(57)【要約】【課題】段積み状態のトレイを１枚ずつ分離して搬送することが可能なトレイ搬送装置を提供する。【解決手段】トレイ搬送装置６は、トレイ配置部９に配置されるトレイ４のうちの最上段に配置される第１トレイ４Ａの上面に接触して複数段に積み重なるトレイ４を上側から押えるためのトレイ押え機構１２と、トレイ配置部９に配置されるトレイ４のうちの上から２番目に配置されるトレイ４である第２トレイ４Ｂと第１トレイ４Ａとを分離するためのトレイ分離機構１３とを備えている。トレイ押え機構１２は、第１トレイ４Ａの上面に接触する押え爪部材と、押え爪部材を移動させる押え爪移動機構３６とを備え、トレイ分離機構１３は、第１トレイ４Ａと第２トレイ４Ｂとの間に入り込む分離爪部材と、分離爪部材を移動させる分離爪移動機構３２とを備えている。【選択図】図３
2020155628.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルを収容可能なトレイが複数段に積み重なった状態で配置されるトレイ配置部と、前記トレイ配置部に配置される前記トレイのうちの最上段に配置される前記トレイである第１トレイを上側から把持するトレイ把持部を有し前記第１トレイを水平方向に搬送するトレイ搬送機構と、前記第１トレイの上面に接触して複数段に積み重なる前記トレイを上側から押えるためのトレイ押え機構と、前記トレイ配置部に配置される前記トレイのうちの上から２番目に配置される前記トレイである第２トレイと前記第１トレイとを分離するためのトレイ分離機構と、前記トレイ押え機構および前記トレイ分離機構に対して前記トレイ配置部を相対的に上下動させるための昇降機構とを備え、
前記トレイ押え機構は、前記第１トレイの上面に接触する押え爪部材と、前記第１トレイの上面に前記押え爪部材が接触可能なトレイ接触位置と前記第１トレイの上側から前記押え爪部材が外れる押え爪退避位置との間で前記押え爪部材を移動させる押え爪移動機構とを備え、
前記トレイ分離機構は、前記第１トレイと前記第２トレイとの間に入り込む分離爪部材と、前記第１トレイと前記第２トレイとの間に前記分離爪部材が入り込むトレイ分離位置と前記第１トレイと前記第２トレイとの間から前記分離爪部材が外れる分離爪退避位置との間で前記分離爪部材を移動させる分離爪移動機構とを備え、
前記押え爪部材が前記トレイ接触位置に配置され、かつ、前記分離爪部材が前記分離爪退避位置に配置されている状態で、前記押え爪部材が前記第１トレイの上面に接触する位置まで、前記昇降機構が、前記トレイ押え機構および前記トレイ分離機構に対して前記トレイ配置部を相対的に上昇させて停止させた後、前記分離爪移動機構が、前記分離爪退避位置に配置されている前記分離爪部材を前記トレイ分離位置に移動させてから、
前記昇降機構が、前記トレイ押え機構および前記トレイ分離機構に対して前記トレイ配置部を相対的に下降させて、前記第２トレイに対して前記第１トレイを相対的に持ち上げること、および、前記押え爪移動機構が、前記トレイ接触位置に配置されている前記押え爪部材を前記押え爪退避位置に移動させた後、前記第１トレイを把持している前記トレイ把持部を上昇させて、前記第２トレイに対して前記第１トレイを持ち上げることの少なくともいずれか一方を行うことを特徴とするトレイ搬送装置。
【請求項２】
前記トレイ搬送機構は、前記トレイ把持部を昇降させる把持部昇降機構を備えることを特徴とする請求項１記載のトレイ搬送装置。
【請求項３】
水平方向へ直線的に移動する前記トレイ把持部の移動方向と上下方向とに直交する方向を第１方向とすると、
前記押え爪部材および前記分離爪部材は、前記トレイ配置部に配置される前記トレイの第１方向の両側に配置され、
前記押え爪移動機構は、前記押え爪部材を第１方向に移動させ、
前記分離爪移動機構は、前記分離爪部材を第１方向に移動させることを特徴とする請求項１または２記載のトレイ搬送装置。
【請求項４】
前記分離爪部材は、前記トレイ配置部に配置される前記トレイの第１方向の両側のそれぞれで、前記トレイ把持部の移動方向に間隔をあけた状態で２箇所に配置され、
前記押え爪部材は、前記トレイ配置部に配置される前記トレイの第１方向の両側のそれぞれで、２箇所に配置される前記分離爪部材の間の１箇所に配置されていることを特徴とする請求項３記載のトレイ搬送装置。
【請求項５】
前記トレイ接触位置に配置される前記押え爪部材が前記第１トレイの上面に接触する位置で前記第１トレイを検知するための検知機構を備え、
前記昇降機構は、前記検知機構の検知結果に基づいて前記トレイ押え機構および前記トレイ分離機構に対して前記トレイ配置部を相対的に停止させることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のトレイ搬送装置。
【請求項６】
前記トレイ押え機構および前記トレイ分離機構は、前記トレイ搬送装置のフレームに取り付けられ、
前記昇降機構は、前記フレームに対して前記トレイ配置部を昇降させることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のトレイ搬送装置。
【請求項７】
前記トレイ搬送機構によって搬送された前記第１トレイを受け取るための第１トレイ受取機構と、前記第１トレイ受取機構から前記第１トレイを受け取るための第２トレイ受取機構と、前記第１トレイ受取機構より下側に配置されるとともに前記第２トレイ受取機構から前記第１トレイを受け取って水平方向に搬送する第２トレイ搬送機構とを備え、
前記第１トレイ受取機構は、前記第１トレイが載置される複数の第１載置爪部材と、前記第１トレイが前記第１載置爪部材に載置可能な第１トレイ載置位置と前記第１トレイの下側から前記第１載置爪部材が外れる第１載置爪退避位置との間で前記第１載置爪部材を移動させる第１載置爪移動機構とを備え、
前記第２トレイ受取機構は、前記第１トレイが載置される複数の第２載置爪部材と、前記第１トレイが前記第２載置爪部材に載置可能な第２トレイ載置位置と前記第１トレイの下側から前記第２載置爪部材が外れる第２載置爪退避位置との間で前記第２載置爪部材を移動させる第２載置爪移動機構と、前記第２載置爪部材および前記第２載置爪移動機構が取り付けられるトレイ受取部と、前記トレイ受取部を昇降させる受取部昇降機構とを備え、
前記第２トレイ搬送機構には、前記第２載置爪部材に載置された前記第１トレイが引き渡されて段積みされ、
前記第２トレイ搬送機構は、段積みされた前記第１トレイを水平方向に搬送し、
前記受取部昇降機構は、前記第２載置爪部材が前記第１載置爪部材よりも上側に配置される上昇位置と、前記第２トレイ搬送機構に前記第１トレイを引き渡す引渡位置との間で前記トレイ受取部を昇降させ、
前記第２載置爪移動機構は、前記第２トレイ搬送機構に前記第１トレイを引き渡すときに前記第２トレイ載置位置に配置される前記第２載置爪部材を前記第２載置爪退避位置に移動させ、
前記第２載置爪部材に前記第１トレイが載置された状態で前記上昇位置に配置される前記トレイ受取部を前記受取部昇降機構が前記引渡位置に向かって下降させて、前記第２載置爪部材に載置された前記第１トレイが前記第１載置爪部材よりも下側に移動すると、前記第１載置爪移動機構が、前記第１載置爪退避位置に配置される前記第１載置爪部材を前記第１トレイ載置位置に移動させてから、前記トレイ搬送機構が、前記第１載置爪部材に前記第１トレイを載置し、
その後、前記引渡位置で前記第２トレイ搬送機構に前記第１トレイを引き渡した前記トレイ受取部を、前記第２載置爪部材が前記第２トレイ載置位置に配置された状態で前記上昇位置に向かって前記受取部昇降機構が上昇させて、前記第１載置爪部材に載置された前記第１トレイを前記第２載置爪部材に載置し、その後、前記第１載置爪移動機構が、前記第１トレイ載置位置に配置される前記第１載置爪部材を前記第１載置爪退避位置に移動させることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のトレイ搬送装置。
【請求項８】
前記トレイ搬送機構は、前記第１載置爪部材に前記第１トレイを載置すると、次の前記第１トレイを前記第２トレイに対して持ち上げて待機することを特徴とする請求項７記載のトレイ搬送装置。
【請求項９】
請求項７または８記載のトレイ搬送装置と、前記表示パネルを搬送するパネル搬送ロボットとを備え、
前記パネル搬送ロボットは、前記トレイ受取部が前記上昇位置に配置されているときの前記第２載置爪部材に載置された前記第１トレイからの前記表示パネルの搬出、および、前記トレイ受取部が前記上昇位置に配置されているときの前記第２載置爪部材に載置された前記第１トレイへの前記表示パネルの搬入の少なくともいずれか一方を行うことを特徴とするパネル搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の表示パネルを収容可能なトレイを搬送するトレイ搬送装置に関する。また、本発明は、かかるトレイ搬送装置を備えるパネル搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、小型の液晶パネルを搬送する搬送システムが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の搬送システムは、液晶パネルを収容可能なトレイを搬送するコンベヤと、トレイが載置されるトレイステージと、コンベヤとトレイステージとの間でトレイを搬送する第１搬送ロボットと、トレイステージに載置されたトレイから液晶パネルを搬出する第２搬送ロボットとを備えている。コンベヤは、複数段に積み重なった段積み状態のトレイを前後方向へ直線的に搬送する。第１搬送ロボットは、トレイを把持するトレイ把持部を備えている。第２搬送ロボットは、液晶パネルを把持するパネル把持部を備えている。
【０００３】
また、特許文献１に記載の搬送システムは、トレイを搬送するコンベヤとして、供給側のコンベヤと排出側のコンベヤとを備えている。第１搬送ロボットは、供給側のコンベヤからトレイステージにトレイを１枚ずつ搬送するとともに、トレイステージから排出側のコンベヤにトレイを１枚ずつ搬送する。供給側のコンベヤの後端側には、コンベヤ上のトレイの段数を検知するための段数検知機構が配置されている。特許文献１に記載の搬送システムでは、段数検知機構の検知結果に基づいて第１搬送ロボットが動作して、供給側のコンベヤからトレイステージにトレイを搬送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１８−６５１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の搬送システムでは、供給側のコンベヤ上で段積みされたトレイの中の２枚以上のトレイが重なった状態で供給側のコンベヤからトレイステージに搬送されると、トレイステージに載置されたトレイから第２搬送ロボットが液晶パネルを搬出できなくなったり、トレイステージに載置されたトレイに収容される液晶パネルと第２搬送ロボットのパネル把持部とが衝突して液晶パネルが破損したりする等の様々な問題が発生するおそれがある。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、段積み状態のトレイを１枚ずつ分離して搬送することが可能なトレイ搬送装置を提供することにある。また、本発明の課題は、かかるトレイ搬送装置を備えるパネル搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明のトレイ搬送装置は、表示パネルを収容可能なトレイが複数段に積み重なった状態で配置されるトレイ配置部と、トレイ配置部に配置されるトレイのうちの最上段に配置されるトレイである第１トレイを上側から把持するトレイ把持部を有し第１トレイを水平方向に搬送するトレイ搬送機構と、第１トレイの上面に接触して複数段に積み重なるトレイを上側から押えるためのトレイ押え機構と、トレイ配置部に配置されるトレイのうちの上から２番目に配置されるトレイである第２トレイと第１トレイとを分離するためのトレイ分離機構と、トレイ押え機構およびトレイ分離機構に対してトレイ配置部を相対的に上下動させるための昇降機構とを備え、トレイ押え機構は、第１トレイの上面に接触する押え爪部材と、第１トレイの上面に押え爪部材が接触可能なトレイ接触位置と第１トレイの上側から押え爪部材が外れる押え爪退避位置との間で押え爪部材を移動させる押え爪移動機構とを備え、トレイ分離機構は、第１トレイと第２トレイとの間に入り込む分離爪部材と、第１トレイと第２トレイとの間に分離爪部材が入り込むトレイ分離位置と第１トレイと第２トレイとの間から分離爪部材が外れる分離爪退避位置との間で分離爪部材を移動させる分離爪移動機構とを備え、押え爪部材がトレイ接触位置に配置され、かつ、分離爪部材が分離爪退避位置に配置されている状態で、押え爪部材が第１トレイの上面に接触する位置まで、昇降機構が、トレイ押え機構およびトレイ分離機構に対してトレイ配置部を相対的に上昇させて停止させた後、分離爪移動機構が、分離爪退避位置に配置されている分離爪部材をトレイ分離位置に移動させてから、昇降機構が、トレイ押え機構およびトレイ分離機構に対してトレイ配置部を相対的に下降させて、第２トレイに対して第１トレイを相対的に持ち上げること、および、押え爪移動機構が、トレイ接触位置に配置されている押え爪部材を押え爪退避位置に移動させた後、第１トレイを把持しているトレイ把持部を上昇させて、第２トレイに対して第１トレイを持ち上げることの少なくともいずれか一方を行うことを特徴とする。
【０００８】
本発明のトレイ搬送装置は、第１トレイと第２トレイとを分離するためのトレイ分離機構を備えており、トレイ分離機構は、第１トレイと第２トレイとの間に入り込む分離爪部材と、トレイ分離位置と分離爪退避位置との間で分離爪部材を移動させる分離爪移動機構とを備えている。また、本発明では、分離爪移動機構が、分離爪退避位置に配置されている分離爪部材をトレイ分離位置に移動させてから、昇降機構が、トレイ押え機構およびトレイ分離機構に対してトレイ配置部を相対的に下降させて、第２トレイに対して第１トレイを相対的に持ち上げること、および、押え爪移動機構が、トレイ接触位置に配置されている押え爪部材を押え爪退避位置に移動させた後、第１トレイを把持しているトレイ把持部を上昇させて、第２トレイに対して第１トレイを持ち上げることの少なくともいずれか一方を行っている。
【０００９】
そのため、本発明では、第２トレイに対して第１トレイを相対的に持ち上げるときに、トレイ分離位置に配置される分離爪部材によって、第１トレイと第２トレイとを分離することが可能になる。したがって、本発明では、複数段に積み重なった段積み状態のトレイを１枚ずつ分離して搬送することが可能になる。
【００１０】
また、本発明のトレイ搬送装置は、第１トレイの上面に接触して複数段に積み重なるトレイを上側から押えるためのトレイ押え機構を備えており、トレイ押え機構は、第１トレイの上面に接触する押え爪部材と、第１トレイの上面に押え爪部材が接触可能なトレイ接触位置と第１トレイの上側から押え爪部材が外れる押え爪退避位置との間で押え爪部材を移動させる押え爪移動機構とを備えている。また、本発明では、押え爪部材がトレイ接触位置に配置されている状態で、押え爪部材が第１トレイの上面に接触する位置まで、昇降機構が、トレイ押え機構およびトレイ分離機構に対してトレイ配置部を相対的に上昇させて停止させた後、分離爪移動機構が、分離爪退避位置に配置されている分離爪部材をトレイ分離位置に移動させている。
【００１１】
そのため、本発明では、複数段に積み重なったトレイが傾いていても、第１トレイと第２トレイとの間に分離爪部材を入れる前に、押え爪部材によって、複数段に積み重なったトレイの傾きを矯正することが可能になる。したがって、本発明では、トレイ配置部に配置される段積み状態のトレイが傾いていても、第１トレイと第２トレイとの間により高い確率で分離爪部材を入れ込むことが可能になり、その結果、段積み状態のトレイを確実に１枚ずつ分離して搬送することが可能になる。
【００１２】
本発明において、たとえば、トレイ搬送機構は、トレイ把持部を昇降させる把持部昇降機構を備えている。
【００１３】
本発明において、水平方向へ直線的に移動するトレイ把持部の移動方向と上下方向とに直交する方向を第１方向とすると、たとえば、押え爪部材および分離爪部材は、トレイ配置部に配置されるトレイの第１方向の両側に配置され、押え爪移動機構は、押え爪部材を第１方向に移動させ、分離爪移動機構は、分離爪部材を第１方向に移動させる。
【００１４】
この場合には、分離爪部材は、トレイ配置部に配置されるトレイの第１方向の両側のそれぞれで、トレイ把持部の移動方向に間隔をあけた状態で２箇所に配置され、押え爪部材は、トレイ配置部に配置されるトレイの第１方向の両側のそれぞれで、２箇所に配置される分離爪部材の間の１箇所に配置されていることが好ましい。このように構成すると、４個の分離爪部材をバランス良く配置することが可能になるため、分離爪部材によって、第１トレイと第２トレイとをより分離しやすくなる。また、このように構成すると、２個の押え爪部材をバランス良く配置することが可能になるため、押え爪部材によって、複数段に積み重なったトレイの傾きを矯正しやすくなる。
【００１５】
本発明において、トレイ搬送装置は、トレイ接触位置に配置される押え爪部材が第１トレイの上面に接触する位置で第１トレイを検知するための検知機構を備え、昇降機構は、検知機構の検知結果に基づいてトレイ押え機構およびトレイ分離機構に対してトレイ配置部を相対的に停止させることが好ましい。このように構成すると、段積み状態のトレイが押え爪部材によって過剰な力で上側から押え付けられるのを防止することが可能になる。したがって、トレイ等の破損を防止することが可能になる。
【００１６】
本発明において、たとえば、トレイ押え機構およびトレイ分離機構は、トレイ搬送装置のフレームに取り付けられ、昇降機構は、フレームに対してトレイ配置部を昇降させる。
【００１７】
本発明において、トレイ搬送装置は、トレイ搬送機構によって搬送された第１トレイを受け取るための第１トレイ受取機構と、第１トレイ受取機構から第１トレイを受け取るための第２トレイ受取機構と、第１トレイ受取機構より下側に配置されるとともに第２トレイ受取機構から第１トレイを受け取って水平方向に搬送する第２トレイ搬送機構とを備え、第１トレイ受取機構は、第１トレイが載置される複数の第１載置爪部材と、第１トレイが第１載置爪部材に載置可能な第１トレイ載置位置と第１トレイの下側から第１載置爪部材が外れる第１載置爪退避位置との間で第１載置爪部材を移動させる第１載置爪移動機構とを備え、第２トレイ受取機構は、第１トレイが載置される複数の第２載置爪部材と、第１トレイが第２載置爪部材に載置可能な第２トレイ載置位置と第１トレイの下側から第２載置爪部材が外れる第２載置爪退避位置との間で第２載置爪部材を移動させる第２載置爪移動機構と、第２載置爪部材および第２載置爪移動機構が取り付けられるトレイ受取部と、トレイ受取部を昇降させる受取部昇降機構とを備え、第２トレイ搬送機構には、第２載置爪部材に載置された第１トレイが引き渡されて段積みされ、第２トレイ搬送機構は、段積みされた第１トレイを水平方向に搬送し、受取部昇降機構は、第２載置爪部材が第１載置爪部材よりも上側に配置される上昇位置と、第２トレイ搬送機構に第１トレイを引き渡す引渡位置との間でトレイ受取部を昇降させ、第２載置爪移動機構は、第２トレイ搬送機構に第１トレイを引き渡すときに第２トレイ載置位置に配置される第２載置爪部材を第２載置爪退避位置に移動させ、第２載置爪部材に第１トレイが載置された状態で上昇位置に配置されるトレイ受取部を受取部昇降機構が引渡位置に向かって下降させて、第２載置爪部材に載置された第１トレイが第１載置爪部材よりも下側に移動すると、第１載置爪移動機構が、第１載置爪退避位置に配置される第１載置爪部材を第１トレイ載置位置に移動させてから、トレイ搬送機構が、第１載置爪部材に第１トレイを載置し、その後、引渡位置で第２トレイ搬送機構に第１トレイを引き渡したトレイ受取部を、第２載置爪部材が第２トレイ載置位置に配置された状態で上昇位置に向かって受取部昇降機構が上昇させて、第１載置爪部材に載置された第１トレイを第２載置爪部材に載置し、第１載置爪移動機構が、第１トレイ載置位置に配置される第１載置爪部材を第１載置爪退避位置に移動させることが好ましい。
【００１８】
このように構成すると、第２トレイ受取機構が第２トレイ搬送機構に第１トレイを引き渡す動作を行いながら、第１トレイ受取機構がトレイ搬送機構から次の第１トレイを受け取ることが可能になる。したがって、第２トレイ受取機構がトレイ搬送機構から第１トレイを直接、受け取る場合と比較して、トレイ搬送装置のサイクルタイムを短縮することが可能になる。
【００１９】
本発明において、トレイ搬送機構は、第１載置爪部材に第１トレイを載置すると、次の第１トレイを第２トレイに対して持ち上げて待機することが好ましい。このように構成すると、トレイ搬送装置のサイクルタイムをより短縮することが可能になる。
【００２０】
本発明のトレイ搬送装置は、表示パネルを搬送するパネル搬送ロボットを備えるパネル搬送システムに用いることができる。このパネル搬送システムでは、パネル搬送ロボットは、トレイ受取部が上昇位置に配置されているときの第２載置爪部材に載置された第１トレイからの表示パネルの搬出、および、トレイ受取部が上昇位置に配置されているときの第２載置爪部材に載置された第１トレイへの表示パネルの搬入の少なくともいずれか一方を行う。このパネル搬送システムでは、複数段に積み重なった段積み状態のトレイを１枚ずつ分離して搬送することが可能になる。
【発明の効果】
【００２１】
以上のように、本発明では、段積み状態のトレイを１枚ずつ分離して搬送することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態にかかるパネル搬送システムの概略構成を説明するための平面図である。
【図２】図１に示すトレイ搬送装置の側面図である。
【図３】図２に示すトレイ搬送装置の上側部分の斜視図である。
【図４】図２に示すトレイ搬送装置の一部の構成を説明するための平面図である。
【図５】図３に示すトレイ搬送機構、トレイ押え機構およびトレイ分離機構の構成および動作を説明するための図である。
【図６】図３に示すトレイ搬送機構、トレイ押え機構およびトレイ分離機構の構成および動作を説明するための図である。
【図７】図２に示す第１トレイ受取機構、第２トレイ受取機構の構成および動作を説明するための図である。
【図８】図２に示すトレイ搬送機構、第１トレイ受取機構および第２トレイ受取機構の動作を説明するための図である。
【図９】図２に示すトレイ搬送機構、第１トレイ受取機構および第２トレイ受取機構の動作を説明するための図である。
【図１０】本発明の他の実施の形態にかかるトレイ搬送装置の動作を説明するための図である。
【図１１】本発明の他の実施の形態にかかるトレイ分離機構の構成およびトレイ搬送装置の動作を説明するための図である。
【図１２】本発明の他の実施の形態にかかるトレイ分離機構の構成およびトレイ搬送装置の動作を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００２４】
（パネル搬送システムの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかるパネル搬送システム１の概略構成を説明するための平面図である。図２は、図１に示すトレイ搬送装置６の側面図である。
【００２５】
本形態のパネル搬送システム１は、携帯機器等で使用される比較的小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれて使用される。パネル搬送システム１は、表示パネルである液晶パネル２を搬送する。具体的には、パネル搬送システム１は、液晶パネル２を検査する検査装置３へ液晶パネル２を搬入する。液晶パネル２は、長方形の平板状に形成されている。検査装置３で検査が行われる前の液晶パネル２は、トレイ４に収容されている。
【００２６】
トレイ４は、比較的剛性の低い樹脂で形成されている。また、トレイ４は、略長方形の平板状に形成されている。トレイ４の上面には、液晶パネル２が収容される複数の凹部が形成されている（図３参照）。トレイ４には、複数枚の液晶パネル２が上下方向で重ならない状態で収容可能となっている。トレイ４の下端部には、トレイ４の外周側に広がる枠状（環状）の鍔部４ａが形成されている（図５等参照）。鍔部４ａは、略長方形の枠状に形成されている。
【００２７】
検査装置３は、たとえば、液晶パネル２を点灯検査する点灯検査装置である。検査装置３は、液晶パネル２が載置されるパネル載置部５を２箇所に有するパネル保持部と、液晶パネル２の点灯検査時に内部が暗室となる筐体とを備えている。筐体の内部には、液晶パネル２の点灯検査を行うためのバックライトやカメラが設置されている。また、検査装置３は、２個のパネル載置部５のうちの一方のパネル載置部５が筐体の外部に配置されるとともに他方のパネル載置部５が筐体の内部に配置される位置と、一方のパネル載置部５が筐体の内部に配置されるとともに他方のパネル載置部５が筐体の外部に配置される位置とにパネル保持部を回動させる回動機構を備えている。
【００２８】
パネル搬送システム１は、トレイ４を搬送するトレイ搬送装置６と、液晶パネル２を搬送するパネル搬送ロボット７（以下、「ロボット７」とする。）とを備えている。たとえば、パネル搬送システム１は、３台のトレイ搬送装置６と、１台のロボット７とを備えている。トレイ搬送装置６は、検査前の液晶パネル２が収容されるとともに複数段に積み重なっている段積み状態のトレイ４を段ばらしして、トレイ４を１枚ずつ搬送する。また、トレイ搬送装置６は、液晶パネル２が搬出された後の空のトレイ４を１枚ずつ搬送して段積みするとともに段積みされた空のトレイ４を搬送する。トレイ搬送装置６の具体的な構成については後述する。
【００２９】
ロボット７は、たとえば、６軸の垂直多関節ロボットである。ロボット７は、トレイ搬送装置６から検査装置３に液晶パネル２を１枚ずつ搬送する。具体的には、ロボット７は、トレイ搬送装置６において段ばらしされたトレイ４からパネル載置部５に１枚ずつ液晶パネル２を搬送する。ロボット７は、液晶パネル２を吸引して保持するパネル吸引機構を備えている。なお、ロボット７は、６軸以外の垂直多関節ロボットであっても良いし、水平多関節ロボットであっても良い。また、ロボット７は、３軸直交ロボットであっても良いし、パラレルリンクロボットであっても良い。
【００３０】
（トレイ搬送装置の構成）
図３は、図２に示すトレイ搬送装置６の上側部分の斜視図である。図４は、図２に示すトレイ搬送装置６の一部の構成を説明するための平面図である。図５、図６は、図３に示すトレイ搬送機構１１、トレイ押え機構１２およびトレイ分離機構１３の構成および動作を説明するための図である。図７は、図２に示すトレイ受取機構１８、１９の構成および動作を説明するための図である。図８、図９は、図２に示すトレイ搬送機構１１、トレイ受取機構１８、１９の動作を説明するための図である。
【００３１】
トレイ搬送装置６は、検査前の液晶パネル２が収容されたトレイ４が複数段に積み重なった状態（段積み状態）で配置されるトレイ配置部９を備えている。また、トレイ配置部９に配置される段積み状態のトレイ４のうちの最上段に配置されるトレイ４を「第１トレイ４Ａ」とし、トレイ配置部４に配置される段積み状態のトレイ４のうちの上から２番目に配置されるトレイ４を「第２トレイ４Ｂ」とすると（図５、図６参照）、トレイ搬送装置６は、第１トレイ４Ａを上側から把持するトレイ把持部１０を有し第１トレイ４Ａを水平方向に搬送するトレイ搬送機構１１を備えている。
【００３２】
また、トレイ搬送装置６は、第１トレイ４Ａの上面に接触して複数段に積み重なるトレイ４を上側から押えるためのトレイ押え機構１２と、第１トレイ４Ａと第２トレイ４Ｂとを分離するためのトレイ分離機構１３と、第１トレイ４Ａを水平方向で位置決めするためのトレイ位置決め機構１４と、トレイ配置部９を昇降させるトレイ昇降機構１５と、第１トレイ４Ａを検知するための検知機構１６とを備えている。なお、図２、図３では、検知機構１６の図示を省略している。
【００３３】
さらに、トレイ搬送装置６は、トレイ搬送機構１１によって搬送された第１トレイ４Ａを受け取るためのトレイ受取機構１８と、トレイ受取機構１８から第１トレイ４Ａを受け取るためのトレイ受取機構１９と、トレイ受取機構１９から第１トレイ４Ａを受け取って水平方向に搬送するトレイ搬送機構２０とを備えている。本形態のトレイ受取機構１８は、第１トレイ受取機構であり、トレイ受取機構１９は、第２トレイ受取機構であり、トレイ搬送機構２０は、第２トレイ搬送機構である。なお、図３では、トレイ受取機構１９の図示を省略している。
【００３４】
トレイ把持部１０は、水平方向へ直線的に移動する。以下の説明では、トレイ把持部１０の移動方向（図２等のＸ方向）を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する図２等のＹ方向を左右方向とする。また、前後方向の一方側である図２等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図２等のＸ２方向側を「後ろ」側とする。本形態の左右方向（Ｙ方向）は、第１方向である。なお、パネル搬送システム１が有する３台のトレイ搬送装置６は、たとえば、左右方向に配列されている。
【００３５】
トレイ配置部９は、トレイ搬送装置６の前端側に配置されている。トレイ配置部９には、たとえば、オペレータの手作業によって、検査前の液晶パネル２が収容された段積み状態のトレイ４が載置される。また、トレイ配置部９には、たとえば、積み重なった３０枚のトレイ４（３０段に段積みされたトレイ４）が載置される。
【００３６】
トレイ昇降機構１５は、トレイ配置部９の左右の両端側のそれぞれに配置されている。トレイ昇降機構１５は、たとえば、モータと、モータの動力で回転するネジ軸およびネジ軸に係合するナット部材を有するボールねじと、トレイ配置部９を上下方向に案内するガイド機構とを備えている。ネジ軸は、トレイ搬送装置６のフレーム２３に回転可能に取り付けられ、ナット部材は、トレイ配置部９に取り付けられている。トレイ昇降機構１５は、フレーム２３に対してトレイ配置部９を昇降させる。
【００３７】
トレイ搬送機構１１は、第１トレイ４Ａを後ろ側へ搬送する。トレイ搬送機構１１は、トレイ把持部１０に加えて、トレイ把持部１０を昇降させる把持部昇降機構としてのエアシリンダ２４と、トレイ把持部１０を前後方向にスライドさせるスライド機構２５とを備えている。エアシリンダ２４およびスライド機構２５は、トレイ把持部１０の上側に配置されている。トレイ把持部１０は、第１トレイ４Ａの上面を吸着して把持する複数の吸着パッド２６を備えている。吸着パッド２６は、トレイ把持部１０のフレーム２７に上下動可能に保持されている。また、吸着パッド２６は、圧縮コイルバネ等のバネ部材（図示省略）によってフレーム２７に対して下側に付勢されている。
【００３８】
エアシリンダ２４は、エアシリンダ２４のロッドが下側に突出するように配置されている。エアシリンダ２４のロッドの先端（下端）には、フレーム２７が固定されている。エアシリンダ２４の上端部は、スライド部材２８に固定されている。スライド機構２５は、たとえば、モータと、モータの動力で回転するネジ軸およびネジ軸に係合するナット部材を有するボールねじと、スライド部材２８を前後方向に案内するガイド機構とを備えている。ネジ軸は、トレイ搬送装置６の上側を覆う天板（図示省略）に回転可能に取り付けられ、ナット部材は、スライド部材２８に取り付けられている。
【００３９】
トレイ分離機構１３は、第１トレイ４Ａと第２トレイ４Ｂとの間に入り込む分離爪部材としての爪部材３１と、爪部材３１を移動させる分離爪移動機構としてのエアシリンダ３２とを備えている。エアシリンダ３２は、たとえば、エアスライドシリンダである。エアシリンダ３２の固定側部材は、フレーム２３の上面に固定されている。爪部材３１は、エアシリンダ３２の可動側部材に固定される固定部材３３（図４参照）と一体で形成されており、固定部材３３を介してエアシリンダ３２の可動側部材に固定されている。すなわち、トレイ分離機構１３は、フレーム２３に取り付けられている。
【００４０】
爪部材３１およびエアシリンダ３２は、トレイ配置部９に配置されるトレイ４の左右方向の両側に配置されている。すなわち、爪部材３１およびエアシリンダ３２は、トレイ載置部９に載置されるトレイ４を左右方向で挟むように設置されている。エアシリンダ３２の固定側部材は、トレイ配置部９に配置されるトレイ４よりも左右方向の外側に配置されている。また、爪部材３１およびエアシリンダ３２は、トレイ配置部９に配置されるトレイ４の左右方向の両側のそれぞれにおいて、前後方向に間隔をあけた状態で２箇所に配置されている。すなわち、トレイ分離機構１３は、４個の爪部材３１およびエアシリンダ３２を備えている。
【００４１】
爪部材３１は、固定部材３３の下端側に繋がっている。また、爪部材３１は、固定部材３３から左右方向の内側に向かって突出している。すなわち、爪部材３１は、爪部材３１の先端が左右方向の内側を向くように、固定部材３３を介してエアシリンダ３２の可動側部材の左右方向の内側面に固定されている。エアシリンダ３２は、爪部材３１を左右方向に移動させる。
【００４２】
また、エアシリンダ３２は、第１トレイ４Ａと第２トレイ４Ｂとの間に爪部材３１が入り込むトレイ分離位置３１Ａと、第１トレイ４Ａと第２トレイ４Ｂとの間から爪部材３１が外れる分離爪退避位置としての退避位置３１Ｂとの間で爪部材３１を移動させる。具体的には、トレイ４には、上述のように、鍔部４ａが形成されており、エアシリンダ３２は、第１トレイ４Ａの鍔部４ａと第２トレイ４Ｂの鍔部４ａとの間に爪部材３１が入り込むトレイ分離位置３１Ａと、第１トレイ４Ａの鍔部４ａおよび第２トレイ４Ｂの鍔部４ａよりも爪部材３１が左右方向の外側に配置される退避位置３１Ｂとの間で爪部材３１を移動させる。
【００４３】
トレイ押え機構１２は、第１トレイ４Ａの上面に接触する押え爪部材としての爪部材３５と、爪部材３５を移動させる押え爪移動機構としてのエアシリンダ３６とを備えている。エアシリンダ３６は、エアシリンダ３２と同様に、たとえば、エアスライドシリンダである。エアシリンダ３６の固定側部材は、フレーム２３の上面に固定されている。爪部材３５は、エアシリンダ３６の可動側部材に固定される固定部材３７（図４参照）と一体で形成されており、固定部材３７を介してエアシリンダ３６の可動側部材に固定されている。すなわち、トレイ押え機構１２は、フレーム２３に取り付けられている。
【００４４】
爪部材３５およびエアシリンダ３６は、トレイ配置部９に配置されるトレイ４の左右方向の両側に配置されている。すなわち、爪部材３５およびエアシリンダ３６は、トレイ載置部９に載置されるトレイ４を左右方向で挟むように設置されている。エアシリンダ３６の固定側部材は、トレイ配置部９に配置されるトレイ４よりも左右方向の外側に配置されている。本形態では、エアシリンダ３２の固定側部材とエアシリンダ３６の固定側部材とは、左右方向において同じ位置に配置されている。また、爪部材３５およびエアシリンダ３６は、トレイ配置部９に配置されるトレイ４の左右方向の両側のそれぞれにおいて、２箇所に配置される爪部材３１およびエアシリンダ３２の間の１箇所に配置されている。すなわち、トレイ押え機構１２は、２個の爪部材３５およびエアシリンダ３６を備えている。
【００４５】
爪部材３５は、固定部材３７の下端側に繋がっている。また、爪部材３７は、固定部材３７から左右方向の内側に向かって突出している。すなわち、爪部材３５は、爪部材３５の先端が左右方向の内側を向くように、固定部材３７を介してエアシリンダ３６の可動側部材の左右方向の内側面に固定されている。爪部材３５は、爪部材３１よりも上側に配置されている。爪部材３５の前後方向の幅は、爪部材３１の前後方向の幅よりも広くなっている。たとえば、爪部材３５の前後方向の幅は、爪部材３１の前後方向の幅の３倍程度となっている。
【００４６】
エアシリンダ３６は、爪部材３５を左右方向に移動させる。また、エアシリンダ３６は、第１トレイ４Ａの上面に爪部材３５が接触可能なトレイ接触位置３５Ａと、第１トレイ４Ａの上側から爪部材３５が外れる押え爪退避位置としての退避位置３５Ｂの間で爪部材３５を移動させる。具体的には、エアシリンダ３６は、第１トレイ４Ａの鍔部４ａの上面に爪部材３５が接触可能なトレイ接触位置３５Ａと、第１トレイ４Ａの鍔部４ａよりも爪部材３５が左右方向の外側に配置される退避位置３５Ｂの間で爪部材３５を移動させる。トレイ接触位置３５Ａに配置される爪部材３５は、第１トレイ４Ａの鍔部４ａの上面の前後方向の中心部に接触可能となっている。
【００４７】
上述のように、トレイ押え機構１２およびトレイ分離機構１３は、フレーム２３に取り付けられている。また、トレイ昇降機構１５は、フレーム２３に対してトレイ配置部９を昇降させる。本形態のトレイ昇降機構１５は、トレイ押え機構１２およびトレイ分離機構１３に対してトレイ配置部９を相対的に上下動させるための昇降機構である。
【００４８】
トレイ位置決め機構１４は、第１トレイ４Ａを後ろ側に向かって押すエアシリンダ４０と、第１トレイ４Ａの後端側の２個の角部のそれぞれが接触する２個のガイド部材４１と、２個のガイド部材４１のそれぞれを左右方向に移動させるエアシリンダ４２とを備えている。エアシリンダ４０、４２は、たとえば、エアスライドシリンダである。エアシリンダ４０、４２の固定側部材は、フレーム２３の上面に固定されている。エアシリンダ４０の固定側部材は、トレイ配置部９に配置されるトレイ４よりも前側に配置されている。エアシリンダ４０の可動側部材は、前後方向に移動可能となっており、エアシリンダ４０の可動側部材が第１トレイ４Ａの前面に接触可能となっている。
【００４９】
ガイド部材４１は、エアシリンダ４２の可動側部材に固定されている。エアシリンダ４２の固定側部材は、トレイ配置部９に配置されるトレイ４よりも左右方向の外側に配置されている。エアシリンダ４２は、ガイド部材４１を左右方向に移動させる。また、エアシリンダ４２は、第１トレイ４Ａの後端側の角部がガイド部材４１に接触可能な位置決め位置（図４に示す位置）と、ガイド部材４１が第１トレイ４Ａよりも左右方向の外側に退避する退避位置との間でガイド部材４１を移動させる。本形態では、ガイド部材４１を位置決め位置に移動させることで、左右方向において第１トレイ４Ａが位置決めされる。また、ガイド部材４１が位置決め位置に配置された状態で、エアシリンダ４０が第１トレイ４Ａを後ろ側に押すと、前後方向において第１トレイ４Ａが位置決めされる。
【００５０】
検知機構１６は、透過型の光学式センサであり、発光部４４と受光部４５とを備えている。発光部４４および受光部４５は、たとえば、フレーム２３の上面に固定されている。発光部４４と受光部４５とは、トレイ配置部９に配置されるトレイ４を左右方向で挟むように配置されている。また、検知機構１６は、たとえば、前後方向に間隔をあけた状態で２箇所に設置されている。検知機構１６は、トレイ接触位置３５Ａに配置される爪部材３５が第１トレイ４Ａの上面に接触する位置まで、トレイ配置部９に載置される段積み状態のトレイ４が上昇すると、第１トレイ４Ａを検知する。
【００５１】
すなわち、検知機構１６は、トレイ接触位置３５Ａに配置される爪部材３５が第１トレイ４Ａの上面に接触する位置で第１トレイ４Ａを検知する。具体的には、検知機構１６は、トレイ接触位置３５Ａに配置される爪部材３５が第１トレイ４Ａの上面に軽く接触する位置で第１トレイ４Ａを検知する。トレイ昇降機構１５は、検知機構１６の検知結果に基づいてトレイ配置部９を停止させる。具体的には、トレイ昇降機構１５は、検知機構１６によって第１トレイ４Ａが検知されると、トレイ配置部９を停止させる。なお、検知機構１６は、反射型の光学式センサであっても良い。
【００５２】
トレイ受取機構１８は、トレイ搬送装置６の後端側に配置されており、トレイ配置部９よりも後ろ側に配置されている。トレイ搬送装置６を上側から見ると、トレイ配置部９とトレイ受取機構１８とは、前後方向において隣り合うように配置されている。また、トレイ受取機構１８は、トレイ搬送装置６の上端側に配置されている。トレイ受取機構１８は、第１トレイ４Ａが載置される第１載置爪部材としての爪部材４７と、爪部材４７を移動させる第１載置爪移動機構としてのエアシリンダ４８とを備えている。エアシリンダ４８は、たとえば、エアスライドシリンダである。エアシリンダ４８の固定側部材は、フレーム２３の上面に固定されている。爪部材４７は、エアシリンダ４８の可動側部材に固定される固定部材４９と一体で形成されており、固定部材４９を介してエアシリンダ４８の可動側部材に固定されている。
【００５３】
爪部材４７およびエアシリンダ４８は、トレイ搬送機構１１によって搬送された第１トレイ４Ａの左右方向の両側に配置されている。エアシリンダ４８の固定側部材は、第１トレイ４Ａよりも左右方向の外側に配置されている。また、爪部材４７およびエアシリンダ４８は、第１トレイ４Ａの左右方向の両側のそれぞれにおいて、前後方向に間隔をあけた状態で２箇所に配置されている。すなわち、トレイ受取機構１８は、４個の爪部材４７およびエアシリンダ４８を備えている。
【００５４】
爪部材４７は、固定部材４９の下端側に繋がっており、固定部材４９から左右方向の内側に向かって突出している。エアシリンダ４８は、爪部材４７を左右方向に移動させる。また、エアシリンダ４８は、第１トレイ４Ａが爪部材４７に載置可能な第１トレイ載置位置としてのトレイ載置位置４７Ａと、第１トレイ４Ａの下側から爪部材４７が外れる第１載置爪退避位置としての退避位置４７Ｂとの間で爪部材４７を移動させる。具体的には、エアシリンダ４８は、第１トレイ４Ａの鍔部４ａが爪部材４７に載置可能なトレイ載置位置４７Ａと、第１トレイ４Ａの鍔部４ａよりも爪部材４７が左右方向の外側に配置される退避位置４７Ｂとの間で爪部材４７を移動させる。
【００５５】
トレイ受取機構１９は、トレイ搬送装置６の後端側に配置されている。また、トレイ受取機構１９は、前後方向において、トレイ受取機構１８と同じ位置に配置されている。トレイ受取機構１９は、第１トレイ４Ａが載置される第２載置爪部材としての爪部材５０と、爪部材５０を移動させる第２載置爪移動機構としてのエアシリンダ５１と、爪部材５０およびエアシリンダ５１が取り付けられるトレイ受取部５２と、トレイ受取部５２を昇降させる受取部昇降機構としての昇降機構５３とを備えている。
【００５６】
エアシリンダ５１は、たとえば、エアスライドシリンダである。エアシリンダ５１の固定側部材は、トレイ受取部５２の上面に固定されている。爪部材５０は、エアシリンダ５１の可動側部材に固定される固定部材５４と一体で形成されており、固定部材５４を介してエアシリンダ５１の可動側部材に固定されている。
【００５７】
爪部材５０およびエアシリンダ５１は、爪部材４７に載置される第１トレイ４Ａの左右方向の両側に配置されている。エアシリンダ５１の固定側部材は、第１トレイ４Ａよりも左右方向の外側に配置されている。また、エアシリンダ５１の固定側部材は、トレイ搬送機構２０の一部を構成する後述のトレイ載置部５６よりも左右方向の外側に配置されている。爪部材５０およびエアシリンダ５１は、第１トレイ４Ａの左右方向の両側のそれぞれにおいて、前後方向に間隔をあけた状態で２箇所に配置されている。すなわち、トレイ受取機構１９は、４個の爪部材５０およびエアシリンダ５１を備えている。爪部材５０およびエアシリンダ５１と、爪部材４７およびエアシリンダ４８とは、前後方向においてずれている。
【００５８】
爪部材５０は、固定部材５４の下端側に繋がっており、固定部材５４から左右方向の内側に向かって突出している。エアシリンダ５１は、爪部材５０を左右方向に移動させる。また、エアシリンダ５１は、第１トレイ４Ａが爪部材５０に載置可能な第２トレイ載置位置としてのトレイ載置位置５０Ａと、第１トレイ４Ａの下側から爪部材５０が外れる第２載置爪退避位置としての退避位置５０Ｂとの間で爪部材５０を移動させる。具体的には、エアシリンダ５１は、第１トレイ４Ａの鍔部４ａが爪部材５０に載置可能なトレイ載置位置５０Ａと、第１トレイ４Ａの鍔部４ａよりも爪部材５０が左右方向の外側に配置される退避位置５０Ｂとの間で爪部材５０を移動させる。
【００５９】
トレイ受取部５２は、エアシリンダ５１の固定側部材が固定される２個のシリンダ固定部５２ａと、２個のシリンダ固定部５２ａを繋ぐ接続部５２ｂとを備えている。シリンダ固定部５２ａは、たとえば、前後方向に細長い長方形の平板状に形成されている。２個のシリンダ固定部５２ａは、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。接続部５２ｂは、２個のシリンダ固定部５２ａの後端部を繋いでいる。
【００６０】
２個のシリンダ固定部５２ａの左右方向の間隔は、爪部材４７に載置される第１トレイ４Ａの左右方向の幅よりも広くなっており、第１トレイ４Ａよりも左右方向の外側に配置されている。また、２個のシリンダ固定部５２ａの左右方向の間隔は、トレイ搬送機構２０の一部を構成する後述のトレイ載置部５６の左右方向の幅よりも広くなっており、トレイ載置部５６よりも左右方向の外側に配置されている。接続部５２ｂは、第１トレイ４Ａおよびトレイ載置部５６よりも後ろ側に配置されている。
【００６１】
昇降機構５３は、トレイ受取部５２の左右の両端側のそれぞれに配置されている。昇降機構５３は、たとえば、モータと、モータの動力で回転するネジ軸およびネジ軸に係合するナット部材を有するボールねじと、トレイ受取部５２を上下方向に案内するガイド機構とを備えている。ネジ軸は、トレイ搬送装置６のフレーム２３に回転可能に取り付けられ、ナット部材は、トレイ受取部５２に取り付けられている。昇降機構５３は、フレーム２３に対してトレイ受取部５２を昇降させる。
【００６２】
トレイ搬送機構２０は、トレイ搬送装置６の下端側に配置されており、トレイ配置部９およびトレイ受取機構１８よりも下側に配置されている。また、トレイ搬送機構２０は、トレイ配置部９およびトレイ受取機構１８の下側に配置されている。トレイ搬送機構２０は、爪部材５０に載置された第１トレイ４Ａが引き渡されて段積みされるトレイ載置部５６と、トレイ載置部５６を前後方向にスライドさせるスライド機構５７とを備えている。すなわち、トレイ搬送機構２０には、爪部材５０に載置された第１トレイ４Ａが引き渡されて段積みされ、トレイ搬送機構２０は、段積みされた第１トレイ４Ａを水平方向に搬送する。本形態では、トレイ搬送機構２０は、段積みされた第１トレイ４Ａを前側に搬送する。
【００６３】
トレイ載置部５６には、第１トレイ４Ａが順次、載置される。スライド機構５７は、たとえば、モータと、モータの動力で回転するネジ軸およびネジ軸に係合するナット部材を有するボールねじと、トレイ載置部５６を前後方向に案内するガイド機構とを備えている。ネジ軸は、フレーム２３に回転可能に取り付けられ、ナット部材は、トレイ載置部５６に取り付けられている。
【００６４】
昇降機構５３は、爪部材５０が爪部材４７よりも上側に配置される上昇位置５２Ａ（図８（Ａ）参照）と、トレイ搬送機構２０に第１トレイ４Ａを引き渡す（具体的には、トレイ載置部５６に第１トレイ４Ａを引き渡す）引渡位置５２Ｂ（図２参照）との間でトレイ受取部５２を昇降させる。ロボット７は、トレイ受取部５２が上昇位置５２Ａに配置されているときの爪部材５０に載置された第１トレイ４Ａからパネル載置部５に液晶パネル２を１枚ずつ搬出する。また、エアシリンダ５１は、トレイ搬送機構２０に第１トレイ４Ａを引き渡すとき（具体的には、トレイ載置部５６に第１トレイ４Ａを引き渡す）ときに、トレイ載置位置５０Ａに配置される爪部材５０を退避位置５０Ｂに移動させる。
【００６５】
（トレイ搬送装置の動作）
トレイ搬送装置６では、たとえば、オペレータの手作業によって、検査前の液晶パネル２が収容された段積み状態のトレイ４がトレイ配置部９に載置されると、爪部材３５がトレイ接触位置３５Ａに配置され、かつ、爪部材３１が退避位置３１Ｂに配置されている状態で（図５（Ａ）参照）、爪部材３５が第１トレイ４Ａの上面に接触する位置まで、トレイ昇降機構１５が、トレイ押え機構１２およびトレイ分離機構１３に対してトレイ配置部９を上昇させて停止させる（図５（Ｂ）参照）。このときには、トレイ昇降機構１５は、検知機構１６によって第１トレイ４Ａが検知されると、トレイ配置部９を停止させる。
【００６６】
その後、エアシリンダ３２が、退避位置３１Ｂに配置されている爪部材３１をトレイ分離位置３１Ａに移動させる（図５（Ｃ）参照）。その状態で、トレイ昇降機構１５が、トレイ配置部９を下降させる。トレイ昇降機構１５が、トレイ配置部９を下降させると、第１トレイ４Ａは、爪部材３１に下側から支持されるが、第２トレイ４Ｂおよび第２トレイ４Ｂよりも下側のトレイ４は、トレイ配置部９と一緒に下降する（図６（Ａ）参照）。すなわち、トレイ昇降機構１５が、トレイ押え機構１２およびトレイ分離機構１３に対してトレイ配置部９を相対的に下降させて、第２トレイ４Ｂに対して第１トレイ４Ａを相対的に持ち上げる。
【００６７】
その後、トレイ把持部１０が下降して第１トレイ４Ａを把持してから、エアシリンダ３６が、トレイ接触位置３５Ａに配置されている爪部材３５を退避位置３５Ｂに移動させる（図６（Ｂ））。その後、エアシリンダ２４がトレイ把持部１０を持ち上げて、トレイ把持部１０が把持している第１トレイ４Ａを持ち上げるとともに（図６（Ｃ）参照）、スライド機構２５がトレイ把持部１０を後ろ側にスライドさせて、第１トレイ４Ａを後ろ側に搬送する。
【００６８】
なお、トレイ把持部１０が第１トレイ４Ａを把持してから、エアシリンダ３２が、退避位置３１Ｂに配置されている爪部材３１をトレイ分離位置３１Ａに移動させた後、トレイ昇降機構１５がトレイ配置部９を下降させても良い。また、エアシリンダ３２が、退避位置３１Ｂに配置されている爪部材３１をトレイ分離位置３１Ａに移動させてから、トレイ把持部１０が第１トレイ４Ａを把持した後、トレイ昇降機構１５がトレイ配置部９を下降させても良い。さらに、エアシリンダ３６が、トレイ接触位置３５Ａに配置されている爪部材３５を退避位置３５Ｂに移動させてから、トレイ把持部１０が下降して第１トレイ４Ａを把持しても良い。
【００６９】
第１トレイ４Ａが後ろ側に搬送されると、エアシリンダ３２が、トレイ分離位置３１Ａに配置されている爪部材３１を退避位置３１Ｂに移動させ、エアシリンダ３６が、退避位置３５Ｂに配置されている爪部材３５をトレイ接触位置３５Ａに移動させてから（図５（Ａ）参照）、再び、爪部材３５が第１トレイ４Ａの上面に接触する位置まで、トレイ昇降機構１５が、トレイ押え機構１２およびトレイ分離機構１３に対してトレイ配置部９を上昇させる（図５（Ｂ）参照）。以上の動作が繰り返されて、第１トレイ４Ａが１枚ずつ分離されて（段ばらしされて）後ろ側に搬送される。
【００７０】
また、トレイ搬送機構１１は、後ろ側に搬送した第１トレイ４Ａを、トレイ載置位置４７Ａに配置されている爪部材４７に載置する（図９参照）。このときには、爪部材５０は、爪部材４７よりも下側に配置されている。爪部材４７に第１トレイ４Ａが載置されると、爪部材５０がトレイ載置位置５０Ａに配置された状態で、昇降機構５３が上昇位置５２Ａに向かってトレイ受取部５２を上昇させて、爪部材４７に載置された第１トレイ４Ａを爪部材５０に載置する（図８（Ａ）参照）。爪部材５０に第１トレイ４Ａが載置されると、エアシリンダ４８は、トレイ載置位置４７Ａに配置される爪部材４７を爪退避位置４７Ｂに移動させる。
【００７１】
上昇位置５２Ａまでトレイ受取部５２が上昇して停止すると、ロボット７は、爪部材５０に載置された第１トレイ４Ａからパネル載置部５に液晶パネル２を１枚ずつ順次、搬出する。第１トレイ４Ａに収容された全ての液晶パネル２がロボット７によって搬出されると、爪部材５０に空の第１トレイ４Ａが載置された状態で上昇位置５２Ａに配置されるトレイ受取部５２を昇降機構５３が引渡位置５２Ｂに向かって下降させる。このときには、爪部材４７は、退避位置４７Ｂに配置されている。
【００７２】
昇降機構５３がトレイ受取部５２を引渡位置５２Ｂに向かって下降させて、爪部材５０に載置された空の第１トレイ４Ａが爪部材４７よりも下側に移動すると、エアシリンダ４８が、退避位置４７Ｂに配置されている爪部材４７をトレイ載置位置４７Ａに移動させてから、トレイ搬送機構１１が、爪部材４７に次の第１トレイ４Ａを載置する（図８（Ｂ）参照）。また、引渡位置５２Ｂまでトレイ受取部５２が下降すると、爪部材５０に載置された第１トレイ４Ａがトレイ載置部５６に引き渡されて段積みされる。
【００７３】
その後、引渡位置５２Ｂでトレイ搬送機構２０に第１トレイ４Ａを引き渡したトレイ受取部５２を、爪部材５０がトレイ載置位置５０Ａに配置された状態で上昇位置５２Ａに向かって昇降機構５３が上昇させて（図９参照）、爪部材４７に載置された第１トレイ４Ａを爪部材５０に載置する（図８（Ａ）参照）。爪部材５０に第１トレイ４Ａが載置されると、エアシリンダ４８は、トレイ載置位置４７Ａに配置される爪部材４７を爪退避位置４７Ｂに移動させる。また、上昇位置５２Ａまでトレイ受取部５２が上昇して停止すると、ロボット７が爪部材５０に載置された第１トレイ４Ａからパネル載置部５に液晶パネル２を１枚ずつ搬出する。
【００７４】
トレイ搬送機構１１は、爪部材４７に第１トレイ４Ａを載置すると、次の第１トレイ４Ａを第２トレイ４Ｂに対して持ち上げて、所定の位置で待機している（図８（Ａ）参照）。また、トレイ載置部５６に所定枚数の空の第１トレイ４Ａが段積みされると（たとえば、３０枚の第１トレイ４Ａが段積みされると）、トレイ搬送機構２０は、段積みされた空の第１トレイ４Ａを前側に搬送する。以上の動作が繰り返されて、パネル載置部５に液晶パネル２が１枚ずつ搬出されるとともに、空の第１トレイ４Ａが段積みされて前側に搬送される。
【００７５】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のトレイ搬送装置６は、第１トレイ４Ａと第２トレイ４Ｂとを分離するためのトレイ分離機構１３を備えており、エアシリンダ３２が、退避位置３１Ｂに配置されている爪部材３１をトレイ分離位置３１Ａに移動させてから、トレイ昇降機構１５がトレイ配置部９を下降させて、第２トレイ４Ｂに対して第１トレイ４Ａを相対的に持ち上げている。そのため、本形態では、第２トレイ４Ｂに対して第１トレイ４Ａを相対的に持ち上げるときに、トレイ分離位置３１Ａに配置される爪部材３１によって、第１トレイ４Ａと第２トレイ４Ｂとを分離することが可能になる。したがって、本形態では、複数段に積み重なった段積み状態のトレイ４を１枚ずつ分離して搬送することが可能になる。
【００７６】
また、本形態のトレイ搬送装置６は、第１トレイ４Ａの上面に接触して段積み状態のトレイ４を上側から押えるためのトレイ押え機構１２を備えており、爪部材３５がトレイ接触位置３５Ａに配置されている状態で、爪部材３５が第１トレイ４Ａの上面に接触する位置まで、昇降機構１５が、トレイ配置部９を上昇させて停止させた後、エアシリンダ３２が、退避位置３１Ｂに配置されている爪部材３１をトレイ分離位置３１Ａに移動させている。
【００７７】
そのため、本形態では、トレイ配置部９に配置される段積み状態のトレイ４が傾いていても、第１トレイ４Ａと第２トレイ４Ｂとの間に爪部材３１を入れる前に、爪部材３５によって、段積み状態のトレイ４の傾きを矯正することが可能になる。したがって、本形態では、トレイ配置部９に配置される段積み状態のトレイ４が傾いていても、第１トレイ４Ａと第２トレイ４Ｂとの間により高い確率で爪部材３１を入れ込むことが可能になり、その結果、段積み状態のトレイ４を確実に１枚ずつ分離して搬送することが可能になる。
【００７８】
本形態では、爪部材３１は、トレイ配置部９に配置されるトレイ４の左右方向の両側のそれぞれにおいて、前後方向に間隔をあけた状態で２箇所に配置されており、４個の爪部材３１がバランス良く配置されている。そのため、本形態では、爪部材３１によって、第１トレイ４Ａと第２トレイ４Ｂとをより分離しやすくなる。また、本形態では、爪部材３５は、トレイ配置部９に配置されるトレイ４の左右方向の両側のそれぞれにおいて、２箇所に配置される爪部材３１の間の１箇所に配置されており、２個の爪部材３５がバランス良く配置されているため、爪部材３５によって、段積み状態のトレイ４の傾きを矯正しやすくなる。
【００７９】
本形態では、トレイ昇降機構１５は、検知機構１６によって第１トレイ４Ａが検知されると、トレイ配置部９を停止させている。そのため、本形態では、段積み状態のトレイ４が爪部材３５によって過剰な力で上側から押え付けられるのを防止することが可能になる。したがって、本形態では、トレイ４等の破損を防止することが可能になる。
【００８０】
本形態では、昇降機構５３がトレイ受取部５２を引渡位置５２Ｂに向かって下降させて、爪部材５０に載置された空の第１トレイ４Ａが爪部材４７よりも下側に移動すると、エアシリンダ４８が、退避位置４７Ｂに配置されている爪部材４７をトレイ載置位置４７Ａに移動させてから、トレイ搬送機構１１が、爪部材４７に次の第１トレイ４Ａを載置している。すなわち、本形態では、トレイ受取機構１９がトレイ搬送機構２０に第１トレイ４Ａを引き渡す動作を行いながら、トレイ受取機構１８がトレイ搬送機構１１から次の第１トレイ４Ａを受け取っている。そのため、本形態では、トレイ受取機構１９がトレイ搬送機構１１から直接、第１トレイ４Ａを受け取る場合と比較して、トレイ搬送装置６のサイクルタイムを短縮することが可能になる。
【００８１】
また、本形態では、トレイ搬送機構１１は、爪部材４７に第１トレイ４Ａを載置すると、次の第１トレイ４Ａを第２トレイ４Ｂに対して持ち上げて、所定の位置で待機しているため、トレイ搬送装置６のサイクルタイムをより短縮することが可能になる。
【００８２】
（トレイ搬送装置の動作の変形例）
図１０は、本発明の他の実施の形態にかかるトレイ搬送装置６の動作を説明するための図である。
【００８３】
上述した形態において、爪部材３５が第１トレイ４Ａの上面に接触する位置まで、トレイ昇降機構１５がトレイ配置部９を上昇させて停止させ、エアシリンダ３２が、退避位置３１Ｂに配置されている爪部材３１をトレイ分離位置３１Ａに移動させてから、トレイ把持部１０が下降して第１トレイ４Ａを把持し（図１０（Ａ）参照）、エアシリンダ３６が、トレイ接触位置３５Ａに配置されている爪部材３５を退避位置３５Ｂに移動させた後に（図１０（Ｂ）参照）、エアシリンダ２４がトレイ把持部１０を上昇させて、トレイ把持部１０が把持している第１トレイ４Ａを第２トレイ４Ｂに対して持ち上げても良い（図１０（Ｃ）参照）。この場合には、トレイ把持部１０が上側から第１トレイ４Ａを把持するときに、トレイ分離位置３１Ａに配置される爪部材３１が第１トレイ４Ａの鍔部４ａに接触して、第１トレイ４Ａを下側から支持する機能を果たしている。
【００８４】
この場合であっても、第２トレイ４Ｂに対して第１トレイ４Ａを持ち上げるときに、トレイ分離位置３１Ａに配置される爪部材３１によって、第１トレイ４Ａと第２トレイ４Ｂとを分離することが可能になる。具体的には、第２トレイ４Ｂが第１トレイ４Ａに食い込んでいて第１トレイ４Ａと一緒に上昇しようとしても、トレイ分離位置３１Ａに配置される爪部材３１によって第１トレイ４Ａと第２トレイ４Ｂとを分離することが可能になる（図１０（Ｃ）の二点鎖線参照）。したがって、この場合であっても、複数段に積み重なった段積み状態のトレイ４を１枚ずつ分離して搬送することが可能になる。
【００８５】
なお、この変形例において、エアシリンダ２４がトレイ把持部１０を上昇させるときに、トレイ昇降機構１５がトレイ配置部９を下降させても良い。また、トレイ把持部１０が下降して第１トレイ４Ａを把持した後に、エアシリンダ３２が、退避位置３１Ｂに配置されている爪部材３１をトレイ分離位置３１Ａに移動させても良い。また、エアシリンダ３６が、トレイ接触位置３５Ａに配置されている爪部材３５を退避位置３５Ｂに移動させてから、トレイ把持部１０が下降して第１トレイ４Ａを把持しても良い。
【００８６】
（トレイ分離機構の構成およびトレイ搬送装置の変形例）
図１１、図１２は、本発明の他の実施の形態にかかるトレイ分離機構１３の構成およびトレイ搬送装置６の動作を説明するための図である。
【００８７】
上述した形態において、トレイ分離機構１３は、爪部材３１を昇降させる爪昇降機構を備えていても良い。この場合には、たとえば、爪部材３５が第１トレイ４Ａの上面に接触する位置まで、トレイ昇降機構１５がトレイ配置部９を上昇させて停止させてから、エアシリンダ３２が、退避位置３１Ｂに配置されている爪部材３１をトレイ分離位置３１Ａに移動させた後、トレイ把持部１０が第１トレイ４Ａを把持する（図１１（Ａ）参照）。あるいは、爪部材３５が第１トレイ４Ａの上面に接触する位置まで、トレイ昇降機構１５がトレイ配置部９を上昇させて停止させてから、トレイ把持部１０が第１トレイ４Ａを把持した後、エアシリンダ３２が、退避位置３１Ｂに配置されている爪部材３１をトレイ分離位置３１Ａに移動させる。
【００８８】
その後、トレイ昇降機構１５がトレイ配置部９を下降させるとともに、トレイ接触位置３１Ａに配置される爪部材３１を爪昇降機構が下降させて（図１１（Ｂ）参照）、トレイ把持部１０が把持している第１トレイ４Ａを第２トレイ４Ｂに対して相対的に持ち上げる。その後、トレイ把持部１０が第１トレイ４Ａを持ち上げて搬送する（図１１（Ｃ）参照）。この場合には、第１トレイ４Ａと第２トレイ４Ｂとをより確実に分離することが可能になる。この場合には、トレイ昇降機構１５および爪昇降機構が、トレイ押え機構１２およびトレイ分離機構１３に対してトレイ配置部９を相対的に上下動させるための昇降機構となる。
【００８９】
また、上述した形態において、トレイ分離機構１３は、図１２に示すように、爪部材３１に加えて、分離爪部材としての爪部材６１と、第１トレイ４Ａと第２トレイ４Ｂとの間に爪部材６１が入り込むトレイ分離位置と、第１トレイ４Ａと第２トレイ４Ｂとの間から爪部材６１が外れる分離爪退避位置との間で爪部材３１を移動させる分離爪移動機構と、爪部材６１を昇降させる爪昇降機構とを備えていても良い。
【００９０】
この場合には、たとえば、爪部材３５が第１トレイ４Ａの上面に接触する位置まで、トレイ昇降機構１５がトレイ配置部９を上昇させて停止させてから、爪部材３１をトレイ分離位置３１Ａに移動させ、かつ、爪部材６１をトレイ分離位置に移動させた後（図１２（Ａ参照）、トレイ昇降機構１５がトレイ配置部９を下降させるとともに、トレイ接触位置に配置される爪部材６１を爪昇降機構が下降させて（図１２（Ｂ）参照）、第１トレイ４Ａを第２トレイ４Ｂに対して相対的に持ち上げる。その後に、トレイ把持部１０が第１トレイ４Ａを把持して持ち上げる。この場合には、トレイ昇降機構１５および爪昇降機構が、トレイ押え機構１２およびトレイ分離機構１３に対してトレイ配置部９を相対的に上下動させるための昇降機構となる。
【００９１】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００９２】
上述した形態において、トレイ搬送装置６は、トレイ配置部９を昇降させるトレイ昇降機構１５を備えていなくても良い。この場合には、トレイ搬送装置６は、トレイ押え機構１２およびトレイ分離機構１３を一緒に昇降させる昇降機構を備えているか、または、トレイ押え機構１２とトレイ分離機構１３とを個別に昇降させる昇降機構を備えている。
【００９３】
この場合には、トレイ接触位置３５Ａに配置されている爪部材３５が第１トレイ４Ａの上面に接触する位置まで、昇降機構が、トレイ押え機構１２およびトレイ分離機構１３を下降させる。すなわち、昇降機構が、トレイ押え機構１２およびトレイ分離機構１３を下降させることで、トレイ接触位置３５Ａに配置されている爪部材３５が第１トレイ４Ａの上面に接触する位置まで、トレイ押え機構１２およびトレイ分離機構１３に対してトレイ配置部９を相対的に上昇させる。
【００９４】
また、この場合には、昇降機構が、爪部材３１がトレイ分離位置３１Ａに配置されている状態でトレイ押え機構１２およびトレイ分離機構１３を上昇させることで、第２トレイ４Ｂに対して第１トレイ４Ａを持ち上げる。すなわち、昇降機構が、爪部材３１がトレイ分離位置３１Ａに配置されている状態でトレイ押え機構１２およびトレイ分離機構１３を上昇させることで、トレイ押え機構１２およびトレイ分離機構１３に対してトレイ配置部９を相対的に下降させて、第２トレイ４Ｂに対して第１トレイ４Ａを持ち上げる。この場合には、この昇降機構が、トレイ押え機構１２およびトレイ分離機構１３に対してトレイ配置部９を相対的に上下動させるための昇降機構となる。
【００９５】
上述した形態において、トレイ受取機構１９がトレイ搬送機構１１から直接、第１トレイ４Ａを受け取っても良い。この場合には、トレイ受取機構１８が不要になる。また、上述した形態において、爪部材３１、３５およびエアシリンダ３２、３６は、トレイ配置部９に配置されるトレイ４の前後方向の両側に配置されていても良い。この場合には、エアシリンダ３２は、爪部材３１を前後方向に移動させ、エアシリンダ３６は、爪部材３５を前後方向に移動させる。
【００９６】
上述した形態において、トレイ押え機構１２が備える爪部材３５の数は、３個以上であっても良い。また、トレイ分離機構１３が備える爪部材３５の数は、２個または３個であっても良いし、５個以上であっても良い。また、トレイ受取機構１８が備える爪部材４７の数は、５個以上であっても良いし、トレイ受取機構１９が備える爪部材５０の数は、５個以上であっても良い。
【００９７】
上述した形態において、爪部材３１を移動させる分離爪移動機構は、エアシリンダ３２以外の移動機構であっても良い。たとえば、分離爪移動機構は、電動シリンダであっても良い。同様に、爪部材３５を移動させる押え爪移動機構は、電動シリンダ等の、エアシリンダ３６以外の移動機構であっても良いし、爪部材４７を移動させる第１載置爪移動機構は、電動シリンダ等の、エアシリンダ４８以外の移動機構であっても良いし、爪部材５０を移動させる第２載置爪移動機構は、電動シリンダ等の、エアシリンダ５１以外の移動機構であっても良い。
【００９８】
上述した形態において、トレイ搬送機構１１は、トレイ把持部１０を昇降させる把持部昇降機構として、トレイ配置部９の左右の両側に配置されるエアシリンダを備えるとともに、トレイ把持部１０を前後方向にスライドさせるスライド機構として、トレイ配置部９の左右の両側に配置されるスライド機構を備えていても良い。また、上述した形態において、トレイ搬送機構１１は、トレイ把持部１０から第１トレイ４Ａを受け取って把持する第２トレイ把持部と、第２トレイ把持部を前後方向にスライドさせるスライド機構とを備えていても良い。この場合には、スライド機構２５が不要になる。さらに、上述した形態において、トレイ把持部１０を昇降させなくても、トレイ把持部１０によって後ろ側へ第１トレイ４Ａを搬送することができるのであれば、トレイ搬送機構１１は、エアシリンダ２４を備えていなくても良い。
【００９９】
上述した形態において、パネル搬送システム１は、検査後の液晶パネル２を検査装置３から搬出しても良い。この場合には、空のトレイ４が段積み状態でトレイ配置部９に配置されている。また、ロボット７は、トレイ受取部５２が上昇位置５２Ａに配置されているときの爪部材５０に載置された第１トレイ４Ａにパネル載置部５から検査後の液晶パネル２を１枚ずつ搬入する。また、トレイ載置部５６には、検査後の液晶パネル２が収容された第１トレイ４Ａが段積みされる。
【０１００】
また、上述した形態において、パネル搬送システム１は、検査前の液晶パネル２を検査装置３に搬入するとともに、検査後の液晶パネル２を検査装置３から搬出しても良い。この場合には、ロボット７は、トレイ受取部５２が上昇位置５２Ａに配置されているときの爪部材５０に載置された第１トレイ４Ａからパネル載置部５に検査前の液晶パネル２を搬出するとともに、トレイ受取部５２が上昇位置５２Ａに配置されているときの爪部材５０に載置された第１トレイ４Ａにパネル載置部５から検査後の液晶パネル２を搬入する。
【０１０１】
上述した形態において、トレイ搬送機構２０は、ローラコンベヤまたはベルトコンベヤであっても良い。この場合には、爪部材５０に載置された第１トレイ４Ａがコンベヤ上で引き渡されて段積みされる。また、上述した形態において、トレイ搬送機構２０は、段積みされた第１トレイ４Ａを後ろ側に搬送しても良いし、左右方向に搬送しても良い。また、上述した形態において、トレイ受取機構１８は、爪部材４７およびエアシリンダ４８を昇降させる昇降機構を備えていても良い。
【０１０２】
上述した形態において、検査装置３は、点灯検査装置以外の検査装置であっても良い。また、上述した形態において、パネル搬送システム１は、検査装置以外の装置に対して液晶パネル２を搬送しても良い。また、上述した形態において、パネル搬送システム１で搬送される表示パネルは、液晶パネル２以外の表示パネルであっても良い。たとえば、搬送システム１で搬送される表示パネルは、有機ＥＬパネルであっても良い。
【符号の説明】
【０１０３】
１  パネル搬送システム
２  液晶パネル（表示パネル）
４  トレイ
４Ａ  第１トレイ
４Ｂ  第２トレイ
６  トレイ搬送装置
７  ロボット（パネル搬送ロボット）
９  トレイ配置部
１０  トレイ把持部
１１  トレイ搬送機構
１２  トレイ押え機構
１３  トレイ分離機構
１５  トレイ昇降機構（昇降機構）
１６  検知機構
１８  トレイ受取機構（第１トレイ受取機構）
１９  トレイ受取機構（第２トレイ受取機構）
２０  トレイ搬送機構（第２トレイ搬送機構）
２３  フレーム
２４  エアシリンダ（把持部昇降機構）
３１  爪部材（分離爪部材）
３１Ａ  トレイ分離位置
３１Ｂ  退避位置（分離爪退避位置）
３２  エアシリンダ（分離爪移動機構）
３５  爪部材（押え爪部材）
３５Ａ  トレイ接触位置
３５Ｂ  退避位置（押え爪退避位置）
３６  エアシリンダ（押え爪移動機構）
４７  爪部材（第１載置爪部材）
４７Ａ  トレイ載置位置（第１トレイ載置位置）
４７Ｂ  退避位置（第１載置爪退避位置）
４８  エアシリンダ（第１載置爪移動機構）
５０  爪部材（第２載置爪部材）
５０Ａ  トレイ載置位置（第２トレイ載置位置）
５０Ｂ  退避位置（第２載置爪退避位置）
５１  エアシリンダ（第２載置爪移動機構）
５２  トレイ受取部
５２Ａ  上昇位置
５２Ｂ  引渡位置
５３  昇降機構（受取部昇降機構）
Ｘ  トレイ把持部の移動方向
Ｙ  第１方向
【図１】
2020155628.tif 000003
【図２】
2020155628.tif 000004
【図３】
2020155628.tif 000005
【図４】
2020155628.tif 000006
【図５】
2020155628.tif 000007
【図６】
2020155628.tif 000008
【図７】
2020155628.tif 000009
【図８】
2020155628.tif 000010
【図９】
2020155628.tif 000011
【図１０】
2020155628.tif 000012
【図１１】
2020155628.tif 000013
【図１２】
2020155628.tif 000014