(57)【要約】【課題】プロービング時におけるプローブの破損やプロービング対象（測定対象）の傷付きを回避する。【解決手段】案内機構１２による案内に従って載置部１１に対してプローブ部２２を接近方向で移動させることで載置面Ｆ１１に載置された測定対象Ｘに対してプローブ部２２における複数のプローブを接触させる第１の動作によって複数のプローブに先立って測定対象Ｘに対して当接させられて載置部１１に対する測定対象Ｘの移動を規制すると共に、案内機構１２による案内に従って載置部１１に対してプローブ部２２を離間方向で移動させることで測定対象Ｘに接触させられている複数のプローブを測定対象Ｘから離間させる第２の動作によって複数のプローブが測定対象Ｘから離間させられた後に測定対象Ｘから離間させられて載置部１１に対する測定対象Ｘの移動を許容する接触部材２５がプローブ部２２と共に案内機構１２に取り付けられている。【選択図】図２
2020098153.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロービング対象を載置可能な載置面が設けられた載置部と、
複数のプローブが配設されたプローブ部と、
前記載置部と前記プローブ部とが接近する接近方向および当該載置部と当該プローブ部とが離間する離間方向の両方向に沿った当該載置部に対する当該プローブ部の相対的な移動を案内する第１の案内機構とを備え、
前記第１の案内機構による案内に従って前記載置部に対して前記プローブ部を前記接近方向で相対的に移動させることで前記載置面に載置された前記プロービング対象に対して当該プローブ部における前記複数のプローブを接触させる第１の動作と、
前記第１の案内機構による案内に従って前記載置部に対して前記プローブ部を前記離間方向で相対的に移動させることで前記プロービング対象に接触させられている前記複数のプローブを当該プロービング対象から離間させる第２の動作とが可能に構成されたプロービング機構であって、
前記第１の動作によって前記複数のプローブに先立って前記プロービング対象に対して当接させられて前記載置部に対する当該プロービング対象の移動を規制すると共に、前記第２の動作によって前記複数のプローブが前記プロービング対象から離間させられた後に当該プロービング対象から離間させられて前記載置部に対する当該プロービング対象の移動を許容する移動規制部材が前記プローブ部と共に前記第１の案内機構に取り付けられているプロービング機構。
【請求項２】
複数のプローブが配設されたプローブ部と、
プロービング対象が載置された載置面に対して前記プローブ部が接近する接近方向および当該載置面から当該プローブ部が離間する離間方向の両方向に沿った当該載置面に対する当該プローブ部の移動を案内する第１の案内機構とを備え、
前記第１の案内機構による案内に従って前記載置面に対して前記プローブ部を前記接近方向で移動させることで当該載置面に載置された前記プロービング対象に対して当該プローブ部における前記複数のプローブを接触させる第１の動作と、
前記第１の案内機構による案内に従って前記載置面に対して前記プローブ部を前記離間方向で移動させることで前記プロービング対象に接触させられている前記複数のプローブを当該プロービング対象から離間させる第２の動作とが可能に構成されたプロービング機構であって、
前記第１の動作によって前記複数のプローブに先立って前記プロービング対象に対して当接させられて前記載置面に対する当該プロービング対象の移動を規制すると共に、前記第２の動作によって前記複数のプローブが前記プロービング対象から離間させられた後に当該プロービング対象から離間させられて前記載置面に対する当該プロービング対象の移動を許容する移動規制部材が前記プローブ部と共に前記第１の案内機構に取り付けられているプロービング機構。
【請求項３】
前記移動規制部材を前記載置面に向けて付勢する付勢部材を備えている請求項１または２記載のプロービング機構。
【請求項４】
前記接近方向および前記離間方向に沿って前記プローブ部に対して当該移動規制部材を直動させる第２の案内機構を備えている請求項１から３のいずれかに記載のプロービング機構。
【請求項５】
前記移動規制部材は、前記複数のプローブが接触させられる部位を囲む環状の領域で前記プロービング対象に対して接するように構成されている請求項１から４のいずれかに記載のプロービング機構。
【請求項６】
前記移動規制部材は、光透過性を有する材料で形成されて前記プロービング対象を透視可能に構成されている請求項１から５のいずれかに記載のプロービング機構。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載のプロービング機構と、前記複数のプローブが接続されると共に前記プロービング対象としての測定対象に接触させられた当該複数のプローブを介して当該測定対象についての予め規定された被測定量を測定する測定部を有する測定装置とを備えている測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のプローブが配設されたプローブ部をプロービング対象（測定対象）に対して相対的に接離させることで各プローブをプロービング対象にプロービングさせるプロービング機構、およびそのようなプロービング機構を備えて構成された測定システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
出願人は、導電シートに対するプロービングを行ってシート抵抗を測定可能なシート抵抗測定装置を下記の特許文献に開示している。出願人が開示しているシート抵抗測定装置は、プローブユニット、移動機構、測定部、制御部および記憶部を備えると共に、導電シートを保持する保持機構を備えて構成されている。
【０００３】
プローブユニットは、底面に複数のプローブが配設されたベース部を備えている。移動機構は、制御部の制御に従ってプローブユニットを導電シートに対して接離させることで導電シートの表面に各プローブを接触／離間させる。測定部は、制御部の制御に従って各プローブを介して予め規定された電気的パラメータを測定する測定処理を実行する。制御部は、移動機構によるプローブユニットの移動、および測定部による測定処理を制御すると共に、測定処理の結果に基づいて導電シートのシート抵抗を演算する。記憶部は、制御部の動作プログラムや演算結果を記憶する。
【０００４】
このシート抵抗測定装置によって導電シートのシート抵抗を測定するときには、測定面を上向きにして導電シートを保持機構に保持させた後に、測定開始を指示する。この際には、制御部が、移動機構を制御してプローブユニットを保持部に向けて移動させることにより、保持部によって保持されている導電シートにおける最初の測定ポイントに各プローブを接触させる。次いで、制御部は、測定部を制御して測定処理を実行させ、その測定結果に基づき、導電シートにおいて各プローブがプロービングさせられている測定ポイントのシート抵抗を演算する。
【０００５】
また、制御部は、移動機構を制御してプローブユニットを移動させて導電シートにおける他の測定ポイントに各プローブを接触させ、かつ測定部を制御して測定処理を実行させると共に、測定結果に基づいてその測定ポイントのシート抵抗を演算する。この後、制御部は、その他の測定ポイントについても上記の両測定ポイントについての各処理と同様の処理を順次実行する。これにより、導電シートの全域に亘ってシート抵抗がそれぞれ演算（測定）される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−２５６１４５号公報（第６−１３頁、第１−４図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、出願人が開示しているシート抵抗測定装置には、以下のような改善すべき課題が存在する。具体的には、出願人が開示しているシート抵抗測定装置では、保持機構によって保持した状態の導電シートに対して移動機構によってプローブユニットを移動させることで導電シートの各部位（各測定ポイント）にプローブを接触させてシート抵抗を順次測定する構成が採用されている。
【０００８】
このため、出願人が開示しているシート抵抗測定装置では、プローブユニットを導電シートの各部に移動させることが可能な移動機構（一例としてＸ−Ｙ−Ｚ移動機構）を備えたことにより、その製造コストの低減が困難となり、これらの機構を含めた装置全体の大きさを小さくすることも困難となっている。また、大きな導電シート（測定面が広い導電シート）を測定対象とする場合には、そのような導電シートを保持可能な大きな保持機構や、導電シートの各部にプローブユニットを移動可能な大きな移動機構が必要となるため、製造コストの低減、および装置の小形化が一層困難となる。
【０００９】
一方、上記のような課題に鑑み、出願人は、移動機構によって導電シートに対してプローブユニットをＸ−Ｙ方向に移動させる構成に代えて、オペレータがプローブユニットに対して導電シートを手動で任意のＸ−Ｙ方向に移動させる構成を採用したシート抵抗測定装置を試作した。出願人が試作したシート抵抗測定装置によれば、上記特許文献に開示のシート抵抗測定装置とは異なり、プローブユニットを移動させるための高価な移動機構（Ｘ−Ｙ−Ｚ）が不要となる分だけ、その製造コストを低減することができ、かつ装置全体としての大きさも小形化することができると共に、大きな導電シート（測定面が広い導電シート）についても任意の測定ポイントのシート抵抗を測定することが可能となった。
【００１０】
しかしながら、出願人が試作したシート抵抗測定装置では、装置（プローブユニット）に対して導電シートを移動させることで導電シートにおける任意の測定ポイントに各プローブをプロービングさせる構成のため、保持機構によって導電シートを保持した状態でプロービングを行う構成を採用したときには、他の測定ポイントについての測定を行うために装置（プローブユニット）に対して導電シートを移動させる都度、保持機構による導電シートの保持を解除する必要がある。このため、保持機構による導電シートの保持／保持解除の工程の分だけ、測定作業が煩雑となる。
【００１１】
そこで、出願人は、保持機構による導電シートの保持に代えて、オペレータが導電シートを載置台に対して押さえ付けた状態プロービングを行うように上記のシート抵抗測定装置（試作した装置）の構成を改良した。この改良後のシート抵抗測定装置によれば、測定ポイントの変更時に保持機構による導電シートの保持／保持解除の作業を行わなくて済むため、導電シートの各部のシート抵抗を短時間で測定することが可能となった。また、導電シートを保持するための大掛かりな機構（保持機構）も不要となったことにより、その製造コストの低減および小形化を図ることができた。
【００１２】
しかしながら、改良後のシート抵抗測定装置では、装置（プローブユニット）に対してオペレータが手動で導電シートを移動させる構成のため、導電シートに対して各プローブが接触している状態でプローブユニットに対して導電シートを移動させてしまうおそれがある。かかる場合には、プローブが破損したり、導電シートに傷付きが生じたりするおそれがある。このため、この点をさらに改善するのが好ましい。
【００１３】
なお、シート抵抗測定装置において生じる課題を例に挙げて説明したが、測定対象に対してプローブを接触させている状態でプローブに対して測定対象が相対的に移動可能な状態となる他の測定装置においても、出願人が改良した上記のシート抵抗測定装置において生じる課題と同様の課題が生じるおそれがある。
【００１４】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、プロービング時におけるプローブの破損やプロービング対象（測定対象）の傷付きを好適に回避し得るプロービング機構および測定システムを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成すべく、請求項１記載のプロービング機構は、プロービング対象を載置可能な載置面が設けられた載置部と、複数のプローブが配設されたプローブ部と、前記載置部と前記プローブ部とが接近する接近方向および当該載置部と当該プローブ部とが離間する離間方向の両方向に沿った当該載置部に対する当該プローブ部の相対的な移動を案内する第１の案内機構とを備え、前記第１の案内機構による案内に従って前記載置部に対して前記プローブ部を前記接近方向で相対的に移動させることで前記載置面に載置された前記プロービング対象に対して当該プローブ部における前記複数のプローブを接触させる第１の動作と、前記第１の案内機構による案内に従って前記載置部に対して前記プローブ部を前記離間方向で相対的に移動させることで前記プロービング対象に接触させられている前記複数のプローブを当該プロービング対象から離間させる第２の動作とが可能に構成されたプロービング機構であって、前記第１の動作によって前記複数のプローブに先立って前記プロービング対象に対して当接させられて前記載置部に対する当該プロービング対象の移動を規制すると共に、前記第２の動作によって前記複数のプローブが前記プロービング対象から離間させられた後に当該プロービング対象から離間させられて前記載置部に対する当該プロービング対象の移動を許容する移動規制部材が前記プローブ部と共に前記第１の案内機構に取り付けられている。
【００１６】
また、請求項２記載のプロービング機構は、複数のプローブが配設されたプローブ部と、プロービング対象が載置された載置面に対して前記プローブ部が接近する接近方向および当該載置面から当該プローブ部が離間する離間方向の両方向に沿った当該載置面に対する当該プローブ部の移動を案内する第１の案内機構とを備え、前記第１の案内機構による案内に従って前記載置面に対して前記プローブ部を前記接近方向で移動させることで当該載置面に載置された前記プロービング対象に対して当該プローブ部における前記複数のプローブを接触させる第１の動作と、前記第１の案内機構による案内に従って前記載置面に対して前記プローブ部を前記離間方向で移動させることで前記プロービング対象に接触させられている前記複数のプローブを当該プロービング対象から離間させる第２の動作とが可能に構成されたプロービング機構であって、前記第１の動作によって前記複数のプローブに先立って前記プロービング対象に対して当接させられて前記載置面に対する当該プロービング対象の移動を規制すると共に、前記第２の動作によって前記複数のプローブが前記プロービング対象から離間させられた後に当該プロービング対象から離間させられて前記載置面に対する当該プロービング対象の移動を許容する移動規制部材が前記プローブ部と共に前記第１の案内機構に取り付けられている。
【００１７】
また、請求項３記載のプロービング機構は、請求項１または２記載のプロービング機構において、前記移動規制部材を前記載置面に向けて付勢する付勢部材を備えている。
【００１８】
また、請求項４記載のプロービング機構は、請求項１から３のいずれかに記載のプロービング機構において、前記接近方向および前記離間方向に沿って前記プローブ部に対して当該移動規制部材を直動させる第２の案内機構を備えている。
【００１９】
また、請求項５記載のプロービング機構は、請求項１から４のいずれかに記載のプロービング機構において、前記移動規制部材は、前記複数のプローブが接触させられる部位を囲む環状の領域で前記プロービング対象に対して接するように構成されている。
【００２０】
また、請求項６記載のプロービング機構は、請求項１から５のいずれかに記載のプロービング機構において、前記移動規制部材は、光透過性を有する材料で形成されて前記プロービング対象を透視可能に構成されている。
【００２１】
また、請求項７記載の測定システムは、請求項１から６のいずれかに記載のプロービング機構と、前記複数のプローブが接続されると共に前記プロービング対象としての測定対象に接触させられた当該複数のプローブを介して当該測定対象についての予め規定された被測定量を測定する測定部を有する測定装置とを備えている。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１記載のプロービング機構では、第１の案内機構による案内に従って載置部に対してプローブ部を接近方向で相対的に移動させることで載置面に載置されたプロービング対象に対してプローブ部における複数のプローブを接触させる第１の動作によって複数のプローブに先立ってプロービング対象に対して当接させられて載置部に対するプロービング対象の移動を規制すると共に、第１の案内機構による案内に従って載置部に対してプローブ部を離間方向で相対的に移動させることでプロービング対象に接触させられている複数のプローブをプロービング対象から離間させる第２の動作によって複数のプローブがプロービング対象から離間させられた後にプロービング対象から離間させられて載置部に対するプロービング対象の移動を許容する移動規制部材がプローブ部と共に第１の案内機構に取り付けられている。また、請求項７記載の測定システムでは、上記のプロービング機構と、複数のプローブが接続されると共にプロービング対象としての測定対象に接触させられた複数のプローブを介して測定対象についての予め規定された被測定量を測定する測定部を有する測定装置とを備えている。
【００２３】
したがって、請求項１記載のプロービング機構、および請求項７記載の測定システムによれば、載置部に対してプロービング対象（測定対象）を移動させることでプロービング対象（測定対象）上の任意の部位に各プローブをプロービングさせることができるため、出願人が試作・改良をした前述のシート抵抗測定装置と同様にして、プローブ部を移動させるための高価で大掛かりな移動機構が不要となる分だけ、プロービング機構の製造コストを低減し、かつ小形化を図ることができると共に、大きなプロービング対象（測定対象）についても任意の部位に各プローブをプロービングさせることができる。また、プロービング対象（測定対象）に対して各プローブが接してから離間するまで、載置部に対してプロービング対象（測定対象）が移動規制部材によって押し付けられて、プロービング対象（測定対象）において各プローブが接している部位が載置部に対して移動する事態が確実に規制されるため、各プローブの破損やプロービング対象（測定対象）の傷付きを確実に回避することができる。さらに、吸着機構や挟持機構等の大掛かりな保持機構によってプロービング対象（測定対象）を保持する構成と比較して、プロービング機構の製造コストを低減し、かつ小形化を図ることができるだけでなく、プロービング対象（測定対象）に対してプローブ部を相対的に接近させる動作によって移動規制部材によるプロービング対象（測定対象）の移動規制が開始され、プロービング対象（測定対象）からプローブ部を相対的に離間させる動作によって移動規制部材によるプロービング対象（測定対象）の移動規制が解除されるため、プロービングの動作とは別個に保持機構によるプロービング対象（測定対象）の移動規制／規制解除の操作を行う必要がなくなる分だけ、プロービング作業、および載置部に対するプロービング対象（測定対象）の移動の作業を短時間で容易に行うことができる。
【００２４】
請求項２記載のプロービング機構では、第１の案内機構による案内に従って載置面に対してプローブ部を接近方向で移動させることで載置面に載置されたプロービング対象に対してプローブ部における複数のプローブを接触させる第１の動作によって複数のプローブに先立ってプロービング対象に対して当接させられて載置面に対するプロービング対象の移動を規制すると共に、第１の案内機構による案内に従って載置面に対してプローブ部を離間方向で移動させることでプロービング対象に接触させられている複数のプローブをプロービング対象から離間させる第２の動作によって複数のプローブがプロービング対象から離間させられた後にプロービング対象から離間させられて載置面に対するプロービング対象の移動を許容する移動規制部材がプローブ部と共に第１の案内機構に取り付けられている。また、請求項７記載の測定システムでは、上記のプロービング機構と、複数のプローブが接続されると共にプロービング対象としての測定対象に接触させられた複数のプローブを介して測定対象についての予め規定された被測定量を測定する測定部を有する測定装置とを備えている。
【００２５】
したがって、請求項２記載のプロービング機構、および請求項７記載の測定システムによれば、載置面に対してプロービング対象（測定対象）を移動させることでプロービング対象（測定対象）上の任意の部位に各プローブをプロービングさせることができるため、出願人が試作・改良をした前述のシート抵抗測定装置と同様にして、プローブ部を移動させるための高価で大掛かりな移動機構が不要となる分だけ、プロービング機構の製造コストを低減し、かつ小形化を図ることができると共に、大きなプロービング対象（測定対象）についても任意の部位に各プローブをプロービングさせることができる。また、プロービング対象（測定対象）に対して各プローブが接してから離間するまで、載置面に対してプロービング対象（測定対象）が移動規制部材によって押し付けられて、プロービング対象（測定対象）において各プローブが接している部位の載置面に対する移動が確実に規制されるため、各プローブの破損やプロービング対象（測定対象）の傷付きを確実に回避することができる。さらに、吸着機構や挟持機構等の大掛かりな保持機構によってプロービング対象（測定対象）を保持する構成と比較して、プロービング機構の製造コストを低減し、かつ小形化を図ることができるだけでなく、プロービング対象（測定対象）に対してプローブ部を接近させる動作によって移動規制部材によるプロービング対象（測定対象）の移動規制が開始され、プロービング対象（測定対象）からプローブ部を離間させる動作によって移動規制部材によるプロービング対象（測定対象）の移動規制が解除されるため、プロービングの動作とは別個に保持機構によるプロービング対象（測定対象）の移動規制／規制解除の操作を行う必要がなくなる分だけ、プロービング作業、および載置面に対するプロービング対象（測定対象）の移動の作業を短時間で容易に行うことができる。
【００２６】
請求項３記載のプロービング機構、および請求項７記載の測定システムによれば、移動規制部材を載置面に向けて付勢する付勢部材を備えたことにより、第１の動作時に、付勢部材の付勢力によって移動規制部材の底面を載置面に対して確実に押し付けた状態とすることができ、これにより、載置面に対するプロービング対象（測定対象）の移動を一層確実に規制することができる。
【００２７】
請求項４記載のプロービング機構、および請求項７記載の測定システムによれば、接近方向および離間方向に沿ってプローブ部に対して移動規制部材を直動させる第２の案内機構を備えたことにより、プロービング対象（測定対象）に対して移動規制部材が接触させられるとき、およびプロービング対象（測定対象）から移動規制部材が離間させられるときに、移動規制部材が接近方向および離間方向とは相違する方向に移動する事態が回避されるため、プロービング対象（測定対象）に対する移動規制部材の意図しない移動によってプロービング対象（測定対象）が移動規制部材と共に載置部（載置面）に対して移動したりプロービング対象（測定対象）の表面に沿って移動規制部材が移動したりしてプロービング対象（測定対象）に傷付きが生じる事態を好適に回避することができる。
【００２８】
請求項５記載のプロービング機構、および請求項７記載の測定システムによれば、複数のプローブが接触させられる部位を囲む環状の領域でプロービング対象に対して接するように移動規制部材を構成したことにより、プロービング対象（測定対象）において移動規制部材が接している領域の内側の領域、すなわち、各プローブが接触させられる部位が載置部に対して移動するのを確実に回避することができる。また、プロービング対象（測定対象）において各プローブが接触させられる部位の周囲の一部だけを移動規制部材で載置面に押し付けた状態とする構成とは異なり、例えばプロービング対象（測定対象）が薄厚で容易に変形するような場合であっても、プロービング対象（測定対象）において各プローブが接触させられる部位の載置面に対する浮き（載置面に対するプロービング対象（測定対象）の捲れ）が生じる事態を好適に回避してプロービング対象（測定対象）に対して各プローブを確実に接触させることができる。
【００２９】
請求項６記載のプロービング機構、および請求項７記載の測定システムによれば、光透過性を有する材料で形成してプロービング対象を透視可能に移動規制部材を構成したことにより、移動規制部材をプロービング対象（測定対象）から大きく離間させなくても、プロービング対象（測定対象）においてプローブ部（各プローブ）が接する部位を視認できるため、各プローブを接触させる部位がプローブ部の下方に位置するようにプロービング対象（測定対象）を正確に位置合わせして載置することができる結果、プロービング対象（測定対象）上の任意の部位に対して各プローブを正確に接触させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】測定システム１００の構成図である。
【図２】プロービング機構１の外観斜視図である。
【図３】プローブユニット２０を底面側から見た状態の分解斜視図である。
【図４】プローブユニット２０の底面図である。
【図５】測定対象Ｘの上方にプローブユニット２０を位置させた状態の断面図である。
【図６】測定対象Ｘの測定面ＦＸに接触部材２５の底面Ｆ２５が接している状態の断面図である。
【図７】測定対象Ｘの測定面ＦＸに接触部材２５の底面Ｆ２５およびプローブ部２２の底面Ｆ２２の双方が接している状態（測定対象Ｘに各プローブ２２ａが接している状態）の断面図である。
【図８】プロービング機構１Ａの外観斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、プロービング機構および測定システムの実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００３２】
図１に示す測定システム１００は、「測定システム」の一例であって、プロービング機構１および測定装置２を備え、一例として、上記特許文献に開示のシート抵抗測定装置や、出願人が試作・改良をしたシート抵抗測定装置と同様にして、導電シートを測定対象Ｘ（「プロービング対象」としての「測定対象」の一例）としてそのシート抵抗（「予め規定された被測定量」の一例）を測定可能に構成されている。
【００３３】
プロービング機構１は、「プロービング機構」の一例であって、図２に示すように、プローブユニット２０、載置部１１、案内機構１２、上昇操作用レバー１３および下降許容操作用レバー１４を備えて構成されている。
【００３４】
プローブユニット２０は、案内機構１２に取付け可能に構成されると共に、信号ケーブル３（図１参照）を介して測定装置２に接続可能に構成されている。このプローブユニット２０は、図３に示すように、ベース部２１と、複数のプローブ２２ａが底面Ｆ２２に配設されてベース部２１の底面に配設されたプローブ部２２（「プローブ部」の一例）と、載置部１１に対する測定対象Ｘの移動を規制可能にプローブ部２２と共にベース部２１の底面に配設された移動規制部２３とを備えている。
【００３５】
また、移動規制部２３は、プローブ部２２を挿通可能な挿通孔Ｈ２５が形成された四角枠状の接触部材２５と、接触部材２５に嵌着されたスリーブ２５ａ，２５ａおよびワッシャ２５ｂ，２５ｂと、接触部材２５、スリーブ２５ａおよびワッシャ２５ｂを挿通させられた状態でベース部２１に固定されたガイドピン２６，２６と、ガイドピン２６を挿通させられた状態でベース部２１および接触部材２５の間に配設されるコイルスプリング２７，２７とを備えている。この場合、ベース部２１には、プローブ部２２の各プローブ２２ａに接続された接続端子を備えて信号ケーブル３を接続可能なコネクタ２１ａ（図４参照）が配設されている。
【００３６】
また、接触部材２５は、「移動規制部材」に相当し、一例として、アクリル樹脂などの透明樹脂材料（「光透過性を有する材料」の一例であって、絶縁性材料である例）で形成されて、後述するようにプローブユニット２０が載置部１１の上方に位置させられた状態において載置部１１や載置部１１上の測定対象Ｘなどを透視することができるように構成されている。なお、測定対象Ｘのシート抵抗を測定する本例では、「移動規制部材」において「プロービング対象（測定対象）」に接する部位（接触部材２５における底面Ｆ２５）が絶縁性材料で形成されている必要がある。したがって、「移動規制部材」を導電性材料で形成したときには、「プロービング対象（測定対象）」に接する部位（接触部材２５における底面Ｆ２５に相当する部位）に絶縁性コーティングを施したり、絶縁性フィルムを貼付したりする必要がある。
【００３７】
また、本例のプロービング機構１における移動規制部２３では、前述したように、プローブ部２２を挿通可能な挿通孔Ｈ２５が接触部材２５に形成されて、図４に示すように、接触部材２５が四角枠状となっている。なお、同図では、プローブユニット２０における接触部材２５と、接触部材２５以外の構成要素との位置関係に関する理解を容易とするために、接触部材２５を破線によって図示している。これにより、本例の移動規制部２３では、後述する測定対象Ｘに対するプロービング時にプローブ部２２における各プローブ２２ａが接触させられる部位を囲む環状の領域（同図において左下りの破線で塗り潰した部位が接する領域）に接触部材２５の底面Ｆ２５が接した状態で載置部１１に対する測定対象Ｘの移動が規制されることとなる。
【００３８】
さらに、ガイドピン２６，２６は、「第２の案内機構」に相当し、ベース部２１に対する接触部材２５の移動方向および移動量、すなわち、ベース部２１に取付けられているプローブ部２２に対する移動量および移動方向を規制する（「接近方向および離間方向に沿ってプローブ部に対して移動規制部材を直動させる」との構成の一例）。また、コイルスプリング２７，２７は、「付勢部材」の一例であって、ベース部２１から接触部材２５を離間させる向きに付勢することにより、プローブユニット２０が案内機構１２に取り付けられた状態においてベース部２１に対して（すなわち、ベース部２１に取付けられているプローブ部２２に対して）接触部材２５を載置部１１の載置面Ｆ１１に向けて付勢する。
【００３９】
載置部１１は、「載置部」の一例であって、図２に示すように、その上面に規定された載置面Ｆ１１に測定対象Ｘを載置することができるように絶縁性材料で平板状に形成されている。なお、本例の測定システム１００（プロービング機構１）では、出願人が試作・改良をした前述のシート抵抗測定装置と同様にして、オペレータがプローブユニット２０（プローブ部２２）に対して測定対象Ｘを手動で任意のＸ−Ｙ方向（載置面Ｆ１１に沿った方向）に移動させる構成が採用されている。したがって、載置部１１の載置面Ｆ１１には、載置部１１に対する測定対象Ｘの移動量を把握可能な目印（一例として、直角に交差する複数の縦線および横線が一定間隔で描かれた方眼模様：図示せず）が付されている。
【００４０】
案内機構１２は、「第１の案内機構」の一例であって、プローブユニット２０（プローブ部２２）が載置部１１に接近する下降方向（矢印Ｄの向き：「接近方向」の一例）、およびプローブユニット２０（プローブ部２２）が載置部１１から離間する上昇方向（矢印Ｕの向き：「離間方向」の一例）の両方向に沿った載置部１１に対するプローブユニット２０（プローブ部２２）の移動を案内する。具体的には、案内機構１２は、ガイドシャフト３１，３１、ユニット取付け部３２およびダンパー３３を備えている。
【００４１】
ガイドシャフト３１，３１は、図２に示すように、下端部が載置部１１に固定されると共に上端部が部材３１ａによって連結されている。ユニット取付け部３２は、プローブユニット２０を取付け可能に構成されると共に、ガイドシャフト３１，３１に対してスライド可能に取り付けられている。ダンパー３３は、ガイドシャフト３１，３１に対するユニット取付け部３２の下降速度を低下させるための減衰機構であって、一例として、１ｗａｙオイルダンパーで構成されて一端部が部材３１ａに固定され、他端部がユニット取付け部３２に固定されている。
【００４２】
上昇操作用レバー１３は、ガイドシャフト３１，３１の上端部に配設された部材３１ａに軸支されており、回動操作によって３１ａに対してユニット取付け部３２を上向きに移動させることにより、ガイドシャフト３１，３１が固定されている載置部１１に対してユニット取付け部３２（すなわち、ユニット取付け部３２に取付けられているプローブユニット２０）を上昇させる操作が可能に構成されている。下降許容操作用レバー１４は、上昇操作用レバー１３の操作によって載置部１１に対して上昇させられた状態のユニット取付け部３２に係合してユニット取付け部３２の下降を規制する係合部（図示せず）のユニット取付け部３２に対する係合を解除可能に部材３１ａに軸支されており、係合の解除によって載置部１１に対するユニット取付け部３２（すなわち、ユニット取付け部３２に取付けられているプローブユニット２０）の自重による下降を許容可能に構成されている。
【００４３】
このプロービング機構１では、上記のように下降許容操作用レバー１４の操作によって載置部１１に対するユニット取付け部３２（プローブユニット２０）の下降が許容されたときに、案内機構１２による案内に従って載置部１１に対してプローブ部２２（プローブユニット）が自重で下降し（矢印Ｄの向きへの移動：「接近方向での相対的な移動」の一例）、これにより、載置部１１の載置面Ｆ１１に載置されている測定対象Ｘに対してプローブ部２２における各プローブ２２ａが接触させられる（「第１の動作」の一例）。また、このプロービング機構１では、上記のように上昇操作用レバー１３の操作によって載置部１１に対してユニット取付け部３２（プローブユニット２０）が上昇させられるときに、載置部１１に対してプローブ部２２が上昇させられ（矢印Ｕの向きへの移動：「離間方向での相対的な移動」の一例）、これにより、載置部１１上の測定対象Ｘに接触させられている各プローブ２２ａが測定対象Ｘから離間させられる（「第２の動作」の一例）。
【００４４】
さらに、このプロービング機構１では、図５に示すように、プローブユニット２０が載置部１１から離間して載置部１１の上方に位置している状態（プローブユニット２０が測定対象Ｘの測定面ＦＸや載置部１１の載置面Ｆ１１に接していない状態）において、接触部材２５の底面Ｆ２５がプローブ部２２の底面Ｆ２２よりも下方に位置する（底面Ｆ２５が底面Ｆ２２よりも載置部１１寄りに位置する）ようにプローブ部２２および移動規制部２３がベース部２１に配設されている。したがって、このプロービング機構１では、「第１の動作」時に移動規制部２３の接触部材２５がプローブ部２２の各プローブ２２ａに先立って測定対象Ｘに対して当接させられて載置部１１に対する測定対象Ｘの移動を規制される。また、このプロービング機構１では、「第２の動作」時にプローブ部２２の各プローブ２２ａが測定対象Ｘから離間させられた後に測定対象Ｘから移動規制部２３の接触部材２５が離間させられて載置部１１に対する測定対象Ｘの移動が許容される。
【００４５】
一方、測定装置２は、「測定装置」の一例であって、図１に示すように、測定部５１、操作部５２、表示部５３、処理部５４および記憶部５５を備えている。測定部５１は、「測定部」の一例であって、後述するように、処理部５４の制御に従い、上記の各プローブ２２ａのうちの基準とする１つの接触位置と他のプローブ２２ａの接触位置との間に測定用電流を供給すると共に、基準のプローブ２２ａの接触位置に対する他のプローブ２２ａの接触位置の電位をそれぞれ測定する測定処理を実行する。
【００４６】
操作部５２は、上記の測定処理の条件設定や、測定処理の開始の指示を行うための複数の操作スイッチを備え、スイッチ操作に応じた操作信号を処理部５４に出力する。表示部５３は、処理部５４の制御に従い、測定処理設定画面や測定結果表示画面などの各種表示画面（図示せず）を表示する。処理部５４は、測定装置２を総括的に制御する。具体的には、処理部５４は、測定部５１を制御して測定処理を実行させると共に、その測定結果と測定処理時に測定部５１から供給された測定用電流の電流値とに基づいて測定対象Ｘのシート抵抗を演算する演算処理を実行する。記憶部５５は、処理部５４の動作プログラムや処理部５４の演算結果を記憶する。
【００４７】
この測定システム１００によって測定対象Ｘのシート抵抗を測定する際には、まず、上昇操作用レバー１３の操作によって載置部１１に対してユニット取付け部３２を上昇させた状態で前述の係合部を係合させて部材３１ａに対するユニット取付け部３２の下降を規制する。次いで、ユニット取付け部３２にプローブユニット２０を取り付けると共に測定装置２の測定部５１に接続した信号ケーブル３をベース部２１のコネクタ２１ａに接続する。これにより、プローブユニット２０におけるプローブ部２２の各プローブ２２ａが測定装置２の測定部５１に接続されて、測定作業を開始する準備が整う。
【００４８】
続いて、図５に示すように、測定面ＦＸを上向きにして載置部１１の載置面Ｆ１１に測定対象Ｘを載置すると共に、測定面ＦＸにおいてシート抵抗を測定すべき複数の測定ポイントのうちの１つをプローブユニット２０におけるプローブ部２２の下方に位置させるように載置部１１に対して測定対象Ｘを任意のＸ−Ｙ方向（載置面Ｆ１１に沿った方向）に移動させる。この際に、本例のプロービング機構１では、接触部材２５が透明樹脂材料で形成されて載置部１１の載置面Ｆ１１や載置部１１上の測定対象Ｘを透視可能となっているため、測定対象Ｘにおける任意の測定ポイントをプローブ部２２の下方に確実かつ容易に位置させることができる。
【００４９】
次いで、プローブ部２２の下方に所望の測定ポイントが位置した状態の測定対象Ｘを一方の手で押さえて載置部１１に対する移動を規制しつつ、他方の手で下降許容操作用レバー１４を操作してユニット取付け部３２に対する係合部の係合を解除する。この際には、係合部の係合が解除されたユニット取付け部３２、およびユニット取付け部３２に取り付けられているプローブユニット２０が自重で下降し始め、ガイドシャフト３１，３１の案内に従って載置部１１に向かって直動させられてプローブユニット２０（プローブ部２２）が載置部１１上の測定対象Ｘに接近させられる（「載置部に対してプローブ部を接近方向で相対的に移動させる第１の動作」の一例）。この際には、ダンパー３３によってガイドシャフト３１（部材３１ａ）に対するユニット取付け部３２の移動速度が低下させられる結果、載置部１１（測定対象Ｘ）に向かってプローブユニット２０が高速落下する事態が回避される。
【００５０】
また、本例のプロービング機構１では、前述したように、接触部材２５の底面Ｆ２５がプローブ部２２の底面Ｆ２２よりも下方に位置するようにプローブ部２２および移動規制部２３がベース部２１に配設されている。したがって、ユニット取付け部３２の下降に伴ってプローブユニット２０が載置部１１上の測定対象Ｘに対して十分に接近したときには、図６に示すように、まず、移動規制部２３における接触部材２５の底面Ｆ２５が測定対象Ｘの測定面ＦＸに接触させられる。
【００５１】
この場合、本例のプロービング機構１では、プローブ部２２が取り付けられているベース部２１に対して接触部材２５を直動させるガイドピン２６，２６を備えている。したがって、接触部材２５の底面Ｆ２５が測定対象Ｘの測定面ＦＸに接触した状態で、プローブユニット２０における接触部材２５以外の部位やユニット取付け部３２が自重によってさらに下降したときには、接触部材２５が「接近方向」とは相違する方向に移動する事態が回避される。
【００５２】
また、本例のプロービング機構１では、接触部材２５がベース部２１から離間する方向、すなわち、「第１の動作」時に載置部１１に対してプローブ部２２や移動規制部２３が移動させられる向きでコイルスプリング２７，２７によって付勢されている。したがって、接触部材２５の底面Ｆ２５が測定対象Ｘの測定面ＦＸに接触した状態で、プローブユニット２０における接触部材２５以外の部位やユニット取付け部３２が自重によってさらに下降することにより、コイルスプリング２７，２７の反発力によって接触部材２５がベース部２１（すなわち、ユニット取付け部３２）に対して矢印Ｄの向きで測定対象Ｘに向けて押し付けられた状態となる。これにより、載置部１１に対する測定対象Ｘの移動が規制された状態となる。
【００５３】
また、測定対象Ｘの測定面ＦＸに接触部材２５の底面Ｆ２５が接した後には、ダンパー３３に加えてコイルスプリング２７，２７の反発力が加わることで、プローブユニット２０における接触部材２５以外の部位の載置部１１に対する移動速度（下降速度）がさらに低下する。また、プローブユニット２０における接触部材２５以外の部位およびユニット取付け部３２が自重によってさらに下降させられたときには、まず、プローブ部２２の底面Ｆ２２に配設されている各プローブ２２ａが測定対象Ｘの測定面ＦＸに接触させられ、次いで、図７に示すように、プローブ部２２の底面Ｆ２２が測定対象Ｘの測定面ＦＸに接した状態となる。
【００５４】
この場合、プローブ部２２の底面Ｆ２２を測定対象Ｘに接触させる本例のプロービング機構１（測定システム１００）では、底面Ｆ２２からの各プローブ２２ａの突出高を適宜規定することで、各プローブ２２ａが測定対象Ｘ（測定面ＦＸ）に対して好適な押付け力で押し付けられた状態となるように構成されている。これにより、各プローブ２２ａが過剰に強い押付け力で測定対象Ｘ（測定面ＦＸ）に対して押し付けられることなく、測定対象Ｘに対して各プローブ２２ａが好適にプロービングされた状態となる。
【００５５】
また、測定対象Ｘにプローブ２２ａが接触させられたこの状態では、移動規制部２３（接触部材２５）によって測定対象Ｘが載置部１１に向かって押し付けられた状態が維持されて、載置部１１に対する測定対象Ｘの移動が規制されている。これにより、測定面ＦＸにプローブ２２ａが接している状態でプローブ部２２に対して測定対象Ｘが移動させられる事態が回避される結果、プローブ２２ａの破損や測定対象Ｘの傷付きが生じる事態が好適に回避される。この場合、本例のプロービング機構１では、各プローブ２２ａが接触させられる部位を囲む環状の領域で測定対象Ｘに対して接するように接触部材２５が構成されている。したがって、測定対象Ｘにおいて接触部材２５が接している領域の内側の領域、すなわち、各プローブ２２ａが接触させられる部位が載置部１１に対して移動する事態が確実に回避される。
【００５６】
次いで、測定装置２の操作部５２を操作して測定処理を開始させる。なお、シート抵抗の測定原理については、上記特許文献に開示のシート抵抗測定装置や，出願人が試作・改良をしたシート抵抗測定装置と同様のため、詳細な説明を省略する。これにより、測定対象Ｘの測定面ＦＸにおいてプローブユニット２０のプローブ部２２（各プローブ２２ａ）が接触させられている測定ポイントのシート抵抗が測定されて、測定結果が表示部５３に表示されると共に記憶部５５に記憶される。
【００５７】
続いて、シート抵抗の測定を完了した測定ポイント以外の測定ポイントを対象とする測定処理を行う。具体的には、まず、上昇操作用レバー１３の操作によってユニット取付け部３２、およびユニット取付け部３２に取り付けられているプローブユニット２０を、ガイドシャフト３１，３１の案内に従って矢印Ｕの向きに直動させてプローブユニット２０（プローブ部２２）を載置部１１上の測定対象Ｘから離間させる（「複数のプローブをプロービング対象から離間させる第２の動作」の一例）。この際には、ダンパー３３が１ｗａｙオイルダンパーで構成されているため、前述の下降時とは異なり、載置部１１に対してユニット取付け部３２等を小さな力で容易に上昇させることができる。
【００５８】
また、載置部１１（測定対象Ｘ）に対するユニット取付け部３２およびプローブユニット２０の上昇時には、まず、プローブ部２２の底面Ｆ２２が測定対象Ｘの測定面ＦＸから離間させられ、次いで、各プローブ２２ａが測定対象Ｘの測定面ＦＸから離間させられる。この場合、本例のプロービング機構１では、プローブ部２２が取り付けられているベース部２１に対して接触部材２５を直動させるガイドピン２６，２６を備えているため、接触部材２５の底面Ｆ２５が測定対象Ｘの測定面ＦＸに接触した状態でプローブ部２２が測定対象Ｘ（載置部１１）に対して上昇したときには、接触部材２５が「離間方向」とは相違する方向に移動する事態が回避される。
【００５９】
また、後述するように接触部材２５の底面Ｆ２５が載置部１１上の測定対象Ｘから離間するまでは、図６に示すように、移動規制部２３（接触部材２５）によって測定対象Ｘが載置部１１に向かって押し付けられた状態が維持されて、載置部１１に対する測定対象Ｘの移動の規制が継続されている。これにより、測定面ＦＸからプローブ２２ａが離間させられる以前にプローブ部２２に対して測定対象Ｘが移動させられる事態が回避される結果、プローブ２２ａの破損や測定対象Ｘの傷付きが生じる事態が好適に回避される。
【００６０】
また、測定対象Ｘからプローブ部２２が十分に離間した状態となるまでユニット取付け部３２が上昇させられたときには、図５に示すように、移動規制部２３における接触部材２５の底面Ｆ２５が載置部１１上の測定対象Ｘにおける測定面ＦＸから離間させられる。これにより、載置部１１に対する測定対象Ｘの移動規制が解除され、載置部１１に対して測定対象Ｘを任意のＸ−Ｙ方向に移動させることが可能な状態となる。したがって、ユニット取付け部３２を十分に上昇させることで係合部をユニット取付け部３２に係合させて、載置部１１上の測定対象Ｘに向かってのユニット取付け部３２の下降を規制した後に、測定面ＦＸにおいてシート抵抗を測定すべき複数の測定ポイントのうちの他の１つがプローブユニット２０におけるプローブ部２２の下方に位置するように載置部１１に対して測定対象Ｘを移動させる。
【００６１】
この後、１つ目の測定ポイントについてのシート抵抗の測定時と同様にして測定対象Ｘに対して各プローブ２２ａをプロービングさせ、操作部５２の操作によって測定処理の開始を指示すると共に、測定結果の表示および記憶部５５への記憶が完了したときに、載置部１１（測定対象Ｘ）に対してプローブユニット２０を上昇させて測定面ＦＸから各プローブ２２ａを離間させる。このような作業を、各測定ポイントのすべてに対して順次実行することにより、測定対象Ｘの全域に亘ってシート抵抗がそれぞれ測定される。
【００６２】
このように、このプロービング機構１では、案内機構１２による案内に従って載置部１１に対してプローブ部２２（プローブユニット２０）を「接近方向」で移動させることで載置面Ｆ１１に載置された測定対象Ｘに対してプローブ部２２における複数のプローブ２２ａを接触させる「第１の動作」によって複数のプローブ２２ａに先立って測定対象Ｘに対して当接させられて載置部１１に対する測定対象Ｘの移動を規制すると共に、案内機構１２による案内に従って載置部１１に対してプローブ部２２を「離間方向」で移動させることで測定対象Ｘに接触させられている複数のプローブ２２ａを測定対象Ｘから離間させる「第２の動作」によって複数のプローブ２２ａが測定対象Ｘから離間させられた後に測定対象Ｘから離間させられて載置部１１に対する測定対象Ｘの移動を許容する接触部材２５（移動規制部２３）がプローブ部２２と共に（本例では、ベース部２１を介して）案内機構１２に取り付けられている。また、この測定システム１００では、上記のプロービング機構１と、複数のプローブ２２ａが接続されると共に測定対象Ｘに接触させられた複数のプローブ２２ａを介して測定対象Ｘについての予め規定された被測定量（本例では、測定対象Ｘのシート抵抗）を測定する測定部５１を有する測定装置２とを備えている。
【００６３】
したがって、このプロービング機構１および測定システム１００によれば、載置部１１に対して測定対象Ｘを移動させることで測定対象Ｘ上の任意の部位に各プローブ２２ａをプロービングさせることができるため、出願人が試作・改良をした前述のシート抵抗測定装置と同様にして、プローブ部２２を移動させるための高価で大掛かりな移動機構が不要となる分だけ、プロービング機構１の製造コストを低減し、かつ小形化を図ることができると共に、大きな測定対象Ｘについても任意の部位に各プローブ２２ａをプロービングさせることができる。また、測定対象Ｘに対して各プローブ２２ａが接してから離間するまで、載置部１１に対して測定対象Ｘが接触部材２５（移動規制部２３）によって押し付けられて、測定対象Ｘにおいて各プローブ２２ａが接している部位が載置部１１に対して移動する事態が確実に規制されるため、各プローブ２２ａの破損や測定対象Ｘの傷付きを確実に回避することができる。さらに、吸着機構や挟持機構等の大掛かりな保持機構によって測定対象Ｘを保持する構成と比較して、プロービング機構１の製造コストを低減し、かつ小形化を図ることができるだけでなく、測定対象Ｘに対してプローブ部２２を接近させる動作によって接触部材２５（移動規制部２３）による測定対象Ｘの移動規制が開始され、測定対象Ｘからプローブ部２２を離間させる動作によって接触部材２５（移動規制部２３）による測定対象Ｘの移動規制が解除されるため、プロービングの動作とは別個に保持機構による測定対象Ｘの移動規制／規制解除の操作を行う必要がなくなる分だけ、プロービング作業、および載置部１１に対する測定対象Ｘの移動の作業を短時間で容易に行うことができる。
【００６４】
また、このプロービング機構１および測定システム１００によれば、接触部材２５を載置面Ｆ１１に向けて付勢するコイルスプリング２７，２７を備えたことにより、「第１の動作」時に、コイルスプリング２７，２７の付勢力によって接触部材２５の底面Ｆ２５を載置面Ｆ１１に対して確実に押し付けた状態とすることができ、これにより、載置部１１（載置面Ｆ１１）に対する測定対象Ｘの移動を一層確実に規制することができる。
【００６５】
さらに、このプロービング機構１および測定システム１００によれば、「接近方向」および「離間方向」に沿ってプローブ部２２に対して接触部材２５を直動させるガイドピン２６，２６を備えたことにより、測定対象Ｘに対して接触部材２５が接触させられるとき、および測定対象Ｘから接触部材２５が離間させられるときに、接触部材２５が「接近方向」および「離間方向」とは相違する方向に移動する事態が回避されるため、測定対象Ｘに対する接触部材２５の意図しない移動によって測定対象Ｘが接触部材２５と共に載置部１１に対して移動したり測定対象Ｘの表面に沿って接触部材２５が移動したりして測定対象Ｘに傷付きが生じる事態を好適に回避することができる。
【００６６】
また、このプロービング機構１および測定システム１００によれば、複数のプローブ２２ａが接触させられる部位を囲む環状の領域で測定対象Ｘに対して接するように接触部材２５を構成したことにより、測定対象Ｘにおいて接触部材２５が接している領域の内側の領域、すなわち、各プローブ２２ａが接触させられる部位が載置部１１に対して移動するのを確実に回避することができる。また、測定対象Ｘにおいて各プローブ２２ａが接触させられる部位の周囲の一部だけを「移動規制部材」で「載置部」に押し付けた状態とする構成とは異なり、例えば測定対象Ｘが薄厚で容易に変形するような場合であっても、測定対象Ｘにおいて各プローブ２２ａが接触させられる部位の載置面Ｆ１１に対する浮き（載置部１１に対する測定対象Ｘの捲れ）が生じる事態を好適に回避して測定対象Ｘに対して各プローブ２２ａを確実に接触させることができる。
【００６７】
さらに、このプロービング機構１および測定システム１００によれば、光透過性を有する材料（本例では、透明な樹脂材料）で形成して測定対象Ｘを透視可能に接触部材２５を構成したことにより、接触部材２５を測定対象Ｘから大きく離間させなくても、測定対象Ｘにおいてプローブ部２２（各プローブ２２ａ）が接する部位を視認できるため、各プローブ２２ａを接触させる部位がプローブ部２２の下方に位置するように測定対象Ｘを正確に位置合わせして載置することができる結果、測定対象Ｘ上の任意の部位に対して各プローブ２２ａを正確に接触させることができる。
【００６８】
なお、「プロービング機構」および「測定システム」の構成は、上記のプロービング機構１およびプロービング機構１を備えた測定システム１００の構成の例に限定されない。
【００６９】
例えば、「第１の動作」および「第２の動作」において、載置部１１を移動させることなくプローブ部２２および移動規制部２３を載置部１１に対して移動させる構成のプロービング機構１を例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、「第１の動作」および「第２の動作」において、「プローブ部」および「移動規制部材」を移動させることなく「載置部」を「プローブ部」および「移動規制部材」に対して移動させる構成を採用することもできる（図示せず）。また、「第１の動作」および「第２の動作」において、「プローブ部」および「移動規制部材」を「載置部」に対して移動させ、かつ「載置部」を「プローブ部」および「移動規制部材」に対して移動させる構成を採用することもできる（図示せず）。
【００７０】
さらに、載置部１１上に載置した測定対象Ｘに対して各プローブ２２ａをプロービングさせる構成のプロービング機構１を例に挙げて説明したが、「プロービング機構」や「測定システム」の構成要素ではない任意の「載置面」上に載置した「プロービング対象（測定対象）」に対して「各プローブ」をプロービングさせる構成を採用することもできる。具体的には、例えば、図８に示すプロービング機構１Ａは、「プロービング機構」の他の一例であって、前述のプロービング機構１における載置部１１に代えて、脚部１５を備えて構成されている。なお、このプロービング機構１Ａにおいて前述のプロービング機構１と同様に機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。また、このプロービング機構１Ａを備えた測定システム１００は、プロービング機構１に代えてプロービング機構１Ａを備えている点を除いて前述の測定システム１００と同様のため、詳細な説明を省略する。
【００７１】
このプロービング機構１Ａでは、上記のように、プロービング機構１における載置部１１に代えて、平面視コ字状の脚部１５を備えている。また、このプロービング機構１Ａを備えた測定システム１００によって測定対象Ｘについてのシート抵抗を測定する際には、絶縁性を有する平坦な載置面Ｆの上にプロービング機構１Ａを設置すると共に、脚部１５を避けて測定対象Ｘを載置面Ｆ上に載置する。以降の作業については、載置部１１に対してプローブユニット２０を下降／上昇させるのに代えて、載置面Ｆに対してプローブユニット２０を下降／上昇させることで、上記のプロービング機構１によるプロービング時と同様の測定作業を行う。これにより、測定対象Ｘに対して各プローブ２２ａが接触させられている状態では、移動規制部２３（接触部材２５）によって測定対象Ｘが載置面Ｆに向かって押し付けられるため、載置面Ｆに対する測定対象Ｘの移動が好適に規制される。
【００７２】
このように、このプロービング機構１Ａでは、案内機構１２による案内に従って載置面Ｆに対してプローブ部２２を「接近方向」で移動させることで載置面Ｆに載置された測定対象Ｘに対してプローブ部２２における複数のプローブ２２ａを接触させる「第１の動作」によって複数のプローブ２２ａに先立って測定対象Ｘに対して当接させられて載置面Ｆに対する測定対象Ｘの移動を規制すると共に、案内機構１２による案内に従って載置面Ｆに対してプローブ部２２を「離間方向」で移動させることで測定対象Ｘに接触させられている複数のプローブ２２ａを測定対象Ｘから離間させる「第２の動作」によって複数のプローブ２２ａが測定対象Ｘから離間させられた後に測定対象Ｘから離間させられて載置面Ｆに対する測定対象Ｘの移動を許容する接触部材２５（移動規制部２３）がプローブ部２２と共に案内機構１２に取り付けられている。
【００７３】
したがって、このプロービング機構１Ａ、およびそのようなプロービング機構１Ａを備えた測定システム１００Ａによれば、載置面Ｆに対して測定対象Ｘを移動させることで測定対象Ｘ上の任意の部位に各プローブ２２ａをプロービングさせることができるため、出願人が試作・改良をした前述のシート抵抗測定装置と同様にして、プローブ部２２を移動させるための高価で大掛かりな移動機構が不要となる分だけ、プロービング機構１Ａの製造コストを低減し、かつ小形化を図ることができると共に、大きな測定対象Ｘについても任意の部位に各プローブ２２ａをプロービングさせることができる。また、測定対象Ｘに対して各プローブ２２ａが接してから離間するまで、載置面Ｆに対して測定対象Ｘが接触部材２５（移動規制部２３）によって押し付けられて、測定対象Ｘにおいて各プローブ２２ａが接している部位の載置面Ｆに対する移動が確実に規制されるため、各プローブ２２ａの破損や測定対象Ｘの傷付きを確実に回避することができる。さらに、吸着機構や挟持機構等の大掛かりな保持機構によって測定対象Ｘを保持する構成と比較して、プロービング機構１Ａの製造コストを低減し、かつ小形化を図ることができるだけでなく、測定対象Ｘに対してプローブ部２２を接近させる動作によって接触部材２５（移動規制部２３）による測定対象Ｘの移動規制が開始され、測定対象Ｘからプローブ部２２を離間させる動作によって接触部材２５（移動規制部２３）による測定対象Ｘの移動規制が解除されるため、プロービングの動作とは別個に保持機構による測定対象Ｘの移動規制／規制解除の操作を行う必要がなくなる分だけ、プロービング作業、および載置面Ｆに対する測定対象Ｘの移動の作業を短時間で容易に行うことができる。
【００７４】
さらに、載置面Ｆ１１，Ｆ上の測定対象Ｘに向かってプローブユニット２０（プローブ部２２および移動規制部２３）を自重で下降させる構成のプロービング機構１，１Ａを例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、例えばレバー操作等により、載置面Ｆ１１，Ｆ上の測定対象Ｘに向かってプローブユニット２０（プローブ部２２および移動規制部２３）を強制的に下降させる構成（下降させるための外力を加える構成）を採用することができる（図示せず）。また、載置面Ｆ１１，Ｆ上の測定対象Ｘに接している状態のプローブユニット２０（プローブ部２２および移動規制部２３）を上昇操作用レバー１３の操作によって上昇させて測定対象Ｘから離間させる構成のプロービング機構１，１Ａを例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、例えばスプリング等の反発力によってプローブユニット２０を上昇させる構成（上昇させるための外力を加える必要がない構成）を採用することができる（図示せず）。
【００７５】
また、載置面Ｆ１１，Ｆ上の測定対象Ｘに向かってプローブユニット２０（プローブ部２２および移動規制部２３）を下降させる動作（第１の動作）、および載置面Ｆ１１，Ｆ上の測定対象Ｘからプローブユニット２０（プローブ部２２および移動規制部２３）を上昇させる動作（第２の動作）の少なくとも一方について、アクチュエータやエアシリンダ等の力を利用して機械的に移動させる構成を採用することもできる（図示せず）。
【００７６】
さらに、「付勢部材」としてコイルスプリング２７，２７を備えて接触部材２５を付勢する構成を例に挙げて説明したが、コイルスプリング２７に代えて、板バネや弾性樹脂等を「付勢部材」として配設して「移動規制部材」を付勢する構成を採用することもできる（図示せず）。また、ある程度の重さを有するように「移動規制部材」を構成することで、「付勢部材」を配設せずに「移動規制部材」を文鎮のように機能させて、「移動規制部材」の自重によって「載置面」に対する「プロービング対象（測定対象）」の移動を規制する構成とすることもできる（図示せず）。この場合、「移動規制部材」を文鎮のように機能させるときには、上記のプロービング機構１，１Ａにおけるプローブユニット２０のガイドピン２６，２６のような「第２の案内機構」に代えて、変形自在な紐体等で「移動規制部材」を吊り下げておくことで「プローブ部」に対する「移動規制部材」の相対的な移動を許容する構成を採用することもできる。
【００７７】
また、四角枠状の接触部材２５によって測定対象Ｘの移動を規制する構成を例に挙げて説明したが、「移動規制部材」の平面視形状はこれに限定されず、四角形以外の各種の環状に形成することができる。この場合、例えば平面視Ｃ字状に形成した「移動規制部材」のように、「プローブ部（各プローブ）」が「プロービング対象（測定対象）」に接する領域の周囲の一部に対して「移動規制部材」が接しない形状であっても、略環状の領域で接する形状とすることにより、接触部材２５によって測定対象Ｘの移動を規制するのと同様の効果を奏することができる。また、透明樹脂材料で形成した接触部材２５を備えた構成を例に挙げて説明したが、不透明な材料（透視できない材料）で「移動規制部材」を構成することもできる。
【００７８】
さらに、「プロービング対象（測定対象）」は、測定対象Ｘ（上記の例では、導電シート）のようなシート状のものに限定されず、プリント基板等の板状のものや、電子機器等の立体状のものなどの各種の「プロービング対象（測定対象）」に対するプロービングを実行可能に「プロービング機構」を構成することができる。この場合、立体状の「プロービング対象（測定対象）」として、「プローブ部（各プローブ）」をプロービングさせる面が平面ではない「プロービング対象（測定対象）」についてのプロービングを行う場合には、その「プロービング対象（測定対象）」の表面に面的に接触可能な形状の「移動規制部材」を設けて「プロービング機構」を構成することで、「プロービング対象（測定対象）」の移動を好適に規制することができる。加えて、「被測定量」についても、前述の例のようなシート抵抗に限定されず、シート抵抗以外の各種抵抗値、電流値、電圧値、電力値および位相等の各種の「電気的パラメータ」を測定可能に構成することができる。
【符号の説明】
【００７９】
１００，１００Ａ  測定システム
１，１Ａ  プロービング機構
２  測定装置
３  信号ケーブル
１１  載置部
１２  案内機構
１５  脚部
２０  プローブユニット
２１  ベース部
２２  プローブ部
２２ａ  プローブ
２３  移動規制部
２５  接触部材
２６  ガイドピン
２７  コイルスプリング
３１  ガイドシャフト
３１ａ  部材
３２  ユニット取付け部
３３  ダンパー
５１  測定部
５４  処理部
５５  記憶部
Ｆ，Ｆ１１  載置面
Ｆ２２，Ｆ２５  底面
Ｈ２５  挿通孔
ＦＸ  測定面
Ｘ  測定対象
【図１】
2020098153.tif 000003
【図２】
2020098153.tif 000004
【図３】
2020098153.tif 000005
【図４】
2020098153.tif 000006
【図５】
2020098153.tif 000007
【図６】
2020098153.tif 000008
【図７】
2020098153.tif 000009
【図８】
2020098153.tif 000010