(57)【要約】      （修正有）【課題】ノズルの高さ位置の誤りの有無を確実かつ容易に検出する。【解決手段】切削ブレード１８ａと、切削水を供給するノズル４４と、を有する切削ユニット１８と、チャックテーブルと、を備える切削装置において、該ノズル４４の高さを検査するノズル高さ検査方法であって、該チャックテーブル上に治具ピース６６を固定する治具ピース固定ステップと、該切削ブレード１８ａと、該治具ピース６６と、の接触が検出された際の切削ユニット１８の高さを基準位置として設定する基準位置設定ステップと、該基準位置より所定距離下方の検査位置に至るまで該切削ユニット１８を下降させた際に該治具ピース６６と、該ノズル４４と、が接触したか否かを判定する接触判定ステップと、該接触判定ステップにおいて該治具ピース６６と、該ノズル４４と、が接触したと判定された場合、該ノズル４４の高さが異常であることを報知する報知ステップと、を備える。【選択図】図５
2020026009.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードに切削水を供給するノズルと、を有する切削ユニットと、
該切削ユニットの下方に設けられ、上面が保持面となるチャックテーブルと、を備え、
該ノズルは、該切削ブレードの側面に沿って該切削ブレードの前方側または後方側に延在する切削装置において、該ノズルの高さを検査するノズル高さ検査方法であって、
該チャックテーブルの該保持面上に治具ピースを固定する治具ピース固定ステップと、
該治具ピースの上面に該切削ブレードを下降させ、該切削ブレードと、該治具ピースと、の接触を検出し、該接触が検出された際の切削ユニットの高さを基準位置として設定する基準位置設定ステップと、
該ノズルの先端が該治具ピースの上方に位置し、かつ、該切削ブレードの下端が該治具ピースの水平方向外側に位置するように切削ユニットを位置付け、次に、該基準位置より所定距離下方の検査位置に至るまで該切削ユニットを下降させた際に該治具ピースと、該ノズルと、が接触したか否かを判定する接触判定ステップと、
該接触判定ステップにおいて該治具ピースと、該ノズルと、が接触したと判定された場合、該ノズルの高さが異常であることを報知する報知ステップと、
を備えることを特徴とするノズル高さ検査方法。
【請求項２】
該基準位置設定ステップでは、該切削ブレードと、該治具ピースと、の接触時に生じる弾性波を検出することにより該切削ブレードと、該治具ピースと、の接触を検出し、
該接触判定ステップでは、該ノズルと、該治具ピースと、が接触する際に生じる弾性波が検出された場合に該ノズルと、該治具ピースと、が接触したと判定する
ことを特徴とする請求項１に記載のノズル高さ検査方法。
【請求項３】
該基準位置設定ステップでは、該切削ブレードと、該治具ピースと、の間の電気的な導通を検出することにより該切削ブレードと、該治具ピースと、の接触を検出し、
該接触判定ステップでは、該ノズルと、該治具ピースと、の間の電気的な導通が検出された場合に該ノズルと、該治具ピースと、が接触したと判定する
ことを特徴とする請求項１に記載のノズル高さ検査方法。
【請求項４】
被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードに切削水を供給するノズルと、を有する切削ユニットと、
該切削ユニットの下方に設けられ、上面が保持面となるチャックテーブルと、
発光部と受光部との間に該切削ブレードを進入させ該切削ブレードの下端の位置を検出する刃先検出ユニットと、を備え、
該ノズルは、該切削ブレードの側面に沿って該切削ブレードの前方側または後方側に延在する切削装置において、該ノズルの高さを検査するノズル高さ検査方法であって、
該切削ユニットを下降させて該刃先検出ユニットの該発光部と該受光部との間に該切削ブレードを進入させ、該切削ブレードの下端を該刃先検出ユニットの上端よりも低い基準位置に位置付ける基準位置位置付けステップと、
該基準位置よりも低い判定位置に該切削ブレードの該下端を位置付けるように該切削ユニットを更に下降させた際に該刃先検出ユニットと、該ノズルと、が接触したか否かを判定する接触判定ステップと、
該接触判定ステップにおいて該刃先検出ユニットの上端に該ノズルが接触したと判定された場合、該ノズルの高さが異常であることを報知する報知ステップと、を備え、
該刃先検出ユニットの該上端の高さ位置と、該基準位置と、の高さ方向における距離及び該基準位置と、該判定位置と、の高さ方向における距離の和は、該ノズルと、該切削ブレードの該下端と、の高さ方向における許容される距離の下限であることを特徴とするノズル高さ検査方法。
【請求項５】
該接触判定ステップでは、該刃先検出ユニットと、該ノズルと、が接触する際に生じる弾性波が検出された場合に該刃先検出ユニットと、該ノズルと、が接触したと判定することを特徴とする請求項４に記載のノズル高さ検査方法。
【請求項６】
該接触判定ステップでは、該刃先検出ユニットと、該ノズルと、の間の電気的な導通が検出された場合に該刃先検出ユニットと、該ノズルと、が接触したと判定することを特徴とする請求項４に記載のノズル高さ検査方法。
【請求項７】
被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードに切削水を供給するノズルと、を有する切削ユニットと、
該切削ユニットの下方に設けられ、上面が保持面となるチャックテーブルと、
発光部と受光部との間の切削ブレード進入溝に該切削ブレードを下降させ該切削ブレードの下端の位置を検出する刃先検出ユニットと、
該ノズルの高さを検査するノズル高さ検査ユニットと、を備え、
該ノズル高さ検査ユニットは、該チャックテーブルに載る治具ピース又は該刃先検出ユニットと、該ノズルと、の間の電気的導通を検出することにより該治具ピース又は該刃先検出ユニットと、該ノズルと、の接触を検出できる接触検出回路を備えることを特徴とする切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削ブレードで被加工物を切削する切削装置と、該切削装置において該切削ブレードに切削水を供給するノズルの高さ検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスを搭載したデバイスチップは、半導体ウェーハやパッケージ基板等が分割されて形成される。交差する複数の分割予定ラインにより半導体ウェーハ等の表面を区画し、区画された各領域に半導体デバイスを形成し、その後、該半導体ウェーハ等を分割予定ラインに沿って分割すると個々のデバイスチップを形成できる。
【０００３】
半導体ウェーハ等の分割には、例えば、円環状の切削ブレードが装着された切削ユニットを備える切削装置が用いられる。切削装置では、切削ブレードを半導体ウェーハ等の被加工物の表面に対して垂直な面内に回転させ、切削ブレードを切り込み送り方向の所定の高さ位置に下降させ、被加工物を分割予定ラインに沿う方向に加工送りして切削ブレードで被加工物を切削する。
【０００４】
切削ブレードで被加工物を切削すると、被加工物に由来する切削屑が発生して被加工箇所の周囲に飛散する。また、加工熱が発生する。そこで、切削装置は、切削水を供給するノズルを切削ブレードの近傍に備え、被加工物の切削が実施される際には、該ノズルから該切削ブレード及び該被加工物に切削水が供給される。切削装置では、切削水により切削屑及び加工熱が除去されながら被加工物が切削される。
【０００５】
切削屑及び加工熱を効率的に除去するために、該ノズルは、切削ブレード及び被加工物に極めて近い位置に設けられるのが好ましい。そこで、直線状のパイプ部分を有するノズルの該パイプ部分が切削ブレードの側面、及び被加工物の表面に沿うように、該ノズルが切削装置に固定される。さらに、ノズルを所定の位置に高い精度で固定するために、該ノズルの位置を微調整するための専用の治具が使用される場合もある（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−４２４９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、切削ブレードを交換する際、ノズルを固定する高さ位置の設定を誤る場合や、ノズルに触れてノズルを移動させてしまう場合等、該ノズルが誤った高さ位置に固定される場合がある。ノズルが誤った高さ位置に固定されると、被加工物の切削時に該ノズルが被加工物に衝突して、該ノズルや被加工物に損傷が生じるおそれがある。
【０００８】
従来、被加工物の切削が実施される前に、固定されたノズルの高さ位置が許容される範囲内であるか否か、切削装置の使用者（オペレータ）が目視で確認していた。また、上述の治具によりノズルの高さ位置を確認する場合もあった。しかしながら、これらの方法でノズルの高さ位置を確認するのは手間であり、また、該許容される範囲からのずれが小さい場合にノズルの高さ位置の誤りを検知できない場合があった。
【０００９】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切削水を供給するノズルの高さ位置の誤りを容易かつ確実に検出でき、該ノズルの衝突による被加工物の損傷を防止できる切削装置及びノズル高さ検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様によると、被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードに切削水を供給するノズルと、を有する切削ユニットと、該切削ユニットの下方に設けられ、上面が保持面となるチャックテーブルと、を備え、該ノズルは、該切削ブレードの側面に沿って該切削ブレードの前方側または後方側に延在する切削装置において、該ノズルの高さを検査するノズル高さ検査方法であって、該チャックテーブルの該保持面上に治具ピースを固定する治具ピース固定ステップと、該治具ピースの上面に該切削ブレードを下降させ、該切削ブレードと、該治具ピースと、の接触を検出し、該接触が検出された際の切削ユニットの高さを基準位置として設定する基準位置設定ステップと、該ノズルの先端が該治具ピースの上方に位置し、かつ、該切削ブレードの下端が該治具ピースの水平方向外側に位置するように切削ユニットを位置付け、次に、該基準位置より所定距離下方の検査位置に至るまで該切削ユニットを下降させた際に該治具ピースと、該ノズルと、が接触したか否かを判定する接触判定ステップと、該接触判定ステップにおいて該治具ピースと、該ノズルと、が接触したと判定された場合、該ノズルの高さが異常であることを報知する報知ステップと、を備えることを特徴とするノズル高さ検査方法が提供される。
【００１１】
好ましくは、該基準位置設定ステップでは、該切削ブレードと、該治具ピースと、の接触時に生じる弾性波を検出することにより該切削ブレードと、該治具ピースと、の接触を検出し、該接触判定ステップでは、該ノズルと、該治具ピースと、が接触する際に生じる弾性波が検出された場合に該ノズルと、該治具ピースと、が接触したと判定する。
【００１２】
また、好ましくは、該基準位置設定ステップでは、該切削ブレードと、該治具ピースと、の間の電気的な導通を検出することにより該切削ブレードと、該治具ピースと、の接触を検出し、該接触判定ステップでは、該ノズルと、該治具ピースと、の間の電気的な導通が検出された場合に該ノズルと、該治具ピースと、が接触したと判定する。
【００１３】
また、本発明の他の一態様によると、被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードに切削水を供給するノズルと、を有する切削ユニットと、該切削ユニットの下方に設けられ、上面が保持面となるチャックテーブルと、発光部と受光部との間に該切削ブレードを進入させ該切削ブレードの下端の位置を検出する刃先検出ユニットと、を備え、該ノズルは、該切削ブレードの側面に沿って該切削ブレードの前方側または後方側に延在する切削装置において、該ノズルの高さを検査するノズル高さ検査方法であって、該切削ユニットを下降させて該刃先検出ユニットの該発光部と該受光部との間に該切削ブレードを進入させ、該切削ブレードの下端を該刃先検出ユニットの上端よりも低い基準位置に位置付ける基準位置位置付けステップと、該基準位置よりも低い判定位置に該切削ブレードの該下端を位置付けるように該切削ユニットを更に下降させた際に該刃先検出ユニットと、該ノズルと、が接触したか否かを判定する接触判定ステップと、該接触判定ステップにおいて該刃先検出ユニットの上端に該ノズルが接触したと判定された場合、該ノズルの高さが異常であることを報知する報知ステップと、を備え、該刃先検出ユニットの該上端の高さ位置と、該基準位置と、の高さ方向における距離及び該基準位置と、該判定位置と、の高さ方向における距離の和は、該ノズルと、該切削ブレードの該下端と、の高さ方向における許容される距離の下限であることを特徴とするノズル高さ検査方法が提供される。
【００１４】
好ましくは、該接触判定ステップでは、該刃先検出ユニットと、該ノズルと、が接触する際に生じる弾性波が検出された場合に該刃先検出ユニットと、該ノズルと、が接触したと判定する。
【００１５】
また、好ましくは、該接触判定ステップでは、該刃先検出ユニットと、該ノズルと、の間の電気的な導通が検出された場合に該刃先検出ユニットと、該ノズルと、が接触したと判定する。
【００１６】
本発明のさらに他の一態様によると、被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードに切削水を供給するノズルと、を有する切削ユニットと、該切削ユニットの下方に設けられ、上面が保持面となるチャックテーブルと、発光部と受光部との間の切削ブレード進入溝に該切削ブレードを下降させ該切削ブレードの下端の位置を検出する刃先検出ユニットと、該ノズルの高さを検査するノズル高さ検査ユニットと、を備え、該ノズル高さ検査ユニットは、該チャックテーブルに載る治具ピース又は該刃先検出ユニットと、該ノズルと、の間の電気的導通を検出することにより該治具ピース又は該刃先検出ユニットと、該ノズルと、の接触を検出できる接触検出回路を備えることを特徴とする切削装置が提供される。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の一態様に係るノズル高さ検査方法では、切削ブレードを備える切削ユニットを所定の高さ位置にまで下降させた際に、切削ユニットが備えるノズルが所定の対象と接触したか否かを判定する。ここで、所定の対象とは、チャックテーブルに固定された治具ピース又は刃先検出ユニットである。
【００１８】
切削ユニットを下降させた際、ノズルの高さ位置が許容される範囲であれば該ノズルと該所定の対象とが衝突しない。その一方で、該ノズルが該許容される範囲よりも下方の高さ位置に固定されている場合、該ノズルと、該所定の対象と、が接触する。すなわち、切削ユニットを下降させた際に該ノズルと、該所定の対象と、の接触が検出された場合、該ノズルが正常な高さ位置に固定されておらず、該ノズルの高さ位置が異常であると判定できる。
【００１９】
本発明の一態様に係るノズル高さ検出方法によると、切削装置の使用者等による目視の確認等の方法に依らずノズルの高さ位置の誤りの有無を確実に検出できる。また、切削ユニットを下降させるだけでノズルの高さ位置の誤りの有無を容易に検出できる。該高さ位置の誤りが検出された際は、ノズルの高さ位置を修正することにより該ノズルの衝突による被加工物の損傷を防止できる。
【００２０】
したがって、本発明の一態様によると、切削水を供給するノズルの高さ位置の誤りを容易かつ確実に検出でき、該ノズルの衝突による被加工物の損傷を防止できる切削装置及びノズル高さ検査方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】切削装置及び被加工物を模式的に示す斜視図である。
【図２】切削ユニットを拡大して示す斜視図である。
【図３】図３（Ａ）は、ノズルが許容される高さ位置に固定されている切削ユニットを模式的に示す側面図であり、図３（Ｂ）は、ノズルが許容される範囲に固定されていない切削ユニットを模式的に示す側面図である。
【図４】ノズル高さ検査ユニットの構成を模式的に示す側面図である。
【図５】図５（Ａ）は、基準位置設定ステップにおける切削ユニット及びサブチャックテーブルを模式的に示す側面図であり、図５（Ｂ）は、接触判定ステップにおける切削ユニット及びサブチャックテーブルを模式的に示す側面図である。
【図６】切削ユニット及び刃先検出ユニットを模式的に示す側面図である。
【図７】図７（Ａ）は、基準位置位置付けステップにおける切削ユニット及び刃先検出ユニットを模式的に示す側面図であり、図７（Ｂ）は、接触判定ステップにおける切削ユニット及び刃先検出ユニットを模式的に示す側面図である。
【図８】図８（Ａ）は、ＡＥセンサを用いて実施する基準位置設定ステップを模式的に示す側面図であり、図８（Ｂ）は、ＡＥセンサを用いて実施する接触判定ステップを模式的に示す側面図である。
【図９】図９（Ａ）は、ノズル高さ検査方法の一例のフローを示すフローチャートであり、図９（Ｂ）は、ノズル高さ検査方法の他の一例のフローを示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。まず、図１を用いて、本実施形態に係るノズル高さ検査方法が実施される切削装置と、該切削装置で切削される被加工物について説明する。図１は、切削装置及び被加工物を模式的に示す斜視図である。被加工物１は、例えば、シリコン、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、若しくは、その他の半導体等の材料、または、サファイア、ガラス、石英等の材料からなる略円板状の基板等である。
【００２３】
被加工物１の表面は格子状に配列された複数の分割予定ラインで区画されており、区画された各領域にはＩＣ等のデバイスが形成されている。最終的に、被加工物１が該分割予定ラインに沿って分割されることで、個々のデバイスチップが形成される。例えば、被加工物１は、環状のフレーム５に貼られたテープ３に保持され、フレーム５と、テープ３と、と一体となったフレームユニット７の状態で切削される。
【００２４】
図１に示す通り、該切削装置２は、各構成要素を支持する装置基台４を備える。装置基台４の中央上部には、Ｘ軸移動テーブル６と、該Ｘ軸移動テーブル６をＸ軸方向（加工送り方向）に移動させるＸ軸移動機構と、Ｘ軸移動機構を覆う防塵防滴カバー（不図示）と、該防塵防滴カバー上に到達した液体を受ける排水路２０と、が設けられている。該Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール１２を備えており、Ｘ軸ガイドレール１２には、Ｘ軸移動テーブル６がスライド可能に取り付けられている。
【００２５】
Ｘ軸移動テーブル６の下面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレール１２に平行なＸ軸ボールねじ１４が螺合されている。Ｘ軸ボールねじ１４の一端部には、Ｘ軸パルスモータ１６が連結されている。Ｘ軸パルスモータ１６でＸ軸ボールねじ１４を回転させると、Ｘ軸移動テーブル６はＸ軸ガイドレール１２に沿ってＸ軸方向に移動する。
【００２６】
Ｘ軸移動テーブル６上には、被加工物１を吸引、保持するためのチャックテーブル８が設けられている。チャックテーブル８は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、チャックテーブル８の上面に垂直な回転軸の周りに回転可能である。また、チャックテーブル８は、上述したＸ軸移動機構によりＸ軸方向に送られる。
【００２７】
チャックテーブル８の表面（上面）は、被加工物１を吸引、保持する保持面８ａとなる。この保持面８ａは、チャックテーブル８の内部に形成された吸引路（不図示）を介して吸引源（不図示）に接続されている。該保持面８ａの周囲には、テープ３を介して被加工物１を保持する環状のフレーム５を固定するためのクランプ１０が配設されている。
【００２８】
装置基台４の上面には、被加工物１を切削する２つの切削ユニット１８を支持する支持構造２２が、Ｘ軸移動機構を跨ぐように配置されている。支持構造２２の前面上部には、２つの切削ユニット１８をそれぞれＹ軸方向（割り出し送り方向）及びＺ軸方向に移動させる切削ユニット移動機構が設けられている。
【００２９】
切削ユニット移動機構は、支持構造２２の前面に配置されＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２４を備えている。Ｙ軸ガイドレール２４には、切削ユニット１８のそれぞれに対応する２つのＹ軸移動プレート２６がスライド可能に取り付けられている。それぞれのＹ軸移動プレート２６の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２４に平行なＹ軸ボールねじ２８が螺合されている。
【００３０】
Ｙ軸ボールねじ２８の一端部には、Ｙ軸パルスモータ２８ａが連結されている。Ｙ軸パルスモータ２８ａでＹ軸ボールねじ２８を回転させると、対応するＹ軸移動プレート２６は、Ｙ軸ガイドレール２４に沿ってＹ軸方向に移動する。Ｙ軸移動プレート２６の表面（前面）には、それぞれ、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール３０が設けられている。それぞれのＺ軸ガイドレール３０には、Ｚ軸移動プレート３２がスライド可能に取り付けられている。
【００３１】
Ｚ軸移動プレート３２の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３０に平行なＺ軸ボールねじ３４が螺合されている。Ｚ軸ボールねじ３４の一端部には、Ｚ軸パルスモータ３６が連結されている。Ｚ軸パルスモータ３６でＺ軸ボールねじ３４を回転させれば、Ｚ軸移動プレート３２は、Ｚ軸ガイドレール３０に沿ってＺ軸方向（切り込み送り方向）に移動する。
【００３２】
２つのＺ軸移動プレート３２のそれぞれの下部には、被加工物１を加工する切削ユニット１８と、チャックテーブル８に保持された被加工物１を撮像できる撮像ユニット（カメラ）３８と、が固定されている。Ｙ軸移動プレート２６をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット１８及び撮像ユニット３８はＹ軸方向（割り出し送り方向）に移動し、Ｚ軸移動プレート３２をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット１８及び撮像ユニット３８はＺ軸方向（切り込み送り方向）に移動する。
【００３３】
切削ユニット１８について、図２を用いてさらに説明する。図２は、切削ユニット１８を拡大して示す斜視図である。切削ユニット１８は、切削ブレード１８ａと、先端側に切削ブレード１８ａが装着されるスピンドル４０と、を備える。
【００３４】
切削ブレード１８ａは、円板状の基台を有する。基台の中央部には、この基台を貫通する略円形の装着穴が設けられており、該装着穴にスピンドル４０の先端部が通されて切削ブレード１８ａがスピンドル４０に固定される。基台の外周部には、被加工物１に切り込ませるための環状の切刃１８ｂが固定される。該スピンドル４０の基端側には該スピンドル４０を回転させるスピンドルモータ（不図示）が装着され、該スピンドルモータはスピンドルハウジング４２に収容される。
【００３５】
スピンドルハウジング４２に収容された該スピンドルモータを作動させ該スピンドル４０を回転させると、スピンドル４０の先端に装着された切削ブレード１８ａが該スピンドル４０を軸として回転する。切削ブレード１８ａを回転させた状態で切削ユニット１８を所定の高さ位置に移動させ、被加工物１が保持するチャックテーブル８をＸ軸方向に沿って加工送りすると、回転する切削ブレード１８ａの切刃１８ｂが接触することにより被加工物１が切削される。
【００３６】
被加工物１を切削ブレード１８ａにより切削すると、被加工物１に由来する切削屑が発生して被加工箇所の周囲に飛散して被加工物１の表面が汚染される。また、被加工物１を切削すると加工熱が発生し、該加工熱により切削ブレード１８ａや被加工物１に膨張や歪みが生じて切削加工の精度が低下する場合がある。そのため、被加工物１の切削を実施する間、該被加工物１及び切削ブレード１８ａに純水等の切削水が供給される。
【００３７】
切削装置２の切削ユニット１８は、切削ブレード１８ａの近傍に切削水供給用のノズル４４及び切削水供給部４８を備え、被加工物１の切削が実施される際には、ノズル４４及び切削水供給部４８から切削ブレード１８ａ及び被加工物１に切削水が供給される。切削水供給部４８は、切削ブレード１８ａに主に加工送り方向（Ｘ軸方向）から切削水を供給し、ノズル４４は、切削ブレード１８ａに主に側方から切削水を供給する。
【００３８】
ノズル４４は、切削ブレード１８ａの側面及び被加工物１の表面に沿って加工送り方向に延在する一対の直線状部分４４ａと、該一対の直線状部分４４ａのそれぞれ基端側を支持する支持部４４ｂと、を備える。該一対の直線状部分４４ａは、先端が切削ブレード１８ａの加工送り方向（Ｘ軸方向）の前方側または後方側に張り出している。該一対の直線状部分４４ａは、それぞれ、パイプ状の部材で形成されており、切削ブレード１８ａに向いた複数の噴出口（不図示）が形成されている。
【００３９】
また、ノズル４４の支持部４４ｂは、切削ブレード１８ａを覆って保護するブレードカバー４６に固定される。該ブレードカバー４６は、該支持部４４ｂを固定するボルト４６ａが通される楕円状のねじ孔４６ｂを備える。ノズル４４の支持部４４ｂが備える挿通穴（不図示）にボルト４６ａを突き通し、ボルト４６ａをねじ孔４６ｂに締め込むことによりノズル４４が切削ユニット１８に固定される。
【００４０】
なお、ねじ孔４６ｂは、ボルト４６ａのねじ部の直径に対応する幅を有する楕円状に形成されており、かつ、該直径よりも大きな長さに形成されている。そのため、該ねじ孔４６ｂにおけるボルト４６ａの固定高さは、該ねじ孔４６ｂの長さの範囲で任意の位置に決定できる。そして、被加工物１やテープ３の厚さ等を考慮して切削水を効率良く切削ブレード１８ａ等に供給できるようにノズル４４の高さを調整できる。
【００４１】
ノズル４４の支持部４４ｂの上端には、直線状部分４４ａから噴出される切削水の供給管路（不図示）が接続される接続部４４ｃが設けられる。切削水供給源（不図示）から該管路を通じて切削ユニット１８のノズル４４に切削水を供給すると、ノズル４４から切削ブレード１８ａ及び被加工物１に切削水が供給される。
【００４２】
また、図１に示す通り、切削装置２は、さらに、制御ユニット５６を備えている。制御ユニット５６は、切削ユニット１８、チャックテーブル８、各移動機構、撮像ユニット３８等の切削装置２の各構成要素を制御する機能を有する。また、制御ユニット５６は、後述のノズル高さ検査ユニット５８を制御する機能を有する。制御ユニット５６の機能は、例えば、装置制御用コンピュータのソフトウェアとして実現される。
【００４３】
また、切削装置２の前面には、タッチパネル付きディスプレイパネル等でなる表示部５０が設けられる。該切削装置２の使用者又は管理者は該タッチパネルを用いて制御ユニット５６に加工条件等の情報を入力できる。該表示部５０は、情報等の入力や切削装置２の操作のためのインターフェース画像を表示する。また、表示部５０は、切削装置２の稼働状況に関する情報や、各種の警告を表示できる。
【００４４】
さらに、切削装置２の上部には、該制御ユニット５６に電気的に接続された警報ランプ５２が配設される。該警報ランプ５２は、例えば、緑色のランプと、赤色のランプと、を有する。制御ユニット５６は、切削装置２が正常な稼働状況にあるときは該緑色のランプを点灯させて、切削装置２が正常であることを使用者又は管理者に報知する。その一方で、切削装置２に何等かの問題が生じたときには、該制御ユニットは赤色のランプを点灯させて、その旨を使用者又は管理者に報知する。
【００４５】
また、切削装置２は、切削ユニット１８の近傍に切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの高さを検出する刃先検出ユニット５４を備える。刃先検出ユニット５４は、切削ブレード１８ａが切削ユニット１８に装着された直後や、被加工物１の切削が繰り返し実施され損耗した後に、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの高さを検出する。そして、被加工物１の切削時に切刃１８ｂの下端が所定の高さとなるように、切削装置２は該刃先検出ユニット５４で検出された切刃１８ｂの高さに基づいて切削ユニット１８の高さを調整する。
【００４６】
刃先検出ユニット５４は、開閉可能なカバー部を有し、切削ブレード１８ａによる被加工物１の切削を実施している間はカバー部が閉じて刃先検出ユニット５４の各構成要素が該カバー部に収容される。被加工物１の切削を実施している間、ノズル４４等から切削ブレード１８ａ及び被加工物１に切削液が供給され、被加工物１から発生する切削屑を含む切削液が周囲に飛散する。該切削水は刃先検出ユニット５４にも飛散するが、カバー部が閉じられていると刃先検出ユニット５４の各構成要素に該切削液が付着しない。
【００４７】
刃先検出ユニット５４により切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの高さを検出する際には、該カバー部が開けられる。刃先検出ユニット５４の各構成について図６を用いて説明する。図６には、刃先検出ユニット５４の内部の側面図が模式的に示されている。該刃先検出ユニット５４の本体には、上方に開口した切削ブレード進入溝５４ｃが設けられ、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの下端の高さ位置を検出するときは、切削ブレード進入溝５４ｃに切削ブレード１８ａを進入させる。
【００４８】
該切削ブレード進入溝５４ｃの一方の側壁には発光部５４ａが設けられ、切削ブレード進入溝５４ｃの他方の側壁には該発光部５４ａに対向する位置に受光部５４ｂが設けられている。発光部５４ａと、該受光部５４ｂと、は略同一の高さ位置に設けられる。発光部５４ａには光源６８ａが光ファイバー等を介して接続されており、光源６８ａを作動させると発光部５４ａから光が放射される。
【００４９】
該受光部５４ｂには光ファイバー等を介して光電変換部６８ｂが接続されており、受光部５４ｂに到達した光は光電変換部６８ｂで受光される。光電変換部６８ｂには光センサが組み込まれており、該光電変換部６８ｂからは受光量に応じた電気信号（例えば、電圧）が出力される。光電変換部６８ｂは端部位置検出部６８ｃに電気的に接続されており、該電気信号を該端部位置検出部６８ｃに送信する。
【００５０】
該端部位置検出部６８ｃは、Ｚ軸ガイドレール３０、Ｚ軸移動プレート３２、Ｚ軸ボールねじ３４、及びＺ軸パルスモータ３６で構成された切り込み送りユニット３６ａに接続されており、切削ユニット１８の高さを制御できる。また、切削ユニット１８の高さ位置に関する情報を切り込み送りユニット３６ａより受信できる。
【００５１】
刃先検出ユニット５４による切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの高さの検出時には、光源６８ａを作動させ発光部５４ａから光を放射させて、該光を受光部５４ｂで受ける。切削ブレード進入溝５４ｃに向けて切削ブレード１８ａを下降させると、発光部５４ａから放射された光が徐々に切削ブレード１８ａにより遮られるようになり、受光部５４ｂに到達して受光される光の受光量は徐々に減少する。
【００５２】
そのため、光電変換部６８ｂから出力された電気信号を端部位置検出部６８ｃで解析することにより、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの下端の高さ位置を検出できる。そして、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの下端の高さが被加工物１の切削に適した高さ位置となるときの切削ユニット１８の高さが制御ユニット５６に記録される。これにより、被加工物１を切削する際に該高さ位置に切削ユニット１８を位置付けられる。
【００５３】
さらに、切削装置２は、チャックテーブル８の近傍にサブチャックテーブル８ｂ（図４参照）を備える。サブチャックテーブル８ｂはチャックテーブル８と同様にＸ軸移動テーブル６上に固定されており、Ｘ軸移動テーブル６をＸ軸方向（加工送り方向）に移動させることによりチャックテーブル８と共にＸ軸方向に移動できる。また、サブチャックテーブル８ｂは、上面である保持面に載せられた被保持物を吸引保持する吸引機構を備える。
【００５４】
切削ユニット１８に装着された切削ブレード１８ａにより複数の被加工物１を切削すると、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂが損耗して切刃１８ｂに含まれる砥粒が結合材から適切に露出していない状態となり、切削ブレード１８ａの切削能力が低下する。未使用の切削ブレード１８ａもまた砥粒が適度に露出していないため、そのままでは切削に適さない。そこで、切削ブレード１８ａを適度に消耗させて切刃１８ｂの結合材から砥粒を適切に露出させるドレッシングと呼ばれる処理が実施される。
【００５５】
ドレッシングの対象となる切削ブレード１８ａを回転させ、該切削ブレード１８ａにドレッシングボードと呼ばれる板状物を切削させると、切刃１８ｂの砥粒が適度に露出して、切削ブレード１８ａの切削能力を向上できる。ドレッシングに使用されるドレッシングボードには複数の種類が存在し、切削ブレード１８ａの種別により適切なドレッシングボードが選択されて使用される。ドレッシングに使用されるドレッシングボードは、例えば、サブチャックテーブル８ｂの保持面上に吸引保持される。
【００５６】
ところで、切削ユニット１８のノズル４４は、上述の通り、所定の高さでブレードカバー４６に固定される。しかしながら、切削装置２の使用者等がノズル４４の固定高さの設定を誤る場合や、切削ブレード１８ａの交換作業時等にノズル４４に触れてノズル４４の位置がずれる場合がある。また、固定が不適切であり、ノズル４４が傾いた状態で固定される場合がある。これらのようにノズル４４が適切に固定されていない場合、被加工物１の切削時にノズル４４が被加工物１に衝突して、被加工物１に破損が生じる場合がある。
【００５７】
図３（Ａ）は、ノズル４４が許容される高さ位置に固定されている切削ユニット１８を模式的に示す側面図である。ノズル４４の高さ位置の許容される範囲は、例えば、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの下端の高さ位置６４ａを基準として設定され、例えば、その下限の高さ位置６４ｂは、高さ位置６４ａよりも１ｍｍ〜２ｍｍ高い高さ位置とされる。例えば、ノズル４４の直線状部分４４ａが下限の高さ位置６４ｂよりも高くなるようにノズル４４が切削ユニット１８に固定される。
【００５８】
図３（Ｂ）は、ノズル４４が許容される高さ位置に固定されていない切削ユニット１８を模式的に示す側面図である。図３（Ｂ）に示す通り、ノズル４４が傾いた状態で固定される等してノズル４４の直線状部分４４ａが該下限の高さ位置６４ｂよりも低くなる場合、このまま切削ブレード１８ａにより被加工物１を切削すると、ノズル４４が被加工物１に衝突してしまう。
【００５９】
そこで、該切削装置２には、ノズル高さ検査ユニットが設けられる。次に、該ノズル高さ検査ユニットについて説明する。ノズル高さ検査ユニットは、切削ユニット１８に固定されたノズル４４の高さの適否を判定する。図４は、ノズル高さ検査ユニット５８の構成の一部を模式的に説明する構成図である。図４には、切削ユニット１８の側面図と、チャックテーブル８の断面図と、サブチャックテーブル８ｂの側面図と、回路図と、が示されている。
【００６０】
ノズル高さ検査ユニット５８は、例えば、接触検出部６０と、該接触検出部６０を含む接触検出回路６２と、を有する。該接触検出回路６２は、例えば、電源６２ｄと、スイッチ６２ａと、該接触検出部６０と、スイッチ６２ｂと、を有しこれらが直列に接続されている。
【００６１】
該接触検出部６０は、一端がスイッチ６２ａと、電源６２ｄと、を介してチャックテーブル８及びサブチャックテーブル８ｂに電気的に接続され、他端がスイッチ６２ｂを介して切削ユニット１８のノズル４４に電気的に接続されている。また、該接触検出部６０の該他端はスイッチ６２ｃ及びスピンドル４０を介して切削ブレード１８ａに電気的に接続されている。
【００６２】
ノズル高さ検査ユニット５８によりノズル４４の高さを検査する際には、チャックテーブル８又はサブチャックテーブル８ｂのいずれかのチャックテーブルの保持面に治具ピース６６を直接載せ、該チャックテーブルに治具ピース６６を吸引保持させる。以下、図４に示す通り、治具ピース６６を吸引保持するチャックテーブルがサブチャックテーブル８ｂである場合を例に説明するが、治具ピース６６はどちらのチャックテーブルに吸引保持されてもよい。
【００６３】
該治具ピース６６は、例えば、ステンレス鋼やカーボン等の導電性及び剛性を有する材料で構成された部材であり、それぞれ平坦であり互いに平行な上面及び下面を有する。治具ピース６６は、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの下端の高さ位置６４ａと、該高さ位置６４ａに対するノズル４４の高さ位置の許容される範囲の下限の高さ位置６４ｂと、の間の距離よりも大きい厚さとされる。
【００６４】
ノズル高さ検査ユニット５８は、治具ピース６６と、切削ブレード１８ａと、の間の電気的導通の有無を検出することにより治具ピース６６と、切削ブレード１８ａと、の接触の有無を判定できる。また、ノズル高さ検査ユニット５８は、治具ピース６６と、ノズル４４と、の間の電気的導通の有無を検出することにより治具ピース６６と、ノズル４４と、の接触の有無を判定できる。
【００６５】
ノズル高さ検査ユニット５８は、高さ方向における該ノズル４４の位置が異常であることを報知する報知部をさらに備える。例えば、報知部は表示部５０であり、ノズル４４の高さ位置の異常が検出された場合に、表示部５０に該異常を知らせるための警告画像が表示される。または、報知部は警報ランプ５２であり、ノズル４４の高さ位置の異常が検出された場合に、赤色ランプが点灯される。または、切削装置２は、ノズル４４の位置の異常が検出された場合に警告音を発するブザー（不図示）を報知部として有してもよい。
【００６６】
次に、本実施形態の一態様に係るノズル高さ検査方法について説明する。図９（Ａ）は、本実施形態の一態様に係るノズル高さ検査方法のフローを示すフローチャートである。該ノズル高さ検査方法では、まず、チャックテーブル８又はサブチャックテーブル８ｂのいずれかのチャックテーブルの保持面上に治具ピース６６を固定する治具ピース固定ステップＳ１１を実施する。
【００６７】
例えば、治具ピース固定ステップＳ１１では、図４に示す通り、サブチャックテーブル８ｂの保持面上に治具ピース６６を載せ、サブチャックテーブル８ｂの吸引保持機構を作動させて治具ピース６６をサブチャックテーブル８ｂに吸引保持させる。
【００６８】
該ノズル高さ検査方法では、次に、切削ユニット１８の高さの基準位置を設定する基準位置設定ステップＳ１２を実施する。基準位置設定ステップＳ１２では、ノズル４４の高さの異常の有無を判定する際の切削ユニット１８の基準の高さとなる基準位置を設定する。ここで、該基準位置は、切削ブレード１８ａの下端の高さ位置が治具ピース６６の上面の高さ位置となる際の高さ方向（Ｚ軸方向、切り込み送り方向）における切削ユニット１８の高さ位置である。
【００６９】
基準位置設定ステップＳ１２では、まず、切削ブレード１８ａの下方に治具ピース６６を位置付けるように、Ｘ軸移動テーブル６を移動させて治具ピース６６を保持するサブチャックテーブル８ｂを移動させる。次に、治具ピース６６の上面に切削ブレード１８ａを接触させるように切削ユニット１８を下降させる。このとき、切削ブレード１８ａと、治具ピース６６と、の接触は、例えば、ノズル高さ検査ユニット５８の接触検出回路６２に設けられた接触検出部６０により検出する。
【００７０】
切削ブレード１８ａと、治具ピース６６と、の接触を検出する場合、図５（Ａ）に示す通り、予め接触検出回路６２のスイッチ６２ａ及びスイッチ６２ｃをオンに切り替え、スイッチ６２ｂをオフに切り替えておく。図５（Ａ）は基準位置設定ステップＳ１２を模式的に示す側面図であり、図５（Ａ）には接触検出回路６２の回路図が示されている。
【００７１】
図５（Ａ）に示す通り切削ブレード１８ａと、治具ピース６６と、が接触して導通すると、接触検出回路６２に電流が生じ、接触検出部６０により該電流が観測される。すなわち、接触検出部６０により接触検出回路６２の該電流が観測されると、切削ブレード１８ａと、治具ピース６６と、の接触が検出される。そして、基準位置設定ステップＳ１２では、該接触が検出された際の切削ユニット１８の高さを基準位置として設定する。
【００７２】
該ノズル高さ検査方法では、次に、接触判定ステップＳ１３を実施する。接触判定ステップＳ１３では、まず、ノズル４４の直線状部分４４ａの先端が治具ピース６６の上方に位置し、かつ、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの下端が治具ピース６６の水平方向外側に位置するように切削ユニット１８を位置付ける。この際、Ｘ軸移動テーブル６、Ｙ軸移動プレート２６、及びＺ軸移動プレート３２を移動させる。
【００７３】
接触判定ステップＳ１３では、次に、上述の基準位置より所定距離下方の検査位置に至るまで該切削ユニットを下降させる。ここで、該所定距離とは、例えば、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの下端の高さ位置と、ノズル４４の直線状部分４４ａの高さ位置と、の高さ方向における許容される距離の範囲の下限である。
【００７４】
なお、接触判定ステップＳ１３を実施する際は、予め接触検出回路６２のスイッチ６２ａ及びスイッチ６２ｂをオンに切り替え、スイッチ６２ｃをオフに切り替えておく。図５（Ｂ）は、接触判定ステップＳ１３を模式的に示す側面図であり、接触検出回路６２の回路図が示されている。
【００７５】
ノズル４４が適切に切削ユニット１８に固定され、切削ブレード１８ａの下端の高さ位置と、該ノズル４４の直線状部分４４ａと、の高さ方向における距離が許容される範囲に収まる場合について説明する。この場合、切削ユニット１８を該基準位置よりも該所定距離下方の該検査位置に下降させたとき、ノズル４４の直線状部分４４ａと、治具ピース６６と、が接触せず、両者間が電気的に導通しない。そのため、接触検出回路６２に電流が生じず、接触検出部６０が該電流を検出することはない。
【００７６】
次に、ノズル４４が適切に切削ユニット１８に固定されておらず、切削ブレード１８ａの下端の高さ位置と、該ノズル４４の直線状部分４４ａと、の高さ方向における距離が該許容される範囲を下回る場合について説明する。この場合、切削ユニット１８を該検査位置に下降させたとき、ノズル４４の直線状部分４４ａと、治具ピース６６と、が接触して両者間が電気的に導通する。そのため、接触検出回路６２に電流が生じ、接触検出部６０では、該電流が検出される。
【００７７】
すなわち、切削ユニット１８を該基準位置から該検査位置に下降させた際、ノズル高さ検査ユニット５８の接触検出部６０が接触検出回路６２の電流を検出しない場合、治具ピース６６と、ノズル４４と、が接触していないと判定できる。その一方で、ノズル高さ検査ユニット５８の接触検出部６０が接触検出回路６２の電流を検出する場合、治具ピース６６と、ノズル４４と、が接触したと判定できる。
【００７８】
治具ピース６６と、ノズル４４と、が接触したと判定された場合、ノズル４４が適切な位置に固定されておらず高さが異常であることが確認される。そこで、接触判定ステップＳ１３を実施し、治具ピース６６と、ノズル４４と、が接触したと判定された場合、次に、ノズル４４の高さが異常であることを報知する報知ステップＳ１４を実施する。
【００７９】
報知ステップＳ１４では、切削装置２の表示部５０や警報ランプ５２等の報知部によりノズル４４の位置が異常であることが報知される。切削装置２の管理者や使用者が報知部により発せられた警告を確認した場合、該管理者等は、切削装置２のノズル４４の切削ユニット１８への固定状況を確認し、ノズル４４の高さ位置等を調整してもよい。
【００８０】
なお、ノズル４４の高さ位置の検査は、チャックテーブルに保持された治具ピース６６を使用せず、刃先検出ユニット５４を使用して実施することもできる。この場合、ノズル高さ検査ユニット５８には、刃先検出ユニット５４が含まれる。次に、本実施形態の他の一態様に係るノズル高さ検査方法について説明する。図９（Ｂ）は、本実施形態の他の一態様に係るノズル高さ検査方法のフローを示すフローチャートである。
【００８１】
図９（Ｂ）に示す通り、該ノズル高さ検査方法では、まず、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの下端を基準位置に位置付ける基準位置位置付けステップＳ２１を実施する。図７（Ａ）は、基準位置位置付けステップＳ２１を模式的に示す側面図である。図７（Ａ）には、基準位置７０の一例が示されている。
【００８２】
該基準位置７０は、該ノズル高さ検査方法における高さの基準となる。基準位置７０は、刃先検出ユニット５４の切削ブレード進入溝５４ｃ内の刃先検出ユニット５４の本体の上端よりも低い高さ位置に設定される。該基準位置７０は、刃先検出ユニット５４が切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの下端が該基準位置７０に到達したことを検出できる高さ位置とされる。
【００８３】
該基準位置７０と、刃先検出ユニット５４の本体の上端の高さ位置と、の間の切り込み送り方向（Ｚ軸方向、高さ方向）における距離について説明する。該距離は、切削ブレード１８ａの下端に対するノズル４４の高さ位置の許容される範囲の下限と、切削ブレード１８ａの下端と、の間の切り込み送り方向における距離よりも小さい。
【００８４】
基準位置位置付けステップＳ２１では、切削ユニット１８を下降させて刃先検出ユニット５４の切削ブレード進入溝５４ｃの内部の発光部５４ａ（図６参照）と、受光部５４ｂ（図６参照）と、の間の切削ブレード進入溝５４ｃ（図６参照）に切削ブレード１８ａを進入させる。そして、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの下端が基準位置７０に達するまで切削ユニット１８を下降させる。
【００８５】
次に、本実施形態の他の一態様に係るノズル高さ検査方法では、切削ユニット１８を更に下降させた際に刃先検出ユニット５４と、ノズル４４と、が接触したか否かを判定する接触判定ステップＳ２２を実施する。図７（Ｂ）は、接触判定ステップＳ２２を模式的に示す側面図である。図７（Ｂ）には、判定位置７２の一例が示されている。刃先検出ユニット５４と、ノズル４４と、が接触したか否かは、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）に示す接触検出回路６２により判定される。
【００８６】
接触検出部６０は、スイッチ６２ａ及び電源６２ｄを介して刃先検出ユニット５４に電気的に接続される。切削ユニット１８のノズル４４と、刃先検出ユニット５４の本体と、が接触すると、両者間が電気的に導通して接触検出回路６２に電流が生じ、接触検出部６０により該電流が観測される。したがって、接触検出部６０は、刃先検出ユニット５４の本体と、ノズル４４の直線状部分４４ａと、の間の電気的導通の有無を検出することにより両者が接触したか否かを判定できる。
【００８７】
接触判定ステップＳ２２では、基準位置７０よりも低い判定位置７２に切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの下端を位置付けるように切削ユニット１８を下降させる。刃先検出ユニット５４は、切削ユニット１８を下降させたとき切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの下端が該判定位置７２に達したことを検出する。そして、判定位置７２に切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの下端が到達したことを端部位置検出部６８ｃが検出したとき、切削ユニット１８の下降を停止させる。ここで、判定位置７２について説明する。
【００８８】
判定位置７２は、切削ブレード１８ａの下端に対するノズル４４の直線状部分４４ａの高さ位置の許容される範囲の下限と、切削ブレード１８ａの下端と、の間の距離だけ刃先検出ユニット５４の本体の上端よりも低い高さ位置に設定される。この場合、刃先検出ユニット５４の上端の高さ位置と、基準位置７０と、の切り込み送り方向（高さ方向）における距離及び基準位置７０と、判定位置７２と、の該方向における距離の和は、切削ブレード１８ａの下端と、ノズル４４と、の許容される距離の下限となる。
【００８９】
ノズル４４が適切に切削ユニット１８に固定され、切削ブレード１８ａの下端の高さ位置と、該ノズル４４の直線状部分４４ａと、の切り込み送り方向（高さ方向）における距離が許容される範囲に収まる場合について説明する。この場合、切削ユニット１８を下降させたとき、ノズル４４の直線状部分４４ａと、刃先検出ユニット５４の本体と、が接触せず、両者間が電気的に導通しない。そのため、接触検出回路６２に電流が生じず、接触検出部６０が該電流を検出することはない。
【００９０】
次に、ノズル４４が適切に切削ユニット１８に固定されておらず、切削ブレード１８ａの下端の高さ位置と、該ノズル４４の直線状部分４４ａと、の高さ方向における距離が該許容される範囲を下回る場合について説明する。この場合、切削ユニット１８を下降させたとき、ノズル４４の直線状部分４４ａと、刃先検出ユニット５４の本体と、が接触して両者間が電気的に導通する。そのため、接触検出回路６２に電流が生じ、接触検出部６０では、該電流が検出される。
【００９１】
すなわち、判定位置７２に切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの下端を位置付けるように切削ユニット１８を下降させた際、接触検出部６０が接触検出回路６２の電流を検出しない場合、刃先検出ユニット５４と、ノズル４４と、が接触していないと判定される。その一方で、接触検出部６０が接触検出回路６２の電流を検出する場合、刃先検出ユニット５４と、ノズル４４と、が接触したと判定される。
【００９２】
刃先検出ユニット５４と、ノズル４４と、が接触したと判定された場合、ノズル４４が適切に固定されておらず、切削ブレード１８ａの切刃１８ｂの下端に対するノズル４４の相対的な高さ位置が異常であることが確認される。そこで、接触判定ステップＳ２２を実施し、刃先検出ユニット５４の上端にノズル４４が接触したと判定された場合、次に、ノズル４４の高さが異常であることを報知する報知ステップＳ２３を実施する。なお、該報知ステップＳ２３は、上述の報知ステップＳ１４と同様である。
【００９３】
以上に説明する通り、本実施形態に係る他の一態様に係るノズル４４の高さ検出方法によると、切削装置２の使用者等による目視の確認等の方法に依らずノズル４４の高さ位置の誤りの有無を確実に検出できる。
【００９４】
なお、上記実施形態では、治具ピース６６又は刃先検出ユニット５４と、ノズル４４と、が接触した際の電気的導通を接触検出部６０により検出することで該治具ピース６６又は刃先検出ユニット５４と、ノズル４４と、の接触を検出する場合について説明した。しかし、本発明の一態様に係るノズル高さ検査方法はこれに限定されない。すなわち、該接触は他の方法により検出されてもよい。
【００９５】
例えば、図８（Ａ）に示す通り、切削装置２のサブチャックテーブル８ｂには、ノズル高さ検査ユニットの構成要素として、弾性波を検出するＡＥ（Acoustic Emission）センサ７４が設けられてもよい。図８（Ａ）は、基準位置設定ステップＳ１２の他の一例を模式的に示す側面図である。ノズル高さ検査ユニットは、サブチャックテーブル８ｂに固定されたＡＥセンサ７４と、該ＡＥセンサ７４に電気的に接続された接触検出部７６と、を備える。
【００９６】
基準位置設定ステップＳ１２において、切削ユニット１８を下降させた際に切削ブレード１８ａと、治具ピース６６と、が接触すると、衝撃により弾性波が生じ、該弾性波がＡＥセンサ７４により検出される。接触検出部７６は、ＡＥセンサ７４により弾性波が検出されたときに、切削ブレード１８ａと、治具ピース６６と、の接触を検出する。
【００９７】
また、接触判定ステップＳ１３では、切削ユニット１８を検査位置に下降させた際にノズル４４と、治具ピース６６と、が接触する際に生じる弾性波がＡＥセンサ７４により検出された場合に、両者が接触したと判定する。
【００９８】
さらに、例えば、図８（Ｂ）に示す通り、刃先検出ユニット５４には、弾性波を検出するＡＥセンサ７４が設けられてもよい。図８（Ｂ）は、接触判定ステップＳ２２の他の一例を模式的に示す側面図である。ＡＥセンサ７４には、接触検出部７６が電気的に接続されている。接触判定ステップＳ２２では、刃先検出ユニット５４と、ノズル４４と、が接触する際に生じる弾性波がＡＥセンサ７４により検出された場合に、両者が接触したと判定される。
【００９９】
また、上記実施形態では、ノズル４４の直線状部分４４ａの先端と、治具ピース６６と、の接触の有無を検出することにより、ノズル４４の高さ方向における位置の異常の有無を判定したが、本発明の一態様はこれに限定されない。本発明の一態様では、ノズル４４の直線状部分４４ａの基端側と、治具ピース６６と、の接触の有無を検出することにより、判定を実施してもよい。
【０１００】
さらに、接触判定ステップＳ１３において、ノズル４４の直線状部分４４ａの先端について切削ユニット１８を下降させた際の治具ピース６６との接触の有無を検出した後又は前に該直線状部分４４ａの基端について同様に接触の有無を検出してもよい。このように、直線状部分４４ａの先端及び基端の両方において切削ユニット１８を下降させた際の治具ピース６６との接触の有無を検出すると、ノズル４４の高さ方向の位置の異常をより詳細に検出でき、また、ノズル４４の傾きを評価することもできる。
【０１０１】
この場合、接触判定ステップＳ１３では、ノズル４４と、治具ピース６６と、の接触の有無の検出を計２回実施する必要があり、接触判定ステップ１３を実施する手間が増えて時間がかかる。そこで、ノズル４４の直線状部分４４ａよりも長い治具ピース６６を使用してもよい。すなわち、切削ユニット１８を下降させる前に、ノズル４４の直線状部分４４ａの先端及び基端の両方が該治具ピース６６の上方に位置するように切削ユニット１８を位置付け、その後切削ユニット１８を下降させて該接触の有無を検出する。
【０１０２】
ノズル４４の直線状部分４４ａよりも長い治具ピース６６を使用すると、ノズル４４と、治具ピース６６と、の接触の有無の検出を一度実施するだけでノズル４４の高さ方向の位置の異常をより詳細に検出でき、ノズル４４の傾きを評価できる。すなわち、直線状部分４４ａの先端側が下方に向くようにノズル４４が傾く場合と、直線状部分４４ａの基端側が下方に向くようにノズル４４が傾く場合と、のいずれの場合においてもノズル４４の高さの異常を容易に検出できる。
【０１０３】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【０１０４】
１  被加工物
３  テープ
５  フレーム
７  フレームユニット
２  切削装置
４  装置基台
６  Ｘ軸移動テーブル
８  チャックテーブル
８ａ  保持面
８ｂ  サブチャックテーブル
１０  クランプ
１２，２４，３０  ガイドレール
１４，２８，３４  ボールねじ
１６，２８ａ，３６  パルスモータ
３６ａ  切り込み送りユニット
１８  切削ユニット
１８ａ  切削ブレード
１８ｂ  切刃
２０  排水路
２２  支持構造
２６，３２  移動プレート
３８  撮像ユニット（カメラ）
４０  スピンドル
４２  スピンドルハウジン
４４  ノズル
４４ａ  直線状部分
４４ｂ  支持部
４４ｃ  給水口
４６  ブレードカバー
４６ａ  固定ボルト
４６ｂ  ねじ穴
４８  切削水供給部
５０  表示部
５２  警報ランプ
５４  刃先検出ユニット
５４ａ  発光部
５４ｂ  受光部
５４ｃ  切削ブレード進入溝
５６  制御ユニット
５８  ノズル高さ検査ユニット
６０，７６  接触検出部
６２  接触検出回路
６２ａ，６２ｂ，６２ｃ  スイッチ
６２ｄ  電源
６４ａ  高さ位置
６６  治具ピース
６８ａ  光源
６８ｂ  光電変換部
６８ｃ  端部位置検出部
７０  基準位置
７２  判定位置
７４  ＡＥセンサ
【図１】
2020026009.tif 000003
【図２】
2020026009.tif 000004
【図３】
2020026009.tif 000005
【図４】
2020026009.tif 000006
【図５】
2020026009.tif 000007
【図６】
2020026009.tif 000008
【図７】
2020026009.tif 000009
【図８】
2020026009.tif 000010
【図９】
2020026009.tif 000011