(57)【要約】【課題】真空乾燥機を好適に適用できる洗浄機を提供する。【解決手段】洗浄機（１０）は、対象物（２１）を載せる設置面（１３Ａ）および枠体（１５）を持つ閉塞板（１３）と、主要洗浄面（２１Ａ）が設置面と異なる方向を向くように設置面と間隙を開けて対象物（２１）を支持する支持体（１９）と、ノズル移動装置（３３）と、回転軸（５）を中心に回転可能にノズル移動装置に配置され、閉塞板に沿って間隙に挿入できるノズル（２５）と、開口（４３Ａ）および密着面（４１）を有し、当接位置において密着面が枠体（１５）と密着して対象物及び支持体を収納する減圧容器（４３）と、減圧容器を当接位置と退避位置に移動させる容器移動装置（４５）と、減圧ポンプ（４９）と、を備える。【選択図】図１
2020081948.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主要な洗浄対象部位を含む主要洗浄面を持つ対象物を載せる設置面、および前記設置面を囲うように配置された枠体を持つ閉塞板と、
前記主要洗浄面が前記設置面と異なる方向を向くように前記設置面と間隙を開けて前記対象物を前記閉塞板に支持する支持体と、
ノズル移動装置と、
噴口を有し、第1の回転軸を中心に回転可能に前記ノズル移動装置に配置され、前記閉塞板に沿って前記間隙に挿入できるノズルと、
開口および前記開口の周囲に配置された密着面を有し、当接位置において前記密着面が前記枠体と密着して前記対象物及び前記支持体を収納する減圧容器と、
前記減圧容器を前記当接位置と退避位置に移動させる容器移動装置と、
前記減圧容器と接続する減圧ポンプと、
を備える洗浄機。
【請求項２】
前記閉塞板を支持し、前記第1の回転軸と垂直な第２の回転軸を中心に前記閉塞板を回転するジグ回転装置を備える、
請求項１の洗浄機。
【請求項３】
前記ノズルは前記第１の回転軸に沿って延びる軸体を有し、
前記噴口は前記軸体の先端部に前記軸体と垂直に配置される、
請求項１又は請求項２の洗浄機。
【請求項４】
前記対象物が前記支持体に設置された状態において、前記対象物は前記閉塞板と対向する方向に配置された背面洗浄部位を有し、
前記噴口の方向の長さが前記閉塞板と前記背面洗浄部位との間隙長さよりも小さい、
請求項１〜請求項３のいずれかの洗浄機。
【請求項５】
前記支持体は、前記主要洗浄面が前記回転軸と平行、又は前記主要洗浄面が前記回転軸を含むように、前記対象物を支持する、請求項１〜請求項４のいずれかの洗浄機。
【請求項６】
前記枠体又は前記密着面のいずれか一方に設置され、前記閉塞板と前記封止面との間を封止する封止体を更に備える、請求項１〜請求項５のいずれかの洗浄機。
【請求項７】
前記閉塞板は前記減圧容器を密閉する、請求項１〜請求項６のいずれかの洗浄機。
【請求項８】
前記支持体は前記設置面に配置される、請求項１〜請求項７のいずれかの洗浄機。
【請求項９】
前記設置面に立てて配置される立てプレートを更に有し、
前記支持体は前記立てプレートに配置される、
請求項１〜請求項７のいずれかの洗浄機。
【請求項１０】
前記設置面は前記対象物に向かって山型に構成された、
請求項１〜請求項９のいずれかの洗浄機。
【請求項１１】
ノズルが液体噴流を生成し、
前記ノズルが前記対象物の主要洗浄面を洗浄し、
前記ノズルが対象物と閉塞板の間隙に、前記閉塞板に沿って挿入されて、前記対象物の閉塞板に対向する部位を洗浄し、
前記閉塞板が回転して乾燥位相に位置決めされ、
前記閉塞板に減圧容器が密着して密閉容器を構成し、
前記密閉容器を減圧して、前記対象物に付着した液体を蒸発させ、
前記減圧容器が前記閉塞板から離間する、
対象物の洗浄および乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄機、及び、対象物の洗浄および乾燥方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の工具を配置したタレットを含む洗浄機が提案されている（例えば、特許第５４３２９４３号）。また、乾燥容器と、乾燥容器に対して相対的に移動でき、所定の角度で位置決めできる載置台とを含む乾燥機が提案されている（特許第６１２８６８８号）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
真空乾燥機に好適に適用できる洗浄機を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の第１の側面は、洗浄機であって、
主要な洗浄対象部位を含む主要洗浄面を持つ対象物を載せる設置面、および前記設置面を囲うように配置された枠体を持つ閉塞板と、
前記主要洗浄面が前記設置面と異なる方向を向くように前記設置面と間隙を開けて前記対象物を前記閉塞板に支持する支持体と、
ノズル移動装置と、
噴口を有し、第1の回転軸を中心に回転可能に前記ノズル移動装置に配置され、前記閉塞板に沿って前記間隙に挿入できるノズルと、
開口および前記開口の周囲に配置された密着面を有し、当接位置において前記密着面が前記枠体と密着して前記対象物及び前記支持体を収納する減圧容器と、
前記減圧容器を前記当接位置と退避位置に移動させる容器移動装置と、
前記減圧容器と接続する減圧ポンプと、
を含む。
本発明の第２の側面は、洗浄および乾燥方法であって、
ノズルが液体噴流を生成し、
前記ノズルが前記対象物の主要洗浄面を洗浄し、
前記ノズルが対象物と閉塞板の間隙に、前記閉塞板に沿って挿入されて、前記対象物の閉塞板に対向する部位を洗浄し、
前記閉塞板が回転して乾燥位相に位置決めされ、
前記閉塞板に減圧容器が密着して密閉容器を構成し、
前記密閉容器を減圧して、前記対象物に付着した液体を蒸発させ、
前記減圧容器が前記閉塞板から離間する、
方法である。
【０００５】
洗浄はバリ取りを含む。
洗浄対象部位とは、対象物の部分のうち、洗浄の目標となる部分をいう。例えば洗浄対象部位とは、ヘッドシリンダのウォータージャケット、めねじ、油穴、ピン穴、合わせ面やスリーブ穴である。
主要洗浄面とは、対象物の主要な洗浄対象部位を含む面や洗浄対象部位の大部分を含む面をいう。主要洗浄面は複数面設定されてもよい。たとえば対象物がヘッドシリンダであれば、主要洗浄面はブロックシリンダ合わせ面やカムキャップ取付け面である。例えば対象物がトランスアクスルケースであれば、主要洗浄面はトランスアクスルハウジング合わせ面である。
乾燥位相は、減圧容器が閉塞板に当接するときの閉塞板やジグ回転装置の位相をいう。
【０００６】
対象物が閉塞板に設置されたときに、このとき、主要洗浄面は設置面の他方を向く。言い換えると、主要洗浄面は設置面に対向しない。対象物は複数設置されてよい。
対象物が閉塞板に複数設置される場合、枠体も複数配置されてよい。枠体は対象物と同数設置されてよい。
望ましくは、ジグ回転装置と回転可能なノズルを両方備える。ジグ回転装置の回転軸とノズルの回転軸は直交する。ジグ回転装置を備えない場合、ノズルは閉塞板と平行に伸びる。
閉塞板は貫通する開口を有さない。閉塞板は減圧容器の開口を閉塞する。閉塞板と減圧容器は一体となって密閉容器を構成する。設置面は平面や山形として良い。
ジグ回転装置は閉塞板を乾燥位相に位置決めできる。
減圧容器は当接位置と離間位置との間を移動する。当接位置において、減圧容器は、乾燥位相にある閉塞板に当接できる。減圧容器は閉塞板に当接して密閉容器を形成する。
封止体は密着面又は枠体のいずれか一方に配置される。密着面又は枠体の他方は、封止体に密着する。封止体は密着面と枠体との隙間を封止する。
枠体は設置面を囲む。枠体は減圧容器が閉塞板と接合するときに、閉塞板へ減圧容器が接近する方向から見て対象物及び支持体を囲むように配置される。
【０００７】
乾燥方法は、更に、閉塞板が回転して、対象物、支持体や閉塞板に付着した洗浄液を振り払っても良い。
乾燥方法は、更に、乾燥気体噴流を対象物に当てても良い。
乾燥方法は、更に、乾燥気体噴流を対象物に向けて当てながら、対象物を回転しても良い。
乾燥方法は、上記の３つの方法を自由に組み合わせて利用しても良い。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、真空乾燥機に好適に適用できる洗浄機を提供する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施形態の洗浄機
【図２】図１のII-II線断面図
【図３】第１実施形態の洗浄方法を示すフローチャート
【図４】第１実施形態の洗浄機の使用状況
【図５】第１実施形態の洗浄機の使用状況
【図６】第２実施形態の洗浄機のジグの断面図
【図７】図６のVII方向からの矢視図
【図８】図６のVIII方向からの矢視図
【図９】第３実施形態の洗浄機
【図１０】第３実施形態の洗浄方法を示すフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（第１実施形態）
図１は図２のI-I線断面図を示す。図１および図２に示すように、第１実施形態の洗浄機１０は、ジグ１２、ノズル２５、ポンプ３１、移動装置３３、減圧容器４３、容器移動装置４５及び減圧ポンプ４９を含む。洗浄機１０はジグ回転装置１１、封止体１７及び気体供給装置５１を含んでも良い。洗浄機１０は、対象物２１を洗浄し、乾燥する。なお、図１においてノズル２５はII-II線の背面に位置しているため、図２においてノズル２５を二点鎖線で表す。
【００１１】
ジグ１２は、閉塞板１３及び支持体１９を含む。ジグ１２は封止体１７を含んで良い。
閉塞板１３は平板状であり、設置面１３Ａ、枠体１５を持つ。閉塞板１３には開口部が設けられていない。設置面１３Ａは閉塞板１３の中央に設けられる。設置面１３Ａは平面である。枠体１５は設置面１３Ａの周囲を囲む。閉塞板１３の垂直方向から見て、枠体１５は対象物２１及び支持体１９を囲むように配置される。枠体１５は平面である。枠体１５は設置面１３Ａよりも対象物２１から離れた位置に設けられてよい。
【００１２】
支持体１９は設置面１３Ａに配置される。支持体１９は支持ピン１９Ａ、位置決めピン（不図示）およびクランプ１９Ｂを含んで良い。支持体１９は対象物２１を閉塞板１３に間隙を開けて支持する。クランプ１９Ｂは対象物２１を保持する。
【００１３】
対象物２１は主要洗浄面２１Ａ及び背面洗浄部位２１Ｂを含む。対象物２１は主要洗浄面２１Ａが設置面１３Ａと異なる方向（図では反対方向）を向くように支持体１９に支持される。対象物２１が支持体１９に支持されたときに、背面洗浄部位２１Ｂは閉塞板１３に向く。背面洗浄部位２１Ｂは閉塞板１３と対象物２１との間隙に面している。背面洗浄部位２１Ｂと閉塞板１３との間隙の長さを間隙長さ５５という。背面洗浄部位２１Ｂから閉塞板１３の端面までの設置面１３Ａに沿った長さを挿入長さ５６という。
【００１４】
ジグ回転装置１１は例えばＮＣ円テーブルである。ジグ回転装置１１は回転軸３を中心として閉塞板１３を回転する。ジグ回転装置１１は、閉塞板１３の回転方向を乾燥位相に位置決めし、保持できる。ここで、乾燥位相とは、閉塞板１３が減圧容器４３と接合できる位相である。洗浄機１０において、乾燥位相は閉塞板１３が直線ガイド４５Ａ（後述）と垂直になる位相である。
【００１５】
ノズル移動装置（以下、「移動装置３３」という。）は、Ｘ移動装置３３Ｘ、Ｚ移動装置３３Ｚ、Ｙ移動装置３３Ｙ、ノズル回転装置（以下、「回転装置３３Ｃ」という。）を含む。好ましくは、移動装置３３は制御装置（不図示）によって数値制御される。Ｘ移動装置３３Ｘは洗浄機１０の正面からみて、左右方向（Ｘ方向）に移動する。Ｚ移動装置３３ＺはＸ移動装置３３Ｘに設置され、正面から見て上下方向（Ｚ方向）に移動する。Ｙ移動装置３３ＹはＺ移動装置に配置され、正面から見て前後方向（Ｙ方向）に移動する。回転装置３３ＣはＹ移動装置に配置され、上下方向に配置された回転軸５を中心にノズル２５を回転し、所定の回転角度に位置決めする。移動装置３３は例えばコラムトラバース式の移動装置を利用できる。移動装置３３は例えば特許第６１４７６２３号や特許第５４３２９４３号を利用できる。
移動装置３３は垂直多関節ロボット、スカラロボット、パラレルリンクロボットを利用しても良い。
【００１６】
ノズル２５は軸体２５Ａ、噴口２５Ｂおよび流路２５Ｃを含む。ノズル２５は回転軸５を中心に回転できるように回転装置３３Ｃに配置される。軸体２５Ａは回転軸５に沿って延びる。好ましくは、軸体２５Ａは回転軸５と同軸である。噴口２５Ｂは軸体２５Ａの先端部に配置される。噴口２５Ｂは軸体２５Ａから突出して配置されてよい。噴口２５Ｂは回転軸５と異なる方向を向く。好ましくは、噴口２５Ｂは回転軸５と垂直な方向を向く。噴口２５Ｂは回転軸５と異なる方向に噴流９を生ずる。流路２５Ｃは軸体２５Ａの内部に配置され、回転軸５に沿って延びる。流路２５Ｃは噴口２５Ｂを回転装置３３Ｃに接続する。ノズル２５の噴口２５Ｂの方向に沿った長さ５７は、間隙長さ５５より小さい。ノズル２５の基端部から噴口２５Ｂまでの長さ５８は挿入長さ５６よりも大きい。
【００１７】
ポンプ３１は回転装置３３Ｃと接続する。ポンプ３１は回転装置３３Ｃを介して噴口２５Ｂに接続する。
【００１８】
容器移動装置４５は、直線ガイド４５Ａ、直線ブロック４５Ｂ及びシリンダ４５Ｃを含む。直線ガイド４５Ａは固定される。直線ガイド４５Ａは一つでも良く、一組互いに平行に配置されてもよい。直線ガイド４５Ａは回転軸３と垂直方向に延びる。直線ブロック４５Ｂは直線ガイド４５Ａに摺動できるように配置される。直線ブロック４５Ｂは減圧容器４３に固定される。シリンダ４５Ｃは望ましくはエアシリンダである。シリンダ４５Ｃは電動シリンダや油圧シリンダでも良い。シリンダ４５Ｃは直線ガイド４５Ａに沿って伸縮するように配置される。シリンダ４５Ｃは、直線ガイド４５Ａに沿って、減圧容器４３を当接位置と離間位置に移動させる。ここで、当接位置は、減圧容器４３が閉塞板１３と密着する位置をいう。離間位置は、減圧容器４３が閉塞板１３から離間する位置をいう。
【００１９】
減圧容器４３は密着面４１及び開口部４３Ａを含む。減圧容器４３は箱状である。密着面４１は開口部４３Ａの周囲に配置される。密着面４１は枠体１５と実質的に同一の形状をもつ。密着面４１は枠体１５に密着できる。減圧容器４３は閉塞板１３に接したときに、支持体１９及び対象物２１を収容できる広さを持つ。減圧容器４３は閉塞板１３と結合して密閉容器４７（図５参照）を形成する。
【００２０】
枠体１５に取り付け溝１７Ａが配置されてよい。取り付け溝１７Ａは設置面１３Ａの全周を囲む。Ｏリングである封止体１７は取り付け溝１７Ａに装着される。密着面４１は枠体１５と密着するときに、密着面４１が封止体１７を押しつぶす。
封止体１７はリング状のゴム板であっても良い。封止体１７は密着面４１に設けても良い。
【００２１】
減圧ポンプ４９は減圧容器４３と接続する。減圧ポンプ４９は密閉容器４７の内部を排気する。気体供給装置５１は減圧容器と接続する。気体供給装置５１は減圧された密閉容器４７内に気体を供給し、減圧容器の内外の圧力を実質的に同一にする。気体供給装置５１は真空破壊弁や気体供給弁を利用できる。
減圧ポンプ４９の排気口を気体供給装置５１に接続しても良い。この場合、気体供給装置５１を通して減圧ポンプ４９の排気を密閉容器４７の内部に供給する。
【００２２】
更に、洗浄機１０は、エアブローノズル５３を含んでも良い。エアブローノズル５３は配管５４に設置され、左右方向に並べて配置されてよい。エアブローノズル５３は、対象物２１に向けて乾燥空気を噴出する。エアブローノズル５３は、対象物２１、閉塞板１３及び支持体１９が回転した領域の外部に配置されてよい。
【００２３】
図３〜図５に従って、洗浄および乾燥方法を説明する。
対象物２１は支持体１９に装着される。ポンプ３１が起動し、洗浄液を加圧する。ポンプ３１は洗浄液をノズル２５へ送る。噴口２５Ｂは噴流９を生成する（Ｓ１）。
【００２４】
ノズル２５は主要洗浄面２１Ａを洗浄する。移動装置３３は、ノズル２５を主要洗浄面２１Ａに対向させて、洗浄対象箇所に噴流９を次々に衝突させる。噴流９は洗浄対象箇所に衝突して、洗浄対象箇所に付着した異物やバリを除去する（Ｓ２）。
【００２５】
ジグ回転装置１１は、閉塞板１３を回転軸５と平行になるように位置決めする。図４に示すように、移動装置３３は、ノズル２５を対象物２１と閉塞板１３との間隙に挿入する（Ｓ３）。
なお、移動装置３３は、ノズル２５を対象物２１と閉塞板１３との間隙に挿入する前に、噴口２５Ｂを閉塞板１３から対象物２１に向かう方向に位置決めしても良い。
【００２６】
ノズル２５は、対象物２１のうち、閉塞板１３に対向する面を洗浄する。移動装置３３は、ノズル２５を背面洗浄部位２１Ｂに対向させて、噴流９を背面洗浄部位２１Ｂに衝突させる。噴流９は背面洗浄部位２１Ｂに付着した異物やバリを除去する（Ｓ４）。
長さ５７が間隙長さ５５よりも小さく、長さ５８が挿入長さ５６よりも大きいため、噴口２５Ｂを背面洗浄部位２１Ｂに対向できる。
【００２７】
ポンプ３１は洗浄液の吐出を停止する。ノズル２５は噴流９の生成を停止する。移動装置３３は、ノズル２５を閉塞板１３及び対象物２１から退避させる（Ｓ５）。
【００２８】
ジグ回転装置１１は閉塞板１３を乾燥位相に位置決めする（Ｓ６）。ステップＳ６に先立って、ジグ回転装置１１は閉塞板１３を回転し、対象物２１、閉塞板１３及び支持体１９に付着した洗浄液を振り払っても良い。ステップＳ６に先立って、又はステップＳ６と同時に、エアブローノズル５３から対象物２１に向けて乾燥空気を噴出してもよい。
【００２９】
容器移動装置４５は、減圧容器４３を当接位置に移動させる。図５に示すように、密着面４１が枠体１５に密着して、閉塞板１３は開口部４３Ａを閉塞する。そして減圧容器４３は閉塞板１３と共に密閉容器４７を形成する。封止体１７は密着面４１と枠体１５との隙間を封止する。対象物２１及び支持体１９は密閉容器４７に収容される（Ｓ７）。閉塞板１３に開口が設けられていないため、閉塞板１３と減圧容器４３のみで密閉容器４７を構成できる。
【００３０】
減圧ポンプ４９を駆動する。減圧ポンプ４９は、減圧容器内を減圧する。対象物２１、閉塞板１３及び支持体１９に付着した洗浄液は周囲から蒸発潜熱を奪って蒸発する。対象物２１が乾燥する（Ｓ８）。
【００３１】
気体供給装置５１は気体を密閉容器４７へ送る。密閉容器４７の内部は外気圧と実質的に同一の圧力になる。続いて、容器移動装置４５は減圧容器４３を離間位置に移動させる。減圧容器４３は閉塞板１３から離間する。対象物２１は支持体１９から取り外しできる状態になる（Ｓ９）。
【００３２】
噴流を用いたロボット洗浄機においては、通常、対象物を露出するための開口がジグに配置される。開口を通った洗浄液の噴流が対象物に衝突できるため、対象物のジグに対向する面を洗浄できる。しかし、閉塞板に開口を設けると、閉塞板の開口の両側を容器や蓋で密閉する必要が生ずる。閉塞板の開口の一方に減圧容器を設け、他方に蓋を設け、減圧容器および蓋を閉塞板と密着させて密閉容器４７を形成すると、装置が複雑になる。
そこで洗浄機１０は、閉塞板１３を開口のない平板で構成し、主要洗浄面２１Ａを閉塞板１３と異なる方向に配置し、閉塞板１３と対象物２１との間に間隙を設けた。閉塞板１３に沿って、閉塞板と対象物との間の間隙に、ノズル２５が挿入できるようにした。これらの構成により、開口のない閉塞板１３を用いた場合であっても、噴流９が対象物２１の全面に衝突できる。主要洗浄面２１Ａは閉塞板１３と異なる方向を向くため、ノズル２５は主要洗浄面２１Ａを洗浄しやすい。
洗浄機１０は、洗浄機および乾燥機の機能を併せ持つ。洗浄機１０を用いれば、洗浄機、乾燥機、及び、洗浄機および乾燥機間を移送する移送装置を別途設置する必要がなく、機械の設置面積を削減できる。また、洗浄機１０によれば、洗浄機から乾燥機への搬送時間や洗浄機及び乾燥機のシャッタ開閉時間を削減できる。そして生産リードタイムを短縮できる。
洗浄機１０によれば、閉塞板１３に大きな開口がないため、ジグ１２の剛性が向上する。また、対象物２１の背面側から閉塞板１３の開口を塞ぐ必要がないため、構成が簡略化される。
【００３３】
（第２実施形態）
第２実施形態の洗浄機はジグ１１２を有する。その他の構成は第１実施形態と同様である。
図６は図７のVI-VI線断面図を示す。便宜上、図７及び図８において、対象物２１は二点鎖線で示される。図６〜図８に示すように、第２実施形態のジグ１１２は、閉塞板１１３、立てプレート１１４、支持体１９、枠体１５及び封止体１７を含む。
【００３４】
設置面１１３Ａは山形に形成されている。設置面１１３Ａは互いに接して配置された２つの平面で構成される。
【００３５】
立てプレート１１４は閉塞板１１３に垂直に固定される。立てプレート１１４は平板である。立てプレート１１４に開口１１４Ａが配置される。開口１１４Ａは好ましくは対象物２１のほぼ全面を立てプレート１１４から露出させる。開口１１４Ａは少なくとも立てプレート１１４に対面する洗浄部位２１Ｃを立てプレート１１４から露出させる。支持体１９は立てプレート１１４に配置される。支持体１９は対象物２１を立てプレートに対して支持する。支持ピン１９Ａは立てプレート１１４に垂直に配置される。クランプ１９Ｂは立てプレート１１４に配置される。クランプ１９Ｂは対象物２１を立てプレート１１４に固定する。
【００３６】
対象物２１は主要洗浄面２１Ａが立てプレート１１４に平行になるように支持体１９に支持される。対象物２１が支持体１９に支持されたときに、主要洗浄面２１Ａは閉塞板１１３や立てプレート１１４と異なる方向を向く。主要洗浄面２１Ａは立てプレート１１４の反対面を向いている。このとき、背面洗浄部位２１Ｂは閉塞板１１３に向く。設置面１１３Ａと対象物２１との間に間隙が設けられる。設置面１１３Ａと対象物２１の間には、間隙長さ５５の間隙が設けられている。対象物２１が配置される方向の閉塞板１１３の端面から、対象物２１の設置面までの長さを挿入長さ５６とする。
ここで、間隙長さ５５は長さ５７よりも大きい。挿入長さ５６は長さ５８よりも小さい。ノズル２５は閉塞板１１３、立てプレート１１４及び対象物２１との間に、閉塞板１１３に沿って挿入される。
【００３７】
図８に示すように、枠体１５は、閉塞板１１３に垂直方向（VIII方向）から見て、対象物２１、立てプレート１１４、支持体１９を囲むように配置される。封止体１７は枠体１５に配置される。
【００３８】
設置面１１３Ａは山形であるため、設置面１１３Ａから洗浄液が排出されやすい。閉塞板１１３と減圧容器４３が密閉容器４７を構成したときに、密閉容器４７の内部に残留する洗浄液量が減少しやすい。密閉容器４７の内部に残留する洗浄液量が減少すれば、洗浄液が蒸発する際に閉塞板１１３、減圧容器４３、支持体１９や対象物２１から洗浄液が奪う蒸発潜熱が小さくなる。すると対象物２１の温度が低下しにくくなり、対象物２１が乾燥しやすい。
対象物２１は立てプレート１１４に設置するため、背面洗浄部位２１Ｂにノズル２５が近づきやすい。立てプレート１１４は開口１１４Ａを持つため、ノズル２５は立てプレート１１４の裏面から開口１１４Ａを通して噴流９を洗浄部位２１Ｃに衝突させられる。
【００３９】
（第３実施形態）
図９に示すように、実施形態３の洗浄機２００は、洗浄室２６１、仕切り板２６２、中間シャッタ２６３、乾燥室２６５、ノズル２５、移動装置３３、ターンテーブル２６９、２つのジグ回転装置１１、２つのジグ１１２、減圧容器４３及び容器移動装置４５を持つ。仕切り板２６２は、洗浄室２６１と乾燥室２６５を仕切る。仕切り板２６２は下方に搬送口２６２Ａを持つ。中間シャッタ２６３は搬送口２６２Ａを開閉する。ターンテーブル２６９は、２つのテーブル面２６９Ａを持つ。ジグ回転装置１１及びジグ１１２はテーブル面２６９Ａのそれぞれに配置される。ターンテーブル２６９は、洗浄室２６１及び乾燥室２６５の中間に配置される。ターンテーブル２６９は旋回して、２つのジグ１１２の一方を洗浄室２６１に、他方を乾燥室２６５に割出す。ノズル２５、移動装置３３は洗浄室２６１に配置される。減圧容器４３及び容器移動装置４５は乾燥室２６５に配置される。
【００４０】
図１０に従って、洗浄機２００の動作を次に述べる。洗浄室２６１では、洗浄工程（ステップＳ１〜Ｓ５）が実行される。乾燥室２６５では、乾燥工程（ステップＳ６〜Ｓ９）が実行される。乾燥室２６５では、乾燥工程が完了した後、乾燥室２６５内のジグ１１２から対象物２１が取り出される（Ｓ２１）。乾燥室２６５内のジグ１１２に新しい対象物２１を装着する（Ｓ２２）。ステップＳ１〜Ｓ５は、ステップＳ６〜Ｓ９及びステップＳ２１〜Ｓ２２と並行して実行される。次に、中間シャッタ２６３が搬送口２６２Ａを開く（Ｓ２３）。最後に、ターンテーブル２６９が旋回する（Ｓ２４）。すると、洗浄室２６１内で洗浄された対象物２１が乾燥室２６５に移動し、新たに装着された対象物２１が洗浄室２６１に移動する。洗浄機２００によれば、洗浄工程と乾燥工程とを並行して実行できる。
【００４１】
なお、本発明は前述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であり、特許請求の範囲に記載された技術思想に含まれる技術的事項の全てが本発明の対象となる。前記実施形態は、好適な例を示したものであるが、当業者ならば、本明細書に開示の内容から、各種の代替例、修正例、変形例あるいは改良例を実現することができ、これらは添付の特許請求の範囲に記載された技術的範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００４２】
１３、１１３  閉塞板
１３Ａ、１１３Ａ  設置面
１５  枠体
１７  封止体
１９  支持体
２１  対象物
２１Ａ  主要洗浄面
２１Ｂ  背面洗浄部位
２５  ノズル
３３  移動装置（ノズル移動装置）
４１  密着面
４３  減圧容器
４５  容器移動装置
４９  減圧ポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【手続補正書】
【提出日】令和1年7月17日(2019.7.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主要な洗浄対象部位を含む主要洗浄面を持つ対象物を載せる設置面、および前記設置面を囲うように配置された枠体を持つ閉塞板と、
前記主要洗浄面が前記設置面と異なる方向を向くように前記設置面と間隙を開けて前記対象物を前記閉塞板に支持する支持体と、
ノズル移動装置と、
噴口を有し、第1の回転軸を中心に回転可能に前記ノズル移動装置に配置され、前記閉塞板に沿って前記間隙に挿入できるノズルと、
開口および前記開口の周囲に配置された密着面を有し、当接位置において前記密着面が前記枠体と密着して前記対象物及び前記支持体を収納する減圧容器と、
前記減圧容器を前記当接位置と離間位置に移動させる容器移動装置と、
前記減圧容器と接続する減圧ポンプと、
を備える洗浄機。
【請求項２】
前記閉塞板を支持し、前記第1の回転軸と垂直な第２の回転軸を中心に前記閉塞板を回転するジグ回転装置を備える、
請求項１の洗浄機。
【請求項３】
前記ノズルは前記第１の回転軸に沿って延びる軸体を有し、
前記噴口は前記軸体の先端部に前記軸体と垂直に配置される、
請求項１又は請求項２の洗浄機。
【請求項４】
前記対象物が前記支持体に設置された状態において、前記対象物は前記閉塞板と対向する方向に配置された背面洗浄部位を有し、
前記噴口の方向の長さが前記閉塞板と前記背面洗浄部位との間隙長さよりも小さい、
請求項１〜請求項３のいずれかの洗浄機。
【請求項５】
前記支持体は、前記主要洗浄面が前記第２の回転軸と平行、又は前記主要洗浄面が前記回転軸を含むように、前記対象物を支持する、請求項１〜請求項４のいずれかの洗浄機。
【請求項６】
前記枠体又は前記密着面のいずれか一方に設置され、前記枠体と前記密着面との間を封止する封止体を更に備える、請求項１〜請求項５のいずれかの洗浄機。
【請求項７】
前記閉塞板は前記減圧容器を密閉する、請求項１〜請求項６のいずれかの洗浄機。
【請求項８】
前記支持体は前記設置面に配置される、請求項１〜請求項７のいずれかの洗浄機。
【請求項９】
前記設置面に立てて配置される立てプレートを更に有し、
前記支持体は前記立てプレートに配置される、
請求項１〜請求項７のいずれかの洗浄機。
【請求項１０】
前記設置面は前記対象物に向かって山形に構成された、
請求項１〜請求項９のいずれかの洗浄機。
【請求項１１】
ノズルが液体噴流を生成し、
前記ノズルが前記対象物の主要洗浄面を洗浄し、
前記ノズルが対象物と閉塞板の間隙に、前記閉塞板に沿って挿入されて、前記対象物の閉塞板に対向する部位を洗浄し、
前記閉塞板が回転して乾燥位相に位置決めされ、
前記閉塞板に減圧容器が密着して密閉容器を構成し、
前記密閉容器を減圧して、前記対象物に付着した液体を蒸発させ、
前記減圧容器が前記閉塞板から離間する、
対象物の洗浄および乾燥方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
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