(57)【要約】【課題】駆動方向の小型化を実現する。【解決手段】駆動装置は、固定部材（１００）と、固定部材に対して、第１の方向に相対的に移動可能な第１の可動部材（１２）と、該第１の可動部材を第１の方向に駆動させる第１の駆動手段（９ａ）と、第１の可動部材と一体的に移動し、第２の方向において第１の可動部材に対して相対的に移動可能な第２の可動部材（１１，１３）と、該第２の可動部材を駆動させる第２の駆動手段（９ｂ，９ｃ）と、固定部材に対して第１の可動部材とは反対側に設けられ、固定部材に対して、第１及び第２の可動部材の移動に伴って相対的に移動可能な非駆動部材（６）と、を有し、第２の可動部材は、第１の可動部材に保持される第１の部材（１３）と、非駆動部材を保持する第２の部材（１１）とを含み、前記第１の部材と前記第２の部材は、板状の連結部材（１４）により連結されている。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部材と、
前記固定部材に対して、第１の方向に相対的に移動可能な第１の可動部材と、
前記第１の可動部材を前記第１の方向に相対的に移動させる第１の駆動手段と、
前記第１の可動部材と一体的に移動し、前記第１の方向とは異なる第２の方向において前記第１の可動部材に対して相対的に移動可能な第２の可動部材と、
前記第２の可動部材を前記第２の方向に相対的に移動させる第２の駆動手段と、
前記固定部材に対して前記第１の可動部材とは反対側に設けられ、前記固定部材に対して、前記第１及び第２の可動部材の移動に伴って相対的に移動可能な非駆動部材と、を有し、
前記第２の可動部材は、前記第１の可動部材に保持される第１の部材と、前記非駆動部材を保持する第２の部材とを含み、
前記第１の部材と前記第２の部材は、板状の連結部材により連結されていることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記第１の方向と前記第２の方向を含む平面に平行な方向における前記連結部材の剛性は、前記平面に垂直な方向における前記連結部材の剛性よりも高いことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記連結部材は、前記垂直な方向に弾性体としての機能を有することを特徴とする請求項２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記第１の駆動手段及び前記第２の駆動手段は、突起部が設けられた板状の弾性体を振動させて駆動力を発生させることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の駆動装置。
【請求項５】
固定部材と、
前記固定部材に対して、光軸に直交する平面における所定の方向に相対的に移動可能な第１の可動部材と、
前記第１の可動部材と一体的に移動し、かつ前記平面において、前記所定の方向とは異なる方向において前記第１の可動部材に対して相対的に移動可能な第２の可動部材と、
前記固定部材に対して前記第１の可動部材とは反対側に設けられ、前記固定部材に対して、前記第１及び第２の可動部材の移動に伴って相対的に移動可能な光学素子と、を有し、
前記第２の可動部材は、前記第１の可動部材に保持される第１の部材と、前記光学素子を保持する第２の部材とを含み、
前記第１の部材と前記第２の部材は、板状の連結部材により連結されていることを特徴とする像振れ補正装置。
【請求項６】
前記平面に平行な方向における前記連結部材の剛性は、前記平面に垂直な方向における前記連結部材の剛性よりも高いことを特徴とする請求項５に記載の像振れ補正装置。
【請求項７】
前記連結部材は、前記垂直な方向に弾性体としての機能を有することを特徴とする請求項６に記載の像振れ補正装置。
【請求項８】
前記光学素子は、撮像素子またはレンズであることを特徴とする請求項５から７のいずれか一項に記載の像振れ補正装置。
【請求項９】
前記連結部材が固定される前記第１の部材の固定面と前記連結部材が固定される前記第２の部材の固定面は、前記平面に垂直な方向において同一の高さに設けられることを特徴とする請求項５から８のいずれか一項に記載の像振れ補正装置。
【請求項１０】
前記連結部材は複数あり、前記第２の部材の中心に対して対向するように配置されていることを特徴とする請求項５から９のいずれか一項に記載の像振れ補正装置。
【請求項１１】
前記第２の可動部材の前記第１の部材は、前記第１の可動部材に少なくとも３つの案内部材を介して保持され、
前記案内部材は、前記所定の方向への前記第１の可動部材と前記第２の可動部材との間の相対移動を規制するよう構成されることを特徴とする請求項５から１０のいずれか一項に記載の像振れ補正装置。
【請求項１２】
前記第１の可動部材は、前記固定部材に少なくとも３つの案内部材を介して保持され、
前記案内部材は、前記平面において、前記所定の方向とは異なる方向への前記固定部材と前記第１の可動部材との間の相対移動を規制するよう構成されることを特徴とする請求項５から１１のいずれか一項に記載の像振れ補正装置。
【請求項１３】
前記第２の可動部材の前記第２の部材は、前記固定部材に少なくとも３つの案内部を介して保持されていることを特徴とする請求項５から１２のいずれか一項に記載の像振れ補正装置。
【請求項１４】
前記第１の部材と前記第２の部材は、付勢バネを介して連結されていることを特徴とする請求項５から１３のいずれか一項に記載の像振れ補正装置。
【請求項１５】
前記連結部材は、前記垂直な方向に可撓性を有することを特徴とする請求項５から１４のいずれか一項に記載の像振れ補正装置。
【請求項１６】
前記第１の可動部材と前記第２の可動部材に対して駆動力を与える複数のアクチュエータを更に有することを特徴とする請求項５から１５のいずれか一項に記載の像振れ補正装置。
【請求項１７】
前記複数のアクチュエータの少なくとも一つは、圧電素子を有する振動子と摩擦部材からなる超音波モータであることを特徴とする請求項１６に記載の像振れ補正装置。
【請求項１８】
請求項５から１７のいずれか一項に記載の像振れ補正装置を備えた撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、光学機器の手持ち撮影において生じやすい手振れ等による像振れを防止するため、光学機器の振れ状況を振れ検出手段によって検出し、検出結果に応じてレンズや撮像素子などの光学素子を光軸に直交する方向にシフトさせる構成を有する像振れ補正装置が知られている。像振れ補正装置を備えた交換レンズや光学機器では、光学素子を光軸に対して直交する面内において、振れを吸収する方向に移動させることにより、振れによる結像位置のずれを補正し、像振れを軽減している。
【０００３】
一般的に、光学素子を移動させる駆動源としてボイスコイルモータ（ＶＣＭ）や超音波モータ（ＵＳＭ）などが用いられている。いずれの場合においても、移動させる光学素子の周囲には別の機構を配置しなければならない。このため、外形寸法を小さくするために、光軸直交方向において小型化することが求められている。
【０００４】
特許文献１には、光学素子を光軸直交方向における面内直交２方向だけではなく、さらに回転移動をするための手法が提示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２０４２７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１のように光軸直交方向において光学素子の周囲に駆動源を構成してしまうと、光軸方向に薄型化はできるものの、光軸直交方向には大型化してしまう。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、駆動方向に小型化した駆動装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面としての駆動装置は、固定部材と、前記固定部材に対して、第１の方向に相対的に移動可能な第１の可動部材と、前記第１の可動部材を前記第１の方向に相対的に移動させる第１の駆動手段と、前記第１の可動部材と一体的に移動し、前記第１の方向とは異なる第２の方向において前記第１の可動部材に対して相対的に移動可能な第２の可動部材と、前記第２の可動部材を前記第２の方向に相対的に移動させる第２の駆動手段と、前記固定部材に対して前記第１の可動部材とは反対側に設けられ、前記固定部材に対して、前記第１及び第２の可動部材の移動に伴って相対的に移動可能な非駆動部材と、を有し、前記第２の可動部材は、前記第１の可動部材に保持される第１の部材と、前記非駆動部材を保持する第２の部材とを含み、前記第１の部材と前記第２の部材は、板状の連結部材により連結されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明の他の目的及び特徴は、以下の実施形態において説明される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、駆動方向に小型化した駆動装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１の実施形態におけるレンズ鏡筒および光学機器の模式図。
【図２】第１の実施形態における像振れ補正装置の斜視図。
【図３】第１の実施形態における像振れ補正装置の背面図。
【図４】第１の実施形態における像振れ補正装置の背面図。
【図５】第１の実施形態における超音波モータの断面図。
【図６】第１の実施形態における像振れ補正装置の分解斜視図。
【図７】第１の実施形態における像振れ補正装置の分解斜視図。
【図８】第１の実施形態における像振れ補正装置の分解斜視図。
【図９】第２の実施形態における像振れ補正装置の斜視図および下面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して本発明を実施するための各実施形態について説明する。図面において、同一符号は同一部材を示している。
（第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施形態について説明する。
【００１３】
図１は、本発明の実施形態に係る像振れ補正装置を備える撮像装置８の概略構成を示す断面図である。撮像装置８の具体例はデジタルカメラやデジタルビデオカメラである。撮像装置８は、大略的にレンズ鏡筒１とカメラ本体２から構成されている。レンズ鏡筒１とカメラ本体２とは、コンパクトデジタルカメラのように一体に構成されていてもよいし、デジタル一眼カメラのように着脱可能に構成されていてもよい。また、撮像装置８は、後述するミラーやプリズムの無い所謂ミラーレスカメラでもよく、シャッターが無い構成であっても構わない。
【００１４】
説明の便宜上、図１に示すように、レンズ鏡筒１の光軸Ｏ方向をＺ方向に定め、Ｚ方向と直交する平面内において互いに直交する２つの方向をＸ方向及びＹ方向に定める。また、Ｚ方向が水平方向と一致した状態では、Ｙ方向は鉛直方向と平行になり、よって、Ｘ方向は水平方向と平行になるものとする。
【００１５】
尚、以降の説明では、撮像素子６が光軸Ｏに直交する平面内で移動する場合の説明をするが、撮像素子６の代わりにレンズ鏡筒１内のレンズであってもよい。
【００１６】
レンズ鏡筒１やカメラ本体２の内部には、像振れ補正用の角速度センサおよび加速度センサが配置されている。また、レンズ鏡筒１は、不図示のズームレンズ群やフォーカスレンズ群を有している。カメラ本体２の内部には、ミラーユニット３、シャッターユニット４、撮像素子６、像振れ補正装置７、プリズム５が配置されている。
【００１７】
撮像装置８が撮像準備状態にあるときには、ミラーユニット３で反射した光束がプリズム５を介して撮像者の目に導かれる。撮像時には、ミラーユニット３がミラーアップ状態となり、シャッターユニット４が所定の速度でシャッター動作（露光動作）を行う。これにより、レンズ鏡筒１を通過した被写体からの光束が、撮像素子６に導かれ、撮像素子６の結像面に光学像として結像することにより、画像が形成される。撮像素子６は、例えば、ＣＣＤセンサやＣＭＯＳセンサ等の光電変換デバイスであり、光学像を光電変換により電気信号へ変換する。
【００１８】
撮像時に撮像装置８に撮像者の動きや振動等による外力が加わると、撮像素子６の結像面に結像する画像に振れが生じてしまい、画質が低下してしまうことがある。この像振れを補正（軽減）するために、レンズ鏡筒１又はカメラ本体２に配置された角速度センサおよび加速度センサの検出信号に基づき、像振れ補正装置７を駆動して、撮像素子６を光軸Ｏと直交する平面内で移動させる。
【００１９】
なお、光軸Ｏと直交する平面とは、レンズ鏡筒１およびカメラ本体２における各種部品の寸法精度や組み付け精度を考慮して、実質的に光軸Ｏと直交するとみなすことができる平面であり、物理的に極めて厳密に光軸Ｏと直交していることを要するものではない。
【００２０】
次に図５を用いて、像振れ補正装置７に設けられるアクチュエータとしての超音波モータについて説明する。図５は、図４におけるＡ−Ａ’断面であり、超音波モータ９ａのＹ方向断面図である。尚、説明を簡単にするため、複数の超音波モータ９（第１の超音波モータ９ａ、第２の超音波モータ９ｂ、及び第３の超音波モータ９ｃ）の構造はすべて同じとし、代表して第１の超音波モータ９ａについて説明する。超音波モータをアクチュエータと呼ぶ場合もある。
【００２１】
振動子２０は、突起部が設けられた板状の弾性体としての振動板２１と、圧電素子２２とにより構成される。振動板２１と圧電素子２２は公知の接着剤等により固定されており、圧電素子２２は電圧を印加することにより高周波の振動を励振する。振動子２０と振動子保持部材２３は、公知の接着剤等により固定されている。
【００２２】
加圧機構保持部材２４は、後述する固定部材１０および第１の駆動案内部材１２（第１の可動部材）に不図示のビス等により固定されている。加圧機構保持部材２４は、ローラ２６を介して振動子保持部材２３と連結している。ローラ２６を介することによって、振動子保持部材２３と加圧機構保持部材２４は駆動方向にはガタなく連結し、後述する加圧バネ２７の加圧方向には移動自在となる。その結果、後述の加圧バネ２７の加圧力により振動子２０は摩擦部材２８に安定して接触でき、効率良く振動子２０の駆動力を得ることが可能となる。なお、振動子保持部材２３と加圧機構保持部材２４とを連結する構成はローラ２６を用いる構成に限定されない。例えば、ローラ２６の代わりにＸ方向の剛性がＺ方向の剛性よりも高い（Ｚ方向がＸ方向よりも弾性変形しやすい）金薄板部材を用いてもよい。このような特性の薄板部材で振動子保持部材２３と加圧機構保持部材２４とを連結することで、振動子保持部材２３と加圧機構保持部材２４とが駆動方向よりも加圧方向に相対的に移動しやすい構成となる。
【００２３】
振動子２０は、加圧バネ２７の加圧力により摩擦部材２８に接触する。弾性部材２５は、加圧バネ２７と振動子２０の間に配置されている。弾性部材２５は、加圧バネ２７と圧電素子２２の直接接触を妨げ、圧電素子２２の損傷を防止している。
【００２４】
摩擦部材２８は、第１の駆動案内部材１２及び第２の駆動案内部材１３（第１の部材）に不図示のビス等により固定されている。超音波モータ９と駆動案内部材との関係の詳細は後述する。
【００２５】
この加圧状態において圧電素子２２に駆動電圧が印加されると、振動子２０の突起部に発生した楕円運動によって生じる摩擦力が駆動力として効率的に摩擦部材２８へ伝達される。その結果、摩擦部材２８を保持する第１の駆動案内部材１２、第２の駆動案内部材１３は所定の方向に移動可能となる。すなわち、超音波モータ９が第１の駆動案内部材１２、第２の駆動案内部材１３に対して駆動力を与えることによって、第１の駆動案内部材１２、第２の駆動案内部材１３は固定部材１０に対して相対的に移動する。
【００２６】
ここで、以降の説明を簡単にするため、像振れ補正装置７に搭載されるアクチュエータは皆同じ構成として説明をするが、当然、構成が異なるアクチュエータや、ＶＣＭ等の他の原理で動くアクチュエータであっても構わず、本発明を限定するものではない。
【００２７】
次に図２から８を用いて像振れ補正装置７の構成について説明する。
【００２８】
図２（ａ）、図２（ｂ）は、共に像振れ補正装置７の斜視図である。図３は、像振れ補正装置７の背面図である。図４は、説明を簡単にするため、図３の構成から後述する第２の超音波モータ９ｂ、第３の超音波モータ９ｃ、第２の駆動案内部材１３、弾性連結部材１４を除いた背面図である。図６は、図４の構成における分解斜視図である。図７、図８は、像振れ補正装置７の分解斜視図である。
【００２９】
固定部材１０は不図示のビス等により、カメラ本体２に固定されている。例えば図４をみると、第１の超音波モータ９ａは不図示のビス等により固定部材１０に固定されている。第１の超音波モータ９ａ内部の構成は前述のとおりである。例えば図６をみると、第１の超音波モータ９ａの駆動力によって相対移動する摩擦部材２８が、第１の駆動案内部材１２に固定されている。本実施例の説明においては、第１の超音波モータ９ａはＸ方向に駆動力を発生させる。
【００３０】
第１の駆動案内部材１２と固定部材１０との間には、３個のボール１６ｂが配置される。３個のボール１６ｂは、固定部材１０が備える転動溝１０Ｘおよび第１の駆動案内部材１２が備える転動溝１２Ｘの間に嵌入されている。転動溝１０Ｘおよび転動溝１２Ｘはそれぞれ３組ずつ設けられ、２組は移動方向であるＸ方向に並んだＶ字状の溝、１組はＸ、Ｙ方向と平行な平面を有する凹形状である。転動溝１０Ｘ、転動溝１２Ｘの方向は第１の超音波モータ９ａの駆動方向と同じであり、駆動方向を規制する役割を持つ。また、第１の駆動案内部材１２と固定部材１０とがＹ方向に相対移動しないように規制する役割も持つ。なお、ボール１６ｂは本発明における案内部材に相当する。
【００３１】
第１の超音波モータ９ａ（第１の駆動手段）の駆動力により、摩擦部材２８と摩擦部材２８を保持する第１の駆動案内部材１２が一体的にＸ方向（第１の方向）に移動する。上述の通り、固定部材１０と第１の駆動案内部材１２の間でボール１６ｂが転動することにより、駆動案内部材は効率よく移動可能となる。
【００３２】
例えば図３をみると、第１の駆動案内部材１２は、第２の超音波モータ９ｂおよび第３の超音波モータ９ｃ（第２の駆動手段）を保持している。第２の超音波モータ９ｂと第３の超音波モータ９ｃは略平行に配置されている。また、第２の超音波モータ９ｂと第３の超音波モータ９ｃの駆動方向は、第１の超音波モータ９ａの駆動方向と直交する方向である。ここでいう「直交」は厳密な意味での直交ではなく、寸法誤差、組み立て誤差等の要因によってわずかに直交からずれてもよい、すなわち略直交の意味である。
【００３３】
例えば図７をみると、第２の超音波モータ９ｂ及び第３の超音波モータ９ｃの駆動力を伝える２つの摩擦部材２８は、共に第２の駆動案内部材１３に固定されている。
【００３４】
第１の駆動案内部材１２と第２の駆動案内部材１３との間には３個のボール１６ｂが配置される。３個のボール１６ｂは、第１の駆動案内部材１２が備える転動溝１２ＹＲおよび第２の駆動案内部材１３が備える転動溝１３ＹＲの間に嵌入されている。前述の加圧バネ２７の加圧力により、第２の駆動案内部材１３は第１の駆動案内部材１２に対してボール１６ｂを介して保持されている。転動溝１２ＹＲおよび転動溝１３ＹＲはそれぞれ３組ずつ設けられ、１組はＶ字状の溝、２組はＹ方向に並んで配置されＸ、Ｙ方向と平行な平面を有する凹形状である。ここで、例えば図６、図７から分かるように、転動溝１２ＹＲおよび転動溝１３ＹＲは、転動溝１０Ｘおよび転動溝１２Ｘと、直交する方向に構成され（上述した「直交」と同様の意味である。）、第１の駆動案内部材１２と第２の駆動案内部材１３とがＸ方向に相対移動しないように規制する役割を持つ。
【００３５】
この状態で第２の超音波モータ９ｂ及び第３の超音波モータ９ｃを同時に同方向に駆動すると、第２の駆動案内部材１３がＹ方向に移動する。また、第２の超音波モータ９ｂと第３の超音波モータ９ｃを同時に逆方向に駆動すると第２の駆動案内部材１３がＸ、Ｙ方向と垂直なＺ方向を回転軸として回転移動する。第２の超音波モータ９ｂと第３の超音波モータ９ｃが異なる速度で駆動された場合には、Ｙ方向の移動と回転移動とが同時に発生する。この第２の駆動案内部材１３が駆動される方向を第２の方向と呼ぶ。
【００３６】
図７に戻って、弾性連結部材（連結部材）１４は、不図示のビス等により、第２の駆動案内部材１３と被駆動部材１１（第２の部材）に固定されており、弾性連結部材１４は、第２の駆動案内部材１３と被駆動部材１１とを連結している。ここで、弾性連結部材１４が第２の駆動案内部材１３および被駆動部材１１に対してビスにより固定されている例について説明したが、弾性連結部材１４の固定方法は接着等の他の手段でも良く、ビスでの固定に限定されるものではない。以下では、第２の駆動案内部材１３と被駆動部材１１を合わせたものを第２の可動部材と呼ぶ。
【００３７】
図８より、被駆動部材１１はさらに、撮像素子６を保持している。光学素子（非駆動部材）としての撮像素子６は、固定部材１０に対して、第１の駆動案内部材１２とは反対側に設けられている。被駆動部材１１は３個のボール１６ａを介して固定部材１０と接触している。被駆動部材１１と固定部材１０とが備える転動部はＸ、Ｙ方向と平行な平面であり、駆動方向を規制する機能は持たない。弾性連結部材１４は金属薄板等で構成されており、ＸＹ方向には剛性が高く、Ｚ軸方向には剛性が低い弾性体としての機能を持つ。すなわち、被駆動部材１１の移動方向（Ｘ、Ｙ方向）を含む平面と平行な方向の剛性がこの平面と直交する方向（Ｚ方向）の剛性よりも高い。
【００３８】
Ｚ方向に弾性変形しにくい部材で被駆動部材１１と第２の駆動案内部材１３を連結してしまうと、固定部材１０、第１の駆動案内部材１２、第２の駆動案内部材１３の寸法誤差により、被駆動部材１１のＺ方向の位置がズレたり、倒れたりしてしまう。
【００３９】
第２の駆動案内部材１３と被駆動部材１１を弾性連結部材１４で連結することにより、弾性連結部材１４の弾性変形によって上述の寸法誤差を吸収することができる。その結果、被駆動部材１１は固定部材１０とボール１６ａの寸法誤差だけの影響を受けてＺ方向の位置が決定可能となる。
【００４０】
先述の通り、被駆動部材１１は、第２の駆動案内部材１３と弾性連結部材１４を介して連結している。弾性連結部材１４はＺ方向には弾性体としての機能を備えているため、被駆動部材１１をＺ軸方向に付勢する力が発生する。
【００４１】
しかし、第１の駆動案内部材１２、第２の駆動案内部材１３、被駆動部材１１、固定部材１０の寸法誤差により、被駆動部材１１が固定部材１０に対して離れる方向に弾性連結部材１４の付勢力が働く場合がある。そのため、図７および８に示してあるように、被駆動部材１１は、第２の駆動案内部材１３と、付勢バネ１５を介して連結している。付勢バネ１５の付勢力が、弾性連結部材１４の付勢力よりも強くなるように設定する事によって、被駆動部材１１を確実に固定部材１０に対して付勢することが可能となる。
【００４２】
第２の駆動案内部材１３と被駆動部材１１は弾性連結部材１４によって複数個所（本実施例では４箇所）で連結されており、弾性連結部材１４は被駆動部材１１の中心Ｃに対して対向するように配置されている。ここでいう「対向」は厳密な意味での対向ではなく、寸法誤差、組み立て誤差等の要因によるわずかなズレは許容してよい、すなわち略対向の意味である。また、弾性連結部材１４の固定される第２の駆動案内部材１３上の固定面１３ａと被駆動部材１１上の固定面１１ａとはＺ方向において同一高さに設けられている。ここでいう「同一高さ」も上述の「直交」、「対向」と同様の意味である。このような構成にすることによって、例えば弾性連結部材１４を被駆動部材１１のいずれかの箇所に偏った配置にした場合や固定面１３ａと固定面１１ａとのＺ方向における高さが異なる場合と比較して第２の駆動案内部材１３と被駆動部材１１とがＸ、Ｙ方向に相対移動しようとした際の剛性が高くなる。これにより、超音波モータ９の駆動力を確実に被駆動部材１１に伝達して、被駆動部材１１は第２の駆動案内部材１３と一体的に移動することができる。
【００４３】
この状態で、第１の超音波モータ９ａが駆動すると、第１の駆動案内部材１２と第２の超音波モータ９ｂ、第３の超音波モータ９ｃが一体的にＸ方向に移動する。さらに、第２の超音波モータ９ｂ、第３の超音波モータ９ｃが駆動することにより、第２の駆動案内部材１３がＹ方向およびＺ方向を回転軸とする回転方向に移動する。前述の通り、第２の駆動案内部材１３は弾性連結部材１４を介して被駆動部材１１と連結しているため、第２の駆動案内部材１３と被駆動部材１１は一体的に移動する。その結果、被駆動部材１１および撮像素子６は、超音波モータ９の駆動力により固定部材１０に対して２つの並進方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に相対移動可能となり、これらに対して垂直な軸回り（Ｚ方向回り）の回転方向の相対移動（すなわちＸＹ平面内での相対回転移動）も可能になる。
【００４４】
以下に、従来例の構成について説明する。
【００４５】
従来例の像振れ補正装置では、撮像素子６及び被駆動部材１１に対して、ＸＹ平面方向に広がるようにアクチュエータや駆動案内部材を構成している。このため、像振れ補正装置全体の寸法で見たときにＸＹ平面方向に大型化してしまう。カメラ本体２の内部において撮像素子６のＸＹ平面方向外側にはシャッターユニット４やバッテリ類等が構成されるため、ＸＹ方向に像振れ補正装置を小型化することが求められる。
【００４６】
以下に、第１の実施形態によって得られる効果について説明する。
【００４７】
従来例の構成に対して第１の実施形態では、撮像素子６を保持する被駆動部材１１に対して、第１から第３の超音波モータ９および第１の駆動案内部材１２、第２の駆動案内部材１３の一部はＺ方向に積み重なるように構成されている。本発明においては、このようにアクチュエータや駆動案内部材がＸＹ平面方向に広がらないように構成することにより、ＸＹ平面方向に像振れ補正装置７を小型化することが可能となっている。
【００４８】
以上説明した通り、第１の実施形態では、撮像素子６を保持する被駆動部材１１に対して、第１から第３の超音波モータ９及び第１の駆動案内部材１２、第２の駆動案内部材１３の一部は光軸方向に積み重なるような構成を取っている。この結果、像振れ補正装置の光軸直交方向の小型化を達成することができる。
【００４９】
なお、今回は第２の可動部材が被駆動部材１１と第２の駆動案内部材１３に分割されて弾性連結部材１４によって連結されている例について述べたが、第１の可動部材もしくは固定部材が分割されており、分割された２つの部材が弾性連結部材１４によって連結されている構成であっても良い。
（第２の実施形態）
以下、本発明の第２の実施形態について説明する。
【００５０】
第１の実施形態では、付勢バネ１５の付勢力によって被駆動部材１１を固定部材１０に対して確実に付勢している例について述べた。
【００５１】
第２の実施形態では、弾性連結部材１４’がＺ方向に可撓性を有し、弾性連結部材１４’によって付勢力を発生して被駆動部材１１を固定部材１０に対して確実に付勢しているところが第１の実施形態と異なる点である。第１の実施形態と同じところは説明を省略し、第１の実施形態と異なるところだけを説明する。
【００５２】
図９は、第２の実施形態の像振れ補正装置を示す図であり、図９（ａ）は斜視図、図９（ｂ）は下面図である。第２の実施形態では弾性連結部材１４’の固定される第２の駆動案内部材１３の固定面１３ａと被駆動部材１１の固定面１１ａのＺ方向の高さが異なる。弾性連結部材１４’は金属薄板等で構成され、Ｚ方向に可撓性を有する。平板状の弾性連結部材１４’をＺ方向に高さの異なる固定面１３ａと固定面１１ａとの間に設けることにより、弾性連結部材１４’は第２の駆動案内部材１３と被駆動部材１１との間にＺ方向の付勢力を常に発生する。固定部材１０は、被駆動部材１１と第２の駆動案内部材１３との間に挟持されており、弾性連結部材１４’により生じる付勢力によって被駆動部材１１と固定部材１０との間にもＺ方向の付勢力が発生する。このため、被駆動部材１１を固定部材１０に対して確実に付勢することができる。第１の実施形態では、各部品の寸法誤差などが生じた際にも被駆動部材１１を固定部材１０に対して確実に付勢するために付勢バネ１５を設けて付勢力を発生させていた。これに対して、第２の実施形態では弾性連結部材１４により被駆動部材１１を固定部材１０に対して付勢するための付勢力を発生させている。このため、第２の実施形態では付勢バネ１５を削減して部品点数を削減できるというメリットがある。もちろん、第２の実施形態での弾性連結部材１４’と第１の実施例での付勢バネ１５とを併せて用いても良い。
【００５３】
なお、今回の説明では被駆動部材１１の固定面１１ａと第２の駆動案内部材１３の固定面１３ａとのＺ方向の高さが異なる構成について説明したが、弾性連結部材１４’によってＺ方向の付勢力が得られれば固定面１１ａと固定面１３ａとのＺ方向の高さは同じであっても良い。自然状態において平板状の弾性連結部材１４’を用いるのではなく、自然状態において弾性連結部材１４’上の固定面１１ａに固定される面と固定面１３ａに固定される面の高さが異なるような弾性連結部材１４’を用いることにより固定面１１ａと固定面１３ａが略同一高さにある構成においても付勢力を得ることができる。固定面１１ａと固定面１３ａとを略同一高さにすることによって第２の駆動案内部材１３と被駆動部材１１とが相対移動しようとした際の剛性を高くすることができる。
【００５４】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、上記の実施形態では、本発明を像振れ補正装置に適用した例を説明したが、本発明が適用される装置は像振れ補正装置に限定されない。非駆動部材を固定部材に対して、第１の方向及び第１の方向と直交する第２の方向に移動させる駆動装置に適用可能である。
【符号の説明】
【００５５】
１０：固定部材
１２：第１の駆動案内部材（第１の可動部材）
９ａ：第１の超音波モータ（第１の駆動手段）
１１、１３：被駆動部材、第２の駆動案内部材（併せて第２の可動部材）
９ｂ、９ｃ：第２、第３の超音波モータ（併せて第２の駆動手段）
１４、１４’：弾性連結部材（連結部材）
６：光学素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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