(57)【要約】      （修正有）【課題】加工装置に近づくことなく、加工装置の状態を把握する。【解決手段】通信システム１において、通信端末５の端末制御部５５が、加工装置３の状態に関するイラスト質問に関する質問データを加工装置３に送信する。加工装置３は、装置制御部１４が、その質問に応じた回答を通信端末５に送信する。そして、通信端末５は、端末制御部５５が、受信した回答をタッチパネル５３に表示する。【効果】したがって、オペレータは、通信端末５を用いることにより、加工装置３から離れたところにいても、加工装置３の状態を把握することができる。これにより、オペレータは、加工装置３の状態を把握するために、作業を中断して加工装置３に近づく必要がない。このため、オペレータは、作業を継続することおよび加工装置３の状態に応じて、次の加工のための準備を実施することができる。その結果、生産性を高めることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を加工する加工装置と、該加工装置と通信することにより該加工装置の状態を把握する通信端末とを備え、該加工装置と該通信端末とで通信する通信システムであって、
該通信端末に備えられ、予め設定されているイラスト表示可能なイラスト質問群から選択されたイラスト質問を、通信可能な質問データに変換し、該質問データを該加工装置に送信し、該加工装置からの回答を表示画面に表示させる端末制御部と、
該加工装置に備えられ、該イラスト質問群における個々のイラスト質問に対する回答を得るための回答リストに基づいて、該通信端末からの該質問データに対する回答を取得して、該通信端末に送信する装置制御部と、
を備える通信システム。
【請求項２】
該加工装置から該通信端末に送信される回答は、画像データを含む、
請求項１記載の通信システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、通信システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示のように、加工装置にトラブルが発生したことを作業者に通知する発明がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２２４１２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、トラブル以外の加工装置の稼働状況については、オペレータは、加工装置の近くに行って、加工装置の本体あるいは加工装置のシグナルタワーの表示を目視することによって把握している。
【０００５】
つまり、オペレータは、加工装置の近くに行かなければ、その稼働状況を把握することが困難である。そのため、オペレータは、加工装置から離れたところで作業をしている場合には、稼働状況を把握する際に作業を中断している。また、複数の加工装置の稼働状況を把握する場合には、オペレータは、加工装置のそれぞれに、個別に足を運んでいる。
【０００６】
また、加工装置の加工を一時停止して、加工結果をチェックしたいときにも、加工装置の近くに行かなければ加工結果を確認しにくいため、オペレータは、自身の作業を中断することになる。
【０００７】
本発明の目的は、加工装置の近くに行かなくても、加工装置の状態や被加工物の加工結果を把握することを可能とすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の通信システム（本通信システム）は、被加工物を加工する加工装置と、該加工装置と通信することにより該加工装置の状態を把握する通信端末とを備え、該加工装置と該通信端末とで通信する通信システムであって、該通信端末に備えられ、予め設定されているイラスト表示可能なイラスト質問群から選択されたイラスト質問を、通信可能な質問データに変換し、該質問データを該加工装置に送信し、該加工装置からの回答を表示画面に表示させる端末制御部と、該加工装置に備えられ、該イラスト質問群における個々のイラスト質問に対する回答を得るための回答リストに基づいて、該通信端末からの該質問データに対する回答を取得して、該通信端末に送信する装置制御部と、を備える。
【０００９】
また、本通信システムでは、該加工装置から該通信端末に送信される回答は、画像データを含んでもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本通信システムでは、通信端末を用いて、加工装置の状態（稼働しているか否か、エラーで停止しているか否か、加工具の交換が必要か否か、稼働状況あるいは加工結果など）に関するイラスト質問を、加工装置に送ること、および、そのイラスト質問に応じた回答を加工装置から受信して、その結果を表示することができる。
【００１１】
したがって、本通信システムでは、加工装置のオペレータは、通信端末を用いることにより、加工装置から離れたところにいても、加工装置の状態を把握することができる。これにより、オペレータは、加工装置の状態を把握するために、作業を中断して加工装置に近づく必要がない。このため、オペレータは、作業を継続すること、および、加工装置の状態に応じて、次の加工のための準備を実施することができる。その結果、生産性を高めることができる。
【００１２】
また、本通信システムに複数の加工装置が含まれている場合、オペレータは、各加工装置の状態を、各加工装置のそれぞれに足を運ぶことなく、把握することができる。これにより、加工装置の状態把握に関する効率を、大幅に高めることができる。
【００１３】
また、本通信システムでは、イラストを含むイラスト質問からなるイラスト質問群を表示し、オペレータが、所望のイラスト質問を選択することにより、加工装置に質問データを送信することが可能である。これにより、オペレータは、加工装置に送信すべき質問を、視覚的に容易に判別することができるので、送信ミスを抑制することができる。また、質問を文字入力する場合に比して、質問の送信に関する効率を高めることができる。
【００１４】
また、たとえば、イラスト質問を用いているため、通信端末と加工装置との間での対話の内容を他の通信端末に表示することにより、他の通信端末を介しても、対話の内容を容易に把握することができる。
【００１５】
また、加工装置の装置制御部は、たとえば回答に関連する画像データを回答に含めて、通信端末に送信してもよい。これにより、オペレータは、加工装置の状態を、画像を用いて、視覚的に明瞭に把握することが可能となる。
【００１６】
さらに、カーフチェックエラーなどのように、画像を見ないと良否判断が困難となるようなエラーもある。本通信システムでは、オペレータは、加工装置から離れたところにいても、このようなエラーに関する画像を見て、たとえば加工を続行するか停止するかを判断することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本実施形態にかかる通信システムに関する加工装置および通信端末を示す説明図である。
【図２】通信端末の通信に関連する部材を示すブロック図である。
【図３】複数のイラスト質問を含むイラスト質問群を示す説明図である。
【図４】イラスト質問の内容を示す説明図である。
【図５】加工装置の通信に関連する部材を示すブロック図である。
【図６】装置制御部のメモリに格納されている回答リストの例を示す説明図である。
【図７】通信端末のタッチパネルにおける表示例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１に示すように、本実施形態にかかる通信システム１は、被加工物であるウェーハＷを加工する加工装置３、および、加工装置３と通信することにより加工装置３の状態を把握する通信端末５を備えている。通信システム１では、加工装置３と通信端末５との間の通信が実現される。
なお、図１には１台の加工装置３が示されているけれども、通信システム１は、複数台の加工装置３を含むことが可能であり、この場合、通信端末５は、複数の加工装置３と通信する。
【００１９】
加工対象となるウェーハＷは、概略円形状を有し、表面に格子状の分割予定ラインＬが形成されている。分割予定ラインＬによって区画された各領域には、各種デバイス（図示せず）が形成されている。
【００２０】
ウェーハＷの裏面には、ダイシングテープＴが貼着されている。ダイシングテープＴの外周には、リングフレームＦが貼着されている。このように、ウェーハＷは、ダイシングテープＴを介してリングフレームＦに支持されたワークセットＷ１の状態で、加工装置３において加工される。また、ワークセットＷ１は、図示しないカセットに収容されて、加工装置３に搬入される。
【００２１】
以下に、加工装置３および通信端末５の構成について説明する。
【００２２】
加工装置３は、支持台１０、支持台１０に立設された直方体状の筐体１２、筐体１２に内蔵され、加工装置３の各部材を制御する装置制御部１４、および、筐体１２の前面に備えられたアンテナ１５を有している。アンテナ１５は、加工装置３と通信端末５などの外部装置との通信に使用される。
また、アンテナ１５は、加工装置３に備えなくても良く、加工装置３と有線接続された通信機器（ルータ）１９に配設されていても良い。また、通信機器１９を複数配置してもよい。
【００２３】
支持台１０の一端側には、複数のワークセットＷ１を保持するカセット（図示せず）が載置されるカセットステージ１６が設けられている。
【００２４】
カセットステージ１６と保持テーブル２０との間には、ワークセットＷ１を搬送するプッシュプル手段１７が設けられている。また、保持テーブル２０の筐体１２側には、ワークセットＷ１を仮置きする仮置き手段１８が設けられている。プッシュプル手段１７は、カセットステージ１６上のカセットから仮置き手段１８に、加工前のワークセットＷ１を搬送および載置する。仮置き手段１８は、ワークセットＷ１のＸ軸方向の位置決めを実施する。
【００２５】
仮置き手段１８上のワークセットＷ１は、図示しない搬送手段によって、保持テーブル２０に搬送および載置される。
保持テーブル２０は、移動板２１上に固定されている。移動板２１は、蛇腹状の防水カバーＣとともに、支持台１０の上面中央の開口を覆っている。移動板２１および防水カバーＣの下方には、移動板２１および保持テーブル２０をＸ軸方向に移動させる、たとえばボールねじ式の切削送り機構（図示せず）が設けられている。
【００２６】
保持テーブル２０は、ポーラスセラミック材からなる保持面を有している。この保持面に生じる負圧によって、ワークセットＷ１のウェーハＷが吸引保持される。保持テーブル２０の周囲には、４つのクランプ２２が設けられている。各クランプ２２によって、ワークセットＷ１のリングフレームＦが、四方から挟持固定される。
【００２７】
保持テーブル２０の上方における筐体１２の前面には、保持テーブル２０に保持されているワークセットＷ１のウェーハＷを切削加工する切削機構３０が備えられている。切削機構３０は、互いに同様の構造を有する第１切削装置３１および第２切削装置３３、ならびに、第１切削装置３１および第２切削装置３３をＹ軸方向に沿って移動させるためのＹ軸方向移動手段３５を備えている。
【００２８】
第１切削装置３１および第２切削装置３３は、それぞれの下端に、切削ブレードを有する切削部３７を備えており、切削部３７をＺ軸方向に沿って移動させることが可能である。
【００２９】
このような構成を有する切削機構３０では、第１切削装置３１、第２切削装置３３およびＹ軸方向移動手段３５によって、切削部３７のＹＺ面内での位置が調整される。そして、切削部３７の切削ブレードによって、Ｘ軸方向に切削送りされる保持テーブル２０に保持されたワークセットＷ１におけるウェーハＷが、分割予定ラインＬに沿って切削加工される。
【００３０】
切削加工後、ワークセットＷ１は、図示しない搬送手段によって、保持テーブル２０から、保持テーブル２０の奥側の洗浄手段２４に送られる。洗浄手段２４は、高速回転されたワークセットＷ１に向けて洗浄水を噴射してワークセットＷ１を洗浄した後、乾燥エアを噴射してワークセットＷ１を乾燥させる。
【００３１】
また、筐体１２の側面には、タッチパネル４０が設置されている。タッチパネル４０には、加工装置３に関する加工条件等の各種情報が表示される。また、タッチパネル４０は、加工条件等の各種情報を設定するためにも用いられる。このように、タッチパネル４０は、情報を入力するための入力手段として機能するとともに、入力された情報を表示するための表示手段としても機能する。
【００３２】
装置制御部１４は、各種の処理を実行し、加工装置３の各構成要素を統括制御する。たとえば、装置制御部１４には、各種検出器（図示せず）からの検出結果が入力される。また、装置制御部１４は、切削送り機構、第１切削装置３１、第２切削装置３３およびＹ軸方向移動手段３５を制御して、ワークセットＷ１のウェーハＷに対する切削部３７による切削加工を実施する。
また、装置制御部１４は、通信端末５と通信するための通信制御部としても機能する。
【００３３】
通信端末５は、たとえばスマートフォンあるいはタブレットなどの携帯可能な端末装置であり、加工装置３のオペレータに携帯される。図１に示すように、通信端末５は、筐体５１、タッチパネル５３、および、筐体５１に内蔵され、通信端末５の各部材を制御する端末制御部５５を備えている。
【００３４】
通信端末５のタッチパネル５３は、加工装置３のタッチパネル４０と同様に、オペレータに情報を表示する表示手段として、および、オペレータによる情報の入力のための入力手段として機能する。
端末制御部５５は、各種の処理を実行し、通信端末５の各構成要素を統括制御する。
【００３５】
次に、加工装置３と通信端末５との間の通信のための構成およびその動作について説明する。
図２に示すように、通信端末５の端末制御部５５は、それぞれタッチパネル５３に接続された、端末送信部６１、質問表示部６２および端末受信部６３を備えている。端末制御部５５は、さらに、端末送信部６１に接続されたデータ変換部６５を有している。
【００３６】
質問表示部６２は、予め設定されているイラスト表示可能なイラスト質問群を記憶している。イラスト質問群は、通信システム１において予め設定されている複数のイラスト質問を含んでいる。質問表示部６２は、イラスト質問群の一部あるいは全部を、タッチパネル５３に表示する。
【００３７】
図３に、タッチパネル５３に表示されるイラスト質問群の例として、５つのイラスト質問を含むイラスト質問群を示す。また、図４に、各イラスト質問の内容を示す。
図３に示すように、イラスト質問は、スタンプなどのイラストを含む質問であり、タッチパネル５３に表示される。オペレータは、タッチパネル５３を用いて、加工装置３に送信したいイラスト質問を選択することができる。
【００３８】
タッチパネル５３を介してイラスト質問がオペレータに選択されると、図２に示す端末送信部６１は、選択されたイラスト質問をデータ変換部６５に伝達する。データ変換部６５は、伝達されたイラスト質問を、通信可能な質問データに変換して、端末送信部６１に伝達する。そして、端末送信部６１は、この質問データを、通信端末５の筐体５１に内蔵されたアンテナ５７を介して、加工装置３に送信する。
なお、通信システム１が複数の加工装置３を含んでいる場合、端末送信部６１は、全てのあるいは一部の加工装置３に、質問データを送信する。
【００３９】
端末受信部６３は、加工装置３から送信された、イラスト質問に対する回答を示す回答データを、アンテナ５７を介して受信する。そして、端末受信部６３は、回答をタッチパネル５３に表示する。
【００４０】
また、図５に示すように、加工装置３の装置制御部１４は、それぞれタッチパネル４０に接続された装置受信部４１およびメモリ４３、ならびに装置送信部４６を備えている。さらに、装置制御部１４は、装置受信部４１およびメモリ４３に接続された選出部４２、ならびに、選出部４２および装置送信部４６に接続されたデータ変換部４５を備えている。
【００４１】
装置受信部４１は、通信端末５から送信された質問データを、アンテナ１５を介して受信する。さらに、装置受信部４１は、質問データを処理することによって、イラスト質問の内容を抽出する。選出部４２は、抽出されたイラスト質問の内容に応じた回答を取得する。
【００４２】
すなわち、メモリ４３には、たとえば図６に示すような、イラスト質問とその回答項目とが対となって記載されている回答リスト４４が格納されている。選出部４２は、この回答リスト４４に基づいて、抽出されたイラスト質問の内容に応じた回答項目を選出する。
なお、回答リストは、たとえば、オペレータによって予め入力される設定および指示等に基づいて、装置制御部１４によって作成される。
【００４３】
ここで、回答リスト４４における回答項目の内容は、具体的な回答を得るための指針（何を回答とすべきかを示す事項）であってもよいし、具体的な回答自体であってもよい。前者の場合、選出部４２は、選出した回答項目に基づいて、メモリ４３等に予め記録されている加工装置３の仕様データ、あるいは、加工装置３の稼働状況等を確認し、具体的な回答を取得する。
なお、図６では、回答リスト４４における回答項目の右側に、各回答項目に関する具体的な回答例を示している。
【００４４】
また、図５に示すように、メモリ４３には、画像リスト４７も格納されている。画像リスト４７は、複数の画像データを含んでいる。画像データは、たとえば、加工装置３に所定の事象が発生したとき、あるいは、通信端末５からの質問データを受信したときに、装置制御部１４によって適宜作成される。
【００４５】
選出部４２は、取得した回答に関連する画像データが画像リスト４７に存在する場合、その画像データを回答に含めることができる。図６に示すように、「エラー状況」に関する回答例は、関連画像として、カーフに関するオフセンターエラーが生じていることを示す画像Ｇ１を含んでいる。
【００４６】
データ変換部４５は、選出部４２に取得された回答を変換して、通信可能な回答データを作成する。装置送信部４６は、データ変換部４５によって作成された回答データを、アンテナ１５を介して通信端末５に送信する。
【００４７】
ここで、通信端末５から送信されるイラスト質問は、図４および図６に示すように、主に、加工装置３の状態としての、加工装置３の仕様あるいは稼働状況を問うものである。そして、回答は、イラスト質問に対応する加工装置３の状態を示すものである。
【００４８】
これらのイラスト質問およびその回答は、上記のように、通信端末５のタッチパネル５３にタイムライン表示される。その表示例を図７に示す。
【００４９】
オペレータは、タッチパネル５３に表示されているイラスト質問群（図３参照）における特定のイラスト質問に触れることにより、イラスト質問を選択すること、すなわち、イラスト質問を加工装置３に送信することができる。
【００５０】
また、図７に示す例では、２台の加工装置３（DICER-1, DICER-2）と通信端末５とが通信しており、イラスト質問と回答とが、タイムライン表示されている。この例では、オペレータは、まず、「ブレードの型式」に関するイラスト質問を選択している。このイラスト質問は、各加工装置３に装着されている切削部３７の切削ブレードの型式を問うものである。これに応じて、２台の加工装置３は、それぞれ、”２７ＨＥＦＦ”および”２７ＨＥＧＧ”という切削ブレードの型式名を回答しており、それがタッチパネル５３に表示されている。
【００５１】
また、オペレータは、「エラー状況」に関するイラスト質問を選択している。このイラスト質問は、加工装置３においてエラーが発生しているか否かを問うものである。
【００５２】
これに応じて、１台の加工装置３（DICER-1）は、エラーが発生していないので、その回答は非表示となっている。
一方、もう１台の加工装置３（DICER-2）は、K0039  カーフチェック：オフセットエラーが発生しており、そのエラーを発生させたカーフの画像Ｇ２を、関連画像として回答している。
【００５３】
以上のように、通信システム１では、通信端末５の端末制御部５５が、加工装置３の状態（稼働しているか否か、エラーで停止しているか否か、加工具の交換が必要か否か、稼働状況あるいは加工結果など）に関するイラスト質問を、加工装置３に送信している。そして、加工装置３では、装置制御部１４が、そのイラスト質問に応じた回答を通信端末５に送信している。さらに、通信端末５では、端末制御部５５が、受信した回答を、表示画面であるタッチパネル５３に表示している。
【００５４】
このように、通信システム１では、加工装置３のオペレータは、通信端末５を用いることにより、加工装置３から離れたところにいても、加工装置３の状態を把握することができる。これにより、オペレータは、加工装置３の状態を把握するために、作業を中断して加工装置３に近づく必要がない。このため、オペレータは、作業を継続すること、および、加工装置３の状態に応じて、次の加工のための準備を実施することができる。その結果、生産性を高めることができる。
【００５５】
また、通信システム１に複数の加工装置３が含まれている場合、オペレータは、各加工装置３の状態を、各加工装置３のそれぞれに足を運ぶことなく、把握することができる。これにより、加工装置３の状態把握に関する効率を、大幅に高めることができる。
【００５６】
また、通信システム１では、通信端末５の端末制御部５５が、イラストを含むイラスト質問からなるイラスト質問群をタッチパネル５３に表示し、オペレータが、所望のイラスト質問を選択することにより、加工装置３に質問データを送信することが可能である。これにより、オペレータは、加工装置３に送信すべき質問を、視覚的に容易に判別することができるので、送信ミスを抑制することができる。また、質問を文字入力する場合に比して、質問の送信に関する効率を高めることができる。
【００５７】
また、たとえば、イラスト質問を用いているため、通信端末５と加工装置３との間での対話の内容を他の通信端末に表示することにより、他の通信端末を介しても、対話の内容を容易に把握することができる。
【００５８】
また、加工装置３の装置制御部１４は、回答に関連する画像データが画像リスト４７に存在する場合、その画像データを回答に含めて、通信端末５に送信することができる。これにより、通信端末５を用いるオペレータは、加工装置３の状態を、タッチパネル５３に表示される画像を用いて、視覚的に明瞭に把握することが可能となる。
【００５９】
さらに、カーフチェックエラーなどのように、画像を見ないと良否判断が困難となるようなエラーもある。通信システム１では、オペレータは、加工装置３から離れたところにいても、このようなエラーに関する画像を見て、加工を続行するか停止するかを判断することができる。
なお、選出部４２は、回答に関連する画像データの有無に関わらず、回答に画像データを含めなくてもよい。
【００６０】
また、端末制御部５５では、装置受信部４１が、加工装置３における所定の動作の停止を示す回答（停止回答）を受信した場合、質問表示部６２が、停止された動作を再実施（リトライ）させるリトライ信号を送信するためのリトライボタンを、タッチパネル５３に表示してもよい。そして、オペレータによってリトライボタンがタッチされた場合に、端末受信部６３が、停止回答を送信した加工装置３に対して、リトライ信号を送信してもよい。
【００６１】
この場合、リトライ信号の送信対象となる所定の動作（リトライ可能な動作）は、予め定められており、質問表示部６２に記憶されている。質問表示部６２は、受信した停止回答に関する動作が再実施可能な動作である場合に限り、タッチパネル５３にリトライボタンを表示する。
【００６２】
再実施可能な動作は、主に、軽微なトラブルにより停止された動作であり、たとえば、ワークセットＷ１の搬送ミスにより停止された、ワークセットＷ１の搬送動作である。また、再実施すべきでない動作としては、たとえば、切削ブレードの破損によって停止された切削動作を挙げられる。
【００６３】
この構成では、軽微なトラブルにより停止された再実施可能な動作を、加工装置３に再実施させることができる。これにより、加工装置３による加工を継続できるので、生産性をさらに高めることができる。
【００６４】
また、本実施形態では、通信端末５は、オペレータによって携帯可能な端末装置である。これに代えて、通信端末５は、デスクトップ型のコンピュータなどの、オペレータの作業場所に据え置かれた端末装置であってもよい。
【００６５】
また、本実施形態では、加工装置３の装置制御部１４と通信端末５の端末制御部５５とが、アンテナ１５およびアンテナ５７を介した無線通信を実施している。これに代えて、加工装置３の装置制御部１４と通信端末５の端末制御部５５とが、有線通信を実施してもよい。
【００６６】
また、加工装置３と通信端末５とは、無線あるいは有線によって直接的に通信してもよいし、インターネットあるいはイントラネットなどのネットワークを介して通信してもよい。この場合、オペレータは、加工装置３の設置場所とは別の施設などの遠隔地にいる場合でも、加工装置３および通信端末５をネットワークに接続することにより、加工装置３の状態を把握することができる。
【００６７】
また、本実施形態では、被加工物を加工する加工装置として、ウェーハＷを切削加工する加工装置３を例示している。これに代えて、本実施形態の通信システム１が適用される加工装置は、たとえば、被加工物を研削加工する研削装置、被加工物をレーザー光によって加工するレーザー加工装置、被加工物をバイト切削するバイト切削装置、被加工物を洗浄および乾燥する洗浄装置、被加工物をチップに分割するためのエキスパンド装置、あるいは、被加工物にテープを取り付けるテープマウンタであってもよい。
【符号の説明】
【００６８】
１：通信システム、
３：加工装置、１５：アンテナ、４０：タッチパネル、３７：切削部、
１４：装置制御部、４１：装置受信部、４２：選出部、
４３：メモリ、４４：回答リスト、４７：画像リスト、
４５：データ変換部、４６：装置送信部、
５：通信端末、５３：タッチパネル、５７：アンテナ、
５５：端末制御部、６１：端末送信部、６２：質問表示部、
６３：端末受信部、６５：データ変換部
【図１】
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【図２】
2020188400.tif 000004
【図３】
2020188400.tif 000005
【図４】
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【図５】
2020188400.tif 000007
【図６】
2020188400.tif 000008
【図７】
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