(57)【要約】【課題】オペレーターが、少なくともリペア装置が修正する箇所を、視認できる。【解決手段】この発明は、検査装置２と、リペア装置３と、撮像装置４と、表示装置５と、を備える。撮像装置４は、リペア装置３に対して、オペレーターが位置する側に、配置されている。表示装置５は、表示装置５をＺ方向に移動調整できかつＺ軸回りに回動調整できる保持部５０により、保持されている。この結果、この発明は、オペレーターが、少なくともリペア装置３が修正する箇所を、視認できる。【選択図】        図１
2020092220.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性ボールがワークの電極に正常に実装されているか否かを検査する検査部を有する検査装置と、
前記検査部により、前記導電性ボールが正常に実装されていない箇所を検出した場合に、前記箇所において前記導電性ボールが正常に実装されるように修正するリペア部を有するリペア装置と、
少なくとも前記リペア部が修正する前記箇所を対象として撮像する撮像装置と、
前記撮像装置が撮像した前記対象を、オペレーターが視認する画像として、表示する表示装置と、
を備え、
前記撮像装置は、前記リペア部に対して、オペレーターが位置する側に、配置されている、
ことを特徴とする導電性ボール検査リペア装置。
【請求項２】
前記表示装置は、
前記リペア装置側に配置されていて、
前記表示装置を鉛直方向に移動調整できかつ前記鉛直方向の軸回りに回動調整できる保持部により、
保持されていて、
オペレーターが操作することにより指示信号を出力する操作部を備え、
前記操作部は、オペレーターの前記表示装置への視線方向に配置されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の導電性ボール検査リペア装置。
【請求項３】
前記撮像装置は、
前記対象を拡大する光学部と、
前記光学部により拡大された前記対象を撮像する撮像部と、
前記光学部により拡大され、かつ、前記撮像部により撮像される前記対象を照明する照明部と、
を有する、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の導電性ボール検査リペア装置。
【請求項４】
前記撮像装置は、
前記撮像部の視野を前記対象に位置させる時に、前記対象を指し示すレーザーポインター、
を有する、
ことを特徴とする請求項３に記載の導電性ボール検査リペア装置。
【請求項５】
前記撮像装置は、
前記撮像装置を、水平方向であるＸ方向に、移動調整できるＸ方向移動調整部と、
前記撮像装置を、水平方向であって前記Ｘ方向に対して直交するＹ方向に、移動調整できるＹ方向移動調整部と、
前記撮像装置を、前記Ｘ方向および前記Ｙ方向に対して直交する前記鉛直方向であるＺ方向に、移動調整できるＺ方向移動調整部と、
前記撮像装置を、前記Ｘ方向の軸回りに、回動調整できる回動調整部と、
を介して配置されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の導電性ボール検査リペア装置。
【請求項６】
前記リペア部は、
前記導電性ボールが搭載されていない前記電極にフラックスを転写するフラックス転写部と、
前記フラックス転写部により転写された前記フラックスを介して前記電極に前記導電性ボールを搭載する導電性ボール搭載部と、
前記ワークに余分に搭載された余剰導電性ボールを除去する余剰導電性ボール除去部と、
を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の導電性ボール検査リペア装置。
【請求項７】
前記フラックス転写部、前記導電性ボール搭載部および前記余剰導電性ボール除去部は、水平方向であるＸ方向に配置されていて、
前記撮像装置は、
前記撮像装置を、水平方向であるＸ方向に、手動により移動調整できるＸ方向移動調整部と、
前記撮像装置を、前記フラックス転写部、前記導電性ボール搭載部および前記余剰導電性ボール除去部に対応するそれぞれの位置に、位置決めして停止させる位置決め停止部と、
を介して配置されている、
ことを特徴とする請求項６に記載の導電性ボール検査リペア装置。
【請求項８】
前記フラックス転写部、前記導電性ボール搭載部および前記余剰導電性ボール除去部は、水平方向であるＸ方向に配置されていて、
前記撮像装置は、
前記撮像装置を、水平方向であるＸ方向に、移動調整できるＸ方向移動調整部と、
前記撮像装置を、前記Ｘ方向に自動移動させ、かつ、前記フラックス転写部、前記導電性ボール搭載部および前記余剰導電性ボール除去部に対応するそれぞれの位置に、自動停止させる自動移動停止部と、
を介して配置されている、
ことを特徴とする請求項６に記載の導電性ボール検査リペア装置。
【請求項９】
前記検査部は、
前記導電性ボールが前記ワークの前記電極に正常に実装されているか否かを検査する主検査部と、
前記主検査部により、前記導電性ボールが正常に実装されていない箇所を検出した場合に、前記箇所を確認するベリファイ用検査部と、
を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の導電性ボール検査リペア装置。
【請求項１０】
キャリブレーション部を備え、
前記キャリブレーション部は、
前記リペア部の、水平方向であって相互に直交するＸ方向の位置情報およびＹ方向の位置情報と、前記Ｘ方向および前記Ｙ方向に対して直交する前記鉛直方向であるＺ方向の位置情報と、を取得する、
ことを特徴とする請求項１に記載の導電性ボール検査リペア装置。
【請求項１１】
前記キャリブレーション部は、
前記リペア部の前記Ｘ方向の位置情報および前記Ｙ方向の位置情報を取得するＸ−Ｙ位置情報取得部と、
前記リペア部の前記Ｚ方向の位置情報を取得するＺ位置情報取得部と、
を有する、
ことを特徴とする請求項１０に記載の導電性ボール検査リペア装置。
【請求項１２】
前記ワークが載置されるステージと、
前記ステージを、水平方向であって相互に直交するＸ方向とＹ方向とに、それぞれ搬送するステージ搬送部と、
前記検査部を、前記Ｘ方向および前記Ｙ方向に対して直交する前記鉛直方向であるＺ方向に搬送する検査部搬送部と、
前記リペア部を、前記Ｚ方向に搬送するリペア部搬送部と、
を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の導電性ボール検査リペア装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性ボール検査リペア装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
導電性ボール検査リペア装置として以下の特許文献１がある。特許文献１のボール検査リペア装置は、検査装置とリペア装置とを備える。検査装置は、ワークの電極に導電性ボールが正常に実装されているか否かを検査する。リペア装置は、検査装置により、導電性ボールが正常に実装されていない箇所を検出した場合に、その箇所において導電性ボールが正常に実装されるように修正（リペア）する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−３４１７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のボール検査リペア装置は、少なくともリペア装置が修正する箇所を対象として撮像する撮像装置と、撮像装置が撮像した対象を、オペレーターが視認する（目視して確認する、目視により確認する）画像として、表示する表示装置とを、備えていない。この結果、特許文献１のボール検査リペア装置によれば、オペレーターが、少なくともリペア装置が修正する箇所を、視認できない。
【０００５】
この発明が解決しようとする課題は、オペレーターが、少なくともリペア装置が修正する箇所を、視認できる、導電性ボール検査リペア装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明の導電性ボール検査リペア装置は、導電性ボールがワークの電極に正常に実装されているか否かを検査する検査部を有する検査装置と、検査部により、導電性ボールが正常に実装されていない箇所を検出した場合に、箇所において導電性ボールが正常に実装されるように修正するリペア部を有するリペア装置と、少なくともリペア部が修正する箇所を対象として撮像する撮像装置と、撮像装置が撮像した対象を、オペレーターが視認する画像として、表示する表示装置と、を備え、撮像装置が、リペア部に対して、オペレーターが位置する側に、配置されていて、表示装置が、表示装置を鉛直方向に移動調整できかつ鉛直方向の軸回りに回動調整できる保持部により、保持されている、ことを特徴とする。
【０００７】
この発明の導電性ボール検査リペア装置において、表示装置が、リペア装置側に配置されていて、表示装置を鉛直方向に移動調整できかつ鉛直方向の軸回りに回動調整できる保持部により、保持されていて、オペレーターが操作することにより指示信号を出力する操作部を備え、操作部が、オペレーターの表示装置への視線方向に配置されている、ことが好ましい。
【０００８】
この発明の導電性ボール検査リペア装置において、撮像装置が、対象を拡大する光学部と、光学部により拡大された対象を撮像する撮像部と、光学部により拡大され、かつ、撮像部により撮像される対象を照明する照明部と、を有する、ことが好ましい。
【０００９】
この発明の導電性ボール検査リペア装置において、撮像装置が、撮像部の視野を対象に位置させる時に、対象を指し示すレーザーポインター、を有する、ことが好ましい。
【００１０】
この発明の導電性ボール検査リペア装置において、撮像装置が、撮像装置を、水平方向であるＸ方向に、移動調整できるＸ方向移動調整部と、撮像装置を、水平方向であってＸ方向に対して直交するＹ方向に、移動調整できるＹ方向移動調整部と、撮像装置を、Ｘ方向およびＹ方向に対して直交する鉛直方向であるＺ方向に、移動調整できるＺ方向移動調整部と、撮像装置を、Ｘ方向の軸回りに、回動調整できる回動調整部と、を介して配置されている、ことが好ましい。
【００１１】
この発明の導電性ボール検査リペア装置において、リペア部が、導電性ボールが搭載されていない電極にフラックスを転写するフラックス転写部と、フラックス転写部により転写されたフラックスを介して電極に導電性ボールを搭載する導電性ボール搭載部と、ワークに余分に搭載された余剰導電性ボールを除去する余剰導電性ボール除去部と、を有する、ことが好ましい。
【００１２】
この発明の導電性ボール検査リペア装置において、フラックス転写部、導電性ボール搭載部および余剰導電性ボール除去部が、水平方向であるＸ方向に配置されていて、撮像装置が、撮像装置を、水平方向であるＸ方向に、手動により移動調整できるＸ方向移動調整部と、撮像装置を、フラックス転写部、導電性ボール搭載部および余剰導電性ボール除去部に対応するそれぞれの位置に、位置決めして停止させる位置決め停止部と、を介して配置されている、ことが好ましい。
【００１３】
この発明の導電性ボール検査リペア装置において、フラックス転写部、導電性ボール搭載部および余剰導電性ボール除去部が、水平方向であるＸ方向に配置されていて、撮像装置が、撮像装置を、水平方向であるＸ方向に、移動調整できるＸ方向移動調整部と、撮像装置を、Ｘ方向に自動移動させ、かつ、フラックス転写部、導電性ボール搭載部および余剰導電性ボール除去部に対応するそれぞれの位置に、自動停止させる自動移動停止部と、を介して配置されている、ことが好ましい。
【００１４】
この発明の導電性ボール検査リペア装置において、検査部が、導電性ボールがワークの電極に正常に実装されているか否かを検査する主検査部と、主検査部により、導電性ボールが正常に実装されていない箇所を検出した場合に、箇所を確認するベリファイ用検査部と、を有する、ことが好ましい。
【００１５】
この発明の導電性ボール検査リペア装置において、キャリブレーション部を備え、キャリブレーション部が、リペア部の、水平方向であって相互に直交するＸ方向の位置情報およびＹ方向の位置情報と、Ｘ方向およびＹ方向に対して直交する鉛直方向であるＺ方向の位置情報と、を取得する、ことが好ましい。
【００１６】
この発明の導電性ボール検査リペア装置において、キャリブレーション部が、リペア部のＸ方向の位置情報およびＹ方向の位置情報を取得するＸ−Ｙ位置情報取得部と、リペア部のＺ方向の位置情報を取得するＺ位置情報取得部と、を有する、ことが好ましい。
【００１７】
この発明の導電性ボール検査リペア装置において、ワークが載置されるステージと、ステージを、水平方向であって相互に直交するＸ方向とＹ方向とに、それぞれ搬送するステージ搬送部と、検査部を、Ｘ方向およびＹ方向に対して直交する鉛直方向であるＺ方向に搬送する検査部搬送部と、リペア部を、Ｚ方向に搬送するリペア部搬送部と、を有する、ことが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
この発明の導電性ボール検査リペア装置によれば、オペレーターが、少なくともリペア装置が修正する箇所を、視認できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、この発明にかかる導電性ボール検査リペア装置の実施形態を示す全体の概略平面図である。
【図２】図２は、一部分を示す概略正面図（図１における概略ＩＩ−ＩＩ線矢視図）である。
【図３】図３は、一部分を示す概略側面図（図１における概略ＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視図）である。
【図４】図４は、ワーク、キャリブレーション部、ステージおよびステージ搬送部を示す概略斜視図である。
【図５】図５は、構成部品を示すブロック図である。
【図６】図６は、ワークおよび導電性ボールを示す概略説明図である。図６（Ａ）は、導電性ボールがワークの電極に正常に実装されている状態を示す概略説明図である。図６（Ｂ）は、導電性ボールがワークの電極に正常に実装されていない状態であって、導電性ボールがワークの電極に搭載されていない状態すなわち導電性ボールが無い状態（ミッシングボール状態）を示す概略説明図である。図６（Ｃ）は、導電性ボールがワークの電極に正常に実装されていない状態であって、導電性ボールがワークの電極から外れた位置に位置している状態（シフトボール状態）を示す概略説明図である。図６（Ｄ）は、導電性ボールがワークの電極に正常に実装されていない状態であって、余分（余計）な導電性ボールがワークに搭載されている状態（余剰ボール状態）を示す概略説明図である。
【図７】図７は、工程を示すフロー説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、この発明にかかる導電性ボール検査リペア装置の実施形態（実施例）の１例を図面に基づいて詳細に説明する。この明細書において、左、右、前、後、上、下は、オペレーターがこの発明にかかる電性ボール検査リペア装置を見た時の左、右、前、後、上、下である。なお、図面においては、概略図であるため、主な構成部品を図示し、主な構成部品以外の構成部品の図示を省略する。
【００２１】
（実施形態の構成の説明）
以下、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置の構成について説明する。なお、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置については、特許文献１を参照しても良い。
【００２２】
図１〜図３中において、符号「１」は、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置である。また、図１〜図４において、符号「Ｘ１」は「左側」、「Ｘ２」は「右側」、「Ｙ１」は「前（手前）側」、「Ｙ２」は「後（奥、向）側」、「Ｚ１」は「上側」、「Ｚ２」は「下側」である。さらに、図１中において、符号「ＩＰ」は、オペレーター（図示せず）の目の位置である。
【００２３】
ここで、水平方向である「Ｘ方向」は「Ｘ１−Ｘ２方向、左右方向」、同じく水平方向である「Ｙ方向」は「Ｙ１−Ｙ２方向、前後方向」、鉛直方向である「Ｚ方向」は「Ｚ１−Ｚ２方向、上下方向」である。Ｘ方向とＹ方向とＺ方向とは、それぞれ、相互に直交する。
【００２４】
（ワークＷの説明）
図１〜図４に示すように、ワークＷは、この例では、ウェハーである。ワークＷは、単結晶シリコンからなり、薄い円板形状をなす。ワークＷの一面には、複数個の四角形の集積回路チップＣが、形成され、かつ、縦横に配置されている。集積回路チップＣの個数は、ワークＷの径（直径）に基づいて決定される。ワークＷの直径は、たとえば、５０ｍｍから３００ｍｍである。また、ワークＷの厚さは、たとえば、０．５ｍｍから１ｍｍである。一方、集積回路チップＣの１辺の長さは、たとえば、３０ｍｍである。
【００２５】
円板形状をなすワークＷは、作業工程前に、向きを合わせる必要がある。そこで、ワークＷの円周縁には、向きを合わせる時の目印となる直線部（図示せず）または切り欠き部（図示せず）が設けられている。また、ワークＷは、集積回路チップＣの構成および個数が回路設計毎に異なっているものである。そこで、ワークＷには、回路設計毎のワークＷを認識するための認識マーク（図示せず）が、設けられている。
【００２６】
図６に示すように、ワークＷ（複数個の集積回路チップＣ）には、導電性ボール実装装置（図示せず）により、導電性ボールＢが実装されている。すなわち、ワークＷの一面には、パッド状またはランド状の電極Ｅが設けられている。この電極Ｅには、導電性ボールＢが、フラックスＦの接着を介して、実装されている。
【００２７】
導電性ボールＢの直径は、たとえば、５０μｍから６０μｍである。導電性ボールＢは、導電性の部材からなる。たとえば、半田、金または銀などの金属ボール、あるいは、樹脂ボールまたはセラミックボールの表面に導電性メッキが施されたボールなどである。
【００２８】
（導電性ボールＢの実装状態の説明）
図６は、導電性ボール実装装置がワークＷに導電性ボールＢを実装した、状態を示す。すなわち、図６（Ａ）は、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されている状態（正常ボール状態）を示す。図６（Ｂ）は、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されていない状態であって、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに搭載されていない状態すなわち導電性ボールＢが無い状態（ミッシングボール状態）を示す。図６（Ｃ）は、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されていない状態であって、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅから外れた位置に位置している状態（シフトボール状態）を示す。図６（Ｄ）は、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されていない状態であって、余分（余計）な導電性ボールＢ１がワークＷに搭載されている状態（余剰ボール状態）を示す。
【００２９】
このように、導電性ボール実装装置がワークＷに導電性ボールＢを実装した時に、図６（Ａ）に示すように、全ての導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されているとは、必ずしも限らない。すなわち、図６（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）に示すように、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されていない、場合がある。そこで、導電性ボール実装装置がワークＷに導電性ボールＢを実装した後には、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されているか否かを検査する、必要がある。また、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されていない場合には、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されるように修正する、必要がある。
【００３０】
ここで、図６（Ａ）に示すように、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されている箇所を、以下、「正常箇所」と称する。また、図６（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）に示すように、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されていない箇所を、以下、「不良箇所」と称する。さらに、正常箇所および不良箇所を、以下、「箇所」と総称する。箇所は、１個の電極Ｅ、１個の導電性ボールＢ、および、それらの周囲を示す。
【００３１】
（導電性ボール検査リペア装置１の説明）
導電性ボール検査リペア装置１は、導電性ボール実装装置がワークＷに導電性ボールＢを実装した後に、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されているか否かを、検査する。また、導電性ボール検査リペア装置１は、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されていない場合に、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されるように、修正する。
【００３２】
図１〜図３に示すように、導電性ボール検査リペア装置１は、検査装置２と、リペア装置３と、撮像装置４と、表示装置５と、を備える。また、図１〜図５に示すように、導電性ボール検査リペア装置１は、キャリブレーション部６と、ステージ搬送部７と、検査部搬送部２０Ｚ、２１Ｚと、リペア部搬送部３０Ｚ、３１Ｚ、３２Ｚと、制御部８と、操作部８０と、検出部８１と、駆動部８２と、を備える。さらに、図１〜図５に示すように、導電性ボール検査リペア装置１は、架台１０と、支持部材１１と、ロードポート１２と、プリアライナー１３と、ステージ１４と、ワーク搬送部としての搬送ロボット１５と、ワーク認識情報取得部１６と、を備える。
【００３３】
架台１０は、床面または設置面（図示せず）上に設置される。架台１０には、図示されていないが、作業空間を形成する壁や天井が設けられている。ここで、作業空間は、図１において、架台１０の４辺により囲まれた空間とする。作業空間内部には、検査装置２、リペア装置３、撮像装置４、表示装置５、キャリブレーション部６、ステージ搬送部７、検査部搬送部２０Ｚ、２１Ｚ、リペア部搬送部３０Ｚ、３１Ｚ、３２Ｚ、検出部８１、駆動部８２、支持部材１１、プリアライナー１３、ステージ１４、搬送ロボット１５およびワーク認識情報取得部１６が配置されている。また、作業空間外部には、操作部８０およびロードポート１２が配置されている。なお、制御部８は、作業空間外部または作業空間内部のいずれか配置されている。また、操作部８０は、作業空間内部に配置しても良い。
【００３４】
図１〜図３に示すように、支持部材１１は、架台１０の上面の右側および後側に配置されている。支持部材１１は、２本の支柱１１０と、２本の腕１１１と、１本の桁１１２と、からなる。２本の支柱１１０の下端は、架台１０の上面に左右にそれぞれ固定されていて、２本の支柱１１０は、Ｚ方向に設けられている。２本の腕１１１の後端は、支柱１１０の上端に固定されていて、２本の腕１１１は、Ｙ方向に設けられている。１本の桁１１２の左右両端は、２本の腕１１１の前端に固定されていて、１本の桁１１２は、Ｘ方向に設けられている。
【００３５】
図１に示すように、ロードポート１２は、架台１０の左側の外側に配置されている。ロードポート１２のテーブル面（上面）には、搬送容器１７（いわゆる、ＦＯＵＰ）が載置される。搬送容器１７は、図示されていない天井モノレールまたは床面走行ロボットなどによりロードポート１２に、または、ロードポート１２から搬送される。搬送容器１７は、ワークＷを密閉状態で格納する。搬送容器１７には、ワークＷを出し入れするためのドアが設けられている。搬送容器１７のドアは、制御部８からの制御信号に基づいて制御される駆動部により開閉される。
【００３６】
図１に示すように、プリアライナー１３は、架台１０の上面の左側および後側に配置されている。プリアライナー１３は、検査装置２による検査の前に、ワークＷの中心および向きを、ワークＷの直線部または切り欠き部の目印に基づいて、合わせる。プリアライナー１３は、制御部８からの制御信号に基づいて駆動する。
【００３７】
図１〜図４に示すように、ステージ１４は、ステージ搬送部７により、Ｘ方向およびＹ方向に搬送される。ステージ１４の上面には、ワークＷが載置される。なお、図１、図２に示すステージ１４の位置は、初期位置とする。
【００３８】
図１に示すように、搬送ロボット１５は、架台１０の上面の左側およびプリアライナー１３の前側に配置されている。搬送ロボット１５は、ワークＷを、搬送容器１７とプリアライナー１３との間、および、プリアライナー１３とステージ１４との間に、おいて搬送する。なお、作業空間外部側の搬送容器１７と作業空間内部側のプリアライナー１３との間の壁には、ワークＷを出し入れするためのドアが設けられている。搬送ロボット１５は、制御部８からの制御信号に基づいて駆動する。壁のドアは、制御部８からの制御信号に基づいて制御される駆動部により開閉される。
【００３９】
図１、図２に示すように、ワーク認識情報取得部１６は、この例では、カメラ１６０と、レンズ１６１と、照明具１６２と、からなる。ワーク認識情報取得部１６は、リペア装置３のフラックス転写部３０に設けられている。なお、ワーク認識情報取得部１６は、フラックス転写部３０以外の箇所に設けても良い。
【００４０】
ここで、ワーク認識情報取得部１６のキャリブレーション部６により取得される位置情報は、レンズ１６１の下端（先端）の中心（レンズ１６１の光軸）の位置情報である。
【００４１】
ワーク認識情報取得部１６は、プリアライナー１３によるワークＷの中心および向きを合わせ後に、ステージ１４上のワークＷの認識マークから、ワークＷの認識情報を取得する。そして、ワーク認識情報取得部１６は、取得したワーク認識情報を、検出信号として制御部８に出力する。これにより、ワークＷは、制御部８を介して、どのような回路設計のワークＷであるか、認識される。
【００４２】
（ステージ搬送部７の説明）
図１〜図４に示すように、ステージ搬送部７は、架台１０の上面であって、支持部材１１の前側かつ搬送ロボット１５の右側に配置されている。ステージ搬送部７は、ステージ１４を、水平方向であって相互に直交するＸ方向とＹ方向とに、それぞれ搬送する。ステージ搬送部７は、Ｘ方向固定部（Ｘ方向ガイド部）７０Ｘと、Ｘ方向移動部７１Ｘと、Ｘ方向駆動部と、Ｙ方向固定部（Ｙ方向ガイド部）７０Ｙと、Ｙ方向移動部７１Ｙと、Ｙ方向駆動部と、からなる。
【００４３】
Ｘ方向固定部７０Ｘは、架台１０の上面にＸ方向に固定されている。Ｘ方向移動部７１Ｘは、Ｘ方向固定部７０ＸにＸ方向に移動可能に取り付けられている。Ｘ方向駆動部は、たとえば、サーボモータであって、Ｘ方向移動部７１ＸをＸ方向固定部７０Ｘの長手方向のＸ方向に移動させる。Ｘ方向駆動部は、制御部８からの制御信号に基づいて駆動する。
【００４４】
Ｙ方向固定部７０Ｙは、Ｘ方向移動部７１Ｘの上面にＹ方向に固定されている。Ｙ方向移動部７１は、Ｙ方向固定部７０にＹ方向に移動可能に取り付けられている。Ｙ方向駆動部は、たとえば、サーボモータであって、Ｙ方向移動部７１ＹをＹ方向固定部７０Ｙの長手方向のＹ方向に移動させる。Ｙ方向駆動部は、制御部８からの制御信号に基づいて駆動する。なお、図１〜図４において、Ｘ方向移動部７１ＸとＹ方向固定部７０Ｙとは、一体に図示されている。
【００４５】
（検査部搬送部２０Ｚ、２１Ｚの説明）
図２に示すように、検査部搬送部２０Ｚ、２１Ｚは、検査装置２の検査部としての主検査部２０、ベリファイ用検査部２１（以下、「検査部の各部２０、２１」と称する）を、それぞれ、Ｘ方向およびＹ方向に対して直交する鉛直方向であるＺ方向に搬送する。
【００４６】
主検査部２０の検査部搬送部２０Ｚは、Ｚ方向固定部（Ｚ方向ガイド部）と、Ｚ方向移動部と、Ｚ方向駆動部２００Ｚと、からなる。Ｚ方向固定部は、桁１１２の前面の左側に固定されている。Ｚ方向移動部は、Ｚ方向固定部にＺ方向に移動可能に取り付けられている。Ｚ方向駆動部２００Ｚは、たとえば、サーボモータであって、Ｚ方向移動部をＺ方向固定部の長手方向のＺ方向に移動させる。Ｚ方向駆動部２００Ｚは、制御部８からの制御信号に基づいて駆動する。
【００４７】
同様に、ベリファイ用検査部２１の検査部搬送部２１Ｚは、Ｚ方向固定部（Ｚ方向ガイド部）と、Ｚ方向移動部と、Ｚ方向駆動部２１０Ｚと、からなる。Ｚ方向固定部は、桁１１２の前面であって主検査部２０の検査部搬送部２０ＺのＺ方向固定部の左側に固定されている。Ｚ方向移動部は、Ｚ方向固定部にＺ方向に移動可能に取り付けられている。Ｚ方向駆動部２１０Ｚは、たとえば、サーボモータであって、Ｚ方向移動部をＺ方向固定部の長手方向のＺ方向に移動させる。Ｚ方向駆動部２１０Ｚは、制御部８からの制御信号に基づいて駆動する。
【００４８】
（リペア部搬送部３０Ｚ、３１Ｚ、３２Ｚの説明）
図２、図３に示すように、リペア部搬送部３０Ｚ、３１Ｚ、３２Ｚは、リペア装置３のリペア部としてのフラックス転写部３０、導電性ボール搭載部３１、余剰導電性ボール除去部３２（以下、「リペア部の各部３０、３１、３２」と称する）を、それぞれ、Ｘ方向およびＹ方向に対して直交する鉛直方向であるＺ方向に搬送する。
【００４９】
フラックス転写部３０のリペア部搬送部３０Ｚは、Ｚ方向固定部（Ｚ方向ガイド部）と、Ｚ方向移動部と、Ｚ方向駆動部３００Ｚと、からなる。Ｚ方向固定部は、桁１１２の前面の中間に固定されている。Ｚ方向移動部は、Ｚ方向固定部にＺ方向に移動可能に取り付けられている。Ｚ方向駆動部３００Ｚは、たとえば、サーボモータであって、Ｚ方向移動部をＺ方向固定部の長手方向のＺ方向に移動させる。Ｚ方向駆動部３００Ｚは、制御部８からの制御信号に基づいて駆動する。
【００５０】
同様に、導電性ボール搭載部３１のリペア部搬送部３１Ｚは、Ｚ方向固定部（Ｚ方向ガイド部）と、Ｚ方向移動部と、Ｚ方向駆動部３１０Ｚと、からなる。Ｚ方向固定部は、桁１１２の前面であってフラックス転写部３０のリペア部搬送部３０ＺのＺ方向固定部の右側に固定されている。Ｚ方向移動部は、Ｚ方向固定部にＺ方向に移動可能に取り付けられている。Ｚ方向駆動部３１０Ｚは、たとえば、サーボモータであって、Ｚ方向移動部をＺ方向固定部の長手方向のＺ方向に移動させる。Ｚ方向駆動部３１０Ｚは、制御部８からの制御信号に基づいて駆動する。
【００５１】
また、同様に、余剰導電性ボール除去部３２のリペア部搬送部３２Ｚは、Ｚ方向固定部（Ｚ方向ガイド部）と、Ｚ方向移動部と、Ｚ方向駆動部３２０Ｚと、からなる。Ｚ方向固定部は、桁１１２の前面であって余剰導電性ボール除去部３２のリペア部搬送部３２ＺのＺ方向固定部の右側に固定されている。Ｚ方向移動部は、Ｚ方向固定部にＺ方向に移動可能に取り付けられている。Ｚ方向駆動部３２０Ｚは、たとえば、サーボモータであって、Ｚ方向移動部をＺ方向固定部の長手方向のＺ方向に移動させる。Ｚ方向駆動部３２０Ｚは、制御部８からの制御信号に基づいて駆動する。
【００５２】
（キャリブレーション部６の説明）
キャリブレーション部６は、リペア部の各部３０、３１、３２の、Ｘ方向の位置情報、Ｙ方向の位置情報およびＺ方向の位置情報（以下、「Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の位置情報」と称する）を取得する。リペア部の各部３０、３１、３２のＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置情報は、フラックス転写部３０のフラックス転写ピン３００の先端（下端）、導電性ボール搭載部３１の導電性ボール搭載ノズル３１０の先端（下端）、余剰導電性ボール除去部３２の余剰導電性ボール除去ノズル３２０の先端（下端）のＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置情報である。そして、キャリブレーション部６が取得した位置情報により、ワークＷの位置が較正される。
【００５３】
図１、図２に示すように、キャリブレーション部６は、ステージ１４に固定されている。キャリブレーション部６は、Ｘ−Ｙ位置情報取得部６０と、Ｚ位置情報取得部６１と、を有する。
【００５４】
Ｘ−Ｙ位置情報取得部６０は、リペア部の各部３０、３１、３２のＸ方向の位置情報およびＹ方向の位置情報を、取得して、検出信号として、制御部８に出力する。Ｘ−Ｙ位置情報取得部６０は、この例では、カメラである。
【００５５】
Ｚ位置情報取得部６１は、リペア部の各部３０、３１、３２のＺ方向の位置情報を、取得して、検出信号として、制御部８に出力する。Ｚ位置情報取得部６１は、この例では、接触センサまたは接触式変位センサである。
【００５６】
また、同様に、キャリブレーション部６は、検査部の各部２０、２１のＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置情報と、ワーク認識情報取得部１６のＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置情報と、を取得して、検出信号として、制御部８に出力する。
【００５７】
（検査装置２の説明）
検査装置２は、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されているか否かを検査する。図１、図２に示すように、検査装置２は、検査部としての主検査部２０とベリファイ用検査部２１とを有する。
【００５８】
主検査部２０は、検査部搬送部２０ＺのＺ方向移動部に設けられている。ベリファイ用検査部２１は、検査部搬送部２１ＺのＺ方向移動部に設けられている。この結果、主検査部２０とベリファイ用検査部２１とは、Ｘ方向に左右に配置されている。
【００５９】
主検査部２０は、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されているか否かを検査する。主検査部２０は、この例では、カメラ２００と、レンズ２０１と、照明具２０２と、からなる。主検査部２０のカメラ２００の視野（画角）は、ワークＷ上の１個または複数個の集積回路チップＣを撮像できる範囲である。また、主検査部２０のレンズ２０１を、ズーム機能を有するものに、することにより、主検査部２０のカメラ２００の倍率を可変させて、撮像範囲を任意に可変することができる。
【００６０】
ここで、主検査部２０のキャリブレーション部６により取得されるＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置情報は、レンズ２０１の下端（先端）の中心（レンズ２０１の光軸）の位置情報である。
【００６１】
主検査部２０は、カメラ２００によりワークＷ上の複数個の集積回路チップＣを１個ずつ撮像して、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されているか否かの情報を取得する。主検査部２０は、取得した情報を、検出信号として、制御部８に出力する。そして、主検査部２０が取得した情報により、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されているか否かが、制御部８において検査される。
【００６２】
ベリファイ用検査部２１は、主検査部２０により、不良箇所を検出した場合に、不良箇所を確認する。ベリファイ用検査部２１は、この例では、カメラ２１０と、レンズ２１１と、照明具２１２と、からなる。ベリファイ用検査部２１のカメラ２１０の視野（画角）は、狭くとも、１つの箇所を撮像できる範囲である。したがって、ベリファイ用検査部２１のレンズ２１１の倍率は、主検査部２０のレンズ２０１の倍率よりも大きい。
【００６３】
ここで、ベリファイ用検査部２１のキャリブレーション部６により取得されるＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置情報は、レンズ２１１の下端（先端）の中心（レンズ２１１の光軸）の位置情報である。
【００６４】
ベリファイ用検査部２１は、カメラ２１０により主検査部２０により検出された不良箇所を撮像して、リペア装置３による修正が必要か否かの情報を取得する。ベリファイ用検査部２１は、取得した情報を、検出信号として、制御部８に出力する。そして、ベリファイ用検査部２１が取得した情報は、画像として、表示装置５に表示される。オペレーターが、表示装置５に表示された画像を目視することにより、リペア装置３による修正を必要とするか否かが確認される。
【００６５】
（リペア装置３の説明）
リペア装置３は、主検査部２０により不良箇所が検出され、かつ、ベリファイ用検査部２１により不良箇所において修正が必要と判断された場合に、導電性ボールＢが正常に実装されるように、修正する。図１、図２に示すように、リペア装置３は、フラックス転写部３０と、導電性ボール搭載部３１と、余剰導電性ボール除去部３２と、を有する。
【００６６】
フラックス転写部３０は、リペア部搬送部３０ＺのＺ方向移動部に設けられている。導電性ボール搭載部３１は、リペア部搬送部３１ＺのＺ方向移動部に設けられている。余剰導電性ボール除去部３２は、リペア部搬送部３２ＺのＺ方向移動部に設けられている。この結果、フラックス転写部３０と、導電性ボール搭載部３１と、余剰導電性ボール除去部３２とは、Ｘ方向に左右に配置されている。
【００６７】
フラックス転写部３０は、導電性ボールＢが搭載されていない電極ＥにフラックスＦを転写する。フラックス転写部３０には、フラックス転写ピン３００が、ピンホルダー、ロック機構および位置測定センサを介して取り付けられている。ここで、フラックス転写部３０のキャリブレーション部６により取得される位置情報は、前記の通り、フラックス転写ピン３００の下端（先端）の中心の位置情報である。
【００６８】
フラックス転写ピン３００の下方には、フラックス供給トレイ３０１が、Ｙ方向移動機構３０２を介して、配置されている。Ｙ方向移動機構３０２は、固定部（ガイド部）と、移動部と、駆動部３０３と、からなる。駆動部３０３は、たとえば、サーボモータであって、移動部を固定部の長手方向のＹ方向に移動させる。これにより、フラックス供給トレイ３０１は、Ｙ方向に移動して、フラックス転写ピン３００の下に位置したり、フラックス転写ピン３００の下から退避したりする。駆動部３０３は、制御部８からの制御信号に基づいて駆動する。
【００６９】
フラックス転写ピン３００は、下に位置するフラックス供給トレイ３０１から適量のフラックスＦを付着する。また、フラックス転写ピン３００は、フラックス供給トレイ３０１が下から退避した後に、Ｚ方向に下がって、ミッシングボール状態の電極ＥにフラックスＦを転写する。
【００７０】
導電性ボール搭載部３１は、フラックス転写部３０により転写されたフラックスＦを介して電極Ｅに導電性ボールＢを搭載する。導電性ボール搭載部３１には、導電性ボール搭載ノズル３１０が、ノズルホルダー、ロック機構および位置測定センサを介して取り付けられている。ここで、導電性ボール搭載部３１のキャリブレーション部６により取得される位置情報は、前記の通り、導電性ボール搭載ノズル３１０の下端（先端）の中心の位置情報である。
【００７１】
導電性ボール搭載ノズル３１０の下方には、導電性ボール供給トレイ３１１が、Ｙ方向移動機構３１２を介して、配置されている。Ｙ方向移動機構３１２は、固定部（ガイド部）と、移動部と、駆動部３１３と、からなる。駆動部３１３は、たとえば、サーボモータであって、移動部を固定部の長手方向のＹ方向に移動させる。これにより、導電性ボール供給トレイ３１１は、Ｙ方向に移動して、導電性ボール搭載ノズル３１０の下に位置したり、導電性ボール搭載ノズル３１０の下から退避したりする。駆動部３１３は、制御部８からの制御信号に基づいて駆動する。
【００７２】
導電性ボール搭載ノズル３１０は、下に位置する導電性ボール供給トレイ３１１から１個の導電性ボールＢを吸着する。また、導電性ボール搭載ノズル３１０は、導電性ボール供給トレイ３１１が下から退避した後に、Ｚ方向に下がって、ミッシングボール状態の電極ＥのフラックスＦに搭載する。
【００７３】
余剰導電性ボール除去部３２は、ワークＷに余分に搭載された余剰導電性ボールＢ１を除去する。余剰導電性ボール除去部３２には、余剰導電性ボール除去ノズル３２０が、ノズルホルダー、ロック機構および位置測定センサを介して取り付けられている。ここで、余剰導電性ボール除去部３２のキャリブレーション部６により取得される位置情報は、前記の通り、余剰導電性ボール除去ノズル３２０の下端（先端）の中心の位置情報である。
【００７４】
余剰導電性ボール除去ノズル３２０の下方には、余剰導電性ボール受トレイ３２１が、Ｙ方向移動機構３２２を介して、配置されている。Ｙ方向移動機構３２２は、固定部（ガイド部）と、移動部と、駆動部３２３と、からなる。駆動部３２３は、たとえば、サーボモータであって、移動部を固定部の長手方向のＹ方向に移動させる。これにより、余剰導電性ボール受トレイ３２１は、Ｙ方向に移動して、余剰導電性ボール除去ノズル３２０の下に位置したり、余剰導電性ボール除去ノズル３２０の下から退避したりする。駆動部３２３は、制御部８からの制御信号に基づいて駆動する。
【００７５】
余剰導電性ボール除去ノズル３２０は、余剰導電性ボール受トレイ３２１が下から退避している時に、Ｚ方向に下がって、余分な導電性ボールＢ１を吸着する。また、余剰導電性ボール除去ノズル３２０は、Ｚ方向に上がって、下に位置した余剰導電性ボール受トレイ３２１に、吸着した余分な導電性ボールＢ１を、受け渡す。
【００７６】
なお、余剰導電性ボール除去ノズル３２０は、図６（Ｃ）に示すシフトしている導電性ボールＢをも、除去する。
【００７７】
（撮像装置４の説明）
撮像装置４は、少なくともリペア部の各部３０、３１、３２が修正する箇所を対象として撮像する。撮像装置４は、リペア装置３に対して、オペレーターが位置する側すなわち前側に、配置されている。
【００７８】
図１、図３に示すように、撮像装置４は、光学部としてのレンズ４０と、撮像部としてのカメラ４１と、照明部としての照明具４２と、レーザーポインター４３と、を有する。図３において、符号「Ｌ」、実線矢印および二点矢印は、レンズ４０の光軸であって、カメラ４１の撮像方向（視野）を示す。符号「Ｌ１」および実線矢印は、照明具４２の照明光の照射方向を示す。符号「Ｌ２」および実線矢印は、レーザーポインター４３のレーザー光の照射方向すなわち指し示す方向を示す。
【００７９】
レンズ４０は、対象（少なくともリペア部の各部３０、３１、３２が修正する箇所）を拡大する。カメラ４１は、レンズ４０により拡大された対象を撮像する。照明具４２は、レンズ４０により拡大され、かつ、カメラ４１により撮像される対象を照明する。レーザーポインター４３は、拡大して撮像したい対象を、レンズ４０の光軸（カメラ４１の撮像方向）Ｌに、手動により位置させる時に、レンズ４０の光軸Ｌを指し示す。これにより、対象とレンズ４０の光軸Ｌとの位置合わせが、目視にて容易にできる。
【００８０】
図３中の二点矢印に示すように、撮像装置４は、導電性ボール搭載ノズル３１０の下端およびその周辺を撮像する。また、図示されていないが、撮像装置４は、フラックス転写ピン３００の下端およびその周辺と、余剰導電性ボール除去ノズル３２０の下端およびその周辺と、を撮像する。
【００８１】
撮像装置４は、撮像した画像を、信号として、制御部８に出力する。撮像装置４が撮像した画像は、制御部８を介して、拡大されて表示装置５に表示される。
【００８２】
（撮像装置４のＸ方向移動調整部４Ｘ、Ｙ方向移動調整部４Ｙ、Ｚ方向移動調整部４Ｚ、回動調整部４Ｄ（以下、「各調整部４Ｘ、４Ｙ、４Ｚ、４Ｄ」と称する）の説明）
図１、図３に示すように、撮像装置４は、各調整部４Ｘ、４Ｙ、４Ｚ、４Ｄを介して、架台１０の上面に配置されている。
【００８３】
Ｘ方向移動調整部４Ｘは、撮像装置４を、水平方向であるＸ方向に移動調整できる。Ｘ方向移動調整部４Ｘは、固定部（ガイド部）４０Ｘと、移動部４１Ｘと、駆動部としての自動移動停止部４２Ｘと、からなる。
【００８４】
固定部４０Ｘは、架台１０の上面であって、Ｘ方向固定部７０Ｘの前側で、かつ、Ｘ方向固定部７０Ｘに対して、平行にすなわちＸ方向に固定されている。移動部４１Ｘは、固定部４０ＸにＸ方向に移動可能に取り付けられている。
【００８５】
自動移動停止部４２Ｘは、たとえば、サーボモータである。自動移動停止部４２Ｘは、移動部４１Ｘを固定部４０Ｘの長手方向のＸ方向に自動移動させる。また、自動移動停止部４２Ｘは、移動部４１Ｘを、リペア部の各部３０、３１、３２に対応する位置（以下、「リペア部の各部３０、３１、３２の位置」と称する）に、自動停止させる。自動移動停止部４２Ｘは、制御部８からの制御信号に基づいて自動的に駆動停止する。
【００８６】
Ｚ方向移動調整部４Ｚは、撮像装置４を、垂直方向であるＺ方向に移動調整できる。Ｚ方向移動調整部４Ｚは、固定部（ガイド部）４０Ｚと、移動部４１Ｚと、調整部４２Ｚと、からなる。
【００８７】
固定部４０Ｚは、Ｚ方向に配置されていて、固定部４０Ｚの下端は、Ｘ方向移動調整部４Ｘの移動部４１Ｘの上端面に固定されている。移動部４１Ｚは、固定部４０ＺにＺ方向に移動可能に取り付けられている。調整部４２Ｚは、オペレーターが調整操作することにより、移動部４１Ｚを固定部４０Ｚに対してＺ方向に移動調整させる、部材である。
【００８８】
Ｙ方向移動調整部４Ｙは、撮像装置４を、水平方向であるＹ方向に移動調整できる。Ｙ方向移動調整部４Ｙは、固定部（ガイド部）４０Ｙと、移動部４１Ｙと、調整部４２Ｙと、からなる。
【００８９】
固定部４０Ｙは、Ｙ方向に配置されていて、固定部４０Ｙの前端は、Ｚ方向移動調整部４Ｚの移動部４１Ｚの上端面に固定されている。移動部４１Ｙは、固定部４０ＹにＹ方向に移動可能に取り付けられている。調整部４２Ｙは、オペレーターが調整操作することにより、移動部４１Ｙを固定部４０Ｙに対してＹ方向に移動調整させる、部材である。
【００９０】
回動調整部４Ｄは、撮像装置４を、Ｘ方向の軸（以下、「Ｘ軸」と称する）回りに回動調整できる。回動調整部４Ｄは、固定部（ガイド部）４０Ｄと、回動部４１Ｄと、調整部４２Ｄと、からなる。
【００９１】
固定部４０Ｄは、Ｙ方向に配置されていて、固定部４０Ｄの前端は、Ｙ方向移動調整部４Ｙの移動部４１Ｙの後端部上面に固定されている。回動部４１Ｄは、固定部４０ＤにＸ軸回りに回動可能に取り付けられている。調整部４２Ｄは、オペレーターが調整操作することにより、回動部４１Ｄを固定部４０Ｄに対してＸ軸回りに回動調整させる、部材である。回動部４１Ｄには、撮像装置４が取り付けられている。
【００９２】
以上から、撮像装置４は、制御部８の制御および自動移動停止部４２Ｘの駆動停止により、リペア部の各部３０、３１、３２の間を自動移動し、かつ、リペア部の各部３０、３１、３２の位置に自動停止する。また、撮像装置４は、Ｙ方向移動調整部４Ｙ、Ｚ方向移動調整部４Ｚおよび回動調整部４Ｄのオペレーターによる手動調整により、Ｙ方向、Ｚ方向およびＸ軸回り方向に、調整される。
【００９３】
（表示装置５の説明）
表示装置５は、撮像装置４が撮像した対象を、オペレーターが視認する画像として、拡大して表示する。図１、図２に示すように、表示装置５は、保持部５０を有する。表示装置５は、リペア装置３側に配置されている。すなわち、表示装置５は、リペア装置３および撮像装置４よりも右側に、かつ、撮像装置４よりも後側に、配置されている。図１において、符号「Ｌ３」は、オペレーターの表示装置５への視線方向を示す。
【００９４】
保持部５０は、表示装置５を、鉛直方向であるＺ方向に移動調整し、かつ、Ｚ方向の軸（以下、「Ｚ軸」と称する）回りに回動調整する。保持部５０は、保持金具５１と、Ｚ方向移動調整部５２と、Ｚ方向止具５３と、回動調整部５４と、回動止具５５と、からなる。
【００９５】
Ｚ方向移動調整部５２は、Ｚ方向固定部と、Ｚ方向固定部にＺ方向に移動調整可能に取り付けられているＺ方向移動部と、を有する。Ｚ方向止具５３は、Ｚ方向移動部を、Ｚ方向に移動調整した後に、Ｚ方向固定部に、止める。
【００９６】
回動調整部５４は、回動固定部と、回動固定部にＺ軸回りに回動調整可能に取り付けられている回動部と、を有する。回動止具５５は、回動部を、Ｚ軸回りに回動調整した後に、回動固定部に、止める。
【００９７】
保持金具５１の左端は、支持部材１１の右側の支柱１１０の中間に固定されている。保持金具５１の右端には、Ｚ方向移動調整部５２が設けられている。Ｚ方向移動調整部５２には、回動調整部５４が設けられている。回動調整部５４には、表示装置５が設けられている。表示装置５は、保持部５０を介して、Ｚ方向に移動調整され、かつ、Ｚ軸回りに回動調整される。
【００９８】
以上から、表示装置５の高さおよび向きが、保持部５０により、オペレーターの目の位置ＩＰ、すなわち、オペレーターの表示装置５への視線方向Ｌ３に合わせられる。
【００９９】
（制御部８、操作部８０、検出部８１、駆動部８２の説明）
図５に示すように、導電性ボール検査リペア装置１は、制御部８、操作部８０、検出部８１、駆動部８２と、を備える。
【０１００】
操作部８０は、オペレーターが操作することにより指示信号を制御部８に出力する。操作部８０は、オペレーターの表示装置５への視線方向Ｌ３上に配置されている。操作部８０は、この例では、表示装置５と別個体の画面（タッチパネルなど。図示せず）からなる。オペレーターが、表示装置５に表示される画像を見ながら、操作部８０の画面をタッチ操作する。これにより、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１の各装置が、操作され、かつ、調整される。操作部８０と表示装置５とは、たとえば、ユーザーインターフェースまたはＨＭＩなどから構成される。
【０１０１】
検出部８１は、検査部の各部２０、２１が検査する工程に必要な情報およびリペア部の各部３０、３１、３２が修正する工程に必要な情報を検出して検出信号として制御部８に出力する。検出部８１としては、ワーク認識情報取得部１６のカメラ１６０、主検査部２０のカメラ２００、ベリファイ用検査部２１のカメラ２１０、Ｘ−Ｙ位置情報取得部６０およびＺ位置情報取得部６１である。
【０１０２】
制御部８は、操作部８０から出力された指示信号および検出部８１から出力された検出信号を入力し、指示信号および検出信号に基づいて、検査部の各部２０、２１が検査する工程およびリペア部の各部３０、３１、３２が修正する工程を制御する。制御部８は、情報処理装置であって、たとえば、電子制御ユニット（ＥＣＵ）から構成されている。制御部８は、マイクロコントローラとその他の電子回路とを含む。マイクロコントローラは、プロセッサとメモリとを含む。プロセッサは、ＣＰＵ、ＭＰＵまたはＧＰＵの少なくともいずれか１つである。メモリは、ＲＯＭとＲＡＭとを含む。プロセッサは、ＲＯＭに記憶されたプログラムやＲＡＭにロードされたプログラムを実行する。
【０１０３】
駆動部８２は、制御部８から出力される制御信号に基づいて、駆動する。駆動部８２としては、搬送容器１７のドアの駆動部、壁のドアの駆動部、搬送ロボット１５、プリアライナー１３、ステージ搬送部７のＸ方向駆動部およびＹ方向駆動部、Ｚ方向駆動部２００Ｚ、２１０Ｚ、３００Ｚ、３１０Ｚ、３２０Ｚ、駆動部３０３、３１３、３２３および自動移動停止部４２Ｘである。
【０１０４】
（実施形態の作用の説明）
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、以上のごとき構成からなり、以下、その作用について図７の工程を示すフロー説明図を参照して説明する。
【０１０５】
まず、オペレーターが、手動により操作部８０を操作して、導電性ボール検査リペア装置１の作動を開始させる。あるいは、制御部８の制御により、自動的に導電性ボール検査リペア装置１の作動を開始させる（スタート）。
【０１０６】
搬送容器１７のドアと壁のドアとが開く。搬送ロボット１５が、ワークＷを搬送容器１７内から取り出して導電性ボール検査リペア装置１内に搬入する（ワークＷの搬入Ｓ１）。これと同時に、搬送容器１７のドアと壁のドアとが閉じる。搬送ロボット１５がワークＷをプリアライナー１３にセットする。プリアライナー１３がワークＷの中心および向きを合わせる（ワークＷの中心向き合わせＳ２）。
【０１０７】
搬送ロボット１５がワークＷをプリアライナー１３から初期位置のステージ１４上にセットする。ワークＷは、ステージ搬送部７およびキャリブレーション部６を介して、ワーク認識情報取得部１６に位置し、ワーク認識情報取得部１６により、認識される（ワークＷの認識Ｓ３）。
【０１０８】
つぎに、ワークＷの複数個の集積回路チップＣは、それぞれ、ステージ搬送部７およびキャリブレーション部６を介して、主検査部２０に位置し、主検査部２０により、検査される（主検査部２０の検査Ｓ４）。
【０１０９】
制御部８は、主検査部２０の検査に基づいて、ワークＷの複数個の集積回路チップＣに不良箇所が有るか無いかを判断する（不良箇所有無？Ｓ５）。ここで、不良箇所が無ければ、下記のステージ（工程）Ｓ１１に進む。一方、不良箇所が有ると、次のステージ（工程）Ｓ６に進む。
【０１１０】
不良箇所は、ステージ搬送部７およびキャリブレーション部６を介して、ベリファイ用検査部２１に位置し、ベリファイ用検査部２１により、確認のために、検査される（ベリファイ用検査部２１の検査Ｓ６）。すなわち、不良箇所は、ベリファイ用検査部２１のカメラ２１０により撮像され、その撮像された画像は、表示装置５に拡大表示される。
【０１１１】
オペレーターは、表示装置５に拡大表示された不良箇所の画像を、視認して、修正が必要か否かを判断する（修正必要？Ｓ７）。そして、オペレーターが、「修正の必要が無い」、と判断すると、操作部８０を操作して、下記のステージ（工程）Ｓ１１に進む。一方、オペレーターが、「修正の必要が有る」、と判断すると、操作部８０を操作して、次のステージ（工程）Ｓ８に進む。
【０１１２】
不良箇所は、ステージ搬送部７およびキャリブレーション部６を介して、リペア部の各部３０、３１、３２に位置する。そして、不良箇所は、リペア部の各部３０、３１、３２により修正される（リペア装置３が不良箇所を修正Ｓ８）。リペア部の各部３０、３１、３２が不良箇所を修正する作業状態は、下記の通りである。
【０１１３】
すなわち、不良箇所が、図６（Ｂ）に示すミッシングボール状態の場合。この場合は、まず、フラックス転写部３０のフラックス転写ピン３００が、フラックスＦを、導電性ボールＢが搭載されていない電極Ｅに、転写する。つぎに、導電性ボール搭載部３１の導電性ボール搭載ノズル３１０が、導電性ボールＢを、電極Ｅに転写されたフラックスＦ上に、搭載する。
【０１１４】
不良箇所が、図６（Ｃ）に示すシフトボール状態の場合。この場合は、まず、余剰導電性ボール除去部３２の余剰導電性ボール除去ノズル３２０が、電極Ｅから外れている導電性ボールＢを除去する。つぎに、フラックス転写部３０のフラックス転写ピン３００が、フラックスＦを、導電性ボールＢが外れていた電極Ｅに、転写する。それから、導電性ボール搭載部３１の導電性ボール搭載ノズル３１０が、導電性ボールＢを、電極Ｅに転写されたフラックスＦ上に、搭載する。
【０１１５】
不良箇所が、図６（Ｄ）に示す余剰ボール状態の場合。この場合は、余剰導電性ボール除去部３２の余剰導電性ボール除去ノズル３２０が、余分な導電性ボールＢを除去する。以上のようにして、リペア部の各部３０、３１、３２が不良箇所を修正する。
【０１１６】
このステージ（工程）Ｓ８において、撮像装置４は、リペア部の各部３０、３１、３２が修正する不良箇所を、対象として、撮像する。撮像された対象は、表示装置５に拡大表示される。オペレーターは、表示装置５に拡大表示されている対象を目視して、不良箇所がリペア部の各部３０、３１、３２により修正されている状態を確認できる。
【０１１７】
不良箇所が修正されると、次のステージ（工程）Ｓ９に進む。修正された不良箇所は、ステージ搬送部７およびキャリブレーション部６を介して、ベリファイ用検査部２１に位置し、ベリファイ用検査部２１により、再確認される（ベリファイ用検査部２１の再検査Ｓ９）。すなわち、修正された不良箇所は、ベリファイ用検査部２１のカメラ２１０により撮像され、その撮像された画像は、表示装置５に拡大表示される。
【０１１８】
オペレーターは、表示装置５に拡大表示された不良箇所であって、修正された不良箇所の画像を、目視により再確認して、再修正が必要か否かを再判断する（再修正必要？Ｓ１０）。そして、オペレーターが、「再修正の必要が無い」、と判断すると、操作部８０を操作して、下記のステージ（工程）Ｓ１１に進む。一方、オペレーターが、「再修正の必要が有る」、と判断すると、操作部８０を操作して、前のステージ（工程）Ｓ８に再び進む。
【０１１９】
不良箇所が無く、また、修正の必要が無く、さらに、再修正の必要が無い場合。この場合は、ステージ１４を初期位置に戻す。これと同時に、搬送容器１７のドアと壁のドアとが開く。搬送ロボット１５が、ステージ１４上のワークＷを、導電性ボール検査リペア装置１内から搬出して搬送容器１７内に格納する（ワークＷの搬出Ｓ１１）。これと同時に、搬送容器１７のドアと壁のドアとが閉じる。
【０１２０】
以上で、導電性ボール検査リペア装置１の作業が、終了する（エンド）。
【０１２１】
（実施形態の効果の説明）
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、以上のごとき構成および作用からなり、以下、その効果について説明する。
【０１２２】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、少なくともリペア部の各部３０、３１、３２が修正する箇所を対象として撮像する撮像装置４と、撮像装置４が撮像した対象を、オペレーターが視認する画像として、表示する表示装置５と、を備える。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１によれば、オペレーターが、少なくともリペア部の各部３０、３１、３２が修正する箇所を、視認できる。
【０１２３】
すなわち、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、オペレーターが操作部８０を操作してリペア部の各部３０、３１、３２の位置を調整する時に、オペレーターが表示装置５に拡大表示される画像を視認できる。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、リペア部の各部３０、３１、３２の位置を正確に調整でき、しかも、リペア部の各部３０、３１、３２の位置を調整する状況を視認できる。これにより、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、信頼性が高い、リペア部の各部３０、３１、３２の位置調整ができる。
【０１２４】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、表示装置５を鉛直方向Ｚに移動調整できかつＺ軸回りに回動調整できる、保持部５０を備える。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、表示装置５の高さおよび向きを、オペレーターの目の位置ＩＰ、すなわち、オペレーターの表示装置５への視線方向Ｌ３に、合わせられる。これにより、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、信頼性が高い、オペレーターによる視認が行われる。
【０１２５】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、撮像装置４をリペア装置３に対してオペレーター側に配置する。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１によれば、撮像装置４がリペア部の各部３０、３１、３２を撮像する方向（レンズ４０の光軸Ｌであって、カメラ４１の撮像方向）と、オペレーターがリペア部の各部３０、３１、３２を見る方向（オペレーターの目の位置ＩＰであって、オペレーターの表示装置５への視線方向Ｌ３）とが、一致する。これにより、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、表示装置５に表示される画像であって、リペア部の各部３０、３１、３２の画像を、オペレーターが違和感無く視認できる。
【０１２６】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、撮像装置４が、光学部４０と、撮像部４１と、照明部４２と、を有する、装置である。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、撮像部４１が撮像した対象（少なくともリペア部の各部３０、３１、３２が修正する箇所）を、光学部４０により拡大しかつ照明部４２により明るく照らした画像として、表示装置５に表示できる。これにより、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、オペレーターが表示装置５において大きくかつ明るい対象を視認できるので、信頼性が高い、リペア部の各部３０、３１、３２の位置調整ができる。
【０１２７】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、撮像装置４が、レーザーポインター４３を有する、装置である。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、拡大したい箇所を撮像装置４の視野（レンズ４０の光軸Ｌであって、カメラ４１の撮像方向）に合わせる時に、オペレーターがレーザーポインター４３のレーザー光の照射方向Ｌ２を目視することにより、容易に合わせることができる。
【０１２８】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１によれば、撮像装置４が、Ｘ方向移動調整部４Ｘと、Ｙ方向移動調整部４Ｙと、Ｚ方向移動調整部４Ｚと、回動調整部４Ｄと、を有する。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、撮像装置４が撮像する対象（少なくともリペアの各部３０、３１、３２が修正する個所）の方向（アングル）を調整できる。
【０１２９】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、リペア装置３がリペア部を有し、リペア部が、フラックス転写部３０と、導電性ボール搭載部３１と、余剰導電性ボール除去部３２と、を有する、ものである。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、リペア部の各部３０、３１、３２により、不良箇所を修正できる。
【０１３０】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、リペア部の各部３０、３１、３２がＸ方向に配置されていて、撮像装置４が自動移動停止部４２Ｘを有する。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、自動移動停止部４２Ｘにより、撮像装置４を、Ｘ方向に自動移動させ、かつ、リペア部の各部３０、３１、３２の位置に、自動停止させることができる。これにより、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、撮像装置４を短時間で見たい箇所（リペア部の各部３０、３１、３２の位置）に移動できるので、効率良い作業が得られる。
【０１３１】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、検査装置２が検査部を有し、検査部が、主検査部２０と、ベリファイ用検査部２１と、を有する、ものである。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、主検査部２０により、ワークＷの電極Ｅに導電性ボールＢが正常に実装されているか否かを検査できる。しかも、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、ベリファイ用検査部２１により、主検査部２０が検出した箇所を確認できる。
【０１３２】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、リペア部の各部３０、３１、３２のＸ方向の位置情報、Ｙ方向の位置情報およびＺ方向の位置情報に基づいて、ワークＷの位置を較正するキャリブレーション部６、を有する。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、キャリブレーション部６により、ワークＷの修正する箇所と、リペア部の各部３０、３１、３２が修正する箇所とを、正確に合わせることができる。
【０１３３】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、キャリブレーション部６がＸ−Ｙ位置情報取得部６０およびＺ位置情報取得部６１を有する。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、キャリブレーション部６のＸ−Ｙ位置情報取得部６０およびＺ位置情報取得部６１により、ワークＷの修正する箇所と、リペア部の各部３０、３１、３２が修正する箇所とを、さらに、正確に合わせることができる。
【０１３４】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、ステージ１４、ステージ搬送部７、検査部搬送部２０Ｚ、２１Ｚおよびリペア部搬送部３０Ｚ、３１Ｚ、３２Ｚを有する。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、ワークＷを、ステージ１４およびステージ搬送部７により、検査部の各部２０、２１の位置とリペア部の各部３０、３１、３２の位置とに、それぞれ搬送できる。しかも、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、検査部搬送部２０Ｚ、２１Ｚにより、検査部の各部２０、２１を、ワークＷが搬送された検査位置に搬送できる。また、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、リペア部搬送部３０Ｚ、３１Ｚ、３２Ｚにより、リペア部の各部３０、３１、３２を、ワークＷが搬送されたリペア位置に搬送できる。
【０１３５】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、プリアライナー１３を有する。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、プリアライナー１３により、検査部の各部２０、２１による検査の前に、ワークＷの中心および向きを合わせることができる。
【０１３６】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、プリアライナー１３およびワーク認識情報取得部１６を有する。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、プリアライナー１３によるワークＷの中心および向きを合わせ後に、ワーク認識情報取得部１６により、ワークＷを認識することができる。
【０１３７】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、搬送容器１７、プリアライナー１３、ステージ１４および搬送ロボット１５を有する。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、搬送ロボット１５により、ワークＷを、搬送容器１７とプリアライナー１３との間、および、プリアライナー１３とステージ１４との間に、おいて搬送できる。
【０１３８】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、操作部８０と、検出部８１と、制御部８と、を備える。操作部８０は、オペレーターが操作することにより指示信号を制御部８に出力する。検出部８１は、検査部の各部２０、２１が検査する工程に必要な情報およびリペア部の各部３０、３１、３２が修正する工程に必要な情報を検出して検出信号として制御部８に出力する。制御部８は、操作部８０から出力された指示信号および検出部８１から出力された検出信号を入力し、指示信号および検出信号に基づいて、検査部の各部２０、２１が検査する工程およびリペア部の各部３０、３１、３２が修正する工程を制御する。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、検査部の各部２０、２１が制御部８の制御に基づいて検査し、また、リペア部の各部３０、３１、３２が制御部８の制御に基づいて修正する。
【０１３９】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、表示装置５がリペア部側に配置されていて、操作部８０がオペレーターの表示装置５への視線方向Ｌ３に配置されている。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、オペレーターが表示装置５を見る方向Ｌ３と、オペレーターが操作部８０を見る方向と、がほとんど変わらない。すなわち、オペレーターの視線方向の変化が小さい。これにより、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、オペレーターへの負担が少なく、かつ、オペレーターが表示装置５を正確に視認できかつ操作部８０を正確に操作できる。
【０１４０】
（実施形態以外の例の説明）
なお、前記の実施形態においては、ワークＷとして、ウェハーについて説明するものである。しかしながら、この発明においては、ワークとして、ウェハー以外に、回路基板であっても良い。
【０１４１】
また、前記の実施形態においては、自動移動停止部４２Ｘにより、撮像装置４を、Ｘ方向に自動移動させ、かつ、リペア部の各部３０、３１、３２の位置に自動停止させる例について、説明するものである。しかしながら、この発明においては、撮像装置４をＸ方向に手動移動させ、かつ、位置決め停止部により、手動により、撮像装置４をリペア部の各部３０、３１、３２の位置に位置決めして停止させる技術を使用しても良い。位置決め停止部としては、たとえば、撮像装置４に透孔（以下、「第１透孔」と称する）を設け、一方、リペア部の各部３０、３１、３２の位置に透孔（以下、「第２透孔」と称する）を設ける。そして、その第１透孔と第２透孔とを合わせ、その第１透孔中および第２透孔中にピンを差し込む技術である。この技術によれば、導電性ボール検査リペア装置１の製造コストを安価にできる。
【０１４２】
さらに、前記の実施形態においては、表示装置５を１台備える場合について説明する。しかしながら、この発明においては、表示装置５を複数台備える場合であっても良い。
【０１４３】
さらにまた、前記の実施形態においては、操作部８０がオペレーターの表示装置５への視線方向Ｌ３上に配置されている場合、について説明する。しかしながら、この発明においては、操作部８０が必ずしもオペレーターの表示装置５への視線方向Ｌ３上に配置されていない場合、であっても良い。
【０１４４】
なお、この発明は、前記の実施形態により限定されるものではない。
【符号の説明】
【０１４５】
１  導電性ボール検査リペア装置
１０  架台
１１  支持部材
１１０  支柱
１１１  腕
１１２  桁
１２  ロードポート
１３  プリアライナー
１４  ステージ
１５  搬送ロボット（ワーク搬送部）
１６  ワーク認識情報取得部
１６０  カメラ
１６１  レンズ
１６２  照明具
１７  搬送容器（ＦＯＵＰ）
２  検査装置
２０  主検査部（検査部）
２００  カメラ
２０１  レンズ
２０２  照明具
２０Ｚ  主検査部２０の検査部搬送部
２００Ｚ  Ｚ方向駆動部
２１  ベリファイ用検査部（検査部）
２１０  カメラ
２１１  レンズ
２１２  照明具
２１Ｚ  ベリファイ用検査部２１の検査部搬送部
２１０Ｚ  Ｚ方向駆動部
３  リペア装置
３０  フラックス転写部（リペア部）
３００  フラックス転写ピン
３０１  フラックストレイ
３０２  Ｙ方向移動機構
３０３  駆動部
３０Ｚ  フラックス転写部３０のリペア部搬送部
３００Ｚ  Ｚ方向駆動部
３１  導電性ボール搭載部（リペア部）
３１０  導電性ボール搭載ノズル
３１１  導電性ボール供給トレイ
３１２  Ｙ方向移動機構
３１３  駆動部
３１Ｚ  導電性ボール搭載部３１のリペア部搬送部
３１０Ｚ  Ｚ方向駆動部
３２  余剰導電性ボール除去部（リペア部）
３２０  余剰導電性ボール除去ノズル
３２１  余剰導電性ボール受トレイ
３２２  Ｙ方向移動機構
３２３  駆動部
３２Ｚ  余剰導電性ボール除去部３２のリペア部搬送部
３２０Ｚ  Ｚ方向駆動部
４  撮像装置
４０  レンズ
４１  カメラ（撮像部）
４２  照明具（照明部）
４３  レーザーポインター
４Ｄ  回動調整部
４０Ｄ  固定部（ガイド部）
４１Ｄ  回動部
４２Ｄ  調整部
４Ｘ  Ｘ方向移動調整部
４０Ｘ  固定部（ガイド部）
４１Ｘ  移動部
４２Ｘ  自動移動停止部（駆動部）
４Ｙ  Ｙ方向移動調整部
４０Ｙ  固定部（ガイド部）
４１Ｙ  移動部
４２Ｙ  調整部
４Ｚ  Ｚ方向移動調整部
４０Ｚ  固定部（ガイド部）
４１Ｚ  移動部
４２Ｚ  調整部
５  表示装置
５０  保持部
５１  保持金具
５２  Ｚ方向移動調整部
５３  Ｚ方向止具
５４  回動調整部
５５  回動止具
６  キャリブレーション部
６０  Ｘ−Ｙ位置情報取得部
６１  Ｚ位置情報取得部
７  ステージ搬送部
７０Ｘ  Ｘ方向固定部（Ｘ方向ガイド部）
７１Ｘ  Ｘ方向移動部
７０Ｙ  Ｙ方向固定部（Ｙ方向ガイド部）
７１Ｙ  Ｙ方向移動部
８  制御部
８０  操作部
８１  検出部
８２  駆動部
Ｂ  導電性ボール
Ｂ１  余分（余計）な導電性ボール
Ｃ  集積回路チップＣ
Ｅ  電極
Ｆ  フラックス
ＩＰ  オペレーターの目の位置
Ｌ  レンズ４０の光軸（カメラ４１の撮像方向）
Ｌ１  照明具４２の照明光の照射方向
Ｌ２  レーザーポインター４３のレーザー光の照射方向
Ｌ３  オペレーターの表示装置５への視線方向
Ｗ  ワーク
Ｘ１  左側
Ｘ２  右側
Ｙ１  前（手前）側
Ｙ２  後（奥、向）側
Ｚ１  上側
Ｚ２  下側
【図１】
2020092220.tif 000003
【図２】
2020092220.tif 000004
【図３】
2020092220.tif 000005
【図４】
2020092220.tif 000006
【図５】
2020092220.tif 000007
【図６】
2020092220.tif 000008
【図７】
2020092220.tif 000009