(57)【要約】      （修正有）【課題】浮遊容量を抑え、画質を向上させることが可能なヘッドチップおよびその製造方法、液体噴射ヘッド、ならびに液体噴射記録装置を提供する。【解決手段】ヘッドチップは、液体に圧力を印加するアクチュエータプレート４２を備え、液体を噴射する。アクチュエータプレートは、表面および裏面と、所定の方向に延在し、かつ、表面に設けられた第１開口と、裏面に設けられるとともに、所定の方向の長さが第１開口よりも短い第２開口とを有するチャネルと、第１開口側のチャネルの側壁に設けられた表面側部分Ｅｄｃ−ｕと、表面側部分よりも第２開口側の側壁に設けられるとともに所定の方向の大きさが表面側部分と同じまたは表面側部分よりも大きい裏面側部分Ｅｄｃ−ｄとを有する電極とを含んでいる。【選択図】図７
2020075449.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体に圧力を印加するアクチュエータプレートを備え、前記液体を噴射するヘッドチップであって、
前記アクチュエータプレートは、
表面および裏面と、
所定の方向に延在し、かつ、前記表面に設けられた第１開口と、前記裏面に設けられるとともに、前記所定の方向の長さが前記第１開口よりも短い第２開口とを有するチャネルと、
前記第１開口側の前記チャネルの側壁に設けられた表面側部分と、前記表面側部分よりも前記第２開口側の前記側壁に設けられるとともに前記所定の方向の大きさが前記表面側部分と同じまたは前記表面側部分よりも大きい裏面側部分とを有する電極と
を含むヘッドチップ。
【請求項２】
前記裏面側部分の前記所定の方向の大きさは、前記第２開口の前記所定の方向の長さと同じである
請求項１に記載のヘッドチップ。
【請求項３】
前記表面側部分の前記所定方向の大きさは、前記第２開口の前記所定の方向の長さよりも小さい
請求項１または請求項２に記載のヘッドチップ。
【請求項４】
更に、前記チャネルに連通するノズル孔が設けられたノズルプレートを含む
請求項１ないし請求項３のうちいずれか１項に記載のヘッドチップ。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載のヘッドチップと、
前記ヘッドチップに前記液体を供給する供給機構と
を備えた液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体を収容する収容部と
を備えた液体噴射記録装置。
【請求項７】
液体に圧力を印加するアクチュエータプレートを備え、前記液体を噴射するヘッドチップの製造方法であって、
前記アクチュエータプレートを形成する工程は、
表面および裏面を有する圧電基板に、所定の方向に延在するとともに、前記表面に第１開口を有するチャネルを形成する工程と、
前記第１開口の前記所定の方向の両端部をマスクで覆う工程と、
前記マスクが設けられた前記第１開口から前記チャネルの側壁に導電材料を蒸着して第１蒸着部を形成する工程と、
前記チャネルに達するように前記圧電基板の前記裏面を研削することにより、前記圧電基板の前記裏面側に、前記所定の方向の長さが前記第１開口よりも短い第２開口を形成する工程と、
前記第２開口から前記チャネルの前記側壁に前記導電材料を蒸着して第２蒸着部を形成し、前記第１蒸着部および前記第２蒸着部を含む電極を形成する工程とを含む
ヘッドチップの製造方法。
【請求項８】
前記アクチュエータプレートを形成する工程は、
更に、前記チャネルを形成した後、前記圧電基板の前記表面にレジスト膜を形成する工程を含み、
前記レジスト膜を形成した後、前記第１蒸着部を形成する
請求項７に記載のヘッドチップの製造方法。
【請求項９】
前記両端部は、以下の式（１）で表される前記第１蒸着部の深さＤｉが、前記チャネルの深さＤよりも大きくなる部分を含む
請求項８に記載のヘッドチップの製造方法。
Ｄｉ＝ｓ/ｔａｎ（β―θ）―ｒ  ・・・・・（１）
ただし、ｓ：前記チャネルの幅
β：前記第１蒸着部を形成する際の前記蒸着の入射角
θ：前記圧電基板の傾き角
ｒ：前記レジスト膜の厚み
【請求項１０】
更に、前記第１蒸着部を形成した後、前記圧電基板の前記表面に、カバープレートを貼り合わせる工程を含み、
前記圧電基板の前記表面に前記カバープレートを貼り合わせた後、前記圧電基板の前記裏面を研削して前記第２開口を形成する
請求項７ないし請求項９のうちいずれか１項に記載のヘッドチップの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、ヘッドチップおよびその製造方法、液体噴射ヘッド、ならびに液体噴射記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射記録装置の１つとして、記録紙等の被記録媒体にインク（液体）を吐出（噴射）して画像や文字等の記録を行う、インクジェット方式の記録装置が提供されている（例えば、特許文献１参照）。この方式の液体噴射記録装置では、インクタンクからインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）へインクを供給し、このインクジェットヘッドのノズル孔から被記録媒体に対してインクを吐出することで、画像や文字等の記録が行われるようになっている。また、このようなインクジェットヘッドには、インクを吐出するヘッドチップが設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第８０９１９８７号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このようなヘッドチップ等では、例えば、浮遊容量に起因して吐出速度がばらつき、画質が低下するおそれがある。したがって、浮遊容量を抑え、画質を向上させることが可能なヘッドチップおよびその製造方法、液体噴射ヘッド、ならびに液体噴射記録装置を提供することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一実施の形態に係るヘッドチップは、液体に圧力を印加するアクチュエータプレートを備え、液体を噴射するヘッドチップであって、アクチュエータプレートは、表面および裏面と、所定の方向に延在し、かつ、表面に設けられた第１開口と、裏面に設けられるとともに、所定の方向の長さが第１開口よりも短い第２開口とを有するチャネルと、第１開口側のチャネルの側壁に設けられた表面側部分と、表面側部分よりも第２開口側の側壁に設けられるとともに所定の方向の大きさが表面側部分と同じまたは表面側部分よりも大きい裏面側部分とを有する電極とを含むものである。
【０００６】
本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドは、上記本開示の一実施の形態に係るヘッドチップと、ヘッドチップに液体を供給する供給機構とを備えたものである。
【０００７】
本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置は、上記本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドと、液体を収容する収容部とを備えたものである。
【０００８】
本開示の一実施の形態に係るヘッドチップの製造方法は、液体に圧力を印加するアクチュエータプレートを備え、液体を噴射するヘッドチップの製造方法であって、アクチュエータプレートを形成する工程は、表面および裏面を有する圧電基板に、所定の方向に延在するとともに、表面に第１開口を有するチャネルを形成する工程と、第１開口の所定の方向の両端部をマスクで覆う工程と、マスクが設けられた第１開口からチャネルの側壁に導電材料を蒸着して第１蒸着部を形成する工程と、チャネルに達するように圧電基板の裏面を研削することにより、圧電基板の裏面側に、所定の方向の長さが第１開口よりも短い第２開口を形成する工程と、第２開口からチャネルの側壁に導電材料を蒸着して第２蒸着部を形成し、第１蒸着部および第２蒸着部を含む電極を形成する工程とを含むものである。
【発明の効果】
【０００９】
本開示の一実施の形態に係るヘッドチップおよびその製造方法、液体噴射ヘッド、ならびに液体噴射記録装置によれば、浮遊容量を抑え、画質を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置の概略構成例を表す模式斜視図である。
【図２】図１に示した循環機構等の詳細構成例を表す模式図である。
【図３】図２に示した液体噴射ヘッドの詳細構成例を表す分解斜視図である。
【図４】図３に示したアクチュエータプレートの裏面の構成例を表す斜視図である。
【図５】図３に示したＡ−Ａ線に沿った断面の構成例を表す模式図である。
【図６】図３に示したＢ−Ｂ線に沿った断面の構成例を表す模式図である。
【図７】図３に示した吐出チャネルと、コモン電極との関係の一例を表す模式図である。
【図８】図３に示したＣ−Ｃ線に沿った断面の一部の構成例を表す模式図である。
【図９Ａ】図３等に示した液体噴射ヘッドの製造方法の一例を表す流れ図である。
【図９Ｂ】図９Ａに続く工程を表す流れ図である。
【図１０Ａ】図９Ａに示した液体噴射ヘッドの製造方法の一工程を説明するための断面模式図である。
【図１０Ｂ】図１０Ａに続く工程を表す断面模式図である。
【図１０Ｃ】図１０Ｂに続く工程を表す断面模式図である。
【図１０Ｄ】図１０Ｃに続く工程を表す断面模式図である。
【図１０Ｅ】図１０Ｄに続く工程を表す断面模式図である。
【図１０Ｆ】図１０Ｅに続く工程を表す断面模式図である。
【図１０Ｇ】図１０Ｆに続く工程を表す断面模式図である。
【図１０Ｈ】図１０Ｇに続く工程を表す断面模式図である。
【図１１Ａ】図９Ａに示したステップＳ５の工程について説明するための平面模式図である。
【図１１Ｂ】図１１Ａに対応する断面模式図である。
【図１２】図１１Ｂに示した領域について説明するための模式図である。
【図１３】比較例に係る液体噴射ヘッドの要部の構成を表す模式図である。
【図１４】変形例に係る液体噴射ヘッドの要部の構成を表す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
１．実施の形態（アクチュエータプレートに、表面側部分および裏面側部分を含む電極が設けられた、サイドシュート型の液体噴射ヘッド）
２．変形例（エッジシュート型の液体噴射ヘッド例）
３．その他の変形例
【００１２】
＜１．実施の形態＞
［プリンタ１の全体構成］
図１は、本開示の一実施の形態に係るプリンタ１の概略構成例を、模式的に斜視図にて表したものである。プリンタ１は、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例に対応している。プリンタ１は、後述するインク９を利用して、被記録媒体としての記録紙Ｐに対して、画像や文字等の記録（印刷）を行うインクジェットプリンタである。このプリンタ１はまた、詳細は後述するが、インク９を所定の流路に循環させて利用する、インク循環式のインクジェットプリンタである。
【００１３】
プリンタ１は、図１に示したように、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、循環機構５と、走査機構６とを備えている。これらの各部材は、所定形状を有する筺体１０内に収容されている。なお、本明細書の説明に用いられる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。インクジェットヘッド４（後述するインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋ）は、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。
【００１４】
（搬送機構２ａ，２ｂ）
搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、図１に示したように、記録紙Ｐを搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送する機構である。これらの搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、グリッドローラ２１、ピンチローラ２２および駆動機構（不図示）を有している。グリッドローラ２１およびピンチローラ２２はそれぞれ、Ｙ軸方向（記録紙Ｐの幅方向）に沿って延設されている。駆動機構は、グリッドローラ２１を軸周りに回転させる（Ｚ−Ｘ面内で回転させる）機構であり、例えばモータ等を用いて構成されている。
【００１５】
（インクタンク３）
インクタンク３は、インクジェットヘッド４に供給するインク９を収容するタンクである。インク９は、本開示における「液体」の一具体例に対応している。インクタンク３は、インク９を内部に収容するタンクである。このインクタンク３としては、この例では図１に示したように、イエロー（Ｙ），マゼンダ（Ｍ），シアン（Ｃ），ブラック（Ｋ）の４色のインク９を個別に収容する、４種類のタンクが設けられている。すなわち、イエローのインク９を収容するインクタンク３Ｙと、マゼンダのインク９を収容するインクタンク３Ｍと、シアンのインク９を収容するインクタンク３Ｃと、ブラックのインク９を収容するインクタンク３Ｋとが設けられている。これらのインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋは、筺体１０内において、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。なお、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋはそれぞれ、収容するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクタンク３と総称して説明する。インクタンク３は、本開示における「収容部」の一具体例に対応している。
【００１６】
（インクジェットヘッド４）
インクジェットヘッド４は、後述する複数のノズル孔（ノズル孔Ｈ１，Ｈ２）から記録紙Ｐに対して液滴状のインク９を噴射（吐出）して、画像や文字等の記録を行うヘッドである。このインクジェットヘッド４としても、この例では図１に示したように、上記したインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋにそれぞれ収容されている４色のインク９を個別に噴射する、４種類のヘッドが設けられている。すなわち、イエローのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｙと、マゼンダのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｍと、シアンのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｃと、ブラックのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｋとが設けられている。これらのインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋは、筺体１０内において、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。
【００１７】
なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋはそれぞれ、利用するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクジェットヘッド４と総称して説明する。また、このインクジェットヘッド４の詳細構成については、後述する（図３〜図８）。
【００１８】
（循環機構５）
循環機構５は、インクタンク３内とインクジェットヘッド４内との間でインク９を循環させるための機構である。図２は、循環機構５の構成例を、前述したインクタンク３およびインクジェットヘッド４と共に、模式的に表したものである。なお、図２中に示した実線の矢印は、インク９の循環方向を示している。循環機構５は、図２に示したように、インク９を循環させるための所定の流路（循環流路５０）と、一対の送液ポンプ５２ａ，５２ｂとを備えている。
【００１９】
循環流路５０は、インクジェットヘッド４内とインクジェットヘッド４の外部（インクタンク３内）との間を循環する流路であり、インク９がこの循環流路５０を循環して流れるようになっている。循環流路５０は、インクタンク３からインクジェットヘッド４へと至る部分である流路５０ａと、インクジェットヘッド４からインクタンク３へと至る部分である流路５０ｂとを有している。言い換えると、流路５０ａは、インクタンク３からインクジェットヘッド４へと向かって、インク９が流れる流路である。また、流路５０ｂは、インクジェットヘッド４からインクタンク３へと向かって、インク９が流れる流路である。
【００２０】
送液ポンプ５２ａは、流路５０ａ上において、インクタンク３とインクジェットヘッド４との間に配置されている。送液ポンプ５２ａは、インクタンク３内に収容されているインク９を、流路５０ａを介してインクジェットヘッド４内へと送液するためのポンプである。送液ポンプ５２ｂは、流路５０ｂ上において、インクジェットヘッド４とインクタンク３との間に配置されている。送液ポンプ５２ｂは、インクジェットヘッド４内に収容されているインク９を、流路５０ｂを介してインクタンク３内へと送液するためのポンプである。
【００２１】
（走査機構６）
走査機構６は、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って、インクジェットヘッド４を走査させる機構である。この走査機構６は、図１に示したように、Ｙ軸方向に沿って延設された一対のガイドレール６１ａ，６１ｂと、これらのガイドレール６１ａ，６１ｂに移動可能に支持されたキャリッジ６２と、このキャリッジ６２をＹ軸方向に沿って移動させる駆動機構６３とを有している。また、駆動機構６３は、ガイドレール６１ａ，６１ｂの間に配置された一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂと、これらのプーリ６３１ａ，６３１ｂ間に巻回された無端ベルト６３２と、プーリ６３１ａを回転駆動させる駆動モータ６３３とを有している。
【００２２】
プーリ６３１ａ，６３１ｂはそれぞれ、Ｙ軸方向に沿って、各ガイドレール６１ａ，６１ｂにおける両端付近に対応する領域に配置されている。無端ベルト６３２には、キャリッジ６２が連結されている。このキャリッジ６２上には、前述した４種類のインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂが、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。なお、このような走査機構６と前述した搬送機構２ａ，２ｂとにより、インクジェットヘッド４と記録紙Ｐとを相対的に移動させる、移動機構が構成される。
【００２３】
［インクジェットヘッド４の詳細構成］
次に、図１および図２に加えて図３〜図８を参照して、インクジェットヘッド４の詳細構成例について説明する。図３は、インクジェットヘッド４の詳細構成例を、分解斜視図で表したものである。図４は、図３に示したアクチュエータプレート４２（後出）の裏面の構成例を、斜視図で表したものである。図５は、図３に示したＡ−Ａ線に沿った断面の構成例を、模式的に表したものである。図６は、図３に示したＢ−Ｂ線に沿った断面の構成例を、模式的に表したものである。図７は、アクチュエータプレート４２の各吐出溝（後述の吐出チャネルＣ１ｅ）と、この各吐出溝に設けられた電極（後述のコモン電極Ｅｄｃ）との関係を模式的に表したものである。図８は、図３に示したＣ−Ｃ線に沿った断面の一部の構成例を、模式的に表したものである。
【００２４】
本実施の形態のインクジェットヘッド４は、後述する複数のチャネル（チャネルＣ１，Ｃ２）における延在方向（Ｙ軸方向）の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドである。また、このインクジェットヘッド４は、前述した循環機構５（循環流路５０）を用いることで、インクタンク３との間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドである。
【００２５】
図３に示したように、インクジェットヘッド４は、ヘッドチップ４ｃおよび流路プレート４５を有している。ヘッドチップ４ｃは、ノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２およびカバープレート４３を主に備えている。これらのノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２およびカバープレート４３は、例えば接着剤等を用いて互いに貼り合わされており、Ｚ軸方向に沿ってこの順に積層されている。流路プレート４５は、カバープレート４３に貼り合わされている。なお、以下では、Ｚ軸方向に沿ってカバープレート４３側を上方と称すると共に、ノズルプレート４１側を下方と称して説明する。ここでは、ヘッドチップ４ｃが本開示の「ヘッドチップ」の一具体例に対応し、「流路プレート４５」が本開示の「供給機構」の一具体例に対応する。
【００２６】
（ノズルプレート４１）
ノズルプレート４１は、インクジェットヘッド４に用いられるプレートである。ノズルプレート４１は、例えば５０μｍ程度の厚みを有する樹脂基板もしくは金属基板を有し、図３に示したように、アクチュエータプレート４２の下面に接着されている。ノズルプレート４１として用いられる樹脂基板としては、ポリイミドなどが挙げられる。ノズルプレート４１として用いられる金属基板としては、ＳＵＳ３１６やＳＵＳ３０４をはじめとするステンレス鋼が挙げられる。ノズルプレート４１は、例えば、アクチュエータプレート４２と比べて低い剛性を有している。ノズルプレート４１は、さらに、例えば、アクチュエータプレート４２と比べて可撓性を有している。また、図３および図４に示したように、このノズルプレート４１は、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のノズル列（ノズル列４１１，４１２）を有している。これらのノズル列４１１，４１２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。このように、本実施の形態のインクジェットヘッド４は、２列タイプのインクジェットヘッドとなっている。
【００２７】
ノズル列４１１は、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて一直線上に並んで形成された、複数のノズル孔Ｈ１を有している。これらのノズル孔Ｈ１は、後述の吐出チャネルＣ１ｅごとに１つずつ設けられている。これらのノズル孔Ｈ１はそれぞれ、ノズルプレート４１をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通しており、例えば図５，図６に示したように、後述するアクチュエータプレート４２における吐出チャネルＣ１ｅに連通している。具体的には図３に示したように、各ノズル孔Ｈ１は、吐出チャネルＣ１ｅ下においてＹ軸方向に沿った中央部に位置するように形成されている。また、ノズル孔Ｈ１におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ１ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一となっている。このようなノズル列４１１内のノズル孔Ｈ１からは、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ１ｅ内から供給されるインク９が吐出（噴射）される。
【００２８】
ノズル列４１２も同様に、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて一直線上に並んで形成された、複数のノズル孔Ｈ２を有している。これらのノズル孔Ｈ２は、後述の吐出チャネルＣ２ｅごとに１つずつ設けられている。これらのノズル孔Ｈ２もそれぞれ、ノズルプレート４１をその厚み方向に沿って貫通しており、例えば図５，図６に示したように、後述するアクチュエータプレート４２における吐出チャネルＣ２ｅに連通している。具体的には図３に示したように、各ノズル孔Ｈ２は、吐出チャネルＣ２ｅ下においてＹ軸方向に沿った中央部に位置するように形成されている。また、ノズル孔Ｈ２におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ２ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一となっている。このようなノズル列４１２内のノズル孔Ｈ２からも、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ２ｅ内から供給されるインク９が吐出（噴射）される。
【００２９】
（アクチュエータプレート４２）
アクチュエータプレート４２は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料により構成されたプレートであり、表面４２ｆ１および裏面４２ｆ２を有している。表面４２ｆ１は、カバープレート４３との対向面であり、裏面４２ｆ２はノズルプレート４１との対向面である。このアクチュエータプレート４２は、例えば、分極方向が厚さ方向（Ｚ方向）で異なる２つの圧電基板を積層して形成された、いわゆるシェブロンタイプのアクチュエータである。なお、アクチュエータプレート４２は、分極方向が厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って一方向に設定されている１つの圧電基板から形成された、いわゆるカンチレバータイプ（モノポールタイプ）のアクチュエータであってもよい。また、図３、図４に示したように、アクチュエータプレート４２は、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のチャネル列（チャネル列４２１，４２２）を有している。これらのチャネル列４２１，４２２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。
【００３０】
チャネル列４２１は、図３、図４に示したように、Ｙ軸方向に沿って延在する複数のチャネルＣ１を有している。これらのチャネルＣ１は、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ１は、圧電体（アクチュエータプレート４２）からなる駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、アクチュエータプレート４２を厚み方向に貫通する溝部となっている。ここで、Ｙ軸方向が本開示の「所定の方向」の一具体例に対応し、駆動壁Ｗｄが本開示の「側壁」の一具体例に対応する。
【００３１】
チャネル列４２２も同様に、図３、図４に示したように、Ｙ軸方向に沿って延在する複数のチャネルＣ２を有している。これらのチャネルＣ２は、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ２もまた、上記した駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、アクチュエータプレート４２を厚み方向貫通する溝部となっている。
【００３２】
ここで、図３、図４に示したように、チャネルＣ１は、インク９を吐出させる吐出チャネルＣ１ｅと、インク９を吐出させない非吐出チャネルＣ１ｄとを含んで構成されている。チャネル列４２１において、これらの吐出チャネルＣ１ｅと非吐出チャネルＣ１ｄとは、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている。各吐出チャネルＣ１ｅは、ノズルプレート４１におけるノズル孔Ｈ１と連通する吐出溝である。つまり、各吐出チャネルＣ１ｅは、アクチュエータプレート４２を厚み方向に貫通する溝部となっている。アクチュエータプレート４２の表面４２ｆ１には、各吐出チャネルＣ１ｅに連通する開口ｈ１が設けられ、裏面４２ｆ２には、各吐出チャネルＣ１ｅに連通する開口ｈ５が設けられている。
【００３３】
一方、各非吐出チャネルＣ１ｄは、ノズル孔Ｈ１には連通しておらず、ノズルプレート４１の上面によって下方から覆われた非吐出溝である。例えば、各非吐出チャネルＣ１ｄは、アクチュエータプレート４２を貫通する溝部となっている。アクチュエータプレート４２の表面４２ｆ１には、各非吐出チャネルＣ１ｄに連通する開口ｈ２が設けられ、裏面４２ｆ２には、各非吐出チャネルＣ１ｄに連通する開口ｈ６が設けられている。各非吐出チャネルＣ１ｄは、アクチュエータプレート４２を貫通していない凹状の溝部となっていてもよい。
【００３４】
同様に、チャネルＣ２は、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ２ｅと、インク９を吐出させない非吐出チャネルＣ２ｄとを含んで構成されている。チャネル列４２２において、これらの吐出チャネルＣ２ｅと非吐出チャネルＣ２ｄとは、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている。各吐出チャネルＣ２ｅは、ノズルプレート４１におけるノズル孔Ｈ２と連通する吐出溝である。つまり、各吐出チャネルＣ２ｅは、アクチュエータプレート４２を厚み方向に貫通する溝部となっている。アクチュエータプレート４２の表面４２ｆ１には、各吐出チャネルＣ２ｅに連通する開口ｈ４が設けられ、裏面４２ｆ２には、各吐出チャネルＣ２ｅに連通する開口ｈ８が設けられている。
【００３５】
一方、各非吐出チャネルＣ２ｄは、ノズル孔Ｈ２には連通しておらず、ノズルプレート４１の上面によって下方から覆われた非吐出溝である。例えば、各非吐出チャネルＣ２ｄは、アクチュエータプレート４２を貫通する溝部となっている。アクチュエータプレート４２の表面４２ｆ１には、各非吐出チャネルＣ２ｄに連通する開口ｈ３が設けられ、裏面４２ｆ２には、各非吐出チャネルＣ２ｄに連通する開口ｈ７が設けられている。各非吐出チャネルＣ２ｄは、アクチュエータプレート４２を貫通していない凹状の溝部となっていてもよい。
【００３６】
ここで、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅが、本開示の「チャネル」の一具体例に対応する。
【００３７】
図３、図４に示したように、チャネルＣ１における吐出チャネルＣ１ｅおよび非吐出チャネルＣ１ｄは、チャネルＣ２における吐出チャネルＣ２ｅおよび非吐出チャネルＣ２ｄに対し、互い違いとなるように配置されている。したがって、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、チャネルＣ１における吐出チャネルＣ１ｅと、チャネルＣ２における吐出チャネルＣ２ｅとが、千鳥状に配置されている。図３、図４に示したように、アクチュエータプレート４２において、非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに対応する部分には、非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおけるＹ軸方向に沿った外側端部に連通する、浅溝部Ｄｄが形成されている。
【００３８】
後述のように、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅおよび各非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、例えば、円盤の外周にダイヤモンド等の切削砥粒を埋め込んだダイシングブレード（ダイヤモンドブレードともいう）を用いて、圧電体基板を切削することにより形成される。各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅは、例えば、ダイシングブレードを用いて、圧電体基板を、上面（アクチュエータプレート４２における上面に相当する表面）から下面（アクチュエータプレート４２における下面に相当する表面）に向けて切削することにより形成される。各非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、例えば、ダイシングブレードを用いて、圧電体基板を、下面から上面に向けて切削することにより形成される。
【００３９】
このとき、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの長手方向の断面形状は、例えば、図５、図６に示したように、逆台形状となっている。一方、各非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの長手方向の断面形状は、例えば、図５、図６に示したように、台形状となっている。
【００４０】
各吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（Ｙ軸方向）で、アクチュエータプレート４２の裏面４２ｆ２の開口ｈ５の長さが、例えば、図３、図４、図５に示したように、各吐出チャネルＣ１ｅの、アクチュエータプレート４２の表面４２ｆ１の開口ｈ１の長さよりも短くなっている。
【００４１】
各各吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）で、アクチュエータプレート４２の裏面４２ｆ２の開口ｈ８の長さが、例えば、図３、図４、図６に示したように、各吐出チャネルＣ２ｅの、アクチュエータプレート４２の表面４２ｆ１の開口ｈ４の長さよりも短くなっている。
【００４２】
ここで、開口ｈ１，ｈ４が、本開示の「第１開口」の一具体例に対応し、開口ｈ５，ｈ８が、本開示の「第２開口」の一具体例に対応する。
【００４３】
各非吐出チャネルＣ１ｄの延在方向（Ｙ軸方向）で、アクチュエータプレート４２の裏面４２ｆ２の開口ｈ６の長さが、例えば、図３、図４、図６に示したように、各非吐出チャネルＣ１ｄの、アクチュエータプレート４２の表面４２ｆ１の開口ｈ２の長さよりも長くなっている。
【００４４】
各非吐出チャネルＣ２ｄの延在方向（Ｙ軸方向）で、アクチュエータプレート４２の裏面４２ｆ２の開口ｈ７の長さが、例えば、図３、図４、図５に示したように、各非吐出チャネルＣ２ｄの、アクチュエータプレート４２の表面４２ｆ１の開口ｈ３の長さよりも長くなっている。
【００４５】
チャネル列４２１の吐出チャネルＣ１ｅと、チャネル列４２２の非吐出チャネルＣ２ｄとは、例えば、図３、図４、図５に示すように、Ｙ軸方向に沿って配置されている。このとき、吐出チャネルＣ１ｅ内で長手方向において対向する一対の傾斜面のうち、非吐出チャネルＣ２ｄ側の傾斜面の一部と、非吐出チャネルＣ２ｄ内で長手方向において対向する一対の傾斜面のうち、吐出チャネルＣ１ｅ側の傾斜面の一部とが、アクチュエータプレート４２の厚さ方向（Ｚ軸方向）から見て互いに重なり合っている。これにより、吐出チャネルＣ１ｅと非吐出チャネルＣ２ｄとが互いに連通することなく、吐出チャネルＣ１ｅと非吐出チャネルＣ２ｄとの間隔を狭くすることができる。
【００４６】
また、チャネル列４２１の非吐出チャネルＣ１ｄと、チャネル列４２２の吐出チャネルＣ２ｅとは、例えば、図３、図４、図６に示すように、Ｙ軸方向に沿って配置されている。このとき、非吐出チャネルＣ１ｄ内で長手方向において対向する一対の傾斜面のうち、吐出チャネルＣ２ｅ側の傾斜面の一部と、吐出チャネルＣ２ｅ内で長手方向において対向する一対の傾斜面のうち、非吐出チャネルＣ１ｄ側の傾斜面の一部とが、アクチュエータプレート４２の法線方向（Ｚ軸方向）から見て互いに重なり合っている。これにより、非吐出チャネルＣ１ｄと吐出チャネルＣ２ｅとが互いに連通することなく、非吐出チャネルＣ１ｄと吐出チャネルＣ２ｅとの間隔を狭くすることができる。
【００４７】
ここで、図３〜図８に示したように、上記した駆動壁Ｗｄにおける対向する内側面にはそれぞれ、Ｙ軸方向に沿って延在する駆動電極Ｅｄが設けられている。この駆動電極Ｅｄには、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに面する内側面に設けられたコモン電極Ｅｄｃと、非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに面する内側面に設けられたアクティブ電極Ｅｄａとが存在している。このような駆動電極Ｅｄ（コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａ）は、例えば、図８に示したように、駆動壁Ｗｄの内側面上において、駆動壁Ｗｄと同じ深さ（Ｚ軸方向において同じ深さ）まで形成されている。駆動電極Ｅｄは、チャネルの内側面のうち、必ずしも駆動壁Ｗｄと同じ深さまで形成されている必要はない。ここで、コモン電極Ｅｄｃが本開示の「電極」の一具体例に対応する。駆動電極Ｅｄは、例えば、駆動壁Ｗｄ側からチタン（Ｔｉ）および金（Ａｕ）をこの順に含む積層膜により構成されている。
【００４８】
図７に示したように、コモン電極Ｅｄｃは表面側部分Ｅｄｃ−ｕと裏面側部分Ｅｄｃ−ｄとを含んでいる。表面側部分Ｅｄｃ−ｕおよび裏面側部分Ｅｄｃ−ｄはともに、Ｙ軸方向に沿って延在している。表面側部分Ｅｄｃ−ｕは、表面４２ｆ１の開口ｈ１（または開口ｈ４）側の駆動壁Ｗｄに設けられており、裏面側部分Ｅｄｃ−ｄは、表面側部分Ｅｄｃ−ｕよりも裏面４２ｆ２の開口ｈ５（または開口ｈ８）側に設けられている。本実施の形態では、チャネルＣ１，Ｃ２の延在方向（Ｙ軸方向）において、裏面側部分Ｅｄｃ−ｄの大きさが、表面側部分Ｅｄｃ−ｕの大きさと同じ、または表面側部分Ｅｄｃ−ｕの大きさよりも大きくなっている。換言すれば、表面側部分Ｅｄｃ−ｕのＹ軸方向の大きさは、裏面側部分Ｅｄｃ−ｄのＹ軸方向の大きさ以下である。詳細は後述するが、これにより、表面側部分Ｅｄｃ−ｕの大きさを裏面側部分Ｅｄｃ−ｄの大きさよりも大きくした場合（後述の図１３）に比べて、コモン電極Ｅｄｃの電極面積が小さくなり、浮遊容量を抑えることが可能となる。
【００４９】
例えば、図７に示したように、裏面側部分Ｅｄｃ−ｄのＹ軸方向の大きさは、表面側部分Ｅｄｃ−ｕのＹ軸方向の大きさよりも大きくなっている。この裏面側部分Ｅｄｃ−ｄのＹ軸方向の大きさは、開口ｈ５（または開口ｈ８）のＹ軸方向の大きさと同じであることが好ましい。表面側部分Ｅｄｃ−ｕのＹ軸方向の大きさは、例えば、この開口ｈ５（または開口７）のＹ軸方向の大きさよりも小さくなっている。表面側部分Ｅｄｃ−ｕのＹ軸方向の両端から拡幅するように裏面側部分Ｅｄｃ−ｄが設けられている。図示は省略するが、上述のように、裏面側部分Ｅｄｃ−ｄのＹ軸方向の大きさと、表面側部分Ｅｄｃ−ｕのＹ軸方向の大きさとが同じであってもよい。後述するように、表面側部分Ｅｄｃ−ｕのＹ軸方向の大きさを、ノズル孔Ｈ１（またはノズル孔Ｈ２）側の開口ｈ５（または開口ｈ８）の大きさ以下にすることにより、浮遊容量が低減され、ノイズに起因した吐出速度のばらつきを抑えることが可能となる。
【００５０】
インクジェットヘッド４は、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４２との間に、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート４２とを互いに固定する接着層４６Ａを有している。接着層４６Ａは、接着剤により構成されている。ノズルプレート４１が金属で構成されている場合には、接着層４６Ａが駆動電極Ｅｄとノズルプレート４１との電気的な短絡を防止する。また、インクジェットヘッド４は、アクチュエータプレート４２とカバープレート４３との間に、アクチュエータプレート４２とカバープレート４３とを互いに固定する接着層４６Ｂを有している。接着層４６Ｂは、接着剤により構成されている。カバープレート４３が金属で構成されている場合には、接着層４６Ｂが駆動電極Ｅｄとカバープレート４３との電気的な短絡を防止する。なお、アクチュエータプレート４２が上述のカンチレバータイプとなっている場合には、駆動電極Ｅｄ（コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａ）は、駆動壁Ｗｄの内側面内において、深さ方向（Ｚ軸方向）の中間位置までしか形成されていない。
【００５１】
同一の吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）内で対向する一対のコモン電極Ｅｄｃ同士は、コモン端子Ｔｃにおいて互いに電気的に接続されている。また、同一の非吐出チャネルＣ１ｄ（または非吐出チャネルＣ２ｄ）内で対向する一対のアクティブ電極Ｅｄａ同士は、互いに電気的に分離されている。一方、吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）を介して対向する一対のアクティブ電極Ｅｄａ同士は、アクティブ端子Ｔａにおいて互いに電気的に接続されている。
【００５２】
ここで、アクチュエータプレート４２のうち、チャネル列４２１に隣接する端縁と、チャネル列４２２に隣接する端縁とは、駆動電極Ｅｄと制御部（インクジェットヘッド４における後述する制御部４０）との間を電気的に接続する、フレキシブルプリント基板４４が実装されている。このフレキシブルプリント基板４４に形成された配線パターン（不図示）は、上記したコモン端子Ｔｃおよびアクティブ端子Ｔａに対して電気的に接続されている。これにより、フレキシブルプリント基板４４を介して、後述する制御部４０から各駆動電極Ｅｄに対して、駆動電圧が印加されるようになっている。
【００５３】
（カバープレート４３）
カバープレート４３は、図３に示したように、アクチュエータプレート４２における各チャネルＣ１，Ｃ２（各チャネル列４２１，４２２）を閉塞するように配置されている。具体的には、このカバープレート４３は、アクチュエータプレート４２の上面に、接着層４６Ｂを介して固定されており、板状構造となっている。
【００５４】
カバープレート４３には、図３に示したように、出口側共通インク室４３１と、一対の入口側共通インク室４３２，４３３とが形成されている。具体的には、出口側共通インク室４３１は、アクチュエータプレート４２におけるチャネル列４２１（複数のチャネルＣ１）およびチャネル列４２２（複数のチャネルＣ２）に対応する領域に形成されている。入口側共通インク室４３２は、アクチュエータプレート４２におけるチャネル列４２１（複数のチャネルＣ１）に対応する領域に形成されている。入口側共通インク室４３３は、アクチュエータプレート４２におけるチャネル列４２２（複数のチャネルＣ２）に対応する領域に形成されている。
【００５５】
出口側共通インク室４３１は、各チャネルＣ１，Ｃ２におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている。出口側共通インク室４３１には、流路プレート４５の排出側流路（図示せず）が連結されており、流路プレート４５の排出側流路を介してインク９が排出される。この出口側共通インク室４３１において、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに対応する領域には、カバープレート４３をその厚み方向に沿って貫通する排出スリット（図示せず）が形成されている。
【００５６】
入口側共通インク室４３２は、図３に示したように、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている。入口側共通インク室４３２には、流路プレート４５の供給側流路（図示せず）が連結されており、流路プレート４５の供給側流路を介してインク９が流入する。同様に、入口側共通インク室４３３は、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている。入口側共通インク室４３３には、流路プレート４５の供給側流路（図示せず）が連結されており、流路プレート４５の供給側流路を介してインク９が流入する。
【００５７】
このようにして、出口側共通インク室４３１および入口側共通インク室４３２，４３３は、それぞれ、供給スリットおよび排出スリットを介して各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに連通する一方、各非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄには連通していない。すなわち、各非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、これら出口側共通インク室４３１および入口側共通インク室４３２，４３３における底部によって、閉塞されている。
【００５８】
（流路プレート４５）
流路プレート４５は、図８に示したように、カバープレート４３の上面に配置されており、インク９が流れる所定の流路（上述の供給側流路および排出側流路）を有している。また、このような流路プレート４５内の流路には、前述した循環機構５における流路が接続されており、この流路に対するインク９の流入と、この流路からのインク９の流出とが、それぞれなされるようになっている。なお、上述したように、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄはカバープレート４３の底部によって閉塞されるようになっているので、インク９は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのみに供給され、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄには流入しない。
【００５９】
（制御部４０）
ここで、本実施の形態に係るインクジェットヘッド４にはまた、図２に示したように、プリンタ１における各種動作の制御を行う、制御部４０が設けられている。この制御部４０は、例えば、プリンタ１における画像や文字等の記録動作（インクジェットヘッド４におけるインク９の噴射動作）の他、前述した送液ポンプ５２ａ，５２ｂ等における各動作を制御するようになっている。このような制御部４０は、例えば、演算処理部と各種メモリからなる記憶部とを有する、マイクロコンピュータにより構成されている。
【００６０】
［インクジェットヘッド４の製造方法］
次に、図９Ａ〜図１１Ｂを用いてインクジェットヘッド４の製造方法について説明する。図９Ａ，図９Ｂは、インクジェットヘッド４の製造方法の一例を表す流れ図であり、図１０Ａ〜図１０Ｈは、図９Ａ，図９Ｂに示した各工程について説明するための断面模式図である。図１０Ａ〜図１０Ｈに示した断面図は、図３に示したＣ−Ｃ線に沿った断面図（図８参照）に対応している。図１１Ａは、図９Ａに示したステップＳ３の蒸着マスク設置工程を表す平面模式図、図１１Ｂは、これに対応する断面模式図である。以下では、主に、アクチュエータプレート４２の製造工程について説明する。
【００６１】
まず、アクチュエータプレート４２を構成するための圧電基板４２Ｚを準備し、この圧電基板４２Ｚの表面（アクチュエータプレート４２の表面４２ｆ１となる面）に、レジスト膜のパターンＲＰ１を形成する（図９ＡのステップＳ１）。次いで、圧電基板４２Ｚに吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを形成する（図９ＡのステップＳ２）。以下、このステップＳ１，Ｓ２について図１０Ａ，図１０Ｂを用いて説明する。
【００６２】
図１０Ａは、圧電基板４２Ｚの準備工程を表している。まず、厚さ方向（Ｚ軸方向）に分極処理された２枚の圧電ウエハ（圧電ウエハ４２ａＺおよび圧電ウエハ４２ｂＺ）を用意し、各々の分極方向が逆向きとなるようにそれらを積層する。そののち、必要に応じて圧電ウエハ４２ａＺに対し研削加工を行い、圧電ウエハ４２ａＺの厚さを調整する。このときの圧電ウエハ４２ａＺの表面が表面４２ｆ１となる。これにより、圧電基板４２Ｚが形成される。
【００６３】
次いで、圧電基板４２Ｚの表面にレジスト膜のパターンＲＰ１を形成し、続いて、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを形成する（図１０Ｂ）。レジスト膜のパターンＲＰ１は、コモン電極Ｅｄｃ等を形成する際のマスクとして機能するものであり、上述の圧電基板４２Ｚの表面上に形成する。レジスト膜のパターンＲＰ１は、複数の吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを形成すべき所定の位置に、複数の吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに対応する開口を複数有していてもよい。なお、レジスト膜のパターンＲＰ１はドライレジストにより形成してもよいし、ウェットレジストにより形成してもよい。
【００６４】
吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅは、図示しないダイシングブレード等により、圧電基板４２Ｚの表面から切削加工を行うことにより形成する。具体的には、圧電基板４２Ｚのうち、レジスト膜のパターンＲＰ１により覆われていない露出部分を掘り下げることにより、複数の吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅがＸ軸方向に間隔をあけて平行をなすように、かつ交互に並ぶように形成する。圧電基板４２Ｚの表面には、開口ｈ１（または開口ｈ４）が形成される。
【００６５】
吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを形成した後、本実施の形態では、図１１Ａ，図１１Ｂに示したように、圧電基板４２Ｚの表面に蒸着マスクＤＭを形成する（図９ＡのステップＳ３）。蒸着マスクＤＭは、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ（開口ｈ１，ｈ４）の延在方向（Ｙ軸方向）の両端部を選択的に覆うものである。このような蒸着マスクＤＭを形成しておくことにより、後の第１蒸着部Ｅｄｃ−１の形成工程（図９ＡのステップＳ４）の際に、第１蒸着部Ｅｄｃ−１が吐出チャネルＣ１ｅのＹ軸方向の両端部に形成されない。したがって、コモン電極Ｅｄｃでは、開口ｈ１，ｈ４側の表面側部分Ｅｄｃ−ｕのＹ軸方向の大きさが、裏面側部分Ｅｄｃ−ｄのＹ軸方向の大きさよりも小さくなる（図７参照）。
【００６６】
蒸着マスクＤＭは、例えば、ＳＵＳ（Stainless Used Steel）等の金属材料により構成されている。蒸着マスクＤＭで覆われる吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの両端部の領域Ｌの大きさについては、後述する。
【００６７】
圧電基板４２Ｚの表面に蒸着マスクＤＭを形成した後、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内側面にコモン電極Ｅｄｃの一部を構成する第１蒸着部Ｅｄｃ−１を形成する（図９ＡのステップＳ４）。次いで、レジスト膜のパターンＲＰ１を除去する（図９ＡのステップＳ５）。この後、圧電基板４２Ｚの表面にカバープレート４３を貼り合わせる（図９ＡのステップＳ６）。以下、このステップＳ４，Ｓ５，Ｓ６について図１０Ｃ，図１０Ｄを用いて説明する。
【００６８】
第１蒸着部Ｅｄｃ−１は、図１０Ｃに示したように、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内側面に形成された金属被膜ＭＦ１により構成される。金属被膜ＭＦ１は、例えば、開口ｈ１，ｈ４側（圧電基板４２Ｚの表面側）から複数の吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内側面およびレジストパターンＲＰ１上に導電材料を蒸着させて形成する。このとき、内側面に対して斜め方向（例えば、後述の図１２の入射角β）から金属被膜Ｍ１の構成材料を付着させる傾斜蒸着を行うことにより、Ｚ軸方向において吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの深い位置まで金属被膜ＭＦ１（第１蒸着部Ｅｄｃ−１）が形成される。
【００６９】
ここでは、上述のように、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのＹ軸方向の両端部が、蒸着マスクＤＭで覆われているので、開口ｈ１，ｈ５側のＹ軸方向の両端部には、第１蒸着部Ｅｄｃ−１が形成されない。蒸着マスクＤＭで覆われた吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの領域ＬよりもＹ軸方向の内側に、第１蒸着部Ｅｄｃ−１が形成される。この第１蒸着部Ｅｄｃ−１が、主に、コモン電極Ｅｄｃの表面側部分Ｅｄｃ−ｕを構成する。
【００７０】
なお、金属被膜ＭＦ１を形成する前段階において、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内側面に付着したレジストなどの残渣を除去するディスカム処理を適宜行うようにしてもよい。
【００７１】
金属被膜ＭＦ１を形成した後、図１０Ｄに示したように、レジストパターンＲＰ１を除去し（リフトオフ法）、接着剤４６Ｂを用いて、圧電基板４２Ｚの表面にカバープレート４３を接合する。ここでレジストパターンＲＰ１を除去することにより、金属被膜ＭＦ１のうち吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内側面を覆う部分（第１蒸着部Ｅｄｃ−１）のみが残存する。
【００７２】
リフトオフ法では、金属被膜ＭＦ１に起因したバリが生じやすい。このようなバリが多く発生するとバリの除去工程が必要となる。金属被膜ＭＦ１に起因したバリは、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）の両端部に生じやすい。ここでは、上記のように、開口ｈ１，ｈ５側のＹ軸方向の両端部に第１蒸着部Ｅｄｃ−１が形成されないので、リフトオフ法を用いて第１蒸着部Ｅｄｃ−１を形成しても、リフトオフ法に起因したバリが発生しにくい。よって、バリの除去工程を省略することが可能であり、工程数を抑えることが可能となる。
【００７３】
圧電基板４２Ｚの表面にカバープレート４３を貼り合わせた後、圧電基板４２Ｚを裏面側（圧電ウェハ４２ｂＺ側）から研削する（図９ＡのステップＳ７）。
【００７４】
図１０Ｅは、ステップＳ７の模式的な構成を表している。このように、圧電ウエハ４２ｂＺを裏面（圧電ウエハ４２ａＺと反対側の面）から研削加工を行い、圧電ウエハ４２ｂＺの厚さを調整する。このときの圧電ウエハ４２ｂＺの裏面が裏面４２ｆ２となる。この研削加工は、複数の吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを露出させるまで行う。これにより、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに連通する裏面４２ｆ２の開口ｈ５（または開口ｈ８）が形成される。これにより、いわゆるシェブロンタイプのアクチュエータプレート４２が形成される。
【００７５】
ここで、蒸着マスクＤＭで覆われる吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの両端部の領域Ｌについて説明する。
【００７６】
蒸着マスクＤＭは、後に形成される第１蒸着部Ｅｄｃ−１（ステップＳ４）の深さＤｉが、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの深さＤよりも大きくなる部分を含むように、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの両端部を覆うことが好ましい。換言すれば、蒸着マスクＤＭで覆われる吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの両端部の領域Ｌ（図１１Ｂ参照）では、蒸着マスクＤＭを設けない場合に、第１蒸着部Ｅｄｃ−１が、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅよりも深く形成され、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの底面に蒸着材料が付着する。ステップＳ４で吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの底面に蒸着材料が付着していると、ステップＳ７で圧電ウエハ４２ｂＺを裏面から研削加工した際に、圧電ウエハ４２ｂＺとともに蒸着材料が研削される。これにより、アクチュエータプレート４２の裏面４２ｆ２にバリができ、バリの除去工程が必要となる。
【００７７】
このような領域Ｌを蒸着マスクＤＭで覆うことにより、ステップＳ４で領域Ｌに第１蒸着部Ｅｄｃ−１が形成されないので、ステップＳ７の際に、アクチュエータプレート４２の裏面４２ｆ２でのバリの発生を抑えることができる。よって、バリの除去工程を省略し、工程数を抑えることが可能となる。
【００７８】
このように、領域Ｌは、第１蒸着部Ｅｄｃ−１の深さＤｉが吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの深さＤよりも大きくなる部分を含んでいることが好ましい。第１蒸着部Ｅｄｃ−１の深さＤｉは、例えば、以下の式（１）を用いて表される。
Ｄｉ＝ｓ/ｔａｎ（β―θ）―ｒ  ・・・・・（１）
ただし、ｓ：吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅチャネルの幅
β：第１蒸着部Ｅｄｃ−１を形成する際の蒸着の入射角
θ：圧電基板４２Ｚの傾き角
ｒ：レジスト膜（パターンＲＰ１）の厚み
【００７９】
図１２は、上記の吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの深さＤ、第１蒸着部Ｅｄｃ−１の深さＤｉ、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの幅ｓ、入射角β、傾き角θおよびレジスト膜（パターンＲＰ１）の厚みｒの関係を模式的に表している。吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの深さＤは、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのＺ軸方向の大きさであり、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの幅ｓは、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのＸ軸方向の大きさである。入射角βは、鉛直方向Ｖに対する蒸着方向の為す角度であり、傾き角θは、鉛直方向Ｖに対する圧電基板４２Ｚの為す角度である。レジスト膜（パターンＲＰ１）の厚みｒは、レジスト膜のＺ軸方向の大きさである。
【００８０】
アクチュエータプレート４２の裏面４２ｆ２に吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの開口ｈ５（または開口ｈ８）を形成した後、裏面４２ｆ２レジスト膜のパターンＲＰ２を形成する（図９ＢのステップＳ８）。次いで、アクチュエータプレート４２に非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄを形成する（図９ＢのステップＳ９）。以下、このステップＳ８，Ｓ９について図１０Ｆを用いて説明する。
【００８１】
アクチュエータプレート４２の裏面４２ｆ２に形成するレジスト膜のパターンＲＰ２は、アクティブ電極Ｅｄａおよび後述の第２蒸着部Ｅｄｃ−２等を形成する際のマスクとして機能するものである。このレジスト膜のパターンＲＰ２は、複数の吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅおよび複数の非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄを形成すべき所定の位置に、複数の吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅおよび複数の非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに対応する開口を複数有していてもよい。なお、レジスト膜のパターンＲＰ２はドライレジストにより形成してもよいし、ウェットレジストにより形成してもよい。
【００８２】
アクチュエータプレート４２の裏面４２ｆ２にレジスト膜のパターンＲＰ２を形成した後、図示しないダイシングブレード等により、アクチュエータプレート４２の裏面４２ｆ２から切削加工を行う。これにより非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄが形成される。アクチュエータプレート４２の裏面４２ｆ２には、非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの開口ｈ６（または開口ｈ７）が形成され、表面４２ｆ１には開口ｈ２（または開口ｈ３）が形成される。非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄを形成する際の切削加工では、アクチュエータプレート４２が厚み方向に貫通されるとともに、カバープレート４３の厚み方向の一部が切削されてもよい。
【００８３】
アクチュエータプレート４２に、複数の非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄを形成した後、この非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの内側面にアクティブ電極Ｅｄａを形成するとともに、複数の吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内側面に第２蒸着部Ｅｄｃ−２を形成する（図９ＢのステップＳ１０）。
【００８４】
図１０Ｇは、このステップＳ１０の構成を模式的に表している。第２蒸着部Ｅｄｃ−２は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内側面に形成された金属被膜ＭＦ２により構成され、アクティブ電極Ｅｄａは、非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの内側面に形成された金属被膜ＭＦ２により構成される。金属被膜ＭＦ２は、例えば、開口ｈ５，ｈ６，ｈ７，ｈ８側（裏面４２ｆ２側）から複数の吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅおよび複数の非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの内側面と、レジストパターンＲＰ２上に導電材料を蒸着させて形成する。このとき、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内側面では、金属被膜ＭＦ２（第２蒸着部Ｅｄｃ−２）が第１蒸着部Ｅｄｃ−１と接し、あるいは、金属被膜Ｍ２の一部が第１蒸着部Ｅｄｃ−１の一部と重なり合うようにするとよい。第２蒸着部Ｅｄｃ−２が、主に、コモン電極Ｅｄｃの裏面側部分Ｅｄｃ−ｄを構成する。裏面側部分Ｅｄｃ−ｄの一部が、第１蒸着部Ｅｄｃ−１により構成されていてもよく、表面側部分Ｅｄｃ−ｕの一部が、第２蒸着部Ｅｄｃ−２により構成されていてもよい。第１蒸着部Ｅｄｃ−１を形成した後、第２蒸着部Ｅｄｃ−２を形成することにより、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内側面にコモン電極Ｅｄｃが形成される。
【００８５】
金属被膜ＭＦ２を形成した後、レジストパターンＲＰ２を除去する（図９ＢのステップＳ１１）。ここでレジストパターンＲＰ２を除去する（リフトオフ法）ことにより、図１０Ｈに示したように、金属被膜ＭＦ２のうち吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内側面を覆う部分（第２蒸着部Ｅｄｃ−２）と、非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの内側面を覆う部分（アクティブ電極Ｅｄａ）とが分離される。
【００８６】
このように、コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａを形成したアクチュエータプレート４２に、接着剤４６Ａを用いて、ノズルプレート４１を貼り合わせる（図９ＢのステップＳ１２）。更に、カバープレート４３に、流路プレート４５を貼り合わせる。
【００８７】
例えば、このようにして本実施形態のインクジェットヘッド４を製造することができる。
【００８８】
［プリンタ１の基本動作］
このプリンタ１では、以下のようにして、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作（印刷動作）が行われる。なお、初期状態として、図１に示した４種類のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）にはそれぞれ、対応する色（４色）のインク９が十分に封入されているものとする。また、インクタンク３内のインク９は、循環機構５を介してインクジェットヘッド４内に充填された状態となっている。
【００８９】
このような初期状態において、プリンタ１を作動させると、搬送機構２ａ，２ｂにおけるグリッドローラ２１がそれぞれ回転することで、グリッドローラ２１とピンチローラ２２と間に、記録紙Ｐが搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送される。また、このような搬送動作と同時に、駆動機構６３における駆動モータ６３３が、プーリ６３１ａ，６３１ｂをそれぞれ回転させることで、無端ベルト６３２を動作させる。これにより、キャリッジ６２がガイドレール６１ａ，６１ｂにガイドされながら、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って往復移動する。そしてこの際に、各インクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）によって、４色のインク９を記録紙Ｐに適宜吐出させることで、この記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作がなされる。
【００９０】
［インクジェットヘッド４における詳細動作］
続いて、図１〜図８を参照して、インクジェットヘッド４における詳細動作（インク９の噴射動作）について説明する。すなわち、本実施の形態のインクジェットヘッド４（サイドシュートタイプ，循環式のインクジェットヘッド）では、以下のようにして、せん断（シェア）モードを用いたインク９の噴射動作が行われる。
【００９１】
まず、上記したキャリッジ６２（図１参照）の往復移動が開始されると、制御部４０は、フレキシブルプリント基板４４を介して、インクジェットヘッド４内の駆動電極Ｅｄ（コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａ）に対し、駆動電圧を印加する。具体的には、制御部４０は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを画成する一対の駆動壁Ｗｄに配置された各駆動電極Ｅｄに対し、駆動電圧を印加する。これにより、これら一対の駆動壁Ｗｄがそれぞれ、その吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに隣接する非吐出チャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ側へ、突出するように変形する（図５，図６、図８参照）。
【００９２】
このように、一対の駆動壁Ｗｄによる屈曲変形によって、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大する。そして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大することにより、出口側共通インク室４３１内に貯留されたインク９が、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されることになる（図３参照）。
【００９３】
次いで、このようにして吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されたインク９は、圧力波となって吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内部に伝播する。そして、ノズルプレート４１のノズル孔Ｈ１，Ｈ２にこの圧力波が到達したタイミングで、駆動電極Ｅｄに印加される駆動電圧が、０（ゼロ）Ｖとなる。これにより、上記した屈曲変形の状態から駆動壁Ｗｄが復元する結果、一旦増大した吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が、再び元に戻ることになる（図５参照）。
【００９４】
このようにして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が元に戻ると、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内部の圧力が増加し、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９が加圧される。その結果、液滴状のインク９が、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２を通って外部へと（記録紙Ｐへ向けて）吐出される（図５，図６、図８参照）。このようにしてインクジェットヘッド４におけるインク９の噴射動作（吐出動作）がなされ、その結果、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作が行われることになる。特に、本実施の形態のノズル孔Ｈ１，Ｈ２はそれぞれ、前述したように、下方に向かうに従って漸次縮径するテーパー状となっているため（図５参照）、インク９を高速度で真っ直ぐに（直進性良く）吐出することができる。よって、高画質な記録を行うことが可能となる。
【００９５】
[作用・効果］
次に、本開示の一実施の形態に係るヘッドチップ４ｃ、インクジェットヘッド４およびプリンタ１の作用・効果について説明する。
【００９６】
本実施の形態のヘッドチップ４ｃでは、コモン電極Ｅｄｃが開口ｈ１，ｈ４側の表面側部分Ｅｄｃ−ｕと、開口ｈ５，ｈ８側の裏面側部分Ｅｄｃ−ｄとを有しており、表面側部分Ｅｄｃ−ｕのＹ軸方向の大きさが、裏面側部分Ｅｄｃ−ｄのＹ軸方向の大きさと同じ、あるいは、裏面側部分Ｅｄｃ−ｄのＹ軸方向の大きさよりも小さくなっている。これにより、以下の比較例に係るヘッドチップ１０４ｃ（図１３）に比べて、コモン電極Ｅｄｃの電極面積の増加を抑えることができる。
【００９７】
図１３は、比較例に係るヘッドチップ１０４ｃの要部の模式的な断面構成を表している。このヘッドチップ１０４ｃでは、コモン電極Ｅｄｃが開口ｈ１側の表面側部分Ｅｄｃ−ｕと、開口ｈ５側の裏面側部分Ｅｄｃ−ｄとを有しているが、表面側部分Ｅｄｃ−ｕのＹ軸方向の大きさが、裏面側部分Ｅｄｃ−ｄのＹ軸方向の大きさよりも大きくなっている。このような表面側部分Ｅｄｃ−ｕは、例えば、開口ｈ１側から蒸着マスク（例えば、図１１Ａ，図１１Ｂの蒸着マスクＤＭ）を設けずに、導電材料を蒸着することにより形成されており、表面側部分Ｅｄｃ−ｕのＹ軸方向の大きさは、開口ｈ１のＹ軸方向の大きさと略同じである。
【００９８】
このようなコモン電極Ｅｄｃは電極面積が大きいため、電流量および消費電力が大きくなる。加えて、発熱量も大きいので、制御部４０等の電子部品の故障を引き起こしやすい。また、表面側部分Ｅｄｃ−ｕのＹ軸方向の大きさが、ノズル孔Ｈ１側の開口ｈ５のＹ軸方向の大きさよりも大きくなっている。即ち、吐出に寄与しない部分の駆動壁Ｗｄにコモン電極Ｅｄｃ（表面側部分Ｅｄｃ−ｕ）が形成されている。この部分のコモン電極Ｅｄｃに起因して浮遊容量が発生し、意図しない駆動壁Ｗｄの駆動、即ち、ノイズが発生するおそれがある。このノイズの発生は、吐出速度のばらつきを引き起こす。更に、コモン電極Ｅｄｃを構成する金（Ａｕ）等に起因してコストがかさむ。
【００９９】
これに対し、本実施の形態では、例えば、開口ｈ１，ｈ４側から吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内側面に導電材料を蒸着する際に、開口ｈ１のＹ軸方向の両端部に蒸着マスクＤＭを設けることにより、表面側部分Ｅｄｃ−ｕのＹ軸方向の大きさを、裏面側部分Ｅｄｃ−ｄのＹ軸方向の大きさと同じ、あるいは、裏面側部分Ｅｄｃ−ｄのＹ軸方向の大きさよりも小さくしている。これにより、ヘッドチップ１０４ｃに比べて、電極面積が小さくなる。よって、電流量の増加を抑え、消費電力を抑えることが可能となる。加えて、発熱量を減少させ、制御部４０等の電子部品を良好な状態に維持することが可能となる。また、表面側部分Ｅｄｃ−ｕのＹ軸方向の大きさが、開口ｈ５，ｈ８のＹ軸方向の大きさ以下であるので、浮遊容量に起因したノイズの発生が抑えられる。したがって、吐出速度のバラツキが少なくなり、画質を向上させることが可能となる。更に、コモン電極Ｅｄｃに要するコストを抑えることが可能となる。
【０１００】
また、上記のように、開口ｈ１，ｈ４のＹ軸方向の両端部には、第１蒸着部Ｅｄｃ−１が形成されないので、アクチュエータプレート４２の裏面４２ｆ２の開口ｈ５，ｈ８を形成する際（図１０Ｅ参照）に、アクチュエータプレート４２の裏面４２ｆ２にバリが発生しにくくなる。このためバリの除去工程を省略し、工程数を抑えることが可能となる。
【０１０１】
特に、第１蒸着部Ｅｄｃ−１の深さＤｉが、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの深さＤよりも大きくなる部分を蒸着マスクＤＭで覆うことにより、より効果的にアクチュエータプレート４２の裏面４２ｆ２のバリを抑えることができる。
【０１０２】
また、本実施の形態のヘッドチップ４ｃでは、コモン電極Ｅｄｃが、表面４２ｆ１の開口ｈ１，ｈ４側からの蒸着により形成された第１蒸着部Ｅｄｃ−１と、裏面４２ｆ２の開口ｈ５，ｈ８側からの蒸着により形成された第２蒸着部Ｅｄｃ−２とを含んでいる。これにより、コモン電極Ｅｄｃを表面４２ｆ１側または裏面４２ｆ２側のいずれか一方のみから形成した場合と比較して、複数の吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅがそれぞれ高アスペクト比を有する場合であっても、その内側面（駆動壁Ｗｄ）を、表面４２ｆ１から裏面４２ｆ２に至るまで連続して覆うことができる。したがって、複数の吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにそれぞれ形成されるコモン電極Ｅｄｃの面積のばらつきが低減され、各吐出チャネル吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅからのインク９の吐出量やインク９の吐出速度のばらつきを低減できる。
【０１０３】
また、第１蒸着部Ｅｄｃ−１を表面４２ｆ１（開口ｈ１，ｈ４）側から蒸着すると共に第２蒸着部Ｅｄｃ−ｄを裏面４２ｆ２（開口ｈ５，ｈ８）側から蒸着するようにしたので、第１蒸着部Ｅｄｃ−１の膜質および第２蒸着部Ｅｄｃ−ｄの膜質をそれぞれ均質化でき、コモン電極Ｅｄｃにおける全体としての膜質の低下を抑制できる。
【０１０４】
また、複数の吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに形成されるコモン電極Ｅｄｃの面積のばらつきが低減されることにより、ヘッドチップ４ｃ内の静電容量のばらつきが低減され、インク吐出時のヘッドチップ４ｃ内の温度のばらつきが緩和される。その結果、温度センサによる制御性が向上し、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅからのインク９の吐出量やインク９の吐出速度のばらつきを低減できる。
【０１０５】
以上のように本実施の形態のヘッドチップ４ｃ、インクジェットヘッド４およびプリンタ１では、コモン電極Ｅｄｃの表面側部分Ｅｄｃ−ｕのＹ軸方向の大きさを、裏面側部分Ｅｄｃ−ｄのＹ軸方向の大きさと同じ、あるいは裏面側部分Ｅｄｃ−ｄのＹ軸方向の大きさよりも小さくするようにしたので、コモン電極Ｅｄｃの電極面積の増加を抑えることができる。よって、浮遊容量を抑え、画質を向上させることが可能となる。また、電流量の増加を抑え、消費電力を抑えることが可能となる。更に、駆動電極Ｅｄ（コモン電極Ｅｄｃ）に要するコストを抑えることが可能となる。
【０１０６】
＜２．変形例＞
続いて、上記実施の形態の変形例について説明する。なお、実施の形態における構成要素と実質的に同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
【０１０７】
図１４は、上記実施の形態の変形例に係るインクジェットヘッド４Ａの要部の模式的な断面構成を表している。このインクジェットヘッド４Ａは、ノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２、カバープレート４３、流路プレート４５および封止プレート４８を含んでいる。インクジェットヘッド４Ａは、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（図１４のＺ軸方向）の先端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのインクジェットヘッドである。この点を除き、変形例に係るインクジェットヘッド４Ａの構成は、上記実施の形態で説明したインクジェットヘッド４の構成と略同じであり、上記実施の形態で説明したインクジェットヘッド４と同様の効果が得られる。
【０１０８】
インクジェットヘッド４Ａでは、流路プレート４５、カバープレート４３、アクチュエータプレート４２および封止プレート４８がこの順に重ねて設けられ、これらと略垂直にノズルプレート４１が配置されている。
【０１０９】
流路プレート４５のカバープレート４３との対向面には、共通インク室４３１に連通する供給側流路４５１が設けられている。カバープレート４３は、流路プレート４１側に開口する共通インク室４３１と、共通インク室４３１に連通すると共にアクチュエータプレート４２側に開口するスリット４３０とを有している。スリット４３０は、カバープレート４３に複数設けられており、この複数のスリット４３０は、複数の吐出チャネルＣ１ｅに対応する位置に設けられている。共通インク室４３１は、複数のスリット４３０に対し共通に設けられており、複数のスリット４３０を通じて各吐出チャネルＣ１ｅと連通している。
【０１１０】
封止プレート４８は、アクチュエータプレート４２を間にしてカバープレート４３に対向している。即ち、封止プレート４８とカバープレート４３とによって、複数の吐出チャネルＣ１ｅおよび複数のダミーチャネルＣ１ｄが閉塞されるようになっている。封止プレート４８は、開口や切り欠き、溝などを有しなくともよい。すなわち、単純な直方体でよいので、その構成材料として加工の困難な機能性材料や、高い加工精度が得にくい低価格材料を用いることもできる。すなわち、材料種の選択の自由度が向上する。
【０１１１】
アクチュエータプレート４２は、カバープレート４３に対向する表面４２ｆ１と、封止プレート４８に対向する裏面４２ｆ２とを有している。上記実施の形態で説明したのと同様に、表面４２ｆ１の開口ｈ１の吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（Ｚ軸方向）の大きさは、裏面４２ｆ２の開口ｈ５のＺ軸方向の大きさよりも大きくなっている。吐出チャネルＣ１ｅの内側面に設けられたコモン電極Ｅｄｃでは、開口ｈ１側の表面側部分Ｅｄｃ−ｕのＺ軸方向の大きさが、開口ｈ５側の裏面側部分Ｅｄｃ−ｄのＺ軸方向の大きさと同じ、あるいは、裏面側部分Ｅｄｃ−ｄのＺ軸方向の大きさよりも小さくなっている。例えば、表面側部分Ｅｄｃ−ｕおよび裏面側部分Ｅｄｃ−ｄは、ともに、ノズルプレート４１側の吐出チャネルＣ１ｅの端部からＺ軸方向に延在している。即ち、表面側部分Ｅｄｃ−ｕ、裏面側部分Ｅｄｃ−ｄ各々の一方の端部の位置は、Ｚ軸方向において略同じである。例えば、表面側部分Ｅｄｃ−ｕの他方の端部の位置は、Ｚ軸方向において、裏面側部分Ｅｄｃ−ｄの他方の端部の位置よりも、ノズルプレート４１側に設けられている。
【０１１２】
このようなエッジシュートタイプのインクジェットヘッド４Ａも、表面側部分Ｅｄｃ−ｕのＺ軸方向の大きさを、裏面側部分Ｅｄｃ−ｄのＺ軸方向の大きさと同じ、あるいは、裏面側部分Ｅｄｃ−ｄのＺ軸方向の大きさよりも小さくすることにより、コモン電極Ｅｄｃの電極面積の増加を抑えることができる。
【０１１３】
＜３．その他の変形例＞
以上、実施の形態を挙げて本開示を説明したが、本開示はこの実施の形態に限定されず、種々の変形が可能である。
【０１１４】
例えば、上記実施の形態では、プリンタ１およびインクジェットヘッド４，４Ａにおける各部材の構成例（形状、配置、個数等）を具体的に挙げて説明したが、上記実施の形態で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。また、上記実施の形態で説明した各種パラメータの値や範囲、大小関係等についても、上記実施の形態で説明したものには限られず、他の値や範囲、大小関係等であってもよい。
【０１１５】
具体的には、例えば、上記実施の形態では、２列タイプの（２列のノズル列４１１，４１２を有する）インクジェットヘッド４を挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、１列タイプ（１列のノズル列を有する）のインクジェットヘッドや、３列以上の複数例タイプ（３列以上のノズル列を有する）インクジェットヘッドであってもよい。
【０１１６】
また、例えば、上記実施の形態では、ノズル列４１１，４１２がそれぞれＸ軸方向に沿って直線状に延在している場合について説明したが、この例には限らず、例えば、ノズル列４１１，４１２がそれぞれ、斜め方向に延在するようにしてもよい。更に、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の形状についても、上記実施の形態で説明したような円形状には限られず、例えば、三角形状等の多角形状や、楕円形状や星型形状などであってもよい。
【０１１７】
また、例えば、上記実施の形態では、インクジェットヘッド４が循環式となっている場合について説明したが、この例には限らず、例えば、インクジェットヘッド４が循環しない他の方式となっていてもよい。
【０１１８】
また、上記実施の形態では、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例として、プリンタ１（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、この例には限られず、インクジェットプリンタ以外の他の装置にも、本開示を適用することが可能である。換言すると、本開示の「液体噴射ヘッド」（インクジェットヘッド４）や「ヘッドチップ」（ヘッドチップ４ｃ）を、インクジェットプリンタ以外の他の装置に適用するようにしてもよい。具体的には、例えば、ファクシミリやオンデマンド印刷機などの装置に、本開示の「液体噴射ヘッド」や「ヘッドチップ」を適用するようにしてもよい。
【０１１９】
また、上記実施の形態およびその変形例では、プリンタ１の記録対象物は記録紙Ｐであったが、本開示の「液体噴射記録装置」の記録対象物はこれに限られない。例えば、ボール紙、布、プラスチック、金属など、様々な材料にインクを噴射することによって、文字や模様を形成することができる。また、記録対象物は平面形状である必要もなく、食品、タイル等の建材、家具、自動車など様々な立体物の塗装や装飾を行うこともできる。さらに、本開示の「液体噴射記録装置」によって、繊維を捺染することができ、あるいは噴射後にインクを固化させることによって立体造形を行うこともできる（いわゆる３Ｄプリンタ）。
【０１２０】
更に、これまでに説明した各種の例を、任意の組み合わせで適用させるようにしてもよい。
【０１２１】
なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。
【０１２２】
また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
液体に圧力を印加するアクチュエータプレートを備え、前記液体を噴射するヘッドチップであって、
前記アクチュエータプレートは、
表面および裏面と、
所定の方向に延在し、かつ、前記表面に設けられた第１開口と、前記裏面に設けられるとともに、前記所定の方向の長さが前記第１開口よりも短い第２開口とを有するチャネルと、
前記第１開口側の前記チャネルの側壁に設けられた表面側部分と、前記表面側部分よりも前記第２開口側の前記側壁に設けられるとともに前記所定の方向の大きさが前記表面側部分と同じまたは前記表面側部分よりも大きい裏面側部分とを有する電極と
を含むヘッドチップ。
（２）
前記裏面側部分の前記所定の方向の大きさは、前記第２開口の前記所定の方向の長さと同じである
前記（１）に記載のヘッドチップ。
（３）
前記表面側部分の前記所定方向の大きさは、前記第２開口の前記所定の方向の長さよりも小さい
前記（１）または前記（２）に記載のヘッドチップ。
（４）
更に、前記チャネルに連通するノズル孔が設けられたノズルプレートを含む
前記（１）ないし前記（３）のうちいずれか１つに記載のヘッドチップ。
（５）
前記（１）ないし前記（４）のいずれか１つに記載のヘッドチップと、
前記ヘッドチップに前記液体を供給する供給機構と
を備えた液体噴射ヘッド。
（６）
前記（５）に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体を収容する収容部と
を備えた液体噴射記録装置。
（７）
液体に圧力を印加するアクチュエータプレートを備え、前記液体を噴射するヘッドチップの製造方法であって、
前記アクチュエータプレートを形成する工程は、
表面および裏面を有する圧電基板に、所定の方向に延在するとともに、前記表面に第１開口を有するチャネルを形成する工程と、
前記第１開口の前記所定の方向の両端部をマスクで覆う工程と、
前記マスクが設けられた前記第１開口から前記チャネルの側壁に導電材料を蒸着して第１蒸着部を形成する工程と、
前記チャネルに達するように前記圧電基板の前記裏面を研削することにより、前記圧電基板の前記裏面側に、前記所定の方向の長さが前記第１開口よりも短い第２開口を形成する工程と、
前記第２開口から前記チャネルの前記側壁に前記導電材料を蒸着して第２蒸着部を形成し、前記第１蒸着部および前記第２蒸着部を含む電極を形成する工程とを含む
ヘッドチップの製造方法。
（８）
前記アクチュエータプレートを形成する工程は、
更に、前記チャネルを形成した後、前記圧電基板の前記表面にレジスト膜を形成する工程を含み、
前記レジスト膜を形成した後、前記第１蒸着部を形成する
前記（７）に記載のヘッドチップの製造方法。
（９）
前記両端部は、以下の式（１）で表される前記第１蒸着部の深さＤｉが、前記チャネルの深さＤよりも大きくなる部分を含む
前記（８）に記載のヘッドチップの製造方法。
Ｄｉ＝ｓ/ｔａｎ（β―θ）―ｒ  ・・・・・（１）
ただし、ｓ：前記チャネルの幅
β：前記第１蒸着部を形成する際の前記蒸着の入射角
θ：前記圧電基板の傾き角
ｒ：前記レジスト膜の厚み
（１０）
更に、前記第１蒸着部を形成した後、前記圧電基板の前記表面に、カバープレートを貼り合わせる工程を含み、
前記圧電基板の前記表面に前記カバープレートを貼り合わせた後、前記圧電基板の前記裏面を研削して前記第２開口を形成する
前記（７）ないし前記（９）のうちいずれか１つに記載のヘッドチップの製造方法。
【符号の説明】
【０１２３】
１…プリンタ、１０…筺体、２ａ，２ｂ…搬送機構、２１…グリッドローラ、２２…ピンチローラ、３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋ）…インクタンク、４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋ），４Ａ…インクジェットヘッド、４ｃ…ヘッドチップ、４０…制御部、４１…ノズルプレート、４１１，４１２…ノズル列、４２…アクチュエータプレート、４２１，４２２…チャネル列、４３…カバープレート、４３１…入口側共通インク室、４３２，４３３…出口側共通インク室、４４…フレキシブルプリント基板、４５…流路プレート、４５１…供給側流路、４６Ａ，４６Ｂ…接着層、４８…封止プレート、５０…循環流路、５０ａ，５０ｂ…流路、５２ａ，５２ｂ…送液ポンプ、６…走査機構、６１ａ，６１ｂ…ガイドレール、６２…キャリッジ、６３…駆動機構、６３１ａ，６３１ｂ…プーリ、６３２…無端ベルト、６３３…駆動モータ、９…インク、Ｐ…記録紙、ｄ…搬送方向、Ｈ１，Ｈ２…ノズル孔、Ｃ１，Ｃ２…チャネル、Ｃ１ｅ，Ｃ２ｅ…吐出チャネル、Ｃ１ｄ，Ｃ２ｄ…非吐出チャネル、Ｄｄ…浅溝部、Ｅｄ…駆動電極、Ｅｄｃ…コモン電極、Ｅｄｃ−ｕ…表面側部分、Ｅｄｃ−ｄ…裏面側部分、Ｅｄｃ−１…第１蒸着部、Ｅｄｃ−２…第２蒸着部、Ｅｄａ…アクティブ電極、ｈ１，ｈ２，ｈ３，ｈ４，ｈ５，ｈ６，ｈ７，ｈ８…開口、Ｈ１，Ｈ２…ノズル孔、Ｔｃ…コモン端子、Ｔａ…アクティブ端子、Ｗｄ…駆動壁。
【図１】
2020075449.tif 000003
【図２】
2020075449.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2020075449.tif 000009
【図８】
2020075449.tif 000010
【図９Ａ】
2020075449.tif 000011
【図９Ｂ】
2020075449.tif 000012
【図１０Ａ】
2020075449.tif 000013
【図１０Ｂ】
2020075449.tif 000014
【図１０Ｃ】
2020075449.tif 000015
【図１０Ｄ】
2020075449.tif 000016
【図１０Ｅ】
2020075449.tif 000017
【図１０Ｆ】
2020075449.tif 000018
【図１０Ｇ】
2020075449.tif 000019
【図１０Ｈ】
2020075449.tif 000020
【図１１Ａ】
2020075449.tif 000021
【図１１Ｂ】
2020075449.tif 000022
【図１２】
2020075449.tif 000023
【図１３】
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【図１４】
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