(57)【要約】【課題】異方導電部の絶縁層からの脱落を抑制できながら、異方導電性に優れる異方導電部を備える異方導電性シートを提供すること。【解決手段】異方導電性シート１は、貫通孔６を有する絶縁層２と、貫通孔６に配置される異方導電部３とを備える。貫通孔６は、第１開口部６０および第２開口部７０を有する。絶縁層２は、第２開口部７０を区画する第２周側面８を有する。第２周側面８は、テーパ面９を有する。異方導電部３は、第１開口部６０に配置される第１導体部４と、第２開口部７０に配置される第２導体部５とを備える。第１導体部４は、略平板形状に形成される。第１導体部４において、第２面３２が他方側に露出し、周端部１２が絶縁層２に接触し、内側部１１が第２導体部７０に接触する。第２導体部７０は、テーパ面９に接触する。第２導体部７０において、第５面３５が内側部１１に接触し、第６面３６が一方側に露出する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚み方向を貫通する貫通孔を有する絶縁層と、
前記貫通孔に配置され、前記厚み方向に対向する一方面および他方面のそれぞれが前記厚み方向一方側および他方側のそれぞれに露出する異方導電部とを備え、
前記貫通孔は、前記厚み方向他方側部分に区画される第１開口部、および、前記第１開口部に連通し、前記厚み方向一方側部分に区画される第２開口部を有し、
前記絶縁層は、前記第２開口部を区画する周側面を有し、
前記周側面は、前記第２開口部の厚み方向他端縁から前記厚み方向一方側に向かって開口断面積が次第に大きくなるテーパ面を有し、
前記異方導電部は、前記第１開口部に配置される第１導体部と、前記第２開口部に配置される第２導体部とを備え、
前記第１導体部は、前記厚み方向に直交する面方向に延びる略平板形状に形成され、
前記第１導体部において、
他方面が、前記厚み方向他方側に露出し、
一方面の周端部が、前記絶縁層に接触し、
一方面において前記周端部の内側に位置する内側部が、前記第２導体部に接触し、
前記第２導体部は、前記テーパ面に接触し、
前記第２導体部において、
前記他方面が、前記第１導体部の前記内側部に接触し、
前記一方面が、前記厚み方向一方側に露出することを特徴とする、異方導電性シート。
【請求項２】
前記第１導体部の前記他方面は、前記絶縁層の厚み方向他方面と面一であることを特徴とする、請求項１に記載の異方導電性シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異方導電性シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、貫通孔を有する絶縁層と、貫通孔に配置され、厚み方向両側に露出する異方導電部とを備える異方導電性シートが知られている（例えば、下記特許文献１参照。）。
【０００３】
特許文献１の図１０で開示される異方導電性シートでは、異方導電部が、平板状の中央部と、中央部の周端縁から、外側に向かうに従って厚み方向一方側に傾斜する傾斜部とを一体的に有している。異方導電部の厚み方向他方面において、中央部、および、傾斜部の内側部は、絶縁層から露出する一方、傾斜部の外側部は、絶縁層に被覆されている。
【０００４】
特許文献１では、傾斜部の外側部が絶縁層に被覆されて固定されているので、端子やプローブなどが厚み方向両側から異方導電部に対して加圧する場合でも、異方導電部が絶縁層から脱落することを抑制する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】ＷＯ２０１８／０６６５４１のパンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかるに、異方導電性シートには、より一層優れた異方導電性が要求される。
【０００７】
しかし、特許文献１に記載される異方導電性シートでは、異方導電部の他方面のうち、中央部、および、傾斜部の内側部が、厚み方向他方側における端子と接触するものの、傾斜部の外側部は、絶縁層に被覆されるため、上記した端子と接触できず、異方導電部の他方面が、厚み方向他方側の端子と十分に接触するには、限界がある。そのため、異方導電部の異方導電性を十分に確保できないという不具合がある。
【０００８】
本発明は、異方導電部の絶縁層からの脱落を抑制できながら、異方導電性に優れる異方導電部を備える異方導電性シートを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明（１）は、厚み方向を貫通する貫通孔を有する絶縁層と、前記貫通孔に配置され、前記厚み方向に対向する一方面および他方面のそれぞれが前記厚み方向一方側および他方側のそれぞれに露出する異方導電部とを備え、前記貫通孔は、前記厚み方向他方側部分に区画される第１開口部、および、前記第１開口部に連通し、前記厚み方向一方側部分に区画される第２開口部を有し、前記絶縁層は、前記第２開口部を区画する周側面を有し、前記周側面は、前記第２開口部の厚み方向他端縁から前記厚み方向一方側に向かって開口断面積が次第に大きくなるテーパ面を有し、前記異方導電部は、前記第１開口部に配置される第１導体部と、前記第２開口部に配置される第２導体部とを備え、前記第１導体部は、前記厚み方向に直交する面方向に延びる略平板形状に形成され、前記第１導体部において、他方面が、前記厚み方向他方側に露出し、一方面の周端部が、前記絶縁層に接触し、一方面において前記周端部の内側に位置する内側部が、前記第２導体部に接触し、前記第２導体部は、前記テーパ面に接触し、前記第２導体部において、前記他方面が、前記第１導体部の前記内側部に接触し、前記一方面が、前記厚み方向一方側に露出する、異方導電性シートを含む。
【００１０】
この異方導電性シートでは、第１導体部は、略平板形状に形成され、その厚み方向他方面が露出するので、第１導体部の厚み方向他方面の全面が、端子と接触でき、そのため、異方導電部の厚み方向他方面と端子との十分な接触面積（接触機会）を確保できる。
【００１１】
また、第１導体部の厚み方向一方面の周端部と、第２導体部においてテーパ面に接触する部分とが、絶縁層においてテーパ面に対応する部分を挟み込むことができる。そうすると、絶縁層における上記した部分が、異方導電部に対する楔（くさび）となり、その結果、異方導電部の絶縁層からの脱落を抑制することができる。
【００１２】
従って、この異方導電性シートは、異方導電部の絶縁層からの脱落の抑制と、異方導電部の優れた異方導電性とを両立することができる。
【００１３】
本発明（２）は、前前記第１導体部の前記他方面は、前記絶縁層の厚み方向他方面と面一である、（１）に記載の異方導電性シートを含む。
【００１４】
この異方導電性シートでは、第１導体部の厚み方向他方面は、絶縁層の厚み方向他方面と面一であるので、異方導電性シートの厚み方向他方面の平滑化を図ることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の異方導電性シートは、異方導電部の絶縁層からの脱落の抑制と、異方導電部の優れた異方導電性とを両立することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の異方導電性シートの一実施形態の平面図を示す。
【図２】図２は、図１に示す異方導電性シートの拡大断面図を示す。
【図３】図３Ａ〜図３Ｅは、図２に示す異方導電性シートの製造工程図であり、図３Ａが、基材シートを準備する工程、図３Ｂが、第１導体部を配置する工程、図３Ｃが、絶縁層を配置する工程、図３Ｄが、第２導体部を配置する工程、図３Ｅが、基材シートを除去する工程を示す。
【図４】図４は、図２に示す異方導電性シートの変形例（異方導電性シートが第３導体部を備える態様）の断面図を示す。
【図５】図５は、図２に示す異方導電性シートの変形例（周側面の全部がテーパ面である態様）の断面図を示す。
【図６】図６は、図２に示す異方導電性シートの変形例（第１導体層の第１他方面が、絶縁層の絶縁第２面より、厚み方向他方側に位置する態様）の断面図を示す。
【図７】図７は、図２に示す異方導電性シートの変形例（周側面の全部がテーパ面であり、かつ、第１導体層の第１他方面が、絶縁層の絶縁第２面より、厚み方向他方側に位置する態様）の断面図を示す。
【図８】図８は、図２に示す異方導電性シートの変形例（第２導体部が、絶縁層の周側面の全面を被覆する態様）の断面図を示す。
【図９】図９は、図２に示す異方導電性シートの変形例（第２導体部が、絶縁層のテーパ面および断面に接触する態様）の断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
＜一実施形態＞
本発明の異方導電性シートの一実施形態を図１〜図２を参照して説明する。
【００１８】
図１〜図２に示すように、異方導電性シート１は、厚み方向に直交する面方向に延びる。異方導電性シート１は、厚み方向に互いに対向する一方面および他方面を有する。この異方導電性シート１は、次に説明する異方導電部３において厚み方向（異方）に導電性（電気伝導性）を有しており、後述する半導体素子やフレキシブルプリント配線板の導通検査に使用される検査用シートである。
【００１９】
異方導電性シート１は、絶縁層２と、絶縁層２に配置される複数の異方導電部３とを備える。好ましくは、異方導電性シート１は、単数の絶縁層２と、複数の異方導電部３とのみを備える。
【００２０】
絶縁層２は、面方向に延びるシート形状を有する。絶縁層２は、厚み方向一方面である絶縁第１面２１と、絶縁第１面２１と厚み方向他方側に対向する厚み方向他方面である絶縁第２面２２とを有する。
【００２１】
絶縁第１面２１は、異方導電性シート１の厚み方向一方面を形成する。
【００２２】
絶縁第２面２２は、異方導電性シート１の厚み方向他方面を形成する。
【００２３】
また、絶縁層２には、複数の貫通孔６が形成されている。
【００２４】
複数の貫通孔６は、複数の異方導電部３に対応して設けられる。つまり、複数の貫通孔６は、複数の異方導電部３と１対１対応で形成されている。複数の貫通孔６のそれぞれは、絶縁層２の厚み方向を貫通する。貫通孔６は、第１開口部６０および第２開口部７０を備える。
【００２５】
第１開口部６０は、貫通孔６における厚み方向他方側部分（領域）に区画されている。第１開口部６０は、後述する第１導体部４に対応する形状を有する。具体的には、第１開口部６０は、断面視略矩形状を有する。第１開口部６０は、絶縁第２面２２から厚み方向一方側に向かって凹む形状を有する。具体的には、第１開口部６０は、絶縁層２の第１周側面６１と、第１一方面６２とによって、区画されている。
【００２６】
第１周側面６１は、第１開口部６０の面方向外側面を区画する。第１周側面６１は、絶縁第２面２２から厚み方向一方側に延びる略筒形状（具体的には、円筒形状）を有する。
【００２７】
第１一方面６２は、第１開口部６０の厚み方向一方面を区画する。第１一方面６２は、底面視略円環（リング）形状を有する。なお、第１一方面６２の内側部分においては、第１開口部６０が第２開口部７０と連通する。
【００２８】
第２開口部７０は、第１開口部６０に連通しており、貫通孔６における厚み方向一方側部分（領域）に区画されている。第２開口部７０は、第１開口部６０の厚み方向一方側に位置する。第２開口部７０は、周側面の一例としての絶縁層２の第２周側面８によって区画されている。
【００２９】
第２周側面８は、厚み方向に延びる形状を有する。第２周側面８は、平面視において、例えば、第１周側面６１の内側に配置されており、また、厚み方向に投影したときに、第１一方面６２に包含される。第２周側面８は、テーパ面９と、テーパ面９に連続する縦面１０とを含む。
【００３０】
テーパ面９は、第２周側面８における厚み方向他方側部分に相当する。テーパ面９は、第１一方面６２の内端縁から厚み方向一方側に向かう形状を有する。テーパ面９は、例えば、面方向に沿う断面積（正断面積）が、第１一方面６２の内端縁から厚み方向一方側に向かって次第に大きくなる略錐台形状（具体的には、略円錐台形状）を有する。つまり、テーパ面９は、厚み方向に沿う断面視において、厚み方向一方側に向かって、面方向において互いに対向する対向距離が次第に長くなる傾斜面である。
【００３１】
テーパ面９と、第１一方面６２とのなす角度αは、例えば、鋭角であり、好ましくは、７５度以下、より好ましくは、６０度以下であり、また、例えば、１５度以上、好ましくは、３０度以上である。
【００３２】
縦面１０は、テーパ面９に対して厚み方向一方側に配置される。縦面１０は、第２周側面８における厚み方向一方側部分に相当する。具体的には、縦面１０は、テーパ面９の厚み方向一端縁から、厚み方向一方側に延び、絶縁第１面２１に連続する。縦面１０は、厚み方向に沿って延びる略筒形状（具体的には、テーパ面９の錐台形状と軸線を共有する略円筒形状）を有する。縦面１０は、断面視において、ストレート面である。具体的には、断面視において、面方向に対向する２つの縦面１０の対向距離は、同一である。
【００３３】
また、第１一方面６２は、第１周側面６１に対して直交する。縦面１０は、第１一方面６２に対して直交する。テーパ面９は、縦面１０および第１一方面６２に対して傾斜する。
【００３４】
また、絶縁層２は、第１一方面６２およびテーパ面９に挟まれる楔部１３を含む。楔部１３は、断面視略鋭角三角形状を有する。楔部１３は、テーパ面９より面方向外側における領域であって、厚み方向に投影したときに、縦面１０より面方向内側における領域に位置する。
【００３５】
絶縁層２の材料として、例えば、ポリイミドなどの樹脂が挙げられる。
【００３６】
絶縁層２の寸法は、その用途および応じて適宜設定される。絶縁層２の厚みは、例えば、５μｍ以上、例えば、１００μｍ以下である。
【００３７】
第１開口部６０の面方向における最大長さＬ１は、断面視において面方向に対向する第１周側面６１間の最大距離であり、例えば、１μｍ以上、好ましくは、１０μｍ以上、より好ましくは、２０μｍ以上、さらに好ましくは、３０μｍ以上であり、また、例えば、１，０００μｍ以下である。また、第１開口部６０の開口断面積は、例えば、５０μｍ２以上、好ましくは、３００μｍ２以上、より好ましくは、７００μｍ２以上であり、また、例えば、８００，０００μｍ２以下である。
【００３８】
第１開口部６０の深さ（厚み方向長さ）は、第１周側面６１の厚み方向長さであり、例えば、２μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上であり、また、例えば、２５μｍ以下、好ましくは、１８μｍ以下である。絶縁層２の厚みに対する第１開口部６０の深さの比は、例えば、０．１以上、好ましくは、０．２以上であり、また、例えば、０．９以下、好ましくは、０．８以下である。
【００３９】
テーパ面９の厚み方向長さＬ２は、例えば、０．１μｍ以上、好ましくは、０．５μｍ以上、好ましくは、１．０μｍ以上であり、また、例えば、５０μｍ以下、好ましくは、２０μｍ以下である。テーパ面９の面方向長さＬ３は、例えば、０．１μｍ以上、好ましくは、０．５μｍ以上、好ましくは、１μｍ以上であり、また、例えば、２０μｍ以下、好ましくは、１０μｍ以下である。テーパ面９において面方向に互いに対向する厚み方向他端縁間の長さＬ４は、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、１５μｍ以上であり、また、例えば、２００μｍ以下、好ましくは、１００μｍ以下である。テーパ面９において面方向に互いに対向する厚み方向一端縁間の長さＬ５は、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、１５μｍ以上であり、また、例えば、２００μｍ以下、好ましくは、１００μｍ以下である。
【００４０】
断面視におけるテーパ面９の長さは、１μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上であり、また、例えば、５０μｍ以下、好ましくは、２０μｍ以下である。
【００４１】
縦面１０の厚み方向長さＬ６は、例えば、０μｍ超過、好ましくは、１μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、２０μｍ以下である。
【００４２】
第２開口部７０の深さ（厚み方向長さ）Ｌ７は、テーパ面９の厚み方向長さＬ２、および、縦面１０の厚み方向長さＬ６の合計Ｌ７（Ｌ２＋Ｌ６）であり、例えば、３μｍ以上、例えば、１００μｍ以下である。絶縁層２の厚みに対する第２開口部７０の深さの比は、例えば、０．１以上、好ましくは、０．２以上であり、また、例えば、０．９以下、好ましくは、０．８以下である。
【００４３】
第２開口部７０の深さＬ７に対する、テーパ面９の厚み方向長さＬ２の比（Ｌ２／Ｌ７）は、例えば、０．１以上、好ましくは、０．２以上であり、また、例えば、０．９以下、好ましくは、０．８以下である。
【００４４】
絶縁層２の寸法が上記した範囲にあれば、異方導電部の異方導電性が向上する。
【００４５】
複数の異方導電部３のそれぞれは、複数の貫通孔６のそれぞれに配置されている。異方導電部３は、第１開口部６０と、第２開口部７０の一部とに充填されており、それらに対応する形状を有する。
【００４６】
異方導電部３は、第１開口部６０に配置される第１導体部４と、第２開口部７０に配置される第２導体部５とを備える。好ましくは、この異方導電部３は、第１導体部４および第２導体部５のみを備える。
【００４７】
第１導体部４は、第１開口部６０の全部に充填されている。これにより、第１導体部４は、第１開口部６０と同一形状を有する。具体的には、第１導体部４は、面方向に延びる略平板形状を有する。第１導体部４は、厚み方向一方面である第１面３１と、第１面３１と厚み方向他方側に対向する他方面である第２面３２と、第１面３１の周端縁および第２面３２の周端縁を連結する第３面３３とを一体的に有する。
【００４８】
第１面３１は、面方向に沿う平坦面である。第１面３１は、周端部１２と、周端部１２の内側に位置する内側部１１とに区画される。
【００４９】
周端部１２は、第１一方面６２に面する。具体的には、周端部１２は、第１面３１において、第１一方面６２に接触する領域である。周端部１２は、平面視において、第１一方面６２と同一形状を有する。
【００５０】
内側部１１は、第１面３１において、周端部１２より内側に位置する領域である。一方、この内側部１１は、平面視において、第１一方面６２から面方向内側にずれている。
【００５１】
第２面３２は、第１面３１に平行する平坦面である。第２面３２は、絶縁層２から露出する。第２面３２は、異方導電部３において厚み方向他方側に露出する厚み方向他方面の一例である。具体的には、第２面３２は、絶縁層２の絶縁第２面２２から、厚み方向他方側に向かって露出する。また、第２面３２は、絶縁第２面２２と面一である。第２面３２の外端縁は、絶縁第２面２２の内端縁と連続する。
【００５２】
第３面３３は、第１導体部４の側面（周側面）である。第３面３３は、第１周側面６１に接触する。第３面３３は、厚み方向に沿って延びており、断面視において、ストレート形状を有する。
【００５３】
この第１導体部４では、第１面３１の周端部１２と、第３面３３とが、絶縁層２に接触する。なお、第１面３１の周端部１２は、楔部１３と接触する。
【００５４】
一方、第２面３２の全面は、絶縁層２から露出している。
【００５５】
第２導体部５は、第２開口部７０に配置されている。具体的には、第２導体部５は、第２開口部７０の厚み方向他方側部分を充填している。
【００５６】
また、第２導体部５は、第１導体部４の第１面３１の内側部１１と、テーパ面９とに接触する。
【００５７】
第２導体部５は、面方向に延びる略平板形状を有する。第２導体部５は、第１面３１の内側部１１およびテーパ面９に対応する形状を有し、具体的には、厚み方向他方側に向かって正断面積が小さくなる、薄肉の略錐台形状（具体的には、第１導体部４の略円板形状と軸線を共有する略円錐台形状）を有する。
【００５８】
第２導体部５は、厚み方向一方面である第４面３４と、第４面３４と厚み方向他方側に対向する他方面である第５面３５と、第４面３４の周端縁および第５面３５の周端縁を連結する第６面３６とを一体的に有する。
【００５９】
第４面３４は、第１導体部４の第１面３１に平行し、平坦な形状を有する。第４面３４は、異方導電部３において厚み方向一方側に向かって露出する厚み方向一方面の一例である。第４面３４は、面方向に投影したときに、テーパ面９に包含される一方、縦面１０と厚み方向他方側に間隔が隔てられる。
【００６０】
第５面３５は、その全面が、第１面３１の内側部１１に接触する。第５面３５は、平坦な形状を有する。
【００６１】
第６面３６は、第２導体部５の側面（周側面）である。第６面３６は、テーパ面９の少なくとも厚み方向他方側部分に接触し、これを被覆する。第６面３６は、テーパ面９の厚み方向他方側部分に対応する形状を有する。具体的には、第６面３６は、第２導体部５の正断面積が、厚み方向一方側に向かって次第に大きくなるテーパ形状を有する。第６面３６は、楔部１３に接触する。
【００６２】
この第２導体部５では、第５面３５および第６面３６のそれぞれが、内側部１１およびテーパ面９のそれぞれに接触する一方、第４面３４が、厚み方向一方側に露出する。
【００６３】
異方導電部３の材料は、特に限定されず、例えば、銅、クロム、ニッケル、金などの金属が挙げられる。これらは、単独使用または併用することができる。第１導体部４の材料として、好ましくは、銅が挙げられる。第２導体部５の材料として、好ましくは、ニッケル、金が挙げられる。なお、第２導体部５は、厚み方向に複数の層が積層された積層体であってもよい。
【００６４】
異方導電部３の寸法は、その用途および応じて適宜設定される。異方導電部３の厚みは、例えば、５μｍ以上、好ましくは、１０μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下である。
【００６５】
第１導体部４の寸法は、第１開口部６０の寸法と同一の寸法を有する。第２面３２の面積（第１導体部４の底面積）は、第１開口部６０の開口断面積と同一である。なお、異方導電部３の厚みに対する第１導体部４の厚みの割合は、例えば、２０％以上、好ましくは、４０％以上であり、また、例えば、９０％以下、好ましくは、８０％以下である。
【００６６】
第２導体部５の厚みＴは、例えば、１μｍ以上、好ましくは、２μｍ以上であり、また、例えば、２５μｍ以下、好ましくは、１８μｍ以下である。異方導電部３の厚みに対する第２導体部５の厚みＴの割合は、例えば、５％以上、好ましくは、１５％以上であり、また、例えば、８０％以下、好ましくは、６０％以下である。第１導体部４の厚みに対する第２導体部５の厚みＴの比は、例えば、０．１以上、好ましくは、０．２以上であり、また、例えば、５以下、好ましくは、２以下である。また、テーパ面９の厚み方向長さＬ２に対する第２導体部５の厚みＴの比（Ｔ／Ｌ２）は、例えば、１以下、好ましくは、０．８以下であり、また、例えば、０．３以上、好ましくは、０．５超過である。
【００６７】
異方導電部３の寸法が上記した範囲にあれば、異方導電部３の異方導電性が向上する。
【００６８】
次に、図３Ａ〜図３Ｅを参照して、図１および図２に示す異方導電性シート１の製造方法を説明する。
【００６９】
まず、図３Ａに示すように、基材シート２０を準備する。
【００７０】
基材シート２０は、面方向に延びるシート形状を有する。基材シート２０は、例えば、ステンレスなどの金属からなる金属層（図示せず）と、金属層の厚み方向一方面に配置され、例えば、ポリイミドなどの樹脂からなる樹脂層とを備える。
【００７１】
次いで、図３Ｂに示すように、複数の第１導体部４（図１参照）を基材シート２０の厚み方向一方面に配置する。例えば、アディティブ法やサブトラクティブ法などのパターンニング法により、複数の第１導体部４を、基材シート２０の厚み方向一方面に、面方向に互いに間隔を隔てて形成する。
【００７２】
次いで、図３Ｃに示すように、絶縁層２を、基材シート２０の厚み方向一方面に、複数の第１導体部４の内側部１１を露出するように、配置する。例えば、感光性の樹脂のワニスを、基材シート２０の一方面に、複数の第１導体部４の第１面３１および第３面３３を被覆するように塗布し、続いて、露光および現像により、複数の第２開口部７０を形成する。これにより、複数の内側部１１を露出する絶縁層２を形成する。
【００７３】
なお、絶縁層２は、基材シート２０の厚み方向一方側に配置される複数の第１導体部５の第１面３１の周端部１２および第３面３３を被覆していることから、複数の第１開口部６０が形成される。
【００７４】
次いで、図３Ｄに示すように、複数の第２導体部５のそれぞれを複数の第２開口部７０のそれぞれに配置する。
【００７５】
複数の第２導体部５を配置する方法としては、例えば、上記した金属を含有するめっき浴を用いるめっき、例えば、上記した金属からなる粒子を含有するペースト組成物の塗布などが挙げられ、好ましくは、めっき、より好ましくは、無電解めっきが挙げられる。
【００７６】
これにより、複数の第２導体部５のそれぞれを、複数の第１導体部４のそれぞれの第１面３１の内側部１１に積層する。
【００７７】
なお、めっきでは、内側部１１の周端縁では、面方向外側に膨出するように、第２導体部５の材料が析出する。そのため、テーパ面９にも、上記した材料が接触する。つまり、第６面３６が、テーパ面９に接触する。
【００７８】
これによって、絶縁層２と、第１導体部４および第２導体部５を有する複数の異方導電部３とを備える異方導電性シート１を、基材シート２０の厚み方向一方面に製造する。
【００７９】
その後、図３Ｅに示すように、基材シート２０を除去する。例えば、エッチングなどによって、金属層および樹脂層を、厚み方向他方側から順次除去する。
【００８０】
これにより、第２面３２および絶縁第２面２２が、厚み方向他方側に露出する。
【００８１】
これによって、絶縁層２と複数の異方導電部３とを備える異方導電性シート１を製造する。
【００８２】
次に、異方導電性シート１を用いて導通検査を実施する方法を、図３Ｅを参照して説明する。
【００８３】
まず、図３Ｅの仮想線で示すように、異方導電性シート１の厚み方向一方側に、複数の第１端子４１を配置する。併せて、異方導電性シート１の厚み方向他方側に、複数の第２端子４２を配置する。
【００８４】
複数の第１端子４１としては、例えば、被検査用端子、具体的には、半導体素子の端子、フレキシブルプリント配線板の端子などが挙げられる。複数の第２端子４２としては、例えば、検査用端子などが挙げられ、具体的には、テスタープローブなどが挙げられる。
【００８５】
続いて、図３Ｅの実線で示すように、複数の第１端子４１のそれぞれ、および、複数の第２端子４２のそれぞれの先端を、異方導電部３の複数の第４面３４のそれぞれ、および、複数の第２面３２のそれぞれに接触させる。その後、第２端子４２が備えられる検査装置（具体的には、テスター）の駆動に基づいて、第１端子４１が備えられる半導体素子やフレキシブルプリント配線板を導通検査する。
【００８６】
そして、この異方導電性シート１では、第１導体部４は、略平板形状に形成され、その第２面３２が露出するので、第１導体部４の第２面３２の全面が、第２端子４２（図３Ｅ参照）と接触でき、第２面３２と、第２端子４２との十分な接触面積（接触機会）を確保できる。
【００８７】
また、第１導体部４の第１面３１の周端部１２と、第２導体部５の第６面３６とが、絶縁層２の楔部１３を挟み込むことができる。そうすると、絶縁層２の楔部１３が、異方導電部３に対する楔（くさび）として作用でき、その結果、異方導電部３の絶縁層２からの厚み方向における脱落を抑制することができる。
【００８８】
従って、この異方導電性シート１では、異方導電部３の絶縁層２からの脱落の抑制と、異方導電部３の優れた異方導電性とを両立することができる。
【００８９】
＜変形例＞
変形例において、一実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、変形例は、特記する以外、一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。さらに、一実施形態およびその変形例を適宜組み合わせることができる。
【００９０】
一実施形態では、貫通孔６および異方導電部３を、いずれも、平面視略円形状で説明しているが、その平面視形状は特に限定されず、例えば、図示しないが、平面視略矩形状であってもよい。
【００９１】
また、一実施形態では、異方導電性シート１は、貫通孔６および異方導電部３のそれぞれを、複数備えるが、例えば、単数であってもよい。
【００９２】
また、図４に示すように、異方導電性シート１が第３導体部３７をさらに備えることができる。第３導体部３７は、第１導体部４の第２面３２に積層されている。そのため、第３導体部３７、第１導体部４および第２導体部５が、厚み方向一方側に向かって順に配置されている。
【００９３】
第３導体部３７は、面方向に延びる略平板形状を有しており、第１導体部４の第２面３２と、第１導体部４の周囲（外側近傍）に位置する絶縁層２の絶縁第２面２２とに接触している。第３導体部３７は、底面視において、第１導体部４を包含しており、第１導体部４よりやや大きい寸法（面方向長さ）を有する。つまり、第３導体部３７は、底面視において、貫通孔６を包含する寸法を有する。
【００９４】
第３導体部３７を形成する方法としては、例えば、めっき、塗布などが挙げられ、好ましくは、めっきが挙げられる。めっきでは、第３導体部３７を第２導体部４と同時に形成する。
【００９５】
一実施形態では、第２周側面８が、縦面１０を含むが、例えば、図５に示すように、縦面１０を含まず、テーパ面９のみを含むこともできる。
【００９６】
図５に示すように、この変形例では、第２周側面８は、テーパ面９からなる。つまり、第２周側面８の全部が、テーパ面９である。
【００９７】
また、一実施形態では、この異方導電性シート１では、第１導体部４の第２面３２は、絶縁層２の絶縁第２面２２と面一であったが、図６に示すように、絶縁層２の絶縁第２面２２より、厚み方向他方側に位置してもよい。
【００９８】
この変形例では、図６に示すように、第１導体部４は、その厚み方向他方側部分が、面方向に投影したときに、絶縁層２の絶縁第２面２２から厚み方向他方側に突出している。具体的には、第１導体部４の第３面３３は、その厚み方向一方側部分が絶縁層２に被覆される一方、その厚み方向他方側部分が絶縁層２から露出する。
【００９９】
なお、図６に示す変形例より、図２に示す一実施形態および図５に示す変形例が、好適である。図２に示す一実施形態および図５に示す変形例は、第２面３２が絶縁第２面２２と面一であるので、第２面３２が絶縁第２面２２より厚み方向一方側に突出する図６に示す変形例より、異方導電性シート１の厚み方向他方面の平滑化を図ることができる。
【０１００】
図７に示すように、第２周側面８が、縦面１０を含まず、テーパ面９からなり、かつ、第２面３２が絶縁第２面２２より厚み方向一方側に突出することもできる。
【０１０１】
図５の変形例では、第２導体部５は、テーパ面９の厚み方向他方側部分のみに接触しているが、例えば、図８に示すように、テーパ面９の全面に接触することもできる。
【０１０２】
図８に示すように、この第２導体部５は、第１導体部４の第１面３１の内側部１１と、テーパ面９とに追従する形状を有する。具体的には、第２導体部５は、断面視において、厚み方向一方側に向かって開放される略Ｕ字形状を有する。
【０１０３】
第５面３５は、第１導体部４の第１面３１の内側部１１と、テーパ面９とに接触する。第４面３４は、第５面３５に平行する形状を有する。第６面３６は、面方向外側に露出する。
【０１０４】
また、図９に示すように、第２導体部５は、テーパ面９に加え、縦面１０に接触することもできる。
【０１０５】
テーパ面９の厚み方向長さＬ２に対する第２導体部５の厚みＴの比（Ｔ／Ｌ２）は、例えば、１超過であり、また、例えば、２以下である。
【０１０６】
また、図５〜図９のそれぞれの変形例において、仮想線で示すように、異方導電性シート１が、第３導体部３７をさらに備えることができる。
【０１０７】
また、一実施形態では、第１導体部４は、平面視において、第２導体部５より大きいが、例えば、図示しないが、同一寸法またはそれより小さい寸法を有することができる。例えば、図示しないが、第１導体部４の第３面３３は、厚み方向に投影したときに、第６面３６（の面方向中間部または周端部）と重複してもよい。なお、この変形例でも、絶縁層２は、楔部１３を有する。
【符号の説明】
【０１０８】
１     異方導電性シート
２     絶縁層
３     異方導電部
４     第１導体部
５     第２導体部
６     貫通孔
８     第２周側面
９     テーパ面
１１   内側部
１２   周端部
１３   楔部
２２   絶縁第２面
３１   第１面（第１導体部）
３２   第２面（第１導体部）
３４   第４面（第２導体部）
６０   第１開口部
７０   第２開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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