(57)【要約】【課題】低温焼成が可能であるとともに、高周波領域でのコアロス特性に優れた磁性材料を提供する。【解決手段】Ｆｅ２Ｏ３換算でｘｍｏｌ％のＦｅ、ＺｎＯ換算でｙｍｏｌ％のＺｎ、ＣｕＯ換算でｚｍｏｌ％のＣｕ、およびＮｉＯ換算で（１００−ｘ−ｙ−ｚ）ｍｏｌ％のＮｉを含む主成分に、副成分として、前記主成分に対してａｗｔ％のＣｏＯ、ｂｗｔ％のＢｉ２Ｏ３、ｃｗｔ％のＳｉＯ２、ｄｗｔ％のＡｌ２Ｏ３、およびｅｗｔ％のＰｒ６Ｏ１１が添加されてなり、４０≦ｘ≦４５、０≦ｙ≦１０、５≦ｚ≦１５、０＜ａ≦０．３、０＜ｂ≦１．０、０＜ｃ≦０．２、０＜ｄ＜０．４、０＜ｅ＜０．１である磁性材料としている。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｆｅ２Ｏ３換算でｘｍｏｌ％のＦｅ、ＺｎＯ換算でｙｍｏｌ％のＺｎ、ＣｕＯ換算でｚｍｏｌ％のＣｕ、およびＮｉＯ換算で（１００−ｘ−ｙ−ｚ）ｍｏｌ％のＮｉを含む主成分に、副成分として、前記主成分に対してａｗｔ％のＣｏＯ、ｂｗｔ％のＢｉ２Ｏ３、ｃｗｔ％のＳｉＯ２、ｄｗｔ％のＡｌ２Ｏ３、およびｅｗｔ％のＰｒ６Ｏ１１が添加されてなり、
４０≦ｘ≦４５、０≦ｙ≦１０、５≦ｚ≦１５、
０＜ａ≦０．３、０＜ｂ≦１．０、０＜ｃ≦０．２、０＜ｄ＜０．４、０＜ｅ＜０．１
であることを特徴とする磁性材料。
【請求項２】
請求項１に記載の磁性材料であって、０＜ｅ≦０．０５であることを特徴とする磁性材料。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の磁性材料からなる焼結体で形成される電気絶縁性の磁性層と、導電体からなる電極パターンが形成された電極層とが層状に積層されてなる積層チップ部品であって、
前記導電体は銀である
ことを特徴とする積層チップ部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁性材料、および積層チップ部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層インダクタなどの積層チップ部品には、電気絶縁性の磁性層と、電極パターンが形成された電極層とが層状に積層された構造を有するものがある。この種の積層チップ部品は、厚膜技術を用いて磁性層となるペースト状の磁性材料からなるシート上に電極層となる電極パターンが形成されたものを順次積層して得た積層体を焼成し、その焼成によって得られた焼結体の表面に外部電極用ペーストを形成することで製造される。
【０００３】
電極パターンを形成する導電体には、融点が９６２℃のＡｇ（銀）を用いるのが一般的である。そのため、磁性層には、以下の特許文献１に記載の磁性材料のように、低温での焼成が可能なＮｉ系フェライト（Ｎｉ−Ｚｎ系、Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系など）を主成分とした磁性材料が用いられる。なお、以下の特許文献２には、本発明に関連する技術として、高周波領域でもコアロス（損失）が少ない磁性材料について記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−６０３６１号公報
【特許文献２】特開平１０―２５６０２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
電子機器を構成する電子部品には、より高い周波数で動作することが求められている。したがって、積層インダクタなどの積層チップ部品の磁性層には、高周波領域でもコアロスが低い磁性材料を用いる必要がある。例えば、周知のスネーク（Ｓｎｏｅｋ）の限界を考慮しながら磁性材料の高周波領域でのコアロスを低減させるために、磁性材料中のＦｅ（鉄）の量を少なくして、透磁率μを小さくすることが考えられる。そして、上記特許文献２に記載の磁性材料では、高周波領域におけるコアロスを低くするためにＣｏＯが添加されている。
【０００６】
しかし、磁性材料は、ＣｏＯを添加すると焼結性が悪化し、積層チップ部品の導体パターンに使用されているＡｇの融点以下で焼成することが困難となる。そして、特許文献２に記載の磁性材料では１０００℃〜１１３０℃の温度で焼成することで焼結体にしている。
【０００７】
そこで本発明は、低温焼成が可能であるとともに、高周波領域でのコアロス特性に優れた磁性材料、およびその磁性材料を用いた積層チップ部品を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための本発明の一態様は、Ｆｅ２Ｏ３換算でｘｍｏｌ％のＦｅ、ＺｎＯ換算でｙｍｏｌ％のＺｎ、ＣｕＯ換算でｚｍｏｌ％のＣｕ、およびＮｉＯ換算で（１００−ｘ−ｙ−ｚ）ｍｏｌ％のＮｉを含む主成分に、副成分として、前記主成分に対してａｗｔ％のＣｏＯ、ｂｗｔ％のＢｉ２Ｏ３、ｃｗｔ％のＳｉＯ２、ｄｗｔ％のＡｌ２Ｏ３、およびｅｗｔ％のＰｒ６Ｏ１１が添加されてなり、
４０≦ｘ≦４５、０≦ｙ≦１０、５≦ｚ≦１５、
０＜ａ≦０．３、０＜ｂ≦１．０、０＜ｃ≦０．２、０＜ｄ＜０．４、０＜ｅ＜０．１
であることを特徴とする磁性材料としている。０＜ｅ≦０．０５である磁性材料とすればより好ましい。
【０００９】
本発明のその他の態様は、前記磁性材料からなる焼結体で形成される電気絶縁性の磁性層と、導電体からなる電極パターンが形成された電極層とが層状に積層されてなる積層チップ部品であって、前記導電体が銀であることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、低温焼成が可能であるとともに、高周波領域でのコアロス特性に優れた磁性材料、およびその磁性材料を用いた積層チップ部品が提供される。なお、その他の効果については以下の記載で明らかにする。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施例に係る磁性材料の特性を評価するためのサンプルの作製手順を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
＝＝＝本発明の実施例に想到する過程＝＝＝
磁性材料には、主成分となるフェライトに、副成分として、焼結性や特定の特性を向上させるための添加剤が添加されてなる。主成分として、Ｆｅ２Ｏ３、ＮｉＯ、ＣｕＯ、およびＺｎＯを含むＮｉ系フェライトでは、高周波領域でのコアロスを低減させるために、磁性材料中のＦｅの量をＦｅ２Ｏ３換算で４０〜４５ｍｏｌ％程度としている。それによって、磁性材料の透磁率μが小さくなり、鉄損が低減する。また、焼結性を向上させるＣｕＯは、銅損によるコアロスの劣化を抑制するために、５〜１５ｍｏｌ％程度としている。
【００１３】
なお、透磁率μは、磁性材料中のＺｎを少なくすることでも低減させることができる。しかし、透磁率μを過度に低下させれば、磁性材料が、本来の磁性体として機能しなくなるため、一般的には、磁性材料中にＺｎＯ換算で１０ｍｏｌ％以下のＺｎを含ませている。磁性材料中にＺｎを全く含ませない場合もある。なお、透磁率μは、１ＭＨｚでの比透磁率μ’でμ’≦１００であればよい。下限については、普通、μ’≒２０であれば問題はない。
【００１４】
いずれにしても、高周波領域での使用が想定される積層チップ部品の磁性層にＮｉ系フェライトを主成分とした磁性材料を用いる場合、その磁性材料には、高周波領域でのコアロスが小さいこと（高周波特性）と、１０００℃以下での焼結性（低温焼結性）が求められている。
【００１５】
高周波特性については、上述したように、主成分にＣｏＯを添加することで向上させることができる。しかし、ＣｏＯの添加量が多いと、磁性材料の焼結性が悪化する。そこで、Ｎｉ系フェライトにＣｏＯが添加されてなる磁性材料において、低温焼結性を得るために焼結助剤であるＢｉ２Ｏ３を添加することがある。しかし、Ｂｉ２Ｏ３を添加すると、磁性材料の結晶が大きくなり、渦電流損失が増大したり、非磁性材料の含有量が相対的に増大したりすることにより、高周波領域でのコアロスが大きくなる。
【００１６】
そこで、Ｂｉ２Ｏ３に起因する異常結晶成長の増加による渦電流損失や、高周波特性の悪化を抑制するために、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３を添加することが考えられる。ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏは、その一部が磁性体中でガラス化されて磁性材料の焼結性を改善させる。また、ガラスの絶縁性によって抵抗が大きくなり高周波特性が改善する。しかし、その一方で、ＳｉＯ２やＡｌ２Ｏ３は、透磁率μを低下させる原因となる。
【００１７】
このように、低温焼成が可能で、高周波領域でのコアロスが小さな磁性材料を得るという目的を達成するために、主成分の組成を鉄損や銅損を考慮して調整するとともに、その主成分にＣｏＯ、Ｂｉ２Ｏ３、さらにはＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３を添加したとしても、互いに特性を相殺させる要素が複雑に存在することになり、上記の目的を達成することが難しくなる。
【００１８】
そこで、全く新規な添加剤として、希土類を用いることを考えた。そして、特定の希土類に限って特性を特異的に改善できることを知見した。そして、本発明者は、このような知見に基づいて鋭意研究を重ねた結果、本発明の実施例に係る磁性材料を得ることができた。
＝＝＝実施例＝＝＝
本発明の実施例に係る磁性材料は、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｚｎを所定の割合（ｍｏｌ％）で含むとともに残部がＮｉとなるＮｉ系フェライトを主成分としつつ、副成分として、Ｃｏ、Ｂｉ、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３が含まれているともに、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３を添加することによるμの低下を補完するためにＰｒ６Ｏ１１が適量添加されている。それによって、実施例に係る磁性材料は、低温での焼成が可能で、かつ高周波領域におけるコアロス特性の劣化が抑制されたものとなっている。
＜サンプルの作製手順＞
本発明の実施例に係る磁性材料の特性を評価するために、主成分の組成、副成分となる添加剤の種類や添加量が異なる各種磁性材料をサンプルとして作製した。図１に、サンプルの作製手順を示した。まず主成分であるＮｉ系フェライトの原料となるＦｅ２Ｏ３、ＺｎＯ、ＣｕＯ、ＮｉＯを秤量、混合する（ｓ１）。秤量に際しては、基準となる主成分の組成を、Ｆｅ２Ｏ３を４１ｍｏｌ％、ＺｎＯを２ｍｏｌ％、ＮｉＯを４８ｍｏｌ％、ＣｕＯを９ｍｏｌ％とし、サンプルに応じてＦｅ２Ｏ３、ＺｎＯ、ＣｕＯ、ＮｉＯのそれぞれの割合を調整した。
【００１９】
そして、秤量した主成分の原料を、ボールミルなどを用いて混合した。なお、以下の記載において、主成分に含まれるＦｅ、Ｎｉ、Ｚｎ、およびＣｕの各元素の割合（ｍｏｌ％）が示されている場合、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｚｎ、およびＣｕの割合は、それぞれ、Ｆｅ２Ｏ３、ＮｉＯ、ＺｎＯ、およびＣｕＯで換算しているものとする。
【００２０】
次に、上記主成分の原料の混合物を７５０℃で仮焼成した（ｓ２）。さらに、仮焼成によって得られた粉体をボールミルにて平均粒子径が０．５μｍになるまで粉砕し（ｓ３）、その粉砕後の粉体に対し、副成分となる各種添加剤を添加した（ｓ４）。ここでは、サンプルに応じ、ＣｏＯ、Ｂｉ２Ｏ３、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｌａ２Ｏ３、ＢｅＯを添加した。
【００２１】
次に、仮焼成後の主成分の原料に副成分が添加された粉体材料にＰＶＡ水溶液などのバインダーを加えて適宜な大きさの粒子径となるように造粒する（ｓ５）。そして、その造粒物を所定の形状に成形する。ここでは、外径１５ｍｍ、内径１０ｍｍ、厚さ２ｍｍのリング状に成形した（ｓ６）。そして、そのリング状の成形体をＡｇの融点以下である９００℃の温度で５時間焼成し（ｓ７）、サンプルとなるリングコアを得た。
＜特性評価方法＞
上記の手順によって作製したサンプルについて、各種磁気特性を周知のＢＨアナライザを用いて測定した。ここでは、磁気特性として、周波数１ＭＨｚにおける比透磁率μ’、飽和磁束密度Ｂｍ（ｍＴ）、サンプルを４０００Ａ／ｍの磁界強度で磁化させた際の残留磁界強度（以下、保磁力とも言う）Ｈｃ（Ａ／ｍ）、共振周波数ｆｒ（ＭＨｚ）および、コアロスＰｃｖ（ｋＷ／ｍ３）を測定した。コアロスＰｃｖを測定する際には、各サンプルを所定の巻線数（例えば巻線数３）のトロイダルリングコアの状態にした。そして、測定時の最大磁気飽和密度Ｂｍを２０ｍＴとし、１ＭＨｚの周波数にてコアロスＰｃｖを測定した。なお、高周波領域での使用を想定した積層インダクタの磁性層を構成する磁性材料では、特に、低いコアロスＰｃｖと高い共振周波数とが求められている。ここでは、コアロスＰｃｖ＜３０００で、かつ共振周波数ｆｒ≧５０ＭＨｚを目標とした。
＜主成分の組成＞
まず、主成分の最適な組成を求めるために、副成分の種類と添加量が同じで、主成分の組成が異なるサンプルの特性を評価した。添加した副成分はＣｏＯとＢｉ２Ｏ３であり、ＣｏＯを主成分に対して０．２ｗｔ％添加し、Ｂｉ２Ｏ３を主成分に対して０．７ｗｔ％添加した。
【００２２】
以下の表１に、主成分の組成が異なるサンプルの作製条件と磁気特性とを示した。
【００２３】
【表１】
2020155589.tif 000002
表１において、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｃｕ、およびＮｉの割合は、それぞれＦｅ２Ｏ３、ＺｎＯ、ＣｕＯ、およびＮｉＯ換算での割合である。また、サンプル１は、基準となるサンプルであり、サンプル２〜６では、このサンプル１におけるＦｅ、Ｚｎ、Ｎｉ、Ｃｕのそれぞれの割合を基準にして、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｃｕのうちの一つの元素の割合を増減させつつ、その元素の増減分をＮｉの割合を変化させて補償している。
【００２４】
表１に示したように、Ｆｅの割合が３９ｍｏｌ％のサンプル２では、コアロスＰｃｖがサンプル１に対して劣化しており、Ｆｅの割合が４６ｍｏｌ％のサンプル３では、共振周波数ｆｒが低下している。したがって、コアロスＰｃｖを低減させるために、主成分中のＦｅの割合を４０ｍｏｌ％以上４５ｍｏｌ％以下にすることが、妥当であることが確認できた。
【００２５】
また、Ｚｎの割合が１１ｍｏｌ％のサンプル３では、コアロスＰｃｖが悪化していることから、Ｚｎの割合は１０ｍｏｌ％以下であることが必要となる。なお、上述したように主成分中にＺｎは必ずしも含まれていなくてもよいことから、主成分中のＺｎの割合は、０ｍｏｌ％以上１０ｍｏｌ％以下にすればよい。
【００２６】
サンプル４、５は、サンプル１に対し、Ｃｕの量が増減されており、主成分中のＣｕの割合が４ｍｏｌ％のサンプル４、および１６ｍｏｌ％のサンプル５では、ともにサンプル１に対してコアロスＰｃｖが悪化している。したがって、主成分中のＣｕの割合は、５ｍｏｌ％以上１５ｍｏｌ％以下であることが望ましい。
＜ＣｏＯ、Ｂｉ２Ｏ３の添加量＞
上述したように、磁性材料において、ＣｏＯは、焼結性が確保されていれば、添加量が多いほど、高周波特性を向上させる。しかし、添加量が多すぎると焼結性が悪化する。焼結性が悪化すれば、結局、コアロスＰｃｖも増大することになる。また、Ｂｉ２Ｏ３は、多く添加するほど焼結性を向上させる一方で、添加量が多すぎるとコアロスを増大させる。そこで、ＣｏＯとＢｉ２Ｏ３の添加量の上限を調べるために、表１に示したサンプル１の磁性材料に対し、ＣｏＯ、あるいはＢｉ２Ｏ３の添加量を変えたサンプルを作製した。
【００２７】
表２に、ＣｏＯ、あるいはＢｉ２Ｏ３の添加量を変えたサンプルの特性を示した。
【００２８】
【表２】
2020155589.tif 000003
表２では、表１に記載したサンプル１の特性も合わせて示している。そして、表２に示したように、主成分に対してＣｏＯが０．４ｗｔ％添加されているサンプル７では、コアロスＰｃｖが大きく増大した。主成分に対してＢｉ２Ｏ３が１．１ｗｔ％添加されているサンプル８では、コアロスＰｃｖが増大した。したがって、ＣｏＯとＢｉ２Ｏ３は、いずれも添加されるべきものであるが、サンプル１におけるＣｏＯとＢｉ２Ｏ３の添加量が、それぞれ、０．２ｗｔ％と０．７ｗｔ％であること、後述するＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、およびＰｒ６Ｏ１１を添加することによる効果とを鑑みれば、ＣｏＯ、およびＢｉ２Ｏ３の主成分に対する添加量は、それぞれ、０．３ｗｔ％以下、および１．０ｗｔ％以下とすることが望ましい。
＜ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３の添加量＞
上述したように、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３は、磁性材料の焼結性を向上させる。しかし、多量に添加すれば、磁気特性を悪化させるため、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３の最適添加量を求める必要がある。そこで、基準となるサンプル１の磁性材料に対し、ＳｉＯ２とＡｌ２Ｏ３を添加した各種サンプルを作製した。
【００２９】
表３に、ＳｉＯ２とＡｌ２Ｏ３の添加量が異なる各種サンプルの特性を示した。
【００３０】
【表３】
2020155589.tif 000004
表３では、表１に記載したサンプル１の特性も示した。そして、表３に示したサンプル９〜１６のうち、ＳｉＯ２の添加量を主成分に対して０．３ｗｔ％とし、Ａｌ２Ｏ３の添加量を０．３ｗｔ％としたサンプル１２と、ＳｉＯ２の添加量を主成分に対して０．３ｗｔ％とし、Ａｌ２Ｏ３の添加量を０．４ｗｔ％としたサンプル１５とにおいてコアロスＰｃｖが増大した。ＳｉＯ２の添加量を主成分に対して０．０１ｗｔ％としつつ、Ａｌ２Ｏ３の添加量を０．４ｗｔ％としたサンプル１３、およびＳｉＯ２の添加量を主成分に対して０．２ｗｔ％としつつ、Ａｌ２Ｏ３の添加量を０．４ｗｔ％としたサンプル１４では、サンプル９よりもコアロスＰｃｖが低下した。したがって、ＳｉＯ２、およびＡｌ２Ｏ３の主成分に対する添加量は、それぞれ、０．２ｗｔ％以下、および０．４ｗｔ％以下であることが望ましい。
＜Ｐｒ６Ｏ１１の添加量＞
本発明の実施例に係る磁性材料は、適正な組成を有するＮｉフェライトを主成分とするとともに、副成分として、ＣｏＯ、Ｂｉ２Ｏ３、ＳｉＯ２、およびＡｌ２Ｏ３が適量添加された磁性材料に対し、さらにＰｒ６Ｏ１１が適量添加されて、低温焼結性が確保されつつ、高周波領域でのコアロスＰｃｖが低減されたものである。そこで、Ｐｒ６Ｏ１１の適正な添加量を求めるために、表３に示したサンプル１６に対し、Ｐｒ６Ｏ１１を添加した各種サンプルを作製した。
【００３１】
表４に、Ｐｒ６Ｏ１１の添加量が異なる各種サンプルの特性を示した。
【００３２】
【表４】
2020155589.tif 000005
表４では、表３に記載したサンプル１６の特性も示した。そして、表４に示したように、サンプル１６〜１８は、いずれも、主成分におけるＦｅ、Ｚｎ、Ｎｉ、およびＣｕのそれぞれの組成が、Ｆｅ２Ｏ３換算で４１ｍｏｌ％、ＺｎＯ換算で２ｍｏｌ％、ＮｉＯ換算で４８ｍｏｌ％、およびＣｕＯ換算で９ｍｏｌ％であるとともに、主成分に対し、ＣｏＯ、Ｂｉ２Ｏ３、ＳｉＯ２、およびＡｌ２Ｏ３が、それぞれ、０．２ｗｔ％、０．７ｗｔ％、０．２ｗｔ％、および０．２ｗｔ％で共通である。そして、Ｐｒ６Ｏ１１の添加量が各サンプルで異なっている。
【００３３】
そして、Ｐｒ６Ｏ１１を添加していないサンプル１６に対し、主成分に対しＰｒ６Ｏ１１を添加したサンプル１７〜２０の特性をみると、Ｐｒ６Ｏ１１の添加量が極めて微量な０．０１ｗｔ％のサンプル１７でコアロスＰｃｖの低減が確認された。そして、サンプル１８の０．０５ｗｔ％の添加量におけるコアロスＰｃｖを極小値として、Ｐｒ６Ｏ１１の添加量が増加していくのにしたがって、コアロスＰｃｖも増加する傾向が確認できる。そして、Ｐｒ６Ｏ１１の添加量が０．２ｗｔ％のサンプル２０のコアロスＰｃｖは、基準となるサンプル１のコアロスＰｃｖ＝２７２７よりも大きかった。また、Ｐｒ６Ｏ１１の添加量が０．１ｗｔ％のサンプル１９は、コアロスＰｃｖが、サンプル１６のコアロスＰｃｖ＝２３３５よりも大きくなったものの、サンプル１のコアロスＰｃｖよりも小さかった。したがって、サンプル１７〜２０におけるコアロスＰｃｖの増減傾向を考慮すれば、Ｐｒ６Ｏ１１の添加量は、０．１ｗｔ％未満であることが望ましい。より好ましくは、Ｐｒ６Ｏ１１の添加量を０．０５ｗｔ％以下とすることである。
＜希土類、アルカリ土類金属を含む添加剤＞
ところで、Ｐｒは希土類であり、一般的に、希土類に属する元素やその化合物は物性が類似している。そこで、Ｐｒ以外の希土類としてＬａを含む化合物（例えば、Ｌａ２Ｏ３）を添加剤とした磁性材料をサンプルとして作製した。また、希土類に特性が近似する元素として、アルカリ土類金属のＢｅを含む化合物（例えば、ＢｅＯ）を添加物とした磁性材料もサンプルとして作製した。そして、各サンプルの特性を評価した。
【００３４】
以下の表５に、Ｐｒ、Ｌａ、Ｂｅの酸化物を添加物としたサンプルの特性を示した。
【００３５】
【表５】
2020155589.tif 000006
表５では、表４に記載したサンプル１８の特性も示した。表５に示したサンプル２１、２２は、Ｐｒ６Ｏ１１以外は、サンプル１８と同じ組成であり、表５に示したように、添加剤としてＰｒ６Ｏ１１を用いたサンプル１８に対し、添加剤にＬａ２Ｏ３を用いたサンプル２１では、コアロスＰｃｖが大きく増大し、添加剤にＢｅＯを用いたサンプル２２では、共振周波数が５０ＭＨｚを下回った。したがって、高周波特性を向上させるためには、Ｐｒ６Ｏ１１を添加剤として用いることが特に有効であることが分かった。
【００３６】
以上より実施例に係る磁性材料は、主成分となるＮｉフェライトに副成分としてＣｏＯ、Ｂｉ２Ｏ３、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、およびＰｒ６Ｏ１１が添加されてなる。そして、主成分中のＦｅ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｎｉの割合が、それぞれ、４０ｍｏｌ％以上４５ｍｏｌ％以下、０ｍｏｌ％以上１０ｍｏｌ％以下、５ｍｏｌ％以上１５ｍｏｌ％以下、残部がＮｉであり、かつ、ＣｏＯ、Ｂｉ２Ｏ３、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、およびＰｒ６Ｏ１１の主成分に対する添加量ａ、ｂ、ｃ、ｄ、およびｅが、それぞれ０ｗｔ％＜ａ≦０．４ｗｔ％、０ｗｔ％＜ｂ≦０．４ｗｔ％、０ｗｔ％＜ｃ≦０．２ｗｔ％、０ｗｔ％＜ｄ≦０．４ｗｔ％、および０ｗｔ％＜ｅ＜０．１ｗｔ％となるものである。そして、より好ましくは、０ｗｔ％＜ｅ≦０．０５ｗｔ％となるものである。
【符号の説明】
【００３７】
ｓ１  主成分原料秤量・混合工程、ｓ２  仮焼成工程、ｓ３  粉砕工程、
ｓ４  副成分添加工程、ｓ５  造粒工程、ｓ６  成形工程、ｓ７  焼成工程
【図１】
2020155589.tif 000007