(57)【要約】【課題】コストダウンを図ると共に、ヘッド素子の変位量を増大してヘッド素子の応答特性を向上し、加えて小型化を実現することができるヘッド支持機構を提供する。【解決手段】ヘッド支持機構２は、ヘッド素子７を有するスライダ３と、スライダ３を支持するスライダ支持板２１と、スライダ支持板２１を支持するロードビーム２２と、ロードビーム２２の先端部２２ａ近傍に設けられ、スライダ支持板２１を回転自在に支持する支点突起２３と、スライダ支持板２１を、支点突起２３を中心に回動させる駆動手段２４と、駆動手段２４と重ね合わせて設けられ、駆動手段２４を支持する駆動手段支持部２５とを備える。駆動手段支持部２５は、幅狭部３１と、幅狭部３１を基準としてロードビーム２２の先端部２２ａ側および後端部２２ｂ側の双方に設けられた一対の幅広部３２，３３とを有する。【選択図】図５
2020077444.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッド素子を有するスライダと、
前記スライダを支持するスライダ支持板と、
前記スライダ支持板を保持するロードビームと、
前記ロードビームの先端部近傍に設けられ、前記スライダ支持板を回転自在に支持する支点突起と、
前記スライダ支持板を、前記支点突起を中心に回動させる駆動手段と、
前記駆動手段と重ね合わせて設けられ、当該駆動手段を支持する駆動手段支持部と、を備え、
前記駆動手段支持部は、幅狭部と、前記幅狭部を基準として前記ロードビームの先端部側および後端部側の少なくとも一方に設けられた少なくとも１つの幅広部と、を有し、
前記スライダの主面に垂直な方向の投影面において、前記駆動手段支持部が、前記支点突起と重なる位置に配置される、ヘッド支持機構。
【請求項２】
配線基板を構成するフレクシャを更に備え、
前記フレクシャは、少なくとも、金属基板で構成されるフレクシャ基板を有し、
前記幅狭部及び前記少なくとも１つの幅広部は、前記フレクシャ基板の一部を構成している、請求項１記載のヘッド支持機構。
【請求項３】
前記フレクシャは、金属基板で構成されるフレクシャ基板と、前記金属基板上に積層された絶縁層とを有し、
前記駆動手段支持部が、前記フレクシャのうちの前記金属基板で構成される前記フレクシャ基板の一部を構成しており、
前記駆動手段が、前記絶縁層の前記金属基板とは反対側の面に取り付けられる、請求項２記載のヘッド支持機構。
【請求項４】
前記駆動手段支持部は、幅狭部と、前記幅狭部を基準として前記ロードビームの先端部側および後端部側の双方に設けられた一対の幅広部とを有し、
前記幅狭部および前記一対の幅広部が、前記駆動手段支持部の幅方向をＸ方向、前記ロードビームの後端部側から先端部側に向かう方向をＹ方向とするＸ−Ｙ平面上の双曲線（ｘ２／ａ２−ｙ２／ｂ２＝１）に沿った外縁形状を有し、
前記双曲線に存在する２つの漸近線の交点が、前記支点突起よりも前記ヘッド素子側に位置している、請求項１または２記載のヘッド支持機構。
【請求項５】
前記スライダの主面に垂直な方向の投影面において、前記駆動手段支持部が、前記駆動手段に包含される位置に配置され、かつ、前記駆動手段が、前記スライダと重なる位置に配置される、請求項１または２記載のヘッド支持機構。
【請求項６】
前記フレクシャ基板は、
前記駆動手段よりも前記ロードビームの先端部側に位置する第１端部と、
前記駆動手段よりも前記ロードビームの後端部側に位置する第２端部と、
を有し、
前記スライダが、前記第１端部に固定され、
前記第１端部と前記第２端部が、前記駆動手段支持部を介して連結されている、請求項２〜５のいずれか１項に記載のヘッド支持機構。
【請求項７】
前記駆動手段は、一の圧電材料を有するか、又は複数の圧電材料が積層された積層構造を有する圧電素子である、請求項１〜６のいずれか１項に記載のヘッド支持機構。
機構。
【請求項８】
前記駆動手段は、
一つの圧電層と、
前記圧電層に設けられた第一電極膜および第二電極膜、並びに前記第一電極膜および前記第二電極膜にそれぞれ対向配置された第三電極膜および第四電極膜と、
を有する、請求項７記載のヘッド支持機構。
【請求項９】
前記駆動手段は、
第一圧電層および第二圧電層と、
前記第一圧電層に設けられた第一電極膜および第二電極膜、前記第一圧電層と前記第二圧電層の間に設けられた第三電極膜、および前記第二圧電層の前記第三電極膜とは反対側に、前記第一電極膜および第二電極膜にそれぞれ対向配置された第四電極膜および第五電極膜と、
前記第一電極膜および第四電極膜に接続された第一パッド、前記第二電極膜および第五電極膜に接続された第二パッド、および前記第三電極膜に設けられた第三パッドと、
を有する、請求項７記載のヘッド支持機構。
【請求項１０】
前記駆動手段の平面視において、前記第三パッドは、前記第一電極膜と前記第二電極膜の間に配置されている、請求項９記載のヘッド支持機構。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載のヘッド支持機構を備える磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッド支持機構および磁気ディスク装置に関し、例えば、磁気ディスク装置内に設けられたヘッド素子を回動可能に支持するヘッド支持機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、データ容量の増大と小型化のニーズに伴い、磁気ディスク装置に設けられた磁気ディスクの高記録密度化が進んでいる。磁気ディスクの高記録密度化を実現するためには、磁気ヘッドを磁気ディスクの記録トラックに高精度に位置決めする必要がある。そこで、従来、磁気ヘッドを支持するヘッド支持バネ機構を圧電素子により微小駆動させるヘッド支持機構がある。
【０００３】
このようなヘッド支持機構として、例えば、磁気ヘッドスライダと、この磁気ヘッドスライダの中心部を軸として当該磁気ヘッドスライダを水平に回転させるマイクロアクチュエータと、磁気ヘッドスライダとマイクロアクチュエータとを支持するサスペンションと、を備えるヘッド支持機構が提案されている（特許文献１）。このヘッド支持機構では、マイクロアクチュエータは、ベース部、可動プレート部及びベース部と可動プレートとを連結するリードビームを有する支持フレームと、ベース部と可動プレートとを連結する２つの圧電部材とを備えており、リードビームは、磁気ヘッドスライダの水平遥動を補助するピボット部を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−９９９５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来技術では、支持フレームの両側に一対の圧電部材を設ける構成であるため、２つ分の圧電部材のコストが掛かる。また、上記従来技術では、支持フレームの両側に一対の圧電部材を設ける構成であって、圧電部材と支点突起が離れて位置していることから、ヘッド素子の変位量が低い。更に、上記従来技術において、ヘッド素子の変位量を高めるために圧電部材を支点突起に近づけようとすると、共振周波数ピークが低下してヘッド素子の周波数応答特性が低下する。
【０００６】
本発明の目的は、コストダウンを図ると共に、ヘッド素子の変位量を増大しつつ周波数応答特性を向上することができるヘッド支持機構および磁気ディスク装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
［１］ヘッド素子を有するスライダと、
前記スライダを支持するスライダ支持板と、
前記スライダ支持板を保持するロードビームと、
前記ロードビームの先端部近傍に設けられ、前記スライダ支持板を回転自在に支持する支点突起と、
前記スライダ支持板を、前記支点突起を中心に回動させる駆動手段と、
前記駆動手段と重ね合わせて設けられ、当該駆動手段を支持する駆動手段支持部と、を備え、
前記駆動手段支持部は、幅狭部と、前記幅狭部を基準として前記ロードビームの先端部側および後端部側の少なくとも一方に設けられた少なくとも１つの幅広部と、を有し、
前記スライダの主面に垂直な方向の投影面において、前記駆動手段支持部が、前記支点突起と重なる位置に配置される、ヘッド支持機構。
［２］配線基板を構成するフレクシャを更に備え、
前記フレクシャは、少なくとも、金属基板で構成されるフレクシャ基板を有し、
前記幅狭部及び前記少なくとも１つの幅広部は、前記フレクシャ基板の一部を構成している、上記［１］記載のヘッド支持機構。
［３］前記フレクシャは、金属基板で構成されるフレクシャ基板と、前記金属基板上に積層された絶縁層とを有し、
前記駆動手段支持部が、前記フレクシャのうちの前記金属基板で構成される前記フレクシャ基板の一部を構成しており、
前記駆動手段が、前記絶縁層の前記金属基板とは反対側の面に取り付けられる、上記［１］または［２］記載のヘッド支持機構。
［４］前記駆動手段支持部は、幅狭部と、前記幅狭部を基準として前記ロードビームの先端部側および後端部側の双方に設けられた一対の幅広部とを有し、
前記幅狭部および前記一対の幅広部が、前記駆動手段支持部の幅方向をＸ方向、前記ロードビームの後端部側から先端部側に向かう方向をＹ方向とするＸ−Ｙ平面上の双曲線（ｘ２／ａ２−ｙ２／ｂ２＝１）に沿った外縁形状を有し、
前記双曲線に存在する２つの漸近線の交点が、前記支点突起よりも前記ヘッド素子側に位置している、上記［１］または［２］記載のヘッド支持機構。
［５］前記スライダの主面に垂直な方向の投影面において、前記駆動手段支持部が、前記駆動手段に包含される位置に配置され、かつ、前記駆動手段が、前記スライダと重なる位置に配置される、上記［１］または［２］記載のヘッド支持機構。
［６］前記フレクシャ基板は、
前記駆動手段よりも前記ロードビームの先端部側に位置する第１端部と、
前記駆動手段よりも前記ロードビームの後端部側に位置する第２端部と、
を有し、
前記スライダが、前記前記第１端部に固定され、
前記第１端部と前記第２端部とが、前記駆動手段支持部を介して連結されている、上記［２］〜［５］のいずれかに記載のヘッド支持機構。
［７］前記駆動手段は、一の圧電材料を有するか、又は複数の圧電材料が積層された積層構造を有する圧電素子である、請求項［１］〜［６］のいずれかに記載のヘッド支持機構。
機構。
［８］前記駆動手段は、
一つの圧電層と、
前記圧電層に設けられた第一電極膜および第二電極膜、並びに前記第一電極膜および前記第二電極膜にそれぞれ対向配置された第三電極膜および第四電極膜と、
を有する、上記［７］記載のヘッド支持機構。
［９］前記駆動手段は、
第一圧電層および第二圧電層と、
前記第一圧電層に設けられた第一電極膜および第二電極膜、前記第一圧電層と前記第二圧電層の間に設けられた第三電極膜、および前記第二圧電層の前記第三電極膜とは反対側に、前記第一電極膜および第二電極膜にそれぞれ対向配置された第四電極膜および第五電極膜と、
前記第一電極膜および第四電極膜に接続された第一パッド、前記第二電極膜および第五電極膜に接続された第二パッド、および前記第三電極膜に設けられた第三パッドと、
を有する、上記［７］記載のヘッド支持機構。
［１０］前記駆動手段の平面視において、前記第三パッドは、前記第一電極膜と前記第二電極膜の間に配置されている、上記［９］記載のヘッド支持機構。
［１１］上記［１］〜［１０］のいずれかに記載のヘッド支持機構を備える磁気ディスク装置。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、コストダウンを図ると共に、ヘッド素子の変位量を増大しつつ周波数応答特性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係る磁気ディスク装置の構成を概略的に示す平面図である。
【図２】図１におけるヘッド支持機構の構成を概略的に示す斜視図である。
【図３】図２のヘッド支持機構の分解斜視図である。
【図４】図３におけるフレクシャの分解斜視図である。
【図５】図５（ａ）は、図３におけるヘッド支持機構の構成を概略的に示す部分平面図であり、図５（ｂ）は、ヘッド支持機構を構成するスライダ、駆動手段および駆動手段支持部の位置関係を示す平面図である。
【図６】図６（ａ）は、フレクシャ基板の構成を概略的に示す部分平面図、図６（ｂ）は、駆動手段の構成を示す平面図、図６（ｃ）は、図６（ｂ）の駆動手段の電気的構成を説明するための模式図である。
【図７】図７（ａ）は、図６（ｂ）の駆動手段の具体的構成を示す平面図であり、図７（ｂ）は、線Ｉ−Ｉに沿う断面図、図７（ｃ）は、線ＩＩ−ＩＩに沿う断面図、図７（ｄ）は、線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿う断面図である。
【図８】、図５の駆動手段によって駆動手段支持部を介して回動するスライダを示す平面図である。
【図９】図９（ａ）は、ヘッド支持機構の断面位置を示す平面図であり、図９（ｂ）は、線ＩＶ−ＩＶに沿う断面図である。
【図１０】図１０（ａ）は、本実施形態に係るヘッド支持機構および駆動手段の構成の一例を示す図、図１０（ｂ）は、その周波数−ゲイン特性を示すグラフである。
【図１１】図１１（ａ）は、従来のヘッド支持機構および駆動手段の構成の一例を示す図、図１１（ｂ）は、その周波数−ゲイン特性を示すグラフである。
【図１２】図６（ｃ）の駆動手段の変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
［磁気ディスク装置の構成］
図１は、本実施形態に係る磁気ディスク装置の構成を概略的に示す斜視図である。本実施形態では、ヘッド支持機構を備えるロード／アンロード方式の磁気ディスク装置（ＨＤＤ装置）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明で用いる図面では、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率等は図示するものに限らないものとする。
【００１１】
図１に示すように、本実施形態の磁気ディスク装置１は、ハウジング４、スピンドルモータによって軸５を中心にして回転駆動される磁気ディスク６、スライダ３を有するヘッド支持機構２、およびヘッド支持機構２を先端部で支持する支持アーム８を備えている。
【００１２】
支持アーム８の後端部には、不図示のボイスコイルモータ（ＶＣＭ）のコイル部が装着されている。支持アーム８は、水平回動軸９を中心にして磁気ディスク６の表面と平行に回動可能となっている。ＶＣＭはこのコイル部（図示せず）とこれを覆うマグネット部１０とを有する。磁気ディスク６のデータ領域の外側から磁気ディスク６の外側に亘ってランプ機構１１が設けられている。ランプ機構１１の傾斜した表面に、ヘッドアッセンブリ２の最先端に設けられたタブ１２が乗り上げることで、スライダ３は磁気ディスク６から離間し、アンロード状態となる。
【００１３】
磁気ディスク装置１の動作時（磁気ディスクの高速回転中）において、スライダ３は磁気ディスク６の表面に対してわずかな浮上量で浮上し、ロード状態にある。一方、非動作時（磁気ディスクの停止中または起動及び停止時の低速回転中）においては、ヘッドアッセンブリ２の先端部のタブ１２がランプ機構１１上に持ち上げられるので、スライダ３はアンロード状態にある。
【００１４】
［ヘッド支持機構の構成］
図２は、図１におけるヘッド支持機構２の構成を概略的に示す斜視図であり、図３は、図２のヘッド支持機構２の分解斜視図である。説明の便宜上、図中のＺ軸正方向をヘッド支持機構２の上面側と、Ｚ軸負方向をヘッド支持機構２の下面側あるいは背面側と称することがある。また、図２中、Ｄｐはスライダ３のピッチ方向、Ｄｒはロール方向、Ｄｙはヨー方向を示す。
【００１５】
図２および図３に示すように、ヘッド支持機構２は、ヘッド素子７を有するスライダ３と、スライダ３を支持するスライダ支持板２１と、スライダ支持板２１を支持するロードビーム２２と、ロードビーム２２の先端部２２ａ近傍に設けられ、スライダ支持板２１を回転自在に支持する支点突起２３と、スライダ支持板２１を、支点突起２３を中心に回動させる駆動手段２４と、駆動手段２４と重ね合わせて設けられ、駆動手段２４を支持する駆動手段支持部２５とを備える。また、ヘッド支持機構２は、支持アーム８の先端部に取り付け可能に構成されたベースプレート２６と、配線基板を構成するフレクシャ２７とを更に備えている。
【００１６】
スライダ３は、フレクシャ２７に設けられたスライダ支持板２１上に固定されている。このスライダ３は、インダクティブ書込みヘッド素子と、巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）読出しヘッド素子又はトンネル磁気抵抗効果（ＴＭＲ）読出しヘッド素子等のＭＲ読出し薄膜磁気ヘッドからなるヘッド素子７を、スライダ３の後端（トレーリングエッジ、図２のＹ軸正方向側）面に備えている。
【００１７】
スライダ支持板２１は、支点突起２３に背面からスライダ３の重心位置に点接触して回動自在に支持されている。したがって、スライダ支持板２１はピボット構造でロードビーム２２に支えられる。また、第１のアウトリガ２１ａおよび第２のアウトリガ２１ｂは、スライダ３の姿勢を柔軟に保持している。これによりスライダ３は、ディスク面のうねりによる姿勢の変化に対応してスムーズに追従する。
【００１８】
ロードビーム２２は、複数のビーム溶接部によってベースプレート２６に固着されている。ロードビーム２２は、その後端部２２ｂに板バネ２８を有しており、支点突起２３とスライダ支持板２１との間には、板バネ２８によって生じる押し付け力が作用している。そのため、スライダ支持板２１は、この押し付け力による摩擦力によって保持された状態にある。
【００１９】
支点突起２３は、ロードビーム２２の先端部２２ａの近傍であってその中心線上に、一体的に突出して形成されている。本実施形態では、支点突起２３は駆動手段支持部２５の一部と点接触で当接している。
【００２０】
駆動手段２４は、例えば圧電素子であり、複数の圧電材料が積層された積層構造を有する圧電素子であるのが好ましい。駆動手段２４が積層構造を有する圧電素子であることにより、駆動手段２４の剛性を向上することができる。圧電素子に用いられる圧電材料は、例えば圧電セラミックスであり、好ましくはＰＺＴである。駆動手段２４の詳細については後述する。
【００２１】
図４は、図３におけるフレクシャ２７の分解斜視図である。フレクシャ２７は、本来一体化した構成であるが、解かり易さの観点から、図４では、フレクシャ基板とヘッド素子配線（配線部）が分離して示されている。
図４に示すように、フレクシャ２７は、フレクシャ基板２９とヘッド素子配線３０とを有している。フレクシャ基板２９は、金属基板で構成される。この金属基板は、金属層を構成しており、例えば、枠状のパターン形状を有している。ヘッド素子配線３０は、上記金属基板上に積層された絶縁層と、該絶縁層上に積層された銅箔とを有している。上記金属層は、例えば鋼で構成され、絶縁層は、例えばポリイミド樹脂で構成される。このフレクシャ２７は、例えば、厚さ１５μｍ程度の薄いステンレス鋼板上に厚さ１０μｍ程度の絶縁層をコーティングし、その上に銅箔めっきした配線基板であって、ステンレス鋼板、絶縁層、銅箔を任意の形状にエッチングして所定の形状に精密加工される。
【００２２】
図５（ａ）は、図３におけるヘッド支持機構２の構成を概略的に示す部分平面図であり、図５（ｂ）は、ヘッド支持機構２を構成するスライダ３、駆動手段２４および駆動手段支持部２５の位置関係を示す平面図である。
図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、駆動手段支持部２５は、幅狭部３１と、幅狭部３１を基準としてロードビーム２２の先端部２２ａ側および後端部２２ｂ側の双方に設けられた一対の幅広部３２，３３とを有する。駆動手段支持部２５は、ロードビーム２２の長手方向に対応する長さ方向と、ロードビーム２２の短手方向に対応する幅方向とを有しており、本実施形態では、駆動手段支持部２５の長さ方向が図中のＹ方向、駆動手段支持部２５の幅方向がＸ方向である。そして、スライダ３の主面に垂直な方向の投影面において、駆動手段支持部２５が、支点突起２３と重なる位置に配置される。
【００２３】
駆動手段支持部２５の平面視において、幅狭部３１及び一対の幅広部３２，３３は、略Ｘ字状の外縁形状を有している（図５（ｂ）。このような構成により、スライダ３、すなわちヘッド素子７の変位量を増大させることができ、また、ヘッド素子７の共振を抑制することができる。
【００２４】
本実施形態では、幅狭部３１の両側に幅広部が２つ設けられているが、幅狭部３１の片側に幅広部が１つ設けられてもよい。すなわち、駆動手段支持部２５が、幅狭部と、該幅狭部を基準としてロードビーム２２の先端部２２ａ側および後端部２２ｂ側の少なくとも一方に設けられた少なくとも１つの幅広部とを有していてもよい。
【００２５】
また、駆動手段支持部２５の平面視において、幅狭部３１および幅広部３２は、直線状の外縁形状を有するが、これに限らず、曲線形状、段差形状等の他の形状を有していてもよい。また、幅狭部３１および幅広部３３は、直線状の外縁形状を有するが、これに限らず、曲線形状、段差形状等の他の形状を有していてもよい。
【００２６】
また、本実施形態では、スライダ３の主面に垂直な方向の投影面において、駆動手段支持部２５は、駆動手段２４に包含される位置に配置され、かつ、駆動手段２４が、スライダ３と重なる位置に配置されるのが好ましい（図５（ｂ））。この場合、スライダ３の平面視において、駆動手段２４の一部がスライダ３と重なってもよいし、駆動手段２４の全部が、スライダ３と重なっていてもよい。このように、駆動手段支持部２５が駆動手段２４と重ね合わせて設けられ、かつ駆動手段２４がスライダ３と重ね合わせて設けられるので、スライダ３の側方に駆動手段２４の配置スペースを設ける必要が無く、ヘッド素子７の応答特性を向上することができる。
【００２７】
図６（ａ）は、フレクシャ２７の構成を概略的に示す部分平面図、図６（ｂ）は、駆動手段２４の構成を示す平面図、図６（ｃ）は、図６（ｂ）の駆動手段２４の電気的構成を説明するための模式図である。
図６（ａ）に示すように、フレクシャ２７は、平面視において、支点突起２３を通ってかつロードビーム２２の先端部２２ａ側と後端部２２ｂ側（図５（ａ）参照）とを結ぶ直線を基準として、ほぼ線対称に形成されている。
【００２８】
フレクシャ基板２９は、駆動手段２４よりもロードビーム２２の先端部２２ａ側（図５（ａ）参照）に位置する第１端部２９ａと、駆動手段２４よりもロードビーム２２の後端部２２ｂ側に位置する第２端部２９ｂとを有しているのが好ましい。第１端部２９ａとは、例えば、フレクシャ基板２９の一部を構成する略Ｔ字型の舌片の先端部を指し、第２端部２９ｂとは、該舌片の後端部を指す（図５（ｂ）参照））。この場合、スライダ３は、第１端部２９ａに固定され、第１端部２９ａと第２端部２９ｂが、駆動手段支持部２５を介して連結されている。これにより、スライダ３の変位量を増大しつつスライダ３を正確に位置決めすることが可能となり、スライダ３の応答特性を更に向上することができる。
【００２９】
フレクシャ２７は、少なくとも、枠状のパターン形状の金属基板で構成されるフレクシャ基板２９を有している。そして、上記の幅狭部３１及び一対の幅広部３２，３３（図５（ｂ）参照）は、フレクシャ基板２９の一部を構成している。本実施形態では、フレクシャ２７を構成するフレクシャ基板２９および絶縁層のうち、フレクシャ基板２９が幅狭部３１及び一対の幅広部３２，３３を有していることから、幅狭部３１が駆動手段２４の動作に応じて撓む。すなわち、幅狭部３１は弾性ヒンジとして機能することとなる。このように、幅狭部３１及び一対の幅広部３２，３３を設けることで、部品点数を増大させること無く、駆動手段支持部２５をヘッド支持機構２に容易に設けることができる。
【００３０】
本実施形態ではフレクシャ基板２９が、幅狭部３１及び一対の幅広部３２，３３を有していればよく、絶縁層は、幅狭部及び一対の幅広部を有していなくてもよい。すなわち、絶縁層は、フレクシャ基板とは異なる形状を有していてもよい。但し、絶縁層は、フレクシャ基板２９の幅狭部３１及び一対の幅広部３２，３３に対応する幅狭部及び一対の幅広部を有していてもよい。
【００３１】
駆動手段２４は、図６（ｂ）に示すように、例えば平面視略矩形の圧電素子であり、支点突起２３を通ってかつロードビーム２２の先端部２２ａ側（図５（ａ）参照）と後端部２２ｂ側とを結ぶ直線を基準として、線対称に形成されている。すなわち、駆動手段２４は、フレクシャ基板２９の平面視において、駆動手段２４の長手方向中心位置が駆動手段支持部２５の幅方向中心位置と一致するように、駆動手段支持部２５に設置される。駆動手段２４の寸法は、特に制限は無いが、例えば長さ８６０μｍ、幅２２０μｍ、厚み８．９５μｍである。
【００３２】
駆動手段２４が積層構造を有する圧電素子である場合、駆動手段２４は、図６（ｃ）に示すように、例えば中心電極の上下に積層された２層の圧電材料と、上側の圧電材料の上面と下側の圧電材料の下面にそれぞれ配置された一対の上下電極と、上側の圧電材料の上面と下側の圧電材料の下面にそれぞれ配置された他の一対の上下電極とを有する。上記一対の上下電極には、外部から電圧が印加され、上記他の一対の上下電極にも、外部から電圧が印加される。上記一対の上下電極に外部から電圧が印加され、上記他の一対の上下電極は接地されてもよい。２層の圧電材料はいずれも、分極方向が一対の上下電極から中心電極に向かう方向となるように設置され（図中の矢印方向）、中心電極の電位が常に０となるように構成される。
【００３３】
図７（ａ）は、図６（ｂ）の駆動手段２４の具体的構成を示す平面図であり、図７（ｂ）は、線Ｉ−Ｉに沿う断面図、図７（ｃ）は、線ＩＩ−ＩＩに沿う断面図、図７（ｄ）は、線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿う断面図である。
図７（ａ）〜図７（ｃ）に示すように、駆動手段２４は、例えば、第一圧電層３４および第二圧電層３５と、第一圧電層３４に設けられた第一電極膜３６および第二電極膜３７、第一圧電層３４と第二圧電層３５の間に設けられた第三電極膜３８、および第二圧電層３５の第三電極膜３８とは反対側に、第一電極膜３６および第二電極膜３７にそれぞれ対向配置された第四電極膜３９および第五電極膜４０と、第一電極膜３６および第四電極膜３９に接続された第一パッド４１、第二電極膜３７および第五電極膜４０に接続された第二パッド４２、および第三電極膜３８に設けられた第三パッド４３とを有する。第一電極膜３６および第四電極膜３９は、上記一対の上下電極を構成し、第二電極膜３７および第五電極膜４０は、上記他の一対の上下電極を構成している。
【００３４】
第一パッド４１は、駆動手段２４の長手方向の一端部２４ａに配置されており、第一電極膜３６と第四電極膜３９を同電位に維持している。第二パッド４２は、駆動手段２４の長手方向の他端部２４ｂに配置されており、第二電極膜３７と第五電極膜４０を同電位に維持している。第一パッド４１および第二パッド４２は、その配置に特に制限は無く、上記以外の他の位置に設けられてもよい。第三パッド４３は、第一電極膜３６と第二電極膜３７の間に配置されており、好ましくは駆動手段２４の幅方向の一端部２４ｃに配置されている。例えば製造工程において、第一パッド４１とおよび第三パッド４３に電圧を印加することにより、第一圧電層３４および第二圧電層３５の分極方向が互いに向かい合う方向に整えられる。
【００３５】
図８は、図５の駆動手段２４によって駆動手段支持部２５を介して回動するスライダ３を示す平面図である。
上記のように構成されるヘッド支持機構２０では、駆動手段２４の上記一対の上下電極、例えば第一電極膜３６および第四電極膜３９に＋電圧（又は−電圧）が供給され、第二電極膜３７および第五電極膜４０に−電圧（又は＋電圧）が供給されると、第三電極膜３８はゼロ電位となり、第一圧電層３４および第二圧電層３５（図７参照）のうち、主として第一電極膜３６および第四電極膜３９間に配置された部分（又は、主として第二電極膜３７および第五電極膜４０間に配置された部分）が圧電効果によって収縮する。第一圧電層３４および第二圧電層３５が収縮すると、駆動手段支持部２５の幅狭部３１がＸ−Ｙ平面内で撓む。この駆動手段支持部２５の変形によって、スライダ３にその平面に沿ったヨー方向の回転力が付与され、スライダ３が支点突起２３を中心として回動する（図中の矢印方向）。
【００３６】
第一圧電層３４および第二圧電層３５を収縮させる場合、２つの一対の上下電極、すなわち、第一電極膜３６および第四電極膜３９に電力を供給すると共に、第二電極膜３７および第五電極膜４０にも電力を供給する。この場合、第一電極膜３６および第四電極膜３９に供給する交流電圧と、第二電極膜３７および第五電極膜４０に供給する交流電圧とを互いに逆位相とすることで、スライダ３の変位量を更に増大させることができる。
【００３７】
支点突起２３は、上述のように、スライダ３の重心位置Ｇに配置される。幅狭部３１および一対の幅広部３２，３３は、例えば、駆動手段支持部２５の幅方向をＸ方向、ロードビーム２２の後端部２２ｂ側から先端部２２ａ側に向かう方向をＹ方向とするＸ−Ｙ平面上の双曲線（ｘ２／ａ２−ｙ２／ｂ２＝１）に沿った外縁形状を有していてもよい。この場合、上記双曲線に存在する２つの漸近線Ｌ１，Ｌ２の交点Ｃが、支点突起２３よりもヘッド素子７側に位置しているのが好ましい。これにより、スライダ３の変位量を最大化することができる。
【００３８】
図９（ａ）は、ヘッド支持機構２の断面位置を示す平面図であり、図９（ｂ）は、線ＩＶ−ＩＶに沿う断面図である。図９では、フレクシャ基板２９が、枠状のパターン形状の金属基板であり、駆動手段支持部２５が、該金属基板の一部を構成している場合を例に挙げて説明する。
駆動手段２４は、絶縁層４４の金属基板４５とは反対側の面に取り付けられている。また、スライダ３の直下に駆動手段２４が配置され、更に駆動手段２４の直下に、金属基板４５の一部を構成する駆動手段支持部２５が配置されている。そして、駆動手段支持部２５の直下に支点突起２３が配置されている。
【００３９】
駆動手段２４は、フレクシャ基板２９に設けられた凹部４６に設置されるのが好ましい。この場合、例えばフレクシャ基板２９の所定領域で銅箔４７の全部と絶縁層４４の一部とをエッチングし、エッチングされた部分の残りの絶縁層４４上に接着層４８を介して駆動手段２４を配置する。このように駆動手段２４をフレクシャ基板２９の厚みの範囲内に収めて設置することにより、ヘッド支持機構２の厚みの増大を抑制することができる。
【００４０】
図１０（ａ）は、本実施形態に係るヘッド支持機構および駆動手段の構成の一例を示す図、図１０（ｂ）は、その周波数−ゲイン（ｄＢ）特性を示すグラフである。また、図１１（ａ）は、従来のヘッド支持機構および駆動手段の構成の一例を示す図、図１１（ｂ）は、その周波数−ゲイン（ｄＢ）特性を示すグラフである。
本実施形態に係るヘッド支持機構の場合、図１０（ｂ）に示すように、３９ｋＨｚ付近で約３６ｄＢの共振周波数のピークが生じている。一方、従来のヘッド支持機構の場合、図１１（ｂ）に示すように、４７ｋＨｚ付近で約３１ｄＢの共振周波数ピークが生じている。よって、本実施形態に係るヘッド支持機構の周波数応答特性が従来のヘッド支持機構よりも向上していることが確認できる。
【００４１】
また、それぞれのヘッド支持機構の変位量（stroke）を測定した結果、本実施形態に係るヘッド支持機構の１ボルト当たりの変位量は１４．２ｎｍ／Ｖ、従来のヘッド支持機構の１ボルト当たりの変位量は１２．０ｎｍ／Ｖであった。よって、本実施形態に係るヘッド支持機構の変位量が、従来のヘッド支持機構よりも増大していることが確認できる。
【００４２】
上述したように、本実施形態によれば、駆動手段２４が、スライダ支持板２１を、支点突起２３を中心に回動させるので、一の駆動手段にてヘッド素子７を変位させることができ、複数の駆動手段を設ける構成と比較してコストダウンを図ることができる。また、駆動手段支持部２５が、駆動手段２４と重ね合わせて設けられているので、ヘッド支持機構２の小型化を実現することができる。更に、駆動手段支持部２５が、幅狭部３１と、幅狭部３１を基準としてロードビーム２２の先端部２２ａ側および後端部２２ｂ側の双方に設けられた一対の幅広部３２，３３を備えており、スライダ３の主面に垂直な方向の投影面において、駆動手段支持部２５が、支点突起２３と重なる位置に配置されるので、幅狭部３１が撓むことでヘッド素子７の変位量を増大しつつ、一対の幅広部３２，３３が比較的撓み難いためにヘッド素子７の共振を抑制することができ、その結果ヘッド素子７の周波数応答特性を向上することができる。
【００４３】
また、幅狭部３１および一対の幅広部３２，３３が、駆動手段支持部２５の幅方向をＸ方向、ロードビーム２２の後端部２２ｂ側から先端部２２ａ側に向かう方向をＹ方向とするＸ−Ｙ平面上の双曲線（ｘ２／ａ２−ｙ２／ｂ２＝１）に沿った外縁形状を有し、上記双曲線に存在する２つの漸近線Ｌ１，Ｌ２の交点Ｃが、支点突起２３よりもヘッド素子７側に位置しているので、スライダ３の変位量を最大化することができ、ヘッド素子７の周波数応答特性を更に向上することができる。
【００４４】
また、駆動手段２４は、複数の圧電材料が積層された積層構造を有する圧電素子であるので、コンパクトに圧電素子を構成することができ、ヘッド支持機構２を更に小型化することができる。
【００４５】
以上、本発明の実施形態について詳述したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【００４６】
例えば、本実施形態では、駆動手段は、複数の圧電材料が積層された積層構造を有するが、一つの圧電層を有していてもよい。
図１２に示すように、駆動手段５１は、例えば一つの圧電層５２と、圧電層５２に設けられた第一電極膜５３および第二電極膜５４と、第一電極膜５３および第二電極膜５４にそれぞれ対向配置された第三電極膜５５および第四電極膜５６と、を有する。第一電極膜５３および第三電極膜５５は、一対の上下電極を構成し、第二電極膜５４および第四電極５６は、他の一対の上下電極を構成する。そして、第一電極膜５３および第三電極膜５５に＋電圧（又は−電圧）が供給され、第二電極膜５４および第四電極膜５６に−電圧（又は＋電圧）が供給されると、圧電層５２のうち、主として第一電極膜５３および第三電極膜５５間に配置された部分（又は、主として第二電極膜５４および第四電極膜５６間に配置された部分）が圧電効果によって収縮する。本構成によれば、コンパクトかつ簡単に圧電素子を構成することができ、ヘッド支持機構２を更に小型化、簡略化することができる。
【符号の説明】
【００４７】
１  磁気ディスク装置
２  ヘッド支持機構
３  スライダ
４  ハウジング
５  軸
６  磁気ディスク
７  ヘッド素子
８  支持アーム
９  水平回動軸
１０  マグネット部
１１  ランプ機構
１２  タブ
２１  スライダ支持板
２１ａ  第１のアウトリガ
２１ｂ  第２のアウトリガ
２２  ロードビーム
２２ａ  先端部
２２ｂ  後端部
２３  支点突起
２４  駆動手段
２４ａ  一端部
２４ｂ  他端部
２４ｃ  一端部
２５  駆動手段支持部
２６  ベースプレート
２７  フレクシャ
２８  板バネ
２９  フレクシャ基板
２９ａ  第１端部
２９ｂ  第２端部
３０  ヘッド素子配線
３１  幅狭部
３２  幅広部
３３  幅広部
３４  第一圧電層
３５  第二圧電層
３６  第一電極膜
３７  第二電極膜
３８  第三電極膜
３９  第四電極膜
４０  第五電極膜
４１  第一パッド
４２  第二パッド
４３  第三パッド
４４  絶縁層
４５  金属基板
４６  凹部
４７  銅箔
４８  接着層
５１  駆動手段
５２  圧電層
５３  第一電極膜
５４  第二電極膜
５５  第四電極膜
５６  第五電極膜
Ｃ  交点
Ｇ  重心位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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