(57)【要約】【課題】  異なる厚さまたは幅を有する赤色、緑色、および青色カラーフィルタを有する光学素子を提供する。【解決手段】  複数の金属グリッドと、第１のパターン化された有機層と、第２のパターン化された有機層と、を含み、第１のパターン化された有機層は、第１の厚さを有する第１の部分と、第２の厚さを有する第２の部分と、第３の厚さを有する第３の部分と、複数の第４の部分と、を含み、第１の部分、第２の部分、および第３の部分は金属グリッドの間にそれぞれ形成され、第４の部分は、金属グリッドの上に形成され、第１の部分の第１の厚さは第２の部分の第２の厚さより大きく、第２の部分の第２の厚さは、第３の部分の第３の厚さより厚く、第２のパターン化された有機層は、第１のパターン化された有機層の第４の部分の上に形成される光学素子。【選択図】  図１
2020126219.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の金属グリッドと、
第１のパターン化された有機層と、
第２のパターン化された有機層と、を含み、
前記第１のパターン化された有機層は、第１の厚さを有する第１の部分と、第２の厚さを有する第２の部分と、第３の厚さを有する第３の部分と、複数の第４の部分と、を含み、
前記第１の部分、前記第２の部分、および前記第３の部分は前記金属グリッドの間にそれぞれ形成され、前記第４の部分は、前記金属グリッドの上に形成され、
前記第１の部分の前記第１の厚さは前記第２の部分の前記第２の厚さより厚く、前記第２の部分の前記第２の厚さは前記第３の部分の前記第３の厚さより厚く、
前記第２のパターン化された有機層は、前記第１のパターン化された有機層の前記第４の部分の上に形成される光学素子。
【請求項２】
前記第１のパターン化された有機層は、約１．２から約１．５の範囲にある屈折率を有し、
前記第２のパターン化された有機層は、約１．２から約１．５の範囲にある屈折率を有し、
前記第１のパターン化された有機層の前記第１の部分の前記第１の厚さ、前記第２の部分の前記第２の厚さ、および前記第３の部分の前記第３の厚さのいずれか一つは、約０．１から約０．５μｍの範囲にある請求項１に記載の光学素子。
【請求項３】
複数のカラーフィルタと、
平坦化層と、を更に含み、
前記カラーフィルタは、赤色カラーフィルタと、緑色カラーフィルタと、青色カラーフィルタと、を含み、
前記赤色カラーフィルタは、前記第１のパターン化された有機層の前記第１の部分の上に形成され、前記第２のパターン化された有機層によって囲まれた主要部分を含み、
前記緑色カラーフィルタは、前記第１のパターン化された有機層の前記第２の部分の上に形成され、前記第２のパターン化された有機層によって囲まれた主要部分を含み、
前記青色カラーフィルタは、前記第１のパターン化された有機層の前記第３の部分の上に形成され、前記第２のパターン化された有機層によって囲まれた主要部分を含み、
前記平坦化層は、前記第２のパターン化された有機層および前記カラーフィルタの上に形成される請求項１に記載の光学素子。
【請求項４】
前記赤色カラーフィルタの前記主要部分は、前記緑色カラーフィルタの前記主要部分の厚さよりも厚い厚さを有し、
前記緑色カラーフィルタの前記主要部分の厚さは、前記青色カラーフィルタの前記主要部分の厚さよりも厚く、
前記青色カラーフィルタの前記主要部分の厚さは、約１μｍ以上である請求項３に記載の光学素子。
【請求項５】
前記赤色カラーフィルタの前記主要部分は、前記緑色カラーフィルタの前記主要部分の幅よりも広い幅を有し、
前記緑色カラーフィルタの前記主要部分の幅は、前記青色カラーフィルタの前記主要部分の幅よりも広い請求項３に記載の光学素子。
【請求項６】
前記第１のパターン化された有機層の前記第１の部分、前記第２の部分、および前記第３の部分の上に形成された複数の突出部を更に含み、
隣接する前記複数の突出部の間はピッチを有し、前記突出部は高さを有し、前記突出部は、角錐形状、柱形状、またはドーム形状を有する請求項３に記載の光学素子。
【請求項７】
前記第１の部分の上に形成された隣接する前記複数の突出部の間のピッチは、前記第２の部分の上に形成された隣接する前記複数の突出部の間のピッチよりも広く、
前記第２の部分の上に形成された隣接する前記複数の突出部の間のピッチは、前記第３の部分の上に形成された隣接する前記複数の突出部の間のピッチよりも広い請求項６に記載の光学素子。
【請求項８】
前記第１の部分の上に形成された前記突出部の高さは、前記第２の部分の上に形成された前記突出部の高さよりも高く、
前記第２の部分の上に形成された前記突出部の高さは、前記第３の部分の上に形成された前記突出部の高さよりも高い請求項６に記載の光学素子。
【請求項９】
前記赤色カラーフィルタは、前記第１のパターン化された有機層の中に形成された、厚さおよび幅を有する、前記赤色カラーフィルタの前記主要部分から延伸する延伸部分を更に含み、
前記緑色カラーフィルタは、前記第１のパターン化された有機層の中に形成された、厚さおよび幅を有する、前記緑色カラーフィルタの前記主要部分から延伸する延伸部分を更に含み、
前記青色カラーフィルタは、前記第１のパターン化された有機層の中に形成された、厚さおよび幅を有する、前記青色カラーフィルタの前記主要部分から延伸する延伸部分を更に含む請求項５に記載の光学素子。
【請求項１０】
前記赤色カラーフィルタの前記延伸部分の厚さは前記緑色カラーフィルタの前記延伸部分の厚さより厚く、
前記緑色カラーフィルタの前記延伸部分の厚さは前記青色カラーフィルタの前記延伸部分の厚さより厚い請求項９に記載の光学素子。
【請求項１１】
前記赤色カラーフィルタの前記延伸部分の幅は、前記緑色カラーフィルタの前記延伸部分の幅よりも広く、
前記緑色カラーフィルタの前記延伸部分の幅は、前記青色カラーフィルタの前記延伸部分の幅よりも広く、
前記赤色カラーフィルタの前記延伸部分の幅は、前記赤色カラーフィルタの前記主要部分の幅よりも狭く、
前記緑色カラーフィルタの前記延伸部分の幅は、前記緑色カラーフィルタの前記主要部分の幅よりも狭く、
前記青色カラーフィルタの前記延伸部分の幅は、前記青色カラーフィルタの前記主要部分の幅よりも狭い請求項１０に記載の光学素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子に関するものであり、特に、異なる厚さまたは幅を有する赤色、緑色、および青色カラーフィルタを有する光学素子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光学素子は多くの構造タイプを含む。複合金属グリッド（ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ  ｍｅｔａｌ  ｇｒｉｄ；  ＣＭＧ）型構造を有する光学素子では、カラーフィルタの上に配置されるマイクロレンズが必要である。導波路カラーフィルタ（ｗａｖｅ  ｇｕｉｄｅ  ｃｏｌｏｒ  ｆｉｌｔｅｒ；  ＷＧＣＦ）型構造を有する光学素子では、マイクロレンズの代わりにカラーフィルタを囲む低屈折率材料が用いられて導波路構造を形成している。
【０００３】
しかしながら、導波路カラーフィルタ（ＷＧＣＦ）型構造を有する光学素子では、カラーフィルタの導波モード（ＧＭ）とスラブ閉じ込めモード（ｓｌａｂ ｃｏｎｆｉｎｅｍｅｎｔ ｍｏｄｅ；  ＳＣＭ）間の共鳴（または結合）効果の形成により、入射光はカラーフィルタ内に閉じ込められやすくなり、画素の感度または量子効果（ＱＥ）を低減させることになる。
【０００４】
従って、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの導波モード（ＧＭ）とスラブ閉じ込めモード（ＳＣＭ）間の共鳴（または結合）効果を防ぐことができる導波路カラーフィルタ（ＷＧＣＦ）型構造の光学素子の開発が望まれている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
異なる厚さまたは幅を有する赤色、緑色、および青色カラーフィルタを有する光学素子を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一実施形態による光学素子が提供される。光学素子は、複数の金属グリッドと、第１のパターン化された有機層と、第２のパターン化された有機層とを含む。第１のパターン化された有機層は、第１の厚さを有する第１の部分と、第２の厚さを有する第２の部分と、第３の厚さを有する第３の部分と、複数の第４の部分とを含む。第１の部分、第２の部分、および第３の部分は金属グリッドの間にそれぞれ形成される。第４の部分は、金属グリッドの上に形成される。第１の部分の第１の厚さは第２の部分の第２の厚さより厚い。第２の部分の第２の厚さは、第３の部分の第３の厚さより厚い。第２のパターン化された有機層は、第１のパターン化された有機層の第４の部分の上に形成される。
【０００７】
いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層は、約１．２から約１．５の範囲にある屈折率を有する。いくつかの実施形態では、第２のパターン化された有機層は、約１．２から約１．５の範囲にある屈折率を有する。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層の第１の部分の第１の厚さ、第２の部分の第２の厚さ、および第３の部分の第３の厚さのいずれか一つは、約０．１〜約０．５μｍの範囲にある。
【０００８】
いくつかの実施形態では、光学素子は、赤色カラーフィルタと、緑色カラーフィルタと、青色カラーフィルタとを含む複数のカラーフィルタを更に含む。赤色カラーフィルタは、第１のパターン化された有機層の第１の部分の上に形成され、第２のパターン化された有機層によって囲まれた主要部分を含む。緑色カラーフィルタは、第１のパターン化された有機層の第２の部分の上に形成され、第２のパターン化された有機層によって囲まれた主要部分を含む。青色カラーフィルタは、第１のパターン化された有機層の第３の部分の上に形成され、第２のパターン化された有機層によって囲まれた主要部分を含む。
【０００９】
いくつかの実施形態では、赤色カラーフィルタの主要部分は、緑色カラーフィルタの主要部分の厚さよりも厚い厚さを有する。緑色カラーフィルタの主要部分の厚さは、青色カラーフィルタの主要部分の厚さよりも厚い。いくつかの実施形態では、青色カラーフィルタの主要部分の厚さは、約１μｍ以上である。
【００１０】
いくつかの実施形態では、赤色カラーフィルタの主要部分は、緑色カラーフィルタの主要部分の幅よりも広い幅を有する。緑色カラーフィルタの主要部分の幅は、青色カラーフィルタの主要部分の幅よりも広い。
【００１１】
いくつかの実施形態では、光学素子は、第１のパターン化された有機層の第１の部分、第２の部分、および第３の部分の上に形成された複数の突出部を更に含む。隣接する突出部はその間にピッチを有する。各突出部は高さを有する。いくつかの実施形態では、突出部は、角錐形状、柱形状、またはドーム形状を有する。いくつかの実施形態では、第１の部分の上に形成された隣接する突出部の間のピッチは、第２の部分の上に形成された隣接する突出部の間のピッチよりも広い。第２の部分の上に形成された隣接する突出部の間のピッチは、第３の部分の上に形成された隣接する突出部の間のピッチよりも広い。いくつかの実施形態では、第１の部分の上に形成された突出部の高さは、第２の部分の上に形成された突出部の高さよりも高い。第２の部分の上に形成された突出部の高さは、第３の部分の上に形成された突出部の高さよりも高い。
【００１２】
いくつかの実施形態では、赤色カラーフィルタは、第１のパターン化された有機層の中に形成された、厚さおよび幅を有する、赤色カラーフィルタの主要部分から延伸する延伸部分を更に含む。緑色カラーフィルタは、第１のパターン化された有機層の中に形成された、厚さおよび幅を有する、緑色カラーフィルタの主要部分から延伸する延伸部分を更に含む。青色カラーフィルタは、第１のパターン化された有機層の中に形成された、厚さおよび幅を有する、青色カラーフィルタの主要部分から延伸する延伸部分を更に含む。いくつかの実施形態では、赤色カラーフィルタの延伸部分の厚さは緑色カラーフィルタの延伸部分の厚さより厚い。緑色カラーフィルタの延伸部分の厚さは青色カラーフィルタの延伸部分の厚さより厚い。いくつかの実施形態では、赤色カラーフィルタの延伸部分の幅は緑色カラーフィルタの延伸部分の幅よりも広い。緑色カラーフィルタの延伸部分の幅は、青色カラーフィルタの延伸部分の幅よりも広い。
【００１３】
いくつかの実施形態では、赤色カラーフィルタの延伸部分の幅は赤色カラーフィルタの主要部分の幅よりも狭い。緑色カラーフィルタの延伸部分の幅は緑色カラーフィルタの主要部分の幅よりも狭い。青色カラーフィルタの延伸部分の幅は、青色カラーフィルタの主要部分の幅よりも狭い。いくつかの実施形態では、光学素子は、第２のパターン化された有機層およびカラーフィルタの上に形成された平坦化層を更に含む。
【００１４】
本発明では、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの厚さおよび幅が調整されて、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの導波モード（ＧＭ）とスラブ閉じ込めモード（ＳＣＭ）間の共鳴（または結合）効果を回避することができる。例えば、赤色カラーフィルタの厚さは、緑色カラーフィルタの厚さよりも大きくなるように調整され、緑色カラーフィルタの厚さは、青色カラーフィルタの厚さよりも大きくなるように調整されている。また、青色カラーフィルタの比較的薄い厚さが少なくとも約１μｍ以上であることも確保されている。設計段階において赤色、緑色、および青色カラーフィルタの特定の厚さを調整することにより、赤色、緑色、および青色カラーフィルタのスラブ閉じ込めモード（ＳＣＭ）を変えることができ、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの導波モード（ＧＭ）とスラブ閉じ込めモード（ＳＣＭ）間の共鳴（または結合）効果が回避される。これは光の透過を容易にし、画素の感度または量子効果（ＱＥ）を向上させる。
【００１５】
更に、赤色カラーフィルタの幅は、緑色カラーフィルタの幅よりも大きくなるように調整され、緑色カラーフィルタの幅は、青色カラーフィルタの幅よりも大きくなるように調整される。また、青色カラーフィルタの比較的狭い幅は、少なくとも特定の値以上である。設計段階において赤色、緑色、および青色カラーフィルタの幅を変えることにより、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの導波モード（ＧＭ）を変えることができ、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの導波モード（ＧＭ）とスラブ閉じ込めモード（ＳＣＭ）間の共鳴（または結合）効果を有効に抑制することができる。
【００１６】
詳細な説明は、添付の図面と併せて以下の実施形態に説明される。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
本発明は、添付の図面を参照しながら以下の詳細な説明及び例を読むことで、より完全に理解することができる。
【図１】図１は、本発明の一実施形態による光学素子の断面図である。
【図２】図２は、本発明の一実施形態による光学素子の断面図である。
【図３】図３は、本発明の一実施形態による光学素子の断面図である。
【図４】図４は、本発明の一実施形態による光学素子の断面図である。
【図５】図５は、本発明の一実施形態による光学素子のさまざまな量子効果（ＱＥ）スペクトルを示している。
【図６】図６は、本発明の一実施形態による光学素子のさまざまな量子効果（ＱＥ）スペクトルを示している。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下の説明では、本発明を実施するベストモードを開示している。この説明は、本発明の一般原理を例示する目的のものであり、本発明を限定するものではない（本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲を参考にして決定される）。
【００１９】
図１に示すように、本発明の一実施形態による光学素子１０が提供される。図１は、光学素子１０の断面図を示している。
【００２０】
図１では、光学素子１０は、基板１２と、複数の金属グリッド１４と、第１のパターン化された有機層１６と、第２のパターン化された有機層１８と、複数のカラーフィルタ２０とを含む。金属グリッド１４は、基板１２の上に形成される。第１のパターン化された有機層１６は、第１の部分１６ａと、第２の部分１６ｂと、第３の部分１６ｃと、複数の第４の部分１６ｄとを含む。第１の部分１６ａ、第２の部分１６ｂ、および第３の部分１６ｃは金属グリッド１４の間にそれぞれ形成される。第４の部分１６ｄは、金属グリッド１４の上に形成される。具体的には、第１の部分１６ａの第１の厚さＴａは、第２の部分１６ｂの第２の厚さＴｂより厚い。第２の部分１６ｂの第２の厚さＴｂは、第３の部分１６ｃの第３の厚さＴｃより厚い。第２のパターン化された有機層１８は、第１のパターン化された有機層１６の第４の部分１６ｄの上に形成される。カラーフィルタ２０は、赤色カラーフィルタ２２と、緑色カラーフィルタ２４と、および青色カラーフィルタ２６とを含む。カラーフィルタ２０は、第１のパターン化された有機層１６の上に形成され、第２のパターン化された有機層１８によって囲まれる。図１に示されるように、赤色カラーフィルタ２２は、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの上に形成され、第２のパターン化された有機層１８によって囲まれる。緑色カラーフィルタ２４は、第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成され、第２のパターン化された有機層１８によって囲まれる。青色カラーフィルタ２６は、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成され、第２のパターン化された有機層１８によって囲まれる。
【００２１】
いくつかの実施形態では、基板１２はシリコン基板であり、フォトダイオードなどの光電変換素子を含む。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の屈折率は、約１．２〜約１．５の範囲である。いくつかの実施形態では、第２のパターン化された有機層１８の屈折率は、約１．２〜約１．５の範囲にある。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の材料は、第２のパターン化された有機層１８の材料と同じである。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの第１の厚さＴａ、第２の部分１６ｂの第２の厚さＴｂ、および第３の部分１６ｃの第３の厚さＴｃのいずれか一つは、約０．１〜約０．５μｍの範囲にある。 
【００２２】
図１では、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの上に形成された赤色カラーフィルタ２２の厚さＴＲは、第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成された緑色カラーフィルタ２４の厚さＴＧより厚い。第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成された緑色カラーフィルタ２４の厚さＴＧは、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成された青色カラーフィルタ２６の厚さＴＢより厚い。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成された青色カラーフィルタ２６の厚さＴＢは、約１μｍ以上である。
【００２３】
図１では、光学素子１０は、第２のパターン化された有機層１８およびカラーフィルタ２０の上に形成された平坦化層２８を更に含む。いくつかの実施形態では、平坦化層２８は、例えばＣＶＤプロセスによって調製された低屈折率材料を含む。
【００２４】
赤色、緑色、および青色カラーフィルタにおける光の分散の特性に基づいて、赤色カラーフィルタ２２の厚さＴＲは、緑色カラーフィルタ２４の厚さＴＧよりも大きくなるように調整され、緑色カラーフィルタ２４の厚さＴＧは、青色カラーフィルタ２６の厚さＴＢよりも大きくなるように調整されている（即ち、ＴＲ＞ ＴＧ＞ ＴＢ）。また、青色カラーフィルタ２６の比較的薄い厚さＴＢが少なくとも約１μｍ以上であることも確保されている。設計段階において赤色、緑色、および青色カラーフィルタの特定の厚さを変えることにより、赤色、緑色、および青色カラーフィルタのスラブ閉じ込めモード（ＳＣＭ）を変えることができ、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの導波モード（ＧＭ）とスラブ閉じ込めモード（ＳＣＭ）間の共鳴（または結合）効果が回避される。これは光の透過を容易にし、画素の感度または量子効果（ＱＥ）を向上させる。
【００２５】
第１のパターン化された有機層１６の厚さは最適な範囲となるように設計される。例えば、第１の部分１６ａの第１の厚さＴａは、第２の部分１６ｂの第２の厚さＴｂよりも大きくなるように調整され、第２の部分１６ｂの第２の厚さＴｂは、第３の部分１６ｃの第３の厚さＴｃよりも大きくなるように調整される（即ち、Ｔａ＞ Ｔｂ＞ Ｔｃ）。また、第１の厚さＴａ、第２の厚さＴｂ、および第３の厚さＴｃのいずれか１つは、約０．１から約０．５μｍの範囲にある。第１のパターン化された有機層１６の特定の厚さの設計によって、導波モード（ＧＭ）とスラブ閉じ込めモード（ＳＣＭ）間の共鳴（または結合）効果は、第１のパターン化された有機層１６において維持されることができ、光が第１のパターン化された有機層１６内に閉じ込められ、次いで基板１２によって吸収され、画素の感度または量子効果（ＱＥ）を向上させる。
【００２６】
図２に示すように、本発明の一実施形態による光学素子１０がここに提供される。図２は、光学素子１０の断面図を示している。
【００２７】
図２では、光学素子１０は、基板１２と、複数の金属グリッド１４と、第１のパターン化された有機層１６と、第２のパターン化された有機層１８と、複数のカラーフィルタ２０とを含む。金属グリッド１４は、基板１２の上に形成される。第１のパターン化された有機層１６は、第１の部分１６ａと、第２の部分１６ｂと、第３の部分１６ｃと、複数の第４の部分１６ｄとを含む。第１の部分１６ａ、第２の部分１６ｂ、および第３の部分１６ｃは金属グリッド１４の間にそれぞれ形成される。第４の部分１６ｄは、金属グリッド１４の上に形成される。具体的には、第１の部分１６ａの第１の厚さＴａは、第２の部分１６ｂの第２の厚さＴｂより厚い。第２の部分１６ｂの第２の厚さＴｂは、第３の部分１６ｃの第３の厚さＴｃより厚い。第２のパターン化された有機層１８は、第１のパターン化された有機層１６の第４の部分１６ｄの上に形成される。カラーフィルタ２０は、赤色カラーフィルタ２２と、緑色カラーフィルタ２４と、青色カラーフィルタ２６とを含む。カラーフィルタ２０は、第１のパターン化された有機層１６の上に形成され、第２のパターン化された有機層１８によって囲まれる。図２に示されるように、赤色カラーフィルタ２２は、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの上に形成され、第２のパターン化された有機層１８によって囲まれる。緑色カラーフィルタ２４は、第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成され、第２のパターン化された有機層１８によって囲まれる。青色カラーフィルタ２６は、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成され、第２のパターン化された有機層１８によって囲まれる。
【００２８】
いくつかの実施形態では、基板１２はシリコン基板であり、フォトダイオードなどの光電変換素子を含む。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の屈折率は、約１．２〜約１．５の範囲である。いくつかの実施形態では、第２のパターン化された有機層１８の屈折率は、約１．２〜約１．５の範囲にある。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の材料は、第２のパターン化された有機層１８の材料と同じである。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの第１の厚さＴａ、第２の部分１６ｂの第２の厚さＴｂ、および第３の部分１６ｃの第３の厚さＴｃのいずれか一つは、約０．１〜約０．５μｍの範囲にある。
【００２９】
図２では、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの上に形成された赤色カラーフィルタ２２の厚さＴＲは、第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成された緑色カラーフィルタ２４の厚さＴＧより厚い。第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成された緑色カラーフィルタ２４の厚さＴＧは、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成された青色カラーフィルタ２６の厚さＴＢより厚い。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成された青色カラーフィルタ２６の厚さＴＢは、約１μｍ以上である。
【００３０】
図２において、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの上に形成された赤色カラーフィルタ２２の幅ＷＲは、第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成された緑色カラーフィルタ２４の幅ＷＧより広い。 第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成された緑色カラーフィルタ２４の幅ＷＧは、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成された青色カラーフィルタ２６の幅ＷＢより広い。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成された青色カラーフィルタ２６の幅ＷＢは、約０．５μｍ以上である。
【００３１】
図２では、光学素子１０は、第２のパターン化された有機層１８およびカラーフィルタ２０の上に形成された平坦化層２８を更に含む。いくつかの実施形態では、平坦化層２８は、例えばＣＶＤプロセスによって調製された低屈折率材料を含む。
【００３２】
図２では、設計段階において赤色、緑色、および青色カラーフィルタの特定の厚さを調整することに加えて、赤色カラーフィルタ２２の幅ＷＲは、緑色カラーフィルタ２４の幅ＷＧより大きくなるように調整されることができ、緑色カラーフィルタ２４の幅ＷＧは、青色カラーフィルタ２６の幅ＷＢより大きくなるように調整されることができる（即ち、ＷＲ＞ ＷＧ＞ ＷＢ）。青色カラーフィルタ２６の比較的狭い幅ＷＢは、少なくとも約０．５μｍ以上である。設計段階において赤色、緑色、および青色カラーフィルタの特定の厚さを調整することにより、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの導波モード（ＧＭ）を変えることができ、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの導波モード（ＧＭ）とスラブ閉じ込めモード（ＳＣＭ）間の共鳴（または結合）効果が更に抑制されることができる。これは光の透過を容易にし、画素の感度または量子効果（ＱＥ）を向上させる。
【００３３】
図３に示すように、本発明の一実施形態による光学素子１０がここに提供される。図３は、光学素子１０の断面図を示している。
【００３４】
図３では、光学素子１０は、基板１２と、複数の金属グリッド１４と、第１のパターン化された有機層１６と、第２のパターン化された有機層１８と、複数のカラーフィルタ２０とを含む。金属グリッド１４は、基板１２の上に形成される。第１のパターン化された有機層１６は、第１の部分１６ａと、第２の部分１６ｂと、第３の部分１６ｃと、複数の第４の部分１６ｄとを含む。第１の部分１６ａ、第２の部分１６ｂ、および第３の部分１６ｃは金属グリッド１４の間にそれぞれ形成される。第４の部分１６ｄは、金属グリッド１４の上に形成される。具体的には、第１の部分１６ａの第１の厚さＴａは、第２の部分１６ｂの第２の厚さＴｂより厚い。第２の部分１６ｂの第２の厚さＴｂは、第３の部分１６ｃの第３の厚さＴｃより厚い。第２のパターン化された有機層１８は、第１のパターン化された有機層１６の第４の部分１６ｄの上に形成される。カラーフィルタ２０は、赤色カラーフィルタ２２と、緑色カラーフィルタ２４と、青色カラーフィルタ２６とを含む。カラーフィルタ２０は、第１のパターン化された有機層１６の上に形成され、第２のパターン化された有機層１８によって囲まれる。図３に示されるように、赤色カラーフィルタ２２は、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの上に形成され、第２のパターン化された有機層１８によって囲まれる。緑色カラーフィルタ２４は、第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成され、第２のパターン化された有機層１８によって囲まれる。青色カラーフィルタ２６は、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成され、第２のパターン化された有機層１８によって囲まれる。
【００３５】
いくつかの実施形態では、基板１２はシリコン基板であり、フォトダイオードなどの光電変換素子を含む。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の屈折率は、約１．２〜約１．５の範囲である。いくつかの実施形態では、第２のパターン化された有機層１８の屈折率は、約１．２〜約１．５の範囲にある。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の材料は、第２のパターン化された有機層１８の材料と同じである。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの第１の厚さＴａ、第２の部分１６ｂの第２の厚さＴｂ、および第３の部分１６ｃの第３の厚さＴｃのいずれか一つは、約０．１〜約０．５μｍの範囲にある。
【００３６】
図３では、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの上に形成された赤色カラーフィルタ２２の厚さＴＲは、第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成された緑色カラーフィルタ２４の厚さＴＧより厚い。第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成された緑色カラーフィルタ２４の厚さＴＧは、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成された青色カラーフィルタ２６の厚さＴＢより厚い。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成された青色カラーフィルタ２６の厚さＴＢは、約１μｍ以上である。
【００３７】
図３では、光学素子１０は、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａ、第２の部分１６ｂ、および第３の部分１６ｃにそれぞれ形成された第１の突出部３０ａ、第２の突出部３０ｂ、および第３の突出部３０ｃを含む複数の突出部３０を更に含む。隣接する突出部はその間にピッチを有する。各突出部は高さを有する。図３に示すように、第１の突出部３０ａは、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの上に形成される。第２の突出部３０ｂは、第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成される。第３の突出部３０ｃは、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成される。
【００３８】
図３では、第１の突出部３０ａ、第２の突出部３０ｂ、および第３の突出部３０ｃの形状は角錐形状である。いくつかの実施形態では、第１の突出部３０ａ、第２の突出部３０ｂ、および第３の突出部３０ｃは、柱形状またはドーム形状などの他の適切な形状を含む。具体的には、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの上に形成された隣接する第１の突出部３０ａの間の第１のピッチＰａは、第１のパターン化された有機層の第２の部分１６ｂの上に形成された隣接する第２の突出部３０ｂの間の第２のピッチＰｂより広い。 第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成された隣接する第２の突出部３０ｂの間の第２のピッチＰｂは、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成された隣接する第３の突出部３０ｃの間の第３のピッチＰｃより広い。また、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの上に形成された第１の突出部３０ａの第１の高さＨａは、第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成された第２の突出部３０ｂの第２の高さＨｂより高い。第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂに形成された第２の突出部３０ｂの第２の高さＨｂは、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成された第３の突出部３０ｃの第３の高さＨｃより高い。
【００３９】
図３では、光学素子１０は、第２のパターン化された有機層１８およびカラーフィルタ２０の上に形成された平坦化層２８を更に含む。いくつかの実施形態では、平坦化層２８は、例えばＣＶＤプロセスによって調製された低屈折率材料を含む。
【００４０】
第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａ、第２の部分１６ｂ、および第３の部分１６ｃの上にそれぞれ形成された第１の突出部３０ａ、第２の突出部３０ｂ、および第３の突出部３０ｃは、カラーフィルタ２０と第１のパターン化された有機層１６の間に屈折率勾配領域を提供し、光の透過を容易にする。
【００４１】
図４に示すように、本発明の一実施形態による光学素子１０がここに提供される。図４は、光学素子１０の断面図を示している。
【００４２】
図４では、光学素子１０は、基板１２と、複数の金属グリッド１４と、第１のパターン化された有機層１６と、第２のパターン化された有機層１８と、複数のカラーフィルタ２０とを含む。金属グリッド１４は、基板１２の上に形成される。第１のパターン化された有機層１６は、第１の部分１６ａと、第２の部分１６ｂと、第３の部分１６ｃと、複数の第４の部分１６ｄとを含む。第１の部分１６ａ、第２の部分１６ｂ、および第３の部分１６ｃは金属グリッド１４の間にそれぞれ形成される。第４の部分１６ｄは、金属グリッド１４の上に形成される。具体的には、第１の部分１６ａの第１の厚さＴａは、第２の部分１６ｂの第２の厚さＴｂより厚い。第２の部分１６ｂの第２の厚さＴｂは、第３の部分１６ｃの第３の厚さＴｃより厚い。第２のパターン化された有機層１８は、第１のパターン化された有機層１６の第４の部分１６ｄの上に形成される。カラーフィルタ２０は、赤色カラーフィルタ２２と、緑色カラーフィルタ２４と、青色カラーフィルタ２６とを含む。赤色カラーフィルタ２２は、主要部分２２’と、主要部分２２’から延伸した延伸部分２２”を含む。緑色カラーフィルタ２４は、主要部分２４’と、主要部分２４’から延伸した延伸部分２４”を含む。青色カラーフィルタ２６は、主要部分２６’と、主要部分２６’から延伸した延伸部分２６”を含む。図４に示されるように、赤色カラーフィルタ２２の主要部分２２’は、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの上に形成され、第２のパターン化された有機層１８によって囲まれる。緑色カラーフィルタ２４の主要部分２４’は、第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成され、第２のパターン化された有機層１８によって囲まれる。青色カラーフィルタ２６の主要部分２６’は、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成され、第２のパターン化された有機層１８によって囲まれる。
【００４３】
いくつかの実施形態では、基板１２はシリコン基板であり、フォトダイオードなどの光電変換素子を含む。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の屈折率は、約１．２〜約１．５の範囲である。いくつかの実施形態では、第２のパターン化された有機層１８の屈折率は、約１．２〜約１．５の範囲にある。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の材料は、第２のパターン化された有機層１８の材料と同じである。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの第１の厚さＴａ、第２の部分１６ｂの第２の厚さＴｂ、および第３の部分１６ｃの第３の厚さＴｃのいずれか一つは、約０．１〜約０．５μｍの範囲にある。
【００４４】
図４では、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの上に形成された赤色カラーフィルタ２２の主要部分２２’の厚さＴＲは、第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成された緑色カラーフィルタ２４の主要部分２４’の厚さＴＧより厚い。第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成された緑色カラーフィルタ２４の主要部分２４’の厚さＴＧは、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成された青色カラーフィルタ２６の主要部分２６’の厚さＴＢより厚い。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成された青色カラーフィルタ２６の主要部分２６’の厚さＴＢは、約１μｍ以上である。
【００４５】
図４では、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの上に形成された赤色カラーフィルタ２２の主要部分２２’の幅ＷＲは、第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成された緑色カラーフィルタ２４の主要部分２４’の幅ＷＧより広い。第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成された緑色カラーフィルタ２４の主要部分２４’の幅ＷＧは、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成された青色カラーフィルタ２６の主要部分２６’の幅ＷＢより広い。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成された青色カラーフィルタ２６の主要部分２６’の幅ＷＢは、約０．５μｍ以上である。
【００４６】
図４では、赤色カラーフィルタ２２の延伸部分２２”は、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの中に形成され、基板１２および赤色カラーフィルタ２２の主要部分２２’と接触する。緑色カラーフィルタ２４の延伸部分２４”は、第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの中に形成され、基板１２および緑色カラーフィルタ２４の主要部分２４’と接触する。青色カラーフィルタ２６の延伸部分２６”は、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの中に形成され、基板１２および青色カラーフィルタ２６の主要部分２６’と接触する。
【００４７】
図４では、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａに形成された赤色カラーフィルタ２２の延伸部分２２”の厚さＴｒは、第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂに形成された緑色カラーフィルタ２４の延伸部分２４”の厚さＴｇより厚い。第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂに形成された緑色カラーフィルタ２４の延伸部分２４”の厚さＴｇは、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃに形成された青色カラーフィルタ２６の延伸部分２６”の厚さＴｂ１より厚い。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃに形成された青色カラーフィルタ２６の延伸部分２６”の厚さＴｂ１は、約０．２μｍ以上である。
【００４８】
図４では、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａに形成された赤色カラーフィルタ２２の延伸部分２２”の幅Ｗｒは、第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成された緑色カラーフィルタ２４の延伸部分２４”の幅Ｗｇより広い。第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂに形成された緑色カラーフィルタ２４の延伸部分２４”の幅Ｗｇは、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃに形成された青色カラーフィルタ２６の延伸部分２６”の幅Ｗｂより広い。いくつかの実施形態では、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃに形成された青色カラーフィルタ２６の延伸部分２６”の幅Ｗｂは、約０．３μｍ以上である。
【００４９】
図４では、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａに形成された赤色カラーフィルタ２２の延伸部分２２”の幅Ｗｒは、第１のパターン化された有機層１６の第１の部分１６ａの上に形成された赤色カラーフィルタ２２の主要部分２２’の幅ＷＲより狭い。第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂに形成された緑色カラーフィルタ２４の延伸部分２４”の幅Ｗｇは、第１のパターン化された有機層１６の第２の部分１６ｂの上に形成された緑色カラーフィルタ２４の主要部分２４’の幅ＷＧより狭い。第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃに形成された青色カラーフィルタ２６の延伸部分２６”の幅Ｗｂは、第１のパターン化された有機層１６の第３の部分１６ｃの上に形成された青色カラーフィルタ２６の主要部分２６’の幅ＷＢより狭い。
【００５０】
図４では、光学素子１０は、第２のパターン化された有機層１８およびカラーフィルタ２０の上に形成された平坦化層２８を更に含む。いくつかの実施形態では、平坦化層２８は、例えばＣＶＤプロセスによって調製された低屈折率材料を含む。
【００５１】
図４では、第１のパターン化された有機層の上に形成された赤、緑、および青のカラーフィルタの主要部分の設計された厚さおよび幅を変えることができるのに加えて、赤色カラーフィルタ２２の延伸部分２２”の厚さＴｒおよび幅Ｗｒも緑色カラーフィルタ２４の延伸部２４”の厚さＴｇおよび幅Ｗｇより大きくなるように調整されることもできる。緑色カラーフィルタ２４の延伸部分２４”の厚さＴｇおよび幅Ｗｇは、青色カラーフィルタ２６の延伸部分２６”の厚さＴｂｌおよび幅Ｗｂより大きくなるように調整されることができる（即ち、Ｔｒ＞ Ｔｇ＞ ＴｂｌおよびＷｒ＞ Ｗｇ＞ Ｗｂ）。青色カラーフィルタ２６の延伸部分２６”の比較的薄い厚さＴｂｌは、少なくとも約０．２μｍ以上である。青色カラーフィルタ２６の延伸部分２６”の比較的狭い幅Ｗｂは、少なくとも約０．３μｍ以上である。同様に、設計段階において第１のパターン化された有機層で形成された赤色、緑色、または青色カラーフィルタの延伸部分の特定の厚さおよび幅を変えることにより、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの導波モード（ＧＭ）とスラブ閉じ込めモード（ＳＣＭ）間の共鳴（または結合）効果が更に抑制されることができる。これは光の透過を容易にし、画素の感度または量子効果（ＱＥ）を向上させる。
【実施例１】
【００５２】
増厚したカラーフィルタを有する光学素子のＱＥスペクトルの向上
【００５３】
この実施例では、ＱＥの向上は、光学素子の赤色、緑色、および青色のカラーフィルタの厚さを増加させることによって認められている。図５に示すように、曲線「Ａ」は、約６００ｎｍの厚さを有する赤色、緑色、および青色カラーフィルタを有する光学素子のＱＥスペクトルを示している。曲線「Ｂ」は、約７００ｎｍの厚さを有する赤色、緑色、および青色カラーフィルタを有する光学素子のＱＥスペクトルを示している。曲線「Ｃ」は、約８００ｎｍの厚さを有する赤色、緑色、および青色カラーフィルタを有する光学素子のＱＥスペクトルを示している。曲線「Ｄ」は、約９００ｎｍの厚さを有する赤色、緑色、および青色カラーフィルタを有する光学素子のＱＥスペクトルを示している。曲線「Ｅ」は、約１，０００ｎｍの厚さを有する赤色、緑色、および青色カラーフィルタを有する光学素子のＱＥスペクトルを示している。
【００５４】
約１，０００ｎｍの厚さを有する赤色、緑色、および青色カラーフィルタを含む本光学素子によって構築されたＱＥスペクトル（曲線「Ｅ」）は、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの導波モード（ＧＭ）とスラブ閉じ込めモード（ＳＣＭ）間の共鳴（または結合）効果の抑制により、赤色（Ｒ）カラーフィルタのＱＥピークが曲線「Ａ」の赤色（Ｒ）カラーフィルタのＱＥピークよりも約１０％、大幅に向上していることを示している。また、緑色（Ｇ）カラーフィルタのＱＥピークは、曲線「Ａ」の緑色（Ｇ）カラーフィルタのＱＥピークよりも約１０％、大幅に向上していることを示している。更に、ＱＥスペクトル（曲線「Ｅ」）もカラーフィルタ間の低クロストークが維持されていることを示している。
【実施例２】
【００５５】
カラーフィルタの下方に、増厚した有機層を有する光学素子のＱＥスペクトルの向上
【００５６】
この実施例では、ＱＥの向上は、光学素子の赤色、緑色、および青色のカラーフィルタの下方にある有機層の厚さを増加させることによって認められている。図６に示すように、曲線「Ａ」は、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの下方にある、金属グリッドの厚さより薄い厚さの有機層を有する光学素子のＱＥスペクトルを示している。曲線「Ｂ」は、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの下方にある、金属グリッドの厚さと等しい厚さの有機層を有する光学素子のＱＥスペクトルを示している。曲線「Ｃ」は、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの下方にある、金属グリッドの厚さより約１００ｎｍ厚い厚さの有機層を有する光学素子のＱＥスペクトルを示している。曲線「Ｄ」は、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの下方にある、金属グリッドの厚さより約２００ｎｍ厚い厚さの有機層を有する光学素子のＱＥスペクトルを示している。曲線「Ｅ」は、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの下方にある、金属グリッドの厚さより約３００ｎｍ厚い厚さの有機層を有する光学素子のＱＥスペクトルを示している。
【００５７】
赤色、緑色、および青色カラーフィルタの下方にある、金属グリッドの厚さより約３００ｎｍ厚い厚さの有機層を含む本光学素子によって構築されたＱＥスペクトル（曲線「Ｅ」）は、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの下方にある有機層の導波モード（ＧＭ）とスラブ閉じ込めモード（ＳＣＭ）間の共鳴（または結合）効果の維持により、赤色（Ｒ）カラーフィルタのＱＥピークが曲線「Ａ」の赤色（Ｒ）カラーフィルタのＱＥピークよりも約１０％、大幅に向上していることを示している。また、緑色（Ｇ）カラーフィルタのＱＥピークは、曲線「Ａ」の緑色（Ｇ）カラーフィルタのＱＥピークよりも約１０％、大幅に向上していることを示している。更に、ＱＥスペクトル（曲線「Ｅ」）もカラーフィルタ間の低クロストークが維持されていることを示している。
【００５８】
本発明では、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの厚さおよび幅は、調整されて、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの導波モード（ＧＭ）とスラブ閉じ込めモード（ＳＣＭ）間の共鳴（または結合）効果を回避することができる。例えば、赤色カラーフィルタの厚さは、緑色カラーフィルタの厚さよりも大きくなるように調整され、緑色カラーフィルタの厚さは、青色カラーフィルタの厚さよりも大きくなるように調整されている。また、青色カラーフィルタの比較的薄い厚さが少なくとも約１μｍ以上であることも確保されている。設計段階において赤色、緑色、および青色カラーフィルタの特定の厚さを調整することにより、赤色、緑色、および青色カラーフィルタのスラブ閉じ込めモード（ＳＣＭ）を変えることができ、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの導波モード（ＧＭ）とスラブ閉じ込めモード（ＳＣＭ）間の共鳴（または結合）効果が回避される。これは光の透過を容易にし、画素の感度または量子効果（ＱＥ）を向上させる。
【００５９】
更に、赤色カラーフィルタの幅は、緑色カラーフィルタの幅よりも広くなるように調整され、緑色カラーフィルタの幅は、青色カラーフィルタの幅よりも大きくなるように調整される。また、青色カラーフィルタの比較的狭い幅は、少なくとも特定の値以上である。設計段階において赤色、緑色、および青色カラーフィルタの特定の幅を変えることにより、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの導波モード（ＧＭ）を変えることができ、赤色、緑色、および青色カラーフィルタの導波モード（ＧＭ）とスラブ閉じ込めモード（ＳＣＭ）間の共鳴（または結合）効果を有効に抑制することができる。
【００６０】
本発明は、例として及び望ましい実施の形態によって記述されているが、本発明は開示された実施形態に限定されるものではない。逆に、当業者には自明の種々の変更及び同様の配置をカバーするものである。よって、添付の特許請求の範囲は、最も広義な解釈が与えられ、全てのこのような変更及び同様の配置を含むべきである。
【符号の説明】
【００６１】
１０  光学素子
１２  基板
１４  金属グリッド
１６  第１のパターン化された有機層
１６ａ  第１のパターン化された有機層の第１の部分
１６ｂ  第１のパターン化された有機層の第２の部分
１６ｃ  第１のパターン化された有機層の第３の部分
１６ｄ  第１のパターン化された有機層の第４の部分
１８  第２のパターン化された有機層
２０  カラーフィルタ
２２  赤色カラーフィルタ
２２’  赤色カラーフィルタの主要部分
２２”  赤色カラーフィルタの延伸部分
２４  緑色カラーフィルタ
２４’  緑色カラーフィルタの主要部分
２４”  緑色カラーフィルタの延伸部分
２６  青色カラーフィルタ
２６’  青色カラーフィルタの主要部分
２６”  青色カラーフィルタの延伸部分
２８  平坦化層
３０  突出部
３０ａ  第１の突出部
３０ｂ  第２の突出部
３０ｃ  第３の突出部
Ｈａ  第１の突出部の高さ
Ｈｂ  第２の突出部の高さ
Ｈｃ  第３の突出部の高さ
Ｐａ  第１の突出部のピッチ
Ｐｂ  第２の突出部のピッチ
Ｐｃ  第３の突出部のピッチ
ＷＢ  青色カラーフィルタの主要部分の幅
ＷＧ  緑色カラーフィルタの主要部分の幅
ＷＲ  赤色カラーフィルタの主要部分の幅
Ｗｂ  青色カラーフィルタの延伸部分の幅
Ｗｇ  緑色カラーフィルタの延伸部分の幅
Ｗｒ  赤色カラーフィルタの延伸部分の幅
Ｔａ  第１のパターン化された有機層の第１の部分の第１の厚さ
Ｔｂ  第１のパターン化された有機層の第２の部分の第２の厚さ
Ｔｃ  第１のパターン化された有機層の第３の部分の第３の厚さ
ＴＢ  青色カラーフィルタ（主要部分）の厚さ
ＴＧ  緑色カラーフィルタ（主要部分）の厚さ
ＴＲ  赤色カラーフィルタ（主要部分）の厚さ
Ｔｂｌ  青色カラーフィルタの延伸部分の厚さ
Ｔｇ  緑色カラーフィルタの延伸部分の厚さ
Ｔｒ  赤色カラーフィルタの延伸部分の厚さ
【図１】
2020126219.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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