(57)【要約】【課題】薄型基板であっても処理液による処理を安定に行える基板処理装置を提供する。【解決手段】ある態様の基板処理装置は、基板を水平姿勢にて載置させる載置面を有する支持部と、基板に処理液を供給して基板を処理するための処理槽と、基板を処理槽内へ降下および処理槽から上昇させるために支持部を昇降させる昇降部と、処理槽の上方において、支持部に支持された基板の外周部を把持して支持部から基板を受け取る把持部と、把持部により把持された基板に気体を噴きつけて基板を乾燥させる第１のノズルと、を備える。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を水平姿勢にて載置させる載置面を有する支持部と、
基板に処理液を供給して基板を処理するための処理槽と、
基板を前記処理槽内へ降下および前記処理槽から上昇させるために前記支持部を昇降させる昇降部と、
前記処理槽の上方において、前記支持部に支持された基板の外周部を把持して前記支持部から基板を受け取る把持部と、
前記把持部により把持された基板に気体を噴きつけて前記基板を乾燥させる第１のノズルと、
を備える基板処理装置。
【請求項２】
前記支持部は、
枠体と、
前記枠体の上面に突出し、前記載置面を構成する複数の突起部と、
を含む請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記把持部が前記基板を把持した後に前記支持部を降下させるように前記昇降部を制御する、
請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記処理槽に処理液を供給する処理液供給部と、
前記処理槽から処理液を排出する処理液排出部と、
をさらに備え、
前記制御部は、前記支持部の上昇前又は上昇後に前記処理槽内の処理液を排出するように前記処理液排出部を制御する、
請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記支持部の載置面に気体を噴きつけて前記載置面を乾燥させる第２のノズルをさらに備える、請求項４に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記第２のノズルは、処理液が排出された前記処理槽内に降下した前記支持部の前記載置面を乾燥させる、請求項５に記載の基板処理装置。
【請求項７】
基板の上面を支持する支持面を有し、前記基板を水平姿勢に維持しながら前記基板を前記支持部の載置面に受け渡し、および前記載置面から受け取る基板搬送部を備え、
前記制御部は、
前記第２のノズルにより前記載置面を乾燥させた後、前記支持部を上昇させ、前記把持部に把持された基板を前記支持部の前記載置面にて支持するように前記昇降部を制御し、
前記基板搬送部は、前記載置面に支持された基板を受け取る、請求項５又は６に記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記処理槽は基板洗浄槽を含み、
前記処理液供給部は、複数種類の洗浄液を順次前記基板洗浄槽に供給する、請求項４〜７のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記処理槽内にて前記支持部に支持された基板の表面に処理液を噴き付ける処理液噴射ノズルをさらに備える、請求項１〜３のいずれかに記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を処理液にて処理する基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハ等の基板に配線やバンプを形成する手法として、比較的安価で処理時間が短い電解めっき法が広く用いられている。電解めっき工程において上流工程から供給された基板を基板ホルダにセットし、処理槽へと搬送して基板にめっきする装置が知られている。めっき処理が完了すると、処理槽から基板ホルダを取り出して基板着脱位置へと搬送し、その基板ホルダから基板を取り出す。この一連の工程は、ロボットアームや搬送機構を駆動することでなされる。
【０００３】
ところで、めっき処理後に基板ホルダから取り出した基板は、洗浄および乾燥する必要がある。処理基板が円形基板の場合には、ＳＲＤ（Spin Rinse Dryer）による回転洗浄および乾燥が行われる。しかし、製品の用途に応じて基板形状も変わる。近年では大型の矩形基板にめっき処理を施すことも求められている。そこで、ＳＲＤに代えてローラによる水平搬送機構を採用し、その搬送過程で基板の水平姿勢を保ちつつ洗浄および乾燥処理を実行する装置が提案されている（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１８−６４０４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、大型で特に薄い基板は撓みやすく、変形しやすい。このため、めっき前あるいはめっき後の洗浄および乾燥処理において、ローラによる水平搬送機構を採用すると、その搬送過程で基板がローラ等の構造物と干渉し、正常な搬送に支障をきたすなどの懸念があった。なお、このような問題は、矩形基板に限らず、薄型基板を採用する場合には同様に生じうる。また、洗浄および乾燥処理に限らず、処理液にて薄型基板を処理する装置においては同様に生じうる。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的の一つは、薄型基板であっても安定に処理を行える基板処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のある態様は基板処理装置である。この基板処理装置は、基板を水平姿勢にて載置させる載置面を有する支持部と、基板に処理液を供給して基板を処理するための処理槽と、基板を処理槽内へ降下および処理槽から上昇させるために支持部を昇降させる昇降部と、処理槽の上方において、支持部に支持された基板の外周部を把持して支持部から基板を受け取る把持部と、把持部により把持された基板に気体を噴きつけて基板を乾燥させる第１のノズルと、を備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の基板処理装置によれば、薄型基板であっても安定に処理を行える。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施例に係るめっき装置を模式的に表す平面図である。
【図２】洗浄装置の全体構成を表す斜視図である。
【図３】洗浄ユニットの構成を表す斜視図である。
【図４】洗浄ユニットの構成を表す斜視図である。
【図５】洗浄装置の構成を表す縦断面図である。
【図６】クランプ機構の構成および動作を表す側面図である。
【図７】支持機構の構成を表す平面図である。
【図８】クランプ機構の構成および動作を表す図である。
【図９】クランプ機構の構成および動作を表す図である。
【図１０】乾燥処理時の状態を表す図である。
【図１１】前洗浄処理の流れを表すフローチャートである。
【図１２】前洗浄工程における制御方法を表す図である。
【図１３】前洗浄工程における制御方法を表す図である。
【図１４】変形例に係るクランプ構造を表す断面図である。
【図１５】第２実施例に係る洗浄ユニットの構成を表す斜視図である。
【図１６】洗浄ユニットの洗浄中の動作を表す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の一実施形態は、基板を処理液にて処理する基板処理装置である。この処理は、基板を処理液に浸漬するものでもよい。具体的には、基板を洗浄液に浸漬する洗浄処理でもよい。基板をめっき液に浸漬するめっき処理でもよい。基板を冷却水に浸漬する冷却処理でもよい。あるいは、基板の表面に処理液を噴き付けるものでもよい。処理液による処理後、基板の乾燥がなされる。基板処理装置は、一連の処理のために処理槽、処理液供給部、処理液排出部、支持部、把持部、昇降部、および第１のノズルを備える。
【００１１】
処理液供給部が処理槽に処理液を供給する。基板を処理液に浸漬して処理する場合、処理液を清浄に保つために、処理槽から処理液をオーバーフローさせるオーバーフロー槽を設けてもよい。オーバーフローした処理液はそのまま廃棄されてもよい。あるいは、オーバーフローした処理液をフィルタ等で浄化して処理槽に戻す循環機構を設けてもよい。処理が終了すると、処理液の供給が停止され、処理液排出部が処理槽から処理液を排出する。基板に処理液を噴き付けて処理する場合、処理槽内にて基板の表面に処理液を噴き付けるための処理液噴射ノズルが設けられる。
【００１２】
本実施形態では、一連の処理過程で基板を持ち替える必要があるため、支持部と把持部との間で基板の受け渡しが行われる。支持部は処理液による処理時に基板を支持し、把持部は乾燥処理時に基板を支持する。支持部は、処理槽の上方で基板を受け取る。
【００１３】
支持部は、基板を水平姿勢にて載置させる載置面を有する。支持部は、薄型基板の載置状態を安定に保つための複数のクランプ部（第１クランプ機構）を含む。第１クランプ機構は、載置面との間で基板の周縁部を挟持する。複数の第１クランプ機構により、基板に対して周縁方向（外向き）のテンションをかけてもよい。それにより、薄型基板であっても撓ませることなく、安定に保持できる。
【００１４】
基板を処理する際、基板を載置した支持部を昇降部により降下させる。基板を処理液に浸漬して処理する場合、処理槽に予め処理液を貯留しておき、その処理液に向けて基板を降下させてもよいが、そうすると基板の下面に気泡が付着しやすくなる。また、液跳ねが生じて処理液が他の構造物に付着し、悪影響を及ぼす可能性もある。このため、基板の降下後に処理液を供給するのが好ましい。また、基板の下面よりも下方から処理液を供給するのが好ましい。このようにすることで、液面の上昇過程で処理液の流れにより気泡を効率よく除去できる。液跳ねが生じる可能性も低い。複数種類の処理液により基板を処理してもよい。その場合、基板を処理槽内に保持しつつ、各処理液の供給および排出を順次実行するとよい。
【００１５】
処理液による処理が終了すると、昇降部により支持部を上昇させる。その後、支持部から把持部への基板の受け渡しがなされる。支持部に基板を載置したまたでは基板の下面を乾燥し難いためである。把持部は、基板の外周部を把持し、基板の上下面を開放させる。把持部は、複数のクランプ部（第２クランプ機構）を含んでもよい。複数の第２クランプ機構により、基板に対して周縁方向（外向き）のテンションをかけてもよい。第１のノズルは、把持部に水平に把持された基板に気体を噴きつけ、その基板を乾燥させる。
【００１６】
この態様によれば、基板を載置面に載置させることで水平姿勢を維持したまま昇降させ、処理液による処理を行うことができる。乾燥処理に際しての基板の受け渡しも、基板を載置面に載置したまま行われるため、載置から把持に安定に切り替えることができる。このため、一連の処理過程で基板が撓み、他の構造物と干渉することもない。すなわち、薄型基板であっても安定に処理を行うことができる。
【００１７】
支持部は、枠体を含んでもよい。その枠体の上面に複数の突起部を設け、それらの突起部の上面により載置面を構成してもよい。「枠体」は外枠のみ有する形状を有してもよいし、格子形状を有してもよい。後者の場合、枠体の外枠を架け渡す一または複数の架橋部を設ける。架橋部の有無およびその数については、支持対象となる基板の大きさに応じて適宜設定できる。突起部は、基板の接触可能領域（回路等の非実装領域）に合わせて配置するとよい。このような構成により、基板の下面の大部分を処理液に開放でき、処理液を基板の上下面全体に行きわたらせることができる。
【００１８】
基板処理装置は、各部（各機構）を駆動制御する制御部を備える。制御部は、支持部から把持部への基板の受け渡しをさせた後に支持部を降下させ、第１のノズルに基板を乾燥させる。その際、支持部が降下設定位置に到達しなくとも、把持部に干渉しない位置まで降下した段階で第１のノズルを駆動してもよい。それにより、全体として処理効率を高めることができる。
【００１９】
支持部の上昇前又は上昇後に処理槽から処理液を排出してもよい。そして、支持部から把持部へ基板が受け渡された後、支持部を処理槽へ降下させてもよい。これにより、処理槽の空きスペースを利用して支持部を退避させることができる。処理槽において使用済みの処理液を予め排出しておくことで、支持部を退避させた際に載置面を清浄な状態に保つこともできる。
【００２０】
第１のノズルとは別に第２のノズルを設け、支持部の載置面を乾燥させてもよい。そして、第１のノズルによる基板の乾燥処理（第１乾燥処理）と、第２のノズルによる載置面の乾燥処理（第２乾燥処理）とを並行させてもよい。２つの乾燥処理を並行させることで、各乾燥処理による液跳ねの影響を互いに抑制できる。例えば、第１乾燥処理による基板からの液跳ねが、第２乾燥処理の対象である載置面を濡らす等の弊害を抑制できる。特に送風による乾燥を行う場合に有効である。
【００２１】
支持部の降下中に第１乾燥処理を開始し、支持部の降下完了後に第２乾燥処理を開始してもよい。すなわち、載置面よりも基板の乾燥が重要であるため、第１乾燥処理のほうが第２乾燥処理よりも長い処理時間を要する場合がある。このような場合に、第２乾燥処理に先立って第１乾燥処理を開始することで全体の処理時間を短縮でき、効率化を図れる。
【００２２】
基板処理装置は、基板搬送部を備える。この基板搬送部は、基板の上面を支持する支持面を有する。基板搬送部は、基板を水平姿勢に保持しつつ支持部の載置面に受け渡し、またその載置面から基板を受け取る。「支持面」は、基板の上面を非接触状態で吸引可能な「吸引面」であってもよい。あるいは、基板の上面に接触して吸着可能な「吸着面」であってもよい。基板の清浄性を厳格に保つ観点からは、支持面が非接触タイプであることが好ましい。
【００２３】
制御部は、乾燥処理後に支持部を上昇させ、把持部から支持部への基板の受け渡しをさせる。このとき、基板を載置面に再度載置させることで水平姿勢を維持する。そして、このようにして載置面に支持された基板を基板搬送部に受け取らせる。このような構成により、搬送ローラ等を用いなくとも基板の受け渡しができる。
【００２４】
以下、図面を参照しつつ、本実施形態を具体化した実施例について説明する。なお、以下の実施例およびその変形例において、ほぼ同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明を適宜省略する。
【００２５】
［第１実施例］
図１は、第１実施例に係るめっき装置を模式的に表す平面図である。
めっき装置１は、基板着脱部２、めっき処理部４および制御部６を備える。本実施例のめっき装置１は、基板上に突起状の電極（バンプ）を形成するためのバンプめっき装置である。基板着脱部２の前方に基板受渡台８が設けられ、基板受渡台８に隣接するように前洗浄部１０および後洗浄部１２が設けられている。なお、めっき装置１の前方には、上流工程で処理された基板を基板受渡台８に受け渡す装置が設けられるが、その説明については省略する。
【００２６】
基板受渡台８は、半導体ウェハ等の基板Ｗを水平姿勢にて載置する。本実施例では、基板Ｗは比較的大きな薄型基板であり撓みやすい。本実施例では、基板Ｗとして５００ｍｍ×５００ｍｍ、厚みが１ｍｍ程度の矩形基板が用いられるが、大きさ、厚み、形状はこれに限られない。基板Ｗは、ウェハの上面に銅のシード層が設けられ、その上にレジストのパターンが形成されたものである。基板Ｗにめっきする際にレジストの開口部内に気泡が存在していると、正常なめっきを行うことができない。また、シード層に有機物等が付着していると、正常なめっきを行うことができない場合がある。
【００２７】
前洗浄部１０は、洗浄装置１４を有し、基板Ｗの表面に付着する有機物等をめっき処理に先立って取り除く前洗浄を行う。後洗浄部１２は、洗浄装置１６を有し、めっき処理後に基板ホルダ２４から取り外された基板Ｗを洗浄する。基板着脱部２からめっき処理部４にわたってホルダ搬送機構１８が設けられている。制御部６は、各部の動作を制御する。
【００２８】
基板着脱部２は、着脱機構２０、基板搬送ロボット２２および移動機構２３を含む。基板搬送ロボット２２は、ロボットハンド２２ａを有する。基板搬送ロボット２２は、「基板搬送部」として機能し、基板受渡台８との基板Ｗの受け渡し、および各機構との基板Ｗの受け渡しを行う。ロボットハンド２２ａは、基板Ｗを水平姿勢のまま保持するための非接触チャックを有する。本実施例では、この非接触チャックとしてベルヌーイタイプを採用するが、サイクロンタイプとしてもよい。基板Ｗに対する清浄性が保てる場合には、接触式の吸着パッド（真空パッド）としてもよい。
【００２９】
移動機構２３は、基板Ｗの受け渡し位置に応じて基板搬送ロボット２２を移動させる。基板搬送ロボット２２は、前洗浄工程においては前洗浄部１０の近傍に移動し、後洗浄工程においては後洗浄部１２の近傍に移動する。
【００３０】
着脱機構２０の下方には、基板ホルダ２４を収容するためのストッカ２５が設けられている。着脱機構２０は、基板ホルダ２４に対して基板Ｗを着脱させる。ホルダ搬送機構１８は、基板ホルダ２４を把持する把持機構２６と、基板ホルダ２４をめっき処理部４の各槽に搬送する搬送機構２８を有する。着脱機構２０は、また、把持機構２６に対して基板ホルダ２４を着脱させる。
【００３１】
めっき処理部４は、基板着脱部２の側から順にプリウェット槽３０、プリソーク槽３２、リンス槽３４、ブロー槽３６、リンス槽３８、オーバーフロー槽４０を有する。オーバーフロー槽４０の内側に複数列のめっき槽４２が設けられている。プリウェット槽３０は、基板Ｗを脱気水に浸漬させて濡らすことで基板表面のレジスト開口部内も脱気水で満たすことができる。プリソーク槽３２は、基板Ｗの表面に生成された酸化膜を薬液でエッチング除去する。
【００３２】
リンス槽３４，３８は、基板Ｗの表面を脱イオン水で洗浄する。リンス槽３４はめっき処理前の水洗、リンス槽３８はめっき処理後の水洗を行う。ブロー槽３６は、洗浄後の基板Ｗの水切りを行う。めっき槽４２にはめっき液が貯留される。めっき槽４２に基板Ｗを浸漬させ、めっき液をオーバーフロー槽４０にオーバーフローさせつつ循環させることで、めっきを施すことができる。めっき処理は一般に、洗浄や乾燥その他の処理と比較して処理時間が長い。このため、めっき槽４２を複数設け、複数の基板Ｗを同時並行的にめっき処理できるようにしている。
【００３３】
搬送機構２８は、例えばリニアモータ方式の機構であり、基板ホルダ２４をめっき処理部４の各槽に搬送する。搬送機構２８は、各めっき槽４２での処理のタイムラグを利用して、基板ホルダ２４を次々と搬送する。
【００３４】
制御部６は、マイクロコンピュータからなり、各種演算処理を実行するＣＰＵ、制御プログラム等を格納するＲＯＭ、データ格納やプログラム実行のためのワークエリアとして利用されるＲＡＭ、電源遮断後も記憶内容を保持する不揮発性メモリ、入出力インタフェース、計時用のタイマ等を備える。なお、本実施例では制御部６が各機構を駆動制御することとしたが、機構ごとに制御部を備えてもよい。その場合、各機構の制御部を統括する統括制御部を備えてもよい。
【００３５】
以上のような構成により、めっき装置１は、概略以下の動作を行う。
まず、基板搬送ロボット２２が基板受渡台８からめっき対象の基板Ｗを取り出し、洗浄装置１４にセットする。洗浄装置１４は、基板Ｗを受け取ると、有機物等を除去する前洗浄処理を実行する。この洗浄処理の詳細については後述する。前洗浄が終了すると、基板搬送ロボット２２が洗浄装置１４から基板Ｗを受け取り、着脱機構２０に渡す。着脱機構２０は、基板Ｗを基板ホルダ２４にセットし、把持機構２６に装着する。
【００３６】
搬送機構２８は、把持機構２６をリフトアップして基板ホルダ２４を搬送し、基板Ｗを基板ホルダ２４ごとプリウェット槽３０に浸漬させる。それにより、脱気水によるプリウェット処理がなされる。なお、本実施例ではプリウェット槽３０に脱気水を貯留するが、基板表面のレジスト開口部内の空気と置換でき、レジスト開口部内も液体で満たすプリウェット処理を行えるものであれば、これに限る必要はない。
【００３７】
なお、後述するように、洗浄装置１４におけるプリウェット処理が十分であれば、プリウェット槽３０は設けなくてもよい。
【００３８】
搬送機構２８は、続いてプリウェット槽３０から基板ホルダ２４を取り出して搬送し、プリソーク槽３２に浸漬させる。プリソーク槽３２には、硫酸や塩酸などの薬液が貯留されている。基板Ｗのシード層（導電層）に酸化膜が生じている場合、この薬液によるプリソーク処理がなされることで除去される。それにより、シード層の清浄な金属面を露出させることができる。
【００３９】
搬送機構２８は、続いてプリソーク槽３２から基板ホルダ２４を取り出して搬送し、リンス槽３４に浸漬させる。それにより、基板Ｗに付着した薬液が脱イオン水で洗い流される。搬送機構２８は、続いて基板Ｗを空いためっき槽４２に浸漬させる。なお、本実施例ではこのめっき処理において銅めっきがなされるが、めっき槽４２に供給するめっき液を変更することで、ニッケル、金めっきその他のめっきを施すこともできる。
【００４０】
このようにしてめっきが施された基板Ｗは、リンス槽３８で洗浄された後、ブロー槽３６で水切りがなされる。その後、着脱機構２０へと搬送される。着脱機構２０は、把持機構２６から基板ホルダ２４を取り外し、その基板ホルダ２４から基板Ｗを取り出す。基板搬送ロボット２２は、着脱機構２０からその基板Ｗを受け取り、洗浄装置１６にセットする。洗浄装置１６は、基板Ｗを受け取ると、後洗浄処理を実行する。
【００４１】
次に、洗浄装置１４の構成および動作について詳細に説明する。
図２は、洗浄装置１４の全体構成を表す斜視図である。
洗浄装置１４は、平板状のベース５０と、ベース５０に搭載された洗浄ユニット５２と、洗浄ユニット５２の上方で基板Ｗを支持する支持機構５４と、洗浄ユニット５２の上方で基板Ｗを乾燥させる乾燥機構５６を備える。支持機構５４は、乾燥処理時に基板Ｗを支持する機構であり、「把持部」として機能する。乾燥機構５６は、基板Ｗを乾燥させる機構である。
【００４２】
ベース５０の四隅に支柱５８が立設され、左右の支柱５８を架け渡すように一対のガイド部材６０ａ，６０ｂが設けられている（これらを特に区別しないときには「ガイド部材６０」と総称する）。ガイド部材６０ａ，６０ｂは、それぞれ水平に延在し、互いに平行とされている。支持機構５４は、乾燥処理時に基板Ｗを水平に保持するための一対の把持ユニット６２ａ，６２ｂを有する（これらを特に区別しないときには「把持ユニット６２」と総称する）。把持ユニット６２ａはガイド部材６０ａに吊持され、把持ユニット６２ｂはガイド部材６０ｂに吊持されている。
【００４３】
把持ユニット６２は、ガイド部材６０と平行に延在する支持台６４と、支持台６４の延在方向に配設された一対のクランプ機構６６を有する。一対の把持ユニット６２が有する合計４つのクランプ機構６６により基板Ｗを上下から挟み、水平に支持できる。なお、クランプ機構６６の詳細については後述する。
【００４４】
乾燥機構５６は、一対のガイド部材６０に沿って移動可能に支持されている。ガイド部材６０ａの上面には、乾燥機構５６を駆動するリニアモータ６８が設けられている。ガイド部材６０ｂの上面には、乾燥機構５６の駆動をガイドするガイドレール７０が設けられている。乾燥機構５６は、一対のガイド部材６０に吊持される支持台７２と、支持台７２に支持された上下一対のエアナイフ７４ａ，７４ｂを有する（これらを特に区別しないときには「エアナイフ７４」と総称する）。エアナイフ７４ａ，７４ｂは、「第１のノズル」として機能し、乾燥処理時に水平に保持された基板Ｗに対して上下方向からエアを噴出する。
【００４５】
図３および図４は、洗浄ユニット５２の構成を表す斜視図である。これらの図は、図２における洗浄ユニット５２を抜き出し、基板Ｗを取り外した状態を示す。図３は洗浄ユニット５２の支持機構が上昇した状態を示し、図４は下降した状態を示す。
【００４６】
図３に示すように、洗浄ユニット５２は、内部機構を収容するケース８０と、ケース８０内に配設された処理槽８２と、処理槽８２に洗浄液を供給する供給機構８４と、処理槽８２から洗浄液を排出させる排出機構８６と、基板Ｗを水平姿勢にて支持可能な支持機構８８と、支持機構８８を昇降させる昇降機構９０を備える。供給機構８４は「処理液供給部」として機能し、排出機構８６は「処理液排出部」として機能する。支持機構８８は「支持部」として機能し、昇降機構９０は「昇降部」として機能する。
【００４７】
処理槽８２は、洗浄液が供給される洗浄槽９２と、洗浄液がオーバーフローされるオーバーフロー槽９４を含む。洗浄槽９２におけるオーバーフロー槽９４とは反対側の側壁には、洗浄液の供給口９６が設けられている。本実施例では、供給口９６として横長形状のものが３つ設けられている。これらの供給口９６は、後述の支持部材１０４が降下したときに基板Ｗの下面よりも低位置となるよう位置決めされている。
【００４８】
供給機構８４は、供給口９６に連通する供給管９８、供給管９８の上流側に設けられた制御弁（供給弁および切替弁）を有する（図示せず）。切替弁は、複数種類の洗浄液のうちいずれを供給するかを切り替える。本実施例では、洗浄液として脱気水、オゾン水および脱イオン水（ＤＩＷ）の３種類が用意されている。切替弁により供給路が開放された処理液が供給管９８に供給され、供給弁の開弁により洗浄槽９２に供給される。
【００４９】
洗浄槽９２の底部中央に排出口１００が設けられている。排出機構８６は、排出口１００に連通するドレイン管、そのドレイン管に設けられた制御弁（排出弁）を有する（図示せず）。排出弁が開弁されることにより、洗浄槽９２内の処理液が排出される。
【００５０】
昇降機構９０は、処理槽８２の周囲の四隅に設けられた昇降軸１０２と、昇降軸１０２を昇降させるエアシリンダ（図示せず）を含む。支持機構８８は、矩形板状の支持部材１０４と、支持部材１０４の周囲の四隅に配置されたクランプ機構１０６を含む。昇降軸１０２の昇降により、支持部材１０４とクランプ機構１０６が一体で昇降する。４つのクランプ機構１０６は、洗浄処理時に基板Ｗを支持部材１０４に対して固定するものである。洗浄槽９２に供給される洗浄液の水圧により、基板Ｗの位置がずれないようにするものである。
【００５１】
４つのクランプ機構１０６は、４つの昇降軸１０２にそれぞれ支持されている。支持部材１０４は、４つの昇降軸１０２に四隅を支持され、水平姿勢を維持する。具体的には、各昇降軸１０２の頂部にＬ字状の吊持部材１０５がそれぞれ固定され、４つの吊持部材１０５が支持部材１０４の四隅にそれぞれ連結されている。
【００５２】
支持部材１０４の上面には、その格子形状に沿って複数の突起部１０８が設けられている。これらの突起部１０８に基板Ｗが載置される。なお、支持部材１０４およびクランプ機構１０６の詳細については後述する。
【００５３】
図４に示すように、洗浄槽９２の周囲に乾燥機構１１０が設けられている。乾燥機構１１０は、支持部材１０４の載置面（突起部１０８）を乾燥させる機構である。なお、本実施例では、基板Ｗの乾燥（第１乾燥処理）と、支持部材１０４の乾燥処理（第２乾燥処理）とを個別に実行する。基板Ｗを支持部材１０４から離脱させることにより、基板Ｗの上下面全体を効率良く乾燥させるものである。また、基板Ｗの乾燥後に支持部材１０４に再度載置するため、その載置面（突起部１０８）を乾燥させておくものである。
【００５４】
乾燥機構１１０は、洗浄槽９２の手前側と奥側にそれぞれ３列ずつ配置されたエアノズル１１２を含む。エアノズル１１２は、「第２のノズル」として機能する。図示のように支持部材１０４が降下状態にあるとき、６つのエアノズル１１２から複数の突起部１０８に向けてエアを均一に噴射でき（二点鎖線参照）、その上面の水分を除去できる。そのように各エアノズル１１２の角度が調整されている。
【００５５】
なお、支持部材１０４についてもエアナイフで上方からエアを吹き付けることにより乾燥が可能である。しかし、支持部材１０４が枠体であること、その枠体に散点的に配置された突起部１０８が乾燥対象であること等を考慮すると、層状のエアを噴出させる必要はなく、逆に非効率ともいえる。このため、本実施例では、乾燥機構１１０についてはエアノズル１１２を採用している。乾燥機構１１０の詳細については後述する。
【００５６】
図５は、洗浄装置１４の構成を表す縦断面図であり、図１のＡ−Ａ矢視断面に対応する。図６は、クランプ機構６６の構成および動作を表す側面図である。図６（ａ）はアンクランプ状態を示し、図６（ｂ）はクランプ状態を示す。
図５に示すように、洗浄槽９２の排出口１００に連通するようにドレイン管１１４が設けられている。洗浄槽９２の処理液は、ドレイン管１１４を介して排出される。また、オーバーフロー槽９４の底部にも排出口１１６およびドレイン管１１８が設けられている。洗浄槽９２からオーバーフローした処理液は、ドレイン管１１８を介して排出される。
【００５７】
エアナイフ７４は、スリット状のノズルを有し、圧縮されたエアを薄い層状に噴出する。エアナイフ７４ａのノズルは斜め下方に向けて開口し、エアナイフ７４ｂのノズルは斜め上方に向けて開口する。両者の傾斜角度は水平方向に対してほぼ同角度とされている。
【００５８】
クランプ機構６６は、支持台６４に固定されるベース１２０と、ベース１２０に支持される上下一対の把持部１２２と、把持部１２２を駆動するエアシリンダ１２４を有する。把持部１２２は、Ｔ字状のアーム１２６と、アーム１２６の先端部に固定された挟持部材１２８を含む。アーム１２６の基端部がベース１２０に回動可能に接続されている。挟持部材１２８はロッド状の部材である。アーム１２６の先端部がＵ字状に形成され、その両端を架け渡すように挟持部材１２８が設けられている。挟持部材１２８の長手方向に沿って複数のＯリング１３０（シールリング）が設けられている。
【００５９】
図６（ａ）に示すように、クランプ機構６６の非駆動状態においては、エアシリンダ１２４のロッドが進出する。このため、上側のアーム１２６ａが回動軸１３２ａを中心に図中時計回りに回動し、下側のアーム１２６ｂが回動軸１３２ｂを中心に図中反時計回りに回動する。その結果、クランプ機構６６が開放された状態（アンクランプ状態）となる。
【００６０】
一方、図６（ｂ）に示すように、クランプ機構６６の駆動状態においては、エアシリンダ１２４のロッドが後退する。このため、アーム１２６ａが図中反時計回りに回動し、アーム１２６ｂが図中時計回りに回動する。その結果、基板Ｗを挟持可能な状態（クランプ状態）となる。このクランプ状態においては、上下複数対のＯリング１３０が基板Ｗの外周部を挟持する。
【００６１】
図７は、支持機構８８の構成を表す平面図である。図７（ａ）は基板Ｗが載置されていない状態を示し、図７（ｂ）は基板Ｗが載置された状態を示す。
図７（ａ）に示すように、支持部材１０４は、長方形状の外枠１４０と、外枠１４０を左右に架け渡す架橋部１４２と、外枠１４０の前後に架け渡す２つの架橋部１４４を有し、全体として格子状に形成されている。外枠１４０と架橋部１４２，１４４とに囲まれる６つの空領域が比較的大きな面積を有し、処理液の流通を促進する。
【００６２】
支持部材１０４の上面には、複数の突起部１０８が散点的に設けられている。突起部１０８は角柱あるいは円筒形状であってもよく、半球形状であってもよい。すなわち、外枠１４０の周縁部に沿って複数の突起部１０８ａが設けられ、架橋部１４２，１４４の長手方向に沿って複数の突起部１０８ｂが設けられている。突起部１０８ｂは、突起部１０８ａよりもやや小さい。
【００６３】
一方、図７（ｂ）に示すように、基板Ｗの下面には、複数の突起部１０８の配列に対応するように帯状（格子状）の接触可能領域１４８が設定されている。接触可能領域１４８は、基板の搬送等のために接触の許された領域であり、例えば配線やバンプ等の回路が実装されていない領域である。基板Ｗは、その接触可能領域１４８において複数の突起部１０８に載置される。すなわち、基板Ｗの実装部分が支持部材１０４の表面から浮く状態となり、洗浄液が確実に行きわたるようにされている。
【００６４】
なお、本実施例では、基板Ｗの上面にも下面と同様の接触可能領域が形成されている。基板Ｗの両面のいずれを支持部材１０４に載置しても、同様に洗浄・乾燥ができるようにするものである。
【００６５】
図８および図９は、クランプ機構１０６の構成および動作を表す図である。図８（ａ）はアンクランプ状態を示し、図８（ｂ）はクランプ状態を示す。図９（ａ）は洗浄・乾燥時のクランプ機構１０６の機能および動作を示す断面図である。図９（ｂ）は図９（ａ）のＢ部拡大図である。
【００６６】
図８（ａ）に示すように、クランプ機構１０６は、昇降軸１０２の上部に設けられたアクチュエータ１５０と、アクチュエータ１５０により駆動されるアーム１５２を有する。アクチュエータ１５０はエアシリンダからなり、シリンダボディ１５４と、シリンダボディ１５４に設けられた支持部１５６と、シリンダボディ１５４から延出するピストンロッド１５８を有する。
【００６７】
アーム１５２は、Ｌ字状の本体１６０を有する。本体１６０は、Ｌ字状の連結部材１６２を介してピストンロッド１５８に接続されている。連結部材１６２は、その一端が本体１６０に固定され、その中央において支持部１５６に回動可能に軸支されている。連結部材１６２の他端にはスリット１６３が設けられ、ピストンロッド１５８の先端が摺動可能に挿通されている。
【００６８】
アクチュエータ１５０の一方向への駆動によりピストンロッド１５８が進出すると、連結部材１６２が図中時計回りに回動する。それにより、アーム１５２がクランプ方向に作動する。図８（ｂ）に示すように、アーム１５２の先端は、支持部材１０４に支持された基板Ｗの上面に近接する。アクチュエータ１５０の他方向への駆動によりピストンロッド１５８が後退すると、連結部材１６２が図中反時計回りに回動する。それにより、図８（ａ）に示すように、アーム１５２がアンクランプ方向に作動する。
【００６９】
図９（ａ）に示すように、本体１６０をその先端から後端にかけて貫通する流体通路１６４が形成されている。本体１６０の後端には配管継手１６６が設けられている。配管継手１６６には図示しない配管が接続され、流体通路１６４にドライエア（ＣＤＡ）又は脱イオン水（ＤＩＷ）を供給できる。
【００７０】
なお、このように、アーム１５２と基板Ｗとは非接触状態となるが、本体１６０の先端から流体が噴出されるため、流体圧力がクランプ力として作用するため、アーム１５２と支持部材１０４との間で基板Ｗを挟持できる。本実施例では、支持部材１０４を洗浄槽９２に降下させて基板Ｗを処理液に浸漬させている間、流体通路１６４に脱イオン水を供給する。一方、支持部材１０４の昇降中や上昇位置では、流体通路１６４にドライエアを供給する。すなわち、クランプ機構１０６が基板Ｗを開放するとき以外、いずれかの流体を噴き付けて基板Ｗを支持部材１０４に押し付ける。それにより、基板Ｗを支持する。
【００７１】
図９（ｂ）に示すように、本体１６０の先端面にＯリング１６８（シールリング）が設けられている。これにより、クランプ作動時に本体１６０の回動が勢い余ったとしても、その先端が基板Ｗに直接接触して傷つけるような事態を防止できる。
【００７２】
図１０は、乾燥処理時の状態を表す図である。
基板Ｗの乾燥時には、クランプ機構６６により基板Ｗを支持した状態で乾燥機構５６を駆動する。このとき、図示のように乾燥機構５６がガイドレール７０に沿って移動しつつ、エアナイフ７４が基板Ｗに向けてエアを噴射する。この乾燥過程において、基板Ｗはエアナイフ７４ａとエアナイフ７４ｂとの間に位置する。このため、両エアナイフによりその上下面が効率的に乾燥される。
【００７３】
またその間、支持部材１０４はドレイン済の洗浄槽９２に退避しており、乾燥機構１１０による乾燥が行われる。エアノズル１１２から噴射されたエアにより、突起部１０８に付着した水滴が除去される。このように、乾燥機構５６による第１乾燥処理と、乾燥機構１１０による第２乾燥処理とが並行する。
【００７４】
次に、洗浄制御の流れについて説明する。
図１１は、前洗浄処理の流れを表すフローチャートである。図１２および図１３は、前洗浄工程における制御方法を表す図である。各図の（ａ）〜（ｄ）は処理過程を示す。便宜上、供給弁１７０、排出弁１７２および切替弁１７４については、図１２（ａ）にのみ示し、その他の図では記載を省略している。以下、図１１に基づき、図１２，図１３を適宜参照しながら説明する。
【００７５】
制御部６は、前洗浄処理の開始にあたり、昇降機構９０および基板搬送ロボット２２を駆動して洗浄装置１４に基板Ｗをロードする（Ｓ１０）。図１２（ａ）に示すように、昇降機構９０は、支持部材１０４をロード位置まで上昇させる。基板搬送ロボット２２は、基板受渡台８から基板Ｗを水平姿勢に保持しつつ取り出し、支持部材１０４に載置する。本実施例では、ロボットハンド２２ａが基板Ｗの上面側に位置して基板Ｗを保持するようになっている。このとき、流体通路１６４を介してもドライエアの供給がなされ、クランプ機構１０６が基板Ｗをクランプする（Ｓ１２）。この時点で洗浄槽９２は空である。
【００７６】
続いて、制御部６は、基板Ｗのクランプ状態を維持させたまま昇降機構９０を駆動し、支持部材１０４を洗浄槽９２へ降下させる（Ｓ１４）。図１２（ｂ）に示すように、基板Ｗが洗浄槽９２内に配置される。そして図１２（ｃ）に示すように、制御部６は、供給弁１７０を開弁させて洗浄槽９２に脱気水を供給し、オーバーフローさせながらプリウェット処理を実行する（Ｓ１６）。このとき、流体通路１６４を介して脱イオン水の供給がなされ、クランプ機構１０６が基板Ｗのクランプ状態を維持する。これにより、基板Ｗのレジスト開口部内は脱気水で満たされ、気泡が除去される。本実施例では、このプリウェット処理の時間を６０秒としている。プリウェット処理が終了すると、供給弁１７０を閉じ、排出弁１７２を開いて排水する（Ｓ１８）。
【００７７】
続いて、制御部６は、切替弁１７４を作動させて処理液をオゾン水に切り替える。また、排出弁１７２を閉じ、供給弁１７０を開いて洗浄槽９２にオゾン水を供給し、オーバーフローさせながら洗浄処理を行う（Ｓ２０）。基板Ｗのレジスト開口部内はすでに脱気水で満たされているので、脱気水はオゾン水と置換され、オゾン水の作用により基板Ｗの表面に付着した有機物等が除去され、親水性が高められる。本実施例では、この洗浄処理の時間を６０秒としている。洗浄処理が終了すると、供給弁１７０を閉弁させ、排出弁１７２を開弁させて排水する（Ｓ２２）。
【００７８】
続いて、制御部６は、切替弁１７４を作動させて処理液を脱イオン水（ＤＩＷ）に切り替える。また、排出弁１７２を閉じ、供給弁１７０を開いて洗浄槽９２に脱イオン水を供給し、オーバーフローさせながらリンス処理を行う（Ｓ２４）。このとき、クランプ機構１０６の流体通路１６４を介しても脱イオン水の供給がなされる。本実施例では、このリンス処理の時間を３０秒としている。リンス処理が終了すると、供給弁１７０を閉弁させ、排出弁１７２を開弁させて排水する（Ｓ２６）。流体通路１６４を介しての脱イオン水の供給も停止され、ドライエアの供給に切り替えられる。
【００７９】
図１２（ｄ）に示すように、制御部６は、その排水と並行して昇降機構９０を駆動し、支持部材１０４を乾燥位置へ上昇させる（Ｓ２８）。そして、支持機構８８から支持機構５４への基板Ｗの受け渡しを行う（Ｓ３０）。このとき、クランプ機構６６に基板Ｗをクランプさせ、クランプ機構１０６のクランプを解除する。流体通路１６４を介したドライエアの供給は停止される。基板Ｗの受け渡しが完了すると、図１３（ａ）に示すように、支持部材１０４を降下させる（Ｓ３２）。なお、本実施例では、このときの支持部材１０４の高さを洗浄時の高さと一致させている。変形例においては、その高さを異ならせてもよい。
【００８０】
支持部材１０４が洗浄槽９２に退避すると、制御部６は、乾燥機構５６および乾燥機構１１０を同時に駆動する（Ｓ３４）。図１３（ｂ）に示すように、エアナイフ７４が基板Ｗを乾燥させ、エアノズル１１２が支持部材１０４（突起部１０８）を乾燥させる。このとき、クランプ機構１０６の流体通路１６４を介してもエアの供給がなされる。このように第１，第２乾燥処理が同時並行的になされることで、それぞれの乾燥処理で発生する液跳ねの影響を互いに抑制できる。本実施例では、これらの乾燥処理の時間を３０秒としている。
【００８１】
エアナイフ７４は、基板Ｗに対して往復作動はせず、一方向作動で乾燥処理を終了する。一方向作動が終了すると、エアブローを停止し、元の位置に戻る。これらの乾燥処理が終了すると、流体通路１６４を介してのエアの供給を停止する。図１３（ｃ）に示すように、制御部６は、昇降機構９０を駆動して支持部材１０４をロード位置へ上昇させる（Ｓ３６）。そして、支持機構５４から支持機構８８への基板Ｗの受け渡しを行う（Ｓ３８）。基板Ｗが支持部材１０４に再度載置された後、クランプ機構６６のクランプを解除する。
【００８２】
図１３（ｄ）に示すように、制御部６は、基板搬送ロボット２２を駆動して基板Ｗをアンロードする（Ｓ４０）。基板搬送ロボット２２は、支持部材１０４から基板Ｗを取り出し、着脱機構２０へ搬送する。その後、上述しためっき処理が開始される。
【００８３】
めっき処理の終了後、基板Ｗが洗浄装置１６に搬送され、後洗浄処理が行われる。洗浄装置１６の構成および動作は洗浄装置１４とほぼ同様であるが、洗浄槽９２に供給する処理液は脱イオン水（ＤＩＷ）のみである。後洗浄処理は、リンス槽３８で除去しきれなかっためっき液の成分やパーティクルを基板Ｗから除去する。
【００８４】
以上説明したように、本実施例によれば、基板Ｗを支持部材１０４に載置させることで水平姿勢を維持したまま昇降させ、洗浄処理を行うことができる。乾燥処理に際しての基板Ｗの受け渡しも、基板Ｗを支持部材１０４に載置したまま行われるため、支持態様を載置から把持に安定に切り替えることができる。このため、一連の処理過程で基板Ｗが撓み、他の構造物と干渉することもない。すなわち、基板Ｗが大型で薄い基板であっても安定に処理できる。
【００８５】
また、支持部材１０４に複数の突起部１０８を散点的に設け、その突起部１０８を載置面とすることで、基板Ｗの下面の大部分を洗浄液に開放でき、基板Ｗの上下面全体に洗浄液を行きわたらせることができ、洗浄効果を高められる。
【００８６】
また、基板Ｗの乾燥時に支持部材１０４を洗浄槽９２に退避させる構成としたため、支持部材１０４の退避スペースを別途設ける必要がない。また、脱気水によるプリウェット処理、オゾン水による洗浄処理、および脱イオン水によるリンス処理を洗浄槽９２にて行うようにしたため、各処理の処理槽を設ける必要がない。このような構成により、洗浄装置１４全体として省スペース化を図ることができる。
【００８７】
さらに、基板Ｗの乾燥と支持部材１０４（突起部１０８）の乾燥とを同時並行させるため、特に基板Ｗからの液跳ねが、突起部１０８を濡らす等の弊害を抑制できる。支持部材１０４の乾燥を洗浄槽９２内で行うようにしたため、その際に吹き飛ばされた水滴を洗浄槽９２内に留め、そのまま排出口１００から排出できる。洗浄槽９２外の構造物を汚染することもない。
【００８８】
［第２実施例］
図１５は、第２実施例に係る洗浄ユニットの構成を表す斜視図である。
本実施例は、洗浄ユニットが基板を洗浄液に浸漬するタイプではなく、洗浄液を基板の表面に噴射するタイプ（「シャワー式」ともいう）である点で第１実施例と異なる。以下、第１実施例との相異点を中心に説明する。本実施例において特に言及しない限り、第１実施例と同様の構成を適用することができる。
【００８９】
本実施例の洗浄ユニット２５２では、ケース８０が「処理槽８２（洗浄槽９２）」として機能する。処理槽８２には、供給機構２８４、昇降機構９０、および支持機構２８８が配設されている。供給機構２８４は、第１供給機構２１１および第２供給機構２１２を含む。第１供給機構２１１は、一対の可動の供給管２１４ａ，２１４ｂを備える（これらを特に区別しない場合には「供給管２１４」と総称する）。供給管２１４ａ，２１４ｂは、処理槽８２の２つの角部にそれぞれ鉛直方向の回転軸を有する。これらの回転軸は、処理槽８２の一つの対角線に沿って離間するように配置されている。
【００９０】
供給管２１４は、その回転軸から水平方向に延出している。供給管２１４は、処理槽８２の上部に位置する。供給管２１４の下面には、その延在方向に沿って複数のノズル２１８が設けられている。ノズル２１８は、「処理液噴射ノズル」として機能する。供給管２１４からは下方に向けて洗浄液が供給される。供給管２１４ａ，２１４ｂの双方が回動したときに互いに干渉しないよう、図示のように、供給管２１４ｂのほうが、供給管２１４ａよりも高い位置にある。
【００９１】
第２供給機構２１２は、処理槽８２の底部に並設された複数の供給管２２４を有する。供給管２２４の上面には、その延在方向に沿って複数のノズル２２８が設けられている。ノズル２２８は、「処理液噴射ノズル」として機能する。供給管２２４からは上方に向けて洗浄液が供給される。処理槽８２の底面には、図示しない排出口が設けられている。供給管２１４，２２４から供給された洗浄液は、基板を洗浄した後に処理槽８２の底面を流れ、その排出口から排出される。
【００９２】
支持機構２８８は、矩形板状の支持部材２０４と、支持部材２０４の周囲の四隅に配置されたクランプ機構１０６を含む。支持部材２０４は、４つの空領域を有する格子状に形成されている。支持部材２０４の上面には、その格子形状に沿って複数の突起部２０８が設けられている。支持部材２０４の２辺には、突起部２０８を架け渡すロッド状の補強部材２０６が設けられている。これらの突起部２０８に基板が載置される。
【００９３】
図１６は、洗浄ユニット２５２の洗浄中の動作を表す斜視図である。
基板Ｗが支持部材２０４の載置面（突起部２０８）に載置され、クランプ機構１０６にクランプされた状態で洗浄ユニット２５２が駆動されると、供給管２１４が回動しつつノズル２１８から洗浄液を噴射する。供給管２２４のノズル２２８からも同時に洗浄液が噴射される。それにより、基板Ｗの上下面に洗浄液が噴き付けられる。このとき、供給管２１４は、約９０度回動しながら基板Ｗの上面をスキャンする態様で洗浄液を噴き付ける（図中二点鎖線矢印参照）。なお、供給管２１４を繰り返しスキャンさせて洗浄液を基板に噴き付けても良い。その場合、基板上の洗浄液を一方向に押し流して排出するため、供給管２１４をスキャンさせる方向を一方向とすることが好ましい。また、基板表面における洗浄液の排出性を向上させるために、支持部材２０４を水平からやや傾けた状態で洗浄処理を行うのが好ましい。
【００９４】
本実施例によれば、洗浄方式が異なるものの、洗浄時の基板Ｗの姿勢（水平姿勢であること）や、乾燥方法等は第１実施例と同様である。このため、第１実施例と同様の効果を得ることができる。
【００９５】
以上、本発明の好適な実施例について説明したが、本発明はその特定の実施例に限定されるものではなく、本発明の技術思想の範囲内で種々の変形が可能であることはいうまでもない。
【００９６】
図１４は、変形例に係るクランプ構造を表す断面図である。図１４（ａ）は第１変形例を示し、図１４（ｂ）は第２変形例を示す。
上記実施例のクランプ機構では、図９（ｂ）に示したように、アーム１５２の先端にＯリング１６８を設け、基板Ｗへの接触に対処した。第１変形例では、Ｏリングを設けることなく、アーム２６０の先端に拡径部２１０を設ける。これにより、基板Ｗにおいて流体圧力が作用する面積を大きくできるため、アーム２６０による把持力を高めることができる。この場合、アーム２６０における少なくとも先端部の材質を低硬度のものとするのが好ましい。
【００９７】
第２変形例では、アーム２６２に流体通路を設けることなく、その先端を球面形状とする。本変形例では、クランプ機構によるドライエアや脱イオン水の供給はなされない。アーム２６２と支持部材１０４とにより基板Ｗの周縁部を挟持する。本変形例によれば、アーム２６２を基板Ｗに対して点接触状態とすることで接触面積が小さく抑えられるため、基板Ｗの傷つきを抑制し、接触による汚染を最小限とすることができる。この場合も、アーム２６２における少なくとも先端部の材質を低硬度のものとするのが好ましい。
【００９８】
上記実施例では、めっき装置１において、前洗浄部１０とめっき処理部４とを別領域に設定した。変形例においては、めっき処理部に前洗浄部１０の機能を組み入れてもよい。例えば、図１に示しためっき処理部４において、プリウェット槽３０とプリソーク槽３２との間に前洗浄槽を設け、オゾン水洗浄およびリンス処理を行うようにしてもよい。
【００９９】
上記第１実施例では、図７（ａ）に示したように、支持部材１０４を６つの枠領域に分割した格子形状（枠形状）としたが、枠領域の数については６つに限らず、基板Ｗに設定する接触可能領域１４８の配置に応じて適宜設定できる。
【０１００】
上記実施例では述べなかったが、基板の種類に応じて取り替え可能な複数種類の支持部材を用意し、洗浄ユニットに着脱可能としてもよい。基板の種類によって実装領域と非実装領域のレイアウトが異なることを考慮したものである。複数種類の支持部材は、いずれかの基板の非実装領域（接触可能領域）に対応したサイズ、形状および突起部のレイアウトを有する。このような構成により、多種多様なサイズや実装レイアウトの基板に対応できる。
【０１０１】
上記実施例では述べなかったが、上流工程において基板Ｗの洗浄を行ってから、めっき装置１に基板Ｗが受け渡されるまで時間に応じ、前洗浄処理におけるオゾン水洗浄の有無を決定してもよい。上流工程において基板Ｗの洗浄を行っても、時間の経過に伴い、再び基板Ｗのレジスト開口部に露出したシード層上に有機物が付着する場合がある。よって、具体的には、制御部（管理部）が、各基板Ｗについて上流工程で基板Ｗが洗浄された時間情報を入手し、基板受渡台８にセットされるまでの経過時間を計算する。その経過時間が所定時間以上であればオゾン洗浄を実行し、所定時間未満であればオゾン洗浄を省略してもよい。すなわち、推定される基板Ｗの汚染レベルに応じてオゾン水洗浄の有無を決定してもよい。あるいはオゾン洗浄の時間を汚染レベルに応じて変更してもよい。過剰なオゾン洗浄はシード層（導通層）にダメージを与える可能性があるため、このように最適な洗浄条件を設定するのが好ましい。
【０１０２】
上記第１実施例では述べなかったが、洗浄槽９２に処理液を供給する際、少なくとも基板Ｗが浸漬するまで基板Ｗをわずかに傾けてもよい。具体的には、図５に示す状態において、４つの昇降軸１０２の作動を調整し、支持部材１０４を水平面に対して微小角度傾ける（例えば１／１０００〜１／１００程度）。このとき、オーバーフロー槽９４側（右側）が低くなるようにする。
【０１０３】
それにより、基板Ｗの右側から左側に向けて徐々に処理液に浸かるようになる。このことは、基板Ｗの下面と処理液の液面との間の空間が徐々に左側に移ること、つまり空気をオーバーフロー槽９４とは反対側に移動させることを意味する。それにより、気泡がオーバーフロー槽９４に流れ難くできる。すなわち、オーバーフロー槽９４に気泡だまりができてオーバーフローの効率を低下させることを防止又は抑制できる。その場合、基板Ｗが処理液に十分に浸かった後、基板Ｗを水平に戻すとよい。脱気水洗浄が終わった後に水平に戻してもよい。
【０１０４】
このようなクランプ機構を備える基板処理装置によれば、基板本体の処理と同時にクランプ部も処理でき、基板処理全体の効率が高まる。
【０１０５】
なお、本発明は上記実施例や変形例に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化することができる。上記実施例や変形例に開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせることにより種々の発明を形成してもよい。また、上記実施例や変形例に示される全構成要素からいくつかの構成要素を削除してもよい。
【符号の説明】
【０１０６】
１  めっき装置、２  基板着脱部、４  めっき処理部、６  制御部、８  基板受渡台、１０  前洗浄部、１２  後洗浄部、１４  洗浄装置、１６  洗浄装置、１８  ホルダ搬送機構、２０  着脱機構、２２  基板搬送ロボット、２３  移動機構、２４  基板ホルダ、２８  搬送機構、３０  プリウェット槽、３２  プリソーク槽、３４  リンス槽、３６  ブロー槽、３８  リンス槽、４０  オーバーフロー槽、４２  めっき槽、５２  洗浄ユニット、５４  支持機構、５６  乾燥機構、６０  ガイド部材、６６  クランプ機構、７４  エアナイフ、８２  処理槽、８４  供給機構、８６  排出機構、８８  支持機構、９０  昇降機構、９２  洗浄槽、９４  オーバーフロー槽、９６  供給口、９８  供給管、１００  排出口、１０２  昇降軸、１０４  支持部材、１０６  クランプ機構、１０８  突起部、１１０  乾燥機構、１１２  エアノズル、１１４  ドレイン管、１１６  排出口、１１８  ドレイン管、１２２  把持部、１２４  エアシリンダ、１２６  アーム、１２８  挟持部材、１３０  Ｏリング、１４８  接触可能領域、１５０  アクチュエータ、１５２  アーム、１６４  流体通路、１６８  Ｏリング、１７０  供給弁、１７２  排出弁、１７４  切替弁、２０４  支持部材、２０８  突起部、２１０  拡径部、２１１  第１供給機構、２１２  第２供給機構、２１４  供給管、２１８  ノズル、２２４  供給管、２２８  ノズル、２５２  洗浄ユニット、２６０  アーム、２６２  アーム、２８４  供給機構、２８８  支持機構、Ｗ  基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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