(57)【要約】【課題】共通電極の剥がれを抑制して、信頼性の高い電気機械変換部材を提供する。【解決手段】基板上に形成された振動板と、前記振動板上に形成された第１の電極と、前記第１の電極上に形成された電気機械変換膜と、前記電気機械変換膜上に形成された第２の電極と、を有する電気機械変換部材であって、前記第１の電極又は前記第２の電極の一方を共通電極、他方を個別電極とし、前記共通電極の少なくとも一部は、前記振動板を構成する層上に接するように形成されており、前記共通電極には、前記共通電極を積層方向に貫通する複数の孔が設けられていることを特徴とする。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成された振動板と、
前記振動板上に形成された第１の電極と、
前記第１の電極上に形成された電気機械変換膜と、
前記電気機械変換膜上に形成された第２の電極と、を有する電気機械変換部材であって、
前記第１の電極又は前記第２の電極の一方を共通電極、他方を個別電極とし、
前記共通電極の少なくとも一部は、前記振動板を構成する層上に接するように形成されており、
前記共通電極には、前記共通電極を積層方向に貫通する複数の孔が設けられていることを特徴とする電気機械変換部材。
【請求項２】
前記共通電極を貫通する孔は、積層方向からみたときに、円形状であることを特徴とする請求項１に記載の電気機械変換部材。
【請求項３】
前記共通電極を貫通する孔は、均等な間隔で設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気機械変換部材。
【請求項４】
前記第１の電極、前記電気機械変換膜及び前記第２の電極とで構成される電気機械変換素子が前記振動板上に列状に配置され、前記列が複数設けられており、
前記振動板上の端部側に配置された列を構成する複数の前記電気機械変換素子は、ダミーの電気機械変換素子であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の電気機械変換部材。
【請求項５】
前記電気機械変換膜は、前記基板上に複数形成されており、
前記共通電極を貫通する孔の数は、前記電気機械変換膜の数よりも多いことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の電気機械変換部材。
【請求項６】
前記共通電極は、前記振動板と接する密着層と、該密着層上に形成される金属電極膜とを含み、
前記密着層は、ＴｉＯ２からなり、
前記金属電極膜は、Ｐｔからなることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の電気機械変換部材。
【請求項７】
前記振動板は積層構造であり、前記密着層と接する側の層は、Ｓｉ、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３又はＳｉ３Ｎ４のいずれかからなることを特徴とする請求項６に記載の電気機械変換部材。
【請求項８】
液体を吐出するノズルに連通する圧力室と、該圧力室内の液体に圧力を発生させる圧力発生手段と、を備えた液体吐出ヘッドであって、
前記圧力発生手段は、請求項１〜７のいずれかに記載の電気機械変換部材であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記共通電極に形成された複数の孔は、前記圧力室に前記液体を供給する供給孔を兼ねることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
請求項８又は９に記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする液体吐出ユニット。
【請求項１１】
前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化したことを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ユニット。
【請求項１２】
請求項８又は９に記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項１０若しくは１１に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気機械変換部材、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プリンタ、ファクシミリ、複写機、プロッタ、或いはこれらの内の複数の機能を複合した画像形成装置としては、例えばインク等の液滴を吐出する液体吐出ヘッドを備えたインクジェット記録装置がある。
【０００３】
液体吐出ヘッドは、インクなどの液体の液滴を吐出するノズルと、このノズルに連通し液体を収容した液室（加圧液室、圧力室、加圧室、吐出室などとも称される。）と、圧電素子などの電気機械変換素子とを備えた構成が知られている。
【０００４】
この液体吐出ヘッドでは、圧電素子に電圧が印加されることにより圧電素子は液室の壁の一部を形成する振動板を変形させるように振動し、その振動板の変形により液室内の液体が加圧され、ノズルから液滴を吐出させることができる。
【０００５】
圧電アクチュエータを用いたインクジェットヘッドの中には、振動板上に下部電極、圧電体、上電極の順に積層し、上下電極に電圧を印加することで圧電体を変形させ、振動板を介してインクを吐出するという技術がある。
【０００６】
今までの圧電アクチュエータの構成としては、下部電極又は上部電極の一方を共通電極、他方を個別電極とした構成が知られている。電極の材料としてはＰｔが挙げられ、振動板の材料としてはＳｉやＳｉＯ２などが挙げられる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明者の検討により、上記圧電アクチュエータの製造過程中に振動板から共通電極（ここでは下部電極が共通電極である場合を例にする）の隅部が剥がれる場合があることが判明した。共通電極の剥がれが発生すると、共通電極が圧電アクチュエータ基板上の意図しない部分に付着することによるショート等が発生して、製品の信頼性が低下してしまう。
【０００８】
詳しくは、圧電アクチュエータをフォトリソエッチング等によりパターニングする際には、エッチングによる残渣、レジスト等を除去するためにレジスト剥離処理、アッシング処理等が行われる。このときのレジスト剥離処理は、生産性向上のためにバッチ式で行うことが多く、図３６（Ａ）に示すように基盤カセット７１に基盤７０（ウエハ）を設置し、基盤７０の外側に設けられた剥離液吐出ノズル７２から剥離液７３を基盤７０に供給する。このとき、剥離液７３が基盤７０の全面にいきわたるように基盤カセット７１は回転軸７４を中心に回転して処理される。このレジスト剥離処理の後に、図３６（Ｂ）の部分拡大図に示すように共通電極７５の剥がれ７５ｐが発生し、歩留りを大きく下げるというものである。
【０００９】
このレジスト剥離処理での剥がれは、特に、基盤７０の外側に位置するパターンの大きい共通電極７５の隅部に発生する傾向がある。すなわち、剥離液７３は、共通電極７５の隅部（４隅）を形成する２方向から隅部にアタックするため、共通電極７５の隅部から共通電極７５とその下層との間に侵入しやすい。例えば、共通電極７５が下部電極の場合、下部電極が振動板から剥がれやすくなる。
【００１０】
特に、共通電極は複数の圧電体にまたがった形状になっており、比較的広い面積でレイアウトされるため応力が強く、特に応力集中しやすいエッジの部分から剥離しやすい。
これを回避するために、例えば、特許文献１〜３の技術が提案されている。
【００１１】
しかし、特許文献１では、確かに応力集中のパターンを入れないものよりは剥離が減ることは分かっているが、それでも剥離の撲滅には至っていないことが評価で分かった。また、特許文献２では工程が増えてしまうという問題があり、特許文献３では、根本的な応力集中を回避できていないため、プロセスの条件によっては剥離が発生してしまう問題がある。
【００１２】
また、特許文献４には、共通電極に複数の貫通穴が形成された構成が開示されているが、共通電極と振動板の剥がれが考慮されたものではない。
【００１３】
そこで、本発明は、共通電極の剥がれを抑制して、信頼性の高い電気機械変換部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するために、本発明は、基板上に形成された振動板と、前記振動板上に形成された第１の電極と、前記第１の電極上に形成された電気機械変換膜と、前記電気機械変換膜上に形成された第２の電極と、を有する電気機械変換部材であって、前記第１の電極又は前記第２の電極の一方を共通電極、他方を個別電極とし、前記共通電極の少なくとも一部は、前記振動板を構成する層上に接するように形成されており、前記共通電極には、前記共通電極を積層方向に貫通する複数の孔が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、共通電極の剥がれを抑制して、信頼性の高い電気機械変換部材を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】電機械変換部材の概略要部構成を示す断面図の一例である。
【図２】電機械変換部材の概略要部構成を示す断面図の他の例である。
【図３】図１に示す電機械変換部材の他の例を示す断面図である。
【図４】図２に示す電機械変換部材の他の例を示す断面図である。
【図５】パターニングされた上部電極、電気機械変換膜、下部電極の平面図（Ａ）及びＡ−Ａ’断面図（Ｂ）である。
【図６】パターニングされた上部電極、電気機械変換膜、下部電極の平面図（Ａ）及びＡ−Ａ’断面図（Ｂ）である。
【図７】電気機械変換部材の作製工程を説明するための平面図（Ａ）及びＡ−Ａ’断面図（Ｂ）である。
【図８】電気機械変換部材の作製工程を説明するための平面図（Ａ）及びＡ−Ａ’断面図（Ｂ）である。
【図９】貫通孔の一例を説明するための平面図（Ａ）及びＢ−Ｂ’断面図である。
【図１０】貫通孔の他の例を説明するための平面図（Ａ）及びＢ−Ｂ’断面図である。
【図１１】貫通孔の他の例を説明するための平面図（Ａ）及びＢ−Ｂ’断面図である。
【図１２】貫通孔の他の例を説明するための平面図（Ａ）及び（Ｂ）である。
【図１３】貫通孔の他の例を説明するための平面図である。
【図１４】貫通孔の他の例を説明するための平面図である。
【図１５】貫通孔の他の例を説明するための平面図である。
【図１６】貫通孔の他の例を説明するための平面図である。
【図１７】本発明に係る液体吐出ヘッドの他の例を示す外観斜視説明図である。
【図１８】同じく分解斜視説明図である。
【図１９】同じく断面斜視説明図である。
【図２０】同じくフレーム部材を除く分解斜視説明図である。
【図２１】同じく流路部分の断面斜視説明図である。
【図２２】同じく流路部分の拡大断面斜視説明図である。
【図２３】同じく流路部分の平面説明図である。
【図２４】同じく流路部分の平面説明図である。
【図２５】本発明に係る液体吐出ユニットの一例を示す模式図である。
【図２６】本発明に係る液体吐出ユニットの他の例を示す模式図である。
【図２７】本発明に係る液体吐出ユニットの他の例を示す模式図である。
【図２８】本発明に係る液体吐出ユニットの他の例を示す模式図である。
【図２９】画像形成装置の構成の一例を示す斜視図である。
【図３０】画像形成装置の構成の一例を示す側面図である。
【図３１】実施例におけるウエハ内に複数の電気機械変換素子を形成した際の概念図である。
【図３２】比較例における共通電極を示す平面図である。
【図３３】実施例、比較例における隅部剥がれ発生率を示すグラフである。
【図３４】実施例、比較例における貫通部剥がれ発生率を示すグラフである。
【図３５】ウエハ内に複数の圧電素子を形成する概念図である。
【図３６】レジスト剥離処理における共通電極の隅部の剥がれについての説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係る電気機械変換部材、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置について図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下に示す実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、修正、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。
【００１８】
本発明は、基板上に形成された振動板と、前記振動板上に形成された第１の電極と、前記第１の電極上に形成された電気機械変換膜と、前記電気機械変換膜上に形成された第２の電極と、を有する電気機械変換部材であって、前記第１の電極又は前記第２の電極の一方を共通電極、他方を個別電極とし、前記共通電極の少なくとも一部は、前記振動板を構成する層上に接するように形成されており、前記共通電極には、前記共通電極を積層方向に貫通する複数の孔（貫通孔とも称する）が設けられていることを特徴とする。
【００１９】
（電気機械変換部材、液体吐出ヘッド）
図１、図２は液体吐出ヘッドの基本構成部分である液体を吐出する部の概略構成を示す液室の配列方向の断面図であり、便宜上、１つの液室に対応する部分のみ示している。図１、図２に示される本実施形態では、インクなどの液体の液滴を吐出するノズル１１を有するノズル基板１２と、ノズル１１に連通し液体を収容した液室１３（圧力室などとも称する）が形成された液室基板１４（以下、単に「基板」という）とを備えている。基板１４上には、液室１３の一壁面となる振動板１５を形成し、振動板１５上に下部電極１６１、電気機械変換膜１６２（圧電体とも称する）、上部電極１６３からなる電気機械変換素子１６（圧電素子とも称する）が設けられている。
【００２０】
図１に示される電気機械変換素子１６は、下部電極１６１が共通電極となっており、上部電極１６３が個別電極となっている。一方、図２に示される電気機械変換素子１６は、下部電極１６１が個別電極となっており、上部電極１６３が共通電極となっている。
【００２１】
駆動電圧が印加された電気機械変換素子１６が、基板１４と電気機械変換素子１６との間にある振動板１５を変形させるように振動し、その振動板１５の変形により液室１３内の液体が加圧され、ノズル１１から液滴を吐出させることができる。
【００２２】
上記のような構成の、基板１４と、電気機械変換素子１６と、各種電極とを含む複合積層基板は、アクチュエータ基板などとも称される。
【００２３】
図３、図４に、図１、図２に示される構成を複数配置した例をそれぞれ示す。上述したように、下部電極１６１及び上部電極１６３のうち、一方を共通電極、他方を個別電極としている。
【００２４】
本実施形態によれば、図中電気機械変換素子が簡便な製造工程で（かつバルクセラミックスと同等の性能を持つ）形成でき、その後の圧力室形成のための裏面からのエッチング除去、ノズル孔を有するノズル板を接合することで液体吐出ヘッドができる。図中には液体供給手段、流路、流体抵抗についての記述は略した。また、図１〜図４では、共通電極における複数の孔の図示を省略している。
【００２５】
本実施形態において、共通電極の少なくとも一部は、振動板を構成する層上に接するように形成されている。「振動板を構成する層」とは、振動する部分だけでなく、振動しない部分も含むことを意味する。例えば、図１において、液室１３（圧力室）上の振動板１５の部分のみでなく、基板１４で固定されている振動板１５の部分も含まれる。
【００２６】
このように、共通電極の少なくとも一部が振動板を構成する層上に接するように形成されていることにより、図１や図２に示される構成の電気機械変換部材を得ることができる。
【００２７】
次に、液滴吐出ヘッドを構成する構成要素である各部及び部材などの材料及び工法について、より具体的に説明する。
【００２８】
＜基板＞
基板１４としては、シリコン単結晶基板を用いることが好ましく、通常１００〜６００μｍの厚みを持つことが好ましい。面方位としては、（１００）、（１１０）、（１１１）と３種あるが、半導体産業では一般的に（１００）、（１１１）が広く使用されており、本構成においては、主に（１００）の面方位を持つ単結晶基板を主に使用した。
【００２９】
また、図１、図２等に示すような圧力室を作製していく場合、エッチングを利用してシリコン単結晶基板を加工していく。この場合のエッチング方法としては、異方性エッチングを用いることが一般的である。異方性エッチングとは結晶構造の面方位に対してエッチング速度が異なる性質を利用したものである。例えばＫＯＨ等のアルカリ溶液に浸漬させた異方性エッチングでは、（１００）面に比べて（１１１）面は約１／４００程度のエッチング速度となる。従って、面方位（１００）では約５４°の傾斜を持つ構造体が作製できるのに対して、面方位（１１０）では深い溝をほることができるため、より剛性を保ちつつ、配列密度を高くすることができることが分かっている。本構成としては（１１０）の面方位を持った単結晶基板を使用することも可能である。但し、この場合、マスク材であるＳｉＯ２もエッチングされてしまうため、この点も留意して利用することが好ましい。
【００３０】
＜振動板＞
電気機械変換膜によって発生した力を受けて、下地（振動板）が変形変位して、圧力室の液体（例えばインク）を吐出させる。そのため、振動板１５としては所定の強度を有したものであることが好ましい。材料としては、Ｓｉ、ＳｉＯ２、Ｓｉ３Ｎ４、Ａｌ２Ｏ３等が挙げられ、例えばＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：化学気相成長）法により作製したものなどが挙げられる。
【００３１】
膜厚としては０．１μｍ〜１０μｍが好ましい。０．１μｍ以上であると、圧力室の加工が行いやすくなる。１０μｍ以下であると、振動板１５が変形変位しやすくなり、インク滴の吐出をより安定させることができる。
【００３２】
＜第１の電極（共通電極又は個別電極）＞
第１の電極（下部電極などとも称する）としては、金属もしくは金属と酸化物からなっていることが好ましい。第１の電極は、密着層を含むことが好ましく、密着層は振動板側に設けられ、振動板と接していることが好ましい。図１及び図２のどちらの構成でも振動板と金属膜の間に密着層を入れて剥がれ等を抑制するように工夫することが好ましい。
【００３３】
−密着層−
密着層としては、Ｔｉをスパッタ成膜後、ＲＴＡ（rapid thermal annealing）装置を用いて、６５０℃〜８００℃、１分〜３０分、Ｏ２雰囲気でチタン膜を熱酸化して、チタン膜を酸化チタン膜にすることが好ましい。酸化チタン膜を作成するには反応性スパッタでもよいがチタン膜の高温による熱酸化法が好ましい。反応性スパッタによる作製では、シリコン基板を高温で加熱する必要があるため、特別なスパッタチャンバ構成を必要とする。さらに、一般の炉による酸化よりも、ＲＴＡ装置による酸化の方がチタンＯ２膜の結晶性が良好になる。なぜなら、通常の加熱炉による酸化によれば、酸化しやすいチタン膜は、低温においてはいくつもの結晶構造を作るため、一旦、それを壊す必要が生じるためである。従って、昇温速度の速いＲＴＡによる酸化の方が良好な結晶を形成するために有利になる。また、Ｔｉ以外の材料としてはＴａ、Ｉｒ、Ｒｕ等の材料でも好ましい。
【００３４】
膜厚としては、１０ｎｍ〜５０ｎｍが好ましく、１５ｎｍ〜３０ｎｍがさらに好ましい。１０ｎｍ以上であると、密着性を確保することができ、５０ｎｍ以下であると、その上で作製する電極膜の結晶の質に及ぼす影響を低減できる。
【００３５】
−金属電極膜−
金属材料としては従来から高い耐熱性と低い反応性を有する白金（Ｐｔ）が用いられているが、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）で用いられる鉛に対しては十分なバリア性を持つとはいえない場合もあり、イリジウムや白金−ロジウムなどの白金族元素や、これらの合金膜も挙げられる。
【００３６】
また、白金を使用する場合には下地（特にＳｉＯ２）との密着性が懸念されるために、上記の密着層を先に積層することが好ましい。作製方法としては、スパッタ法や真空蒸着等の真空成膜が一般的である。
【００３７】
膜厚としては、８０ｎｍ〜２００ｎｍが好ましく、１００ｎｍ〜１５０ｎｍが好ましい。８０ｎｍ以上であると、共通電極として十分な電流を供給することができ、インク吐出をする際に不具合の発生を低減できる。２００ｎｍ以下であると、白金族元素の高価な材料を使用する場合において、コストを減らすことができる。また、白金を材料とした場合においては、膜厚を厚くしていったときに表面粗さが大きくなることを防止し、その上に作製する酸化物電極膜やＰＺＴの表面粗さや結晶配向性に及ぼす影響を低減でき、インク吐出に十分な変位を確保しやすくなる。
【００３８】
＜電機械変換膜（圧電体、圧電体膜）＞
電機械変換膜（圧電体、圧電体膜とも称する）の材料としては、ＰＺＴを主に使用した。ＰＺＴとはジルコン酸鉛（ＰｂＴｉＯ３）とチタン酸（ＰｂＴｉＯ３）の固溶体で、その比率により特性が異なる。一般的に優れた圧電特性を示す組成はＰｂＺｒＯ３とＰｂＴｉＯ３の比率が５３：４７の割合で、化学式で示すとＰｂ（Ｚｒ０．５３，Ｔｉ０．４７）Ｏ３、一般的にＰＺＴ（５３／４７）と示される。
【００３９】
ＰＺＴ以外の複合酸化物としてはチタン酸バリウムなどが挙げられ、この場合はバリウムアルコキシド、チタンアルコキシド化合物を出発材料にし、共通溶媒に溶解させることでチタン酸バリウム前駆体溶液を作製することも可能である。
【００４０】
これらの材料は一般式ＡＢＯ３で記述され、Ａ＝Ｐｂ、Ｂａ、Ｓｒ  Ｂ＝Ｔｉ、Ｚｒ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｍｇ、Ｎｂを主成分とする複合酸化物が該当する。その具体的な記述として（Ｐｂ１−ｘ，Ｂａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３、（Ｐｂ１−ｘ，Ｓｒ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３、これはＡサイトのＰｂを一部ＢａやＳｒで置換した場合である。このような置換は２価の元素であれば可能であり、その効果は熱処理中の鉛の蒸発による特性劣化を低減させる作用を示す。
【００４１】
作製方法としては、スパッタ法もしくは、Ｓｏｌ−ｇｅｌ法を用いてスピンコーターにて作製することができる。その場合は、パターニング化が必要となるので、フォトリソエッチング等により所望のパターンを得る。
【００４２】
ＰＺＴをＳｏｌ−ｇｅｌ法により作製した場合、出発材料に酢酸鉛、ジルコニウムアルコキシド、チタンアルコキシド化合物を出発材料にし、共通溶媒としてメトキシエタノールに溶解させ均一溶液を得ることで、ＰＺＴ前駆体溶液が作製できる。金属アルコキシド化合物は大気中の水分により容易に加水分解してしまうので、前駆体溶液に安定剤としてアセチルアセトン、酢酸、ジエタノールアミンなどの安定化剤を適量、添加しても良い。
【００４３】
基板の全面にＰＺＴ膜を得る場合、スピンコートなどの溶液塗布法により塗膜を形成し、溶媒乾燥、熱分解、結晶化の各々の熱処理を施すことで得られる。塗膜から結晶化膜への変態には体積収縮が伴うので、クラックフリーな膜を得るには一度の工程で１００ｎｍ以下の膜厚が得られるように前駆体濃度を調整することが好ましい。
【００４４】
電気機械変換膜の膜厚としては０．５μｍ〜５μｍが好ましく、より好ましくは１μｍ〜３μｍである。０．５μｍ以上であると、十分な変位を発生させやすくなり、５μｍ以下であると、何層も積層させたときの工程数を抑えることができ、プロセス時間を短縮できる。
【００４５】
また、比誘電率としては６００以上２０００以下になっていることが好ましく、１２００以上１６００以下になっていることがより好ましい。この範囲を満たす場合、十分な変位特性が得られやすくなり、また２０００以下であると、分極処理を行いやすくなり、連続駆動後の変位劣化を低減することができる。
【００４６】
＜第２の電極（共通電極又は個別電極）＞
第２の電極（上部電極などとも称する）としては、金属もしくは酸化物と金属からなることが好ましい。以下に酸化物電極膜、金属電極膜の詳細について記載する。
【００４７】
−酸化物電極膜−
Ｓｒ２ＲｕＯ４などが用いられる。膜の膜厚としては、２０ｎｍ〜８０ｎｍが好ましく、４０ｎｍ〜６０ｎｍがさらに好ましい。この膜厚範囲よりも薄いと初期変位や変位劣化特性については十分な特性が得られない。この範囲を超えると、その後成膜したＰＺＴの絶縁耐圧が非常に悪く、リークしやすくなる。
【００４８】
−金属電極膜−
材料等については第１の電極で使用した金属電極膜で記載しており、膜厚としては３０ｎｍ〜２００ｎｍが好ましく５０ｎｍ〜１２０ｎｍがさらに好ましい。３０ｎｍ以上である場合、電極として十分な電流を供給しやすくなり、インク吐出する際の不具合を低減することができる。２００ｎｍ以下である場合、白金族元素の高価な材料を使用する場合において、コストを減らすことができる。また、白金を材料とした場合においては、膜厚を厚くしていったときに表面粗さが大きくなることを防止し、絶縁保護膜を介して電極を作製する際に、膜剥がれ等のプロセス不具合を低減することができる。
【００４９】
共通電極としては、振動板と接する密着層と、密着層上に形成される金属電極膜とを含み、密着層はＴｉＯ２からなり、金属電極膜はＰｔからなる構成であることが好ましい。この場合、振動板と共通電極との密着力を向上させることができ、電極として十分な電流を供給しやすくなる。
【００５０】
共通電極が密着層と金属電極膜を含む場合、振動板は積層構造であることが好ましく、密着層と接する側の層は、Ｓｉ、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３又はＳｉ３Ｎ４であることが好ましい。この場合、共通電極と振動板との密着力をより高めることができ、共通電極の剥がれを更に抑制することができる。
【００５１】
＜共通電極及び貫通孔の構成＞
次に、共通電極及び貫通孔の構成について詳細を説明する。
本実施形態について図５、図６を用いて説明する。
【００５２】
図５は、上部電極１６３、電気機械変換膜１６２、下部電極１６１をパターニングした場合の上面図（Ａ）及び（Ａ）のＡ−Ａ’断面図（Ｂ）を模式的に示す図である。図５に示す例では、下部電極１６１が共通電極となっており、上部電極１６３が個別電極となっている。
【００５３】
また、別の形態を図６に示す。図６では図５と同様に、電気機械変換膜１６２をパターニングした場合の上面図（Ａ）及び（Ａ）のＡ−Ａ’断面図（Ｂ）が模式的に示されている。図６では、下部電極１６１を個別電極、上部電極１６３を共通電極にしている。
【００５４】
ここで、従来の問題点について説明する。電気機械変換膜や個別電極などをリソグラフィ法によりパターニングする際、エッチング残渣や、レジストを除去するためにレジスト剥離処理、アッシング処理等が行われる。生産性向上の観点から、レジスト剥離処理はバッチ式で行うことが多い。
【００５５】
レジスト剥離処理では、図３５、図３６に示すように、電極や圧電体が形成された基盤７０（ウエハ）を基盤カセット７１に設置し、基盤７０の外側に設けられた剥離液吐出ノズル７２から剥離液７３を基盤７０に供給する。このとき、剥離液７３が基盤７０の全面にいきわたるように基盤カセット７１は回転軸７４を中心に回転して処理される。このレジスト剥離処理の後に、図３６（Ｂ）の部分拡大図に示すように共通電極７５の剥がれ７５ｐが発生し、歩留りを大きく下げるという問題がある。
【００５６】
このレジスト剥離処理での剥がれは、特に、基盤７０の外側に位置するパターンの大きい共通電極７５（下部電極１６１）の隅部に発生する傾向がある。また、剥がれの界面は振動板と共通電極の界面であり、レジスト剥離液が共通電極隅部にアタックすることで剥がれが生じる。
【００５７】
これに対し、本実施形態では、共通電極に、共通電極を貫通する複数の孔（貫通孔とも称する）を設けている。これにより、共通電極における内部応力を緩和することができるため、共通電極の剥離を抑制することができる。詳述すると、レジスト剥離液が共通電極にアタックする際に、共通電極内部における面方向に働く応力が緩和され、共通電極の剥離を抑制することができる。
【００５８】
図５、図６に示されるように、共通電極を貫通する孔は、積層方向からみたときに、円形状であることが好ましい。共通電極は角部から剥がれることが多いため、円形状とすることにより、角部を減らすことができ、共通電極をより剥がれにくくすることができる。なお、積層方向からみたときとあるのは、本実施形態における平面図に該当するものである。
【００５９】
本実施形態では、第１の電極、電気機械変換膜及び第２の電極とで構成される電気機械変換素子が振動板上に列状に配置され、列が複数設けられている場合、振動板上の端部側に配置された列を構成する複数の電気機械変換素子は、ダミーの電気機械変換素子であることが好ましい。本実施形態では、電圧が印加されない（つまり、液滴の吐出に寄与しない）電気機械変換膜（圧電体）をダミー電気機械変換膜（ダミー圧電体）と称する。また、ダミー電気機械変換膜（ダミー圧電体）に電極が形成された素子をダミー電気機械変換素子（ダミー圧電素子）と称する。
【００６０】
また、複数のダミー圧電体又は複数のダミー圧電素子で構成された構造体をダミー構造体と称する。図５、図６では、ダミー構造体１７０が破線で図示されている。貫通孔２００は、振動板と共通電極との界面が露出されているため、ダミー構造体１７０でガードすることにより、極力剥離液が界面に直接アタックしないようにすることができる。
【００６１】
ダミー構造体１７０が設けられる箇所は、適宜変更することが可能である。例えば図５、図６に示されるように、共通電極（ここでは下部電極１６１）の長手方向の両端付近、及び、共通電極の短手方向の一端にダミー構造体１７０を設けてもよい。ダミー構造体１７０を設ける箇所はこれに限られるものではなく、共通電極の長手方向の両端、及び、共通電極の短手方向の両端に設けてもよく、この場合、剥離液の影響をより低減することができる。
【００６２】
ダミー圧電素子と、液滴の吐出を行う吐出用圧電素子との違いを説明する。ダミー圧電素子は、例えば、形状は吐出用圧電素子と同じだが、圧電体に電圧が加わらないまたは、個別電極が電気的にフロートとなっており、圧電体に電圧が加わらない圧電素子である。
【００６３】
共通電極における複数の孔を作製する方法としては、特に制限されるものではないが、共通電極のパターニング時に作製することが好ましい。この場合、工程が増えることを防止できる。
【００６４】
図５では、例えば以下のように作製する。まず振動板上に第１の電極（共通電極）、圧電体膜、第２の電極（個別電極）を形成する。第２の電極（個別電極）をパターン形成したときの平面図及び断面図の一例を図７に示す。図７では、第１の電極と圧電体膜はパターニングしていないため、それぞれ符号１６１ａ、１６２ａで表している。
【００６５】
次いで、圧電体膜のパターニングを行う。圧電体膜をパターン形成したときの平面図及び断面図の一例を図８に示す。
【００６６】
次いで、フォトリソグラフィーにより第１の電極（共通電極）及び貫通孔パターンを形成する。次いで、レジスト剥離処理とアッシング処理を行うことにより、貫通孔が形成される（図５）。
【００６７】
また、図６では、例えば以下のように作製する。まず振動板上に第１の電極（個別電極）をパターン形成し、圧電体膜をパターン形成する。次いで、フォトリソグラフィーにより第１の電極（共通電極）及び貫通孔パターンを形成し、レジスト剥離処理とアッシング処理を行うことにより、貫通孔が形成される。
【００６８】
次に、本実施形態における貫通孔の詳細について更に説明する。
貫通孔の一例について、図９に平面図（Ａ）及びそのＢ−Ｂ’断面図（Ｂ）を示す。図９では、第１の電極（下部電極）を共通電極とし、第２の電極（上部電極）を個別電極とした例である。図９に示される貫通孔２００は、液体（例えばインク）が流れる供給孔（液体供給孔とも称する）を兼ねるものであり、液体は貫通孔２００を流れて液室１３に供給される。なお、Ｂ−Ｂ’断面は、平面図における共通電極の短手方向の断面に相当する。
【００６９】
また、貫通孔のその他の例について説明する。図１０に平面図（Ａ）及びそのＢ−Ｂ’断面図（Ｂ）を示す。図１０に示される貫通孔は、液体が流れる供給孔を兼ねるものである。符号２００ａで示される貫通孔は液体供給孔２００ａを兼ねるものであり、符号２００ｂで示される貫通孔は液体回収孔２００ｂを兼ねるものである。本実施形態において、液体供給孔２００ａは液室１３に液体を供給するために用いられ、液体回収孔２００ｂは液室１３から液体を回収するために用いられる。このように貫通孔を液体の循環路として用いてもよい。
【００７０】
上述のように、図９、図１０における貫通孔２００は、液体を液室に供給するための液体供給孔を兼ねている。貫通孔が液体供給孔又は液体回収孔を兼ねることにより、チップサイズを縮小でき、装置を小型化することができる。
【００７１】
本実施形態では、上記の構成に限られるものではなく、共通電極に形成された貫通孔に液体が流れない構成としてもよい。これを説明するための図を図１１に示す。図１１は、図９及び図１０と同様に貫通孔の一例における平面図（Ａ）及びそのＢ−Ｂ’断面図（Ｂ）を示すものである。図１１では、液体供給孔を兼ねる貫通孔２００と、液体が流れない貫通孔２００ｃが図示されている。貫通孔２００ｃは、任意の箇所に設けることができ、応力緩和のために任意の設計を行うことができる。すなわち、応力が集中する箇所に重点的に貫通孔を形成することができ、共通電極がより剥がれにくくなる構成にすることができる。
【００７２】
本実施形態において、貫通孔は均等な間隔で設けられていることが好ましい。なお、均等な間隔とあるのは、積層方向からみたときに均等な間隔で設けられている場合をいい、積層方向からみたときの図は、本実施形態における平面図や上面図に相当する。
【００７３】
貫通孔が均等な間隔で設けられていることにより、共通電極の内部応力が所定の箇所で集中することを防止することができ、共通電極の剥がれを更に抑制することができる。
【００７４】
「均等な間隔」とは、例えば、図５（Ａ）、図６（Ａ）に示されるように貫通孔２００が設けられている場合が挙げられる。図示されるように、平面図における共通電極（下部電極１６１又は上部電極１６３）の長手方向（紙面左右の方向）で貫通孔２００が均等な間隔で配置されている。また、全ての貫通孔が均等な間隔で設けられていない場合であっても上記の効果が得られ、均等な間隔で設けられた貫通孔の数（割合）が多いことが好ましい。
【００７５】
貫通孔が均等な間隔で設けられている場合についての他の例を図１２に示す。図１２（Ａ）は、電気機械変換膜１６２、貫通孔２００の配置を説明するための平面図であり、図１２（Ｂ）は、図１２（Ａ）における貫通孔２００を図示したものである。なお、図中、矢印（ａ）は記録媒体の搬送方向、矢印（ｂ）は電気機械変換膜の配列方向、矢印（ｃ）は貫通孔の配列方向を示す。また、ここでは下部電極１６１が共通電極である場合の例を示しているが、これに限られるものではない。
【００７６】
図示されるように、平面図における共通電極の長手方向（紙面左右の方向）で貫通孔２００が均等な間隔で配置されている。また、貫通孔２００の配列方向（矢印（ｃ）方向）においても、貫通孔２００が均等な間隔で配置されている。
【００７７】
図１２では、電気機械変換膜の配列方向（矢印（ｂ））を記録媒体の搬送方向（矢印（ａ））に対して傾けるように配置している。これにより、画像の解像度を向上させている。貫通孔２００の配列方向（矢印（ｃ））は電気機械変換膜と同様に、記録媒体の搬送方向に対して傾けるように配置している。
【００７８】
上述したように、振動板上の端部側に配置された列を構成する複数の電気機械変換素子（圧電素子）は、ダミー電気機械変換素子であることが好ましい。ここで示される例においても、図１２（Ａ）に示されるように、平面図における共通電極（ここでは下部電極１６１）の長手方向（紙面左右の方向）の端部側に配置された列、及び、共通電極の短手方向（紙面上下の方向）の端部側に配置された列を構成する電気機械変換素子をダミー構造体１７０としている。四方に配置される電気機械変換素子の列をダミー構造体１７０とすることにより、剥離液の影響をより低減することができる。
【００７９】
次に、共通電極のその他の実施形態について説明する。その他の実施形態を説明するための図を図１３〜図１６に示す。図１３はダミー構造体１７０を設けない場合の例である。図１４は四角形状の貫通孔２０１を設けた場合の例である。図１５は図５に示される例において貫通孔２０１の形状を四角形状のとした場合の例である。図１６は図１３において貫通孔２００の数を増やした場合の例であり、図１０（Ａ）に相当する。
なお、これらの例においても貫通孔が均等な間隔で設けられている場合に含まれる。
【００８０】
また、本実施形態において、共通電極を貫通する孔の数は、電気機械変換膜の数よりも多いことが好ましい。例えば図１０（Ａ）や図１６では、電気機械変換膜１つに対して、貫通孔が２つ設けられている。貫通孔が設けられていることで共通電極の剥がれを防止できるが、貫通孔の数を電気機械変換膜の数よりも多くすることにより、共通電極の面積が小さくなり、より剥がれが抑制される。
【００８１】
本実施形態によれば、共通電極の剥がれを抑制でき、信頼性の高い電気機械変換部材を得ることができる。また、本実施形態の液体吐出ヘッドは、本実施形態の電気機械変換部材を備えるため、信頼性が高く、吐出特性に優れる。
【００８２】
また、本実施形態の電気機械変換部材の製造方法では、共通電極をパターニングする際に貫通孔を形成するため、工程が増えることを防止できる。
【００８３】
＜液体吐出ヘッドのその他の実施形態＞
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドの他の実施形態について図１７〜図２４を参照して説明する。上記実施形態と同様の事項については説明を省略する。
【００８４】
図１７は本実施形態に係る液体吐出ヘッドの外観斜視説明図、図１８は同じく分解斜視説明図、図１９は同じく断面斜視説明図である。図２０は同じくフレーム部材を除く分解斜視説明図、図２１は同じく流路部分の断面斜視説明図、図２２は同じく流路部分の拡大断面斜視説明図である。図２３及び図２４は同じく流路部分の平面説明図である。
【００８５】
この液体吐出ヘッド１は、ノズル板１０と、流路板（個別流路部材）２０と、振動板部材３０と、共通流路部材５０と、ダンパ部材６０と、フレーム部材８０と、駆動回路１０２を実装した基板（フレキシブル配線基板）１０１などを備えている。
【００８６】
ノズル板１０には、液体を吐出する複数のノズル１１を有している。複数のノズル１１は、二次元状にマトリクス配置され、図２３、図２４に示すように、第１方向Ｆ、第２方向Ｓ及び第３方向Ｔの三方向に並んで配置されている。
【００８７】
個別流路部材２０は、複数のノズル１１に各々連通する複数の圧力室（個別液室）２１と、複数の圧力室２１に各々通じる複数の個別供給流路２２と、複数の圧力室２１に各々通じる複数の個別回収流路２３とを形成している。１つの圧力室２１及びこれに通じる個別供給流路２２と個別回収流路２３を併せて個別流路２５と称する。
【００８８】
振動板部材３０は、圧力室２１の変形な可能な壁面である振動板３１を形成し、振動板３１には圧電素子４０が一体に設けられている。また、振動板部材３０には、個別供給流路２２に通じる供給側開口３２と、個別回収流路２３に通じる回収側開口３３とが形成されている。圧電素子４０は、振動板３１を変形させて圧力室２１内の液体を加圧する圧力発生手段である。
【００８９】
なお、個別流路部材２０と振動板部材３０とは、部材として別部材であることに限定さるものではない。例えば、ＳＯＩ（Silicon on Insulator）基板を使用して個別流路部材２０及び振動板部材３０を同一部材で一体に形成することができる。つまり、シリコン基板上に、シリコン酸化膜、シリコン層、シリコン酸化膜の順に成膜されたＳＯＩ基板を使用し、シリコン基板を個別流路部材２０とし、シリコン酸化膜、シリコン層及びシリコン酸化膜とで振動板３１を形成することができる。この構成では、ＳＯＩ基板のシリコン酸化膜、シリコン層及びシリコン酸化膜の層構成が振動板部材３０となる。このように、振動板部材３０は個別流路部材２０の表面に成膜された材料で構成されるものを含む。
【００９０】
共通流路部材５０は、２以上の個別供給流路２２に通じる複数の共通供給流路支流５２と、２以上の個別回収流路２３に通じる複数の共通回収流路支流５３とを、ノズル１１の第２方向Ｓに交互に隣接して形成している。
【００９１】
共通流路部材５０には、個別供給流路２２の供給側開口３２と共通供給流路支流５２を通じる供給口５４となる貫通孔と、個別回収流路２３の回収側開口３３と共通回収流路支流５３を通じる回収口５５となる貫通孔が形成されている。
本実施形態では、供給側開口３２及び回収側開口３３が共通電極に形成された共通電極を貫通する孔となる。
【００９２】
また、共通流路部材５０は、複数の共通供給流路支流５２に通じる１又は複数の共通供給流路本流５６と、複数の共通回収流路支流５３に通じる１又は複数の共通回収流路本流５７を形成している。
【００９３】
ダンパ部材６０は、共通供給流路支流５２の供給口５４と対面する（対向する）供給側ダンパ６２と、共通回収流路支流５３の回収口５５と対面する（対向する）回収側ダンパ６３を有している。
【００９４】
ここで、共通供給流路支流５２及び共通回収流路支流５３は、同じ部材である共通流路部材５０に交互に並べて配列された溝部を、ダンパ部材６０の供給側ダンパ６２又は回収側ダンパ６３で封止することで構成している。なお、ダンパ部材６０のダンパ材料としては、有機溶剤に強い金属薄膜又は無機薄膜を用いることが好ましい。ダンパ部材６０の供給側ダンパ６２、回収側ダンパ６３の部分の厚みは１０μｍ以下が好ましい。
【００９５】
まず、図２３、図２４を参照して、複数のノズル１１は、二次元状にマトリクス配置され、第１方向Ｆ、第２方向Ｓ及び第３方向Ｔの三方向に並んで配置されている。この二次元状にマトリクス配置されたノズル１１のまとまりを、図２３に示すように、ノズル群ＮＧ（ＮＧ１、ＮＧ２）とする。
【００９６】
１つのノズル群ＮＧにおいて、第１方向Ｆは、第２方向Ｓにおける複数のノズル１１の配列をノズル列とするとき、ノズル１１の配列方向に対して所定の傾き角度θ１でノズル列が並ぶ方向となる。共通供給流路支流５２及び共通回収流路支流５３は第１方向に延びている。従ってまた、共通供給流路支流５２及び共通回収流路支流５３の長手方向は第１方向Ｆに沿っている。
【００９７】
１つのノズル群ＮＧにおいて、第２方向Ｓは、最も隣接したノズル１１が並ぶ方向（ノズル配列方向）であり、第１方向Ｆを基準とすると、第１方向に角度θ１で交差する方向である。共通供給流路支流５２と共通回収流路支流５３とは、第２方向Ｓに交互に配置されている。
【００９８】
１つのノズル群ＮＧにおいて、第３方向Ｔは、第１方向Ｆ及び第２方向Ｓと交差する方向であり、本実施形態では、個別供給流路２２、圧力室２１及び個別回収流路２３で構成される個別流路２５は第３方向に沿って配置されている。
【００９９】
ここで、個別供給流路２２、圧力室２１、個別回収流路２３で構成される個別流路２５は、ノズル１１の軸（液体吐出方向の中心軸）に対して２回軸対称の形状としている。
【０１００】
個別流路２５を２回軸対称とすることで、図２４に示す例では、例えばノズル１１Ａに通じる個別流路２５とノズル１１Ｅに通じる個別流路２５の関係のように、個別流路２５における液体の流れに平行な方向（第３方向Ｔ）で隣接するノズル１１Ａ、１１Ｅに対して個別流路２５を反転して配置することができる。
【０１０１】
つまり、同一の共通供給流路支流５２に配置されるノズル１１Ａの個別液室２５に通じる供給口５４Ａとノズル１１Ｅの個別液室２５に通じる供給口５４Ｅに対して、個別液室の方向を反転して配置することができる。
【０１０２】
これにより、共通供給流路支流５２の配置に制約されずに、個別液室２５（ノズル１１）の実装密度を高密度化することができ、ヘッドを小型化できる。
【０１０３】
また、同じ共通供給流路支流５２内で互いに最近接で隣接する（最も隣接する）２つの供給口５４、５４に各々通じる２つのノズル１１、例えば、図２４の例では供給口５４Ａに接続されるノズル１１Ａと、供給口５４Ｅに接続されるノズル１１Ｅは、回収口５５Ａ，５５Ｅを通じて異なる共通回収流路支流５３に通じている。
【０１０４】
なお、個別流路２５は、共通供給流路支流５２及び共通回収流路支流５３における液体の流れの方向（第１方向Ｆ）に対しては併進対称配置（反転しない配置）としている。
【０１０５】
（液体吐出ユニット、液体を吐出する装置）
本発明の液体吐出ユニットは、本発明の液体吐出ヘッドを備える。
また、液体吐出ユニットとしては、液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと液体吐出ヘッドとを一体化したものが挙げられる。
また、本発明の液体を吐出する装置は、本発明の液体吐出ヘッド又は本発明の液体吐出ユニットを備える。
【０１０６】
本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図２５及び図２６を参照して説明する。図２５は同装置の要部平面説明図、図２６は同装置の要部側面説明図である。
【０１０７】
この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
【０１０８】
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズル１１からなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
【０１０９】
液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。
【０１１０】
供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。
【０１１１】
この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。
【０１１２】
搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
【０１１３】
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
【０１１４】
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。
【０１１５】
維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズル１１が形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。
【０１１６】
主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
【０１１７】
このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
【０１１８】
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成する。
【０１１９】
このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。
【０１２０】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図２７を参照して説明する。図２７は同ユニットの要部平面説明図である。
【０１２１】
この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。
【０１２２】
なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。
【０１２３】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図２８を参照して説明する。図２８は同ユニットの正面説明図である。
【０１２４】
この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
【０１２５】
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。
【０１２６】
本願において、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出させる装置である。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【０１２７】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【０１２８】
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【０１２９】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【０１３０】
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
【０１３１】
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス、壁紙や床材などの建材、衣料用のテキスタイルなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【０１３２】
また、「液体」は、インク、処理液、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、結着剤、造形液、又は、アミノ酸、たんぱく質、カルシウムを含む溶液及び分散液なども含まれる。
【０１３３】
また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。
【０１３４】
また、「液体を吐出する装置」としては他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液をノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【０１３５】
「液体吐出ユニット」とは、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体である。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
【０１３６】
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
【０１３７】
例えば、液体吐出ユニットとして、図２６で示した液体吐出ユニット４４０のように、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
【０１３８】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
【０１３９】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、図２７で示したように、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
【０１４０】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
【０１４１】
また、液体吐出ユニットとして、図２８で示したように、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。
【０１４２】
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。
【０１４３】
また、「液体吐出ヘッド」は、使用する圧力発生手段が限定されるものではない。例えば、上記実施形態で説明したような圧電アクチュエータ（積層型圧電素子を使用するものでもよい。）以外にも、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものでもよい。
【０１４４】
また、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【０１４５】
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図２９及び図３０を参照して説明する。図２９は同装置の斜視説明図、図３０は同装置の機構部の側面説明図である。なお、以下、インクジェット記録装置を例に挙げて説明するが、液体を吐出する装置としてはこれに限られるものではない。
【０１４６】
本実施形態のインクジェット記録装置は、記録装置本体６１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明を実施したインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部６２等を収納し、装置本体６１の下方部には前方側から多数枚の用紙８３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）８４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙８３を手差しで給紙するための手差しトレイ８５を開倒することができ、給紙カセット８４或いは手差しトレイ８５から給送される用紙８３を取り込み、印字機構部６２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ８６に排紙する。
【０１４７】
印字機構部６２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド９１と従ガイドロッド９２とでキャリッジ９３を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ９３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係るインクジェットヘッドからなるヘッド９４を複数のインク吐出口（ノズル）を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ９３にはヘッド９４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ９５を交換可能に装着している。
【０１４８】
インクカートリッジ９５は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド９４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
【０１４９】
ここで、キャリッジ９３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド９１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド９２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ９３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ９７で回転駆動される駆動プーリ９８と従動プーリ９９との間にタイミングベルト１００を張装し、このタイミングベルト１００をキャリッジ９３に固定しており、主走査モータ９７の正逆回転によりキャリッジ９３が往復駆動される。
【０１５０】
一方、給紙カセット８４にセットした用紙８３をヘッド９４の下方側に搬送するために、給紙カセット８４から用紙８３を分離給装する給紙ローラ１０１及びフリクションパッド１０２と、用紙８３を案内するガイド部材１０３と、給紙された用紙８３を反転させて搬送する搬送ローラ１０４と、この搬送ローラ１０４の周面に押し付けられる搬送コロ１０５及び搬送ローラ１０４からの用紙８３の送り出し角度を規定する先端コロ１０６とを設けている。搬送ローラ１０４は副走査モータ１０７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【０１５１】
そして、キャリッジ９３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１０４から送り出された用紙８３を記録ヘッド９４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１０９を設けている。この印写受け部材１０９の用紙搬送方向下流側には、用紙８３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１１１、拍車１１２を設け、さらに用紙８３を排紙トレイ８６に送り出す排紙ローラ１１３及び拍車１１４と、排紙経路を形成するガイド部材１１５，１１６とを配設している。
【０１５２】
記録時には、キャリッジ９３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド９４を駆動することにより、停止している用紙８３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙８３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙８３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙８３を排紙する。
【０１５３】
また、キャリッジ９３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド９４の吐出不良を回復するための回復装置１１７を配置している。回復装置１１７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ９３は印字待機中にはこの回復装置１１７側に移動されてキャッピング手段でヘッド９４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【０１５４】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド９４の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【０１５５】
このように、本実施形態の液体を吐出する装置においては本実施形態の液体吐出ヘッドを搭載しているので、信頼性が高く、安定したインク滴吐出特性を得ることができ、画像品質が向上する。
【実施例】
【０１５６】
以下、実施例及び比較例を示して本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。
【０１５７】
（実施例１）
６インチシリコンウェハを熱酸化し、振動板として、シリコン酸化膜ＳｉＯ２（膜厚１μｍ）を形成した。第１の電極の密着膜として、チタン膜（膜厚３０ｎｍ）をスパッタ装置にて成膜した。次に、ＲＴＡを用いて７５０℃にて熱酸化し、引き続き金属膜として白金膜（膜厚１００ｎｍ）をスパッタ成膜した。スパッタ成膜時の基板加熱温度については５５０℃にて成膜を実施した。
【０１５８】
次に、圧電体膜としてＰｂ：Ｚｒ：Ｔｉ＝１１４：５３：４７に調整された溶液を準備し、スピンコート法により膜を成膜した。
具体的な前駆体塗布液の合成については、出発材料に酢酸鉛三水和物、イソプロポキシドチタン、ノルマルプロポキシドジルコニウムを用いた。酢酸鉛の結晶水はメトキシエタノールに溶解後、脱水した。化学両論組成に対し鉛量を過剰にしてある。これは熱処理中のいわゆる鉛抜けによる結晶性低下を防ぐためである。イソプロポキシドチタン、ノルマルポキシドジルコニウムをメトキシエタノールに溶解し、アルコール交換反応、エステル化反応を進め、先記の酢酸鉛を溶解したメトキシエタノール溶液と混合することでＰＺＴ前駆体溶液を合成した。このＰＺＴ濃度は０．５ｍｏｌ／ｌにした。この液を用いて、スピンコートにより成膜し、成膜後、１２０℃乾燥させ、５００℃で熱分解を行った。３層目の熱分解処理後に、結晶化熱処理（温度７５０℃）をＲＴＡ（急速熱処理）にて行った。このときＰＺＴの膜厚は２４０ｎｍであった。この工程を計８回（２４層）実施し、約２μｍの膜厚を得た。
【０１５９】
次に、第２の電極の酸化物膜として、ＳｒＲｕＯ膜（膜厚４０ｎｍ）、金属膜としてＰｔ膜（膜厚１２５ｎｍ）をスパッタ成膜した。その後、東京応化社製フォトレジスト（ＴＳＭＲ８８００）をスピンコート法で成膜し、通常のフォトリソグラフィーでレジストパターンを形成した後、ＩＣＰエッチング装置（サムコ社製）を用いてＰｔ膜、酸化物膜をエッチング後、セミツール社製のレジスト剥離装置にてアミン系の剥離液を用いて３０分レジスト剥離処理、及びキヤノン社製のアッシャーにて３分のアッシング処理を行い、第２の電極（個別電極）をパターニングした（図７）。
【０１６０】
このとき、図７の平面図における共通電極の長手方向の両端、及び、短手方向の一方に設けた電気機械変換素子の列は、実際に駆動する素子ではなく、ダミー構造体１７０として機能する素子にしている。すなわち、図７において、破線で表される領域の電気機械変換素子はダミー構造体１７０としている。
【０１６１】
同様にフォトリソグラフィーでレジストパターンを形成した後、圧電体膜をエッチングし、レジスト剥離処理、アッシング処理を行い、圧電体膜をパターニングした（図８）。
本実施例は、図５に示すように、第１の電極を共通電極、第２の電極を個別電極とした構成である。
【０１６２】
次に、フォトリソグラフィーで電極（共通電極）及び貫通孔パターンを形成した後、レジスト剥離処理、アッシング処理を行い、第１の電極（共通電極）及び貫通孔を形成した（図５（Ａ））。
【０１６３】
ここまで作製した電気機械変換部材において、第１の電極（共通電極）の隅部のはがれ数、貫通孔部の剥がれ数をカウントし、それぞれの剥がれ率を計算した。電気機械変換部材（チップ）は、図３１に示すように、基板上に３６個形成し、それぞれの電気機械変換部材には４つの角部、４００個の貫通孔部を形成した。
基板内の第１の電極（共通電極）の角部の母数は１４４個（電気機械変換部材３６×隅部４＝１４４）であり、貫通孔部の母数は１４４００個（電気機械変換部材３６×貫通孔数４００＝１４４００）である。
【０１６４】
（実施例２）
図６に示すように第１の電極を個別電極、第２の電極を共通電極とした以外は実施例１と同様にして電気機械変換部材を作製し、第１の電極（共通電極）角部の剥がれ数、貫通孔部の剥がれ数をカウントし、剥がれ率を計算した。
【０１６５】
（実施例３）
図１３に示すようにダミー構造体を設けないこと以外は実施例１と同様にして電気機械変換部材を作製し、第１の電極（共通電極）角部の剥がれ数、貫通孔部の剥がれ数をカウントし、剥がれ率を計算した。
【０１６６】
（実施例４）
図１４に示すように貫通孔部の形状を四角にすること以外は実施例３と同様にして電気機械変換部材を作製し、第１の電極（共通電極）角部の剥がれ数、貫通孔部の剥がれ数をカウントし、剥がれ率を計算した。
【０１６７】
（実施例５）
図１５に示すように貫通孔部の形状を四角にすること以外は実施例１と同様にして電気機械変換部材を作製し、第１の電極（共通電極）角部の剥がれ数、貫通孔部の剥がれ数をカウントし、剥がれ率を計算した。
【０１６８】
（実施例６）
図１６に示すように貫通孔を倍の８００個設けること以外は実施例３と同様にして電気機械変換部材を作製し、第１の電極（共通電極）角部の剥がれ数、貫通孔部の剥がれ数をカウントし、剥がれ率を計算した。角部の母数は倍の２８８００個としている。
【０１６９】
（比較例１）
図３２に示すように貫通孔部を設けないこと以外は実施例３と同様にして電気機械変換部材を作製し、第１の電極（共通電極）角部の剥がれ数、貫通孔部の剥がれ数をカウントし、剥がれ率を計算した。
【０１７０】
（評価）
＜剥がれ発生率の評価＞
実施例１〜６はそれぞれ４基板を作製した。カウントした角部の剥がれ発生率を図３３に、貫通孔部の剥がれ発生率を図３４に示す。
【０１７１】
角部に関しては、比較例１は５％程度の剥がれがあるのに対して、貫通孔を形成した実施例では全て０％であった。貫通孔の形状に関わらず、孔自体を設けることで膜応力が緩和されて、剥がれが抑制された。
実施例どうしの比較では差が見られなかったが、実施例６に関してはより多くの孔を設けているため、例えば応力が強い膜を形成する場合や、剥がれが発生しやすい形状にする場合には、他の実施例と比較すると効果がより顕著になると考えられる。
【０１７２】
貫通孔部に関しては、わずかだが実施例４だけに剥がれが見られた。貫通孔の形状に関しては、角がある四角形状よりも円形の方が応力分布は均一になり、剥がれが抑制されると考えられる。しかし、数値は低く、許容範囲である。
また、構造体を設けた実施例５では、貫通孔形状が四角だが、剥がれの発生はなかった。周りに設けた構造体が、レジスト剥離時の剥離液をガードする役割を果たしたため、剥がれにつながらなかったと考えられる。
【０１７３】
以上から、共通電極に貫通孔を設けることで、大幅に剥がれが抑制でき、信頼性の高い電気機械変換部材を提供できることが分かる。また、構造体を貫通孔部に設けることで、更に貫通孔部の剥がれも抑制できることが分かる。
【０１７４】
＜吐出評価＞
実施例３で作製した電気機械変換部材に、配線や駆動部を実装し、図３に示すように圧力室を形成し、ノズル板を接合することで液体吐出ヘッドを作製した。作製した液体吐出ヘッドについて液体の吐出評価を行った。粘度を５ｃｐに調整したインクを用い、単純Ｐｕｓｈ波形により−１０〜３０Ｖの印可電圧を加えたときの吐出状況を確認したところ、全てどのノズル孔からも吐出できていることを確認した。更に、連続吐出耐久評価を行ったところ、１００億回の駆動後も問題なく吐出できることを確認した。
【０１７５】
なお、比較例１の構成では共通電極の外側にインクを供給する供給孔を設ける必要があるため、チップサイズを少し大きくする必要がある。そのため、歩留まりの観点からも、実施例で作製したように共通電極に貫通孔を形成し、該貫通孔をインク供給孔とすることが好ましい。
【符号の説明】
【０１７６】
１１  ノズル
１２  ノズル板
１３  液室
１４  基板
１５  振動板
１６  圧電素子
２１  圧力室
２２  個別供給流路
２３  個別回収流路
５２  共通供給流路支流
５３  共通回収流路支流
５４  供給口
５５  回収口
６１  記録装置本体
６２  印字機構部
７０  基盤（ウエハ）
７１  基盤カセット
７２  剥離液吐出ノズル
７３  剥離液
７４  回転軸
７５  共通電極
７５ｐ  剥がれ
８３  用紙
８４  給紙カセット
８５  手差しトレイ
８６  排紙トレイ
９１  主ガイドロッド
９２  従ガイドロッド
９３  キャリッジ
９４  液体吐出ヘッド
９５  インクカートリッジ
９７  主走査モータ
９８  駆動プーリ
９９  従動プーリ
１００  タイミングベルト
１０１  給紙ローラ
１０２  フリクションパッド
１０３  ガイド部材
１０４  搬送ローラ
１０５  搬送コロ
１０６  先端コロ
１０７  副走査モータ
１０９  印写受け部材
１１１  搬送コロ
１１２、１１４  拍車
１１３  排紙ローラ
１１５、１１６  ガイド部材
１１７  回復装置
１６１  下部電極
１６２  電気機械変換膜
１６３  上部電極
１６５  引き出し配線
２００  支持基板
３００  ノズル基板
４０１  ガイド部材
４０３  キャリッジ
４０４  液体吐出ヘッド
４０５  主走査モータ
４０６  駆動プーリ
４０７  従動プーリ
４０８  タイミングベルト
４１０  用紙
４１２  搬送ベルト
４１３  搬送ローラ
４１４  テンションローラ
４１６  副走査モータ
４１７  タイミングベルト
４１８  タイミングプーリ
４２０  維持回復機構
４２１  キャップ部材
４２２  ワイパ部材
４４０  液体吐出ユニット
４４１  ヘッドタンク
４４２  カバー
４４３  コネクタ
４４４  流路部品
４５０  液体カートリッジ
４５１  カートリッジホルダ
４５２  送液ユニット
４５６  チューブ
４９１Ａ、４９１Ｂ  側板
４９１Ｃ  背板
４９３  主走査移動機構
４９４  供給機構
４９５  搬送機構
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１７７】
【特許文献１】特開２０１６−１５５２８３号公報
【特許文献２】特開２０１７−１９１８５９号公報
【特許文献３】特開２０１６−１６２８１７号公報
【特許文献４】特開２００６−１１６９５４号公報
【図１】
2020155528.tif 000003
【図２】
2020155528.tif 000004
【図３】
2020155528.tif 000005
【図４】
2020155528.tif 000006
【図５】
2020155528.tif 000007
【図６】
2020155528.tif 000008
【図７】
2020155528.tif 000009
【図８】
2020155528.tif 000010
【図９】
2020155528.tif 000011
【図１０】
2020155528.tif 000012
【図１１】
2020155528.tif 000013
【図１２】
2020155528.tif 000014
【図１３】
2020155528.tif 000015
【図１４】
2020155528.tif 000016
【図１５】
2020155528.tif 000017
【図１６】
2020155528.tif 000018
【図１７】
2020155528.tif 000019
【図１８】
2020155528.tif 000020
【図１９】
2020155528.tif 000021
【図２０】
2020155528.tif 000022
【図２１】
2020155528.tif 000023
【図２２】
2020155528.tif 000024
【図２３】
2020155528.tif 000025
【図２４】
2020155528.tif 000026
【図２５】
2020155528.tif 000027
【図２６】
2020155528.tif 000028
【図２７】
2020155528.tif 000029
【図２８】
2020155528.tif 000030
【図２９】
2020155528.tif 000031
【図３０】
2020155528.tif 000032
【図３１】
2020155528.tif 000033
【図３２】
2020155528.tif 000034
【図３３】
2020155528.tif 000035
【図３４】
2020155528.tif 000036
【図３５】
2020155528.tif 000037
【図３６】
2020155528.tif 000038