(57)【要約】【課題】ノズル洗浄システムの改良であり、作業者による貯水槽の分解清掃の頻度を低くすることである。【解決手段】本ノズル管理システムにおいては、貯水槽に洗浄水を噴射する第２噴射器を備えた第２洗浄ユニットが設けられ、ポンプから吐出された洗浄水が第１洗浄ユニットのみならず第２洗浄ユニットにも供給される。貯水槽に第２洗浄ユニットから洗浄水が噴射され、貯水槽に溜まった洗浄水が撹拌される。それにより、異物が貯水槽の底部に堆積し難くすることができ、作業者による貯水槽の分解清掃の頻度を低くすることができる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル保持具に保持された吸着ノズルに向かって洗浄水を噴射する第１噴射器を備えた第１洗浄ユニットと、
前記第１噴射器から前記吸着ノズル向かって噴射された前記洗浄水を溜める貯水槽と、
その貯水槽に溜まった前記洗浄水をフィルタを介して汲み上げて吐出するポンプと、
そのポンプから吐出された洗浄水を前記第１洗浄ユニットに供給する洗浄水供給装置とを含むノズル洗浄システムであって、
当該ノズル洗浄システムが、前記貯水槽に前記洗浄水を噴射する第２噴射器を備え、前記第２噴射器から噴射された前記洗浄水により前記貯水槽を洗浄する第２洗浄ユニットを含み、
前記洗浄水供給装置が、前記ポンプから吐出された前記洗浄水を前記第２洗浄ユニットにも供給するものであるノズル洗浄システム。
【請求項２】
前記洗浄水供給装置が、前記ポンプから吐出された前記洗浄水を前記第１洗浄ユニットと前記第２洗浄ユニットとのいずれか一方に選択的に供給する選択的供給装置である請求項１に記載のノズル洗浄システム。
【請求項３】
前記選択的供給装置が、
前記ポンプと前記第１洗浄ユニットとを接続する第１通路と、
前記第１通路と前記第２洗浄ユニットとを接続する第２通路と、
前記第１通路の前記第２通路の接続部に設けられ、前記ポンプを前記第１洗浄ユニットに連通させて前記第２洗浄ユニットから遮断する第１位置と、前記ポンプを前記第２洗浄ユニットに連通させて前記第１洗浄ユニットから遮断する第２位置とに切換え可能な切換え弁と
を含む請求項２に記載のノズル洗浄システム。
【請求項４】
前記切換え弁が、ソレノイドを備えた電磁弁であり、
当該ノズル洗浄システムが、前記ポンプを駆動する電動モータであるポンプモータを制御するとともに、前記切換え弁を制御する制御装置を含む請求項３に記載のノズル洗浄システム。
【請求項５】
前記洗浄水供給装置が、前記ポンプから吐出された前記洗浄水を前記第１洗浄ユニットと前記第２洗浄ユニットとに設定比率で分配する分配装置である請求項１に記載のノズル洗浄システム。
【請求項６】
前記分配装置が、
前記ポンプと前記第１洗浄ユニットとを接続する第１通路と、
前記第１通路と前記第２洗浄ユニットとを接続する第２通路と、
前記第２通路に設けられた絞りと
を含む請求項５に記載のノズル洗浄システム。
【請求項７】
当該ノズル洗浄システムが、前記貯水槽に設けられ、前記貯水槽に溜まった洗浄水を外部に排出させる排水機構を含む請求項１ないし６のいずれか１つに記載のノズル洗浄システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着ノズルを洗浄するノズル洗浄システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、(a)ノズル保持具に保持された吸着ノズルに向かって洗浄水を噴射する第１噴射器を備えた第１洗浄ユニットと、(b)第１噴射器から吸着ノズルに向かって噴射された洗浄水を溜める貯水槽と、(c)その貯水槽に溜まった洗浄水をフィルタを介して汲み上げて吐出するポンプと、(d)そのポンプの吐出部と第１洗浄ユニットとを接続する通路とを含むノズル洗浄システムが記載されている。本ノズル洗浄システムにおいて、貯水槽に溜まった洗浄水はポンプによって汲み上げられて吐出され、その吐出した洗浄水が通路を経て第１洗浄ユニットに供給され、吸着ノズルに向かって噴射される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１５／１６２６９９パンフレット
【発明の概要】
【発明の解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、ノズル洗浄システムの改良であり、作業者による貯水槽の分解清掃の頻度を低くすることである。
【課題を解決するための手段および効果】
【０００５】
本発明のノズル管理システムにおいては、貯水槽に洗浄水を噴射する第２噴射器を備えた第２洗浄ユニットが設けられ、ポンプから吐出された洗浄水が第１洗浄ユニットのみならず第２洗浄ユニットにも供給される。第２洗浄ユニットから貯水槽に洗浄水が噴射され、貯水槽に溜まった洗浄水が撹拌される。それにより、異物が貯水槽の底部に堆積し難くすることができ、作業者による貯水槽の分解清掃の頻度を低くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明の実施例１のノズル洗浄システムを備えたノズル管理システムを概念的に示す斜視図である。
【図２】上記ノズル洗浄システムの洗浄対象となる吸着ノズルが使用される実装機の斜視図である。
【図３】上記吸着ノズルを示す斜視図である。
【図４】上記ノズル洗浄システム全体を概念的に示す図である。
【図５】上記ノズル洗浄システムのノズル洗浄装置の一部を示す斜視図である。
【図６】上記ノズル洗浄システムの制御装置に記憶された貯水槽洗浄プログラムを表すフローチャートである。
【図７】本発明の実施例２のノズル洗浄システムを概念的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明の一実施形態に係るノズル洗浄システムを含むノズル管理システムについて、図面に基づいて説明する。また、本ノズル洗浄システムにおける洗浄対象である吸着ノズルＮは図２に示す実装機において使用されるものである。
【実施例１】
【０００８】
図２に示す実装機４においては、吸着ノズル（以下、単にノズルと称する）Ｎを用いて電気部品（以下、単に部品と称する）Ｅを回路基板（以下、単に基板と称する）Ｓに装着する装着作業が行われる。
実装機４は、 (a)基板Ｓを搬送するとともに予め決められた位置において保持する基板搬送保持装置６、(b)部品Ｅを供給する部品供給装置８、(c)部品供給装置８によって供給される部品Ｅを基板Ｓに装着する部品装着装置１０、(d)ノズルステーション１２等を含む。
部品装着装置１０は、複数のノズルＮを保持するノズル保持部１３を備えた装着ヘッド１４と、装着ヘッド１４を移動させる装着ヘッド移動装置１６とを含む。部品供給装置８によって供給される部品Ｅは、ノズルＮによって吸着保持され、基板搬送保持装置６によって保持された基板Ｓの上方に移動させられた後、吸着保持が解除されることにより基板Ｓ上に装着される。
【０００９】
ノズルＮは、図３に示すように、吸着管２０と、吸着管２０を保持する本体２２と、本体２２に設けられたフランジ２４とを含む。吸着管２０は、本体２２に対して伸縮可能に取り付けられている。ノズルＮは、本体２２に設けられた掛止ピン２６を利用してノズル保持部１３に保持される。
ノズルＮがノズル保持部１３に保持された状態において、吸着管２０には、ノズル保持部１３等を介して図示しないエア源、真空ポンプが接続され、正圧および負圧が選択的に供給される。負圧の供給により部品Ｅが吸着保持され、正圧の供給により吸着保持された部品Ｅが放される。また、フランジ２４の上面には、当該ノズルＮの種類を表す２Ｄコードが記されたプレートが取り付けられている。
【００１０】
ノズルステーション１２には、複数のノズルＮが収容されたトレイＴが着脱可能に保持される。ノズルステーション１２において、ノズル保持部１３に保持されたノズルＮとトレイＴに収容されているノズルＮとが、必要に応じて交換される。
【００１１】
実装機４において使用されるノズルＮは図１に示すノズル管理機３０において管理される。ノズル管理機３０は、(a)本体３２、(b)ノズルＮが保持されたパレットＰを収容するパレット収容装置３４、(c)ノズル移載装置３６、(ｄ)ノズル検査装置３８、(e)ノズル洗浄装置４０等を含む。パレットＰには、ノズル管理機３０に収容されるノズルＮが保持されるため、収容用パレットＰと称することができる。収容用パレットＰの各々には、図示しない２Ｄコードが記されたプレートが取り付けられている。
ノズル管理機３０において、ノズル管理機３０の前後方向をｘ、上下方向をｚ、幅方向をｙとする。ｘ、ｙ、ｚは互いに直交する。
【００１２】
パレット収容装置３４は、支持アーム４２と、支持アーム４２を上下方向に移動させるアーム昇降装置４４と、支持アーム４２を前後方向に移動させるアーム進退装置４５と、パレット収容タワー４６とを含む。パレット収容タワー４６は、上下方向に隔てて設けられた複数のパレット保持部４７を含む。複数のパレット保持部４７の各々は、幅（ｙ）方向に隔てて設けられた一対のバー４８を含む。これら複数対のバー４８の各々に、それぞれ、収容用パレットＰが保持され得る。支持アーム４２は、アーム進退装置４５により、パレット収容タワー４６に接近する接近位置とパレット収容タワー４６から離間した離間位置とに移動可能とされている。
【００１３】
例えば、パレット収容タワー４６に収容された収容用パレットＰを取出して上昇端位置まで運搬する場合には、支持アーム４２が接近位置まで移動させられる。一対のバー４８に保持された収容用パレットＰが支持アーム４２によって取り出されて、保持される。その後、支持アーム４２は離間位置まで移動させられ、離間位置において、アーム昇降装置４４により上昇端位置まで昇降させられる。支持アーム４２の上昇端位置において、収容用パレットＰと並ぶ位置にノズル載置プレート５０が設けられる。ノズル載置プレート５０にはノズルＮが保持可能とされている。
【００１４】
ノズル移載装置３６は、トレイＴ、収容用パレットＰ、ノズル載置プレート５０、ノズル保持具としての洗浄用パレットＰｗの間でノズルＮを移載する装置である。ノズル移載装置３６は、ノズルＮを保持するノズル保持部５６を備えた移載ヘッド５８と、移載ヘッド５８をｘ、ｙ、ｚ方向に移動可能なヘッド移動装置６０とを含む。移載ヘッド５８にはカメラ６２が取り付けられる。カメラ６２によってノズルＮ、収容用パレットＰに付された２Ｄコードが読み取られる。ノズル管理機３０において、収容されるノズルＮの２Ｄコードは、そのノズルＮが保持される収容用パレットＰの２Ｄコードと対応付けて記憶されて、管理される。
なお、トレイＴは、本体３２の保持ステージ６４に載置可能とされていて、適宜、作業者によって保持ステージ６４に載せられる。
【００１５】
ノズル検査装置３８は、ノズルＮを検査するものであり、カメラ、流量測定装置、ロードセル等を含む。ノズル検査装置３８によって、ノズルＮの先端部の形状、ノズルＮの内部を流れるエアの流量、ノズルＮの吸着管２０を伸縮させるのに要する荷重等が検査される。ノズル検査装置３８によって不良であると判定されたノズルＮは、廃棄される。
【００１６】
ノズル洗浄装置４０は、ノズルＮを洗浄するものであり、図４，５に示すように、(a)ハウジング７０、(b)パレット搬送保持装置７２、(c)ハウジング７０の内部に設けられた一対の第１洗浄ユニット７４，７５、(d)貯水槽７６、(e)貯水槽７６の内部に設けられた第２洗浄ユニット７８、(f)貯水槽７６に溜まった洗浄水を汲み上げて吐出するポンプ８２、(g)ポンプ８２から吐出された洗浄水を第１洗浄ユニット７４，７５と第２洗浄ユニット７８とに供給する洗浄水供給装置８４等を含む。
【００１７】
ハウジング７０は概してボックス型を成したものであり、ハウジング７０の内部においてノズルＮの洗浄が行われる。そのため、ハウジング７０を洗浄庫と称することができる。また、第１洗浄ユニット７４，７５からノズルＮに向かって洗浄水が噴射されるが、その噴射された洗浄水はハウジング７０の底部に溜まる。そのため、ハウジング７０の底部の洗浄水が溜まる部分が貯水槽７６とされる。ハウジング７０の底部は貯水槽７６の底部でもある。
【００１８】
一対の第１洗浄ユニット７４，７５は、それぞれ、本体９０と、本体９０に形成された複数の噴射孔９２とを有する第１噴射器９４と、第１噴射器９４を概して水平方向に移動させる第１噴射器移動装置９６とを備える。一対の洗浄ユニット７４，７５は、上下方向に隔たって、各々の第１噴射器９４の噴射孔９２の開口が互いに対向する姿勢で、ハウジング７０の内部に設けられる。
【００１９】
パレット搬送保持装置７２は、洗浄対象となるノズルＮが保持されたパレットである洗浄用パレットＰｗを移動させて保持するものである。パレット搬送保持装置７２は、ハウジング７０の一対の第１洗浄ユニット７４，７５の間に、一部がハウジング７０から突出した状態で設けられる。パレット搬送保持装置７２は、洗浄用パレットＰｗを移載位置、洗浄位置、乾燥位置の間で移動させて、保持する。移載位置は、ハウジング７０の外部に位置し、トレイＴ、収容用パレットＰ、ノズル載置プレート５０、洗浄用パレットＰｗの間で、ノズル移載装置３６によりノズルＮが移載され得る位置である。洗浄位置は、ハウジング７０の内部の、洗浄用パレットＰｗに保持されたノズルＮが一対の洗浄ユニット７４，７５によって洗浄され得る位置であり、乾燥位置は、ハウジング７０の内部の、洗浄用パレットＰｗに保持されたノズルＮが図示しない乾燥装置により乾燥され得る位置である。なお、洗浄位置と乾燥位置とは同じ位置とすることができる。
【００２０】
また、一対の第１洗浄ユニット７４，７５、パレット搬送保持装置７２と貯水槽７６との間の一部に仕切り板９８が設けられる。第１洗浄ユニット７４，７５から噴射された洗浄水は、仕切り板９８に沿って流れ、貯水槽７６に溜まる。また、仕切り板９８の上面にはスポンジが設けられ、仕切り板９８に当たった洗浄水の跳ね返りに起因して、ノズルＮが汚れるのが防止される。
【００２１】
第２洗浄ユニット７８は、貯水槽７６の内部を清掃するものであり、貯水槽７６の内部に洗浄水を噴射する第２噴射器１００を含む。第２噴射器１００は、例えば、図示しない噴射孔が貯水槽７６の底面に平行に伸び、かつ、噴射孔の開口が側壁に対向する姿勢（向き）で、貯水槽７６に取り付けることができる。第２噴射器１００から洗浄水が噴射されることにより、貯水槽７６に溜まった洗浄水が撹拌される。なお、第２噴射器１００に形成された噴射孔の形状、噴射孔の個数、第２噴射器１００の取付け位置（噴射孔の向き）等は図４に示す態様に限定されず、貯水槽７６に溜まった洗浄水を良好に撹拌可能な態様とすればよい。
【００２２】
ポンプ８２は、貯水槽７６の底部に接続された通路１０４に設けられる。通路１０４の貯水槽７６の底部とポンプ８２との間にフィルタ１０６が設けられ、ポンプ８２によってフィルタ１０６を介して貯水槽７６に溜まった洗浄水が汲み上げられる。ポンプ８２は、ポンプモータ１０８により駆動される。
【００２３】
洗浄水供給装置８４は、ポンプ８２の吐出部と第１洗浄ユニット７４，７５とを接続する第１通路１３０と、第１通路１３０と第２洗浄ユニット７８とを接続する第２通路１３２と、第１通路１３０と第２通路１３２との接続部に設けられた切換え弁１４０とを含む。切換え弁１４０はソレノイド１４２を備えた電磁弁であり、ポンプ８２の吐出部を第１洗浄ユニット７４，７５に連通させて、第２洗浄ユニット７８から遮断する第１位置と、ポンプ８２の吐出部を第２洗浄ユニット７８に連通させて第１洗浄ユニット７４，７５から遮断する第２位置とに切換え可能なものである。切換え弁１４０の第１位置において、ポンプ８２から吐出された洗浄水が第１洗浄ユニット７４，７５に供給され、切換え弁１４０の第２位置において、ポンプ８２から吐出された洗浄水が第２洗浄ユニット７８に供給される。
【００２４】
また、貯水槽７６には、外部、すなわち、ノズル洗浄装置４０の外部へ貯水槽７６に溜まった洗浄水を排出する排水機構１２０、ノズル洗浄装置４０の外部から貯水槽７６の内部に洗浄水を供給する給水機構１２２が設けられる。排水機構１２０は貯水槽７６に接続された排水管と、排水管を開閉するバルブ(蛇口)とを含む。バルブは作業者によって操作可能とされている。なお、排水機構１２０の構成要素である排水管は、ハウジング７０のポンプ８２が設けられた通路１０４とは異なる位置に接続されている。
給水機構１２２も、同様に、貯水槽７６に接続された給水管と、給水管を開閉するバルブ（蛇口）とを含む。例えば、貯水槽７６に溜まった洗浄水が汚れた場合等には排水機構１２０から外部に排出され、貯水槽７６に溜まった洗浄水が少なくなった場合等に給水機構１２２から洗浄水が供給されるようにすることができる。
【００２５】
本ノズル管理機３０は、コンピュータを主体とする制御装置１７０によって制御される。制御装置１７０には、複数のセンサが接続されるとともに、切換え弁１４０のソレノイド１４２等、ポンプ８２を駆動するポンプモータ１０８等が図示しない駆動回路を介して接続される。また、図１に示すように、作業者によって操作される貯水槽洗浄スイッチ１７４、ディスプレイ１７６等が接続される。
【００２６】
以上のように構成された本ノズル管理機３０において、ノズル洗浄装置４０によって洗浄される対象のノズルＮが、トレイＴ，収容用パレットＰ，ノズル載置プレート５０等から、ノズル移載装置３６によって移載位置にある洗浄用パレットＰｗに移載される。洗浄対象のノズルＮが保持された洗浄用パレットＰｗがパレット搬送保持装置７２によってハウジング７０の内部の洗浄位置まで搬送されて保持される。切換え弁１４０の第１位置において、ポンプモータ１０８によりポンプ８２が駆動される。ポンプ８２によって貯水槽７６に溜まった洗浄水がフィルタ１０６を介して汲み上げられて、第１洗浄ユニット７４，７５に供給される。第１洗浄ユニット７４，７５の各々において、第１噴射器９４が洗浄水をノズルＮに向かって噴射しつつ噴射器移動装置９６によって移動させられる。
【００２７】
一方、第１噴射器９４の各々からノズルＮに向かって噴射された洗浄水は貯水槽７６に溜まる。貯水槽７６に溜まった洗浄水はポンプ８２によって汲み上げられて吐出されるが、吐出された洗浄水は洗浄水供給装置８４（第１通路１３０）を経て第１洗浄ユニット７４，７５に供給される。このように、ノズル洗浄装置４０において、洗浄水が第１洗浄ユニット７４，７５、貯水槽７６、ポンプ８２、洗浄水供給装置８４（第１通路１３０）を経て循環させられる。
【００２８】
ノズルＮの洗浄が終了した場合には、パレット搬送保持装置７２により洗浄用パレットＰｗがハウジング７０の内部の乾燥位置へ搬送されて保持される。洗浄用パレットＰｗに保持されたノズルＮは、図示しない乾燥装置により乾燥される。その後、洗浄用パレットＰｗはハウジング７０の外部の移載位置に移動させられ、洗浄後のノズルＮが、収容用パレットＰ，トレイＴ、ノズル載置プレート５０等へ移載される。その際に、ハウジング７０の外部に設けられたノズル乾燥器１８０においてノズルＮをさらに乾燥させることができる。
【００２９】
それに対して、ノズルＮの洗浄が行われない場合において、貯水槽７６の清掃の要求がある場合、例えば、貯水槽洗浄スイッチ１７４のＯＮ操作が行われた場合等には、図６のフローチャートで表される貯水槽洗浄プログラムが実行される。
ステップ１（以下、Ｓ１と略称する。他のステップについても同様とする）において、ソレノイド１４２がＯＮとされることにより切換え弁１４０が第２位置に切換えられ、Ｓ２において、ポンプモータ１０８によりポンプ８２が駆動される。Ｓ３において、設定時間が経過したか否かが判定される。設定時間は作業者によって入力されるようにしたり、予め貯水槽７６の洗浄を行い得る長さに設定されるようにしたりすること等ができる。設定時間が経過した場合には、Ｓ４において、ポンプモータ１０８が停止させられることによりポンプ８２が停止させられる。Ｓ５において、切換え弁１４０が第１位置に切り換えられる。また、Ｓ６において、ディスプレイ１７６に排出機構１２０の蛇口の開操作を行うよう指令が表示される。
【００３０】
従来は、設定期間毎に、作業者に、貯水槽７６に溜まった洗浄水を入れ替えたり、ノズル洗浄装置４０の分解清掃を行ったりするように要求されていた。貯水槽７６に溜まる洗浄水は、ノズルＮの洗浄に用いられたものであるため、ノズルＮから落下した物（ノズルＮに付着していた物）が含まれる。また、洗浄水として工業用精製水が用いられるのが普通であるが、工業用精製水には塩素等が含まれていないため、腐食し易く、雑菌が繁殖し易い。また、これら雑菌、ノズルＮから落下した物等の異物が、貯水槽７６に堆積する場合がある。貯水槽７６に溜まった洗浄水を入れ替えることにより、洗浄水を入れ替えない場合に比較して、異物の堆積を抑制することは可能であるが、十分な効果は得られない。また、貯水槽７６に溜まった洗浄水を入れ替えても、堆積した異物を取り除くことは困難である。そのため、作業者に、ノズル洗浄装置４０を分解してハウジング７０の内部を清掃するよう要求されるのである。
【００３１】
それに対して、本実施例においては、ポンプ８２から吐出された洗浄水が貯水槽７６の第２洗浄ユニット７８に供給されて、貯水槽７６の内部に噴射され、それにより、貯水槽７６に溜まった洗浄水が撹拌される。その結果、貯水槽７６に溜まった洗浄水を入れ替える場合より、貯水槽７６の底部に異物が堆積し難くすることができる。また、貯水槽７６の底部に堆積した異物を浮き上がらせることができるため、排水機構１２０の蛇口が開操作されることにより、異物が浮いた洗浄水を外部に排出させることができる。それにより、貯水槽７６の内部を洗浄することができる。このように、本実施例においては、作業者がノズル洗浄装置４０を分解してハウジング７０の内部の清掃を行う頻度を少なくすること等ができるのであり、清掃を行う必要がなくなる場合もある。
なお、この場合には、貯水槽７６の洗浄水が、ポンプ８２、洗浄水供給装置８６（第２通路１３２）、第２洗浄ユニット７８を経て循環させられる。
【００３２】
なお、上記実施例においては、貯水槽洗浄スイッチ１７４のＯＮ操作により、貯水槽清掃プログラムが実行されるようにされていたが、予め決められた清掃タイミングに達した場合に、貯水槽清掃プログラムが自動で実行されるようにすることもできる。
また、貯水槽７６に第２洗浄ユニット７８から洗浄水の噴射が行われる毎に、排水機構１２０から洗浄水が排出されるようにすることは不可欠ではなく、第２洗浄ユニット７８からの洗浄水の噴射が設定回数行われた後に、排水機構１２０から洗浄水が排出させられるようにすることもできる。
さらに、切換え弁１４０は電磁弁とする必要は必ずしもなく、作業者によって操作可能なマニュアル式切換え弁とすることもできる。
【００３３】
以上のように、本実施例においては、ノズル洗浄装置４０、制御装置１７０の図６のフローチャートで表される貯洗浄水用洗浄プログラムを記憶する部分、実行する部分等によりノズル洗浄システムが構成される。洗浄水供給装置８６は選択的供給装置でもある。また、第１噴射器９４の噴射孔９２の周辺の部分等によりノズルが構成されると考えることができる。同様に、第２噴射器１００の噴射孔の周辺の部分等によりノズルが構成されると考えることができる。
【実施例２】
【００３４】
ノズル洗浄システムの別の態様について説明する。本実施例においては、洗浄水供給装置１９８が、第２通路１３２に設けられた絞り２００を含む。絞り２００によって絞られた第２通路１３２の流路面積等により、ポンプ８２から吐出された洗浄水のうちの第１洗浄ユニット７４，７５に供給される洗浄水の流量と、第２洗浄ユニット７８に供給される洗浄水の流量との比率が決まる。換言すれば、絞り２００を、第１洗浄ユニット７４，７５に供給される洗浄水の流量と、第２洗浄ユニット７８に供給される洗浄水の流量との比率が設定比率となるように設計することができる。
【００３５】
本実施例においては、ノズルＮが第１洗浄ユニット７４，７５により洗浄される場合であっても、すなわち、ポンプ８２が駆動されている間、第２洗浄ユニット７８にも洗浄水が供給され、第２洗浄ユニット７８から貯水槽７６の内部に洗浄水が噴射される。ポンプ８２から吐出された洗浄水は、第１洗浄ユニット７４，７５と第２洗浄ユニット７８とに設定比率で分配されるのである。
また、貯水槽７６に第２洗浄ユニット７８から洗浄水が噴射される時間の合計が予め定められた時間を越えた場合に、排水機構１２０から貯水槽７６の洗浄水が排出させられるようにすること等ができる。
【００３６】
本実施例において、第１通路１３０、第２通路１３２、絞り２００等により洗浄水供給装置、分配装置が構成される。
【００３７】
なお、絞り２００を可変絞りとすることもできる。本実施例においては、可変絞り２００による第２通路１３２の流路面積の調整により、第１洗浄ユニット７４，７５に供給される洗浄水の流量と第２洗浄ユニット７８に供給される洗浄水の流量との比率を設定することができる。
【００３８】
また、第１洗浄ユニット７４，７５には工業用精製水が直接供給され、第２洗浄ユニット７８にポンプ８２から吐出された洗浄水が供給されるようにすることもできる等、その他、本発明は、上記実施例の他、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することができる。
【符号の説明】
【００３９】
４０：ノズル洗浄装置    ７０：ハウジング    ７４，７５：第１洗浄ユニット    ７６：移動装置    ７２：パレット搬送保持装置    ７６:貯水槽    ７８：第２洗浄ユニット    ８２：ポンプ    ８４，１９８：洗浄水供給装置    ９４：第１噴射器        １０６：フィルタ    １１６：第２噴射器  １２０：排水機構    １３０：第１通路    １３２：第２通路    １４０：切換え弁    １７０：制御装置    １７４：貯水槽洗浄スイッチ    ２００：絞り    Ｎ：ノズル  Ｔ：トレイ  Ｐｗ：洗浄用パレット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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