(57)【要約】【課題】ウェハの破損を抑制可能なクランプリングを提供する。【解決手段】ウェハ２の主面に成膜する際に、前記主面の縁部全周に所定厚みで環状に形成されたリブ部２ａを、前記主面側から押さえてウェハ２を固定するクランプリングであって、ウェハ２の主面側に配置される環状の本体部１ａと、本体部１ａのリブ部２ａ側の面からリブ部２ａに向かって突出するように形成される環状の押さえ部１ｂと、を備え、押さえ部１ｂは、リブ部２ａの本体部１ａ側の面において外側縁部以外の部分に接触してリブ部２ａを押さえる、クランプリング。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハの主面に成膜する際に、前記主面の縁部全周に所定厚みで環状に形成されたリブ部を、前記主面側から押さえて前記ウェハを固定するクランプリングであって、
前記ウェハの主面側に配置される環状の本体部と、
前記本体部の前記リブ部側の面から前記リブ部に向かって突出するように形成される環状の押さえ部と、を備え、
前記押さえ部は、前記リブ部の前記本体部側の面において外側縁部以外の部分に接触して前記リブ部を押さえる、
クランプリング。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クランプリングに関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェハの主面に成膜する際に、ウェハを主面側から押さえて固定するクランプリングが知られている。
例えば特許文献１には、ウェハの主面の全周に当接する当接部を備えるクランプリングが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１３５１２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
発明者らは、クランプリングに関し、下記の課題を見出した。
主面の縁部全周に所定厚みでリブ部を環状に形成されたウェハが知られている。特許文献１に開示された技術を、リブ部が形成されたウェハを固定する際に適用すると、リブ部上面の外側縁部に当接部が接触する。しかしながら、リブ部上面の外側縁部は、成膜時に酸化膜等が付着するため、強度が低い。そのため、リブ部上面の外側縁部に当接部が接触すると、リブ部が破損する虞がある。
【０００５】
本発明は、このような課題に鑑みなされたものであり、ウェハの破損を抑制可能なクランプリングを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための一態様は、ウェハの主面に成膜する際に、前記主面の縁部全周に所定厚みで環状に形成されたリブ部を、前記主面側から押さえて前記ウェハを固定するクランプリングであって、前記ウェハの主面側に配置される環状の本体部と、前記本体部の前記リブ部側の面から前記リブ部に向かって突出するように形成される環状の押さえ部と、を備え、前記押さえ部は、前記リブ部の前記本体部側の面において外側縁部以外の部分に接触して前記リブ部を押さえる。
【０００７】
本発明に係るクランプリングは、ウェハの主面側に配置される環状の本体部と、本体部のリブ部側の面からリブ部に向かって突出するように形成される環状の押さえ部と、を備え、押さえ部は、リブ部の本体部側の面において外側縁部以外の部分に接触してリブ部を押さえる。したがって、本発明に係るクランプリングは、成膜時に発生するリブ部の破損を抑制することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ウェハの破損を抑制可能なクランプリングを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施の形態に係るクランプリングの正面図である。
【図２】成膜装置の模式断面図である。
【図３】本実施の形態に係るクランプリングの一部拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。ただし、本発明が以下の実施の形態に限定される訳ではない。また、説明を明確にするため、以下の記載及び図面は、適宜、簡略化されている。
【００１１】
まず、図１を参照して、本実施の形態に係るクランプリングの構成について説明する。図１は、本実施の形態に係るクランプリングの正面図である。図１に示すように、クランプリング１は、本体部１ａ、及び押さえ部１ｂを備える。クランプリング１は、環状の部材である。
【００１２】
詳細は後述するが、クランプリング１は、成膜時に、図２に示すウェハ２の主面側に配置される。クランプリング１のウェハ２側の面を、下面とする。本体部１ａ及び押さえ部１ｂは、図１に示すように、それぞれ環状の構造体である。クランプリング１の下面には、押さえ部１ｂが形成されている。本体部１ａの内径は、押さえ部１ｂの内径よりも小さい。本体部１ａの外径は、押さえ部１ｂの外径よりも大きい。
【００１３】
次に、図２を参照して、本実施の形態に係るクランプリングを備える成膜装置の構成について説明する。図２に示すように、成膜装置１０は、クランプリング１、ステージ３、ターゲット４、固定部材５、及び磁石６を備える。なお、図２には、成膜装置１０に加えて、ウェハ２を図示している。図２に示す実線矢印は、ターゲット４から放出される粒子の進行方向を示す。図２に示す点線矢印は、冷却ガスの流れ方向を示す。
【００１４】
ウェハ２は、図２に示すように、成膜装置１０内において、ターゲット４から放出される粒子が主面に付着して成膜される。ウェハ２の主面の縁には、リブ部２ａが形成されている。リブ部２ａは、ウェハ２主面の縁部全周に所定厚みで環状に形成される。リブ部２ａが形成されている部分におけるウェハ２の厚みは、リブ部２ａが形成されていない部分におけるウェハ２の厚みに比較して、厚い。したがって、ウェハ２は、リブ部２ａが形成されていないウェハに比較して、強度が高い。
【００１５】
ウェハ２は、図２に示すように、クランプリング１とステージ３とに挟まれて固定される。ウェハ２は、主面がクランプリング１側となるように配置される。ステージ３の上面には、空間３ａが形成されている。空間３ａは、円柱状の空間である。図２に示すように、ステージ３の上面は、ウェハ２下面の縁部全周に当接する。つまり、空間３ａの直径は、ウェハ２の直径よりも、小さい。
【００１６】
ウェハ２は、成膜時には、温度が上昇する。温度が上昇したウェハ２は、リブ部２ａがクランプリング１に近づくように、反り返る。そこで、成膜時には、ウェハ２を冷却ガスを用いて冷却する。ステージ３には、ガス導入部３ｂが形成されている。ガス導入部３ｂは、空間３ａに連通しており、冷却ガスを空間３ａに導入することができる。冷却ガスは、図２に示す点線矢印のように、空間３ａに導入されて、ウェハ２を冷却する。
【００１７】
図２に示すように、押さえ部１ｂは、本体部１ａの下面にリブ部２ａに向かって突出するように形成されている。クランプリング１は、主面側からウェハ２を固定している。具体的には、押さえ部１ｂが、ウェハ２に形成されたリブ部２ａに接触して固定している。押さえ部１ｂは、リブ部２ａ上面全周に接触することができる。したがって、リブ部２ａ全周がステージ３に向かって押されて固定される。つまり、ステージ３とウェハ２との間に間隙が生じにくい。そのため、空間３ａから冷却ガスが抜けることを抑制することができる。
【００１８】
空間３ａから冷却ガスが抜けることを抑制しているため、空間３ａに冷却ガスを充填し、充填された冷却ガスの圧力によってウェハ２を下面から押すことができる。クランプリング１を用いてリブ部２ａを押さえつつ冷却ガスによって下面から押すことによって、ウェハ２の反りを抑制することができる。
【００１９】
ステージ３に空間３ａが形成されているため、ウェハ２下面の縁部以外の部分は、ステージ３に接触しない。したがって、ウェハ２とステージ３との密着が抑制される。そのため、成膜後にウェハ２を取り出す際に、ウェハ２が破損する虞が少ない。
【００２０】
ターゲット４は、金属材料である。ターゲット４は、クランプリング１の上方に配置される。ターゲット４は、固定部材５を用いて所定位置に固定されている。ターゲット４及びウェハ２は、図示しない電圧発生器に接続されている。電圧発生器は、ターゲット４とウェハ２との間に電圧をかけ、アーク放電を起こす。
【００２１】
成膜装置１０内には、アルゴンガスが充満している。アルゴンガスは、ターゲット４とウェハ２との間において起こるアーク放電によって、イオン化し、プラズマとなる。発生したプラズマは、ターゲット４に衝突する。ターゲット４は、プラズマが衝突すると、粒子を放出する。放出された粒子は、図２に示す実線矢印のように、ウェハ２の主面に付着して膜を形成する。
【００２２】
固定部材５の上には、磁石６が配置されている。磁石６によって発生する磁力線は、アーク放電によって発生するプラズマをターゲット４付近に保持する。したがって、ターゲット４に効率良くプラズマを衝突させることができる。
【００２３】
次に、図３を参照して、本実施の形態に係るクランプリングの構造をより詳細に説明ずる。図３は、本実施の形態に係るクランプリングの一部拡大断面図である。図３には、クランプリング１に加えて、リブ部２ａ、及びステージ３を図示している。図３に示すように、押さえ部１ｂの外径は、リブ部２ａの外径よりも、小さい。したがって、押さえ部１ｂは、リブ部２ａの外側縁部に接触せずに、リブ部２ａを押さえることができる。
【００２４】
図３に示すように、押さえ部１ｂの内径は、クランプリング１の内径よりも大きい。したがって、押さえ部１ｂの近傍では、ターゲット４から放出された粒子の付着が抑制される。そのため、押さえ部１ｂとリブ部２ａとの癒着の発生が抑制される。つまり、成膜されたウェハ２を取り出す際に発生するリブ部２ａの破損が抑制される。
【００２５】
リブ部２ａ上面の外側縁部は、成膜時に酸化膜等が付着するため、強度が低い。そのため、リブ部２ａ上面の外側縁部は、押さえ部１ｂ等の構造体が接触すると、破損しやすい。成膜装置１０を用いてウェハ２主面に成膜すると、押さえ部１ｂがリブ部２ａの外側縁部に接触しない。そのため、リブ部２ａの外側縁部の破損が抑制される。
【００２６】
以上で説明した本実施の形態に係る発明により、ウェハの破損を抑制可能なクランプリングを提供することができる。
【００２７】
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
【符号の説明】
【００２８】
１  クランプリング
１ａ  本体部
１ｂ  押さえ部
２  ウェハ
２ａ  リブ部
３  ステージ
３ａ  空間
３ｂ  ガス導入部
４  ターゲット
５  固定部材
６  磁石
１０  成膜装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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