(57)【要約】      （修正有）【課題】有機発光層の配置状態を容易に把握し、工程の安定性を向上させることができる有機発光表示装置、およびその製造方法を提供する。【解決手段】基板１１０上に駆動素子および有機発光素子を有する有機発光表示装置において、基板１１０上に、第１電極１７１、有機発光層、および第２電極１７３を含む少なくとも１つのダミーパターン１７０をさらに含み、第１電極１７１と有機発光層を、電気的な接続が最小化されるように配置すると、有機発光層の配置過程において、工程の誤差、またはエラーが発生した場合、第１電極１７１と有機発光層は電気的に接続され、検査を行った際に点灯するので、有機発光層の配置エラーを容易に検出することができる。【選択図】図４ａ
2020098770.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に駆動素子、および有機発光素子を有する有機発光表示装置において、
前記基板上に、第１電極、ダミー層、および第２電極を含む少なくとも１つのダミーパターンを含み、
前記第１電極と前記ダミー層は、電気的に分離されるように配置された、有機発光表示装置。
【請求項２】
前記基板は、前記駆動素子および前記有機発光素子が配置される表示領域と、前記表示領域を取り囲む非表示領域とを含み、前記ダミーパターンは、前記非表示領域にある、請求項１に記載の有機発光表示装置。
【請求項３】
前記第１電極および前記第２電極にそれぞれ接続された検査パッド電極をさらに含む、請求項１に記載の有機発光表示装置。
【請求項４】
前記第１電極および前記ダミー層は、同じ平面上において互いに離隔するように配置された、請求項１に記載の有機発光表示装置。
【請求項５】
前記第１電極は、開口領域をさらに含み、前記ダミー層は、前記開口領域にある、請求項４に記載の有機発光表示装置。
【請求項６】
前記第１電極と前記ダミー層が絶縁されるよう、前記第１電極と前記ダミー層の間に配置された絶縁層をさらに含む、請求項１に記載の有機発光表示装置。
【請求項７】
前記絶縁層は、バンク層である、請求項６に記載の有機発光表示装置。
【請求項８】
前記絶縁層は、前記第１電極を開口する絶縁層開口領域を有し、前記絶縁層開口領域に隣接して、前記ダミー層が配置された、請求項６に記載の有機発光表示装置。
【請求項９】
基板上に、駆動素子と、有機発光素子と、第１電極、ダミー層、および第２電極を含む少なくとも１つのダミーパターンとを配置する段階と、
前記有機発光素子の配置状態を検証する段階を含み、
前記有機発光素子の配置状態を検証する段階は、
前記ダミーパターンの前記第１電極および前記第２電極に電流を印加し、
前記ダミーパターンの点灯有無によりエラーを検証する段階を含む、有機発光表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記ダミーパターンの点灯有無によりエラーを検証する段階は、
基板にある複数の前記ダミーパターンのそれぞれの点灯有無により、工程のエラー方向およびエラーの度合いを判断する段階を含む、請求項９に記載の有機発光表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記ダミーパターンの点灯有無によりエラーを検証する段階は、
前記ダミーパターンの輝度の程度により、前記ダミー層に配置された有機物質の量を判断する段階を含む、請求項９に記載の有機発光表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機発光表示装置およびその製造方法に関するものであり、さらに詳細には、有機発光層の配置工程の安定性を向上させることができる有機発光表示装置、およびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
有機発光表示装置（Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ；ＯＬＥＤ）は、自己発光型であって、液晶表示装置（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ；ＬＣＤ）とは異なって別途の光源が不要なため、軽量・薄型に製造することができる。また、有機発光表示装置は、低電圧で駆動可能なので、消費電力の面で有利である上に、色の具現化や応答速度、視野角、コントラスト比（ｃｏｎｔｒａｓｔ  ｒａｔｉｏ；ＣＲ）も優れていることから、次世代のディスプレイとして研究されている。
【０００３】
有機発光表示装置は、複数の画素が配置され、各画素に配置された有機発光層へ注入される電子および正孔によって発光するので、有機発光表示装置への均一な電流供給が重要である。
【０００４】
有機発光表示装置の各画素は、有機発光素子の他、互いに交差するデータラインおよびゲートラインと、これらとの接続構造を有する駆動素子などからなる。
【０００５】
非晶質シリコンからなる半導体層を有する非晶質薄膜トランジスタより電子の移動速度が速く、ポリシリコンからなる半導体層を有するポリシリコン薄膜トランジスタより製造工程が単純であって、製造単価が相対的に安い酸化物半導体からなる半導体層を有する酸化物薄膜トランジスタが駆動素子として広く研究されている。
【０００６】
有機発光層は、シャドーマスクを用いる真空蒸着法、レーザー転写法、熱転写法およびスクリーンプリント法で配置することができる。近年、インクジェットプリント法に対する研究も広く行われている。
【０００７】
特に、インクジェットプリント法は、紙にインクをスプレーして印刷するように、数十ピコリットル（１０−１２リットル）以下のＯＬＥＤ溶液を噴射して配置する方法であって、真空状態で気体化合物を反応させて配置する真空蒸着に比べ、材料効率が高い。しかしながら、配置過程において、配置場所の精密なコントロールや、配置量の微調整に困難があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
有機発光表示装置は、有機発光素子を含む複数の画素を配置し、有機発光素子を発光させて、ユーザーが希望するイメージなどをディスプレイする。
【０００９】
有機発光素子は、２つの電極と有機層を含む。このとき、有機層は有機発光層を含み、スムーズな励起子形成のため、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層などをさらに含むことができる。
【００１０】
２つの電極のうち、一方は駆動素子に接続された画素電極であり、他方は共通電極（カソード）であり得る。
【００１１】
前述した有機発光素子の配置過程で用いられる工法により、有機発光素子は全面に配置されたり、特定領域に配置されたりする。特定領域を指定して有機発光素子、特に有機発光層を配置する段階は、インクジェットプリント法を用いてもよく、マスクを利用した蒸着法を用いてもよい。
【００１２】
このとき、画素に配置された有機発光層の配置エラーにより、ぼやけや、ムラといった欠陥が発生するが、これを肉眼で判断して調節するには困難があった。そのため、本発明の発明者らは、有機発光層の配置工程において発生し得るエラーの範囲や原因をより容易に測定し、直ちに反映して工程上の不具合が最小化された有機発光表示装置の新しい構造および方法を発明した。
【００１３】
本発明の一実施例に係る解決課題は、有機発光層の蒸着過程において発生する蒸着位置に対する誤差を最小化することができる有機発光表示装置、およびその製造方法を提供することである。
【００１４】
また、本発明の他の実施例に係る解決課題は、有機発光層の蒸着過程において、有機発光層の蒸着範囲に対する誤差を最小化することができる有機発光表示装置、およびその製造方法を提供することである。
【００１５】
本発明の一実施例により解決しようとする課題は、以上で言及した課題に制限されるものではない。言及されていない他の課題は、以下の記載から当業者にとって明確に理解できるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の一実施例に係る有機発光層の配置状態を検証することができるダミーパターンを含む有機発光表示装置を提供する。基板上に駆動素子および有機発光素子が設けられた有機発光表示装置において、基板上に、第１電極、有機発光層および第２電極で構成される少なくとも１つのダミーパターンが配置される。ダミーパターンの第１電極と有機発光層は、直接電気的に接続されないように配置関係が定義される。有機発光層を配置する過程において、有機発光層が配置される位置の変化、または有機発光層の配置量の変化により、前記ダミーパターンの第１電極と有機発光層が重なることになり、その結果、第１電極および第２電極に電流が印加されると、ダミーパターンが発光するようになる。このようなダミーパターンを含む有機発光表示装置は、有機発光層の配置過程において発生し得るエラーを効率的に検証することができるので、有機発光層の配置エラーが最小化された有機発光表示装置を提供することができる。
【００１７】
また、本発明の一実施例に係る有機発光表示装置の製造方法を提供する。基板上に、薄膜トランジスタで構成される駆動素子を配置し、有機発光素子を配置する。有機発光素子は、第１電極と第２電極の間に有機発光層を有するが、有機発光素子を配置する段階で、少なくとも１つのダミーパターンを共に配置する。ダミーパターンは、前記第１電極と有機発光層の電気接続を最小限にするように配置して構成される。続いて、有機発光素子の配置状態を検証する段階をさらに含む。有機発光素子の配置状態を検証する段階は、ダミーパターンを構成する前記第１電極および前記第２電極に電流を印加し、ダミーパターンの点灯有無で有機発光層の配置状態を判断する段階を含む。前述したように、有機発光層の配置状態を検証する段階を含むので、有機発光層の配置エラーを最小化し、有機発光表示装置の信頼性を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の実施例により、有機発光層の配置状態を検証できるダミーパターンを備えることで、有機発光表示装置の製造における信頼性を向上させ、製造コストを節減させることができるという効果がある。
【００１９】
また、前記有機発光層の配置状態および誤差範囲を容易に判断できる複数のダミーパターンを備えることで、高解像度を持つ有機発光表示装置の製造における信頼性を向上させることができるという効果がある。
【００２０】
しかしながら、本発明の効果は、前述した効果に限られるものではなく、言及されていない他の効果は、下記の記載から当業者にとって明確に理解できるであろう。
【００２１】
前述した解決しようとする課題、課題を解決するための手段、発明の効果に記載した内容が、請求項の必須特徴を特定するものではないので、請求の範囲の権利範囲は、発明の内容に記載されている事項によって制限されない。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施例に係るダミーパターンを有する有機発光表示装置の概略的な図面である。
【図２】本発明の一実施例に係る有機発光表示装置を説明するための図１のｉ‐ｉ´に沿った概略的な断面図である。
【図３】本発明の一実施例に係る有機発光表示装置に含まれる有機発光層を説明するための概略的な図面である。
【図４ａ】本発明の一実施例に係るダミーパターンを説明するための図１のｉｉ‐ｉｉ´に沿った概略的な断面図である。
【図４ｂ】本発明の一実施例により検出できる有機発光層の配置エラーを説明するための概略的な断面図である。
【図５ａ】本発明の他の実施例に係るダミーパターンの様々な構成を説明するための概略的な断面図である。
【図５ｂ】本発明の他の実施例に係るダミーパターンの様々な構成を説明するための概略的な断面図である。
【図５ｃ】図５ａおよび図５ｂに示した本発明の一実施例により検出できる有機発光層の配置エラーを説明するための概略的な断面図である。
【図６ａ】ダミーパターンを活用し、有機発光層の配置エラーの方向を検出できる構成に対する概略的な図面である。
【図６ｂ】ダミーパターンを活用し、有機発光層の配置エラーの方向を検出できる構成に対する概略的な図面である。
【図７】本発明の一実施例に係るダミーパターンの様々な活用について説明するための概略的な図面である。
【図８】本発明の一実施例に係る有機発光表示装置の製造方法を説明するための概略的なフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
本発明のメリットおよび特徴、そしてそれらを達成できる方法は、図面と共に詳細に後述される実施例を参照すると明確になるであろう。しかしながら、本発明は、以下に開示される実施例に限定されるものではなく、互いに異なる様々な形態に具現化することができる。但し、本実施例は、本発明の開示を完全なものにさせ、本発明の属する技術分野における通常の知識を持つ者に発明の範疇を知らせるために提供されるものであって、本発明は、請求項の範疇によって定義されるだけである。
【００２４】
本発明の実施例を説明するための図面に開示された形状、大きさ、比率、角度、個数などは例示的なものであって、本発明が図示されたものに限定されるものではない。明細書全体に亘り、同じ参照符号は同じ構成要素を示す。また、本発明を説明するに当たり、関連した公知技術に対する具体的な説明が本発明の要旨を濁し得ると判断される場合は、その詳細な説明を省略する。本明細書において「含む」、「有する」、「なる」などが用いられた場合、「のみ」が記載されていなければ他の部分を追加することができる。そして、構成要素を単数形に表現した場合、特に言及しない限り、複数形が含まれる場合がある。
【００２５】
構成要素を解釈するに当たり、別途の明示的な記載がなくてもエラー範囲を含むものとして解釈する。
【００２６】
位置関係の説明において、例えば「上に」、「上部に」、「下部に」、「横に」などで２つの位置関係を説明する場合、「すぐ」または「直接」と記載されていなければ、１つ以上の他の部分が２つの間に位置することができる。
【００２７】
時間関係の説明において、例えば「後で」、「に続き」、「次に」、「前に」などで時間の前後関係を説明する場合、「すぐ」または「直接」と記載されていなければ、非連続的な場合を含むことができる。
【００２８】
様々な構成要素を説明するため、「第１」や「第２」などが用いられるが、これらの構成要素はその用語に制限されるものではなく、１つの構成要素を他の構成要素と区別するために使われるだけである。そのため、以下で言及される第１構成要素は、本発明の技術的思想内で第２構成要素でもあり得る。
【００２９】
本発明の種々の実施例におけるそれぞれの特徴が、部分的に、または全体的に互いに結合、または組み合わされてもよく、技術的に様々な連動や駆動が可能であって、各実施例は、独立して実施されてもよく、相互関連性を持って一緒に実施されてもよい。
【００３０】
以下、図面を参照し、本発明の様々な実施例を詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施例に係るダミーパターンを有する有機発光表示装置の概略的な図面である。
【００３１】
図１を参照すると、有機発光表示装置１００は、基板１１０上の複数の画素（ＳＰ）を含む。また、少なくとも１つの検査パターングループ（ＴＥＧ；Ｔｅｓｔ  ｅｌｅｍｅｎｔ  ｇｒｏｕｐ）をさらに含むことができる。
【００３２】
基板１１０は、ガラス基板であってもよく、ポリイミド系のフレキシブル基板であってもよい。また、水分や酸素の浸透を最小化するためのバリア層を含むことができ、多層構造であってもよい。
【００３３】
図１に示す検査パターングループ（ＴＥＧ）は、ダミーパターン１７０に接続された別途の駆動素子、および電流を印加するための回路部を有することができるが、図１では省略している。
【００３４】
画素（ＳＰ）は、基板１１０上に定義されたアクティブ領域に配置される。検査パターングループ（ＴＥＧ）は、アクティブ領域以外に存在してもよく、必要によってアクティブ領域内に存在してもよい。検査パターングループ（ＴＥＧ）は、画素（ＳＰ）に配置された構成要素が基板１１０上に正常に配置されたかどうかを確認するための、少なくとも１つのダミーパターン１７０を含み、基板１１０において、スクライビングにより分離された領域に配置されてもよいが、これは当業者の選択事項にすぎない。
【００３５】
図２は、本発明の一実施例に係る有機発光表示装置を説明するための図１のｉ‐ｉ´に沿った概略的な断面図である。
【００３６】
図２を参照すると、画素（ＳＰ）は、平坦化層１２０上の有機発光素子１６０と、基板１１０上の駆動素子１３０を含む。
【００３７】
基板１１０は、ガラス、プラスチック、金属のうち、いずれか１つを含むことができる。基板１１０は、前記物質のうち、いずれか１つを含み、曲げたり、丸めたり、折り畳んだりすることができるフレキシブル基板にすることができる。
【００３８】
前記基板１１０がプラスチック材質で構成された場合、前記プラスチックは、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリアクリレート（ＰＡＲ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリフェニレンスルファイド（ＰＰＳ）、ポリアリレート、ポリイミド、ポリカーボネート（ＰＣ）、セルローストリアセテート（ＴＡＣ）、セルロースアセテートプロピオネート（ＣＡＰ）のうち、いずれか１つであり得る。
【００３９】
有機発光素子１６０は、画素電極１６１、有機発光層１６２および共通電極１６３を含む。
【００４０】
画素電極１６１は、アノードであり得る。そして、インジウム、銀（Ａｇ）、亜鉛（Ｚｉｎｃ）、スズ（Ｔｉｎ）、アルミニウム亜鉛酸化物（ＡＺＯ）、ガリウム亜鉛酸化物（ＧＺＯ）、亜鉛酸化物（ＺｎＯ）、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）、およびインジウムスズ亜鉛酸化物（ＩＴＺＯ）のうち、少なくとも１つを含む単層、または多層に形成することができる。画素電極１６１が多層に形成される場合、少なくとも１つの透明導電性酸化物層、および少なくとも１つの金属層を含むことができる。
【００４１】
透明導電性酸化物層は仕事関数が高く、有機発光層１６２に正孔を供給することができる。そのため、透明導電性酸化物層は、有機発光層１６２に接触することができる。
【００４２】
有機発光層１６２は、有機物質の薄膜から形成され、画素電極１６１と共通電極１６３を介して注入された正孔と電子を用いて、光を生成する。図２に具体的に示していないが、有機発光層１６２は、正孔注入層（Ｈｏｌｅ  Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ  Ｌａｙｅｒ；ＨＩＬ）、正孔輸送層（Ｈｏｌｅ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ  Ｌａｙｅｒ；ＨＴＬ）、発光層（Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｌａｙｅｒ；ＥＭＬ）、電子輸送層（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ  Ｌａｙｅｒ；ＥＴＬ）、電子注入層（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ  Ｌａｙｅｒ；ＥＩＬ）を含むことができ、これらが含まれた多層構造であり得る。
【００４３】
本発明の一実施例において、画素電極１６１はアノードとして働き、共通電極１６３はカソードとして働くことができるが、これに制限されるものではない。
【００４４】
正孔注入層（ＨＩＬ）は、画素電極１６１と発光層（ＥＭＬ）の間のエネルギー障壁を減少させ、正孔注入効率を向上させるためのバッファ層である。正孔輸送層（ＨＴＬ）は、共通電極１６３から注入され、発光層（ＥＭＬ）へ伝達された電子を発光層（ＥＭＬ）内に保持し、発光層（ＥＭＬ）における電子と正孔の再結合効率を増加させる。同様に、電子注入層（ＥＩＬ）は、共通電極１６３と発光層（ＥＭＬ）の間のエネルギー障壁を減少させるバッファ層であって、電子の注入効率を増加させる。電子輸送層（ＥＴＬ）は、発光層（ＥＭＬ）へ伝達された正孔を発光層（ＥＭＬ）内に保持し、発光層（ＥＭＬ）における電子と正孔の再結合効率を増加させる。発光層（ＥＭＬ）は、低分子、または高分子系の有機物質の薄膜から形成され、画素電極１６１と共通電極１６３のそれぞれから注入され、発光層（ＥＭＬ）へ伝達された正孔と電子を再結合させて励起子を生成し、該励起子が励起状態から基底状態へ落ちる際に放出されるエネルギーを光に変換させる。このとき、発光層（ＥＭＬ）を形成する有機物層のバンドギャップエネルギーにより、放出光の色が異なる。
【００４５】
前述したように、画素電極１６１と共通電極１６３は、アノード、またはカソードであり、有機発光層１６２から放出された光が透過できる透明電極であり得る。画素電極１６１と共通電極１６３のうち、一方は、一方向に発光を誘発する反射電極であり得る。
【００４６】
駆動素子１３０は、酸化物半導体を用いた酸化物薄膜トランジスタであってもよく、ポリシリコンを含む薄膜トランジスタであってもよいが、これに限定されるものではない。
【００４７】
図２において、本発明を説明するための一例として示す駆動素子１３０は、ゲート電極１３５を含み、ゲート電極１３５を絶縁するための絶縁膜１３４が配置され、絶縁膜１３４を介在してアクティブ層１３３が配置される。
【００４８】
アクティブ層１３３は、ソース電極１３１およびドレイン電極１３２と電気的に接続され、ドレイン電極１３２は、有機発光素子１６０の画素電極１６１と電気的に接続される。駆動素子１３０上には、後続工程などで駆動素子１３０を保護するための保護膜（不図示）、および平坦化層１２０が配置される。
【００４９】
平坦化層１２０は、第１平坦化層１２１および第２平坦化層１２２で構成される多層構造を有することができる。前述した駆動素子１３０と有機発光素子１６０の電気的な接続のためのコンタクトホールが配置されてもよい。
【００５０】
画素（ＳＰ）の発光領域は、平坦化層１２０上の有機発光素子１６０が発光する領域として定義することができるが、これはバンク層１４０の開口部として定義することができる。
【００５１】
有機発光素子１６０上には、有機発光素子１６０をカバーする封止層１５０が配置される。封止層１５０は、酸素や水分から有機発光素子１６０を保護するように配置され、有機物層からなる第１封止層１５１、および無機物質からなる第２封止層１５２を含む。
【００５２】
前記封止層１５０は、単層の有機無機複合層から形成されてもよく、無機膜と有機膜が一対以上交互に積層された薄膜積層体から形成されてもよく、封止基板、およびキャッピング層の上部と封止基板との間を満たす充填材を含んで形成されてもよい。
【００５３】
図３は、本発明の一実施例に係る有機発光表示装置に含まれる有機発光層を説明するための概略的な図面である。
【００５４】
図３は、有機発光表示装置に適用できる一般的な白色光を発光する有機発光素子を、本発明を説明するための一例として示すが、本発明はこれに制限されるものではなく、ＲＧＢそれぞれの色を発光する有機発光素子であってもよく、ＵＶを発光する有機発光素子であってもよい。
【００５５】
図３に示す有機発光素子は、画素電極１６１、有機発光層１６２および共通電極１６３を含み、有機発光層１６２は、第１発光部１０、第１電荷生成層（Ｃｈａｒｇｅ  Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ  Ｌａｙｅｒ；ＣＧＬ１）４０、第２発光部２０、第２電荷生成層（ＣＧＬ２）５０、および第３発光部３０を含む。
【００５６】
前記画素電極１６１はアノードとして定義し、前記共通電極１６３はカソードとして定義することができる。
【００５７】
前記第１発光部１０は、画素電極１６１上に配置され、青色光を発光する。このような第１発光部１０は、正孔注入層（ＨＩＬ）１４、第１正孔輸送層（ＨＴＬ１）１１、第１青色（Ｂ１）発光層（ＥＭＬ）１２、および第１電子輸送層（ＥＴＬ１）１３を含む。
【００５８】
前記画素電極１６１は、導電性が大きくて高い仕事関数を持つ透明導電性酸化物（Ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｏｘｉｄｅ；ＴＣＯ）から形成し、前記共通電極１６３は、相対的に低い仕事関数を持つ金属物質から形成することができる。一例に係る透明導電性酸化物（ＴＣＯ）は、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＩＧＺＯ、ＡＺＯ、ＳｎＯ２、またはＺｎＯなどであり得るが、これに限定されるものではない。
【００５９】
前記正孔注入層（ＨＩＬ）１４は、画素電極１６１上に配置され、ＭＴＤＡＴＡ（４，４’，４’’‐トリス（３‐メチルフェニルフェニルアミノ）トリフェニルアミン）、ＣｕＰｃ（銅フタロシアニン）、またはＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ（ポリ（３，４‐エチレンジオキシチフェン）ポリスチレンスルホネート）などから形成することができるが、必ずこれに限定されるものではない。かかる正孔注入層（ＨＩＬ）１４は、正孔輸送層（ＨＴＬ）１１を構成する物質にＰ型ドーパントがドープされた物質であり得る。
【００６０】
前記正孔輸送層（ＨＴＬ）１１は、正孔注入層（ＨＩＬ）１４上に配置され、ＴＰＤ（Ｎ，Ｎ’‐ジフェニル‐Ｎ，Ｎ’‐ビス（３‐メチルフェニル）‐１，１’‐ビフェニル‐４，４’‐ジアミン），ＮＰＤ（Ｎ，Ｎ’‐ジナフチル‐Ｎ，Ｎ’‐ジフェニルベンジジン），またはＮＰＢ（Ｎ，Ｎ’‐ジ（ナフタレン‐１‐イル）‐Ｎ，Ｎ’‐ジフェニル‐ベンジジン）などから形成することができるが、必ずこれに限定されるものではない。かかる正孔輸送層（ＨＴＬ）１１は、Ｐ型ドーパントが含まれていないことを除き、正孔注入層（ＨＩＬ）１４と同じ物質から形成することができる。この場合、同じ工程装備を利用する連続蒸着工程により、正孔注入層（ＨＩＬ）１４および正孔輸送層（ＨＴＬ）１１を形成することができる。
【００６１】
前記第１青色（Ｂ１）発光層（ＥＭＬ）１２は、正孔輸送層（ＨＴＬ）１１上に配置される。第１青色（Ｂ１）発光層（ＥＭＬ）１２は、例えば、ピークの波長範囲が４４０ｎｍ〜４８０ｎｍである青色光（Ｂ）を発光できる有機物層を含む。
【００６２】
前記電子輸送層（ＥＴＬ）１３は、第１青色（Ｂ１）発光層（ＥＭＬ）１２上に配置され、前記第１青色（Ｂ１）発光層（ＥＭＬ）１２へのスムーズな電子供給のため、電子移動度が優れた物質から形成することができる。例えば、電子輸送層（ＥＴＬ）１３は、カルバゾール、オキサジアゾール、トリアゾール、フェナントロリン、ベンゾキサゾール、ベンズチアゾール、またはベンズチアゾールにピリジン基、若しくはピリミジン基が化学結合された構造などから形成することができるが、必ずこれに限定されるものではない。
【００６３】
前記第１電荷生成層（ＣＧＬ１）４０は、第１発光部１０と第２発光部２０の間に配置され、第１発光部１０と第２発光部２０の間の電荷バランスを調節する。
【００６４】
前記第２発光部２０および前記第３発光部３０は、前記第１発光部１０と類似構造に積層することができ、第２発光層（ＥＭＬ）および第３発光層（ＥＭＬ）は、それぞれ黄緑色（ＹＧ）および青色（Ｂ２）の光を発光できる有機物質を含む。
【００６５】
以下、前記第２発光部２０および前記第３発光部３０に含まれ、第１発光部１０と類似の構成については省略して説明する。
【００６６】
このように、白色光を発光する有機発光素子は、様々な層が連続で配置された構造であり得るが、配置過程において、前述したように配置位置や配置量に対する精密な調整に問題が生じることがある。
【００６７】
図４ａは、本発明の一実施例に係るダミーパターンを説明するための図１のｉｉ‐ｉｉ´に沿った概略的な断面図である。
【００６８】
図４ａを参照し、本発明の一実施例に係るダミーパターンについて説明するが、他の図面を共に参照して説明すると、検査パターングループ（ＴＥＧ）は、少なくとも１つのダミーパターン１７０を含む。
【００６９】
ダミーパターン１７０は、第１電極１７１、ダミー層１７２および第２電極１７３を含む。第１電極１７１は、有機発光素子１６０を構成する画素電極１６１と実質的に同じ電極であり、第２電極１７３は、共通電極１６３と実質的に同じ電極である。ダミー層１７２は、有機発光素子１６０の有機発光層１６２と実質的に同じ構成であり、有機発光層１６２を構成する第１発光部１０、第２発光部２０および第３発光部３０のうち、いずれか１層から構成された有機発光層であり得る。
【００７０】
第１電極１７１および第２電極１７３は、ダミーパターン１７０に電流を印加するための回路部に接続することができる。或いは、製造過程で行われる自動検証装備（Ａｕｔｏ  ｐｒｏｂｅ）と連結するための検査パッドに接続され、該装備を用いた自動検証の際、電流が印加されるように構成することができる。
【００７１】
図４ａに示す構成において、第１電極１７１と第２電極１７３の間に絶縁層１７４をさらに含むことができ、前記絶縁層は、検証領域（ＴＰ）に開口部を有することができる。絶縁層１７４の開口部は、ダミー層１７２の形成に用いられたマスクと同一、もしくは類似のマスクを用いて形成することができる。前述した構成において、第１電極１７１と第２電極１７３に電子と正孔が印加される場合、実質的に配置過程に他の誤りがない限り、ダミー層１７２は、第１電極１７１との電気的な接続が最小化されたり、または電気的に接続しないように配置されるので、前述した構成が正常に配置されていれば発光しない。
【００７２】
図４ｂは、本発明の一実施例により検出できる有機発光層の配置エラーを説明するための概略的な断面図である。
【００７３】
続いて、有機発光層、または有機発光層に含まれた様々な構成のうち、いずれか１層が正常に配置されていない場合を、図面を参照して説明する。
【００７４】
有機発光素子１６０を配置するに当たり、ダミーパターン１７０は、前記有機発光素子１６０を配置する段階で同時に配置することができるが、このとき、有機発光素子１６０の有機発光層１６２が意図しなかったところに配置されたり、または配置量に変化が生じたりした場合、ダミーパターン１７０に含まれたダミー層１７２の配置位置や配置量にも同様のエラーが生じることになる。
【００７５】
図４ｂに示すように、ダミーパターン１７０に含まれたダミー層１７２は、検証領域（ＴＰ）に配置されるようにしたが、有機発光層を配置するときに用いるマスクが歪んだり、インクジェットプリンター装備の整列がずれていたりした場合、第１エラー（Ｅ１）のようなエラーが発生し得る。これは有機発光素子の色のぼやけを意味し、ダミーパターン１７０に電流を印加すると、第１エラー（Ｅ１）は発光する。
【００７６】
前述したように、ダミーパターン１７０を含む有機発光表示装置は、有機発光素子１６０を配置する段階のエラーを、ダミーパターン１７０の発光有無および発光輝度の増加を通じて、より容易に検出することができる。
【００７７】
図５ａおよび図５ｂは、本発明の他の実施例に係るダミーパターンの様々な構成を説明するための概略的な断面図である。
【００７８】
図５ａを参照すると、ダミーパターン１７０を構成する第１電極１７１と第２電極１７３は、バンク層１４０によって絶縁され、検証領域（ＴＰ）で電気的に接続される。
【００７９】
第１電極１７１は延長して、検査のための検査パッド部に接続することができ、それにより、検査回路と電気的に接続することができる。
【００８０】
第１電極１７１を開口するバンク層１４０は、有機発光素子とそのサイズおよび形が同じであってもよい。ダミー層１７２は、前記バンク層１４０上に、検証領域（ＴＰ）と重ならないように配置することができる。すなわち、第１電極１７１とダミー層１７２は、互いに重ならないように配置される。ここで、バンク層１４０と第２電極１７３の間には絶縁層１７４を配置することができ、絶縁層１７４は、検証領域（ＴＰ）に開口部を有することができる。絶縁層１７４の開口部は、ダミー層１７２の形成に用いられたマスクと同一、もしくは類似のマスクを用いて形成することができる。したがって、ダミー層１７２は、絶縁層１７４の開口部内に形成され得る。その結果、正常に整列されたダミー層１７２と第１電極１７１とは、平面的に互いに離隔し、平面的に互いに重ならないように配置される。
【００８１】
このとき、ダミー層１７２は、有機発光層を配置する段階で同時に配置することができるが、有機発光層の配置段階においてエラーが発生し、配置位置や配置量が異なった場合は、ダミー層１７２においても同じエラーが発生することになり、検証領域（ＴＰ）で発光するので、該エラーを検出することができる。これについては、次の図面を用いて詳細に説明する。
【００８２】
図５ｃは、図５ａおよび図５ｂに示した本発明の一実施例により検出できる有機発光層の配置エラーを説明するための概略的な断面図である。
【００８３】
図５ｃを参照し、有機発光層の配置エラーについて説明すると、ダミー層１７２は、前述したように検証領域（ＴＰ）と重ならないように配置されるので、第１電極１７１と電気的に接続されない。しかしながら、有機発光層を配置する過程において有機発光層の配置位置にエラーが発生した場合、ダミー層１７２にも同じエラーが発生するため、第１電極１７１と重なることになり、第１電極１７１および第２電極１７３と電気的に接続される。
【００８４】
第１電極１７１および第２電極１７３を通じて電子と正孔が注入されると、有機発光層が発光するのと同様に、電子と正孔がダミー層１７２の発光層で結合し、その結果、ダミー層１７２が発光して第３エラー（Ｅ３）を検出することができる。
【００８５】
このように、有機発光素子と同じ段階で配置されるダミーパターン１７０は、有機発光素子に含まれる有機発光層の配置エラーを容易に検出できる構成を有する。
【００８６】
図６ａおよび図６ｂは、ダミーパターンを活用し、有機発光層の配置エラーの方向を検出できる構成に対する概略的な図面である。
【００８７】
前述の方法を利用した有機発光層の配置過程におけるＦＭＭを用いたマスクの整列問題、またはインクジェットプリント法を利用する段階の整列問題、および配置量の精密度を測定するための方法を、図６を例に挙げて説明すると、次のようになる。
【００８８】
複数のダミーパターン１７０が配置される。複数のダミーパターン１７０は、それぞれ赤色・緑色・青色を発光する有機発光層を含むことができ、これらを全て含む有機発光素子をさらに含むことができる。
【００８９】
複数のダミーパターン１７０のそれぞれにおいて、有機発光層（ＥＬ）と検証領域（ＴＰ）が重なった状態が特定の方向を示すよう、有機発光層（ＥＬ）および検証領域（ＴＰ）を配置すると、Ａラインに配置された検証領域（ＴＰ）が発光する場合をはじめ、Ｂライン、ＣラインおよびＤラインに含まれたダミーパターン１７０の発光有無を検出して、これらの発光の組み合わせにより、図６ｂに示すように、ＦＭＭまたはインクゼット装備の歪み方向を容易に検出することができる。
【００９０】
一例に、ＡラインおよびＢラインにおけるダミーパターン１７０の検証領域（ＴＰ）が発光する場合、装備の整列エラーは東方向となる。これを正すためには、有機発光層の配置段階で、西方向へ整列を細かく調整する必要がある。
【００９１】
同様に、ＤラインおよびＢラインにおけるダミーパターン１７０の検証領域（ＴＰ）が発光する場合、装備の整列エラーは南方向となる。これを正すためには、有機発光層の配置段階で、北方向へ整列を細かく調整する必要がある。また、ＣラインおよびＤラインにおけるダミーパターン１７０の検証領域（ＴＰ）が発光する場合、装備の整列エラーは西方向となり、これを正すためには、有機発光層の配置段階で、東方向へ整列を細かく調整する必要があって、ＣラインおよびＡラインにおけるダミーパターン１７０の検証領域（ＴＰ）が発光する場合、装備の整列エラーは北方向となり、これを正すためには、有機発光層の配置段階で、南方向へ整列を細かく調整する必要がある。
【００９２】
図７は、本発明の一実施例に係るダミーパターンの様々な活用について説明するための概略的な図面である。
【００９３】
前述した構成において複数のダミーパターン１７０を配置し、エラーの方向を検出する方法およびその構造について説明したが、図７に示す構成を用いると、有機発光層の配置量の精密度を測定することができ、また、配置位置の精密度を測定することができる。
【００９４】
図７を例に挙げて説明すると、複数のダミーパターン１７０は、図６ａに示すように配置されるが、ＥＬの量を互いに異なるようにすると、有機発光層の配置段階において配置具合にエラーが発生した場合、複数のダミーパターン１７０の配置度合いの多少により、発光するダミーパターン１７０の数が互いに異なることになる。これがさらに精密になるよう複数のダミーパターン１７０を配置すると、さらなる精密なコントロールが可能となり得る。
【００９５】
一方、図５ａおよび図５ｂのような構成のダミーパターン１７０を複数配置するが、図７の下段部に示すように、互いに異なる距離（ｄ１、ｄ２）を有するように配置すると、有機発光層の配置段階で配置された位置の変化に対し、複数のダミーパターン１７０は発光数が異なることになる。これを応用すると、有機発光層の配置位置に対する正確な補正距離を測定することができるようになる。
【００９６】
前述した構成で、複数のダミーパターン１７０を配置してエラーの有無と共にその度合いを検出する構成について説明したが、単一のダミーパターン１７０を用いる構成においても、ダミーパターン１７０の輝度の変化を数値化し、エラーの有無と共にその度合いを検出する構成にすることも可能である。
【００９７】
図８は、本発明の一実施例に係る有機発光表示装置の製造方法を説明するための概略的なフローチャートである。
【００９８】
図８を参照すると、本発明の一実施例に係る有機発光表示装置の製造方法は、基板上に駆動素子、有機発光素子およびダミーパターンを配置する段階、有機発光素子の配置状態を検証する段階、有機発光素子のエラー度合いを判断する段階、および有機発光素子の工程誤差を製造過程に反映する段階を含み、有機発光素子の配置状態を検証する段階は、ダミーパターンの第１電極および第２電極に電流を印加する段階をさらに含む。
【００９９】
以下、本発明の一実施例に係る有機発光表示装置の製造方法を説明するが、以前の図面を共に参照して説明する。基板上に駆動素子を配置した後、平坦化層を配置して、有機発光素子を配置できるようにする。その後、有機発光素子を平坦化層上に配置するが、画素電極、有機発光層、および共通電極を順次配置する。これと共にダミーパターンを配置するが、ダミーパターンを構成する第１電極、ダミー層、および第２電極は、前記有機発光層を配置する段階で共に配置するようにする。
【０１００】
実質的に有機発光層とダミー層は、同じであってもよく、有機発光層を構成する複数の層のうち、発光可能な最小限の層でダミー層を構成してもよい。有機発光層が複数の発光層を含む場合、前記ダミー層は、前記有機発光層の複数の発光層のうち、少なくとも１つの発光層を含むことができ、有機発光層を配置する段階でダミー層を共に配置するようにする。
【０１０１】
ダミーパターンに含まれる第１電極および第２電極は延長し、検証のための検査パッドに接続することができ、前記検査パッドを介して電流が印加できるよう、前記ダミーパターンを配置する。
【０１０２】
その後、有機発光素子の配置状態を検証する段階を行う。前記有機発光素子の配置状態を検証する段階は、ダミーパターンの第１電極および第２電極に電流を印加し、ダミーパターンの発光有無を検査して前記有機発光素子の配置状態を点検するが、前述したダミーパターンは、複数のダミーパターンであってもよく、複数のダミーパターンの点灯有無、点灯数、点灯輝度の変化などを測定することで、前記有機発光素子の配置状態を検証することができる。
【０１０３】
次に、有機発光素子のエラー度合いを判断する段階を行うことができる。前述したように、複数配置されたダミーパターンの発光パターンを分析し、有機発光素子のエラーの度合いと配置ずれ、または配置に用いられたＦＭＭのようなマスクの状態を判断する。予め設定した所定の基準値を超えている場合、有機発光素子が不良と判断されるようにすることができる。
【０１０４】
その後、有機発光素子の工程誤差を製造過程に反映する段階を行うことができる。有機発光素子の配置過程において、整列がどの方向へ、どの程度ずれているかについて計算した値を製造過程に反映し、後続工程で製造される有機発光表示装置の信頼性をさらに向上させることができる。
【０１０５】
前述したように、電流を印加したときに発光するダミーパターンは、不良を意味する。
【０１０６】
これを光学測定センサーに連携させると、輝度の程度およびその面積により、工程におけるエラーの度合いなどの誤差の程度と、それを修正するための正確な方向や、正確な配置量について数値換算を行うことができ、その結果を、有機発光層の配置工程にリアルタイムで反映することができる。その結果、繰り返される工程において、誤差範囲の拡大によって正常な工程からずれた工程に対し、安定性を確報することができる。また、マスクを用いる工程において、生産ラインや工程を中止することなく、マスクの変形などをリアルタイムでモニタリングしたり、測定したりすることができる。
【０１０７】
前述した方法の他にも、ダミーパターンの様々な応用方法が可能である。従来は、直接手動で観察したり、または画素間の色ずれに対する色座標の変化などを測定したりする方法でエラーを検出することができたが、本発明の一実施例に係るダミーパターンを活用することで、エラーの有無、または工程における誤差の程度を自動で感知し、生産工程に直ちに反映することができるので、生産性を向上させると同時に、さらに精密な有機発光表示装置を提供することができるようになった。
【０１０８】
これは、有機発光層を構成する種々の層を配置するあらゆる段階に適用することができる。前述したダミーパターンの場合、後続のスクライビングなどの工程により、有機発光表示装置から取り除くことができるが、これは当業者の選択事項であると言える。
【０１０９】
以上、図面を参照し、本発明の実施例をさらに詳細に説明したが、本発明が必ずこのような実施例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想から逸脱しない範囲において、種々に変更して実施することができる。したがって、本発明に開示された実施例は、本発明の技術的思想を限定するためではなく、説明するためのものであって、かかる実施例により、本発明の技術的思想の範囲が限定されるものではない。そのため、以上で記述した実施例は、あらゆる面で例示的、かつ限定的ではないものとして理解されたい。また、本発明の保護範囲は、請求の範囲によって解釈されるべきであり、それと同等の範囲内のあらゆる技術的思想は、本発明の権利範囲に含まれるものとして解釈されなければならない。
【符号の説明】
【０１１０】
１００…有機発光表示装置、１１０…基板、１２０…平坦化層、１３０…駆動素子、１４０…バンク層、１５０…封止層、１６０…有機発光素子、１７０…ダミーパターン
【図１】
2020098770.tif 000003
【図２】
2020098770.tif 000004
【図３】
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【図４ａ】
2020098770.tif 000006
【図４ｂ】
2020098770.tif 000007
【図５ａ】
2020098770.tif 000008
【図５ｂ】
2020098770.tif 000009
【図５ｃ】
2020098770.tif 000010
【図６ａ】
2020098770.tif 000011
【図６ｂ】
2020098770.tif 000012
【図７】
2020098770.tif 000013
【図８】
2020098770.tif 000014