(57)【要約】【課題】プロセス処理室から磁性物質が被回転軸の磁石周辺に進入することに起因して被回転軸の回転が妨げられることを抑止した磁気カップリングを提供する。【解決手段】磁気カップリング１は、駆動体２０と、被駆動体３と、隔壁５０と、を備える。駆動体２０の外側カップリング磁石２１と被駆動体３の内側カップリング磁石３５との間に磁気的なトルク伝達部が形成される。被駆動体３は、円板磁石３６を有する。円板磁石３６は、内側カップリング磁石３５よりも軸受１００Ｓ側の位置において被回転軸３０の外周面に固定されている。処理空間Ｈから軸受１００Ｓを通じて流出した磁性物質Ｐが円板磁石３６によって捕集され、磁性物質Ｐの内側カップリング磁石３５への進入が阻止される。【選択図】図１
2020145833.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転駆動力を発生する駆動部と、所定のプロセス処理を実行するプロセス処理室を含む被回転装置との間に介在し、前記駆動部から前記被回転装置に前記回転駆動力を伝達する磁気カップリングであって、
前記回転駆動力によって回転される駆動体であって、前記駆動部に接続される一端部を含む主回転軸と、前記主回転軸と同軸上に配置され前記主回転軸の他端部に接続される円筒状の主円筒部と、前記主円筒部の内周面に前記主回転軸の軸心回りに環状に固定された外側カップリング磁石と、を有する駆動体と、
前記被回転装置に固定される被駆動体であって、前記被回転装置のうち前記プロセス処理室を画定する壁部に配置された軸受に回転可能に支持されるとともに前記主円筒部の内部において前記主回転軸と同軸上に配置され回転されることで前記プロセス処理室において所定の処理が実行されることを可能とする被回転軸と、前記主円筒部の内部において前記被回転軸の外周面に前記被回転軸の軸心回りに環状に固定され前記外側カップリング磁石との間で磁気的なトルク伝達部を形成する内側カップリング磁石と、前記内側カップリング磁石よりも前記軸受側の位置において前記被回転軸の外周面に固定された円板状の磁性部材と、を有する被駆動体と、
前記被回転軸、前記内側カップリング磁石および前記磁性部材を内包するように前記被回転装置の前記壁部に固定され、前記軸受と前記駆動体とを遮蔽する隔壁と、
を備える、磁気カップリング。
【請求項２】
前記円板状の磁性部材の外径は、前記内側カップリング磁石の外径よりも大きく設定されている、請求項１に記載の磁気カップリング。
【請求項３】
前記隔壁は、内部に前記内側カップリング磁石を内包する第１円筒部と、前記第１円筒部よりも大きな外径を有し前記第１円筒部に接続され内部に前記円板状の磁性部材を内包する第２円筒部と、を含む、請求項２に記載の磁気カップリング。
【請求項４】
前記円板状の磁性部材は、前記被回転軸の軸方向に沿って延びる磁力線を形成する、請求項１乃至３の何れか１項に記載の磁気カップリング。
【請求項５】
前記駆動体は前記被回転軸の軸方向において前記隔壁を挟んで前記円板状の磁性部材に対向する対向磁石を有する、請求項４に記載の磁気カップリング。
【請求項６】
前記プロセス処理室と前記隔壁の内部のうち前記被回転軸よりも前記主回転軸側の領域とを前記被回転軸の軸方向に沿って連通するように前記被回転軸の内部に形成され、前記プロセス処理室から流入した所定の冷却用媒体が流通することを許容する冷却用流路と、
前記隔壁の内部において前記被回転軸の先端部に固定された第１副対向磁石と、
前記駆動体のうち前記主円筒部の内部であって前記主回転軸の軸方向において前記隔壁を挟んで前記第１副対向磁石に対向する位置に固定された第２副対向磁石と、
を更に備える、請求項１乃至５の何れか１項に記載の磁気カップリング。
【請求項７】
前記円板状の磁性部材は、永久磁石からなる、請求項１乃至６の何れか１項に記載の磁気カップリング。
【請求項８】
前記円板状の磁性部材は、電磁石からなる、請求項１乃至６の何れか１項に記載の磁気カップリング。
【請求項９】
前記対向磁石は、永久磁石からなる、請求項５に記載の磁気カップリング。
【請求項１０】
前記対向磁石は、電磁石からなる、請求項５に記載の磁気カップリング。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気カップリングに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、磁石の吸引力を利用して、主回転軸の回転駆動力を被回転軸に伝達する磁気カップリングが知られている。主回転軸は、モーターなどの駆動部に機械的に連結され、被回転軸は、所定のプロセス処理を施すための装置本体に回転可能に支持されている。そして、主回転軸および被回転軸にそれぞれ備えられた磁石の吸引力によって、両軸を互いに非接触とした状態で、前記回転駆動力が伝達される。このような構成によれば、主回転軸を含む駆動部側と、被回転軸を含むプロセス処理側とが互いに隔離されるため、プロセス処理側に封入される化学物質などが駆動部に進入することが抑止される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１６０２７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された技術では、プロセス処理側に封入される物質が磁性材料を含む場合（磁性物質）、当該磁性物質が被駆動軸に備えられた磁石の周辺に進入し（磁性コンタミ）、被回転軸の回転が妨げられる、または、両軸間の伝達トルクが低下するという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、プロセス処理室から磁性物質が被回転軸の磁石周辺に進入することに起因して被回転軸の回転が妨げられることを抑止した磁気カップリングを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一の局面に係る回転駆動力を発生する駆動部と、所定のプロセス処理を実行するプロセス処理室を含む被回転装置との間に介在し、前記駆動部から前記被回転装置に前記回転駆動力を伝達する磁気カップリングであって、前記回転駆動力によって回転される駆動体であって、前記駆動部に接続される一端部を含む主回転軸と、前記主回転軸と同軸上に配置され前記主回転軸の他端部に接続される円筒状の主円筒部と、前記主円筒部の内周面に前記主回転軸の軸心回りに環状に固定された外側カップリング磁石と、を有する駆動体と、前記被回転装置に固定される被駆動体であって、前記被回転装置のうち前記プロセス処理室を画定する壁部に配置された軸受に回転可能に支持されるとともに前記主円筒部の内部において前記主回転軸と同軸上に配置され回転されることで前記プロセス処理室において所定の処理が実行されることを可能とする被回転軸と、前記主円筒部の内部において前記被回転軸の外周面に前記被回転軸の軸心回りに環状に固定された内側カップリング磁石と、前記内側カップリング磁石よりも前記軸受側の位置において前記被回転軸の外周面に固定された円板状の磁性部材と、を有する被駆動体と、前記被回転軸、前記内側カップリング磁石および前記磁性部材を内包するように前記被回転装置の前記壁部に固定され前記軸受と前記駆動体とを遮蔽する隔壁と、を備える。
【０００７】
本構成によれば、駆動体の外側カップリング磁石と被駆動体の内側カップリング磁石との間で発生する磁気吸引力によって、主回転軸から被回転軸に回転駆動力を伝達することができる。この結果、被回転軸の回転によってプロセス処理室において所定の処理が実行されることが可能とされる。この際、隔壁が軸受と駆動体との間を遮蔽することによって、プロセス処理室から流出した物質が駆動部に流入することが防止される。また、円板状の磁性部材が、内側カップリング磁石よりも軸受側の位置において被回転軸の外周面に固定されているため、プロセス処理室から流出した磁性物質は当該磁性部材に捕集される。このため、前記磁性物質がトルク伝達部に進入することが抑止される。この結果、内側カップリング磁石に前記磁性物質が付着することに起因して、被回転軸の回転が妨げられること、あるいは、主回転軸から被回転軸に伝達されるトルクが低下することが抑止される。
【０００８】
上記の構成において、前記円板状の磁性部材の外径は、前記内側カップリング磁石の外径よりも大きく設定されていることが望ましい。
【０００９】
本構成によれば、前記磁性物質がトルク伝達部に進入することが更に抑止される。
【００１０】
上記の構成において、前記隔壁は、内部に前記内側カップリング磁石を内包する第１円筒部と、前記第１円筒部よりも大きな外径を有し前記第１円筒部に接続され内部に前記円板状の磁性部材を内包する第２円筒部と、を含むことが望ましい。
【００１１】
本構成によれば、円板状の磁性部材よりも内側カップリング側では、第２円筒部と第１円筒部との間で段差が形成されている。この結果、前記磁性物質がトルク伝達部に進入することが更に抑止される。
【００１２】
上記の構成において、前記円板状の磁性部材は、前記被回転軸の軸方向に沿って延びる磁力線を形成することが望ましい。
【００１３】
本構成によれば、軸受から流出した磁性物質が径方向外側に向かって移動した際に、円板状の磁性部材の軸受側で軸方向に沿って延びる磁力線によって前記磁性物質を効率的に捕集することができる。また、磁性物質が円板状の磁性部材を乗り越えた場合でも、円板状の磁性部材の内側カップリング側で軸方向に沿って延びる磁力線によって前記磁性物質を捕集することができる。
【００１４】
上記の構成において、前記駆動体は、前記被回転軸の軸方向において前記隔壁を挟んで前記円板状の磁性部材に対向する対向磁石を有することが望ましい。
【００１５】
本構成によれば、円板状の磁性部材と対向磁石との間で強い磁界が形成されることで、前記磁性物質がトルク伝達部に進入することが更に抑止される。また、円板状の磁性部材と対向磁石との間で、トルク伝達をアシストすることができる。
【００１６】
上記の構成において、前記プロセス処理室と前記隔壁の内部のうち前記被回転軸よりも前記主回転軸側の領域とを前記被回転軸の軸方向に沿って連通するように前記被回転軸の内部に形成され、前記プロセス処理室から流入した所定の冷却用媒体が流通することを許容する冷却用流路と、前記隔壁の内部において前記被回転軸の先端部に固定された第１副対向磁石と、前記駆動体のうち前記主円筒部の内部であって前記主回転軸の軸方向において前記隔壁を挟んで前記第１副対向磁石に対向する位置に固定された第２副対向磁石と、を更に備えることが望ましい。
【００１７】
本構成によれば、冷却用流路を冷却用媒体が流通することで、内側カップリング磁石を内部から冷却することができる。また、磁性物質が冷却用流路を通じて被回転軸の先端部側に進入した場合でも、第１副対向磁石および第２副対向磁石によって形成される磁界によって、磁性物質を捕集し、磁性物質が内側カップリング磁石の外周面に到達することが抑止される。また、第１副対向磁石と第２副対向磁石との間で、トルク伝達をアシストすることができる。
【００１８】
上記の構成において、前記円板状の磁性部材は、永久磁石からなることが望ましい。
【００１９】
本構成によれば、簡易な永久磁石によって、前記円板状の磁性部材を構成することができる。また、円板状の磁性部材が電磁石から構成される場合と比較して、回転体に対する電力供給経路を必要としないため磁気カップリングの構造が簡易化される。
【００２０】
上記の構成において、前記円板状の磁性部材は、電磁石からなるものでもよい。
【００２１】
本構成によれば、円板状の磁性部材が電磁石によって構成されるため、メンテナンス時に電磁石への電力供給を停止することで磁性物質を磁性部材から容易に除去することができる。
【００２２】
上記の構成において、前記対向磁石は、永久磁石からなることが望ましい。
【００２３】
本構成によれば、簡易な永久磁石によって、対向磁石を構成することができる。また、対向磁石が電磁石から構成される場合と比較して、回転体に対する電力供給経路を必要としないため磁気カップリングの構造が簡易化される。
【００２４】
上記の構成において、前記対向磁石は、電磁石からなるものでもよい。
【００２５】
本構成によれば、対向磁石が電磁石によって構成されるため、メンテナンス時に電磁石への電力供給を停止することで磁性物質を磁性部材から除去することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、プロセス処理室から磁性材料からなる物質が被回転軸の磁石周辺に進入することに起因して被回転軸の回転が妨げられることを抑止した磁気カップリングが提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施形態に係る磁気カップリング、被回転装置および駆動部の模式的な断面図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係る磁気カップリング、被回転装置および駆動部の模式的な断面図である。
【図３】本発明の第３実施形態に係る磁気カップリング、被回転装置および駆動部の模式的な断面図である。
【図４】従来の磁気カップリング、被回転装置および駆動部の模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態に係る磁気カップリング１について説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る磁気カップリング１、被回転装置１０およびモーターＭの模式的な断面図である。なお、以後の各図面では、説明のため、前後および上下方向が示されているが、当該方向は本発明に係る磁気カップリングの構造、使用態様を限定するものではない。
【００２９】
磁気カップリング１は、回転駆動力を発生するモーターＭ（駆動部）と、所定のプロセス処理を実行する処理空間Ｈ（プロセス処理室）を含む被回転装置１０との間に介在し、モーターＭから被回転装置１０に前記回転駆動力を伝達する。
【００３０】
被回転装置１０は、処理空間Ｈを画定する筐体１００を有し、筐体１００は磁気カップリング１に対向する筐体側壁１０１（壁部）を有する。筐体側壁１０１の中央部には、軸受１００Ｓが配置されている。軸受１００Ｓは、たとえば公知のボールベアリングである。本実施形態では、被回転装置１０の処理空間Ｈには、冷媒などのプロセスガスが封入されている。
【００３１】
モーターＭは、所定の方向に回転されることで上記の回転駆動力を発生する。モーターＭの出力軸は、磁気カップリング１の駆動体２０の主回転軸２０１に連結されている。
【００３２】
磁気カップリング１は、駆動体２０と、被駆動体３と、隔壁５０と、を備える。
【００３３】
磁気カップリング１は、モーターＭが発生する回転駆動力によって直接回転される。磁気カップリング１は、主回転軸２０１と、主円筒部２０３と、外側カップリング磁石２１と、を有する。
【００３４】
主回転軸２０１は、モーターＭの出力軸に接続される一端部（図１の後端部）を含む。図１では、主回転軸２０１の軸心は前後方向に延びている。
【００３５】
主円筒部２０３は、円筒形状を有し、主回転軸２０１と同軸上に配置され主回転軸２０１のうち前記一端部とは反対の他端部（図１の前端部）に主円筒部側面２０２を介して接続されている。すなわち、主円筒部２０３の後端部は主円筒部側面２０２によって封止されており、主円筒部２０３の前端部は、開口されている。
【００３６】
外側カップリング磁石２１は、主円筒部側面２０２の内周面に主回転軸２０１の軸心回りに環状に固定されている。外側カップリング磁石２１は、主回転軸２０１と一体的に回転する。なお、本実施形態では、外側カップリング磁石２１は、円筒状の永久磁石からなり、周方向に沿ってＮ極とＳ極とが周方向に沿って交互に配置されている。なお、外側カップリング磁石２１は、各磁極を備え円筒面の一部を備えたピース状の複数の磁石が周方向に沿って交互に配置されたものなど、その他の構造を備えていてもよい。後記の内側カップリング磁石３５についても同様である。
【００３７】
被駆動体３は、被回転装置１０に回転可能に固定されている。被駆動体３は、被回転軸３０と、内側カップリング磁石３５と、円板磁石３６と、を有する。
【００３８】
被回転軸３０は、主円筒部２０３の内部において主回転軸２０１と同軸上に配置されている。被回転軸３０は、被軸支部３２を有する。被軸支部３２は、被回転装置１０の軸受１００Ｓに回転可能に支持される。被回転軸３０は、駆動体２０から磁気的な回転力を受け回転されることで、処理空間Ｈにおいて所定の処理が実行されることを可能とする。本実施形態では、被軸支部３２に連結された不図示の撹拌翼が処理空間Ｈ内で回転することで、処理空間Ｈ内に封入された冷媒が撹拌される。
【００３９】
内側カップリング磁石３５は、主円筒部２０３の内部において被回転軸３０の外周面に被回転軸３０の軸心回りに環状に固定されている。内側カップリング磁石３５は、被回転軸３０と一体的に回転する。本実施形態では、内側カップリング磁石３５は、円筒状の永久磁石からなり、周方向に沿ってＮ極とＳ極とが周方向に沿って交互に配置されている。内側カップリング磁石３５の当該周方向に沿った磁極数は、外側カップリング磁石２１と同じである。内側カップリング磁石３５は、外側カップリング磁石２１との間で磁気的なトルク伝達部を形成する。当該トルク伝達部によって、磁気カップリング１の主回転軸２０１から、被駆動体３の被回転軸３０に回転駆動力が非接触状態で伝達される。
【００４０】
円板磁石３６は、内側カップリング磁石３５よりも軸受１００Ｓ側の位置において、被回転軸３０の外周面に固定された円板状の永久磁石からなる。詳しくは、図１に示すように、被回転軸３０に形成されたフランジ３１上に、円板磁石３６が固定されている。円板磁石３６は、被回転軸３０と一体的に回転する。本実施形態では、Ｎ極とＳ極とが周方向に沿って交互に配置されている。この際、円板磁石３６のうち軸受１００Ｓ側と内側カップリング磁石３５側とでは、互いの磁極が逆に設定されている。この結果、円板磁石３６は、被回転軸３０の軸方向に沿って延びる磁力線を形成する。当該磁力線は、円板磁石３６を軸方向（前後方向）に沿って貫通するように延びている。
【００４１】
隔壁５０は、被回転軸３０、内側カップリング磁石３５および円板磁石３６を内包するように磁気カップリング１の筐体側壁１０１に固定され、軸受１００Ｓと駆動体２０とを遮蔽する。
【００４２】
次に、従来の磁気カップリングの課題について説明する。図４は、従来の磁気カップリング１Ｚ、被回転装置１０ＺおよびモーターＭの模式的な断面図である。本実施形態に係る磁気カップリング１と同様に、磁気カップリング１Ｚは、回転駆動力を発生するモーターＭと、所定のプロセス処理を実行する処理空間Ｈを含む被回転装置１０との間に介在し、モーターＭから前記被回転装置１０に前記回転駆動力を伝達する。磁気カップリング１Ｚは、本実施形態に係る円板磁石３６を有していない。なお、図４では、図１の磁気カップリング１と同様の機能を備える部材については、図１における符号にＺを付して示している。
【００４３】
磁気カップリング１Ｚでは、磁気物質Ｐが処理空間Ｈから軸受１００Ｓを通じて隔壁５０Ｚの内部に流入すると、当該磁気物質Ｐが内側カップリング磁石３５Ｚの外周部に磁気的に付着する。この結果、内側カップリング磁石３５Ｚと隔壁５０との間における接触や摺動抵抗が増大し、被回転軸３０Ｚの回転が妨げられる、または、主回転軸２０１Ｚから被回転軸３０Ｚへの伝達トルクが低下するといった問題が生じる。更には、上記の接触や摺動抵抗の増大によって、発熱が誘発されるという問題も生じる。
【００４４】
一方、本実施形態では、前述のように、被駆動体３が円板磁石３６を備えている（図１）。図１に示される磁気カップリング１では、駆動体２０の外側カップリング磁石２１と被駆動体３の内側カップリング磁石３５との間で発生する磁気吸引力によって、主回転軸２０１から被回転軸３０に回転駆動力を伝達することができる。この結果、被回転軸３０の回転によって処理空間Ｈにおいて所定の処理が実行されることが可能とされる。この際、隔壁５０が軸受１００Ｓと駆動体２０とを遮蔽することによって、処理空間Ｈから流出した物質がモーターＭに流入することが防止される。また、円板状の円板磁石３６が、内側カップリング磁石３５よりも軸受１００Ｓ側の位置において被回転軸３０の外周面に固定されているため、処理空間Ｈから流出した磁性物質Ｐは円板磁石３６に捕集される。このため、前記磁性物質Ｐが外側カップリング磁石２１と内側カップリング磁石３５との間のトルク伝達部に進入することが抑止される。この結果、内側カップリング磁石３５に前記磁性物質Ｐが付着することに起因して、被回転軸３０の回転が妨げられること、あるいは、主回転軸２０１から被回転軸３０に伝達されるトルクが低下することが抑止される。
【００４５】
また、本実施形態では、図１に示すように、円板状の円板磁石３６の外径は、前記内側カップリング磁石３５の外径よりも大きく設定されている。このため、磁気物質Ｐが円板磁石３６よりも内側カップリング磁石３５側に到達しにくく、磁性物質Ｐがトルク伝達部に進入することが更に抑止される。
【００４６】
また、本実施形態では、隔壁５０は、内部に前記内側カップリング磁石３５を内包する隔壁第１円筒部５１（第１円筒部）と、隔壁第１円筒部５１よりも大きな外径を有し隔壁第１円筒部５１に接続され内部に前記円板状の円板磁石３６を内包する隔壁第２円筒部５３（第２円筒部）と、を含む。なお、隔壁第１円筒部５１の先端部は隔壁第１側面５２によって封止され、隔壁第１円筒部５１と隔壁第２円筒部５３とは、被回転軸３０の径方向に延びる隔壁第２側面５４によって互いに接続されている。
【００４７】
このような構成によれば、円板状の円板磁石３６よりも内側カップリング磁石３５側では、隔壁第２円筒部５３と隔壁第１円筒部５１との間で段差が形成されている。この結果、前記磁性物質Ｐがトルク伝達部に進入することが更に抑止される。
【００４８】
更に、本実施形態では、前記円板状の円板磁石３６は、前記被回転軸３０の軸方向に沿って延びる磁力線を形成する。
【００４９】
このような本構成によれば、処理空間Ｈから軸受１００Ｓを通じて隔壁５０内に流入した磁性物質Ｐが径方向外側に向かって移動した際に、円板状の円板磁石３６の軸受１００Ｓ側で軸方向に沿って延びる磁力線によって前記磁性物質Ｐを効率的に捕集することができる。また、磁性物質Ｐが円板状の円板磁石３６を乗り越えた場合でも、円板状の円板磁石３６の内側カップリング磁石３５側で軸方向に沿って延びる磁力線によって前記磁性物質Ｐを捕集することができる。
【００５０】
また、本実施形態では、前記円板状の円板磁石３６は、永久磁石からなる。このような構成によれば、簡易な永久磁石によって、前記円板状の円板磁石３６を構成することができる。また、円板状の円板磁石３６が電磁石から構成される場合と比較して、回転体に対する電力供給経路を必要としないため磁気カップリング１の構造が簡易化される。また、円板磁石３６に多くの磁性物質が付着した場合には、被回転装置１０のメンテナンス時に、付着した磁性物質の除去、あるいは、円板磁石３６の交換や円板磁石３６を組み付けてあるフランジ３１（被回転軸３０）の交換により、磁性物質が堆積することを防止することができる。
【００５１】
次に、本発明の第２実施形態に係る磁気カップリング１について説明する。図２は、本実施形態に係る磁気カップリング１、被回転装置１０およびモーターＭの模式的な断面図である。なお、本実施形態では、先の第１実施形態と比較して、磁気カップリング１が円筒部対向磁石２２を有する点で相違するため、当該相違点を中心に説明し、その他の共通する点の説明を省略する。
【００５２】
図２に示すように、本実施形態では、駆動体２０が円筒部対向磁石２２（対向磁石）を有する。円筒部対向磁石２２は、前記円板状の円板磁石３６に対して被回転軸３０の軸方向において前記隔壁５０を挟んで対向するように、主円筒部２０３の先端部に固定されている。円筒部対向磁石２２は永久磁石からなり、円板磁石３６と同様にＮ極とＳ極とが周方向に沿って交互に配置されている。この際、円板磁石３６および円筒部対向磁石２２の周方向における磁極数は互いに同じである。更に、円板磁石３６および円筒部対向磁石２２の周方向における磁極数は、外側カップリング磁石２１および内側カップリング磁石３５の周方向における磁極数と同じであることが望ましい。
【００５３】
このような構成によれば、円板状の円板磁石３６と円筒部対向磁石２２との間で強い磁界が形成されることで、前記磁性物質Ｐがトルク伝達部に進入することが更に抑止される。また、円板状の円板磁石３６と円筒部対向磁石２２との間で、トルク伝達をアシストすることができる。
【００５４】
また、円筒部対向磁石２２が永久磁石から構成されるため、簡易な永久磁石によって、円筒部対向磁石２２を構成することができる。また、円筒部対向磁石２２が電磁石から構成される場合と比較して、回転体に対する電力供給経路を必要としないため磁気カップリングの構造が簡易化される。
【００５５】
次に、本発明の第３実施形態に係る磁気カップリング１について説明する。図３は、本実施形態に係る磁気カップリング１、被回転装置１０およびモーターＭの模式的な断面図である。なお、本実施形態では、先の第２実施形態と比較して、被回転軸３０に冷却油路３０Ｓが形成され、被駆動体３が被回転軸対向磁石３７（第１副対向磁石）を有するとともに、駆動体２０が主回転軸対向磁石２３（第２副対向磁石）を有する点で相違するため、当該相違点を中心に説明し、その他の共通する点の説明を省略する。
【００５６】
図３に示すように、本実施形態では、被回転軸３０の内部に冷却油路３０Ｓ（冷却用流路）が形成されている。冷却油路３０Ｓは、処理空間Ｈと隔壁５０の内部のうち被回転軸３０よりも主回転軸２０１側の領域とを被回転軸３０の軸方向に沿って連通するように被回転軸３０の内部に形成された油路である。冷却油路３０Ｓは、処理空間Ｈから流入した所定の冷却用媒体が内部を流通することを許容する。
【００５７】
被回転軸対向磁石３７は、隔壁５０の内部において被回転軸３０の先端部に固定された永久磁石である。被回転軸対向磁石３７の後側側面には、円板磁石３６と同様にＮ極とＳ極とが周方向に沿って交互に配置されている。
【００５８】
また、主回転軸対向磁石２３は、駆動体２０のうち主円筒部２０３の内部であって、主回転軸２０１の軸方向において隔壁５０（隔壁第１側面５２）を挟んで被回転軸対向磁石３７に対向する位置に固定されている。なお、主回転軸対向磁石２３の前側側面には、被回転軸対向磁石３７と同様にＮ極とＳ極とが周方向に沿って交互に配置されている。
【００５９】
このような構成によれば、冷却油路３０Ｓを冷却油（冷却用媒体）が流通することで、内側カップリング磁石３５を内部から冷却することができる。また、磁性物質Ｐが軸受１００Ｓを通じて被回転軸３０の先端部に進入した場合でも、被回転軸対向磁石３７および主回転軸対向磁石２３によって形成される磁界によって、磁性物質Ｐを捕集し、磁性物質Ｐが内側カップリング磁石３５の外周面に到達することが抑止される。更に、また、被回転軸対向磁石３７と主回転軸対向磁石２３との間で、トルク伝達をアシストすることができる。
【００６０】
以上、本発明の一実施形態に係る磁気カップリング１について説明したが、本発明はこれらの形態に限定されるものではなく、以下のような変形実施形態が可能である。
【００６１】
（１）上記の実施形態では、図１において、被回転軸３０のフランジ３１に円板磁石３６が固定された態様で説明したが、円板磁石３６は、内側カップリング磁石３５の軸受１００Ｓ側の端部に接するように配置されてもよい。また、内側カップリング磁石３５の軸受１００Ｓ側の端部の外径が部分的に大きく設定されることで、円板磁石３６が形成されてもよい。
【００６２】
（２）前記円板状の円板磁石３６は、電磁石からなるものでもよい。このような構成によれば、磁気カップリング１のメンテナンス時に電磁石への電力供給を停止することで、円板磁石３６が形成する磁力線（磁界）が消失するため、磁性物質Ｐを磁性部材から容易に除去することができるため、円板磁石３６の交換が不要となる。また、円筒部対向磁石２２は、電磁石からなるものでもよい。このような構成によれば、磁気カップリング１のメンテナンス時に電磁石への電力供給を停止することで磁性物質Ｐを磁性部材から除去することができる。なお、円板磁石３６を電磁石によって構成する場合に、回転する円板磁石３６への電源供給に、公知のスリップリング等の摺動部品が必要となる。このため、定期的なメンテナンスが可能な場合には、円板磁石３６を永久磁石で構成することが望ましい。
【００６３】
（３）上記の各実施形態では、被回転装置１０の処理空間Ｈでは、冷媒などのプロセスガス（流体）が封入されている態様にて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。処理空間Ｈにおいて他のプロセスが実行され、当該処理空間Ｈ（軸受１００Ｓ）とモーターＭとを遮断するために、磁気カップリング１によって回転駆動力が伝達される他の態様でもよい。
【符号の説明】
【００６４】
１  磁気カップリング
１０  被回転装置
１００  筐体
１０１  筐体側壁（壁部）
１０２  筐体外周部
１００Ｓ  軸受
２０  駆動体
２０１  主回転軸
２０２  主円筒部側面
２０３  主円筒部
２１  外側カップリング磁石
２２  円筒部対向磁石（対向磁石）
２３  主回転軸対向磁石（第２副対向磁石）
３  被駆動体
３０  被回転軸
３０Ｓ  冷却油路（冷却用流路）
３１  フランジ
３２  被軸支部
３５  内側カップリング磁石
３６  円板磁石（磁性部材）
３７  被回転軸対向磁石（第１副対向磁石）
５０  隔壁
５１  隔壁第１円筒部（第１円筒部）
５２  隔壁第１側面
５３  隔壁第２円筒部（第２円筒部）
５４  隔壁第２側面
Ｈ  処理空間
Ｍ  モーター（駆動部）
Ｐ  磁性物質
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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