(57)【要約】【課題】アキュムレータの停止中は勿論、稼働中においても外部からガス圧縮率を検知しガス圧低下を監視できるようにする。【解決手段】容器本体内が分離部材６により本体液体室７と本体気体室８に仕切られているアキュムレータＡＣＣにおいて、置換ピストン１０により置換液体室１７と置換気体室１８とに仕切られている置換シリンダ１２であって、前記置換液体室１７は分岐部３を介して前記本体液体室７に連通し、前記置換気体室１８は前記本体気体室８に連通している置換シリンダ１２と、前記分岐部３に設けられ、前記本体液体室７と前記置換液体室１７に出入りする液量の割合を制御する流量規制手段４と、前記置換ピストン１０の摺動位置を直接、又は、間接に検出するセンサ手段１４と、を備えている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器本体内が分離部材により本体液体室と本体気体室に仕切られているアキュムレータにおいて、
置換分離部材により置換液体室と置換気体室とに仕切られている検知器本体であって、前記置換液体室は分岐部を介して前記本体液体室に連通し、前記置換気体室は前記本体気体室に連通している検知器本体と、
前記分岐部に設けられ、前記本体液体室と前記置換液体室に出入りする液量の割合を制御する流量規制手段と、
前記置換分離部材の移動位置を直接、又は、間接に検出するセンサ手段と、
を備えていることを特徴とするアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項２】
前記置換分離部材は、置換シリンダの置換ピストンであることを特徴とする請求項１記載のアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項３】
前記置換ピストンは、括れ部を介して対向する一対のピストン部を備え、前記括れ部は大気に連通していることを特徴とする請求項２記載のアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項４】
センサ手段は、置換ピストンに埋設された磁石と、該磁石を検知する磁気検出素子からなる磁気センサであることを特徴とする請求項１、２、又は、３記載のアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項５】
置換ピストンは、その両面に被検ロッドが、置換シリンダから突出して立設され、センサ手段は、前記被検ロッドの摺動位置を検知する接触式センサ、又は、非接触式センサであることを特徴とする請求項２記載のアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項６】
置換シリンダの置換液体室側の面に、被検ロッドが前記置換シリンダから突出して立設され、前記被検ロッドの先端部は、前記置換シリンダに対向して配設された補助液体室に挿入され、前記補助液体室は、前記置換液体室に連通していることを特徴とする請求項２記載のアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項７】
置換液体室及び補助液体室を本体気体室に連通する代替置換気体室及び代替補助気体室に変更し、又、置換気体室を本体液体室に連通する代替置換液体室に変更することを特徴とする請求項６記載のアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項８】
容器本体内が分離部材により本体液体室と本体気体室に仕切られているアキュムレータにおいて、
第１シリンダと第２シリンダからなる置換シリンダであって、前記第１シリンダは第１ピストンにより置換液体室と大気開放室に仕切られ、前記置換液体室は分岐部を介して本体液体室に連通し、第２シリンダは前記置換大気開放室と対向して配設されている置換シリンダと、
前記第１ピストンの置換液体室側の面に立設され、前記第１シリンダから突出している被検ロッドと、
前記第１ピストンの大気開放部側の面に立設され、その先端部が第２ピストンとなるピストンロッドと、
前記第２シリンダに前記第２ピストンを挿入して形成される、本体気体室に連通する置換気体室と、
前記分岐部に設けられ、前記本体液体室と前記置換液体室に出入りする液量の割合を制御する流量規制手段と、
前記被検ロッド、第１ピストン、又は、第２ピストンの摺動位置を検出するセンサ手段と、
を備えていることを特徴とするアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項９】
第２シリンダは、第１シリンダの底部に凹設され、又は、前記第1シリンダから離間して配設されていることを特徴とする請求項８記載のアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項１０】
第２シリンダは、本体気体室に連続する貫通シリンダであることを特徴とする請求項８記載のアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項１１】
前記貫通シリンダの出入口に、スリットの付いた規制板が設けられていることを特徴とする請求項１０記載のアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項１２】
置換液体室を本体気体室に連通する代替置換気体室に変更し、又、置換気体室を本体液体室に連通する代替置換液体室に変更することを特徴とする請求項８、９、１０、又は、１１記載のアキュムレータのガス圧縮率検知器
【請求項１３】
容器本体内が分離部材により本体液体室と本体気体室に仕切られているアキュムレータにおいて、
置換ピストンにより置換液体室と置換気体室とに仕切られている置換シリンダであって、前記置換液体室は分岐部を介して前記本体液体室に連通し、前記置換気体室は前記本体気体室に連通している置換シリンダと、
前記置換ピストンの置換液体室側の面に、置換シリンダから突出して立設された被検ロッドと、
前記置換シリンダに並設され、支持ピストンにより大気開放部と前記置換液体室に連通する支持液体室に仕切られている支持シリンダと、
前記支持ピストンの支持液体室側の面に、前記支持シリンダから突出して立設された支持ロッドと、
前記被検ロッドと前記支持ロッドを連結する被検連結バーと、
前記分岐部に設けられ、前記本体液体室と前記置換液体室に出入りする液量の割合を制御する流量規制手段と、
前記置換ピストン、被検ロッド、又は、被検連結バーの摺動位置を検出するセンサ手段と、
を備えていることを特徴とするアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項１４】
置換シリンダの両側に支持シリンダが一対配設されていることを特徴とする請求項１３記載のアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項１５】
置換液体室及び支持液体室を本体気体室に連通する代替置換気体室及び代替支持気体室に変更し、又、置換気体室を本体液体室に連通する代替置換液体室に変更することを特徴とする請求項１３、又は、１４記載のアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項１６】
容器本体内が分離部材により本体液体室と本体気体室に仕切られているアキュムレータにおいて、
第１ピストンにより第１置換液体室と大気開放部に仕切られている第１シリンダ室と、第２ピストンにより置換第２液体室と置換気体室に仕切られている置換シリンダであって、前記置換第２液体室は前記大気開放部と対向して配設され、前記置換第１及び第２液体室は分岐部を介して本体液体室に連通し、前記置換気体室は前記本体気体室に連通する置換シリンダと、
前記第２ピストンの置換第２液体室側の面に、前記第１シリンダ室を貫通して立設されたピストンロッドであって、第１ピストンが固定されその先端部は被検ロッドとなっているピストンロッドと、
前記分岐部に設けられ、前記本体液体室と前記置換第１及び第２液体室に流入する液量の割合を制御する流量規制手段と、
前記被検ロッド、第１ピストン、又は、第２ピストンの摺動位置を検知するセンサ手段と、
を備えていることを特徴とするアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項１７】
第１シリンダ室と第2シリンダ室は、直結、又は、間隔をおいて対向していることを特徴とする請求項１６記載のアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項１８】
置換第１及び第２液体室を本体気体室に連通する代替置換気体室に変更し、又、置換気体室を本体液体室に連通する代替置換液体室に変更することを特徴とする請求項１６、又は、１７記載のアキュムレータのガス圧縮率検知器
【請求項１９】
容器本体内が分離部材により本体液体室と本体気体室に仕切られているアキュムレータにおいて、
置換ピストンにより置換液体室と置換気体室とに仕切られている置換シリンダであって、前記置換気体室は本体気体室に連通している置換シリンダと、
本体液体室に分岐部を介して連通する第１液体室と前記置換液体室に連通する第２液体室とが大気開放室を介して対向して配設されている変圧シリンダであって、前記置換シリンダにおける前記置換液体室と置換気体室の受圧面積の差に対応して前記第２液体室内を変圧させる変圧シリンダと、
前記置換ピストンの置換液体室側の面に、置換シリンダから突出して立設された被検ロッドと、
前記分岐部に設けられ、前記本体液体室と第１液体室に流入する液量の割合を制御する流量規制手段と、
前記被検ロッド、又は、置換ピストンの摺動位置を検知するセンサ手段と、
を備えていることを特徴とするアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項２０】
置換シリンダの置換液体室は、本体気体室に連通する代替置換気体室に変更し、置換気体室は代替置換液体室に変更し、前記代替置換液体室は変圧シリンダの第１液体室に連通させ、第２液体室は分岐部を介して本体液体室に連通させることを特徴とする請求項１９記載のアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項２１】
センサ手段は、単数、又は、複数配設されていることを特徴とする請求項１〜２０いずれかに記載のアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項２２】
前記置換分離部材は、ベローズであることを特徴とする請求項１記載のアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【請求項２３】
前記ベローズの下端部は、置換液体室の底部に固定され、その上端部は磁石を備えたシール板により閉鎖されていることを特徴とする請求項２２記載のアキュムレータのガス圧縮率検知器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液圧回路等に配設されるアキュムレータに関するものであり、更に述べると、アキュムレータのガス圧縮率検知器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
アキュムレータは、圧力による気体の圧縮性と液体の非圧縮性の性質を利用して作動液の蓄積・吐き出しを行い、脈動吸収、エネルギーの蓄積、圧力保持、衝撃緩和等の効果を奏するものである。前記アキュムレータの容器本体内は、分離部材により気体（ガス）が封入される気体室と作動液が出入りする液体室とに仕切られている。このアキュムレータは、稼働中に気体室の気体が漏れることがあるが、そうすると、該気体室のガス圧が低下し、設計通りの効果を得られなくなる。そこで、稼働中に気体室のガス圧が正常か否かをチェックする必要がある。
【０００３】
ところが、アキュムレータの稼働中は、封入ガス圧よりも高い液圧が負荷されているため、気体室のガス圧は液圧と同圧となり正確に封入ガス圧をチェックすることができない。そこで、ガス圧チェックは、液圧が負荷されない停止中に行われている。
【０００４】
しかし、生産ラインにおいて、一定時間停止することなく稼働を続ける場合、アキュムレータのガス圧をチェックできないと、ガス圧低下によりアキュムレータの性能低下を招く恐れがある。そこで、アキュムレータ内にブラダの変形により摺動する検知弁を設け、該検知弁の摺動位置をセンサにより検出する位置検出装置が開発されている（例えば、特許文献１、参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実公平０６−１２２４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記位置検出装置は、アキュムレータの容器本体内に配設され、目視できないので、外部からガス圧低下をチェックすることはできない。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑み、アキュムレータの停止中は勿論、稼働中においても外部からガス圧縮率を検知しガス圧低下をチェックできるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は、容器本体内が分離部材により本体液体室と本体気体室に仕切られているアキュムレータにおいて、置換分離部材により置換液体室と置換気体室とに仕切られている検知器本体であって、前記置換液体室は分岐部を介して前記本体液体室に連通し、前記置換気体室は前記本体気体室に連通している検知器本体と、前記分岐部に設けられ、前記本体液体室と前記置換液体室に出入りする液量の割合を制御する流量規制手段と、前記置換分離部材の移動位置を直接、又は、間接に検出するセンサ手段と、を備えていることを特徴とする。
【０００９】
この発明の前記置換分離部材は、置換シリンダの置換ピストンであることを特徴とする。この発明の前記置換ピストンは、括れ部を介して対向する一対のピストン部を備え、前記括れ部は大気に連通していることを特徴とする。この発明のセンサ手段は、置換ピストンに埋設された磁石と、該磁石を検知する磁気検出素子からなる磁気センサであることを特徴とする。この発明の置換ピストンは、その両面に被検ロッドが、置換シリンダから突出して立設され、センサ手段は、前記被検ロッドの摺動位置を検知する接触式センサ、又は、非接触式センサであることを特徴とする。
【００１０】
この発明の置換シリンダの置換液体室側の面に、被検ロッドが前記置換シリンダから突出して立設され、前記被検ロッドの先端部は、前記置換シリンダに対向して配設された補助液体室に挿入され、前記補助液体室は、前記置換液体室に連通していることを特徴とする。この発明の置換液体室及び補助液体室を本体気体室に連通する代替置換気体室及び代替補助気体室に変更し、又、置換気体室を本体液体室に連通する代替置換液体室に変更することを特徴とする。
【００１１】
この発明は、容器本体内が分離部材により本体液体室と本体気体室に仕切られているアキュムレータにおいて、第１シリンダと第２シリンダからなる置換シリンダであって、前記第１シリンダは第１ピストンにより置換液体室と大気開放室に仕切られ、前記置換液体室は分岐部を介して本体液体室に連通し、第２シリンダは前記置換大気開放室と対向して配設されている置換シリンダと、前記第１ピストンの置換液体室側の面に立設され、前記第１シリンダから突出している被検ロッドと、前記第１ピストンの大気開放部側の面に立設され、その先端部が第２ピストンとなるピストンロッドと、前記第２シリンダに前記第２ピストンを挿入して形成される、本体気体室に連通する置換気体室と、前記分岐部に設けられ、前記本体液体室と前記置換液体室に出入りする液量の割合を制御する流量規制手段と、前記被検ロッド、第１ピストン、又は、第２ピストンの摺動位置を検出するセンサ手段と、を備えていることを特徴とする。
【００１２】
この発明の第２シリンダは、第１シリンダの底部に凹設され、又は、前記第１シリンダから離間して配設されていることを特徴とする。この発明の第２シリンダは、本体気体室に連続する貫通シリンダであることを特徴とする。この発明の前記貫通シリンダの出入口に、スリットの付いた規制板が設けられていることを特徴とする。この発明の置換液体室を本体気体室に連通する代替置換気体室に変更し、又、置換気体室を本体液体室に連通する代替置換液体室に変更することを特徴とする。
【００１３】
この発明は、容器本体内が分離部材により本体液体室と本体気体室に仕切られているアキュムレータにおいて、置換ピストンにより置換液体室と置換気体室とに仕切られている置換シリンダであって、前記置換液体室は分岐部を介して前記本体液体室に連通し、前記置換気体室は前記本体気体室に連通している置換シリンダと、前記置換ピストンの置換液体室側の面に、置換シリンダから突出して立設された被検ロッドと、前記置換シリンダに並設され、支持ピストンにより大気開放部と前記置換液体室に連通する支持液体室に仕切られている支持シリンダと、前記支持ピストンの支持液体室側の面に、前記支持シリンダから突出して立設された支持ロッドと、前記被検ロッドと前記支持ロッドを連結する被検連結バーと、前記分岐部に設けられ、前記本体液体室と前記置換液体室に出入りする液量の割合を制御する流量規制手段と、前記置換ピストン、被検ロッド、又は、被検連結バーの摺動位置を検出するセンサ手段と、を備えていることを特徴とする。
【００１４】
この発明の置換シリンダの両側に支持シリンダが一対配設されていることを特徴とする。この発明の置換液体室及び支持液体室を本体気体室に連通する代替置換気体室及び代替支持気体室に変更し、又、置換気体室を本体液体室に連通する代替置換液体室に変更することを特徴とする。
【００１５】
この発明は、容器本体内が分離部材により本体液体室と本体気体室に仕切られているアキュムレータにおいて、第１ピストンにより第１置換液体室と大気開放部に仕切られている第１シリンダ室と、第２ピストンにより置換第２液体室と置換気体室に仕切られている置換シリンダであって、前記置換第２液体室は前記大気開放部と対向して配設され、前記置換第１及び第２液体室は分岐部を介して本体液体室に連通し、前記置換気体室は前記本体気体室に連通する置換シリンダと、前記第２ピストンの置換第２液体室側の面に、前記第１シリンダ室を貫通して立設されたピストンロッドであって、第１ピストンが固定されその先端部は被検ロッドとなっているピストンロッドと、前記分岐部に設けられ、前記本体液体室と前記置換第１及び第２液体室に流入する液量の割合を制御する流量規制手段と、前記被検ロッド、第１ピストン、又は、第２ピストンの摺動位置を検知するセンサ手段と、を備えていることを特徴とする。
【００１６】
この発明の第１シリンダ室と第２シリンダ室は、直結、又は、間隔をおいて対向していることを特徴とする。この発明の置換第１及び第２液体室を本体気体室に連通する代替置換気体室に変更し、又、置換気体室を本体液体室に連通する代替置換液体室に変更することを特徴とする。
【００１７】
この発明は、容器本体内が分離部材により本体液体室と本体気体室に仕切られているアキュムレータにおいて、置換ピストンにより置換液体室と置換気体室とに仕切られている置換シリンダであって、前記置換気体室は本体気体室に連通している置換シリンダと、本体液体室に分岐部を介して連通する第１液体室と前記置換液体室に連通する第２液体室とが大気開放室を介して対向して配設されている変圧シリンダであって、前記置換シリンダにおける前記置換液体室と置換気体室の受圧面積の差に対応して前記第２液体室内を変圧させる変圧シリンダと、前記置換ピストンの置換液体室側の面に、置換シリンダから突出して立設された被検ロッドと、前記分岐部に設けられ、前記本体液体室と第１液体室に流入する液量の割合を制御する流量規制手段と、前記被検ロッド、又は、置換ピストンの摺動位置を検知するセンサ手段と、を備えていることを特徴とする。
【００１８】
この発明の置換シリンダの置換液体室は、本体気体室に連通する代替置換気体室に変更し、置換気体室は代替置換液体室に変更し、前記代替置換液体室は変圧シリンダの第１液体室に連通させ、第２液体室は分岐部を介して本体液体室に連通させることを特徴とする。この発明のセンサ手段は、単数、又は、複数配設されていることを特徴とする。
【００１９】
この発明の前記置換分離部材は、ベローズであることを特徴とする。この発明の前記ベローズの下端部は、置換液体室の底部に固定され、その上端部は磁石を備えたシール板により閉鎖されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
この発明は、以上の様に構成されているので、停止中は勿論、稼働中においても外部からアキュムレータのガス圧縮率を検知することができる。そのため、ガス漏れなどによりガス圧が低下した時には、素早く検知して対処できるので、アキュムレータを正常な状態に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１実施例を示す図（フローチャート）である。
【図２】本発明の第２実施例を示す図（フローチャート）である。
【図３】本発明の第３実施例を示す図（フローチャート）である。
【図４】本発明の第４実施例を示す図（フローチャート）である。
【図５】本発明の第５実施例を示す図（フローチャート）である。
【図６】本発明の第６実施例を示す図（フローチャート）である。
【図７】本発明の第７実施例を示す図（フローチャート）である。
【図８】本発明の第８実施例を示す図（フローチャート）である。
【図９】本発明の第９実施例を示す図（フローチャート）である。
【図１０】本発明の第１０実施例を示す図（フローチャート）である。
【図１１】本発明の第１１実施例を示す図（フローチャート）である。
【図１２】本発明の第１２実施例を示す図（フローチャート）である。
【図１３】本発明の第１３実施例を示す図（フローチャート）である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本件発明者は、アキュムレータの停止中は勿論、稼働中にも確実にガス圧縮率を検知しガス圧低下をチェックできる装置について研究実験を重ねたところ、下記の結果を得た。
（１）アキュムレータ本体と別個に、ガス圧縮率検知器を設ける。この検知器の検知器本体として、例えば、置換シリンダを用いるが、この置換シリンダは、ピストンによりアキュムレータの本体気体室に連通する置換気体室と本体液体室に連通する置換液体室とに仕切られており、前記置換気体室のガス圧縮率（ガス圧縮比）が本体気体体室のガス圧縮率（ガス圧縮比）と同じ割合で変化するようにする。そうすると、実質的に、前記本体気体室のガス圧圧縮率を検知でき、ガス圧低下をチェックすることができる。
【００２３】
（２）前記置換気体室と置換液体室が置換ピストン（フリーピストン）を挟んで対向している場合には、前記置換ピストンの両面の受圧面積は等しくなり、前記置換ピストンの両側に掛る荷重（互いに反対方向の力）は等しくなるので、バランスがとれる。
【００２４】
（３）しかし、前記置換ピストンの受圧面に被検ロッドやピストンロッドなどが設けられると、置換ピストンの両面の受圧面積に差異が生じる。この様な場合は、例えば、置換シリンダを径の異なる第１シリンダと第２シリンダから構成して受圧面積を等しくしたり、置換液体室と連通する補助液体室や支持シリンダを設けて置換液体室側の受圧面積の不足分を補う様にすれば両者のバランスをとることがきる。本件発明は、上記知見に基いてなされたものである。
【００２５】
第１実施例
本発明の第１実施例を図１に基いて説明する。アクチュエータ等の液圧回路１には、分岐部３を介してブラダ型アキュムレータＡＣＣが接続されている。このアキュムレータＡＣＣの容器本体５内は、分離部材６により本体液体室７と本体気体室８に仕切られている。このアキュムレータＡＣＣでは、前記分離部材６としてブラダが用いられているが、ピストン型アキュムレータでは、ピストンが用いられる。
【００２６】
前記アキュムレータＡＣＣの近傍には、ガス圧縮率検知器が設けられている。この検知器は、感知器本体を構成する置換シリンダ１２と、該置換シリンダ１に摺動自在に挿着されている置換ピストン１０と、前記置換ピストン１０の摺動位置を検知するセンサ手段１４とを備えている。前記置換シリンダ１２と前記置換ピストン１０は、非磁性体で形成されている。前置換記置換ピストン１０は、フリーピストンであり、前記置換シリンダ１２内を置換液体室１７と置換気体室１８とに仕切っている。前記置換ピストン１０の中央部には、磁石２０が埋設されている。
【００２７】
前記置換液体室１７は、バルブ１００及び分岐部３を介して前記液圧回路１に連通している。前記バルブ１００として、置換シリンダ１２内の液体をタンク（図示省略）に戻すためのドレンバルブが用いられている。このバルブ１００は、アキュムレータＡＣＣ内の液体を出しきっても、置換シリンダ内に液体が残っていると、０点（基準点）が狂ってしまうことに鑑み、置換シリンダ内の残液を定期的に排出し、置換ピストンをシリンダストロークエンドに戻らせるために用いられる。前記分岐部３には、前記置換液体室１７と前記本体液体室７に出入りする液量の割合を制御する流量規制手段４が設けられているが、この流量規制手段４として、例えば、分流・合流弁が用いられている。なお、この実施例では、チェック弁Ｃを配設しているが、このチェック弁Ｃは省略することも可能である。
【００２８】
前記置換気体室１８は、絞り弁Ｖを介してアキュムレータＡＣＣの本体気体室８に連通している。この絞り弁Ｖは、ガス圧力の伝播を制御するものであるが、絞り量を多くすればガス圧縮率検知器側のガス圧変化速度を鈍くすることができ、又、完全に閉じれば前記検知器を独立させることができる。この絞り弁Ｖは、必ずしも必要なものではなく、必要に応じて適宜省略することができる。前記置換ピストン１０の置換液体室１７側の面１０ｓ及び置換気体室１８側の面１０ｇにおける受圧面積は、等しい。なお、前記置換気体室１８は、絞り弁Ｖなどを省略し、直接、本体気体室８に連続させ、前記両者８，１８を一体的に形成しても良い。
【００２９】
前記センサ手段１４は、置換シリンダ１２の側部に配設されている。このセンサ手段１４は、第１センサ１４ａ、第２センサ１４ｂから構成され、前記置換ピストン１０の摺動方向に所定間隔をおいて配設されている。このセンサ手段１４は、磁気近接センサ（非接触型センサ）であり、磁気検出素子と磁石（静電界）の組み合わせからなり、前記磁石２０が接近した時の磁束変化を利用して検出する。
【００３０】
磁気近接センサ１４は、前記ピストン１０の摺動により磁石２０が接近するとスイッチがオン（検出）するが、その個数、配設位置等は、必要に応じて適宜選択される。例えば、１／４倍圧縮を限界値と定め、この時の置換ピストン１０の摺動位置に磁気近接スイッチ１４ａを配設すると、前記スイッチ１４ａがオンした時には、ガス圧縮率が限界値に達していることを検知することができる。
【００３１】
ここで、１／４倍圧縮とは、アキュムレータＡＣＣ内のブラダ６に液圧がかからない状態における本体気体室８の体積（基準体積）Vが、１／４（２５％）まで圧縮された体積になることをいう。なお、置換シリンダ１２の側面に前記ピストン１０の摺動方向に沿って、容積の等分線を引くことにより、磁気近接センサ１４ａ，１４ｂの取付け位置を明確にすることができる。
【００３２】
本実施例の作動について説明するが、初めにアキュムレータＡＣＣの作動について説明する。アクチュエータの稼働により液圧回路１内の液圧が変動すると、アキュムレータＡＣＣの本体液体室７内に出入りする液体の量が変化するとともに、前記ブラダ６を押圧する力も変化する。前記押圧力の変化に伴い前記ブラダ６が変形し本体気体室８の体積を変化させ、ガス圧縮率も変化するので、ガス圧も変化する。そして、前記本体液体室７の液圧と前記本体気体室８のガス圧が等しくなると、ブラダ６の変動は停止し、前記液圧回路１の液圧は安定する。
【００３３】
液圧回路１の液圧が上昇すると、置換液体室１７の液圧が上昇するので、置換ピストン１０はセンサ１４ａ側に摺動する。そのため、置換気体室１８の体積が小さくなってガスが圧縮されるので、置換気体室１８のガス圧が上昇する。
【００３４】
この時、置換ピストン１０の置換液体室１７側の面（受圧面）１０ｓの受圧面積と置換気体室側の面（受圧面）１０ｇの受圧面積が等しいので、前記置換気体室１８のガス圧（加重）と置換液体室１７の液圧（加重）は等しくなるまで置換ピストン１０が摺動する。又、前記置換気体室１８は、アキュムレータＡＣＣの本体気体室８と連通し、前記置換液体室１７はアキュムレータＡＣＣの本体液体室７と連通しているので、前記置換液体室１７の液圧と本体液体室７の液圧は等しくなる。又、前記置換気体室１８のガス圧縮率は本体気体室８のガス圧縮率と等しくなり、前記両室８、１８のガス圧も等しくなる。
【００３５】
これは、前記本体液体室７と前記置換液体室１７に、任意の割合の液体が分流規制手段４を介して流れ込み、アキュムレータＡＣＣ内の本体気体室８の体積の変化割合と置換シリンダ１２の置換気体室１８の体積の変化割合に規則性を持たせるためである。前記分流規制手段４による分流割合は、例えば、前記本体液体室７への流量が１０００〜３０００に対し、前記置換液体室１７への流量は１に設定される。前述の様に前記本体気体室８のガス圧と前記置換気体室１８のガス圧は等しいので、前記置換気体室１８のガス圧縮率がわかれば、実質的に、前記本体気体室８のガス圧縮率を検知しガス圧低下をチェックすることが可能となる。
【００３６】
前記と逆に、液圧回路１の液圧が降下すれば置換液体室１７の液圧が降下するので、置換ピストン１０はセンサ１４ｂ側に摺動する。そのため、置換気体室１８の体積が大きくなり気体が膨張するので、ガス圧は低下する。
【００３７】
前記アキュムレータＡＣＣと前記置換シリンダ１２の関係は、以上述べた通りであるので、アキュムレータＡＣＣの本体気体室８のガス圧縮率は、置換気体室１８のガス圧縮率に置き換えることができる。そのため、アキュムレータＡＣＣ内の本体気体室８の体積変化に比例して摺動する置換シリンダ１２の置換ピストン１０の位置を検知することにより、連続的に前記アキュムレータＡＣＣ内の本体気体室１８の体積を把握し、ガス圧縮率を検出し、ガス圧低下をチェックすることができる。
【００３８】
前記ピストン１０は、ガス圧縮率の変動に伴い摺動するが、前記置換気体室１８の体積が限界値（１／４倍圧縮）に達すると、磁気近接スイッチ１４ａがスイッチオン（検出）になる。そのため、この時点において、アキュムレータＡＣＣの前記本体気体室８の体積が、基準体積Vの１／４より小さくなり限界値（ガス圧縮率）に達していることが分かるので、早急に必要な処置を行う事ができる。
【００３９】
第２実施例
本発明の第２実施例を図２により説明するが、図１と同一図面符号は、その名称も機能も同一である。この実施例と第１実施例との主なる相違点は次の通りである。
（１）置換ピストン１０は、括れ部２４を介して対向するピストン部２２，２３を備えていること。
【００４０】
（２）前記両ピストン部２２，２３、括れ部２４、及びシリンダ壁１２ａに囲まれた空間部は、前記シリンダ壁１２ａに設けた通気孔２５を介して器外（大気）に連通する大気開放部２６であること。
（３）磁石２０は、括れ部２４に設けられ、センサ１４ａ，１４ｂはシリンダ壁１２ａの中央寄りに２個配設されていること。
【００４１】
第３実施例
本発明の第３実施例を図３により説明するが、図１と同一図面符号は、その名称も機能も同一である。この実施例と第１実施例との主なる相違点は次の通りである。
（１）置換ピストン１０の置換液体室１７側の受圧面１０ｓ、置換気体室１８側の受圧面１０ｇには、それぞれ同径の被検ロッド３０が、置換シリンダ１２から突出して立設されていること。従って、前記置換ピストン１０の置換液体室１７側及び置換気体室１８側の受圧面の受圧面積は、該置換ピストン１０の断面積（直径方向の断面積）−被検ロッド３０の断面積（径方向の断面積）、となるので、両者は、等しいものとなる。
【００４２】
（２）センサ手段は、近接磁気センサの代わりに、各被検ロッド３０の先端部３０ａを検知する接触センサ１４Ａ，１４Ｂであること。この接触センサ１４Ａ，１４Ｂは、前記各被検ロッド３０の先端側の所定位置に配設されている。なお、接触センサの代わりに非接触センサを用いることも可能である。
【００４３】
この実施例では、液圧回路１の液圧が上昇すると、置換液体室１７の液圧が上昇するので、置換ピストン１０はガスを圧縮しながらセンサ１４Ｂ側に摺動して置換気体室１８の体積を小さくしてガス圧を上昇させる。又、逆に前記液圧が降下すれば置換液体室１７の液圧が低下するので、置換気体室１８内のガス圧が大きくなる。そのため、ガスが膨張して置換ピストン１０をセンサ１４Ａ側に摺動させるので、前記置換気体室１８の体積が大きくなり、ガス圧が降下する。この実施例は、置換ピストン１０の摺動を被検ロッド３０の摺動に置き換えたものであり、いわば置換ピストン１０の摺動位置を、間接的に検出するものである。
【００４４】
この実施例において、第１実施例と同様に、絞り弁Ｖは、必ずしも必要ではなく、必要に応じて適宜省略することも可能であり、又、前記置換気体室１８は直接本体気体室８に連結し、両者８，１８を一体的に形成しても良い。
【００４５】
第４実施例
本発明の第４実施例を図４により説明するが、図３と同一図面符号は、その名称も機能も同一である。この実施例と前記実施例３との主な相違点は、センサ手段である。この実施例では、左右一対のセンサ１４Ａ，１４Ｂの代わりに、一方の被検ロッド３０側に、所定間隔をおいて４個のセンサ１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ，１４Ｄが配設されていること。
【００４６】
前記センサ１４Ａ〜１４Ｄは、被検ロッド３０の摺動方向に沿って配設されている。前記各センサ１４Ａ〜１４Ｄは、各圧縮比（置換シリンダ１２の置換気体室１８の収縮比率＝アキュムレータＡＣＣの本体気体室８の収縮比率）に相当する位置に配設され、例えば、センサ１４Ａは、ストロークエンド（完全にガスが抜けた状態）、センサ１４Ｂは圧縮比１／６、センサ１４Ｃは圧縮比１／３、センサ１４Ｄは圧縮比１／２の位置に配設されている。
【００４７】
第５実施例
本発明の第５実施例を図５により説明するが、図１と同一図面符号は、その名称も機能も同一である。この実施例と第１実施例との主なる相違点は次の通りである。
（１）第１実施例は、置換ピストン１０の置換液体室１７側の面１０ｓの受圧面積と置換気体室１８側の面１０ｇの受圧面積とが等しく、かつ、受ける加重（押圧力）も等しい場合の実施例である。これに対し、本実施例は前記置換ピストン１０の両面１０ｓ，１０ｇの受圧面積が異なる場合の実施例である。
（２）置換ピストン１０の液置換液体室１７側の受圧面１０ｓに、被検ロッド５０が置換シリンダ１２から突出して設けられていること。
【００４８】
（３）置換シリンダ１２を保持するホルダ５１には、補助液体室５２が前記置換シリンダ１２と間隔をおき、対向して設けられていること。この補助液体室５２は密封されているとともに、前記置換液体室１７に連通している。前記補助液体室５２には、前記被検ロッド５０の自由端部が摺動可能に挿入されている。液圧回路１の作動液は、分岐部３を介して本体液体室７と置換液体室１７及び補助液体室５２に分流する。
【００４９】
（４）前記補助液体室５２内の被検ロッド５０の受圧面５０ｓの受圧面積（被検ロッド５２の先端面の面積）と、前記置換ピストン１０の受圧面１０ｓの受圧面積との総和は、前記置換ピストン１０の置換気体室１８側の受圧面１０ｇの受圧面積（置換ピストンの端面の面積）と等しくなる様に設計されている。
【００５０】
（５）補助液体室５２の側面に、軸方向に間隔をおいてガス圧縮率目盛５５を設けたこと。この目盛５５と前記被検ロッド５０との関連は、目視可能であり、例えば、前記被検ロッド５０の先端面が、目盛Ａの位置に到達した時には、アキュムレータＡＣＣの本体気体室８のガス圧縮率がＡであることを示す。
【００５１】
なお、前記ガス圧縮率目盛５５を被検ロッド５０に設け、置換シリンダ１２と補助液体室５２間に露出している前記被検ロッド５０の目盛を目視で読むようにしても良い。又、置換ピストン１０に埋設された磁石２０の磁気を検知し、置換ピストン１０の位置を検出する様にしても良い。
【００５２】
この実施例では、置換気体室１８のガス圧縮率は、本体気体室８のガス圧縮率に等しく、又、置換液体室１７及び補助液体室５２の液圧は本体液体室７の液圧に等しくなるので、前記目盛５５を見れば本体気体室８のガス圧縮率を検知し、ガス圧低下をチェックすることができる。
【００５３】
この実施例において、第１実施例と同様に、絞り弁Ｖは、必ずしも必要ではなく、必要に応じて適宜省略することも可能であり、又、前記置換気体室１８は直接本体気体室８に連結し、両者８、１８を一体的に形成しても良い。なお、置換気体室１８を本体液体室に連通する代替置換液体室に変更し、置換液体室１７及び補助液体室５２を本体気体室に連通する代替置換気体室及び補助気体室に変更することもできる。
【００５４】
第６実施例
本発明の第６実施例を図６により説明するが、図１と同一図面符号は、その名称も機能も同一である。この実施例と第１実施例の主なる相違点は次の通りである。
（１）置換シリンダは、第１本実施例では、置換シリンダは単体であるが、本実施例では径の異なる二つのシリンダから構成されていることである。即ち、本実施例では、置換シリンダ１２は、第１シリンダ１２Ａと前記第１シリンダ１２Ａより小径の第２シリンダ１２Ｂから構成されている。前記第１シリンダ１２Ａは、置換ピストン１０により置換液体室１７と大気開放部２６に仕切られ、前記置換液体室１７は分岐部３を介して本体液体室７に連通している。第２シリンダ１２Ｂは、前記第１シリンダ１２Ａの底部に凹設されたシリンダであり、前記大気開放部２６と対向している。なお、前記第２シリンダ１２Ｂは、第１シリンダ１２Ａから離間して配設することも可能である。
【００５５】
（２）前記置換ピストン１０の置換液体室１７側の受圧面１０ｓには、前記第１シリンダ１２Ａから突出する被検ロッド４１が立設され、大気開放部２６側の面１０ｔには、先端部が第2ピストンとなるピストンロッド４０が立設されている。
（３）前記第２シリンダ１２Ｂに前記ピストンロッド４０の先端部（第２ピストン）を挿入して置換気体室１８が形成される。この置換気体室１８は、本体気体室８に連通している。
【００５６】
（４）被検ロッド４１の直径は、ピストンロッド４０の直径より大きく形成されているが、置換ピストン１０の置換液体室１７側の受圧面積（置換ピストン１０の直径方向の断面積−被検ロッド４１の直径方向の断面積）は、置換気体室１８側の受圧面４０ｇの受圧面積（置換ピストンロッド４０の先端面の面積）と等しくなるように設計されている。従って、置換ピストン１０の両面側に掛る荷重は、等しくなるので、バランスがとれるようになる。
【００５７】
（５）センサ手段１４は、１個設けられていること。このセンサ手段１４は、被検ロッド４１の先端部を検出するリミットスイッチなどの接触センサであるが、置換ピストン１０、又は、ピストンロッド４０の先端部を検知する非接触センサを用いることもできる。
【００５８】
この実施例において、第１実施例と同様に、絞り弁Ｖは、必ずしも必要ではなく、必要に応じて適宜省略することも可能であり、又、前記置換気体室１８は直接本体気体室８に連結し、両者８、１８を一体的に形成しても良い。なお、置換気体室１８を、分岐部３を介して本体液体室に連通する代替液体室に変更し、置換液体室１７を本体気体室８に連通する代替置換気体室に変更することもできる。
【００５９】
第７実施例
本発明の第７実施例を図７により説明するが、図６と同一図面符号は、その名称も機能も同一である。この実施例と第６実施例との主なる相違点は、センサ手段１４が、被検ロッド４１の長手方向に沿って複数（１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ，１４Ｄ）配設されていることである。これらのセンサ１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ，１４Ｄは、必要に応じて適宜配設されるが、例えば、前記第４実施例（図４）で説明した要領で配設される。
【００６０】
第８実施例
本発明の第８実施例を図８により説明するが、図６と同一図面符号は、その名称も機能も同一である。この実施例と第６実施例との主なる相違点は、センサ手段１４を被検ロッド４１の端面４１ａに対向して配設したことである。
【００６１】
第９実施例
本発明の第９実施例を図９により説明するが、図６と同一図面符号は、その名称も機能も同一である。この実施例と第６実施例との主なる相違点は、第２シリンダ１２Ｂは貫通シリンダであり、その出入口が本体気体室８内に位置していることである。この出入口には、スリットＳの付いた規制板Ｐが設けられている。
【００６２】
このスリットＳを用いる理由は、液体側が分流合流弁４により絞られているので、ガス側にも同様に絞りを入れて気体液体の流入速度を等しくするためであるが、必ずしも必要ではなく、規制板Ｐを省略し、出入口を全開しても良い。この実施例では、置換気体室１８は、直接、本体気体室８に連結され、両者８，１８は一体に形成されている。
【００６３】
第１０実施例
本発明の第１０実施例を図１０により説明するが、図１と同一図面符号は、その名称も機能も同一である。この実施例と第１実施例との主なる相違点は次の通りである。
（１）本実施例は、置換シリンダの他に、支持シリンダを設け、前記置換シリンダにおける受圧面の不足分を前記支持シリンダで補充するようにしたことである。
（２）置換ピストン１０の置換液体室１７側の受圧面１０ｓに、被検ロッド７１が置換シリンダ１２から突出して設けられ、該被検ロッド７１の先端に水平状の被検連結バー７４が固定されていること。
【００６４】
（３）前記置換シリンダ１２の側部には、支持シリンダ７２が並設されており、前記支持シリンダ７２の支持ピストン７０は、前記支持シリンダ７２内を支持液体室７７と大気開放部７８を仕切り、前記支持液体室７７は、前記置換液体室１７に連通している。前記支持ピストン７０の支持液体室７７側の受圧面７０ｓには、支持ロッド７９が支持シリンダ７２から突出して立設され、その先端は前記被検連結バー７４に連結されている。
【００６５】
（４）前記被検ロッド７１の横断面積（直径方向の断面積）は、支持ロッド７９の横断面積（直径方向の断面積）より大きく形成されている。これらの横断面積は、置換ピストン１０の受圧面積（置換ピストン１０の径方向の断面積−被検ロッドの径方向の断面積）と支持ピストン７０の受圧面積（支持ピストン７０の径方向の断面積−支持ロッド７９の径方向の断面積）との総和が、前記置換ピストン１０の置換気体室１８側の受圧面積（置換ピストン１０の受圧面１０ｇの面積）と等しくなるように設計されている。従って、置換ピストン１０の両面側に掛る荷重は、等しくなるので、バランスがとれるようになる。
（５）センサ手段１４として、被検連結バー７４を検出する接触スイッチが用いられるが、置換ピストン１０、被検ロッド７１、支持ロッド７９などを検出する非接触センサを用いることも可能である。
【００６６】
この実施例では、支持シリンダ７２を１個配設する例を示したが、この支持シリンダ７２は置換シリンダ１２の両側に対向させて一対配置し、被検ロッド４１を両側から支持する様にしても良い。又、第１実施例と同様に、絞り弁Ｖは、必ずしも必要ではなく、必要に応じて適宜省略することも可能であり、又、前記置換気体室１８は直接本体気体室８に連結し、両者８、１８を一体的に形成しても良い。
【００６７】
この実施例において、置換気体室１８を本体液体室７に連通する代替液体室に変更し、置換液体室１７及び支持液体室７７を本体気体室８に連通する代替置換気体室及び支持気体室に変更することもできる。
【００６８】
第１１実施例
本発明の第１１実施例を図１１により説明するが、図１と同一図面符号は、その名称も機能も同一である。この実施例と前記第１実施例との主なる相違点は、次の通りである。
（１）本実施例は、単体の置換シリンダを２つに仕切り、各シリンダ室に置換液体室を設けたことである。即ち、置換シリンダ１２が仕切壁６１により第１シリンダ室１２Ａと第２シリンダ室１２Ｂに分割され、第１シリンダ室１２Ａは第１ピストン６０ａにより置換第１液体室１７ａと大気開放部２６に仕切られ、第２シリンダ室１２Ｂは第２ピストン６０ｂにより置換第２液体室１７ｂと置換気体室１８に仕切られている。
【００６９】
（２）第２ピストン６０ｂの置換第２液体室１７ｂ側の面６０ｓ２には、置換シリンダ室１２から突出するピストン本体６２が立設され、該ピストン本体６２には前記第１ピストン６０ａが固定されている。
【００７０】
（３）前記第１ピストン６０ａの置換第１液体室１７ａ側の面６０ｓ１の受圧面積は、第１ピストン６０ａの横断面積（径方向の断面積）−ピストンロッド本体６２の横断面積（径方向の断面積）、であり、又、第２ピストン６０ｂの置換第２液体室１７ｂ側の受圧面６０ｓ２の受圧面積は第２ピストン６０ｂの横断面積（径方向の断面積）−ピストンロッド本体６２の横断面積、であり、これらの受圧面積の総和は、第２ピストン６０ｂの横断面積（先端面６０ｇの面積）と等しくなるように設計されている。従って、ピストン本体６２に掛る互いに反対方向の荷重（力）は、等しくなるので、バランスがとれるようになる。
（４）センサ手段は、ピストンロッド本体６２の先端を検出する接触センサであるが、第１ピストン、又は、第２ピストン６０ｂの摺動位置を検出する非接触センサを用いることができる。
【００７１】
この実施例において、第１実施例と同様に、前記絞り弁Ｖは、必ずしも必要ではなく、必要に応じて適宜省略することも可能であり、又、前記置換気体室１８は直接本体気体室８に連結し、両者８，１８を一体的に形成しても良い。なお、置換気体室１８を本体液体室７に連通する代替置換液体室に変更し、置換第１及び第２液体室１７ａ，１７ｂを本体気体室に連通する代替代置換第１及び第２気体室に変更することもできる。
【００７２】
第１２実施例
この発明の第１２実施例を図１２により説明するが、図１と同一図面符号はその名称も機能も同一である。本実施例と第１実施例（図１）との主なる相違点は、次の通りである。
（１）置換ピストン１０の置換液体室１７側の面１０ｓには、置換シリンダ１２から突出する被検ロッド９１が立設されている。そのため、前記面１０ｓ側における受圧面積（置換ピストン１０の横断面積（径方向の断面積）−被検ロッド９１の横断面積（径方向の断面積）は、置換気体室１８側の受圧面積(径方向の断面積)より小さくなっている。
【００７３】
（２）変圧シリンダ９２が設けられていること。この変圧シリンダ９２は、増圧器であり、第１ピストン９０ａを内蔵する第１シリンダ９２ａと、該第１シリンダ９２ａより小径の第２シリンダ９２ｂから構成されている。前記第１ピストン９０ａの大気開放部２６側の面９０ｔには、ピストンロッド９３が設けられ、その先端部は、第２ピストン９０ｂとして第２シリンダ９２ｂに挿入され、第２液体室９７ｂが形成されている。前記第１液体室９７ａは分岐部３を介して本体液体室７に連通している。
【００７４】
（３）第２シリンダ９２ｂは、第１シリンダ９２ａの底部に凹設されており、この第２シリンダ９２ｂは前記大気開放部２６を介して前記第１シリンダ９２ａに対向している。前記第２液体室９７ｂは、パイプ９９を介して置換液体室１７に接続されているが、このパイプ９９にはバルブ１００が設けられている。このバルブ１００は、パイプ９９に液体を注入したり、置換液体室１７及び第２液体室９７ｂの液体を完全に排出させたりする際などに操作される。
【００７５】
（４）前記置換ピストン１０の置換液体室１７側の受圧面積（置換ピストン１０の径方向の断面積―被検ロッドの径方向の断面積）と、置換気体室１８側の受圧面積（置換ピストン１０の直径方向の断面積）の割合は、前記第１ピストン９０ａの第１液体室９７ａ側の受圧面積（第１ピストン９０ａの径方向の断面積）と第２液体室９７ｂの受圧面積（第２ピストンの径方向の断面積）の割合と等しくなるように設計されている。
【００７６】
本実施例では、液圧回路１の液圧が増大すると、液体（作動液）が分岐部３を介して本体液体室７と第１液体室９７ａに流れ込む。前記本体液体室７に流入した液体は、ブラダ６を押圧するので、前記本体液体室７の体積が大きくなるとともに、本体気体室８は圧縮されて体積が小さくなるので、ガス圧が上昇する。
【００７７】
一方、第１液体室９７ａに流れ込んだ液体は、第１ピストン９０ａを第２液体室９７ｂ側に押圧しながら該第１液体室９７ａの体積を大きくするとともに、前記ピストンロッド９３が摺動する。そのため、第２液体室９７ｂ内の液体は押圧され、パイプ９９を介して置換液体室１７内に送り込まれる。この時、第１ピストン９０ａの第１液体室９７ａ側の受圧面積は、前記第２ピストン９０ｂの受圧面（ピストンロッド９３の端面）の受圧面積より大きいので、第２液体室９７ｂ内の液体は増大された液圧力を受けることになる。
【００７８】
例えば、前記第２ピストン９０ｂの受圧面積が第１ピストン９０ａの受圧面積の１／４であれば、第２液体室９７ｂ内の液体にかかる圧力は、４倍となり、又、置換ピストン１０の液体室１７側の受圧面積が、置換気体室１８側の受圧面積の１／４である場合には、第２液体室９８内の液体にかかる圧力は４倍となる。
【００７９】
そのため、互いに連通している第２液体室９７ｂと置換液体室１７の液圧は互いに打ち消し合う（キャンセル）ので、結局、本体気体室８のガス圧縮率は置換気体室１８のガス圧縮率となり、前記両者のガス圧は等しくなるとともに、本体液体室７の液圧は第１液体室９７aの液圧となり前記両液圧は等しくなる。この様にして前記変圧シリンダ９２は、増圧器の機能を果たすことができる。
【００８０】
なお、本実施例において、次の様にして変圧シリンダを減圧器に変更することも可能である。
（１）置換シリンダ１２の置換液体室１７は、本体気体室８に連通する代替置換気体室に変更する。又、置換気体室１８は代替置換液体室とし、給水管９９を介して第１液体室９７ａに接続する。更に、第２液体室９７ｂは分岐部３を介して本体液体室７に連通させる。
（２）この実施例では、液圧回路１の液圧が増大すると、液体（作動液）が分流部３を介して本体液体室７と第２液体室９７ｂに流れ込む。前記本体液体室７に流入した液体は、ブラダ６を押圧するので、前記本体液体室７の体積が大きくなるとともに、本体気体室８は圧縮されて体積が小さくなるので、ガス圧が上昇する。
【００８１】
一方、第２液体室９７ｂに流れ込んだ液体は、第２ピストン９０ｂを第１液体室９７ａ側に押圧しながら該第２液体室９７ｂの体積を大きくするとともに、前記ピストンロッド９３が摺動して第１液体室９７ａ内の液体を押圧して代替置換液体室内に送り込む。この時、第１ピストン９０aの第１液体室９７ａ側の受圧面積は、前記第２ピストンの受圧面（ピストンロッド９３の先端面）の受圧面積より大きいので、第１液体室９７ａ内の液体は減圧された液圧力を受けることになる。
【００８２】
例えば、前記第２ピストン９０ｂの受圧面積が第１ピストン９０ａの受圧面積の１／４であれば、第１液体室９７ａ内の液体にかかる圧力は、１／４倍となり、又、置換ピストン１０の代替置換気体室側の受圧面積が、代替置換液体室側の受圧面積の１／４倍である場合には、代替置換気体室にかかる圧力は１／４倍となる。
【００８３】
そのため、互いに連通している第１液体室９７ａと代替置換液体室の液圧は互いに打ち消し合う（キャンセル）ので、結局、本体気体室８のガス圧は代替置換気体室１８のガス圧縮率となり両者のガス圧は等しくなる。又、本体液体室７の液圧は第２液体室９７ｂの液圧となる。この様にして前記変圧シリンダ９２を減圧器として利用することができる。
【００８４】
この第１２実施例において、第１実施例と同様に、前記絞り弁Ｖは、必ずしも必要ではなく、必要に応じて適宜省略することも可能であり、又、前記置換気体室１８は、例えば、第９実施例（図９）に示す様に、直接本体気体室８に連結し、両者８、１８を一体的に形成しても良い。
【００８５】
第１３実施例
この発明の第１３実施例を図１３により説明するが、図１と同一図面符号はその名称も機能も同一である。本実施例と第１実施例（図１）との主なる相違点は、検知器本体の置換分離部材としてベローズ１１０を用いていることである。このベローズ１１０は、検知器本体である置換シリンダ内を置換液体室１７と置換気体室１８とに仕切るものであり、直筒状に形成され、その上端部は前記置換液体室１８の天面から離間して配設されている。前記ベローズ１１０の下端部は置換液体室１７の底部に固定され、その上端部はシール板１１３により閉鎖されている。前記ベローズ１１０の内部は所定圧のガスが封入された置換気体室１８となっている。前記シール板１１３の外周部には、磁石２０が埋設されている。
【００８６】
この実施例では、液圧回路１の液圧変動により液圧が上昇すると、ベローズ１１０に掛る液圧が大きくなり、前記ベローズ１１０が押圧されて縮む。そのため、置換気体室１８の体積が小さくなり、ガス圧が上昇するとともに、液圧とガス圧が等しくなった状態になると、ベローズ１１０の伸縮は停止する。又、逆に液圧が降下すると、ガスが膨張してベローズ１１０を押し上げるため、置換気体室１８の体積が大きくなるので、ガス圧は低下する。この様に本実施例では、ベローズ１１０の伸縮に伴って変位する、シール板１１３の磁石２０をセンサ手段１４で検出することにより、ガス圧縮率を検知し、ガス圧低下をチェックする。
【００８７】
この第１３実施例において、第１実施例と同様に、前記絞り弁Ｖは、必ずしも必要ではなく、必要に応じて適宜省略することも可能であり、又、前記置換気体室１８は、例えば、第９実施例（図９）に示す様に、直接本体気体室８に連結し、両者８、１８を一体的に形成しても良い。
【符号の説明】
【００８８】
１      液圧回路
３      分岐部
４      流量規制手段
６      分離部材
７      本体液体室
８      本体気体室
１０    置換ピストン
１２    置換シリンダ
１４    センサ手段
１７    置換液体室
１８    置換気体室
２２    ピストン部
２３    ピストン部
２６    大気開放部
３０    被検ロッド
４０    ピストンロッド
４１    被検ロッド    
５２    補助液体室
６２    ピストン本体
７０    支持ピストン
７１    被検ロッド
７２    支持シリンダ
７４    被検連結バー
７７    支持液体室
７８    大気開放室
９２    変圧シリンダ
９３    ピストンロッド
９７ａ  第１液体室
９７ｂ  第２液体室
１１０  ベローズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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