(57)【要約】【課題】蓋容器が可動する際の反応性を向上させて、密閉性のより高い密閉型洗浄装置を提供することを目的にする。【解決手段】本発明の密閉型洗浄装置は、被洗浄物の洗浄に用いられる密閉容器と、前記密閉容器と連通して当該密閉容器内の圧力変動を吸収するアキュムレータと、を備えた密閉型洗浄装置であって、前記アキュムレータは、前記密閉容器内の圧力変動に応じて可動する可動体と、前記可動体と連動するカウンタウェイトと、を有し、前記カウンタウェイトは、前記可動体と平衡状態を保つ重さを有していることを特徴とする。【選択図】図１
2020075220.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物の洗浄に用いられる密閉容器と、前記密閉容器と連通して当該密閉容器内の圧力変動を吸収するアキュムレータと、を備えた密閉型洗浄装置であって、
前記アキュムレータは、前記密閉容器内の圧力変動に応じて可動する可動体と、前記可動体と連動するカウンタウェイトと、を有し、
前記カウンタウェイトは、前記可動体と平衡状態を保つ重さを有している、
密閉型洗浄装置。
【請求項２】
前記可動体と前記カウンタウェイトとの重量バランスを調整する調整用部材を有する、
請求項１に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項３】
前記可動体と前記カウンタウェイトとが、回転体に案内される連結体によって連結されており、
前記可動体と前記カウンタウェイトは、それぞれ互いに連動して反対方向に動くように構成されている、
請求項１または２に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項４】
前記可動体は、有蓋無底容器状に形成されており、無底側を不活性液体に潜入させた状態で容器内の空間により前記不活性液体上に浮上支持されるように構成されている、
請求項１〜３のいずれか１項に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項５】
前記密閉容器は、開閉可能な蓋体を有し、
前記蓋体は、当該蓋体を第一の方向に移動させる第一の移動機構と、前記第一の方向に直交する第二の方向に移動させる第二の移動機構と、によって支持されている、
請求項１〜４のいずれか１項に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項６】
前記第二の移動機構は、前記蓋体の取手と一体で構成されている、
請求項５に記載の密閉型洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、密閉型洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の密閉型洗浄装置として、密閉容器内の圧力変動を吸収するアキュムレータを備えることにより、密閉容器内の密閉性を維持する密閉型洗浄装置が知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載されたアキュムレータは下容器と蓋容器とを備えており、蓋容器は所定の重量を持ち、下容器の開口に嵌め込まれ不活性液体上に浮いている。密閉容器に溜まるガスは、蓋容器内に導かれ蓋容器内の空間に溜まるようになっており、蓋容器内の空間に溜まるガス圧及び不活性液体が与える浮力と、蓋容器の重力とがバランスして蓋容器が不活性液体上に浮上支持される。密閉容器内の圧力の変動に応じて蓋容器内に溜まるガス量が変化して、蓋容器が上下動して、密閉容器内を一定の圧力に保持し、密閉容器の密閉性を維持している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２４０６０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の密閉型洗浄装置では、蓋容器の反応性が低いことが問題になっていた。その結果、蓋容器が可動するまでに密閉容器のガス圧力はさらに上昇してしまい、限界を超えて洗浄液が密閉容器の蓋の隙間から漏洩してしまうという問題が生じていた。洗浄液が密閉容器から漏洩してしまうと、外部環境を汚染してしまう。さらに洗浄液の再利用ができなくなるので不経済である。
【０００６】
そこで、本発明は、蓋容器が可動する際の反応性を向上させて、密閉性のより高い密閉型洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
出願人は、蓋容器が所定の重量を持っていることが蓋容器の反応性の低さの要因であることを導き出した。すなわち、蓋容器は所定の重量を持っているので、蓋容器内の空間に溜まったガスが蓋容器を持ち上げるときは蓋容器の重量分の重さも持ち上げる必要がある。蓋容器の重量分を持ち上げる分だけ余計な時間がかかり、このことが蓋容器の反応性を低くする要因になっていた。
【０００８】
本発明の一態様は、上記目的を達成するために案出されたもので、
被洗浄物の洗浄に用いられる密閉容器と、前記密閉容器と連通して当該密閉容器内の圧力変動を吸収するアキュムレータと、を備えた密閉型洗浄装置であって、
前記アキュムレータは、前記密閉容器内の圧力変動に応じて可動する可動体と、前記可動体と連動するカウンタウェイトと、を有し、
前記カウンタウェイトは、前記可動体と平衡状態を保つ重さを有している、
密閉型洗浄装置である。
【０００９】
上記の構成によれば、カウンタウェイトは、可動体と平衡状態を保つ重さを有しているので可動体の自重を相殺することができる。可動体の自重が０（ゼロ）となるので、可動体の反応性を向上させることができ、その結果、密閉型洗浄装置の密閉性をより高めることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、蓋容器が可動する際の反応性を向上させて、密閉性のより高い密閉型洗浄装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係る密閉型洗浄装置の概略構成を示す正面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る密閉型洗浄装置の蓋体と第一の移動機構と第二の移動機構と蓋体押圧手段とを示す説明図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）はｂ−ｂ矢視断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、図面に基づき本発明に係る密閉型洗浄装置を説明する。
【００１３】
＜１．密閉型洗浄装置の構成例＞
本実施形態で例に挙げて説明する密閉型洗浄装置は、アキュムレータにおいてカウンタウェイトを用いて可動体の自重を相殺することで、可動体の反応性を高めるように構成されたものである。
以下、密閉型洗浄装置の構成例について説明する。
【００１４】
（密閉型洗浄装置の構成）
図１は、本実施形態に係る密閉型洗浄装置の概略構成例を示す正面図である。
本実施形態の密閉型洗浄装置１００は、密閉容器１と、アキュムレータ８と、水分離器１０と、蓋体１８と、移送手段２１と、第一の移動機構４０と、第二の移動機構１８ｆと、蓋体押圧手段５０とを備えている。
【００１５】
（密閉容器）
密閉容器１は、内部で被洗浄物の洗浄と乾燥が行われるものであり、上部が開口し底部が有底の略筒体状に形成されている。密閉容器１は、内部下方に液体洗浄槽３を有しており、液体洗浄槽３の上方に蒸気洗浄槽５を有しており、蒸気洗浄槽５の上方に乾燥槽６を有している。液体洗浄槽３には、洗浄液２ａが貯留されている。液体洗浄槽３の底部側には超音波振動子３９が設置されている。超音波振動子３９を振動させて洗浄液２ａを攪拌すると、洗浄効率が飛躍的に向上するので洗浄時間を大幅に短縮することができる。
【００１６】
さらに密閉容器１は、液体洗浄槽３の側方に蒸気発生槽２を有している。また、密閉容器１の側壁下部に、液体洗浄槽３から溢れた洗浄液２ａを回収するための溢流口８ａが設けられている。溢流口８ａは、洗浄液２ａの蒸気を密閉容器１内に導入させるための配管（以下、洗浄用蒸気導入管という）２ｃを介して蒸気発生槽２内と連通している。
【００１７】
蒸気発生槽２には、洗浄液２ａが貯留され、洗浄液を加熱して洗浄用蒸気を生成するための加熱コイル２ｂが設けられている。加熱コイル２ｂは、冷凍機３０の冷凍サイクル（図示せず）に凝縮器として接続されている。冷却コイル４も冷凍サイクルの冷凍機３０に蒸発器として接続されている。冷凍サイクルに加熱コイル２ｂと冷却コイル４とを接続すると、冷凍機の効率よい運用が可能となる。
【００１８】
乾燥槽６内には冷却コイル４が設けられていて、乾燥ゾーンＺ１を構成しており、冷却コイル４の下方に凝縮液受け４３が設置されている。また、密閉容器１内の底部の洗浄槽３内は液体洗浄ゾーンＺ３を構成しており、密閉容器１内の乾燥槽６と洗浄槽３との中間の蒸気洗浄槽５は蒸気洗浄ゾーンＺ２を構成している。
【００１９】
（アキュムレータ）
アキュムレータ８は、密閉容器１に溜まるガスを密閉容器１の内外に出し入れすることにより、密閉容器１内の圧力変動を吸収する。ここでガスとは、大気や洗浄液２ａが気化したガスである。アキュムレータ８は、浮き屋根式貯蔵タンクで構成され、下容器８２と可動体８１とカウンタウェイト７２とを有している。下容器８２は、上部が開口し、下部に前記ガスと反応しない水などの不活性液体８５を貯留している。可動体８１は、有蓋無底容器状に形成されており、下容器８２の開口から嵌め込まれ、当該開口を覆うように配置されて、無底側が不活性液体８５に潜入されている。可動体８１内の空間に溜まったガス８６により、可動体８１は不活性液体８５上に浮上支持される。
【００２０】
カウンタウェイト７２は、可動体８１とほぼ同じ重量を有し、可動体８１と平衡状態を保ちながら下容器８２の外側に配されている。下容器８２の外壁部には、水位レベル計７４が設けられており、下容器８２内の不活性液体８５の水位レベルを外側から感知することができる。また、不活性液体８５の排出は、ドレンパイプ８８に設けられたバルブ８７の開閉によって行われる。
【００２１】
可動体８１とカウンタウェイト７２とを連結する連結体７１は、下容器８２の開口上端部に載置された板状体７３の上面に設けられた回転体７０に引っ掛けられて、一端部は可動体８１に取り付けられ、他端部はカウンタウェイト７２に取り付けられている。このように、可動体８１とカウンタウェイト７２は、回転体７０に案内される連結体７１によって連結されている。回転体７０は、例えば、滑車が好ましく、連結体７１は、ワイヤやロープが好ましい。
【００２２】
また、本実施形態では、可動体８１とカウンタウェイト７２との重量バランスを調整する調整用部材７５がカウンタウェイト７２に取り付けられている。調整用部材７５は、例えば、円柱形状や直方体形状に形成されており、取り付ける調整用部材７５の個数により、重量バランスを調整することができる。
【００２３】
（水分離器）
水分離器１０は、使用された洗浄液から洗浄液分と水分とを分離し、分離した洗浄液分を液体洗浄槽３に戻すものである。凝縮液受け４３に捕集された凝縮液の排出口部１０ｉは、排出管１０ｈ、導入口部１０ｅを介して水分離器１０に接続される。水分離器１０は、本体である密閉槽１０ａと、密閉槽１０ａ内に上下方向に蛇行する流路１０ｂを形成することにより、比重差によって洗浄液と水分とに分離する複数のバッフル板１０ｃとから構成されている。水分離器１０の凝縮液（洗浄液）の排出口部１０ｆは、排出管１０ｊを介して下流側の液体洗浄槽３に接続されている。
【００２４】
（移送手段）
移送手段２１は、密閉容器１の内外に被洗浄物を移送するものである。移送手段２１は、バスケット１２を支持するアーム２１ｂと、アーム２１ｂを移動させる駆動手段２１ｃ、及びアーム２１ｂの先端に取り付けられた図示しないフォークとから主に構成される。フォークは密閉容器１内に収容されている。フォークを除いた各部は密閉容器１に気密に連接された移送手段収容部２１ｅ内に収容されている。移送手段２１のアーム２１ｂの昇降ストロークは、各ゾーンＺ１〜Ｚ３にフォークを移動させて配置させることができるよう、各ゾーンＺ１〜Ｚ３の位置に基づいて決定されている。なお、移送手段収容部２１ｅもこのようなストロークに対応するように形成されている。移送手段収容部２１ｅには弁２１ａを介して空気抜き配管２１ｄが接続され、移送手段収容部２１ｅの空気を抜いて移送手段収容部２１ｅ内を密閉容器１と同じ雰囲気にするようになっている。
【００２５】
（蓋体）
図２は、本発明の一実施形態に係る密閉型洗浄装置の蓋体と第一の移動機構と第二の移動機構と蓋体押圧手段とを示す説明図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）はｂ−ｂ矢視断面図である。
【００２６】
密閉容器１の上部開口１ａは、天板６１によって覆われている。その天板６１に被洗浄物を搬入出するための搬入出口７が設けられている。本実施形態では、搬入出口７は乾燥槽６の上部に設けられ、搬入出口７の開口面は鉛直方向を向いている。搬入出口７には蓋体１８が開閉自在に設けられている。
【００２７】
蓋体１８には、蓋体１８と接する搬入出口７の周囲に沿って気密部材１８ａが設けられている。気密部材としては、例えば、ゴム等の弾性材料で形成されたＯリングが好ましい。蓋体１８には、密閉容器１内を観察するための覗き窓１８ｂが設けられている。覗き窓１８ｂは、蓋体１８の中央部に設けた窓孔１８ｃと、窓孔１８ｃに気密に固着された耐圧ガラス１８ｄとで構成される。また、蓋体１８には、覗き窓１８ｂの外周に取手１８ｅが取り付けられている。取手１８ｅは手動で蓋体１８をスライド開閉するために設けられている。
【００２８】
蓋体１８は、蓋体１８を第一の方向に移動させる第一の移動機構４０と、前記第一の方向に直交する第二の方向に移動させる第二の移動機構１８ｆと、によって支持されている。ここで、図２に示すように、搬入出口７が密閉型洗浄装置１００の上部（天井部）に設けられている場合には、「第一の方向」とは、鉛直方向に直交する方向のことをいい、「第二の方向」とは、鉛直方向の下向き方向のことをいう。なお、本実施形態では、搬入出口が密閉型洗浄装置１００の上部に形成されている場合について説明するが、搬入出口７が密閉型洗浄装置１００の側部に設けられていてもよく、その場合には、「第一の方向」とは、鉛直方向のことをいい、「第二の方向」とは、鉛直方向に直交する方向のことをいう。
【００２９】
（第一の移動機構）
第一の移動機構４０は、筐体６０の天板６１上に互いに平行に第一の方向に設けられた２本のガイドレール４１、４１と、ガイドレール４１、４１に係合してスライドするスライダ４２、４２とから構成される。蓋体１８とスライダ４２、４２は連結板２０により連結されている。
【００３０】
（第二の移動機構）
第二の移動機構１８ｆは、シャフト部１８ｇと、シャフト部１８ｇの外周に配置されるスプリング部１８ｈと、連結板２０に取り付けられてシャフト部１８ｇを支持するベアリング部１９とで構成される。
【００３１】
シャフト部１８ｇは、連結板２０に形成された開口部（不図示）を貫通し、上端部は取手１８ｅの下面に固定され、下端部は蓋体１８の上面に固定され、連結板２０の下面に取り付けられたベアリング部１９に支持されている。スプリング部１８ｈは、例えば圧縮ばねであり、取手１８ｅの下面と、連結板２０の上面との間に装着され、蓋体１８を第二の方向に付勢する。
【００３２】
（蓋体押圧手段）
蓋体押圧手段５０は、閉状態の蓋体１８を搬入出口７の周囲に所定圧力で押圧することにより密閉容器１を密閉状態とし、その押圧力を解除することにより密閉容器１を非密閉状態とする。所定圧力は、例えば０．３ＭＰａ〜０．６ＭＰａである。蓋体押圧手段５０は、エアシリンダやネジ、クランプで構成することができる。本実施形態では、蓋体押圧手段５０をエアシリンダ５１ａで構成している。
【００３３】
（制御部）
なお、図１に示す制御部９は、液体洗浄槽３の超音波振動子３９、蒸気発生槽２の加熱コイル２ｂ、移送手段２１の駆動手段２１ｃ、及び冷凍機３０、エアシリンダなどの制御系を制御するようになっている。
【００３４】
（まとめ）
上述した密閉容器１、水分離器１０、アキュムレータ８、移送手段２１、制御部９、冷凍機３０、及び移送手段収容部２１ｅなどは筐体６０内に収納されている。このようにして密閉型基板洗浄装置１００が構成されている。
【００３５】
本実施形態では、移送手段収容部２１ｅは、搬入出口７の側部の天板６１に密閉容器１と気密になるように取り付けられている。
【００３６】
＜２．密閉型洗浄装置における処理動作例＞
次に、上述した構成の密閉型洗浄装置１００における動作例について説明する。
【００３７】
（洗浄処理）
まず、準備工程として、冷凍機３０が作動され、冷却コイル４が冷却され、ヒータとしての加熱コイル２ｂが加熱される。すると、密閉容器１の乾燥槽６内雰囲気、及び密閉容器１の乾燥槽６の側壁が冷却され、密閉容器１の乾燥槽６内に、冷却・凝縮により、被洗浄物の乾燥を行うための乾燥ゾーン（冷却ゾーン）Ｚ１が形成される。
【００３８】
また、蒸気発生槽２に設けた加熱コイル２ｂの加熱により、蒸気発生槽２内に洗浄液の蒸気が生成され、洗浄用蒸気供給管２ｃを介して密閉容器１内に導入される。乾燥ゾーンＺ１は冷却コイル４により冷却されるので、乾燥ゾーンＺ１下と液体洗浄ゾーンＺ３との間に充満する洗浄用蒸気により蒸気洗浄ゾーンＺ２が形成され、結果として、乾燥ゾーンＺ１と冷却ゾーンとの間に蒸気ラインＬが形成される。蒸気ラインＬが形成されると、乾燥ゾーンＺ１での冷却、凝縮が安定し、密閉容器１の密閉性が安定する。なお、洗浄用蒸気の温度は、蒸気発生槽２から洗浄蒸気が連続的に供給されることで洗浄液の沸点に保持される。
【００３９】
蒸気ラインＬが形成された後、第一の移動機構４０により搬入出口７の蓋体１８を開く。蓋体１８が開いた状態で、搬入出口７を通じて、被洗浄物が入れられた状態のバスケット１２を移送手段２１により下降させ、液体洗浄槽３中まで到達させる。これにより、バスケット１２内の被洗浄物が液体洗浄槽３中に挿入される。その後、第一の移動機構４０により搬入出口７の蓋体１８を閉じる。さらに蓋体押圧手段５０を用いて蓋体１８を押圧して密閉容器１を密閉状態とする。密閉容器１を密閉した後、被洗浄物の一次洗浄が行われる。液体洗浄ゾーンＺ３には、液体洗浄槽３が設けられている。液体洗浄槽３は、貯留した洗浄液２ａに被洗浄物を浸漬して液体洗浄する。液体洗浄槽３の洗浄液２ａは、超音波振動子３９により攪拌されるので、短時間で一次洗浄を終了させることができる。
【００４０】
一次洗浄が終了すると、移送手段２１により被洗浄物はバスケット１２ごと蒸気洗浄ゾーンＺ２中に引き上げられ、蒸気洗浄、すなわち二次洗浄が行われる。蒸気洗浄槽５は、前記被洗浄物に洗浄用蒸気を吹き付けて被洗浄物を洗浄する。洗浄用蒸気には蒸気発生槽２から供給された洗浄液２ａからなる蒸気が用いられる。二次洗浄の後は、移送手段２１により乾燥ゾーンＺ１中に引き上げられ、乾燥が行われる。乾燥ゾーンＺ１（乾燥槽６）中では、被洗浄物の表面に付着している洗浄液等の液分は、バスケット１２や被洗浄物に蓄積されている蓄熱によって蒸発し、洗浄液等が気化したガスは乾燥ゾーンＺ１中に拡散し、冷却コイル４の表面、乾燥槽６内の側壁内面で凝縮液となって凝縮液受け４３に捕集される。
【００４１】
（蓋体１８の開閉処理）
乾燥の終了後は、蓋体押圧手段５０を用いて蓋体１８の搬入出口７への押圧力を解除して蓋体１８を非密着状態にし、密閉容器１を非密閉状態とする。非密閉状態となった蓋体１８を第一の移動機構４０を用いて第一の方向にスライド方向に移動して開状態とすることができる。蓋体１８とスライダ４２、４２を連結する連結板２０により、蓋体１８はガイドレール４１、４１に沿って第一の方向に移動される。蓋体１８は第一の移動機構４０を用いて手動で開閉することも、自動で開閉することも可能である。手動で開閉する場合には、取手１８ｅを持って蓋体１８をスライドさせる。
【００４２】
（水分離処理）
凝縮液受け４３に捕集された凝縮液は、凝縮液受け４３の排出口部１０ｉから排出管１０ｈを通じて水分離器１０の流路１０ｂに導入される。水分離器１０の流路１０ｂは、バッフル板１０ｃにより上下方向に蛇行しており、水分は、洗浄液よりも比重が軽いため、比重差により、流路１０ｂの上流部、すなわち、水分の滞留部に滞留する。下流側のバッフル板１０ｃを溢流した洗浄液は、液体洗浄槽３に還流される。流路１０ｂの上流部に滞留した水分は、水分の滞留部に連通する排出管１０ｇに設けられた弁３５の開閉によって行われる。
【００４３】
本実施形態では、このような被洗浄物の液体洗浄、蒸気洗浄、乾燥の繰り返しにより、上流側の液体洗浄槽３から洗浄液が溢流し、溢流した洗浄液が溢流口８ａ及び蒸気供給管を通じて蒸気発生槽２に回収される。このため回収した洗浄液は、再度洗浄用蒸気として蒸気洗浄ゾーンＺ２へと供給され、洗浄用蒸気として繰り返し使用される。
【００４４】
（密閉容器１内の圧力変動吸収処理）
蒸気洗浄中には、継続して洗浄用蒸気が蒸気発生槽２から蒸気洗浄槽５へ供給されるので、密閉容器１内のガス圧は上昇する。また、蒸気洗浄が終了し乾燥が行われているときには、乾燥槽６内の冷却コイル４によりガスが凝縮されるので、密閉容器１内のガス圧は降下する。このように、密閉容器１内のガス圧は絶えず変動している。
【００４５】
アキュムレータ８は、密閉容器１に溜まるガスを密閉容器１の内外に出し入れすることにより、密閉容器１内の圧力変動を吸収する。アキュムレータ８は、密閉装置１内のガスを排出するガス給排管８４と、ガス給排管８４と連結する入口配管８９とを介して密閉容器１と連通している。入口配管８９は下容器８２の下方を通って可動体８１の内部上方まで達するように挿入されている。
【００４６】
密閉容器１内のガス圧が一定以上になると、ガス給排管８４にガスが排出され、当該ガスは入口配管８９を介して可動体８１内の空間に溜まる。可動体８１内の空間に溜まったガス８６により、可動体８１は不活性液体８５上に浮上支持される。また、密閉容器１内のガス圧が一定以下になると、可動体８１内の空間に溜まっていたガスが密閉容器１内に吸入される。このように、密閉容器１内の圧力の変動に応じて可動体８１内に溜まるガス量が変化し、可動体８１が上下動して、密閉容器１内を一定の圧力に保持している。
【００４７】
本実施形態では、カウンタウェイト７２は、可動体８１と平衡状態を保つ重さ、より具体的には可動体８１とほぼ同じ重量を有しているので、可動体８１の上下動にあたり当該可動体８１の自重を相殺することができる。可動体８１の自重が０（ゼロ）となるので、可動体８１が上下動する際の反応性を向上させることができ、その結果、密閉型洗浄装置の密閉性をより高めることができる。
なお、調整用部材７５が取り付けられている場合には、その調整用部材７５によって可動体８１とカウンタウェイト７２との重量バランスを調整することができる。重量バランスを調整すれば、可動体８１が上下動する際の反応性を必要に応じて可変させる、といったことが実現可能となる。
【００４８】
＜３．本実施形態の効果＞
本実施形態によれば、以下に述べる一つまたは複数の効果を奏する。
【００４９】
（ａ）本実施形態では、アキュムレータ８が可動体８１とカウンタウェイト７２を有しており、カウンタウェイト７２は、可動体８１と平衡状態を保つ重さを有しているので、可動体８１の自重が相殺されている。カウンタウェイト７２により可動体８１の自重は０（ゼロ）になっているので、可動体８１が可動する際の反応性を向上させ、密閉型洗浄装置１００の密閉性をより高めることができる。
【００５０】
（ｂ）本実施形態では、可動体８１とカウンタウェイト７２との重量バランスを調整する調整用部材７５がカウンタウェイト７２に取り付けられているので、所望の重量バランスの調整を行うことができる。可動体８１と全く同じ重量のカウンタウェイト７２を用意することが困難な場合もある。また、可動体８１とカウンタウェイト７２との重量比が１：１のときよりも、１：１．０１〜１．０２の範囲内にあるときの方が、可動体８１の反応性をより高めることができる。このようなときに、調整用部材７５を用いることで、所望の重量バランスの調整を行うことができる。
【００５１】
（ｃ）本実施形態では、可動体８１とカウンタウェイト７２は、それぞれ互いに連動して反対方向に動くように構成されている。例えば、密閉容器１内のガス圧が高くなると、可動体８１内に溜まるガス量が増加して可動体８１が上方に移動し、これに伴いカウンタウェイト７２が下方に移動する。また、密閉容器１内のガス圧が低くなると、可動体８１内に溜まるガス量が減少して可動体８１が下方に移動し、これに伴いカウンタウェイト７２が上方に移動する。このような構成にすることで、可動体８１とカウンタウェイト７２の動作に必要な空間は小さくて済むので、可動体８１とカウンタウェイト７２の配置の自由度を高めることができる。
【００５２】
（ｄ）本実施形態では、可動体８１は、有蓋無底容器状に形成されているので、密閉容器１から大量のガスが流出して、可動体８１に想定外の加圧がされた場合には、下方側の液面から圧力を放出させる安全弁として機能することができる。また、可動体８１は、カウンタウェイト７２によって自重が相殺されているので、安全弁として確実に機能することができる。
【００５３】
（ｅ）本実施形態では、蓋体１８は、蓋体１８を第一の方向に移動させる第一の移動機構４０と、前記第一の方向に直交する第二の方向に移動させる第二の移動機構１８ｆとによって支持されている。このように、蓋体１８は、第一の移動機構４０によって支持されているので、第一の方向にスライド移動させることで、開状態と閉状態とを遷移させる。そのため、例えばヒンジ機構を利用して開閉される蓋体構造に比べると、耐圧性向上を容易に実現でき、密閉容器１の密閉性を高める上で好適である。しかも、蓋体１８は、第一の移動機構４０のみならず、第二の移動機構１８ｆによっても支持されているので、第一の方向へのスライド移動の際に天板６１から離れた状態を維持することができ、良好な操作性を担保することができる。
【００５４】
（ｆ）本実施形態では、第二の移動機構１８ｆは、取手１８ｅと一体で構成されているので、蓋体１８の構成を簡素化することができる。
【００５５】
＜４．変形例＞
以上、本発明の実施形態について具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【００５６】
本実施形態では、蓋体１８に設けられる気密部材としてＯリングを具体例に挙げて説明した箇所があるが、単なる一具体例に過ぎず、本発明はこれに限定されることはなく、その他のシールでもよい。
【００５７】
また、本実施形態では、蓋体押圧手段にエアシリンダを用いたが、これに限定されない。例えば、液体シリンダ、またはネジやクランプでもよい。また、本実施形態では、洗浄液にアブゾールなどの臭素系洗浄液を用いたが、これに限定されない。例えば、低沸点洗浄液である塩素系洗浄液、フッ素系洗浄液などでもよい。
【００５８】
本実施形態では、可動体８１とカウンタウェイト７２との重量比について具体例を挙げて説明した箇所があるが、これらの数値は単なる一具体例に過ぎず、特定の値に限定されるものではない。
【００５９】
本実施形態では、調整用部材７５は、カウンタウェイト７２にのみ取り付けられているが、可動体８１にのみ取り付けられてもよいし、可動体８１とカウンタウェイト７２の両方に取り付けられてもよい。また、調整用部材７５の形状について、具体例を挙げて説明した箇所があるが、これらの形状は単なる一具体例に過ぎず、特定の形状に限定されるものではない。
【００６０】
本実施形態では、カウンタウェイト７２が内部に空間がない中実構造である場合を例に挙げたが、本発明はこれに限定されることはなく、内部に空間がある中空構造をしていてもよい。中空構造をしている場合は、中空構造の空洞部分に充填物を充填することにより、カウンタウェイト７２の重量を調整してもよい。
【００６１】
また、本実施形態では、洗浄部が一槽式の場合の密閉型洗浄装置について説明したが、二槽式またはそれ以上の数の洗浄槽を有する多槽式でもよい。
【符号の説明】
【００６２】
１      密閉容器
３      液体洗浄槽
５      蒸気洗浄槽
６      乾燥槽
７      搬入出口
８      アキュムレータ
１０    水分離器
１２    バスケット
１８    蓋体
２１    移送手段
６１    天板
７０    回転体
７１    連結体
７２    カウンタウェイト
７４    調整用部材
８１    蓋部
８２    下容器
１００  密閉型洗浄装置
Ｚ１    乾燥ゾーン
Ｚ２    液体洗浄ゾーン
Ｚ３    蒸気洗浄ゾーン
【図１】
2020075220.tif 000003
【図２】
2020075220.tif 000004