(57)【要約】【課題】簡易な構成で、再使用可能な研磨治具を提供する。【解決手段】筒部と、前記筒部の一端側に形成されるフランジ部とを有する第一部材と、前記フランジ部に着脱自在に固定される環状の平板部材と、前記第一部材内に配置された被加工物を前記平板部材と対向する研磨定盤に前記筒部の内側から押さえ付ける第二部材とを備え、前記平板部材の前記研磨定盤と対向する摺接面は、前記平板部材の内周から外周に達する複数の溝を有する、研磨治具。【選択図】図２
2020093333.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒部と、前記筒部の一端側に形成されるフランジ部とを有する第一部材と、
前記フランジ部に着脱自在に固定される環状の平板部材と、
前記第一部材内に配置された被加工物を前記平板部材と対向する研磨定盤に前記筒部の内側から押さえ付ける第二部材とを備え、
前記平板部材の前記研磨定盤と対向する摺接面は、前記平板部材の内周から外周に達する複数の溝を有する、
研磨治具。
【請求項２】
前記平板部材の前記摺接面の外周縁に面取り部が形成されている請求項１に記載の研磨治具。
【請求項３】
筒部と、前記筒部の一端側に形成されるフランジ部とを有する第一部材と、
前記第一部材内に配置された被加工物を前記フランジ部と対向する研磨定盤に前記筒部の内側から押さえ付ける第二部材とを備え、
前記フランジ部は、周方向に間隔をあけて配列される複数の貫通孔を有し、
前記貫通孔に挿通される軸部と、前記軸部の一端に設けられる頭部とを有するボルトと、
前記頭部との間に前記フランジ部を挟んだ状態で、前記軸部にネジ結合されるナットとを備え、
前記頭部が前記研磨定盤との摺接面を有する、
研磨治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、研磨治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、断面観察用試料を研磨定盤により研磨する際に試料を保持する研磨治具を開示している。特許文献１には、平行研磨治具の一例として、柱状の本体と、この本体を収納する筒状のホルダとを備える研磨治具が記載されている（特許文献１の図１９、図２０を参照）。このホルダの一端側にはフランジ部が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２３３６４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
半導体チップや回路基板、各種電気・電子部品などの試料の内部構造を観察するため、試料の断面を機械研磨することが行われている。試料を研磨する際に、試料を保持する研磨治具が利用されている。研磨治具としては、特許文献１に記載されるような、筒部とその一端側に形成されるフランジ部とを有する第一部材と、第一部材に収納される第二部材とを備える平行研磨治具と呼ばれるものがある。このような研磨治具を用いて被加工物（試料）を研磨する場合、第一部材の筒部に第二部材を挿入して収納した状態で、研磨定盤の上に研磨治具を載せる。そして、第一部材内に配置された被加工物を第二部材の先端で研磨定盤に押さえ付けることで研磨作業を行う。
【０００５】
研磨治具を用いて研磨作業を行うときは、研磨定盤の研磨面に対向する第一部材のフランジ部の下端面を研磨面に摺接させることによって、研磨治具を支持する。そのため、被加工物の研磨と同時に、フランジ部も研磨されることなる。一般に、研磨面に接触するフランジ部の下端面には、研磨性能を向上させることを目的として、例えば水などの研磨液を第一部材内に導入したり、被加工物の研磨屑を第一部材外に排出したりするための溝が形成されている。
【０００６】
研磨作業を繰り返すうち、フランジ部の下端面が摩耗して溝がすり減っていくと、溝としての機能が失われる。そのため、フランジ部が摩耗してある程度薄くなると、その研磨治具は使用できない。その場合、摩耗した研磨治具を廃棄し、新しい研磨治具に交換する必要がある。しかしながら、新しい研磨治具を一から製作する場合、製作に時間がかかり、製作コストも高くなる。第一部材に第二部材を収納する構成の研磨治具では、研磨定盤に対して被加工物を平行状態に保持するため、第一部材と第二部材とが互いにぴったりと嵌り合う必要がある。第二部材の形状・寸法に適合する第一部材のみを製作することは難しい。そのため、フランジ部が摩耗して第一部材が使用不可になった場合は、第二部材に不具合がなくても使用できなくなる。
【０００７】
本開示は、簡易な構成で、再使用可能な研磨治具を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の研磨治具は、
筒部と、前記筒部の一端側に形成されるフランジ部とを有する第一部材と、
前記フランジ部に着脱自在に固定される環状の平板部材と、
前記第一部材内に配置された被加工物を前記平板部材と対向する研磨定盤に前記筒部の内側から押さえ付ける第二部材とを備え、
前記平板部材の前記研磨定盤と対向する摺接面は、前記平板部材の内周から外周に達する複数の溝を有する。
【０００９】
本開示の研磨治具は、
筒部と、前記筒部の一端側に形成されるフランジ部とを有する第一部材と、
前記第一部材内に配置された被加工物を前記フランジ部と対向する研磨定盤に前記筒部の内側から押さえ付ける第二部材とを備え、
前記フランジ部は、周方向に間隔をあけて配列される複数の貫通孔を有し、
前記貫通孔に挿通される軸部と、前記軸部の一端に設けられる頭部とを有するボルトと、
前記頭部との間に前記フランジ部を挟んだ状態で、前記軸部にネジ結合されるナットとを備え、
前記頭部が前記研磨定盤との摺接面を有する。
【発明の効果】
【００１０】
本開示の研磨治具は、簡易な構成で、再使用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、実施形態１に係る研磨治具の構成を示す概略斜視図である。
【図２】図２は、実施形態１に係る研磨治具の構成を示す概略断面図である。
【図３】図３は、実施形態１に係る研磨治具に備える平板部材を示す概略断面図である。
【図４】図４は、実施形態１に係る研磨治具に備える平板部材を摺接面側ら見た概略下面図である。
【図５】図５は、実施形態１に係る研磨治具に備える平板部材の別の一例を示す概略断面図である。
【図６】図６は、実施形態２に係る研磨治具に備える第一部材の構成を示す概略斜視図である。
【図７】図７は、実施形態２に係る研磨治具に備える第一部材をボルトの頭部側から見た概略下面図である。
【図８】図８は、実施形態２に係る研磨治具に備える第一部材をナット側から見た概略下面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
［本開示の実施形態の説明］
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
【００１３】
（１）本開示の実施形態に係る研磨治具は、
筒部と、前記筒部の一端側に形成されるフランジ部とを有する第一部材と、
前記フランジ部に着脱自在に固定される環状の平板部材と、
前記第一部材内に配置された被加工物を前記平板部材と対向する研磨定盤に前記筒部の内側から押さえ付ける第二部材とを備え、
前記平板部材の前記研磨定盤と対向する摺接面は、前記平板部材の内周から外周に達する複数の溝を有する。
【００１４】
上記本開示の研磨治具は、第一部材のフランジ部に平板部材が着脱自在に固定され、平板部材が研磨定盤と対向する。この研磨治具を用いて研磨作業を行うときは、研磨定盤と対向する平板部材の摺接面を研磨定盤の研磨面に摺接させる。本開示の研磨治具によれば、研磨作業を繰り返すうち、平板部材が摩耗して使用できない状態、例えば摺接面の溝がすり減った状態になっても、平板部材のみを新しく交換すればよい。研磨作業によってフランジ部が摩耗することはないので、第一部材はそのまま使用し続けることができる。つまり、第一部材及び第二部材は再使用することが可能である。第一部材及び第二部材を一から製作する場合に比べて、平板部材のみを製作することは容易であり、製作コストも安い。したがって、本発明の研磨治具は、平板部材のみを交換することが可能であるので、簡易な構成で再使用可能である。
【００１５】
平板部材の摺接面に有する溝は、例えば水などの研磨液を第一部材内に導入したり、被加工物の研磨屑を第一部材外に排出したりする機能を有する。
【００１６】
（２）上記研磨治具の一形態として、
前記平板部材の前記摺接面の外周縁に面取り部が形成されていることが挙げられる。
【００１７】
上記形態によれば、摺接面の外周縁に面取り部が形成されていることで、研磨定盤へのダメージを低減することが可能である。
【００１８】
（３）本開示の別の実施形態に係る研磨治具は、
筒部と、前記筒部の一端側に形成されるフランジ部とを有する第一部材と、
前記第一部材内に配置された被加工物を前記フランジ部と対向する研磨定盤に前記筒部の内側から押さえ付ける第二部材とを備え、
前記フランジ部は、周方向に間隔をあけて配列される複数の貫通孔を有し、
前記貫通孔に挿通される軸部と、前記軸部の一端に設けられる頭部とを有するボルトと、
前記頭部との間に前記フランジ部を挟んだ状態で、前記軸部にネジ結合されるナットとを備え、
前記頭部が前記研磨定盤との摺接面を有する。
【００１９】
上記本開示の研磨治具は、第一部材のフランジ部の各貫通孔に挿通されるボルトの軸部にナットがネジ結合され、ボルトの頭部が研磨定盤との摺接面を有する。この研磨治具を用いて研磨作業を行うときは、ボルトの頭部の摺接面を研磨定盤の研磨面に摺接させる。本開示の研磨治具によれば、研磨作業を繰り返すうち、ボルトの頭部が摩耗して使用できない状態になっても、ボルトのみを新しく交換すればよい。研磨作業によってフランジ部が摩耗することはないので、第一部材はそのまま使用し続けることができる。つまり、第一部材及び第二部材は再使用することが可能である。ボルトは市販のものを使用できるので、大幅にコストを削減できる。したがって、本発明の研磨治具は、簡易な構成で再使用可能である。
【００２０】
上記本開示の研磨治具では、フランジ部に複数の貫通孔が周方向に間隔をあけて配置されているため、隣り合うボルトの頭部同士が互いに隙間をあけて取り付けられている。この隙間は、例えば水などの研磨液を第一部材内に導入したり、被加工物の研磨屑を第一部材外に排出したりする溝として機能する。
【００２１】
［本開示の実施形態の詳細］
以下、図面を参照して、本開示の実施形態に係る研磨治具の具体例を説明する。図中の同一符号は、同一名称物を示す。また、説明の便宜上、図面では各部材の縮尺を適宜変更しており、図面における各部材の縮尺は実際の縮尺とは必ずしも一致しない。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００２２】
［実施形態１］
図１〜図４を参照して、実施形態１に係る研磨治具１について説明する。研磨治具１は、図１、図２に示すように、第一部材１０と第二部材２０と平板部材３０とを備える。第一部材１０は、筒部１１とフランジ部１２とを有する。本実施形態の研磨治具１は、第一部材１０のフランジ部１２に平板部材３０が着脱自在に固定されている点を特徴の一つとする。以下、研磨治具１の構成について詳しく説明する。図２は、第一部材１０内に第二部材２０が収納された状態で、筒部１１の中心軸を含む平面で研磨治具１を切断した縦断面を示している。図２中、第二部材２０は外観を示す。
【００２３】
（第一部材）
第一部材１０は、図１、図２に示すように、筒部１１と、筒部１１の一端側に形成されるフランジ部１２とを有する。筒部１１とフランジ部１２とは、一体に形成されている。ここでは、フランジ部１２が形成された筒部１１の一端側を「下」、その反対側を「上」とする。
【００２４】
〈筒部〉
本例では、筒部１１の形状が円筒状である。筒部１１の寸法は、手で持ち易いように適宜設定すればよい。筒部１１の寸法は、例えば、外径が３０ｍｍ以上５０ｍｍ以下、厚み（径方向の肉厚）が２ｍｍ以上６ｍｍ以下、長さ（上下方向の高さ）が４０ｍｍ以上８０ｍｍ以下であることが挙げられる。この筒部１１の長さは、後述するフランジ部１２の厚みを含む長さとする。本例では、筒部１１の外径が４０ｍｍ、内径が３６ｍｍ（誤差範囲＋０．０２ｍｍ内）、厚みが４ｍｍ、長さが６０ｍｍである。筒部１１の形状は、円筒状に限らず、例えば四角筒状などの多角筒状であってもよい。
【００２５】
〈フランジ部〉
フランジ部１２は、筒部１１の外周面から径方向に張り出して形成されている。本例では、フランジ部１２の形状が円環状である。フランジ部１２の寸法は、例えば、外径が５０ｍｍ以上９０ｍｍ以下、厚み（上下方向の肉厚）が２ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることが挙げられる。本例では、フランジ部１２の外径が７５ｍｍ、厚みが５ｍｍである。フランジ部１２の形状は、環状であればよく、円環状に限定されない。フランジ部１２を上下方向から見た外周形状は、円形状に限らず、例えば四角形状などの多角形状であってもよい。
【００２６】
（第二部材）
第二部材２０は、図２に示すように、第一部材１０内に収納される。第二部材２０は、第一部材１０内に配置された被加工物１００（図２中、クロスハッチングで示す）を平板部材３０と対向する研磨定盤２００に筒部１１の内側から押さえ付ける。本例では、第二部材２０が、筒部２１と底部２２とを有し、円筒状の筒部２１の一端側（下側）に円盤状の底部２２が一体化されている。底部２２の底面は、被加工物１００を研磨定盤２００に押さえ付ける押さえ面２３を有する。本例の底部２２の外径は筒部２１の外径よりも小さい。それにより、第一部材１０の他端側から第二部材２０の底部２２を嵌め込み易い。第二部材２０の形状は、円柱状であってもよい。第二部材２０の寸法は、第一部材１０の寸法に合わせて適宜設定すればよい。第二部材２０の外径は、筒部１１の内径と略同一であることが好ましく、筒部１１の内径と第二部材２０の外径との差は、例えば０．２ｍｍ以下、更に０．１ｍｍ以下であることが挙げられる。第二部材２０の長さ（上下方向の高さ）は、筒部１１の長さと同じ程度であることが挙げられる。本例では、第二部材２０の外径が３６ｍｍ（誤差範囲−０．０２ｍｍ内）、長さが５７ｍｍである。
【００２７】
第二部材２０を上下方向から見た外周形状は筒部１１の内周形状と同じであることが好ましい。例えば、筒部１１の形状が四角筒状である場合、第二部材２０の形状は四角筒状又は四角柱状であることが挙げられる。
【００２８】
（平板部材）
平板部材３０は、図１、図２に示すように、フランジ部１２における研磨定盤（図２参照）と対向する側に固定される。平板部材３０は、図２に示すように、研磨定盤２００と対向する。
【００２９】
平板部材３０の形状は環状である。平板部材３０の形状は、フランジ部１２と同じ形状であることが好ましい。本例では、平板部材３０の形状が円環状である。平板部材３０の寸法は、第一部材１０の寸法に合わせて適宜設定すればよい。平板部材３０の外径は、フランジ部１２の外径と同一であることが挙げられる。平板部材３０の内径は、筒部１１の内径と同一であることが挙げられる。平板部材３０の厚み（上下方向の肉厚）は、例えば５ｍｍ以上１５ｍｍ以下であることが挙げられる。本例では、平板部材３０の外径が７５ｍｍ、内径が３６ｍｍ、厚みが１０ｍｍである。平板部材３０の形状はフランジ部１２と異なる形状でもよく、例えば四角環状などの多角環状であってもよい。
【００３０】
平板部材３０は、筒部１１と同軸に配置され、フランジ部１２に着脱自在に固定されている。本例の場合、図２に示すように、平板部材３０がフランジ部１２に重ね合わされるように配置され、平板部材３０がフランジ部１２にボルト３３によってネジ止めされている。図２に示すように、フランジ部１２は、厚さ方向に貫通する貫通孔１３を有する。本例では、フランジ部１２の中心に対して点対称の位置に２つの貫通孔１３が形成されている。また、平板部材３０には、フランジ部１２に重ね合わされたとき、フランジ部１２の貫通孔１３に対応する位置にネジ孔３４が形成されている。そして、フランジ部１２における平板部材３０と対向する側とは反対側からボルト３３が貫通孔１３に挿通され、ボルト３３が平板部材３０のネジ孔３４にネジ結合されている。平板部材３０は、フランジ部１２にボルト３３でネジ止めされていることから、着脱自在である。ボルト３３は市販のものを使用できる。
【００３１】
〈溝〉
平板部材３０の研磨定盤２００と対向する摺接面３２は、図３、図４に示すように、平板部材３０の内周から外周に達する複数の溝３５を有する。本例では、図４に示すように、平板部材３０の摺接面３２に放射状に伸びる８本の溝３５が、等角度で設けられている。溝３５は、研磨作業時に、例えば水などの研磨液を第一部材１０内に導入したり、被加工物１００の研磨屑を第一部材１０外に排出したりする機能を有する。
【００３２】
溝３５の深さ（上下方向の長さ）は、例えば、平板部材３０の厚みの４０％以上８０％以下、更に５０％以上であることが挙げられる。溝３５の深さが平板部材３０の厚みの４０％以上であることで、研磨作業によって平板部材３０の摺接面３２が摩耗して溝３５としての機能を失う深さ（例えば１ｍｍ以下）に至るまでの寿命を長くできる。溝３５の深さが平板部材３０の厚みの８０％以下であることで、平板部材３０の強度を確保し易い。また、溝３５の幅（溝３５の長手方向に直交する方向の間隔）は、例えば１ｍｍ以上５ｍｍ以下、更に４ｍｍ以下であることが挙げられる。溝３５の幅が１ｍｍ以上であることで、溝３５としての機能を十分に発揮し易い。溝３５の幅が５ｍｍ以下であることで、研磨作業時に溝３５に被加工物１００が入り込むことを抑制できる。溝３５の幅が５ｍｍ以下であれば、摺接面３２と研磨定盤２００（図２参照）の研磨面２０１との接触面積を確保し易い。本例では、溝３５の深さが６ｍｍ（平板部材３０の厚みの６０％）、幅が２ｍｍである。
【００３３】
溝３５の本数は、例えば４本以上１８本以下、更に６本以上１２本以下であることが挙げられる。溝３５の本数が４本以上であることで、溝３５としての機能を十分に発揮し易い。溝３５の本数が１８本以下であることで、摺接面３２と研磨面２０１（図２参照）との接触面積を確保し易い。
【００３４】
〈面取り部〉
図５に示すように、平板部材３０の摺接面３２の外周縁に面取りされた面取り部３６が形成されていてもよい。摺接面３２の外周縁に面取り部３６が形成されていることで、研磨定盤２００へのダメージを低減することが可能である。面取り部３６の面と摺接面３２とがなす角度θは、例えば３０°以上７０°以下、更に４０°以上６０°以下であることが挙げられる。角度θが３０°以上であることで、摺接面３２と研磨面２０１（図２参照）との接触面積を確保し易い。角度θが７０°以下であることで、研磨定盤２００へのダメージを低減する効果が得られ易い。
【００３５】
〈構成材料〉
第一部材１０、第二部材２０及び平板部材３０の構成材料は、適宜な材料から選択すればよく、例えば、金属、プラスチック及びセラミックスからなる群より選択される一種が挙げられる。第一部材１０、第二部材２０及び平板部材３０の構成材料としては、強度、材料コスト及び加工コストなどの観点から、例えば、ステンレス鋼が好適に利用できる。本例では、第一部材１０、第二部材２０及び平板部材３０がＳＵＳ３０４で形成されている。第一部材１０、第二部材２０及び平板部材３０はそれぞれ、同じ材料で形成されていてもよいし、異なる材料で形成されていてもよい。
【００３６】
〈使用方法〉
上述した実施形態１に係る研磨治具１の使用方法を、主に図２を参照して説明する。第一部材１０内に第二部材２０を挿入して収納した状態で、研磨定盤２００の上に研磨治具１を載せる。このとき、第一部材１０のフランジ部１２に固定される平板部材３０の摺接面３２を研磨面２０１に摺接させながら、研磨治具１を支持する。第一部材１０内に配置された被加工物１００を第二部材２０で筒部１１の内側から押さえ付ける。そして、研磨面２０１に被加工物１００を接触させて被加工物１００を研磨する。被加工物１００は第二部材２０の押さえ面２３に貼り付けるなどして固定しておいてもよい。
【００３７】
研磨作業を繰り返すうち、平板部材３０が摩耗して使用できない状態、例えば溝３５がすり減って溝３５としての機能が失われた状態になった場合、ボルト３３を外してフランジ部１２から平板部材３０を取り外し、平板部材３０のみを交換する。
【００３８】
〔効果〕
実施形態１の研磨治具１は、次の効果を奏する。
【００３９】
第一部材１０のフランジ部１２に平板部材３０が着脱自在に固定されている。これにより、研磨作業によって平板部材３０が摩耗して使用できない状態になっても、平板部材３０のみを交換して、第一部材１０及び第二部材２０を再使用することが可能である。
【００４０】
［実施形態２］
図６〜図８を参照して、実施形態２に係る研磨治具について説明する。以下の説明では、上述した実施形態１の研磨治具１との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。実施形態２の研磨治具は、図６に示すように、実施形態１で説明した平板部材３０を備えておらず、ボルト４０とナット４３とを備える点が実施形態１と主に相違する。実施形態２の研磨治具における第二部材は、実施形態１で説明した第二部材２０（図１、図２参照）の構成と同じであるので、図示していない。
【００４１】
（第一部材）
実施形態２では、第一部材１０において、図７に示すように、フランジ部１２が、周方向に間隔をあけて配列される複数の貫通孔１４を有する。フランジ部１２は研磨定盤２００（図２参照）と対向する。本例では、等間隔に８個の貫通孔１４が形成されている。貫通孔１４の個数は、フランジ部１２に取り付けるボルト４０の個数に応じて適宜設定すればよい。
【００４２】
（ボルト・ナット）
ボルト４０は、図６に示すように、貫通孔１４（図７参照）に挿通される軸部４２と、軸部４２の一端に設けられる頭部４１とを有する。ナット４３は、ボルト４０の頭部４１との間にフランジ部１２を挟んだ状態で、ボルト４０の軸部４２にネジ結合される（図８も参照）。ボルト４０は、フランジ部１２における研磨定盤２００（図２参照）と対向する側から軸部４２が貫通孔１４に挿通され、フランジ部１２の反対側で軸部４２にナット４３がネジ結合されている。このネジ結合により、フランジ部１２はボルト４０の頭部４１とナット４３との間で締め付けられる。ボルト４０の頭部４１は、研磨定盤２００と対向し、研磨定盤２００との摺接面４１ｔを有する。ボルト４０は、フランジ部１２にナット４３でネジ止めされていることから、着脱自在である。
【００４３】
図７に示すように、貫通孔１４はフランジ部１２に周方向に間隔をあけて配置されているため、隣り合うボルト４０の頭部４１同士は互いに隙間４５をあけて配置されている。隣り合う頭部４１同士の間に形成される隙間４５は、実施形態１で説明した溝３５（図３、図４参照）と同じように、例えば水などの研磨液を第一部材１０内に導入したり、被加工物の研磨屑を第一部材１０外に排出したりする溝として機能する。
【００４４】
ボルト４０及びナット４３には、市販のものを使用できる。本例では、ボルト４０及びナット４３がそれぞれ、六角ボルト及び六角ナットである。ボルト４０は頭部４１の外周形状が六角形以外のボルトであってもよいし、ナット４３は外周形状が六角形以外のナットであってもよい。本例のボルト４０は、ＪＩＳ  Ｂ  １１８０：２０１４で定められているＭ１０の六角ボルトであり、ナット４３は、ＪＩＳ  Ｂ  １１８１：２０１４で定められているＭ１０の六角ナットである。
【００４５】
ボルト４０の頭部４１の厚み（上下方向の高さ）は、上記溝として機能する隙間４５の深さと同じである。頭部４１の厚み（上下方向の高さ）は、例えば５ｍｍ以上１５ｍｍ以下であることが挙げられる。頭部４１の厚みが５ｍｍ以上であることで、研磨作業によって頭部４１が摩耗して、隙間４５が溝としての機能を失う深さ（例えば１ｍｍ以下）に至るまでの寿命を長くできる。頭部４１の厚みが１５ｍｍ以下であることで、研磨作業時に頭部４１の摺接面４１ｔを研磨面２０１（図２参照）に摺接させたときに、第一部材１０を安定させ易い。また、頭部４１の外周形状の寸法は、隣り合う頭部４１同士が干渉せず、頭部４１同士の間に隙間４５が形成されるように適宜設定すればよい。ボルト４０の個数は、頭部４１の摺接面４１ｔと研磨面２０１との接触面積を十分に確保できるように適宜設定すればよく、例えば６個以上１８個以下、更に６個以上１２個以下であることが挙げられる。
【００４６】
〈構成材料〉
ボルト４０及びナット４３の構成材料は、適宜な材料から選択すればよく、例えば、金属、プラスチック及びセラミックスからなる群より選択される一種が挙げられる。ボルト４０及びナット４３の構成材料としては、代表的には、ステンレス鋼が好適に利用できる。本例では、ボルト４０及びナット４３がＳＵＳ３０４で形成されている。
【００４７】
〈使用方法〉
上述した実施形態２に係る研磨治具を用いて研磨作業を行うときは、ボルト４０の頭部４１の摺接面４１ｔを研磨定盤２００の研磨面２０１に摺接させながら、研磨治具１を支持する。研磨作業を繰り返すうち、ボルト４０の頭部４１が摩耗して使用できない状態、例えば隙間４５が溝としての機能を失った状態になった場合、ナット４３を外してフランジ部１２からボルト４０を取り外し、ボルト４０のみを交換する。
【００４８】
〔効果〕
実施形態２の研磨治具は、次の効果を奏する。
【００４９】
第一部材１０のフランジ部１２の各貫通孔１４に挿通されるボルト４０の軸部４２がナット４３とネジ結合され、ボルト４０の頭部４１が研磨定盤２００との摺接面４１ｔを有する。これにより、研磨作業によってボルト４０が摩耗して使用できない状態になっても、ボルト４０のみを交換して、第一部材１０及び第二部材２０を再使用することが可能である。また、ボルト４０は市販のものを使用できるので、大幅にコストを削減できる。
【符号の説明】
【００５０】
１  研磨治具
１０  第一部材
１１  筒部
１２  フランジ部
１３、１４  貫通孔
２０  第二部材
２１  筒部
２２  底部
２３  押さえ面
３０  平板部材
３２  摺接面
３３  ボルト
３４  ネジ孔
３５  溝
３６  面取り部
４０  ボルト
４１  頭部
４１ｔ  摺接面
４２  軸部
４３  ナット
４５  隙間
１００  被加工物
２００  研磨定盤
２０１  研磨面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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