(57)【要約】【課題】転写精度の高い光学素子を成形することができる光学素子成形用金型および光学素子の製造方法を提供すること。【解決手段】光学素子成形用金型１０は、押圧成形により成形素材Ｍに光学機能面を創生可能な転写面１１ａ，１２ａをそれぞれ有する上型１１および下型１２と、上型１１および下型１２の各々を上下に移動可能に収容するスリーブ１４と、上型１１および下型１２の間に配置され、上型１１の転写面１１ａに対向する転写面１３ａおよび下型１２の転写面１２ａに対向する転写面１３ｂを有する中間型１３と、を備え、転写面１３ａは、上型１１の転写面１１ａとの間に成形空間Ｓ１を形成し、転写面１３ｂは、下型１２の転写面１２ａとの間に成形空間Ｓ２を形成し、転写面１３ａと転写面１３ｂとは、スリーブ１４の径方向に対して傾斜しており、かつ中間型１３の厚さ方向の中心線Ｌに対して対称な形状である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
押圧成形により成形素材に光学機能面を創生可能な転写面をそれぞれ有する上型および下型と、
前記上型および前記下型の各々を上下に移動可能に収容するスリーブと、
前記上型および前記下型の間に配置され、前記上型の転写面に対向する第一の転写面および前記下型の転写面に対向する第二の転写面を有する中間型と、
を備え、
前記第一の転写面は、前記上型の転写面との間に第一の成形空間を形成し、
前記第二の転写面は、前記下型の転写面との間に第二の成形空間を形成し、
前記第一の転写面と前記第二の転写面とは、前記スリーブの径方向に対して傾斜しており、かつ前記中間型の厚さ方向の中心線に対して対称な形状である光学素子成形用金型。
【請求項２】
前記中間型は、前記成形素材よりも熱伝導率の高い材料によって構成されている請求項１に記載の光学素子成形用金型。
【請求項３】
前記スリーブ内において、前記中間型の上下の移動を規制する規制部材を備える請求項１または請求項２に記載の光学素子成形用金型。
【請求項４】
上型および下型と、前記上型および前記下型の各々を上下に移動可能に収容するスリーブと、前記上型および前記下型の間に配置され、前記スリーブの径方向に対して傾斜する第一の転写面および第二の転写面を有する中間型と、を備える光学素子成形用金型によって成形素材の押圧成形を開始する前に、
前記上型と前記下型との距離を、予め設定した最小値とするために、前記上型、前記下型、前記中間型および前記成形素材の少なくとも一つを回転させる、
光学素子の成形方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子成形用金型および光学素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般な光学素子の成形では、互いに対向して配置された上下の金型の間に成形素材を配置して成形素材を加熱した後、加圧成形および冷却を行うことにより、光学素子を製造している。しかし、例えばプリズムのような光軸に対して非対称な形状の光学機能面を有する光学素子を成形する場合、光軸に対して対称な形状の光学機能面を有する光学素子と比較して、良好な成形を行うことができないという課題がある。
【０００３】
このような課題に対して、例えば特許文献１では、金型への成形材料の転写を安定させるために、金型によって成形素材を押圧する際に、まず金型の転写面の中央部を成形素材の中央部に当接させた後、成形素材の中央部の周囲と徐々に当接させて、転写面の形状を成形素材に転写させる方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３８９８８７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１で提案された方法では、成形素材をバランスよく流動させることにより、成形素材の押圧面にエア溜まりが生じにくくなり、金型の転写面を成形素材に良好に転写することができる。しかしながら、転写精度の高い光学素子を実際に成形しようとすると、成形素材および金型における熱の流れが中心軸に対して非対称になるため、成形素材の転写性にも偏りが生じてしまう。
【０００６】
光学ガラス等の熱可塑性の成形素材は、温度によって粘度、すなわち硬度の状態が変化する性質を有しており、温度が高い程軟らかくなり、温度が低い程硬くなる。従って、転写精度の高い光学素子を成形するためには、一対の金型の転写面の温度を極力同じ温度にすることが必要であり、少なくとも転写面の温度分布が互いに対称であることは必須である。
【０００７】
特許文献１で提案された方法では、成形素材の押圧面にエア溜まりが生じにくくなるものの、一対の金型の転写面の温度分布が非対称であるため、高品質の光学素子を成形することは困難であった。
【０００８】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、転写精度の高い光学素子を成形することができる光学素子成形用金型および光学素子の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、光学素子成形用金型は、押圧成形により成形素材に光学機能面を創生可能な転写面をそれぞれ有する上型および下型と、前記上型および前記下型の各々を上下に移動可能に収容するスリーブと、前記上型および前記下型の間に配置され、前記上型の転写面に対向する第一の転写面および前記下型の転写面に対向する第二の転写面を有する中間型と、を備え、前記第一の転写面は、前記上型の転写面との間に第一の成形空間を形成し、前記第二の転写面は、前記下型の転写面との間に第二の成形空間を形成し、前記第一の転写面と前記第二の転写面とは、前記スリーブの径方向に対して傾斜しており、かつ前記中間型の厚さ方向の中心線に対して対称な形状である。
【００１０】
また、光学素子成形用金型は、上記発明において、前記中間型は、前記成形素材よりも熱伝導率の高い材料によって構成されていてもよい。
【００１１】
また、光学素子成形用金型は、上記発明において、前記スリーブ内において、前記中間型の上下の移動を規制する規制部材を備えていてもよい。
【００１２】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、光学素子の製造方法は、上型および下型と、前記上型および前記下型の各々を上下に移動可能に収容するスリーブと、前記上型および前記下型の間に配置され、前記スリーブの径方向に対して傾斜する第一の転写面および第二の転写面を有する中間型と、を備える光学素子成形用金型によって成形素材の押圧成形を開始する前に、前記上型と前記下型との距離を、予め設定した最小値とするために、前記上型、前記下型、前記中間型および前記成形素材の少なくとも一つを回転させる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、上型と下型との間に、対称形状の一対の転写面を有する中間型が設けられているため、第一の成形空間および第二の成形空間においてそれぞれ成形素材を成形した際に、中間型の一対の転写面の温度が対称かつ均一となる。従って、転写精度の高い光学素子を成形することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造方法で用いる成形装置の構成を示す断面図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態に係る光学素子成形用金型の構成を示す断面図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造方法における型組み工程を説明するための説明図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造方法における型組み工程を説明するための説明図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態に係る光学素子成形用金型のスリーブに設ける規制部材の一例を示す図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態に係る光学素子成形用金型のスリーブに設ける規制部材のその他の一例を示す図である。
【図７】図７は、従来の光学素子成形用金型によって光学素子を成形した場合の温度分布を示すシミュレーション結果である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態に係る光学素子成形用金型によって光学素子を成形した場合の温度分布を示すシミュレーション結果である。
【図９】図９は、本発明の実施の形態に係る光学素子成形用金型の中間型の変形例１を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施の形態に係る光学素子成形用金型の中間型の変形例２を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係る光学素子成形用金型および光学素子の製造方法の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではなく、以下の実施の形態における構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、あるいは実質的に同一のものも含まれる。
【００１６】
［成形装置］
本実施の形態に係る光学素子の製造方法で用いる成形装置１の構成について、図１を参照しながら説明する。成形装置１は、成形室３０内に搬送された光学素子成形用金型（以下、「型セット」という）１０を連続的に循環させてガラスレンズ等の光学素子の成形を行う循環式の成形装置である。
【００１７】
成形装置１は、加熱ステージ３０ａ、プレスステージ３０ｂおよび冷却ステージ３０ｃを有する成形室３０と、成形室３０内で各ステージに型セット１０を搬送する搬送アーム３４と、を備えている。成形室３０は、成形室上板３０１と、成形室下板３０２と、型セット１０を成形室３０に導入する際に開閉する入口シャッター３０３と、型セット１０を成形室３０から排出する際に開閉する出口シャッター３０４と、を備えている。この成形室３０の内部は、不活性ガス（例えば窒素ガス）で満たされている。
【００１８】
成形室３０の各ステージ（加熱ステージ３０ａ、プレスステージ３０ｂおよび冷却ステージ３０ｃ）の上側には上プレート３１が設けられており、下側には下プレート３２が設けられている。上プレート３１および下プレート３２は、内部にそれぞれヒータを備えており、当該ヒータを利用して型セット１０内の成形素材Ｍを加熱または冷却する。また、上プレート３１の上部には駆動部３３が連結されており、当該駆動部３３により、上下動作と型セット１０への押圧が可能となっている。
【００１９】
［光学素子用成形型］
本実施の形態に係る型セット１０の構成について、図２を参照しながら説明する。型セット１０は、上型１１と、下型１２と、中間型１３と、スリーブ１４と、を備えている。上型１１および下型１２は、それぞれ段付きの円柱形状に形成されており、それぞれの転写面１１ａ，１２ａが対向する位置関係で配置されている。
【００２０】
上型１１の転写面１１ａは、曲面状に形成されている。転写面１１ａは、押圧成形により、成形素材Ｍの上側の光学機能面を創生する。下型１２の転写面１２ａは、曲面状に形成されている。転写面１２ａは、押圧成形により、成形素材Ｍの下側の光学機能面を創生する。なお、本実施の形態では、上型１１および下型１２の転写面１１ａ，１２ａが曲面状に形成されているが、転写面１１ａ，１２ａを平面状に形成し、成形素材Ｍの上側および下側に、平面状の光学機能面を創生してもよい。
【００２１】
中間型１３は、一定の厚さからなる円板状に形成されている。中間型１３は、上型１１および下型１２の間、かつスリーブ１４の内部に配置されており、スリーブ１４の径方向に対して傾斜して配置されている。また、中間型１３の外周面は、スリーブ１４の内周面に当接している。なお、中間型１３の厚さは特に限定されない。
【００２２】
中間型１３は、斜面状に形成された転写面（第一の転写面）１３ａおよび転写面（第二の転写面）１３ｂを有している。転写面１３ａは、上型１１の転写面１１ａに対向しており、当該上型１１の転写面１１ａとの間に成形空間（第一の成形空間）Ｓ１を形成する。転写面１３ｂは、下型１２の転写面１２ａに対向しており、当該下型１２の転写面１２ａとの間に成形空間（第二の成形空間）Ｓ２を形成する。
【００２３】
型セット１０では、これらの成形空間Ｓ１，Ｓ２にそれぞれ成形素材Ｍを配置して成形することにより、二つの光学素子を同時に成形する。型セット１０では、例えば内径１０ｍｍのスリーブ１４を用いる場合、直径１０ｍｍ、最大高さ１０ｍｍ、傾斜面角度３０°の光学素子を成形することが可能である。成形空間Ｓ１，Ｓ２にそれぞれ配置される成形素材Ｍは、光学ガラス等の熱可塑性の成形素材である。成形素材Ｍは、それぞれ成形空間Ｓ１，Ｓ２に近似する形状を有しており、上型１１、下型１２および中間型１３の転写面１１ａ，１２ａ，１３ａ，１３ｂに接する部分が鏡面に磨かれている。
【００２４】
転写面１３ａおよび転写面１３ｂは、スリーブ１４の径方向に対して傾斜している。また、転写面１３ａおよび転写面１３ｂは、中間型１３の厚さ方向の中心線Ｌに対して対称な形状である。また、中間型１３は一定の厚さで形成されているため、転写面１３ａと転写面１３ｂとの間の距離が等しく、転写面１３ａと転写面１３ｂとが互いに平行である。なお、前記した中心線Ｌは、中間型１３の中心軸Ａｃに対して直交する線分である。
【００２５】
ここで、中間型１３は、成形素材Ｍよりも熱伝導率の高い材料で構成することが好ましい。後記するように、中間型１３を挟んで二つの成形素材Ｍを成形する際に、当該中間型１３の熱伝導率が高い程、熱の移動がスムーズになり、温度分布が発生しにくくなる。
【００２６】
スリーブ１４は、上型１１および下型１２を支持し、かつ両者の位置決めを行うためのものである。スリーブ１４は、円筒状に形成されており、上型１１および下型１２の各々を上下に移動可能に収容している。
【００２７】
［光学素子の製造方法］
本実施の形態に係る光学素子の製造方法について、図１〜図４を参照しながら説明する。光学素子の製造方法は、図１に示すように、上下面の形状が非対称な光学素子（例えば光学レンズ、ミラー、プリズム等）を製造する方法であり、型組み工程と、加熱工程と、押圧工程と、冷却工程と、型開き工程と、をこの順に行う。
【００２８】
光学素子の製造方法で用いる成形素材Ｍとしては、例えば光学ガラスである「Ｌ−ＬＡＨ５３」を挙げることができる。このＬ−ＬＡＨ５３は、屈服点Ａｔ＝６０７℃、転移点Ｔｇ＝５７４℃の材料であり、６２０℃付近では成形しやすく、５７４℃以下では変形しない性質を有している。
【００２９】
（型組み工程）
型組み工程では、図示しない治具等を用いて、型セット１０の成形空間Ｓ１，Ｓ２にそれぞれ成形素材Ｍを配置する。本工程では、まず下型１２にスリーブ１４を配置し、成形空間Ｓ２に一つ目の成形素材Ｍを配置した後、スリーブ１４内に中間型１３を配置する。そして、成形空間Ｓ１に二つ目の成形素材Ｍを配置した後、スリーブ１４内に上型１１を配置することにより、型セット１０の組み立てが完了する。
【００３０】
ここで、本実施の形態に係る型セット１０では、図３に示すように、中間型１３の二つの転写面１３ａ，１３ｂがスリーブ１４の径方向に対して傾斜して配置されており、成形素材Ｍも同様に傾斜面を有している。そのため、型組みの際に、例えば図４に示すように、成形素材Ｍが適正位置からずれて配置される場合がある。このように、適正位置からずれて配置された成形素材Ｍをそのまま成形すると、転写がばらついて品質が低下する。
【００３１】
そこで、型組み工程では、型組みの際に、上型１１と下型１２との距離を、予め設定した最小値とするために、上型１１、下型１２、中間型１３および成形素材Ｍの少なくとも一つを回転させることが好ましい。
【００３２】
すなわち、図４に示すように、型組みの際に、上型１１と下型１２との距離Ｈを計測し、当該距離Ｈが予め設定した最小値よりも大きい場合は、上型１１、下型１２、中間型１３および成形素材Ｍの少なくとも一つを回転させることにより、成形素材Ｍの位置を適正位置へと修正する。
【００３３】
なお、前記した「上型１１と下型１２との距離Ｈ」とは、具体的には型セット１０の全長、すなわち上型１１の底面１１ｂと下型１２の底面１２ｂとの間隔のことを示している。また、「予め設定した最小値」とは、例えば図３に示すように、成形素材Ｍが適正位置に配置されている場合の上型１１と下型１２との距離Ｈ０のことを示している。
【００３４】
なお、成形素材Ｍの位置を修正する場合、型セット１０に振動を加えることにより、成形素材Ｍが適正位置に修正され易くなる。また、上型１１と下型１２との距離Ｈが予め設定した最小値よりもわずかに大きい場合は、上型１１、下型１２、中間型１３および成形素材Ｍの少なくとも一つを回転させずに、型セット１０に振動のみを加えることにより、成形素材Ｍの位置を修正することができる。
【００３５】
（加熱工程）
加熱工程では、型セット１０を成形室３０に投入し、搬送アーム３４によって加熱ステージ３０ａに搬送する。そして、加熱ステージ３０ａにおいて、型セット１０を例えば６２０℃まで加熱し、二つの成形素材Ｍを軟化させる。
【００３６】
（押圧工程）
押圧工程では、搬送アーム３４によって型セット１０をプレスステージ３０ｂに搬送する。そして、６２０℃を維持したまま、駆動部３３により上プレート３１に例えば２ＭＰａの押圧力を付与し、二つの成形素材Ｍを押圧する。これにより、二つの成形素材Ｍが徐々に変形する。本工程では、二つの成形素材Ｍが所望の厚さとなった時点で上プレート３１を上方に退避させ、押圧を終了する。
【００３７】
（冷却工程）
冷却工程では、搬送アーム３４によって型セット１０を冷却ステージ３０ｃに搬送する。そして、型セット１０を１００℃まで冷却し、冷却後の型セット１０を成形室３０から排出する。
【００３８】
（型開き工程）
型開き工程では、図示しない治具等を用いて型セット１０を開き、成形後の光学素子を取り出す。本工程では、まず上型１１を取り外し、成形空間Ｓ１から一つ目の光学素子を取り出す。そして、中間型１３およびスリーブ１４を下型１２から取り外し、成形空間Ｓ２から二つ目の光学素子を取り出す。
【００３９】
ここで、型開き工程で成形された光学素子を取り出す際に、中間型１３がスリーブ１４から抜けてしまうと、中間型１３の二つの転写面１３ａ，１３ｂが汚れてしまうおそれがある。また、中間型１３の転写面１３ａ，１３ｂは、他の部材との接触を避けることが望ましいが、前記したように型開きの際に上の部材から順番に取り出そうとすると、中間型１３を把持する必要があり、転写面１３ａ，１３ｂが汚れてしまうおそれがある。そこで、型セット１０のスリーブ１４内に、中間型１３の上下の移動を規制する規制部材を設けることが好ましい。
【００４０】
例えば中間型１３の下方向への移動を規制する場合は、図５に示すように、スリーブ１４内における中間型１３の下側の位置に規制部材１４１を配置する。この規制部材１４１は、例えばリング状に形成されており、スリーブ１４の内周面に固定され、かつ中間型１３の転写面１３ｂに当接している。スリーブ１４の内周面にこのような規制部材１４１を設けることにより、例えば型開き工程でスリーブ１４を持ち上げると、中間型１３も一緒に持ち上がる。従って、中間型１３の二つの転写面１３ａ，１３ｂへの汚れの付着を抑制し、下型１２に配置された光学素子Ｏを安全に取り出すことができる。
【００４１】
また、中間型１３の上方向への移動を規制する場合、例えば図６に示すように、スリーブ１４内における中間型１３の上側の位置に規制部材１４２を配置する。この規制部材１４２は、例えばリング状に形成されており、スリーブ１４の内周面に固定され、かつ中間型１３の転写面１３ａに当接している。スリーブ１４の内周面にこのような規制部材１４２を設けることにより、型開き工程において、例えば吸引装置４０によってスリーブ１４を吸引し、スリーブ１４内を負圧状態とすることにより、中間型１３をスリーブ１４に貼り付かせることができる。従って、中間型１３の二つの転写面１３ａ，１３ｂへの汚れの付着を抑制し、下型１２に配置された光学素子Ｏを安全に取り出すことができる。
【００４２】
［転写面の温度分布］
ここで、本発明が課題とする光学成形用金型の転写面の温度分布について、図７および図８を参照しながら説明する。図７は、従来の型セット１１０の構成および温度分布を示しており、図８は、本実施の形態に係る型セット１０の構成および温度分布を示している。これらの図では、上型１１，１１１、下型１２，１１２、中間型１３および成形素材Ｍの温度分布を、ドットハッチングの密度によって表現しており、温度が高い程、ドットハッチングの密度を薄く表示している。また、図７および図８では、スリーブ１４，１１４については断面で示しており、スリーブ１４，１１４の温度分布の図示は省略している。
【００４３】
従来の型セット１１０は、図７に示すように、平面状の転写面１１１ａを有する上型１１１と、斜面状の転写面１１２ａを有する下型１１２と、スリーブ１１４と、を備えており、上型１１１と下型１１２との間に形成された成形空間に成形素材Ｍが配置されている。この型セット１１０を前記した成形装置１に投入して光学素子を成形する場合、上型１１１の底面１１１ｂは上プレート３１によって加熱され、下型１１２の底面１１２ｂは下プレート３２によって加熱される。一方、上型１１１および下型１１２の側面は、スリーブ１１４の内周面に接しているため、当該スリーブ１１４を通じて、成形室３０内の不活性ガスによって冷却される。
【００４４】
このような構成からなる型セット１１０では、上プレート３１および下プレート３２と接する上型１１１および下型１１２の底面１１１ｂ，１１２ｂの温度が最も高くなり、上プレート３１および下プレート３２から離れるにつれて、温度が低くなる。そのため、下型１１２の転写面１１２ａでは、根元側の温度が高くなり、先端側の温度が低くなる。例えば、転写面１１２ａの根元側に接している成形素材Ｍの先端部Ａ１の温度が「６３９℃」であるとすると、転写面１１２ａの先端側に接している成形素材Ｍの根元部Ｂ１の温度は、「６３７℃」となる。
【００４５】
従来の型セット１１０では、このように下型１１２の転写面１１２ａに温度分布がある状態で成形素材Ｍの転写面の形状創生を行う。そのため、成形素材Ｍは、先端部Ａ１から硬化することになり、成形素材Ｍの転写面が非対称となる。また、場合によっては、成形素材Ｍの根元部Ｂ１に、「ヒケ」と呼ばれる、成形素材Ｍの転写面からの剥離が生じる場合もある。従って、従来の型セット１１０では、高品質の光学素子を成形することが困難であった。
【００４６】
一方、本実施の形態に係る型セット１０は、図９に示すように、転写面１１ａを有する上型１１と、転写面１２ａを有する下型１２と、斜面状の転写面１３ａ，１３ｂを有する中間型１３と、スリーブ１４と、を備えており、上型１１および下型１２と中間型１３との間に形成された二つの成形空間にそれぞれ成形素材Ｍが配置されている。
【００４７】
このような構成からなる型セット１０では、従来の型セット１１０と同様に、上プレート３１および下プレート３２と接する上型１１および下型１２の底面１１ｂ，１２ｂの温度が最も高くなり、上プレート３１および下プレート３２から離れるにつれて、温度が低くなる。例えば従来の型セット１１０と同様の条件の場合、図９のＣ部の温度は「６４３℃」となり、Ｄ部の温度は「６３９℃」となり、Ｅ部の温度は「６３５℃」となる。一方、型セット１０では、中間型１３の転写面１３ａ，１３ｂの温度は均一に保たれる。
【００４８】
すなわち、型セット１０では、中間型１３を挟んで、上型１１および下型１２を対向させて二つの成形素材Ｍを成形することにより、中間型１３を経由して熱交換が行われる。これにより、従来の型セット１１０において最も温度が低い部位であった下側の成形素材Ｍの先端部Ｂ２は、温度の高い上側の成形素材Ｍの根元部と中間型１３を挟んで接しているため、熱交換により温度が上昇する。また、従来の型セット１１０において最も温度が高い部位であった下側の成形素材Ｍの根元部Ａ２は、温度の低い上側の成形素材Ｍの先端部と中間型１３を挟んで接しているため、熱交換により温度が低下する。また、中間型１３は、スリーブ１４の内周面と接しているため、当該スリーブ１４との熱交換により温度が低下する。
【００４９】
型セット１０では、このような熱的な平衡が中間型１３を経由して転写面１３ａ，１３ｂの全面で行われることにより、転写面１３ａ，１３ｂの温度分布が緩和されて均一な温度となる。なお、中間型１３による均熱効果は、中間型１３の厚さにかかわらず得ることができる。
【００５０】
以上説明した本実施の形態に係る光学素子成形用金型および光学素子の製造方法によれば、上型１１と下型１２との間に、対称形状の一対の転写面１３ａ，１３ｂを有する中間型１３が設けられているため、成形空間Ｓ１，Ｓ２においてそれぞれ成形素材Ｍを成形した際に、中間型１３の一対の転写面１３ａ，１３ｂの温度が対称かつ均一となる。従って、転写精度の高い光学素子を成形することが可能となる。
【００５１】
［変形例］
前記した実施の形態では、図２に示すように、型セット１０が、一定の厚さからなる円板状の中間型１３を備える例について説明したが、中間型の形状はこれに限定されない。例えば、変形例１に係る型セット１０Ａの中間型１３Ａは、図９に示すように、外側に膨らんだ曲面状の転写面１３Ａａ，１３Ａｂを有している。転写面１３Ａａおよび転写面１３Ａｂは、中間型１３Ａの厚さ方向の中心線Ｌに対して対称な形状である。
【００５２】
また、変形例２に係る型セット１０Ｂの中間型１３Ｂは、図１０に示すように、外側に膨らんだ曲面状の転写面１３Ｂａ，１３Ｂｂを有している。転写面１３Ｂａおよび転写面１３Ｂｂは、中間型１３Ｂの厚さ方向の中心線Ｌに対して対称な形状である。このような曲面状の転写面を有する中間型１３Ａ，１３Ｂを備える型セット１０Ａ，１０Ｂを用いて成形素材Ｍの成形を行った場合であっても、前記した中間型１３と同様の均熱効果を得ることが可能である。
【００５３】
以上、本発明に係る光学素子成形用金型および光学素子の製造方法について、発明を実施するための形態により具体的に説明したが、本発明の趣旨はこれらの記載に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて広く解釈されなければならない。また、これらの記載に基づいて種々変更、改変等したものも本発明の趣旨に含まれることはいうまでもない。
【符号の説明】
【００５４】
１  成形装置
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１１０  型セット（光学素子成形用金型）
１１，１１１  上型
１１ａ，１１１ａ  転写面
１１ｂ，１１１ｂ  底面
１２，１１２  下型
１２ａ，１１２ａ  転写面
１２ｂ，１１２ｂ  底面
１３，１３Ａ，１３Ｂ  中間型
１３ａ，１３Ａａ，１３Ｂａ  転写面（第一の転写面）
１３ｂ，１３Ａｂ，１３Ｂｂ  転写面（第二の転写面）
１４，１１４  スリーブ
１４１，１４２  規制部材
３０  成形室
３０１  成形室上板
３０２  成形室下板
３０３  入口シャッター
３０４  出口シャッター
３０ａ  加熱ステージ
３０ｂ  プレスステージ
３０ｃ  冷却ステージ
３１  上プレート
３２  下プレート
３３  駆動部
３４  搬送アーム
４０  吸引装置
Ａｃ  中心軸
Ｍ  成形素材
Ｌ  中心線
Ｏ  光学素子
Ｓ１  成形空間（第一の成形空間）
Ｓ２  成形空間（第二の成形空間）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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