(57)【要約】【課題】マスクに付着したペーストをより確実に除去することができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供する。【解決手段】スクリーン印刷装置は、マスクに付着したペーストを除去するマスククリーナと、マスククリーナがペーストを除去する際にマスクに付着したペーストを吸引する吸引部とを備えている。スクリーン印刷装置におけるマスククリーニング方法は、マスク上でのスキージを移動させてパターン孔を通じて基板にペーストを印刷する印刷工程（ＳＴ１）と、吸引部により吸引しながらマスククリーナでマスクの下面に付着しているペーストを除去する第一のクリーニング工程（ＳＴ３）と、吸引部による吸引を停止させた状態でマスククリーナでマスクの下面に付着しているペーストを除去する第二のクリーニング工程（ＳＴ５）とを含んでいる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターン孔が形成されたマスクと、
前記マスク上を摺動して前記マスク上に供給されたペーストを前記パターン孔を通じて前記マスクの下面に位置決めされた基板に印刷するスキージと、
前記マスクの下面に付着したペーストを除去するマスククリーナと、
前記マスククリーナがペーストを除去する際に前記マスクに付着したペーストを吸引する吸引部と、
前記マスククリーナを前記マスクの下面に当接させ、前記吸引部で吸引しながら前記マスクの下面に沿って移動させる第一のクリーニング動作と、前記マスククリーナを前記マスクの下面に当接させ、前記吸引部による吸引を停止させた状態で前記マスクの下面に沿って移動させる第二のクリーニング動作を実行させる制御部と、を備えた、スクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記第一のクリーニング動作を実行させた後、前記第二のクリーニング動作を実行させる、請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
前記マスククリーナは、前記マスクの下面に当接してペーストを掻き取る前記マスククリーナの移動方向と交差する水平方向に延びた複数のブレードを前記移動方向に並べて配置した状態で有し、
前記吸引部は、前記ブレードで挟まれた複数の空間からペーストを吸引する、請求項１または２に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
前記マスクの下面と前記ブレードのペーストを掻き取る面とのなす角が鋭角である、請求項３に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項５】
前記第一のクリーニング動作における前記マスククリーナの移動速度は、前記第二のクリーニング動作における前記マスククリーナの移動速度より遅い、請求項１から４のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
【請求項６】
パターン孔が形成されたマスクと、前記マスク上を摺動して前記マスク上に供給されたペーストを前記パターン孔を通じて前記マスクの下面に位置決めされた基板に印刷するスキージと、前記マスクの下面に付着したペーストを除去するマスククリーナと、前記マスククリーナがペーストを除去する際に前記マスクに付着したペーストを吸引する吸引部とを備えたスクリーン印刷装置におけるスクリーン印刷方法であって、
前記マスク上での前記スキージを移動させて前記パターン孔を通じて前記基板にペーストを印刷する印刷工程と、
前記吸引部により吸引しながら前記マスククリーナで前記マスクの下面に付着しているペーストを除去する第一のクリーニング工程と、
前記吸引部による吸引を停止させた状態で前記マスククリーナで前記マスクの下面に付着しているペーストを除去する第二のクリーニング工程とを含む、スクリーン印刷方法。
【請求項７】
前記印刷工程と次の前記印刷工程との間に、前記第一のクリーニング工程を実行した後に、前記第二のクリーニング工程が実行される、請求項６に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項８】
前記第一のクリーニング工程における前記マスククリーナの移動速度は、前記第二のクリーニング工程における前記マスククリーナの移動速度より遅い、請求項６または７に記載のスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷装置は、マスクを基板に接触させ、マスクに形成されたパターン孔を通じて基板にペーストを印刷する。このようなスクリーン印刷装置は、定期的にマスクの下面からペーストを掻き取ってクリーニングするクリーニング装置を備えている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１のクリーニング装置は、マスクの下面に付着したペーストを掻き取る複数の掻き取り部材を保持する保持体と、掻き取り部材により掻き取られたペーストを吸引する吸引手段を備えている。そして、吸引手段によって吸引しながら掻き取り部材をマスクの下面に当接させて摺動させることにより、マスクに付着したペーストをクリーニングしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６―１９６１０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のクリーニング装置では、摺動しながらペーストを除去する際に、吸引によってパターン孔内から吸い出されたペーストの一部が除去されずにマスクの下面に残留して印刷品質が低下するという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、マスクに付着したペーストをより確実に除去することができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のスクリーン印刷装置は、パターン孔が形成されたマスクと、前記マスク上を摺動して前記マスク上に供給されたペーストを前記パターン孔を通じて前記マスクの下面に位置決めされた基板に印刷するスキージと、前記マスクの下面に付着したペーストを除去するマスククリーナと、前記マスククリーナがペーストを除去する際に前記マスクに付着したペーストを吸引する吸引部と、前記マスククリーナを前記マスクの下面に当接させ、前記吸引部で吸引しながら前記マスクの下面に沿って移動させる第一のクリーニング動作と、前記マスククリーナを前記マスクの下面に当接させ、前記吸引部による吸引を停止させた状態で前記マスクの下面に沿って移動させる第二のクリーニング動作を実行させる制御部と、を備えた。
【０００７】
本発明のスクリーン印刷方法は、パターン孔が形成されたマスクと、前記マスク上を摺動して前記マスク上に供給されたペーストを前記パターン孔を通じて前記マスクの下面に位置決めされた基板に印刷するスキージと、前記マスクの下面に付着したペーストを除去するマスククリーナと、前記マスククリーナがペーストを除去する際に前記マスクに付着したペーストを吸引する吸引部とを備えたスクリーン印刷装置におけるスクリーン印刷方法であって、前記マスク上での前記スキージを移動させて前記パターン孔を通じて前記基板にペーストを印刷する印刷工程と、前記吸引部により吸引しながら前記マスククリーナで前記マスクの下面に付着しているペーストを除去する第一のクリーニング工程と、前記吸引部による吸引を停止させた状態で前記マスククリーナで前記マスクの下面に付着しているペーストを除去する第二のクリーニング工程とを含む。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、マスクに付着したペーストをより確実に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施における形態のスクリーン印刷装置の構成を説明する側面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の構成を説明する平面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるクリーニング装置の構造説明図
【図４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるクリーニング装置を構成するマスククリーナの斜視図
【図５】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置におけるスクリーン印刷方法のフロー図
【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態のクスクリーン印刷装置におけるマスククリーニングの工程説明図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に図面を用いて、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、スクリーン印刷装置、クリーニング装置の仕様に応じ、適宜変更が可能である。以下では、全ての図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。以下、基板の搬送方向（図２における左右方向）をＸ方向、Ｘ方向と水平面内において直交する方向（図１における左右方向）をＹ方向、水平面に直交する方向（図１における上下方向）をＺ方向と定義する。
【００１１】
まず図１、図２を参照して、スクリーン印刷装置１の構造を説明する。図１において、基台２上には基板位置決め部３が設置されている。基板位置決め部３には、ＸＹテーブル４、θテーブル５、基板昇降機構６が下方から順に設けられている。ＸＹテーブル４は、θテーブル５を水平面内（Ｘ方向、Ｙ方向）で移動させる。θテーブル５は、基板昇降機構６をＺ軸周りにθ回転させる。基板昇降機構６の上部には、基板保持部７が設置されている。基板昇降機構６は、基板保持部７を下方から支持して昇降させる。
【００１２】
図２において、基台２上にはＸ方向に延びる一対の搬送コンベア８が設置されている。搬送コンベア８はスクリーン印刷装置１の上流側から受け取った基板９をＸ方向に搬送して、スクリーン印刷装置１の下流側に搬出する。基板保持部７は、搬送コンベア８におけるＸ方向の中央付近に設置されている。基板保持部７は、搬送コンベア８が搬送する基板９を受け取って、基板保持部７が備える一対のクランプ部材１０によって基板９のＹ方向の側面をクランプしてクランプ位置に保持する。
【００１３】
図１において、基台２には制御部Ｃが設置されている。制御部Ｃは搬送コンベア８を制御して、基板９を搬入し、搬出させる。制御部Ｃは、基板位置決め部３（ＸＹテーブル４、θテーブル５、基板昇降機構６）と基板保持部７を制御して、搬送コンベア８によってＸ方向の中央付近に搬送させた基板９を基板保持部７に保持させる。
【００１４】
基板保持部７の上方には、外周を枠部材１１ｗによって支持されたマスク１１が配置されている。マスク１１には、基板９において印刷対象となる電極９ａ（図２参照）の形状・位置に対応して、クリーム半田などのペーストを転写（印刷）するための複数のパターン孔１１ａが形成されている。マスク１１上には、ペースト供給機構（図示省略）によってペーストが供給される。
【００１５】
図１において、マスク１１の上方には、印刷ヘッド移動機構（図示省略）によってＹ方向に移動する（矢印ａ１）印刷ヘッド２０が設置されている。印刷ヘッド２０は、印刷ヘッド移動機構によってＹ方向に移動する移動ベース２１を備えている。移動ベース２１には、２つのスキージ保持部２２がＹ方向に並んで配置されている。スキージ保持部２２は、それぞれＸ方向に延びたスキージ２３を下端に保持し、移動ベース２１に設けられたスキージ昇降機構２４によって昇降する（矢印ａ２）。印刷ヘッド移動機構、印刷ヘッド２０は、制御部Ｃによって制御される。
【００１６】
図１において、マスク１１の下方にはカメラヘッドユニット２５およびクリーニング装置３０が設置されている。本実施の形態において、カメラヘッドユニット２５とクリーニング装置３０はＸ軸テーブル２６に装着されており、Ｙ方向に一体的に移動する（矢印ａ３）構成となっている。カメラヘッドユニット２５は、基板９を上方から撮像するための基板認識カメラ２５ａと、マスク１１を下面１１ｂ側から撮像するためのマスク認識カメラ２５ｂとを備えている。カメラヘッドユニット２５は、水平方向に移動することよって基板９とマスク１１の認識を同時に行うことができる。
【００１７】
基板認識カメラ２５ａは、基板９上に形成された位置合わせ用の基板側マーク９ｍ（図２参照）を撮像する。マスク認識カメラ２５ｂは、マスク１１に形成された位置合わせ用のマスク側マーク（図示省略）を撮像する。基板認識カメラ２５ａとマスク認識カメラ２５ｂによる撮像結果は、制御部Ｃに送信される。
【００１８】
図２において、Ｘ軸テーブル２６は、Ｙ方向に延びるＹ軸テーブル２７にＹ方向にスライド自在に結合されている。Ｙ軸テーブル２７は、Ｘ軸テーブル２６をＹ方向に水平移動させるＹ軸移動機構（図示省略）を備えている。Ｙ軸移動機構は、制御部Ｃによって制御されている。制御部Ｃは、Ｙ軸移動機構を制御することにより、カメラヘッドユニット２５およびクリーニング装置３０をＹ方向に移動させる。後述するスクリーン印刷時に基板９をマスク１１の下面１１ｂに当接させる際などは、カメラヘッドユニット２５およびクリーニング装置３０は、基板保持部７の側方の待機位置に移動する（図１参照）。また、マスククリーニング時には、カメラヘッドユニット２５およびクリーニング装置３０は、マスク１１と基板保持部７の間に移動する。
【００１９】
次に、マスク１１のパターン孔１１ａを通してペーストを基板９に転写するスクリーン印刷について説明する。スクリーン印刷は、制御部Ｃがスクリーン印刷装置１の各部を制御することによって実行される。まず、基板保持部７は、搬送コンベア８によって搬送された基板９をクランプして保持する。次いでカメラヘッドユニット２５は、基板側マーク９ｍとマスク側マークを撮像する。次いで基板位置決め部３は、撮像結果に基づいて、基板９をマスク１１に対して位置合わせする。
【００２０】
次いで基板昇降機構６は、基板９を基板保持部７とともに上昇させてマスク１１の下面１１ｂに当接させる。次いでスキージ昇降機構２４は、スキージ２３を下降させて、マスク１１の上面に接触される。次いで印刷ヘッド移動機構は、スキージ２３をマスク１１上で摺動させて、マスク１１上に供給されたペーストを基板９に転写させる。このように、スクリーン印刷装置１は、スキージ２３をマスク１１上で摺動させて、マスク１１上に供給されたペーストをパターン孔１１ａを通じてマスク１１の下面１１ｂに位置決めされた基板９に印刷するスクリーン印刷を実行する。
【００２１】
次に、図３、図４、図６を参照して、クリーニング装置３０の構成と機能について説明する。図３において、クリーニング装置３０は、Ｙ方向に移動するＸ軸テーブル２６に装着される箱形のクリーナ取付け部３１を備えている。クリーナ取付け部３１には、クリーナ昇降機構３２が設置されており、クリーナ昇降機構３２の上部にはマスククリーナ３３が取り付けられている。クリーナ昇降機構３２はエアや油圧によって駆動されるアクチュエータで構成されている。クリーナ昇降機構３２は制御部Ｃによって制御されており、クリーナ昇降機構３２を駆動させることでマスククリーナ３３が昇降する（矢印ｂ）。
【００２２】
図３、図４において、マスククリーナ３３は、内部に空洞を有してＸ方向に延びた略直方体の本体部３４を備えている。本体部３４の上部には、Ｘ方向に延びた複数（ここでは７枚）のブレード３５がＹ方向に並んで取り付けられている。すなわち、複数のブレード３５は、マスククリーナ３３の移動方向に対して並列に並んで配置されている。ブレード３５は、ＳＵＳ等の金属やプラスティックで成形された薄い「へら状」の可撓性を有する部材である。なお、ブレード３５は、ウレタンゴム等の弾性体で成形されたものでもよい。
【００２３】
図６（ａ）は、マスククリーナ３３をＸ方向から見た断面を示している。便宜上、図６（ａ）に示すマスククリーナ３３が有するブレード３５は４枚に簡略化している。ブレード３５は、本体部３４の上面より上方に突き出して取り付けられている。ブレード３５は、マスク１１の下面１１ｂにブレード３５が当接した状態で、マスク１１の水平な下面１１ｂに対するブレード３５のアタック角θ（マスク１１の下面１１ｂとブレード３５のペーストを掻き取る面とのなす角）が９０°より小さい角、すなわち鋭角となるように取り付けられている。すなわち、ブレード３５は、マスククリーナ３３の移動方向（クリーニング方向）に対して逆方向に傾斜している。
【００２４】
本体部３４の上面において、複数のブレード３５の間には、上面から本体部３４の内部に形成されている空洞部３４ａまで貫通する複数の開口３６が形成されている。また、本体部３４の側面には、空洞部３４ａまで貫通する吸引口３４ｂが形成されている。吸引口３４ｂには、管３７の一端が接続されている。図３において、管３７の他端は、吸引部３８に接続されている。吸引部３８は制御部Ｃによって制御されており、吸引部３８を作動させることで本体部３４の空洞部３４ａが吸引される。
【００２５】
図６（ａ）において、ブレード３５がマスク１１の下面１１ｂに当接している状態で吸引部３８が作動すると、マスク１１の下面１１ｂとブレード３５で囲まれた空間Ｓが本体部３４の開口３６を通じて吸引される。この状態でマスククリーナ３３をクリーニング方向（図６において右側）に移動させると、マスク１１に付着しているペーストＰがマスククリーナ３３に吸引されて除去される（図６（ｂ）参照）。
【００２６】
このように、マスククリーナ３３は、マスク１１の下面１１ｂに当接してペーストＰを掻き取る、クリーニング方向（マスククリーナ３３の移動方向）と交差する水平方向（Ｘ方向）に延びた複数のブレード３５をクリーニング方向に並べて配置した状態で有している。そして、吸引部３８は、マスククリーナ３３がペーストＰを除去する際に、ブレード３５で挟まれた複数の空間Ｓからマスク１１に付着したペーストＰを吸引する。
【００２７】
次に図５のフローに沿って、図６を参照しながらスクリーン印刷装置１におけるスクリーン印刷方法について説明する。図５において、まず、制御部Ｃは、印刷対象の基板９を搬入させて位置合わせし、マスク１１の下面１１ｂに当接させる。次いで制御部Ｃは、マスク１１上でのスキージ２３を移動させてパターン孔１１ａを通じて基板９にペーストＰを印刷させる（ＳＴ１：印刷工程）。次いで制御部Ｃは、基板９を下降させてマスク１１の下面１１ｂから離し、印刷済みの基板９を搬出させる。
【００２８】
次いで制御部Ｃは、マスククリーナ３３を待機位置からマスククリーニングを開始する開始位置まで移動させる（ＳＴ２：第一の開始位置移動工程）。次いで制御部Ｃは、マスククリーナ３３を上昇させてブレード３５（マスククリーナ３３）をマスク１１の下面１１ｂに当接させる（図６（ａ）の矢印ｃ）。次いで制御部Ｃは、吸引部３８を作動させて、吸引部３８で吸引しながらマスククリーナ３３をマスク１１の下面１１ｂに沿って移動させる第一のクリーニング動作を実行させる（図６（ｂ））。
【００２９】
すなわち、吸引部３８により吸引しながらマスククリーナ３３でマスク１１の下面１１ｂに付着しているペーストＰを除去する（ＳＴ３：第一のクリーニング工程）。これによって、マスク１１のパターン孔１１ａ内に付着しているペーストＰがマスク１１の下面１１ｂに吸い出され、マスククリーナ３３に吸引される。図６（ｂ）において、移動しているマスククリーナ３３の後方のパターン孔１１ａ付近のマスク１１の下面１１ｂ（破線ｄで示す領域）には、吸引によってパターン孔１１ａ内から吸い出されたペーストＰのマスククリーナ３３で完全には吸い取りきれずに一部が残留している。これは第一のクリーニング動作の際、吸引部３８の負圧の影響で、ブレード３５がマスク１１のパターン孔１１ａを通過した後においてもパターン孔１１ａのペーストＰがマスク１１の裏面（下面１１ｂ）に移動するためであると推測される。
【００３０】
図５において、マスククリーナ３３が停止位置まで移動すると、制御部Ｃはマスククリーナ３３を下降させてブレード３５をマスク１１の下面１１ｂから離し、マスククリーナ３３を開始位置まで移動させる（ＳＴ４：第二の開始位置移動工程）。次いで制御部Ｃは、マスククリーナ３３を上昇させてブレード３５（マスククリーナ３３）をマスク１１の下面１１ｂに当接させる。次いで制御部Ｃは、吸引部３８による吸引を停止させた状態で、マスククリーナ３３をマスク１１の下面１１ｂに沿って移動させる第二のクリーニング動作を実行させる（図６（ｃ））。
【００３１】
すなわち、吸引部３８による吸引を停止させた状態で、マスククリーナ３３でマスク１１の下面１１ｂに付着しているペーストＰを除去する（ＳＴ５：第二のクリーニング工程）。図６（ｃ）において、第一のクリーニング動作で除去できずに残留していたペーストＰが、第二のクリーニング動作によって複数のブレード３５によって掻き取られることにより、パターン孔１１ａ付近のマスク１１の下面１１ｂ（破線ｅで示す領域）から除去されている。このように、第一のクリーニング動作の後に第二のクリーニング動作を実行することで、マスク１１の下面１１ｂからペーストＰをより確実に除去することができる。
【００３２】
図５において、マスククリーナ３３が停止位置まで移動すると、制御部Ｃはマスククリーナ３３を下降させてブレード３５をマスク１１の下面１１ｂから離し、マスククリーナ３３を待機位置まで移動させる（ＳＴ６：待機位置移動工程）。これによって、一連のマスククリーニング（ＳＴ２〜ＳＴ６）が終了し、次いで印刷工程（ＳＴ１）に戻って次の基板９に対するスクリーン印刷が開始される。
【００３３】
このように、印刷工程（ＳＴ１）と次の印刷工程（ＳＴ１）との間（印刷工程の間）に、第一のクリーニング工程（ＳＴ３）を実行した後に、第二のクリーニング工程（ＳＴ５）が実行される。すなわち、制御部Ｃは、第一のクリーニング動作を実行させた後、第二のクリーニング動作を実行させる。また、制御部Ｃは、第一のクリーニング動作（第一のクリーニング工程）におけるマスククリーナ３３の移動速度（第一の移動速度ｖ１）が、第二のクリーニング動作（第二のクリーニング工程）におけるマスククリーナ３３の移動速度（第二の移動速度ｖ２）より遅くなるように制御する。
【００３４】
これによって、第一のクリーニング動作ではパターン孔１１ａ内に付着しているペーストＰを確実に吸引することができる。そして、第二のクリーニング動作ではマスククリーナ３３の移動速度を上げることで、マスククリーニングの実行時間を短縮することができる。第一の移動速度ｖ１と第二の移動速度ｖ２は、パターン孔１１ａの形状、ペーストＰの状態やマスク１１への付着具合などに応じて、自由に設定することができる。
【００３５】
なお、上記説明したマスククリーニング方法では、第一のクリーニング工程（ＳＴ３）と第二のクリーニング工程（ＳＴ５）は、それぞれ１回ずつ実行しているが、クリーニング工程の回数はこれに限定されることはない。例えば、第一のクリーニング工程（ＳＴ３）を２回実行した後に第二のクリーニング工程（ＳＴ５）を１回実行してもよい。また、第一のクリーニング工程（ＳＴ３）、第二のクリーニング工程（ＳＴ５）、第一のクリーニング工程（ＳＴ３）、第二のクリーニング工程（ＳＴ５）と、クリーニング工程を４回実行してもよい。
【００３６】
いずれの方法でも、マスククリーニングの最後のクリーニング工程、すなわち次の印刷工程（ＳＴ１）に移行する直前のクリーニング工程は、第二のクリーニング工程（ＳＴ５）が実行される。これによって、マスク１１の下面１１ｂからペーストＰをより確実に除去することができ、スクリーン印刷の品質を向上させることができる。
【００３７】
上記説明したように、本実施の形態のスクリーン印刷装置１は、パターン孔１１ａが形成されたマスク１１と、マスク１１上を摺動してマスク１１上に供給されたペーストＰをパターン孔１１ａを通じてマスク１１の下面１１ｂに位置決めされた基板９に印刷するスキージ２３と、マスク１１の下面１１ｂに付着したペーストＰを除去するマスククリーナ３３と、マスククリーナ３３がペーストＰを除去する際にマスク１１に付着したペーストＰを吸引する吸引部３８と、マスククリーナ３３をマスク１１の下面１１ｂに当接させ、吸引部３８で吸引しながらマスククリーナ３３をマスク１１の下面１１ｂに沿って移動させる第一のクリーニング動作と、マスククリーナ３３をマスク１１の下面１１ｂに当接させ、吸引部３８による吸引を停止させた状態でマスククリーナ３３をマスク１１の下面１１ｂに沿って移動させる第二のクリーニング動作を実行させる制御部Ｃと、を備えている。
【００３８】
これによって、マスク１１のパターン孔１１ａ内とマスク１１の下面１１ｂに付着したペーストＰをより確実に除去することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明のスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法は、マスクに付着したペーストをより確実に除去することができるという効果を有し、部品を基板に実装する分野において有用である。
【符号の説明】
【００４０】
１  スクリーン印刷装置
９  基板
１１  マスク
１１ａ  パターン孔
１１ｂ  下面
２３  スキージ
３３  マスククリーナ
３５  ブレード
３８  吸引部
Ｃ  制御部
Ｐ  ペースト
Ｓ  空間
ｖ１  第一の移動速度（第一のクリーニング動作におけるマスククリーナの移動速度）
ｖ２  第二の移動速度（第二のクリーニング動作におけるマスククリーナの移動速度）
θ  アタック角（マスクの下面とブレードのペーストを掻き取る面とのなす角）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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