(57)【要約】【課題】室温（２５℃）付近でのＮＯｘ濃度の測定が可能なＮＯｘセンサーを提供すること。【解決手段】リン酸が担持された硫酸カルシウム粉末からなる固体電解質と、前記固体電解質の一方の面上に配置されたアノード電極膜と、前記アノード電極膜と対向するように前記固体電解質の他方の面上に配置されたカソード電極膜とを備えている電気化学セル、  前記アノード電極膜及び前記カソード電極膜に電気的に接続された通電装置、及び  前記電気化学セルに流れる電流値を測定する電流測定装置を備えていることを特徴とするＮＯｘセンサー。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リン酸が担持された硫酸カルシウム粉末からなる固体電解質と、前記固体電解質の一方の面上に配置されたアノード電極膜と、前記アノード電極膜と対向するように前記固体電解質の他方の面上に配置されたカソード電極膜と、を備えていることを特徴とするＮＯｘセンサー用電気化学セル。
【請求項２】
前記アノード電極膜及び前記カソード電極膜がＰｔ電極膜であることを特徴とする請求項１に記載のＮＯｘセンサー用電気化学セル。
【請求項３】
前記固体電解質が乾燥体又は焼結体であることを特徴とする請求項１又は２に記載のＮＯｘセンサー用電気化学セル。
【請求項４】
請求項１〜３のうちのいずれか一項に記載のＮＯｘセンサー用電気化学セルと、前記アノード電極膜及び前記カソード電極膜に電気的に接続された通電装置と、前記電気化学セルに流れる電流値を測定する電流測定装置と、を備えていることを特徴とするＮＯｘセンサー。
【請求項５】
前記電流測定装置により測定される電流値からＮＯｘガス濃度を算出するＮＯｘガス濃度算出手段を更に備えていることを特徴とする請求項４に記載のＮＯｘセンサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＮＯｘセンサー用電気化学セル及びそれを用いたＮＯｘセンサーに関し、より詳しくは、固体電解質を備えるＮＯｘセンサー用電気化学セル及びそれを用いたＮＯｘセンサーに関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車用エンジン等の内燃機関からの排ガスには窒素酸化物（ＮＯｘ）が含まれており、このＮＯｘの濃度を測定することによって、内燃機関に供給する燃料と空気の混合比（空燃比）を最適化することができ、燃費の向上や排ガス中に含まれるＮＯｘの低減を実現することが可能となる。このような内燃機関からの排ガス中のＮＯｘの濃度の測定に用いられるＮＯｘセンサーとしては、ジルコニア等の酸素イオン伝導性の固体電解質を用いたＮＯｘセンサーが知られている（例えば、特開２００８−１２８８１０号公報（特許文献１））。しかしながら、ジルコニア等の固体電解質の酸素イオン伝導性を発現させるためには、固体電解質を６００℃以上の高温に加熱する必要があった。このため、酸素イオン伝導性の固体電解質を用いたＮＯｘセンサーは、室内等の大気中のＮＯｘ濃度の測定といった室温又は常温でのＮＯｘ濃度測定には不向きであった。
【０００３】
一方、常温で使用可能なＮＯｘセンサーとして、特開平７−２２５２１３号公報（特許文献２）には、固体電解質の一対の面の一方の面に作用電極が設けられ、他方の面に比較電極が設けられており、作用電極側が試料ガスに接触できるように露出し、比較電極側がＮＯｘを含まない比較ガスに接触させるポテンションメトリック式ＮＯｘセンサーが記載されている。このＮＯｘセンサーでは、固体電解質としてハロゲン化銀を用いることによって常温でのＮＯｘ濃度測定を可能にしたが、作用電極と比較電極との間の電位差を測定するため、ＮＯｘを含まない比較ガスに比較電極を接触させる構造にする必要があった。また、ＮＯ２の感度が極めて高いため、ＮＯ２濃度の測定には適しているが、ＮＯ濃度の測定には不向きであり、ＮＯ濃度を測定するためには、オゾンによりＮＯをＮＯ２に酸化してＮＯ２濃度として測定する必要があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１２８８１０号公報
【特許文献２】特開平７−２２５２１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、室温（２５℃）付近でのＮＯｘ濃度の測定が可能なＮＯｘセンサー及びそれに用いる電気化学セルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意研究を重ねた結果、アノード電極膜とカソード電極膜との間に、リン酸が担持された硫酸カルシウム粉末からなる固体電解質が配置された電気化学素子をＮＯｘセンサーの電気化学セルとして用いることによって、室温（２５℃）付近でのＮＯｘ濃度の測定が可能となることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００７】
すなわち、本発明のＮＯｘセンサー用電気化学セルは、リン酸が担持された硫酸カルシウム粉末からなる固体電解質と、前記固体電解質の一方の面上に配置されたアノード電極膜と、前記アノード電極膜と対向するように前記固体電解質の他方の面上に配置されたカソード電極膜と、を備えていることを特徴とするものである。
【０００８】
本発明のＮＯｘセンサー用電気化学セルにおいては、前記アノード電極膜及び前記カソード電極膜がＰｔ電極膜であることが好ましく、また、前記固体電解質が乾燥体又は焼結体であることが好ましい。
【０００９】
また、本発明のＮＯｘセンサーは、前記本発明のＮＯｘセンサー用電気化学セルと、前記アノード電極膜及び前記カソード電極膜に電気的に接続された通電装置と、前記電気化学セルに流れる電流値を測定する電流測定装置と、を備えていることを特徴とするものである。
【００１０】
本発明のＮＯｘセンサーにおいては、前記電流測定装置により測定される電流値からＮＯｘガス濃度を算出するＮＯｘガス濃度算出手段を更に備えていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、室温（２５℃）付近でＮＯｘ濃度を測定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明のＮＯｘセンサーの好適な一実施態様を模式的に示す概略断面図である。
【図２】実施例１で作製した電気化学セルを示す模式図である。
【図３】実施例１で作製したＮＯｘセンサーを示す模式図である。
【図４】実施例１で作製したＮＯｘセンサーのＮＯ濃度変化に対する電流値の応答（０．５Ｖ印加時）を示すグラフである。
【図５】実施例１で作製したＮＯｘセンサーのＮＯ濃度変化に対する電流値の応答（１Ｖ印加時）を示すグラフである。
【図６】実施例１で作製したＮＯｘセンサーの０．５Ｖ印加時のＮＯ濃度とピーク電流値との関係を示すグラフである。
【図７】実施例１で作製したＮＯｘセンサーの１Ｖ印加時のＮＯ濃度とピーク電流値との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明するが、本発明は前記図面に限定されるものではない。なお、以下の説明及び図面中、同一又は相当する要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する場合もある。
【００１４】
〔ＮＯｘセンサー及び電気化学セル〕
先ず、本発明のＮＯｘセンサー及びそれに用いる電気化学セルについて説明する。図１は本発明のＮＯｘセンサーの好適な一実施態様を模式的に示す概略縦断面図である。図１に示すＮＯｘセンサーは、リン酸が担持された硫酸カルシウム粉末からなる固体電解質１と、前記固体電解質１の一方の面上に配置されたアノード電極膜２と、前記アノード電極膜２と対向するように前記固体電解質１の他方の面上に配置されたカソード電極膜３とを備える本発明の電気化学セル４、並びに、電極配線２ａ及び３ａによって前記アノード電極膜２及び前記カソード電極膜３に電気的に直列に接続された通電装置５及び電流測定装置６を備えるものである。
【００１５】
本発明に用いられる固体電解質は、リン酸が担持された硫酸カルシウム粉末（以下、「リン酸担持硫酸カルシウム粉末」ともいう）からなるものであり、電圧を印加することによって室温（２５℃）付近でも優れたプロトン（Ｈ＋）伝導性を発現する。このため、固体電解質に電圧を印加しながらカソード電極膜にＮＯｘを含有する測定用ガスを接触させると、カソード電極膜上でプロトン（Ｈ＋）とＮＯｘとが反応するとともに、カソード電極膜へは、室温（２５℃）付近でもアノード電極膜から固体電解質を通ってプロトン（Ｈ＋）が速やかに移動する。このとき、カソード電極膜に接触する測定用ガス中のＮＯｘ濃度が増加すると、プロトン（Ｈ＋）とＮＯｘとの反応性が増大し、固体電解質を通るプロトン（Ｈ＋）の量及び通電回路を通る電子（ｅ−）の量も増加するため、本発明の電気化学セルに流れる電流値も増加する。したがって、本発明の電気化学セルに流れる電流値を測定することによって、予め作成した電気化学セルに流れる電流値とＮＯｘ濃度との検量線に基づいて、室温（２５℃）付近でも、測定用ガス中のＮＯｘ濃度を求めることが可能となる。
【００１６】
また、リン酸担持硫酸カルシウム粉末は耐熱性に優れているため、本発明のＮＯｘセンサーにおいては、本発明の電気化学セルを、内燃機関等から排出された高温（例えば、６００℃以上）のガスが流通する排ガス流路内に設置することも可能である。
【００１７】
このようなリン酸担持硫酸カルシウム粉末からなる固体電解質の厚さとしては特に制限はないが、０．０１〜２ｍｍが好ましく、０．１〜１ｍｍがより好ましい。固体電解質の厚さが前記下限未満になると、強度が不足したり、アノード電極膜とカソード電極膜が接触したりする場合があり、他方、前記上限を超えると、抵抗が大きくなる傾向にある。
【００１８】
リン酸担持硫酸カルシウム粉末の製造方法としては特に制限はないが、例えば、硫酸カルシウム粉末にリン酸水溶液を含浸させた後、加熱乾燥することによってリン酸担持硫酸カルシウム粉末を得ることができる。硫酸カルシウム粉末にリン酸水溶液を含浸させる方法としては特に制限はないが、操作が簡便であるという観点から、リン酸水溶液に硫酸カルシウム粉末を浸漬する方法が好ましい。また、リン酸水溶液の濃度としては特に制限はないが、５〜８０質量％が好ましく、加熱乾燥温度としては特に制限はないが、２５〜１１０℃が好ましく、加熱乾燥時間としては特に制限はないが、１２〜２４時間が好ましい。
【００１９】
このようにして得られるリン酸担持硫酸カルシウム粉末におけるリン酸の担持量としては特に制限はないが、硫酸カルシウム粉末１００質量部に対して１〜４０質量部が好ましく、５〜３０質量部がより好ましい。リン酸の担持量が前記下限未満になると、十分なプロトン（Ｈ＋）伝導性が得られない傾向にあり、他方、前記上限を超えると、固体電解質としての強度が不足する傾向にある。
【００２０】
また、リン酸担持硫酸カルシウム粉末の平均粒子径としては特に制限はないが、０．１〜３００μｍが好ましく、１〜１００μｍがより好ましい。リン酸担持硫酸カルシウム粉末の平均粒子径が前記下限未満になると、成形性が低下する傾向にあり、他方、前記上限を超えると、リン酸が硫酸カルシウム粉末の内部まで均一に担持されない傾向にある。
【００２１】
本発明に用いられる固体電解質の製造方法としては特に制限はないが、例えば、硫酸カルシウム粉末とリン酸水溶液とを混合するだけでも成形することは可能であるが、リン酸担持硫酸カルシウム粉末を圧縮成形（圧粉成形）することによって、リン酸担持硫酸カルシウムからなる固体電解質を得ることもできる。得られる固体電解質の形状としては特に制限はないが、板状、シート状、フィルム状、管状が好ましい。また、固体電解質の密度を増加させ、プロトン（Ｈ＋）伝導性を向上させるという観点から、圧縮成形（圧粉成形）したリン酸担持硫酸カルシウムを焼成して乾燥体又は焼結体を形成することが好ましい。焼成温度としては特に制限はないが、１１０〜８００℃が好ましく、また、焼成時間としては特に制限はないが、１０分間〜５時間が好ましい。
【００２２】
本発明に用いられる固体電解質１の一方の面上にはアノード電極膜２が配置されており、他方の面上には前記アノード電極膜２と対向するようにカソード電極膜３が配置されている。このようなアノード電極膜及びカソード電極膜としては導電性を有する金属膜であれば特に制限はないが、高感度のＮＯｘセンサーが得られるという観点から、貴金属（Ｐｔ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ａｇ、Ｉｒ、Ｒｕ等）からなる電極膜が好ましく、Ｐｔ電極膜が特に好ましい。
【００２３】
このようなアノード電極膜及びカソード電極膜の厚さとしては特に制限はないが、０．１〜１０μｍが好ましく、１〜５μｍがより好ましい。アノード電極膜及びカソード電極膜の厚さが前記下限未満になると、触媒としての活性点が不足し、不活性になったり、電極膜の抵抗が大きくなる傾向にあり、他方、前記上限を超えると、反応ガスの拡散抵抗が大きくなり、ＮＯｘセンサーの感度が低下する傾向にある。
【００２４】
アノード電極膜及びカソード電極膜の形成方法としては特に制限はないが、例えば、固体電解質の面上に電極材料を、塗布する方法、蒸着させる方法が挙げられる。電極材料としては、金属ペースト（例えば、Ｐｔペースト）、金属ターゲット（例えば、Ｐｔターゲット）、有機金属等が挙げられる。また、塗布又は蒸着後の電極材料を焼成して乾燥体又は焼結体を形成することが好ましい。焼成温度としては特に制限はないが、３００〜６００℃が好ましく、焼成時間としては特に制限はないが、１〜５時間が好ましい。
【００２５】
本発明のＮＯｘセンサーにおいては、このようなアノード電極膜２及びカソード電極膜３と通電装置５と電流測定装置６とが電極配線２ａ及び３ａによって電気的に直列に接続されている。このような通電装置としては直流の電圧を印加できるものであれば特に制限はなく、公知の通電装置（直流電源）を適宜採用することができる。また、電流測定装置としては電流を測定できるものであれば特に制限はなく、公知の電流測定装置（例えば、電流計）を適宜採用することができる。さらに、通電装置及び電流測定装置は独立していてもよいし（図１）、一体化していてもよい。通電装置と電流測定装置とが一体化したものとしてはソース・メジャー・ユニット（ＳＭＵ）が挙げられる。電極配線としては特に制限はなく、Ａｕ線、Ｐｔ線、Ｎｉ線、Ｃｕ線、Ａｇ線等が挙げられる。また、電極配線２ａ及び３ａは、アノード電極膜２及びカソード電極膜３に直接接合されていてもよいし、電極配線２ａ及び３ａが接合された金属メッシュ（Ａｕメッシュ、Ｐｔメッシュ、Ｎｉメッシュ、Ａｇメッシュ等）を介してアノード電極膜２及びカソード電極膜３と接触させてもよい。
【００２６】
このような本発明のＮＯｘセンサーは、固体電解質が室温（２５℃）付近でのプロトン（Ｈ＋）伝導性に優れていることから、室内等の大気中のＮＯｘ濃度の測定に適している。また、固体電解質が耐熱性に優れていることから、内燃機関等から排出された高温（例えば、６００℃以上）のガスが流通する排ガス流路内に電気化学セル４（アノード電極膜２と固体電解質１とカソード電極膜３とを備えるもの）を設置することも可能である。
【００２７】
〔ＮＯｘ濃度の測定方法〕
次に、本発明のＮＯｘセンサーを用いたＮＯｘ濃度の測定方法を、図１に示すＮＯｘセンサーを用いた場合を例に説明する。なお、前記本発明のＮＯｘセンサーの好適な一実施態様において説明した内容と重複する内容については省略する。
【００２８】
本発明のＮＯｘセンサーを用いたＮＯｘ濃度の測定方法においては、前記ＮＯｘセンサーのアノード電極膜２とカソード電極膜３との間に電圧を印加しながら、ＮＯｘ及び水分を含む測定用ガスを前記ＮＯｘセンサーのガス供給路７ａからガス流路７に導入して、前記測定用ガスをアノード電極膜２及びカソード電極膜３に接触させる。
【００２９】
アノード電極膜とカソード電極膜との間に印加する電圧としては、０．２〜１０Ｖが好ましく、０．５〜２Ｖがより好ましい。印加する電圧が前記下限未満になると、十分な感度が得られない傾向にあり、他方、前記上限を超えると、電極や固体電解質の状態が変化し、安定な信号が得られない傾向にある。
【００３０】
前記測定用ガスとアノード電極膜及びカソード電極膜とを接触させる方法としては特に制限はなく、例えば、室内等の大気中のＮＯｘ濃度を測定する場合には、室内等に本発明のＮＯｘセンサーを設置するだけでもよいし、本発明のＮＯｘセンサーのガス供給路７ａからガス流路７に測定用ガスを強制的に導入してもよい。また、本発明に用いられる固体電解質が耐熱性に優れていることから、内燃機関から排出されるガス中のＮＯｘ濃度を測定することも可能であり、この場合には、内燃機関からの排ガスが流通する排ガス流路内に電気化学セル４（アノード電極膜２と固体電解質１とカソード電極膜３とを備えるもの）を設置することができる。
【００３１】
このようにアノード電極膜とカソード電極膜との間に電圧を印加しながら、前記測定用ガスをカソード電極膜に接触させることによって、カソード電極膜上で前記測定用ガス中のＮＯｘがプロトン（Ｈ＋）と反応するとともに、カソード電極膜へは、室温（２５℃）付近でもアノード電極膜から固体電解質を通ってプロトン（Ｈ＋）が速やかに移動する。このとき、カソード電極膜に接触する測定用ガス中のＮＯｘ濃度が増加すると、プロトン（Ｈ＋）とＮＯｘとの反応性が増大し、固体電解質を通るプロトン（Ｈ＋）の量及び通電回路を通る電子（ｅ−）の量も増加するため、本発明の電気化学セルに流れる電流値も増加する。したがって、本発明の電気化学セルに流れる電流値を測定することによって、予め作成した電気化学セルに流れる電流値とＮＯｘ濃度との検量線に基づいて、室温（２５℃）付近でも、測定用ガス中のＮＯｘ濃度を求めることが可能となる。
【００３２】
本発明のＮＯｘセンサーを用いてＮＯｘ濃度を測定することが可能な排ガスとしてはＮＯｘ及び水分を含むものであれば特に制限はないが、例えば、Ｈ２Ｏを３質量％以上含む測定用ガスが好ましい。このような測定用ガスにおいては、本発明のＮＯｘセンサーを用いることによって、高感度でＮＯｘ濃度を測定することができる。
【実施例】
【００３３】
以下、実施例及び比較例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【００３４】
（実施例１）
先ず、濃度８５％のリン酸水溶液（和光純薬工業株式会社製）２０ｇをイオン交換水８０ｇに溶解し、濃度１７質量％のリン酸水溶液１００ｇを調製した。このリン酸水溶液と硫酸カルシウム二水和物（和光純薬工業株式会社製）１００ｇとを混合し、マグネチックスターラーを用いて攪拌した。攪拌を継続したところ、硫酸カルシウムを含むリン酸水溶液の粘度が増大したため、マグネチックスターラーが回転しなくなった時点で攪拌を終了した。得られた固体成分を１１０℃で３時間乾燥した後、粒度が１ｍｍ以下となるように、粉砕及び篩分けを行なった。得られた粉砕物を１１０℃で２４時間乾燥してリン酸が担持された硫酸カルシウム粉末（以下、「リン酸担持硫酸カルシウム粉末」という）を得た。
【００３５】
このリン酸担持硫酸カルシウム粉末を用いて圧力７００ｋｇｆ／ｃｍ２の条件で圧粉成型を行い、直径２０ｍｍのリン酸担持硫酸カルシウム板を作製した。得られたリン酸担持硫酸カルシウム板を厚さが０．３ｍｍとなるように研磨した。その後、このリン酸担持硫酸カルシウム板を大気中、５００℃で５時間焼成してリン酸担持硫酸カルシウム粉末の焼結体からなる固体電解質板を得た。
【００３６】
次に、ペースト用Ｐｔ粉末（田中貴金属工業株式会社製「ＡＹ−１０５０」）１０ｇをエチルセルロースビヒクル（日新化成株式会社製ＥＣビヒクル、グレード：ＥＣ−Ｘ）５ｇに分散させてＰｔペーストを調製した。このＰｔペーストを、厚さが５０μｍとなるように、開口直径１１．４ｍｍのスクリーンメッシュ（ミタニマイクロニクス株式会社製）をマスクとして、前記固体電解質板の両面にスクリーン印刷した後、大気中、５００℃で５時間焼成してＰｔ粉末の焼結体からなる電極膜（面積：１ｃｍ２）を作製し、両面にＰｔ電極膜を有する前記固体電解質板を得た。
【００３７】
次に、図２に示すように、両面にＰｔ電極膜（図示なし）を有する前記固体電解質板１を、Ａｕ線１１ａを取り付けたＡｕメッシュ１１（株式会社ニラコ製「ＡＵ−１７８１００」、面積：１ｃｍ２）で挟持し、さらに、これらをチタンメッシュ１２（株式会社ニラコ製「７８８１５０」）及びアルミナ板１３（コーニング社製「マコール（登録商標）」）を用いて固定して電気化学セル４を作製した。
【００３８】
その後、図３に示すように、電気化学セル４を内径２０ｍｍの石英管１４に装入し、Ａｕ線１１ａを通電装置と電流測定装置とを兼ねるソース・メジャー・ユニット（ＳＭＵ）（株式会社ＴＦＦケースレーインスツルメンツ製「２４００−Ｃ型汎用ソースメータ」）（図示なし）に直列に接続してＮＯｘセンサーを作製した。なお、石英管１４には、ガス供給路７ａ及びガス排出路７ｂが設けられており、熱電対１５が装着されている。
【００３９】
＜性能評価試験＞
得られたＮＯｘセンサーの性能評価試験を行なった。すなわち、石英管１４に挿入した電気化学セル４のＰｔ電極膜間に０．５Ｖ又は１Ｖの電圧を印加しながら、石英管１４のガス供給路７ａから、種々の濃度（１００ｐｐｍ、５００ｐｐｍ、１０００ｐｐｍ、２０００ｐｐｍ）のＮＯ及び水分を含む混合ガス（ＮＯ＋０．４％Ｏ２＋４％Ｈ２Ｏ＋Ｈｅ（残り））を、図４の上段又は図５の上段に示すプロファイルに従って、室温（約２５℃）、流量６０ｍｌ／分の条件で流通させ、Ｐｔ電極膜間に流れた電流値を測定した。その結果を図４の下段又は図５の下段に示す。
【００４０】
図４及び図５に示したように、ＮＯ濃度が高いほど、Ｐｔ電極膜間に流れる電流値が高くなることがわかった。そこで、各ＮＯ濃度においてＰｔ電極膜間に流れた電流のピーク値をＮＯ濃度に対してプロットしたところ、図６及び図７に示したように、Ｐｔ電極膜間に流れたピーク電流値とＮＯ濃度との間に線形性あることがわかった。
【００４１】
また、図４及び図５に示したように、Ｐｔ電極膜間に印加した電圧が高いほど、Ｐｔ電極膜間に流れたピーク電流値が高くなり、Ｐｔ電極膜間に印加する電圧を高くすることによって、ＮＯｘセンサーの感度が高くなることがわかった。
【００４２】
以上の結果から、本発明のＮＯｘセンサーにおいて、予め、Ｐｔ電極膜間に流れる電流値とＮＯｘ濃度との検量線を作成しておき、このＮＯｘセンサーを用いてＰｔ電極膜間に流れる電流値を測定することによって、ガス中のＮＯｘ濃度を測定できることが確認された。また、Ｐｔ電極膜間に印加する電圧を高くすることによって、高感度でＮＯｘ濃度を測定できることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
以上説明したように、本発明によれば、室温（２５℃）付近でＮＯｘ濃度を測定することが可能となる。したがって、本発明のＮＯｘセンサーは、室内等の大気中のＮＯｘ濃度の測定に適したＮＯｘセンサーとして有用である。
【００４４】
また、本発明のＮＯｘセンサーに用いられている固体電解質が耐熱性に優れたものであるため、本発明のＮＯｘセンサーは、内燃機関等から排出された高温（例えば、６００℃以上）のガスに曝される条件下に設置することも可能である。
【符号の説明】
【００４５】
１：固体電解質（板）
２：アノード電極膜
２ａ：電極配線
３：カソード電極膜
３ａ：電極配線
４：電気化学セル
５：通電装置
６：電流測定装置
７：ガス流路
７ａ：ガス供給路
７ｂ：ガス排出路
１１：Ａｕメッシュ
１１ａ：Ａｕ線
１２：チタンメッシュ
１３：アルミナ板
１４：石英管
１５：熱電対
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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