(57)【要約】【課題】電着溶液などの溶液中の添加剤ターンオーバーを測定するための方法が提供される。電着溶液などの溶液の年齢又は寿命を測定するための方法も提供される。【解決手段】方法は、有機添加剤と有機添加剤の複数の分解生成物とを含有する溶液を提供する工程であって、前記複数の分解生成物が少なくとも１つの活性成分と少なくとも１つの不活性成分とを含む工程、及び、前記溶液中の少なくとも１つの不活性成分の濃度を測定する工程を含み得る。方法は、前記溶液中の少なくとも１つの不活性成分の濃度に基づいて前記溶液の添加剤ターンオーバーを決定することをさらに含み得る。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶液の添加剤ターンオーバーを測定するための方法であって、
有機添加剤と前記有機添加剤の複数の分解生成物とを含む溶液を提供する工程であり、前記複数の分解生成物が少なくとも１つの不活性成分と少なくとも１つの活性成分とを含む、工程、
前記少なくとも１つの不活性成分の濃度を測定する工程、
前記溶液中の前記少なくとも１つの不活性成分の前記濃度に基づいて前記溶液の前記添加剤ターンオーバーを決定する工程、
を含む、方法。
【請求項２】
前記有機添加剤が、光沢剤、促進剤、レベリング剤、抑制剤、粒子微細化剤、湿潤剤、担体、応力緩和剤、硬化剤、軟化剤、又はそれらの組合せを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記少なくとも１つの不活性成分がイオンである、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記少なくとも１つの不活性成分が金属を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記少なくとも１つの不活性成分がナトリウム又はカリウムを含む、請求項３に記載の方法。
【請求項６】
前記溶液が電着溶液である、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記溶液が酸性銅電着溶液である、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記少なくとも１つの不活性成分の前記濃度が、原子吸光分析（ＡＡＳ）、マイクロ波プラズマ（ＭＰ）、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）、イオンクロマトグラフィー（ＩＣ）、キャピラリー電気泳動（ＣＥ）又はイオン選択電極（ＩＳＥ）電位差測定によって測定される、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記溶液の前記添加剤ターンオーバーに基づいて前記有機添加剤の濃度を調整する工程をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記溶液の前記添加剤ターンオーバーに基づいて前記溶液の少なくとも一部分が除去され、前記溶液の少なくとも一部分が補充される、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記溶液の前記添加剤ターンオーバーに基づいて前記溶液の寿命の終わりを決定する工程をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記溶液の前記添加剤ターンオーバー、前記溶液の金属ターンオーバー、及び前記有機添加剤の前記分解生成物の少なくとも１つの活性成分の濃度に基づいて前記有機添加剤の濃度を調整する工程をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、溶液中の添加剤ターンオーバー（ａｄｄｉｔｉｖｅ  ｔｕｒｎｏｖｅｒ）を制御する方法、及び電着溶液などの溶液の寿命又は年齢（ａｇｅ）を決定する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電着プロセスは、金属を析出させるか又は所望の特性を有する製品を製造するために、金属仕上げ、半導体、プリント回路板、及び太陽電池産業を含むいくつかの産業で使用されている。金属析出プロセスに使用される電解質は、通常、金属塩（約１ｇ／Ｌを超える量）、導電性成分（例えば、塩、酸、塩基、又はそれらの組合せ）、ｐＨ調整剤及び／又は緩衝剤、及びキレート剤を含む。さらに、電解質は微量（すなわち、１ｇ／Ｌ未満）の界面活性有機添加剤を含み得る。表面有機添加剤は、例えば、粒子構造を修正し、粒子の機械的特性を修正し、析出物の均一性を提供し、かつ、付加的な目標特性を提供することができる。特に、半導体産業は、例えばナノメートル（ｎｍ）からマクロスケール（例えばインチ）の範囲の様々なスケールの析出物のためのユニバーサルな相互接続材料として電着銅を利用してきた。
【０００３】
有機添加剤を電着溶液に使用することができる。有機添加剤は、例えば促進剤、光沢剤、抑制剤及びレベリング剤を含むことができる。促進剤は、処理されるべき表面上の深い又は不規則な特徴を満たす欠陥のない析出物を促進する。促進剤は光沢剤とも呼ばれる。促進剤及び光沢剤は電着プロセスにおいて比較的高い消費量を有する。促進剤及び光沢剤は、抑制剤及びレベリング剤を含む他の有機添加剤と一緒に使用されることが多い。抑制剤及びレベリング剤は電着プロセスにおいて比較的低い消費量を有する。抑制剤は、担体、湿潤剤又はレベリング剤とも呼ばれ得る。抑制剤は、例えば、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）を含み得る。レベリング剤としては、例えば、８−（４−ジメチルアミノフェニル）ジアゼニル−Ｎ、Ｎ−ジエチル−１０−フェニルフェナジン−１０−イウム−２−アミンクロリド（Ｊａｎｕｓ  Ｇｒｅｅｎ  Ｂ）が挙げられる。
例えば、促進剤及び光沢剤は、ビス−（３−スルホプロピル）ジスルフィド（ＳＰＳ、ＨＳＯ３−ＣＨ２−ＣＨ２−ＣＨ２−Ｓ−Ｓ−ＣＨ２−ＣＨ２−ＣＨ２−ＳＯ３）のようなナトリウム塩を含むことができる。電着プロセス中に、ＳＰＳは還元又は酸化されていくつかの分解生成物を形成する。そのような分解生成物の１つは、３−メルカプトプロピルスルホネート（ＭＰＳ又はＭＰＳＡ、ＨＳＯ３−ＣＨ２−ＣＨ２−ＣＨ２−ＳＨ）である。参考のために、ＳＰＳ及びＭＰＳの化学構造を図１に提供する。ＳＰＳのＭＰＳへの分解は、一般に、下記の式１に従って進行する。
【数１】
2020073709.tif 000002
さらに、ＳＰＳ及びＭＰＳが他の分解生成物に分解する際に、いくつかの他の反応が並行して起こり得る。このような分解生成物には、追加の酸化及び還元反応又は加水分解によるモノ−ｏｘ−ＳＰＳ、ジ−ｏｘ−ＳＰＳ、モノ−ｏｘ−ＭＰＳ、ジ−ｏｘ−ＭＰＳ、及びプロパンジスルホン酸（ＰＤＳ）が含まれていた。これらの反応の概略図を図２に提供する。ＳＰＳ及びその分解生成物を伴う反応の詳細な説明は、ｈｔｔｐ：／／ｈｄｌ．ｈａｎｄｌｅ．ｎｅｔ／１００２２／ＡＣ：Ｐ：１５４０８で入手可能な、Ｉｇｏｒ  Ｖｏｌｏｖ，２０１３，Ｃｏｐｐｅｒ  ａｎｄ  Ｃｏｐｐｅｒ  Ａｌｌｏｙｓ：Ｓｔｕｄｉｅｓ  ｏｆ  Ａｄｄｉｔｉｖｅｓ，Ｃｏｌｕｍｂｉａ  Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ  Ａｃａｄｅｍｉｃ  Ｃｏｍｍｏｎｓに提供されており、これは参照により本明細書に組み込まれる。添加剤の化学的性質についての更なる説明は、Ｖｅｒｅｅｃｋｅｎ，Ｐ．Ｍ．，ｅｔ  ａｌ．，Ｔｈｅ  Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ  ｏｆ  Ａｄｄｉｔｉｖｅｓ  ｉｎ  Ｄａｍａｓｃｅｎｅ  Ｃｏｐｐｅｒ  Ｐｌａｔｉｎｇ，ＩＢＭ  Ｊ．Ｒｅｓ．＆Ｄｅｖ．，Ｖｏｌ．４９  Ｎｏ．１，ｐａｇｅｓ  ３−１８，Ｊａｎｕａｒｙ  ２００５に提供されており、これは参照により本明細書に組み込まれる。
【０００４】
金属電着プロセスは、金属塩及び１つ又は複数の有機添加剤を含む電着溶液を含み得る。電着溶液に含まれる金属塩は、析出プロセス中に定量的に利用することができる（例えば、Ｍｅ（溶液）→Ｍｅ析出物）。しかしながら、電着溶液に含まれる１つ以上の有機添加剤の利用は、定量化することが比較的困難であり得る。例えば、１種以上の有機添加剤は、還元及び／又は酸化、開裂、重合及び／又は共析出、あるいはドラグアウト（ｄｒａｇ−ｏｕｔ）によって除去することができる。部品の複数の溶液への連続浸漬を含む電着プロセスでは、ドラグアウトが発生する。電着プロセスでは、電着工程が進み、続いて洗浄及び表面処理工程を行うことができる。部品が処理容器から持ち上げられると、部品と共に溶液が運ばれる。したがって、例えば、一部は先行する添加剤溶液の一部となり、有機添加剤を含む電着溶液の一部を除去し、「キャリーオーバー（ｃａｒｒｙ−ｏｖｅｒ）」プロセス又はドラグアウトをもたらす。
【０００５】
プロセス計測戦略のための戦略には、例えば、有機添加剤及び有機添加剤の分解生成物の監視が含まれる。これから、有機添加剤の補給量を計算し、電着溶液の寿命を決定することができる。いくつかのプロセスでは、「金属ターンオーバー」を電着溶液の年齢の指標として使用することができる（例えば、溶液の寿命にわたって添加される金属の総量／溶液中の初期金属量）。添加された金属の総量は、総金属量として計算することができる。このプロセスは、プロセスタンクがその寿命にわたって補充され、その後排出される運転条件に使用することができる。別のプロセスでは、「ブリードアンドフィード（ｂｌｅｅｄ  ａｎｄ  ｆｅｅｄ）」を使用することができ、そこでは溶液の一部分が除去され、新鮮な溶液と交換される（例えば毎日又はより頻繁に）。「ブリードアンドフィード」プロセスで使用される電着溶液の年齢は、例えば、「ブリードアンドフィード」プロセスが連続的に行われるかどうかを判断するのが比較的難しい場合があり得る。
【０００６】
有機添加剤の分解は、有機添加剤の特定の個々の分解生成物の濃度を決定するための複数の方法によって特徴付けることができる。したがって、溶液中の添加剤ターンオーバーの評価が必要である。例えば、全有機炭素（ＴＯＣ）を測定するプロセスを使用することができる。このプロセスは、溶液の年齢を決定するために溶液中に残っている全炭素を測定することを含む。したがって、この方法では、例えば、共析出した、二酸化炭素（ＣＯ２）に酸化した、又はドラグアウトによって除去された炭素を測定することができない。さらに、工業はしばしば電着溶液の主成分として有機酸及び金属有機塩、例えば硫酸塩ＳＯ４（２−）の代わりとしてメタンスルホン酸（ＭＳＡ）ＣＨ３−ＳＯ３（−）を提供する。ＴＯＣプロセスは、高レベルのＭＳＡを監視するが、蓄積された有機物の濃度のより低レベルの変化（例えば、ｐｐｍの変化）を検出することはできない。さらに、有機金属成分が電着溶液中に使用されない場合、例えば、全炭素の少なくとも９０％に寄与する抑制剤を用いて、炭素負荷を不均一に分配することができる。したがって、ＴＯＣプロセスは抑制剤の総蓄積を監視するが、電着溶液中の他のミクロ成分の蓄積を監視することはできない。他の方法は、溶液の年齢を決定及び監視するために溶液中の有機添加剤の無機対イオン濃度を監視すること（例えば、電着溶液のＣｕＳＯ４金属塩中の硫酸塩濃度を測定すること）を記載する。
【０００７】
しかしながら、従来の方法は有機添加剤の個々の分解生成物を標的とするいくつかの方法を提供するので、これらの技術は添加剤ターンオーバーを効果的に制御するための溶液の年齢（ａｇｅ）を決定するのに不十分であり得る。従って、溶液中の添加剤ターンオーバーのより正確で包括的な測定及び制御のための方法に対する必要性が依然としてある。
【発明の概要】
【０００８】
本開示の主題は、電着溶液中の添加剤ターンオーバー（ａｄｄｉｔｉｖｅ  ｔｕｒｎｏｖｅｒ）を制御するための方法を提供する。例えば、本明細書に開示されている方法は電着溶液の寿命を測定するために使用することができる。本明細書に具現化されるように、方法は、電着溶液、例えば酸性銅電着溶液中の有機添加剤の少なくとも１つの不活性成分の測定及び監視を含むことができる。有機添加剤の少なくとも１つの不活性成分の濃度は、溶液が古くなるにつれて測定することができ、電着溶液の添加剤ターンオーバーをそこから決定することができる。
【０００９】
特定の局面において、本明細書に開示されている方法は、溶液の添加剤ターンオーバーを測定することを含む。当該方法は、有機添加剤と有機添加剤の複数の分解生成物とを含有する溶液を提供する工程を含み得る。複数の分解生成物は、少なくとも１つの不活性成分と少なくとも１つの活性成分とを含み得る。少なくとも１つの不活性成分の濃度を測定することができる。溶液の添加剤ターンオーバーは、溶液中の不活性成分の濃度に基づいて決定することができる。
【００１０】
特定の実施形態では、有機添加剤は、光沢剤、促進剤、レベリング剤、抑制剤、粒子微細化剤、湿潤剤、担体、応力緩和剤、硬化剤、軟化剤、又はそれらの組合せを含むことができる。
【００１１】
特定の実施形態では、少なくとも１つの不活性成分はイオンであり得る。
【００１２】
特定の実施形態において、少なくとも１つの不活性成分は金属を含み得る。
【００１３】
特定の実施形態において、少なくとも１つの不活性成分はナトリウムを含み得る。特定の実施形態において、少なくとも１つの不活性成分はカリウムを含み得る。
【００１４】
特定の実施形態では、溶液は電着溶液であり得る。
【００１５】
特定の実施形態では、溶液は酸性銅電着溶液（ａｃｉｄ  ｃｏｐｐｅｒ  ｅｌｅｃｔｒｏｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  ｓｏｌｕｔｉｏｎ）であり得る。
【００１６】
特定の実施形態では、少なくとも１つの不活性成分の濃度は、原子吸光分析（ＡＡＳ）、マイクロ波プラズマ（ＭＰ）、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）、イオンクロマトグラフィー（ＩＣ）、キャピラリー電気泳動（ＣＥ）又はイオン選択電極（ＩＳＥ）電位差測定によって測定され得る。
【００１７】
特定の実施形態では、当該方法は、溶液の添加剤ターンオーバーに基づいて溶液中の有機成分の濃度を調整する工程をさらに含む。
【００１８】
特定の実施形態では、当該方法は、溶液の添加剤ターンオーバーに基づいて、溶液の少なくとも一部分を除去し、溶液の少なくとも一部分を補充することをさらに含む。
【００１９】
特定の実施形態では、当該方法は、溶液の添加剤ターンオーバーに基づいて溶液の寿命の終わり（ｅｎｄ  ｏｆ  ｌｉｆｅ）を決定することをさらに含む。
【００２０】
特定の実施形態において、当該方法は、溶液の添加剤ターンオーバー、溶液の金属ターンオーバー、及び有機添加剤の分解生成物の少なくとも１つの活性成分の濃度に基づいて溶液中の有機成分の濃度を調整する工程をさらに含む。
【００２１】
本明細書における説明は、開示された主題の原理を単に例示するものである。記載された実施形態に対する様々な修正及び変更は、本明細書の教示を鑑みれば当業者には明らかであろう。したがって、本明細書における開示は、開示された主題の範囲の例示であり、限定するものではないことを意図している。さらに、開示された主題の原理は様々な構成で実施することができ、本明細書に提示された特定の実施形態に限定されることを決して意図しない。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】分解生成物３−メルカプトプロピルスルホネート（ＭＰＳ）を形成するためのビス−（３−スルホプロピル）ジスルフィド（ＳＰＳ）の還元の概略図を提供する図である。
【００２３】
【図２】追加の分解生成物を形成するためのＳＰＳ及びＭＰＳの更なる反応を示す図である。
【００２４】
【図３】例１の新鮮な、及び老化した（寿命末期）酸性銅電着溶液（溶液Ａ）中のナトリウム濃度についてのＩＣＰ−ＯＥＳ分光測定の結果を提供する図である。
【００２５】
【図４】例２の新鮮な、寿命中期（ｍｉｄ−ｌｉｆｅ）、及び老化した（寿命末期）酸性銅電着溶液（溶液Ｂ）中のナトリウム濃度についてのＩＣＰ−ＯＥＳ分光測定の結果を提供する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本開示は、溶液中の添加剤ターンオーバーを測定及び監視するために使用することができる方法に関する。本開示はさらに、溶液の年齢（ａｇｅ）又は寿命（ｌｉｆｅｔｉｍｅ）を決定するために使用することができる方法に関する。例えば、本開示の方法は、電着中、例えば銅電着中のプロセス制御に使用することができる。本明細書に具現化されるように、有機添加剤の１つ又は複数の不活性成分の濃度を電着中に監視して、処理中に電着溶液中に存在する有機添加剤の量を最適化することができる。電着溶液は酸性銅電解質であり得る。
【００２７】
本明細書に具現化されるように、方法は、有機添加剤と有機添加剤の複数の分解生成物とを含有する溶液を提供する工程を含み得る。複数の分解生成物は、少なくとも１つの不活性成分と少なくとも１つの活性成分とを含み得る。方法は、少なくとも１つの不活性成分の濃度を測定する工程をさらに含み得る。方法は、溶液中の少なくとも１つの不活性成分の濃度に基づいて溶液の寿命を決定する工程をさらに含み得る。現在開示されている方法は、有機添加剤の少なくとも１つの不活性成分の総濃度を決定することができる。例えば、有機添加剤がナトリウム塩、例えばビス（ナトリウムスルホプロピル）ジスルフィドである溶液中では、分子の有機成分はプロセスによって消費され、一方、分子のナトリウム部分は溶液中に残存して蓄積する。したがって、本明細書で開示されている方法は、分子のナトリウム部分の濃度を測定及び監視し、溶液の寿命を概算し、有機添加剤ターンオーバーを監視することができる。さらに、溶液の寿命の決定及び溶液のブリードアンドフィード比は、溶液の概算寿命から決定することができる。
【００２８】
上述したように、特に電着溶液中に含まれる有機添加剤の分解生成物の１つ以上の不活性成分を測定するための、溶液中の添加剤ターンオーバーを決定する改良された方法に対する産業上の必要性がある。
【００２９】
特定の実施形態では、溶液は電着溶液である。例えば、溶液は酸性銅電着溶液であり得る。溶液は１つ以上の有機添加剤を含み得る。
【００３０】
有機添加剤は、促進剤、レベリング剤、抑制剤、粒子微細化剤、湿潤剤、担体、応力緩和剤、硬化剤、軟化剤、又はそれらの組合せを含むことができる。
【００３１】
溶液中にあって電着プロセスで使用されるとき、分子の不活性成分が溶液中に残存し、蓄積し得る一方で、分子の活性成分（例えば有機部分）は消費され得る。特定の実施形態において、溶液は、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、パラジウム（Ｐｄ）、金（Ａｕ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、スズ（Ｓｎ）、インジウム（Ｉｎ）又はそれらの合金を含む電着溶液である。電解質は、キレート剤を含む又は含まない酸性、アルカリ性又は中性であり得る。有機添加剤の不活性部分の濃度を監視する際に、添加剤ターンオーバー、溶液の寿命、並びにブリードアンドフィード比の調整を決定することができる。例えば、有機添加剤の不活性部分の濃度は、新鮮な溶液、老化した（寿命中期）溶液、及び老化した（寿命末期）溶液中で測定することができる。溶液中の添加剤ターンオーバーを計算するために、老化した（例えば、寿命中期又は寿命末期）溶液中の不活性部分の測定濃度を、新鮮な溶液中の不活性部分の測定濃度で割ることができる。例えば、酸性銅電着溶液中では、ナトリウムの濃度は、溶液が古くなるにつれて監視することができ、そして添加剤ターンオーバーが、上記に提供されるようにこれらの測定値から計算される。さらに、溶液の年齢又は寿命は、本明細書に提供される方法から決定することができる。例えば、本開示の方法は、浴の老化を示すために使用され得る。浴の年齢は、例えば、特定の溶液が新鮮な溶液、寿命中期（ｍｉｄ−ａｇｅｄ）の溶液、又は寿命末期（ｅｎｄ−ｏｆ−ｌｉｆｅ）の溶液であるかどうかを判断するために使用することができる。
【００３２】
有機添加剤の不活性成分は、例えば、様々な方法の中でもとりわけ、原子吸光分析（ＡＡＳ）、マイクロ波プラズマ（ＭＰ）、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）、イオンクロマトグラフィー（ＩＣ）、キャピラリー電気泳動（ＣＥ）、イオン選択電極（ＩＳＥ）電位差測定によって監視・測定され得る。
【００３３】
現在開示されている主題は、以下の例を参照することによってよりよく理解されるであろう。以下の例は、本明細書に開示されている主題を単に例示するものであり、主題の範囲を限定するものとして考慮されるべきではない。
【００３４】
例
【００３５】
以下の例は、現在開示されている主題の単なる例示であり、それらは、主題の範囲を限定するものと見なされるべきではない。
【００３６】
例１：酸性銅電着溶液（溶液Ａ）における添加剤ターンオーバーの決定
【００３７】
この例では、酸性銅電着溶液（溶液Ａ）の添加剤ターンオーバーを本明細書に開示された方法に従って測定した。
【００３８】
最新のウェハレベルパッケージングに使用される酸性銅電着溶液（溶液Ａ）を試験した。溶液Ａは、メモリデバイスにおけるＣｕピラー製造のための溶液であった。溶液Ａのナトリウム濃度は、Ｓｐｅｃｔｒｏ  Ｂｌｕｅ  ＩＣＰ−ＯＥＳ分光計（Ｓｐｅｃｔｒｏ  Ａｎａｌｙｔｉｃｓ（登録商標）製）を用いて分析した。溶液Ａのナトリウムピークは５８９．５９ｎｍであり、これを更なる分析に使用した。ナトリウム濃度は、新鮮な溶液Ａ及び老化した（寿命末期）溶液Ａの両方において測定された。新鮮な溶液Ａは、０．７６ｍｇ／Ｌのナトリウムを含有していた。老化した（寿命末期）溶液Ａは８３ｍｇ／Ｌのナトリウムを含有していた。試験結果を図３に要約する。添加剤ターンオーバーは以下のように計算された。
【００３９】
新鮮な溶液Ａのナトリウム濃度：０．７６ｍｇ／Ｌ
【００４０】
老化した（寿命末期）溶液Ａのナトリウム濃度：８３ｍｇ／Ｌ
【００４１】
添加剤ターンオーバー（寿命末期）溶液Ａ：８３／０．７６＝１０９
【００４２】
例２：酸性銅電着溶液（溶液Ｂ）における添加剤ターンオーバーの決定
【００４３】
この例において、酸性銅電着溶液の添加剤ターンオーバーは、本明細書に開示された方法に従って測定された。
【００４４】
最新のウェハレベルパッケージングに使用される酸性銅電着溶液（溶液Ｂ）を試験した。溶液Ｂは、マルチチップ論理デバイスにおけるＣｕ相互接続の製造のための溶液であった。溶液Ｂのナトリウム濃度は、Ｓｐｅｃｔｒｏ  Ｂｌｕｅ  ＩＣＰ−ＯＥＳ分光計（Ｓｐｅｃｔｒｏ  Ａｎａｌｙｔｉｃｓ（登録商標）製）を用いて分析した。溶液Ｂのナトリウムピークは５８９．５９ｎｍであり、これを更なる分析に使用した。ナトリウム濃度は、新鮮な溶液Ｂ、老化した（寿命中期）溶液Ｂ、及び老化した（寿命末期）溶液Ｂの両方において測定された。新鮮な溶液Ｂは、１２ｍｇ／Ｌのナトリウムを含有していた。老化した（寿命中期）溶液Ｂは、２０．９ｍｇ／Ｌのナトリウムを含有していた。老化した（寿命末期の）溶液Ｂは８３ｍｇ／Ｌのナトリウムを含有していた。試験結果を図４に要約する。添加剤ターンオーバーは以下のように計算された。
【００４５】
新鮮な溶液Ｂのナトリウム濃度：１２ｍｇ／Ｌ
【００４６】
老化した（寿命中期）溶液Ｂのナトリウム濃度：２０．９ｍｇ／Ｌ
【００４７】
老化した（寿命末期）溶液Ｂのナトリウム濃度：４４．５ｍｇ／Ｌ
【００４８】
老化した（寿命中期）溶液Ｂの添加剤ターンオーバー：２０．９／１２＝１．７
【００４９】
老化した（寿命末期）溶液Ｂの添加剤ターンオーバー：４４．５／１２＝３．７
【００５０】
示された様々な実施形態に加えて、開示された主題はまた、本明細書に開示された特徴の他の組合せを有する他の実施形態に向けられる。したがって、本明細書に提示された特定の特徴は、開示された主題が本明細書に開示された特徴の任意の適切な組合せを含むように、開示された主題の範囲内で他の方法で互いに組み合わせることができる。開示された主題の特定の実施形態の前述の説明は、例示及び説明の目的で提示されている。網羅的であること、又は開示された主題を開示された実施形態に限定することは意図されていない。
【００５１】
開示された主題のシステム又は方法において、開示された主題の精神又は範囲から逸脱することなく様々な修正及び変形をなし得ることが当業者には明らかであろう。したがって、開示された主題は開示された主題及びその均等物の範囲内にある修正及び変形を含むことが意図されている。
【図１】
2020073709.tif 000003
【図２】
2020073709.tif 000004
【図３】
2020073709.tif 000005
【図４】
2020073709.tif 000006
【外国語明細書】
2020073709000001.pdf