(57)【要約】【課題】  無機粒子を含んだスラリーを、適正かつ容易に観察し、評価することができる流路部品を提供する。【解決手段】  １つまたは複数の部材（本体部材１、蓋部材２）によって構成され、流入口５と、流出口６と、流入口５と流出口６とを繋ぐ流路１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃと、を備え、流路は、途中において、複数の流路１０Ｂに分岐され、少なくとも１つの部材の少なくとも一部分が透明であり、外部から流路１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃの内部を観察することができるものとする。【選択図】  図１
2020126009.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つまたは複数の部材によって構成された、無機粒子を含んだスラリーを観察するための流路部品であって、
流入口と、
流出口と、
前記流入口と前記流出口とを繋ぐ流路と、を備え、
前記流路は、途中において、複数の流路に分岐され、
少なくとも１つの前記部材の少なくとも一部分が透明であり、外部から前記流路の内部を観察することができる流路部品。  
【請求項２】
前記分岐された複数の流路が、再び１つの前記流路に合流された、請求項１に記載された流路部品。
【請求項３】
前記分岐された流路の断面形状として、複数の種類が設けられた、請求項１または２に記載された流路部品。
【請求項４】
前記分岐された流路の断面積として、複数の大きさが設けられた、請求項１ないし３のいずれか１項に記載された流路部品。
【請求項５】
前記流入口と前記流出口とを繋ぐ前記流路の複数個所において、前記流路が分岐された、請求項１ないし４のいずれか１項に記載された流路部品。
【請求項６】
前記複数個所において分岐された流路において、前記流入口に近い側の前記分岐された流路の断面積ほど、前記流出口に近い側の前記分岐された流路の断面積よりも大きい、請求項５に記載された流路部品。
【請求項７】
前記流路の内部に柱状体および／または壁状体を形成することによって、前記分岐された流路が形成された、請求項１ないし６のいずれか１項に記載された流路部品。
【請求項８】
複数の前記柱状体および／または前記壁状体がジグザグ状に形成された、請求項７に記載された流路部品。
【請求項９】
無機粒子を含んだスラリーを観察するためのスラリー観察装置であって、
請求項１ないし８のいずれか１項に記載された流路部品と、
前記流路部品にスラリーを供給するスラリー供給部と、
前記流路部品からスラリーを回収するスラリー回収部と、を備え、
前記スラリー供給部が、前記流路部品の前記流入口に接続され、
前記スラリー回収部が、前記流路部品の前記流出部に接続された、スラリー観察装置。
【請求項１０】
前記流路部品からスラリーを吸引する吸引手段を更に備えた、請求項９に記載されたスラリー観察装置。
【請求項１１】
前記部材の前記透明な部分から前記流路の内部を撮像する撮像装置を更に備えた、請求項９または１０に記載されたスラリー観察装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無機粒子を含んだスラリーを観察するための流路部品に関する。また、本発明は、本発明の流路部品を使用した、無機粒子を含んだスラリーを観察するためのスラリー観察装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、電子部品を作製する材料として、無機粒子を含んだスラリーを使用する場合がある。たとえば、積層セラミックコンデンサを作製する場合には、溶剤、セラミックからなる無機粒子、バインダー、分散剤などの添加物を混合してスラリーを作製し、作製されたスラリーをキャリアフィルム上にシート状に塗布し、乾燥させて、セラミックグリーンシートを作製する。そして、作製されたセラミックグリーンシートを使用して、積層セラミックコンデンサを作製する。
【０００３】
セラミック製品（電子部品など）の製造プロセスにおいては、スラリーの分散・凝集状態が、セラミックの品質の良否に大きく影響する。たとえば、積層セラミックコンデンサは、今日では１層のセラミック層の厚みが１μｍ以下になっており、数十ｎｍの粒子を精度よく並べることが必要になっている。そして、そのためには、無機粒子が均質に分散した品質の高いスラリーを使用することが必要になる。
【０００４】
そこで、無機粒子を含んだスラリーの分散性を正しく評価することが重要になる。スラリーの分散性を評価する１つの方法として、スラリーを定圧ろ過させ、その液量の経時変化から、スラリーの分散・凝集状態を評価する「定圧ろ過法」と呼ばれる手法が開発されている。より具体的には、スラリーを定圧ろ過させ、その液量の経時変化から、コゼニー・カルマンの式を使って、スラリーの分散・凝集状態を評価することができる。
【０００５】
しかしながら、定圧ろ過法では、スラリーの分散・凝集状態を評価することはできるが、実際のスラリーには、セラミックの無機粒子だけではなく、バインダーや、分散材などの添加物も添加され、これらが複雑に絡み合っているため、何がどのように凝集しているのかが分からない。そこで、スラリーを直接可視的に評価することが必要になってくる。
【０００６】
特許文献１（特開２０１１-１６４０２１号公報）に、無機粒子を含んだスラリーの観察装置（流体観察装置）が開示されている。特許文献１に開示されたスラリー観察装置は、透明なアクリルなどで作製された断面が矩形の流路を備えた透過セルを備えている。特許文献１に開示されたスラリー観察装置は、透過セルの流路にスラリーを流し、透過セルの外部からビデオカメラやカメラなどの撮像装置によってスラリーを撮像し、無機粒子の移動距離や移動方向など、無機粒子の挙動を把握する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１１-１６４０２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に開示されたスラリー観察装置は、スラリーに含まれる無機粒子などが、透過セルの流路を詰まることなく流れることを前提にして作製されている。
【０００９】
しかしながら、何がスラリーの分散性を低下させているかの要因を含めて、スラリーの分散・凝集状態を評価するためには、形状や大きさが規格を外れた無機粒子（異常粒子）や、凝集した無機粒子や、凝集したバインダー、凝集した添加物などを、あえて流路内において詰まらせた方が、より正確に評価できる場合がある。
【００１０】
また、異常粒子や、凝集した無機粒子や、凝集したバインダーや、凝集した添加物などが、１つの視野の中において複数個所において詰まった方が、統計学的な解析精度が向上する場合がある。
【００１１】
そこで、本発明は、無機粒子を含んだスラリーを、可視的に観察、評価するのに適した流路部品、スラリー観察装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
課題を解決する手段として、本発明の一実施形態にかかる、無機粒子を含んだスラリーを観察するための流路部品は、１つまたは複数の部材によって構成され、流入口と、流出口と、流入口と流出口とを繋ぐ流路と、を備え、流路は、途中において、複数の流路に分岐され、少なくとも１つの部材の少なくとも一部分が透明であり、外部から流路の内部を観察することができるものとする。
【００１３】
また、課題を解決する手段として、本発明の一実施形態にかかる、無機粒子を含んだスラリーを観察するためのスラリー観察装置は、本発明の流路部品と、流路部品にスラリーを供給するスラリー供給部と、流路部品からスラリーを回収するスラリー回収部と、を備え、スラリー供給部が、流路部品の流入口に接続され、スラリー回収部が、流路部品の流出部に接続されたものとする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の流路部品、スラリー観察装置を使用すれば、無機粒子を含んだスラリーを、適正かつ容易に観察し、評価することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】流路部品１００の斜視図である。
【図２】流路部品１００の分解斜視図である。
【図３】図３（Ａ）は、流路部品１００の平面図である。図３（Ｂ）は、流路部品１００の断面図である。
【図４】流路部品１００の内部におけるスラリーの流れを示した説明図である。
【図５】スラリー観察装置２００の説明図である。
【図６】流路部品３００の分解平面図である。
【図７】流路部品４００の分解平面図である。
【図８】図８（Ａ）は、流路部品５００の分解平面図である。図８（Ｂ）は、流路部品５００の内部におけるスラリーの流れを示した説明図である。
【図９】流路部品６００の分解平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。なお、各実施形態は、本発明の実施の形態を例示的に示したものであり、本発明が実施形態の内容に限定されることはない。また、異なる実施形態に記載された内容を組合せて実施することも可能であり、その場合の実施内容も本発明に含まれる。また、図面は、明細書の理解を助けるためのものであって、模式的に描画されている場合があり、描画された構成要素または構成要素間の寸法の比率が、明細書に記載されたそれらの寸法の比率と一致していない場合がある。また、明細書に記載されている構成要素が、図面において省略されている場合や、個数を省略して描画されている場合などがある。
【００１７】
［第１実施形態］
図１、図２、図３（Ａ）、（Ｂ）、図４に、第１実施形態にかかる流路部品１００を示す。また、図５に、第１実施形態にかかるスラリー観察装置２００を示す。ただし、図１は、流路部品１００の斜視図である。図２は、流路部品１００の分解斜視図である。図３（Ａ）は、流路部品１００の平面図である。図３（Ｂ）は、流路部品１００の断面図であり、図１および図３（Ａ）に一点鎖線の矢印で示したＸ-Ｘ部分を示している。図４は、流路部品１００の内部におけるスラリーの流れを示した説明図である。図５は、スラリー観察装置２００の説明図である。
【００１８】
第１実施形態にかかる流路部品１００は、本体部材１と蓋部材２とを備えている。
【００１９】
本実施形態においては、本体部材１は、４つの辺を備えた矩形状の底面３と、底面３の各辺に沿って形成された４つの壁面４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄとを備えている。壁面４ａ〜４ｄは、均一の高さを備えている。
【００２０】
壁面４ａは、底面３の１つの辺の全域には形成されず、切欠き部分を有し、切欠き部分が流入口５を構成している。壁面４ａは、底面３の１つの辺の全域に形成されている。壁面４ｃは、底面３の１つの辺の全域には形成されず、切欠き部分を有し、切欠き部分が流出口６を構成している。壁面４ｄは、底面３の１つの辺の全域に形成されている。本体部材１は、底面３と壁面４ａ〜４ｄとで囲まれた空間の上側方向が開口している。
【００２１】
底面３に、直方体状の台座７が形成されている。台座７は、壁面４ｂ、４ｄと間隔を空けて、壁面４ｂ、４ｄと平行な方向に延びている。台座７は、一端が壁面４ａに接し、他端が壁面４ｃに接している。台座７の幅および高さは、それぞれ、任意に設定することができる。
【００２２】
台座７の上側主面に、四角柱形状からなる複数の柱状体８が形成されている。複数の柱状体８を形成したことにより、壁面４ａと柱状体８との間と、柱状体８同士の間と、柱状体８と壁面４ｃとの間に、分岐された複数の流路１０Ｂが構成されている。各柱状体８の上側主面の高さは、壁面４ａ〜４ｄの高さと同一に形成されている。
【００２３】
本実施形態においては、台座７を設けているため、流路１０Ｂの深さを任意の大きさに設定することができる。また、台座７の高さを変更することにより、スラリーの流速（あるいは流体抵抗）を調整することができる。ただし、台座７は必須の構成ではなく、台座７を省略し、底面３に直接に柱状体８を形成してもよい。
【００２４】
本体部材１の材質は任意であるが、本実施形態においては、不透明なシリコン単結晶を使用した。ただし、シリコン単結晶に代えて、アルミナ、ジルコニア、鉄、ＳＵＳや、透明なガラス、アクリルなど、他の材質を使用してもよい。
【００２５】
板状で矩形形状の蓋部材２が、本体部材１の上側方向の開口を塞いでいる。具体的には、蓋部材２の下側主面の４つの辺の近傍部分が、接着剤（図示せず）によって、壁面４ａ〜４ｄの上側端面に接着されている。
【００２６】
また、蓋部材２の下側主面が、各柱状体８の上側主面に密着している。本実施形態においては、蓋部材２の下側主面と各柱状体８の上側主面とを、接着剤によって接着した。ただし、接着剤を省略し、蓋部材２の下側主面を各柱状体８の上側主面に対して押さえ付けることによって、蓋部材２の下側主面と各柱状体８の上側主面とを密着させてもよい。
【００２７】
本実施形態においては、蓋部材２を透明なガラスによって作製した。ただし、蓋部材２の材質は任意であり、ガラスに代えて、アクリルなど、他の材質を使用してもよい。また、蓋部材２は、全体が透明である必要はなく、少なくとも一部分が透明であればよい。
【００２８】
流路部品１００は、流入口５と流出口６と間が、流路１０Ａ、分岐された複数の流路１０Ｂ、再び合流された流路１０Ｃによって繋がれている。
【００２９】
本実施形態においては、分岐された複数の流路１０Ｂは、全て同じ断面形状で、同じ断面積の大きさを備えている。ただし、分岐された複数の流路１０Ｂは、断面形状および断面積の大きさの少なくとも一方が異なっていてもよい。
【００３０】
分岐された複数の流路１０Ｂの断面形状や断面積の大きさは、観察するスラリーに応じて適宜設定される。すなわち、たとえば、規格を満たした無機粒子は通過するが、規格を外れた無機粒子は詰まるように、流路１０Ｂの断面形状や断面積の大きさを設定することができる。
【００３１】
なお、観察するスラリーに含まれる無機粒子の粒径が０．０１〜１μｍである場合には、流路１０Ｂの幅はたとえば１〜１０μｍ程度、流路１０Ｂの深さはたとえば１〜１０μｍ程度に設計することが好ましい。
【００３２】
流路部品１００は、既存の加工技術によって作製することができる。たとえば、本実施形態においては、本体部材１がシリコン単結晶であるため、シリコン単結晶の加工技術によって、本体部材１に、底面３、壁面４ａ〜４ｄ、台座７、柱状体８を形成することができる。また、蓋部材２は、一般的なガラス加工技術によって作製することができる。そして、本体部材１に蓋部材２を接着剤によって接着することによって、流路部品１００は完成する。
【００３３】
第１実施形態にかかるスラリー観察装置２００は、図５に示すように、上述した流路部品１００と、スラリー供給部２１と、ポンプ２２と、スラリー回収部２３とを備えている。
【００３４】
スラリー供給部２１は、観察に供する無機粒子を含んだスラリーを蓄えておくための槽である。スラリー供給部２１は、流路部品１００の流入口５に接続されている。
【００３５】
ポンプ２２は、流路部品１００から、観察を終えたスラリーを吸引するための吸引手段である。ポンプ２２は、流路部品１００の流出口６に接続されている。
【００３６】
スラリー回収部２３は、観察を終えたスラリーを蓄えておくための槽である。スラリー回収部２３は、ポンプ２２を介して、流路部品１００の流出口６に接続されている。
【００３７】
ポンプ２２を駆動させると、予めスラリー供給部２１に蓄えられた無機粒子を含んだスラリーが、流路部品１００に吸引される。流路部品１００に吸引されたスラリーは、図４に太い矢印で示すように、流入口５、流路１０Ａ、複数に分岐された流路１０Ｂ、再び合流された流路１０Ｃを経由して、流出口６から流路部品１００の外部に排出される。
【００３８】
流路１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃを流れるスラリーは、透明な蓋部材２を介して目視で観察することができる。あるいは、図５に示すように、撮像装置２４を設け、透明な蓋部材２を介して、流路１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃを流れるスラリーを撮影するようにしてもよい。なお、撮像装置２４で撮影する画像は、静止画であってもよく、動画であってもよい。
【００３９】
本実施形態の流路部品１００、スラリー観察装置２００によれば、流路１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃを流れるスラリーを観察することにより、スラリーの分散・凝集状態を正確に把握することができる。なお、観察は、通常、顕微鏡を使っておこなう。
【００４０】
また、規格を外れた無機粒子（異常粒子）や、凝集した無機粒子や、凝集したバインダーや、凝集した添加物が存在すれば、分岐された流路１０Ｂに詰まるため、スラリーの分散性を低下させている要因が、規格を外れた無機粒子であるのか、凝集した無機粒子であるのか、凝集したバインダーであるのか、凝集した添加物であるのか、あるいはこれらが複合的に凝集したものであるのかを、容易に断定することができる。
【００４１】
また、流路にスラリーを流し始めてから、流路が詰まるまでの時間を測定することによって、スラリーの分散・凝集状態を、定量的に評価することができる。
【００４２】
たとえば、スラリーに、規格を外れた大きな粒径の無機粒子が含まれている場合には、予め実施する無機粒子の粉砕の強度を高めたり、使用する無機粒子を予め選別して粒度分布を狭めたりして、スラリーの品質を改善することができる。あるいは、バインダーが溶剤に十分に溶解せずに凝集している場合には、バインダーを混合させるときの撹拌条件を変更するなどして、スラリーの品質を改善することができる。
【００４３】
本実施形態においては、上述したとおり、本体部材１の材質にシリコン単結晶を使用したが、本体部材１の材質を、観察しようとするスラリーに含まれる無機粒子などの色彩や光の反射率などを考慮して選択することも好ましい。
【００４４】
たとえば、スラリーに含まれる無機粒子がジルコニアなどのように白色である場合は、本実施形態のように、本体部材１の材質に、黒色や銀色のシリコン単結晶を使用することが好ましい。あるいは、スラリーに含まれる無機粒子がフェライトなどのように黒色である場合は、本体部材１の材質に、透明なガラスやアクリルや、白色のアルミナ、金属色の鉄、ＳＵＳなどを使用することが好ましい。
【００４５】
また、スラリーに含まれる無機粒子と本体部材１とは、反射率の差の絶対値が１０％以上であることが好ましい。
【００４６】
また、上述したとおり、流路１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃの断面形状や断面積の大きさは、観察するスラリーに含まれる無機粒子に応じて適宜設定することができる。たとえば、流路の断面形状が真円や正方形である場合には、流路の断面積が、無機粒子の断面積の５〜１０００倍程度であれば、スラリーの分散・凝集状態を良好に観察することができる。また、流路の断面形状が楕円や長方形である場合には、流路の短い側の直径や短い側の辺の長さが、無機粒子の直径の２〜１００倍程度であれば、スラリーの分散・凝集状態を良好に観察することができる。
【００４７】
［第２実施形態］
図６に、第２実施形態にかかる流路部品３００を示す。ただし、図６は、蓋部材２を取り除いて示した流路部品３００の分解平面図である。
【００４８】
第２実施形態にかかる流路部品３００は、第１実施形態にかかる流路部品１００の構成の一部に変更を加えた。具体的には、流路部品１００では、台座７の上側主面に、８個の柱状体８を１列に形成し、分岐された９つの流路１０Ｂを構成していた。流路部品３００では、これに変更を加え、台座７の上側主面に、５個の柱状体３８ａと、７個の柱状体３８ｂと、１１個の柱状体３８ｃとを３列に分けて形成した。そして、柱状体３８ａによって６つに分岐された流路３０Ｂを構成し、柱状体３８ｂによって８つに分岐された流路３０Ｄを構成し、柱状体３８ｃによって１２に分岐された流路３０Ｆを構成した。
【００４９】
この結果、流路部品３００は、流入口５と流出口６と間が、流路３０Ａ、６つに分岐された流路３０Ｂ、再び合流された流路３０Ｃ、８つに分岐された流路３０Ｄ、再び合流された流路３０Ｅ、１２に分岐された流路３０Ｆ、再び合流された流路３０Ｇによって繋がれている。流路部品３００の他の構成は、流路部品１００と同じにした。
【００５０】
流路部品３００においては、流路３０Ｂと流路３０Ｄと流路３０Ｆの断面形状および断面積の大きさが相互に異なっている。なお、流路３０Ｂと流路３０Ｄと流路３０Ｆの断面積は、流入口５に近いほど、流出口６に近いものより、大きくなっている。
【００５１】
本実施形態にかかる流路部品３００においては、規格を外れた無機粒子や、凝集した無機粒子や、凝集したバインダー、凝集した添加物などを、その大きさに応じて異なる流路（流路３０Ｂ、流路３０Ｄ、流路３０Ｆ）で捕捉する（詰まらせる）ことができるため、スラリーをより正確に観察し、評価することができる。
【００５２】
［第３実施形態］
図７に、第３実施形態にかかる流路部品４００を示す。ただし、図７は、蓋部材２を取り除いて示した流路部品４００の分解平面図である。
【００５３】
第３実施形態にかかる流路部品４００も、第１実施形態にかかる流路部品１００の構成の一部に変更を加えた。具体的には、流路部品１００では、台座７の上側主面に、８個の柱状体８を１列に形成し、分岐された９つの流路１０Ｂを構成していた。流路部品３００では、これに変更を加え、台座７の上側主面に、６個の壁状体４８ａ、４８ｂ、４８ｃ、４８ｄ、４８ｅ、４８ｆを形成した。そして、壁面４ｃと壁状体４８ａとの間に流路４０Ｂを構成し、壁状体４８ａと壁状体４８ｂとの間に流路４０Ｃを構成し、壁状体４８ｂと壁状体４８ｃとの間に流路４０Ｄを構成し、壁状体４８ｃと壁状体４８ｄとの間に流路４０Ｅを構成し、壁状体４８ｄと壁状体４８ｅとの間に流路４０Ｆを構成し、壁状体４８ｅと壁状体４８ｆとの間に流路４０Ｇを構成し、壁状体４８ｆと壁面４ａとの間に流路４０Ｈを構成した。
【００５４】
流路部品４００においては、８つの流路４０Ｂ〜４０Ｈは、相互に幅の大きさが異なっている。その結果、８つの流路４０Ｂ〜４０Ｈは、相互に、断面形状および断面積の大きさも異なっている。より具体的には、流路４０Ｂの幅（および断面積）が最も小さく、流路４０Ｃ、４０Ｄ、４０Ｅ、４０Ｆ、４０Ｇ、４０Ｈの順に、段階的に幅（および断面積）が大きくなっている。流路部品４００の他の構成は、流路部品１００と同じにした。
【００５５】
流路部品４００においては、流入口５と流出口６と間が、流路４０Ａ、８つに分岐された流路４０Ｂ〜４０Ｈ、再び合流された流路４０Ｉによって繋がれている。
【００５６】
本実施形態にかかる流路部品４００においても、規格を外れた無機粒子や、凝集した無機粒子や、凝集したバインダー、凝集した添加物などを、その大きさに応じて異なる流路（流路４０Ｂ〜４０Ｈ）で捕捉する（詰まらせる）ことができるため、スラリーをより正確に観察し、評価することができる。
【００５７】
［第４実施形態］
図８（Ａ）、（Ｂ）に、第４実施形態にかかる流路部品５００を示す。ただし、図８（Ａ）は、蓋部材２を取り除いて示した流路部品５００の分解平面図である。図８（Ｂ）は、流路部品５００の内部におけるスラリーの流れを示した説明図である。
【００５８】
第４実施形態にかかる流路部品５００も、第１実施形態にかかる流路部品１００の構成の一部に変更を加えた。具体的には、流路部品１００では、台座７の上側主面に、８個の柱状体８を１列に形成し、分岐された９つの流路１０Ｂを構成していた。流路部品５００では、これに変更を加え、台座７の上側主面に、複数の柱状体５８ａと複数の壁状体５８ｂとを、図８（Ａ）にＹ１とＹ２とを結ぶ一点鎖線で示すように、ジグザグ状に形成した。複数の柱状体５８ａと複数の壁状体５８ｂとによって、流路５０Ｂが構成されている。
【００５９】
図８（Ｂ）に、流路部品５００の内部におけるスラリーの流れを太い矢印で示す。流路部品５００においては、流入口５と流出口６と間が、流路５０Ａ、複雑に分岐された流路５０Ｂ、再び合流された流路５０Ｃによって繋がれている。
【００６０】
本実施形態にかかる流路部品５００においては、規格を外れた無機粒子や、凝集した無機粒子や、凝集したバインダー、凝集した添加物などを、１つの視野における複数個所（流路５０Ｂの複数個所）において捕捉する（詰まらせる）ことができるため、統計学的な解析精度を向上させることができる。
【００６１】
［第５実施形態］
図９に、第５実施形態にかかる流路部品６００を示す。ただし、図９は、蓋部材２を取り除いて示した流路部品６００の分解平面図である。
【００６２】
第５実施形態にかかる流路部品６００は、４個の第１実施形態にかかる流路部品１００を複合化させたものである。
【００６３】
流路部品６００は、流入口６５と流出口６６とを備えている。流入口６５が、流路６０Ａを経由して、４個の流路部品１００の流入口５に接続されている。また、４個の流路部品１００の流出口６が、流路６０Ｂを経由して、流出口６６に接続されている。
【００６４】
図９に、流路部品６００の内部におけるスラリーの流れを太い矢印で示す。流路部品６００においては、流入口６５と流出口６６と間が、流路６０Ａ、４つの流路部品１００、再び合流された流路６０Ｂによって繋がれている。
【００６５】
本実施形態にかかる流路部品６００においては、規格を外れた無機粒子や、凝集した無機粒子や、凝集したバインダー、凝集した添加物などを、多数の個所（流路部品１００の内部の多数の流路１０Ｂ）において捕捉する（詰まらせる）ことができるため、スラリーの状態をより正確に把握することができる。
【００６６】
以上、第１実施形態〜第５実施形態にかかる流路部品１００、３００、４００、５００、６００と、第１実施形態にかかるスラリー観察装置２００とについて説明した。しかしながら、本発明が上述した内容に限定されることはなく、発明の趣旨に沿って種々の変更をなすことができる。
【００６７】
たとえば、流路部品１００等では、蓋部材２が透明であり、本体部材１が不透明であったが、蓋部材２に加えて、本体部材１を透明にしてもよい。この場合には、本体部材１側からも、流路を流れるスラリーを観察することができる。また、流路部品１００等では、柱状体８等が四角柱形状であったが、柱状体８等の形状は任意であり、四角柱形状に代えて、円柱形状や、四角柱以外の多角形柱形状にしてもよい。また、流路部品１００等は、本体部材１と蓋部材２との２つの部材で構成していたが、全体を１つの部材で構成してもよい。
【００６８】
また、スラリー観察装置２００では、流路部品１００とスラリー回収部２３との間にポンプ２２を挿入していたが、これに代えて、スラリー供給部２１と流路部品１００との間にポンプ２２を挿入してもよい。ただし、流路部品１００において、本体部材１と蓋部材２との接着が剥がれないようにするためには、流路部品１００とスラリー回収部２３との間にポンプ２２を挿入し、流路部品１００の流出口６側からスラリーを吸引することが好ましい。
【００６９】
本発明の一実施態様にかかる流路部品は、「課題を解決するための手段」の欄に記載したとおりである。
【００７０】
この流路部品において、分岐された複数の流路が、再び１つの流路に合流されるようにしてもよい。
【００７１】
また、分岐された流路の断面形状として、複数の種類が設けられることも好ましい。この場合には、各流路において、異なる大きさの凝集した無機粒子、バインダー、添加物などを捕捉する（詰まらせる）ことができる。
【００７２】
また、分岐された流路の断面積として、複数の大きさが設けられることも好ましい。この場合にも、各流路において、異なる大きさの凝集した無機粒子、バインダー、添加物などを捕捉することができる。
【００７３】
また、流入口と流出口とを繋ぐ流路の複数個所において、流路が分岐されることも好ましい。この場合には、多くの箇所（流路）において、凝集した無機粒子、バインダー、添加物などを捕捉することができる。また、この場合において、流入口に近い側の分岐された流路の断面積ほど、流出口に近い側の分岐された流路の断面積よりも大きくすることも好ましい。この場合には、凝集した無機粒子、バインダー、添加物などを、その大きさに応じて異なる流路で捕捉することができる。
【００７４】
また、流路の内部に柱状体および／または壁状体を形成することによって、分岐された流路を形成することができる。この場合において、複数の柱状体および／または壁状体をジグザグ状に形成することも好ましい。この場合には、一定の面積当たりにおいて、より多くの箇所（流路）において、凝集した無機粒子、バインダー、添加物などを捕捉することができる。
【００７５】
また、本発明の一実施態様にかかるスラリー観察装置は、「課題を解決するための手段」の欄に記載したとおりである。
【００７６】
このスラリー観察装置において、流路部品からスラリーを吸引する吸引手段（ポンプなど）を更に備えるようにしてもよい。
【００７７】
また、部材の透明な部分から流路の内部を撮像する撮像装置を更に備えることも好ましい。この場合には、撮影された静止画や動画から、流路を流れるスラリーの状態を、より正確に観察し、評価することができる。
【符号の説明】
【００７８】
１・・・本体部材
３・・・底面
４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ・・・壁面
５・・・流入口
６・・・流出口
７・・・台座
８、３８ａ〜３８ｃ、４８ａ〜４８ｆ、５８ａ・・・柱状体
４８ａ〜４８ｆ、５８ｂ・・・壁状体
２・・・蓋部材
１０Ａ〜１０Ｃ、３０Ａ〜３０Ｇ、４０Ａ〜４０Ｉ、５０Ａ〜５０Ｃ、６０Ａ、６０Ｂ・・・流路
２１・・・スラリー供給部
２２・・・ポンプ
２３・・・スラリー回収部
２４・・・撮像装置
６５・・・流入口
６６・・・流出口
１００、３００、４００、５００、６００・・・流路部品
２００・・・スラリー観察装置
【図１】
2020126009.tif 000003
【図２】
2020126009.tif 000004
【図３】
2020126009.tif 000005
【図４】
2020126009.tif 000006
【図５】
2020126009.tif 000007
【図６】
2020126009.tif 000008
【図７】
2020126009.tif 000009
【図８】
2020126009.tif 000010
【図９】
2020126009.tif 000011