(57)【要約】【課題】  駆動側プーリと従属側プーリとに架け渡される環状のベルトを備える基板搬送機構において、簡易な構成で、ベルトの張力を調整すること。【解決手段】第１の支持体に、モータの駆動力により回動する駆動側プーリと、回動することにより基板を搬送する搬送体を移動させる従属側プーリと、駆動側プーリと従属側プーリとに架け渡される環状のベルトと、を設ける。また、第１の支持体に、ベルトの環の外側の左右に各々左右方向に移動可能に、ベルトに当接して当該ベルトに張力を与えるための当接部材を設ける。さらに、当接部材毎に、左右方向に見て当接部材を挟んでベルトに対向するように、第１の対向部を設ける。また、第１の対向部と当接部材との間に各々弾性部材を設け、この弾性部材が各当接部材がベルトから受ける応力の変移により変形して、各当接部材の左右の位置を変更する。【選択図】図３
2020035955.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータの駆動力により回動する駆動側プーリと、
回動することにより基板を搬送する搬送体を移動させる従属側プーリと、
前記駆動側プーリ及び前記従属側プーリを支持する第１の支持体と、
前記駆動側プーリの回動によって前記従属側プーリが回動するように前記駆動側プーリと前記従属側プーリとに架け渡される環状のベルトと、
前記駆動側プーリ及び従属側プーリの配列方向を前後方向とすると、前記ベルトの環の外側の左右に各々当該左右方向に移動可能に前記第１の支持体に設けられ、当該ベルトに当接して当該ベルトに張力を与えるための当接部材と、
左右方向に見て前記当接部材を挟んで前記ベルトに対向するように、前記第１の支持体に当該当接部材毎に設けられた第１の対向部と、
前記第１の対向部と前記当接部材との間に各々介在し、前記各当接部材が前記ベルトから受ける応力の変移により変形して、各当接部材の左右の位置を変更する弾性部材と、を備えた基板搬送機構。
【請求項２】
前記各当接部材は、前記駆動側プーリ及び前記従属側プーリの各回動軸の方向と回動軸の方向が揃ったテンションプーリであり、
前記第１の支持体において前記テンションプーリを支持すると共に、前記弾性部材を挟んで前記第１の対向部に対向する第２の対向部を備えた第２の支持体が設けられる請求項１記載の基板搬送機構。
【請求項３】
前記駆動側プーリ、前記従属側プーリは互いに異なる大きさの径を備え、
前記前後方向について、前記駆動側プーリ及び従属側プーリのうち大きい径を有するプーリが位置する方向を前方とすると、前記駆動側プーリの回動軸と前記従属側プーリの回動軸との間における前後方向の領域において、前記各テンションプーリの回動軸は前方寄りの位置に設けられる請求項２記載の基板搬送機構。
【請求項４】
前記駆動側プーリの回動軸と前記従属側プーリの回動軸とを結ぶ線を第１の線とすると、
前記各テンションプーリの回動軸は前記第１の線に直交する第２の線上に位置すると共に、当該第１の線からの距離が各々等しい請求項３記載の基板搬送機構。
【請求項５】
前記弾性部材は、互いに異なる向きで重ね合わされた２つの皿バネを含む請求項１ないし４のいずれか一つに記載の基板搬送機構。
【請求項６】
前記基板搬送機構は多関節アームを備え、
前記第１の支持体は、多関節アームのうちの一のアームを構成する請求項１ないし６のいずれか一つに記載の基板搬送機構。
【請求項７】
真空雰囲気の搬送室と、
前記搬送室に接続され、真空雰囲気で前記基板に処理を行う処理モジュールと、
前記搬送室に接続されるロードロックモジュールと、
前記ロードロックモジュールと前記処理モジュールとの間で前記基板を搬送するために前記搬送室に設けられる第１の基板搬送機構と、
前記基板を格納した搬送容器が載置されるローダーモジュールと、
前記搬送容器と前記ロードロックモジュールとの間で前記基板を搬送するために前記ローダーモジュールに設けられる第２の基板搬送機構と、
を備え、前記第１の基板搬送機構及び第２の基板搬送機構のうちの少なくとも一方は請求項１ないし６のいずれか一つに記載の基板搬送機構により構成される基板処理装置。
【請求項８】
モータの駆動力により第１の支持体に支持される駆動側プーリを回動させる工程と、
前記第１の支持体に支持される従属側プーリを回動させることにより基板を搬送する搬送体を移動させる工程と、
前記駆動側プーリの回動によって前記従属側プーリが回動するように前記駆動側プーリと前記従属側プーリとに架け渡される環状のベルトを回動させる工程と、
前記駆動側プーリ及び従属側プーリの配列方向を前後方向とすると、前記ベルトの環の外側の左右に各々設けられる当接部材を当該ベルトに当接させて、当該ベルトに張力を与える工程と、
左右方向において前記当接部材を挟んで前記ベルトに対向するように、当該当接部材毎に前記第１の支持体に設けられた壁部と前記当接部材との間に各々介在する弾性部材を、前記各当接部材が前記ベルトから受ける応力の変移により変形させ、各当接部材の左右の位置を変更する工程と、
を備えた基板搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、基板搬送機構、基板処理装置及び基板搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造を行う装置においては、基板の搬送を行う基板搬送機構が用いられている。基板搬送機構としては、特許文献１に、水平多関節型の搬送ロボットが記載されている。この搬送ロボットは、第１プーリの回転力をベルトによって第２プーリに伝達して回動するアームを備え、ベルトの内側に設けられたテンション調整機構により、ベルトの張力を調整している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−６９５６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、駆動側プーリと従属側プーリとに架け渡される環状のベルトを備える基板搬送機構において、簡易な構成で、ベルトの張力を調整できる技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の基板搬送機構は、
モータの駆動力により回動する駆動側プーリと、
回動することにより基板を搬送する搬送体を移動させる従属側プーリと、
前記駆動側プーリ及び前記従属側プーリを支持する第１の支持体と、
前記駆動側プーリの回動によって前記従属側プーリが回動するように前記駆動側プーリと前記従属側プーリとに架け渡される環状のベルトと、
前記駆動側プーリ及び従属側プーリの配列方向を前後方向とすると、前記ベルトの環の外側の左右に各々当該左右方向に移動可能に前記第１の支持体に設けられ、当該ベルトに当接して当該ベルトに張力を与えるための当接部材と、
左右方向に見て前記当接部材を挟んで前記ベルトに対向するように、前記第１の支持体に当該当接部材毎に設けられた第１の対向部と、
前記第１の対向部と前記当接部材との間に各々介在し、前記各当接部材が前記ベルトから受ける応力の変移により変形して、各当接部材の左右の位置を変更する弾性部材と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、駆動側プーリと従属側プーリとに架け渡される環状のベルトを備える基板搬送機構において、簡易な構成で、ベルトの張力を自動で調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本開示の基板搬送機構を備えた基板処理装置の一実施の形態を示す平面図である。
【図２Ａ】本開示の基板搬送機構の一実施の形態を示す平面図である。
【図２Ｂ】前記基板搬送機構を示す概略縦断面図である。
【図３】前記基板搬送機構の一部を示す概略横断面図である。
【図４Ａ】前記基板搬送機構の一部を示す平面図である。
【図４Ｂ】前記基板搬送機構の一部を示す平面図である。
【図５Ａ】前記基板搬送機構の一部を示す側面図である。
【図５Ｂ】前記基板搬送機構の一部を示す側面図である。
【図６】前記基板搬送機構の一部を示す縦断面図である。
【図７Ａ】前記基板搬送機構の一部を示す概略平面図である。
【図７Ｂ】前記基板搬送機構の一部を示す概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本開示の基板処理装置の一実施形態について説明する。図１に示すように、この基板処理装置は、その内部が真空雰囲気とされ、例えば平面視六角形状に構成された搬送室２を備える。搬送室２の六角形の各辺の内の４辺には、例えば処理モジュール２１が搬送口２２を介して気密に接続され、残りの２辺にはロードロックモジュール２３が搬送口２４を介して接続される。図１中符号Ｇ１、Ｇ２は、ゲートバルブである。
【０００９】
処理モジュール２１は、真空雰囲気で基板である半導体ウエハ（以下「ウエハ」とする）Ｗに対して処理を行なうモジュールであり、その内部には、例えばウエハＷの載置台及び処理ガスを供給するためのガス供給部などが設けられる。例えば各処理モジュール２１の載置台は、その上に載置されるウエハＷの中心が、搬送室２の中心から互いに等しい距離になるように配置される。処理モジュール２１にて実施される処理としては、例えば成膜ガスによる成膜処理、エッチングガスによるエッチング、アッシングガスによるアッシングなどを挙げることができる。ウエハＷに対する成膜処理の一例としては、真空雰囲気にてウエハＷを３００℃以上例えば７００℃に加熱して、例えばＣＶＤ（chemical vapor deposition）やＡＬＤ（atomic layer deposition）により金属膜を形成する処理がある。
【００１０】
ロードロックモジュール２３は、その内部を真空雰囲気と常圧雰囲気との間で切り替えられるように構成され、例えば２つのロードロックモジュール２３のうち、一方が未処理のウエハ用、他方が処理済みのウエハ用として割り当てられる。このロードロックモジュール２３は、ゲートバルブＧ３により開閉される搬送口２５を介してローダーモジュール２６に接続される。ローダーモジュール２６は、常圧雰囲気に設定されており、ウエハＷを格納した搬送容器であるキャリアＣが載置される搬入出ポート２６１を備える。
【００１１】
搬送室２には、ロードロックモジュール２３と処理モジュール２１との間でウエハＷを搬送するための第１の基板搬送機構である真空搬送アーム３が設けられる。また、ローダーモジュール２６には、キャリアＣとロードロックモジュール２３との間でウエハＷを搬送するための第２の基板搬送機構である常圧搬送アーム４が設けられる。常圧搬送アーム４は、例えば不図示の回動軸を介して接続された下段アーム部４１、上段アーム部４２及びウエハ保持部４３を下方側からこの順で連結した多関節アームである。常圧搬送アーム４は、図示しない回転機構及び昇降機構により、旋回、進退及び昇降自在に構成される。
【００１２】
次に、真空搬送アーム３について、図２〜図７を参照して説明する。真空搬送アーム３は、本開示の基板搬送機構をなすものであり、基台３１、第１のアーム３２、第２のアーム３３、基板支持部３４を、下方側からこの順で連結した多関節アームとして構成される。基板支持部３４は、基板であるウエハＷを搬送する搬送体をなすものである。基台３１は、例えば搬送室２内において中央部に設けられる。
【００１３】
第１のアーム３２は、例えば搬送室２の中心を旋回中心３０とするように基台３１に設けられ、第２のアーム３３は第１のアーム３２の先端部に水平方向に回動自在に設けられる。また、基板支持部３４は、その基端側を第２のアーム３３の先端部に軸支されて、水平方向に回動自在に設けられ、進退方向の先端部は、ウエハＷを保持するためにフォーク状に形成された保持部位として構成される。第１のアーム３２及び第２のアーム３３は、夫々のケース体３２１、３３１の内部にプーリやベルト等の駆動力の伝達系を備えて構成される。第１のアーム３２及び第２のアーム３３のケース体３２１、３３１、基板支持部３４は、加工が容易で軽量であることから、例えばアルミニウム（Ａｌ）により形成される。
【００１４】
真空搬送アーム３の伝達系について、図２Ｂ、図３を参照しながら簡単に説明する。第１のアーム３２は旋回中心３０を回転中心とする筒状の旋回軸５０により旋回するように構成される。第１のアーム３２の基端側には、旋回中心３０を回転中心とし、筒状の旋回軸５０の中に設けられた回動軸５１により第１のアーム３２とは独立して回動自在な第１の駆動側プーリ５２が設けられる。一方、第１のアーム３２の先端部には、第２のアーム３３を支持して第２のアーム３３と一体になって回動軸５３１により回動する第１の従属側プーリ５３が設けられる。第１の駆動側プーリ５２と第１の従属側プーリ５３との間には、第１の駆動側プーリ５２の回動によって第１の従属側プーリ５３が回動するように、環状のベルト５４が架け渡される。
【００１５】
第１の従属側プーリ５３の上側に設けられた中空の回動軸５５の上端部には第２のアーム３３が固定される。第２のアーム３３の基端部には、第１の従属側プーリ５３と回動軸５３１が共通である第２の駆動側プーリ５６が設けられる。また、第２のアーム３３の先端部には、第２の従属側プーリ５７が回動軸５７１により回動自在に設けられる。第２の駆動側プーリ５６と第２の従属側プーリ５７との間には、第２の駆動側プーリ５６の回動によって第２の従属側プーリ５７が回動するように、環状のベルト５８が架け渡される。第２の従属側プーリ５７の回動軸５７１の上端部には基板支持部３４が固定される。
【００１６】
この例では、第１及び第２のアーム３２、３３において、駆動側プーリと従属側プーリは互いに異なる大きさの径を備え、第１のアーム３２は、第１の駆動側プーリ５２の方が第１の従属側プーリ５３よりも径が大きい。また、第２のアーム３３は、第２の従属側プーリ５７の方が第２の駆動側プーリ５６よりも径が大きい。各プーリ５２、５３、５６、５７は例えばＡｌやＳＵＳ（ステンレス鋼）により形成され、各ベルト５４、５８は例えばＨ−ＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）やＣＲ（クロロプレンゴム）により形成される。
【００１７】
第１のアーム３２のベルト５４、第２のアーム３３のベルト５８の内側には、図４Ａ、図４Ｂに、ベルト５８の横断面形状を示すように、夫々凸部５４１、５８１が連続して等間隔で形成される。一方、第１の駆動側プーリ５２、第１の従属側プーリ５３、第２の駆動側プーリ５６、第２の従属側プーリ５７の外側面には、夫々ベルト５４、５８の凸部５４１、５８１と係合する形状の凹部が前記外側面全体に連続して形成される。なお、各プーリ５２、５３、５６、５７の凹部は図示を省略する。そして、各プーリ５２、５３、５６、５７とベルト５４、５８との接触部位において、プーリ側の凹部とベルト側の凸部とが噛み合い、プーリ５２、５３、５６、５７の回動に伴ってベルト５４、５８が移動するように構成される。
【００１８】
図２Ｂにおいて３５及び３６は、真空搬送アーム３における旋回軸５０を駆動するための旋回用駆動部、及び回動軸５１を駆動して、基板支持部３４を進退駆動するための進退用駆動部である。これら旋回用駆動部３５及び進退用駆動部３６は、夫々モータ、プーリ及びベルトなどからなる機構であり、後述する制御部１００により駆動が制御される。このように、真空搬送アーム３は、第１の駆動側プーリ５２の駆動力がベルト５４により第１の従属側プーリ５３に伝達し、さらに第２の駆動側プーリ５６を介してベルト５８により第２の従属側プーリ５４に伝達する。こうして、第２の従属側プーリ５７の回動により、基板支持部３４を移動させ、ウエハＷの搬送を行う。
【００１９】
第１の駆動側プーリ５２はモータの駆動力により回動し、第２の駆動側プーリ５６は、第１の従属側プーリ５３を介してモータの駆動力により回動する。これにより、第１及び第２の駆動側プーリ５２、５６は、いずれも本開示の駆動側プーリに相当する。また、第１の従属側プーリ５３は、第２の駆動側プーリ５６及び第２の従属側プーリ５７を介して搬送体である基板支持部３４を回動させるため、第１及び第２の従属側プーリ５３、５７は、いずれも本開示の従属側プーリに相当する。以降、第１及び第２の駆動側プーリ５２、５６を「駆動側プーリ」、第１及び第２の従属側プーリ５３、５７を「従属側プーリ」と記載する場合がある。
【００２０】
第１のアーム３２及び第２のアーム３３は、夫々本開示の第１の支持体をなすものであり、夫々ベルト５４、５８の張力を調整するための調整機構６を備える。この調整機構６について、第２のアーム３３を例にして、図３〜図５を参照しながら説明する。調整機構６は、当接部材６１と、第１の対向部６２と、弾性部材６３と、を備える。当接部材６１は、ベルト５８に当接して、このベルト５８に張力を与えるためのものである。以降、第２の駆動側プーリ５６と第２の従属側プーリ５７の配列方向を前後方向、前後方向に直交する方向を左右方向として説明する。また、駆動側プーリ５６及び従属側プーリ５７のうち大きい径を有するプーリ、この例では従属側プーリ５７が位置する方向を前方とする。
【００２１】
当接部材６１は、ベルト５８の環の外側の左右に、各々左右方向に移動可能に第２のアーム３３に設けられる。この例における当接部材６１は、駆動側プーリ５６及び従属側プーリ５７の各回動軸５３１、５７１の方向と回動方向が揃ったテンションプーリ６１１により構成される。テンションプーリ６１１は、ベルト５８から受ける応力に応じて、その中心である回動軸６１２が左右方向に移動するものである。
【００２２】
このテンションプーリ６１１は、例えば第２のアーム３３のケース体３３１の底面に設けられた、例えば平面視矩形の板状の第２の支持体６４の上に、回動軸６１２により鉛直軸まわりに回動自在に設けられる。第１の対向部６２は、当接部材６１毎に設けられ、例えば第２のアーム３３に、左右方向に見て、テンションプーリ６１１を挟んでベルト５８に対向するように設置される。この例の第１の対向部６２は、例えば図４及び図５に示すように、第２のアーム３３のケース体３３１の底面に立設された板状体よりなる。
【００２３】
弾性体６３は、第１の対向部６２と、テンションプーリ６１１との間に介在するように設けられ、テンションプーリ６１１がベルト５８から受ける応力の変移により変形して、テンションプーリ６１１の左右方向の位置を変更する。この例では、第２の支持体６４の上には、第１の対向部６２に対向するように、例えば板状体よりなる第２の対向部６５が立設されており、第１の対向部６２と第２の対向部６５との間に弾性体６３が設けられる。
【００２４】
弾性体６３としては例えば皿ばね６３１が用いられ、皿ばね６３１は、図６にその断面形状を示すように、中央に開口部６３２を備えた略円錐形状に形成される。この例の弾性体６３は、２つの皿ばね６３１を互いに異なる向きで重ね合わせて構成される。即ち、２つの皿ばね６３１を、互いの開口部６３２同士が対応し、径が大きい方の端面同士が接触するように重ね合わせ、その伸縮方向が左右方向を向くように、第１の対向部６２と第２の対向部６５との間に設置している。こうして２つの皿ばね６３１を重ね合わせた弾性体６３は、例えばテンションプーリ６１１の前方側と後方側に前後方向に２個並ぶように設けられる。
【００２５】
皿ばね６３１は、強度が大きく、熱負荷に対して優れ、１７０℃〜１８０℃の高温環境下にて復元力が得られる材質例えば金属よりなり、皿バネ形状に成型した後、例えば７００℃の熱負荷をかけた時効処理を行って形成される。皿バネ６３１の材質としては、例えば商品名インコネル（ニッケルを主な成分とする合金）等を用いることができる。第１の対向部６２及び第２の対向部６５には、皿ばね６３１の開口部６３２に対応する位置に夫々孔部６２１、６５１が形成され、この孔部６２１、６５１に例えば第２の支持体６５におけるベルト５８側からネジ６６が挿入される。ネジ６６の他端側は２枚の皿ばね６３１の開口部６３２、第１の対向部６２の孔部６２１を通過して第１の対向部６２から突出し、ナット６７により締結される。
【００２６】
この例では、調整機構６のテンションプーリ６１１の回動軸６１２は、第２の駆動側プーリ５６の回動軸５３１と第２の従属側プーリ５７の回動軸５７１との間における前後方向の領域において、前方寄りの位置に設けられる。また、各テンションプーリ６１１の回動軸６１２は、図３に示すように、第１の線Ｌ１に直交する第２の線Ｌ２上に位置すると共に、第１の線Ｌ１からの距離が各々等しい位置に設けられる。第１の線Ｌ１とは、駆動側プーリ５２、５６の回動軸５１、５３１と従属側プーリ５３、５７の回動軸５３１、５７１とを結ぶ線である。
【００２７】
このような調整機構６では、図４Ａ、図５Ａ、図７Ａに示すように、常温においては、テンションプーリ６１１がベルト５８の位置を規制して、ベルト５８の張力が所定の大きさになるように調整する。この例では２つの皿バネ６３１が変形していないときの弾性部材６３の左右方向の長さが通常の長さであり、この状態にある皿バネ６３１及びテンションプーリ６１１の位置が、ベルト５８の位置を規制して張力を調整する規制位置となる。このように、常温にてベルト５８の張力が低いときには、規制位置にあるテンションプーリ６１１によりベルト５８に応力を与えて、これらベルト５８の張力を高める。
【００２８】
一方、高温環境下では、アルミニウム製の真空搬送アーム３が高温になり、熱膨張して、駆動側プーリ５６と従属側プーリ５７との離間距離が大きくなる。一方、ベルト５８自体は熱膨張しにくく、伸び量が小さい。このため、図７Ｂに示すように、ベルト５８の張力が大きくなり、ベルト５８がテンションプーリ６１１を押圧する。そして、この応力が第２の支持体６４及び第２の対向部材６５を介して皿ばね６３１に伝達して、皿ばね６３１が縮み、左右方向の長さが小さくなるように変形する。これにより、第２の対向部材６５の位置が第１の対向部材６２に向けて移動するので、第２の支持体６４を介して、テンションプーリ６１１の回動軸６１２が、左右方向においてベルト５８が位置する側とは逆側に移動する。こうして、ベルト５８の張力の増加分が吸収される。
【００２９】
真空搬送アーム３の第１のアーム３２についても、第２のアーム３３と同様に、調整機構６が設けられている。第１の駆動側プーリ５２及び第１の従属側プーリ５３では、第１の駆動側プーリ５２の方が径が大きいので、当該駆動側プーリ５２が位置する方向が前後方向の前方となる。このため調整機構６のテンションプーリ６１１の回動軸６１２は、第１の駆動側プーリ５２の回動軸５１と第１の従属側プーリ５３の回動軸５３１との間における前後方向の領域において、第１の駆動側プーリ５２寄りの位置に設けられる。それ以外の構成については、第２のアーム３３にて説明した調整機構６と同様である。
【００３０】
基板処理装置は、図１に示すように、基板処理装置内におけるウエハＷの搬送、処理モジュール２１における成膜処理等のプロセス、ロードロックモジュール２３における雰囲気の切り替え等を制御する制御部１００を備えている。制御部１００は例えば図示しないＣＰＵと記憶部とを備えたコンピュータからなる。記憶部には処理モジュール２１における成膜処理のレシピや、当該基板処理装置において、真空搬送アーム３及び常圧搬送アーム４によるウエハＷの搬送を行うためのステップ（命令）群が組まれたプログラムが記録される。このプログラムは、例えばハードディスク、コンパクトディスク、マグネットオプティカルディスク、メモリカードなどの記憶媒体に格納され、そこからコンピュータにインストールされる。
【００３１】
続いて、上述の実施の形態の作用について説明する。先ず、基板処理装置におけるウエハＷの搬送について、簡単に説明する。搬入出ポート２６１上のキャリアＣ内のウエハＷを、常圧搬送アーム４により順番に取り出し、常圧雰囲気のロードロックモジュール２３に搬送する。ロードロックモジュール２３内を真空雰囲気に切り替えた後、ウエハＷを真空搬送アーム３により取り出し、搬送対象の処理モジュール２１の載置部に受け渡す。
【００３２】
処理モジュール２１では、例えば既述のように、真空雰囲気にてウエハＷを３００℃以上の温度例えば７００℃に加熱した状態で成膜処理を実行する。処理モジュール２１にてウエハＷの処理が終了すると、真空搬送アーム３の基板支持部３４を処理モジュール２１内に進入させて、ウエハＷを受け取る。真空搬送アーム３は、処理済みのウエハＷを真空雰囲気に切り替えたロードロックモジュール２３に搬送する。次いで、ロードロックモジュール２３を常圧雰囲気に切り替えた後、処理済みのウエハＷを、常圧搬送アーム４により、例えば元のキャリアＣに戻す。
【００３３】
次に、調整機構６によるベルト５４、５８の張力（テンション）の調整について説明する。常温では、既述のように、調整機構６のテンションプーリ６１１は規制位置に位置している。これにより、テンションプーリ６１１がベルト５４、５８に当接してベルト５４、５８の位置を規制し、ベルト５４、５８に予め設定された張力を与えている。
【００３４】
搬送室２では、真空搬送アーム３にて、未処理のウエハＷを処理モジュール２１に搬入する動作と、当該処理モジュール２１にて処理を行った処理済みのウエハＷを搬出する動作と、を連続して行っている。処理モジュール２１では、３００℃以上の高温処理を実施しているため、処理モジュール２１に進入する基板支持部３４が高温に曝され、処理モジュール２１へのアクセス回数の増加に伴い、次第に昇温する。基板支持部３４の熱は、搬送室２内は真空雰囲気であるため、第２のアーム３３、第１のアーム３２に移動していき、基板支持部３４、第１及び第２のアーム３２、３３は、例えば１７０℃〜１８０℃に昇温する。これにより、第２のアーム３３、第１のアーム３２は、前後方向に熱膨張し、既述のように駆動側プーリ５２、５６と従属側プーリ５３、５７との離間距離が大きくなって、ベルト５４、５８の張力が上昇する。
【００３５】
このようにベルト５４、５８の張力が高い状態では、既述のように、ベルト５４、５８がテンションプーリ６１１を押圧し、この応力の変移により弾性部材６３である皿ばね６３１が縮むように変形する。これにより、テンションプーリ６１１が、ベルト５４、５８が位置する側とは逆側に移動するので、高温環境下のベルト５４、５８の張力増加を吸収できる。また、真空搬送アーム３が高温から常温に戻ったときには、弾性部材６３である皿バネ６３１が復元力により元の形状に戻り、通常の張力をベルト５４、５８に与える。
【００３６】
上述の実施形態によれば、真空搬送アーム３を駆動するベルト５４、５８に張力を与える当接部材６１の位置を、ベルト５４、５８から受ける応力により変形する弾性部材６３により変更している。このため、簡易な構成で、ベルト５４、５８の張力を調整できる。即ち、高温環境下にて真空搬送アーム３を駆動するベルト５４、５８の張力が高くなるときには、弾性部材６３が変形して当接部材６１がベルト５４、５８が位置する側とは逆側に移動するため、張力増加を防止する。一方、常温時には、弾性部材６３が復元するため、通常の張力をベルト５４、５８に与える。このように、常温時及び高温時において、常に最適なベルトの張力を確保するように、張力を自動的に調整できる。
【００３７】
仮に当接部材６１の位置が固定されている構成では、真空搬送アーム３が熱膨張して、ベルト５４、５８の張力が増加すると、プーリや回転軸に大きな力がかかり、破損や故障が発生する懸念がある。これに対して、既述のように、当接部材６１の位置を、弾性体６３の作用により変更可能な構成では、真空搬送アーム３が高温で熱膨張したとしても、ベルト５４、５８の張力を適切に調整できる。このため当該アーム３に設けられるベルトやプーリ、プーリの回動軸の破損の発生を抑制することができ、結果としてメンテナンス周期を長期化することが可能となり、稼働率の向上に寄与する。
【００３８】
また、真空搬送アーム３は、第１のアーム３２や第２のアーム３３のケース体３２１、３３１の内部空間が小さく、真空雰囲気で高温処理を行なうことから、電力等の駆動源を用いることができない。このため、当接部材６１の位置を弾性部材６３の変形を利用して自動的に変更できる構成は、電力等の駆動源が不要であって、小型化を図ることができ、第１のアーム３２や第２のアーム３３の内部に設ける場合に適している。
【００３９】
さらに、当接部材６１をベルト５４、５８の環の外側に設け、ベルト５４、５８の環の外側から張力を与えているので、安定した駆動が可能となる。即ち、弾性体６３が変形したとき、ベルトの環の外側から、ベルトをプーリに押し付ける方向に押圧することになるので、ベルト５４の凸部５４１、５８１がプーリ５２、５３、５６、５７の凹部にかみ合いやすい。このため、プーリとベルトとのかみ合う歯数が多くなり、巻き付き量（接触面積）が大きくなる。この結果、歯飛び、即ちプーリとベルトとのずれが起きることが抑制され、駆動側プーリ５２、５６の駆動力を確実に従属側プーリ５３、５７に伝達できるため、駆動精度が高くなり、安定した駆動が可能となる。また、ベルト５４、５８の環の外側には凹凸が形成されていないため、当接部材６１の形状が限定されないという利点もある。
【００４０】
仮に当接部材６１をベルト５４、５８の環の内側に設け、内側からベルト５４、５８に張力を与える構成では、ベルトをプーリから引き離す方向に力が加わるので、ベルトの凸部がプーリの凹部から外れやすくなる。これにより、ベルトとプーリの巻き付き量が小さくなり、歯飛びが起きる可能性があり、駆動側プーリの駆動力を十分に従属側プーリに伝達できず、駆動精度が低下する懸念がある。
【００４１】
さらに、当接部材６１をベルト５４、５８の環の外側の左右に夫々設けているので、ベルト５４、５８には環の外側の左右から夫々張力が与えられる。これにより、左右方向の一方からのみベルトに張力を与える場合に比べて、ベルトの凸部がプーリの凹部から外れにくくなり、より安定して駆動側プーリ５２、５６の駆動力を従属側プーリ５３、５７に伝達できる。
【００４２】
さらにまた、当接部材６１としてテンションプーリ６１１を用いているので、ベルト５４、５８と当接するときに、ベルト５４、５８の移動に伴ってテンションプーリ６１１が回動する。これにより、ベルト５４、５８に張力を与えるときに、ベルト５４、５８の移動を阻害するおそれがないので、ベルト５４、５８に張力を与えながら、駆動側プーリ５２、５６の駆動力を従属側プーリ５３、５７に安定して伝達できる。
【００４３】
また、テンションプーリ６１１は、駆動側プーリ５２、５６と従属側プーリ５３、５７の径が互いに異なるときに、径が大きいプーリ側に寄った位置に設けられる。このため、径が大きいプーリにおいて、ベルトとプーリとの巻き付き量が多くなり、歯飛びが抑制されるため、駆動精度が高くなる。
【００４４】
さらに、２つのテンションプーリ６１１は、駆動側プーリ５２、５６の回動軸と、従属側プーリ５３、５７の回動軸とを結ぶ第１の線Ｌ１に直交する第２の線Ｌ２上に位置し、第１の線Ｌ１からの距離が各々等しくなるように設けられる。即ち、２つのテンションプーリ６１１は第１の線Ｌ１に対して互いに対称となるように設置される。このため、ベルト５４、５８には環の外側の左右から夫々ほぼ均等に張力が与えられるので、ベルトとプーリの巻き付き量が多くなり、より駆動精度が高くなる。
【００４５】
さらにまた、弾性部材６３として、互いに異なる向きで重ね合わされた２つの皿バネ６３１を含むものを用いる場合には、簡易な構成で安定してバネの作用を得ることができ、高温時及び常温時のベルトの張力を確実に調整できる。また、皿バネ６３１を重ねることで、皿バネ６３１の左右方向の長さの変位量が大きくなり、テンションプーリ６１１の動作領域を十分に確保して、適切な張力調整を行うことができる。
【００４６】
以上において、第２の基板搬送機構である常圧搬送アーム４を、本開示の基板搬送機構により構成してもよい。この場合、下段アーム部４１、上段アーム部４２の少なくとも一方が第１の支持体となる。また、多関節アームよりなる基板搬送機構の少なくとも一つのアームが本開示の第１の支持体であればよい。真空搬送アーム３では、基板支持体３４側から昇温していくため、第２のアーム３３は第１のアーム３２よりも高温となりやすい傾向にある。これにより、第２のアーム３３を第１の支持体とし、第２のアーム３３のみに調整機構６を設けるようにしてもよい。
【００４７】
また、当接部材６１は必ずしもテンションプーリ６１１である必要はなく、摺動抵抗が小さい状態でベルト５４、５８に当接する構成であれば、当接部材６１がベルト５４、５８の移動に伴って回転する必要はない。  
さらに、弾性部材６３は、皿ばね６３１を用いた構成には限らない。例えば１７０℃〜１８０℃程度の高温環境下において、ベルト５４、５８からの応力により変形し、復元できる形状であればよい。また、弾性部材６３として皿バネ６３１を用いる場合には、皿バネ６３１の左右方向の長さの変位量が確保できれば、１枚であってもよいし、３枚以上の皿バネ６３１を、互いに異なる向きで重ね合わせたものであってもよい。
【００４８】
さらにまた、駆動側プーリ及び従属側プーリは、互いに同径に構成してもよい。この場合には、例えばテンションプーリの回動軸は、駆動側プーリの回動軸と従属側プーリの回動軸との間における前後方向の中間位置に設けるようにしてもよい。さらに、２個のテンションプーリは、駆動側プーリの回動軸と従属側プーリの回動軸とを結ぶ第１の線に対して、必ずしも対称な位置に設ける必要はない。
【００４９】
さらにまた、本開示の基板搬送機構は、上述の実施形態の例に限らない。第１の支持体に、駆動側プーリと、回動することにより基板を搬送する搬送体を移動させる従属側プーリと、駆動側プーリと従属側プーリとに架け渡されるベルトと、を備える構成であれば適用可能である。さらにまた、本開示の基板処理装置は例示であり、ローダーモジュール、ロードロックモジュール、搬送室、処理モジュールのレイアウトは、適宜変更可能である。
【００５０】
ところで、上記の真空搬送アーム３の構成例ではモータからなる旋回用駆動部３５、３６の動力が直接、旋回軸５０、回動軸５１に夫々伝達されてこれらの軸が回動するように示したが、そのような構成に限られるものではない。例えば軸とモータとの間にリンク機構などの動力伝達機構が設けられ、当該動力伝達機構を介してモータの駆動力が軸に伝えられることで当該軸が回動する。それにより駆動側プーリ及び従属側プーリが回動して真空搬送アーム３の動作が行われる構成であってもよい。このように、今回開示された実施形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
【符号の説明】
【００５１】
５２、５６      駆動側プーリ
５３、５７      従属側プーリ
３２、３３      第１の支持体（第１のアーム、第２のアーム）
３４            搬送体（基板支持部）
５４、５８      ベルト
６１            当接部材
６２            第１の対向部
６３            弾性部材
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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