(57)【要約】【課題】物体の端面を撮像して端面の形状を測定する場合に、端面の形状の測定の精度を向上することのできる技術を提供する。【解決手段】物体の端面の形状の像を撮像する撮像システムであって、前記端面に相対し、前記端面を撮像可能に配置された撮像装置と、前記端面の側方、かつ前記端面から前記撮像装置への方向に対して後方に設けられ、前記端面の側方に位置する前記物体の表面を照らす光を発する光源と、前記光源と、前記端面の側方に位置する前記物体の表面との間であって、前記端面から前記撮像装置への方向において、前記光源よりも更に後方に設けられ、光を散乱させる散乱体と、を備え、前記散乱体は、光を散乱させる散乱表面を有し、前記光源から発せられた光は、前記散乱表面に入射し、前記散乱表面において散乱し、前記撮像装置が設けられる方向に進行する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体の端面の形状の像を撮像する撮像システムであって、
前記端面に相対し、前記端面を撮像可能に配置された撮像装置と、
前記端面の側方、かつ前記端面から前記撮像装置への方向に対して後方に設けられ、前記端面の側方に位置する前記物体の表面を照らす光を発する光源と、
前記光源と、前記端面の側方に位置する前記物体の表面との間であって、前記端面から前記撮像装置への方向において、前記光源よりも更に後方に設けられ、光を散乱させる散乱体と、を備え、
前記散乱体は、光を散乱させる散乱表面を有し、
前記光源から発せられた光は、前記散乱表面に入射し、前記散乱表面において散乱し、前記撮像装置が設けられる方向に進行する、
撮像システム。
【請求項２】
前記物体の材質は、金属を含む、
請求項１に記載の撮像システム。
【請求項３】
前記散乱体は、メラニン樹脂を含み、
前記散乱表面では、メラニン樹脂は網の目の形状を形成する、
請求項１又は２に記載の撮像システム。
【請求項４】
顕微鏡を更に備え、
前記撮像装置は、前記顕微鏡により拡大された前記端面の形状の像を撮像する、
請求項１から３のうち何れか１項に記載の撮像システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
物体の形状を検査するために物体の形状を撮像することが開示されている（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１３４２９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
物体の端面の形状を検査する場合、物体の端面の前方に位置する撮像装置と、端面の側方向に位置する表面を照らす光源とを設け、物体の端面を撮像することが考えられる。このように物体の端面を撮像する場合、物体の端面は撮像された画像に暗く映り、物体の端面以外の部分は撮像された画像に明るく映ることが考えられる。よって、物体の端面と端面以外の部分との境界が、撮像された画像から抽出可能となることが考えられる。すなわち、撮像装置を使用することにより、物体の端面の形状を測定することができる。
【０００５】
しかしながら、光源が設置される位置と、光源によって照らされる物体の表面との距離が一定でない場合、撮像された画像に映る物体の端面以外の部分の明るさがばらつくことが考えられる。すなわち、画像に映る物体の端面と、端面以外の部分との明るさの比がばらつき、物体の端面と端面以外の部分との境界を撮像画像から抽出することに影響が及ぶ虞がある。よって、物体の端面の形状の測定の精度が低下する虞がある。
【０００６】
また、光源が設置される位置と、光源によって照らされる物体の表面との距離が離れている場合、撮像される画像には、物体の端面と、端面以外の部分との境界が不鮮明に映ることが考えられる。よって、当該境界の抽出に影響が及ぶ虞がある。すなわち、物体の端面の形状の測定の精度が低下する虞がある。
【０００７】
開示の技術の１つの側面は、物体の端面を撮像して端面の形状を測定する場合に、端面の形状の測定の精度を向上することのできる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
開示の技術の１つの側面は、次のような撮像システムによって例示される。本撮像システムは、物体の端面の形状の像を撮像する撮像システムであって、前記端面に相対し、前記端面を撮像可能に配置された撮像装置と、前記端面の側方、かつ前記端面から前記撮像装置への方向に対して後方に設けられ、前記端面の側方に位置する前記物体の表面を照らす光を発する光源と、前記光源と、前記端面の側方に位置する前記物体の表面との間であって、前記端面から前記撮像装置への方向において、前記光源よりも更に後方に設けられ、光を散乱させる散乱体と、を備え、前記散乱体は、光を散乱させる散乱表面を有し、前記光源から発せられた光は、前記散乱表面に入射し、前記散乱表面において散乱し、前記撮像装置が設けられる方向に進行する。
【０００９】
開示の技術によれば、光源は、端面の側方、かつ端面から撮像装置に向かう方向に対して後方に設けられている。よって、光源から発せられた光が物体の端面に直接到達するこ
とは抑制される。よって、物体の端面は、撮像装置によって撮像される画像に暗く映る。
【００１０】
一方で、光源から発せられた光のうち少なくとも一部は、端面の側方に位置する物体の表面との間であって、端面から撮像装置への方向において、光源よりも更に後方に設けられる散乱体に達する。そして、光は、散乱体の散乱表面に入射し、散乱表面において散乱する。そして、散乱表面において散乱した光は、撮像装置が設けられる方向に進行する。また、光源から発せられた光のうち、端面の側方、かつ端面から撮像装置への方向に対して後方に位置する物体の表面（以降、物体の側面という）へ達した光は、当該側面において反射する。そして、反射した光も、散乱体の散乱表面に達し、散乱表面において散乱する。そして、散乱した光は、撮像装置が設けられる方向に進行する。すなわち、端面の側方、かつ端面から撮像装置への方向に対して後方の部分において、光源から発せられた光の大部分が散乱している。よって、物体の端面以外の部分は、撮像装置によって撮像される画像に明るく映る。また、その明るさはより均一となる。
【００１１】
また、開示の技術によれば、光源と、物体の側面との間の距離が一定でない場合であっても、端面の側方、かつ端面から撮像装置への方向に対して後方の部分において、光源から発せられた光の大部分が散乱している。よって、物体の端面以外の部分は、撮像装置によって撮像される画像に明るく映る。また、その明るさはより均一となる。よって、物体の端面と、端面以外の部分との境界は、撮像される画像からより明確に抽出される。すなわち、物体の端面の形状の測定の精度は向上する。
【００１２】
また、開示の技術によれば、光源と、物体の側面との間の距離が離れている場合であっても、端面の側方、かつ端面から撮像装置への方向に対して後方の部分において、光源から発せられた光の大部分が散乱している。よって、物体の端面以外の部分は、撮像装置によって撮像される画像に明るく映る。また、その明るさはより均一となる。よって、物体の端面と、端面以外の部分との境界が、撮像される画像に不鮮明に映ることは抑制される。よって、物体の端面と端面以外の部分との境界は、撮像される画像からより明確に抽出される。すなわち、物体の端面の形状の測定の精度は向上する。
【００１３】
また、開示の技術において、前記物体の材質は、金属を含んでもよい。
【００１４】
また、開示の技術において、前記散乱体は、メラニン樹脂を含み、前記散乱表面では、メラニン樹脂は網の目の形状を形成してもよい。
【００１５】
また、開示の技術は、顕微鏡を更に備え、前記撮像装置は、前記顕微鏡により拡大された前記端面の形状の像を撮像してもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本撮像システムは、物体の端面を撮像して端面の形状を測定する場合に、端面の形状の測定の精度を向上することのできる技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、実施形態に係る撮像システムの概要の一例を示している。（Ａ）は、撮像システムの側面図の一例を示している。（Ｂ）は、撮像システムの上面図の一例を示している。
【図２】図２は、撮像システムが端面の形状を撮像し、端面の形状を測定する手順の概要を示すフローチャートの一例を示している。
【図３】図３は、端面が撮像された場合に得られる画像の一例を示している。
【図４】図４は、従来の撮像システムの概要の一例を示している。
【図５】図５は、実施形態の変形例に係る撮像システムの概要の一例を示している。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照して、一実施形態に係る撮像システムについて説明する。以下に示す実施形態の構成は例示であり、開示の技術は実施形態の構成に限定されない。
【００１９】
＜実施形態＞
図１は、実施形態に係る撮像システム１００の概要の一例を示している。（Ａ）は、撮像システム１００の側面図の一例を示している。また、（Ｂ）は、撮像システム１００の上面図の一例を示している。
【００２０】
撮像システム１００は、例えば被測定物１の端面２の形状を撮像する。ここで、被測定物１は、本発明の「物体」の一例であり、端面２は、本発明の「端面」の一例である。被測定物１は、例えば金属部品の表面の一部を打ち抜くための金型であって、端面２は、打ち抜くための刃先である。また、被測定物１の材質は鋼である。図１に示されるように、被測定物１は、中央部分が直方体の形状であるが、中央部分から端面２へ向けて厚みが減少する形状である。被測定物１の端面２の部分の厚みは、例えば数百マイクロメートルである。
【００２１】
撮像システム１００は、光学顕微鏡３を備える。そして、光学顕微鏡３は、対物レンズ４と、顕微鏡筒５と、を備える。光学顕微鏡３は、対物レンズ４が被測定物１の端面２と相対するように設けられる。
【００２２】
また、撮像システム１００は、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）６を備える。ＬＥＤ６は、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方に設けられる。ここで、ＬＥＤ６は、本発明の「光源」の一例である。図１に示される例では、ＬＥＤ６は、被測定物１の上面と平行に、平面状に規則的に配列される。ただし、ＬＥＤ６は、平面状に規則的に配列されることに限定されず、線状に配列されてもよいし、不規則に配列されてもよい。また、ＬＥＤ６の個数は何個でもよい。
【００２３】
また、撮像システム１００は、アーム７を備える。アーム７の一方の先端は、ＬＥＤ６と接続される。また、アーム７のもう片方の先端は、リンク機構を介して固定壁に連結される。リンク機構において、アーム７は固定壁に対して回動可能である。また、リンク機構には、アーム７へ回動する動力を伝達するモータ８が設けられる。すなわち、モータ８を制御することにより、ＬＥＤ６は、被測定物１の上方の空間の所望の場所に静止させられる。
【００２４】
また、アーム７の内部には、電線が設けられている。そして、アームに設けられる電線は、ＬＥＤ６と系外の電源とを電気的に接続させる。
【００２５】
また、撮像システム１００は、表面散乱物質９を備える。表面散乱物質９が設けられる位置は、図１に示されるように、ＬＥＤ６と、端面２の側方に位置する被測定物１の上面との間である。また、表面散乱物質９が設けられる位置は、端面２から対物レンズ４への方向において、ＬＥＤ６よりもさらに後方である。また、表面散乱物質９は、対物レンズ４の方向を向く散乱表面９９を有する。また、表面散乱物質９は、メラニン樹脂を含む。そして、散乱表面９９において、メラニン樹脂は網の目の形状を形成している。よって、散乱表面９９に達した光は、散乱表面９９へ入射し、散乱表面９９において散乱する。そして、散乱表面９９において散乱した光は、対物レンズ４の方向へ進行する。ここで、表面散乱物質９は、本発明の「散乱体」の一例である。また、散乱表面９９は、本発明の「散乱表面」の一例である。
【００２６】
また、撮像システム１００は、カメラ１０を備える。カメラ１０は、レンズ１１を備える。カメラ１０のレンズ１１は、光学顕微鏡３の端部に固定される。そして、カメラ１０は、図示しないが、内部に撮像素子を備える。撮像素子は、顕微鏡筒５及びカメラ１０のレンズ１１を通過した光に反応し、電気信号を生成する。また、カメラ１０には、図示しないが、プロセッサとメモリを備えるコンピュータが接続されている。そして、メモリには、生成された電気信号に基づく画像情報が保存される。ここで、当該画像に映る像は、光学顕微鏡３を通過した光を利用することにより得られた像であるため、実際の像より拡大されたものとなる。
【００２７】
また、メモリには、画像からエッジを抽出する既知のエッジ抽出プログラムが格納されている。そして、プロセッサが、エッジ抽出プログラムを実行することにより、画像に映るエッジは抽出される。エッジ抽出プログラムのエッジを抽出する精度は、例えば±１マイクロメートルである。
【００２８】
また、撮像システム１００は、保持部材１３を備える。保持部材１３の材料は、金属を含む。また、保持部材１３は磁石１５を有し、被測定物１を磁石１５の磁力によって保持部材１３の上面へ固定する。ただし、被測定物１の固定手段は、磁石１５に限らず、被測定物１を固定できればよい。
【００２９】
ここで、光学顕微鏡３、カメラ１０、及びカメラ１０に接続するコンピュータは、本発明の「撮像装置」の一例である。
【００３０】
図２は、撮像システム１００が端面２の形状を撮像し、端面２の形状を測定する手順の概要を示すフローチャートの一例を示している。なお、以下で説明する測定手順は一例に過ぎず、各処理は可能な限り変更されてよい。また、以下で説明する測定手順について、実施の形態に応じて、適宜、ステップの省略、置換、及び追加が可能である。
【００３１】
（Ｓ１０１）
ステップＳ１０１では、保持部材１３の上面に被測定物１の下面が接するように固定される。ただし、端面２は、保持部材１３の側面１４よりも対物レンズ４の方向へ突き出した状態で固定される。被測定物１の保持部材１３への固定は、磁石１５の磁力によって行われる。
【００３２】
（Ｓ１０２）
ステップＳ１０２では、表面散乱物質９が、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方に位置する被測定物１の表面（以降、被測定物１の側面という）に設けられる。表面散乱物質９は、粘着テープ等で被測定物１の側面に固定される。また、表面散乱物質９は、散乱表面９９を対物レンズ４の方向へ向けた状態で設けられる。
【００３３】
（Ｓ１０３）
ステップＳ１０３では、モータ８を制御することにより、ＬＥＤ６は、被測定物１の上方の空間に静止させられる。ここで、ＬＥＤ６が静止させられる位置は、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方である。また、ＬＥＤ６が静止させられる位置は、端面２から対物レンズ４への方向に対して、表面散乱物質９が設けられる位置より前方となる。また、ＬＥＤ６が静止させられる位置は、保持部材１３の側面１４の側方、かつ側面１４から対物レンズ４への方向に対して前方である。
【００３４】
（Ｓ１０４）
ステップＳ１０４では、ＬＥＤ６にアーム７の内の電線を介して系外から電力が供給され、ＬＥＤ６が点灯する。ＬＥＤ６から発せられた光のうち少なくとも一部は、散乱表面
９９に達し、散乱表面９９において散乱する。散乱表面９９は、対物レンズ４の方向を向いているため、散乱表面９９において散乱した光は、対物レンズ４の方向へ進行することとなる。また、ＬＥＤ６から発せられた光や散乱表面９９において散乱した光のうち少なくとも一部は、被測定物１の上面を含む表面に達し、反射する。また、ＬＥＤ６から発せられた光や散乱表面９９において散乱した光のうち少なくとも一部は、保持部材１３の側面１４へも達し、側面１４において反射する。すなわち、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分においては、光は散乱している。
【００３５】
しかしながら、ＬＥＤ６から発せられた光、散乱表面９９において散乱した光、そして側面１４において反射した光のうち少なくとも一部が、端面２へ直接入射することは抑制される。ＬＥＤ６が設けられている位置、散乱表面９９が設けられている位置、そして側面１４が設けられている位置が、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方であるからである。
【００３６】
（Ｓ１０５）
端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分において散乱している光の少なくとも一部は、対物レンズ４を通過する。そして、対物レンズ４を通過した光は、顕微鏡筒５の内部を通過する。そして、顕微鏡筒５を通過した光は、カメラ１０のレンズ１１を通過する。
【００３７】
カメラ１０のレンズ１１を通過した光は、撮像素子に達し、撮像素子から電気信号が生成される。そして、カメラ１０に接続するコンピュータのメモリには、生成された電気信号に基づく画像情報が保存される。その後、カメラ１０に接続するコンピュータのプロセッサは、メモリに格納されるエッジ抽出プログラムを実行することにより、画像に映る端面２と、端面２以外の部分との境界を抽出する。すなわち、撮像システム１００は、端面２の形状を測定することができる。
【００３８】
図３は、端面２が撮像された場合に得られる画像の一例を示している。撮像システム１００は、ＬＥＤ６から発せられた光が端面２へ直接入射することが抑制されているため、端面２は撮像された画像に暗く映る。一方で、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分においては、光は散乱している。よって、端面２以外の部分は、撮像された画像に明るく映る。その後、カメラ１０のコンピュータに接続されたプロセッサは、メモリに格納されるエッジ抽出プログラムを実行することにより、画像に映る端面２と、端面２以外の部分との境界を抽出する。上記のような手順により、端面２の形状は測定される。
【００３９】
＜実施形態の効果＞
図４は、比較例としての従来の撮像システム２００の概要の一例を示している。従来の撮像システム２００と実施形態の撮像システム１００との違いは、従来の撮像システム２００の場合、表面散乱物質９を備えていないという点である。このような撮像システム２００の場合、被測定物１の側面を照らすＬＥＤ６が設置される位置と、ＬＥＤ６によって照らされる被測定物１の側面との間の距離が一定でない場合、撮像された画像に映る端面２以外の部分の明るさがばらつくこととなる。よって、撮像された画像に映る端面２と、端面２以外の部分との明るさの比がばらつくこととなる。よって、端面２と、端面２以外の部分との境界を、撮像された画像から抽出することに影響が及ぶ。すなわち、端面２の形状の測定の精度が低下する。
【００４０】
また、被測定物１の側面と、ＬＥＤ６が設けられる位置との間の距離が離れている場合、撮像された画像には、端面２と、端面２以外との境界が不鮮明に映る。よって、当該境界の抽出に影響が及ぶ。すなわち、端面２の形状の測定の精度が低下する。
【００４１】
しかしながら、実施形態によれば、ＬＥＤ６は、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方に設けられている。よって、ＬＥＤ６から発せられた光が端面２へ直接到達することは抑制される。よって、端面２は、撮像された画像に暗く映る。
【００４２】
また、実施形態によれば、ＬＥＤ６から発せられた光のうち少なくとも一部は、散乱表面９９に達し、散乱表面９９において散乱する。散乱表面９９は、対物レンズ４の方向を向いているため、散乱表面９９において散乱した光は、対物レンズ４の方向へ進行することとなる。また、ＬＥＤ６から発せられた光や散乱表面９９において散乱した光のうち少なくとも一部は、被測定物１の側面に達し、反射する。また、ＬＥＤ６から発せられた光のうち少なくとも一部は、保持部材１３の側面１４へも達し、側面１４において反射する。すなわち、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分においては、光は散乱している。よって、被測定物１の端面２以外の部分は、カメラ１０によって撮像される画像に明るく映る。また、その明るさはより均一となる。
【００４３】
また、実施形態によれば、ＬＥＤ６と、被測定物１の側面との間の距離が一定でない場合であっても、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分においては、ＬＥＤ６から発せられた光のうち少なくとも一部は、散乱表面９９に達し、散乱表面９９において散乱する。また、散乱表面９９は、対物レンズ４の方向を向いているため、散乱表面９９において散乱した光は、対物レンズ４の方向へ進行することとなる。また、ＬＥＤ６から発せられた光や散乱表面９９において散乱した光のうち少なくとも一部は、被測定物１の側面に達し、反射する。また、ＬＥＤ６から発せられた光のうち少なくとも一部は、保持部材１３の側面１４へも達し、側面１４において反射する。すなわち、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分においては、光は散乱する。よって、被測定物１の端面２以外の部分は、カメラ１０によって撮像される画像に明るく映る。また、その明るさはより均一となる。よって、端面２と、端面２以外の部分との境界は、撮像された画像からより明確に抽出される。すなわち、端面２の形状の測定の精度は向上する。
【００４４】
また、実施形態によれば、被測定物１の側面と、ＬＥＤ６との間の距離が離れている場合であっても、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分においては、ＬＥＤ６から発せられた光のうち少なくとも一部は、散乱表面９９に達し、散乱表面９９において散乱する。また、散乱表面９９は、対物レンズ４の方向を向いているため、散乱表面９９において散乱した光は、対物レンズ４の方向へ進行することとなる。また、ＬＥＤ６から発せられた光や散乱表面９９において散乱した光のうち少なくとも一部は、被測定物１の側面に達し、反射する。また、ＬＥＤ６から発せられた光のうち少なくとも一部は、保持部材１３の側面１４へも達し、側面１４において反射する。すなわち、端面２の側方、かつ端面２から対物レンズ４への方向に対して後方の部分においては、光は散乱する。よって、端面２と、端面２以外の部分との境界が、撮像された画像に不鮮明に映ることは抑制される。よって、端面２と、端面２以外の部分との境界は、撮像された画像からより明確に抽出される。すなわち、端面２の形状の測定の精度は向上する。
【００４５】
また、実施形態によれば、ＬＥＤ６から発せられた光は、表面散乱物質９によって散乱させられている。よって、ＬＥＤ６を複数設けなくとも撮像された画像に映る端面２以外の部分の明るさのばらつきは抑制される。よって、部品点数を削減し、費用を節減することができる。
【００４６】
また、実施形態では、被測定物１として、他の金属部品を打ち抜くための金型の刃先の端面２の形状を測定している。よって、被測定物１が金属部品を何度も打ち抜き、端面２の縁が摩耗した場合に、撮像システム１００による端面２の撮像により、当該摩耗を検出
することができる。すなわち、端面２の摩耗を容易に検出することができる。よって、摩耗が所望の程度を超えた場合に被測定物１を交換するなどの対処を容易に行うことができ、金属部品の打ち抜きに影響が及ぶことは低減される。
【００４７】
＜変形例＞
図５は、実施形態の変形例に係る撮像システム１００Ａの概要の一例を示している。実施形態では、表面散乱物質９の形状は直方体であり、ＬＥＤ６と、被測定物１の側面との間に設けられている。しかし、変形例に係る撮像システム１００Ａでは、表面散乱物質９の形状は、コの字状である。そして、表面散乱物質９は、コの字の凹みに被測定物１を嵌めるように設けられる。ただし、表面散乱物質９が設けられる位置は、実施形態と同様に端面２から対物レンズ４への方向においてＬＥＤ６よりも更に後方である。
【００４８】
また、実施形態では、散乱表面９９は、対物レンズ４の方向を向いているが、散乱表面９９の向きはこれに限定されない。散乱表面９９は、その表面において散乱した光が対物レンズ４の方向へ進行する向きに設けられていればよい。
【００４９】
また、実施形態では、撮像システム１００は、光学顕微鏡を備えていたが、撮像システム１００は、光学顕微鏡を備えていなくともよい。光学顕微鏡を備えない場合、カメラ１０のレンズ１１が、対物レンズ４の位置に設けられてもよい。
【００５０】
また、表面散乱物質９の散乱表面９９は、メラニン樹脂の代わりに多孔質材料を含んでもよい。また、散乱表面９９は、メラニン樹脂を含まなくとも、光を散乱する表面であればよく、例えばたわし等により微細な凹凸形状が作られた表面であってもよい。あるいは、散乱物質を含む素材を塗布することで形成してもよい。
【００５１】
また、被測定物１の材質は、金属でなく、例えば合成プラスチックであってもよい。ここで、被測定物１の材質が、磁力が働かない材質である場合、被測定物１は、粘着テープなどの固定手段によって保持部材１３へ固定されてもよい。また、被測定物１の形状は上記の実施形態において例示した形状に限定されず、何でもよい。
【００５２】
また、対物レンズ４を含む光学顕微鏡３及びカメラ１０が配置される場所は、上記の実施形態や実施例の場所に限定されず、端面２を撮像可能な位置に配置されていればよい。例えば、端面２と相対する位置には、光を反射する反射体が設けられ、反射した光が進む方向に対物レンズ４が設けられていてもよい。
【００５３】
また、表面散乱物質９は、保持部材１３や被測定物１の上面へ固定されるのではなく、保持部材１３とは異なる部材によって保持されていてもよい。
【００５４】
以上で開示した実施形態や変形例はそれぞれ組み合わせる事ができる。
【符号の説明】
【００５５】
１・・・被測定物
２・・・端面
３・・・光学顕微鏡
４・・・対物レンズ
５・・・顕微鏡筒
６・・・ＬＥＤ
７・・・アーム
８・・・モータ
９・・・表面散乱物質
１０・・・カメラ
１１・・・レンズ
１３・・・保持部材
１４・・・保持部材の側面
１５・・・磁石
９９・・・散乱表面
１００、１００Ａ・・・撮像システム
２００・・・従来の撮像システム
【図１】
2020051773.tif 000003
【図２】
2020051773.tif 000004
【図３】
2020051773.tif 000005
【図４】
2020051773.tif 000006
【図５】
2020051773.tif 000007