(57)【要約】【課題】物体の端面を撮像して端面の形状を測定する場合に、端面の形状の測定の精度を向上することのできる技術を提供する。【解決手段】本撮像システムは、物体の端面の形状の像を撮像する撮像システムであって、前記端面に相対し、前記端面を撮像可能に配置された撮像装置と、前記端面の側方、かつ前記端面から前記撮像装置への方向に対して後方に設けられ、前記端面の側方に位置する前記物体の表面を照らす光を発する光源と、前記物体の表面であって、前記端面の側方、かつ前記端面から前記撮像装置への方向に対して後方に位置する表面の少なくとも一部を覆うように設けられ、前記光源から発せられる光が入射した場合に内部において前記光を散乱させる内部散乱体と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体の端面の形状の像を撮像する撮像システムであって、
前記端面に相対し、前記端面を撮像可能に配置された撮像装置と、
前記端面の側方、かつ前記端面から前記撮像装置への方向に対して後方に設けられ、前記端面の側方に位置する前記物体の表面を照らす光を発する光源と、
前記物体の表面であって、前記端面の側方、かつ前記端面から前記撮像装置への方向に対して後方に位置する表面の少なくとも一部を覆うように設けられ、前記光源から発せられる光が入射した場合に内部において前記光を散乱させる内部散乱体と、を備える、
撮像システム。
【請求項２】
前記内部散乱体には、光を散乱する散乱物質が分散された状態で含まれ、
前記内部散乱体は、ゲルあるいは半流動体である、
請求項１に記載の撮像システム。
【請求項３】
前記散乱物質は、ホウ酸ナトリウムを含む粒状の物質であり、
前記内部散乱体は、澱粉と水を含む、
請求項２に記載の撮像システム。
【請求項４】
前記内部散乱体は、不定形である、
請求項１から３のうち何れか１項に記載の撮像システム。
【請求項５】
前記物体の材質は、金属を含む、
請求項１から４のうち何れか１項に記載の撮像システム。
【請求項６】
顕微鏡を更に備え、
前記撮像装置は、前記顕微鏡により拡大された前記端面の形状の像を撮像する、
請求項１から５のうち何れか１項に記載の撮像システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
物体の形状を検査するために物体の形状を撮像することが開示されている（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１３４２９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
物体の端面の形状を検査する場合、物体の端面の前方に位置する撮像装置と、端面の側方向に位置する表面を照らす光源とを設け、物体の端面を撮像することが考えられる。このように物体の端面を撮像する場合、物体の端面は撮像された画像に暗く映り、物体の端面以外の部分は撮像された画像に明るく映ることが考えられる。よって、物体の端面と端面以外の部分との境界が、撮像された画像から抽出可能となることが考えられる。すなわち、撮像装置を使用することにより、物体の端面の形状を測定することができる。
【０００５】
しかしながら、光源が設置される位置と、光源によって照らされる物体の表面との距離が一定でない場合、撮像された画像に映る物体の端面以外の部分の明るさがばらつくことが考えられる。すなわち、画像に映る物体の端面と、端面以外の部分との明るさの比がばらつき、物体の端面と端面以外の部分との境界を撮像画像から抽出することに影響が及ぶ虞がある。よって、物体の端面の形状の測定の精度が低下する虞がある。
【０００６】
また、光源が設置される位置と、光源によって照らされる物体の表面との距離が離れている場合、撮像される画像には、物体の端面と、端面以外の部分との境界が不鮮明に映ることが考えられる。よって、当該境界の抽出に影響が及ぶ虞がある。すなわち、物体の端面の形状の測定の精度が低下する虞がある。
【０００７】
開示の技術の１つの側面は、物体の端面を撮像して端面の形状を測定する場合に、端面の形状の測定の精度を向上することのできる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
開示の技術の１つの側面は、次のような撮像システムによって例示される。本撮像システムは、物体の端面の形状の像を撮像する撮像システムであって、前記端面に相対し、前記端面を撮像可能に配置された撮像装置と、前記端面の側方、かつ前記端面から前記撮像装置への方向に対して後方に設けられ、前記端面の側方に位置する前記物体の表面を照らす光を発する光源と、前記物体の表面であって、前記端面の側方、かつ前記端面から前記撮像装置への方向に対して後方に位置する表面の少なくとも一部を覆うように設けられ、前記光源から発せられる光が入射した場合に内部において前記光を散乱させる内部散乱体と、を備える。
【０００９】
開示の技術によれば、光源は、端面の側方、かつ端面から撮像装置に向かう方向に対して後方に設けられている。よって、光源から発せられた光が物体の端面に直接到達することは抑制される。よって、物体の端面は、撮像装置によって撮像される画像に暗く映る。
【００１０】
一方で、光源から発せられた光のうち、端面の側方、かつ端面から撮像装置への方向に対して後方に位置する物体の表面（以降、物体の側面という）の少なくとも一部を覆う散乱体に達した光は、散乱体に入射し、散乱体の中で散乱する。また、散乱体の中を散乱する光のうち、物体の側面へ達した光は、当該側面において反射する。そして、反射した光も、散乱体の内部において散乱する。すなわち、端面の側方、かつ端面から撮像装置への方向に対して後方の部分において、光源から発せられた光の大部分が散乱している。よって、物体の端面以外の部分は、撮像装置によって撮像される画像に明るく映る。また、その明るさはより均一となる。
【００１１】
また、開示の技術によれば、光源と、物体の側面との間の距離が一定でない場合であっても、端面の側方、かつ端面から撮像装置への方向に対して後方の部分において、光源から発せられた光の大部分が散乱している。よって、物体の端面以外の部分は、撮像装置によって撮像される画像に明るく映る。また、その明るさはより均一となる。よって、物体の端面と、端面以外の部分との境界は、撮像される画像からより明確に抽出される。すなわち、物体の端面の形状の測定の精度は向上する。
【００１２】
また、開示の技術によれば、光源と、物体の側面との間の距離が離れている場合であっても、端面の側方、かつ端面から撮像装置への方向に対して後方の部分において、光源から発せられた光の大部分が散乱している。よって、物体の端面以外の部分は、撮像装置によって撮像される画像に明るく映る。また、その明るさはより均一となる。よって、物体の端面と、端面以外の部分との境界が、撮像される画像に不鮮明に映ることは抑制される。よって、物体の端面と端面以外の部分との境界は、撮像される画像からより明確に抽出される。すなわち、物体の端面の形状の測定の精度は向上する。
【００１３】
また、開示の技術において、前記内部散乱体には、光を散乱する散乱物質が分散された状態で含まれ、前記内部散乱体は、ゲルあるいは半流動体であってもよい。
【００１４】
また、開示の技術において、前記散乱物質は、ホウ酸ナトリウムを含む粒状の物質であり、前記内部散乱体は、澱粉と水を含んでもよい。
【００１５】
また、開示の技術において、前記内部散乱体は、不定形であってもよい。
【００１６】
また、開示の技術において、前記物体の材質は、金属を含んでもよい。
【００１７】
また、開示の技術は、顕微鏡を更に備え、前記撮像装置は、前記顕微鏡により拡大された前記端面の形状の像を撮像してもよい。
【発明の効果】
【００１８】
本撮像システムは、物体の端面を撮像して端面の形状を測定する場合に、端面の形状の測定の精度を向上することのできる技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、実施形態に係る撮像システムの概要図の一例を示している。（Ａ）は、側面図の一例を示している。また、（Ｂ）は上面図の一例を示している。
【図２】図２は、撮像システムが端面の形状を撮像する手順の概要を示すフローチャートの一例を示している。
【図３】図３は、被測定物が保持部材の上面に沿って移動させられる際の作用の説明図を示している。
【図４】図４は、端面が撮像された場合に得られる画像の一例を示している。
【図５】図５は、従来の撮像システムの概要の一例を示している。
【図６】図６は、実施形態の変形例に係る撮像システムの概要図の一例を示している。（Ａ）は、側面図の一例を示している。また、（Ｂ）は上面図の一例を示している。
【図７】図７は、撮像システムが端面の形状を撮像する手順の概要を示すフローチャートの一例を示している。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して、一実施形態に係る撮像システムについて説明する。以下に示す実施形態の構成は例示であり、開示の技術は実施形態の構成に限定されない。
【００２１】
＜実施形態＞
図１は、実施形態に係る撮像システム１００の概要の一例を示している。（Ａ）は、撮像システム１００の側面図の一例を示している。また、（Ｂ）は、撮像システム１００の上面図の一例を示している。
【００２２】
撮像システム１００は、例えば被測定物１の端面２の形状を撮像する。ここで、被測定物１は、本発明の「物体」の一例であり、端面２は、本発明の「端面」の一例である。被測定物１は、例えば金属部品の表面の一部を打ち抜くための金型であって、端面２は、打ち抜くための刃先である。また、被測定物１の材質は鋼である。図１に示されるように、被測定物１は、中央部分が直方体の形状であるが、中央部分から端面２へ向けて厚みが減少する形状である。被測定物１の端面２の部分の厚みは、例えば数百マイクロメートルである。
【００２３】
撮像システム１００は、光学顕微鏡３を備える。そして、光学顕微鏡３は、対物レンズ４と、顕微鏡筒５と、を備える。光学顕微鏡３は、対物レンズ４が被測定物１の端面２と相対するように設けられる。
【００２４】
また、撮像システム１００は、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）６を備える。ＬＥＤ６は、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方に設けられる。ここで、ＬＥＤ６は、本発明の「光源」の一例である。図１に示される例では、ＬＥＤ６は、被測定物１の上面と平行に、平面状に規則的に配列される。ただし、ＬＥＤ６は、平面状に規則的に配列されることに限定されず、線状に配列されてもよいし、不規則に配列されてもよい。また、ＬＥＤ６の個数は何個でもよい。
【００２５】
また、撮像システム１００は、アーム７を備える。アーム７の一方の先端は、ＬＥＤ６と接続される。また、アーム７のもう片方の先端は、リンク機構を介して固定壁に連結される。リンク機構において、アーム７は固定壁に対して回動可能である。また、リンク機構には、アーム７へ回動する動力を伝達するモータ８が設けられる。すなわち、モータ８を制御することにより、ＬＥＤ６は、被測定物１の上方の空間に静止させられる。
【００２６】
また、アーム７の内部には、電線が設けられている。そして、アームに設けられる電線は、ＬＥＤ６と系外の電源とを電気的に接続させる。
【００２７】
また、撮像システム１００は、内部散乱物質９を備える。内部散乱物質９は、例えば、ほう砂を含む半透明のゲル状物体であり、玩具として知られているスライムである。スライムは、光を散乱するほう砂が、澱粉と水、またはポリビニルアルコール（ＰＶＡ）との混合物であって糊化した混合物の内部に分散された状態で形成されている。ここで、ほう砂は、ホウ酸ナトリウムを含む。このような内部散乱物質９は、例えば寒天のようにゲル状であり、不定形である。また、内部散乱物質９の色は、半透明である。ここで、内部散乱物質９は、本発明の「内部散乱体」の一例である。また、内部散乱物質９は、ほう砂、
澱粉、及び水以外の物質を含んでもよい。
【００２８】
また、撮像システム１００は、カメラ１０を備える。カメラ１０は、レンズ１１を備える。カメラ１０のレンズ１１は、光学顕微鏡３の端部に固定される。そして、カメラ１０は、図示しないが、内部に撮像素子を備える。撮像素子は、顕微鏡筒５及びカメラ１０のレンズ１１を通過した光に反応し、電気信号を生成する。また、カメラ１０には、図示しないが、プロセッサとメモリを備えるコンピュータが接続されている。そして、メモリには、生成された電気信号に基づく画像情報が保存される。ここで、当該画像に映る像は、光学顕微鏡３を通過した光を利用することにより得られた像であるため、実際の像より拡大されたものとなる。
【００２９】
また、メモリには、画像からエッジを抽出する既知のエッジ抽出プログラムが格納されている。そして、プロセッサが、エッジ抽出プログラムを実行することにより、画像に映るエッジは抽出される。エッジ抽出プログラムのエッジを抽出する精度は、例えば±１マイクロメートルである。
【００３０】
また、撮像システム１００は、保持部材１３を備える。保持部材１３の材料は、金属を含む。また、保持部材１３は磁石１５を有し、被測定物１を磁石１５の磁力によって保持部材１３の上面へ固定する。ただし、被測定物１の固定手段は、磁石１５に限らず何でもよい。
【００３１】
ここで、光学顕微鏡３、カメラ１０、及びカメラ１０に接続するコンピュータは、本発明の「撮像装置」の一例である。
【００３２】
図２は、撮像システム１００が端面２の形状を撮像し、端面２の形状を測定する手順の概要を示すフローチャートの一例を示している。なお、以下で説明する測定手順は一例に過ぎず、各処理は可能な限り変更されてよい。また、以下で説明する測定手順について、実施の形態に応じて、適宜、ステップの省略、置換、及び追加が可能である。
【００３３】
（Ｓ１０１）
ステップＳ１０１では、保持部材１３の上面に内部散乱物質９を載せる。内部散乱物質９は、澱粉と水分とを含み、糊化しているため、内部散乱物質９は保持部材１３の上面に接着する。そして、アーム７のモータ８が制御されることにより、内部散乱物質９の上部近傍に、ＬＥＤ６が静止させられる。また、ＬＥＤ６の静止位置は、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方である。
【００３４】
（Ｓ１０２）
ステップＳ１０２では、被測定物１が保持部材１３の上に固定される。固定手順は次の通りである。まず被測定物１は、保持部材１３の上面に載置される。その後、被測定物１は、保持部材１３の上面に沿って、対物レンズ４が設けられている側とは反対側から対物レンズ４が設けられている方向へと移動させられる。図３は、被測定物１が保持部材１３の上面に沿って移動させられる際の作用の説明図を示している。被測定物１は、保持部材１３の上面に沿って移動させられ、端面２は、ＬＥＤ６と保持部材１３との間に設けられる内部散乱物質９を貫通することとなる。ここで、端面２が内部散乱物質９を貫通する際に内部散乱物質９が動かないよう、内部散乱物質９に含まれる澱粉の含有量を増やし、保持部材１３への接着力を高めてもよい。そして、端面２は、内部散乱物質９よりも対物レンズ４側へ突き出た状態で静止させられる。また、静止させられた端面２は、ＬＥＤ６よりもさらに対物レンズ４の方向に突き出ている。換言すれば、内部散乱物質９、及びＬＥＤ６は、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方に位置することとなる。
【００３５】
その後、被測定物１と保持部材１３との間に磁石１５が載置される。すなわち、端面２を含む被測定物１は、磁力によって保持部材１３へ固定される。
【００３６】
（Ｓ１０３）
ステップＳ１０３では、アーム７の内の電線を介し、系外からＬＥＤ６へ電力が供給され、ＬＥＤ６は点灯する。ＬＥＤ６から発せられた光が内部散乱物質９内に入射した場合、光は内部散乱物質９の内部において散乱する。また、内部散乱物質９の内部に入射した光が保持部材１３の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方に位置する被測定物１の表面(以降、被測定物１の側面という)に達した場合、光は保持部材１３の側面において反射する。また、被測定物１の側面において反射した光は、内部散乱物質９の内部において散乱する。しかしながら、ＬＥＤ６から発せられた光が、端面２へ入射することは抑制される。ＬＥＤ６、及び内部散乱物質９が設けられている位置が、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方であるからである。
【００３７】
すなわち、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分においては、光は散乱している。
【００３８】
（Ｓ１０４）
端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分において散乱している光のうち少なくとも一部は、対物レンズ４を通過する。そして、対物レンズ４を通過した光は、顕微鏡筒５の内部を通過する。そして、顕微鏡筒５を通過した光は、カメラ１０のレンズ１１を通過する。そして、カメラ１０のレンズ１１を通過した光が撮像素子に達し、撮像素子から電気信号が生成される。そして、カメラ１０と接続するコンピュータのメモリには、生成された電気信号に基づく画像情報が保存される。
【００３９】
図４は、端面２が撮像された場合に得られる画像の一例を示している。撮像システム１００は、ＬＥＤ６から発せられた光が端面２へ直接入射することが抑制されているため、端面２は撮像された画像に暗く映る。一方で、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分においては、光は散乱している。よって、端面２以外の部分は、撮像された画像に明るく映る。その後、カメラ１０のコンピュータに接続されたプロセッサは、メモリに格納されるエッジ抽出プログラムを実行することにより、画像に映る端面２と、端面２以外の部分との境界を抽出する。上記のような手順により、端面２の形状は測定される。
【００４０】
＜実施形態の効果＞
図５は、比較例としての従来の撮像システム２００の概要の一例を示している。従来の撮像システム２００と実施形態の撮像システム１００との違いは、従来の撮像システム２００の場合、内部散乱物質９を備えていないという点である。このような撮像システム２００の場合、被測定物１の側面を照らすＬＥＤ６が設置される位置と、ＬＥＤ６によって照らされる被測定物１の側面との間の距離が一定でない場合、撮像された画像に映る端面２以外の部分の明るさがばらつくこととなる。よって、撮像された画像に映る端面２と、端面２以外の部分との明るさの比がばらつくこととなる。よって、端面２と、端面２以外の部分との境界を、撮像された画像から抽出することに影響が及ぶ。すなわち、端面２の形状の測定の精度が低下する。
【００４１】
また、被測定物１の側面と、ＬＥＤ６が設けられる位置との間の距離が離れている場合、撮像された画像には、端面２と、端面２以外との境界が不鮮明に映る。よって、当該境界の抽出に影響が及ぶ。すなわち、端面２の形状の測定の精度が低下する。
【００４２】
しかしながら、実施形態によれば、ＬＥＤ６及び内部散乱物質９は、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方に設けられている。よって、ＬＥＤ６から発せられた光が端面２へ直接到達することは抑制される。よって、端面２は、撮像された画像に暗く映る。
【００４３】
また、実施形態によれば、ＬＥＤ６から発せられた光のうち、被測定物１の側面を覆う内部散乱物質９に達した光は、内部散乱物質９に入射し、内部散乱物質９の中を散乱している。また、内部散乱物質９の中を散乱する光のうち、被測定物１の側面へ達した光は、当該側面において反射している。そして、被測定物１の側面において反射した光は、内部散乱物質９の内部において散乱している。すなわち、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分においては、光は散乱している。よって、被測定物１の端面２以外の部分は、カメラ１０によって撮像される画像に明るく映る。また、その明るさはより均一となる。
【００４４】
また、実施形態によれば、ＬＥＤ６と、被測定物１の側面との間の距離が一定でない場合であっても、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分においては、ＬＥＤ６から発せられた光は、内部散乱物質９によって散乱する。また、内部散乱物質９の中を散乱する光のうち、被測定物１の側面へ達した光は、当該側面において反射する。そして、被測定物１の側面において反射した光は、内部散乱物質９の内部において散乱する。すなわち、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分においては、光は散乱する。よって、被測定物１の端面２以外の部分は、カメラ１０によって撮像される画像に明るく映る。また、その明るさはより均一となる。よって、端面２と、端面２以外の部分との境界は、撮像された画像からより明確に抽出される。すなわち、端面２の形状の測定の精度は向上する。
【００４５】
また、実施形態によれば、被測定物１の側面と、ＬＥＤ６との間の距離が離れている場合であっても、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分においては、ＬＥＤ６から発せられた光は、内部散乱物質９の内部において散乱する。また、内部散乱物質９の中を散乱する光のうち、被測定物１の側面へ達した光は、当該側面において反射する。そして、反射した光は、内部散乱物質９の内部において散乱する。すなわち、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分においては、光は散乱する。よって、端面２と、端面２以外の部分との境界が、撮像された画像に不鮮明に映ることは抑制される。よって、端面２と、端面２以外の部分との境界は、撮像された画像からより明確に抽出される。すなわち、端面２の形状の測定の精度は向上する。
【００４６】
また、実施形態によれば、ＬＥＤ６から発せられた光は、内部散乱物質９によって散乱させられている。よって、ＬＥＤ６を複数設けなくとも撮像された画像に映る端面２以外の部分の明るさのばらつきは抑制される。よって、部品点数を削減し、費用を節減することができる。
【００４７】
実施形態では、内部散乱物質９は、澱粉と水の混合物であって糊化した混合物の内部にほう砂を分散させて含ませたものであり、不定形である。よって、実施形態によれば、被測定物１の側面の形状が一定ではない場合であっても、被測定物１の側面と内部散乱物質９との間に隙間ができることは抑制される。すなわち、被測定物１の表面形状が一定ではない場合であっても、撮像される画像に映る端面２と、端面２以外の部分との境界は、鮮明となる。よって、端面２と端面２以外の部分との境界は、高精度に抽出される。よって、端面２の形状の測定の精度は向上する。
【００４８】
実施形態では、内部散乱物質９は、ゲル状であるため柔らかい。よって、ステップＳ１
０１からステップＳ１０２に示されるように、保持部材１３の上面に内部散乱物質９を載せた後に、端面２を内部散乱物質９に貫通させて、被測定物１を保持部材１３の上面に固定することができる。すなわち、被測定物１の表面と内部散乱物質９との間に隙間ができることは抑制される。また、被測定物１の表面は、内部散乱物質９によって容易に覆われる。すなわち、撮像素子によって撮像される画像に映る端面２と端面２以外の部分との境界は、鮮明となる。よって、端面２と端面２以外の部分との境界は、高精度に抽出される。よって、端面２の形状の測定の精度は向上する。
【００４９】
実施形態では、端面２の撮像が終わった後、内部散乱物質９は被測定物１から容易に取り除くことができる。すなわち、実施形態によれば、撮像の作業の効率が向上し、撮像のための工数を低減することができる。
【００５０】
実施形態では、被測定物１として、他の金属部品を打ち抜くための金型の刃先の端面２の形状を測定している。よって、被測定物１が金属部品を何度も打ち抜き、端面２の縁が摩耗した場合に、撮像システム１００による端面２の撮像により、当該摩耗を検出することができる。すなわち、端面２の摩耗を容易に検出することができる。よって、摩耗が所望の程度を超えた場合に被測定物１を交換するなどの対処を容易に行うことができ、金属部品の打ち抜きに影響が及ぶことは低減される。
【００５１】
＜変形例＞
図６は、実施形態の変形例に係る撮像システム１００Ａの概要の一例を示している。図６（Ａ）は、撮像システム１００Ａの側面図の一例を示している。また、図６（Ｂ）は、撮像システム１００Ａの上面図の一例を示している。
【００５２】
図６に示される通り、また、撮像システム１００Ａの内部散乱物質９は、被測定物１の側面であって、被測定物１の上面の少なくとも一部を覆えばよい。そして、図６に示されるとおり、内部散乱物質９は、被測定物１の側面であって、被測定物１の下面を覆っていなくともよい。
【００５３】
図７は、撮像システム１００Ａが端面２の形状を撮像し、端面２の形状を測定する手順の概要を示すフローチャートの一例を示している。なお、以下で説明する測定手順は一例に過ぎず、各処理は可能な限り変更されてよい。また、以下で説明する測定手順について、実施の形態に応じて、適宜、ステップの省略、置換、及び追加が可能である。
【００５４】
（Ｓ２０１）
ステップＳ２０１では、保持部材１３の上面に被測定物１の下面が接するように固定される。ただし、端面２は、保持部材１３の側面１４よりも対物レンズ４の方向へ突き出した状態で固定される。被測定物１の保持部材１３への固定は、磁石１５の磁力によって行われる。
【００５５】
（Ｓ２０２）
ステップＳ２０２では、被測定物１の側面であって、被測定物１の上面の少なくとも一部を覆うように内部散乱物質９が設けられる。
【００５６】
（Ｓ２０３）
ステップＳ２０３では、モータ８を制御することにより、ＬＥＤ６は、被測定物１の上方の空間に静止させられる。ただし、ＬＥＤ６が静止させられる位置は、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方である。また、ＬＥＤ６が静止させられる位置は、保持部材１３の側面１４の側方、かつ側面１４から対物レンズ４への方向に対して前方である。
【００５７】
（Ｓ２０４）
ステップＳ２０４では、ＬＥＤ６にアーム７の内の電線を介して系外から電力が供給され、ＬＥＤ６は点灯する。そして、ＬＥＤ６から発せられた光が内部散乱物質９内に入射した場合、光は内部散乱物質９の内部において散乱する。また、内部散乱物質９の内部に入射した光が被測定物１の上面に達した場合、被測定物１の上面において反射する。そして、当該反射した光は、内部散乱物質９の内部において散乱する。また、内部散乱物質９の内部に入射した光が内部散乱物質９を通過し、保持部材１３の上面に達した場合、光は保持部材１３の上面において反射する。そして、反射した光は、内部散乱物質９へ再び入射し、内部散乱物質９の内部において散乱する。また、ＬＥＤ６から発せられた光の少なくとも一部は、保持部材１３の側面１４へも達する。そして、保持部材１３の側面１４へ達した光は、側面１４において反射する。すなわち、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分においては、光は散乱している。
【００５８】
しかしながら、ＬＥＤ６から発せられた光が、端面２へ直接入射することは抑制される。ＬＥＤ６が設けられている位置が、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方であるからである。
【００５９】
（Ｓ２０５）
ステップＳ２０５では、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分において散乱している光のうち少なくとも一部は、対物レンズ４を通過する。そして、対物レンズ４を通過した光は、顕微鏡筒５の内部を通過する。そして、顕微鏡筒５を通過した光は、カメラ１０のレンズ１１を通過する。
【００６０】
カメラ１０のレンズ１１を通過した光は、撮像素子に達し、撮像素子から電気信号が生成される。そして、カメラ１０に接続するコンピュータのメモリには、生成された電気信号に基づく画像情報が保存される。その後、カメラ１０に接続するコンピュータのプロセッサは、メモリに格納されるエッジ抽出プログラムを実行することにより、画像に映る端面２と、端面２以外の部分との境界を抽出する。すなわち、撮像システム１００Ａは、端面２の形状を測定することができる。
【００６１】
＜変形例の効果＞
上記の変形例では、内部散乱物質９は、被測定物１の側面であって、被測定物１の上面の少なくとも一部を覆っている。そして、ＬＥＤ６も、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方に設けられている。よって、ＬＥＤ６から発せられた光が端面２へ直接到達することは抑制される。よって、端面２は、撮像された画像に暗く映る。
【００６２】
また、変形例によれば、ＬＥＤ６から発せられた光のうち、内部散乱物質９に達した光は、内部散乱物質９に入射し、内部散乱物質９の中を散乱する。また、内部散乱物質９の中を散乱する光のうち、被測定物１の上面へ達した光は、当該上面において反射する。そして、被測定物１の上面において反射した光は、内部散乱物質９の内部において散乱する。
【００６３】
また、内部散乱物質９の中を散乱する光のうち、内部散乱物質９を通過し、保持部材１３の上面へ達した光は、当該上面において反射する。そして、保持部材１３の上面において反射した光は、内部散乱物質９へ再び入射し、内部散乱物質９の内部において散乱する。
【００６４】
また、内部散乱物質９によって覆われていない被測定物１の下部には保持部材１３の側
面１４が存在する。そして、側面１４へ達した光は、側面１４において反射することとなる。
【００６５】
すなわち、端面２の側面、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分においては、光は散乱している。よって、被測定物１の端面２以外の部分は、カメラ１０によって撮像される画像に明るく映る。また、その明るさはより均一となる。
【００６６】
また、実施形態によれば、ＬＥＤ６と、被測定物１の側面との間の距離が一定でない場合であっても、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分においては、光は散乱する。よって、被測定物１の端面２以外の部分は、カメラ１０によって撮像される画像に明るく映る。また、その明るさはより均一となる。よって、端面２と、端面２以外の部分との境界は、撮像された画像からより明確に抽出される。すなわち、端面２の形状の測定の精度は向上する。
【００６７】
また、実施形態によれば、被測定物１の側面と、ＬＥＤ６との間の距離が離れている場合であっても、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分においては、光は散乱する。よって、端面２と、端面２以外の部分との境界が、撮像された画像に不鮮明に映ることは抑制される。よって、端面２と、端面２以外の部分との境界は、撮像された画像からより明確に抽出される。すなわち、端面２の形状の測定の精度は向上する。
【００６８】
また、実施形態では、撮像システム１００は、光学顕微鏡を備えていたが、撮像システム１００は、光学顕微鏡を備えていなくともよい。光学顕微鏡を備えない場合、カメラ１０のレンズ１１が、対物レンズ４の位置に設けられてもよい。
【００６９】
また、実施形態では、内部散乱物質９は、ゲル状の不定形の物質であった。しかし、内部散乱物質９は、光を散乱する散乱物質を含む半流動体の物質であってもよい。また、内部散乱物質９は、光を散乱する散乱物質を含む固形物（定形）であってもよい。
【００７０】
また、被測定物１の材質は、金属でなく、例えば合成プラスチックであってもよい。ここで、被測定物１の材質が、磁力が働かない材質である場合、被測定物１は、粘着テープなどの固定手段によって保持部材１３へ固定されてもよい。また、被測定物１の形状は上記の実施形態において例示した形状に限定されず、何でもよい。
【００７１】
また、対物レンズ４を含む光学顕微鏡３及びカメラ１０が配置される場所は、上記の実施形態や実施例の場所に限定されず、端面２を撮像可能な位置に配置されていればよい。例えば、端面２と相対する位置には、光を反射する反射体が設けられ、反射した光が進む方向に対物レンズ４が設けられていてもよい。
【００７２】
また、内部散乱物質９は、保持部材１３や被測定物１の上面へ固定されるのではなく、保持部材１３とは異なる部材によって保持されていてもよい。
【００７３】
以上で開示した実施形態や変形例はそれぞれ組み合わせる事ができる。
【符号の説明】
【００７４】
１・・・被測定物
２・・・端面
３・・・光学顕微鏡
４・・・対物レンズ
５・・・顕微鏡筒
６・・・ＬＥＤ
７・・・アーム
８・・・モータ
９・・・内部散乱物質
１０・・・カメラ
１１・・・レンズ
１３・・・保持部材
１４・・・側面
１５・・・磁石
１００、１００Ａ・・・撮像システム
２００・・・従来の撮像システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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