(57)【要約】      （修正有）【課題】生産プロセスを精度良く解析可能なデータセットを簡便に生成するデータセットの生成方法を提供する。【解決手段】連続処理の生産プロセスの解析に用いられるデータセット６の作成方法は、装置に設けられたセンサが検出するプロセスデータ及びプロダクトデータを含む一次元データを生産プロセスのロット毎に収集するステップと、一次元データをロット毎に並べた二次元データであるデータセットを作成するステップと、を含む。そして、一次元データは、所定の数式で規定されるデータ収集タイミングに応じて抽出されたプロセスデータ又はプロダクトデータに基づいて作成される。【選択図】図１
2020126500.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続処理する複数の工程で構成され、製品又はサービスを生産する生産プロセスの解析に用いられるデータセットの作成方法であって、
前記工程毎の装置に設けられたセンサが検出する前記工程毎の状態示すプロセスデータ及び前記製品又はサービスの品質を示すプロダクトデータを含む一次元データを前記生産プロセスのロット毎に収集するステップと、
前記一次元データをロット毎に並べた二次元データであるデータセットを作成するステップと、
を含み、
前記一次元データは、以下の数式で規定されるデータ収集タイミングに応じて抽出されたプロセスデータ又はプロダクトデータに基づいて作成されることを特徴とするデータセットの作成方法。
【数１】
2020126500.tif 000011
但し、Tj(m) : m番目の装置におけるデータ収集タイミング、j : ロット番号(1≦j≦J)、Tj* : 製品のサンプリング時間、M : プロセス内の装置の総数、Dj,m : m番目の装置における製品の滞留時間とする。
【請求項２】
請求項１記載のデータセットの作成方法において、
前記一次元データは、以下の数式に応じてセットして作成されることを特徴とするデータセットの作成方法。
【数２】
2020126500.tif 000012
但し、i(m,b) : m番目の装置におけるb番目のセンサで検出したプロセスデータ、b : m番目の装置に設けられたセンサの数(b = 1,‥, Bm)とする。ただし、Bo=0。
【請求項３】
バッチ処理する複数の工程で構成され、製品又はサービスを生産する生産プロセスの解析に用いられるデータセットの作成方法であって、
前記バッチ処理を行う装置に設けられたセンサが検出する各工程に対応する単位操作毎の状態を示すプロセスデータ及び前記単位操作内でセンサが検出を行うタイミングに対応するイベント毎の状態を示すプロセスデータ並びに前記製品又はサービスの品質を示すプロダクトデータを含む一次元データを前記生産プロセスのロット毎に収集するステップと、
前記一次元データをロット毎に並べた二次元データであるデータセットを作成するステップと、を含み、
前記一次元データは、以下の数式に応じてセットして作成されることを特徴とするデータセットの作成方法。
【数３】
2020126500.tif 000013
但し、i(m,s,e,b) : m番目の装置、s番目の単位操作、e番目のイベント及びb番目のセンサで検出したプロセスデータ、s =ｍ番目の装置内の単位操作(s = 1,‥Sm)、e : m番目の装置、s番目の単位操作内のイベント(e = 1,‥Em,s)、b : m番目の装置に設けられたセンサの数(b = 1,‥Bm)とする。ただし、So=0、Eo,s=0、 Em,o=0、 Bo=0。
【請求項４】
請求項３記載のデータセットの作成方法において、
前記センサが前記イベントで取得したプロセスデータの数にロット間でバラつきが存在する場合には、以下の数式に応じて特定された最も少ない最短処理時間対象バッチのプロセスデータの数に統一することを特徴とするデータセットの作成方法。
【数４】
2020126500.tif 000014
但し、h(m,s) : 最短処理時間対象バッチ、Tj(m,s,e) : m番目の装置、s番目の単位操作、e番目のイベントにおけるプロセスデータを収集するタイミングとする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の工程で構成され、製品又はサービスを生産する生産プロセスの解析に用いられるデータセットの作成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
製品を製造する生産プロセスでは、自動化された製造設備による工程や作業者による手作業の工程を含む。また、パーツ洗浄や医薬品開発における治験結果の解析等のサービスを提供する生産プロセスでは、洗浄装置や解析装置による工程や作業者による手作業の工程を含む。
【０００３】
このような製品製造やサービス提供を行う生産プロセスでは、設備の運転状況、作業員の作業状況、原料や製品のハンドリングの仕方等によってロット間で製品やサービスの品質にバラつきが生じる。
【０００４】
製品の品質のばらつきを抑制するために、製品の製造プロセスに関するプロダクトデータ及びプロセスデータに主成分分析及びクラスター分析を適用して製造プロセスのロットを複数のグループに区分し、グループ間の優劣に寄与するデータである阻害要因を特定するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
このような製造プロセスの解析方法では、グループ間の優劣に寄与する阻害要因を特定することにより、製造プロセスが効率的良く改善されるため、ロット間の製品の品質を向上させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第５９５６０９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
生産プロセスは、複数の工程を連続で処理するもの又は複数の工程をバッチで処理するものに大別されるところ、それぞれについて特有の事情を考慮した上でプロダクトデータ及びプロセスデータを取得して解析に用いるデータセットを生成しなければ、生産プロセスを正しく解析できないという問題があった。
【０００８】
例えば、複数の装置を経て原料から製品を連続処理で生産するような生産プロセスでは、サンプリングした製品に対応する原料や半製品に関するプロセスデータを適切に取得できず、正しく解析できない虞があった。
【０００９】
また、チャンバ内で原料を反応させて製品をバッチ処理で生産するような生産プロセスでは、各工程の開始時間、反応時間等が周辺環境に応じてロット毎に微調整されることがあり、ロット間でプロセスデータが対応せず、正しく解析できない虞があった。
【００１０】
さらに、解析対象となる製品やサービスのプロダクトデータ及びプロセスデータをコンピュータ等に読み込ませて、上述したような生産プロセスの解析方法を適用する場合には、予めそれらのデータを項目ごとに順序良く整理する必要がある。
【００１１】
そこで、生産プロセスを精度良く解析可能なデータセットを簡便に得るために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明は、この課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を達成するために、本発明に係るデータセットの作成方法は、連続処理する複数の工程で構成され、製品又はサービスを生産する生産プロセスの解析に用いられるデータセットの作成方法であって、前記生産プロセスを構成する装置に設けられたセンサが検出する前記工程毎の状態示すプロセスデータ及び前記製品又はサービスの品質を示すプロダクトデータを含む一次元データを前記生産プロセスのロット毎に収集するステップと、前記一次元データをロット毎に並べた二次元データであるデータセットを作成するステップと、を含み、前記一次元データは、以下の数式で規定されるデータ収集タイミングに応じて抽出されたプロセスデータ又はプロダクトデータに基づいて作成される。
【数１】
2020126500.tif 000003
但し、Tj(m) : m番目の装置におけるデータ収集タイミング、j : ロット番号(1≦j≦J)、Tj* : 製品のサンプリング時間、M : プロセス内の装置の総数、Dj,m : m番目の装置における製品の滞留時間とする。
【００１３】
この構成によれば、プロダクトデータを得るために製品がサンプリングされた時間Tj*から（ｍ＋１）番目の装置ないしM番目の装置までの滞在時間Dj,m+1,‥, Dj,Mの総和を減じることにより、サンプリングされた製品等に対応する原料、半製品等がｍ番目の装置内に存在していた時間が算定される。そして、センサが常時又は断続的に測定するプロセスデータのうち装置内に原料、半製品等が存在していた時間におけるプロセスデータを抽出することにより、製品等の処理経過を考慮したプロセスデータを取得することができる。そして、各プロセスデータを所定の順番で並べることにより、サンプリングされた製品の経過を考慮した適切な二次元データ（データセット）を生成することができる。
【００１４】
本発明に係るデータセットの作成方法は、前記一次元データが、以下の数式に応じてセットして作成されることが好ましい。
【数２】
2020126500.tif 000004
但し、i(m,b) : m番目の装置におけるb番目のセンサで検出したプロセスデータ、b : m番目の装置に設けられたセンサの数(b = 1,‥, Bm)とする。ただし、Bo=0。
【００１５】
この構成によれば、m番目の装置におけるb番目のセンサで測定されたプロセスデータは、1番目ないし(m-1)番目までの装置に設けられたセンサで測定した全プロセスデータの後のｂ番目に配置されるように一次元データを生成することができる。
【００１６】
また、上記課題を達成するために、本発明に係るデータセットの作成方法は、バッチ処理する複数の工程で構成され、製品又はサービスを生産する生産プロセスの解析に用いられるデータセットの作成方法であって、前記バッチ処理を行う装置に設けられたセンサが検出する各工程に対応する単位操作毎の状態を示すプロセスデータ及び前記単位操作内でセンサが検出を行うタイミングに対応するイベント毎の状態を示すプロセスデータ並びに前記製品又はサービスの品質を示すプロダクトデータを含む一次元データを前記生産プロセスのロット毎に収集するステップと、前記一次元データをロット毎に並べた二次元データであるデータセットを作成するステップと、を含み、前記一次元データは、以下の数式に応じてセットして作成される。
【数３】
2020126500.tif 000005
但し、i(m,s,e,b) : m番目の装置、s番目の単位操作、e番目のイベント及びb番目のセンサで検出したプロセスデータ、s =ｍ番目の装置内の単位操作(s = 1,‥Sm)、e : m番目の装置、s番目の単位操作内のイベント(e = 1,‥Em,s)、b : m番目の装置に設けられたセンサの数(b = 1,‥Bm)とする。ただし、So=0、Eo,s=0、 Em,o=0、 Bo=0。
【００１７】
この構成によれば、m番目の装置、s番目の単位操作、e番目のイベント及びb番目のセンサで検出したプロセスデータが、1番目ないし(m-1)番目までの装置、単位操作、イベントに設けられたセンサで測定した全プロセスデータ、m番目の装置、1番目ないし(m-1)番目の単位操作、イベントに設けられたセンサで測定した全プロセスデータ、m番目の装置、m番目の単位操作、1番目ないし(m-1)番目のイベントに設けられたセンサで測定した全プロセスデータの後のｂ番目に配置されるような一次元データが自動で生成可能なため、各プロセスデータが所定の順番で並べることにより、解析に適した二次元データ（データセット）を生成することができる。
【００１８】
本発明に係るデータセットの作成方法は、前記センサが前記イベントで取得したプロセスデータの数にロット間でバラつきが存在する場合には、以下の数式に応じて特定された最短処理時間対象バッチのイベントで取得したプロセスデータの数に統一することが好ましい。
【数４】
2020126500.tif 000006
但し、h(m,s) : 最短処理時間対象バッチ、Tj(m,s,e) : m番目の装置、s番目の単位操作、e番目のイベントにおけるプロセスデータを収集するタイミングとする。
【００１９】
この構成によれば、ロット毎に同一の単位操作の処理時間を算出し、最も短い処理時間のロット（最短処理時間対象バッチ）のイベント数に他のロットのイベント数を統一する。これにより、ロット間でイベント数が異なる場合であっても、イベントの数が統一されたデータセットを作成することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明は、生産プロセスの特徴を考慮して適切な生成された二次元データ（データセット）を用いて生産プロセスを精度良く解析することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態に係るデータセット生成方法を実行するシステムの構成を示すブロック図。
【図２】連続処理を行う生産プロセスの流れを示す模式図。
【図３】図２の生産プロセスに関するデータセットを示す図。
【図４】バッチ処理を行う生産プロセスの流れを示す模式図。
【図５】最短処理時間対象バッチの概要を示す模式図。
【図６】図４の生産プロセスに関するデータセットを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下では、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。
【００２３】
本実施形態に係る方法で生成されたデータセットは、生産プロセスの解析方法に用いられる。生産プロセスとは、製品（物）を製造するプロセス又はサービスを提供するプロセスである。生産プロセスには、機械設備のみで構成されて全ての工程が自動化されたプロセス等である。
【００２４】
生産プロセスは、複数の工程で構成されている。なお、「工程」とは、個々の処理毎に設定されても、複数の処理を総括して設定されても構わない。
【００２５】
生産プロセスを構成する各機器には、種々の値を測定する図示しないセンサが設けられている。センサの測定対象は、原料の投入量、装置内の温度・圧力、単位時間当たりの処理量等である。センサは、生産プロセスを構成する装置を制御する制御装置に測定値を送る。
【００２６】
制御装置は、センサが測定した製品の生産条件を示すプロセスデータ及び製品の品質を示すプロダクトデータに基づいて解析を行う。プロセスデータは、製品の品質に影響し得る因子であり工程の状態を示す状態量であって、例えば生産プロセスの生産条件（製造設備の運転条件等）、原料の条件（原料の物性、組成等）等を含む。解析方法の具体的な内容は、例えば、上述した特許文献に記載された手順等である。なお、制御装置は、後述するデータセット自動生成システム１として機能するものであっても構わない。
【００２７】
このような生産プロセスの解析方法では、ロット毎のプロセスデータ及びプロダクトデータを所定のフォーマットで整理したデータセットを制御装置に入力する必要がある。
【００２８】
図１は、データセットを自動で生成するシステム１の構成を示すブロック図である。データセット自動生成システム１は、プロセスデータベース２を備えている。プロセスデータベース２は、生産プロセスを構成する各工程に関するデータが格納されている。
【００２９】
また、データセット自動生成システム１には、各種センサが測定するプロセス情報３、レシピ情報４及び品質情報５が入力される。プロセス情報とは、生産プロセスを構成する装置に関する情報、装置に取り付けられたセンサが検出した情報等である。レシピ情報とは、工程に対応する単位操作の手順、内容等に関する情報である。品質情報とは、原料及び製品の品質等に関する情報である。なお、プロセス情報、レシピ情報及び品質情報は、これら全てが必須ではなく、データセットを生成する上で必要なものが適宜選択される。
【００３０】
データセット自動生成システム１は、プロセスデータベース２、プロセス情報３、レシピ情報４及び品質情報５に基づいて、データセット６の生成処理を行う。以下、データセット自動生成システム１がデータセットを自動で生成する生成処理について説明する。
【００３１】
まず、生産プロセスが、連続処理である場合について説明する。図２は、連続処理を行う生産プロセスの流れを示す模式図である。
【００３２】
本生産プロセスは、直列に接続された工程を経てロット毎に製品を生産するものであり、M個の装置で構成されている。各装置は、例えば、原料を加熱する加熱炉、原料を反応させる反応炉等である。なお、ｊ番目のロットにおける装置ｍ内での滞留時間をDjmと称す。
【００３３】
各装置には、プロセスデータを測定するセンサが設けられている。装置ｍには、センサ１〜Ｂｍが取り付けられている。また、装置１〜Ｍを経て生成された製品から所定の数だけサンプリングされたもののプロダクトデータを測定する図示しないセンサが設けられている。
【００３４】
各センサは、常時または予め定められたタイミング毎にプロセスデータの測定を行う。すなわち、センサの測定は、製品の生成過程を考慮して、サンプリングされた製品に対応する原料、半製品に関するプロセスデータが抽出されるものではない。
【００３５】
そこで、データセット自動生成システム１は、数式１に基づいて、大量のプロセスデータのなかからサンプリングされた製品に対応する原料、半製品のプロセスデータを抽出する。
【００３６】
【数１】
2020126500.tif 000007
但し、Tj(m) : m番目の装置におけるデータ収集タイミング、j : ロット番号(1≦j≦J)、Tj* : 製品のサンプリング時間、M : プロセス内の装置の総数、Dj,m : m番目の装置における製品の滞留時間とする。なお、データ収集タイミングとは、データを収集し始めたタイミング等を起点（ゼロ）としてその起点からの通算時間とする。
【００３７】
数式１に基づけば、プロダクトデータを得るために製品等がサンプリングされた時間Tj*から（ｍ＋１）番目の装置ないしM番目の装置までの滞在時間Dj, m+1,‥, Dj,Mの総和を減じることにより、サンプリングされた製品等に対応する半製品等がｍ番目の装置内に存在していた時間が算定される。
【００３８】
例えば、図２に示す生産プロセスの場合、製品をサンプリングした時間(11:30)から最後の装置Ｍ内での滞在時間DjMを減じることにより、製品が装置Ｍ内に滞在していた時間（例えば、10:00）が算定される。
【００３９】
また、製品が装置m内に滞在していた時間は、製品のサンプリング時間から装置m〜装置Ｍの滞在時間Djm〜DjMの総和を減じることにより算定され、図２に示すプロセスの場合には、製品が装置m内に滞在していた時間（8:45）が算定される。
【００４０】
同様に、製品が装置１内に滞在していた時間は、製品のサンプリング時間から装置１〜装置Ｍの滞在時間Dj1〜ＤjMの総和を減じることにより算定され、図２に示すプロセスの場合には、製品が装置１内に滞在していた時間（7:15）が算定される。
【００４１】
そして、そして、センサが常時又は断続的に測定するプロセスデータのうち装置内に原料、半製品等が存在していた時間におけるプロセスデータを抽出することにより、製品等の処理経過を考慮したプロセスデータを取得することができる。
【００４２】
また、このように抽出されたプロセスデータは、数式２に基づいて、一次元データを生成する。なお、「一次元データ」とは、装置毎、センサ毎のプロセスデータを所定の順番で並べたものを意味する。
【００４３】
【数２】
2020126500.tif 000008
但し、i(m,b) : m番目の装置におけるb番目のセンサで検出したプロセスデータ、b : m番目の装置に設けられたセンサの数(b = 1,‥Bm)とする。ただし、Bo=0。
【００４４】
数式２によれば、m番目の装置におけるb番目のセンサで測定されたプロセスデータは、1番目ないし(m-1)番目までの装置に設けられたセンサで測定した全プロセスデータの後のｂ番目に配置されるように一次元データを生成することができる。
【００４５】
例えば、一次元データは、装置１内のセンサ１〜Ｂ1、装置２内のセンサ１〜Ｂ２、・・・装置ｍ内のセンサ１〜Ｂｍ、・・・装置Ｍ内のセンサ１〜ＢＭの順にプロセスデータを並べることで生成される。
【００４６】
そして、一次元データをロット毎に並べて二次元データ（データセット）を生成する。図３は、プロダクトデータに関する二次元データの構成を示す模式図である。図３では、縦軸にロット番号ｊ（１≦ｊ≦J）、横軸に各ロットの一次元データ（装置毎、センサ毎のプロセスデータ）を記載している。
【００４７】
このようにして、プロダクトデータを取得した製品が各装置を経由した際のプロセスデータを抽出した二次元データを自動生成することができる。すなわち、自動生成システム１は、式１、２に基づいて、サンプリングした製品に対応する原料、半製品等のプロセスデータを大量のプロセスデータから生成過程を考慮して抽出し、且つ抽出したプロセスデータを２次元のデータセットに自動で加工する。そして、このようなデータセットを用いることにより、生産プロセスの解析を精度良く行うことができる。
【００４８】
次に、生産プロセスが、バッチ処理である場合について説明する。図４は、バッチ処理を行う生産プロセスの流れを示す模式図である。
【００４９】
本生産プロセスは、１つの装置のみで構成されたものに限定されず、複数の装置を直列に接続するものであっても構わない。
【００５０】
バッチ処理の生産プロセスでは、装置内で様々な工程（単位操作）を経て製品が生産される。各単位操作は、例えば、原料を加熱するもの、原料を反応させるもの、反応後に半製品を冷却するもの等である。また、単位操作によって要する時間が異なる。
【００５１】
本生産プロセスでは、装置内にセンサが設けられている。装置ｍには、センサ１〜Ｂｍが取り付けられている。各センサは、サンプリングされた製品の品質情報（プロダクトデータ）の他に、単位操作毎にプロセスデータを取得し、さらに単位操作内でも所定時間（イベント）毎にプロセスデータを取得して製品の推移を把握している。なお、装置ｍを経て生成された製品から所定の数だけサンプリングされたもののプロダクトデータを測定する図示しないセンサが設けられている。
【００５２】
そこで、データセット自動生成システム１は、数式３に基づいて、大量のプロセスデータのなかからサンプリングされた製品に対応する原料、半製品のプロセスデータを抽出して、一次元データを生成する。
【００５３】
【数３】
2020126500.tif 000009
但し、i(m,s,e,b) : m番目の装置、s番目の単位操作、e番目のイベント及びb番目のセンサで検出したプロセスデータ、s =ｍ番目の装置内の単位操作(s = 1,‥Sm)、e : m番目の装置、s番目の単位操作内のイベント(e = 1,‥Em,s)、b : m番目の装置に設けられたセンサの数(b = 1,‥Bm)とする。ただし、So=0、Eo,s=0、 Em,o=0、 Bo=0。
【００５４】
例えば、図４に示す生産プロセスの場合、ｍ番目の装置内においてバッチ処理を行う。そして、各単位操作１〜Ｓｍの開始時におけるプロセスデータ及びサンプリングした製品のプロダクトデータを取得する。図４に図示する生産プロセスでは、単位操作１（原料仕込開始）が7:15、単位操作ｓ（反応開始）が9:00、単位操作Ｓｍ（冷却開始）が12:00、サンプリングが13:10である。
【００５５】
また、単位操作のうちイベントが設定されているもの（図４では単位操作ｓ）については、各イベントにおけるプロセスデータを取得する。図４では、単位操作ｓが開始してから２０分ごとにプロセスデータを取得する。
【００５６】
そして、数式３に基づいて、m番目の装置、s番目の単位操作、e番目のイベント及びb番目のセンサで検出したプロセスデータを、１番目ないし(m-1)番目までの装置、単位操作、イベントに設けられたセンサで測定した全プロセスデータ、m番目の装置、1番目ないし(m-1)番目の単位操作、イベントに設けられたセンサで測定した全プロセスデータ、m番目の装置、m番目の単位操作、1番目ないし(m-1)番目のイベントに設けられたセンサで測定した全プロセスデータの後のｂ番目に配置するように一次元データを生成する。
【００５７】
なお、単位操作内のイベントの数は、装置の運転環境等に応じて増減することがある。換言すれば、同じ単位操作であっても、ロット間でイベントの数が一致しないことがある。例えば、装置内で原料を反応させる単位操作では、装置周辺の温度が高いと反応が促進され、反応が短時間で収束することがある一方、装置周辺の温度が低いと反応が遅れて、反応が長期化することがある。
【００５８】
ロット間でイベント数が異なる場合には、解析を行う上ではデータセット上のイベント数は統一する必要があるところ、データセット自動生成システム１は、数式４に基づいて、ロット間のイベント数の調整を行う。
【００５９】
【数４】
2020126500.tif 000010
但し、h(m,s) : 最短処理時間対象バッチ、Tj(m,s,e) : m番目の装置、s番目の単位操作、e番目のイベントにおけるプロセスデータを収集するタイミングとする。なお、データ収集タイミングとは、データを収集し始めたタイミング等を起点（ゼロ）としてその起点からの通算時間である。
【００６０】
数式４によれば、ロット間でイベント数が異なる場合には、まず各ロットにおける同一の単位操作の処理時間を算出し、最も短い処理時間のロット（最短処理時間対象バッチ）のイベント数に他のロットのイベント数を統一する。具体的には、最短処理時間対象バッチのイベント数を超えるイベントを考慮しないことにより、全ロットでイベント数を統一する。
【００６１】
数式４の内容を模式的に示す図５に基づいて、詳しく説明する。例えば、１〜Ｊまでのロットが存在する場合、１回目のロットとＪ回目のロットとを比較すると、Ｊ回目のロットの方が長い処理時間であることが分かる。同様に、全てのロットについて処理時間を比較し、最も短い処理時間h(m,s)のロットを特定し、このロットにおけるイベント数Em,sを導く。
【００６２】
そして、全てのロットについて、イベントｅ（１≦ｅ≦Em,s）に対応するプロセスデータを抽出して、一次元データを生成する。
【００６３】
さらに、一次元データをロット毎に並べて二次元データ（データセット）を生成する。図６は、プロダクトデータに関する二次元データの構成を示す模式図である。図６では、縦軸にロット番号ｊ（１≦ｊ≦J）、横軸に各ロットの一次元データ（装置毎、単位操作毎、イベント毎、センサ毎のプロセスデータ）を記載している。
【００６４】
このようにして、装置毎、単位操作毎、イベント毎及びセンサ毎のプロセスデータを抽出した二次元データを自動生成することができる。そして、このような二次元データを用いることにより、生産プロセスの解析を精度良く行うことができる。
【００６５】
なお、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変をなすことができ、そして、本発明が該改変されたものにも及ぶことは当然である。
【００６６】
本発明における「生産プロセス」とは、製品（物）を製造するプロセス又はサービスを提供するプロセスを含むものである。すなわち、生産プロセスとは、物を製造するプロセスに限定されない。生産プロセスで提供されるサービスとは、例えば、パーツ洗浄や医薬品開発における治験結果の解析等のサービスが含まれる。
【符号の説明】
【００６７】
１  ・・・  データセット自動生成システム
２  ・・・  プロセスデータベース
３  ・・・  プロセス情報
４  ・・・  レシピ情報
５  ・・・  品質情報
６  ・・・  データセット
【図１】
2020126500.tif 000015
【図２】
2020126500.tif 000016
【図３】
2020126500.tif 000017
【図４】
2020126500.tif 000018
【図５】
2020126500.tif 000019
【図６】
2020126500.tif 000020