(57)【要約】【課題】表示パネルの処理を行う処理装置に表示パネルを搬送する搬送ロボットにおいて、処理装置に搬入される表示パネルの除電を効果的に行うことが可能な搬送ロボットを提供する。【解決手段】この搬送ロボットは、表示パネル２を把持する吸着パッド３０と、一端部が吸着パッド３０の挿入穴３０ａに挿入されるとともに他端部の外周面にオネジ３１ｂが形成される筒状のネジ部材３１と、ネジ部材３１を介して吸着パッド３０を保持する金属製のパッド保持部材３２とを備えている。吸着パッド３０は、導電性ゴムで形成され、ネジ部材３１は、導電性材料で形成され、パッド保持部材３２には、オネジ３１ｂが螺合するネジ穴３２ａが形成されている。パッド保持部材３２の表面には、酸化被膜が形成されているが、ネジ穴３２ａの、少なくともオネジ３１ｂが螺合する部分の一部では、酸化被膜が除去されている。また、パッド保持部材３２は、接地されている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルを搬送する搬送ロボットにおいて、
前記表示パネルを吸着して把持する吸着パッドと、内周側に通気穴を有する筒状に形成され一端部が前記吸着パッドの基端部に形成される挿入穴に挿入されるとともに他端部の外周面にオネジが形成されるネジ部材と、前記ネジ部材を介して前記吸着パッドを保持する金属製のパッド保持部材と、前記パッド保持部材が取り付けられるアームとを備え、
前記吸着パッドは、導電性を有するゴムで形成され、
前記ネジ部材は、導電性を有する導電性材料で形成され、
前記パッド保持部材の表面には、酸化被膜が形成され、
前記パッド保持部材には、前記ネジ部材の前記オネジが螺合するネジ穴が形成され、
前記ネジ穴の、少なくとも前記オネジが螺合する部分の一部では、前記酸化被膜が除去され、
前記パッド保持部材は、接地されていることを特徴とする搬送ロボット。
【請求項２】
歯付き座金と、接地用の配線の端部が接続される端子と、前記歯付き座金および前記端子を前記パッド保持部材に固定するためのネジとを備え、
前記パッド保持部材には、前記ネジが螺合する第２のネジ穴が形成され、
前記歯付き座金は、前記歯付き座金の歯の先端が前記パッド保持部材に接触するとともに前記端子が前記歯付き座金に接触した状態で前記ネジによって前記端子と一緒に前記パッド保持部材に固定され、
前記パッド保持部材と前記歯付き座金と前記端子とが電気的に接続されていることを特徴とする請求項１記載の搬送ロボット。
【請求項３】
前記表示パネルを点灯検査する点灯検査装置に前記表示パネルを搬送することを特徴とする請求項１または２記載の搬送ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の表示パネルを搬送する搬送ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネルを点灯検査するための検査装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の検査装置は、液晶ディスプレイの製造システムの途中に組み込まれている。この検査装置は、液晶パネルの点灯検査を行うプローバと、検査前の液晶パネルをプローバに向かって搬送する搬入側コンベヤと、搬入側コンベヤで搬送された液晶パネルをプローバに搬入する搬入機構とを備えている。搬入機構は、液晶パネルの表面を吸着して把持する吸着部と、先端に吸着部が取り付けられる搬送アームと、搬送アームを水平方向に移動させる移動機構とを備えている。吸着部は、真空ポンプが接続される吸盤によって構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１０７９７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の検査装置では、搬入機構の吸着部に液晶パネルが吸着されて把持されるときの摩擦帯電や、搬入機構の吸着部に把持されていた液晶パネルが吸着部から離れるときの剥離帯電によって、液晶パネルが帯電する。摩擦帯電や剥離帯電によって、吸着部に液晶パネルが把持されるときや吸着部から液晶パネルが離れるときに液晶パネルが帯電しても、この程度の静電気の影響で液晶パネルの品質が損なわれる可能性は低い。
【０００５】
しかしながら、摩擦帯電や剥離帯電によって、吸着部に液晶パネルが把持されるときや吸着部から液晶パネルが離れるときに帯電した液晶パネルの点灯検査を行うと、点灯検査の検査精度によっては、本来良品である液晶パネルが静電気の影響で不良品と判断されてしまうおそれがあることが本願発明者の検討によって明らかになった。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、表示パネルの処理を行う処理装置に表示パネルを搬送する搬送ロボットにおいて、処理装置に搬入される表示パネルの除電を効果的に行うことが可能な搬送ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の搬送ロボットは、表示パネルを搬送する搬送ロボットにおいて、表示パネルを吸着して把持する吸着パッドと、内周側に通気穴を有する筒状に形成され一端部が吸着パッドの基端部に形成される挿入穴に挿入されるとともに他端部の外周面にオネジが形成されるネジ部材と、ネジ部材を介して吸着パッドを保持する金属製のパッド保持部材と、パッド保持部材が取り付けられるアームとを備え、吸着パッドは、導電性を有するゴムで形成され、ネジ部材は、導電性を有する導電性材料で形成され、パッド保持部材の表面には、酸化被膜が形成され、パッド保持部材には、ネジ部材のオネジが螺合するネジ穴が形成され、ネジ穴の、少なくともオネジが螺合する部分の一部では、酸化被膜が除去され、パッド保持部材は、接地されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の搬送ロボットでは、表示パネルを吸着して把持する吸着パッドは、導電性を有するゴムで形成され、吸着パッドの基端部に形成される挿入穴に一端部が挿入されるネジ部材は、導電性を有する導電性材料で形成されている。また、本発明では、パッド保持部材に、ネジ部材のオネジが螺合するネジ穴が形成されている。さらに、本発明では、パッド保持部材の表面に酸化被膜が形成されているが、ネジ穴の、少なくともオネジが螺合する部分の一部では、酸化被膜が除去されている。そのため、本発明では、吸着パッドとネジ部材とパッド保持部材とを電気的に接続することが可能になる。
【０００９】
また、本発明では、パッド保持部材が接地されているため、吸着パッド、ネジ部材およびパッド保持部材を介して、吸着パッドに把持される表示パネルの静電気を逃がすことが可能になる。すなわち、本発明では、搬送ロボットによる表示パネルの搬送中に表示パネルの静電気を逃がすことが可能になる。したがって、本発明では、処理装置に搬入される表示パネルの除電を効果的に行うことが可能になる。なお、本発明では、パッド保持部材の表面に酸化被膜が形成されているため、金属製のパッド保持部材の耐食性等を高めることが可能になる。すなわち、本発明では、パッド保持部材の耐食性等を高めつつ、処理装置に搬入される表示パネルの除電を効果的に行うことが可能になる。
【００１０】
本発明において、搬送ロボットは、歯付き座金と、接地用の配線の端部が接続される端子と、歯付き座金および端子をパッド保持部材に固定するためのネジとを備え、パッド保持部材には、ネジが螺合する第２のネジ穴が形成され、歯付き座金は、歯付き座金の歯の先端がパッド保持部材に接触するとともに端子が歯付き座金に接触した状態でネジによって端子と一緒にパッド保持部材に固定され、パッド保持部材と歯付き座金と端子とが電気的に接続されていることが好ましい。このように構成すると、パッド保持部材の表面に酸化被膜が形成されていても、パッド保持部材と歯付き座金とを確実に電気的に接続させることが可能になる。したがって、歯付き座金、端子および接地用の配線を介して、パッド保持部材から静電気を確実に逃がすことが可能になる。
【００１１】
本発明において、搬送ロボットは、たとえば、表示パネルを点灯検査する点灯検査装置に表示パネルを搬送する。この場合には、点灯検査装置に搬入される表示パネルの除電を効果的に行うことが可能になる。したがって、本来良品である表示パネルが静電気の影響で、点灯検査装置において不良品と判断されてしまうのを防止することが可能になる。
【発明の効果】
【００１２】
以上のように、本発明では、表示パネルの処理を行う処理装置に表示パネルを搬送する搬送ロボットにおいて、処理装置に搬入される表示パネルの除電を効果的に行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の形態にかかる搬送ロボットが使用される搬送システム等の斜視図である。
【図２】図１に示す搬送システムの構成を説明するための側面図である。
【図３】図２のＥ部の構成を説明するための斜視図である。
【図４】図３に示すパッド保持部材に対する吸着パッドの取付部分の構成を説明するための断面図である。
【図５】図３に示すパッド保持部材に対する接地用の配線の取付部分の構成を説明するための断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００１５】
（搬送システムの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる搬送ロボット１が使用される搬送システム３等の斜視図である。図２は、図１に示す搬送システム３の構成を説明するための側面図である。
【００１６】
本形態の搬送ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、表示パネルである液晶パネル２を搬送する。ロボット１は、携帯機器等で使用される比較的小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれる搬送システム３で使用される。搬送システム３は、液晶パネル２の処理を行う処理装置４と、処理装置４で処理される前の液晶パネル２が配置されるパネル配置部５との間で液晶パネル２を搬送する。液晶パネル２は、長方形の平板状に形成されている。
【００１７】
本形態の処理装置４は、液晶パネル２を点灯検査する点灯検査装置である。したがって、以下では、処理装置４を「検査装置４」とする。検査装置４の内部には、液晶パネル２の点灯検査を行うためのバックライトやカメラ等が設置されている。検査装置４は、検査装置４に投入される液晶パネル２を除電するためのイオナイザーを備えている。このイオナイザーは、液晶パネル２の投入口に設置されている。
【００１８】
パネル配置部５には、カセット６に収容された複数枚の液晶パネル２が配置されている。カセット６の中では、液晶パネル２は、液晶パネル２の厚さ方向と上下方向とが略一致するように配置されている。また、カセット６の中では、複数枚の液晶パネル２が上下方向に所定の間隔をあけた状態で配置されている。なお、トレイに収容された複数枚の液晶パネル２がパネル配置部５に配置されていても良い。
【００１９】
搬送システム３は、パネル配置部５から搬出された液晶パネル２であって検査装置４に搬入される前の液晶パネル２が載置される仮置きステージ７を備えている。仮置きステージ７の上面は、上下方向に直交する平面となっている。また、搬送システム３は、２台のロボット１を備えている。２台のロボット１のうちの一方のロボット１は、仮置きステージ７から検査装置４に液晶パネル２を搬送し、他方のロボット１は、パネル配置部５から仮置きステージ７に液晶パネル２を搬送する。
【００２０】
また、搬送システム３は、仮置きステージ７に載置された液晶パネル２を除電するためのイオナイザー１１と、パネル配置部５から仮置きステージ７に液晶パネル２が搬送される途中で液晶パネル２を除電するためのイオナイザー１２と、パネル配置部５から搬出される液晶パネル２を除電するためのイオナイザー１３とを備えている。イオナイザー１１は、仮置きステージ７よりも下側に配置されている。イオナイザー１１は、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２の下面側にイオンを供給する。
【００２１】
イオナイザー１２は、パネル配置部５から仮置きステージ７への液晶パネル２の搬送経路に配置されている。また、イオナイザー１２は、ロボット１よりも上側に配置されている。イオナイザー１２は、ロボット１によってパネル配置部５から搬出された後、イオナイザー１２の下側で所定時間停止する液晶パネル２の上面側にイオンを供給する。イオナイザー１３は、パネル配置部５の上側に配置されている。イオナイザー１３は、パネル配置部５から搬出される液晶パネル２の上面側にイオンを供給する。
【００２２】
（搬送ロボットの構成）
図３は、図２のＥ部の構成を説明するための斜視図である。図４は、図３に示すパッド保持部材３２に対する吸着パッド３０の取付部分の構成を説明するための断面図である。図５は、図３に示すパッド保持部材３２に対する接地用の配線３５の取付部分の構成を説明するための断面図である。
【００２３】
ロボット１は、６軸の垂直多関節ロボットである。図２に示すように、ロボット１は、ロボット１の下端部を構成する支持部材１６と、基端側が支持部材１６に回動可能に連結されるアーム１７と、アーム１７の先端側に取り付けられるパネル保持機構１８とを備えている。支持部材１６は、搬送システム３の本体フレームに架台を介して固定されている。なお、図１では、パネル保持機構１８の図示を省略している。
【００２４】
アーム１７は、支持部材１６に相対回動可能に連結される関節部１９と、関節部１９に相対回動可能に連結される関節部２０と、関節部２０に基端が固定される直線状のアーム部２１と、アーム部２１の先端に固定される関節部２２と、関節部２２に相対回動可能に連結される関節部２３と、関節部２３に基端が相対回動可能に連結される直線状のアーム部２４と、アーム部２４の先端に固定される関節部２５と、関節部２５に相対回動可能に連結される関節部２６とを備えている。
【００２５】
関節部１９、２０、２２、２３、２５、２６は、モータとモータの動力を減速して伝達する減速機とを備えている。関節部１９は、上下方向を回動の軸方向とする回動が可能になるように支持部材１６に連結されている。関節部２０は、水平方向を回動の軸方向とする回動が可能となるように関節部１９に連結されている。関節部２３は、水平方向を回動の軸方向とする回動が可能となるように関節部２２に連結されている。関節部２６は、水平方向を回動の軸方向とする回動が可能となるように関節部２５に連結されている。
【００２６】
関節部１９に対する関節部２０の回動の軸方向および関節部２２に対する関節部２３の回動の軸方向と、アーム部２１の長手方向とは直交している。関節部２２に対する関節部２３の回動の軸方向および関節部２５に対する関節部２６の回動の軸方向と、アーム部２４の長手方向とは直交している。また、関節部２２に対する関節部２３の回動の軸方向と、関節部２３に対するアーム部２４の回動の軸方向とは直交している。
【００２７】
パネル保持機構１８は、関節部２６に回動可能に連結されている。関節部２５に対する関節部２６の回動の軸方向と、関節部２６に対するパネル保持機構１８の回動の軸方向とは直交している。パネル保持機構１８は、液晶パネル２を吸着して把持する吸着パッド３０と、吸着パッド３０の基端部が取り付けられるネジ部材３１と、ネジ部材３１を介して吸着パッド３０を保持するパッド保持部材３２とを備えている。本形態のパネル保持機構１８は、たとえば、４個の吸着パッド３０を備えており、４個の吸着パッド３０がネジ部材３１を介してパッド保持部材３２に保持されている。なお、図２では、吸着パッド３０およびネジ部材３１の図示を省略している。
【００２８】
吸着パッド３０は、導電性を有するゴム（導電性ゴム）で形成されている。図４に示すように、吸着パッド３０は、筒状に形成されている。吸着パッド３０の先端部は、たとえば、蛇腹状に形成されている。吸着パッド３０の先端部の内周側は、液晶パネル２を吸引する吸引穴となっている。吸着パッド３０の基端部の内周側は、ネジ部材３１の一端部が挿入される挿入穴３０ａとなっている。
【００２９】
ネジ部材３１は、導電性を有する導電性材料で形成されている。具体的には、ネジ部材３１は、鋼鉄等の金属で形成されている。また、ネジ部材３１は、内周側に通気穴３１ａを有する筒状に形成されている。具体的には、ネジ部材３１は、略円筒状に形成されている。ネジ部材３１の一端部は、吸着パッド３０の挿入穴３０ａに挿入されている。ネジ部材３１の一端部の外周面は、挿入穴３０ａの内周面に所定の接触圧で接触しており、吸着パッド３０とネジ部材３１とは、電気的に接続されている。ネジ部材３１の他端部の外周面には、オネジ３１ｂが形成されている。
【００３０】
パッド保持部材３２は、長方形の平板状に形成されている。パッド保持部材３２は、アーム１７に取り付けられている。具体的には、パッド保持部材３２は、回動部材３３を介して関節部２６に回動可能に取り付けられている。パッド保持部材３２は、回動部材３３に固定されている。回動部材３３は、関節部２６に対してパッド保持部材３２と一緒に回動する。
【００３１】
パッド保持部材３２は、導電性を有する金属で形成されている。また、パッド保持部材３２の表面には、酸化被膜が形成されている。本形態のパッド保持部材３２は、アルミニウム合金で形成されており、パッド保持部材３２の表面には、陽極酸化被膜が形成されている。すなわち、パッド保持部材３２には、陽極酸化処理（アルマイト）が施されている。そのため、本形態では、アルミニウム合金で形成されるパッド保持部材３２の耐食性および耐摩耗性を高めることが可能になっている。なお、パッド保持部材３２の表面に形成される陽極酸化被膜は、絶縁性を有しており、電気を通さない。
【００３２】
パッド保持部材３２には、ネジ部材３１のオネジ３１ｂが螺合するネジ穴３２ａが形成されている。ネジ穴３２ａには、パッド保持部材３２の内部に形成される通気穴３２ｂの一端が繋がっている。通気穴３２ｂの他端には、継手３４（図３参照）が固定されている。継手３４には、所定の配管を介して真空ポンプ等の空気の吸引機構が接続されており、この吸引機構が駆動すると、吸着パッド３０に液晶パネル２が吸着される。
【００３３】
パッド保持部材３２は、接地されている。具体的には、パッド保持部材３２は、接地用の配線３５によってアーム１７と電気的に接続されており、少なくとも一部が金属で形成されるアーム１７を介して接地されている。本形態では、配線３５の一端部は、回動部材３３に固定されている。回動部材３３は、金属で形成されており、少なくとも一部が金属で形成される関節部２６と電気的に接続されている。すなわち、配線３５の一端部は、回動部材３３を介して、関節部２６に電気的に接続されている。
【００３４】
パネル保持機構１８は、図５に示すように、配線３５の他端部が接続される端子３６と、歯付き座金（菊座金）３７と、端子３６および歯付き座金３７をパッド保持部材３２に固定するためのネジ３８とを備えている。なお、図３（Ｂ）では、端子３６および歯付き座金３７の図示を省略している。
【００３５】
端子３６は、たとえば、丸型端子であり、導電性を有する金属で形成されている。配線３５の他端部は、端子３６に電気的に接続されている。パッド保持部材３２には、ネジ３８が螺合する第２のネジ穴としてのネジ穴３２ｃが形成されている。歯付き座金３７は、歯付き座金３７の歯の先端がパッド保持部材３２に接触するとともに端子３６が歯付き座金３７に接触した状態でネジ３８によって端子３６と一緒にパッド保持部材３２に固定されている。ネジ３８の軸部は、端子３６および歯付き座金３７の内周側に挿通されている。
【００３６】
上述のように、パッド保持部材３２の表面には、酸化被膜（陽極酸化被膜）が形成されているが、本形態では、歯付き座金３７の歯がパッド保持部材３２の酸化被膜を貫通してパッド保持部材３２に食い込むまで、ネジ３８がネジ穴３２ｃにねじ込まれている。また、端子３６と歯付き座金３７とは、所定の接触圧で接触している。そのため、パッド保持部材３２と歯付き座金３７と端子３６とは、電気的に接続されている。すなわち、パッド保持部材３２は、歯付き座金３７、端子３６および配線３５等を介して、アーム１７と電気的に接続されている。
【００３７】
また、上述のように、パッド保持部材３２には、陽極酸化処理が施されており、陽極酸化処理後のパッド保持部材３２では、ネジ穴３２ａの内周面の全体も酸化被膜（陽極酸化被膜）に覆われている。本形態では、ネジ部材３１のオネジ３１ｂがネジ穴３２ａにねじ込まれる前に、ネジ穴３２ａの、少なくともオネジ３１ｂが螺合する部分の一部の酸化被膜を除去している。具体的には、タップ加工を行って、ネジ穴３２ａの内周面を削ることで、ネジ穴３２ａの、少なくともオネジ３１ｂが螺合する部分の一部の酸化被膜を除去している。
【００３８】
すなわち、ネジ穴３２ａの、少なくともオネジ３１ｂが螺合する部分の一部では、酸化被膜が除去されており、酸化被膜が除去された部分は、酸化被膜除去部３２ｄとなっている（図４参照）。本形態では、たとえば、ネジ穴３２ａの、オネジ３１ｂが螺合する部分の全体または一部が酸化被膜除去部３２ｄとなっている。あるいは、ネジ穴３２ａの全体が酸化被膜除去部３２ｄとなっている。そのため、本形態では、ネジ部材３１とパッド保持部材３２とは、電気的に接続されている。すなわち、吸着パッド３０は、ネジ部材３１を介してパッド保持部材３２に電気的に接続されている。
【００３９】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、液晶パネル２を吸着して把持する吸着パッド３０は、導電性を有するゴムで形成され、吸着パッド３０の基端部が取り付けられるネジ部材３１は、導電性を有する導電性材料で形成され、パッド保持部材３２に、ネジ部材３１のオネジ３１ｂが螺合するネジ穴３２ａが形成されている。また、本形態では、アルミニウム合金で形成されるパッド保持部材３２の耐食性および耐摩耗性を高めるためにパッド保持部材３２の表面に酸化被膜（陽極酸化被膜）が形成されているが、ネジ穴３２ａの、少なくともオネジ３１ｂが螺合する部分の一部では、酸化被膜が除去されている。そのため、本形態では、上述のように、吸着パッド３０は、ネジ部材３１を介してパッド保持部材３２に電気的に接続されている。
【００４０】
また、本形態では、パッド保持部材３２は、歯付き座金３７、端子３６および配線３５等を介して、アーム１７と電気的に接続されており、アーム１７を介して接地されている。そのため、本形態では、吸着パッド３０、ネジ部材３１およびパッド保持部材３２等を介して、吸着パッド３０に把持される液晶パネル２の静電気を逃がすことが可能になる。すなわち、本形態では、パッド保持部材３２の耐食性および耐摩耗性を高めるためにパッド保持部材３２の表面に酸化被膜が形成されていても、ロボット１による液晶パネル２の搬送中に液晶パネル２の静電気を逃がすことが可能になる。したがって、本形態では、パッド保持部材３２の耐食性および耐摩耗性を高めつつ、検査装置４に搬入される液晶パネル２の除電を効果的に行うことが可能になり、その結果、本来良品である液晶パネル２が静電気の影響で、検査装置４において不良品と判断されてしまうのを防止することが可能になる。
【００４１】
本形態では、歯付き座金３７の歯は、パッド保持部材３２の酸化被膜を貫通してパッド保持部材３２に食い込んでいる。そのため、本形態では、パッド保持部材３２の表面に酸化被膜が形成されていても、パッド保持部材３２と歯付き座金３７とを確実に電気的に接続させることが可能になる。また、本形態では、端子３６と歯付き座金３７とが所定の接触圧で接触している。したがって、本形態では、歯付き座金３７、端子３６および配線３５等を介して、パッド保持部材３２から静電気を確実に逃がすことが可能になる。
【００４２】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００４３】
上述した形態では、パッド保持部材３２は、配線３５によってアーム１７と電気的に接続されているが、パッド保持部材３２は、金属板等によってアーム１７と電気的に接続されていても良い。また、上述した形態において、継手３４が金属で形成されている場合には、継手３４を介してパッド保持部材３２がアーム１７と電気的に接続されていても良い。すなわち、配線３５の端部が継手３４に電気的に接続されていても良い。この場合には、ネジ穴３２ｃの、少なくともネジ３８が螺合する部分の一部において、酸化被膜が除去されている。
【００４４】
上述した形態において、パッド保持部材３２は、アルミニウム合金以外の金属で形成されていても良い。ただし、パッド保持部材３２がアルミニウム合金で形成されている場合には、パネル保持機構１８を軽量化することが可能になる。また、上述した形態において、１台のロボット１が、パネル配置部５から仮置きステージ７への液晶パネル２の搬送と、仮置きステージ７から検査装置４への液晶パネル２の搬送とを行っても良い。さらに、上述した形態では、処理装置４は、液晶パネル２を点灯検査する点灯検査装置であるが、処理装置４は、点灯検査装置以外の、液晶パネル２に対して所定の処理を行う装置であっても良い。
【００４５】
上述した形態において、ロボット１は、６軸の垂直多関節ロボット以外のロボットであっても良い。たとえば、ロボット１は、６軸以外の垂直多関節ロボットであっても良いし、水平多関節ロボットであっても良いし、パラレルリンクロボットであっても良いし、３軸直交ロボットでも良いし、２軸直交ロボットであっても良い。また、上述した形態では、ロボット１が搬送する表示パネルは、液晶パネル２であるが、ロボット１が搬送する表示パネルは、液晶パネル２以外の表示パネルであっても良い。たとえば、ロボット１が搬送する表示パネルは、有機ＥＬパネルであっても良い。
【符号の説明】
【００４６】
１  ロボット（搬送ロボット）
２  液晶パネル（表示パネル）
４  検査装置（点灯検査装置）
１７  アーム
３０  吸着パッド
３０ａ  挿入穴
３１  ネジ部材
３１ａ  通気穴
３１ｂ  オネジ
３２  パッド保持部材
３２ａ  ネジ穴
３２ｃ  ネジ穴（第２のネジ穴）
３５  配線（接地用の配線）
３６  端子
３７  歯付き座金
３８  ネジ
【図１】
2020035841.tif 000003
【図２】
2020035841.tif 000004
【図３】
2020035841.tif 000005
【図４】
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【図５】
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