(57)【要約】【課題】  熱硬化性樹脂の含浸率が良好な樹脂含浸部材の製造方法を実現する。【解決手段】  焼結体の第１の面に、熱硬化性樹脂を含む樹脂部を形成する形成工程と、前記焼結体の、前記第１の面とは異なる第２の面を加熱する第１の加熱工程と、を有し、前記第１の加熱工程では、定常状態において、前記焼結体の温度を雰囲気の温度より高くする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
焼結体の第１の面に、熱硬化性樹脂を含む樹脂部を形成する形成工程と、
前記焼結体の、前記第１の面とは異なる第２の面を加熱する第１の加熱工程と、を有し、
前記第１の加熱工程では、定常状態において、前記焼結体の温度を雰囲気の温度より高くすることを特徴とする樹脂含浸部材の製造方法。
【請求項２】
前記第１の加熱工程は、前記第２の面を、熱伝導加熱装置、誘導加熱装置又は輻射加熱装置を用いて加熱することを特徴とする、請求項１に記載の樹脂含浸部材の製造方法。
【請求項３】
前記熱伝導加熱装置は、ホットプレートであることを特徴とする請求項２に記載の樹脂含浸部材の製造方法。
【請求項４】
前記誘導加熱装置は、ＩＨヒータであることを特徴とする請求項２に記載の樹脂含浸部材の製造方法。
【請求項５】
前記輻射加熱装置は、ラジエントヒータであることを特徴とする請求項２に記載の樹脂含浸部材の製造方法。
【請求項６】
前記形成工程において、前記熱硬化性樹脂に硬質粒子を含めることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の樹脂含浸部材の製造方法。
【請求項７】
前記第１の加熱工程の後に、前記焼結体を、対流加熱装置を用いて加熱する第２の加熱工程を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の樹脂含浸部材の製造方法。
【請求項８】
前記対流加熱装置は、オーブンであることを特徴とする請求項７に記載の樹脂含浸部材の製造方法。
【請求項９】
振動体と、
前記振動体と接触する接触体と、を有し、前記振動体の振動により、前記振動体と前記接触体が相対移動する振動型アクチュエータであって、
前記接触体は、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の樹脂含浸部材の製造方法により製造された樹脂含浸部材であることを特徴とする振動型アクチュエータ。
【請求項１０】
レンズ群と、
請求項９に記載の振動型アクチュエータを有し、
前記振動型アクチュエータにより、前記レンズ群が駆動されることを特徴とするレンズ鏡筒。
【請求項１１】
レンズ群と、
撮像素子と、
請求項９に記載の前記振動型アクチュエータを有し、
前記振動型アクチュエータにより、少なくとも前記レンズ群又は前記撮像素子が駆動されることを特徴とする撮像装置。
【請求項１２】
物体を支持するアーム部と、
物体を把持可能な把持部と、
前記アーム部と前記把持部を接続するハンド関節部と、
請求項９に記載の前記振動型アクチュエータを有し、
前記振動型アクチュエータにより、前記アーム部、前記把持部又は前記ハンド関節部が駆動されることを特徴とするロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂含浸部材の製造方法に関する。特に、振動型アクチュエータに用いるのに好適な樹脂含浸部材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気−機械エネルギー変換素子を用いる振動体と、接触体と、を加圧接触させ、振動体に所定の振動を励起させて振動体から接触体へ摩擦駆動力を与えることにより、振動体と接触体を相対的に移動させる振動型アクチュエータが知られている。このような振動型アクチュエータは、加圧接触に起因して生じる摩擦力を利用するため保持トルクや保持力が大きいという特徴がある。そのため、無通電の状態で外力が作用しても振動体と接触体の位置関係を維持することができる。
【０００３】
特許文献１では、このような接触体（摩擦材）として硬質粒子を混合した樹脂を含浸させたステンレス焼結体を用いることが記載されている。この摩擦材は含浸している樹脂が摺動材として耐摩耗性の向上と高摩擦係数の維持に寄与しているとともに、硬質粒子がスパイク効果を発揮し、高温高湿後の状態でも高摩擦係数を維持し、極めて良好な結果が期待できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１７−２２５３３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の摩擦材の場合、保持力を維持するために樹脂が摩擦面上の気孔部に適度な割合で含浸されていることが、安定した摩擦力を維持する上で重要である。また、その次に、硬質粒子が適度な割合で混合され、樹脂の中に分散していることも、重要である。
【０００６】
これまで樹脂の含浸方法としては、主剤である液状のエポキシ樹脂と、液状の硬化剤と、硬質粒子を所定の割合で混合したもの（熱硬化性樹脂）を塗布後、一定数をまとめて高温炉（対流加熱装置、オーブン）に入れて加熱する方法が採られていた。
【０００７】
この場合、高温炉に入れる前でも、主剤と硬化剤が混合された段階から時間が経つにつれて主剤と硬化剤の化学反応が進むため、熱硬化性樹脂の粘度が高くなっていく。そのため、塗布後、高温炉で加熱されるまでの時間が長いものは、エポキシ樹脂の含浸度が低い状態で、高温炉で加熱され硬化する。
【０００８】
その結果、摺動される面上の樹脂や硬質粒子の割合のばらつきに起因する保持トルクのばらつきが生じ、安定した摩擦材を提供することが困難であった。
【０００９】
また保持トルクのばらつきを緩和させようとすると、塗布する度に高温炉に移動する必要があり、作業性が悪くなるという問題があった。
【００１０】
さらに、密度の高い焼結品や粘度の高い樹脂等を用いる際は、従来以上に含浸しやすくしたいというニーズもある。
【００１１】
本発明は、熱硬化性樹脂の含浸率が良好な樹脂含浸部材の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明の樹脂含浸部材の製造方法は、焼結体の第１の面に、熱硬化性樹脂を含む樹脂部を形成する形成工程と、前記焼結体の、前記第１の面とは異なる第２の面を加熱する第１の加熱工程と、を有し、前記第１の加熱工程では、定常状態において、前記焼結体の温度を雰囲気の温度より高くすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
以上述べたように本発明によれば、熱硬化性樹脂の含浸率が良好な樹脂含浸部材の製造方法を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の樹脂含浸部材の製造方法を表す図
【図２】本発明の振動型アクチュエータを表す図
【図３】本発明の振動型アクチュエータの振動体を表す図
【図４】本発明の撹拌容器の形状を示す図
【図５】本発明の焼結体への樹脂塗布工程（形成工程）を表す図
【図６】本発明の振動型アクチュエータを備えるカメラ等の撮像装置の構成を示す図
【図７】本発明の振動型アクチュエータを搭載したロボットの概略構造を示す斜視図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
［実施例１］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１６】
図２は、振動型アクチュエータ１の概略構成を説明する図である。振動型アクチュエータ１は、振動体２と、振動体２と接触する接触体６を有する。振動体２は、平板状の弾性体３と、弾性体３の一方の面に接着された電気−機械エネルギー変換素子である圧電素子４と、弾性体３の他方の面に設けられた２つの突起部５を有する。
【００１７】
「接触体」とは、振動体と接触し、振動体に発生した振動によって、振動体に対して相対移動する部材のことをいう。接触体と振動体の接触は、接触体と振動体の間に他の部材が介在しない直接接触に限られない。接触体と振動体の接触は、振動体に発生した振動によって、接触体が振動体に対して相対移動するならば、接触体と振動体の間に他の部材が介在する間接接触であってもよい。「他の部材」は、接触体及び振動体とは独立した部材（例えば焼結体よりなる高摩擦材）に限られない。「他の部材」は、接触体又は振動体に、メッキや窒化処理などによって形成された表面処理部分であってもよい。
【００１８】
図３（ａ）は、振動体２を簡略化して示す斜視図である。圧電素子４は、例えば、弾性体３側の面には不図示の共通電極（全面電極）が形成され、弾性体３側の面の反対側の面には長さ方向で２等分され不図示の駆動電極が形成された構造を有している。
【００１９】
図３（ｂ）は、振動体２に励起される２つの屈曲振動モードのうちの第１振動モード（以下「Ａモード」という）を説明する図である。Ａモードは、振動体２の長手方向（Ｘ方向）における二次の屈曲振動であり、振動体２の短手方向（Ｙ方向（幅方向））と略平行な３本の節線を有している。圧電素子４の駆動電極に所定の周波数で位相が１８０°ずれた交番電圧を印加することにより、振動体２にＡモードの振動を励起することができる。突起部５は、Ａモードの振動で節となる位置の近傍に配置されており、振動体２にＡモードの振動が励起されることによりＸ方向で往復運動を行う。
【００２０】
図３（ｃ）は、振動体２に励起される２つの屈曲振動モードのうちの第２振動モード（以下「Ｂモード」という）を説明する図である。Ｂモードは、振動体２の短手方向（Ｙ方向）における一次の屈曲振動であり、長手方向（Ｘ方向）と略平行な２本の節線を有している。圧電素子４の駆動電極に所定の周波数で同位相の交番電圧を印加することにより、振動体２にＢモードの振動を励起することができる。突起部５は、Ｂモードの振動で腹となる位置の近傍に配置されており、振動体２にＢモードの振動が励起されることにより突起部５の軸方向（Ｚ方向）で往復運動を行う。
【００２１】
振動体２は、Ａモードでの節線とＢモードでの節線がＸＹ平面内において略直交するように構成されている。また、圧電素子４には不図示のフレキシブル基板が接着されており、フレキシブル基板を通じて圧電素子４に交流電流を供給することにより、振動体２にＡモードとＢモードの振動を同時に励起することができる。よって、ＡモードとＢモードの振動を所定の位相差で励起することにより、突起部５の先端にＺＸ面内で楕円運動を発生させることができる。
【００２２】
振動型アクチュエータ１では、３つの振動体２はそれぞれ、２つの突起部５を結ぶ直線が環状の接触体６の接線となるように配置されて接触体６と接触している。よって、接触体６を図２に矢印で示す回転方向に回転可能に支持し、振動体２にＡモードとＢモードの振動を同時に励起すると、接触体６は、突起部５によって摩擦駆動されてその周方向に回転する。
【００２３】
なお、図２では、接触体６を回転可能に支持する支持部材や、振動体２を保持する保持部材、振動体２と接触体６とを接触させるための加圧手段等の図示を省略している。本実施例では、振動体２が固定されて接触体６が回転可能であるとしたが、逆に、接触体６が固定され、３つの振動体２を保持部材と共に回転させる構成とすることも可能である。
【００２４】
本願発明は以下説明するように摩擦材（樹脂含浸部材）の製造方法を提供する。具体的には主剤と硬化剤との混合物を焼結体の表面に塗布する工程、更に、焼結体の気孔部に熱浸透させる工程、更に樹脂を硬化させる工程を有する。
【００２５】
図１は、図２の接触体（摩擦材、樹脂含浸部材）６の構造と製造方法を、接触体６の径方向の断面で説明する図であり、左側が内径側、右側が外径側となっている。本実施形態では、接触体６に、ＳＵＳ４２０Ｊ２相当のマルテンサイト系ステンレスからなる焼結体６ａ（図１（ａ））を使用している。焼結体６ａは、ＳＵＳ４１０Ｌ粉末と炭素粉末を混合した原料粉末の成形体を融点以下の所定の温度に保持して粉末同士を結合させる処理（焼結工程）により製造される。
【００２６】
焼結体６ａのビッカース硬さは２００ｇ（＝０．２ｋｇ）の試験力で測定した。焼結体６ａを接触体６として用いたときの摩擦摺動面の耐摩耗性を高めるため、焼結体６ａのビッカース硬さは５５０ＨＶ０．２以上とした。
【００２７】
次に、焼結体６ａの気孔部に樹脂を含浸させるため、２液硬化型の液状の接着剤を用意する。本実施例では、主剤の主成分は液状のエポキシ樹脂、硬化剤の主成分はアミンを使用した。
【００２８】
図４に撹拌容器の概略図を示す。図４（ａ）は、蓋を外した状態の撹拌容器の真上図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ断面図である。撹拌前に硬質粒子が凝集している場合があるので、撹拌中に硬質粒子がせん断力を受け分散させやすいように、撹拌容器２６は、被撹拌物が接する内壁の距離が中心軸に対して一定でない箇所を有している。
【００２９】
撹拌用容器２６に主剤または硬化剤の一方を所定の量入れ、次に硬質粒子として＃８０００サイズ等のＧＣ等のセラミック粒子と樹脂含浸度判別用の蛍光染料を所定の量入れ、撹拌脱泡機で混合する。容器を約４５度傾けてセットし、容器を公転かつ自転させることで、容器内の材料が遠心方向に移動する力による脱泡と材料の流れ（回転とせん断）による撹拌が行われる。その際、容器を傾けることで、３次元（渦＋上下）の流れになる。その結果、プロペラを使用せずに撹拌できる。
【００３０】
なお、通常の軸対象の撹拌容器を使用する場合は、硬質粒子よりも径の大きな硬質のボールやビーズを混合して硬質粒子を分散させてもよい。ただし、撹拌後、樹脂含浸に不要なボールやビーズは取り除く必要がある。また、撹拌の際に真空状態（減圧状態）にすることでより脱泡の効果を得ることができる。
【００３１】
焼結体６ａに樹脂を塗布する装置の概略図を図５に示す。撹拌脱泡機で混合後、混合したものをシリンジ２１ａに入れ替える。この時、気泡が混入するおそれがあるので、撹拌脱泡機で脱泡をすることが望ましい。公転の遠心力で気泡を上昇させ、液面に運ばれた気泡を撹拌時と比べて僅かな回転数の自転のせん断によって破泡することで脱泡を行う。その際、減圧させると粘度の高い材料も脱泡される。
【００３２】
そして、主剤または硬化剤の他方を別のシリンジ２１ｂに入れる。前述したシリンジ２１ａ、２１ｂの２本をポンプユニット（ディスペンサ装置）２２ａ、２２ｂに取付ける。エアーによる圧力でシリンジ内の液体に圧力をかけ、ポンプユニット（ディスペンサ装置）２２ａ、２２ｂ内に液体を充填させ、塗布時の液ダレ等の原因となる気体を除去した後、不図示の卓上型ロボットに取りつける。
【００３３】
ポンプユニット（ディスペンサ装置）２２ａ、２２ｂはメカニカルディスペンサでありメカ機構により直接液体を加圧、吐出させる方式を採用している。それぞれのシリンジ２１ａ、２１ｂからポンプユニット（ディスペンサ装置）２２ａ、２２ｂを介して押し出された液体は、継手２３を通り、２液を混合するための使い捨てのスタティックミキサ２４内で混合される。
【００３４】
スタティックミキサ２４は、駆動部のない静止型混合器であり、配管内部に設けた特殊なエレメントに流体を通すことで撹拌・混合させることができる。スタティックミキサ２４は卓上型ロボットによりＸ方向とＺ方向に稼働することができ、更に、ステージ２５に載せられた焼結体１１ａはステージ２５を稼働することでＹ方向に移動することができるため、所望のパターン形状に塗布することができる。
【００３５】
本実施例では、スタティックミキサ２４の吐出口と焼結体６ａの摩擦部面との距離が、焼結体６ａの平面度以上となる所定の距離になるように調整後、円形に塗布した。スタティックミキサ２４の吐出口の径は塗布幅に合わせて決める。なお、本実施例で使用した主剤の粘度は２０，０００ｍＰａ・ｓ以上、硬化剤の粘度は３，０００ｍＰａ・ｓ以上と粘度が高く、液だれを起こしにくくなっている。
【００３６】
また、本実施例では、より粘度の高い主剤側に硬質粒子を混ぜた。これにより、比重の大きい硬質粒子でも、混合後に沈殿する速度が遅くなり、硬質粒子の割合が経過時間によって変わることを緩和することができる。更に、スタティックミキサ内で２液が混合し硬化を始めるので、連続的に使用する場合は、粘度を所定の範囲に維持したまま、長時間、塗布を続けることができる。
【００３７】
図１（ｂ）に示すように焼結体６ａの摩擦部となる側の面（第１の面）に液状のエポキシ樹脂（熱硬化性樹脂）６ｃをディスペンサ装置で塗布する（形成工程）。その後、図１（ｃ）に示すようにあらかじめ８０℃にセットされプレート温度が８０℃となっているホットプレート（熱伝導加熱装置）２７の面に、焼結体６ａのエポキシ樹脂６ｃが塗布されていない面（第２面）を接触させる。これにより、焼結体６ａを介して伝導された熱によってエポキシ樹脂６ｃの粘度が低下し、気孔部への浸透を促進させることができる。主剤と硬化剤が混合された初期の段階では、硬化作用が進んでいないので、加熱による硬化作用よりも、加熱による流体粘度の低下作用の方が上回り、加熱により熱硬化性樹脂の粘度が低下するからである。なお、従来の高温炉を用いる方法だと、加熱により熱硬化性樹脂の粘度が低下するタイミングを逸し、熱硬化性樹脂の含浸度が低い状態で、高温炉で加熱され硬化されるので、気孔部への浸透を促進させることができない。従来、そのようなタイミングを逸する理由としては、主剤と硬化剤が混合された後、高温炉に入れるまでに時間を要することや、高温炉では、加熱を始めたあと、焼結体の温度が上がるまでに長時間を要すること等が挙げられる。
【００３８】
ここで、ホットプレート２７とは、電熱式のヒータを熱源としてプレートを加熱する器具をいう。また下記のオーブン（対流加熱装置）とは、閉じた空間内で加熱する器具であり、定常状態になるとオーブン内の雰囲気温度と被加熱物の温度が同じになるものである。
【００３９】
ここで、「定常状態」とは、雰囲気の温度が（一定時間内で）変化しない状態のことである。定常状態における雰囲気の温度としては、室温などがある。また、「過渡状態」とは、雰囲気の温度が（一定時間内で）変化する状態のことである。過渡状態における雰囲気の温度としては、昇温過程や降温過程における対流加熱装置内の温度がある。また、その外には、対流加熱装置を予め加熱しておいた状態において、当該対流加熱装置の扉を開け、その中に焼結体を入れた直後における対流加熱装置内の温度がある。また、その外には、対流加熱装置により焼結体を加熱した後に、その中から焼結体を取り出すために、当該対流加熱装置の扉を開けた直後における対流加熱装置内の温度などがある。
【００４０】
本発明は、（過渡状態においてではなく、）定常状態において、前記焼結体の温度を雰囲気の温度より高くすることを特徴とする。
【００４１】
オーブンに入れて加熱する場合に比べて以下の２点の理由で浸透度合いが優れている。まず１点目の理由について述べる。オーブンの場合、ディスペンサ装置と設置場所が離れている場合があり、エポキシ樹脂６ｃを塗布した焼結体は生産性の観点から一旦、トレーに入れ、まとめてオーブンが設置された場所まで移動してオーブンの中に入れたいというニーズがある。
【００４２】
ここで、最初にエポキシ樹脂６ｃを塗布した焼結体は時間の経過とともに樹脂の粘度が高くなり、オーブンで加熱されても樹脂の粘度が下がりきらず樹脂の浸透度が下がる。一方、本実施例ではエポキシ樹脂６ｃの塗布後すぐにホットプレート２７により熱をかけることで、主剤と硬化剤の粘度が高くなる前に粘度を下げ、気孔への樹脂の浸透を促進することができる。
【００４３】
２点目は、オーブンでは雰囲気温度も高くなるため焼結体６ａの温度が所望の温度に上昇する前に樹脂の温度が先に上がり主剤と硬化剤の化学反応により粘度が上がることで浸透度が下がる。特に、焼結体６ａを載せるトレーの熱伝導率が小さい場合や、トレーの熱容量が大きい場合に、影響が出やすい。
【００４４】
本実施例では、ホットプレートを使用することでエポキシ樹脂６ｃより先に焼結体６ａの温度が上昇するため、焼結体内に浸透したエポキシ樹脂６ｃの粘度が更に小さくなり浸透しやすくなる。なお、ホットプレートの代わりに、ＩＨ調理機（ＩＨヒータ）等の誘導加熱の原理を利用した機器（誘導加熱装置）やラジエントヒータ等の輻射加熱装置を用いてもよい。
【００４５】
図１（ｄ）は摩擦部面から一定の距離までエポキシ樹脂６ｃが浸透した様子を表している。エポキシ樹脂６ｃが含浸している焼結部を樹脂含浸焼結体６ｂと定義する。
【００４６】
実施例では、ホットプレートによる熱浸透工程の時間は約３分とした。その後は、エポキシ樹脂６ｃを硬化させるため、８０℃に設定されているオーブンに入れ、３０分から１時間程度放置する。
【００４７】
なお、使用したエポキシ樹脂は室温でも硬化するため、オーブンに入れるのは必須ではない。また、熱浸透に適した温度と硬化に適した温度は同じにする必要はなく、使用する樹脂に対して適した温度を選択する。
【００４８】
硬化した樹脂部分をＧＣ＃３２０のエメリー紙にて樹脂含浸焼結体６ｂの面が出るまで除去した。なお、エメリー紙の代わりにダイヤ又はＧＣの砥石や遊離砥粒、切削等で除去してもよい。
【００４９】
次に、銅定盤にダイヤの遊離砥粒（３μｍ）を塗布してポリッシュ加工による平滑化加工を施すことで、樹脂含浸焼結体６ｂに図１（ｅ）に示す摩擦部６ｄを形成した。焼結体６ａの気孔部の一部または全部にはエポキシ樹脂６ｃが含浸されている。なお、加工工程の合間や加工完了後にアルカリ洗浄を行い、防錆化処理を施し、振動型アクチュエータの摩擦材として供した。この摩擦部６ｄの一部が摺動されることになる。
【００５０】
本実施例においては、焼結体６ａの気孔部の大きさは場所により異なるが数μｍから１００μｍ程度の最大長さを有している。なお、本実施例では、焼結体に樹脂の充填を行ったが、レーザ等で孔部を設けたステンレスの溶製材に樹脂の充填を行ってもよい。
【００５１】
＜振動型アクチュエータの応用例＞
上述した実施例に係る摩擦材（樹脂含浸部材）を接触体として用いた振動型アクチュエータの考えられる応用例について、以下に、撮像装置、及び産業用ロボットを例に取り上げて説明する。
【００５２】
図６（ａ）は撮像装置７００の概略構成を示す上面図である。撮像装置７００は、撮像素子７１０及び電源ボタン７２０を搭載したカメラ本体７３０を備える。また、撮像装置７００は、不図示のレンズ群、振動型アクチュエータを備えるレンズ鏡筒７４０を備える。レンズ群の駆動は振動型アクチュエータによって行われる。
【００５３】
レンズ鏡筒７４０は、交換レンズとして取り換え可能であり、撮影対象に合わせて適したレンズ鏡筒７４０をカメラ本体７３０に取り付けることができる。振動型アクチュエータとしては、図１を参照して説明した、振動型アクチュエータを用いることができる。
【００５４】
振動型アクチュエータによるレンズの駆動は、オートフォーカス用のレンズの駆動に好適であると考えられるが、これに限られず、ズーム用のレンズについても、同様の構成による駆動が可能と考えられる。また、振動型アクチュエータは、撮像素子の駆動や、手ぶれ補正時のレンズ或いは撮像素子の駆動にも用いることができる。
【００５５】
図６（ｂ）に本実施例の振動型アクチュエータをカメラのレンズ鏡筒に実装した例を示す。図６（ｂ）はレンズ鏡筒の断面図である。接触体１１は摺動部が耐摩耗性を有しており、振動体１２の突起部と対向し接触するように配置されている。この接触体１１の摺動部側と反対側の面にはロータゴム（防振ゴム）８を挟んで出力伝達部材９が設置されている。
【００５６】
一方、振動を阻害しないように振動体を保持する保持基台４３において接触体１１側と反対側には、振動体１２と接触体１１に対して加圧するための加圧手段として板バネ１０が設けられている。また、この板バネ１０を圧縮し加圧力を生じさせるために、この板バネ１０のたわみ量を規制する加圧リング１８が設けられており、加圧リング１８と保持基台４３とで、板バネ１０を挟持している。これらにより、振動体１２と接触体１１の間に適切な加圧力が付与される。
【００５７】
鏡筒本体１６には、光軸Ｌの方向に対し垂直に張り出したフランジ１６−１が形成されており、このフランジの一方の面にマニュアルフォーカスする為に手で回されるマニュアルリング１５が設置されている。また、マニュアルリング１５や振動型アクチュエータの力の伝達により回転可能なコロリング１９がマニュアルリング１５と振動型アクチュエータの間に設置され、コロリング１９に設置された出力キー１７を介してカム環等を回転させる機能を有している。
【００５８】
コロリング１９には半径方向に複数延出して形成されたコロ軸１３とこれに係合しコロ軸回りに回転自在に取り付けられたコロ１４とが設置されている。このコロ１４を挟んで前記出力伝達部材９とマニュアルリング１５が光軸Ｌ方向に積層されて構成されている。加圧リング１８は内周側が鏡筒本体１６とネジまたはバイヨネット構造で係合している。加圧リングを回転させ光軸Ｌ方向に移動することで加圧バネ１０を圧縮し、振動子保持基台４３からマニュアルリング１５を経て本体フランジ１６−１までを加圧挟持する構造になっている。
【００５９】
振動体１２の突起部に楕円運動が形成されると、この突起部と接触している接触体１１には摩擦駆動力が発生するため、接触体１１、ロータゴム８、出力伝達部材９とが光軸Ｌ周りに回転する。出力伝達部材９と接触しているコロ１４はマニュアルリング１５の面上を転動しながらコロリング１９と共に光軸Ｌ回りに回転し、コロリング１９に設置された出力キー１７により不図示のカム環等を回転させ、オートフォーカス動作などを行う。
【００６０】
振動型アクチュエータを搭載したロボット１００について図７を用いて説明する。
【００６１】
ロボットのアーム関節部の曲げやハンド部の把持動作に用いられるモータには、低回転数で高トルクのＴＮ特性（負荷トルク−回転数の関係を示す垂下特性）を有するものが求められるため、振動型アクチュエータが好適であると考えられる。そこで、振動型アクチュエータを備える装置（機械）の一例としての産業用ロボットの構成について図７を参照して説明する。
【００６２】
図７は、振動型アクチュエータを搭載したロボット１００の概略構造を示す斜視図であり、ここでは、産業用ロボットの一種である水平多関節ロボットを例示している。振動型アクチュエータは、図７において、アーム関節部１１１やハンド部１１２に内蔵される。
【００６３】
アーム関節部１１１は２本のアーム部１２０が交差する角度を変えることができるように２本のアーム部を接続する。ハンド部１１２は、アーム部１２０と、アーム部１２０の一端に取り付けられる、物体を把持可能な把持部１２１と、アーム部１２０と把持部１２１とを接続するハンド関節部１２２とを有する。振動型アクチュエータは、アーム部１２０同士の角度を変化させるアーム関節部１１１や、把持部１２１を、所定角度、回転させるハンド関節部１２２に用いられる。
【００６４】
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。接触体における振動体との摩擦摺動面、又は、振動体における接触体との摩擦摺動面の少なくとも一方を本発明に係るステンレス摩擦材の表面とすることで、高湿度下に放置した後でも大きい摩擦力を発揮する振動型アクチュエータを得ることができる。
【符号の説明】
【００６５】
６  接触体（樹脂含浸部材）
６ａ  焼結体
６ｃ  エポキシ樹脂（樹脂部）
２７  熱伝導加熱装置、誘導加熱装置、輻射加熱装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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