(57)【要約】      （修正有）【課題】ウェハボートハンドリング装置を備える縦型バッチ炉アセンブリ及びウェハボートをハンドリングする方法を提供する。【解決手段】ウェハボートハンドリング装置１０は、第１および第２のウェハボート支持面１８、２０を有する回転可能テーブル１６を備える。各ウェハボート支持面は、ウェハボート１２を支持する。回転可能テーブルは、第１および第２のウェハ支持面の両方を、投入／受け取り位置、冷却位置、搬送位置へと回転させるようアクチュエータによって回転させることが可能である。冷却位置２６において、ウェハボートハンドリング装置は、ウェハボートを冷却する。搬送位置において、ウェハをウェハボートへと、および／または、ウェハをウェハボートから搬送する。【選択図】図１
2020188255.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
縦型バッチ炉の処理チャンバの下方に配置されるように構成されているウェハボートハンドリング装置であって、前記ウェハボートハンドリング装置は、
ウェハボート支持面として第１および第２のウェハボート支持面のみを有する回転可能テーブルであって、前記第１および第２のウェハボート支持面はそれぞれ、複数のウェハを収容するよう構成されているウェハボートを支持するよう構成されている、回転可能テーブルを備え、前記回転可能テーブルは、中心の略垂直な軸を中心としてアクチュエータによって回転可能であり、前記第１および第２のウェハボート支持面を、投入／受け取り位置、冷却位置および搬送位置へと回転させ、
前記ウェハボートハンドリング装置は、前記投入／受け取り位置２４において、前記回転可能テーブルから前記処理チャンバへと前記ウェハボートを垂直方向に投入するよう、そして、前記処理チャンバから前記回転可能テーブルへと前記ウェハボートを受け取るよう構成されており、
前記ウェハボートハンドリング装置は、前記冷却位置において、ウェハボートを冷却するよう構成されており、
前記ウェハボートハンドリング装置は、前記搬送位置において、前記ウェハボートへの、および／または、前記ウェハボートからのウェハの搬送を可能とするよう構成されている、
ウェハボートハンドリング装置。
【請求項２】
前記ウェハボートハンドリング装置は、ウェハボートが前記第１のウェハボート支持面から前記処理チャンバへと投入された場合、前記回転可能テーブルの前記第２のウェハボート支持面が、前記アクチュエータによって、前記冷却位置から前記搬送位置へと回転可能となるように構成されている、請求項１に記載のウェハボートハンドリング装置。
【請求項３】
前記ウェハボート支持面を前記冷却位置から前記搬送位置へと回転させるための前記回転可能テーブルの回転角は、前記冷却位置にあるウェハボートから、前記ウェハボートハンドリング装置の外周壁のうち前記搬送位置に隣接する部分への熱伝達を、前記外周壁のうち前記搬送位置に隣接する前記部分の温度を摂氏７０度未満、好ましくは、摂氏５０度未満に維持するように、抑制するために十分な角度である、請求項１または２に記載のウェハボートハンドリング装置。
【請求項４】
前記ウェハボート支持面を前記冷却位置から前記搬送位置へと回転させるための前記回転可能テーブルの回転角は、１度から８０度の範囲内であり、好ましくは４０度から５０度の範囲内、より好ましくは略４５度である、請求項１または２に記載のウェハボートハンドリング装置。
【請求項５】
前記ウェハボートハンドリング装置は、前記第１のウェハボート支持面が前記投入／受け取り位置にあるときに、前記第２のウェハボート支持面が前記冷却位置にあるように構成されている、請求項１から４の何れか一項に記載のウェハボートハンドリング装置。
【請求項６】
前記ウェハボートハンドリング装置は、前記回転可能テーブルおよび前記ウェハボート支持面が、前記投入／受け取り位置から前記冷却位置へと、１２０度から２４０度までの範囲内で、好ましくは１７０度から１９０度までの範囲内で、より好ましくは略１８０度の回転角で、回転可能であるよう構成されている、請求項５に記載のウェハボートハンドリング装置。
【請求項７】
前記ウェハボートハンドリング装置は、
前記投入／受け取り位置にある前記第１のウェハボート支持面から垂直方向に前記処理チャンバへと第１のウェハボートを投入し、
前記冷却位置にある前記第２のウェハボート支持面上の第２のウェハボートを冷却し、
前記第２のウェハボート支持面が前記搬送位置となる回転位置まで、前記回転可能テーブルを回転させ、
前記第２のウェハボートへと、および／または、前記第２のウェハボートからウェハを搬送し、
前記第１のウェハボート支持面が前記投入／受け取り位置となる回転位置まで、前記回転可能テーブルを回転させ、
前記処理チャンバから前記第１のウェハボート支持面上に前記第１のウェハボートを受け取り、
前記第２のウェハボート支持面が前記投入／受け取り位置に来る回転位置まで、前記回転可能テーブルを回転させるよう
構成されている、請求項１から６の何れか一項に記載のウェハボートハンドリング装置。
【請求項８】
外周壁を持つ主筐体をさらに備え、前記外周壁には、前記搬送位置において搬送開口が設けられており、前記搬送開口を通って、前記搬送位置にある前記ウェハボート支持面上に収容されている前記ウェハボートへと、そして、前記ウェハボートからウェハを搬送する、請求項１から７の何れか一項に記載のウェハボートハンドリング装置。
【請求項９】
前記ウェハの搬送時に前記搬送開口を開くよう、そして、搬送するウェハが無い場合に前記搬送開口を閉じるよう構成されている搬送ドアをさらに備える、請求項８に記載のウェハボートハンドリング装置。
【請求項１０】
前記ウェハボートハンドリング装置には、垂直方向に移動可能なリフト支持部材を有するウェハボートリフトアセンブリが設けられており、前記回転可能テーブルは、前記第１および第２のウェハボート支持面の両方にリフト支持開口があり、前記リフト支持開口を通って、前記リフト支持部材が前記回転可能テーブルを通り抜けて、前記回転可能テーブルの下面と主筐体の底壁の上面との間の空間に前記リフト支持部材を収容する、請求項１から９の何れか一項に記載のウェハボートハンドリング装置。
【請求項１１】
前記回転可能テーブルに実装されている垂直方向に延在する壁構造をさらに備え、前記垂直方向に延在する壁構造は、前記第１のウェハボート支持面において、対応する垂直方向に延在する第１のウェハボートチャンバを、前記第２のウェハボート支持面において、対応する垂直方向に延在する第２のウェハボートチャンバを、形成して少なくとも部分的に画定している、請求項１から１０の何れか一項に記載のウェハボートハンドリング装置。
【請求項１２】
少なくとも前記第１のウェハボートチャンバおよび／または前記第２のウェハボートチャンバへと気体を供給し、および、少なくとも前記第１のウェハボートチャンバおよび／または前記第２のウェハボートチャンバから前記気体を取り出す気体循環システムをさらに備え、前記気体循環システムは、前記ウェハボートチャンバに供給される前記気体を冷却するよう構成されている、請求項１１に記載のウェハボートハンドリング装置。
【請求項１３】
ウェハボートに収容されているウェハを処理する処理チャンバと、
請求項１から１２の何れか一項に記載のウェハボートハンドリング装置であって、前記処理チャンバの下方に配置され、前記ウェハボートハンドリング装置から前記処理チャンバへと、そして、逆方向へと、ウェハボートを搬送するよう構成されているウェハボートリフトアセンブリを有するウェハボートハンドリング装置と
を備える縦型バッチ炉アセンブリ。
【請求項１４】
縦型バッチ炉アセンブリは、前記縦型バッチ炉アセンブリの幅を画定している２つの対向する短辺と、前記縦型バッチ炉アセンブリの長さを画定する２つの対向する長辺とを持つ略矩形のフットプリントを有し、
前記縦型バッチ炉アセンブリはさらに、
前記縦型バッチ炉アセンブリの前記短辺のうち一方に配置されている少なくとも１つのカセット入出ポートと、
複数のウェハを含む基板カセットを複数収容するよう構成されているカセット収容部と、
カセットドア開扉装置と、
前記カセット入出ポート、前記カセット収容部と、前記ドア開扉装置との間で、基板カセットを搬送するよう構成されているカセットハンドリング部と、
前記ドア開扉装置内のカセットと、前記ウェハボートハンドリング装置内のボートとの間でウェハを搬送するよう構成されているウェハハンドリング部と
を備え、
前記縦型バッチ炉アセンブリの幅は、１．１メートル以下である、
請求項１３に記載の縦型バッチ炉アセンブリ。
【請求項１５】
ウェハボートをハンドリングする方法であって、
処理チャンバおよび前記処理チャンバの下方に配置されているウェハボートハンドリング装置を有する縦型バッチ炉アセンブリを用意する段階であって、前記ウェハボートハンドリング装置は、請求項１から１２の何れか一項に記載の前記ウェハボートハンドリング装置である、段階と、
前記第１のウェハボート支持面に、ウェハが搭載されている対応する第１のウェハボートを設け、前記第２のウェハボート支持面に、ウェハが搭載されている対応する第２のウェハボートを設ける段階と、
前記投入／受け取り位置にある前記第１のウェハボート支持面から垂直方向に前記処理チャンバへと前記第１のウェハボートを投入する段階と、
前記処理チャンバで前記第１のウェハボート内に収容されている前記ウェハを処理する段階と
を備え、
前記ウェハを処理する段階と同時に、
前記冷却位置にある前記第２のウェハボート支持面上の前記第２のウェハボートを冷却する段階と、
前記冷却する段階の後に、前記第２のウェハボート支持面が前記搬送位置となる位置まで、前記回転可能テーブルを回転させる段階と、
前記第２のウェハボートへと、および／または、前記第２のウェハボートからウェハを搬送する段階と、
前記搬送する段階の後に、前記第１のウェハボート支持面が前記投入／受け取り位置となる位置まで、前記回転可能テーブルを回転させる段階と
を実行する、方法。
【請求項１６】
前記処理チャンバから前記第１のウェハボート支持面上に前記第１のウェハボートを受け取る段階と
前記受け取る段階の後に、前記第２のウェハボート支持面が前記投入／受け取り位置となる回転位置まで、前記回転可能テーブルを回転させる段階と
を更に備える請求項１５に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は概して、ウェハボートハンドリング装置に関する。ウェハボートハンドリング装置は、縦型バッチ炉の処理チャンバの下方に配置されるよう構成されているとしてよい。本開示はさらに、上記のウェハボートハンドリング装置を備える縦型バッチ炉アセンブリに関する。本開示はまた、ウェハボートをハンドリングする方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェハボートハンドリング装置は、縦型バッチ炉の処理チャンバの下方に配置されるとしてよい。ウェハボートハンドリング装置は、縦型バッチ炉の一部であり、当該バッチ炉の処理チャンバまでウェハボートを垂直方向に搬送するよう、そして、処理チャンバからウェハボートを受け取るよう構成されているとしてよい。縦型バッチ炉から受け取ったウェハボートは、温度が高く、処理済みウェハをウェハボートから取り出す前に冷却するとしてよい。ウェハボートハンドリング装置は、当該装置へ、および、当該装置から、特に、当該装置内に収容されているウェハボートへ、および、ウェハボートから、ウェハを搬入および搬出するために用いられるとしてよい。ウェハボートハンドリング装置の機能のうち一部は、ウェハボートを搬送するウェハボートカルーセルによって実現するとしてよい。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この「発明の概要」の記載は、いくつかの概念を選んで簡潔に紹介するために記載されている。これらの概念は、以下に記載する本開示の実施形態例の詳細な説明においてさらに詳細に説明する。この「発明の概要」の記載は、請求の対象となる主題のうち重要または不可欠な特徴を特定することを意図しているものではなく、請求の対象となる主題の範囲を限定するために用いられることを意図しているものでもない。
【０００４】
ウェハボートハンドリング装置を改良することを目的としてよい。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この目的を実現するべく、本開示は請求項１に記載のウェハボートハンドリング装置を提供する。より具体的には、ウェハボートハンドリング装置は、縦型バッチ炉の処理チャンバの下方に配置されるよう構成されているとしてよい。ウェハボートハンドリング装置は、ウェハボート支持面として第１および第２のウェハボート支持面のみを持つ回転可能テーブルを備える。各ウェハボート支持面は、ウェハボートを支持するよう構成されているとしてよい。回転可能テーブルは、中心の略垂直な軸を中心として回転可能であるとしてよく、アクチュエータによって回転可能であり、第１および第２のウェハ支持面の両方を投入／受け取り位置、冷却位置および搬送位置まで回転するとしてよい。ウェハボートハンドリング装置は、投入／受け取り位置において、回転可能テーブルから処理チャンバへとウェハボートを垂直方向に投入するよう、そして、処理チャンバから回転可能テーブルへとウェハボートを受け取るよう構成されているとしてよい。ウェハボートハンドリング装置は、冷却位置において、ウェハボートを冷却するよう構成されているとしてよい。ウェハボートハンドリング装置は、搬送位置において、ウェハボートへの、および／または、ウェハボートからのウェハの搬送が可能であるよう構成されているとしてよい。
【０００６】
処理、冷却および搬送に必要な時間は同じではないとしてよい。冷却が短時間で完了する場合、そして、搬送が効率的に行われる場合、どちらの動作も、処理チャンバでウェハを処理するために必要な時間内で実行することが可能である。このため、ウェハボートハンドリング装置が備える、３つの回転位置、具体的には、投入／受け取り位置、冷却位置および搬送位置まで搬送可能であるウェハボート支持面は、２つのみであるとしてよい。
【０００７】
ウェハボート支持面を２つのみとする場合の利点は、ウェハボート支持面が３つである場合に比べて回転可能テーブルを小型化できる点にある。各ウェハボート支持面の移動先として可能な回転位置が３つである場合、ウェハボート冷却装置は、ウェハボートハンドリング装置の直径を、回転可能テーブル上のウェハボート支持面が３つである公知のウェハボートハンドリング装置に比べて、小さくしつつも、投入／受け取り、冷却および搬送という必要な機能を実行することができる。さらに、ウェハボートハンドリング装置の製造コストを、ウェハボート支持面が３つであるウェハボートハンドリング装置の製造コストに比べて、削減し得る。
【０００８】
本開示はさらに、請求項１３に記載の縦型バッチ炉アセンブリに関する。より具体的には、縦型バッチ炉アセンブリは、ウェハボートに収容されているウェハを処理する処理チャンバと、本開示に係るウェハボートハンドリング装置とを備える。ウェハボートハンドリング装置は、処理チャンバの下方に配置されるとしてよく、ウェハボートハンドリング装置から処理チャンバへと、そして、逆方向へと、ウェハボートを搬送するよう構成されているウェハボートリフトアセンブリを有するとしてよい。
【０００９】
縦型バッチ炉の利点は、ウェハボートハンドリング装置に関して上述した利点と同様としてよい。
【００１０】
さらに、本開示は請求項１５に記載のウェハボートをハンドリングする方法を提供する。当該方法は、処理チャンバおよび処理チャンバの下方に配置されているウェハボートハンドリング装置を有する縦型バッチ炉アセンブリを用意する段階を備える。ウェハボートハンドリング装置は、本開示に係るウェハボートハンドリング装置である。当該方法はさらに、第１のウェハボート支持面に、対応付けられている、ウェハを搭載した第１のウェハボートを設け、第２のウェハボート支持面に、対応付けられている、ウェハを搭載した第２のウェハボートを設ける段階と、第１のウェハボートを、投入／受け取り位置にある第１のウェハボート支持面から処理チャンバへと垂直方向に投入する段階とを備える。当該方法はさらに、第１のウェハボートに収容されているウェハを処理チャンバで処理すると同時に、冷却位置にある第２のウェハボート支持面にある第２のウェハボートを冷却して、冷却の後に、回転可能テーブルを、第２のウェハボート支持面が搬送位置にくる位置へと回転させる段階を備える。この後、第２のウェハボートへと、および／または、第２のウェハボートから、ウェハを搬送し、搬送後、回転可能テーブルは、第１のウェハボート支持面が投入／受け取り位置になる位置へと回転する。
【００１１】
当該方法の利点は、ウェハボートハンドリング装置および縦型バッチ炉アセンブリに関して上述した利点と同様であるとしてよい。
【００１２】
先行技術に対する利点および本発明を要約することを目的として、本発明の目的および利点を上述した。言うまでもなく、このような目的または利点の全てが本発明の任意の特定の実施形態で必ずしも実現され得るわけではないと理解されたい。このため、例えば、当業者であれば、本発明の具現化または実行に際して、本明細書で教示または示唆される一または複数の利点が実現または最適化されるが、必ずしも本明細書で教示または示唆される他の目的または利点が実現されるものではないことを認めるであろう。
【００１３】
従属項においてさまざまな実施形態を請求の対象としているが、図面に図示している例を参照しつつさらに説明する。これらの実施形態は組み合わせるとしてもよいし、または、互いに別々に適用するとしてもよい。
【００１４】
これらの実施形態はすべて、本明細書で開示した本発明の範囲に含まれるものとする。上記およびその他の実施形態は、添付図面を参照することで、以下に記載する実施形態の詳細な説明から、当業者には容易に明らかになるとしてよい。本発明は開示しているどの特定の実施形態にも限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
本明細書の結論として記載する「特許請求の範囲」では本発明の実施形態とみなしている内容を具体的に指摘すると共に明確に請求しているが、本開示の実施形態の利点は、添付図面を参照しつつ読むことで本開示の実施形態例の説明からより容易に理解され得るものである。添付図面は以下の通りである。
【００１６】
【図１】本明細書で説明するウェハボートハンドリング装置の例を示す概略上面図である。当該装置では、第１のウェハボートが、投入／受け取り位置にある第１のウェハボート支持面に載置されており、第２のウェハボートが、冷却位置にある第２のウェハボート支持面に載置されている。
【００１７】
【図２】図１に係るウェハボートハンドリング装置の例を示す概略上面図である。当該装置では、第１のウェハボートが、処理チャンバ内に配置されており、第２のウェハボート支持面に載置されている第２のウェハボートが、搬送位置にある。
【００１８】
【図３】縦型バッチ炉アセンブリの一例を示す斜視図である。
【００１９】
【図４】図３に係る縦型バッチ炉アセンブリの一例を示す概略上面図である。
【００２０】
【図５】例えば、半導体製造工場において、図３および図４に例示した縦型バッチ炉アセンブリを複数配置した一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本願では同様または対応する特徴は同様または対応する参照符号で表す。さまざまな実施形態の説明は図面に図示した例に限定されるものではなく、詳細な説明および請求項で用いる参照番号は、実施形態の説明を限定することを意図したものではなく、図面に図示した例を参照することで実施形態を明確にするために記載している。
【００２２】
特定の実施形態および例を以下で開示するが、本発明の範囲は、具体的に開示した実施形態および／または本発明の利用、ならびに、それらから自明である変形例および均等例よりも広いことは、当業者であれば理解するであろう。このように、開示している本発明の範囲は以下で説明する具体的に開示した実施形態によって限定されるべきではないことを意図している。本願で提示する図面は、任意の具体的な材料、構造または装置の実際の見え方であることを意味するものではなく、本開示の実施形態を説明するために用いられる理想的な表現に過ぎない。
【００２３】
本明細書で用いる場合、「基板」または「ウェハ」という用語は、利用され得る１もしくは複数の原材料を意味するものであるとしてよく、または、装置、回路もしくはフィルムを上面に形成するための１もしくは複数の原材料を意味するものであるとしてよい。
【００２４】
図１は、ウェハボート１２、１４に収納されているウェハを処理するための縦型バッチ炉の処理チャンバ５６の下方に配置されるよう構成されているウェハボートハンドリング装置１０の一例を示す概略上面図である。ウェハボートハンドリング装置１０は、ウェハボート支持面として第１および第２のウェハボート支持面１８、２０のみを持つ回転可能テーブル１６を備える。各ウェハボート支持面１８、２０は、ウェハボート１２、１４を支持するよう構成されている。回転可能テーブル１６は、中心の略垂直な軸２２を中心として回転可能であるとしてよく、アクチュエータによって回転可能であり、第１および第２のウェハ支持面１８、２０の両方を投入／受け取り位置２４、冷却位置２６および搬送位置２８まで回転するとしてよい。
【００２５】
ウェハボートハンドリング装置１０は、投入／受け取り位置２４において、回転可能テーブルから処理チャンバ５６へとウェハボート１２、１４を垂直方向に投入するよう、そして、処理チャンバ５６から回転可能テーブル１６へとウェハボート１２、１４を受け取るよう構成されているとしてよい。ウェハボートハンドリング装置１０は、冷却位置２６において、ウェハボート１２、１４を冷却するよう構成されているとしてよい。ウェハは、搬送位置２８において、ウェハボート１２、１４へと、および／または、ウェハボート１２、１４から搬送されるとしてよい。
【００２６】
ウェハボートハンドリング装置１０の効果および利点は「発明の概要」部分で説明しており、これらの効果および利点を参照によりここに挿入するものとする。
【００２７】
図２に一例を示すある実施形態において、ウェハボートハンドリング装置１０は、ウェハボート１２、１４が第１のウェハボート支持面１８から処理チャンバ５６へと投入された場合、回転可能テーブル１６の第２のウェハボート支持面２０が、アクチュエータによって、冷却位置２６から搬送位置２８へと回転可能となるように構成されているとしてよい。
【００２８】
ウェハボートハンドリング装置１０のこの構成によって、第１のウェハボート１２を処理チャンバ５６に投入すると同時に、第２のウェハボート１４を冷却位置２６において冷却して、その後、ウェハを第２のウェハボート１４へと搬入することができ、および、ウェハを第２のウェハボート１４から搬出することができる搬送位置２８へと回転させることが可能となる。このため、第２のウェハボート１４は、第１のウェハボート１２に対する処理が終了するまで第２のウェハボート１４を搬送位置２８へと回転させないよう待機する必要がなくなる。このように、利用可能なウェハボート支持面が２つのみではあるが、貴重な時間を節約することができる。これは、ウェハボートの冷却および冷却したウェハボートにあるウェハの搬送を、処理チャンバ５６内にある他方のウェハボートに収容されているウェハを処理している間に実行することができるためである。ウェハボートハンドリング装置１０の直径を小さくすることができるという利点に加えて、生産性が高くなるとしてよい。
【００２９】
ある実施形態において、ウェハボート支持面１８、２０を冷却位置２６から搬送位置２８へと回転させるための回転可能テーブル１６の回転角は、冷却位置２６にあるウェハボート１２、１４から、ウェハボートハンドリング装置１０の外周壁３２のうち、搬送位置２８に隣接する部分への熱伝達を、外周壁３２のうち搬送位置２８に隣接している部分の温度を摂氏７０度未満、好ましくは摂氏５０度未満に維持するよう、抑制するために十分な大きさを持つ。
【００３０】
外周壁３２のうち搬送位置２８に隣接する部分には、ウェハが外周壁３２を通過するための搬送開口３６および／または搬送ドア３８があるとしてよい。搬送位置２８が冷却位置２６に近過ぎると、冷却位置２６にある高温のウェハボート１２、１４が搬送ドアの構成に悪影響を及ぼす可能性がある。高温のウェハボート１２、１４の温度に耐性を持たせるためには、搬送ドア３８の構成は非常に複雑になるので、高コストであるとしてよい。任意で、搬送ドア３８は能動的に冷却されるとしてよい。つまり、ウェハボートは搬送時には高温であり、その後で当該ボートを搬送位置２８で冷却するとしてよい。冷却位置２６と搬送位置２８との間に回転角を設けることで、搬送位置２８に隣接する外周壁３２の温度が高くなりすぎることはなくなるので、搬送ドアの構成を簡略化することができる。ウェハボート支持面１８、２０を冷却位置２６から搬送位置２８へと回転させるための回転可能テーブル１６の回転角は、１度から８０度の範囲内であるとしてよく、好ましくは４０度から５０度の範囲内、より好ましくは略４５度であるとしてよい。
【００３１】
図１に一例を示すある実施形態において、ウェハボートハンドリング装置１０は、第１のウェハボート支持面１８が投入／受け取り位置２４にあるときに、第２のウェハボート支持面２０が冷却位置２６にあるように構成されているとしてよい。これは、ウェハボートハンドリング装置１０が冷却位置２６にあるウェハボート１２、１４を冷却すると同時に、処理チャンバ５６内でウェハボート１２、１４を処理することを意味する。
【００３２】
ウェハボート支持面１８、２０を投入／受け取り位置２４から冷却位置２６へと回転させるための回転可能テーブル１６の回転角は、１２０度から２４０度の範囲内であるとしてよく、好ましくは１７０度から１９０度の範囲内、より好ましくは略１８０度であるとしてよい。
【００３３】
これは、第１のウェハボート支持面１８を投入／受け取り位置２４から冷却位置２６へと回転させるときに、第２のウェハボート支持面２０を冷却位置２６から投入／受け取り位置２４へと回転させることを意味する。言い換えると、ウェハボート支持面１８、２０が位置を入れ替え、これらの支持面１８、２０の上に載置されているウェハボート１２、１４も同様である。
【００３４】
ある実施形態において、ウェハボートハンドリング装置１０は以下のように構成されている。
投入／受け取り位置２４にある第１のウェハボート支持面１８から垂直方向に処理チャンバ５６へと第１のウェハボート１２を投入し、
冷却位置２６にある第２のウェハボート支持面２０上の第２のウェハボート１４を冷却し、
第２のウェハボート支持面２０が搬送位置２８となる回転位置まで、回転可能テーブル１６を回転させ、
第２のウェハボート１４へと、および／または、第２のウェハボート１４から、ウェハを搬送して、第１のウェハボート支持面１８が投入／受け取り位置２４に来る回転位置へと回転可能テーブル１６を回転させ、
処理チャンバ５６から第１のウェハボート支持面１８上に第１のウェハボート１２を受け取り、
第２のウェハボート支持面２０が投入／受け取り位置２４に来る回転位置まで、回転可能テーブルを回転させる。
【００３５】
ウェハボートハンドリング装置１０の３つの機能のうち、処理チャンバ５６でのウェハの処理が通常、最も時間を消費する機能である。冷却および搬送が処理と同時に実行されるようにウェハボートハンドリング装置１０を構成することで、ウェハボートハンドリング装置１０の効率を高めるとしてよい。搬送位置２８を冷却位置２６とは異なる位置に設けることで、高温のウェハボート１２、１４からの熱が、外周壁３２のうち搬送位置２８に隣接する部分の温度を昇温させても高くなり過ぎることはないという利点がさらに得られる。この結果、別の実施形態に関連して上述したように、搬送位置にある搬送ドア３８の構成を簡略化し得る。上記の内容はここでも当てはまる。
【００３６】
ある実施形態において、ウェハボートハンドリング装置１０はさらに、外周壁３２を持つ主筐体を備えるとしてよい。外周壁３２には、搬送位置２８において搬送開口３６が設けられているとしてよい。搬送開口３６を通って、搬送位置２８にあるウェハボート支持面１８、２０上に収容されているウェハボート１２、１４へと、そして、ウェハボート１２、１４からウェハを搬送することができる。ウェハボートハンドリング装置１０はさらに、ウェハ搬送時に搬送開口３６を開くよう、そして、搬送するウェハが無い場合に搬送開口３６を閉じるよう構成されている搬送ドア３８を備えるとしてよい。
【００３７】
ある実施形態において、ウェハボートハンドリング装置は、垂直方向に移動することが可能なリフト支持部材を持つウェハボートリフトアセンブリが設けられている。回転可能テーブル１６は、第１および第２のウェハボート支持面１８、２０の両方にリフト支持開口があるとしてよい。リフト支持開口を通って、リフト支持部材が回転可能テーブル１６を通り抜けて、回転可能テーブル１６の下面と主筐体の底壁３４の上面との間の空間にリフト支持部材を収容することができる。ウェハボートリフトアセンブリは、処理チャンバ５６へと、および、処理チャンバ５６から、ウェハボート１２、１４を搬送することができる。リフト支持部材は、回転可能テーブル１６を通り抜けて、ウェハボート１２、１４を持ち上げることができる。ウェハボートリフトアセンブリがウェハボート１２、１４をウェハボート支持面１８、２０に載置すると、リフト支持部材は再度回転可能テーブルを通過することができ、リフト支持部材に邪魔されることなく回転可能テーブルは自由に回転することができる。ウェハボートリフトアセンブリは、ウェハボートハンドリング装置１０の一部であってよい。
【００３８】
ある実施形態において、ウェハボートハンドリング装置１０はさらに、回転可能テーブル１６に実装されている垂直方向に延在する壁構造４６を備えるとしてよい。垂直方向に延在する壁構造４６は、第１のウェハボート支持面１８において、対応する垂直方向に延在する第１のウェハボートチャンバ４８を形成して少なくとも部分的に画定し、第２のウェハボート支持面２０において、対応する垂直方向に延在する第２のウェハボートチャンバ５０を形成して少なくとも部分的に画定するとしてよい。
【００３９】
これらのウェハボートチャンバ４８、５０は、ミニエンバイロメントを形成するとしてよく、当該ミニエンバイロメント内ではウェハボート１２、１４は相手から飛来する破片から保護される。
【００４０】
ある実施形態において、ウェハボートハンドリング装置１０はさらに、少なくとも第１および／または第２のウェハボートチャンバ４８、５０に気体を供給する、そして、少なくとも第１および／または第２のウェハボートチャンバ４８、５０から気体を取り出す気体循環システムを備えるとしてよい。気体循環システムは、ウェハボートチャンバ４８、５０に供給される気体を冷却するよう構成されているとしてよい。このようにして、冷却位置２６にあるウェハボート１２、１４の冷却を行うとしてよい。
【００４１】
本開示はさらに、ウェハボートに収容されているウェハを処理する処理チャンバ５６と、本開示に係るウェハボートハンドリング装置１０とを備える縦型バッチ炉アセンブリ５４を提供する。ウェハボートハンドリング装置１０は、処理チャンバ５６の下方に配置され、ウェハボートハンドリング装置１０から処理チャンバ５６へと、そして、逆方向へと、ウェハボート１２、１４を搬送するよう構成されているウェハボートリフトアセンブリを有する。
【００４２】
縦型バッチ炉アセンブリの効果および利点は「発明の概要」部分で説明しており、これらの効果および利点を参照によりここに挿入するものとする。
【００４３】
図３および図４に例示するある実施形態において、縦型バッチ炉アセンブリ５４は、縦型バッチ炉アセンブリの幅を画定している２つの対向する短辺６６と、縦型バッチ炉アセンブリの長さを画定している２つの対向する長辺６８とを持つ略矩形のフットプリントを有する。縦型バッチ炉アセンブリ５４はさらに、少なくとも１つのカセット入出ポート５８を備えるとしてよい。カセット入出ポート５８は、縦型バッチ炉アセンブリ５４の短辺６６のうち一方に配置されているとしてよい。縦型バッチ炉アセンブリ５４は、２つのカセット入出ポート５８を備えることが好ましい。この場合、カセット入出ポート５８は、互いに隣接するよう配置されているとしてよい。縦型バッチ炉アセンブリ５４はさらに、複数のウェハを含む基板カセットを複数収容するよう構成されているカセット収容部６０を備えるとしてよい。バッチ炉アセンブリは、カセットドア開扉装置７０と、カセット入出ポート５８、カセット収容部６０およびドア開扉装置７０との間で基板カセットを搬送するよう構成されているカセットハンドリング部６２とを備えるとしてよい。カセット収容部６０は、カセット収容カルーセルとして具現化するとしてよい。縦型バッチ炉アセンブリ５４は、図３に図示しているように、１または複数のカセット収容カルーセルを有するとしてよい。縦型バッチ炉アセンブリ５４はさらに、ドア開扉装置７０内のカセットと、ウェハボートハンドリング装置１０内のボートとの間でウェハを搬送するよう構成されているウェハハンドリング部６４を備えるとしてよい。
【００４４】
略矩形のフットプリントを持ち、縦型バッチ炉の短辺６６にカセット入出ポート５８を配置することで、図５に図示しているように、複数の縦型バッチ炉５４を互いに隣接して配置することができる。処理すべきウェハを有するカセットは、縦型バッチ炉５４の短辺６６において、アセンブリへと、そして、アセンブリから搬送することができる。アセンブリ５４の他の部分は、縦型バッチ炉アセンブリ５４の最大幅は所定となるように、入出ポート５８の後方で縦列に配置されるとしてよい。他の縦型バッチ炉アセンブリと取り換え可能とすることを鑑みると、１．１ｍ未満の幅が好ましい。
【００４５】
最後に、本開示はウェハボート１０をハンドリングする方法を提供する。当該方法は以下の段階を備える。
当該方法は、処理チャンバ５６および処理チャンバ５６の下方に配置されているウェハボートハンドリング装置１０を有する縦型バッチ炉アセンブリ５４を用意する段階を備える。ウェハボートハンドリング装置１０は、本開示に係るウェハボートハンドリング装置１０である。
さらに、第１のウェハボート支持面１８に、ウェハが搭載されている対応する第１のウェハボート１２を設け、第２のウェハボート支持面２０に、ウェハが搭載されている対応する第２のウェハボート１４を設ける段階を備える。
さらに、投入／受け取り位置２４にある第１のウェハボート支持面１８から垂直方向に処理チャンバ５６へと第１のウェハボート１２を投入する段階を備える。
さらに、処理チャンバ５６で第１のウェハボート１２内に収容されているウェハを処理する段階を備える。この処理する段階と同時に以下の段階を行う。
冷却位置２６にある第２のウェハボート支持面２０上の第２のウェハボート１４を冷却する。
冷却後に、第２のウェハボート支持面２０が搬送位置２８となる位置まで、回転可能テーブル１６を回転させる。
第２のウェハボート１４へと、および／または、第２のウェハボート１４からウェハを搬送する。
搬送後に、第１のウェハボート支持面１８が投入／受け取り位置２４に来る位置まで、回転可能テーブル１６を回転させる。
【００４６】
当該方法の効果および利点は「発明の概要」部分で説明しており、これらの効果および利点を参照によりここに挿入するものとする。
【００４７】
ある実施形態において、当該方法はさらに以下の段階を備えるとしてよい。
処理チャンバ５６から第１のウェハボート支持面１８上に第１のウェハボート１２を受け取る段階を備える。
この後で、第２のウェハボート支持面２０が投入／受け取り位置２４に来る回転位置まで、回転可能テーブル１６を回転させる段階を備える。
【００４８】
これらの段階を実行した後、上記の方法のスタート時に対して、ウェハボート支持面１８、２０を入れ替える。つまり、本明細書で説明する方法を再度実行することができる。これらの段階を何度も繰り返すことによって、ウェハボートハンドリング装置は継続して、ウェハを受け取り、これらのウェハを処理して、これらのウェハを冷却し、処理済みのウェハを搬送する。
【００４９】
部分的に添付図面を参照しつつ本発明の実施形態例を上述してきたが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではないと理解されたい。当業者であれば、特許請求された発明を実施する際に、図面、明細書、および添付の特許請求の範囲を検討することによって、開示した実施形態に対する変形例に想到し実現することができる。
【００５０】
本明細書で「一実施形態」または「実施形態」と言及する場合、当該実施形態に関連して記述される特定の特徴、構造または特性が本発明の少なくとも１つの実施形態に含まれることを意味する。したがって、本明細書で何度も「一実施形態において」または「ある実施形態において」という表現が見られるが、必ずしも全て同じ実施形態を指しているわけではない。
【００５１】
さらに、上述したさまざまな実施形態のうち１または複数の実施形態の特定の特徴、構造または特性は、それぞれ別個に利用および実装され得るものであり、任意の適切な方法で組み合わせて、明示的に説明されていない新たな実施形態を構成するとしてもよいことに留意されたい。詳細な説明および特許請求の範囲で使用される参照番号は、実施形態の説明を限定するものでも、特許請求の範囲を限定するものでもない。参照番号は説明を明確にすることのみを目的として用いている。
【参照番号の説明】
【００５２】
１０−ウェハボートハンドリング装置
１２−第１のウェハボート
１４−第２のウェハボート
１６−回転可能テーブル
１８−第１のウェハボート支持面
２０−第２のウェハボート支持面
２２−中心の垂直軸
２４−投入／受け取り位置
２６−冷却位置
２８−搬送位置
３２−外周壁
３４−底壁
３６−搬送開口
３８−搬送ドア
４６−垂直方向に延在する壁構造
４８−第１のウェハボートチャンバ
５０−第２のウェハボートチャンバ
５４−縦型バッチ炉アセンブリ
５６−処理チャンバ
５８−カセット入出ポート
６０−カセット収容部
６２−カセットハンドリング部
６４−ウェハハンドリング部
６６−長手方向端部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【外国語明細書】
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