(57)【要約】【課題】精製効率の低下を抑制できるフィルタ、フィルタ付き容器、フィルタ部材、精製装置、および、精製物質の製造方法を提供する。【解決手段】フィルタ１０は、物質を気化する工程を含む精製方法に用いられるフィルタであって、シート状であり、少なくとも一部分が湾曲または折れ曲がり、気体を通過させる。【選択図】図２
2020075205.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物質を気化する工程を含む精製方法に用いられるフィルタであって、シート状であり、少なくとも一部分が湾曲または折れ曲がり、気体を通過させる、フィルタ。
【請求項２】
少なくとも一部分が湾曲または折れ曲がり、気体を通過させるフィルタ材であって、精製対象物質を収容するフィルタ材と、
前記フィルタ材の開口部を塞ぐ栓部材とを備える
フィルタ付き容器。
【請求項３】
少なくとも一部分が湾曲または折れ曲がり、気体を通過させるフィルタ材であって、精製対象物質を収容する複数のフィルタ材と、
前記フィルタ材内の内部空間が繋がるように前記複数のフィルタ材を連結する連結部材とを備える
フィルタ付き容器。
【請求項４】
少なくとも一部分が湾曲または折れ曲がり、気体を通過させるフィルタ材であって、内部空間を構成するフィルタ材と、
精製対象物質を収容する精製容器の開口部に、前記フィルタ材を取り付けるための取付部材とを備える
フィルタ部材。
【請求項５】
少なくとも１つの精製容器と、
前記精製容器を収容する外管と、
前記外管内を減圧する減圧装置とを備え、
前記精製容器のうち少なくとも１つは、請求項１に記載のフィルタ、請求項２または請求項３に記載のフィルタ付き容器、または、請求項４に記載のフィルタ部材が配置可能に構成される、精製装置。
【請求項６】
前記外管は、下流側に配置される第１開口端と、前記第１開口端とは反対側の第２開口端とを有し、
前記外管において前記下流側の第１開口端に対向するように配置されるキャップを更に備える
請求項５に記載の精製装置。
【請求項７】
精製対象物質の気体の拡散において気体が通過するところに、請求項１に記載のフィルタ、請求項２または請求項３に記載のフィルタ付き容器、または、請求項４に記載のフィルタ部材を精製容器内に配置する工程と、前記精製容器内を減圧する工程とを含む、精製物質の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物質の精製の際に用いられる、フィルタ、フィルタ付き容器、フィルタ部材、精製装置、および、精製物質の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
昇華精製に関して特許文献１の技術が知られている。特許文献１の技術では、昇華管の管径縮小部にフィルタが配置される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１１１３０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、フィルタが目詰まりすると、気体がフィルタを通過し憎くなり、精製にかかる時間が長くなる虞がある。そこで、精製効率の低下を抑制できるフィルタ、フィルタ付き容器、フィルタ部材、精製装置、および、精製物質の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（１）上記課題を解決するフィルタは、物質を気化する工程を含む精製方法に用いられるフィルタであって、シート状であり、少なくとも一部分が湾曲または折れ曲がり、気体を通過させる。気化は、蒸発および昇華を含む。
【０００６】
この構成によれば、フィルタは、湾曲した部分または折れ曲がった部分を有するため、気体が通過する面の面積が大きくなり、フィルタにおいて目詰まりが生じ難くなる。これにより、精製効率の低下を抑制できる。
【０００７】
（２）上記課題を解決するフィルタ付き容器は、少なくとも一部分が湾曲または折れ曲がり、気体を通過させるフィルタ材であって、精製対象物質を収容するフィルタ材と、前記フィルタ材の開口部を塞ぐ栓部材とを備える。
【０００８】
この構成によれば、フィルタ材は、湾曲した部分または折れ曲がった部分を有するため、気体が通過する面の面積が大きくなり、フィルタ材において目詰まりが生じ難くなる。これにより、精製効率の低下を抑制できる。
【０００９】
（３）上記課題を解決するフィルタ付き容器は、少なくとも一部分が湾曲または折れ曲がり、気体を通過させるフィルタ材であって、精製対象物質を収容する複数のフィルタ材と、前記フィルタ材内の内部空間が繋がるように前記複数のフィルタ材を連結する連結部材とを備える。
【００１０】
この構成によれば、フィルタ材は、湾曲した部分または折れ曲がった部分を有するため、気体が通過する面の面積が大きくなり、フィルタ材において目詰まりが生じ難くなる。これにより、精製効率の低下を抑制できる。
【００１１】
（４）上記課題を解決するフィルタ部材は、少なくとも一部分が湾曲または折れ曲がり、気体を通過させるフィルタ材であって、内部空間を構成するフィルタ材と、精製対象物質を収容する精製容器の開口部に、前記フィルタ材を取り付けるための取付部材とを備える。
【００１２】
この構成によれば、フィルタ材は、湾曲した部分または折れ曲がった部分を有するため、気体が通過する面の面積が大きくなり、フィルタ材において目詰まりが生じ難くなる。これにより、精製効率の低下を抑制できる。
【００１３】
（５）上記課題を解決する精製装置は、少なくとも１つの精製容器と、前記精製容器を収容する外管と、前記外管内を減圧する減圧装置とを備え、前記精製容器のうち少なくとも１つは、上述のフィルタ、フィルタ付き容器、または、フィルタ部材が配置可能に構成される。
【００１４】
この構成によれば、精製装置は、目詰まりが生じ難いフィルタ、フィルタ付き容器、およびフィルタ部材の少なくとも１つを有するため、気体の流通の低下が抑制される。このようにして、精製効率の低下が抑制される。
【００１５】
（６）上記精製装置において、前記外管は、下流側に配置される第１開口端と、前記第１開口端とは反対側の第２開口端とを有し、前記外管において前記下流側の第１開口端に対向するように配置されるキャップを更に備える。
【００１６】
この構成によれば、キャップによって気体の流れが妨げられるため、外管における下流側の第１開口端付近で、気体に含まれる物質が凝縮し易くなる。これによって、キャップを備えない場合に比べて、外管よりも下流側に流れる気体内の不純物質の量を少なくできる。これによって、外管の第１開口端から減圧装置までの間の区間において物質による汚染を抑制できる。
【００１７】
（７）上記課題を解決する精製物質の製造方法は、精製対象物質の気体の拡散において気体が通過するところに、上記フィルタ、上記フィルタ付き容器、または、上記フィルタ部材を精製容器内に配置する工程と、前記精製容器内を減圧する工程とを含む。
【００１８】
この構成によれば、目詰まりが生じ難いフィルタ、フィルタ付き容器、およびフィルタ部材のうちの１つが気体の流通経路の途中に配置されるため、気体の流通の低下が抑制される。これによって、精製効率の低下を抑制できる。
【発明の効果】
【００１９】
上記フィルタ、フィルタ付き容器、フィルタ部材、精製装置、および、精製物質の製造方法によれば、精製効率の低下を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１実施形態に係るフィルタの斜視図。
【図２】第１実施形態に係るフィルタの使用例を示す図。
【図３】第２実施形態に係るフィルタの斜視図。
【図４】第３実施形態に係るフィルタの斜視図。
【図５】第３実施形態に係るフィルタの使用例を示す図。
【図６】第４実施形態に係るフィルタ付き容器の分解図。
【図７】第４実施形態に係るフィルタ付き容器の断面図。
【図８】第４実施形態に係るフィルタ付き容器の使用例を示す図。
【図９】第５実施形態に係るフィルタ付き容器の分解図。
【図１０】第５実施形態に係るフィルタ付き容器の断面図。
【図１１】第６実施形態に係るフィルタ付き容器について、フィルタ母材の斜視図。
【図１２】第６実施形態に係るフィルタ付き容器の分解図。
【図１３】第６実施形態に係るフィルタ付き容器の斜視図。
【図１４】第７実施形態に係るフィルタ付き容器の使用例を示す図。
【図１５】第８実施形態に係るフィルタ部材について、その使用例を示す図。
【図１６】第９実施形態に係るフィルタ部材について、その使用例を示す図。
【図１７】第１０実施形態に係るフィルタ部材について、その使用例を示す図。
【図１８】第１１実施形態に係る精製装置の側面図。
【図１９】第１１実施形態に係る精製装置の平面図。
【図２０】第１１実施形態に係る精製装置の部分断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
＜第１実施形態＞
図１および図２を参照して、第１実施形態に係るフィルタ１０について説明する。
本実施形態に係るフィルタ１０は、物質を気化する工程を含む精製において用いられる。以下に、物質を気化する工程を含む精製方法の一例を説明する。
【００２２】
精製対象物質ＭＡは、一方向に延びる管状の精製容器に収容される。精製容器内は、減圧装置によって、１０−４Ｐａ以上１００Ｐａ以下の所定の圧力まで減圧される。このような減圧下で、精製容器は、外部ヒータによってまたは外管の内部に配置される内部ヒータによって加熱される。精製容器において、長手方向に温度勾配が付けられる。精製容器において精製対象物質ＭＡが配置された部分（以下、「物質配置部分」）は、精製対象物質ＭＡが昇華可能な温度まで加熱される。精製容器は、物質配置部分から下流に向かって温度が下がるように温度勾配が付けられる。精製容器において、物質配置部分よりも下流の所定の部分は、目的の精製物質ＭＢが析出する適度な温度に維持される。このように減圧下で、精製容器に温度勾配を付けることによって、精製物質ＭＢを得ることができる。精製対象物質ＭＡは、固体であっても液体であってもよい。
【００２３】
ところで、減圧下で精製容器を加熱すると、精製対象物質ＭＡが、突沸または突沸に似た状態（以下、総称して突沸状態という。）になることがある。突沸状態とは、精製対象物質ＭＡが粉体の状態で飛び散るような状態を含む。突沸状態になると、気化前の精製対象物質ＭＡが、精製容器において精製物質ＭＢを析出させる部分にまで飛び、精製物質ＭＢの純度が低下する虞がある。このため、精製対象物質ＭＡが気化した気体の流れにおいて、精製対象物質ＭＡよりも下流側にフィルタ１０が配置される。
【００２４】
本実施形態に係るフィルタ１０は、精製において、精製対象物質ＭＡが突沸状態となったときに精製対象物質ＭＡから発生する粉体や液滴をフィルタ１０よりも下流に飛び散ることを阻止する。フィルタ１０は、シート状であり、気体を通過させる。フィルタ１０は、液体を通過させるものであってもよいが、少なくとも飛翔する液滴を通過させないように構成される。精製対象物質ＭＡが液体である場合、フィルタ１０は、液滴の飛び散りを阻止するように構成される。
【００２５】
フィルタ１０は、熱によってガスを発生させないものであることが好ましい。例えば、フィルタ１０は、シリカ繊維、ガラス繊維、フッ素樹脂繊維、カーボンファイバーの少なくとも１種から形成される。具体的には、フィルタ１０は、不織布または織物シートから形成される。フィルタ１０の保持粒子径は、１μｍ以上３０μｍ以下であることが好ましい。フィルタ１０の保持粒子径が３０μｍよりも大きい場合、精製対象物質ＭＡがフィルタ１０を通り抜ける虞があるからである。保持粒子径は、ＪＩＳ−Ｚ−８９０１で規定された７種粉体分散水を自然ろ過したときにおいて、９０％質量以上を保持できる粒子径を示す。フィルタ１０は、多孔質シートにから形成されてもよい。例えば、フィルタ１０は、多孔質のフッ素樹脂シートから形成され得る。
【００２６】
フィルタ１０の厚さは、所定値に設定される。フィルタ１０の厚さが薄すぎると、形態が保持され難くなる。また、フィルタ１０の厚さが大きすぎると、気体の流通が阻害される。このようなことから、フィルタ１０の厚さは、１００μｍ以上５ｍｍ以下であることが好ましい。
【００２７】
フィルタ１０の少なくとも一部分は、湾曲し、または折れ曲がる。フィルタ１０が湾曲する部分または折れ曲がる部分を有することによって、フィルタ１０の表面積が拡大される。フィルタ１０の表面積が拡大されることによって、フィルタ１０において気体が通過できる部分の面積が広がる。
【００２８】
図１に示されるように、本実施形態では、フィルタ１０は、矩形を湾曲させた形状を有する。フィルタ１０は、対向する直線状の２つの辺１１，１１と、対向する湾曲した２つの辺１２，１２とを有する。２つの辺１１，１１は、平行に延びる。フィルタ１０の表面積は、２つの辺１１，１１を含むように構成される仮想の平面フィルタ１０ｘの表面積よりも大きい（図１参照）。
【００２９】
図２に示されるように、本実施形態で示されるフィルタ１０は、筒部１５ａを有する精製容器１５に対して好適に用いられ得る。２つの辺１１，１１の長さは、精製容器１５の筒部１５ａの長さＬＡに等しい。フィルタ１０において湾曲した２つの辺１２，１２の一方は、精製容器１５の底面１５ｂに接触し、他方は、精製容器１５の開口部１５ｃの周囲部１５ｄに接触する。フィルタ１０は、可撓性を有する。フィルタ１０が精製容器１５内に入れられるとき、筒状に丸められる。フィルタ１０は、精製容器１５の内部空間を第１空間ＳＡと第２空間ＳＢとに仕切る。第１空間ＳＡは、開口部１５ｃに繋がる。第２空間ＳＢは、精製対象物質ＭＡが入れられる収容空間を構成する。
【００３０】
本実施形態の作用を説明する。
フィルタ１０は、物質を気化する工程を含む精製方法に用いられる。フィルタ１０は、シート状であり、少なくとも一部分が湾曲し、気体を通過させる。フィルタ１０は、湾曲した部分を有するため、気体が通過する面の面積が大きくなり、フィルタ１０において目詰まりが生じ難くなる。
【００３１】
本実施形態の効果を説明する。
精製の加熱中に突沸が生じる場合であっても、フィルタ１０によって、気化前の状態の精製対象物質ＭＡの拡散が抑制される。また、突沸によって生じる飛散物は、フィルタ１０によって仕切られた空間内に留まる。突沸が生じたとしても、収率の低下を抑制できる。さらに、上述のように、フィルタ１０の目詰まりが生じ難いため、精製効率の低下を抑制できる。
【００３２】
＜第２実施形態＞
図３を参照して、第２実施形態に係るフィルタ２０について説明する。
本実施形態に係るフィルタ２０において第１実施形態と共通する構成は、第１実施形態と同じ符号を付し、その説明を省略する。フィルタ２０の用途、およびフィルタ２０の素材は、第１実施形態に準ずる。
【００３３】
図３に示されるように、本実施形態に係るフィルタ２０は、折れ曲がる。具体的には、フィルタ２０は、複数の山折り部２１と、複数の谷折り部２２とを有する。フィルタ２０において、山折り部２１と谷折り部２２とは、交互に配置されている。山折り部２１と谷折り部２２とは、フィルタ２０において一方の端から他方の端まで延びる。フィルタ２０は、山折り部２１および谷折り部２２の並びの方向に伸縮する。
【００３４】
本実施形態のフィルタ２０は、物質を気化する工程を含む精製方法に用いられる。フィルタ２０は、シート状であり、少なくとも一部分が折れ曲がり、気体を通過させる。フィルタ２０は、折れ曲がった部分を有するため、気体が通過する面の面積が大きくなり、フィルタ２０において目詰まりが生じ難くなる。これにより、精製効率の低下を抑制できる。
【００３５】
＜第３実施形態＞
図４および図５を参照して、第３実施形態に係るフィルタ３０について説明する。
本実施形態に係るフィルタ３０において第１実施形態と共通する構成は、第１実施形態と同じ符号を付し、その説明を省略する。フィルタ３０の用途、およびフィルタ３０の素材は、第１実施形態に準ずる。
【００３６】
図４に示されるように、本実施形態では、フィルタ３０は、準楕円を湾曲させた形状を有する。
図５に示されるように、本実施形態で示されるフィルタ３０は、筒部１５ａを有する精製容器１５に対して好適に用いられ得る。フィルタ３０の外形線は、筒部１５ａの内周面に接触するように構成される。フィルタ３０は、可撓性を有する。フィルタ３０が精製容器１５内に入れられるとき、筒状に丸められる。フィルタ３０は、精製容器１５の内部空間を第３空間ＳＣと第４空間ＳＤとに仕切る。第３空間ＳＣは、開口部１５ｃに繋がる。第４空間ＳＤは、精製対象物質ＭＡが入れられる収容空間を構成する。
【００３７】
本実施形態に係るフィルタ３０は、湾曲した部分を有する。このため、第１実施形態に係るフィルタ１０に準じた効果を奏する。また、このようなフィルタ３０の形状によれば、図５に示されるように、開口部１５ｃが上に向くように精製容器１５が立てられた状態で精製対象物質ＭＡを精製する場合において、精製容器１５内の内部空間を上下に隔てられた２つの空間に仕切ることができる。
【００３８】
＜第４実施形態＞
図６〜図８を参照して、第４実施形態に係るフィルタ付き容器４０について説明する。
本実施形態に係るフィルタ付き容器４０は、物質を気化させる工程を含む精製工程に用いられる。フィルタ付き容器４０は、精製工程において精製対象物質ＭＡが突沸状態となったときに精製対象物質ＭＡから発生する粉体や液滴をフィルタ付き容器４０内に閉じ込める。
【００３９】
フィルタ付き容器４０は、フィルタ材４１と、フィルタ材４１の開口部４４を塞ぐ栓部材４６を備える。フィルタ材４１は、少なくとも一部分が湾曲または折れ曲がり、気体を通過させる。フィルタ材４１は、精製対象物質ＭＡを収容する内部空間ＳＸを有する。
【００４０】
フィルタ材４１は、筒状の筒部４３と、筒部４３の一方端に設けられる開口部４４と、筒部４３において開口部４４と反対側の端を閉じる閉端部４５とを有する。
フィルタ材４１は、気体を通過させる。精製対象物質ＭＡが液体である場合、フィルタ材４１は、液滴の飛び散りを阻止するように構成される。フィルタ材４１を形成する素材は、第１実施形態のフィルタ１０に準ずる。
【００４１】
栓部材４６は、フィルタ材４１の開口部４４を閉塞する閉塞部材４７と、閉塞部材４７をフィルタ材４１に固定する固定部材４８とを備える。閉塞部材４７および固定部材４８は、ガラスまたは石英によって形成される。
【００４２】
閉塞部材４７は、フィルタ材４１に挿入される挿入部４７ａと、手で把持される把持部４７ｂとを備える。
挿入部４７ａは、円形の端面部４７ｃと、円形の端面部４７ｃの周縁に沿うように設けられる第１周壁４７ｄとを有する。第１周壁４７ｄは、フィルタ材４１の開口部４４の内周面に接触するように構成される。
【００４３】
把持部４７ｂは、挿入部４７ａの第１周壁４７ｄよりも大径の第２周壁４７ｅを有する。第２周壁４７ｅは、段差部４７ｆを介して第１周壁４７ｄに接続される。把持部４７ｂは、挿入部４７ａがフィルタ材４１に挿入された状態において、フィルタ材４１の外に出るように構成される。把持部４７ｂは、栓部材４６からフィルタ材４１を取り外すことを目的として閉塞部材４７と固定部材４８との分離するときに、その分離を行い易くするための把持部分である。
【００４４】
固定部材４８は、リング状に形成される。具体的には、固定部材４８は、第１周壁４７ｄよりも大径の第３周壁４８ａを含む。第３周壁４８ａの内周面は、フィルタ材４１の開口部４４の外周面に接触するように構成される。固定部材４８は、フィルタ材４１の外側から開口部４４に嵌められる。フィルタ材４１に栓部材４６が取り付けられた状態において、フィルタ材４１の開口部４４は、閉塞部材４７の第１周壁４７ｄと固定部材４８の第３周壁４８ａとによって挟まれる。このようにして、フィルタ材４１に栓部材４６が取り付けられる。フィルタ材４１の開口部４４が栓部材４６によって閉塞されると、フィルタ材４１内に閉空間が構成される。精製対象物質ＭＡは、フィルタ付き容器４０内に収容される。
【００４５】
図８に示されるように、フィルタ付き容器４０は、精製容器１５内に配置される。フィルタ付き容器４０の向きは限定されない。好ましくは、フィルタ付き容器４０のフィルタ材４１は、栓部材４６よりも下流側に配置される。
【００４６】
本実施形態のフィルタ付き容器４０の作用を説明する。精製工程において、加熱によって気化した物質は、フィルタ材４１と通過してフィルタ付き容器４０の外に出る。精製対象物質ＭＡが突沸状態となったとき、精製対象物質ＭＡから発生する粉体や液滴は、フィルタ付き容器４０内に閉じ込められる。
【００４７】
本実施形態のフィルタ付き容器４０の効果を説明する。
フィルタ付き容器４０は、フィルタ材４１と、フィルタ材４１の開口部４４を塞ぐ栓部材４６とを備える。フィルタ材４１は、少なくとも一部分が湾曲するように構成される。フィルタ材４１は、少なくとも一部分が折れ曲がるように構成されてもよい。この構成によれば、フィルタ材４１は、湾曲した部分または折れ曲がった部分を有するため、気体が通過する面の面積が大きくなり、フィルタ材４１において目詰まりが生じ難くなる。これにより、精製効率の低下を抑制できる。
【００４８】
＜第５実施形態＞
図９および図１０を参照して、第５実施形態に係るフィルタ付き容器５０について説明する。本実施形態に係るフィルタ付き容器５０は、第４実施形態と同様に、精製対象物質ＭＡの精製工程において用いられる。第５実施形態に係るフィルタ付き容器５０において、第４実施形態に係るフィルタ付き容器４０と同じ構成については、説明を省略する。
【００４９】
フィルタ付き容器５０は、複数のフィルタ材５１と、フィルタ材５１内の内部空間ＳＸが繋がるように複数のフィルタ材５１を連結する連結部材５６とを備える。フィルタ材５１は、第４実施形態に係るフィルタ材４１に準じた構造を有する。
【００５０】
本実施形態の連結部材５６は、２つのフィルタ材５１を連結する。
連結部材５６は、２つのフィルタ材５１内の内部空間ＳＸを繋ぐ管部材５７と、フィルタ材５１に連結部材５６を固定する２つの固定部材５８とを備える。管部材５７および固定部材５８は、ガラスまたは石英によって形成される。
【００５１】
管部材５７は、フィルタ材５１に挿入される２つの挿入部５７ａと、手で把持される把持部５７ｂとを備える。挿入部５７ａは、把持部５７ｂの両端それぞれから突出するように設けられる。管部材５７の貫通孔５７ｈは、一方の挿入部５７ａから他方の挿入部５７ａに亘るように設けられる。
【００５２】
挿入部５７ａは、円形の開口端５７ｃを有する第４周壁５７ｄを含む。第４周壁５７ｄは、フィルタ材５１の開口部５４の内周面に接触するように構成される。
把持部５７ｂは、挿入部５７ａの第４周壁５７ｄよりも大径の環状の第５周壁５７ｅを有する。第５周壁５７ｅは、第１段差部５７ｆを介して一方の第４周壁５７ｄに接続されるとともに、第２段差部５７ｇを介して他方の第４周壁５７ｄに接続される。
【００５３】
把持部５７ｂは、挿入部５７ａがフィルタ材５１に挿入された状態において、フィルタ材５１の外に出るように構成される。
固定部材５８は、リング状に形成される。具体的には、固定部材５８は、第４周壁５７ｄよりも大径の第６周壁５８ａを含む。第６周壁５８ａの内周面は、フィルタ材５１の開口部５４の外周面に接触するように構成される。固定部材５８は、フィルタ材５１の外側から開口部５４に嵌められる。フィルタ材５１に連結部材５６が取り付けられた状態において、フィルタ材５１の開口部５４は、管部材５７の第４周壁５７ｄと固定部材５８の第６周壁５８ａとによって挟まれる。このようにして、フィルタ材５１に管部材５７が取り付けられる。２つのフィルタ材５１が管部材５７に取り付けられると、２つのフィルタ材５１内の内部空間ＳＸが繋がった閉空間が構成される。精製対象物質ＭＡは、フィルタ付き容器５０内に収容される。
【００５４】
本実施形態の作用を説明する。フィルタ付き容器５０によれば、複数のフィルタ材５１が連結されることによってフィルタ材５１によって囲まれる閉空間が形成される。このため、フィルタ付き容器５０に収容できる精製対象物質ＭＡの量を増大できる。
【００５５】
本実施形態のフィルタ付き容器５０の効果を説明する。
フィルタ付き容器５０は、複数のフィルタ材５１と、連結部材５６とを備える。フィルタ材５１は、少なくとも一部分が湾曲するように構成される。フィルタ材５１は、気体を通過させるように構成され、かつ、精製対象物質ＭＡを収容する。連結部材５６は、フィルタ材５１内の内部空間ＳＸが繋がるように複数のフィルタ材５１を連結する。フィルタ材５１は、少なくとも一部分が折れ曲がるように構成されてもよい。
【００５６】
この構成によれば、フィルタ材５１は、湾曲した部分または折れ曲がった部分を有するため、気体が通過する面の面積が大きくなり、フィルタ材５１において目詰まりが生じ難くなる。これにより、精製効率の低下を抑制できる。
【００５７】
＜第６実施形態＞
図１１〜図１３を参照して、第６実施形態に係るフィルタ付き容器６０について説明する。
【００５８】
本実施形態に係るフィルタ付き容器６０は、第４実施形態と同様に、精製対象物質ＭＡの精製工程において用いられる。第６実施形態に係るフィルタ付き容器６０において、第４実施形態に係るフィルタ付き容器４０と同じ構成については、説明を省略する。
【００５９】
フィルタ付き容器６０は、フィルタ材６１と、栓部材６６とを備える。栓部材６６は、第４実施形態に示された栓部材４６に準じた構造を有する。ここでは、栓部材６６の説明を省略する。
【００６０】
フィルタ材６１は、少なくとも一部分が湾曲するように構成される。フィルタ材６１は、気体を通過させるように構成され、かつ、精製対象物質ＭＡを収容する。フィルタ材６１は、少なくとも一部分が折れ曲がるように構成されてもよい。
【００６１】
フィルタ材６１は、フィルタ材６１は、可撓性または折れ曲がり可能なシート状のフィルタ母材６１ｘによって形成される。フィルタ母材６１ｘを構成する素材は、第１実施形態に準ずる。フィルタ母材６１ｘの折り曲げによって、精製対象物質ＭＡが収容されるような内部空間ＳＸを有するフィルタ材６１が形成される。
【００６２】
フィルタ母材６１ｘは、一方端が閉じて他方端が開口する袋状に形成される。例えば、コップの内面に沿わせるようにフィルタ母材６１ｘを折り曲げることによって、袋状のフィルタ材６１が形成される。フィルタ材６１の開口部６４は、栓部材６６によって閉塞される。このようなフィルタ付き容器６０の使用方法は、第４実施形態に係るフィルタ付き容器４０の使用方法に準ずる。
【００６３】
本実施形態の作用を説明する。シート状のフィルタ母材６１ｘを用いてフィルタ付き容器６０のフィルタ材６１を形成できる。シート状のフィルタ母材６１ｘは入手され易いことから、フィルタ付き容器６０を簡単に用意できる。
【００６４】
本実施形態に係るフィルタ付き容器６０は、第４実施形態に係るフィルタ付き容器４０と同じ構造を有することから、第４実施形態に係るフィルタ付き容器４０に準じた効果を奏する。
【００６５】
＜第７実施形態＞
図１４を参照して、第７実施形態に係るフィルタ付き容器７０およびフィルタ付き容器７０を収容可能な精製容器１６について説明する。
【００６６】
本実施形態に係るフィルタ付き容器７０は、第４実施形態と同様に、精製対象物質ＭＡの精製工程において用いられる。第７実施形態に係るフィルタ付き容器７０において、第４実施形態に係るフィルタ付き容器４０と同じ構成については、説明を省略する。
【００６７】
フィルタ付き容器７０は、第４実施形態のフィルタ付き容器４０と同じ構成を有する。フィルタ付き容器７０の形状は、フィルタ付き容器７０が入れられる精製容器１５との関係において、第４実施形態のフィルタ付き容器４０と相違する。第４実施形態のフィルタ付き容器４０は、筒部１５ａの筒径よりも小さい１つの開口部１５ｃを有する精製容器１５に収容可能な大きさに構成されている。これに対して、本実施形態に係るフィルタ付き容器７０は、次のような特殊な精製容器１６に収容される。
【００６８】
精製容器１６は、筒状の筒部１６ａと、筒部１６ａの一方端に設けられて筒部１６ａの筒径よりも小さい１つの第１開口部１６ｂと、筒部１６ａの他方端に設けられて筒部１６ａの筒径と同じ径の第２開口部１６ｃとを有する。第２開口部１６ｃは、底部材１６ｄによって閉塞される。なお、精製容器１６は、第２開口部１６ｃが底部材１６ｄによって閉塞された状態で用いられることもあり、また、第２開口部１６ｃが底部材１６ｄによって閉塞されない状態で用いられることもある。
【００６９】
好ましくは、フィルタ付き容器７０の栓部材７６の直径は、精製容器１６の筒部１６ａの内径に等しい。この構成によって、フィルタ付き容器７０を精製容器１６に収容したときのフィルタ付き容器７０の姿勢を安定できる。このようなフィルタ付き容器７０および精製容器１６のセットは、大量の精製対象物質ＭＡを精製する場合に用いられる。
【００７０】
＜第８実施形態＞
図１５を参照して、第８実施形態に係るフィルタ部材８０について説明する。
本実施形態に係るフィルタ部材８０は、物質を気化させる工程を含む精製工程に用いられる。フィルタ部材８０は、精製工程において精製対象物質ＭＡが突沸状態となったときに精製対象物質ＭＡから発生する粉体や液滴を、精製対象物質ＭＡが収容されている精製容器１５内に閉じ込める。
【００７１】
フィルタ部材８０は、フィルタ材８１と、フィルタ材８１を精製容器１５に取り付けるための取付部材８６とを備える。
フィルタ材８１は、少なくとも一部分が湾曲または折れ曲がるように構成され、かつ、気体を通過させる。フィルタ材８１は、内部空間ＳＸを構成する。
【００７２】
フィルタ材８１は、筒状の筒部８３と、筒部８３の一方端に設けられる開口部８４と、筒部８３において開口部８４と反対側の端を閉じる閉端部８５とを有する。
フィルタ材８１は、気体を通過させる。精製対象物質ＭＡが液体である場合、フィルタ材８１は、液滴の飛び散りを阻止するように構成される。フィルタ材８１を形成する素材は、第１実施形態のフィルタ１０に準ずる。
【００７３】
取付部材８６は、精製容器１５の開口部１５ｃにフィルタ材８１を取り付けるための部材である。
取付部材８６は、精製容器１５の開口部１５ｃに装着される筒状のアダプタ８７と、フィルタ材８１をアダプタ８７に固定する固定部材８８とを備える。
【００７４】
アダプタ８７は、フィルタ材８１を挿通する挿通孔８７ａを有する。挿通孔８７ａの直径は、フィルタ材８１の開口部８４の外径と等しい。
固定部材８８は、筒状に構成される。固定部材８８は、一方端に第１開口部８８ａを有し、他方端に第２開口部８８ｂを有する。第１開口部８８ａの直径は、第２開口部８８ｂの直径よりも大きい。第２開口部８８ｂは、フィルタ材８１内に挿通可能な大きさに構成される。第２開口部８８ｂの周辺の外径は、フィルタ材８１の開口部８４の内径と等しい。
【００７５】
フィルタ部材８０は、次のようにして精製容器１５に取り付けられる。まず、アダプタ８７の挿通孔８７ａにフィルタ材８１を挿通する。次いで、固定部材８８をフィルタ材８１内に挿入する。このようにして組付けられたフィルタ部材８０は、アダプタ８７の外周面が精製容器１５の開口部１５ｃの内周面に接触するように、精製容器１５の開口部１５ｃに装着する。精製容器１５にフィルタ部材８０が装着されると、精製容器１５の開口部１５ｃは、フィルタ材８１によって通気可能に覆われる。
【００７６】
本実施形態の作用を説明する。
このようなフィルタ部材８０によれば、精製容器１５の開口部１５ｃにフィルタが詰められる場合に比べて、フィルタ材８１における気体の通過面積を大きくできる。通過面積とは、フィルタ材８１において、精製容器１５内の気体に直接的に接触可能な部分の面積を示す。本実施形態に係るフィルタ部材８０の通過面積は、フィルタ材８１の外表面において、取付部材８６のアダプタ８７と接触する部分ＰＡ以外の部分ＰＢの面積を示す。
【００７７】
本実施形態の効果を説明する。フィルタ材８１は、少なくとも一部分が湾曲するように構成される。フィルタ材８１は、気体を通過させ、かつ、内部空間ＳＸを構成する。フィルタ材８１は、折れ曲がる構成を有してもよい。この構成によれば、フィルタ材８１は、湾曲した部分または折れ曲がった部分を有するため、気体が通過する面の通過面積が大きくなり、フィルタ材８１において目詰まりが生じ難くなる。特に、精製容器１５の開口部１５ｃにフィルタを詰める場合に比べて、通過面積が大きくなる。これにより、精製効率の低下を抑制できる。
【００７８】
＜第９実施形態＞
図１６を参照して、第９実施形態に係るフィルタ部材９０について説明する。
本実施形態に係るフィルタ部材９０は、第８実施形態に係るフィルタ部材８０の変形例である。第９実施形態に係るフィルタ部材９０において、第８実施形態に係るフィルタ部材８０と同じ構成については、説明を省略する。第８実施形態のフィルタ部材８０は、片持ち状態で支持される（図１５参照）。これに対して、本実施形態のフィルタ部材９０は、両持ちで支持される。
【００７９】
具体的には、フィルタ部材９０は、フィルタ材９１と、フィルタ材９１を精製容器１５に取り付けるための２つの取付部材９６とを備える。フィルタ材９１は、少なくとも一部分が湾曲または折れ曲がり、気体を通過させるように構成される。フィルタ材９１は、内部空間ＳＸを構成する。
【００８０】
フィルタ材９１は、筒状の筒部９３と、筒部９３の一方端に設けられる第１開口部９４と、筒部９３の他方端に設けられる第２開口部９５とを有する。フィルタ材９１は、気体を通過させる。精製対象物質ＭＡが液体である場合、フィルタ材９１は、液滴の飛び散りを阻止するように構成される。フィルタ材９１を形成する素材は、第１実施形態のフィルタ１０に準ずる。２つの取付部材９６，９６は、第８実施形態に示した取付部材８６に準じた構造を有する。
【００８１】
このようなフィルタ部材９０は、２つの開口部１７ｃを有する精製容器１７に好適に用いられ得る。また、このようなフィルタ部材９０によれば、第８実施形態に係るフィルタ部材８０に準じた効果を得ることができる。
【００８２】
＜第１０実施形態＞
図１７を参照して、第１０実施形態に係るフィルタ部材１００について説明する。
本実施形態に係るフィルタ部材１００は、第９実施形態に係るフィルタ部材９０の変形例である。第１０実施形態に係るフィルタ部材１００において、第９実施形態に係るフィルタ部材９０と同じ構成については、同一符号を付して、説明を省略する。第９実施形態のフィルタ部材９０を構成するフィルタ材９１は、中心軸を中心とする円周方向に接続部分がない。これに対して、本実施形態のフィルタ部材１００のフィルタ材１０１は、中心軸を中心とする円周方向に接続部分１０１ａが存在する。本実施形態のフィルタ部材１００は、矩形のフィルタ母材を丸めることによって形成される。
【００８３】
本実施形態によれば、シート状のフィルタ母材を用いてフィルタ部材１００を形成できる。シート状のフィルタ母材は入手され易いことから、フィルタ部材１００を簡単に形成できる。また、本実施形態に係るフィルタ部材１００は、第９実施形態に係るフィルタ部材９０に準じた効果を奏する。
【００８４】
＜第１１実施形態＞
図１８〜図２０を参照して、第１１実施形態に係る精製装置１１０について説明する。
精製装置１１０は、少なくとも１つの精製容器１１１と、精製容器１１１を収容する外管１２０と、外管１２０内を減圧する減圧装置１４０とを備える。好ましくは、精製容器１１１は、内管１３０に収容される。さらに、精製容器１１１が収容された内管１３０が、外管１２０に収容される。
【００８５】
精製容器１１１のうち少なくとも１つは、上述のフィルタ１０，２０，３０、フィルタ付き容器４０，５０，６０，７０、および、フィルタ部材８０，９０，１００（以下、「フィルタ等」という。）の１つが配置可能に構成される。精製容器１１１は、少なくとも１つの開口部１１２を有する。フィルタ等が配置される精製容器１１１の開口部１１２は、フィルタ１０，２０，３０、またはフィルタ付き容器４０，５０，６０，７０が挿通可能であるように構成される。または、フィルタ等が配置される精製容器１１１の開口部１１２は、フィルタ部材８０，９０，１００が装着可能であるように構成される。
【００８６】
本実施形態では、精製装置１１０は、５つの精製容器（以下、「第１精製容器１１１Ａ」〜「第５精製容器１１１Ｅ」という。）を備える。
第１精製容器１１１Ａは、１つの開口部１１４を有する。第２精製容器１１１Ｂ〜第５精製容器１１１Ｅは、２つの開口部１１５，１１６を有する。第２精製容器１１１Ｂ〜第５精製容器１１１Ｅは、第１精製容器１１１Ａの下流側に連結される。下流とは、精製装置１１０内の気体通路において減圧装置１４０に近い側を示す。第１精製容器１１１Ａ〜第５精製容器１１１Ｅは、直列に接続され、１つの内部通路を形成する。第１精製容器１１１Ａは、精製対象物質ＭＡを収容する。
【００８７】
第１精製容器１１１Ａ〜第５精製容器１１１Ｅは、内管１３０に収容される。内管１３０には、内管１３０の長手方向ＤＡに対して垂直に延びる壁１３１が設けられている。壁１３１は、内管１３０において長手方向ＤＡの中間位置よりも上流側に設けられる。第１精製容器１１１Ａ〜第５精製容器１１１Ｅは、内管１３０において壁１３１の下流側に配列される。第１精製容器１１１Ａ〜第５精製容器１１１Ｅは、上流側から、第１精製容器１１１Ａ〜第５精製容器１１１Ｅの順に並べられる。
【００８８】
外管１２０は、内管１３０を収容する。外管１２０は、減圧装置１４０側に配置される第１開口端１２１と、減圧装置１４０側の第１開口端１２１とは反対側の第２開口端１２２とを有する。
【００８９】
第１開口端１２１は、継手１２３を介して減圧装置１４０に接続される。第２開口端１２２は、蓋部材１２４で閉塞される。減圧装置１４０は、真空ポンプ１４１を備える。好ましくは、減圧装置１４０は、真空ポンプ１４１の上流側に、気体を液化するためのトラップ１４２を有する。トラップ１４２において不純物質ＭＣが捕捉される。例えば、トラップ１４２を構成する通路は、液体窒素で冷却される。
【００９０】
好ましくは、精製装置１１０は、さらに、キャップ１６０を備える。キャップ１６０は、外管１２０において下流側の第１開口端１２１に対向する。具体的には、キャップ１６０は、内管１３０において下流側の第１開口端１３２を覆うように配置される。キャップ１６０の周縁部と第１開口端１３２の周辺部との間には、気体が流通するための隙間ＳＬが設けられる。好ましくは、キャップ１６０には、把手１６１が設けられる。内管１３０が用いられていない場合、キャップ１６０は、外管１２０の第１開口端１２１を覆うように配置される。
【００９１】
外管１２０は、加熱装置１５０によって加熱される。加熱装置１５０は、第１精製容器１１１Ａ〜第５精製容器１１１Ｅそれぞれを異なる温度に加熱する。加熱装置１５０の加熱部１５１は、外管１２０において第１精製容器１１１Ａ〜第５精製容器１１１Ｅが配置されるところに配置される。上流側の精製容器１１１は、下流側の精製容器１１１よりも高い温度に加熱される。すなわち、精製容器１１１のセットは、温度勾配が付けられる。例えば、加熱装置１５０の加熱によって、第１精製容器１１１Ａは、精製対象物質ＭＡの昇華温度よりも高い第１温度に維持される。第５精製容器１１１Ｅは、精製対象物質ＭＡから精製される精製物質ＭＢが析出可能な第２温度に維持される。
【００９２】
本実施形態の作用を説明する。
第１精製容器１１１Ａで気化した精製目的の物質は、第５精製容器１１１Ｅで析出する。第１精製容器１１１Ａの管理温度である第１温度よりも沸点また昇華点が高い不純物質ＭＣは、第１精製容器１１１Ａに残る。第５精製容器１１１Ｅの管理温度である第２温度よりも凝固点が低い不純物質ＭＣは、第５精製容器１１１Ｅよりも下流に流され、キャップ１６０またはトラップ１４２で捕捉される。
【００９３】
本実施形態の効果を説明する。
（１）精製装置１１０は、少なくとも１つの精製容器１１１と、精製容器１１１を収容する外管１２０と、外管１２０内を減圧する減圧装置１４０とを備える。精製容器１１１のうち少なくとも１つは、上述のフィルタ１０，２０，３０、フィルタ付き容器４０，５０，６０，７０、および、フィルタ部材８０，９０，１００の１つが配置可能に構成される。
【００９４】
この構成によれば、精製装置１１０は、目詰まりが生じ難いフィルタ１０，２０，３０、フィルタ付き容器４０，５０，６０，７０、および、フィルタ部材８０，９０，１００の１つを有するため、気体の流通の低下が抑制される。このようにして、精製効率の低下が抑制される。
【００９５】
（２）上記精製装置１１０において、外管１２０において減圧装置１４０側の第１開口端１２１に対向するように配置されるキャップ１６０を更に備える。この構成によれば、キャップ１６０によって気体の流れが妨げられるため、外管１２０における下流側の第１開口端１２１付近で、気体に含まれる一部の不純物質ＭＣが凝縮し、キャップ１６０内に不純物質ＭＣが付着する。これによって、キャップ１６０を備えない場合に比べて、外管１２０よりも下流側に流れる気体内の不純物質ＭＣの量を少なくできる。これによって、外管１２０の第１開口端１２１から減圧装置１４０までの間の区間において物質による汚染を抑制できる。
【００９６】
＜第１２実施形態＞
精製物質ＭＢの製造方法を説明する。
第１の工程では、精製対象物質ＭＡの気体の拡散において気体が通過するところに、上述のフィルタ等のうちの１つを精製容器１１１内に配置する。例えば、フィルタ１０，２０，３０を用いる場合には、精製対象物質ＭＡを第１精製容器１１１Ａに収容し、第１精製容器１１１Ａ内にフィルタ１０，２０，３０を配置する（図２０参照）。フィルタ１０，２０，３０によって、第１精製容器１１１Ａ内の内部空間ＳＸが、精製対象物質ＭＡが入れられる収容空間と、収容空間よりも下流側の空間とに仕切られる。
【００９７】
フィルタ付き容器４０，５０，６０，７０を用いる場合には、フィルタ付き容器４０，５０，６０，７０内に精製対象物質ＭＡを入れ、精製対象物質ＭＡが入ったフィルタ付き容器４０，５０，６０，７０を第１精製容器１１１Ａ内に収容する。
【００９８】
フィルタ部材８０，９０，１００を用いる場合には、精製対象物質ＭＡを第１精製容器１１１Ａに収容し、第１精製容器１１１Ａの開口部にフィルタ部材８０，９０，１００を装着する。
【００９９】
第２の工程では、精製容器１１１内を減圧する。好ましくは、所定圧力まで減圧した後、精製容器１１１を加熱し、精製対象物質ＭＡを昇華させる。例えば、第１精製容器１１１Ａは、精製対象物質ＭＡの昇華温度よりも高い第１温度に維持される。第５精製容器１１１Ｅは、精製対象物質ＭＡが析出可能な第２温度に維持される。好ましくは、第２精製容器１１１Ｂ、第３精製容器１１１Ｃ、および第４精製容器１１１Ｄは、第１温度よりも低く第２温度よりも高い温度に維持される。第２精製容器１１１Ｂの温度は、第３精製容器１１１Ｃの温度よりも高くなるように維持され、第３精製容器１１１Ｃの温度は、第４精製容器１１１Ｄの温度よりも高くなるように維持される。
【０１００】
精製物質ＭＢの製造方法の作用を説明する。
精製容器１１１内は減圧されている。このため、精製容器１１１の加熱により、精製対象物質ＭＡが突沸し易くなっている。精製対象物質ＭＡが突沸すると、精製対象物質ＭＡは、気化する前の状態で拡散するが、フィルタ等によって拡散が抑制される。本実施形態によれば、液体または固体の精製対象物質ＭＡが突沸したとき、の精製対象物質ＭＡの拡散は第１精製容器１１１Ａ内に収まる。
【０１０１】
精製対象物質ＭＡの温度が第１温度に達すると、精製対象物質ＭＡは気化する。気化した精製対象物質ＭＡは、フィルタ等を通過して、温度の低いところに移動する。一方、第１温度よりも昇華点または沸点が高い不純物質ＭＣは、気化せず、残渣として精製容器１１１内に残る。気化した精製対象物質ＭＡは、精製対象物質ＭＡの析出可能な第２温度に維持されているところで析出する。凝固点が第２温度よりも低い不純物質ＭＣが精製対象物質ＭＡに含まれている場合、不純物質ＭＣは、第２温度に維持されているところでは析出しない。析出した物質は、回収される。以上のようにして、精製対象物質ＭＡから精製物質ＭＢが得られる。
【０１０２】
本実施形態の効果を説明する。
精製物質ＭＢの製造方法は、第１工程と、第２工程とを含む。第１工程では、精製対象物質ＭＡの気体の拡散において気体が通過するところに、フィルタ等の１つを精製容器１１１内に配置する。第２工程では、精製容器１１１内を減圧する。この構成によれば、目詰まりが生じ難いフィルタ等の１つが気体の流通経路の途中に配置されるため、気体の流通の低下が抑制される。これによって、精製効率の低下を抑制できる。
【０１０３】
このような製造方法は、例えば、第１１実施形態に示された精製装置１１０による精製において用いられる。精製装置１１０を用いて精製物質ＭＢの製造方法が実行されたときの効果を説明する。精製装置１１０によれば、第５精製容器１１１Ｅに精製物質ＭＢが析出する。不純物質ＭＣを含む気体は、下流に流れる。不純物質ＭＣを含む気体が外管１２０よりも下流に流れるとき、キャップ１６０の内面に沿って流れて、キャップ１６０の周縁部と内管１３０の第１開口端１３２の周辺部との間の隙間ＳＬを通る。キャップ１６０は外管１２０とは別部材であるため、外管１２０から熱が伝わり難い。このため、キャップ１６０の温度と外管１２０の温度との間には温度差がある。キャップ１６０の温度は、室温に近い。このようなことから、キャップ１６０において不純物質ＭＣが析出する。このようにして気体から不純物質ＭＣが除去される。キャップ１６０において析出しない物質は、トラップ１４２で捕捉される。
【０１０４】
＜その他の実施形態＞
上記実施形態は、上記構成の例に限定されない。上記実施形態は、以下のように変更され得る。なお、以下の変形例では、上記実施形態の構成と実質的に構成の変更ない構成については、上記実施形態の構成と同一の符号をつけて説明する。
【０１０５】
・フィルタ１０，２０，３０の形状は、実施形態に示された例に限定されない。例えば、フィルタ１０は、波状に湾曲してもよい。
・フィルタ付き容器４０，５０，６０，７０の構造は、実施形態に示された例に限定されない。例えば、フィルタ付き容器４０，５０，６０，７０の栓部材４６、６６、７６は、フィルタ１０を構成するフィルタ母材から形成されてもよい。
【０１０６】
・フィルタ部材８０，９０，１００の構造は、実施形態に示された例に限定されない。フィルタ部材８０，９０，１００のフィルタ材８１、９１、１０１は、複数の平坦面から構成されてもよい。
【符号の説明】
【０１０７】
ＤＡ…長手方向、ＬＡ…長さ、ＭＡ…精製対象物質、ＭＢ…精製物質、ＭＣ…不純物質、ＰＢ…部分、ＳＡ…第１空間、ＳＢ…第２空間、ＳＣ…第３空間、ＳＤ…第４空間、ＳＬ…隙間、ＳＸ…内部空間、１０…フィルタ、１０ｘ…平面フィルタ、１１…辺、１２…辺、１５…精製容器、１５ａ…筒部、１５ｂ…底面、１５ｃ…開口部、１５ｄ…周囲部、１６…精製容器、１６ａ…筒部、１６ｂ…第１開口部、１６ｃ…第２開口部、１６ｄ…底部材、１７…精製容器、１７ｃ…開口部、２０…フィルタ、２１…山折り部、２２…谷折り部、３０…フィルタ、４０…フィルタ付き容器、４１…フィルタ材、４３…筒部、４４…開口部、４５…閉端部、４６…栓部材、４７…閉塞部材、４７ａ…挿入部、４７ｂ…把持部、４７ｃ…端面部、４７ｄ…第１周壁、４７ｅ…第２周壁、４７ｆ…段差部、４８…固定部材、４８ａ…第３周壁、５０…フィルタ付き容器、５１…フィルタ材、５４…開口部、５６…連結部材、５７…管部材、５７ａ…挿入部、５７ｂ…把持部、５７ｃ…開口端、５７ｄ…第４周壁、５７ｅ…第５周壁、５７ｆ…第１段差部、５７ｇ…第２段差部、５７ｈ…貫通孔、５８…固定部材、５８ａ…第６周壁、６０…フィルタ付き容器、６１…フィルタ材、６１ｘ…フィルタ母材、６４…開口部、６６…栓部材、７０…フィルタ付き容器、７６…栓部材、８０…フィルタ部材、８１…フィルタ材、８３…筒部、８４…開口部、８５…閉端部、８６…取付部材、８７…アダプタ、８７ａ…挿通孔、８８…固定部材、８８ａ…第１開口部、８８ｂ…第２開口部、９０…フィルタ部材、９１…フィルタ材、９３…筒部、９４…第１開口部、９５…第２開口部、９６…取付部材、１００…フィルタ部材、１０１…フィルタ材、１０１ａ…接続部分、１１０…精製装置、１１１…精製容器、１１１Ａ…第１精製容器、１１１Ｂ…第２精製容器、１１１Ｃ…第３精製容器、１１１Ｄ…第４精製容器、１１１Ｅ…第５精製容器、１１２…開口部、１１４…開口部、１１５…開口部、１１６…開口部、１２０…外管、１２１…第１開口端、１２２…第２開口端、１２３…継手、１２４…蓋部材、１３０…内管、１３１…壁、１３２…第１開口端、１４０…減圧装置、１４１…真空ポンプ、１４２…トラップ、１５０…加熱装置、１５１…加熱部、１６０…キャップ、１６１…把手。
【図１】
2020075205.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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