(57)【要約】【課題】鋭利な開口端を形成する光線調整部品を簡易に作製することができる光線調整部品の製造方法を提供すること。【解決手段】光線調整部品の製造方法は、光線が通過する、傾斜した周縁部の開口部を有する光線調整部品の製造方法において、板状の母材の一方の照射面から該照射面の裏面に向かって開口の大きさが漸次縮小して傾斜状に母材の一部を除去して形成された開口部の端縁傾斜部と、母材の端縁傾斜部で囲まれる内側の領域に未加工の母材が残存して形成される未加工部と、端縁傾斜部および未加工部に亘って母材を貫通しない有底状に除去して形成される準備部とを形成し、レーザ光のビーム径以下の範囲で裏面の開口の形状を縮小した軌跡に倣ってレーザ光を準備部に対して走査することによって、準備部を裏面に到達するまで除去して周縁部の末端部を形成し、未加工部を脱去して開口部を貫通する。【選択図】図１
2020114596.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光線が通過する、傾斜した周縁部の開口部を有する光線調整部品の製造方法において、
板状の母材の一方の照射面から該照射面の裏面に向かって開口の大きさが漸次縮小して傾斜状に前記母材の一部を除去して形成された前記開口部の端縁傾斜部と、前記母材の端縁傾斜部で囲まれる内側の領域に未加工の前記母材が残存して形成される未加工部と、前記端縁傾斜部および前記未加工部に亘って前記母材を貫通しない有底状に除去して形成される準備部とを形成し、
レーザ光のビーム径以下の範囲で前記裏面の開口の形状を縮小した軌跡に倣って前記レーザ光を前記準備部に対して走査することによって、前記準備部を前記裏面に到達するまで除去して前記周縁部の末端部を形成し、前記未加工部を脱去して前記開口部を貫通する
光線調整部品の製造方法。
【請求項２】
前記裏面の開口の形状を前記レーザ光のビーム径以下の範囲で縮小した走査開始軌跡に倣って前記レーザ光を走査した後、前記走査開始軌跡から前記ビーム径以下の間隔で走査軌跡を複数回拡大しながら前記レーザ光を走査する処理を、深さごとに実施して前記端縁傾斜部、前記未加工部および前記準備部を形成する
請求項１に記載の光線調整部品の製造方法。
【請求項３】
板厚方向の高さが、前記未加工部の板厚方向の高さよりも低い前記準備部を形成する
請求項１に記載の光線調整部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、通過させる光線の向きや量を調整する光線調整部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、内視鏡の先端部には、光学系に組み込まれ、通過させる光線の向きや量を調整する光線調整部品が設けられている（例えば、特許文献１を参照）。光線調整部品を通過した光線は、撮像素子に入射する。
【０００３】
光線調整部品は、矩形や円をなす外形を有する、厚さが数十μｍの板状の部品である。光線調整部品には、板厚方向に貫通し、光学系によって導光される光線が通過する貫通孔が形成される。この貫通孔は、撮像素子によって撮像された画像においてフレアやゴーストの発生を抑制するため、内周面が撮像素子側に拡径する態様で傾斜している。貫通孔の形成方法としては、電鋳法、ウェットエッチング、ドライエッチング、レーザ加工が挙げられる。特許文献１では、レーザ加工によって貫通孔が形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００５−５３３６６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、貫通孔は、光線入射側の開口部が鋭利な形状となっていることが、上述したフレアやゴーストの発生を抑制する点で好ましい。
しかしながら、電鋳法を用いて貫通孔を形成する場合、数十μｍの薄い部品を原型から剥離する工程において、開口端が損傷するおそれがある。また、ウェットエッチングによって貫通孔を形成する場合、板厚に依存して板厚と直交する方向のエッチング量が変化する。電鋳法およびウェットエッチングでは、安定して貫通孔を形成できないおそれがあった。
また、ドライエッチングを用いて貫通孔を形成する場合、エッチング速度が遅く、形成工程も複雑である。
【０００６】
図２０は、従来の光線調整部品の構成および製造方法を説明するための図である。図２１は、従来の光線調整部品の使用時の一例を説明する図である。従来の光線調整部品５００は、例えば、外縁が矩形をなす板状の本体部５０１を有する。本体部５０１には、中央部に設けられ、板厚方向に貫通する貫通孔５０２が形成される。
【０００７】
特許文献１等においてレーザ加工によって貫通孔を形成する場合、貫通孔の外縁から最も離れた一点を走査開始点（ここでは走査開始点５１０）とし、レーザ光によって部材を取り除いて貫通孔５０２を形成する。例えば、図２０に示す軌跡Ｓ101〜Ｓ104に倣ってレーザ光を走査することによって、傾斜面５０３を有する貫通孔５０２が形成される。しかしながら、上述したレーザ走査の場合、レーザ光の走査を繰り返すうちに、貫通孔の開口形成位置付近にレーザ光の熱がたまり、開口端部に傾斜面が形成されずに、板厚と平行な面５０４、およびダレ面が形成される。この面５０４は、貫通孔５０２に入射する光線Ｑ11を反射し、反射された光線Ｑ12が撮像素子６００に入射する（図２１参照）。光線Ｑ12に基づく像は、画像においてフレアやゴーストとして表現される。
【０００８】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、鋭利な開口端を形成する光線調整部品を簡易に作製することができる光線調整部品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る光線調整部品の製造方法は、光線が通過する、傾斜した周縁部の開口部を有する光線調整部品の製造方法において、板状の母材の一方の照射面から該照射面の裏面に向かって開口の大きさが漸次縮小して傾斜状に前記母材の一部を除去して形成された前記開口部の端縁傾斜部と、前記母材の端縁傾斜部で囲まれる内側の領域に未加工の前記母材が残存して形成される未加工部と、前記端縁傾斜部および前記未加工部に亘って前記母材を貫通しない有底状に除去して形成される準備部とを形成し、レーザ光のビーム径以下の範囲で前記裏面の開口の形状を縮小した軌跡に倣って前記レーザ光を前記準備部に対して走査することによって、前記準備部を前記裏面に到達するまで除去して前記周縁部の末端部を形成し、前記未加工部を脱去して前記開口部を貫通することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係る光線調整部品の製造方法は、上記発明において、前記裏面の開口の形状を前記レーザ光のビーム径以下の範囲で縮小した走査開始軌跡に倣って前記レーザ光を走査した後、前記走査開始軌跡から前記ビーム径以下の間隔で走査軌跡を複数回拡大しながら前記レーザ光を走査する処理を、深さごとに実施して前記端縁傾斜部、前記未加工部および前記準備部を形成することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る光線調整部品の製造方法は、上記発明において、板厚方向の高さが、前記未加工部の板厚方向の高さよりも低い前記準備部を形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、鋭利な開口端を形成する光線調整部品を簡易に作製することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１に示すＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図３は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法について説明するフローチャートである。
【図４】図４は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法について説明する図ある。
【図５】図５は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法について説明する図であって、母材におけるレーザ走査位置を説明する図である。
【図６】図６は、図５に示すＢ−Ｂ線断面図である。
【図７Ａ】図７Ａは、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法について説明する図であって、レーザ走査について説明する図（その１）である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法について説明する図であって、レーザ走査について説明する図（その２）である。
【図７Ｃ】図７Ｃは、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法について説明する図であって、レーザ走査について説明する図（その３）である。
【図７Ｄ】図７Ｄは、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法について説明する図であって、レーザ走査について説明する図（その４）である。
【図８】図８は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法における端縁傾斜部形成工程ついて説明する図である。
【図９】図９は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法における端縁傾斜部形成工程について説明する図（その１）である。
【図１０】図１０は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法における端縁傾斜部形成工程のレーザ走査について説明する図である。
【図１１】図１１は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法における端縁傾斜部形成工程について説明する図（その２）である。
【図１２】図１２は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法における端縁傾斜部形成工程のレーザ走査について説明する図である。
【図１３】図１３は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法における端縁傾斜部形成工程後の形状を示す断面図である。
【図１４】図１４は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法における末端部形成工程のレーザ走査について説明する図である。
【図１５】図１５は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法におけるレーザ光について説明する図である。
【図１６】図１６は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法における末端部成工程後の貫通孔の一部を示す図である。
【図１７】図１７は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の使用時の一例を示す図である。
【図１８】図１８は、本発明の実施の形態の変形例１に係る光線調整部品の製造方法における端縁傾斜部形成工程後の形状を示す断面図である。
【図１９】図１９は、本発明の実施の形態の変形例２に係る光線調整部品の製造法における端縁傾斜部形成工程後の形状を示す断面図である。
【図２０】図２０は、従来の光線調整部品の構成および製造方法を説明するための図である。
【図２１】図２１は、従来の光線調整部品の使用時の一例を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための形態（以下、「実施の形態」という）を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、図面は模式的なものであり、各部の寸法の関係や比率は、現実と異なる。また、図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれる。
【００１５】
（実施の形態）
図１は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の構成を示す斜視図である。図２は、図１に示すＡ−Ａ線断面図である。光線調整部品１は、例えば内視鏡の先端部に形成される光学系に組み込まれ、後段に配置される撮像素子に入射させる光線の向きや量を調整する部品である。光線調整部品１は、矩形をなす外形を有する、厚さが数十μｍの板状の本体部１０を備える。光線調整部品１は、金属箔、例えばリン青銅箔を用いて形成される。
【００１６】
また、光線調整部品１には、板厚方向に貫通し、光学系によって導光される光線が通過する開口部２０が形成される。開口部２０は、開口部２０の周縁を形成し、貫通方向に対して傾斜した周縁部２１を有する。周縁部２１は、開口部２０の貫通方向の一端から他端に向けて拡径した内周面を形成する。また、周縁部２１は、縮径側の開口端に、鋭利な開口端を形成する末端部２２を有する。
【００１７】
次に、上述した光線調整部品の製造方法について、図３〜図１５を参照して説明する。図３は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法について説明するフローチャートである。図４は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法について説明する図ある。
【００１８】
まず、金属箔の母材１００を用意して、加工ステージ２００に設置する（ステップＳ１０１）。ステップＳ１０１では、図示しない治具を用いて母材１００を加工ステージ２００に固定する。
【００１９】
その後、開口部２０の周縁部２１の一部を形成する（ステップＳ１０２、Ｓ１０３）。ステップＳ１０２では、開口部２０における拡径側の周縁部２１の一部をなす端縁傾斜部を形成する（端縁傾斜部形成工程）。その後、上述した末端部２２を含む縮径側の周縁部２１を形成する（末端部形成工程）。末端部２２を有する周縁部２１からなる開口部２０を形成後、本体部１０の外形に応じて母材１００を切断することによって、光線調整部品１を作製する（ステップＳ１０４：外形形成工程）。以下、各工程におけるレーザ光の走査について説明する。
【００２０】
図５は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の製造方法について説明する図であって、母材におけるレーザ走査位置を説明する図である。図６は、図５に示すＢ−Ｂ線断面図である。端縁傾斜部形成工程および末端部形成工程では、レーザ光を用いて母材１００を加工し、開口部２０を形成する。母材１００に対して設計される加工線Ｒ20と加工線Ｒ21とに応じてレーザ加工を施して、加工線Ｒ22を表面とする傾斜面を形成することによって開口部２０を形成する（端縁傾斜部形成工程および末端部形成工程）。加工線Ｒ20は、開口部２０の拡径側の開口縁端に対応する。また、加工線Ｒ21は、開口部２０の縮径側（後述する裏面Ｐ2）の開口縁端（末端部２２）に対応する。
その後、加工線Ｒ10に倣ってレーザ加工を施して、加工線Ｒ11を表面とする外縁を形成することによって本体部１０を形成する（外形形成工程）。
【００２１】
ここで、加工に用いるレーザ光は、発振周期をピコ秒から数秒単位で制御可能である。レーザ光は、加工位置や加工深さ（加工領域）を制御するという観点で、ファイバレーザなど、照射領域を制御可能な装置を用いて生成されることが好ましい。
【００２２】
図７Ａは、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の作製方法について説明する図であって、レーザ走査について説明する図（その１）である。図７Ｂは、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の作製方法について説明する図であって、レーザ走査について説明する図（その２）である。図７Ｃは、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の作製方法について説明する図であって、レーザ走査について説明する図（その３）である。図７Ｄは、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の作製方法について説明する図であって、レーザ走査について説明する図（その４）である。
【００２３】
端縁傾斜部形成工程（ステップＳ１０２）では、加工線Ｒ20（または加工線Ｒ21）の中心を通過し、板厚方向に延びる軸Ｎ1のまわりにレーザ光を走査して、母材１００の一部を切除する。具体的に、軸Ｎ1側から外周側にレーザ光の走査位置を移動させながら、加工線Ｒ20と加工線Ｒ21（図５参照）とに応じてレーザ加工を施す。例えば、図７Ａに示すレーザ光Ｌ1、Ｌ2、Ｌ3、・・・Ｌmの順に走査し、この走査を深さごとに実施する。深さは、レーザ加工面（ここでは母材１００のレーザ照射側の面）からの板厚方向の長さであり、レーザ光の強度やビームの径（以下、ビーム径ともいう）に基づいて予め設定されるレーザ光の光軸方向の照射深度に相当する。端縁傾斜部形成工程によって、傾斜面を有する端縁傾斜部１１１が形成されるとともに、開口部２０の形成位置の中央に形成される未加工部１１２と、末端部２２を形成するための準備部１１３とが形成される（図７Ｂ参照）。
端縁傾斜部１１１は、母材１００のレーザ光Ｌの照射面Ｐ1から該照射面の裏面Ｐ2に向かって開口の大きさが漸次縮小して傾斜状に母材１０の一部を除去して形成される。端縁傾斜部１１１は、開口部２０の周縁部２１の一部をなす。
未加工部１１２は、端縁傾斜部１１１によって囲まれる内側の領域ＲLにおいて、レーザ加工が施されずに残存する母材１００からなる。
準備部１１３は、端縁傾斜部１１１および未加工部１１２に亘って母材１００を貫通しない有底状に除去して形成され、端縁傾斜部１１１と未加工部１１２とを接続している。
端縁傾斜部１１１と、未加工部１１２および準備部１１３とによって、環状の加工溝１１０が形成される。
【００２４】
末端部形成工程（ステップＳ１０３）では、加工線Ｒ21に倣って軸Ｎ1のまわりにレーザ光Ｌを準備部１１３に対して走査して、準備部１１３を裏面Ｐ2に到達するまで除去することによって該準備部１１３を切除する（図７Ｂ参照）。末端部形成工程によって、未加工部１１２が脱去され、周縁部２１および末端部２２が形成されて板厚方向に貫通し、これによって開口部２０が形成される（図７Ｃ参照）。
【００２５】
外形形成工程（ステップＳ１０４）では、加工線Ｒ10に倣って軸Ｎ1のまわりにレーザ光Ｌを走査して、母材１００から本体部１０を型抜きする（図７Ｃ参照）。外形形成工程によって、本体部１０が形成され、これによって光線調整部品１が作製される（図７Ｄ参照）。
【００２６】
続いて、端縁傾斜部形成工程（ステップＳ１０２）における加工溝１１０の形成について、図８〜図１３を参照して説明する。図８は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の作製方法における端縁傾斜部形成工程ついて説明する図である。加工溝１１０は、段階的にレーザ加工を施すことによって形成される。具体的には、母材１００の表面側から、領域１２０−１、１２０−２、・・・、１２０−ｎの順で母材１００の一部を切除することによって加工溝１１０を形成する。ここでは、ｎ回、レーザ光の照射深度を変えてレーザ加工することによって、加工溝１１０が形成される。
【００２７】
ここで、一回目のレーザ加工について、図９および図１０を参照して説明する。図９は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の作製方法における端縁傾斜部形成工程について説明する図（その１）である。図１０は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の作製方法における端縁傾斜部形成工程のレーザ走査について説明する図である。
【００２８】
一回目のレーザ加工によって、図９に示す領域１２０−１を切除する。このレーザ加工によって、傾斜面１２１と、底面１２２と、未加工部１１２の外周面の一部をなす壁面１２３とからなる加工溝が形成される。この際、レーザ光は、走査軌跡Ｓ1、Ｓ2、・・・、Ｓmに倣って走査される（図１０参照）。走査軌跡Ｓ1、Ｓ2、・・・、Ｓmには、レーザ光Ｌの光軸がそれぞれ通過する。走査を開始する位置は、走査軌跡上であれば、任意の箇所に設定できる。走査軌跡Ｓ1、Ｓ2、・・・、Ｓmは、例えば、それぞれ加工線Ｒ20（または加工線Ｒ21）と相似であり、順次大きさが大きくなる。また、隣り合う軌跡間の間隔は、レーザ光のビーム径以下である。
走査軌跡Ｓ1は、末端部２２のなす開口の大きさ（加工線Ｒ21）に対して、予め設定されている値だけ縮小した形状である。ここで、予め設定されている値とは、レーザ光のビーム径以下の範囲で設定される値である。このため、走査軌跡Ｓ1によって囲まれる領域の大きさは、末端部２２のなす開口の大きさ（加工線Ｒ21）よりも小さい。
【００２９】
続いて、二回目のレーザ加工について、図１１および図１２を参照して説明する。図１１は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の作製方法における端縁傾斜部形成工程について説明する図（その２）である。図１２は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の作製方法における端縁傾斜部形成工程のレーザ走査について説明する図である。
【００３０】
二回目のレーザ加工によって、図１１に示す領域１２０−２を切除する。このレーザ加工によって、傾斜面１２１に連なる傾斜面１２４と、底面１２５と、壁面１２３に連なる壁面１２６とからなる加工溝が形成される。この際、レーザ光は、傾斜面１２１および底面１２２の境界（図９参照）と、壁面１２３（加工線Ｒ21）との間において、内部（壁面１２３）側から、走査軌跡Ｓ1、Ｓ2、・・・、Ｓk（ｋ＜ｍ）に倣って走査される（図１２参照）。ここで、ｋは、貫通孔２１の傾斜面の角度に基づいて設定され、例えばｍ−１である。
【００３１】
上述したレーザ加工を深さごとに実施するによって領域１２０−１〜１２０−ｎを段階的に除去する。例えば、深さが深くなるにつれて、走査軌跡の数も少なくなる。この場合、ｍ、ｋは、ともにｎよりも大きい値である。
【００３２】
図１３は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の作製方法における端縁傾斜部形成工程後の形状を示す断面図である。領域１２０−１〜１２０−ｎまでの切除が終了すると、傾斜部１１１、未加工部１１２および準備部１１３によって加工溝１１０が形成される。これら傾斜面１２１、壁面１２３等からなる傾斜部は、端縁傾斜部形成工程において形成される端縁傾斜部１１１に相当する。また、走査軌跡Ｓ1から、未加工部１１２の外周のなす大きさは、末端部２２（加工線Ｒ21）の縁端のなす大きさよりも小さい。
【００３３】
続いて、末端部形成工程（ステップＳ１０３）における傾斜面２１および末端部２２の形成について、図１４を参照して説明する。図１４は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の作製方法における末端部形成工程のレーザ走査について説明する図である。周縁部２１および末端部２２は、未加工部１１２および準備部１１３を、レーザ光を用いて除去することによって形成される。具体的には、準備部１１３にレーザ光を照射して未加工部１１２および準備部１１３を除去する。この際、レーザ光は、軌跡Ｓ11に倣って走査される。軌跡Ｓ11は、例えば、加工線Ｒ21と相似である。軌跡Ｓ11は、末端部２２のなす開口の大きさ（加工線Ｒ21）に対して、予め設定されている値だけ縮小した形状である。ここで、予め設定されている値とは、レーザ光のビームＢLの径ｒ1以下の範囲で設定される値である。予め設定する値は、端縁傾斜部形成工程と同じ値に設定してもよいし、異なる値に設定してもよい。軌跡Ｓ11に倣って走査されるレーザ光によって、未加工部１１２および準備部１１３を除去することで、周縁部２１および末端部２２を有する開口部２０が形成される（図７Ｃ参照）。
【００３４】
その後、加工線Ｒ10に倣ってレーザ加工を施して、加工線Ｒ11を表面とする外縁を形成することによって本体部１０が形成される（図６、図７Ｄ参照）。
【００３５】
また、本実施の形態においては、未加工部１１２を形成することによって、未加工部１１２を形成しない場合と比して、部材が有する熱容量を大きくしている。
レーザ加工では、アブレーション加工と熱加工とが部材の加工にかかわっている。アブレーション加工が起こった後に、伝播した熱によってレーザ光の照射位置外部でも微小な熱加工が施される。また、熱加工では、同じフルエンスのレーザ光を照射した場合、拡散し難い部分の方が蓄熱しやすく、この部分における熱が部材を加工する加工量が、他の部分と比して大きくなる。特に、末端部２２を形成する本実施の形態では、加工面（照射面Ｐ1）や準備部１１３等に熱を蓄積しないことが、末端部２２を高精度に形成する点で重要である。
【００３６】
ここで、末端部形成工程（ステップＳ１０３）において用いられるレーザ光について、図１５を参照して説明する。図１５は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の作製方法におけるレーザ光について説明する図である。レーザ光の強度分布としては、レーザ光の中心（ビーム中心）から外側に向かってエネルギが小さくなる、ガウシアン分布であることが、傾斜面や鋭利な開口端を形成する点で好ましい。例えば、末端部２２の形成目標位置がレーザ光のビーム径内に入る軌跡Ｓ11を設定する。レーザ加工時、レーザ光のエネルギの一部が熱となり、母材１００内で熱の拡散が起こる。この際、熱は、未加工部１１２にも拡散するため、末端部２２の形成目標位置において熱が蓄積することを抑制できる。蓄熱が抑制されると、上述したガウシアン分布に倣った形状に加工されるため、鋭利な開口端（末端部２２）を形成することができる。
【００３７】
図１６は、上述した作製方法によって作製された貫通孔を有する光線調整部品の断面を撮像した画像を示している。図１６から、本体部３０１に傾斜面３０２が形成され、開口端には、鋭利な形状をなす末端部３０３が形成されていることがわかる。
【００３８】
図１７は、本発明の一実施の形態に係る光線調整部品の使用時の一例を示す図である。上述した作製方法によって作製された開口部２０を有する光線調整部品１は、末端部２２が鋭利な形状をなしているため、この末端部２２において開口部２０に入射する光線Ｑ1が反射することない。このため、不要な光線が撮像素子４００に入射することが抑制され、フレアやゴーストのない鮮明な画像を得ることができる。
【００３９】
以上説明した本発明の一実施の形態では、未加工部１１２を残しつつ開口部２０の内周面の一部をなす端縁傾斜部１１１（例えば傾斜面１２１、１２３）を形成し、その後、加工溝１１０を形成する未加工部１１２および準備部１１３を除去することによって、鋭利な形状をなす末端部２２を有する開口部２０を形成する。本実施の形態によれば、レーザ加工時、未加工部１１２が熱の拡散部として機能するため、加工部分（ここでは末端部２２の形成位置）への蓄熱が抑制され、鋭利な開口端を形成する光線調整部品１を簡易に作製することができる。
【００４０】
なお、上述した実施の形態に係る未加工部１１２は、図７Ｂに示す例に限らない。以下、変形例１、２では、未加工部の変形例の一例を説明する。
【００４１】
（実施の形態の変形例１）
図１８は、本発明の実施の形態の変形例１に係る光線調整部品の作製方法における端縁傾斜部形成工程後の形状を示す断面図である。上述した実施の形態では、未加工部１１２の高さが、母材１００の板厚と同じである例を説明したが、変形例１は、母材１００の板厚よりも小さい未加工部１１４である。
【００４２】
本変形例１では、端縁傾斜部形成工程（ステップＳ１０２）における加工溝１１０の形成時、例えば、領域１２０−１や領域１２０−２を加工する際に、未加工部を形成せずに、加工線Ｒ20の内部全体を削除する。
【００４３】
本変形例１によれば、母材１００の板厚よりも小さい未加工部１１４であっても、レーザ加工時、未加工部１１４が熱の拡散部として機能するため、加工部分（末端部２２の形成位置）への蓄熱が抑制され、鋭利な開口端を形成する光線調整部品を簡易に作製することができる。
【００４４】
なお、未加工部が熱の拡散部として機能すれば、未加工部と準備部との板厚方向の高さは、上述した実施の形態や変形例１の関係には限らない。さらに、準備部にも熱の拡散部として機能させれば、未加工部と準備部との板厚方向の高さは同じ、または高さの関係が逆であってもよいが、末端部２２を形成するうえでは準備部の高さが低く（板厚が薄く）、未加工部の高さを準備部よりも高くすることが好ましい。
【００４５】
（実施の形態の変形例２）
図１９は、本発明の実施の形態の変形例２に係る光線調整部品の作製方法における端縁傾斜部形成工程後の形状を示す断面図である。上述した実施の形態では、準備部１１３が円板状をなす例を説明したが、変形例２は、準備部１１５が傾斜面をなして未加工部１１２の先端に連なっている。
【００４６】
本変形例２では、端縁傾斜部形成工程（ステップＳ１０２）における加工溝１１０の形成時、例えば、準備部１１５の表面を傾斜面として形成する。本変形例における加工溝は、Ｖ字状の溝形状をなす。このため、未加工部１１２と準備部１１５とによって、錐台状をなす突起部が形成される。
【００４７】
本変形例２によれば、錐台をなす準備部１１５であっても、レーザ加工時、未加工部１１２および準備部１１５が熱の拡散部として機能するため、加工部分（末端部２２の形成位置）への蓄熱が抑制され、鋭利な開口端を形成する光線調整部品を簡易に作製することができる。
【００４８】
ここまで、本発明を実施するための形態を説明してきたが、本発明は上述した実施の形態によってのみ限定されるべきものではない。例えば、上述した実施の形態では、光線調整部品の構成を例に説明したが、貫通孔によって、該貫通孔を通過する媒体の量を調整する部品であれば適用可能である。
【００４９】
また、上述した実施の形態では、走査軌跡Ｓ1が末端部２２のなす開口の大きさ（加工線Ｒ21）に対して、予め設定されている値だけ縮小した形状である例を説明したが、加工面形成工程において末端部２２の形成が可能であれば、走査軌跡Ｓ1が末端部２２のなす開口の大きさ（加工線Ｒ21）と同じに設定してもよいし、大きく設定してもよい。
【００５０】
また、上述した実施の形態および変形例では、レーザ加工を行うものとして説明したが、加工方法はこれに限らない。例えば、電子ビーム等の公知の加工技術を用いることも可能である。
【００５１】
このように、本発明は、特許請求の範囲に記載した技術的思想を逸脱しない範囲内において、様々な実施の形態を含みうるものである。
【符号の説明】
【００５２】
１  光線調整部品
１０  本体部
２０  開口部
２１  周縁部
２２  末端部
１１１  端縁傾斜部
１１２、１１４  未加工部
１１３、１１５  準備部
Ｓ1、Ｓ2、・・・、Ｓk、Ｓm  走査軌跡
Ｓ11  軌跡
【図１】
2020114596.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
2020114596.tif 000009
【図７Ｂ】
2020114596.tif 000010
【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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