(57)【要約】【課題】比較的に簡素な構造で、設備長を短くすることができ、洗浄力を高めることができる超音波洗浄装置を提供する。【解決手段】シート状のワークＷを洗浄する超音波洗浄装置１０は、ワークＷを挟むバックローラ３１、３５と回転ブラシ３２、３６とを有し、バックローラ３１、３５と回転ブラシ３２、３６とに接するワークＷ上の接触位置Ｐ１、Ｐ２と、バックローラ３１、３５の回転中心Ｃ１、Ｃ２とをそれぞれ結んだ延長線Ｌ１、Ｌ２上に超音波振動子３３、３７がそれぞれ配置されていることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状のワークを洗浄する超音波洗浄装置であって、
前記ワークを挟む搬送ローラとブラシとを有し、
前記搬送ローラと前記ブラシとに接する前記ワーク上の接触位置と、前記搬送ローラの回転中心とを結んだ延長線上に超音波振動子が配置されていることを特徴とする超音波洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート状のワークを洗浄する超音波洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の超音波洗浄装置として、シート状のワークを挟む搬送ローラとブラシと、ワーク、搬送ローラおよびブラシを浸漬する洗浄液と、洗浄液を収容する洗浄液槽と、洗浄液に超音波振動を付与する超音波振動子とを備えたものが開示されている（特許文献１参照）。
【０００３】
また、図６に示す従来の超音波洗浄装置は、ワークＷ上の残留物をバックアップローラ１ａおよびブラシ１ｂにより除去する残留物除去部１と、ワークＷに超音波振動を付与する超音波振動付与部２と、ワークＷを洗浄するワーク洗浄部３とを備えている。図６に示す装置は、ワーク上の残留物を除去する残留物除去部と、ワークに超音波振動を付与する超音波振動付与部が別々に構成されており、残留物除去部によりワーク上の残留物が除去された後、ワークが超音波振動付与部に搬送され、ワーク上の残留物が超音波振動によりさらに除去されていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−５５７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の超音波洗浄装置は、洗浄液槽の洗浄液中にワークを没入させて回転ブラシで洗浄する構成を有しているため、構造が複雑であり、また、ワーク表面の凹凸に入り込んだ汚れとワーク表面の汚れとを洗浄する性能に改善の余地があった。
【０００６】
図６に示す従来の超音波洗浄装置は、矢印に示すワークＷの搬送方向に、順に、残留物除去部１、超音波振動付与部２およびワーク洗浄部３が直列に設けられているので、設備長が比較的に長くなるという問題があった。また、超音波洗浄装置においては、ワークＷの洗浄力を高めることが求められる。
【０００７】
本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、比較的に簡素な構造で、設備長を短くすることができ、洗浄力を高めることができる超音波洗浄装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る超音波洗浄装置は、シート状のワークを洗浄する超音波洗浄装置であって、前記ワークを挟む搬送ローラとブラシとを有し、前記搬送ローラと前記ブラシとに接する前記ワーク上の接触位置と、前記搬送ローラの回転中心とを結んだ延長線上に超音波振動子が配置されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る超音波洗浄装置においては、搬送ローラとブラシとに接するワーク上の接触位置と、搬送ローラの回転中心とを結んだ延長線上に超音波振動子が配置されているので、構造が比較的に簡素化される。
【００１０】
本発明に係る超音波洗浄装置は、搬送ローラとブラシとに接するワーク上の接触位置と、搬送ローラの回転中心とを結んだ延長線上に超音波振動子が配置されているので、残留物除去部と超音波振動付与部とが一体化された単一の構成とされ、ワークに対してブラシおよび超音波振動付与の両者により残留物が除去される。また、搬送ローラおよびブラシに対しても超音波振動が付与されるので、ワーク上の残留物が効果的に除去され洗浄力が高められる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、比較的に簡素な構造で、設備長を短くすることができ、洗浄力を高めることができる超音波洗浄装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態に係る超音波洗浄装置の概略構成図。
【図２】本発明の実施形態に係る超音波洗浄装置の残留物除去部の構成図。
【図３】本発明の実施形態に係る超音波洗浄装置におけるワークの部分断面を示す模式図。
【図４】本発明の実施形態の変形例に係る超音波洗浄装置の概略構成図。
【図５】本発明の実施形態の他の変形例に係る超音波洗浄装置の概略構成図。
【図６】従来の超音波洗浄装置の概略構成図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明に係る超音波洗浄装置を適用した実施形態に係る超音波洗浄装置１０について図面を参照して説明する。
【００１４】
本実施形態に係る超音波洗浄装置１０は、図１に示すように、残留物除去部１１と、ワーク洗浄部１２と、図示しないコントローラとにより構成されている。超音波洗浄装置１０は、被洗浄物としてのワークＷに付着した残留物を除去して洗浄する構成を有している。
【００１５】
残留物除去部１１は、矢印ａで示すワークＷの搬送方向で、ワーク洗浄部１２よりも上流側に配置されており、ワークＷを搬送しながらワークＷに付着した残留物を除去する構成を有している。残留物除去部１１は、第１除去部２１と、第２除去部２２とを備えている。なお、搬送方向における上流側または下流側を、単に上流側または下流側という。
【００１６】
第１除去部２１は、第２除去部２２よりも上流側に位置し、バックローラ３１と、回転ブラシ３２と、超音波振動子３３とを有している。なお、本実施形態に係る超音波洗浄装置１０のバックローラ３１は、本発明に係る超音波洗浄装置の搬送ローラに対応し、回転ブラシ３２は、ブラシに対応する。
【００１７】
バックローラ３１は、金属材料からなる円柱で形成されており、図示しない軸受に回転自在に支持されている。バックローラ３１は、その軸線がワークＷの搬送方向に直交する方向、即ち、ワークＷの幅方向に並行するように配置されている。
【００１８】
バックローラ３１は、ワークＷの上方側でワークＷの一方面である上面に接触しワークＷを支持するとともに、軸線を中心として時計回りに回転することでワークＷを搬送する構成を有している。バックローラ３１は、コントローラに接続されておりコントローラにより動作が制御される。
【００１９】
回転ブラシ３２は、高い耐摩耗性を有する合成樹脂または金属からなり、軸線を中心として放射状に延びる複数のブラシを有している。回転ブラシ３２は、図示しない軸受に回転自在に支持されている。回転ブラシ３２は、バックローラ３１と同様、その軸線がワークＷの搬送方向に直交する方向、即ち、ワークＷの幅方向に並行するように配置されている。
【００２０】
回転ブラシ３２は、ワークＷの下方側でワークＷの他方面である下面に接触するとともに、軸線を中心として時計回りに回転することでワークＷの下面に付着した残留物を除去する構成を有している。回転ブラシ３２は、コントローラに接続されておりコントローラにより動作が制御される。
【００２１】
超音波振動子３３は、バックローラ３１に超音波振動を付与する公知のデバイスからなる。超音波振動子３３としては、例えば、通電により超音波振動子３３に機械的な共振を生じさせて超音波振動を発生させる圧電セラミックスなどのデバイスが挙げられる。超音波振動子３３は、コントローラに接続されておりコントローラにより動作が制御される。
【００２２】
超音波振動子３３は、バックローラ３１と同様、長手方向がワークＷの搬送方向に直交する方向、即ち、ワークＷの幅方向に並行するように配置されており、バックローラ３１の全体に超音波振動が伝達されるように構成されている。超音波振動子３３の超音波振動は、バックローラ３１に伝達され、バックローラ３１に接触しているワークＷに伝達される。
【００２３】
また、超音波振動子３３は、図１および図２に示すように、バックローラ３１と回転ブラシ３２とに接するワークＷ上の接触位置Ｐ１と、バックローラ３１の回転中心Ｃ１とを結んだ延長線Ｌ１の線上に中心部が位置するように、バックローラ３１の上方に配置されている。
【００２４】
第２除去部２２は、第１除去部２１の下流側に位置し、第１除去部２１と同様、バックローラ３５と、回転ブラシ３６と、超音波振動子３７とを有している。なお、本実施形態に係る超音波洗浄装置１０のバックローラ３５は、本発明に係る超音波洗浄装置の搬送ローラに対応し、回転ブラシ３６は、ブラシに対応する。
【００２５】
バックローラ３５は、バックローラ３１と同様、金属材料からなる円柱で形成されており、図示しない軸受に回転自在に支持されている。バックローラ３５は、その軸線がワークＷの搬送方向に直交する方向、即ち、ワークＷの幅方向に並行するように配置されている。
【００２６】
バックローラ３５は、ワークＷの下方側でワークＷの下面に接触しワークＷを支持するとともに、軸線を中心として反時計回りに回転することでワークＷを搬送する構成を有している。バックローラ３５は、コントローラに接続されておりコントローラにより動作が制御される。
【００２７】
回転ブラシ３６は、回転ブラシ３２と同様、高い耐摩耗性を有する合成樹脂または金属からなり、軸線を中心として放射状に延びる複数のブラシを有している。回転ブラシ３６は、図示しない軸受に回転自在に支持されている。回転ブラシ３６は、バックローラ３５と同様、その軸線がワークＷの搬送方向に直交する方向、即ち、ワークＷの幅方向に並行するように配置されている。
【００２８】
回転ブラシ３６は、ワークＷの上方側でワークＷの上面に接触するとともに、軸線を中心として反時計回りに回転することでワークＷの上面に付着した残留物を除去するように構成されている。回転ブラシ３６は、コントローラに接続されておりコントローラにより動作が制御される。
【００２９】
超音波振動子３７は、超音波振動子３３と同様、バックローラ３５に超音波振動を付与する公知のデバイスからなり、通電により超音波振動子３７に機械的な共振を生じさせて超音波振動を発生させる圧電セラミックスなどのデバイスで構成されている。超音波振動子３７は、コントローラに接続されておりコントローラにより動作が制御される。
【００３０】
超音波振動子３７は、バックローラ３５と同様、長手方向がワークＷの搬送方向に直交する方向、即ち、ワークＷの幅方向に並行するように配置されており、バックローラ３５の全体に超音波振動が伝達されるように構成されている。
【００３１】
超音波振動子３７の超音波振動は、バックローラ３５に伝達され、バックローラ３５に接触しているワークＷに伝達される。
【００３２】
また、超音波振動子３７は、超音波振動子３３と同様、バックローラ３５と回転ブラシ３６とに接するワークＷ上の接触位置Ｐ２と、バックローラ３５の回転中心Ｃ２とを結んだ延長線Ｌ２の線上に中心部が位置するように、バックローラ３５の下方に配置されている。
【００３３】
ワーク洗浄部１２は、ワークＷの上方側でワークＷの上面に向けて洗浄液を吐出させるリンスノズル４１、４２と、ワークＷの下方側でワークＷの下面に向けて洗浄液を吐出させるリンスノズル４３、４４とを有している。リンスノズル４１、４３は上流側に配置され、リンスノズル４２、４４は下流側に配置されている。
【００３４】
ワーク洗浄部１２は、残留物除去部１１の下流側で、残留物除去部１１から搬送されるワークＷの上面および下面を洗浄液で洗浄するように構成されている。ワーク洗浄部１２は、コントローラに接続されておりコントローラにより動作が制御される。
【００３５】
リンスノズル４１、４２、４３、４４からそれぞれ吐出される洗浄液としては、例えば純水が挙げられる。純水でワークＷを洗浄する前、即ち、ワークＷをリンスする前に、所定の濃度（ｗｔ％）のアルカリ水溶液や水道水などの洗浄液で前処理を行ってもよい。なお、上流側のリンスノズル４１、４３により前処理を行い、下流側のリンスノズル４２、４４で純水によるリンスを行うようにしてもよい。
【００３６】
洗浄液の温度（℃）および処理時間（ｍｉｎ）や、各リンスノズルから吐出される洗浄液の吐出量（ｌ／ｍｉｎ）は、ワークＷの材質、厚み、大きさなどの設定諸元や実験値などのデータに基づいて適宜選択される。なお、ワーク洗浄部１２でリンスされたワークＷは、乾燥などの次工程へ搬送される。
【００３７】
コントローラは、プログラムにより処理を実行する中央処理装置と、プログラムやデータなどを記憶した記憶装置とを備えるマイクロコンピュータによって構成されている。コントローラは、残留物除去部１１およびワーク洗浄部１２の各構成要素の動作を制御する構成を有している。
【００３８】
被洗浄物としてのワークＷは、シート状の金属材料で形成されており、所定の幅および厚みを有している。ワークＷは、例えば、燃料電池のセパレータの基材として用いられる。金属材料としては、例えば、チタン（Ｔｉ）が挙げられる。
【００３９】
ワークＷは、例えば、チタンを基材としており、ワーク表面には、炭素の微粒子からなり酸化に対して安定性のあるカーボンブラック（Carbon Black）の表面処理が施され、高い導電性と導電耐食性を有している。なお、図３に示すようなワークＷのワーク表面の余剰なカーボンブラックＣＢや、ワーク表面にできた凹み、いわゆるオイルピットＯＰに入り込んだカーボンブラックＣＢは、本実施形態に係る超音波洗浄装置１０により、除去され洗浄される。
【００４０】
以上のように構成された実施形態に係る超音波洗浄装置１０の動作について簡単に説明する。
【００４１】
まず、ワークＷが超音波洗浄装置１０にセットされる。ワークＷのセットは、残留物除去部１１を構成する第１除去部２１のバックローラ３１と回転ブラシ３２との間に通され、第２除去部２２のバックローラ３５と回転ブラシ３６との間に通され、ワーク洗浄部１２のリンスノズル４１と、リンスノズル４３との間およびリンスノズル４２と、リンスノズル４４との間に通されることにより行われる。
【００４２】
次いで、コントローラの制御により、第１除去部２１のバックローラ３１と回転ブラシ３２が回転され、超音波振動子３３が動作して超音波振動がバックローラ３１に伝達され、さらにワークＷおよび回転ブラシ３２に伝達されワークＷが超音波振動する。ワークＷの超音波振動および回転ブラシ３２の回転により、ワークＷの下面の余剰なカーボンブラックＣＢおよびオイルピットＯＰに入り込んだカーボンブラックＣＢが除去される。
【００４３】
さらに、コントローラの制御により、第２除去部２２のバックローラ３５と回転ブラシ３６が、バックローラ３１および回転ブラシ３２の回転と同時に回転され、超音波振動子３７が動作して超音波振動がバックローラ３５に伝達され、さらにワークＷおよび回転ブラシ３６に伝達されワークＷが超音波振動する。
【００４４】
ワークＷの超音波振動および回転ブラシ３６の回転により、第１除去部２１と同様に、ワークＷの上面の余剰なカーボンブラックＣＢおよびオイルピットＯＰに入り込んだカーボンブラックＣＢが除去される。
【００４５】
第２除去部２２を通過して残留物が除去されたワークＷは、ワーク洗浄部１２のリンスノズル４１、４２、４３、４４からそれぞれ吐出される洗浄液により上面および下面が洗浄される。ワーク洗浄部１２により洗浄されたワークＷは、乾燥などの次工程に搬送される。
【００４６】
以上のように構成された実施形態に係る超音波洗浄装置１０の効果について説明する。
【００４７】
本実施形態に係る超音波洗浄装置１０においては、図２に示すように、第１除去部２１のバックローラ３１と回転ブラシ３２とに接するワークＷ上の接触位置Ｐ１と、バックローラ３１の回転中心Ｃ１とを結んだ延長線Ｌ１上に超音波振動子３３が配置されているので、第１除去部２１の構造が比較的に簡素化されるという効果が得られる。
【００４８】
また、第２除去部２２も、第１除去部２１と同様、バックローラ３５と回転ブラシ３６とに接するワークＷ上の接触位置Ｐ２と、バックローラ３５の回転中心Ｃ２とを結んだ延長線Ｌ２上に超音波振動子３７が配置されているので、第２除去部２２の構造が比較的に簡素化されるという効果が得られる。第１除去部２１および第２除去部２２で構成される残留物除去部１１の構造が比較的に簡素化されるという効果が得られる。
【００４９】
なお、従来の超音波洗浄装置は、図６に示すように、ワークＷ上の残留物を除去する残留物除去部１と、ワークＷに超音波振動を付与する超音波振動付与部２が上流と下流に分れて直列に配置されていた。従来の超音波洗浄装置は、残留物除去部１によりワークＷ上の残留物がある程度除去された後、ワークＷが超音波振動付与部２に搬送され、ワークＷ上の残留物が超音波振動によりさらに除去されており、設備長が比較的に長いという問題があった。
【００５０】
これに対して、本実施形態に係る超音波洗浄装置１０は、前述のように残留物除去部１１の構造が比較的に簡素化されるので、従来の設備長の問題が解消されるという効果が得られる。
【００５１】
また、本実施形態に係る超音波洗浄装置１０においては、図２に示すように、第１除去部２１の超音波振動子３３による超音波振動がバックローラ３１に伝達され、さらにワークＷおよび回転ブラシ３２に伝達されワークＷが超音波振動する。ワークＷの超音波振動および回転ブラシ３２の回転により、図３に示すようなワークＷのワーク表面の余剰なカーボンブラックＣＢが除去される。
【００５２】
また、金属製のバックローラ３１の共振によりワークＷとバックローラ３１とが細かく衝突し、その衝撃でオイルピットＯＰに入り込んだカーボンブラックＣＢが浮き上がることにより、カーボンブラックＣＢが効果的に除去され洗浄力が高められるという効果が得られる。
【００５３】
さらに、第２除去部２２の超音波振動子３７による超音波振動がバックローラ３５に伝達され、さらにワークＷおよび回転ブラシ３６に伝達されワークＷが超音波振動する。ワークＷの超音波振動および回転ブラシ３６の回転により、第１除去部２１と同様に、ワークＷのワーク表面の余剰なカーボンブラックＣＢが除去される。
【００５４】
また、金属製のバックローラ３５の共振によりワークＷとバックローラ３５とが細かく衝突し、その衝撃でオイルピットＯＰに入り込んだカーボンブラックＣＢが浮き上がることにより、カーボンブラックＣＢが効果的に除去され洗浄力が高められるという効果が得られる。
【００５５】
本実施形態に係る超音波洗浄装置１０は、超音波振動子３３、３７をバックローラ３１、３５に対向する位置に配置している。したがって、バックローラ３１、３５を超音波振動子３３、３７と効果的に共振させることができ、バックローラ３１、３５でワークＷを叩いて振動させることにより、洗浄力を向上させ、カーボンブラックＣＢの再付着を防止できる。
【００５６】
本実施形態に係る超音波洗浄装置１０においては、残留物除去部１１を図２に示す第１除去部２１および第２除去部２２を備えた構造で構成した場合について説明した。
【００５７】
しかしながら、本発明に係る超音波洗浄装置においては、残留物除去部を図２に示す第１除去部２１および第２除去部２２を備えた構造以外の構造で構成してもよい。例えば、変形例１に係る超音波洗浄装置１０Ａであってもよく、変形例２に係る超音波洗浄装置１０Ｂであってもよい。
【００５８】
以下、本実施形態の変形例１に係る超音波洗浄装置１０Ａおよび変形例２に係る超音波洗浄装置１０Ｂについて図面を参照して説明する。なお、変形例１に係る超音波洗浄装置１０Ａおよび変形例２に係る超音波洗浄装置１０Ｂと、実施形態に係る超音波洗浄装置１０とが同一の構成である場合は、同一の符号を付し、主に異なる構成について説明する。
【００５９】
（変形例１）
本実施形態の変形例１に係る超音波洗浄装置１０Ａは、図４に示すように、残留物除去部１１Ａが本実施形態に係る超音波洗浄装置１０と異なっている。残留物除去部１１Ａは、上流側に第２除去部２２が配置され、次いでワークＷの搬送方向に順に第１除去部２１、第２除去部２２、第１除去部２１が配置されている。
【００６０】
本実施形態の変形例１に係る超音波洗浄装置１０Ａにおいても、本実施形態に係る超音波洗浄装置１０と同様の効果が得られる。即ち、比較的に簡素な構造で、設備長を短くすることができ、洗浄力を高めることができる。さらに、本実施形態の変形例１に係る超音波洗浄装置１０Ａは、本実施形態に係る超音波洗浄装置１０と異なり、残留物除去部１１Ａが、２か所の第２除去部２２および２か所の第１除去部２１で構成されているので、より効果的にワークＷ上の残留物が除去されるという効果が得られる。
【００６１】
本実施形態の変形例１に係る超音波洗浄装置１０Ａは、ワークＷの移動方向に沿って上下に千鳥状にバックローラ３１、３５と超音波振動子３３、３７と回転ブラシ３２、３６を配置している。したがって、設備長を長くすることなく、洗浄力を向上させることができるという効果が得られる。
【００６２】
（変形例２）
本実施形態の変形例２に係る超音波洗浄装置１０Ｂは、図５に示すように、残留物除去部１１Ｂが本実施形態に係る超音波洗浄装置１０と異なっている。残留物除去部１１Ｂは、上流側に第３除去部２３Ｂが配置され、次いでワークＷの搬送方向に順に第４除去部２４Ｂ、第３除去部２３Ｂ、第４除去部２４Ｂが配置されている。
【００６３】
第３除去部２３Ｂは、図２に示す第２除去部２２のバックローラ３５と、回転ブラシ３６と、超音波振動子３７と、バックローラ３５Ｂとにより構成されている。超音波振動子３７は、第２除去部２２と異なり、ワークＷ上の接触位置Ｐ２と回転中心Ｃ２とを結んだ延長線Ｌ２の線上に中心部が位置するように回転ブラシ３６の上方に配置されている。バックローラ３５Ｂは、バックローラ３５と同様に形成され、バックローラ３５の上流側でバックローラ３５に隣接して設けられている。
【００６４】
第３除去部２３Ｂを構成する超音波振動子３７の超音波振動は、回転ブラシ３６に伝達され、さらにワークＷに伝達され、ワークＷを介してバックローラ３５およびバックローラ３５Ｂに伝達される。超音波振動子３７の超音波振動により、回転ブラシ３６、ワークＷ、バックローラ３５およびバックローラ３５Ｂが超音波振動する。
【００６５】
回転ブラシ３６、ワークＷ、バックローラ３５およびバックローラ３５Ｂの超音波振動と、回転ブラシ３６の回転とにより、図３に示すようなワークＷのワーク表面の余剰なカーボンブラックＣＢおよびオイルピットＯＰに入り込んだカーボンブラックＣＢが除去される。
【００６６】
第４除去部２４Ｂは、図２に示す第１除去部２１のバックローラ３１と、回転ブラシ３２と、超音波振動子３３と、バックローラ３１Ｂとにより構成されている。超音波振動子３３は、第１除去部２１と異なり、ワークＷ上の接触位置Ｐ１と回転中心Ｃ１とを結んだ延長線Ｌ１の線上に中心部が位置するように回転ブラシ３２の下方に配置されている。バックローラ３１Ｂは、バックローラ３１と同様に形成され、バックローラ３１の上流側でバックローラ３１に隣接して設けられている。
【００６７】
第４除去部２４Ｂを構成する超音波振動子３３の超音波振動は、回転ブラシ３２に伝達され、さらにワークＷに伝達され、ワークＷを介してバックローラ３１およびバックローラ３１Ｂに伝達される。超音波振動子３３の超音波振動により、回転ブラシ３２、ワークＷ、バックローラ３１およびバックローラ３１Ｂが超音波振動する。したがって、複数のバックローラ３１，３１Ｂにより叩くような効果が得られる。
【００６８】
回転ブラシ３２、ワークＷ、バックローラ３１およびバックローラ３１Ｂの超音波振動と、回転ブラシ３２の回転とにより、図３に示すようなワークＷのワーク表面の余剰なカーボンブラックＣＢおよびオイルピットＯＰに入り込んだカーボンブラックＣＢが除去される。
【００６９】
本実施形態の変形例２に係る超音波洗浄装置１０Ｂにおいても、本実施形態に係る超音波洗浄装置１０と同様の効果が得られる。即ち、比較的に簡素な構造で、設備長を短くすることができ、洗浄力を高めることができる。さらに、本実施形態の変形例２に係る超音波洗浄装置１０Ｂは、本実施形態に係る超音波洗浄装置１０と異なり、残留物除去部１１Ｂが、２か所の第３除去部２３Ｂおよび２か所の第４除去部２４Ｂで構成されているので、より効果的にワークＷ上の残留物が除去されるという効果が得られる。
【００７０】
本実施形態の変形例２に係る超音波洗浄装置１０Ｂは、超音波振動子３３、３７に対して複数のバックローラ３１、３１Ｂ、３５、３５Ｂを配置しているので、ワークＷのワーク表面を叩いて振動させる効果をより向上させ、洗浄力を向上させることができるという効果が得られる。
【００７１】
以上、本発明の実施形態について詳述したが、本発明は、前記の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の精神を逸脱しない範囲で、種々の設計変更を行うことができるものである。
【符号の説明】
【００７２】
１０，１０Ａ，１０Ｂ・・・超音波洗浄装置、１１，１１Ａ，１１Ｂ・・・残留物除去部、１２・・・ワーク洗浄部、２１・・・第１除去部、２２・・・第２除去部、２３Ｂ・・・第３除去部、２４Ｂ・・・第４除去部、３１，３１Ｂ，３５，３５Ｂ・・・バックローラ（搬送ローラ）、３２，３６・・・回転ブラシ（ブラシ）、３３，３７・・・超音波振動子、４１，４２，４３，４４・・・リンスノズル、Ｃ，Ｃ２・・・回転中心、Ｌ１，Ｌ２・・・延長線、Ｐ１，Ｐ２・・・接触位置、Ｗ・・・ワーク
【図１】
2020093217.tif 000003
【図２】
2020093217.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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