(57)【要約】【課題】被加工膜との密着性を高めることが可能なマスク材を提供する。【解決手段】一実施形態に係るマスク材は、タングステン（Ｗ）、ホウ素（Ｂ）、および炭素（Ｃ）を含む。このマスク材は、被加工膜に接触し、ホウ素および炭素の組成比がタングステンの組成比よりも高い第１部分と、タングステンの組成比が炭素およびホウ素の組成比よりも高い第２部分と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
タングステン（Ｗ）、ホウ素（Ｂ）、および炭素（Ｃ）を含むマスク材であって、
被加工膜に接触し、前記ホウ素および前記炭素の組成比が前記タングステンの組成比よりも高い第１部分と、前記タングステンの組成比が前記炭素およびホウ素の組成比よりも高い第２部分と、を備える、マスク材。
【請求項２】
前記第１部分と前記第２部分とを含む第１領域と、前記第１領域に接触する第２領域と、を備え、
前記第１領域において、前記組成比に占める前記タングステンの比率は前記被加工膜との境界側から前記第２領域との境界側に向けて連続的に増加し、前記組成比に占める前記ホウ素および前記炭素の各比率は、前記被加工膜側から前記第２領域側に向けて連続的に減少する、請求項１に記載のマスク材。
【請求項３】
前記第１領域では、前記タングステンの比率が４０％より大きく、かつ、前記ホウ素の含有量に対する前記炭素の含有量の比率が０．９よりも大きくて１．４よりも小さい、請求項１または２に記載のマスク材。
【請求項４】
半導体基板上に被加工膜を形成し、
前記被加工膜上に、請求項１から３のいずれかに記載のマスク材を形成し、
前記マスク材をパターニングし、
前記マスク材のパターンに基づいて前記被加工膜を加工する、
半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記タングステンを含む第１ガス、前記ホウ素を含む第２ガス、および前記炭素を含む第３ガスの各々の流量を変化させながら前記マスク材の前記第１領域を形成する、請求項４に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記第１領域の形成後、前記第１ガス、前記第２ガス、および前記第３ガスの各々の前記流量を固定して前記マスク材の前記第２領域を形成する、請求項５に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
シリコンを含む第１膜および第２膜を交互に積層することによって、前記被加工膜を形成する、請求項４から６のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
【請求項８】
前記マスク材にパターンを形成し、
前記パターンに基づいて、前記被加工膜に凹部を形成する、請求項４から７のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、マスク材、および半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程には、シリコンを含む被加工膜を加工する工程がある。この工程には、例えば、タングステン（Ｗ）、ホウ素（Ｂ）、および炭素（Ｃ）を含むマスク材を用いる場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−００５１７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本実施形態は、被加工膜との密着性を高めることが可能なマスク材、およびそのマスク材を用いた半導体装置の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
一実施形態に係るマスク材は、タングステン（Ｗ）、ホウ素（Ｂ）、および炭素（Ｃ）を含む。このマスク材は、被加工膜に接触し、ホウ素および炭素の組成比がタングステンの組成比よりも高い第１部分と、タングステンの組成比が炭素およびホウ素の組成比よりも高い第２部分と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本実施形態に係るマスク材の概略的な構成を示す断面図である。
【図２】本実施形態に係るマスク材におけるタングステン、ホウ素、および炭素の組成比の一例を示す図である。
【図３】積層体の形成工程を示す断面図である。
【図４】本実施形態に係るマスク材形成時の第１〜第３ガスの流量変化の一例を示すグラフである。
【図５】本実施形態に係るマスク材のパターン形成工程を示す断面図である。
【図６】積層体の加工工程を示す断面図である。
【図７】本実施形態に係るマスク材の除去工程を示す断面図である。
【図８】本実施形態に係る半導体装置の要部の構造を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。本実施形態は、本発明を限定するものではない。
【０００８】
図１は、本実施形態に係るマスク材の概略的な構成を示す断面図である。図１では、本実施形態に係るマスク材１０が、積層体２０上に形成された状態を示す。
【０００９】
積層体２０は、被加工膜の一例であり、半導体基板３０上に設けられている。以下の説明では、半導体基板３０に対して平行で、かつ相互に直交する２方向をＸ方向およびＹ方向と称する。また、半導体基板３０に対して垂直な方向をＺ方向と称する。
【００１０】
積層体２０では、第１膜２１と第２膜２２とがＺ方向に交互に積層されている。第１膜２１は、例えばシリコン酸化膜（ＳｉＯ２）である。第２膜２２は、例えばシリコン窒化膜（ＳｉＮ）である。なお、被加工膜は、積層体２０に限定されず単層体であってもよい。また、被加工膜は、シリコン酸化膜やシリコン窒化膜等の絶縁膜に限定されず、導電膜であってもよい。
【００１１】
マスク材１０は、遷移領域１１およびバルク領域１２を備える。遷移領域１１およびバルク領域１２は、それぞれ第１領域および第２領域の例である。遷移領域１１およびバルク領域１２の各々には、タングステン、ホウ素、および炭素が含まれている。ここで、図２を参照して各領域におけるタングステン、ホウ素、および炭素の組成比について説明する。
【００１２】
図２は、マスク材１０におけるタングステン、ホウ素、および炭素の組成比の一例を示す図である。図２において、横軸は、マスク材１０と積層体２０と境界からのＺ方向の距離、すなわちマスク材１０内における位置を示す。一方、縦軸は、マスク材１０に占める含有量を示す。実線はタングステンの含有量を示し、点線はホウ素の含有量を示し、１点鎖線は炭素の含有量を示す。図２では、各含有量は、例えばＥＥＬＳ（Electron Energy Loss Spectroscopy）等の質量分析により得られた原子単位（ａ.ｕ.）の強度（Ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ）として示されている。
【００１３】
図２に示すように、タングステン、ホウ素、炭素の各含有量は、遷移領域１１では連続的に変化しているのに対し、バルク領域１２ではほぼ一定である。換言すると、遷移領域１１では、タングステン、ホウ素、炭素の組成比の変化がバルク領域１２よりも大きい。バルク領域１２は、例えば積層体２０の加工に必要なマスクとしての機能を有し、遷移領域１１は、例えば積層体２０とバルク領域１２との密着性を高める密着層としての機能を有する。そのため、上述のように、バルク領域１２の組成比はほぼ一定であることが望ましい。
【００１４】
さらに、遷移領域１１において、タングステンの含有量は、積層体２０との境界側からバルク領域１２との境界側、すなわち図２の左側から右側に向けて連続的に増加している。反対に、ホウ素および炭素の各含有量は、積層体２０との境界側からバルク領域１２との境界側に向けて連続的に減少している。その結果、バルク領域１２では、タングステンの含有量は、ホウ素および炭素の各含有量よりも多い。すなわち、遷移領域１１では、積層体２０との境界であって、タングステンの含有量よりも、ホウ素および炭素の含有量を多く含む第１部分と、バルク領域１２との境界であって、ホウ素および炭素の含有量よりもタングステンの含有量を多く含む第２部分とを含む。
【００１５】
本実施形態では、マスク材１０の遷移領域１１が、被加工膜である積層体２０に接触する。この遷移領域１１では、タングステン、ホウ素、および炭素の組成比が、例えば図２のように変化している。具体的には、積層体２０との接触面では組成比に占めるタングステンの比率を低くする一方でホウ素および炭素の各比率を高くしている。これにより、マスク材１０と積層体２０との密着性が向上する。実験結果によれば、遷移領域１１の組成比に関し、タングステンの比率が４０％より大きく、かつ、ホウ素の含有量に対する炭素の含有量の比率（Ｃ／Ｂ）が０．９よりも大きくて１．４よりも小さい場合に、マスク材１０が積層体２０から剥離しないことを確認できた。
【００１６】
以下、このマスク材１０を用いた半導体装置の製造方法について説明する。
【００１７】
図３に示すように、まず、半導体基板３０上に積層体２０を形成する。具体的には、例えばＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法またはＡＬＤ（Atomic Layer Deposition）法を用いて第１膜２１と第２膜２２とを交互に成膜する。
【００１８】
次に、図１に示すように、積層体２０の最上面にマスク材１０を形成する。マスク材１０は、タングステンを含む第１ガス、ホウ素を含む第２ガス、および炭素を含む第３ガスを用いて形成される。第１ガスには、例えば、六フッ化タングステン(ＷＦ６)、六塩化タングステン(ＷＣｌ６)、およびヘキサカルボニカルタングステン(Ｗ（ＣＯ）６)の少なくとも一つを含んだガスを用いることができる。
【００１９】
第２ガスには、ジボラン(Ｂ２Ｈ６)、三フッ化ホウ素（ＢＦ３）、三塩化ホウ素（ＢＣｌ３）、および三臭化（Ｂ（Ｂｒ３））の少なくとも一つを含んだガスを用いることができる。第３ガスには、メタン（ＣＨ４）、エタン（Ｃ２Ｈ６）、プロパン（Ｃ３Ｈ８）、イソブタン（Ｃ４Ｈ１０）、エチレン（Ｃ２Ｈ４）、プロピレン（Ｃ３Ｈ６）、イソブチレン（Ｃ４Ｈ８）、アセチレン（Ｃ２Ｈ２）、プロピン（Ｃ３Ｈ４）、およびブタジエン（Ｃ４Ｈ６）の少なくとも一つを含んだガスを用いることができる。
【００２０】
マスク材１０は、例えば、第１ガス〜第３ガスを用いたプラズマＣＶＤ法により形成することができる。具体的には、プラズマを発生させたチャンバ(不図示)内に、第１ガス〜第３ガスを導入する。以下、図４を参照して、マスク材１０形成時の第１ガス〜第３ガスの流量について説明する。
【００２１】
図４は、マスク材１０形成時の第１〜第３ガスの流量変化の一例を示すグラフである。図４において、横軸は時間を示す。縦軸の左側には、第２ガスであるジボラン(Ｂ２Ｈ６)ガスの流量目盛が示されている。縦軸の右側には、第１ガスである六フッ化タングステン(ＷＦ６)ガスおよび第３ガスであるプロピレン（Ｃ３Ｈ６）ガスの流量目盛が示されている。
【００２２】
図４に示すように、まず、第１〜第３ガスをチャンバ内に導入する前の前処理時間帯Ｔ０では、不活性ガスを導入してチャンバ内の空気を排気する。不活性ガスには、例えば窒素ガスを用いることができる。
【００２３】
続いて、第１処理時間帯Ｔ１では、第１ガス(ＷＦ６)、第２ガス(Ｂ２Ｈ６)、および第３ガス（Ｃ３Ｈ６）を、その流量を変化させながらチャンバ内へ導入する。これにより、遷移領域１１が積層体２０の最上面に形成される。このとき、例えば図２に示すタングステン、ホウ素、および炭素の組成比になるように、各ガスの単位時間当たりの流量変化量すなわち図４に示す各線の傾きを調整する。例えば、第１ガス(ＷＦ６)の流量変化量を第２ガス(Ｂ２Ｈ６)および第３ガス（Ｃ３Ｈ６）の各流量変化量よりも大きくする。その結果、積層体２０との密着性が高い遷移領域１１を形成することができる。
【００２４】
続いて、第２処理時間帯Ｔ２では、第１ガス(ＷＦ６)、第２ガス(Ｂ２Ｈ６)、および第３ガス（Ｃ３Ｈ６）を、その流量を固定させてチャンバ内へ導入する。その結果、タングステン、ホウ素、および炭素の組成比がほぼ一定であるバルク領域１２が遷移領域１１の上面に形成され、マスク材１０が完成する。本実施形態では、上述したように、プラズマを用いているので、低温でマスク材１０を形成することができる。
【００２５】
次に、図５に示すように、バルク領域１２および遷移領域１１を貫通する凹部１３を形成する。その結果、マスク材１０にパターンが形成される。凹部１３は、例えばＲＩＥ（Reactive Ion Etching）によって、形成することができる。
【００２６】
次に、図６に示すように、マスク材１０のパターンに基づいて積層体２０に凹部２３を形成する。凹部２３は、凹部１３に連通するとともに、積層体２０を貫通する。凹部２３は、例えばＲＩＥによって、形成することができる。
【００２７】
次に、図７に示すように、マスク材１０を除去する。マスク材１０は、薬液を用いて除去することができる。例えば、過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）溶液を薬液として用いると、積層体２０に損傷を与えることなくマスク材１０を除去することができる。このとき、仮に遷移領域１１がホウ素および炭素のみで組成された膜であると、この膜は、過酸化水素溶液で除去できない。
【００２８】
しかし、本実施形態では、遷移領域１１は、ホウ素および炭素だけでなく、タングステンも含んでいる。そのため、マスク材１０は、積層体２０の加工時には積層体２０との密着性を十分に確保し、さらに積層体２０に損傷を与えることなく確実に除去することができる。
【００２９】
マスク材１０の除去後、図８に示すように、凹部２３内には、例えば、メモリ膜４０を形成することができる。また、第２膜２２は、導電膜２２ａに置換される。導電膜２２ａは、例えばタングステン膜として形成され、ワードラインとして機能する。その結果、この半導体装置は、積層型の半導体記憶装置として機能する。
【００３０】
メモリ膜４０は、例えば、電荷ブロック膜４１と、電荷蓄積膜４２と、トンネル絶縁膜４３と、チャネル膜４４と、コア膜４５と、を有する。電荷ブロック膜４１、トンネル絶縁膜４３およびコア膜４５は、例えばシリコン酸化物膜として形成される。電荷蓄積膜４２は、例えばシリコン窒化物膜として形成される。チャネル膜４４は、例えばポリシリコン膜として形成される。
【００３１】
以上説明した本実施形態によれば、マスク材１０は、被加工膜と接触する遷移領域１１を有し、この遷移領域１１では、タングステン、ホウ素、および炭素の組成比が連続的に変化している。これにより、被加工膜の加工時に当該被加工膜とマスク材１０との密着性を高めることが可能となる。
【００３２】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００３３】
１０  マスク材、１１  遷移領域（第１領域）、１２  バルク領域（第２領域）、２０  積層体（被加工膜）、２１  第１膜、２２  第２膜、２３  凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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