(57)【要約】【課題】ウェーハユニットの搬送中又はウェーハの加工中に、作業者が誤ってカセットに接触することを防ぐ。【解決手段】  板状の被加工物を加工する加工装置に併設されるカセット載置機構であって、被加工物を収容するカセットが載置される載置台と、載置台の側方に配置され、載置台に載置されたカセットから被加工物を搬送するときに被加工物を通過させる開口部を有するフレーム部と、フレーム部の載置台とは反対側に設けられ、開口部を閉じるドア部と、フレーム部の載置台側に設けられ、載置台に載置されるカセットのフレーム部側の一部を除く側部を保護できるように構成されたカバー部と、カセットのフレーム部側の一部を除く側部を保護する保護位置と、保護位置よりも下方の退避位置との間でカバー部を昇降させる昇降機構と、を備えるカセット載置機構を提供する。【選択図】図１
2020077737.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の被加工物を加工する加工装置に併設されるカセット載置機構であって、
該被加工物を収容するカセットが載置される載置台と、
該載置台の側方に配置され、該載置台に載置された該カセットから該被加工物を搬送するときに該被加工物を通過させる開口部を有するフレーム部と、
該フレーム部の該載置台とは反対側に設けられ、該開口部を閉じるドア部と、
該フレーム部の該載置台側に設けられ、該載置台に載置される該カセットの該フレーム部側の一部を除く側部を保護できるように構成されたカバー部と、
該カセットの該フレーム部側の該一部を除く該側部を保護する保護位置と、該保護位置よりも下方の退避位置との間で該カバー部を昇降させる昇降機構と、
を備えることを特徴とするカセット載置機構。
【請求項２】
該カセット載置機構は、
該カバー部が該保護位置に上昇させられたことを条件として、該ドア部が該開口部を閉じる閉位置から該開口部を開く開位置へ移動させられ、且つ、
該ドア部が該開位置から該閉位置に移動させられたことを条件として、該カバー部が該退避位置に下降させられるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載のカセット載置機構。
【請求項３】
該載置台の下方に設けられており、該昇降機構を動作させることができるフットスイッチ部を更に備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のカセット載置機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハ等を収容するカセットが載置されるカセット載置機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面側にＩＣ（integrated circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが形成されたシリコンウェーハ等の被加工物は、例えば、所定の厚さになるように裏面側が研削された後、切削装置等によって個々のデバイスチップに分割される。
【０００３】
通常、研削装置や切削装置等の加工装置を用いてウェーハを加工する前には、まず、ウェーハユニットを形成する。例えば、金属製の環状フレームの開口部にウェーハを配置し、環状フレームの開口部よりも大きな面積の円形のテープを環状フレームとウェーハとに貼り付ける。これにより、ウェーハ、環状フレーム及びテープが一体化されたウェーハユニットが形成される。
【０００４】
このウェーハユニットは、複数のウェーハユニットを収容可能なカセット内に収容される（例えば、特許文献１参照）。カセット内に複数のウェーハユニットを収容することで、複数のウェーハユニットをまとめて搬送し易くなる。
【０００５】
加工装置には、このカセットを載置するためのカセット載置機構が設けられている。カセットをカセット載置機構に載置した後、加工装置内に設けられている搬送ユニットにより、カセットから加工装置内へ各ウェーハユニットは搬出される。ウェーハが加工装置内で加工された後、ウェーハユニットは加工装置内からカセットへ搬入される。このように、各ウェーハユニットは、搬送ユニットによりカセットと加工装置との間で搬送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−９１４１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、カセット及び加工装置間でウェーハユニットが搬送されているときや、加工装置内でウェーハが加工されているときに、作業者が誤ってカセットに接触して、カセットを動かしてしまう場合がある。カセットが動かされると、通常、安全のために加工装置は停止し、ウェーハユニットの搬送やウェーハの加工等が中断される。
【０００８】
本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、ウェーハユニットの搬送中又はウェーハの加工中に、作業者が誤ってカセットに接触することを防ぐことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、板状の被加工物を加工する加工装置に併設されるカセット載置機構であって、該被加工物を収容するカセットが載置される載置台と、該載置台の側方に配置され、該載置台に載置された該カセットから該被加工物を搬送するときに該被加工物を通過させる開口部を有するフレーム部と、該フレーム部の該載置台とは反対側に設けられ、該開口部を閉じるドア部と、該フレーム部の該載置台側に設けられ、該載置台に載置される該カセットの該フレーム部側の一部を除く側部を保護できるように構成されたカバー部と、該カセットの該フレーム部側の該一部を除く該側部を保護する保護位置と、該保護位置よりも下方の退避位置との間で該カバー部を昇降させる昇降機構と、を備えるカセット載置機構が提供される。
【００１０】
好ましくは、該カセット載置機構は、該カバー部が該保護位置に上昇させられたことを条件として、該ドア部が該開口部を閉じる閉位置から該開口部を開く開位置へ移動させられ、且つ、該ドア部が該開位置から該閉位置に移動させられたことを条件として、該カバー部が該退避位置に下降させられるように構成されている。
【００１１】
また、好ましくは、該カセット載置機構は、該載置台の下方に設けられており、該昇降機構を動作させることができるフットスイッチ部を更に備える。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の一態様に係るカセット載置機構は、載置台に載置されるカセットのフレーム部側の一部を除く側部を保護できるように構成されたカバー部を備える。これにより、カセットと加工装置との間で被加工物が搬送されているときや、加工装置内で被加工物が加工されているときに、作業者が誤ってカセットに接触することを防止できる。それゆえ、加工装置における板状の被加工物の加工や搬送が中断されることを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１実施形態に係る加工装置及びカセット載置機構の斜視図である。
【図２】カバー部及び移動機構の斜視図である。
【図３】図２の領域Ａを拡大した一部断面側面図である。
【図４】搬送作業中の様子を示す斜視図である。
【図５】加工及び搬送作業終了後の様子を示す斜視図である。
【図６】図６（Ａ）は、カセットを載置台に載置する段階Ｓ１０を示す図であり、図６（Ｂ）は、カバー部を保護位置へ上昇させる段階Ｓ２０を示す図であり、図６（Ｃ）は、ドア部を開位置に移動させた後、搬送及び加工作業を行う段階Ｓ３０を示す図であり、図６（Ｄ）は、ドア部を閉位置に移動させる段階Ｓ４０を示す図であり、図６（Ｅ）は、カバー部を退避位置へ下降させる段階Ｓ５０を示す図である。
【図７】第２実施形態に係る加工装置及びカセット載置機構の斜視図である。
【図８】第３実施形態に係るフットスイッチ部の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、第１実施形態に係る加工装置２及びカセット載置機構１０の斜視図である。加工装置２は、被加工物を加工するための装置であり、例えば、被加工物にレーザービームを照射するレーザー加工装置、被加工物を切削する切削装置、被加工物を研削する研削装置、又は、被加工物を研磨する研磨装置である。
【００１５】
加工装置２は金属等で形成された筐体を有し、この筐体の正面２ａにはタッチパネル式のモニター４が配置されている。モニター４は、作業者が加工装置２に対して指示を入力する入力装置と、被加工物の画像、加工条件、加工結果等を表示する表示装置とを兼ねている。
【００１６】
例えば、作業者は、モニター４に表示されるボタン等に触れることにより、モニター４を介して加工装置２に対して加工条件を設定できる。また、モニター４には、加工装置２内に設置されている不図示の撮像装置により撮像された被加工物の画像等が表示される。
【００１７】
加工装置２の筐体の正面２ａのうちモニター４とは異なる所定の位置には、カセット載置機構１０が併設される。本実施形態のカセット載置機構１０は加工装置２とは別体であり、加工装置２に対して付加的に取り付けられる構造物である。
【００１８】
カセット載置機構１０は、ステンレス鋼等の金属材料で形成された略直方体形状の筐体を有する基台部１２を備える。基台部１２の上部には開口部が設けられており、この開口部の上方には、カセット３０が載置される載置台１４が設けられている。
【００１９】
載置台１４は、ステンレス鋼等の金属材料で形成された矩形状の板状部材であり、基台部１２の上部に略水平に配置されている。載置台１４は、基台部１２の開口部よりも小さく、カセット３０の底面部よりも大きい面積を有する。
【００２０】
載置台１４は、高さ方向（Ｚ軸方向）に移動可能な昇降ユニット（不図示）により支持されている。昇降ユニットは、基台部１２の筐体の内側に位置する。昇降ユニットは、載置台１４を高さ方向に沿って移動させ、載置台１４の高さ位置を調節できる。
【００２１】
載置台１４の上面には、上下移動可能な押圧ピン（不図示）が当該上面から突出する態様で設けられており、載置台１４の内部には押圧ピンの接触を検知する第１のセンサー部（不図示）が設けられている。
【００２２】
載置台１４にカセット３０が載置されると、この押圧ピンが押し下げられ載置台１４内に設けられた第１のセンサー部に接触し、載置台１４にカセット３０が載置された旨を示す所定の信号が、第１のセンサー部から後述する制御部８へ送られる。
【００２３】
また、載置台１４の側方に配置されたフレーム部２６（詳細は後述する）には発光素子及び受光素子を有する第２のセンサー部（不図示）が設けられており、この第２のセンサー部はカセット３０内にウェーハユニット９が存在するか否かを検知する。
【００２４】
載置台１４の上面には、金属又は樹脂で形成された略直方体状のカセット３０が載置される。カセット３０は、複数の被加工物を収容するための収容容器である。本実施形態のカセット３０は、板状の一対の側面部（即ち、第１側面部３２ａ及び第２側面部３２ｂ）を有する。
【００２５】
第１側面部３２ａ及び第２側面部３２ｂの各上部は、棒状の複数の接続部３２ｃにより互いに連結されている。また、第１側面部３２ａ及び第２側面部３２ｂの各下部も同様に、棒状の複数の接続部３２ｃにより互いに連結されている。
【００２６】
なお、図１に示す様に、第１側面部３２ａの上部には２個の接続部３２ｃが設けられているが、接続部３２ｃの数は２個に限定されず、１個又は３個以上であってもよい。また、接続部３２ｃの形状は、棒状に限定されず、板状であってもよい。
【００２７】
第１側面部３２ａ及び第２側面部３２ｂの上部側における複数の接続部３２ｃは、把手３２ｄで互いに連結されている。作業者は、把手３２ｄを持つことによりカセット３０を運ぶことができる。
【００２８】
第１側面部３２ａ及び第２側面部３２ｂの各々は、互いに対向する内側側面に複数の棚板３２ｅを有する。各棚板３２ｅは、カセット３０の高さ方向に沿って所定の間隔で複数設けられている。本実施形態では、互いに対向する棚板３２ｅのうち同じ高さ位置にある一対の棚板３２ｅにより、１つのウェーハユニット９が支持される。
【００２９】
ウェーハユニット９は、金属製の環状フレーム５の開口部にウェーハ（被加工物）１が配置され、環状フレーム５の開口部よりも大きな面積を有する円形のテープ３により環状フレーム５とウェーハ１とが接着されることで形成される。
【００３０】
本実施形態では、複数対の棚板３２ｅにより、複数のウェーハユニット９がカセット３０の高さ方向に重なるように収容される。このように、複数対の棚板３２ｅは、複数のウェーハ１を収容する収容空間を形成している。なお、１つのウェーハユニット９ではなく１つのウェーハ１が、一対の棚板３２ｅにより直接支持されてもよい。
【００３１】
棚板３２ｅの一端側には、被加工物を係止する係止構造（不図示）が設けられている。本実施形態では、棚板３２ｅの一端側を係止部側３２ｆと称し、棚板３２ｅの他端側（即ち、係止部側３２ｆとは反対側）を搬出入部側３２ｇと称する。
【００３２】
カセット３０の係止部側３２ｆ及び搬出入部側３２ｇは、板状の面部材が設けられていない開放領域である。ウェーハユニット９は、カセット３０の搬出入部側３２ｇを通る様にして、カセット３０から外部へ搬出され、外部からカセット３０へ搬入される。
【００３３】
なお、カセット３０は、図１に示す形状に限定されない。例えば、カセット３０の係止部側３２ｆ、上部及び下部には、板状の面部材が設けられ、搬出入部側３２ｇのみが完全に解放されていてもよい。また、カセット３０は、ＦＯＵＰ（Front Opening Unify Pod）型のカセットであってもよい。
【００３４】
基台部１２の内側及び載置台１４の側方の外側には、カバー部１６が設けられている。本実施形態のカバー部１６は、３つの略矩形状の樹脂製の板部材で構成されており、載置台１４にカセット３０が載置された場合に、カセット３０の一部（即ち、搬出入部側３２ｇ）を除く側部（即ち、第１側面部３２ａ、第２側面部３２ｂ及び係止部側３２ｆ）を保護できるように構成されている。
【００３５】
カバー部１６は、互いに向かい合う第１側面部１６ａ及び第２側面部１６ｂと、第１側面部１６ａ及び第２側面部１６ｂの一端側に接続する正面部１６ｃとを有する。第１側面部１６ａ、第２側面部１６ｂ及び正面部１６ｃは、高さ方向（即ち、Ｚ軸方向）の長さが同じであり、各々の長さは、カセット３０の下端部から上端部までの長さよりも長い。
【００３６】
第１側面部１６ａ及び第２側面部１６ｂの内側面は、互いに平行であり、正面部１６ｃの内側面は、第１側面部１６ａ及び第２側面部１６ｂの内側面と直交する。第１側面部１６ａ及び第２側面部１６ｂの他端側と、カバー部１６の上部及び下部とは、完全に開放されている。
【００３７】
カバー部１６は、基台部１２の筐体の内側に収容されている昇降機構１８（図２及び図３参照）に接続されている。カバー部１６は、この昇降機構１８により、載置台１４上に載置されたカセット３０に対して昇降させられる。ここで、図２及び図３を用いて昇降機構１８について説明する。
【００３８】
図２は、カバー部１６及び昇降機構１８の斜視図である。昇降機構１８は、金属で形成されたブラケット２０を有する。ブラケット２０は、カバー部１６の下部に接続され、カバー部１６と一体化されている。
【００３９】
ブラケット２０は、カバー部１６の第１側面部１６ａの下部に接続された第１直線部２０ａと、第２側面部１６ｂの下部に接続された第２直線部２０ｂと、正面部１６ｃの下部に接続された第３直線部２０ｃとで構成されている。
【００４０】
第１直線部２０ａ及び第３直線部２０ｃは、第１角部２０ｄを構成しており、第２直線部２０ｂ及び第３直線部２０ｃは、第２角部２０ｅを構成している。第１角部２０ｄの近傍には、第１のリニアガイド部が設けられ、第２角部２０ｅには、第２のリニアガイド部が設けられている。
【００４１】
第１のリニアガイド部は、略直方体状の金属製のスライダ２４ｇと、細長い板状の金属製のガイドレール２４ｉとから成り、第２のリニアガイド部も同様に、略直方体状の金属製のスライダ２４ｈと、細長い板状の金属製のガイドレール２４ｊから成る。
【００４２】
ガイドレール２４ｉ及び２４ｊは、ブラケット２０の外側に配置されており、ガイドレール２４ｉ及び２４ｊの側面は、第１直線部２０ａ及び第２直線部２０ｂの側面と、第１側面部１６ａ及び第２側面部１６ｂに略平行である。
【００４３】
ガイドレール２４ｉ及び２４ｊには、スライダ２４ｇ及び２４ｈの一方の側部が、上下方向に移動可能に連結されている。スライダ２４ｇの上部には、ブラケット２０の第１角部２０ｄが接続されており、スライダ２４ｈの上部には、ブラケット２０の第２角部２０ｅが接続されている。
【００４４】
第１直線部２０ａに対して第１のリニアガイド部よりも内側には、ロッドレスシリンダ（rodless cylinder）２２ａが設けられており、第２直線部２０ｂに対して第２のリニアガイド部よりも内側には、もう１つのロッドレスシリンダ２２ｂが設けられている。ロッドレスシリンダ２２ａ及び２２ｂは、金属で形成された直方体形状のボディ部２４ａ及び２４ｂを有する。
【００４５】
スライダ２４ｇの一方の側部とは反対側に位置するスライダ２４ｇの他の側部は、ロッドレスシリンダ２２ａのボディ部２４ａに固定されている。同様に、スライダ２４ｈの他の側部は、ロッドレスシリンダ２２ｂのボディ部２４ｂに固定されている。この様に、ブラケット２０は、第１及び第２のリニアガイド部を介して、ロッドレスシリンダ２２ａ及び２２ｂにより支持されている。
【００４６】
ボディ部２４ａ及び２４ｂは、円筒状の貫通開口を有する。この貫通開口には、ガイドレール２４ｉ及び２４ｊの延伸方向に沿って設けられ金属で形成された円筒状のシリンダチューブ２４ｃ及び２４ｄが配置されている。ボディ部２４ａ及び２４ｂは、シリンダチューブ２４ｃ及び２４ｄの高さ方向に沿って移動可能に構成されている。
【００４７】
シリンダチューブ２４ｃ及び２４ｄの内部には、シリンダチューブ２４ｃ及び２４ｄの長手方向にスライド可能な円柱状のピストン（不図示）が設けられている。ピストンには磁石が設けられており、ボディ部２４ａ及び２４ｂにはピストンを囲むように磁石が設けられている。ピストンの磁石とボディ部２４ａ及び２４ｂの磁石とは互いに磁気的に結合している。
【００４８】
シリンダチューブ２４ｃ及び２４ｄの底部には基部２４ｅ及び２４ｆが設けられており、頂部にはヘッドカバー（不図示）が設けられている。例えば、基部２４ｅ及び２４ｆからシリンダチューブ２４ｃ及び２４ｄの内部にエアーが供給され、ヘッドカバーからエアーが排出されると、シリンダチューブ２４ｃ及び２４ｄに対してピストンが上昇する。
【００４９】
同様に、基部２４ｅ及び２４ｆからエアーが排出され、ヘッドカバーからシリンダチューブ２４ｃ及び２４ｄの内部にエアーが供給されると、シリンダチューブ２４ｃ及び２４ｄに対して、ピストンが下降する。このように、ピストンがシリンダチューブ２４ｃ及び２４ｄの内部を上下方向にスライドすることに伴い、ボディ部２４ａ及び２４ｂも上下方向にスライドする。
【００５０】
上述の様に、ボディ部２４ａ及び２４ｂは、スライダ２４ｇ及び２４ｈを介してブラケット２０に固定されているので、ボディ部２４ａ及び２４ｂを上下にスライドさせることで、ブラケット２０を介してカバー部１６を上昇又は下降させることができる。図３は、図２の領域Ａを拡大した一部断面側面図である。
【００５１】
カバー部１６は、昇降機構１８により、カセット３０を保護する保護位置（図１参照）と、基台部１２の内側に退避する退避位置（図５参照）との間で移動（即ち、昇降）する。本実施形態における保護位置とは、載置台１４に載置されたカセット３０の第１側面部３２ａ、第２側面部３２ｂ及び係止部側３２ｆを、カバー部１６が覆う位置である。
【００５２】
カバー部１６が保護位置にあるとき、カバー部１６の各側部（即ち、第１側面部１６ａ、第２側面部１６ｂ及び正面部１６ｃ）の上端部１６ｄは、カセット３０の頂面部よりも上に位置する。これにより、カバー部１６は、カセット３０の側方を保護する。
【００５３】
また、本実施形態における退避位置とは、保護位置よりも下方に位置し、カバー部１６が基台部１２の内側に隠れる位置である。カバー部１６が退避位置にあるとき、カバー部１６の各側部の上端部１６ｄは、載置台１４と同じか又は載置台１４よりも低い位置にある。このとき、カバー部１６はカセット３０を保護しないので、作業者は、カセット３０に容易にアクセスできる。
【００５４】
ここで、図１に戻る。載置台１４に対して正面部１６ｃの反対側（即ち、載置台１４の背面側の側方）であって、第１側面部１６ａ及び第２側面部１６ｂの他端側から所定距離（例えば数ｍｍ）離れた位置には、フレーム部２６が配置されている。フレーム部２６は、ステンレス鋼等の金属材料で形成されている板状部材であり、床面に対して略垂直に立てられている。
【００５５】
フレーム部２６の略上半分には、フレーム部２６の正面２６ａから背面２６ｂまで貫通している略矩形状の開口部２６ｃが設けられている。開口部２６ｃは直方体状の貫通開口であり、正面２６ａ及び背面２６ｂにおける開口部２６ｃの大きさは、カセット３０の搬出入部側３２ｇと略同じか又はこれよりも大きい。それゆえ、開口部２６ｃは、ウェーハユニット９を通過させることができる。
【００５６】
フレーム部２６の略上半分の背面２６ｂ側には、略矩形状であり、開口部２６ｃの背面２６ｂにおける開口面積よりも大きな面積を有するドア部２８が配置されている。なお、ドア部２８は、カセット載置機構１０の一部である。本実施形態のドア部２８は、移動ユニット（不図示）により、フレーム部２６の高さ方向（即ち、Ｚ軸方向）に沿ってスライドして移動するよう構成されている。
【００５７】
本実施形態のドア部２８は、例えば、開口部２６ｃの背面２６ｂ側を完全に閉じる閉位置（即ち、図１に示すドア部２８の位置、即ち、上方位置）と、開口部２６ｃの背面２６ｂ側を完全に開く開位置（即ち、図４に示すドア部２８の位置、即ち、下方位置）とに位置するように、移動ユニットにより移動させられる。
【００５８】
フレーム部２６の略下半分の領域（即ち、開口部２６ｃよりも下の領域）には、上述の基台部１２の背面側が連結している。また、フレーム部２６の下方には、床面に接する複数のキャスター２６ｄが設けられている。
【００５９】
キャスター２６ｄは、例えば、フレーム部２６の幅方向（図１のＹ軸方向）の両端部に設けられている。キャスター２６ｄは、加工装置２から独立してカセット載置機構１０を移動させるために用いられる。
【００６０】
図１に示す様に、本実施形態のカセット載置機構１０は、加工装置２に取り付けられている。特に、フレーム部２６及びドア部２８は、フレーム部２６の正面２６ａが加工装置２の筐体の正面２ａと略平行になるように、加工装置２に埋め込まれている。
【００６１】
加工装置２の内部の開口部２６ｃに対向する位置には、搬送アーム６が配置されている。この搬送アーム６は、略Ｕ字状のハンド部を有しており、ハンド部の一方側の面にはウェーハユニット９を吸着する吸着パッド等の吸着機構が設けられている。
【００６２】
搬送アーム６は、例えば、カセット３０に収容されているウェーハユニット９の下方にハンド部を移動させて、ハンド部でウェーハユニット９を吸着して、加工装置２の内部に配置されている位置合わせテーブル（不図示）等へウェーハユニット９を搬送する。
【００６３】
搬送アーム６等の動きは、加工装置２内に設けられた制御部８により制御される。制御部８は、例えばコンピュータであり、ホスト・コントローラを介して相互に接続されるＣＰＵ、ＲＡＭ、ハードディスクドライブ等を有する。
【００６４】
ＣＰＵは、ＲＡＭ、ハードディスクドライブ等の記憶部分に格納されたプログラム、データ等に基づいて演算処理等を行う。ＣＰＵが記憶部分に格納されたプログラムを読み込むことにより、制御部８は、ソフトウェアと上述のハードウェア資源とが協働した具体的手段として機能できる。
【００６５】
制御部８は、搬送アーム６に加えて、モニター４にも電気的に接続している。また、カセット載置機構１０を加工装置２に取り付けたときに、制御部８は、カセット載置機構１０と電気的に接続する。
【００６６】
制御部８は、モニター４を介して作業者からの指示を受け、各部の動作を制御する。例えば、制御部８は、モニター４を介してカバー部１６及びドア部２８等を移動させる旨の指示を受け、その指示を反映するべく昇降機構１８及び移動ユニットの動きを制御する。
【００６７】
次に、図１、図４及び図５を用いて、加工装置２でウェーハ１を加工するときの搬送アーム６、カバー部１６及びドア部２８の動きについて説明する。ドア部２８が閉位置にあり、且つ、カバー部１６が退避位置にあるとき、作業者は、載置台１４にカセット３０を載置する。
【００６８】
載置台１４にカセット３０が載置されると、上述の押圧ピンが押圧され、載置台１４の第１のセンサー部から制御部８へ、載置台１４上にカセット３０が存在することを示す情報ａが送られる。
【００６９】
また、上述の第２のセンサー部は、カセット３０内にウェーハユニット９が存在する場合に、その旨を示す情報ｂを制御部８へ送る。情報ａ及びｂは、例えば、加工装置２がカセット３０からウェーハユニット９の搬出を開始するときの前提条件として利用される。
【００７０】
次に、作業者は、モニター４を介して制御部８にカバー部１６を保護位置へ上昇させる旨の指示を送る。制御部８は、例えば、情報ａ及びｂを受信していることを条件として、昇降機構１８の動きを制御し、カバー部１６を保護位置へ上昇させる（図１参照）。
【００７１】
カバー部１６が保護位置に到達した後、制御部８は、移動ユニットの動きを制御して、開位置までドア部２８を下降させる（図４参照）。ドア部２８を開位置に移動させた後、カセット３０内のウェーハユニット９の高さ位置を搬送アーム６の高さ位置に合わせるために、制御部８は、昇降ユニットの動きを制御して載置台１４の高さ位置を調節する。
【００７２】
そして、制御部８が搬送アーム６の動きを制御することにより、搬送アーム６は、ウェーハユニット９をカセット３０から加工装置２内に搬出する。その後、加工装置２内で、ウェーハ１は加工される。図４は、搬送作業中の様子を示す斜視図である。
【００７３】
本実施形態では、ウェーハユニット９の搬送中及びウェーハ１の加工中に、カバー部１６がカセット３０の第１側面部３２ａ、第２側面部３２及び係止部側３２ｆ（即ち、搬出入部側３２ｇ以外のカセット３０の外周側面）を囲む。
【００７４】
これにより、ウェーハユニット９の搬送中及びウェーハ１の加工中に、作業者が誤ってカセット３０及びウェーハユニット９に接触することを防止できる。それゆえ、搬送や加工が中断されることを防ぐことができる。
【００７５】
また、本実施形態のカセット３０では、ＦＯＵＰ型のカセットと異なり、収容されるウェーハユニット９が外部環境に曝される。それゆえ、搬出入部側３２ｇ以外のカセット３０の外周側面がカバー部１６で囲まれていない場合には、作業者が誤ってウェーハユニット９に接触し作業者が手を怪我したり、ウェーハ１が動かされる恐れがある。
【００７６】
しかしながら、本実施形態では、カバー部１６により、搬出入部側３２ｇ以外のカセット３０の外周側面が囲まれるので、作業者が誤ってウェーハ１に接触し、作業者が手を怪我したり、ウェーハ１が動かされることを防ぐことができる。
【００７７】
加工終了後、各ウェーハ１は、搬送アーム６によりカセット３０に搬入される。全てのウェーハ１がカセット３０に搬入された後、制御部８は、ドア部２８を閉位置に移動させ、次いで、カバー部１６を退避位置まで下降させる。これにより、ウェーハ１の加工及び搬送作業を終了する。図５は、加工及び搬送作業終了後の様子を示す斜視図である。
【００７８】
次に、図６を用いて、カバー部１６及びドア部２８等の動作手順の詳細を説明する。作業者は、カバー部１６が退避位置にあり、ドア部２８が閉位置にあるときに、カセット３０を載置台１４上に載置する（段階Ｓ１０）。図６（Ａ）は、カセット３０を載置台１４に載置する段階Ｓ１０を示す図である。
【００７９】
Ｓ１０の後、上述の情報ａ及びｂが制御部８へ送られ、載置台１４上にカセット３０が存在し、カセット３０内にウェーハユニット９が存在することが制御部８で確認される。なお、制御部８は、情報ａ及びｂを受領した旨をモニター４に表示させ、作業者が、カセット３０及びウェーハユニット９の存在を確認してもよい。
【００８０】
その後、作業者がモニター４を介してカバー部１６を上昇させる旨の指示を制御部８へ送ると、制御部８は昇降機構１８の動きを制御してカバー部１６を上昇させる（Ｓ２０）。図６（Ｂ）は、カバー部１６を保護位置へ上昇させる段階Ｓ２０を示す図である。なお、図６（Ｂ）に示すカセット載置機構１０の状態は、図１に示すカセット載置機構１０の状態に対応する。
【００８１】
段階Ｓ２０において、カバー部１６が昇降機構１８により保護位置に上昇させられると、カバー部１６は、カセット３０の搬出入部側３２ｇ以外の外周側面を囲む。なお、このとき、ドア部２８の位置は、開口部２６ｃを閉じる閉位置に維持されている。
【００８２】
Ｓ２０の後、作業者は、モニター４を介して制御部８へ加工開始の指示を送る。制御部８は、加工開始の指示を受けると、カバー部１６が保護位置に上昇させられていることを条件として、ドア部２８を閉位置から開位置へ移動させる。その後、制御部８は、搬送アーム６の動きを制御してウェーハユニット９をカセット３０から加工装置２へ搬出させる（Ｓ３０）。
【００８３】
その後、加工装置２の内部において、ウェーハ１は加工される（Ｓ３０）。図６（Ｃ）は、ドア部２８を開位置に移動させた後、搬送及び加工作業を行う段階Ｓ３０を示す図である。なお、図６（Ｃ）に示すカセット載置機構１０の状態は、図４に示すカセット載置機構１０の状態に対応する。
【００８４】
ウェーハユニット９の加工が終了し、全てのウェーハユニット９がカセット３０へ搬入されると、Ｓ３０が終了する。Ｓ３０の後、制御部８は、移動ユニットの動きを制御して、ドア部２８を開位置から閉位置に移動させる（Ｓ４０）。図６（Ｄ）は、ドア部２８を閉位置に移動させる段階Ｓ４０を示す図である。
【００８５】
段階Ｓ４０の後、制御部８は、ドア部２８が開位置から閉位置に移動させられていることを条件として、昇降機構１８の動きを制御してカバー部１６を退避位置に下降させる（Ｓ５０）。これにより、作業者は、載置台１４にアクセスできるようになる。例えば、作業者は、加工済のウェーハユニット９が収容されたカセット３０を載置台１４から搬出する。
【００８６】
図６（Ｅ）は、カバー部１６を退避位置へ下降させる段階（Ｓ５０）を示す図である。なお、図６（Ｅ）に示すカセット載置機構１０の状態は、図５に示すカセット載置機構１０の状態に対応する。
【００８７】
Ｓ５０の後、作業者は、未加工のウェーハ１が収容された新たなカセット３０を載置台１４へ載置してよい。作業者は、Ｓ５０の後、再びＳ１０に戻って、Ｓ２０、Ｓ３０及びＳ４０の各段階をこの順で繰り返してよい。
【００８８】
次に、第２実施形態について説明する。第２実施形態のカセット載置機構１０は、基台部１２の正面側の載置台１４よりも下方に開口部１２ａを有し、この開口部１２ａにおいてペダル（フットスイッチ部）１２ｂが外部に露出する態様で設けられている。例えば、ペダル１２ｂの少なくとも一部は、開口部１２ａから突出する態様で設けられている。図７は、第２実施形態に係る加工装置２及びカセット載置機構１０の斜視図である。
【００８９】
作業者は、手でモニター４に触れることにより昇降機構１８を動作させることに加えて、又は、これに代えて、ペダル１２ｂを足で踏むことにより制御部８を介して昇降機構１８を動作させ、カバー部１６を保護位置と退避位置との間で昇降させることができる。
【００９０】
例えば、図６（Ａ）に示す様に、載置台１４上にカセット３０が存在する（即ち、制御部８が上述の情報ａを受信している）場合、作業者がペダル１２ｂを踏むと、制御部８は、昇降機構１８の動きを制御してカバー部１６を保護位置に上昇させる。これに対して、載置台１４上にカセット３０が存在しない場合、作業者がペダル１２ｂを踏んでも、制御部８は、カバー部１６を移動させない。
【００９１】
なお、ウェーハユニット９の搬送やウェーハ１の加工作業前であれば、カバー部１６を保護位置に上昇させた後に作業者がもう一度ペダル１２ｂを踏むと、制御部８は、カバー部１６を退避位置に下降させてもよい。
【００９２】
また、例えば、図６（Ｅ）に示す様に、搬送及び加工作業の終了後、作業者がペダル１２ｂを踏むと、制御部８は、昇降機構１８の動きを制御してカバー部１６を退避位置に下降させる。これに対して、搬送及び加工作業中である場合、作業者がペダル１２ｂを踏んでも、制御部８は、カバー部１６を移動させない。これにより、誤ったペダル１２ｂの操作により搬送や加工が中断されることを防ぐことができる。
【００９３】
このように、作業者は、ペダル１２ｂを足で踏むだけでカバー部１６を上昇又は下降させることができる。作業者がカセット載置機構１０の正面側に立っており、モニター４まで手が届かない場合や、作業者の手がふさがっている場合に、作業者は、足を用いてカバー部１６を昇降させることができるので、作業効率が向上する。
【００９４】
次に、第３実施形態について説明する。第３実施形態のカセット載置機構１０は、ペダル１２ｂに代えて、発光素子４０及び受光素子４２を有するフットスイッチ部を備える。係る点において、第２実施形態と異なる。図８は、第３実施形態に係るフットスイッチ部の斜視図である。
【００９５】
発光素子４０及び受光素子４２は、開口部１２ａよりも基台部１２の内側に配置されている。受光素子４２は、基台部１２の一側面の内側に配置されている。これに対して、発光素子４０は、受光素子４２から対向する様に、基台部１２の内部に配置されている。発光素子４０の発光面と受光素子４２の受光面とは、開口部１２ａから基台部１２の内側へ続く空間を挟むように、開口部１２ａの横幅の長さよりも離れて配置されている。
【００９６】
発光素子４０の発光面には、レンズ等の光学系（不図示）が設けられており、発光素子４０は、この光学系を通じて赤外線や近赤外線の光Ｌを受光素子４２の受光面に向けて照射する。これにより、開口部１２ａよりも基台部１２の内側には、光Ｌから成る検出ラインが形成される。
【００９７】
例えば、作業者が足を開口部１２ａに入れることにより、光Ｌは一時的に遮られる。この場合に、受光素子４２は、制御部８に昇降機構１８を動作させる所定の信号を送る。制御部８は、この所定の信号に基づいて昇降機構１８を動作させ、カバー部１６を保護位置と退避位置との間で昇降させる。
【００９８】
第３実施形態においても、作業者は、手でモニター４に触れることにより昇降機構１８を動作させることに加えて、又は、これに代えて、足で光Ｌを遮ることにより昇降機構１８を動作させ、カバー部１６を保護位置と退避位置との間で昇降させることができる。
【００９９】
それゆえ、作業者は、開口部１２ａに足を入れるだけでカバー部１６を上昇又は下降させることができる。作業者がカセット載置機構１０の正面側に立っており、モニター４まで手が届かない場合や、作業者の手がふさがっている場合に、作業者は、足を用いてカバー部１６を昇降させることができるので、作業効率が向上する。
【０１００】
なお、図８に示す発光素子４０及び受光素子４２は、いわゆる透過検出方式のセンサー部を構成しているが、いわゆる反射検出方式のセンサー部を構成してもよい。例えば、発光素子４０の発光面と受光素子４２の受光面とは、基台部１２の一側面の内側に対向する様に、基台部１２の内部に並んで配置される。
【０１０１】
この場合、発光素子４０及び受光素子４２と基台部１２の一側面の内側とにより、開口部１２ａから基台部１２の内側へ続く空間が挟まれる。発光素子４０は、レンズ等の光学系（不図示）を通じて光Ｌを基台部１２の一側面の内側に発光し、受光素子４２は、基台部１２の一側面の内側からの反射光を受光する。つまり、基台部１２の一側面の内側は、リフレクタとして機能する。
【０１０２】
作業者が足を開口部１２ａに入れることにより、光Ｌ及びその反射光は遮られるので、受光素子４２の受光光量は変化する。受光素子４２は、受光光量が所定量以上変化した場合に、制御部８に昇降機構１８を動作させる所定の信号を送る。制御部８は、この所定の信号に基づいて昇降機構１８を動作させ、カバー部１６を保護位置と退避位置との間で昇降させる。
【０１０３】
なお、光Ｌは、加工装置２がカセット運搬装置等の自動搬送装置（ＡＧＶ：Automatic  Guided  Vehicle）を認識するための認識センサーとして利用されてもよい。例えば、床面上を移動する自動搬送装置（不図示）は、その移動方向の前方において水平方向に突出する突起部を有している。
【０１０４】
この場合、自動搬送装置がカセット載置機構１０の正面に来て、この突起部が開口部１２ａに入り、光Ｌが突起部によって遮られると、加工装置２は、自動搬送装置がカセット載置機構１０の正面にやってきたことを認識できる。その後、自動搬送装置からカセット３０が載置台１４上へ載置され（段階Ｓ１０）、次いで上述の段階Ｓ２０から段階Ｓ５０が順次行われる。
【０１０５】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。本実施形態の昇降機構１８は、いわゆるマグネット式のロッドレスシリンダ２２ａ、２２ｂであるが、ロッドレスシリンダ２２ａ、２２ｂは、スリット式等の他の構造であってもよい。
【０１０６】
また、例えば、上述のカバー部１６は、第１側面部１６ａ、第２側面部１６ｂ及び正面部１６ｃの三面で構成されているが、カバー部１６の昇降動作を阻害しない限り、カバー部１６の上部や正面部１６ｃとは反対側に位置する背面部等の一部にはカバー部材が設けられてもよい。
【符号の説明】
【０１０７】
１  ウェーハ（被加工物）
２  加工装置
２ａ  正面
３  テープ
４  モニター
５  環状フレーム
６  搬送アーム
８  制御部
９  ウェーハユニット
１０  カセット載置機構
１２  基台部
１２ａ  開口部
１２ｂ  ペダル（フットスイッチ部）
１４  載置台
１６  カバー部
１６ａ  第１側面部
１６ｂ  第２側面部
１６ｃ  正面部
１６ｄ  上端部
１８  昇降機構
２０  ブラケット
２０ａ  第１直線部
２０ｂ  第２直線部
２０ｃ  第３直線部
２０ｄ  第１角部
２０ｅ  第２角部
２２ａ、２２ｂ  ロッドレスシリンダ
２４ａ、２４ｂ  ボディ部
２４ｃ、２４ｄ  シリンダチューブ
２４ｅ、２４ｆ  基部
２４ｇ、２４ｈ  スライダ
２４ｉ、２４ｊ  ガイドレール
２６  フレーム部
２６ａ  正面
２６ｂ  背面
２６ｃ  開口部
２６ｄ  キャスター
２８  ドア部
３０  カセット
３２ａ  第１側面部
３２ｂ  第２側面部
３２ｃ  接続部
３２ｄ  把手
３２ｅ  棚板
３２ｆ  係止部側
３２ｇ  搬出入部側
Ａ  領域
４０  発光素子
４２  受光素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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