(57)【要約】【課題】熱輸送効率を向上すること。【解決手段】ループ型ヒートパイプ１は、作動流体Ｃを気化させる蒸発器１１と、蒸気Ｃｖを液化する凝縮器１３と、気化した作動流体（蒸気Ｃｖ）を凝縮器１３に流入させる蒸気管１２と、液化した作動流体Ｃを蒸発器１１に流入させる液管１４とを有している。液管１４は、両端の壁部１４ｔと、各壁部１４ｔと連続して一体に形成された多孔質体１４ｓと、多孔質体１４ｓの間の流路１４ｒとを有している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動流体を気化させる蒸発器と、
作動流体を液化する凝縮器と、
前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、
前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する蒸気管と、
を有し、
前記液管は、両端の壁部と、前記各壁部と連続して一体に形成された多孔質体と、前記多孔質体の間の流路とを有するループ型ヒートパイプ。
【請求項２】
前記液管は、一対の最外金属層と、前記一対の最外金属層の間に積層された中間金属層とからなり、
前記中間金属層は、厚さ方向に貫通する貫通孔と、前記貫通孔の両側の前記多孔質体と、前記多孔質体の外側の前記壁部とを有する単層又は複数層の第１の金属層を含み、
前記流路は、前記第１の金属層の前記貫通孔により形成された請求項１に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項３】
前記多孔質体は、前記第１の金属層の一方の面側から窪む第１の有底孔と、前記第１の金属層の他方の面側から窪む第２の有底孔と、前記第１の有底孔と前記第２の有底孔とが部分的に連通して形成された細孔と、を有する請求項２に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項４】
前記流路を形成する前記貫通孔は第１貫通孔であり、
前記多孔質体は、複数の前記第１の金属層のそれぞれを厚さ方向に貫通する第２貫通孔と、互いに接する前記第１の金属層のそれぞれに形成された前記第２貫通孔が部分的に連通して形成された細孔と、を有する請求項２に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項５】
前記中間金属層は、前記第１の金属層と前記最外金属層との間に設けられた第２の金属層を含み、
前記第２の金属層は、前記第１の金属層の前記壁部と重なる両端の壁部と、前記壁部の間に前記壁部と連続して一体に形成された多孔質体とを有する請求項２〜４の何れか１項に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項６】
前記最外金属層は、前記中間金属層と接する面に有底孔を有する請求項２〜５の何れか１項に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項７】
前記液管は、前記流路に支柱を有する請求項１〜６の何れか１項に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項８】
前記支柱は、側面に、前記流路に沿って延びる溝を有する請求項７に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項９】
前記液管は、前記多孔質体から前記作動流体の下流側にむかって斜めに延びる突出部を有する請求項１〜８の何れか１項に記載のループ型ヒートパイプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ループ型ヒートパイプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子機器に搭載される半導体デバイス（例えば、ＣＰＵ等）の発熱部品を冷却するデバイスとして、作動流体の相変化を利用して熱を輸送するヒートパイプが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ループ型ヒートパイプは、発熱体から受熱して液相の作動流体を蒸発させる蒸発部と、気相の作動流体を放熱により凝縮させる凝縮部とを備えている。また、ループ型ヒートパイプは、蒸発部で気相に変化した作動流体を凝縮部へ流通させる蒸気管と、凝縮部で液相に変化した作動流体を蒸発部へ流通させる液管とを備えている。そして、ループ型ヒートパイプは、蒸発部と、蒸気管と、凝縮部と、液管とが直列に接続されたループ構造を有しており、内部に作動流体が封入されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第６１４６４８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記のようなヒートパイプにおいて、作動流体の流れは、熱の輸送効率に影響する。このため、作動流体が流れる流路における圧力損失を低減し、熱輸送効率の向上が求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一観点によれば、作動流体を気化させる蒸発器と、作動流体を液化する凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する蒸気管と、を有し、前記液管は、両端の壁部と、前記各壁部と連続して一体に形成された多孔質体と、前記多孔質体の間の流路とを有する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の一観点によれば、熱輸送効率を向上できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】ループ型ヒートパイプの概略平面図。
【図２】液管を示す概略断面図。
【図３】多孔質部を説明する金属層の一部概略平面図。
【図４】１層目の金属層の概略平面図。
【図５】２層目の金属層の概略平面図。
【図６】（ａ）〜（ｅ）は、２層目の金属層の製造工程を説明する概略断面図。
【図７】変更例の液管を示す概略断面図。
【図８】変更例の液管を示す概略断面図。
【図９】変更例の液管を示す概略断面図。
【図１０】変更例の液管を示す概略平面図。
【図１１】変更例のループ型ヒートパイプの概略平面図。
【図１２】図１１の液管を示す概略断面図。
【図１３】変更例の液管を示す概略断面図。
【図１４】変更例の液管を示す概略断面図。
【図１５】変更例の液管を示す概略断面図。
【図１６】変更例の液管を示す概略断面図。
【図１７】変更例の液管を示す概略断面図。
【図１８】変更例の液管を示す概略断面図。
【図１９】変更例の液管を示す概略断面図。
【図２０】（ａ）は変更例の液管を示す概略平面図、（ｂ）はｂ−ｂ線断面図。
【図２１】（ａ）（ｂ）は変更例の多孔質部を示す金属層の一部概略平面図。
【図２２】（ａ）は変更例の多孔質部を示す金属層の一部概略平面図、（ｂ）はｂ−ｂ線断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して一実施形態を説明する。なお、添付図面は、便宜上、特徴を分かりやすくするために特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。また、断面図では、各部材の断面構造を分かりやすくするために、一部の部材のハッチングを梨地模様に代えて示し、一部の部材のハッチングを省略している。なお、本明細書において、「平面視」とは、対象物を図２等の鉛直方向（図中上下方向）から視ることを言い、「平面形状」とは、対象物を図２等の鉛直方向から視た形状のことを言う。
【００１０】
［構成］
図１に示すように、ループ型ヒートパイプ１は、例えば、スマートフォンやタブレット端末等のモバイル型の電子機器２に収容される。
【００１１】
ループ型ヒートパイプ１は、蒸発器１１と、蒸気管１２と、凝縮器１３と、液管１４とを有している。
蒸発器１１と凝縮器１３は、蒸気管１２と液管１４とにより接続されている。蒸発器１１は、作動流体Ｃを気化させて蒸気Ｃｖを生成する機能を有している。凝縮器１３は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖを液化する機能を有している。液化した作動流体Ｃは、液管１４を介して蒸発器１１に送られる。蒸気管１２及び液管１４は、作動流体Ｃ又は蒸気Ｃｖを流すループ状の流路を形成する。
【００１２】
本実施形態において、液管１４の長さと蒸気管１２の長さは、例えば互いに同じである。なお、液管１４の長さと蒸気管１２の長さは、異なっていてもよい。例えば、液管１４の長さに比べて蒸気管１２の長さが短くてもよい。
【００１３】
蒸発器１１は、図示しない発熱部品に密着して固定される。蒸発器１１内の作動流体Ｃは、発熱部品にて発生した熱により気化し、蒸気Ｃｖが生成される。なお、蒸発器１１と発熱部品との間に、熱伝導部材（ＴＩＭ：Thermal Interface Material）が介在されてもよい。熱伝導部材は、発熱部品と蒸発器１１の間の接触熱抵抗を低減し、発熱部品から蒸発器１１への熱伝導をスムーズにする。
【００１４】
蒸気管１２は、幅方向（図１の上下方向）両側の管壁１２ｗと、管壁１２ｗの間の流路１２ｒとを有している。流路１２ｒは、蒸発器１１内の空間と連通している。流路１２ｒは、上述のループ状の流路の一部である。蒸発器１１にて発生した蒸気Ｃｖは、蒸気管１２を介して凝縮器１３へと導かれる。
【００１５】
凝縮器１３は、放熱用に面積を大きくした放熱プレート１３ｐと、放熱プレート１３ｐの内部において蛇行した流路１３ｒとを有している。流路１３ｒは、上述のループ状の流路の一部である。蒸気管１２を介して導かれた蒸気Ｃｖは、凝縮器１３において液化する。
【００１６】
液管１４は、幅方向（図１の上下方向）両側の管壁１４ｗと、管壁１４ｗの間の流路１４ｒとを有している。流路１４ｒは、液管１４の幅方向において、概略中央部に設けられている。流路１４ｒは、凝縮器１３の流路１３ｒと連通するとともに、蒸発器１１の内部空間と連通している。流路１４ｒは、上述のループ状の流路の一部である。流路１４ｒは、液管１４内において、作動流体Ｃを流れ易くする。
【００１７】
液管１４の管壁１４ｗにはそれぞれ、多孔質体１４ｓが設けられている。多孔質体１４ｓは、液管１４に沿って、凝縮器１３から蒸発器１１の近傍まで延びている。多孔質体１４ｓは、その多孔質体１４ｓに生じる毛細管力によって、凝縮器１３で液化した作動流体Ｃを蒸発器１１へと導く。
【００１８】
蒸発器１１には、多孔質体１１ｓが設けられている。蒸発器１１の多孔質体１１ｓは、例えば、櫛歯状に形成されている。蒸発器１１内において、多孔質体１１ｓが設けられていない領域は空間が形成されている。なお、櫛歯の数は適宜決定することができる。
【００１９】
このループ型ヒートパイプ１は、発熱部品で発生した熱を凝縮器１３に移動し、その凝縮器１３において放熱する。これにより、ループ型ヒートパイプ１は、発熱部品を冷却する。
【００２０】
作動流体Ｃとしては、蒸気圧が高く、蒸発潜熱が大きい流体を使用するのが好ましい。このような作動流体Ｃを用いることで、蒸発潜熱によって発熱部品を効率的に冷却できる。作動流体Ｃとしては、例えば、アンモニア、水、フロン、アルコール、アセトン、等を用いることができる。
【００２１】
図２は、図１の２−２線に沿う液管１４の断面を示す。この断面は、液管１４において作動流体Ｃの流れる方向（図１で矢印にて示す方向）と直交する面である。
図２に示すように、液管１４は、６層の金属層４１〜４６を積層した構造とすることができる。言い換えれば、液管１４は、一対の最外金属層となる金属層４１，４６の間に、中間金属層となる金属層４２〜４５を積層した構造とすることができる。各金属層４１〜４６は、例えば、熱伝導性に優れた銅層であって、固相接合等により互いに直接接合されている。なお、図２では、各金属層４１〜４６を判り易くするため、実線にて区別している。例えば金属層４１〜４６を拡散接合により一体化した場合、各金属層４１〜４６の界面は消失していることがあり、境界は明確ではないことがある。
【００２２】
なお、金属層４１〜４６は、銅層に限定されず、ステンレス層やアルミニウム層、マグネシウム合金層等から形成してもよい。なお、積層した金属層４１〜４６のうちの一部の金属層について、他の金属層と異なる材料が用いられてもよい。金属層４１〜４６の各々の厚さは、例えば、５０μｍ〜２００μｍ程度とすることができる。なお、金属層４１〜４６のうちの一部金属層を他の金属層と異なる厚さとしてもよく、また全ての金属層を互いに異なる厚さとしてもよい。
【００２３】
図１に示す蒸発器１１、蒸気管１２及び凝縮器１３は、図２に示す液管１４と同様に、６層の金属層４１〜４６を積層して形成される。つまり、図１に示すループ型ヒートパイプ１は、６層の金属層４１〜４６を積層して構成される。なお、金属層の積層数は、６層に限定されず、５層以下や７層以上とすることができる。
【００２４】
図２に示すように、液管１４は、積層された金属層４１〜４６からなり、金属層４１〜４６の積層方向と直交する方向の両端の管壁１４ｗと、管壁１４ｗの間の流路１４ｒとを有している。流路１４ｒは、積層された金属層４１〜４６のうちの中間の金属層４２〜４５を厚さ方向に貫通する貫通孔４２Ｘ〜４５Ｘにより構成されている。
【００２５】
管壁１４ｗは、多孔質体１４ｓを一体的に有している。管壁１４ｗは、流路１４ｒに接する多孔質体１４ｓと、多孔質体１４ｓに接する壁部１４ｔにより構成されている。多孔質体１４ｓと壁部１４ｔとは、積層された金属層４１〜４６のうちの中間の金属層４２〜４５により、一体的に形成されている。例えば、多孔質体１４ｓは、壁部１４ｔと連続して一体に形成されている。
【００２６】
多孔質体１４ｓは、積層された金属層４１〜４６のうちの中間の金属層４２〜４５の多孔質体４２ｓ〜４５ｓにより構成されている。壁部１４ｔは、積層された金属層４１〜４６のうちの中間の金属層４２〜４５の壁部４２ｔ〜４５ｔにより構成されている。なお、本実施形態において、最外層となる金属層４１，４６には、孔や溝は形成されていない。
【００２７】
金属層４２は、厚さ方向に貫通する１つの貫通孔４２Ｘと、貫通孔４２Ｘより外側の多孔質体４２ｓと、多孔質体４２ｓの外側の壁部４２ｔとを有している。多孔質体４２ｓは、例えば、壁部４２ｔと連続して一体に形成されている。金属層４３は、厚さ方向に貫通する１つの貫通孔４３Ｘと、貫通孔４３Ｘより外側の多孔質体４３ｓと、多孔質体４３ｓの外側の壁部４３ｔとを有している。多孔質体４３ｓは、例えば、壁部４３ｔと連続して一体に形成されている。金属層４４は、厚さ方向に貫通する１つの貫通孔４４Ｘと、貫通孔４４Ｘより外側の多孔質体４４ｓと、多孔質体４４ｓの外側の壁部４４ｔとを有している。多孔質体４４ｓは、例えば、壁部４４ｔと連続して一体に形成されている。金属層４５は、厚さ方向に貫通する１つの貫通孔４５Ｘと、貫通孔４５Ｘより外側の多孔質体４５ｓと、多孔質体４５ｓの外側の壁部４５ｔとを有している。多孔質体４５ｓは、例えば、壁部４５ｔと連続して一体に形成されている。
【００２８】
金属層４２〜４５は、それぞれの貫通孔４２Ｘ〜４５Ｘが重なるように積層されている。金属層４２の上面に金属層４１が積層され、金属層４５の下面に金属層４６が積層されている。これら金属層４１〜４６と、金属層４２〜４５の貫通孔４２Ｘ〜４５Ｘにより、流路１４ｒが区画されている。流路１４ｒは、多孔質体１４ｓと金属層４１，４６により囲まれている。
【００２９】
図２に示すように、多孔質体４２ｓには、金属層４２の上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４２ｕと、金属層４２の下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４２ｄとが形成されている。
【００３０】
図３に示すように、有底孔４２ｕと有底孔４２ｄはそれぞれ平面視円形状であり、直径は１００μｍ〜４００μｍとすることができる。なお、有底孔４２ｕ，４２ｄの平面視形状を、楕円形や多角形等の任意の形状とすることができる。また、有底孔４２ｕ，４２ｄの内壁は、底面側（金属層４２の中央部側）から開口側（金属層４２の上下面側）に向かって拡がるテーパ形状とすることができる。
【００３１】
なお、有底孔４２ｕ，４２ｄの内壁はこれに限らず、例えば、有底孔の内壁を、底面に対して垂直としてもよい。また、有底孔４２ｕ，４２ｄの内壁面を断面視形状が略半円形や略半楕円形状となる凹形状としても良い（例えば、図１６参照）。略半円形とは、真円を二等分した半円のみでなく、例えば、半円よりも円弧が長いものや短いものも含む。又、略半楕円形とは、楕円を二等分した半楕円のみでなく、例えば、半楕円よりも円弧が長いものや短いものも含む。このような形状の有底孔４２ｕ，４２ｄにより細孔４２ｚが形成されてもよい。また、有底孔４２ｕ，４２ｄを、内壁が底面にかけて円弧状に連続する形状としてもよく、このような形状の有底孔４２ｕ，４２ｄにより細孔４２ｚが形成されてもよい。
【００３２】
そして、有底孔４２ｕと有底孔４２ｄは、平面視で部分的に重複している。図２及び図３に示すように、重複する部分において、有底孔４２ｕと有底孔４２ｄは部分的に連通して細孔４２ｚを形成している。なお、図３は、有底孔４２ｕ，４２ｄの配列状態と、有底孔４２ｕ，４２ｄの部分的な重なりと細孔４２ｚを示す説明図である。このような有底孔４２ｕ，４２ｄと細孔４２ｚを有する多孔質体４２ｓは、多孔質体１４ｓの一部を構成する。有底孔４２ｕと有底孔４２ｄの少なくとも一方（図２では有底孔４２ｄ）は貫通孔４２Ｘに連通している。例えば、多孔質体４２ｓは、貫通孔４２Ｘに隣接して設けられ、貫通孔４２Ｘの側面の一部は、有底孔４２ｕと有底孔４２ｄの少なくとも一方と連通している。金属層４２の壁部４２ｔには、孔や溝は形成されていない。
【００３３】
同様に、図２に示すように、多孔質体４３ｓには、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４３ｕと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４３ｄとが形成されている。これらの有底孔４３ｕ，４３ｄは、金属層４２の有底孔４２ｕ，４２ｄと同様の形状とすることができる。有底孔４３ｕ，４３ｄは、平面視で部分的に重複している。重複する部分において、有底孔４３ｕと有底孔４３ｄは部分的に連通して細孔４３ｚを形成している。このような有底孔４３ｕ，４３ｄと細孔４３ｚを有する多孔質体４３ｓは、多孔質体１４ｓの一部を構成する。有底孔４３ｕと有底孔４３ｄの少なくとも一方（図２では有底孔４３ｕ）は貫通孔４３Ｘに連通している。例えば、多孔質体４３ｓは、貫通孔４３Ｘに隣接して設けられ、貫通孔４３Ｘの側面の一部は、有底孔４３ｕと有底孔４３ｄの少なくとも一方と連通している。金属層４３の壁部４３ｔには、孔や溝は形成されていない。
【００３４】
同様に、図２に示すように、多孔質体４４ｓには、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４４ｕと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４４ｄとが形成されている。これらの有底孔４４ｕ，４４ｄは、金属層４２の有底孔４２ｕ，４２ｄと同様の形状とすることができる。有底孔４４ｕ，４４ｄは、平面視で部分的に重複している。重複する部分において、有底孔４４ｕと有底孔４４ｄは部分的に連通して細孔４４ｚを形成している。このような有底孔４４ｕ，４４ｄと細孔４４ｚを有する多孔質体４４ｓは、多孔質体１４ｓの一部を構成する。有底孔４４ｕと有底孔４４ｄの少なくとも一方（図２では有底孔４４ｄ）は貫通孔４４Ｘに連通している。例えば、多孔質体４４ｓは、貫通孔４４Ｘに隣接して設けられ、貫通孔４４Ｘの側面の一部は、有底孔４４ｕと有底孔４４ｄの少なくとも一方と連通している。金属層４４の壁部４４ｔには、孔や溝は形成されていない。
【００３５】
同様に、図２に示すように、多孔質体４５ｓには、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４５ｕと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４５ｄとが形成されている。これらの有底孔４５ｕ，４５ｄは、金属層４２の有底孔４２ｕ，４２ｄと同様の形状とすることができる。有底孔４５ｕ，４５ｄは、平面視で部分的に重複している。重複する部分において、有底孔４５ｕと有底孔４５ｄは部分的に連通して細孔４５ｚを形成している。このような有底孔４５ｕ，４５ｄと細孔４５ｚを有する多孔質体４５ｓは、多孔質体１４ｓの一部を構成する。有底孔４５ｕと有底孔４５ｄの少なくとも一方（図２では有底孔４５ｕ）は貫通孔４５Ｘに連通している。例えば、多孔質体４５ｓは、貫通孔４５Ｘに隣接して設けられ、貫通孔４５Ｘの側面の一部は、有底孔４５ｕと有底孔４５ｄの少なくとも一方と連通している。金属層４５の壁部４５ｔには、孔や溝は形成されていない。
【００３６】
なお、有底孔４３ｕ〜４５ｕ、４３ｄ〜４５ｄの配列状態は、有底孔４２ｕ、４２ｄと同様でも良いし、各々異なっていても良い。例えば、有底孔４２ｄと有底孔４３ｕが平面視で重なるように配列されていても良い。また、例えば、有底孔４２ｄと有底孔４３ｕが平面視で部分的に重複し、重複する部分において有底孔４２ｄと有底孔４３ｕが部分的に連通して細孔を有しても良い。有底孔４３ｄと有底孔４４ｕ、有底孔４４ｄと有底孔４５ｕも同様である。
【００３７】
上述したように、液管１４は、幅方向両端の管壁１４ｗと、管壁１４ｗの間の流路１４ｒとを有している。管壁１４ｗには、一体的に多孔質体１４ｓが設けられている。流路１４ｒは、２つの多孔質体１４ｓと金属層４１，４６により囲まれている。
【００３８】
［作用］
図１に示すように、ループ型ヒートパイプ１は、作動流体Ｃを気化させる蒸発器１１と、蒸気Ｃｖを液化する凝縮器１３と、気化した作動流体（蒸気Ｃｖ）を凝縮器１３に流入させる蒸気管１２と、液化した作動流体Ｃを蒸発器１１に流入させる液管１４とを有している。
【００３９】
液管１４は、両端の壁部１４ｔと、各壁部１４ｔと連続して一体に形成された多孔質体１４ｓと、多孔質体１４ｓの間の流路１４ｒとを有している。図１に示すように、多孔質体１４ｓは、液管１４に沿って凝縮器１３から蒸発器１１まで延びている。多孔質体１４ｓは、その多孔質体１４ｓに生じる毛細管力によって、凝縮器１３で液化した作動流体Ｃを蒸発器１１へと導く。
【００４０】
本実施形態において、流路１４ｒは、液管１４の中央部に設けられている。このような液管１４では、管壁１４ｗの断面積（壁部１４ｔの断面積及び多孔質体１４ｓの断面積（多孔質体１４ｓが設けられる領域の断面積））を確保しつつ、１つの流路１４ｒの断面積を大きくできる。壁部１４ｔの断面積は、液管１４の強度を確保する。多孔質体１４ｓの断面積は、多孔質体１４ｓにおいて生じる毛細管力を確保する。そして、このような１つの流路１４ｒは、細い流路を複数設ける場合と比べてその流路１４ｒの断面積を大きくでき、液管１４における作動流体Ｃの圧力損失を低減できる。このため、ループ型ヒートパイプ１における熱輸送能力を向上できる。
【００４１】
多孔質体１４ｓは、液管１４の管壁１４ｗに一体的に設けられている。従って、管壁１４ｗの幅は、多孔質体を壁部から離して設けるものと比べて広くなる。このような管壁１４ｗにより、液管１４の潰れや変形を抑制できる。
【００４２】
［製造方法］
次に、本実施形態のループ型ヒートパイプ１の製造方法について説明する。
図４，図５は、ループ型ヒートパイプ１に使用する金属層の平面図である。
【００４３】
図４は、ループ型ヒートパイプ１の最外層（最上層と最下層）に用いる金属層、つまり、図２に示す金属層４１，４６に使用する金属層６１の平面図である。
図５は、最上層と最下層のそれぞれ内側に積層される金属層、つまり、図２に示す金属層４２〜４５に使用する金属層６２の平面図である。
【００４４】
図４，図５に示す金属層６１，６２は、例えば厚さが１００μｍの銅層を、例えばウエットエッチングにより所定の形状にパターニングすることで作成される。
図４に示す金属層６１は、孔や溝が形成されていないベタ状の金属層である。
【００４５】
図５に示す金属層６２には、図１に示す蒸発器１１、蒸気管１２、凝縮器１３、液管１４の流路に対応する開口部６２Ｙが形成されている。また、液管１４に対応する部分の金属層６２には、図２に示す貫通孔４２Ｘ〜４５Ｘに対応する貫通孔６２Ｘが形成されている。図２に示す多孔質体４２ｓ〜４５ｓに対応する部分６２ｓには、多孔質体４２ｓ〜４５ｓを構成する有底孔４２ｕ，４２ｄ〜４５ｕ，４５ｄ（図２参照）が形成されている。
【００４６】
ここで、多孔質体を構成する有底孔と流路を構成する貫通孔の形成について説明する。
図６（ａ）〜図６（ｅ）は、図５に示す金属層６２（図２に示す金属層４２）の液管１４に対応する部分を形成する工程の断面図を示している。
【００４７】
先ず、図６（ａ）に示す工程では、平板状の金属シート８０を準備する。金属シート８０は、最終的に金属層４２となる部材であり、例えば、銅、ステンレス、アルミニウム、マグネシウム合金等から形成することができる。金属シート８０の厚さは、例えば、５０μｍ〜２００μｍ程度とすることができる。
【００４８】
次に、図６（ｂ）に示す工程では、金属シート８０の上面にレジスト層８１を形成し、金属シート８０の下面にレジスト層８２を形成する。レジスト層８１，８２としては、例えば、感光性のドライフィルムレジスト等を用いることができる。
【００４９】
次に、図６（ｃ）に示す工程では、レジスト層８１を露光及び現像して、金属シート８０の上面を選択的に露出する開口部８１Ｘ，８１Ｙを形成する。同様に、レジスト層８２を露光及び現像して、金属シート８０の下面を選択的に露出する開口部８２Ｘ，８２Ｙを形成する。例えば、図２に示す金属層４２を形成する場合、レジスト層８１の開口部８１Ｘ及びレジスト層８２の開口部８２Ｘは、図２に示す貫通孔４２Ｘに対応する形状及び位置に対応するように形成される。そして、レジスト層８１の開口部８１Ｙ及びレジスト層８２の開口部８２Ｙは、図２に示す４２ｕ，４２ｄに対応する形状及び位置に対応するように形成される。
【００５０】
次に、図６（ｄ）に示す工程では、開口部８１Ｘ，８１Ｙ内に露出する金属シート８０を、金属シート８０の上面側からエッチングするとともに、開口部８２Ｘ，８２Ｙ内に露出する金属シート８０を、金属シート８０の下面側からエッチングする。開口部８１Ｘ及び開口部８２Ｘが重なる部分において、貫通孔４２Ｘが形成される。また、開口部８１Ｙにより、金属シート８０の上面側に有底孔４２ｕが形成され、開口部８２Ｙにより、金属シート８０の下面側に有底孔４２ｄが形成される。有底孔４２ｕと有底孔４２ｄは、平面視において部分的に重なるように形成され、その重なる部分において有底孔４２ｕと有底孔４２ｄとが互いに連通して細孔４２ｚが形成される。金属シート８０のエッチングには、例えば、塩化第二鉄溶液を用いることができる。
【００５１】
次に、図６（ｅ）に示す工程では、レジスト層８１，８２を剥離液により剥離する。このような工程により、図５に示す金属層６２（図２に示す金属層４２）を形成する。
図６（ａ）〜図６（ｅ）に示す工程と同様の工程により、図２に示す金属層４３〜４５に用いる金属層６２（図５参照）を形成する。
【００５２】
次に、図４に示す孔や溝が形成されていないベタ状の金属層６１を準備する。
次いで、図４に示す金属層６１を最上層と最下層に配置し、図５に示す金属層６２を金属層６１の内側に配置する（金属層６２を金属層６１で挟み込む）。一対の金属層６１の間に配置する金属層６２は、１層以上とすることができる。そして、金属層６１，６２を所定温度（例えば、約９００℃）に加熱しながら積層した金属層６１，６２をプレスすることにより、拡散接合にて金属層６１，６２を接合する。
【００５３】
その後、図示しない真空ポンプを用いて液管１４等を排気し、図示しない注入口から作動流体Ｃ（例えば水）を液管１４に注入し、注入口を封止してループ型ヒートパイプ１が完成する。
【００５４】
以上記述したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）ループ型ヒートパイプ１は、作動流体Ｃを気化させる蒸発器１１と、蒸気Ｃｖを液化する凝縮器１３と、気化した作動流体（蒸気Ｃｖ）を凝縮器１３に流入させる蒸気管１２と、液化した作動流体Ｃを蒸発器１１に流入させる液管１４とを有している。液管１４は、両端の壁部１４ｔと、各壁部１４ｔと連続して一体に形成された多孔質体１４ｓと、多孔質体１４ｓの間の流路１４ｒとを有している。このような液管１４では、管壁１４ｗの断面積（壁部１４ｔの断面積及び多孔質体１４ｓの断面積（多孔質体１４ｓが設けられる領域の断面積））を確保しつつ、１つの流路１４ｒの断面積を大きくできる。壁部１４ｔの断面積は、液管１４の強度を確保する。多孔質体１４ｓの断面積は、多孔質体１４ｓにおいて生じる毛細管力を確保する。そして、このような１つの流路１４ｒは、細い流路を複数設ける場合と比べてその流路１４ｒの断面積を大きくでき、液管１４における作動流体Ｃの圧力損失を低減できる。このため、ループ型ヒートパイプ１における熱輸送能力を向上できる。
【００５５】
（２）多孔質体１４ｓは、液管１４の管壁１４ｗに一体的に設けられている。従って、管壁１４ｗの幅は、多孔質体を壁部から離して設けるものと比べて広くなる。このような管壁１４ｗにより、液管１４の潰れや変形を抑制できる。
【００５６】
＜変更例＞
以下、液管の各変更例を説明する。
なお、各変更例において上記実施形態と同じ構成部材、各変更例の間において同じ構成部材については同じ符号を付してその説明の一部又は全てを省略する場合がある。なお、液管以外の部分については上記の実施形態（図１）と同じであるため、図１等を参照し、図面及び説明を省略する。
【００５７】
図７に示す液管１４Ａは、積層された金属層４１〜４６からなる。この液管１４Ａを構成する金属層４２〜４５は、図２に示す液管１４を構成する金属層４２〜４５と同様に形成されている。
【００５８】
最上層の金属層４１には、金属層４２と接する下面に、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４１ｄが形成されている。有底孔４１ｄは、平面視において、金属層４１と隣接する金属層４２の上面側の有底孔４２ｕと部分的に重なる位置に形成されている。従って、金属層４１と金属層４２の界面において、有底孔４１ｄと有底孔４２ｕとを連通する細孔４８ｚが形成される。
【００５９】
最下層の金属層４６には、金属層４５と接する下上面に、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４６ｕが形成されている。有底孔４６ｕは、平面視において、金属層４６と隣接する金属層４５の下面側の有底孔４５ｄと部分的に重なる位置に形成されている。従って、金属層４６と金属層４５の界面において、有底孔４６ｕと有底孔４５ｄとを連通する細孔４９ｚが形成される。
【００６０】
このように、液管１４Ａでは、最上層の金属層４１と最下層の金属層４６とにそれぞれ有底孔４１ｄ，４６ｕを形成することにより、多孔質体を大きくして多くの作動流体Ｃを移動させることができる。また、多孔質体の大きさによって作動流体Ｃをより分散させることができる。
【００６１】
図８に示す液管１４Ｂは、積層された金属層４１〜４６からなり、金属層４２〜４５の構造は図７に示す液管１４Ａの構造と同様である。図８に示す液管１４Ｂにおいて、金属層４１，４６には、図７に示す金属層４１，４６の構成に加え、有底孔４１ｄ，４６ｕが流路１４ｒと重なる位置にも形成されている。金属層４１は、金属層４２の有底孔４２ｕと連通する有底孔４１ｄと、流路１４ｒと連通する有底孔４１ｄとを有している。金属層４６は、金属層４５の有底孔４５ｄと連通する有底孔４６ｕと、流路１４ｒと連通する有底孔４６ｕとを有している。
【００６２】
図９に示す液管１４Ｃは、積層された金属層４１〜４６からなる。
液管１４Ｃの流路１４ｒは、金属層４３，４４を厚さ方向に貫通する貫通孔４３Ｘ，４４Ｘにより構成される。液管１４Ｃの管壁１４ｗは、多孔質体１４ｓと壁部１４ｔとからなる。多孔質体１４ｓは金属層４３の多孔質体４３ｓと金属層４４の多孔質体４４ｓとからなる。壁部１４ｔは金属層４３の壁部４３ｔと金属層４４の壁部４４ｔからなる。
【００６３】
金属層４３は、中央部において厚さ方向に貫通する貫通孔４３Ｘと、貫通孔４３Ｘより外側の多孔質体４３ｓと、多孔質体４３ｓの外側の壁部４３ｔとを有している。金属層４４は、中央部において厚さ方向に貫通する貫通孔４４Ｘと、貫通孔４４Ｘより外側の多孔質体４４ｓと、多孔質体４４ｓの外側の壁部４４ｔとを有している。
【００６４】
金属層４２は、金属層４３の壁部４３ｔと重なる壁部４２ｔと、壁部４２ｔの間の多孔質体４２ｓとを有している。多孔質体４２ｓは、金属層４２の上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４２ｕと、金属層４２の下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４２ｄと、有底孔４２ｕと有底孔４２ｄとが部分的に連通して形成された細孔４２ｚとを有している。
【００６５】
金属層４５は、金属層４４の壁部４４ｔと重なる壁部４５ｔと、壁部４５ｔの間の多孔質体４５ｓとを有している。多孔質体４５ｓは、金属層４５の上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４５ｕと、金属層４５の下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４５ｄと、有底孔４５ｕと有底孔４５ｄとが部分的に連通して形成された細孔４５ｚとを有している。
【００６６】
なお、図９に示す液管１４Ｃにおいて、金属層４２と金属層４５の何れか一方を、図２に示す金属層４２又は金属層４５としてもよい。また、図９に示す液管１４Ｃにおいて、金属層４１，４６を、図７に示す金属層４１，４６、又は図８に示す金属層４１，４６に適宜変更して、さらに細孔４８ｚ、４９ｚを形成してもよい。
【００６７】
図１０に示す液管１４Ｄは、屈曲して形成されている。そして、液管１４Ｄを構成する金属層４２には、有底孔４２ｕと有底孔４２ｄとが形成されている。有底孔４２ｕと有底孔４２ｄは、屈曲する液管１４Ｄに沿って交互に形成されている。このように、液管１４Ｄに沿って有底孔４２ｕと有底孔４２ｄとを交互に形成することにより、屈曲した液管１４Ｄに沿って作動流体Ｃを移動させることができる。例えば、液管１４Ｄが直角に屈曲している箇所（例えば、図１に示すループ型ヒートパイプ１において右上の屈曲した部分）では、その屈曲した液管１４Ｄに沿って作動流体Ｃを移動させることで、作動流体Ｃを流れ易くすることができる。金属層４３〜４５に形成される多孔質体及び流路も同様に、屈曲する液管に沿って形成することができる。
【００６８】
図１１に示すループ型ヒートパイプは、液管１４Ｅを有している。図１２に示す液管１４Ｅは、積層された金属層４１〜４６からなり、図２と同様に、管壁１４ｗは、多孔質体１４ｓを一体的に有している。管壁１４ｗは、流路１４ｒに接する多孔質体１４ｓと、多孔質体１４ｓに接する壁部１４ｔにより構成されている。例えば、多孔質体１４ｓは、壁部１４ｔと連続して一体に形成されている。
【００６９】
そして、液管１４Ｅは、流路１４ｒの中央に支柱１４ｖを有している。言い換えれば、液管１４Ｅは、支柱１４ｖによって、２つの流路１４ｒが設けられている。支柱１４ｖには、孔や溝は形成されていない。また、多孔質体１４ｓのような多孔質体は形成されておらず、２つの流路１４ｒは、支柱１４ｖにより完全に分断されている。図１１に示すように、支柱１４ｖの一方の端部１４０ａは、蒸発器１１の近傍に位置し、支柱１４ｖの他方の端部１４０ｂは、凝縮器１３の近傍に位置する。端部１４０ｂが凝縮器１３内に入り込んでいてもよい。
【００７０】
支柱１４ｖは、金属層４２〜４５の支柱部４２ｖ〜４５ｖにより構成され、最外金属層４１，４６の間に配設されている。この液管１４Ｅは、流路１４ｒの断面積を確保しつつ、支柱１４ｖにより液管１４Ｅが潰れるのを抑制できる。また、仮に支柱１４ｖに多孔質体が設けられ、支柱１４ｖの両側（左右）に設けられた流路１４ｒが互いに連通していた場合、作動流体Ｃが支柱１４ｖを介して左右の流路１４ｒを行き来してしまい、熱輸送能力が低下してしまう虞がある。しかし、本変更例では、支柱１４ｖには多孔質体は形成されておらず、支柱１４ｖの両側の流路１４ｒがそれぞれ独立して設けられている。このため、液管１４Ｅにおける熱輸送能力の低下を抑制できる。
【００７１】
図１３に示す液管１４Ｆでは、支柱１４ｖの側面に溝が設けられている点で図１２と相違している。支柱１４ｖは、液管１４Ｆに沿って延びる線状の溝４２ｇ〜４５ｇを有している。溝４２ｇ〜４５ｇは、例えば、支柱１４ｖを構成する金属層４２〜４５の支柱部４２ｖ〜４５ｖを上面側からハーフエッチングすることにより形成されている。溝４２ｇ〜４５ｇは、流路１４ｒと連通し、流路１４ｒの作動流体Ｃの流れをスムーズにする。
【００７２】
図１４に示す液管１４Ｇでは、支柱１４ｖの側面に溝が設けられている点で図１２と相違している。支柱１４ｖは、液管１４Ｇに沿って延びる線状の溝４２ｇ，４４ｇを有している。溝４２ｇ，４４ｇは、例えば、支柱１４ｖを構成する金属層４２〜４５の支柱部４２ｖ〜４５ｖの幅を変えることにより形成されている。図１４に示す変更例では、支柱部４２ｖ〜４５ｖのうち、支柱部４２ｖ，４４ｖの幅を支柱部４３ｖ，４５ｖの幅よりも小さくすることにより、溝４２ｇ，４４ｇを形成している。溝４２ｇ，４４ｇは、流路１４ｒと連通し、流路１４ｒの作動流体Ｃの流れをスムーズにする。
【００７３】
図１５に示す液管１４Ｈでは、支柱１４ｖの側面に形成される溝が図１４と相違している。支柱１４ｖの溝４２ｇ〜４５ｇは、支柱部４２ｖ〜４５ｖの位置を液管１４Ｈの幅方向（図において左右方向）に互いにずらすことにより形成されている。
【００７４】
図１６に示す液管１４Ｉでは、支柱１４ｖの側面に形成される溝が図１３と相違している。支柱１４ｖは、液管１４Ｉに沿って延びる線状の溝４２ｇ〜４５ｇを有している。溝４２ｇ〜４５ｇは、断面円弧状であり、例えば、支柱１４ｖを構成する金属層４２〜４５の支柱部４２ｖ〜４５ｖを上面からハーフエッチングすることにより形成されている。溝４２ｇ〜４５ｇは、流路１４ｒと連通し、流路１４ｒの作動流体Ｃの流れをスムーズにする。
【００７５】
図１７に示す液管１４Ｊでは、支柱１４ｖの側面に形成される溝が図１６と相違するとともに、金属層４１，４６に溝が形成されている。支柱１４ｖは、液管１４Ｊに沿って延びる線状の溝を有している。
【００７６】
溝４２ｇ１は、支柱１４ｖを構成する金属層４２の支柱部４２ｖを上面側からハーフエッチングすることにより形成され、溝４２ｇ２は、支柱１４ｖを構成する金属層４２の支柱部４２ｖを下面側からハーフエッチングすることにより形成されている。溝４３ｇ１は、支柱１４ｖを構成する金属層４３の支柱部４３ｖを上面側からハーフエッチングすることにより形成され、溝４３ｇ２は、支柱１４ｖを構成する金属層４３の支柱部４３ｖを下面側からハーフエッチングすることにより形成されている。溝４４ｇ１は、支柱１４ｖを構成する金属層４４の支柱部４４ｖを上面側からハーフエッチングすることにより形成され、溝４４ｇ２は、支柱１４ｖを構成する金属層４４の支柱部４４ｖを下面側からハーフエッチングすることにより形成されている。溝４５ｇ１は、支柱１４ｖを構成する金属層４５の支柱部４５ｖを上面側からハーフエッチングすることにより形成され、溝４５ｇ２は、支柱１４ｖを構成する金属層４５の支柱部４５ｖを下面側からハーフエッチングすることにより形成されている。最外金属層４１を下面側からハーフエッチングして溝４１ｇ２が形成されている。最外金属層４６を上面側からハーフエッチングして溝４６ｇ１が形成されている。溝４１ｇ２，４２ｇ１，４２ｇ２，４３ｇ１，４３ｇ２，４４ｇ１，４４ｇ２，４５ｇ１，４５ｇ２，４６ｇ１は、流路１４ｒと連通し、流路１４ｒの作動流体Ｃの流れをスムーズにする。
【００７７】
図１８に示す液管１４Ｋは、積層された金属層４１〜４６からなり、図２と同様に、管壁１４ｗは、多孔質体１４ｓを一体的に有している。管壁１４ｗは、流路１４ｒに接する多孔質体１４ｓと、多孔質体１４ｓに接する壁部１４ｔにより構成されている。例えば、多孔質体１４ｓは、壁部１４ｔと連続して一体に形成されている。多孔質体１４ｓには、金属層４２，４３，４４，４５を厚さ方向に貫通する複数の貫通孔４２Ｙ，４３Ｙ，４４Ｙ，４５Ｙが形成されている。貫通孔４２Ｙ，４３Ｙ，４４Ｙ，４５Ｙは、例えば平面視円形状である。金属層４２の貫通孔４２Ｙと金属層４３の貫通孔４３Ｙは、互いに部分的に重なるように形成され、その重なる部分において互いに連通する細孔５１ｚを形成する。金属層４３の貫通孔４３Ｙと金属層４４の貫通孔４４Ｙは、互いに部分的に重なるように形成され、その重なる部分において互いに連通する細孔５２ｚを形成する。金属層４４の貫通孔４４Ｙと金属層４５の貫通孔４５Ｙは、互いに部分的に重なるように形成され、その重なる部分において互いに連通する細孔５３ｚを形成する。
【００７８】
図１９に示す液管１４Ｌでは、流路１４ｒに支柱１４ｖが形成されている点で図１８と相違している。流路１４ｒの中央には支柱１４ｖが設けられている。支柱１４ｖは、図１３〜図１７に示す支柱１４ｖと同様の構成することができる。
【００７９】
図２０（ａ）及び図２０（ｂ）に示す液管１４Ｍは、積層された金属層４１〜４６からなり、図２と同様に、管壁１４ｗは、多孔質体１４ｓを一体的に有している。管壁１４ｗは、流路１４ｒに接する多孔質体１４ｓと、多孔質体１４ｓに接する壁部１４ｔにより構成されている。例えば、多孔質体１４ｓは、壁部１４ｔと連続して一体に形成されている。管壁１４ｗには、さらに、流路１４ｒに向かって延びる突出部１４ｑを、多孔質体１４ｓと連続して一体的に有している。突出部１４ｑは、管壁１４ｗから作動流体Ｃの下流方向（図２０（ａ）の上方向）に傾いて形成されている。突出部１４ｑは、管壁１４ｗ（多孔質体１４ｓ）において、部分的に設けられている。突出部１４ｑは、例えば、管壁１４ｗの多孔質体１４ｓと同様の多孔質体である。
【００８０】
突出部１４ｑは、金属層４２の多孔質体４２ｑと、金属層４３の多孔質体４３ｑと、金属層４４の多孔質体４４ｑと、金属層４５の多孔質体４５ｑとから構成されている。多孔質体４２ｑには、多孔質体４２ｓと同様に、金属層４２の上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４２ｕと、金属層４２の下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４２ｄと、有底孔４２ｕと有底孔４２ｄは部分的に連通して形成された細孔４２ｚとを有している。多孔質体４３ｑには、多孔質体４３ｓと同様に、金属層４３の上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４３ｕと、金属層４３の下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４３ｄと、有底孔４３ｕと有底孔４３ｄは部分的に連通して形成された細孔４３ｚとを有している。多孔質体４４ｑには、多孔質体４４ｓと同様に、金属層４４の上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４４ｕと、金属層４４の下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４４ｄと、有底孔４４ｕと有底孔４４ｄは部分的に連通して形成された細孔４４ｚとを有している。多孔質体４５ｑには、多孔質体４５ｓと同様に、金属層４５の上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４５ｕと、金属層４５の下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４５ｄと、有底孔４５ｕと有底孔４５ｄは部分的に連通して形成された細孔４５ｚとを有している。なお、突出部１４ｑは、多孔質体でなくてもよい。
【００８１】
この突出部１４ｑは、作動流体Ｃの逆流を効果的に抑制できる。これにより、この液管１４Ｍを有するループ型ヒートパイプをトップヒートモードにて使用する場合の熱輸送能力を向上できる。トップヒートモードとは、外部から加熱されて作動流体の蒸発が生じる蒸発部を、作動流体蒸気が外部に熱を放散して凝縮する凝縮部より高い位置に配置し、いわゆる上から下に熱を輸送する熱輸送の形態である。また、突出部１４ｑにより、液管１４Ｍの流路１４ｒの潰れを抑制できる。
【００８２】
次に、上述した本実施形態及び変更例に対して適用できる他の変更例を示す。
図２１（ａ）に示すように、金属層１００において、有底孔１００ｕ，１００ｄを配列してもよい。有底孔１００ｕは金属層１００の上面側に形成され、有底孔１００ｄは金属層１００の下面側に形成されている。有底孔１００ｕと有底孔１００ｄは、列状に配置されている。各列において、有底孔１００ｕと有底孔１００ｄは、交互に配置されている。また、各列と直交する方向（図２１（ａ）の左右方向）において、有底孔１００ｕと有底孔１００ｄとが交互に配置されている。
【００８３】
図２１（ｂ）に示すように、金属層１１０は、大きさの異なる有底孔１１０ｕ，１１０ｄを形成してもよい。図２１（ｂ）において、有底孔１１０ｕの大きさは有底孔１１０ｄの大きさよりも大きい。なお、有底孔１１０ｄの大きさを有底孔１１０ｕの大きさよりも大きくしてもよい。また、隣接する２つの金属層において、互いに大きさの異なる有底孔を形成してもよい。なお、有底孔１１０ｕ，１１０ｄの配列を適宜変更してもよい。
【００８４】
図２２（ａ）及び図２２（ｂ）は、１つの金属層に、有底孔と溝とを形成した例を示す。図２２（ｂ）は、図２２（ａ）のｂ−ｂ線断面図を示す。
金属層１２０には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔１２０ｕと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔１２０ｄとが形成されている。有底孔１２０ｕと有底孔１２０ｄは、それぞれ列状であって交互に形成されている。列方向（図２２（ａ）の上下方向）において交互に形成された有底孔１２０ｕと有底孔１２０ｄは、互いに部分的に重なるように形成され、その重なる部分において有底孔１２０ｕと有底孔１２０ｄとを互いに連通する細孔１２０ｚを形成している。また、各列と直交する方向（図２２（ａ）の左右方向）において、有底孔１２０ｕと有底孔１２０ｄとが交互に形成されている。
【００８５】
金属層１２０の上面には、近接する有底孔１２０ｕを連通する溝１２１ｕが形成されている。金属層１２０の下面には、近接する有底孔１２０ｄを連通する溝１２１ｄが形成されている。
【００８６】
列方向（図２２（ｂ）の上下方向）に交互に形成された有底孔１２０ｕと有底孔１２０ｄは、その列方向に作動流体を移動させる。そして、金属層１２０の上面に形成された溝１２１ｕは、その溝１２１ｕにより連通される２つの有底孔１２０ｕの間で作動流体Ｃを移動させる。同様に、金属層１２０の下面に形成された溝１２１ｄは、その溝１２１ｄにより連通される２つの有底孔１２０ｄの間で作動流体Ｃを移動させる。このように、溝１２１ｕ（１２１ｄ）により有底孔１２０ｕ（１２０ｄ）と有底孔１２０ｕ（１２０ｄ）とが交互に配列された方向以外の方向に作動流体Ｃの移動させることができる。
【００８７】
なお、このように有底孔を連通する溝は、上記の実施形態及び変更例において、金属層４２〜４５に形成することができる。また、図７や図８に示す変更例において、最上層の金属層４１と最下層の金属層４６の少なくとも一方に形成することができる。
【００８８】
上記実施形態及び各変更例に示す有底孔の形状を適宜変更してもよい。
上記実施形態及び各変更例において、上面側の有底孔の深さと、下面側の有底孔の深さとが異なっていてもよい。
【００８９】
上述の実施形態及び各変更例の一部又は全てを適宜組み合わせて実施することもできる。
【符号の説明】
【００９０】
１１  蒸発器
１２  蒸気管
１３  凝縮器
１４  液管
１４ｒ  流路
１４ｗ  管壁
１４ｔ  壁部
１４ｓ  多孔質体
４１，４６  金属層
４２〜４５  金属層
【図１】
2020051638.tif 000003
【図２】
2020051638.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2020051638.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
2020051638.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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