(57)【要約】      （修正有）【課題】電気特性が良好で信頼性の高い薄膜トランジスタ及び当該薄膜トランジスタをスイッチング素子として用いた表示装置を提供する。【解決手段】チャネル形成領域に酸化物半導体を用いたチャネル保護型の薄膜トランジスタ４７０であって、加熱処理により脱水化または脱水素化された酸化物半導体層４２３を活性層に用い、ゲート電極層４２１ａとゲート絶縁層４０２を介して重なり、且つ、酸化物絶縁層４２６ａと重なるチャネル形成領域の表層部には、ナノクリスタルで構成された結晶領域を有し、その他の部分は非晶質又は非晶質領域中に微結晶が点在した非晶質と微結晶の混合物で形成されている。この様な構成をした酸化物半導体層を用いることにより、表層部からの水分の再侵入や酸素の脱離によるＮ型化や寄生チャネル発生の抑制及びソース電極及びドレイン電極との接触抵抗を下げることができる。【選択図】図１
2020145447.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トランジスタと、容量素子と、画素電極と、絶縁層と、を有し、
前記トランジスタは、
ゲート電極層と、
前記ゲート電極層上にゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層上に第１の酸化物半導体層と、
前記第１の酸化物半導体層の一部と接する酸化物絶縁層と、
前記第１の酸化物半導体層の一部と接するソース電極層及びドレイン電極層と、
を有し、
前記ソース電極層又は前記ドレイン電極層の一方は、前記画素電極と電気的に接続され、
前記絶縁膜は、前記第１の酸化物半導体層上、前記ソース電極層上、前記ドレイン電極層上、前記酸化物絶縁層上に設けられ、
前記容量素子は、第２の酸化物半導体層を有し、
前記容量素子は、前記第２の酸化物半導体層と、前記画素電極とが重なる領域を有し、
前記第１の酸化物半導体層において、前記ソース電極層と前記酸化物絶縁層の間の領域、及び前記ドレイン電極層と前記酸化物絶縁層の間の領域は、前記ソース電極層と重なる領域、前記酸化物絶縁層と重なる領域、及び前記ドレイン電極層と重なる領域よりも薄い膜厚を有し、
前記酸化物半導体層は、ナノクリスタルを含む領域を有する表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
半導体装置、およびそれを用いた表示装置及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、絶縁表面を有する基板上に形成された半導体薄膜（厚さ数ｎｍ以上数百ｎｍ以下程
度）を用いて薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を構成する技術が注目されている。薄膜トラン
ジスタはＩＣや電気光学装置のような電子デバイスに広く応用され、特に画像表示装置の
スイッチング素子として開発が急がれている。金属酸化物は多様に存在しさまざまな用途
に用いられている。酸化インジウムはよく知られた材料であり、液晶ディスプレイなどで
必要とされる透明電極材料として用いられている。
【０００３】
金属酸化物の中には半導体特性を示すものがある。半導体特性を示す金属酸化物としては
、例えば、酸化タングステン、酸化スズ、酸化インジウム、酸化亜鉛などがあり、このよ
うな半導体特性を示す金属酸化物をチャネル形成領域とする薄膜トランジスタが既に知ら
れている（特許文献１及び特許文献２）。
【０００４】
また、酸化物半導体を適用したＴＦＴは、電界効果移動度が高い。そのため、当該ＴＦＴ
を用いて、表示装置などの駆動回路を構成することもできる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１２３８６１号公報
【特許文献２】特開２００７−９６０５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
絶縁表面上に複数の異なる回路を形成する場合、例えば、画素部と駆動回路を同一基板上
に形成する場合には、画素部に用いる薄膜トランジスタは、優れたスイッチング特性、例
えばオンオフ比が大きいことが要求され、駆動回路に用いる薄膜トランジスタには動作速
度が速いことが要求される。特に、表示装置の精細度が高精細であればあるほど、表示画
像の書き込み時間が短くなるため、駆動回路に用いる薄膜トランジスタは速い動作速度と
することが好ましい。
【０００７】
本発明の一態様は、電気特性が良好で信頼性の高い薄膜トランジスタ及び当該薄膜トラン
ジスタをスイッチング素子として用いた表示装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様の半導体装置は、基板上にゲート電極層と、ゲート電極層上にゲート絶縁
層と、ゲート絶縁層上に酸化物半導体層と、酸化物半導体層の一部と接する酸化物絶縁層
と、酸化物半導体層の一部と接するソース電極層及びドレイン電極層と、を有し、酸化物
半導体層において、ソース電極層と酸化物絶縁層の間の領域と、ドレイン電極層と酸化物
絶縁層の間の領域と、は、ソース電極層と重なる領域、酸化物絶縁層と重なる領域、及び
ドレイン電極層と重なる領域よりも薄い膜厚を有することを特徴とする。
【０００９】
また、酸化物絶縁層と接する酸化物半導体層の表層部は、結晶領域を有することを特徴と
する。
【００１０】
上記構成において、半導体装置に含まれるゲート電極層、ソース電極層及びドレイン電極
層は、アルミニウム、銅、モリブデン、チタン、クロム、タンタル、タングステン、ネオ
ジム、スカンジウムから選ばれた金属元素を主成分とする膜、若しくはそれらの合金膜を
組み合わせた積層膜を用いる。また、ソース電極層及びドレイン電極層は、上述した元素
を含む単層に限定されず、二層以上の積層を用いることができる。
【００１１】
また、酸化インジウム、酸化インジウム酸化スズ合金、酸化インジウム酸化亜鉛合金、酸
化亜鉛、酸化亜鉛アルミニウム、酸窒化亜鉛アルミニウム、または酸化亜鉛ガリウム等の
透光性を有する酸化物導電層をソース電極層、ドレイン電極層及びゲート電極層に用いる
ことで画素部の透光性を向上させ、開口率を高くすることもできる。
【００１２】
また、ソース電極層及びドレイン電極層を構成する上記金属元素を主成分とする膜と酸化
物半導体層のそれぞれの間に上記酸化物導電層を形成することで、接触抵抗を低減した高
速動作が可能な半導体装置を構成することもできる。
【００１３】
上記構成において、半導体装置は、酸化物半導体層を有し、該酸化物半導体層上に酸化物
絶縁層を有し、酸化物半導体層のチャネル形成領域上に接する酸化物絶縁層はチャネル保
護層として機能する。
【００１４】
また、上記構成において、半導体装置のチャネル保護層として機能する酸化物絶縁層はス
パッタ法によって形成される無機絶縁膜を用い、代表的には酸化珪素膜、窒化酸化珪素膜
、酸化アルミニウム膜、または酸化窒化アルミニウムなどを用いる。
【００１５】
なお、酸化物半導体層としては、ＩｎＭＯ３（ＺｎＯ）ｍ（ｍ＞０、且つ、ｍは整数でな
い）で表記される薄膜を形成し、その薄膜を酸化物半導体層として用いた薄膜トランジス
タを作製する。なお、Ｍは、Ｇａ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｍｎ及びＣｏから選ばれた一の金属元素
または複数の金属元素を示す。例えばＭとして、Ｇａの場合があることの他、ＧａとＮｉ
またはＧａとＦｅなど、Ｇａ以外の上記金属元素が含まれる場合がある。また、上記酸化
物半導体において、Ｍとして含まれる金属元素の他に、不純物元素としてＦｅ、Ｎｉその
他の遷移金属元素、または該遷移金属の酸化物が含まれているものがある。本明細書にお
いては、ＩｎＭＯ３（ＺｎＯ）ｍ（ｍ＞０、且つ、ｍは整数でない）で表記される構造の
酸化物半導体層のうち、ＭとしてＧａを含む構造の酸化物半導体をＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ
系酸化物半導体とよび、その薄膜をＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系膜とも呼ぶ。
【００１６】
また、酸化物半導体層に適用する金属酸化物として上記の他にも、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｏ系、Ｉ
ｎ−Ｓｎ−Ｚｎ−Ｏ系、Ｉｎ−Ａｌ−Ｚｎ−Ｏ系、Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系、Ａｌ−Ｇａ
−Ｚｎ−Ｏ系、Ｓｎ−Ａｌ−Ｚｎ−Ｏ系、Ｉｎ−Ｚｎ−Ｏ系、Ｓｎ−Ｚｎ−Ｏ系、Ａｌ−
Ｚｎ−Ｏ系、Ｉｎ−Ｏ系、Ｓｎ−Ｏ系、またはＺｎ−Ｏ系の金属酸化物を適用することが
できる。また上記金属酸化物からなる酸化物半導体層に酸化珪素を含ませてもよい。
【００１７】
また、酸化物半導体層には、ＲＴＡ法等で高温短時間の脱水または脱水素化処理をしたも
のを用いる。ＲＴＡ法等による加熱工程により、酸化物半導体層の表層部は粒子サイズが
１ｎｍ以上２０ｎｍ以下の所謂ナノクリスタルで構成された結晶領域を有するようになり
、その他の部分は非晶質、または、非晶質領域中に微結晶が点在した非晶質と微結晶の混
合物となる。
【００１８】
この様な構成をした酸化物半導体層を用いることにより、表層部からの水分の再侵入や酸
素の脱離によるＮ型化による電気特性の劣化を防止することができる。また、酸化物半導
体層の表層部は、バックチャネル側であり、ナノクリスタルで構成された結晶領域を有す
ることで寄生チャネルの発生を抑えることができる。
【００１９】
また、脱水または脱水素化後に酸化物半導体層を島状に形成する場合は、側面部には結晶
領域は形成されず、側面部を除く表層部のみに結晶領域が形成されるが、側面部の面積比
率は小さく、上記効果を妨げることはない。
【００２０】
また、本発明の一態様である薄膜トランジスタを用いて、駆動回路部及び画素部を同一基
板上に形成し、ＥＬ素子、液晶素子または電気泳動素子などを用いて表示装置を作製する
ことができる。
【００２１】
本発明の一態様である表示装置においては、画素部に複数の薄膜トランジスタを有し、画
素部においてもある薄膜トランジスタのゲート電極と他の薄膜トランジスタのソース配線
、或いはドレイン配線を接続させる箇所を有している。また、本発明の一態様である表示
装置の駆動回路においては、薄膜トランジスタのゲート電極とその薄膜トランジスタのソ
ース配線、或いはドレイン配線を接続させる箇所を有している。
【００２２】
また、薄膜トランジスタは静電気などにより破壊されやすいため、ゲート線またはソース
線に対して、画素部の薄膜トランジスタの保護用の保護回路を同一基板上に設けることが
好ましい。保護回路は、酸化物半導体層を用いた非線形素子を用いて構成することが好ま
しい。
【００２３】
なお、第１、第２として付される序数詞は便宜上用いるものであり、工程順又は積層順を
示すものではない。また、本明細書において発明を特定するための事項として固有の名称
を示すものではない。
【００２４】
なお、本明細書中において半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能しうる装置
全般を指し、電気光学装置、半導体回路および電子機器は全て半導体装置である。
【発明の効果】
【００２５】
酸化物半導体層を用いた薄膜トランジスタにおいて、該酸化物半導体層のチャネル形成領
域の表層部に結晶領域を有する構成とすることによって、電気特性が良好で信頼性の高い
薄膜トランジスタ及び表示装置を作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一態様を説明する断面図。
【図２】本発明の一態様を説明する断面工程図。
【図３】本発明の一態様を説明する上面図。
【図４】本発明の一態様を説明する断面図及び上面図。
【図５】本発明の一態様を説明する断面図及び上面図。
【図６】本発明の一態様を説明する断面工程図。
【図７】半導体装置のブロック図を説明する図。
【図８】信号線駆動回路の回路図およびタイミングチャート。
【図９】シフトレジスタの構成を示す回路図。
【図１０】シフトレジスタの動作を説明する回路図及びタイミングチャート。
【図１１】本発明の一態様を説明する平面図及び断面図。
【図１２】本発明の一態様を説明する断面図。
【図１３】本発明の一態様を説明する断面図。
【図１４】半導体装置の画素等価回路を説明する図。
【図１５】本発明の一態様を説明する断面図。
【図１６】本発明の一態様を説明する平面図及び断面図。
【図１７】電子ペーパーの使用形態の例を説明する図。
【図１８】電子書籍の一例を示す外観図。
【図１９】テレビジョン装置およびデジタルフォトフレームの例を示す外観図。
【図２０】遊技機の例を示す外観図。
【図２１】携帯電話機の一例を示す外観図。
【図２２】本発明の一態様を説明する断面図。
【図２３】酸化物半導体の結晶構造の一例を説明する図。
【図２４】科学計算の概要を説明する図。
【図２５】科学計算の概要を説明する図。
【図２６】科学計算の結果を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定さ
れず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し
得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の
記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に説明する発明の構成において
、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、
その繰り返しの説明は省略する。
【００２８】
（実施の形態１）
本実施の形態では、薄膜トランジスタの構造について、図１を用いて説明する。
【００２９】
本実施の形態のチャネル保護型の薄膜トランジスタを図１に示す。
【００３０】
図１に示す薄膜トランジスタ４７０は、絶縁表面を有する基板４００上にゲート電極層４
２１ａ、ゲート絶縁層４０２、チャネル形成領域を含む酸化物半導体層４２３、ソース電
極層４２５ａ、ドレイン電極層４２５ｂ、及びチャネル保護層として機能する酸化物絶縁
層４２６ａが設けられている。
【００３１】
ゲート電極層４２１ａは、アルミニウム、銅、モリブデン、チタン、クロム、タンタル、
タングステン、ネオジム、スカンジウムなどの金属材料、またはこれらの金属材料を主成
分とする合金材料、またはこれらの金属材料を成分とする窒化物を用いて、単層又は積層
で形成することができる。好ましくはアルミニウムや銅などの低抵抗金属材料での形成が
有効であるが、耐熱性や腐食性の問題から高融点金属材料と組み合わせて用いると良い。
高融点金属材料としては、モリブデン、チタン、クロム、タンタル、タングステン、ネオ
ジム、スカンジウム等を用いることができる。
【００３２】
また、画素部の開口率を向上させることを目的として、ゲート電極層４２１ａに酸化イン
ジウム、酸化インジウム酸化スズ合金、酸化インジウム酸化亜鉛合金、酸化亜鉛、酸化亜
鉛アルミニウム、酸窒化亜鉛アルミニウム、または酸化亜鉛ガリウム等の透光性を有する
酸化物導電層を用いることもできる。
【００３３】
ゲート絶縁層４０２はＣＶＤ法やスパッタ法などで形成する酸化シリコン、酸化窒化シリ
コン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、酸化タンタルなどの単層膜
または積層膜を用いることができる。
【００３４】
酸化物半導体層４２３は、Ｉｎ、Ｇａ、及びＺｎを含むＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系膜を用い
、ＩｎＭＯ３（ＺｎＯ）ｍ（ｍ＞０）で表記される構造とする。なお、Ｍは、ガリウム（
Ｇａ）、鉄（Ｆｅ）、ニッケル（Ｎｉ）、マンガン（Ｍｎ）及びコバルト（Ｃｏ）から選
ばれた一の金属元素又は複数の金属元素を示す。例えばＭとして、Ｇａの場合があること
の他、ＧａとＮｉ又はＧａとＦｅなど、Ｇａ以外の上記金属元素が含まれる場合がある。
また、上記酸化物半導体において、Ｍとして含まれる金属元素の他に、不純物元素として
Ｆｅ、Ｎｉその他の遷移金属元素、又は該遷移金属の酸化物が含まれているものがある。
【００３５】
酸化物半導体層４２３はスパッタ法を用いて形成する。膜厚は、１０ｎｍ以上３００ｎｍ
以下とし、好ましくは２０ｎｍ以上１００ｎｍ以下とする。但し、図１に示すように、酸
化物半導体層４２３は、ソース電極層４２５ａと酸化物絶縁層４２６ａの間の第３領域４
２４ｃと、ドレイン電極層４２５ｂと酸化物絶縁層４２６ａの間の第４領域４２４ｄとが
、ソース電極層４２５ａと重なる第１領域４２４ａ、酸化物絶縁層４２６ａと重なる第５
領域４２４ｅ、及びドレイン電極層４２５ｂと重なる第２領域４２４ｂよりも薄い膜厚を
有している。
【００３６】
酸化物半導体層４２３は、ＲＴＡ（Ｒａｐｉｄ  Ｔｈｅｒｍａｌ  Ａｎｎｅａｌ）法等で
高温短時間の脱水化または脱水素化処理をしたものを用いる。脱水化または脱水素化処理
は、高温の窒素、または希ガス等の不活性ガスや光を用いて５００℃以上７５０℃以下（
若しくはガラス基板の歪点以下の温度）で１分間以上１０分間以下程度、好ましくは６５
０℃、３分間以上６分間以下程度のＲＴＡ処理で行うことができる。ＲＴＡ法を用いれば
、短時間に脱水化または脱水素化が行えるため、ガラス基板の歪点を超える温度でも処理
することができる。
【００３７】
酸化物半導体層４２３は、成膜された段階では多くの未結合手を有する非晶質であるが、
上記脱水化または脱水素化処理の加熱工程を行うことで、近距離にある未結合手同士が結
合し合い、秩序化された非晶質構造とすることができる。また、秩序化が発展すると、非
晶質領域中に微結晶が点在した非晶質と微結晶の混合物、または全体が非晶質で形成され
るようになる。ここで、微結晶の粒子サイズは１ｎｍ以上２０ｎｍ以下の所謂ナノクリス
タルであり、一般的にマイクロクリスタルと呼ばれる微結晶粒子よりも小さいサイズであ
る。
【００３８】
また、酸化物絶縁層４２６ａと重なる、酸化物半導体層４２３の第５領域４２４ｅでは、
酸化物半導体層４２３の表層部は、結晶領域となり、層表面に対し垂直方向にｃ軸配向を
したナノクリスタルが形成されることが好ましく、この場合、ｃ軸方向に長軸を有し、短
軸方向は１ｎｍ以上２０ｎｍ以下となる。
【００３９】
この様な構成をした酸化物半導体層を用いることにより、チャネル形成領域の表層部はナ
ノクリスタルで構成された緻密な結晶領域が存在するため、表層部からの水分の再侵入や
酸素の脱離によるＮ型化による電気特性の劣化を防止することができる。また、チャネル
形成領域において酸化物半導体層の表層部は、バックチャネル側であり、Ｎ型化の防止は
寄生チャネルの抑制にも効果がある。
【００４０】
ここで、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系膜は、用いる金属酸化物ターゲットによって、成長しや
すい結晶構造が異なる。例えば、モル数比がＩｎ２Ｏ３：Ｇａ２Ｏ３：ＺｎＯ＝１：１：
０．５となるＩｎ、Ｇａ、及びＺｎを含む金属酸化物ターゲットを用いてＩｎ−Ｇａ−Ｚ
ｎ−Ｏ系膜を成膜し、加熱工程を経て結晶化させた場合、Ｉｎ酸化物層の間にはＧａとＺ
ｎを含む１層または２層の酸化物層が混在する六方晶系層状化合物型の結晶構造となりや
すい。このとき、結晶領域の結晶構造は、Ｉｎ２Ｇａ２ＺｎＯ７で表される構造（図２３
参照）をとりやすい。また、酸化物半導体層中の非晶質又は非晶質と微結晶とが混在して
いる領域の構造のモル数比は、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：０．５となりやすい。また、
モル数比がＩｎ２Ｏ３：Ｇａ２Ｏ３：ＺｎＯ＝１：１：１となる金属酸化物ターゲットを
用いて成膜し、加熱工程を経て結晶化させた場合は、Ｉｎ酸化物層の間のＧａとＺｎを含
む酸化物層は２層となりやすい。安定な結晶構造は後者のＧａとＺｎを含む酸化物層が２
層のものであり、結晶成長も起こりやすく、モル数比がＩｎ２Ｏ３：Ｇａ２Ｏ３：ＺｎＯ
＝１：１：１のターゲットを用いて成膜し、加熱工程を経て結晶化させた場合は、表層か
らゲート絶縁層界面までつながった結晶が形成されることがある。なお、モル数比は原子
数比と言い換えても良い。
【００４１】
本実施の形態においては、ソース電極層４２５ａ及びドレイン電極層４２５ｂは、第１の
導電層、第２の導電層、および第３の導電層からなる３層構造とする。これらの材料とし
ては、前述したゲート電極層４２１ａと同様の材料を適宜用いることができる。
【００４２】
また、ゲート電極層４２１ａと同様に前述の透光性を有する酸化物導電層をソース電極層
４２５ａ及びドレイン電極層４２５ｂに用いることで画素部の透光性を向上させ、開口率
を高くすることもできる。
【００４３】
また、ソース電極層４２５ａ及びドレイン電極層４２５ｂとなる前述の金属材料を主成分
とする膜と酸化物半導体層４２３のそれぞれの間に前述の酸化物導電層を形成し、接触抵
抗を低減させることもできる。
【００４４】
酸化物半導体層４２３上には、酸化物半導体層４２３の一部と接して、チャネル保護層と
して機能する酸化物絶縁層４２６ａを有する。酸化物絶縁層にはスパッタ法を用いる無機
絶縁膜を用い、代表的には酸化珪素膜、窒化酸化珪素膜、酸化アルミニウム膜、または酸
化窒化アルミニウムなどを用いる。
【００４５】
また、図１ではチャネル保護層として機能する酸化物絶縁層４２６ａと、ゲート電極層と
がゲート絶縁層４０２を介して重なる酸化物半導体層の第５領域４２４ｅをチャネル形成
領域と呼ぶこととする。なお、薄膜トランジスタのチャネル長Ｌは、ソース電極層とドレ
イン電極層との距離で定義されるが、チャネル保護型の薄膜トランジスタ４７０のチャネ
ル長Ｌは、キャリアの流れる方向と平行な方向の酸化物絶縁層４２６ａの幅と等しい。な
お、薄膜トランジスタ４７０のチャネル長Ｌは、酸化物半導体層４２３と酸化物絶縁層４
２６ａとの界面における長さ、即ち、図１に示す断面図において酸化物絶縁層４２６ａは
台形として示しており、その台形の底辺の長さである。
【００４６】
また、チャネル保護型の薄膜トランジスタにおいて、チャネル形成領域のチャネル長Ｌを
短くするために、酸化物絶縁層の幅を狭くして、該幅の狭い酸化物絶縁層上にソース電極
層及びドレイン電極層を設けた場合、ソース電極層とドレイン電極層とが酸化物絶縁層上
で短絡する恐れがある。この問題を解消するため、図１に示す薄膜トランジスタは、幅の
狭い酸化物絶縁層４２６ａから端部を離してソース電極層４２５ａ及びドレイン電極層４
２５ｂを設ける構成とする。チャネル保護型の薄膜トランジスタ４７０は、チャネル形成
領域のチャネル長Ｌを例えば、０．１μｍ以上２μｍ以下と短くするため酸化物絶縁層の
幅を狭くし、動作速度の速い薄膜トランジスタを実現することができる。
【００４７】
以下、図２及び図３を用いて、図１に示すチャネル保護型の薄膜トランジスタを含む表示
装置の作製工程の例を説明する。なお、図３は、表示装置の平面図であり、図２は、図３
のＡ１−Ａ２及びＢ１−Ｂ２における断面図を示す。
【００４８】
まず、基板４００を準備する。基板４００は、バリウムホウケイ酸ガラス、アルミノホウ
ケイ酸ガラス、若しくはアルミノシリケートガラスなど、フュージョン法やフロート法で
作製される無アルカリガラス基板、セラミック基板の他、本作製工程の処理温度に耐えう
る耐熱性を有するプラスチック基板等を用いることができる。また、ステンレス合金など
の金属基板の表面に絶縁膜を設けた基板を適用しても良い。
【００４９】
なお、上記のガラス基板に代えて、セラミック基板、石英基板、サファイア基板などの絶
縁体でなる基板を用いても良い。他にも、結晶化ガラス基板などを用いることができる。
【００５０】
また基板４００上に下地膜として絶縁膜を形成してもよい。下地膜としては、ＣＶＤ法や
スパッタ法等を用いて、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、または
窒化酸化シリコン膜を単層、又は積層で形成すればよい。基板４００としてガラス基板の
ような可動イオンを含有する基板を用いる場合、下地膜として窒化シリコン膜、窒化酸化
シリコン膜などの窒素を含有する膜を用いることで、可動イオンが酸化物半導体層や半導
体層に侵入することを防ぐことができる。
【００５１】
次に、ゲート電極層４２１ａを含むゲート配線、容量配線４２１ｂ、及び第１の端子４２
１ｃを形成するための導電膜をスパッタ法や真空蒸着法で基板４００全面に成膜する。次
いで、導電膜を基板４００全面に形成した後、第１のフォトリソグラフィ工程を行い、レ
ジストマスクを形成し、エッチングにより不要な部分を除去して配線及び電極（ゲート電
極層４２１ａを含むゲート配線、容量配線４２１ｂ、及び第１の端子４２１ｃ）を形成す
る。このとき段切れ防止のために、少なくともゲート電極層４２１ａの端部にテーパー形
状が形成されるようにエッチングするのが好ましい。
【００５２】
ゲート電極層４２１ａを含むゲート配線と容量配線４２１ｂ、端子部の第１の端子４２１
ｃは、アルミニウム、銅、モリブデン、チタン、クロム、タンタル、タングステン、ネオ
ジム、スカンジウムなどの金属材料、またはこれらの金属材料を主成分とする合金材料、
またはこれらの金属材料を成分とする窒化物を用いて、単層又は積層で形成することがで
きる。好ましくはアルミニウムや銅などの低抵抗金属材料での形成が有効であるが、耐熱
性や腐食性の問題から高融点金属材料と組み合わせて用いると良い。高融点金属材料とし
ては、モリブデン、チタン、クロム、タンタル、タングステン、ネオジム、スカンジウム
等を用いることができる。
【００５３】
例えば、ゲート電極層４２１ａの積層構造としては、アルミニウム上にモリブデンが積層
された二層の積層構造、または銅上にモリブデンを積層した二層構造、または銅上に窒化
チタン若しくは窒化タンタルを積層した二層構造、窒化チタンとモリブデンとを積層した
二層構造とすることが好ましい。３層の積層構造としては、アルミニウム、アルミニウム
とシリコンの合金、アルミニウムとチタンの合金またはアルミニウムとネオジムの合金を
中間層とし、タングステン、窒化タングステン、窒化チタンまたはチタンを上下層として
積層した構造とすることが好ましい。
【００５４】
このとき、一部の電極層や配線層に透光性を有する酸化物導電層を用いて開口率を向上さ
せることもできる。例えば、酸化物導電層には酸化インジウム、酸化インジウム酸化スズ
合金、酸化インジウム酸化亜鉛合金、酸化亜鉛、酸化亜鉛アルミニウム、酸窒化亜鉛アル
ミニウム、または酸化亜鉛ガリウム等を用いることができる。
【００５５】
次いで、ゲート電極層４２１ａを覆ってゲート絶縁層４０２を成膜する（図２（Ａ））。
ゲート絶縁層４０２はＣＶＤ法やスパッタ法などを用い、膜厚を１０ｎｍ以上４００ｎｍ
以下とする。
【００５６】
例えば、ゲート絶縁層４０２としてＣＶＤ法やスパッタ法により酸化シリコン膜を用い、
１００ｎｍの厚さで形成する。勿論、ゲート絶縁層４０２はこのような酸化シリコン膜に
限定されるものでなく、酸化窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸
化アルミニウム、酸化タンタル膜などの他の絶縁膜を用い、これらの材料から成る単層ま
たは積層構造として形成しても良い。
【００５７】
また、ゲート絶縁層４０２の形成は、高密度プラズマ装置により行う。ここでは、高密度
プラズマ装置は、１×１０１１／ｃｍ３以上のプラズマ密度を達成できる装置を指してい
る。例えば、３ｋＷ〜６ｋＷのマイクロ波電力を印加してプラズマを発生させて、絶縁膜
の成膜を行う。
【００５８】
チャンバーに材料ガスとしてモノシランガス（ＳｉＨ４）と亜酸化窒素（Ｎ２Ｏ）と希ガ
スを導入し、１０Ｐａ〜３０Ｐａの圧力下で高密度プラズマを発生させてガラス等の絶縁
表面を有する基板上に絶縁膜を形成する。その後、モノシランガスの供給を停止し、大気
に曝すことなく亜酸化窒素（Ｎ２Ｏ）と希ガスとを導入して絶縁膜表面にプラズマ処理を
行ってもよい。亜酸化窒素（Ｎ２Ｏ）と希ガスとを導入して絶縁膜表面に行われるプラズ
マ処理は、少なくとも絶縁膜の成膜より後に行う。上記プロセス順序を経た絶縁膜は、膜
厚が薄く、例えば１００ｎｍ未満であっても信頼性を確保することができる絶縁膜である
。
【００５９】
ゲート絶縁層４０２の形成の際、チャンバーに導入するモノシランガス（ＳｉＨ４）と亜
酸化窒素（Ｎ２Ｏ）との流量比は、１：１０から１：２００の範囲とする。また、チャン
バーに導入する希ガスとしては、ヘリウム、アルゴン、クリプトン、キセノンなどを用い
ることができるが、中でも安価であるアルゴンを用いることが好ましい。
【００６０】
また、高密度プラズマ装置により得られた絶縁膜は、一定した厚さの膜形成ができるため
段差被覆性に優れている。また、高密度プラズマ装置により得られる絶縁膜は、薄い膜の
厚みを精密に制御することができる。
【００６１】
上記プロセス順序を経た絶縁膜は、従来の平行平板型のＰＣＶＤ装置で得られる絶縁膜と
は大きく異なっており、同じエッチャントを用いてエッチング速度を比較した場合におい
て、平行平板型のＰＣＶＤ装置で得られる絶縁膜の１０％以上または２０％以上遅く、高
密度プラズマ装置で得られる絶縁膜は緻密な膜と言える。
【００６２】
また、ゲート絶縁層４０２として、有機シランガスを用いたＣＶＤ法により酸化シリコン
層を形成することも可能である。有機シランガスとしては、珪酸エチル（ＴＥＯＳ：化学
式Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）４）、テトラメチルシラン（ＴＭＳ：化学式Ｓｉ（ＣＨ３）４）、
テトラメチルシクロテトラシロキサン（ＴＭＣＴＳ）、オクタメチルシクロテトラシロキ
サン（ＯＭＣＴＳ）、ヘキサメチルジシラザン（ＨＭＤＳ）、トリエトキシシラン（Ｓｉ
Ｈ（ＯＣ２Ｈ５）３）、トリスジメチルアミノシラン（ＳｉＨ（Ｎ（ＣＨ３）２）３）等
のシリコン含有化合物を用いることができる。
【００６３】
また、ゲート絶縁層４０２として、アルミニウム、イットリウム、又はハフニウムの酸化
物、窒化物、酸化窒化物、又は窒化酸化物の一種又はそれらの化合物を少なくとも２種以
上含む化合物を用いることもできる。
【００６４】
なお、本明細書において、酸化窒化物とは、その組成として、窒素原子よりも酸素原子の
数が多い物質のことを指し、窒化酸化物とは、その組成として、酸素原子より窒素原子の
数が多い物質のことを指す。例えば、酸化窒化シリコン膜とは、その組成として、窒素原
子よりも酸素原子の数が多く、ラザフォード後方散乱法（ＲＢＳ：Ｒｕｔｈｅｒｆｏｒｄ
Ｂａｃｋｓｃａｔｔｅｒｉｎｇ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）及び水素前方散乱法（Ｈ
ＦＳ：Ｈｙｄｒｏｇｅｎ  Ｆｏｒｗａｒｄ  Ｓｃａｔｔｅｒｉｎｇ）を用いて測定した場
合に、濃度範囲として酸素が５０原子％以上７０原子％以下、窒素が０．５原子％以上１
５原子％以下、シリコンが２５原子％以上３５原子％以下、水素が０．１原子％以上１０
原子％以下の範囲で含まれるものをいう。また、窒化酸化シリコン膜とは、その組成とし
て、酸素原子より窒素原子の数が多く、ＲＢＳ及びＨＦＳを用いて測定した場合に、濃度
範囲として酸素が５原子％以上３０原子％以下、窒素が２０原子％以上５５原子％以下、
シリコンが２５原子％以上３５原子％以下、水素が１０原子％以上３０原子％以下の範囲
で含まれるものをいう。但し、酸化窒化シリコンまたは窒化酸化シリコンを構成する原子
の合計を１００原子％としたとき、窒素、酸素、シリコン及び水素の含有比率が上記の範
囲内に含まれるものとする。
【００６５】
なお、酸化物半導体層４２３を形成するための酸化物半導体膜を成膜する前に、アルゴン
ガスを導入してプラズマを発生させる逆スパッタを行い、ゲート絶縁層の表面に付着して
いるゴミを除去することが好ましい。逆スパッタとは、ターゲット側に電圧を印加せずに
、アルゴン雰囲気下で基板側にＲＦ電源を用いて電圧を印加して基板近傍にプラズマを形
成して表面を改質する方法である。なお、アルゴン雰囲気に代えて窒素、ヘリウムなどを
用いてもよい。また、アルゴン雰囲気に酸素、Ｎ２Ｏなどを加えた雰囲気で行ってもよい
。また、アルゴン雰囲気にＣｌ２、ＣＦ４などを加えた雰囲気で行ってもよい。逆スパッ
タ処理後、大気に曝すことなく酸化物半導体膜を成膜することによって、ゲート絶縁層４
０２と酸化物半導体層４２３の界面にパーティクル（ゴミ）や水分が付着するのを防ぐこ
とができる。
【００６６】
次いで、ゲート絶縁層４０２上に、膜厚５ｎｍ以上２００ｎｍ以下、好ましくは１０ｎｍ
以上４０ｎｍ以下の酸化物半導体膜を形成する。
【００６７】
酸化物半導体膜は、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系膜、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ−Ｏ系、Ｉｎ−Ａｌ−
Ｚｎ−Ｏ系、Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系、Ａｌ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系、Ｓｎ−Ａｌ−Ｚｎ−Ｏ
系、Ｉｎ−Ｚｎ−Ｏ系、Ｓｎ−Ｚｎ−Ｏ系、Ａｌ−Ｚｎ−Ｏ系、Ｉｎ−Ｏ系、Ｓｎ−Ｏ系
、またはＺｎ−Ｏ系の酸化物半導体膜を用いることができる。また、酸化物半導体膜は、
希ガス（代表的にはアルゴン）雰囲気下、酸素雰囲気下、又は希ガス（代表的にはアルゴ
ン）及び酸素混合雰囲気下においてスパッタ法により形成することができる。また、スパ
ッタ法を用いる場合、ＳｉＯ２を２重量％以上１０重量％以下含むターゲットを用いて成
膜を行い、酸化物半導体膜に結晶化を阻害するＳｉＯｘ（Ｘ＞０）を含ませても良い。
【００６８】
ここでは、Ｉｎ、Ｇａ、及びＺｎを含む金属酸化物ターゲット（モル数比がＩｎ２Ｏ３：
Ｇａ２Ｏ３：ＺｎＯ＝１：１：０．５、Ｉｎ：Ｇａ：ＺｎＯ＝１：１：１、または、Ｉｎ
：Ｇａ：ＺｎＯ＝１：１：２）を用いて、基板とターゲットの間との距離を１００ｍｍ、
圧力０．６Ｐａ、直流（ＤＣ）電源０．５ｋＷ、酸素（酸素流量比率１００％）雰囲気下
で成膜する。なお、パルス直流（ＤＣ）電源を用いると、成膜時に発生する粉状物質（パ
ーティクル、ゴミともいう）が軽減でき、膜厚分布も均一となるために好ましい。本実施
の形態では、酸化物半導体膜として、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系金属酸化物ターゲットを用
いてスパッタ法により膜厚３０ｎｍのＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系膜を成膜する。
【００６９】
スパッタ法にはスパッタ用電源に高周波電源を用いるＲＦスパッタ法、直流電源を用いる
ＤＣスパッタ法、さらにパルス的にバイアスを与えるパルスＤＣスパッタ法がある。ＲＦ
スパッタ法は主に絶縁膜を成膜する場合に用いられ、ＤＣスパッタ法は主に金属膜を成膜
する場合に用いられる。
【００７０】
また、材料の異なるターゲットを複数設置できる多元スパッタ装置もある。多元スパッタ
装置は、同一チャンバーで異なる材料膜を積層成膜することも、同一チャンバーで複数種
類の材料を同時に放電させて成膜することもできる。
【００７１】
また、チャンバー内部に磁石機構を備えたマグネトロンスパッタ法を用いるスパッタ装置
や、グロー放電を使わずマイクロ波を用いて発生させたプラズマを用いるＥＣＲスパッタ
法を用いるスパッタ装置がある。
【００７２】
また、スパッタ法を用いる成膜方法として、成膜中にターゲット物質とスパッタガス成分
とを化学反応させてそれらの化合物薄膜を形成するリアクティブスパッタ法や、成膜中に
基板にも電圧をかけるバイアススパッタ法もある。
【００７３】
次に、第２のフォトリソグラフィ工程を行い、レジストマスクを形成し、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚ
ｎ−Ｏ系膜をエッチングする。エッチングには、クエン酸やシュウ酸などの有機酸をエッ
チング液として用いることができる。ここでは、ＩＴＯ０７Ｎ（関東化学社製）を用いた
ウェットエッチングにより、不要な部分を除去してＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系膜を島状にし
、酸化物半導体層４２３を形成する。酸化物半導体層４２３の端部をテーパー状にエッチ
ングすることで、段差形状による配線の段切れを防ぐことができる。なお、ここでのエッ
チングは、ウェットエッチングに限定されずドライエッチングを用いてもよい。
【００７４】
次いで、酸化物半導体層の脱水化または脱水素化を行う。この脱水化または脱水素化を行
う第１の加熱処理は、高温の窒素、または希ガス等の不活性ガスや光を用いて５００℃以
上７５０℃以下（若しくはガラス基板の歪点以下の温度）で１分間以上１０分間以下程度
、好ましくは６５０℃、３分間以上６分間以下程度のＲＴＡ処理で行うことができる。Ｒ
ＴＡ法を用いれば、短時間に脱水化または脱水素化が行えるため、ガラス基板の歪点を超
える温度でも処理することができる。なお、加熱処理は、このタイミングに限らず、フォ
トリソグラフィ工程や成膜工程の前後などで複数回行っても良い。
【００７５】
ここで、酸化物半導体層４２３の表層部は第１の加熱処理によって結晶化し、ナノクリス
タルで構成された結晶領域１０６を有するようになる。また、酸化物半導体層４２３のそ
の他の領域は、非晶質、または非晶質領域中に微結晶が点在した非晶質と微結晶の混合物
となる。なお、結晶領域１０６は酸化物半導体層４２３の一部であり、以降、酸化物半導
体層４２３の表記には、結晶領域１０６は含まれるものとする。
【００７６】
なお、本明細書では、窒素、または希ガス等の不活性気体雰囲気下での加熱処理を脱水化
または脱水素化のための加熱処理と呼ぶ。本明細書では、この加熱処理によってＨ２Ｏま
たはＨ２として脱離させていることのみを脱水化または脱水素化と呼んでいるわけではな
く、Ｈ、ＯＨなどを脱離することを含めて脱水化または脱水素化と便宜上呼ぶこととする
。
【００７７】
酸化物半導体層に対して脱水化または脱水素化を行う加熱温度Ｔから温度を下げる際、脱
水化または脱水素化を行った同じ炉を用いて大気に触れさせないことで、水または水素を
再び混入させないことが重要である。脱水化または脱水素化を行い、酸化物半導体層を低
抵抗化、即ちＮ型化（Ｎ−、Ｎ＋など）させた後、高抵抗化させてＩ型とした酸化物半導
体層を用いて薄膜トランジスタを作製すると、薄膜トランジスタのしきい値電圧値をプラ
スとすることができ、所謂ノーマリーオフ特性のスイッチング素子を実現できる。薄膜ト
ランジスタのゲート電圧が０Ｖにできるだけ近い正のしきい値電圧でチャネルが形成され
ることが表示装置には望ましい。なお、薄膜トランジスタのしきい値電圧値がマイナスで
あると、ゲート電圧が０Ｖでもソース電極とドレイン電極の間に電流が流れる、所謂ノー
マリーオン特性となりやすい。アクティブマトリクス型の表示装置においては、回路を構
成する薄膜トランジスタの電気特性が重要であり、この電気特性が表示装置の性能を左右
する。特に、薄膜トランジスタの電気特性のうち、しきい値電圧（Ｖｔｈ）が重要である
。電界効果移動度が高くともしきい値電圧値が高い、或いはしきい値電圧値がマイナスで
あると、回路として制御することが困難である。しきい値電圧値が高く、しきい値電圧の
絶対値が大きい薄膜トランジスタの場合には、駆動電圧が低い状態ではＴＦＴとしてのス
イッチング機能を果たすことができず、負荷となる恐れがある。ｎチャネル型の薄膜トラ
ンジスタの場合、ゲート電圧として正の電圧を印加してはじめてチャネルが形成されて、
ドレイン電流が流れ出すトランジスタが望ましい。駆動電圧を高くしないとチャネルが形
成されないトランジスタや、負の電圧状態でもチャネルが形成されてドレイン電流が流れ
るトランジスタは、回路に用いる薄膜トランジスタとしては不向きである。
【００７８】
また、加熱温度Ｔから下げるガス雰囲気は、加熱温度Ｔまで昇温したガス雰囲気と異なる
ガス雰囲気に切り替えてもよい。例えば、脱水化または脱水素化を行った同じ炉で大気に
触れさせることなく、炉の中を高純度の酸素ガスまたはＮ２Ｏガス、超乾燥エア（露点が
−４０℃以下、好ましくは−６０℃以下）で満たして冷却を行う。
【００７９】
なお、第１の加熱処理においては、雰囲気中に、水、水素などが含まれないことが好まし
い。または、加熱処理装置に導入する不活性ガスの純度を、６Ｎ（９９．９９９９％）以
上、好ましくは７Ｎ（９９．９９９９９％）以上、（即ち不純物濃度を１ｐｐｍ以下、好
ましくは０．１ｐｐｍ以下）とすることが好ましい。
【００８０】
上記、不活性気体雰囲気下での加熱処理を行った場合、酸化物半導体層は加熱処理により
酸素欠乏型となって低抵抗化、即ちＮ型化（Ｎ−化など）する。その後、酸化物半導体層
に接する酸化物絶縁層の形成を行うことにより酸化物半導体層を酸素過剰な状態とするこ
とで高抵抗化、即ちＩ型化させているとも言える。これにより、電気特性が良好で信頼性
のよい薄膜トランジスタを作製することができる。
【００８１】
また、第１の加熱処理の条件、または酸化物半導体層の材料によっては、酸化物半導体層
の一部が結晶化することがある。第１の加熱処理後は、酸素欠乏型となって低抵抗化した
酸化物半導体層４２３となる。第１の加熱処理後は、成膜直後の酸化物半導体膜よりもキ
ャリア濃度が高まり、好ましくは１×１０１８／ｃｍ３以上のキャリア濃度を有するよう
になる。
【００８２】
また、酸化物半導体層の第１の加熱処理は、島状の酸化物半導体層に加工する前の酸化物
半導体膜に行うこともできる。その場合には、第１の加熱処理後に、加熱装置から基板を
取り出し、第２のフォトリソグラフィ工程を行う。この場合は、酸化物半導体層４２３の
側部には結晶領域は形成されず、側部を除く上層部のみに結晶領域１０６は形成される。
【００８３】
次いで、第３のフォトリソグラフィ工程を行い、レジストマスクを形成し、エッチングに
より不要な部分を除去してゲート電極層４２１ａと同じ材料の配線や電極層に達するコン
タクトホールを形成する（図２（Ｂ））。このコンタクトホールは後に形成する導電膜と
直接接続するために設ける。例えば、駆動回路部において、ゲート電極層とソース電極層
或いはドレイン電極層と直接接する薄膜トランジスタや、端子部のゲート配線と電気的に
接続する端子を形成する場合にコンタクトホールを形成する。
【００８４】
次いで、酸化物半導体層４２３及びゲート絶縁層４０２上に、スパッタ法で酸化物絶縁膜
を形成した後、第４のフォトリソグラフィ工程によりレジストマスクを形成し、選択的に
エッチングを行って酸化物絶縁層４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ、４２６ｄを形成し、そ
の後レジストマスクを除去する（図２（Ｃ））。この段階で、酸化物半導体層は、酸化物
絶縁層４２６ａと接する領域が形成され、この領域のうち、ゲート電極層とゲート絶縁層
を介して重なり、且つ酸化物絶縁層４２６ａと重なる領域がチャネル形成領域となる。ま
た、第４のフォトリソグラフィ工程により第１の端子４２１ｃに達するコンタクトホール
の形成も行う。
【００８５】
酸化物絶縁膜は、少なくとも１ｎｍ以上の膜厚とし、スパッタリング法など、酸化物絶縁
膜に水、水素等の不純物を混入させない方法を適宜用いて形成することができる。本実施
の形態では、酸化物絶縁膜として酸化珪素膜をスパッタリング法を用いて成膜する。成膜
時の基板温度は、室温以上３００℃以下とすればよく、本実施の形態では１００℃とする
。酸化珪素膜のスパッタリング法による成膜は、希ガス（代表的にはアルゴン）雰囲気下
、酸素雰囲気下、または希ガス（代表的にはアルゴン）及び酸素混合雰囲気下において行
うことができる。また、ターゲットとして酸化珪素ターゲットまたは珪素ターゲットを用
いることができる。例えば、珪素ターゲットを用いて、酸素、及び希ガス雰囲気下でスパ
ッタリング法により酸化珪素膜を形成することができる。低抵抗化した酸化物半導体層に
接して形成する酸化物絶縁膜は、水や、水素イオンや、ＯＨ−などの不純物を含まず、こ
れらが外部から侵入することをブロックする無機絶縁膜を用い、代表的には酸化珪素膜、
窒化酸化珪素膜、酸化アルミニウム膜、または酸化窒化アルミニウム膜などを用いる。
【００８６】
本実施の形態では、純度が６Ｎであり、柱状多結晶Ｂドープの珪素ターゲット（抵抗値０
．０１Ωｃｍ）を用い、基板とターゲットの間との距離（Ｔ−Ｓ間距離）を８９ｍｍ、圧
力０．４Ｐａ、直流（ＤＣ）電源６ｋＷ、酸素（酸素流量比率１００％）雰囲気下でパル
スＤＣスパッタ法により成膜する。膜厚は３００ｎｍとする。
【００８７】
次に、酸化物半導体層４２３上に金属材料からなる導電膜をスパッタ法や真空蒸着法で成
膜する。導電膜の材料としては、前述したゲート電極層４２１ａと同様の材料を用いるこ
とができる。
【００８８】
本実施の形態では、第１乃至第３の導電膜を積層させた導電膜を形成するものとする。例
えば、第１の導電膜及び第３の導電膜として耐熱性導電性材料であるチタンを用い、第２
の導電膜としてネオジムを含むアルミニウム合金を用いる。このような構成にすることで
、アルミニウムの低抵抗性を活かしつつ、ヒロックの発生を低減することができる。なお
、本実施の形態では第１乃至第３の導電膜からなる３層構造としたが、これに限られるこ
とはなく、単層構造としてもよいし、２層構造としてもよいし、４層以上の構造としても
よい。例えば、チタン膜の単層構造としてもよいし、シリコンを含むアルミニウム膜の単
層構造としてもよい。
【００８９】
なお、ナノクリスタルで構成された緻密な結晶領域１０６を表層部に有する酸化物半導体
層層上に接して導電膜を成膜する際に、成膜工程の熱や成膜による結晶領域へのダメージ
によって、酸化物半導体層の結晶領域１０６が非晶質化されることがある。しかしながら
、本実施の形態で示す薄膜トランジスタの作製方法においては、酸化物半導体層のチャネ
ル形成領域となる領域に接して、チャネル保護層として機能する酸化物絶縁層４２６ａが
設けられているため、導電膜を成膜した場合においても、酸化物半導体層の少なくともチ
ャネル形成領域（第５領域）においては、表層部に結晶領域１０６を有する構造とするこ
とができる。
【００９０】
次に、第５のフォトリソグラフィ工程を行い、レジストマスクを形成し、エッチングによ
り不要な部分を除去してソース電極層４２５ａ、ドレイン電極層４２５ｂ、及び接続電極
４２９を形成する。この際のエッチング方法としてウェットエッチングまたはドライエッ
チングを用いる。例えば、第１の導電膜及び第３の導電膜にチタンを、第２の導電膜にネ
オジムを含むアルミニウム合金を用いる場合には、過酸化水素水又は加熱塩酸をエッチャ
ントに用いてウェットエッチングすることができる。
【００９１】
このエッチング工程において、酸化物半導体層４２３の一部がエッチングされ、ソース電
極層４２５ａと酸化物絶縁層４２６ａの間の第３領域４２４ｃと、ドレイン電極層４２５
ｂと酸化物絶縁層４２６ａの間の第４領域４２４ｄとが、ソース電極層４２５ａと重なる
第１領域４２４ａ、酸化物絶縁層４２６ａと重なる第５領域４２４ｅ、及びドレイン電極
層４２５ｂと重なる第２領域４２４ｂよりも膜厚の薄い領域となる（図２（Ｄ））。なお
、酸化物半導体層４２３の第５領域４２４ｅは、酸化物絶縁層４２６ａによってエッチン
グされることなく保護されるため、少なくともチャネル形成領域の表層部にはナノクリス
タルで構成された緻密な結晶領域が存在する。チャネル形成領域において酸化物半導体層
の表層部は、バックチャネル側であり、この結晶領域によって、寄生チャネルを抑制する
ことができる。
【００９２】
また、この第５のフォトリソグラフィ工程において、接続電極４２９は、ゲート絶縁層に
形成されたコンタクトホールを介して端子部の第１の端子４２１ｃと直接接続される。な
お、ここでは図示しないが、上述した工程と同じ工程を経て駆動回路の薄膜トランジスタ
のソース配線あるいはドレイン配線とゲート電極が直接接続される。
【００９３】
次いで、薄膜トランジスタ４７０を覆う酸化物絶縁層４２８を形成する（図２（Ｅ））。
酸化物絶縁層４２８はスパッタ法などを用いて得られる酸化シリコン膜、酸化窒化シリコ
ン膜、酸化アルミニウム膜、酸化タンタル膜などの酸化物絶縁層を用いることができる。
【００９４】
酸化物絶縁層は、スパッタリング法など、酸化物絶縁層に水、水素等の不純物を混入させ
ない方法を適宜用いて形成することができる。本実施の形態では、酸化物絶縁層として酸
化珪素膜をスパッタリング法を用いて成膜する。成膜時の基板温度は、室温以上３００℃
以下とすればよく、本実施の形態では１００℃とする。ここで、成膜時に水、水素等の不
純物を混入させない方法として、成膜前に減圧下で１５０℃以上３５０℃以下の温度で２
分間以上１０分間以下のプリベークを行い、大気に触れることなく酸化物絶縁層を形成す
ることが望ましい。酸化珪素膜のスパッタリング法による成膜は、希ガス（代表的にはア
ルゴン）雰囲気下、酸素雰囲気下、または希ガス（代表的にはアルゴン）及び酸素混合雰
囲気下において行うことができる。また、ターゲットとして酸化珪素ターゲットまたは珪
素ターゲットを用いることができる。例えば、珪素ターゲットを用いて、酸素、及び希ガ
ス雰囲気下でスパッタリング法により酸化珪素膜を形成することができる。低抵抗化した
酸化物半導体層に接して形成する酸化物絶縁層は、水や、水素イオンや、ＯＨ−などの不
純物を含まず、これらが外部から侵入することをブロックする無機絶縁膜が好ましい。
【００９５】
本実施の形態では、純度が６Ｎであり、柱状多結晶Ｂドープの珪素ターゲット（抵抗値０
．０１Ωｃｍ）を用い、基板とターゲットの間との距離（Ｔ−Ｓ間距離）を８９ｍｍ、圧
力０．４Ｐａ、直流（ＤＣ）電源６ｋＷ、酸素（酸素流量比率１００％）雰囲気下でパル
スＤＣスパッタ法により成膜する。膜厚は３００ｎｍとする。
【００９６】
次いで、不活性ガス雰囲気下、または窒素ガス雰囲気下で第２の加熱処理（好ましくは２
００℃以上４００℃以下、例えば２５０℃以上３５０℃以下）を行う。例えば、窒素雰囲
気下で２５０℃、１時間の第２の加熱処理を行う。または、第１の加熱処理と同様に高温
短時間のＲＴＡ処理を行っても良い。第２の加熱処理を行うと、酸化物絶縁層と、該酸化
物絶縁層と重なる酸化物半導体層とが接した状態で加熱される。なお、第２の加熱処理を
行うと、第１の加熱処理で低抵抗化された酸化物半導体層４２３が酸素過剰な状態となり
、高抵抗化（Ｉ型化）することができる。
【００９７】
本実施の形態では、酸化珪素膜成膜後に第２の加熱処理を行ったが、加熱処理のタイミン
グは酸化珪素膜成膜以降であれば問題なく、酸化珪素膜成膜直後に限定されるものではな
い。
【００９８】
また、ソース電極層４２５ａ及びドレイン電極層４２５ｂに耐熱性のある材料を用いる場
合には、第２の加熱処理のタイミングで、第１の加熱処理条件を用いた工程を行うことが
できる。この場合、加熱処理は酸化珪素膜成膜後の１回のみとすることも可能である。
【００９９】
次に、第６のフォトリソグラフィ工程を行い、レジストマスクを形成し、酸化物絶縁層４
２８のエッチングによりドレイン電極層４２５ｂに達するコンタクトホールを形成する。
また、ここでのエッチングにより接続電極４２９に達するコンタクトホールも形成する。
【０１００】
次いで、レジストマスクを除去した後、透明導電膜を成膜する。透明導電膜の材料として
は、酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）や酸化インジウム酸化スズ合金（Ｉｎ２Ｏ３―ＳｎＯ
２、ＩＴＯと略記する）などをスパッタ法や真空蒸着法などを用いて形成する。このよう
な材料のエッチング処理は塩酸系の溶液により行う。ただし、特にＩＴＯのエッチングは
残渣が発生しやすいので、エッチング加工性を改善するために酸化インジウム酸化亜鉛合
金（Ｉｎ２Ｏ３―ＺｎＯ）を用いても良い。
【０１０１】
次に、第７のフォトリソグラフィ工程を行い、レジストマスクを形成し、エッチングによ
り不要な部分を除去して画素電極層１１０を形成する。
【０１０２】
また、この第７のフォトリソグラフィ工程において、容量部におけるゲート絶縁層４０２
酸化物絶縁層４２６ｂ及び酸化物絶縁層４２８を誘電体として、容量配線４２１ｂと画素
電極層１１０とで保持容量が形成される。
【０１０３】
また、この第７のフォトリソグラフィ工程において、第１の端子４２１ｃをレジストマス
クで覆い端子部に形成された透明導電膜１２８を残す。透明導電膜１２８はＦＰＣとの接
続に用いられる電極または配線となる。第１の端子４２１ｃと直接接続された接続電極４
２９上に形成された透明導電膜１２８は、ゲート配線の入力端子として機能する接続用の
端子電極となる。また、図示しないが、ソース配線の入力端子として機能する接続用の端
子電極も同時に形成される。
【０１０４】
また、図４（Ａ１）、図４（Ａ２）は、この段階でのゲート配線端子部の断面図及び平面
図をそれぞれ図示している。図４（Ａ１）は図４（Ａ２）中のＣ１−Ｃ２線に沿った断面
図に相当する。図４（Ａ１）において、酸化物絶縁層４２８上に形成される透明導電膜４
１５は、入力端子として機能する接続用の端子電極である。また、図４（Ａ１）において
、端子部では、ゲート配線と同じ材料で形成される第１の端子４１１と、ソース配線と同
じ材料で形成される接続電極４１２とがゲート絶縁層４０２を介して重なり直接接して導
通させている。また、接続電極４１２と透明導電膜４１５が酸化物絶縁層４２８に設けら
れたコンタクトホールを介して直接接して導通させている。
【０１０５】
また、図４（Ｂ１）、及び図４（Ｂ２）は、ソース配線端子部の断面図及び平面図をそれ
ぞれ図示している。また、図４（Ｂ１）は図４（Ｂ２）中のＣ３−Ｃ４線に沿った断面図
に相当する。図４（Ｂ１）において、酸化物絶縁層４２８上に形成される透明導電膜４１
８は、入力端子として機能する接続用の端子電極である。また、図４（Ｂ１）において、
端子部では、ゲート配線と同じ材料で形成される電極４１６が、ソース配線と電気的に接
続される第２の端子４１４の下方にゲート絶縁層４０２を介して重なる。電極４１６は第
２の端子４１４とは電気的に接続しておらず、電極４１６を第２の端子４１４と異なる電
位、例えばフローティング、ＧＮＤ、０Ｖなどに設定すれば、ノイズ対策のための容量ま
たは静電気対策のための容量を形成することができる。また、第２の端子４１４は、酸化
物絶縁層４２８を介して透明導電膜４１８と電気的に接続している。
【０１０６】
ゲート配線、ソース配線、及び容量配線は画素密度に応じて複数本設けられるものである
。また、端子部においては、ゲート配線と同電位の第１の端子、ソース配線と同電位の第
２の端子、容量配線と同電位の第３の端子などが複数並べられて配置される。それぞれの
端子の数は、それぞれ任意な数で設ければ良いものとし、実施者が適宜決定すれば良い。
【０１０７】
こうして７回のフォトリソグラフィ工程により、７枚のフォトマスクを使用して、チャネ
ル保護型の薄膜トランジスタ４７０及び保持容量部を完成させることができる。そして、
これらを個々の画素に対応してマトリクス状に配置し画素部を構成することにより、アク
ティブマトリクス型の表示装置を作製するための一方の基板とすることができる。本明細
書では便宜上このような基板をアクティブマトリクス基板と呼ぶ。
【０１０８】
アクティブマトリクス型の液晶表示装置を作製する場合には、アクティブマトリクス基板
と、対向電極が設けられた対向基板との間に液晶層を設け、アクティブマトリクス基板と
対向基板とを固定する。なお、対向基板に設けられた対向電極と電気的に接続する共通電
極をアクティブマトリクス基板上に設け、共通電極と電気的に接続する第４の端子を端子
部に設ける。この第４の端子は、共通電極を固定電位、例えばＧＮＤ、０Ｖなどに設定す
るための端子である。
【０１０９】
また、本実施の形態は、図３の画素構成に限定されない。例えば、容量配線を設けず、画
素電極を隣り合う画素のゲート配線と保護絶縁膜及びゲート絶縁層を介して重ねて保持容
量を形成してもよい。この場合、容量配線及び容量配線と接続する第３の端子は省略する
ことができる。
【０１１０】
また、図５に示すように、チャネル保護層として機能する酸化物絶縁層４５６ａ上に、ソ
ース電極層４２５ａ及びドレイン電極層４２５ｂが重なる構成としても良い。この場合、
ソース電極層４２５ａ及びドレイン電極層４２５ｂのパターニングの際に酸化物半導体層
がエッチングされないため、酸化物半導体層において膜厚の薄い領域が形成されない。す
なわち、それぞれ同じ膜厚を有する、ソース電極層４２５ａと重なる第１領域４２４ａと
、ドレイン電極層４２５ｂと重なる第２領域４２４ｂと、チャネル形成領域となる第５領
域４２４ｅと、を有する酸化物半導体層となる。
【０１１１】
また、図２２（Ａ）に示すように、酸化物半導体層の第５領域４２４ｅにおける、非晶質
または非晶質と微結晶の混合物である領域の膜厚が、第３領域４２４ｃ及び第４領域４２
４ｄの膜厚よりも厚い（すなわち、第５領域４２４ｅにおける結晶領域と、非晶質または
非晶質と微結晶の混合物である領域と、の界面が、第３領域４２４ｃ及び第４領域４２４
ｄの最表面よりも上方に存在する）構成を有する薄膜トランジスタ４９０としてもよい。
このような構成の薄膜トランジスタ４９０は、例えば、第１の加熱処理において、加熱温
度または加熱時間を調整することにより、酸化物半導体層の結晶領域を極浅く作製するこ
とで、得ることができる。図２２（Ａ）に示す薄膜トランジスタ４９０の構成とすること
で、オフ電流を低減することができる。
【０１１２】
なお、図２２（Ａ）に示すチャネル保護型の薄膜トランジスタ４９０のチャネル長Ｌは、
キャリアの流れる方向と平行な方向の酸化物絶縁層４２６ａの幅と等しい。また、図２２
（Ａ）に示す薄膜トランジスタ４９０において、酸化物半導体層の第３領域のチャネル長
方向の幅Ｌ３と、第４領域のチャネル長方向の幅Ｌ４とは、必ずしも同一ではないが、第
３領域のチャネル長方向の幅Ｌ３と第４領域のチャネル長方向の幅Ｌ４の合計の値は、一
定の値となる。
【０１１３】
また、図２２（Ｂ）に示すように、酸化物半導体層の第１領域乃至第５領域４２４ａ〜４
２４ｅにおいて、表層部に結晶領域を有する薄膜トランジスタ４３０としてもよい。図２
２（Ｂ）に示す薄膜トランジスタ４３０の構成とすることで、オン電流を増加させること
ができる。
【０１１４】
また、同一基板上に、薄膜トランジスタ４３０、４５０、４７０または４９０等の異なる
構成を有する薄膜トランジスタを形成しても良い。なお、画素部と駆動回路を同一基板上
に形成する場合には、画素部に用いる薄膜トランジスタは優れたスイッチング特性が要求
され、駆動回路に用いる薄膜トランジスタは動作速度が速いことが好ましい。例えば、図
２２（Ｃ）に示すように、駆動回路部には薄膜トランジスタ４３０を配置し、画素部には
薄膜トランジスタ４９０を配置してもよい。駆動回路部に配置された薄膜トランジスタ４
３０はオン電流を増加させることができるため、大きな電流駆動能力を要求する用途に適
しており、画素部に配置された薄膜トランジスタ４９０は、オフ電流を低減することがで
きるため、画素部のスイッチング素子として用いた場合、コントラストを向上させること
ができる。または、図２２（Ｄ）に示すように、駆動回路部に薄膜トランジスタ４５０を
配置し、画素部にオフ電流の低い薄膜トランジスタ４７０を配置してもよい。また、図示
しないが、駆動回路部に薄膜トランジスタ４３０を配置し、画素部には薄膜トランジスタ
４７０を配置しても良いし、駆動回路部に薄膜トランジスタ４５０を配置し、画素部には
薄膜トランジスタ４９０を配置しても良い。
【０１１５】
なお、本実施の形態で示す薄膜トランジスタ４３０、４５０、４７０及び４９０において
、ゲート絶縁層４０２と接する酸化物半導体層４２３の界面は、非晶質または非晶質と微
結晶の混合物であり、且つ、少なくとも酸化物絶縁層４２６ａと接する表層部は結晶領域
を有する。
【０１１６】
アクティブマトリクス型の液晶表示装置においては、マトリクス状に配置された画素電極
を駆動することによって、画面上に表示パターンが形成される。詳しくは選択された画素
電極と該画素電極に対応する対向電極との間に電圧が印加されることによって、画素電極
と対向電極との間に配置された液晶層の光学変調が行われ、この光学変調が表示パターン
として観察者に認識される。
【０１１７】
液晶表示装置の動画表示において、液晶分子自体の応答が遅いため、残像が生じる、また
は動画のぼけが生じるという問題がある。液晶表示装置の動画特性を改善するため、全面
黒表示を１フレームおきに行う、所謂、黒挿入と呼ばれる駆動技術がある。
【０１１８】
また、垂直同期周波数を通常の１．５倍好ましくは２倍以上にすることで応答速度を改善
するとともに各フレーム内の分割された複数フィールド毎に書き込む階調を選択する、所
謂、倍速駆動と呼ばれる駆動技術もある。
【０１１９】
また、液晶表示装置の動画特性を改善するため、バックライトとして複数のＬＥＤ（発光
ダイオード）光源または複数のＥＬ光源などを用いて面光源を構成し、面光源を構成して
いる各光源を独立して１フレーム期間内で間欠点灯駆動する駆動技術もある。面光源とし
て、３種類以上のＬＥＤを用いてもよいし、白色発光のＬＥＤを用いてもよい。独立して
複数のＬＥＤを制御できるため、液晶層の光学変調の切り替えタイミングに合わせてＬＥ
Ｄの発光タイミングを同期させることもできる。この駆動技術は、ＬＥＤを部分的に消灯
することができるため、特に一画面を占める黒い表示領域の割合が多い映像表示の場合に
は、消費電力の低減効果が図れる。
【０１２０】
これらの駆動技術を組み合わせることによって、液晶表示装置の動画特性などの表示特性
を従来よりも改善することができる。
【０１２１】
本実施の形態で得られるｎチャネル型のトランジスタは、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系膜をチ
ャネル形成領域に用いており、良好な動特性を有するため、これらの駆動技術を組み合わ
せることができる。
【０１２２】
また、発光表示装置を作製する場合、有機発光素子の一方の電極（カソードとも呼ぶ）は
、低電源電位、例えばＧＮＤ、０Ｖなどに設定するため、端子部に、カソードを低電源電
位、例えばＧＮＤ、０Ｖなどに設定するための第４の端子が設けられる。また、発光表示
装置を作製する場合には、ソース配線、及びゲート配線に加えて電源供給線を設ける。従
って、端子部には、電源供給線と電気的に接続する第５の端子を設ける。
【０１２３】
以上の工程により、電気特性が良好で信頼性の高い薄膜トランジスタ及び該薄膜トランジ
スタを用いた表示装置を提供することができる。
【０１２４】
本実施の形態で示す薄膜トランジスタは、酸化物半導体層を用いた薄膜トランジスタであ
って、該酸化物半導体層の少なくともチャネル形成領域の表層部は結晶領域を有し、その
他の部分は非晶質または非晶質と微結晶の混合物である構成とすることができ、寄生チャ
ネルの発生を抑制可能な薄膜トランジスタとすることができる。
【０１２５】
なお、本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示した構成を適宜組み合わせて用い
ることができることとする。
【０１２６】
（実施の形態２）
本実施の形態では、実施の形態１と異なる表示装置の作製工程の例を図６を用いて説明す
る。なお、本実施の形態において、実施の形態１と同一部分または同様な機能を有する部
分、及び工程は、実施の形態１と同様に行うことができ、繰り返しの説明は省略する。
【０１２７】
まず、絶縁表面を有する基板４００上に、ゲート電極層４２１ａを含むゲート配線、容量
配線４２１ｂ、及び第１の端子４２１ｃを形成するための導電膜をスパッタ法や真空蒸着
法で全面に成膜する。次いで、導電膜を基板４００全面に形成した後、第１のフォトリソ
グラフィ工程を行い、レジストマスクを形成し、エッチングにより不要な部分を除去して
配線及び電極（ゲート電極層４２１ａを含むゲート配線、容量配線４２１ｂ、及び第１の
端子４２１ｃ）を形成する。
【０１２８】
次いで、ゲート電極層４２１ａ、容量配線４２１ｂ、及び第１の端子４２１ｃ上にゲート
絶縁層４０２を形成し、ゲート絶縁層４０２上に、膜厚５ｎｍ以上２００ｎｍ以下、好ま
しくは１０ｎｍ以上４０ｎｍ以下の酸化物半導体膜１０３を形成する。なお、ここまでの
工程は実施の形態１と同様に行うことができる。
【０１２９】
次いで、酸化物半導体膜１０３上に、スパッタ法で酸化物絶縁膜１０５を形成した後、第
２のフォトリソグラフィ工程によりレジストマスクを形成し、選択的にエッチングを行っ
て第１の端子４２１ｃに達するコンタクトホールの形成を行う（図６（Ａ））。酸化物絶
縁膜１０５は、実施の形態１で示した酸化物絶縁層４２６ａとなる酸化物絶縁膜と同様に
成膜することが可能である。
【０１３０】
次いで、酸化物半導体膜１０３の脱水化または脱水素化を行う。この脱水化または脱水素
化を行う第１の加熱処理は、高温の窒素、または希ガス等の不活性ガスや光を用いて５０
０℃以上７５０℃以下（若しくはガラス基板の歪点以下の温度）で１分間以上１０分間以
下程度、好ましくは６５０℃、３分間以上６分間以下程度のＲＴＡ処理で行うことができ
る。ＲＴＡ処理を用いれば、短時間に脱水化または脱水素化が行えるため、ガラス基板の
歪点を超える温度でも処理することができる。なお、加熱処理は、このタイミングに限ら
ず、フォトリソグラフィ工程や成膜工程の前後などで複数回行っても良い。
【０１３１】
ここで、酸化物半導体膜１０３の表層部は第１の加熱処理によって結晶化し、ナノクリス
タルで構成された緻密な結晶領域１０６を有するようになる。また、酸化物半導体膜１０
３のその他の領域は、非晶質、または非晶質領域中に微結晶が点在した非晶質と微結晶の
混合物となる。なお、結晶領域１０６は酸化物半導体膜１０３の一部であり、以降、酸化
物半導体膜１０３の表記には、結晶領域１０６は含まれるものとする。
【０１３２】
酸化物半導体膜に対して脱水化または脱水素化を行う加熱温度Ｔから温度を下げる際、脱
水化または脱水素化を行った同じ炉を用いて大気に触れさせないことで、水または水素を
再び混入させないことが重要である。また、加熱温度Ｔから下げるガス雰囲気は、加熱温
度Ｔまで昇温したガス雰囲気と異なるガス雰囲気に切り替えてもよい。例えば、脱水化ま
たは脱水素化を行った同じ炉で大気に触れさせることなく、炉の中を高純度の酸素ガスま
たはＮ２Ｏガス、超乾燥エア（露点が−４０℃以下、好ましくは−６０℃以下）で満たし
て冷却を行う。
【０１３３】
なお、第１の加熱処理においては、雰囲気中に、水、水素などが含まれないことが好まし
い。または、加熱処理装置に導入する不活性ガスの純度を、６Ｎ（９９．９９９９％）以
上、好ましくは７Ｎ（９９．９９９９９％）以上、（即ち不純物濃度を１ｐｐｍ以下、好
ましくは０．１ｐｐｍ以下）とすることが好ましい。
【０１３４】
第１の加熱処理後は、酸素欠乏型となって低抵抗化した酸化物半導体膜１０３となる。第
１の加熱処理後は、成膜直後の酸化物半導体膜よりもキャリア濃度が高まり、好ましくは
１×１０１８／ｃｍ３以上のキャリア濃度を有するようになる。
【０１３５】
次いで、第３のフォトリソグラフィ工程によりレジストマスクを形成し、選択的にエッチ
ングを行って酸化物絶縁層４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ、４２６ｄを形成し、その後レ
ジストマスクを除去する（図６（Ｂ））。ここで、酸化物絶縁層４２６ａは、薄膜トラン
ジスタのチャネル保護層として機能する。また、酸化物半導体膜１０３において、酸化物
絶縁層４２６ａと重なる領域が後にチャネル形成領域となる領域である。
【０１３６】
次に、酸化物半導体膜１０３、及び酸化物絶縁層４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ、４２６
ｄ上に金属材料からなる導電膜をスパッタ法や真空蒸着法で成膜する。導電膜の材料とし
ては、ゲート電極層４２１ａと同様の材料を用いることができる。
【０１３７】
本実施の形態では、第１乃至第３の導電膜を積層させた導電膜を形成するものとする。例
えば、第１の導電膜及び第３の導電膜として耐熱性導電性材料であるチタンを用い、第２
の導電膜としてネオジムを含むアルミニウム合金を用いる。このような構成にすることで
、アルミニウムの低抵抗性を活かしつつ、ヒロックの発生を低減することができる。なお
、本実施の形態では第１乃至第３の導電膜からなる３層構造としたが、これに限られるこ
とはなく、単層構造としてもよいし、２層構造としてもよいし、４層以上の構造としても
よい。例えば、チタン膜の単層構造としてもよいし、シリコンを含むアルミニウム膜の単
層構造としてもよい。
【０１３８】
なお、ナノクリスタルで構成された緻密な結晶領域１０６を表層部に有する酸化物半導体
層層上に接して導電膜を成膜する際に、成膜時の熱や成膜による結晶領域へのダメージに
よって、酸化物半導体層の結晶領域１０６が非晶質化されることがある。しかしながら、
本実施の形態で示す薄膜トランジスタの作製方法においては、酸化物半導体層のチャネル
形成領域となる領域に接して、チャネル保護層として機能する酸化物絶縁層４２６ａが設
けられているため、導電膜を成膜した場合においても、酸化物半導体層の少なくともチャ
ネル形成領域においては、表層部に結晶領域１０６を有する構造とすることができる。
【０１３９】
次に、第４のフォトリソグラフィ工程を行い、レジストマスク４８０ａ及び４８０ｂを形
成し、エッチングにより不要な部分を除去して導電層４２５及び接続電極４２９を形成す
る（図６（Ｃ））。この際のエッチング方法としてウェットエッチングまたはドライエッ
チングを用いる。例えば、第１の導電膜及び第３の導電膜にチタンを、第２の導電膜にネ
オジムを含むアルミニウム合金を用いる場合には、過酸化水素水又は加熱塩酸をエッチャ
ントに用いてウェットエッチングすることができる。
【０１４０】
また、この第４のフォトリソグラフィ工程において、接続電極４２９は、ゲート絶縁層に
形成されたコンタクトホールを介して端子部の第１の端子４２１ｃと直接接続される。な
お、ここでは図示しないが、上述した工程と同じ工程を経て駆動回路の薄膜トランジスタ
のソース配線あるいはドレイン配線とゲート電極が直接接続される。
【０１４１】
本実施の形態におけるレジストマスク４８０ａは凹部又は凸部を有するレジストマスクで
ある。換言すると、厚さの異なる複数の領域（ここでは、２つの領域）からなるレジスト
マスクともいうことができる。レジストマスク４８０ａにおいて、厚い領域をレジストマ
スクの凸部と呼び、薄い領域をレジストマスクの凹部と呼ぶこととする。
【０１４２】
レジストマスク４８０ａにおいて、後にソース電極層及びドレイン電極層が形成される部
分には凸部が形成され、後の島状の酸化物半導体層の周縁部分には凹部が形成される。
【０１４３】
本実施の形態で示すレジストマスクは、多階調マスクを用いることで形成することができ
る。多階調マスクとは、多段階の光量で露光を行うことが可能なマスクであり、代表的に
は、露光領域、半露光領域及び未露光領域の３段階の光量で露光を行うものをいう。多階
調マスクを用いることで、一度の露光及び現像工程によって、複数（代表的には２種類）
の厚さを有するレジストマスクを形成することができる。そのため、多階調マスクを用い
ることで、フォトマスクの枚数を削減することができる。
【０１４４】
多階調マスクを用いて露光して現像を行うことで、厚さの異なる領域を有するレジストマ
スク４８０ａ及び４８０ｂを形成することができる。ただし、これに限定されず、多階調
マスクを用いることなくレジストマスクを形成してもよい。
【０１４５】
レジストマスク４８０ａ及び４８０ｂを用いて、導電層４２５及び接続電極４２９を形成
した後、レジストマスク４８０ａ及び４８０ｂを後退（縮小）させることで、レジストマ
スク４８２ａ、４８２ｂ及び４８２ｃを形成する。レジストマスクを後退（縮小）させる
には、酸素プラズマによるアッシング等を行えばよい。レジストマスクの後退（縮小）に
よって、レジストマスク４８０ａにおける凹部が消失してレジストマスク４８２ａ及びレ
ジストマスク４８２ｂへ分割される。また、レジストマスク４８２ａとレジストマスク４
８２ｂに挟まれた領域の電極層４２５が露出する（図示なし）。
【０１４６】
次いで、レジストマスク４８２ａ、４８２ｂ及び４８２ｃを用いて、露出した導電層４２
５及び接続電極４２９の一部と、をエッチングすることにより、ソース電極４２５ａ、ド
レイン電極４２５ｂ及び島状の酸化物半導体層４２３を形成する（図６（Ｄ））。
【０１４７】
このエッチング工程において、酸化物半導体膜１０３の一部がエッチングされ、ソース電
極層４２５ａと酸化物絶縁層４２６ａの間の第３領域４２４ｃと、ドレイン電極層４２５
ｂと酸化物絶縁層４２６ａの間の第４領域４２４ｄとが、ソース電極層４２５ａと重なる
第１領域４２４ａ、ドレイン電極層４２５ｂと重なる第２領域４２４ｂ及び酸化物絶縁層
４２６ａと重なる第５領域４２４ｅよりも膜厚の薄い領域となる。なお、酸化物半導体層
４２３の第５領域４２４ｅは、酸化物絶縁層４２６ａによって、エッチングされることな
く保護されるため、少なくともチャネル形成領域の表層部にはナノクリスタルで構成され
た緻密な結晶領域が存在する。チャネル形成領域において酸化物半導体層の表層部は、バ
ックチャネル側であり、この結晶領域によって、寄生チャネルを抑制することができる。
【０１４８】
なお、第１領域４２４ａと第２領域４２４ｂとは、チャネル形成領域である第５領域４２
４ｅと同じ膜厚を有している。
【０１４９】
次いで、薄膜トランジスタ４１０を覆う酸化物絶縁層４２８を形成する（図６（Ｅ））。
酸化物絶縁層４２８はスパッタ法などを用いて得られる酸化シリコン膜、酸化窒化シリコ
ン膜、酸化アルミニウム膜、酸化タンタル膜などの酸化物絶縁層を用いることができる。
【０１５０】
次いで、不活性ガス雰囲気下、または窒素ガス雰囲気下で第２の加熱処理（好ましくは２
００℃以上４００℃以下、例えば２５０℃以上３５０℃以下）を行う。例えば、窒素雰囲
気下で２５０℃、１時間の第２の加熱処理を行う。または、第１の加熱処理と同様に高温
短時間のＲＴＡ処理を行っても良い。第２の加熱処理を行うと、酸化物絶縁層と、該酸化
物絶縁層と重なる酸化物半導体層とが接した状態で加熱される。なお、第２の加熱処理を
行うと、第１の加熱処理で低抵抗化された酸化物半導体層４２３が酸素過剰な状態となり
、高抵抗化（Ｉ型化）することができる。
【０１５１】
本実施の形態では、酸化珪素膜成膜後に第２の加熱処理を行ったが、加熱処理のタイミン
グは酸化珪素膜成膜以降であれば問題なく、酸化珪素膜成膜直後に限定されるものではな
い。
【０１５２】
また、ソース電極層４２５ａ及びドレイン電極層４２５ｂに耐熱性のある材料を用いる場
合には、第２の加熱処理のタイミングで、第１の加熱処理条件を用いた工程を行うことが
できる。この場合、加熱処理は酸化珪素膜成膜後の１回のみとすることも可能である。
【０１５３】
なお、酸化物絶縁層４２８上に、保護絶縁層を形成しても良い。保護絶縁層としては、例
えばＲＦスパッタ法を用いて窒化珪素膜を形成することができる。保護絶縁層は、水や、
水素イオンや、ＯＨ−などの不純物を含まず、これらが外部から侵入することをブロック
する無機絶縁膜を用い、窒化珪素膜、窒化アルミニウム膜、窒化酸化珪素膜、酸化窒化ア
ルミニウム膜などを用いる。また、保護絶縁層は、酸化物絶縁層４２８と連続的に成膜す
ることも可能である。
【０１５４】
次に、第５のフォトリソグラフィ工程を行い、レジストマスクを形成し、酸化物絶縁層４
２８のエッチングによりドレイン電極層４２５ｂに達するコンタクトホールを形成する。
また、ここでのエッチングにより接続電極４２９に達するコンタクトホールも形成する。
【０１５５】
次いで、レジストマスクを除去した後、透明導電膜を成膜する。透明導電膜の材料として
は、酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）や酸化インジウム酸化スズ合金（Ｉｎ２Ｏ３―ＳｎＯ
２、ＩＴＯと略記する）などをスパッタ法や真空蒸着法などを用いて形成する。このよう
な材料のエッチング処理は塩酸系の溶液により行う。ただし、特にＩＴＯのエッチングは
残渣が発生しやすいので、エッチング加工性を改善するために酸化インジウム酸化亜鉛合
金（Ｉｎ２Ｏ３―ＺｎＯ）を用いても良い。
【０１５６】
次に、第６のフォトリソグラフィ工程を行い、レジストマスクを形成し、エッチングによ
り不要な部分を除去して画素電極層１１０を形成する。
【０１５７】
また、この第６のフォトリソグラフィ工程において、容量部におけるゲート絶縁層４０２
、酸化物半導体層、酸化物絶縁層４２６ｂ及び酸化物絶縁層４２８を誘電体として、容量
配線４２１ｂと画素電極層１１０とで保持容量が形成される。
【０１５８】
また、この第６のフォトリソグラフィ工程において、第１の端子４２１ｃをレジストマス
クで覆い端子部に形成された透明導電膜１２８を残す。透明導電膜１２８はＦＰＣとの接
続に用いられる電極または配線となる。第１の端子４２１ｃと直接接続された接続電極４
２９上に形成された透明導電膜１２８は、ゲート配線の入力端子として機能する接続用の
端子電極となる。また、図示しないが、ソース配線の入力端子として機能する接続用の端
子電極も同時に形成される。
【０１５９】
こうして６回のフォトリソグラフィ工程により、６枚のフォトマスクを使用して、チャネ
ル保護型の薄膜トランジスタ４１０及び保持容量部を完成させることができる。
【０１６０】
本実施の形態で示す薄膜トランジスタは、酸化物半導体層を用いた薄膜トランジスタであ
って、該酸化物半導体層のチャネル形成領域の表層部は結晶領域を有し、その他の部分は
非晶質または非晶質と微結晶の混合物である構成とすることができる。この構成を有する
ことによって、寄生チャネルの発生を抑制することができるため、電気特性が良好で信頼
性の高い薄膜トランジスタ及び表示装置を作製することができる。
【０１６１】
なお、本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示した構成を適宜組み合わせて用い
ることができることとする。
【０１６２】
（実施の形態３）
本実施の形態では、同一基板上に少なくとも駆動回路の一部と、画素部に配置する薄膜ト
ランジスタを作製する例について以下に説明する。
【０１６３】
画素部に配置する薄膜トランジスタは、実施の形態１または実施の形態２に従って形成す
る。また、実施の形態１または実施の形態２に示す薄膜トランジスタはｎチャネル型ＴＦ
Ｔであるため、駆動回路のうち、ｎチャネル型ＴＦＴで構成することができる駆動回路の
一部を画素部の薄膜トランジスタと同一基板上に形成する。
【０１６４】
アクティブマトリクス型表示装置のブロック図の一例を図７（Ａ）に示す。表示装置の基
板５３００上には、画素部５３０１、第１の走査線駆動回路５３０２、第２の走査線駆動
回路５３０３、信号線駆動回路５３０４を有する。画素部５３０１には、複数の信号線が
信号線駆動回路５３０４から延伸して配置され、複数の走査線が第１の走査線駆動回路５
３０２、及び第２の走査線駆動回路５３０３から延伸して配置されている。なお走査線と
信号線との交差領域には、各々、表示素子を有する画素がマトリクス状に配置されている
。また、表示装置の基板５３００はＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒ
ｃｕｉｔ）等の接続部を介して、タイミング制御回路５３０５（コントローラ、制御ＩＣ
ともいう）に接続されている。
【０１６５】
図７（Ａ）では、第１の走査線駆動回路５３０２、第２の走査線駆動回路５３０３、信号
線駆動回路５３０４は、画素部５３０１と同じ基板５３００上に形成される。そのため、
外部に設ける駆動回路等の部品の数が減るので、コストの低減を図ることができる。また
、基板５３００外部に駆動回路を設けた場合の配線を延伸させることによる接続部での接
続数を減らすことができ、信頼性の向上、又は歩留まりの向上を図ることができる。
【０１６６】
なお、タイミング制御回路５３０５は、第１の走査線駆動回路５３０２に対し、一例とし
て、第１の走査線駆動回路用スタート信号（ＧＳＰ１）、走査線駆動回路用クロック信号
（ＧＣＫ１）を供給する。また、タイミング制御回路５３０５は、第２の走査線駆動回路
５３０３に対し、一例として、第２の走査線駆動回路用スタート信号（ＧＳＰ２）（スタ
ートパルスともいう）、走査線駆動回路用クロック信号（ＧＣＫ２）を供給する。信号線
駆動回路５３０４に、信号線駆動回路用スタート信号（ＳＳＰ）、信号線駆動回路用クロ
ック信号（ＳＣＫ）、ビデオ信号用データ（ＤＡＴＡ）（単にビデオ信号ともいう）、ラ
ッチ信号（ＬＡＴ）を供給するものとする。なお各クロック信号は、周期のずれた複数の
クロック信号でもよいし、クロック信号を反転させた信号（ＣＫＢ）とともに供給される
ものであってもよい。なお、第１の走査線駆動回路５３０２と第２の走査線駆動回路５３
０３との一方を省略することが可能である。
【０１６７】
図７（Ｂ）では、駆動周波数が低い回路（例えば、第１の走査線駆動回路５３０２、第２
の走査線駆動回路５３０３）を画素部５３０１と同じ基板５３００に形成し、信号線駆動
回路５３０４を画素部５３０１とは別の基板に形成する構成について示している。当該構
成により、単結晶半導体を用いたトランジスタと比較すると電界効果移動度が小さい薄膜
トランジスタによって、基板５３００に形成する駆動回路を構成することができる。した
がって、表示装置の大型化、工程数の削減、コストの低減、又は歩留まりの向上などを図
ることができる。
【０１６８】
また、実施の形態１または実施の形態２に示す薄膜トランジスタは、ｎチャネル型ＴＦＴ
である。図８（Ａ）、図８（Ｂ）ではｎチャネル型ＴＦＴで構成する信号線駆動回路の構
成、動作について一例を示し説明する。
【０１６９】
信号線駆動回路は、シフトレジスタ５６０１、及びスイッチング回路５６０２を有する。
スイッチング回路５６０２は、スイッチング回路５６０２＿１〜５６０２＿Ｎ（Ｎは自然
数）という複数の回路を有する。スイッチング回路５６０２＿１〜５６０２＿Ｎは、各々
、薄膜トランジスタ５６０３＿１〜５６０３＿ｋ（ｋは自然数）という複数のトランジス
タを有する。薄膜トランジスタ５６０３＿１〜５６０３＿ｋは、Ｎチャネル型ＴＦＴであ
る例を説明する。
【０１７０】
信号線駆動回路の接続関係について、スイッチング回路５６０２＿１を例にして説明する
。薄膜トランジスタ５６０３＿１〜５６０３＿ｋの第１端子は、各々、配線５６０４＿１
〜５６０４＿ｋと接続される。薄膜トランジスタ５６０３＿１〜５６０３＿ｋの第２端子
は、各々、信号線Ｓ１〜Ｓｋと接続される。薄膜トランジスタ５６０３＿１〜５６０３＿
ｋのゲートは、配線５６０５＿１と接続される。
【０１７１】
シフトレジスタ５６０１は、配線５６０５＿１〜５６０５＿Ｎに順番にＨレベル（Ｈ信号
、高電源電位レベル、ともいう）の信号を出力し、スイッチング回路５６０２＿１〜５６
０２＿Ｎを順番に選択する機能を有する。
【０１７２】
スイッチング回路５６０２＿１は、配線５６０４＿１〜５６０４＿ｋと信号線Ｓ１〜Ｓｋ
との導通状態（第１端子と第２端子との間の導通）に制御する機能、即ち配線５６０４＿
１〜５６０４＿ｋの電位を信号線Ｓ１〜Ｓｋに供給するか否かを制御する機能を有する。
このように、スイッチング回路５６０２＿１は、セレクタとしての機能を有する。また薄
膜トランジスタ５６０３＿１〜５６０３＿ｋは、各々、配線５６０４＿１〜５６０４＿ｋ
と信号線Ｓ１〜Ｓｋとの導通状態を制御する機能、即ち配線５６０４＿１〜５６０４＿ｋ
の電位を信号線Ｓ１〜Ｓｋに供給する機能を有する。このように、薄膜トランジスタ５６
０３＿１〜５６０３＿ｋは、各々、スイッチとしての機能を有する。
【０１７３】
なお、配線５６０４＿１〜５６０４＿ｋには、各々、ビデオ信号用データ（ＤＡＴＡ）が
入力される。ビデオ信号用データ（ＤＡＴＡ）は、画像情報又は画像信号に応じたアナロ
グ信号である場合が多い。
【０１７４】
次に、図８（Ａ）の信号線駆動回路の動作について、図８（Ｂ）のタイミングチャートを
参照して説明する。図８（Ｂ）には、信号Ｓｏｕｔ＿１〜Ｓｏｕｔ＿Ｎ、及び信号Ｖｄａ
ｔａ＿１〜Ｖｄａｔａ＿ｋの一例を示す。信号Ｓｏｕｔ＿１〜Ｓｏｕｔ＿Ｎは、各々、シ
フトレジスタ５６０１の出力信号の一例であり、信号Ｖｄａｔａ＿１〜Ｖｄａｔａ＿ｋは
、各々、配線５６０４＿１〜５６０４＿ｋに入力される信号の一例である。なお、信号線
駆動回路の１動作期間は、表示装置における１ゲート選択期間に対応する。１ゲート選択
期間は、一例として、期間Ｔ１〜期間ＴＮに分割される。期間Ｔ１〜ＴＮは、各々、選択
された行に属する画素にビデオ信号用データ（ＤＡＴＡ）を書き込むための期間である。
【０１７５】
期間Ｔ１〜期間ＴＮにおいて、シフトレジスタ５６０１は、Ｈレベルの信号を配線５６０
５＿１〜５６０５＿Ｎに順番に出力する。例えば、期間Ｔ１において、シフトレジスタ５
６０１は、ハイレベルの信号を配線５６０５＿１に出力する。すると、薄膜トランジスタ
５６０３＿１〜５６０３＿ｋはオンになるので、配線５６０４＿１〜５６０４＿ｋと、信
号線Ｓ１〜Ｓｋとが導通状態になる。このとき、配線５６０４＿１〜５６０４＿ｋには、
Ｄａｔａ（Ｓ１）〜Ｄａｔａ（Ｓｋ）が入力される。Ｄａｔａ（Ｓ１）〜Ｄａｔａ（Ｓｋ
）は、各々、薄膜トランジスタ５６０３＿１〜５６０３＿ｋを介して、選択される行に属
する画素のうち、１列目〜ｋ列目の画素に書き込まれる。こうして、期間Ｔ１〜ＴＮにお
いて、選択された行に属する画素に、ｋ列ずつ順番にビデオ信号用データ（ＤＡＴＡ）が
書き込まれる。
【０１７６】
以上のように、ビデオ信号用データ（ＤＡＴＡ）が複数の列ずつ画素に書き込まれること
によって、ビデオ信号用データ（ＤＡＴＡ）の数、又は配線の数を減らすことができる。
よって、外部回路との接続数を減らすことができる。また、ビデオ信号が複数の列ずつ画
素に書き込まれることによって、書き込み時間を長くすることができ、ビデオ信号の書き
込み不足を防止することができる。
【０１７７】
なお、シフトレジスタ５６０１及びスイッチング回路５６０２としては、実施の形態１ま
たは実施の形態２に示す薄膜トランジスタで構成される回路を用いることが可能である。
この場合、シフトレジスタ５６０１が有する全てのトランジスタの極性をＮチャネル型、
又はＰチャネル型のいずれかの極性のみで構成することができる。
【０１７８】
なお、走査線駆動回路の構成について説明する。走査線駆動回路は、シフトレジスタを有
している。また場合によってはレベルシフタやバッファ等を有していても良い。走査線駆
動回路において、シフトレジスタにクロック信号（ＣＬＫ）及びスタートパルス信号（Ｓ
Ｐ）が入力されることによって、選択信号が生成される。生成された選択信号はバッファ
において緩衝増幅され、対応する走査線に供給される。走査線には、１ライン分の画素の
トランジスタのゲート電極が接続されている。そして、１ライン分の画素のトランジスタ
を一斉にＯＮにしなくてはならないので、バッファは大きな電流を流すことが可能なもの
が用いられる。
【０１７９】
走査線駆動回路及び／または信号線駆動回路の一部に用いるシフトレジスタの一形態につ
いて図９及び図１０を用いて説明する。
【０１８０】
シフトレジスタは、第１のパルス出力回路１０＿１乃至第Ｎのパルス出力回路１０＿Ｎ（
Ｎは３以上の自然数）を有している（図９（Ａ）参照）。図９（Ａ）に示すシフトレジス
タの第１のパルス出力回路１０＿１乃至第Ｎのパルス出力回路１０＿Ｎには、第１の配線
１１より第１のクロック信号ＣＫ１、第２の配線１２より第２のクロック信号ＣＫ２、第
３の配線１３より第３のクロック信号ＣＫ３、第４の配線１４より第４のクロック信号Ｃ
Ｋ４が供給される。また第１のパルス出力回路１０＿１では、第５の配線１５からのスタ
ートパルスＳＰ１（第１のスタートパルス）が入力される。また２段目以降の第ｎのパル
ス出力回路１０＿ｎ（ｎは、２以上Ｎ以下の自然数）では、一段前段のパルス出力回路か
らの信号（前段信号ＯＵＴ（ｎ−１）という）（ｎは２以上の自然数）が入力される。ま
た第１のパルス出力回路１０＿１では、２段後段の第３のパルス出力回路１０＿３からの
信号が入力される。同様に、２段目以降の第ｎのパルス出力回路１０＿ｎでは、２段後段
の第（ｎ＋２）のパルス出力回路１０＿（ｎ＋２）からの信号（後段信号ＯＵＴ（ｎ＋２
）という）が入力される。従って、各段のパルス出力回路からは、後段及び／または二つ
前段のパルス出力回路に入力するための第１の出力信号（ＯＵＴ（１）（ＳＲ）〜ＯＵＴ
（Ｎ）（ＳＲ））、別の配線等に電気的に接続される第２の出力信号（ＯＵＴ（１）〜Ｏ
ＵＴ（Ｎ））が出力される。なお、図９（Ａ）に示すように、シフトレジスタの最終段の
２つの段には、後段信号ＯＵＴ（ｎ＋２）が入力されないが、一例としては、別途第６の
配線１６より第２のスタートパルスＳＰ２、第７の配線１７より第３のスタートパルスＳ
Ｐ３をそれぞれ入力する構成とすればよい。または、別途シフトレジスタの内部で生成さ
れた信号であってもよい。例えば、画素部へのパルス出力に寄与しない第（ｎ＋１）のパ
ルス出力回路１０（ｎ＋１）、第（ｎ＋２）のパルス出力回路１０（ｎ＋２）を設け（ダ
ミー段ともいう）、当該ダミー段より第２のスタートパルス（ＳＰ２）及び第３のスター
トパルス（ＳＰ３）に相当する信号を生成する構成としてもよい。
【０１８１】
なお、クロック信号（ＣＫ）は、一定の間隔でＨレベルとＬレベル（Ｌ信号、低電源電位
レベル、ともいう）を繰り返す信号である。ここで、第１のクロック信号（ＣＫ１）〜第
４のクロック信号（ＣＫ４）は、順に１／４周期分遅延している。本実施の形態では、第
１のクロック信号（ＣＫ１）〜第４のクロック信号（ＣＫ４）を利用して、パルス出力回
路の駆動の制御等を行う。なお、クロック信号は、入力される駆動回路に応じて、ＧＣＫ
、ＳＣＫということもあるが、ここではＣＫとして説明を行う。
【０１８２】
第１の入力端子２１、第２の入力端子２２及び第３の入力端子２３は、第１の配線１１
〜第４の配線１４のいずれかと電気的に接続されている。例えば、図９（Ａ）において、
第１のパルス出力回路１０＿１は、第１の入力端子２１が第１の配線１１と電気的に接続
され、第２の入力端子２２が第２の配線１２と電気的に接続され、第３の入力端子２３が
第３の配線１３と電気的に接続されている。また、第２のパルス出力回路１０＿２は、第
１の入力端子２１が第２の配線１２と電気的に接続され、第２の入力端子２２が第３の配
線１３と電気的に接続され、第３の入力端子２３が第４の配線１４と電気的に接続されて
いる。
【０１８３】
第１のパルス出力回路１０＿１〜第Ｎのパルス出力回路１０＿Ｎの各々は、第１の入力端
子２１、第２の入力端子２２、第３の入力端子２３、第４の入力端子２４、第５の入力端
子２５、第１の出力端子２６、第２の出力端子２７を有しているとする（図９（Ｂ）参照
）。第１のパルス出力回路１０＿１において、第１の入力端子２１に第１のクロック信号
ＣＫ１が入力され、第２の入力端子２２に第２のクロック信号ＣＫ２が入力され、第３の
入力端子２３に第３のクロック信号ＣＫ３が入力され、第４の入力端子２４にスタートパ
ルスが入力され、第５の入力端子２５に後段信号ＯＵＴ（３）が入力され、第１の出力端
子２６より第１の出力信号ＯＵＴ（１）（ＳＲ）が出力され、第２の出力端子２７より第
２の出力信号ＯＵＴ（１）が出力されていることとなる。
【０１８４】
次に、図９（Ｂ）に示したパルス出力回路の具体的な回路構成の一例について、図９（Ｃ
）で説明する。
【０１８５】
図９（Ｃ）に示したパルス出力回路は、第１のトランジスタ３１〜第１１のトランジスタ
４１を有している。また、上述した第１の入力端子２１〜第５の入力端子２５、及び第１
の出力端子２６、第２の出力端子２７に加え、第１の高電源電位ＶＤＤが供給される電源
線５１、第２の高電源電位ＶＣＣが供給される電源線５２、低電源電位ＶＳＳが供給され
る電源線５３から、第１のトランジスタ３１〜第１１のトランジスタ４１に信号、または
電源電位が供給される。ここで図９（Ｃ）における各電源線の電源電位の大小関係は、第
１の電源電位ＶＤＤは第２の電源電位ＶＣＣ以上の電位として、第２の電源電位ＶＣＣは
第３の電源電位ＶＳＳより大きい電位とする。なお、第１のクロック信号（ＣＫ１）〜第
４のクロック信号（ＣＫ４）は、一定の間隔でＨレベルとＬレベルを繰り返す信号である
が、ＨレベルのときＶＤＤ、ＬレベルのときＶＳＳであるとする。なお電源線５１の電位
ＶＤＤを、電源線５２の電位ＶＣＣより高くすることにより、動作に影響を与えることな
く、トランジスタのゲート電極に印加される電位を低く抑えることができ、トランジスタ
のしきい値のシフトを低減し、劣化を抑制することができる。
【０１８６】
図９（Ｃ）において、第１のトランジスタ３１は、第１端子が電源線５１に電気的に接
続され、第２端子が第９のトランジスタ３９の第１端子に電気的に接続され、ゲート電極
が第４の入力端子２４に電気的に接続されている。第２のトランジスタ３２は、第１端子
が電源線５３に電気的に接続され、第２端子が第９のトランジスタ３９の第１端子に電気
的に接続され、ゲート電極が第４のトランジスタ３４のゲート電極に電気的に接続されて
いる。第３のトランジスタ３３は、第１端子が第１の入力端子２１に電気的に接続され、
第２端子が第１の出力端子２６に電気的に接続されている。第４のトランジスタ３４は、
第１端子が電源線５３に電気的に接続され、第２端子が第１の出力端子２６に電気的に接
続されている。第５のトランジスタ３５は、第１端子が電源線５３に電気的に接続され、
第２端子が第２のトランジスタ３２のゲート電極及び第４のトランジスタ３４のゲート電
極に電気的に接続され、ゲート電極が第４の入力端子２４に電気的に接続されている。第
６のトランジスタ３６は、第１端子が電源線５２に電気的に接続され、第２端子が第２の
トランジスタ３２のゲート電極及び第４のトランジスタ３４のゲート電極に電気的に接続
され、ゲート電極が第５の入力端子２５に電気的に接続されている。第７のトランジスタ
３７は、第１端子が電源線５２に電気的に接続され、第２端子が第８のトランジスタ３８
の第２端子に電気的に接続され、ゲート電極が第３の入力端子２３に電気的に接続されて
いる。第８のトランジスタ３８は、第１端子が第２のトランジスタ３２のゲート電極及び
第４のトランジスタ３４のゲート電極に電気的に接続され、ゲート電極が第２の入力端子
２２に電気的に接続されている。第９のトランジスタ３９は、第１端子が第１のトランジ
スタ３１の第２端子及び第２のトランジスタ３２の第２端子に電気的に接続され、第２端
子が第３のトランジスタ３３のゲート電極及び第１０のトランジスタ４０のゲート電極に
電気的に接続され、ゲート電極が電源線５２に電気的に接続されている。第１０のトラン
ジスタ４０は、第１端子が第１の入力端子２１に電気的に接続され、第２端子が第２の出
力端子２７に電気的に接続され、ゲート電極が第９のトランジスタ３９の第２端子に電気
的に接続されている。第１１のトランジスタ４１は、第１端子が電源線５３に電気的に接
続され、第２端子が第２の出力端子２７に電気的に接続され、ゲート電極が第２のトラン
ジスタ３２のゲート電極及び第４のトランジスタ３４のゲート電極に電気的に接続されて
いる。
【０１８７】
図９（Ｃ）において、第３のトランジスタ３３のゲート電極、第１０のトランジスタ４
０のゲート電極、及び第９のトランジスタ３９の第２端子の接続箇所をノードＡとする。
また、第２のトランジスタ３２のゲート電極、第４のトランジスタ３４のゲート電極、第
５のトランジスタ３５の第２端子、第６のトランジスタ３６の第２端子、第８のトランジ
スタ３８の第１端子、及び第１１のトランジスタ４１のゲート電極の接続箇所をノードＢ
とする（図１０（Ａ）参照）。
【０１８８】
なお、薄膜トランジスタとは、ゲートと、ドレインと、ソースとを含む少なくとも三つの
端子を有する素子であり、ドレイン領域とソース領域の間にチャネル領域を有しており、
ドレイン領域とチャネル領域とソース領域とを介して電流を流すことが出来る。ここで、
ソースとドレインとは、薄膜トランジスタの構造や動作条件等によって変わるため、いず
れがソースまたはドレインであるかを限定することが困難である。そこで、ソース及びド
レインとして機能する領域を、ソースもしくはドレインと呼ばない場合がある。その場合
、一例としては、それぞれを第１端子、第２端子と表記する場合がある。
【０１８９】
ここで、図１０（Ａ）に示したパルス出力回路を複数具備するシフトレジスタのタイミン
グチャートについて図１０（Ｂ）に示す。なおシフトレジスタが走査線駆動回路である場
合、図１０（Ｂ）中の期間６１は垂直帰線期間であり、期間６２はゲート選択期間に相当
する。
【０１９０】
なお、図１０（Ａ）に示すように、ゲートに第２の電源電位ＶＣＣが印加される第９のト
ランジスタ３９を設けておくことにより、ブートストラップ動作の前後において、以下の
ような利点がある。
【０１９１】
ゲート電極に第２の電位ＶＣＣが印加される第９のトランジスタ３９がない場合、ブート
ストラップ動作によりノードＡの電位が上昇すると、第１のトランジスタ３１の第２端子
であるソースの電位が上昇していき、第１の電源電位ＶＤＤより大きくなる。そして、第
１のトランジスタ３１のソースが第１端子側、即ち電源線５１側に切り替わる。そのため
、第１のトランジスタ３１においては、ゲートとソースの間、ゲートとドレインの間とも
に、大きなバイアス電圧が印加されるために大きなストレスがかかり、トランジスタの劣
化の要因となりうる。そこで、ゲート電極に第２の電源電位ＶＣＣが印加される第９のト
ランジスタ３９を設けておくことにより、ブートストラップ動作によりノードＡの電位は
上昇するものの、第１のトランジスタ３１の第２端子の電位の上昇を生じないようにする
ことができる。つまり、第９のトランジスタ３９を設けることにより、第１のトランジス
タ３１のゲートとソースの間に印加される負のバイアス電圧の値を小さくすることができ
る。よって、本実施の形態の回路構成とすることにより、第１のトランジスタ３１のゲー
トとソースの間に印加される負のバイアス電圧も小さくできるため、ストレスによる第１
のトランジスタ３１の劣化を抑制することができる。
【０１９２】
なお、第９のトランジスタ３９を設ける箇所については、第１のトランジスタ３１の第２
端子と第３のトランジスタ３３のゲートとの間に第１端子と第２端子を介して接続される
ように設ける構成であればよい。なお、本実施形態でのパルス出力回路を複数具備するシ
フトレジスタの場合、走査線駆動回路より段数の多い信号線駆動回路では、第９のトラン
ジスタ３９を省略してもよく、トランジスタ数を削減する利点がある。
【０１９３】
なお第１のトランジスタ３１乃至第１１のトランジスタ４１の半導体層として、酸化物半
導体を用いることにより、薄膜トランジスタのオフ電流を低減すると共に、オン電流及び
電界効果移動度を高めることが出来ると共に、劣化の度合いを低減することが出来るため
、回路内の誤動作を低減することができる。また酸化物半導体を用いたトランジスタ、ア
モルファスシリコンを用いたトランジスタに比べ、ゲート電極に高電位が印加されること
によるトランジスタの劣化の程度が小さい。そのため、第２の電源電位ＶＣＣを供給する
電源線に、第１の電源電位ＶＤＤを供給しても同様の動作が得られ、且つ回路間を引き回
す電源線の数を低減することができるため、回路の小型化を図ることが出来る。
【０１９４】
なお、第７のトランジスタ３７のゲート電極に第３の入力端子２３によって供給されるク
ロック信号、第８のトランジスタ３８のゲート電極に第２の入力端子２２によって供給さ
れるクロック信号は、第７のトランジスタのゲート電極に第２の入力端子２２によって供
給されるクロック信号、第８のゲート電極に第３の入力端子２３によって供給されるクロ
ック信号となるように、結線関係を入れ替えても同様の作用を奏する。このとき、図１０
（Ａ）に示すシフトレジスタにおいて、第７のトランジスタ３７及び第８のトランジスタ
３８が共にオンの状態から、第７のトランジスタ３７がオフ、第８のトランジスタ３８が
オンの状態、次いで第７のトランジスタ３７がオフ、第８のトランジスタ３８がオフの状
態とすることによって、第２の入力端子２２及び第３の入力端子２３の電位が低下するこ
とで生じる、ノードＢの電位の低下が第７のトランジスタ３７のゲート電極の電位の低下
、及び第８のトランジスタ３８のゲート電極の電位の低下に起因して２回生じることとな
る。一方、図１０（Ａ）に示すシフトレジスタにおいて、第７のトランジスタ３７及び第
８のトランジスタ３８が共にオンの状態から、第７のトランジスタ３７がオン、第８のト
ランジスタ３８がオフの状態、次いで、第７のトランジスタ３７がオフ、第８のトランジ
スタ３８がオフの状態とすることによって、第２の入力端子２２及び第３の入力端子２３
の電位が低下することで生じるノードＢの電位の低下を、第８のトランジスタ３８のゲー
ト電極の電位の低下による一回に低減することができる。そのため、第７のトランジスタ
３７のゲート電極に第３の入力端子２３からクロック信号が供給され、第８のトランジス
タ３８のゲート電極に第２の入力端子２２からクロック信号が供給される結線関係とする
ことが好適である。なぜなら、ノードＢの電位の変動回数が低減され、また、ノイズを低
減することが出来るためである。
【０１９５】
このように、第１の出力端子２６及び第２の出力端子２７の電位をＬレベルに保持する
期間に、ノードＢに定期的にＨレベルの信号が供給される構成とすることにより、パルス
出力回路の誤動作を抑制することができる。
【０１９６】
なお、本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示した構成を適宜組み合わせて用い
ることができることとする。
【０１９７】
（実施の形態４）
実施の形態１及び２に示す薄膜トランジスタを作製し、該薄膜トランジスタを画素部、さ
らには駆動回路に用いて表示機能を有する半導体装置（表示装置ともいう）を作製するこ
とができる。また、実施の形態１及び２に示す薄膜トランジスタを有する駆動回路の一部
または全体を、画素部と同じ基板上に一体形成し、システムオンパネルを形成することが
できる。
【０１９８】
表示装置は表示素子を含む。表示素子としては液晶素子（液晶表示素子ともいう）、発光
素子（発光表示素子ともいう）を用いることができる。発光素子は、電流または電圧によ
って輝度が制御される素子をその範疇に含んでおり、具体的には無機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒ
ｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）素子、有機ＥＬ素子等が含まれる。また、電子インクな
ど、電気的作用によりコントラストが変化する表示媒体も適用することができる。
【０１９９】
また、表示装置は、表示素子が封止された状態にあるパネルと、該パネルにコントローラ
を含むＩＣ等を実装した状態にあるモジュールとを含む。さらに、該表示装置を作製する
過程における、表示素子が完成する前の一形態に相当する素子基板に関し、該素子基板は
、電流を表示素子に供給するための手段を複数の各画素に備える。素子基板は、具体的に
は、表示素子の画素電極のみが形成された状態であっても良いし、画素電極となる導電膜
を成膜した後であって、エッチングして画素電極を形成する前の状態であっても良いし、
あらゆる形態があてはまる。
【０２００】
なお、本明細書中における表示装置とは、画像表示デバイス、表示デバイス、もしくは光
源（照明装置含む）を指す。また、コネクター、例えばＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  ｐｒ
ｉｎｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ）もしくはＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎ
ｄｉｎｇ）テープもしくはＴＣＰ（Ｔａｐｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｐａｃｋａｇｅ）が取り
付けられたモジュール、ＴＡＢテープやＴＣＰの先にプリント配線板が設けられたモジュ
ール、または表示素子にＣＯＧ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）方式によりＩＣ（集積回
路）が直接実装されたモジュールも全て表示装置に含むものとする。
【０２０１】
本実施の形態では、半導体装置の一形態に相当する液晶表示パネルの外観及び断面につい
て、図１１を用いて説明する。図１１は、第１の基板４００１上に形成された実施の形態
１及び２で示したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系膜を酸化物半導体層として含む信頼性の高い薄
膜トランジスタ４０１０、４０１１、及び液晶素子４０１３を、第２の基板４００６との
間にシール材４００５によって封止した、パネルの上面図であり、図１１（Ｂ）は、図１
１（Ａ１）（Ａ２）のＭ−Ｎにおける断面図に相当する。
【０２０２】
第１の基板４００１上に設けられた画素部４００２と、走査線駆動回路４００４とを囲む
ようにして、シール材４００５が設けられている。また画素部４００２と、走査線駆動回
路４００４の上に第２の基板４００６が設けられている。よって画素部４００２と、走査
線駆動回路４００４とは、第１の基板４００１とシール材４００５と第２の基板４００６
とによって、液晶層４００８と共に封止されている。また第１の基板４００１上のシール
材４００５によって囲まれている領域とは異なる領域に、別途用意された基板上に単結晶
半導体膜又は多結晶半導体膜で形成された信号線駆動回路４００３が実装されている。
【０２０３】
なお、別途形成した駆動回路の接続方法は、特に限定されるものではなく、ＣＯＧ方法、
ワイヤボンディング方法、或いはＴＡＢ方法などを用いることができる。図１１（Ａ１）
は、ＣＯＧ方法により信号線駆動回路４００３を実装する例であり、図１１（Ａ２）は、
ＴＡＢ方法により信号線駆動回路４００３を実装する例である。
【０２０４】
また第１の基板４００１上に設けられた画素部４００２と、走査線駆動回路４００４は、
薄膜トランジスタを複数有しており、図１１（Ｂ）では、画素部４００２に含まれる薄膜
トランジスタ４０１０と、走査線駆動回路４００４に含まれる薄膜トランジスタ４０１１
とを例示している。薄膜トランジスタ４０１０、４０１１上には絶縁層４０２０、４０２
１が設けられている。
【０２０５】
薄膜トランジスタ４０１０、４０１１は、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系膜を酸化物半導体層と
して含む信頼性の高い実施の形態１及び２に示す薄膜トランジスタを適用することができ
る。本実施の形態において、薄膜トランジスタ４０１０、４０１１はｎチャネル型薄膜ト
ランジスタである。
【０２０６】
また、液晶素子４０１３が有する画素電極層４０３０は、薄膜トランジスタ４０１０と電
気的に接続されている。そして液晶素子４０１３の対向電極層４０３１は第２の基板４０
０６上に形成されている。画素電極層４０３０と対向電極層４０３１と液晶層４００８と
が重なっている部分が、液晶素子４０１３に相当する。なお、画素電極層４０３０、対向
電極層４０３１はそれぞれ配向膜として機能する絶縁層４０３２、４０３３が設けられ、
絶縁層４０３２、４０３３を介して液晶層４００８を挟持している。なお、図示はしてい
ないが、カラーフィルタは第１の基板４００１または第２の基板４００６のどちら側に設
けても良い。
【０２０７】
なお、第１の基板４００１、第２の基板４００６としては、ガラス、金属（代表的にはス
テンレス）、セラミックス、プラスチックを用いることができる。プラスチックとしては
、ＦＲＰ（Ｆｉｂｅｒｇｌａｓｓ−Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ）板、ＰＶ
Ｆ（ポリビニルフルオライド）フィルム、ポリエステルフィルム、またはアクリル樹脂フ
ィルムを用いることができる。また、アルミニウムホイルをＰＶＦフィルムやポリエステ
ルフィルムで挟んだ構造のシートを用いることもできる。
【０２０８】
また４０３５は絶縁膜を選択的にエッチングすることで得られる柱状のスペーサであり、
画素電極層４０３０と対向電極層４０３１との間の距離（セルギャップ）を制御するため
に設けられている。なお球状のスペーサを用いていても良い。また、対向電極層４０３１
は、薄膜トランジスタ４０１０と同一基板上に設けられる共通電位線と電気的に接続され
る。共通接続部を用いて、一対の基板間に配置される導電性粒子を介して対向電極層４０
３１と共通電位線とを電気的に接続することができる。なお、導電性粒子はシール材４０
０５に含有させる。
【０２０９】
また、配向膜を用いないブルー相を示す液晶を用いてもよい。ブルー相は液晶相の一つで
あり、コレステリック液晶を昇温していくと、コレステリック相から等方相へ転移する直
前に発現する相である。ブルー相は狭い温度範囲でしか発現しないため、温度範囲を改善
するために５重量％以上のカイラル剤を混合させた液晶組成物を用いて液晶層４００８に
用いる。ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、応答速度が１０μｓｅ
ｃ．以上１００μｓｅｃ．以下と短く、光学的等方性であるため配向処理が不要であり、
視野角依存性が小さい。
【０２１０】
なお本実施の形態は透過型液晶表示装置の例であるが、本発明は反射型液晶表示装置でも
半透過型液晶表示装置でも適用できる。
【０２１１】
また、本実施の形態の液晶表示装置では、基板の外側（視認側）に偏光板を設け、内側に
着色層、表示素子に用いる電極層という順に設ける例を示すが、偏光板は基板の内側に設
けてもよい。また、偏光板と着色層の積層構造も本実施の形態に限定されず、偏光板及び
着色層の材料や作製工程条件によって適宜設定すればよい。また、ブラックマトリクスと
して機能する遮光膜を設けてもよい。
【０２１２】
また、本実施の形態では、薄膜トランジスタ起因の表面凹凸を低減するため、及び薄膜ト
ランジスタの信頼性を向上させるため、実施の形態１または２で得られた薄膜トランジス
タを保護膜や平坦化絶縁膜として機能する絶縁層（絶縁層４０２０、絶縁層４０２１）で
覆う構成となっている。なお、保護膜は、大気中に浮遊する有機物や金属物、水蒸気など
の汚染不純物の侵入を防ぐためのものであり、緻密な膜が好ましい。保護膜は、スパッタ
法を用いて、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン
膜、酸化アルミニウム膜、窒化アルミニウム膜、酸化窒化アルミニウム膜、又は窒化酸化
アルミニウム膜の単層、又は積層で形成すればよい。本実施の形態では保護膜をスパッタ
法で形成する例を示すが、特に限定されず種々の方法で形成すればよい。
【０２１３】
ここでは、保護膜として積層構造の絶縁層４０２０を形成する。ここでは、絶縁層４０２
０の一層目として、スパッタ法を用いて酸化シリコン膜を形成する。保護膜として酸化シ
リコン膜を用いると、ソース電極層及びドレイン電極層として用いるアルミニウム膜のヒ
ロック防止に効果がある。
【０２１４】
また、保護膜の二層目として絶縁層を形成する。ここでは、絶縁層４０２０の二層目とし
て、スパッタ法を用いて窒化シリコン膜を形成する。保護膜として窒化シリコン膜を用い
ると、ナトリウム等の可動イオンが半導体領域中に侵入して、ＴＦＴの電気特性を変化さ
せることを抑制することができる。
【０２１５】
また、保護膜を形成した後に、酸化物半導体層のアニール（３００℃以上４００℃以下）
を行ってもよい。
【０２１６】
また、平坦化絶縁膜として絶縁層４０２１を形成する。絶縁層４０２１としては、アクリ
ル、ポリイミド、ベンゾシクロブテン、ポリアミド、エポキシ等の、耐熱性を有する有機
材料を用いることができる。また上記有機材料の他に、低誘電率材料（ｌｏｗ−ｋ材料）
、シロキサン系樹脂、ＰＳＧ（リンガラス）、ＢＰＳＧ（リンボロンガラス）等を用いる
ことができる。なお、これらの材料で形成される絶縁膜を複数積層させることで、絶縁層
４０２１を形成してもよい。
【０２１７】
なおシロキサン系樹脂とは、シロキサン系材料を出発材料として形成されたＳｉ−Ｏ−Ｓ
ｉ結合を含む樹脂に相当する。シロキサン系樹脂は置換基としては有機基（例えばアルキ
ル基やアリール基）やフルオロ基を用いても良い。また、有機基はフルオロ基を有してい
ても良い。
【０２１８】
絶縁層４０２１の形成法は、特に限定されず、その材料に応じて、スパッタ法、ＳＯＧ法
、スピンコート、ディップ、スプレー塗布、液滴吐出法（インクジェット法、スクリーン
印刷、オフセット印刷等）、ドクターナイフ、ロールコーター、カーテンコーター、ナイ
フコーター等を用いることができる。絶縁層４０２１を材料液を用いて形成する場合、ベ
ークする工程で同時に、酸化物半導体層のアニール（３００℃以上４００℃以下）を行っ
てもよい。絶縁層４０２１の焼成工程と酸化物半導体層のアニールを兼ねることで効率よ
く半導体装置を作製することが可能となる。
【０２１９】
画素電極層４０３０、対向電極層４０３１は、酸化タングステンを含むインジウム酸化物
、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、
酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム錫酸化物（以下、ＩＴＯと示す。）、
インジウム亜鉛酸化物、酸化ケイ素を添加したインジウム錫酸化物などの透光性を有する
導電性材料を用いることができる。
【０２２０】
また、画素電極層４０３０、対向電極層４０３１として、導電性高分子（導電性ポリマー
ともいう）を含む導電性組成物を用いて形成することができる。導電性組成物を用いて形
成した画素電極は、シート抵抗が１００００Ω／□以下、波長５５０ｎｍにおける透光率
が７０％以上であることが好ましい。また、導電性組成物に含まれる導電性高分子の抵抗
率が０．１Ω・ｃｍ以下であることが好ましい。
【０２２１】
導電性高分子としては、いわゆるπ電子共役系導電性高分子が用いることができる。例え
ば、ポリアニリンまたはその誘導体、ポリピロールまたはその誘導体、ポリチオフェンま
たはその誘導体、若しくはこれらの２種以上の共重合体などがあげられる。
【０２２２】
また別途形成された信号線駆動回路４００３と、走査線駆動回路４００４または画素部４
００２に与えられる各種信号及び電位は、ＦＰＣ４０１８から供給されている。
【０２２３】
本実施の形態では、接続端子電極４０１５が、液晶素子４０１３が有する画素電極層４０
３０と同じ導電膜から形成され、端子電極４０１６は、薄膜トランジスタ４０１０、４０
１１のソース電極層及びドレイン電極層と同じ導電膜で形成されている。
【０２２４】
接続端子電極４０１５は、ＦＰＣ４０１８が有する端子と、異方性導電膜４０１９を介し
て電気的に接続されている。
【０２２５】
また図１１においては、信号線駆動回路４００３を別途形成し、第１の基板４００１に実
装している例を示しているが、本実施の形態はこの構成に限定されない。走査線駆動回路
を別途形成して実装しても良いし、信号線駆動回路の一部または走査線駆動回路の一部の
みを別途形成して実装しても良い。
【０２２６】
図１２は、実施の形態１及び２に示すＴＦＴを適用して作製されるＴＦＴ基板２６００を
用いて半導体装置として液晶表示モジュールを構成する一例を示している。
【０２２７】
図１２は液晶表示モジュールの一例であり、ＴＦＴ基板２６００と対向基板２６０１がシ
ール材２６０２により固着され、その間にＴＦＴ等を含む画素部２６０３、液晶層を含む
表示素子２６０４、着色層２６０５が設けられ表示領域を形成している。着色層２６０５
はカラー表示を行う場合に必要であり、ＲＧＢ方式の場合は、赤、緑、青の各色に対応し
た着色層が各画素に対応して設けられている。ＴＦＴ基板２６００と対向基板２６０１の
外側には偏光板２６０６、偏光板２６０７、拡散板２６１３が配設されている。光源は冷
陰極管２６１０と反射板２６１１により構成され、回路基板２６１２は、フレキシブル配
線基板２６０９によりＴＦＴ基板２６００の配線回路部２６０８と接続され、コントロー
ル回路や電源回路などの外部回路が組みこまれている。また偏光板と、液晶層との間に位
相差板を有した状態で積層してもよい。
【０２２８】
液晶表示モジュールには、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）モード、ＩＰＳ（Ｉ
ｎ−Ｐｌａｎｅ−Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＦＦＳ（Ｆｒｉｎｇｅ  Ｆｉｅｌｄ  Ｓ
ｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＭＶＡ（Ｍｕｌｔｉ−ｄｏｍａｉｎ  Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａ
ｌｉｇｎｍｅｎｔ）モード、ＰＶＡ（Ｐａｔｔｅｒｎｅｄ  Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇ
ｎｍｅｎｔ）モード、ＡＳＭ（Ａｘｉａｌｌｙ  Ｓｙｍｍｅｔｒｉｃ  ａｌｉｇｎｅｄ  
Ｍｉｃｒｏ−ｃｅｌｌ）モード、ＯＣＢ（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄ  Ｂ
ｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎｃｅ）モード、ＦＬＣ（Ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｌｉｑｕｉ
ｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ）モード、ＡＦＬＣ（ＡｎｔｉＦｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｌｉｑ
ｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ）モードなどを用いることができる。
【０２２９】
以上の工程により、半導体装置として信頼性の高い液晶表示パネルを作製することができ
る。
【０２３０】
なお、本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示した構成を適宜組み合わせて用い
ることができることとする。
【０２３１】
（実施の形態５）
本実施の形態では、実施の形態１または２に示す薄膜トランジスタを適用した半導体装置
として電子ペーパーの例を示す。
【０２３２】
図１３は、半導体装置の例としてアクティブマトリクス型の電子ペーパーを示す。半導体
装置に用いられる薄膜トランジスタ５８１としては、実施の形態１及び２で示す薄膜トラ
ンジスタを適用することができる。
【０２３３】
図１３の電子ペーパーは、ツイストボール表示方式を用いた表示装置の例である。ツイス
トボール表示方式とは、白と黒に塗り分けられた球形粒子を、表示素子に用いる電極層で
ある第１の電極層及び第２の電極層の間に配置し、第１の電極層及び第２の電極層に電位
差を生じさせての球形粒子の向きを制御することにより、表示を行う方法である。
【０２３４】
基板５８０と基板５９６との間に封止される薄膜トランジスタ５８１はボトムゲート構造
の薄膜トランジスタであり、ソース電極層又はドレイン電極層によって第１の電極層５８
７と、絶縁層５８４、５８５に形成する開口で接しており電気的に接続している。第１の
電極層５８７と第２の電極層５８８との間には黒色領域５９０ａ及び白色領域５９０ｂを
有し、周りに液体で満たされているキャビティ５９４を含む球形粒子５８９が設けられて
おり、球形粒子５８９の周囲は樹脂等の充填材５９５で充填されている（図１３参照）。
本実施の形態においては、第１の電極層５８７が画素電極に相当し、第２の電極層５８８
が共通電極に相当する。第２の電極層５８８は、薄膜トランジスタ５８１と同一基板上に
設けられる共通電位線と電気的に接続される。実施の形態１及び２に示すいずれか一の共
通接続部を用いて、一対の基板間に配置される導電性粒子を介して第２の電極層５８８と
共通電位線とを電気的に接続することができる。
【０２３５】
また、ツイストボールの代わりに、電気泳動素子を用いることも可能である。透明な液体
と、正に帯電した白い微粒子と負に帯電した黒い微粒子とを封入した直径１０μｍ以上２
００μｍ以下程度のマイクロカプセルを用いる。第１の電極層と第２の電極層との間に設
けられるマイクロカプセルは、第１の電極層と第２の電極層によって、電場が与えられる
と、白い微粒子と、黒い微粒子が逆の方向に移動し、白または黒を表示することができる
。この原理を応用した表示素子が電気泳動表示素子であり、一般的に電子ペーパーとよば
れている。電気泳動表示素子は、液晶表示素子に比べて反射率が高いため、補助ライトは
不要であり、また消費電力が小さく、薄暗い場所でも表示部を認識することが可能である
。また、表示部に電源が供給されない場合であっても、一度表示した像を保持することが
可能であるため、電波発信源から表示機能付き半導体装置（単に表示装置、又は表示装置
を具備する半導体装置ともいう）を遠ざけた場合であっても、表示された像を保存してお
くことが可能となる。
【０２３６】
以上により、半導体装置として信頼性の高い電子ペーパーとすることができる。
【０２３７】
なお、本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示した構成を適宜組み合わせて用い
ることができることとする。
【０２３８】
（実施の形態６）
本実施の形態では、実施の形態１または２に示す薄膜トランジスタを適用した半導体装置
として発光表示装置の例を示す。表示装置の有する表示素子としては、ここではエレクト
ロルミネッセンスを利用する発光素子を用いて示す。エレクトロルミネッセンスを利用す
る発光素子は、発光材料が有機化合物であるか、無機化合物であるかによって区別され、
一般的に、前者は有機ＥＬ素子、後者は無機ＥＬ素子と呼ばれている。
【０２３９】
有機ＥＬ素子は、発光素子に電圧を印加することにより、一対の電極から電子および正孔
がそれぞれ発光性の有機化合物を含む層に注入され、電流が流れる。そして、それらキャ
リア（電子および正孔）が再結合することにより、発光性の有機化合物が励起状態を形成
し、その励起状態が基底状態に戻る際に発光する。このようなメカニズムから、このよう
な発光素子は、電流励起型の発光素子と呼ばれる。
【０２４０】
無機ＥＬ素子は、その素子構成により、分散型無機ＥＬ素子と薄膜型無機ＥＬ素子とに分
類される。分散型無機ＥＬ素子は、発光材料の粒子をバインダ中に分散させた発光層を有
するものであり、発光メカニズムはドナー準位とアクセプター準位を利用するドナー−ア
クセプター再結合型発光である。薄膜型無機ＥＬ素子は、発光層を誘電体層で挟み込み、
さらにそれを電極で挟んだ構造であり、発光メカニズムは金属イオンの内殻電子遷移を利
用する局在型発光である。なお、ここでは、発光素子として有機ＥＬ素子を用いて説明す
る。
【０２４１】
図１４は、本発明を適用した半導体装置の例としてデジタル時間階調駆動を適用可能な画
素構成の一例を示す図である。
【０２４２】
デジタル時間階調駆動を適用可能な画素の構成及び画素の動作について説明する。ここで
は、実施の形態１及び２で示した、酸化物半導体層（Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系膜）をチャ
ネル形成領域に用いるｎチャネル型のトランジスタを、１つの画素に２つ用いる例を示す
。
【０２４３】
画素６４００は、スイッチング用トランジスタ６４０１、駆動用トランジスタ６４０２、
発光素子６４０４及び容量素子６４０３を有している。スイッチング用トランジスタ６４
０１はゲートが走査線６４０６に接続され、第１電極（ソース電極及びドレイン電極の一
方）が信号線６４０５に接続され、第２電極（ソース電極及びドレイン電極の他方）が駆
動用トランジスタ６４０２のゲートに接続されている。駆動用トランジスタ６４０２は、
ゲートが容量素子６４０３を介して電源線６４０７に接続され、第１電極が電源線６４０
７に接続され、第２電極が発光素子６４０４の第１電極（画素電極）に接続されている。
発光素子６４０４の第２電極は共通電極６４０８に相当する。共通電極６４０８は、同一
基板上に形成される共通電位線と電気的に接続される。その接続部分を共通接続部とすれ
ばよい。
【０２４４】
なお、発光素子６４０４の第２電極（共通電極６４０８）には低電源電位が設定されてい
る。なお、低電源電位とは、電源線６４０７に設定される高電源電位を基準にして低電源
電位＜高電源電位を満たす電位であり、低電源電位としては例えばＧＮＤ、０Ｖなどが設
定されていても良い。この高電源電位と低電源電位との電位差を発光素子６４０４に印加
して、発光素子６４０４に電流を流して発光素子６４０４を発光させるため、高電源電位
と低電源電位との電位差が発光素子６４０４の順方向しきい値電圧以上となるようにそれ
ぞれの電位を設定する。
【０２４５】
なお、容量素子６４０３は駆動用トランジスタ６４０２のゲート容量を代用して省略する
ことも可能である。駆動用トランジスタ６４０２のゲート容量については、チャネル領域
とゲート電極との間で容量が形成されていてもよい。
【０２４６】
ここで、電圧入力電圧駆動方式の場合には、駆動用トランジスタ６４０２のゲートには、
駆動用トランジスタ６４０２が十分にオンするか、オフするかの二つの状態となるような
ビデオ信号を入力する。つまり、駆動用トランジスタ６４０２は線形領域で動作させる。
駆動用トランジスタ６４０２は線形領域で動作させるため、電源線６４０７の電圧よりも
高い電圧を駆動用トランジスタ６４０２のゲートにかける。なお、信号線６４０５には、
（電源線電圧＋駆動用トランジスタ６４０２のＶｔｈ）以上の電圧をかける。
【０２４７】
また、デジタル時間階調駆動に代えて、アナログ階調駆動を行う場合も信号の入力を異な
らせることで、図１４と同じ画素構成を用いることができる。
【０２４８】
アナログ階調駆動を行う場合、駆動用トランジスタ６４０２のゲートに発光素子６４０４
の順方向電圧＋駆動用トランジスタ６４０２のＶｔｈ以上の電圧をかける。発光素子６４
０４の順方向電圧とは、所望の輝度とする場合の電圧を指しており、少なくとも順方向し
きい値電圧を含む。なお、駆動用トランジスタ６４０２が飽和領域で動作するようなビデ
オ信号を入力することで、発光素子６４０４に電流を流すことができる。駆動用トランジ
スタ６４０２を飽和領域で動作させるため、電源線６４０７の電位は、駆動用トランジス
タ６４０２のゲート電位よりも高くする。ビデオ信号をアナログとすることで、発光素子
６４０４にビデオ信号に応じた電流を流し、アナログ階調駆動を行うことができる。
【０２４９】
なお、図１４に示す画素構成は、これに限定されない。例えば、図１４に示す画素に新た
にスイッチ、抵抗素子、容量素子、トランジスタ又は論理回路などを追加してもよい。
【０２５０】
次に、発光素子の構成について、図１５を用いて説明する。ここでは、駆動用ＴＦＴがｎ
型の場合を例に挙げて、画素の断面構造について説明する。図１５（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）の
半導体装置に用いられる駆動用ＴＦＴであるＴＦＴ７００１、７０１１、７０２１は、実
施の形態１及び２で示す薄膜トランジスタと同様に作製でき、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系膜
を酸化物半導体層として含む信頼性の高い薄膜トランジスタである。
【０２５１】
発光素子は発光を取り出すために少なくとも陽極又は陰極の一方が透明であればよい。そ
して、基板上に薄膜トランジスタ及び発光素子を形成し、基板とは逆側の面から発光を取
り出す上面射出や、基板側の面から発光を取り出す下面射出や、基板側及び基板とは反対
側の面から発光を取り出す両面射出構造の発光素子があり、本発明の画素構成はどの射出
構造の発光素子にも適用することができる。
【０２５２】
下面射出構造の発光素子について図１５（Ａ）を用いて説明する。
【０２５３】
駆動用ＴＦＴ７０１１がｎ型で、発光素子７０１２から発せられる光が第１の電極７０１
３側に射出する場合の、画素の断面図を示す。図１５（Ａ）では、駆動用ＴＦＴ７０１１
のドレイン電極層と電気的に接続された透光性を有する導電膜７０１７上に、発光素子７
０１２の第１の電極７０１３が形成されており、第１の電極７０１３上にＥＬ層７０１４
、第２の電極７０１５が順に積層されている。
【０２５４】
透光性を有する導電膜７０１７としては、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸
化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化
チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケ
イ素を添加したインジウム錫酸化物などの透光性を有する導電膜を用いることができる。
【０２５５】
また、発光素子の第１の電極７０１３は様々な材料を用いることができる。例えば、第１
の電極７０１３を陰極として用いる場合には、仕事関数が小さい材料、具体的には、例え
ば、ＬｉやＣｓ等のアルカリ金属、およびＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ等のアルカリ土類金属、およ
びこれらを含む合金（Ｍｇ：Ａｇ、Ａｌ：Ｌｉなど）の他、ＹｂやＥｒ等の希土類金属等
が好ましい。図１５（Ａ）では、第１の電極７０１３の膜厚は、光を透過する程度（好ま
しくは、５ｎｍ〜３０ｎｍ程度）とする。例えば２０ｎｍの膜厚を有するアルミニウム膜
を、第１の電極７０１３として用いる。
【０２５６】
なお、透光性を有する導電膜とアルミニウム膜を積層成膜した後、選択的にエッチングし
て透光性を有する導電膜７０１７と第１の電極７０１３を形成してもよく、この場合、同
じマスクを用いてエッチングすることができるため、好ましい。
【０２５７】
また、第１の電極７０１３の周縁部は、隔壁７０１９で覆う。隔壁７０１９は、ポリイミ
ド、アクリル、ポリアミド、エポキシ等の有機樹脂膜、無機絶縁膜または有機ポリシロキ
サンを用いて形成する。隔壁７０１９は、特に感光性の樹脂材料を用い、第１の電極７０
１３上に開口部を形成し、その開口部の側壁が連続した曲率を持って形成される傾斜面と
なるように形成することが好ましい。隔壁７０１９として感光性の樹脂材料を用いる場合
、レジストマスクを形成する工程を省略することができる。
【０２５８】
また、第１の電極７０１３及び隔壁７０１９上に形成するＥＬ層７０１４は、少なくとも
発光層を含めば良く、単数の層で構成されていても、複数の層が積層されるように構成さ
れていてもどちらでも良い。ＥＬ層７０１４が複数の層で構成されている場合、陰極とし
て機能する第１の電極７０１３上に電子注入層、電子輸送層、発光層、ホール輸送層、ホ
ール注入層の順に積層する。なおこれらの層を全て設ける必要はない。
【０２５９】
また、上記積層順に限定されず、第１の電極７０１３を陽極として機能させ、第１の電極
７０１３上にホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層の順に積層
してもよい。ただし、消費電力を比較する場合、第１の電極７０１３を陰極として機能さ
せ、第１の電極７０１３上に電子注入層、電子輸送層、発光層、ホール輸送層、ホール注
入層の順に積層するほうが、駆動回路部の電圧上昇を抑制でき、消費電力を少なくできる
ため好ましい。
【０２６０】
また、ＥＬ層７０１４上に形成する第２の電極７０１５としては、様々な材料を用いるこ
とができる。例えば、第２の電極７０１５を陽極として用いる場合、仕事関数が大きい材
料、例えば、ＺｒＮ、Ｔｉ、Ｗ、Ｎｉ、Ｐｔ、Ｃｒ等や、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯなどの
透明導電性材料が好ましい。また、第２の電極７０１５上に遮蔽膜７０１６、例えば光を
遮光する金属、光を反射する金属等を用いる。本実施の形態では、第２の電極７０１５と
してＩＴＯ膜を用い、遮蔽膜７０１６としてＴｉ膜を用いる。
【０２６１】
第１の電極７０１３及び第２の電極７０１５で、発光層を含むＥＬ層７０１４を挟んでい
る領域が発光素子７０１２に相当する。図１５（Ａ）に示した素子構造の場合、発光素子
７０１２から発せられる光は、矢印で示すように第１の電極７０１３側に射出する。
【０２６２】
なお、図１５（Ａ）において、発光素子７０１２から発せられる光は、カラーフィルタ層
７０３３を通過し、絶縁層７０３２、酸化物絶縁層７０３１、ゲート絶縁層７０６０、及
び基板７０１０を通過して射出させる。
【０２６３】
カラーフィルタ層７０３３はインクジェット法などの液滴吐出法や、印刷法、フォトリソ
グラフィ技術を用いたエッチング方法などでそれぞれ形成する。
【０２６４】
また、カラーフィルタ層７０３３はオーバーコート層７０３４で覆われ、さらに保護絶縁
層７０３５によって覆う。なお、図１５（Ａ）ではオーバーコート層７０３４は薄い膜厚
で図示したが、オーバーコート層７０３４は、アクリル樹脂などの樹脂材料を用い、カラ
ーフィルタ層７０３３に起因する凹凸を平坦化する機能を有している。
【０２６５】
また、保護絶縁層７０３５及び絶縁層７０３２に形成され、且つ、接続電極層７０３０に
達するコンタクトホールは、隔壁７０１９と重なる位置に配置する。
【０２６６】
次に、両面射出構造の発光素子について、図１５（Ｂ）を用いて説明する。
【０２６７】
図１５（Ｂ）では、駆動用ＴＦＴ７０２１のドレイン電極層と電気的に接続された透光性
を有する導電膜７０２７上に、発光素子７０２２の第１の電極７０２３が形成されており
、第１の電極７０２３上にＥＬ層７０２４、第２の電極７０２５が順に積層されている。
【０２６８】
透光性を有する導電膜７０２７としては、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸
化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化
チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケ
イ素を添加したインジウム錫酸化物などの透光性を有する導電膜を用いることができる。
【０２６９】
また、第１の電極７０２３は様々な材料を用いることができる。例えば、第１の電極７０
２３を陰極として用いる場合、仕事関数が小さい材料、具体的には、例えば、ＬｉやＣｓ
等のアルカリ金属、およびＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ等のアルカリ土類金属、およびこれらを含む
合金（Ｍｇ：Ａｇ、Ａｌ：Ｌｉなど）の他、ＹｂやＥｒ等の希土類金属等が好ましい。本
実施の形態では、第１の電極７０２３を陰極として用い、その膜厚は、光を透過する程度
（好ましくは、５ｎｍ〜３０ｎｍ程度）とする。例えば２０ｎｍの膜厚を有するアルミニ
ウム膜を、陰極として用いる。
【０２７０】
なお、透光性を有する導電膜とアルミニウム膜を積層成膜した後、選択的にエッチングし
て透光性を有する導電膜７０２７と第１の電極７０２３を形成してもよく、この場合、同
じマスクを用いてエッチングすることができ、好ましい。
【０２７１】
また、第１の電極７０２３の周縁部は、隔壁７０２９で覆う。隔壁７０２９は、ポリイミ
ド、アクリル、ポリアミド、エポキシ等の有機樹脂膜、無機絶縁膜または有機ポリシロキ
サンを用いて形成する。隔壁７０２９は、特に感光性の樹脂材料を用い、第１の電極７０
２３上に開口部を形成し、その開口部の側壁が連続した曲率を持って形成される傾斜面と
なるように形成することが好ましい。隔壁７０２９として感光性の樹脂材料を用いる場合
、レジストマスクを形成する工程を省略することができる。
【０２７２】
また、第１の電極７０２３及び隔壁７０２９上に形成するＥＬ層７０２４は、少なくとも
発光層を含めば良く、単数の層で構成されていても、複数の層が積層されるように構成さ
れていてもどちらでも良い。ＥＬ層７０２４が複数の層で構成されている場合、陰極とし
て機能する第１の電極７０２３上に電子注入層、電子輸送層、発光層、ホール輸送層、ホ
ール注入層の順に積層する。なおこれらの層を全て設ける必要はない。
【０２７３】
また、上記積層順に限定されず、第１の電極７０２３を陽極として用い、陽極上にホール
注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層の順に積層してもよい。ただし
、消費電力を比較する場合、第１の電極７０２３を陰極として用い、陰極上に電子注入層
、電子輸送層、発光層、ホール輸送層、ホール注入層の順に積層するほうが消費電力が少
ないため好ましい。
【０２７４】
また、ＥＬ層７０２４上に形成する第２の電極７０２５としては、様々な材料を用いるこ
とができる。例えば、第２の電極７０２５を陽極として用いる場合、仕事関数が大きい材
料、例えば、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯなどの透明導電性材料を好ましく用いることができ
る。本実施の形態では、第２の電極７０２５を陽極として用い、酸化珪素を含むＩＴＯ膜
を形成する。
【０２７５】
第１の電極７０２３及び第２の電極７０２５で、発光層を含むＥＬ層７０２４を挟んでい
る領域が発光素子７０２２に相当する。図１５（Ｂ）に示した素子構造の場合、発光素子
７０２２から発せられる光は、矢印で示すように第２の電極７０２５側と第１の電極７０
２３側の両方に射出する。
【０２７６】
なお、図１５（Ｂ）において、発光素子７０２２から第１の電極７０２３側に発せられる
一方の光は、カラーフィルタ層７０４３を通過し、絶縁層７０４２、酸化物絶縁層７０４
１、ゲート絶縁層７０７０、及び基板７０２０を通過して射出させる。
【０２７７】
カラーフィルタ層７０４３はインクジェット法などの液滴吐出法や、印刷法、フォトリソ
グラフィ技術を用いたエッチング方法などでそれぞれ形成する。
【０２７８】
また、カラーフィルタ層７０４３はオーバーコート層７０４４で覆われ、さらに保護絶縁
層７０４５によって覆う。
【０２７９】
また、保護絶縁層７０４５及び絶縁層７０４２に形成され、且つ、接続電極層７０４０に
達するコンタクトホールは、隔壁７０２９と重なる位置に配置する。
【０２８０】
ただし、両面射出構造の発光素子を用い、どちらの表示面もフルカラー表示とする場合、
第２の電極７０２５側からの光はカラーフィルタ層７０４３を通過しないため、別途カラ
ーフィルタ層を備えた封止基板を第２の電極７０２５上方に設けることが好ましい。
【０２８１】
次に、上面射出構造の発光素子について、図１５（Ｃ）を用いて説明する。
【０２８２】
図１５（Ｃ）に、駆動用ＴＦＴであるＴＦＴ７００１がｎ型で、発光素子７００２から発
せられる光が第２の電極７００５側に抜ける場合の、画素の断面図を示す。図１５（Ｃ）
では、駆動用のＴＦＴ７００１のドレイン電極層と電気的に接続された発光素子７００２
の第１の電極７００３が形成されており、第１の電極７００３上にＥＬ層７００４、第２
の電極７００５が順に積層されている。
【０２８３】
また、第１の電極７００３は様々な材料を用いることができる。例えば、第１の電極７０
０３を陰極として用いる場合、仕事関数が小さい材料、具体的には、例えば、ＬｉやＣｓ
等のアルカリ金属、およびＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ等のアルカリ土類金属、およびこれらを含む
合金（Ｍｇ：Ａｇ、Ａｌ：Ｌｉなど）の他、ＹｂやＥｒ等の希土類金属等が好ましい。
【０２８４】
また、第１の電極７００３及び隔壁７００９上に形成するＥＬ層７００４は、少なくとも
発光層を含めば良く、単数の層で構成されていても、複数の層が積層されるように構成さ
れていてもどちらでも良い。ＥＬ層７００４が複数の層で構成されている場合、陰極とし
て用いる第１の電極７００３上に電子注入層、電子輸送層、発光層、ホール輸送層、ホー
ル注入層の順に積層する。なおこれらの層を全て設ける必要はない。
【０２８５】
また、上記積層順に限定されず、陽極として用いる第１の電極７００３上にホール注入層
、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層の順に積層してもよい。
【０２８６】
図１５（Ｃ）ではＴｉ膜、アルミニウム膜、Ｔｉ膜の順に積層した積層膜上に、ホール注
入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層の順に積層し、その上にＭｇ：Ａ
ｇ合金薄膜とＩＴＯ膜との積層を形成する。
【０２８７】
ただし、ＴＦＴ７００１がｎ型の場合、第１の電極７００３上に電子注入層、電子輸送層
、発光層、ホール輸送層、ホール注入層の順に積層するほうが、駆動回路における電圧上
昇を抑制することができ、消費電力を少なくできるため好ましい。
【０２８８】
第２の電極７００５は透光性を有する導電性材料を用いて形成し、例えば酸化タングステ
ンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタン
を含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム錫酸化物、
インジウム亜鉛酸化物、酸化ケイ素を添加したインジウム錫酸化物などの透光性を有する
導電膜を用いても良い。
【０２８９】
第１の電極７００３及び第２の電極７００５で発光層を含むＥＬ層７００４を挟んでいる
領域が発光素子７００２に相当する。図１５（Ｃ）に示した素子構造の場合、発光素子７
００２から発せられる光は、矢印で示すように第２の電極７００５側に射出する。
【０２９０】
また、図１５（Ｃ）において、ＴＦＴ７００１のドレイン電極層は、酸化物絶縁層７０５
１、保護絶縁層７０５２及び絶縁層７０５５に設けられたコンタクトホールを介して第１
の電極７００３と電気的に接続する。平坦化絶縁層７０５３は、ポリイミド、アクリル、
ベンゾシクロブテン、ポリアミド、エポキシ等の樹脂材料を用いることができる。また上
記樹脂材料の他に、低誘電率材料（ｌｏｗ−ｋ材料）、シロキサン系樹脂、ＰＳＧ（リン
ガラス）、ＢＰＳＧ（リンボロンガラス）等を用いることができる。なお、これらの材料
で形成される絶縁膜を複数積層させることで、平坦化絶縁層７０５３を形成してもよい。
平坦化絶縁層７０５３の形成法は、特に限定されず、その材料に応じて、スパッタ法、Ｓ
ＯＧ法、スピンコート、ディップ、スプレー塗布、液滴吐出法（インクジェット法、スク
リーン印刷、オフセット印刷等）、ドクターナイフ、ロールコーター、カーテンコーター
、ナイフコーター等を用いることができる。
【０２９１】
また、第１の電極７００３と、隣り合う画素の第１の電極７００３とを絶縁するために隔
壁７００９を設ける。隔壁７００９は、ポリイミド、アクリル、ポリアミド、エポキシ等
の有機樹脂膜、無機絶縁膜または有機ポリシロキサンを用いて形成する。隔壁７００９は
、特に感光性の樹脂材料を用い、第１の電極７００３上に開口部を形成し、その開口部の
側壁が連続した曲率を持って形成される傾斜面となるように形成することが好ましい。隔
壁７００９として感光性の樹脂材料を用いる場合、レジストマスクを形成する工程を省略
することができる。
【０２９２】
また、図１５（Ｃ）の構造においては、フルカラー表示を行う場合、例えば発光素子７０
０２として緑色発光素子とし、隣り合う一方の発光素子を赤色発光素子とし、もう一方の
発光素子を青色発光素子とする。また、３種類の発光素子だけでなく白色素子を加えた４
種類の発光素子でフルカラー表示ができる発光表示装置を作製してもよい。
【０２９３】
また、図１５（Ｃ）の構造においては、配置する複数の発光素子を全て白色発光素子とし
て、発光素子７００２上方にカラーフィルタなどを有する封止基板を配置する構成とし、
フルカラー表示ができる発光表示装置を作製してもよい。白色などの単色の発光を示す材
料を形成し、カラーフィルタや色変換層を組み合わせることによりフルカラー表示を行う
ことができる。
【０２９４】
もちろん単色発光の表示を行ってもよい。例えば、白色発光を用いて照明装置を形成して
もよいし、単色発光を用いてエリアカラータイプの発光装置を形成してもよい。
【０２９５】
また、必要があれば、円偏光板などの偏光フィルムなどの光学フィルムを設けてもよい。
【０２９６】
なお、ここでは、発光素子として有機ＥＬ素子について述べたが、発光素子として無機Ｅ
Ｌ素子を設けることも可能である。
【０２９７】
なお、発光素子の駆動を制御する薄膜トランジスタ（駆動用ＴＦＴ）と発光素子が電気的
に接続されている例を示したが、駆動用ＴＦＴと発光素子との間に電流制御用ＴＦＴが接
続されている構成であってもよい。
【０２９８】
なお本実施の形態で示す半導体装置は、図１５に示した構成に限定されるものではなく、
本発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。
【０２９９】
次に、実施の形態１または２に示す薄膜トランジスタを適用した半導体装置の一形態に相
当する発光表示パネル（発光パネルともいう）の外観及び断面について、図１６を用いて
説明する。図１６（Ａ）は、第１の基板上に形成された薄膜トランジスタ及び発光素子を
、第２の基板との間にシール材によって封止した、パネルの上面図であり、図１６（Ｂ）
は、図１６（Ａ）のＨ−Ｉにおける断面図に相当する。
【０３００】
第１の基板４５０１上に設けられた画素部４５０２、信号線駆動回路４５０３ａ、４５０
３ｂ、及び走査線駆動回路４５０４ａ、４５０４ｂを囲むようにして、シール材４５０５
が設けられている。また画素部４５０２、信号線駆動回路４５０３ａ、４５０３ｂ、及び
走査線駆動回路４５０４ａ、４５０４ｂの上に第２の基板４５０６が設けられている。よ
って画素部４５０２、信号線駆動回路４５０３ａ、４５０３ｂ、及び走査線駆動回路４５
０４ａ、４５０４ｂは、第１の基板４５０１とシール材４５０５と第２の基板４５０６と
によって、充填材４５０７と共に密封されている。このように外気に曝されないように気
密性が高く、脱ガスの少ない保護フィルム（貼り合わせフィルム、紫外線硬化樹脂フィル
ム等）やカバー材でパッケージング（封入）することが好ましい。
【０３０１】
また第１の基板４５０１上に設けられた画素部４５０２、信号線駆動回路４５０３ａ、４
５０３ｂ、及び走査線駆動回路４５０４ａ、４５０４ｂは、薄膜トランジスタを複数有し
ており、図１６（Ｂ）では、画素部４５０２に含まれる薄膜トランジスタ４５１０と、信
号線駆動回路４５０３ａに含まれる薄膜トランジスタ４５０９とを例示している。
【０３０２】
薄膜トランジスタ４５０９、４５１０は、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系膜を酸化物半導体層と
して含む信頼性の高い実施の形態１及び２に示す薄膜トランジスタを適用することができ
る。本実施の形態において、薄膜トランジスタ４５０９、４５１０はｎチャネル型薄膜ト
ランジスタである。
【０３０３】
絶縁層４５４４上において駆動回路用の薄膜トランジスタ４５０９の酸化物半導体層のチ
ャネル形成領域と重なる位置に導電層４５４０が設けられている。導電層４５４０を酸化
物半導体層のチャネル形成領域と重なる位置に設けることによって、ＢＴ試験前後におけ
る薄膜トランジスタ４５０９のしきい値電圧の変化量を低減することができる。また、導
電層４５４０は、電位が薄膜トランジスタ４５０９のゲート電極層と同じでもよいし、異
なっていても良く、第２のゲート電極層として機能させることもできる。また、導電層４
５４０の電位がＧＮＤ、０Ｖ、或いはフローティング状態であってもよい。
【０３０４】
また４５１１は発光素子に相当し、発光素子４５１１が有する画素電極である第１の電極
層４５１７は、薄膜トランジスタ４５１０のソース電極層またはドレイン電極層と電気的
に接続されている。なお発光素子４５１１の構成は、第１の電極層４５１７、電界発光層
４５１２、第２の電極層４５１３の積層構造であるが、本実施の形態に示した構成に限定
されない。発光素子４５１１から取り出す光の方向などに合わせて、発光素子４５１１の
構成は適宜変えることができる。
【０３０５】
隔壁４５２０は、有機樹脂膜、無機絶縁膜または有機ポリシロキサンを用いて形成する。
特に感光性の材料を用い、第１の電極層４５１７上に開口部を形成し、その開口部の側壁
が連続した曲率を持って形成される傾斜面となるように形成することが好ましい。
【０３０６】
電界発光層４５１２は、単数の層で構成されていても、複数の層が積層されるように構成
されていてもどちらでも良い。
【０３０７】
発光素子４５１１に酸素、水素、水分、二酸化炭素等が侵入しないように、第２の電極層
４５１３及び隔壁４５２０上に保護膜を形成してもよい。保護膜としては、窒化シリコン
膜、窒化酸化シリコン膜、ＤＬＣ膜等を形成することができる。
【０３０８】
また、信号線駆動回路４５０３ａ、４５０３ｂ、走査線駆動回路４５０４ａ、４５０４ｂ
、または画素部４５０２に与えられる各種信号及び電位は、ＦＰＣ４５１８ａ、４５１８
ｂから供給されている。
【０３０９】
本実施の形態では、接続端子電極４５１５が、発光素子４５１１が有する第１の電極層４
５１７と同じ導電膜から形成され、端子電極４５１６は、薄膜トランジスタ４５０９、４
５１０が有するソース電極層及びドレイン電極層と同じ導電膜から形成されている。
【０３１０】
接続端子電極４５１５は、ＦＰＣ４５１８ａが有する端子と、異方性導電膜４５１９を介
して電気的に接続されている。
【０３１１】
発光素子４５１１からの光の取り出し方向に位置する第２の基板は透光性でなければなら
ない。その場合には、ガラス板、プラスチック板、ポリエステルフィルムまたはアクリル
フィルムのような透光性を有する材料を用いる。
【０３１２】
また、充填材４５０７としては窒素やアルゴンなどの不活性な気体の他に、紫外線硬化樹
脂または熱硬化樹脂を用いることができ、ＰＶＣ（ポリビニルクロライド）、アクリル、
ポリイミド、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ＰＶＢ（ポリビニルブチラル）またはＥＶ
Ａ（エチレンビニルアセテート）を用いることができる。本実施の形態は充填材として窒
素を用いた。
【０３１３】
また、必要であれば、発光素子の射出面に偏光板、又は円偏光板（楕円偏光板を含む）、
位相差板（λ／４板、λ／２板）、カラーフィルタなどの光学フィルムを適宜設けてもよ
い。また、偏光板又は円偏光板に反射防止膜を設けてもよい。例えば、表面の凹凸により
反射光を拡散し、映り込みを低減できるアンチグレア処理を施すことができる。
【０３１４】
信号線駆動回路４５０３ａ、４５０３ｂ、及び走査線駆動回路４５０４ａ、４５０４ｂは
、別途用意された基板上に単結晶半導体膜又は多結晶半導体膜によって形成された駆動回
路で実装されていてもよい。また、信号線駆動回路のみ、或いは一部、又は走査線駆動回
路のみ、或いは一部のみを別途形成して実装しても良く、本実施の形態は図１６の構成に
限定されない。
【０３１５】
以上の工程により、半導体装置として信頼性の高い発光表示装置（表示パネル）を作製す
ることができる。
【０３１６】
なお、本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示した構成を適宜組み合わせて用い
ることができることとする。
【０３１７】
（実施の形態７）
実施の形態１または２に示す薄膜トランジスタを適用した半導体装置は、電子ペーパーと
して適用することができる。電子ペーパーは、情報を表示するものであればあらゆる分野
の電子機器に用いることが可能である。例えば、電子ペーパーを用いて、電子書籍（電子
ブック）、ポスター、電車などの乗り物の車内広告、クレジットカード等の各種カードに
おける表示等に適用することができる。電子機器の一例を図１７、図１８に示す。
【０３１８】
図１７（Ａ）は、電子ペーパーで作られたポスター２６３１を示している。広告媒体が紙
の印刷物である場合には、広告の交換は人手によって行われるが、電子ペーパーを用いれ
ば短時間で広告の表示を変えることができる。また、表示も崩れることなく安定した画像
が得られる。なお、ポスターは無線で情報を送受信できる構成としてもよい。
【０３１９】
また、図１７（Ｂ）は、電車などの乗り物の車内広告２６３２を示している。広告媒体が
紙の印刷物である場合には、広告の交換は人手によって行われるが、電子ペーパーを用い
れば人手を多くかけることなく短時間で広告の表示を変えることができる。また表示も崩
れることなく安定した画像が得られる。なお、車内広告は無線で情報を送受信できる構成
としてもよい。
【０３２０】
また、図１８は、電子書籍の一例を示している。例えば、電子書籍２７００は、筐体２７
０１および筐体２７０３の２つの筐体で構成されている。筐体２７０１および筐体２７０
３は、軸部２７１１により一体とされており、該軸部２７１１を軸として開閉動作を行う
ことができる。このような構成により、紙の書籍のような動作を行うことが可能となる。
【０３２１】
筐体２７０１には表示部２７０５が組み込まれ、筐体２７０３には表示部２７０７が組み
込まれている。表示部２７０５および表示部２７０７は、続き画面を表示する構成として
もよいし、異なる画面を表示する構成としてもよい。異なる画面を表示する構成とするこ
とで、例えば右側の表示部（図１８では表示部２７０５）に文章を表示し、左側の表示部
（図１８では表示部２７０７）に画像を表示することができる。
【０３２２】
また、図１８では、筐体２７０１に操作部などを備えた例を示している。例えば、筐体２
７０１において、電源２７２１、操作キー２７２３、スピーカ２７２５などを備えている
。操作キー２７２３により、頁を送ることができる。なお、筐体の表示部と同一面にキー
ボードやポインティングディバイスなどを備える構成としてもよい。また、筐体の裏面や
側面に、外部接続用端子（イヤホン端子、ＵＳＢ端子、またはＡＣアダプタおよびＵＳＢ
ケーブルなどの各種ケーブルと接続可能な端子など）、記録媒体挿入部などを備える構成
としてもよい。さらに、電子書籍２７００は、電子辞書としての機能を持たせた構成とし
てもよい。
【０３２３】
また、電子書籍２７００は、無線で情報を送受信できる構成としてもよい。無線により、
電子書籍サーバから、所望の書籍データなどを購入し、ダウンロードする構成とすること
も可能である。
【０３２４】
なお、本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示した構成を適宜組み合わせて用い
ることができることとする。
【０３２５】
（実施の形態８）
実施の形態１または２に示す薄膜トランジスタを用いた半導体装置は、さまざまな電子機
器（遊技機も含む）に適用することができる。電子機器としては、例えば、テレビジョン
装置（テレビ、またはテレビジョン受信機ともいう）、コンピュータ用などのモニタ、デ
ジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機（携帯電話
、携帯電話装置ともいう）、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、パチンコ機
などの大型ゲーム機などが挙げられる。
【０３２６】
図１９（Ａ）は、テレビジョン装置の一例を示している。テレビジョン装置９６００は、
筐体９６０１に表示部９６０３が組み込まれている。表示部９６０３により、映像を表示
することが可能である。また、ここでは、スタンド９６０５により筐体９６０１を支持し
た構成を示している。
【０３２７】
テレビジョン装置９６００の操作は、筐体９６０１が備える操作スイッチや、別体のリモ
コン操作機９６１０により行うことができる。リモコン操作機９６１０が備える操作キー
９６０９により、チャンネルや音量の操作を行うことができ、表示部９６０３に表示され
る映像を操作することができる。また、リモコン操作機９６１０に、当該リモコン操作機
９６１０から出力する情報を表示する表示部９６０７を設ける構成としてもよい。
【０３２８】
なお、テレビジョン装置９６００は、受信機やモデムなどを備えた構成とする。受信機に
より一般のテレビ放送の受信を行うことができ、さらにモデムを介して有線または無線に
よる通信ネットワークに接続することにより、一方向（送信者から受信者）または双方向
（送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など）の情報通信を行うことも可能である。
【０３２９】
図１９（Ｂ）は、デジタルフォトフレームの一例を示している。例えば、デジタルフォト
フレーム９７００は、筐体９７０１に表示部９７０３が組み込まれている。表示部９７０
３は、各種画像を表示することが可能であり、例えばデジタルカメラなどで撮影した画像
データを表示させることで、通常の写真立てと同様に機能させることができる。
【０３３０】
なお、デジタルフォトフレーム９７００は、操作部、外部接続用端子（ＵＳＢ端子、ＵＳ
Ｂケーブルなどの各種ケーブルと接続可能な端子など）、記録媒体挿入部などを備える構
成とする。これらの構成は、表示部と同一面に組み込まれていてもよいが、側面や裏面に
備えるとデザイン性が向上するため好ましい。例えば、デジタルフォトフレームの記録媒
体挿入部に、デジタルカメラで撮影した画像データを記憶したメモリを挿入して画像デー
タを取り込み、取り込んだ画像データを表示部９７０３に表示させることができる。
【０３３１】
また、デジタルフォトフレーム９７００は、無線で情報を送受信できる構成としてもよい
。無線により、所望の画像データを取り込み、表示させる構成とすることもできる。
【０３３２】
図２０（Ａ）は携帯型遊技機であり、筐体９８８１と筐体９８９１の２つの筐体で構成さ
れており、連結部９８９３により、開閉可能に連結されている。筐体９８８１には表示部
９８８２が組み込まれ、筐体９８９１には表示部９８８３が組み込まれている。また、図
２０（Ａ）に示す携帯型遊技機は、その他、スピーカ部９８８４、記録媒体挿入部９８８
６、ＬＥＤランプ９８９０、入力手段（操作キー９８８５、接続端子９８８７、センサ９
８８８（力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、
化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振
動、におい又は赤外線を測定する機能を含むもの）、マイクロフォン９８８９）等を備え
ている。もちろん、携帯型遊技機の構成は上述のものに限定されず、少なくとも本発明に
係る半導体装置を備えた構成であればよく、その他付属設備が適宜設けられた構成とする
ことができる。図２０（Ａ）に示す携帯型遊技機は、記録媒体に記録されているプログラ
ム又はデータを読み出して表示部に表示する機能や、他の携帯型遊技機と無線通信を行っ
て情報を共有する機能を有する。なお、図２０（Ａ）に示す携帯型遊技機が有する機能は
これに限定されず、様々な機能を有することができる。
【０３３３】
図２０（Ｂ）は大型遊技機であるスロットマシンの一例を示している。スロットマシン９
９００は、筐体９９０１に表示部９９０３が組み込まれている。また、スロットマシン９
９００は、その他、スタートレバーやストップスイッチなどの操作手段、コイン投入口、
スピーカなどを備えている。もちろん、スロットマシン９９００の構成は上述のものに限
定されず、少なくとも本発明に係る半導体装置を備えた構成であればよく、その他付属設
備が適宜設けられた構成とすることができる。
【０３３４】
図２１（Ａ）は、携帯電話機の一例を示している。携帯電話機１０００は、筐体１００１
に組み込まれた表示部１００２の他、操作ボタン１００３、外部接続ポート１００４、ス
ピーカ１００５、マイク１００６などを備えている。
【０３３５】
図２１（Ａ）に示す携帯電話機１０００は、表示部１００２を指などで触れることで、情
報を入力ことができる。また、電話を掛ける、或いはメールを打つなどの操作は、表示部
１００２を指などで触れることにより行うことができる。
【０３３６】
表示部１００２の画面は主として３つのモードがある。第１は、画像の表示を主とする表
示モードであり、第２は、文字等の情報の入力を主とする入力モードである。第３は表示
モードと入力モードの２つのモードが混合した表示＋入力モードである。
【０３３７】
例えば、電話を掛ける、或いはメールを作成する場合は、表示部１００２を文字の入力を
主とする文字入力モードとし、画面に表示させた文字の入力操作を行えばよい。この場合
、表示部１００２の画面のほとんどにキーボードまたは番号ボタンを表示させることが好
ましい。
【０３３８】
また、携帯電話機１０００内部に、ジャイロ、加速度センサ等の傾きを検出するセンサを
有する検出装置を設けることで、携帯電話機１０００の向き（縦か横か）を判断して、表
示部１００２の画面表示を自動的に切り替えるようにすることができる。
【０３３９】
また、画面モードの切り替えは、表示部１００２を触れること、又は筐体１００１の操作
ボタン１００３の操作により行われる。また、表示部１００２に表示される画像の種類に
よって切り替えるようにすることもできる。例えば、表示部に表示する画像信号が動画の
データであれば表示モード、テキストデータであれば入力モードに切り替える。
【０３４０】
また、入力モードにおいて、表示部１００２の光センサで検出される信号を検知し、表示
部１００２のタッチ操作による入力が一定期間ない場合には、画面のモードを入力モード
から表示モードに切り替えるように制御してもよい。
【０３４１】
表示部１００２は、イメージセンサとして機能させることもできる。例えば、表示部１０
０２に掌や指を触れることで、掌紋、指紋等を撮像することで、本人認証を行うことがで
きる。また、表示部に近赤外光を発光するバックライトまたは近赤外光を発光するセンシ
ング用光源を用いれば、指静脈、掌静脈などを撮像することもできる。
【０３４２】
図２１（Ｂ）も携帯電話機の一例である。図２１（Ｂ）の携帯電話機は、筐体９４１１に
、表示部９４１２、及び操作ボタン９４１３を含む表示装置９４１０と、筐体９４０１に
操作ボタン９４０２、外部入力端子９４０３、マイク９４０４、スピーカ９４０５、及び
着信時に発光する発光部９４０６を含む通信装置９４００とを有しており、表示機能を有
する表示装置９４１０は電話機能を有する通信装置９４００と矢印の２方向に脱着可能で
ある。よって、表示装置９４１０と通信装置９４００の短軸同士を取り付けることも、表
示装置９４１０と通信装置９４００の長軸同士を取り付けることもできる。また、表示機
能のみを必要とする場合、通信装置９４００より表示装置９４１０を取り外し、表示装置
９４１０を単独で用いることもできる。通信装置９４００と表示装置９４１０とは無線通
信又は有線通信により画像又は入力情報を授受することができ、それぞれ充電可能なバッ
テリーを有する。
【０３４３】
なお、本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示した構成を適宜組み合わせて用い
ることができることとする。
【０３４４】
（実施の形態９）
本実施の形態では、酸化物半導体層と金属層（導電層）または酸化物絶縁層の接触によっ
て酸素が移動する現象について、酸化物半導体層が非晶質の場合と結晶の場合との違いの
科学計算結果を説明する。
【０３４５】
図２４は、本発明の一態様である薄膜トランジスタの構造において、酸化物半導体層とソ
ース電極層及びドレイン電極層となる金属層及び酸化物絶縁層が接触した状態の模式図で
ある。図の矢印方向は、それぞれが接触した状態もしくは、加熱した状態でのそれぞれ酸
素の移動方向を示している。
【０３４６】
Ｉ型の酸化物半導体層は、酸素欠損を起こすとＮ型の導電性を示すようになり、逆に酸素
欠損でＮ型となっている酸化物半導体層は、酸素を過剰に供給されることでＩ型となる。
実際のデバイスプロセスではこの効果を利用し、ソース電極層及びドレイン電極層となる
金属層と接する酸化物半導体層は、金属側に酸素が引っ張られ、その接した領域の一部（
膜厚が薄い場合は膜厚方向全体）が酸素欠損を起こしてＮ型化し、金属層と良好な接触を
得ることができる。また、酸化物絶縁層と接する酸化物半導体層は、酸化物絶縁層から酸
化物半導体層に酸素が供給され、その接した領域の一部が（膜厚が薄い場合は膜厚方向全
体）が酸素過剰となってＩ型化し、薄膜トランジスタのチャネル形成領域として機能する
ようになる。
【０３４７】
本発明の一態様では、酸化物半導体層とソース電極層及びドレイン電極層となる金属層及
び酸化物絶縁層が接触する領域には、結晶領域が形成されており、非晶質の状態と、結晶
領域とでの、酸素の移動形態の違いの有無を科学計算によって確かめた。
【０３４８】
科学計算に用いたモデルは、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系の非晶質及び結晶構造で、直方体の
長手方向片側の領域から酸素を１０％欠損させたものを用いた（図２５参照。）計算内容
は、６５０℃の加速条件下で１０ｎｓｅｃ．後の酸素の分布を比較するものである。それ
ぞれの条件を表１、表２に示す。
【０３４９】
【表１】
2020145447.tif 000003
【０３５０】
【表２】
2020145447.tif 000004
【０３５１】
図２６（Ａ）に非晶質を用いた場合の酸素の分布、図２６（Ｂ）に結晶を用いた場合の酸
素の分布を示す。点線が初期（Ｉｎｉｔｉａｌ）、実線が結果（１０ｎｓｅｃ．後）であ
る。分布の変化から、非晶質、結晶を問わず酸素が移動していることがわかる。
【０３５２】
酸素欠損有りの領域で、計算前後での酸素原子の増加率は、非晶質で１５．９％、結晶で
１１．３％であった。つまり、非晶質の方が結晶よりも酸素が動きやすく、酸素欠損を埋
めやすいという結果となった。すなわち、結晶内では非晶質よりも比較的酸素は動きにく
いことになる。
【０３５３】
従って、本発明の一態様における酸化物半導体層に結晶領域を有する構造においても、酸
化物半導体層が非晶質の場合と同様に酸素の移動が起こることが確認された。また、結晶
内では非晶質よりも比較的酸素は動きにくいことから、酸化物半導体層からの酸素の脱離
を抑える効果があることが確認できた。
【符号の説明】
【０３５４】
４００    基板
４０２    ゲート絶縁層
４１０    薄膜トランジスタ
４１１    端子
４１２    接続電極
４１４    端子
４１５    透明導電膜
４１６    電極
４１８    透明導電膜
４２１ａ    ゲート電極層
４２１ｂ    容量配線
４２１ｃ    端子
４２３    酸化物半導体層
４２４ａ    第１領域
４２４ｂ    第２領域
４２４ｃ    第３領域
４２４ｄ    第４領域
４２４ｅ    第５領域
４２５ａ    ソース電極層
４２５ｂ    ドレイン電極層
４２６ａ    酸化物絶縁層
４２６ｂ    酸化物絶縁層
４２８    酸化物絶縁層
４２９    接続電極
４３０    薄膜トランジスタ
４５０    薄膜トランジスタ
４５６ａ    酸化物絶縁層
４７０    薄膜トランジスタ
４８０ａ    レジストマスク
４８０ｂ    レジストマスク
４８２ａ    レジストマスク
４８２ｂ    レジストマスク
４８２ｃ    レジストマスク
４９０    薄膜トランジスタ
【図１】
2020145447.tif 000005
【図２】
2020145447.tif 000006
【図３】
2020145447.tif 000007
【図４】
2020145447.tif 000008
【図５】
2020145447.tif 000009
【図６】
2020145447.tif 000010
【図７】
2020145447.tif 000011
【図８】
2020145447.tif 000012
【図９】
2020145447.tif 000013
【図１０】
2020145447.tif 000014
【図１１】
2020145447.tif 000015
【図１２】
2020145447.tif 000016
【図１３】
2020145447.tif 000017
【図１４】
2020145447.tif 000018
【図１５】
2020145447.tif 000019
【図１６】
2020145447.tif 000020
【図１７】
2020145447.tif 000021
【図１８】
2020145447.tif 000022
【図１９】
2020145447.tif 000023
【図２０】
2020145447.tif 000024
【図２１】
2020145447.tif 000025
【図２２】
2020145447.tif 000026
【図２３】
2020145447.tif 000027
【図２４】
2020145447.tif 000028
【図２５】
2020145447.tif 000029
【図２６】
2020145447.tif 000030