(57)【要約】【課題】圧力室からノズルに至るまでの流路から気泡を排出することが可能な液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体噴射ヘッドの制御方法、及び、液体噴射装置の制御方法を提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル（２４）と、ノズルに連通する圧力室（２５）と、圧力室からノズルに至るまでの流路から当該流路の外部へ気体を排出させる気体排出機構（１５，１６，３０）と、を備えることを特徴とする。圧力室は、ノズルより鉛直方向における上側に配置され、気体排出機構は、鉛直方向においてノズルよりも圧力室側に設けられている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズルと、
前記ノズルに連通する圧力室と、
前記圧力室から前記ノズルに至るまでの流路から当該流路の外部へ気体を排出させる気体排出機構と、
を備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記圧力室は、前記ノズルより鉛直方向における上側に配置され、
前記気体排出機構は、鉛直方向において前記ノズルよりも前記圧力室側に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記気体排出機構は、
前記流路からの前記気体が排出される排出路と、
前記流路と前記排出路との間を仕切る仕切部材と、
を備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記排出路内を減圧する減圧機構を備えることを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記仕切部材は、前記液体よりも前記気体を透過しやすいガス透過部材であることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記仕切部材は、前記流路と前記排出路との間を連通させた連通状態と、遮断させた非連通状態とに切り替える開閉弁であることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
鉛直方向において前記気体排出機構よりも前記ノズル側に、前記流路において液体の通過を許容する開状態と、液体の通過を阻止する閉状態とを切り替える補助開閉弁を備えることを特徴とする請求項６に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項１から請求項７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項９】
請求項７に記載の液体噴射ヘッドの制御方法であって、
前記補助開閉弁を前記開状態から前記閉状態に切り替える第１の弁切替工程と、
前記第１の弁切替工程に応じて前記開閉弁を前記非連通状態から前記連通状態に切り替える第２の弁切替工程と、
前記流路から前記排出路側に気体を排出する気体排出工程と、
前記気体排出工程の後、前記開閉弁を前記連通状態から前記非連通状態に切り替える第３の弁切替工程と、
前記第３の弁切替工程に応じて前記補助開閉弁を前記閉状態から前記開状態に切り替える第４の弁切替工程と、
を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの制御方法。
【請求項１０】
請求項７に記載の液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置の制御方法であって、
請求項９に記載の液体噴射ヘッドの制御方法が適用されることを特徴とする液体噴射装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッド、これを備えた液体噴射装置、液体噴射ヘッドの制御方法、及び、液体噴射装置の制御方法に関し、特に、圧力室からノズルに至る流路を備える液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体噴射ヘッドの制御方法、及び、液体噴射装置の制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドから各種の液体を噴射（吐出）する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
上記の液体噴射ヘッドとしては、液体が噴射されるノズル、当該ノズルに連通する圧力室、及び、当該圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧電素子等の駆動素子（換言すると、圧力発生手段）を備えたものがある。このような液体噴射ヘッドで液体を噴射させる場合、液体流路内の液体に気泡が存在すると、ノズルから液体を噴射するために必要な圧力を気泡が吸収してしまうため、ノズルから液体が噴射されなかったり、噴射されたとしても噴射される液体の量が本来の目標値から著しく減少したりする等のように、液体が正常に噴射されない噴射不良が生じる虞がある。このため、このような液体噴射ヘッドを搭載する液体噴射装置では、液体がフィルターで濾過された上で液体噴射ヘッドの液体流路内へ供給されるように構成されている（例えば、特許文献１参照）。これにより、比較的大きい気泡はフィルターに捕捉され、当該捕捉された気泡は、例えば、ノズルから強制的に吸引排出するクリーニング動作により除去される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１７４８３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記フィルターの目の大きさをより小さくすることで、より微小な気泡も捕捉することができるが、その分、圧力損失の増大を招くため、フィルターの目を小さくすることには限界がある。このため、液体噴射ヘッドへの気泡の侵入をフィルターによって完全に防止することは困難であった。また、例えば、液体噴射ヘッドのノズルが形成された面（以下、ノズル形成面）に記録用紙等の媒体が接触した際に、ノズルから液体流路内の液体に気泡が混入する場合もある。そして、ノズル近傍に気泡が溜まった場合、当該ノズルから液体を正常に噴射することが困難となる問題があった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧力室からノズルに至るまでの流路から気泡を排出することが可能な液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体噴射ヘッドの制御方法、及び、液体噴射装置の制御方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、液体を噴射するノズルと、
前記ノズルに連通する圧力室と、
前記圧力室から前記ノズルに至るまでの流路から当該流路の外部へ気体を排出させる気体排出機構と、
を備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明の液体噴射ヘッドによれば、圧力室からノズルに至るまでの流路内の気泡等の気体を気体排出機構によって排出することができるので、流路内の気体に起因する液体の噴射への悪影響を抑制することが可能となる。また、液体噴射ヘッドの各ノズルから強制的に液体や気泡を排出させるメンテナンス動作（即ち、クリーニング動作）を行うことなく流路内の気体を排出することができるので、その分、液体の消費を低減することが可能となる。
【０００９】
上記構成において、前記圧力室は、前記ノズルより鉛直方向における上側に配置され、
前記気体排出機構は、鉛直方向において前記ノズルよりも前記圧力室側に設けられている構成を採用することが望ましい。
【００１０】
この構成によれば、気体、即ち、気泡が浮力によってノズルよりも圧力室側に浮上した位置に気体排出機構を近づけて配置することができるので、当該気泡をより排出しやするすることが可能となる。
【００１１】
上記構成において、前記気体排出機構は、
前記流路からの前記気体が排出される排出路と、
前記流路と前記排出路との間を仕切る仕切部材と、
を備える構成を採用することが望ましい。
【００１２】
また、上記構成において、前記排出路内を減圧する減圧機構を備える構成を採用することが望ましい。
【００１３】
この構成によれば、排出路を減圧することで流路における気体を排出路側により積極的に排出することが可能となる。
【００１４】
さらに、上記構成において、前記仕切部材は、前記液体よりも前記気体を透過しやすいガス透過部材である構成を採用することができる。
【００１５】
この構成によれば、より単純な構造で流路内の気体を排出路側に排出することができる。
【００１６】
また、上記構成において、前記仕切部材は、前記流路と前記排出路との間を連通させた連通状態と、遮断させた非連通状態とに切り替える開閉弁である構成を採用することができる。
【００１７】
この構成によれば、開閉弁を開閉させることにより、流路内の気体を排出路側により円滑に排出することができる。
【００１８】
また、上記構成において、鉛直方向において前記気体排出機構よりも前記ノズル側に、前記流路において液体の通過を許容する開状態と、液体の通過を阻止する閉状態とを切り替える補助開閉弁を備える構成を採用することができる。
【００１９】
この構成によれば、開閉弁を開いた場合に補助開閉弁を閉じることでノズルから流路内に空気を引き込むことが防止される。このため、排出路により大きい負圧を付与することができるので、流路内の気泡をより効果的に排出することが可能となる。
【００２０】
また、本発明に係る液体噴射装置は、上記何れかの構成の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。
【００２１】
さらに、本発明に係る液体噴射ヘッドの制御方法は、請求項７に記載の液体噴射ヘッドの制御方法であって、
前記補助開閉弁を前記開状態から前記閉状態に切り替える第１の弁切替工程と、
前記第１の弁切替工程に応じて前記開閉弁を前記非連通状態から前記連通状態に切り替える第２の弁切替工程と、
前記流路から前記排出路側に気体を排出する気体排出工程と、
前記気体排出工程の後、前記開閉弁を前記連通状態から前記非連通状態に切り替える第３の弁切替工程と、
前記第３の弁切替工程に応じて前記補助開閉弁を前記閉状態から前記開状態に切り替える第４の弁切替工程と、
を含むことを特徴とする。
【００２２】
この制御方法によれば、開閉弁を開いた場合に補助開閉弁を閉じることでノズルから流路内に空気が引き込まれることを抑制しつつ、流路内の気泡を排出することが可能となる。
【００２３】
そして、本発明に係る液体噴射装置の制御方法は、請求項７に記載の液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置の制御方法であって、
上記液体噴射ヘッドの制御方法が適用されることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】液体噴射装置の一形態の構成を説明する正面図である。
【図２】第１実施形態における液体噴射ヘッドの構成を説明する断面図である。
【図３】液体噴射ヘッドの一部を拡大した断面図である。
【図４】液体噴射ヘッドの一部を拡大した断面図である。
【図５】液体噴射装置の電気的な構成を説明するブロック図である。
【図６】液体噴射ヘッドの動作について説明するフローチャートである。
【図７】第１実施形態における液体噴射ヘッドの変形例の構成を説明する断面図である。
【図８】第２実施形態における液体噴射ヘッドの構成を説明する断面図である。
【図９】第２実施形態における液体噴射ヘッドの構成を説明する断面図である。
【図１０】第２実施形態に係る液体噴射ヘッドの制御方法及び液体噴射装置の制御方法について説明するフローチャートである。
【図１１】第３実施形態における液体噴射ヘッドの構成を説明する断面図である。
【図１２】第３実施形態における液体噴射ヘッドの変形例の構成を説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射装置として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）８を搭載したインクジェット式記録装置（以下、プリンター）１を例に挙げて行う。
【００２６】
図１は、プリンター１の構成の一例を示す正面図である。第１実施形態におけるプリンター１は、記録用紙、布、あるいは樹脂フィルム等の印刷媒体Ｓの表面に記録ヘッド８から液体状のインク（本発明における液体の一種）を噴射させて画像やテキスト等の記録を行う装置である。このプリンター１は、フレーム２と、このフレーム２内に配設されたプラテン３と、を備えており、図示しない搬送機構によってプラテン３上に印刷媒体Ｓが搬送される。また、フレーム２内には、プラテン３と平行にガイドロッド４が架設されており、このガイドロッド４には、記録ヘッド８及び当該記録ヘッド８とインクタンク６との間でインクの授受を行うサブタンク７を収容したキャリッジ５が摺動可能に支持されている。このキャリッジ５はガイドロッド４に沿って印刷媒体Ｓの搬送方向と直交する主走査方向に往復移動するように構成されている。本実施形態におけるプリンター１は、印刷媒体Ｓに対してキャリッジ５を相対的に往復移動させながら記録ヘッド８のノズル２４（図２等参照）からインクを噴射させて印刷動作（換言すると記録動作）を行う。
【００２７】
フレーム２の一側には、液体貯留部の一種であるインクタンク６が搭載されている。インクタンク６に貯留されているインクは、ポンプ９による圧力により供給チューブ１０を通じてサブタンク７に導入された後、記録ヘッド８に供給される。また、ポンプ９は、排出チューブ１１を通じて記録ヘッド８内の後述する共通排出路１５の内部を減圧することで、圧力室２５からノズル連通口３４を通ってノズル２４に至るまでの個別流路（本発明における流路に相当）から個別排出路１６を介して共通排出路１５に流入したインクを、後述する脱気機構１４（図５参照）を介してインクタンク６に戻すように構成されている。したがって、ポンプ９は、本発明における減圧機構の一種として機能する。キャリッジ５には、図示しないが供給チューブ１０から導入されたインクを、サブタンク７を介して記録ヘッド８側に供給する流路や、記録ヘッド８から排出されたインクや気泡を排出チューブ１１に送り出す流路が、搭載される。また、サブタンク７の内部には、記録ヘッド８へのインクの供給圧を調整する調整部やインクに含まれる気泡や異物を捕捉するフィルター等（図示せず）が設けられている。なお、本実施形態においては、共通排出路１５からのインクをインクタンク６に戻す構成を例示したが、これには限られず、例えば、共通排出路１５からのインクや気泡が、排出チューブ１１を通じて図示しない廃液タンクに排出される構成を採用することもできる。
【００２８】
フレーム２の内側において、記録ヘッド８の移動範囲における一側に設けられたホームポジションには、記録ヘッド８のノズル形成面を封止するキャップ１３を有するキャッピング機構１２が配設されている。キャッピング機構１２は、ホームポジションで待機状態にある記録ヘッド８のノズル形成面をキャップ１３により封止してノズル２４からインクの溶媒が蒸発することを抑制する。また、キャッピング機構１２は、記録ヘッド８のノズル形成面を封止した状態で封止空部内を負圧化し、ノズル２４からインクや気泡を強制的に吸引するクリーニング動作を行うことができる。
【００２９】
次に、本実施形態における記録ヘッド８の構成について説明する。
図２は、記録ヘッド８の断面図であり、図３及び図４は、図２における記録ヘッド８の一部を拡大して示した断面図である。なお、図３では開閉弁３０が閉じられた状態、図４では開閉弁３０が開かれた状態がそれぞれ示されている。また、図２では圧力室２５等のインク流路にインクが充填されていない状態が示され、図３及び図４ではインク流路にインクが充填された状態が示されている。
【００３０】
本実施形態における記録ヘッド８は、固定板１７、ノズルプレート１８、連通板１９、アクチュエーターユニット２０、コンプライアンス基板２１、ホルダー２２等の複数のヘッド構成部材が積層されて接着剤等によって接合されている。なお、以下においては、記録ヘッド８の各構成部材の積層方向を、適宜上下方向として説明する。また、上下方向は鉛直方向に一致しているものとする。但し、実使用上においては、上下方向が鉛直方向に完全に一致していない場合もあり得る。
【００３１】
アクチュエーターユニット２０は、圧力室形成基板２６、第１振動板２７、圧電素子２８、及び保護基板２９がこの順で積層されてユニット化されたものである。本実施形態におけるアクチュエーターユニット２０は、これらの構成部材の他に、後述する開閉弁３０を備えている。この開閉弁３０及びその周辺構造の詳細については後述する。本実施形態における圧力室形成基板２６は、シリコン単結晶基板から作製されている。この圧力室形成基板２６には、圧力室２５となる液室が各ノズル２４に対応して複数列設されている。この圧力室２５は、ノズル列に交差する方向に長尺な液室である。この圧力室２５の長手方向の一側の端部には、連通板１９のノズル連通口３４が連通し、他側の端部には連通板１９の個別連通口３５が連通する。本実施形態における圧力室形成基板２６には、圧力室２５の列が２列形成されている。圧力室形成基板２６に対して第１振動板２７が積層される側を上側、及び圧力室形成基板２６に対して連通板１９が配置される側を下側とした場合、圧力室２５の天井面（上面）が第１振動板で区画され、圧力室２５の底面（下面）が連通板１９で区画される。そして、圧力室２５の底面にノズル連通孔３４が連通している。
【００３２】
これらの圧力室２５の列の間、即ち、圧力室形成基板２６の中央部には、上記共通排出路１５が形成されている。この共通排出路１５は、各圧力室２５に共通な空部であり、圧力室２５の列設方向、即ち、ノズル列方向に沿って一連に形成されている。また、個別排出路１６は、共通排出路１５と各圧力室２５とを個別に連通させる流路である。本実施形態において、開閉弁３０、個別排出路１６、及び、共通排出路１５は、本発明における気体排出機構として機能する。また、このうち個別排出路１６及び共通排出路１５は、本発明における排出路に相当する。そして、圧力室２５からノズル連通口３４を通ってノズル２４に至るまでの個別流路と、排出路（即ち、個別排出路１６及び共通排出路１５）とは、開閉弁３０によって連通状態と非連通状態とに変換されるように構成されている。この開閉弁３０は、個別流路と排出路（即ち、個別排出路１６及び共通排出路１５）との間を仕切る仕切部材の一種である。
【００３３】
本実施形態において、圧力室２５は、ノズル２４より鉛直方向における上側に配置され、気体排出機構は、鉛直方向においてノズル２４よりも圧力室２５側であって、当該圧力室２５の天井面、即ち、圧力室２５を区画している面のうち、鉛直方向で最も上側に位置する面にできるだけ近い位置に設けられている。より具体的には、本実施形態における個別排出路１６の天井面、及び、共通排出路１５の天井面は、それぞれ、当該個別排出路１６に対応する圧力室２５の天井面と同一面上に位置している。これにより、気体、即ち、気泡が浮力によってノズル２４よりも圧力室２５側に浮上した位置に気体排出機構を近づけて配置されることになるので、後述する気泡排出動作において、個別流路内の圧力室２５の天井面近くに滞留している気泡を共通排出路１５側により排出しやすくすることができる。このような観点から、気体排出機構は、鉛直方向においてノズル２４よりも圧力室２５側であって、圧力室２５の底面よりも上方、即ち、天井面側に配置されていることが望ましい。これにより、浮力によって圧力室２５の天井面の近傍に滞留する気泡をより効果的に排出することができる。
【００３４】
圧力室形成基板２６における連通板１９側とは反対側の上面には、第１振動板２７が設けられている。この第１振動板２７によって圧力室２５、個別排出路１６、及び、共通排出路１５の上部開口がそれぞれ封止されている。この第１振動板２７は、例えば、圧力室形成基板２６の上面に形成された二酸化シリコン（ＳｉＯ２）からなる弾性膜と、この弾性膜上に形成された酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）からなる絶縁体膜と、から成る。この第１振動板２７上における各圧力室２５の上部開口に対応する領域に駆動素子としての圧電素子２８がそれぞれ形成されている。本実施形態における圧電素子２８は、いわゆる撓みモードの圧電素子である。この圧電素子２８は、例えば、第１振動板２７上に、下電極層、圧電体層および上電極層（いずれも図示せず）が順次積層されてなる。このように構成された圧電素子２８は、下電極層と上電極層との間に両電極の電位差に応じた電界が付与されると、上下方向に撓み変形する。本実施形態では、２列に形成された圧力室２５の列に対応して、圧電素子２８の列が２列形成されている。
【００３５】
また、第１振動板２７上であって、個別排出路１６に対応する位置には、開閉弁３０を構成する開閉弁用圧電素子３８ａ，３８ｂの組のうちの一方の上部開閉弁用圧電素子３８ａが設けられている。この上部開閉弁用圧電素子３８ａは、上記圧電素子２８と同様に、第１振動板２７上に下電極層、圧電体層および上電極層（いずれも図示せず）が順次積層されてなる撓みモードの圧電素子から構成されている。
【００３６】
保護基板２９は、圧電素子２８の列を覆うように第１振動板２７上に積層されている。この保護基板２９の中央部には、配線基板３２が挿通される配線空部３３が開設されている。この配線空部３３内に、圧電素子２８のリード電極や、開閉弁３０を構成する開閉弁用圧電素子３８ａ，３８ｂのリード電極が配置され、これらのリード電極に配線基板３２の配線端子が電気的に接続される。この配線基板３２を通じてプリンター１の制御部から送られてくる駆動信号が圧電素子２８に印加されると、当該圧電素子２８が駆動されてインクの噴射制御が行われる。同様にして、開閉弁用圧電素子３８ａ，３８ｂに開閉弁用駆動信号が印加されることにより、開閉弁３０の開閉が制御される。保護基板２９の内部には、圧電素子２８及び上部開閉弁用圧電素子３８ａを収容可能な収容空間３１が形成されている。この収容空間３１は、保護基板２９の下面側、換言すると第１振動板２７側から、上面側、換言するとホルダー２２側に向けて保護基板２９の高さ方向途中まで形成された窪みである。本実施形態における保護基板２９には、配線空部３３の両側に収容空間３１がそれぞれ形成されている。アクチュエーターユニット２０の下面には、このアクチュエーターユニット２０よりも広い面積を有する連通板１９が接合される。
【００３７】
連通板１９は、圧力室形成基板２６と同様にシリコン単結晶基板から作製されている。本実施形態における連通板１９には、圧力室２５とノズル２４とを連通するノズル連通口３４、各圧力室２５に共通に設けられたリザーバー３６、及び、リザーバー３６と圧力室２５とを個別に連通する個別連通口３５が、例えば異方性エッチングにより形成されている。また、本実施形態における連通板１９には、開閉弁３０を構成する開閉弁用圧電素子３８ａ，３８ｂの組のうちの他方の下部開閉弁用圧電素子３８ｂを収容する収容凹部３９が、上記ノズル連通口３４等と同様に異方性エッチングによって形成されている。
【００３８】
リザーバー３６は、ノズル列方向に沿って延在する液室であり、本実施形態における連通板１９においてノズルプレート１８のノズル列毎に対応して２つ形成されている。リザーバー３６の下面側の開口部は、コンプライアンス基板２１のコンプライアンスシート４１によって封止される。なお、１つのノズル列に対して複数のリザーバーが設けられ、それぞれのリザーバーに異なる種類のインクが割り当てられる構成を採用することもできる。リザーバー３６は、連通板１９の下面側から異方性エッチングによって形成されている。このリザーバー３６には、後述するようにホルダー２２に設けられた導入液室４８の導入口４９を通じてインクが導入される。個別連通口３５は、各圧力室２５にそれぞれ対応してノズル列方向に沿って複数形成されている。この個別連通口３５は、圧力室２５の長手方向における他側（即ち、ノズル連通口３４に連通する側とは反対側）の端部と連通する。ノズル連通口３４は、圧力室２５とノズル２４とを個別に連通する流路であり、連通板１９の厚さ方向を貫通した状態に形成されている。即ち、リザーバー３６に導入されたインクは、個別連通口３５から各圧力室２５にそれぞれ流入し、さらにノズル連通口３４を通じてノズル２４に供給される。そして、本実施形態においては、圧力室２５からノズル連通口３４を通ってノズル２４に至るまでの個別流路に、開閉弁３０及び個別排出路１６を介して共通排出路１５が連通されている。
【００３９】
連通板１９において、収容凹部３９は、各ノズル列にそれぞれ対応するノズル連通口３４の列の間の領域に形成されている。上記のように収容凹部３９は、下部開閉弁用圧電素子３８ｂを収容する空間であり、連通板１９の上面側から当該連通板１９の厚さ方向の途中まで例えば異方性エッチング等によって形成されている。この収容凹部３９の開口面は、第２振動板４０によって封止されている。当該第２振動板４０は、下部開閉弁用圧電素子３８ｂの駆動に伴って変位可能な可撓性を有する部材であり、例えば、上記第１振動板２７と同様に弾性膜と絶縁体膜とから構成される。そして、下部開閉弁用圧電素子３８ｂは、この第２振動板４０の収容凹部３９側の面に形成されている。下部開閉弁用圧電素子３８ｂも、図示しない下電極層、圧電体層および上電極層が順次積層されてなる撓みモードの圧電素子である。なお、下部開閉弁用圧電素子３８ｂのリード電極は、上記した配線空部３３内に引き出されており、配線基板３２を通じて開閉弁用駆動信号が印加されることにより、下部開閉弁用圧電素子３８ｂが撓み変形するように構成されている。
【００４０】
上記の連通板１９の下面の略中央部分には、複数のノズル２４が形成されたノズルプレート１８が接合される。本実施形態におけるノズルプレート１８は、連通板１９およびアクチュエーターユニット２０よりも小さい外形の板材であり、例えば、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼等の金属板から構成されている。このノズルプレート１８は、連通板１９の下面において、リザーバー３６の開口から外れた位置であって、ノズル連通口３４が開口した領域に、これらのノズル連通口３４と複数のノズル２４とがそれぞれ連通する状態で接着剤等により接合される。本実施形態におけるノズルプレート１８には、複数のノズル２４が列設されてなるノズル列（換言すると、ノズル群）が合計２条形成されている。
【００４１】
また、連通板１９の下面におけるノズルプレート１８から外れた位置には、コンプライアンス基板２１が接合される。このコンプライアンス基板２１は、連通板１９の下面に位置決めされて接合された状態で、連通板１９の下面におけるリザーバー３６の開口を封止する。本実施形態におけるコンプライアンス基板２１は、コンプライアンスシート４１と、これを支持する支持板４２とが接合されて構成されている。連通板１９の下面には、コンプライアンス基板２１のコンプライアンスシート４１が接合されて、連通板１９と支持板４２との間にコンプライアンスシート４１が挟まれた状態となる。コンプライアンスシート４１は、可撓性を有する薄膜、例えばポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等の合成樹脂材料により作製されている。支持板４２は、コンプライアンスシート４１よりも剛性が高く且つ厚みのあるステンレス鋼等の金属材料で形成されている。この支持板４２のリザーバー３６に対向する領域には、このリザーバー３６の下面開口に倣った形状に支持板４２の一部が除去されたコンプライアンス開口４３が形成されている。このため、リザーバー３６の下面側の開口は、可撓性を有するコンプライアンスシート４１のみで封止されている。換言すると、コンプライアンスシート４１は、リザーバー３６の一部を区画している。
【００４２】
支持板４２の下面におけるコンプライアンス開口４３に対応する部分は、固定板１７によって封止される。これにより、コンプライアンスシート４１の可撓領域と、これに対向する固定板１７との間には、コンプライアンス空間４４が形成されている。そして、このコンプライアンス空間４４におけるコンプライアンスシート４１の可撓領域が、インク流路内、特にリザーバー３６内の圧力変動に応じてリザーバー３６側またはコンプライアンス空間４４側に変位する。したがって、支持板４２の厚みは、コンプライアンス空間４４として必要な高さに応じて定められている。
【００４３】
ホルダー２２は、平面視において連通板１９と略同一形状を呈し、その下面側にはアクチュエーターユニット２０を収容する収容空部４６が形成されている。そして、収容空部４６にアクチュエーターユニット２０が収容された状態でホルダー２２の下面が連通板１９によって封止される。このホルダー２２の平面視における略中央部分には、収容空部４６と連通する挿通空部４７が開設されている。この挿通空部４７は、アクチュエーターユニット２０の配線空部３３とも連通する。上記の配線基板３２は、挿通空部４７を通じて配線空部３３に挿入されるように構成されている。また、ホルダー２２の内部において、挿通空部４７および収容空部４６の両側には、連通板１９のリザーバー３６と連通する導入液室４８が形成されている。また、ホルダー２２の上面には、導入液室４８と連通する導入口４９がそれぞれ開設されている。導入液室４８には、インクタンク６から送られてきたインクが導入口４９を通じて導入される。すなわち、インクタンク６から送られてきたインクは、導入口４９、導入液室４８、およびリザーバー３６へと導入され、リザーバー３６から個別連通口３５を通じて各圧力室２５に供給される。
【００４４】
固定板１７は、例えば、ステンレス鋼等の金属製の板材である。本実施形態における固定板１７には、ノズルプレート１８に対応する位置に、当該ノズルプレート１８に形成されたノズル２４を露出させるため、ノズルプレート１８の外形に倣った形状の貫通口１７ａが厚さ方向を貫通する状態で形成されている。本実施形態では、この固定板１７における固定板１７の下面と貫通口１７ａにおけるノズルプレート１８の露出部分とにより、ノズル形成面が構成されている。なお、固定板１７は、記録ヘッド８を保持する図示しないケース等の保持部材に固定される。
【００４５】
そして、上記構成の記録ヘッド８では、導入液室４８からリザーバー３６、個別連通口３５、圧力室２５、及びノズル連通口３４を通ってノズル２４に至るまでの液体流路内がインクで満たされた状態で、駆動ＩＣ３８からの駆動信号に従い圧電素子２８が駆動されることにより、圧力室２５内のインクに圧力振動が生じ、この圧力振動によって所定のノズル２４からインクが噴射される。
【００４６】
次に、プリンター１の電気的な構成について説明する。
図５は、プリンター１の電気的な構成を説明するブロック図である。本実施形態におけるプリンター１は、媒体搬送機構５１、キャリッジ移動機構５２、リニアエンコーダー５３、キャッピング機構１２、脱気機構１４．記録ヘッド８、及び、これらを制御するプリンターコントローラー５５を備えている。
【００４７】
本実施形態におけるプリンターコントローラー５５は、制御回路５６及び駆動信号発生回路５７等を備えている。制御回路５６は、プリンター全体の制御を行うための演算処理装置であり、図示しないＣＰＵや記憶装置等から構成されている。制御回路５６は、記憶装置に記憶されているプログラム等に従って、プリンター１における各ユニットを制御する。また、本実施形態における制御回路５６は、外部機器等から受信した印刷ジョブデータに基づき、印刷動作の際、記録ヘッド８のノズル２４からインクを噴射させるための噴射データを生成し、当該噴射データを記録ヘッド８のヘッドコントローラー５９に送信する。また、制御回路５６は、キャリッジ５の移動（即ち、主走査）に伴ってリニアエンコーダー５３から出力されるエンコーダー信号からタイミング信号を生成する。駆動信号発生回路５７は、このタイミング信号を受信する毎に駆動信号を出力する。この駆動信号発生回路５７は、駆動信号の波形に関する波形データに基づいて、アナログの電圧信号を生成し、これを図示しない増幅回路により増幅して駆動信号を生成する。駆動信号発生回路５７により発生された駆動信号は、記録ヘッド８のヘッドコントローラー５９に送信される。また、駆動信号発生回路５７は、上記開閉弁３０の開閉動作に係る開閉弁用駆動信号をヘッドコントローラー５９に出力する。開閉弁用駆動信号は、例えば、開閉弁３０を閉じた状態にする一定の閉弁電圧と、開閉弁３０を所定時間だけ開いた状態にするパルス状の開弁電圧とを含む。
【００４８】
キャリッジ移動機構５２は、タイミングベルト等を介して走行させる図示しない駆動モーター（例えば、ＤＣモーター）等を備え、キャリッジ５に搭載された記録ヘッド８をガイドロッド４に沿って主走査方向に移動させる。媒体搬送機構５１は、印刷媒体Ｓをプラテン３上に順次送り出して副走査を行う。また、リニアエンコーダー５３は、キャリッジ５に搭載された記録ヘッド８の走査位置に応じたエンコーダー信号を、主走査方向における位置情報としてプリンターコントローラー５５の制御回路５６に出力する。制御回路５６は、リニアエンコーダー５３側から受信したエンコーダー信号に基づいて記録ヘッド８の走査位置（現在位置）を把握する。
【００４９】
脱気機構１４は、共通排出路１５から排出されたインク内の気泡や溶存気体（以下、適宜、単に気体と称する）を脱気する機構である。脱気方式としては、インクが貯留された図示しない容器の内部空間を直接減圧する方式や、中空糸膜にインクを通過させつつ中空糸膜の外部空間を減圧する膜脱気方式等を採用することができる。脱気機構１４によって脱気されたインクは、インクタンク６に戻される。
【００５０】
記録ヘッド８は、ヘッドコントローラー５９と、圧電素子２８と、開閉弁３０と、ノズル異常検知部６０と、を備える。ノズル異常検知部６０は、記録ヘッド８の各ノズル２４の噴射異常（換言すると噴射不良）を検知する機構である。このノズル異常検知部６０により、印刷動作中にノズル２４についてインクの噴射が正常に行われているか否かの検査が行われる。本実施形態におけるノズル異常検知部６０は、インクの噴射時に圧電素子２８が駆動された際の圧力室２５内のインクに生じる振動に基づく当該圧電素子２８の起電力信号を検知信号として制御回路５６に出力するように構成されている。制御回路５６は、ノズル異常検知部６０から出力される検知信号に基づき当該ノズル２４からのインクの噴射について異常の有無を判定する。ノズル２４からインクが噴射されないノズル抜けの場合や、ノズル２４からインクが噴射されるとしても正常なノズル２４と比較してインクの量や飛翔速度（初速）が極端に低下している場合などの異常時には、上記の検知信号の周期成分や振幅成分が、予め取得されている正常時の周期や振幅と比較して異なる。特に、圧力室２５からノズル２４までの個別流路内に気泡Ｂ（図３参照）が存在する場合、検知信号の振幅や周期が正常時から著しく変化する。この検知信号、即ち、起電力信号に基づく噴射異常の検知は周知であるため詳細な説明は省略するが、この検知方法により気泡による噴射異常を検知することが可能である。なお、噴射異常の検知方法としては、例示したような圧電素子２８の起電力によるものには限られず、例えば、ノズル２４から噴射されるインク滴を光学的に検知することによる方法等、周知の種々の方法を採用することができる。
【００５１】
このように構成されたプリンター１は、印刷動作において、媒体搬送機構５１によって印刷媒体Ｓを順次搬送すると共に、印刷媒体Ｓに対して記録ヘッド８を主走査方向に相対移動させながら、当該記録ヘッド８のノズル２４から液体の一種であるインクをインク滴として噴射させて、印刷媒体Ｓ上に当該インク滴を着弾させることにより画像等を印刷する。
【００５２】
図６は、本実施形態におけるプリンター１の印刷動作における処理の流れを示すフローチャートである。本実施形態においては、印刷ジョブに基づく一連の印刷動作が実行されている際にノズル異常検知部６０により噴射異常が検知された場合に、圧力室２５からノズル２４に至るまでの個別流路から気泡を排出する場合について説明する。なお、印刷動作が行われている場合、通常、開閉弁３０を構成する開閉弁用圧電素子３８ａ，３８ｂには、それぞれ閉弁電圧が継続して印加される。これにより、これらの開閉弁用圧電素子３８ａ，３８ｂが互いに近接する側に撓んで当接し、開閉弁３０を閉じた状態とする。即ち、圧力室２５からノズル２４に至るまでの個別流路と共通排出路１５とが、開閉弁３０によって互いに遮断され、個別流路側から共通排出路１５側へのインクの流通が阻止される非連通状態となる。外部機器等から印刷ジョブデータが受信されると（ステップＳ１）、印刷媒体Ｓに対する印刷ジョブ、即ち、印刷動作が開始される（ステップＳ２）。印刷動作が実行されている間、制御回路５６は、ノズル異常検知部６０を監視し、当該ノズル異常検知部６０からの検知信号に基づき、噴射異常が検知されたか否かを判定する（ステップＳ３）。噴射異常は検知されていない（Ｎｏ）と判定された場合、ステップＳ４からステップＳ６までの処理は行わずにステップＳ７の処理に進む。
【００５３】
一方、ステップＳ３において、噴射異常が検知された（Ｙｅｓ）と判定された場合、現在実行中の印刷ジョブが中断される（ステップＳ４）。続いて、噴射異常が検出されたノズル２４に対応する個別流路から上記気体排出機構によって気泡Ｂを排出する気泡排出動作が行われる（ステップＳ５）。この気泡排出動作では、減圧機構としてのポンプ９が駆動されて、共通排出路１５の内部が、個別流路内のインクの圧力よりも低い圧力まで減圧されると共に、該当するノズル２４に対応する開閉弁３０の開閉弁用圧電素子３８ａ，３８ｂにそれぞれ開弁電圧（即ち、開弁パルス）が印加される。本実施形態においては、開弁電圧は、閉弁電圧よりも低い電圧に設定されている。これにより、これらの開閉弁用圧電素子３８ａ，３８ｂは、開弁パルスのパルス幅（換言すると、開弁電圧の印加時間）だけ、互いに離隔する側に撓んで当接状態を解放した開弁状態とする。即ち、圧力室２５からノズル２４に至るまでの個別流路と共通排出路１５とが、個別排出路１６を介して互いに連通されて、個別流路側から共通排出路１５側へのインクや気泡の流通が許容される連通状態となる。そして、共通排出路１５が減圧されているため、図４に示されるように、個別流路内の一部のインクと共に気泡Ｂが個別排出路１６を介して共通排出路１５側に排出される。気泡Ｂが共通排出路１５側に排出されると、開閉弁用圧電素子３８ａ，３８ｂには閉弁電圧がそれぞれ印加されて開閉弁３０が閉じた状態、即ち、非連通状態とされる。本実施形態においては、共通排出路１５側に排出されたインク及び気泡Ｂは、排出チューブ１１を通じて脱気機構１４に送られて当該脱気機構１４によって脱気された後、インクタンク６に戻されて再利用される。上述のように開閉弁３０を閉じた状態にした後、中断されていた印刷ジョブが再開される（ステップＳ６）。
【００５４】
ステップＳ７では、印刷媒体Ｓに対する印刷ジョブが終了したか否かが判定される。印刷媒体Ｓに対する印刷ジョブが終了していない（Ｎｏ）と判定された場合、ステップＳ２に戻り、印刷動作が継続される。また、ステップＳ７において、印刷媒体Ｓに対する印刷ジョブが終了した（Ｙｅｓ）と判定された場合、一連の印刷動作は終了する。なお、本実施形態においては、印刷ジョブに基づく印刷動作が実行されている際にノズル異常検知部６０により噴射異常が検知されたタイミングで気泡排出動作が行われる例を示したが、これには限られない。例えば、プリンター１に接続されている外部機器で実行されるプリンタードライバー等を通じて気泡排出動作の実行を示す指示をユーザーから受けたタイミング、プリンター１の電源が投入された際において印刷動作が実行される前のタイミング、又は、キャッピング機構１２によりクリーニング動作が行われた後のタイミング等で気泡排出動作を行うようにしてもよい。
【００５５】
また、本実施形態においては、ノズル異常検知部６０によって噴射異常が検知された場合に印刷動作を中断して該当ノズル２４について気泡排出動作が行われる例を示したが、これには限られず、噴射異常が検知された場合においても印刷動作を継続することもできる。この場合、噴射異常が検知された後、直ちに、噴射異常が検知されたノズル２４に対応する圧電素子の駆動のみをキャンセルして気泡排出動作を行うこともできるし、印刷ジョブデータに基づき該当ノズル２４についてインクの噴射が行われない周期（即ち、非記録に相当する周期）が最初に到来したタイミングで、当該ノズル２４について気泡排出動作を行うこともできる。これにより、印刷ジョブの実行時間に悪影響を及ぼすことなく、気泡の除去が可能となる。
【００５６】
以上のように、本発明に係るプリンター１では、圧力室２５からノズル連通口３４を通ってノズル２４に至るまでの個別流路内の気泡、即ち、気体を気体排出機構によって個別流路の外部、即ち、共通排出路１５側に排出することができるので、当該気泡によるインクの噴射への悪影響を抑制することが可能となる。また、キャッピング機構１２によって記録ヘッド８の各ノズル２４から強制的にインクや気泡を排出させるクリーニング動作を行うことなく個別流路内の気泡を除去することができるので、その分、インクの消費を低減することが可能となる。さらに、本実施形態においては、排出路、即ち、個別排出路１６及び共通排出路１５が減圧機構であるポンプ９によって減圧されるので、個別流路における気体を排出路側により積極的に排出することが可能となる。そして、本実施形態においては、開閉弁３０を開閉させることにより、個別流路内の気体を共通排出路１５側により円滑に排出することができる。
【００５７】
図７は、本実施形態における記録ヘッド８の変形例について説明する断面図である。なお、同図では、開閉弁３０が閉じられた閉弁状態が図示されている。上記第１実施形態においては、開閉弁３０が、開閉弁用圧電素子３８ａ，３８ｂの組から構成された例を示したが、これには限られない。図７の変形例では、第１振動板２７上に設けられた開閉弁用圧電素子３８が開閉弁３０として機能する。この構成では、開閉弁用圧電素子３８が、個別排出路１６の底面（即ち、連通板１９側の面）に向けて撓み、当該個別排出路１６の底面に当接することで、個別排出路１６を閉じて個別流路側から共通排出路１５側へのインクの流通を阻止する閉弁状態となる。また、開閉弁用圧電素子３８が、保護基板２９の収容空間３１側に向けて撓んで個別排出路１６の底面から離隔することで、個別排出路１６を開いて個別流路側から共通排出路１５側へのインクの流通を許容する開弁状態となる。この構成によれば、開閉弁３０を構成する圧電素子が１つで足りるため、構成がより簡素化され、記録ヘッド８の小型化にも寄与する。図７の例では、開閉弁用圧電素子３８が第１振動板２７上に設けられた構成を示したが、例えば、上記第１実施形態における下部開閉弁用圧電素子３８ｂに対応する位置（即ち、第１実施形態における第２振動板４０の収容凹部３９側の面）に開閉弁用圧電素子３８が設けられる構成とすることもできる。また、開閉弁３０に関し、例示した圧電素子を使用する構成には限られず、流路を開閉することが可能なものであれば、周知の種々の構成の開閉弁を採用することができる。なお、他の構成については、上記第１実施形態の構成と同様である。
【００５８】
図８及び図９は、本発明の第２実施形態における記録ヘッド８の一部を拡大して示した断面図である。なお、図８では開閉弁３０が閉じられ、補助開閉弁６２が開かれた状態、図９では開閉弁３０が開かれ、補助開閉弁６２が閉じられた状態がそれぞれ示されている。本実施形態は、鉛直方向において開閉弁３０よりもノズル２４側に補助開閉弁６２が設けられている点で上記第１実施形態と異なっている。
【００５９】
本実施形態において、連通板１９におけるノズル連通口３４の両側に、補助開閉弁６２を構成する補助開閉弁用圧電素子６４ａ，６４ｂを収容する収容凹部６５がそれぞれ形成されている。この収容凹部６５のノズル連通口３４側の開口面は、上記第１振動板２７及び第２振動板４０と同様な構成の第３振動板６３によって封止されている。そして、補助開閉弁用圧電素子６４ａ，６４ｂは、第３振動板６３の収容凹部６５側の面に形成されている。これらの補助開閉弁用圧電素子６４ａ，６４ｂは、上記開閉弁用圧電素子３８ａ，３８ｂと同様に、図示しない下電極層、圧電体層および上電極層が順次積層されてなる撓みモードの圧電素子であり、開閉弁用駆動信号が印加されることにより撓み変形するように構成されている。
【００６０】
印刷動作が行われている場合等の通常時においては、図８に示されるように、開閉弁３０を構成する開閉弁用圧電素子３８ａ，３８ｂに一定の閉弁電圧がそれぞれ継続して印加されることにより開閉弁３０は閉じた状態、即ち、非連通状態とされる一方、補助開閉弁６２を構成する補助開閉弁用圧電素子６４ａ，６４ｂには一定の開弁電圧がそれぞれ継続して印加され、これらの補助開閉弁用圧電素子６４ａ，６４ｂは、互いに離隔する側に撓んで補助開閉弁６２が開いた開状態とされる。これにより、圧力室２５とノズル２４とはノズル連通口３４を介して連通した状態となる一方、圧力室２５からノズル２４に至るまでの個別流路と共通排出路１５とは非連通状態となる。この状態では、圧電素子２８を駆動することにより、ノズル２４からインクを噴射させることができる。
【００６１】
図１０は、第２実施形態における気泡排出動作について説明するフローチャートである。本実施形態において、ノズル異常検知部６０による噴射異常の検知を契機として気泡排出動作が行われる場合、まず、補助開閉弁６２を構成する補助開閉弁用圧電素子６４ａ，６４ｂには閉弁電圧がそれぞれ印加され、これらの補助開閉弁用圧電素子６４ａ，６４ｂが互いに近接する側に撓んで補助開閉弁６２が閉じた閉状態とされる（第１の弁切替工程：ステップＳ１１）。続いて、開閉弁３０を構成する開閉弁用圧電素子３８ａ，３８ｂに開弁電圧がそれぞれ印加されることにより開閉弁３０が開いた連通状態とされる（第２の弁切替工程：ステップＳ１２）。これにより、図９に示されるように、個別流路内の一部のインクと共に気体、即ち、気泡Ｂが個別排出路１６を介して共通排出路１５側に排出される（気体排出工程：ステップＳ１３）。本実施形態においては、補助開閉弁６２が閉じられているので、共通排出路１５に負圧を付与した場合にノズル２４から個別流路内に空気を引き込むことが防止される。このため、本実施形態においては、第１実施形態と比較して共通排出路１５により大きい負圧を付与することができるので、ノズル２４から個別流路内に空気が引き込まれることを抑制しつつ、個別流路内の気体（気泡Ｂ）をより確実に排出することが可能となる。気泡Ｂが共通排出路１５側に排出されると、開閉弁用圧電素子３８ａ，３８ｂには閉弁電圧がそれぞれ印加されて開閉弁３０が閉じた非連通状態とされ（第３の弁切替工程：ステップＳ１４）、また、補助開閉弁６２を構成する補助開閉弁用圧電素子６４ａ，６４ｂに一定の開弁電圧がそれぞれ印加され、これらの補助開閉弁用圧電素子６４ａ，６４ｂは、互いに離隔する側に撓んで補助開閉弁６２が開いた開状態とされる（第４の弁切替工程：ステップＳ１５）。なお、本実施形態において、第１の弁切替工程（Ｓ１１）と第２の弁切替工程（Ｓ１２）とは並行して行われてもよい。同様に、第３の弁切替工程（Ｓ１４）と第４の弁切替工程（Ｓ１４）とは並行して行われてもよい。その場合は、ノズル２４から個別流路内に空気が引き込まれないように、弁切替工程が終了するまではポンプ９による共通配出路１５の減圧をしない、または弱めることが好ましい。他の構成については第１実施形態と同様である。
【００６２】
図１１は、本発明の第３実施形態における記録ヘッド８の一部を拡大して示した断面図である。本実施形態は、第１実施形態における開閉弁６２に替えて、インク等の液体よりも気体（空気）を透過しやすい部材からなるガス透過膜６７（本発明におけるガス透過部材の一種であり、仕切部材の一種）が設けられている点で上記各実施形態と異なっている。即ち、本実施形態においては、ガス透過膜６７、個別排出路１６、及び、共通排出路１５が、本発明における気体排出機構として機能する。ガス透過膜６７は、例えば、ゴアテックス（登録商標）等の防水透湿性素材や、気体透過性の高い高分子膜（例えば、ポリ〔１−（トリメチルシリル）−１−プロピレン〕）等を採用することができる。この構成においては、ガス透過膜６７が、気体、即ち、気泡の透過を許容する一方、インクの通過を阻止するので、個別排出路１６及び共通排出路１５は、インクで満たされていない空間となっている。そして、共通排出路１５の内部は、ポンプ９等の減圧機構により減圧された状態とされる。これにより、個別流路内の気泡Ｂは、ガス透過膜６７を次第に透過して個別排出路１６を通って共通排出路１５側に移動し、記録ヘッド８の外部へと排出される。本実施形態によれば、上記第１実施形態や第２実施形態と比較してより単純な構造で個別流路内の気泡Ｂを除去することができる。また、プリンター１の電源が投入されている状態において共通排出路１５の減圧状態を維持することにより、気泡がより大きく成長する前に個別流路内のインクから気体を除去することができる。これにより、気泡を起因とするインク噴射の不具合をより効果的に抑制することが可能となる。なお、排出路、即ち、個別排出路１６及び共通排出路１５は、必ずしも減圧されている必要は無く、大気開放されていても良い。この場合、ノズル２４からインクが噴射される際に圧力室２５内のインクの圧力が大気圧よりも高まった際に個別流路内の気泡Ｂが、ガス透過膜６７を透過して共通排出路１５側に移動することができる。
【００６３】
図１２は、本発明の第３実施形態の変形例における記録ヘッド８の一部を拡大して示した断面図である。この変形例は、ガス透過膜６７が圧力室形成基板２６の上下面に対して傾斜した状態で配置されている点に特徴を有している。より具体的には、ガス透過膜６７は、圧力室２５の底面から天井面に向かうほど個別連通口３５や圧力室２５側に近づく状態に傾斜した姿勢で配置されている。このようにガス透過膜６７を傾斜させた状態で配置することにより、鉛直方向から見て、ガス透過膜６７の一部がノズル連通口３４に重なるので、当該重なった部分に気泡Ｂが浮力によって接触しやすくなる。これにより、ガス透過膜６７から気泡（即ち気体）をより排出させやすくすることが可能となる。なお、他の構成は第３実施形態と同様である。
【００６４】
この他、本発明は、圧力室からノズルに至る流路を有し、駆動素子の駆動によりノズルから液体を噴射させる液体噴射ヘッド及びこれを備える液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を複数備える液体噴射ヘッド、及び、これを備える液体噴射装置にも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００６５】
１…プリンター，２…フレーム，３…プラテン，４…ガイドロッド，５…キャリッジ，６…インクタンク，７…サブタンク，８…記録ヘッド，９…ポンプ，１０…供給チューブ，１１…排出チューブ，１２…キャッピング機構，１３…キャップ，１４…脱気機構，１５…共通排出路，１６…個別排出路，１７…固定板，１８…ノズルプレート，１９…連通板，２０…アクチュエーターユニット，２１…コンプライアンス基板，２２…ホルダー，２４…ノズル，２５…圧力室，２６…圧力室形成基板，２７…第１振動板，２８…圧電素子，２９…保護基板，３０…開閉弁，３１…収容空間，３２…配線基板，３３…配線空部，３４…ノズル連通口，３５…個別連通口，３６…リザーバー，３８…開閉弁用圧電素子，３８ａ…上部開閉弁用圧電素子，３８ｂ…下部開閉弁用圧電素子，３９…収容凹部，４０…第２振動板，４１…コンプライアンスシート，４２…支持板，４３…コンプライアンス開口，４４…コンプライアンス空間，４６…収容空部，４７…挿通空部，４８…導入液室，４９…導入口，５１…媒体搬送機構，５２…キャリッジ移動機構，５３…リニアエンコーダー，５５…プリンターコントローラー，５６…制御回路，５７…駆動信号発生回路，５９…ヘッドコントローラー，６０…ノズル異常検知部，６２…補助開閉弁，６３…第３振動板，６４…補助開閉弁用圧電素子，６５…収容凹部，６７…ガス透過膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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