(57)【要約】【課題】簡易な操作で回転機器の振動を測定でき、軸受部振動に関する指標化されたパラメータ値が表示され、最適な振動監視ができ、収集データについての管理を行う最適な計測結果を得ることができ、回転機の簡易的な軸受振動監視に特化する。【解決手段】Ａ／Ｄ変換器４４は、回転機器の振動を検出する加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号を量子化する。ＦＦＴアナライザ部５４は、量子化後の加速度データを高速フーリエ変換する。デジタルＢＰＦ処理部８５、８７は、ＦＦＴアナライザ部により生成されたレベルデータのうち、回転機器の回転速度に依存しない４ｋＨｚ〜６ｋＨｚ、又は８ｋＨｚ〜１０ｋＨｚの周波数帯域のレベルデータを通過させる。単純平均演算処理部８６、８８は、デジタルＢＰＦ処理部を通過した周波数帯域のレベルデータに対して、周波数帯域内の各周波数において平均値を算出して測定値とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転機器の軸受部に生じる振動の計測結果に基づいて前記軸受部の異常の有無を診断する計測診断装置であって、
前記回転機器の振動を検出する加速度検出手段からの加速度信号を量子化するＡ／Ｄ変換器と、
前記量子化後の加速度データを高速フーリエ変換する高速フーリエ変換手段と、
前記回転機器の回転速度を基準周波数に変換する変換手段と、
前記高速フーリエ変換手段により生成されたレベルデータのうち、前記基準周波数を基準波とした複数の異なる高調波帯域についての歪み値を取得する取得手段と、
前記高調波帯域についての歪み値に基づいて、前記回転機器の軸受部に係る劣化状態を数値化する数値化手段と、
を備えることを特徴とする計測診断装置。
【請求項２】
前記数値化手段は、
各高調波帯域についての歪み値に基づいて、各高調波帯域の高調波歪み率、及び全高調波帯域の高調波歪み率を算出する算出手段と、
前記各高調波帯域の高調波歪み率を前記全高調波帯域の高調波歪み率で除算して、前記各高調波帯域の商値を求める除算手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の計測診断装置。
【請求項３】
前記数値化手段は、
前記高調波帯域についての歪み値に取得日時を付加して蓄積する蓄積手段と、
前記蓄積手段から取得した各取得日時の前記高調波帯域についての歪み値に基づいて、前記除算手段により求められた前記各高調波帯域の商値を前記取得日時毎に時系列に表示する表示手段と、
を備えたことを特徴とする請求項２に記載の計測診断装置。
【請求項４】
前記加速度検出手段からの加速度信号を所定の増幅率により増幅する利得調整器と、
前記利得調整器から出力される加速度信号と基準電圧とを比較して比較結果信号を利得調整器に出力する比較器と、を備え、
前記比較器は、前記加速度信号が前記基準電圧よりも大きい場合に、前記利得調整器の増幅率の変化範囲を制限することを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の計測診断装置。
【請求項５】
前記加速度検出手段と前記利得調整器との間には、前記加速度検出手段からの加速度信号を入力して増幅するチャージアンプと、
前記チャージアンプから出力される増幅加速度信号の帯域を制限して通過させて前記利得調整器に出力するフィルタと、を備えることを特徴とする請求項４に記載の計測診断装置。
【請求項６】
前記比較器は、前記加速度検出手段からの前記加速度信号がクリップしないように、前記利得調整器の増幅率の変化上限を−０．５ｄＢ程度として制限することを特徴とする請求項４に記載の計測診断装置。
【請求項７】
前記加速度検出手段の種類、前記回転機器の軸受部に前記加速度検出手段を取付けるための取り付け部材の種類、及び取り付け方法の種類に応じて、前記加速度検出手段の有効計測周波数以上の周波数におけるレベルデータを非通過としてバンドパスフィルタに設定し、前記高速フーリエ変換手段により生成されるレベルデータを補正する演算手段と、
前記加速度検出手段の種類、前記取り付け部材の種類、及び前記取り付け方法の種類に係る情報を表示する情報表示手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載の計測診断装置。
【請求項８】
校正用振動発生器が発生した振動を基準となる第１の加速度検出手段に印加した場合に、前記高速フーリエ変換手段により生成された各周波数帯域の第１のレベルデータを取得する第１の取得手段と、
前記基準となる第１の加速度検出手段から取得した各周波数帯域の第１のレベルデータを記憶する記憶手段と、
前記校正用振動発生器が発生した振動を使用中の加速度検出手段に印加した場合に、前記高速フーリエ変換手段により生成された各周波数帯域の第２のレベルデータを取得する第２の取得手段と、
前記記憶手段から読み出した各周波数帯域の第１のレベルデータと、前記使用中の加速度検出手段から取得した各周波数帯域の第２のレベルデータとを比較する比較手段と、
前記比較手段の比較結果データに基づいて、前記使用中の加速度検出手段の異常の有無を診断する診断手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載の計測診断装置。
【請求項９】
前記比較結果データを前記各周波数帯域の補正値として入力する補正値入力手段と、
前記補正値入力手段から入力された前記各周波数帯域の補正値に基づいて、前記高速フーリエ変換手段から出力される各周波数帯域のレベルデータを夫々補正する感度補正演算器と、
を備えたことを特徴とする請求項８に記載の計測診断装置。
【請求項１０】
前記各周波数帯域の補正値を入力する補正値入力手段と、
前記補正値入力手段から入力された前記各周波数帯域の補正値に基づいて、前記高速フーリエ変換手段から出力される各周波数帯域のレベルデータを夫々補正する感度補正演算器と、
を備えたことを特徴とする請求項８に記載の計測診断装置。
【請求項１１】
回転機器の軸受部に生じる振動の計測結果に基づいて前記軸受部の異常の有無を診断する計測診断装置による計測診断方法であって、
前記回転機器の振動を検出する加速度検出手段からの加速度信号を量子化するＡ／Ｄ変換器から取得した前記量子化後の加速度データを高速フーリエ変換する高速フーリエ変換ステップと、
前記回転機器の回転速度を基準周波数に変換する変換ステップと、
前記高速フーリエ変換ステップにより生成されたレベルデータのうち、前記基準周波数を基準波とした複数の異なる高調波帯域についての歪み値を取得する取得ステップと、
前記高調波帯域についての歪み値に基づいて、前記回転機器の軸受部に係る劣化状態を数値化する数値化ステップと、
を実行することを特徴とする計測診断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転機器の軸受部に生じる振動の計測結果に基づいて軸受部の異常の有無を診断する計測診断装置、及び計測診断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラントに設置されている回転機械を安定して運転するために、状態監視保全技術として通常の時間保全による分解点検に加え、状態監視保全において軸受部の振動測定を行い、健全性を確認している。振動測定方法として、簡易診断と精密診断の２つの方法が確立されている。
原子力発電所の回転機器の振動診断技術についての技術基準として「ＪＥＡＧ  ４２２１−２０ＸＸ  原子力発電所の設備診断に関する技術指針―回転機械振動診断技術」がある。
簡易診断は、状態監視データの特徴、経時変化の傾向及びこれらから予測されるその後の推移を、管理基準と比較することで、劣化又は故障の程度の推定及び対応時期の判断を行うものである。本手法は傾向管理と一般的に呼ばれている。
【０００３】
一方、精密診断は、回転機械に発生している異常の部位、種類、原因、程度等を推定することを目的とするものである。主に時間波形分析、周波数分析、位相分析、軌跡分析等の方法があり、劣化又は異常の兆候の要因に応じた適切な分析方法を選択する。
原子力発電所では、運転している回転機器の軸受部振動が増大した等の異常が発見された場合は、運転部門と保修部門が協議を行い、予備機がある場合は切り替えを行い、予備機がない場合は系統を停止して点検する等の対策をとる。
このため、回転機器に発生している振動が増大することに起因して故障が発生した場合は、運転中であれば回転機器の突然のトリップ等で原子力発電所の運転に多大の影響を及ぼす可能性があり、運転計画の変更を生じる可能性があるため、回転機器に対して日常の状態管理が不可欠である。
【０００４】
特許文献１には、軸受部の精密診断に用いられる一般的な周波数解析方法であり、加速度ピックアップからの信号を絶対値処理し、ローパスフィルタ処理を行った後、包絡線処理後の信号を高速フーリエ変換するという既存の技術が開示されている。また、特許文献１には、波形のクレストファクタ値を求める技術が開示されている。特許文献１に記載されている技術は従来から用いられており、軸受部の故障・劣化が進行して特徴的な周波数帯の振動が発生した際に効果を発揮するという利点を有している。
特許文献２には、回転機の振動データと回転数データを取り込み、回転機械の全回転数全領域ごとの振幅値を記録し、過去データの平均値と比較する技術が開示されている。
特許文献３には、振動波形についての現在値と振動管理基準値とを比較することで異常の判別を行うことと、分析に高速フーリエ演算を用い、予め採取した異常時データと現在データを比較し、異常の判断を行う技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−２０３２１８公報
【特許文献２】特開平４−１３１７１７号公報
【特許文献３】特開昭６２−９３６２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したように、プラント機器の日常管理において、回転機器の振動測定及び状態監視が重要である。
市販の振動計測器にあっては、あらゆる振動モードの測定を行うため、一般に多彩な機能を搭載している。しかし、一般作業員が使用するには測定器の取扱いやデータ採取について熟練が必要であり、必ずしも簡易なものではなかった。
現状市販されている計測器や振動計測診断方法では、以下の問題点がある。
（１）従来の振動計測業務では、振動計について十分な知識を持ち、振動計測の力量を持った専門の作業員が労力をかけて振動計測を行い、データ採取を行っている。振動計測業務は、専門性が高く、データの収集及び評価に時間がかかるという欠点がある。なお、専門的な知識例として、以下のことに習熟する必要がある。
（例１）軸受部の振動計測を行うためには適切な加速度ピックアップを選択しなくてはならない。目的に応じた感度や振動周波数帯レンジのピックアップについて選択することについては相応の学習が必要である。
（例２）市販の振動計測器は多機能すぎるため、プラントで使用するような回転機の軸受監視用に計測器の設定を調整する必要があり、機器に精通する必要がある。
（例３）簡易診断、精密診断の方法は確立しているが、振動計測器でデータ収集しても結果の判定は力量のある要員で判断しなくてはならず、データ意味合いについても習熟する必要がある。
【０００７】
（２）振動計測器で振動を測定する際、入力ゲイン値は人間がピークメータを目視して手動で調整を行っている。入力値を大きくとりすぎて、ピークメータが最大値を超えると（入力ゲインが大きすぎると）採取したデータは不正値となり、以降測定したデータ値は信頼性がなくなる。誤って入力ゲインが超過した状態でデータを採取した場合、データ採取が無駄となる。
（３）運転員は軸受部の状態を一般的に聴診棒による聴診で行うため、軸受部の音色や音量についての表現については個人差が生じやすく、一定の基準がない。軸受部から発するグリス切音についても同様に音量の強弱の表現でしか表しておらず、軸受管理記録でも定量値にできない。
そのため、グリスアップが必要な振動値や、グリスアップ後の振動低下量の感知についても運転員や保修員の感覚に頼っており、客観的な指標がない。
（４）簡易診断における傾向管理で使用されるデータは振動の速度モードによる振幅値、もしくは波形のピーク値と実効値の比であるクレストファクタによるものである。その他に、軸受部の故障モードは文献にあるように、振動の周波数分析から高い周波数帯領域から振動値が出始め、故障・劣化が進むにつれ、高周波帯域から低周波帯域へと振動モードが移行する傾向にある。簡易診断では振動速度の実効値の大きさで劣化を判断しているが（ＩＳＯ１０８１６−１「振動評価基準（振動速度の実効値））、早期の劣化兆候である高周波領域の振動数増加を定量的に評価する手段は、高速フーリエ変換による周波数解析結果を出力し、高調波やノイズの増加量は人間がＦＦＴの出力値を観察することで確認するほかなく、高調波やノイズの増加量を示す簡単な指標についてはなかった。
【０００８】
（５）振動計測に回転速度入力がない。電動機の回転速度は電源周波数と極数で決定されるが、負荷変動によるすべり分を考慮すると、実測での回転速度入力が望ましい。
（６）圧電式加速度ピックアップの周波数帯ごとの感度は完全なフラットではない。また、高い周波数帯にあるピックアップ自体の共振領域や中間帯の感度誤差があるため、振動周波数解析の精度に少なからず影響を及ぼしている。
（７）使用中にピックアップ感度が低下、または故障した場合、正確なデータとならない。ピックアップの故障はピックアップ内部で発生した場合はわかりづらく、知らずに誤ったデータを採取してしまう恐れがある。
【０００９】
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的としては、簡易な操作で回転機器の振動を測定でき、軸受部振動に関する指標化されたパラメータ値が表示され、最適な振動監視ができ、収集データについての管理を行う最適な計測結果を得ることができ、回転機の簡易的な軸受振動監視に特化した計測診断装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１記載の発明は、上記課題を解決するため、回転機器の軸受部に生じる振動の計測結果に基づいて前記軸受部の異常の有無を診断する計測診断装置であって、前記回転機器の振動を検出する加速度検出手段からの加速度信号を量子化するＡ／Ｄ変換器と、前記量子化後の加速度データを高速フーリエ変換する高速フーリエ変換手段と、前記回転機器の回転速度を基準周波数に変換する変換手段と、前記高速フーリエ変換手段により生成されたレベルデータのうち、前記基準周波数を基準波とした複数の異なる高調波帯域についての歪み値を取得する取得手段と、前記高調波帯域についての歪み値に基づいて、前記回転機器の軸受部に係る劣化状態を数値化する数値化手段と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の発明によれば、簡易な操作で回転機器の振動を測定でき、軸受部振動に関する指標化されたパラメータ値が表示され、最適な振動監視ができ、収集データについての管理を行う最適な計測結果を得ることができ、回転機の簡易的な軸受振動監視に特化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】（ａ）は本発明の実施形態に係る計測システムの概要を示す図であり、（ｂ）は計測診断装置に接続されている機器を示す図である。
【図２】本発明の実施形態に係る計測診断装置のブロック構成を示す図である。
【図３】本発明の実施形態に係る計測診断装置において動作する軸受部簡易診断測定部のソフトウエアモジュール構成を示す図である。
【図４】本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部の動作を示すメインフローチャート（その１）である。
【図５】本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部の動作を示すメインフローチャート（その２）である。
【図６】本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部の動作を示すメインフローチャート（その３）である。
【図７】本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部の動作を示すメインフローチャート（その４）である。
【図８】基本設定モードの選択を行うための画面を示す図である。
【図９】前回の測定時に使用された設定画面を示す図である。
【図１０】加速度ピックアップの選択画面を示す図である。
【図１１】回転速度手動入力選択画面を示す図である。
【図１２】温度センサ使用選択画面を示す図である。
【図１３】加速度ピックアップ取付方法選択画面を示す図である。
【図１４】プロセス表示画面を示す図である。
【図１５】測定機器・測定部位選択画面を示す図である。
【図１６】測定開始確認画面を示す図である。
【図１７】測定開始キャンセル画面を示す図である。
【図１８】測定実行プロセス進行画面を示す図である。
【図１９】測定結果表示画面を示す図である。
【図２０】保存完了・次測定機器・測定部位選択画面を示す図である。
【図２１】本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部による補正・校正モード選択処理のサブルーチンのフローチャートである。
【図２２】本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部によるピックアップ校正モード条件成立処理のサブルーチンのフローチャートである。
【図２３】本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部による送受信モード選択処理のサブルーチンのフローチャートである。
【図２４】本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部による加速度ピックアップ選択処理のサブルーチンのフローチャートである。
【図２５】本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部による回転速度手動入力モード処理のサブルーチンのフローチャートである。
【図２６】本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部による温度センサ使用選択処理及び温度センサ不使用選択処理のサブルーチンのフローチャートである。
【図２７】本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部による加速度ピックアップ取付け方法選択処理のサブルーチンのフローチャートである。
【図２８】本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部による、（ａ）ＦＦＴ演算結果ストア実行処理のサブルーチン、（ｂ）波形出力・ストア実行処理のサブルーチン、（ｃ）回転速度データ入力処理実行処理のサブルーチン、（ｄ）温度データ入力処理実行処理のサブルーチンのフローチャートである。
【図２９】本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部による全高調波歪＋Ｎ演算実行＿ＴＨＤ（ｎ）Ｘ処理のサブルーチンのフローチャートである。
【図３０】本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部によるグリス切音演算実行Ｐ（ｇｒ）処理のサブルーチンのフローチャートである。
【図３１】本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部によるキシリ音演算実行Ｐ（ｋｓ）処理のサブルーチンのフローチャートである。
【図３２】本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部によるクレストファクタ演算・判定実行ｆ（Ｃｒ）処理のサブルーチンのフローチャートである。
【図３３】本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部による、（ａ）回転速度データストア実行（ｒ）処理のサブルーチン、（ｂ）温度センサデータストア値表示・演算実行（ｔ）処理のサブルーチンのフローチャートである。
【図３４】ピックアップ補正モード画面を示す図である。
【図３５】ピックアップ補正モード画面を示す図である。
【図３６】データ送受信画面を示す図である。
【図３７】ピックアップ校正モード画面を示す図である。
【図３８】（ａ）〜（ｃ）は感度補正回路部５６による校正の具体例を示すグラフ図である。
【図３９】（ａ）は加速度ピックアップを６種類の方法で取り付けた場合に生じる接触共振点の周波数特性を示すグラフ図、（ｂ）は（ａ）に示す６つの接触共振点を発生させる取り付け方法を示す図である。
【図４０】（ａ）〜（ｄ）は転がり軸受部の損傷進行状態を段階的に示すグラフ図である。
【図４１】（ａ）はグリスアップ前の周波数分析結果を示すグラフ図であり、（ｂ）はグリスアップ後の周波数分析結果を示すグラフ図である。
【図４２】（ａ）はキシリ音声発生中の加速度スペクトルを示すグラフ図であり、（ｂ）はグリスアップ直後の加速度スペクトルを示すグラフ図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を図面に示した実施の形態により詳細に説明する。
本発明の計測診断装置は、回転機器の軸受部に生じる振動の計測結果に基づいて前記軸受部の異常の有無を診断する計測診断装置であって、前記回転機器の振動を検出する加速度検出手段からの加速度信号を量子化するＡ／Ｄ変換器と、前記量子化後の加速度データを高速フーリエ変換する高速フーリエ変換手段と、前記回転機器の回転速度を基準周波数に変換する変換手段と、前記高速フーリエ変換手段により生成されたレベルデータのうち、前記基準周波数を基準波とした複数の異なる高調波帯域についての歪み値を取得する取得手段と、前記高調波帯域についての歪み値に基づいて、前記回転機器の軸受部に係る劣化状態を数値化する数値化手段と、を備えることを特徴とする。
以上の構成を備えることにより、簡易な操作で回転機器の振動を測定でき、軸受部振動に関する指標化されたパラメータ値が表示され、最適な振動監視ができ、収集データについての管理を行う最適な計測結果を得ることができ、回転機の簡易的な軸受振動監視に特化することができる。
上記の本発明の特徴に関して、以下、図面を用いて詳細に説明する。
【００１４】
図１を参照して、本発明の実施形態に係る計測システムの概要について説明する。
本実施形態では、回転機器として例えば原子力発電所や火力発電所に配置されている電動機を対象とするが、水力発電所などのプラントに配置されている電動機を対象としてもよく、また回転機器は軸受部（転がり軸受）を有するものであればよい。
図１（ａ）に示すように、原子力発電所１は、原子炉２、タービン４、復水器６、海水路８、配管１０、給水ポンプ１１、発電機１２、センサ１４、計測診断装置２０を備えている。
原子燃料を核反応させて原子炉２内で蒸気を発生させ、配管１０ａを介して蒸気をタービン４に噴射することによりタービン４を回転させ、タービン４の回転軸に接続されている発電機１２において交流電力を発電させる。タービン４を回転させた後に蒸気は配管１０ｂを介して復水器６に入り、復水器６において海水で冷却やされて水に戻り、配管１０ｃおよび給水ポンプ１１を介して水が再び原子炉２に戻り、原子炉２内で沸騰して蒸気になるという動作を繰り返す。
給水ポンプ１１の回転機に設けられた軸受部１１ａには、センサ群１４が配置されており、センサ群１４において検出された検出信号は計測診断装置２０に出力される。計測診断装置２０は、センサ群１４から取得した検出信号に基づいて、給水ポンプ１１の軸受部１１ａに生じる振動を診断する。
【００１５】
図１（ｂ）に示すように、計測診断装置２０には、センサ群１４として加速度ピックアップ１４ａ、温度センサ１４ｂ、回転速度計１４ｃから出力される検出信号が入力されており、さらに温度センサ１６から出力される検出信号が入力されている。また、計測診断装置２０には、複数の入力系統のうちの１つを選択して入力する回転速度入力部１８が接続されている。
【００１６】
＜加速度ピックアップ＞
加速度ピックアップ１４ａは、例えば圧電式加速度ピックアップであり、加速度に比例して自己発生された電荷（電荷・電圧）を出力する。
ここで、簡易診断用の加速度ピックアップについて説明する。
簡易診断では、振動センサは、一般に、小型のものほど測定周波数を高くすることができるが、一方、感度は低下する特性がある。また、計測診断装置や測定対象機器の特性によって使用すべきセンサも異なることから、これらを考慮して適切な感度のセンサを選定する必要がある。
なお、使用する振動センサによって特性が異なることから、同一箇所の測定により傾向監視を行う場合には、同一仕様の振動センサを用いることが重要である。
振動センサの感度と周波数特性の関係は、一般に、振動センサの感度と周波数特性の関係は、感度が高いとＳ／Ｎ比が高くなるが共振周波数が低くなり、使用出来る周波数帯域が狭くなる。逆に感度を低くするとＳ／Ｎ比は低下するが周波数帯域は広くなる。
従って、異なる目的、あるいは測定対象物の設置環境や計測診断装置の都合によって異なる感度のセンサを採用する場合があり、例えば特定の周波数帯域で主に使用したい場合に、感度の高いセンサ（Ｓ／Ｎ比が高いセンサ）を使用する場合もある一方、広範囲の周波数帯域のデータを採取・評価したい場合には、感度の低いセンサ（周波数帯域が広いセンサ）を使用する場合もある（以上、出典：「ＪＥＡＧ  ４２２１−２０ＸＸ  原子力発電所の設備診断に関する技術指針―回転機械振動診断技術」より）。
以上のことから、簡易診断に用いる圧電式加速度ピックアップは、広帯域・低感度のものとなる。本実施形態では、小型の広帯域・低感度特性を有する加速度ピックアップを使用する。小型であるため、ピックアップ本体と振動体（軸受部）が同じように振動することができ、良好な振動データを得ることが可能となる。また、一般的にピックアップの重量により振動体の振動状態が変化しないためには、ピックアップの小型化が不可欠である。
【００１７】
＜温度センサ＞
温度センサ１４ｂ、温度センサ１６は、接触式の温度センサもしくは非接触式の放射温度計であり、機器温度や室温をそれぞれ計測する。一般的に、軸受部の振動が増大すると、振動による機械的エネルギーの増加により、軸受部の温度上昇がみられる。ただし、振動の増大後に遅れて温度は上昇する傾向にある。
また、軸受部のグリスが不足していると潤滑が不足し、軸受部の温度が上昇する。反対にグリスの給油直後や、グリスの補給量が多すぎる場合でも軸受部の温度が上昇する現象ある。これは、グリスが補充されるとグリスによる抵抗の増大により熱発生が多くなり、温度が上昇する。温度が高い状態であればグリスの劣化速度が大きくなることが一般的に知られている。
このため、温度センサを設ける目的は、軸受部の振動による温度データも軸受部の健全性に関する二次データとして入力・記憶することにある。
また、軸受部に対する実際のグリスアップ作業時では、グリス注入ごとに軸受部の温度が上昇するため、保修員が軸受部に棒状温度計を取付け、グリスを数ｃｃ注入するごとに温度データを採取し、軸受部の温度が安定することを確認しながら、グリスを注入する。このため、温度センサを計測診断装置２０に接続しておくことで、温度変化の傾向を連続的に測定することができ、温度データを蓄積することが可能となる。
なお、詳細説明の副次的効果として、本計測診断装置をグリス切れ管理機能の専用機とした場合、回転速度計は必要がなく、温度計が必須となる。回転速度計がいらない理由は、グリス切れの場合は機器の回転速度に関係なく、グリス切れの特徴的な周波数帯は８ｋＨｚ〜１０ＫＨｚで一定という知見があるからである。
【００１８】
＜回転速度計＞
回転速度計１４ｃは、非接触式のデジタルタコメータであり、回転機のシャフトやカップリング等の対象物に反射テープを貼り付けておき、レーザ光を反射テープの方向に照射して反射テープによる反射されたレーザ光を非接触で受光して計測する回転速度測定装置である。
本実施形態における回転速度測定の目的は、計測した振動データをＦＦＴ演算器で解析する場合、機器の基本回転速度を入力しなければ、その後の全高調波歪＋Nでの演算ができないために入力をしている。ＦＦＴ演算された振動データのパワースペクトルでは、回転速度周波数（基本周波数）はその前後の周波数出力と比較して卓越している。そのため、デジタルタコメータから入力された回転速度データを周波数値に変換してから、パワースペクトルの中から基本周波数に近似し、かつ前後の周波数から卓越した周波数帯を導き出す。ここで、近似した周波数帯としているが、回転速度を周波数に変換した値と、ＦＦＴ演算した後の周波数値は、ＦＦＴ演算精度の関係上、完全に一致はしないため、近似かつ出力が卓越している周波数を探す。
また、回転速度計１４ｃからケーブルを介して計測診断装置２０に接続することにより、計測診断装置２０の負荷を軽減する。
【００１９】
＜回転速度入力部＞
回転速度入力部１８は、操作入力部１７ａ、回転速度計１４ｃ、機器回転速度データベース１７ｂからそれぞれ受け付けたデータのうち何れか１つのデータを選択して計測診断装置２０に出力する。なお、回転速度入力部１８を計測診断装置２０に備えるように構成してもよい。
操作入力部１７ａは、キーボードを備え、ユーザにより操作入力された値を出力する。本実施形態では、回転機器の回転をスタンドアローン型の非接触式デジタルタコメータにより計測しておき、ユーザにより当該デジタルタコメータの読み値を直接に操作入力部１７ａに操作入力してもよい。
機器回転速度データベース１７ｂは、回転機器の回転速度を記憶したデータベースである。
＜温度入力部＞
温度入力部１９は、温度センサ１４ｂ、温度センサ１６からそれぞれ受け付けた温度信号をデジタル信号の温度データに変換して計測診断装置２０に出力する。なお、温度入力部１９を計測診断装置２０に備えるように構成してもよい。
【００２０】
＜振動データサーバ＞
計測診断装置２０には、ネットワークＮを介して振動データサーバ２５が接続されている。
振動データサーバ２５は、計測診断装置２０からネットワークＮを介して送信される振動データを受信して、ハードディスク等の記憶装置に記憶させ、必要に応じて記憶装置から読み出した振動データをネットワークＮを介して計測診断装置２０に送信する。
振動データサーバ２５は、計測診断装置２０の処理結果・信号入力値をモニタに表示する。これにより、運転員・保修員はデータを現場で確認することや、振動データサーバ２５を用いて各軸受部の状態管理を行うことができる。
なお、振動データサーバ２５のモニタには各パラメータの入力値、パラメータの傾向についてガイダンス表示、パラメータの意味の解説等を表示してもよい。また、後述する軸受部簡易診断測定部８２で演算されたデータを表示する際には、計測データ、演算データや測定採取条件（ピックアップの種類やピックアップ取付方法等も含めて）等全部のデータを一画面で表示してもよい。
【００２１】
次に、図２を参照して、本発明の実施形態に係る計測診断装置２０のブロック構成について説明する。
計測診断装置２０は、自動利得調整部３０、信号処理部５０、回転速度入力部１８、温度入力部１９、Ｉ／Ｏブリッジ部６０、ＣＰＵ６２、メインメモリ部６４、フラッシュメモリ部６６、ＬＣＤ表示部６８、ＬＡＮ＿Ｉ／Ｆ部７０を備えている。
【００２２】
＜自動利得調整部＞
自動利得調整部３０は、チャージアンプ３２、ＨＰＦ／ＬＰＦ３４、利得調整器３６、比較器３７、ピーク検波器３８、ピーク表示ランプ４０、Ａ／Ｄ変換器４４を備えている。自動利得調整部３０には、振動アナログ信号をモニタするためのオペアンプ４６、イヤフォン４８が接続されている。
チャージアンプ３２は、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号を入力して増幅する。すなわち、チャージアンプ３２は、加速度ピックアップ１４ａにより自己発生された電荷（加速度に比例して電荷・電圧を発生する）に対して、電荷を処理し易い電圧信号に変換して増幅する。チャージアンプ３２は、Ａ／Ｄ変換器を内蔵し、増幅加速度信号をＡ／Ｄ変換器によりＡ／Ｄ変換されたデータをＩ／Ｏブリッジ６０に出力する。
ＨＰＦ／ＬＰＦ３４は、フィルタを構成し、チャージアンプ３２から出力される増幅加速度信号の帯域を制限して通過させる。すなわち、ＨＰＦ／ＬＰＦ３４は、加速度ピックアップ１４ａにより発生された電圧信号中に超低周波数（例１Ｈｚ〜２Ｈｚ以下）、及び加速度ピックアップ１４ａの共振周波数以上（例えば４８ｋＨｚ以上）の周波数帯をそれぞれハイパス処理及びローパスフィルタ処理を行い、後段のＦＦＴアナライザ測定結果のアンチエイリアシングの前処理を行う。なお、アンチエイリアシングとは、デジタル信号ではあるサンプリング周波数でサンプリングされるために、サンプリング周波数の半分を超える周波数成分は折り返し雑音となる。この折り返し雑音（ａｌｉａｓ）を遮断する技術がアンチエイリアス処理である。アンチエイリアス処理では、例えば帯域制限フィルタを使ってサンプリング周波数の半分を超える周波数成分を予め除去してからサンプリングする。このフィルタは低域通過フィルタ（ローパスフィルタ、Low-pass filter）であり、アンチエイリアス処理を行う低域通過フィルタをアンチエイリアスフィルタと呼ばれる。
【００２３】
利得調整器３６は、ＨＰＦ／ＬＰＦ３４からの加速度信号を所定の増幅率により増幅する。
比較器３７は、利得調整器３６から出力される加速度信号と基準電圧（ＧＮＤ）とを比較して比較結果信号を利得調整器３６に出力する。
比較器３７は、加速度信号が基準電圧よりも大きい場合に、利得調整器３６の増幅率の変化範囲を制限する。比較器３７は、ＨＰＦ／ＬＰＦ３４からの加速度信号がクリップしないように、利得調整器３６の増幅率の変化上限を−０．５ｄＢ付近として制限する。
チャージアンプ３２からの電圧信号である加速度信号をＡ／Ｄ変換器４４に入力させるためには、Ａ／Ｄ変換器４４が正常に処理できる電圧に制御する必要がある。このため、Ａ／Ｄ変換器４４にとって過大な入力電圧にならないように入力信号をピーク値から−０．５ｄＢ程度下げる利得調整を行うため、利得調整器３６の出力値と基準電圧値（ＧＮＤ）とを比較器３７で比較して増減調整信号を出力し、利得調整器３６により増減調整信号を用いて自動利得調整を行う。
ピーク検波器３８は、利得調整器３６から出力される加速度信号を入力し、加速度信号がゲイン−０．５ｄＢ程度のピーク値に到達したか否かを検波してピーク信号（ピークランプ不点およびゲイン−０．５ｄＢ）を出力する。ピーク検波器３８は、Ａ／Ｄ変換器を内蔵し、ピーク信号をＡ／Ｄ変換器によりＡ／Ｄ変換されたデータをＩ／Ｏブリッジ６０に出力する。
利得調整結果を目視確認できるようにピーク検波器３８、及びピーク表示ランプ４０を設け、ピーク表示ランプ４０が消灯及び後述する表示器に「測定準備完了表示」等を表示させることにより、測定者に入力信号の調整が完了したことを伝える。
【００２４】
Ａ／Ｄ変換器４４は、Ａ／Ｄ変換器を構成し、ＨＰＦ／ＬＰＦ３４からのアナログ信号である加速度信号をサンプリングしてデジタルデータに量子化する。Ａ／Ｄ変換器４４は、一般的にＳＮ比を考慮し２４ビット、データの分解能を考慮して１９２ｋＨｈｚ以上の処理ができるものであればよく、このような能力を有するデルタシグマ型Ａ／Ｄ変換器を用いればよい。
なお、高精度の測定結果を求めるため、Ａ／Ｄ変換器サンプリング周波数は９６ＫＨｚ以上とし、ＳＮ比を高くするため、ビット深度はアナログ波形をデジタル上で表現できる上限である２４ビット以上とする。なお、サンプリングデータ数は２の累乗数であり、本実施形態に示すハードウェア構成において処理できる数とし、周波数ライン数も同じくハードウェア構成上で支障がない最大数とする。
オペアンプ４６は、ユーザに振動音を直接モニタさせるために設けられ、利得調整器３６から出力される振動アナログ信号を増幅してイヤフォン４８に出力する。
【００２５】
＜信号処理部＞
信号処理部５０は、ＤＳＰ（digital signal processor）により構成され、ＬＰＦ５２、ＦＦＴアナライザ部５４、感度補正回路部５６を備えている。
ＬＰＦ５２は、Ａ／Ｄ変換器４４から出力される電圧データを入力しており、ローパスフィルタ処理によりＦＦＴアナライザ部５４へ出力する信号をサンプリング周波数の２倍以下の周波数とする。ローパスフィルタ処理はアンチエイリアシングを考慮し、機器で設定しているサンプリング周波数をもとに設定する。ＬＰＦ５２から出力されるデータは、実効値変換器５４ａに入力されるとともに、Ｉ／Ｏブリッジ部６０を介してＣＰＵ６２に入力される。
【００２６】
＜ＦＦＴアナライザ部＞
ＦＦＴアナライザ部５４は、高速フーリエ変換手段を構成し、実効値変換器５４ａ、ハニング窓関数演算器５４ｂ、ＦＦＴ演算器５４ｃを備え、ＦＦＴアナライズ処理を行う際に、波形データを実効値に変換し、実効値となった波形データにハニング窓関数を掛けてＦＦＴ処理を行う。ＦＦＴアナライザ部５４は、Ａ／Ｄ変換器４４により量子化後の加速度データを高速フーリエ変換する。
実効値変換器５４ａは、ＬＰＦ５２から入力される電圧データに対して実効値変換を行って、変換結果となる実効値電圧データがハニング窓関数演算器５４ｂに出力する。
ハニング窓関数演算器５４ｂは、実効値変換器５４ａから入力される実効値電圧データに対してハニング窓関数を乗じた後の演算結果データがＦＦＴ演算器５４ｃに出力する。
ＦＦＴ演算器５４ｃは、ハニング窓関数演算器５４ｂから入力される演算結果データに対して、振動値のパワースペクトル（出力・周波数）で各周波数の出力値として、加速度ピックアップの周波数毎の電圧成分を求め、電圧成分をデータセレクタＳＥＬ１、ＳＥＬ２を介して比較演算器５６ｂに出力するとともに、電圧成分を感度補正回路部５６に出力する。
【００２７】
＜感度補正回路部＞
感度補正回路部５６は、感度補正演算器５６ａ、比較演算器５６ｂ、フラッシュメモリ５６ｃ、校正モード判定部５６ｄ、補正値入力部５６ｅを備えている。感度補正回路部５６から出力されるデータはＩ／Ｏブリッジ部６０を介してＣＰＵ６２に入力される。
感度補正演算器５６ａは、感度補正演算器を構成し、補正値入力部５６ｅから入力された各周波数帯域の補正値に基づいて、ＦＦＴアナライザ部５４から出力される各周波数帯域のレベルデータを夫々補正する。感度補正演算器５６ａは、補正値入力部５６ｅから入力された各周波数帯域の補正値に基づいて、ＦＦＴアナライザ部５４から出力される各周波数帯域のレベルデータを夫々補正する。
比較演算器５６ｂは、比較手段を構成し、フラッシュメモリ５６ｃから読み出した各周波数帯域の第１のレベルデータと、使用中の加速度ピックアップから取得した各周波数帯域の第２のレベルデータとを比較する。
フラッシュメモリ５６ｃは、記憶手段を構成するＳＳＤ（solid state drive）を備え、基準となる新品時の加速度ピックアップ（第１の加速度検出手段）から取得した各周波数帯域のレベルデータを記憶する。
校正モード判定部５６ｄは、入力される論理値が論理「０」から論理「１」に切り替わった場合に、校正モードに切り替わったことと判定し、データセレクタＳＥＬ１、ＳＥＬ２を閉結状態に切り替え、データセレクタＳＥＬ３を開放状態に切り替える。
補正値入力部５６ｅは、補正値入力手段を構成し、比較結果データを各周波数帯域の補正値として入力する。補正値入力部５６ｅは、各周波数帯域の補正値を入力する。
【００２８】
感度補正回路部５６では、予め加速度ピックアップ１４ａの校正記録から基準校正周波数（例えば、２０Ｈｚ、８０Ｈｚ、２００Ｈｚ、５００Ｈｚ、１ｋＨｚ、２ｋＨｚ、５ｋＨｚ、１０ｋＨｚ）の感度誤差についての補正信号を入力して、より正確な信号補正を行うものである。詳しくは、ＦＦＴアナライザ部５４からの周波数分析結果に各補正信号を入力することで補正をするものである。
なお、補正信号は、メーカ校正結果が正常であれば±１％程度である。
フラッシュメモリ５６ｃは、加速度ピックアップが新品時の校正直後の特性値を記憶して保持する。
比較演算器５６ｂは、新品時の加速度ピックアップの校正信号のＦＦＴ出力レベルと、使用後の加速度ピックアップの校正信号のＦＦＴ出力レベルとを比較し、加速度ピックアップの故障の有無を検知する。
具体的には、新品時の加速度ピックアップの校正信号のＦＦＴ出力レベルと、使用後の加速度ピックアップの校正信号のＦＦＴ出力レベルを引き算し、そのズレ具合を目視して異常か判断を行う。
文献例によれば、加速度ピックアップの故障例として高域の感度が上昇しておりＦＦＴ出力値も高く表示されるため、新品時と使用後のＦＦＴデータの比較は有効であることがわかる。
図２に示すように、比較校正を行う場合には、感度補正回路部５６をバイパスするとともに、後述する軸受部簡易診断測定部８２をバイパスする。
【００２９】
ＣＰＵ６２は、内部にＲＯＭを設け、ＲＯＭからオペレーティングシステムＯＳのプログラムを読み出してメインメモリ部６４上に展開してＯＳの起動を実行するとともに、ＲＯＭからアプリケーションソフトウェアのプログラムを読み出してメインメモリ部６４上に展開して実行する。
ＣＰＵ６２は、第１の取得手段を構成し、校正用振動発生器（図示しない）が発生した振動を基準となる新品時の加速度ピックアップ（第１の加速度検出手段）に印加した場合に、高速フーリエ変換手段により生成された各周波数帯域の第１のレベルデータを取得する。
ＣＰＵ６２は、第２の取得手段を構成し、校正用振動発生器が発生した振動を使用中の加速度ピックアップに印加した場合に、ＦＦＴアナライザ部５４により生成された各周波数帯域の第２のレベルデータを取得する。
ＣＰＵ６２は、診断手段を構成し、比較演算器５６ｂの比較結果データに基づいて、使用中の加速度ピックアップの異常の有無を診断する。比較演算結果については、ＣＰＵ６２に入力し、ＬＣＤ表示部６８に表示される。
【００３０】
ここで、第１の取得手段は、加速度ピックアップ新品データ入力モードにより、校正用振動発生器が発生した振動を基準となる第１の加速度ピックアップ１４ａに印加した場合に、ＦＦＴアナライザ部５４により生成された各周波数帯域の第１のレベルデータを取得する。加速度ピックアップ補正なしＳＳ１１２を選択し、新品データ入力モードを選択し、メインメモリ部６４は、基準となる第１の加速度ピックアップ１４ａから取得した各周波数帯域のレベルデータを記憶し、ＣＰＵ６２は、メインメモリ６４からフラッシュメモリ５６ｃへデータを移行する。第２の取得手段は、校正用振動発生器が発生した振動を使用中の加速度ピックアップ１４ａに印加した場合に、ＦＦＴアナライザ部５４により生成された各周波数帯域の第２のレベルデータを取得する。比較演算器５６ｂは、フラッシュメモリ部６６から読み出した各周波数帯域の第１のレベルデータと、使用中の加速度ピックアップ１４ａから取得した各周波数帯域の第２のレベルデータとを比較する。診断手段（ＣＰＵ６２）は、比較演算器５６ｂの比較結果データに基づいて、使用中の加速度ピックアップ１４ａの異常の有無を診断する。
これにより、校正用振動発生器が発生した振動を基準となる第１の加速度ピックアップ１４ａから取得した各周波数帯域の第１のレベルデータと、使用中の加速度ピックアップ１４ａから取得した各周波数帯域の第２のレベルデータとの比較結果データに基づいて、使用中の加速度ピックアップ１４ａの異常の有無を診断することができる。
また、新品データは本計測装置の製造時に、同じＦＦＴアルゴリズムを備えた新品データ取得装置（図示しない）からあらかじめ新品時の第一のレベルデータを取得し、フラッシュメモリ５６ｃに格納しておいてもよい。
【００３１】
＜回転速度入力部＞
回転速度入力部１８は、データセレクタ１８ａを備え、操作入力部１７ａ、回転速度計１４ｃ、機器回転速度データベース１７ｂからそれぞれ受け付けたデータのうち何れか１つのデータを選択してＩ／Ｏブリッジ部６０に出力する。
なお、図２に示すように、回転速度計１４ｃを使用しているが、プラントで使用される誘導電動機は負荷変動によるすべりの影響以外では、通常運転中は回転速度が変化することはなく、一度測定しておけば次回以降は測定する必要がない。このため、本実施形態では、機器毎の回転速度データを入力・保存する機器回転速度データベース１７ｂを設けて、機器回転速度データベース１７ｂから出力される回転速度データを選択して利用している。
【００３２】
＜温度数入力部＞
温度入力部１９は、Ａ／Ｄ変換器１９ａ、１９ｂを備え、温度センサ１４ｂ、温度センサ１６からそれぞれ受け付けた温度信号をデジタル信号の温度データに変換してＩ／Ｏブリッジ部６０に出力する。
【００３３】
＜Ｉ／Ｏブリッジ部＞
Ｉ／Ｏブリッジ部６０は、データを入力するためのポートとしてポートＡ〜ポートＩを有し、ＣＰＵからの選択信号に応じて、ポートＡ〜ポートＩの何れか１つのポートに入力されているデータをＣＰＵ６２に出力する。
【００３４】
＜ＣＰＵ＞
ＣＰＵ（central processing unit）６２は、内部にＲＯＭ（read only memory）を有し、ＲＯＭからオペレーティングシステムＯＳを読み出してメインメモリ部６４上に展開してＯＳを起動し、ＯＳ管理下において、ＲＯＭからアプリケーションソフトウェアのプログラム（処理モジュール）を読み出し、ＧＵＩ（Graphical User Interface）機能や各種処理を実行する。
なお、ＣＰＵは各タスクを並行して各種処理を行うため、ＣＰＵは、複数コア・複数スレッド処理ができるものを用いてもよい。
【００３５】
＜メインメモリ部＞
メインメモリ部６４は、ＲＡＭ（random access memory）を有し、オペレーティングシステムＯＳ、アプリケーションソフトウェアのプログラムに対して、ワークエリアを提供する。
【００３６】
＜フラッシュメモリ部＞
フラッシュメモリ部６６は、ＣＰＵ６２が演算した結果データを記憶して保持する。フラッシュメモリ部６６は、採取されたデータを格納する。
【００３７】
＜ＬＣＤ表示部＞
ＬＣＤ表示部６８は、ＣＰＵ６２から出力されるデータとして、基本設定モードの選択画面、処理結果のグラフ、信号入力値等を表示する。ＬＣＤ表示部６８は、その他のパラメータとして、周波数解析結果の画面表示、速度振幅の波形表示、加速度波形、クレストファクタ及び実効値の表示、温度計表示、回転速度表示を行う。
【００３８】
＜ＬＡＮ＿Ｉ／Ｆ部＞
ＬＡＮ＿Ｉ／Ｆ部７０は、Ｉ／Ｏブリッジ部６０と有線ＬＡＮ又は無線ＬＡＮに接続可能なインターフェースを有し、ＣＰＵ６２からＩ／Ｏブリッジ部６０を介して出力されるデータ（採取されたデータ）を振動データサーバ２５へ伝送する。
【００３９】
次に、図３を参照して、本発明の実施形態に係る計測診断装置２０において動作する軸受部簡易診断測定部のソフトウエアモジュール構成について説明する。
図３に示すように、アプリケーションソフトウェアである軸受部簡易診断測定部８２はオペレーティングシステムＯＳ８０の管理下に位置している。
軸受部簡易診断測定部８２は、校正比較演算表示処理部８３、周波数解析表示処理部８４、デジタルＢＰＦ処理部８５、単純平均演算処理部８６、デジタルＢＰＦ処理部８７、単純平均演算処理部８８、全高調波歪演算処理部８９、加速度クレストファクタ処理部９０、加速度振幅演算処理部９１、温度表示処理部９２、回転速度表示処理部９３を備えている。
軸受部簡易診断測定部８２に設けられている各部は、以下のパラメータを、ＯＳを介し入力及び出力する。
（ａ）グラフ表示に用いる周波数解析値
（ｂ）数値表示に用いるグリス切れ値
（ｃ）数値表示に用いるキシリ音値
（ｄ）数値表示に用いる全高調波歪＋ｎ（超高域、高域、中域、低域、回転域、全帯域）値
（ｅ）数値表示に用いる加速度クレストファクタ、実効値
（ｆ）グラフ表示に用いる加速度振幅演算器（波形）
（ｇ）数値表示に用いる温度表示値：ただし、機器が接続していない場合は表示しない
（ｈ）数値表示に用いる回転速度表示値
なお、（ａ）〜（ｄ）は、ＦＦＴアナライザ部５４の出力値を演算処理した結果である。
（ｅ）〜（ｆ）は、Ａ／Ｄ変換器４４によりＡ／Ｄ変換した後のデータがＬＰＦ５２を通過して、得られた加速度信号を演算処理した結果である。
（ｇ）〜（ｈ）は、温度センサ１４ｂ、温度センサ１６、操作入力部１７ａ、回転速度計１４ｃ、機器回転速度データベース１７ｂ等からの信号値または入力値である。
（ｅ）加速度クレストファクタとは、振動波形のピーク値の実効値に対する比率をいう。いわゆる転がり軸受部を対象とした実験によると、正常な軸受部における振動の波高率は４〜５であるのに対し、潤滑油が不足した潤滑不良では５〜１０、軸受部の故障としてフレーキング傷が発生すると波高率は１０以上になる。
なお、波高率は、軸受部の大きさ、運転条件または振動の測定条件が変わっても、フレーキング傷の発生を即時診断できる判定基準として有効である。
加速度クレストファクタの判定には、ピーク値と実効値をそれぞれ演算し、クレストファクタ簡易判断値を用いて良否判定を行う。
【００４０】
次に、図４〜図２０を参照して、本発明の実施形態に係る計測診断装置２０に設けられた軸受部簡易診断測定部の動作について説明する。
計測診断装置２０には、例えば交流電源に接続されている電源部が備えられており、電源スイッチをＯＮ操作すると電源部から直流電源が計測診断装置２０に設けられた各部に供給され、ＣＰＵ６２が起動される。
まず、ステップＳＭ１０では、ＣＰＵ６２は、内部に設けられたＲＯＭからオペレーティングシステムＯＳのプログラムを読み出してメインメモリ部６４上に展開してＯＳの起動を実行する。
ステップＳＭ１２では、ＣＰＵ６２は、温度センサ、ＤＳＰ、Ａ／Ｄ変換器等を制御するためのドライバーソフトウエアの認識確認処理を行う。
ステップＳＭ１４では、ＣＰＵ６２は、ＯＳ管理下において、ＲＯＭから当該計測診断装置２０を制御するためのアプリケーションソフトウェアのプログラム（処理モジュール）を読み出して起動する。
【００４１】
＜基本設定モード＞
ステップＳＭ１６では、ＣＰＵ６２は、基本設定モード表示指令をＧＵＩに発行する。ＧＵＩでは、図８に示すように、基本設定モードとして、「初期設定モード選択」ボタン、「補正・校正モード選択」ボタン、「送受信モード選択」ボタン、「システム停止選択」ボタンをＬＣＤ表示部６８に表示する。
ステップＳＭ１８では、ＣＰＵ６２は、ＬＣＤ表示部６８に表示されているボタンのうち何れか１つがＯＮ操作されたことをＧＵＩにより検知した場合に、該当ボタンの名称により示されるサブルーチンへ処理を移行（コール処理、又はジャンプ処理）する。
ここで、ユーザによりＬＣＤ表示部６８に表示されている「初期設定モード選択」ボタンがＯＮ操作された場合は「初期設定モード選択」処理に移行し、「補正・校正モード選択」ボタンがＯＮ操作された場合は「補正・校正モード選択」処理に移行し、「送受信モード選択」ボタンがＯＮ操作された場合は「送受信モード選択」処理に移行し、「システム停止選択」ボタンがＯＮ操作された場合は「システム停止選択」処理に移行する。
【００４２】
「システム停止選択」ボタンがＯＮ操作された場合は、「システム停止選択」処理としてステップＳＭ２０に移行し、ＣＰＵ６２は、当該計測診断装置２０を制御するためのアプリケーションソフトウェアのプログラム（処理モジュール）を停止実行する。
ステップＳＭ２２では、ＣＰＵ６２は、オペレーティングシステムＯＳのプログラムのシャットダウンを実行する。この結果、当該計測診断装置２０は電源がＯＦＦされる。
【００４３】
「初期設定モード選択」ボタンがＯＮ操作された場合は、「初期設定モード選択」処理としてステップＳＭ３０に移行し、ＣＰＵ６２は、「前回使用設定」において設定された項目をフラッシュメモリ部６６から読み出し、ＬＣＤ表示部６８に表示する。
この結果、図９に示すような「前回使用設定」画面が表示され、画面にはメッセージとして「前回設定を使用しますか。」、「ＯＫ」ボタン、「キャンセル」ボタンが表示される。
【００４４】
ステップＳＭ３２では、ＣＰＵ６２は、「前回使用設定」を再利用するか否かを判断する。すなわち、ＣＰＵ６２は、図９に示す画面に対して、「ＯＫ」ボタンがＯＮ操作された場合はステップＳＭ３４に移行し、「キャンセル」ボタンがＯＮ操作された場合はステップＳＭ４０に移行する。
「前回使用設定」を再利用する場合、ステップＳＭ３４では、不連続で「前回使用設定」を使用するときには、フラッシュメモリ部６６から「前回使用設定」の呼び出しを実行する。次いで、ステップＳＭ３６、ステップＳＭ３８に移行する。
ステップＳＭ３６では、ＣＰＵ６２は、加速度ピックアップ接続確認メッセージを表示させ、ステップＳＭ６４に移行する。
ステップＳＭ３８では、ＣＰＵ６２は、前回設定自動セットアップ処理を実行し、ステップＳＭ４０ではその後の処理開始指令を、ステップＳＭ４４、ＳＭ４８、ＳＭ５２、ＳＭ５６の各処理では、前回設定をあらかじめ選択する。
なお、「前回使用設定」を再利用する場合、ステップＳＭ３４では、連続して「前回使用設定」を使用するときにはフラッシュメモリ部６６から「前回使用設定」の呼び出しは行わず、ステップＳＭ３８に移行し、前回設定自動セットアップ処理は１回に制限し、さらにステップＳＭ３６に移行し、加速度ピックアップ接続確認メッセージを表示させ、ステップＳＭ６４に移行することとする。
【００４５】
ステップＳＭ４０では、ＣＰＵ６２は、初期設定プロセス開始指令を発行する。
＜加速度ピックアップ選択処理＞
ステップＳＭ４２では、ＣＰＵ６２は、ピックアップ取付方法選択指令をＧＵＩに発行する。ＧＵＩでは、図１０に示すように、加速度ピックアップ選択処理として、「加速度ピックアップ１選択」ボタン、「加速度ピックアップ２選択」ボタン、「加速度ピックアップ３選択」ボタン、「加速度ピックアップ補正なし」ボタンをＬＣＤ表示部６８に表示する。
ステップＳＭ４４では、ユーザによりＬＣＤ表示部６８に表示されている「加速度ピックアップ１選択」ボタンがＯＮ操作された場合は一旦「加速度ピックアップ選択処理」に移行した後に「加速度ピックアップ１選択」処理に移行し、「加速度ピックアップ２選択」ボタンがＯＮ操作された場合は一旦「加速度ピックアップ選択処理」に移行した後に「加速度ピックアップ２選択」処理に移行し、「加速度ピックアップ３選択」ボタンがＯＮ操作された場合は一旦「加速度ピックアップ選択処理」に移行した後に「加速度ピックアップ３選択」処理に移行し、「加速度ピックアップ補正なし」ボタンがＯＮ操作された場合は一旦「加速度ピックアップ選択処理」に移行した後に「加速度ピックアップ補正なし」処理に移行する。
ステップＳＭ４４での処理を終了した場合に、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ４６へ処理を移行する。
【００４６】
＜データベース入力モード選択＞
ステップＳＭ４６では、ＣＰＵ６２は、回転速度計入力選択指令をＧＵＩに発行する。ＧＵＩでは、図１１に示すように、回転速度入力選択モード処理として、「回転速度手動入力モード選択」ボタン、「回転速度データベース入力モード選択」ボタンをＬＣＤ表示部６８に表示する。
ステップＳＭ４８では、ユーザによりＬＣＤ表示部６８に表示されている「回転速度手動入力モード選択」ボタンがＯＮ操作された場合は「回転速度手動入力モード」処理に移行し、「回転速度データベース入力モード選択」ボタンがＯＮ操作された場合は「回転速度データベース入力モード」処理に移行する。
ステップＳＭ４８での処理を終了した場合に、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ５０へ処理を移行する。
【００４７】
＜温度センサ使用選択＞
ステップＳＭ５０では、ＣＰＵ６２は、温度センサ入力選択指令をＧＵＩに発行する。ＧＵＩでは、図１２に示すように、温度センサ使用選択処理として、「温度センサ使用選択」ボタン、「温度センサ不使用選択」ボタンをＬＣＤ表示部６８に表示する。
ステップＳＭ５２では、ユーザによりＬＣＤ表示部６８に表示されている「温度センサ使用選択」ボタンがＯＮ操作された場合は「温度センサ使用」処理に移行し、「温度センサ不使用選択」ボタンがＯＮ操作された場合は「温度センサ不使用」処理に移行する。
ステップＳＭ５２での処理を終了した場合に、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ５４へ処理を移行する。
【００４８】
＜加速度ピックアップ取付け方法選択＞
ステップＳＭ５４では、ＣＰＵ６２は、ピックアップ取付け方法選択指令をＧＵＩに発行する。ＧＵＩでは、図１３に示すように、加速度ピックアップ取付け方法選択処理として、「ねじ止め選択」ボタン、「絶縁アタッチメント選択」ボタン、「両面テープ選択」ボタン、「マグネット選択」ボタン、「棒状アタッチメント選択」ボタン、「カットオフなし・または校正モード選択」ボタンをＬＣＤ表示部６８に表示する。
ステップＳＭ５２では、ユーザによりＬＣＤ表示部６８に表示されている「ねじ止め選択」ボタンがＯＮ操作された場合は「ねじ止め選択」処理に移行し、「絶縁アタッチメント選択」ボタンがＯＮ操作された場合は「絶縁アタッチメント選択」処理に移行し、「両面テープ選択」ボタンがＯＮ操作された場合は「両面テープ選択」処理に移行し、「マグネット選択」ボタンがＯＮ操作された場合は「マグネット選択」処理に移行し、「棒状アタッチメント選択」ボタンがＯＮ操作された場合は「棒状アタッチメント選択」処理に移行し、「カットオフなし・または校正モード選択」ボタンがＯＮ操作された場合は「カットオフなし・または校正モード選択」処理に移行する。
ステップＳＭ５６での処理を終了した場合に、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ５８へ処理を移行する。
【００４９】
＜初期設定条件記憶指令＞
ステップＳＭ５８では、ＣＰＵ６２は、初期設定条件記憶指令を発行する。次いで、ステップＳＭ６０では、ＣＰＵ６２は、ユーザにより設定された初期設定条件をフラッシュメモリ部６６にストアする。この結果、フラッシュメモリ部６６には初期設定条件が保存される。
次いで、ステップＳＭ６０での処理を終了した場合に、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ６２、ステップＳＭ１６８へ処理を移行する。
【００５０】
＜加速度ピックアップ接続確認＞
この段階で、加速度ピックアップ１４ａのケーブルをチャージアンプ３２に接続し、更に測定部位である軸受部に取付ける作業を行うこととする。
ステップＳＭ６２では、ＣＰＵ６２は、加速度ピックアップの接続確認を促すメッセージと、「接続確認」ボタンを表示する指令をＧＵＩに発行する。
ＧＵＩでは、加速度ピックアップの接続確認を促すメッセージと、「接続確認」ボタンをＬＣＤ表示部６８に表示する。
ステップＳＭ６４では、ＣＰＵ６２は、加速度ピックアップを接続したか否かを判断する。ここで、ＧＵＩから「接続確認」ボタンがＯＮ操作された場合はステップＳＭ６６に進む。一方、「接続確認」ボタンがＯＮ操作されていない場合はステップＳＭ６４を繰り返す。
【００５１】
＜エラー表示＞
ステップＳＭ６６では、ＣＰＵ６２は、加速度ピックアップ機能確認指令を発行し、タイマをスタートする。
ステップＳＭ６８では、ＣＰＵ６２は、チャージアンプ３２を起動し、チャージアンプ３２から加速度ピックアップ１４ａへの充電を実施する。
ステップＳＭ７０では、ＣＰＵ６２は、加速度ピックアップ１４ａへの充電状態に異常があるか否かを判断する。すなわち、ＣＰＵ６２は、チャージアンプ３２に内蔵されているＡ／Ｄ変換器からＩ／Ｏブリッジ６０のポートＨを介して取得したチャージアンプの電圧状態に基づいて使用中の加速度ピックアップの異常の有無を診断する。ここで、加速度ピックアップ１４ａの充電状態に異常がない場合はステップＳＭ７６に進む。一方、加速度ピックアップ１４ａの充電状態に異常がある場合はステップＳＭ７２に進む。
ステップＳＭ７２では、ＣＰＵ６２は、タイマ経過が５秒以内である場合はステップＳＭ６８に戻り、タイマ経過が５秒を越えた場合にはステップＳＭ７４に進む。
ステップＳＭ７４では、ＣＰＵ６２は、エラー表示指令をＧＵＩに発行する。ＧＵＩは、図１４に示すように、「加速度ピックアップ取付状態または電源残量を確認してください。」というメッセージをＬＣＤ表示部６８に表示する。なお、振動計測中、電源残量が少なくなった場合でもエラー表示をＬＣＤ表示部６８に表示してもよい。
次いで、ステップＳＭ７４での処理を終了した場合に、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ１８に戻る。
【００５２】
加速度ピックアップ１４ａへの充電状態に異常がない場合に、ステップＳＭ７６では、ＣＰＵ６２は、加速度ピックアップ機能確認指令をＧＵＩに発行し、ステップＳＭ７８、ステップＳＭ８２に進む。
ステップＳＭ７８では、ＣＰＵ６２は、「加速度ピックアップチェック異常なし」というメッセージをＬＣＤ表示部６８に表示する。
ステップＳＭ８２では、ＣＰＵ６２は、自動利得調整開始メッセージ表示指令をＧＵＩに発行する。ＧＵＩは、「自動利得調整開始」を表すメッセージをＬＣＤ表示部６８に表示する。さらに、ＧＵＩでは、「ピークランプが不点灯か」というメッセージと「Ｙｅｓ」ボタン、「ゲイン−０．５ｄＢ整定済みか」というメッセージと「Ｙｅｓ」ボタンをＬＣＤ表示部６８に表示する。次いで、ステップＳＭ８４、ステップＳＭ８６に進む。
ステップＳＭ８４では、ＣＰＵ６２は、「ピックアップ校正モード条件成立」処理（図２２）に移行する。なお、ピックアップ校正モード条件成立時の条件は、回転機器の軸受部等の測定部位にピックアップを取り付けることではなく、基準振動器に加速度ピックアップを取り付けることである。
【００５３】
ステップＳＭ８６では、ＣＰＵ６２は、ピークランプが不点灯か否かを判断する。なお、ピークランプが点灯している場合には、比較器３７から利得調整器３６に減信号が与えていられており、当該減信号が次第に減衰する。
ＣＰＵ６２は、ピーク検波器３８に内蔵されているＡ／Ｄ変換器からＩ／Ｏプリッジ部６０のポートＩを介して取得したピークランプ不点およびゲイン−０．５ｄＢに対して整定済みとして判断する。なお、ゲイン−０．５ｄＢ整定済みではない場合には、比較器３７から利得調整器３６に増信号が与えていられており、当該増信号が次第に減衰する。
ステップＳＭ９０では、ＣＰＵ６２は、自動利得調整完了を確認する。
ステップＳＭ９２では、ＣＰＵ６２は、「自動利得調整済み」メッセージ表示指令をＧＵＩに発行する。ＧＵＩは、「自動利得調整済み」を表すメッセージをＬＣＤ表示部６８に表示する。
【００５４】
＜自動利得調整部＞
ここで、圧電式の加速度ピックアップに関する自動利得調整部３０について説明する。
圧電式の加速度ピックアップ１４ａから出力されるアナログ信号を調整するため、自動利得調整部３０を設ける。すなわち、アナログ信号のピーク超過によって、デジタル化に伴うデータ桁あふれに起因した測定データの不良を防ぐ回路を設ける。
振動データを採取する際、アナログデータでもデジタルデータとして記録する場合でも入力側のゲインが超過すると、その回路は信号を通過させるものの、記録できる最大レベルを超えた信号は全て「クリップ」現象を起こして、データがゆがんだ状態で記録されてしまう。
例えば、本実施形態でいえば、入力信号をＡ／Ｄ変換器４４においてデジタル化を行っているので、この場合は表現可能な電圧の最大値を超えた時に発生する。この状態で記録された振動データは信頼性がないデータとなってしまう。そのため、振動データの取り直しが発生するなどの労力や費用が発生するため、入力ゲインの調整は慎重に行わなければならない。このクリップ現象を起こさないようにするためには、入力ゲインを低くすればよいが、あまり入力レベルが低いと、微細な信号が記録できず、異常原因の振動データを取り損なうおそれがある。
そのため、クリップ現象を起こさず、できるだけ入力ゲインを高く保つ必要が生じる。
従来の方法では、ユーザがデジタルレベルメータを確認しながら、手動で適切なゲインとなるよう入力レベルコントロールつまみ、あるいは入力レベルスケール設定等で、入力レベル調整を行っていた。
振動測定を行う場合、回転機器により軸受部の振動力は異なるため、１つの軸受部の振動測定を行った後、別の軸受部の振動測定を行うと、入力ゲインが異なるため、再度調整を行う必要が生じていた。そのため、ユーザの労力が大きいという欠点があった。
【００５５】
そこで、本実施形態では、入力ゲインを最適な値（最大値より−０．５ｄＢ程度のレベルに保つように制御する）に自動調整する回路構成を装備することでこの問題を解決する。
なお、この最大値より−０．５ｄＢ程度としたのは、クリップを起こすレベルにヘッドマージン分を加味した値としている。
従来技術では、無線機等で入力ゲインを調整するために、利得調整器を設けている実例が知られている。無線機のような音声信号は、入力される信号レベルの変動が大きく、利得調整器はそのレベルの高低に応じて、入力ゲインの調整を行う。
一方、振動データは、回転機器が発生する一定の振動であり、入力レベルは測定期間中大きく変動するものではない。そのため、利得調整器の動作としては、一度調整をしてしまえば入力ゲイン調整を細かく制御する必要がない。
この利点は、入力ゲインが一定であれば、その後の振動データのサンプリングデータが変動することがなく、安定したデータをサンプリングできることにある。
【００５６】
自動利得調整部３０は、チャージアンプ３２、ＨＰＦ／ＬＰＦ（フィルタ）３４、利得調整器３６、比較器３７、ピーク検波器３８、ピークランプ４０、Ａ／Ｄ変換器４４を備えている。
チャージアンプ３２は、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号を入力して増幅する。
ＨＰＦ／ＬＰＦ（フィルタ）３４は、チャージアンプ３２から出力される増幅加速度信号の帯域を制限して通過させる。
利得調整器３６は、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号を所定の増幅率により増幅する。
比較器３７は、利得調整器３６から出力される加速度信号と基準電圧とを比較して比較結果信号を利得調整器３６に出力する。
比較器３７は、加速度信号が基準電圧よりも大きい場合に、利得調整器３６の増幅率の変化範囲を制限する。比較器３７は、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号がクリップしないように、利得調整器３６の増幅率の変化上限を−０．５ｄＢ付近として制限する。
なお、比較器３７においては、信号がクリップせず、かつＳＮ比を最大にするため、クリップするゲインを０とするとそれからヘッドマージンを設けた−０．５ｄＢ程度下げた値に信号増幅率を保持するように構成する。
ピーク検波器３８は、−０．５ｄＢ以上の入力信号を検波して検波信号をピークランプ４０に出力する。ピークランプ４０は、検波信号が入力された場合に点灯する。
Ａ／Ｄ変換器４４は、利得調整器３６からの加速度信号を量子化し、量子化後の加速度データを信号処理部５０に出力する。
【００５７】
＜自動利得調整部の動作＞
自動利得調整部３０の動作について説明する。
入力された信号が、クリップレベル以上か以下かの判定を行う。
クリップレベル以上であれば、徐々に入力信号を減とし、クリップレベルから−０．５ｄＢ程度になれば減信号入力を停止する。入力信号が適正となればＬＣＤ表示部６８により、適正レベルである旨のメッセージを表示させ、ユーザに通知する。
クリップレベル以下であれば、徐々に入力信号を増とし、一旦クリップするまで増加させ、クリップさせる。その後、同様に入力ゲイン減信号を発信し、徐々に入力信号を減とし、クリップレベルから−０．５ｄＢ程度になれば減信号入力を停止する。
以降は、同様に入力信号が適正となればＬＣＤ表示部６８により、適正レベルである旨のメッセージを表示させ、ユーザに通知する。
また、レベルが低い微細な信号をとらえるため、ＳＮ比を２４ビット以上に拡大することで、高いレベルから低いレベルの信号を余さず記録することとする。
回路構成では、ピックアップ１４ａのチャージアンプ３２の後段に利得調整器３６を設け、入力ゲインを−０．５ｄＢ程度に制御するものとする。
自動で調整を行うことで、作業員が利得調整を行う手間を省くことができる。
【００５８】
ここで、自動利得調整部３０において、利得調整器３６は、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号を所定の増幅率により増幅する。比較器３７は、利得調整器３６から出力される加速度信号と基準電圧とを比較して比較結果信号を利得調整器３６に出力する。ここで、比較器３７は、加速度信号が基準電圧よりも大きい場合に、利得調整器３６の増幅率の変化範囲を制限する。
これにより、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号が基準電圧よりも大きい場合に、利得調整器３６の増幅率の変化範囲を制限することができる。
【００５９】
ここで、自動利得調整部３０において、チャージアンプ３２は、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号を入力して増幅する。ＨＰＦ／ＬＰＦ３４は、チャージアンプ３２から出力される増幅加速度信号の帯域を制限して通過させる。
これにより、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号を増幅した増幅加速度信号の帯域を制限して通過させることができる。
【００６０】
ここで、自動利得調整部３０において、比較器３７は、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号がクリップしないように、利得調整器の増幅率の変化上限を−０．５ｄＢ付近として制限する。
これにより、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号がクリップしないように、利得調整器３６の増幅率の変化上限を−０．５ｄＢ付近として制限することができる。
【００６１】
＜部位測定変更処理  ＯＲ  ピックアップ校正モード  ＯＲ  新品データ入力モード＞
ステップＳＭ１００において、ＣＰＵ６２は、ＬＣＤ表示部６８に表示された「部位測定変更処理  ＯＲ  ピックアップ校正モード  ＯＲ  新品データ入力モード」ボタンがオンかオフかを確認する。
ここで、ＬＣＤ表示部６８に表示された「部位測定変更処理  ＯＲ  ピックアップ校正モード  ＯＲ  新品データ入力モード」ボタンがオンである場合、ステップＳＭ９０から直ちにステップＳＭ１０８に進む。
一方、ＬＣＤ表示部６８に表示された「部位測定変更処理  ＯＲ  ピックアップ校正モード」ボタンがオフである場合、ステップＳＭ９０からステップＳＭ９４に進む。
ステップＳＭ９４では、ＣＰＵ６２は、温度センサ確認チェック指令をＧＵＩに発行する。ステップＳＭ９６では、ＧＵＩは、「温度センサ確認開始」を表すメッセージをＬＣＤ表示部６８に表示する。
ステップＳＭ９８では、ＣＰＵ６２は、温度センサOS認識確認実行（室温用温度センサ及び機器用温度センサ）を行う。すなわち、オペレーティングシステムＯＳ側から温度センサの認識確認を実行して、温度センサの異常の有無状態を取得する。
ステップＳＭ１０２では、ＣＰＵ６２は、温度センサに異常がないか否かを判断する。温度センサに異常がある場合は、ステップＳＭ１０４に進み、エラー表示として「温度センサに異常があります。手動入力とします。」というメッセージをＬＣＤ表示部６８に表示する。次いで、ステップＳＭ１０６では、ＣＰＵ６２は、温度センサ不使用手動入力モードに強制切替を実行する。
次いで、ステップＳＭ１１０では、ＣＰＵ６２は、温度センサの準備が完了した旨のメッセージを表示する。
次いで、ステップＳＭ１０８では、ＣＰＵ６２は、測定準備が完了したことを確認する。ステップＳＭ１１２では、ＣＰＵ６２は、図１６に示すように、測定準備完了メッセージをＬＣＤ表示部６８に表示する。
【００６２】
＜測定場所機器部位選択モード＞
図６に移り、ステップＳＭ１２０では、ＣＰＵ６２は、測定場所機器部位選択モードに移行したメッセージ（図１５）をＬＣＤ表示部６８に表示する。
ステップＳＭ１２２では、ＣＰＵ６２は、測定機器・機器部位選択処理のサブルーチンに移行する。
ステップＳＭ１２４では、ＣＰＵ６２は、フラッシュメモリ部６６（測定機器・機器部位、回転速度データベース）に対して、データベース読み出し処理を実行する。ステップＳＭ１２６では、ＣＰＵ６２は、測定機器・部位・回転速度データを次のステップに引き継ぐ。
ステップＳＭ１２２からステップＳＭ１２８に移行し、ＣＰＵ６２は、測定開始実行PB（プッシュボタン）がＯＮか否かを判断する。測定開始実行ＰＢがＯＮしていない場合には、ステップＳＭ１３０に進み、図１７に示すように、測定中止メッセージとして「測定を中止します。他の機器・部位を選択しますか。基本設定モードに戻りますか。」をＬＣＤ表示部６８に表示する。
「他の機器・部位を選択」ボタンが選択されたことを検出した場合はステップＳＭ１３２に進み、「測定機器・測定部位変更処理へ」というメッセージをＬＣＤ表示部６８に表示し、測定機器・測定部位変更処理へ移行する。
一方、「基本設定モードに戻ります」ボタンが選択されたことを検出した場合はステップＳＭ１３４に進み、「基本設定画面選択へ」というメッセージをＬＣＤ表示部６８に表示し、基本設定画面選択へ移行する。
一方、ステップＳＭ１２８において、測定開始実行ＰＢがＯＮした場合には、ステップＳＭ１３８に進む。
【００６３】
ステップＳＭ１３６では、ＣＰＵ６２は、測定再度開始指令を発行する。
次いで、ステップＳＭ１３８では、ＣＰＵ６２は、測定開始指令を発行する。
ステップＳＭ１４０では、ＣＰＵ６２は、波形出力・ストア実行処理のサブルーチンに移行し、当該サブルーチンから復帰した場合にステップＳＭ１５０に移行する。
ステップＳＭ１４２では、ＣＰＵ６２は、回転速度データ入力処理実行処理のサブルーチンに移行し、当該サブルーチンから復帰した場合にステップＳＭ１５０に移行する。
ステップＳＭ１４４では、ＣＰＵ６２は、温度データ入力処理実行処理のサブルーチンに移行し、当該サブルーチンから復帰した場合にステップＳＭ１５０に移行する。
ステップＳＭ１４６では、ＣＰＵ６２は、ピックアップ取付け方法を選択（カットオフ周波数入力）し、ステップＳＭ１４８に移行する。
ステップＳＭ１４８では、ＣＰＵ６２は、FFT演算結果ストア実行処理のサブルーチンに移行し、当該サブルーチンから復帰した場合にステップＳＭ１５０に移行する。なお、加速度ピックアップ補正は、信号処理部５０のハードウェア（ソフトウェア処理）により、感度補正演算器５６ａで連続処理される。また、ステップＳＭ１４８において、新品データ入力モードが選択中であれば、ステップＳＭ１５１へ移行する。
ステップＳＭ１５０では、ＣＰＵ６２は、全データストアが完了したことを確認する。図１８に示す画面例１１のように、測定結果が表示される。
ステップＳＭ１５２では、ＣＰＵ６２は、各パラメータ演算実行指令を発行し、軸受簡易診断測定部８２の各処理へ移行する。
ステップＳＭ１５１では、ＣＰＵ６２は、新品データフラッシュメモリストア処理を行い、メインメモリ部６４に蓄えられた新品データをフラッシュメモリ５６ｃへ移行する処理を行う。
ステップＳＭ１５３では、ＣＰＵ６２は、新品データ入力モードのリセット操作を行い、基本設定モードへ戻る。リセット動作は図２４に示すステップＳＳ１２０から発信された新品データ入力モードをリセットし、図６に示す信号処理部（ＤＳＰ）５０内のデータセレクタＳＥＬ１は閉、ＳＥＬ２は開、ＳＥＬ３は閉としてデータ経路を初期状態にリセットする。
【００６４】
＜軸受簡易診断測定部＞
ステップＳＭ１５４では、ＣＰＵ６２は、「全高調波歪＋N演算実行  ＴＨＤ（ｎ）Ｘ」処理のサブルーチンに移行し、当該サブルーチンから復帰した場合にステップＳＭ１６６に移行する。
ステップＳＭ１５６では、ＣＰＵ６２は、「グリス切音演算実行Ｐ（ｇｒ）」処理のサブルーチンに移行し、当該サブルーチンから復帰した場合にステップＳＭ１６６に移行する。
ステップＳＭ１５８では、ＣＰＵ６２は、「キシリ音演算実行Ｐ（ｋｓ）」処理のサブルーチンに移行し、当該サブルーチンから復帰した場合にステップＳＭ１６６に移行する。
ステップＳＭ１６０では、ＣＰＵ６２は、「クレストファクタ演算・判定実行ｆ（Cr）」処理のサブルーチンに移行し、当該サブルーチンから復帰した場合にステップＳＭ１６６に移行する。
ステップＳＭ１６２では、ＣＰＵ６２は、「回転速度データストア実行（ｒ）」処理のサブルーチンに移行し、当該サブルーチンから復帰した場合にステップＳＭ１６６に移行する。
ステップＳＭ１６４では、ＣＰＵ６２は、「温度センサデータストア値表示・演算実行（ｔ）」処理のサブルーチンに移行し、当該サブルーチンから復帰した場合にステップＳＭ１６６に移行する。
なお、ステップＳＭ１５４〜ＳＭ１６４の各処理を順次に実行してもよい。
【００６５】
ステップＳＭ１６６では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ１５４〜ＳＭ１６４の各処理を実行した結果取得した各パラメータ演算実行結果を入力する。
ステップＳＭ１６８では、ＣＰＵ６２は、初期設定条件を入力し、ステップＳＭ１７０に移行する。
ステップＳＭ１７０では、ＣＰＵ６２は、計測結果表示画面表示実行処理のサブルーチンに移行し、当該サブルーチンから復帰した場合にステップＳＭ１７２に移行する。この結果、図１９に示す画面例１２のように、測定結果表示画面が表示される。
【００６６】
図７に移り、ステップＳＭ１７２では、ＣＰＵ６２は、計測データ保存確認として、図１９に示す「保存」ボタンがＯＮ操作されたか否かを判断する。
「保存」ボタンがＯＮ操作されていない場合はステップＳＭ１７４に移行し、「計測データクリア確認」、「再計測再確認」メッセージを表示する。次いで、ステップＳＭ１７６では、ＣＰＵ６２は、計測データクリアを実行し、メインメモリ部６４上に一時記憶されているデータをクリアし、さらに、測定再度開始指令へ移行する。
一方、「保存」ボタンがＯＮ操作された場合はステップＳＭ１７８に移行し、ＣＰＵ６２は、計測データ記憶実行処理として、メインメモリ部６４上に一時記憶されている計測データをフラッシュメモリ部６６に記憶する。この結果、図２０に示す画面例１３のように、保存完了・次測定機器・測定部位選択画面が表示される。
ステップＳＭ１８０では、ＣＰＵ６２は、他機器についての部位測定を実施するか否かを判断する。他機器についての部位測定を実施する場合は、ステップＳＭ１８２に進み、測定条件ストア呼び出し実行して、フラッシュメモリ部６６（測定機器・機器部位、回転速度データベース）から測定条件を呼び出し、「測定機器・測定部位変更処理」へ移行する。
一方、他機器についての部位測定を実施しない場合は、ステップＳＭ１８４に進み、データ採取終了指令を発行する。次いで、ステップＳＭ１８６では、ＣＰＵ６２は、基本設定モード表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、図８に示す画面例１をＬＣＤ表示部６８に表示する。
次いで、ＣＰＵ６２は、「基本設定モード」（図４）へ戻る。
【００６７】
＜補正・校正モード選択処理＞
次に、図２１を参照して、本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部による補正・校正モード選択処理のサブルーチンについて説明する。
ステップＳＳ１０では、ＣＰＵ６２は、補正・校正モード選択処理を開始する。
ステップＳＳ１２では、ＣＰＵ６２は、校正モード表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、ＬＣＤ表示部６８には「補正値入力モード」ボタン、「ピックアップ校正モード」ボタンが表示される。
ＬＣＤ表示部６８に表示されている一方のボタンへのユーザのＯＮ操作に応じて、「補正値入力モード」であるステップＳＳ１４、又は「ピックアップ校正モード」であるステップＳＳ１６へ移行する。
「ピックアップ校正モード」ボタンがＯＮ操作された場合、ステップＳＳ１６では、ＣＰＵ６２は、「ピックアップ校正モード」（図２２）へ移行する。
【００６８】
＜補正値入力モード処理＞
「補正値入力モード」ボタンがＯＮ操作された場合、ステップＳＳ１４では、ＣＰＵ６２は、補正値入力モード処理を開始する。
ステップＳＳ１８では、ＣＰＵ６２は、ピックアップ選択表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、図３４に示す画面例１４のように、ＬＣＤ表示部６８には加速度ピックアップ１〜３の選択ボタンとして「○○社  Ｐ−０１」ボタン、「○○社  Ｐ−０３」ボタン、「○○社  Ｐ−０５」ボタンが表示される。
ＬＣＤ表示部６８に表示されている何れか１つのボタンへのユーザのＯＮ操作に応じて、加速度ピックアップ１選択処理、加速度ピックアップ２選択処理、加速度ピックアップ３選択処理の何れか１つに移行する。
ステップＳＳ２０では、ＣＰＵ６２は、加速度ピックアップ１選択表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、図３５に示す画面例１５のように、ＬＣＤ表示部６８には基準校正周波数（２０Ｈｚ、８０Ｈｚ、２００Ｈｚ、５００Ｈｚ、１ｋＨｚ、２ｋＨｚ、５ｋＨｚ、１０ｋＨｚ）の周波数毎の補正値に対する操作入力を受け付ける棒グラフが表示される。ＬＣＤ表示部６８に表示されている周波数毎の棒グラフに対して、ユーザが画面にタッチまたは操作入力部１７ａを用いて手動入力しながら所望の高さ位置に棒グラフを移動させることで、ＧＵＩにより感度誤差についての補正値の数字入力を周波数毎に受け付ける。この際、周波数毎の補正値をメインメモリ部６４に一旦記憶する。
次いで、ステップＳＳ２２では、ＣＰＵ６２は、ＬＣＤ表示部６８に表示されている画面例１５の「保存」ボタンＰＢがＯＮ操作されたか否かを判断し、「保存」ボタンＰＢがＯＮ操作されるまで当該処理を繰り返す。
「保存」ボタンＰＢがＯＮ操作された場合には、ステップＳＳ２４に進み、ＣＰＵ６２は、加速度ピックアップ１選択処理についての補正値データをフラッシュメモリ部６６に保存する。
これにより、加速度ピックアップ１に対してより周波数毎に正確な信号補正を行うことができる。
なお、ステップＳＳ２６〜ＳＳ３０、及びステップＳＳ３２〜ＳＳ３６にそれぞれ示した処理については、ステップＳＳ２０〜ＳＳ２４に示す各処理と同様であるので、その説明を省略する。
【００６９】
＜ピックアップ校正モード処理＞
次に、図２２を参照して、本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部によるピックアップ校正モード処理のサブルーチンについて説明する。
ステップＳＳ４０では、ＣＰＵ６２は、ピックアップ校正モード処理を開始する。
ステップＳＳ４２では、ＣＰＵ６２は、ピックアップ校正モードを実行するか否かを判断する。ここで、例えば、ＧＵＩによりＬＣＤ表示部６８に「ＯＫ」ボタンと「キャンセル」ボタンを表示しておき、「キャンセル」ボタンがＯＮ操作された場合には基本設定モード（ＳＭ１８）に戻る。
一方、「ＯＫ」ボタンがＯＮ操作された場合には、ステップＳＳ４４に進み、ＣＰＵ６２は、ユーザによる現時点でのモード選択がピックアップ校正モードであることをメインメモリ部６４に記憶する。
次いで、ステップＳＳ４６では、ＣＰＵ６２は、ＬＣＤ表示部６８にメッセージとして「ピックアップ校正モードが選択されました。基本設定モード−初期設定モードに戻り、各種設定を行った後、加速度ピックアップを装着し、基準振動器起動、加速度ピックアップを取り付けてください。」と表示する。
次いで、ステップＳＳ４６では、ＣＰＵ６２は、初期設定モード（ＳＭ３０）に戻る。
【００７０】
ところで、ステップＳＳ４４では、ＣＰＵ６２は、現時点でのモード選択がピックアップ校正モードであることをメインメモリ部６４に記憶した後、ピックアップ校正モードであることを表すピックアップ校正モードフラグを論理「１」に設定してステップＳＳ５０（ＡＮＤ論理処理）に与える。
一方、メインルーチン（図５）に示したステップＳＭ８４から「ピックアップ校正モード条件成立」処理に移行し、ステップＳＳ４８では、「ピックアップ校正モード条件成立」処理を開始する。
ステップＳＳ５０では、ＣＰＵ６２は、ピックアップ校正モード条件が成立したことを表すピックアップ校正モード条件成立フラグを論理「１」に設定してＡＮＤ論理処理に出力する。
次いで、ステップＳＳ５１では、ＣＰＵ６２は、ＡＮＤ論理処理を行い、両入力に「１」が設定されている場合にのみ、論理「１」を信号処理部５０に出力する。
【００７１】
＜信号処理部＞
信号処理部５０では、ステップＳＳ５１でのＡＮＤ論理処理から論理「１」がＯＲ論理に入力された場合、ＯＲ論理から論理「１」を校正モード判定部５６ｄに出力する。
＜校正モード＞
校正モード判定部５６ｄは、入力される論理値が論理「０」から論理「１」に切り替わった場合に、校正モードに切り替わったことと判定し、データセレクタＳＥＬ１、ＳＥＬ２を閉結状態に切り替え、データセレクタＳＥＬ３を開放状態に切り替える。
【００７２】
自動利得調整部３０に設けられたＡ／Ｄ変換器４４から出力される電圧データが、ＬＰＦ５２に入力され、ＬＰＦ５２でのローパスフィルタ処理により周波数範囲として〜４８ｋＨｚの電圧データが実効値変換器５４ａに出力される。
実効値変換器５４ａでは、ＬＰＦ５２から入力される電圧データに対して実効値変換を行って、変換結果となる実効値電圧データがハニング窓関数演算器５４ｂに出力される。
ハニング窓関数演算器５４ｂでは、実効値変換器５４ａから入力される実効値電圧データに対してハニング窓関数を乗じた後の演算結果データがＦＦＴ演算器５４ｃに出力される。
ＦＦＴ演算器５４ｃでは、ハニング窓関数演算器５４ｂから入力される演算結果データに対して、振動値のパワースペクトル（出力・周波数）で各周波数の出力値として、加速度ピックアップの周波数毎の電圧成分を求め、データセレクタＳＥＬ１、ＳＥＬ２を介して比較演算器５６ｂに出力される。
比較演算器５６ｂの一方にはフラッシュメモリ５６ｃからのデータが入力され、且つ他方には比較演算器５６ｂからのデータが入力される。比較演算器５６ｂでは両データに基づいて、周波数毎に減算処理を行い減算結果データがＩ／Ｏブリッジ部６０に出力される。
Ｉ／Ｏブリッジ部６０では、比較演算器５６ｂから出力される減算結果データが入力され、ＣＰＵ６２に出力される。
【００７３】
次いで、ステップＳＳ５２では、ＣＰＵ６２は、校正−新品時ＦＦＴデータとして減算結果をＬＣＤ表示部６８に表示する（図３７）。減算処理結果は、別途に判定処理を用いて加速度ピックアップの良否判定を行ってもよく、この場合、例えば、±２％以内のズレは許容範囲内とする。
次いで、ステップＳＳ５２では、ＣＰＵ６２は、表示画面に表示されている「結果リセット」ＰＢ２６がＯＮ操作されたか否かを判断する。
「結果リセット」ＰＢ２６がＯＮ操作された場合には、ＣＰＵ６２は、論理「１」を信号処理部５０に設けられたＯＲ論理に出力する。これにより信号処理部５０では上述した校正モードを繰り返す。
一方、「結果リセット」ＰＢ２６がＯＮ操作された場合には、ＣＰＵ６２は、基本設定モード（ＳＭ１８）に戻る。
【００７４】
＜感度補正回路部の動作＞
加速度ピックアップ１４ａの感度を補正するための感度補正回路部５６をＦＦＴアナライザ部５４の下流側に設けることで、ＦＦＴアナライザ部５４において取得した各周波数帯の出力レベルを補正することで感度補正を行う。
感度補正回路部５６の補正入力値は、加速度ピックアップ１４ａの校正記録に基づいて、入力画面から入力できるようにしておき、各周波数帯の感度を補正した結果を特定の周波数帯で片寄りが生じていないニュートラルな値とする。
加速度ピックアップの感度誤差に依存するが、補正入力値をプラスの誤差に関しては減算、またマイナスの誤差に関しては加算して感度を補正する。
実際の補正処理では、高速フーリエ変換された各周波数帯の出力データに補正値を乗算し、それを元データに加算または減算することで、より加速度ピックアップに固有の特性（許容できる誤差）を補正し、より確からしいデータとする。
【００７５】
＜感度補正回路部５６による校正の具体例＞
ここで、図３８（ａ）〜（ｃ）を参照して、感度補正回路部５６による校正の具体例について説明する。なお、図３８（ａ）〜（ｃ）の出典は、Ｗｅｂに公開されている「小林理研ニュースＮＯ１８−２」とインターネット資料である。
加速度ピックアップを校正するために周波数−感度値で表された校正票を参照して、加速度ピックアップの校正周波数毎の感度値を求める。補正信号の入力は、加速度ピックアップの感度誤差に対して、当該感度誤差を可能なかぎりニュートラル（図３８（ａ）では縦軸の誤差を０にする）にするため、感度値を反転した逆信号を補正信号として入力することで補正する。
例えば、図３８（ａ）に示す矢印の周波数帯に対して、加速度ピックアップの感度をニュートラルとする目的でＱ値を伴った補正信号を入力する。
校正用周波数へ入力する信号は、例えば、音響機器でのグラフィックイコライザを想定するとわかりやすい。図３８（ｂ）に示すように、補正信号は各周波数帯を補正するためにあるＱ値の幅を持った信号である。Ｑ値とは、補正信号の帯域幅のことである。
図３８（ｃ）に示すように、Ｑ値は、補正用中心周波数を帯域幅で割った値で、中心周波数が固定なのでＱ値を調整して帯域幅を変化させる。
Ｑ値を大きくするほど、山の幅は狭くなり、操作している周波数付近のみを効果的に調整することができる。補正信号は補正周波数へ逆数を入力し、Ｑ値を調整し、図３８（ａ）に示すような補正信号曲線Ｃ２を入力する。その結果、図３８（ａ）に示すように、ニュートラルに近づくような補正後特性曲線Ｃ３を形成するように調整を行う。ユーザは補正信号量をＬＣＤ表示部６８から入力する。Ｑ値については、信号間をなだらかに接続するため、あらかじめ帯域幅を広くするようセットしておいてもよい。
なお、校正用周波数が、加速度ピックアップを製造した製造メーカにより相違するものであれば、校正周波数及びＱ値、信号量を変更できるパラメトリックイコライザと同様な補正装置としてもよい。
パラメトリックイコライザとは、信号特性を複数の項目に渡ってきめ細かく調整できるものをいう。通常、パラメトリックイコライザでは、３つの項目（パラメータ）を調整できる。中心となる周波数、調整する帯域幅、信号量である。このうち特に帯域幅については、帯域幅を広げると周辺の帯域となだらかにつながるため、隣接する帯域も調整している場合はそれとの兼ね合いも重要になる。
加速度ピックアップの補正入力信号については、加速度ピックアップの製造メーカごとに基準周波数の設定が違う可能性があるため、代表的な製造メーカの加速度ピックアップに関する補正値入力マッピングテンプレートを用意し、感度補正値を入力する画面（図３５）において入力する。
【００７６】
（５）圧電式加速度ピックアップの校正比較回路の説明
装置校正用に比較演算器を設ける。目的は、加速度ピックアップの故障の有無を確認するためである。加速度ピックアップの感度誤差は通常１％程度である。加速度ピックアップが新品時に比較校正用に校正用振動発生器からの振動を印加し、補正値無し時の周波数解析値をフラッシュメモリ部５６ｃに保存しておく。使用開始後、校正を行う際、比較校正用データと比較し、データの比較差によりピックアップの異常の有無の判断を行う。保存されるデータは、校正に使用する振動発生器の違いもあるため複数保存できるものとする。
図８に示す「補正・校正モード選択」ボタンがＯＮ操作されると、３つのスイッチがＯＮするのではなく、ＰＢのＯＮで閉路するＡ接点リレー２つと、ＯＮで開路するＢ接点リレー１つで構成されている。
具体的には、校正モードがＯＮされると、
（１）ＦＦＴ演算器下流の感度補正演算器をバイパスする。（比較前に補正値データを誤って入力しないようにするためである。）
（２）軸受部簡易診断測定部への信号は遮断される。
（３）感度補正演算器をバイパスした信号が比較演算器に入力される。
（４）フラッシュメモリに蓄積されたピックアップ使用前の振動データを突き合わせ、減算処理し、その結果をユーザが評価または判定値を設けて自動で良否判定をする。
（５）異常判定については、各基準周波数の±数％の誤差が発生した場合は、表示器に「異常の可能性有り、加速度ピックアップを交換及び点検をしてください。」とのメッセージを表示することでもよい。
【００７７】
＜送受信モード選択処理＞
次に、図２３を参照して、本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部による送受信モード選択処理のサブルーチンについて説明する。
ステップＳＳ６０では、ＣＰＵ６２は、送受信モード選択処理を開始する。
ステップＳＳ６２では、ＣＰＵ６２は、送受信モード表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、ＬＣＤ表示部６８には、図３６に示すように、「データ受信」ボタンＰＢ２２、「データ送信」ボタンＰＢ２４が表示される。
ＬＣＤ表示部６８に表示されている「データ受信」ボタンＰＢ２２へのユーザのＯＮ操作に応じて、「受信モード」であるステップＳＳ７４へ移行する。
「データ送信」ボタンＰＢ２４へのユーザのＯＮ操作に応じて、「送信モード」であるステップＳＳ６４へ移行する。
【００７８】
＜送信モード＞
ステップＳＳ６４では、ＣＰＵ６２は、送信モード処理を実行する。
ステップＳＳ６６では、ＣＰＵ６２は、ＬＡＮ＿Ｉ／Ｆ部７０により無線ＬＡＮ又は有線ＬＡＮを介して振動データサーバ２５へデータ送信要求を送信する。
そして、ステップＳＳ６６では、ＣＰＵ６２は、振動データサーバ２５から送信される送信開始メッセージをＬＡＮ＿Ｉ／Ｆ部７０を介して受信した場合、ステップＳ６８に進み、送信開始メッセージ表示指令をＧＵＩに出力する。
ステップＳＳ７０では、ＣＰＵ６２は、フラッシュメモリ部６６から格納されている計測データ、測定機器・機器部位データベースを読み出して、ＬＡＮ＿Ｉ／Ｆ部７０により無線ＬＡＮ又は有線ＬＡＮを介して振動データサーバ２５へデータを送信する。
次いで、ステップＳＳ７２では、ＣＰＵ６２は、送信完了メッセージ表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、ＬＣＤ表示部６８には、図３６に示すように、「送信完了しました。」というメッセージが表示される。
次いで、ＣＰＵ６２は、基本設定モード（ＳＭ１８）に戻る。
【００７９】
＜受信モード＞
ステップＳＳ７４では、ＣＰＵ６２は、送信モード処理を実行する。
ステップＳＳ７６では、ＣＰＵ６２は、ＬＡＮ＿Ｉ／Ｆ部７０により無線ＬＡＮ又は有線ＬＡＮを介して振動データサーバ２５へデータ受信要求を送信する。
そして、ステップＳＳ７８では、ＣＰＵ６２は、振動データサーバ２５から送信される受信開始メッセージをＬＡＮ＿Ｉ／Ｆ部７０を介して受信した場合、ステップＳ８０に進み、受信開始メッセージ表示指令をＧＵＩに出力する。
次いで、ステップＳＳ７８では、ＣＰＵ６２は、振動データサーバ２５からＬＡＮ＿Ｉ／Ｆ部７０を介して計測データ、測定機器・機器部位データベースを受信し、計測データをフラッシュメモリ部６６に記憶する。同様に、ＣＰＵ６２は、測定機器・機器部位データベースをフラッシュメモリ部６６に記憶する。
次いで、ステップＳＳ８２では、ＣＰＵ６２は、受信完了メッセージ表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、ＬＣＤ表示部６８には、図３６に示すように、「受信完了しました。」というメッセージが表示される。
次いで、ＣＰＵ６２は、基本設定モード（ＳＭ１８）に戻る。
【００８０】
＜加速度ピックアップ選択処理＞
次に、図２４を参照して、本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部による加速度ピックアップ選択処理のサブルーチンについて説明する。
ステップＳＳ９０では、ＣＰＵ６２は、加速度ピックアップ選択処理を開始する。
ステップＳＳ９２、ＳＳ１００、ＳＳ１０６、ＳＳ１１２では、ＣＰＵ６２は、加速度ピックアップ機種説明表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、ＬＣＤ表示部６８には「加速度ピックアップ機種説明」が表示されるとともに、「加速度ピックアップ１選択」ボタン、「加速度ピックアップ２選択」ボタン、「加速度ピックアップ３選択」ボタン、「加速度ピックアップ補正なし選択」ボタンが表示される。
ステップＳＳ９４、ＳＳ１０２、ＳＳ１０８、ＳＳ１１４では、ＣＰＵ６２は、ＬＣＤ表示部６８に表示されている４つのボタンのうち何れか１つへのユーザのＯＮ操作に応じて、それぞれステップＳＳ９８、ＳＳ１０４、ＳＳ１１０、ＳＳ１１６へ移行する。
ステップＳＳ９８、ＳＳ１０４、ＳＳ１１０では、ＣＰＵ６２は、入力部１７ａからデータセレクタ１８ａ、Ｉ／Ｏブリッジ部６０を介して入力される補正データを取得してメインメモリ部６４に記憶する。同様に、ステップＳＳ１１６では、ＣＰＵ６２は、入力部１７ａからデータセレクタ１８ａ、Ｉ／Ｏブリッジ部６０を介して入力される補正「０」データを取得してメインメモリ部６４に記憶する。
次いで、ステップＳＳ１１８では、ＣＰＵ６２は、補正データストア・出力処理を実行する。すなわち、補正値入力部５６ｅは内部にメモリを備えており、ステップＳＳ９８、ＳＳ１０４、ＳＳ１１０、ＳＳ１１６で取得した補正データを用いて、信号処理部５０に設けられた補正値入力部５６ｅのメモリ内容である補正データを書き換える。
【００８１】
＜新品データ入力モード処理＞
ステップＳＳ１１９では、ステップＳＳ１１６から新品データ入力モードボタンで新品データ入力モードか否かをユーザに判断させ、新品データ入力モードである場合にはステップＳＳ１２０へ移行し、新品データ入力モードではない場合にはステップＳＳ１１８へ移行する。
ここで、ステップＳＳ１２０の新品データ入力モードの処理工程について、以下に説明する。
ステップＳＳ１２０では、基準振動器に接続した図２に示す新品の加速度ピックアップ１４ａからの振動データを自動利得部３０、信号処理部（ＤＳＰ）５０、Ｉ／Ｏブリッジ６０のポートＣを介して取得したＣＰＵ６２は、振動データをメインメモリ部６４にストアし、ＣＰＵ６２は、メインメモリにストアされた新品データをフラッシュメモリ５６ｃへ入力する処理工程を実行するものとする。
その際、図６に示す信号処理部（ＤＳＰ）５０内のＳＥＬ１は閉、ＳＥＬ２は閉、ＳＥＬ３は開としてデータ経路を構成する。
なお、図６に示すステップＳＭ１５３により新品データがフラッシュメモリ５６ｃにストア完了したことをもって、ステップ１２０の新品データ入力モードはリセットされ、元の基本設定モードへ戻る。
【００８２】
信号処理部５０では、補正値入力部５６ｅのメモリ内容である補正データが感度補正演算器５６ａに出力される。
一方、ＦＦＴ演算器５４ｃでは、ハニング窓関数演算器５４ｂから入力される演算結果データに対して、振動値のパワースペクトル（出力・周波数）で各周波数の出力値として、加速度ピックアップの周波数毎の電圧成分を求め、感度補正演算器５６ａに出力される。
感度補正演算器５６ａでは、ＦＦＴ演算器５４ｃから入力される周波数毎の電圧成分から、補正値入力部５６ｅから入力される周波数毎の補正データが減算され、その減算結果である周波数毎の補正電圧成分が軸受簡易測定部８２へ連続して順次に出力される。
【００８３】
ここで、補正値入力部５６ｅは、比較結果データを各周波数帯域の補正値として入力する。感度補正演算器５６ａは、補正値入力部５６ｅから入力された各周波数帯域の補正値に基づいて、ＦＦＴアナライザ部５４から出力される各周波数帯域のレベルデータを夫々補正する。
これにより、入力された比較結果データである各周波数帯域の補正値に基づいて、ＦＦＴアナライザ部５４から出力される各周波数帯域のレベルデータを夫々補正することができる。
【００８４】
ここで、補正値入力部５６ｅは、各周波数帯域の補正値を入力する。感度補正演算器５６ａは、補正値入力部５６ｅから入力された各周波数帯域の補正値に基づいて、ＦＦＴアナライザ部５４から出力される各周波数帯域のレベルデータを夫々補正する。
これにより、入力された各周波数帯域の補正値に基づいて、ＦＦＴアナライザ部５４から出力される各周波数帯域のレベルデータを夫々補正することができる。
【００８５】
＜回転速度手動入力モード処理＞
次に、図２５を参照して、本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部による回転速度手動入力モード処理のサブルーチンについて説明する。
ステップＳＳ１３０では、ＣＰＵ６２は、回転速度手動入力モード処理を開始する。
ステップＳＳ１３２では、ＣＰＵ６２は、手動入力モードメッセージ表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、ＬＣＤ表示部６８には、「手動入力モードメッセージ」が表示される。そして、ＣＰＵ６２は、ステップＳＳ１３４に移行するとともに、ステップＳＭ４８（図４）に戻る。
ステップＳＳ１３４では、ＣＰＵ６２は、図１８に示す手動入力画面の入力として任意の値「ｘｘｘｘ  ｒｐｍ」が入力されたか否かを判断する。手動入力画面に入力があった場合には、手動入力された回転速度データをメインメモリ部６４に記憶し、ステップＳＳ１４６に進む。
【００８６】
＜回転速度データベース入力モード処理＞
次に、図２５を参照して、回転速度データベース入力モード処理のサブルーチンについて説明する。
ステップＳＳ１３６では、ＣＰＵ６２は、回転速度データベース入力モード処理を開始する。
ステップＳＳ１３８では、ＣＰＵ６２は、データベース入力モードメッセージ表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、ＬＣＤ表示部６８には、「データベース入力モードメッセージ」が表示される。そして、ＣＰＵ６２は、論理「１」をＡＮＤ論理処理に出力するとともに、ステップＳＭ４８（図４）に戻る。
【００８７】
＜データベース（回転速度）読み出し・入力処理＞
次に、図２５を参照して、本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部によるデータベース（回転速度）読み出し・入力処理のサブルーチンについて説明する。
メインルーチンのステップＳＭ１２２（図６）からサブルーチンであるステップＳＳ１４０「測定機器・機器部位選択処理」がコールされると、ステップＳＳ１４２に進み、ＣＰＵ６２は、データベース（回転速度）読み出し・入力処理実行を開始する。
すなわち、ステップＳＳ１４２では、ＣＰＵ６２は、フラッシュメモリ部６６から測定機器・機器部位、回転速度データベースを読み出してメインメモリ部６４に記憶する。そして、ＣＰＵ６２は、論理「１」をＡＮＤ論理処理に出力する。
一方、ステップＳＳ１４４では、ＣＰＵ６２は、測定開始指令として論理「１」をＡＮＤ論理処理に出力する。
ステップＳＳ１４５では、ＣＰＵ６２は、ＡＮＤ論理処理を行い、両方の入力に論理「１」が設定されている場合に、当該ＡＮＤ論理処理により論理「１」を出力する。
【００８８】
さらに、ステップＳＳ１４６では、ＣＰＵ６２は、ＡＮＤ論理処理を行い、両方の入力に論理「１」が設定されている場合に、当該ＡＮＤ論理処理により論理「１」を出力する。
ステップＳＳ１４８では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＳ１３４において図１８手動入力画面入力として任意の値「ｘｘｘｘ  ｒｐｍ」が入力された場合、又はステップＳＳ１４６から論理「１」が入力された場合に、図６に示すステップＳＭ１４２の「回転速度データ入力処理実行」へ戻る。
【００８９】
＜温度センサ使用選択処理及び温度センサ不使用選択処理＞
次に、図２６を参照して、本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部による温度センサ使用選択処理及び温度センサ不使用選択処理のサブルーチンについて説明する。
メインルーチンのステップＳＭ５２（図４）からサブルーチンであるステップＳＳ１５０「温度センサ使用選択処理」がコールされると、ステップＳＳ１５０に進み、ＣＰＵ６２は、温度センサ使用選択処理を開始する。
ステップＳＳ１５２では、ＣＰＵ６２は、温度センサ使用モードメッセージ表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、ＬＣＤ表示部６８には、「温度センサ使用モードメッセージ」が表示される。そして、ＣＰＵ６２は、温度センサ使用モードであることを表す論理「１」をＡＮＤ論理処理に出力するとともに、ステップＳＳ１７４に進む。
【００９０】
一方、ステップＳＳ１５４では、メインルーチンのステップＳＭ１０２を参照し、ＣＰＵ６２は、待ち受け処理として、温度センサ異常ありが発行されたか否かを判断する。
測定開始指令が発行された場合には、ステップＳＳ１５６では、メインルーチンのステップＳＭ１０６を参照し、ＣＰＵ６２は、温度センサ不使用手動入力モードへ強制切替を実行する。すなわち、ＣＰＵ６２は、強制切替フラグとして論理「１」をＯＲ  論理に出力するとともに、論理「１」をステップＳＳ１５７に出力する。
ステップＳＳ１５７では、ＣＰＵ６２は、論理「０」から論理「１」への切り替わりを入力した際に、タイマＴ１（ｓｅｃ）を起動してインヒビットフラグとして論理「０」をＴ１時間だけ出力する。
ステップＳＳ１５３では、ＣＰＵ６２は、ＡＮＤ論理処理を行い、両方の入力に論理「１」が設定されている場合に、当該ＡＮＤ論理処理により論理「１」を出力する。
【００９１】
ステップＳＳ１５８では、ＣＰＵ６２は、温度センサ（室温）１６、Ａ／Ｄ変換器１９ａ、Ｉ／Ｏブリッジ部６０を介して入力された室温に関する温度データをフラッシュメモリ部６６に記憶する。
ステップＳＳ１６０では、ＣＰＵ６２は、測定機器温度データの入力を催促するためのメッセージ表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、ＬＣＤ表示部６８には、「測定機器温度データを入力して下さい」という催促メッセージが表示される。
ステップＳＳ１６２では、ＣＰＵ６２は、測定機器の温度測定実施が確定か否かを判断する。測定機器の温度測定実施が確定した場合、ステップＳＳ１６４に進む。
ステップＳＳ１６４では、ＣＰＵ６２は、温度センサ（機器）１４ｂ、Ａ／Ｄ変換器１９ｂ、Ｉ／Ｏブリッジ部６０を介して入力された室温に関する温度データをフラッシュメモリ部６６に記憶する。
そして、ステップＳＳ１９０に進む。
【００９２】
一方、メインルーチンのステップＳＭ４８（図４）からサブルーチンであるステップＳＳ１７０「温度センサ不使用選択処理」がコールされると、ステップＳＳ１７０に進み、ＣＰＵ６２は、温度センサ不使用選択処理を開始する。
ステップＳＳ１７２では、ＣＰＵ６２は、温度センサ不使用モードメッセージ表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、ＬＣＤ表示部６８には、「温度センサ不使用モードメッセージ」が表示される。そして、ＣＰＵ６２は、温度センサ不使用モードであることを表示するとともに、ステップＳＳ１７４に進む。
ステップＳＳ１７４では、ステップＳＭ５６（図４）の「加速度ピックアップ取付け方法選択処理」へ戻る。
ステップＳＳ１７６では、ユーザは、温度測定をバイパスするか否かを入力する。温度測定をバイパスする場合はステップＳＳ１８６に進む。
一方、温度測定をバイパスしない場合は、非温度測定バイパスフラグとして論理「１」をステップＳ１７７に出力する。
【００９３】
ステップＳＳ１７７では、ＣＰＵ６２は、ＯＲ論理処理として、２つの入力のうちいずれか一方に論理「１」が設定されている場合に、当該ＯＲ論理処理から論理「１」を出力する。
ステップＳＳ１７８では、ＣＰＵ６２は、図１８に示す画面でユーザによる温度データ（室温）の入力を促すメッセージ表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、ＬＣＤ表示部６８には、「室温（手動）入力してください。」というメッセージが表示される。
ステップＳＳ１８０では、ＣＰＵ６２は、図１８に示す画面で温度データ（室温）（ｘｘｘ  ℃）が手動入力されるか否かを判断する。
温度データ（室温）（ｘｘｘ  ℃）が手動入力された場合は、ステップＳＳ１８２に進む。
ステップＳＳ１８２では、ＣＰＵ６２は、ユーザによる図１８に示す画面で温度データ（機器）の入力を促すメッセージ表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、ＬＣＤ表示部６８には、「機器温度（手動）入力してください。」というメッセージが表示される。
ステップＳＳ１８４では、ＣＰＵ６２は、図１８に示す画面で温度データ（機器）（ｘｘｘ  ℃）が手動入力されるか否かを判断する。
温度データ（機器）（ｘｘｘ  ℃）が手動入力された場合は、ステップＳＳ１９０に進む。
そして、ステップＳＭ１４４（図６）の「温度データ入力処理実行」へ戻る。
一方、ステップＳＳ１７６において、温度測定をバイパスする場合はステップＳＳ１８６に進み、温度データについての入力がない状態を表す「温度“−”表示入力」として「室温      −  ℃」、「機器温度  −  ℃」をメインメモリ部６４に記憶する。そして、ステップＳＳ１９０に進む。
そして、ステップＳＭ１４４（図６）の「温度データ入力処理実行」へ戻る。
【００９４】
＜加速度ピックアップ取付け方法選択処理＞
次に、図２７を参照して、本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部による加速度ピックアップ取付け方法選択処理のサブルーチンについて説明する。
＜ねじ止め選択処理＞
ステップＳＳ２００では、ＣＰＵ６２は、ねじ止め選択処理を開始する。
ステップＳＳ２０２では、ＣＰＵ６２は、ねじ止め実施メッセージ表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、ＬＣＤ表示部６８には、「ねじ止めを実施して固定して下さい。」というメッセージが表示される。次いで、ステップＳＳ２３６を実行するとともに、ステップＳＳ２０４に進む。
ステップＳＳ２０４では、ＣＰＵ６２は、「ねじ止め」を選択した場合に、カットオフ周波数関数発生器にｆ＝２５ＫＨｚ以上０信号を入力する。次いで、ステップＳＳ２３８に進む。
【００９５】
＜絶縁アタッチメント選択処理＞
ステップＳＳ２０６では、ＣＰＵ６２は、絶縁アタッチメント選択処理を開始する。
ステップＳＳ２０８では、ＣＰＵ６２は、絶縁アタッチメント実施メッセージ表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、ＬＣＤ表示部６８には、「絶縁アタッチメントを用いて固定して下さい。」というメッセージが表示される。次いで、ステップＳＳ２３６を実行するとともに、ステップＳＳ２１０に進む。
ステップＳＳ２１０では、ＣＰＵ６２は、「絶縁アタッチメント」を選択した場合に、カットオフ周波数関数発生器にｆ＝２５ＫＨｚ以上０信号を入力する。次いで、ステップＳＳ２３８に進む。
【００９６】
＜両面テープ選択処理＞
ステップＳＳ２１２では、ＣＰＵ６２は、両面テープ選択処理を開始する。
ステップＳＳ２１４では、ＣＰＵ６２は、両面テープ実施メッセージ表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、ＬＣＤ表示部６８には、「両面テープを用いて固定して取り付けて下さい。」というメッセージが表示される。次いで、ステップＳＳ２３６を実行するとともに、ステップＳＳ２１６に進む。
ステップＳＳ２１６では、ＣＰＵ６２は、「両面テープ」を選択した場合に、カットオフ周波数関数発生器にｆ＝1５ＫＨｚ以上０信号を入力する。次いで、ステップＳＳ２３８に進む。
【００９７】
＜マグネット選択処理＞
ステップＳＳ２１８では、ＣＰＵ６２は、マグネット選択処理を開始する。
ステップＳＳ２２０では、ＣＰＵ６２は、マグネット実施メッセージ表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、ＬＣＤ表示部６８には、「マグネットを用いて固定して下さい。」というメッセージが表示される。次いで、ステップＳＳ２３６を実行するとともに、ステップＳＳ２２２に進む。
ステップＳＳ２２２では、ＣＰＵ６２は、「マグネット」を選択した場合に、カットオフ周波数関数発生器にｆ＝２ＫＨｚ以上0信号を入力する。次いで、ステップＳＳ２３８に進む。
【００９８】
＜棒状アタッチメント選択処理＞
ステップＳＳ２２４では、ＣＰＵ６２は、棒状アタッチメント選択処理を開始する。
ステップＳＳ２２６では、ＣＰＵ６２は、棒状アタッチメント実施メッセージ表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、ＬＣＤ表示部６８には、「棒状アタッチメントで押しつけて下さい。」というメッセージが表示される。次いで、ステップＳＳ２３６を実行するとともに、ステップＳＳ２２８に進む。
ステップＳＳ２２８では、ＣＰＵ６２は、「棒状アタッチメント」を選択した場合に、カットオフ周波数関数発生器にｆ＝５００Ｈｚ以上0信号を入力する。次いで、ステップＳＳ２３８に進む。
【００９９】
＜カットオフなし・校正モード選択処理＞
ステップＳＳ２３０では、ＣＰＵ６２は、カットオフなし・校正モード選択処理を開始する。
ステップＳＳ２３２では、ＣＰＵ６２は、カットオフなし・校正モード実施メッセージ表示指令をＧＵＩに発行する。この結果、ＬＣＤ表示部６８には、「カットオフなし・校正モードです。」というメッセージが表示される。次いで、ステップＳＳ２３６を実行するとともに、ステップＳＳ２３４に進む。
ステップＳＳ２３４では、ＣＰＵ６２は、「カットオフなし・校正モード」を選択した場合に、カットオフ周波数関数発生器にｆ＝ｆ変更なし信号を入力する。次いで、ステップＳＳ２３８に進む。
【０１００】
ステップＳＳ２３６では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ５８（図４）に移行する。
ステップＳＳ２３８では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ１４６（図６）に移行する。
【０１０１】
ここで、ステップＳＳ２０４〜ＳＳ２３４では、ＣＰＵ６２は、演算手段を構成し、加速度ピックアップ１４ａの種類、回転機器の軸受部１１ａに加速度ピックアップ１４ａを取付けるための取り付け部材の種類、及び取り付け方法の種類に応じて、加速度ピックアップ１４ａの有効計測周波数以上の周波数におけるレベルデータを非通過としてバンドパスフィルタに設定し、ＦＦＴアナライザ部５４により生成されるレベルデータを補正してもよい。ＬＣＤ表示部６８は、加速度ピックアップ１４ａの種類、取り付け部材の種類、及び取り付け方法の種類に係る情報を表示してもよい。
これにより、加速度ピックアップ１４ａの種類、取り付け部材の種類、及び取り付け方法の種類に応じて、加速度ピックアップ１４ａの有効計測周波数以上の周波数におけるレベルデータを非通過とし、レベルデータを補正することができ、加速度ピックアップ１４ａの種類、取り付け部材の種類、及び取り付け方法の種類に係る情報を表示することができる。
【０１０２】
次に、図３９を参照して、加速度ピックアップの取り付け部材の種類、及び取り付け方法の種類に依存した有効計測周波数以外に対するフィルタリングについて説明する。なお、図３９の出典は「振動法による設備診断技術(基本技術編)」（著者：竹之内孝、小村英智）である。
一般的に、加速度ピックアップを取り付ける方法は図３９（ａ）に示すように、加速度ピックアップを測定対象物に取り付けたり、押し当てたりした場合、接触面が局部的に変形して一種のバネとして作用し、このバネと加速度ピックアップの質量などで決まる共振が起きる現象がある。図３９（ａ）に示すように、急に振動レベル（レスポンス）が高くなった最高点を接触共振点という。
ここで、図３９（ａ）に示す６つの接触共振点を発生させる取り付け方法は、図３９（ｂ）に示すように、（１）ねじ止め、（２）絶縁アタッチメント、（３）両面テープ、（４）マグネット、（５）丸形棒状アタッチメント、（６）針形棒状アタッチメントである。
【０１０３】
図３９（ａ）では、ある加速度ピックアップを６種類の方法で取り付けた場合に生じる接触共振点の周波数特性の相違を示す。
これにより、加速度ピックアップの取り付け（押し付け）方法に依存して振動を正確に計測できる周波数の上限が決まることがわかる。
例えば、一般的に高周波数帯を測定できる加速度ピックアップについては、共振周波数帯が５０ＫＨｚとなっており、これが測定限界である。実際には、加速度ピックアップを取り付けるための測定座との共振（ねじ止めの場合）により３０ＫＨｚにおいて感度の上昇があることが知られており、実測限界として２０ＫＨｚ〜２５ＫＨｚ程度までの測定を行うものとする。それ以上は、共振ピークがあるため、Ａ／Ｄ変換器４４の後段において、２５ＫＨｚ以上の周波数のＦＦＴデータに「０」データを加算して排除するものとする。
また、感度補正を行っても、取り付け方法に依存して加速度ピックアップ自体の共振周波数が変化し、共振周波数以上のデータは無意味である。このため、加速度ピックアップの取り付け方を選択する画面（図１３）を表示し、測定可能周波数の上限値を表示し、実際の測定を開始したら、加速度ピックアップの取り付け方の選択時に選定した共振周波数以上は自動的にカットオフさせる。
【０１０４】
＜ＦＦＴ演算結果ストア実行処理＞
次に、図２８（ａ）を参照して、ＦＦＴ演算結果ストア実行処理のサブルーチンについて説明する。
ステップＳＳ２４０では、ＣＰＵ６２は、ＦＦＴ演算結果ストア実行処理を開始する。
ステップＳＳ２４２では、ＣＰＵ６２は、ＦＦＴ演算器５４ｃからの出力信号をメインメモリ部６４に記憶する。ＦＦＴ演算器５４ｃからの出力信号は、感度補正演算器５６ａ、データセレクタＳＥＬ３、Ｉ／Ｏブリッジ部６０のポートＡを介してＣＰＵ６２に入力される。この際、サンプリング期間の数秒程度の間にＣＰＵ６２に入力されるデータを一旦メインメモリ部６４に記憶しておく。
ステップＳＳ２４４では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ５６において選択されたピックアップ取付け方法に対応するカットオフ周波数を受け取り、次いで、ステップＳＳ２４６では、カットオフ周波数に基づいて、ステップＳＳ２４２において記憶しておいたＦＦＴ演算器５４ｃからの出力信号に加工処理を行う。
次いで、ステップＳＳ２４８では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ１５０（図６）に移行する。
【０１０５】
＜波形出力・ストア実行処理＞
次に、図２８（ｂ）を参照して、波形出力・ストア実行処理のサブルーチンについて説明する。
ステップＳＳ２５０では、ＣＰＵ６２は、波形出力・ストア実行処理を開始する。
ステップＳＳ２５２では、ＣＰＵ６２は、信号処理部５０のＬＰＦ５２から出力される出力信号をメインメモリ部６４に記憶する。ＬＰＦ５２からの出力信号は、Ｉ／Ｏブリッジ部６０のポートＢを介してＣＰＵ６２に入力される。この際、サンプリング期間の数秒程度の間にＣＰＵ６２に入力されるデータを一旦メインメモリ部６４に記憶しておく。
次いで、ステップＳＳ２５４では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ１５０（図６）に移行する。
【０１０６】
＜回転速度データ入力処理実行処理＞
次に、図２８（ｃ）を参照して、回転速度データ入力処理実行処理のサブルーチンについて説明する。
ステップＳＳ２５６では、ＣＰＵ６２は、回転速度データ入力処理実行処理を開始する。
この際、ステップＳＳ２６０では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＳ１３４において入力された回転速度データを受け取り、また、ステップＳＳ２６４では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＳ１４２においてフラッシュメモリ部６６のデータベースから読み出した回転速度データを受け取る。
次いで、ステップＳＳ２６６では、回転速度データをメインメモリ部６４に記憶する。
次いで、ステップＳＳ２６８では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ１５０（図６）に移行する。
【０１０７】
＜温度データ入力処理実行処理＞
次に、図２８（ｄ）を参照して、温度データ入力処理実行処理のサブルーチンについて説明する。
ステップＳＳ２７０では、ＣＰＵ６２は、温度データ入力処理実行処理を開始する。
この際、ステップＳＳ２７４では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＳ１５８においてフラッシュメモリ部６６に記憶しておいた室温データ“ｘｘｘ℃”を読み出し、且つステップＳＳ１６４においてフラッシュメモリ部６６に記憶しておいた機器温度データ入力“ｘｘｘ℃”を読み出し、ステップＳＳ２８４に移行する。
また、ステップＳＳ２８０では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＳ１８６においてフラッシュメモリ部６６に記憶しておいた室温データ“−”を読み出し、且つステップＳＳ１８６においてフラッシュメモリ部６６に記憶しておいた機器温度データ“−”を読み出し、ステップＳＳ２８４に移行する。
ステップＳＳ２８４では、ＣＰＵ６２は、ＯＲ論理処理を行い、取得した室温データ“ｘｘｘ℃”又は室温データ“−”、機器温度データ入力“ｘｘｘ℃”又は機器温度データ“−”を選択し、さらに、ステップＳＳ２８４では、それらのデータを室温・機器温度データとしてメインメモリ部６４に記憶する。
次いで、ステップＳＳ２８８では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ１５０（図６）に移行する。
【０１０８】
＜全高調波歪＋N演算実行＿ＴＨＤ（ｎ）Ｘ処理＞
次に、図２９を参照して、本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部による全高調波歪＋N演算実行＿ＴＨＤ（ｎ）Ｘ処理のサブルーチンについて説明する。
ステップＳＳ３００では、ＣＰＵ６２は、全高調波歪＋N演算実行＿ＴＨＤ（ｎ）Ｘ処理を開始する。なお、ＦＦＴ演算器５４ｃの出力データに対して、カットオフ周波数を入力することによって、全高調波歪＋Ｎ（ノイズ値）は０となる場合がある。
ステップＳＳ３０２では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ１４８（図６、Ｇ１）により処理された結果である、ＦＦＴ演算器５４ｃの出力信号を加工処理したデータを入力する。次いで、ステップＳＳ３０４〜ＳＳ３１４の各処理を並列して実行する。
ステップＳＳ３０４では、ＣＰＵ６２は、回転域データの抽出処理として、「１００Ｈｚ以下」のデータを抽出した結果をＴＨＤ（ｎ）１として後段のステップＳＳ３３０に出力する。
ステップＳＳ３０６では、ＣＰＵ６２は、低域データの抽出処理として、「１００Ｈｚ〜５００Ｈｚ」のデータを抽出した結果をＴＨＤ（ｎ）２として後段のステップＳＳ３３０に出力する。
ステップＳＳ３０８では、ＣＰＵ６２は、中域データの抽出処理として、「５００Ｈｚ〜２ＫＨｚ」のデータを抽出した結果をＴＨＤ（ｎ）３として後段のステップＳＳ３３０に出力する。
ステップＳＳ３１０では、ＣＰＵ６２は、高域データの抽出処理として、「２ＫＨｚ〜１０ＫＨｚ」のデータを抽出した結果をＴＨＤ（ｎ）４として後段のステップＳＳ３３０に出力する。
ステップＳＳ３１２では、ＣＰＵ６２は、超高域データの抽出処理として、「１０ＫＨｚ以上」のデータを抽出した結果をＴＨＤ（ｎ）５として後段のステップＳＳ３３０に出力する。
ステップＳＳ３１４では、ＣＰＵ６２は、全域データの抽出処理として、「ｍｉｎ〜ｍａｘ値」のデータを抽出した結果をＴＨＤ（ｎ）６として後段のステップＳＳ３３０に出力する。
【０１０９】
一方、ステップＳＳ３２０では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ１４２（図６、Ｇ３）により処理された結果である、回転速度データを入力する。次いで、ステップＳＳ３２２では、ＣＰＵ６２は、回転速度ｎを周波数値ｆに変換する回転速度周波数値変換処理として、ｆ＝ｎ／６０により回転速度ｎを周波数値ｆに変換する。
ステップＳＳ３２４では、ＣＰＵ６２は、ＦＦＴデータの近似値を検知するＦＦＴデータ近似値検知処理として、ＦＦＴデータより基準周波数を導く処理を行う。ここで、ＣＰＵ６２は、入力ｆ値と近似値、ＦＦＴパワー値ｐが前後周波数より卓越した値に基づいて、基本周波数Ｆ・基本周波数Ｐ（パワー）を決定し、決定値Ｐ（Ｆ）を出力する。
次いで、ステップＳＳ３３０では、ＣＰＵ６２は、全高調波歪＋Ｎ演算処理を行いＴＨＤ（ｎ）Ｘとして、図２９に示すＴＨＤ（Ｎ）１〜ＴＨＤ（Ｎ）６を算出する。
ここで、
ＴＨＤ（Ｎ）１＝｛ｐ（ｆ１）２＋ｐ（ｆ２）２＋ｐ（ｆ３）２・・・＋ｐ（ｆ９９）２｝１／２／Ｐ（Ｆ）
ＴＨＤ（Ｎ）２＝｛ｐ（ｆ１００）２＋ｐ（ｆ１０１）２＋ｐ（ｆ１０２）２・・・＋ｐ（ｆ４９９）２｝１／２／Ｐ（Ｆ）
ＴＨＤ（Ｎ）３＝｛ｐ（ｆ５００）２＋ｐ（ｆ５０１）２＋ｐ（ｆ５０２）２・・・＋ｐ（ｆ１９９９）２｝１／２／Ｐ（Ｆ）
ＴＨＤ（Ｎ）４＝｛ｐ（ｆ２０００）２＋ｐ（ｆ２００１）２＋ｐ（ｆ２００２）２・・・＋ｐ（ｆ９９９９）２｝１／２／Ｐ（Ｆ）
ＴＨＤ（Ｎ）５＝｛ｐ（ｆ１００００）２＋ｐ（ｆ１００００１）２＋ｐ（ｆ１００００２）２・・・＋ｐ（ｆｍａｘ）２｝１／２／Ｐ（Ｆ）
ＴＨＤ（Ｎ）６＝｛ｐ（ｆｍｉｎ）２・・・＋ｐ（ｆｍａｘ）２｝１／２／Ｐ（Ｆ）
次いで、ステップＳＳ３３２では、ＣＰＵ６２は、全高調波歪＋N演算値をメインメモリ部６４に記憶するとともに、出力し、ステップＳＳ３３４へ移行する
次いで、ステップＳＳ３３４では、ＣＰＵ６２は、各パラメータについての演算を実行した結果をステップＳＭ１６６へ入力する。
【０１１０】
ここで、Ａ／Ｄ変換器４４は、回転機器の振動を検出する加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号を量子化する。ＦＦＴアナライザ部５４は、量子化後の加速度データを高速フーリエ変換する。ステップＳＳ３２２では、ＣＰＵ６２は、変換手段を構成し、回転機器の回転速度を基準周波数に変換する。ステップＳＳ３３０では、ＣＰＵ６２は、取得手段を構成し、ＦＦＴアナライザ部５４により生成されたレベルデータのうち、基準周波数を基準波とした複数の異なる高調波帯域についての歪み値を取得する。ステップＳＳ３３０では、ＣＰＵ６２は、数値化手段を構成し、高調波帯域についての歪み値に基づいて、回転機器の軸受部１１ａに係る劣化状態を数値化する。
これにより、回転機器の振動を検出する加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号のレベルデータのうち、回転機器の回転速度を基準周波数の基準波とし、複数の異なる高調波帯域についての歪み値に基づいて、回転機器の軸受部１１ａに係る劣化状態を数値化することができる。
【０１１１】
ここで、ステップＳＳ３３０では、ＣＰＵ６２は、算出手段を構成し、各高調波帯域についての歪み値に基づいて、各高調波帯域の高調波歪み率、及び全高調波帯域の高調波歪み率を算出する。ＣＰＵ６２は、除算手段を構成し、各高調波帯域の高調波歪み率を全高調波帯域の高調波歪み率で除算して、各高調波帯域の商値を求める。
これにより、各高調波帯域についての歪み値に基づいて、各高調波帯域の高調波歪み率を全高調波帯域の高調波歪み率で除算して、各高調波帯域の商値を求めることができる。
【０１１２】
ここで、ステップＳＳ３３０では、ＣＰＵ６２は、フラッシュメモリ部６６に高調波帯域についての歪み値に取得日時を付加して蓄積してもよい。ＣＰＵ６２は、ＬＣＤ表示部６８に、フラッシュメモリ部６６から取得した各取得日時の高調波帯域についての歪み値に基づいて、除算手段（ＳＳ３３０）により求められた各高調波帯域の商値を取得日時毎に時系列に表示してもよい。
これにより、各取得日時の高調波帯域についての歪み値に基づいて、各高調波帯域の商値を取得日時毎に時系列に表示することができる。
【０１１３】
次に、図４０を参照して、軸受部の広帯域ノイズ量の増加測定、軸受部の劣化傾向を数値化する機能について説明する。なお、図４０の出典は、日本機械学会「事例に基づいた状態監視信号処理技術のノウハウ」3DIM技研/小村英智氏、引用URL：http://3dim-lab.com/3dim/okayama_u/oka_32.pdf#search='%E6%95%85%E9%9A%9C%E5%88%86%E6%9E%90%EF%BC%88%E7%B2%BE%E5%AF%86%E8%A8%BA%E6%96%AD1%EF%BC%89.pdf'である。
（全高調波歪＋ノイズ）
軸受簡易診断測定部８２において、出力されたＦＦＴデータから全高調波歪み＋ノイズ（ＴＨＤ＋ｎ）を算出することにより、軸受部が損傷した場合の全周波数帯の基本波（回転機回転速度周波数）の高次周波数出力実効値の増加、及びフロアノイズ実効値の増加をとらえ、全般的な軸受部に関する劣化の指標として数値化する。
高周波数帯の劣化兆候を定量化するために、波形の実効値を高速フーリエ変換した後のデータについて、回転機周波数を基準波とした高調波歪＋ノイズ値（ＴＨＤ＋Ｎ）で表すものとする。
ここで、基準波入力は、簡易振動測定器へ回転機の周波数を直接入力または回転速度値を画面から入力することで読み取り、値を入力する。基準周波数からそれより高周波数の出力値の高調波歪＋ノイズ値を測定することにより、高調波成分も考慮することで、従来のクレストファクタ値（信号波形のピーク値／実効値の比）よりも高精度の測定が可能となる。
高調波歪分が増大していることで、軸受部の劣化をごく初期の段階から把握することができ、従来のクレストファクタ値より高精度な監視が可能となる。
なお、図４０（ａ）〜（ｄ）に示す高域は軸受部のベアリングの打衝撃エネルギー領域、中域は構成部品共振振動領域、低域は転がり軸受欠陥振動数領域、回転域は基本回転速度の２倍波、３倍波領域であり、これに加えて、超高域及び全帯域を加えて６つの帯域の高調波歪＋ノイズ値（ＴＨＤ＋Ｎ）を測定することにより、軸受部の劣化進行が数値化されて表現できる。
【０１１４】
そのため、本実施形態では、高調波歪を回転域（１００Ｈｚ以下）、低域（１００ＨＺ〜５００Ｈｚ程度）、中域（５００Ｈｚ〜２ＫＨｚ）、高域（２ＫＨｚ〜１０ＫＨｚ）、超高域（１０ＫＨｚ以上）及び全帯域の６部に分け、それぞれの高調波歪＋ノイズ値（ＴＨＤ＋Ｎ）を測定することで、グラフ化し、傾向管理を行う。軸受部の劣化が進行するにつれ、超高域→高域→中域→低域→回転域に従い、軸受部の劣化傾向が把握できる。
なお、数値の表示方法として、各帯域の高調波歪み率を全帯域の高調波歪み率で除算して、各帯域の割合を表示してもよい。
なお、高域は別途説明する軸受部のグリス切れ音や、キシリ音領域と重複するため、グリス切れ音やキシリ音が発生していた場合、同じ帯域の高調波歪率も増大する。グリス切音の影響を免れるため、超高域領域として１０ｋＨｚ以上の領域も高調波歪率＋ｎを測定する。
【０１１５】
ここで、具体的な全高調波歪＋ｎの計算について説明する。
軸受部の異常を見るための各周波数帯の出力値を全高調波歪＋ｎで表現することにより、パワースペクトルを単純な数値で表現することが可能であり、グラフ化が容易となる利点がある。
また、全高調波歪＋ｎの計算では、基本周波数の出力を分母としている。
（１）加速度ピックアップからの信号を実効値変換器５４ａにより実効値変換処理を行った後、ハニング窓関数演算器５４ｂによりハニング窓関数を乗算し、ＦＦＴ演算器５４ｃから振動値のパワースペクトル（出力・周波数）で各周波数の出力値（この場合は加速度ピックアップの周波数毎の電圧成分）を求める。
【０１１６】
（２）予め、デジタルタコメータや、各機器の回転速度のデータベースから回転速度を入力しておき、周波数値に変換する。
基本周波数＝回転速度／６０
回転速度計もしくは機器の回転速度データベースからの回転速度を周波数値に変換し、ＦＦＴデータからその周波数に近似し（例えば、基本周波数±１Ｈｚ以内）、前後のデータから卓越した出力値の周波数を「基準周波数」とする。
基準周波数を求めた後、その基準周波数の出力値を取得する。
この方法は、タコメータを用いて取得した基本周波数値と、ＦＦＴ演算器５４ｃで導き出した基本周波数ではＦＦＴの処理上、値に差が生じるため、このようにしている。（例えば、タコメータで取得した基本周波数が６０Ｈｚで表示され、ＦＦＴ演算器５４ｃでは基本周波数６０．２Ｈｚの出力が卓越している場合、回転速度から求めた基本周波数をそのまま使用せず、より近似し、より出力が卓越した周波数である６０．２Ｈｚを基本周波数とする。）
【０１１７】
（３）出力変換後、回転速度域（１Ｈｚ〜１００Ｈｚ）、低域：欠陥振動数領域（１００Ｈｚ〜５００Ｈｚ）、中域：共振振動数領域（５００Ｈｚ〜２０００Ｈｚ）、高域：キシリ・グリス切音領域（２０００Ｈｚ〜１００００Ｈｚ）、超高域：打衝撃エネルギー領域（１００００Ｈｚ〜２５０００Ｈｚ）、全高調波歪＋ｎ  全域（１Ｈｚ〜２５０００Ｈｚ）の周波数帯域ごと計算を行う。
ここで、計算式（例：回転域）は、
（ｐ１２＋ｐ２２＋ｐ３２＋・・・・・・ｐ１００２）１／２／Ｐ（Ｆ）
Ｐ（Ｆ）：基本周波数のパワー値、ｐ＝各周波数での出力値、ｐ１２＋・・・ｐ１００２とは周波数１Ｈｚ〜１００Ｈｚまでの出力値のことである。
なお、回転機の場合、基本周波数は変化がなく、出力値は一定しているが、基本回転速度の出力が分母になるため、基本周波数の出力が高くなった場合は見掛け上、すべての値が下がるようになる。
回転機が送排風機などの場合、インペラーに塵埃がついた場合は遠心力の増加により、アンバランスとなり基本周波数出力が増加することが知られている。ただし、ポンプは、インペラーに内液由来の付着物が付くような事象やインペラーが欠損する等のトラブルでなければ、基本的にはアンバランスは生じないものと考えられず、急激な基本周波数の上昇はないものと考えられる。
その場合、後述するが、基本周波数の出力もデータ採取しているため、見掛け上すべての帯域の値が下がっても、基本周波数の出力値が確認できれば原因が判明できる。
【０１１８】
（４）各計算値を求めた後、図４０（ａ）〜（ｄ）に例示したようにグラフ化を行い、傾向管理を行う。
なお、軸受部の故障の進行は、図４０（ａ）〜（ｄ）に示すように、高周波数帯の周波数の卓越が発生することから始まり、次第に卓越周波数の数が低周波数帯にも増加することを検知することで、軸受部の破壊具合がわかる。
ＦＦＴ変換のみのグラフでは、過去から現在までのデータの変化具合が、ユーザにとって直感的にわかり難いため、本実施形態のように、基準周波数を元に各周波数帯の「ＴＨＤ＋Ｎ」値を採取し、統計的にデータをグラフにプロットし、変化傾向を管理することで、ユーザにとって直感的にわかりやすくなる。
軸受部のように経年での変化が進行する機器に対しては、本実施形態によれば、軸受部の故障の進行程度をユーザが傾向管理することで、軸受部の交換時期を判定することができる。
【０１１９】
なお、具体的な軸受部の交換目安、及び点検目安としては、軸受部をグリスアップした後にデータ採取を行い、各帯域の「ＴＨＤ＋Ｎ」値が、明確に過去値に比較して増大してきた場合に実施するようにしてもよい。
以上、本実施形態では、軸受部の故障進行を把握するために周波数帯ごとに高調波の歪データとノイズ値「ＴＨＤ＋Ｎ」値により数値化を行い、データを蓄積し、統計的に表してもよい。
なお、各周波数帯のデータを「ＴＨＤ＋Ｎ」値で表したが、各周波数帯のデータを平均値で表現しなかったのは、キシリ音やグリス切音と違い機器の回転周波数（基準周波数）に依存しているためである。基準周波数の出力が大きければ、各周波数帯の出力も大きくなるので、「ＴＨＤ＋Ｎ」値で表すのが適当である。
【０１２０】
＜グリス切音演算実行Ｐ（ｇｒ）処理＞
次に、図３０を参照して、本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部によるグリス切音演算実行Ｐ（ｇｒ）処理のサブルーチンについて説明する。
ステップＳＳ３４０では、ＣＰＵ６２は、グリス切音演算実行Ｐ（ｇｒ）処理を開始する。
ステップＳＳ３４２では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ１４８（図６、Ｇ１）により処理された結果である、ＦＦＴ演算器５４ｃの出力信号を加工処理したデータを入力する。
ステップＳＳ３４４では、ＣＰＵ６２は、グリス切音演算処理（Ｐ（ｇｒ）：ａｖｅ８０００−１００００）を行う。ここで、ＣＰＵ６２は、ＦＦＴ演算器５４ｃの出力信号から周波数帯８ｋＨｚ〜１０ｋＨｚ帯の周波数パワー値を加算し、８ｋＨｚ〜１０ｋＨｚの総数で除算し、単純平均値Ｐ（ｇｒ）を出力する。
Ｐ（ｇｒ）＝｛Ｐ（ｆ８０００）＋Ｐ（ｆ８００１）＋Ｐ（ｆ８００２）・・・＋Ｐ（ｆ１００００）｝／（ｆ１００００−ｆ８０００）
ステップＳＳ３４６では、ＣＰＵ６２は、グリス切音演算値をメインメモリ６４に記憶するとともに、出力する。
ステップＳＳ３４８では、ＣＰＵ６２は、各パラメータについての演算を実行した結果を入力し、ステップＳＭ１６６へ移行する。
ここで、ステップＳＳ３４８では、ＣＰＵ６２は、比較手段を構成し、周波数帯域の測定値に対して、第１の基準値及び第１の基準値よりも低い第２の基準値と夫々比較してもよい。さらに、ＣＰＵ６２は、判定手段を構成し、測定値が第１の基準値よりも大きい場合に回転機器にグリス切れが発生したことと判定し、測定値が第１の基準値と第２の基準値との間にある場合に回転機器の軸受部１１ａに異常があると判定してもよい。
【０１２１】
＜キシリ音演算実行Ｐ（ｋｓ）処理＞
次に、図３１を参照して、本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部によるキシリ音演算実行Ｐ（ｋｓ）処理のサブルーチンについて説明する。
ステップＳＳ３５０では、ＣＰＵ６２は、キシリ音演算実行Ｐ（ｋｓ）処理を開始する。
ステップＳＳ３５２では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ１４８（図６、Ｇ１）により処理された結果である、ＦＦＴ演算器５４ｃの出力信号を加工処理したデータを入力する。
ステップＳＳ３５４では、ＣＰＵ６２は、キシリ音演算処理（Ｐ（ｇｒ）：ａｖｅ４０００−６０００）を行う。ここで、ＣＰＵ６２は、ＦＦＴ演算器５４ｃの出力信号から周波数帯４ｋＨｚ〜６ｋＨｚ帯の周波数パワー値を加算し、４ｋＨｚ〜６ｋＨｚの総数で除算し、単純平均値Ｐ（ｋｓ）を出力する。
Ｐ（ｋｓ）＝｛Ｐ（ｆ４０００）＋Ｐ（ｆ４００１）＋Ｐ（ｆ４００２）・・・＋Ｐ（ｆ６０００）｝／（ｆ４０００−ｆ６０００）
ステップＳＳ３５６では、ＣＰＵ６２は、キシリ音演算値をメインメモリ６４に記憶するとともに、ＳＳ３５８へ移行する。
ステップＳＳ３５８では、ＣＰＵ６２は、各パラメータについての演算を実行した結果を入力し、ステップＳＭ１６６へ移行する。
【０１２２】
次に、図４１及び図４２を参照して、軸受部に発生するグリス切音及びキシリ音の数値化機能について説明する。なお、図４１、及び図４２の出典は、ＪＥＡＧ  ４２２１−２０ＸＸ  原子力発電所の設備診断に関する技術指針―回転機械振動診断技術である。
通常、ポンプや電動機の回転軸に取り付けたカップリングに対して、芯出し作業が適切になされ、運転状態に異常がない場合、電動機の軸受部から発生する主な振動要因としては、一般に、グリス切による振動発生及び軸受部の劣化が多い。
このため、ミスアライメントやミスカップリング等のように機械据え付け時、ポンプや電動機の分解点検後のテストラン時に測定する項目については、試運転時にのみ必要であり、正常に組みあがった回転機器では無視できる。
潤滑油が不足した軸受部の特徴としては、軸受部に潤滑油が不足すると転がり軸受部もスムーズな回転ができなくなる。その結果、軸受部自身が励振され、異常振動が発生する。
潤滑不足を生じた軸受部の振動は、正常な軸受部の振動と同じような振動波形を示す。
また、軸受部にスポットキズが発生した時のような周期性を持った振動波形ではなく、ランダム振動であるため、一般的に周期性が無い波形となる。正常な軸受部に発生する振動との唯一の差は、振動の振幅が大きくなる点である。
したがって、振動の実効値及びピーク値は、正常時よりも大きくなる。
【０１２３】
軸受部の健全性に影響を及ぼす主要因は、軸受部に封入するグリス量及びグリス劣化が大きな要因である。軸受部の日常の管理としては、グリスの状態に着目することが重要であるため、グリス切音の管理及び定量化を図ることが重要である。
グリス切音に特有な周波数帯は、図４１（ａ）に示すように、周波数分析を行うと８ｋ〜１０ｋＨｚ帯に顕著に現われており、その他周波数全域にノイズとしてあらわされる。
本実施形態では、この特性を利用し、グリス切音が顕著に現われる周波数帯を高速フーリエ変換で周波数分析を行い、８ｋ〜１０ｋＨｚ帯のみをバンドパスフィルタにより抽出する。抽出した周波数帯の単純平均出力値をＬＣＤ表示部６８に表示することによって、グリス切音レベルの数値化を図ることができる。
利用方法として、軸受部のグリスアップをする際、グリスアップ前後の出力レベルの変化を確認することで、グリスの注入良否がわかる。また、定期的な巡視時に計測診断装置を用いて測定することにより、グリス切音の傾向管理が容易にできるようになる。
【０１２４】
キシリ音とは、グリス潤滑軸受部に発生する高周波数の異常音である。金属性の異常音が発生し、振動加速度が高くなるという特徴を有している。
キシリ音の発生メカニズムは完全には解明されていないが、精密診断のレベルでは、キシリ音は比較的判断しやすい。図４２（ａ）に示すように、４ｋＨｚ〜６ｋＨｚ付近に幅広い音圧レベルを持った音で、軸受部の大きさ及び回転速度にはほとんど左右されない。
キシリ音もグリス切れ音と同様に顕著に現われる振動加速度の周波数帯を高速フーリエ変換で周波数分析を行い、４ｋＨｚ〜６ｋＨｚ帯のみをデジタルフィルター（バンドパスフィルタ）により抽出する。抽出した周波数帯の単純平均出力値をＬＣＤ表示部６８に表示することによって、グリス切音レベルの数値化を図ることができる。
なお、グリス切音及びキシリ音ともに、高調波歪＋Ｎの高域（２ＫＨｚ以上）以上であるという特徴がある。
【０１２５】
グリス切音やキシリ音のレベルが増大した場合、当然、高調波歪＋Ｎの高域のレベルも増大することになる。
このため、高域のレベル増大の原因が、グリス切音・キシリ音に起因するか、軸受部の異常に起因するかを判別するためには、各々の数値を確認して、グリス切音・キシリ音が比較的高い場合はグリス切れと判別し、一方、グリス切音・キシリ音が比較的低い場合は軸受部の異常であると判別できる。
ここで、具体的なグリス切音とキシリ音の計算について説明する。
グリス切音とキシリ音は、それぞれ８０００Ｈｚ〜１００００Ｈｚ、４０００Ｈｚ〜６０００Ｈｚ帯に特徴的な出力レベルの増大が見られる（以下、それぞれの周波数帯を「特徴的な周波数帯」という。）ため、この周波数帯の出力レベルを単純に平均して平均値を算出している。
なお、全高調波歪のように分母に基本周波数の出力レベルで除算していないのは、グリス切音とキシリ音の場合は軸受部の大きさ及び回転速度には依存しないためであり、単純に出力レベル値を見ることで傾向管理が可能である。
【０１２６】
グリス切音についての計算式は、
ｐ（ｇｒ）＝（（ｐ８０００）＋（ｐ８００２）＋・・・＋（ｐ１００００））／（Ｖ１００００―Ｖ８０００）
ｐ（ｇｒ）：グリス切音の単純平均出力レベル
Ｖ８０００〜Ｖ１００００：周波数８０００〜１００００Ｈｚ＝２０００
ｐ８０００〜ｐ１００００：周波数８０００〜１００００Ｈｚの出力レベル
【０１２７】
キシリ音についての計算式は、
ｐ（ｋｓ）＝（（ｐ４０００）＋（ｐ４００２）＋・・・＋（ｐ６０００））／（Ｖ６０００−Ｖ４０００）
ｐ（ｋｓ）：グリス切音の単純平均出力レベル
Ｖ４０００〜Ｖ６０００：周波数４０００Ｈｚ〜６０００Ｈｚ＝２０００
ｐ４０００〜ｐ６０００：周波数４０００Ｈｚ〜６０００Ｈｚの出力レベル
グリス切音及びキシリ音についての各計算値を求めた後に、それぞれにグラフ化を行い、傾向管理を行う。
【０１２８】
なお、グリス切音及びキシリ音ともに特徴的な周波数帯で評価する理由について説明する。
グリス切音及びキシリ音ともその特徴的な周波数帯よりも高域及び低域にもレベルが低いが出力レベルが表れている。また、この特徴的な周波数帯より高域及び低域には、軸受部の故障（フレーキング傷や軸受部ベアリング玉の微小な傷発生等）が発生した場合は、故障に伴う特徴的な周波数が卓越する現象が現れる。
そのため、グリス切音が発生すると、軸受部の故障に伴う卓越した周波数上にグリス切音に伴うノイズが混入し、いわばマスキングされてしまう。軸受部に対してグリスアップを行えば、特徴的な周波数帯以外の周波数帯域では、ノイズが著しく減少する。軸受部が故障した場合であれば、グリス切音のノイズが除去された後でも、軸受部の故障があれば、特徴的な周波数に出力レベルが残っている。
特徴的な周波数帯に着目した理由として、仮にグリス切音及びキシリ音を全域での平均値とした場合、このような軸受部の故障に伴う特徴的な周波数も合わせて評価してしまうことになり、グリス切音及びキシリ音単独の評価を行い難くなる。そのため、特徴的な周波数帯だけに着目すれば、目的を達成できる。
【０１２９】
また、単純平均値を採用した理由は、特徴的な周波数帯内の周波数の高低の価値が直接グリス切音、キシリ音の成分に関係なく、帯域内の出力レベル値を見るのに適当であるからである。
本実施形態では、区別なく無差別に周波数帯に区切ることは行わない。すなわち、グリス切音又はキシリ音の特定周波数帯に限定しておき、それぞれの帯域の平均値で特徴を表すこととする。
【０１３０】
グリス切音領域の平均値は、軸受部に対してグリスアップを実施した後に確実に低下する。
図４１（ａ）（ｂ）に示すように、グリスアップ前とグリスアップ後の平均値の変化量を見れば、その軸受部のグリスアップが適正に行われているか否かの判断目安とすることができる。ただし、同じ軸受部でも固体差によるバラツキ、軸受部への取付け状態によるバラツキ、及び周辺環境温度（室温）の変化に伴う軸受部に注入されたグリスの粘度が変化する可能性等の要因がある。そのため、一緒に室温及び軸受部温度を採取して蓄積しておき、蓄積データとの目視確認を行うことによって、長期的な経年変化傾向を確認することができる。統計的に傾向管理することにより、軸受部固有の要因を含めた管理を行うことができる。
【０１３１】
＜クレストファクタ演算・判定実行ｆ（Cr）処理＞
次に、図３２を参照して、本発明の実施形態に係る計測診断装置に設けられた軸受部簡易診断測定部によるクレストファクタ演算・判定実行ｆ（Cr）処理のサブルーチンについて説明する。
ステップＳＳ３６０では、ＣＰＵ６２は、クレストファクタ演算・判定実行ｆ（Cr）処理を開始する。
ステップＳＳ３６２では、ＣＰＵ６２は、信号処理部５０のＬＰＦ５２から出力される出力信号をメインメモリ部６４に記憶する。ＬＰＦ５２からの出力信号は、Ｉ／Ｏブリッジ部６０のポートＢを介してＣＰＵ６２に入力される。この際、サンプリング期間の数秒程度の間にＣＰＵ６２に入力されるデータを一旦メインメモリ部６４に記憶しておく。
ステップＳＳ３６４では、ＣＰＵ６２は、加速度信号を速度信号へ変換し、速度波の高ピーク値を検波する速度波高ピーク値検波処理を行ってｆ（Peak）を検知し、ステップＳ３６６に進み、高ピーク値を維持するピークホールド処理を行い、再度ステップＳＳ３６４に戻り、前回のピーク値よりも大きい値のピーク値をステップＳ３６６に出力することで、数秒程度でピーク値を確定し、メインメモリ部６４に記憶し、ステップＳ３６８に進む。
【０１３２】
ステップＳＳ３７０では、ＣＰＵ６２は、速度波高実効値処理を行う。
ｆ（ｒｍｓ）＝ｆ（Ｐｅａｋ）／√２
ステップＳＳ３７２では、ＣＰＵ６２は、速度クレストファクタ演算処理を行う。
ｆ（Ｃｒ）＝ｆ（Ｐｅａｋ）／ｆ（ｒｍｓ）
ステップＳＳ３７４では、ＣＰＵ６２は、速度クレストファクタ演算値を出力する。
【０１３３】
一方、ステップＳＳ３７６では、ＣＰＵ６２は、大型機械の判定基準に基づいて、速度実効値判定処理を行う（大型機械の判定基準（ＩＳＯ  １０８１６−１））。
ステップＳＳ３７６で使用する速度実効値判定処理に使用する基準値に関しては、ＣＰＵ６２により、フラッシュメモリ部（測定機器・機器部位データベース）６６にあらかじめ軸受測定をする機器の電動機等の使用電力に関する登録データを呼び出し、その機器ごとに基準値を変更する処理を行う。なお、ステップＳＳ３７６に示す表は表1に示すクラス３を抜粋したものである。
ｆ（ｒｍｓ）＝Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ
なお、評価と、剛性基礎振動速度（ｃｍ／ｓ）ｒｍｓとの関係を表１に示す。
【０１３４】
【表１】
2020056801.tif 000003
【０１３５】
ここでクラス１は０〜１５ＫＷの小型モータ、クラス２は１５〜７５ＫＷのモータまたは３００ＫＷまでの機械で強固な基礎の上に据え付けられた設備、クラス３は大型機械で強固な基礎の上に据えられた設備、クラス４は大型機械で柔軟構造の基礎の上に据え付けられた機械である。
発電所ではクラス１〜クラス３までの機械類が多くを占めており、これらの振動速度値から簡易的に判別ができる。
ステップＳＳ３７８では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＳ３７２での速度クレストファクタ演算処理の結果と、ステップＳＳ３７６での速度実効値判定処理の結果との論理積ＡＮＤを算出し、ステップＳＳ３８０に進む。
ステップＳＳ３８０では、ＣＰＵ６２は、速度クレストファクタ判定処理の簡易判定として、
ｆ（Ｃｒ）＝Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ
ｆ（Ｃｒ）＜５              Ａ「良好」
ｆ（Ｃｒ）＝５〜１０        Ｂ「潤滑不良」
ｆ（Ｃｒ）＝１０〜２０      Ｃ「注意」
ｆ（Ｃｒ）＞２０            Ｄ「危険」
と判定する。
ただし、速度実効値判定処理評価が「Ａ」の場合は、「  −  実効値判定Ａ異常なし。ＣＦ判定なし。」と表示する。
ステップＳＳ３８２では、ＣＰＵ６２は、速度実効値演算値を出力する。
ステップＳＳ３８４では、ＣＰＵ６２は、各パラメータについての演算を実行した結果を入力し、ＳＭ１６６へ移行する。
【０１３６】
＜回転速度データストア実行（ｒ）処理＞
次に、図３３（ａ）を参照して、回転速度データストア実行（ｒ）処理のサブルーチンについて説明する。
ステップＳＳ３９０では、ＣＰＵ６２は、回転速度データストア実行（ｒ）処理を開始する。
ステップＳＳ３９２では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ４８（図４、Ｃ１）により選択された結果である、手動入力モードの選択結果を入力する。
ステップＳＳ３９４では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ４８（図４、Ｃ２）により選択された結果である、データベース入力モードの選択結果を入力する。
ステップＳＳ３９６では、ＣＰＵ６２は、手動入力モードの選択結果、またはデータベース入力モードの選択結果を入力する。
ステップＳＳ３９８では、ＣＰＵ６２は、回転速度データとして、「回転速度（ｒ）  ｘｘｘｘｒｐｍ」が、メインメモリ６４にストアされていることを確認する。
ステップＳＳ４００では、ＣＰＵ６２は、各パラメータについての演算を実行した結果を入力し、ステップＳＭ１６６へ移行する。
【０１３７】
＜温度センサデータストア値表示・演算実行（ｔ）処理＞
次に、図３３（ｂ）を参照して、温度センサデータストア値表示・演算実行（ｔ）処理のサブルーチンについて説明する。
ステップＳＳ４１０では、ＣＰＵ６２は、温度センサデータストア値表示・演算実行（ｔ）処理を開始する。
ステップＳＳ４１２では、ＣＰＵ６２は、ステップＳＭ１４４（図６、Ｇ４）により処理された結果である、温度データ入力処理実行の結果を入力する。
ステップＳＳ４１４では、ＣＰＵ６２は、温度データとして「室温（ｔ（ｒ））  ｘｘ℃」、「機器温度（ｔ（ｍ））  ｙｙ℃」が、メインメモリ部６４にストアされていることを確認する。
ステップＳＳ４１６では、ＣＰＵ６２は、温度データ判定処理として、「  ｙｙ＜  ｘｘ＋４０  Ａ“良好”」、「  ｙｙ＞  ｘｘ＋４０  Ｂ“注意”」結果をメインメモリ部６４にストアする。
ステップＳＳ４１８では、ＣＰＵ６２は、各パラメータについての演算を実行した結果を入力し、ステップＳＭ１６６へ移行する。
【０１３８】
ここで、ステップＳＳ４１６では、ＣＰＵ６２は、Ａ／Ｄ変換器１９ａは、回転機器が配置されている室内の温度を検出する温度センサ１６からの温度信号を量子化する。Ａ／Ｄ変換器１９ｂは、回転機器の軸受部１１ａの温度を検出する温度センサ１４ｂからの温度信号を量子化する。ＣＰＵ６２は、判定手段を構成し、室内の温度データに所定の値を加算した基準値よりも、回転機器の軸受部１１ａの温度データの方が低い場合に、回転機器の軸受部１１ａが正常であると判定してもよい。
【０１３９】
＜変形例＞
（１）採取したデータは計測診断装置内に保持される、さらに振動データサーバ２５に格納される。データは保存形式によって表計算ソフトまたはデータベースソフトでも容易に管理することができる。
（２）本実施形態では、一体式の計測診断装置としたが、信号処理部５０以降はデジタル処理となるため、加速度ピックアップ１４ａからＡ／Ｄ変換器４４までは専用ハードウェアとして構成した自動利得調整部３０にＵＳＢインターフェースを設け、ＵＳＢケーブルでノートＰＣまたはタブレットＰＣに接続することで、以降の処理はパソコンＰＣ上のアプリケーションソフトウェアで動作させることが可能である。それにより、一体式と比較し、コストの低減が図られる。
（３）信号処理部５０から出力されるデータをファイル化し、信号処理部５０にＬＡＮインターフェースを設け、又は有線／無線ＬＡＮで伝送し、振動データサーバ２５上でソフトウェアを動作させれば、現場にＰＣを持ち込むことがなく、最小限の機器構成でオンライン監視が可能となる。
（４）軸受部のグリス切れ管理専用に機能を絞り込み、他の演算回路を省略することで機器をさらに小型化できる。これにより運転員がグリス切れ管理を容易に行うことや、保修員がグリスアップをする際にグリス切れ音を評価することで、グリス注入の良否を判断することも可能となる。
【０１４０】
＜本発明の実施態様例の構成、作用、効果＞
＜第１態様＞
本態様の計測診断装置２０は、回転機器の軸受部１１ａに生じる振動の計測結果に基づいて軸受部１１ａの異常の有無を診断する計測診断装置２０であって、回転機器の振動を検出する加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号を量子化するＡ／Ｄ変換器４４と、量子化後の加速度データを高速フーリエ変換するＦＦＴアナライザ部５４と、回転機器の回転速度を基準周波数に変換する変換手段（ＳＳ３２２）と、ＦＦＴアナライザ部５４により生成されたレベルデータのうち、基準周波数を基準波とした複数の異なる高調波帯域についての歪み値を取得する取得手段（ＳＳ３３０）と、高調波帯域についての歪み値に基づいて、回転機器の軸受部１１ａに係る劣化状態を数値化する数値化手段（ＳＳ３３０）と、を備えることを特徴とする。
本態様によれば、Ａ／Ｄ変換器４４は、回転機器の振動を検出する加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号を量子化する。ＦＦＴアナライザ部５４は、量子化後の加速度データを高速フーリエ変換する。変換手段（ＳＳ３２２）は、回転機器の回転速度を基準周波数に変換する。取得手段（ＳＳ３３０）は、ＦＦＴアナライザ部５４により生成されたレベルデータのうち、基準周波数を基準波とした複数の異なる高調波帯域についての歪み値を取得する。数値化手段（ＳＳ３３０）は、高調波帯域についての歪み値に基づいて、回転機器の軸受部１１ａに係る劣化状態を数値化する。
このように、回転機器の振動を検出する加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号のレベルデータのうち、回転機器の回転速度を基準周波数の基準波とし、複数の異なる高調波帯域についての歪み値に基づいて、回転機器の軸受部１１ａに係る劣化状態を数値化することができる。
【０１４１】
＜第２態様＞
本態様の数値化手段（ＳＳ３３０）は、各高調波帯域についての歪み値に基づいて、各高調波帯域の高調波歪み率、及び全高調波帯域の高調波歪み率を算出する算出手段（ＳＳ３３０）と、各高調波帯域の高調波歪み率を全高調波帯域の高調波歪み率で除算して、各高調波帯域の商値を求める除算手段（ＳＳ３３０）と、を備えたことを特徴とする。
本態様によれば、算出手段（ＳＳ３３０）は、各高調波帯域についての歪み値に基づいて、各高調波帯域の高調波歪み率、及び全高調波帯域の高調波歪み率を算出する。除算手段（ＳＳ３３０）は、各高調波帯域の高調波歪み率を全高調波帯域の高調波歪み率で除算して、各高調波帯域の商値を求める。
このように、各高調波帯域についての歪み値に基づいて、各高調波帯域の高調波歪み率を全高調波帯域の高調波歪み率で除算して、各高調波帯域の商値を求めることができる。
【０１４２】
＜第３態様＞
本態様の数値化手段（ＳＳ３３０）は、高調波帯域についての歪み値に取得日時を付加して蓄積するフラッシュメモリ部６６と、フラッシュメモリ部６６から取得した各取得日時の高調波帯域についての歪み値に基づいて、除算手段（ＳＳ３３０）により求められた各高調波帯域の商値を取得日時毎に時系列に表示するＬＣＤ表示部６８と、を備えたことを特徴とする。
本態様によれば、フラッシュメモリ部６６は、高調波帯域についての歪み値に取得日時を付加して蓄積する。ＬＣＤ表示部６８は、フラッシュメモリ部６６から取得した各取得日時の高調波帯域についての歪み値に基づいて、除算手段（ＳＳ３３０）により求められた各高調波帯域の商値を取得日時毎に時系列に表示する。
このように、各取得日時の高調波帯域についての歪み値に基づいて、各高調波帯域の商値を取得日時毎に時系列に表示することができる。
【０１４３】
＜第４態様＞
本態様の計測診断装置２０は、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号を所定の増幅率により増幅する利得調整器３６と、利得調整器３６から出力される加速度信号と基準電圧とを比較して比較結果信号を利得調整器３６に出力する比較器３７と、を備え、比較器３７は、加速度信号が基準電圧よりも大きい場合に、利得調整器３６の増幅率の変化範囲を制限することを特徴とする。
本態様によれば、利得調整器３６は、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号を所定の増幅率により増幅する。比較器３７は、利得調整器３６から出力される加速度信号と基準電圧とを比較して比較結果信号を利得調整器３６に出力する。ここで、比較器３７は、加速度信号が基準電圧よりも大きい場合に、利得調整器３６の増幅率の変化範囲を制限する。
このように、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号が基準電圧よりも大きい場合に、利得調整器３６の増幅率の変化範囲を制限することができる。
【０１４４】
＜第５態様＞
本態様の計測診断装置２０は、前記加速度検出手段と前記利得調整器との間には、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号を入力して増幅するチャージアンプ３２と、チャージアンプ３２から出力される増幅加速度信号の帯域を制限して通過させて前記利得調整器に出力するＨＰＦ／ＬＰＦ３４と、を備えることを特徴とする。
本態様によれば、チャージアンプ３２は、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号を入力して増幅する。ＨＰＦ／ＬＰＦ３４は、チャージアンプ３２から出力される増幅加速度信号の帯域を制限して通過させる。
このように、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号を増幅した増幅加速度信号の帯域を制限して通過させることができる。
【０１４５】
＜第６態様＞
本態様の比較器３７は、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号がクリップしないように、利得調整器３６の増幅率の変化上限を−０．５ｄＢ付近として制限することを特徴とする。
本態様によれば、比較器３７は、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号がクリップしないように、利得調整器３６の増幅率の変化上限を−０．５ｄＢ程度として制限する。
このように、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号がクリップしないように、利得調整器３６の増幅率の変化上限を−０．５ｄＢ付近として制限することができる。
この結果、例えばクリップするゲインを０ｄＢとした場合にそれからヘッドマージンを設けた−０．５ｄＢ程度下げた値に信号増幅率を保持することができ、加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号がクリップせず、かつＳＮ比を最大にすることができる。
【０１４６】
＜第７態様＞
本態様の計測診断装置２０は、加速度ピックアップ１４ａの種類、回転機器の軸受部１１ａに加速度ピックアップ１４ａを取付けるための取り付け部材の種類、及び取り付け方法の種類に応じて、加速度ピックアップ１４ａの有効計測周波数以上の周波数におけるレベルデータを非通過としてバンドパスフィルタに設定し、ＦＦＴアナライザ部５４により生成されるレベルデータを補正する演算手段（ＳＳ２０４〜ＳＳ２３４）と、
加速度ピックアップ１４ａの種類、取り付け部材の種類、及び取り付け方法の種類に係る情報を表示するＬＣＤ表示部６８と、を備えたことを特徴とする。
本態様によれば、演算手段（ＳＳ２０４〜ＳＳ２３４）は、加速度ピックアップ１４ａの種類、回転機器の軸受部１１ａに加速度ピックアップ１４ａを取付けるための取り付け部材の種類、及び取り付け方法の種類に応じて、加速度ピックアップ１４ａの有効計測周波数以上の周波数におけるレベルデータを非通過としてバンドパスフィルタに設定し、ＦＦＴアナライザ部５４により生成されるレベルデータを補正する。ＬＣＤ表示部６８は、加速度ピックアップ１４ａの種類、取り付け部材の種類、及び取り付け方法の種類に係る情報を表示する。
このように、加速度ピックアップ１４ａの種類、取り付け部材の種類、及び取り付け方法の種類に応じて、加速度ピックアップ１４ａの有効計測周波数以上の周波数におけるレベルデータを非通過とし、レベルデータを補正することができ、加速度ピックアップ１４ａの種類、取り付け部材の種類、及び取り付け方法の種類に係る情報を表示することができる。
【０１４７】
＜第８態様＞
本態様の計測診断装置２０は、校正用振動発生器が発生した振動を基準となる第１の加速度ピックアップ１４ａに印加した場合に、ＦＦＴアナライザ部５４により生成された各周波数帯域の第１のレベルデータを取得する第１の取得手段と、基準となる第１の加速度ピックアップ１４ａから取得した各周波数帯域の第１のレベルデータを記憶するフラッシュメモリ部６６と、校正用振動発生器が発生した振動を使用中の加速度ピックアップ１４ａに印加した場合に、ＦＦＴアナライザ部５４により生成された各周波数帯域の第２のレベルデータを取得する第２の取得手段と、フラッシュメモリ部６６から読み出した各周波数帯域の第１のレベルデータと、使用中の加速度ピックアップ１４ａから取得した各周波数帯域の第２のレベルデータとを比較する比較演算器５６ｂと、比較手段の比較結果データに基づいて、使用中の加速度ピックアップ１４ａの異常の有無を診断する診断手段（ＣＰＵ６２）と、を備えたことを特徴とする。
本態様によれば、第１の取得手段は、校正用振動発生器が発生した振動を基準となる第１の加速度ピックアップ１４ａに印加した場合に、ＦＦＴアナライザ部５４により生成された各周波数帯域の第１のレベルデータを取得する。フラッシュメモリ部６６は、基準となる第１の加速度ピックアップ１４ａから取得した各周波数帯域の第１のレベルデータを記憶する。第２の取得手段は、校正用振動発生器が発生した振動を使用中の加速度ピックアップ１４ａに印加した場合に、ＦＦＴアナライザ部５４により生成された各周波数帯域の第２のレベルデータを取得する。比較演算器５６ｂは、フラッシュメモリ部６６から読み出した各周波数帯域の第１のレベルデータと、使用中の加速度ピックアップ１４ａから取得した各周波数帯域の第２のレベルデータとを比較する。診断手段（ＣＰＵ６２）は、比較演算器５６ｂの比較結果データに基づいて、使用中の加速度ピックアップ１４ａの異常の有無を診断する。
このように、校正用振動発生器が発生した振動を基準となる第１の加速度ピックアップ１４ａから取得した各周波数帯域の第１のレベルデータと、使用中の加速度ピックアップ１４ａから取得した各周波数帯域の第２のレベルデータとの比較結果データに基づいて、使用中の加速度ピックアップ１４ａの異常の有無を診断することができる。
【０１４８】
＜第９態様＞
本態様の計測診断装置２０は、比較結果データを各周波数帯域の補正値として入力する補正値入力部５６ｅと、
補正値入力部５６ｅから入力された各周波数帯域の補正値に基づいて、ＦＦＴアナライザ部５４から出力される各周波数帯域のレベルデータを夫々補正する感度補正演算器５６ａと、
を備えたことを特徴とする。
本態様によれば、補正値入力部５６ｅは、比較結果データを各周波数帯域の補正値として入力する。感度補正演算器５６ａは、補正値入力部５６ｅから入力された比較結果データである各周波数帯域の補正値に基づいて、ＦＦＴアナライザ部５４から出力される各周波数帯域のレベルデータを夫々補正する。
このように、入力された比較結果データである各周波数帯域の補正値に基づいて、ＦＦＴアナライザ部５４から出力される各周波数帯域のレベルデータを夫々補正することができる。
【０１４９】
＜第１０態様＞
本態様の計測診断装置２０は、各周波数帯域の補正値を入力する補正値入力部５６ｅと、補正値入力部５６ｅから入力された各周波数帯域の補正値に基づいて、ＦＦＴアナライザ部５４から出力される各周波数帯域のレベルデータを夫々補正する感度補正演算器５６ａと、を備えたことを特徴とする。
本態様によれば、補正値入力部５６ｅは、各周波数帯域の補正値を入力する。感度補正演算器５６ａは、補正値入力部５６ｅから入力された各周波数帯域の補正値に基づいて、ＦＦＴアナライザ部５４から出力される各周波数帯域のレベルデータを夫々補正する。
このように、入力された各周波数帯域の補正値に基づいて、ＦＦＴアナライザ部５４から出力される各周波数帯域のレベルデータを夫々補正することができる。
【０１５０】
＜第１１態様＞
本態様の計測診断方法は、回転機器の軸受部１１ａに生じる振動の計測結果に基づいて軸受部１１ａの異常の有無を診断する計測診断装置２０による計測診断方法であって、回転機器の振動を検出する加速度ピックアップ１４ａからの加速度信号を量子化するＡ／Ｄ変換器４４から取得した量子化後の加速度データを高速フーリエ変換するＦＦＴアナライザ部５４と、回転機器の回転速度を基準周波数に変換する変換ステップ（ＳＳ３２２）と、ＦＦＴアナライザ部５４により生成されたレベルデータのうち、基準周波数を基準波とした複数の異なる高調波帯域についての歪み値を取得する取得ステップ（ＳＳ３３０）と、高調波帯域についての歪み値に基づいて、回転機器の軸受部１１ａに係る劣化状態を数値化する数値化ステップ（ＳＳ３３０）と、を実行することを特徴とする。
第１１態様の作用、及び効果は第１態様と同様であるので、その説明を省略する。
【符号の説明】
【０１５１】
１２…発電機、１１ａ…軸受部、１４ａ…加速度ピックアップ、１４ｂ…温度センサ、１４ｃ…回転速度計、１６…温度センサ、１７ａ…操作入力部、１７ａ…入力部、１７ｂ…機器回転速度データベース、１８…回転速度入力部、１８ａ…データセレクタ、１９…温度入力部、１９ａ…Ｄ変換器、１９ｂ…Ｄ変換器、２０…計測診断装置、２５…振動データサーバ、３０…自動利得調整部、３２…チャージアンプ、３４…ＬＰＦ、３６…利得調整器、３７…比較器、３８…ピーク検波器、４０…ピークランプ、４４…Ａ／Ｄ変換器、５０…信号処理部、５２…ＬＰＦ、５４…ＦＦＴアナライザ部、５４ａ…実効値変換器、５４ｂ…ハニング窓関数演算器、５４ｃ…ＦＦＴ演算器、５６…感度補正回路部、５６ａ…感度補正演算器、５６ｂ…比較演算器、５６ｃ…フラッシュメモリ、５６ｄ…校正モード判定部、５６ｅ…補正値入力部、６０…Ｉ／Ｏブリッジ部、６２…ＣＰＵ、６４…メインメモリ部、６６…フラッシュメモリ部、６８…ＬＣＤ表示部、８２…軸受簡易診断測定部、８２…軸受簡易測定部、８２…軸受部簡易診断測定部、８３…校正比較演算表示処理部、８４…周波数解析表示処理部、８５…デジタルＢＰＦ処理部、８５、８７…デジタルＢＰＦ処理部、８６…単純平均演算処理部、８６、８８…単純平均演算処理部、８７…デジタルＢＰＦ処理部、８８…単純平均演算処理部、８９…全高調波歪演算処理部、９０…加速度クレストファクタ処理部、９１…加速度振幅演算処理部、９２…温度表示処理部、９３…回転速度表示処理部
【図１】
2020056801.tif 000004
【図２】
2020056801.tif 000005
【図３】
2020056801.tif 000006
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2020056801.tif 000013
【図１１】
2020056801.tif 000014
【図１２】
2020056801.tif 000015
【図１３】
2020056801.tif 000016
【図１４】
2020056801.tif 000017
【図１５】
2020056801.tif 000018
【図１６】
2020056801.tif 000019
【図１７】
2020056801.tif 000020
【図１８】
2020056801.tif 000021
【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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