(57)【要約】【課題】主軸ユニットを支えるコラムの固有振動を簡単且つ確実に抑制して加工面品位を更に向上することができる工作機械の制振装置を提供する。【解決手段】主軸ユニット１０を支えるコラム１３を備えた工作機械１において、コラム１３の側面に所定の間隔で対に配置された支持部材２２と、該支持部材２２を介してコラム１３の側面に装着された板バネ２１と、該板バネ２１の中央部に設けた質量部材２３と、該質量部材２３の振動を弾性的又は／及び磁気的に減衰させる減衰機構３０と、からなる振動吸収機構２を有する工作機械の制振装置。【選択図】図１
2020011372.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主軸ユニットを支えるコラムを備えた工作機械において、
前記コラムの側面に所定の間隔で対に配置された支持部材と、該支持部材を介して前記コラムの側面に装着された板バネと、該板バネの中央部に設けた質量部材と、該質量部材の振動を弾性的又は／及び磁気的に減衰させる減衰機構と、からなる振動吸収機構を有する工作機械の制振装置。
【請求項２】
前記振動吸収機構は、水平方向に所定の間隔で対に配置された前記支持部材の間に前記板バネが架け渡され、上下左右対称の形状を成す請求項１に記載の工作機械の制振装置。
【請求項３】
前記減衰機構が、前記質量部材の振動を弾性的に減衰させる粘弾性体を備えた請求項１又は２に記載の工作機械の制振装置。
【請求項４】
前記減衰機構が、前記質量部材に形成された空洞部に収容された前記粘弾性体と、該粘弾性体が前記コラムに対して前記質量部材の振動方向に変位するのを規制するストッパー部材と、を備え、前記空洞部を覆うカバー体を有する請求項３に記載の工作機械の制振装置。
【請求項５】
前記粘弾性体が反発弾性１５％以下の低反発弾性素材である請求項３又は４に記載の工作機械の制振装置。
【請求項６】
前記板バネと前記コラムとの間に前記粘弾性体を設けた請求項３に記載の工作機械の制振装置。
【請求項７】
前記減衰機構が、前記板バネ又は前記コラムの何れか一方に設けられた磁石と、他方に設けられた導体と、からなり、前記質量部材の振動を磁気的に減衰させる磁気減衰手段を備えた請求項１乃至５の何れか一項に記載の工作機械の制振装置。
【請求項８】
前記板バネと前記質量部材との間に配置されて該板バネの中央部に当接するスペーサ部材を有する請求項１乃至７の何れか一項に記載の工作機械の制振装置。
【請求項９】
前記質量部材が前記板バネの中央部に当接する突起部を有する請求項１乃至７の何れか一項に記載の工作機械の制振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主軸ユニットを支えるコラムの固有振動を抑制して加工面品位を向上することができる工作機械の制振装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、切削加工品の手仕上げ作業削減のために、加工面品位を向上させた様々な工作機械が提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、工具を装着した工具ホルダを主軸に自動着脱する着脱機構を備えた工作機械において、主軸の回転軸に対する工具の振れを自動的に修正して工具の高精度な取り付けを可能にする工作機械及び工具の振れ修正方法が開示されている。特許文献１に記載の工作機械は、主軸の回転時に、主軸の回転軸に対する主軸、工具ホルダ及び工具で構成される回転系の振れを測定する振れセンサと、工具ホルダを主軸に対して異なる位相で装着する位相制御機構と、を有し、位相制御機構が、二以上の異なる位相において測定した回転系の振れを比較し、該振れが最小となる位相で工具ホルダを主軸に装着する振れ修正機構を備えている。
【０００４】
また、特許文献２には、工作機械において、コラムなどの構造物に固定されて片持ち梁の固定端となる第１の位置及び自由端側の第２の位置を有する撓み部材と、この第２の位置において撓み部材に取り付けられた錘と、を備え、第１の位置及び第２の位置の間の距離を変更する調整機構を有する振動抑制装置が開示されている。この振動抑制装置は、撓み部材に取り付けられた錘によって構造物の振動を抑制すると共に、第１の位置及び第２の位置の間の距離を調整することによって特性の異なる振動に対応している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１７−７０３０号公報
【特許文献２】特開２０１８−１０３２９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、工作機械の加工精度が向上すると、機体に生じる僅かな振動も加工面品位に影響を及ぼすという課題が残った。この加工面品位を低下させる振動問題として、発明者は、主軸ユニットを支えるコラムの固有振動に着目した。
【０００７】
コラムの固有振動は、特定の周波数で特定の方向（例えばＸ軸方向）に振動するモードであり、低い振動数である故に、床からの外乱や自励振動の影響を受けやすい。このコラムの固有振動は、加工面品位を低下させる要因の一つになっている。
【０００８】
特許文献２記載の振動抑制装置は、撓み部材に取り付けられた錘によってコラムなどの構造物の振動を抑制しているが、片持ち梁の自由端側に錘が取り付けられているために、錘が円周上に沿って振動し、振動方向が常に変化する。このため、特許文献２記載の振動抑制装置には、振動を抑制したい方向以外の揺れを生じ、特に振幅の小さい微振動を制振対象とする場合には錘の振動が他軸に影響を及ぼす恐れがあった。
【０００９】
また、特許文献２記載の振動抑制装置は、個々の工作機械の特性や取り付けられる工具の違いによって特性の異なる振動に対応するために、調整機構で片持ち梁の固定端と自由端の間の距離を変更する必要があり、調整が煩雑であると共に、狭い周波数帯の固有振動しか抑制できないという課題があった。
【００１０】
そこで、本発明は、主軸ユニットを支えるコラムの固有振動を簡単且つ確実に抑制して加工面品位を更に向上することができる工作機械の制振装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上記課題を解決するために、主軸ユニットを支えるコラムを備えた工作機械において、前記コラムの側面に所定の間隔で対に配置された支持部材と、該支持部材を介して前記コラムの側面に装着された板バネと、該板バネの中央部に設けた質量部材と、該質量部材の振動を弾性的又は／及び磁気的に減衰させる減衰機構と、からなる振動吸収機構を有する工作機械の制振装置を提供するものである。
【００１２】
また、本発明の工作機械の制振装置は、前記振動吸収機構が、水平方向に所定の間隔で対に配置された前記支持部材の間に前記板バネが架け渡され、上下左右対称の形状を成すものである。
【００１３】
また、本発明の工作機械の制振装置は、前記減衰機構が、前記質量部材の振動を弾性的に減衰させる粘弾性体を備えたものである。
【００１４】
また、本発明の工作機械の制振装置は、前記減衰機構が、前記質量部材に形成された空洞部に収容された前記粘弾性体と、該粘弾性体が前記コラムに対して前記質量部材の振動方向に変位するのを規制するストッパー部材と、を備え、前記空洞部を覆うカバー体を有するものである。
【００１５】
また、本発明の工作機械の制振装置は、前記粘弾性体が反発弾性１５％以下の低反発弾性素材である。
【００１６】
また、本発明の工作機械の制振装置は、前記板バネと前記コラムとの間に前記粘弾性体を設けたものである。
【００１７】
また、本発明の工作機械の制振装置は、前記減衰機構が、前記板バネ又は前記コラムの何れか一方に設けられた磁石と、他方に設けられた導体と、からなり、前記質量部材の振動を磁気的に減衰させる磁気減衰手段を備えたものである。
【００１８】
また、本発明の工作機械の制振装置は、前記板バネと前記質量部材との間に配置されて該板バネの中央部に当接するスペーサ部材を有するものである。
【００１９】
また、本発明の工作機械の制振装置は、前記質量部材が前記板バネの中央部に当接する突起部を有するものである。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の工作機械の制振装置は、主軸ユニットを支えるコラムを備えた工作機械において、前記コラムの側面に所定の間隔で対に配置された支持部材と、該支持部材を介して前記コラムの側面に装着された板バネと、該板バネの中央部に設けた質量部材と、該質量部材の振動を弾性的又は／及び磁気的に減衰させる減衰機構と、からなる振動吸収機構を有することにより、対に配置された支持部材を介して板バネが装着された両持ち梁構造によって制振したい方向にのみ質量部材を振動させることができ、他軸方向へ影響を及ぼすことなくＸ軸方向に生じるコラムの固有振動を確実に抑制することができる効果がある。
【００２１】
また、本発明の工作機械の制振装置は、減衰機構が質量部材の振動を減衰させることにより、制振される固有振動の周波数帯域を広げることができ、個々の工作機械の特性や取り付けられる工具の違いによって特性の異なる振動も制振することができる効果がある。
【００２２】
また、本発明の工作機械の制振装置は、前記振動吸収機構が、水平方向に所定の間隔で対に配置された前記支持部材の間に前記板バネが架け渡され、上下左右対称の形状を成すことにより、制振対象であるＸ軸方向に生じるコラムの固有振動を確実に抑制することができ、質量部材の振動による他軸方向への影響を低減することができる効果がある。
【００２３】
また、本発明の工作機械の制振装置は、前記減衰機構が、前記質量部材の振動を弾性的に減衰させる粘弾性体を備えたことにより、質量部材の振動を弾性的に減衰させて制振される固有振動の周波数帯域を広げることができる効果がある。
【００２４】
また、本発明の工作機械の制振装置は、前記減衰機構が、前記質量部材に形成された空洞部に収容された前記粘弾性体と、該粘弾性体が前記コラムに対して前記質量部材の振動方向に変位するのを規制するストッパー部材と、を備え、前記空洞部を覆うカバー体を有することにより、冷却用のオイルミストが拡散するような作業環境下であっても、カバー体で覆われた空洞部へのオイルの侵入を防ぐことができ、粘弾性体にオイルが付着して劣化するのを防止することができる効果がある。
【００２５】
また、本発明の工作機械の制振装置は、前記粘弾性体が反発弾性１５％以下の低反発弾性素材であることにより、微振動に対しても安定的な減衰力を得ることができ、確実に制振することができる効果がある。
【００２６】
また、本発明の工作機械の制振装置は、前記板バネと前記コラムとの間に前記粘弾性体を設けたことにより、板バネを介して質量部材の振動を弾性的に減衰させることができ、制振される固有振動の周波数帯域を広げることができる効果がある。
【００２７】
また、本発明の工作機械の制振装置は、前記減衰機構が、前記板バネ又は前記コラムの何れか一方に設けられた磁石と、他方に設けられた導体と、からなり、前記質量部材の振動を磁気的に減衰させる磁気減衰手段を備えたことにより、振動で磁界の中を導体が動くことによって発生するローレンツ力を利用して磁気的に質量部材の振動を減衰させることができ、制振される固有振動の周波数帯域を広げることができる効果がある。
【００２８】
また、本発明の工作機械の制振装置は、前記板バネと前記質量部材との間に配置されて該板バネの中央部に当接するスペーサ部材を有することにより、質量部材がスペーサ部材を介して板バネの中央部にのみ当接するから、質量部材の形状や大きさに関わらず板バネの可動域を広く保つことができ、設置スペースが狭い場合でも制振対象であるコラムの固有振動に合った制振帯域を維持しつつ、質量部材の重量を確保することができる効果がある。
【００２９】
また、本発明の工作機械の制振装置は、前記質量部材が前記板バネの中央部に当接する突起部を有することにより、板バネの可動域を広く保つことができ、設置スペースが狭い場合でも制振対象であるコラムの固有振動に合った制振帯域を維持しつつ、質量部材の重量を確保することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係る工作機械の制振装置の一実施例を示す断面図。
【図２】その一実施例の他の形態を示す断面図。
【図３】本発明に係る制振装置を備えた工作機械の構成を示す構成図。
【図４】本発明に係る工作機械の制振装置の他の実施例を示す断面図。
【図５】本発明に係る工作機械の制振装置の他の実施例を示す断面図。
【図６】図５の実施例に係る制振装置の機能を示す図。
【図７】本発明の振動吸収機構による対策前後の比較を示す比較図。
【図８】本発明の振動吸収機構の制振帯域を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
本発明の実施の形態を図示する実施例に基づいて説明する。
本発明の制振装置は、主軸ユニット１０を支えるコラム１３を備えた工作機械１において、コラム１３の側面に所定の間隔で対に配置された支持部材２２と、該支持部材２２を介してコラム１３の側面に装着された板バネ２１と、該板バネ２１の中央部に設けた質量部材２３と、該質量部材２３の振動を弾性的又は／及び磁気的に減衰させる減衰機構３０と、からなる振動吸収機構２を有する。
【００３２】
振動吸収機構２は、支持部材２２から伝わってくるコラム１３の振動によって質量部材２３が振動し、板バネ２１はその質量部材２３を保持している。振動吸収機構２は、質量部材２３が振動することによってコラム１３の振動を打ち消すように作用し、工作機械１の機体の振動を低減させる。また、振動吸収機構２は、質量部材２３の振動を弾性的又は／及び磁気的に減衰させる減衰機構３０を備え、制振させる周波数帯域を広げている。
【００３３】
振動吸収機構２は、水平方向に所定の間隔で対に配置された支持部材２２の間に板バネ２１が架け渡され、上下左右対称の形状を成している。本発明の振動吸収機構２は、対に配置された支持部材２２の間に板バネ２１が架け渡された両持ち梁構造にしたことによって、質量部材２３が制振したい方向（Ｘ軸方向）にのみ振れる構造となり、Ｙ軸やＺ軸など他の軸方向への影響を最小限に抑えている。また、振動吸収機構２は、上下左右対称の形状を成していることにより、板バネ２１の厚さが薄い場合でも、質量部材２３の振れが他の軸方向へ与える影響を抑えることができる。
【実施例１】
【００３４】
図１は、本発明に係る工作機械の制振装置の一実施例を示す断面図である。図３は、本発明に係る制振装置を備えた工作機械の構成を示す構成図である。
【００３５】
図示の実施例において、工作機械１は、主軸ユニット１０を支えるコラム１３を有する３軸又は５軸駆動の立形マシニングセンタである。主軸ユニット１０は、駆動装置によってＸ軸方向に駆動されると共に、主軸１１をＺ軸方向に駆動する。
【００３６】
図１に示す実施例において、工作機械１の制振装置は、コラム１３の側面に所定の間隔で配置された一対の支持部材２２と、一対の支持部材２２の間に架け渡された板バネ２１と、該板バネ２１の中央部に当接するスペーサ部材２４を介して設けられた質量部材２３と、該質量部材２３の振動を弾性的に減衰させる減衰機構３０と、からなる振動吸収機構２を有する。
【００３７】
図３に示すように、振動吸収機構２は、コラム１３のＸ軸方向の両側面上部に設置されている。振動吸収機構２は、工作機械１において、機体の振動を抑制したい場所に取り付けることにより、その機体の振動を抑制させることができる。本実施例において、振動吸収機構２は、質量部材２３が共振によって機体の代わりに揺れることで、機体に生じるＸ軸方向の固有振動を低減するものである。本実施例において、振動吸収機構２は、特定の周波数でＸ軸方向に振動するコラム１３の側面に設置されている。振動吸収機構２は、コラム１３の固有振動と共振させて制振するために、コラム１３に固有の振動周波数と同じ所定の固有振動数をもつように構成してある。
【００３８】
振動吸収機構２は、一対の支持部材２２がＹ軸方向に所定間隔離れてコラム１３の側面に配置され、板バネ２１が支持部材２２の間に架け渡され、質量部材２３がスペーサ部材２４を介して板バネ２１に設けられ、上下左右対称の形状を成している。板バネ２１は、例えばＳＳ４００の鉄板からなり、振動吸収機構２のバネの役割を果たしている。質量部材２３は、重量を調整することができるように、複数の金属プレートを積層したものであることが好ましい。
【００３９】
スペーサ部材２４は、板バネ２１と質量部材２３との間に配置され、質量部材２３と共にネジなどの固定具で板バネ２１に固定されている。また、スペーサ部材２４は、Ｙ軸方向（図１の横方向）の幅が質量部材２３の幅より狭く形成され、板バネ２１の中央部にのみ当接して、板バネ２１の可動域ａを広く保つように構成されている。
【００４０】
板バネ２１の可動域ａは、スペーサ部材２４が無い場合、支持部材２２の内側端と質量部材２３の外側端との間になるから、可動域ａを確保しながら質量部材２３の重量を大きくすると、振動吸収機構２がコラム１３から大きく出っ張った形状になる。一方、工作機械１には、設置場所のスペース上の制約があるから、振動吸収機構２がコラム１３から大きく出っ張らないように、質量部材２３はＹ軸方向に拡大して重量を確保することが好ましい。本実施例において、振動吸収機構２は、板バネ２１と質量部材２３との間にスペーサ部材２４を配置したことにより、コラム１３の固有振動に合った比較的低い制振帯域を維持できるように板バネ２１の可動域ａを確保しつつ、質量部材２３をＹ軸方向に広げて重量を確保することが可能になった。
【００４１】
図１に示す実施例において、減衰機構３０は、質量部材２３に形成された空洞部２６に収容された粘弾性体３１と、該粘弾性体３１がコラム１３に対して質量部材２３の振動方向に変位するのを規制するストッパー部材３２と、を備えている。空洞部２６は、質量部材２３及びスペーサ部材２４の中心部がくり貫かれた円筒形状に形成され、該空洞部２６を覆うカバー体２７を有している。
【００４２】
本実施例の振動吸収機構２は、粘弾性体３１として、ＪＩＳ  Ｋ  ６４００−３に基づいて測定した反発弾性が１５％以下のポリノルブルネンゴムなどの低反発弾性素材を用いている。低反発弾性素材としては、例えば、内外ゴム株式会社製の「ハネナイト」（登録商標）がある。粘弾性体３１は、制振される固有振動の周波数帯域を広げると共に、微振動に対しても安定的な減衰力を得ることができるように、上記反発弾性が１〜５％の低反発弾性素材であることが好ましい。
【００４３】
ストッパー部材３２は、コラム１３に立設され、板バネ２１の中心部に空けられた挿通孔２８を通って空洞部２６まで伸びた支持棒３３と、板バネ２１と共に粘弾性体３１を挟持し、該粘弾性体３１がコラム１３に対して質量部材２３の振動方向に変位するのを規制するストッパー板３４と、該ストッパー板３４の位置を調整する調整ナット３５と、から構成されている。粘弾性体３１は、中心部に支持棒３３を挿通する孔を空けてあり、所定の位置で板バネ２１とストッパー板３４で挟持されている。減衰機構３０は、板バネ２１が振動して粘弾性体３１を押しつぶすことによって、減衰を発生させている。
【００４４】
本実施例の減衰機構３０は、板バネ２１とカバー体２７で開口部が覆われた空洞部２６内に粘弾性体３１が収容されているから、冷却用のオイルミストが拡散するような作業環境下であっても、粘弾性体３１にオイルが付着するのを防止することができる。減衰機構３０は、質量部材２３の振動を減衰することができればよいから、粘弾性体３１は板バネ２１の他、スペーサ部材２４又は質量部材２３とストッパー板３４に接していればよい。
【００４５】
本発明の振動吸収機構２は、図２に示すように、質量部材２３が板バネの中央部にのみ当接する突起部２５を有し、板バネ２１の可動域ａを広く保つように構成してもよい。また、質量部材２３は、突起部２５の反対側を円筒形状の穴にくり抜いて空洞部２６を形成し、該空洞部２６に粘弾性体３１を収容している。図２に示す振動吸収機構２は、突起部２５のＹ軸方向（図２の横方向）の幅を粘弾性体３１の幅より狭く形成することができるから、板バネ２１の可動域ａを広くすることができる。なお、図２に示す振動吸収機構２において、突起部２５に代えて、板バネ２１と質量部材２３との間にスペーサ部材を配置した構成にしてもよい。
【００４６】
図２に示す減衰機構３０は、質量部材２３に形成された空洞部２６に収容された粘弾性体３１と、該粘弾性体３１がコラム１３に対して質量部材２３の振動方向に変位するのを規制するストッパー部材３２から構成されている。ストッパー部材３２は、コラム１３に立設され、板バネ２１及び質量部材２３の中心部に空けられた挿通孔２８，２９を通って空洞部２６まで伸びた支持棒３３と、空洞部２６の底面と共に粘弾性体３１を挟持し、該粘弾性体３１がコラム１３に対して質量部材２３の振動方向に変位するのを規制するストッパー板３４と、該ストッパー板３４の位置を調整する調整ナット３５から構成されている。粘弾性体３１は、中心部に支持棒３３を挿通する孔を空けてあり、所定の位置で空洞部２６の底面とストッパー板３４で挟持されている。減衰機構３０は、質量部材２３が振動して粘弾性体３１を押しつぶすことによって、減衰を発生させている。
【００４７】
また、工作機械１は、サーボモータに対するＮＣの位置指令と、リニアスケールで実測される実際に動いた位置と、を比較し、サーボの位置偏差を求める機能を備えている。工作機械１は、本発明の制振装置と共に、サーボ系の制振フィルタを適用することにより、更に加工面品位を向上させることができる。
【００４８】
図７は、軸停止時の主軸１１端のＸ軸方向の振動変位を測定したものであり、横軸が周波数を示し、縦軸が変位量を示している。図７の上段は、制振対策前の振動変位を示しており、特定の周波数（１Ｆ）に振動変位のピークが存在している。図７の中段は、本実施例の振動吸収機構２による対策後の振動変位を示しており、周波数１Ｆ付近の振動変位は小さくなっている。図７の下段は、振動吸収機構２と制振フィルタ機能を併用したときの振動変位を示しており、さらに振動変位が小さくなっている。
【００４９】
図８は、本実施例の振動吸収機構２の周波数帯域と、工作機械１の異なる機体において２平面変位計で測定したコラム１３の固有振動数を示している。振動吸収機構２は、減衰機構３０を設けない状態では、振動低減率が５０％以上となる制振帯域の幅が周波数１Ｆ±１％程度であるが、減衰機構３０を設けた状態では、この制振帯域が周波数１Ｆ±７〜８％へと大幅に拡大した。（１）〜（５）の異なる機体の固有振動数は、全て振動吸収機構２の制振帯域内に納まっているから、本発明の制振装置は、個々の工作機械１の特性や取り付けられる工具に応じた調整が不要になる。
【実施例２】
【００５０】
図４は、本発明に係る工作機械の制振装置の他の実施例を示す断面図である。
振動吸収機構２は、Ｙ軸方向（図４の横方向）に所定間隔離れてコラム１３の側面に設けられた一対の支持部材２２と、該支持部材２２を介してコラム１３の側面に装着された板バネ２１と、板バネ２１の中央部に設けた質量部材２３とからなる。板バネ２１は、例えばＳＳ４００の鉄板からなり、振動吸収機構２のバネの役割を果たしている。
【００５１】
振動吸収機構２は、支持部材２２から伝わってくるコラム１３の振動によって質量部材２３が振動し、板バネ２１はその質量部材２３を保持している。振動吸収機構２は、質量部材２３が振動することによってコラム１３の振動を打ち消すように作用し、工作機械１の機体の振動を低減させる。
【００５２】
図４に示す実施例において、振動吸収機構２は、質量部材２３が所定の固有振動数でコラム１３の代わりにＸ軸方向に振動することにより、コラム１３の振動を抑制している。また、振動吸収機構２は、板バネ２１の表面に制振ゴム等の制振シートを貼り付けてあり、制振することができる周波数を上記固有振動数の周辺まで広げている。
【００５３】
振動吸収機構２は、板バネ２１の振動を減衰する機構として、板バネ２１とコラム１３との間に粘弾性体３１を設け、上述の制振シートと併せて制振させる周波数帯域を広げている。粘弾性体２４には、低反発弾性素材やシリコンゴムスポンジを用いることができる。振動吸収機構２は、板バネ２１が粘弾性体３１を押しつぶすことによって、減衰を発生させている。
【実施例３】
【００５４】
図５は、本発明に係る工作機械の制振装置の他の実施例を示す断面図である。図６は、図５の実施例に係る制振装置の機能を示す図である。
【００５５】
本実施例の振動吸収機構２は、板バネ２１の振動を減衰する機構として、実施例１及び実施例２に示す粘弾性体３１に代えて、磁界が動くことによって発生するローレンツ力を利用する方式を採用してもよい。
【００５６】
図５に示すように、振動吸収機構２は、平板状の導体３７がコラム１３に向かって板バネ２１に締結されており、導体３７が板バネ２１と一緒に振動するようになっている。振動吸収機構２は、導体３７を挟むように上下に一対の磁石３６を配置してあり、導体３７が板バネ２１と共に振動することでコラム１３に支持部材３８で固定された磁石３６との間にローレンツ力が発生し、減衰力が発生するように構成している。
【００５７】
図６に示すように、減衰機構３０は、一対の磁石３６の間に生じる磁束が導体の振動方向と直交する方向になるように構成されており、導体３７が磁石３６に対して相対的に移動すると、その場に留まろうとする方向（相対移動と反対の方向）にローレンツ力が発生し、このローレンツ力が板バネ２１の振動を減衰させる減衰力となる。
【００５８】
減衰機構３０は、質量部材２３及び板バネ２１の振動を磁気的に減衰させることができればよいから、板バネ２１又はコラム１３の何れか一方に磁石３６が設けられ、他方に導体３７が設けられていればよい。また、減衰機構３０は、質量部材２３及び板バネ２１の振動を磁気的に減衰させる磁気減衰手段に加えて、実施例１に記載された質量部材２３及び板バネ２１の振動を弾性的に減衰する手段を組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００５９】
１  工作機械
２  振動吸収機構
１０  主軸ユニット
１３  コラム
２１  板バネ
２２  支持部材
２３  質量部材
２４  スペーサ部材
２５  突起部
２６  空洞部
２７  カバー体
３０  減衰機構
３１  粘弾性体
３２  ストッパー部材
３３  支持棒
３４  ストッパー板
３５  調整ナット
３６  磁石
３７  導体
３８  支持部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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