(57)【要約】【課題】捕集効率の低下を抑制させることが可能なエアフィルタ濾材、フィルタパック、およびエアフィルタユニットを提供する。【解決手段】フッ素樹脂を含み、個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で通風したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の初期透過率と、個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で連続通風することで圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の最終透過率と、のＰＡＯ透過率比（最終透過率／初期透過率）が３．０未満である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ素樹脂を含み、
個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で通風したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の初期透過率と、
個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で連続通風することで圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の最終透過率と、
のＰＡＯ透過率比（最終透過率／初期透過率）が３．０未満である、
エアフィルタ濾材。
【請求項２】
前記ＰＡＯ透過率比（最終透過率／初期透過率）が３．０未満の状態で用いる、
請求項１に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項３】
前記ＰＡＯ透過率比が１．０以上であって、
０．１μｍのＮａＣｌ粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で通風したときの前記ＮａＣｌ粒子の初期透過率と、
０．１μｍのＮａＣｌ粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で連続通風することで圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ＮａＣｌ粒子の最終透過率と、
のＮａＣｌ透過率比（最終透過率／初期透過率）が１．０未満である、
請求項１または２に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項４】
粒子径０．３μｍのＮａＣｌ粒子を用いて把握される圧力損失および捕集効率を用いて、次式：ＰＦ値＝｛−ｌｏｇ（（１００−捕集効率（％））／１００）｝／（圧力損失（Ｐａ）／１０００）で定められるＰＦ値の初期値が、２５．０以上である、
請求項１から３のいずれか１項に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項５】
個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で連続通風し、圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の保塵量が２０．０ｇ／ｍ２以上である、
請求項１から４のいずれか１項に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項６】
第１フッ素樹脂多孔膜と、前記第１フッ素樹脂多孔膜に対して気流の下流側に配置される第２フッ素樹脂多孔膜と、を備える、
請求項１から５のいずれか１項に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項７】
前記第１フッ素樹脂多孔膜は、充填率が９．０％以下であって厚みが３０μｍ以上である、
請求項６に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項８】
前記第１フッ素樹脂多孔膜は、平均繊維径が５０ｎｍ以上であって厚みが３０μｍ以上である、
請求項６または７に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項９】
繊維化し得るポリテトラフルオロエチレンと、繊維化しない非熱溶融加工性成分と、融点３２０℃未満の繊維化しない熱溶融加工可能な成分と、から主としてなるフッ素樹脂多孔膜を含んでいる、
請求項１から８のいずれか１項に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか１項に記載のエアフィルタ濾材を備え、
前記エアフィルタ濾材が山折りおよび谷折りが交互に繰り返されたジグザグ形状に加工されて構成されているフィルタパック。
【請求項１１】
請求項１から９のいずれか１項に記載のエアフィルタ濾材または請求項１０に記載のフィルタパックと、
前記エアフィルタ濾材または前記フィルタパックを保持する枠体と、
を備えたエアフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、エアフィルタ濾材、フィルタパック、およびエアフィルタユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、十分に清浄された空間を得るために、例えばポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥという）からなる多孔膜（以下、ＰＴＦＥ多孔膜という）が集塵フィルタとして用いられている。ＰＴＦＥ多孔膜は、ガラス繊維製濾材に比べて同じ圧力損失で比較したとき塵の捕集効率が高いことから、特に、ＨＥＰＡフィルタ(High Efficiency Particulate Air Filter)やＵＬＰＡフィルタ（Ultra low Penetration Air Filter）に好適に用いられている。
【０００３】
このようなフィルタとしては、例えば、特許文献１（特開２０１７−６４７１３号公報）に記載のエアフィルタ濾材のように、２枚のＰＴＦＥ多孔膜を互いに重ねて構成したものが提案されている。この特許文献１によれば、エアフィルタ濾材の各ＰＴＦＥ多孔膜において、上流側に配置されるものの平均繊維径を０．２４〜０．４５μｍとし、下流側に配置されるものの平均繊維径を０．２４〜０．４５μｍとすることで、オイルミスト（オイル粒子）による目詰まりを抑制させることができるとされている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、捕集対象が液体粒子である場合に、エアフィルタ濾材の捕集効率が次第に低下するという現象を新規に発見した。
【０００５】
本開示の内容は、上述した点に鑑みたものであり、捕集効率の低下を抑制させることが可能なエアフィルタ濾材、フィルタパック、およびエアフィルタユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本件発明者らは、捕集対象が液体粒子である場合に、エアフィルタ濾材の捕集効率が次第に低下するという現象を新規に発見し、当該捕集効率の低下を抑制させるべく、本開示の内容を完成させた。
【０００７】
第１観点に係るエアフィルタ濾材は、フッ素樹脂を含み、ＰＡＯ透過率比（最終透過率／初期透過率）が３．０未満である。ポリアルファオレフィン粒子の初期透過率は、個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で初期の状態のエアフィルタ濾材に通風したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の透過率をいう。ポリアルファオレフィン粒子の最終透過率は、個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で連続通風することで圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の透過率をいう。
【０００８】
このエアフィルタ濾材は、ポリアルファオレフィン粒子を対象とした使用により圧力損失が２５０Ｐａ上昇した後であっても、捕集対象の低下を抑制することができる。
【０００９】
第２観点に係るエアフィルタ濾材は、第１観点のエアフィルタ濾材であって、ＰＡＯ透過率比（最終透過率／初期透過率）が３．０未満の状態で用いる。
【００１０】
このエアフィルタ濾材は、圧力損失が２５０Ｐａ上昇した時点で寿命を迎えるとされているエアフィルタであっても、当該寿命を迎えるまでの間、透過率を小さく抑えた状態で使用することが可能になる。
【００１１】
第３観点に係るエアフィルタ濾材は、第１観点または第２観点のいずれかのエアフィルタ濾材であって、ＰＡＯ透過率比が１．０以上である。また、ＮａＣｌ透過率比（最終透過率／初期透過率）が１．０未満である。ここで、ＮａＣｌ粒子の初期透過率は、０．１μｍのＮａＣｌ粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で初期の状態のエアフィルタ濾材に通風したときの前記ＮａＣｌ粒子の透過率をいう。また、ＮａＣｌ粒子の最終透過率は、０．１μｍのＮａＣｌ粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒でエアフィルタ濾材に連続通風することでエアフィルタ濾材の圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ＮａＣｌ粒子の透過率をいう。
【００１２】
このエアフィルタ濾材は、捕集対象が固体粒子である場合には捕集効率が使用と共に増大（透過率が使用と共に減少）していくものの、捕集対象が液体粒子である場合には捕集効率が使用と共に低下（透過率が使用と共に増大）する傾向があるエアフィルタ濾材について、その使用に伴う液体粒子の透過率の増大を小さく抑えることが可能になる。
【００１３】
第４観点に係るエアフィルタ濾材は、第１観点から第３観点のいずれかのエアフィルタ濾材であって、粒子径０．３μｍのＮａＣｌ粒子を用いて把握される圧力損失および捕集効率を用いて、次式：ＰＦ値＝｛−ｌｏｇ（（１００−捕集効率（％））／１００）｝／（圧力損失（Ｐａ）／１０００）で定められるＰＦ値の初期値が、２５．０以上である。
【００１４】
第５観点に係るエアフィルタ濾材は、第１観点から第４観点のいずれかのエアフィルタ濾材であって、個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で連続通風し、圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の保塵量が２０．０ｇ／ｍ２以上である。
【００１５】
このエアフィルタ濾材は、十分な保塵量を確保しつつ、捕集効率の低下を抑えることができる。
【００１６】
第６観点に係るエアフィルタ濾材は、第１観点から第５観点のいずれかのエアフィルタ濾材であって、第１フッ素樹脂多孔膜と、第１フッ素樹脂多孔膜に対して気流の下流側に配置される第２フッ素樹脂多孔膜と、を備える。
【００１７】
第７観点に係るエアフィルタ濾材は、第６観点のエアフィルタ濾材であって、第１フッ素樹脂多孔膜は、充填率が８．０％未満であって厚みが３０μｍ以上である。
【００１８】
このエアフィルタ濾材は、より下流側に配置される第２フッ素樹脂多孔膜の目詰まりを抑制させることが可能になる。
【００１９】
第８観点に係るエアフィルタ濾材は、第６観点または第７観点のいずれかのエアフィルタ濾材であって、第１フッ素樹脂多孔膜は、平均繊維径が５０ｎｍ以上であって厚みが３０μｍ以上である。
【００２０】
このエアフィルタ濾材は、捕集効率の低下をより十分に抑制することができる。
【００２１】
第９観点に係るエアフィルタ濾材は、第１観点から第８観点のいずれかのエアフィルタ濾材であって、繊維化し得るポリテトラフルオロエチレンと、繊維化しない非熱溶融加工性成分と、融点３２０℃未満の繊維化しない熱溶融加工可能な成分と、から主としてなるフッ素樹脂多孔膜を含んでいる。
【００２２】
従来の繊維化し得るＰＴＦＥ（高分子量ＰＴＦＥ）のみから主として構成されるＰＴＦＥ多孔膜では、繊維径の細い微細なフィブリルを多く含んでおり、繊維１本当たりの表面積が大きく、捕集効率が高い反面、膜厚が比較的薄く、繊維同士の重なりが多いために多くの微粒子を保塵することができず、繊維１本当たりの捕集効率の高さが有効に発揮されていない。
【００２３】
これに対して、このエアフィルタ濾材は、繊維化し得るポリテトラフルオロエチレンと、繊維化しない非熱溶融加工性成分と、融点３２０℃未満の繊維化しない熱溶融加工可能な成分と、の３成分を主として含んで構成されているため、従来のＰＴＦＥ多孔膜と比べて、比較的太い繊維により空隙を多くして膜厚を増やすことで保塵量を高めることが可能になっている。
【００２４】
なお、上記各エアフィルタ濾材は、強度を向上させるための通気性支持材を１枚または複数枚さらに備えていてもよい。
【００２５】
第１０観点に係るエアフィルタパックは、第１観点から第９観点のいずれかのエアフィルタ濾材を備え、エアフィルタ濾材が山折りおよび谷折りが交互に繰り返されたジグザグ形状に加工されて構成されている。なお、「フィルタパック」は、特に限定されるものではないが、例えば、フラットなシート状のものではなく、山折りおよび谷折りを交互に行うことで折り畳まれたジグザグ形状であり、任意の枠体に収容可能となるように整形されているものであってよい。
【００２６】
第１１観点に係るエアフィルタユニットは、第１観点から第９観点のいずれかのエアフィルタ濾材または第１０観点のフィルタパックと、エアフィルタ濾材またはフィルタパックを保持する枠体と、を備えている。
【発明の効果】
【００２７】
本開示に係るエアフィルタ濾材、フィルタパック、または、エアフィルタユニットによれば、捕集効率の低下を抑制させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】エアフィルタ濾材１の層構成を示す概略断面図である。
【図２】エアフィルタ濾材２の層構成を示す概略断面図である。
【図３】エアフィルタ濾材３の層構成を示す概略断面図である。
【図４】フィルタパックの外観斜視図である。
【図５】エアフィルタユニットの外観斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、エアフィルタ濾材（以降、単に濾材ともいう）、フィルタパック、およびエアフィルタユニットについて、実施形態を例に挙げて説明する。
【００３０】
（１）エアフィルタ濾材
エアフィルタ濾材としては、フッ素樹脂を含んだ膜を有しており、個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で通風したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の初期透過率と、個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で連続通風することで圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の最終透過率と、のＰＡＯ透過率比（最終透過率／初期透過率）が３．０未満であるものであれば、特に限定されない。これにより、エアフィルタ濾材の圧力損失が、初期状態から２５０Ｐａ分だけ上昇したような寿命を迎える状態の直前まで、捕集効率の初期状態からの低下を小さく抑えたままでの使用が可能になる。このため、エアフィルタ濾材は、ＰＡＯ透過率比が３．０未満の状態で用いられるものであることが好ましい。なお、捕集効率の低下を十分に抑制させる観点から、ＰＡＯ透過率比（最終透過率／初期透過率）が２．５未満であるものがより好ましく、この点で、ＰＡＯ透過率比が２．５未満の状態で用いられるものであることが好ましい。
【００３１】
なお、エアフィルタ濾材としては、ＰＡＯ透過率比が１．０以上のものであること、すなわち、初期状態からＰＡＯ粒子等の液体粒子について用いられることで、液体粒子の透過率が増大していくものであってよい。このように、液体粒子に用いられることで液体粒子の透過率が増大していくような性質を有するエアフィルタ濾材であっても、その増大程度が抑えられ、捕集効率の低下を小さく抑えることができる。このような、液体粒子に用いられることで液体粒子の透過率が増大していくような性質を有するエアフィルタ濾材としては、固体粒子の透過率については減少していくような性質を有するものであってよい。具体的には、０．１μｍのＮａＣｌ粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で通風したときの前記ＮａＣｌ粒子の初期透過率と、０．１μｍのＮａＣｌ粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で連続通風することで圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ＮａＣｌ粒子の最終透過率と、のＮａＣｌ透過率比（最終透過率／初期透過率）が１．０未満であってよく、０．７未満であってもよく、０．４未満であってもよい。これにより、固体粒子に対して用いられる場合には透過率が次第に低下していく（捕集効率は増大していく）性質を有するにもかかわらず、液体粒子に対して用いられる場合には透過率が次第に増大していく（捕集効率は低下していく）という性質を有するエアフィルタ濾材であっても、その透過率の増大程度が抑えられ、捕集効率の低下を小さく抑えることができる。
【００３２】
ここで、固体粒子に対して用いられる場合には透過率が次第に低下していく（捕集効率は増大していく）性質を有するにもかかわらず、液体粒子に対して用いられる場合には透過率が次第に増大していく（捕集効率は低下していく）という性質を有するエアフィルタ濾材としては、特に限定されないが、エアフィルタ濾材を構成している繊維に対して固体粒子が付着した場合と液体粒子が付着した場合とで、以下に述べるような違いが生じる濾材であるものと考えられる。すなわち、このようなエアフィルタ濾材では、エアフィルタ濾材が有する繊維に対して固体粒子が付着した場合には、当該付着した固体粒子があたかも新たな繊維であるかのように機能して、さらに流れてくる固体粒子を捕らえる働きを備えるようになることで、捕集効率が増大していき、透過率が低下していくものと考えられる。これに対して、このようなエアフィルタ濾材が有する繊維に対して液体粒子が付着した場合には、当該付着した液体粒子が繊維の周囲に纏わり付くことで液体粒子が付着した繊維の繊維径が大きくなっているかのように作用し、繊維径が大きくなっているように振る舞う繊維同士の間を、液体粒子が通過しがちになることで、捕集効率が減少していき、透過率が増大していくものと考えられる。
【００３３】
以上のような液体粒子としては、特に限定されないが、例えば、オイルミスト、水、薬液等を挙げることができ、固体粒子が混ざったものであってもよい。
【００３４】
また、このような液体粒子の平均粒子径としては、例えば、０．０５μｍ以上１．０μｍ以下であってよく、０．１μｍ以上０．５μｍ以下であってもよい。ここでの液体粒子の平均粒子径は、動的光散乱法による数平均値である。
【００３５】
なお、液体粒子による影響と同様の影響は、エアフィルタ濾材を構成している繊維に対して固体粒子が付着した状態で、当該固体粒子が湿潤した場合にも生じるものと考えられる。すなわち、繊維に付着した固体粒子およびこれが凝集成長した粒子において流動性が生じるほど湿潤化した場合には、当該湿潤化した粒子が液体粒子と同様に繊維の周囲に纏わり付くことで、繊維径の肥大化に繋がるものと考えられる。このような固体粒子の湿潤条件としては、例えば、固体粒子の平均粒子径が０．０５μｍ以上２．５μｍ以下であり、使用環境下における相対湿度が６０％以上（より好ましくは７５％以上）であること、とすることができる。
【００３６】
エアフィルタ濾材としては、粒子径０．３μｍのＮａＣｌ粒子を用いて把握される圧力損失および捕集効率を用いて、次式：ＰＦ値＝｛−ｌｏｇ（（１００−捕集効率（％））／１００）｝／（圧力損失（Ｐａ）／１０００）で定められるＰＦ値の初期値が、２５．０以上であってよく、３０．０以上であってもよく、３２．０以上であってもよい。エアフィルタ濾材のＰＦ値が高い場合に生じがちである液体粒子の捕集効率の低下の程度を小さく抑えることが可能になる。
【００３７】
エアフィルタ濾としては、個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で連続通風し、圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の保塵量が２０．０ｇ／ｍ２以上であってよく、２５．０以上であることが好ましく、５０．０以上であることがより好ましい。これにより、液体粒子の十分な保塵量が確保できるエアフィルタ濾材について、液体粒子の捕集効率の低下を抑えることができる。
【００３８】
エアフィルタ濾材の圧力損失（初期値）は、特に限定されないが、例えば、２００Ｐａ未満であることが好ましく、３０Ｐａ以上１５５Ｐａ以下であってよい。
【００３９】
また、エアフィルタ濾材の粒子径０．３μｍのＮａＣｌ粒子を用いて把握される捕集効率（初期値）は、９８．０％以上であることが好ましく、９９．９７％以上であってよい。
【００４０】
エアフィルタ濾材の厚みは、特に限定されないが、３００μｍ以上１３００μｍ以下であってよく、４００μｍ以上８００μｍ以下であってよい。エアフィルタ濾材の厚みは、特定の測定装置において、測定対象に０．３Ｎの荷重をかけたときの厚さの値である。
【００４１】
以上に述べたエアフィルタ濾材の具体的な構成は、特に限定されるものではなく、例えば、図１に示すエアフィルタ濾材１のように、上流通気性支持材２１と、第１フッ素樹脂多孔膜３１と、第２フッ素樹脂多孔膜３２と、下流通気性支持材２２とが、空気流れ方向において順に重ねて構成されるものであってもよい。
【００４２】
また、図２に示すエアフィルタ濾材２のように、プレ捕集材１０と、第１フッ素樹脂多孔膜３１と、第２フッ素樹脂多孔膜３２と、下流通気性支持材２２とが、空気流れ方向において順に重ねて構成されるものであってもよい。
【００４３】
さらに、図３に示すエアフィルタ濾材３のように、上流通気性支持材２１と、第１フッ素樹脂多孔膜３１と、下流通気性支持材２２とが、空気流れ方向において順に重ねて構成されるものであってもよい。
【００４４】
なお、これらの各膜や材等の重ね合わせの仕方は、特に限定されず、加熱による一部溶融又はホットメルト樹脂の溶融によるアンカー効果を利用した貼り合わせであってもよいし、反応性接着剤等を用いた貼り合わせであってもよいし、単に重ね置くだけであってもよい。なお、貼り合わせにより各膜や材の厚みは実質的に変化しない。
【００４５】
第１フッ素樹脂多孔膜３１は、フッ素樹脂を主として含んでいる。第２フッ素樹脂多孔膜３２は、フッ素樹脂を主として含み、第１フッ素樹脂多孔膜３１よりも気流の下流側に配置される。上流通気性支持材２１は、第１フッ素樹脂多孔膜３１よりも気流の上流側に配置され、第１フッ素樹脂多孔膜３１を支持する。下流通気性支持材２２は、第２フッ素樹脂多孔膜３２よりも気流の下流側またはエアフィルタ濾材の最下流側に配置され、第２フッ素樹脂多孔膜３２を支持する。プレ捕集材１０は、第１フッ素樹脂多孔膜３１よりも気流の上流側に配置され、気流中の塵の一部を捕集する。
【００４６】
以下、各層および各層間の関係について具体的に説明する。
【００４７】
（２）多孔膜
第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２は、いずれも、主としてフッ素樹脂を含んで構成されており、図示しないフィブリル（繊維）とフィブリルに接続されたノード（結節部）とを有する多孔質な膜構造を有することが好ましい。
【００４８】
ここで、「主として」とは、複数種類の成分を含有する場合にはフッ素樹脂が最も多く含有されていることを意味する。第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２は、例えば、構成成分全体の５０重量％を超えてフッ素樹脂が含有されていてもよい。すなわち、第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２は、フッ素樹脂と異なる成分を５０重量％未満含有してもよい。
【００４９】
フッ素樹脂と異なる成分としては、例えば、後述する繊維化しない非溶融加工性成分（Ｂ成分）である無機フィラーが挙げられる。
【００５０】
第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２に用いられるフッ素樹脂は、１種類の成分からなってもよく、２種以上の成分からなってもよい。また、２種以上の成分からなるフッ素樹脂としては、例えば、繊維化し得るＰＴＦＥ（以降、Ａ成分ともいう）、繊維化しない非熱溶融加工性成分（以降、Ｂ成分ともいう）、および融点３２０℃未満の繊維化しない熱溶融加工可能な成分（以降、Ｃ成分ともいう）の３成分の混合物が挙げられる。第１フッ素樹脂多孔膜３１は、好ましくは、これら３種の成分の組み合わせからなる。これら３種の成分からなる第１フッ素樹脂多孔膜３１は、従来の繊維化し得るＰＴＦＥ（高分子量ＰＴＦＥ）多孔膜と比べ、空隙が多く、膜厚の厚い膜構造を有していることで、気体中の微粒子を濾材の厚み方向の広い領域で捕集でき、これにより、保塵量を向上させることができる。多孔膜をこれら３種の成分から構成することにより、固体粒子よりも液体粒子の保塵量を特に増大させることが可能になる。このような観点からは、第１フッ素樹脂多孔膜３１だけでなく第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２の両方が、これら３種の成分からなることがより好ましい。これにより、エアフィルタ濾材全体の厚みを十分に確保でき、保塵量がより向上する。
【００５１】
以下、上記３種の成分についてより詳細に説明する。なお、第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２のいずれにも該当する内容に関しては、これらを区別することなく、単に「多孔膜」との表現を使って説明する。
【００５２】
（２−１）Ａ成分：繊維化し得るＰＴＦＥ
繊維化し得るＰＴＦＥは、例えば、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）の乳化重合、または懸濁重合から得られた高分子量ＰＴＦＥである。ここでいう高分子量とは、多孔膜作成時の延伸の際に繊維化しやすく、繊維長の長いフィブリルが得られるものであって、標準比重（ＳＳＧ）が、２．１３０〜２．２３０であり、溶融粘度が高いため実質的に溶融流動しない大きさの分子量をいう。繊維化し得るＰＴＦＥのＳＳＧは、繊維化しやすく、繊維長の長いフィブリルが得られる観点から、２．１３０〜２．１９０が好ましく、２．１４０〜２．１７０が更に好ましい。ＳＳＧが高すぎると、Ａ〜Ｃの各成分の混合物の延伸性が悪化するおそれがあり、ＳＳＧが低すぎると、圧延性が悪化して、多孔膜の均質性が悪化し、多孔膜の圧力損失が高くなるおそれがある。また、繊維化しやすく、繊維長の長いフィブリルが得られる観点から、乳化重合で得られたＰＴＦＥが好ましい。標準比重（ＳＳＧ）は、ＡＳＴＭ  Ｄ  ４８９５に準拠して測定される。
【００５３】
繊維化性の有無、すなわち、繊維化し得るか否かは、ＴＦＥの重合体から作られた高分子量ＰＴＦＥ粉末を成形する代表的な方法であるペースト押出しが可能か否かによって判断できる。通常、ペースト押出しが可能であるのは、高分子量のＰＴＦＥが繊維化性を有するからである。ペースト押出しで得られた未焼成の成形体に実質的な強度や伸びがない場合、例えば伸びが０％で、引っ張ると切れるような場合は繊維化性がないとみなすことができる。
【００５４】
上記高分子量ＰＴＦＥは、変性ポリテトラフルオロエチレン（以下、変性ＰＴＦＥという）であってもよいし、ホモポリテトラフルオロエチレン（以下、ホモＰＴＦＥという）であってもよいし、変性ＰＴＦＥとホモＰＴＦＥの混合物であってもよい。ホモＰＴＦＥは、特に限定されず、特開昭５３−６０９７９号公報、特開昭５７−１３５号公報、特開昭６１−１６９０７号公報、特開昭６２−１０４８１６号公報、特開昭６２−１９０２０６号公報、特開昭６３−１３７９０６号公報、特開２０００−１４３７２７号公報、特開２００２−２０１２１７号公報、国際公開第２００７／０４６３４５号パンフレット、国際公開第２００７／１１９８２９号パンフレット、国際公開第２００９／００１８９４号パンフレット、国際公開第２０１０／１１３９５０号パンフレット、国際公開第２０１３／０２７８５０号パンフレット等で開示されているホモＰＴＦＥなら好適に使用できる。中でも、高い延伸特性を有する特開昭５７−１３５号公報、特開昭６３−１３７９０６号公報、特開２０００−１４３７２７号公報、特開２００２−２０１２１７号公報、国際公開第２００７／０４６３４５号パンフレット、国際公開第２００７／１１９８２９号パンフレット、国際公開第２０１０／１１３９５０号パンフレット等で開示されているホモＰＴＦＥが好ましい。
【００５５】
変性ＰＴＦＥは、ＴＦＥと、ＴＦＥ以外のモノマー（以下、変性モノマーという）とからなる。変性ＰＴＦＥには、変性モノマーにより均一に変性されたもの、重合反応の初期に変性されたもの、重合反応の終期に変性されたものなどが挙げられるが、特にこれらに限定されない。変性ＰＴＦＥは、例えば、特開昭６０−４２４４６号公報、特開昭６１−１６９０７号公報、特開昭６２−１０４８１６号公報、特開昭６２−１９０２０６号公報、特開昭６４−１７１１号公報、特開平２−２６１８１０号公報、特開平１１−２４０９１７、特開平１１−２４０９１８、国際公開第２００３／０３３５５５号パンフレット、国際公開第２００５／０６１５６７号パンフレット、国際公開第２００７／００５３６１号パンフレット、国際公開第２０１１／０５５８２４号パンフレット、国際公開第２０１３／０２７８５０号パンフレット等で開示されているものを好適に使用できる。中でも、高い延伸特性を有する特開昭６１−１６９０７号公報、特開昭６２−１０４８１６号公報、特開昭６４−１７１１号公報、特開平１１−２４０９１７、国際公開第２００３／０３３５５５号パンフレット、国際公開第２００５／０６１５６７号パンフレット、国際公開第２００７／００５３６１号パンフレット、国際公開第２０１１／０５５８２４号パンフレット等で開示されている変性ＰＴＦＥが好ましい。
【００５６】
変性ＰＴＦＥは、ＴＦＥに基づくＴＦＥ単位と、変性モノマーに基づく変性モノマー単位とを含む。変性モノマー単位は、変性ＰＴＦＥの分子構造の一部分であって変性モノマーに由来する部分である。変性ＰＴＦＥは、変性モノマー単位が全単量体単位の０．００１〜０．５００重量％含まれることが好ましく、好ましくは、０．０１〜０．３０重量％含まれる。全単量体単位は、変性ＰＴＦＥの分子構造における全ての単量体に由来する部分である。
【００５７】
変性モノマーは、ＴＦＥとの共重合が可能なものであれば特に限定されず、例えば、ヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）等のパーフルオロオレフィン；クロロトリフルオロエチレン（ＣＴＦＥ）等のクロロフルオロオレフィン；トリフルオロエチレン、フッ化ビニリデン（ＶＤＦ）等の水素含有フルオロオレフィン；パーフルオロビニルエーテル；パーフルオロアルキルエチレン（ＰＦＡＥ）、エチレン等が挙げられる。用いられる変性モノマーは１種であってもよいし、複数種であってもよい。
【００５８】
パーフルオロビニルエーテルは、特に限定されず、例えば、下記一般式（１）で表されるパーフルオロ不飽和化合物等が挙げられる。
【００５９】
ＣＦ２＝ＣＦ−ＯＲｆ・・・（１）
式中、Ｒｆは、パーフルオロ有機基を表す。
【００６０】
本明細書において、パーフルオロ有機基は、炭素原子に結合する水素原子が全てフッ素原子に置換されてなる有機基である。上記パーフルオロ有機基は、エーテル酸素を有していてもよい。
【００６１】
パーフルオロビニルエーテルとしては、例えば、上記一般式（１）において、Ｒｆが炭素数１〜１０のパーフルオロアルキル基であるパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（ＰＡＶＥ）が挙げられる。パーフルオロアルキル基の炭素数は、好ましくは１〜５である。ＰＡＶＥにおけるパーフルオロアルキル基としては、例えば、パーフルオロメチル基、パーフルオロエチル基、パーフルオロプロピル基、パーフルオロブチル基、パーフルオロペンチル基、パーフルオロヘキシル基等が挙げられる。ＰＡＶＥとしては、パーフルオロプロピルビニルエーテル（ＰＰＶＥ）、パーフルオロメチルビニルエーテル（ＰＭＶＥ）が好ましい。
【００６２】
上記パーフルオロアルキルエチレン（ＰＦＡＥ）は、特に限定されず、例えば、パーフルオロブチルエチレン（ＰＦＢＥ）、パーフルオロヘキシルエチレン（ＰＦＨＥ）等が挙げられる。
【００６３】
変性ＰＴＦＥにおける変性モノマーとしては、ＨＦＰ、ＣＴＦＥ、ＶＤＦ、ＰＡＶＥ、ＰＦＡＥ及びエチレンからなる群より選択される少なくとも１種であることが好ましい。
【００６４】
ホモＰＴＦＥは、特に、繊維化しやすく、繊維長の長いフィブリルが得られる観点から、繊維化し得るＰＴＦＥの５０重量％を超えて含有されていることが好ましい。
【００６５】
なお、繊維化し得るＰＴＦＥは、上記した成分を複数組み合わせたものであってよい。
【００６６】
繊維化し得るＰＴＦＥは、多孔膜の繊維構造を維持する観点から、多孔膜の５０重量％を超えて含有されているのが好ましい。
【００６７】
（２−２）Ｂ成分：繊維化しない非熱溶融加工性成分
繊維化しない非熱溶融加工性成分は、主に結節部において非繊維状の粒子として偏在し、繊維化し得るＰＴＦＥが繊維化されるのを抑制する働きをする。
【００６８】
繊維化しない非熱溶融加工性成分としては、例えば、低分子量ＰＴＦＥ等の熱可塑性を有する成分、熱硬化性樹脂、無機フィラー、およびこれらの混合物が挙げられる。
【００６９】
熱可塑性を有する成分は、融点が３２０℃以上であり、溶融粘度が高い方が好ましい。例えば低分子量ＰＴＦＥは溶融粘度が高いため，融点以上の温度で加工しても結節部に留まることができる。本明細書において、低分子量ＰＴＦＥとは、数平均分子量が６０万以下、融点が３２０℃以上３３５℃以下、３８０℃での溶融粘度が１００Ｐａ・ｓ〜７．０×１０５Ｐａ・ｓのＰＴＦＥである（特開平１０−１４７６１７号公報参照）。
【００７０】
低分子量ＰＴＦＥの製造方法としては、ＴＦＥの懸濁重合から得られる高分子量ＰＴＦＥ粉末（モールディングパウダー）またはＴＦＥの乳化重合から得られる高分子量ＰＴＦＥ粉末（ファインパウダー）と特定のフッ化物とを高温下で接触反応させて熱分解する方法（特開昭６１−１６２５０３号公報参照）や、上記高分子量ＰＴＦＥ粉末や成形体に電離性放射線を照射する方法（特開昭４８−７８２５２号公報参照）、また連鎖移動剤とともにＴＦＥを直接重合させる方法（国際公開第２００４／０５０７２７号パンフレット，国際公開第２００９／０２０１８７号パンフレット，国際公開第２０１０／１１４０３３号パンフレット等参照）等が挙げられている。低分子量ＰＴＦＥは、繊維化し得るＰＴＦＥと同様、ホモＰＴＦＥであってもよく、前述の変性モノマーが含まれる変性ＰＴＦＥでもよい。
【００７１】
低分子量ＰＴＦＥは繊維化性が無い。繊維化性の有無は、上述した方法で判断できる。低分子量ＰＴＦＥは、ペースト押出しで得られた未焼成の成形体に実質的な強度や伸びがなく、例えば伸びが０％で、引っ張ると切れる。
【００７２】
低分子量ＰＴＦＥは、特に限定されないが、３８０℃での溶融粘度が１０００Ｐａ・ｓ以上であることが好ましく、５０００Ｐａ・ｓ以上であることがより好ましく、１００００Ｐａ・ｓ以上であることがさらに好ましい。このように、溶融粘度が高いと、多孔膜の製造時に、Ｃ成分として繊維化しない熱溶融加工可能な成分が溶融しても、繊維化しない非熱溶融加工性成分は結節部に留まることができ、繊維化を抑えることができる。
【００７３】
熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ、シリコーン、ポリエステル、ポリウレタン、ポリイミド、フェノール、およびこれらの混合物等の各樹脂が挙げられる。熱硬化性樹脂は、後述する共凝析の作業性の観点から、未硬化状態で水分散された樹脂が望ましく用いられる。これら熱硬化性樹脂は、いずれも市販品として入手することもできる。
【００７４】
無機フィラーとしては、タルク、マイカ、ケイ酸カルシウム、ガラス繊維、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭素繊維、硫酸バリウム、硫酸カルシウム、およびこれらの混合物等が挙げられる。中でも、繊維化しうる高分子量のＰＴＦＥとの親和性および比重の点から、タルクが好ましく用いられる。無機フィラーは、多孔膜の製造時に安定な分散体を形成できる観点から、粒子径３μｍ以上２０μｍ以下のものが好ましく用いられる。粒子径は、平均粒径であり、レーザー回折・散乱法によって測定される。これら無機フィラーは、いずれも市販品として入手することもできる。
【００７５】
なお、繊維化しない非溶融加工性成分は、上記した成分を複数組み合わせたものであってよい。
【００７６】
繊維化しない非熱溶融加工性成分は、多孔膜の１重量％以上５０重量％以下含有されることが好ましい。繊維化しない非熱溶融加工性成分の含有量が５０重量％以下であることで、多孔膜の繊維構造を維持させやすい。繊維化しない非熱溶融加工性成分は、好ましくは２０重量％以上４０重量％以下含有され、より好ましくは３０重量％含有される。２０重量％以上４０重量％以下含有されることで、繊維化し得るＰＴＦＥの繊維化をより有効に抑えることができる。
【００７７】
（２−３）Ｃ成分：融点３２０℃未満の繊維化しない熱溶融加工可能な成分
融点３２０℃未満の繊維化しない熱溶融加工可能な成分（以下、繊維化しない熱溶融加工可能な成分ともいう）は、溶融時に流動性を有することにより、多孔膜の製造時（延伸時）に溶融して結節部において固まることができ、多孔膜全体の強度を高めて、後工程で圧縮等されることがあってもフィルタ性能の劣化を抑えることができる。
【００７８】
繊維化しない熱溶融加工可能な成分は，３８０℃において１００００Ｐａ・ｓ未満の溶融粘度を示すことが好ましい。なお、繊維化しない熱溶融加工可能な成分の融点は、示差走査熱量計（ＤＳＣ）により昇温速度１０℃／分で融点以上まで昇温して一度完全に溶融させ、１０℃／分で融点以下まで冷却した後、１０℃／分で再び昇温したときに得られる融解熱曲線のピークトップとする。
【００７９】
繊維化しない熱溶融加工可能な成分としては、熱溶融可能なフルオロポリマー、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエステル、ポリアミド等の各樹脂、あるいはこれらの混合物であり、多孔膜の製造時の延伸温度における溶融性、流動性を十分に発揮しうるものが挙げられる。中でも、多孔膜製造時の延伸温度での耐熱性に優れ、耐薬品性に優れる点から、熱溶融可能なフルオロポリマーが好ましい。熱溶融可能なフルオロポリマーは、下記一般式（２）
ＲＣＦ＝ＣＲ２・・・（２）
（式中、Ｒはそれぞれ独立して、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、炭素原子１〜８個のアルキル、炭素原子６〜８個のアリール、炭素原子３〜１０個の環状アルキル、炭素原子１〜８個のパーフルオロアルキルから選択される。この場合に、全てのＲが同じであってもよく、また、いずれか２つのＲが同じで残る１つのＲがこれらと異なってもよく、全てのＲが互いに異なってもよい。）で示される少なくとも１種のフッ素化エチレン性不飽和モノマー、好ましくは２種以上のモノマー、から誘導される共重合単位を含むフルオロポリマーが挙げられる。
【００８０】
一般式（２）で表される化合物の有用な例としては、限定されないが、フルオロエチレン、ＶＤＦ、トリフルオロエチレン、ＴＦＥ、ＨＦＰ等のパーフルオロオレフィン、ＣＴＦＥ、ジクロロジフルオロエチレン等のクロロフルオロオレフィン、ＰＦＢＥ、ＰＦＨＥ等の（パーフルオロアルキル）エチレン、パーフルオロ−１，３−ジオキソールおよびその混合物等が挙げられる。
【００８１】
また、フルオロポリマーは、少なくとも１種類の上記一般式（２）で示されるモノマーと、
上記一般式（１）および／または下記一般式（３）
Ｒ２Ｃ＝ＣＲ２・・・（３）
（式中、Ｒは、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃｌ、炭素原子１〜８個のアルキル基、炭素原子６〜８個のアリール基、炭素原子３〜１０個の環状アルキル基から選択される。この場合に、全てのＲが同じであってもよく、また、いずれか２以上のＲが同じでこれら２以上のＲと残る他のＲとが異なってもよく、全てのＲが互いに異なってもよい。前記他のＲは、複数ある場合は互いに異なってよい。）で示される少なくとも１種の共重合性コモノマーとの共重合から誘導されるコポリマーも含み得る。
【００８２】
一般式（１）で表される化合物の有用な例としては、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（ＰＡＶＥ）が挙げられる。このＰＡＶＥとしては、パーフルオロプロピルビニルエーテル（ＰＰＶＥ）、パーフルオロメチルビニルエーテル（ＰＭＶＥ）が好ましい。
【００８３】
一般式（３）で表される化合物の有用な例としては、エチレン、プロピレン等が挙げられる。
【００８４】
フルオロポリマーのより具体的な例としては、フルオロエチレンの重合から誘導されるポリフルオロエチレン、フッ化ビニリデン（ＶＤＦ）の重合から誘導されるポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、クロロトリフルオロエチレン（ＣＴＦＥ）の重合から誘導されるポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、２種以上の異なる上記一般式（２）で示されるモノマーの共重合から誘導されるフルオロポリマー、少なくとも１種の上記一般式（２）のモノマーと、少なくとも１種の上記一般式（１）および／または少なくとも１種の上記一般式（３）で示されるモノマーの共重合から誘導されるフルオロポリマーが挙げられる。
【００８５】
かかるポリマーの例は、ＶＤＦおよびヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）から誘導される共重合体単位を有するポリマー、ＴＦＥおよびＴＦＥ以外の少なくとも１種の共重合性コモノマー（少なくとも３重量％）から誘導されるポリマーである。後者の種類のフルオロポリマーとしては、ＴＦＥ／ＰＡＶＥ共重合体（ＰＦＡ）、ＴＦＥ／ＰＡＶＥ／ＣＴＦＥ共重合体、ＴＦＥ／ＨＦＰ共重合体（ＦＥＰ）、ＴＦＥ／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ＴＦＥ／ＨＦＰ／エチレン共重合体（ＥＦＥＰ）、ＴＦＥ／ＶＤＦ共重合体、ＴＦＥ／ＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体、ＴＦＥ／ＶＤＦ／ＣＴＦＥ共重合体等、あるいはこれらの混合物が挙げられる。
【００８６】
なお、繊維化しない熱溶融加工可能な成分は、上記した成分を複数組み合わせたものであってよい。
【００８７】
繊維化しない熱溶融加工可能な成分の多孔膜における含有量は、０．１重量％以上２０重量％未満であることが好ましい。２０重量％未満であることで、繊維化しない熱溶融加工可能な成分が多孔膜中の結節部以外の部分にも分散して多孔膜の圧力損失が高くなることが抑制される。また、２０重量％未満であることで、後述する伸長面積倍率が４０倍以上の高倍率での延伸を行いやすくなる。繊維化しない熱溶融加工可能な成分の多孔膜における含有量が０．１重量％以上であることで、後工程において圧縮力等が与えられたとしても多孔膜のフィルタ性能の劣化を十分に抑えやすくなる。繊維化しない熱溶融加工可能な成分の多孔膜における含有量は、１５重量％以下であるのが好ましく、１０重量％以下であるのがより好ましい。また、繊維化しない熱溶融加工可能な成分の多孔膜における含有量は、多孔膜の強度を確保する観点から、０．５重量％以上であるのが好ましい。中でも、５重量％程度であるのが特に好ましい。
【００８８】
繊維化しない熱溶融加工可能な成分の含有率は、伸長面積倍率４０倍以上８００倍以下での延伸を良好に行うために、１０重量％以下であるのが好ましい。
【００８９】
上記説明した３種の成分からなる多孔膜では、フィブリルは主にＡ成分からなり、結節部はＡ〜Ｃの成分からなる。このような結節部は、多孔膜中で比較的大きく形成され、これにより厚みの厚い多孔膜が成形される。また、このような結節部は、繊維化しない熱溶融加工可能な成分を含むことで比較的固く、多孔膜を厚み方向に支える柱のような役割を果たすため、通気性支持材の積層や、後述するプリーツ加工などの後工程において厚み方向の圧縮力等を受けることがあっても多孔膜のフィルタ性能が低下することを抑えることが可能になる。
【００９０】
（２−４）多孔膜の他の性質
第１フッ素樹脂多孔膜３１の膜厚は、保塵量および捕集効率を高める観点から、１０μｍ以上であることが好ましく、３０μｍ以上であることがより好ましい。第１フッ素樹脂多孔膜３１の膜厚の上限値は、特に限定されないが、例えば１００μｍであってよい。また、第２フッ素樹脂多孔膜３２の膜厚は、例えば、第２フッ素樹脂多孔膜３２が上記３種の成分からなる場合は、５μｍを超えるのが好ましく、４０μｍを超えるのがより好ましい。第２フッ素樹脂多孔膜３２の膜厚の上限値は、特に限定されないが、例えば１００μｍであってよい。膜厚は、測定対象を５枚重ねて全体の膜厚を測定し、その値を５で割って得られる値である。
【００９１】
第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２は、次式に従って求まる充填率が２％以上９％以下であることが好ましく、３％以上８％以下であることがより好ましい。なお、第１フッ素樹脂多孔膜３１の充填率は、第２フッ素樹脂多孔膜３２の充填率よりも小さいことが好ましい。
【００９２】
充填率（％）＝（濾材の目付）／（濾材の厚み）／（原料の比重）×１００
第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２は、繊維径（平均繊維径）が、５０ｎｍ以上２５０ｎｍ以下であることが好ましく、６０ｎｍ以上２００ｎｍ以下であることがより好ましい。また、第１フッ素樹脂多孔膜３１の繊維径は、第２フッ素樹脂多孔膜３２の繊維径よりも太いことが好ましい。
【００９３】
なお、フッ素樹脂多孔膜が上記膜厚、上記充填率、上記繊維径を有するものである場合には、液体粒子を捕集対象とした場合の経時的な捕集効率の低下が起こる場合があることから、ポリアルファオレフィン（ＰＡＯ）粒子（液体粒子）の透過率の経時変化を評価することが好ましい。
【００９４】
なお、上述したフッ素樹脂多孔膜は、特に限定されないが、例えば、特開２０１７−１５９２８１号公報に記載の製造方法を参考として製造してもよい。
【００９５】
（３）通気性支持材
上流通気性支持材２１は、第１フッ素樹脂多孔膜３１の上流側に配置されており、第１フッ素樹脂多孔膜３１を支持する。このため第１フッ素樹脂多孔膜３１の膜厚が薄い等で自立が困難であっても、上流通気性支持材２１の支持により第１フッ素樹脂多孔膜３１を立たせることが可能になる。
【００９６】
下流通気性支持材２２は、第２フッ素樹脂多孔膜３２の下流側に配置されており、第２フッ素樹脂多孔膜３２を支持する。なお、下流通気性支持材２２は、エアフィルタ濾材の最下流側層を構成するように配置されている。第２フッ素樹脂多孔膜３２も同様に、膜厚が薄い等で自立が困難であっても、下流通気性支持材２２の支持により第２フッ素樹脂多孔膜３２を立たせることが可能になる。
【００９７】
上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２の材質及び構造は、特に限定されないが、例えば、不織布、織布、金属メッシュ、樹脂ネットなどが挙げられる。なかでも、強度、捕集性、柔軟性、作業性の点からは熱融着性を有する不織布が好ましい。不織布は、構成繊維の一部または全てが芯／鞘構造を有する不織布、低融点材料からなる繊維の層と高融点材料からなる繊維の層の２層からなる２層不織布、表面に熱融着性樹脂が塗布された不織布が好ましい。このような不織布としては、例えば、スパンボンド不織布が挙げられる。また、芯／鞘構造の不織布は、芯成分が鞘成分よりも融点が高いものが好ましい。例えば、芯／鞘の各材料の組み合わせとしては、例えば、ＰＥＴ／ＰＥ、高融点ポリエステル／低融点ポリエステルが挙げられる。２層不織布の低融点材料／高融点材料の組み合わせとしては、例えば、ＰＥ／ＰＥＴ、ＰＰ／ＰＥＴ、ＰＢＴ／ＰＥＴ、低融点ＰＥＴ／高融点ＰＥＴが挙げられる。表面に熱融着性樹脂が塗布された不織布としては、例えばＰＥＴ不織布にＥＶＡ（エチレン酢酸ビニル共重合樹脂）が塗布されたもの、ＰＥＴ不織布にオレフィン樹脂が塗布されたものが挙げられる。
【００９８】
不織布の材質は、特に限定されず、ポリオレフィン（ＰＥ、ＰＰ等）、ポリアミド、ポリエステル（ＰＥＴ等）、芳香族ポリアミド、またはこれらの複合材などを用いることができる。
【００９９】
上流通気性支持材２１は、加熱により上流通気性支持材２１の一部が溶融することで、或いはホットメルト樹脂の溶融により、アンカー効果を利用して、或いは反応性接着剤等の接着を利用して、第１フッ素樹脂多孔膜３１に接合することができる。また、下流通気性支持材２２も、同様に第２フッ素樹脂多孔膜３２に対して接合することができる。
【０１００】
上流通気性支持材２１と下流通気性支持材２２とは、同種のものであってもよく、異なる種類のものであってもよい。
【０１０１】
上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２は、いずれも上述した多孔膜と比較すると、圧力損失、捕集効率および保塵量のいずれも極めて低く、実質的に０とみなすこともできるものであってもよい。
【０１０２】
上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２の各圧力損失は、例えば、いずれも、１０Ｐａ以下であることが好ましく、５Ｐａ以下であることがより好ましく、１Ｐａ以下であることがさらに好ましい。
【０１０３】
また、上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２の粒子径０．３μｍのＮａＣｌの各捕集効率は、例えば、いずれも実質的に０あるいは略０とみなすことができるものであってもよい。
【０１０４】
また、上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２の各厚みは、例えば、いずれも、０．３ｍｍ以下であることが好ましく、０．２５ｍｍ以下であることがより好ましい。
【０１０５】
また、上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２の各目付は、例えば、いずれも、２０ｇ／ｍ２以上５０ｇ／ｍ２以下であることが好ましい。
【０１０６】
（４）プレ捕集材
プレ捕集材１０は、第１フッ素樹脂多孔膜３１よりも上流側に配置されており、気流中の塵の一部を捕集することができる。
【０１０７】
プレ捕集材１０は、エアフィルタ濾材全体の圧力損失を低く抑える観点から、空気を流速５．３ｃｍ／秒で通過させたときの圧力損失が５Ｐａ以上５５Ｐａ未満であることが好ましく、１５Ｐａ以上４５Ｐａ未満であることがより好ましい。
【０１０８】
また、プレ捕集材１０は、粒子径０．３μｍのＮａＣｌの捕集効率が、１５％以上８５％未満であることが好ましく、３０％以上７５％未満であることがより好ましい。
【０１０９】
なお、プレ捕集材１０は、エアフィルタ濾材をプリーツ条に折り畳む場合における折り畳み作業を容易にするという観点から、厚みが０．８ｍｍ以下であることが好ましく、０．７ｍｍ以下であることがより好ましく、０．４ｍｍより小さくてもよい。また、プレ捕集材１０の厚みは、特に限定されないが、例えば、０．１ｍｍ以上としてもよい。
【０１１０】
プレ捕集材１０の平均繊維径は、０．８μｍ以上２．０μｍ未満であることが好ましい。
【０１１１】
プレ捕集材１０の目付は、特に限定されないが、例えば、１０ｇ／ｍ２以上７０ｇ／ｍ２以下とすることができ、３０ｇ／ｍ２以上６７ｇ／ｍ２以下であることが好ましい。
【０１１２】
このようなプレ捕集材１０は、特に限定されないが、ガラス繊維濾材によって構成されていてもよいし、メルトブローン法、エレクトロスピニング法、海島法およびこれらのハイブリット法の１つにより製造された繊維材料で構成された不織布あるいは繊維層構造体であってもよい。ハイブリット法には、例えば、メルトスピニング法あるいはエレクトレットブローン法が含まれる。海島法は、例えば、複数の吐出口から吐出させることで繊維を構成する場合において、吐出経路によって原料に違いを設け、一部の原料によって海部分を構成させ、他の異なる原料によって島部分を構成させ、断面が海島構造となるようにする方法である。ここで、海島の二成分または複数成分のポリマーを紡糸し、後加工にて海成分を溶かすことで、島部分を残して繊維とすることができる。なお、吐出経路による原料の組み合わせにより、かさ密度やストレッチ性等を調節することが可能である。メルトブローン法では、溶融されたポリマーを押出機によってノズルから吐出させながら、加熱された空気をノズルに沿うように吹き出すことで、糸を形成させる。ここで、ノズルからの単位時間当たりのポリマーの吐出量や加熱された空気の吹き出し速度等を調節することにより、より径の細い糸を得ることができる。また、当該糸の物性は、用いるポリマーの溶融粘度によっても変化させることができる。プレ捕集材１０をメルトブローン法、エレクトロスピニング法、海島法およびこれらのハイブリット法の１つにより製造する場合の材料としては、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリアミド（ＰＡ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）、ポリフッ化ビリニデン（ＰＶｄＦ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリウレタン（ＰＵ）、およびこれらの混合物等が挙げられる。
【０１１３】
プレ捕集材１０は、第１フッ素樹脂多孔膜３１や第２フッ素樹脂多孔膜３２と共に用いられるため、静電気によるスパークが生じることで第１フッ素樹脂多孔膜３１や第２フッ素樹脂多孔膜３２に穴が開くことを抑制するため、帯電しにくい材料であるガラス繊維濾材によって構成されていることが好ましい。なお、ガラス繊維濾材は、上記各物性を備えるものを製造してもよいが、商業的に入手してもよい。
【０１１４】
（５）用途の例
エアフィルタ濾材は、例えば次のような用途に用いられる。
【０１１５】
ＵＬＰＡフィルタ（Ultra low Penetration Air Filter）（半導体製造用）、ＨＥＰＡフィルタ（病院、半導体製造用）、円筒カートリッジフィルタ（産業用）、バグフィルタ（産業用）、耐熱バグフィルタ（排ガス処理用）、耐熱プリーツフィルタ（排ガス処理用）、ＳＩＮＢＲＡＮ（登録商標）フィルタ（産業用）、触媒フィルタ（排ガス処理用）、吸着剤付フィルタ（ＨＤＤ組込み用）、吸着剤付ベントフィルタ（ＨＤＤ組込み用）、ベントフィルタ（ＨＤＤ組込み用等）、掃除機用フィルタ（掃除機用）、汎用複層フェルト材、ガスタービン用カートリッジフィルタ（ガスタービン向け互換品用）、クーリングフィルタ（電子機器筐体用）等の分野；
凍結乾燥用の容器等の凍結乾燥用材料、電子回路やランプ向けの自動車用換気材料、容器キャップ向け等の容器用途、電子機器向け等の保護換気用途、医療用換気用途等の換気／内圧調整分野；
半導体液ろ過フィルタ（半導体製造用）、親水性フィルタ（半導体製造用）、化学薬品向けフィルタ（薬液処理用）、純水製造ライン用フィルタ（純水製造用）、逆洗型液ろ過フィルタ（産業排水処理用）等の液濾過分野。
【０１１６】
なお、エアフィルタ濾材は、捕集対象が液滴粒子である場合であっても、使用に伴う捕集効率の低下が抑制されるものである点で、オイルミスト等の液滴粒子が捕集対象に含まれている医療用クリーンルームや製薬工場におけるクリーンルームにおいて用いられることが好ましい。
【０１１７】
（６）フィルタパック
次に、図４を参照して、本実施形態のフィルタパックについて説明する。
【０１１８】
図４は、本実施形態のフィルタパック４０の外観斜視図である。
【０１１９】
フィルタパック４０は、上記説明したエアフィルタ濾材（例えば、エアフィルタ濾材１〜３等）を備えている。フィルタパック４０のエアフィルタ濾材は、山折りおよび谷折りが交互に繰り返されたジグザグ形状に加工（プリーツ加工）された加工済み濾材である。プリーツ加工は、例えば、ロータリー式折り機によって行うことができる。濾材の折り幅は、特に限定されないが、例えば２５ｍｍ以上２８０ｍｍ以下である。フィルタパック４０は、プリーツ加工が施されていることで、エアフィルタユニットに用いられた場合の濾材の折り込み面積を増やすことができ、これにより、捕集効率の高いエアフィルタユニットを得ることができる。
【０１２０】
フィルタパック４０は、濾材のほか、エアフィルタユニットに用いられた場合のプリーツ間隔を保持するためのスペーサ（不図示）をさらに備えていてもよい。スペーサの材質は特に限定されないが、ホットメルト樹脂を好ましく用いることができる。
【０１２１】
（７）エアフィルタユニット
次に、図５を参照して、エアフィルタユニット６０について説明する。
【０１２２】
図５は、本実施形態のエアフィルタユニット６０の外観斜視図である。
【０１２３】
エアフィルタユニット６０は、上記説明したエアフィルタ濾材またはフィルタパックと、エアフィルタ濾材またはフィルタパックを保持する枠体５０と、を備えている。言い換えると、エアフィルタユニットは、山折り谷折されていない濾材が枠体に保持されるように作製されてもよいし、フィルタパック４０が枠体５０に保持されるように作製されてもよい。図５に示すエアフィルタユニット６０は、フィルタパック４０と枠体５０を用いて作製したものである。
【０１２４】
枠体５０は、例えば、板材を組み合わせてあるいは樹脂を成形して作られ、フィルタパック４０と枠体５０の間は好ましくはシール剤によりシールされる。シール剤は、フィルタパック４０と枠体５０の間のリークを防ぐためのものであり、例えば、エポキシ、アクリル、ウレタン系などの樹脂製のものが用いられる。
【０１２５】
フィルタパック４０と枠体５０とを備えるエアフィルタユニット６０は、平板状に延在する１つのフィルタパック４０を枠体５０の内側に収納するように保持させたミニプリーツ型のエアフィルタユニットであってもよく、平板状に延在するフィルタパックを複数並べて枠体に保持させたＶバンク型エアフィルタユニットあるいはシングルヘッダー型エアフィルタユニットであってもよい。
【実施例】
【０１２６】
以下、実施例および比較例を示して、本開示の内容を具体的に説明する。
【０１２７】
（実施例１）
実施例１のエアフィルタ濾材としては、図１に示すような構成のエアフィルタ濾材を用意した。具体的には、上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２として、いずれも、ＰＥＴを芯に、ＰＥを鞘に用いた芯／鞘構造の繊維からなるスパンボンド不織布（平均繊維径２０μｍ、目付４０ｇ／ｍ2、厚さ０．２ｍｍ）を用いた。また、第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２としては、いずれも、厚みが５５．０μｍ、充填率が４．０％、平均繊維径が１０５ｎｍであるものを用いた。これらを重ね合わせることで実施例１のエアフィルタ濾材を得た。
【０１２８】
（実施例２）
実施例２のエアフィルタ濾材としては、図２に示すような構成のエアフィルタ濾材を用意した。具体的には、プレ捕集材１０として、平均繊維径１．６μｍ、ＰＰからなるメルトブローン不織布（目付３０ｇ／ｍ２、暑さ０．２５ｍｍ）を用いた。下流通気性支持材２２として、ＰＥＴを芯に、ＰＥを鞘に用いた芯／鞘構造の繊維からなるスパンボンド不織布（平均繊維径２０μｍ、目付４０ｇ／ｍ2、厚さ０．２ｍｍ）を用いた。また、第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２としては、いずれも、厚みが５０．０μｍ、充填率が４．０％、平均繊維径が１００ｎｍであるものを用いた。これらを重ね合わせることで実施例２のエアフィルタ濾材を得た。
【０１２９】
（実施例３）
実施例３のエアフィルタ濾材としては、図１に示すような構成のエアフィルタ濾材を用意した。具体的には、上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２として、いずれも、ＰＥＴを芯に、ＰＥを鞘に用いた芯／鞘構造の繊維からなるスパンボンド不織布（平均繊維径２０μｍ、目付４０ｇ／ｍ2、厚さ０．２ｍｍ）を用いた。また、第１フッ素樹脂多孔膜３１としては、厚みが３８．６μｍ、充填率が４．２％、平均繊維径が１５０ｎｍであるものを用いた。第２フッ素樹脂多孔膜３２としては、厚みが８．０μｍ、充填率が８．０％、平均繊維径が７０ｎｍであるものを用いた。これらを重ね合わせることで実施例３のエアフィルタ濾材を得た。
【０１３０】
（実施例４）
実施例４のエアフィルタ濾材としては、図３に示すような構成のエアフィルタ濾材を用意した。具体的には、上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２として、いずれも、ＰＥＴを芯に、ＰＥを鞘に用いた芯／鞘構造の繊維からなるスパンボンド不織布（平均繊維径２０μｍ、目付４０ｇ／ｍ2、厚さ０．２ｍｍ）を用いた。また、第１フッ素樹脂多孔膜３１としては、厚みが３８．６μｍ、充填率が４．２％、平均繊維径が１５０ｎｍであるものを用いた。これらを重ね合わせることで実施例４のエアフィルタ濾材を得た。
【０１３１】
（比較例１）
比較例１のエアフィルタ濾材としては、図３に示すような構成のエアフィルタ濾材において上流側にさらにプレ捕集材１０を設けたエアフィルタ濾材を用意した。具体的には、プレ捕集材１０として、平均繊維径１．６μｍ、ＰＰからなるメルトブローン不織布（目付３０ｇ／ｍ２、暑さ０．２５ｍｍ）を用いた。上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２として、いずれも、ＰＥＴを芯に、ＰＥを鞘に用いた芯／鞘構造の繊維からなるスパンボンド不織布（平均繊維径２０μｍ、目付４０ｇ／ｍ2、厚さ０．２ｍｍ）を用いた。また、第１フッ素樹脂多孔膜３１としては、厚みが８．０μｍ、充填率が８．０％、平均繊維径が７０ｎｍであるものを用いた。これらを重ね合わせることで比較例１のエアフィルタ濾材を得た。
【０１３２】
（比較例２）
比較例２のエアフィルタ濾材としては、図１に示すような構成のエアフィルタ濾材を用意した。具体的には、上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２として、いずれも、ＰＥＴを芯に、ＰＥを鞘に用いた芯／鞘構造の繊維からなるスパンボンド不織布（平均繊維径２０μｍ、目付４０ｇ／ｍ2、厚さ０．２ｍｍ）を用いた。また、第１フッ素樹脂多孔膜３１としては、厚みが４．０μｍ、充填率が１０．０％、平均繊維径が４００ｎｍであるものを用いた。第２フッ素樹脂多孔膜３２としては、厚みが１．０μｍ、充填率が１０．０％、平均繊維径が４０ｎｍであるものを用いた。これらを重ね合わせることで比較例２のエアフィルタ濾材を得た。
【０１３３】
なお、実施例および比較例において測定した各物性は、以下の通りである。
【０１３４】
（圧力損失）
エアフィルタ濾材の測定サンプルを、直径１００ｍｍのフィルタホルダにセットし、コンプレッサで入口側を加圧し、流速計で空気の透過する流量を５．３ｃｍ／秒に調整した。そして、この時の圧力損失をマノメータで測定した。
【０１３５】
（粒子径０．３μｍのＮａＣｌ粒子の捕集効率）
ＪＩＳ  Ｂ９９２８  附属書５（規定）ＮａＣｌエアロゾルの発生方法（加圧噴霧法）記載の方法に準じて、アトマイザーで発生させたＮａＣｌ粒子を、静電分級器（ＴＳＩ社製）で、粒子径０．３μｍに分級し、アメリシウム２４１を用いて粒子帯電を中和した後、透過する流量を５．３ｃｍ／秒に調整し、パーティクルカウンター（ＴＳＩ社製、ＣＮＣ）を用いて、測定試料である濾材の前後での粒子数を求め、次式により捕集効率を算出した。なお、捕集効率の初期値は、未だ使用されていない状態のエアフィルタ濾材を用いて測定した。
【０１３６】
捕集効率（％）＝（ＣＯ／ＣＩ）×１００
ＣＯ＝測定試料が捕集したＮａＣｌ  ０．３μｍの粒子数
ＣＩ＝測定試料に供給されたＮａＣｌ  ０．３μｍの粒子数
（粒子径０．３μｍのＮａＣｌ粒子のＰＦ値）
粒子径０．３μｍのＮａＣｌ粒子を用いて、濾材の圧力損失及び捕集効率（粒子径０．３μｍのＮａＣｌ粒子の捕集効率）とから、次式に従いＰＦ値を求めた。
【０１３７】
ＰＦ値＝｛−ｌｏｇ（（１００−捕集効率（％））／１００）｝／（圧力損失（Ｐａ）／１０００）
（ポリアルファオレフィン粒子の保塵量）
ポリアルファオレフィン（ＰＡＯ）粒子（液体粒子）透過時の圧力損失上昇試験で評価した。即ち、ＰＡＯ粒子を含んだ空気を有効濾過面積５０ｃｍ2のサンプル濾材に流速５．３ｃｍ／秒で連続通風したときの圧力損失を差圧計（Ｕ字管マノメータ）で経時的に測定し、圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときに、濾材に保持されているＰＡＯ粒子の濾材の単位面積当たりの重量である保塵量（ｇ／ｍ2）を求めた。なお、ＰＡＯ粒子は、ラスキンノズルで発生させたＰＡＯ粒子（個数中位径０．２５μｍ）を用い、ＰＡＯ粒子の濃度は、約１００万〜６００万個／ｃｍ3とした。
【０１３８】
ＨＥＰＡ濾材に関して、保塵量の定義がないが、フィルタの初期圧力損失は一般的にＨＥＰＡユニットでは約２５０Ｐａ以下とされており、フィルタの交換時期としては、一般的にフィルタの初期圧力損失の２倍を超えた時点が推奨されている。また、標準的なＨＥＰＡ用ガラス濾材の初期圧力損失は約２５０〜３００Ｐａである。そのため、エアフィルタ濾材の保塵量評価のための上記試験の終点を、圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇した時点とした。
【０１３９】
（ＮａＣｌ粒子の保塵量）
ＮａＣｌ粒子（固体粒子）透過時の圧力損失上昇試験で評価した。即ち、ＮａＣｌ粒子を含んだ空気を有効濾過面積５０ｃｍ2のサンプル濾材に流速５．３ｃｍ／秒で連続通風したときの圧力損失を差圧計（Ｕ字管マノメータ）で経時的に測定し、圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときに、濾材に保持されているＮａＣｌ粒子の濾材の単位面積当たりの重量である保塵量（ｇ／ｍ2）を求めた。なお、ＮａＣｌ粒子は、アトマイザーで発生させたＮａＣｌ粒子（個数中位径０．１μｍ）を用い、ＮａＣｌ粒子の濃度は、約５００万〜７００万個／ｃｍ3とした。
【０１４０】
なお、上記ポリアルファオレフィン粒子の保塵量の測定と同様に、濾材の保塵量評価のための上記試験の終点を、圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇した時点とした。
【０１４１】
（多孔膜の厚み）
膜厚計（１Ｄ−１１０ＭＨ型、ミツトヨ社製）を使用し、測定対象を５枚重ねて全体の膜厚を測定し、その値を５で割った数値を１枚の膜厚とした。
【０１４２】
（多孔膜の充填率）
多孔膜の充填率は、次式に従って求めた。
【０１４３】
充填率（％）＝（濾材の目付）／（濾材の厚み）／（原料の比重）×１００
ここで、目付は、４．０ｃｍ×１２．０ｃｍの長方形にカットした試料を精密天秤にて測定した質量（ｇ）を面積（０．００４８ｍ２）で除した値とした。
【０１４４】
（多孔膜の繊維径）
多孔膜の繊維径（平均繊維径）については、以下のようにして測定した。走査型電子顕微鏡（商品名：ＳＵ８０２０、HITACHI社製）を用いて、５０００倍の倍率で撮影した電子顕微鏡写真において、任意の２５μｍ×２０μｍの領域を観察し、縦横直交する直線を引いて、各直線にクロスする繊維の直径すべてを定規で測定し、縮尺換算して繊維径（ｎｍ）を求める。次に、求めた繊維径の累積頻度分布を、対数確率紙において、横軸に繊維径、縦軸に累積頻度を採って対数正規プロットし、累積頻度が５０％となる値を平均繊維径（メディアン径）とした。
【０１４５】
（ポリアルファオレフィン粒子の透過率および透過率比）
ポリアルファオレフィン（ＰＡＯ）粒子（液体粒子）透過時の圧力損失上昇試験時におこなった。すなわち、ＰＡＯ粒子を含んだ空気を有効濾過面積５０ｃｍ2のサンプル濾材に流速５．３ｃｍ／秒で連続通風したとき、通風開始後約３０秒後のサンプル濾材下流でのＰＡＯ粒子濃度を初期値として測定した。同時に、濾材の圧力損失を差圧計（Ｕ字管マノメータ）で経時的に測定し、圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときに、サンプル濾材下流でのＰＡＯ粒子濃度を最終値として測定した。サンプル濾材の上流濃度から初期捕集効率（初期透過率）、最終捕集効率（最終透過率）を求めた。
【０１４６】
なお、ＰＡＯ粒子は、ラスキンノズルで発生させたＰＡＯ粒子（個数中位径０．２５μｍ）を用い、ＰＡＯ粒子の濃度は、約１００万〜６００万個／ｃｍ3とした。
【０１４７】
また、各実施例および比較例について、いずれも、ＮａＣｌ粒子の透過率比（最終透過率／初期透過率）が１より小さいことは明らかであったため、測定は行っていない。なお、ＮａＣｌ粒子（固体粒子）の透過率比は、以下のようにして求められる値である。すなわち、ＮａＣｌ粒子を含んだ空気を有効濾過面積５０ｃｍ2のサンプル濾材に流速５．３ｃｍ／秒で連続通風したとき、通風開始後約３０秒後のサンプル濾材下流でのＮａＣｌ粒子濃度を初期値として測定し、同時に、濾材の圧力損失を、差圧計（Ｕ字管マノメータ）で経時的に測定し、圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときに、サンプル濾材下流でのＮａＣｌ粒子濃度を最終値として測定する。そして、サンプル濾材の上流濃度から初期捕集効率（初期透過率）、最終捕集効率（最終透過率）を求めることができる。この場合、ＮａＣｌ粒子は、アトマイザーで発生させたＮａＣｌ粒子（個数中位径０．１μｍ）を用い、ＮａＣｌ粒子の濃度は、約５００万〜７００万個／ｃｍ3とする。
【０１４８】
各実施例および各比較例のエアフィルタ濾材（フィルタパックやエアフィルタユニットとする前の状態のもの）の各物性と、各多孔膜の物性を、以下の表１に示す。
【０１４９】
【表１】
2020011215.tif 000003
【０１５０】
以上、本開示の実施形態を説明したが、特許請求の範囲に記載された本開示の趣旨及び範囲から逸脱することなく、形態や詳細の多様な変更が可能なことが理解されるであろう。
【符号の説明】
【０１５１】
１  エアフィルタ濾材
２  エアフィルタ濾材
３  エアフィルタ濾材
１０  プレ捕集材
２１  上流通気性支持材
２２  下流通気性支持材
３１  第１フッ素樹脂多孔膜
３２  第２フッ素樹脂多孔膜
４０  フィルタパック
５０  枠体
６０  エアフィルタユニット
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１５２】
【特許文献１】特開２０１７−６４７１３号公報
【図１】
2020011215.tif 000004
【図２】
2020011215.tif 000005
【図３】
2020011215.tif 000006
【図４】
2020011215.tif 000007
【図５】
2020011215.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】令和1年10月3日(2019.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ素樹脂を含み、
個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で通風したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の初期透過率と、
個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で連続通風することで圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の最終透過率と、
のＰＡＯ透過率比（最終透過率／初期透過率）が２．５未満である、
エアフィルタ濾材。
【請求項２】
前記ＰＡＯ透過率比（最終透過率／初期透過率）が２．５未満の状態で用いる、
請求項１に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項３】
前記ＰＡＯ透過率比が１．０以上であって、
０．１μｍのＮａＣｌ粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で通風したときの前記ＮａＣｌ粒子の初期透過率と、
０．１μｍのＮａＣｌ粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で連続通風することで圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ＮａＣｌ粒子の最終透過率と、
のＮａＣｌ透過率比（最終透過率／初期透過率）が１．０未満である、
請求項１または２に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項４】
粒子径０．３μｍのＮａＣｌ粒子を用いて把握される圧力損失および捕集効率を用いて、次式：ＰＦ値＝｛−ｌｏｇ（（１００−捕集効率（％））／１００）｝／（圧力損失（Ｐａ）／１０００）で定められるＰＦ値の初期値が、２５．０以上である、
請求項１から３のいずれか１項に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項５】
個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で連続通風し、圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の保塵量が２０．０ｇ／ｍ２以上である、
請求項１から４のいずれか１項に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項６】
第１フッ素樹脂多孔膜と、前記第１フッ素樹脂多孔膜に対して気流の下流側に配置される第２フッ素樹脂多孔膜と、を備える、
請求項１から５のいずれか１項に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項７】
前記第１フッ素樹脂多孔膜は、充填率が９．０％以下であって厚みが３０μｍ以上である、
請求項６に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項８】
前記第１フッ素樹脂多孔膜は、平均繊維径が５０ｎｍ以上であって厚みが３０μｍ以上である、
請求項６または７に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項９】
繊維化し得るポリテトラフルオロエチレンと、繊維化しない非熱溶融加工性成分と、融点３２０℃未満の繊維化しない熱溶融加工可能な成分と、から主としてなるフッ素樹脂多孔膜を含んでいる、
請求項１から８のいずれか１項に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか１項に記載のエアフィルタ濾材を備え、
前記エアフィルタ濾材が山折りおよび谷折りが交互に繰り返されたジグザグ形状に加工されて構成されているフィルタパック。
【請求項１１】
請求項１から９のいずれか１項に記載のエアフィルタ濾材または請求項１０に記載のフィルタパックと、
前記エアフィルタ濾材または前記フィルタパックを保持する枠体と、
を備えたエアフィルタユニット。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、エアフィルタ濾材、フィルタパック、およびエアフィルタユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、十分に清浄された空間を得るために、例えばポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥという）からなる多孔膜（以下、ＰＴＦＥ多孔膜という）が集塵フィルタとして用いられている。ＰＴＦＥ多孔膜は、ガラス繊維製濾材に比べて同じ圧力損失で比較したとき塵の捕集効率が高いことから、特に、ＨＥＰＡフィルタ(High Efficiency Particulate Air Filter)やＵＬＰＡフィルタ（Ultra low Penetration Air Filter）に好適に用いられている。
【０００３】
このようなフィルタとしては、例えば、特許文献１（特開２０１７−６４７１３号公報）に記載のエアフィルタ濾材のように、２枚のＰＴＦＥ多孔膜を互いに重ねて構成したものが提案されている。この特許文献１によれば、エアフィルタ濾材の各ＰＴＦＥ多孔膜において、上流側に配置されるものの平均繊維径を０．２４〜０．４５μｍとし、下流側に配置されるものの平均繊維径を０．２４〜０．４５μｍとすることで、オイルミスト（オイル粒子）による目詰まりを抑制させることができるとされている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、捕集対象が液体粒子である場合に、エアフィルタ濾材の捕集効率が次第に低下するという現象を新規に発見した。
【０００５】
本開示の内容は、上述した点に鑑みたものであり、捕集効率の低下を抑制させることが可能なエアフィルタ濾材、フィルタパック、およびエアフィルタユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本件発明者らは、捕集対象が液体粒子である場合に、エアフィルタ濾材の捕集効率が次第に低下するという現象を新規に発見し、当該捕集効率の低下を抑制させるべく、本開示の内容を完成させた。
【０００７】
第１観点に係るエアフィルタ濾材は、フッ素樹脂を含み、ＰＡＯ透過率比（最終透過率／初期透過率）が２．５未満である。ポリアルファオレフィン粒子の初期透過率は、個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で初期の状態のエアフィルタ濾材に通風したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の透過率をいう。ポリアルファオレフィン粒子の最終透過率は、個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で連続通風することで圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の透過率をいう。
【０００８】
このエアフィルタ濾材は、ポリアルファオレフィン粒子を対象とした使用により圧力損失が２５０Ｐａ上昇した後であっても、捕集対象の低下を抑制することができる。
【０００９】
第２観点に係るエアフィルタ濾材は、第１観点のエアフィルタ濾材であって、ＰＡＯ透過率比（最終透過率／初期透過率）が２．５未満の状態で用いる。
【００１０】
このエアフィルタ濾材は、圧力損失が２５０Ｐａ上昇した時点で寿命を迎えるとされているエアフィルタであっても、当該寿命を迎えるまでの間、透過率を小さく抑えた状態で使用することが可能になる。
【００１１】
第３観点に係るエアフィルタ濾材は、第１観点または第２観点のいずれかのエアフィルタ濾材であって、ＰＡＯ透過率比が１．０以上である。また、ＮａＣｌ透過率比（最終透過率／初期透過率）が１．０未満である。ここで、ＮａＣｌ粒子の初期透過率は、０．１μｍのＮａＣｌ粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で初期の状態のエアフィルタ濾材に通風したときの前記ＮａＣｌ粒子の透過率をいう。また、ＮａＣｌ粒子の最終透過率は、０．１μｍのＮａＣｌ粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒でエアフィルタ濾材に連続通風することでエアフィルタ濾材の圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ＮａＣｌ粒子の透過率をいう。
【００１２】
このエアフィルタ濾材は、捕集対象が固体粒子である場合には捕集効率が使用と共に増大（透過率が使用と共に減少）していくものの、捕集対象が液体粒子である場合には捕集効率が使用と共に低下（透過率が使用と共に増大）する傾向があるエアフィルタ濾材について、その使用に伴う液体粒子の透過率の増大を小さく抑えることが可能になる。
【００１３】
第４観点に係るエアフィルタ濾材は、第１観点から第３観点のいずれかのエアフィルタ濾材であって、粒子径０．３μｍのＮａＣｌ粒子を用いて把握される圧力損失および捕集効率を用いて、次式：ＰＦ値＝｛−ｌｏｇ（（１００−捕集効率（％））／１００）｝／（圧力損失（Ｐａ）／１０００）で定められるＰＦ値の初期値が、２５．０以上である。
【００１４】
第５観点に係るエアフィルタ濾材は、第１観点から第４観点のいずれかのエアフィルタ濾材であって、個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で連続通風し、圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の保塵量が２０．０ｇ／ｍ２以上である。
【００１５】
このエアフィルタ濾材は、十分な保塵量を確保しつつ、捕集効率の低下を抑えることができる。
【００１６】
第６観点に係るエアフィルタ濾材は、第１観点から第５観点のいずれかのエアフィルタ濾材であって、第１フッ素樹脂多孔膜と、第１フッ素樹脂多孔膜に対して気流の下流側に配置される第２フッ素樹脂多孔膜と、を備える。
【００１７】
第７観点に係るエアフィルタ濾材は、第６観点のエアフィルタ濾材であって、第１フッ素樹脂多孔膜は、充填率が８．０％未満であって厚みが３０μｍ以上である。
【００１８】
このエアフィルタ濾材は、より下流側に配置される第２フッ素樹脂多孔膜の目詰まりを抑制させることが可能になる。
【００１９】
第８観点に係るエアフィルタ濾材は、第６観点または第７観点のいずれかのエアフィルタ濾材であって、第１フッ素樹脂多孔膜は、平均繊維径が５０ｎｍ以上であって厚みが３０μｍ以上である。
【００２０】
このエアフィルタ濾材は、捕集効率の低下をより十分に抑制することができる。
【００２１】
第９観点に係るエアフィルタ濾材は、第１観点から第８観点のいずれかのエアフィルタ濾材であって、繊維化し得るポリテトラフルオロエチレンと、繊維化しない非熱溶融加工性成分と、融点３２０℃未満の繊維化しない熱溶融加工可能な成分と、から主としてなるフッ素樹脂多孔膜を含んでいる。
【００２２】
従来の繊維化し得るＰＴＦＥ（高分子量ＰＴＦＥ）のみから主として構成されるＰＴＦＥ多孔膜では、繊維径の細い微細なフィブリルを多く含んでおり、繊維１本当たりの表面積が大きく、捕集効率が高い反面、膜厚が比較的薄く、繊維同士の重なりが多いために多くの微粒子を保塵することができず、繊維１本当たりの捕集効率の高さが有効に発揮されていない。
【００２３】
これに対して、このエアフィルタ濾材は、繊維化し得るポリテトラフルオロエチレンと、繊維化しない非熱溶融加工性成分と、融点３２０℃未満の繊維化しない熱溶融加工可能な成分と、の３成分を主として含んで構成されているため、従来のＰＴＦＥ多孔膜と比べて、比較的太い繊維により空隙を多くして膜厚を増やすことで保塵量を高めることが可能になっている。
【００２４】
なお、上記各エアフィルタ濾材は、強度を向上させるための通気性支持材を１枚または複数枚さらに備えていてもよい。
【００２５】
第１０観点に係るエアフィルタパックは、第１観点から第９観点のいずれかのエアフィルタ濾材を備え、エアフィルタ濾材が山折りおよび谷折りが交互に繰り返されたジグザグ形状に加工されて構成されている。なお、「フィルタパック」は、特に限定されるものではないが、例えば、フラットなシート状のものではなく、山折りおよび谷折りを交互に行うことで折り畳まれたジグザグ形状であり、任意の枠体に収容可能となるように整形されているものであってよい。
【００２６】
第１１観点に係るエアフィルタユニットは、第１観点から第９観点のいずれかのエアフィルタ濾材または第１０観点のフィルタパックと、エアフィルタ濾材またはフィルタパックを保持する枠体と、を備えている。
【発明の効果】
【００２７】
本開示に係るエアフィルタ濾材、フィルタパック、または、エアフィルタユニットによれば、捕集効率の低下を抑制させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】エアフィルタ濾材１の層構成を示す概略断面図である。
【図２】エアフィルタ濾材２の層構成を示す概略断面図である。
【図３】エアフィルタ濾材３の層構成を示す概略断面図である。
【図４】フィルタパックの外観斜視図である。
【図５】エアフィルタユニットの外観斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、エアフィルタ濾材（以降、単に濾材ともいう）、フィルタパック、およびエアフィルタユニットについて、実施形態を例に挙げて説明する。
【００３０】
（１）エアフィルタ濾材
エアフィルタ濾材としては、フッ素樹脂を含んだ膜を有しており、個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で通風したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の初期透過率と、個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で連続通風することで圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の最終透過率と、のＰＡＯ透過率比（最終透過率／初期透過率）が３．０未満であるものであれば、特に限定されない。これにより、エアフィルタ濾材の圧力損失が、初期状態から２５０Ｐａ分だけ上昇したような寿命を迎える状態の直前まで、捕集効率の初期状態からの低下を小さく抑えたままでの使用が可能になる。このため、エアフィルタ濾材は、ＰＡＯ透過率比が３．０未満の状態で用いられるものであることが好ましい。なお、捕集効率の低下を十分に抑制させる観点から、ＰＡＯ透過率比（最終透過率／初期透過率）が２．５未満であるものがより好ましく、この点で、ＰＡＯ透過率比が２．５未満の状態で用いられるものであることが好ましい。
【００３１】
なお、エアフィルタ濾材としては、ＰＡＯ透過率比が１．０以上のものであること、すなわち、初期状態からＰＡＯ粒子等の液体粒子について用いられることで、液体粒子の透過率が増大していくものであってよい。このように、液体粒子に用いられることで液体粒子の透過率が増大していくような性質を有するエアフィルタ濾材であっても、その増大程度が抑えられ、捕集効率の低下を小さく抑えることができる。このような、液体粒子に用いられることで液体粒子の透過率が増大していくような性質を有するエアフィルタ濾材としては、固体粒子の透過率については減少していくような性質を有するものであってよい。具体的には、０．１μｍのＮａＣｌ粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で通風したときの前記ＮａＣｌ粒子の初期透過率と、０．１μｍのＮａＣｌ粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で連続通風することで圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ＮａＣｌ粒子の最終透過率と、のＮａＣｌ透過率比（最終透過率／初期透過率）が１．０未満であってよく、０．７未満であってもよく、０．４未満であってもよい。これにより、固体粒子に対して用いられる場合には透過率が次第に低下していく（捕集効率は増大していく）性質を有するにもかかわらず、液体粒子に対して用いられる場合には透過率が次第に増大していく（捕集効率は低下していく）という性質を有するエアフィルタ濾材であっても、その透過率の増大程度が抑えられ、捕集効率の低下を小さく抑えることができる。
【００３２】
ここで、固体粒子に対して用いられる場合には透過率が次第に低下していく（捕集効率は増大していく）性質を有するにもかかわらず、液体粒子に対して用いられる場合には透過率が次第に増大していく（捕集効率は低下していく）という性質を有するエアフィルタ濾材としては、特に限定されないが、エアフィルタ濾材を構成している繊維に対して固体粒子が付着した場合と液体粒子が付着した場合とで、以下に述べるような違いが生じる濾材であるものと考えられる。すなわち、このようなエアフィルタ濾材では、エアフィルタ濾材が有する繊維に対して固体粒子が付着した場合には、当該付着した固体粒子があたかも新たな繊維であるかのように機能して、さらに流れてくる固体粒子を捕らえる働きを備えるようになることで、捕集効率が増大していき、透過率が低下していくものと考えられる。これに対して、このようなエアフィルタ濾材が有する繊維に対して液体粒子が付着した場合には、当該付着した液体粒子が繊維の周囲に纏わり付くことで液体粒子が付着した繊維の繊維径が大きくなっているかのように作用し、繊維径が大きくなっているように振る舞う繊維同士の間を、液体粒子が通過しがちになることで、捕集効率が減少していき、透過率が増大していくものと考えられる。
【００３３】
以上のような液体粒子としては、特に限定されないが、例えば、オイルミスト、水、薬液等を挙げることができ、固体粒子が混ざったものであってもよい。
【００３４】
また、このような液体粒子の平均粒子径としては、例えば、０．０５μｍ以上１．０μｍ以下であってよく、０．１μｍ以上０．５μｍ以下であってもよい。ここでの液体粒子の平均粒子径は、動的光散乱法による数平均値である。
【００３５】
なお、液体粒子による影響と同様の影響は、エアフィルタ濾材を構成している繊維に対して固体粒子が付着した状態で、当該固体粒子が湿潤した場合にも生じるものと考えられる。すなわち、繊維に付着した固体粒子およびこれが凝集成長した粒子において流動性が生じるほど湿潤化した場合には、当該湿潤化した粒子が液体粒子と同様に繊維の周囲に纏わり付くことで、繊維径の肥大化に繋がるものと考えられる。このような固体粒子の湿潤条件としては、例えば、固体粒子の平均粒子径が０．０５μｍ以上２．５μｍ以下であり、使用環境下における相対湿度が６０％以上（より好ましくは７５％以上）であること、とすることができる。
【００３６】
エアフィルタ濾材としては、粒子径０．３μｍのＮａＣｌ粒子を用いて把握される圧力損失および捕集効率を用いて、次式：ＰＦ値＝｛−ｌｏｇ（（１００−捕集効率（％））／１００）｝／（圧力損失（Ｐａ）／１０００）で定められるＰＦ値の初期値が、２５．０以上であってよく、３０．０以上であってもよく、３２．０以上であってもよい。エアフィルタ濾材のＰＦ値が高い場合に生じがちである液体粒子の捕集効率の低下の程度を小さく抑えることが可能になる。
【００３７】
エアフィルタ濾としては、個数中位径０．２５μｍのポリアルファオレフィン粒子を含む空気を流速５．３ｃｍ／秒で連続通風し、圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときの前記ポリアルファオレフィン粒子の保塵量が２０．０ｇ／ｍ２以上であってよく、２５．０以上であることが好ましく、５０．０以上であることがより好ましい。これにより、液体粒子の十分な保塵量が確保できるエアフィルタ濾材について、液体粒子の捕集効率の低下を抑えることができる。
【００３８】
エアフィルタ濾材の圧力損失（初期値）は、特に限定されないが、例えば、２００Ｐａ未満であることが好ましく、３０Ｐａ以上１５５Ｐａ以下であってよい。
【００３９】
また、エアフィルタ濾材の粒子径０．３μｍのＮａＣｌ粒子を用いて把握される捕集効率（初期値）は、９８．０％以上であることが好ましく、９９．９７％以上であってよい。
【００４０】
エアフィルタ濾材の厚みは、特に限定されないが、３００μｍ以上１３００μｍ以下であってよく、４００μｍ以上８００μｍ以下であってよい。エアフィルタ濾材の厚みは、特定の測定装置において、測定対象に０．３Ｎの荷重をかけたときの厚さの値である。
【００４１】
以上に述べたエアフィルタ濾材の具体的な構成は、特に限定されるものではなく、例えば、図１に示すエアフィルタ濾材１のように、上流通気性支持材２１と、第１フッ素樹脂多孔膜３１と、第２フッ素樹脂多孔膜３２と、下流通気性支持材２２とが、空気流れ方向において順に重ねて構成されるものであってもよい。
【００４２】
また、図２に示すエアフィルタ濾材２のように、プレ捕集材１０と、第１フッ素樹脂多孔膜３１と、第２フッ素樹脂多孔膜３２と、下流通気性支持材２２とが、空気流れ方向において順に重ねて構成されるものであってもよい。
【００４３】
さらに、図３に示すエアフィルタ濾材３のように、上流通気性支持材２１と、第１フッ素樹脂多孔膜３１と、下流通気性支持材２２とが、空気流れ方向において順に重ねて構成されるものであってもよい。
【００４４】
なお、これらの各膜や材等の重ね合わせの仕方は、特に限定されず、加熱による一部溶融又はホットメルト樹脂の溶融によるアンカー効果を利用した貼り合わせであってもよいし、反応性接着剤等を用いた貼り合わせであってもよいし、単に重ね置くだけであってもよい。なお、貼り合わせにより各膜や材の厚みは実質的に変化しない。
【００４５】
第１フッ素樹脂多孔膜３１は、フッ素樹脂を主として含んでいる。第２フッ素樹脂多孔膜３２は、フッ素樹脂を主として含み、第１フッ素樹脂多孔膜３１よりも気流の下流側に配置される。上流通気性支持材２１は、第１フッ素樹脂多孔膜３１よりも気流の上流側に配置され、第１フッ素樹脂多孔膜３１を支持する。下流通気性支持材２２は、第２フッ素樹脂多孔膜３２よりも気流の下流側またはエアフィルタ濾材の最下流側に配置され、第２フッ素樹脂多孔膜３２を支持する。プレ捕集材１０は、第１フッ素樹脂多孔膜３１よりも気流の上流側に配置され、気流中の塵の一部を捕集する。
【００４６】
以下、各層および各層間の関係について具体的に説明する。
【００４７】
（２）多孔膜
第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２は、いずれも、主としてフッ素樹脂を含んで構成されており、図示しないフィブリル（繊維）とフィブリルに接続されたノード（結節部）とを有する多孔質な膜構造を有することが好ましい。
【００４８】
ここで、「主として」とは、複数種類の成分を含有する場合にはフッ素樹脂が最も多く含有されていることを意味する。第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２は、例えば、構成成分全体の５０重量％を超えてフッ素樹脂が含有されていてもよい。すなわち、第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２は、フッ素樹脂と異なる成分を５０重量％未満含有してもよい。
【００４９】
フッ素樹脂と異なる成分としては、例えば、後述する繊維化しない非溶融加工性成分（Ｂ成分）である無機フィラーが挙げられる。
【００５０】
第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２に用いられるフッ素樹脂は、１種類の成分からなってもよく、２種以上の成分からなってもよい。また、２種以上の成分からなるフッ素樹脂としては、例えば、繊維化し得るＰＴＦＥ（以降、Ａ成分ともいう）、繊維化しない非熱溶融加工性成分（以降、Ｂ成分ともいう）、および融点３２０℃未満の繊維化しない熱溶融加工可能な成分（以降、Ｃ成分ともいう）の３成分の混合物が挙げられる。第１フッ素樹脂多孔膜３１は、好ましくは、これら３種の成分の組み合わせからなる。これら３種の成分からなる第１フッ素樹脂多孔膜３１は、従来の繊維化し得るＰＴＦＥ（高分子量ＰＴＦＥ）多孔膜と比べ、空隙が多く、膜厚の厚い膜構造を有していることで、気体中の微粒子を濾材の厚み方向の広い領域で捕集でき、これにより、保塵量を向上させることができる。多孔膜をこれら３種の成分から構成することにより、固体粒子よりも液体粒子の保塵量を特に増大させることが可能になる。このような観点からは、第１フッ素樹脂多孔膜３１だけでなく第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２の両方が、これら３種の成分からなることがより好ましい。これにより、エアフィルタ濾材全体の厚みを十分に確保でき、保塵量がより向上する。
【００５１】
以下、上記３種の成分についてより詳細に説明する。なお、第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２のいずれにも該当する内容に関しては、これらを区別することなく、単に「多孔膜」との表現を使って説明する。
【００５２】
（２−１）Ａ成分：繊維化し得るＰＴＦＥ
繊維化し得るＰＴＦＥは、例えば、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）の乳化重合、または懸濁重合から得られた高分子量ＰＴＦＥである。ここでいう高分子量とは、多孔膜作成時の延伸の際に繊維化しやすく、繊維長の長いフィブリルが得られるものであって、標準比重（ＳＳＧ）が、２．１３０〜２．２３０であり、溶融粘度が高いため実質的に溶融流動しない大きさの分子量をいう。繊維化し得るＰＴＦＥのＳＳＧは、繊維化しやすく、繊維長の長いフィブリルが得られる観点から、２．１３０〜２．１９０が好ましく、２．１４０〜２．１７０が更に好ましい。ＳＳＧが高すぎると、Ａ〜Ｃの各成分の混合物の延伸性が悪化するおそれがあり、ＳＳＧが低すぎると、圧延性が悪化して、多孔膜の均質性が悪化し、多孔膜の圧力損失が高くなるおそれがある。また、繊維化しやすく、繊維長の長いフィブリルが得られる観点から、乳化重合で得られたＰＴＦＥが好ましい。標準比重（ＳＳＧ）は、ＡＳＴＭ  Ｄ  ４８９５に準拠して測定される。
【００５３】
繊維化性の有無、すなわち、繊維化し得るか否かは、ＴＦＥの重合体から作られた高分子量ＰＴＦＥ粉末を成形する代表的な方法であるペースト押出しが可能か否かによって判断できる。通常、ペースト押出しが可能であるのは、高分子量のＰＴＦＥが繊維化性を有するからである。ペースト押出しで得られた未焼成の成形体に実質的な強度や伸びがない場合、例えば伸びが０％で、引っ張ると切れるような場合は繊維化性がないとみなすことができる。
【００５４】
上記高分子量ＰＴＦＥは、変性ポリテトラフルオロエチレン（以下、変性ＰＴＦＥという）であってもよいし、ホモポリテトラフルオロエチレン（以下、ホモＰＴＦＥという）であってもよいし、変性ＰＴＦＥとホモＰＴＦＥの混合物であってもよい。ホモＰＴＦＥは、特に限定されず、特開昭５３−６０９７９号公報、特開昭５７−１３５号公報、特開昭６１−１６９０７号公報、特開昭６２−１０４８１６号公報、特開昭６２−１９０２０６号公報、特開昭６３−１３７９０６号公報、特開２０００−１４３７２７号公報、特開２００２−２０１２１７号公報、国際公開第２００７／０４６３４５号パンフレット、国際公開第２００７／１１９８２９号パンフレット、国際公開第２００９／００１８９４号パンフレット、国際公開第２０１０／１１３９５０号パンフレット、国際公開第２０１３／０２７８５０号パンフレット等で開示されているホモＰＴＦＥなら好適に使用できる。中でも、高い延伸特性を有する特開昭５７−１３５号公報、特開昭６３−１３７９０６号公報、特開２０００−１４３７２７号公報、特開２００２−２０１２１７号公報、国際公開第２００７／０４６３４５号パンフレット、国際公開第２００７／１１９８２９号パンフレット、国際公開第２０１０／１１３９５０号パンフレット等で開示されているホモＰＴＦＥが好ましい。
【００５５】
変性ＰＴＦＥは、ＴＦＥと、ＴＦＥ以外のモノマー（以下、変性モノマーという）とからなる。変性ＰＴＦＥには、変性モノマーにより均一に変性されたもの、重合反応の初期に変性されたもの、重合反応の終期に変性されたものなどが挙げられるが、特にこれらに限定されない。変性ＰＴＦＥは、例えば、特開昭６０−４２４４６号公報、特開昭６１−１６９０７号公報、特開昭６２−１０４８１６号公報、特開昭６２−１９０２０６号公報、特開昭６４−１７１１号公報、特開平２−２６１８１０号公報、特開平１１−２４０９１７、特開平１１−２４０９１８、国際公開第２００３／０３３５５５号パンフレット、国際公開第２００５／０６１５６７号パンフレット、国際公開第２００７／００５３６１号パンフレット、国際公開第２０１１／０５５８２４号パンフレット、国際公開第２０１３／０２７８５０号パンフレット等で開示されているものを好適に使用できる。中でも、高い延伸特性を有する特開昭６１−１６９０７号公報、特開昭６２−１０４８１６号公報、特開昭６４−１７１１号公報、特開平１１−２４０９１７、国際公開第２００３／０３３５５５号パンフレット、国際公開第２００５／０６１５６７号パンフレット、国際公開第２００７／００５３６１号パンフレット、国際公開第２０１１／０５５８２４号パンフレット等で開示されている変性ＰＴＦＥが好ましい。
【００５６】
変性ＰＴＦＥは、ＴＦＥに基づくＴＦＥ単位と、変性モノマーに基づく変性モノマー単位とを含む。変性モノマー単位は、変性ＰＴＦＥの分子構造の一部分であって変性モノマーに由来する部分である。変性ＰＴＦＥは、変性モノマー単位が全単量体単位の０．００１〜０．５００重量％含まれることが好ましく、好ましくは、０．０１〜０．３０重量％含まれる。全単量体単位は、変性ＰＴＦＥの分子構造における全ての単量体に由来する部分である。
【００５７】
変性モノマーは、ＴＦＥとの共重合が可能なものであれば特に限定されず、例えば、ヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）等のパーフルオロオレフィン；クロロトリフルオロエチレン（ＣＴＦＥ）等のクロロフルオロオレフィン；トリフルオロエチレン、フッ化ビニリデン（ＶＤＦ）等の水素含有フルオロオレフィン；パーフルオロビニルエーテル；パーフルオロアルキルエチレン（ＰＦＡＥ）、エチレン等が挙げられる。用いられる変性モノマーは１種であってもよいし、複数種であってもよい。
【００５８】
パーフルオロビニルエーテルは、特に限定されず、例えば、下記一般式（１）で表されるパーフルオロ不飽和化合物等が挙げられる。
【００５９】
ＣＦ２＝ＣＦ−ＯＲｆ・・・（１）
式中、Ｒｆは、パーフルオロ有機基を表す。
【００６０】
本明細書において、パーフルオロ有機基は、炭素原子に結合する水素原子が全てフッ素原子に置換されてなる有機基である。上記パーフルオロ有機基は、エーテル酸素を有していてもよい。
【００６１】
パーフルオロビニルエーテルとしては、例えば、上記一般式（１）において、Ｒｆが炭素数１〜１０のパーフルオロアルキル基であるパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（ＰＡＶＥ）が挙げられる。パーフルオロアルキル基の炭素数は、好ましくは１〜５である。ＰＡＶＥにおけるパーフルオロアルキル基としては、例えば、パーフルオロメチル基、パーフルオロエチル基、パーフルオロプロピル基、パーフルオロブチル基、パーフルオロペンチル基、パーフルオロヘキシル基等が挙げられる。ＰＡＶＥとしては、パーフルオロプロピルビニルエーテル（ＰＰＶＥ）、パーフルオロメチルビニルエーテル（ＰＭＶＥ）が好ましい。
【００６２】
上記パーフルオロアルキルエチレン（ＰＦＡＥ）は、特に限定されず、例えば、パーフルオロブチルエチレン（ＰＦＢＥ）、パーフルオロヘキシルエチレン（ＰＦＨＥ）等が挙げられる。
【００６３】
変性ＰＴＦＥにおける変性モノマーとしては、ＨＦＰ、ＣＴＦＥ、ＶＤＦ、ＰＡＶＥ、ＰＦＡＥ及びエチレンからなる群より選択される少なくとも１種であることが好ましい。
【００６４】
ホモＰＴＦＥは、特に、繊維化しやすく、繊維長の長いフィブリルが得られる観点から、繊維化し得るＰＴＦＥの５０重量％を超えて含有されていることが好ましい。
【００６５】
なお、繊維化し得るＰＴＦＥは、上記した成分を複数組み合わせたものであってよい。
【００６６】
繊維化し得るＰＴＦＥは、多孔膜の繊維構造を維持する観点から、多孔膜の５０重量％を超えて含有されているのが好ましい。
【００６７】
（２−２）Ｂ成分：繊維化しない非熱溶融加工性成分
繊維化しない非熱溶融加工性成分は、主に結節部において非繊維状の粒子として偏在し、繊維化し得るＰＴＦＥが繊維化されるのを抑制する働きをする。
【００６８】
繊維化しない非熱溶融加工性成分としては、例えば、低分子量ＰＴＦＥ等の熱可塑性を有する成分、熱硬化性樹脂、無機フィラー、およびこれらの混合物が挙げられる。
【００６９】
熱可塑性を有する成分は、融点が３２０℃以上であり、溶融粘度が高い方が好ましい。例えば低分子量ＰＴＦＥは溶融粘度が高いため，融点以上の温度で加工しても結節部に留まることができる。本明細書において、低分子量ＰＴＦＥとは、数平均分子量が６０万以下、融点が３２０℃以上３３５℃以下、３８０℃での溶融粘度が１００Ｐａ・ｓ〜７．０×１０５Ｐａ・ｓのＰＴＦＥである（特開平１０−１４７６１７号公報参照）。
【００７０】
低分子量ＰＴＦＥの製造方法としては、ＴＦＥの懸濁重合から得られる高分子量ＰＴＦＥ粉末（モールディングパウダー）またはＴＦＥの乳化重合から得られる高分子量ＰＴＦＥ粉末（ファインパウダー）と特定のフッ化物とを高温下で接触反応させて熱分解する方法（特開昭６１−１６２５０３号公報参照）や、上記高分子量ＰＴＦＥ粉末や成形体に電離性放射線を照射する方法（特開昭４８−７８２５２号公報参照）、また連鎖移動剤とともにＴＦＥを直接重合させる方法（国際公開第２００４／０５０７２７号パンフレット，国際公開第２００９／０２０１８７号パンフレット，国際公開第２０１０／１１４０３３号パンフレット等参照）等が挙げられている。低分子量ＰＴＦＥは、繊維化し得るＰＴＦＥと同様、ホモＰＴＦＥであってもよく、前述の変性モノマーが含まれる変性ＰＴＦＥでもよい。
【００７１】
低分子量ＰＴＦＥは繊維化性が無い。繊維化性の有無は、上述した方法で判断できる。低分子量ＰＴＦＥは、ペースト押出しで得られた未焼成の成形体に実質的な強度や伸びがなく、例えば伸びが０％で、引っ張ると切れる。
【００７２】
低分子量ＰＴＦＥは、特に限定されないが、３８０℃での溶融粘度が１０００Ｐａ・ｓ以上であることが好ましく、５０００Ｐａ・ｓ以上であることがより好ましく、１００００Ｐａ・ｓ以上であることがさらに好ましい。このように、溶融粘度が高いと、多孔膜の製造時に、Ｃ成分として繊維化しない熱溶融加工可能な成分が溶融しても、繊維化しない非熱溶融加工性成分は結節部に留まることができ、繊維化を抑えることができる。
【００７３】
熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ、シリコーン、ポリエステル、ポリウレタン、ポリイミド、フェノール、およびこれらの混合物等の各樹脂が挙げられる。熱硬化性樹脂は、後述する共凝析の作業性の観点から、未硬化状態で水分散された樹脂が望ましく用いられる。これら熱硬化性樹脂は、いずれも市販品として入手することもできる。
【００７４】
無機フィラーとしては、タルク、マイカ、ケイ酸カルシウム、ガラス繊維、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭素繊維、硫酸バリウム、硫酸カルシウム、およびこれらの混合物等が挙げられる。中でも、繊維化しうる高分子量のＰＴＦＥとの親和性および比重の点から、タルクが好ましく用いられる。無機フィラーは、多孔膜の製造時に安定な分散体を形成できる観点から、粒子径３μｍ以上２０μｍ以下のものが好ましく用いられる。粒子径は、平均粒径であり、レーザー回折・散乱法によって測定される。これら無機フィラーは、いずれも市販品として入手することもできる。
【００７５】
なお、繊維化しない非溶融加工性成分は、上記した成分を複数組み合わせたものであってよい。
【００７６】
繊維化しない非熱溶融加工性成分は、多孔膜の１重量％以上５０重量％以下含有されることが好ましい。繊維化しない非熱溶融加工性成分の含有量が５０重量％以下であることで、多孔膜の繊維構造を維持させやすい。繊維化しない非熱溶融加工性成分は、好ましくは２０重量％以上４０重量％以下含有され、より好ましくは３０重量％含有される。２０重量％以上４０重量％以下含有されることで、繊維化し得るＰＴＦＥの繊維化をより有効に抑えることができる。
【００７７】
（２−３）Ｃ成分：融点３２０℃未満の繊維化しない熱溶融加工可能な成分
融点３２０℃未満の繊維化しない熱溶融加工可能な成分（以下、繊維化しない熱溶融加工可能な成分ともいう）は、溶融時に流動性を有することにより、多孔膜の製造時（延伸時）に溶融して結節部において固まることができ、多孔膜全体の強度を高めて、後工程で圧縮等されることがあってもフィルタ性能の劣化を抑えることができる。
【００７８】
繊維化しない熱溶融加工可能な成分は，３８０℃において１００００Ｐａ・ｓ未満の溶融粘度を示すことが好ましい。なお、繊維化しない熱溶融加工可能な成分の融点は、示差走査熱量計（ＤＳＣ）により昇温速度１０℃／分で融点以上まで昇温して一度完全に溶融させ、１０℃／分で融点以下まで冷却した後、１０℃／分で再び昇温したときに得られる融解熱曲線のピークトップとする。
【００７９】
繊維化しない熱溶融加工可能な成分としては、熱溶融可能なフルオロポリマー、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエステル、ポリアミド等の各樹脂、あるいはこれらの混合物であり、多孔膜の製造時の延伸温度における溶融性、流動性を十分に発揮しうるものが挙げられる。中でも、多孔膜製造時の延伸温度での耐熱性に優れ、耐薬品性に優れる点から、熱溶融可能なフルオロポリマーが好ましい。熱溶融可能なフルオロポリマーは、下記一般式（２）
ＲＣＦ＝ＣＲ２・・・（２）
（式中、Ｒはそれぞれ独立して、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、炭素原子１〜８個のアルキル、炭素原子６〜８個のアリール、炭素原子３〜１０個の環状アルキル、炭素原子１〜８個のパーフルオロアルキルから選択される。この場合に、全てのＲが同じであってもよく、また、いずれか２つのＲが同じで残る１つのＲがこれらと異なってもよく、全てのＲが互いに異なってもよい。）で示される少なくとも１種のフッ素化エチレン性不飽和モノマー、好ましくは２種以上のモノマー、から誘導される共重合単位を含むフルオロポリマーが挙げられる。
【００８０】
一般式（２）で表される化合物の有用な例としては、限定されないが、フルオロエチレン、ＶＤＦ、トリフルオロエチレン、ＴＦＥ、ＨＦＰ等のパーフルオロオレフィン、ＣＴＦＥ、ジクロロジフルオロエチレン等のクロロフルオロオレフィン、ＰＦＢＥ、ＰＦＨＥ等の（パーフルオロアルキル）エチレン、パーフルオロ−１，３−ジオキソールおよびその混合物等が挙げられる。
【００８１】
また、フルオロポリマーは、少なくとも１種類の上記一般式（２）で示されるモノマーと、
上記一般式（１）および／または下記一般式（３）
Ｒ２Ｃ＝ＣＲ２・・・（３）
（式中、Ｒは、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃｌ、炭素原子１〜８個のアルキル基、炭素原子６〜８個のアリール基、炭素原子３〜１０個の環状アルキル基から選択される。この場合に、全てのＲが同じであってもよく、また、いずれか２以上のＲが同じでこれら２以上のＲと残る他のＲとが異なってもよく、全てのＲが互いに異なってもよい。前記他のＲは、複数ある場合は互いに異なってよい。）で示される少なくとも１種の共重合性コモノマーとの共重合から誘導されるコポリマーも含み得る。
【００８２】
一般式（１）で表される化合物の有用な例としては、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（ＰＡＶＥ）が挙げられる。このＰＡＶＥとしては、パーフルオロプロピルビニルエーテル（ＰＰＶＥ）、パーフルオロメチルビニルエーテル（ＰＭＶＥ）が好ましい。
【００８３】
一般式（３）で表される化合物の有用な例としては、エチレン、プロピレン等が挙げられる。
【００８４】
フルオロポリマーのより具体的な例としては、フルオロエチレンの重合から誘導されるポリフルオロエチレン、フッ化ビニリデン（ＶＤＦ）の重合から誘導されるポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、クロロトリフルオロエチレン（ＣＴＦＥ）の重合から誘導されるポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、２種以上の異なる上記一般式（２）で示されるモノマーの共重合から誘導されるフルオロポリマー、少なくとも１種の上記一般式（２）のモノマーと、少なくとも１種の上記一般式（１）および／または少なくとも１種の上記一般式（３）で示されるモノマーの共重合から誘導されるフルオロポリマーが挙げられる。
【００８５】
かかるポリマーの例は、ＶＤＦおよびヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）から誘導される共重合体単位を有するポリマー、ＴＦＥおよびＴＦＥ以外の少なくとも１種の共重合性コモノマー（少なくとも３重量％）から誘導されるポリマーである。後者の種類のフルオロポリマーとしては、ＴＦＥ／ＰＡＶＥ共重合体（ＰＦＡ）、ＴＦＥ／ＰＡＶＥ／ＣＴＦＥ共重合体、ＴＦＥ／ＨＦＰ共重合体（ＦＥＰ）、ＴＦＥ／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ＴＦＥ／ＨＦＰ／エチレン共重合体（ＥＦＥＰ）、ＴＦＥ／ＶＤＦ共重合体、ＴＦＥ／ＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体、ＴＦＥ／ＶＤＦ／ＣＴＦＥ共重合体等、あるいはこれらの混合物が挙げられる。
【００８６】
なお、繊維化しない熱溶融加工可能な成分は、上記した成分を複数組み合わせたものであってよい。
【００８７】
繊維化しない熱溶融加工可能な成分の多孔膜における含有量は、０．１重量％以上２０重量％未満であることが好ましい。２０重量％未満であることで、繊維化しない熱溶融加工可能な成分が多孔膜中の結節部以外の部分にも分散して多孔膜の圧力損失が高くなることが抑制される。また、２０重量％未満であることで、後述する伸長面積倍率が４０倍以上の高倍率での延伸を行いやすくなる。繊維化しない熱溶融加工可能な成分の多孔膜における含有量が０．１重量％以上であることで、後工程において圧縮力等が与えられたとしても多孔膜のフィルタ性能の劣化を十分に抑えやすくなる。繊維化しない熱溶融加工可能な成分の多孔膜における含有量は、１５重量％以下であるのが好ましく、１０重量％以下であるのがより好ましい。また、繊維化しない熱溶融加工可能な成分の多孔膜における含有量は、多孔膜の強度を確保する観点から、０．５重量％以上であるのが好ましい。中でも、５重量％程度であるのが特に好ましい。
【００８８】
繊維化しない熱溶融加工可能な成分の含有率は、伸長面積倍率４０倍以上８００倍以下での延伸を良好に行うために、１０重量％以下であるのが好ましい。
【００８９】
上記説明した３種の成分からなる多孔膜では、フィブリルは主にＡ成分からなり、結節部はＡ〜Ｃの成分からなる。このような結節部は、多孔膜中で比較的大きく形成され、これにより厚みの厚い多孔膜が成形される。また、このような結節部は、繊維化しない熱溶融加工可能な成分を含むことで比較的固く、多孔膜を厚み方向に支える柱のような役割を果たすため、通気性支持材の積層や、後述するプリーツ加工などの後工程において厚み方向の圧縮力等を受けることがあっても多孔膜のフィルタ性能が低下することを抑えることが可能になる。
【００９０】
（２−４）多孔膜の他の性質
第１フッ素樹脂多孔膜３１の膜厚は、保塵量および捕集効率を高める観点から、１０μｍ以上であることが好ましく、３０μｍ以上であることがより好ましい。第１フッ素樹脂多孔膜３１の膜厚の上限値は、特に限定されないが、例えば１００μｍであってよい。また、第２フッ素樹脂多孔膜３２の膜厚は、例えば、第２フッ素樹脂多孔膜３２が上記３種の成分からなる場合は、５μｍを超えるのが好ましく、４０μｍを超えるのがより好ましい。第２フッ素樹脂多孔膜３２の膜厚の上限値は、特に限定されないが、例えば１００μｍであってよい。膜厚は、測定対象を５枚重ねて全体の膜厚を測定し、その値を５で割って得られる値である。
【００９１】
第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２は、次式に従って求まる充填率が２％以上９％以下であることが好ましく、３％以上８％以下であることがより好ましい。なお、第１フッ素樹脂多孔膜３１の充填率は、第２フッ素樹脂多孔膜３２の充填率よりも小さいことが好ましい。
【００９２】
充填率（％）＝（濾材の目付）／（濾材の厚み）／（原料の比重）×１００
第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２は、繊維径（平均繊維径）が、５０ｎｍ以上２５０ｎｍ以下であることが好ましく、６０ｎｍ以上２００ｎｍ以下であることがより好ましい。また、第１フッ素樹脂多孔膜３１の繊維径は、第２フッ素樹脂多孔膜３２の繊維径よりも太いことが好ましい。
【００９３】
なお、フッ素樹脂多孔膜が上記膜厚、上記充填率、上記繊維径を有するものである場合には、液体粒子を捕集対象とした場合の経時的な捕集効率の低下が起こる場合があることから、ポリアルファオレフィン（ＰＡＯ）粒子（液体粒子）の透過率の経時変化を評価することが好ましい。
【００９４】
なお、上述したフッ素樹脂多孔膜は、特に限定されないが、例えば、特開２０１７−１５９２８１号公報に記載の製造方法を参考として製造してもよい。
【００９５】
（３）通気性支持材
上流通気性支持材２１は、第１フッ素樹脂多孔膜３１の上流側に配置されており、第１フッ素樹脂多孔膜３１を支持する。このため第１フッ素樹脂多孔膜３１の膜厚が薄い等で自立が困難であっても、上流通気性支持材２１の支持により第１フッ素樹脂多孔膜３１を立たせることが可能になる。
【００９６】
下流通気性支持材２２は、第２フッ素樹脂多孔膜３２の下流側に配置されており、第２フッ素樹脂多孔膜３２を支持する。なお、下流通気性支持材２２は、エアフィルタ濾材の最下流側層を構成するように配置されている。第２フッ素樹脂多孔膜３２も同様に、膜厚が薄い等で自立が困難であっても、下流通気性支持材２２の支持により第２フッ素樹脂多孔膜３２を立たせることが可能になる。
【００９７】
上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２の材質及び構造は、特に限定されないが、例えば、不織布、織布、金属メッシュ、樹脂ネットなどが挙げられる。なかでも、強度、捕集性、柔軟性、作業性の点からは熱融着性を有する不織布が好ましい。不織布は、構成繊維の一部または全てが芯／鞘構造を有する不織布、低融点材料からなる繊維の層と高融点材料からなる繊維の層の２層からなる２層不織布、表面に熱融着性樹脂が塗布された不織布が好ましい。このような不織布としては、例えば、スパンボンド不織布が挙げられる。また、芯／鞘構造の不織布は、芯成分が鞘成分よりも融点が高いものが好ましい。例えば、芯／鞘の各材料の組み合わせとしては、例えば、ＰＥＴ／ＰＥ、高融点ポリエステル／低融点ポリエステルが挙げられる。２層不織布の低融点材料／高融点材料の組み合わせとしては、例えば、ＰＥ／ＰＥＴ、ＰＰ／ＰＥＴ、ＰＢＴ／ＰＥＴ、低融点ＰＥＴ／高融点ＰＥＴが挙げられる。表面に熱融着性樹脂が塗布された不織布としては、例えばＰＥＴ不織布にＥＶＡ（エチレン酢酸ビニル共重合樹脂）が塗布されたもの、ＰＥＴ不織布にオレフィン樹脂が塗布されたものが挙げられる。
【００９８】
不織布の材質は、特に限定されず、ポリオレフィン（ＰＥ、ＰＰ等）、ポリアミド、ポリエステル（ＰＥＴ等）、芳香族ポリアミド、またはこれらの複合材などを用いることができる。
【００９９】
上流通気性支持材２１は、加熱により上流通気性支持材２１の一部が溶融することで、或いはホットメルト樹脂の溶融により、アンカー効果を利用して、或いは反応性接着剤等の接着を利用して、第１フッ素樹脂多孔膜３１に接合することができる。また、下流通気性支持材２２も、同様に第２フッ素樹脂多孔膜３２に対して接合することができる。
【０１００】
上流通気性支持材２１と下流通気性支持材２２とは、同種のものであってもよく、異なる種類のものであってもよい。
【０１０１】
上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２は、いずれも上述した多孔膜と比較すると、圧力損失、捕集効率および保塵量のいずれも極めて低く、実質的に０とみなすこともできるものであってもよい。
【０１０２】
上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２の各圧力損失は、例えば、いずれも、１０Ｐａ以下であることが好ましく、５Ｐａ以下であることがより好ましく、１Ｐａ以下であることがさらに好ましい。
【０１０３】
また、上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２の粒子径０．３μｍのＮａＣｌの各捕集効率は、例えば、いずれも実質的に０あるいは略０とみなすことができるものであってもよい。
【０１０４】
また、上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２の各厚みは、例えば、いずれも、０．３ｍｍ以下であることが好ましく、０．２５ｍｍ以下であることがより好ましい。
【０１０５】
また、上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２の各目付は、例えば、いずれも、２０ｇ／ｍ２以上５０ｇ／ｍ２以下であることが好ましい。
【０１０６】
（４）プレ捕集材
プレ捕集材１０は、第１フッ素樹脂多孔膜３１よりも上流側に配置されており、気流中の塵の一部を捕集することができる。
【０１０７】
プレ捕集材１０は、エアフィルタ濾材全体の圧力損失を低く抑える観点から、空気を流速５．３ｃｍ／秒で通過させたときの圧力損失が５Ｐａ以上５５Ｐａ未満であることが好ましく、１５Ｐａ以上４５Ｐａ未満であることがより好ましい。
【０１０８】
また、プレ捕集材１０は、粒子径０．３μｍのＮａＣｌの捕集効率が、１５％以上８５％未満であることが好ましく、３０％以上７５％未満であることがより好ましい。
【０１０９】
なお、プレ捕集材１０は、エアフィルタ濾材をプリーツ条に折り畳む場合における折り畳み作業を容易にするという観点から、厚みが０．８ｍｍ以下であることが好ましく、０．７ｍｍ以下であることがより好ましく、０．４ｍｍより小さくてもよい。また、プレ捕集材１０の厚みは、特に限定されないが、例えば、０．１ｍｍ以上としてもよい。
【０１１０】
プレ捕集材１０の平均繊維径は、０．８μｍ以上２．０μｍ未満であることが好ましい。
【０１１１】
プレ捕集材１０の目付は、特に限定されないが、例えば、１０ｇ／ｍ２以上７０ｇ／ｍ２以下とすることができ、３０ｇ／ｍ２以上６７ｇ／ｍ２以下であることが好ましい。
【０１１２】
このようなプレ捕集材１０は、特に限定されないが、ガラス繊維濾材によって構成されていてもよいし、メルトブローン法、エレクトロスピニング法、海島法およびこれらのハイブリット法の１つにより製造された繊維材料で構成された不織布あるいは繊維層構造体であってもよい。ハイブリット法には、例えば、メルトスピニング法あるいはエレクトレットブローン法が含まれる。海島法は、例えば、複数の吐出口から吐出させることで繊維を構成する場合において、吐出経路によって原料に違いを設け、一部の原料によって海部分を構成させ、他の異なる原料によって島部分を構成させ、断面が海島構造となるようにする方法である。ここで、海島の二成分または複数成分のポリマーを紡糸し、後加工にて海成分を溶かすことで、島部分を残して繊維とすることができる。なお、吐出経路による原料の組み合わせにより、かさ密度やストレッチ性等を調節することが可能である。メルトブローン法では、溶融されたポリマーを押出機によってノズルから吐出させながら、加熱された空気をノズルに沿うように吹き出すことで、糸を形成させる。ここで、ノズルからの単位時間当たりのポリマーの吐出量や加熱された空気の吹き出し速度等を調節することにより、より径の細い糸を得ることができる。また、当該糸の物性は、用いるポリマーの溶融粘度によっても変化させることができる。プレ捕集材１０をメルトブローン法、エレクトロスピニング法、海島法およびこれらのハイブリット法の１つにより製造する場合の材料としては、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリアミド（ＰＡ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）、ポリフッ化ビリニデン（ＰＶｄＦ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリウレタン（ＰＵ）、およびこれらの混合物等が挙げられる。
【０１１３】
プレ捕集材１０は、第１フッ素樹脂多孔膜３１や第２フッ素樹脂多孔膜３２と共に用いられるため、静電気によるスパークが生じることで第１フッ素樹脂多孔膜３１や第２フッ素樹脂多孔膜３２に穴が開くことを抑制するため、帯電しにくい材料であるガラス繊維濾材によって構成されていることが好ましい。なお、ガラス繊維濾材は、上記各物性を備えるものを製造してもよいが、商業的に入手してもよい。
【０１１４】
（５）用途の例
エアフィルタ濾材は、例えば次のような用途に用いられる。
【０１１５】
ＵＬＰＡフィルタ（Ultra low Penetration Air Filter）（半導体製造用）、ＨＥＰＡフィルタ（病院、半導体製造用）、円筒カートリッジフィルタ（産業用）、バグフィルタ（産業用）、耐熱バグフィルタ（排ガス処理用）、耐熱プリーツフィルタ（排ガス処理用）、ＳＩＮＢＲＡＮ（登録商標）フィルタ（産業用）、触媒フィルタ（排ガス処理用）、吸着剤付フィルタ（ＨＤＤ組込み用）、吸着剤付ベントフィルタ（ＨＤＤ組込み用）、ベントフィルタ（ＨＤＤ組込み用等）、掃除機用フィルタ（掃除機用）、汎用複層フェルト材、ガスタービン用カートリッジフィルタ（ガスタービン向け互換品用）、クーリングフィルタ（電子機器筐体用）等の分野；
凍結乾燥用の容器等の凍結乾燥用材料、電子回路やランプ向けの自動車用換気材料、容器キャップ向け等の容器用途、電子機器向け等の保護換気用途、医療用換気用途等の換気／内圧調整分野；
半導体液ろ過フィルタ（半導体製造用）、親水性フィルタ（半導体製造用）、化学薬品向けフィルタ（薬液処理用）、純水製造ライン用フィルタ（純水製造用）、逆洗型液ろ過フィルタ（産業排水処理用）等の液濾過分野。
【０１１６】
なお、エアフィルタ濾材は、捕集対象が液滴粒子である場合であっても、使用に伴う捕集効率の低下が抑制されるものである点で、オイルミスト等の液滴粒子が捕集対象に含まれている医療用クリーンルームや製薬工場におけるクリーンルームにおいて用いられることが好ましい。
【０１１７】
（６）フィルタパック
次に、図４を参照して、本実施形態のフィルタパックについて説明する。
【０１１８】
図４は、本実施形態のフィルタパック４０の外観斜視図である。
【０１１９】
フィルタパック４０は、上記説明したエアフィルタ濾材（例えば、エアフィルタ濾材１〜３等）を備えている。フィルタパック４０のエアフィルタ濾材は、山折りおよび谷折りが交互に繰り返されたジグザグ形状に加工（プリーツ加工）された加工済み濾材である。プリーツ加工は、例えば、ロータリー式折り機によって行うことができる。濾材の折り幅は、特に限定されないが、例えば２５ｍｍ以上２８０ｍｍ以下である。フィルタパック４０は、プリーツ加工が施されていることで、エアフィルタユニットに用いられた場合の濾材の折り込み面積を増やすことができ、これにより、捕集効率の高いエアフィルタユニットを得ることができる。
【０１２０】
フィルタパック４０は、濾材のほか、エアフィルタユニットに用いられた場合のプリーツ間隔を保持するためのスペーサ（不図示）をさらに備えていてもよい。スペーサの材質は特に限定されないが、ホットメルト樹脂を好ましく用いることができる。
【０１２１】
（７）エアフィルタユニット
次に、図５を参照して、エアフィルタユニット６０について説明する。
【０１２２】
図５は、本実施形態のエアフィルタユニット６０の外観斜視図である。
【０１２３】
エアフィルタユニット６０は、上記説明したエアフィルタ濾材またはフィルタパックと、エアフィルタ濾材またはフィルタパックを保持する枠体５０と、を備えている。言い換えると、エアフィルタユニットは、山折り谷折されていない濾材が枠体に保持されるように作製されてもよいし、フィルタパック４０が枠体５０に保持されるように作製されてもよい。図５に示すエアフィルタユニット６０は、フィルタパック４０と枠体５０を用いて作製したものである。
【０１２４】
枠体５０は、例えば、板材を組み合わせてあるいは樹脂を成形して作られ、フィルタパック４０と枠体５０の間は好ましくはシール剤によりシールされる。シール剤は、フィルタパック４０と枠体５０の間のリークを防ぐためのものであり、例えば、エポキシ、アクリル、ウレタン系などの樹脂製のものが用いられる。
【０１２５】
フィルタパック４０と枠体５０とを備えるエアフィルタユニット６０は、平板状に延在する１つのフィルタパック４０を枠体５０の内側に収納するように保持させたミニプリーツ型のエアフィルタユニットであってもよく、平板状に延在するフィルタパックを複数並べて枠体に保持させたＶバンク型エアフィルタユニットあるいはシングルヘッダー型エアフィルタユニットであってもよい。
【実施例】
【０１２６】
以下、実施例および比較例を示して、本開示の内容を具体的に説明する。
【０１２７】
（実施例１）
実施例１のエアフィルタ濾材としては、図１に示すような構成のエアフィルタ濾材を用意した。具体的には、上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２として、いずれも、ＰＥＴを芯に、ＰＥを鞘に用いた芯／鞘構造の繊維からなるスパンボンド不織布（平均繊維径２０μｍ、目付４０ｇ／ｍ2、厚さ０．２ｍｍ）を用いた。また、第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２としては、いずれも、厚みが５５．０μｍ、充填率が４．０％、平均繊維径が１０５ｎｍであるものを用いた。これらを重ね合わせることで実施例１のエアフィルタ濾材を得た。
【０１２８】
（実施例２）
実施例２のエアフィルタ濾材としては、図２に示すような構成のエアフィルタ濾材を用意した。具体的には、プレ捕集材１０として、平均繊維径１．６μｍ、ＰＰからなるメルトブローン不織布（目付３０ｇ／ｍ２、暑さ０．２５ｍｍ）を用いた。下流通気性支持材２２として、ＰＥＴを芯に、ＰＥを鞘に用いた芯／鞘構造の繊維からなるスパンボンド不織布（平均繊維径２０μｍ、目付４０ｇ／ｍ2、厚さ０．２ｍｍ）を用いた。また、第１フッ素樹脂多孔膜３１および第２フッ素樹脂多孔膜３２としては、いずれも、厚みが５０．０μｍ、充填率が４．０％、平均繊維径が１００ｎｍであるものを用いた。これらを重ね合わせることで実施例２のエアフィルタ濾材を得た。
【０１２９】
（実施例３）
実施例３のエアフィルタ濾材としては、図１に示すような構成のエアフィルタ濾材を用意した。具体的には、上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２として、いずれも、ＰＥＴを芯に、ＰＥを鞘に用いた芯／鞘構造の繊維からなるスパンボンド不織布（平均繊維径２０μｍ、目付４０ｇ／ｍ2、厚さ０．２ｍｍ）を用いた。また、第１フッ素樹脂多孔膜３１としては、厚みが３８．６μｍ、充填率が４．２％、平均繊維径が１５０ｎｍであるものを用いた。第２フッ素樹脂多孔膜３２としては、厚みが８．０μｍ、充填率が８．０％、平均繊維径が７０ｎｍであるものを用いた。これらを重ね合わせることで実施例３のエアフィルタ濾材を得た。
【０１３０】
（実施例４）
実施例４のエアフィルタ濾材としては、図３に示すような構成のエアフィルタ濾材を用意した。具体的には、上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２として、いずれも、ＰＥＴを芯に、ＰＥを鞘に用いた芯／鞘構造の繊維からなるスパンボンド不織布（平均繊維径２０μｍ、目付４０ｇ／ｍ2、厚さ０．２ｍｍ）を用いた。また、第１フッ素樹脂多孔膜３１としては、厚みが３８．６μｍ、充填率が４．２％、平均繊維径が１５０ｎｍであるものを用いた。これらを重ね合わせることで実施例４のエアフィルタ濾材を得た。
【０１３１】
（比較例１）
比較例１のエアフィルタ濾材としては、図３に示すような構成のエアフィルタ濾材において上流側にさらにプレ捕集材１０を設けたエアフィルタ濾材を用意した。具体的には、プレ捕集材１０として、平均繊維径１．６μｍ、ＰＰからなるメルトブローン不織布（目付３０ｇ／ｍ２、暑さ０．２５ｍｍ）を用いた。上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２として、いずれも、ＰＥＴを芯に、ＰＥを鞘に用いた芯／鞘構造の繊維からなるスパンボンド不織布（平均繊維径２０μｍ、目付４０ｇ／ｍ2、厚さ０．２ｍｍ）を用いた。また、第１フッ素樹脂多孔膜３１としては、厚みが８．０μｍ、充填率が８．０％、平均繊維径が７０ｎｍであるものを用いた。これらを重ね合わせることで比較例１のエアフィルタ濾材を得た。
【０１３２】
（比較例２）
比較例２のエアフィルタ濾材としては、図１に示すような構成のエアフィルタ濾材を用意した。具体的には、上流通気性支持材２１および下流通気性支持材２２として、いずれも、ＰＥＴを芯に、ＰＥを鞘に用いた芯／鞘構造の繊維からなるスパンボンド不織布（平均繊維径２０μｍ、目付４０ｇ／ｍ2、厚さ０．２ｍｍ）を用いた。また、第１フッ素樹脂多孔膜３１としては、厚みが４．０μｍ、充填率が１０．０％、平均繊維径が４００ｎｍであるものを用いた。第２フッ素樹脂多孔膜３２としては、厚みが１．０μｍ、充填率が１０．０％、平均繊維径が４０ｎｍであるものを用いた。これらを重ね合わせることで比較例２のエアフィルタ濾材を得た。
【０１３３】
なお、実施例および比較例において測定した各物性は、以下の通りである。
【０１３４】
（圧力損失）
エアフィルタ濾材の測定サンプルを、直径１００ｍｍのフィルタホルダにセットし、コンプレッサで入口側を加圧し、流速計で空気の透過する流量を５．３ｃｍ／秒に調整した。そして、この時の圧力損失をマノメータで測定した。
【０１３５】
（粒子径０．３μｍのＮａＣｌ粒子の捕集効率）
ＪＩＳ  Ｂ９９２８  附属書５（規定）ＮａＣｌエアロゾルの発生方法（加圧噴霧法）記載の方法に準じて、アトマイザーで発生させたＮａＣｌ粒子を、静電分級器（ＴＳＩ社製）で、粒子径０．３μｍに分級し、アメリシウム２４１を用いて粒子帯電を中和した後、透過する流量を５．３ｃｍ／秒に調整し、パーティクルカウンター（ＴＳＩ社製、ＣＮＣ）を用いて、測定試料である濾材の前後での粒子数を求め、次式により捕集効率を算出した。なお、捕集効率の初期値は、未だ使用されていない状態のエアフィルタ濾材を用いて測定した。
【０１３６】
捕集効率（％）＝（ＣＯ／ＣＩ）×１００
ＣＯ＝測定試料が捕集したＮａＣｌ  ０．３μｍの粒子数
ＣＩ＝測定試料に供給されたＮａＣｌ  ０．３μｍの粒子数
（粒子径０．３μｍのＮａＣｌ粒子のＰＦ値）
粒子径０．３μｍのＮａＣｌ粒子を用いて、濾材の圧力損失及び捕集効率（粒子径０．３μｍのＮａＣｌ粒子の捕集効率）とから、次式に従いＰＦ値を求めた。
【０１３７】
ＰＦ値＝｛−ｌｏｇ（（１００−捕集効率（％））／１００）｝／（圧力損失（Ｐａ）／１０００）
（ポリアルファオレフィン粒子の保塵量）
ポリアルファオレフィン（ＰＡＯ）粒子（液体粒子）透過時の圧力損失上昇試験で評価した。即ち、ＰＡＯ粒子を含んだ空気を有効濾過面積５０ｃｍ2のサンプル濾材に流速５．３ｃｍ／秒で連続通風したときの圧力損失を差圧計（Ｕ字管マノメータ）で経時的に測定し、圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときに、濾材に保持されているＰＡＯ粒子の濾材の単位面積当たりの重量である保塵量（ｇ／ｍ2）を求めた。なお、ＰＡＯ粒子は、ラスキンノズルで発生させたＰＡＯ粒子（個数中位径０．２５μｍ）を用い、ＰＡＯ粒子の濃度は、約１００万〜６００万個／ｃｍ3とした。
【０１３８】
ＨＥＰＡ濾材に関して、保塵量の定義がないが、フィルタの初期圧力損失は一般的にＨＥＰＡユニットでは約２５０Ｐａ以下とされており、フィルタの交換時期としては、一般的にフィルタの初期圧力損失の２倍を超えた時点が推奨されている。また、標準的なＨＥＰＡ用ガラス濾材の初期圧力損失は約２５０〜３００Ｐａである。そのため、エアフィルタ濾材の保塵量評価のための上記試験の終点を、圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇した時点とした。
【０１３９】
（ＮａＣｌ粒子の保塵量）
ＮａＣｌ粒子（固体粒子）透過時の圧力損失上昇試験で評価した。即ち、ＮａＣｌ粒子を含んだ空気を有効濾過面積５０ｃｍ2のサンプル濾材に流速５．３ｃｍ／秒で連続通風したときの圧力損失を差圧計（Ｕ字管マノメータ）で経時的に測定し、圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときに、濾材に保持されているＮａＣｌ粒子の濾材の単位面積当たりの重量である保塵量（ｇ／ｍ2）を求めた。なお、ＮａＣｌ粒子は、アトマイザーで発生させたＮａＣｌ粒子（個数中位径０．１μｍ）を用い、ＮａＣｌ粒子の濃度は、約５００万〜７００万個／ｃｍ3とした。
【０１４０】
なお、上記ポリアルファオレフィン粒子の保塵量の測定と同様に、濾材の保塵量評価のための上記試験の終点を、圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇した時点とした。
【０１４１】
（多孔膜の厚み）
膜厚計（１Ｄ−１１０ＭＨ型、ミツトヨ社製）を使用し、測定対象を５枚重ねて全体の膜厚を測定し、その値を５で割った数値を１枚の膜厚とした。
【０１４２】
（多孔膜の充填率）
多孔膜の充填率は、次式に従って求めた。
【０１４３】
充填率（％）＝（濾材の目付）／（濾材の厚み）／（原料の比重）×１００
ここで、目付は、４．０ｃｍ×１２．０ｃｍの長方形にカットした試料を精密天秤にて測定した質量（ｇ）を面積（０．００４８ｍ２）で除した値とした。
【０１４４】
（多孔膜の繊維径）
多孔膜の繊維径（平均繊維径）については、以下のようにして測定した。走査型電子顕微鏡（商品名：ＳＵ８０２０、HITACHI社製）を用いて、５０００倍の倍率で撮影した電子顕微鏡写真において、任意の２５μｍ×２０μｍの領域を観察し、縦横直交する直線を引いて、各直線にクロスする繊維の直径すべてを定規で測定し、縮尺換算して繊維径（ｎｍ）を求める。次に、求めた繊維径の累積頻度分布を、対数確率紙において、横軸に繊維径、縦軸に累積頻度を採って対数正規プロットし、累積頻度が５０％となる値を平均繊維径（メディアン径）とした。
【０１４５】
（ポリアルファオレフィン粒子の透過率および透過率比）
ポリアルファオレフィン（ＰＡＯ）粒子（液体粒子）透過時の圧力損失上昇試験時におこなった。すなわち、ＰＡＯ粒子を含んだ空気を有効濾過面積５０ｃｍ2のサンプル濾材に流速５．３ｃｍ／秒で連続通風したとき、通風開始後約３０秒後のサンプル濾材下流でのＰＡＯ粒子濃度を初期値として測定した。同時に、濾材の圧力損失を差圧計（Ｕ字管マノメータ）で経時的に測定し、圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときに、サンプル濾材下流でのＰＡＯ粒子濃度を最終値として測定した。サンプル濾材の上流濃度から初期捕集効率（初期透過率）、最終捕集効率（最終透過率）を求めた。
【０１４６】
なお、ＰＡＯ粒子は、ラスキンノズルで発生させたＰＡＯ粒子（個数中位径０．２５μｍ）を用い、ＰＡＯ粒子の濃度は、約１００万〜６００万個／ｃｍ3とした。
【０１４７】
また、各実施例および比較例について、いずれも、ＮａＣｌ粒子の透過率比（最終透過率／初期透過率）が１より小さいことは明らかであったため、測定は行っていない。なお、ＮａＣｌ粒子（固体粒子）の透過率比は、以下のようにして求められる値である。すなわち、ＮａＣｌ粒子を含んだ空気を有効濾過面積５０ｃｍ2のサンプル濾材に流速５．３ｃｍ／秒で連続通風したとき、通風開始後約３０秒後のサンプル濾材下流でのＮａＣｌ粒子濃度を初期値として測定し、同時に、濾材の圧力損失を、差圧計（Ｕ字管マノメータ）で経時的に測定し、圧力損失が２５０Ｐａ分だけ上昇したときに、サンプル濾材下流でのＮａＣｌ粒子濃度を最終値として測定する。そして、サンプル濾材の上流濃度から初期捕集効率（初期透過率）、最終捕集効率（最終透過率）を求めることができる。この場合、ＮａＣｌ粒子は、アトマイザーで発生させたＮａＣｌ粒子（個数中位径０．１μｍ）を用い、ＮａＣｌ粒子の濃度は、約５００万〜７００万個／ｃｍ3とする。
【０１４８】
各実施例および各比較例のエアフィルタ濾材（フィルタパックやエアフィルタユニットとする前の状態のもの）の各物性と、各多孔膜の物性を、以下の表１に示す。
【０１４９】
【表１】
2020011215.tif 000009
【０１５０】
以上、本開示の実施形態を説明したが、特許請求の範囲に記載された本開示の趣旨及び範囲から逸脱することなく、形態や詳細の多様な変更が可能なことが理解されるであろう。
【符号の説明】
【０１５１】
１  エアフィルタ濾材
２  エアフィルタ濾材
３  エアフィルタ濾材
１０  プレ捕集材
２１  上流通気性支持材
２２  下流通気性支持材
３１  第１フッ素樹脂多孔膜
３２  第２フッ素樹脂多孔膜
４０  フィルタパック
５０  枠体
６０  エアフィルタユニット
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１５２】
【特許文献１】特開２０１７−６４７１３号公報