(57)【要約】【課題】高い導電性を有するカーボンナノチューブ撚糸電線を提供する。【解決手段】ラマンスペクトルにおけるＧバンド及びＤバンドのピーク比（Ｇ／Ｄ）が８以上であり、かつ、表面に電子吸引性基が付与されている、カーボンナノチューブ撚糸電線である。さらに、表面にドーパントを含むことが好ましい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ラマンスペクトルにおけるＧバンド及びＤバンドのピーク比（Ｇ／Ｄ）が８以上であり、かつ、表面に電子吸引性基が付与されているカーボンナノチューブ撚糸が絶縁性樹脂で被覆されている、カーボンナノチューブ撚糸電線。
【請求項２】
さらに、表面にドーパントを含む、請求項１に記載のカーボンナノチューブ撚糸電線。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カーボンナノチューブ撚糸電線に関する。詳細には、本発明は、乾式紡糸法で製造するカーボンナノチューブ撚糸電線に関する。
【背景技術】
【０００２】
カーボンナノチューブ（以下、「ＣＮＴ」とも呼ぶ。）は、軽量で導電性を有することから、軽量な導電材料としての利用が期待されている。中でも、紡績したＣＮＴを撚って得られるカーボンナノチューブ撚糸（ＣＮＴ撚糸）は、導電線としての活用が期待されている。
【０００３】
ＣＮＴ撚糸を用いた導電線として、例えば、特許文献１には、複数のＣＮＴと、ＣＮＴを構成する炭素のうちの少なくとも一部をホウ素で置換したホウ素窒素含有微細繊維の繊維状集合体から成る導線とその製造方法が提案されている。また、特許文献２には、ＣＮＴアレイから引き出したＣＮＴフイルムをねじって、ねじれ状ＣＮＴワイヤを製造する方法が提案されている。さらに、特許文献３には、基板上に化学気相成長させたＣＮＴ集合体を作製し、このＣＮＴ集合体を用いてＣＮＴ撚糸を得る方法が提案されている。
【０００４】
しかしながら、特許文献１〜３に記載のＣＮＴ撚糸等は、導電性の向上を目的としたものではない。従って、それらの導電性はＣＮＴ本来の導電性の域を出るものではない。
【０００５】
一方、ＣＮＴ撚糸は、湿式紡糸法や乾式紡糸法等の手法で製造される。湿式紡糸法は、様々な工程で大量の薬品が必要なため高コストな紡糸法である。これに対して、乾式紡糸法はＣＮＴ基板から直接紡糸するため、簡便で且つ低コストの紡糸法である。しかし、乾式紡糸法によって製造されたＣＮＴ撚糸は、高い導電性を得ることは困難である。そこで、乾式紡糸法で得られるＣＮＴ撚糸において導電性を向上させる試みがなされている。
【０００６】
特許文献４には、多数のＣＮＴが径方向に圧縮されて間隙を形成することなく高密度に寄せ集まった状態とするＣＮＴ繊維が記載されている。この構成により機械特性とともに導電性の向上をも図っている。
【０００７】
また、特許文献５には、複数枚のＣＮＴシートを重ね合わせることによって、ＣＮＴバンドルの向き、太さ、隙間等にムラを均一化し、さらに１本の束状にした（集束させた）後、撚り掛け及び引き伸ばしを行って得られるＣＮＴ撚糸が記載されている。このＣＮＴ撚糸は、ＣＮＴバンドルの直線性及び平行度を向上することによって導電性および力学特性の向上を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許第４５７７３８５号公報
【特許文献２】特開２０１１−２６１９２号公報
【特許文献３】特開２０１１−２０７６４６号公報
【特許文献４】特開２０１４−１６９５２１号公報
【特許文献５】特許第５６９９３８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献４及び５に記載のＣＮＴ撚糸はある程度の導電性の向上は見込めるものの十分ではない。
【００１０】
本発明は、このような従来技術が有する課題に鑑みてなされたものである。そして本発明の目的は、高い導電性を有するカーボンナノチューブ撚糸電線、及び高い導電性を有するカーボンナノチューブ撚糸電線を乾式紡糸法により製造可能な製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の第１の態様に係るカーボンナノチューブ撚糸電線の製造方法は、乾式紡糸法によりカーボンナノチューブ撚糸を得る工程と、カーボンナノチューブ撚糸に対して黒鉛化処理を施す工程と、黒鉛化処理を施したカーボンナノチューブ撚糸に酸素含有基官能基を付与する工程と、酸素含有官能基を付与したカーボンナノチューブ撚糸に、酸素含有官能基よりも電子吸引性が強い電子吸引性基を付与する工程と、を含む。
【００１２】
本発明の第２の態様に係るカーボンナノチューブ撚糸電線の製造方法は、第１の態様のカーボンナノチューブ撚糸電線の製造方法に関し、さらに、電子吸引性基を付与した前記カーボンナノチューブ撚糸に対して、１又は複数のドーパントをドーピングする工程を含む。
【００１３】
本発明の第３の態様に係るカーボンナノチューブ撚糸電線の製造方法は、第１の態様のカーボンナノチューブ撚糸電線の製造方法に関し、ドーパントが、ハロゲン元素、ハロゲン化合物、アルカリ金属、２族元素、酸、及び電子受容性有機化合物からなる群より選択される少なくとも１種である。
【００１４】
本発明の第１の態様に係るカーボンナノチューブ撚糸電線は、ラマンスペクトルにおけるＧバンド及びＤバンドのピーク比（Ｇ／Ｄ）が８以上であり、かつ、表面に電子吸引性基が付与されているカーボンナノチューブ撚糸が絶縁性樹脂で被覆されている。
【００１５】
本発明の第２の態様に係るカーボンナノチューブ撚糸電線は、第１の態様のカーボンナノチューブ撚糸電線に関し、さらに、表面にドーパントを含む。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、高い導電性を有するカーボンナノチューブ撚糸電線、及び高い導電性を有するカーボンナノチューブ撚糸電線を乾式紡糸法により製造可能な製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】乾式紡糸法によりカーボンナノチューブ撚糸を紡糸する様子を示す模式図である。
【図２】カーボンナノチューブの黒鉛化処理前後におけるラマンスペクトルを示す図である。
【図３】四端子法によるＣＮＴ撚糸の抵抗値の測定について説明するための図である。
【図４】ＣＮＴ撚糸を複数本撚り合わせ、絶縁性樹脂で被覆したＣＮＴ撚糸電線の一例を模式的に示す断面図である。
【図５】ドーピング処理したカーボンナノチューブ撚糸を示す電子顕微鏡写真である。
【図６】カーボンナノチューブ撚糸表面の一部の組成をＥＤＳ分析した元素マッピングを示す電子顕微鏡写真である。
【図７】カーボンナノチューブ撚糸にドーパントとして付着しているヨウ素のラマンスペクトルを示す図である。
【図８】ラマンスペクトルのＧピークに対するＩ５−のピーク強度比と導電率との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を用いて本発明の実施形態に係るカーボンナノチューブ撚糸電線及びその製造方法について詳細に説明する。なお、図面の寸法比率は説明の都合上誇張されており、実際の比率と異なる場合がある。
【００１９】
＜ＣＮＴ撚糸電線の製造方法＞
本実施形態のＣＮＴ撚糸電線の製造方法は、乾式紡糸法によりＣＮＴ撚糸を得る工程（以下、「工程Ａ」とも呼ぶ。）と、ＣＮＴ撚糸に対して黒鉛化処理を施す工程（以下、「工程Ｂ」とも呼ぶ。）と、黒鉛化処理を施したＣＮＴ撚糸に酸素含有基官能基を付与する工程（以下、「工程Ｃ」とも呼ぶ。）と、酸素含有官能基を付与したカーボンナノチューブ撚糸に、前記酸素含有官能基よりも電子吸引性が強い電子吸引性基を付与する工程（以下、「工程Ｄ」とも呼ぶ。）と、を含む。以下に各工程について説明する。
【００２０】
［工程Ａ］
工程Ａは、乾式紡糸法によりＣＮＴ撚糸を得る工程である。本工程においては、配向成長したＣＮＴフォレストから、ＣＮＴを連続的に引き出す乾式紡糸法であればどのような方法でもよい。
【００２１】
本工程の一例について図１を参照して説明する。図１に示す構成においては、ＣＶＤ法により金属基板上に垂直に成長させたＣＮＴフォレスト１２と、チャック２０と、チャック２０をその回転軸に直結したモータ１８とを備える。この構成において、ＣＮＴ撚糸の紡糸に際し、ＣＮＴフォレスト１２の端部より、複数のＣＮＴシート１４をシート状に連続的に引き出し、これをチャック２０に結合させてモータ１８を回転させる。モータ１８の回転によりＣＮＴシート１４が撚られることによりＣＮＴ撚糸１６が得られる。
【００２２】
ＣＮＴとしては、多層カーボンナノチューブ（ＭＷＣＮＴ）以外に、２層カーボンナノチューブ（ＤＷＣＮＴ）や単層カーボンナノチューブ（ＳＷＣＮＴ）を用いてもよい。また、ＣＮＴフォレスト１２としては、嵩密度が１０ｍｇ／ｃｍ３以上、６０ｍｇ／ｃｍ３以下、好ましくは２０ｍｇ／ｃｍ３以上、５０ｍｇ／ｃｍ３以下である。なお、ＣＮＴフォレスト１２の嵩密度は、例えば、単位面積当たりの質量（目付量：単位ｍｇ／ｃｍ２）と、ＣＮＴの平均長さとから算出される。ＣＮＴの平均長さは、１μｍ以上、１０００μｍ以下で、好ましくは１００μｍ以上、５００μｍ以下である。ＣＮＴの平均外径は、１ｎｍ以上、１００ｎｍ以下であり、好ましくは５０ｎｍ以下である。なお、ＣＮＴの平均長さ及び外径は、例えば、電子顕微鏡観察等の公知の方法により測定される。
【００２３】
ＣＮＴ撚糸の撚りピッチは、０．０１〜２．０ｍｍとすることが好ましく、０．０５〜１．０ｍｍとすることがより好ましい。一本のＣＮＴ撚糸の直径は、０．５〜１０００μｍですることが好ましく、１〜５００μｍとすることがより好ましい。
【００２４】
以上の工程Ａにより、長さ１００μｍ以上のＣＮＴが撚り合わされた構造のＣＮＴ撚糸が得られる。
【００２５】
［工程Ｂ］
工程Ｂは、工程Ａで得たＣＮＴ撚糸に対して黒鉛化処理を施す工程である。本工程においては、ＣＮＴ撚糸の結晶度を向上させるため、不活性ガス中で加熱処理を行う。そして、加熱によりＣＮＴ表面の欠陥が修復され、六員環を形成することで結晶度が向上する。
【００２６】
黒鉛化するための加熱温度は、５００〜３５００℃とすることが好ましい。また、加熱時間は加熱温度を考慮して決定されるが、１０分〜５時間とすることが好ましい。また、１５００℃までの昇温速度は、５〜３０℃／分とすることが好ましい。
【００２７】
加熱処理時に不活性ガス雰囲気とするために用いる不活性ガスは、ヘリウムガス、アルゴンガス等の希ガスや窒素が挙げられる。
【００２８】
ＣＮＴ撚糸は、本工程における黒鉛化処理を施すことによりＣＮＴ表面の欠陥が減少し、ラマンスペクトルによる結晶度の指標であるＧバンドとＤバンドとのピーク比（Ｇ／Ｄ比）が８以上となる。図２は、黒鉛化処理前後におけるＣＮＴ撚糸のラマンスペクトルを示しているが、黒鉛化処理前から処理後においてＧ／Ｄ比が８以上に向上していることが分かる。つまり、黒鉛化処理により、結晶度が向上したことを示している。
【００２９】
［工程Ｃ］
本工程は、黒鉛化処理を施したＣＮＴ撚糸に酸素含有基官能基を付与する工程である。本工程においては、ＣＮＴ表面に酸素含有官能基を付与することにより、次の工程Ｄにおいて、当該酸素官能基よりも電子吸引性が強い電子吸引性基の付与を容易にするために設けられる工程である。つまり、後記の工程Ｄにおいて、酸素含有官能基は電子吸引性基に置換される。ここで、酸素含有官能基は、電子吸引性基に含まれるが、本明細書において、工程Ｄの電子吸引性基は、工程Ｃの酸素含有官能基よりも電子吸引性が強い基とする。
【００３０】
ＣＮＴ撚糸に酸素含有官能基を付与する手段としては、過酸化水素、ｍ-クロロ過安息香酸、ジメチルジオキシラン等の酸化剤にＣＮＴ撚糸を浸漬することが挙げられる。これらの酸化剤は、それぞれ単独で用いてもよいし、複数の酸化剤を混合して用いてもよい。
また、酸化剤による処理は、１回に限定する必要はなく、異なる酸化剤を用いて複数回実施してもよい。また、処理に際し、ＣＮＴ撚糸は酸化剤を含む溶液の液面下に保持されていればよい。
【００３１】
ＣＮＴ撚糸の酸化剤等の溶液への浸漬時間は、酸素含有官能基の付与を十分に行うため６〜１２０時間とすることが好ましい。
【００３２】
酸素含有官能基の付与は、酸化剤溶液等への浸漬による処理以外に、プラズマ照射処理、紫外線照射処理等により行ってもよい。
【００３３】
［工程Ｄ］
工程Ｄは、酸素含有官能基を付与したカーボンナノチューブ撚糸に、酸素含有官能基よりも電子吸引性が強い電子吸引性基を付与する工程である。上述の酸素含有官能基も電子吸引性基ではあるが、本工程では、酸素含有官能基よりも電子吸引性が強い電子吸引基を付与する。
【００３４】
ＣＮＴ撚糸に電子吸引基を付与する手段としては、硫酸、硝酸、過マンガン酸、重クロム酸、塩素酸にＣＮＴ撚糸を浸漬することが挙げられ、工程Ｃで使用した酸化剤よりも電子吸引効果を強いものを使用する。例えば、工程Ｃにおいて過酸化水素を用いたのであれば、本工程では硫酸を用いる。
【００３５】
ＣＮＴ撚糸の酸化剤等の溶液への浸漬時間は、電子吸引基の付与を十分に行うため６〜１２０時間とすることが好ましい。
【００３６】
以上、本実施形態のＣＮＴ撚糸電線は工程Ａ〜工程Ｄを含むが、工程Ｂの黒鉛化処理によりＣＮＴ構造の結晶度が向上することと、工程Ｃ及び工程Ｄにより電子吸引基が付与されることとから導電率が向上する。
【００３７】
［工程Ｅ］
本実施形態のＣＮＴ撚糸電線の製造方法においては、さらに、電子吸引性基を付与したＣＮＴ撚糸に対して、１又は複数のドーパントをドーピングする工程Ｅを含むことが好ましい。以下に、工程Ｅについて説明する。
【００３８】
一般に導電率はキャリア移動度とキャリア密度の積に比例する。本実施形態においては、工程Ｂの黒鉛化処理によりＣＮＴ構造の結晶度を向上させることにより、キャリア移動度の向上を図っている。従って、キャリア密度を増大させることができれば、導電率をさらに向上させることができる。そこで、本工程において、ドーピングによりキャリア密度を向上させることにより導電率のさらなる向上を図っている。
【００３９】
ドーパントとしては、ハロゲン元素、ハロゲン化合物、アルカリ金属、２族元素、酸、及び電子受容性有機化合物からなる群より選択される少なくとも１種であることが好ましい。ハロゲン元素は、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられ、ハロゲン化合物は、ＭｏＣｌ３、ＦｅＣｌ３、ＣｕＩ３、ＦｅＢｒ３等が挙げられる。アルカリ金属は、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウムが挙げられ、２属元素としては、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、バリウムが挙げられる。酸としては、硫酸、硝酸や、ＰＦ６、ＡｓＦ５、ＢＢｒ２、Ｓ０３などのルイス酸が挙げられる。電子受容性有機化合物としては、２，３，５，６−テトラフルオロ−７，７，８，８−テトラシアノ−キノジメタン（Ｆ４ＴＣＮＱ）、３，５−ジニトロ安息香酸、テトラキス（ジメチルアミノ）エチレン、テトラチアフルバレン、テトラメチルテトラセレナフルバレン、ｐ−トルエンスルホン酸、等が挙げられる。
【００４０】
ドーピングにより、ドーパントがＣＮＴ撚糸の表面から内部に向けて浸透し、少なくともＣＮＴ撚糸の表面に最も高濃度に付着している。すなわち、ドーパント濃度はＣＮＴ撚糸の横断面内でエッジから中心にかけて勾配を有することとなる。もっとも、ドーパントが付着するエリアは、ＣＮＴ撚糸の表面付近に限定する必要はなく、表面から内部に向けて濃度勾配があってもよいし、表面近傍と内部が均一でもよい。
【００４１】
ドーパントは必ずしも１種類に限定する必要はなく、２以上のドーパントを同時に用いてもよい。
【００４２】
ドーピングは、蒸気暴露法、電気分解法、真空蒸着法、溶液浸漬法、スプレー法等の手法により行うことができる。
【００４３】
本実施形態のＣＮＴ撚糸中の酸素含有官能基、ドーパントの存在位置や含有量は、試料をイオンミリング装置等で加工した後、ＳＥＭやＴＥＭで観察しながら、ＥＤＳ等による元素分析で評価することができる。あるいは、ＣＮＴ撚糸中の酸素含有官能基の含有量は、ＸＰＳでも評価することができるし、ＣＮＴ撚糸中のヨウ素の付着量は、ラマンスペクトル分析でも評価することができる。
【００４４】
以上のＣＮＴ撚糸を絶縁性樹脂で被覆することで、本実施形態のＣＮＴ撚糸電線が得られる。すなわち、ＣＮＴ撚糸を、一本または複数本を撚り合わせ、高分子等の絶縁性樹脂で被覆してＣＮＴ撚糸電線とすることができる。また、ＣＮＴ撚糸電線の直径や抵抗値を調整するため、ＣＮＴ撚糸を複数本撚り合わせたものを一単位とし、それをさらに撚り合わせてもよい。ＣＮＴ撚糸を複数本撚り合わせ、絶縁性樹脂で被覆したＣＮＴ撚糸電線の一例を図４に示す。図４のＣＮＴ撚糸電線においては、７本のＣＮＴ撚糸１６が絶縁樹脂１７に被覆されてなる。
【００４５】
ＣＮＴ撚糸の被覆に用いる絶縁性樹脂としては、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、フッ素樹脂、ポリエステル、ポリウレタン等が挙げられる。
【００４６】
＜ＣＮＴ撚糸電線＞
本実施形態のＣＮＴ撚糸電線は、上述の本実施形態のＣＮＴ電線の製造方法により得られるものであり、ラマンスペクトルにおけるＧバンド及びＤバンドのピーク比（Ｇ／Ｄ）が８以上であり、かつ、表面に電子吸引性基が付与されている。そのため、既述の通り、導電率が高く、例えば、７５０［Ｓ／ｃｍ」以上といった高い導電率となる。なお、本実施形態のＣＮＴ撚糸電線の表面に付与されている電子吸引性基としては、例えば、既述の酸化剤を由来とする電子吸引性基が挙げられる。
【００４７】
一方、本実施形態のＣＮＴ撚糸電線は、さらに、表面にドーパントを含むことが好ましい。すなわち、当該ＣＮＴ撚糸電線は、ラマンスペクトルにおけるＧバンド及びＤバンドのピーク比（Ｇ／Ｄ）が８以上であり結晶度が高いことからキャリア移動度が大きい。また、表面にドーパントを含むため、キャリア密度が高い。すなわち、既述の通り、導電率はキャリア移動度とキャリア密度の積に比例するが、本実施形態のＣＮＴ撚糸電線は、キャリア移動度もキャリア密度も大きいため、両者の積も大きいことから、さらに高い導電率となる。
【実施例】
【００４８】
以下、本発明を実施例及び比較例により更に詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００４９】
［実施例１］
（ＣＮＴ撚糸の作製  <工程Ａ>）
多層カーボンナノチューブフォレスト（日立造船（株）製、垂直配向性ＣＮＴシート材）から乾式紡糸法によりＣＮＴ撚糸を作製した（図１参照）。
【００５０】
（黒鉛化処理  <工程Ｂ>）
作製したＣＮＴ撚糸を、高温炉内に投入し、アルゴンガス雰囲気下において２８００℃、２時間の条件で加熱して黒鉛化処理をした。
【００５１】
（酸化剤溶液等への浸漬  <工程Ｃ〜工程Ｄ>）
黒鉛化処理したＣＮＴ撚糸を、過酸化水素水に７２時間浸漬して酸素含有官能基を付与した（工程Ｃ）。その後、塩酸に２４時間浸漬し、残留金属触媒などを除去した。さらにその後、硫酸に２４時間浸漬して電子吸引性基を付与した（工程Ｄ）。
以上のようにして、実施例１のＣＮＴ撚糸を得た。
【００５２】
（導電率の測定）
得られたＣＮＴ撚糸の抵抗値を四端子法により測定した。具体的には、図３に示すように、４つの銅板端子３０、３２、３４、３６にＣＮＴ撚糸１６を接触させ、電流計３８に接続された両端の銅板端子３０、３６に電流を流しながら、電圧計４０に接続された中央２枚の銅板端子３２、３４間の電圧を測定した。このときの電流値とＣＮＴ撚糸１６の抵抗による電圧降下の値から、その傾きである抵抗値Ｒを測定した。また、試料の長さＬは中央２枚の銅板端子３２、３４間の距離であり、この距離は定規で測定した。さらに、デジタルマイクロスコープにより試料の外径を測定し、この外径と円周率とから試料の断面積Ｓを算出した。
以上のようにして得られた、抵抗Ｒ、長さＬ、及び断面積Ｓを下記式（１）に代入して導電率を算出したところ、７６３［Ｓ／ｃｍ］であった。
σ＝Ｌ／ＲＡ    ・・・式（１）
［Ｒは抵抗、Ｌは試料の長さ、Ａは試料の断面積を示す。］
【００５３】
［実施例２］
硫酸に浸漬した後、さらにヨウ素蒸気中に１２時間保持してヨウ素ドーピングを行った（工程Ｅ）こと以外は実施例１と同様にしてＣＮＴ撚糸電線を作製し、導電率を測定した。導電率は９３０［Ｓ／ｃｍ］であった。
【００５４】
以上のようにして作製したＣＮＴ撚糸の電子顕微鏡写真を図５に示す。図５より、直径６０μｍ、また直径と撚り角より、撚りピッチ０．５ｍｍであることが分かる。また、ＣＮＴ撚糸の表面の一部の組成をＥＤＳで分析した元素マッピングを図６に示す。図６より、酸素含有官能基に由来する酸素成分が多い部分にヨウ素の付着が多いことが確認できる。
【００５５】
一方、ドーパントとして付着しているヨウ素についてラマンスペクトル分析を行った結果を図７に示す。ここで、Ｇピークに対するＩ５−のピーク強度比が、ヨウ素付着量を現している。また、Ｉ５−のピーク強度比と導電率との関係を図８に示す。図８より、Ｉ５−のピーク強度比が０．３５以上の場合、導電率が７５０［Ｓ／ｃｍ］以上となることが確認できる。
【００５６】
［比較例１］
上記特許文献１の実施例１に準じてＣＮＴ撚糸を得た。また、上記本明細書の実施例１と同様にして導電率を測定したところ１５［Ｓ／ｃｍ］であった。
【００５７】
［比較例２］
上記特許文献２の実施例１に準じてＣＮＴ撚糸を得た。また、上記本明細書の実施例１と同様にして導電率を測定したところ５２４［Ｓ／ｃｍ］であった。
【００５８】
［比較例３］
上記特許文献３の実施例１に準じて  エタノールを噴霧しながら紡糸し、ＣＮＴ撚糸を得た。紡糸後は、実施例１、２の処理を行わなかった。また、上記本明細書の実施例１と同様にして導電率を測定したところ１２５［Ｓ／ｃｍ］であった。
【００５９】
以上の実施例・比較例の比較を以下の表１に示す。
【００６０】
【表１】
2020077643.tif 000003
【００６１】
表１より、実施例１、２は高い導電率が得られ、特に実施例２はヨウ素ドーピング（工程Ｅ）を行ったため実施例１よりも高い導電率が得られた。これに対して、比較例１〜３はいずれも、低い導電率であった。
【００６２】
以上、本発明を実施例によって説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形が可能である。
【符号の説明】
【００６３】
１２  ＣＮＴフォレスト
１４  ＣＮＴシート
１６  ＣＮＴ撚糸
１８  モータ
２０  チャック
【図１】
2020077643.tif 000004
【図２】
2020077643.tif 000005
【図３】
2020077643.tif 000006
【図４】
2020077643.tif 000007
【図５】
2020077643.tif 000008
【図６】
2020077643.tif 000009
【図７】
2020077643.tif 000010
【図８】
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