(57)【要約】【課題】材種の異なる金属を好適に接合することができるとともに、回転ツールの通過位置を把握することができる液冷ジャケットの製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】回転する回転ツールＦの攪拌ピンＦ２の先端を段差底面１２ａと同一の深さか、それよりもわずかに深く挿入し、攪拌ピンＦ２のみをジャケット本体２の少なくとも上側にわずかに接触させた状態で第一突合せ部Ｊ１に沿って回転ツールＦを一周させて摩擦攪拌しつつ、塑性化領域Ｗ１内の段差側面１２ｂに近接する部位に所定幅の粗密部を形成する本接合工程と、本接合工程後、粗密部を検出する深傷検査を行うことにより、攪拌ピンＦ２の通過位置を特定する検査工程と、を含むことを特徴とする。【選択図】図４
2020075255.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
底部、前記底部の周縁から立ち上がる周壁部を有するジャケット本体と、前記ジャケット本体の開口部を封止する封止体と、を攪拌ピンを備える回転ツールを用いて接合する液冷ジャケットの製造方法であって、
前記ジャケット本体は、前記封止体よりも硬度が高い材種であり、
前記攪拌ピンの外周面は先細りとなるように傾斜しており、
前記周壁部の内周縁に、段差底面と、当該段差底面から前記開口部に向かって立ち上がる段差側面と、を有する周壁段差部を形成する準備工程と、
前記ジャケット本体に前記封止体を載置して前記周壁段差部の段差側面と前記封止体の外周側面とを突き合わせて第一突合せ部を形成するとともに、前記段差底面と前記封止体の裏面とを重ね合わせて第二突合せ部を形成する載置工程と、
回転する前記回転ツールの前記攪拌ピンの先端を前記段差底面と同一の深さか、それよりもわずかに深く挿入し、前記攪拌ピンのみを前記ジャケット本体の少なくとも上側にわずかに接触させた状態で前記第一突合せ部に沿って回転ツールを一周させて摩擦攪拌しつつ、塑性化領域内の前記段差側面に近接する部位に所定幅の粗密部を形成する本接合工程と、
前記本接合工程後、前記粗密部を検出する深傷検査を行うことにより、前記攪拌ピンの通過位置を特定する検査工程と、を含むことを特徴とする液冷ジャケットの製造方法。
【請求項２】
底部、前記底部の周縁から立ち上がる周壁部を有するジャケット本体と、前記ジャケット本体の開口部を封止する封止体と、を攪拌ピンを備える回転ツールを用いて接合する液冷ジャケットの製造方法であって、
前記ジャケット本体は、前記封止体よりも硬度が高い材種であり、
前記攪拌ピンの外周面は先細りとなるように傾斜しており、
前記周壁部の内周縁に、段差底面と、当該段差底面から前記開口部に向かって立ち上がる段差側面と、を有する周壁段差部を形成するとともに、板厚が前記周壁段差部の前記段差側面の高さ寸法よりも大きくなるように前記封止体を形成する準備工程と、
前記ジャケット本体に前記封止体を載置して前記周壁段差部の段差側面と前記封止体の外周側面とを突き合わせて第一突合せ部を形成するとともに、前記段差底面と前記封止体の裏面とを重ね合わせて第二突合せ部を形成する載置工程と、
回転する前記回転ツールの前記攪拌ピンの先端を前記段差底面と同一の深さか、それよりもわずかに深く挿入し、前記攪拌ピンのみを前記ジャケット本体の少なくとも上側にわずかに接触させた状態で前記第一突合せ部に沿って回転ツールを一周させて摩擦攪拌しつつ、塑性化領域内の前記段差側面に近接する部位に所定幅の粗密部を形成する本接合工程と、
前記本接合工程後、前記粗密部を検出する深傷検査を行うことにより、前記攪拌ピンの通過位置を特定する検査工程と、を含むことを特徴とする液冷ジャケットの製造方法。
【請求項３】
底部、前記底部の周縁から立ち上がる周壁部を有するジャケット本体と、前記ジャケット本体の開口部を封止する封止体と、を攪拌ピンを備える回転ツールを用いて接合する液冷ジャケットの製造方法であって、
前記ジャケット本体は、前記封止体よりも硬度が高い材種であり、
前記攪拌ピンの外周面は先細りとなるように傾斜しており、
前記周壁部の内周縁に、段差底面と、当該段差底面から前記開口部に向かって広がるように斜めに立ち上がる段差側面と、を有する周壁段差部を形成するとともに、板厚が前記周壁段差部の前記段差側面の高さ寸法よりも大きくなるように前記封止体を形成する準備工程と、
前記ジャケット本体に前記封止体を載置することにより、前記周壁段差部の前記段差側面と前記封止体の外周側面との間に隙間があるように第一突合せ部を形成するとともに、前記段差底面と前記封止体の裏面とを重ね合わせて第二突合せ部を形成する載置工程と、
回転する前記回転ツールの前記攪拌ピンの先端を前記段差底面と同一の深さか、それよりもわずかに深く挿入し、前記攪拌ピンのみを前記ジャケット本体の少なくとも上側にわずかに接触させた状態で前記第一突合せ部に沿って回転ツールを一周させて摩擦攪拌しつつ、塑性化領域内の前記段差側面に近接する部位に所定幅の粗密部を形成する本接合工程と、
前記本接合工程後、前記粗密部を検出する深傷検査を行うことにより、前記攪拌ピンの通過位置を特定する検査工程と、を含むことを特徴とする液冷ジャケットの製造方法。
【請求項４】
前記封止体は、アルミニウム合金展伸材で形成し、前記ジャケット本体はアルミニウム合金鋳造材で形成することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の液冷ジャケットの製造方法。
【請求項５】
前記回転ツールの外周面に基端から先端に向うにつれて左回りの螺旋溝を刻設した場合、前記回転ツールを右回転させ、
前記回転ツールの外周面に基端から先端に向うにつれて右回りの螺旋溝を刻設した場合、前記回転ツールを左回転させることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の液冷ジャケットの製造方法。
【請求項６】
前記本接合工程では、前記回転ツールの移動軌跡に形成される塑性化領域のうち、前記ジャケット本体側がシアー側となり、前記封止体側がフロー側となるように前記回転ツールの回転方向及び進行方向を設定することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の液冷ジャケットの製造方法。
【請求項７】
前記本接合工程では、前記回転ツールを傾斜させた状態で摩擦攪拌を行い、前記回転ツールの回転中心軸の鉛直面に対する傾斜角度をγとし、前記段差側面の鉛直面に対する傾斜角度をβとし、前記攪拌ピンの外周面の前記回転中心軸に対する傾斜角度をαとすると、γ＜α−βとした状態で摩擦攪拌を行うことを特徴とする請求項３に記載の液冷ジャケットの製造方法。
【請求項８】
前記本接合工程では、０＜α−βにした状態で摩擦攪拌接合を行うことを特徴とする請求項７に記載の液冷ジャケットの製造方法。
【請求項９】
攪拌ピンを備える回転ツールを用いて第一部材と第二部材とを接合する摩擦攪拌接合方法であって、
前記第一部材は、前記第二部材よりも硬度が高い材種であり、
前記攪拌ピンの外周面は先細りとなるように傾斜しており、
前記第一部材に、段差底面と、当該段差底面から立ち上がる段差側面と、を有する段差部を形成する準備工程と、
前記第一部材に前記第二部材を載置して前記段差部の段差側面と前記第二部材の側面とを突き合わせて第一突合せ部を形成するとともに、前記段差底面と前記第二部材の裏面とを重ね合わせて第二突合せ部を形成する載置工程と、
回転する前記回転ツールの前記攪拌ピンの先端を前記段差底面と同一の深さか、それよりもわずかに深く挿入し、前記攪拌ピンのみを前記第一部材の少なくとも上側にわずかに接触させた状態で前記第一突合せ部に沿って回転ツールを一周させて摩擦攪拌しつつ、塑性化領域内の前記段差側面に近接する部位に所定幅の粗密部を形成する本接合工程と、
前記本接合工程後、前記粗密部を検出する深傷検査を行うことにより、前記攪拌ピンの通過位置を特定する検査工程と、を含むことを特徴とする摩擦攪拌接合方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液冷ジャケットの製造方法及び摩擦攪拌接合方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１には、液冷ジャケットの製造方法が開示されている。図１５は、従来の液冷ジャケットの製造方法を示す断面図である。従来の液冷ジャケットの製造方法では、アルミニウム合金製のジャケット本体１０１の段差部に設けられた段差側面１０１ｃと、アルミニウム合金製の封止体１０２の側面１０２ｃとを突き合わせて形成された突合せ部Ｊ１０に対して摩擦攪拌接合を行うというものである。また、従来の液冷ジャケットの製造方法では、回転ツールＦの攪拌ピンＦ２のみを突合せ部Ｊ１０に挿入して摩擦攪拌接合を行っている。また、従来の液冷ジャケットの製造方法では、回転ツールＦの回転中心軸Ｃを突合せ部Ｊ１０に重ねて相対移動させるというものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１３１３２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、ジャケット本体１０１は複雑な形状となりやすく、例えば、４０００系アルミニウム合金の鋳造材で形成し、封止体１０２のように比較的単純な形状のものは、１０００系アルミニウム合金の展伸材で形成するというような場合がある。このように、アルミニウム合金の材種の異なる部材同士を接合して、液冷ジャケットを製造する場合がある。このような場合は、ジャケット本体１０１の方が封止体１０２よりも硬度が高くなることが一般的であるため、図１５のように摩擦攪拌接合を行うと、攪拌ピンＦ２が封止体１０２側から受ける材料抵抗に比べて、ジャケット本体１０１側から受ける材料抵抗が大きくなる。そのため、回転ツールＦの攪拌ピンによって異なる材種をバランスよく攪拌することが困難となり、接合後の塑性化領域に空洞欠陥が発生し接合強度が低下するという問題がある。
【０００５】
また、液冷ジャケットが完成した後に、例えば、超音波深傷検査を行うことにより液冷ジャケットの品質管理を行う場合ある。このとき、超音波深傷検査による接合不良の有無は把握することができるが、回転ツールがどの位置を通過したか把握することができないという問題がある。
【０００６】
このような観点から、本発明は、材種の異なるアルミニウム合金を好適に接合することができるとともに、回転ツールの通過位置を把握することができる液冷ジャケットの製造方法及び摩擦攪拌接合方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような課題を解決するために本発明は、底部、前記底部の周縁から立ち上がる周壁部を有するジャケット本体と、前記ジャケット本体の開口部を封止する封止体と、を攪拌ピンを備える回転ツールを用いて接合する液冷ジャケットの製造方法であって、前記ジャケット本体は、前記封止体よりも硬度が高い材種であり、前記攪拌ピンの外周面は先細りとなるように傾斜しており、前記周壁部の内周縁に、段差底面と、当該段差底面から前記開口部に向かって立ち上がる段差側面と、を有する周壁段差部を形成する準備工程と、前記ジャケット本体に前記封止体を載置して前記周壁段差部の段差側面と前記封止体の外周側面とを突き合わせて第一突合せ部を形成するとともに、前記段差底面と前記封止体の裏面とを重ね合わせて第二突合せ部を形成する載置工程と、回転する前記回転ツールの前記攪拌ピンの先端を前記段差底面と同一の深さか、それよりもわずかに深く挿入し、前記攪拌ピンのみを前記ジャケット本体の少なくとも上側にわずかに接触させた状態で前記第一突合せ部に沿って回転ツールを一周させて摩擦攪拌しつつ、塑性化領域内の前記段差側面に近接する部位に所定幅の粗密部を形成する本接合工程と、前記本接合工程後、前記粗密部を検出する深傷検査を行うことにより、前記攪拌ピンの通過位置を特定する検査工程と、を含むことを特徴とする。
【０００８】
かかる製造方法によれば、封止体と攪拌ピンとの摩擦熱によって第一突合せ部の主として封止体側の金属が攪拌されて塑性流動化され、第一突合せ部において段差側面と封止体の外周側面とを接合することができる。また、攪拌ピンのみをジャケット本体の段差側面の少なくとも上側にわずかに接触させて摩擦攪拌を行うため、接合強度を確保しつつジャケット本体から封止体への金属の混入を極力少なくすることができる。これにより、第一突合せ部においては主として封止体側の金属が摩擦攪拌されるため、接合強度の低下を抑制することができる。
また、攪拌ピンを段差底面と同一かそれよりもわずかに深く挿入するため、第二突合せ部における接合強度を高めつつ、ジャケット本体から封止体への金属の混入を極力少なくすることができる。また、所定幅の粗密部をあえて形成することで、深傷検査によって攪拌ピンの通過位置を把握することができる。これにより、品質管理作業をより容易に行うことができる。
【０００９】
また、本発明は、底部、前記底部の周縁から立ち上がる周壁部を有するジャケット本体と、前記ジャケット本体の開口部を封止する封止体と、を攪拌ピンを備える回転ツールを用いて接合する液冷ジャケットの製造方法であって、前記ジャケット本体は、前記封止体よりも硬度が高い材種であり、前記攪拌ピンの外周面は先細りとなるように傾斜しており、前記周壁部の内周縁に、段差底面と、当該段差底面から前記開口部に向かって立ち上がる段差側面と、を有する周壁段差部を形成するとともに、板厚が前記周壁段差部の前記段差側面の高さ寸法よりも大きくなるように前記封止体を形成する準備工程と、前記ジャケット本体に前記封止体を載置して前記周壁段差部の段差側面と前記封止体の外周側面とを突き合わせて第一突合せ部を形成するとともに、前記段差底面と前記封止体の裏面とを重ね合わせて第二突合せ部を形成する載置工程と、回転する前記回転ツールの前記攪拌ピンの先端を前記段差底面と同一の深さか、それよりもわずかに深く挿入し、前記攪拌ピンのみを前記ジャケット本体の少なくとも上側にわずかに接触させた状態で前記第一突合せ部に沿って回転ツールを一周させて摩擦攪拌しつつ、塑性化領域内の前記段差側面に近接する部位に所定幅の粗密部を形成する本接合工程と、前記本接合工程後、前記粗密部を検出する深傷検査を行うことにより、前記攪拌ピンの通過位置を特定する検査工程と、を含むことを特徴とする。
【００１０】
かかる製造方法によれば、封止体と攪拌ピンとの摩擦熱によって第一突合せ部の主として封止体側の金属が攪拌されて塑性流動化され、第一突合せ部において段差側面と封止体の外周側面とを接合することができる。また、攪拌ピンのみをジャケット本体の段差側面の少なくとも上側にわずかに接触させて摩擦攪拌を行うため、接合強度を確保しつつジャケット本体から封止体への金属の混入を極力少なくすることができる。これにより、第一突合せ部においては主として封止体側の金属が摩擦攪拌されるため、接合強度の低下を抑制することができる。
また、攪拌ピンを段差底面と同一かそれよりもわずかに深く挿入するため、第二突合せ部における接合強度を高めつつ、ジャケット本体から封止体への金属の混入を極力少なくすることができる。また、所定幅の粗密部をあえて形成することで、深傷検査によって攪拌ピンの通過位置を把握することができる。これにより、品質管理作業をより容易に行うことができる。また、封止体の厚さを大きくすることで接合部の金属不足を防ぐことができる。
【００１１】
また、本発明は、底部、前記底部の周縁から立ち上がる周壁部を有するジャケット本体と、前記ジャケット本体の開口部を封止する封止体と、を攪拌ピンを備える回転ツールを用いて接合する液冷ジャケットの製造方法であって、前記ジャケット本体は、前記封止体よりも硬度が高い材種であり、前記攪拌ピンの外周面は先細りとなるように傾斜しており、前記周壁部の内周縁に、段差底面と、当該段差底面から前記開口部に向かって広がるように斜めに立ち上がる段差側面と、を有する周壁段差部を形成するとともに、板厚が前記周壁段差部の前記段差側面の高さ寸法よりも大きくなるように前記封止体を形成する準備工程と、前記ジャケット本体に前記封止体を載置することにより、前記周壁段差部の前記段差側面と前記封止体の外周側面との間に隙間があるように第一突合せ部を形成するとともに、前記段差底面と前記封止体の裏面とを重ね合わせて第二突合せ部を形成する載置工程と、回転する前記回転ツールの前記攪拌ピンの先端を前記段差底面と同一の深さか、それよりもわずかに深く挿入し、前記攪拌ピンのみを前記ジャケット本体の少なくとも上側にわずかに接触させた状態で前記第一突合せ部に沿って回転ツールを一周させて摩擦攪拌しつつ、塑性化領域内の前記段差側面に近接する部位に所定幅の粗密部を形成する本接合工程と、前記本接合工程後、前記粗密部を検出する深傷検査を行うことにより、前記攪拌ピンの通過位置を特定する検査工程と、を含むことを特徴とする。
【００１２】
かかる製造方法によれば、封止体と攪拌ピンとの摩擦熱によって第一突合せ部の主として封止体側の金属が攪拌されて塑性流動化され、第一突合せ部において段差側面と封止体の外周側面とを接合することができる。また、攪拌ピンのみをジャケット本体の段差側面の少なくとも上側にわずかに接触させて摩擦攪拌を行うため、接合強度を確保しつつジャケット本体から封止体への金属の混入を極力少なくすることができる。これにより、第一突合せ部においては主として封止体側の金属が摩擦攪拌されるため、接合強度の低下を抑制することができる。
また、攪拌ピンを段差底面と同一かそれよりもわずかに深く挿入するため、第二突合せ部における接合強度を高めつつ、ジャケット本体から封止体への金属の混入を極力少なくすることができる。また、所定幅の粗密部をあえて形成することで、深傷検査によって攪拌ピンの通過位置を把握することができる。これにより、品質管理作業をより容易に行うことができる。また、攪拌ピンの外周面及び段差側面を傾斜するように形成することで、攪拌ピンと段差側面とが大きく接触することを回避することができる。また、封止体の厚さを大きくすることで接合部の金属不足を防ぐことができる。
【００１３】
また、前記封止体は、アルミニウム合金展伸材で形成し、前記ジャケット本体はアルミニウム合金鋳造材で形成することが好ましい。
【００１４】
また、前記回転ツールの外周面に基端から先端に向うにつれて左回りの螺旋溝を刻設した場合、前記回転ツールを右回転させ、前記回転ツールの外周面に基端から先端に向うにつれて右回りの螺旋溝を刻設した場合、前記回転ツールを左回転させることが好ましい。これにより、螺旋溝によって塑性流動化した金属が攪拌ピンの先端側に導かれるため、バリの発生を少なくすることができる。
【００１５】
また、前記本接合工程では、前記回転ツールの移動軌跡に形成される塑性化領域のうち、前記ジャケット本体側がシアー側となり、前記封止体側がフロー側となるように前記回転ツールの回転方向及び進行方向を設定することが好ましい。これにより、前記ジャケット本体側がシアー側となり、第一突合せ部の周囲における攪拌ピンによる攪拌作用が高まり、第一突合せ部における温度上昇が期待でき、第一突合せ部において段差側面と封止体の外周側面とをより確実に接合することができる。
【００１６】
また、前記本接合工程では、前記回転ツールを傾斜させた状態で摩擦攪拌を行い、前記回転ツールの回転中心軸の鉛直面に対する傾斜角度をγとし、前記段差側面の鉛直面に対する傾斜角度をβとし、前記攪拌ピンの外周面の前記回転中心軸に対する傾斜角度をαとすると、γ＜α−βとした状態で摩擦攪拌を行うことが好ましい。
また、前記本接合工程では、０＜α−βにした状態で摩擦攪拌接合を行うことが好ましい。
これにより、回転ツールの回転中心軸を傾斜させて摩擦攪拌接合を行うことができる。
【００１７】
また、本発明は、第一部材と第二部材とを攪拌ピンを備える回転ツールを用いて接合する摩擦攪拌接合方法であって、前記第一部材は、前記第二部材よりも硬度が高い材種であり、前記攪拌ピンの外周面は先細りとなるように傾斜しており、前記第一部材に、段差底面と、当該段差底面から立ち上がる段差側面と、を有する段差部を形成する準備工程と、前記第一部材に前記第二部材を載置して前記段差部の段差側面と前記第二部材の側面とを突き合わせて第一突合せ部を形成するとともに、前記段差底面と前記第二部材の裏面とを重ね合わせて第二突合せ部を形成する載置工程と、回転する前記回転ツールの前記攪拌ピンの先端を前記段差底面と同一の深さか、それよりもわずかに深く挿入し、前記攪拌ピンのみを前記第一部材の少なくとも上側にわずかに接触させた状態で前記第一突合せ部に沿って回転ツールを一周させて摩擦攪拌しつつ、塑性化領域内の前記段差側面に近接する部位に所定幅の粗密部を形成する本接合工程と、前記本接合工程後、前記粗密部を検出する深傷検査を行うことにより、前記攪拌ピンの通過位置を特定する検査工程と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る液冷ジャケットの製造方法及び摩擦攪拌接合方法によれば、材種の異なる金属を好適に接合しつつ、回転ツールの通過位置を把握することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第一実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の準備工程を示す斜視図である。
【図２】第一実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の載置工程を示す断面図である。
【図３】第一実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の本接合工程を示す斜視図である。
【図４】第一実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の本接合工程を示す断面図である。
【図５】第一実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の本接合工程後を示す断面図である。
【図６】第一実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の検査工程を示す平面図である。
【図７】第二実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の本接合工程を示す断面図である。
【図８】第三実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の準備工程を示す斜視図である。
【図９】第三実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の本接合工程を示す断面図である。
【図１０】試験１における回転ツール位置と引張強さとの関係を表したグラフである。
【図１１】試験１の重ね継手を示す模式図である。
【図１２】試験１の重ね継手＋突合せ継手を示す模式図である。
【図１３】試験１の突合せ継手（一部重ね）を示す模式図である。
【図１４】試験２における比較例１〜３及び実施例のマクロ組織断面である。
【図１５】従来の液冷ジャケットの製造方法を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
［第一実施形態］
本発明の実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法について、図面を参照して詳細に説明する。図１に示すように、本発明の実施形態に係る液冷ジャケット１の製造方法は、ジャケット本体２と、封止体３とを摩擦攪拌接合して液冷ジャケット１を製造するものである。液冷ジャケット１は、封止体３の上に発熱体（図示省略）を設置するとともに、内部に流体を流して発熱体と熱交換を行う部材である。なお、以下の説明における「表面」とは、「裏面」の反対側の面という意味である。
【００２１】
本実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法は、準備工程と、載置工程と、本接合工程と、検査工程と、を行う。準備工程は、ジャケット本体２と封止体３とを準備する工程である。ジャケット本体２は、底部１０と、周壁部１１とで主に構成されている。ジャケット本体２は、第一アルミニウム合金を主に含んで形成されている。第一アルミニウム合金は、例えば、ＪＩＳＨ５３０２  ＡＤＣ１２（Ａｌ-Ｓｉ-Ｃｕ系）等のアルミニウム合金鋳造材を用いている。ジャケット本体２は、本実施形態ではアルミニウム合金を例示したが、摩擦攪拌可能な他の金属でもよい。
【００２２】
図１に示すように、底部１０は、平面視矩形を呈する板状部材である。周壁部１１は、底部１０の周縁部から矩形枠状に立ち上がる壁部である。周壁部１１の内周縁には周壁段差部１２が形成されている。周壁段差部１２は、段差底面１２ａと、段差底面１２ａから立ち上がる段差側面１２ｂとで構成されている。図２に示すように、段差側面１２ｂは、段差底面１２ａから開口部に向かって外側に広がるように傾斜している。段差側面１２ｂの鉛直面に対する傾斜角度βは適宜設定すればよいが、例えば、鉛直面に対して３°〜３０°になっている。底部１０及び周壁部１１で凹部１３が形成されている。ここで鉛直面とは、回転ツールＦの進行方向ベクトルと鉛直方向ベクトルで構成される平面と定義する。
【００２３】
封止体３は、ジャケット本体２の開口部を封止する板状部材である。封止体３は、周壁段差部１２に載置される大きさになっている。封止体３の板厚は、段差側面１２ｂの高さ寸法よりも大きくなっている。封止体３の板厚寸法は、後記する本接合工程の際に接合部が金属不足にならない程度に適宜設定する。封止体３は、第二アルミニウム合金を主に含んで形成されている。第二アルミニウム合金は、第一アルミニウム合金よりも硬度の低い材料である。第二アルミニウム合金は、例えば、ＪＩＳ  Ａ１０５０，Ａ１１００，Ａ６０６３等のアルミニウム合金展伸材で形成されている。封止体３は、本実施形態ではアルミニウム合金を例示したが、摩擦攪拌可能な他の金属でもよい。
【００２４】
載置工程は、図２に示すように、ジャケット本体２に封止体３を載置する工程である。載置工程では、段差底面１２ａに封止体３の裏面３ｂを載置する。段差側面１２ｂと封止体３の外周側面３ｃとが突き合わされて第一突合せ部Ｊ１が形成される。第一突合せ部Ｊ１は本実施形態のように断面略Ｖ字状の隙間をあけて突き合わされる場合も含み得る。また、段差底面１２ａと、封止体３の裏面３ｂとが突き合わされて第二突合せ部Ｊ２が形成される。
【００２５】
本接合工程は、図３及び図４に示すように、回転する回転ツールＦを封止体３の周囲で一周させてジャケット本体２と封止体３とを摩擦攪拌接合する工程である。回転ツールＦは、連結部Ｆ１と、攪拌ピンＦ２とで構成されている。回転ツールＦは、例えば工具鋼で形成されている。連結部Ｆ１は、摩擦攪拌装置（図示省略）の回転軸に連結される部位である。連結部Ｆ１は円柱状を呈し、ボルトが締結されるネジ孔（図示省略）が形成されている。回転ツールＦが連結される摩擦攪拌装置は、例えば先端にスピンドルユニット等の回転駆動手段を備えたロボットアームであり、回転ツールＦの回転中心軸Ｃを自在に傾斜させることができる。
【００２６】
攪拌ピンＦ２は、連結部Ｆ１から垂下しており、連結部Ｆ１と同軸になっている。攪拌ピンＦ２は連結部Ｆ１から離間するにつれて先細りになっている。図４に示すように、攪拌ピンＦ２の先端には、回転中心軸Ｃに対して垂直であり、かつ、平坦な平坦面Ｆ３が形成されている。つまり、攪拌ピンＦ２の外面は、先細りとなる外周面Ｆ１０と、先端に形成された平坦面Ｆ３とで構成されている。側面視した場合において、回転中心軸Ｃと攪拌ピンＦ２の外周面Ｆ１０とのなす傾斜角度αは、例えば５°〜４０°の範囲で適宜設定すればよい。
【００２７】
攪拌ピンＦ２の外周面には螺旋溝が刻設されている。本実施形態では、回転ツールＦを右回転させるため、螺旋溝は、基端から先端に向かうにつれて左回りに形成されている。言い換えると、螺旋溝は、螺旋溝を基端から先端に向けてなぞると上から見て左回りに形成されている。
【００２８】
なお、回転ツールＦを左回転させる場合は、螺旋溝を基端から先端に向かうにつれて右回りに形成することが好ましい。言い換えると、この場合の螺旋溝は、螺旋溝を基端から先端に向けてなぞると上から見て右回りに形成されている。螺旋溝をこのように設定することで、摩擦攪拌の際に塑性流動化した金属が螺旋溝によって攪拌ピンＦ２の先端側に導かれる。これにより、被接合金属部材（ジャケット本体２及び封止体３）の外部に溢れ出る金属の量を少なくすることができる。
【００２９】
図３に示すように、回転ツールＦを用いて摩擦攪拌を行う際には、封止体３に右回転した攪拌ピンＦ２のみを挿入し、封止体３と連結部Ｆ１とは離間させつつ移動させる。言い換えると、攪拌ピンＦ２の基端部は露出させた状態で摩擦攪拌を行う。回転ツールＦの移動軌跡には摩擦攪拌された金属が硬化することにより塑性化領域Ｗ１が形成される。本実施形態では、封止体３に設定した開始位置Ｓｐに攪拌ピンＦ２を挿入し、封止体３に対して右廻りに回転ツールＦを相対移動させる。
【００３０】
図４に示すように、本接合工程では、回転ツールＦの回転中心軸Ｃを鉛直線（鉛直面）と平行にした状態で摩擦攪拌を行う。段差底面１２ｂの傾斜角度βは、攪拌ピンＦ２の外周面の傾斜角度αよりも小さく設定している。本接合工程では、回転ツールＦの外周面Ｆ１０の上側を周壁段差部１２の段差側面１２ｂの上部にわずかに接触させつつ、外周面Ｆ１０の下側を周壁段差部１２の段差側面１２ｂに接触させないように設定する。攪拌ピンＦ２の平坦面Ｆ３は、段周壁差部１２の段差底面１２ａと同一の高さでもよいが、本実施形態では周壁段差部１２の段差底面１２ａよりもわずかに深い位置となるように挿入する。本接合工程では、封止体３の周囲に一周させ、塑性化領域Ｗ１の始端と終端とを重複させたら回転ツールＦをジャケット本体２及び封止体３から離脱させる。
【００３１】
図５に示すように、本接合工程を行うと、回転ツールＦの移動軌跡に塑性化領域Ｗ１が形成されるとともに、塑性化領域Ｗ１の下部のうち段差側面１２ｂの内側近傍に粗密部Ｚが形成される。粗密部Ｚは、塑性流動材の攪拌が不十分な領域であって、他の部位よりも塑性流動材が粗密になっている領域である。粗密部Ｚは、塑性化領域Ｗ１の長手方向において連続的又は断続的に形成されている。
【００３２】
検査工程は、図６に示すように、液冷ジャケット１の深傷検査を行う工程である。検査工程では、超音波深傷装置（例えば、超音波映像装置（ＳＡＴ）株式会社日立ハイテクノロジーズ製）を用いる。図６中の検査結果画面Ｒのうち、液冷ジャケット１の中空部Ｂは色付きで表示されている。また、中空部Ｂの周囲に粗密部Ｚが色付きで、枠状かつ線状に表示されている。つまり、検査結果画面Ｒに粗密部Ｚが表示されることで、封止体３の全周に亘って回転ツールＦが通過していることが特定できる。中空部Ｂと粗密部Ｚの間は塑性化領域Ｗ１に相当する部位である。
【００３３】
ここで、粗密部Ｚの幅Ｚｗは４００μｍ以下、好ましくは３００μｍ以下、より好ましくは２００μｍ以下に設定することが好ましい。粗密部Ｚの幅Ｚｗが４００μｍを超えると第一突合せ部Ｊ１の接合強度が不十分になるおそれがある。換言すると、粗密部Ｚの幅Ｚｗが４００μｍ以下であれば十分な接合強度が得られる。一方、粗密部Ｚの幅Ｚｗは１００μｍ以上であることが好ましい。粗密部Ｚの幅Ｚｗが１００未満であると超音波深傷装置で、粗密部Ｚ部分が検査結果画面Ｒに表示されないおそれがある。
【００３４】
図４に示すように、本接合工程において、攪拌ピンＦ２の外周面Ｆ１０と段差側面１２ｂとが接触する領域と、接触しない領域との割合は本実施形態では、２：８くらいになっているが、ジャケット本体２と封止体３とが所望の強度で接合されつつ、前記した所定幅の粗密部Ｚが形成される範囲で適宜設定すればよい。換言すると、攪拌ピンＦ２の外周面Ｆ１０の傾斜角度α、周壁段差部１２の段差側面１２ｂの傾斜角度β、攪拌ピンＦ２の回転中心軸Ｃの位置（幅方向の位置）は、ジャケット本体２と封止体３とが所望の強度で接合されつつ、前記した所定幅の粗密部Ｚが形成される範囲で適宜設定すればよい。
【００３５】
攪拌ピンＦ２と段差側面１２ｂとの接触割合が大きくなると、ジャケット本体２の金属が封止体３側に多く流入するため、ジャケット本体２と封止体３との攪拌のバランスが悪くなり、接合強度が低下するおそれがある。また、攪拌ピンＦ２の外周面Ｆ１０と段差側面１２ｂとが離間していても接合強度が低下するおそれがあるため、少なくとも段差側面１２ｂの上部に攪拌ピンＦ２を接触させることが好ましい。また、段差底面１２ａ付近において、外周面Ｆ１０と段差側面１２ｂとが近接しすぎても、又は、離間しすぎても上記した所定幅の粗密部Ｚは形成することができない。
【００３６】
以上説明した本実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法によれば、封止体３と攪拌ピンＦ２との摩擦熱によって第一突合せ部Ｊ１の主として封止体３側の金属が攪拌されて塑性流動化され、第一突合せ部Ｊ１において段差側面１２ｂと封止体３の外周側面３ｃとを接合することができる。また、攪拌ピンＦ２のみをジャケット本体２の段差側面１２ｂの少なくとも上側にわずかに接触させて摩擦攪拌を行うため、接合強度を確保しつつジャケット本体２から封止体３への金属の混入を極力少なくすることができる。これにより、第一突合せ部Ｊ１においては主として封止体３側の金属が摩擦攪拌されるため、接合強度の低下を抑制することができる。
【００３７】
また、攪拌ピンＦ２を段差底面１２ａと同一かそれよりもわずかに深く挿入するため、第二突合せ部Ｊ２における接合強度を高めつつ、ジャケット本体２から封止体３への金属の混入を極力少なくすることができる。また、所定幅の粗密部Ｚをあえて形成することで、深傷検査によって攪拌ピンＦ２の通過位置を把握することができる。これにより、品質管理作業をより容易に行うことができる。また、攪拌ピンＦ２の外周面Ｆ１０及び段差側面１２ｂを傾斜するように形成することで、攪拌ピンＦ２と段差側面１２ｂとが大きく接触することを回避できるとともに、粗密部Ｚの幅Ｚｗ、大きさ等を容易に制御することができる。また、封止体３の厚さを大きくすることで接合部の金属不足を防ぐことができる。
【００３８】
また、本接合工程では、回転ツールＦの回転方向及び進行方向は適宜設定すればよいが、本実施形態では回転ツールＦの移動軌跡に形成される塑性化領域Ｗ１のうち、ジャケット本体２側がシアー側となり、封止体３側がフロー側となるように回転ツールＦの回転方向及び進行方向を設定した。これにより、第一突合せ部Ｊ１の周囲における攪拌ピンＦ２による攪拌作用が高まり、第一突合せ部Ｊ１における温度上昇が期待でき、第一突合せ部Ｊ１において段差側面１２ｂと封止体３の外周側面３ｃとをより確実に接合することができる。
【００３９】
なお、シアー側（Advancing side）とは、被接合部に対する回転ツールの外周の相対速度が、回転ツールの外周における接線速度の大きさに移動速度の大きさを加算した値となる側を意味する。一方、フロー側（Retreating side）とは、回転ツールの移動方向の反対方向に回転ツールが回動することで、被接合部に対する回転ツールの相対速度が低速になる側を言う。
【００４０】
また、ジャケット本体２の第一アルミニウム合金は、封止体３の第二アルミニウム合金よりも硬度の高い材料になっている。これにより、液冷ジャケット１の耐久性を高めることができる。また、ジャケット本体２の第一アルミニウム合金をアルミニウム合金鋳造材とし、封止体３の第二アルミニウム合金をアルミニウム合金展伸材とすることが好ましい。第一アルミニウム合金を例えば、ＪＩＳＨ５３０２  ＡＤＣ１２等のＡｌ−Ｓｉ−Ｃｕ系アルミニウム合金鋳造材とすることにより、ジャケット本体２の鋳造性、強度、被削性等を高めることができる。また、第二アルミニウム合金を例えば、ＪＩＳ  Ａ１０００系又はＡ６０００系とすることにより、加工性、熱伝導性を高めることができる。
【００４１】
例えば、本実施形態では、封止体３の板厚を段差側面１２ｂの高さ寸法よりも大きくしているが、両者を同一にしてもよい。また、段差側面１２ｂは傾斜させずに、段差底面１２ａに対して垂直でもよい。
【００４２】
なお、前記した実施形態ではジャケット本体と封止体とを接合して形成される液冷ジャケットの製造方法を例示したが、これに限定されるものではない。図示は省略するが、本発明は、液冷ジャケットの形状に限定されることなく段差部を備えた第一部材と、当該段差部に配置される第二部材とを接合する摩擦攪拌接合としても適用することができる。
【００４３】
［第二実施形態］
次に、本発明の第二実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法について説明する。図７に示すように、第二実施形態では、回転ツールＦを傾斜させて摩擦攪拌を行う点で第一実施形態と相違する。本実施形態では、準備工程、載置工程、本接合工程、検査工程を行う。本実施形態では、第一実施形態と相違する部分を中心に説明する。
【００４４】
本実施形態の本接合工程では、図７に示すように、回転ツールＦを鉛直面（封止体３の外周側面３ｃ）に対して傾斜角度γ外側に傾斜させた状態で摩擦攪拌を行う。このようにしても、攪拌ピンＦ２を段差側面１２ｂにわずかに接触させつつ、攪拌ピンＦ２の先端を段差底面１２ａよりもわずかに深く挿入することができる。また、攪拌ピンＦ２の先端側は、段差側面１２ｂに接触していない。
【００４５】
これにより、第一実施形態と同じように所定幅の粗密部Ｚを形成することができる。傾斜角度は適宜設定すればよいが、例えば、γ＜α−βと設定することが好ましい。また、０＜α−βとすることが好ましい。本実施形態では、回転ツールＦを外側（封止体３から離間する側）に傾斜させているが、内側に傾斜させてもよい。回転ツールＦの傾斜角度、傾斜させる方向については、ジャケット本体２と封止体３とが所望の強度で接合されつつ、前記した所定幅の粗密部Ｚが形成される範囲で適宜設定すればよい。
【００４６】
［第三実施形態］
次に、本発明の第三実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法について説明する。図８及び図９に示すように、第三実施形態では、ジャケット本体２Ａの支柱１５と封止体３Ａとを接合する点で第一実施形態と相違する。本実施形態では、準備工程、載置工程、本接合工程、検査工程を行う。本接合工程では、第一本接合工程と、第二本接合工程を行う。本実施形態では、第一実施形態と相違する部分を中心に説明する。
【００４７】
準備工程では、ジャケット本体２Ａ及び封止体３Ａを用意する。ジャケット本体２Ａは、底部１０、周壁部１１、複数の支柱１５（本実施形態では４つ）を備えている。支柱１５は、底部１０から立設し柱状を呈する。支柱１５の先端には先細りとなる突出部１６が形成されている。突出部１６を設けることにより、支柱１５の先端側には支柱段差部１７が形成されている。支柱段差部１７は、段差底面１７ａと、段差底面１７ａから軸中心側に傾斜する段差側面１７ｂとで構成されている。封止体３Ａには、支柱１５の対応する位置に孔部４が形成されている。孔部４は、突出部１６が挿入される大きさになっている。
【００４８】
載置工程では、ジャケット本体２Ａに封止体３Ａを載置する工程である。これにより、第一実施形態と同様に第一突合せ部Ｊ１が形成される。また、図９に示すように、支柱段差部１７の段差側面１７ｂと孔部４の孔壁４ａとが突き合わされて第三突合せ部Ｊ３が形成される。また、支柱段差部１７の段差底面１７ａと封止体３の裏面３ｂとが突き合わされて第四突合せ部Ｊ４が形成される。
【００４９】
本接合工程では、第一突合せ部Ｊ１及び第二突合せ部Ｊ２を接合する第一本接合工程と、第三突合せ部Ｊ３及び第四突合せ部Ｊ４を接合する第二本接合工程とを行う。第一本接合工程は、第一実施形態の本接合工程と同一であるため説明を省略する。
【００５０】
図９に示すように、第二本接合工程では、回転ツールＦの外周面Ｆ１０の上側を支柱段差部１７の段差側面１７ｂの上部にわずかに接触させつつ、外周面Ｆ１０の下側を支柱段差部１７の段差側面１７ｂに接触させないように設定する。攪拌ピンＦ２の平坦面Ｆ３は、支柱段差部１７の段差底面１７ａよりもわずかに深い位置となるように挿入する。
【００５１】
図９に示すように、本接合工程を行うと、回転ツールＦの移動軌跡に塑性化領域Ｗ２が形成されるとともに、塑性化領域Ｗ２の下部のうち段差側面１７ｂの外側近傍に粗密部Ｚが形成される。粗密部Ｚは、塑性流動材の攪拌が不十分な領域であって、他の部位よりも塑性流動材が粗密になっている領域である。粗密部Ｚは、塑性化領域Ｗ２において連続的又は断続的に形成されている。粗密部Ｚの形成方法や条件については第一実施形態と同一である。
【００５２】
本実施形態によれば、第一実施形態と同様の効果を奏することができる。また、本実施形態によれば、支柱１５と封止体３Ａとを接合するため接合強度を高めることができる。また、塑性化領域Ｗ２内において、突出部１６の基端側の外側近傍に粗密部Ｚを形成することにより、検査工程において支柱１５周りにおける回転ツールＦの移動軌跡を確認することができる。
【実施例】
【００５３】
次に、本発明の実施例について説明する。ここでは、所定の条件下で本接合工程を行った後、引張試験を行って回転ツール位置と引張強さとの関係を確認した試験１と、所定の条件下で本接合工程を行った後、接合部のマクロ組織断面を確認した試験２とを行った。図１０は、試験１における回転ツール位置と引張強さとの関係を表したグラフである。
【００５４】
試験１では、試験体を８つ用意して各試験体について本接合工程を行った。試験１では、攪拌ピンＦ２の挿入深さを一定にしつつ、回転ツールＦの位置（幅方向位置）を変化させて摩擦攪拌接合を行った。ジャケット本体２はアルミニウム合金ＡＤＣ１２を用い、封止体３はアルミニウム合金Ａ６０６３を用いた。段差側面１２ｂ及び封止体３の高さ寸法は３ｍｍとした。
【００５５】
図１０及び図１１に示すように、範囲Ａは「重ね継手」を示している。範囲Ａの「重ね継手」は、攪拌ピンＦ２の外周面Ｆ１０は段差側面１２ｂに接触しておらず、攪拌ピンＦ２の先端が段差底面１２ａに達している状態である。図１０に示すように、４つの試験体が範囲Ａに含まれている。回転ツール位置Ｘ２は、図１１に示す回転ツールＦの位置と対応している。
【００５６】
図１０及び図１１に示すように、範囲Ｂの「重ね継手＋突合せ継手」は、攪拌ピンＦ２の外周面Ｆ１０が段差側面１２ｂと接触し、かつ、攪拌ピンＦ２の先端側は段差側面１２ｂに接触していない状態である。また、攪拌ピンＦ２の先端が段差底面１２ａに達している状態である。図１０に示すように、２つの試験体が範囲Ｂに含まれている。範囲Ｂは、本発明の第一実施形態と同じ形態である。
【００５７】
図１０及び図１１に示すように、範囲Ｃの「突合せ継手（一部重ね）」は、攪拌ピンＦ２が段差側面１２ｂの全体及び段差底面１２ａの一部と接触している状態である。図１０に示すように、２つの試験体が範囲Ｃに含まれている。回転ツール位置Ｘ１０は、図１３の回転ツールＦの位置と対応している。
【００５８】
図１０に示すように、範囲Ａ：「重ね継手」であると、他の形態と比べて引張強さが弱いことがわかった。つまり、第二突合せ部Ｊ２のみの接合では、引張強さが低いことがわかった。
【００５９】
一方、範囲Ｃ：「突合せ継手（一部重ね）」であると第一突合せ部Ｊ１及び第二突合せ部Ｊ２の二か所が摩擦攪拌されるため引張強さは大きくなるものの回転ツール位置Ｘ９付近をピークに引張強さが減少することがわかった。これは、回転ツールＦとジャケット本体２との重なり代が大きくなると、ジャケット本体２の金属が封止体３側に多く流入するため、攪拌バランスが悪くなり引張強さが低下すると考えられる。
【００６０】
他方、範囲Ｂ：「重ね継手＋突合せ継手」であると、第一突合せ部Ｊ１及び第二突合せ部Ｊ２の二か所が摩擦攪拌されて引張強さが大きくなり、引張強さの数値も上昇傾向にあることがわかった。よって、回転ツールＦの位置は、攪拌ピンＦ２が段差側面１２ｂと段差底面１２ａの両方にそれぞれわずかに接触させる位置が好ましいことがわかった。
【００６１】
図１４は、試験２における比較例１〜３及び実施例のマクロ組織断面である。試験２では、新たに試験体を４つ用意し、それぞれ本接合工程を行った。試験２では、回転ツールＦの挿入深さ及び位置を変化させてマクロ組織断面によって接合状況を確認した。ジャケット本体２はアルミニウム合金ＡＤＣ１２を用い、封止体３はアルミニウム合金Ａ１１００を用いた。段差側面１２ｂの高さ寸法は３．０ｍｍとし、封止体３の高さ寸法は３．５ｍｍとした。段差側面１２ｂの傾斜角度βは１０°とした。攪拌ピンＦ２のテーパー角度は４０°とし、溝ピッチは０．５ｍｍとし、平坦面Ｆ３の直径は１．５ｍｍとした。
【００６２】
比較例１は、回転ツールＦの押込み量を０．６５ｍｍとし、段差側面１２ｂとの重なり代を０．５５ｍｍに設定した。押込み量とは、段差底面１２ａから回転ツールＦの先端までの距離である。重なり代とは、段差側面１２ｂから攪拌ピンＦ２の外周面Ｆ１０までの距離（最大距離）である。重なり代がプラスの場合は、外周面Ｆ１０と段差側面１２ｂとが接触していることを意味する。
【００６３】
比較例２は、回転ツールＦの押込み量を０．５ｍｍとし、段差側面１２ｂとの重なり代を０．３５ｍｍに設定した。
比較例３は、回転ツールＦの押込み量を０．２ｍｍとし、段差側面１２ｂとの重なり代を−０．１５ｍｍに設定した。比較例３では、段差側面１２ｂと攪拌ピンＦ２の外周面Ｆ１０とは完全に離間している。
実施例は、回転ツールＦの押込み量を０．２ｍｍとし、段差側面１２ｂとの重なり代を０．１５ｍｍに設定した。実施例では、攪拌ピンＦ２と段差側面１２ｂの上部とが接触し、攪拌ピンＦ２と段差側面１２ｂの下部とは離間している。
【００６４】
図１４に示すように、比較例１では、攪拌ピンＦ２の外周面Ｆ１０と段差側面１２ｂとの重なり代が大きすぎて塑性化領域Ｗ１内に空洞欠陥が多く発生している。
比較例２では、塑性化領域Ｗ１内に空洞欠陥は発生していないが、攪拌ピンＦ２の外周面Ｆ１０と段差側面１２ｂとの重なり代が大きすぎて粗密部Ｚが形成されていない。
比較例３では、攪拌ピンＦ２と段差側面１２ｂとが完全に離間しているため、外周面Ｆ１０と段差側面１２ｂとの間の下部に大きな粗密部Ｚａが発生している。当該粗密部Ｚａの幅は約５００μｍになっている。また、比較例３ではバリＶも多く発生している。
【００６５】
実施例では、塑性化領域Ｗ１内に空洞欠陥はなく、バリも発生していない。段差側面１２ｂの下部の内側に幅約２００μｍの粗密部Ｚが形成されている。実施例の条件であれば、接合強度も十分に確保できるとともに、粗密部Ｚも所定幅で形成されて良好であることがわかった。なお、実施例の数値は、あくまで例示であって本発明を限定するものではない。
【符号の説明】
【００６６】
１      液冷ジャケット
２      ジャケット本体（第一部材）
３      封止体（第二部材）
Ｆ      回転ツール
Ｆ１    連結部
Ｆ２    攪拌ピン
Ｆ３    平坦面
Ｊ１    第一突合せ部
Ｊ２    第二突合せ部
Ｗ１    塑性化領域
Ｚ      粗密部
【図１】
2020075255.tif 000003
【図２】
2020075255.tif 000004
【図３】
2020075255.tif 000005
【図４】
2020075255.tif 000006
【図５】
2020075255.tif 000007
【図６】
2020075255.tif 000008
【図７】
2020075255.tif 000009
【図８】
2020075255.tif 000010
【図９】
2020075255.tif 000011
【図１０】
2020075255.tif 000012
【図１１】
2020075255.tif 000013
【図１２】
2020075255.tif 000014
【図１３】
2020075255.tif 000015
【図１４】
2020075255.tif 000016
【図１５】
2020075255.tif 000017