(57)【要約】【課題】空間を有効に活用して物品を効率的に保管可能な天井吊下棚を提供する。【解決手段】天井吊下棚６は、建屋の天井に設けられるレール２に沿って吊下げ状態で走行してＦＯＵＰ８０を搬送する天井搬送車３が、目標位置に搬送されるＦＯＵＰ８０を一時的に置く棚であって、天井から吊り下げられる。この天井吊下棚６は、上段棚６２と、中段棚６８と、下段棚６５ｂと、スライド機構と、を備える。上段棚６２は、ＦＯＵＰ８０を支持する上段支持面を含み、当該上段支持面の高さがレール２の高さと略同じである。中段棚６８は、上段棚６２よりも下方に配置されている。下段棚６５ｂは、中段棚６８よりも下方に配置されており、横方向にスライド可能である。スライド機構は、天井搬送車３から供給された第１駆動力が伝達されることで、下段棚６５ｂを横方向にスライドさせる機構を有する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
建屋の天井に設けられるレールに沿って吊下げ状態で走行して物品を搬送する天井搬送車が、目標位置に搬送される前記物品を一時的に置く棚であって、天井から吊り下げられた天井吊下棚において、
前記物品を支持する上段支持面を含み、当該上段支持面の高さが前記レールの高さと略同じである上段棚と、
前記上段棚よりも下方に配置されている中段棚と、
前記中段棚よりも下方に配置されており、横方向にスライド可能な下段棚と、
前記天井搬送車から供給された第１駆動力が伝達されることで、前記下段棚を横方向にスライドさせる機構を有するスライド機構と、
を備えることを特徴とする天井吊下棚。
【請求項２】
請求項１に記載の天井吊下棚であって、
前記上段棚は、当該上段棚の下方から上方へ向かう前記物品が通過可能な開口状態と、前記物品を支持可能であるとともに下方から上方へ向かう前記物品が通過できない閉鎖状態と、を切り替える切替機構を備えることを特徴とする天井吊下棚。
【請求項３】
請求項２に記載の天井吊下棚であって、
前記切替機構は、前記天井搬送車から供給された第２駆動力が伝達されることで、前記開口状態と前記閉鎖状態とを切り替えることを特徴とする天井吊下棚。
【請求項４】
請求項１から３までの何れか一項に記載の天井吊下棚であって、
１区画の前記上段棚に前記物品を置くことができる数は、１区画の前記中段棚に前記物品を置くことができる数よりも少なく、かつ、１区画の前記下段棚に前記物品を置くことができる数よりも少ないことを特徴とする天井吊下棚。
【請求項５】
請求項１から４までの何れか一項に記載の天井吊下棚であって、
前記物品は、ウエハを搬送するウエハ搬送容器であることを特徴とする天井吊下棚。
【請求項６】
請求項５に記載の天井吊下棚であって、
前記目標位置は、前記ウエハを処理する処理装置に対して前記ウエハ搬送容器を置くための場所であり、
前記上段棚は、前記目標位置よりも高い位置に配置されていることを特徴とする天井吊下棚。
【請求項７】
請求項１から６までの何れか一項に記載の天井吊下棚であって、
前記上段棚は、前記レールを挟むように両側に配置されることを特徴とする天井吊下棚。
【請求項８】
請求項１から７までの何れか一項に記載の天井吊下棚であって、
前記上段棚に支持される前記物品の側面に対向するように配置される上段側面ガイドを備え、
前記レールの下端より高い位置に前記上段側面ガイドが配置されていることを特徴とする天井吊下棚。
【請求項９】
請求項１から８までの何れか一項に記載の天井吊下棚と、
前記上段棚、前記中段棚、及び前記下段棚に前記物品を移載する前記天井搬送車と、
を備えることを特徴とする搬送システム。
【請求項１０】
請求項９に記載の搬送システムであって、
前記中段棚に置かれた前記物品の高さと、前記天井搬送車により搬送中の前記物品の高さと、が略同じであることを特徴とする搬送システム。
【請求項１１】
請求項９又は１０に記載の搬送システムであって、
前記下段棚をスライドさせて前記物品を下移載する場合において、
前記天井搬送車による前記下段棚への移載の動作時間と、前記スライド機構による前記下段棚のスライド時間と、が時間的に重なっていることを特徴とする搬送システム。
【請求項１２】
請求項９から１１までの何れか一項に記載の搬送システムであって、
平面視において、スライド後の前記下段棚と、前記目標位置と、が重なっており、
前記天井搬送車は、前記下段棚がスライド前の状態において、前記物品を前記目標位置に移載することを特徴とする搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主として、天井搬送車が一時的に物品を置くための天井吊下棚に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば半導体製品を製造する工場等では、天井に設けられたレールに沿って物品を搬送する天井搬送車が用いられている。また、このような工場には、天井搬送車が搬送する物品を一時的に保管するための棚が設けられることがある。特許文献１は、この種の天井搬送車及び棚を含む搬送システムを開示する。
【０００３】
特許文献１の天井搬送車は、物品を下降させる昇降装置と、物品を横移動させる横移載装置と、を備える。また、特許文献１の棚は、支柱によって支持されるとともに、上下に複数並べて配置されている。天井搬送車は、昇降装置により物品を下降させて所定の棚の高さに合わせた後に、当該物品を横移動させることで、物品を棚に置くことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１７−３０９４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、特許文献１のような半導体製品を製造する工場では、処理装置の処理速度の向上に伴って、更に多くの物品を保管可能な構成が求められる可能性がある。また、半導体製品を製造する工場に限られず、天井搬送車が配置される様々な建屋においても同様に、更に多くの物品を保管可能な構成が求められる可能性がある。
【０００６】
本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その主要な目的は、空間を有効に活用して物品を効率的に保管可能な天井吊下棚を提供することにある。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００７】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。
【０００８】
本発明の第１の観点によれば、以下の構成の天井吊下棚が提供される。即ち、天井吊下棚は、建屋の天井に設けられるレールに沿って吊下げ状態で走行して物品を搬送する天井搬送車が、目標位置に搬送される前記物品を一時的に置く棚であって、天井から吊り下げられている。この天井吊下棚は、上段棚と、中段棚と、下段棚と、スライド機構と、を備える。前記上段棚は、前記物品を支持する上段支持面を含み、当該上段支持面の高さが前記レールの高さと略同じである。前記中段棚は、前記上段棚よりも下方に配置されている。前記下段棚は、前記中段棚よりも下方に配置されており、横方向にスライド可能である。前記スライド機構は、前記天井搬送車から供給された第１駆動力が伝達されることで、前記下段棚を横方向にスライドさせる機構を有する。
【０００９】
これにより、従来は物品を置くスペースではなかった高い位置に物品を置くことで、高さ方向に最低３段の天井吊下げ棚が実現できる。そのため、建屋内の空間を有効に活用して物品を効率的に保管することができる。
【００１０】
前記の天井吊下棚においては、前記上段棚は、当該上段棚の下方から上方へ向かう前記物品が通過可能な開口状態と、前記物品を支持可能であるとともに下方から上方へ向かう前記物品が通過できない閉鎖状態と、を切り替える切替機構を備えることが好ましい。
【００１１】
これにより、高い位置にある上段棚に下から物品を置くことができるので、物品を置く動作を簡単にすることができる。
【００１２】
前記の天井吊下棚においては、前記切替機構は、前記天井搬送車から供給された第２駆動力が伝達されることで、前記開口状態と前記閉鎖状態とを切り替えることが好ましい。
【００１３】
これにより、天井吊下棚毎に駆動源を備える構成と比較して、天井吊下棚のコストを下げることができる。
【００１４】
前記の天井吊下棚においては、１区画の前記上段棚に前記物品を置くことができる数は、１区画の前記中段棚に前記物品を置くことができる数よりも少なく、かつ、１区画の前記下段棚に前記物品を置くことができる数よりも少ないことが好ましい。
【００１５】
これにより、物品の搬送方法の違い等に基づいて効率的に物品を配置することが可能となる。
【００１６】
前記の天井吊下棚においては、前記物品は、ウエハを搬送するウエハ搬送容器であることが好ましい。
【００１７】
これにより、ウエハ搬送容器を搬送する工場は清浄度を高くする必要があるため、建屋内の空間を有効に活用するという効果を一層有効に活用できる。
【００１８】
前記の天井吊下棚においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記目標位置は、前記ウエハを処理する処理装置に対して前記ウエハ搬送容器を置くための場所である。前記上段棚は、前記目標位置よりも高い位置に配置されている。
【００１９】
これにより、ロードポートより高い位置に存在する空間を有効活用できる。
【００２０】
前記の天井吊下棚においては、前記上段棚は、前記レールを挟むように両側に配置されることが好ましい。
【００２１】
これにより、建屋内の空間を一層有効に活用することができる。
【００２２】
前記の天井吊下棚においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、この天井吊下棚は、前記上段棚に支持される前記物品の側面に対向するように配置される上段側面ガイドを備える。前記レールの下端より高い位置に前記上段側面ガイドが配置されている。
【００２３】
これにより、比較的高い位置に上段棚を配置できる。
【００２４】
本発明の第２の観点によれば、前記の天井取下棚と、天井搬送車と、を備える搬送システムが提供される。前記天井搬送車は、前記上段棚、前記中段棚、及び前記下段棚に前記物品を移載する。
【００２５】
これにより、建屋内の空間を有効に活用して物品を効率的に保管可能な搬送システムが実現できる。
【００２６】
前記の搬送システムにおいては、前記中段棚に置かれた前記物品の高さと、前記天井搬送車により搬送中の前記物品の高さと、が略同じであることが好ましい。
【００２７】
これにより、中段棚が高い位置に設けられるので、天井近傍のスペースを有効に活用できる。更に、物品を殆ど又は全く上下方向に移動させずに物品を中断棚に移載できるので、移載に掛かる時間を短くすることができる。
【００２８】
前記の搬送システムにおいては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記下段棚をスライドさせて前記物品を下移載する場合において、前記天井搬送車による前記下段棚への移載の動作時間と、前記スライド機構による前記下段棚のスライド時間と、が時間的に重なっている。
【００２９】
これにより、下移載に掛かる時間を短くすることができる。
【００３０】
前記の搬送システムにおいては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、平面視において、スライド後の前記下段棚と、前記目標位置と、が重なっている。前記天井搬送車は、前記下段棚がスライド前の状態において、前記物品を前記目標位置に移載する。
【００３１】
これにより、下段棚が目標位置への移載の邪魔になることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】第１実施形態に係る天井吊下棚を備える搬送システムの構成を概略的に示す平面図。
【図２】天井搬送車及び天井吊下棚の構成を概略的に示す正面図。
【図３】天井搬送車及び天井吊下棚の構成を示す斜視図。
【図４】主に天井搬送車に設けられる駆動部等の構成を示すブロック図。
【図５】天井搬送車の中下段棚用移載部の構成を示す正面図。
【図６】ＦＯＵＰの底面側に設けられる退避機構の構成を示す斜視図。
【図７】上段棚を閉鎖状態から開口状態に切り替える様子を示す斜視図。
【図８】上段棚用移載部の横スライド機構及び上スライド機構を動作させる様子を示す斜視図。
【図９】上段棚にＦＯＵＰを置く様子を示す斜視図。
【図１０】中段棚にＦＯＵＰを置く様子を示す斜視図。
【図１１】下段棚にＦＯＵＰを置く様子を示す斜視図。
【図１２】第２実施形態の天井搬送車に設けられる駆動部等の構成を示すブロック図。
【図１３】第２実施形態の上段棚用移載部を動作させる様子を示す正面図。
【図１４】第３実施形態の天井吊下棚を概略的に示す正面図。
【図１５】第４から第７実施形態の天井搬送車を示す斜視図。
【図１６】第４から第７実施形態の上段棚を示す斜視図。
【図１７】第４実施形態の上段棚が閉鎖状態から開口状態に切り替わる流れを示す概略正面図。
【図１８】第５実施形態の上段棚が閉鎖状態から開口状態に切り替わる流れを示す概略正面図。
【図１９】第６実施形態の上段棚が閉鎖状態から開口状態に切り替わる流れを示す概略正面図。
【図２０】第７実施形態の上段棚が閉鎖状態から開口状態に切り替わる流れを示す概略正面図。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
次に、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。初めに、図１を参照して搬送システム１の概要について説明する。図１は、第１実施形態に係る搬送システム１の構成を概略的に示す平面図である。
【００３４】
本実施形態の搬送システム１は、半導体製品を製造する工場（建屋、施設）に設置されており、様々な物品を搬送するためのシステムである。本実施形態の搬送システム１が搬送する物品は、ウエハ（半導体ウエハ）を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ−Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）である。なお、物品は、レチクルを収容するレチクルポッドであってもよい。図１に示すように、搬送システム１は、レール２と、天井搬送車３と、天井吊下棚６と、を備える。
【００３５】
レール２は、工場の天井７に設けられている。天井搬送車３は、レール２に沿って吊下げ状態で走行可能に構成されている。また、図１には天井搬送車３が１台のみ示されているが、天井搬送車３を複数台備える構成であってもよい。
【００３６】
また、この工場には、処理装置４及びロードポート５が配置されている。処理装置４は、ＦＯＵＰに収容されたウエハに様々な処理を行う装置である。ロードポート５は、処理装置４が処理を行う空間に接続されている。天井搬送車３によって搬送されたＦＯＵＰはロードポート５に置かれる。その後、ＦＯＵＰ内のウエハは、取り出された後に処理装置４で処理される。処理済みのウエハはＦＯＵＰに収容され、ＦＯＵＰは同一又は別の天井搬送車３によって別の工程を行う位置へ搬送される。図１に示すように、天井吊下棚６の下方にロードポート５が配置されていてもよいし、レール２の下方にロードポート５や図示しない一時保管棚が配置されていてもよい。
【００３７】
天井吊下棚６は、工場の天井７に設けられている。天井吊下棚６は、目標位置である処理装置４及びロードポート５が占有されている（使用中である）場合等に、これらが占有解除（使用可能）になるまでＦＯＵＰ等を一時的に置いておくための棚である。本実施形態では、天井吊下棚６はレール２の長手方向に沿うように、当該レール２と平行に配置されている。本実施形態の天井吊下棚６は、レール２の両側に配置されているが、片側のみに配置されていてもよい。
【００３８】
次に、図２から図６を参照して、レール２、天井搬送車３、及び天井吊下棚６について詳細に説明する。なお、図３等の斜視図では、レール２の片側に配置される天井吊下棚６、後述の落下防止部６７の図示を省略し、中段棚６８及び下段棚６５ｂの位置等を鎖線で記載する。
【００３９】
図２に示すように、工場の天井７には支柱８が接続されている。この支柱８によって、レール２及び天井吊下棚６が天井７に吊り下げられている。また、天井搬送車３は、支柱８及びレール２を介して天井７に吊り下げられている。
【００４０】
図２及び図３に示すように、天井吊下棚６は、側板６１と、上段棚（第１棚）６２と、中段棚（第２棚）６８と、下段棚（第３棚）６５ｂと、を備える。側板６１は、上記の支柱８によって天井７に吊り下げられている。側板６１は、上段棚６２、及び下段棚６５ｂを支持している。また、側板６１は、一定の間隔で配置されており、２枚の側板６１で挟まれる空間が一区画に相当する。天井吊下棚６は、同じ構成の複数の区画が連続するように構成されている。
【００４１】
本実施形態の上段棚６２は、一区画に２つのＦＯＵＰ８０を置くことができる。上段棚６２は、中段棚６８及び下段棚６５ｂの両方よりも高い位置に配置されている。詳細には、上段棚６２のうちＦＯＵＰ８０を支持する上段支持面６２ａ（図２、第１支持面）の高さは、レール２の高さと略同じである。具体的には、上段支持面６２ａの高さが、レール２の下端近傍から上端近傍の高さの間である。なお、「略同じ」であるため、上段支持面６２ａの高さがレール２の下端よりも僅かに低い場合及びレール２の上端よりも僅かに高い場合も含まれる。また、上段支持面６２ａがＦＯＵＰ８０を支持する高さは、移動中の天井搬送車３がＦＯＵＰ８０を支持する高さよりも高く、ロードポート５がＦＯＵＰ８０を支持する高さよりも高い。更に、上段支持面６２ａの高さは、後述の中下段棚用移載部３０の上端よりも高い。また、上段支持面６２ａは、天井搬送車３とは水平方向の位置が異なるとともに、当該天井搬送車３よりも高い位置に配置されている。
【００４２】
天井吊下棚６は、ＦＯＵＰ８０の側面８３に対向するように配置される上段側面ガイド６３を備える。上段側面ガイド６３を備えることで、上段棚６２に配置されたＦＯＵＰ８０の落下及び位置ズレ等を防止できる。また、上段側面ガイド６３は、レール２の下端よりも高い位置に配置されている。なお、上段側面ガイド６３は、上段支持面６２ａよりも高い位置に設定されていればよく、必ずしもレール２の下端よりも高い位置に配置される必要はない。
【００４３】
図５に示すように、上段棚６２は、所定の回転軸を中心として回転することで、開閉可能に構成されている。具体的には、上段棚６２は、上段棚６２を外側に位置させて下からＦＯＵＰ８０を通過させることができる開口状態（図５の鎖線）と、上段棚６２を内側に位置させて開口を一部又は全部閉鎖することでＦＯＵＰ８０を支持する閉鎖状態（図５の実線）と、を実現できる。
【００４４】
また、天井吊下棚６は、上段棚６２の開口状態と閉鎖状態とを切り替えるための切替機構６４（図３及び図４）を備える。切替機構６４は、外部から伝達された動力（第２駆動力）を伝達するギア及びリンク等によって構成されている。本実施形態では天井吊下棚６は上段棚６２の状態を切り替えるための駆動部を有しておらず、天井搬送車３から伝達された動力によって、上段棚６２の開閉状態が切り替えられる。
【００４５】
具体的には、天井搬送車３は、切替機構６４を操作するスライド操作部５７を備える。図４に示すようにスライド操作部（操作部）５７は開閉モータ（第２駆動部）５８が発生させた第２駆動力によって駆動される。スライド操作部５７は、通常位置と押圧位置との間で位置を変更可能に構成される。スライド操作部５７が通常位置にある場合、スライド操作部５７は切替機構６４に接触しておらず、上段棚６２は閉鎖状態となる。スライド操作部５７が押圧位置にある場合、スライド操作部５７が切替機構６４を動作させることで、上段棚６２が開口状態に切り替えられる。
【００４６】
本実施形態では、上段棚６２を回転させることで開口状態と閉鎖状態を切り替える構成であるが、上段棚６２をスライドさせることで、開口状態と閉鎖状態とを切り替える構成であってもよい。また、上段棚６２の状態を切り替えるための駆動部を天井吊下棚６が備える構成であってもよい。
【００４７】
本実施形態の中段棚６８及び下段棚６５ｂには、それぞれ、一区画に３つのＦＯＵＰ８０を置くことができる。言い換えれば、中段棚６８及び下段棚６５ｂは、それぞれ、一区画に（言い換えれば単位長さあたりに）上段棚６２よりも多い数のＦＯＵＰ８０を置くことができる。詳細は後述するが、上段棚６２と、中段棚６８及び下段棚６５ｂと、ではＦＯＵＰ８０を置くための機構が異なるため、このような差異が生じている。
【００４８】
中段棚６８及び下段棚６５ｂには、例えば上方に突出するピンが形成されており、当該ピンをＦＯＵＰ８０の底面の溝（凹部）に挿入することで、ＦＯＵＰ８０の位置及び姿勢を安定させる。なお、ピンとは異なる構成でＦＯＵＰ８０の位置及び姿勢を安定させてもよい。
【００４９】
中段棚６８は、上段棚６２よりも下方であって、下段棚６５ｂよりも上方に配置されている。詳細には、中段棚６８の中段支持面（第２支持面）６８ａがＦＯＵＰ８０を支持する高さは、移動中の天井搬送車３がＦＯＵＰ８０を支持する高さと略同じである。従って、天井搬送車３は、ＦＯＵＰ８０を殆ど上下に移動させずに中段棚６８に移載可能である。なお、中段棚６８には上述のピンが形成されているため、ＦＯＵＰ８０を僅かに下降させる動作は必要である。また、下段棚６５ｂは、上段棚６２及び中段棚６８よりも下方に配置されている。詳細には、下段棚６５ｂの下段支持面６５ｃ（第３支持面）がＦＯＵＰ８０を支持する高さは、移動中の天井搬送車３がＦＯＵＰ８０を支持する高さよりも低く、ロードポート５がＦＯＵＰ８０を支持する高さよりも高い。また、下段支持面６５ｃが支持するＦＯＵＰ８０の上端は、後述の上段棚用移載部４０の下端よりも（詳細には横方向に移動した後の上段棚用移載部４０の下端よりも）下方にある。
【００５０】
中段棚６８及び下段棚６５ｂは、常に閉鎖状態にあり、上段棚６２とは異なり状態を切り替えることができない。言い換えれば、中段棚６８及び下段棚６５ｂは、上下にＦＯＵＰ８０を通過できないように構成されている。具体的な構造としては、中段棚６８及び下段棚６５ｂは、隣接する側板６１を接続する棚板である。ただし、図５及び図１１に示すように、下段棚６５ｂは、横方向（水平方向又は水平から僅かに傾斜する方向）にスライド可能に構成されている。下段棚６５ｂをスライドさせる機構等については後述する。
【００５１】
天井吊下棚６は、ＦＯＵＰ８０の側面８３に対向するように配置される中段側面ガイド６９及び下段側面ガイド６６を備える。中段側面ガイド６９及び下段側面ガイド６６を備えることで、中段棚６８及び下段棚６５ｂに配置されたＦＯＵＰ８０の落下及び位置ズレ等を防止できる。
【００５２】
天井吊下棚６は、落下防止部６７を備える。落下防止部６７は、網、柵、又は平板等である。落下防止部６７は、天井吊下棚６のうちレール２（天井搬送車３）を向く面を正面としたときの反対側の面（背面）に設けられている。言い換えれば、落下防止部６７は、平面視でレール２と直交する方向において、レール２から遠い側の部分に設けられている。落下防止部６７は、上段棚６２、中段棚６８又は下段棚６５ｂに置かれたＦＯＵＰ８０がレール２から離れる側に動いたり倒れたりした際に、当該ＦＯＵＰ８０に接触することで、ＦＯＵＰ８０の落下を防止する。
【００５３】
本実施形態の落下防止部６７は、ＦＯＵＰ８０の落下を確実に防止するために、上段棚６２、中段棚６８又は下段棚６５ｂに置かれたＦＯＵＰ８０の下端から上端までを覆うように配置されている。言い換えれば、落下防止部６７の表面に垂直な方向で見たときに、ＦＯＵＰ８０の全体が落下防止部６７と重なる。また、本実施形態では、落下防止部６７は、下段棚６５ｂの下端から上段棚６２に置かれたＦＯＵＰ８０の上端までを覆うが、上段棚６２用、中段棚６８用、及び下段棚６５ｂ用に分割されていてもよい。
【００５４】
また、落下防止部６７は、上段棚６２、中段棚６８又は下段棚６５ｂに置かれるＦＯＵＰ８０を挟んで天井搬送車３の反対側に配置されている。従って、天井搬送車３から上段棚６２、中段棚６８又は下段棚６５ｂに載置する途中のＦＯＵＰ８０が、既に載置済みのＦＯＵＰ８０に接触した場合であっても、当該載置済みのＦＯＵＰ８０の落下を防止できる。
【００５５】
レール２は、走行レール２ａと、給電レール２ｂと、を備える。走行レール２ａには、天井搬送車３（詳細には後述の車輪２２）を支持するととともに、当該天井搬送車３を走行させるための走行支持面が形成されている。給電レール２ｂは、走行レール２ａの下側に配置されている。給電レール２ｂには、図略の給電線が配置されており、天井搬送車３に電力を供給する。
【００５６】
天井搬送車３は、レール２に沿って走行するための構成として、走行モータ２１と、車輪２２と、受電部２３と、を備える。走行モータ２１は、走行レール２ａ内に配置されている。走行モータ２１は、天井搬送車３を走行させるための動力を発生させる。車輪２２は、上記の走行レール２ａの走行支持面に接するように配置されている。車輪２２は、走行モータ２１によって回転駆動される。受電部２３は、給電レール２ｂ内に配置されている。受電部２３は、給電レール２ｂの給電線から電力を取得するピックアップコイル等であり、給電線から取得した電力を走行モータ２１等の電気機器に供給する。
【００５７】
図４に示すように、走行モータ２１等の各種の駆動源及び電気機器は制御装置１００によって制御されている。制御装置１００は、天井搬送車３の適宜の位置に設けられたコンピュータとして構成されている。制御装置１００は、ＣＰＵ等の演算装置と、フラッシュメモリ又はハードディスク等の記憶装置と、外部と通信するための入出力部と、を備える。記憶装置には、各種のプログラムや設定値が記憶されている。演算装置は、各種プログラム等を記憶装置から読み出し、天井搬送車３の各部の動作を制御する。
【００５８】
図３に示すように、天井搬送車３は、走行方向の前後に並べて配置された一対のカバー３ａを備える。ＦＯＵＰ８０を保持したり移載したりするための構成は、この一対のカバー３ａの間に配置されている。
【００５９】
天井搬送車３は、図２等に示すように、ＦＯＵＰ８０を保持するための構成として、チャック（第２保持部）５１と、保持台（第１保持部）５２と、を備える。チャック５１は、ＦＯＵＰ８０の上面のフランジ部８２を掴んで保持する。チャック５１は、フランジ部８２の保持の有無を切替可能である。
【００６０】
保持台５２は、ＦＯＵＰ８０の底面８１を保持する。具体的には、図５、６、９等に示すように、保持台５２の保持面５２ａ（底面８１に接触する面）には、所定の位置に複数の挿入ピン５２ｂが形成されている。一方、ＦＯＵＰ８０の底面８１には、図６に示すように、所定形状の凹部８１ａが形成されている。複数の挿入ピン５２ｂが形成される位置と、凹部８１ａの形状は対応している。この構成により、挿入ピン５２ｂを凹部８１ａに挿入することで、ＦＯＵＰ８０を安定的に保持できる。また、保持台５２の近傍には、ＦＯＵＰ８０の位置ズレ等を防止するガイド部材５３が設けられている。
【００６１】
天井搬送車３の走行中においては、保持台５２によりＦＯＵＰ８０が保持される。なお、以下の説明では、走行中の天井搬送車３がＦＯＵＰ８０を保持する位置を保持位置と称する。ＦＯＵＰ８０を保持台５２により保持することで、ＦＯＵＰ８０を安定させることができる。なお、天井搬送車３の走行中において、チャック５１及び保持台５２の両方又はチャック５１のみにより、ＦＯＵＰ８０が保持される構成であってもよい。
【００６２】
天井搬送車３は、保持位置にあるＦＯＵＰ８０を下段棚６５ｂ（下移載位置）に置くために移動させる中下段棚用移載部（第２移載部）３０と、保持位置にあるＦＯＵＰ８０を上段棚６２（上移載位置）に置くために移動させる上段棚用移載部（第１移載部）４０と、を備える。なお、中下段棚用移載部３０は、ＦＯＵＰ８０をロードポート５に置くためにも用いられる。
【００６３】
初めに、中下段棚用移載部３０について説明する。中下段棚用移載部３０はチャック５１を横方向に移動すること（第３移動）が可能であるとともに、チャック５１を下方向に移動すること（第４移動）が可能である。図２及び図５等に示すように、中下段棚用移載部３０は、横移載機構３１と、下移載機構３３と、を備える。また、図４に示すように、横移載機構３１は横移載モータ３２によって駆動され、下移載機構３３は下移載モータ３４によって駆動される。
【００６４】
横移載機構３１は、チャック５１を横方向（具体的には平面視で進行方向に直交する方向）に移動させることができるように構成されている。具体的には、横移載機構３１は、横方向に移動可能な複数の可動板を備えている。また、チャック５１は、最下方の可動板と一体的に移動するように構成されている。横移載機構３１は、横移載モータ３２の動力によって、複数の可動板を図５に示すように横方向にそれぞれスライドさせることで、横移載機構３１に支持されるチャック５１を横方向に移動させる。これにより、ＦＯＵＰ８０を横方向に移動させることができる。なお、本実施形態では横移載機構３１の上端よりも高い位置に上段支持面６２ａが位置しているため、横移載機構３１による横方向への移動時に、当該横移載機構３１が上段棚６２及び上段棚６２に支持されたＦＯＵＰ８０等と接触しない。
【００６５】
下移載機構３３は、チャック５１を下方向に移動させることができるように構成されている。下移載機構３３は、例えばホイストであり、下移載モータ３４の動力によって図５に示すようにワイヤ等の吊下げ部材を降下させたり巻き取ったりすることができる。これにより、ＦＯＵＰ８０を上下方向に移動させることができる。
【００６６】
また、下移載機構３３は、横移載機構３１の最下方の可動板と一体的に移動するように構成されている。そのため、横移載機構３１による横方向の移動と、下移載機構３３による下方向の移動と、を両立させることができる。従って、中下段棚用移載部３０は、移載位置が真下及び真横だけでなく、斜め下方であってもＦＯＵＰ８０を移載できる。
【００６７】
ここで、ＦＯＵＰ８０を保持台５２に保持させた状態では、部材同士の干渉が生じるため、中下段棚用移載部３０（特に下移載機構３３）を用いてＦＯＵＰ８０を移動させることができない。従って、本実施形態では、中下段棚用移載部３０によるＦＯＵＰ８０の移動を行う前に、保持台５２をＦＯＵＰ８０から外すとともに、ＦＯＵＰ８０の下方から（詳細には中下段棚用移載部３０がチャック５１を下方に移動させる軌跡から）保持台５２を退避させる。この退避を行うための構成として、天井搬送車３は、図６に示すように退避機構５５及び退避モータ５６を備える。
【００６８】
退避機構５５は、退避モータ５６の動力によって動作するリンクを含んでいる。また、このリンクはガイド部材５３に回転可能に連結されている。また、保持台５２はガイド部材５３と一体的に所定の軌跡で移動するように構成されている。以上により、退避モータ５６の動力によって退避機構５５のリンクを動作させることで、保持台５２及びガイド部材５３をＦＯＵＰ８０の後方に移動させることで、ＦＯＵＰ８０の下方から退避させることができる。なお、レール２の下方に天井７から吊り下げ設置される仮置き棚（ＵＴＢ、Ｕｎｄｅｒ  Ｔｒａｃｋ  Ｂｕｆｆｅｒ）を追加してもよい。仮置き棚は、平面視でレール２と重なる位置にあり、レール２の延びる方向においてロードポート５と位相をズラして設置されている。中下段棚用移載部３０は、この仮置き棚に対してＦＯＵＰ８０を移載することができる。
【００６９】
上述したように天井搬送車３の走行中では、ＦＯＵＰ８０は保持台５２に保持され、チャック５１には保持されていない。従って、天井搬送車３が停止してＦＯＵＰ８０を下段棚６５ｂ又はロードポート５に移載する場合、チャック５１でＦＯＵＰ８０を保持した後に、退避モータ５６を駆動して、ＦＯＵＰ８０から保持台５２を取り外す。その後、中下段棚用移載部３０による移載が行われる。
【００７０】
次に、主に図７及び図８を参照して、上段棚用移載部４０について説明する。
【００７１】
図７及び図８に示すように、上段棚用移載部４０は、走行方向においてカバー３ａとＦＯＵＰ８０の間の空間に設けられている。上段棚用移載部４０は保持台５２を横方向に移動すること（第１移動）が可能であるとともに、保持台５２を上方向に移動すること（第２移動）が可能である。なお、第１移動は移動方向に横方向が含まれていればよく、真横方向以外も含む。第２移動以降についても同様である。図８に示すように、上段棚用移載部４０は、横スライド機構４１と、上スライド機構４３と、を備える。また、図４に示すように、横スライド機構４１は横スライドモータ４２によって駆動され、上スライド機構４３は上スライドモータ４４によって駆動される。
【００７２】
横スライド機構４１は、保持台５２を横方向（具体的には平面視で進行方向に直交する方向）に移動させることができるように構成されている。具体的には、横スライド機構４１は、横方向に移動可能な複数の可動板を備えている。詳細には、横スライド機構４１は互いにベルト又はチェーンで連結された３枚の可動板である。また、保持台５２は、最内側の可動板と一体的に移動するように構成されている。横スライド機構４１は、横スライドモータ４２の動力によって、複数の可動板を図８に示すように横方向にそれぞれスライドさせることで、横スライド機構４１に支持される保持台５２を横方向に移動させる。これにより、ＦＯＵＰ８０を横方向に移動させることができる。
【００７３】
上スライド機構４３は、保持台５２を上方向に移動させることができるように構成されている。具体的には、上スライド機構４３は、上方向に移動可能な複数の可動板を備えている。また、保持台５２は、最内側の可動板と一体的に移動するように構成されている。上スライド機構４３は、上スライドモータ４４の動力によって、複数の可動板を図８に示すように上方向にそれぞれスライドさせることで、上スライド機構４３に支持される保持台５２を上方向に移動させる。これにより、ＦＯＵＰ８０を上方向に移動させることができる。また、本実施形態ではＦＯＵＰ８０の側面に上スライド機構４３が位置した状態でＦＯＵＰ８０を上段棚６２に移載する。従って、上スライド機構４３と別のＦＯＵＰ８０との干渉を避けるために、上段棚６２同士の間隔を広くする必要がある。そのため、上段棚６２と、中段棚６８及び下段棚６５ｂとでは、一区画に配置可能なＦＯＵＰ８０の数が異なる（中段棚６８及び下段棚６５ｂの方が多い）。
【００７４】
次に、保持位置にあるＦＯＵＰ８０を上段棚６２に移載するときの流れについて、図７から図９を参照して説明する。なお、以下の説明では、ＦＯＵＰ８０の載置先の上段棚６２の真下にある中段棚６８にＦＯＵＰ８０が載置されていないものとする。
【００７５】
初めに、天井搬送車３は、移載先の上段棚６２の横で停止する（図７の上側）。次に、天井搬送車３は、スライド操作部５７を押圧位置に移動させて上段棚６２を閉鎖状態から開口状態に切り替える（図７の下側）。なお、本実施形態とは異なり走行中の天井搬送車３がチャック５１のみでＦＯＵＰ８０を保持している場合、チャック５１を外して保持台５２を用いてＦＯＵＰ８０を保持する。
【００７６】
次に、天井搬送車３は、横スライド機構４１を動作させてＦＯＵＰ８０を横方向に移動させる（図８の上側）。このとき、ＦＯＵＰ８０は上段棚６２の真下に位置している。次に、天井搬送車３は、上スライド機構４３を動作させてＦＯＵＰ８０を上方向に移動させる（図８の下側）。このとき、ＦＯＵＰ８０は、上段棚６２を適切に回転させるために上移載位置よりも上方に位置している。なお、本実施形態では、横スライド機構４１による横方向の移動が完了した後に上スライド機構４３による上方向の移動が行われるが、横方向の移動が完了する前に上方向の移動を開始してもよい。また、上述したように、横方向に移動した後の上段棚用移載部４０（横スライド機構４１）の下端は、下段棚６５ｂに支持されているＦＯＵＰ８０の上端よりも上方にある（更に言えば平面視で重なる位置にある）。従って、横スライド機構４１と、下段棚６５ｂに載置されたＦＯＵＰ８０と、が干渉することが防止されている。
【００７７】
更に、横スライド機構４１がＦＯＵＰ８０を横方向に移動させた状態において、横スライド機構４１及びＦＯＵＰ８０は、中段棚６８と干渉しないように構成されている。つまり、横スライド機構４１及びＦＯＵＰ８０の動作軌跡は、中段棚６８と空間的に重ならない。しかし、中段棚６８にＦＯＵＰ８０が載置されている場合、横スライド機構４１及びＦＯＵＰ８０の動作軌跡と、中段棚６８に載置されたＦＯＵＰ８０と、は重なる。そのため、上段棚６２にＦＯＵＰ８０を移載したり、上段棚６２からＦＯＵＰ８０を取り出したりする前に、上段棚６２の真下にある中段棚６８からＦＯＵＰ８０を取り除いておく必要がある。具体的には、横スライド機構４１の動作時に、横スライド機構４１又はＦＯＵＰ８０の動作軌跡と干渉する可能性があるＦＯＵＰ８０を中段棚６８から取り除いておく必要がある。なお、下段棚６５ｂは後述のようにスライド可能に構成されているため、中段棚６８のＦＯＵＰ８０を取り除くことなく、下段棚６５ｂにＦＯＵＰ８０を移載したり、下段棚６５ｂからＦＯＵＰ８０を取り出したりすることができる。
【００７８】
また、中段棚６８を本実施形態よりも下方に配置することで、横スライド機構４１及びＦＯＵＰ８０の動作軌跡が、中段棚６８に載置されたＦＯＵＰ８０と空間的に重ならない構成であってもよい。この構成であれば、中段棚６８にＦＯＵＰ８０が載置されているか否かに関係なく、上段棚６２にＦＯＵＰ８０を移載したり、上段棚６２からＦＯＵＰ８０を取り出したりすることができる。
【００７９】
次に、天井搬送車３は、スライド操作部５７を通常位置に移動させて上段棚６２を開口状態から閉鎖状態に切り替える（図９の上側）。次に、天井搬送車３は、上スライド機構４３及び横スライド機構４１を天井搬送車３に格納する動作を開始する（図９の下側）。
【００８０】
このように、天井搬送車３が上段棚用移載部４０を備えるとともに、天井吊下棚６が上段棚６２を備えることで、高い位置（本実施形態ではレール２と同じ高さ）にＦＯＵＰ８０を置くことができる。従って、工場内の空間、具体的にはこれまで有効活用されていなかったレール２の真横の空間を有効に活用できる。特に、半導体製品を製造するための工場では、工場内の清浄度を高める必要があるため、工場内の空間が大きくなるに連れて設備コストが増大する。そのため、本実施形態の搬送システム１は半導体製品を製造するための工場において、特に有効である。
【００８１】
なお、搬送システム１を構成する複数の天井搬送車３は、全てが上段棚用移載部４０を備える構成であってもよいし、一部の天井搬送車３のみが上段棚用移載部４０を備える構成であってもよい。後者の場合、２種類の天井搬送車３は、ともに同じ構成の中下段棚用移載部３０を備えることが好ましい。これにより、２種類の天井搬送車３で下段棚６５ｂを共通して使用できる。
【００８２】
次に、図１０を参照して、天井搬送車３が中段棚６８にＦＯＵＰ８０を移載する時の流れについて説明する。図１０及び後述の図１１では、レール２及び上段棚６２等を省略する。
【００８３】
ＦＯＵＰ８０を把持して走行中の天井搬送車３は、ＦＯＵＰ８０の移載先の天井吊下棚６と位置を合わせた状態で停止する（図１０の左上）。
【００８４】
次に、天井搬送車３は、中下段棚用移載部３０（横移載機構３１）を動作させることで、ＦＯＵＰ８０を横方向に移動し、ＦＯＵＰ８０を中段棚６８に移載する（図１０の右上）。このように、ＦＯＵＰ８０を主として横方向に移動させて中段棚６８に置くことを横移載と称する。上述のように、天井搬送車３に保持されるＦＯＵＰ８０の高さは、中段棚６８に置かれるＦＯＵＰ８０の高さと略同じであるため、ＦＯＵＰ８０を上下に殆ど移動させることなく、ＦＯＵＰ８０を中段棚６８に移載できる。
【００８５】
なお、中段棚６８には、中下段棚用移載部３０が入り込むため、中段棚６８の上下のスペースは、ＦＯＵＰ８０の高さに、中下段棚用移載部３０（特に中段棚６８に入り込む部分）の高さを加えた値よりも大きい。
【００８６】
その後、天井搬送車３は、中下段棚用移載部３０を元に戻す（図１０の右下）。これにより、中段棚６８へのＦＯＵＰ８０の移載が完了し、天井搬送車３は、別の場所への走行を開始する。
【００８７】
次に、図１１を参照して、下段棚６５ｂをスライドさせる機構及び天井搬送車３が下段棚６５ｂにＦＯＵＰ８０を移載する時の流れについて説明する。
【００８８】
また、図２、図５、及び図１１に示すように、天井搬送車３は、左右一対のマグネット駆動ギア（第１回転体）１１を備える。本実施形態のマグネット駆動ギア１１は、カバー３ａから一部が露出するように配置されているが、異なる位置に配置されていてもよい。ただし、マグネット駆動ギア１１は後述の天井吊下棚６側の部材（具体的にはマグネット従動ギア１２）を回転させるための部材であるため、カバー３ａの外部に露出していることが好ましい。マグネット駆動ギア１１は、磁力により非接触で動力を伝達するギアである。また、マグネット駆動ギア１１は、図４に示すギア駆動モータ（第１駆動部）１６が発生させた第１駆動力によって回転可能である。ギア駆動モータ１６は天井搬送車３に備えられており、マグネット駆動ギア１１とギア駆動モータ１６は一体的に移動可能である。また、左右一対のマグネット駆動ギア１１は独立して回転させることができる。また、ギア駆動モータ１６の回転方向を変更することで、マグネット駆動ギア１１の回転方向を変更することもできる。
【００８９】
一方、下段棚６５ｂは、支持板６５ａにスライド可能に支持されており、横方向にスライド可能である。具体的には、下段棚６５ｂは、保管位置と移載位置との間でスライド可能である。保管位置とは、下段棚６５ｂに置かれたＦＯＵＰ８０を天井吊下棚６に保管するための位置である。移載位置とは、保管位置から天井搬送車３に近づくように横方向にスライドした位置である。下段棚６５ｂが移載位置にある状態で、中下段棚用移載部３０（下移載機構３３）がＦＯＵＰ８０を下方に移動させて、ＦＯＵＰ８０を下段棚６５ｂに移載する。このように、ＦＯＵＰ８０を主として下方向に移動させて下段棚６５ｂに置くことを下移載と称する。ここで、下段棚６５ｂには横移載機構３１は入り込まない。従って、下段棚６５ｂの上下のスペースは、中段棚６８の上下のスペースよりも小さく、更に具体的にはＦＯＵＰ８０の高さと殆ど同じである。
【００９０】
以下、下段棚６５ｂをスライドさせるためのスライド機構１０及びその動作について具体的に説明する。スライド機構１０は、マグネット従動ギア（第２回転体）１２と、動力伝達シャフト１３と、ピニオンギア１４と、ラック（スライド部）６５ｄと、を備える。
【００９１】
マグネット従動ギア１２は、マグネット駆動ギア１１と同様、磁力により非接触で動力を伝達するギアである。マグネット従動ギア１２は、マグネット駆動ギア１１と同じ高さに配置されている。また、天井搬送車３の走行方向において、天井搬送車３と天井吊下棚６の位置を合わせた状態では（図１１の左上の図では）、マグネット従動ギア１２とマグネット駆動ギア１１が動力（第１駆動力）を伝達可能な位置関係となる。言い換えれば、天井搬送車３を移動させて、ＦＯＵＰ８０の移載先の天井吊下棚６に到着した状態において（ＦＯＵＰ８０を下段棚６５ｂに移載可能な状態において）、マグネット従動ギア１２とマグネット駆動ギア１１とが近接する。
【００９２】
なお、マグネット駆動ギア１１は、横方向（進行方向に直交する方向）の位置を調整可能に構成されていてもよい。これにより、マグネット駆動ギア１１がマグネット従動ギア１２に近接して当該マグネット従動ギア１２に動力を伝達可能な状態と、マグネット駆動ギア１１がマグネット従動ギア１２から離間して動力が伝達できない状態と、を切り替えることができる。
【００９３】
動力伝達シャフト１３には、マグネット従動ギア１２が相対回転不能に取り付けられている。従って、マグネット従動ギア１２が回転することで、動力伝達シャフト１３も一体的に回転する。これにより、動力伝達シャフト１３は、マグネット駆動ギア１１から伝達した回転力を天井吊下棚６の下部まで伝達する。動力伝達シャフト１３は、図略のベアリング及び取付部材等を介して側板６１又は落下防止部６７等に取り付けられている。
【００９４】
動力伝達シャフト１３の下部には、ピニオンギア１４が相対回転不能に取り付けられている。従って、動力伝達シャフト１３が回転することで、ピニオンギア１４も一体的に回転する。また、ピニオンギア１４は、下段棚６５ｂの側面に形成されたラック６５ｄと噛み合っている。この構成により、ピニオンギア１４が回転することで、ラック６５ｄ（ひいては下段棚６５ｂ）が横方向にスライドする。以上により、天井搬送車３のマグネット駆動ギア１１を回転させることで、下段棚６５ｂをスライドさせて、下段棚６５ｂを保管位置と移載位置との間で切り替えることができる。
【００９５】
また、本実施形態では、マグネット従動ギア１２は、非接触で動力を伝達する機構であるが、例えば歯が形成されたギアを互いに接触させることで（噛み合わせることで）、動力を伝達する構成であってもよい。また、天井搬送車３は、回転運動ではなく直線運動の動力を下段棚６５ｂに供給する構成であってもよい。また、本実施形態では、動力伝達シャフト１３のみによって、マグネット従動ギア１２からピニオンギア１４に動力を伝達する構成であるが、複数の動力伝達部材を介して動力を伝達する構成であってもよい。また、ラックピニオン機構に代えて、例えばボールネジ等によって、回転運動を直線運動に変換してもよい。
【００９６】
次に、天井搬送車３がＦＯＵＰ８０を下段棚６５ｂに下移載する処理の流れを説明する。
【００９７】
初めに、ＦＯＵＰ８０を把持して走行中の天井搬送車３は、ＦＯＵＰ８０の移載先の天井吊下棚６と位置を合わせた状態で停止する（図１１の左上）。
【００９８】
次に、天井搬送車３は、マグネット駆動ギア１１を回転させる。これにより、この回転動力に基づいてスライド機構１０が動作することで、下段棚６５ｂが保管位置から移載位置へスライドする（図１１の右上）。また、天井搬送車３は、中下段棚用移載部３０（下移載機構３３）を動作させることで、ＦＯＵＰ８０を下方向に移動させる。ここで、本実施形態では、マグネット駆動ギア１１を回転させる動作（即ち、下段棚６５ｂのスライド）と、ＦＯＵＰ８０を下降させる動作と、が時間的に重なる。下段棚６５ｂのスライドとＦＯＵＰ８０の下降は、何れの開始が早くてもよい。なお、下段棚６５ｂの適切な位置にＦＯＵＰ８０を置くため（更に言えば下段棚６５ｂのピンをＦＯＵＰ８０に挿入するため）、下段棚６５ｂのスライドが完了した後に、ＦＯＵＰ８０の下降が完了することが好ましい。これにより、必要な動作を並行して行うことができるので、作業時間を短くすることができる。なお、下段棚６５ｂのスライドが完了した後に、ＦＯＵＰ８０の下降を開始してもよい。
【００９９】
天井搬送車３は、ＦＯＵＰ８０を下段棚６５ｂに載置して、ＦＯＵＰ８０の保持を解除した後に、マグネット駆動ギア１１を逆方向に回転させる。これにより、下段棚６５ｂを移載位置から保管位置に戻すことができる（図１１の右下）。また、天井搬送車３は、中下段棚用移載部３０を元に戻す。また、本実施形態では、下段棚６５ｂを元に戻すためのスライドと、中下段棚用移載部３０を元に戻す動作と、が時間的に重なる。これにより、作業時間を短くすることができる。以上により、下段棚６５ｂへのＦＯＵＰ８０の移載が完了し、天井搬送車３は、別の場所への走行を開始する。
【０１００】
なお、レール２を挟んで反対側に配置される天井吊下棚６に対してＦＯＵＰ８０を移載する場合は、反対側のマグネット駆動ギア１１が用いられる。これにより、レール２の両側に天井吊下棚６が配置される状況において、両側の天井吊下棚６の下段棚６５ｂにＦＯＵＰ８０を移載できる。
【０１０１】
次に、図１２及び図１３を参照して、第２実施形態について説明する。なお、図１２以降では、図面を見易くするために、中段棚６８及びスライド機構１０等を省略して表示する。
【０１０２】
上記の第１実施形態では、上段棚用移載部４０は横スライド機構４１及び横スライドモータ４２を備える。これに対し、第２実施形態の上段棚用移載部９０は、回転可能に連結された複数のアームを含むアーム機構である。
【０１０３】
具体的には、図１３に示すように、上段棚用移載部９０は、天井搬送車３に近い側から順に、第１アーム９１と、第２アーム９３と、第３アーム９５と、を備える。また、図１２に示すように、第１アーム９１は第１アームモータ９２によって駆動され、第２アーム９３は第２アームモータ９４によって駆動され、第３アーム９５は第３アームモータ９６によって駆動される。このように、それぞれのアームは独立して動作可能である。
【０１０４】
第１アーム９１の基端は天井搬送車３に連結されており、第１アーム９１の先端は第２アーム９３の基端に回転可能に連結されている。また、第２アーム９３の先端は第３アーム９５の基端に回転可能に連結されている。また、第３アーム９５の先端には第１保持部９７が連結されている。
【０１０５】
また、上段棚用移載部９０によるＦＯＵＰ８０の移載を行う場合は、図１３に示すように、第１アーム９１、第２アーム９３、及び第３アーム９５のそれぞれの回転角度を調整することで、第１保持部９７を水平に維持しつつ、第１保持部９７を上段棚６２まで移動させることができる。具体的に説明すると、初めに、ＦＯＵＰ８０が天井搬送車３に保持されている状態から、第１アーム９１を回転させることで、第１保持部９７は主に横方向に移動する（第１移動、図１３の上側）。その後、第１アーム９１の回転角度が大きくなるに連れて、第１保持部９７が主に上方向に移動することとなる（第２移動、図１３の下側）。なお、第１アーム９１を回転させることで、第２アーム９３及び第３アーム９５の回転角度が変化するため、第１保持部９７が水平になるように第２アーム９３及び第３アーム９５を回転させる。
【０１０６】
次に、図１４を参照して、第３実施形態について説明する。
【０１０７】
第１実施形態では、保持台５２の挿入ピン５２ｂをＦＯＵＰ８０の凹部８１ａに挿入した状態で、上段棚用移載部４０がＦＯＵＰ８０を移動させる。この構成に代えて、上段棚６２の上段支持面６２ａに挿入ピン６２ｂ（図１４）を形成してもよい。この挿入ピン６２ｂをＦＯＵＰ８０の凹部８１ａに挿入することで、上段棚６２に置いたＦＯＵＰ８０の姿勢を安定させることができる。また、上段棚６２に代えて又は加えて、下段棚６５ｂについても同様に、下段支持面６５ｃに挿入ピン６５ｅを形成し、この挿入ピン６５ｅをＦＯＵＰ８０の凹部８１ａに挿入してもよい。
【０１０８】
なお、ＦＯＵＰ８０の凹部８１ａに、保持台５２の挿入ピン５２ｂが挿入される第１凹部と、上段棚６２の挿入ピン６２ｂ（又は下段棚６５ｂの挿入ピン６５ｅ）が挿入される第２凹部と、をそれぞれ形成してもよい。これにより、ＦＯＵＰ８０の上移載の途中、及び、上移載の後の両方において、ＦＯＵＰ８０の姿勢を安定させることができる。なお、第１から第３実施形態の特徴は適宜組み合わせることができる。例えば、第１実施形態の落下防止部６７を第２実施形態又は第３実施形態に適用することができる。
【０１０９】
次に、図１５から図２０を参照して、第４から第７実施形態について説明する。第４から第７実施形態は、スライド操作部５７の代わりに回転操作部（操作部）５９を用いて上段棚６２に駆動力を供給する構成である。初めに、図１５及び図１６を参照して、第４から第７実施形態に共通の構成を説明する。
【０１１０】
図１５に示すように、これらの実施形態の天井搬送車３は、上述した開閉モータ５８及び回転操作部５９に加え、モータ取付部４５を備える。モータ取付部４５は、上段棚用移載部４０に取り付けられている。詳細には、上段棚用移載部４０のうち、保持台５２（ＦＯＵＰ８０）を横方向に移動させる第１移動時に移動する部分であって、かつ、保持台５２を上方向に移動させる第２移動時に移動しない部分に取り付けられている。この構成により、回転操作部５９は、第１移動時に横方向に移動する。これらの実施形態では、モータ取付部４５は、進行方向の一側のみに取り付けられているが、両側に取り付けられていてもよい。
【０１１１】
モータ取付部４５には、開閉モータ５８と、回転操作部５９と、が取り付けられている。開閉モータ５８は、上記実施形態と同様に、上段棚６２の開口状態と閉鎖状態を切り替えるための第２駆動力を発生させる。開閉モータ５８は、回転方向及び回転量を制御可能に構成されている。回転操作部５９は、開閉モータ５８が発生させた第２駆動力により回転する部材である。回転操作部５９は、スライド操作部５７と同様に、この第２駆動力を上段棚６２側に伝達する。なお、モータ取付部４５、開閉モータ５８、及び回転操作部５９は、上スライド機構４３の第２移動時に干渉しない位置（例えば上スライド機構４３の外側）に配置されている。
【０１１２】
また、これらの実施形態では、開閉モータ５８及び回転操作部５９は、進行方向及び上下方向の両方に直交する方向（左右方向）に並べて２つずつ配置されている。左右方向の一側の開閉モータ５８及び回転操作部５９は、左右方向の一側の上段棚６２にＦＯＵＰ８０を移載する際に用いられ、左右方向の他方の開閉モータ５８及び回転操作部５９は、左右方向の他側の上段棚６２にＦＯＵＰ８０を移載する際に用いられる。なお、この構成に代えて、左右方向の一側と他側の何れの上段棚６２にＦＯＵＰ８０を移載する場合でも共通の開閉モータ５８及び回転操作部５９を用いる構成であってもよい。
【０１１３】
図１６に示すように、上段棚６２は、第１軸７１と、第１アーム７２と、第１支持部７３と、第２軸７５と、第２アーム７６と、第２支持部７７と、を備える。
【０１１４】
第１軸７１は、上段棚６２の固定部（可動しない部分、例えば上記実施形態の側板６１等）に回転可能に取り付けられている。第１アーム７２は、第１軸７１と一体的に同方向に回転するように構成されている。第１アーム７２の一端部には第１軸７１が固定され、第１アーム７２の他端部には第１支持部７３が固定されている。また、第１軸７１と第１アーム７２は一対で設けられている。上段棚６２は、一対の第１アーム７２を接続する第１支持部７３を備える。第１支持部７３は、ＦＯＵＰ８０を支持する部分である。第１支持部７３は、棒状であってもよいし、平板状であってもよい。
【０１１５】
第２軸７５、第２アーム７６、第２支持部７７は、第１軸７１、第１アーム７２、第１支持部７３と同じ又は対称の構成である。従って、ＦＯＵＰ８０は、第１支持部７３と第２支持部７７により支持される。
【０１１６】
以上の構成により、第１軸７１が回転することで第１アーム７２及び第１支持部７３も一体的に回転する。また、第２軸７５が回転することで第２アーム７６及び第２支持部７７も一体的に回転する。これにより、上段棚６２を閉鎖状態（実線）と開口状態（鎖線）との間で切り替えることができる。
【０１１７】
従って、天井搬送車３から伝達される第２駆動力（上段棚６２の外部からの駆動力）は、第１軸７１と第２軸７５を回転させるために用いられる。また、閉鎖状態と開口状態を切り替えるためには、第１軸７１と第２軸７５を異なる方向に回転させることが好ましい。なぜなら、第１軸７１と第２軸７５を同じ方向に回転させる場合、例えば第１支持部７３が上方に回転し、第２支持部７７が下方に回転するため、上下方向の空間を大きく占有するからである。もちろん、切替機構６４を単純にするため等の目的で、第１軸７１と第２軸７５を同じ方向に回転させてもよい。
【０１１８】
これらの実施形態では、天井搬送車３から伝達される第２駆動力は、切替機構６４を構成する部材である、受け部１０１と、受け軸１０２と、第１ベベルギア１０３と、第２ベベルギア１０４と、を介して第１軸７１に伝達される。受け部１０１は受け軸１０２を回転軸として回転可能に構成されている。受け部１０１は、第１移動後の回転操作部５９に対応した位置に配置されている。この構成により、第１移動後に回転操作部５９を回転させることで、回転操作部５９の回転方向及び回転量に応じて受け部１０１及び受け軸１０２が回転する。
【０１１９】
受け軸１０２には、更に第１ベベルギア１０３が固定されている。一方で、第１軸７１には第２ベベルギア１０４が固定されている。第１ベベルギア１０３と第２ベベルギア１０４は噛み合っている。この構成により、第１ベベルギア１０３及び第２ベベルギア１０４等を介して、回転操作部５９から第１軸７１に駆動力を伝達できる。また、開閉モータ５８の回転方向を変更することで、第１軸７１の回転方向を変更できる。なお、受け部１０１、受け軸１０２、第１ベベルギア１０３、及び第２ベベルギア１０４を用いた駆動力の伝達は一例であり、適宜変更可能である。
【０１２０】
また、これらの実施形態では、第１軸７１を回転させる駆動力は、切替機構６４により更に第２軸７５に伝達して、第２軸７５を第１軸７１とは反対方向に回転させる。これにより、１つの駆動部を用いて第１軸７１と第２軸７５を駆動して、上段棚６２を開口状態から閉鎖状態に切り替えることができる。なお、具体的な切替機構６４の構成は、実施形態によって異なる。
【０１２１】
また、第４から第６実施形態では、開閉モータ５８を反対方向に回転させることで、第１軸７１と第２軸７５が開口状態から閉鎖状態への切替時とは逆方向に回転するため、上段棚６２を閉鎖状態から開口状態に切り替えることができる。ただし、第７実施形態では、後述のように開閉モータ５８を反対方向に回転させる処理に代えて、もう一方の回転操作部５９を用いて第２軸７５を回転させる処理を行う。つまり、第７実施形態のみ、受け部１０１、受け軸１０２、第１ベベルギア１０３、及び第２ベベルギア１０４に相当する構成が、第１軸７１だけでなく、第２軸７５にも設けられている。
【０１２２】
次に、図１７を参照して、第４実施形態の切替機構６４について説明する。
【０１２３】
第４実施形態の切替機構６４は、リンク支持部１１１と、連結リンク機構１１０と、を備える。リンク支持部１１１は、第１軸７１、第２軸７５、及び連結リンク機構１１０等を支持している、リンク支持部１１１は、第１軸７１、第２軸７５、及び連結リンク機構１１０等に対して従動しない。
【０１２４】
連結リンク機構１１０は、第１軸７１と第２軸７５を連結する機構である。連結リンク機構１１０は、第１連結リンク１１２と、第１軸リンク１１３と、補助リンク１１４と、共通リンク１１５と、第２連結リンク１１６と、第２軸リンク１１７と、補助リンク１１８と、を備える。
【０１２５】
第１連結リンク１１２は、第１軸リンク１１３、補助リンク１１４、及び共通リンク１１５に連結されている。第１軸リンク１１３は、リンク支持部１１１に形成された貫通孔を介して、第１軸７１に固定されており、第１軸７１と一体的に回転する。従って、第１軸７１が駆動されることで、第１連結リンク１１２も動く。補助リンク１１４は、リンク支持部１１１に取り付けられている。共通リンク１１５は、第１連結リンク１１２に形成された長孔状の開口部１１２ａに入り込んでいる。本実施形態では、第１軸リンク１１３、補助リンク１１４、及び共通リンク１１５の回転半径は何れも同じである。そのため、第１連結リンク１１２は、向きを変えずに（平行移動するように）動く。
【０１２６】
第２連結リンク１１６は、第２軸リンク１１７、補助リンク１１８、及び共通リンク１１５に連結されている。第２連結リンク１１６、第２軸リンク１１７、及び補助リンク１１８は、第１連結リンク１１２、第１軸リンク１１３、及び補助リンク１１４と線対称の構成である。詳細には、第１軸７１と第２軸７５を接続する線分の中点を通り、この線分に直交する線が線対称の基準線である。また、第２連結リンク１１６の開口部１１６ａには共通リンク１１５が入り込んでいる。第２連結リンク１１６は、共通リンク１１５を介して駆動力が伝達されることで動作する。それに伴って、補助リンク１１８及び第２軸リンク１１７が回転する。第２連結リンク１１６、第２軸リンク１１７、及び補助リンク１１８の動きは、上記の基準線を基準として、第１連結リンク１１２、第１軸リンク１１３、及び補助リンク１１４と線対称である。そのため、第１軸７１の回転方向と第２軸７５の回転方向は異なる。
【０１２７】
第１軸７１から第２軸７５に駆動力が伝達される際に、第１軸７１と第２軸７５の回転方向が変化することについて、更に説明する。図１７の上側の図では、第１連結リンク１１２と第１軸リンク１１３の連結箇所は、第１軸７１より低い位置であって、第１軸７１よりも内側の位置である。当然、第２連結リンク１１６と第２軸リンク１１７の連結箇所も、第２軸７５より低い位置であって、第２軸７５よりも内側の位置である。従って、第１軸リンク１１３と第２軸リンク１１７の両方に上向きの力が掛かることで、第１軸リンク１１３と第２軸リンク１１７は内側を通るように上方向に向かって回転する（つまり、異なる方向に回転する）。
【０１２８】
以上により、連結リンク機構１１０を用いることで、第１軸７１を一側に回転させるだけで、第２軸７５を他側に回転させることができる。これにより、図１７に示すように第１支持部７３及び第２支持部７７を外側に回転させることができるので、上段棚６２を閉鎖状態から開口状態に切り替えることができる。同様に、第１軸７１を別の方向に回転させることで、上段棚６２を開口状態から閉鎖状態に切り替えることもできる。
【０１２９】
また、第１連結リンク１１２は、略Ｌ字状の部材であり、第１軸リンク１１３との連結箇所から上方に退避する部分（上方に延びる部分）を含む。第２連結リンク１１６も同様である。従って、連結リンク機構１１０は、第１軸７１と第２軸７５を接続する線分の周囲に空間が形成される。これにより、上段棚６２と天井搬送車３の干渉を防止している。なお、天井搬送車３の構成によっては、第１連結リンク１１２及び第２連結リンク１１６を上方に退避させる構成は不要である。
【０１３０】
また、回転操作部５９は、上段棚６２の状態を切り替えた後は上段棚６２から離れる。そのため、上段棚６２は、現在の状態を維持する（一定以上の力が掛かるまで状態を維持する）ストッパ等が設けられていてもよい。
【０１３１】
次に、図１８を参照して、第５実施形態の切替機構６４について説明する。
【０１３２】
上記の第４実施形態では、第１軸リンク１１３と第２軸リンク１１７は、２つのリンク（第１連結リンク１１２、第２連結リンク１１６）を介して連結されている。これに対し、第５実施形態では、第１軸リンク１２２と第２軸リンク１２３は、１つのリンク（連結リンク１２４）によって連結されている。なお、第１軸リンク１２２と第２軸リンク１２３は、第４実施形態と同じ構成である。
【０１３３】
連結リンク１２４は、第１軸７１側が第１軸リンク１２２に回転可能に連結されており、第２軸７５側が第２軸リンク１２３に回転可能に連結されている。また、連結リンク１２４は、第４実施形態と同様に上方に退避した構成である。また、連結リンク１２４は、第４実施形態と同様に、第１軸リンク１２２又は第２軸リンク１２３を介してリンク支持部１２１に支持されている。また、リンク支持部１２１には、連結リンク１２４が第１軸７１等の軸方向に振れるのを防止するための振止め板１２５が固定されている。振止め板１２５は、通常時は連結リンク１２４を拘束しておらず、連結リンク１２４が第１軸７１等の軸方向に大きく動いた場合のみ、連結リンク１２４に接触してそれ以上の動きを防止する。
【０１３４】
第１軸７１を回転させることで、第１軸リンク１２２が一体的に同方向に回転する。第１軸リンク１２２が回転することで、連結リンク１２４も動作し、それによって第２軸リンク１２３が回転する。その結果、第２軸７５が第１軸７１とは反対方向に回転する。
【０１３５】
なお、連結リンク１２４の形状及び連結箇所によっては、第１軸７１と第２軸７５は同じ方向に回転することもある。この点、本実施形態では、第２軸７５は、第１軸７１からの駆動力が伝達されることで、第１軸７１とは反対方向に回転する。例えば、図１８の上側の図では、第１軸７１の回転により、第１軸リンク１２２と連結リンク１２４の連結箇所は、第１軸７１よりも下方を内側に向かうように回転する。この駆動力は、連結リンク１２４を介して第２軸リンク１２３に伝達される。第２軸リンク１２３と連結リンク１２４の連結箇所は、第２軸７５よりも上側にあるので、第２軸７５よりも上方を外側に向かうように回転する。その結果、第１軸７１と第２軸７５は異なる方向に回転する。
【０１３６】
以上により、連結リンク１２４等を用いることで、第１軸７１を一側に回転させるだけで、第２軸７５を他側に回転させることができる。これにより、図１８に示すように第１支持部７３及び第２支持部７７を外側に回転させることができるので、上段棚６２を閉鎖状態から開口状態に切り替えることができる。同様に、第１軸７１を別の方向に回転させることで、上段棚６２を開口状態から閉鎖状態に切り替えることもできる。
【０１３７】
次に、図１９を参照して、第６実施形態の切替機構６４について説明する。
【０１３８】
第６実施形態では、ベルトとプーリを含む構成で駆動力を第１軸７１から第２軸７５に伝達する。具体的には、第６実施形態の切替機構６４は、第１ベルト１３１と、第２ベルトと１３５、を備える。
【０１３９】
第１ベルト１３１は、駆動プーリ１３２と、第１プーリ１３３に巻き掛けられている。駆動プーリ１３２は、第１軸７１に固定されており、第１軸７１と一体的に回転する。第１ベルト１３１は、第１軸７１の回転を駆動力として動く。第１プーリ１３３は、第１軸７１と第２軸７５の間であって、第１軸７１及び第２軸７５よりも高い位置に配置されている。つまり、第４及び第５実施形態と同様に、切替機構６４の一部が上方に退避した構成である。また、切替機構６４は、第１プーリ１３３と一体的に回転する第１歯車１３４を備える。つまり、第１軸７１を回転させることで、第１歯車１３４を回転させることができる。
【０１４０】
第１歯車１３４は、その近傍に配置される第２歯車１３６と噛み合っている。そのため、第２歯車１３６は、第１歯車１３４とは反対方向に回転する。また、切替機構６４は、第２歯車１３６と一体的に回転する第２プーリ１３７を備える。第２ベルト１３５は、第２プーリ１３７と、従動プーリ１３８に巻き掛けられている。従動プーリ１３８は、第２軸７５に固定されており、第２軸７５と一体的に回転する。
【０１４１】
このように、第１軸７１を回転させることで、第２軸７５を回転させることができる。また、途中に第１歯車１３４と第２歯車１３６を介することで、第２軸７５は、第１軸７１とは反対方向に回転する。これにより、図１９に示すように第１支持部７３及び第２支持部７７を外側に回転させることができるので、上段棚６２を閉鎖状態から開口状態に切り替えることができる。同様に、第１軸７１を別の方向に回転させることで、上段棚６２を開口状態から閉鎖状態に切り替えることもできる。
【０１４２】
なお、第６実施形態では、第１歯車１３４と第２歯車１３６が直接噛み合っているが、偶数個の歯車を介して噛み合っていてもよい。
【０１４３】
次に、図２０を参照して、第７実施形態の切替機構６４について説明する。
【０１４４】
第７実施形態の切替機構６４は、ベルトを巻き取る際にリールが回転することを利用して駆動力を伝達する。具体的には、切替機構６４は、連結ベルト１４１と、第１リール１４２と、第２リール１４３と、を備える。
【０１４５】
第１リール１４２は、連結ベルト１４１を巻き付けることが可能に構成されている。第１リール１４２は、第１軸７１に固定されており、第１軸７１と一体的に回転する。従って、回転操作部５９を用いて第１軸７１を第１方向に回転させることで、連結ベルト１４１を巻き取ることができる。
【０１４６】
連結ベルト１４１は、第１リール１４２から上方に退避した後に第２リール１４３に巻き付けられている。つまり、第４から第６実施形態と同様に、切替機構６４の一部が上方に退避した構成である。
【０１４７】
第２リール１４３は、連結ベルト１４１を巻き付けることが可能に構成されている。第２リール１４３は、第２軸７５に固定されており、第２軸７５と一体的に回転する。図２０に示すように、第１リール１４２と第２リール１４３は、連結ベルト１４１を巻き付ける向きが同じである。従って、連結ベルト１４１を巻き付けるための第１リール１４２の回転方向と、連結ベルト１４１を引き出すための第２リール１４３の回転方向と、は異なる。
【０１４８】
上述のように第１軸７１を第１方向に回転させて第１リール１４２に連結ベルト１４１を巻き取ることで、第２リール１４３は連結ベルト１４１が引き出される方向に回転する。つまり、第１軸７１と第２軸７５は異なる方向に回転する。
【０１４９】
一方、第１軸７１を第２方向（第１方向の反対方向）に回転させても、連結ベルト１４１は第２リール１４３に巻き付くとは限らない。従って、第１軸７１の駆動力が第２軸７５に伝達されない。そのため、第７実施形態では、第１軸７１を駆動するための回転操作部５９に加え、第２軸７５を駆動するための回転操作部５９が更に設けられている。また、回転操作部５９と第２軸７５の間には、上述したように、受け部１０１、受け軸１０２、第１ベベルギア１０３、及び第２ベベルギア１０４等が設けられているものとする。
【０１５０】
これにより、第１軸７１に加えて第２軸７５を回転駆動することができる。また、図２０に示すように、回転操作部５９が第２軸７５を回転させて、第２リール１４３が連結ベルト１４１を巻き取る方向に回転することで、第１リール１４２から連結ベルト１４１が引き出されるため、連結ベルト１４１を回転させることができる。この場合においても、第１軸７１と第２軸７５の回転方向は異なる。その結果、第１支持部７３及び第２支持部７７を外側に回転させることができるので、上段棚６２を閉鎖状態から開口状態に切り替えることができる。一方、回転操作部５９が第１軸７１を回転させて、第１リール１４２が連結ベルト１４１を巻き取る方向に回転することで、上段棚６２を開口状態から閉鎖状態に切り替えることができる。
【０１５１】
以上に説明したように、上記実施形態の天井吊下棚６は、建屋の天井７に設けられるレール２に沿って吊下げ状態で走行してＦＯＵＰ８０を搬送する天井搬送車３が、目標位置に搬送されるＦＯＵＰ８０を一時的に置く棚であって、天井７から吊り下げられる。この天井吊下棚６は、上段棚６２と、中段棚６８と、下段棚６５ｂと、スライド機構１０と、を備える。上段棚６２は、ＦＯＵＰ８０を支持する上段支持面６２ａを含み、当該上段支持面６２ａの高さがレール２の高さと略同じである。中段棚６８は、上段棚６２よりも下方に配置されている。下段棚６５ｂは、中段棚６８よりも下方に配置されており、横方向にスライド可能である。スライド機構１０は、天井搬送車３から供給された第１駆動力が伝達されることで、下段棚６５ｂを横方向にスライドさせる機構を有する。
【０１５２】
これにより、従来はＦＯＵＰ８０を置くスペースではなかった高い位置にＦＯＵＰ８０を置くことで、高さ方向に最低３段の天井吊下棚６が実現できる。そのため、建屋内の空間を有効に活用してＦＯＵＰ８０を効率的に保管することができる。
【０１５３】
また、上記実施形態の天井吊下棚６において、上段棚６２は、当該上段棚６２の下方から上方へ向かうＦＯＵＰ８０が通過可能な開口状態と、ＦＯＵＰ８０を支持可能であるとともに下方から上方へ向かうＦＯＵＰ８０が通過できない閉鎖状態と、を切り替える切替機構６４を備える。
【０１５４】
これにより、高い位置にある上段棚６２に下からＦＯＵＰ８０を置くことができるので、ＦＯＵＰ８０を置く動作を簡単にすることができる。
【０１５５】
また、上記実施形態の天井吊下棚６において、切替機構６４は、天井搬送車３からの第２駆動力が伝達されることで、開口状態と閉鎖状態とを切り替える。
【０１５６】
これにより、天井吊下棚６毎に駆動源を備える構成と比較して、天井吊下棚６のコストを下げることができる。
【０１５７】
また、上記実施形態の天井吊下棚６において、１区画の上段棚６２にＦＯＵＰ８０を置くことができる数は、１区画の中段棚６８にＦＯＵＰ８０を置くことができる数よりも少なく、かつ、１区画の下段棚６５ｂにＦＯＵＰ８０を置くことができる数よりも少ない。
【０１５８】
これにより、ＦＯＵＰ８０の搬送方法の違い等に基づいて効率的にＦＯＵＰ８０を配置することが可能となる。
【０１５９】
また、上記実施形態の天井吊下棚６において、目標位置は、ウエハを処理する処理装置４に対してＦＯＵＰ８０を置くための場所（ロードポート５）である。上段棚６２は、目標位置よりも高い位置に配置されている。
【０１６０】
これにより、ロードポート５より高い位置に存在する空間を有効活用できる。
【０１６１】
また、上記実施形態の天井吊下棚６において、上段棚６２は、レール２を挟むように当該レール２の両側に配置される。
【０１６２】
これにより、建屋内の空間を一層有効に活用することができる。
【０１６３】
また、上記実施形態の天井吊下棚６は、上段棚６２に支持されるＦＯＵＰ８０の側面８３に対向するように配置され上段側面ガイド６３を備える。レール２の下端より高い位置に上段側面ガイド６３が配置されている。
【０１６４】
これにより、比較的高い位置に上段棚６２を配置できる。
【０１６５】
また、上記実施形態の搬送システム１は、天井吊下棚６と、天井搬送車３と、を備える。天井搬送車３は、上段棚６２、中段棚６８、及び下段棚６５ｂにＦＯＵＰ８０を移載する。
【０１６６】
これにより、建屋内の空間を有効に活用してＦＯＵＰ８０を効率的に保管可能な搬送システム１が実現できる。
【０１６７】
また、上記実施形態の搬送システム１において、中段棚６８に置かれたＦＯＵＰ８０の高さと、天井搬送車３により搬送中のＦＯＵＰ８０の高さと、が略同じである。
【０１６８】
これにより、中段棚６８が高い位置に設けられるので、天井７近傍のスペースを有効に活用できる。更に、ＦＯＵＰ８０を殆ど又は全く上下方向に移動させずにＦＯＵＰ８０を中段棚６８に移載できるので、移載に掛かる時間を短くすることができる。
【０１６９】
また、上記実施形態の搬送システム１において、下段棚６５ｂをスライドさせてＦＯＵＰ８０を下移載する場合において、天井搬送車３（中下段棚用移載部３０）による下移載の動作時間と、スライド機構１０による下段棚６５ｂのスライド時間と、が時間的に重なっている。
【０１７０】
これにより、下移載に掛かる時間を短くすることができる。
【０１７１】
また、上記実施形態の搬送システム１において、目標位置は、ＦＯＵＰ８０に対して処理を行う処理装置４に対して当該ＦＯＵＰ８０を置くための場所である。平面視において、スライド後の（移載位置の）下段棚６５ｂと、目標位置（ロードポート５）と、が重なっている。天井搬送車３は、下段棚６５ｂがスライド前の状態（保管位置にある状態）において、ＦＯＵＰ８０を目標位置に移載する。
【０１７２】
これにより、下段棚６５ｂが目標位置への移載の邪魔になることを防止できる。
【０１７３】
また、第４から第７実施形態の天井吊下棚６において、上段棚６２は、第１軸７１と、第１支持部７３と、第２軸７５と、第２支持部７７と、を備える。第１軸７１は、回転可能である。第１支持部７３は、第１軸７１と一体的に回転する。第２軸７５は、回転可能であって第１軸７１とは軸中心の位置が異なる。第２支持部７７は、第２軸７５と一体的に回転する。切替機構６４は、外部からの駆動力を第１軸７１に回転力として伝達し、外部からの駆動力を第２軸７５に第１軸７１とは反対方向の回転力として伝達することで、開口状態と閉鎖状態とを切り替える。
【０１７４】
これにより、第１軸７１と第２軸７５を個別に駆動する必要がないので、駆動系統を単純にできる。また、仮に第１軸７１と第２軸７５を同じ方向に回転させる場合、第１支持部７３が上方に回転し第２支持部７７が下方に回転する結果、上下方向の占有空間が大きくなる。これに対し、第１軸７１と第２軸７５を異なる方向に回転させることで、第１支持部７３と第２支持部７７が上下の同じ向きに動作するため、上下方向の占有空間を抑えることができる。
【０１７５】
また、第４実施形態の天井吊下棚６において、切替機構６４は、第１軸７１と第２軸７５を連結する連結リンク機構１１０を有している。連結リンク機構１１０は、第１連結リンク１１２と、第２連結リンク１１６と、を備える。第１連結リンク１１２は、第１軸７１側に位置する。第２連結リンク１１６は、第２軸７５側に位置し、第１連結リンク１１２と連結しており、第１連結リンク１１２とは反対方向に回転する。
【０１７６】
これにより、リンクを用いて第１軸７１と第２軸７５を異なる方向に回転させることができる。
【０１７７】
また、第５実施形態の天井吊下棚６において、切替機構６４は、第１軸リンク１２２と、第２軸リンク１２３と、連結リンク１２４と、を備える。第１軸リンク１２２は、第１軸リンク１２２と一体的に回転する。第２軸リンク１２３は、第２軸７５と一体的に回転する。連結リンク１２４は、第１軸リンク１２２と第２軸リンク１２３が異なる方向に回転するように、第１軸リンク１２２と第２軸リンク１２３を連結する。
【０１７８】
これにより、主に１つの連結リンク１２４を用いて第１軸リンク１２２と第２軸リンク１２３を異なる方向に回転させることができるので、機構を単純にすることができる。
【０１７９】
また、第６実施形態の天井吊下棚６において、切替機構６４は、第１プーリ１３３と、第１ベルト１３１と、第１歯車１３４と、第２歯車１３６と、第２プーリ１３７と、第２ベルト１３５と、を備える。第１ベルト１３１は、第１プーリ１３３に巻き掛けられるとともに第１軸７１を回転させる。第１歯車１３４は、第１プーリ１３３と一体的に同方向に回転する。第２歯車１３６は、第１歯車１３４と噛み合うことで、第１歯車１３４とは反対方向に回転する。第２プーリ１３７は、第２歯車１３６と一体的に同方向に回転する。第２ベルト１３５は、第２プーリ１３７に巻き掛けられるとともに第２軸７５を回転させる。
【０１８０】
これにより、ベルトとプーリを用いて第１軸７１と第２軸７５を異なる方向に回転させることができる。
【０１８１】
また、第７実施形態の天井吊下棚６において、切替機構６４は、連結ベルト１４１と、第１リール１４２と、第２リール１４３と、を備える。第１リール１４２は、第１軸７１と一体的に回転し、連結ベルト１４１が巻かれる。第２リール１４３は、第２軸７５と一体的に回転し、第１リール１４２と同じ向きに連結ベルト１４１が巻かれる。外部からの駆動力で第１リール１４２が回転して当該第１リールに連結ベルト１４１が巻き付けられた場合は、第１リール１４２と反対方向に第２リール１４３が回転する。外部からの駆動力で第２リール１４３が回転して当該第２リール１４３に連結ベルト１４１が巻き付けられた場合は、第２リール１４３と反対方向に第１リール１４２が回転する。
【０１８２】
これにより、ベルトをループ状に配置する必要がないので、短いベルトを用いて第１軸と第２軸を異なる方向に回転させることができる。
【０１８３】
また、上記実施形態の搬送システム１において、天井搬送車３は、ギア駆動モータ１６により回転するマグネット駆動ギア１１を備える。スライド機構１０は、マグネット駆動ギア１１と一体的に回転するマグネット従動ギア１２と、当該マグネット従動ギア１２の回転により直線運動して下段棚６５ｂをスライドさせるラック６５ｄと、を備える。
【０１８４】
これにより、天井搬送車３から天井吊下棚６へ回転動力を伝達するだけで、下段棚６５ｂをスライドさせることができる。
【０１８５】
以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。
【０１８６】
上記実施形態では、一区画の上段棚６２に２つのＦＯＵＰ８０を配置可能であり、一区画の中段棚６８及び下段棚６５ｂのそれぞれに３つのＦＯＵＰ８０が配置可能であるが、これらとは異なる数のＦＯＵＰ８０が配置可能であってもよい。また、上段棚６２と中段棚６８又は下段棚６５ｂとに配置可能なＦＯＵＰ８０の数が同じであってもよいし、上段棚６２の方が多くてもよい。
【０１８７】
上記実施形態では、上段棚用移載部４０は、横方向の移動を行う第１移動と上方向の移動を行う第２移動を行って、ＦＯＵＰ８０を上段棚６２に移載する。ＦＯＵＰ８０の移動のさせ方は上記とは異なっていてもよい。例えば、第１移動の前に、僅かに下方向に移動させて、ＦＯＵＰ８０を天井搬送車３から離間させてもよい。
【０１８８】
チャック５１及び保持台５２の少なくとも一方は、ＦＯＵＰ８０の側面８３（側面８３に形成された突出部等を含む）を保持する構成であってもよい。
【０１８９】
第１実施形態のスライド操作部５７は直線運動による駆動力を切替機構６４に付与し、第４から第７実施形態の回転操作部５９は、回転運動による駆動力を切替機構６４に付与する。これらは、接触による駆動力の供給であるが、操作部は、例えばマグネットギア等を用いて非接触による駆動力の供給を行う構成であってもよい。
【０１９０】
上記実施形態では、天井吊下棚６は３段構成であるが、４段以上であってもよい。この場合、スライド可能な下段棚６５ｂを複数段配置してもよい。複数の下段棚６５ｂがスライド可能である場合、それぞれの下段棚６５ｂを個別にスライドできることが好ましい。従って、この場合の天井搬送車３は、下段棚６５ｂの各段に応じたマグネット駆動ギア１１をそれぞれ異なる位置に備える。また、天井搬送車３は、指定したマグネット駆動ギア１１のみを回転可能である。一方、天井吊下棚６にも、下段棚６５ｂの各段に応じたマグネット従動ギア１２が配置される。以上の構成により、下段棚６５ｂが複数段であっても、ＦＯＵＰ８０を移載できる。
【０１９１】
上記実施形態では、半導体製品を製造する工場に設置される搬送システム１について説明したが、この搬送システム１は、他の製品を製造する工場に設置することもできる。また、この搬送システム１は、製造工場以外の建屋（例えば倉庫）に設置することもできる。
【符号の説明】
【０１９２】
１  搬送システム
３  天井搬送車
６  天井吊下棚
３０  中下段棚用移載部
４０  上段棚用移載部
５１  チャック
５２  保持台
６２  上段棚
６２ａ  上段支持面
６３  上段側面ガイド
６５  下段棚
６５ｃ  下段支持面
６８  中段棚
６８ａ  中段支持面
６６  下段側面ガイド
８０  ＦＯＵＰ（ウエハ搬送容器）
９０  上段棚用移載部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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