(57)【要約】【課題】安価かつ短工程で粒子径の揃った窒化アルミニウムの製造方法を提供すること。【解決手段】本発明は塩化アルミニウムと構造中に炭素−炭素結合を含まない有機アミン化合物を混合して塩化アルミニウム−有機アミン錯体を形成する工程と、前記塩化アルミニウム−有機アミン錯体を焼成する焼成工程からなることを特徴とする窒化アルミニウムの製造方法および有機アミンの構造中に炭素−炭素結合を含まないことを特徴とする塩化アルミニウム−有機アミン錯体を提供するものである。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
塩化アルミニウムと、構造中に炭素−炭素結合を含まない有機アミン化合物を混合して塩化アルミニウム−有機アミン錯体を形成する工程と、
前記塩化アルミニウム−有機アミン錯体を非酸化性雰囲気下で焼成する焼成工程と
を含むことを特徴とする窒化アルミニウムの製造方法。
【請求項２】
前記有機アミン化合物が、構造中に炭素−炭素結合を含まず、かつ窒素−炭素の結合を含む有機アミン化合物である請求項１に記載の窒化アルミニウムの製造方法。
【請求項３】
前記有機アミン化合物が、メラミン、シアヌル酸、シアナミド、メチルアミン、尿素、ヘキサメチレンテトラミン、グアニジン若しくはシアノグアニジンから選ばれる低分子有機アミン化合物およびその塩類、並びに前記低分子有機アミン化合物を最小単位とした重合物およびその塩類から選ばれる請求項１に記載の窒化アルミニウムの製造方法。
【請求項４】
塩化アルミニウムと有機アミンから成る錯体であって、前記有機アミンの構造中に炭素−炭素結合を含まないことを特徴とする塩化アルミニウム−有機アミン錯体。
【請求項５】
前記有機アミンの構造中に炭素−炭素結合を含まず、かつ窒素−炭素の結合を含む塩化アルミニウム−有機アミン錯体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塩化アルミニウム−有機アミン錯体とそれを原料とする窒化アルミニウムの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
熱を持つことで動作が不安定になる半導体などの電子部品の放熱材料として、これまでアルミナが使われてきたが、電子部品の高集積化、高出力化に伴い、放熱材料に対する高性能化が望まれている。こうしたニーズに合致する素材として窒化アルミニウムが注目されている。窒化アルミニウムは、熱伝導性、絶縁性、熱膨張率において優れた性能を示す素材であることから、静電チャック等の半導体製造装置用部品やＬＥＤ放熱基板としての用途が検討されている。
【０００３】
窒化アルミニウムの製造方法は、アルミナ粉末と炭素化合物を混合し、窒素またはアンモニア雰囲気下で加熱する炭素還元窒化法、金属アルミニウムを窒素またはアンモニア雰囲気中で加熱する直接窒化法、無水塩化アルミニウムや有機アルミニウム化合物をガス化し、アンモニアガスと気相中で反応させる気相法が知られている。
【０００４】
炭素還元窒化法は、吸熱反応であることから通常１５００℃以上の加熱が必要であり、エネルギーコストが大きい。固体であるアルミナと還元剤となる炭素源および気体である窒素ガスを効率良く反応させるために、炭素化合物と粒子が微細なアルミナとの混合が不可欠である。また、原料アルミナ以上に窒化アルミニウムの純度を向上させることは不可能であるため、原料として高価な高純度アルミナが必要となり、これもコスト上昇につながっている。さらに還元剤として使用した炭素を完全に除去するために、脱炭素処理が必要であり、この工程で一部の窒化アルミニウムが酸化されてしまうなどの問題点もある。
【０００５】
直接窒化法は、発熱反応であるため温度制御が難しく、その結果窒化工程でアルミニウムが融着、固結し、未反応のアルミニウムが粒子内部に残存する場合があるため、高純度の窒化アルミニウムが得られないという問題点がある。また固結した粒子が大きいため、粒子径の小さい粉末を得るには粉砕する必要があり、コスト上昇と不純物増加の原因となっている。
【０００６】
気相法は、有機アルミニウムを原料とする場合、原料が高価であること、水との反応で発火の恐れがあり、原料の取り扱いが難しいという問題がある。
【０００７】
一方、これらの方法を改良した新しい製造方法も提案されている。例えば、非特許文献１には、無水塩化アルミニウムとエチレンジアミンを混合するとこで得られる固体を、窒素雰囲気下で焼成することで窒化アルミニウムを得る方法が開示されている。この方法は前駆体の無水塩化アルミニウム−エチレンジアミン錯体のアミン窒素を窒素源としていることから１２００℃という比較的低温で窒化アルミニウムが生成すること、前駆体の無水塩化アルミニウム−エチレンジアミン錯体が、扱いやすい固体であることが特徴である。しかし、無水塩化アルミニウム−エチレンジアミン錯体の調製にエチレンジアミンを大過剰量用いていること、また、窒化アルミニウムの生成に比較的低温ではあるもの１２００℃以上の温度が必要であることから工業的製造方法としては問題がある。
【０００８】
また特許文献１の実施例には、金属アルミニウムをアニリンに加熱溶解し、過剰のアニリンを留去させた残渣を１５００℃〜１７００℃で焼成することで窒化アルミニウムを得る方法が開示されている。この方法は金属アルミニウムをアルミニウム源として用いているが、アニリンを大過剰量用いること、焼成温度が高いこと、炭素除去のために二次焼成の処理が必要である点で工業的製法としては不利である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平６−２２７８０５号公報
【非特許文献】
【００１０】
【非特許文献１】Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  ｔｈｅ  Ｃｅｒａｍｉｃ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  ｏｆ  Ｊａｐａｎ、２００１年、１０９巻、７０９−７１１ページ
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記のように窒化アルミニウムの従来の製造方法では、通常、１５００℃以上の高温が必要であり製造設備費の増大が問題となっている。また二次焼成工程による炭素除去や粉砕工程による粒度調整など多段階工程が必要である点もコスト増大の要因である。このため、安価かつ短工程な窒化アルミニウムの製造方法が求められている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者らは前記の問題点について鋭意検討した結果、塩化アルミニウム−有機アミン錯体を非酸化性雰囲気下、１２００℃以下の温度で焼成することで粒子径の揃った窒化アルミニウム粉末が得られることを見出した。また、塩化アルミニウムおよび有機アミン化合物は、塩化アルミニウムと有機アミン化合物がスラリー状態であっても、溶液状態であっても、溶媒中で混合することで均一な塩化アルミニウム−有機アミン錯体を合成できることを見出し、本発明の完成に至った。
【００１３】
すなわち、本発明は塩化アルミニウムと構造中に炭素−炭素結合を含まない有機アミン化合物を混合して塩化アルミニウム−有機アミン錯体を形成する工程と塩化アルミニウム−有機アミン錯体を焼成する焼成工程を含むことを特徴とする窒化アルミニウムの製造方法および有機アミンの構造中に炭素−炭素結合を含まないことを特徴とする塩化アルミニウム−有機アミン錯体を提供するものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明で得られる塩化アルミニウム−有機アミン錯体は、従来の方法に比較して合成が容易である。室温で粒子径の揃った安定な固体であることから取扱いが容易である。また原料として用いる有機アミン化合物は、例えばメラミン、尿素、ヘキサメチレンテトラミンに代表される構造中に炭素−炭素結合を含まず、窒素−炭素の結合を含んで構成される有機アミンであり、工業的に大量生産されており、それらの使用は経済面からしても有利である。
【００１５】
また本発明の窒化アルミニウムの製造方法の焼成工程では、焼成温度が８００〜１２００℃の比較的低温条件であり、一次粒子径が１．０μｍ以下の粒子径の揃った窒化アルミニウム粉末を得ることができ、炭素除去のための二次焼成や粒度調整のための粉砕工程が不要であることから製造コストを低減可能であり、工業的に非常に有用な製法である。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、実施例１で得られた塩化アルミニウム−メラミン（塩化アルミニウム：メラミン＝１：１）錯体の赤外吸収スペクトルのチャートである。
【図２】図２は実施例２で得られた塩化アルミニウム−尿素（塩化アルミニウム：尿素＝１：３）錯体の赤外吸収スペクトルチャートである。
【図３】図３は実施例３で得られた塩化アルミニウム−尿素（塩化アルミニウム：尿素＝１：６）錯体の赤外吸収スペクトルチャートである。
【図４】図４は実施例６で得られた窒化アルミニウムの赤外吸収スペクトルチャートである。
【図５】図５は実施例６で得られた窒化アルミニウムのＸＲＤの回折チャートである。
【図６】図６は実施例６で得られた窒化アルミニウムのＳＥＭ写真である。
【図７】図７は実施例６で得られた窒化アルミニウムのＳＥＭ写真である。
【図８】図８は比較例２で得られた窒化アルミニウムのＸＲＤの回折チャートである。
【図９】図９は比較例３で得られた窒化アルミニウムの赤外吸収スペクトルチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明は、塩化アルミニウムと構造中に炭素−炭素結合を含まない有機アミン化合物とを混合して塩化アルミニウム−有機アミン錯体を形成する工程と、前記塩化アルミニウム−有機アミン錯体を非酸化性雰囲気下で焼成する焼成工程とを含むことを特徴とする窒化アルミニウムの製造方法である。
【００１８】
本発明における塩化アルミニウム−有機アミン錯体の製造方法では、一般に溶媒の存在下または非存在下で行われ、溶媒を使用する場合は、溶媒としては反応を阻害しなければ特に限定されない。このような溶媒としては、例えば、ヘプタン、ヘキサン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、オクタン若しくはデカン等の鎖状および環状の脂肪族炭化水素類、ベンゼン、トルエン若しくはキシレン等の芳香族炭化水素、ジクロロメタン、クロロホルム、ジクロロエタン、四塩化炭素若しくはクロロベンゼン等のハロゲン化炭化水素類、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、テトラヒドロフラン若しくはアニソール等のエーテル類、アセトニトリル、プロピオニトリル若しくはベンズニトリル等のニトリル類、ニトロメタン、ニトロエタン若しくはニトロベンゼン等のニトロ類、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、２，２，２，−トリフルオロエタノール等のアルコール類および水が挙げられる。特にニトリル類、ニトロ類、アルコール類、水を含む溶媒は、塩化アルミニウムの溶解度が高く、本発明の塩化アルミニウム−有機アミン錯体の製造方法に適している。これらの溶媒は単独で用いても、２種類以上の混合溶媒として用いてもよい。溶媒を用いる場合は、撹拌が妨げられることのない程度以上の十分な量を使用することが望ましい。
【００１９】
溶媒を使用する場合は、通常は溶媒を、原料として用いる塩化アルミニウム１質量部に対して、１〜１０００質量部の割合で使用することができ、好ましくは１〜５００質量部の割合、更に好ましくは１〜２００質量部の割合で使用することができる。溶媒量が少なく、温度が低い場合は溶液または懸濁液の撹拌が困難となり、溶媒量が多い場合は反応後の錯体析出のために濃縮工程が必要になるなど煩雑な操作が必要になる。上記溶媒に塩化アルミニウムを分散させた状態は、通常、溶液状または懸濁液状となる。
【００２０】
本発明における塩化アルミニウム−有機アミン錯体の製造方法で用いられる有機アミン化合物は、構造中に炭素−炭素結合を含んでいない有機アミン化合物であれば特に限定されない。好ましくは、有機アミン化合物は、構造中に炭素−炭素結合を含まず、かつ窒素−炭素の結合を含む有機アミン化合物である。このような有機アミン化合物としては、例えば、メラミン、シアヌル酸、シアナミド、メチルアミン、尿素、ヘキサメチレンテトラミン、グアニジン若しくはシアノグアニジン等の低分子有機アミン化合物およびその塩類、これら有機アミン化合物を最小単位とした重合物およびその塩類が挙げられる。これらの有機アミン化合物は構造中に炭素−炭素結合を含んでいないことから、焼成工程の比較的低温のところで有機アミン化合物の分解が起こり、揮発成分となって炭素分が効率的に除去されると考えられる。これら有機アミン化合物は単独で用いても２種類以上の混合物として用いてもよい。
【００２１】
本発明における塩化アルミニウム−有機アミン錯体の製造方法において、有機アミン化合物は、原料として用いる塩化アルミニウムに１モルに対して、０．１〜５０モル、好ましくは０．５〜１０モルの割合で使用することができる。有機アミン化合物の量が少ない場合は、遊離の塩化アルミニウムが増え窒化アルミニウムの収率が下がり、多い場合は揮発成分が多くなることから廃棄物が増加するためコスト的に不利である。
【００２２】
塩化アルミニウムと有機アミン化合物を混合させる順番は、前述の溶媒中に塩化アルミニウムを溶解または懸濁させたものに、または粉末状もしくは粒状の塩化アルミニウムに、撹拌しながら有機アミン化合物を加えるか、または、前述の溶媒中に有機アミン化合物を溶解または懸濁させたものに、または固体状、液体状の有機アミン化合物に、撹拌しながら塩化アルミニウムを加えるか、いずれの場合であってもよい。
【００２３】
本発明における塩化アルミニウム−有機アミン錯体の製造方法の反応温度は、−１０℃〜３００℃の範囲で行われるが、０〜２００℃が好ましい。
【００２４】
本発明における塩化アルミニウム−有機アミン錯体の製造方法では、反応終了後、形成された塩化アルミニウム−有機アミン錯体を、例えば、溶媒を使用した場合は、単純に濾過または溶媒を濃縮して乾固させて、溶媒を使用しなかった場合は冷却することで塩化アルミニウム−有機アミン錯体を固体として得ることができる。得られた固体を減圧下で加熱乾燥すると、付着している溶媒を除去可能であるが、溶媒は焼成工程条件で揮発するため、乾燥操作は行わなくてもよい。
【００２５】
上記の方法で得られた塩化アルミニウム−有機アミン錯体は、以下の焼成操作に、そのまま使用可能であるが、必要に応じて精製操作を行っても構わない。具体的には上記の方法で得られた固体を溶媒で洗浄するか、または溶媒に再度加熱溶解した後に、冷却して析出させ、濾過して固体を得ることもできる。
【００２６】
このようにして得られた塩化アルミニウム−有機アミン錯体は、非酸化性雰囲気下で焼成され、窒化アルミニウムに変換される。焼成温度の下限値は８００℃以上となることができる。焼成温度の好ましい範囲は８００〜１５００℃であり、さらに好ましい範囲は、８００〜１２００℃である。焼成装置としてはるつぼを用いたバッチ式焼成炉、または回転式焼成炉など、一般に用いられる工業的焼成炉であればいずれも使用することができる。この焼成反応は酸化によるアルミナの生成を抑制するために非酸化性雰囲気下行う。
【００２７】
非酸化性雰囲気としては、窒素、アンモニア、水素、アルゴン、一酸化炭素、二酸化炭素またはこれらの混合雰囲気等となることができる。中でも窒素雰囲気が安全で安価であり好ましい。
【００２８】
焼成後に得られる窒化アルミニウムの残留炭素は、通常１．０質量％以下となるが、残留炭素が多い場合は、酸化性雰囲気下、５００〜７００℃で再処理することで除去可能である。
【００２９】
焼成温度が８００℃未満の場合は反応が十分に進まないため、有機アミン化合物由来の有機物が残存し、窒化アルミニウムが生成しない。また１５００℃以上でも窒化アルミニウム生成に問題はないが、温度が高いことから設備費が増大し、結果的にコスト的に不利になる。本発明ではアルミニウム源となる塩化アルミニウムと窒素源となる有機アミン化合物が対となるような錯体を形成していると考えられる。アルミニウム原子と窒素原子が距離的に近い位置に存在することからアルミニウム−窒素結合形成のための反応が進行しやすく、その結果比較的低温で窒化アルミニウムが生成したと考えている。
【００３０】
本発明は、塩化アルミニウムと有機アミンから成る錯体であって、前記有機アミン部分の構造中に炭素−炭素結合を含まないことを特徴とする塩化アルミニウム−有機アミン錯体である。
【００３１】
本発明の塩化アルミニウム−有機アミン錯体は、塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ3）部分と、構造中に炭素−炭素結合を含まない有機アミン部分とから成っている。好ましくは、有機アミン部分は、構造中に炭素−炭素結合を含まず、かつ窒素−炭素の結合を含んで構成される有機アミン部であれば特に限定されない。このような有機アミン部分の構造は、製造に用いた、例えば、メラミン、シアヌル酸、シアナミド、メチルアミン、尿素、ヘキサメチレンテトラミン、グアニジン若しくはシアノグアニジン等の低分子有機アミン化合物およびその塩類、これら有機アミン化合物を最小単位とした重合物およびその塩類に由来するものである。
【００３２】
本発明の塩化アルミニウム−有機アミン錯体から得られた窒化アルミニウムは、図６、図７のＳＥＭ写真に示すように、一次粒子径が１．０μｍ以下の粒子径の揃った窒化アルミニウム粉末である。
【実施例】
【００３３】
以下、実施例、比較例を挙げて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の技術範囲はこれらに限定されるものではない。なお、実施例化合物の合成に使用される化合物で記載のないものについては、市販の化合物を使用した。
【００３４】
実施例における分析は、赤外分光法（以下、ＩＲという）、Ｘ線回折法（以下、ＸＲＤという）により行った。ＩＲはＦＴ−７２０（堀場製作所製）を用いてＫＢｒ錠剤法で測定した。ＸＲＤは、ＲＡＤ−ｒＲ（リガク製）を用いて測定した。
【００３５】
＜実施例１＞
［塩化アルミニウム−有機アミン錯体の合成］
（塩化アルミニウム−メラミン（塩化アルミニウム：メラミン＝１：１）錯体の合成）
窒素雰囲気下、塩化アルミニウム（８．０ｇ、６０ｍｍｏｌ）の四塩化炭素（３０ｍＬ）懸濁液を撹拌しながら、室温にてメラミンモノマー（７．６ｇ、６０ｍｍｏｌ）を加えた。１６時間撹拌した後、減圧濾過により淡黄色固体（１７．９ｇ）を得た。これを減圧下（１ｍｍＨｇ）室温にて２時間、１００℃にて３時間乾燥後、乳鉢で良く粉砕し、塩化アルミニウム−メラミン錯体（１５．５ｇ、収率９９％）を白色粉末として得た。得られた白色粉末のＩＲチャートを図１に示した。
【００３６】
＜実施例２＞
（塩化アルミニウム−尿素（塩化アルミニウム：尿素＝１：３）錯体の合成）
実施例１に記載の方法と同様の操作により、塩化アルミニウム（４．０ｇ、３０ｍｍｏｌ）および尿素（５．４ｇ、１２０ｍｍｏｌ）から、塩化アルミニウム−尿素（１：３）錯体（８．７ｇ、収率９３％）を白色粉末として得た。得られた白色粉末のＩＲチャートを図２に示した。
【００３７】
＜実施例３＞
（塩化アルミニウム−尿素（塩化アルミニウム：尿素＝１：６）錯体の合成）
実施例１に記載の方法と同様の操作により、塩化アルミニウム（４．０ｇ、３０ｍｍｏｌ）および尿素（１０．８ｇ、２４０ｍｍｏｌ）から、塩化アルミニウム−尿素（１：６）錯体（１４．５ｇ、収率９８％）を白色粉末として得た。得られた白色粉末のＩＲチャートを図３に示した。
【００３８】
＜実施例４＞
（塩化アルミニウム−メラミン（塩化アルミニウム：メラミン＝１：３）錯体の合成）
窒素雰囲気下、アセトニトリル（１４．０ｇ、３４０ｍｍｏｌ）に、内温が４０℃以下を保つようにして、塩化アルミニウム（８．０ｇ、６０ｍｍｏｌ）少量ずつ加えた。得られた溶液にメラミンモノマー（２２．７ｇ、１８０ｍｍｏｌ）を加え、１時間加熱還流した。冷却して得られた白色スラリーをエバポレーターで濃縮後、ｎ−デカン（４０ｍＬ）を加え、得られた白色スラリーを濾過後、濾滓を減圧下（２ｍｍＨｇ）９５℃にて３時間乾燥し、白色粉末（３１．０ｇ、＞９９％）を得た。
【００３９】
＜実施例５＞
（塩化アルミニウム−メラミン−尿素（塩化アルミニウム：メラミン：尿素＝１：１：１）錯体の合成）
窒素雰囲気下、アセトニトリル（１４．０ｇ、３４０ｍｍｏｌ）に、内温が４０℃以下を保つようにして、塩化アルミニウム（８．０ｇ、６０ｍｍｏｌ）少量ずつ加えた。得られた溶液にメラミンモノマー（７．６ｇ、６０ｍｍｏｌ）および尿素（３．６ｇ、６０ｍｍｏｌ）を加え、１時間加熱還流した。ｎ−デカン（４０ｍＬ）を加え、濃縮して得られた白色スラリーを濾過後、濾滓を減圧下（２ｍｍＨｇ）９５℃にて２時間乾燥し、白色粉末（１９．９ｇ、収率＞９９％）を得た。
【００４０】
＜比較例１＞
（塩化アルミニウム−エチレンジアミン（塩化アルミニウム：エチレンジアミン＝１：３）錯体の合成（エチレンジアミンは構造中に炭素−炭素結合を含んでいる））
窒素雰囲気下、エチレンジアミン（３１．５ｇ、５２４ｍｍｏｌ）に、内温が５０℃以下を保つようにして、塩化アルミニウム（４．０ｇ、３０ｍｍｏｌ）を徐々に加えた。得られたスラリー溶液を室温で３０分撹拌した後、濾過し固体を得た。これ減圧下（２ｍｍＨｇ）１００℃にて３時間乾燥し、褐色粉末（８．９ｇ、収率９４％）を得た。
【００４１】
[焼成工程]（窒化アルミニウムの合成）
＜実施例６＞
実施例１で調製した塩化アルミニウム‐メラミン（塩化アルミニウム：メラミン＝１：１）錯体（１．０ｇ、４．０ｍｍｏｌ）を、アルミナ製焼成ボートに充填し、窒素気流下、管状焼成炉にて焼成した。昇温速度は１０℃／ｍｉｎ、焼成温度１１００℃で３時間保持した。室温まで冷却し、灰色粉末（０．１３ｇ、収率８７％）を得た。図４に示すようにＩＲ分析ではＡｌＮの吸収のみが観測された。図５に示すように、ＸＲＤ分析ではＡｌＮの回折パターンのみであり、他の回折線は認められなかった。図６、図７に示すＳＥＭ画像から粒子径が０．４μｍであり、径の揃った粒子であること分かった。
【００４２】
＜実施例７＞
実施例２で調製した塩化アルミニウム−尿素（塩化アルミニウム：尿素＝１：３）錯体（１．０ｇ、３．４ｍｍｏｌ）を、実施例６に記載の方法に従い焼成温度１１００℃で焼成し、灰色粉末（０．１４ｇ、収率１００％）を得た。ＩＲスペクトルから、実施例６の場合と同様にＡｌＮの吸収のみが認められた。
【００４３】
＜実施例８＞
実施例３で調製した塩化アルミニウム−尿素（塩化アルミニウム：尿素＝１：６）錯体（０．４６ｇ、０．９４ｍｍｏｌ）を、実施例６に記載の方法に従い焼成温度１１００℃で焼成し、黒色粉末（０．０４７ｇ、収率１００％）を得た。ＩＲスペクトルから、実施例６の場合と同様にＡｌＮの吸収のみが認められた。
【００４４】
＜実施例９＞
実施例５で調製した塩化アルミニウム−メラミン−尿素（塩化アルミニウム：メラミン：尿素＝１：１：１）錯体（０．５６ｇ、１．８ｍｍｏｌ）を用い、焼成温度保持時間を２０分とした以外は、実施例６に記載の方法に従い焼成温度１１００℃で焼成し、灰色粉末（０．０７２ｇ、収率１００％）を得た。ＩＲスペクトルから、実施例６の場合と同様にＡｌＮの吸収のみが認められた。
【００４５】
＜実施例１０＞
実施例４で調製した塩化アルミニウム−メラミン（塩化アルミニウム：メラミン＝１：３）錯体（０．５０ｇ、０．９８ｍｍｏｌ）を用い、実施例６に記載の方法に従い焼成温度１１００℃で焼成し、灰色粉末（０．０７２ｇ、収率１００％）を得た。ＩＲスペクトルから、実施例６の場合と同様にＡｌＮの吸収のみが認められた。
【００４６】
＜比較例２＞
比較例１で調製した塩化アルミニウム−エチレンジアミン（塩化アルミニウム：エチレンジアミン＝１：３）錯体を用い、実施例６に記載の方法に従い焼成温度１１００℃で焼成し、黒色固体（０．０８０ｇ、収率４９％）を得た。図８に示すようにＸＲＤ分析ではＡｌＮの回折パターンは認められなかった。
【００４７】
＜実施例１１＞
塩化アルミニウム−メラミン（塩化アルミニウム：メラミン＝１：１．３３）錯体（０．４６ｇ、１．５ｍｍｏｌ）を用いたこと、焼成温度を９００℃にしたこと以外は、実施例６に記載の方法に従い焼成し、灰色粉末（０．０６２ｇ、収率１００％）を得た。ＩＲスペクトルからＡｌＮの吸収のみが認められた。
【００４８】
＜比較例３＞
塩化アルミニウム−メラミン（１：１）錯体（１．０ｇ、４．０ｍｍｏｌ）を用いたこと、焼成温度を７５０℃にしたこと以外は、実施例６に記載の方法に従い焼成し、灰色粉末（０．０６２ｇ、収率１００％）を得た。図９に示すようにＩＲスペクトルでは１０００〜２５００ｃｍ-1に有機物に由来すると考えられるピークが複数みられ、ＡｌＮの吸収は認められなかった。
【図１】
2020142975.tif 000002
【図２】
2020142975.tif 000003
【図３】
2020142975.tif 000004
【図４】
2020142975.tif 000005
【図５】
2020142975.tif 000006
【図６】
2020142975.tif 000007
【図７】
2020142975.tif 000008
【図８】
2020142975.tif 000009
【図９】
2020142975.tif 000010