(57)【要約】【課題】構造の大型化を抑制することができるカバー構造を提供する。【解決手段】実施形態のカバー構造１は、対象物をＸ方向に移動可能な移動装置３と、移動装置３を覆うスライドカバー４と、を備え、スライドカバー４は、Ｘ方向の外方から移動装置３を覆う第一覆い部４１と、第一覆い部４１と一体に結合され、Ｘ方向と直交するＹ方向の外方から移動装置３を覆う第二覆い部４２と、を備える。【選択図】図１
2020075297.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を第一方向に移動可能な移動装置と、
前記移動装置を覆うスライドカバーと、を備え、
前記スライドカバーは、
前記第一方向の外方から前記移動装置を覆う第一覆い部と、
前記第一覆い部と一体に結合され、前記第一方向と直交する第二方向の外方から前記移動装置を覆う第二覆い部と、を備えることを特徴とするカバー構造。
【請求項２】
前記第一覆い部は、
前記第二方向に沿う第一軸と、
前記第一軸と平行な第二軸と、
前記第一軸の周りに回動可能な第一カバーと、
前記第二軸の周りに回動可能な第二カバーと、
前記第一カバーと前記第二カバーとが互いに摺接するように前記第二カバーを案内するガイド部と、を備えることを特徴とする請求項１に記載のカバー構造。
【請求項３】
前記第一方向および前記第二方向のそれぞれと直交する第三方向から見て、
前記第一軸は、前記第一方向の移動始端または移動終端で前記第二軸と重なることを特徴とする請求項２に記載のカバー構造。
【請求項４】
前記第一軸は、前記第一方向の移動過程で前記第二軸よりも前記第一方向の内方に位置することを特徴とする請求項３に記載のカバー構造。
【請求項５】
前記対象物を載置可能なステージを更に備え、
前記移動装置は、前記ステージを前記第一方向に移動可能であり、
前記第一方向および前記第二方向のそれぞれと直交する第三方向から見て、前記第一軸は、前記ステージと重なることを特徴とする請求項２から４のいずれか一項に記載のカバー構造。
【請求項６】
前記ガイド部は、前記第一カバーの内方において前記第一カバーと隙間をあけて配置され、
前記第二カバーの少なくとも一部は、前記第一方向の移動過程で前記隙間に介在することを特徴とする請求項２から５のいずれか一項に記載のカバー構造。
【請求項７】
前記第二覆い部は、
前記第一カバーと一体に結合された第一側カバーと、
前記第二カバーと一体に結合された第二側カバーと、を備え、
前記第二側カバーの少なくとも一部は、前記第一方向の移動過程で前記第一側カバーと重なることを特徴とする請求項２から６のいずれか一項に記載のカバー構造。
【請求項８】
前記移動装置は、前記第一方向に延びるレールを備え、
前記スライドカバーは、前記第一方向における前記レールの両側に設けられていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のカバー構造。
【請求項９】
前記移動装置は、
前記対象物を前記第一方向に移動可能な第一移動機構と、
前記第一移動機構によって前記第一方向に移動可能とされ、かつ、前記対象物を前記第二方向に移動可能な第二移動機構と、を備えることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載のカバー構造。
【請求項１０】
前記スライドカバーは、
前記第一移動機構を覆う第一被覆体と、
前記第二移動機構を覆う第二被覆体と、を備え、
前記第一被覆体は、
前記第一方向の外方から前記第一移動機構を覆う前記第一覆い部と、
前記第一覆い部と一体に結合され、前記第二方向の外方から前記第一移動機構を覆う前記第二覆い部と、を備え、
前記第二被覆体は、
前記第二方向の外方から前記第二移動機構を覆う第三覆い部と、
前記第三覆い部と一体に結合され、前記第一方向の外方から前記第二移動機構を覆う第四覆い部と、を備えることを特徴とする請求項９に記載のカバー構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カバー構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、工作機械に切粉、油分などの異物が侵入することを防止するためのカバー構造がある。
例えば、特許文献１には、工作機械のコラムとサドルとに両端が取り付けられたアコーディオン式カーテンと、コラムとサドルとの間に傾斜して配置されたテレスコカバーと、を備えた構造が開示されている。
例えば、特許文献２には、コラムとサドルとの間のベッド上のサドル用案内を覆うテレスコカバーと、コラムとサドルとの間に設けられベッド上方を覆う傾斜テレスコカバーと、を備えた構造が開示されている。傾斜テレスコカバーは、テレスコカバーの外側両端面に僅少隙間を有して重なるように配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−７０７３４号公報
【特許文献２】実開平５−２９６５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、２種類のカバーを別個独立に設けると、各カバーの設置スペース（各カバーのストロークスペースを含む。）が必要となり、構造が大型化してしまう。
【０００５】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、構造の大型化を抑制することができるカバー構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係るカバー構造は、対象物を第一方向に移動可能な移動装置と、前記移動装置を覆うスライドカバーと、を備え、前記スライドカバーは、前記第一方向の外方から前記移動装置を覆う第一覆い部と、前記第一覆い部と一体に結合され、前記第一方向と直交する第二方向の外方から前記移動装置を覆う第二覆い部と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、スライドカバーにおいて第一覆い部と第二覆い部とが互いに一体に結合されるため、第一覆い部と第二覆い部とが別個独立に設けられた場合と比較して、各覆い部の設置スペース（ストロークスペース）を可及的に小さく抑えることができる。したがって、構造の大型化を抑制することができる。加えて、第一方向の外方および第二方向の外方のそれぞれから移動装置に異物が侵入することを抑制することができる。
【０００８】
上記のカバー構造において、前記第一覆い部は、前記第二方向に沿う第一軸と、前記第一軸と平行な第二軸と、前記第一軸の周りに回動可能な第一カバーと、前記第二軸の周りに回動可能な第二カバーと、前記第一カバーと前記第二カバーとが互いに摺接するように前記第二カバーを案内するガイド部と、を備えてもよい。
【０００９】
この構成によれば、スライド式（第一カバーと第二カバーとの摺接）と旋回式（第一軸周りの第一カバーの回動、第二軸周りの第二カバーの回動）とを組み合わせた構成で構造の大型化を抑制することができる。
【００１０】
上記のカバー構造において、前記第一方向および前記第二方向のそれぞれと直交する第三方向から見て、前記第一軸は、前記第一方向の移動始端または移動終端で前記第二軸と重なってもよい。
【００１１】
この構成によれば、第三方向から見て第一軸が第一方向の移動始端および移動終端で第二軸よりも第一方向の外方に位置する場合と比較して、構造の大型化を抑制することができる。
【００１２】
上記のカバー構造において、前記第一軸は、前記第一方向の移動過程で前記第二軸よりも前記第一方向の内方に位置してもよい。
【００１３】
この構成によれば、第一軸が第一方向の移動過程で第二軸よりも第一方向の外方に位置する場合と比較して、構造の大型化を抑制することができる。
【００１４】
上記のカバー構造において、前記対象物を載置可能なステージを更に備え、前記移動装置は、前記ステージを前記第一方向に移動可能であり、前記第一方向および前記第二方向のそれぞれと直交する第三方向から見て、前記第一軸は、前記ステージと重なってもよい。
【００１５】
この構成によれば、第三方向から見て第一軸がステージの外方に位置する場合と比較して、構造の大型化を抑制することができる。
【００１６】
上記のカバー構造において、前記ガイド部は、前記第一カバーの内方において前記第一カバーと隙間をあけて配置され、前記第二カバーの少なくとも一部は、前記第一方向の移動過程で前記隙間に介在してもよい。
【００１７】
この構成によれば、第一カバー、第二カバーおよびガイド部の３つの部材の厚み分のスペースでスライドカバー（第一覆い部）を設置できるため、省スペース化に寄与する。加えて、第二カバーが第一カバーの内面に摺接するため、第二カバーが第一カバーの外面に摺接する場合と比較して、第二カバーを目立ちにくくすることができる。
【００１８】
上記のカバー構造において、前記第二覆い部は、前記第一カバーと一体に結合された第一側カバーと、前記第二カバーと一体に結合された第二側カバーと、を備え、前記第二側カバーの少なくとも一部は、前記第一方向の移動過程で前記第一側カバーと重なってもよい。
【００１９】
この構成によれば、第二側カバーが第一方向の移動過程で第一側カバーと離反する場合と比較して、第二方向の外方から移動装置に異物が侵入することをより一層効果的に抑制することができる。
【００２０】
上記のカバー構造において、前記移動装置は、前記第一方向に延びるレールを備え、前記スライドカバーは、前記第一方向における前記レールの両側に設けられていてもよい。
【００２１】
この構成によれば、スライドカバーが第一方向におけるレールの片側のみに設けられた場合と比較して、構造の大型化をより一層効果的に抑制することができる。
【００２２】
上記のカバー構造において、前記移動装置は、前記対象物を前記第一方向に移動可能な第一移動機構と、前記第一移動機構によって前記第一方向に移動可能とされ、かつ、前記対象物を前記第二方向に移動可能な第二移動機構と、を備えてもよい。
【００２３】
この構成によれば、移動装置が第一移動機構および第二移動機構を備えた構成において、構造の大型化を抑制することができる。
【００２４】
上記のカバー構造において、前記スライドカバーは、前記第一移動機構を覆う第一被覆体と、前記第二移動機構を覆う第二被覆体と、を備え、前記第一被覆体は、  前記第一方向の外方から前記第一移動機構を覆う前記第一覆い部と、前記第一覆い部と一体に結合され、前記第二方向の外方から前記第一移動機構を覆う前記第二覆い部と、を備え、前記第二被覆体は、前記第二方向の外方から前記第二移動機構を覆う第三覆い部と、前記第三覆い部と一体に結合され、前記第一方向の外方から前記第二移動機構を覆う第四覆い部と、を備えてもよい。
【００２５】
この構成によれば、スライドカバーにおいて第一覆い部と第二覆い部とが互いに一体に結合されるとともに、第三覆い部と第四覆い部とが互いに一体に結合されるため、各覆い部が別個独立に設けられた場合と比較して、各覆い部の設置スペースを可及的に小さく抑えることができる。したがって、構造の大型化を抑制することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、構造の大型化を抑制することができるカバー構造を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】実施形態のカバー構造の斜視図であり、第一方向の移動始端を示す図である。
【図２】実施形態のカバー構造の上面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面を含む図であり、第一方向の移動始端を示す図である。
【図４】第一方向の移動終端を示す、図３に相当する図である。
【図５】実施形態の第一方向の移動始端における第一覆い部および第二覆い部の斜視図である。
【図６】実施形態の第一覆い部の断面を示す、図３の要部拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、ＸＹ移動装置（移動装置）を覆うスライドカバーを備えたカバー構造を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００２９】
（カバー構造１）
図１は、本実施形態のカバー構造１の斜視図である。
図１に示すように、カバー構造１は、ステージ２、ＸＹ移動装置３およびスライドカバー４を備える。以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。水平面内の所定方向をＸ方向（第一方向）、水平面内においてＸ方向と直交する方向をＹ方向（第二方向）、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ方向（第三方向）とする。Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向のうち、図中矢印方向をプラス（＋）方向とし、矢印とは反対の方向をマイナス（−）方向とする。図１は、本実施形態のカバー構造１のＸ方向の移動始端を示す図である。
【００３０】
（ステージ２）
ステージ２は、対象物を載置可能である。例えば、対象物は、時計などの部品が挙げられる。例えば、ステージ２に載置された対象物は、工作機械（不図示）によって加工される。ステージ２は、載置台１０および枠体１１を備える。
【００３１】
載置台１０は、対象物を載置可能な矩形形状の載置領域１０ａを有する（図２参照）。例えば、載置領域１０ａの一辺の長さは、数十ｍｍである。図中符号１２は、載置台１０を枠体１１に固定するための締結部材を示す。
【００３２】
枠体１１は、枠部１１ａおよび側壁部１１ｂを備える。枠部１１ａは、載置領域１０ａを囲む矩形枠状を有する。各締結部材１２は、枠部１１ａの四隅部に配置されている。側壁部１１ｂは、Ｘ方向における枠部１１ａの両端から−Ｚ方向に向けて延びている。各側壁部１１ｂは、Ｘ方向に厚みを有し、かつ、Ｙ方向に長手を有する矩形板状を有する。
【００３３】
（ＸＹ移動装置３）
ＸＹ移動装置３は、ステージ２をＸ方向およびＹ方向のそれぞれに移動可能である。ＸＹ移動装置３は、Ｘ移動機構２０（第一移動機構）およびＹ移動機構３０（第二移動機構）を備える。
【００３４】
Ｘ移動機構２０は、対象物をＸ方向に移動可能である。Ｘ移動機構２０は、Ｙ移動機構３０の土台として機能する。図３に示すように、Ｘ移動機構２０は、Ｘベース２１、Ｘレール２２（レール）およびＸ駆動機構２３を備える。
【００３５】
Ｘベース２１は、＋Ｚ方向に開口する矩形箱状を有する。Ｘベース２１は、底壁２１ａおよび周壁２１ｂを備える。
底壁２１ａは、ステージ２の外形よりも大きい矩形形状を有する。周壁２１ｂは、底壁２１ａの外周に沿う矩形枠状を有する。周壁２１ｂは、底壁２１ａの外周から＋Ｚ方向に向けて延びている。
Ｘレール２２は、Ｘ方向に延びている。Ｘレール２２は、Ｘベース２１の＋Ｚ方向の端部（周壁２１ｂのＹ方向側壁の上端）に固定されている。
Ｘ駆動機構２３は、Ｘベース２１に搭載されている。Ｘ駆動機構２３は、Ｙ移動機構３０をＸレール２２に沿って移動可能とするＸ駆動源２３ａを備える。Ｘ駆動源２３ａは、連結部材（不図示）を介してＸベース２１の底壁２１ａに固定されている。例えば、Ｘ駆動源２３ａは、モータである。
【００３６】
Ｙ移動機構３０は、Ｘ移動機構２０によってＸ方向に移動可能とされる。Ｙ移動機構３０は、対象物をＹ方向に移動可能である。Ｙ移動機構３０は、ステージ２の土台として機能する。Ｙ移動機構３０は、Ｙベース３１、Ｙレール３２およびＹ駆動機構３３を備える。
【００３７】
Ｙベース３１は、＋Ｚ方向に開口する矩形箱状を有する。Ｙベース３１は、Ｘベース２１よりも小さい外形を有する。
Ｙレール３２は、Ｙ方向に延びている。Ｙレール３２は、Ｙベース３１の＋Ｚ方向の端部（Ｘ方向側壁の上端）に固定されている。
Ｙ駆動機構３３は、Ｙベース３１に搭載されている。Ｙ駆動機構３３は、ステージ２をＹレール３２に沿って移動可能とするＹ駆動源３３ａを備える。Ｙ駆動源３３ａは、連結部材（不図示）を介してＹベース３１に固定されている。例えば、Ｙ駆動源３３ａは、モータである。
【００３８】
（スライドカバー４）
スライドカバー４は、ＸＹ移動装置３を覆う。スライドカバー４は、Ｘ移動機構２０を覆うＸ被覆体４０（第一被覆体）を備える。Ｘ被覆体４０は、Ｘ方向におけるＸレール２２の両側に設けられている。図中符号４０Ａは＋Ｘ方向側に位置する被覆体、図中符号４０Ｂは−Ｘ方向側に位置する被覆体をそれぞれ示す。以下、両側（一対）のＸ被覆体４０のうち、＋Ｘ方向側に位置する被覆体４０Ａを挙げて説明する。−Ｘ方向側に位置する被覆体４０Ｂは、＋Ｘ方向側の被覆体４０Ａと同様の構成を有するため、詳細説明は省略する。
【００３９】
図１に示すように、Ｘ被覆体４０（＋Ｘ方向側の被覆体４０Ａ）は、第一覆い部４１および第二覆い部４２を備える。
第一覆い部４１は、Ｘ方向の外方からＸ移動機構２０を覆う。図６に示すように、第一覆い部４１は、第一軸５１、第二軸５２、第一カバー５３、第二カバー５４およびガイド部５５を備える。
【００４０】
第一軸５１は、Ｙ方向に沿って延びている。第一軸５１は、Ｙベース３１の＋Ｘ方向側壁に支持されている。Ｚ方向から見て、第一軸５１は、ステージ２と重なる。
第二軸５２は、第一軸５１と平行に延びている。第二軸５２は、Ｘベース２１の周壁２１ｂのＸ方向側壁の上端に支持されている。
【００４１】
図３は、本実施形態のカバー構造１のＸ方向の移動始端を示す図である。
図４は、本実施形態のカバー構造１のＸ方向の移動終端を示す図である。
図４に示すように、Ｚ方向から見て、第一軸５１は、Ｘ方向の移動終端で第二軸５２と重なる。図３に示すように、第一軸５１は、Ｘ方向の移動始端およびＸ方向の移動過程（Ｘ方向の移動終端を除く。）のそれぞれにおいて、第二軸５２よりもＸ方向の内方に位置する。
【００４２】
図５は、本実施形態のカバー構造１のＸ方向の移動始端における第一覆い部４１および第二覆い部４２の斜視図である。
第一カバー５３は、第一軸５１の周りに回動可能である。図５に示すように、第一カバー５３は、Ｙ方向に長手を有する矩形板状を有する。第一カバー５３の＋Ｚ方向端部は、第一軸５１の周りに回動可能に第一軸５１に連結されている。
第二カバー５４は、第二軸５２の周りに回動可能である。第二カバー５４は、Ｙ方向に長手を有する矩形板状を有する。第二カバー５４の−Ｚ方向端部は、第二軸５２の周りに回動可能に第二軸５２に連結されている。
【００４３】
図６は、本実施形態のカバー構造１の第一覆い部４１の断面を示す、図３の要部拡大図である。ガイド部５５は、第一カバー５３と第二カバー５４とが互いに摺接するように第二カバー５４を案内する。図６に示すように、ガイド部５５は、第一カバー５３の内方において第一カバー５３と隙間５６をあけて配置されている。第二カバー５４の少なくとも一部は、Ｘ方向の移動過程で隙間５６に介在する。ガイド部５５は、Ｙ方向に長手を有するＬ字断面の板状を有する。ガイド部５５の＋Ｚ方向端部は、第一カバー５３の内面に一体に結合されている。
【００４４】
図４に示すように、＋Ｘ方向の移動終端において、第一カバー５３は、第二カバー５４の全部を＋Ｘ方向から覆う。Ｘ方向の移動終端において、第一カバー５３の−Ｚ方向端は、Ｘベース２１の＋Ｚ方向の端部（周壁２１ｂの＋Ｘ方向側壁の上端）に近接する。
【００４５】
図１に示すように、第二覆い部４２は、第一覆い部４１と一体に結合されている。第二覆い部４２は、Ｙ方向の外方からＸ移動機構２０を覆う。
第二覆い部４２は、第一側カバー６１および第二側カバー６２を備える。
【００４６】
第一側カバー６１は、第一カバー５３と一体に結合されている。第一側カバー６１は、第一カバー５３と共に、第一軸５１の周りに回動可能である。第一側カバー６１は、Ｙベース３１（図６参照）の−Ｙ方向を覆う側壁部３４よりもＹ方向内方に位置する。例えば、第一側カバー６１は、第一カバー５３と同一の部材で一体に形成されている。第一側カバー６１は、Ｙ方向における第一カバー５３の両側に設けられている。第一側カバー６１は、第一カバー５３との結合部から離れるほど先細りとなる形状を有する。
【００４７】
図５に示すように、第二側カバー６２は、第二カバー５４と一体に結合されている。第二側カバー６２は、第二カバー５４と共に、第二軸５２の周りに回動可能である。第二側カバー６２は、第一側カバー６１よりもＹ方向内方に位置する。例えば、第二側カバー６２は、第二カバー５４と同一の部材で一体に形成されている。第二側カバー６２は、Ｙ方向における第二カバー５４の両側に設けられている。第二側カバー６２は、第二カバー５４との結合部から離れるほど先細りとなる形状を有する。
【００４８】
Ｙ移動機構３０のＸ方向の移動過程において、第二側カバー６２の少なくとも一部は、Ｙ方向外方から見て第一側カバー６１と重なる形状を有し、Ｙ方向外方から常にＸ移動機構２０を覆う。また、Ｘ方向の移動始端において、移動始端側の第一側カバー６１は、側壁部３４によりＹ方向外方から覆われ、移動終端側の第一側カバー６１は、第二側カバー６２と協働してＹ方向外方からＸ移動機構２０を覆う（図１参照）。
このように、Ｙ移動機構３０のＸ方向の移動始端、移動終端およびＸ方向の移動過程のそれぞれにおいて、第一側カバー６１および第二側カバー６２は、Ｙ方向から見て隙間の無い連続した外形を形成する。
【００４９】
図１に示すように、スライドカバー４は、Ｙ移動機構３０を覆うＹ被覆体７０（第二被覆体）を更に備える。Ｙ被覆体７０は、Ｙ方向におけるＹレール３２（図３参照）の両側に設けられている。図中符号７０Ａは＋Ｙ方向側に位置する被覆体、図中符号７０Ｂは−Ｙ方向側に位置する被覆体をそれぞれ示す。以下、両側（一対）のＹ被覆体７０のうち、＋Ｙ方向側に位置する被覆体７０Ａを挙げて説明する。−Ｙ方向側に位置する被覆体７０Ｂは、＋Ｙ方向側の被覆体７０Ａと同様の構成を有するため、詳細説明は省略する。
【００５０】
Ｙ被覆体７０（＋Ｙ方向側の被覆体７０Ａ）は、第三覆い部７１および第四覆い部７２を備える。
第三覆い部７１は、Ｙ方向の外方からＹ移動機構３０を覆う。第三覆い部７１は、第一覆い部４１と同様の構成を有するため、詳細説明は省略する。
【００５１】
第四覆い部７２は、第三覆い部７１と一体に結合されている。第四覆い部７２は、Ｘ方向の外方からＹ移動機構３０を覆う。第四覆い部７２は、第二覆い部４２と同様の構成を有するため、詳細説明は省略する。
【００５２】
以上説明したように、本実施形態に係るカバー構造１は、対象物をＸ方向に移動可能な移動装置３と、移動装置３を覆うスライドカバー４と、を備え、スライドカバー４は、Ｘ方向の外方から移動装置３を覆う第一覆い部４１と、第一覆い部４１と一体に結合され、Ｘ方向と直交するＹ方向の外方から移動装置３を覆う第二覆い部４２と、を備える。
【００５３】
本実施形態によれば、スライドカバー４において第一覆い部４１と第二覆い部４２とが互いに一体に結合されるため、第一覆い部４１と第二覆い部４２とが別個独立に設けられた場合と比較して、各覆い部４１，４２の設置スペース（ストロークスペース）を可及的に小さく抑えることができる。したがって、構造の大型化を抑制することができる。加えて、Ｘ方向の外方およびＹ方向の外方のそれぞれから移動装置３に異物が侵入することを抑制することができる。
【００５４】
また、本実施形態では、第一覆い部４１は、Ｙ方向に沿う第一軸５１と、第一軸５１と平行な第二軸５２と、第一軸５１の周りに回動可能な第一カバー５３と、第二軸５２の周りに回動可能な第二カバー５４と、第一カバー５３と第二カバー５４とが互いに摺接するように第二カバー５４を案内するガイド部５５と、を備える。
【００５５】
本実施形態によれば、スライド式（第一カバー５３と第二カバー５４との摺接）と旋回式（第一軸５１周りの第一カバー５３の回動、第二軸５２周りの第二カバー５４の回動）とを組み合わせた構成で構造の大型化を抑制することができる。
【００５６】
また、本実施形態では、Ｚ方向から見て、第一軸５１は、Ｘ方向の移動終端で第二軸５２と重なる。
【００５７】
本実施形態によれば、Ｚ方向から見て第一軸５１がＸ方向の移動終端で第二軸５２よりもＸ方向の外方に位置する場合と比較して、構造の大型化を抑制することができる。
【００５８】
また、本実施形態では、第一軸５１は、Ｘ方向の移動過程で第二軸５２よりもＸ方向の内方に位置する。
【００５９】
本実施形態によれば、第一軸５１がＸ方向の移動過程で第二軸５２よりもＸ方向の外方に位置する場合と比較して、構造の大型化を抑制することができる。
【００６０】
また、本実施形態では、対象物を載置可能なステージ２を更に備える。移動装置３は、ステージ２をＸ方向に移動可能である。Ｚ方向から見て、第一軸５１は、ステージ２と重なる。
【００６１】
本実施形態によれば、Ｚ方向から見て第一軸５１がステージ２の外方に位置する場合と比較して、構造の大型化を抑制することができる。
【００６２】
また、本実施形態では、ガイド部５５は、第一カバー５３の内方において第一カバー５３と隙間５６をあけて配置されている。第二カバー５４の少なくとも一部は、Ｘ方向の移動過程で隙間５６に介在する。
【００６３】
本実施形態によれば、第一カバー５３、第二カバー５４およびガイド部５５の３つの部材の厚み分のスペースでスライドカバー４（第一覆い部４１）を設置できるため、省スペース化に寄与する。加えて、第二カバー５４が第一カバー５３の内面に摺接するため、第二カバー５４が第一カバー５３の外面に摺接する場合と比較して、第二カバー５４を目立ちにくくすることができる。
【００６４】
また、本実施形態では、第二覆い部４２は、第一カバー５３と一体に結合された第一側カバー６１と、第二カバー５４と一体に結合された第二側カバー６２と、を備える。第二側カバー６２の少なくとも一部は、Ｘ方向の移動過程で第一側カバー６１と重なる。
【００６５】
本実施形態によれば、第二側カバー６２がＸ方向の移動過程で第一側カバー６１と離反する場合と比較して、Ｙ方向の外方から移動装置３に異物が侵入することをより一層効果的に抑制することができる。
【００６６】
また、本実施形態では、移動装置３は、Ｘ方向に延びるＸレール２２を備える。Ｘ被覆体４０は、Ｘ方向におけるＸレール２２の両側に設けられている。
【００６７】
本実施形態によれば、Ｘ被覆体４０がＸ方向におけるＸレール２２の片側のみに設けられた場合と比較して、構造の大型化をより一層効果的に抑制することができる。
加えて、両側のＸ被覆体４０において、スライド式（第一カバー５３と第二カバー５４との摺接）と旋回式（第一軸５１周りの第一カバー５３の回動、第二軸５２周りの第二カバー５４の回動）とを組み合わせた構成とすることで、構造の大型化をより一層効果的に抑制することができる。
【００６８】
また、本実施形態では、移動装置３は、対象物をＸ方向に移動可能なＸ移動機構２０と、Ｘ移動機構２０によってＸ方向に移動可能とされ、かつ、対象物をＹ方向に移動可能なＹ移動機構３０と、を備える。
【００６９】
本実施形態によれば、移動装置３がＸ移動機構２０およびＹ移動機構３０を備えた構成において、構造の大型化を抑制することができる。
【００７０】
また、本実施形態では、スライドカバー４は、Ｘ移動機構２０を覆うＸ被覆体４０と、Ｙ移動機構３０を覆うＹ被覆体７０と、を備える。Ｘ被覆体４０は、Ｘ方向の外方からＸ移動機構２０を覆う第一覆い部４１と、第一覆い部４１と一体に結合され、Ｙ方向の外方からＸ移動機構２０を覆う第二覆い部４２と、を備える。Ｙ被覆体７０は、Ｙ方向の外方からＹ移動機構３０を覆う第三覆い部７１と、第三覆い部７１と一体に結合され、Ｘ方向の外方からＹ移動機構３０を覆う第四覆い部７２と、を備える。
【００７１】
本実施形態によれば、スライドカバー４において第一覆い部４１と第二覆い部４２とが互いに一体に結合されるとともに、第三覆い部７１と第四覆い部７２とが互いに一体に結合されるため、各覆い部４１，４２，７１，７２が別個独立に設けられた場合と比較して、各覆い部４１，４２，７１，７２の設置スペースを可及的に小さく抑えることができる。したがって、構造の大型化を抑制することができる。
【００７２】
（変形例）
なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００７３】
上述した実施形態では、スライドカバー４が移動装置３を覆う例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、スライドカバー４は、対象物を覆っていてもよい。
【００７４】
上述した実施形態では、第一覆い部４１が、第一軸５１の周りに回動可能な第一カバー５３と、第二軸５２の周りに回動可能な第二カバー５４と、第一カバー５３と第二カバー５４とが互いに摺接するように第二カバー５４を案内するガイド部５５と、を備える例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、第一覆い部４１は、第一カバー５３および第二カバー５４のそれぞれに摺接する第三カバーを更に備えてもよい。例えば、第一覆い部４１は、３つ以上の複数のカバーを備えた摺接構造を採用してもよい。
【００７５】
上述した実施形態では、第一側カバー６１が第一カバー５３と同一の部材で一体に形成されている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、第一側カバー６１は、第一カバー５３と異なる部材で一体に結合されていてもよい。
また、第二側カバー６２が第二カバー５４と同一の部材で一体に形成されている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、第二側カバー６２は、第二カバー５４と異なる部材で一体に結合されていてもよい。
【００７６】
上述した実施形態では、Ｚ方向から見て第一軸５１がＸ方向の移動終端で第二軸５２と重なる例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、Ｚ方向から見て、第一軸５１は、Ｘ方向の移動終端で第二軸５２よりもＸ方向の内方に位置してもよい。例えば、Ｚ方向から見て、第一軸５１は、Ｘ方向の移動終端で第二軸５２よりもＸ方向の外方に位置してもよい。
【００７７】
上述した実施形態では、第一軸５１がＸ方向の移動過程で第二軸５２よりもＸ方向の内方に位置する例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、第一軸５１は、Ｘ方向の移動過程で第二軸５２よりもＸ方向の外方に位置してもよい。
【００７８】
上述した実施形態では、Ｚ方向から見て第一軸５１がステージ２と重なる例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、Ｚ方向から見て、第一軸５１は、ステージ２の外方に位置してもよい。
【００７９】
上述した実施形態では、Ｘ被覆体４０がＸ方向におけるＸレール２２の両側に設けられている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、Ｘ被覆体４０は、Ｘ方向におけるＸレール２２の片側のみに設けられていてもよい。
また、Ｙ被覆体７０がＹ方向におけるＹレール３２の両側に設けられている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、Ｙ被覆体７０は、Ｙ方向におけるＹレール３２の片側のみに設けられていてもよい。
【００８０】
上述した実施形態では、移動装置３がＸ移動機構２０およびＹ移動機構３０を備える例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、移動装置３は、Ｘ移動機構２０またはＹ移動機構３０のいずれか一方のみを備えてもよい。例えば、移動装置３は、Ｚ移動機構を備えてもよい。
【００８１】
上述した実施形態では、カバー構造１の一例として、ＸＹ移動装置３を覆うスライドカバー４を備えた構造を例に挙げて説明したが、これに限らない。例えば、カバー構造１は、Ｘ移動装置のみを覆うスライドカバーを備えた構造であってもよい。例えば、カバー構造１は、Ｙ移動装置のみを覆うスライドカバーを備えた構造であってもよい。例えば、カバー構造１は、Ｚ移動装置を覆うスライドカバーを備えた構造であってもよい。
【００８２】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能である。
【符号の説明】
【００８３】
１…カバー構造
２…ステージ
３…ＸＹ移動装置（移動装置）
４…スライドカバー
２０…Ｘ移動機構（第一移動機構）
２２…Ｘレール（レール）
３０…Ｙ移動機構（第二移動機構）
４０…Ｘ被覆体（第一被覆体）
４１…第一覆い部
４２…第二覆い部
５１…第一軸
５２…第二軸
５３…第一カバー
５４…第二カバー
５５…ガイド部
５６…隙間
６１…第一側カバー
６２…第二側カバー
７０…Ｙ被覆体（第二被覆体）
７１…第三覆い部
７２…第四覆い部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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