(57)【要約】【課題】装置に設置するテープの取り違いを防止すること。【解決手段】本発明に係るテープ貼り機は、テープをウエーハに貼り付けるテープ貼り機である。かかるテープ貼り機は、テープを保持する保持部と、保持部から送り出されたテープをウエーハに貼着する貼着部と、情報記録媒体を読み込む読込部と、制御部と、を備える。かかる制御部は、複数のテープ情報を登録可能なテープ登録部と、テープ選択部と、テープ判定部とを含む。テープ選択部は、テープ登録部に登録されたテープ情報からオペレータが選択したテープ情報を記録する。テープ判定部は、テープ選択部で記録されたテープ情報と、読込部によって読み込まれたテープ情報とが一致するかを判定する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
芯と、芯に巻かれたテープと、を備え、
該芯は、テープ情報を記録する情報記録媒体を含むことを特徴とするテープユニット。
【請求項２】
該情報記録媒体は、
二次元コード、又は無線通信によって情報の書き込み及び読み取りが可能なＲＦＩＤのＲＦタグであることを特徴とする請求項１に記載のテープユニット。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のテープユニットが備えるテープをウエーハに貼り付けるテープ貼り機であって、
該テープユニットを保持する保持部と、
該保持部から送り出されたテープをウエーハに貼着する貼着部と、
該情報記録媒体を読み込む読込部と、
制御部と、を備え、
該制御部は、
複数のテープ情報を登録可能なテープ登録部と、
該テープ登録部に登録されたテープ情報からオペレータが選択したテープ情報を記録するテープ選択部と、
該テープ選択部で記録されたテープ情報と、該読込部によって読み込まれたテープ情報とが一致するかを判定するテープ判定部と、
を含むことを特徴とするテープ貼り機。
【請求項４】
該テープ情報は、品種と使用期限とを少なくとも含み、
該テープ判定部は、
該テープ選択部で記録されたテープ情報に含まれる品種と、該読込部によって読み込まれたテープ情報に含まれる品種とが一致するかを判定し、
該品種が一致していないと判定された場合、テープの取り違いが発生している旨を通知し、
該品種が一致していると判定した場合、現在時刻と該読込部で読み込まれたテープ情報に含まれる使用期限とを比較し、
該テープの使用期限を過ぎている場合には、使用期限が過ぎている旨を通知することを特徴とする
請求項３に記載のテープ貼り機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープユニット及びテープ貼り機に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハの加工に際して、半導体ウエーハに取り付けるグラインダー用の保護テープやダイシング用のテープなど、半導体用ウエーハ用のテープを半導体ウエーハに貼着するテープ貼り機がある（例えば、特許文献１）。半導体ウエーハ用のテープは、通常、テープ情報が記載された専用の収容袋で保管されている。オペレータは、テープの貼り付けを行う際、この専用の収容袋からテープを取り出して、テープ貼り機にセットする。
【０００３】
ところで、半導体ウエーハに貼り付けるテープの種類を取り違えると、加工不良に繋がるおそれがある。このため、オペレータがテープの種類が判断できるように、半導体ウエーハ用のテープが収容される専用の収容袋には、テープ情報が記載されている。オペレータは、収容袋に記載されたテープ情報を目視で確認することにより、装置にセットするテープが正しいかどうかを判断できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２０６１６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のように、半導体ウエーハを収容している専用の収容袋にはテープ情報が記載されているが、一度、テープを収容袋から取り出した後は、テープ情報が確認できなくなり、誤ったテープを装置にセットしてしまうおそれがある。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、装置に設置するテープの取り違いを防止できるテープユニット及びテープ貼り機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るテープユニットは、芯と、芯に巻かれたテープと、を備え、芯は、テープ情報を記録する情報記録媒体を含むことを特徴とする。
【０００８】
本発明の構成によれば、テープ自体がテープ情報を記録する媒体を備えるので、装置に設置するテープの取り違い防止に寄与できる。
【０００９】
また、本発明に係るテープユニットにおいて、情報記録媒体は、二次元コード、又は無線通信によって情報の書き込み及び読み取りが可能なＲＦＩＤのＲＦタグであってもよい。
【００１０】
本発明の構成によれば、テープに対してテープ情報を簡易に付帯できる。
【００１１】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るテープ貼り機は、テープユニットが備えるテープをウエーハに貼り付けるテープ貼り機である。かかるテープ貼り機は、テープユニットを保持する保持部と、保持部から送り出されたテープをウエーハに貼着する貼着部と、情報記録媒体を読み込む読込部と、制御部と、を備える。かかる制御部は、複数のテープ情報を登録可能なテープ登録部と、テープ選択部と、テープ判定部とを含む。テープ選択部は、テープ登録部に登録されたテープ情報からオペレータが選択したテープ情報を記録する。テープ判定部は、テープ選択部で記録されたテープ情報と、読込部によって読み込まれたテープ情報とが一致するかを判定する。
【００１２】
本発明の構成によれば、装置に設置するテープの取り違いを防止できるテープ貼り機を提供できる。
【００１３】
また、本発明に係るテープ貼り機において、テープ情報は、品種と使用期限とを少なくとも含み、テープ判定部は、テープ選択部で記録されたテープ情報に含まれる品種と、読込部によって読み込まれたテープ情報に含まれる品種とが一致するかを判定し、品種が一致していないと判定された場合、テープの取り違いが発生している旨を通知し、品種が一致していると判定した場合、現在時刻と読込部で読み込まれたテープ情報に含まれる使用期限とを比較し、テープの使用期限を過ぎている場合には、使用期限が過ぎている旨を通知してもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、装置に設置するテープの取り違いを防止できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、実施形態に係るウエーハの外観を示す斜視図である。
【図２】図２は、実施形態に係るテープユニットの一例を示す斜視図である。
【図３】図３は、実施形態に係る保護テープの貼着例を示す斜視図である。
【図４】図４は、実施形態に係るフレームユニットの構成例を示す斜視図である。
【図５】図５は、実施形態に係るテープ貼り機の外観構成を示す斜視図である。
【図６】図６は、実施形態に係るテープ貼り機の一部断面を示す側面図である。
【図７】図７は、実施形態に係るテープ貼り機の一部断面を示す側面図である。
【図８】図８は、実施形態に係る処理の概要を示す図である。
【図９】図９は、実施形態に係る処理手順の一例を示すフローチャートである。
【図１０】図１０は、変形例に係るテープユニットの外観構成を示す斜視図である。
【図１１】図１１は、変形例に係るテープユニットの外観構成を示す斜視図である。
【図１２】図１２は、変形例に係るテープ貼り機の一部断面を示す側面図である。
【００１６】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態を詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１７】
また、本発明の実施形態において、実質的に同一の機能構成を有する複数の構成要素の各々を特に区別する必要がない場合、同一符号を付して説明する場合がある。また、同一の符号の後に異なる数字や文字等を付して区別する場合もある。
【００１８】
以下に説明する実施形態において、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。水平面内の一方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向をＺ軸方向とする。Ｘ軸及びＹ軸を含むＸＹ平面は、水平面と平行である。ＸＹ平面と直交するＺ軸方向は、鉛直方向である。
【００１９】
〔ウエーハ及びテープの構成〕
まず、実施形態に係るテープ貼り機が対象とするウエーハ及びテープユニットについて説明する。図１は、実施形態に係るウエーハの外観を示す斜視図である。図２は、実施形態に係るテープユニットの一例を示す斜視図である。図３は、実施形態に係る保護テープの貼着例を示す斜視図である。図４は、実施形態に係るフレームユニットの構成例を示す斜視図である。
【００２０】
図１に示すウエーハ１１は、シリコン、サファイア、又はガリウムヒ素などを基板とする半導体ウエーハや光デバイスウエーハであり、円板状の構造物である。ウエーハ１１の表面１１−３には、交差する複数のストリート１１−１で区画された各領域のそれぞれに、ＩＣやＬＳＩ等のデバイス１１−２が形成される。また、ウエーハ１１には、結晶方位を示すノッチ１１−４が設けられている。なお、ウエーハ１１に、結晶方位を示すオリエンテーションフラットが設けられてもよい。
【００２１】
図２に示すテープユニット４は、芯４１と、芯４１に巻かれたテープ４２０と、を備える。芯４１は、内部が空洞の筒状であり、例えばプラスチックなどにより構成される。芯４１は、テープ情報を記録する情報記録媒体２０１を含む。情報記録媒体２０１は、例えば、無線通信によって情報の書き込み及び読み取りが可能なＲＦＩＤ（radio  frequency  identifier）のＲＦタグ（以下、ＲＦＩＤタグ）により実装される。テープ情報として、テープの品種名、ロートナンバー、及び使用期限の情報を記録する。テープ４２０は、ウエーハ１１の表面１１−３を保護する保護テープ４２１や、後述するフレームユニット１１Ｆを形成するダイシングテープ４２２などに該当する。図２では、情報記録媒体２０１が、芯４１を形成する長手方向の曲面上に設置される例を示すが、この例には特に限定される必要はない。
【００２２】
図３に示すように、テープ貼り機１により実施される所定のテープ貼着工程によって、例えば、ウエーハ１１の表面１１−３に保護テープ４２１が貼着される。保護テープ４２１が、例えばＢＧ（Back  Grinding）用の保護テープであれば、保護テープ４２１により、ウエーハ１１の裏面１１−５を研削する際、ウエーハ１１の表面１１−３を保護する。
【００２３】
また、テープ貼り機１により実施される所定のテープ貼着工程により、図４に示すフレームユニット１１−Ｆが形成される。フレームユニット１１−Ｆは、ウエーハ１１と、環状フレーム２９と、ダイシングテープ４２２とを備える。
【００２４】
環状フレーム２９は、内側に開口を有するリング状に形成されている。ダイシングテープ４２２は、外周部が環状フレーム２９に貼着され、中央部がウエーハ１１の表面１１−３の裏側の裏面１１−５に貼着される。ダイシングテープ４２２は、合成樹脂により構成された基材層と、基材層上に配設されウエーハ１１の裏面１１−５に貼着する糊層とからなるベースシートで構成される。基材層は、例えば、ＰＯ（Polyolefin）、又はＰＶＣ（Polyvinyl  Chloride）などの合成樹脂により構成される。または合成樹脂の基材層のみで構成され、ウエーハ１１に熱圧着して貼着するようなテープでも良い。
【００２５】
ウエーハ１１は、裏面１１−５にダイシングテープ４２２の中央部が貼着されていることにより、環状フレーム２９の開口内に収容される。すなわち、ダイシングテープ４２２によって、ウエーハ１１と環状フレーム２９とが一体化される。ダイシングテープ４２２により形成されるフレームユニット１１−Ｆにより、切削工程によりウエーハ１１が個々のデバイス１１−２に分割される際、ウエーハ１１の強固な保持が可能となる。
【００２６】
〔テープ貼り機の構成〕
続いて、実施形態に係るテープ貼り機について説明する。図５は、実施形態に係るテープ貼り機の外観構成を示す斜視図である。図６及び図７は、実施形態に係るテープ貼り機の一部断面を示す側面図である。
【００２７】
テープ貼り機１は、ロール状に旋回されたテープユニット４が装着される装着軸５を備える送り出しロール６（保持部の一例）と、使用済みのテープ４２０をロール状に巻き取るための巻き取り軸１８を備える巻き取りロール１６とを備える。
【００２８】
送り出しロール６から送り出されるテープ４２０は、固定ローラ８、貼着ローラ１０、剥離ローラ１２，１４の間を通って、巻き取り軸１８により巻き取られる。
【００２９】
テープ貼り機１は、保持テーブル２２を備える。保持テーブル２２は、環状フレーム２９を載置固定するフレーム載置領域２４と、ウエーハ１１を載置固定するウエーハ載置領域２６とを有する。保持テーブル２２は、テープ４２０の送り出し方向に対して直角方向（Ｘ軸方向に平行な方向）に進退することにより、作業領域２８又は貼着領域３０に位置付けられる。作業領域２８は、ウエーハ１１や環状フレーム２９をオペレータが設置する際に位置付けられる領域である。貼着領域３０は、ウエーハ１１や環状フレーム２９に対して、テープ４２０の貼着工程が実施される際に位置付けられる領域である。
【００３０】
テープ貼り機１は、カッターアセンブリ２０を備える。カッターアセンブリ２０は、図６及び図７に示す取付ベース３２と、旋回アーム３４とを有する。取付ベース３２は、図示しない駆動手段により、上下方向（Ｚ軸方向に平行な方向）に移動する。旋回アーム３４は、図示しない駆動手段により、取付ベース３２に対して旋回軸３６周りを旋回する。
【００３１】
旋回アーム３４は、テープカッター３８を有する。テープカッター３８は、水平方向（Ｘ軸方向に平行な方向）に移動が調整可能な状態で取り付けられる。
【００３２】
テープ貼り機１は、タッチパネル３３を備える。タッチパネル３３は、オペレータからテープ貼り機１の操作を受け付ける。タッチパネル３３は、テープ貼り機１により実施されるテープ貼着工程に各種情報を表示できる。タッチパネル３３は、ディスプレイを備えたタッチスクリーンディスプレイにより実装されてもよい。
【００３３】
テープ貼り機１は、図５に示す読込部９０を備える。読込部９０は、テープユニット４の芯４１に設けられた情報記録媒体２０１から、情報記録媒体２０１に記録されたテープ情報を読み込む。なお、読込部９０により読み取られたテープ情報を用いたテープ貼り機１の処理については後述する。
【００３４】
制御ユニット１００（制御部の一例）は、ＣＰＵ（central  processing  unit）などの演算処理装置と、ＲＯＭ（read  only  memory）又はＲＡＭ（random  access  memory）などの記憶装置と、入出力インタフェース装置とを備える。制御ユニット１００は、かかる各部により、以下に説明するテープ貼着工程を実施するために、上述した各構成要素を制御するためのコンピュータプログラムなどを実行可能なコンピュータである。
【００３５】
〔テープ貼り機の動作〕
続いて、図５〜図７を参照しつつ、実施形態に係るテープ貼り機によるテープ貼着動作について説明する。一例として、以下では、図４に示すフレームユニット１１−Ｆを形成するテープの貼着工程について説明する。オペレータは、作業領域２８に位置付けられた保持テーブル２２のフレーム載置領域２４及びウエーハ載置領域２６に、ウエーハ１１と環状フレーム２９とをそれぞれ位置決めして載置する。
【００３６】
続いて、オペレータにより保持テーブル２２のボタン２２Ａが押下されると、テープ貼り機１は、ウエーハ１１及び環状フレーム２９を保持テーブル２２に吸着保持した後、図５に示す矢印５Ｓの方向に移動し、貼着領域３０に位置付ける。
【００３７】
続いて、テープ貼り機１は、貼着ローラ１０（貼着部の一例）を図６に示す矢印６Ｓに移動させることにより、図６に示す点線のように、貼着領域３０に位置付けられたウエーハ１１及び環状フレーム２９にテープ４２０を貼着する。これにより、ウエーハ１１及び環状フレーム２９は、テープ４２０により一体化される。貼着ローラ１０は、軸心周りに回転自在に設けられ、かかる軸心は、テープ４２０の送り出し方向（Ｙ軸方向に平行な方向）に平行である。
【００３８】
続いて、テープ貼り機１は、図７に示すように、上方に待機しているカッターアセンブリ２０を下降させ、テープカッター３８をテープ４２０越しにウエーハ１１及び環状フレーム２９の上方に接触させる。
【００３９】
この状態で、テープ貼り機１は、旋回アーム３４を旋回軸３６を中心として３６０°（度）旋回させることにより、テープカッター３８により、テープ４２０を円形に切断する。これにより、ウエーハ１１及び環状フレーム２９がテープ４２０により一体化されたフレームユニット１１−Ｆが形成される。テープ貼り機１は、テープ４２０を切断後、カッターアセンブリ２０をもとの待機位置に退避させる。
【００４０】
続いて、テープ貼り機１は、剥離ローラ１２，１４を図６に示す矢印６Ｓに往復運動させることにより、テープカッター３８により切断されたテープ４２０を環状フレーム２９から剥離する。これと同時に、テープ貼り機１は、使用済みのテープ４２０を巻き取りロール１６で巻き取り、未使用のテープ４２０を送り出しロール６から貼着領域３０まで引き出す。
【００４１】
続いて、テープ貼り機１は、保持テーブル２２に保持固定された状態のフレームユニット１１−Ｆを貼着領域３０から作業領域２８に移動させることにより、テープ貼着工程を完了する。オペレータは、作業領域２８に移動されたフレームユニット１１−Ｆを保持テーブル２２から取り上げ、取り上げたフレームユニット１１−Ｆを、図示しないウエーハカセットに収容することにより、次の加工工程（切削工程や研削工程など）に搬送する。
【００４２】
ところで、ウエーハ１１用のテープ４２０（４２１，４２２）は、通常、テープ情報が記載された専用の収容袋で保管されている。オペレータは、テープ４２０を使用する際、この専用の収容袋からテープ４２０を取り出して、テープ貼り機１にセットする。しかし、一度、テープ４２０を収容袋から取り出した後は、収容袋を紛失したり、テープ４２０を取り出した収容袋が分からなくなったりするなどで、テープ情報が確認できなくなると、誤ったテープ４２０を装置にセットしてしまうおそれがある。そこで、以下に説明するように、本実施形態では、装置に設置するテープの取り違いを防止できるテープ貼り機１を提案する。
【００４３】
〔処理の概要〕
図８は、実施形態に係る処理の概要を示す図である。図８に示すように、テープ貼り機１に設置されるテープユニット４は、上述したように、テープの品種名、ロットナンバー及び使用期限を含むテープ情報を記録する情報記録媒体２０１を予め備えている。情報記録媒体２０１をＲＦＩＤタグにより実装する場合、テープユニット４に予めテープ情報を持たせる方法として、次のようの方法（１）や（２）が例示される。
（１）テープの製造メーカが予めテープ情報を記録したＲＦＩＤタグを備えたテープユニット４を出荷する方法
（２）テープを使用するオペレータが、芯４１にＲＦＩＤタグを設置した後、ＲＦＩＤタグに情報の書き込みが可能な装置（ＲＦＩＤのライタ）を準備し、テープの収容袋に二次元バーコードなどにより印字されたテープ情報を読み取って、芯４１に設置したＲＦＩＤタグに書き込む方法
【００４４】
また、図５又は図８に示すように、テープ貼り機１は、読込部９０を備えている。読込部９０は、送り出しロール６の装着軸５に設置されたテープユニット４の芯４１に設けられた情報記録媒体２０１から、情報記録媒体２０１に記録されたテープ情報を読み込む。例えば、テープ情報を記録する情報記録媒体２０１としてＲＦＩＤタグを採用する場合、読込部９０は、ＲＦＩＤリーダにより実装できる。読込部９０は、ＲＦＩＤタグに記録されたテープ情報を読込可能な位置に予め位置決めされた状態でテープ貼り機１に設置される。読込部９０は、読み込んだテープ情報を制御ユニット１００に送る。
【００４５】
制御ユニット１００は、図８に示すように、テープ登録部１１０と、テープ選択部１２０と、テープ判定部１３０とを備え、かかる各部により、実施形態に係るテープ貼り機１の各種処理の機能や作用を実現または実行する。制御ユニット１００の各部は、たとえば記憶装置に記憶されたプログラムにより提供する機能により実現される。すなわち、制御ユニット１００の各部は、記憶装置に記憶されたプログラムを、演算処理装置がＲＡＭ等を作業領域として実行することにより実現される。制御ユニット１００の機能構成は、図８に示した構成例に特に限定される必要はなく、後述するテープ貼り機１における各種処理を行うことができる構成であれば他の構成であってもよい。
【００４６】
テープ登録部１１０は、タッチパネル３３を介して、オペレータにより入力された複数のテープ情報を登録可能である。
【００４７】
テープ選択部１２０は、テープ登録部１１０に登録されたテープ情報からオペレータが選択したテープ情報を記録する。具体的には、テープ選択部１２０は、オペレータの操作に応じて、タッチパネル３３に、テープ登録部１１０に登録された複数のテープ情報を一覧で表示する。そして、テープ選択部１２０は、タッチパネル３３に表示されるテープ情報の一覧の中から、オペレータにより選択されたテープ情報を記録する。
【００４８】
テープ判定部１３０は、テープ選択部１２０で記録されたテープ情報と、読込部９０によって読み込まれたテープ情報とが一致するかを判定する。これにより、テープ貼着工程において実際に使用するテープとしてオペレータが予め登録したテープ情報と、テープ貼り機１に設置されたテープユニット４に対応するテープ情報とが一致するか否かが判定される。テープ判定部１３０は、テープ情報に含まれる品種が一致する場合、テープ情報が一致すると判定する。テープ判定部１３０は、テープ情報に含まれる品種が一致する場合、テープ情報に含まれる使用期限を超過しているかをさらに判定することもできる。具体的には、テープ判定部１３０を、現在時刻を記録する時刻部及び使用期限監視部として機能させる。そして、テープ判定部１３０は、現在時刻と、読込部９０により読み込まれたテープ情報に含まれる使用期限とを比較する。テープ判定部１３０は、現在時刻（日時）が使用期限を超過している場合、エラー信号を発信する。制御ユニット１００は、エラー信号に基づいて、オペレータに対する通知を実行できる。
【００４９】
テープ判定部１３０は、判定結果に応じた通知をオペレータに提供できる。例えば、テープ判定部１３０は、テープ情報に含まれるテープの品種が一致しないと判定すると、テープの取り違いが発生している旨の通知（テープエラー）をタッチパネル３３に表示して、オペレータに提供できる。また、テープ判定部１３０を、現在時刻がテープの使用期限が超過していると判定すると、テープの使用期限が過ぎている旨の通知（テープエラー）をタッチパネル３３に表示して、オペレータに提供できる。なお、テープ判定部１３０は、テープ情報が一致する場合にも、正しいテープが設置されている旨をタッチパネル３３に表示するようにしてもよい。
【００５０】
なお、制御ユニット１００は、通信ネットワーク２を介して、テープ貼り機１に設置されたテープユニット４のテープ情報を管理装置３にアップロードしてもよい。管理装置３を使用するオペレータは、テープ貼り機１からアップロードされたテープ情報に基づいて、テープの在庫などを一元管理できる。
【００５１】
また、管理装置３はテープ情報を管理してもよい。テープ登録部１１０は、通信ネットワーク２を介して、管理装置３から取得するテープ情報を登録してもよい。
【００５２】
〔処理手順〕
図９は、実施形態に係る処理手順の一例を示すフローチャートである。図９に示す処理は、例えば制御ユニット１００が備える各部により実行される。
【００５３】
読込部９０は、送り出しロール６の装着軸５に設置されたテープユニット４の芯４１に設けられた情報記録媒体２０１から、情報記録媒体２０１に記録されたテープ情報を読み込む（ステップＳ１０１）。
【００５４】
テープ選択部１２０は、タッチパネル３３に表示されるテープ情報の一覧の中から、オペレータにより選択されたテープ情報を記録する（ステップＳ１０２）。
【００５５】
テープ判定部１３０は、ステップＳ１０１で読み込まれたテープ情報に含まれる品種と、ステップＳ１０２で記録されたテープ情報に含まれる品種とが一致するか否かを判定する（ステップＳ１０３）。
【００５６】
テープ判定部１３０は、テープの品種が一致しないと判定すると（ステップＳ１０３；Ｎｏ）、テープの取り違いが発生している旨のテープエラーをタッチパネル３３に表示して（ステップＳ１０４）、図９に示す処理手順を終了する。
【００５７】
一方、テープ判定部１３０は、テープの品種が一致していると判定すると（ステップＳ１０３；Ｙｅｓ）、さらに、テープの使用期限を超過しているか否かを判定する（ステップＳ１０５）。具体的には、テープ判定部１３０は、現在時刻と、ステップＳ１０１で読み込まれたテープ情報に含まれる使用期限と比較し、現在時刻がテープの使用期限を超過しているかを判定する。テープ判定部１３０は、判定の結果、テープの使用期限を超過していると判定した場合（ステップＳ１０５；Ｙｅｓ）、上述したステップＳ１０４の手順に移り、使用期限を超過している旨のテープエラーをタッチパネルに表示する。一方、テープ判定部１３０は、判定の結果、テープの使用期限を超過していないと判定した場合（ステップＳ１０５；Ｎｏ）、図９に示す処理手順を終了する。例えば、テープ判定部１３０は、正しいテープが設置されている旨をタッチパネル３３に表示してもよい。
【００５８】
上述してきたように、実施形態に係るテープユニット（４）は、芯（４１）と、芯（４１）に巻かれたテープ（４２０）と、を備え、芯（４１）は、テープ情報を記録する情報記録媒体（２０１）を含む。これにより、テープ自体がテープ情報を記録できるので、テープの収容袋に記載されているテープ情報を確認できない状況にあっても、装置に設置するテープの取り違い防止に寄与できる。
【００５９】
また、実施形態に係るテープにおいて、情報記録媒体（２０１）は、無線通信によって情報の書き込み及び読み取りが可能なＲＦＩＤタグであるので、テープに対してテープ情報を簡易に付帯できる。
【００６０】
また、実施形態に係るテープ貼り機１は、保持部（送り出しロール６など）と、貼着部（貼着ローラ１０など）と、読込部（９０）と、制御部（制御ユニット１００など）と、を備える。保持部はテープを保持する。貼着部は、保持部から送り出されたテープをウエーハ（１１）に貼着する。読込部は情報記録媒体（２０１）を読み込む。制御部は、複数のテープ情報を登録可能なテープ登録部（１１０）と、テープ選択部（１２０）と、テープ判定部（１３０）とを含む。テープ選択部は、テープ登録部に登録されたテープ情報からオペレータが選択したテープ情報を記録する。テープ判定部は、テープ選択部で記録されたテープ情報と、読込部によって読み込まれたテープ情報とが一致するかを判定する。これにより、装置に設置するテープの取り違いを防止できるテープ貼り機１を提供できる。
【００６１】
〔変形例〕
（１）情報記録媒体
図１０及び図１１は、変形例に係るテープユニットの外観構成を示す斜視図である。上記の実施形態では、テープ情報を記録する情報記録媒体２０１として、テープユニット４の芯４１にＲＦＩＤタグを設置する例を説明したが、この例には特に限定される必要はない。
【００６２】
例えば、図１０に示すように、テープ情報を記録する情報記録媒体２０２として、テープユニット４の芯４１に二次元コードを設置してもよい。あるいは、図１１に示すように、テープ情報を記録する情報記録媒体２０３として、テープユニット４の芯４１に二次元バーコードを設置してもよい。テープユニット４に設置する二次元バーコードは、テープユニット４の収容袋に印字された二次元バーコードをもとにオペレータが作成するか、あるいはテープメーカーが二次元バーコードを芯４１に貼った状態で出荷してもよい。
【００６３】
図１０及び図１１に示すように、情報記録媒体２０２（二次元コード）、あるいは情報記録媒体２０３（二次元バーコードは）、テープユニット４の芯４１の端部を形成するＹＺ平面に平行な面上に設定される。
【００６４】
テープ情報を記録する情報記録媒体２０１として、図１０に示す二次元コード又は図１１に示す二次元バーコードを採用する場合、読込部９０を、二次元コード又は二次元バーコードに記録されたテープ情報を取り込み可能な撮像装置により実装する。読込部９０は、情報記録媒体２０２（二次元コード）あるいは情報記録媒体２０３（二次元バーコード）を撮像可能な位置に予め位置決めされた状態でテープ貼り機１に設置される。
【００６５】
（２）テープ貼り機
上記の実施形態で説明したテープ貼り機１は、剥離紙を含むテープの貼着を実施可能なテープ貼り機１Ｘであってもよい。図１２は、変形例に係るテープ貼り機の一部断面を示す側面図である。図１２に示すテープ貼り機１Ｘは、以下に説明するように、テープ４２０Ｘから剥離紙を分離する機構を備える点が、上述したテープ貼り機１とは相違する。なお、以下の説明において、上記の実施形態に係るテープ貼り機１と実質的に同一の機能構成を有する複数の構成要素の各々を特に区別する必要がない場合、上記の実施形態に係るテープ貼り機１と同一符号を付して説明する場合がある。また、上記の実施形態に係るテープ貼り機１と実質的に同一の機能構成を有する複数の構成要素であっても、説明の便宜上、異なる符号を付して説明する場合もある。
【００６６】
送り出しロール６から送り出されるテープ４２０Ｘは、固定ローラ４４，４６を通過することにより、剥離紙５０が分離される。テープ貼り機１Ｘは、テープ４２０Ｘから分離され、固定ローラ４８を通過する剥離紙５０を、剥離紙巻き取りロール５２で巻き取る。
【００６７】
一方、テープ貼り機１Ｘは、固定ローラ５４，５６を通過して貼着領域３０に送り出され、貼着ローラ５８とテープ剥離可動ローラ６０，６２との間を通過し、さらに固定ローラ６４を通過するテープ４２０Ｘを、巻き取りロール１６で巻き取る。
【００６８】
テープ貼り機１Ｘは、貼着ローラ５８と、テープ剥離可動ローラ６０，６２とが同じ側に配置されており、その関係で、貼着ローラ５８と、テープ剥離可動ローラ６０，６２の動作が、上記の実施形態に係るテープ貼り機１と相違する。
【００６９】
すなわち、テープ貼り機１は、貼着ローラ５８を、固定ローラ５４，５６が配置される側に向かって、Ｘ軸方向に平行な方向に移動させることにより、ウエーハ１１及び環状フレーム２９に、テープ４２０Ｘを押圧貼着する。
【００７０】
続いて、テープ貼り機１Ｘは、貼着ローラ５８を固定ローラ５４，５６の近傍に待機させた状態で、上方に待機しているカッターアセンブリ２０を下降させる。そして、テープ貼り機１Ｘは、テープカッター３８をテープ４２０Ｘ越しにウエーハ１１及び環状フレーム２９の上方に接触させる。
【００７１】
この状態で、テープ貼り機１Ｘは、旋回アーム３４を旋回軸３６を中心として３６０°（度）旋回させることにより、テープカッター３８により、テープ４２０を円形に切断する。テープ貼り機１は、テープ４２０を切断後、カッターアセンブリ２０をもとの待機位置に退避させる。
【００７２】
続いて、テープ貼り機１Ｘは、テープ剥離可動ローラ６０，６２を、固定ローラ５４，５６が配置される側に向かって、Ｘ軸方向に平行な方向に移動させることにより、使用済みのテープ４２０Ｘを環状フレーム２９から剥離する。
【００７３】
続いて、テープ貼り機１Ｘは、貼着ローラ５８、及びテープ剥離可動ローラ６０，６２を、同時にもとの位置に移動させ、使用済みのテープ４２０Ｘを巻き取りロール１６で巻き取るとともに、未使用のテープ４２０Ｘを貼着領域３０に送り出す。以後の動作は、上記の実施形態で説明したテープ貼り機１と同様である。
【００７４】
上述したようなテープ貼り機１Ｘであっても、上記の実施形態におけるテープ貼り機１と同様に、装置に設置するテープの取り違いを防止できる。すなわち、テープ貼り機１Ｘにセットするテープユニット４に情報記録媒体２０１（又は２０２や２０３）を設置し、読込部９０及び制御ユニット１００の各部を備えることにより、使用するテープの取り違いを検出できる。
【００７５】
（３）その他
制御ユニット１００は、実施形態に係るテープ貼り機１とは物理的に独立した個別の情報処理装置により構成されてもよい。この場合、かかる情報処理装置は、テープ貼り機１の制御ユニット１００とデータ通信を行ってテープ情報を取得し、テープ情報が一致するか否かの判定を行って、判定結果を制御ユニット１００に送信する。制御ユニット１００は、情報処理装置から受信するテープ情報の判定結果に基づいて、タッチパネル３３の表示を実行し、テープに関する情報をオペレータに通知する。
【００７６】
上記の実施形態において説明したテープ貼り機１の各構成要素は機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、テープ貼り機１が備える制御ユニット１００の分散・統合の具体的形態は図示のものに限られず、その全部または一部を、各種の負荷や使用状況などに応じて、任意の単位で機能的または物理的に分散または統合して構成することができる。例えば、制御ユニット１００のテープ登録部１１０と、テープ選択部１２０とは、機能的又は物理的に統合された状態で制御ユニット１００に実装されてもよい。
【符号の説明】
【００７７】
１，１Ｘ  テープ貼り機
２  通信ネットワーク
３  管理装置
４  テープユニット
５  装着軸
６  送り出しロール
８  固定ローラ
１０  貼着ローラ
１１  ウエーハ
１１−Ｆ  フレームユニット
１２，１４  剥離ローラ
１６  巻き取りロール
１８  巻き取り軸
２０  カッターアセンブリ
２２  保持テーブル
２４  フレーム載置領域
２６  ウエーハ載置領域
２８  作業領域
２９  環状フレーム
３０  貼着領域
３２  取付ベース
３３  タッチパネル
３４  旋回アーム
３６  旋回軸
３８  テープカッター
４４，４６，４８  固定ローラ
５０  剥離紙
５２  剥離紙巻き取りロール
５４，５６  固定ローラ
５８  貼着ローラ
６０，６２  テープ剥離可動ローラ
９０  読込部
１００  制御ユニット
１１０  テープ登録部
１２０  テープ選択部
１３０  テープ判定部
２０１，２０２，２０３  情報記録媒体
４２０，４２０Ｘ  テープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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