や明細書には，このような情報は，一切開示されておらず，どのように表面粗さＲａを測定するのかが不明である。このように，本件特許の請求項１に係る発明は，明確ではなく，特許法第３６条第６項第２号の要件を満たしていない
（イ）判断
　前記２（２）オ（ア）ａ（ｂ）で検討したとおり，本件発明１の「外周部」は，内周の外側にそったまわりの部分であると認められ，当該「外周部」は，環形状であるといえ，そうすると，「内周部」は，環形状の「外周部」に囲まれた部分であるといえるから，本件発明１の「内周部」及び「外周部」は，明確に特定することができる。
　また，前記２（２）オ（ア）ｂ（ｂ）で検討したとおり，本件発明１の「表面粗さＲａ」は一義的に決まるものである。
　したがって，本件発明１は明確であるから，異議申立人の前記主張は採用できない。
イ　本件特許の請求項５について
（ア）異議申立人の主張（異議申立書３６頁１２〜２３行）
　前記２（２）オ（イ）ａで述べたように，「内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い接着面」が，意図的に「外周部」を「内周部」より粗くしたものを用意することなのか，単に測定の結果によって外周が粗いと判定されたものを用意することなのかが記載されていない。したがって，「前記工程（ａ）で用意する前記セラミックプレート及び前記冷却プレートのうち少なくとも一方は，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い接着面を有し，前記工程（ｂ）では，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い前記接着面で接着する」とする本件特許の請求項５に係る発明は，明確ではなく，特許法第３６条第６項第２号の要件を満たしていない。
（イ）判断
　前記２（２）オ（イ）ｂで検討したとおり，請求項５の「内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い接着面」は，意図的に「外周部」を「内周部」より粗くしたものを用意するもの，及び，単に測定の結果によって外周が粗いと判定されたもののいずれも含むものと解され，また，本件明細書の記載とも整合するから，請求項５の「前記工程（ａ）で用意する前記セラミックプレート及び前記冷却プレートのうち少なくとも一方は，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い接着面を有し，前記工程（ｂ）では，内周部よりも外周部の表面粗さＲａが粗い前記接着面で接着する」との記載は明確である。
　したがって，異議申立人の前記主張は採用できない。
ウ　小括
　以上のとおり，本件発明１〜５は，特許請求の範囲の記載が明確であるから，請求項１〜５に係る特許は，特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものとはいえず，申立理由４には理由がない。
第６　むすび
　以上のとおりであるから，特許異議の申立ての理由及び証拠によっては，請求項１〜５に係る特許を取り消すことはできない。　
　また，他に請求項１〜５に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって，結論のとおり決定する。
【異議決定日】
令和３年１１月４日（２０２１．１１．４）