(57)【要約】【課題】噴射特性を容易かつ正確に検査することが可能な液体噴射ヘッドの検査方法を提供する。【解決手段】液体噴射ヘッドの検査方法は、第１流路口から第２流路口に向かって流体が流れる流路と、第１流路口と第２流路口との間において流路に設けられると共に流路を流れる流体の一部を外部に放出する放出口とを備えた液体噴射ヘッドを用いて、第１流路口を開放すると共に第２流路口を閉塞しながら第１流路口から流路に所定の流量で流体を流すことにより、第１流路口から放出口に向かって流れる流体の圧力である第１圧力を測定し、第１流路口を閉塞すると共に第２流路口を開放しながら第２流路口から流路に所定の流量で前記流体を流すことにより、第２流路口から放出口に向かって流れる流体の圧力である第２圧力を測定し、第１圧力および第２圧力に基づいて圧力比を算出し、圧力比に基づいて第１流路口から第２流路口に向かって流路を流れる流体の漏れの有無を判定する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１流路口から第２流路口に向かって流体が流れる流路と、前記第１流路口と前記第２流路口との間において前記流路に設けられると共に前記流路を流れる前記流体の一部を外部に放出する放出口と、を備えた液体噴射ヘッドを用いて、
前記第１流路口を開放すると共に前記第２流路口を閉塞しながら、前記第１流路口から前記流路に所定の流量で前記流体を流すことにより、前記第１流路口から前記放出口に向かって流れる前記流体の圧力である第１圧力を測定し、
前記第１流路口を閉塞すると共に前記第２流路口を開放しながら、前記第２流路口から前記流路に前記所定の流量で前記流体を流すことにより、前記第２流路口から前記放出口に向かって流れる前記流体の圧力である第２圧力を測定し、
前記第１圧力および前記第２圧力に基づいて、圧力比を算出し、
前記圧力比に基づいて、前記第１流路口から前記第２流路口に向かって前記流路を流れる前記流体の漏れの有無を判定する、
液体噴射ヘッドの検査方法。
【請求項２】
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて前記第１圧力および前記第２圧力に基づいて算出される前記圧力比である基準圧力比をあらかじめ取得しておき、
前記流体の漏れの有無を判定する際に、前記圧力比を前記基準圧力比と比較し、
前記圧力比が前記基準圧力比に対して所定の範囲内でない際に、前記流体の漏れが発生していると判定する、
請求項１記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
【請求項３】
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて前記流量と前記圧力比との相関関係をあらかじめ取得しておき、
前記基準圧力比を取得する際に、前記流量と前記圧力比との相関関係に基づいて、前記所定の流量に対応する前記圧力比を前記基準圧力比とする、
請求項２記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
【請求項４】
さらに、前記第１圧力および前記第２圧力のうちの少なくとも一方に基づいて、前記流体の漏れの有無を判定する、
請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
【請求項５】
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて測定される前記第１圧力である第１基準圧力をあらかじめ取得しておき、
前記流体の漏れの有無を判定する際に、前記第１圧力を前記第１基準圧力と比較し、
前記第１圧力が前記第１基準圧力に対して所定の範囲内でない際に、前記流体の漏れが発生していると判定すると共に、
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて測定される前記第２圧力である第２基準圧力をあらかじめ取得しておき、
前記液体の漏れの有無を判定する際に、前記第２圧力を前記第２基準圧力と比較し、
前記第２圧力が前記第２基準圧力に対して所定の範囲内でない際に、前記流体の漏れが発生していると判定する、
請求項４記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
【請求項６】
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて前記流量と前記第１圧力との相関関係をあらかじめ取得しておき、
前記第１基準圧力を取得する際に、前記流量と前記第１圧力との相関関係に基づいて、前記所定の流量に対応する前記第１圧力を前記第１基準圧力とすると共に、
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて前記流量と前記第２圧力との相関関係をあらかじめ取得しておき、
前記第２基準圧力を取得する際に、前記流量と前記第２圧力との相関関係に基づいて、前記所定の流量に対応する前記第２圧力を前記第２基準圧力とする、
請求項５記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
【請求項７】
前記流体として気体を用いる、
請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、流体が流れる流路を備えた液体噴射ヘッドの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
対象物に液滴状の液体を噴射するために液体噴射ヘッドが用いられており、その液体噴射ヘッドは、液体が流れる流路を備えている。液体の噴射時には、流路を流れる液体の一部が外部に放出されるため、液体噴射ヘッドから対象物に液体が噴射される。
【０００３】
液体噴射ヘッドの噴射特性を検査するために、様々な検討がなされている。具体的には、記録用途の液体噴射ヘッドの噴射特性を検査する場合には、液体の漏れを検出するために検査孔が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１７−１８５７３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
液体噴射ヘッドの噴射特性を検査するために様々な検討がなされているが、既存の検査では手順が煩雑であると共に精度が十分でないため、改善の余地がある。
【０００６】
そこで、噴射特性を容易かつ正確に検査することが可能な液体噴射ヘッドの検査方法を提供することが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドの検査方法は、第１流路口から第２流路口に向かって流体が流れる流路と、第１流路口と第２流路口との間において流路に設けられると共に流路を流れる流体の一部を外部に放出する放出口とを備えた液体噴射ヘッドを用いて、第１流路口を開放すると共に第２流路口を閉塞しながら第１流路口から流路に所定の流量で流体を流すことにより、第１流路口から放出口に向かって流れる流体の圧力である第１圧力を測定し、第１流路口を閉塞すると共に第２流路口を開放しながら第２流路口から流路に所定の流量で流体を流すことにより、第２流路口から放出口に向かって流れる流体の圧力である第２圧力を測定し、第１圧力および第２圧力に基づいて圧力比を算出し、圧力比に基づいて第１流路口から第２流路口に向かって流路を流れる流体の漏れの有無を判定するものである。
【発明の効果】
【０００８】
本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドの検査方法によれば、第１流路口から第２流路口に向かって流体が流れると共に放出口から流体の一部が外部に放出される流路を備えた液体噴射ヘッドを用いて、第１圧力および第２圧力を測定すると共に圧力比を算出したのち、その圧力比に基づいて流体の漏れの有無を判定しているので、液体噴射ヘッドの噴射特性を容易かつ正確に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドの検査方法に用いられる液体噴射ヘッドの構成を表す平面図である。
【図２】液体噴射ヘッドに設けられた流路を説明するための平面図である。
【図３】液体噴射ヘッドの検査方法（前準備手順）を説明するための流れ図である。
【図４】液体噴射ヘッドの検査方法（内部リークの判定手順）を説明するための流れ図である。
【図５】流量Ｍと圧力Ｐ１との相関関係ＣＰ１を表す図である。
【図６】流量Ｍと圧力Ｐ２との相関関係ＣＰ２を表す図である。
【図７】流量Ｍと圧力比Ｒとの相関関係ＣＲを表す図である。
【図８】液体噴射ヘッドの検査方法に関する第１変形例を説明するための流れ図である。
【図９】液体噴射ヘッドの検査方法に関する第２変形例を説明するための流れ図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本開示の一実施形態に関して、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、説明する順序は、下記の通りである。
１．液体噴射ヘッドの検査方法
１−１．液体噴射ヘッドの構成
１−２．液体噴射ヘッドの検査手順
１−３．作用および効果
２．変形例
【００１１】
＜１．液体噴射ヘッドの検査方法＞
本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドの検査方法に関して説明する。
【００１２】
この液体噴射ヘッドの検査方法に用いられる液体噴射ヘッドは、例えば、対象物に液体を噴射する。液体噴射ヘッドの用途は、対象物に液体が噴射されることを要する用途であれば、特に限定されない。
【００１３】
ここで説明する液体噴射ヘッドは、例えば、被記録媒体に記録用の液体を噴射することにより、その被記録媒体に画像を記録する。すなわち、液体噴射ヘッドは、例えば、液体噴射記録層装置であるプリンタ（いわゆるインクジェットプリンタ）に用いられる。被記録媒体の種類は、特に限定されないが、例えば、紙およびフィルムなどである。
【００１４】
＜１−１．液体噴射ヘッドの構成＞
図１は、液体噴射ヘッドの一具体例であるインクジェットヘッド１００の平面構成を表している。図２は、インクジェットヘッド１００に設けられた流路Ｌを説明するために、図１に対応する平面構成を示している。なお、図２では、後述するインクジェットヘッド１００の検査工程に用いられる圧力センサ６０，７０を併せて示している。
【００１５】
インクジェットヘッド１００は、循環機構により循環されている記録用の液体（インク１）を用いる循環方式を採用している。このインクジェットヘッド１００は、例えば、後述する複数のチャネルの延在方向と交差する方向にインク１が噴射されるサイドシュートタイプである。
【００１６】
具体的には、インクジェットヘッド１００は、例えば、図１および図２に示したように、ヘッドチップ１０と、電子制御盤３０と、導入口４０Ｔ（第１流路口）を有する導入ポート４０と、排出口５０Ｔ（第２流路口）を有する排出ポート５０とを備えている。
【００１７】
このインクジェットヘッド１００では、導入口４０Ｔから排出口５０Ｔに向かうインク１の流路Ｌが形成されていると共に、その導入口４０Ｔと排出口５０Ｔとの間において流路Ｌにノズル孔１１Ｈ（放出口）が設けられている。この流路Ｌでは、導入口４０Ｔから流路Ｌにインク１が供給されると、そのインク１が導入口４０Ｔから排出口５０Ｔに向かって流れると共に、そのインク１の一部が必要時（記録時）においてノズル孔１１Ｈから外部に放出される。なお、後述するように、インクジェットヘッド１００の検査工程では、流路Ｌに検査用の流体Ｆが供給される。図２では、流路Ｌを太い破線で示している。
【００１８】
この流路Ｌは、導入口４０Ｔからノズル孔１１Ｈに至る流路Ｌ１と、排出口５０Ｔからノズル孔１１Ｈに至る流路Ｌ２とを含んでいる。
【００１９】
ヘッドチップ１０は、ノズル孔１１Ｈから放出することにより、そのインク１を被記録媒体に噴射する。このヘッドチップ１０は、例えば、電子制御盤３０よりも遠い側から順に積層されたノズルプレート１１、アクチュエータプレート１２およびカバープレート１３を含んでいる。
【００２０】
ノズルプレート１１は、インク１の噴射口であるノズル孔１１Ｈを有している。ここでは、ノズルプレート１１は、例えば、複数のノズル孔１１Ｈを有しており、その複数のノズル孔１１Ｈは、例えば、図１中の左右方向に配列されている。ただし、図１では、図示内容を簡略化するために、１個のノズル孔１１Ｈだけを示している。
【００２１】
アクチュエータプレート１２は、例えば、図示しない複数のチャネル（インク１が導入される複数の噴射チャネルおよびインク１が導入されない複数のダミーチャネル）を有している。このアクチュエータプレート１２は、例えば、記録時において、インク１が導入された噴射チャネルの内圧を電気的に変化させることにより、その噴射チャネルからノズル孔１１Ｈを経由して外部にインク１を噴射させる。カバープレート１３は、例えば、図示しない複数のスリットを有しており、その複数のスリットを経由してアクチュエータプレート１２（複数の噴射チャネル）にインク１を導入させる。
【００２２】
このインクジェットヘッド１００では、上記したように、導入ポート４０（導入口４０Ｔ）から導入されたインク１がヘッドチップ１０を経由して排出ポート５０（排出口５０Ｔ）まで流れる。このため、ヘッドチップ１０の内部に流路Ｌが形成されている。
【００２３】
電子制御盤３０は、インクジェットヘッド１００の全体の動作を制御する。この電子制御盤３０は、例えば、回路基板３１と、駆動回路３２と、フレキシブル基板３３とを含んでいる。回路基板３１は、例えば、ヘッドチップ１０に立設されている。駆動回路３２は、例えば、回路基板３１に設けられており、集積回路（ＩＣ）などの電子部品を含んでいる。フレキシブル基板３３は、例えば、ヘッドチップ１０および駆動回路３２のそれぞれに接続されている。
【００２４】
導入ポート４０は、導入口４０Ｔが設けられた管状の部品であり、ヘッドチップ１０（カバープレート１３）の一端部に接続されている。排出ポート５０は、排出口５０Ｔが設けられた管状の部品であり、ヘッドチップ１０（カバープレート１３）の他端部に接続されている。なお、導入ポート４０および排出ポート５０のそれぞれは、例えば、インク１を循環させるために、図示しない供給チューブなどに接続可能である。
【００２５】
＜１−２．液体噴射ヘッドの検査手順＞
図３および図４のそれぞれは、インクジェットヘッド１００の検査方法を説明するための流れを表している。ただし、図３では、前準備手順の流れを示していると共に、図４では、内部リークの判定手順の流れを示している。
【００２６】
図５は、流量Ｍと圧力Ｐ１との相関関係ＣＰ１を表していると共に、図６は、流量Ｍと圧力Ｐ２との相関関係ＣＰ２を表している。図７は、流量Ｍと圧力比Ｒとの相関関係ＣＲを表している。
【００２７】
ここでは、インクジェットヘッド１００の噴射特性を検査するために、検査用の流体Ｆおよび圧力センサ６０，７０と共に図示しない検査用の制御基板を用いて、そのインクジェットヘッド１００の内部（流路Ｌ）において流体Ｆの漏れ（いわゆる内部リーク）が発生しているか否かを判定する。この内部リークは、例えば、アクチュエータプレート１２（ダミーチャネル）が破損しているため、インクジェットヘッド１００の内部において本来はインク１が入り込まないダミーチャネルにインク１が入り込んでいることなどに起因して発生する。
【００２８】
圧力センサ６０は、導入ポート４０（導入口４０Ｔ）の近傍に配置されており、流路Ｌ１を流れる流体Ｆの圧力（圧力Ｐ１）を測定する。圧力センサ７０は、排出ポート５０（排出口５０Ｔ）の近傍に配置されており、流路Ｌ２を流れる流体Ｆの圧力（圧力Ｐ２）を測定する。制御基板は、圧力センサ６０，７０などを制御すると共に、後述する取得処理、算出処理および判定処理などの一連の処理を行う。
【００２９】
以下では、内部リークの判定手順を行うための前準備手順に関して説明したのち、その内部リークの判定手順に関して説明する。この場合には、随時、既に説明した図１および図２を参照する。なお、以下で説明する相関関係ＣＰ１，ＣＰ２，ＣＲの取得処理、圧力比Ｒの算出処理および内部リークの有無の判定処理などの一連の処理は、例えば、上記した制御基板により行われる。
【００３０】
［前準備手順］
前準備手順では、内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド１００を用いて、図３に示したように、以下の手順を順に行う。
【００３１】
最初に、導入口４０Ｔを開放すると共に排出口５０Ｔを閉塞しながら、その導入口４０Ｔから流路Ｌに流体Ｆを流すことにより、圧力センサ６０を用いて、導入口４０Ｔの近傍において、その導入口４０Ｔからノズル孔１１Ｈに向かって流れる流体Ｆの圧力（第１圧力である圧力Ｐ１）を測定する。この圧力Ｐ１は、流路Ｌ１を流れる流体Ｆの圧力である。この場合には、流体Ｆの流量Ｍを変更しながら圧力Ｐ１を測定する作業を繰り返す（ステップＳ１１）。これにより、図５に示したように、流量Ｍと圧力Ｐ１との相関関係ＣＰ１があらかじめ取得される（ステップＳ１２）。
【００３２】
流体Ｆの種類は、流動性を利用して流路Ｌの内部を移動可能な物質であれば、特に限定されないが、例えば、空気および窒素ガスなどの気体である。相関関係ＣＰ１を取得する場合には、例えば、流量Ｍを変化させながら複数の圧力Ｐ１を測定したのち、その複数の圧力Ｐ１に基づいて近似直線Ｎ１を引く。
【００３３】
この相関関係ＣＰ１は、後述する内部リークの判定手順において、その内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド１００に関する流量Ｍと圧力Ｐ１との対応関係を把握するために用いられる。例えば、図５に示したように、流体Ｆの流量Ｍを流量ＭＡに設定した場合において圧力Ｐ１を測定すると、インクジェットヘッド１００において内部リークが発生していなければ、その圧力Ｐ１は流量ＭＡに対応する圧力Ｐ１Ａになるはずである。
【００３４】
続いて、導入口４０Ｔを閉塞すると共に排出口５０Ｔを開放しながら、その排出口５０Ｔから流路Ｌに流体Ｆを流すことにより、圧力センサ７０を用いて、排出口５０Ｔの近傍において、その排出口５０Ｔからノズル孔１１Ｈに向かって流れる流体Ｆの圧力（第２圧力である圧力Ｐ２）を測定する。この圧力Ｐ２は、流路Ｌ２を流れる流体Ｆの圧力である。この場合には、流体Ｆの流量Ｍを変更しながら圧力Ｐ２を測定する作業を繰り返す（ステップＳ１３）。これにより、図６に示したように、流量Ｍと圧力Ｐ２との相関関係ＣＰ２があらかじめ取得される（ステップＳ１４）。
【００３５】
流体Ｆの種類は、圧力Ｐ１を測定した場合に用いた流体Ｆの種類と同様である。相関関係ＣＰ２を取得する場合には、例えば、流量Ｍを変化させながら複数の圧力Ｐ２を測定したのち、その複数の圧力Ｐ２に基づいて近似直線Ｎ２を引く。
【００３６】
この相関関係ＣＰ２は、後述する内部リークの判定手順において、その内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド１００に関する流量Ｍと圧力Ｐ２との対応関係を把握するために用いられる。例えば、図６に示したように、流体Ｆの流量Ｍを流量ＭＡに設定した場合において圧力Ｐ２を測定すると、インクジェットヘッド１００において内部リークが発生していなければ、その圧力Ｐ２は流量ＭＡに対応する圧力Ｐ２Ａになるはずである。
【００３７】
最後に、上記した相関関係ＣＰ１，ＣＰ２に基づいて、流量Ｍごとの圧力比Ｒ（＝Ｐ２／Ｐ１）を算出することにより（ステップＳ１５）、図７に示したように、流量Ｍと圧力比Ｒとの相関関係ＣＲをあらかじめ取得する（ステップＳ１６）。これにより、近似直線Ｎ３が得られるため、前準備手順が完了する。
【００３８】
この相関関係ＣＲは、後述する内部リークの判定手順において、その内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド１００に関する流量Ｍと圧力比Ｒとの対応関係を把握するために用いられる。例えば、図７に示したように、流体Ｆの流量Ｍを流量ＭＡに設定した場合において圧力比Ｒを算出すると、インクジェットヘッド１００において内部リークが発生していなければ、その圧力比Ｒは流量ＭＡに対応する圧力比ＲＡになるはずである。
【００３９】
［内部リークの判定手順］
内部リークの判定手順では、その内部リークの有無が不明であるインクジェットヘッド１００を用いて、図４に示したように、以下の手順を順に行う。この場合には、上記したように、相関関係ＣＰ１，ＣＰ２，ＣＲがあらかじめ取得されている。
【００４０】
最初に、内部リークの有無を判定するための基準となる基準圧力ＰＳを取得する（ステップＳ２１）。この場合には、所望の値（所定の流量Ｍ）となるように流体Ｆの流量Ｍを決定したのち、上記した相関関係ＣＲに基づいて流量Ｍに対応する圧力比Ｒを特定することにより、その圧力比Ｒを基準圧力比ＲＳとする。この基準圧力比ＲＳは、流路Ｌに流体Ｆ（流量Ｍ）を流した際に、内部リークが発生していなければ算出されるはずである圧力比Ｒである。
【００４１】
続いて、導入口４０Ｔを開放すると共に排出口５０Ｔを閉塞しながら、その導入口４０Ｔから流路Ｌに流体Ｆ（流量Ｍ）を流すことにより、圧力センサ６０を用いて、導入口４０Ｔからノズル孔１１Ｈに向かって流れる流体Ｆの圧力（圧力Ｐ１）を測定する（ステップＳ２２）。流体Ｆの種類は、前準備手順において用いられた流体Ｆの種類と同様である。
【００４２】
続いて、導入口４０Ｔを閉塞すると共に排出口５０Ｔを開放しながら、その排出口５０Ｔから流路Ｌに流体Ｆ（流量Ｍ）を流すことにより、圧力センサ７０を用いて、排出口５０Ｋからノズル孔１１Ｈに向かって流れる流体Ｆの圧力（圧力Ｐ２）を測定する（ステップＳ２３）。流体Ｆの種類は、前準備手順において用いられた流体Ｆの種類と同様である。
【００４３】
続いて、圧力Ｐ１，Ｐ２に基づいて圧力比Ｒ（＝Ｐ２／Ｐ１）を算出したのち（ステップＳ２４）、その圧力比Ｒに基づいて内部リークの有無を判定する。具体的には、例えば、圧力比Ｒを基準圧力比ＲＳと比較する（ステップＳ２５）。この基準圧力比ＲＳは、上記したように、内部リークが発生していなければ算出されるはずである圧力比Ｒであるため、その圧力比Ｒと基準圧力比ＲＳとの対応関係に基づいて、内部リークの有無を判定することができる。この場合には、例えば、圧力比Ｒが基準圧力比ＲＳに対して所定の範囲内（ＲＳ−Ｘ≦Ｒ≦ＲＳ＋Ｘ）であるか否かを確認する（ステップＳ２６）。Ｘの値は、特に限定されないため、例えば、圧力Ｐ１，Ｐ２のそれぞれの測定誤差などの要因を加味した上で、任意に設定可能である。ここでは、Ｘの値は、例えば、基準圧力比ＲＳの３％に相当する値である。
【００４４】
圧力比Ｒが基準圧力比ＲＳに対して所定の範囲内でない場合（ステップＳ２６Ｎ）には、許容マージン（Ｘ）を加味した上でも圧力比Ｒが基準圧力ＲＳとは大きく異なっているため、内部リークが発生していると判定する（ステップＳ２７）。
【００４５】
この場合には、インクジェットヘッド１００の内部において、流路Ｌ１，Ｌ２のうちの一方または双方が破損（例えば、亀裂などが発生）していると考えられる。流路Ｌ１が破損していると、その流路Ｌ１において流路抵抗が発生するため、圧力Ｐ１が低下する。このため、圧力Ｐ１の低下に起因して、圧力比Ｒが基準圧力比ＲＳとは大きく異なってしまう。また、流路Ｌ２が破損していると、その流路Ｌ２において流路抵抗が発生するため、圧力Ｐ２が低下する。このため、圧力Ｐ２の低下に起因して、圧力比Ｒが基準圧力比ＲＳとは大きく異なってしまう。
【００４６】
一方、圧力比Ｒが基準圧力比ＲＳに対して所定の範囲内である場合（ステップＳ２６Ｙ）には、許容マージン（Ｘ）を加味した上で圧力比Ｒが基準圧力ＲＳにほぼ一致しているため、内部リークが発生していないと判定する（ステップＳ２８）。
【００４７】
これにより、圧力比Ｒに基づいて内部リークの有無が判定されるため、その内部リークの判定手順が完了する。
【００４８】
＜１−３．作用および効果＞
このインクジェットヘッド１００の検査方法では、導入口４０Ｔから排出口５０Ｔに向かって流体Ｆが流れると共にノズル孔１１Ｈから流体Ｆの一部が外部に放出される流路Ｌを備えたインクジェットヘッド１００を用いて、圧力Ｐ１，Ｐ２を測定すると共に圧力比Ｒを算出したのち、その圧力比Ｒに基づいて内部リークの有無を判定している。
【００４９】
この場合には、流路Ｌの前半部（流路Ｌ１）を流れる流体Ｆの圧力Ｐ１と、流路Ｌの後半部（流路Ｌ２）を流れる流体Ｆの圧力Ｐ２とが測定されたのち、その圧力Ｐ１，Ｐ２から算出される圧力比Ｒに基づいて、内部リークの有無が判定される。これにより、単に流路Ｌの全体を流れる流体Ｆの圧力に基づいて内部リークの有無が判定される場合と比較して、その判定の精度が外気温（インクジェットヘッド１００の周辺環境の温度）などの外乱の影響を受けにくくなるため、その判定の精度が向上する。
【００５０】
しかも、内部リーク、すなわち外部からは確認することが困難であるインクジェットヘッド１００の内部破損に起因した流体Ｆの漏れの有無を判定するために、そのインクジェットヘッド１００を破壊する必要がないと共に、そのインクジェットヘッド１００に検査用の孔などを新たに設ける必要がない。これにより、流路Ｌに流体Ｆを流したのち、圧力Ｐ１，Ｐ２を測定すると共に圧力比Ｒを算出するという簡単な作業を行うだけで、内部リークの有無が判定される。
【００５１】
よって、インクジェットヘッド１００（流路Ｌ）において内部リークが発生しているか否かは容易かつ正確に判定されるため、そのインクジェットヘッド１００の噴射特性を容易かつ正確に検査することができる。
【００５２】
この場合には、特に、上記した検査方法をインクジェットヘッド１００の出荷前の噴射検査に組み込むことにより、そのインクジェットヘッド１００の出荷前の噴射検査を容易かつ正確に行うことができる。
【００５３】
この他、内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド１００を用いて基準圧力比ＲＳをあらかじめ取得しておき、圧力比Ｒを基準圧力比ＲＳと比較すると共に、その圧力比Ｒが基準圧力比ＲＳに対して所定の範囲内でない場合に内部リークが発生していると判定すれば、圧力比Ｒが正常時の圧力比Ｒ（基準圧力比ＲＳ）と比較されることにより、その圧力比Ｒが基準圧力比ＲＳから一定の範囲を越える程度までずれていた際に、内部リークが発生していると判定される。よって、圧力比Ｒを基準圧力比ＲＳと比較するという簡単な作業を行うことにより、測定誤差などの影響を抑制しながら内部リークの有無がより高精度に判定されるため、より高い効果を得ることができる。
【００５４】
この場合には、内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド１００を用いて相関関係ＣＲをあらかじめ取得しておき、その相関関係ＣＲに基づいて流量Ｍに対応する圧力比Ｒを基準圧力比ＲＳとすれば、流量Ｍの値が変更されても、その相関関係ＣＲに基づいて変更後の流量Ｍに対応する正常時の圧力比Ｒ（基準圧力比ＲＳ）が特定される。これにより、流量Ｍの値に依存せずに、内部リークの有無を判定するための基準となる基準圧力比ＲＳが正確に決定される。よって、流量Ｍを変更しても内部リークの有無が高精度に判定されるため、さらに高い効果を得ることができる。
【００５５】
また、流体Ｆとして気体を用いれば、以下で説明する理由により、より高い効果を得ることができる。すなわち、流体Ｆとして液体を用いる場合には、インクジェットヘッド１００を検査した結果、流路Ｌの破損に起因した内部リークが発生していないと、出荷前のインクジェットヘッド１００（流路Ｌ）に不要な液体が付着するため、その不要な液体を除去するために流路Ｌの洗浄が必要になる。これに対して、流体Ｆとして気体を用いる場合には、上記した液体を用いる場合とは異なり、出荷前のインクジェットヘッド１００に液体が付着しないため、流路Ｌの洗浄が不要になる。よって、不要な液体の付着に起因した洗浄処理を必要とせずに、インクジェットヘッド１００の噴射特性が容易かつ正確に検査されるため、より高い効果を得ることができる。
【００５６】
この他、気体を用いると、インクジェットヘッド１００（流路Ｌ）に液体が付着しないため、内部リークが発生しているインクジェットヘッド１００を廃棄する際に、その液体を考慮（処理）する必要がなくなるため、その液体の処理が不要になる観点においても利点が得られる。
【００５７】
＜２．変形例＞
上記したインクジェットヘッド１００の検査手順に関しては、以下で説明するように、種々の変形が可能である。なお、以下で説明する一連の変形例に関しては、任意の２種類以上が互いに組み合わされてもよい。
【００５８】
［変形例１］
図５〜図７に示したように、相関関係ＣＰ１，ＣＰ２に基づいて相関関係ＣＲを取得した場合において、内部リークの有無を判定する工程を１回だけ行った。この内部リークの有無を判定する工程とは、上記したように、所望の流量Ｍとなるように流体Ｆの流量Ｍを決定することにより、その流量Ｍに対応する基準圧力比ＲＳを特定したのち、圧力比Ｒを基準圧力比ＲＳと比較する工程である。
【００５９】
しかしながら、内部リークの有無を判定する工程の回数は、１回に限られず、２回以上でもよい。この場合においても、内部リークの有無が判定されるため、同様の効果を得ることができる。この場合には、特に、流体Ｆの流量Ｍを変更しながら内部リークの有無を判定する工程を２回以上（例えば、３回）行えば、判定の精度がより向上するため、より高い効果を得ることができる。
【００６０】
［変形例２］
図５に示したように、相関関係ＣＰ１を取得するために、流量Ｍを変更しながら複数の圧力Ｐ１を測定することにより、近似直線Ｎ１を得た。また、図６に示したように、相関関係ＣＰ２を取得するために、流量Ｍを変更しながら複数の圧力Ｐ２を測定することにより、近似直線Ｎ２を得た。
【００６１】
しかしながら、流量Ｍを変更せずに固定する場合、すなわち流量Ｍを一定の値に設定する場合には、例えば、相関関係ＣＰ１を取得するために、特定の値である流量Ｍに対応する圧力Ｐ１だけを測定しておいてもよいと共に、相関関係ＣＰ２を取得するために、特定の値である流量Ｍに対応する圧力Ｐ２だけを測定しておいてもよい。この場合においても、流量Ｍに対応する圧力Ｐ１，Ｐ２が特定されることにより、その流量Ｍに対応する圧力比Ｒ（基準圧力比ＲＳ）が特定されるため、同様の効果を得ることができる。
【００６２】
［変形例３］
図４では、圧力比Ｒだけに基づいて内部リークの有無を判定した。しかしながら、図４に対応する図８に示したように、圧力比Ｒに基づいて内部リークの有無を判定した上で、さらに、圧力Ｐ１，Ｐ２の双方に基づいて内部リークの有無を判定してもよい。
【００６３】
具体的には、前準備手順（図３）と、圧力比Ｒに基づいた内部リークの判定手順（図４）を行ったのち、最初に、内部リークの有無を判定するための基準となる基準圧力Ｐ１Ｓ，Ｐ２Ｓを取得する（ステップＳ３１）。この場合には、相関関係ＣＰ１に基づいて流量Ｍに対応する圧力Ｐ１を特定することにより、その圧力Ｐ１を基準圧力Ｐ１Ｓとすると共に、相関関係ＣＰ２に基づいて流量Ｍに対応する圧力Ｐ２を特定することにより、その圧力Ｐ２を基準圧力Ｐ２Ｓとする。この基準圧力Ｐ１Ｓは、流路Ｌ１に流体Ｆ（流量Ｍ）を流した際に内部リークが発生していなければ測定されるはずである圧力Ｐ１であると共に、基準圧力Ｐ２Ｓは、流路Ｌ２に流体Ｆ（流量Ｍ）を流した際に内部リークが発生していなければ測定されるはずである圧力Ｐ２である。
【００６４】
続いて、圧力Ｐ１に基づいて内部リークの有無を判定する。具体的には、例えば、圧力Ｐ１を基準圧力Ｐ１Ｓと比較する（ステップＳ３２）。この基準圧力Ｐ１Ｓは、上記したように、内部リークが発生していなければ測定されるはずである圧力Ｐ１であるため、その圧力Ｐ１と基準圧力Ｐ１Ｓとの対応関係に基づいて内部リークの有無を判定することができる。この場合には、例えば、圧力Ｐ１が基準圧力Ｐ１Ｓに対して所定の範囲内（Ｐ１Ｓ−Ｙ≦Ｐ１≦Ｐ１Ｓ＋Ｙ）であるか否かを確認する（ステップＳ３３）。Ｙの値は、特に限定されないため、例えば、圧力Ｐ１の測定誤差などの要因を加味した上で、任意に設定可能である。ここでは、Ｙの値は、例えば、基準圧力Ｐ１Ｓの３％に相当する値である。
【００６５】
圧力Ｐ１が基準圧力Ｐ１Ｓに対して所定の範囲内でない場合（ステップＳ３３Ｎ）には、許容マージン（Ｙ）を加味した上でも圧力Ｐ１が基準圧力Ｐ１Ｓとは大きく異なっているため、内部リークが発生していると判定する（ステップＳ３４）。
【００６６】
一方、圧力Ｐ１が基準圧力Ｐ１Ｓに対して所定の範囲内である場合（ステップＳ３３Ｙ）には、引き続き、圧力Ｐ２に基づいて内部リークの有無を判定する。具体的には、例えば、圧力Ｐ２を基準圧力Ｐ２Ｓと比較する（ステップＳ３５）。この基準圧力Ｐ２Ｓは、上記したように、内部リークが発生していなければ測定されるはずである圧力Ｐ２であるため、その圧力Ｐ２と基準圧力Ｐ２Ｓとの対応関係に基づいて内部リークの有無を判定することができる。この場合には、例えば、圧力Ｐ２が基準圧力Ｐ２Ｓに対して所定の範囲内（Ｐ２Ｓ−Ｚ≦Ｐ２≦Ｐ２Ｓ＋Ｚ）であるか否かを確認する（ステップＳ３６）。Ｚの値は、特に限定されないため、例えば、圧力Ｐ２の測定誤差などの要因を加味した上で、任意に設定可能である。ここでは、Ｚの値は、例えば、基準圧力Ｐ２Ｓの３％に相当する値である。
【００６７】
圧力Ｐ２が基準圧力Ｐ２Ｓに対して所定の範囲内でない場合（ステップＳ３６Ｎ）には、許容マージン（Ｚ）を加味した上でも圧力Ｐ２が基準圧力Ｐ２Ｓとは大きく異なっているため、内部リークが発生していると判定する（ステップＳ３４）。
【００６８】
一方、圧力Ｐ２が基準圧力Ｐ２Ｓに対して所定の範囲内である場合（ステップＳ３６Ｙ）には、許容マージン（Ｚ）を加味した上で圧力Ｐ２が基準圧力Ｐ２Ｓにほぼ一致しているため、内部リークが発生していないと判定する（ステップＳ３７）。
【００６９】
これにより、圧力比Ｒと共に圧力Ｐ１，Ｐ２に基づいて内部リークの有無が判定されるため、その内部リークの判定手順が完了する。
【００７０】
この場合には、以下で説明する理由により、圧力比Ｒだけに基づいて内部リークの有無を判定する場合と比較して、より高い効果を得ることができる。すなわち、圧力比Ｒだけに基づいて内部リークの有無を判定する場合には、その内部リークの発生に起因して圧力Ｐ１，Ｐ２の双方が大幅に変動していても圧力比Ｒが変動していないと、その内部リークは発生していないと判定される可能性がある。具体的には、例えば、内部リークの発生に起因して圧力Ｐ１が低下していても、その内部リークの発生に起因して圧力Ｐ２も同様に低下していると、結果として、圧力比Ｒが変動していない状況が考えられる。しかしながら、圧力比Ｒに基づいて内部リークの有無が判定されるだけでなく、さらに、圧力Ｐ１，Ｐ２の双方に基づいて内部リークの有無が判定されると、圧力比Ｒが変動していなくても、圧力Ｐ１，Ｐ２のうちの一方または双方が変動していれば、内部リークが発生していると判定される。よって、内部リークの有無がより正確に判定されるため、より高い効果を得ることができる。
【００７１】
特に、内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド１００を用いて基準圧力Ｐ１Ｓをあらかじめ取得しておき、圧力Ｐ１を基準圧力Ｐ１Ｓと比較すると共に、その圧力Ｐ１が基準圧力Ｐ１Ｓに対して所定の範囲内でない場合に内部リークが発生していると判定すれば、圧力Ｐ１が正常時の圧力Ｐ１（基準圧力Ｐ１Ｓ）と比較されることにより、その圧力Ｐ１が基準圧力Ｐ１Ｓから一定の範囲を越える程度までずれていた際に、内部リークが発生していると判定される。よって、圧力比Ｐ１を基準圧力Ｐ１Ｓと比較するという簡単な作業を行うことにより、測定誤差などの影響を抑制しながら内部リークの有無がより高精度に判定されるため、より高い効果を得ることができる。
【００７２】
ここで説明した作用および効果は、内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド１００を用いて基準圧力Ｐ２Ｓをあらかじめ取得しておき、圧力Ｐ２を基準圧力Ｐ２Ｓと比較すると共に、その圧力Ｐ２が基準圧力Ｐ２Ｓに対して所定の範囲内でない場合に内部リークが発生していると判定しても、同様に得られる。
【００７３】
この他、内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド１００を用いて相関関係ＣＰ１をあらかじめ取得しておき、その相関関係ＣＰ１に基づいて流量Ｍに対応する圧力Ｐ１を基準圧力Ｐ１Ｓとすれば、流量Ｍの値が変更されても、その相関関係Ｐ１に基づいて変更後の流量Ｍに対応する正常時の圧力Ｐ１（基準圧力Ｐ１Ｓ）が特定される。これにより、流量Ｍの値に依存せずに、内部リークの有無を判定するための基準となる基準圧力Ｐ１Ｓが正確に決定される。よって、流量Ｍを変更しても内部リークの有無が高精度に判定されるため、さらに高い効果を得ることができる。
【００７４】
ここで説明した作用および効果は、内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド１００を用いて相関関係ＣＰ２をあらかじめ取得しておき、その相関関係ＣＰ２に基づいて流量Ｍに対応する圧力Ｐ２を基準圧力Ｐ２Ｓとする場合においても、同様に得られる。
【００７５】
もちろん、圧力Ｐ１に基づいて内部リークの有無を判定する場合において、その判定を行う回数は、例えば、上記した圧力比Ｒに基づいて内部リークの有無を判定する場合と同様に、１回だけに限られず、２回以上でもよい。また、圧力Ｐ２に基づいて内部リークの有無を判定する場合において、その判定を行う回数は、例えば、上記した圧力比Ｒに基づいて内部リークの有無を判定する場合と同様に、１回だけに限られず、２回以上でもよい。判定の回数を多くすれば、その判定の精度がより向上するため、より高い効果を得ることができる。
【００７６】
［変形例４］
図８では、圧力Ｐ１，Ｐ２の双方に基づいて内部リークの有無を判定したが、図８に対応する図９に示したように、圧力Ｐ１，Ｐ２のうちのいずれか一方に基づいて内部リークの有無を判定してもよい。
【００７７】
具体的には、前準備手順（図３）と、圧力比Ｒに基づいた内部リークの判定手順（図４）を行ったのち、最初に、基準圧力Ｐ１Ｓを取得する（ステップＳ４１）。続いて、圧力Ｐ１に基づいて内部リークの有無を判定し、具体的には、例えば、圧力Ｐ１を基準圧力Ｐ１Ｓと比較する（ステップＳ４２）。この場合には、例えば、圧力Ｐ１が基準圧力Ｐ１Ｓに対して所定の範囲内であるか否かを確認する（ステップＳ４３）。
【００７８】
圧力Ｐ１が基準圧力Ｐ１Ｓに対して所定の範囲内でない場合（ステップＳ４３Ｎ）には、内部リークが発生していると判定すると共に（ステップＳ４４）、圧力Ｐ１が基準圧力Ｐ１Ｓに対して所定の範囲内である場合（ステップＳ４３Ｙ）には、内部リークが発生していないと判定する（ステップＳ４５）。
【００７９】
これにより、圧力比Ｒと共に圧力Ｐ１に基づいて内部リークの有無が判定されるため、その内部リークの判定手順が完了する。もちろん、ここでは圧力比Ｒと共に圧力Ｐ１に基づいて内部リークの有無を判定する場合に関して説明したが、圧力比Ｒと共に圧力Ｐ２に基づいて内部リークの有無を判定してもよい。
【００８０】
この場合においても、圧力比Ｒが変動していなくても圧力Ｐ１または圧力Ｐ２が変動していれば内部リークが発生していると判定されるため、同様の効果を得ることができる。これ以外の作用および効果は、圧力Ｐ１，Ｐ２の双方に基づいて内部リークの有無を判定した場合と同様である。
【００８１】
［変形例５］
流体Ｆとして気体を用いたが、その流体Ｆとしてインク１などの液体を用いてもよい。この場合においても、インクジェットヘッド１００（流路Ｌ）において内部リークが発生しているか否かは容易かつ正確に判定されるため、同様の効果を得ることができる。ただし、上記したように、インク１の付着に起因した洗浄処理などが必要になることを回避するためには、流体Ｆとして気体を用いることが好ましい。
【００８２】
［変形例６］
圧力比Ｒを算出する場合において、分母を圧力Ｐ１とすると共に分子を圧力Ｐ２としたが（Ｒ＝Ｐ２／Ｐ１）、例えば、分母を圧力Ｐ２とすると共に分子を圧力Ｐ１としてもよい（Ｒ＝Ｐ１／Ｐ２）。また、圧力Ｐ１，Ｐ２の双方に基づいて内部リークの有無を判定する場合において、圧力Ｐ１に基づいて内部リークの有無を判定したのち、圧力Ｐ２に基づいて内部リークの有無を判定したが、例えば、圧力Ｐ２に基づいて内部リークの有無を判定したのち、圧力Ｐ１に基づいて内部リークの有無を判定してもよい。これらの場合においても、同様の効果を得ることができる。
【００８３】
［変形例７］
圧力比Ｒを算出したのち、内部リークの有無を判定するために圧力比Ｒを基準圧力比ＲＳと比較したが、その基準圧力比ＲＳを用いずに圧力比Ｒだけに基づいて内部リークの有無を判定してもよい。
【００８４】
この場合には、例えば、複数のインクジェットヘッド１００を用いて圧力Ｐ１，Ｐ２を測定することにより、インクジェットヘッド１００ごとに圧力比Ｒを算出したのち、各インクジェットヘッド１００の圧力比Ｒを比較する。これにより、例えば、各インクジェットヘッド１００の圧力比Ｒが所定の範囲内である場合には、各インクジェットヘッド１００において内部リークが発生していないと判定する。一方、例えば、一部のインクジェットヘッド１００の圧力比Ｒが所定の範囲外であるのに対して、それ以外のインクジェットヘッド１００の圧力比Ｒが所定の範囲内である場合には、その一部のインクジェットヘッド１００において内部リークが発生していると判定する。
【００８５】
この場合においても、インクジェットヘッド１００（流路Ｌ）において内部リークが発生しているか否かは圧力比Ｒに基づいて容易かつ正確に判定されるため、同様の効果を得ることができる。
【００８６】
［変形例８］
インクジェットヘッド１００がサイドシュートタイプである場合に関して説明したが、例えば、そのインクジェットヘッド１００はエッジシュートタイプでもよい。エッジシュートタイプのインクジェットヘッド１００では、複数のチャネルの延在方向と交差する方向にインク１が噴射されるサイドシュートタイプのインクジェットヘッド１００とは異なり、複数のチャネルの延在方向と同様の方向にインク１が噴射される。この場合においても、同様の効果を得ることができる。
【００８７】
以上、一実施形態を挙げながら本開示に関して説明したが、本開示の態様は、上記した一実施形態において説明された態様に限定されない。このため、本開示の態様に関しては、種々の変形が可能である。
【００８８】
具体的には、液体噴射ヘッドの用途は、上記したように、対象物に液体が噴射されることを要する用途であれば、特に限定されない。よって、液体噴射ヘッドの用途は、上記したプリンタ（インクジェットプリンタ）に限定されず、ファクシミリおよびオンデマンド印刷機などでもよい。
【００８９】
なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。
【００９０】
また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
第１流路口から第２流路口に向かって流体が流れる流路と、前記第１流路口と前記第２流路口との間において前記流路に設けられると共に前記流路を流れる前記流体の一部を外部に放出する放出口と、を備えた液体噴射ヘッドを用いて、
前記第１流路口を開放すると共に前記第２流路口を閉塞しながら、前記第１流路口から前記流路に所定の流量で前記流体を流すことにより、前記第１流路口から前記放出口に向かって流れる前記流体の圧力である第１圧力を測定し、
前記第１流路口を閉塞すると共に前記第２流路口を開放しながら、前記第２流路口から前記流路に前記所定の流量で前記流体を流すことにより、前記第２流路口から前記放出口に向かって流れる前記流体の圧力である第２圧力を測定し、
前記第１圧力および前記第２圧力に基づいて、圧力比を算出し、
前記圧力比に基づいて、前記第１流路口から前記第２流路口に向かって前記流路を流れる前記流体の漏れの有無を判定する、
液体噴射ヘッドの検査方法。
（２）
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて前記第１圧力および前記第２圧力に基づいて算出される前記圧力比である基準圧力比をあらかじめ取得しておき、
前記流体の漏れの有無を判定する際に、前記圧力比を前記基準圧力比と比較し、
前記圧力比が前記基準圧力比に対して所定の範囲内でない際に、前記流体の漏れが発生していると判定する、
上記した（１）に記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
（３）
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて前記流量と前記圧力比との相関関係をあらかじめ取得しておき、
前記基準圧力比を取得する際に、前記流量と前記圧力比との相関関係に基づいて、前記所定の流量に対応する前記圧力比を前記基準圧力比とする、
上記した（２）に記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
（４）
さらに、前記第１圧力および前記第２圧力のうちの少なくとも一方に基づいて、前記流体の漏れの有無を判定する、
上記した（１）ないし（３）のいずれかに記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
（５）
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて測定される前記第１圧力である第１基準圧力をあらかじめ取得しておき、
前記流体の漏れの有無を判定する際に、前記第１圧力を前記第１基準圧力と比較し、
前記第１圧力が前記第１基準圧力に対して所定の範囲内でない際に、前記流体の漏れが発生していると判定すると共に、
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて測定される前記第２圧力である第２基準圧力をあらかじめ取得しておき、
前記液体の漏れの有無を判定する際に、前記第２圧力を前記第２基準圧力と比較し、
前記第２圧力が前記第２基準圧力に対して所定の範囲内でない際に、前記流体の漏れが発生していると判定する、
上記した（４）に記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
（６）
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて前記流量と前記第１圧力との相関関係をあらかじめ取得しておき、
前記第１基準圧力を取得する際に、前記流量と前記第１圧力との相関関係に基づいて、前記所定の流量に対応する前記第１圧力を前記第１基準圧力とすると共に、
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて前記流量と前記第２圧力との相関関係をあらかじめ取得しておき、
前記第２基準圧力を取得する際に、前記流量と前記第２圧力との相関関係に基づいて、前記所定の流量に対応する前記第２圧力を前記第２基準圧力とする、
上記した（５）に記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
（７）
前記流体として気体を用いる、
上記した（１）ないし（６）のいずれかに記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
【符号の説明】
【００９１】
１…インク、１１Ｈ…ノズル孔、４０Ｔ…導入口、５０Ｔ…排出口、１００…インクジェットヘッド、Ｆ…流体、Ｌ（Ｌ１〜Ｌ３）…流路、Ｐ１，Ｐ２…圧力、Ｐ１Ｓ，Ｐ２Ｓ…基準圧力、Ｒ…圧力比、ＲＳ…基準圧力比。
【図１】
2020075390.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2020075390.tif 000008
【図７】
2020075390.tif 000009
【図８】
2020075390.tif 000010
【図９】
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