(57)【要約】【課題】厚み方向の耐衝撃性をより向上させる。【解決手段】圧電ウエハ１にｘ方向を長手方向とする肉厚板部１０をｙ方向に複数配置し、各肉厚板部１０は、同じ厚さの肉厚連結板１１で一体的に接続されている。各肉厚板部１０には、ｘ方向に並ぶ複数の圧電振動片２０の各々が、少なくとも１つの連結脚３０で肉厚板部１０に直接接続している。このように、圧電振動片２０を接続する連結脚３０を、肉厚板部１０に直接接続しているので、肉厚板部１０の幅（ｙ方向の距離）を大きくとることで、厚み方向の耐衝撃性をより向上させることができる。第１実施形態では、連結脚３０を肉厚板部１０に直接接続することで、この直接接続部での応力が集中するため、より連結脚３０で圧電振動片２０を切断（折り取り）し易くすることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
並んで配設された複数の圧電振動片と、
前記圧電振動片よりも厚さが厚い肉厚板部と、
前記圧電振動片の厚さ以下の厚さに形成され、一端が前記圧電振動片に接続され他端が前記肉厚板部に接続された少なくとも１つの連結脚と、
を具備したことを特徴とする圧電ウエハ。
【請求項２】
前記圧電振動片は、基部と当該基部から並んで延設された一対の振動腕部を有する音叉型の圧電振動片であり、
前記連結脚は、前記一端が前記基部における前記振動腕部の反対側に接続されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の圧電ウエハ。
【請求項３】
前記連結脚は、前記圧電振動片に接続する前記一端側の幅よりも、前記肉厚板部に接続する前記他端側の幅の方が広く形成されている、
ことを特徴とする請求項１、又は請求項２に記載の圧電ウエハ。
【請求項４】
前記連結脚は、前記圧電振動片に接続する前記一端側と、前記肉厚板部に接続する前記他端側との間に、幅方向のくびれ部が形成されている、
ことを特徴とする請求項１、請求項２、又は請求項３に記載の圧電ウエハ。
【請求項５】
前記肉厚板部には、前記圧電振動片に延びる複数の肉厚凸部が形成され、
前記連結脚は、前記肉厚板部側の側面の一部が、前記肉厚凸部の側面と接続されている、
ことを特徴とする請求項１から請求項４のうちのいずれか１の請求項に記載の圧電ウエハ。
【請求項６】
請求項１に記載の圧電ウエハの製造方法であって、
平板状の水晶板を、前肉厚板部の厚さに加工する肉厚加工工程と、
前記研磨した水晶板に対し、前記圧と同一厚さの領域以外の領域を薄肉化する薄肉部形成工程と、
前記形成した薄肉部に対して、前記肉厚部に接続する前記連結脚と前記圧電振動片のチップパターンを複数形成する、パターン形成工程と、
前記圧電振動片の外表面に電極をパターニングする電極形成工程と、
を具備することを特徴とする圧電ウエハの製造方法。
【請求項７】
請求項１に記載した圧電ウエハ製造方法により圧電ウエハを製造する圧電ウエハ工程と、
前記形成された圧電ウエハから、前記圧電振動片のチップパターンを前記連結脚で折り取る分離工程と、
を具備することを特徴とする圧電振動片の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電ウエハ、圧電ウエハの製造方法、及び圧電振動片の製造方法に係り、詳細には、複数の圧電振動片が形成された圧電ウエハに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、携帯電話や携帯情報端末機器等の電子機器には、時刻源や制御信号等のタイミング源、リファレンス信号源等に用いられるデバイスとして、水晶等を利用した圧電振動片を内部に実装した圧電振動子が広く用いられている。
圧電振動片は、大面積の圧電ウエハに圧電振動片を複数形成した圧電ウエハから、小片の圧電振動片毎に折取ることで使用している。圧電ウエハは、大面積のウエハを用い、圧電振動片の厚さまでラップ、ポリッシュ等により薄肉化した後、フォトリソグラフィ技術による転写、エッチング等により、ウエハ上の板部（連結体）に連結脚で接続された圧電振動片のチップパターンを複数形成している。
しかし、近年の圧電振動子の小型化に伴い、圧電振動片も小型、薄型化（例えば、８０μｍや４０μｍ）しているため、圧電振動片と同じ厚さで形成している圧電ウエハの強度が弱くなり、ウエハの反りや割れが発生しやすくなってしまう。
そこで、特許文献１では、薄型の圧電振動片に対応して割れにくい圧電ウエハが提案されている。
【０００３】
図５は、特許文献１による圧電ウエハの一部を表したものである。
図５に示すように、特許文献１の圧電ウエハ１００は、平行する各板部（連結体）１０１の各々に複数の圧電振動片１０２が脚１０３で連結される。連結体１０１と脚１０３は、圧電振動片１０２と同じ厚さに形成されている。
そして、圧電ウエハ１００の外縁には圧電振動片１０２よりも肉厚の枠体１１０が形成され、この枠体１１０に各板部１０１が一体に接続されている。
特許文献１記載の圧電ウエハによれば、その外縁部に肉厚部を形成しているため、圧電ウエハ全面が圧電ウエハと同じ厚さに形成される場合に比べて強度を高めることが可能である。
【０００４】
しかし、特許文献１の圧電ウエハ１００では、その外縁部の枠体１１０だけが肉厚に形成されているため、枠体１１０から離れた中央部では充分に反りや割れの発生を防止することができない。
また、複数の圧電振動片１０２の脚１０３は、板部１０１を介して枠体１１０に接続されているため、肉厚部の幅（図面ｙ方向の幅）を充分に確保することができず、肉厚部である枠体１１０の強度も充分ではなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４７８４７００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、厚み方向の耐衝撃性をより向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）請求項１に記載の発明では、並んで配設された複数の圧電振動片と、前記圧電振動片よりも厚さが厚い肉厚板部と、前記圧電振動片の厚さ以下の厚さに形成され、一端が前記圧電振動片に接続され他端が前記肉厚板部に接続された少なくとも１つの連結脚と、を具備したことを特徴とする圧電ウエハを提供する。
（２）請求項２に記載の発明では、前記圧電振動片は、基部と当該基部から並んで延設された一対の振動腕部を有する音叉型の圧電振動片であり、前記連結脚は、前記一端が前記基部における前記振動腕部の反対側に接続されている、ことを特徴とする請求項１に記載の圧電ウエハを提供する。
（３）請求項３に記載の発明では、前記連結脚は、前記圧電振動片に接続する前記一端側の幅よりも、前記肉厚板部に接続する前記他端側の幅の方が広く形成されている、ことを特徴とする請求項１、又は請求項２に記載の圧電ウエハを提供する。
（４）請求項４に記載の発明では、前記連結脚は、前記圧電振動片に接続する前記一端側と、前記肉厚板部に接続する前記他端側との間に、幅方向のくびれ部が形成されている、ことを特徴とする請求項１、請求項２、又は請求項３に記載の圧電ウエハを提供する。
（５）請求項５に記載の発明では、前記肉厚板部には、前記圧電振動片に延びる複数の肉厚凸部が形成され、前記連結脚は、前記肉厚板部側の側面の一部が、前記肉厚凸部の側面と接続されている、ことを特徴とする請求項１から請求項４のうちのいずれか１の請求項に記載の圧電ウエハを提供する。
（６）請求項６に記載の発明では、請求項１に記載の圧電ウエハの製造方法であって、平板状の水晶板を、前肉厚板部の厚さに加工する肉厚加工工程と、前記研磨した水晶板に対し、前記圧と同一厚さの領域以外の領域を薄肉化する薄肉部形成工程と、前記形成した薄肉部に対して、前記肉厚部に接続する前記連結脚と前記圧電振動片のチップパターンを複数形成する、パターン形成工程と、前記圧電振動片の外表面に電極をパターニングする電極形成工程と、を具備することを特徴とする圧電ウエハの製造方法を提供する。
（７）請求項７に記載の発明では、請求項１に記載した圧電ウエハ製造方法により圧電ウエハを製造する圧電ウエハ工程と、前記形成された圧電ウエハから、前記圧電振動片のチップパターンを前記連結脚で折り取る分離工程と、を具備することを特徴とする圧電振動片の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本願発明によれば、複数の圧電振動片を接続する連結脚が肉厚板部に直接接続されているので、厚み方向の耐衝撃性をより向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施形態における、複数の圧電振動片が肉厚板部に接続された単位ブロックの状態を表した説明図である。
【図２】第１実施形態における、単位ブロックにおける圧電振動片の接続状態を表した説明図である。
【図３】第２実施形態における圧電ウエハの一部を表した説明図である。
【図４】第３実施形態における圧電ウエハの一部を表した説明図である。
【図５】従来の圧電ウエハの一部を表した斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の圧電振動片、及び圧電振動子における好適な実施形態について、図１から図４を参照して詳細に説明する。
（１）実施形態の概要
本実施形態では、圧電ウエハ１にｘ方向を長手方向とする肉厚板部１０をｙ方向に複数配置し、各肉厚板部１０は、同じ厚さの肉厚連結板１１で一体的に接続されている。
各肉厚板部１０には、ｘ方向に並ぶ複数の圧電振動片２０の各々が、少なくとも１つの連結脚３０で肉厚板部１０に直接接続している。このように、圧電振動片２０を接続する連結脚３０を、肉厚板部１０に直接接続しているので、肉厚板部１０の幅（ｙ方向の距離）を大きくとることで、厚み方向の耐衝撃性をより向上させることができる。
第１実施形態では、連結脚３０を肉厚板部１０に直接接続することで、この直接接続部での応力が集中するため、より連結脚３０で圧電振動片２０を切断（折り取り）し易くすることができる。
【００１１】
第２実施形態では、連結脚３０の長手方向の途中にくびれ部を形成することで、より圧電振動片２０側に近い位置で連結脚３０を切断することができる。
肉厚板部１０と連結脚３０との段差部（接続部分）ｄに集中する応力の程度によっては、圧電ウエハ１の加工中（プロセス流動中）に圧電振動片２０が脱落する可能性がある。そこで、第３実施形態では、肉厚板部１０に複数の肉厚凸部１２を形成し、連結脚３０の肉厚板部１０側の側面の一部が肉厚凸部１２と接続することで、肉厚板部１０と連結脚３０との段差部ｄへの応力集中を緩和することで、圧電振動片２０の脱落を防止しつつ、連結脚３０での折取り性を向上している。
【００１２】
（２）実施形態の詳細
図１は、第１実施形態における圧電ウエハ１を構成する、複数の圧電振動片２０が肉厚板部１０に接続された単位ブロック５の状態を表した説明図である。なお、他の図面を含め、各部の破断部分は点線で示している。
図１に示すように、第１実施形態の圧電ウエハ１は、圧電振動片２０と肉厚板部１０と連結脚３０を有する複数の単位ブロック５が図面ｙ方向に並んで配置されている。
これら圧電ウエハ１の各部は同一材料により一体形成されている。
各単位ブロック５は、各々ｘ方向の両端が、肉厚板部１０と同じ厚さに形成された肉厚連結板１１に接続されている。
なお、圧電ウエハ１の外形は方形に表示されているが、方形である必要はなく円形であってもよい。この場合、圧電ウエハ１の外縁部に位置する肉厚板部１０と肉厚連結板１１の外縁側は、圧電ウエハ１の形状に沿った形状である。
【００１３】
図２は、圧電ウエハ１を構成する単位ブロック５の詳細を表した説明図であり、（ａ）は平面の一部を、（ｂ）を斜視図の一部を表している。
図２に示すように、単位ブロック５は、ｘ軸方向に並んで複数配置された圧電振動片２０と、圧電振動片２０よりも厚さが厚く形成された肉厚板部１０と、圧電振動片２０と肉厚板部１０とを接続する圧電振動片２０と同じ厚さの連結脚３０を備えている。
圧電振動片２０は、水晶やタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された、いわゆる音叉型の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。
圧電振動片２０は、基部２１を備え、この基部２１の一端側から、ｙ方向に延びる一対の振動腕部２２が接続されている。一対の振動腕部２２は、基部２１側の端部を固定端とし、反対側を自由端として振動する。
【００１４】
他の実施形態を含め本実施形態の圧電振動片２０において、振動腕部２２には、公知の構成として、自由端側の端部に振動腕部２２よりも幅の広い拡幅部を形成したり、この拡幅部表面に金属膜を形成したり、更に、圧電振動片２０の両主面に長手方向（ｙ方向）に延びる溝を形成することが可能である。
拡幅部は、総重量及び振動時の慣性モーメントを増大させ、振動腕部２２を振動し易くすることで、振動部分（振動腕部２２と拡幅部）の長さを短くし、より小型化するために形成される。
拡幅部表面に形成する金属膜は、例えばレーザー照射により適量だけ取除くことで、振動腕部２２の周波数をデバイスの公称周波数の範囲内に収めるために形成される。
また、圧電振動片２０の両主面の溝は、圧電振動片２０の断面をＨ型形状にすることで、振動腕部２２における主面の電極が溝側面にも形成されることで、振動腕部２２の側面の電極と対向し、その結果、電界効率を大きくすることができる。これにより、同じ振動周波数を得る場合、圧電振動片２０を小型化しても振動損失が少なくＣＩ値（クリスタルインピーダンスまたは等価直列抵抗）も低く抑えることができる。
【００１５】
振動腕部２２の外表面上（外周面）には、一対（第１系統と第２系統）の励振電極が形成されている（図示しない）。
この２系統の励振電極は、電圧が印加されたときに一対の振動腕部２２を互いに接近又は離間する方向に所定の共振周波数で振動させる電極であり、電気的に切り離された状態で振動腕部２２上にパターニングされて形成されている。
また、図示しないが、基部２１の一方の主面には、第１系統の励振電極、第２系統の励振電極のそれぞれと接続される第１、第２マウント電極が所定間隔を空けて形成されている。
【００１６】
肉厚板部１０はｘ方向を長手方向とし、圧電振動片２０の１．５倍〜２倍の厚さに形成されている。
例えば、圧電振動片２０の厚さが６０μｍであれば、肉厚板部１０は９０μｍ〜１２０μｍに形成される。
各圧電振動片２０は、それぞれ２本の連結脚３０により肉厚板部１０に接続されている。すなわち、各連結脚３０の一端側が圧電振動片２０の基部２１に接続され、連結脚３０の他端側が肉厚板部１０に接続されている。
本実施形態における２本の連結脚３０は、それぞれ基部２１における幅方向（ｘ方向）の端部に接続されているが、基部２１の幅方向端部よりも内側（中心より）で接続するようにしてもよい。
また、本実施形態では、連結脚３０を２本形成するが、１本でもよく、また３本以上でもよい。圧電振動片２０の厚さがより薄くなる場合には、連結脚３０による接続箇所、特に肉厚板部１０との段差部ｄにおいて、製造過程や移動中に連結脚３０が曲ったり、折れる可能性があるため、２本以上設けることが好ましい。なお１本の連結脚３０で圧電振動片２０と肉厚板部１０とを接続する場合、連結脚３０は基部２１の幅方向（ｘ方向）の中心で接続することが好ましい。
【００１７】
連結脚３０の厚さは、圧電振動片２０の厚さ以下の厚さで形成され、本実施形態では同一の厚さに形成されている。すなわち、圧電振動片２０と連結脚３０は、例えば、厚さ６０μｍに形成されている。
このように本実施形態では、圧電振動片２０と同じ厚さの連結脚３０が、連結脚３０と同じ厚さの板部（連結体）を介して肉厚板部１０に接続されるのではなく、連結脚３０が直接肉厚板部１０に接続されている。これにより、同一面積の圧電ウエハ１と比較した場合に、肉厚板部１０のｙ方向の幅を大きくし、その結果肉厚板部１０全体の面積をより大きくすることができる。
また、図１でも説明したように、圧電ウエハ１に形成される複数の単位ブロック５を構成する全ての肉厚板部１０が、圧電振動片２０よりも厚く形成されている。
従って、本実施形態の圧電ウエハ１によれば、反りや割れの発生を抑制し、不良品を少なくすることが可能になる。
【００１８】
一方、肉厚板部１０は圧電振動片２０よりも厚く形成され、連結脚３０が圧電振動片２０以下の厚さに形成されることで、肉厚板部１０と連結脚３０との接続部には、厚さ方向（ｚ方向）の段差部ｄが形成されている。
本実施形態の連結脚３０は、肉厚板部１０の厚さ方向（ｚ方向）の略中央位置に接続されることで、段差部ｄは、連結脚３０の厚さ方向（ｚ方向）の両側に形成される。
このように本実施形態では、全ての連結脚３０と肉厚板部１０との接続部に段差部ｄが形成されることで、その製造過程や移動過程における振動などにより発生する応力をこの段差部ｄ周辺に集中させることができる。その結果、圧電振動片２０を圧電ウエハ１から折取る際に、連結脚３０で容易に折取ることができる。
なお、他の実施形態も含め本実施形態では、連結脚３０を肉厚板部１０の厚さ方向の中心で接続しているが、何れか一方の面側に偏在するように接続しても良く、また肉厚板部１０、圧電振動片２０、連結脚３０の一方側の面が同一平面上に位置するように接続してもよい。
【００１９】
次に第２実施形態の圧電ウエハ１について説明する。
図３は、第２実施形態における単位ブロック５の詳細を表した説明図であり、（ａ）は平面の一部を、（ｂ）を斜視図の一部を表している。
なお、第２実施形態及び後述する第３実施形態の圧電ウエハ１では、複数の圧電振動片２０が肉厚板部１０に連結脚３０で接続された各単位ブロック５がｙ方向に複数配置され、肉厚連結板１１で接続される構成については、第１実施形態と同様である。また、肉厚板部１０、圧電振動片２０、連結脚３０の厚さや材料についても第１実施形態と同様である。
【００２０】
第１実施形態の単位ブロック５では、同一幅の連結脚３０で圧電振動片２０を肉厚板部１０に接続している。
これに対し、第２実施形態の連結脚３０は、長手方向（ｙ方向）の途中に幅方向（ｘ方向）のくびれ部３１が形成されている。
連結脚３０にくびれ部３１を形成することで、圧電振動片２０を折取る際に、より折りやすくすることができる。
また、くびれ部３１を設けることで、肉厚板部１０との段差部ｄよりも基部２１側で圧電振動片２０を折り取ることができる。
【００２１】
更に第２実施形態の連結脚３０は、図３に示すように、くびれ部３１から肉厚板部１０に向けて一定角度で広がるので、第１実施形態の場合よりも、より広い幅（ｘ方向）で肉厚板部１０と接続することができる。
これにより、連結脚３０と肉厚板部１０との接続領域が広くなるため、仮に段差部ｄに集中する応力が大きくなったとしても、圧電ウエハ１の加工中や移動中に、連結脚３０が折れて圧電振動片２０が脱落することが抑制される。
【００２２】
なお、第２実施形態では、くびれ部３１を最小幅とし、ここから肉厚板部１０方向だけでなく基部２１方向に向かって幅が広がる形状とした。これに対し、連結脚３０における長手方向の所定位置（以下、くびれ相当部という）の幅を最小幅とし、ここから肉厚板部１０方向には幅が広がる形状とし、基部２１方向にはくびれ相当部と同じ幅に形成するようにしてもよい。
また、連結脚３０は、基部２１に接続する側の幅よりも、肉厚板部１０に接続する側の幅の方を広く形成するようにしてもよい。すなわち、連結脚３０と基部２１との接続部を、連結脚３０における最小幅（くびれ相当部）とし、ここから肉厚板部１０方向に幅が広がる形状としてもよい。
以上説明した第２実施形態の変形例においても、第１実施形態に比べて段差部ｄに集中する応力が大きくなったとしても、加工中などにおける段差部ｄでの折れが抑制されると共に、より基部２１側で圧電振動片２０を折り取ることができる。
【００２３】
次に第３実施形態の圧電ウエハ１について説明する。
図４は、第３実施形態における単位ブロック５の詳細を表した説明図であり、（ａ）は平面の一部を、（ｂ）を斜視図の一部を表している。
この第３実施形態では、肉厚板部１０と連結脚３０との段差部ｄに集中する応力をより緩和する構造体を設けたものである。
すなわち、図４に示すように、肉厚板部１０における圧電振動片２０側の側面（ｘｚ面）に、肉厚板部１０と同じ厚さ（ｚ幅）の肉厚凸部１２が形成されている。
そして、連結脚３０は、圧電振動片２０の反対側の端部が肉厚板部１０に接続されると共に、側面の一部が肉厚凸部１２の側面とも接続している。
このように連結脚３０が肉厚板部１０とｘｚ面で接続するだけでなく、その側面が肉厚凸部１２とｙｚ面で接続することで、肉厚板部１０と連結脚３０との段差部ｄの応力集中を緩和することができる。
更に、第３実施形態では、第２実施形態と同様にくびれ部３１が形成されているので、肉厚凸部１２との接続による応力集中を緩和しつつ、くびれ部３１で圧電振動片２０を容易に折り取ることができる。
【００２４】
第３実施形態の肉厚凸部１２は、２つの圧電振動片２０の間に形成することで、肉厚凸部１２の両側面が、２つの連結脚３０の外側の側面と接続している。なお、全連結脚３０のうちｘ方向の両端部に位置する両連結脚３０は、肉厚連結板１１（図１参照）の内側側面と接続している。
第３実施形態の連結脚３０は、肉厚板部１０に接続されると共に、２つの連結脚３０の外側側面が共に肉厚連結板１１に接続している。これに対して、連結脚３０の厚さ（ｚ方向）や圧電振動片２０のサイズ等により想定される段差部ｄの応力に応じて、何れか一方の連結脚３０の外側だけが肉厚連結板１１と接続するようにしてもよい。
更に、段差部ｄに想定される応力が大きい場合には、各連結脚３０の外側側面だけでなく、内側側面においても肉厚凸部１２と接続するようにしてもよい。この場合には、各圧電振動片２０を肉厚板部１０に接続する２つの連結脚３０の間に２つずつの肉厚凸部１２を形成する。
【００２５】
各実施形態とその変形例で説明した圧電ウエハ１は、従来と同様に、ウエハ全体を、肉厚板部の厚さまでラップ、ポリッシュ等により肉厚板部１０と肉厚連結板１１の厚さまで薄肉化する（肉厚加工工程）。
その後、フォトリソグラフィ技術による転写、エッチング等により、圧電振動片２０と連結脚３０に要求される厚さで、圧電振動片と連結脚のチップパターンを複数形成する。すなわち、肉厚板部１０と肉厚連結板１１（肉厚部）にマスクをした後、エッチング処理により、肉厚部以外の部分を圧電振動片２０と連結脚３０の厚さに薄肉化する（薄肉部形成工程）。その後、肉厚部にマスクすると共に、圧電振動片２０と連結脚３０の各実施形態に応じたチップパターンを薄肉部にマスクし、エッチング処理により、形状のチップパターンを薄肉部に形成する（パターン形成工程）。
その後、振動腕部２２の外表面上（外周面）に、第１系統と第２系統の励振電極とマウント電極をパターニング形成する（電極形成工程）。
以上の方法で製造した圧電ウエハから、圧電振動片２０のチップパターンを連結脚３０部分で折り取る（分離工程）、ことで圧電振動片が製造される。
【００２６】
以上説明した各実施形態及び、変形例によれば、肉厚板部１０の厚さを圧電振動片２０よりも厚く形成し、この肉厚板部１０に直接圧電振動片２０の連結脚３０を接続することで、肉厚板部１０のｙ方向の幅（ｘｙ面の面積）を大きくすることができ、厚さ方向の充分な強度を得ることができる。
また、本実施形態の圧電ウエハ１では、その外周部だけでなく、ｙ方向に複数配置される全単位ブロック５の肉厚板部１０を肉厚に形成しているので、圧電ウエハ１全体としての肉厚部（肉厚板部１０と肉厚連結板１１）の面積を大きくとることができ、厚さ方向の強度をより高めることができる。
【００２７】
本実施形態では、肉厚板部に音叉型の圧電振動片を複数接続した圧電ウエハについて説明したが、各種他の形式の圧電振動片を形成することも可能である。本実施形態では圧電振動子への実装部を基部２１に有する片持ち型の圧電振動片２０について説明したが、例えば、基部２１から振動腕部２２の両外側に実装用の支持部が形成されたいわゆるサイドアーム型の圧電振動片や、基部２１から両振動腕部２２の間に実装用の支持部が１本形成されたいわゆるセンターアーム型の圧電振動片を形成するようにしてもよい。この場合、説明した各実施形態と同様に、連結脚３０は基部２１と肉厚板部１０とを接続する。なお、サイドアーム型やセンターアーム型の圧電振動片では、２系統の励振電極は本実施形態と同様に形成され、これら励振電極と接続されるマウント電極は実装用の支持部に形成される。
更に、音叉型の圧電振動片以外に、例えば、逆メサ型ＡＴカットの水晶振動片等の各種他の係止の圧電振動片を肉厚板部に連結脚で接続する圧電ウエハに適用することも可能である。
【符号の説明】
【００２８】
１  圧電ウエハ
５  単位ブロック
１０  肉厚板部
１１  肉厚連結板
１２  肉厚凸部
２０  圧電振動片
２１  基部
２２  振動腕部
３０  連結脚
３１  くびれ部
ｄ  段差部ｄ
【図１】
2020145618.tif 000003
【図２】
2020145618.tif 000004
【図３】
2020145618.tif 000005
【図４】
2020145618.tif 000006
【図５】
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