(57)【要約】【課題】Ｓｃ：Ａｌ2Ｏ3とは異なる電子線励起の有用な発光材料を備える紫外光発生用ターゲット及びその製造方法、並びに電子線励起紫外光源を提供する。【解決手段】紫外光発生用ターゲット２０は、発光層２２を備える。発光層２２は、少なくともスカンジウム（Ｓｃ）が添加されているＹＰＯ4結晶を含み、電子線ＥＢを受けて紫外光ＵＶを発生する。また、紫外光発生用ターゲット２０の製造方法は、イットリウム（Ｙ）の酸化物、Ｓｃの酸化物、リン酸、及び液体を含む混合物を作製する第１工程と、液体を蒸発させる第２工程と、混合物を焼成する第３工程とを含む。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともスカンジウム（Ｓｃ）が添加されているＹＰＯ4結晶を含み電子線を受けて紫外光を発生する発光部を備える、紫外光発生用ターゲット。
【請求項２】
前記ＹＰＯ4結晶にビスマス（Ｂｉ）が更に添加されている、請求項１に記載の紫外光発生用ターゲット。
【請求項３】
Ｐ及びＯを除く成分に占めるＳｃのモル組成比が０．０２以上０．６以下である、請求項１または２に記載の紫外光発生用ターゲット。
【請求項４】
ＣｕＫα線を用いたＸ線回折計によって測定される前記発光部の＜２００＞面の回折強度ピーク波形の半値幅が０．２５°以下である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の紫外光発生用ターゲット。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の紫外光発生用ターゲットを製造する方法であって、
イットリウム（Ｙ）の酸化物、スカンジウム（Ｓｃ）の酸化物、リン酸若しくはリン酸化合物、及び液体を含む混合物を作製する第１工程と、
前記液体を蒸発させる第２工程と、
前記混合物を焼成する第３工程と、
を含む、紫外光発生用ターゲットの製造方法。
【請求項６】
前記第１工程において、ビスマス（Ｂｉ）の酸化物を更に含む前記混合物を作製する、請求項５に記載の紫外光発生用ターゲットの製造方法。
【請求項７】
前記第１工程において、リン酸及びリン酸化合物を除くＳｃの酸化物の混合割合を１．２質量％以上４７．８質量％以下とする、請求項５または６に記載の紫外光発生用ターゲットの製造方法。
【請求項８】
前記第３工程において、焼成温度を１０５０℃以上とする、請求項５〜７のいずれか一項に記載の紫外光発生用ターゲットの製造方法。
【請求項９】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の紫外光発生用ターゲットと、
前記発光部に前記電子線を照射する電子源と、
を備える、電子線励起紫外光源。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、紫外光発生用ターゲット及びその製造方法、並びに電子線励起紫外光源に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、電子線を受けて紫外光を発生させる光源に関する技術が開示されている。この紫外光源では、Ｓｃを添加したＡｌ2Ｏ3（「Ｓｃ：Ａｌ2Ｏ3」とも表記される）が発光材料として用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２４５２９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来より、紫外光源として、水銀キセノンランプや重水素ランプ等の電子管が用いられてきた。しかし、このような紫外光源は、発光効率が低く、大型であり、また安定性や寿命の点で課題がある。また、水銀キセノンランプを用いる場合、水銀による環境への影響が懸念される。一方、別の紫外光源として、ターゲットに電子線を照射することにより紫外光を励起させる構造を備えるものがある（例えば特許文献１を参照）。このような光源は、高い安定性を生かした光計測分野や、低消費電力性を生かした殺菌や消毒用、あるいは高い波長選択性を利用した医療用光源やバイオ化学用光源として期待されている。そして、電子線により紫外光を励起させる光源においては、上述したＳｃ：Ａｌ2Ｏ3以外にも、電子線励起の有用な発光材料が求められている。本発明は、Ｓｃ：Ａｌ2Ｏ3とは異なる電子線励起の有用な発光材料を備える紫外光発生用ターゲット及びその製造方法、並びに電子線励起紫外光源を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した課題を解決するために、本発明の一態様による紫外光発生用ターゲットは、少なくともスカンジウム（Ｓｃ）が添加されているＹＰＯ4結晶を含み電子線を受けて紫外光を発生する発光部を備える。また、本発明の一態様による紫外光発生用ターゲットの製造方法は、この紫外光発生用ターゲットを製造する方法であって、イットリウム（Ｙ）の酸化物、スカンジウム（Ｓｃ）の酸化物、リン酸若しくはリン酸化合物、及び液体を含む混合物を作製する第１工程と、液体を蒸発させる第２工程と、混合物を焼成する第３工程と、を含む。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の一態様によれば、Ｓｃ：Ａｌ2Ｏ3とは異なる電子線励起の有用な発光材料を備える紫外光発生用ターゲット及びその製造方法、並びに電子線励起紫外光源を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】一実施形態に係る紫外光発生用ターゲットを備える電子線励起紫外光源１０の内部構成を示す模式図である。
【図２】紫外光発生用ターゲット２０の構成を示す断面図である。
【図３】紫外光発生用ターゲット２０の製造方法における各工程を示すフローチャートである。
【図４】レーザアブレーションによる紫外光発生用ターゲット２０の製造方法における各工程を示すフローチャートである。
【図５】実施例において用いられた実験装置を概略的に示す図である。
【図６】第１実施例において得られた、焼成温度と発光強度との関係を示すグラフである。
【図７】第１実施例において得られた、焼成温度毎の発光スペクトルを示すグラフである。
【図８】第１実施例において得られた、Ｐ及びＯを除く成分に占めるＳｃの濃度と発光強度との関係を示すグラフである。
【図９】図８の基になった数値を示す図表である。
【図１０】Ｓｃ濃度毎の発光スペクトルを示すグラフである。
【図１１】Ｓｃ濃度毎の発光スペクトルを示すグラフである。
【図１２】ＣｕＫα線を用いたＸ線回折計によって測定された、焼成温度が互いに異なる各試料の回折強度波形を示すグラフである。
【図１３】図１２に示された各焼成温度の回折強度波形における＜２００＞面付近（２θ／θ＝２６°付近）の回折強度ピーク波形を拡大し、重ねて示すグラフである。
【図１４】焼成温度と＜２００＞面の回折ピーク強度との関係を示すグラフである。
【図１５】＜２００＞面に対応する回折強度ピーク波形の半値幅と焼成温度との関係を示すグラフである。
【図１６】図１５の基になった数値を示す図表である。
【図１７】第２実施例において得られた、焼成温度毎の発光スペクトルを示すグラフである。
【図１８】続いて、液相法及び固相法のそれぞれを用いて作製した試料を石英基板上に膜状に塗布し、電子線を照射して発光スペクトルを計測した。図１８は、その計測結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
一実施形態に係る紫外光発生用ターゲットは、少なくともスカンジウム（Ｓｃ）が添加されているＹＰＯ4結晶を含み電子線を受けて紫外光を発生する発光部を備える。本発明者の実験によれば、このような組成を有する発光部に電子線を照射すると、２４０ｎｍ付近の波長を有する紫外光を励起させることができる。従って、Ｓｃ：Ａｌ2Ｏ3とは異なる電子線励起の有用な発光材料を備える紫外光発生用ターゲットを提供できる。
【０００９】
上記の紫外光発生用ターゲットでは、ＹＰＯ4結晶にビスマス（Ｂｉ）が更に添加されてもよい。この場合であっても、発光部への電子線の照射により紫外光を効果的に励起させることができる。
【００１０】
上記の紫外光発生用ターゲットでは、Ｐ及びＯを除く成分に占めるＳｃのモル組成比が０．０２以上０．６以下であってもよい。本発明者の実験によれば、Ｓｃの濃度がこのような範囲内にある場合に、紫外光の発光強度を顕著に高めることができる。
【００１１】
上記の紫外光発生用ターゲットでは、ＣｕＫα線を用いたＸ線回折計によって測定される発光部の＜２００＞面の回折強度ピーク波形の半値幅が０．２５°以下であってもよい。本発明者の実験によれば、この場合に紫外光の発光強度を顕著に高めることができる。
【００１２】
また、一実施形態に係る紫外光発生用ターゲットの製造方法は、上記いずれかの紫外光発生用ターゲットを製造する方法であって、イットリウム（Ｙ）の酸化物、スカンジウム（Ｓｃ）の酸化物、リン酸若しくはリン酸化合物、及び液体を含む混合物を作製する第１工程と、液体を蒸発させる第２工程と、混合物を焼成する第３工程と、を含む。このような製造方法によれば、上述した紫外光発生用ターゲットの発光部を好適に作製することができる。加えて、本発明者の実験によれば、このような液相法（溶液法ともいう）により、Ｙの酸化物、Ｓｃの酸化物、及びリン酸（若しくはリン酸化合物）の粉末を単に混合して焼成する方法（固相法）と比較して、紫外光の発光強度をより高めることができる。
【００１３】
上記の製造方法の第１工程では、ビスマス（Ｂｉ）の酸化物を更に含む混合物を作製してもよい。この場合であっても、発光部への電子線の照射により紫外光を効果的に励起させることができる。
【００１４】
上記の製造方法の第１工程では、リン酸及びリン酸化合物を除くＳｃの酸化物の混合割合を１．２質量％以上４７．８質量％以下としてもよい。本発明者の実験によれば、Ｓｃがこのような混合割合である場合に、紫外光の発光強度を顕著に高めることができる。
【００１５】
上記の製造方法の第３工程では、焼成温度を１０５０℃以上としてもよい。本発明者の実験によれば、この場合に紫外光の発光強度を顕著に高めることができる。
【００１６】
また、一実施形態に係る電子線励起紫外光源は、上記いずれかの紫外光発生用ターゲットと、発光部に電子線を照射する電子源と、を備える。この電子線励起紫外光源によれば、上記いずれかの紫外光発生用ターゲットを備えることにより、Ｓｃ：Ａｌ2Ｏ3とは異なる電子線励起の有用な発光材料を備える紫外光源を提供できる。
【００１７】
（実施の形態の詳細）
以下、添付図面を参照しながら本発明による紫外光発生用ターゲット及びその製造方法、並びに電子線励起紫外光源の実施の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１８】
図１は、一実施形態に係る紫外光発生用ターゲットを備える電子線励起紫外光源１０の内部構成を示す模式図である。図１に示されるように、この電子線励起紫外光源１０では、真空排気された容器（電子管）１１の内部の上端側に、電子源１２および引き出し電極１３が配置されている。そして、電子源１２と引き出し電極１３との間に電源部１６から適当な引き出し電圧が印加されると、高電圧によって加速された電子線ＥＢが電子源１２から出射される。電子源１２としては、例えば大面積の電子線を出射する電子源（例えばカーボンナノチューブ等の冷陰極、或いは熱陰極）が用いられる。
【００１９】
また、容器１１の内部の下端側には、紫外光発生用ターゲット２０が配置されている。紫外光発生用ターゲット２０は例えば接地電位に設定され、電子源１２には電源部１６から負の高電圧が印加される。これにより、電子源１２から出射された電子線ＥＢは紫外光発生用ターゲット２０に照射される。紫外光発生用ターゲット２０は、この電子線ＥＢを受けて励起され、紫外光ＵＶを発生する。
【００２０】
図２は、紫外光発生用ターゲット２０の構成を示す断面図である。図２に示されるように、紫外光発生用ターゲット２０は、基板２１と、基板２１上に設けられた発光層２２と、発光層２２上に設けられた光反射膜２４とを備えている。基板２１は、紫外光ＵＶを透過する材料から成る板状の部材であり、本実施形態ではサファイア（Ａｌ2Ｏ3）から成る。基板２１は、主面２１ａおよび裏面２１ｂを有する。基板２１の厚さは、例えば０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下である。
【００２１】
発光層２２は、本実施形態における発光部の例である。発光層２２は、基板２１の主面２１ａと接しており、電子線ＥＢを受けて励起され、紫外光ＵＶを発生する。発光層２２は、賦活剤が添加された希土類元素を含有する酸化物結晶を含む。本実施形態では、賦活剤はスカンジウム（Ｓｃ）である。Ｓｃに加えて、ビスマス（Ｂｉ）が賦活剤として添加されてもよい。また、希土類元素を含有する酸化物結晶は、イットリウム（Ｙ）及びリン（Ｐ）の酸化物すなわちＹＰＯ4（イットリウムリン酸）である。一例では、発光層２２の組成は、ＳｃxＢｉyＹ1-x-yＰＯ4（０＜ｘ＜１、０≦ｙ＜１）として表すことができる。なお、発光層２２は、Ｓｃ及びＢｉ以外の賦活剤、或いはＹ以外の希土類元素を含んでもよく、これらを全く含まなくてもよい。発光層２２の膜厚は、例えば０．１μｍ以上１ｍｍ以下である。
【００２２】
後述する実施例に示されるように、Ｐ及びＯを除く成分に占めるＳｃのモル組成比、すなわちＳｃの組成ｘは、０．０２以上であってもよく、０．６以下であってもよい。換言すると、Ｐ及びＯを除く成分に占めるＳｃの濃度（以下、単にＳｃ濃度と称することがある）は、２ｍｏｌ％以上であってもよく、６０ｍｏｌ％以下であってもよい。この場合、紫外光ＵＶの発光強度（言い換えると、電子線のエネルギーに対する紫外光への変換効率）を顕著に高めることができる。或いは、Ｓｃの組成ｘは、０．０３以上であってもよく、０．０４以上であってもよく、或いは０．０５以上であってもよい。換言すると、Ｓｃ濃度は、３ｍｏｌ％以上であってもよく、４ｍｏｌ％以上であってもよく、或いは５ｍｏｌ％以上であってもよい。このような濃度レベルでは、濃度が大きくなるほど紫外光ＵＶの発光強度を更に高めることができる。また、Ｓｃの組成ｘは、０．５以下であってもよく、０．４以下であってもよく、或いは０．３以下であってもよい。換言すると、Ｓｃ濃度は、５０ｍｏｌ％以下であってもよく、４０ｍｏｌ％以下であってもよく、或いは３０ｍｏｌ％以下であってもよい。このような濃度レベルでは、濃度が小さくなるほど紫外光ＵＶの発光強度を更に高めることができる。
【００２３】
発光層２２の結晶化の度合いは、焼結温度に応じて変化する。後述する実施例に示されるように、ＣｕＫα線（波長１．５４Å）を用いたＸ線回折（X-ray diffraction：ＸＲＤ）計によって測定される発光層２２の＜２００＞面の回折強度ピーク波形の半値幅は、０．２５°以下であってもよい。この場合もまた、紫外光ＵＶの発光強度を顕著に高めることができる。或いは、この半値幅は、０．２０°以下であってもよく、０．１８°以下であってもよく、０．１６°以下であってもよい。この場合、紫外光ＵＶの発光強度を更に高めることができる。
【００２４】
光反射膜２４は、例えばアルミニウムといった金属材料を含む。光反射膜２４は、発光層２２の上面及び側面を完全に覆っている。発光層２２において発生した紫外光ＵＶのうち、基板２１とは反対の方向へ進む光は光反射膜２４によって反射され、基板２１に向けて進む。
【００２５】
この紫外光発生用ターゲット２０において、電子源１２（図１参照）から出射された電子線ＥＢが発光層２２に入射すると、発光層２２が励起され、紫外光ＵＶが生じる。紫外光ＵＶの一部は基板２１の主面２１ａに直接向かい、紫外光ＵＶの残りの部分は光反射膜２４によって反射された後に基板２１の主面２１ａに向かう。その後、紫外光ＵＶは主面２１ａに入射し、基板２１を透過後、裏面２１ｂから外部へ放射される。
【００２６】
図３は、紫外光発生用ターゲット２０の製造方法における各工程を示すフローチャートである。まず、第１工程Ｓ１１において、Ｙの酸化物（Ｙ2Ｏ3）、Ｓｃの酸化物（Ｓｃ2Ｏ3）、リン酸（Ｈ3ＰＯ4）若しくはリン酸化合物（例えばリン酸二水素アンモニウム（ＮＨ4Ｈ2ＰＯ4）、及び液体（例えば純水）を含む混合物を作製する。このとき、Ｂｉの酸化物（Ｂｉ2Ｏ3）を更に混合物に加えてもよい。具体的には、容器内に収容された液体内にＹの酸化物、Ｓｃの酸化物、及びリン酸（、及びＢｉの酸化物）を投入し、十分に攪拌する。攪拌に要する時間は、例えば２４時間である。これにより、容器内においてリン酸及び各酸化物を相互に反応させ、熟成させる。
【００２７】
この第１工程Ｓ１１においては、Ｓｃの酸化物の混合割合を１．２質量％以上４７．８質量％以下としてもよい。これにより、Ｐ及びＯを除く成分に占めるＳｃの濃度が２ｍｏｌ％以上６０ｍｏｌ％以下である（すなわちＳｃの組成ｘが０．０２以上０．６以下である）発光層２２を好適に作製することができる。或いは、Ｓｃの酸化物の混合割合を１．９質量％以上としてもよく、２．５質量％以上としてもよく、３．１質量％以上としてもよい。また、Ｓｃの酸化物の混合割合を３７．９質量％以下としてもよく、２８．９質量％以下としてもよく、２０．７質量％以下としてもよい。
【００２８】
次に、第２工程Ｓ１２において、上記混合物を加熱して液体を蒸発させる。これにより、上記混合物から液体を除いた粉末状の混合物が作製される。一例では、加熱温度は１００〜３００℃の範囲内であり、加熱時間は１〜５時間の範囲内である。
【００２９】
続いて、第３工程Ｓ１３において、混合物の焼成（熱処理）を行う。具体的には、まず、坩堝に入れた混合物を熱処理炉（例えば電気炉）内に設置する。そして、大気中において混合物の熱処理を行い、これらを焼成する。このときの焼成温度は例えば１０５０℃以上であり、また１７００℃以下である。焼成時間は例えば２時間の範囲内である。これにより、混合物の構成材料が結晶化する。なお、焼成温度は例えば１１００℃以上であってもよく、１２００℃以上であってもよく、１３００℃以上であってもよく、１４００℃以上であってもよく、１５００℃以上であってもよい。一実施例では、焼成温度は１６００℃である。１６００℃以下の温度範囲においては、焼成温度が高くなるほど発光層２２の結晶化の度合いが高まり、紫外光ＵＶの発光強度を更に高めることができる。
【００３０】
続いて、第４工程Ｓ１４において、焼成後の混合物を基板２１上に層状に配置する。このとき、粉末状の混合物をそのまま基板２１上に載せてもよいが、沈降法を用いてもよい。沈降法とは、アルコール等の液体中に粉末状の混合物を投入し、超音波等を用いて混合物を液体内にて分散させ、液体の底部に配置された基板２１上に混合物を自然に沈降させたのち乾燥させる方法である。このような方法を用いることによって、均一な密度及び厚さでもって混合物を基板２１上に堆積させることができる。こうして、発光層２２が基板２１上に形成される。
【００３１】
続いて、第５工程Ｓ１５において、発光層２２の焼成（熱処理）を再び行ってもよい。この焼成は、アルコールを充分に蒸発させる目的と、基板２１と混合物、および混合物同士の付着力を増加させる目的との為に大気中において行われる。このときの焼成温度は例えば１１００℃であり、焼成時間は例えば２時間である。
【００３２】
最後に、第６工程Ｓ１６において、発光層２２の上面及び側面を覆うように光反射膜２４を形成する。光反射膜２４の形成方法は、例えば真空蒸着である。発光層２２の上面上における光反射膜２４の厚さは例えば５０ｎｍである。以上の工程を経て、本実施形態の紫外光発生用ターゲット２０が完成する。
【００３３】
なお、上記の説明では混合物の焼成ののちに基板２１上に該混合物を堆積させているが、焼成前の混合物を基板２１上に堆積させたのちに混合物の焼成を行ってもよい。その場合、混合物の基板２１上への堆積は上述した沈降法により行ってもよい。
【００３４】
或いは、レーザアブレーションによって混合物を基板２１上に堆積させてもよい。図４は、レーザアブレーションによる紫外光発生用ターゲット２０の製造方法における各工程を示すフローチャートである。なお、第１工程Ｓ１１及び第２工程Ｓ１２については上記と同様なので詳細な説明を省略する。
【００３５】
第２工程Ｓ１２の後の第３工程Ｓ２１において、粉末状の混合物をペレット状に成型して、ターゲットを作製する。次に、第４工程Ｓ２２において、基板２１（例えばサファイア基板）を用意し、基板２１をレーザアブレーション装置の回転ホルダに設置するとともに、作製したターゲットを試料載置台に載せる。そして、真空容器の内部を排気し、ヒータによって基板２１を所定温度（例えば８００℃）まで加熱する。その後、ガス導入口から真空容器の内部へ酸素ガスを供給しながら、レーザビーム（例えばＫｒＦエキシマレーザからのレーザビーム（波長２４８ｎｍ））をレーザ導入口から導入してターゲットへ照射する。ターゲットを構成する原料は、レーザビームを受けて蒸発し、真空容器の内部を飛散する。この飛散した原料の一部が、基板２１の露出した一面に付着し、Ｓｃ：ＹＰＯ4の非晶質層が形成される（アブレーション成膜）。これにより、Ｓｃ：ＹＰＯ4が基板２１上に層状に配置される。
【００３６】
Ｓｃ：ＹＰＯ4を成膜する時間は、非晶質層が所望の厚さとなるように適宜調整される。非晶質層の厚さを、２μｍ以下としてもよい。また、好適な非晶質層が得られ、紫外光の発光強度に優れる観点から、非晶質層の厚さを、好ましくは１．８μｍ以下、より好ましくは１．６μｍ以下、更に好ましくは１．４μｍ以下、特に好ましくは１．２μｍ以下としてもよい。
【００３７】
また、非晶質層の厚さを、０．０５μｍ以上としてもよい。紫外光の発光強度に優れる観点から、非晶質層の厚さを、好ましくは０．１μｍ以上、より好ましくは０．５μｍ以上、更に好ましくは０．８μｍ以上、特に好ましくは１．０μｍ以上としてもよい。
【００３８】
続いて、第５工程Ｓ２３において、基板２１の一面上に形成されたＳｃ：ＹＰＯ4の非晶質層を焼成する。具体的には、非晶質層が形成された基板２１をレーザアブレーション装置から取り出し、焼成装置へ投入する。そして、焼成装置内の温度を例えば１６００℃より高温に設定し、その温度を所定時間維持することにより、基板２１上の非晶質層を焼成する。これにより、基板２１の一面上に発光層２２が形成される。
【００３９】
焼成雰囲気は、例えば真空又は大気であってよい。焼成温度は、例えば１８００℃以下であってよく、発光層２２の成膜性及び紫外光の発光強度に優れる観点から、好ましくは１７００℃以下、より好ましくは１６００℃以下、更に好ましくは１５００℃以下、特に好ましくは１４００℃以下であってよい。また、焼成温度は、例えば１０００℃以上であってよい。焼成時間は、例えば１〜１０時間であってよい。
【００４０】
以上に説明した本実施形態の紫外光発生用ターゲット２０及びその製造方法、並びに電子線励起紫外光源１０によって得られる効果について説明する。上述したように、紫外光発生用ターゲット２０の発光層２２は、少なくともＳｃが添加されているＹＰＯ4結晶を含む。後述する本発明者の実験によれば、このような組成を有する発光層２２に電子線ＥＢを照射すると、２４０ｎｍ付近（実験では２４１ｎｍ）の波長を有する紫外光ＵＶを励起させることができる。従って、本実施形態によれば、Ｓｃ：Ａｌ2Ｏ3とは異なる電子線励起の有用な発光材料を備える紫外光発生用ターゲット２０を提供できる。
【００４１】
また、本実施形態に係る紫外光発生用ターゲット２０の製造方法は、図３及び図４に示されたように、Ｙの酸化物、Ｓｃの酸化物、リン酸、及び液体を含む混合物を作製する第１工程Ｓ１１と、この混合物を加熱して液体を蒸発させる第２工程Ｓ１２と、混合物を焼成する第３工程Ｓ１３（若しくは第５工程Ｓ２３）とを含む。このような製造方法によれば、発光層２２を好適に作製することができる。加えて、後述する実施例に示されるように、このような液相法（溶液法ともいう）により、Ｙの酸化物、Ｓｃの酸化物、及びリン酸の粉末を単に混合して焼成する方法（固相法）と比較して、紫外光ＵＶの発光強度をより高めることができる。
【００４２】
上述したように、発光層２２のＹＰＯ4結晶にはＢｉが更に添加されてもよい。また、その為に、第１工程Ｓ１１において、Ｂｉの酸化物を更に含む混合物を作製してもよい。この場合であっても、発光層２２への電子線ＥＢの照射により紫外光ＵＶを効果的に励起させることができる。
【００４３】
上述したように、ＹＰＯ4結晶に含まれるＳｃの濃度は２ｍｏｌ％以上６０ｍｏｌ％以下であってもよい。また、その為に、第１工程Ｓ１１において、Ｓｃの酸化物の混合割合を１．２質量％以上４７．８質量％以下としてもよい。後述する本発明者の実験によれば、Ｓｃの濃度がこのような範囲内にある場合に、紫外光ＵＶの発光強度を顕著に高めることができる。
【００４４】
上述したように、ＣｕＫα線を用いたＸ線回折計によって測定される＜２００＞面の回折強度ピーク波形の半値幅は０．２５°以下であってもよい。また、その為に、第３工程Ｓ１３において、焼成温度を１０５０℃以上としてもよい。後述する本発明者の実験によれば、このような場合に紫外光ＵＶの発光強度を顕著に高めることができる。
【００４５】
また、本実施形態による電子線励起紫外光源１０は、紫外光発生用ターゲット２０と、発光層２２に電子線ＥＢを照射する電子源１２と、を備える。この電子線励起紫外光源１０によれば、紫外光発生用ターゲット２０を備えることにより、Ｓｃ：Ａｌ2Ｏ3とは異なる電子線励起の有用な発光材料を備える紫外光源を提供できる。
【００４６】
（第１実施例）
ここで、上記実施形態の第１実施例について説明する。本発明者は、次に述べる方法によって、発光層２２としての複数の試料（Ｓｃ：ＹＰＯ4）を実際に作製した。まず、Ｙ2Ｏ3、Ｓｃ2Ｏ3、及びＨ3ＰＯ4を純水に混ぜて、複数の混合物を作製した。このとき、各試料のＰ及びＯを除く成分に占めるＳｃの濃度がそれぞれ０ｍｏｌ％、２ｍｏｌ％、５ｍｏｌ％、８ｍｏｌ％、１０ｍｏｌ％、１２ｍｏｌ％、１５ｍｏｌ％、２０ｍｏｌ％、４０ｍｏｌ％、６０ｍｏｌ％、８０ｍｏｌ％、及び１００ｍｏｌ％となるように、各混合物におけるＳｃ2Ｏ3の割合を互いに異ならせた。次に、各混合物を２４時間かけて十分に攪拌し、Ｙ2Ｏ3、Ｓｃ2Ｏ3、及びＨ3ＰＯ4を相互に反応させ、熟成させた。その後、混合物を加熱して純水を蒸発させ、粉末状の混合物を得た。続いて、大気中での混合物の焼成を行った。このとき、Ｓｃの濃度を５ｍｏｌ％とした試料については、更に複数に分け、そのうち１つの試料については焼成を行わず、また他の試料それぞれについては焼成温度を８００℃、１０００℃、１１００℃、１２００℃、１４００℃、１５００℃、１６００℃、及び１７００℃とした。また、他のＳｃ濃度の試料のうち、２ｍｏｌ％、８ｍｏｌ％、１０ｍｏｌ％、１２ｍｏｌ％、１５ｍｏｌ％、及び２０ｍｏｌ％の試料に関しては焼成温度を１６００℃とした。０ｍｏｌ％、４０ｍｏｌ％、及び６０ｍｏｌ％の試料に関しては、焼成温度を１４００℃および１６００℃の２通りとし、８０ｍｏｌ％及び１００ｍｏｌ％の試料に関しては焼成温度を１４００℃とした。焼成時間は２時間であった。その後、前述した沈降法によって、円板状の石英基板上に、試料を層状に堆積させた。
【００４７】
図５は、本実施例において用いられた実験装置を概略的に示す図である。この装置３０は、金属製の円筒状の真空容器３１と、真空容器３１の一端に配置された電子源３２（浜松ホトニクス製）と、真空容器３１の他端寄りの側壁に設けられた観察窓３３とを備える。電子源３２の電子線ＥＢの照射軸を真空容器３１の中心軸と一致させ、真空容器３１の他端側に配置された石英基板３４上の試料３５に電子線ＥＢを照射した。このとき、石英基板３４の表面を真空容器３１の中心軸に対して観察窓３３の方向に４５°傾け、試料３５から発生した紫外光ＵＶを観察窓３３から出射させた。真空容器３１の外部には分光検出器３７（浜松ホトニクス製、Photonic Multi-Analyzer PMA-12、型番C10027-01）を配置し、分光検出器３７に接続された光ファイバ３６の先端を観察窓３３に対向させた。電子線ＥＢのエネルギーは１００００ｅＶであった。
【００４８】
図６は、装置３０によって得られた、焼成温度と発光強度との関係を示すグラフである。また、図７は、装置３０によって得られた、焼成温度毎の発光スペクトルを示すグラフである。図６及び図７から明らかなように、焼成温度が１６００℃のときに発光強度が最も大きくなり、１６００℃までは焼成温度が高くなるほど発光強度が次第に大きくなる。特に、１０００℃から１１００℃にかけて、発光強度は顕著に増大している。すなわち、焼成温度を１０５０℃以上とすることにより、発光強度を顕著に高めることができる。なお、焼成温度が１６００℃を超えると発光強度は低下するが、焼成温度が１７００℃である場合であっても、十分な発光強度が得られている。
【００４９】
図８は、装置３０によって得られた、Ｐ及びＯを除く成分に占めるＳｃの濃度と発光強度との関係を示すグラフである。なお、図中の〇は焼成温度が１６００℃である場合のプロットであり、△は焼成温度が１４００℃である場合のプロットである。図９は、図８の基になった数値を示す図表である。また、図１０及び図１１は、装置３０によって得られた、Ｓｃ濃度毎の発光スペクトルを示すグラフである。図８〜図１１から明らかなように、Ｓｃ濃度が５ｍｏｌ％のときに発光強度が最も大きくなり、２ｍｏｌ％から６０ｍｏｌ％の範囲内では比較的高い発光強度が得られる。但し、４０ｍｏｌ％よりも大きい範囲では、Ｓｃ濃度が高くなるほど発光強度は次第に減少する。なお、この特性はＳｃ濃度に依存するものであって、Ｓｃ以外の賦活剤（例えばＢｉ等）が更に添加された場合であっても、この傾向は変わらないと考えられる。
【００５０】
ここで、焼成温度と試料の結晶性との関係について調べた結果について説明する。図１２は、ＣｕＫα線を用いたＸ線回折計によって測定された、焼成温度が互いに異なる各試料（Ｓｃ濃度は５ｍｏｌ％）の回折強度波形を示すグラフである。図中には、各回折強度波形に対応する焼成温度が併記されている。また、図中に記載された複数の数値Ａは、各回折強度波形のピークに対応する結晶面方位を表している。図１２を参照すると、焼成温度が４００℃を超えた辺りで、僅かに回折線が出現することがわかる。そして、焼成温度が高くなるほど、回折線が次第に明確となり、回折ピーク強度が増大する。
【００５１】
図１３は、図１２に示された各焼成温度の回折強度波形における＜２００＞面付近（２θ／θ＝２６°付近）の回折強度ピーク波形を拡大し、重ねて示すグラフである。また、図１４は、焼成温度と＜２００＞面の回折ピーク強度との関係を示すグラフである。図１４を参照すると、焼成温度が高くなるほど＜２００＞面の回折ピーク強度が次第に増大するが、焼成温度１１００℃辺りで飽和し始め、焼成温度１２００℃辺りで完全に飽和することがわかる。
【００５２】
また、図１５は、＜２００＞面に対応する回折強度ピーク波形の半値幅と焼成温度との関係を示すグラフである。また、図１６は図１５の基になった数値を示す図表である。図１５及び図１６を参照すると、焼成温度が高くなるほど＜２００＞面の回折強度ピーク波形の半値幅が次第に狭くなるが、焼成温度１４００℃辺りで飽和することがわかる。このときの半値幅はおよそ０．１６°である。また、図１５を参照すると、焼成温度が１０５０℃である場合の半値幅は０．２５°、焼成温度が１１００℃である場合の半値幅はおよそ０．２°であることがわかる。
【００５３】
回折ピーク強度はＸ線の強度や照射時間といった照射条件に依存して変化するが、回折強度ピーク波形の半値幅は、結晶性に応じて定まる定性的な値であるため、Ｘ線の照射条件には依存しない。すなわち、試料作製時の焼成温度は回折強度ピーク波形の半値幅に置き換えることができ、回折強度ピーク波形の半値幅を測定することによって、試料作製時の焼成温度を知ることができる。上記の実施形態において述べた、発光層２２における＜２００＞面の回折強度ピーク波形の半値幅は、発光層２２の作製時における第３工程Ｓ１３の焼成温度に対応する。
【００５４】
（第２実施例）
続いて、上記実施形態の第２実施例について説明する。本発明者は、賦活剤としてＳｃに加えてＢｉを添加した複数の試料を作製し、その発光特性について調べた。なお、作製方法及び実験装置は、材料にＢｉ2Ｏ3を加えたことを除いて、上記第１実施例と同様である。但し、Ｐ及びＯを除く成分に占めるＳｃの濃度を５ｍｏｌ％とし、Ｂｉの濃度を０．５ｍｏｌ％とした。また、各試料の焼成温度を１０００℃、１２００℃、１４００℃、及び１６００℃とした。図１７は、本実施例において得られた、焼成温度毎の発光スペクトルを示すグラフである。図１７を参照すると、Ｂｉを添加した場合であっても、２４０ｎｍ付近の波長を有する紫外光を試料が発光していることがわかる。また、焼成温度が高くなるほど発光強度が増大し、１６００℃において最大の発光強度が得られていることがわかる。
【００５５】
（第３実施例）
次に、上記実施形態の第３実施例について説明する。本発明者は、液相法及び固相法のそれぞれを用いて、発光層２２としての複数の試料（Ｓｃ：ＹＰＯ4）を実際に作製した。
【００５６】
＜液相法での作成＞
５ｍｏｌ％のＳｃ：ＹＰＯ4を２グラム作製するために、Ｓｃ2Ｏ3の粉末を０．０３８グラム、Ｙ2Ｏ3の粉末を１．１８１グラム、それぞれ秤量した。これらをＨ3ＰＯ4（液体）中で混合して混合物を作製した。その後、電気炉にてこの混合物を加熱することにより（大気中１６００℃）、焼成を行った。
【００５７】
＜固相法での作成＞
５ｍｏｌ％のＳｃ：ＹＰＯ4を２グラム作製するために、Ｓｃ2Ｏ3の粉末を０．０３８グラム、Ｙ2Ｏ3の粉末を１．１８１グラム、ＮＨ4Ｈ2ＰＯ4の粉末を１．２６６グラム、それぞれ秤量した。これらを混合して混合物を作製し、その後、電気炉にてこの混合物を加熱することにより（大気中１６００℃）、焼成を行った。
【００５８】
続いて、液相法及び固相法のそれぞれを用いて作製した試料を石英基板上に膜状に塗布し、電子線を照射して発光スペクトルを計測した。図１８は、その計測結果を示すグラフである。同図において、グラフＧ１は液相法による結果を示し、グラフＧ２は固相法による結果を示す。同図に示されるように、液相法では、発光強度のピーク値および全体の発光量ともに、固相法よりも大きくなった。
【００５９】
本発明による紫外光発生用ターゲット及びその製造方法、並びに電子線励起紫外光源は、上述した実施形態の例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００６０】
１０…電子線励起紫外光源、１１…容器、１２…電子源、１３…引き出し電極、１６…電源部、２０…紫外光発生用ターゲット、２１…基板、２１ａ…主面、２１ｂ…裏面、２２…発光層、２４…光反射膜、３０…装置、３１…真空容器、３２…電子源、３３…観察窓、３４…石英基板、３５…試料、３６…光ファイバ、３７…分光検出器、ＥＢ…電子線、ＵＶ…紫外光。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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