(57)【要約】      （修正有）【課題】差圧センサを保護する油の重量による測定誤差を低減する方法を提供する。【解決手段】圧力検知パッケージ４０２は、センサ室４１４と、センサ室の周りに延在する環状室４２０とを含む。第１の隔壁４１６ａは、センサ室を、第１の圧力Ｐ１を受ける第１の部分４１４ａと、センサ軸Ａ’’に対して実質的に中心合わせされた差圧センサ４０４と第１の伝達流体Ｔ１とを含む第２の部分とに分割する。第１の伝達流体は、第１の圧力を第１の差圧センサ面４１２ａに伝達する。第２の隔壁４１６ｂは、環状室を、第２の圧力Ｐ２を受ける第１の部分と、第２の伝達流体Ｔ２を含む第２の部分とに分割する。第２の圧力は、第２の隔壁及び第２の伝達流体を介して第２の圧力センサ面４１２ｂに伝達される。圧力センサに作用する第１及び第２の圧力以外の圧力の合計が実質的にゼロになるように、第１の隔壁と第２の隔壁とがセンサ軸方向に沿って互いに対して配置される。【選択図】図４
2020109406.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサ室と、前記センサ室の周りに延在する環状室とを含む本体であって、前記センサ室及び前記環状室がセンサ軸に対して実質的に中心合わせされる、前記本体と、
前記センサ室内に配置され、前記センサ室を第１の部分と第２の部分とに分割する第１の隔壁であって、前記第１のセンサ室部分が、第１の吸入口を介して第１の圧力を受けるように構成され、前記第２のセンサ室部分が、前記センサ軸に対して実質的に中心合わせされた差圧センサと、前記第１の圧力を前記差圧センサの第１のセンサ面に伝達するように構成された第１の伝達流体とを含む、前記第１の隔壁と、
前記環状室内に配置され、前記環状室を第１の部分と第２の部分とに分割する第２の隔壁であって、前記第１の環状室部分が、第２の吸入口を介して第２の圧力を受けるように構成され、前記第２の環状室部分が第２の伝達流体を含む、前記第２の隔壁と、
前記第２の伝達流体を介して前記第２の環状室部分及び前記差圧センサの第２のセンサ面と流体連通した複数の流体通路であって、前記第２の圧力が、前記第２の隔壁及び前記第２の伝達流体を介して前記第２のセンサ面に伝達される、前記複数の流体通路とを含み、
前記第１の伝達流体の重量によって前記差圧センサの前記第１のセンサ面に及ぼされた第１の伝達流体圧力が、前記第２の伝達流体の重量によって前記第１のセンサ面に対向する前記差圧センサの前記第２のセンサ面に及ぼされた第２の伝達流体圧力に対して大きさが実質的に等しく、かつ方向が対向するように、前記第１の隔壁と前記第２の隔壁とが前記センサ軸の前記方向において互いに対して配置される、圧力検知パッケージ。
【請求項２】
前記第１の伝達流体圧力と前記第２の伝達流体圧力とが、加速度の方向に対する前記差圧センサの任意の方向において、大きさが実質的に等しく、かつ方向が対向する、請求項１に記載の圧力センサパッケージ。
【請求項３】
前記センサ室及び前記第１の隔壁が実質的に円形である、請求項１に記載の圧力センサパッケージ。
【請求項４】
前記第１の隔壁及び前記第２の隔壁が、単一の略円形の隔壁の一部である、請求項１に記載の圧力センサパッケージ。
【請求項５】
前記第１の隔壁と前記第２の隔壁とが、前記センサ室と前記環状室との間に介在させた液密封止部によって互いに隔離される、請求項４に記載の圧力センサパッケージ。
【請求項６】
前記第１の隔壁と前記第２の隔壁とが実質的に共平面的である、請求項４に記載の圧力センサパッケージ。
【請求項７】
前記第１の隔壁及び前記第２の隔壁が別々の隔壁として形成され、前記第１の隔壁が実質的に円形状を有し、前記第２の隔壁が実質的に環形状を有する、請求項１に記載の圧力センサパッケージ。
【請求項８】
前記第１の隔壁と前記第２の隔壁とが実質的に共平面的である、請求項７に記載の圧力センサパッケージ。
【請求項９】
前記第１の隔壁の重量によって前記差圧センサの前記第１のセンサ面に及ぼされた第１の隔壁圧力が、前記第２の隔壁の重量によって前記差圧センサの前記第２のセンサ面に及ぼされた第２の隔壁圧力に対して大きさが実質的に等しく、かつ方向が対向する、請求項１に記載の圧力センサパッケージ。
【請求項１０】
前記第１の隔壁と前記第２の隔壁とが非共面的である、請求項９に記載の圧力センサパッケージ。
【請求項１１】
前記第１の伝達流体及び前記第２の伝達流体が実質的に非圧縮性の流体である、請求項１に記載の圧力センサパッケージ。
【請求項１２】
差圧検知方法であって、
差圧センサパッケージの第１の隔壁で、第１の流体によって及ぼされた第１の流体圧力を受けることであって、前記第１の隔壁が、センサ室内に配置され、前記センサ室を前記第１の流体と流体連通した第１のセンサ室部分と、差圧センサ及び第１の伝達流体を含む第２のセンサ室部分とに分割し、前記差圧センサがセンサ軸に対して実質的に中心合わせされる、前記第１の流体圧力を受けることと、
前記第１の隔壁及び前記第１の伝達流体を介して前記差圧センサの第１のセンサ面に前記第１の圧力を伝達することと、
前記第１の伝達流体の重量による第１の伝達流体圧力を前記第１のセンサ面に伝達することと、
前記差圧センサパッケージの第２の隔壁で、第２の流体によって及ぼされた第２の流体圧力を受けることであって、前記第２の隔壁が、前記センサ室の周りに延在する環状室内に配置され、前記環状室を前記第２の流体と流体連通した第１の環状室部分と、前記差圧センサの第２のセンサ面と流体連通した第２の伝達流体を含む第２の環状室部分とに分割する、前記第２の流体圧力を受けることと、
前記第２の隔壁及び前記第２の伝達流体を介して前記差圧センサの前記第２のセンサ面に前記第２の圧力を伝達することと、
前記第２の伝達流体の重量による第２の伝達流体圧力を前記第２のセンサ面に伝達することとを含み、
前記第１の伝達流体圧力が、前記第２の伝達流体圧力に対して大きさが実質的に等しく、かつ方向が対向するように、前記第１の隔壁と前記第２の隔壁とが、前記センサ軸に対して実質的に中心合わせされ、前記センサ軸の前記方向において互いに対して配置される、前記方法。
【請求項１３】
前記第１の伝達流体圧力と前記第２の伝達流体圧力とが、加速度の方向に対する前記差圧センサの任意の方向において、大きさが実質的に等しく、かつ方向が対向する、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記センサ室及び前記第１の隔壁が実質的に円形である、請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
前記第１の隔壁及び前記第２の隔壁が、単一の略円形の隔壁の一部である、請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
前記第１の隔壁と前記第２の隔壁とが、前記センサ室と前記環状室との間に介在させた液密封止部によって互いに隔離される、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記第１の隔壁と前記第２の隔壁とが実質的に共面的にある、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記第１の隔壁及び前記第２の隔壁が別々の隔壁として形成され、前記第１の隔壁が実質的に円形状を有し、前記第２の隔壁が実質的に環形状を有する、請求項１６に記載の方法。
【請求項１９】
前記第１の隔壁と前記第２の隔壁とが実質的に共面的である、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記第１の隔壁の重量によって前記差圧センサの前記第１のセンサ面に及ぼされた第１の隔壁圧力が、前記差圧センサの前記第２のセンサ面に及ぼされた第２の隔壁圧力に対して大きさが実質的に等しく、かつ方向が対向する、請求項１２に記載の方法。
【請求項２１】
前記第１の隔壁と前記第２の隔壁とが非共面的である、請求項２０に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
液体及び／または気体などの流体は、搬送用のパイプを介して位置間で移送され得る。パイプのネットワーク内の流体の流れを制御するために、圧力が流体に印加され、様々な位置で測定され得る。例として、圧力センサを流体と接触させて配置することにより、圧力測定が実行され得る。
【０００２】
差圧センサは、２つの異なる入力間の圧力の差を測定可能である、圧力センサの一種である。例として、パイプネットワーク内の流体の種々の位置の間で、または流体と基準（例えば、大気）との間で差圧が測定され得る。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
差圧センサなどの圧力センサは、圧力センサに損傷を与え得る流体（例えば、気体及び／または液体）を含む環境で使用され得る。このような流体の例としては、水分（例えば、水及び／または比較的湿った空気を含む環境）、腐食性ガス及び化学薬品が挙げられ得る。従って、圧力センサは、保護のために有害な流体環境から分離され得る。例として、圧力センサは、油入り容器内に配置され、隔壁によって有害な流体から隔離され得る。有害な流体環境によって及ぼされた圧力は、隔壁に印加され、油を介して圧力検知素子に伝達され得る。このようにして、有害な流体から圧力センサを分離しつつ、有害な流体環境からの圧力を圧力センサに伝達することができる。
【０００４】
しかしながら、この手法は、差圧センサにとっては問題となる場合がある。ヘッドとも呼ばれる、差圧センサを保護する油の高さは、油の重量によって差圧センサに圧力を及ぼし得る。この圧力は、差圧センサの一方のセンサ面に及ぼされた圧力に加わる場合があり、差圧センサによって取得された差圧の測定値に誤差を生じさせ得る。
【０００５】
一般に、システム及び方法は、差圧センサなどの圧力センサの過圧保護のために提供される。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態において、圧力検知パッケージが提供される。このパッケージは、本体、第１の隔壁、第２の隔壁及び複数の流体通路を含み得る。本体は、センサ室及びセンサ室の周りに延在する環状室を含み得る。センサ室及び環状室は、センサ軸に対して実質的に中心合わせされ得る。第１の隔壁は、センサ室内に配置され得、センサ室を第１の部分と第２の部分とに分割し得る。第１のセンサ室部分は、第１の吸入口を介して第１の圧力を受けるように構成され得る。第２のセンサ室部分は、センサ軸に対して実質的に中心合わせされた差圧センサを内部に含み得る。第２のセンサは、第１の伝達流体をも内部に含み得る。第１の伝達流体は、差圧センサの第１のセンサ面に第１の圧力を伝達するように構成され得る。第２の隔壁は、環状室内に配置され得、環状室を第１の部分と第２の部分とに分割し得る。第１の環状室部分は、第２の吸入口を介して第２の圧力を受けるように構成され得る。第２の環状室部分は、第２の伝達流体を内部に含み得る。複数の流体通路は、第２の伝達流体を介して第２の環状室部分及び差圧センサの第２のセンサ面と流体連通し得る。第２の圧力は、第２の隔壁及び第２の伝達流体を介して第２のセンサ面に伝達され得る。第１の伝達流体の重量によって差圧センサの第１のセンサ面に及ぼされた第１の伝達流体圧力が、第２の伝達流体の重量によって第１のセンサ面に対向する差圧センサの第２のセンサ面に及ぼされた第２の伝達流体圧力に対して大きさが実質的に等しく、かつ方向が対向するように、第１の隔壁と第２の隔壁とがセンサ軸の方向において互いに対して配置され得る。
【０００７】
別の実施形態において、第１の伝達流体圧力と第２の伝達流体圧力とは、加速度の方向に対する差圧センサの任意の方向において、大きさが実質的に等しく、かつ方向が対向し得る。
【０００８】
別の実施形態において、センサ室及び第１の隔壁は実質的に円形であり得る。
【０００９】
第１及び第２の隔壁の実施形態は様々な構成をとり得る。一態様において、第１の隔壁及び第２の隔壁は、単一の略円形の隔壁の一部であり得る。第１の隔壁と第２の隔壁とは、センサ室と環状室との間に介在させた液密封止部によって互いに隔離され得る。第１の隔壁と第２の隔壁とは、実質的に共面的でもあり得る。別の態様において、第１の隔壁及び第２の隔壁は、別々の隔壁として形成され得る。第１の隔壁は実質的に円形状を有し得、第２の隔壁は実質的に環形状を有し得る。第１の隔壁と第２の隔壁とは、実質的に共面的であり得る。
【００１０】
別の実施形態において、第１の隔壁の重量によって差圧センサの第１のセンサ面に及ぼされた第１の隔壁圧力は、第２の隔壁の重量によって差圧センサの第２のセンサ面に及ぼされた第２の隔壁圧力に対して大きさが実質的に等しく、かつ方向が対向し得る。第１の隔壁と第２の隔壁とは非共面的であり得る。
【００１１】
別の実施形態において、第１の伝達流体及び第２の伝達流体は実質的に非圧縮性の流体であり得る。
【００１２】
実施形態において、方法が提供される。方法は、差圧センサパッケージの第１の隔壁で、第１の流体によって及ぼされた第１の流体圧力を受けることを含み得る。第１の隔壁は、センサ室内に配置され得、センサ室を第１のセンサ室部分と第２のセンサ室部分に分割し得る。第１のセンサ室部分は、第１の流体と流体連通し得る。第２のセンサ室部分は、差圧センサ及び第１の伝達を内部に含み得る。差圧センサは、センサ軸に対して実質的に中心合わせされ得る。方法は、第１の隔壁及び第１の伝達流体を介して差圧センサの第１のセンサ面に第１の圧力を伝達することをも含み得る。方法は、第１の伝達流体の重量による第１の伝達流体圧力を第１のセンサ面に伝達することを更に含み得る。方法は、差圧センサパッケージの第２の隔壁で、第２の流体によって及ぼされた第２の流体圧力を受けることを追加的に含み得る。第２の隔壁は、環状室内に配置され得る。環状室は、センサ室の周りに延在し得る。更に、第２の隔壁は、環状室を第１の環状室部分と第２の環状室部分とに分割し得る。第１の環状室部分は、第２の流体と流体連通し得る。第２の環状室部分は、第２の伝達流体を内部に含み得る。第２の伝達流体は、差圧センサの第２のセンサ面と流体連通し得る。方法は、第２の隔壁及び第２の伝達流体を介して差圧センサの第２のセンサ面に第２の圧力を伝達することをも含み得る。方法は、第２の伝達流体の重量による第２の伝達流体圧力を第２のセンサ面に伝達することを追加的に含み得る。第１の隔壁と第２の隔壁とは、センサ軸に対して実質的に中心合わせされ、センサ軸の方向において互いに対して配置され得る。そのように構成されると、第１の伝達流体圧力は、第２の伝達流体圧力に対して大きさが実質的に等しく、かつ方向が対向し得る。
【００１３】
別の実施形態において、第１の伝達流体圧力と第２の伝達流体圧力とは、加速度の方向に対する差圧センサの任意の方向において、大きさが実質的に等しく、かつ方向が対向し得る。
【００１４】
別の実施形態において、センサ室及び第１の隔壁は実質的に円形であり得る。
【００１５】
第１及び第２の隔壁の実施形態は様々な構成をとり得る。一態様において、第１の隔壁及び第２の隔壁は、単一の略円形の隔壁の一部であり得る。第１の隔壁と第２の隔壁とは、センサ室と環状室との間に介在させた液密封止部によって互いに隔離され得る。第１の隔壁と第２の隔壁とは、実質的に共面的でもあり得る。別の態様において、第１の隔壁及び第２の隔壁は、別々の隔壁として形成され得る。第１の隔壁は実質的に円形状を有し得、第２の隔壁は実質的に環形状を有し得る。第１の隔壁と第２の隔壁とは、実質的に共面的であり得る。
【００１６】
別の実施形態において、第１の隔壁の重量によって差圧センサの第１のセンサ面に及ぼされた第１の隔壁圧力は、第２の隔壁の重量によって差圧センサの第２のセンサ面に及ぼされた第２の隔壁圧力に対して大きさが実質的に等しく、かつ方向が対向し得る。第１の隔壁と第２の隔壁とは非共面的であり得る。
【００１７】
これらの特徴及び他の特徴は、添付図面に関連してなされる以下の詳細な説明からより容易に理解されよう。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、差圧センサを含む非平衡型センサパッケージを示す側断面図である。
【図２】図２は、差圧センサを含む部分平衡型センサパッケージを示す側断面図である。
【図３】図３は、約９０°回転させた図２の部分平衡型センサパッケージを示す側断面図である。
【図４】図４は、差圧センサを含む完全平衡型センサパッケージの１つの例示的な実施形態を示す側断面図である。
【図５】図５は、約９０°回転させた図４の完全平衡型センサパッケージを示す側断面図である。
【図６Ａ】図６Ａは、図４の完全平衡型センサパッケージの第１及び第２の隔壁の１つの例示的な実施形態の概略図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、図４の完全平衡型センサパッケージの第１及び第２の隔壁の別の例示的な実施形態の概略図である。
【図７】図７は、図４の完全平衡型センサパッケージの第１及び第２の隔壁の別の例示的な実施形態の概略図である。
【図８Ａ】図８Ａは、完全平衡型センサパッケージの別の例示的な実施形態を示す拡大等角図である。
【図８Ｂ】図８Ｂは、図８Ａの完全平衡型センサパッケージを示す等角断面図である。
【図８Ｃ】図８Ｃは、図８Ａの完全平衡型センサパッケージを示す断面図である。
【図９】図９は、差圧測定方法の実施形態を示すフロー図である。
【００１９】
図面は必ずしも縮尺通りではないことに注意されたい。これらの図面は、本明細書に開示された主題の典型的な態様のみを描写するように意図されており、従って、本開示の範囲を限定するものとみなされるべきではない。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
差圧センサは、２つの圧力間の差を測定可能なデバイスであり、様々な用途で使用され得る。一態様において、差圧センサは、ＨＶＡＣシステム内のエアフィルタ及びエンジン内のオイルフィルタなどのフィルタ全体の圧力降下を測定するために使用され得る。別の態様において、差圧センサは、タンク及び他の流体を収容する容器内の液面を測定するために使用され得る。更なる態様において、差圧センサは、パイプ内の流体（例えば、気体、液体）の流量を測定するために使用され得る。
【００２１】
差圧センサは、２つの異なる圧力間の差を測定するために圧力検知素子を使用し得る。差圧センサは、流体（例えば、気体及び／または液体）によって伝達された２つの圧力を、圧力検知素子の向かい合わせの各対向側面に導き得る。圧力検知素子は、２つの流体圧力間の差の測定値を表す信号を出力し得る。圧力検知素子に損傷を与え得る流体（例えば、腐食性流体）によって２つの圧力の一方または両方が伝達される状況下で圧力検知素子を保護するために、圧力検知素子の少なくとも一方側は、分離用隔壁によって有害な流体から隔離され得る。有害な環境によって及ぼされた圧力は、隔壁及び隔壁と圧力検知素子との間に介在させた伝達流体によって圧力検知素子に伝達され得る。しかしながら、伝達流体の重量及び／または隔壁の重量も圧力検知素子に伝達され得る。それにより、差圧センサによってなされる差圧測定に誤差が生じ得る。更に、この誤差は、印加された加速度（例えば、振動、重力など）に対する圧力検知素子の方向に基づいて変化し得る。従って、圧力検知素子の方向に関わらず、第１及び第２の圧力以外の、圧力検知素子に及ぼされた圧力（例えば、伝達流体の重量及び／または隔壁の重量）を実質的に平衡させる差圧センサパッケージが提供されている。このようにして、センサパッケージの任意の方向において高精度な差圧測定値を取得することができる。更に、差圧測定を高精度に維持するためにセンサパッケージの方向を取り付け後に補正することを排除することができる。
【００２２】
例として、図１は、第１の流体Ｆ１によって及ぼされた第１の圧力Ｐ１及び第２の流体Ｆ２によって及ぼされた第２の圧力Ｐ２と流体連通した非平衡型センサパッケージ１０２を含む動作環境１００を示す。非平衡型センサパッケージ１０２は、差圧センサ１０４、隔壁１０６、及び差圧センサ１０４の第１のセンサ面１１２ａ（例えば、上面）と隔壁１０６との間に画定された空洞１１０を充填している伝達流体Ｔ（例えば、実質的に非圧縮性の流体）を含み得る。センサ軸Ａは、加速度方向（例えば、重力、振動など）に対して（例えば、実質的に平行に）整列され得る。
【００２３】
隔壁１０６が変形すると、伝達流体Ｔを介して差圧センサ１０４に圧力Ｐ１が伝達され得る。圧力Ｐ２は、第１のセンサ面１１２ａに対向する差圧センサの第２のセンサ面１１２ｂに直接印加され得る。このようにして、差圧センサ１０４を有害な第１の流体Ｆ１から分離しつつ、差圧センサ１０４は、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２との間の差圧を測定することができる。
【００２４】
しかしながら、この手法は問題となる場合がある。ヘッドとも呼ばれる伝達流体Ｔの高さＨ１は、伝達流体Ｔの重量によって差圧センサ１０４の第１のセンサ面１１２ａに静水圧を及ぼし得る。一般に、静水圧は、パスカルの法則によって与えられ得る。この法則は、高さΔＨだけ離れた流体柱内の２点間の圧力の変化ΔＰを関係付ける。
ΔＰ＝ρｇ（ΔＨ）
式中、ρは流体（例えば、伝達流体Ｔ）の密度であり、ｇは重力による加速度（例えば、地表面近くで約９．８１ｍ／ｓ２）である。この場合の例において、高さΔＨは伝達流体Ｔの柱の高さＨ１であり、重力ｇによる加速度は下方向であるとみなされる。従って、伝達流体Ｔは、下方向に圧力Ｐ（Ｈ１）を及ぼす。この静水圧Ｐ（Ｈ１）は、差圧センサ１０４の第１のセンサ面１１２ａ（例えば、上面）に及ぼされた圧力Ｐ１に加わる場合があり、差圧センサ１０４によって取得された差圧の測定値に誤差を生じさせ得る。
【００２５】
この懸念に対処するため、伝達流体の柱の重量をオフセットするように試みるセンサパッケージが開発された。例として、図２は、有害な第１の流体Ｆ１によって及ぼされた第１の圧力Ｐ１及び第２の流体Ｆ２によって及ぼされた第２の圧力Ｐ２と流体連通した部分平衡型センサパッケージ２０２を含む動作環境２００を示す。図に示すように、部分平衡型センサパッケージ２０２は、差圧センサ２０４、第１の隔壁２０６ａ、第２の隔壁２０６ｂ、第１の伝達流体Ｔ１及び第２の伝達流体Ｔ２を含む。第１の伝達流体Ｔ１は、差圧センサ２０４の第１のセンサ面２１２ａ（例えば、上面）と第１の隔壁２０６ａとの間に画定された第１の空洞２１０を実質的に充填し得る。第２の伝達流体Ｔ２は、差圧センサ２０４の第２のセンサ面２１２ｂ（例えば、下面）と第２の隔壁２０６ｂとの間に画定された第２の空洞２１４を充填し得る。第１の圧力Ｐ１は、第１の伝達流体Ｔ１を介して第１のセンサ面２１２ａに印加され得、第２の圧力Ｐ２は、第２の伝達流体Ｔ２を介して第２のセンサ面２１２ｂに印加され得る。
【００２６】
センサ軸Ａは、加速度方向（例えば、重力、振動など）に対して（例えば、実質的に平行に）整列され得る。図に示すように、加速度は下方向を指す。そのように方向付けられていると、第１の伝達流体Ｔ１は、第１の伝達流体Ｔ１の高さＨ１によって差圧センサ２０４の第１のセンサ面２１２ａに圧力Ｐ（Ｈ１）を及ぼし得る。しかしながら、非平衡型センサパッケージ１０２とは対照的に、部分平衡型センサパッケージ２０２内の圧力Ｐ（Ｈ１）は、第２の伝達流体Ｔ２によって及ぼされた実質的に等しい大きさかつ逆方向の圧力によって対向され得る。
【００２７】
図に示すように、第２の空洞２１４は、流路２１６によって流体連通した２つの柱２１４ａ及び２１４ｂを含む。第１の柱２１４ａ内の第２の伝達流体Ｔ２は、第２の隔壁２０６ｂから流路２１６の底部まで及ぶ高さＨ３を有し、圧力Ｐ（Ｈ３）を及ぼし得る。第２の柱２１４ｂ内の第２の伝達流体Ｔ２は、第２のセンサ面２１２ｂから流路２１６の底部まで及ぶ高さＨ２を有し、Ｐ（Ｈ３）に対向する圧力Ｐ（Ｈ２）を及ぼし得る。差圧センサ２０４の高さは図２において強調されており、Ｈ１、Ｈ２及びＨ３と比較して無視できるとみなされ得ることが理解され得る。従って、Ｈ３は、実質的にＨ１とＨ２との合計に等しくなり得る。従って、第２の伝達流体Ｔ２によって第２のセンサ面２１２ｂに及ぼされた正味の圧力は差Ｐ（Ｈ３）―Ｐ（Ｈ２）であり、これはＰ（Ｈ１）に等しい。
【００２８】
しかしながら、部分平衡型センサパッケージ２０２は、他の方向に配置されると、第１及び第２の伝達流体Ｔ１、Ｔ２の重量による差圧検知測定値の誤差を補正することができない場合がある。図３は、図２の方向と比較して約９０°回転させた部分平衡型センサパッケージ２０２を示す。このとき、重力ｇによる加速度は下方向のままである。この方向において、第２の伝達流体Ｔ２の高さはＨ４である。差圧センサ２０４の幅は図３において強調されており、Ｈ４と比較して無視できるとみなされ得ることが理解され得る。従って、第１の伝達流体Ｔ１の高さは実質的にゼロであり、第２の伝達流体Ｔ２の高さＨ４は、第２の空洞２１４の上面３００から差圧センサ２０４の幅に沿った任意の位置（例えば、差圧センサ２０４の幅の中間点）まで及び得る。従って、第２の伝達流体Ｔ２は、第２のセンサ面２１２ｂに圧力Ｐ（Ｈ４）を及ぼし得るが、第１の伝達流体Ｔ１は、実質的に第１のセンサ面２１２ａに圧力を及ぼし得ない。すなわち、第２の伝達流体Ｔ２によって及ぼされた圧力は、第１の伝達流体Ｔ１によって及ぼされた圧力と平衡しない。
【００２９】
図４は、平衡型圧力センサパッケージ４０２、第１の圧力Ｐ１の第１の流体Ｆ１及び第２の圧力Ｐ２の第２の流体Ｆ２を含む動作環境４００の１つの例示的な実施形態を示す概略図である。平衡型圧力センサパッケージ４０２は、第１の伝達流体Ｔ１を介して第１の流体Ｆ１によって及ぼされた第１の圧力Ｐ１及び第２の伝達流体Ｔ２を介して第２の流体Ｆ２によって及ぼされた第２の圧力Ｐ２と流体連通するように構成された差圧センサ４０４を含み得る。ある実施形態において、第１及び第２の流体Ｆ１、Ｆ２のうちの少なくとも一方は、差圧センサ４０４に損傷（例えば、腐食）を与え得る流体である場合がある。第１の伝達流体Ｔ１及び第２の伝達流体Ｔ２を使用して差圧センサ４０４に圧力を伝達することにより、このような損傷から差圧センサ４０４を保護することができる。
【００３０】
図に示すように、平衡型圧力センサパッケージ４０２は、中心部４０６及び環状部４１０を有する本体４０９、ならびにこれらの間に延在する複数の流体通路（例えば、４２４ａ、４２４ｂ、４２４ｃ）を含み得る。ある実施形態において、環状部４１０は中央チャネル４０８を画定し得、中心部４０６は中央チャネル４０８内に収容され得る。中央チャネル４０８及び環状部４１０は、差圧センサ４０４のセンサ軸Ａに対して実質的に中心合わせされ得る。代替的な実施形態において、平衡型圧力センサパッケージは、中心部及び環状部を省略し得る。図８Ａ〜８Ｃに関して以下で詳細に述べるように、平衡型圧力センサパッケージ４０２は、本体８０４を含む平衡型圧力センサパッケージ８０２の形態をとり得る。この本体は、２つの半分部８０４ａ、８０４ｂで形成され、これらの間には隔壁８１６が介在している。
【００３１】
平衡型圧力センサパッケージ４０２の中心部４０６は、センサ室４１４を内部に画定し得る。センサ室４１４は、第１の隔壁４１６ａによって第１の部分４１４ａと第２の部分４１４ｂとに分割され得る。第１のセンサ室部分４１４ａは、第１の圧力Ｐ１を受けるように構成され得る。例として、第１のセンサ室部分４１４ａは、第１の流体Ｆ１と流体連通した第１の吸入口４１８ａを介して第１の圧力Ｐ１を受けるように構成され得る。差圧センサ４０４及び第１の伝達流体Ｔ１は、第２のセンサ室部分４１４ｂ内に配置され得る。そのように構成されると、第１の伝達流体Ｔ１及び第１の隔壁４１６ａは、差圧センサ４０４の第１のセンサ面４１２ａに第１の圧力Ｐ１を容易に伝達しつつ、差圧センサ４０４を第１の流体Ｆ１との直接的な接触から保護することができる。以下でより詳細に述べるが、平衡型圧力センサパッケージ４０２は、差圧センサ４０４の第２のセンサ面４１２ｂが複数の流体通路のうちの１つから第２の圧力Ｐ２を受けるように構成され得る。
【００３２】
環状部４１０は環状室４２０を含み得る。環状室４２０は、第２の隔壁４１６ｂによって第１の部分４２０ａと第２の部分４２０ｂとに分割され得る。第１の環状室部分４２０ａは、第２の圧力Ｐ２を受けるように構成され得る。例として、第１の環状室部分４２０ａは、第２の流体Ｆ２と流体連通した第２の吸入口４１８ｂを介して第２の圧力Ｐ２を受け得る。
【００３３】
複数の流体通路４２４ａ、４２４ｂ、４２４ｃは、第２の伝達流体Ｔ２を介して第２の隔壁４１６ｂ及び差圧センサ４０４の第２のセンサ面４１２ｂと流体連通し得る。図に示すように、第１の流体通路４２４ａは、中心部４０６内に配置され、センサ室４１４から（例えば、第２のセンサ室部分４１４ｂから）延在し得る。第２の流体通路４２４ｂは、環状部４１０内に配置され、環状室４２０から（例えば、第２の環状室部分４２０ｂから）延在し得る。第３の流体通路４２４ｃは、第１の流体通路４２４ａと第２の流体通路４２４ｂとの間に延在し得る。
【００３４】
使用中、第１の圧力Ｐ１は第１の吸入口４１８ａによって受けられ得、第２の圧力Ｐ２は第２の吸入口４１８ｂによって受けられ得る。第１の圧力Ｐ１は、第１の隔壁４１６ａ及び第１の伝達流体Ｔ１を介して差圧センサ４０４の第１のセンサ面４１２ａに印加され得る。第２の圧力Ｐ２は、第２の隔壁４１６ｂ及び第２の伝達流体Ｔ２を介して複数の流体通路４２４ａ、４２４ｂ、４２４ｃを使用して差圧センサ４０４の第２のセンサ面４１２ｂに印加され得る。
【００３５】
以下で述べるように、平衡型圧力センサパッケージ４０２は、第１の伝達流体Ｔ１の重量によって差圧センサ４０４の第１のセンサ面４１２ａに印加された第１の伝達流体圧力を、第２の伝達流体Ｔ２の重量によって差圧センサ４０４の第２のセンサ面４１２ｂに印加された第２の伝達流体圧力と実質的に平衡させるように構成され得る。すなわち、第１の伝達流体Ｔ１の重量は、平衡型圧力センサパッケージ４０２の方向に関わらず、第２の伝達流体Ｔ２の重量によって実質的に相殺され得る。このようにして、高精度な差圧測定値を、上述した部分平衡型センサパッケージ２０２と比較して、ある特定の方向のみではなく、加速度（例えば、重力、振動など）の方向に対して任意の方向の差圧センサ４０４によって取得することができる。
【００３６】
中心部４０６及びセンサ室４１４の実施形態は様々な構成をとり得る。図に示すように、中心部４０６及びセンサ室４１４のそれぞれは、実質的に円形状に形成され得る。更に、中心部４０６及びセンサ室４１４は、センサ軸Ａに対して実質的に中心合わせされ得る。
【００３７】
ある実施形態において、中心部は単一片として形成され得る。他の実施形態において、中心部は複数片に形成され得る。複数片の構成において、センサ室は、単一片の中心部内に形成され得、または接合する複数片の中心部内に部分的に形成され得る。中心部の各片は、１つ以上の液密封止部によって互いに固定され得る。
【００３８】
第１の隔壁４１６ａは、センサ室４１４内に配置され、その幅にわたり得る。そのように配置されると、第１の隔壁４１６ａは、センサ室４１４を第１のセンサ室部分４１４ａと第２のセンサ室部分４１４ｂとに分割し得る。第１のセンサ室部分４１４ａは、第１の吸入口４１８ａから第１の圧力Ｐ１を受けるように構成され得、差圧センサ４０４の第２のセンサ面４１２ｂは、第２の吸入口４１８ｂを介して複数の流体通路４２４ａ、４２４ｂ、４２４ｃから第２の圧力Ｐ２を受けるように構成され得る。
【００３９】
差圧センサ４０４は、センサ室４１４の第２の部分４１４ｂ内に配置され得る。図に示すように、差圧センサ４０４の第１のセンサ面４１２ａは第１の隔壁４１６ａに対面し得、差圧センサ４０４の第２のセンサ面４１２ｂは流体通路４２４ａに対面し得る。ある実施形態において、第１の伝達流体Ｔ１は、第２のセンサ室部分４１４ｂを実質的に充填し得る。すなわち、第１の伝達流体Ｔ１で充填された第２のセンサ室部分４１４ｂは、実質的に間隙を含み得ない。そのように構成されると、第１のセンサ室部分４１４ａによって受けられた第１の圧力Ｐ１は、第１の隔壁４１６ａ及び第１の伝達流体Ｔ１によって差圧センサ４０４の第１のセンサ面４０４ａに伝達され得る。
【００４０】
第２の隔壁４１６ｂは、環状室４２０内に配置され、その幅にわたり得る。そのように配置されると、第２の隔壁４１６ｂは、環状室４２０を第１の環状室部分４２０ａと第２の環状室部分４２０ｂとに分割し得る。第１の環状室部分４２０ａは、第２の吸入口４１８ｂから第２の圧力Ｐ２を受けるように構成され得る。ある実施形態において、第２の伝達流体Ｔ２は、第２の環状室部分４２０ｂ及び複数の流体通路４２４ａ、４２４ｂ、４２４ｃを実質的に充填し得る。すなわち、第２の伝達流体Ｔ２で充填された第２の環状室部分４２０ｂ及び複数の流体通路４２４ａ、４２４ｂ、４２４ｃは、実質的に空隙を含み得ない。そのように構成されると、第１の環状室部分４２０ａによって受けられた第２の圧力Ｐ２は、第２の隔壁４１６ｂ及び第２の伝達流体Ｔ２によって差圧センサ４０４の第２のセンサ面４１２ｂに伝達され得る。
【００４１】
第１の伝達流体Ｔ１及び第２の伝達流体Ｔ２は、実質的に非圧縮性の任意の流体であり得る。非圧縮性の流体の例としては、ゲル、油（例えば、シリコーン油、鉱油など）、モノエチレングリコールなどが挙げられ得るが、これらに限定されることはない。ある実施形態において、第１の伝達流体Ｔ１と第２の伝達流体Ｔ２とは、同一の流体から形成され得る。他の実施形態において、第１の伝達流体Ｔ１と第２の伝達流体Ｔ２とは、実質的に等しい密度を有する異なる流体から形成され得る。
【００４２】
図４に示すように、第１の伝達流体Ｔ１は、差圧センサ４０４の上に高さＨ１を有し得る。高さＨ１は、差圧センサ４０４の第１のセンサ面４１２ａ（例えば、上面）から第１の隔壁４０６ａ（例えば、下面）まで及び得る。重力ｇによる加速度が下方向になるように平衡型圧力センサパッケージ４０２が方向付けられると、第１の伝達流体Ｔ１は、第１の伝達流体Ｔ１の重量によって差圧センサ４０４の第１のセンサ面４１２ａに下方向の圧力Ｐ（Ｈ１）を及ぼし得る。
【００４３】
第１の伝達流体Ｔ１によって及ぼされた圧力Ｐ（Ｈ１）は、第２の伝達流体Ｔ２によって及ぼされた実質的に等しい大きさかつ逆方向の圧力によって対向され得る。図に示すように、第１及び第２の流体通路４２４ａ、４２４ｂ内の第２の伝達流体Ｔ２は、第２の隔壁２０６ｂ（例えば、下面）から第３の流体通路４２４ｃの底部まで及ぶ高さＨ３を有し、圧力Ｐ（Ｈ３）を及ぼし得る。第１の流体通路４２４ａ内の第２の伝達流体Ｔ２は、差圧センサ４０４の第２のセンサ面４１２ｂから第３の流体通路４２４ｃの底部まで及ぶ高さＨ２を有し、Ｐ（Ｈ３）に対向する圧力Ｐ（Ｈ２）を及ぼし得る。
【００４４】
ある実施形態において、差圧センサの高さは、高さＨ１、Ｈ２及びＨ３と比較して無視できるとみなされ得る。従って、高さＨ３は、図４に示したように、高さＨ１と高さＨ２との合計に実質的に等しくなり得る。従って、第２の伝達流体Ｔ２によって第２のセンサ面２１２ｂに及ぼされた正味の圧力は差Ｐ（Ｈ３）―Ｐ（Ｈ２）であり、これはＰ（Ｈ１）に等しい。
【００４５】
他の実施形態において、差圧センサの厚さが高さＨ１、Ｈ２及びＨ３と比較して無視できるとみなすことができない場合、高さＨ３は、高さＨ１と高さＨ２との合計とは異なり得る。これらの状況下において、差圧センサの厚さは、差圧センサの厚さに実質的に等しい量だけ第１の隔壁４１６ａに対する第２の隔壁の位置を下げることによって補正することができる。このようにして、高さＨ３は、高さＨ１及びＨ２に実質的に等しくなるように調整することができる。
【００４６】
部分平衡型センサパッケージ２０２とは対照的に、第１の伝達流体Ｔ１の重量によって差圧センサ４０４に印加された圧力（例えば、Ｐ（Ｈ１））は、図４に示した方向以外の方向に回転させたとき、第２の伝達流体Ｔ２の重量によって差圧センサ４０４に印加された圧力と平衡し得る。
【００４７】
例として、図５は、平衡型圧力センサパッケージ４０２を図４の方向と比較して約９０°回転させた動作環境５００を示す。このとき、重力ｇによる加速度は下方向のままである。図に示すように、環状室４２０は、センサ軸Ａ’’に対して所定の半径Ｈ４の外周を有する。差圧センサ４０４は、センサ軸Ａ’’の付近に更に中心合わせされる。差圧センサ４０４の幅（例えば、垂直方向の差圧センサの範囲）は図５において強調されており、Ｈ４と比較して無視できるとみなされ得ることが理解され得る。従って、差圧センサ４０４の上の第１の伝達流体Ｔ１の高さはゼロとみなされ得る。従って、第１の伝達流体Ｔ１の重量によって差圧センサ４０４の第１のセンサ面４１２ａに及ぼされた圧力は無視することができる。差圧センサ４４０の上下両方の第２の伝達流体Ｔ２の高さＨ４は、センサ軸Ａ’’から環状室４２０の外半径まで及び得る。従って、第２の伝達流体Ｔ２によって及ぼされたこれらの圧力は、互いに平衡し、第１の圧力Ｐ１と第２の圧力Ｐ２との間の差圧の測定値に誤差を生じさせない。
【００４８】
第１の隔壁４１６ａ及び第２の隔壁４１６ｂは様々な構成を有し得る。一般に、第１の隔壁４１６ａ及び第２の隔壁４１６ｂは、第１の流体Ｆ１、第２の流体Ｆ２、第１の伝達流体Ｔ１及び第２の伝達流体Ｔ２のいずれと接触しても劣化しない材料から形成され得る。第１の隔壁４１６ａ及び第２の隔壁４１６ｂを形成する材料は、運用中に印加された力／圧力下で完全に可逆的な変形（例えば、弾性変形）を受けるように構成され得る。
【００４９】
図６Ａに示した一実施形態において、第１の隔壁４１６ａ及び第２の隔壁４１６ｂは、単一の隔壁６００の形態をとり得る。第１の隔壁４１６ａは、略円形状を有する単一の隔壁６００の中心部を形成し得る。他方、第２の隔壁４１６ｂは、略環形状を有する単一の隔壁６００の外側部分を形成し得る。図に示すように、単一の隔壁６００は、第１の隔壁４１６ａと第２の隔壁４１６ｂとの間に介在させたスペーサ６０２を含み得る。単一の隔壁６００は、実質的に平面であり得る。スペーサ６０２は、センサ室４１４の外周と環状室４２０の内周との間の距離にわたるように寸法化され得る。
【００５０】
図６Ｂに示した別の実施形態において、第１の隔壁４１６ａ及び第２の隔壁４１６ｂは、別々の隔壁６０４の形態をとり得る。いずれの場合も、上述したように、第１の隔壁４１６ａはセンサ室４１４にわたるように寸法化され得、第２の隔壁４１６ｂは、環状室４２０にわたるように寸法化され得る。
【００５１】
図７に示した更なる実施形態において、第１の隔壁４１６ａ及び第２の隔壁４１６ｂは、複数の別々の隔壁７００の形態をもとり得る。しかしながら、図６Ｂの実施形態とは対照的に、第２の隔壁４１６ｂは、同一の対称形状を有するペアで提供され、第１の隔壁４１６ａに対して（例えば、第１の隔壁４１６ａの幾何中心Ｇを通って伸びる対称軸７０２について）対称的に配置される。このようにして、第２の隔壁４１６ｂの各ペアの各部材は、第１の隔壁４１６ａの対称軸７０２に対して同一の距離Ｈ４で配置される。図に示すように、第１及び第２の隔壁４１６ａ、４１６ｂのそれぞれは円形状をとっている。しかしながら、正方形、長方形、六角形、八角形などの、均一な対称性を有する他の形状が可能である。
【００５２】
使用中、第１の隔壁４１６ａは、差圧センサ４０４の第１のセンサ面４１２ａと流体連通で配置され得る。複数の第２の隔壁４１６ｂも、差圧センサ４０４の第２のセンサ面４１２ｂと流体連通で配置され得る。図４及び５の構成において、第１の伝達流体Ｔ１の高さＨ１は、第２の伝達流体Ｔ２の高さＨ３−Ｈ２に対して（例えば、約０．１ｍｍ以下の範囲内で）実質的に平衡し得る。上述したように、第１の隔壁４１６ａの重量及び／または第２の隔壁４１６ｂの重量によって差圧センサ４０４に印加された圧力は、第１の伝達流体Ｔ１の重量及び第２の伝達流体Ｔ２の重量に対して無視できるとみなされ、無視されてきた。しかしながら、代替的な実施形態では、この条件が満たされないことが理解され得る。すなわち、第１の隔壁４１６ａの重量及び／または第２の隔壁４１６ｂの重量によって差圧センサ４０４に印加された圧力は、第１の伝達流体Ｔ１の重量及び／または第２の伝達流体Ｔ２の重量によって差圧センサ４０４に印加された圧力に対して無視することができない。この状況下において、第２の隔壁４１６ｂの位置をセンサ軸Ａ’’の方向に沿って第１の隔壁４１６ａの位置に対して移動させることにより、高さＨ１、Ｈ２及びＨ３のうちのいずれか１つまたは複数を調整し、補償することができる。従って、ある実施形態において、第１の隔壁４１６ａと第２の隔壁４１６ｂとは、互いにオフセットされる場合があり、互いに同一の平面内に存在しない。
【００５３】
図８Ａ〜８Ｃは、平衡型圧力センサパッケージ８０２の形態をとった平衡型圧力センサパッケージ４０２の例示的な実施形態を示す。図に示すように、平衡型圧力センサパッケージ８０２は、差圧センサ４０４、第１の本体半部８０４ａ及び第２の本体半部８０４ｂを含む本体８０４、隔壁８１６、ならびに複数の流体通路４２４ａ、４２４ｂ、４２４ｃを含み得る。
【００５４】
図に示すように、隔壁８１６は、第１の隔壁４１６ａと第２の４１６ｂとを隔離するスペーサ６０２を有する単一の隔壁６００の形態をとっている。しかしながら、代替的な実施形態において、隔壁８１６は、本明細書で述べた隔壁（例えば、６００、６０４、７００）のいずれかの形態をとり得る。
【００５５】
第１及び第２の吸入口４１８ａ、４１８ｂは、第１の本体半部８０４ａ内に画定され得る。図に示すように、第１の吸入口４１８ａは、第１の隔壁４１６ａと流体連通した単一のチャネル８５０として形成され得る。第２の吸入口４１８は、単一のチャネル８５０の周囲に形成され、かつ第２の隔壁４１６ｂと流体連通した複数の個別チャネル８５２として形成され得る。第１の本体半部８０４ａの形状は、他の流体通路に対するアダプタとして第１の本体半部８０４ａが機能するように構成され得る。それにより、第１の吸入口４１８ａは第１の流体を第１の圧力Ｐ１で受け、第２の吸入口４１８ｂは第２の流体を第２の圧力Ｐ２で受けることができる。
【００５６】
センサ室４１４及び環状室４２０は、第１の本体半部８０４ａ、第２の本体半部８０４ｂ及び隔壁８１６によって更に画定され得る。第１のセンサ室部分４１４ａは、第１の本体半部８０４ａ（例えば、第１の吸入口４１８ａ）と第１の隔壁４１６ａとの間に画定され得る。第２のセンサ室部分４１４ｂは、第１の隔壁４１６ａと第２の本体半部８０４ｂと第１のセンサ面４１２ｂとの間に画定され得る。第１の環状室部分４２０ａは、第１の本体半部８０４ａ（例えば、第２の吸入口４１８ｂ）と第２の隔壁４１６ｂとの間に画定され得る。第２の環状室部分４２０ｂは、第２の隔壁４１６ｂと第２の本体半部８０４ｂとの間に画定され得る。
【００５７】
図８Ｃに更に示すように、隔壁８１６及び本体は、複数の封止部（例えば、液密または気密封止部）を形成し得る。第１の封止部８５４ａは、センサ室４１６と環状室４２０との間に延在し得る。第２の封止部８５４ｂは、環状室４２０の周縁の周りに延在し得る。
【００５８】
第２の流体通路４２４ｂと第３の流体通路４２４ｃとの間の接続または移行部など、複数の流体通路４２４ａ、４２４ｂ、４２４ｃの一部は湾曲し得る。
【００５９】
図９は、差圧測定方法９００の１つの例示的な実施形態を示すフロー図である。図に示すように、方法は、図４〜８の文脈で述べた動作９０２〜９１４を含む。しかしながら、代替的な実施形態において、方法は、より多い、またはより少ない動作を含み得、動作は、図９に示した順序とは異なる順序で実行され得る。
【００６０】
動作９０２において、第１の流体（例えば、Ｆ１）によって及ぼされた第１の圧力（例えば、Ｐ１）を、平衡型圧力センサパッケージ（例えば、４０２、８０２）の第１の隔壁（例えば、４１６ａ）で受け得る。第１の隔壁４１６ａは、平衡型圧力センサパッケージ４０２、８０２のセンサ室（例えば、４１４）内に配置され得る。第１の隔壁４１６ａは、センサ室４１４を第１の部分４１４ａと第２の部分４１４ｂとに更に分割し得る。第１のセンサ室部分４１４ａは、第１の流体Ｆ１と流体連通し得る。第２のセンサ室部分４１４ｂは、差圧センサ４０４及び第１の伝達流体（例えば、Ｔ１）を含み得る。差圧センサ４０４は、第１のセンサ面４１２ａ及び対向する第２のセンサ面４１２ｂを有し得る。差圧センサ４０４、センサ室４１６及び第１の隔壁４１６ａは、センサ軸（例えば、Ａ’’）に対して実質的に中心合わせされ得る。
【００６１】
動作９０４において、第１の圧力Ｐ１を、第１の隔壁４１６ａ及び第１の伝達流体Ｔ１を介して差圧センサ４０４の第１のセンサ面４１２ａに伝達し得る。すなわち、第１の流体Ｆ１は、第１の隔壁４１６ａの第１の面と接触し、第１の隔壁４１６ａに第１の圧力Ｐ１を伝達し得る。これに応答して、第１の隔壁４１６ａは、第１の伝達流体Ｔ１に第１の圧力Ｐ１を伝達し得る。この第１の伝達流体は、第１の面とは反対側の第１の隔壁４１６ａの第２の面と接触している。第１のセンサ面４１２ａと接触している第１の伝達流体Ｔ１は、第１の圧力Ｐ１を第１のセンサ面４１２ａに更に伝達し得る。
【００６２】
動作９０６において、第１の伝達流体圧力を第１のセンサ面４１２ａに伝達し得る。上述したように、第１の伝達流体圧力は、第１のセンサ面４１２ａの上に配置された第１の伝達流体Ｔ１の柱の高さＨ１に応じた大きさを有することに起因し得る。
【００６３】
動作９１０において、第２の流体（例えば、Ｆ２）によって及ぼされた第２の圧力（例えば、Ｐ２）を、平衡型圧力センサパッケージ（例えば、４０２、８０２）の第２の隔壁（ｅ．ｇ、４１６ｂ）で受け得る。第２の隔壁４１６ｂは、センサ室４１４の周りに延在する平衡型圧力センサパッケージ４０２、８０２の環状室（例えば、４２０）内に配置され得る。すなわち、センサ室４１６は、環状室４２０の周縁によって画定された中心空所内に配置される。第２の隔壁４１６ｂは、環状室４２０を第１の部分４２６ａと第２の部分４２０ｂとに更に分割し得る。第１の環状室部分４２０ａは、第２の流体Ｆ２と流体連通し得る。第２の環状室部分４２０ｂは、第２の伝達流体（例えば、Ｔ２）を含み得る。第２の伝達流体Ｔ２は、更に第２のセンサ面４１２ｂと（例えば、複数の流体通路４２４ａ、４２４ｂ、４２４ｃを介して）流体連通し得る。環状室４２０及び第２の隔壁４１６ｂは、センサ軸Ａ’’に対して実質的に中心合わせされ得る。
【００６４】
動作９１２において、第２の圧力Ｐ１を、第２の隔壁４１６ｂ及び第２の伝達流体Ｔ２を介して差圧センサ４０４の第２のセンサ面４１２ｂに伝達し得る。すなわち、第２の流体Ｆ２は、第２の隔壁４１６ｂの第１の面と接触し、第２の隔壁４１６ｂに第２の圧力Ｐ２を伝達し得る。これに応答して、第２の隔壁４１６ｂは、第２の伝達流体Ｔ２に第２の圧力Ｐ２を伝達し得る。この第２の伝達流体Ｔ２は、第１の面とは反対側の第２の隔壁４１６ｂの第２の面と接触している。第２の伝達流体Ｔ２は、複数の流体通路４２４ａ、４２４ｃ内で第２の隔壁４１６ｂと第２のセンサ面４１２ｂとの間に延在し、第２のセンサ面４１２ｂに第２の圧力Ｐ２を伝達し得る。
【００６５】
動作９１４において、第２の伝達流体圧力を第２のセンサ面４１２ｂに伝達し得る。上述したように、第２の伝達流体圧力は、第２のセンサ面４１２ｂに作用している第２の伝達流体Ｔ２の柱の正味の高さに起因し得る。流体通路４２４ｂ内の第２の伝達流体Ｔ２の柱は高さＨ３を有し、その重量は第２のセンサ面４１２ｂの方向に作用する。流体通路４２４ａ内の第２の伝達流体Ｔ２の柱は、高さＨ３を有し、流体通路４２４ｂ内の第２の伝達流体Ｔ２の重量の方向に対向する方向にその重量を及ぼす。高さＨ３が高さＨ２より大きいため、第２のセンサ面４１２ｂに及ぼされた正味の第２の伝達流体圧力は、第２のセンサ面の方向にあり、高さＨ３と高さＨ２との差に応じた大きさを有する。図４に示すように、差Ｈ３−Ｈ２は、Ｈ１に等しく、第１の伝達流体Ｔ１の高さと同じである。従って、第１の伝達流体圧力は、第２の伝達流体圧力に対して大きさが実質的に等しく、かつ方向が対向する。
【００６６】
ある実施形態において、第１の伝達流体圧力と第２の伝達流体圧力とは、加速度の方向に対する差圧センサ４０４の任意の方向において、大きさが実質的に等しく、かつ方向が対向し得る。上述したように、第１の隔壁４１６ａ及びセンサ室４１４は、対称な形状（例えば、円形、四角形など）をとり、センサ軸Ａ’’に対して実質的に中心合わせされ得る。更に、第２の隔壁４１６ｂ及び環状室４２０は、センサ軸Ａ’に対して実質的に中心合わせされ得る。そのように構成されると、印加された加速度に対する差圧センサの方向に関わらず、第２の伝達流体Ｔ１の正味の高さの差Ｈ３−Ｈ２は、第１の伝達流体Ｔ１の高さＨ１に実質的に等しいままである。従って、第１の伝達流体圧力は、第２の伝達流体圧力に対して大きさが実質的に等しく、かつ方向が対向する。
【００６７】
第１及び第２の隔壁４１６ａｑ、４１６ｂの実施形態は様々であり得る。上述したように、ある実施形態において、第１の隔壁４１６ａ及び第２の隔壁４１６ｂは単一の隔壁６００の形態をとり得る。単一の隔壁６００は、単一の略円形の隔壁（例えば、６００）の一部であり得る。第１の隔壁４１６ａｑと第２の隔壁４１６ｂとは、センサ室４１４と環状室４２０との間に介在させた液密封止部（例えば、８５４ａ）によって互いに隔離され得る。
【００６８】
第１の伝達流体圧力が第２の伝達流体圧力に対して大きさが実質的に等しく、かつ方向が対向するように、第１の隔壁４１６ａと第２の隔壁４１６ｂとがセンサ軸Ａ’’の方向において互いに対して配置され得る。
【００６９】
本明細書で説明した方法、システム及びデバイスの例示的な技術的効果は、非限定的な例により、高振動環境及び／または高加速度環境における高精度な差圧測定を含む。ある態様において、加速度の方向に対するセンサパッケージ内に含まれる差圧センサの方向とは無関係に、高精度な差圧測定を実現することができる。有利なことに、差圧測定を高精度に維持するためにセンサパッケージの方向を取り付け後に補正することを排除することができる。
【００７０】
本明細書で開示されたシステム、デバイス及び方法の構造、機能、製造及び使用の原理に対する総括的な理解を提供するように、ある例示的な実施形態が説明されてきた。これらの実施形態の１つ以上の例が添付図面に示されている。当業者は、本明細書で具体的に説明され、添付図面に示されたシステム、デバイス及び方法が、限定されない例示的な実施形態であり、本発明の範囲が特許請求の範囲のみによって定められることを理解するであろう。１つの例示的な実施形態に関連して示された、または説明された特徴は、他の実施形態の特徴と組み合わせてもよい。このような修正及び変形は、本発明の範囲内に含まれるように意図される。更に、本開示において、同様の名称の実施形態の構成要素は一般に類似の特徴を有するため、特定の実施形態において同様の名称の各構成要素の各特徴は必ずしも完全に詳述されているとは限らない。
【００７１】
概算的な言語は、本明細書及び特許請求の範囲を通じてここで使用される場合、任意の定量的表現を修飾するために適用され得るが、その定量的表現は、当該表現に関連する基本機能の変化を結果として伴わずに許容的に変わり得る。従って、「約」及び「実質的に」などの１つの用語または複数の用語によって修飾された値は、指定された厳密な値に限定されるものではない。少なくともいくつかの例において、概算的な言語は、値を測定するための計器の精度に対応し得る。ここで、更には本明細書及び特許請求の範囲を通じて、範囲の限定は、組み合わされ、及び／または置き換えられてもよく、そのような範囲は、識別され、文脈または言語が他の場合を規定しない限り、その中に含まれる部分的な範囲の全てを含む。
【００７２】
当業者は、上記の実施形態に基づいて本発明の更なる特徴及び利点を理解するであろう。従って、本出願は、添付された特許請求の範囲によって示されている場合を除き、詳細に図示され、説明されたことによって限定されるものではない。本明細書で言及された全ての公報及び参考文献は、参照によってその全体が明示的に組み込まれる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図９】
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