(57)【要約】【課題】被加工物を吸引保持する吸引ユニットにおいて、負圧が正常値に至らない理由を判定することを可能にする加工装置を提供すること。【解決手段】加工装置２は、吸引ユニット５０の状態を判定する判定ユニット７０を備える。判定ユニット７０の判定部７５は、第２電磁弁５９を開閉した際の、圧力計７１，７２の測定値及びこの測定値が変動した時間が、予め登録部７４に登録された許容範囲内か否かに基づいて、吸引ユニット５０のリーク又は詰まり状態を判定する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面の保持面で被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで吸引保持された被加工物を加工する加工ユニットと、該チャックテーブルと該被加工物を吸引する吸引ユニットの状態を判定する判定ユニットと、を備える加工装置であって、
該吸引ユニットは、
該チャックテーブルと吸引源とを接続する吸引路と、
該吸引路に配置された電磁弁と、を備え、
該判定ユニットは、
該吸引路の該電磁弁と該チャックテーブルとの間の該吸引路に配置された圧力計と、
該電磁弁を開閉した際の、該圧力計の測定値及び該測定値が変動した時間に対して、予め許容範囲が登録される登録部と、
該圧力計の測定値及び該測定値が変動した時間が該許容範囲内か否かに基づいて、該吸引ユニットのリーク又は詰まり状態を判定する判定部と、
該判定部の判定結果を報知する報知部と、を備える加工装置。
【請求項２】
該チャックテーブルは、内部に形成される内部吸引路の裏面側開口を有し、テーブル基台の載置面に載置され、
該吸引路は、
一端が吸引源に接続し、他端が二股に分岐する第１吸引路と、
一端が該第１吸引路の該分岐した一方に接続し、他端が該テーブル基台の該載置面に開口して、該チャックテーブルの該裏面側開口に接続し、該保持面に負圧を作用させる第２吸引路と、
一端が該第１吸引路の該分岐した他方に接続し、他端が該テーブル基台の該載置面に開口して、該チャックテーブルを該テーブル基台に吸引保持する第３吸引路と、を有し、
該電磁弁は、該第２吸引路に設けられ、
該圧力計は、
該第１吸引路又は該第３吸引路に設けられる第１圧力計と、該第２吸引路に設けられる第２圧力計と、を有し、
該判定部は、該チャックテーブルに被加工物が載置されていない状態で、閉状態の該電磁弁を所定時間開状態にしてから再度閉状態にする測定動作を実施させた際に該吸引ユニットの状態を判定する請求項１に記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルを備えた加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被加工物を加工する切削装置や研削装置、レーザー加工装置など各種加工装置では、チャックテーブルで被加工物を吸引保持すると共に、チャックテーブルをテーブル基台に吸引保持する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１１３６５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の装置では、被加工物を吸引保持する吸引ユニットが、吸引路において詰まりやリークなどが発生すると、確実に被加工物を固定する事が出来なくなり、加工時に被加工物が動くなどして加工結果を悪化させるおそれがあるという問題があった。こうした事態を防ぐために、吸引路に圧力計を設けて実際に保持面に係る負圧を測定するという対応を取っていたが、負圧が正常値に至らない理由までは判定することができないという課題があった。このため、吸引路の詰まりやリークを確認したり、ポーラスチャックテーブルのポーラス詰まりを確認したりする等、原因究明に技能と手間がかかってしまうという課題があった。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、被加工物を吸引保持する吸引ユニットにおいて、負圧が正常値に至らない理由を判定することを可能にする加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る加工装置は、上面の保持面で被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで吸引保持された被加工物を加工する加工ユニットと、該チャックテーブルと該被加工物を吸引する吸引ユニットの状態を判定する判定ユニットと、を備える加工装置であって、該吸引ユニットは、該チャックテーブルと吸引源とを接続する吸引路と、該吸引路に配置された電磁弁と、を備え、該判定ユニットは、該吸引路の該電磁弁と該チャックテーブルとの間の該吸引路に配置された圧力計と、該電磁弁を開閉した際の、該圧力計の測定値及び該測定値が変動した時間に対して、予め許容範囲が登録される登録部と、該圧力計の測定値及び該測定値が変動した時間が該許容範囲内か否かに基づいて、該吸引ユニットのリーク又は詰まり状態を判定する判定部と、該判定部の判定結果を報知する報知部と、を備えるものである。
【０００７】
この構成において、該チャックテーブルは、内部に形成される内部吸引路の裏面側開口を有し、テーブル基台の載置面に載置され、該吸引路は、一端が吸引源に接続し、他端が二股に分岐する第１吸引路と、一端が該第１吸引路の該分岐した一方に接続し、他端が該テーブル基台の該載置面に開口して、該チャックテーブルの該裏面側開口に接続し、該保持面に負圧を作用させる第２吸引路と、一端が該第１吸引路の該分岐した他方に接続し、他端が該テーブル基台の該載置面に開口して、該チャックテーブルを該テーブル基台に吸引保持する第３吸引路と、を有し、該電磁弁は、該第２吸引路に設けられ、該圧力計は、該第１吸引路又は該第３吸引路に設けられる第１圧力計と、該第２吸引路に設けられる第２圧力計と、を有し、該判定部は、該チャックテーブルに被加工物が載置されていない状態で、閉状態の該電磁弁を所定時間開状態にしてから再度閉状態にする測定動作を実施させた際に該吸引ユニットの状態を判定する構成としてもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る加工装置は、判定ユニットの判定部が、電磁弁とチャックテーブルとの間の吸引路に配置された第１圧力計の測定値及びその測定値が変動した時間が登録部に登録された許容範囲内か否かに基づいて、被加工物を吸引保持する吸引ユニットのリーク又は詰まり状態を判定するので、吸引ユニットにおいて負圧が正常値に至らない理由を判定することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、実施形態に係る加工装置を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１の加工装置の要部の構成を説明する部分側断面図である。
【図３】図３は、図１の加工装置の要部の部分側断面図である。
【図４】図４は、図１の加工装置が所定の測定動作を実施させた際に取得する圧力の測定値の時間変化のデータの一例を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１１】
〔実施形態〕
図１は、実施形態に係る加工装置を示す斜視図である。図２は、図１の加工装置の要部の構成を説明する部分側断面図である。図３は、図１の加工装置の要部の部分側断面図である。なお、以下の説明に用いられるＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向は、互いに垂直であるものとする。
【００１２】
まず、実施形態に係る加工装置２によって加工される被加工物１００について説明する。被加工物１００は、図１に示すように、シリコン、サファイア、ガリウムなどを基板１０１とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。被加工物１００は、基板１０１の表面１０２に形成された複数の分割予定ライン１０３によって格子状に区画された領域にデバイス１０４が形成されている。
【００１３】
被加工物１００は、表面１０２の裏側の裏面１０５に基板１０１より径の大きい粘着テープであるダイシングテープ１０６が貼着され、ダイシングテープ１０６の外周に環状のフレーム１０７が貼着される。すなわち、被加工物１００は、環状のフレーム１０７の開口にダイシングテープ１０６を介して支持されている。
【００１４】
なお、被加工物１００の基板１０１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はなく、例えば、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる任意の形状の基板１０１を被加工物１００として用いることもできる。また、デバイス１０４の種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。さらに、被加工物１００の基板１０１の表面１０２に、機能層としてのＬｏｗ−ｋ層ともいう低誘電率絶縁体被膜を積層し、低誘電率絶縁体被膜がデバイス１０４を構成する回路を支持した構成としてもよい。
【００１５】
次に、実施形態に係る加工装置２について説明する。加工装置２は、図１に示すように、θテーブル１０と、θテーブル１０の上方に配置されるテーブル基台２０と、テーブル基台２０の載置面２３（図２及び図３参照）に載置されて着脱自在に固定され、上面の保持面３３で被加工物１００を吸引保持するチャックテーブル３０と、チャックテーブル３０に保持された被加工物１００を切削加工する加工ユニット４０と、を備える。
【００１６】
θテーブル１０は、モータ等の不図示の回転駆動源を備え、上方に配置されるテーブル基台２０及びチャックテーブル３０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に概ね平行な回転軸の周りに回転させる。
【００１７】
テーブル基台２０は、金属等の導体によって形成されており、チャックテーブル３０を載置して支持及び固定する本体部２１と、この本体部２１の外周部に配置されてフレーム１０７を保持して固定する４つのフレーム保持部であるクランプ２２とを備える。本体部２１は、その上面に、チャックテーブル３０を載置して支持する平坦な載置面２３（図２及び図３参照）を有している。
【００１８】
クランプ２２は、本体部２１に対して径方向に移動可能に設けられており、被加工物１００及びフレーム１０７の径方向の大きさに応じて交換して使い分けられるチャックテーブル３０の径方向の大きさに基づいて、適宜移動して用いられる。また、チャックテーブル３０に近接する位置には、被加工物１００をチャックテーブル３０へと搬送する不図示の搬送機構が設けられている。
【００１９】
チャックテーブル３０は、図２及び図３に示すように、上面に平坦な保持面３３を構成する吸着部３１と、平坦な裏面３４を構成するテーブル本体３２とを備える。吸着部３１は、テーブル本体３２の上面中央部の窪み部３５に嵌め込まれている。吸着部３１は、多数のポーラス孔を備えたポーラスセラミックス等から構成されて、保持面３３全体で、ダイシングテープ１０６を介して被加工物１００を吸引保持する。
【００２０】
テーブル本体３２は、金属等の導体により円板形状に形成されており、上面中央部に窪み部３５が形成されている。また、テーブル本体３２は、裏面３４側に、内部に形成される内部吸引路３６の裏面側開口３７を有する。テーブル本体３２は、窪み部３５側にも、裏面３４側と同様に内部吸引路３６が開口しており、この開口部は吸着部３１の下面に開口している多数のポーラス孔と連通されている。本実施形態では、内部吸引路３６は、テーブル本体３２の裏面３４と窪み部３５の底とにわたって、テーブル本体３２を貫通した孔であり、テーブル本体３２の中心に配置されている。また、裏面側開口３７は、内部吸引路３６の裏面３４側の開口である。
【００２１】
チャックテーブル３０は、テーブル基台２０の載置面２３にテーブル本体３２の裏面３４が載置されて、テーブル基台２０上に載置される。チャックテーブル３０は、吸引源６０からの負圧により、テーブル基台２０の裏面３４が載置面２３に密着してテーブル基台２０に吸引保持されて、テーブル基台２０に固定される。また、チャックテーブル３０は、保持面３３にダイシングテープ１０６を介して被加工物１００を吸引保持する。
【００２２】
加工装置２は、本実施形態では、図１に示すように、チャックテーブル３０をＹ軸方向に挟むように加工ユニット４０が２つ設けられているが、本発明ではこれに限定されることなく、１つのみ設けられていてもよく、３つ以上設けられていてもよい。
【００２３】
加工装置２は、図１に示すように、テーブル基台２０及びチャックテーブル３０が上方に配置されたθテーブル１０をＸ軸方向に沿って移動させるＸ軸移動機構１２を備える。Ｘ軸移動機構１２は、テーブル基台２０及びチャックテーブル３０と加工ユニット４０とを相対的に、それぞれ、加工送り方向であるＸ軸方向に沿って移動させる。
【００２４】
加工装置２は、各加工ユニット４０をそれぞれＹ軸方向に沿って移動させるＹ軸移動機構１４を備える。Ｙ軸移動機構１４は、テーブル基台２０及びチャックテーブル３０と加工ユニット４０とを相対的に、それぞれ、割り出し送り方向であるＹ軸方向に沿って移動させる。
【００２５】
加工装置２は、各加工ユニット４０をそれぞれＺ軸方向に沿って移動させるＺ軸移動機構１６を備える。Ｚ軸移動機構１６は、テーブル基台２０及びチャックテーブル３０と加工ユニット４０とを相対的に、それぞれ、切り込み送り方向であるＺ軸方向に沿って移動させる。
【００２６】
加工ユニット４０に隣接する位置には、被加工物１００を撮像するための撮像ユニットであるカメラ４２が設けられている。カメラ４２は、加工ユニット４０とともに移動し、Ｙ軸移動機構１４によって割り出し送りされ、Ｚ軸移動機構１６によって切り込み送りされる。
【００２７】
加工ユニット４０は、図１に示すように、外周縁に環状の切れ刃を備える切削ブレード４６が、チャックテーブル３０の保持面３３と概ね平行な回転軸のスピンドルの一端側に装着された切削ユニットであり、チャックテーブル３０に保持された被加工物１００を切削加工する。スピンドルの回転軸は、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に対して概ね垂直であり、Ｙ軸方向に対して概ね平行である。スピンドルの他端側には、モータ等の不図示の回転駆動源が連結されており、切削ブレード４６は、スピンドルを介して伝達される回転駆動源のトルクによって回転する。切削ブレード４６の回転動作により、被加工物１００には、分割予定ライン１０３に沿って切削溝が形成されて、各デバイス１０４に個片化される。
【００２８】
また、切削ブレード４６の近傍には、図１に示すように、被加工物１００や切削ブレード４６等に純水等の切削液を供給する切削液供給ノズル４８が設けられている。加工ユニット４０の各構成要素は、被加工物１００の切削加工の条件等に合わせて、後述する制御ユニット７３により制御される。
【００２９】
なお、加工装置２は、本実施形態では、チャックテーブル３０に保持された被加工物１００を切削加工する加工ユニット４０を備えているが、本発明はこれに限定されることなく、チャックテーブル３０に保持された被加工物１００を加工する加工ユニットを備えていればどのような形態でもよく、例えば、チャックテーブル３０に保持された被加工物１００を研削加工する加工ユニットや、チャックテーブル３０に保持された被加工物１００をレーザー加工する加工ユニットを備えた形態であってもよい。
【００３０】
加工装置２は、図２及び図３に示すように、テーブル基台２０の本体部２１の内部に、チャックテーブル３０と被加工物１００とを吸引する吸引ユニット５０を備える。吸引ユニット５０は、図２及び図３に示すように、チャックテーブル３０と吸引源６０とを接続する吸引路５１と、吸引路５１に配置された第１電磁弁５８及び第２電磁弁５９と、を備える。なお、加工装置２は、特許請求の範囲に記載の電磁弁と対応する第２電磁弁５９と、特許請求の範囲に記載の電磁弁とは別の第１電磁弁５８が設けられた形態である。また、以下において、第１電磁弁５８と第２電磁弁５９とを特に区別しない場合には、単に電磁弁５８，５９と記載する。電磁弁５８，５９は、後述する制御ユニット７３の制御を受けて電磁石の磁力を用いて開閉する弁である。
【００３１】
吸引ユニット５０が備える吸引路５１は、第１吸引路５２と、第２吸引路５３と、第３吸引路５４と、を有する。第１吸引路５２は、一端が吸引源６０に接続し、他端が分岐部５５で二股に分岐しており、他端の分岐の一方が第２吸引路５３に接続し、他端の分岐の他方が第３吸引路５４に接続している。
【００３２】
第２吸引路５３は、一端が第１吸引路５２の分岐した一方に接続し、他端がテーブル基台２０の載置面２３に開口して形成されている。第２吸引路５３は、載置面２３に載置されたチャックテーブル３０の内部吸引路３６の裏面側開口３７に接続し、チャックテーブル３０の保持面３３に負圧を作用させる。
【００３３】
第３吸引路５４は、一端が第１吸引路５２の分岐した他方に接続し、他端がテーブル基台２０の載置面２３に開口して形成されており、テーブル基台２０の載置面２３に載置されたチャックテーブル３０の裏面３４に負圧を作用させることで、チャックテーブル３０をテーブル基台２０に吸引保持して、着脱自在に固定する。
【００３４】
第１吸引路５２における分岐部５５よりも他端の分岐の他方側の部分と、第３吸引路５４とは、チャックテーブル３０をテーブル基台２０に吸引保持するために、吸引源６０の負圧を作用させるテーブル吸引路５６を形成している。
【００３５】
第１吸引路５２における分岐部５５よりも他端の分岐の一方側の部分と、第２吸引路５３と、チャックテーブル３０の内部吸引路３６と、チャックテーブル３０の吸着部３１を構成するポーラスセラミックス等の多数のポーラス孔とは、被加工物１００をチャックテーブル３０の保持面３３に吸引保持するために、第１吸引路５２を介して吸引源６０の負圧を作用させる被加工物吸引路５７を形成している。
【００３６】
第１電磁弁５８は、開閉することで、テーブル吸引路５６と吸引源６０とを連通した連通状態と、テーブル吸引路５６と吸引源６０とを断絶した断絶状態とを切り替えることにより、吸引源６０の負圧をテーブル吸引路５６で作用させるか否かを切り替えて、テーブル基台２０の載置面２３におけるチャックテーブル３０の固定か否かを切り替えるものである。
【００３７】
第１電磁弁５８は、本実施形態では、第３吸引路５４に設けられている。ここで、第１電磁弁５８が第３吸引路５４に設けられているとは、第１電磁弁５８が第１吸引路５２における分岐部５５よりも他端の分岐の他方側の部分に設けられていることも、第１吸引路５２と第３吸引路５４との接続箇所に設けられていることも、実質的に含む概念である。すなわち、第１電磁弁５８は、実質的にテーブル吸引路５６に設けられている。
【００３８】
第２電磁弁５９は、開閉することで、被加工物吸引路５７と吸引源６０とを連通した連通状態と、被加工物吸引路５７と吸引源６０とを断絶した断絶状態とを切り替えることにより、吸引源６０の負圧を被加工物吸引路５７で作用させるか否かを切り替えて、チャックテーブル３０の保持面３３において被加工物１００を保持するか否かを切り替えるものである。
【００３９】
第２電磁弁５９は、本実施形態では、第２吸引路５３に設けられている。ここで、第２電磁弁５９が第２吸引路５３に設けられているとは、第２電磁弁５９が第１吸引路５２における分岐部５５よりも他端の分岐の一方側の部分に設けられていることも、第１吸引路５２と第２吸引路５３との接続箇所に設けられていることも、実質的に含む概念である。すなわち、第２電磁弁５９は、実質的に分岐部５５とテーブル基台２０の載置面２３に載置されたチャックテーブル３０の裏面３４との間であるテーブル基台２０の内部における被加工物吸引路５７の部分に設けられている。
【００４０】
吸引源６０は、図２及び図３に示すように、圧縮エアー源６１と、圧縮エアー供給路６２と、エジェクタ６３と、排気路６４と、を有する。圧縮エアー源６１は、圧縮空気を供給する機器であり、一般に使用されるコンプレッサを好適に用いることができる。圧縮エアー供給路６２は、圧縮エアー源６１から供給される圧縮空気をエジェクタ６３に供給する。エジェクタ６３は、吸入口が第１吸引路５２の一端と接続されており、圧縮エアー源６１からの圧縮空気の供給を受けて、第１吸引路５２の一端から空気を吸入することで第１吸引路５２から空気を排気し、圧縮エアー源６１からの圧縮空気及び第１吸引路５２から吸入した空気を排気路６４へ排気する。排気路６４は、エジェクタ６３から排気された圧縮空気及び空気を系外へ排気する。
【００４１】
吸引源６０は、第１電磁弁５８が開状態にある場合、すなわち、テーブル吸引路５６が連通状態にある場合、エジェクタ６３で第１吸引路５２の内部から空気を排気することで、テーブル基台２０の載置面２３に載置されたチャックテーブル３０の裏面３４に負圧を供給する。また、吸引源６０は、第２電磁弁５９が開状態にある場合、すなわち、テーブル基台２０の内部における被加工物吸引路５７の部分が連通状態にある場合、エジェクタ６３で第１吸引路５２の内部から空気を排気することで、チャックテーブル３０の内部吸引路３６と吸着部３１の多数のポーラス孔とを介して、チャックテーブル３０の保持面３３に負圧を供給する。
【００４２】
加工装置２は、図２及び図３に示すように、吸引ユニット５０の状態を判定する判定ユニット７０を備える。判定ユニット７０は、制御ユニット７３と、吸引路５１に配置された圧力計である第１圧力計７１及び第２圧力計７２と、報知部７７と、を備える。制御ユニット７３は、図１、図２及び図３に示すように、登録部７４と、判定部７５と、を備える。
【００４３】
制御ユニット７３は、図２及び図３に示すように、第１圧力計７１及び第２圧力計７２と情報通信可能に電気的に接続されており、第１圧力計７１及び第２圧力計７２がそれぞれ測定した圧力値の情報を取得する。なお、以下において、第１圧力計７１と第２圧力計７２とを特に区別しない場合には、単に圧力計７１，７２と記載する。圧力計７１，７２は、配置して設けられた位置における吸引路５１の内部の圧力を、一定時間、例えば数ｍｓ（１０００分の１秒）ごとに連続して測定する。
【００４４】
制御ユニット７３は、図１、図２及び図３に示すように、報知部７７と情報通信可能に電気的に接続されており、判定部７５の判定結果に関するグラフや画像等を報知部７７に表示させたり、判定部７５の判定結果に基づいた報知音を発生させたりすることにより、判定部７５の判定結果をオペレータ等に報知する。
【００４５】
制御ユニット７３は、被加工物１００の加工条件等に合わせて、加工装置２を構成する構成要素である各部をそれぞれ制御する。制御ユニット７３は、ＣＰＵ（central  processing  unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read  only  memory）又はＲＡＭ（random  access  memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インタフェース装置とを有し、コンピュータプログラムを実行可能なコンピュータである。
【００４６】
制御ユニット７３の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムをＲＡＭ上で実行して、加工装置２を制御するための制御信号を生成し、生成した制御信号を入出力インタフェース装置を介して加工装置２の各構成要素に出力する。また、制御ユニット７３は、切削加工等の加工の動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニットである報知部７７と、オペレータ等が加工装置２の動作指示及び加工内容情報などを入力する際に用いる図示しない入力ユニットとが接続されている。入力ユニットは、表示ユニットである報知部７７と一体で構成されていてもよい。
【００４７】
加工装置２は、本実施形態では、判定部７５が吸引ユニット５０のリーク又は詰まり状態を判定するために必要な圧力の測定値及びその測定値が変動した時間のデータである圧力測定データを取得するために、制御ユニット７３が電磁弁５８，５９を開閉する等の電磁弁５８，５９に対して所定の測定動作を実行して、圧力計７１，７２に測定を実行させる。ここで、制御ユニット７３が電磁弁５８，５９に対して実行する測定動作として、本実施形態では、チャックテーブル３０に被加工物１００が載置されていない状態で、第１電磁弁５８を開状態に保持して、閉状態の第２電磁弁５９を所定時間開状態にしてから再度閉状態にする第１測定動作を好ましいものとして採用しているが、本発明はこれに限定されず、判定部７５が吸引ユニット５０のリーク又は詰まり状態を判定するために必要な圧力測定データを取得できるものであれば、いかなる測定動作も採用することができる。
【００４８】
第１圧力計７１は、テーブル吸引路５６の内部の圧力を測定するものであり、テーブル吸引路５６の内部の圧力を測定することが可能ないかなる位置に配置して設けることができる。第１圧力計７１は、電磁弁５８，５９の測定動作に応じて、テーブル吸引路５６の内部の圧力を測定することが可能な位置に設けられることが好ましい。第１圧力計７１は、本実施形態では、上記した第１測定動作を採用しているので、第１電磁弁５８が開状態かつ第２電磁弁５９が閉状態である場合においてテーブル吸引路５６の内部の圧力を測定することが可能な位置に設けられることが好ましく、第１電磁弁５８及び第２電磁弁５９よりもエジェクタ６３側の位置に設けられることがより好ましい。このため、第１圧力計７１は、本実施形態では、第１吸引路５２又は第３吸引路５４に設けられており、より詳細には、第１吸引路５２の分岐部５５よりもエジェクタ６３側の位置に設けられている。
【００４９】
第２圧力計７２は、被加工物吸引路５７の内部の圧力を測定するものであり、被加工物吸引路５７の内部の圧力を測定することが可能ないかなる位置に配置して設けることができる。第２圧力計７２は、電磁弁５８，５９の測定動作に応じて、被加工物吸引路５７の内部の圧力を測定することが可能な位置に設けられることが好ましい。第２圧力計７２は、本実施形態では、上記した第１測定動作を採用しているので、第２電磁弁５９とチャックテーブル３０との間の被加工物吸引路５７に配置して設けられることが好ましい。このため、第２圧力計７２は、本実施形態では、第２吸引路５３に設けられている。
【００５０】
制御ユニット７３における登録部７４の機能は、制御ユニット７３の記憶装置が、予めオペレータ等によって入力装置等から入力を受け付けた許容範囲に関する情報を登録されて記憶することにより、実現される。登録部７４は、電磁弁５８，５９を開閉した際の、圧力計７１，７２の測定値及びこの測定値が変動した時間に対しての許容範囲の情報が、登録される。登録部７４は、本実施形態では、この許容範囲に関する情報として、上記した第１測定動作において第１電磁弁５８を開状態に維持して第２電磁弁５９を開閉した際の、第１圧力計７１及び第２圧力計７２の測定値及びこれらの測定値が変動した時間に対しての許容範囲の情報が好ましいものとして登録されている。
【００５１】
登録部７４に登録される許容範囲の情報は、吸引ユニット５０がリーク又は詰まり状態には該当しない正常時の圧力計７１，７２の測定値と、吸引ユニット５０がリーク又は詰まり状態に該当する不良時の圧力計７１，７２の測定値と、を予め採取し、これらに対して統計的なデータ処理を施すことで、正常時の圧力計７１，７２の測定値の範囲として算出されたものが好適に用いられる。
【００５２】
制御ユニット７３における判定部７５の機能は、制御ユニット７３の演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムを実行することにより、実現される。判定部７５は、電磁弁５８，５９を開閉した際の、圧力計７１，７２の測定値及びこの測定値が変動した時間が許容範囲内か否かに基づいて、吸引ユニット５０のリーク又は詰まり状態を判定する。判定部７５は、電磁弁５８，５９の測定動作に応じて、より好ましくは、上記した第１測定動作を実施させた際に、吸引ユニット５０の状態を判定することが好ましい。
【００５３】
判定部７５は、第１圧力計７１によるテーブル吸引路５６の内部の圧力の測定値及びこの測定値が変動した時間が許容範囲内か否かに基づいて、テーブル吸引路５６のリーク又は詰まり状態を判定する。判定部７５は、本実施形態では、第１圧力計７１によるテーブル吸引路５６の内部の圧力の測定値及びこの測定値が変動した時間が許容範囲内か否かに基づいて、吸引源６０のエジェクタ６３の詰まり状態等の不調と、エジェクタ６３からテーブル基台２０の載置面２３までのテーブル吸引路５６の吸引路管のリーク又はよじれ等に起因する詰まり状態と、を判定する。
【００５４】
また、判定部７５は、第２圧力計７２による被加工物吸引路５７の内部の圧力の測定値及びこの測定値が変動した時間が許容範囲内か否かに基づいて、被加工物吸引路５７のリーク又は詰まり状態を判定する。判定部７５は、本実施形態では、第２圧力計７２による被加工物吸引路５７の内部の圧力の測定値及びこの測定値が変動した時間が許容範囲内か否かに基づいて、吸着部３１の多数のポーラス孔の目詰まり状態と、チャックテーブル３０の内部吸引路３６の詰まり状態と、第２電磁弁５９とチャックテーブル３０との間の被加工物吸引路５７の吸引路管のリーク又はよじれ等に起因する詰まり状態と、を判定する。
【００５５】
図４は、図１の加工装置が所定の測定動作を実施させた際に取得する圧力の測定値の時間変化のデータの一例を示すグラフである。グラフ８０は、図４に示すように、横軸が時間［単位；ｍｓ（１０００分の１秒）］であり、縦軸が圧力［単位；ｋＰａ］であり、圧力測定データ曲線８１と、圧力測定データ曲線８２とを示している。制御ユニット７３が上記した第１測定動作を実施すると、第１圧力計７１は、テーブル吸引路５６の内部の圧力を測定し、これに伴い、判定部７５は、圧力測定データ曲線８１を取得する。また、制御ユニット７３が上記した第１測定動作を実施すると、第２圧力計７２は、被加工物吸引路５７の内部の圧力を測定し、これに伴い、判定部７５は、圧力測定データ曲線８２を取得する。
【００５６】
グラフ８０における時刻ｔ＝Ｔ１は、制御ユニット７３が上記した第１測定動作において第２電磁弁５９を閉状態から開状態に切り替えた時刻を示している。グラフ８０は、時刻ｔ＝Ｔ１において、テーブル吸引路５６が第１吸引路５２を介して被加工物吸引路５７と連通状態に切り替ったことに伴い、圧力測定データ曲線８１が示すテーブル吸引路５６の内部の圧力が大きく上昇し始めていることを示している。また、グラフ８０は、時刻ｔ＝Ｔ１において、第２電磁弁５９とチャックテーブル３０との間の被加工物吸引路５７を吸引する状態に切り替ったことに伴い、圧力測定データ曲線８２が示す被加工物吸引路５７の内部の圧力が大きく低下し始めていることを示している。
【００５７】
グラフ８０における時刻ｔ＝Ｔ２は、制御ユニット７３が上記した第１測定動作において第２電磁弁５９を開状態から閉状態に切り替えた時刻を示している。グラフ８０は、時刻ｔ＝Ｔ２において、テーブル吸引路５６が第２電磁弁５９とチャックテーブル３０との間の被加工物吸引路５７から断絶状態に切り替ったことに伴い、圧力測定データ曲線８１が示すテーブル吸引路５６の内部の圧力が大きく低下し始めていることを示している。また、グラフ８０は、時刻ｔ＝Ｔ２において、第２電磁弁５９とチャックテーブル３０との間の被加工物吸引路５７を吸引しないで大気に開放した状態に切り替ったことに伴い、圧力測定データ曲線８２が示す被加工物吸引路５７の内部の圧力が大きく上昇し始めていることを示している。
【００５８】
グラフ８０における時間ｔ１は、時刻ｔ＝Ｔ１以降、圧力測定データ曲線８１が示すテーブル吸引路５６の内部の圧力と、圧力測定データ曲線８２が示す被加工物吸引路５７の内部の圧力と、が共に定常状態になるまでの時間を示している。
【００５９】
グラフ８０における時間ｔ２は、時刻ｔ＝Ｔ２以降、圧力測定データ曲線８２が示す被加工物吸引路５７の内部の圧力が定常状態になるまでの時間を示している。判定部７５は、時間ｔ２に基づいて、被加工物吸引路５７の詰まり状態を判定する。具体的には、判定部７５は、時間ｔ２が登録部７４に登録された許容範囲内、すなわち所定の閾値以下にある場合、被加工物吸引路５７が詰まり状態ではない旨の判定をし、時間ｔ２が登録部７４に登録された許容範囲を外れている、すなわち所定の閾値より大きい場合、被加工物吸引路５７が詰まり状態である旨の判定をする。
【００６０】
判定部７５は、より詳細には、時間ｔ２に基づいて、吸着部３１の多数のポーラス孔の目詰まり状態と、チャックテーブル３０の内部吸引路３６の詰まり状態と、第２電磁弁５９とチャックテーブル３０との間の被加工物吸引路５７の吸引路管のよじれ等に起因する詰まり状態と、を判定する。具体的には、判定部７５は、時間ｔ２が登録部７４に登録された許容範囲内、すなわち所定の閾値以下にある場合、吸着部３１の多数のポーラス孔が目詰まり状態ではなく、チャックテーブル３０の内部吸引路３６が詰まり状態ではなく、なおかつ、第２電磁弁５９とチャックテーブル３０との間の被加工物吸引路５７の吸引路管がよじれ等に起因する詰まり状態ではない旨、判定する。また、判定部７５は、時間ｔ２が登録部７４に登録された許容範囲を外れている、すなわち所定の閾値より大きい場合、吸着部３１の多数のポーラス孔が目詰まり状態であるか、チャックテーブル３０の内部吸引路３６が詰まり状態であるか、又は、第２電磁弁５９とチャックテーブル３０との間の被加工物吸引路５７の吸引路管がよじれ等に起因する詰まり状態である旨、判定する。
【００６１】
グラフ８０における時間ｔ３は、時刻ｔ＝Ｔ２以降、圧力測定データ曲線８１が示すテーブル吸引路５６の内部の圧力が定常状態になるまでの時間を示している。判定部７５は、時間ｔ３に基づいて、テーブル吸引路５６の詰まり状態を判定する。具体的には、判定部７５は、時間ｔ３が登録部７４に登録された許容範囲内、すなわち所定の閾値以下にある場合、テーブル吸引路５６が詰まり状態ではない旨の判定をし、時間ｔ３が登録部７４に登録された許容範囲を外れている、すなわち所定の閾値より大きい場合、テーブル吸引路５６が詰まり状態である旨の判定をする。
【００６２】
判定部７５は、より詳細には、時間ｔ３に基づいて、吸引源６０のエジェクタ６３の詰まり状態等の不調と、エジェクタ６３からテーブル基台２０の載置面２３までのテーブル吸引路５６の吸引路管のよじれ等に起因する詰まり状態と、を判定する。具体的には、判定部７５は、時間ｔ３が登録部７４に登録された許容範囲内、すなわち所定の閾値以下にある場合、吸引源６０のエジェクタ６３が詰まり状態等の不調ではなく、なおかつ、エジェクタ６３からテーブル基台２０の載置面２３までのテーブル吸引路５６の吸引路管がよじれ等に起因する詰まり状態ではない旨、を判定する。また、判定部７５は、時間ｔ３が登録部７４に登録された許容範囲を外れている、すなわち所定の閾値より大きい場合、吸引源６０のエジェクタ６３が詰まり状態等の不調であるか、又は、エジェクタ６３からテーブル基台２０の載置面２３までのテーブル吸引路５６の吸引路管がよじれ等に起因する詰まり状態である旨、を判定する。
【００６３】
グラフ８０における圧力Ｐ１は、制御ユニット７３が上記した第１測定動作において第２電磁弁５９を開状態に切り替えた後における、圧力測定データ曲線８２が示す被加工物吸引路５７の内部の圧力の定常状態における測定値を示している。グラフ８０における圧力Ｐ２は、制御ユニット７３が上記した第１測定動作において第２電磁弁５９を開状態に切り替えた後における、圧力測定データ曲線８１が示すテーブル吸引路５６の内部の圧力の定常状態における測定値を示している。なお、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２との差異は、制御ユニット７３が上記した第１測定動作において第２電磁弁５９を開状態に維持している圧力系が非平衡系であることに起因する。
【００６４】
判定部７５は、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２に基づいて、テーブル吸引路５６のリーク状態と、被加工物吸引路５７のリーク状態とを判定する。具体的には、判定部７５は、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２がともに登録部７４に登録された許容範囲内、すなわち所定の閾値以下にある場合、テーブル吸引路５６がリーク状態ではなく、なおかつ、被加工物吸引路５７がリーク状態ではない旨の判定をし、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２がともに登録部７４に登録された許容範囲を外れている、すなわち所定の閾値より大きい場合、テーブル吸引路５６がリーク状態であるか、又は、被加工物吸引路５７がリーク状態である旨の判定をする。
【００６５】
判定部７５は、より詳細には、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２に基づいて、エジェクタ６３からテーブル基台２０の載置面２３までのテーブル吸引路５６の吸引路管のリーク状態と、第２電磁弁５９とチャックテーブル３０との間の被加工物吸引路５７の吸引路管のリーク状態と、を判定する。具体的には、判定部７５は、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２がともに登録部７４に登録された許容範囲内、すなわち所定の閾値以下にある場合、エジェクタ６３からテーブル基台２０の載置面２３までのテーブル吸引路５６の吸引路管がリーク状態ではなく、なおかつ、第２電磁弁５９とチャックテーブル３０との間の被加工物吸引路５７の吸引路管がリーク状態ではない旨、判定する。また、判定部７５は、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２がともに登録部７４に登録された許容範囲を外れている、すなわち所定の閾値より大きい場合、エジェクタ６３からテーブル基台２０の載置面２３までのテーブル吸引路５６の吸引路管がリーク状態であるか、又は、第２電磁弁５９とチャックテーブル３０との間の被加工物吸引路５７の吸引路管がリーク状態である旨、判定する。
【００６６】
グラフ８０における圧力Ｐ３は、制御ユニット７３が上記した第１測定動作において第２電磁弁５９を閉状態に切り替えた後における、圧力測定データ曲線８１が示すテーブル吸引路５６の内部の圧力の定常状態における測定値を示している。判定部７５は、圧力Ｐ３に基づいて、テーブル吸引路５６のリーク状態を判定する。具体的には、判定部７５は、圧力Ｐ３が登録部７４に登録された許容範囲内、すなわち所定の閾値以下にある場合、テーブル吸引路５６がリーク状態ではない旨の判定をし、圧力Ｐ３が登録部７４に登録された許容範囲を外れている、すなわち所定の閾値より大きい場合、テーブル吸引路５６がリーク状態である旨の判定をする。
【００６７】
判定部７５は、より詳細には、圧力Ｐ３に基づいて、エジェクタ６３からテーブル基台２０の載置面２３までのテーブル吸引路５６の吸引路管のリーク状態を判定する。具体的には、判定部７５は、圧力Ｐ３が登録部７４に登録された許容範囲内、すなわち所定の閾値以下にある場合、エジェクタ６３からテーブル基台２０の載置面２３までのテーブル吸引路５６の吸引路管がリーク状態ではない旨、判定する。また、判定部７５は、圧力Ｐ３が登録部７４に登録された許容範囲を外れている、すなわち所定の閾値より大きい場合、エジェクタ６３からテーブル基台２０の載置面２３までのテーブル吸引路５６の吸引路管がリーク状態である旨、判定する。
【００６８】
判定部７５は、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２に基づくテーブル吸引路５６のリーク状態と被加工物吸引路５７のリーク状態との判定結果と、圧力Ｐ３に基づくテーブル吸引路５６のリーク状態の判定結果とに基づいて、被加工物吸引路５７のリーク状態を判定することができる。具体的には、判定部７５は、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２に基づくテーブル吸引路５６のリーク状態と被加工物吸引路５７のリーク状態との判定結果が、テーブル吸引路５６又は被加工物吸引路５７がリーク状態であるという判定結果であり、圧力Ｐ３に基づくテーブル吸引路５６のリーク状態の判定結果が、テーブル吸引路５６がリーク状態ではないという判定結果である場合、被加工物吸引路５７がリーク状態であるという判定結果を出すことができる。
【００６９】
判定部７５は、より詳細には、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２に基づく判定結果が、エジェクタ６３からテーブル基台２０の載置面２３までのテーブル吸引路５６の吸引路管がリーク状態であるか、又は、第２電磁弁５９とチャックテーブル３０との間の被加工物吸引路５７の吸引路管がリーク状態である、という判定結果であり、圧力Ｐ３に基づく判定結果が、エジェクタ６３からテーブル基台２０の載置面２３までのテーブル吸引路５６の吸引路管がリーク状態ではないという判定結果である場合、第２電磁弁５９とチャックテーブル３０との間の被加工物吸引路５７の吸引路管がリーク状態であるという判定結果を出すことができる。
【００７０】
判定部７５は、本実施形態では、以上のように、図４に示す時間ｔ２、時間ｔ３、圧力Ｐ１、圧力Ｐ２及び圧力Ｐ３に基づいて、吸引ユニット５０の各部のリーク又は詰まり状態を判定しているが、本発明ではこれに限定されることなく、電磁弁５８，５９を開閉した際の、圧力計７１，７２の測定値及びこの測定値が変動した時間のいかなる部分を取り出して、その部分が許容範囲内か否かに基づいて、吸引ユニット５０の各部のリーク又は詰まり状態を判定することができる。
【００７１】
このように、実施形態に係る加工装置２は、判定部７５が、第２電磁弁５９を開閉した際の、圧力計７１，７２の測定値及びこの測定値が変動した時間が、登録部７４に予め登録された許容範囲内か否かに基づいて、吸引ユニット５０の各部のリーク又は詰まり状態を判定するものである。このため、実施形態に係る加工装置２は、吸引ユニット５０において、負圧が正常値に至らない理由を、負圧が正常値に至らない場所及び種類によって判定することができるという効果を奏する。また、実施形態に係る加工装置２は、一般的な被加工物１００を吸引保持する吸引ユニット５０を備える加工装置が備えている機構である圧力計７１，７２、報知部７７及び制御ユニット７３を利用して、制御ユニット７３の中に登録部７４及び判定部７５を設けて判定結果を判定するだけであるので、一般的な吸引ユニット５０を備える加工装置の機械的な改造を不要としているという効果も奏する。
【００７２】
また、実施形態に係る加工装置２は、テーブル基台２０の載置面２３にチャックテーブル３０を載置する形態であり、吸引ユニット５０が、チャックテーブル３０をテーブル基台２０に吸引保持するテーブル吸引路５６と、チャックテーブル３０の保持面３３に負圧を作用させる被加工物吸引路５７とを備える形態である。実施形態に係る加工装置２は、このような、吸引ユニット５０が、テーブル基台２０とチャックテーブル３０との間、及び、チャックテーブル３０と被加工物１００との間の２箇所を吸引する複雑な形態である場合でも、負圧が正常値に至らない理由を、負圧が正常値に至らない場所及び種類によって判定することができるという効果を奏する。また、実施形態に係る加工装置２は、このような吸引ユニット５０が複雑な形態である場合でも、一般的なこの種の吸引ユニット５０を備える加工装置が備えている機構である圧力計７１，７２、報知部７７及び制御ユニット７３を利用して、制御ユニット７３の中に登録部７４及び判定部７５を設けて判定結果を判定するだけであるので、一般的な吸引ユニット５０を備える加工装置の機械的な改造を不要としているという効果も奏する。
【００７３】
なお、本発明は、上記実施形態等の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、実施形態に係る加工装置２において、吸引ユニット５０を、三股以上に分岐する等の複雑な吸引路を有しており、その複雑な吸引路に応じた測定動作を採用する形態に変更してもよい。
【００７４】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００７５】
２  加工装置
２０  テーブル基台
２３  載置面
３０  チャックテーブル
３３  保持面
３４  裏面
３６  内部吸引路
３７  裏面側開口
４０  加工ユニット
５０  吸引ユニット
５１  吸引路
５２  第１吸引路
５３  第２吸引路
５４  第３吸引路
５８  第１電磁弁
５９  第２電磁弁
６０  吸引源
６３  エジェクタ
７０  判定ユニット
７１  第１圧力計
７２  第２圧力計
７３  制御ユニット
７４  登録部
７５  判定部
７７  報知部
１００  被加工物
【図１】
2020077787.tif 000003
【図２】
2020077787.tif 000004
【図３】
2020077787.tif 000005
【図４】
2020077787.tif 000006