(57)【要約】【課題】焼成時に応力による配線の亀裂や破断等が生じるのを防ぐ配線形成方法を提供する。【解決手段】配線を基材上に形成する方法であって、第１の配線パターンに従い配線材料を基材に配置し、配線材料の焼成時に生じる応力を分散するか、又は該応力の伝達を防止する形状を有する第２の配線パターンに従い配線材料を基材に配置し、第１の配線パターンと第２の配線パターンとの配線材料を焼成して配線を形成する、配線形成方法である。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線を基材上に形成する方法であって、
第１の配線パターンに従い配線材料を基材に配置し、
配線材料の焼成時に生じる応力を分散するか、又は該応力の伝達を防止する形状を有する第２の配線パターンに従い配線材料を基材に配置し、
前記第１の配線パターンと前記第２の配線パターンとの配線材料を焼成して配線を形成する、
配線形成方法。
【請求項２】
前記第２の配線パターンは、主配線部分と、該主配線部分から延長されて前記第１の配線パターンに接続する応力緩衝部分とを有する、請求項１に記載の配線形成方法。
【請求項３】
前記第２の配線パターンは、前記第１の配線パターンから分離した形状を有し、
前記配線形成方法は、さらに、
前記配線材料の焼成の後に、前記第１の配線パターンを有する配線と前記第２の配線パターンを有する配線とを導通可能に接続する工程を含む、
請求項１に記載の配線形成方法。
【請求項４】
焼成された配線を有する配線基板であって、
第１の配線パターンと、
前記第１の配線パターンとは異なる第２の配線パターンであって、配線材料の焼成時に生じる応力を分散、又は該応力の伝達を防止する形状を有する第２の配線パターンと、
を具備する配線基板。
【請求項５】
圧電素子を有するガラス基板上に焼成された配線を有する振動パネルと、
前記振動パネルと重ねるように配置された接触位置検出装置と、
前記振動パネル上の前記圧電素子を超音波帯域で振動させるよう制御することにより前記振動パネル上に触感を生じさせる制御部と、を具備し、
前記振動パネルは、
第１の配線パターンに従い配線材料を配置して形成された第１の配線部分と、
前記第１の配線パターンとは異なる第２の配線パターンであって、配線材料の焼成時に生じる応力を分散、又は該応力の伝達を防止する形状を有する第２の配線パターンに従い配線材料を配置して形成された第２の配線部分と、を有する、
タッチパネル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、焼成型配線材料を用いて配線を形成する配線形成方法、焼成型配線材料を用いて配線が形成された配線基板、およびタッチパネル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基材に配線を形成して配線基板を製造する過程では各種要因により配線に不具合が発生し得るため、配線品質を向上させる方法が提案されている。特許文献１は、ラインが交差する部分に塗布される導電性粒子のペースト量が多くなるとひび割れ等の原因となることに鑑み、パターンをライン部と交差部に分割してペーストを塗布することにより交差部へのペースト塗布量が多くなることを回避する方法を記載している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−２２７３８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
焼成型の配線材料を用いて配線を基板に形成するとき、焼成温度によって配線に生じる熱応力に起因して配線が変形する場合がある。配線が変形すると、二つの配線パターンの接続箇所に亀裂や破断等が発生する恐れもある。また、炉内で温度管理が保証できる領域のみで焼成することで配線の変形や断線を防ぐことができるが、一度に焼成できる量が少なくなるという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様は、配線を基材上に形成する方法であって、第１の配線パターンに従い配線材料を基材に配置し、配線材料の焼成時に生じる応力を分散するか、又は該応力の伝達を防止する形状を有する第２の配線パターンに従い配線材料を基材に配置し、前記第１の配線パターンと前記第２の配線パターンとの配線材料を焼成して配線を形成する、配線形成方法である。
【発明の効果】
【０００６】
上記構成によれば、焼成時の熱応力により配線に亀裂や破断等が生じるのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】ガラス基板に対する焼成工程を経て製造された配線基板の一例を示す図である。
【図２】図１のガラス基板においてパターンが接続される箇所を示す図である。
【図３】第１パターンと第２パターンとの接続箇所における不具合を示す図である。
【図４】応力緩衝部により接続される第１パターンと第２パターンを表す図である。
【図５】分類１に属する応力緩衝部の形状の第１の例である。
【図６】分類１に属する応力緩衝部の形状の第２の例である。
【図７】分類１に属する応力緩衝部の形状の第３の例である。
【図８】分類１に属する応力緩衝部の形状の第４の例である。
【図９Ａ】図５の応力緩衝部に下方向の力がかかった状態を示す図である。
【図９Ｂ】図５の応力緩衝部に上方向の力がかかった状態を示す図である。
【図１０Ａ】図６の応力緩衝部に下方向の力がかかった状態を示す図である。
【図１０Ｂ】図６の応力緩衝部に上方向の力がかかった状態を示す図である。
【図１１】分類２に属する応力緩衝部の第１の例である。
【図１２】分類２に属する応力緩衝部の第２の例である。
【図１３】分類２に属する応力緩衝部の第３の例である。
【図１４】分類２に属する応力緩衝部の第４の例である。
【図１５】分類２に属する応力緩衝部の第５の例である。
【図１６】分類２に属する応力緩衝部の第６の例である。
【図１７】分類２に属する応力緩衝部の第７の例である。
【図１８】分類２に属する応力緩衝部の第８の例である。
【図１９】分類２に属する応力緩衝部の第９の例である。
【図２０】分類２に属する応力緩衝部の第１０の例である。
【図２１】分類２に属する応力緩衝部の第１１の例である。
【図２２】分類２に属する応力緩衝部の第１２の例である。
【図２３Ａ】図１１の応力緩衝部に下方向の力がかかった状態を示す図である。
【図２３Ｂ】図１１の応力緩衝部に上方向の力がかかった状態を示す図である。
【図２４Ａ】図１２の応力緩衝部に下方向の力がかかった状態を示す図である。
【図２４Ｂ】図１２の応力緩衝部に上方向の力がかかった状態を示す図である。
【図２５Ａ】図１３の応力緩衝部に下方向の力がかかった状態を示す図である。
【図２５Ｂ】図１３の応力緩衝部に上方向の力がかかった状態を示す図である。
【図２６Ａ】図１４の応力緩衝部に下方向の力がかかった状態を示す図である。
【図２６Ｂ】図１４の応力緩衝部に上方向の力がかかった状態を示す図である。
【図２７】分類３に属する応力緩衝部の第１の例である。
【図２８】分類３に属する応力緩衝部の第２の例である。
【図２９】分類３に属する応力緩衝部の第３の例である。
【図３０】分類３に属する応力緩衝部の第４の例である。
【図３１】分類３に属する応力緩衝部の第５の例である。
【図３２】分類３に属する応力緩衝部の第６の例である。
【図３３】分類３に属する応力緩衝部の第７の例である。
【図３４】分類３に属する応力緩衝部の第８の例である。
【図３５】分類３に属する応力緩衝部の第９の例である。
【図３６】分類３に属する応力緩衝部の第１０の例である。
【図３７】分類３に属する応力緩衝部の第１１の例である。
【図３８】分類３に属する応力緩衝部の第１２の例である。
【図３９Ａ】図２７の応力緩衝部に下方向の力がかかった状態を示す図である。
【図３９Ｂ】図２７の応力緩衝部に上方向の力がかかった状態を示す図である。
【図４０Ａ】図２８の応力緩衝部に下方向の力がかかった状態を示す図である。
【図４０Ｂ】図２８の応力緩衝部に上方向の力がかかった状態を示す図である。
【図４１Ａ】図２９の応力緩衝部に下方向の力がかかった状態を示す図である。
【図４１Ｂ】図２９の応力緩衝部に上方向の力がかかった状態を示す図である。
【図４２Ａ】図３０の応力緩衝部に下方向の力がかかった状態を示す図である。
【図４２Ｂ】図３０の応力緩衝部に上方向の力がかかった状態を示す図である。
【図４３Ａ】分類４に属する応力緩衝部の第１の例である。
【図４３Ｂ】分類４に属する応力緩衝部の第２の例である。
【図４３Ｃ】分類４に属する応力緩衝部の第３の例である。
【図４４Ａ】分類４に属する応力緩衝部の第４の例である。
【図４４Ｂ】分類４に属する応力緩衝部の第５の例である。
【図４４Ｃ】分類４に属する応力緩衝部の第６の例である。
【図４５Ａ】分類４に属する応力緩衝部の第７の例である。
【図４５Ｂ】分類４に属する応力緩衝部の第８の例である。
【図４５Ｃ】分類４に属する応力緩衝部の第９の例である。
【図４６Ａ】分類４に属する応力緩衝部の第１０の例である。
【図４６Ｂ】分類４に属する応力緩衝部の第１１の例である。
【図４６Ｃ】分類４に属する応力緩衝部の第１２の例である。
【図４７Ａ】分類４に属する応力緩衝部の第１３の例である。
【図４７Ｂ】分類４に属する応力緩衝部の第１４の例である。
【図４７Ｃ】分類４に属する応力緩衝部の第１５の例である。
【図４８Ａ】分類４に属する応力緩衝部の第１６の例である。
【図４８Ｂ】分類４に属する応力緩衝部の第１７の例である。
【図４８Ｃ】分類４に属する応力緩衝部の第１８の例である。
【図４９Ａ】分類４に属する応力緩衝部の第１９の例である。
【図４９Ｂ】分類４に属する応力緩衝部の第２０の例である。
【図４９Ｃ】分類４に属する応力緩衝部の第２１の例である。
【図５０】接続部と直線部とを導電性材料で接続した状態の第１の例を示す。
【図５１】接続部と直線部とを導電性材料で接続した状態の第２の例を示す。
【図５２】本実施形態にかかる配線パターン形成方法により製造された振動パネルを用いたタッチパネル装置の分解図斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本開示の実施形態について図面を参照して説明する。図面において、同様の構成部分または機能部分には同様の参照符号が付けられ、理解を容易にするために図面は縮尺を適宜変更している。また、図面に示される形態は本発明を実施するための例であり、本発明は図示された形態に限定されるものではない。
【０００９】
焼成型の配線材料を用いた配線基板の製造における問題点について説明する。図１は、ガラス基板２に銀ペーストを塗布、焼成して製造された配線基板の一例を示している。図１の配線基板は、圧電素子を超音波帯域で振動させ触感を生じさせる振動パネルである。図１において、ガラス基板２の表面の長手方向の端部には圧電素子である機能素子１ａ、１ｂが接着されており、機能素子１ａの長手方向の両端部に隣接して機能素子１ａの電極と接続される接続部５ａ、５ｂが形成されている。接続部５ａからはＦＰＣ（フレキシブル基板）３との接続部１ｃまでガラス基板２の二つの側辺に沿うように途中で屈曲して直線的に伸びる直線部６ａが形成されている。また、接続部５ｂからは接続部１ｃまでガラス基板２の一側辺に沿って伸びる直線部６ｂが形成されている。機能素子１ｂ側にも機能素子１ａ側と同様な接続部５ｃ、５ｄおよび直線部６ｃ、６ｄが形成されている。
【００１０】
焼成により配線基板を製造する方法は、（１）基材上に配線パターンに従い焼成型の配線材料を塗布する工程と、（２）焼成材料が塗布された基材を焼成する工程とを含む。配線材料を基材上に塗布する方法としては、インクジェット、スクリーン印刷、転写等、当分野で知られた各種方法を用いることができる。基材としては、ガラス、セラミック、樹脂、複合材料等の各種のものを用いることができる。また、配線材料としては、金粒子、銀粒子、銅粒子等の各種のものを用いることができる。
【００１１】
図１の例では、配線材料として銀ペーストが用いられている。銀ペーストは一例として銀粒子、ガラスフリット、樹脂バインダー、および有機溶媒を含む。焼成工程は、有機溶媒を蒸発させる段階、樹脂バインダーを蒸発させる段階、ガラスフリットが溶けガラス基板と溶着する段階を含む。一般に焼成温度が高いほど配線と基材との強い密着が期待できるが、焼成温度によっては配線に生じる熱応力に起因して配線が変形する場合がある。焼成工程の「樹脂バインダーを蒸発させる段階」と「ガラスフリットが溶けガラス基板と溶着する」段階の間で樹脂バインダーが蒸発してほとんど存在せず、ガラスフリットが溶けている状態が発生し、樹脂バインダーがない状態ではガラスフリットとガラス基板の融着を際に応力を緩和することができないため配線が変形する。
【００１２】
図３は、図２の接続部５ａと直線部６ａとの接続箇所１０ａのように、第１の配線パターンと第２の配線パターンとが角部を形成して接続される箇所に発生しやすい不具合の例を示している。図３の例では、焼成工程においてに直線部６ａに収縮する矢印Ｆ１方向の熱応力が生じ、それにより接続部５ａに矢印Ｒ１方向の回転する力が作用し、接続部５ａが変形するとともに破断している。このような配線の不具合は、図２の接続箇所１０ｂ及び機能素子１の不図示の２つの接続箇所においても同様に生じると考えられる。
【００１３】
上記のような分析に基づき、本発明の一実施形態に係る配線形成方法では、図４に示すように第１の配線パターン１０１に対して第２の配線パターン１０２が角部を有するように接続される箇所において、配線材料の焼成時に生じる熱応力を分散するか又は熱応力の伝達を防止する形状に第２の配線パターン１０２を作成する。本実施形態に係る配線方法は、（１）第１の配線パターン１０１に従い配線材料を基材に配置し、（２）焼成時に生じる熱応力を分散、又は熱応力の伝達を防止する形状の第２の配線パターン１０２に従い配線材料を基材に配置し、（３）第１の配線パターン１０１と第２の配線パターン１０２との配線材料を焼成して配線を形成する、配線形成方法である。なお、図４では、第２の配線パターン１０２が、直線部１０５に加えて応力緩衝部１１０を有する例を図示している。
【００１４】
以下、本実施形態の実施例を説明する。以下の実施例は、接続箇所１０ａ又は接続箇所１０ｂに適用される。図４で示した第１の配線パターン１０１が接続部５ａ、５ｂに対応し、第２の配線パターン１０２又は直線部１０５が直線部６ａ、６ｂに対応している。以下の実施例のうち、分類１（図５〜図８）は第２の配線パターン１０２が蛇行形状の応力緩衝部１１０を有する例である。分類２（図１１〜図２２）は、第２の配線パターン１０２が複数の梁形状の応力緩衝部１１０を有する例である。分類３（図２７〜図３８）は、応力緩衝部１１０が環状部分と、環状部分の径方向内側に延びる複数の梁部分とを有する例と、環形状の応力緩衝部１１０を有する例とを含む。分類４（図４３Ａ〜図４９Ｃ）は、接続部５ａ，５ｂと直線部６ａ，６ｂとを分離・独立した配線パターンとして構成し、焼成後に接続部と直線部とを導電性配線材料などを用いて接続する例である。
【００１５】
分類１
図５〜図６は、実施例の分類１に属する応力緩衝部１１０ａ、１１０ｂを示す。応力緩衝部１１０ａ、１１０ｂは図２の接続箇所１０ａに適用される。図５に示す応力緩衝部１１０ａは、直線部６ａから延長されて接続部５ａに接続し、直線部６ａの中心線に対して垂直方向に突出する３か所の折り返し部１１１−１１３を有する蛇行形状に形成される。なお、図５に示した折り返し部の数は一例であり、これに限定するものではない。応力緩衝部１１０ａは、焼成時に直線部６ａに生じる図５矢印方向の熱応力をその変形により分散させ、直線部６ａから接続部５ａに熱応力が伝達するのを防止する。結果として、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００１６】
図６に示す応力緩衝部１１０ｂは、直線部６ａから延長されて接続部５ａに接続し、直線部６ａの中心線と平行な方向に突出する折り返し部１１５を有する蛇行形状に形成される。図６に示した折り返し部の数は一例であり、これに限定するものではない。応力緩衝部１１０ｂは、焼成時に直線部６ａに生じる図６矢印方向の熱応力を変形することで分散させ、直線部６ａから接続部５ａに熱応力が伝達するのを防止する。結果として、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００１７】
図７〜図８は、分類１に属する応力緩衝部１１０ｃ、１１０ｄを示す。応力緩衝部１１０ｃ、１１０ｄは図２の接続箇所１０ｂに適用される。図７に示す応力緩衝部１１０ｃは、直線部６ｂから延長されて接続部５ｂに接続する。応力緩衝部１１０ｃは、直線部６ｂの中心線に対して垂直な方向に突出する３か所の折り返し部１２１−１２３を有する蛇行形状に形成されている。図７における折り返し部の数は一例であり、これに限定するものではない。応力緩衝部１１０ｃは、焼成時に直線部６ｂに生じる図７矢印方向の熱応力を変形することで分散させ、直線部６ｂから接続部５ｂに熱応力が伝達するのを防止する。結果として、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００１８】
図８に示す応力緩衝部１１０ｄは、直線部６ｂから延長されて接続部５ｂと接続する。応力緩衝部１１０ｄは、直線部６ｂの中心線と平行な方向に突出する折り返し部１２５を有する蛇行形状に形成されている。図８に示した折り返し部の数は一例であり、これに限定するものではない。応力緩衝部１１０ｄは、焼成時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させ、直線部６ｂから接続部５ｂに熱応力が伝達するのを防止する。結果として、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００１９】
図９Ａは、図５の応力緩衝部１１０ａを適用した接続箇所１０ａの焼成時に直線部６ａを収縮させる熱応力Ｃ１が生じた例を示している。この場合、応力緩衝部１１０ａにはＣ１方向に熱応力がかかるが、蛇行部が全体としてＣ１方向に伸びるように変形することで熱応力が分散される。図９Ｂは、応力緩衝部１１０ａを適用した接続箇所１０ａの焼成時に直線部６ａが伸びる熱応力Ｃ２が生じた例を示している。この場合、応力緩衝部１１０ａにはＣ２方向に熱応力がかかるが、蛇行部がＣ２方向に縮むように変形することで熱応力が分散される。したがって、図９Ａ、図９Ｂでは、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００２０】
図１０Ａは、図６の応力緩衝部１１０ｂを適用した接続箇所１０ａの焼成時に直線部６ａを収縮させる熱応力Ｃ１が生じた例を示している。応力緩衝部１１０ｂにはＣ１方向に熱応力がかかるが、蛇行部がＣ１方向に変形することで熱応力が分散される。図１０Ｂは、応力緩衝部１１０ｂを適用した接続箇所１０ａの焼成時に直線部６ａが伸びる熱応力Ｃ２が生じた例を示している。応力緩衝部１１０ｂにはＣ２方向に熱応力がかかるが、蛇行部がＣ２方向に変形することで熱応力が分散される。したがって、図１０Ａ、図１０Ｂでは、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００２１】
図７に示した応力緩衝部１１０ｃも、応力緩衝部１１０ａと同様に、焼成時に矢印方向に生じる熱応力が接続部５ｂに伝達するのを防止する。また、図８に示した応力緩衝部１１０ｄも、応力緩衝部１１０ｂと同様に、焼成時に矢印方向に生じる熱応力が接続部５ｂに伝達するのを防止する。したがって、図７、図８では、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００２２】
分類２
図１１〜図１４は、実施例の分類２に属する応力緩衝部１１０ｅ〜１１０ｈを示す。応力緩衝部１１０ｅ〜１１０ｈは接続箇所１０ａに適用される。図１１〜図１４に示す応力緩衝部１１０ｅ〜１１０ｈは、接続部５ａと直線部６ａとを連結し且つ熱応力を分散する梁として機能する連結部を有する。
【００２３】
図１１に示す応力緩衝部１１０ｅは、直線部６ａから延長されて接続部５ａに接続する。応力緩衝部１１０ｅは、直線部６ａの中心線に対して外側に突出するように湾曲した２つの連結部１３１、１３２の内側に隙間１３３が形成された構造を有する。この構造により、応力緩衝部１１０ｅは、焼成時に直線部６ａに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させ、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が発生することを防止する。
【００２４】
図１２に示す応力緩衝部１１０ｆは、直線部６ａから延長されて接続部５ａと接続する。応力緩衝部１１０ｆは、交差する２つの直線的な連結部１４１、１４２と、交差する連結部１４１、１４２によって頂点が上下方向に対向するように配置された２つの三角形の隙間１４５、１４６を有する構造となっている。この構造により、応力緩衝部１１０ｆは、焼成時に直線部６ａに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させ、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が発生することを防止する。
【００２５】
図１３に示す応力緩衝部１１０ｇは、直線部６ａから延長され接続部５ａに接続しており、接続部５ａと直線部６ａとを連結する複数の直線的な連結部１５１と、隣接する連結部１５１間に形成された複数の三角形状の隙間１５２とを有する。この構造により、応力緩衝部１１０ｇは、焼成時に直線部６ａに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させ、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が発生することを防止する。
【００２６】
図１４に示す応力緩衝部１１０ｈは、直線部６ａから延長されて接続部５ａに接続する。応力緩衝部１１０ｈは、接続部５ａと直線部６ａとを連結する上方に突出して湾曲した複数の連結部１６１と、隣接する連結部１６１間に形成された複数の隙間１６２とを有する。この構造により、応力緩衝部１１０ｈは、焼成時に直線部６ａに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させる。結果として、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００２７】
図１５〜図２２には、分類２に属する応力緩衝部１１０ｉ〜１１０ｒが示されている。応力緩衝部１１０ｉ〜１１０ｒは接続箇所１０ｂに適用される。図１５〜図２２に示す応力緩衝部１１０ｉ〜１１０ｒは、接続部５ｂと直線部６ｂとを連結し且つ熱応力を個々に分散する梁として機能する連結部を有する。
【００２８】
図１５に示す応力緩衝部１１０ｉは、直線部６ｂから延長されて接続部５ｂと接続する。応力緩衝部１１０ｉは、直線部６ｂの中心線に対して外側に突出するように湾曲した２つの連結部１７１、１７２の内側に隙間１７３が形成された構造を有する。この構造により、応力緩衝部１１０ｉは、焼成時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させる。結果として、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００２９】
図１６に示す応力緩衝部１１０ｊは、直線部６ｂから延長されて接続部５ｂと接続する。図１６では、接続部５ｂの下辺に間隙を介して直線部６ｂが沿うように配置されている。応力緩衝部１１０ｊは、直線部６ｂの中心線に平行な方向において互いに反対方向に突出するように湾曲した２つの連結部１８１、１８２の内側に隙間１８３が形成された構造を有する。この構造により、応力緩衝部１１０ｊは、焼成時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させる。結果として、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００３０】
なお、図１５示す接続部５ｂと直線部６ｂの配置関係と、図１６に示す接続部５ｂと直線部６ｂの配置関係を対比すると、図１５の構成は配線パターンの面積を少なくできるというメリットを有する一方で、接続部５ｂと直線部６ｂの位置は固定される。これに対し、図１６の構成は、直線部６ｂと接続部５ｂの配線位置に自由度がある。
【００３１】
図１７に示す応力緩衝部１１０ｋは、直線部６ｂから延長して接続部５ｂと接続する。応力緩衝部１１０ｋは、交差する２つの直線的な連結部１９１、１９２と、交差する連結部１９１、１９２によって頂点が水平方向に対向するように配置された２つの三角形の隙間１９５、１９６とを有する構造となっている。この構造により、応力緩衝部１１０ｋは、焼成時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させる。結果として、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００３２】
図１８に示す応力緩衝部１１０ｍは、直線部６ｂから延長し接続部５ｂと接続する。図１８では、接続部５ｂの下辺に間隙を介して直線部６ｂが沿うように配置されている。応力緩衝部１１０ｍは、交差する２つの直線的な連結部２０１、２０２と、連結部２０１、２０２によって頂点が上下方向に対向するように配置された２つの三角形の隙間２０５、２０６を有する構造となっている。この構造により、応力緩衝部１１０ｍは、焼成時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させる。結果として、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００３３】
図１９に示す応力緩衝部１１０ｎは、直線部６ｂから延長し接続部５ｂと接続する。応力緩衝部１１０ｎは、接続部５ｂと直線部６ｂと連結する上方に突出して湾曲した複数の連結部２１１と、隣接する連結部２１１間に形成された隙間２１２とを有する。この構造により、応力緩衝部１１０ｎは焼成時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させ、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生することを防止する。
【００３４】
図２０に示す応力緩衝部１１０ｐは、直線部６ｂから延長して接続部５ｂと接続する。図２０では、接続部５ｂの下辺に間隙を介して直線部６ｂが沿うように配置されている。応力緩衝部１１０ｐは、接続部５ｂと直線部６ｂとを連結する図中左方に突出して湾曲した複数の連結部２２１と、隣接する湾曲部２２１間に形成された複数の隙間部２２２とを有する。この構造により、応力緩衝部１１０ｐは、焼成時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させる。結果として、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００３５】
図２１に示す応力緩衝部１１０ｑは、直線部６ｂから延長して接続部５ｂと接続する。応力緩衝部１１０ｑは、接続部５ｂと直線部６ｂとを連結する複数の直線的な連結部２３１と、隣接する連結部２３１間に形成された複数の三角形状の隙間２３２とを有する構造である。この構造により、応力緩衝部１１０ｑは、焼成時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させる。結果として、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００３６】
図２２に示す応力緩衝部１１０ｒは、直線部６ｂから延長して接続部５ｂと接続する。図２２では、接続部５ｂの下辺に間隙を介して直線部６ｂが沿うように配置されている。応力緩衝部１１０ｒは、接続部５ｂと直線部６ｂとを連結する複数の直線的な連結部２４１と、隣接する連結部２４１間に形成された複数の三角形状の隙間２４２とを有する。この構造により、応力緩衝部１１０ｒは、焼成時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力を変形して分散させ、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生することを防止する。
【００３７】
図２３Ａは、図１１に示した応力緩衝部１１０ｅを適用した接続箇所１０ａの焼成時に直線部６ａを収縮させる熱応力Ｃ１が生じた例を示している。この場合、応力緩衝部１１０ｅには下方向に熱応力がかかるが、連結部１３１、１３２が下方に伸びるように変形することで個々に熱応力を分散させる。図２３Ｂは、図１１に示した応力緩衝部１１０ｅを適用した接続箇所１０ａの焼成時に直線部６ａが伸びる熱応力Ｃ２が生じた例を示している。この場合、応力緩衝部１１０ｅには押し上げる熱応力がかかるが、連結部１３１、１３２が上方に縮むように変形することで熱応力を分散させる。したがって、図２３Ａ、図２３Ｂでは、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が生じることが防止される。
【００３８】
図２４Ａは、図１２に示した応力緩衝部１１０ｆを適用した接続箇所１０ａの焼成時に直線部６ａを収縮させる熱応力Ｃ１が生じた例を示している。この場合、応力緩衝部１１０ｆには下方向に熱応力がかかるが、連結部１４１、１４２が下方に伸びるように変形することで熱応力を分散させる。図２４Ｂは、図１２に示した応力緩衝部１１０ｆを適用した接続箇所１０ａの焼成時に直線部６ａに熱応力Ｃ２が生じた例を示している。この場合、応力緩衝部１１０ｆには押し上げる熱応力がかかるが、連結部１４１、１４２が上方に縮むように変形することで個々に熱応力を分散させる。したがって、図２４Ａ、図２４Ｂでは、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が生じることが防止される。
【００３９】
図２５Ａは、図１３に示した応力緩衝部１１０ｇを適用した接続箇所１０ａの焼成時に直線部６ａを収縮させる熱応力Ｃ１が生じた例を示している。この場合、応力緩衝部１１０ｆには図中右斜め下方向に熱応力がかかるが、連結部１５１が右斜め下方向に伸びるように変形することで熱応力を分散させる。図２５Ｂは、図１３に示した応力緩衝部１１０ｇを適用した接続箇所１０ａの焼成時に直線部６ａが伸びる熱応力Ｃ２が生じた例を示している。この場合、応力緩衝部１１０ｇには図中右斜め上に熱応力がかかるが、連結部１５１が右斜め上方向に変形することで熱応力を分散させる。したがって、図２５Ａ、図２５Ｂでは、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が生じることが防止される。
【００４０】
図２６Ａは、図１４に示した応力緩衝部１１０ｈを適用した接続箇所１０ａの焼成時に直線部６ａを収縮させる熱応力Ｃ１が生じた例を示している。この場合、応力緩衝部１１０ｈには図中右側部分を下方向に引っ張る熱応力がかかるが、湾曲した各連結部１６１の右側部分が下方に変形することで個々に熱応力を分散させる。図２６Ｂは、図１４に示した応力緩衝部１１０ｈを適用した接続箇所１０ａの焼成時に直線部６ａが伸びる熱応力Ｃ２が生じた例を示している。この場合、応力緩衝部１１０ｇには図中右側部分を上に押し上げる熱応力がかるが、湾曲した各湾曲部１６１の右側部分が上方に変形することで個々に熱応力を分散させる。したがって、図２６Ａ、図２６Ｂでは、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が生じることが防止される。
【００４１】
分類３
図２７〜図３０には、実施例の分類３に属する応力緩衝部１１０ｓ〜１１０ｖが示されている。応力緩衝部１１０ｓ〜１１０ｖは接続箇所１０ａに適用される。図２７〜図２９に示す応力緩衝部１１０ｓ〜１１０ｕは、環状部と環状部の内側に延びて熱応力を個々に分散する複数の梁部とを有する。図３０に示す応力緩衝部１１０ｖは、熱応力を全体に分散する環形状を有する。
【００４２】
図２７に示す応力緩衝部１１０ｓは、直線部６ａから延長して接続部５ａと接続する。応力緩衝部１１０ｓは、直線部６ａに接続された円形部２６１と、円形部２６１を取り囲む外周部２６２とを有する。円形部２６１と外周部２６２との間には、接続部５ａと直線部６ａとを連結し且つ熱応力を分散する梁として機能する直線的な３つの連結部２６４が形成され、外周部２６２が接続部５ａに接続される。隣接する連結部２６４間には隙間２６４が形成される。また、応力緩衝部１１０ｓの下端部には亀裂の発生を防止する窪み２６５ａ、２６５ｂが形成されている。以下で説明する各応力緩衝部も同様の窪みを有する。この構造により、応力緩衝部１１０ｓは、焼成時に直線部６ａに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させる。結果として、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００４３】
図２８に示す応力緩衝部１１０ｔは、直線部６ａから延長して接続部５ａと接続する。応力緩衝部１１０ｔは、直線部６ａに接続された円形部２７１と、円形部２７１を取り囲む外周部２７２とを有する。円形部２７１と外周部２７２との間には、接続部５ａと直線部６ａとを連結し且つ熱応力を個々に分散する梁として機能する複数の連結部２７４が形成されている。隣接する２つの連結部は円形部２７１の中心から引いた径方向の線を基準として互いに反対方向に傾斜するように配置され、隣接する連結部２７４の間には三角形の隙間２７３が形成される。外周部２７２が接続部５ａに接続される。この構造により、応力緩衝部１１０ｔは、焼成時に直線部６ａに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させ、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が発生することを防止する。
【００４４】
図２９に示す応力緩衝部１１０ｕは、直線部６ａから延長して接続部５ａと接続する。応力緩衝部１１０ｕは、直線部６ａに接続された円形部２８１と、円形部２８１を取り囲む外周部２８２とを有する。円形部２８１と外周部２８２との間には、接続部５ａと直線部６ａとを連結し且つ熱応力を分散する梁として機能する複数の連結部２８４が形成されている。連結部２８４は、外周部２８２の周方向と同一方向に湾曲しており、隣接する連結部２８４の間には隙間２８３が形成される。この構造により、応力緩衝部１１０ｕは、焼成時に直線部６ａに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させる。結果として、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００４５】
図３０に示す応力緩衝部１１０ｖは、直線部６ａから延長して接続部５ａと接続する。応力緩衝部１１０ｖは、接続部５ａと直線部６ａとに接続された外周部２９１と、外周部２９１の中央に形成された円形の隙間２９２とを有する。この構造により、応力緩衝部１１０ｖは、焼成時に直線部６ａに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させる。結果として、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００４６】
図３１〜図３８は、分類３に属する応力緩衝部１１０ｓ１、１１０ｓ２、１１０ｔ１、１１０ｔ２、１１０ｖ１、１１０ｖ２、１１０ｕ１、１１０ｕ２を示す。これら応力緩衝部は接続箇所１０ｂに適用される。
【００４７】
図３１に示す応力緩衝部１１０ｓ１は、直線部６ｂから延長して接続部５ｂと接続する。応力緩衝部１１０ｓ１は、図２７に示す応力緩衝部１１０ｓと同等の形状を有し、直線部６ｂに接続された円形部３０１と、円形部３０１を取り囲む外周部３０２とを有する。円形部３０１と外周部３０２との間には直線的な３つの連結部３０４が形成され、隣接する連結部３０４の間には隙間３０３が形成される。外周部３０２の図中左端部分が接続部５ｂに接続される。この構造により、応力緩衝部１１０ｓ１は、焼成時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させ、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生することを防止する。
【００４８】
図３２に示す応力緩衝部１１０ｓ２は、直線部６ｂから延長して接続部５ｂと接続する。図３２では、接続部５ｂの下辺に間隙を介して直線部６ｂが沿うように配置されている。応力緩衝部１１０ｓ２は、図２７の応力緩衝部１１０ｓと同等の形状を有し、直線部６ｂの先端に接続された円形部３１１と、円形部３１１を取り囲む外周部３１２とを有する。円形部３１１と外周部３１２との間には直線的な３つの連結部３１４が形成され、隣接する連結部３１４の間には隙間３１３が形成される。外周部３１２の図中上端が接続部５ｂに接続される。この構造により、応力緩衝部１１０ｓ２は、焼結時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させ、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生することを防止する。
【００４９】
図３３に示す応力緩衝部１１０ｔ１は、直線部６ｂから延長して接続部５ｂと接続する。応力緩衝部１１０ｔ１は、図２８の応力緩衝部１１０ｔと同等の形状を有し、直線部６ｂの先端に接続された円形部３２１と、円形部３２１を取り囲む外周部３２２とを有する。円形部３２１と外周部３２２との間には複数の連結部３２４が形成されている。隣接する連結部３２４の間には隙間３２３が形成される。外周部３２２の図中左端が接続部５ｂに接続される。この構造により、応力緩衝部１１０ｔ１は、焼成時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させ、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生することを防止する。
【００５０】
図３４に示す応力緩衝部１１０ｔ２は、直線部６ｂから延長して接続部５ｂと接続する。図３４では、接続部５ｂの下辺に間隙を介して直線部６ｂが沿うように配置されている。応力緩衝部１１０ｔ２は、図２８に示す応力緩衝部１１０ｔと同等の形状を有し、直線部６ｂの先端に接続される円形部３３１と、円形部３３１を取り囲む外周部３３２とを有する。円形部３３１と外周部３３２との間には複数の連結部３３４が形成され、隣接する連結部３３４の間には隙間３３３が形成されている。外周部３３２の図中上端が接続部５ｂに接続される。この構造により、応力緩衝部１１０ｔ２は、焼成時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させる。結果として、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００５１】
図３５に示す応力緩衝部１１０ｕ１は、直線部６ｂから延長して接続部５ｂと接続する。応力緩衝部１１０ｕ１は、図２９に示す応力緩衝部１１０ｕと同等の形状を有し、直線部６ｂの先端に接続された円形部３４１と、円形部３４１を取り囲む外周部３４２とを有する。円形部３４１と外周部３４２との間には、外周部３４２の周と同一方向に湾曲した複数の連結部３４４が形成され、隣接する連結部３４４の間には隙間３４３が形成される。外周部３４２の図中左端が接続部５ｂに接続される。この構造により、応力緩衝部１１０ｕ１は、焼成時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させ、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生することを防止する。
【００５２】
図３６に示す応力緩衝部１１０ｕ２は、直線部５ｂから延長して接続部５ｂと接続する。図３６では、接続部５ｂの下辺に間隙を介して直線部６ｂが沿うように配置されている。応力緩衝部１１０ｕ２は、図２９の応力緩衝部１１０ｕと同等の形状を有し、直線部６ｂの先端に接続された円形部３５１と、円形部３５１を取り囲む外周部３５２とを有する。円形部３５１と外周部３５２との間には、外周部３５２の周と同一方向に湾曲した複数の連結部３５４が形成されている。隣接する連結部３５４の間には隙間３５３が形成される。外周部３５２の図中上端が接続部５ｂに接続される。この構造により、応力緩衝部１１０ｕ２は、焼成時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させる。結果として、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００５３】
図３７に示す応力緩衝部１１０ｖ１は、直線部５ｂから延長して接続部５ｂと接続する。応力緩衝部１１０ｖ１は、図３０に示す応力緩衝部１１０ｖと同等の形状を有し、接続部５ｂと直線部６ｂとに接続された外周部３６１と、外周部３６１の中央に形成された円形の隙間３６２とを有する。この構造により、応力緩衝部１１０ｖ１は、焼成時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させる。結果として、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生すること防止される。
【００５４】
図３８に示す応力緩衝部１１０ｖ２は、直線部６ｂから延長して接続部５ｂと接続する。図３８では、接続部５ｂの下辺に間隙を介して直線部６ｂが沿うように配置されている。応力緩衝部１１０ｖ２は、図３０に示す応力緩衝部１１０ｖと同等の形状を有し、接続部５ｂと直線部６ｂとに接続された外周部３７１と、外周部３７１の中央に形成された隙間３７２とを有する。この構造により、応力緩衝部１１０ｖ２は、焼成時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力を変形することで分散させる。結果として、接続箇所１０ｂに配線の亀裂や破断が発生することが防止される。
【００５５】
図３９Ａは、図２７に示す応力緩衝部１１０ｓを適用した接続箇所１０ａの焼成時に直線部６ａを収縮させる熱応力Ｃ１が生じた例を示している。この場合、応力緩衝部１１０ｓには下方向に熱応力がかかるが、主として３つの連結部２６４が変形することにより熱応力を個々に分散させる。図３９Ｂは、図２７に示す応力緩衝部１１０ｓを適用した接続箇所１０ａの焼成時に直線部６ａが伸びる熱応力Ｃ２が生じた例を示している。この場合、応力緩衝部１１０ｓには押し上げる熱応力がかかるが、主として３つの連結部２６４が変形することにより熱応力を個々に分散させる。これにより、図３９Ａ、図３９Ｂでは、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が生じることが防止される。
【００５６】
図４０Ａは、図２８に示した応力緩衝部１１０ｔを適用した接続箇所１０ａの焼成時に熱応力Ｃ１が生じた例を示している。この場合、応力緩衝部１１０ｔには下方向に熱応力がかかるが、主として連結部２７４が下方に伸びるように変形することにより熱応力を個々に分散させる。図４０Ｂは、図２８に示した応力緩衝部１１０ｔを適用した接続箇所１０ａの焼成時に熱応力Ｃ２が生じた例を示している。この場合、応力緩衝部１１０ｔには押し上げる熱応力がかかるが、主として連結部２７４が全体として上方に押し縮められるように変形することで熱応力を個々に分散させる。これにより、図４０Ａ、図４０Ｂでは、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が生じることが防止される。
【００５７】
図４１Ａは、図２９に示す応力緩衝部１１０ｕを適用した接続箇所１０ａの焼成時に熱応力Ｃ１が生じた例を示している。この場合、応力緩衝部１１０ｕには下方向に熱応力がかかるが、主として連結部２８４が下方に伸びるように変形することで熱応力を個々に分散させる。図４１Ｂは、図２９に示す応力緩衝部１１０ｕを適用した接続箇所１０ａの焼成時に熱応力Ｃ２が生じた例を示している。この場合、応力緩衝部１１０ｕには上方向に熱応力がかかるが、連結部２８４が上方に押し縮められるように変形することで熱応力を個々に分散させる。これにより、図４１ａ、図４１Ｂでは、接続箇所１０ａに焼成後に配線の亀裂や破断が生じることが防止される。
【００５８】
図４２Ａは、図３０に示す応力緩衝部１１０ｖを適用した接続箇所１０ａの焼成時に熱応力Ｃ１が生じた例を示している。この場合、応力緩衝部１１０ｖには下方向に熱応力がかかるが、外周部２９１が縦長となるように下方に変形して熱応力を全体に分散させる。図４２Ｂは、図３０に示した応力緩衝部１１０ｖを適用した接続箇所１０ａの焼成時に熱応力Ｃ２が生じた例を示している。図４２Ｂでは、応力緩衝部１１０ｕには押し上げる熱応力がかかるが、外周部２９１が上方に押し縮められるように変形して熱応力を全体に分散させる。これにより、図４２ａ、図４２ｂでは、接続箇所１０ａに配線の亀裂や破断が生じることが防止される。
【００５９】
分類４
図４３Ａから図４９Ｃは、実施例の分類４の具体的な構成例である。分類４では、接続部と直線部とを分離・独立したパターンとして構成し、焼成後に接続部と直線部との隙間を例えば導電性の配線材料を用いて接続する。配線材料としては、塗布型配線材料（導電性接着剤等）や導電性ブリッジ部材（導電性テープ等）を用いることができる。
【００６０】
図４３Ａから図４３Ｃは、接続部５ａ，５ｂと直線部６ａ，６ｂとの間に直線的な隙間を設ける例である。図４３Ａでは、接続部５ａと直線部６ａとの間に直線的な隙間４０１が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ａに生じる矢印方向の熱応力が接続部５ａに伝達することが防止される。以下で説明する各図における隙間も同様の作用効果をなす。焼成後、導電性の配線材料４２０を用いて接続部５ａと直線部６ａとを接続する（図５０、図５１参照）。焼成後に導電性配線材料を用いて接続部と直線部とを接続するのは、以下の例でも同様である。
【００６１】
図４３Ｂでは、分離して形成された接続部５ｂと直線部６ｂとの間に隙間４０２が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力が接続部５ｂに伝達することが防止される。
【００６２】
図４３Ｃの例では、分離した配線として形成された接続部５ｂと直線部６ｂとの間に隙間４０３が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ｂに生じる矢印方向の熱応力が接続部５ｂに伝達することが防止される。
【００６３】
図４４Ａから図４４Ｃは、接続部５ａ，５ｂと直線部６ａ，６ｂとの間に櫛形の隙間を設ける場合の例である。図４４Ａでは、接続部５ａと直線部６ａとが分離した配線として形成され、その間に櫛形の隙間４１１が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ａに生じる図中上下方向の熱応力が接続部５ａに伝達することが防止される。これらの例では、櫛歯に相当する複数の突起が直線部６ａから図中左斜め上方向に突出するように形成されており、焼成時に直線部６ａに上方に熱応力が作用した場合、直線部６ａの櫛歯と接続部５ａの櫛歯とが噛み合って接続部５ａと直線部６ａとが接続しやすい構造である。熱応力が作用した後に接続部５ａと直線部６ａとが接続するのはむしろ好ましいため、図４４Ａの例は熱応力が矢印で示すように上方向に生じる場合に有利である。
【００６４】
図４４Ｂでは、互いに分離した接続部５ｂと直線部６ｂとの間に隙間４１２が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ｂに生じる水平方向の熱応力が接続部５ｂに伝達することが防止される。図４４Ｂでは、櫛歯に相当する突起が直線部６ｂから図中左上方向に突出するように形成されており、焼成時に直線部６ｂに図中左方に熱応力が作用した場合、直線部６ｂの櫛歯と接続部５ｂの櫛歯とが噛み合って接続部５ｂと直線部６ｂとが接続しやすい。応力が作用した後に接続部５ｂと直線部６ｂとが接続するのはむしろ好ましいため、図４９Ｂの例は熱応力が左方に生じる場合に有利である。
【００６５】
図４４Ｃでは、互いに分離した接続部５ｂと直線部６ｂとの間に櫛形の隙間４１３が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ｂに生じる水平方向の熱応力が接続部５ｂに伝達されることが防止される。
【００６６】
図４５Ａでは、互いに分離した接続部５ａと直線部６ａとの間に櫛形の隙間４２１が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ａに生じる上下方向の熱応力が接続部５ａに伝達することが防止される。図４５Ａでは櫛歯に相当する突起が直線部６ａから左斜め下方向に突出するように形成され、焼成時に直線部６ａに下方に熱応力が作用したときに、直線部６ａの櫛歯と接続部５ａの櫛歯とが噛み合って接続部５ａと直線部６ａとが接続しやすい。応力が作用した後に接続部５ａと直線部６ａとが接続するのはむしろ好ましいため、図４５Ａの例は熱応力が矢印で示すように下方向に生じる場合に有利である。
【００６７】
図４５Ｂでは、互いに分離した接続部５ｂと直線部６ｂとの間に櫛形の隙間４２２が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ｂに生じる水平方向の熱応力が接続部５ｂに伝達することが防止される。鵜４５Ｂでは、櫛歯に相当する突起が直線部６ｂから右上方向に突出するように形成されており、焼成時に直線部６ｂに右方向に応力が作用した場合に、直線部６ｂの櫛歯と接続部５ｂの櫛歯とが噛み合って接続部５ｂと直線部６ｂとが接続しやすい。応力が作用した後に接続部５ｂと直線部６ｂとが接続するのはむしろ好ましいため、図４５Ｂでは熱応力が右方向に生じる場合に有利である。
【００６８】
図４５Ｃでは、接続部５ｂと直線部６ｂとが分離した配線として形成され、その間に櫛形の隙間４２３が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ｂに生じる水平方向の熱応力が接続部５ｂに伝達することが防止される。
【００６９】
図４６Ａでは、接続部５ａと直線部６ａとが分離した配線として形成され、その間に波形の隙間４３１が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ａに生じる上下方向の熱応力が接続部５ａに伝達することが防止される。
【００７０】
図４６Ｂでは、接続部５ｂと直線部６ｂの間に波形の隙間４３２が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ｂに生じる水平方向の熱応力が接続部５ｂに伝達することが防止される。
【００７１】
図４６Ｃでは、接続部５ｂと直線部６ｂとの間に波形の隙間４３３が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ｂに生じる水平方向の熱応力の接続部５ｂへの伝達が防止される。
【００７２】
図４７Ａでは、接続部５ａと直線部６ａとの間に櫛形の隙間４４１が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ａに生じる上下方向の熱応力が接続部５ａに伝達することが防止される。
【００７３】
図４７Ｂでは、接続部５ｂと直線部６ｂとの間に櫛形の隙間４４２が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ｂに生じる水平方向の熱応力が接続部５ｂに伝達することが防止される。
【００７４】
図４７Ｃでは、接続部５ｂと直線部６ｂとの間に櫛形の隙間４４３が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ｂに生じる水平方向の熱応力が接続部５ｂに伝達することが防止される。
【００７５】
図４８Ａでは、接続部５ａと直線部６ａとの間にのこぎり刃状の隙間４５１が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ａに生じる上下方向の熱応力が接続部５ａに伝達することが防止される。
【００７６】
図４８Ｂでは、接続部５ｂと直線部６ｂとの間にのこぎり刃状の隙間４５２が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ｂに生じる水平方向の熱応力が接続部５ｂに伝達することが防止される。
【００７７】
図４８Ｃでは、接続部５ｂと直線部６ｂとの間にのこぎり刃状の隙間４５３が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ｂに生じる水平方向の熱応力が接続部５ｂに伝達することが防止される。
【００７８】
図４９Ａでは、接続部５ａと直線部６ａとの間に逆ハの字状の隙間を複数並べた形状の隙間４６１が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ａに生じる上下方向の熱応力が接続部５ａに伝達することが防止される。
【００７９】
図４９Ｂでは、接続部５ｂと直線部６ｂとの間に逆ハの字状の隙間を複数並べた形状の隙間４６２が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ｂに生じる水平方向の熱応力が接続部５ｂに伝達することが防止される。
【００８０】
図４９Ｃでは、接続部５ｂと直線部６ｂとの間に逆ハの字状の隙間を複数並べた形状の隙間４６３が形成されている。この構成により、焼成時に直線部６ｂに生じる水平方向の熱応力が接続部５ｂに伝達することが防止される。
【００８１】
以上説明したように、本実施形態によれば接続箇所１０ａ、１０ｂに配線の亀裂、破断等が生じることが防止される。上述の配線形成方法は、接続箇所１０ａ、１０ｂのみならず、２つの配線パターンが接続される様々な箇所においても同様に適用することができ、その場合にも配線の亀裂、破断等の発生を防止できると考えられる。
【００８２】
上述の実施形態によれば、厳格な温度管理が保証できる領域のみならず焼成炉内部の領域全体を用いて効率よく焼成工程を実行することが可能になる。
【００８３】
以上、典型的な実施形態を用いて本発明を説明したが、当業者であれば、本発明の範囲から逸脱することなしに、上述の各実施形態に変更及び種々の他の変更、省略、追加を行うことができるのを理解できるであろう。
【００８４】
図５２は、図１で示した実施形態に係る配線形成方法により製造した振動パネル５１０を用いた電子機器の一例としてのタッチパネル装置５００の分解斜視図である。タッチパネル装置５００は、カバー５０１、振動パネル５１０、接触位置を検出する検出装置５０２、収納トレイ５０３、および振動パネル５１０の駆動信号を生成する駆動回路５０４を有する。振動パネル５１０において、接続部５ａと直線部６ａとの接続箇所、接続部５ｂと直線部６ｂとの接続箇所、接続部５ｃとの直線部６ｃとの接続箇所、接続部５ｄと直線部６ｄとの接続箇所にはそれぞれ上述の実施形態にかかる応力緩衝部１１０が適用されている。検出装置５０２は、タッチパネルとタッチパネル上の接触位置を検出する検出回路を含む。タッチパネルとしては抵抗膜方式、静電容量方式など各種タイプのものを用いることができる。検出装置５０２は、駆動回路５０４を介して振動パネル５１０上の圧電素子１ａ、１ｂを制御する制御部としての機能も有する。
【００８５】
図５２に示すように振動パネル５１０、検出装置５０２は収納トレイ５０３に収納されその周辺がカバー５０１で覆われる。駆動回路５０４は収納ケース５０３の底面に取り付けられる。振動パネル５１０はＦＰＣ３を介して駆動回路５０４と接続される。
【００８６】
タッチパネル装置５００は、圧電素子１ａ、１ｂを超音波帯域で振動させることによるスクイーズ効果によりガラス基板２上にタッチしたユーザに触感を与える。振動パネル５１０の直下にタッチパネル機能を有する検出装置５０２が配置されているので、ユーザが触れた振動パネル上の位置や動作に応じた触感を提供する制御も可能となる。
【００８７】
なお、検出装置５０２にコンピュータ、スマートフォン等の端末装置としての機能を持たせても良い。
【００８８】
上述の実施形態に係る配線形成方法は、焼成型の配線材料を用いて配線パターンを基材上に塗布して形成する様々な種類の配線基板に適用することができる。また、上述に実施形態に係る配線パターン形成方法により作成された配線基板は、様々な種類の電子機器に用いることができる。
【符号の説明】
【００８９】
２    ガラス基板
３    ＦＰＣ
１ａ、１ｂ    圧電素子
１ｃ    接続部
５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ    接続部
６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ    直線部
１０ａ、１０ｂ    接続箇所
１０１    第１の配線パターン
１０２    第２の配線パターン
１１０    応力緩衝部
１１１−１１３、１１５、１２１−１２３、１２５    折り返し部
１３１、１３２、１４１、１４２、１５１、１６１、１７１、１７２、１８１、１８２、１９１、１９２、２０１、２０２、２１１、２２１、２３１、２４１、２６４、２７４、２８４    連結部
２６１、２７１、２８１    円形部
２６２、２７２、２８２、２９１    外周部
５００    タッチパネル装置
５０２    検出装置
５０４    駆動回路
５１０    振動パネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３Ａ】
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【図２３Ｂ】
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【図２４Ａ】
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【図２４Ｂ】
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【図２５Ａ】
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【図２５Ｂ】
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【図２６Ａ】
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【図２６Ｂ】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９Ａ】
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【図３９Ｂ】
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【図４０Ａ】
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【図４０Ｂ】
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【図４１Ａ】
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【図４１Ｂ】
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【図４２Ａ】
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【図４２Ｂ】
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【図４３Ａ】
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【図４３Ｂ】
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【図４３Ｃ】
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【図４４Ａ】
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【図４４Ｂ】
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【図４４Ｃ】
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【図４５Ａ】
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【図４５Ｂ】
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【図４５Ｃ】
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【図４６Ａ】
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【図４６Ｂ】
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【図４６Ｃ】
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【図４７Ａ】
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【図４７Ｂ】
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【図４７Ｃ】
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【図４８Ａ】
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【図４８Ｂ】
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【図４８Ｃ】
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【図４９Ａ】
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【図４９Ｂ】
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【図４９Ｃ】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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