(57)【要約】【課題】コイル線が接続された配線基板の突出を回避するとともに、コイル線の断線を抑制することのできるアクチュエータ、およびアクチュエータの製造方法を提供すること。【解決手段】アクチュエータにおいて、支持体２の側面（ホルダ６０の第３壁部６３）に沿うように配線基板１５が設けられている。配線基板１５は、係合穴１５９に第３壁部６３の係合凸部６９が嵌った状態でも、第３壁部６３に沿って第１方向Ｚに移動可能である。このため、第１ランド１５１とコイル線の端部７０５の引き出し部６８とが離間した第２位置に配線基板１５を移動させて第１ランド１５１とコイル線の端部７０５とを半田により接続した後、第１ランド１５１とコイル線の端部７０５の引き出し部６８とが接近する第１位置に配線基板１５を移動させ、コイル線に弛みを付与する。【選択図】図３
2020092495.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体と、
可動体と、
前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられたコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、
前記一方側部材の側面に沿うように前記一方側部材に保持され、前記コイルを構成するコイル線の端部が接続されたランドを有する配線基板と、
を備え、
前記一方側部材には、前記端部を前記側面に引き出す引き出し部と、前記側面から突出した係合凸部と、が形成され、
前記配線基板には、前記係合凸部が嵌った係合穴が形成されており、
前記係合凸部と前記係合穴の内縁との間には、前記配線基板が前記側面に保持された第１位置より前記ランドと前記引き出し部との位置が離間した第２位置に向けて前記配線基板を前記側面に沿って直線移動可能にして、前記配線基板が第１位置にあるときに前記コイルと前記端部との間に前記コイル線の弛みを付与する遊びが設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載のアクチュエータにおいて、
前記係合凸部は、前記側面から突出した突出部と、前記突出部の先端部で前記突出部から前記突出部の突出方向に対して直交する方向に張り出した鍔部と、を有し、
前記配線基板が前記第１位置と前記第２位置との間の第３位置にあるとき、前記鍔部が前記係合穴を通過可能であり、
前記配線基板は、前記第１位置および前記第２位置において前記突出部が前記係合穴に嵌った状態で前記鍔部の一部が前記配線基板に前記側面とは反対側から重なることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
請求項２に記載のアクチュエータにおいて、
前記係合穴および前記係合凸部を前記側面に対して直交する方向からみたとき、
前記係合穴は、第１穴部と、前記第１穴部より小さな第２穴部とが繋がった形状を有し、
前記突出部は、前記配線基板の前記第１位置と前記第２位置との可動方向に対して直交する方向の幅が、前記第１穴部および前記第２穴部の幅より狭く、
前記鍔部は、前記第１穴部と略同一サイズの第３部分と、前記第２穴部と略同一サイズの第４部分とが繋がった形状を有し、
前記配線基板の前記第２位置に向けての可動範囲、および前記配線基板の前記第１位置に向けての可動範囲は、前記突出部の前記係合穴の内周面への当接によって制限されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
請求項３に記載のアクチュエータにおいて、
前記係合穴および前記係合凸部を前記側面に対して直交する方向からみたとき、
前記第１穴部、前記第２穴部、および前記第４部分は各々、前記可動方向に対して直交する方向に位置する両端部が湾曲した形状を有し、
前記第３部分の前記可動方向に対して直交する方向に位置する両端部には、前記第３部分の側で前記第１穴部と略同一形状に湾曲した湾曲部分と、前記湾曲部分から前記第４部分とは反対側に直線的に延在した直線部分と、を備えていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
請求項３または４に記載のアクチュエータにおいて、
前記配線基板が前記第２位置に移動した際に前記突出部と前記係合穴の内周面とが当接
する部分は直線部分であり、
前記配線基板が前記第１位置に移動した際に前記突出部と前記係合穴の内周面とが当接する部分は湾曲部分であることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１から５まで何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記係合穴および前記係合凸部は、前記配線基板の前記第１位置と前記第２位置との可動方向に対して直交する方向に沿って複数設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項７】
請求項１から６までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記配線基板は、前記係合凸部を塑性変形させることにより前記側面に保持されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項８】
請求項１から７までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記配線基板と前記側面とは、接着剤によって固定されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項９】
請求項８に記載のアクチュエータにおいて、
前記配線基板と前記側面との間には、一方方向から他方方向に間隔が広がった隙間が設けられ、
前記隙間に前記接着剤が充填されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１０】
請求項１から９までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記コイルおよび前記配線基板は、前記支持体側に設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１１】
請求項１０に記載のアクチュエータにおいて、
前記支持体は、前記コイルおよび前記配線基板を保持するホルダを備えていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１２】
請求項１から１１までの何れか一項に記載のアクチュエータの製造方法において、
前記配線基板が前記第２位置にあるときに前記端部と前記ランドを接続した後、前記配線基板を前記第１位置に移動させて、前記コイルと前記端部との間に前記コイル線の弛みを付与することを特徴とするアクチュエータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動体を振動させるアクチュエータ、およびアクチュエータの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
情報を振動によって報知するデバイスとして、支持体と、可動体と、支持体および可動体に接続された接続体と、可動体を支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路とを有するアクチュエータが提案されており、磁気駆動回路は、支持体に保持されたコイルと、可動体に保持された磁石とを備えている。このため、支持体には配線基板が保持されており、コイルを構成するコイル線の端部は、配線基板に接続されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−１３５９４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の技術において、配線基板は支持体から外側に突出しているため、アクチュエータを各種機器等に搭載する際、無駄なスペースが発生しやすい。また、コイルを構成するコイル線に振動が伝わると、コイル線が断線するおそれがあるが、かかる断線に対する対策については特許文献１で開示されていない。
【０００５】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、コイル線が接続された配線基板の突出を回避するとともに、コイル線の断線を抑制することのできるアクチュエータ、およびアクチュエータの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、支持体と、可動体と、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられたコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、前記一方側部材の側面に沿うように前記一方側部材に保持され、前記コイルを構成するコイル線の端部が接続されたランドを有する配線基板と、を備え、前記一方側部材には、前記端部を前記側面に引き出す引き出し部と、前記側面から突出した係合凸部と、が形成され、前記配線基板には、前記係合凸部が嵌った係合穴が形成されており、前記係合凸部と前記係合穴の内縁との間には、前記配線基板が前記側面に保持された第１位置より前記ランドと前記引き出し部との位置が離間した第２位置に向けて前記配線基板を前記側面に沿って直線移動可能にして、前記配線基板が第１位置にあるときに前記コイルと前記端部との間に前記コイル線の弛みを付与する遊びが設けられていることを特徴とする。
【０００７】
かかるアクチュエータの製造方法においては、前記配線基板が前記第２位置にあるときに前記端部と前記ランドを接続した後、前記配線基板を前記第１位置に移動させて、前記コイルと前記端部との間に前記コイル線の弛みを付与することを特徴とする。
本発明において、コイル線が接続された配線基板は、一方側部材の側面に沿うように設けられており、配線基板が突出していない。このため、アクチュエータを各種機器等に搭載する際、無駄なスペースが発生しにくい。また、配線基板は、係合穴に係合凸部が嵌った状態でも、第１位置と第２位置とに移動可能であるため、配線基板が第２位置にあるときに端部とランドを接続した後、配線基板を第１位置に移動させれば、コイルと端部との
間にコイル線の弛みを付与することができる。従って、コイル線の断線を抑制することができる。また、上記の操作を行う際、係合穴に係合凸部が嵌った状態にあるため、配線基板の可動範囲が制限されているとともに、係合穴と係合凸部とがガイドとして機能する。従って、コイル線とランドとの接続を行う第２位置からコイル線の弛みを付与する第１位置への配線基板の移動に容易に行うことができる。
【０００８】
本発明において、前記係合凸部は、前記側面から突出した突出部と、前記突出部の先端部で前記突出部から前記突出部の突出方向に対して直交する方向に張り出した鍔部と、を有し、前記配線基板が前記第１位置と前記第２位置との間の第３位置にあるとき、前記鍔部が前記係合穴を通過可能であり、前記配線基板は、前記第１位置において、前記突出部が前記係合穴に嵌った状態で前記鍔部の一部が前記配線基板に前記側面とは反対側から重なった状態で前記側面に保持されている態様を採用することができる。かかる態様によれば、第３位置で係合凸部を係合穴に嵌めた以降、係合凸部の鍔部が係合穴から係合凸部が抜けることを抑制するため、コイル線とランドとの接続を行う第２位置からコイル線の弛みを付与する第１位置への配線基板の移動等に容易に行うことができる。
【０００９】
本発明において、前記係合穴および前記係合凸部を前記側面に対して直交する方向からみたとき、前記係合穴は、第１穴部と、前記第１穴部より小さな第２穴部とが繋がった形状を有し、前記突出部は、前記配線基板の前記第１位置と前記第２位置との可動方向に対して直交する方向の幅が、前記第１穴部および前記第２穴部の幅より狭く、前記鍔部は、前記第１穴部と略同一サイズの第３部分と、前記第２穴部と略同一サイズの第４部分とが繋がった形状を有し、前記配線基板の前記第２位置に向けての可動範囲、および前記配線基板の前記第１位置に向けての可動範囲は、前記突出部の前記係合穴の内周面への当接によって制限される態様を採用することができる。
【００１０】
本発明において、前記係合穴および前記係合凸部を前記側面に対して直交する方向からみたとき、前記第１穴部、前記第２穴部、および前記第４部分は各々、前記可動方向に対して直交する方向に位置する両端部が湾曲した形状を有し、前記第３部分の前記可動方向に対して直交する方向に位置する両端部には、前記第３部分の側で前記第１穴部と略同一形状に湾曲した湾曲部分と、前記湾曲部分から前記第４部分とは反対側に直線的に延在した直線部分と、を備え、前記配線基板が前記第１位置にあるときに、前記直線部分の少なくとも一部が前記配線基板に前記側面とは反対側から重なる態様を採用することができる。
【００１１】
本発明において、前記配線基板が前記第２位置に移動した際に前記突出部と前記係合穴の内周面とが当接する部分は直線部分であり、前記配線基板が前記第１位置に移動した際に前記突出部と前記係合穴の内周面とが当接する部分は湾曲部分である態様を採用することができる。
【００１２】
本発明において、前記係合穴および前記係合凸部は、前記配線基板の前記第１位置と前記第２位置との可動方向に対して直交する方向に沿って複数設けられている態様を採用することができる。
【００１３】
本発明において、前記配線基板は、前記係合凸部を塑性変形させることにより前記側面に保持されている態様を採用することができる。
【００１４】
本発明において、前記配線基板と前記側面とは、接着剤によって固定されている態様を採用することができる。
【００１５】
本発明において、前記配線基板と前記側面との間には、一方方向から他方方向に間隔が
広がった隙間が設けられ、前記隙間に前記接着剤が充填されている態様を採用することができる。かかる態様によれば、配線基板と側面との間に接着剤を充填しやすいので、配線基板と側面とを接着剤によって容易に固定することができる。
【００１６】
本発明において、前記コイルおよび前記配線基板は、前記支持体側に設けられている態様を採用することができる。例えば、前記支持体は、前記コイルおよび前記配線基板を保持するホルダを備えている態様を採用することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明において、コイル線が接続された配線基板は、一方側部材の側面に沿うように設けられており、配線基板が突出していない。このため、アクチュエータを各種機器等に搭載する際、無駄なスペースが発生しにくい。また、配線基板は、係合穴に係合凸部が嵌った状態でも、第１位置と第２位置とに移動可能であるため、配線基板が第２位置にあるときに端部とランドを接続した後、配線基板を第１位置に移動させれば、コイルと端部との間にコイル線の弛みを付与することができる。従って、コイル線の断線を抑制することができる。また、上記の操作を行う際、係合穴に係合凸部が嵌った状態にあるため、配線基板の可動範囲が制限されているとともに、係合穴と係合凸部とがガイドとして機能する。従って、コイル線とランドとの接続を行う第１位置からコイル線の弛みを付与する第２位置への配線基板の移動に容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態に係るアクチュエータの斜視図。
【図２】図１に示すアクチュエータのＸＺ断面図。
【図３】図１に示すアクチュエータを分解して第１方向の一方側からみたときの分解斜視図。
【図４】図１に示すアクチュエータを分解して第１方向の他方側からみたときの分解斜視図。
【図５】図２に示す磁気駆動回路の分解斜視図。
【図６】図５に示すホルダおよびコイル等の説明図。
【図７】図６に示すホルダ等の説明図。
【図８】図２に示す可動体の説明図。
【図９】図６等に示す係合凸部の説明図。
【図１０】図９に示す係合凸部の突出部の説明図。
【図１１】図６等に示す係合穴の説明図。
【図１２】図９に示す係合凸部を第３位置で係合穴に嵌めた状態を示す説明図。
【図１３】図９に示す配線基板を第２位置に移動させたときの係合凸部と係合穴との位置関係を示す説明図。
【図１４】図１１に示す配線基板が第１位置でホルダに保持された状態の説明図。
【図１５】図５等に示す配線基板とホルダの第３壁部との間の隙間を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する３つの方向を各々、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙとして説明する。また、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙは、互いに直交する方向である。また、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付して説明する。
【００２０】
また、以下に説明するアクチュエータ１の磁気駆動回路６では、コイル７が支持体２（一方側部材）の側に設けられ、磁石８が可動体３（他方側部材）の側に設けられた態様、
および磁石８が支持体２（他方側部材）の側に設けられ、コイル７が可動体３（一方側部材）の側に設けられた態様を採用することができる。以下の説明では、コイル７が支持体２の側に設けられ、磁石８が可動体３の側に設けられた態様を中心に説明する。
【００２１】
（全体構成）
図１は、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１のＸＺ断面図である。図３は、図１に示すアクチュエータ１を分解して第１方向Ｚの一方側Ｚ１からみたときの分解斜視図である。図４は、図１に示すアクチュエータ１を分解して第１方向Ｚの他方側Ｚ２からみたときの分解斜視図である。
【００２２】
図１および図２に示すように、本形態のアクチュエータ１は、全体として、第２方向Ｘの寸法が第３方向Ｙの寸法より大きい直方体形状を有している。また、図２に示すように、アクチュエータ１は、支持体２と、支持体２に移動可能に支持された可動体３と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動回路６とを有しており、磁気駆動回路６は、可動体３を第２方向Ｘに振動させる。また、アクチュエータ１には、支持体２および可動体３に接続された接続体９０が設けられている。
【００２３】
図１、図２および図３に示すように、支持体２は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に順に重ねられた第１ケース部材１６、ホルダ６０、および第２ケース部材１７を有しており、第１ケース部材１６と第２ケース部材１７との間に可動体３および磁気駆動回路６が配置される。第１ケース部材１６、ホルダ６０および第２ケース部材１７は各々、四角形の平面形状を有している。第１ケース部材１６の角部である第１角部１６０、ホルダ６０の角部である第２角部６００、および第２ケース部材１７の角部である第３角部１７０は第１方向Ｚで重なっている。本形態において、第１ケース部材１６、ホルダ６０、および第２ケース部材１７は各々、樹脂製である。
【００２４】
図３および図４に示すように、第１ケース部材１６は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部１６１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部１６２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部１６３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部１６４とによって囲まれた底板部１６５を有している。第１方向Ｚからみたとき、第１壁部１６１および第２壁部１６２の幅（第２方向Ｘの寸法）は、第３壁部１６３および第４壁部１６４の幅（第３方向Ｙの寸法）より広い。
【００２５】
第１ケース部材１６の４つの角付近の各々には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて開口した位置決め用の穴１６ｃが形成されている。また、第１ケース部材１６の一方の対角位置には、タッピングネジからなるネジ１８を止めるための有底の穴１６ｅが形成され、他方の対角位置には貫通穴１６ｆが形成されている。
【００２６】
底板部１６５の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面には、第２方向Ｘで並ぶ２つの凹部１６６、１６７が形成されている。凹部１６６の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の角、および凹部１６７の第２方向Ｘの他方側Ｘ２の角には貫通穴１６ａが形成されている。凹部１６６、１６７の第３方向Ｙの両端部には貫通穴１６ｂが形成されている。
【００２７】
第３壁部１６３の外面では、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に凹んだ凹部１６８が第２方向Ｘに沿って延在している。第３壁部１６３では、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した複数の凸板部１６３ａが第２方向Ｘに沿って所定の間隔に形成されている。第１壁部１６１および第２壁部１６２には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した円柱状の凸部１６１ｈ、１６２ｈが形成されている。また、第１壁部１６１および第２壁部１６２には、外縁から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した凸板部１６１ａ、１６２ａが第３方向Ｙの中央に形成されている。
【００２８】
第２ケース部材１７は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部１７１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部１７２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部１７３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部１７４とによって囲まれた底板部１７５を有している。第１方向Ｚからみたとき、第１壁部１７１および第２壁部１７２の幅（第２方向Ｘの寸法）は、第３壁部１７３および第４壁部１７４の幅（第３方向Ｙの寸法）より広い。
【００２９】
第２ケース部材１６の４つの角付近の各々には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて開口した位置決め用の凹部１７ｄが形成されている。また、第２ケース部材１７の一方の対角位置には、ネジ１８を止めるための貫通穴１７ｅが形成され、他方の対角位置には貫通穴１７ｆが形成されている。
【００３０】
底板部１７５の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面には、第２方向Ｘで並ぶ２つの凹部１７６、１７７が形成されている。また、凹部１７６、１７７の縁には、切り欠き１７ｂが形成されている。
【００３１】
第３壁部１７３の外面では、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に凹んだ凹部１７８が第２方向Ｘに沿って延在している。第１壁部１７１および第２壁部１７２には、第１ケース部材１６の凸部１６１ｈ、１６２ｈが嵌る穴１７１ｈ、１７２ｈが形成されている。第１壁部１７１には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出した凸板部１７１ａが第３方向Ｙの中央に形成されている。
【００３２】
（磁気駆動回路６の構成）
図５は、図２に示す磁気駆動回路６の分解斜視図である。図２および図５に示すように、磁気駆動回路６は、コイル７と、コイル７に対して第１方向Ｚで対向する磁石８とを有している。コイル７は、第２方向Ｘで並列するように配置された第１コイル７１および第２コイル７２からなり、コイル７は、支持体２のうち、ホルダ６０に保持されている。
【００３３】
（コイル７およびホルダ６０の構成）
図６は、図５に示すホルダ６０およびコイル７等の説明図である。図７は、図６に示すホルダ６０等の説明図である。図６および図７に示すように、コイル７は、第３方向Ｙに長辺７０１（有効部分）が延在する長円形状の空芯コイルであり、第３方向Ｙの一方側Ｙ１にコイル線の端部７０５が引き出されている。
【００３４】
ホルダ６０は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部６１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部６２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部６３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部６４とによって囲まれた底板部６５を有している。第１方向Ｚからみたとき、第１壁部６１および第２壁部６２の幅（第２方向Ｘの寸法）は、第３壁部６３および第４壁部６４の幅（第３方向Ｙの寸法）より広い。
【００３５】
ホルダ６０の一方の対角位置には、ネジ１８を通すための貫通穴６０ｅが形成され、他方の対角位置には貫通穴６０ｆが形成されている。第３壁部６３および第４壁部６４の第２方向Ｘの両端には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出した位置決め用の凸部６０ｃと、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した位置決め用の凸部６０ｄとが形成されている。
【００３６】
底板部６５には、２つのコイル保持穴６５１、６５２が第２方向Ｘで並列するように形成されており、コイル保持穴６５１、６５２の各々に第１コイル７１および第２コイル７２が配置されている。コイル保持穴６５１、６５２は貫通穴であり、第３方向Ｙの両端部には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２でコイル保持穴６５１、６５２の一部に重なるように張り
出した受け部６４１、６４２が形成されている。従って、第１コイル７１および第２コイル７２を第１方向Ｚの一方側Ｚ１からコイル保持穴６５１、６５２に装着すると、コイル７の短辺７０２（無効部分）が受け部６４１、６４２によって第１方向Ｚの他方側Ｚ１で支持された状態となる。この状態で、ホルダ６０には第１方向Ｚの一方側Ｚ１からプレート２６が重ねられ、プレート２６は、接着剤によって第１コイル７１および第２コイル７２と固定されるとともに、ホルダ６０に固定される。プレート２６は、例えば、アルミニウムやステンレス等の非磁性の金属板である。
【００３７】
ホルダ６０には、コイル保持穴６５１と第１壁部６１との間に第１開口部６０１が形成され、コイル保持穴６５２と第２壁部６２との間に第２開口部６０２が形成されている。第１開口部６０１、および第２開口部６０２はホルダ６０の底板部６５を第１方向Ｚで貫通している。第１開口部６０１、および第２開口部６０２の内周面には切り欠き６０３が形成されている。
【００３８】
第１壁部６１において、第２角部６００の間には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に凹部６１１（図２および図４参照）が形成され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に凹部６１２が形成されている。第２壁部６２において、第２角部６００の間には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に凹部６２１（図２および図４参照）が形成され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に凹部６２２が形成されている。従って、４つの第２角部６００は、第１方向Ｚの両側に向けて突出した構造になっている。
【００３９】
（支持体２の構成）
本形態では、第１ケース部材１６、ホルダ６０および第２ケース部材１７を第１方向Ｚに重ねた状態で、第２ケース部材１７の貫通穴１７ｅ、ホルダ６０の貫通穴６０ｅ、および第２ケース部材１７の貫通穴１７ｅにネジ１８を止め、第１ケース部材１６、ホルダ６０および第２ケース部材１７を第１方向Ｚで締結する。ネジ１８を止めた際、ネジ１８の頭は、第２ケース部材１７から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出しない。
【００４０】
また、第１ケース部材１６の第１角部１６０とホルダ６０の第２角部６００との間に接着剤が充填され、ホルダ６０の第２角部６００と第２ケース部材１７の第３角部１７０との間に接着剤が充填される。
【００４１】
このようにして、第１ケース部材１６、ホルダ６０、および第２ケース部材１７によって支持体２が形成される。その際、第１ケース部材１６の凸部１６１ｈ、１６２ｈは各々、ホルダ６０の穴６１ｈ、６２ｈを貫通して第２ケース部材１７の穴１７１ｈ、１７２ｈに嵌る。また、第１ケース部材１６の穴１６ｃにホルダ６０の凸部６０ｃが嵌り、第２ケース部材１７の凹部１７ｃにホルダ６０の凸部６０ｄが嵌る。従って、第１ケース部材１６、ホルダ６０および第２ケース部材１７は互いに位置決めされた状態で連結される。また、第１ケース部材１６の凸板部１６３ａがホルダ６０の凹部６３０ａに重なる。
【００４２】
なお、第２ケース部材１７の貫通穴１７ｆ、ホルダ６０の貫通穴６０ｆ、および第２ケース部材１７の貫通穴１７ｆは、アクチュエータ１を各種機器に搭載する際、機器のフレームに対して止めるネジ（図示せず）が止められる。
【００４３】
（可動体３の構成）
図８は、図２に示す可動体３の説明図である。図５および図８に示すように、図２等に示す可動体３は、コイル７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向する平板部８６０を備えた第１ヨーク８６と、コイル７に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向する平板部８７０を備えた第２ヨーク８７と、磁石８とを有している。磁石８は、第１ヨーク８６の平板部８６０のコイル７と対向する面、および第２ヨーク８７の平板部８７０のコイル７と対
向する面の少なくとも一方に保持されてコイル７に第１方向Ｚで対向している。
【００４４】
本形態において、可動体３は、磁石８として、第１ヨーク８６の平板部８６０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された第１磁石８１と、第２ヨーク８７の平板部８７０のコイル７と対向する面のうち、第１方向Ｚに対して交差する方向で第１磁石８１と隣り合う第２磁石８２とを備えている。本形態において、第１磁石８１と第２磁石８２は第２方向Ｘで隣り合っている。従って、第１磁石８１は、第１コイル７１の長辺７０１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向し、第２磁石８２は、第２コイル７２の長辺７０１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向している。
【００４５】
また、可動体３は、磁石８として、第２ヨーク８７の平板部８７０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された第１磁石８３と、第２ヨーク８７の平板部８７０のコイル７と対向する面のうち、第１方向Ｚに対して交差する方向で第１磁石８３と隣り合う第２磁石８４とを備えている。本形態において、第１磁石８３と第２磁石８４は、第２方向Ｘで隣り合っている。従って、第１磁石８３は、第１コイル７１の長辺７０１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向し、第２磁石８４は、第２コイル７２の長辺７０１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向している。
【００４６】
本形態において、第１磁石８１、８３、および第２磁石８２、８４は各々、厚さ方向（第１方向Ｚ）および幅方向（Ｘ方向）で分極着磁されている。第１磁石８１と第２磁石８２とは、隣り合う方向（第２方向Ｘ）で同一方向に着磁され、第１磁石８３と第２磁石８４とは、隣り合う方向（第２方向Ｘ）で同一方向に着磁されている。従って、第１磁石８１の第２磁石８２側の磁極と第２磁石８２の第１磁石８１側の磁極とが異なっており、第１磁石８３の第２磁石８４側の磁極と第２磁石８４の第１磁石８３側の磁極とが異なっている。
【００４７】
また、第１磁石８１と第１磁石８３とは、隣り合う方向（第２方向Ｘ）で逆方向に着磁され、第２磁石８２と第２磁石８４とは、隣り合う方向（第２方向Ｘ）で逆方向に着磁されている。従って、第１磁石８１と第１磁石８３とでは、第１コイル７１に対向する面の磁極が異なっており、第２磁石８２と第２磁石８４とでは、第２コイル７２に対向する面の磁極が異なっている。
【００４８】
第１ヨーク８６は、平板部８６０の第２方向の一方側Ｘ１の端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に延在して第２ヨーク８７と連結された第１連結板部８６１と、平板部８６０の第２方向の他方側Ｘ２の端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に延在して第２ヨーク８７と連結された第２連結板部８６２とを備えている。第１連結板部８６１および第２連結板部８６２は平板部８６０より第３方向Ｙの寸法が小さく、第１連結板部８６１および第２連結板部８６２の両側には切り欠き８６９が形成されている。図３および図４に示すように、第１連結板部８６１は、コイル７に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１でホルダ６０の第１開口部６０１を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて延在し、第２連結板部８６２は、コイル７に対して第２方向Ｘの他方側Ｚ２でホルダ６０の第２開口部６０２を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて延在している。
【００４９】
本形態では、第１連結板部８６１および第２連結板部８６２は、溶接により第２ヨーク８７の端部と連結されている。より具体的には、第１連結板部８６１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部８６１ａは、第２ヨーク８７の平板部８７０の第１側面８７１に重なって第１連結板部８６１と第２ヨーク８７の第１側面８７１とが溶接されている。同様に、第２連結板部８６２の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部８６２ａは、第２ヨーク８７の平板部８７０の第２側面８７２に重なって第２連結板部８６２と第２ヨーク８７の第２側面８７２とが溶接されている。
【００５０】
第１連結板部８６１の端部８６１ａ、および第１側面８７１のうちの一方には、他方に形成された凹部に嵌って溶接された凸部が形成され、第２連結板部８６２の端部８６２ａ、および第２側面８７２のうちの一方には、他方に形成された凹部に嵌って溶接された凸部が形成されている。本形態では、平板部８７０に形成された凸部８７３が第１連結板部８６１の端部８６１ａに形成された凹部８６３に嵌って溶接され、平板部８７０に形成された凸部８７４が第２連結板部８６２の端部８６２ａに形成された凹部８６４に嵌って溶接されている。
【００５１】
本形態では、第１ヨーク８６の平板部８６０、および第２ヨーク８７の平板部８７０の第３方向Ｙの端部には、磁石８を搭載する際に第１ヨーク８６および第２ヨーク８７の位置決めを行うための切り欠き８６０ａ、８７０ａが形成されている。
【００５２】
このように構成した可動体３において、第１ヨーク８６および磁石８の少なくとも一方には、磁石８の着磁方向を示すマークが付されている。例えば、第１ヨーク８６には、平板部８６０の４つの角のうち、Ｓ極が位置する側の角が切り欠かれたマーク８６ｓが付され、他の角は角張っている。また、第２ヨーク８７および磁石８の少なくとも一方にも、磁石８の着磁方向を示すマークが付されている。例えば、第２ヨーク８７には、平板部８７０の４つの角のうち、Ｎ極が位置する側の角が切り欠かれたマーク８７ｓが付され、他の角は角張っている。なお、磁石８に対して、マークを付す場合には、印刷等を利用すればよい。
【００５３】
（位置決め凸部８６５、８７５の構成）
第１ヨーク８６は、第１ヨーク８６の一部が、磁石８が固定された一方面から突出して第１磁石８１および第２磁石８２の第１ヨーク８６の平板部８６０の面内方向における位置決めを行う位置決め凸部８６５を有している。本形態において、位置決め凸部８６５は、第１磁石８１の第２磁石８２側の位置を規定する第１凸部８６５ａと、第２磁石８２の第１磁石８１側の位置を規定する第２凸部８６５ｂとを含んでいる。本形態において、第１凸部８６５ａと第２凸部８６５ｂとは、第１磁石８１と第２磁石８２との間に設けられた共通の凸部８６５ｃからなる。凸部８６５ｃ（第１凸部８６５ａおよび第２凸部８６５ｂ）は、第３方向Ｙで離間する２箇所に設けられている。
【００５４】
位置決め凸部８６５は、さらに、第１磁石８１と第２磁石８２とが隣り合う第２方向Ｘと交差する第３方向Ｙにおける第１磁石８１の位置決め、および第２磁石８２の位置決めを行う第３凸部８６５ｄ、８６５ｅを含んでいる。本形態において、第３凸部８６５ｄは、第１磁石８１のＹ方向の両側２箇所に設けられ、第３凸部８６５ｅは、第２磁石８２のＹ方向の両側２箇所に設けられている。
【００５５】
位置決め凸部８６５は、第１ヨーク８６の平板部８６０の一部を、磁石８とは反対側の他方面側から磁石８が位置する一方面側に突出させた凸部である。従って、図４に示すように、第１ヨーク８６の平板部８６０の磁石８とは反対側の他方面には、位置決め凸部８６５を成した際の凹状の痕８６５ｘが残っている。
【００５６】
ここで、第１ヨーク８６では、第１磁石８１に対して第２磁石８２と反対側、および第２磁石８２に対して第１磁石８１と反対側には、位置決め凸部８６５が設けられていない。また、位置決め凸部８６５の平板部８６０からの突出寸法は、磁石８の厚さ（第１磁石８１の厚さ、および第２磁石８２の厚さ）より低い。このため、磁石８を第１ヨーク８６の平板部８６０に搭載する際、カートリッジ等の内部に積層された複数の磁石８のうち、最も下方に位置する磁石８をスライドさせて、第１磁石８１等として配置する際、位置決め凸部８６５とカートリッジとが干渉しにくい等、位置決め凸部８６５が邪魔にならない
。
【００５７】
図示を省略するが、第２ヨーク８７も、第１ヨーク８６と同様、第２ヨーク８７の一部が、磁石８が固定された一方面から突出して第１磁石８３および第２磁石８４の第２ヨーク８７の平板部８７０の面内方向における位置決めを行う位置決め凸部を有している。従って、図８に示すように、第２ヨーク８７の平板部８７０の磁石８とは反対側の他方面には、位置決め凸部８７５を形成した際の凹状の痕８７５ｘが残っている。
【００５８】
なお、位置決め凸部８６５は、第１ヨーク８６および第２ヨーク８７の一部を折り曲げた凸部であってもよい。
【００５９】
（ストッパの構成）
図２に示すように、本形態では、可動体３に用いた第１ヨーク８６の第１連結板部８６１に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１には、第１ケース部材１６の第１壁部１６１、ホルダ６０の第１壁部６１、および第２ケース部材１７の第１壁部１７１の内面が、連続した平面を構成した状態で対向している。従って、第１連結板部８６１は、可動体３が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動した際に可動体３の第２方向Ｘの一方側Ｘ１への可動範囲を規制する第１ストッパを構成している。
【００６０】
同様に、第２連結板部８６２に対して第２方向Ｘの他方側Ｘ２には、第１ケース部材１６の第２壁部１６２、ホルダ６０の第２壁部６２、および第２ケース部材１７の第２壁部１７２の内面が、連続した平面を構成した状態で対向している。従って、第２連結板部８６２は、可動体３が第２方向Ｘの他方側Ｘ２に移動した際に可動体３の第２方向Ｘの他方側Ｘ２への可動範囲を規制する第２ストッパを構成している。
【００６１】
（基本動作）
本形態のアクチュエータ１において、コイル７に交流を印加すると、可動体３は、第２方向Ｘに振動するため、アクチュエータ１における重心が第２方向Ｘに変動する。このため、利用者は、第２方向Ｘの振動を体感することができる。その際、コイル７に印加する交流波形を調整して、可動体３が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する加速度と、可動体３が第２方向の他方側Ｘ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第２方向Ｘにおいて方向性を有する振動を体感することができる。
【００６２】
（接続体９０および粘弾性部材９の構成）
図２、図４および図５に示すように、支持体２および可動体３に対して接続する接続体９０が設けられている。接続体９０は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えている。本形態において、接続体９０は、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所に設けられた粘弾性部材９であり、第１方向Ｚ、第２方向Ｘ、および第３方向Ｙ方向に弾性的に変形可能である。粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、粘弾性部材９として、各種ゲル状部材を用いることができる。粘弾性部材９として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。
【００６３】
本形態において、接続体９０として粘弾性部材９のみが支持体２および可動体３の双方に接続されている。本形態においては、粘弾性部材９として、可動体３の第１ヨーク８６と支持体２の第１ケース部材１６とが第１方向Ｚで対向する個所に第１粘弾性部材９１が
配置され、可動体３の第２ヨーク８７と支持体２の第２ケース部材１７とが第１方向Ｚで対向する個所に第２粘弾性部材９２が配置されている。より具体的には、第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク８６の平板部８６０と第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７の底部との間の各々に設けられ、第２粘弾性部材９２は、第２ヨーク８７の平板部８７０と第２ケース部材１７の凹部１７６、１７７の底部との間の各々に設けられている。
【００６４】
ここで、第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク８６の平板部８６０と第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７の底部との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置され、第２粘弾性部材９２は、第２ヨーク８７の平板部８７０と第２ケース部材１７の凹部１７６、１７７の底部との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置されている。第１粘弾性部材９１は、支持体２と接する面（第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７の底部）に接着され、可動体３と接する面（第１ヨーク８６）と接着されている。第２粘弾性部材９２は、支持体２と接する面（第２ケース部材１７の凹部１７６、１７７の底部）に接着され、可動体３と接する面（第２ヨーク８７）と接着されている。
【００６５】
本形態において、粘弾性部材９（第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２）は、針入度が１０度から１１０度であるシリコーン系ゲルである。針入度とは、ＪＩＳ−Ｋ−２２０７やＪＩＳ−Ｋ−２２２０で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。粘弾性部材９は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、粘弾性部材９は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。一方、本形態のように、粘弾性部材９が厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材９では、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、本形態のように、粘弾性部材９のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもった振動を実現することができる。
【００６６】
本形態では、第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７のうち、第１粘弾性部材９１が接続される接続領域１６６ａ、１６７ａには複数の凹部が形成されている。また、第２ケース部材１７の凹部１７６、１７７のうち、第２粘弾性部材９２が接続される接続領域１７６ａ、１７７ａには複数の凹部が形成されている。
【００６７】
また、接続体９０は、第１方向Ｚに圧縮された状態にあるため、接続体９０は、一部が複数の凹部の内側に位置する。このため、複数の凹部の縁は、接続体９０が第１方向Ｚと交差する方向に移動することを抑制する。従って、接続体９０を支持体２と可動体３との間に配置する際、複数の凹部の縁は、接続体９０が第１方向Ｚと交差する方向に移動することを効果的に抑制する。また、可動体３が第２方向Ｘに駆動される際、複数の凹部の縁は、接続体９０が第２方向Ｘに移動することを効果的に抑制する。それ故、支持体２と可動体３との間に配置した接続体９０の位置ずれを抑制することができる。また、接続体９０は、接続領域１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａに接着剤を介して固定され、接着剤の一部は、複数の凹部の内側に位置する。このため、接続体９０の接着強度が高い。
【００６８】
（配線基板１５およびコイル７の端部の処理）
図９は、図６等に示す係合凸部６９の説明図である。図１０は、図９に示す係合凸部６９の突出部６９１の説明図であり、突出部６９１で係合凸部６９を切断したときの断面図である。図１１は、図６等に示す係合穴１５９の説明図である。図１２は、図９に示す係合凸部６９を第３位置Ｐ３で係合穴１５９に嵌めた状態を示す説明図である。図１３は、
図９に示す配線基板１５を第２位置に移動させたときの係合凸部６９と係合穴１５９との位置関係を示す説明図である。図１４は、図１１に示す配線基板１５が第１位置Ｐ１でホルダ６０に保持された状態の説明図である。図１５は、図５等に示す配線基板１５とホルダ６０の第３壁部６３との間の隙間を示す断面図である。
【００６９】
図５、図６および図７に示すように、支持体２の側面には、配線基板１５が保持される。より具体的には、ホルダ６０の第３壁部６３（支持体２の側面）に配線基板１５が固定される。第３壁部６３では、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に凹んだ凹部６３０が第２方向Ｘに沿って延在しており、凹部６３０の底部には、コイル線の端部７０５を凹部６３０の底面に引き出す切り欠き状の引き出し部６８が第２方向Ｘに沿って複数、形成されている。また、凹部６３０のうち、引き出し部６８によって挟まれた部分は、凹部６３０の底部からさらに第３方向Ｙの他方側に凹んだ凹部６３０ａになっている。
【００７０】
凹部６３０の底部には、凹部６３０ａに対して第２方向Ｘでずれた位置で第３方向Ｙの一方側Ｙ１に突出した係合凸部６９が第２方向Ｘに沿って複数、形成されている。本形態において、係合凸部６９は３か所に形成されている。
【００７１】
配線基板１５には、引き出し部６８と重なる部分に切り欠き１５８が形成されている。また、配線基板１５には、係合凸部６９と重なる部分に複数の係合穴１５９が形成されている。本形態では、係合凸部６９の数に対応して、複数の係合穴１５９として３つの係合穴１５９が第２方向Ｘに沿って形成されている。３つの係合穴１５９のうち、中央の係合穴１５９は、切り欠き１５８と繋がった切り欠き状に形成されている。
【００７２】
配線基板１５は、係合凸部６９が係合穴１５９に嵌った状態で係合凸部６９を塑性変形させることによってホルダ６０の第３壁部６３の外面に保持されている。また、配線基板１５は、配線基板１５とホルダ６０の第３壁部６３の外面との間に充填された接着剤により固定されている。
【００７３】
配線基板１５には、第１コイル７１の端部７０５、および第２コイル７２の端部７０５が電気的に接続される第１ランド１５１と、外部からの配線部材（図示せず）が電気的に接続される第２ランド１５２とが形成されており、第１コイル７１の端部および第２コイル７２の端部７０５は、引き出し部６８を介して第１ランド１５１まで引き回された後、ハンダにより第１ランド１５１に電気的に接続される。なお、第１ランド１５１と第２ランド１５２とは配線パターン（図示せず）を介して繋がっている。
【００７４】
本形態では、第１ランド１５１が３つ形成されており、第１コイル７１の巻き終わりの端部７０５、および第２コイル７２の巻き始めの端部７０５は、中央の第１ランド１５１に電気的に接続される。従って、第１コイル７１と第２コイル７２とは直列に電気的に接続される。なお、第１コイル７１と第２コイル７２とは、並列に電気的に接続してもよい。
【００７５】
ここで、第１コイル７１と、配線基板１５に接続された端部７０５との間には弛みが設けられている。かかる弛みを設けるにあたって、本形態では、図９〜図１４を参照して以下に説明するように、係合凸部６９と係合穴１５９の内縁との間には、配線基板１５が第３壁部６３に保持された第１位置Ｐ１（図１４参照）より第１ランド１５１と引き出し部６８との位置が離間した第２位置Ｐ２（図１３参照）に向けて配線基板１５を第３壁部６３に沿って第１方向Ｚ（可動方向）に直線移動可能にする遊びが設けられている。従って、配線基板１５が第２位置Ｐ２（図１３参照）にあるときに、第１ランド１５１と端部７０５とをハンダにより接続した後、配線基板１５を第１位置Ｐ１（図１４参照）に移動させれば、コイル７と配線基板１５に接続された端部７０５との間に弛みが設けられる。
【００７６】
まず、図９および図１０に示すように、係合凸部６９は、第３壁部６３から外側に突出した突出部６９１と、突出部６９１の先端部で突出部６９１から突出部６９１の突出方向に対して直交する方向に張り出した鍔部６９２とを有している。
【００７７】
図１１に示すように、配線基板１５には、鍔部６９２が通過可能な係合穴１５９が形成されている。本形態では、係合穴１５９を第３壁部６３に対して直交する方向からみたとき、係合穴１５９は、第１穴部１５９ａと、第１穴部１５９ａより小さな第２穴部１５９ｂとが繋がった形状を有している。第１穴部１５９ａ、および第２穴部１５９ｂは各々、配線基板１５の可動方向（第１方向Ｚ）に対して直交する第２方向Ｘに位置する両端部に、外側に円弧状に湾曲した湾曲部分１５９ｃ、１５９ｄを有する形状を有している。また、第１穴部１５９ａの第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部は、第２方向Ｘに直線的に延在する直線部分１５９ｅになっている。
【００７８】
図９および図１０に示すように、突出部６９１は、第１穴部１５９ａおよび第２穴部１５９ｂより配線基板１５の可動方向（第１方向Ｚ）の幅が小さい。鍔部６９２は、第１穴部１５９ａと略同一サイズの第３部分６９２ａと、第２穴部１５９ｂと略同一サイズの第４部分６９２ｂとが繋がった形状を有している。
【００７９】
第４部分６９２ｂは、配線基板１５の可動方向（第１方向Ｚ）に対して直交する第２方向Ｘに位置する両端部に、外側に円弧状に湾曲した湾曲部分６９２ｄを有している。第３部分６９２ａは、配線基板１５の可動方向（第１方向Ｚ）に対して直交する第２方向Ｘに位置する両端部に、外側に円弧状に湾曲した湾曲部分６９２ｃと、湾曲部分６９２ｃから第４部分６９２ｂとは反対側に直線的に延在した直線部分６９２ｆとを備えている。第３部分６９２ａの第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部は、第２方向Ｘに直線的に延在する直線部分６９２ｅになっている。また、第４部分６９２ｂの第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部は、第２方向Ｘに直線的に延在する直線部分６９２ｇになっている。
【００８０】
突出部６９１は、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に位置する湾曲部分６９１ａと、湾曲部分６９１ａから第１方向Ｚの一方側Ｚ１に延在する直線部分６９１ｂとを有しており、突出部６９１の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部は、第２方向Ｘに直線的に延在する直線部分６９１ｅになっている。
【００８１】
アクチュエータ１の製造工程のうち、コイル７の端部を処理する工程では、まず、図１２に示すように、配線基板１５を鍔部６９２と係合穴１５９とが対向する第３位置Ｐ３に配置し、鍔部６９２を係合穴１５９に貫通させる。この状態で、配線基板１５は、鍔部６９２と第３壁部６３との間に位置する。また、配線基板１５は、突出部５９１が係合穴１５９に嵌った状態で、第１方向Ｚに移動可能である。
【００８２】
次に、図１３に示すように、引き出し部６８と第１ランド１５１とが離間するように、配線基板１５を第１方向Ｚの他方側Ｚ２の第２位置Ｐ２に移動させ、端部７０５と第１ランド１５１とを半田により接続した後、端部７０５の余計な部分を切断する。ここで、配線基板１５の第２位置Ｐ２に向けての可動範囲は、突出部６９１の係合穴１５９の内周面への当接によって制限される。その際、突出部６９１と係合穴１５９の内周面とが当接する部分は直線部分６９１ｅ、１５９ｅである。この状態で、鍔部６９２は、配線基板１５に第３壁部６３とは反対側から重なっているため、配線基板１５の姿勢が維持される。
【００８３】
次に、図１４に示すように、引き出し部６８と第１ランド１５１とが接近するように、配線基板１５を第１方向Ｚの一方側Ｚ１の第１位置Ｐ１に移動させる。その結果、コイル７と配線基板１５に接続された端部７０５との間に弛みが設けられる。ここで、配線基板
１５の第１位置Ｐ１に向けての可動範囲は、突出部６９１の係合穴１５９の内周面への当接によって制限される。その際、突出部６９１と係合穴１５９の内周面とが当接する部分は湾曲部分６９１ａ、１５９ｄである。この状態で、鍔部６９２は、配線基板１５に第３壁部６３とは反対側から重なっているため、配線基板１５の姿勢が維持される。
【００８４】
次に、係合凸部６９に対する熱プレスによって係合凸部６９を塑性変形させ、配線基板１５を第３壁部６３に保持された状態とする。また、配線基板１５と第３壁部６３との隙間に接着剤を充填し、配線基板１５と第３壁部６３とを接着剤によって固定する。その際、図１５に示すように、配線基板１５と第３壁部との間には、一方方向（第１方向Ｚの一方側Ｚ１）から他方方向（第１方向Ｚの他方側Ｚ２）に間隔が広がった隙間Ｇが設けられている。従って、第１方向Ｚの他方側Ｚ２では隙間Ｇの開口幅が広いので、配線基板１５と第３壁部との間に接着剤を充填しやすい。
【００８５】
（アクチュエータ１の組み立て工程）
本形態では、第１ケース部材１６の貫通穴１６ｂから差し込んだ支持ピン（図示せず）によって第１ヨーク８６を支持しながら、第１ケース部材１６、第１ヨーク８６、ホルダ６０、および第２ヨーク８７を第１方向Ｚに重ねるとき、貫通穴１６ａから差し込んだ位置決めピンを基準に第１ケース部材１６の貫通穴１６ａ、第１ヨーク８６の切り欠き８６９、ホルダ６０の切り欠き６０３、および第２ヨーク８７の切り欠き８７９を重ねる。従って、第１ケース部材１６、第１ヨーク８６、ホルダ６０、および第２ヨーク８７を適正に重ねることができる。
【００８６】
その際、第１ヨーク８６の第１連結板部８６１をホルダ６０の第１開口部６０１を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて突出させ、第２連結板部８６２をホルダ６０の第２開口部６０２を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて突出させる。従って、第１ヨーク８６の第１連結板部８６１および第２連結板部８６２を各々、第２ヨーク８７と連結することができる。
【００８７】
また、第１ケース部材１６および第１ヨーク８６の一方に第１粘弾性部材９１を予め、接着剤によって接続しておき、第１ケース部材１６と第１ヨーク８６とを重ねる際、第１ケース部材１６および第１ヨーク８６の他方に第１粘弾性部材９１を接着剤によって接続する。また、第２ケース部材１７および第２ヨーク８７の一方に第２粘弾性部材９２を予め、接着剤によって接続しておき、第２ケース部材１７と第２ヨーク８７とを重ねる際、第２ケース部材１７および第２ヨーク８７の他方に第２粘弾性部材９２を接着剤によって接続する。その際、貫通穴１６ｂから差し込んだ支持ピンを第２ケース部材１７の切り欠き１７ｂに当接させて第２ケース部材１７を支持する。
【００８８】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のアクチュエータ１においては、図５に示すように、支持体２の側面（ホルダ６０の第３壁部６３）に沿うように配線基板１５が設けられているため、配線基板１５が突出していない。このため、アクチュエータ１を各種機器等に搭載する際、無駄なスペースが発生しにくい。
【００８９】
また、図９〜図１４等を参照して説明したように、配線基板１５は、係合穴１５９に係合凸部６９が嵌った状態でも、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２とに移動可能であるため、配線基板１５が第２位置Ｐ２にあるときにコイル線の端部７０５と配線基板１５の第１ランド１５１を接続した後、配線基板１５を第１位置Ｐ１に移動させれば、コイル７と端部７０５との間にコイル線の弛みを付与することができる。従って、コイル線の断線を抑制することができる。また、上記の操作を行う際、係合穴１５９に係合凸部６９が嵌った状態にあるため、配線基板１５の可動範囲が制限されているとともに、係合穴１５９と係合凸
部６９とがガイドとして機能する。従って、コイル線の端部７０５と第１ランド１５１との接続を行う第２位置Ｐ２からコイル線の弛みを付与する第１位置Ｐ１への配線基板１５の移動に容易に行うことができる。
【００９０】
また、配線基板１５が第１位置Ｐ１および第２位置Ｐ２にあるとき、係合凸部６９の鍔部６９２は、係合穴１５９から係合凸部６９が抜けることを抑制するため、コイル線の端部７０５と第１ランド１５１との接続を行う第２位置Ｐ２からコイル線の弛みを付与する第１位置Ｐ１への配線基板１５の移動等に容易に行うことができる。
【００９１】
［他の実施形態］
上記実施形態では、支持体２にコイル７および配線基板１５が保持されている態様を例示したが、可動体３にコイル７および配線基板１５が保持されている場合に本発明を適用してもよい。
【００９２】
上記実施形態では、２つの磁石８（第１磁石８１および第２磁石８２）を有していたが、例えば、コイル７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１のみに磁石８が配置され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に第２ヨーク８７のみが存在する態様の場合に本発明を適用してもよい。
【００９３】
上記実施形態では、粘弾性部材９としてシリコーン系ゲル等のゲル状部材を用いたが、ゴム等を粘弾性部材として用いてもよい。また、上記実施形態では、接続体９０として粘弾性部材９を用いたが、バネ等の弾性部材を用いてもよい。
【００９４】
上記実施形態では、コイルおよびホルダが支持体２に設けられ、磁石およびヨークが可動体３に設けられていたが、コイルおよびホルダが可動体３に設けられ、磁石およびヨークが支持体２に設けられている場合に本発明を適用してもよい。上記実施形態では、可動体３を第２方向Ｘのみに駆動するアクチュエータ１に本発明を適用したが、可動体３を第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに駆動するアクチュエータ１に本発明を適用してもよい。
【符号の説明】
【００９５】
１…アクチュエータ、２…支持体、３…可動体、６…磁気駆動回路、７…コイル、８…磁石、９…粘弾性部材、１５…配線基板、１６…第１ケース部材、１７…第２ケース部材、２６…プレート、６０…ホルダ、６３…第３壁部（支持体の側面）、６８…引き出し部、６９…係合凸部、７１…第１コイル、７２…第２コイル、８１、８３…第１磁石、８２、８４…第２磁石、８６…第１ヨーク、８７…第２ヨーク、９０…接続体、９１…第１粘弾性部材、９２…第２粘弾性部材、１５１…第１ランド、１５９…係合穴、１５９ａ…第１穴部、１５９ｂ…第２穴部、１５９ｃ、１５９ｄ、６９１ａ、６９２ｄ…湾曲部分、１５９ｄ、６９１ａ、６９２ａ、６９２ｃ…湾曲部分、１５９ｅ、６９１ｂ、６９１ｅ、６９２ｅ、６９２ｆ、６９２ｇ…直線部分、６５１、６５２…コイル保持穴、７０１…長辺、７０２…短辺、７０５…コイル線の端部、Ｇ…隙間、Ｐ１…第１位置、Ｐ２…第２位置、Ｐ３…第３位置、Ｘ…第２方向、Ｙ…第３方向、Ｚ…第１方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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