(57)【要約】【課題】膜やその支持体、あるいはシール部に欠陥が生じた場合に二次側に急激に高圧が加えられることが防止される分離膜モジュールを提供する。【解決手段】分離膜モジュール１は、筒状のハウジング２と、ハウジング２の長手方向に配置された管状分離膜３とを有する。最上流側の分離膜モジュール１に対し配管４０から被処理流体が供給され、非透過流体が配管４１を介して下流側の分離膜モジュール１の流入口９に供給され、最下流の分離膜モジュール１の非透過流体が配管４２を介して流出する。各分離膜モジュール１で管状分離膜３を透過した透過流体は、配管３０及び集合配管３３を介して取り出される。各配管３０にそれぞれ透過流体流路３０の流量又は圧力が所定値以上となったときに閉又は開度小となる緊急時作動弁３１が設けられている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングと、
該ハウジング内に配置された管状分離膜と
を有し、
被処理流体が該ハウジング内に供給され、管状分離膜を透過した流体が取り出される分離膜モジュールにおいて、
該分離膜モジュールから透過流体流路に流出する透過流体の圧力又は流量が所定値以上となったときに閉弁するか又は開度が小さくなる緊急時作動弁を備えたことを特徴とする分離膜モジュール。
【請求項２】
請求項１において、前記緊急時作動弁は、前記分離膜モジュールから流出する透過流体の圧力が前記所定値以上となったときに該透過流体流路を遮断する遮断弁であることを特徴とする分離膜モジュール。
【請求項３】
請求項１において、前記緊急時作動弁は定圧弁又は定流量弁であることを特徴とする分離膜モジュール。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項において、複数の分離膜モジュールが直列に接続されており、各分離膜モジュールの透過流体流路にそれぞれ前記緊急時作動弁が設けられていることを特徴とする分離膜モジュール。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか１項において、複数の分離膜モジュールが直列に接続されており、各分離膜モジュールの透過流体流路の透過流体流路が合流した集合透過流体流路が設けられており、
該集合透過流体流路にのみ前記緊急時作動弁が設けられていることを特徴とする分離膜モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は溶液や混合気体等の流体から一部の成分を分離するために用いられる分離膜モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
溶液又は混合気体中の成分を分離するための機器として分離膜モジュールが知られている。この分離膜モジュールに用いる管状分離膜は、管状の多孔質セラミック支持体と、該支持体の外周面に設けられたゼオライト等からなる多孔質の分離膜とを有する。溶液や混合気体等の流体から特定の成分を分離するためには、溶液の流体を分離膜エレメントの一方（外面）に接触させて、もう一方（内面）を減圧することにより、特定の成分を気化させ分離する方法や、溶液を気化させて気体状態で分離膜に接触させて、非接触面側を減圧して特定成分を分離する方法、加圧状態の混合気体を分離膜に接触させて特定の成分を分離する方法などが知られている（特許文献１〜３）。
【０００３】
特許文献３には、分離膜モジュールから流出する透過流体を濾過処理するフィルタを設けることにより、分離膜モジュールで分離膜の破損が生じても、下流側に設置された分離膜モジュールへの破片の流入を防止することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−３９５４６号公報
【特許文献２】特開２０１１−１５２５０７号公報
【特許文献３】特開２０１６−１５５０９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
分離膜がハウジング内に設置された分離膜モジュールにおいて、膜やその支持体に亀裂や折損が生じたり、あるいはシール部が機械的もしくは化学的に劣化が生じると(以下、欠陥とする)、一次側（被処理流体側）から二次側（透過流体側）に被処理流体が急激に流出し、該二次側に連なる配管や機器等の設備に急激に高圧が加えられる。
【０００６】
本発明は、膜やその支持体、あるいはシール部に欠陥が生じた場合に二次側に急激に高圧が加えられることが防止される分離膜モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の分離膜モジュールは、ハウジングと、該ハウジング内に配置された管状分離膜とを有し、被処理流体が該ハウジング内に供給され、管状分離膜を透過した流体が取り出される分離膜モジュールにおいて、該分離膜モジュールから透過流体流路に流出する透過流体の圧力又は流量が所定値以上となったときに閉弁するか又は開度が小さくなる緊急時作動弁を備えたことを特徴とするものである。
【０００８】
本発明の一態様では、前記緊急時作動弁は、前記分離膜モジュールから流出する透過流体の圧力が前記所定値以上となったときに該透過流体流路を遮断する遮断弁である。
【０００９】
本発明の一態様では、前記緊急時作動弁は定圧弁又は定流量弁である。
【００１０】
本発明の一態様では、複数の分離膜モジュールが直列に接続されており、各分離膜モジュールの透過流体流路にそれぞれ前記緊急時作動弁が設けられている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の分離膜モジュールにあっては、透過流体の流路の流量又は圧力が所定値以上となったときに該流路の流量又は圧力を低下させる緊急時作動弁を設けているので、膜やその支持体、あるいはシール部に欠陥が生じても、分離膜モジュールの二次側の設備に急激に高圧が加えられることが防止される。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施の形態に係る分離膜モジュールのハウジング軸心線方向に沿う断面図である。
【図２】図１のII−II線断面図である。
【図３】図１のIII−III線断面図である。
【図４】エンド管及び支持板の拡大断面図である。
【図５】膜分離システムのフロー図である。
【図６】膜分離システムのフロー図である。
【図７】膜分離システムのフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１〜５を参照して、本発明の一実施の形態に係る分離膜モジュールについて説明する。
【００１４】
この分離膜モジュール１は、筒軸心方向を上下方向とした円筒状ハウジング２と、ハウジング２の軸心線と平行方向に配置された複数の管状分離膜３と、ハウジング２内の下部に設けられた支持板５と、ハウジング２の下端に取り付けられたボトムカバー６Ａ及び上端に取り付けられたトップカバー６Ｂと、支持板５と平行にハウジング２内の下部及び上部にそれぞれ配置された第１のバッフル（整流板）７及び第２のバッフル（整流板）８等を有する。第１のバッフル７は支持板５の上側に配置されている。
【００１５】
この実施の形態では、ハウジング２の下端及び上端側とボトムカバー６Ａ及びトップカバー６Ｂの外周縁にそれぞれ外向きのフランジ２ａ，２ｂ，６ｂ，６ｃが設けられ、ボルト（図示略）によってこれらが固定されている。支持板５の周縁部は、ハウジング２の内周面に周設された支持座２ｔに支持されている。支持板５の下面外周部と支持座２ｔの上面との間にシール部材が介在されている。
【００１６】
この実施の形態では、管状分離膜３の下端にエンド管４が連結され、管状分離膜３の上端にエンドプラグ２０が連結されている。なお、図２〜３では、管状分離膜は７本のみ示されているが、後述のとおり、管状分離膜の数は適宜設定できる。また、２本以上の管状分離膜３がジョイント管（図示略）によって連結された管状分離膜連結体とされていてもよい。
【００１７】
ハウジング２の下部の外周面に被処理流体の流入口９が設けられ、上部の外周面に非透過流体の流出口１０が設けられている。流入口９は、支持板５と第１のバッフル７との間の室１１に臨むように設けられている。流出口１０は、第２のバッフル８の上側の室１２に臨むように設けられている。バッフル７，８間は膜分離を行うための主室１３となっている。
【００１８】
底部の支持板５から複数のロッド１４が立設され、該ロッド１４にバッフル７，８が支持されている。ロッド１４の下端には雄ねじが刻設されており、支持板５の雌ねじ穴に螺着されている。バッフル７，８はロッド１４に外嵌された鞘管１４Ａ，１４Ｂ（図４）によって所定高さに支持されている。鞘管１４Ａは、支持板５とバッフル７との間に配置されている。鞘管１４Ｂは、バッフル７，８間に配置されている。バッフル８は、鞘管１４Ｂの上端面に載設され、ロッド１４の上端に螺着されたナットによって固定されている。バッフルの数はこの実施の形態に限定されるものではなく、３枚以上のバッフルを使用してもよい。
【００１９】
バッフル７，８の外周面とハウジング２の内周面との間には、Ｏリング、Ｖパッキン、Ｃリングなどのシール部材を介在させてもよい。
【００２０】
各バッフル７，８には、管状分離膜３を挿通させるための円形の挿通孔７ａ，８ａが設けられており、管状分離膜３、エンド管４及びエンドプラグ２０の連結体が各挿通孔７ａ，８ａに挿通されている。挿通孔７ａ，８ａの口径は、管状分離膜３、エンド管４及びエンドプラグ２０の直径（外径）よりも大きく、挿通孔７ａ，８ａの内周面と、エンド管４及びエンドプラグ２０の外周面との間に全周にわたって間隙があいている。
【００２１】
支持板５の上面側には、管状分離膜３に連結されたエンド管４の下端が差し込まれた差込穴５ａが設けられている。差込穴５ａは、円柱形であり、支持板５の上面から厚み方向の途中まで延在している。差込穴５ａの穴底は、小孔５ｂと大孔５ｃとを介して支持板５の下側の流出室１６に臨んでいる。
【００２２】
各エンド管４の管孔４ａは、小孔５ｂ及び大孔５ｃを介して、ボトムカバー６Ａと支持板５との間の流出室１６に連通している。ボトムカバー６Ａには、分離された透過流体の取出口６ａが設けられている。
【００２３】
図示は省略するが、エンド管４の下端近傍の外周面に溝が周設され、フッ素ゴム、フッ素樹脂などよりなるＯリングが装着されている。また、エンド管４の下端面にもエンド管４の管孔４ａと同心状の溝が周設され、Ｏリングが装着されている。これらのＯリングが差込穴の内周面と差込穴５ａの穴底面に密着することによりエンド管４の外面と差込穴５ａとの間のシールが行われる。なお、エンド管４の外周面のＯリングと下端面のＯリングとは、いずれか一方のみが設けられてもよい。
【００２４】
図４の通り、エンド管４の上端部は小径部４ｇとなっており、管状分離膜３の下部に差し込まれている。この小径部４ｇの外周面に周設された溝にＯリングが装着されている。また、管状分離膜３の下端面とエンド管４の段差面との間にもＯリングが介在されている。エンド管４と管状分離膜３の接続部は、上記のようなＯリングを使用せず、熱収縮チューブを用いることでシールしてもよいし、Ｏリングを使用した上にさらに熱収縮チューブを用いてもよい。
【００２５】
管状分離膜３の上端にエンドプラグ２０が連結されている。エンドプラグ２０は円柱状またはこれの一部を削った形状であり、管状分離膜３の上端を封止している。エンドプラグ２０の下端には、管状分離膜３内に差し込まれた小径部が設けられている。エンドプラグ２０と管状分離膜３との間はＯリングによってシールされている。また、エンドプラグ２０と管状分離膜３は、Ｏリングを使用せず、熱収縮チューブを用いることでシールしてもよいし、Ｏリングを使用した上にさらに熱収縮チューブを用いてもよい。
【００２６】
なお、エンドプラグ２０の重量軽減を図るために、エンドプラグ２０の上端面から凹所２０ｖが凹設されている。凹所２０ｖの底部とエンドプラグ２０の側周面とを連通するドレン抜き孔を設けてもよい。
【００２７】
この実施の形態では、管状分離膜３の上端側にエンドプラグ２０を配置しているので、管状分離膜３、エンドプラグ２０、及びエンド管４に対し、それらの端面同士が押し付けられる方向に荷重がかかっている。
【００２８】
ただし、本発明では、エンド管４及び支持板５を管状分離膜３の上端側に配置し、エンドプラグ２０を管状分離膜３の下端側に配置してもよい。この場合、エンドプラグ２０を上方に付勢するためのスプリング等の付勢部材を設けることにより、管状分離膜３、エンドプラグ２０、及びエンド管４に対し、それらの端面同士が押し付けられる方向に荷重を加えることが好ましい。
【００２９】
この分離膜モジュール１において、被処理流体は流入口９からハウジング２の室１１内に導入され、バッフル７の挿通孔７ａの内周面とエンド管４の外周面との間の間隙を通って主室１３に流入し、主室１３を通った後、バッフル８の挿通孔８ａとエンドプラグ２０との間隙を通って室１２に流出する。主室１３を流れる間に被処理流体の一部の成分が管状分離膜３を透過して管状分離膜３内から流出室１６及び取出口６ａを介して取り出される。透過しなかった流体は、流出口１０から分離膜モジュール１外に流出する。
【００３０】
主室１３内の流れと管状分離膜３内の流れは並流であっても、向流であっても差し支えなく、被処理流体の流入口９と流出口１０とは入れ替えても差し支えない。
【００３１】
分離膜モジュール１は、図１のようにトップカバー６Ｂ側を上にして使用してもよく、またボトムカバー６Ａ側を上にして使用しても差し支えない。また、ボトムカバー６Ａとトップカバー６Ｂを結ぶ方向が略水平方向となるように、分離膜モジュール１を横置きに設置して使用しても差し支えない。
【００３２】
この実施の形態では、管状分離膜３を平行に多数本配列設置しており、膜面積が大きいので、効率良く膜分離が行われる。
【００３３】
この実施の形態では、管状分離膜３の上下両端に連結されたエンド管４とエンドプラグ２０がそれぞれバッフル７，８の挿通孔７ａ，８ａに差し込まれている。そのため、管状分離膜３が振動ないし揺動してエンド管４及びエンドプラグ２０が挿通孔７ａ，８ａの内周面に当接してもゼオライト膜が損傷することがなく、長期にわたって安定して運転を行うことができる。
【００３４】
この分離膜モジュール１において、１本又は複数本の管状分離膜３に損傷が生じた場合、ハウジング２内への被処理流体の流入を停止させた後、ボトムカバー６Ａをハウジング２から取り外す。そして、管状分離膜３が差し込まれた差込穴５ａに連なる大孔５ｃに対して閉塞部材を装着するのが好ましい。
【００３５】
この実施の形態では、分離膜モジュール１の透過流体の取出口６ａに連なる配管（透過流体流路）３０に緊急時作動弁３１が設けられている。この緊急時作動弁は、該配管を流れる透過流体の圧力又は流量が所定値以上となったときに閉弁するか又は弁開度が小さくなるものとである。
【００３６】
この緊急時作動弁３１としては、圧力センサの検出圧力が所定値以上となったときに閉弁するものであってもよく、流量又は圧力を所定流量又は圧力以下とする定流量弁又は定圧弁などであってもよい。
【００３７】
この分離膜モジュール１を直列に接続した構成の一例を図５に示す。
【００３８】
図５では、各分離膜モジュール１の透過流体の取出配管３０に緊急時作動弁３１が設けられている。
【００３９】
第１段目の分離膜モジュール１の緊急時作動弁３１の流出側、および第２段目の分離膜モジュール２の緊急時作動弁３１は透過流体の集合配管３３に接続されている。
【００４０】
最上流側の分離膜モジュール１に対し配管４０から被処理流体が供給され、非透過流体が順次に配管４１を介在して下流側の分離膜モジュール１の流入口９に供給され、最下流の分離膜モジュール１の非透過流体が配管４２を介して流出する。各分離膜モジュール１で管状分離膜３を透過した透過流体は、配管３０及び集合配管３３を介して取り出される。
【００４１】
分離膜モジュール１のいずれか１又は２以上において、膜やその支持体、あるいはシール部に欠陥が生じた場合、当該分離膜モジュール１に設けられた緊急時作動弁３１が閉弁するか又は開度小となるので、該透過流体配管３０よりも下流側の機器に損傷が生じることが防止される。
【００４２】
図５では、各分離膜モジュール１にそれぞれ緊急時作動弁３１が設けられているが、図６のように、集合配管３３にのみ緊急時作動弁３１が設けられてもよい。
【００４３】
前述の通り、緊急時作動弁３１は圧力センサの検出圧力に基づいて制御されるものであってもよい。図７はその一例を示すものであって、圧力センサ５１の検出圧力が所定圧力以上になると閉弁する遮断弁５０を緊急時作動弁として設置している。
【００４４】
図７では、圧力センサ５１を遮断弁５０の上流側に設けている。このように配置することで、圧力異常を早く検出ができる、あるいは、遮断弁５０において使用圧力を区分できるなどの利点があるが、圧力センサ５１を遮断弁５０の前段側に設けてもよい。
【００４５】
なお、圧力センサ５１の検出圧力が所定値以上となったときに警報（アラーム）を発生する警報器をさらに設置してもよい。
【００４６】
本発明では緊急時作動弁は前述の通り定流量弁又は定圧弁であってもよい。この場合、定流量弁又は定圧弁の上流側及び下流側の一方に、手動式の遮断弁を設けてもよい。定流量弁又は定圧弁によって透過流体の流量又は圧力が制御されている間に作業者が遮断弁を閉鎖することにより、当該透過流体流量が遮断される。この構成は、定流量弁又は定圧弁及び手動式遮断弁が安価であるので、低コストである。
【００４７】
図５〜７では、分離膜モジュール１の直列接続体が１系列のみ設置されているが、かかる直列接続体を複数列並列に設置してもよい。
【００４８】
以下、本発明の分離膜モジュールを構成する各部材の好適な材料等について説明する。
【００４９】
エンド管４及びエンドプラグ２０の材料としては金属、セラミックス、樹脂など、流体を透過させないものが例示されるが、これに限定されない。バッフル７，８及びジョイント管の材質は、通常、ステンレスなどの金属材料であるが、分離条件における耐熱性と供給、透過成分に対する耐性があれば特に限定されず、用途によっては、樹脂材料など他の材質に変更可能である。
【００５０】
管状分離膜３は、好ましくは、管状の多孔質支持体と、該多孔質支持体の外周面に形成された無機分離膜としてのゼオライト膜とを有する。この管状の多孔質支持体の材質としては、シリカ、α−アルミナ、γ−アルミナ、ムライト、ジルコニア、チタニア、イットリア、窒化珪素、炭化珪素などを含むセラミックス焼結体や金属焼結体の無機多孔質支持体が挙げられる。その中でもアルミナ、シリカ、ムライトのうち少なくとも１種を含む無機多孔質支持体が好ましい。多孔質支持体表面が有する平均細孔径は特に制限されるものではないが、細孔径が制御されているものが好ましく、通常０．０２μｍ以上、好ましくは０．０５μｍ以上、さらに好ましくは０．１μｍ以上であり、通常２０μｍ以下、好ましくは１０μｍ以下、さらに好ましくは５μｍ以下の範囲が好ましい。
【００５１】
多孔質支持体の表面においてゼオライトを結晶化させゼオライト膜を形成させる。
ゼオライト膜を構成する主たるゼオライトは、通常、酸素６−１０員環構造を有するゼオライトを含み、好ましくは酸素６−８員環構造を有するゼオライトを含む。
【００５２】
ここでいう酸素ｎ員環を有するゼオライトのｎの値は、ゼオライト骨格を形成する酸素とＴ元素で構成される細孔の中で最も酸素の数が大きいものを示す。例えば、ＭＯＲ型ゼオライトのように酸素１２員環と８員環の細孔が存在する場合は、酸素１２員環のゼオライトとみなす。
【００５３】
酸素６−１０員環構造を有するゼオライトの一例を挙げれば、ＡＥＩ、ＡＥＬ、ＡＦＧ、ＡＮＡ、ＢＲＥ、ＣＡＳ、ＣＤＯ、ＣＨＡ、ＤＡＣ、ＤＤＲ、ＤＯＨ、ＥＡＢ、ＥＰＩ、ＥＳＶ、ＥＵＯ、ＦＡＲ、ＦＲＡ、ＦＥＲ、ＧＩＳ、ＧＩＵ、ＧＯＯ、ＨＥＵ、ＩＭＦ、ＩＴＥ、ＩＴＨ、ＫＦＩ、ＬＥＶ、ＬＩＯ、ＬＯＳ、ＬＴＮ、ＭＡＲ、ＭＥＰ、ＭＥＲ、ＭＥＬ、ＭＦＩ、ＭＦＳ、ＭＯＮ、ＭＳＯ、ＭＴＦ、ＭＴＮ、ＭＴＴ、ＭＷＷ、ＮＡＴ、ＮＥＳ、ＮＯＮ、ＰＡＵ、ＰＨＩ、ＲＨＯ、ＲＲＯ、ＲＴＥ、ＲＴＨ、ＲＵＴ、ＳＧＴ、ＳＯＤ、ＳＴＦ、ＳＴＩ、ＳＴＴ、ＴＥＲ、ＴＯＬ、ＴＯＮ、ＴＳＣ、ＴＵＮ、ＵＦＩ、ＶＮＩ、ＶＳＶ、ＷＥＩ、ＹＵＧ等がある。
【００５４】
ゼオライト膜は、ゼオライトが単独で膜となったものでも、前記ゼオライトの粉末をポリマーなどのバインダー中に分散させて膜の形状にしたものでも、各種支持体上にゼオライトを膜状に固着させたゼオライト膜複合体でもよい。ゼオライト膜は、一部アモルファス成分などが含有されていてもよい。
【００５５】
ゼオライト膜の厚さとしては、特に制限されるものではないが、通常、０．１μｍ以上であり、好ましくは０．６μｍ以上、さらに好ましくは１．０μｍ以上である。また通常１００μｍ以下であり、好ましくは６０μｍ以下、さらに好ましくは２０μｍ以下、より好ましくは１２μｍ以下、特に好ましくは１０μｍ以下の範囲である。
【００５６】
ただし、本発明はゼオライト膜以外の分離膜を有した管状分離膜を用いてもよい。
【００５７】
管状分離膜３の外径は、好ましくは３ｍｍ以上、より好ましくは６ｍｍ以上、さらに好ましくは１０ｍｍ以上、好ましくは２０ｍｍ以下、より好ましくは１８ｍｍ以下、さらに好ましくは１６ｍｍ以下、特に好ましくは１４ｍｍ以下である。外径が小さすぎると管状分離膜の強度が十分でなく壊れやすくなることがあり、大きすぎるとモジュール当りの膜面積が低下する。
【００５８】
管状分離膜３のうちゼオライト膜で覆われた部分の長さは好ましくは２０ｃｍ以上、好ましくは２００ｃｍ以下である。
【００５９】
本発明の分離膜モジュールにおいて、管状分離膜は、単管式でも多管式でもよく、通常１〜５０００本、特に６〜４０００本配置され、管状分離膜同士の最短距離は、２ｍｍ〜１０ｍｍとなるように配置されることが好ましい。ハウジングの大きさ、管状分離膜の本数は処理する流体量によって適宜変更されるものである。
【００６０】
本発明の分離膜モジュールにおいて、分離または濃縮の対象となる被処理流体としては、分離膜によって分離または濃縮が可能な複数の成分からなる気体または液体の混合物であれば特に制限はなく、如何なる混合物であってもよいが、気体の混合物に使用することが好ましい。
【００６１】
液体の分離または濃縮にはパーベーパレーション法（浸透気化法）、ベーパーパーミエーション法（蒸気透過法）と呼ばれる分離または濃縮方法を用いることができる。パーベーパレーション法は、液体の混合物をそのまま分離膜に導入する分離または濃縮方法であるため、分離または濃縮を含むプロセスを簡便なものにすることができる。
【００６２】
本発明において、分離または濃縮の対象となる混合物が、複数の成分からなる気体の混合物である場合、気体の混合物としては、例えば、二酸化炭素、酸素、窒素、水素、メタン、エタン、エチレン、プロパン、プロピレン、ノルマルブタン、イソブタン、１−ブテン、２-ブテン、イソブテン、トルエンなどの芳香族系化合物、六フッ化硫黄、ヘリウム、一酸化炭素、一酸化窒素、水などから選ばれる少なくとも１種の成分を含むものが挙げられる。これらの気体成分からなる混合物のうち、パーミエンスの高い気体成分は、分離膜を透過し分離され、パーミエンスの低い気体成分は供給ガス側に濃縮される。
【符号の説明】
【００６３】
１  分離膜モジュール
２  ハウジング
３  管状分離膜
４  エンド管
５  支持板
６Ａ  ボトムカバー
６Ｂ  トップカバー
６ａ  取出口
７，８  バッフル
７ａ，８ａ  挿通孔
９  流入口
１０  流出口
１１，１２  室
１３  主室
１４  ロッド
１６  流出室
２０  エンドプラグ
３０  配管（透過流体流量）
３１  緊急時作動弁
３３  集合配管
５０  遮断弁
５１  圧力センサ
【図１】
2020081920.tif 000003
【図２】
2020081920.tif 000004
【図３】
2020081920.tif 000005
【図４】
2020081920.tif 000006
【図５】
2020081920.tif 000007
【図６】
2020081920.tif 000008
【図７】
2020081920.tif 000009