(57)【要約】      （修正有）【課題】シース熱電対には、測温点以外の部分が測温点温度と異なる高温で加熱されるとシャントエラーと呼ばれる温度測定誤差が生じることが知られている。本発明はこのシャントエラーを抑制するシース熱電対を提供する。【解決手段】金属シース３の内に無機絶縁材粉末４を介在させて熱電対線５１、５２を収容したシース熱電対１において、無機絶縁材粉末４に石英ガラス粉末を用いたシース熱電対１０とした。石英ガラス粉末の高温での絶縁抵抗は、従来から無機絶縁材粉末４に一般的に用いられているマグネシア粉末に比べて高いためにシャントエラーが生じ難い。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属シース内に無機絶縁材粉末を介在させて熱電対線が収容されたシース熱電対において、
該無機絶縁材粉末が石英ガラスの粉末であるシース熱電対。
【請求項２】
前記石英ガラスの粉末のシリカ純度が９９重量％以上である請求項１に記載のシース熱電対。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
金属シース内に無機絶縁材粉末を介在させて熱電対線が収容されたシース熱電対に関し、シャントエラーの生じ難いシース熱電対についての発明である。
【背景技術】
【０００２】
金属シース内に無機絶縁材粉末を介在させて熱電対線が収容されたシース熱電対は、熱電対線が密閉された金属シース内にあり外部雰囲気との接触がないため、高温で使用しても熱電対線に酸化等の腐食の進行がないので温度測定精度が低下することなく永年の使用が可能であり、また、絶縁材が粉末であることから可撓性があって引き回しが容易であることなどの特徴を持っていて、工業用の温度センサとして広く使用されている。
【０００３】
シース熱電対には、非接地型シース熱電対と接地型シース熱電対の２種類があり、図１に非接地型シース熱電対１の断面図を、図２に接地型シース熱電対２の断面図を示す。図１（ａ）は非接地型シース熱電対の長手方向断面図で図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図、図２（ａ）は接地型シース熱電対の長手方向断面図で図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【０００４】
非接地型シース熱電対１と接地型シース熱電対２のどちらも金属シース３内に無機絶縁材粉末４を介在させてプラス側熱電対線５１とマイナス側熱電対線５２が収容され、末端部には樹脂シール６が設けられていて金属シース３の内は外部雰囲気と遮断されているのは同じであるが、図１の非接地型シース熱電対１はプラス側熱電対線５１の先端とマイナス側熱電対線５２の先端が接合された測温点７が無機絶縁材粉末４の中に在るのに対し、接地型シース熱電対２はプラス側熱電対線５１の先端とマイナス側熱電対線５２の先端がともに金属シース３の先端に接合されて金属シース３の先端が測温点７となっている違いがある。図１、図２では一対のプラス側熱電対線５１とマイナス側熱電対線５２が収容されたシース熱電対を示しているが、複数対の熱電対線が収容された非接地型シース熱電対、接地型シース型シース熱電対も存在する。
【０００５】
なお、本書での「熱電対線」はプラス側熱電対線とマイナス側熱電対線を総称したものであり、「シース熱電対」は非接地型シース熱電対と接地型シース熱電対を総称したものである。
【０００６】
シース熱電対の無機絶縁材粉末の材質としては、入手の容易性、材料としての経済性、及び少なくとも千数百℃まで形状が安定していることなどの理由から、一部の特殊な用途のものを除き結晶質のマグネシアの粉末が一般に用いられている。
【０００７】
シース熱電対には、測温点以外の部分が測温点温度と異なる高温で加熱されるとシャントエラーと呼ばれる温度測定誤差が生じることが知られており、またシャントエラーが生じ易い径の細いシース熱電対でも測温点以外の部分の温度が低くとも７００℃より低温ではシャントエラーが有意に生じないことも経験的に知られている。非特許文献１では、金属シースの外径が４．８ｍｍのシース熱電対の測温点以外の中間部が２０ｍに亘って１０００℃に加熱された場合、測温点温度の１０００℃との差が広がるとシャントエラーが増加する試験結果が報告されており、例えば測温点温度が９００℃では約６０℃のシャントエラーが、測温点温度が８００℃では約１２０℃のシャントエラーが生じたことが示されている。また、特許文献１には、無機絶縁材粉末がマグネシア粉末で金属シース外径が４．８ｍｍのシース熱電対について、熱電対線外径のシース外径に対する比が通常市販されている１５％乃至２０％のものは、測温点以外の中間部５ｍの範囲が１０００℃に加熱されると、５℃乃至９℃のシャントエラーが生じる試験結果が示されている。
【０００８】
このように、シャントエラーはシース熱電対の中間部が高温で広範囲に加熱される環境で使用されると無視できない大きさとなり、シャントエラー軽減のために従来、特許文献１及び特許文献２に示される対策が考えられてきた。
【０００９】
特許文献１の対策は熱電対線の径を太くしてその導通抵抗を低くすることによりシャントエラーを軽減する対策であり、熱電対線の径を太くする程、シャントエラーが減少する効果が実験により確かめられたことが示されている。
【００１０】
シャントエラーの発生は、よく知られているように、マグネシアなどを材質とする無機絶縁材粉末の絶縁抵抗が高温になると低下し、そのためにプラス側熱電対線とマイナス側熱電対線との間に漏洩電流が生じることが主原因であり、特許文献２では、シース熱電対の無機絶縁材粉末の材質を、一般に使用されているマグネシアに替えて高温域での絶縁抵抗がマグネシアより高いシリカゲルとすることにより、高温で生じる漏洩電流を抑制してシャントエラーを軽減する対策が行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００６‐０９０７４２号公報
【特許文献２】特開２０００‐２２８１１７号公報
【非特許文献】
【００１２】
【非特許文献１】豊田弘道、他２名著、「実用「熱電温度計」（１３）」、計測技術、日本工業出版、１９９５年６月号、P１０２‐１１１
【非特許文献２】山根正之著、「セラミックス基礎講座４  はじめてガラスを作る人のために」、第２版、内田老鶴圃、１９９１年５月、P４７‐５３
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
シャントエラーの減少のために熱電対線を太径化する特許文献１の対策は、定まった外径のシース熱電対において熱電対線の径を太くすることには限度があり、加えて熱電対線の径を太くし過ぎると、プラス側熱電対線とマイナス側熱電対線との間にある無機絶縁材粉末の厚みが減少して漏洩電流が増し、シャントエラーの減少効果が無くなることになる。これらのことから、この対策にはシャントエラーの大幅な減少が実現し難い問題があった。特許文献１には、プラス側熱電対線の径を太くしていった場合、シャントエラーは３分の１程度までの減少に止まる試験結果が示されている。
【００１４】
また、特許文献２の対策は、無機絶縁材粉末の材質を高温での絶縁抵抗の高いシリカゲルとする対策であるが、シリカゲルは水分の吸着性に優れ、吸湿材、乾燥剤として用いられるもので、水分を吸湿したシリカゲルを使用するとその水分が絶縁抵抗低下の要因となるので、シリカゲルの保管及びシース熱電対の製作過程においては乾燥した雰囲気中で行うことが求められ、そのため製作が繁雑なものとなる短所がある。  
【００１５】
以上のように、従来のシャントエラー対策は効果面もしくは製作面での問題があった。本発明は、シャントエラーの軽減効果が大きく、製作上の繁雑さのないシース熱電対を実現し、これら従来の問題を解消することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
金属シース内に無機絶縁材粉末を介在させて熱電対線が収容されたシース熱電対において、無機絶縁材粉末が石英ガラスの粉末であるシース熱電対とした。
【００１７】
我々は各種試験により、無機絶縁材粉末を石英ガラスの粉末（以下「石英ガラスの粉末」を「石英ガラス粉末」という）としたシース熱電対の高温域での絶縁抵抗が、従来一般的に使用されている無機絶縁材粉末がマグネシア粉末であるシース熱電対に比べて極めて高いことを見出した。その代表的な試験の結果を図３に示す。この図は、当試験において測定したシース熱電対の絶縁抵抗をグラフで示した図である。
【００１８】
図３は具体的には、一対の熱電対線が収容された金属シースの外径が１．６ｍｍ、長さ８００ｍｍの非接地型シース熱電対であって、無機絶縁材粉末が石英ガラス粉末のものとマグネシア粉末のものについて、先端部約３００ｍｍの範囲を２００℃から１０００℃まで加熱した際の温度上昇に伴う金属シースと熱電対線との間の絶縁抵抗の変化を測定した試験の結果のグラフである。この試験結果は、およそ７００℃乃至１０００℃の範囲で、石英ガラス粉末の絶縁抵抗は、マグネシア粉末に比べて約１桁から２桁高いことを示している。なお、両粉末の金属シース内の体積充填率は略等しく、７０％前後である。
【００１９】
図４はシャントエラーの評価モデル及び概略の評価式を示す図で、プラス側熱電対線５１とマイナス側熱電対線５２の先端が接合されて測温点７となっており、熱電対線５１、５２の先端部が温度Ｔ０℃、中間部が温度Ｔ１℃、末端部が室温のＴＲ℃の雰囲気に存在しているモデルである。なお、シース熱電対においては、熱電対線５１、５２は無機絶縁材粉末中もしくは金属シースの先端部に存在するが図４では無機絶縁材粉末と金属シースの図示を省略している。
【００２０】
図４のｃ−ｄ間の電位差Ｖ４が熱起電力として測定される電位差であり、この電位差は図４の（１）と（２）の差として表され、このうち（１）が測温点７の存在するＴ０℃と室温ＴＲとの差により生じる電位差Ｅ（Ｔ０，ＴＲ）でシャントエラーを含まない本来測定したい電位差、（２）がシャントエラーにより生じた電位差である。このシャントエラーは、ａ−７−ｂ間の熱電対線５１、５２の抵抗ｒならびにＴ０℃とＴ１℃との差によって生じる熱起電力による電位差Ｅ（Ｔ０，Ｔ１）に比例し、温度Ｔ１℃の範囲に在る部分のプラス側熱電対線５１とマイナス側熱電対線５２との間の無機絶縁材粉末の絶縁抵抗Ｒに反比例することが図４のモデルより評価できる。図３に示したように無期絶縁材粉末の絶縁抵抗は、高温になれば低下し、また並列抵抗の合成抵抗の法則から高温での加熱長が長いと低くなるので、図４の中間部温度Ｔ１が高温で中間部が長い場合、絶縁抵抗Ｒが小さくなって漏洩電流Ｉが発生し、これがシャントエラーの原因となる。また、測温点７の温度Ｔ０と中間部温度Ｔ１との差が広がると電位差Ｅ（Ｔ０，Ｔ１）が増加してシャントエラーが大きくなる。
【００２１】
図４は簡略的なモデルによる評価であるので高精度ではないが、熱電対線５１、５２を太くしてその抵抗ｒを低くすると、その抵抗に概ね比例してシャントエラーが減少し、また高温でも高い絶縁抵抗を維持する材質の無機絶縁材粉末を採用すると、その絶縁抵抗に概ね反比例してシャントエラーが減少するとの評価はできる。なお、シャントエラー要因のうち電位差Ｅ（Ｔ０，Ｔ１）はシース熱電対を温度測定対象まで敷設する雰囲気温度で決まるのでシース熱電対としての対策はできない。
【００２２】
前述のように、特許文献１では熱電対線を太くしてシャントエラーを減少させているが、定まった金属シース径に対して熱電対線を太くする効果には限界があり、シャントエラーは従来の３分の１程度への減少に止まっている。これに対し、本発明のシース熱電対で無機絶縁材粉末に採用している石英ガラス粉末は、図３の試験例に示したように、従来一般的に用いられているシース熱電対の無期絶縁材粉末に適用されているマグネシア粉末に比べて、７００℃以上の高温域での絶縁抵抗が約１桁から２桁高く、また７００℃以下ではマグネシア粉末の７００℃における絶縁抵抗を上回る。低温域ではマグネシア粉末の絶縁抵抗が高いためにシャントエラーは生じず、既述のようにシャントエラーが有意に生じるのは図４の中間部温度Ｔ１が７００℃以上の場合であり、同エラーは無機絶縁材粉末の絶縁抵抗に反比例するので、本発明のシース熱電対は中間部温度７００℃以上におけるシャントエラーが従来のマグネシア粉末絶縁のシース熱電対の概略１０分の１から１００分の１に減少し、かつ７００℃以下でシャントエラーが生じることもない。このように従来の熱電対線を太くする対策よりシャントエラー低減効果が大きい。
【００２３】
次に、石英ガラスの分子構造に関し、石英ガラスは二酸化ケイ素分子つまりシリカより成る。シリカには結晶質とアモルファスとも呼ばれる非晶質のものがあり、水晶は結晶質のシリカの１つの形態で、結晶質のシリカとしてはその他にトリディマイト、クリストバライトなどがあることが知られている。非晶質のシリカとしては石英ガラスとシリカゲルが代表的で、シリカゲルは多孔質に作られていて表面積が広いために、表面に形成されている水分を化学的に吸着するシラノール基が多くあり、また、多孔質に由来する毛細管現象による水分の物理的吸着により、水分の吸着性能が高い特質を持つ。これに対し、石英ガラスも非晶質ではあるが、多孔質でないので水分の物理的吸着性を持たないし、表面積が広くないためにシラノール基による水分の化学的吸着も殆どないので、水分を吸着する性質を持たない。そのため、シース熱電対の無機絶縁材粉末の材質をシリカゲルすると、前述のように、シリカゲルが吸着した水分によってシース熱電対の絶縁抵抗が低下するのを防止するために、シース熱電対の製作が煩雑なものとなるのに対し、無機絶縁材粉末が石英ガラス粉末である本発明のシース熱電対には、そのような製作上の煩雑さがない。
【００２４】
石英ガラスは非晶質のガラスであるので、結晶質のようにシリカの融点まで固体状態を維持するのではなく、他のガラスと同様に融点より低い温度から軟化が始まる。ガラスの歪点はそれより低い温度ではガラス内部の残留応力が取り除けないとされている温度であることから、歪点以下の温度では軟化は始まらず固体状態である。前記の非特許文献２などに示されているように、シリカ成分が１００％の石英ガラスの歪点は約１０７０℃であり、シリカの純度が９６重量％まで下がると歪点は約８２０℃に低下することが知られている。補間から、シリカの純度が９９重量%の石英ガラスの歪点は約１００７℃であり、補間の精度を考慮しても、少なくとも１０００℃までは固体状態にある。なお、シース熱電対の無機絶縁材粉末として従来用いられているマグネシア粉末は結晶質で、その融点である２８５２℃近くまで軟化しない。
【００２５】
シース熱電対の無機絶縁材粉末が軟化すると、外力に対して金属シースが変形し易くなり、また、粉末が高温における軟化で一体化し、降温すると一塊の固体になるために、熱電対線や金属シースに応力が生じて熱電対線の断線や金属シースの損傷を引き起こす可能性が生じる。そのため無機絶縁材粉末が軟化する温度での使用は好ましいことではない。
【００２６】
本発明のシース熱電対の石英ガラス粉末のシリカ純度は９９重量％以上であることが望ましい。こうすることによって、少なくとも１０００℃までの使用において石英ガラス粉末は軟化せず、軟化による外力に対する耐性の低下ならびに降温時の熱電対線の断線、シースの損傷などの懸念なく使用することができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によるシース熱電対は、少なくとも１０００℃までの使用において、従来一般に使用されているマグネシア粉末を絶縁材とするシース熱電対に比べて、シャントエラーが１０分の１乃至１００分の１に減少する効果を持つ。また、熱電対線を太くしてシャントエラーを減少させる従来の方法の効果に比べても、この減少効果は大きい。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】非接地型シース熱電対の断面図
【図２】接地型シース熱電対の断面図
【図３】試験において測定したシース熱電対の絶縁抵抗を示したグラフ
【図４】シャントエラーの評価モデル及び概略の評価式を示す図
【発明を実施するための形態】
【００２９】
（第１実施形態）
本発明の第1実施形態の構造は、図１に示した従来の非接地型シース熱電対１の断面図と同じ構造の非接地型シース熱電対で、無機絶縁材粉末４として従来はマグネシア粉末が一般に用いられていたのに対し、本実施形態では石英ガラス粉末が用いられている点が異なる。以下、図１において従来のものとの区分を明確にするため、従来のマグネシア粉末を無機絶縁材粉末とする非接地型シース熱電対の符号は「１」、第１実施形態の非接地型シース熱電対の符号を「１０」とし、マグネシア粉末の無機絶縁材粉末の符号は「４」、石英ガラス粉末の無機絶縁材粉末の符号を「４０」とする。
【００３０】
本実施形態の非接地型シース熱電対１０の構造は従来と同様、図１に示されるように、金属シース３内に石英ガラス粉末の無機絶縁材粉末４０を介在させてプラス側熱電対線５１とマイナス側熱電対線５２が収容され、末端部には樹脂シール６が設けられている。プラス側熱電対線５１の先端とマイナス側熱電対線５２の先端は接合されて測温点７となっており、また、樹脂シール６により金属シース３内は外部雰囲気と遮断されていて外部から湿分が侵入して無機絶縁材粉末４０の絶縁抵抗が低下するのを防止している。本実施形態の非接地型シース熱電対１０は１対の熱電対線５１、５２が収容されたものであるが、複数対の熱電対線が収容されたものであってもよい。
【００３１】
本実施形態の主要材質に関し、図１の金属シース３はＮＣＦ６００、熱電対線５１、５２はＮタイプ熱電対線、そして無機絶縁材粉末４０はシリカ純度が９９．８重量％で体積充填率が約７０％の石英ガラス粉末である。金属シース３、熱電対線５１、５２の材質は温度等の使用環境に適合するものであれは他の材質でもよく、また、無機絶縁材粉末４０の石英ガラス粉末のシリカ純度は９９重量％以上あれば少なくとも１０００℃までは強度の低下や熱電対線５１、５２の断線、金属シース３の損傷の生じる可能性が従来のものより増すことなく使用できるのは前述したとおりである。
【００３２】
本実施形態の断面寸法に関し、金属シース３の外径は１．６ｍｍ、肉厚は０．２７ｍｍ、熱電対線５１，５２の外径は０．２７ｍｍである。もちろん寸法はこれらに限ったものではなく、金属シース３の外径を太くし、それに伴って熱電対線５１、５２の外径を太くしてもよいし、金属シース３の外径を細くし、それに伴って熱電対線５１、５２の外径を細くしてもよい。但し、後者の場合、熱電対線５１、５２の外径を細くするとその抵抗値が上がるために前述のようにシャントエラーが増すので、極端な細径化は好ましくない。
【００３３】
本実施形態の非接地型シース熱電対１０と、無機絶縁材粉末４がマグネシア粉末である以外は同じ構造、材質、寸法の非接地型シース熱電対とについて、絶縁抵抗を測定した結果が前掲した図３のグラフである。当グラフに示されるように、シャントエラーが有意に生じる７００℃以上の温度域において、本実施形態の石英ガラス粉末の無機絶縁材粉末４０の絶縁抵抗は、同一構造、寸法の従来のシース熱電対のマグネシア粉末の無機絶縁材粉末４より１桁乃至２桁高い。シャントエラーの大きさは絶縁抵抗に概略反比例するのは図４で説明したとおりで、本実施形態の非接地型シース熱電対１０のシャントエラーは、これと同一構造、寸法の従来の非接地型シース熱電対１のシャントエラーの１０分１乃至１００分の１程度に減少する。
【００３４】
このシャントエラー減少は、無機絶縁材粉末４０を石英ガラス粉末としたことによるものであるが、これに、熱電対線５１、５２を太くしてその抵抗を下げる対策を併用するとさらにシャントエラーは減少する。しかし太くしすぎると、プラス側熱電対線５１とマイナス側熱電対線５２との間の絶縁距離が短くなって絶縁抵抗が低下し、シャントエラーが増加する要因となる。
【００３５】
（第２実施形態）
第２実施形態も非接地型シース熱電対で、第１実施形態とは断面寸法のみが異なり、構造、材質は同じである。
【００３６】
本実施形態の非接地型シース熱電対の金属シースの外径は２ｍｍ、肉厚は０．２ｍｍ、熱電対線の外径は０．４ｍｍである。
【００３７】
第２実施形態の非接地型シース熱電対と、無機絶縁材粉末がマグネシア粉末である以外は同じ構造、材質、寸法の従来からの非接地型シース熱電対について、測温点のある金属シース先端を０℃の氷水中に浸し、後方の金属シースの約４００ｍｍ長さの範囲を１２００℃で加熱してシャントエラーを計った結果、後者のシャントエラーが約７．９℃であったのに対し、本実施形態の前者では約０．１２℃で、シャントエラーは約６５分の１に減少した。この減少は前述した本発明のシース熱電対のシャントエラー減少効果にほぼ合致する。
【００３８】
この試験は、加熱温度が１０００℃以下でシャントエラーが発生するような加熱長の長い試験炉が都合できなかったため、代わりに加熱長の短い炉で加熱温度を１２００℃に高めて行ったものである。１２００℃は石英ガラスの内部歪が消失する石英ガラスの徐冷点温度１１４０℃よりやや高く、自重での変形が始まる石英ガラスの軟化点温度１６６７℃より十分に低い温度であるので、本実施形態の無機絶縁材粉末である石英ガラス粉末は、試験温度１２００℃では軟化は僅かに生じているものの形状に大きな変化はない状態と考えてよい。
【００３９】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態の構造は、図２に示した従来の接地型シース熱電対１の断面図と同じ構造の接地型シース熱電対で、無機絶縁材粉末４として従来はマグネシア粉末が一般に用いられていたのに対し、本実施形態では第１実施形態と同様、石英ガラス粉末が用いられている点が異なる。以下、図２において従来のものとの区分を明確にするため、従来のマグネシア粉末を無機絶縁材粉末とする接地型シース熱電対の符号は「２」、第３実施形態の非接地型シース熱電対の符号を「２０」とし、マグネシア粉末の無機絶縁材粉末の符号は「４」、石英ガラス粉末の無機絶縁材粉末の符号を「４０」とする。
【００４０】
本実施形態の接地型シース熱電対２０の図１に示した第１の実施形態の非接地型シース熱電対１０との違いは、非接地型シース熱電対１０はプラス側熱電対線５１の先端とマイナス側熱電対線５２の先端が接合された測温点７が無機絶縁材粉末４０の中に在るのに対し、本実施形態の接地型シース熱電対２０はプラス側熱電対線５１の先端とマイナス側熱電対線５２の先端がともに金属シース３の先端に接合されて金属シース３の先端が測温点７となっている構造上の違いのみで、その他の構造は同じであり、また、金属シース３及び熱電対線５１、５２の材質、寸法も第１の実施形態の非接地型シース熱電対１０と同じである。
【００４１】
その他、第１実施形態で説明した非接地型シース熱電対１０の機能、特性、特徴等は全て本実施形態の接地型シース熱電対２０についても同じであるので、再説明は省略する。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
ボイラ内部やエンジン類の内部等の高温環境でのシース熱電対による温度測定において、測温点以外の部分が測温点温度と異なる高温で加熱されるために発生するシャントエラーが問題となるケースは少なくなく、そのようなケースに本発明のシース熱電対を適用することにより、シャントエラーを大幅に減少させることができる。
【符号の説明】
【００４３】
１、１０  非接地型シース熱電対
２、２０  接地型シース熱電対
３  金属シース
４、４０  無機絶縁材粉末
５１  プラス側熱電対線
５２  マイナス側熱電対線
６  樹脂シール
７  測温点
【図１】
2020051950.tif 000003
【図２】
2020051950.tif 000004
【図３】
2020051950.tif 000005
【図４】
2020051950.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】令和1年10月10日(2019.10.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
金属シース内に無機絶縁材粉末を介在させて熱電対線が収容されたシース熱電対において、
該無機絶縁材粉末を石英ガラスの粉末にすることにより、シャントエラーを減少させることができるようにしたことを特徴とするシース熱電対。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
金属シース内に無機絶縁材粉末を介在させて熱電対線が収容されたシース熱電対において、無機絶縁材粉末を石英ガラスの粉末にすることにより、シャントエラーを減少させることができるシース熱電対とした。