(57)【要約】【課題】スパッタイオンポンプの起動率を高くできるＸ線イメージ管を提供する。【解決手段】Ｘ線イメージ管は、Ｘ線イメージ管本体11および電源部を備える。Ｘ線イメージ管本体11は、入射したＸ線を光に変換する入力蛍光面23と、入力蛍光面23で変換された光を光電子に変換する光電面24と、光電面24で変換された光電子を加速集束させる複数の電極25を含む電子レンズ26と、電子レンズ26で加速集束された光電子が入射してこの光電子を光に変換する出力蛍光面27と、入力蛍光面23、光電面24および電子レンズ26を収容するとともに出力蛍光面27が設けられた真空外囲器20と、真空外囲器20内を減圧するスパッタイオンポンプ40とを有する。電源部は、スパッタイオンポンプ40を動作させる際、スパッタイオンポンプ40に対してスパッタイオンポンプ40を起動させる起動トリガ電圧を印加してから所定の動作電圧を印加する。【選択図】図１
2020043041.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射したＸ線を光に変換する入力蛍光面と、この入力蛍光面で変換された光を光電子に変換する光電面と、この光電面で変換された光電子を加速集束させる複数の電極を含む電子レンズと、この電子レンズで加速集束された光電子が入射してこの光電子を光に変換する出力蛍光面と、前記入力蛍光面、前記光電面および前記電子レンズを収容するとともに前記出力蛍光面が設けられた真空外囲器と、この真空外囲器内を減圧するスパッタイオンポンプとを有するＸ線イメージ管本体と、
前記スパッタイオンポンプを動作させる際、前記スパッタイオンポンプに対して前記スパッタイオンポンプを起動させる起動トリガ電圧を印加してから所定の動作電圧を印加する電源部と
を具備することを特徴とするＸ線イメージ管。
【請求項２】
前記スパッタイオンポンプは、筒状の陽極、この陽極の中心軸方向の両側に配置される２つの陰極、前記陽極の中心軸方向に磁場を与える永久磁石、この永久磁石の外側で磁場を形成しかつ遮蔽するヨーク、前記陽極および前記陰極を収容するとともに前記真空外囲器に連通する真空外囲器部を備える
ことを特徴とする請求項１記載のＸ線イメージ管。
【請求項３】
前記電源部は、前記電子レンズの前記電極に供給する一部の電圧を前記スパッタイオンポンプの前記陽極に印加し、前記スパッタイオンポンプの前記陰極はＧＮＤ電位とする
ことを特徴とする請求項２記載のＸ線イメージ管。
【請求項４】
前記電源部は、前記電子レンズの前記電極に供給する一部の電圧を分圧する分割抵抗を有し、この分割抵抗で分圧された電圧を前記スパッタイオンポンプの前記陽極に印加し、前記スパッタイオンポンプの前記陰極はＧＮＤ電位とする
ことを特徴とする請求項２記載のＸ線イメージ管。
【請求項５】
前記電源部は、前記電子レンズの前記電極に供給する一部の電圧を分圧する分割抵抗を有し、前記電子レンズの前記電極に供給する一部の電圧を前記スパッタイオンポンプの前記陽極に印加し、前記分割抵抗で分圧された電圧を前記スパッタイオンポンプの前記陰極に印加する
ことを特徴とする請求項２記載のＸ線イメージ管。
【請求項６】
前記電源部は、前記Ｘ線イメージ管の視野制御に応じて前記電子レンズの前記電極に供給する電圧を変化させ、前記起動トリガ電圧は変化させる電圧のうちの最も高い電圧とする
ことを特徴とする請求項３ないし５いずれか一記載のＸ線イメージ管。
【請求項７】
前記電源部は、前記Ｘ線イメージ管の視野制御に応じて前記電子レンズの前記電極に供給する電圧を変化させ、前記起動トリガ電圧は変化させる電圧のうちの視野が最も狭い電圧に合わせる
ことを特徴とする請求項３ないし５いずれか一記載のＸ線イメージ管。
【請求項８】
前記電源部は、前記スパッタイオンポンプ用の専用電源であり、この専用電源からの電圧を前記スパッタイオンポンプの前記陽極に印加し、前記スパッタイオンポンプの前記陰極はＧＮＤ電位とする
ことを特徴とする請求項２記載のＸ線イメージ管。
【請求項９】
前記Ｘ線イメージ管本体を収容する管容器を具備し、
前記電源部は、前記管容器の内側および外側のいずれか一方に配置される
ことを特徴とする請求項１ないし８いずれか一記載のＸ線イメージ管。
【請求項１０】
少なくとも出力蛍光面側を開放して前記Ｘ線イメージ管本体の周囲に配置され、外部からの磁気を遮蔽する磁気遮蔽部を具備する
ことを特徴とする請求項１ないし９いずれか一記載のＸ線イメージ管。
【請求項１１】
前記Ｘ線イメージ管本体のＸ線入射側に配置され、外部からの外部磁界を打ち消す磁界を発生する磁界発生部を具備する
ことを特徴とする請求項１ないし１０いずれか一記載のＸ線イメージ管。
【請求項１２】
少なくともＸ線入射側を開放して前記Ｘ線イメージ管本体の周囲に配置され、前記Ｘ線イメージ管本体の外部に漏洩するＸ線を遮蔽するＸ線遮蔽部を具備する
ことを特徴とする請求項１ないし１１いずれか一記載のＸ線イメージ管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、スパッタイオンポンプを備えたＸ線イメージ管に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線イメージ管は、真空外囲器内の圧力が高くなると、出力蛍光面に形成される画像の画質が低下したり寿命が短くなるなどの不具合があり、それらの対策として真空外囲器内の圧力の上昇を抑制するための一般的な手段の１つであるスパッタイオンポンプが用いられている。
【０００３】
このスパッタイオンポンプを動作させるには、Ｘ線イメージ管が単視野形の場合、高圧電源からＸ線イメージ管の各電極に供給される一部の電圧をスパッタイオンポンプの陽極に印加し、スパッタイオンポンプの陰極はＧＮＤ電位にするか、もしくは、高圧電源からＸ線イメージ管の各電極に供給される一部の電圧を分割抵抗などで任意の電圧に分圧してスパッタイオンポンプの陽極に印加し、スパッタイオンポンプの陰極はＧＮＤ電位にする方法が一般的である。また、Ｘ線イメージ管が可変視野形の場合、高圧電源からＸ線イメージ管の各電極に供給される一部の電圧をスパッタイオンポンプの陽極に印加し、高圧電源からＸ線イメージ管の各電極に供給される一部の電圧を分割抵抗などで任意の電圧に分圧してスパッタイオンポンプの陰極に印加する方法が一般的である。その他には、高圧電源かその他の電源にスパッタイオンポンプ用の専用電源を備え、その専用電源から供給される電圧をスパッタイオンポンプの陽極に印加し、スパッタイオンポンプの陰極はＧＮＤ電位にする方法もある。この専用電源を用いる場合には、Ｘ線イメージ管の単視野形や可変視野形に制限はない。そして、スパッタイオンポンプの陽極と陰極の間に印加する電圧は、スパッタイオンポンプの排気能力や耐電圧特性、それらを考慮した外形寸法、高圧電源やその他の電源の設定電圧の仕様を考慮すると、０．５ｋＶ〜１０ｋＶ／ＤＣが適当である。
【０００４】
因みに、スパッタイオンポンプの動作開始のタイミングや動作時間は、Ｘ線イメージ管と同じか、専用電源の予め設定された任意の条件によって決まる。そして、動作開始したスパッタイオンポンプは、動作電圧が動作開始時点の印加電圧よりも低くなった場合においても動作を継続しやすい特徴を有している。
【０００５】
スパッタイオンポンプが動作を開始するためには、電場と磁場が形成されたスパッタイオンポンプ内部の陽極と陰極で囲まれた範囲内において、その範囲内に存在する気体分子が陽極と陰極の間での電気的放電によりイオン化するか、宇宙線などの放射線の衝突によってイオン化するか、強制的に陽極と陰極で囲まれた範囲内に電子を放出してその電子の衝突によってイオン化するなど、それらのイオンが陰極に入射することが必要である。
【０００６】
しかしながら、真空外囲器内の圧力が低く、気体分子が少ない場合、もしくはスパッタイオンポンプの陽極と陰極の間の耐電圧が高く、放電しにくい場合、もしくはスパッタイオンポンプの陽極と陰極の間の電圧差が少ない場合には、スパッタイオンポンプは動作を開始しない場合がある。
【０００７】
そのため、高圧電源からＸ線イメージ管の各電極に供給される一部の電圧をスパッタイオンポンプに供給する場合には、Ｘ線イメージ管が単視野形か可変視野形かによってはスパッタイオンポンプへの動作電圧が必ずしもスパッタイオンポンプの動作開始に最適な電圧とはならず、スパッタイオンポンプが起動しないことがある。また、専用電源からスパッタイオンポンプに電圧を供給する場合にも、スパッタイオンポンプへの印加電圧が必ずしもスパッタイオンポンプの動作開始に最適な電圧とはならず、スパッタイオンポンプが起動しないことがある。
【０００８】
このように、動作電圧を印加してもスパッタイオンポンプが起動しない場合には、Ｘ線イメージ管の真空外囲器内の圧力が高くなってしまい、出力蛍光面に形成される画像の画質低下や寿命が短くなるなどの不都合が生じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０００−２５１８０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、スパッタイオンポンプの起動率を高くできるＸ線イメージ管を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本実施形態のＸ線イメージ管は、Ｘ線イメージ管本体および電源部を備える。Ｘ線イメージ管本体は、入射したＸ線を光に変換する入力蛍光面と、入力蛍光面で変換された光を光電子に変換する光電面と、光電面で変換された光電子を加速集束させる複数の電極を含む電子レンズと、電子レンズで加速集束された光電子が入射してこの光電子を光に変換する出力蛍光面と、入力蛍光面、光電面および電子レンズを収容するとともに出力蛍光面が設けられた真空外囲器と、真空外囲器内を減圧するスパッタイオンポンプとを有する。電源部は、スパッタイオンポンプを動作させる際、スパッタイオンポンプに対してスパッタイオンポンプを起動させる起動トリガ電圧を印加してから所定の動作電圧を印加する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１の実施形態を示すＸ線イメージ管のＸ線イメージ管本体の断面図である。
【図２】同上Ｘ線イメージ管本体を管容器に収納したＸ線イメージ管の断面図である。
【図３】同上Ｘ線イメージ管の高圧電源を管容器の内側に配置した断面図である。
【図４】同上Ｘ線イメージ管のスパッタイオンポンプの断面図である。
【図５】同上Ｘ線イメージ管が可変視野形の場合の高圧電源およびスパッタイオンポンプの回路図である。
【図６】同上Ｘ線イメージ管が可変視野形の場合の印加電圧を示すグラフである。
【図７】第２の実施形態を示す磁気遮蔽部を備えたＸ線イメージ管の断面図である。
【図８】第３の実施形態を示す磁気遮蔽部を備えたＸ線イメージ管の断面図である。
【図９】第４の実施形態を示す磁界発生部を備えたＸ線イメージ管の断面図である。
【図１０】第５の実施形態を示すＸ線遮蔽部を備えたＸ線イメージ管の断面図である。
【図１１】第６の実施形態を示すＸ線イメージ管のスパッタイオンポンプの断面図である。
【図１２】第７の実施形態を示すＸ線イメージ管のスパッタイオンポンプの断面図である。
【図１３】第８の実施形態を示すＸ線イメージ管の高圧電源を管容器の外側に配置した断面図である。
【図１４】第９の実施形態を示すＸ線イメージ管が単視野形の場合の高圧電源およびスパッタイオンポンプの回路図である。
【図１５】第１０の実施形態を示すＸ線イメージ管が単視野形の場合の高圧電源およびスパッタイオンポンプの回路図である。
【図１６】第１１の実施形態を示すＸ線イメージ管が単視野形の場合の印加電圧を示すグラフである。
【図１７】第１２の実施形態を示すＸ線イメージ管の高圧電源が備える専用電源およびスパッタイオンポンプの回路図である。
【図１８】第１３の実施形態を示すＸ線イメージ管のその他の電源が備える専用電源およびスパッタイオンポンプの回路図である。
【図１９】第１４の実施形態を示すＸ線イメージ管に専用電源で印加する印加電圧を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、第１の実施形態を、図１ないし図６を参照して説明する。
【００１４】
図１ないし図３に示すように、Ｘ線イメージ管10は、Ｘ線像を可視光像に変換するインサート管であるＸ線イメージ管本体11、このＸ線イメージ管本体11を収容する管容器12、およびＸ線イメージ管本体11に電源を供給する電源部13等を備えている。
【００１５】
そして、Ｘ線イメージ管本体11は、真空外囲器20を備えている。この真空外囲器20には、Ｘ線の入射窓である入力面21、およびこの入力面21に対して反対側に出力窓である出力面22が設けられている。真空外囲器20内には、入力面21から入射するＸ線を光に変換する入力蛍光面23、この入力蛍光面23で変換された光を光電子に変換する光電面24、この光電面24で変換された光電子を加速集束させる複数の電極25を含む電子レンズ26、およびこの電子レンズ26で加速集束された光電子が入射してこの光電子を光に変換する出力蛍光面27等を備えている。複数の電極25には、入力面21を構成する入力基板である陰極30、第１の集束電極（Ｇ１電極）31、第２の集束電極（Ｇ２電極）32、第３の集束電極（Ｇ３電極）33、および陽極34が含まれる。なお、入力蛍光面23の基板や集束電極31〜33の一部は真空外囲器20を兼ねていてもよい。
【００１６】
Ｘ線イメージ管本体11は、スパッタイオンポンプ40を備えている。図４に示すように、スパッタイオンポンプ40は、筒状の陽極41、この陽極41の中心軸方向の両側に配置される２つの陰極42、陽極41の中心軸方向に磁場を与える永久磁石43、この永久磁石43の外側で磁場を形成しかつ遮蔽するヨーク44、陽極41および陰極42を収容する真空外囲器部45を備えている。陽極41は、円筒形や多角形の筒状構造もしくは円筒形や多角形の筒状を２つ以上で構成されたハニカム構造に形成されている。永久磁石43は、本実施形態では両方の陰極42側に設置されているが、一方の陰極42側にのみに配置されていてもよい。そして、スパッタイオンポンプ40は、真空外囲器20の外面に気密に固定されているとともに、スパッタイオンポンプ40に設けられた連通孔46を通じて真空外囲器部45内と真空外囲器20内とが連通されている。挿通孔46は、陰極42、真空外囲器部45、永久磁石43およびヨーク44を貫通して設けられている。
【００１７】
また、図３に示すように、管容器12は、Ｘ線イメージ管本体11を収容する。管容器12は、Ｘ線イメージ管本体11の出力面22は露出させた状態で、Ｘ線イメージ管本体11の出力面22を覆っている。
【００１８】
また、電源部13は、複数の電極25およびスパッタイオンポンプ40に電圧を印加する高圧電源50である。高圧電源50は、管容器12の内側に配置され、ケーブル51によってＸ線イメージ管本体11側に接続されている。
【００１９】
図５に示すように、高圧電源50は、接地されるＧＮＤ端子、真空外囲器20に接続される０Ｖ端子、陰極30に接続される陰極端子、第１の集束電極（Ｇ１電極）31に接続される出力１端子、第２の集束電極（Ｇ２電極）32に接続される出力２端子、第３の集束電極（Ｇ３電極）33に接続される出力３端子、陽極34に接続される出力４端子を備えている。そして、高圧電源50は、陰極30、各集束電極31〜33および陽極34毎に、所定の電圧を印加する。一例として、陰極30には０Ｖ、第１の集束電極31には０．２ｋＶ、第２の集束電極32には１ｋＶ、第３の集束電極33には３〜１０ｋＶ、陽極34および出力面22には３０ｋＶの電圧がそれぞれ印加される。そして、第３の集束電極33に印加する電圧を変化させることにより、低電圧側では入力面21の広い範囲を出力面22に映し、高電圧側では入力面21の中央部の狭い範囲を出力面22に拡大して映し、視野調整が可能となっている。したがって、この高圧電源50を用いたＸ線イメージ管10は、視野調整が可能な可変視野形である。
【００２０】
電源部13は、高圧電源50の出力３端子と０Ｖ端子との間に接続された複数の分割抵抗52，53，54を有している。高圧電源50の出力３端子がスパッタイオンポンプ40の陽極41に接続され、分割抵抗52と分割抵抗53との間がスパッタイオンポンプ40の陰極42に接続されている。したがって、電源部13である高圧電源50は、電子レンズ26の集束電極31〜33に供給する一部の電圧（第３の集束電極33に供給する電圧）を分圧する分割抵抗52〜54を有し、電子レンズ26の集束電極31〜33に供給する一部の電圧（第３の集束電極33に供給する電圧）をスパッタイオンポンプ40の陽極41に印加し、分割抵抗52〜54で分圧された電圧をスパッタイオンポンプ40の陰極42に印加し、スパッタイオンポンプ40を動作させる。なお、高圧電源50から（第３の集束電極33に供給する電圧）供給する電圧は視野調整に応じて変化するため、スパッタイオンポンプ40に供給する電圧も視野調整に応じて変化する。
【００２１】
そして、電源部13である高圧電源50は、スパッタイオンポンプ40を動作させる際、スパッタイオンポンプ40に対してスパッタイオンポンプ40を起動させる起動トリガ電圧を印加してから所定の動作電圧を印加する。すなわち、高圧電源50は、Ｘ線イメージ管本体11の動作させるために第３の集束電極33に所定の動作電圧を印加する際、まず、スパッタイオンポンプ40を起動させるための起動トリガ電圧を瞬間的もしくは一時的に印加し、その起動トリガ電圧の印加後に、第３の集束電極33を動作させるための所定の動作電圧に印加するように、電圧の切換制御を行う。
【００２２】
次に、Ｘ線イメージ管10の動作を説明する。
【００２３】
Ｘ線管から被写体にＸ線を照射し、被写体を透過したＸ線をＸ線イメージ管10の入力面21に入射する。入力面21から入射するＸ線を入力蛍光面23で光に変換し、この入力蛍光面23で変換された光を光電面24で光電子に変換し、この光電面24で変換された光電子を電子レンズ26で出力蛍光面27へ向けて加速集束し、この電子レンズ26で加速集束された光電子を出力蛍光面27に入射し、この出力蛍光面27で光電子を光に変換し、出力蛍光面27に可視光像を結像する。出力蛍光面27の可視光像を例えばカメラで撮像し、このカメラで撮像される映像に基づいて検査や診断を行う。
【００２４】
図６に、Ｘ線イメージ管10が可変視野形の場合の印加電圧を示す。すなわち、視野１、２、３毎に異なる電圧がスパッタイオンポンプ40に印加される際の印加電圧の推移を示す。視野１は、第３の集束電極33に供給する電圧を低くして、入力面21の広い範囲を出力面22に映す標準モードである。視野３は、第３の集束電極33に供給する電圧を高くして、入力面21の中央部の狭い範囲を出力面22に拡大して映す拡大モードである。視野２は、視野１と視野３の中間のモードである。
【００２５】
そして、視野１から視野３においてスパッタイオンポンプ40に印加される電圧は、スパッタイオンポンプ40の陽極41と陰極42の間の絶縁破壊電圧Ｚには到達していないものの、視野１と視野２はスパッタイオンポンプ40の最適動作電圧Ａより低く、視野３は最適動作電圧Ａより高い。
【００２６】
ここで、Ｘ線イメージ管10の動作開始時、仮に、高圧電源50が起動トリガ電圧を印加しないで、視野１の電圧から視野３の電圧の順に印加した場合、始めの視野１の電圧および視野２の電圧を印加してもスパッタイオンポンプ40が起動せず、視野３の電圧を印加した際に漸くスパッタイオンポンプ40が起動する可能性がある。
【００２７】
これに対し、本実施形態では、Ｘ線イメージ管10の動作開始時、高圧電源50がスパッタイオンポンプ40の最適動作電圧Ａ以上かつスパッタイオンポンプ40の陽極41と陰極42の間の絶縁破壊電圧Ｚ未満の起動トリガ電圧を瞬間的もしくは一時的に印加することで、スパッタイオンポンプ40を高い確率で起動させることできる。スパッタイオンポンプ40は一度動作を開始すれば、印加電圧を極端に低くするか、もしくは印加電圧を停止するか、もしくは真空外囲器20内の圧力が極端に低くなるまで動作を継続する特徴を有しているため、起動トリガ電圧以降に視野１の電圧まで低下させたとしても、スパッタイオンポンプ40の動作は継続することが期待できる。
【００２８】
このように、本実施形態のＸ線イメージ管10では、スパッタイオンポンプ40を動作させる際、スパッタイオンポンプ40に対して、所定の動作電圧を印加する前に、スパッタイオンポンプ40を起動させる起動トリガ電圧を印加するため、スパッタイオンポンプ40の起動率を高くできる。そのため、Ｘ線イメージ管10の真空外囲器20内の圧力を低く維持できることで、出力蛍光面に形成される画像の画質低下や寿命が短くなるなどの性能や信頼性の低下を抑制することができる。
【００２９】
また、Ｘ線イメージ管10の視野制御に応じて電子レンズ26の電極25（第３の集積電極33）に供給する電圧を変化させる場合、起動トリガ電圧は変化させる電圧のうちの最も高い電圧とすることにより、起動トリガ電圧を絶縁破壊電圧Ｚ未満に設定し、スパッタイオンポンプ40の起動率を高くできる。
【００３０】
さらに、Ｘ線イメージ管10の視野制御に応じて電子レンズ26の電極25（第３の集積電極33）に供給する電圧を変化させる場合、起動トリガ電圧は変化させる電圧のうちの視野が最も狭い電圧（視野３の電圧）とすることにより、起動トリガ電圧を絶縁破壊電圧Ｚ未満に設定し、スパッタイオンポンプ40の起動率を高くできる。
【００３１】
次に、図７ないし図９に第２ないし第４の実施形態を示す。これら実施形態は、外部からＸ線イメージ管本体11への磁気の遮蔽あるいは低減させる磁気遮蔽構造を備えている。
【００３２】
図７に示す第２の実施形態では、Ｘ線イメージ管本体11の出力面22を除くＸ線イメージ管本体11の周囲に、例えばパーマロイ等の高透磁率材料で形成された磁気遮蔽部60が配設されている。
【００３３】
図８に示す第３の実施形態では、Ｘ線イメージ管本体11の入力面21および出力面22を除くＸ線イメージ管本体11の周囲に、例えばパーマロイ等の高透磁率材料で形成された磁気遮蔽部60が配設されている。
【００３４】
図９に示す第４の実施形態では、Ｘ線イメージ管本体11の入力面21の周囲に、外部からの磁気を打ち消すための磁界を発生するコイルである磁界発生部62が配設されている。なお、磁界発生部62は、上述した各実施形態と組み合わせてもよい。
【００３５】
次に、図１０に第５の実施形態を示す。この第５の実施形態では、Ｘ線イメージ管本体11の入力面21および出力面22を除くＸ線イメージ管本体11の周囲に、Ｘ線イメージ管本体11に入射したＸ線が外部に漏洩するのを防止するために、Ｘ線を遮蔽または低減させる例えば鉛等のＸ線吸収率の高い材料によって形成されたＸ線遮蔽部64が配設されている。なお、Ｘ線遮蔽部64は、上述した各実施形態と組み合わせてもよい。
【００３６】
次に、図１１および図１２に第６および第７の実施形態を示す。これら実施形態は、スパッタイオンポンプ40の構成を示す。
【００３７】
図１１に示す第６の実施形態では、図４に示す第１の実施形態のスパッタイオンポンプ40の構成に対して、挿通孔46は真空外囲器部45およびヨーク44のみを貫通して設けられている。
【００３８】
図１２に示す第７の実施形態では、図４に示すスパッタイオンポンプ40の構成に対して、永久磁石43がヨーク44を兼ね、さらに、挿通孔46は真空外囲器部45のみを貫通して設けられている。
【００３９】
なお、これら実施形態のように構成されたスパッタイオンポンプ40は、上述した各実施形態と組み合わせてもよい。
【００４０】
次に、図１３に第８の実施形態を示す。第８の実施形態では、高圧電源50が管容器12の外側に配置され、高圧電源50とＸ線イメージ管本体11とがケーブル51で接続されている。
【００４１】
なお、この実施形態のように配置される高圧電源50は、上述した各実施形態と組み合わせてもよい。
【００４２】
次に、図１４ないし図１６に第９ないし第１１の実施形態を示す。これらの実施形態は、視野が固定となる単視野形のＸ線イメージ管10で、このＸ線イメージ管10用の電源部13が高圧電源50を備える場合である。
【００４３】
図１４に示す第９の実施形態では、高圧電源50の出力３端子がスパッタイオンポンプ40の陽極41に接続され、スパッタイオンポンプ40の陰極42が０Ｖ端子に接続されている。これにより、電源部13である高圧電源50は、電子レンズ26の集束電極31〜33に供給する一部の電圧（第３の集束電極33に供給する電圧）をスパッタイオンポンプ40の陽極41に印加し、スパッタイオンポンプ40の陰極42はＧＮＤ電位とし、スパッタイオンポンプ40を動作させる。
【００４４】
図１５に示す第１０の実施形態では、高圧電源50の出力３端子と０Ｖ端子との間に接続された複数の分割抵抗52，53，54を有している。分割抵抗52と分割抵抗53との間がスパッタイオンポンプ40の陽極41に接続され、スパッタイオンポンプ40の陰極42が０Ｖ端子に接続されている。これにより、電源部13である高圧電源50は、電子レンズ26の集束電極31〜33に供給する一部の電圧（第３の集束電極33に供給する電圧）を分圧する分割抵抗52〜54を有し、分割抵抗52〜54で分圧された電圧をスパッタイオンポンプ40の陽極41に印加し、スパッタイオンポンプ40の陰極42はＧＮＤ電位とし、スパッタイオンポンプ40を動作させる。
【００４５】
そして、図１６にはスパッタイオンポンプ40に印加される印加電圧の推移を示す。電源部13である高圧電源50は、スパッタイオンポンプ40を動作させる際、スパッタイオンポンプ40に対してスパッタイオンポンプ40を起動させる起動トリガ電圧を印加してから所定の動作電圧を印加する。すなわち、高圧電源50は、Ｘ線イメージ管本体11を動作させるために第３の集束電極33に所定の動作電圧を印加する際、まず、スパッタイオンポンプ40を起動させるための起動トリガ電圧を瞬間的もしくは一時的に印加し、その起動トリガ電圧の印加後に、第３の集束電極33を動作させるための所定の動作電圧に印加するように、電圧の切換制御を行う。
【００４６】
このように、単視野形のＸ線イメージ管10の場合でも、スパッタイオンポンプ40を動作させる際、スパッタイオンポンプ40に対して、所定の動作電圧を印加する前に、スパッタイオンポンプ40を起動させる起動トリガ電圧を印加するため、スパッタイオンポンプ40の起動率を高くできる。そのため、Ｘ線イメージ管10の真空外囲器20内の圧力を低く維持できることで、出力蛍光面27に形成される画像の画質低下や寿命が短くなるなどの性能や信頼性の低下を抑制することができる。
【００４７】
次に、図１７ないし図１９に第１２ないし第１４の実施形態を示す。これら実施形態では、電源部13がスパッタイオンポンプ40用の専用電源70を備える場合である。
【００４８】
図１７に示す実施形態では、高圧電源50が専用電源70を備えている。
【００４９】
図１８に示す実施形態では、高圧電源50とは異なるその他の電源が専用電源70を備えている。
【００５０】
これら専用電源70は、スパッタイオンポンプ40を動作させる際、スパッタイオンポンプ40に対してスパッタイオンポンプ40を起動させる起動トリガ電圧を印加してから所定の動作電圧を印加する。これら専用電源70は、Ｘ線イメージ管10が可変視野形および単視野形のいずれにも対応可能としている。
【００５１】
図１９にはスパッタイオンポンプ40に印加される印加電圧の推移を示す。電源部13である専用電源70は、スパッタイオンポンプ40を動作させる際、スパッタイオンポンプ40に対してスパッタイオンポンプ40を起動させる起動トリガ電圧を印加してから所定の動作電圧を印加する。すなわち、専用電源70は、スパッタイオンポンプ40を動作させる際、まず、スパッタイオンポンプ40を起動させるための起動トリガ電圧を瞬間的もしくは一時的に印加し、その起動トリガ電圧の印加後に、スパッタイオンポンプ40を動作させるための所定の動作電圧に印加するように、電圧の切換制御を行う。
【００５２】
このように、スパッタイオンポンプ40を動作させる際、スパッタイオンポンプ40に対して、所定の動作電圧を印加する前に、スパッタイオンポンプ40を起動させる起動トリガ電圧を印加するため、スパッタイオンポンプ40の起動率を高くできる。そのため、Ｘ線イメージ管10の真空外囲器20内の圧力を低く維持できることで、出力蛍光面に形成される画像の画質低下や寿命が短くなるなどの性能や信頼性の低下を抑制することができる。
【００５３】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００５４】
10    Ｘ線イメージ管
11    Ｘ線イメージ管本体
12    管容器
13    電源部
20    真空外囲器
23    入力蛍光面
24    光電面
25    電極
26    電子レンズ
27    出力蛍光面
40    スパッタイオンポンプ
41    陽極
42    陰極
43    永久磁石
44    ヨーク
45    真空外囲器部
52，53，54    分割抵抗
60    磁気遮蔽部
62    磁界発生部
64    Ｘ線遮蔽部
70    専用電源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2020043041.tif 000009
【図８】
2020043041.tif 000010
【図９】
2020043041.tif 000011
【図１０】
2020043041.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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