(57)【要約】      （修正有）【課題】十分に密閉封止が可能な金属製のキャップを提供する。【解決手段】金属製のキャップ１１０は、圧電素子を設置するベース板に対し、共晶合金で接合される。金属製のキャップ１１０は、４辺を含む矩形形状の外側天井面１１３ｏと外側天井面の４辺から折り曲げられて外側天井面に対して傾斜した外側傾斜面１１２ｏを有する第１面と、ベース板側で且つ外側天井面と平行な内側天井面１１３ｉと外側傾斜面と平行な内側傾斜面１１２ｉを有する第２面と、外側傾斜面から内側傾斜面までをつなぎ、ベース板に共晶金属で接合される第３面１１４と、を備える。【選択図】図２
2020043438.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子を設置するベース板に対して、共晶合金で接合される金属製のキャップであって、
４辺を含む矩形形状の外側天井面と前記外側天井面の４辺から折り曲げられて前記外側天井面に対して傾斜した外側傾斜面と、
前記ベース板側で且つ前記外側天井面と平行な内側天井面と前記外側傾斜面と平行な内側傾斜面と、
前記外側傾斜面から前記内側傾斜面までをつなぎ、前記ベース板に前記共晶金属で接合される接合面と、を備えるキャップ。
【請求項２】
圧電素子を設置するベース板に対して、共晶合金で接合される金属製のキャップであって、
４辺を含む矩形形状の外側天井面と前記外側天井面の４辺から折り曲げられて前記外側天井面に対して傾斜した外側傾斜面を有する第１面と、
前記ベース板側で且つ前記外側天井面に平行な内側天井面と前記内側天井面に対して直交した直交面と該直交面から延び前記外側傾斜面に平行な内側傾斜面とを有する第２面と、
前記外側傾斜面から前記内側傾斜面までをつなぎ、前記ベース板に前記共晶金属で接合される第３面と、を備えるキャップ。
【請求項３】
前記接合面は、前記外側天井面又は内側天井面に平行又は略平行な平坦面を含む面である請求項１又は請求項２に記載のキャップ。
【請求項４】
前記接合面は、曲面のみである請求項１又は請求項２に記載のキャップ。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のキャップと、
前記圧電振動片を載置するベース板と、を有する圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子を封止する金属製のキャップに関する。またそのキャップを有する圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
水晶等の圧電材料を使った圧電フィルタ、圧電振動子、圧電発振器等の圧電デバイスは、極めて広範囲の分野で利用されている。このような圧電デバイスの一種が、例えば特許文献１に開示されている。この圧電デバイスは、板状のベース板と金属キャップとで構成されている。そしてベース板の周囲には金属膜で形成された接合金属膜を有する。また金属キャップは、周囲が下方に折り曲げられたドーム型の形状で、周囲にはフランジ面が形成されている。そして接合金属膜とフランジ面とが封止されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１３４０５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、圧電デバイスの封止の強度が不十分で外圧などがかかった場合には、圧電デバイス内と外気との間でリークしてしまうことがあった。接合金属膜及びフランジ面を大きくすればベース板と金属キャップとの接合強度が向上するが、圧電デバイスのサイズの大型化を招くことになる。そこで、十分に密閉封止が可能な金属製のキャップを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
第１実施形態の金属製のキャップは、圧電素子を設置するベース板に対して、共晶合金で接合される金属製のキャップである。このキャップは、４辺を含む矩形形状の外側天井面と外側天井面の４辺から折り曲げられて外側天井面に対して傾斜した外側傾斜面を有する第１面と、ベース板側で且つ外側天井面と平行な内側天井面と外側傾斜面と平行な内側傾斜面を有する第２面と、外側傾斜面から内側傾斜面までをつなぎ、ベース板に共晶金属で接合される第３面と、を備える。
【０００６】
第２実施形態の金属製のキャップは、圧電素子を設置するベース板に対して、共晶合金で接合される金属製のキャップである。このキャップは、４辺を含む矩形形状の外側天井面と外側天井面の４辺から折り曲げられて外側天井面に対して傾斜した外側傾斜面を有する第１面と、ベース板側で且つ外側天井面に平行な内側天井面と内側天井面に対して直交した直交面と該直交面から延び外側傾斜面に平行な内側傾斜面とを有する第２面と、外側傾斜面から内側傾斜面までをつなぎ、ベース板に共晶金属で接合される第３面とを備える。
【０００７】
キャップの第３面は、曲面のみであってもよい。また上述したキャップと圧電振動片を載置するベース板とを使って、圧電デバイスとしてもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の実施形態の金属製のキャップは、大型化を招くことなく、ベース板に対して接合強度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】圧電デバイス１００の分解斜視図である。
【図２】（ａ）は第１実施形態の金属キャップの断面図とその部分拡大図である。（ｂ）は第１実施形態の金属キャップの部分拡大図であり、（ａ）の変形例である。
【図３】（ａ）は第２実施形態の金属キャップの断面図とその部分拡大図である。（ｂ）は第２実施形態の金属キャップの部分拡大図であり、（ａ）の変形例である。
【図４】圧電デバイスの断面図である。
【図５】接合金属膜及び接合面の拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照しながら説明する。なお、説明に用いる各図はこれら発明を理解できる程度に概略的に示してあり、大きさ、角度又は厚み等は誇張して描いている。また説明に用いる各図において、同様な構成成分については同一の番号を付して示し、その説明を省略する場合もある。また、以下の実施形態中で述べる形状、寸法、材質等はこの発明の範囲内の好適例に過ぎない。
【００１１】
＜圧電デバイス１００の構成＞
図１は、圧電デバイス１００の分解斜視図である。圧電デバイス１００は、金属製のキャップ１１０と、セラミック製のベース板１２０と、圧電振動片１３０とにより構成されている。圧電振動片１３０には例えばＡＴカット又はＳＣカット等の水晶振動片が用いられる。以下の説明では、水晶振動片を代表的に説明するが、水晶フィルタ用の圧電片、水晶以外の圧電材料を使った圧電デバイスに本実施形態を適用できる。圧電デバイス１００の長辺方向をＸ軸方向、圧電デバイス１００の高さ方向をＹ軸方向、Ｘ及びＹ軸方向に垂直な方向をＺ軸方向として説明する。
【００１２】
圧電デバイス１００では、セラミック製のベース板１２０の＋Ｙ軸側の面に圧電振動片１３０が載置される。さらに圧電振動片１３０を密封するように金属製のキャップ１１０がセラミック製のベース板１２０の＋Ｙ軸側の面に載置される。セラミック製のベース板１２０と金属製のキャップ１１０とが、接合剤である共晶合金ＥＡを介して接合される。圧電デバイス１００は、プリント基板等に実装される表面実装型の圧電デバイスである。図１では接合剤である共晶合金ＥＡが平板の枠形状で描かれているが、共晶金属ＥＡは、後述する接合面又は接合金属膜の少なくとも一方に設けられるものである。
【００１３】
金属製のキャップ１１０は、不図示の金型でプレスされて＋Ｙ軸方向に凹んだ凹部１１１を有する箱型形状に形成されている。また、金属製のキャップ１１０は、凹部１１１を囲む４枚の壁板１１２と、各壁板１１２の＋Ｙ軸側の辺に接合されている天井板１１３と、により構成されている。４枚の壁板１１２の下側（−Ｙ軸側）には接合面１１４が形成される。
【００１４】
セラミック製のベース板１２０は、平面視で矩形形状であり、上下の主面を有する平板１２６を有する。＋Ｙ軸側の面に一対の接続パッド１２１が、セラミック製の平板１２６に形成されている。各接続パッド１２１は、導電性接着剤ＣＡ（図３参照）を介して圧電振動片１３０に電気的に接続される。また、４つの外部電極１２４が、セラミック製のベース板１２０の−Ｙ軸側の面に形成される。Ｙ軸方向に貫通する一対の貫通電極１２３（図３参照）がセラミック製の平板１２６に形成されている。接続パッド１２１と実装端子１２４とは、それぞれ貫通電極１２３を介して、又は配線電極１２２及び貫通電極１２３を介して電気的に接続される。実装端子１２４は、本実施形態では４つ形成されている。４つのうちの１つの実装端子１２４はアース端子であってもよい。圧電デバイス１００は、実装端子１２４にハンダなどで、プリント基板などに実装される。
【００１５】
また、セラミック製のベース板１２０の＋Ｙ軸側の面に形成される電極の全体を囲むように、外周側に枠状の接合金属膜１２５が、平板１２６の＋Ｙ軸側の面に形成されている。この枠状の接合金属膜１２５は接合面１１４と対向し、共晶金属ＥＡで金属膜１２５と接合面１１４とが接合する。枠状の接合金属膜１２５は、平板１２６の外周端１２６ｅの位置から幅Ｗ２２で形成されている。枠状の接合金属膜１２５の外周端は板１２６の外周端１２６ｅの位置と一致する。接続パッド１２１、配線電極１２２及び枠状の接合金属膜１２５は、スクリーン印刷等で形成される。接合時の接合金属膜１２５の厚み（Ｙ軸方向）は１０μｍ前後である。なお第１実施形態では、セラミック製のベース板で説明したがガラス製や水晶製のベース板でも良い。
【００１６】
圧電振動片１３０は、＋Ｙ軸側及び−Ｙ軸側の面に励振電極１３１が形成されており、それぞれ引出電極１３２が各励振電極１３１から引き出されている。圧電振動片１３０の＋Ｙ軸側の面に形成されている励振電極１３１からは引出電極１３２がＸ軸側に引き出され、さらに引出電極１３２が圧電振動片１３０の−Ｚ軸側の側面を介して−Ｙ軸側の面に引き出されている。また、圧電振動片１３０の−Ｙ軸側の面に形成されている励振電極１３１から引き出される引出電極１３２は、励振電極１３１から−Ｘ軸側に伸び、さらに圧電振動片１３０の＋Ｚ軸側の側面を介して＋Ｙ軸側の面にまで引き出されている。
【００１７】
＜第１実施形態＞
図２（ａ）は、図１のＡ−Ａ断面の金属キャップの断面図及びその一部の拡大図である。第１実施形態の金属キャップ１１０は、共晶金属ＥＡによりベース板１２０の上面と接合されて、ベース板１２０の上面に搭載されている圧電振動片１３０を気密封止するためのものである。
【００１８】
金属キャップ１１０は、例えば、鉄、ニッケル、または、コバルトの少なくともいずれかを含む合金からなり、一体的に形成されている。金属キャップ１１０は、真空状態もしくは窒素ガスなどが充填された凹部１１１を気密封止する。天井板１１３は、平面視で矩形形状の平板状となっており、その主面の大きさが矩形形状の圧電振動片１３０の主面より大きく、かつ、ベース板１２０の上面の大きさより小さくなっている。天井板１１３の下側には、天井板１１３と４面の壁板１１２で覆われた凹部１１１が形成されている。
【００１９】
壁板１１２は、金属キャップ１１０の下側に凹部１１１を形成するためのものであり、天井板１１３の外縁に沿って設けられている。凹部１１１内には、ベース板１２０上に搭載されている圧電振動片１３０が収容される。接合面１１４は、金属キャップ１１０とベース板１２０とを接合する面積を確保するため曲面に形成され、接合強度を上げている。
【００２０】
金属キャップ１１０の形状、特に接合面１１４周辺の形状について図２（ａ）の拡大図を使って説明する。拡大図に示されるように天井板１１３は、外側天井面１１３ｏ及び内側天井面１１３ｉを含む。外側天井面１１３ｏと内側天井面１１３ｉとは互いに平行である。また壁板１１２は、外側傾斜面１１２ｏ及び内側傾斜面１１２ｉを含む。外側傾斜面１１２ｏ及び内側傾斜面１１２ｉは互いに平行である。
【００２１】
壁板１１２は、天井板１１３に対して角度θ１で曲げられているため、外側天井面１１３ｏと外側傾斜面１１２ｏとは角度θ１で交差し、内側天井面１１３ｉと内側傾斜面１１２ｉとは角度θ１で交差している。この角度θ１は鈍角であり好ましくは９０度より大きく１１０度以下であり、１１０度前後が好ましい。外側傾斜面１１２ｏと内側傾斜面１１２ｉとの間は曲面状の面又は一部に平坦面を含む曲面状の面であり、この曲面状の面が接合面１１４となる。後述するように共晶金属ＥＡが形成されやすいように曲率が大きい方が好ましい。特許文献１のように従来は平坦なフランジ面を形成して接合する面積を増やして封止強度を上げていたが、第１実施形態では接合面を曲面にして封止強度を上げている。また平坦なフランジ面が無いために、ベース板１２０に対して金属キャップの凹部１１１の面積（ＸＺ面）を大きくすることもできる。
【００２２】
金属キャップ１１０のうち、外気と触れる外側面は、外側天井面１１３ｏ及び外側傾斜面１１２ｏを含む。金属キャップ１１０のうち、圧電振動片１３０が配置される内側面は、内側天井面１１３ｉ及び内側傾斜面１１２ｉを含む。
【００２３】
仮にベース板１２０のＸ軸方向の長さが０．８０ｍｍでＺ軸方向の長さが０．６０ｍｍとした場合には、接合面１１４の第３面の曲率半径Ｒは、０．０１５ｍｍ（１５μｍ）〜０．０３０ｍｍ（３０μｍ）であり、好ましくは０．０２２ｍｍ（２２μｍ）前後が好ましい。
【００２４】
図２（ｂ）は、図１のＡ−Ａ断面の部分拡大図であり、図２（ａ）で説明した接合面１１４の変形例である。図２（ａ）で示された接合面１１４と図２（ｂ）で示された接合面１１４とは、図２（ｂ）の接合面１１４がその一部に平坦面１１４ｂを有する点で異なる。詳述すると、図２（ｂ）の接合面１１４は、第１曲率の第１曲面１１４ａと、その第１曲面１１４ａから連続する平坦面１１４ｂと、その平坦面１１４ｂから連続する第２曲率の第２曲面１１４ｃとを有する。そして第１曲面１１４ａが外側傾斜面１１２ｏにつながり、第２曲面１１４ｃが内側傾斜面１１２ｉにつながる。また第１曲面１１４ａの第１曲率より第２曲面１１４ｃの第２曲率の方が大きくなっている。一方、金属キャップ１１０の外側面が、外側天井面１１３ｏ、外側傾斜面１１２ｏからなる点は図２（ａ）と同じである。また金属キャップ１１０の内側面が、内側天井面１１３ｉ及び内側傾斜面１１２ｉからなる点も同じである。
【００２５】
＜第２実施形態＞
図３（ａ）は、図１のＡ−Ａ断面の金属キャップの断面図及びその一部の拡大図である。第２実施形態の金属キャップ１１０Ａも、共晶金属ＥＡによりベース板１２０の上面と接合されて、ベース板１２０の上面に搭載されている圧電振動片１３０を気密封止する。
【００２６】
金属キャップ１１０Ａも、第１実施形態の金属キャップ１１０と同じ材料でできており、形状及び大きさもほぼ同じである。両者が異なる点は、金属キャップ１１０Ａが直交面１１９を有している点である。
【００２７】
金属キャップ１１０Ａの形状について図３（ａ）の拡大図を使って説明する。拡大図に示されるように天井板１１３は、外側天井面１１３ｏ及び内側天井面１１３ｉを含む。外側天井面１１３ｏと内側天井面１１３ｉとは互いに平行である。また壁板１１２は、外側傾斜面１１２ｏ、直交面１１９及び内側傾斜面１１２ｉを含む。外側傾斜面１１２ｏ及び内側傾斜面１１２ｉは互いに平行である。
【００２８】
金属キャップ１１０Ａのうち、外気と触れる外側面は、外側天井面１１３ｏ及び外側傾斜面１１２ｏを含む。金属キャップ１１０Ａのうち、圧電振動片１３０が配置される内側面は、内側天井面１１３ｉ、直交面１１９及び内側傾斜面１１２ｉを含む。
【００２９】
外側天井面１１３ｏと外側傾斜面１１２ｏとは角度θ１で交差して形成されている。金属キャップ１１０の凹部１１１の体積を大きくするため、内側天井面１１３ｉから角度θ２で交差した直交面１１９が形成されている。その直交面１１９から内側傾斜面１１２ｉが形成されている。内側天井面１１３ｉと内側傾斜面１１２ｉとは角度θ１で交差して形成されている。角度θ１は鈍角であり好ましくは９０度より大きく１１０Ａ度以下であり、１１０Ａ度前後が好ましい。角度θ２は直交で、すなわち９０度前後が好ましい。
【００３０】
外側傾斜面１１２ｏと内側傾斜面１１２ｉとの間は一部に平坦面を含む場合もある曲面状の接合面であり、この接合面は、第１実施形態と同じである。
【００３１】
図３（ｂ）は、図２（ｂ）で説明した接合面１１４と同じ形状である。図３（ａ）で示された金属キャップ１１０Ａに、図２（ｂ）で説明した接合面１１４を提供した変形例である。
【００３２】
ここで、図２で示された金属キャップ１１０及び図３で示された金属キャップ１１０Ａの作製方法について説明する。金属キャップ１１０（１１０Ａ）の作製は、例えば、金型を使ったプレス加工、具体的には絞り加工で平板を塑性加工されて作製される。金属キャップ１１０（１１０Ａ）の凹部１１１と同形状となっている凸部と凹部とを有した一対の金型で平板を挟み加圧し、天井板１１３、壁板１１２および接合面１１４が形成される。その後、サンドブラスト等により特に接合面１１４の周辺の曲率を大きくするとともにプレス加工に生じたバリ(Burr)を除去がなされる。
【００３３】
本発明に係るキャップは、キャップ内側から外側に傾斜する内側傾斜面を有しているので、そうでない場合に比べ、絞り加工後は絞り加工に用いた金型から外れやすくなるため、製作難易度が下がるからその分キャップのコスト削減が図れる。然も、側壁部分が傾斜状の壁となっているので、側壁部分が天井部分に対し垂直な場合に比べ、天井部分と側壁部分との間の部分すなわちキャップの肩の部分の肉厚が絞り加工時に極端に薄くなることを防止でき、キャップ自体の強度向上が図れる。また、フランジのない構造とできるので、その分、キャップの内容積を広げることができる。従って、本発明によれば広い内容積を持ち、強度もあり、かつ、低コストのキャップを提供できる。
【００３４】
＜圧電デバイス１００の断面＞
図４は、図１の圧電デバイスのＡ−Ａ断面図である。図４及び図５では、第１実施形態の金属製のキャップ１１０で説明するが、第２実施形態の金属製のキャップ１１０Ａでも適用できる。圧電振動片１３０が、セラミック製のベース板１２０の＋Ｙ軸側の面に載置されている。圧電振動片１３０の引出電極１３２とセラミック製のベース板１２０の接続パッド１２１とが導電性接着剤ＣＡを介して電気的に接続されている。圧電振動片１３０の励振電極１３１は配線電極１２２及び貫通電極１２３を介して実装端子１２４に電気的に接続される。そして枠状の接合金属膜１２５は、平板１２６の外周端１２６ｅから接合金属膜１２５の内側の内周端１２５ｉまで幅Ｗ２２で形成されている。仮にベース板１２０のＸ軸方向の長さが０．８０ｍｍでＺ軸方向の長さが０．６０ｍｍとした場合に、枠状の接合金属膜１２５の幅Ｗ２２が０．０６ｍｍ〜０．０８ｍｍである。実装端子１２４は、平板１２６の外周端１２６ｅから幅Ｗ２４だけ、例えば０．０２ｍｍ隔ててから形成されている。
【００３５】
図４に描かれているＸ軸方向では、セラミック製のベース板１２０のＸ軸方向の長さよりも金属製のキャップ１１０のＸ軸方向の長さよりも幅Ｗ３１の約２倍短い。別の言い方をすれば、幅Ｗ３１は平板１２６の外周端１２６ｅから接合面１１４までの長さであり、Ｘ軸方向の長さベース板１２０の外周端は金属製のキャップ１１０の外周端よりも外側である。
【００３６】
ここでキャップ１１０の接合面１１４の内側端と枠状の接合金属膜１２５の内側端との位置関係を説明する。接合面１１４の内側端と枠状の接合金属膜１２５の内側端１２５ｉとはほぼ同じ位置に配置される。もしくは枠状の接合金属膜１２５の内側端１２５ｉが接合面１１４の内側端よりも外側であることが好ましい。これも共晶金属ＥＡのフィレットがキャップ１１０の接合面１１４に形成され易くするためであり、枠状の接合金属膜１２５の内側端に共晶金属ＥＡのフィレットが形成され易くするためである。
【００３７】
図５は、図４の金属製のキャップの接合面及びベース板の部分拡大図である。図５（ａ）は、金属製のキャップ１１０の接合面１１４に共晶金属ＥＡが設けられ、その金属製のキャップ１１０がベース基板１２０に載置される前の状態を示した図である。図５（ｂ）は、その金属製のキャップ１１０がベース基板１２０に載置された後の状態を示した図である。図示しないが、金属製のキャップ１１０の接合面１１４ではなく枠状の接合金属膜１２５に共晶金属ＥＡが設けられていても良いし、両方に共晶金属ＥＡが設けられていても良い。
【００３８】
共晶合金ＥＡは、実装端子１２４を外部電子機器等の外部基板に接続する際に用いる合金（例えば鉛フリーハンダ等）の２５０℃〜２８０℃の融点より高い融点を有する。共晶合金ＥＡとして、例えば亜鉛アルミニウム（ＺｎＡｌ）系、金スズ（ＡｕＳｎ）系又は銅スズ（ＣｕＳｎ）系で（融点３００℃。合金化後は融点が４００℃を越えるもの）が好ましい。設けられた共晶金属ＥＡの厚さＤ１１は例えば１２〜１５μｍである。
【００３９】
キャップ１１０とベース板１２０とを封止する際に、接合面１１４が枠状の接合金属膜１２５に載置されて、キャップ１１０とベース板１２０とは所定の封止装置に入れられる。そして共晶合金ＥＡが溶けると、溶けた共晶合金ＥＡが金属膜１２５の外周方向に流れて、図５（ｂ）に示されるように、共晶金属ＥＡの厚さＤ１２が１０μｍ前後となる。また溶けた共晶合金ＥＡは、第３面である接合面１１４の外周及び内周に登っていき共晶合金ＥＡのフィレットが形成される。また溶けた共晶合金ＥＡは、接合金属膜１２５の内周端１２５ｉにも形成される。このため、金属製のキャップ１１０と枠状の接合金属膜１２５とが強固に封止され、圧電振動片１３０は凹部１１１内に密封されることになる。  
【００４０】
上述したように、一方の接合面１１４から他方の外周端面１１４ｅまでの長さは、平板１２６の一方の外周端１２６ｅから他方の外周端１２６ｅの長さより幅Ｗ３１の２倍だけ短い。Ｘ軸またはＺ軸方向の片側で考えると、幅Ｗ３１は枠状の接合金属膜１２５の幅Ｗ２２の約１／２〜１／４である。このため、金属製のキャップ１１０の長さは、セラミック製のベース板１２０の長さよりも枠状の接合金属膜１２５の幅Ｗ２２の約１倍〜１／２だけ短いとも言える。仮にベース板１２０のＸ軸方向の長さが０．８０ｍｍでＺ軸方向の長さが０．６０ｍｍとした場合に、幅Ｗ３１が０．０４ｍｍ（４０μｍ）から０．０１ｍｍ（１０μｍ）であることが好ましく、さらに幅Ｗ３１が０．０３ｍｍ（３０μｍ）から０．０２ｍｍ（２０μｍ）であることがさらに好ましい。より好ましくは幅Ｗ３１が０．０２５ｍｍ（２５μｍ）前後である。
【００４１】
第１及び第２実施形態で示したベース板は、四隅にキャスタレーションが形成されていなかったが、キャスタレーション電極を形成したベース板であっても、本実施形態を適用できる。また本実施形態は、上部セラミック板と下部セラミック板とを組み合わせ貫通電極とキャスタレーション電極とを有するベース板にも適用できる。
【符号の説明】
【００４２】
１００  …  圧電デバイス
１１０，１１０Ａ  …  金属製のキャップ
１１１  …  凹部
１１２  …  傾斜面１１２ｉ  …  内側傾斜面  １１２ｏ  …  外側傾斜面
１１３  …  天井板  １１３ｉ  …  内側天井面    １１３ｏ  …  外側天井面
１１４  …  接合面  １１４ａ…第１曲面、１１４ｂ…平坦面、１１４ｃ…第２曲面
１１５  …  フランジ平面    １１９  …  直交面
１２０  …  セラミック製のベース板
１２１  …  接続パッド、    １２２  …  配線電極
１２３  …  貫通電極、    １２４  …  実装端子
１２５  …  枠状の金属膜    １２５ｉ  …  内周端
１２６  …  セラミック製の平板    １２６ｅ  …  外周端
１３０  …  圧電振動片、  １３１  …  励振電極、    １３２  …  引出電極
ＣＡ  …  導電性接着剤
ＥＡ  …  共晶合金
Ｗ３１  …  外周端１２６ｅから接合面までの長さ
【図１】
2020043438.tif 000003
【図２】
2020043438.tif 000004
【図３】
2020043438.tif 000005
【図４】
2020043438.tif 000006
【図５】
2020043438.tif 000007