(57)【要約】【課題】変形を最小化させることのできるマスク組立体及びそれを利用した表示装置の製造装置並びに表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】マスクフレームと、マスクフレーム上に配置され複数個の開口部を備えるマスクシートと、マスクフレーム上に配置され複数個の開口部の内の一部を遮蔽し互いに離隔されるように配列された少なくとも２枚以上の第１遮蔽シートと、マスクフレーム上に配置され複数個の開口部の内の一部を遮蔽し各第１遮蔽シートと所定の角度を形成し互いに離隔されるように配列された少なくとも２枚以上の第２遮蔽シートとを有し、各第１遮蔽シートと各第２遮蔽シートは複数個の開口部の内の一部を遮蔽し複数個の開口部の内の一部を含む蒸着領域を定義し、蒸着領域は互いに隣接する第１遮蔽シートの中心を通過し第１遮蔽シートの長手方向と平行な任意の直線によって第１蒸着領域と第２蒸着領域とに区分され、第１蒸着領域と第２蒸着領域は形状が互いに異なる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクフレームと、
前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部を備えるマスクシートと、
前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、互いに離隔されるように配列された少なくとも２枚以上の第１遮蔽シートと、
前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、前記各第１遮蔽シートと所定の角度を形成し、互いに離隔されるように配列された少なくとも２枚以上の第２遮蔽シートと、を有し、
前記各第１遮蔽シートと前記各第２遮蔽シートは、前記複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、前記複数個の開口部の内の一部を含む蒸着領域を定義し、
前記蒸着領域は、互いに隣接する前記第１遮蔽シートの中心を通過し、前記第１遮蔽シートの長手方向と平行な任意の直線によって、第１蒸着領域と第２蒸着領域とに区分され、
前記第１蒸着領域と前記第２蒸着領域は、形状が互いに異なることを特徴とするマスク組立体。
【請求項２】
前記第１遮蔽シートは、第１遮蔽シート本体部と、
前記第１遮蔽シート本体部の長手方向に対して所定の角度を形成するように、前記第１遮蔽シート本体部から突出する第１突出部と、を含むことを特徴とする請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項３】
前記第１突出部は、複数個具備され、
複数個の前記第１突出部の内の２個の第１突出部は、前記第１遮蔽シート本体部を中心として互いに対向するように配置されることを特徴とする請求項２に記載のマスク組立体。
【請求項４】
前記第１遮蔽シート本体部を中心として互いに対向するように配置された２個の前記第１突出部は、互いに同一形状であることを特徴とする請求項３に記載のマスク組立体。
【請求項５】
前記第１遮蔽シート及び前記第２遮蔽シートの内の少なくとも１枚は、長手方向に平行な仮想の中心線を基準として、中心線の両側の形状が対称であることを特徴とする請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項６】
前記第１遮蔽シートと前記第２遮蔽シートは、互いに直角を形成するように配置されることを特徴とする請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項７】
前記第２遮蔽シートは、第２遮蔽シート本体部と、
前記第２遮蔽シート本体部から突出する第２突出部と、を含むことを特徴とする請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項８】
前記第２突出部は、複数個具備され、
複数個の前記第２突出部の内の２個の第２突出部は、前記第２遮蔽シート本体部を中心として互いに対向するように配置されることを特徴とする請求項７に記載のマスク組立体。
【請求項９】
前記第１遮蔽シートは、第１遮蔽シート本体部と、
前記第１遮蔽シート本体部の長手方向に対して所定の角度を形成するように、前記第１遮蔽シート本体部から突出する第１突出部と、を含むことを特徴とする請求項７に記載のマスク組立体。
【請求項１０】
前記第１突出部と前記第２突出部は、少なくとも一部分が互いに重畳するように配置されることを特徴とする請求項９に記載のマスク組立体。
【請求項１１】
前記第１突出部と前記第２突出部は、互いに形状が異なることを特徴とする請求項９に  記載のマスク組立体。
【請求項１２】
前記第１突出部と前記第２突出部は、互いに面積が異なることを特徴とする請求項９に記載のマスク組立体。
【請求項１３】
蒸着源と、
前記蒸着源と対向するように配置され、前記蒸着源から放射される蒸着物質が通過するマスク組立体と、
前記マスク組立体と対向するように配置され、前記マスク組立体を通過した蒸着物質が蒸着される基板を支持する基板支持部と、を有し、
前記マスク組立体は、マスクフレームと、
前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部を備えるマスクシートと、
前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、互いに離隔されるように配列された少なくとも２枚以上の第１遮蔽シートと、
前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、前記各第１遮蔽シートと所定の角度を形成し、互いに離隔されるように配列された少なくとも２枚以上の第２遮蔽シートと、を含み、
前記各第１遮蔽シートと前記各第２遮蔽シートは、前記複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、前記複数個の開口部の内の一部を含む蒸着領域を定義し、
前記蒸着領域は、互いに隣接する前記第１遮蔽シートの中心を通過し、前記第１遮蔽シートの長手方向と平行な任意の直線によって、第１蒸着領域と第２蒸着領域とに区分され、
前記第１蒸着領域と前記第２蒸着領域は、形状が互いに異なることを特徴とする表示装置の製造装置。
【請求項１４】
前記第１遮蔽シートは、第１遮蔽シート本体部と、
前記第１遮蔽シート本体部の長手方向に対して所定の角度を形成するように、前記第１遮蔽シート本体部から突出する第１突出部と、を含むことを特徴とする請求項１３に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１５】
前記第１突出部は、複数個具備され、
複数個の前記第１突出部の内の２個の第１突出部は、前記第１遮蔽シート本体部を中心として互いに対向するように配置されることを特徴とする請求項１４に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１６】
前記第１遮蔽シート本体部を中心として互いに対向するように配置された２個の前記第１突出部は、互いに同一形状であることを特徴とする請求項１５に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１７】
前記第１遮蔽シート及び前記第２遮蔽シートの内の少なくとも１枚は、長手方向に平行な仮想の中心線を基準として、中心線の両側の形状が対称であることを特徴とする請求項１３に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１８】
前記第１遮蔽シートと前記第２遮蔽シートは、互いに直角を形成するように配置されることを特徴とする請求項１３に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１９】
前記第２遮蔽シートは、第２遮蔽シート本体部と、
前記第２遮蔽シート本体部から突出する第２突出部と、を含むことを特徴とする請求項１３に記載の表示装置の製造装置。
【請求項２０】
前記第２突出部は、複数個具備され、
複数個の前記第２突出部の内の２個の第２突出部は、前記第２遮蔽シート本体部を中心として互いに対向するように配置されることを特徴とする請求項１９に記載の表示装置の製造装置。
【請求項２１】
前記第１遮蔽シートは、第１遮蔽シート本体部と、
前記第１遮蔽シート本体部の長手方向に対して所定の角度を形成するように、前記第１遮蔽シート本体部から突出する第１突出部と、を含むことを特徴とする請求項１３又は１９に記載の表示装置の製造装置。
【請求項２２】
前記第１突出部と前記第２突出部は、少なくとも一部分が互いに重畳するように配置されることを特徴とする請求項２１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項２３】
前記第１突出部と前記第２突出部は、互いに形状が異なることを特徴とする請求項２１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項２４】
前記第１突出部と前記第２突出部は、互いに面積が異なることを特徴とする請求項２１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項２５】
チャンバ内部に、ディスプレイ基板とマスク組立体とを配置する段階と、
前記ディスプレイ基板と前記マスク組立体とを整列する段階と、
前記マスク組立体と対向するように配置された蒸着源から蒸着物質を放射させ、前記ディスプレイ基板に蒸着物質パターンを形成する段階と、を有し、
前記マスク組立体は、マスクフレームと、
前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部を備えるマスクシートと、
前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、互いに離隔されるように配列された少なくとも２枚以上の第１遮蔽シートと、
前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、前記各第１遮蔽シートと所定の角度を形成し、互いに離隔されるように配列された少なくとも２枚以上の第２遮蔽シートと、を含み、
前記各第１遮蔽シートと前記各第２遮蔽シートは、前記複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、前記複数個の開口部の内の一部を含む蒸着領域を定義し、
前記蒸着領域は、互いに隣接する前記第１遮蔽シートの中心を通過し、前記第１遮蔽シートの長手方向と平行な任意の直線によって、第１蒸着領域と第２蒸着領域とに区分され、
前記第１蒸着領域と前記第２蒸着領域は、形状が互いに異なることを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２６】
前記第１遮蔽シートは、第１遮蔽シート本体部と、
前記第１遮蔽シート本体部の長手方向に対して所定の角度を形成するように、前記第１遮蔽シート本体部から突出する第１突出部と、を含むことを特徴とする請求項２５に記載の表示装置の製造方法。
【請求項２７】
前記第１突出部は、複数個具備され、
複数個の前記第１突出部の内の２個の第１突出部は、前記第１遮蔽シート本体部を中心として互いに対向するように配置されることを特徴とする請求項２６に記載の表示装置の製造方法。
【請求項２８】
前記第１遮蔽シート本体部を中心として互いに対向するように配置された２個の前記第１突出部は、互いに同一形状であることを特徴とする請求項２７に記載の表示装置の製造方法。
【請求項２９】
前記第１遮蔽シート及び前記第２遮蔽シートの内の少なくとも１枚は、長手方向に平行な仮想の中心線を基準として、中心線の両側の形状が対称であることを特徴とする請求項２５に記載の表示装置の製造方法。
【請求項３０】
前記第１遮蔽シートと前記第２遮蔽シートは、互いに直角を形成するように配置されることを特徴とする請求項２５に記載の表示装置の製造方法。
【請求項３１】
前記第２遮蔽シートは、第２遮蔽シート本体部と、
前記第２遮蔽シート本体部から突出する第２突出部と、を含むことを特徴とする請求項２５に記載の表示装置の製造方法。
【請求項３２】
前記第２突出部は、複数個具備され、
複数個の前記第２突出部の内の２個の第２突出部は、前記第２遮蔽シート本体部を中心として互いに対向するように配置されることを特徴とする請求項３１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項３３】
前記第１遮蔽シートは、第１遮蔽シート本体部と、
前記第１遮蔽シート本体部の長手方向に対して所定の角度を形成するように、前記第１遮蔽シート本体部から突出する第１突出部と、を含むことを特徴とする請求項３１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項３４】
前記第１突出部と前記第２突出部は、少なくとも一部分が互いに重畳するように配置されることを特徴とする請求項３３に記載の表示装置の製造方法。
【請求項３５】
前記第１突出部と前記第２突出部は、互いに形状が異なることを特徴とする請求項３３に記載の表示装置の製造方法。
【請求項３６】
前記第１突出部と前記第２突出部は、互いに面積が異なることを特徴とする請求項３３に記載の表示装置の製造方法。
【請求項３７】
チャンバ内部に、ディスプレイ基板とマスク組立体とを配置する段階と、
前記ディスプレイ基板と前記マスク組立体とを整列する段階と、
前記マスク組立体と対向するように配置された蒸着源から蒸着物質を放射させ、前記ディスプレイ基板に蒸着物質パターンを形成する段階と、を有し、
前記ディスプレイ基板に形成された蒸着物質パターンは、表示領域を形成し、
前記表示領域は、前記表示領域の中心を通過する任意の直線によって２つの領域に区分され、
前記表示領域の２つの領域は、非対称であることを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項３８】
前記マスク組立体は、蒸着物質が通過し、前記ディスプレイ基板に蒸着される前記蒸着物質パターンが形成する前記表示領域と対応するように、前記蒸着物質が通過する蒸着領域を定義することを特徴とする請求項３７に記載の表示装置の製造方法。
【請求項３９】
前記マスク組立体は、マスクフレームに配置され、複数個の開口部を備えるマスクシートと、
前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、互いに離隔されるように配列された少なくとも２枚以上の第１遮蔽シートと、
前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、前記各第１遮蔽シートと所定の角度を形成し、互いに離隔されるように配列された少なくとも２枚以上の第２遮蔽シートと、を含み、
前記各第１遮蔽シートと前記各第２遮蔽シートは、前記蒸着領域を定義することを特徴とする請求項３８に記載の表示装置の製造方法。
【請求項４０】
チャンバ内部に、ディスプレイ基板とマスク組立体とを配置する段階と、
前記ディスプレイ基板と前記マスク組立体とを整列する段階と、
前記マスク組立体と対向するように配置された蒸着源から蒸着物質を放射させ、前記ディスプレイ基板に蒸着物質パターンを形成する段階と、を有し、
前記ディスプレイ基板に形成された蒸着物質パターンは、表示領域を形成し、
前記表示領域は、前記マスク組立体が定義する蒸着領域内部に突出した前記マスク組立体の第１遮蔽シートの突出部により、蒸着物質の一部が遮断されて形成された第１表示領域と、
前記マスク組立体が形成する蒸着領域内部に突出した前記マスク組立体の第２遮蔽シートの突出部により、蒸着物質の一部が遮断されて形成された第２表示領域と、を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスク組立体及びそれを利用した表示装置の製造装置並びに表示装置の製造方法に関し、特に、マスク組立体の変形量を最小化できるマスク組立体及びそれを利用した表示装置の製造装置並びに表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
移動性を基盤とする電子機器が幅広く使用されている。
移動用電子機器としては、モバイルフォンのような小型電子機器以外にも、最近になり、タブレットＰＣ（ｐｅｒｓｏｎａｌ  ｃｏｍｐｕｔｅｒ）が汎用されている。
そのような移動型電子機器は、多様な機能を支援するために、イメージまたは映像のような視覚情報をユーザに提供するために表示装置を含む。
【０００３】
近年、表示装置を駆動するための諸部品が小型化されるにつれ、表示装置が電子機器で占める比重がだんだんと増大しており、平らな状態から、所定の角度を有するように曲げることができる構造も開発されている。
そのような表示装置は、イメージを具現する表示領域を具備する。
そのような表示領域は、多様な電子機器の製造のために、多様な形態に製造される。
すなわち、表示領域は、長方形ではない非定形にも形成される。
【０００４】
しかしながら、そのような非定形の表示領域を形成するために使用されるマスク組立体の場合、熱変形または引っ張り力による捻れなどが発生してしまう可能性がある。
つまり、既存のマスク組立体を使用する場合、非定形の表示領域を有する表示装置の製造時、マスク組立体製造時に加えられる引っ張り力、または熱変形により、マスク組立体が設計値と異なってしまうという問題点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】大韓民国特許出願公開第２００６−００５５６１３号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記従来のマスク組立体における問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、マスク組立体が設計値と異なってしまい変形することを最小化させることのできるマスク組立体及びそれを利用した表示装置の製造装置並びに表示装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するためになされた本発明によるマスク組立体は、マスクフレームと、前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部を備えるマスクシートと、前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、互いに離隔されるように配列された少なくとも２枚以上の第１遮蔽シートと、前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、前記各第１遮蔽シートと所定の角度を形成し、互いに離隔されるように配列された少なくとも２枚以上の第２遮蔽シートと、を有し、前記各第１遮蔽シートと前記各第２遮蔽シートは、前記複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、前記複数個の開口部の内の一部を含む蒸着領域を定義し、前記蒸着領域は、互いに隣接する前記第１遮蔽シートの中心を通過し、前記第１遮蔽シートの長手方向と平行な任意の直線によって、第１蒸着領域と第２蒸着領域とに区分され、前記第１蒸着領域と前記第２蒸着領域は、形状が互いに異なることを特徴とする。
【０００８】
前記第１遮蔽シートは、第１遮蔽シート本体部と、前記第１遮蔽シート本体部の長手方向に対して所定の角度を形成するように、前記第１遮蔽シート本体部から突出する第１突出部と、を含むことが好ましい。
前記第１突出部は、複数個具備され、複数個の前記第１突出部の内の２個の第１突出部は、前記第１遮蔽シート本体部を中心として互いに対向するように配置されることが好ましい。
前記第１遮蔽シート本体部を中心として互いに対向するように配置された２個の前記第１突出部は、互いに同一形状であることが好ましい。
前記第１遮蔽シート及び前記第２遮蔽シートの内の少なくとも１枚は、長手方向に平行な仮想の中心線を基準として、中心線の両側の形状が対称であることが好ましい。
前記第１遮蔽シートと前記第２遮蔽シートは、互いに直角を形成するように配置されることが好ましい。
【０００９】
前記第２遮蔽シートは、第２遮蔽シート本体部と、前記第２遮蔽シート本体部から突出する第２突出部と、を含むことが好ましい。
前記第２突出部は、複数個具備され、複数個の前記第２突出部の内の２個の第２突出部は、前記第２遮蔽シート本体部を中心として互いに対向するように配置されることが好ましい。
前記第１遮蔽シートは、第１遮蔽シート本体部と、前記第１遮蔽シート本体部の長手方向に対して所定の角度を形成するように、前記第１遮蔽シート本体部から突出する第１突出部と、を含むことが好ましい。
前記第１突出部と前記第２突出部は、少なくとも一部分が互いに重畳するように配置されることが好ましい。
前記第１突出部と前記第２突出部は、互いに形状が異なることが好ましい。
前記第１突出部と前記第２突出部は、互いに面積が異なることが好ましい。
【００１０】
上記目的を達成するためになされた本発明による表示装置の製造装置は、蒸着源と、前記蒸着源と対向するように配置され、前記蒸着源から放射される蒸着物質が通過するマスク組立体と、前記マスク組立体と対向するように配置され、前記マスク組立体を通過した蒸着物質が蒸着される基板を支持する基板支持部と、を有し、前記マスク組立体は、マスクフレームと、前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部を備えるマスクシートと、前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、互いに離隔されるように配列された少なくとも２枚以上の第１遮蔽シートと、前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、前記各第１遮蔽シートと所定の角度を形成し、互いに離隔されるように配列された少なくとも２枚以上の第２遮蔽シートと、を含み、前記各第１遮蔽シートと前記各第２遮蔽シートは、前記複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、前記複数個の開口部の内の一部を含む蒸着領域を定義し、前記蒸着領域は、互いに隣接する前記第１遮蔽シートの中心を通過し、前記第１遮蔽シートの長手方向と平行な任意の直線によって、第１蒸着領域と第２蒸着領域とに区分され、前記第１蒸着領域と前記第２蒸着領域は、形状が互いに異なることを特徴とする。
【００１１】
前記第１遮蔽シートは、第１遮蔽シート本体部と、前記第１遮蔽シート本体部の長手方向に対して所定の角度を形成するように、前記第１遮蔽シート本体部から突出する第１突出部と、を含むことが好ましい。
前記第１突出部は、複数個具備され、複数個の前記第１突出部の内の２個の第１突出部は、前記第１遮蔽シート本体部を中心として互いに対向するように配置されることが好ましい。
前記第１遮蔽シート本体部を中心として互いに対向するように配置された２個の前記第１突出部は、互いに同一形状であることが好ましい。
前記第１遮蔽シート及び前記第２遮蔽シートの内の少なくとも１枚は、長手方向に平行な仮想の中心線を基準として、中心線の両側の形状が対称であることが好ましい。
前記第１遮蔽シートと前記第２遮蔽シートは、互いに直角を形成するように配置されることが好ましい。
【００１２】
前記第２遮蔽シートは、第２遮蔽シート本体部と、前記第２遮蔽シート本体部から突出する第２突出部と、を含むことが好ましい。
前記第２突出部は、複数個具備され、複数個の前記第２突出部の内の２個の第２突出部は、前記第２遮蔽シート本体部を中心として互いに対向するように配置されることが好ましい。
前記第１遮蔽シートは、第１遮蔽シート本体部と、前記第１遮蔽シート本体部の長手方向に対して所定の角度を形成するように、前記第１遮蔽シート本体部から突出する第１突出部と、を含むことが好ましい。
前記第１突出部と前記第２突出部は、少なくとも一部分が互いに重畳するように配置されることが好ましい。
前記第１突出部と前記第２突出部は、互いに形状が異なることが好ましい。
前記第１突出部と前記第２突出部は、互いに面積が異なることが好ましい。
【００１３】
上記目的を達成するためになされた本発明による表示装置の製造方法は、チャンバ内部に、ディスプレイ基板とマスク組立体とを配置する段階と、前記ディスプレイ基板と前記マスク組立体とを整列する段階と、前記マスク組立体と対向するように配置された蒸着源から蒸着物質を放射させ、前記ディスプレイ基板に蒸着物質パターンを形成する段階と、を有し、前記マスク組立体は、マスクフレームと、前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部を備えるマスクシートと、前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、互いに離隔されるように配列された少なくとも２枚以上の第１遮蔽シートと、前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、前記各第１遮蔽シートと所定の角度を形成し、互いに離隔されるように配列された少なくとも２枚以上の第２遮蔽シートと、を含み、前記各第１遮蔽シートと前記各第２遮蔽シートは、前記複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、前記複数個の開口部の内の一部を含む蒸着領域を定義し、前記蒸着領域は、互いに隣接する前記第１遮蔽シートの中心を通過し、前記第１遮蔽シートの長手方向と平行な任意の直線によって、第１蒸着領域と第２蒸着領域とに区分され、前記第１蒸着領域と前記第２蒸着領域は、形状が互いに異なることを特徴とする。
【００１４】
前記第１遮蔽シートは、第１遮蔽シート本体部と、前記第１遮蔽シート本体部の長手方向に対して所定の角度を形成するように、前記第１遮蔽シート本体部から突出する第１突出部と、を含むことが好ましい。
前記第１突出部は、複数個具備され、複数個の前記第１突出部の内の２個の第１突出部は、前記第１遮蔽シート本体部を中心として互いに対向するように配置されることが好ましい。
前記第１遮蔽シート本体部を中心として互いに対向するように配置された２個の前記第１突出部は、互いに同一形状であることが好ましい。
前記第１遮蔽シート及び前記第２遮蔽シートの内の少なくとも１枚は、長手方向に平行な仮想の中心線を基準として、中心線の両側の形状が対称であることが好ましい。
前記第１遮蔽シートと前記第２遮蔽シートは、互いに直角を形成するように配置されることが好ましい。
【００１５】
前記第２遮蔽シートは、第２遮蔽シート本体部と、前記第２遮蔽シート本体部から突出する第２突出部と、を含むことが好ましい。
前記第２突出部は、複数個具備され、複数個の前記第２突出部の内の２個の第２突出部は、前記第２遮蔽シート本体部を中心として互いに対向するように配置されることが好ましい。
前記第１遮蔽シートは、第１遮蔽シート本体部と、前記第１遮蔽シート本体部の長手方向に対して所定の角度を形成するように、前記第１遮蔽シート本体部から突出する第１突出部と、を含むことが好ましい。
前記第１突出部と前記第２突出部は、少なくとも一部分が互いに重畳するように配置されることが好ましい。
前記第１突出部と前記第２突出部は、互いに形状が異なることが好ましい。
前記第１突出部と前記第２突出部は、互いに面積が異なることが好ましい。
【００１６】
また、上記目的を達成するためになされた本発明による表示装置の製造方法は、チャンバ内部に、ディスプレイ基板とマスク組立体とを配置する段階と、前記ディスプレイ基板と前記マスク組立体とを整列する段階と、前記マスク組立体と対向するように配置された蒸着源から蒸着物質を放射させ、前記ディスプレイ基板に蒸着物質パターンを形成する段階と、を有し、前記ディスプレイ基板に形成された蒸着物質パターンは、表示領域を形成し、前記表示領域は、前記表示領域の中心を通過する任意の直線によって２つの領域に区分され、前記表示領域の２つの領域は、非対称であることを特徴とする。
【００１７】
前記マスク組立体は、蒸着物質が通過し、前記ディスプレイ基板に蒸着される前記蒸着物質パターンが形成する前記表示領域と対応するように、前記蒸着物質が通過する蒸着領域を定義することが好ましい。
前記マスク組立体は、マスクフレームに配置され、複数個の開口部を備えるマスクシートと、前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、互いに離隔されるように配列された少なくとも２枚以上の第１遮蔽シートと、前記マスクフレーム上に配置され、複数個の開口部の内の一部を遮蔽し、前記各第１遮蔽シートと所定の角度を形成し、互いに離隔されるように配列された少なくとも２枚以上の第２遮蔽シートと、を含み、前記各第１遮蔽シートと前記各第２遮蔽シートは、前記蒸着領域を定義することが好ましい。
【００１８】
また、上記目的を達成するためになされた本発明による表示装置の製造方法は、チャンバ内部に、ディスプレイ基板とマスク組立体とを配置する段階と、前記ディスプレイ基板と前記マスク組立体とを整列する段階と、前記マスク組立体と対向するように配置された蒸着源から蒸着物質を放射させ、前記ディスプレイ基板に蒸着物質パターンを形成する段階と、を有し、前記ディスプレイ基板に形成された蒸着物質パターンは、表示領域を形成し、前記表示領域は、前記マスク組立体が定義する蒸着領域内部に突出した前記マスク組立体の第１遮蔽シートの突出部により、蒸着物質の一部が遮断されて形成された第１表示領域と、前記マスク組立体が形成する蒸着領域内部に突出した前記マスク組立体の第２遮蔽シートの突出部により、蒸着物質の一部が遮断されて形成された第２表示領域と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係るマスク組立体によれば、最初設計された内容と同一であるか、あるいは類似した形態を維持することができる。
本発明に係る表示装置の製造装置、及び表示装置の製造方法によれば、設計された形状の非定形表示領域を有する表示装置を製造することが可能である。
また、本発明の表示装置の製造装置、及び表示装置の製造方法は、表示領域の最外郭において、形状歪曲が発生しない表示装置を製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態によるマスク組立体を示す斜視図である。
【図２】図１に示した第１遮蔽シートを示す平面図である。
【図３】図１に示した第２遮蔽シートを示す平面図である。
【図４Ａ】一般的なマスク組立体の蒸着領域を示す平面図である。
【図４Ｂ】図１に示したマスク組立体の蒸着領域を示す平面図である。
【図５】図１に示したマスク組立体を使用した表示装置の製造装置の概略を示す断面図である。
【図６】図５に示した表示装置の製造装置を介して製造された表示装置の概略を示す平面図である。
【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿って切断した断面図である。
【図８】本発明の他の実施形態によるマスク組立体の第２遮蔽シートを示す平面図である。
【図９】図８に図示された第２遮蔽シートを含むマスク組立体を介して製造された表示装置の概略を示す平面図である。
【図１０】本発明のさらに他の実施形態によるマスク組立体の第２遮蔽シートを示す平面図である。
【図１１】図１０に示した第２遮蔽シートを含むマスク組立体を介して製造された表示装置の概略を示す平面図である。
【図１２】本発明のさらに他の実施形態によるマスク組立体の第１遮蔽シート及び第２遮蔽シートを示す平面図である。
【図１３】図１２に示した第２遮蔽シートを含むマスク組立体を介して製造された表示装置の概略を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
次に、本発明に係るマスク組立体及びそれを利用した表示装置の製造装置並びに表示装置の製造方法を実施するための形態の具体例を図面を参照しながら説明する。
【００２２】
本発明の効果、特徴、及びそれらを達成する方法は、図面と共に詳細に説明する実施形態を参照すれば、明確になるであろう。
しかし、本発明は、以下で開示する実施形態に限定されるものではなく、多様な形態によっても具現される。
図面を参照して説明するとき、同一であるか、あるいは対応する構成要素は、同一図面符号を付し、それに係わる重複説明は、省略する。
以下の実施形態において、第１、第２のような用語は、限定的な意味ではなく、１つの構成要素を他の構成要素と区別する目的に使用する。
以下の実施形態において、単数の表現は、文脈上明白に異なって意味しない限り、複数の表現を含む。
【００２３】
以下の実施形態において、「含む」または「有する」というような用語は、明細書上に記載された特徴または構成要素が存在するということを意味するものであり、１以上の他の特徴または構成要素が付加される可能性をあらかじめ排除するものではない。
以下の実施形態において、膜、領域、構成要素のような部分が他の部分の上または上部にあるとするとき、他の部分の真上にある場合だけではなく、その中間に、他の膜、領域、構成要素などが介在されている場合も含む。
図面においては、説明の便宜のために、構成要素がその大きさが誇張されていたり縮小されていたりする。
例えば、図面に示された各構成の大きさ及び厚みは、説明の便宜のために任意に示されているので、本発明は、必ずしも図示したところに限定されるものではない。
ある実施形態が異なって具現可能である場合、特定の工程順序は、説明される順序と異なっても遂行される。
例えば、連続して説明される２つの工程が、実質的に同時に遂行されもし、説明される順序と反対の順序によっても進められる。
【００２４】
以下の実施形態において、膜、領域、構成要素などが接続（連結）されているとするとき、膜、領域、構成要素が直接に接続（連結）されている場合だけではなく、膜、領域、構成要素の中間に、他の膜、領域、構成要素が介在され、間接的に接続（連結）された場合も含む。
例えば、本明細書において、膜、領域、構成要素などが電気的に接続（連結）されているとするとき、膜、領域、構成要素などが直接電気的に接続（連結）されている場合だけではなく、その中間に、他の膜、領域、構成要素などが介在されて間接的に電気的接続（連結）されている場合も含む。
【００２５】
図１は、本発明の一実施形態によるマスク組立体を示す斜視図であり、図２は、図１に示した第１遮蔽シートを示す平面図であり、図３は、図１に示した第２遮蔽シートを示す平面図であり、図４Ａは、一般的なマスク組立体の蒸着領域を示す平面図であり、図４Ｂは、図１に示したマスク組立体の蒸着領域を示す平面図である。
【００２６】
図１〜図４Ｂを参照すると、マスク組立体１５０は、マスクフレーム１５１、マスクシート１５２、第１遮蔽シート１５３及び第２遮蔽シート１５４を含む。
マスク組立体１５０は、内部に空間が形成されるように、複数個のフレームが互いに連結される。
一実施形態として、マスク組立体１５０は、中央に１つの開口部が形成された額縁形態でもある。
他の実施形態として、マスク組立体１５０は、複数個の開口部を含む窓枠のような格子形態にも形成され得る。
以下では、説明の便宜のために、マスク組立体１５０が、中央に１つの開口部が形成された場合を中心に詳細に説明する。
【００２７】
マスクシート１５２は、少なくとも２枚以上具備され、少なくとも２枚以上のマスクシート１５２は、互いに離隔されるように、マスクフレーム１５１に設置される。
このとき、マスクシート１５２は、第１方向（例えば、図１のＹ軸方向、または図１のＸ方向の内の一つ）に配列される。
マスクシート１５２は、少なくとも１以上の開口部（１５２−１）を含む。
特に、マスクシート１５２には、長手方向に、複数個の開口部（１５２−１）が形成される。
このとき、複数個の開口部（１５２−１）は、互いに一定間隔離隔されるようにも配置され、マスクシート１５２の全面に形成される。
【００２８】
第１遮蔽シート１５３は、マスクフレーム１５１とマスクシート１５２との間に配置される。
このとき、第１遮蔽シート１５３は、複数枚個具備され、マスクフレーム１５１に互いに離隔されるように配置される。
例えば、複数枚の第１遮蔽シート１５３は、マスクシート１５２の長手方向に互いに離隔するように配列される。
また、各第１遮蔽シート１５３は、マスクシート１５２と所定の角度を形成することができる。
例えば、各第１遮蔽シート１５３は、マスクシート１５２の長手方向と直交する方向（例えば、図１のＸ方向、または図１のＹ方向）に配列される。
以下では、説明の便宜のために、第１遮蔽シート１５３が、図１のＹ方向に配列される場合を中心に詳細に説明する。
【００２９】
上述のような第１遮蔽シート１５３は、第１遮蔽シート１５３の長手方向と平行であって第１遮蔽シート１５３の中心を通る第１中心線Ｃ１を基準として、その両側の形状が対称である。
第１遮蔽シート１５３は、マスクフレーム１５１に設けられる第１遮蔽シート本体部（１５３−１）と、第１遮蔽シート本体部（１５３−１）から突出する第１突出部（１５３−２）と、を含む。
第１遮蔽シート本体部（１５３−１）は、直線状のプレートに形成される。
このとき、第１遮蔽シート本体部（１５３−１）は、マスクシート１５２の長手方向と直交する方向（または、第１方向、図１のＹ方向）に配列される。
【００３０】
第１突出部（１５３−２）は、第１遮蔽シート本体部（１５３−１）からマスクシート１５２の長手方向に向かって突出するように形成される。
このとき、第１突出部（１５３−２）は、第１遮蔽シート本体部（１５３−１）と共に、蒸着領域Ｓの境界を定義する。
このとき、第１突出部（１５３−２）は、蒸着領域Ｓの境界を多様な形状に定義することができる。
特に、第１突出部（１５３−２）は、蒸着領域Ｓの境界において、第１遮蔽シート本体部（１５３−１）と所定の角度を形成する傾いた部分、曲率をもって形成される部分などを定義することができる。
【００３１】
そのような場合、第１突出部（１５３−２）は、マスクシート１５２の複数個の開口部（１５２−１）の内の一部を遮蔽することができる。
例えば、第１突出部（１５３−２）は、蒸着領域Ｓの境界（または、枠）に配列された開口部（１５２−１）の一部を遮蔽することができる。
そのような場合、蒸着物質は、開口部（１５２−１）の一部しか通過することができない。
第１突出部（１５３−２）は、第１遮蔽シート本体部（１５３−１）の長手方向に対して所定の角度を形成するように、第１遮蔽シート本体部（１５３−１）の両側に突出するように形成される。
【００３２】
このとき、第１突出部（１５３−２）は、第１遮蔽シート本体部（１５３−１）を中心として、第１遮蔽シート本体部（１５３−１）の両側に２個具備される。
このとき、第１遮蔽シート本体部（１５３−１）の両側に配置された２個の第１突出部（１５３−２）は、互いに同一形状及び同一サイズを有し得る。
このとき、上述のような第１突出部（１５３−２）は、複数個具備される。
そのような場合、複数個の第１突出部（１５３−２）は、２個ずつ複数個のグループを形成し、各グループを形成する第１突出部（１５３−２）は、第１遮蔽シート本体部（１５３−１）の長手方向に沿って互いに離隔されるように配列される。
そのような場合、第１遮蔽シート１５３は、第１中心線Ｃ１を基準として、両側が互いに対称である。
【００３３】
第２遮蔽シート１５４は、第１遮蔽シート１５３と所定の角度を形成するように配置される。
具体的には、第２遮蔽シート１５４は、第１遮蔽シート１５３と直角を形成するように配列される。
第２遮蔽シート１５４は、第１遮蔽シート１５３と共に、蒸着領域Ｓを定義する。
そのような場合、第２遮蔽シート１５４は、マスクフレーム１５１とマスクシート１５２との間に配置される。
このとき、第２遮蔽シート１５４は、複数個具備され、複数個の第２遮蔽シート１５４は、第１遮蔽シート１５３の長手方向に、互いに離隔されるように配列される。
そのような第２遮蔽シート１５４は、第２遮蔽シート１５４の長手方向と平行であり、第２遮蔽シート１５４の中心を通る中心線を基準として、両側の形状が対称であるように形成される。
第２遮蔽シート１５４は、第２遮蔽シート本体部（１５４−１）と第２突出部（１５４−２）とを含む。
【００３４】
第２遮蔽シート本体部（１５４−１）は、直線状のプレートに形成される。
このとき、第２遮蔽シート本体部（１５４−１）は、マスクシート１５２の長手方向に配置される。
第２突出部（１５４−２）は、第２遮蔽シート本体部（１５４−１）から第１遮蔽シート本体部（１５３−１）の長さ方向に向かって突出する。
第２突出部（１５４−２）は、第２遮蔽シート本体部（１５４−１）と共に、蒸着領域Ｓの境界（または、枠）を定義する。
このとき、第２突出部（１５４−２）は、蒸着領域Ｓの境界を多様な形態に定義することができる。
例えば、第２突出部（１５４−２）は、蒸着領域Ｓの境界において、第２遮蔽シート本体部（１５４−１）と所定の角度を形成する傾いた部分、曲率をもって形成された部分などを定義することができる。
そのような場合、第２突出部（１５４−２）は、第１突出部（１５３−２）と類似して、複数個の開口部（１５２−１）の内の一部を遮蔽させることができる。
【００３５】
上述のような第２突出部（１５４−２）は、第１突出部（１５３−２）と異なるように形成され得る。
例えば、第２突出部（１５４−２）の形状は、第１突出部（１５３−２）と異なっていてもよい。
他の実施形態として、第２突出部（１５４−２）は、第１突出部（１５３−２）と形状が同一であり、面積（または、大きさ）が異なるように形成することも可能である。
そのような場合、第１突出部（１５３−２）と第２突出部（１５４−２）は、少なくとも一部分が重畳するようにも形成される。
それだけではなく、複数個の第１突出部（１５３−２）の内の一部だけが、第２突出部（１５４−２）と重畳するようにも配置され得る。
【００３６】
上述のような第２突出部（１５４−２）は、第２遮蔽シート本体部（１５４−１）の長手方向に対して所定の角度を形成するように、第２遮蔽シート本体部（１５４−１）から突出するように形成される。
第２突出部（１５４−２）は、複数個具備され得る。
このとき、複数個の第２突出部（１５４−２）は、１対ずつ１つのグループを形成し、複数個のグループは、第２遮蔽シート本体部（１５４−１）の長手方向に沿って互いに離隔されるように配置される。
また、一対の第２突出部（１５４−２）は、第２遮蔽シート本体部（１５４−１）を中心として互いに対向するようにも配置される。
そのような場合、互いに対向する第２突出部（１５４−２）は、互いに同一形状及び同一サイズを有することができる。
そのような場合、第２遮蔽シート１５４は、第２中心線Ｃ２を基準として、両側の形状が対称である。
【００３７】
上述のような複数個の第１遮蔽シート１５３と、複数個の第２遮蔽シート１５４は、少なくとも１以上の蒸着領域Ｓを定義する。
このとき、１つの蒸着領域Ｓは、互いに隣接する２枚の第１遮蔽シート１５３と、互いに隣接する２枚の第２遮蔽シート１５４とが形成する空間上に配置された複数個の開口部（１５２−１）を介して、蒸着物質が通過する領域として定義される。
上述のような蒸着領域Ｓは、長方形または正方形を除いた非定形の形状を有することができる。
例えば、蒸着領域Ｓは、三角形、多角形、楕円、円のような形状を有することができる。
そのような場合、蒸着領域Ｓの非定形形状は、後述する第３中心線Ｃ３を中心として、第３中心線Ｃ３の両側に配置された第１蒸着領域Ｓ１と第２蒸着領域Ｓ２とが互いに異なる形状を有する場合に定義される。
【００３８】
上述のような蒸着領域Ｓは、第１遮蔽シート１５３と平行に蒸着領域Ｓの中心を通る任意の第３中心線Ｃ３を基準として、第１蒸着領域Ｓ１と第２蒸着領域Ｓ２とに区分される。
そのような場合、第１蒸着領域Ｓ１と第２蒸着領域Ｓ２は、互いに異なる形状を有し得る。
すなわち、第３中心線Ｃ３を基準として、第１蒸着領域Ｓ１と第２蒸着領域Ｓ２は、互いに非対称であり得る。
そのような場合、第２蒸着領域Ｓ２のコーナー部分は、丸く面取り（Ｒ面取り）されて形成される。
一方、第１蒸着領域Ｓ１のコーナー部分は、傾斜するように（Ｃ面取り）形成される。
（以降の記載においては、蒸着領域、表示装置の表示領域のコーナー部分の変形に対して便宜的に「面取り」と称することとする。）
【００３９】
上述のような第１遮蔽シート１５３、第２遮蔽シート１５４、及びマスクシート１５２は、互いに異なる材質から形成され得る。
例えば、第１遮蔽シート１５３及び第２遮蔽シート１５４は、オーステナイト系ステンレス鋼（ａｕｓｔｅｎｉｔｉｃ  ｓｔａｉｎｌｅｓｓ  ｓｔｅｅｌｓ）を含んでもよく、マスクシート１５２は、ニッケル・鉄合金（ｉｎｖａｒ）を含んでもよい。
【００４０】
一方、上述のようなマスク組立体１５０の製造方法について述べれば、マスクフレーム１５１に、第１遮蔽シート１５３と第２遮蔽シート１５４とを配置した後、マスクフレーム１５１に固定させる。
具体的には、マスクフレーム１５１上に、第２遮蔽シート１５４を配置した後、第２遮蔽シート１５４が引っ張られる可能性がある。
そのような場合、第２遮蔽シート１５４は、第２中心線Ｃ２を中心として、第２中心線Ｃ２の両側の形状が対称であるように形成されることにより、引っ張り力が加えられた場合にも、捻れたり、一部分だけ変形してしまったりするということはない。
また、蒸着物質が通過する場合、高温の蒸着物質によって発生する第２遮蔽シート１５４の変形が、第２遮蔽シート１５４全体にある程度均一に生じ、第２遮蔽シート１５４の対称形状により、第２中心線Ｃ２両側の第２遮蔽シート１５４部分が同一に変形され、第２遮蔽シート１５４が捻れたり、一部分のみ変形したりするということが、過度に発生しない。
【００４１】
第２遮蔽シート１５４の両端は、マスクフレーム１５１に挿入された状態で、マスクフレーム１５１に固定される。
第１遮蔽シート１５３は、第２遮蔽シート１５４と同様に、マスクフレーム１５１に配置された後で固定される。
そのような場合、第１遮蔽シート１５３も、引っ張り力が加えられる可能性がある。
このとき、第１遮蔽シート１５３は、第１中心線Ｃ１を基準として、第１中心線Ｃ１両側の形状が互いに対称に形成されることにより、第１遮蔽シート１５３が引っ張られる時、第１遮蔽シート１５３が全区間でほぼ同一に変形されるのである。
【００４２】
一般的には、上述のように、非定形形状の蒸着領域を形成するために、第１遮蔽シートのみを介して、蒸着領域を形成する場合、第１遮蔽シート本体部の両側に配置された第１突出部の形状を互いに異ならせねばならない。
そのような場合、第１遮蔽シートが引っ張られる場合、または高温の蒸着物質により、第１遮蔽シートが加熱される場合、第１遮蔽シートの非対称により、第１遮蔽シートの各部分での変化率が互いに異なることにより、設計値と異なる蒸着領域が形成される。
それにより、蒸着物質がディスプレイ基板上に設計形状と異なる発光領域を形成することにより、不良が発生したり、品質が低下したりしてしまう。
【００４３】
しかし、上述のように、第１遮蔽シート１５３と第２遮蔽シート１５４とのそれぞれを、長手方向に平行な中心線を基準として、中心線の両側の形状が対称になるように形成することにより、引っ張られる時、または蒸着物質の蒸着時、変形を最小化させることができる。
また、第２遮蔽シート１５４の第２突出部（１５４−２）を、第１遮蔽シート１５３の第１突出部（１５３−２）と重畳させるように配置することにより、非定形の蒸着領域Ｓを具現することが可能である。
【００４４】
上述のように、第１遮蔽シート１５３と第２遮蔽シート１５４とが配置される場合、第１突出部（１５３−２）の少なくとも一部分と、第２突出部（１５４−２）の少なくとも一部分と、は重畳するように配置される。
そのような場合、第２突出部（１５４−２）の一部は、第１突出部（１５３−２）の外側に突出することができる。
それにより、第２突出部（１５４−２）は、第１蒸着領域Ｓ１において、第１突出部（１５３−２）が形成する第１蒸着領域Ｓ１の境界と異なる第２蒸着領域Ｓ２の境界を形成することができる。
【００４５】
上述のように、第１遮蔽シート１５３と第２遮蔽シート１５４とをマスクフレーム１５１に配置した後、マスクシート１５２を配置する。
このとき、第１遮蔽シート１５３と第２遮蔽シート１５４は、マスクフレーム１５１に順次に積層されたり、第２遮蔽シート１５４と第１遮蔽シート１５３とがマスクフレーム１５１に順次に積層されたりし得る。
以下では、説明の便宜のために、マスクフレーム１５１、第２遮蔽シート１５４、及び第１遮蔽シート１５３を順次に積層する場合を中心に詳細に説明する。
【００４６】
マスクシート１５２は、第１遮蔽シート１５３または第２遮蔽シート１５４の内の１枚と同一方向にも配列される。
以下では、説明の便宜のために、マスクシート１５２は、第２遮蔽シート１５４と同一方向に配置される場合を中心に詳細に説明する。
マスクシート１５２は、引っ張られた状態でマスクフレーム１５１上に配置され、マスクフレーム１５１にも固定される。
従って、マスク組立体１５０は、製造時、第１遮蔽シート１５３の変形を最小化させることにより、設計時の蒸着領域Ｓと、同一であるか、あるいは近似した蒸着領域Ｓを具現することが可能である。
【００４７】
図５は、図１に示したマスク組立体を使用した表示装置の製造装置の概略を示す断面図である。
図５を参照すると、表示装置の製造装置１００は、チャンバ１１０、第１支持部１２０、第２支持部１３０、マスク組立体１５０、ソース部１４０、磁力部１６０、ビジョン部１７０、及び圧力調節部１８０を含む。
【００４８】
チャンバ１１０は、内部に空間が形成され、一部が開口され得る。
このとき、チャンバ１１０の開口された部分には、ゲート弁（１１０−１）が設けられる。
そのような場合、ゲート弁（１１０−１）の作動により、チャンバ１１０の開口された部分は、開放（ＯＰＥＮ）されたり閉鎖（ＣＬＯＳＥ）されたりする。
【００４９】
第１支持部１２０は、ディスプレイ基板Ｄを載置して支持する。
このとき、第１支持部１２０は、チャンバ１１０内部に固定されたプレート状であり得る。
他の実施形態として、第１支持部１２０は、ディスプレイ基板Ｄが載置され、チャンバ１１０内部において線形運動可能なシャトル状でもあり得る。
さらに他の実施形態として、第１支持部１２０は、チャンバ１１０に固定されたり、昇降可能であったりするように配置される静電チャックや粘着チャックを含むことも可能である。
以下では、説明の便宜のために、第１支持部１２０は、チャンバ１１０内部に固定されるプレート状である場合を中心に詳細に説明する。
【００５０】
第２支持部１３０は、マスク組立体１５０が載置される。
このとき、第２支持部１３０は、チャンバ１１０内部に配置される。
第２支持部１３０は、マスク組立体１５０の位置を微細調整することができる。
このとき、第２支持部１３０は、マスク組立体１５０を、互いに異なる方向に移動させることができるように、別途の駆動部あるいはアラインユニットなどを具備することができる。
【００５１】
ソース部１４０は、マスク組立体１５０と対向するように配置される。
このとき、ソース部１４０には、蒸着物質が収納され、蒸着物質に熱を加えることにより、蒸着物質を蒸発させたり昇華させたりすることができる。
ソース部１４０は、チャンバ１１０内部に固定されるように配置されるか、あるいは一方向に沿って線形運動可能になるように、チャンバ１１０内部に配置される。
ただし、以下では、説明の便宜のために、ソース部１４０がチャンバ１１０内部に固定されるように配置される場合を中心に詳細に説明する。
【００５２】
磁力部１６０は、ディスプレイ基板Ｄと対向するように、チャンバ１１０内部に配置される。
このとき、磁力部１６０は、マスクシート１５２に磁力を加え、ディスプレイ基板Ｄ側に、マスク組立体１５０に力を加えることができる。
特に、磁力部１６０は、マスクシート１５２の反りを防止するだけではなく、マスクシート１５２をディスプレイ基板Ｄに隣接させることができる。
また、磁力部１６０は、マスクシート１５２とディスプレイ基板Ｄとの間隔を、マスクシート１５２の長手方向に対して均一に維持させることができる。
【００５３】
ビジョン部１７０は、チャンバ１１０に設けられ、ディスプレイ基板Ｄとマスク組立体１５０との位置を撮影することができる。
このとき、ビジョン部１７０は、ディスプレイ基板Ｄ及びマスク組立体１５０を撮影するカメラを含み得る。
ビジョン部１７０で撮影されたイメージを基に、ディスプレイ基板Ｄとマスク組立体１５０との位置を把握することができ、そのイメージを基に、第２支持部１３０において、マスク組立体１５０の位置を微細調整することができる。
【００５４】
圧力調節部１８０は、チャンバ１１０と連結され、チャンバ１１０内部の圧力を調節することができる。
例えば、圧力調節部１８０は、チャンバ１１０内部の圧力を、大気圧と、同一であるか、あるいは近似して調節することができる。
また、圧力調節部１８０は、チャンバ１１０内部の圧力を、真空状態と同一であるか、あるいは近似して調節することができる。
圧力調節部１８０は、チャンバ１１０と連結される連結配管１８１と、連結配管１８１に設けられるポンプ１８２と、を含み得る。
このとき、ポンプ１８２の作動により、連結配管１８１を介して、外気を流入させたり、チャンバ１１０内部のガスを連結配管１８１を介して、外部に案内、流出させたりすることができる。
【００５５】
一方、上述のような表示装置の製造装置１００は、以下で説明する表示装置（図示せず）の製造にも使用される。
具体的には、圧力調節部１８０が、チャンバ１１０内部を大気圧と同一であるか、あるいは近似した状態にすれば、ゲート弁（１１０−１）が作動し、チャンバ１１０の開口された部分を開放することができる。
その後、外部から、ディスプレイ基板Ｄを、チャンバ１１０外部から内部に装入（挿入）する。
このとき、ディスプレイ基板Ｄは、多様な方式により、チャンバ１１０に装入（挿入）される。
例えば、ディスプレイ基板Ｄは、チャンバ１１０外部に配置されたロボットアームなどを介して、チャンバ１１０外部からチャンバ１１０内部に装入（挿入）される。
【００５６】
他の実施形態として、第１支持部１２０がシャトル状に形成される場合、第１支持部１２０が、チャンバ１１０内部からチャンバ１１０外部に搬出された後、チャンバ１１０外部に配置された別途のロボットアームなどを介して、ディスプレイ基板Ｄを第１支持部１２０に載置させ、第１支持部１２０がチャンバ１１０外部からチャンバ１１０内部に装入（挿入）することも可能である。
以下では、説明の便宜のために、チャンバ１１０外部に配置されたロボットアームを介して、ディスプレイ基板Ｄが、チャンバ１１０外部からチャンバ１１０内部に装入（挿入）する場合を中心に詳細に説明する。
【００５７】
マスク組立体１５０は、上述のように、チャンバ１１０内部に配置された状態である。
他の実施形態として、マスク組立体１５０は、ディスプレイ基板Ｄと同一であるか、あるいは類似し、チャンバ１１０外部からチャンバ１１０内部に装入（挿入）することも可能である。
ただし、以下では、説明の便宜のために、マスク組立体１５０は、チャンバ１１０内部に配置された状態において、ディスプレイ基板Ｄだけがチャンバ１１０外部からチャンバ１１０内部に装入（挿入）される場合を中心に詳細に説明する。
【００５８】
ディスプレイ基板Ｄがチャンバ１１０内部に装入されると、ディスプレイ基板Ｄは、第１支持部１２０に載置される。
このとき、ビジョン部１７０は、ディスプレイ基板Ｄとマスク組立体１５０との位置を撮影する。
特に、ビジョン部１７０は、ディスプレイ基板Ｄの第１アラインマーク、及びマスク組立体１５０の第２アラインマークを撮影する。
上述のように、撮影された第１アラインマークと第２アラインマークとを基に、ディスプレイ基板Ｄとマスク組立体１５０との位置を把握することができる。
このとき、表示装置の製造装置１００は、別途の制御部（図示せず）が具備され、ディスプレイ基板Ｄとマスク組立体１５０との位置を把握することができる。
ディスプレイ基板Ｄとマスク組立体１５０との位置把握が完了すれば、第２支持部１３０は、マスク組立体１５０の位置を微細調整する。
【００５９】
その後、ソース部１４０が作動し、蒸着物質をマスク組立体１５０側に供給し、複数個の開口部（１５２−１）を通過した蒸着物質は、ディスプレイ基板Ｄに蒸着される。
このとき、ポンプ１８２は、チャンバ１１０内部のガスを吸入し、外部に排出させることにより、チャンバ１１０内部の圧力を、真空と同一であるか、あるいは近似した状態に維持させる。
上述のような場合、蒸着物質は、上述の蒸着領域（図示せず）上に配置された開口部を通過し、ディスプレイ基板Ｄに蒸着される。
このとき、マスク組立体１５０は、上述のように設計された蒸着領域と、同一であるか、あるいは近似した蒸着領域を提供することができる。
従って、表示装置の製造装置１００は、ディスプレイ基板Ｄに設計された形態と同一であるか、あるいは近似した領域に蒸着物質を蒸着させることが可能である。
また、表示装置の製造装置１００は、非定形の発光領域を有しながら、精密な表示装置を製造することが可能である。
【００６０】
図６は、図５に図示された表示装置の製造装置を介して製造された表示装置の概略を示す平面図であり、図７は、図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿って切断した断面図である。
図６及び図７を参照すると、表示装置２０は、基板２１上において、表示領域ＤＡと、表示領域ＤＡの外郭の非表示領域ＮＤＡとが定義される。
表示領域ＤＡには、有機発光素子２８が配置され、非表示領域には、電源配線（図示せず）などが配置される。
また、非表示領域には、パッド部Ｃが配置される。
【００６１】
上述のような表示領域ＤＡには、上述の蒸着領域（図示せず）を通過した複数個の蒸着物質パターンが配置される。
このとき、表示領域ＤＡは、非定形形状でもある。
具体的には、表示領域ＤＡは、表示領域ＤＡの中心を通る任意の第４中心線Ｃ４に対して、第４中心線Ｃ４の両側が非対称形態である。
このとき、表示領域ＤＡの中心は、表示領域ＤＡの境界のうち任意の２つの点を結ぶ線分のうち、長さが最長である線分と、長さが最短である線分とが交差する地点である。
また、任意の第４中心線Ｃ４は、前述の第１遮蔽シート（図示せず）の第１中心線（図示せず）と平行でもある。
【００６２】
上述のような表示領域ＤＡは、第４中心線Ｃ４を基準として、第１表示領域ＤＡ１と第２表示領域ＤＡ２とに区分される。
そのような場合、第１表示領域ＤＡ１と第２表示領域ＤＡ２との形状及び大きさ（または、面積）は、互いに異なるように形成される。
表示装置２０は、ディスプレイ基板Ｄ、ディスプレイ基板Ｄ上に配置された中間層（２８−２）、中間層（２８−２）上に配置された対向電極（２８−３）を含み得る。
また、表示装置２０は、対向電極（２８−３）の上部に形成される薄膜封止層Ｅを含み得る。
【００６３】
ディスプレイ基板Ｄは、基板２１、薄膜トランジスタＴＦＴ、パッシベーション膜２７及び画素電極（２８−１）を含み得る。
基板２１には、プラスチック材を使用することができ、また、ＳＵＳ（ｓｔｅｅｌ  ｕｓｅ  ｓｔａｉｎｌｅｓｓ）、Ｔｉのような金属材を使用することもできる。
また、基板２１は、ポリイミド（ＰＩ）を使用することもできる。
以下では、説明の便宜のために、基板２１がポリイミドによって形成される場合を中心に詳細に説明する。
【００６４】
基板２１上に、薄膜トランジスタＴＦＴが形成され、薄膜トランジスタＴＦＴを覆うように、パッシベーション膜２７が形成され、このパッシベーション膜２７上に、有機発光素子２８が形成される。
基板２１の上面には、有機化合物及び／または無機化合物からなるバッファ層２２がさらに形成されるが、ＳｉＯｘ（ｘ≧１）、ＳｉＮｘ（ｘ≧１）などからも形成される。
バッファ層２２上に、所定パターンに配列された活性層２３が形成された後、活性層２３が、ゲート絶縁層２４によっても埋め込まれる。
活性層２３は、ソース領域（２３−１）とドレイン領域（２３−３）とを有し、その間に、チャネル領域（２３−２）をさらに含む。
【００６５】
そのような活性層２３は、多様な物質を含むように形成される。
例えば、活性層２３は、非晶質シリコンまたは結晶質シリコンのような無機半導体物質を含んでもよい。
他の例として、活性層２３は、酸化物半導体を含んでもよい。
さらに他の例として、活性層２３は、有機半導体物質を含んでもよい。
ただし、以下では、説明の便宜のために、活性層２３が非晶質シリコンから形成される場合を中心に詳細に説明する。
そのような活性層２３は、バッファ層２２上に、非晶質シリコン膜を形成した後、それを結晶化させ、多結晶質シリコン膜に形成し、多結晶質シリコン膜をパターニングして形成することができる。
【００６６】
活性層２３は、駆動ＴＦＴ（図示せず）、スイッチングＴＦＴ（図示せず）のようなＴＦＴ（ｔｈｉｎ  ｆｉｌｍ  ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）種類により、当該のソース領域（２３−１）及びドレイン領域（２３−３）が不純物によってドーピングされる。
ゲート絶縁層２４の上面には、活性層２３と対応するゲート電極２５と、それを埋め込む層間絶縁層２６とが形成される。
そして、層間絶縁層２６とゲート絶縁層２４とに、コンタクトホールＨ１を形成した後、層間絶縁層２６上に、ソース電極（２７−１）及びドレイン電極（２７−２）が、それぞれソース領域（２３−１）及びドレイン領域（２３−３）とコンタクトされるように形成する。
【００６７】
そのように形成された薄膜トランジスタの上部には、パッシベーション膜２７が形成され、パッシベーション膜２７上部に、有機発光素子（ＯＬＥＤ）２８の画素電極（２８−１）が形成される。
画素電極（２８−１）は、パッシベーション膜２７に形成されたビアホールＨ２により、ＴＦＴのドレイン電極（２７−２）にコンタクトされる。
パッシベーション膜２７は、無機物及び／または有機物、単層または２層以上にも形成されるが、下部膜の屈曲に係わりなく、上面が平坦になるように、平坦化膜によっても形成される一方、下部に位置した膜の屈曲に沿って屈曲がなされるようにも形成される。
そして、パッシベーション膜２７は、共振効果を達成するように、透明絶縁体によって形成されることが望ましい。
【００６８】
パッシベーション膜２７上に、画素電極（２８−１）を形成した後には、画素電極（２８−１）及びパッシベーション膜２７を覆うように、画素定義膜２９が、有機物及び／または無機物によって形成され、画素電極（２８−１）が露出するように開口される。
そして、少なくとも、画素電極（２８−１）上に、中間層（２８−２）及び対向電極（２８−３）が形成される。
他の実施形態として、対向電極（２８−３）は、ディスプレイ基板Ｄの全面に形成することも可能である。
そのような場合、対向電極（２８−３）は、中間層（２８−２）、画素定義膜２９の上にも形成される。
以下では、説明の便宜のために、対向電極（２８−３）が、中間層（２８−２）、画素定義膜２９の上に形成される場合を中心に詳細に説明する。
【００６９】
画素電極（２８−１）は、アノード電極の機能を行い、対向電極（２８−３）は、カソード電極の機能を行うが、ここで、それら画素電極（２８−１）と対向電極（２８−３）との極性が反対になってもよいということは言うまでもない。
画素電極（２８−１）と対向電極（２８−３）は、中間層（２８−２）によって互いに絶縁されており、中間層（２８−２）に、互いに異なる極性の電圧を加え、有機発光層で発光がなされるようにする。
【００７０】
中間層（２８−２）は、有機発光層を具備する。
選択的な他の例として、中間層（２８−２）は、有機発光層（ｏｒｇａｎｉｃ  ｅｍｉｓｓｉｏｎ  ｌａｙｅｒ）を具備し、その外に、正孔注入層（ＨＩＬ：ｈｏｌｅ  ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ  ｌａｙｅｒ）、正孔輸送層（ｈｏｌｅ  ｔｒａｎｓｐｏｒｔ  ｌａｙｅｒ）、電子輸送層（ｅｌｅｃｔｒｏｎ  ｔｒａｎｓｐｏｒｔ  ｌａｙｅｒ）及び電子注入層（ｅｌｅｃｔｒｏｎ  ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ  ｌａｙｅｒ）の内の少なくとも１層をさらに具備することができる。
本実施形態は、それに限定されるものではなく、中間層（２８−２）が有機発光層を具備し、その他多様な機能層（図示せず）をさらに具備することができる。
このとき、上述のような中間層（２８−２）は、上述の表示装置の製造装置（図示せず）を介しても形成される。
【００７１】
上述のような中間層（２８−２）は、複数、具備され、複数の中間層（２８−２）は、表示領域ＤＡを形成することができる。
特に、複数の中間層（２８−２）は、長方形、正方形を除いた形状の表示領域ＤＡを形成し得る。
このとき、複数の中間層（２８−２）は、表示領域ＤＡ内に互いに離隔されるように配置される。
そのような複数の中間層（２８−２）の内の一部の面積は、複数の中間層（２８−２）の内の他の一部の面積と異なってもいる。
例えば、複数の中間層（２８−２）の内の一部の面積は、複数の中間層（２８−２）の他の一部の面積より小さく形成される。
そのような複数の中間層２８−２の内の他の中間層（２８−２）より面積が小さい中間層（２８−２）は、前述の遮断部（図示せず）の境界でも形成される。
【００７２】
一方、１つの単位画素は、複数の副画素からなるが、複数の副画素は、多様な色の光を放出することができる。
例えば、複数の副画素は、それぞれ赤色、緑色、及び青色の光を放出する副画素を具備することができ、赤色、緑色、青色及び白色の光を放出する副画素（図示せず）を具備することができる。
前述のような副画素は、１個の中間層（２８−２）を含み得る。
このとき、１つの副画素を形成する場合、前述の表示装置の製造装置１００を介して、中間層（２８−２）を形成することができる。
【００７３】
一方、上述のような薄膜封止層Ｅは、複数の無機層を含むか、あるいは無機層及び有機層を含んでもよい。
薄膜封止層Ｅの有機層は、高分子によって形成され、望ましくは、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリカーボネート、エポキシ、ポリエチレン、及びポリアクリレートの内のいずれか一つによって形成される単一膜または積層膜であり得る。
さらに望ましくは、有機層は、ポリアクリレートによって形成され、具体的には、ジアクリレート系モノマーやトリアクリレート系モノマーを含むモノマー組成物が高分子化されたものを含んでもよい。
モノマー組成物に、モノアクリレート系モノマーがさらに含まれてもよい。
また、モノマー組成物に、ＴＰＯのような公知の光開始剤がさらに含まれてもよいが、それに限定されるものではない。
【００７４】
薄膜封止層Ｅの無機層は、金属酸化物または金属窒化物を含む単一膜または膜であり得る。
具体的には、無機層は、ＳｉＮｘ、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２の内のいずれか一つを含み得る。
薄膜封止層Ｅにおいて、外部に露出した最上層は、有機発光素子に対する透湿を防止するために、無機層によっても形成される。
薄膜封止層Ｅは、少なくとも２層の無機層間に、少なくとも１層の有機層が挿入されたサンドイッチ構造を少なくとも一つ含んでもよい。
他の例として、薄膜封止層Ｅは、少なくとも２層の有機層間に、少なくとも１層の無機層が挿入されたサンドイッチ構造を少なくとも一つ含んでもよい。
さらに他の例として、薄膜封止層Ｅは、少なくとも２層の無機層間に、少なくとも１層の有機層が挿入されたサンドイッチ構造、及び少なくとも２層の有機層間に、少なくとも１つの無機層が挿入されたサンドイッチ構造を含んでもよい。
【００７５】
薄膜封止層Ｅは、有機発光素子（ＯＬＥＤ）の上部から順に、第１無機層、第１有機層、第２無機層を含んでもよい。
他の例として、薄膜封止層Ｅは、有機発光素子（ＯＬＥＤ）の上部から順に、第１無機層、第１有機層、第２無機層、第２有機層、第３無機層を含んでもよい。
さらに他の例として、薄膜封止層Ｅは、有機発光素子（ＯＬＥＤ）の上部から順に、第１無機層、第１有機層、第２無機層、第２有機層、第３無機層、第３有機層、第４無機層を含んでもよい。
有機発光素子（ＯＬＥＤ）と第１無機層との間に、ＬｉＦを含むハロゲン化金属層が追加して含まれてもよい。
ハロゲン化金属層は、第１無機層をスパッタリング法で形成するとき、前記有機発光素子（ＯＬＥＤ）の損傷を防止することができる。
【００７６】
第１有機層は、該第２無機層より面積が狭く、第２有機層も第３無機層より面積が狭い。
従って、表示装置２０は、長方形及び正方形を除いた形状を有する表示領域を具現することが可能である。
また、表示装置２０は、設計された表示領域と、同一であるか、あるいは近似した表示領域が具現される。
【００７７】
図８は、本発明の他の実施形態によるマスク組立体の第２遮蔽シートを示す平面図であり、図９は、図８に示した第２遮蔽シートを含むマスク組立体を介して製造された表示装置の概略を示す平面図である。
図８及び図９を参照すると、マスク組立体（図示せず）は、マスクフレーム（図示せず）、第１遮蔽シート（図示せず）、第２遮蔽シート１５４Ａ、及びマスクシート（図示せず）を含む。
このとき、マスクフレーム、第１遮蔽シート、及びマスクシートは、前述の図１〜図４Ｂで説明したものと同一であるか、あるいは類似しているので、詳細な説明は、省略する。
【００７８】
第２遮蔽シート１５４Ａは、第２遮蔽シート本体部（１５４Ａ−１）と第２突出部（１５４Ａ−２）とを含む。
このとき、第２遮蔽シート本体部（１５４Ａ−１）と第２突出部（１５４Ａ−２）は、前述の図１〜図４Ｂで説明したものと類似している。
このとき、第２突出部（１５４Ａ−２）の形状は、前述の図１〜図４Ｂに示したものと異なる。
この場合、第２突出部（１５４Ａ−２）は、円の一部と類似した形態でもある。
このとき、第２突出部（１５４Ａ−２）は、第１突出部（図示せず）の両側辺の内の片方の側辺に形成されることにより、前記第１突出部の一部を遮蔽させることができる。
【００７９】
上述のような場合、第１遮蔽シートは、第１中心線（図示せず）を基準として、第１中心線両側の形状が対称になり、第２遮蔽シート１５４Ａは、第２中心線Ｃ２を基準として、第２中心線Ｃ２の両側の形状が対称になる。
そのような場合、上述したように、第１遮蔽シート及び第２遮蔽シート１５４Ａが引っ張られて、マスクフレームに固定させる場合、の第１遮蔽シート及び第２遮蔽シート１５４Ａの内の少なくとも１枚は、捻れなどが発生しない。
従って、マスク組立体は、設計された蒸着領域に蒸着物質を通過させることが可能である。
【００８０】
一方、上述のようなマスク組立体を使用し、蒸着物質をディスプレイ基板（図示せず）に蒸着させる場合、図９に示しているような表示領域ＤＡを含んでもよい。
このとき、表示装置２０は、前述の図７で説明したものと同様に形成される。
このとき、表示領域ＤＡの周囲には、非表示領域ＤＡが配置され、非表示領域ＤＡには、パッドＣが配置される。
表示領域ＤＡは、第４中心線Ｃ４を基準として、第４中心線Ｃ４の両側に配置される第１表示領域ＤＡ１及び第２表示領域ＤＡ２を含む。
このとき、第１表示領域ＤＡ１と第２表示領域ＤＡ２は、図９に示しているように、互いに異なる形状、互いに異なる大きさを有することができる。
【００８１】
そのような場合、第１表示領域ＤＡ１のコーナー（ｃｏｒｎｅｒ）は、表示領域ＤＡ内部に引き込まれるように形成され、面取りされて形成される。
一方、第２表示領域ＤＡ２のコーナーは、表示領域ＤＡの外側に向かって凸状に形成され、面取りされて形成される。
そのような場合、第１表示領域ＤＡ１のコーナーと、第２表示領域ＤＡ２のコーナーとの内の少なくとも一つは、少なくとも一つ以上の曲率半径を有し得る。
【００８２】
一実施形態として、第１表示領域ＤＡ１のコーナーの曲率半径と、第２表示領域ＤＡ２のコーナーの曲率半径とが一つである場合、第１表示領域ＤＡ１のコーナーの曲率半径と、第２表示領域ＤＡ２のコーナーの曲率半径は、互いに異なっていてもよい。
他の実施形態として、第１表示領域ＤＡ１のコーナーの曲率半径と、第２表示領域ＤＡ２のコーナーの曲率半径とがそれぞれ複数個である場合、複数個の第１表示領域ＤＡ１のコーナーの曲率半径の内の少なくとも一つと、複数個の第２表示領域ＤＡ２のコーナーの曲率半径の内の少なくとも一つは、互いに異なっていてもよい。
従って、表示装置２０は、設計されたものと同一であるか、あるいは近似した精密な形態の非定形表示領域ＤＡを有することが可能である。
【００８３】
図１０は、本発明のさらに他の実施形態によるマスク組立体の第２遮蔽シートを示す平面図であり、図１１は、図１０に示した第２遮蔽シートを含むマスク組立体を介して製造された表示装置の概略を示す平面図である。
図１０及び図１１を参照すると、マスク組立体（図示せず）は、マスクフレーム（図示せず）、第１遮蔽シート（図示せず）、第２遮蔽シート１５４Ｂ、及びマスクシート（図示せず）を含む。
このとき、マスクフレーム、第１遮蔽シート、及びマスクシートは、前述の図１〜図４Ｂで説明したものと同一であるか、あるいは類似しているので、詳細な説明は、省略する。
【００８４】
第２遮蔽シート１５４Ｂは、第２遮蔽シート本体部（１５４Ｂ−１）と第２突出部（１５４Ｂ−２）を含む。
このとき、第２遮蔽シート本体部（１５４Ｂ−１）と第２突出部（１５４Ｂ−２）は、前述の図１〜図４Ｂで説明したものと類似している。
このとき、第２突出部（１５４Ｂ−２）の形状は、前述の図１〜図４Ｂに示したものと異なり得る。
そのような場合、第２突出部（１５４Ｂ−２）は、四角形形状でもある。
このとき、第２突出部（１５４Ｂ−２）は、前記第１突出部の一部を遮蔽させることができる。
【００８５】
上述のような場合、第１遮蔽シートは、第１中心線（図示せず）を基準として、第１中心線両側の形状が対称になり、第２遮蔽シート１５４Ｂは、第２中心線Ｃ２を基準として、第２中心線Ｃ２の両側の形状が対称になる。
そのような場合、前述のように、第１遮蔽シート及び第２遮蔽シート１５４Ｂが引っ張られ、マスクフレーム（図示せず）に固定させる場合、第１遮蔽シート及び第２遮蔽シート１５４Ｂの内の少なくとも１枚は、捻れなどが発生しない。
従って、マスク組立体は、設計された蒸着領域において、蒸着物質を通過させることが可能である。
【００８６】
一方、上述のようなマスク組立体を使用し、蒸着物質をディスプレイ基板（図示せず）に蒸着させる場合、図１１に示しているような表示領域ＤＡを含む。
このとき、表示装置２０は、前述の図７で説明したものと同様に形成される。
このとき、表示領域ＤＡの周囲には、非表示領域ＤＡが配置され、非表示領域ＤＡには、パッドＣが配置される。
表示領域ＤＡは、第４中心線Ｃ４を基準として、第４中心線Ｃ４の両側に配置される第１表示領域ＤＡ１と第２表示領域ＤＡ２とを含む。
このとき、第１表示領域ＤＡ１と第２表示領域ＤＡ２は、図１１に示しているように、互いに異なる形状、互いに異なる大きさを有し得る。
例えば、第１表示領域ＤＡ１のコーナー部分は、段のような形状形成され、第２表示領域ＤＡ２のコーナー部分は、面取り（Ｒ面取り）されている。
従って、表示装置２０は、設計されたものと同一であるか、あるいは類似した精密な形態の非定形表示領域ＤＡを有することが可能である。
【００８７】
図１２は、本発明のさらに他の実施形態によるマスク組立体の第１遮蔽シート及び第２遮蔽シートを示す平面図であり、図１３は、図１２に示した第２遮蔽シートを含むマスク組立体を介して製造された表示装置の概略を示す平面図である。
図１２及び図１３を参照すると、マスク組立体（図示せず）は、マスクフレーム（図示せず）、第１遮蔽シート１５３Ｃ、第２遮蔽シート１５４Ｃ、及びマスクシート（図示せず）を含む。
このとき、マスクフレーム及びマスクシートは、前述の図１〜図４Ｂで説明したものと同一であるか、あるいは類似しているので、詳細な説明は、省略する。
【００８８】
第１遮蔽シート１５３Ｃは、第１遮蔽シート本体部（１５３Ｃ−１）と第１突出部（１５３Ｃ−２）とを含む。
このとき、第１遮蔽シート本体部（１５３Ｃ−１）と第１突出部（１５３Ｃ−２）は、前述の図１〜図４Ｂで説明したものと同一であるか、あるいは類似しているので、詳細な説明は、省略する。
第２遮蔽シート１５４Ｃは、第２遮蔽シート本体部（１５４Ｃ−１）と第２突出部（１５４Ｃ−２）とを含む。
このとき、第２遮蔽シート本体部（１５４Ｃ−１）と第２突出部（１５４Ｃ−２）は、前述の図１〜図４Ｂで説明したものと類似してもいる。
【００８９】
このとき、第２突出部（１５４Ｃ−２）は、第１突出部（図示せず）の両側辺の内の片方の側辺に形成されることにより、第１突出部（１５３Ｃ−２）の一部を遮蔽させることができる。
そのような場合、第１突出部（１５３Ｃ−２）の面取りされた部分と、第２突出部（１５４Ｃ−２）の面取りされた部分との形状が互いに異なっていてもよい。
例えば、第１突出部（１５３Ｃ−２）の面取りされた部分の曲率半径Ｒ１と、第２突出部（１５４Ｃ−２）の面取りされた部分の曲率半径Ｒ２とが互いに異なっていてもよい。
前述のような場合、第１遮蔽シート１５３Ｃは、第１中心線Ｃ１を基準として、第１中心線Ｃ１両側の形状が対称になり、第２遮蔽シート１５４Ｃは、第２中心線Ｃ２を基準として、第２中心線Ｃ２の両側の形状が対称になる。
そのような場合、前述のように、第１遮蔽シート１５３Ｃ及び第２遮蔽シート１５４Ｃが引っ張られ、マスクフレーム１５１に固定させる場合、第１遮蔽シート１５３Ｃ及び第２遮蔽シート１５４Ｃの内の少なくとも１枚は、捻れなどが発生しない。
従って、マスク組立体は、設計された蒸着領域において、蒸着物質を通過させることが可能である。
【００９０】
一方、上述のようなマスク組立体を使用し、蒸着物質をディスプレイ基板（図示せず）に蒸着させる場合、図１３に示しているような表示領域ＤＡを含む。
このとき、表示装置２０は、前述の図７で説明したものと同様に形成される。
このとき、表示領域ＤＡの周囲には、非表示領域ＮＤＡが配置され、非表示領域ＮＤＡには、パッドＣが配置され得る。
表示領域ＤＡは、第４中心線Ｃ４を基準として、第４中心線Ｃ４の両側に配置される第１表示領域ＤＡ１と第２表示領域ＤＡ２とを含む。
このとき、第１表示領域ＤＡ１と第２表示領域ＤＡ２は、図１３に示しているように、互いに異なる形状、互いに異なる大きさを有することができる。
【００９１】
そのような場合、第１表示領域ＤＡ１のコーナーと、第２表示領域ＤＡ２のコーナーは、それぞれ表示領域ＤＡの外側に向かって曲がる形態をなし得る。
このとき、第１表示領域ＤＡ１と第２表示領域ＤＡ２との内の少なくとも一つは、少なくとも一つ以上の曲率半径を有し得る。
一実施形態として、第２表示領域ＤＡ２の曲率半径Ｒ１’と、第１表示領域ＤＡ１の曲率半径Ｒ２’とが一つである場合、第２表示領域ＤＡ２の曲率半径Ｒ１’と、第１表示領域ＤＡ１の曲率半径Ｒ２’は、互いに異なっていてもよい。
他の実施形態として、第２表示領域ＤＡ２の曲率半径Ｒ１’と、第１表示領域ＤＡ１の曲率半径Ｒ２’とがそれぞれ複数個である場合、複数個の第２表示領域ＤＡ２の曲率半径Ｒ１’の内の少なくとも一つと、複数個の第１表示領域ＤＡ１の曲率半径Ｒ２’の内の少なくとも一つは、互いに異なっていてもよい。
【００９２】
特に、第１表示領域ＤＡ１は、第１突出部（１５３Ｃ−２）により、蒸着物質が遮断されることによって形成される。
また、第２表示領域ＤＡ２は、第２突出部（１５４Ｃ−２）によって蒸着物質が遮断されることによって形成される。
すなわち、第１表示領域ＤＡ１の形成時、第１突出部（１５３Ｃ−２）が影響を及ぼし、第２表示領域ＤＡ２の形成時、第２突出部（１５４Ｃ−２）が影響を及ぼす。
従って、表示装置２０は、設計されたものと同一であるか、あるいは近似して精密な形態の非定形表示領域ＤＡを有することが可能である。
【００９３】
尚、本発明は、上述の実施形態に限られるものではない。本発明の技術的範囲から逸脱しない範囲内で多様に変更実施することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００９４】
本発明に係るマスク組立体及びそれを利用した表示装置の製造装置並びに表示装置の製造方法は、表示装置及び表示装置を含む電子機器全般に好適に使用される。
【符号の説明】
【００９５】
２０    表示装置
２１    基板
１００    表示装置の製造装置
１１０    チャンバ
１１０−１    ゲート弁
１２０    第１支持部
１３０    第２支持部
１４０    ソース部
１５０    マスク組立体
１５１    マスクフレーム
１５２    マスクシート
１５２−１    開口部
１５３、１５３Ｃ    第１遮蔽シート
１５３−１、１５３Ｃ−１    第１遮蔽シート本体部
１５３−２、１５３Ｃ−２    第１突出部
１５４、１５４Ａ、１５４Ｂ、１５４Ｃ    第２遮蔽シート
１５４−１、１５４Ａ−１、１５４Ｂ−１、１５４Ｃ−１    第２遮蔽シート本体部
１５４−２、１５４Ａ−２、１５４Ｂ−２、１５４Ｃ−２    第２突出部
１６０    磁力部
１７０    ビジョン部
１８０    圧力調節部
１８１    連結配管
１８２    ポンプ
Ｄ    ディスプレイ基板
【図１】
2020056096.tif 000003
【図２】
2020056096.tif 000004
【図３】
2020056096.tif 000005
【図４Ａ】
2020056096.tif 000006
【図４Ｂ】
2020056096.tif 000007
【図５】
2020056096.tif 000008
【図６】
2020056096.tif 000009
【図７】
2020056096.tif 000010
【図８】
2020056096.tif 000011
【図９】
2020056096.tif 000012
【図１０】
2020056096.tif 000013
【図１１】
2020056096.tif 000014
【図１２】
2020056096.tif 000015
【図１３】
2020056096.tif 000016