(57)【要約】【課題】より簡単にゴム板から離型剤を剥離する。【解決手段】環状ブラシ４３の下面を、環状ブラシ４３の回転軸のＹ軸方向への傾きに応じて荷重の強弱をつけて、ゴム板１３の一方の面に接触させる。そして、荷重の強弱を用いて、ゴム板１３を＋Ｘ方向に従動させながら、ゴム板１３における一方の面の離型剤を剥離する。すなわち、ゴム板１３が、その一方の面が環状ブラシ４３に接触した状態で、環状ブラシ４３に対して＋Ｘ方向に沿って従動される。これにより、ゴム板１３における一方の面の略全面に環状ブラシ４３を接触させることが可能となるので、この面から離型剤を除去することが容易となる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
離型剤が付着したゴム板から該離型剤を剥離する剥離方法であって、
該ゴム板の一方の面を上にした状態で、該ゴム板の他方の面を、支持テーブルの支持面によって支持する支持工程と、
該支持面に対して垂直な方向から僅かに傾けられた回転軸を軸に環状ブラシを回転させ、該環状ブラシの下面を、該回転軸の傾きに応じて荷重の強弱をつけて、該支持面に支持されている該ゴム板の一方の面に接触させ、該荷重の強弱を用いて、該ゴム板を、該支持面に平行で該回転軸の傾き方向に直交する方向に従動させながら、該一方の面の該離型剤を剥離する環状ブラシ接触工程と、
を含む、剥離方法。
【請求項２】
矩形の基台と、該基台に接着剤を用いて接着された長尺状のゴム板とを含み、被加工物を保持するチャックテーブルの製造方法であって、
離型剤が付着した該ゴム板の少なくとも一方の面の該離型剤を、請求項１記載の剥離方法を用いて剥離する剥離工程と、
該離型剤が剥離された該ゴム板の一方の面と該基台の上面との少なくともいずれかの面に接着剤を塗布し、該基台の上面と該ゴム板の一方の面とを接着する接着工程と、
少なくとも該ゴム板を貫通する吸引源に連通可能な吸引孔を形成する吸引孔形成工程と、
を含む、チャックテーブルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ゴム板から離型剤を剥離する剥離方法、および、チャックテーブルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示のように、パッケージ基板は、格子状のストリートを備えている。チャックテーブルに保持されたパッケージ基板に対して、切削ブレードをストリートに沿って切削送りすることによって、パッケージ基板が分割され、チップが形成される。
【０００３】
パッケージ基板を保持するチャックテーブルは、分割されたチップを一つずつ吸引保持するために、個々のチップを吸引源に連通するための吸引孔を備えている。
【０００４】
また、パッケージ基板を傷つけないように、チャックテーブルにおけるパッケージ基板が接する保持面には、ゴム板が配設されている。
そのため、チャックテーブルでは、基台と、保持面を形成するゴム板とが、接着剤によって接着されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１８−１３３４３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
チャックテーブルにおけるゴム板の表面には、その製造過程で、離型剤が付着する。ゴム板に離型剤が付着していると接着剤の使用が困難となるため、接着の前に離型剤が除去される。
【０００７】
この離型剤の除去に、有機系のはがし剤を用いることも考えられる。しかし、はがし剤は人体に悪影響を及ぼす可能性があるため、機械的に離型剤を剥がす方が好ましい。そのため、従来、離型剤を剥がすために、ゴム板を移動させながら、ゴム板の表面をヤスリで擦っている。
【０００８】
しかし、従来の方法を実施するために必要な剥離装置は、ゴム板を保持する保持テーブル、保持テーブルをＸ軸方向に移動させる移動手段、および、ヤスリをゴム板に均等な圧力で押し当てる押し当て手段を備える複雑なものである。さらに、ヤスリの砥粒は剥がれやすいため、ヤスリを定期的に交換する必要があり、メンテナンス作業が面倒である。また、金属製のブラシで擦って離型剤を剥がすと、ゴム板の表面を傷つけてしまう恐れもある。
【０００９】
本発明の目的は、より簡単にゴム板から離型剤を剥離することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の剥離方法（本剥離方法）は、離型剤が付着したゴム板から該離型剤を剥離する剥離方法であって、該ゴム板の一方の面を上にした状態で、該ゴム板の他方の面を、支持テーブルの支持面によって支持する支持工程と、該支持面に対して垂直な方向から僅かに傾けられた回転軸を軸に環状ブラシを回転させ、該環状ブラシの下面を、該回転軸の傾きに応じて荷重の強弱をつけて、該支持面に支持されている該ゴム板の一方の面に接触させ、該荷重の強弱を用いて、該ゴム板を、該支持面に平行で該回転軸の傾き方向に直交する方向に従動させながら、該一方の面の該離型剤を剥離する環状ブラシ接触工程と、を含む。
【００１１】
本発明のチャックテーブルの製造方法は、矩形の基台と、該基台に接着剤を用いて接着された長尺状のゴム板とを含み、被加工物を保持するチャックテーブルの製造方法であって、離型剤が付着した該ゴム板の少なくとも一方の面の該離型剤を、請求項１記載の剥離方法を用いて剥離する剥離工程と、該離型剤が剥離された該ゴム板の一方の面と該基台の上面との少なくともいずれかの面に接着剤を塗布し、該基台の上面と該ゴム板の一方の面とを接着する接着工程と、少なくとも該ゴム板を貫通する吸引源に連通可能な吸引孔を形成する吸引孔形成工程と、を含む。
【発明の効果】
【００１２】
本剥離方法では、環状ブラシの下面を、環状ブラシの回転軸の傾きに応じた荷重の強弱を用いて、ゴム板を従動させながら、ゴム板における一方の面の離型剤を剥離する。すなわち、ゴム板が、その一方の面が環状ブラシに接触した状態で、環状ブラシに対して従動される。
【００１３】
これにより、ゴム板における一方の面の略全面に環状ブラシを接触させることが可能となるので、この面から離型剤を除去することが容易となる。また、環状ブラシの傾きを用いてゴム板を従動させているので、ゴム板を移動させる構成が不要であるため、離型剤の剥離が容易となる。
また、本発明のチャックテーブルの製造方法は、本剥離方法を含んでいる。このため、ゴム板から容易に離型剤を剥離することができるので、チャックテーブルの生産性を高めることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施形態にかかるパッケージ基板の構成を示す上面図である。
【図２】本実施形態にかかるチャックテーブルの構成を示す上面図である。
【図３】剥離工程において、ゴム板が支持テーブルに配置された状態を示す説明図である。
【図４】環状ブラシの回転軸が、支持テーブルの支持面に対して＋Ｙ方向に傾いていることを示す説明図である。
【図５】剥離工程において、環状ブラシがゴム板の一方の面に接触した状態を示す説明図である。
【図６】剥離工程において、ゴム板および支持テーブルが＋Ｘ方向に従動されている状態を示す説明図である。
【図７】接着工程において、ゴム板の一方の面に接着剤が塗布される様子を示す説明図である。
【図８】ゴム板と基台とが接着剤を介して接着されている様子を示す説明図である。
【図９】吸引孔形成工程を示す説明図である。
【図１０】他の剥離工程において、ゴム板が支持テーブルに配置された状態を示す説明図である。
【図１１】他の剥離工程において、環状ブラシがゴム板の一方の面に接触した状態を示す説明図である。
【図１２】他の剥離工程において、支持テーブルの支持面上でゴム板が＋Ｘ方向に従動されている状態を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本実施形態にかかるチャックテーブルの製造方法（本製造方法）は、被加工物を保持するためのチャックテーブルを製造する方法である。
図１に示すように、被加工物の一例であるパッケージ基板Ｗは、例えば、所定の合金あるいはシリコン等からなる、矩形状の外形を有する基板である。パッケージ基板Ｗの表面Ｗａ上には、複数（図示の例では３つ）のデバイス領域Ｗａ１が形成されている。各デバイス領域Ｗａ１は、余剰領域Ｗａ２によって囲まれている。
【００１６】
デバイス領域Ｗａ１は、表面Ｗａ上で直交差する複数の分割予定ラインＳによって、さらに複数の矩形領域に区画されている。各矩形領域には、デバイスＤが配設されている。パッケージ基板Ｗが各分割予定ラインＳに沿って切断されることで、各矩形領域は、デバイスＤを備えるチップとなる。デバイス領域Ｗａ１には、たとえば、分割予定ラインＳおよびデバイスＤを覆うように、エポキシ樹脂Ｊによるパッケージングがなされている。
【００１７】
図２に示すように、本製造方法において製造されるチャックテーブル１は、図１に示すパッケージ基板Ｗを吸着保持するものである。チャックテーブル１は、矩形状の平板からなる基台１１、および、基台１１上に接着剤を介して張り付けられるゴム板１３を備えている。基台１１は、汎用のエンジニアリング・プラスチックまたは合金等の材料からなる。ゴム板１３は、長尺状であり、パッケージ基板Ｗを吸着保持する保持面を形成する。
【００１８】
図２に示すように、チャックテーブル１には、パッケージ基板Ｗの３つのデバイス領域Ｗａ１のそれぞれに対応するように、３つの吸引領域１５が形成されている。そして、各吸引領域１５には、複数の略正方形状のデバイスチップ吸引領域１７が形成されている。各デバイスチップ吸引領域１７は、パッケージ基板Ｗの各デバイスＤに、一対一で対応している。
【００１９】
各デバイスチップ吸引領域１７の中央部には、チャックテーブル１のゴム板１３および基台１１を厚さ方向に貫通するように、吸引孔１９が形成されている。吸引孔１９は、図示しない吸引源に連通可能である。吸引孔１９が吸引源に連通されることによって、デバイスチップ吸引領域１７は、デバイスＤを備えるチップを吸引保持することが可能となる。
【００２０】
このようなチャックテーブル１を製造する本製造方法の各工程について説明する。
（剥離工程）
本製造方法では、まず、ゴム板１３から、ゴム板１３の製造過程において付着した離型剤を剥離する。すなわち、この工程では、図３に示すように、ゴム板１３を支持するための支持テーブル２１が用いられる。
【００２１】
支持テーブル２１の支持面２３には、吸引路２５に連通する複数の支持面吸引孔２７が設けられている。支持面吸引孔２７は、吸引路２５を介して吸引源３１に連通されることが可能である。また、支持テーブル２１は、レール３３上に、Ｘ軸方向に沿って移動可能に連結されている。
【００２２】
支持テーブル２１の支持面２３の上方には、剥離装置４１が配されている。
剥離装置４１は、樹脂製の環状ブラシ４３、環状ブラシ４３を矢印Ｒ方向に回転させるための回転手段４５、ならびに、回転手段４５および環状ブラシ４３をＺ軸方向に沿って上下に移動させる昇降手段４７を備えている。
【００２３】
回転手段４５は、回転駆動源の一例に相当する。回転手段４５は、環状ブラシ４３の上方に連結された、環状ブラシ４３とともに回転可能なスピンドル５１、および、スピンドル５１を回転駆動するためのモータ５３を含んでいる。
【００２４】
樹脂製の環状ブラシ４３では、ブラシ直径はたとえば１２０ｍｍであり、ブラシの材料はたとえばナイロンであり、ブラシの線径はたとえば０．９ｍｍである。環状ブラシ４３として、株式会社太陽商会のナイロンカップブラシ（ＣＮ−３６）を用いることができる。
【００２５】
また、図４に示すように、回転手段４５の回転軸、すなわち、環状ブラシ４３の回転軸の延びる方向（スピンドル５１の延びる方向）である方向Ｚ１は、支持テーブル２１の支持面２３に垂直な方向（Ｚ軸方向）から、＋Ｙ方向に僅かに傾けられている。すなわち、本実施形態では、環状ブラシ４３の回転軸は、図３における紙面奥側に向かって倒れるように傾いている。
【００２６】
この工程では、まず、ゴム板１３が、図３に示すように、支持テーブル２１の支持面２３に載置される。すなわち、ゴム板１３の一方の面を上にした状態で、ゴム板１３の他方の面が、支持テーブル２１の支持面２３によって支持される（支持工程）。
ゴム板１３が支持面２３に載置されると、支持面吸引孔２７が吸引源３１に連通されて、ゴム板１３に吸引力が作用する。これにより、ゴム板１３が、支持面２３に吸着保持され、固定される。
【００２７】
次に、図５に示すように、回転手段４５が、環状ブラシ４３を、矢印Ｒ方向に沿って、上記の回転軸を軸に回転させる。この状態で、昇降手段４７が、環状ブラシ４３を、下方に移動させて、ゴム板１３に接触させる。これにより、回転する環状ブラシ４３の下面が、ゴム板１３の一方の面に接触し、ここに付着している離型剤を剥離する（環状ブラシ接触工程）。
【００２８】
また、上記のように、環状ブラシ４３の回転軸は、＋Ｙ方向に傾いている。このため、環状ブラシ４３の下面におけるゴム板１３の表面への押圧力（環状ブラシ４３の荷重）は、回転軸の傾きに応じて、Ｙ軸方向で異なっている。すなわち、ゴム板１３における図５の紙面奥側の部分は、環状ブラシ４３から、比較的に強い荷重を受ける。一方、ゴム板１３における図５の紙面手前側の部分は、環状ブラシ４３から、比較的に弱い荷重を受ける。
【００２９】
環状ブラシ４３から強い荷重を受けるゴム板１３の部分（図５の紙面奥側の部分）は、矢印Ｒ方向に回転する環状ブラシ４３から、比較的に強い＋Ｘ方向に沿う力を受ける。一方、環状ブラシ４３から弱い荷重を受けるゴム板１３の部分（図５の紙面手前側の部分）は、環状ブラシ４３から、比較的に弱い−Ｘ方向に沿う力を受ける。このため、ゴム板１３は、全体として、環状ブラシ４３から、＋Ｘ方向の力を受ける。これにより、ゴム板１３は、ゴム板１３を支持している支持テーブル２１とともに、図６に示すように、レール３３に沿って、＋Ｘ方向に移動（従動）される。
【００３０】
このように、この剥離工程では、環状ブラシ４３の下面を、環状ブラシ４３の回転軸の傾きに応じて荷重の強弱をつけて、ゴム板１３の一方の面に接触させる。そして、荷重の強弱を用いて、ゴム板１３を、支持面２３に平行で、環状ブラシ４３の回転軸の傾き方向に直交する方向（＋Ｘ方向）に従動させながら、ゴム板１３における一方の面の離型剤を剥離する。
【００３１】
（接着工程）
ゴム板１３の一方の面から離型剤を剥離した後、図７に示すように、ゴム板１３は、一方の面を上にして、支持台６１上に載置される。支持台６１の上方には、接着剤塗布部材７１が配置されている。接着剤塗布部材７１は、接着剤を吐出するノズル７３、ノズル７３に接着剤を供給する接着剤供給部７５、および、ノズル７３を支持台６１の上方で水平方向に沿って移動させる水平方向移動手段７７を備えている。
【００３２】
この工程では、離型剤が剥離されたゴム板１３の一方の面における略全面に、水平方向移動手段７７によって水平方向に移動されるノズル７３を用いて、接着剤Ｇを塗布する。そして、図８に示すように、基台１１の上面とゴム板１３の一方の面とを、接着剤Ｇを介して接着する。
【００３３】
（吸引孔形成工程）
基台１１とゴム板１３とを接着した後、図１に示した吸引孔１９を形成する。図８に示すように、本実施形態では、基台１１には、図１に示した吸引孔１９に対応する基台貫通孔１９ａが予め形成されている。基台貫通孔１９ａは、基台１１を、その厚み方向に貫通するように形成されている。
【００３４】
したがって、本実施形態では、図９に示すように、ゴム板１３における基台貫通孔１９ａに対応する部分に、矢印Ａ方向に回転するドリル８１を用いて、ゴム板１３を貫通するゴム板貫通孔１９ｂを形成する。これにより、吸引孔１９を有するチャックテーブル１（図２参照）が形成される。
【００３５】
以上のように、本製造方法の剥離工程では、環状ブラシ４３の下面を、環状ブラシ４３の回転軸の傾きに応じて荷重の強弱をつけて、ゴム板１３の一方の面に接触させる。そして、荷重の強弱を用いて、ゴム板１３を＋Ｘ方向に従動させながら、ゴム板１３における一方の面の離型剤を剥離する。すなわち、ゴム板１３が、その一方の面が環状ブラシ４３に接触した状態で、環状ブラシ４３に対してＸ軸方向に沿って従動される。これにより、ゴム板１３における一方の面の略全面に環状ブラシ４３を接触させることが可能となるので、この面から離型剤を除去することが容易となる。
【００３６】
また、本製造方法の剥離工程では、環状ブラシ４３の傾きを用いて、ゴム板１３を従動させている。したがって、ゴム板１３を移動させる構成が不要であるため、離型剤の剥離が容易となるとともに、チャックテーブル１の生産性を高めることが可能となる。
【００３７】
なお、環状ブラシ４３の直径は、ゴム板１３の幅（Ｙ軸方向の長さ）よりも大きいことが好ましい。これにより、ゴム板１３の全面から離型剤を除去することが容易となる。
【００３８】
また、本実施形態では、図３に示したように、支持テーブル２１が、レール３３上に、Ｘ軸方向に沿って移動可能に連結されている。そして、剥離工程において、環状ブラシ４３によって、ゴム板１３および支持テーブル２１が、Ｘ軸方向に沿って従動されている。これに代えて、剥離工程は、以下のように実施されてもよい。
【００３９】
すなわち、図１０に示すように、支持テーブル２１は、支持面吸引孔２７が吸引路２５を介してエア供給源３２に連通されるように構成されていてもよい。この構成では、剥離工程の開始時に、ゴム板１３は、支持テーブル２１の左端からはみ出るように、支持テーブル２１の支持面２３に載置される。ここで、支持面吸引孔２７がエア供給源３２に連通されているため、ゴム板１３は、支持面２３に吸着保持されることなく、支持面２３上を摺動することが可能である。
【００４０】
そして、この状態で、図１１に示すように、回転手段４５が環状ブラシ４３を矢印Ｒ方向に沿って回転させるとともに、昇降手段４７が、環状ブラシ４３を下方に移動させてゴム板１３に接触させる。これにより、回転する環状ブラシ４３の下面が、ゴム板１３の表面（一方の面）に接触し、ここに付着している離型剤を剥離する。
【００４１】
また、上記のように、環状ブラシ４３の回転軸は、＋Ｙ方向に傾いている。このため、図５等を用いて示した場合と同様に、ゴム板１３における図１１の紙面奥側の部分は、矢印Ｒ方向に回転する環状ブラシ４３から、比較的に強い＋Ｘ方向に沿う力を受ける。一方、ゴム板１３における図１１の紙面手前側の部分は、環状ブラシ４３から、比較的に弱い−Ｘ方向に沿う力を受ける。このため、ゴム板１３は、全体として、環状ブラシ４３から＋Ｘ方向の力を受ける。これにより、ゴム板１３は、図１２に示すように、支持面２３上を、＋Ｘ方向に沿って摺動（従動）される
この構成でも、ゴム板１３は、その一方の面が環状ブラシ４３に接触した状態で、環状ブラシ４３に対してＸ軸方向に沿って従動される。これにより、ゴム板１３における一方の面の略全面に環状ブラシ４３を接触させることが可能となるので、この面から離型剤を除去することが容易となる。
【００４２】
なお、この構成では、支持面２３上でのゴム板１３の回転（Ｙ軸方向へのズレ）を抑制するために、支持テーブル２１に、ゴム板１３の側面を規制する壁面を設けてもよい。
【００４３】
また、図９に示すように、基台貫通孔１９ａは、ゴム板貫通孔１９ｂよりも大きく形成されていることが好ましい。これにより、基台貫通孔１９ａに合わせてゴム板貫通孔１９ｂを形成することが容易となる。
【００４４】
また、本実施形態では、基台１１には、吸引孔１９に対応する基台貫通孔１９ａが予め形成されている。これに限らず、ゴム板１３に接着される基台１１に、基台貫通孔１９ａが設けられていなくてもよい。この場合、吸引孔形成工程では、ドリル８１を用いて、吸引孔１９として、ゴム板１３および基台１１を貫通する孔が形成される。すなわち、吸引孔形成工程では、ゴム板１３を貫通する孔、あるいは、ゴム板１３および基台１１を貫通する孔が形成される。
【００４５】
また、本実施形態では、接着工程において、ゴム板１３における離型剤が剥離された面（一方の面）に、接着剤を塗布している。これに代えてあるいは加えて、基台１１の上面に接着剤を塗布してもよい。すなわち、接着剤は、ゴム板１３における一方の面と基台１１の上面との少なくともいずれかの面に塗布されればよい。
【符号の説明】
【００４６】
１：チャックテーブル、１１：基台、１３：ゴム板、１９：吸引孔、
２１：支持テーブル、３３：レール、
２３：支持面、２５：吸引路、２７：支持面吸引孔、３１：吸引源、
３２：エア供給源、
４１：剥離装置、４３：環状ブラシ、４７：昇降手段、
４５：回転手段、５１：スピンドル、５３：モータ、
６１：支持台、
７１：接着剤塗布部材、７３：ノズル、７５：接着剤供給部、
７７：水平方向移動手段、
８１：ドリル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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