(57)【要約】【課題】信頼性を向上させることができる蒸気弁駆動装置を提供する。【解決手段】実施の形態による蒸気弁駆動装置は、弁体を開方向に押圧する開方向シリンダと、弁体を閉方向に押圧する閉方向シリンダと、を備えている。開方向シリンダへの作動油の供給は、開側供給制御弁によって許可または阻止される。開方向シリンダからの作動油の排出は、開側排出制御弁によって阻止または許可される。【選択図】図１
2020186782.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動油を用いて蒸気弁の弁体を開閉駆動する蒸気弁駆動装置であって、
前記弁体を開方向に押圧する開方向シリンダと、
前記弁体を閉方向に押圧する閉方向シリンダと、
前記開方向シリンダへの前記作動油の供給を許可または阻止する開側供給制御弁と、
前記開方向シリンダからの前記作動油の排出を阻止または許可する開側排出制御弁と、を備えた、
蒸気弁駆動装置。
【請求項２】
複数の前記開方向シリンダを備えた、請求項１に記載の蒸気弁駆動装置。
【請求項３】
前記開方向シリンダは、シリンダ室と、前記シリンダ室内に摺動可能に設けられたピストンと、前記ピストンを前記弁体に連結するピストンロッドと、前記シリンダ室のうち前記ピストンの一側に設けられ、前記ピストンロッドが配置されるロッド側シリンダ室と、前記シリンダ室のうち前記ピストンの他側に設けられ、前記作動油が供給される開方向シリンダ室と、を有している、請求項１または２に記載の蒸気弁駆動装置。
【請求項４】
前記閉方向シリンダは、シリンダ室と、前記シリンダ室内に摺動可能に設けられたピストンと、前記ピストンを前記弁体に連結するピストンロッドと、前記シリンダ室のうち前記ピストンの一側に設けられ、前記ピストンロッドが配置されるロッド側シリンダ室と、前記シリンダ室のうち前記ピストンの他側に設けられ、前記作動油が供給される閉方向シリンダ室と、を有している、請求項１〜３のいずれか一項に記載の蒸気弁駆動装置。
【請求項５】
前記閉方向シリンダに前記作動油を供給する供給口と、
前記閉方向シリンダ内の前記作動油の圧力を制御するリリーフ弁と、を更に備え、
前記供給口と前記閉方向シリンダとは、前記蒸気弁の開状態および閉状態のいずれにおいても連通している、請求項１〜４のいずれか一項に記載の蒸気弁駆動装置。
【請求項６】
前記閉方向シリンダへの前記作動油の供給を阻止または許可する閉側供給制御弁と、
前記閉方向シリンダからの前記作動油の排出を許可または阻止する閉側排出制御弁と、を更に備えた、請求項１〜５のいずれか一項に記載の蒸気弁駆動装置。
【請求項７】
前記弁体を閉方向に押圧する閉鎖ばねを更に備えた、請求項１〜６のいずれか一項に記載の蒸気弁駆動装置。
【請求項８】
前記閉方向シリンダに前記作動油を供給する供給口と、
前記作動油を加圧下で貯留して前記閉方向シリンダに供給するアキュムレータと、
前記アキュムレータからの前記作動油の前記供給口の側への流れを遮断する逆止弁と、を更に備えた、請求項１〜４および６のいずれか一項に記載の蒸気弁駆動装置。
【請求項９】
前記閉方向シリンダ内の前記作動油の圧力を制御するリリーフ弁を更に備え、
前記供給口と前記閉方向シリンダとは、前記蒸気弁の開状態および閉状態のいずれにおいても連通している、請求項８に記載の蒸気弁駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、蒸気弁駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
蒸気タービンへの蒸気の供給を制御する蒸気弁は、蒸気弁駆動装置によって開閉駆動される。このような蒸気弁駆動装置には、タービン運転時に蒸気弁の前後差圧により発生する負荷を上回ることが可能な駆動力で蒸気弁を開く機能が求められる。この駆動力は、蒸気圧力と蒸気弁の弁口径に比例して増大し、およそ数十トン程度にもなる。一方、蒸気弁駆動装置には、危急時にタービンに流入する蒸気を速やかに遮断するための急閉機能が求められる。一般的に、蒸気弁駆動装置には、油圧シリンダと、閉鎖ばねを収容するばね箱と、を備えた油圧アクチュエータが用いられている。
【０００３】
ここで、従来の蒸気弁駆動用の油圧アクチュエータの構造について、図１０を用いて説明する。図１０に示す油圧アクチュエータ１００は、蒸気弁ＳＶの弁体ＶＢを開方向（図１０における上側）に駆動するための油圧シリンダ１０１と、危急時に蒸気弁ＳＶを急閉させるための閉鎖ばね１０２を収容するばね箱１０３と、マニホールドブロック（図示せず）と、を備えている。マニホールドブロックには、油圧アクチュエータ１００の動作方向の切り替えや位置制御、急閉動作などを実現するためのアクセサリ部品が設けられている。このアクセサリ部品の一例として、図１０では、マニホールドブロックに、サーボ弁１０４、ロジック弁１０５およびトリップ電磁弁１０６が設けられている。
【０００４】
サーボ弁１０４は、油圧シリンダ１０１の開方向シリンダ室１０７への高圧の作動油の供給を許可または阻止するように構成されている。このサーボ弁１０４によって、開方向シリンダ室１０７への作動油の供給が制御され、蒸気弁ＳＶが開閉駆動される。
【０００５】
また、ロジック弁１０５は、開方向シリンダ室１０７からの作動油の排出を阻止または許可するように構成されている。トリップ電磁弁１０６は、ロジック弁１０５のパイロットポート（Ｘポート）への作動油の供給を許可または阻止するとともに作動油の排出を阻止または許可するように構成されている。トリップ電磁弁１０６が、ロジック弁１０５のＸポートから作動油を排出させると、ロジック弁１０５が開く。このことにより、開方向シリンダ室１０７に充填されている作動油を急速に排出することができ、ばね箱１０３に収容された閉鎖ばね１０２のばね力で蒸気弁ＳＶの弁体ＶＢを閉方向（図１０における下側）に急速駆動させることができる。このようにして、蒸気弁ＳＶを急閉することができる。更に、閉鎖ばね１０２は、蒸気弁ＳＶを急閉させるだけでなく、タービン起動時において蒸気弁ＳＶの弁体ＶＢが、蒸気の前後差圧によって浮き上がることを防止し、全閉状態を保持する役割も担っている。
【０００６】
このように、蒸気弁ＳＶの急閉は、閉鎖ばね１０２の押圧力によって実現されている。蒸気弁ＳＶをスムースに急閉させるために、閉鎖ばね１０２は所望の押圧力を発生させるように構成される。このため、閉鎖ばね１０２のサイズが大きくなる。この場合、油圧アクチュエータ１００のサイト据付時における作業性が低下し得る。また、サイト据付後、油圧アクチュエータ１００へのアクセスが困難になり、メンテナンス性が低下するという問題も考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平４−１７５５８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、コンパクト化させることにより、据付時の作業性を向上させるとともにメンテナンス性を向上させることができる蒸気弁駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
実施の形態による蒸気弁駆動装置は、作動油を用いて蒸気弁の弁体を開閉駆動する蒸気弁駆動装置である。この蒸気弁駆動装置は、弁体を開方向に押圧する開方向シリンダと、弁体を閉方向に押圧する閉方向シリンダと、を備えている。開方向シリンダへの作動油の供給は、開側供給制御弁によって許可または阻止される。開方向シリンダからの作動油の排出は、開側排出制御弁によって阻止または許可される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、コンパクト化させることにより、据付時の作業性を向上させるとともにメンテナンス性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、第１の実施の形態において、蒸気弁駆動装置の開状態を示す系統図である。
【図２】図２は、図１の蒸気弁駆動装置の閉状態を示す系統図である。
【図３】図３は、第２の実施の形態において、蒸気弁駆動装置の開状態を示す系統図である。
【図４】図４は、図３の蒸気弁駆動装置の閉状態を示す系統図である。
【図５】図５は、第３の実施の形態において、蒸気弁駆動装置の開状態を示す系統図である。
【図６】図６は、図５の蒸気弁駆動装置の閉状態を示す系統図である。
【図７】図７は、図５の蒸気弁駆動装置の変形例を示す系統図である。
【図８】図８は、第４の実施の形態において、蒸気弁駆動装置の開状態を示す系統図である。
【図９】図９は、図８の蒸気弁駆動装置の閉状態を示す系統図である。
【図１０】図１０は、従来の蒸気弁駆動装置を示す系統図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態における蒸気弁駆動装置について説明する。
【００１３】
（第１の実施の形態）
図１および図２を用いて、第１の実施の形態における蒸気弁駆動装置１について説明する。ここに示す蒸気弁駆動装置１は、高圧の作動油を用いて蒸気弁ＳＶの弁体ＶＢを開閉駆動するための油圧駆動装置（油圧アクチュエータ）である。
【００１４】
図１に示すように、本実施の形態による蒸気弁駆動装置１は、蒸気弁ＳＶの弁体ＶＢを開方向に押圧する開方向シリンダ１０と、弁体ＶＢを閉方向に押圧する閉方向シリンダ２０と、を備えている。
【００１５】
開方向シリンダ１０は、シリンダ室１１と、シリンダ室１１内に摺動可能に設けられたピストン１２と、ピストン１２を弁体ＶＢに連結するピストンロッド１３と、を有している。シリンダ室１１のうちピストン１２の一側（図１における上側）に、ロッド側シリンダ室１４が設けられている。このロッド側シリンダ室１４には、ピストンロッド１３が配置され、ピストンロッド１３は、ロッド側シリンダ室１４を貫通している。シリンダ室１１のうちピストン１２の他側（図１における下側）に、開方向シリンダ室１５が設けられている。この開方向シリンダ室１５に、蒸気弁ＳＶを開く際に作動油が供給される。なお、ロッド側シリンダ室１４には作動油は供給されるようにはなっていない。
【００１６】
本実施の形態では、蒸気弁駆動装置１は、上述の開方向シリンダ１０を複数備えている。図１においては、２つの開方向シリンダ１０によって、弁体ＶＢが開方向に押圧される例を示している。このことにより、蒸気弁駆動装置１のサイト据付時における作業性を向上させることができるとともに、サイト据付後の蒸気弁駆動装置１へのアクセス性を向上させることができる。また、図１０に示す従来の油圧アクチュエータ１００の油圧シリンダ１０１を２つに分割したことにより、従来の油圧アクチュエータ１００に比べて蒸気弁駆動装置１のコンパクト化を図っている。なお、各開方向シリンダ１０の開方向シリンダ室１５は、互いに連通しており、充填される作動油の圧力が等しくなるようになっている。
【００１７】
閉方向シリンダ２０は、図１０に示す従来の油圧アクチュエータ１００の閉鎖ばね１０２のばね力の少なくとも一部を代替えするための構成である。このため、後述する閉鎖ばね３０のばね力が低減され、閉鎖ばね３０を収容するばね箱３１のコンパクト化が図られている。
【００１８】
閉方向シリンダ２０は、シリンダ室２１と、シリンダ室２１内に摺動可能に設けられたピストン２２と、ピストン２２を弁体ＶＢに連結するピストンロッド２３と、を有している。シリンダ室２１のうちピストン２２の一側（図１における下側）に、ロッド側シリンダ室２４が設けられている。このロッド側シリンダ室２４には、ピストンロッド２３が配置され、ピストンロッド２３は、ロッド側シリンダ室２４を貫通している。シリンダ室２１のうちピストン２２の他側（図１における上側）に、閉方向シリンダ室２５が設けられている。この閉方向シリンダ室２５に、蒸気弁ＳＶの開状態および閉状態のいずれにおいても（すなわち、常時）作動油が供給されて、蒸気弁ＳＶを閉じる方向に作動油による押圧力が作用するようになっている。なお、ロッド側シリンダ室２４には作動油は供給されるようにはなっていない。
【００１９】
本実施の形態では、蒸気弁駆動装置１は、閉方向シリンダ２０を１つだけ備えている。しかしながら、このことに限られることはなく、閉方向シリンダ２０は複数設けられていてもよい。
【００２０】
本実施の形態による蒸気弁駆動装置１は、弁体ＶＢを閉方向に押圧する閉鎖ばね３０を更に備えている。閉鎖ばね３０は、ばね箱３１に収容され、閉鎖ばね３０のばね力は、ばね受け部３２で受けられるように構成されている。ばね受け部３２は、後述するばねロッド３３に連結されており、閉鎖ばね３０のばね力が、ばねロッド３３に伝達されるようになっている。なお、ばね受け部３２は、ばねロッド３３を介してカップリング部３４に連結されており、閉鎖ばね３０のばね力は、ばねロッド３３およびカップリング部３４を介して、弁棒ＶＡに伝達されるようになっている。
【００２１】
２つの開方向シリンダ１０と１つの閉方向シリンダ２０は、駆動伝達バー３５に連結されている。この駆動伝達バー３５は、カップリング部３４に連結されている。本実施の形態によるカップリング部３４は、ばねロッド３３の端部に設けられたカップリングフランジ３４ａと、弁棒ＶＡの端部に設けられたカップリングフランジ３４ｂと、を有している。両者のカップリングフランジ３４ａ、３４ｂが、ボルト等で締結されて、ばねロッド３３と弁棒ＶＡとが連結されている。駆動伝達バー３５は、開方向シリンダ１０と閉方向シリンダ２０の押圧力を弁棒ＶＡに伝達するために、少なくともカップリングフランジ３４ｂに固定されていればよい。このようにして、開方向シリンダ１０の押圧力および閉方向シリンダ２０の押圧力が、駆動伝達バー３５およびカップリング部３４を介して弁棒ＶＡに伝達されるようになっている。なお、図１および図２においては、カップリング部３４の一側（図１および図２における左側）に２つの開方向シリンダ１０が配置されている例が示されているが、開方向シリンダ１０は、ばねロッド３３または弁棒ＶＡの周囲において、ばねロッド３３または弁棒ＶＡを囲むように周方向に均等に配置されるようにしてもよい。例えば、２つの開方向シリンダ１０は、ばねロッド３３または弁棒ＶＡを中心にして対称（図１および図２における左右対称）に配置されていてもよい。
【００２２】
２つの開方向シリンダ１０の押圧力の合力は、閉方向シリンダ２０の押圧力と閉鎖ばね３０のばね力と蒸気弁ＳＶの弁体ＶＢの前後差圧との合力よりも大きくなっている。このことにより、２つの開方向シリンダ１０の押圧力で、蒸気弁ＳＶを開くことができる。このような力関係を満たすことができれば、各開方向シリンダ１０のシリンダ内径と閉方向シリンダ２０のシリンダ内径およびシリンダ本数は任意に設定することができる。例えば、各開方向シリンダ１０のシリンダ内径と閉方向シリンダ２０のシリンダ内径は、等しくしてもよい。また、この力関係を満たすことができれば、開方向シリンダ１０の本数も閉方向シリンダ２０の本数も任意である。
【００２３】
このような構成により、各開方向シリンダ１０の開方向シリンダ室１５に作動油が供給されると、作動油の圧力で、ピストン１２が、ロッド側シリンダ室１４の側（図１における上側）に押圧される。このことにより、弁体ＶＢを開方向に移動させることができ、蒸気弁ＳＶを開くことができる。蒸気弁ＳＶを閉じる際には、開方向シリンダ室１５から作動油が排出される。このことにより、弁体ＶＢを閉方向に移動させることができ、蒸気弁ＳＶを閉じることができる。
【００２４】
本実施の形態による蒸気弁駆動装置１は、開方向シリンダ１０および閉方向シリンダ２０に作動油を供給するマニホールドブロック（図示せず）を更に備えている。マニホールドブロックは、作動油を供給する供給口４０と、作動油を排出する排出口４１と、を有している。このうち供給口４０は、図示しない作動油供給系統に接続されており、この作動油供給系統から高圧の作動油が供給口４０に供給されるようになっている。作動油供給系統とは、主として、図示しない高圧油ポンプと、高圧油ポンプの下流側に設けられた図示しないフィルターとで構成されている。排出口４１は、図示しないドレン系統に接続されており、排出口４１から排出される作動油は、このドレン系統に排出される。
【００２５】
また、マニホールドブロックは、サーボ弁４２（開側供給制御弁）と、開側ロジック弁４３（開側排出制御弁）と、トリップ電磁弁４４と、を有している。本実施の形態では、蒸気弁駆動装置１が、１つのサーボ弁４２と、２つの開側ロジック弁４３と、２つのトリップ電磁弁４４と、を備えている例について説明する。
【００２６】
サーボ弁４２は、供給口４０から開方向シリンダ室１５への作動油の供給を許可または阻止するように構成されている。すなわち、サーボ弁４２は、供給口４０から２つの開方向シリンダ室１５への作動油の供給を許可する状態と、当該作動油の供給を阻止する状態とに切替可能に構成されている。より具体的には、サーボ弁４２のＰポートは、供給口４０に接続されている。また、サーボ弁４２のＢポートは、２つの開方向シリンダ１０の開方向シリンダ室１５にそれぞれ接続され、Ｔポートは、排出口４１に接続されている。
【００２７】
サーボ弁４２は、図示しない制御装置から送信される電気信号を受けるコイルを有している。また、サーボ弁４２のスプール弁用のＸポートには、図示しないラインを介して、供給口４０からパイロット油としての作動油が常時供給される。本実施の形態においては、サーボ弁４２が、コイルに入力される電気信号の大きさによって、スプール弁の位置が制御される位置制御機能を有している例を示している。
【００２８】
例えば、サーボ弁４２のコイルに開方向の電気信号が入力されると、図１に示すように、スプール弁が移動し、サーボ弁４２のＰポートとＢポートとが連通する。このことにより、供給口４０から各開方向シリンダ室１５への作動油の供給が許可され、供給口４０から各開方向シリンダ室１５に作動油が供給される。一方、コイルに閉方向の電気信号が入力されると、図２に示すように、スプール弁が移動する。この場合、サーボ弁４２のＰポートとＢポートは遮断され、供給口４０から各開方向シリンダ室１５への作動油の供給が阻止される。
【００２９】
図１に示すように、各開側ロジック弁４３は、開方向シリンダ室１５からの作動油の排出を阻止または許可するように構成されている。すなわち、開側ロジック弁４３は、対応する開方向シリンダ室１５からの作動油の排出を阻止する状態と、当該作動油の排出を許可する状態とに切替可能に構成されている。より具体的には、開側ロジック弁４３のＡポートは、対応する開方向シリンダ室１５に接続されている。開側ロジック弁４３のＸポートは、トリップ電磁弁４４のＡポートに接続され、Ｂポートは、対応する開方向シリンダ１０のロッド側シリンダ室１４を介して排出口４１に接続されている。
【００３０】
各開側ロジック弁４３は、トリップ電磁弁４４によって制御される。すなわち、図１に示すように、各トリップ電磁弁４４のＡポートから開側ロジック弁４３のＸポートに作動油が供給されている状態では、Ｘポートが作動油によって加圧されて開側ロジック弁４３は閉じ、開側ロジック弁４３のＡポートとＢポートとが遮断される。このことにより、対応する開方向シリンダ室１５から排出口４１への作動油の排出が阻止される。一方、図２に示すように、開側ロジック弁４３のＸポートから作動油が排出されている状態では、開側ロジック弁４３は開き、開側ロジック弁４３のＡポートとＢポートとが連通する。このことにより、開方向シリンダ室１５から排出口４１への作動油の流れが許可され、当該開方向シリンダ室１５から排出口４１に作動油が排出される。
【００３１】
各トリップ電磁弁４４は、開側ロジック弁４３への作動油の供給を許可、または開側ロジック弁４３からの作動油の排出を許可するように構成されている。すなわち、各トリップ電磁弁４４は、開側ロジック弁４３への作動油の供給を許可する状態と、開側ロジック弁４３からの作動油の排出を許可する状態とに切替可能に構成されている。このようにトリップ電磁弁４４が開側ロジック弁４３を制御することにより、開側ロジック弁４３は、開方向シリンダ室１５からの作動油の排出を阻止または許可する。より具体的には、トリップ電磁弁４４のＰポートは、供給口４０に接続されている。トリップ電磁弁４４のＡポートは、開側ロジック弁４３のＸポートに接続され、トリップ電磁弁４４のＴポートは、排出口４１に接続されている。なお、図１および図２に示す本実施の形態においては、各トリップ電磁弁４４のＡポートは、両方の開側ロジック弁４３のＸポートに接続されており、充填される作動油の圧力が等しくなるようになっている。また、一方のトリップ電磁弁４４から２つの開側ロジック弁４３に作動油を供給可能になっている。
【００３２】
トリップ電磁弁４４は、図示しない制御装置から送信される電気信号を受けて励磁されるコイルを有している。このコイルが励磁されると、図１に示すように、トリップ電磁弁４４のＰポートとＡポートとが連通し、供給口４０から開側ロジック弁４３のＸポートへの作動油の供給が許可される。このことにより、供給口４０から開側ロジック弁４３のＸポートに作動油が供給される。一方、電気信号が無くなると、コイルの励磁が解かれ、図２に示すように、トリップ電磁弁４４のＡポートとＴポートとが連通し、開側ロジック弁４３のＸポートから排出口４１への作動油の排出が許可される。このことにより、開側ロジック弁４３のＸポートから排出口４１に作動油が排出される。
【００３３】
図１および図２に示すように、本実施の形態による蒸気弁駆動装置１は、閉方向シリンダ２０へ作動油を供給する閉側供給路５０と、閉方向シリンダ２０から作動油を排出する第１閉側排出路５１と、閉方向シリンダ２０に設けられたリリーフ弁５２と、を更に備えている。
【００３４】
閉側供給路５０は、作動油の供給口４０と閉方向シリンダ２０の閉方向シリンダ室２５とを接続している。このため、閉方向シリンダ室２５は、閉側供給路５０を介して供給口４０に接続されている。閉側供給路５０には、サーボ弁４２などの弁は設けられていない。このため、本実施の形態では、供給口４０と閉方向シリンダ２０の閉方向シリンダ室２５とは、蒸気弁ＳＶの開状態および閉状態のいずれにおいても（すなわち、常時）連通しており、供給口４０から作動油が常時供給されるようになっている。
【００３５】
第１閉側排出路５１は、閉方向シリンダ２０のロッド側シリンダ室２４と排出口４１とを接続している。このため、閉方向シリンダ２０のロッド側シリンダ室２４は、第１閉側排出路５１を介して排出口４１に連通されている。閉方向シリンダ２０の閉方向シリンダ室２５からロッド側シリンダ室２４に流出した作動油は、第１閉側排出路５１を介して排出口４１に排出される。
【００３６】
リリーフ弁５２は、閉方向シリンダ室２５内の作動油の圧力を制御するための弁である。より具体的には、リリーフ弁５２は、閉方向シリンダ室２５内の作動油の圧力が所定のしきい値よりも高くなった場合に、閉方向シリンダ室２５から排出口４１への作動油の排出を許可する。すなわち、リリーフ弁５２は、閉方向シリンダ室２５内の作動油の圧力がしきい値よりも高くなった場合に開き、当該圧力がしきい値以下の場合に閉じるように構成されている。このようなリリーフ弁５２により、閉方向シリンダ室２５内の作動油の圧力が過度に上昇しないように圧力制御（圧力監視）がなされている。なお、リリーフ弁５２は、閉方向シリンダ室２５の近傍に設置することにより、閉方向シリンダ室２５内の作動油の圧力上昇を精度良く検知することが可能になる。このため、リリーフ弁５２は、閉方向シリンダ室２５に直接的に取り付けられていてもよく、閉方向シリンダ室２５に比較的短いラインを介して接続されていてもよい。リリーフ弁５２を通過した作動油は、第１閉側排出路５１に排出されるようになっている。
【００３７】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用、ここでは、蒸気弁駆動方法について説明する。図１は、蒸気弁駆動装置１の開状態の系統図を示し、図２は、蒸気弁駆動装置１の閉状態の系統図を示しているが、便宜上、各開方向シリンダ１０の状態、閉方向シリンダ２０の状態、閉鎖ばね３０の状態、および弁体ＶＢの位置は、開状態と閉状態とで区別させずに示している。後述する図３〜図９についても同様である。図中に示す実線は、作動油の圧力が付加されている状態を示し、破線は、その圧力から解放されている状態を示している。
【００３８】
蒸気弁ＳＶを開く（リセットする）場合、各トリップ電磁弁４４が励磁される。すると、図１に示すように、トリップ電磁弁４４のＰポートとＡポートとが連通し、供給口４０からトリップ電磁弁４４を介して、各開側ロジック弁４３のＸポートに作動油が供給される。このことにより、各開側ロジック弁４３のＸポートが加圧されて、各開側ロジック弁４３は閉じる。このため、各開方向シリンダ１０の開方向シリンダ室１５から排出口４１への作動油の排出が阻止される。
【００３９】
また、蒸気弁ＳＶを開く場合、サーボ弁４２に開方向の電気信号が入力される。すると、図１に示すように、サーボ弁４２のＰポートとＢポートとが連通し、供給口４０からサーボ弁４２を介して、各開方向シリンダ１０の開方向シリンダ室１５に作動油が供給される。
【００４０】
開方向シリンダ室１５に作動油が供給されると、開方向シリンダ室１５内の作動油の圧力が高まる。このことにより、開方向シリンダ１０のピストン１２が開方向シリンダ室１５内の作動油の圧力で押圧され、ピストン１２は、開方向に（図１における上側）に移動する。この作動油からピストン１２が受ける押圧力は、駆動伝達バー３５およびカップリング部３４を介して弁棒ＶＡに伝達され、弁体ＶＢが開方向（図１における上側）に移動する。このようにして、蒸気弁ＳＶを開くことができる。
【００４１】
なお、蒸気弁ＳＶを開く際であっても、閉方向シリンダ室２５には、供給口４０から作動油が供給される。２つの開方向シリンダ１０のピストン１２が作動油から受ける押圧力が、閉方向シリンダ２０のピストン２２が作動油から受ける押圧力と閉鎖ばね３０のばね力と蒸気弁ＳＶの弁体ＶＢの前後差圧との合力よりも大きいため、駆動伝達バー３５を介して、閉方向シリンダ２０のピストン２２は、弁体ＶＢを開方向に移動させる方向（図１における上側）に移動する。このため、ピストン２２の移動に伴い、閉方向シリンダ室２５内の作動油の圧力が高められる。
【００４２】
しかしながら、閉方向シリンダ室２５に、リリーフ弁５２が設けられている。このことにより、閉方向シリンダ室２５内の作動油の圧力がしきい値に達すると、リリーフ弁５２が開く。このため、閉方向シリンダ室２５内の作動油はリリーフ弁５２を介して第１閉側排出路５１に排出され、閉方向シリンダ室２５内の作動油の圧力が低減される。この結果、開方向シリンダ１０の押圧力によって、弁体ＶＢは開方向に移動し、蒸気弁ＳＶを開くことができる。
【００４３】
一方、蒸気弁ＳＶを急閉する（トリップする）場合、各トリップ電磁弁４４の励磁が解かれ、トリップ電磁弁４４のばねの作用によってトリップ電磁弁４４がトリップする。すると、図２に示すように、各トリップ電磁弁４４のＡポートとＴポートとが連通し、各開側ロジック弁４３のＸポート内の作動油が、トリップ電磁弁４４を介して排出口４１に排出される。このことにより、各開側ロジック弁４３が開く。各開側ロジック弁４３が開くと、開側ロジック弁４３のＡポートとＢポートとが連通する。このことにより、対応する開方向シリンダ１０の開方向シリンダ室１５内の作動油は、開側ロジック弁４３および開方向シリンダ１０のロッド側シリンダ室１４を介して、排出口４１に排出される。
【００４４】
また、蒸気弁ＳＶを急閉する場合、サーボ弁４２に閉方向の電気信号が入力される。すると、図２に示すように、サーボ弁４２のＰポートとＢポートとが遮断され、供給口４０から開方向シリンダ室１５への作動油の供給が阻止される。
【００４５】
このため、開方向シリンダ１０のピストン１２が受けていた押圧力が喪失される。一方、閉方向シリンダ２０の閉方向シリンダ室２５には、供給口４０から作動油が供給されるため、ピストン２２が閉方向シリンダ室２５内の作動油の圧力で押圧される。このため、閉方向シリンダ２０のピストン２２が作動油から受ける押圧力と、閉鎖ばね３０のばね力で、弁体ＶＢは閉方向（図２における下側）に移動する。このようにして、蒸気弁ＳＶを急閉することができる。
【００４６】
また、蒸気弁ＳＶを急閉する場合、開方向シリンダ室１５内の作動油は、排出容量が大きい開側ロジック弁４３から排出されるため、開方向シリンダ室１５内の作動油を急速に排出することができる。このことにより、弁体ＶＢを、閉鎖ばね３０のばね力で閉方向に急速に移動させることができ、蒸気弁ＳＶの急閉が可能になる。
【００４７】
このように本実施の形態によれば、閉方向シリンダ２０が弁体ＶＢを閉方向に押圧している。このことにより、閉方向シリンダ２０で、弁体ＶＢの閉方向の押圧力を確保することができれば、閉鎖ばね３０を不要にすることができる。このため、蒸気弁駆動装置１をコンパクト化することができる。この場合、蒸気弁駆動装置１のサイト据付時における作業性を向上させることができる。また、サイト据付後、蒸気弁駆動装置１へのアクセス性を向上させて、メンテナンス性を向上させることができる。
【００４８】
また、本実施の形態によれば、閉方向シリンダ２０だけでなく、閉鎖ばね３０によっても蒸気弁ＳＶの弁体ＶＢを閉方向に押圧されている。このことにより、閉方向への弁体ＶＢの押圧力を高めることができ、蒸気弁ＳＶをより一層スムースに急閉することができる。上述したように、閉方向シリンダ２０も弁体ＶＢを閉方向に押圧していることから、閉鎖ばね３０の押圧力を低減することができ、閉鎖ばね３０をコンパクト化することができる。このため、蒸気弁駆動装置１をコンパクト化することができる。
【００４９】
また、本実施の形態によれば、複数の開方向シリンダ１０によって弁体ＶＢを開方向に押圧することができる。すなわち、本実施の形態による蒸気弁駆動装置１は、図１０に示す従来の油圧アクチュエータ１００の開方向シリンダ室１０７を２つの開方向シリンダ１０に分割した構成となっている。このことにより、各開方向シリンダ１０をコンパクト化させることができる。このため、上述した閉鎖ばね３０のコンパクト化と、開方向シリンダ１０のコンパクト化と合わせて、蒸気弁駆動装置１をコンパクト化することができる。
【００５０】
また、本実施の形態によれば、蒸気弁ＳＶの弁体ＶＢを開方向に押圧する開方向シリンダ１０は、ピストンロッド１３が配置されるロッド側シリンダ室１４と、作動油が供給される開方向シリンダ室１５と、を有している。そして、ロッド側シリンダ室１４は、シリンダ室２１のうちピストン１２の一側に設けられ、開方向シリンダ室１５は、ピストン１２の他側に設けられている。すなわち、開方向シリンダ室１５は、ピストン１２に対してロッド側シリンダ室１４とは反対側に設けられている。このことにより、作動油が供給される開方向シリンダ室１５に、ピストンロッド１３が配置されることを回避でき、ピストンロッド１３が貫通して作動油の漏れを誘発し得る貫通部が、開方向シリンダ室１５に形成されることを防止できる。このため、開方向シリンダ１０から外部への作動油の漏れを抑制することができる。
【００５１】
また、本実施の形態によれば、作動油が供給される閉方向シリンダ室２５は、ピストン２２に対してロッド側シリンダ室２４とは反対側に設けられている。このことにより、閉方向シリンダ室２５に、ピストンロッド２３が配置されることを回避でき、ピストンロッド２３が貫通して作動油の漏れを誘発し得る貫通部が、閉方向シリンダ室２５に形成されることを防止できる。このため、閉方向シリンダ室２５から外部への作動油の漏れを抑制することができる。
【００５２】
また、本実施の形態によれば、閉方向シリンダ２０の閉方向シリンダ室２５に、蒸気弁ＳＶの開状態および閉状態のいずれにおいても作動油が供給されており、閉方向シリンダ室２５内の作動油の圧力が、リリーフ弁５２によって制御されている。このことにより、閉方向シリンダ室２５内の作動油の圧力がしきい値よりも高くなった場合に、リリーフ弁５２を開いて、閉方向シリンダ室２５から排出口４１に作動油を排出することができる。このため、蒸気弁ＳＶを開く際に、閉方向シリンダ２０のピストン２２が作動油から受ける圧力を低減させることができ、蒸気弁ＳＶをスムースに開くことができる。また、閉方向シリンダ室２５には、常時作動油が供給されていることから、蒸気弁ＳＶを急閉する場合には、開方向シリンダ１０から作動油を排出させることにより、弁体ＶＢを迅速に閉方向に移動させることができ、蒸気弁ＳＶを急閉することができる。
【００５３】
（第２の実施の形態）
次に、図３および図４を用いて、本発明の第２の実施の形態における蒸気弁駆動装置について説明する。
【００５４】
図３および図４に示す第２の実施の形態においては、閉方向シリンダへの作動油の供給が閉側供給制御弁によって阻止または許可され、閉方向シリンダからの作動油の排出が閉側排出制御弁によって許可または阻止される点が主に異なり、他の構成は、図１および図２に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図３および図４において、図１および図２に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００５５】
本実施の形態においては、図３に示すように、蒸気弁駆動装置１は、閉方向シリンダ２０への作動油の供給を阻止または許可する閉側ロジック弁６０（閉側供給制御弁）と、閉方向シリンダ２０からの作動油の排出を許可または阻止する閉側排出制御弁６１と、を備えている。閉側ロジック弁６０は、閉側供給路５０に設けられている。主として、これらの閉側ロジック弁６０および閉側排出制御弁６１が設けられている点が、本実施の形態が、図１および図２に示す第１の実施の形態と異なっている点である。
【００５６】
閉側ロジック弁６０は、閉方向シリンダ室２５への作動油の供給を阻止または許可するように構成されている。すなわち、閉側ロジック弁６０は、閉方向シリンダ室２５への作動油の供給を阻止する状態と、当該作動油の供給を許可する状態とに切替可能に構成されている。より具体的には、閉側ロジック弁６０のＡポートは、供給口４０に接続されている。閉側ロジック弁６０のＸポートは、トリップ電磁弁４４のＡポートに接続され、Ｂポートは、閉方向シリンダ２０の閉方向シリンダ室２５に接続されている。
【００５７】
閉側ロジック弁６０は、トリップ電磁弁４４によって制御される。すなわち、図３に示すように、トリップ電磁弁４４のＡポートから閉側ロジック弁６０のＸポートに作動油が供給されている状態では、Ｘポートが作動油によって加圧されて閉側ロジック弁６０は閉じ、閉側ロジック弁６０のＡポートとＢポートとが遮断される。このことにより、閉方向シリンダ室２５への供給口４０からの作動油の供給が阻止される。一方、図４に示すように、閉側ロジック弁６０のＸポートから作動油が排出されている状態では、閉側ロジック弁６０は開き、閉側ロジック弁６０のＡポートとＢポートとが連通する。このことにより、供給口４０から閉方向シリンダ室２５への作動油の流れが許可され、供給口４０から閉方向シリンダ室２５に作動油が供給される。
【００５８】
本実施の形態によるトリップ電磁弁４４は、各開側ロジック弁４３だけでなく閉側ロジック弁６０も制御するようになっている。すなわち、トリップ電磁弁４４は、各開側ロジック弁４３および閉側ロジック弁６０への作動油の供給を許可、または各開側ロジック弁４３および閉側ロジック弁６０からの作動油の排出を許可するように構成されている。すなわち、各トリップ電磁弁４４は、開側ロジック弁４３および閉側ロジック弁６０への作動油の供給を許可する状態と、開側ロジック弁４３および閉側ロジック弁６０からの作動油の排出を許可する状態とに切替可能に構成されている。
【００５９】
このようにトリップ電磁弁４４が開側ロジック弁４３および閉側ロジック弁６０を制御することにより、開側ロジック弁４３は、開方向シリンダ室１５からの作動油の排出を阻止または許可し、閉側ロジック弁６０は、閉方向シリンダ室２５への作動油の供給を阻止または許可する。より具体的には、トリップ電磁弁４４のＰポートは、供給口４０に接続されている。トリップ電磁弁４４のＡポートは、対応する開側ロジック弁４３のＸポートおよび閉側ロジック弁６０のＸポートに接続され、トリップ電磁弁４４のＴポートは、排出口４１に接続されている。なお、図３および図４に示す本実施の形態においては、各トリップ電磁弁４４のＡポートは、両方の開側ロジック弁４３のＸポートおよび閉側ロジック弁６０のＸポートに接続されており、充填される作動油の圧力が等しくなるようになっている。また、一方のトリップ電磁弁４４から２つの開側ロジック弁４３および閉側ロジック弁６０に作動油を供給可能になっている。
【００６０】
トリップ電磁弁４４のコイルが励磁されると、図３に示すように、トリップ電磁弁４４のＰポートとＡポートとが連通し、供給口４０から開側ロジック弁４３のＸポートおよび閉側ロジック弁６０のＸポートへの作動油の流れが許可される。このことにより、供給口４０から開側ロジック弁４３のＸポートおよび閉側ロジック弁６０のＸポートに作動油が供給される。一方、電気信号が無くなると、コイルの励磁が解かれ、図４に示すように、トリップ電磁弁４４のＡポートとＴポートとが連通し、開側ロジック弁４３のＸポートおよび閉側ロジック弁６０のＸポートから排出口４１への作動油の排出が許可される。このことにより、開側ロジック弁４３のＸポートおよび閉側ロジック弁６０のＸポートから排出口４１に作動油が排出される。
【００６１】
図３および図４に示すように、本実施の形態においては、閉方向シリンダ２０の閉方向シリンダ室２５と排出口４１とが第２閉側排出路６２で接続されている。この第２閉側排出路６２に、上述したサーボ弁４２が設けられている。より具体的には、第２閉側排出路６２は、閉方向シリンダ室２５からサーボ弁４２のＡポートおよびＴポートを通って排出口４１まで達する流路となっている。
【００６２】
本実施の形態によるサーボ弁４２は、上述した閉側排出制御弁６１としても構成されている。すなわち、サーボ弁４２は、開方向シリンダ１０への作動油の供給を許可または阻止する開側供給制御弁と、閉方向シリンダからの作動油の排出を許可または阻止する閉側排出制御弁６１と、が一体に構成されており、閉方向シリンダ２０からの作動油の排出を許可または阻止するようにも構成されている。このため、サーボ弁４２は、閉方向シリンダ室２５から排出口４１への作動油の排出を許可する状態と、当該作動油の排出を阻止する状態とに切替可能に構成されている。そして、サーボ弁４２のコイルに開方向の電気信号が入力されると、図３に示すように、サーボ弁４２のＡポートとＴポートとが連通し、閉方向シリンダ室２５から排出口４１への作動油の排出が許可される。一方、サーボ弁４２のコイルに閉方向の電気信号が入力されると、図４に示すように、サーボ弁４２のＡポートとＴポートとが遮断され、閉方向シリンダ室２５から排出口４１への作動油の排出が阻止される。
【００６３】
次に、本実施の形態による蒸気弁駆動方法について説明する。以下では、主として閉方向シリンダ２０について説明する。
【００６４】
蒸気弁ＳＶを開く（リセットする）場合、図３に示すように、各トリップ電磁弁４４が励磁され、閉側ロジック弁６０のＸポートに作動油が供給される。このことにより、閉側ロジック弁６０のＸポートが加圧されて閉側ロジック弁６０のＡポートが閉じる。このため、供給口４０から閉方向シリンダ室２５への作動油の供給が阻止される。
【００６５】
また、蒸気弁ＳＶを開く場合、サーボ弁４２に開方向の電気信号が入力される。すると、図３に示すように、サーボ弁４２のＡポートとＴポートとが連通し、閉方向シリンダ室２５から第２閉側排出路６２およびサーボ弁４２（ＡポートおよびＴポート）を介して、排出口４１に作動油が排出される。このことにより、作動油による閉方向シリンダ２０のピストン２２の押圧力が喪失される。同時に、サーボ弁４２のＰポートとＢポートとが連通し、供給口４０からサーボ弁４２（ＰポートおよびＢポート）を介して、開方向シリンダ室１５に作動油が供給される。このため、開方向シリンダ１０の押圧力が、弁棒ＶＡに伝達されて、弁体ＶＢが開方向（図３における上側）に移動する。
【００６６】
蒸気弁ＳＶを急閉する（トリップする）場合、図４に示すように、各トリップ電磁弁４４の励磁が解かれ、閉側ロジック弁６０のＸポートから作動油が排出される。このことにより、閉側ロジック弁６０のＡポートが開く。閉側ロジック弁６０のＡポートが開くと、供給口４０から閉方向シリンダ室２５に作動油が供給される。
【００６７】
また、蒸気弁ＳＶを急閉する場合、サーボ弁４２に閉方向の電気信号が入力される。すると、サーボ弁４２のＡポートとＴポートとが遮断し、閉方向シリンダ室２５から排出口４１への作動油の排出が阻止される。このことにより、閉方向シリンダ室２５内の作動油の圧力が高まり、閉方向シリンダ２０のピストン２２が受ける押圧力と、閉鎖ばね３０のばね力で、弁体ＶＢは閉方向（図４における下側）に急速に移動する。このようにして、蒸気弁ＳＶを急閉することができる。
【００６８】
このように本実施の形態によれば、閉方向シリンダ２０の閉方向シリンダ室２５への作動油の供給が、閉側ロジック弁６０によって阻止または許可され、閉方向シリンダ室２５からの作動油の排出が、サーボ弁４２によって許可または阻止される。このことにより、蒸気弁ＳＶを開く場合に、閉方向シリンダ室２５に作動油が充填されることを防止でき、作動油による閉方向シリンダ２０のピストン２２の押圧力を喪失させることができる。このため、大きな駆動力を必要とする蒸気弁ＳＶを開く際に、開方向シリンダ１０から弁棒ＶＡに伝達される押圧力が低減されることを防止でき、弁体ＶＢが開方向に効率良く移動させることができる。この結果、蒸気弁ＳＶをスムースに開くことができる。
【００６９】
（第３の実施の形態）
次に、図５〜図７を用いて、本発明の第３の実施の形態における蒸気弁駆動装置について説明する。
【００７０】
図５〜図７に示す第３の実施の形態においては、作動油を加圧下で貯留して閉方向シリンダに供給するアキュムレータと、アキュムレータからの作動油の供給口の側への流れを遮断する逆止弁と、を更に備えている点が主に異なり、他の構成は、図１および図２に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図５〜図７において、図１および図２に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００７１】
本実施の形態においては、図５に示すように、蒸気弁駆動装置１、閉側供給路５０に接続されたアキュムレータ７０と、閉側供給路５０に設けられた逆止弁７１と、を更に備えている。主として、アキュムレータ７０および逆止弁７１が設けられている点が、本実施の形態が図１および図２に示す第１の実施の形態と異なっている点である。
【００７２】
アキュムレータ７０は、作動油を加圧下で貯留して閉方向シリンダ２０に供給するように構成されており、閉側供給路５０の途中に設けられた接続点Ｐ１に接続されている。言い換えると、アキュムレータ７０は、閉側供給路５０において、供給口４０と閉方向シリンダ２０との間に設けられた接続点Ｐ１に接続されている。アキュムレータ７０は、一例としてガス式アキュムレータになっている。すなわち、ガス式アキュムレータは、窒素ガスなどのガスが封入されて、このガスを圧縮させることにより作動油を加圧下で貯留するように構成されている。
【００７３】
閉側供給路５０のうち接続点Ｐ１よりも上流側（供給口４０の側）に、逆止弁７１が設けられている。言い換えると、逆止弁７１は、閉側供給路５０において供給口４０と接続点Ｐ１との間の位置に配置されている。逆止弁７１は、アキュムレータ７０からの作動油の上流側（供給口４０の側）への流れを遮断するように構成されている。すなわち、逆止弁７１は、供給口４０から閉方向シリンダ室２５への作動油の流れを許可するが、閉方向シリンダ室２５およびアキュムレータ７０から供給口４０への流れを遮断するように構成されている。
【００７４】
本実施の形態による蒸気弁駆動装置１は、図１および図２に示す第１の実施の形態や図３および図４に示す第２の実施の形態に示すような閉鎖ばね３０、ばね箱３１およびばね受け部３２は有していない。本実施の形態によるカップリング部３４は、弁棒ＶＡの端部に設けられたカップリングフランジ３４ｂを有し、弁棒ＶＡと駆動伝達バー３５とを連結するように構成されている。このため、２つの開方向シリンダ１０の押圧力の合力は、閉方向シリンダ２０の押圧力と蒸気弁ＳＶの弁体ＶＢの前後差圧との合力よりも大きくなっている。このことにより、２つの開方向シリンダ１０の押圧力で、蒸気弁ＳＶを開くことができる。
【００７５】
本実施の形態において、蒸気弁ＳＶを開く（リセットする）場合、図５に示すように、供給口４０から逆止弁７１を介して閉方向シリンダ２０の閉方向シリンダ室２５へ作動油が供給される。この間、アキュムレータ７０にも作動油が供給されて、アキュムレータ７０に加圧下で貯留される。
【００７６】
蒸気弁ＳＶを閉じる（トリップする）場合、図６に示すように、各トリップ電磁弁４４の励磁が解かれ、各開側ロジック弁４３が開く。各開側ロジック弁４３が開くと、開方向シリンダ１０の開方向シリンダ室１５内の作動油は、開側ロジック弁４３のＡポートからＢポートを通過し、開方向シリンダ１０のロッド側シリンダ室１４を介して、排出口４１に排出される。これと同時に、図６に示すように、アキュムレータ７０から貯留していた作動油が閉方向シリンダ室２５へ供給される。このことにより、閉方向シリンダ室２５に作動油が急速に供給される。このため、閉方向シリンダ２０のピストン２２が作動油から受ける押圧力で、弁体ＶＢは閉方向（図６における下側）に移動する。このようにして、蒸気弁ＳＶを急閉することができる。
【００７７】
このように本実施の形態によれば、蒸気弁駆動装置１が、閉側供給路５０に接続された、作動油を加圧下で貯留するアキュムレータ７０を有している。このことにより、蒸気弁ＳＶを急閉する場合、閉方向シリンダ２０の閉方向シリンダ室２５に、作動油を急速に供給することができる。このため、弁体ＶＢを閉方向に急速に移動させることができ、蒸気弁ＳＶを急閉することができる。また、アキュムレータ７０から作動油を閉方向シリンダ室２５に供給することにより、図１および図２に示す第１の実施の形態や図３および図４に示す第２の実施の形態に示すような閉鎖ばね３０を不要とすることができる。このため、蒸気弁駆動装置１をコンパクト化させることができる。さらに、作動油供給系統から供給口４０への作動油の供給が絶たれた場合においても、アキュムレータ７０から閉方向シリンダ室２５に作動油を供給して蒸気弁ＳＶを急閉することができ、蒸気弁駆動装置１の信頼性を向上させることができる。
【００７８】
また、本実施の形態によれば、閉側供給路５０のうち、アキュムレータ７０が接続された接続点Ｐ１よりも上流側に逆止弁７１が設けられている。このことにより、アキュムレータ７０からの作動油が上流側へ流れることを防止できる。このため、閉方向シリンダ室２５に、作動油をより一層急速に供給することができ、蒸気弁ＳＶを急閉することができる。
【００７９】
なお、上述した本実施の形態においては、アキュムレータ７０が、ガス式のアキュムレータである例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、図７に示すように、アキュムレータ７０は、ばね式アキュムレータであってもよい。ばね式アキュムレータは、内蔵されたばねを圧縮させることにより作動油を加圧下で貯留するように構成されている。この場合、作動油を加圧下で貯留させるためのガスを不要にすることができる。このため、ガス漏れなどでアキュムレータ７０での作動油の貯留量が低下することを防止でき、信頼性を向上させることができる。アキュムレータ７０の代わりにばね式アキュムレータを用いた場合であっても、同様の作用効果を奏することができる。
【００８０】
（第４の実施の形態）
次に、図８および図９を用いて、本発明の第４の実施の形態における蒸気弁駆動装置について説明する。
【００８１】
図８および図９に示す第４の実施の形態においては、作動油を加圧下で貯留するアキュムレータと、アキュムレータからの作動油の供給口の側への流れを遮断する逆止弁と、を更に備えている点が主に異なり、他の構成は、図３および図４に示す第２の実施の形態と略同一である。なお、図８および図９において、図３および図４に示す第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００８２】
図８および図９に示す本実施の形態は、図３および図４に示す第２の実施の形態と、図５および図６に示す第３の実施の形態とを組み合わせた構成を有している。主として、アキュムレータ７０および逆止弁７１が設けられている点が、本実施の形態が図３および図４に示す第２の実施の形態と異なっている点である。
【００８３】
本実施の形態においては、図８に示すように、蒸気弁駆動装置１は、閉側供給路５０に接続されたアキュムレータ７０を更に備えている。このアキュムレータ７０は、図５および図６に示すアキュムレータ７０と同様に、作動油を加圧下で貯留して閉方向シリンダ２０に供給するように構成されており、閉側供給路５０の途中に設けられた接続点Ｐ１に接続されている。本実施の形態によるアキュムレータ７０は、図５および図６に示す第４の実施の形態と同様に、ガス式のアキュムレータであってもよいが、図７に示す形態と同様に、ばね式アキュムレータであってもよい。
【００８４】
閉側供給路５０には、図５および図６に示す第４の実施の形態と同様に、逆止弁７１が設けられている。
【００８５】
本実施の形態による蒸気弁駆動装置１は、図３および図４に示す第２の実施の形態に示すような閉鎖ばね３０、ばね箱３１およびばね受け部３２は有していない。このため、２つの開方向シリンダ１０の押圧力の合力は、閉方向シリンダ２０の押圧力と蒸気弁ＳＶの弁体ＶＢの前後差圧との合力よりも大きくなっている。このことにより、２つの開方向シリンダ１０の押圧力で、蒸気弁ＳＶを開くことができる。
【００８６】
本実施の形態において、蒸気弁ＳＶを開く（リセットする）場合、図８に示すように、供給口４０からアキュムレータ７０に作動油が供給されて、アキュムレータ７０に作動油が加圧下で貯留される。
【００８７】
蒸気弁ＳＶを閉じる（リセットする）場合、図９に示すように、各トリップ電磁弁４４の励磁が解かれ、閉側ロジック弁６０が開く。閉側ロジック弁６０が開くと、アキュムレータ７０から閉方向シリンダ室２５に作動油が供給される。このことにより、閉方向シリンダ室２５に作動油が急速に供給される。このため、閉方向シリンダ２０のピストン２２が作動油から受ける押圧力で、弁体ＶＢは閉方向（図９における下側）に急速に移動する。このようにして、蒸気弁ＳＶを急閉することができる。
【００８８】
このように本実施の形態によれば、蒸気弁駆動装置１が、閉側供給路５０に接続された、作動油を加圧下で貯留するアキュムレータ７０を有している。このことにより、蒸気弁ＳＶを急閉する場合、閉方向シリンダ２０の閉方向シリンダ室２５に、作動油を急速に供給することができる。このため、弁体ＶＢを閉方向に急速に移動させることができ、蒸気弁ＳＶを急閉することができる。また、アキュムレータ７０から作動油を閉方向シリンダ室２５に供給することにより、図３および図４に示す第２の実施の形態に示すような閉鎖ばね３０を不要とすることができる。このため、蒸気弁駆動装置１をコンパクト化させることができる。さらに、作動油供給系統から供給口４０への作動油の供給が絶たれた場合においても、アキュムレータ７０から閉方向シリンダ室２５に作動油を供給して蒸気弁ＳＶを急閉することができ、蒸気弁駆動装置１の信頼性を向上させることができる。
【００８９】
また、本実施の形態によれば、閉側供給路５０のうち、アキュムレータ７０が接続された接続点Ｐ１よりも上流側に逆止弁７１が設けられている。このことにより、アキュムレータ７０からの作動油が上流側へ流れることを防止できる。このため、閉方向シリンダ室２５に、作動油をより一層急速に供給することができ、蒸気弁ＳＶを急閉することができる。
【００９０】
以上述べた実施の形態によれば、コンパクト化させることにより、据付時の作業性を向上させるとともにメンテナンス性を向上させることができる。
【００９１】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、当然のことながら、本発明の要旨の範囲内で、これらの実施の形態を、部分的に適宜組み合わせることも可能である。
【符号の説明】
【００９２】
１：蒸気弁駆動装置、１０：開方向シリンダ、１１：シリンダ室、１２：ピストン、１３：ピストンロッド、１４：ロッド側シリンダ室、１５：開方向シリンダ室、２０：閉方向シリンダ、２１：シリンダ室、２２：ピストン、２３：ピストンロッド、２４：ロッド側シリンダ室、２５：閉方向シリンダ室、３０：閉鎖ばね、４０：供給口、４２：サーボ弁、４３：開側ロジック弁、４４：トリップ電磁弁、５２：リリーフ弁、６０：閉側ロジック弁、６１：閉側排出制御弁、７０：アキュムレータ、７１：逆止弁、Ｐ１：接続点、ＳＶ：蒸気弁、ＶＢ：弁体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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