(57)【要約】【課題】多数のフラッシュランプを用いた光照射装置において、個々のランプへの入力電流を大きくすることなく、全体として高強度な光を出射でき、フラッシュランプを実用的な寿命時間で使用可能とした構造を提供することである。【解決手段】第一電極導入部と第二電極導入部を有するフラッシュランプの発光管の前記第二電極導入部側の先端部に光出射面が設けられていて、前記フラッシュランプは、当該光出射面が処理チャンバ内に臨むように、当該処理チャンバの天板に多数隣接して立設されていることを特徴とする。【選択図】  図１
2020155346.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光ガスが封入された長尺な発光管と、該発光管の一端部側に設けられた第一電極導入部と、他端部側に設けられた第二電極導入部と、各電極導入部内に設けられた第一電極および第二電極とを有するフラッシュランプを多数備えた光照射装置であって、
前記フラッシュランプの発光管の前記第二電極導入部側の先端部には、光出射面が設けられていて、前記フラッシュランプは、前記光出射面が処理チャンバ内に臨むように、当該処理チャンバの天板に多数隣接して立設されていることを特徴とする光照射装置。
【請求項２】
前記フラッシュランプの少なくとも前記第二電極導入部は、当該発光管の長手方向軸に対して交差するように配置され、
隣接する前記各フラッシュランプの発光管は、前記第一電極導入部側の間隔が、前記光出射面側の間隔よりも広くなるように、前記長手方向軸が互いに傾斜して配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光照射装置。
【請求項３】
前記フラッシュランプは、前記処理チャンバ内の被処理物に隙間なく光照射するように配置されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光照射装置。
【請求項４】
前記処理チャンバの天板は、ドーム形状をしていることを特徴とする請求項２に記載の光照射装置。
【請求項５】
前記第二電極導入部は、隣接する各フラッシュランプの各発光管の間に位置するように配置されていることを特徴とする請求項２に記載の光照射装置。
【請求項６】
前記フラッシュランプは、前記天板の中央領域から周辺領域に広がるように同心円状に配置されており、前記中央領域から前記周辺領域に向けて灯数が多くなるように配置されていることを特徴とする請求項２に記載の光照射装置。
【請求項７】
前記フラッシュランプは、前記中央領域と前記周辺領域とで、それぞれの領域毎に電力制御可能に構成されていることを特徴とする請求項６に記載の光照射装置。
【請求項８】
前記フラッシュランプは、それぞれ個別に電力制御可能に構成されることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれかに記載の光照射装置。
【請求項９】
前記フラッシュランプが配置される前記天板には、前記各光出射面に対応して光照射窓が設けられていることを特徴とする請求項１〜請求項８のいずれかに記載の光照射装置。
【請求項１０】
発光ガスが封入された長尺な発光管と、該発光管の一端部側に設けられた第一電極導入部と、他端部側に設けられた第二電極導入部と、各電極導入部内に設けられた第一電極および第二電極とを備えたフラッシュランプであって、
前記フラッシュランプの発光管の前記第二電極導入部側の先端部には、光出射面が設けられており、
少なくとも前記第二電極導入部は、前記発光管の長手方向軸に対して交差するように配置され、
前記第二電極の先端は、前記発光管内へ突出するように配置されていることを特徴とするフラッシュランプ。
【請求項１１】
前記第二電極が陽極であることを特徴とする請求項１０に記載のフラッシュランプ。
【請求項１２】
前記第一電極導入部は、前記発光管と同軸方向に延びるように形成されることを特徴とする請求項１０に記載のフラッシュランプ。
【請求項１３】
前記発光管の長手方向における前記第二電極の投影面積が、前記発光管の長手方向に直交する方向における前記第二電極の最大投影面積よりも小さくなるように形成されていることを特徴とする請求項１０〜請求項１２の何れかに記載のフラッシュランプ。
【請求項１４】
前記第二電極は、前記発光管の長手方向に沿って偏平な形状であることを特徴とする請求項１３に記載のフラッシュランプ。
【請求項１５】
前記第二電極には、前記発光管の長手方向に沿うような貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項１３に記載のフラッシュランプ。
【請求項１６】
前記発光管の外表面にはチップ部が形成されており、
前記チップ部は、前記第二電極導入部と対向するように配置されていることを特徴とする請求項１０〜請求項１５のいずれかに記載のフラッシュランプ。
【請求項１７】
前記発光管の内周面には、その長手方向に沿うように、反射膜が形成されていることを特徴とする請求項１０〜請求項１６のいずれかに記載のフラッシュランプ。
【請求項１８】
前記発光管の外周面には、その長手方向に沿ってトリガ部材が設けられており、
前記トリガ部材は、前記第二電極導入部が配置される側とは反対側に配置されていることを特徴とする請求項１０〜請求項１７のいずれかに記載のフラッシュランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、多数灯のフラッシュランプを備えた光照射装置およびこれに用いられるフラッシュランプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体は、シリコンウエハに不純物をイオンドーピングした後にアニールすることにより、不純物が活性化され半導体として機能する。この加熱手段として、不純物がドープされた半導体表面のみをマイクロ秒（ms）以下という短い時間で加熱することが求められており、当該加熱工程では、例えば、特開２００９−１６４２０１号公報（特許文献１）に開示されるように、フラッシュランプを用いたアニールが非常に有効である。
【０００３】
近年、パワー半導体分野においては、従来用いられてきたシリコンウエハに加えて、炭化ケイ素（SiC）や窒化ガリウム(GaN)からなる半導体ウエハも用いられ始めており、これらは高耐圧、高耐熱性、損出が小さい等の多くの利点を持つとして近年有望視されている。
しかしながら、SiC、GaNはシリコンに比べ大きな熱伝導率を持つため、従来と同じエネルギーでフラッシュランプアニールを行うと表面からより深い領域まで熱が伝達され、半導体ウエハ表面が所望の温度まで加熱できないという課題が生じている。そのため、従来よりも大きなエネルギーでフラッシュランプアニールを行うか、表面から入射された熱がウエハ内部に拡散しないように、より短い時間でフラッシュランプアニールを行う必要がある。
【０００４】
ところが、フラッシュランプに入力するエネルギー量を増加させたり、同じ入力エネルギーでも短時間に入力しようとしたりすれば、結果的にランプ電流のピーク値を増大させなければならない。これは、ランプ内表面の温度上昇を引き起こし、発光管の劣化を早めることとなり、所定の寿命時間を全うすることが出来なくなるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１６４２０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この発明が解決しようとする課題は、上記従来技術の問題点に鑑みて、高強度な光を出射することが可能な光照射装置およびフラッシュランプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、この発明の光照射装置では、この発明の光照射装置では、発光ガスが封入された長尺な発光管と、該発光管の一端部側に設けられた第一電極導入部と、他端部側に設けられた第二電極導入部と、各電極導入部内に設けられた第一電極および第二電極とを有するフラッシュランプを多数備えた光照射装置であって、前記フラッシュランプの発光管の前記第二電極導入部側の先端部には、光出射面が設けられていて、前記フラッシュランプは、前記光出射面が処理チャンバ内に臨むように、当該処理チャンバの天板に多数隣接して立設されていることを特徴とする。
【０００８】
また、前記フラッシュランプの少なくとも前記第二電極導入部は、当該発光管の長手方向軸に対して交差するように配置され、隣接する前記各フラッシュランプの発光管は、前記第一電極導入部側の間隔が、前記光出射面側の間隔よりも広くなるように、前記長手方向軸が互いに傾斜して配置されていることを特徴とする。
【０００９】
また、前記フラッシュランプは、前記処理チャンバ内の被照射物に隙間なく光照射するように配置されていることを特徴とする。
また、前記処理チャンバの天板は、ドーム形状をしていることが好適である。
また、前記第二電極導入部は、隣接する各フラッシュランプの各発光管の間に位置するように配置されていることが好適である。
また、前記フラッシュランプは、前記天板の中央領域から周辺領域に広がるように同心円状に配置されており、前記中央領域から前記周辺領域に向けて灯数が多くなるように配置することができる。
【００１０】
また、前記フラッシュランプは、前記中央領域と前記周辺領域とで、それぞれの領域毎に電力制御可能に構成することができる。
また、前記フラッシュランプは、それぞれ個別に電力制御可能に構成することができる。
また、前記フラッシュランプが配置される前記天板には、前記各光出射面に対応して光照射窓が設けられていることが好適である。
【００１１】
また、上記課題を解決するために、この発明の光照射装置に用いられるフラッシュランプでは、発光ガスが封入された長尺な発光管と、該発光管の一端部側に設けられた第一電極導入部と、他端部側に設けられた第二電極導入部と、各電極導入部内に設けられた第一電極および第二電極とを備えたフラッシュランプであって、前記フラッシュランプの発光管の前記第二電極導入部側の先端部には、光出射面が設けられており、少なくとも前記第二電極導入部は、前記発光管の長手方向軸に対して交差するように配置され、前記第二電極の先端は、前記発光管内へ突出するように配置されていることを特徴とする。
【００１２】
また、前記第二電極が陽極であることが好適である。
また、前記第一電極導入部は、前記発光管と同軸方向に延びるように形成することができる。
また、前記発光管の長手方向における前記第二電極の投影面積が、前記発光管の長手方向に直交する方向における前記第二電極の最大投影面積よりも小さくなるように形成することが好適である。
【００１３】
また、前記第二電極は、前記発光管の長手方向に沿って偏平な形状とすることができる。
また、前記第二電極には、前記発光管の長手方向に沿うような貫通孔が設けられている形状とすることができる。
また、前記発光管の外表面にはチップ部が形成されており、前記チップ部を、前記第二電極導入部と対向するように配置することが好適である。
また、前記発光管の管壁には、その長手方向に沿って反射膜を形成することができる。
また、前記発光管の周側面には、その長手方向に沿ってトリガ部材が設けられており、前記トリガ部材は、前記第二電極導入部が配置される側とは反対側に配置することが好適である。
【発明の効果】
【００１４】
この発明によれば、フラッシュランプが、発光管の長手軸方向の端面から強度の大きな光を取り出して利用する構成とするものである。つまり、発光ガスが封入された長尺な発光管と、該発光管の一端部側に設けられた第一電極導入部と、他端部側に設けられた第二電極導入部と、各電極導入部内に設けられた第一電極および第二電極とを備えたフラッシュランプを用いた光照射装置において、多数のフラッシュランプの先端面から光出射できるとともに、個々のフラッシュランプへの入力電流を大きくすることなく、全体として高強度な光を出射でき、フラッシュランプを実用的な寿命時間で使用可能とした光照射装置を提供することができる。
【００１５】
また、フラッシュランプが処理チャンバに多数隣接するように取り付けられており、該フラッシュランプの発光管には、第一電極導入部と第二電極導入部とが設けられ、前記第二導電部材側の先端部に光出射面が設けられていて、前記第二電極導入部が、前記発光管の長手方向軸に対して交差するように配置され、隣接する前記各フラッシュランプの発光管は、前記第一電極導入部側の間隔が、前記光出射面側の間隔よりも広くなるように、前記長手方向軸が互いに傾斜して処理チャンバの天板上に配置されているので、フラッシュランプ相互が干渉することなく多数配置でき、多数のフラッシュランプの先端面から光出射できて、個々のフラッシュランプへの入力電流を大きくすることなく、全体として高強度な光を出射でき、フラッシュランプを実用的な寿命時間で使用可能とした光照射装置を提供することができる。
【００１６】
また、発光管の一端部側に設けられた第一電極導入部と、他端部側に設けられた第二電極導入部と、とを備えたフラッシュランプにおいて、前記発光管の前記第二電極導入部側の先端部に光出射面が設けられており、前記第二電極導入部が、前記発光管の長手方向軸に対して交差するように配置され、発光管の長手方向の端面から強度の大きな光を取り出して利用することができ、しかも、第二電極の先端が、前記発光管内に突出するように配置されているので、第一電極と第二電極との間で放電する際に、第二電極の周辺の発光管内壁にアークが触れることがなく、発光管の寿命を永くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の光照射装置の外観斜視図
【図２】本発明の光照射装置に用いられるフラッシュランプの断面図
【図３】図１の断面図
【図４】天板の上面図
【図５】フラッシュランプの天板への取付け構造図
【図６】被照射物におけるフラッシュランプからの照射範囲
【図７】フラッシュランプの第２実施例の断面図
【図８】フラッシュランプの第２電極の形態例
【図９】フラッシュランプの第３実施例の断面図
【図１０】フラッシュランプの第４実施例の断面図
【図１１】フラッシュランプの第５実施例の断面図
【図１２】フラッシュランプの第６実施例の断面図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１は、本発明に係る光照射装置１を上面から見た外観斜視図であり、被照射物が収容される処理チャンバ２と、その天板２１に放射状に立設された多数のフラッシュランプ３とからなる。このフラッシュランプ３は、発光管３１の一端側に第一電極導入部３２が設けられ、他端側に第二電極導入部３４が設けられていて、当該第二電極導入部３４側で処理チャンバ２の天板２１に取り付けられている。
なお、処理チャンバ２には排気管２２が設けられており、この排気管２２を利用して処理チャンバ２内を真空排気する。
【００１９】
図２に本発明の光照射装置１に用いられるフラッシュランプ３の概略構造が示されている。フラッシュランプ３は円筒状の長尺な発光管３１を有し、その一端部には該発光管３１と同一管軸方向に延びる第一電極導入部３２を有していて、その内部には第一電極３３が設けられている。
一方、発光管３１の他端部側には当該発光管３１の長手方向軸Ｌ１に対して交差するように第二電極導入部３４が設けられていて、その内部に第二電極３５が設けられ、その先端面が発光管３１内の放電空間Ｓに臨むように配置されている。この配置により、第二電極３５はその軸心Ｌ２方向が、発光管３１の長手方向軸Ｌ１と交差する配置関係となる。
上記のように、前記第二電極３５の先端面が発光管３１の放電空間Ｓに臨む配置とすることで、第一電極３３との間での放電によるアークが第二電極３５の周囲の発光管３１や第二電極導入部３４のガラスに触れることがなく、その劣化が抑制される。
【００２０】
なお、第二電極導入部３４は発光管３１に交差する配置としては、図２に示すように、典型的には発光管３１に直交する配置とすることが一般的であるが、勿論これに限られるものではない。
ただ、第二電極導入部３４内に設けられる第二電極３５の軸線Ｌ２が、発光管３１の長手方向軸Ｌ１と交差するように設けることが求められる。
【００２１】
そして、発光管３１の第二電極導入部３４側の先端部には光出射面３６が形成されていて、当該光出射面３６を介して発光管３１内に封入された発光ガスによって生じる光が出射される。
この封入される発光ガスは、例えば、キセノンガスであり、波長２００〜１１００ｎｍの光が生成される。
また、上記の第一電極３３と第二電極３５においては、第二電極３５を陽極として利用することが好適である。この種フラッシュランプにおいては、陽極の方が陰極よりもその大きさを小さくすることができ、光出射面３６側に位置する第二電極３５を陽極とすることで、放電空間Ｓ内で生成された閃光が電極によって遮られて有効活用できないという不具合をできるだけ小さなものとすることができる。
【００２２】
図３に本発明の光照射装置１全体の断面図が示され、処理チャンバ２はドーム形状の天板２１を有している。この天板２１には、図４に示すように、当該天板２１の中央領域から周辺領域に広がるように、同心円状に多数の光照射窓２３が配置されており、そのため、前記中央領域から前記周辺領域に向けて光照射窓２３はその個数が多くなる。
図３において、各フラッシュランプ３は、その発光管３１の先端の光出射面３６が、処理チャンバ２の天板２１の光照射窓２３に対応するように該天板２１に立設されている。そのため、天板２１上に配置されるフラッシュランプ３は、中央領域から周辺領域に向けてその設置個数が多くなる。
このとき、隣接する各フラッシュランプ３の発光管３１は、前記第一電極導入部３２側の間隔が、前記光出射面３６側（前記第二電極導入部３４側）の間隔よりも広くなるように、前記長手方向軸が互いに傾斜して配置されていて、発光管３１の長手方向軸と交差するように延びる前記第二電極導入部３４は、隣接する各フラッシュランプ３の各発光管３１の間に延びて位置し、他のフラッシュランプ３の発光管３１に干渉することがないように配置される。
天板２１をドーム形状とすることで、このような配置が容易に得られる。
【００２３】
図３に示すように、フラッシュランプ３の処理チャンバ２への取り付けは、例えば、フラッシュランプ３に被嵌されるような保持体４によってなされる。
図５に、内部にフラッシュランプ３を保持した保持体４を天板２１に取り付ける具体的な取り付け構造の一例が示されている。天板２１には、図４に示した光照射窓２３が設けられており、保持体４をこの光照射窓２３に対応した位置で天板２１にネジ止めすることにより、保持体４内に保持されたフラッシュランプ３は、その光出射面３５が前記光照射窓２３に対応する位置で配置される。
このとき、光照射窓２３は、処理チャンバ２内を真空状態にするために天板２１に対して気密に取り付けられている。
なお、フラッシュランプ３の天板２１への取り付けはこの例に限られず、任意の手段を用いることができる。
また、図３では、煩雑を避ける意味で保持体４は１本のみのフラッシュランプ３に被嵌されたものが示されているが、多数のフラッシュランプ３の全てに被嵌されるものである。
【００２４】
この保持体４としては、フラッシュランプに対する３０００Ｖ程度迄の印加電圧に対する絶縁性、最高数百度（〜３００℃）に耐える耐熱性、更にはフラッシュランプからの放射光に耐える耐光性が必要であり、これらの諸要求を満たす材料としては、コーニング製マコール（登録商標）やフェローテックセラミックス製ホトベール（登録商標）等のマシナブルセラミックス（機械加工性に優れたセラミックス）を用いることが好適である。
【００２５】
再び図３を参照して、処理チャンバ２内には、被照射物Ｗを載置する載置台５が配置されていて、処理チャンバ２に取り付けられた多数のフラッシュランプ３からの光は、図６に示すように、単一のフラッシュランプ３からの照射範囲Ｘの一部が被照射物Ｗ上で互いに重なるように隙間なく照射される。
【００２６】
図１及び図４に示すように、同心円状に配置された多数のフラッシュランプ３は、中央領域から周辺領域に向けて設置灯数が多くなり、これにより被照射物Ｗの温度が上昇しにくい周辺領域における光出力を増大させることができる。
そして、フラッシュランプ３は、中央領域と周辺領域とでそれぞれの領域毎に電力制御が行えるように構成することができる。これにより光出射範囲をエリア制御（ゾーン制御）することが可能となり、所望の加熱工程を実現できる。
また、他の例では、当該フラッシュランプ３は、それぞれ個別に電力制御可能に構成することもでき、こうした場合、より精度の高い光出力制御を実施することができる。
【００２７】
図７にフラッシュランプ３の他の実施例が示されており、第二電極３５が放電空間Ｓ内により突出している態様が示され、一例として、第二電極３５の先端が、前記発光管３１の中心軸Ｌ１を超える領域まで突出させてもよく、全体が放電空間Ｓ内に存在するようにしてもよい。このような構成において、放電空間Ｓ内で発生する閃光が当該第二電極３５によって極力遮られないように、その電極形状を適宜調整する必要がある。
例えば、発光管３１の管軸方向Ｌ１における第二電極３５の投影面積が、管軸方向に直交する方向における第二電極３５の最大投影面積よりも小さくなるように、電極形状を調整することが望ましい。
これは、放電空間Ｓから発生する閃光が第二電極３５で遮られないように、発光管３１の管軸方向における第二電極３５の投影面積を小さくする必要があり、一方で排熱の観点から第二電極３５の熱容量を小さくしすぎることのないように、管軸方向に直交する方向における第二電極３５の投影面積を大きく設計する必要があるためである。
【００２８】
図８に、そのような配慮のもとに形成された第二電極３５の２種類の具体例が示されている。
図８（Ａ）に示す第二電極３５は、発光管３１の管軸（長手方向軸）Ｌ１方向に沿って偏平な形状とされている。これにより、発光管３１の管軸方向Ｌ１における第二電極３５の投影面積Ａを、管軸方向に直交する軸線方向Ｌ３における最大投影面積Ｂより小さくできる。
図８（Ｂ）に示す第二電極３５は、発光管３１の管軸方向（長手方向軸）に沿って貫通孔３５ａが形成されている。この例では第二電極３５はリング形状をなすものである。これによっても、第二電極３５の管軸方向Ｌ１における投影面積Ａを、管軸方向に直交する軸方向Ｌ３における最大投影面積Ｂよりも小さくできる。また貫通孔３５ａが設けられることで、放電空間Ｓからの光取出しを良好にでき、より均一な光照射を実現できる。
【００２９】
このように第二電極３５は、その管軸方向Ｌ１における投影面積Ａがより小さく設計されることが望ましく、例えば管軸方向と直交する軸線方向Ｌ３における最大投影面積Ｂの８０％以下に設計することが好ましく、より好ましくは５０％以下、更により好ましくは３０%以下となるように設計することが好ましい。
【００３０】
図９に本発明のフラッシュランプの他の実施例が示されていて、発光管３１の外表面にはチップ部（排気管残部ともいう）３７が形成されており、該チップ部３７は、第二電極導入部３４と対向する反対側の位置に形成されている。つまり、第二電極３５の管軸方向Ｌ２の先に形成されている。
通常、電極軸を封止する工程においては、封止部（電極軸とガラスの封着部分）をガスバーナーで加熱溶着させて気密封止を実現する。より精度の高い加熱溶着を実現するためには、通常はガスバーナーに対して封止部を回転させながら加熱溶着することが望ましい。
【００３１】
しかしながら、本発明のフラッシュランプ３では、第二電極導入部３４が発光管３１に交差する方向に延びる構成であるために、上記の電極封止工程で、第二電極導入部３４を中心として回転させようとすると、発光管３１の存在でその回転軸がずれてしまって、精密な加熱溶着が困難になるという不具合が生じる。
そこで第二電極導入部３４の軸方向に沿う方向に排気管（後に溶融封止してチップ部３７として残存する）を接続させ、第二電極導入部３４を回転させながら第二電極３５の電極軸３５ａを封着させる場合に、当該排気管３７で支えながら第二電極導入部３４を回転させることができ、当該回転時の回転軸ズレを起こさずに封止工程を実現できる。その後、排気管はチップオフ工程で取り除かれるため、結果として第二電極導入部３４に対向する領域にチップ部３７が形成される。
以上の点から、第二電極導入部３４に対向する領域にチップ部３７を配置させることが望ましい構成となる。
【００３２】
図１０にフラッシュランプ３の他の実施例が示されていて、この実施例では、発光管３１の内周面に長手軸方向に沿うように、反射膜３８が形成されている。これにより、放電空間Ｓ内で発生した閃光は、この反射膜３８で反射されて、発光管３１の先端部に形成された光出射面３６から出射されることになり、出射光量を増加させることができる。
またこの反射膜３８は、第一電極３３の周囲を覆うように形成されることが望ましい。これにより、放電空間Ｓで生じる光が第一電極導入部３２側から漏れる割合が大幅に減り、光の利用効率を高められる。
このような反射膜３８は放電空間Ｓで発生する紫外域の光を反射する特性の材料が適しており、例えばシリカやアルミナで構成された反射膜を採用することができる。これは、ＳｉＣやＧａＮ等は４００ｎｍ以下の紫外域の光吸収量が大きく、加熱に対して非常に有効と成りえるためである。
【００３３】
図１１にフラッシュランプ３の更に他の実施例が示されていて、この実施例では、発光管３１の外周面には、その長手方向に沿ってトリガ部材６が設けられている。このトリガ部材６は、封止されたトリガ管６１と、その内部に配置された金属材料からなるトリガワイヤ６２とで構成されている。そして、トリガ管６１の内部は、真空引きされていてもよく、希ガスを封入させていてもよい。
このトリガ部材６は、第二電極導入部３４が配置される側とは反対側に配置されている。トリガ部材６による放電は発光管３内部で該トリガ部材６に沿って生じるために、第一電極３３と第二電極３５間での放電を惹起する意味で、第二電極３５に対向する位置に配置させることが好ましい。
【００３４】
以上の各実施例では、第一電極導入部３２は、発光管３１と同一管軸方向に延びるものを示したが、これに限られず、図１２に示すように、第二電極導入部３４と同様に、発光管３１の長手方向軸に対して交差するように設けられていてもよい。この場合、当然に第一電極３３も発光管３１とは交差する方向に延在している。
なお、第一電極導入部３２と第二電極導入部３４とは発光管３１に対して必ずしも同じ方向に配置されていなくてもよい。
【００３５】
以上説明したように、本発明におけるフラッシュランプを備えた光照射装置においては、フラッシュランプの先端の光出射面が処理チャンバ内に臨むように、当該処理チャンバの天板に多数隣接して立設されており、前記フラッシュランプに設けられた第一電極導入部と第二電極導入部のうち少なくとも前記第二電極導入部は、発光管の長手方向軸に対して交差するように配置され、隣接する前記各フラッシュランプの発光管は、前記第一電極導入部側の間隔が、前記光出射面側の間隔よりも広くなるように、前記長手方向軸が互いに傾斜して配置されていることにより、フラッシュランプ相互が干渉することなく処理チャンバに多数配置でき、多数のフラッシュランプの先端面から光出射できて、個々のフラッシュランプへの入力電流を大きくすることなく、全体として高強度な光を出射でき、フラッシュランプを実用的な寿命時間で使用可能とすることができる。
【符号の説明】
【００３６】
１    ：光照射装置
２    ：処理チャンバ
２１  ：天板
２２  ：排気管
２３  ：光照射窓
３    ：フラッシュランプ
３１  ：発光管
３２  ：第一電極導入部
３３  ：第一電極
３４  ：第二電極導入部
３５  ：第二電極
３５ａ：貫通孔
３６  ：光出射面
３７  ：チップ部
３８  ：反射膜
４    ：保持体
５    ：載置台
６    ：トリガ部材
６１  ：トリガ管
６２  ：トリガワイヤ
Ｓ    ：放電空間
Ｌ１  ：発光管の管軸（長手方向軸）
Ｌ２  ：第二電極の軸線
Ｌ３  ：発光管の管軸方向に直交する軸線
Ａ    ：発光管の管軸方向における第二電極の投影面積
Ｂ    ：管軸方向に直交する軸線おける第二電極の最大投影面積
【図１】
2020155346.tif 000003
【図２】
2020155346.tif 000004
【図３】
2020155346.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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