(57)【要約】【課題】原水供給圧が低下した場合、純水製造装置を停止させるのではなく、スロー運転モードとすることにより、原水供給圧回復後に短時間で定常運転に復帰することができる純水製造装置の制御方法を提供する。【解決手段】原水を加圧ポンプ６で加圧し、ＲＯ装置８，１０、脱気装置１２及び電気脱イオン装置１４を有する純水製造装置で処理して純水を製造する純水製造装置を制御する方法であって、原水の圧力を測定し、この圧力が所定圧力よりも低下した状態が所定時間以上継続する低圧力状態が検知されたときに前記加圧ポンプ６の送水量を低下させるスロー運転モードとする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
原水供給機構から送水される原水を、少なくとも加圧ポンプ、ＲＯ装置及び電気脱イオン装置を有する純水製造装置で処理して純水を製造する純水製造装置を制御する方法であって、
前記原水供給機構から送水される原水の圧力を測定し、この圧力が所定圧力よりも低下した状態が所定時間以上継続する低圧力状態が検知されたときに、前記加圧ポンプの送水量を低下させたスロー運転モード又は加圧ポンプを一時停止する待機モードとすることを特徴とする純水製造装置の制御方法。
【請求項２】
前記低圧力状態が検知されたときに、前記スロー運転モードとすることを特徴とする請求項１に記載の純水製造装置の制御方法。
【請求項３】
前記スロー運転モードでは、前記加圧ポンプの回転数を減少させることにより前記加圧ポンプの送水量を低下させることを特徴とする請求項２に記載の純水製造装置の制御方法。
【請求項４】
前記スロー運転モードでは、前記純水製造装置からの透過水を原水に戻すことを特徴とする請求項２又は３に記載の純水製造装置の制御方法。
【請求項５】
前記低圧力状態が検知されたときに、前記待機モードとすることを特徴とする請求項１に記載の純水製造装置の制御方法。
【請求項６】
前記低圧力状態が検知されなくなった場合、前記スロー運転モード又は待機モードとするよりも前の運転条件に戻すことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の純水製造装置の制御方法。
【請求項７】
前記純水製造装置は、直列に多段に設置されたＲＯ装置と、最終段の該ＲＯ装置からの透過水を脱気処理する脱気装置と、該脱気装置からの脱気処理水が供給される前記電気脱イオン装置とを有することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の純水製造装置の制御方法。
【請求項８】
前記純水製造装置は、直列に多段に設置されたＲＯ装置と、最終段の該ＲＯ装置からの透過水を脱気処理する脱気装置と、該脱気装置からの脱気処理水が供給される前記電気脱イオン装置とを有し、
前記待機モードでは、前記脱気装置及び電気脱イオン装置を、待機モードとする前の運転条件で稼働させることを特徴とする請求項５に記載の純水製造装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は純水製造装置の制御方法に係り、特に原水供給機構から送水された原水を処理して純水を製造する純水製造装置を制御する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＲＯ装置（逆浸透膜分離装置）、脱気装置、電気脱イオン装置等を有する純水製造装置（例えば特許文献１）を需要家（半導体製造会社等）に貸与し、該需要家から送水されてくる水を原水として処理し、純水を製造するビジネスモデルがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１６７４２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような需要家に設置された純水製造装置は、需要家からの原水の送水圧力が低下した場合は、純水製造装置のメンテナンス担当者が駆け付けるまで稼動を停止するよう構成されている。
【０００５】
しかし、純水製造装置の稼動を停止してしまうと、運転を再開するときに再起動に長時間を要する。
【０００６】
本発明は、原水供給圧が低下した場合、純水製造装置を停止させるのではなく、スロー運転モード又は加圧ポンプを一時停止する待機モードとすることにより、原水供給圧回復後に短時間で定常運転に復帰することができる純水製造装置の制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の純水製造装置の制御方法は、原水供給機構から送水される原水を、少なくとも加圧ポンプ、ＲＯ装置及び電気脱イオン装置を有する純水製造装置で処理して純水を製造する純水製造装置を制御する方法であって、前記原水供給機構から送水される原水の圧力を測定し、この圧力が所定圧力よりも低下した状態が所定時間以上継続する低圧力状態が検知されたときに、前記加圧ポンプの送水量を低下させたスロー運転モード又は加圧ポンプを一時停止する待機モードとすることを特徴とする。
【０００８】
本発明の一態様では、前記スロー運転モードでは、前記加圧ポンプの回転数を減少させることにより前記加圧ポンプの送水量を低下させる。
【０００９】
本発明の一態様では、前記スロー運転モードでは、前記純水製造装置からの透過水を原水に戻す。
【００１０】
本発明の一態様では、前記低圧力状態が検知されなくなった場合、前記スロー運転モードとするよりも前の運転条件に戻す。
【００１１】
本発明の一態様では、前記待機モードでは純水製造装置の加圧ポンプを一時停止する。低圧力状態が継続され、一時停止が所定時間（例えば1時間）を超えた場合は、純水装置全体を停止する。なお、この所定時間は、純水装置を構成する脱気装置または電気脱イオン装置の運転に影響が出ない範囲で設定される。
【００１２】
本発明の一態様では、前記純水製造装置は、直列に多段に設置されたＲＯ装置と、最終段の該ＲＯ装置からの透過水を脱気処理する脱気装置と、該脱気装置からの脱気処理水が供給される前記電気脱イオン装置とを有する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の純水製造装置の制御方法では、原水供給圧が低圧力状態にまで低下したことが検知されると、純水製造装置を停止するのではなく、加圧ポンプの送水量を低下させるスロー運転モードド又は加圧ポンプを一時停止する待機モードとする。
【００１４】
そのため、原水供給圧が回復したときには、このスロー運転モード又は待機モードから定常状態に復帰させることになるので、定常状態に復帰するのに要する時間が短縮される。
【００１５】
スロー運転モードのときに、純水製造装置の透過水を純水製造装置の前段側に戻すことにより、水が無駄となったり、低水質の純水が送り出されたりすることが防止される。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施の形態を示す純水製造装置の構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して実施の形態について説明する。
【００１８】
図１は本発明の実施の形態を示している。河川水、井水、工業用水、回収水などを原水源とした原水が原水タンク１に送水される。原水タンク１内の原水は、給水ポンプ２、配管３、保安フィルタ４、配管５、加圧ポンプ６、配管７を介して第１ＲＯ装置８に供給される。第１ＲＯ装置８の透過水は、配管９を介して第２ＲＯ装置１０に供給され、その透過水が配管１１を介して脱気装置１２に供給される。脱気装置１２で脱気処理された水は、配管１３を介して電気脱イオン装置１４に供給され、その透過水が配管１５より純水として需要先へ送水される。
【００１９】
脱気装置１２としては、膜脱気装置など各種のものが用いられる。膜脱気装置では、気体透過膜の１次側に水を通水し、２次側を真空ポンプで減圧する。
【００２０】
なお、配管１５に三方弁１６を介して分岐配管１７が接続されており、配管１５からの純水を原水タンク１（配管３，５又はそれらに必要に応じて設けられる給水槽であってもよい。）に送水可能としている。
【００２１】
また、図示はしないが、ＲＯ装置８，１０、電気脱イオン装置１４の濃縮水を原水タンク１に返送するラインが設けられている。
【００２２】
第１ＲＯ装置８の濃縮水は、脱塩処理された後、原水タンク１に返送される。第２ＲＯ装置１０及び電気脱イオン装置１４の濃縮水は、そのまま原水タンク１に返送される。
【００２３】
前記配管３（又は配管５）に原水供給圧を測定する圧力センサ２０が設けられ、その検出圧力信号が制御装置２１に入力される。
【００２４】
圧力センサ２０の検出圧力が所定圧よりも低い状態が所定時間以上継続する低圧力状態が検知された場合、制御装置２１はアラームを運転管理センターや運転担当者の携帯端末等に出力すると共に、純水製造装置をスロー運転モード又は待機モードとする。
【００２５】
スロー運転モードでは、加圧ポンプ６の回転数をインバータ制御等によって好ましくは徐々に減少させて第１ＲＯ装置８への送水量を減少させると共に、脱気装置１２及び電気脱イオン装置１４の稼動レベルを好ましくは徐々に低下させる。例えば、膜脱気装置の２次側を吸引する真空ポンプの回転数を徐々に低下させる。また、電気脱イオン装置１４では、陽極と陰極との間に印加する電圧を徐々に低下させる。さらに、三方弁１６を切り替えて、配管１５からの純水を原水タンク１に返送する。
【００２６】
このように純水製造装置の稼動レベルを低下させると共に、配管１５からの純水を原水タンク１に返送するスロー運転モードを維持したまま、運転担当者による原水源や給水ポンプ２の点検及び／又は修理を待つ。この点検及び／又は修理が終了し、圧力センサ２０の検出圧力が上昇し、制御装置２１が低圧力状態が解消したと判断すると、制御装置２１からの制御信号により、純水製造装置の稼動レベルを徐々に定常稼動レベルに復帰させる。具体的には、加圧ポンプ６の回転数を徐々に（例えば段階的に又は連続的に）増大させて定常回転数とする。また、脱気装置１２の２次側の真空レベルを徐々に高くし、電気脱イオン装置１４の印加電圧を徐々に高くする。
【００２７】
待機モードでは、純水製造装置の加圧ポンプ６を一時停止するが、脱気装置１２及び電気脱イオン装置１４の稼働レベルは定常稼働状態を維持したまま、運転担当者による原水源や給水ポンプ２の点検及び/又は修理を待つ。
【００２８】
この点検及び／又は修理が終了し、圧力センサ２０の検出圧力が上昇し、制御装置２１が低圧力状態が解消したと判断すると、制御装置２１からの制御信号により、通常の立ち上げ手順に従って、加圧ポンプ６の回転数を定常稼働レベルに復帰させる。
ただし、待機モードでは、低圧力状態が継続され、一時停止が所定時間（例えば1時間）を超えた場合は、純水装置全体を停止する。
なお、この所定時間は、純水装置を構成する脱気装置または電気脱イオン装置の運転に影響が出ない範囲で設定される。
【００２９】
純水製造装置の運転レベルを定常運転レベル（スロー運転モード又は待機モードとする前のレベル）に復帰させた後、配管１５からの純水の水質が規格水質に復帰したことが確認されると、純水を需要先へ送水する。
【００３０】
このように、原水供給圧力が低下した場合、純水製造装置を停止するのではなく、スロー運転モード又は待機モードとするので、原水供給圧力が回復した後、定常運転状態に復帰するのに要する時間が短くなる。
【００３１】
本発明では、スロー運転モードではＲＯ装置８，１０の一方又は双方の透過水を原水タンク１に返送してもよい。また、加圧ポンプ６からの送水を、ＲＯ装置８，１０の一方又は双方をバイパスさせて脱気装置１２に直接に供給してもよい。
【００３２】
上記実施の形態では、スロー運転モードでは純水を原水タンク１に返送するものとしたが、純水の水質が規格水質よりも良好である場合には、需要先へ送水してもよい。
【００３３】
本発明では、脱気装置１２を省略してもよい。
【符号の説明】
【００３４】
１  原水タンク
４  保安フィルタ
６  加圧ポンプ
２０  圧力センサ
【図１】
2020151621.tif 000003