(57)【要約】      （修正有）【課題】吐出量のばらつきを低減すると共に、コストを低減した液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドのバイアス電位の設定方法を提供する。【解決手段】液体を吐出するノズル２１が並設されたノズル列２２と、圧力発生室が設けられた流路形成基板と、流路形成基板の一方面側に設けられた第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とを有する圧電アクチュエーター３００とを備え、圧電アクチュエーターには、圧電体層の第１電極と第２電極とで挟まれた活性部３１０が、圧力発生室毎に独立して設けられ、第１電極及び第２電極の何れか一方の電極を活性部の各々に独立して設けられた個別電極とし、第１電極及び第２電極の何れか他方の電極を複数の活性部に共通して設けられた共通電極とし、共通電極は、１つのノズル列において、ノズルの並設方向に２つ以上に分割して設けることにより、吐出量のばらつき低減と、低コスト化を実現する。【選択図】図２
2020026124.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するノズルが並設されたノズル列と、
前記ノズル列の各ノズルに連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、
流路形成基板の一方面側に設けられて第１電極と圧電体層と第２電極とを有する圧電アクチュエーターと、
を具備し、
前記圧電アクチュエーターには、前記圧電体層の前記第１電極と前記第２電極とで挟まれた活性部が、前記圧力発生室毎に独立して設けられており、
前記第１電極及び前記第２電極の何れか一方の電極は、前記活性部の各々に独立して設けられた個別電極を構成し、
前記第１電極及び前記第２電極の何れか他方の電極は、複数の前記活性部に共通して設けられた共通電極を構成し、
前記共通電極は、１つの前記ノズル列において、前記ノズルの並設方向に２つ以上に分割して設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
分割された前記共通電極は、それぞれ独立した入力端子に接続されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記共通電極は、少なくとも前記ノズル列の一方の端部領域、他方の端部領域、両端部領域の間の領域で分割されていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記ノズル列を構成する前記ノズルに連通する前記圧力発生室が共通して連通する共通液室を有することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記共通電極は、一の圧力発生室とそれに隣接する他の圧力発生室との間の領域を覆うように形成されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記圧電アクチュエーターの前記個別電極に、前記ノズル列に共通の駆動信号を選択的に供給すると共に、前記共通電極にバイアス電位を供給する制御部と、
を具備することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項７】
前記制御部は、分割された前記共通電極の第１の領域には、第１のバイアス電位を供給し、分割された前記共通電極の前記第１の領域とは異なる第２の領域には、前記第１のバイアス電位とは異なる第２のバイアス電位を供給することを特徴とする請求項６記載の液体噴射装置。
【請求項８】
前記制御部は、
分割された前記共通電極の第１の領域に入力するバイアス電位を出力する第１のバイアス出力部と、
分割された前記共通電極の前記第１の領域とは異なる第２の領域に入力するバイアス電位を出力する第２のバイアス出力部と、
を有し、
前記第１のバイアス出力部のバイアス電位と前記第２のバイアス出力部のバイアス電位とは独立に設定可能である請求項６又は７記載の液体噴射装置。
【請求項９】
前記第１の領域を共通電極とする前記活性部に対応する前記ノズルで構成される第１のノズル群からの液体の平均吐出量と、前記第２の領域を共通電極とする前記活性部に対応する前記ノズルで構成される第２のノズル群からの液体の平均吐出量との差は、前記第１の領域及び前記第２の領域の両方に同じバイアス電位を供給して駆動信号を印加した際の前記第１のノズル群からの液体の平均吐出量と前記第２のノズル群からの液体の平均吐出量との差よりも小さいことを特徴とする請求項７又は８記載の液体噴射装置。
【請求項１０】
同一のバイアス電位で駆動信号を印加した際において、前記第１の領域を共通電極とする前記活性部に対応する前記ノズルで構成される第１のノズル群からの平均吐出量が、前記第２の領域を共通電極とする前記活性部に対応する前記ノズルで構成される第２のノズル群からの平均吐出量よりも大きいとき、前記第１のバイアス電位は、前記第２のバイアス電位よりも小さいことを特徴とする請求項７〜９の何れか一項に記載の液体噴射装置。
【請求項１１】
液体を吐出するノズルが並設されたノズル列と、
前記ノズル列の各ノズルに連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、
流路形成基板の一方面側に設けられて第１電極と圧電体層と第２電極とを有する圧電アクチュエーターと、
を具備し、
前記圧電アクチュエーターには、前記圧電体層の前記第１電極と前記第２電極とで挟まれた活性部が、前記圧力発生室毎に独立して設けられており、
前記第１電極及び前記第２電極の何れか一方の電極は、前記活性部の各々に独立して設けられた個別電極を構成し、
前記第１電極及び前記第２電極の何れか他方の電極は、複数の前記活性部に共通して設けられた共通電極を構成し、
前記共通電極は、１つの前記ノズル列において、前記ノズルの並設方向に２つ以上に分割され、分割された前記共通電極は、第１の領域と第２の領域とを有し、
前記圧電アクチュエーターの前記個別電極には、前記ノズル列に共通の駆動信号が選択的に供給されると共に、前記共通電極にはバイアス電位が供給され、
基準となるバイアス電位で前記駆動信号を印加して、前記第１の領域を共通電極とする前記活性部に対応する前記ノズルで構成される第１のノズル群からの液体の平均吐出量と、第２の領域を共通電極とする前記活性部に対応する前記ノズルで構成される第２のノズル群からの液体の平均吐出量とを測定し、測定された平均吐出量と基準となる吐出量との比較に基づき、前記第１の領域及び前記第２の領域に供給するバイアス電位を決定することを特徴とする液体噴射ヘッドのバイアス電位の設定方法。
【請求項１２】
測定された平均吐出量が基準となる吐出量よりも大きい場合には、基準となるバイアス電位よりも小さなバイアス電位とすることを特徴とする請求項１１記載の液体噴射ヘッドのバイアス電位の設定方法。
【請求項１３】
測定された平均吐出量が基準となる吐出量よりも小さい場合には、基準となるバイアス電位よりも大きなバイアス電位とすることを特徴とする請求項１１又は１２記載の液体噴射ヘッドのバイアス電位の設定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出するノズルに連通する流路内に圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーターを有する液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの圧電アクチュエーターに印加するバイアス電位の設定方法に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置及びインクジェット式記録ヘッドのバイアス電位の設定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドに用いられる圧電アクチュエーターは、電気機械変換機能を呈する圧電材料、例えば、結晶化した誘電材料からなる圧電体層を２つの電極で挟んで構成されたものがある。なお、液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電アクチュエーターにより変形させて圧力発生室内のインクを加圧してノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドがある。
【０００３】
ここで、ノズルが並設されたノズル列において、流路の構造上のばらつきや圧電アクチュエーターの電気抵抗値による変位特性のばらつきなどによって、ノズル列内でインク滴の吐出量にばらつきが生じ、印刷品質が低下してしまう場合がある。
【０００４】
このため、圧電アクチュエーターを駆動する駆動信号として、電圧の異なる複数の駆動信号を用意し、ノズル列のインク滴の吐出特性に応じて駆動信号を適宜選択して供給することでインク滴の吐出量のばらつきを低減したインクジェット式記録ヘッドが提供されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−２２１９２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１のように複数の駆動信号を用意するには、駆動信号生成回路やスイッチング素子等が複数セット必要となり、構成が複雑化すると共にコストが増大してしまうという問題がある。
【０００７】
なお、このような問題はインクジェット式記録装置だけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射装置においても同様に存在する。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、液体の吐出量のばらつきを低減して印刷品質を向上することができると共に構成を簡略化してコストを低減した液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドのバイアス電位の設定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を吐出するノズルが並設されたノズル列と、前記ノズル列の各ノズルに連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、流路形成基板の一方面側に設けられて第１電極と圧電体層と第２電極とを有する圧電アクチュエーターと、を具備し、前記圧電アクチュエーターには、前記圧電体層の前記第１電極と前記第２電極とで挟まれた活性部が、前記圧力発生室毎に独立して設けられており、前記第１電極及び前記第２電極の何れか一方の電極は、前記活性部の各々に独立して設けられた個別電極を構成し、前記第１電極及び前記第２電極の何れか他方の電極は、複数の前記活性部に共通して設けられた共通電極を構成し、前記共通電極は、１つの前記ノズル列において、前記ノズルの並設方向に２つ以上に分割して設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
【００１０】
また、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドと、前記圧電アクチュエーターの前記個別電極に、前記ノズル列に共通の駆動信号を選択的に供給すると共に、前記共通電極にバイアス電位を供給する制御部と、を具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
【００１１】
さらに、本発明の他の態様は、液体を吐出するノズルが並設されたノズル列と、前記ノズル列の各ノズルに連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、流路形成基板の一方面側に設けられて第１電極と圧電体層と第２電極とを有する圧電アクチュエーターと、を具備し、前記圧電アクチュエーターには、前記圧電体層の前記第１電極と前記第２電極とで挟まれた活性部が、前記圧力発生室毎に独立して設けられており、前記第１電極及び前記第２電極の何れか一方の電極は、前記活性部の各々に独立して設けられた個別電極を構成し、前記第１電極及び前記第２電極の何れか他方の電極は、複数の前記活性部に共通して設けられた共通電極を構成し、前記共通電極は、１つの前記ノズル列において、前記ノズルの並設方向に２つ以上に分割され、分割された前記共通電極は、第１の領域と第２の領域とを有し、前記圧電アクチュエーターの前記個別電極には、前記ノズル列に共通の駆動信号が選択的に供給されると共に、前記共通電極にはバイアス電位が供給され、基準となるバイアス電位で前記駆動信号を印加して、前記第１の領域を共通電極とする前記活性部に対応する前記ノズルで構成される第１のノズル群からの液体の平均吐出量と、第２の領域を共通電極とする前記活性部に対応する前記ノズルで構成される第２のノズル群からの液体の平均吐出量とを測定し、測定された平均吐出量と基準となる吐出量との比較に基づき、前記第１の領域及び前記第２の領域に供給するバイアス電位を決定することを特徴とする液体噴射ヘッドのバイアス電位の設定方法にある。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】記録装置の概略構成を示す図である。
【図２】流路形成基板の平面図である。
【図３】記録ヘッドの断面図である。
【図４】記録ヘッドの断面図である。
【図５】インクジェット式記録装置の概略構成を示す図である。
【図６】記録装置の電気的構成を示すブロック図である。
【図７】バイアス電位生成回路の機能ブロック図である。
【図８】駆動信号を示す駆動波形である。
【図９】比較例に係る記録ヘッドの吐出特性のばらつきを説明するグラフである。
【図１０】比較例に係る記録ヘッドの吐出特性のばらつきを説明するグラフである。
【図１１】電圧と変位量との関係を示すグラフである。
【図１２】バイアス電位の設定方法を示すフローチャートである。
【図１３】吐出特性を示すグラフ及び画素形成イメージを示す図である。
【図１４】吐出特性を示すグラフ及び画素形成イメージを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。ただし、以下の説明は、本発明の一態様を示すものであって、本発明の範囲内で任意に変更可能である。各図において同じ符号を付したものは、同一の部材を示しており、適宜説明が省略されている。また、各図において、Ｘ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する３つの空間軸を表している。本明細書では、これらの軸に沿った方向を第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ、及び第３の方向Ｚとして説明する。また、第３の方向Ｚは鉛直方向を示し、鉛直方向下側をＺ１側、鉛直方向上側をＺ２側と称する。
【００１４】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、流路形成基板の平面図であり、図３は、記録ヘッドの断面図である。
【００１５】
図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１（以下、単に記録ヘッド１とも言う）を構成する流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなり、その一方の面には、振動板５０が形成されている。振動板５０は、二酸化シリコン層や酸化ジルコニウム層から選択される単一層又は積層であってもよい。
【００１６】
流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２が隔壁１１によって区画されて第１の方向Ｘに沿って並設されている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の第１の方向Ｘの外側の領域には連通部１３が形成され、連通部１３と各圧力発生室１２とが、圧力発生室１２毎に設けられたインク供給路１４及び連通路１５を介して連通されている。連通部１３は、後述する保護基板のマニホールド部３１と連通して各圧力発生室１２の共通のインク室となるマニホールド１００の一部を構成する。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
【００１７】
また、流路形成基板１０の第３の方向Ｚの一方面には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。
【００１８】
本実施形態では、第１の方向Ｘに並設された圧力発生室１２の列が形成されているため、この圧力発生室１２の列に合わせてノズル２１が第１の方向Ｘに沿って並設されてノズル列２２が形成されている。ちなみに、ノズル列２２に対応する複数の圧力発生室１２は、詳しくは後述する１つの共通液室であるマニホールド１００に共通して連通している。すなわち、本実施形態のノズル列２２とは、当該ノズル列２２を構成するノズル２１から同じ種類のインクが吐出されるものを言う。つまり、第１の方向Ｘに沿ってノズル２１が並設されていても、これらのノズル２１から種類の異なるインクが吐出される場合には、これらのノズル２１はノズル列２２とは言わない。ちなみに、マニホールド１００が第１の方向Ｘに分割されて設けられており、分割されたマニホールド１００のそれぞれに連通するノズル２１によって構成されたノズル列２２が第１の方向Ｘに沿って並設されていてもよい。
【００１９】
このようなノズルプレート２０は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。
【００２０】
一方、このような流路形成基板１０の第３の方向Ｚにおいてノズルプレート２０とは反対側の面には、上述のように振動板５０が形成され、この振動板５０上には、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とが、成膜及びリソグラフィー法によって積層されて圧電アクチュエーター３００を構成している。本実施形態では、圧電アクチュエーター３００が圧力発生室１２内のインクに圧力変化を生じさせる駆動素子となっている。ここで、圧電アクチュエーター３００は、圧電素子ともいい、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。ここで、圧電アクチュエーター３００は、圧電素子とも言い、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分を言う。また、第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加した際に、圧電体層７０に圧電歪みが生じる部分を活性部３１０と称する。すなわち、活性部３１０は、圧電体層７０が第１電極６０と第２電極８０とによって第３の方向Ｚで挟まれた部分を言う。本実施形態では、圧力発生室１２毎に活性部が形成されている。そして、一般的には、圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第１電極６０を活性部３１０の個別電極とし、第２電極８０を複数の活性部３１０に亘って共通する共通電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、振動板５０、第１電極６０が、振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、振動板５０を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００２１】
ここで、本実施形態の圧電アクチュエーター３００を構成する第１電極６０は、圧力発生室１２毎に切り分けてあり、圧電アクチュエーター３００の実質的な駆動部である活性部３１０毎に独立する個別電極を構成する。この第１電極６０は、図４に示すように、活性部３１０の並設方向である第１の方向Ｘにおいては、圧力発生室１２の幅よりも狭い幅で形成されている。すなわち、圧力発生室１２の第１の方向Ｘにおいて、第１電極６０の端部は、圧力発生室１２に対向する領域の内側に位置している。
【００２２】
圧電体層７０は、第２の方向Ｙが所定幅となるように、第１の方向Ｘに亘って連続して設けられている。
【００２３】
圧電体層７０は、第１電極６０上に形成される分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ３で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができ、鉛を含む鉛系圧電材料や鉛を含まない非鉛系圧電材料などを用いることができる。圧電体層７０は、例えば、ゾル−ゲル法、ＭＯＤ（Metal-Organic Decomposition）法などの液相法や、スパッタリング法、レーザーアブレーション法等などのＰＶＤ法（気相法）などで形成することができる。
【００２４】
このような圧電体層７０には、各隔壁１１に対応する凹部７１が形成されている。この凹部７１の第１の方向Ｘの幅は、各隔壁１１の第１の方向Ｘの幅と略同一、もしくはそれよりも広くなっている。これにより振動板５０の圧力発生室１２の第１の方向Ｘの端部に対向する部分、いわゆる振動板５０の腕部の剛性が抑えられるため、圧電アクチュエーター３００を良好に変位させることができる。
【００２５】
第２電極８０は、圧電体層７０の第１電極６０とは反対面側に設けられており、複数の活性部３１０に共通する共通電極を構成する。また、第２電極８０は、凹部７１の内面、すなわち、圧電体層７０の凹部７１の側面上にも設けられている。もちろん、第２電極８０を凹部７１内の一部のみに設けるようにしてもよく、また、凹部７１内の全面に設けないようにしてもよい。
【００２６】
また、本実施形態の複数の活性部３１０の共通電極を構成する第２電極８０は、図２に示すように、１つのノズル列２２においてノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘに２つ以上に分割されて設けられている。ここで第２電極８０が、１つのノズル列２２においてノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘに２つ以上に分割されているとは、１つのノズル列２２を構成するノズル２１が２つ以上の複数で構成されたノズル群が、１つのノズル列２２の中に２つ以上設けられており、第２電極８０が、ノズル群を構成するノズル２１に対応する複数の活性部３１０毎に分割して設けられていることを言う。すなわち、第２電極８０は、第１の方向Ｘに２つ以上に分割されているが、分割された第２電極８０の各領域は、複数の活性部３１０に亘って共通して設けられており、これら複数の活性部３１０に亘って共通して設けられた第２電極８０の各領域に対応するノズル２１をノズル群と称している。
【００２７】
本実施形態の第２電極８０は、第１の方向Ｘにおいてノズル列２２の一方の端部領域、他方の端部領域、両端部領域の間の領域の合計３つの領域に分割されている。本実施形態では、３つに領域に分割された第２電極８０を、第１の方向Ｘの一方側から他方側に向かって順番に第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ、第３共通電極８０ｃと称する。すなわち、一方の端部領域を第１共通電極８０ａと称し、他方の端部領域を第３共通電極８０ｃと称し、これら両端部領域である第１共通電極８０ａと第３共通電極８０ｃとの間の領域を第２共通電極８０ｂと称する。
【００２８】
このように共通電極である第２電極８０を第１の方向Ｘに３分割することで、ノズル列２２内においてインク滴の吐出特性に差がでやすい領域を分割することができ、詳しくは後述するが、分割された第２電極８０に供給するバイアス電位を個別に変化させて、インク滴の吐出特性のばらつきを抑制し易い。もちろん、第２電極８０を分割する数は、特にこれに限定されず、２つであってもよく、４つ以上であってもよい。
【００２９】
なお、共通電極である第２電極８０は、インク滴の吐出特性のばらつきを低減する目的のために分割されるため、第１共通電極８０ａと第２共通電極８０ｂとの境界、及び第２共通電極８０ｂと第３共通電極８０ｃとの境界は、ノズル列２２の列内におけるインク滴の吐出特性のばらつきに基づいて適宜決定するのが好ましい。つまり、第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ及び第３共通電極８０ｃは、ノズル列２２の列内においてインク滴の吐出特性が最も大きく変化する部分で区分けするのが好適である。これにより、詳しくは後述するが、第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ及び第３共通電極８０ｃに異なるバイアス電位を印加して、ノズル列２２の列内のインク滴の吐出特性のばらつきを効果的に低減することができる。もちろん、第１共通電極８０ａと第２共通電極８０ｂとの境界、及び第２共通電極８０ｂと第３共通電極８０ｃとの境界は、活性部３１０の数が均等な数になるように決定してもよい。
【００３０】
また、共通電極である第２電極８０は、図４に示すように、一の圧力発生室１２とそれに隣接する他の圧力発生室１２との間の領域、すなわち、隔壁１１を覆うように形成されている。そして、本実施形態では、第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ及び第３共通電極８０ｃは、隔壁１１上で連続することなく分離して設けられている。したがって、共通電極である第２電極８０を分離した端部が圧力発生室１２に対応する領域に位置することがなく、この第２電極８０を分離した端部に活性部３１０を変位した際の応力が集中するのを抑制することができる。
【００３１】
なお、特許請求の範囲に記載の第１の領域は、本実施形態の第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ及び第３共通電極８０ｃから選択される１つの電極のことであり、特許請求の範囲に記載の第２の領域は、第１の領域として選択された電極以外の２つの電極から選択される１つの電極のことである。つまり、２つ以上に分割された共通電極のうちの１つの電極を第１領域と称し、第１の領域以外の電極の１つを第２の領域と称する。
【００３２】
また、第１電極６０からは引き出し配線である個別配線９１が引き出されている。また、第２電極８０からは共通電極である共通配線９２が引き出されている。本実施形態では、第２電極８０が３つの第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ、第３共通電極８０ｃに分割されており、第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ及び第３共通電極８０ｃのそれぞれから共通配線９２が引き出されており、第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ及び第３共通電極８０ｃのそれぞれから引き出された共通配線９２同士は、導通することなく電気的に独立して設けられている。なお、第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ及び第３共通電極８０ｃのそれぞれには、少なくとも２本の共通配線９２が設けられている。本実施形態では、第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ及び第３共通電極８０ｃのそれぞれに設けられた少なくとも２本の共通配線９２は、第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ及び第３共通電極８０ｃのそれぞれの第１の方向Ｘの両端部に設けられている。これにより、第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ及び第３共通電極８０ｃの各々において第１の方向Ｘにおける電圧降下が発生するのを抑制することができる。もちろん、共通配線９２の数は特にこれに限定されず、第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ及び第３共通電極８０ｃのそれぞれに３つ以上設けられていてもよい。
【００３３】
また、共通配線９２は、本実施形態では、圧電アクチュエーター３００から個別配線９１と同じ方向、すなわち、インク供給路１４とは反対側に引き出されている。もちろん、共通配線９２の引き出し方向はこれに限定されず、個別配線９１とは反対側に引き出されていてもよい。
【００３４】
このような個別配線９１を介して第１電極６０には駆動信号が供給され、共通配線９２を介して第２電極８０にはバイアス電位が供給される。すなわち、分割された共通電極である第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ及び第３共通電極８０ｃは、それぞれ独立した入力端子を備える共通配線９２に接続されている。ここで、入力端子が独立しているとは、分割されて異なる共通電極に接続された共通配線９２同士が電気的に導通していないことを言う。
【００３５】
また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、複数の圧力発生室１２の共通液室であるマニホールド１００の少なくとも一部を構成するマニホールド部３１を有する保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。このマニホールド部３１は、本実施形態では、保護基板３０を第３の方向Ｚに貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるマニホールド１００を構成している。すなわち、ノズル列２２を構成するノズル２１に連通する複数の圧力発生室１２は、共通液室であるマニホールド１００に共通して連通している。
【００３６】
また、保護基板３０の圧電アクチュエーター３００に対向する領域には、圧電アクチュエーター３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電アクチュエーター保持部３２が設けられている。圧電アクチュエーター保持部３２は、圧電アクチュエーター３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。
【００３７】
このような保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００３８】
また、保護基板３０には、保護基板３０を第３の方向Ｚに貫通する貫通孔３３が設けられている。そして、各圧電アクチュエーター３００から引き出された個別配線９１及び共通配線９２の端部近傍は、貫通孔３３内に露出するように設けられている。
【００３９】
また、保護基板３０の流路形成基板１０とは反対側の面には、圧電アクチュエーター３００を駆動するための駆動回路１２０が設けられている。この駆動回路１２０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。駆動回路１２０の内部には、例えば、活性部３１０毎にトランスミッションゲート等のスイッチング素子などが設けられており、詳しくは後述する制御装置２００から入力された制御信号に基づいて、スイッチング素子を開閉させて所望のタイミングで活性部３１０を駆動するための駆動信号を生成する。そして、駆動回路１２０と個別配線９１とは、ボンディングワイヤー等の導電性ワイヤーからなる接続配線１２１を介して電気的に接続されている。また、保護基板３０の駆動回路１２０が設けられた面には、共通配線９２に接続配線１２１を介して接続される図示しない配線が設けられている。この共通配線９２に接続配線１２１を介して接続された保護基板３０上の配線を介して、制御装置２００から第２電極８０にバイアス電位が供給される。すなわち、制御装置２００から出力されたバイアス電位は、駆動回路１２０を通ることなく、直接第２電極８０に供給される。なお、保護基板３０の駆動回路１２０が設けられる面には、バイアス電位が供給される配線とは別に、詳しくは後述する制御装置２００から駆動回路１２０に制御信号や駆動信号を供給するための図示しない配線が設けられている。もちろん、制御装置２００からの外部配線は、直接駆動回路１２０に接続されていてもよい。
【００４０】
また、このような保護基板３０の駆動回路１２０が設けられた面には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜４１によってマニホールド部３１の一方面が封止されている。また、固定板４２は、比較的硬質の材料で形成されている。この固定板４２のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００４１】
このような記録ヘッド１では、インクを噴射する際に、液体供給手段からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル２１からインク滴が噴射される。
【００４２】
図５は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略構成を示す図である。なお、本実施形態では、インクジェット式記録ヘッド１の各方向について、記録ヘッド１が搭載された際の方向に基づいて説明する。もちろん、記録ヘッド１のインクジェット式記録装置Ｉ内の配置は以下に示すものに限定されるものではない。
【００４３】
図５に示すように、本実施形態の液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置Ｉは、上述した記録ヘッド１を搭載するキャリッジ３を具備する。キャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向に移動可能に設けられている。また、キャリッジ３には、液体供給手段を構成するインクカートリッジ２が着脱可能に設けられている。
【００４４】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３は第２の方向Ｙに沿って設けられたキャリッジ軸５に沿って往復移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、インクが着弾される紙などの被噴射媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により第１の方向Ｘに搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラー８に限られずベルトやドラム等であってもよい。
【００４５】
このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１に対して記録シートＳを第１の方向Ｘに搬送し、キャリッジ３を記録シートＳに対して第２の方向Ｙに往復移動させながら、記録ヘッド１からインク滴を噴射させることで記録シートＳの略全面に亘って印刷が実行される。
【００４６】
また、インクジェット式記録装置Ｉは、制御装置２００を具備する。ここで、本実施形形態の電気的構成について図６及び図７を参照して説明する。なお、図６は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録装置の電気的構成を示すブロック図であり、図７は、バイアス電位生成回路の機能ブロック図である。
【００４７】
図６に示すように、インクジェット式記録装置Ｉは、プリンターコントローラー２１０と、プリントエンジン２２０と、を備えている。
プリンターコントローラー２１０は、インクジェット式記録装置Ｉの全体の制御をする要素であり、本実施形態では、インクジェット式記録装置Ｉに設けられた制御装置２００内に設けられている。
【００４８】
プリンターコントローラー２１０は、外部インターフェース２１１（以下、外部Ｉ／Ｆ２１１と言う）と、各種データを一時的に記憶するＲＡＭ２１２と、制御プログラム等を記憶したＲＯＭ２１３と、ＣＰＵ等を含んで構成した制御処理部２１４と、クロック信号を発生する発振回路２１５と、記録ヘッド１へ供給するための駆動信号を発生する駆動信号生成回路２１６と、バイアス電位を生成するバイアス電位生成回路２１７と、バイアス電位を選択するバイアス電位選択回路２１９と、駆動信号や印刷データに基づいて展開されたドットパターンデータ（別名ビットマップデータとも言う）等をプリントエンジン２２０に送信する内部インターフェース２１８（以下、内部Ｉ／Ｆ２１８と言う）とを備えている。
【００４９】
外部Ｉ／Ｆ２１１は、例えば、キャラクタコード、グラフィック関数、イメージデータ等によって構成される印刷データを、ホストコンピューター等の外部装置２３０から受信する。また、この外部Ｉ／Ｆ２１１を通じてビジー信号（ＢＵＳＹ）やアクノレッジ信号（ＡＣＫ）が、外部装置２３０に対して出力される。
【００５０】
ＲＡＭ２１２は、受信バッファー２１２Ａ、中間バッファー２１２Ｂ、出力バッファー２１２Ｃ及び図示しないワークメモリーとして機能する。そして、受信バッファー２１２Ａは外部Ｉ／Ｆ２１１によって受信された印刷データを一時的に記憶し、中間バッファー２１２Ｂは制御処理部２１４が変換した中間コードデータを記憶し、出力バッファー２１２Ｃはドットパターンデータを記憶する。なお、このドットパターンデータは、階調データをデコード（翻訳）することにより得られる印字データによって構成してある。
【００５１】
また、ＲＯＭ２１３には、各種データ処理を行わせるための制御プログラム（制御ルーチン）の他に、フォントデータ、グラフィック関数等を記憶させてある。
【００５２】
制御処理部２１４は、受信バッファー２１２Ａ内の印刷データを読み出すと共に、この印刷データを変換して得た中間コードデータを中間バッファー２１２Ｂに記憶させる。また、中間バッファー２１２Ｂから読み出した中間コードデータを解析し、ＲＯＭ２１３に記憶させているフォントデータ及びグラフィック関数等を参照して、中間コードデータをドットパターンデータに展開する。そして、制御処理部２１４は、必要な装飾処理を施した後に、この展開したドットパターンデータを出力バッファー２１２Ｃに記憶させる。
【００５３】
そして、記録ヘッド１に１行分のドットパターンデータが得られたならば、この１行分のドットパターンデータは、内部Ｉ／Ｆ２１８を通じて記録ヘッド１に出力される。また、出力バッファー２１２Ｃから１行分のドットパターンデータが出力されると、展開済みの中間コードデータは中間バッファー２１２Ｂから消去され、次の中間コードデータについての展開処理が行われる。
【００５４】
駆動信号生成回路２１６は、外部から供給された電源に基づいて駆動信号ＣＯＭを生成する。
また、バイアス電位生成回路２１７は、外部から供給された電源に基づいて圧電アクチュエーター３００の共通電極である第２電極８０に供給するバイアス電位ｖｂｓを生成する。本実施形態では、第２電極８０は、第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ、第３共通電極８０ｃの３つの領域に分割されているため、バイアス電位生成回路２１７は、少なくとも２つの異なるバイアス電位を生成すればよい。本実施形態のバイアス電位生成回路２１７は、３つの異なるバイアス電位を生成する。具体的には、図７に示すように、本実施形態のバイアス電位生成回路２１７は、第１バイアス電位ｖｂｓ１を生成する第１バイアス電位生成回路２１７ａと、第２バイアス電位ｖｂｓ２を生成する第２バイアス電位生成回路２１７ｂと、第３バイアス電位ｖｂｓ３を生成する第３バイアス電位生成回路２１７ｃとを有する。第１バイアス電位生成回路２１７ａ、第２バイアス電位生成回路２１７ｂ、第３バイアス電位生成回路２１７ｃの各々で生成された第１バイアス電位ｖｂｓ１、第２バイアス電位ｖｂｓ２、第３バイアス電位ｖｂｓ３は、制御処理部２１４からの制御信号に基づいてバイアス電位選択回路２１９によって選択されて、内部Ｉ／Ｆ２１８を介して第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ、第３共通電極８０ｃに選択的に供給される。ちなみに、特許請求の範囲に記載の第１のバイアス電位とは、第１バイアス電位ｖｂｓ１、第２バイアス電位ｖｂｓ２及び第３バイアス電位ｖｂｓ３から選択される１つの電位のことであり、第２のバイアス電位とは、第１のバイアス電位として選択された以外の２つの電位から選択される１つの電位のことである。
【００５５】
そして、本実施形態では、第１バイアス電位生成回路２１７ａ、第２バイアス電位生成回路２１７ｂ及び第３バイアス電位生成回路２１７ｃと、バイアス電位選択回路２１９とによって、第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ、第３共通電極８０ｃのそれぞれに第１バイアス電位ｖｂｓ１、第２バイアス電位ｖｂｓ２、第３バイアス電位ｖｂｓ３のいずれかが選択されて供給される。すなわち、第１バイアス電位生成回路２１７ａ、第２バイアス電位生成回路２１７ｂ、第３バイアス電位生成回路２１７ｃ及びバイアス電位選択回路２１９によって、分割された共通電極の第１の領域、本実施形態では、第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ及び第３共通電極８０ｃから選択される１つの電極に入力するバイアス電位を出力し、分割された共通電極の第１の領域とは異なる第２の領域、すなわち、第１の領域として選択された電極以外の２つの電極から選択される１つの電極に入力するバイアス電位を出力する。すなわち、制御部には、分割された第１の領域に入力するバイアス電位を出力する第１のバイアス出力部と、分割された共通電極の第１の領域とは異なる第２の領域に入力するバイアス電位を出力する第２のバイアス出力部と、を有し、第１のバイアス出力部のバイアス電位と第２のバイアス出力部のバイアス電位とは独立に設定可能となっている。ここで、第１のバイアス出力部のバイアス電位と第２のバイアス出力部のバイアス電位とは独立に設定可能であるとは、第１のバイアス出力部から出力されるバイアス電位と第２のバイアス出力部から出力されるバイアス電位とが同じ電位であることも、異なる電位であることも個別に設定することが可能なことを言う。このように第１のバイアス出力部から出力されるバイアス電位と第２のバイアス出力部から出力されるバイアス電位とを独立に設定可能とすることで、共通電極である第２電極８０を分割した本実施形態の３つの領域である第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ及び第３共通電極８０ｃには、３つの領域全てに同じバイアス電位を供給することも、２つの領域に同じバイアス電位を供給し、１つの領域に異なるバイアス電位を供給することも、３つの領域の全てに互いに異なるバイアス電位を供給することも可能となっている。
【００５６】
プリントエンジン２２０は、記録ヘッド１と、紙送り機構２２１と、キャリッジ機構２２２とを含んで構成してある。紙送り機構２２１は、搬送ローラー８とこの搬送ローラーを駆動するモーター等から構成してあり、記録シートＳを記録ヘッド１の記録動作に連動させて順次送り出す。即ち、この紙送り機構２２１は、記録シートＳを第１の方向Ｘに相対移動させる。キャリッジ機構２２２は、キャリッジ３と、キャリッジ３をキャリッジ軸５に沿って第２の方向Ｙに移動させる駆動モーター６やタイミングベルト７とを具備する。
【００５７】
記録ヘッド１は、シフトレジスター１２２、ラッチ回路１２３、レベルシフター１２４、スイッチ１２５を有する駆動回路１２０と、圧電アクチュエーター３００と、を備えている。シフトレジスター１２２、ラッチ回路１２３、レベルシフター１２４、スイッチ１２５及び圧電アクチュエーター３００は、特に図示していないが、それぞれ、記録ヘッド１のノズル２１毎に設けられたシフトレジスター素子、ラッチ素子、レベルシフター素子、スイッチ素子、活性部３１０から構成してあり、シフトレジスター１２２、ラッチ回路１２３、レベルシフター１２４、スイッチ１２５及び活性部３１０の順で電気的に接続してある。これらのシフトレジスター１２２、ラッチ回路１２３、レベルシフター１２４及びスイッチ１２５は、駆動信号生成回路２１６が発生した駆動信号から印加パルスを生成する。ここで、印加パルスとは実際に圧電アクチュエーター３００の活性部３１０に印加されるものである。
【００５８】
なお、本実施形態では、プリンターコントローラー２１０と駆動回路１２０とが特許請求の範囲の制御部に相当する。
【００５９】
ここで、駆動信号生成回路２１６が発生した駆動信号（ＣＯＭ）を示す駆動波形について説明する。なお、図８は、バイアス電位、駆動信号及び印加パルスを示す駆動波形である。
【００６０】
図８に示すように、本実施形態の駆動信号ＣＯＭは、記録周期Ｔ毎に駆動信号生成回路２１６から繰り返し生成される。なお、記録周期Ｔは、吐出周期Ｔとも言い、記録シートＳに印刷する画像等の１画素分に対応する。本実施形態では、駆動信号ＣＯＭは、ノズル２１からインク滴が吐出されるように活性部３１０を駆動する吐出パルスＤＰを１吐出周期Ｔ内に有する信号であり、吐出周期Ｔ毎に繰り返し発生される。
【００６１】
そして、印刷中において記録シートＳの記録領域に１行分（１ラスター分）のドットパターンを形成するとき、各ノズル２１に対応する活性部３１０には、駆動信号ＣＯＭの吐出パルスＤＰが選択的に印加される。すなわち、各ノズル２１に対応する圧電アクチュエーター３００毎にヘッド制御信号及び駆動信号ＣＯＭから印加パルスを生成し、印加パルスを活性部３１０に印加する。このような印加パルスは、圧電アクチュエーター３００の活性部３１０毎の個別電極である第１電極６０に供給される。また、圧電アクチュエーター３００の複数の活性部３１０の共通電極である第２電極８０には、バイアス電位（ｖｂｓ）が供給される。このため、印加パルスによって圧電アクチュエーター３００の個別電極である第２電極８０に印加される電圧は、第１電極６０に印加されるバイアス電位（ｖｂｓ）を基準電位として表される。
【００６２】
図８に示す例では、駆動信号ＣＯＭが０Ｖの最小電位と、３０Ｖの最大電位とを有する吐出パルスＤＰを有する場合、２Ｖのバイアス電位ｖｂｓが第２電極８０に供給されると、印加パルスは、最小電位−２Ｖ、最大電位２８Ｖの吐出パルスＤＰが供給される。なお、本実施形態では、２Ｖのバイアス電位を、第１バイアス電位ｖｂｓ１と称する。
【００６３】
ここで、印加パルスの吐出パルスＤＰは、中間電位Ｖｍから第１電位Ｖ１（ここでは−２Ｖ）まで印加して圧力発生室１２の容積を基準容積から膨張させる第１膨張要素Ｐ１と、第１膨張要素Ｐ１によって膨張した圧力発生室１２の容積を一定時間維持する第１膨張維持要素Ｐ２と、第１電位Ｖ１から第２電位Ｖ２（ここでは２８Ｖ）を印加して圧力発生室１２の容積を収縮させる第１収縮要素Ｐ３と、第１収縮要素Ｐ３によって収縮した圧力発生室１２の容積を一定時間維持する第１収縮維持要素Ｐ４と、第２電位Ｖ２の収縮状態から中間電位Ｖｍの基準容積まで圧力発生室１２を復帰させる第１復帰要素Ｐ５と、を具備する。すなわち、印加パルスの駆動電圧Ｖは、最小電圧が第１電位Ｖ１の−２Ｖ、最大電圧が第２電位Ｖ２の２８Ｖである。
【００６４】
このような印加パルスが圧電アクチュエーター３００の活性部３１０に供給されると、第１膨張要素Ｐ１によって圧電アクチュエーター３００が圧力発生室１２の容積を膨張させる方向に変形して、ノズル２１内のメニスカスが圧力発生室１２側に引き込まれると共に、圧力発生室１２にはマニホールド１００側からインクが供給される。そして、圧力発生室１２の膨張状態は、第１膨張維持要素Ｐ２で維持される。その後、第１収縮要素Ｐ３が供給されて圧力発生室１２は膨張容積から第２電位Ｖ２に対応する収縮容積まで急激に収縮され、圧力発生室１２内のインクが加圧されてノズル２１からインク滴が吐出される。圧力発生室１２の収縮状態は、第１収縮維持要素Ｐ４で維持され、この間にインク滴の吐出によって減少した圧力発生室１２内のインク圧力は、その固有振動によって再び上昇する。この上昇タイミングに合わせて第１復帰要素Ｐ５が供給されて、圧力発生室１２が基準容積まで復帰し、圧力発生室１２内の圧力変動が吸収される。
【００６５】
このような駆動信号ＣＯＭは、ドットパターンデータを構成する印字データ（ＳＩ）に基づいて、吐出周期Ｔ毎にインク滴を吐出するノズル２１に対応する圧電アクチュエーター３００の活性部３１０に選択的に供給されてインク滴が吐出される。
【００６６】
ここで、共通電極である第２電極８０がノズル列２２内で分割されていない記録ヘッドでは、図９に示すように、共通電極である第２電極８０の電気抵抗値による電圧降下によって、ノズル列２２の両端部に比べて、ノズル列２２の中央部のインク滴の吐出特性、すなわち、インク滴の重量や飛翔速度などが低下してしまう。
【００６７】
また、共通電極である第２電極８０の電圧降下が生じなくても、圧電アクチュエーター３００の製造ばらつきや流路構造の製造ばらつき等によって、図１０に示すように、ノズル列内でインク滴の吐出特性にばらつきが生じてしまう。
【００６８】
このため、本実施形態では、記録ヘッド１の共通電極である第２電極８０をノズル列２２の列内でノズル２１の並設方向に２つ以上に分割すると共に、制御装置２００のバイアス電位生成回路２１７が異なるバイアス電位である第１バイアス電位ｖｂｓ１、第２バイアス電位ｖｂｓ２及び第３バイアス電位ｖｂｓ３を生成し、分割された共通電極である第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ、第３共通電極８０ｃのそれぞれに最適なバイアス電位を供給するようにした。これにより、第１共通電極８０ａに対応するノズル群から吐出されるインク滴の吐出特性と、第２共通電極８０ｂに対応するノズル群から吐出されるインク滴の吐出特性と、第３共通電極８０ｃに対応するノズル群から吐出されるインク滴の吐出特性と、のばらつきが低減されるようにした。
【００６９】
ここで、図１１に示すように、第２電極を基準とした第１電極の電位（電圧）と電圧誘起歪（変位量）との関係を示すバタフライカーブにおいて、活性部３１０の圧電体層７０にΔＶを印加する場合、第２電極８０に印加するバイアス電位を第１バイアス電位ｖｂｓ１（例えば、２Ｖ）から第２バイアス電位ｖｂｓ２（例えば、４Ｖ）に変更することによって、印加パルスとして最小電位−４Ｖ、最大電位２６Ｖの吐出パルスＤＰが供給されるため、バタフライカーブの使用する部分を異ならせて、活性部３１０の変位量をｄ１からｄ２に変更することができる。なお、図１１に示す例では、第１バイアス電位ｖｂｓ１を印加した場合の変位量ｄ１に比べて、第２バイアス電位ｖｂｓ２を印加した場合の変位量ｄ２の方が大きな変位量、つまりｄ２＞ｄ１となり、第２バイアス電位ｖｂｓ２を印加した場合の方が、第１バイアス電位ｖｂｓ１を印加した場合よりもインク滴の吐出特性、すなわち、インク滴の重量及び飛翔速度を向上することができる。
【００７０】
また、同様に、バイアス電位を第２バイアス電位ｖｂｓ２（例えば、４Ｖ）から第３バイアス電位ｖｂｓ３（例えば、６Ｖ）に変更することによって、印加パルスとして最小電位−６Ｖ、最大電位２４Ｖの吐出パルスＤＰが供給されるため、バタフライカーブの使用する部分を異ならせて活性部３１０の変位量をｄ２からｄ３に変更することができる。図１１に示す例では、第２バイアス電位ｖｂｓ２を印加した場合の変位量ｄ２に比べて、第３バイアス電位ｖｂｓ３を印加した場合の変位量ｄ３の方が大きな変位量、つまりｄ３＞ｄ２となり、第３バイアス電位ｖｂｓ３を印加した方が、第２バイアス電位ｖｂｓ２を印加した場合よりもインク滴の吐出特性、すなわち、インク滴の重量及び飛翔速度を向上することができる。
【００７１】
すなわち、インク滴吐出特性は、供給するバイアス電位の大きさを変更することによって変化させることができる。本実施形態では、バイアス電位を大きくするほど、インク滴吐出特性が向上する。
【００７２】
したがって、第１バイアス電位ｖｂｓ１、第２バイアス電位ｖｂｓ２及び第３バイアス電位ｖｂｓ３を、分割された共通電極である第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ及び第３共通電極８０ｃに選択して印加することで、ノズル列２２の列内のインク滴の吐出特性のばらつきを低減することができる。
【００７３】
ここで、バイアス電位を設定する設定方法について図１２〜図１４を参照して説明する。なお、図１２は、バイアス電位を設定する設定方法を示すフローチャートであり、図１３及び図１４は、ノズル列とインク吐出特性とを示すグラフ及び印刷時の画素形成イメージを示す図である。
【００７４】
図１２のステップＳ１に示すように、基準となるバイアス電位で、駆動信号、すなわち印加パルスを印加して、分割された共通電極のノズル群からインクの平均吐出量をそれぞれ測定する。ノズル群とは、上述したように分割された共通電極に共通する活性部３１０に対応するノズル２１で構成されるものであり、インクの平均吐出量は、ノズル群を構成するノズル２１から吐出されるインク滴の重量を測定し、その平均値を算出したものである。また、基準となるバイアス電位は、特に限定されないが、本実施形態では、第２バイアス電位ｖｂｓ２とした。このような基準となる第２バイアス電位ｖｂｓ２で駆動したところ、図１３に示すように、ノズル列２２の一端部の領域１から他端部の領域３に向けて、インク滴の吐出特性が徐々に低下した。なお、領域１〜３のそれぞれは、共通電極である第２電極８０を分割した領域のことであり、本実施形態の第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ及び第３共通電極８０ｃに対応する。
【００７５】
次に、ステップＳ２に示すように、基準となる吐出量に対して、Ｎ番目の領域の測定した平均吐出量が大きいか判定する。基準となる吐出量は、例えば、基準となるバイアス電位で駆動した際の設計上の目標値であってもよく、同じ構造の複数の記録ヘッド１を基準となるバイアス電位で駆動した際の平均吐出量としてもよい。また、基準となる吐出量は、ノズル列２２の全てのノズル２１から吐出されたインク滴の平均吐出量としてもよい。本実施形態では、測定した３つの平均吐出量のうち、平均吐出量が中間となる領域２、すなわち、第２共通電極８０ｂの平均吐出量を基準となる吐出量とした。
【００７６】
次に、ステップＳ２で、Ｎ番目の領域の測定した平均吐出量が基準となる吐出量よりも大きい場合（ステップＳ２：Ｙｅｓ）、ステップＳ３で、Ｎ番目の領域の共通電極に供給するバイアス電位を基準となるバイアス電位よりも小さいバイアス電位に設定する。例えば、１番目の領域１では、領域１の第１共通電極８０ａに対応するノズル群の平均吐出量は、基準となる領域２の第２共通電極８０ｂに対応するノズル群の平均吐出量よりも大きいため、第１共通電極８０ａに供給するバイアス電位を、基準となる第２バイアス電位ｖｂｓ２よりも小さな第１バイアス電位ｖｂｓ１とする。すなわち、本実施形態では、第１共通電極８０ａに第１バイアス電位ｖｂｓ１を供給することで、第１共通電極８０ａに対応するノズル群から吐出されるインク滴の平均吐出量と、第２共通電極８０ｂに第２バイアス電位ｖｂｓ２を供給した際の第２共通電極８０ｂに対応するノズル群から吐出されるインク滴の平均吐出量との差は、第１共通電極８０ａ及び第２共通電極８０ｂに同じ第２バイアス電位ｖｂｓ２を供給した場合のインク滴の平均吐出量の差よりも小さくなる。
【００７７】
また、ステップＳ２で、Ｎ番目の領域の測定した平均吐出量が基準となる吐出量よりも大きくない場合（ステップＳ２：Ｎｏ）、すなわち、Ｎ番目の領域の測定した平均吐出量が基準となる吐出量と同じか、基準となる吐出量よりも小さい場合には、ステップＳ４で、Ｎ番目の領域の測定した平均吐出量が基準となる吐出量よりも小さいか判定する。例えば、図１３に示す２番目の領域２と３番目の領域３とが該当する。
【００７８】
ステップＳ４で、Ｎ番目の領域の測定した平均吐出量が基準となる吐出量よりも小さい場合（ステップＳ４：Ｙｅｓ）、ステップＳ５で、Ｎ番目の領域の共通電極に供給するバイアス電位を基準となるバイアス電位よりも大きいバイアス電位に設定する。例えば、３番目の領域３では、領域３の第３共通電極８０ｃに対応するノズル群の平均吐出量は、基準となる領域２の第２共通電極８０ｂに対応するノズル群の平均吐出量よりも小さいため、第３共通電極８０ｃに供給するバイアス電位を、基準となる第２バイアス電位ｖｂｓ２よりも大きな第３バイアス電位ｖｂｓ３とする。すなわち、本実施形態では、第３共通電極８０ｃに第３バイアス電位ｖｂｓ３を供給することで、第３共通電極８０ｃに対応するノズル群から吐出されるインク滴の平均吐出量と、第２共通電極８０ｂに第２バイアス電位ｖｂｓ２を供給した際の第２共通電極８０ｂに対応するノズル群から吐出されるインク滴の平均吐出量との差は、第３共通電極８０ｃ及び第２共通電極８０ｂに同じ第２バイアス電位ｖｂｓ２を供給した場合のインク滴の平均吐出量の差よりも小さくなる。
【００７９】
また、ステップＳ４で、Ｎ番目の領域の測定した平均吐出量が基準となる吐出量よりも小さくない場合（ステップＳ４：Ｎｏ）、Ｎ番目の領域の測定した平均吐出量が基準となる吐出量と同じであることになるため、Ｎ番目の領域の共通電極に供給するバイアス電位を基準となる第２バイアス電位ｖｂｓ２に設定する。例えば、２番目の領域２では、領域２の第２共通電極８０ｂに第２バイアス電位ｖｂｓ２を供給した際のインク滴の平均吐出量を基準としたため、第２共通電極８０ｂには、基準となる第２バイアス電位ｖｂｓ２が供給される。
【００８０】
このような、ステップＳ１〜ステップＳ４を分割された共通電極の全ての領域に対して繰り返し行うことで、分割された共通電極の全ての領域のバイアス電位を設定することができる。
【００８１】
そして、各第１共通電極８０ａ、第２共通電極８０ｂ及び第３共通電極８０ｃに供給するバイアス電位を設定することで、図１４に示すように、ノズル列２２の列内におけるインク滴の吐出特性のばらつきを低減することができる。また、図１３に示すように、ノズル列２２のインク滴の吐出特性が一方向に傾いている場合、キャリッジ３を走査方向に往復移動させて印刷する１パス印刷における１パス目の３番目の領域３と２パス目の１番目の領域１との間でインク滴の重量の差が最も大きくなりムラが生じ易い。これに対して、図１４に示すように、第３共通電極８０ｃと第１共通電極８０ａとのインク滴の重量の差が小さくなるため、１パス目の３番目の領域３と２パス目の１番目の領域１との間でムラが生じ難い。したがって、本実施形態では、吐出特性のばらつきを低減して、１パス印刷におけるムラの発生を抑制して印刷品質を向上することができる。
【００８２】
なお、本実施形態では、バイアス電位生成回路２１７が３つの異なるバイアス電位である第１バイアス電位ｖｂｓ１、第２バイアス電位ｖｂｓ２及び第３バイアス電位ｖｂｓ３を生成し、第１共通電極８０ａに第１バイアス電位ｖｂｓ１を供給し、第２共通電極８０ｂに第２バイアス電位ｖｂｓ２を供給し、第３共通電極８０ｃに第３バイアス電位ｖｂｓ３を供給するようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、図９に示すように、ノズル列２２の両端部の吐出特性が揃っており、中央部の吐出特性が両端部に比べて低い場合には、両端部に同じバイアス電位、例えば、第１バイアス電位ｖｂｓ１を印加し、中央部に両端部とは異なるバイアス電位、例えば、本実施形態では、第１バイアス電位ｖｂｓ１よりも大きな変位を得られる第２バイアス電位ｖｂｓ２又は第３バイアス電位ｖｂｓ３を印加するようにしてもよい。つまり、分割された共通電極の領域のそれぞれには、互いに異なるバイアス電位を供給する必要はなく、インク滴の吐出特性を揃えるために、同じバイアス電位を供給しても良い。したがって、共通電極である第２電極８０は、２つ以上に分割されていればよく、バイアス電位生成回路２１７が生成するバイアス電位は、２つ以上の異なる電位であれば、吐出特性のばらつきを低減することができる。言い換えると、２つ以上の複数に分割された共通電極には、制御部から２つ以上の異なるバイアス電位が選択的に供給されるようにすれば、インク滴吐出特性のばらつきを低減することができる。もちろん、共通電極である第２電極８０を分割したものの、ノズル列２２の列内でインク滴の吐出特性が揃っている場合には、分割した共通電極に同じバイアス電位を供給するようにしてもよい。つまり、記録ヘッド１は、共通電極が１つのノズル列２２においてノズル２１の並設方向に２つ以上に分割されていれば、インク滴の吐出特性がばらついた際に、吐出特性のばらつきを低減するように異なるバイアス電位を供給することが可能となる。したがって、吐出特性のばらつきによって記録ヘッド１を破棄する必要がなく、記録ヘッド１の製造時の歩留まりを向上することができる。また、本実施形態では、バイアス電位を変更するだけであり、ノズル列２２の活性部３１０には、共通の駆動信号ＣＯＭが供給されるため、複数の異なる駆動信号ＣＯＭを生成する必要がなく、複数の駆動信号生成回路２１６が不要となる。したがって、インク滴の吐出特性のばらつきを簡便な回路で低減することができ、コストを低減することができる。
【００８３】
本実施形態の液体噴射ヘッドであるインクジェット式記録ヘッド１では、液体であるインクを吐出するノズル２１が並設されたノズル列２２と、ノズル列２２の各ノズル２１に連通する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に設けられて第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とを有する圧電アクチュエーター３００と、を具備し、圧電アクチュエーター３００には、圧電体層７０の第１電極６０と第２電極８０とで挟まれた活性部３１０が、圧力発生室１２毎に独立して設けられており、第１電極６０及び第２電極８０の何れか一方の電極は、活性部３１０の各々に独立して設けられた個別電極を構成し、第１電極及び前記第２電極の何れか他方の電極は、複数の活性部３１０に共通して設けられた共通電極を構成し、共通電極は、１つのノズル列２２において、ノズル２１の並設方向に２つ以上に分割して設けられている。
【００８４】
このように共通電極を１つのノズル列２２においてノズル２１の並設方向に２つ以上に分割することで、共通電極に異なるバイアス電位を供給することも、同じバイアス電位を供給することもできる。したがって、ノズル列２２の列内において液体であるインク滴の吐出特性のばらつきを低減するように駆動することができ、印刷品質を向上することができる。また、ノズル列２２内のインク滴の吐出特性のばらつきによって記録ヘッド１を破棄する必要がなく、歩留まりを向上することができる。
【００８５】
また、分割された共通電極に同じ又は異なるバイアス電位を供給するだけでインク滴の吐出特性のばらつきを低減することができるため、記録ヘッド１の個別電極に異なる駆動信号を供給する必要がなく、簡便な回路で吐出特性のばらつきを低減することができ、コストを低減することができる。
【００８６】
また、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１では、分割された共通電極は、それぞれ独立した入力端子に接続されていることが好ましい。これにより、分割された共通電極に独立した入力端子から異なるバイアス電位を供給することも、同じバイアス電位を供給することも可能となり、自由度が高くなる。
【００８７】
また、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１では、共通電極は、少なくともノズル列２２の一方の端部領域、他方の端部領域、両端部領域の間の領域で分割されていることが好ましい。これによれば、ノズル列２２の列内でインク滴の吐出特性にばらつきが生じ易い３つの領域に共通電極を分割することで、吐出特性のばらつきを効果的に低減することができる。もちろん、共通電極である第２電極８０の分割は、３つの領域に限定されず、２つに分割されていてもよく、４つ以上に分割されていてもよい。４つ以上に分割することで、さらにノズル列２２内のインク滴の吐出特性のばらつきを抑えられるが、制御が複雑化するため、本実施形態のように３つの領域に分割するのが好適である。
【００８８】
また、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１では、ノズル列２２を構成するノズル２１に連通する圧力発生室１２が共通して連通する共通液室であるマニホールド１００を有することが好ましい。これによれば、同じ液体であるインクを吐出するノズル２１で構成されるノズル列２２内において、インク滴の吐出特性のばらつきを低減することができ、印刷品質を向上することができる。
【００８９】
また、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１では、共通電極は、一の圧力発生室１２とそれに隣接する他の圧力発生室１２との間の領域を覆うように形成されていることが好ましい。これによれば、共通電極の端部が圧力発生室１２に対向する領域に配置されることによって、共通電極の端部への応力集中を抑制して破壊を低減することができる。
【００９０】
本実施形態の液体噴射装置であるインクジェット式記録装置Ｉでは、上記の液体噴射ヘッドであるインクジェット式記録ヘッド１と、圧電アクチュエーター３００の個別電極に、ノズル列２２に共通の駆動信号ＣＯＭを選択的に供給すると共に、共通電極にバイアス電位を供給する制御部と、を具備する。
【００９１】
このように制御部によって、記録ヘッド１の個別電極に異なる駆動信号を供給する必要がなく、簡便な回路で吐出特性のばらつきを低減することができ、コストを低減することができる。
【００９２】
また、本実施形態のインクジェット式記録装置Ｉでは、制御部は、分割された共通電極の第１の領域には、第１のバイアス電位を供給し、分割された共通電極の第１の領域とは異なる第２の領域には、第１のバイアス電位とは異なる第２のバイアス電位を供給することが好ましい。これによれば、共通電極を１つのノズル列２２においてノズル２１の並設方向に２つ以上に分割し、第１の領域と第２の領域とに互いに異なるバイアス電位を供給することで、ノズル列２２の列内において液体であるインク滴の吐出特性のばらつきを低減するように駆動することができ、印刷品質を向上することができる。
【００９３】
また、本実施形態のインクジェット式記録装置Ｉでは、制御部は、分割された共通電極の第１の領域に入力する第１のバイアス電位を出力するバイアス出力部と、分割された共通電極の前記第１の領域とは異なる第２の領域に入力するバイアス電位を出力する第２のバイアス出力部と、を有し、第１のバイアス出力部のバイアス電位と第２のバイアス出力部のバイアス電位とは独立に設定可能であることが好ましい。このように共通電極を１つのノズル列２２においてノズル２１の並設方向に２つ以上に分割し、第１のバイアス出力部から第１のバイアス電位を出力し、第２のバイアス電位から第２のバイアス電位を出力することで、分割された共通電極に異なるバイアス電位を供給することも、同じバイアス電位を供給することもできる。したがって、ノズル列２２の列内において液体であるインク滴の吐出特性のばらつきを低減するように駆動することができ、印刷品質を向上することができる。
【００９４】
また、本実施形態のインクジェット式記録装置Ｉでは、第１の領域を共通電極とする活性部３１０に対応するノズル２１で構成される第１のノズル群からの液体であるインクの平均吐出量と、第２の領域を共通電極とする活性部３１０に対応するノズル２１で構成される第２のノズル群からの液体であるインクの平均吐出量との差は、第１の領域及び第２の領域の両方に同じバイアス電位を供給して駆動信号ＣＯＭを印加した際の第１のノズル群からのインクの平均吐出量と第２のノズル群からのインクの平均吐出量との差よりも小さいことが好ましい。
【００９５】
本実施形態では、例えば、第１の領域を第１共通電極８０ａとし、第２の領域を第２共通電極８０ｂとした場合、第１共通電極８０ａに第１バイアス電位ｖｂｓ１を供給した際の第１共通電極８０ａに対応する第１のノズル群からのインク滴の平均吐出量と、第２共通電極８０ｂに第２バイアス電位ｖｂｓ２を供給した際の第２共通電極８０ｂに対応する第２のノズル群からのインク滴の平均吐出量との差は、第１共通電極８０ａ及び第２共通電極８０ｂの両方に同じバイアス電位、本実施形態では、第２バイアス電位ｖｂｓ２を供給して駆動信号ＣＯＭを印加した際の第１のノズル群からのインクの平均吐出量と第２のノズル群からのインクの平均吐出量との差よりも小さい。これにより、第１の領域及び第２の領域に同じバイアス電位を供給した場合に比べて、第１の領域に対応するノズル群からのインク滴の平均吐出量と第２の領域に対応するノズル群からのインク滴の平均吐出量との差が小さくなるように異なるバイアス電位を供給して、印刷品質を向上することができる。
【００９６】
なお、第１の領域を第２共通電極８０ｂとし、第２の領域を第３共通電極８０ｃとした場合にも上記と同様の構成とすることができ、インク滴の吐出特性のばらつきを低減して印刷品質を向上することができる。
【００９７】
また、本実施形態のインクジェット式記録装置Ｉでは、同一のバイアス電位で駆動信号ＣＯＭを印加した際において、第１の領域を共通電極とする活性部３１０に対応するノズル２１で構成される第１のノズル群からの平均吐出量が、第２の領域を共通電極とする活性部３１０に対応するノズル２１で構成される第２のノズル群からの平均吐出量よりも大きいとき、第１のバイアス電位は、第２のバイアス電位よりも小さいことが好ましい。
【００９８】
本実施形態では、例えば、第１の領域を第１共通電極８０ａとし、第２の領域を第２共通電極８０ｂとした場合、同じバイアス電位である第２バイアス電位ｖｂｓ２で駆動した場合に、図１３に示すように第１共通電極８０ａに対応する第１のノズル群からの平均吐出量が、第２共通電極８０ｂに対応する第２のノズル群からの平均吐出量よりも大きいとき、第１共通電極８０ａに供給する第１のバイアス電位として、第２バイアス電位ｖｂｓ２よりも小さい第１バイアス電位ｖｂｓ１を用いる。これにより、第１の領域と第２の領域とから吐出されるインク滴の吐出特性のばらつきを効果的に低減することができる。
【００９９】
なお、第１の領域を第２共通電極８０ｂとし、第２の領域を第３共通電極８０ｃとした場合についても上記と同様の構成とすることができ、最適なバイアス電位を設定して、第１の領域と第２の領域とから吐出されるインク滴の吐出特性のばらつきを効果的に低減することができる。
【０１００】
本実施形態の液体噴射ヘッドであるインクジェット式記録ヘッド１のバイアス電位の設定方法では、液体であるインクを吐出するノズル２１が並設されたノズル列２２と、ノズル列２２の各ノズル２１に連通する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に設けられて第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とを有する圧電アクチュエーター３００と、を具備し、圧電アクチュエーター３００には、圧電体層７０の第１電極６０と第２電極８０とで挟まれた活性部３１０が、圧力発生室１２毎に独立して設けられており、第１電極６０及び第２電極８０の何れか一方の電極は、活性部３１０の各々に独立して設けられた個別電極を構成し、第１電極６０及び第２電極８０の何れか他方の電極は、複数の活性部３１０に共通して設けられた共通電極を構成し、共通電極は、１つのノズル列２２において、ノズル２１の並設方向に２つ以上に分割され、分割された共通電極は、第１の領域と第２の領域とを有し、圧電アクチュエーター３００の個別電極には、ノズル列２２に共通の駆動信号ＣＯＭが選択的に供給されると共に、共通電極にはバイアス電位が供給され、基準となるバイアス電位で駆動信号ＣＯＭを印加して、第１の領域を共通電極とする活性部３１０に対応するノズル２１で構成される第１のノズル群からの液体であるインクの平均吐出量と、第２の領域を共通電極とする活性部３１０に対応するノズル２１で構成される第２のノズル群からの液体であるインクの平均吐出量とを測定し、測定された平均吐出量と基準となる吐出量との比較に基づき、第１の領域及び第２の領域に供給するバイアス電位を決定する。
【０１０１】
このように共通電極を１つのノズル列２２においてノズル２１の並設方向に２つ以上に分割し、分割した領域に他押するノズル群からのインク滴の平均吐出量の差が小さくなるように、バイアス電位を決定することで、決定したバイアス電位によってノズル列２２の列内において液体であるインク滴の吐出特性のばらつきを低減するように駆動することができ、印刷品質を向上することができる。また、ノズル列２２内のインク滴の吐出特性のばらつきによって記録ヘッド１を破棄する必要がなく、歩留まりを向上することができる。
【０１０２】
また、バイアス電位を設定するだけで分割された共通電極にインク滴の平均吐出量の差を小さくすることができるため、記録ヘッド１の個別電極に異なる駆動信号を供給する必要がなく、簡便な回路で吐出特性のばらつきを低減することができ、コストを低減することができる。
【０１０３】
また、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１のバイアス電位の設定方法では、測定された平均吐出量が基準となる吐出量よりも大きい場合には、基準となるバイアス電位よりも小さなバイアス電位とすることが好ましい。これによれば、最適なバイアス電位を設定して、分割された共通電極のそれぞれに対応するノズルから吐出されるインク滴の吐出特性のばらつきを効果的に低減することができる。
【０１０４】
また、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１のバイアス電位の設定方法では、測定された平均吐出量が基準となる吐出量よりも小さい場合には、基準となるバイアス電位よりも大きなバイアス電位とすることが好ましい。これによれば、最適なバイアス電位を設定して、分割された共通電極のそれぞれに対応するノズルから吐出されるインク滴の吐出特性のばらつきを効果的に低減することができる。
【０１０５】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
例えば、上述した実施形態１では、インク滴の吐出重量を測定してバイアス電位を設定するようにしたが、特にこれに限定されず、テストパターンを印刷させて、印刷結果の濃度差からバイアス電位を設定してもよい。
【０１０６】
また、上述した実施形態１では、制御装置２００に、第１のバイアス電位を出力する第１バイアス出力部と第２のバイアス電位を出力する第２バイアス出力部とを構成するバイアス電位生成回路２１７及びバイアス電位選択回路２１９を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、バイアス電位生成回路２１７及びバイアス電位選択回路２１９の何れ回一方又は両方を記録ヘッド１に設けるようにしてもよい。
【０１０７】
また、上述した実施形態１では、記録ヘッド１にノズル列２２を１列設けた構成を例示したが、特にこれに限定されず、記録ヘッド１にノズル列２２が２列以上設けられていてもよい。また、２列以上のノズル列２２は、記録ヘッド１に第２の方向Ｙに並設されていても、また、第１の方向Ｘに並設されていてもよい。何れの場合であっても、各ノズル列２２において、共通電極がノズル２１の並設方向に２つ以上に分割されていればよい。
【０１０８】
また、上述した実施形態１の図１２に示すバイアス電位の設定方法では、最初に分割された共通電極の全ての領域に基準となるバイアス電位を供給して、全ての領域に対応するノズル群からのインク滴の平均吐出量を測定するようにしたが、特にこれに限定されず、分割された共通電極の１つの領域毎にインク滴の平均吐出量を測定するようにしてもよい。
【０１０９】
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。
【０１１０】
また、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置Ｉを挙げて説明したが、上述した他の液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置にも用いることが可能である。
【符号の説明】
【０１１１】
１…インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、２…インクカートリッジ、３…キャリッジ、４…装置本体、５…キャリッジ軸、６…駆動モーター、７…タイミングベルト、８…搬送ローラー、１０…流路形成基板、１１…隔壁、１２…圧力発生室、１３…連通部、１４…インク供給路、１５…連通路、２０…ノズルプレート、２１…ノズル、２２…ノズル列、３０…保護基板、３１…マニホールド部、３２…圧電アクチュエーター保持部、３３…貫通孔、３５…接着剤、４０…コンプライアンス基板、４１…封止膜、４２…固定板、４３…開口部、５０…振動板、６０…第１電極、７０…圧電体層、７１…凹部、８０…第２電極、８０ａ…第１共通電極、８０ｂ…第２共通電極、８０ｃ…第３共通電極、９１…個別配線、９２…共通配線、１００…マニホールド、１２０…駆動回路、１２１…接続配線、１２２…シフトレジスター、１２３…ラッチ回路、１２４…レベルシフター、１２５…スイッチ、２００…制御装置、２１０…プリンターコントローラー、２１１…外部インターフェース、２１２Ａ…受信バッファー、２１２Ｂ…中間バッファー、２１２Ｃ…出力バッファー、２１４…制御処理部、２１５…発振回路、２１６…駆動信号生成回路、２１７…バイアス電位生成回路、２１７ａ…第１バイアス電位生成回路、２１７ｂ…第２バイアス電位生成回路、２１７ｃ…第３バイアス電位生成回路、２１８…内部インターフェース、２１９…バイアス電位選択回路、２２０…プリントエンジン、２２１…紙送り機構、２２２…キャリッジ機構、２３０…外部装置、３００…圧電アクチュエーター、３１０…活性部、ＣＯＭ…駆動信号、Ｉ…液体噴射装置（インクジェット式記録装置）、Ｓ…記録シート、Ｔ…記録周期（吐出周期）、ｖｂｓ…バイアス電位、ｖｂｓ１…第１バイアス電位、ｖｂｓ２…第２バイアス電位、ｖｂｓ３…第３バイアス電位、Ｘ…第１の方向、Ｙ…第２の方向、Ｚ…第３の方向
【図１】
2020026124.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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