(57)【要約】【課題】センサプローブによる被検体の軸方向のみの走査で、複数の超音波センサのそれぞれの位置における被検体の厚みを計測することができる超音波センサシステムを提供する。【解決手段】超音波センサシステムは、配管２０の表面に固定されて配管２０の周方向及び軸方向に互いに離間された複数の超音波センサ１と、配管２０の表面に固定されて互いに離間され、複数の超音波センサ１に１対１の関係でケーブル８を介し接続された複数のセンサコイル２と、複数のセンサコイル２のうちのいずれか１つに対向するように移動可能とし、対向したセンサコイル２との間で電磁結合によって信号の送信及び受信が可能な送信コイル３及び受信コイル４を有するセンサプローブ５と、制御装置６とを備える。複数のセンサコイル２は、長方形状をなすと共に、その長手方向が配管２０の周方向であり、且つ、配管２０の軸方向のみに互いに離間されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状の被検体の表面に固定されて前記被検体の周方向及び軸方向に互いに離間された複数の超音波センサと、
前記被検体の表面に固定されて互いに離間され、前記複数の超音波センサに１対１の関係でケーブルを介し接続された複数のセンサコイルと、
前記複数の超音波センサ及び前記複数のセンサコイルに対して前記被検体の径方向外側に配置され、前記複数のセンサコイルのうちのいずれか１つに対向するように移動可能とし、対向したセンサコイルとの間で電磁結合によって信号の送信及び受信が可能な送信コイル及び受信コイルを有するセンサプローブと、
前記送信コイル及び前記センサコイルを介し前記超音波センサへパルス信号を出力して超音波を発生させ、前記被検体で反射された超音波が前記超音波センサで受信されて変換された波形信号を前記センサコイル及び前記受信コイルを介し入力する制御装置とを備えた超音波センサシステムであって、
前記複数のセンサコイルは、長方形状又は楕円形状をなすと共に、その長手方向が前記被検体の周方向又は前記被検体の周方向に対し傾斜した方向であり、且つ、前記被検体の軸方向のみに互いに離間されており、
前記送信コイル及び前記受信コイルは、長方形状又は楕円形状をなすと共に、その長手方向が前記センサコイルの長手方向と同じであることを特徴とする超音波センサシステム。
【請求項２】
請求項１に記載の超音波センサシステムにおいて、
前記複数のセンサコイルのそれぞれの外形面積は、前記センサコイルと前記送信コイル又は前記受信コイルの間の距離を直径とする円形の面積以上であることを特徴とする超音波センサシステム。
【請求項３】
請求項１に記載の超音波センサシステムにおいて、
前記制御装置は、前記被検体の軸方向における前記センサプローブの走査位置毎にパルス信号を出力すると共に波形信号を入力し、前記被検体の軸方向における前記センサプローブの走査位置の変化による前記波形信号の最大振幅の変化を表すデータを作成し、このデータにおいて波形信号の最大振幅が極大値となる前記センサプローブの走査位置を選択し、選択した前記センサプローブの走査位置で得られた波形信号を抽出し、抽出した波形信号に基づき前記被検体の厚さを演算して表示装置に表示させることを特徴とする超音波センサシステム。
【請求項４】
請求項１に記載の超音波センサシステムにおいて、
前記制御装置は、前記被検体の軸方向における前記センサプローブの走査位置毎にパルス信号を出力すると共に波形信号を入力し、前記被検体の軸方向における前記センサプローブの走査位置の変化による前記波形信号の最大振幅の変化を表すデータを作成し、このデータにおいて波形信号の最大振幅が極大値となる前記センサプローブの走査位置を選択し、選択した前記センサプローブの走査位置で得られた波形信号を抽出し、抽出した波形信号を表示装置に表示させることを特徴とする超音波センサシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円筒状の被検体の厚さを計測する超音波センサシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば使用中の被検体の厚さを計測するために、被検体の表面に超音波センサを固定したいものの、何らかの理由により、超音波センサと制御装置の間のケーブルの接続が困難な場合がある。特許文献１は、このような課題を解決するための超音波センサシステムを開示している。
【０００３】
特許文献１の超音波センサシステムは、被検体の表面に固定された超音波センサ（超音波変換器）と、被検体の表面に固定され、ケーブルを介し超音波センサに接続されたセンサコイル（変換器コイル）と、電磁結合（言い換えれば、電磁誘導による結合）によってセンサコイルとの間で信号の送信及び受信が可能な送信コイル及び受信コイルを有するセンサプローブと、ケーブルを介しセンサプローブに接続された制御装置とを備えている。このシステムでは、センサコイルとセンサプローブの間のケーブルを不要とする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２０１７−５２４９０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、国内の原子力プラントにおける配管肉厚検査方法は、日本機械学会が定める発電用設備規格に準拠することが求められている。本設備規格では、配管の周方向及び軸方向に１００ｍｍ以下の間隔で格子状に複数の計測点を設け、各計測点で超音波による肉厚の計測を行うことが規定されている。配管の肉厚を計測するため、特許文献１に記載の技術を採用した場合を想定すれば、次のような課題が生じる。
【０００６】
特許文献１の各センサコイルは、円形状をなし、各超音波センサを取り囲むように配置される。そのため、複数のセンサコイルは、複数の超音波センサと共に、配管の周方向及び軸方向に１００ｍｍ以下の間隔で格子状に設ける必要がある。そして、センサコイルと送信コイル又は受信コイルの間で電磁誘導を発生させるため、センサコイルの真上に送信コイル又は受信コイルを配置する必要がある。すなわち、センサプローブを配管の周方向及び軸方向に移動させ、センサコイルに対して位置合わせを行う必要がある。そのため、作業負荷が増大する。
【０００７】
本発明は、上記事柄に鑑みてなされたものであり、その目的は、センサプローブによる被検体の軸方向のみの走査で、複数の超音波センサのそれぞれの位置における被検体の厚みを計測することができる超音波センサシステムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明は、円筒状の被検体の表面に固定されて前記被検体の周方向及び軸方向に互いに離間された複数の超音波センサと、前記被検体の表面に固定されて互いに離間され、前記複数の超音波センサに１対１の関係でケーブルを介し接続された複数のセンサコイルと、前記複数の超音波センサ及び前記複数のセンサコイルに対して前記被検体の径方向外側に配置され、前記複数のセンサコイルのうちのいずれか１つに対向するように移動可能とし、対向したセンサコイルとの間で電磁結合によって信号の送信及び受信が可能な送信コイル及び受信コイルを有するセンサプローブと、前記送信コイル及び前記センサコイルを介し前記超音波センサへパルス信号を出力して超音波を発生させ、前記被検体で反射された超音波が前記超音波センサで受信されて変換された波形信号を前記センサコイル及び前記受信コイルを介し入力する制御装置とを備えた超音波センサシステムであって、前記複数のセンサコイルは、長方形状又は楕円形状をなすと共に、その長手方向が前記被検体の周方向又は前記被検体の周方向に対し傾斜した方向であり、且つ、前記被検体の軸方向のみに互いに離間されており、前記送信コイル及び前記受信コイルは、長方形状又は楕円形状をなすと共に、その長手方向が前記センサコイルの長手方向と同じである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、センサプローブによる被検体の軸方向のみの走査で、複数の超音波センサのそれぞれの位置における被検体の厚みを計測することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態における超音波センサシステムの構成と共に、配管の径方向外側から見た超音波センサ、センサコイル、送信コイル、及び受信コイルの配置を表す図である。
【図２】本発明の一実施形態における配管の軸方向から見た超音波センサ、センサコイル、送信コイル、及び受信コイルの配置を表す図である。
【図３】本発明の一実施形態における制御装置の処理内容を表すフローチャートである。
【図４】本発明の一実施形態におけるセンサプローブの一走査位置で得られた波形信号を表す図である。
【図５】本発明の一実施形態におけるセンサプローブの走査位置の変化による波形信号の最大振幅の変化を表す図である。
【図６】センサコイルの構造の違いによる電磁結合性能を表す図である。
【図７】本発明の一変形例における超音波センサシステムの構成と共に、配管の径方向外側から見た超音波センサ、センサコイル、送信コイル、及び受信コイルの配置を表す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の一実施形態を、図面を参照しつつ説明する。
【００１２】
図１は、本実施形態における超音波センサシステムの構成と共に、配管の径方向外側から見た超音波センサ、センサコイル、送信コイル、及び受信コイルの配置を表す図である。図２は、本実施形態における配管の軸方向から見た超音波センサ、センサコイル、送信コイル、及び受信コイルの配置を表す図である。
【００１３】
本実施形態の円筒状の被検体である配管２０は、例えば炭素鋼製もしくはステンレス鋼製であって、プラントの運転中に液体もしくは気体が流れて高温となる。そのため、例えばケイ酸カルシウム製、ロックウール製、グラスウール製、無定形水練製、もしくは硬質ウレタンフォーム製の保温材２１で覆われている。
【００１４】
本実施形態の超音波センサシステムは、配管２０の表面（外面）に耐熱性接着剤で固定された複数の超音波センサ１及び複数のセンサコイル２と、保温材２１の表面（外面）に配置され（言い換えれば、複数の超音波センサ１及び複数のセンサコイル２に対して配管２０の径方向外側に配置され）、送信コイル３及び受信コイル４を有するセンサプローブ５と、センサプローブ５に接続された制御装置６と、制御装置６に接続された表示装置７（ディスプレイ）とを備えている。
【００１５】
複数の超音波センサ１は、配管２０における複数の計測点にそれぞれ対応し、配管２０の周方向及び軸方向に互いに離間されて配置されている。詳しく説明すると、例えば４つの超音波センサ１が周方向に１００ｍｍ以下の間隔で配置され、１列の超音波センサ１を構成している。そして、複数列の超音波センサ１が配管２０の軸方向に１００ｍｍ以下の間隔で配置されている。各超音波センサ１は、例えば圧電素子で構成されており、チタン酸ジルコン酸鉛などの圧電セラミックス製である。
【００１６】
複数のセンサコイル２は、複数の超音波センサ１に１対１の関係でケーブル８を介し接続されている。また、複数のセンサコイル２は、配管２０の表面上で長方形状をなすと共に、その長手方向が配管２０の周方向であり、且つ、配管２０の軸方向のみに互いに離間されて配置されている。なお、本実施形態では、配管２０の軸方向に隣り合う２つの超音波センサ１の間に、４つ（すなわち、配管２０の周方向における超音波センサ１の数と同数）のセンサコイル２が配置されている。
【００１７】
送信コイル３及び受信コイル４は、保温材２１の表面上で長方形状をなすと共に、その長手方向がセンサコイル２の長手方向と同じである。なお、本実施形態では、送信コイル３は、受信コイル４を取り囲むように配置されている。そのため、送信コイル３の配管軸方向の長さＷｔは、センサコイル２の配管軸方向の長さＷより若干大きく、受信コイル４の配管軸方向の長さＷｒは、センサコイル２の配管軸方向の長さＷより若干小さくなっている。また、送信コイル３の配管周方向の長さＬｔに対応する円弧の中心角は、センサコイル２の配管周方向の長さＬに対応する円弧の中心角θより若干大きく、受信コイル４の配管周方向の長さＬｒに対応する円弧の中心角は、センサコイル２の配管周方向の長さＬに対応する円弧の中心角θより若干小さくなっている。
【００１８】
センサプローブ５は、保温材２１に対して着脱可能となるように、配管２０の周方向に分割された一方側の部分及び他方側の部分（図示せず）と、それらを回動可能に接続する回動機構９（図２参照）とで構成されている。また、センサプローブ５は、検査員又は移動装置（図示せず）によって配管２０の軸方向に移動可能とし、複数のセンサコイル２のうちのいずれか１つに対向するようになっている。センサプローブ５の送信コイル３及び受信コイル４は、対向したセンサコイル２との間で電磁結合によって信号の送信及び受信を可能としている。
【００１９】
各センサコイル２の外形面積（詳細には、配管軸方向の長さＷと配管周方向の長さＬとの乗算で得られる面積）は、センサコイル２と送信コイル３又は受信コイル４の間の距離Ｈを直径とする円形の面積以上である。これにより、保温材２１が介在するためにセンサコイル２と送信コイル３又は受信コイル４が離れても、センサコイル２と送信コイル３又は受信コイル４の間の電磁結合を確保するようになっている（詳細は後述）。
【００２０】
制御装置６は、センサプローブ５の送信コイル３に接続されたパルサ１１と、センサプローブ５の受信コイル４に接続されたレシーバ１２と、信号処理部１３と、記憶部１４とを有している。信号処理部１３は、プログラムに従って処理を実行するプロセッサ等で構成され、記憶部１４は、ハードディスクやメモリ等で構成されている。
【００２１】
センサプローブ５の送信コイル３は、制御装置６のパルサ１１からのパルス信号（電気信号）を磁束に変換し、送信コイル３に対向したセンサコイル２は、前述した磁束をパルス信号に変換し、ケーブル８を介し超音波センサ１へパルス信号を出力する。超音波センサ１は、センサコイル２からのパルス信号によって振動し、配管２０の内面に向けて超音波を送信する。
【００２２】
その後、超音波センサ１は、配管２０の内面で反射した超音波を受信し、受信した超音波を波形信号（電気信号）に変換し、ケーブル８を介しセンサコイル２へ波形信号を出力する。センサコイル２は、超音波センサ１からの波形信号を磁束に変換し、センサプローブ５の受信コイル４は、前述した磁束を波形信号に変換して制御装置６のレシーバ１２へ出力する。制御装置６の信号処理部１３は、レシーバ１２を介して得られた波形信号を記憶部１４に記憶させると共に、所定の処理を実行する（詳細は後述）。
【００２３】
次に、本実施形態の制御装置６の処理内容を説明する。図３は、本実施形態における制御装置の処理内容を表すフローチャートである。
【００２４】
まず、ステップＳ１にて、検査員又は移動装置（図示せず）によってセンサプローブ５を配管２０の軸方向に走査する。このとき、制御装置６は、配管２０の軸方向におけるセンサプローブ５の走査位置毎に、パルス信号を出力すると共に、波形信号（図４参照）を入力する。
【００２５】
ステップＳ２にて、制御装置６の信号処理部１３は、配管２０の軸方向におけるセンサプローブ５の走査位置（又は、これに対応する走査時間でもよい。以降、同様）と関連付けながら、複数の波形信号を記憶部１４に記憶させる。
【００２６】
ステップＳ３にて、制御装置６の信号処理部１３は、各波形信号の最大振幅Ａ（図４参照）を取得し、センサプローブ５の走査位置の変化による波形信号の最大振幅の変化を表すデータ（図５参照）を作成する。
【００２７】
ステップＳ４にて、制御装置６の信号処理部１３は、ステップＳ３で作成したデータにおいて波形信号の最大振幅が極大値となるセンサプローブ５の走査位置Ｐ１，Ｐ２，…（図５参照）を選択し、これらの走査位置Ｐ１，Ｐ２，…に関連付けられた波形信号を記憶部１４で記憶された波形信号から抽出する。
【００２８】
ステップＳ５にて、制御装置６の信号処理部１３は、ステップＳ４で抽出した各波形信号に基づき、各超音波センサ１の位置における配管２０の厚さを演算し、演算した配管２０の厚さを表示装置７に表示させる。詳細には、例えばパルス信号の出力タイミングを起点とし、波形信号の振幅が最大となるタイミングを終点として、超音波の伝播時間ΔＴ（図４参照）を演算する。そして、超音波の伝播時間ΔＴと音速から配管２０の厚さを演算し、演算した配管２０の厚さを表示装置７に表示させる。
【００２９】
なお、移動装置によってセンサプローブ５を配管２０の軸方向に走査した場合、制御装置６の信号処理部１３は、移動装置からセンサプローブ５の走査位置を入力する。そして、センサプローブ５の走査位置Ｐ１，Ｐ２，…にそれぞれ対応するセンサコイル２に接続された超音波センサ１の位置を演算する。そして、超音波センサ１の位置（すなわち、計測点の位置）と共に、配管２０の厚さを表示装置７に表示させる。
【００３０】
以上のように本実施形態では、センサプローブ５による配管２０の軸方向のみの走査で、複数の超音波センサ１のそれぞれの位置における配管２０の厚みを計測することができる。そのため、センサプローブ５を配管２０の周方向及び軸方向に走査する場合と比べ、作業負荷を軽減することができる。また、保温材２１の着脱なしに、配管２０の厚みを計測することができる。
【００３１】
また、本実施形態では、制御装置６は、センサプローブ５の走査位置の変化による波形信号の最大振幅の変化を表すデータを作成し、このデータにおいて波形信号の最大振幅が極大値となるセンサプローブ５の走査位置を選択し、選択したセンサプローブ５の走査位置で得られた波形信号を抽出する。これにより、センサコイル２に対するセンサプローブ５の位置合わせを行う必要がないため、作業負荷を軽減することができる。また、計測点の見落としも防止することができる。
【００３２】
また、本実施形態では、各センサコイル２の外形面積は、センサコイル２と送信コイル３又は受信コイル４の間の距離Ｈを直径とする円形の面積以上である。これにより、保温材２１が介在するためにセンサコイル２と送信コイル３又は受信コイル４が離れても、センサコイル２と送信コイル３又は受信コイル４の間の電磁結合を確保することができる。その詳細を説明する。
【００３３】
まず、複数の比較例を用いて、センサコイルの構造の違いによる電磁結合性能を説明する。第１の比較例のセンサコイルの外形は、一辺の長さＢ、対角線の長さ√２×Ｂ、面積Ｂ２の正方形状とする。これに対し、第２〜第４の比較例のセンサコイルの外形は、短辺の長さ０．５×Ｂの長方形状とする。第２の比較例のセンサコイルの外形は、長辺の長さＢとし、第１の比較例のセンサコイルの外形の一辺と同じにする。第３の比較例のセンサコイルの外形は、対角線の長さ√２×Ｂとし、第１の比較例のセンサコイルの外形の対角線の長さと同じにする。第４の比較例のセンサコイルの外形は、面積Ｂ２とし、第１の比較例のセンサコイルの外形の面積と同じにする。
【００３４】
なお、第３の比較例のセンサコイルの外形の長辺は１．３×Ｂ程度であって、第２の比較例のセンサコイルの外形の長辺より長くなり、第４の比較例のセンサコイルの外形の長辺は２×Ｂであって、第３の比較例のセンサコイルの外形の長辺より長くなる。また、第３の比較例のセンサコイルの外形の面積は０．６６×Ｂ２程度であって、第４の比較例のセンサコイルの外形の面積より小さくなり、第２の比較例のセンサコイルの外形の面積は. ０．５×Ｂ２であって、第３の比較例のセンサコイルの外形の面積より小さくなる。
【００３５】
本願発明者らは、上述した第１〜第４の比較例のセンサコイルに対し、有限要素法を用いた磁場解析を行った。この磁場解析では、センサコイルと送信コイル又は受信コイルの間の距離をパラメータとして、センサコイルと送信コイル又は受信コイルの間の結合係数を評価した。結合係数とは、電磁結合性能を表す値である。図５は、Ｂ＝５０ｍｍとしたときの磁場解析結果を表す。この図５で示すように、第２及び第３の比較例のセンサコイルは、第１の比較例のセンサコイルと比べて結合係数が小さくなる。第４の比較例のセンサコイルは、第１の比較例のセンサコイルとほぼ同じ結合係数が得られた。これにより、センサコイルの外径面積が同じであれば、電磁結合性能もほぼ同じであると言える。
【００３６】
ところで、センサコイルが直径Ｄの円形状であり、センサコイルと送信コイル又は受信コイルの間の距離Ｈである場合、センサコイルと送信コイル又は受信コイルの間の電磁結合を確保するために、直径Ｄ≧距離Ｈの条件を満たせばよいことが知られている。一方、上述した磁場解析結果から得られた知見として、長方形状のセンサコイルは、円形状のセンサコイルと同じ電磁結合性能を得るために、円形状のセンサコイルと同じ外径面積を有すればよい。本実施形態の長方形状のセンサコイル２の外径面積は、上述したように距離Ｈを直径とする円形の面積以上であるから、センサコイル２と送信コイル３又は受信コイル４の間の電磁結合を確保することができる。
【００３７】
配管２０の外径１１４．３ｍｍ、距離Ｈ＝５０ｍｍである場合を例にとり、センサコイル２の寸法について説明する。５０ｍｍを直径とする円形の面積は、π×（５０／２）＾２＝１９６３ｍｍ２である。そのため、センサコイル２の外径面積は、１９６３ｍｍ２以上とすればよく、例えば１９６３ｍｍ２に設定する。センサコイル２の配管周方向の長さＬは、配管２０の全周の３／４とすれば、π×１１４．３×３／４＝２６９ｍｍとなる。したがって、センサコイル２の配管軸方向の長さＷは、１９６３／２６９＝７．３ｍｍとなる。
【００３８】
日本機械学会が定める発電用設備規格では、配管の周方向及び軸方向に１００ｍｍ以下の間隔で格子状に複数の計測点を設けることが規定されている。配管２０の全周はπ×１１４．３＝３５９ｍｍであるから、配管２０の周方向における計測点の間隔（言い換えれば、超音波センサの間隔）は約９０ｍｍに設定し、配管２０の軸方向における計測点の間隔（言い換えれば、超音波センサの間隔）は１００ｍｍに設定すればよい。そして、本実施形態のように、配管２０の軸方向に隣り合う２つの超音波センサ１の間に、４つのセンサコイル２を配置するのであれば、配管２０の軸方向におけるセンサコイル２の間隔は１００／４＝２５ｍｍとなる。上述したセンサコイル２の配管軸方向の長さＷ（＝７．３ｍｍ）がセンサコイル２の間隔（＝２５ｍｍ）より小さいため、センサコイル２同士の重なり合いは生じない。
【００３９】
なお、上記一実施形態において、制御装置６は、上述の図３のステップＳ５で示すように、抽出した波形信号に基づき配管２０の厚さを演算して表示装置７に表示させる場合を例にとって説明したが、これに限られず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で変形が可能である。すなわち、制御装置６は、抽出した波形信号を表示装置７に表示させてもよい。そして、検査員は、表示装置７で表示された波形信号に基づき配管２０の厚さを演算してもよい。
【００４０】
また、上記一実施形態において、制御装置６は、上述の図３のステップＳ４で示すように、ステップＳ３で作成したデータにおいて波形信号の最大振幅が極大値となるセンサプローブ５の走査位置を選択し、選択したセンサプローブ５の走査位置で得られた波形信号を抽出する場合を例にとって説明したが、これに限られず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で変形が可能である。すなわち、制御装置６は、ステップＳ３で作成したデータを表示装置７に表示させてもよい。そして、検査員は、表示装置７で表示されたデータにおいて波形信号の最大振幅が極大値となるセンサプローブ５の走査位置を選択し、その走査位置を入力装置（詳細には、キーボード又はマウス等）で入力してもよい。そして、制御装置６は、入力装置で入力されたセンサプローブ５の走査位置で得られた波形信号を抽出してもよい。
【００４１】
また、上記一実施形態において、センサコイル２は、その長手方向が配管２０の周方向である場合を例にとって説明したが、これに限られず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で変形が可能である。すなわち、図７で示す一変形例のように、センサコイル２は、その長手方向が配管２０の周方向に対し傾斜した方向（但し、傾斜角＜９０度）であってもよい。この変形例では、上記一実施形態と比べ、センサコイル２の配管周方向の長さを大きくすることができる。これにより、外形面積を大きくして、電磁結合性能を高めてもよい。
【００４２】
また、上記一実施形態及び上記一変形例において、センサコイル２は、配管２０の表面上で長方形状をなす場合を例にとって説明したが、これに限られず、配管２０の表面上で楕円形状をなしてもよい。また、上記一実施形態及び上記一変形例において、送信コイル３及び受信コイル４は、保温材２１の表面上で長方形状をなす場合を例にとって説明したが、これに限られず、保温材２１の表面上で楕円形状をなしてもよい。
【００４３】
また、上記一実施形態及び上記一変形例において、配管２０は、保温材２１で覆われている場合を例にとって説明したが、これに限られず、保温材２１で覆われていなくてもよい。また、上記一実施形態及び上記一変形例において、円筒状の被検体は、配管２０である場合を例にとって説明したが、これに限られず、例えば容器の側壁であってもよい。
【符号の説明】
【００４４】
１      超音波センサ
２      センサコイル
３      送信コイル
４      受信コイル
５      センサプローブ
６      制御装置
７      表示装置
８      ケーブル
２０    配管（被検体）
【図１】
2020186963.tif 000003
【図２】
2020186963.tif 000004
【図３】
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【図４】
2020186963.tif 000006
【図５】
2020186963.tif 000007
【図６】
2020186963.tif 000008
【図７】
2020186963.tif 000009