(57)【要約】【課題】２つの構造物の間にフィラー入り樹脂が充填された積層体において、積層体のサイズアップとフィラーのコストを抑制する。【解決手段】積層体１０は、第１の面２１を有する第１の構造物２と、第１の面２１に積層され、複数のフィラーＦを含有する樹脂層６１と、樹脂層６１に積層され、樹脂層６１に接する第２の面４１を有する第２の構造物４と、を有している。第２の面４１と直交する断面において、第２の面４１に接する複数のフィラーＦ２の、第２の面４１と直交する方向における最大厚さに対する第２の面４１と平行な方向における最大長さの比である偏平率の平均値が、第２の面に接しない複数のフィラーＦ１，Ｆ３の偏平率の平均値より大きい。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の面を有する第１の構造物と、前記第１の面に積層され、複数のフィラーを含有する樹脂層と、前記樹脂層に積層され、前記樹脂層に接する第２の面を有する第２の構造物と、を有し、前記第２の面と直交する断面において、前記第２の面に接する複数のフィラーの、前記第２の面と直交する方向における最大厚さに対する前記第２の面と平行な方向における最大長さの比である偏平率の平均値が、前記第２の面に接しない複数のフィラーの前記偏平率の平均値より大きい、積層体。
【請求項２】
前記第２の面に接する複数のフィラーの少なくとも一部は、前記第２の面と面接触している、請求項１に記載の積層体。
【請求項３】
前記第２の面に接する少なくとも一つの前記フィラーは、前記第２の面で前記最大長さを有している、請求項１または２に記載の積層体。
【請求項４】
前記第２の面に接する少なくとも一つの前記フィラーは、前記第２の面で直線状になっている、請求項１から３のいずれか１項に記載の積層体。
【請求項５】
前記第２の面に接する少なくとも一つの前記フィラーは、端部に前記第２の面に沿って延びる線状部を有している、請求項１から４のいずれか１項に記載の積層体。
【請求項６】
前記第２の面に接する少なくとも一つの前記フィラーは、端部に切り欠きを有している、請求項１から５のいずれか１項に記載の積層体。
【請求項７】
前記第２の面に接する少なくとも一つの前記フィラーは、前記第２の面との間に空洞を有している、請求項１から６のいずれか１項に記載の積層体。
【請求項８】
前記樹脂層の前記第２の面に接する面は研磨されている、請求項１から７のいずれか１項に記載の積層体。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか１項に記載の積層体を含むセンサパッケージであって、前記第１の構造物はセンサユニットであり、前記第２の構造物は配線層であり、前記センサユニットと前記配線層との間に、前記センサユニットを前記配線層に接続する引出電極と前記樹脂層とが設けられている、センサパッケージ。
【請求項１０】
複数の前記引出電極が前記センサユニットに接続され、複数の前記引出電極に複数の前記配線層がそれぞれ接続されており、複数の前記配線層にそれぞれ接続された複数の外部接続端子を有し、前記第２の面と直交する方向からみて前記複数の外部接続端子を内包する最少の矩形が前記センサユニットを内包している、請求項９に記載のセンサパッケージ。
【請求項１１】
第１の面を有する第１の構造物を形成する第１の構造物形成工程と、
前記第１の面の上に複数のフィラーを含有する樹脂層を形成する樹脂層形成工程と、
前記樹脂層の上面を研磨する研磨工程と、
研磨された前記樹脂層の上面に、前記上面と接する第２の面を有する第２の構造物を形成する第２の構造物形成工程と、を有し、
前記樹脂層形成工程の後且つ前記研磨工程の前において、前記樹脂層に含まれる少なくとも一つのフィラーのフィラー径は、前記第１の面と前記第２の面との間隔より大きい、積層体の製造方法。
【請求項１２】
前記研磨工程前の前記樹脂層の上面と前記研磨工程後の前記樹脂層の上面との間に含まれる複数のフィラーが、前記研磨工程において全体的にまたは部分的に除去される、請求項１１に記載の製造方法。
【請求項１３】
前記研磨工程後に前記樹脂層の上面に露出する前記フィラーは、前記上面に沿って平坦化されている、請求項１１または１２に記載の製造方法。
【請求項１４】
前記研磨工程は機械研磨によって行われる、請求項１１から１３のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項１５】
前記複数のフィラーの最大フィラー径は５０μｍ以上である、請求項１１から１４のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項１６】
請求項１１から１５のいずれか１項に記載の製造方法を含むセンサパッケージの製造方法であって、
前記第１の構造物形成工程において、前記第１の構造物として上面に引出電極が形成されたセンサユニットが形成され、
前記樹脂層形成工程において、前記センサユニットと前記引出電極が前記樹脂層で封止され、
前記研磨工程において、前記樹脂層と前記引出電極が、前記引出電極の残存厚さが前記複数のフィラーの前記最大厚さを下回るまで研磨され、
前記第２の構造物形成工程において、前記第２の構造物として前記引出電極に接続された配線層が形成され、
前記第２の構造物形成工程の後に、前記配線層の上に外部接続端子が形成される、センサパッケージの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層体とセンサパッケージ及びそれらの製造方法に関し、特にモールド用樹脂のフィラーの構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、センサユニットなどの電気部品に他の電気部品を接続し、これらを一括して樹脂で封止するパッケージ部品が知られている。このようなパッケージ部品は、小さいサイズの電気部品に多数の外部接続端子を設ける場合などに利用されている。外部接続端子が電気部品の外側に張り出したパッケージ部品は、ファンアウトパッケージと呼ばれることもある。
【０００３】
樹脂としては、エポキシ樹脂などの樹脂にシリカなどの無機材料からなるフィラーを混合したフィラー入り樹脂が用いられる。一般に樹脂は硬化時の熱膨張率が高いため、硬化した樹脂から電気部品が大きな応力を受け、機能上の影響を受ける可能性がある。フィラーの熱膨張率は樹脂と比べて小さいため、フィラー入り樹脂の熱膨張率はフィラーを含まない樹脂の熱膨張率より小さくなり、上述の問題が生じにくくなる。
【０００４】
パッケージ部品の全体サイズを抑制するため、電気部品同士の接続部はできるだけコンパクトに形成することが好ましい。例えば、２つの電気部品が引出電極で接続される場合、２つの電気部品の間には引出電極の厚さに等しいギャップが形成されることがある。このギャップも樹脂で封止される。しかし、ギャップはできる限り小さく形成することが望ましいため、フィラー入り樹脂としてフィラー径の小さなフィラーが用いられる。特許文献１には最大フィラー径５μｍのフィラーを含む樹脂が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−５６９２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
フィラーのコストはフィラー径と相関関係があり、一般にフィラー径の小さいフィラーはコストが高い。このため、小さなギャップをフィラー入り樹脂で封止する場合、フィラーのコストが増加する可能性がある。大きいギャップにはフィラー径の大きなフィラーを使用できるため、フィラーのコストは抑制されるが、パッケージ部品のサイズアップを抑制することは困難である。この問題は電気部品間のギャップに限らず、一般に２つの構造物の間にフィラー入り樹脂を充填する際に生じる。
【０００７】
本発明は、２つの構造物の間にフィラー入り樹脂が充填された積層体において、積層体のサイズアップとフィラーのコストを抑制することが可能な構成と、その製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の積層体は、第１の面を有する第１の構造物と、第１の面に積層され、複数のフィラーを含有する樹脂層と、樹脂層に積層され、樹脂層に接する第２の面を有する第２の構造物と、を有し、第２の面と直交する断面において、第２の面に接する複数のフィラーの、第２の面と直交する方向における最大厚さに対する第２の面と平行な方向における最大長さの比である偏平率の平均値が、第２の面に接しない複数のフィラーの偏平率の平均値より大きい。
【０００９】
本発明の積層体の製造方法は、第１の面を有する第１の構造物を形成する第１の構造物形成工程と、第１の面の上に複数のフィラーを含有する樹脂層を形成する樹脂層形成工程と、樹脂層の上面を研磨する研磨工程と、研磨された樹脂層の上面に、上面と接する第２の面を有する第２の構造物を形成する第２の構造物形成工程と、を有する。樹脂層形成工程の後且つ研磨工程の前において、樹脂層に含まれる少なくとも一つのフィラーの第２の面と直交する方向における最大厚さは、第１の面と第２の面との間隔より大きい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、サイズアップとフィラーのコストを抑制することが可能な積層体とその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】ファンアウトパッケージの斜視図である。
【図２】図１に示すファンアウトパッケージの断面図である。
【図３】図２（ｂ）のＢ部拡大図である。
【図４】研磨前のフィラーの様々な形状を示す概念図である。
【図５】センサパッケージの製造方法を示すステップ図である。
【図６】研磨後の第２のフィラーの様々な形状を示す概念図である。
【図７】図３と同じ部位を示す、比較例の部分断面図である。
【図８】図３と同じ部位を示す、一実施例の写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。本実施形態は、センサユニットが再配線層を介して外部接続用端子に接続された、ファンアウト型のセンサパッケージに関する。しかし、本発明はこのようなセンサパッケージに限定されず、第１の構造物と、第１の構造物に積層されたフィラー入り樹脂層と、第１の樹脂層に積層された第２の構造物と、を有する積層体に適用することができる。以下の説明では、再配線層４の第２の面４１と平行で且つ再配線層４の延びる方向をＸ方向、再配線層４の第２の面４１と平行で且つＸ方向と直交する方向をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向と直交し、再配線層４の第２の面４１と直交する方向をＺ方向とする。第２の面４１と直交する断面は、Ｚ方向と平行な任意な断面を意味する。第２の面４１と直交する断面は無数に存在しており、図示のＸ−Ｚ面に限定されないことに留意されたい。同様に、第２の面４１と平行な方向も無数に存在しており、Ｘ方向及びＹ方向に限定されない。
【００１３】
図１にセンサパッケージ１の斜視図を示す。図１（ａ）はセンサパッケージ１の外形を示す斜視図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）からフィラー入り樹脂６を取り除いた斜視図である。センサパッケージ１は、センサ素子（図示せず）を内蔵したセンサユニット２と、センサユニット２の一つの面（第１の面２１）に設けられた複数の引出電極３と、複数の引出電極３にそれぞれ接続された複数の再配線層４と、複数の再配線層４にそれぞれ接続された複数の外部接続端子５と、を有している。センサユニット２はＴＭＲ素子を用いた磁気センサを内蔵しているが、センサの種類はこれに限定されない。たとえば、ホール素子や、ＡＭＲ、ＧＭＲなどの磁気抵抗効果素子などが用いられる。本実施形態では４つの引出電極３と、４つの再配線層４と、４つの外部接続端子５が設けられているが、これらの数は限定されない。Ｚ方向からみて、４つの外部接続端子５を内包する最少の矩形８はセンサユニット２を内包している。換言すれば、Ｚ方向からみて、センサユニット２は４つの外部接続端子５を内包する最少の矩形８の内側にある。
【００１４】
センサユニット２と、複数の引出電極３と、複数の再配線層４と、複数の外部接続端子５は、外部接続端子５の上面とセンサユニット２の底面２２を除いてフィラー入り樹脂６で封止されている。フィラー入り樹脂６を構成する樹脂はエポキシ樹脂であるが、樹脂の種類は限定されない。樹脂としては、例えばフェノール樹脂、ポリイミド樹脂なども使用することができる。フィラーの充填率も特に制限されず、１０〜９０質量％程度の範囲から選択することができる。
【００１５】
図２（ａ）は図１（ｂ）のＡ−Ａ線に沿ったセンサパッケージ１の断面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ部拡大図である。フィラー入り樹脂６は、センサユニット２の側方と複数の引出電極３の側方とを覆う第１の樹脂層６１と、複数の再配線層４の側方と複数の外部接続端子５の側方とを覆う第２の樹脂層６２と、を有している。本実施形態では、第１の樹脂層６１と第２の樹脂層６２はフィラー径も含め全く同じ構成を有しているが、異なる構成を有していてもよい。センサユニット２は概ね直方体であり、その６つの面のうち再配線層４と対向する上面は、第１の樹脂層６１と接する第１の面２１を形成している。第１の面２１の裏面である底面２２は露出している。第１の面２１にはＣｕなどの導電性金属で形成された引出電極３が設けられている。再配線層４はセンサユニット２の作成後に、センサユニット２の引出電極３に接続される。再配線層４はＣｕなどの導電性金属で形成されている。再配線層４はセンサユニット２の第１の面２１とほぼ平行に、センサユニット２から離れる方向に延びている。再配線層４のセンサユニット２と対向する面は、第１の樹脂層６１と接する第２の面４１を形成している。従って、センサユニット２と再配線層４との間には第１の面２１と第２の面４１との間隔に等しいギャップ９が形成され、このギャップ９にも第１の樹脂層６１が充填されている。換言すれば、センサユニット２（第１の構造物）と第１の樹脂層６１と再配線層４（第２の構造物）は一つの積層体１０を構成している。再配線層４の上面には、Ｃｕ、Ｓｎ、ＳｎＡｇなどの導電性金属で形成され、再配線層４と電気接続された外部接続端子５が設けられている。
【００１６】
図３は図２（ｂ）のＢ部拡大図であり、再配線層４（第２の構造物）の第２の面４１と直交する断面を示している。複数のフィラーＦは互いに形状及び大きさの異なる様々なフィラーＦから構成されている。後述するように、本実施形態では一部のフィラーＦが研磨によって形状を変化させられるが、図３では便宜上、研磨前の形状が球形のフィラーＦだけを示している。図４には、形状を変化させられる前のフィラーＦ、すなわち研磨される前のフィラーＦの様々な形状の例を断面図で示している。図４（ａ）には円形断面のフィラーＦを、図４（ｂ）には楕円形断面のフィラーＦを、図４（ｃ）、図４（ｄ）には不規則形状の断面を有するフィラーＦを示している。本明細書では、フィラー表面の任意に選択した２点間の直線距離の最大値をそのフィラーＦのフィラー径と定義する。すなわち、フィラー径はそのフィラーＦを内包する最小容積の球の直径を意味する。例えば球のフィラーＦのフィラー径は球の直径であり、楕円体のフィラーＦのフィラー径は長軸の長さである。便宜上、図４にはフィラー径を「ｄ」で示している。従って、複数のフィラーＦは、フィラー径の異なるフィラーＦから構成されている。最大フィラー径は市販されているフィラーの種類によって異なる。
【００１７】
複数のフィラーＦの一部は第１の面２１に接しており（このフィラーＦを第１のフィラーＦ１という）、複数のフィラーＦの他の一部は第２の面４１に接しており（このフィラーＦを第２のフィラーＦ２という）、残りの複数のフィラーＦは第１の面２１にも第２の面４１にも接していない（このフィラーＦを第３のフィラーＦ３という）。本実施形態では、第２の面４１と直交する断面において、各フィラーＦのＺ方向における最大厚さＬ１に対する、第２の面４１と平行な方向における最大長さＬ２の比を偏平率という。複数の第２のフィラーＦ２の偏平率の平均値は、複数の第１のフィラーＦ１と複数の第３のフィラーＦ３、すなわち第２の面４１に接しない複数のフィラーＦの偏平率の平均値より大きい。換言すれば、複数の第２のフィラーＦ２は、平均的に、第２の面４１に接しない複数のフィラーＦよりも第２の面４１と平行な方向に細長い形状とされている。上述のとおり第２の面４１と平行な方向は無数に存在するため、第２の面４１と平行な方向は図示されているＸ方向に限定されない。しかし、フィラーＦはランダムな方向を向いているため、偏平率の平均値は任意の一断面から大きな誤差なく求めることができる。また、偏平率の平均値を求める際にはフィラー径の小さな微小フィラー（例えばフィラー径１μｍ未満）を除外してもよい。フィラーＦの形状については、この後さらに詳細に説明する。
【００１８】
次に、図５を参照して、本実施形態のセンサパッケージ１の製造方法を説明する。まず、図５（ａ）に示すように、支持体７の上に複数のセンサユニット２を形成する（第１の構造物形成工程）。複数のセンサユニット２はシリコン基板上にウエハ工程で作成されてもよいし、ウエハ工程で作成されたセンサユニット２を個片化し、支持テープに接着剤で接着してもよい。本発明において、支持体７は支持基板と支持テープの両者を含む。複数のセンサユニット２同士の間隔は、互いに隣接するセンサユニット２の外部接続端子５（後工程で形成）同士が干渉しないように設定される。センサユニット２の上面には４つの引出電極３が形成されている。次に、複数のセンサユニット２を第１の樹脂層６１で覆う。これによって、第１の構造物の上に複数のフィラーＦを含有する第１の樹脂層６１が形成される（第１の樹脂層形成工程）。第１の樹脂層６１は塗布または印刷によって形成することができる。第１の樹脂層６１は、センサユニット２だけでなく引出電極３も被覆するように設けられる。その後、第１の樹脂層６１を硬化させる。第１の樹脂層６１に含まれる少なくとも一つの第２のフィラーＦ２のＺ方向における最大厚さ、または最大フィラー径は、センサユニット２（第１の構造物）と後工程で形成される再配線層４（第２の構造物）との間隔Ｈより大きくされている。従って、例えば間隔Ｈが３０μｍ程度のとき、最大フィラー径は例えば５０μｍ以上であってよい。
【００１９】
次に、図５（ｂ）に示すように、硬化した第１の樹脂層６１の上面を研磨する（研磨工程）。研磨工程は例えば機械研磨やＣＭＰ（化学機械研磨）や機械研磨とＣＭＰの併用によって行うことができる。第１の樹脂層６１と引出電極３は、引出電極３が露出し、さらに引出電極３の残存厚さが第２のフィラーＦ２の最大厚さを下回るまで研磨される。これによって、研磨工程前の第１の樹脂層６１の上面と研磨工程後の第１の樹脂層６１の上面との間に含まれる複数の第２のフィラーＦ２が全体的にまたは部分的に除去される。研磨工程後に第１の樹脂層６１の上面に露出する第２のフィラーＦ２の多くは、上面に沿って平坦化されている。
【００２０】
図６は研磨後の複数の第２のフィラーＦ２の様々な形状を示す概念図である。硬化した樹脂は研磨によって大きく変形しない。フィラーＦはほぼ同じ位置に保持され、フィラーＦの上部が研磨によって除去され、平坦化される。例えばフィラーＦの元の形状が球形である場合、フィラーＦは図６（ａ）に示すように、上側がカットされた球形に変形する。例えばフィラーＦの元の形状が楕円体である場合、フィラーＦは図６（ｂ）に示すように、上側がカットされた楕円体に変形する。複数のフィラーＦの一部は、例えば図６（ａ）〜６（ｅ）に示すように、第２の面４１と面接触している。複数のフィラーＦの一部は、例えば図６（ａ），６（ｃ），６（ｅ）に示すように、第２の面４１で第２の面４１と平行な方向に最大長さを有している。複数のフィラーＦの一部は、例えば図６（ａ）〜６（ｄ）に示すように、第２の面４１で直線状になっている。複数のフィラーＦの一部は、例えば図６（ｃ）に示すように、第２の面４１と接する部分の端部に、第２の面４１に沿って延びる線状部１０を有している。線状部１０は機械研磨の際にフィラーＦが研磨パッドで引っ張られることで形成されると考えられる。複数のフィラーＦの一部は、例えば図６（ｄ）に示すように、その端部に切り欠き部１１を有している。切り欠き部１１は機械研磨の際にフィラーＦが研磨パッドで押し込まれることで形成されると考えられる。複数のフィラーＦの一部は、例えば図６（ｅ）に示すように、第２の面４１との間に空洞１２が形成されている。空洞１２は機械研磨の際にフィラーＦの両側が研磨パッドで引っ張られることで形成されると考えられる。前述のようにフィラーＦは様々な形状をとるが、図６に示す形状は通常はみられないものであり、研磨によってはじめて生じたものと考えることができる。
【００２１】
次に、図５（ｃ）に示すように、研磨された第１の樹脂層６１の上面に再配線層４（第２の構造物）を形成する（第２の構造物形成工程）。再配線層４の下面（第２の面４１）は研磨された第１の樹脂層６１の上面に接している。再配線層４は引出電極３に接続される。再配線層４は例えばめっき、スパッタリング、印刷、塗布によって形成される。続いて、再配線層４の上に外部接続端子５を形成する。外部接続端子５は例えばめっき、スパッタリング、印刷、塗布によって形成される。次に、図５（ｄ）に示すように、再配線層４と外部接続端子５を第２の樹脂層６２で封止する。第２の樹脂層６２には第１の樹脂層６１と同じフィラー入り樹脂を用いることができる。次に、図５（ｅ）に示すように、第２の樹脂層６２を研磨し、外部接続端子５を露出させる。その後、各センサパッケージ１を個片化する。支持体７は除去する。本実施形態では、支持体７を除去するが、そのまま製品に残してもいい。
【００２２】
図７は従来のセンサパッケージの、図３と同様の部位を示す断面図である。第１の樹脂層６１の最大フィラー径は本実施形態における第１の樹脂層６１の最大フィラー径より小さい。センサユニット２と再配線層４との間のギャップ９に存在するフィラーＦのフィラー径はギャップ９の寸法Ｈより小さく、且つフィラーＦは概ね球形である。しかし、最大フィラー径の小さいフィラーは最大フィラー径の大きいフィラーより高価である。本実施形態では最大フィラー径の大きいフィラーを用いることができるため、封止用樹脂のコスト低減が可能である。
【００２３】
また、本実施形態は第１の樹脂層６１の放熱性が高いという特徴がある。センサユニット２で発生した熱を放熱するため、第１の樹脂層６１には高い熱伝導率が求められる。一般に樹脂の熱伝導率は低く、フィラーの熱伝導率は高いため、第１の樹脂層６１の熱伝導率はフィラーの熱伝導率に大きく依存する。例えば、フィラーの材料の一例であるＳｉＯ2の熱伝導率は約８Ｗｍ-1Ｋ-1であるのに対し、エポキシ樹脂の熱伝導率は約０．２１Ｗｍ-1Ｋ-1にすぎない。本実施形態では最大フィラー径の大きいフィラーＦを用いているため、フィラーＦと再配線層４との大きい接触面積（より正確には、再配線層４の単位面積当たりのフィラーＦとの接触面積）を確保することが容易である。これによって、再配線層４からフィラーＦへの伝熱性が向上する。さらに、第１の樹脂層６１内部でのフィラーＦと樹脂の境界面の数が低減する。これによって、センサユニット２で発生した熱が少ない数のフィラーＦを伝わって再配線層４に到達しやすくなるため、第１の樹脂層６１の内部での伝熱経路の確保が容易となる。換言すれば、伝熱経路が樹脂で分断されにくくなるため、センサユニット２で発生した熱をより効率よく再配線層４まで伝えることができる。なお、本実施形態ではギャップ９以外の部位でも最大フィラー径の大きなフィラーＦを用いているため、樹脂層６の熱伝導率が全体的に改善される。
【００２４】
さらに、フィラー径の小さなフィラーは研磨の際に動きやすいため、研磨面に細かい凹凸が生じやすく、第１の樹脂層６１と再配線層４との間に空隙が発生しやすい。本実施形態では最大フィラー径の大きなフィラーを使用しているため、相対的にフィラー径の小さなフィラーが減少する。このため、第１の樹脂層６１の研磨面が平坦になりやすい。
【００２５】
図８は本実施形態に従って作成したセンサパッケージ１の、図３と同様の部位を示す写真である（なお、分かりやすくするため、樹脂層以外の構造物は模式図で示している）。図中、黒い部分がエポキシ樹脂を、白い部分がフィラーＦを示している。ギャップの寸法Ｈは１８μｍであり、最大フィラー径は２５μｍである。前述のように、第１の樹脂層６１には形状や寸法が異なる様々なフィラーＦが含まれている。図８より、センサユニット２と再配線層４との間のギャップ９において、再配線層４と面するフィラーＦが機械研磨によって平坦に研磨されていることが確認された。
【符号の説明】
【００２６】
１  センサパッケージ
２  第１の構造物（センサユニット）
２１  第１の面
３  引出電極
４  第２の構造物（再配線層）
４１  第２の面
５  外部接続端子
６  樹脂層
６１  第１の樹脂層
１０  積層体
Ｆ  フィラー
Ｆ１  第１のフィラー
Ｆ２  第２のフィラー
Ｆ３  第３のフィラー
【図１】
2020142480.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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