(57)【要約】【課題】電池又はキャパシタの電解液又は固体電解質から発生するガスを効率良く検出することにより電池又はキャパシタからの電解液又は固体電解質の漏洩の検査の精度を向上できる漏洩検査装置を提供する。【解決手段】漏洩検査装置は、電解液又は固体電解質の漏洩があり得る電池５０（又はキャパシタ）を含む閉空間を形成する閉空間形成部１１と、閉空間形成部１１に設けられる雰囲気排出口１１５であって、電池５０から電解液又は固体電解質の漏洩がある場合に、当該漏洩を促進するため又は漏洩箇所を明確にするために、閉空間の内部の雰囲気を減圧するための雰囲気排出口と、閉空間形成部１１に設けられる光学窓１１３，１１４であって、電池５０から発生するガスの測定に用いられる光学窓と、を備え、前記漏洩がある場合に、当該漏洩を促進し又は漏洩箇所を明確にした状態において、光学窓１１３，１１４に検査用の光を透過させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電解液又は固体電解質の漏洩があり得る電池又はキャパシタを含む閉空間を形成する閉空間形成部と、
前記閉空間形成部に設けられる雰囲気排出口であって、前記電池又は前記キャパシタから電解液又は固体電解質の漏洩がある場合に、当該漏洩を促進するため又は漏洩箇所を明確にするために、前記閉空間の内部の雰囲気を減圧するための雰囲気排出口と、
前記閉空間形成部に設けられる光学窓であって、前記電池又は前記キャパシタから発生するガスの測定に用いられる光学窓と、を備え、
前記漏洩がある場合に、当該漏洩を促進し又は漏洩箇所を明確にした状態において、前記光学窓に検査用の光を透過させる、漏洩検査装置。
【請求項２】
前記光学窓は、検査用の入射光を入射する入射光用窓と、検査用の放出光を放出させる放出光用窓と、を有し、
前記漏洩がある場合に、当該漏洩を促進し又は漏洩箇所を明確にした状態において、検査用の入射光を前記入射光用窓から前記閉空間の内部に入射させ、検査用の放出光を前記放出光用窓から前記閉空間の外部へ放出させる、請求項１に記載の漏洩検査装置。
【請求項３】
前記閉空間の内部にガスを導入するためのガス導入口を更に備える、請求項１又は２に記載の漏洩検査装置。
【請求項４】
前記閉空間の内部の雰囲気を加熱する加熱装置、及び／又は、前記閉空間の内部の雰囲気を冷却する冷却装置を更に備える、請求項１〜３のいずれかに記載の漏洩検査装置。
【請求項５】
前記閉空間の内部の雰囲気を減圧する減圧部、又は、前記閉空間の内部においてガスの流動を発生させる流動発生部を更に備える、請求項１〜４のいずれかに記載の漏洩検査装置。
【請求項６】
電解液又は固体電解質の漏洩があり得る電池、又は、キャパシタを含む閉空間を形成する閉空間形成部と、
前記閉空間の内部の雰囲気を減圧する減圧部又は前記閉空間の内部においてガスの流動を発生させる流動発生部と、
検査用の光を出射する光出射部と、
前記電池又は前記キャパシタの電解液又は固体電解質から発生するガスによって吸収される光を検出可能な光検出部と、
前記光検出部が検出した前記光に基づいて、前記ガスの検出画像を形成する画像形成部と、
を備える漏洩検査装置。
【請求項７】
前記光は、Ｘ線、紫外光、可視光、赤外光のうちの一つ以上であり、
前記画像形成部は、前記光検出部が検出した前記光のエネルギー、温度、波長及び屈折率のうちのいずれか一つ以上に基づいて、前記ガスの検出画像を形成し、
前記検出画像は、濃淡画像である、
請求項６に記載の漏洩検査装置。
【請求項８】
前記光は、可視光であり、
前記画像形成部によって形成された前記ガスの検出画像についてガスによる屈折率の変化による空間の揺らぎを認識する画像認識部を更に備える、
請求項６に記載の漏洩検査装置。
【請求項９】
電解液又は固体電解質の漏洩があり得る電池又はキャパシタを含む閉空間を形成する閉空間形成部と、
前記閉空間の内部のガスを前記閉空間形成部の複数の箇所から個別に排出する複数のガス排出部と、
前記閉空間の内部の雰囲気を減圧する減圧部と、
前記電池又は前記キャパシタの電解液又は固体電解質から発生して前記複数のガス排出部の各々から排出されたガスの組成を検出可能な組成検出部と、
前記組成検出部が検出した前記ガスの組成に基づいて、前記ガスの検出画像を形成する画像形成部と、
を備える漏洩検査装置。
【請求項１０】
前記組成検出部が検出したガスの量が増加した前記ガス排出部に対応する前記電池又は前記キャパシタの箇所を、前記電解液が漏れた箇所又は固体電解質からガスが発生する箇所と特定する箇所特定部を更に備える、
請求項９に記載の漏洩検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電池又はキャパシタからの電解液又は固体電解質の漏洩を検査する漏洩検査装置、及びこの漏洩検査装置を備える漏洩検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
リチウムイオン電池は、高エネルギー密度の電力貯蔵デバイスとして、航空・宇宙用から、車載用、家庭用、再生可能エネルギー発電所の電力平準化まで幅広く利用されている。このようなリチウムイオン電池の安全性を検査するために、特許文献１には、検査している電池に赤外光を照射して得られる濃淡画像の測定画像と、電解液がリークしていない電池に赤外光を照射して得られる濃淡画像の標準画像とを比較し、両画像に相違がある場合に、検査している電池の表面から電解液が漏れていると判定する検査装置が開示されている。
この検査装置によれば、赤外線センサにより計測されるレベルでリチウムイオン電池から電解液が漏れた場合に、測定画像及び標準画像の２つの画像を利用して電解液の漏れを検査することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１３５３６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載される検査装置による測定画像と標準画像とを比較した分析では、リチウムイオン電池から少量の電解液が漏れている場合に、電解液から発生する微量のガスは検出され難い。あるいは、特許文献１に記載される検査装置による測定画像と標準画像とを比較した分析では、全固体電池の固体電解質から微量のガスしか発生していない場合には、固体電解質から発生するガスは検出され難い。
このような問題点は、電解液又は固体電解質の漏洩があり得る各種の電池又はキャパシタにおいて、存在する。
【０００５】
本発明は、上記のような状況に鑑みてなされたものであり、電池又はキャパシタの電解液又は固体電解質から発生するガスを効率良く検出することにより電池又はキャパシタからの電解液又は固体電解質の漏洩の検査の精度を向上させることができる漏洩検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）  本発明は、電解液又は固体電解質の漏洩があり得る電池（例えば、後述の電池５０）又はキャパシタを含む閉空間を形成する閉空間形成部（例えば、後述の筐体１１）と、前記閉空間形成部に設けられる雰囲気排出口（例えば、後述の雰囲気排出口１１５）であって、前記電池又は前記キャパシタから電解液又は固体電解質の漏洩がある場合に、当該漏洩を促進するため又は漏洩箇所を明確にするために、前記閉空間の内部の雰囲気を減圧するための雰囲気排出口と、前記閉空間形成部に設けられる光学窓（例えば、後述の入射光用窓１１３，放出光用窓１１４）であって、前記電池又は前記キャパシタから発生するガスの測定に用いられる光学窓と、を備え、前記漏洩がある場合に、当該漏洩を促進し又は漏洩箇所を明確にした状態において、前記光学窓に検査用の光を透過させる、漏洩検査装置（例えば、後述の漏洩検査装置１００）に関する。
【０００７】
（２）  （１）の漏洩検査装置において、前記光学窓は、検査用の入射光を入射する入射光用窓（例えば、後述の入射光用窓１１３）と、検査用の放出光を放出させる放出光用窓（例えば、後述の放出光用窓１１４）と、を有し、前記漏洩がある場合に、当該漏洩を促進し又は漏洩箇所を明確にした状態において、検査用の入射光を前記入射光用窓から前記閉空間の内部に入射させ、検査用の放出光を前記放出光用窓から前記閉空間の外部へ放出させてもよい。
【０００８】
（３）  （１）又は（２）の漏洩検査装置において、前記閉空間の内部にガスを導入するためのガス導入口（例えば、後述のガス導入口１５２）を更に備えてもよい。
【０００９】
（４）  （１）〜（３）のいずれかの漏洩検査装置において、前記閉空間の内部の雰囲気を加熱する加熱装置（例えば、後述の加熱装置１１６）、及び／又は、前記閉空間の内部の雰囲気を冷却する冷却装置（例えば、後述の冷却装置１１７）を更に備えてもよい。
【００１０】
（５）  （１）〜（４）のいずれかの漏洩検査装置において、前記閉空間の内部の雰囲気を減圧する減圧部（例えば、後述の減圧部１５）、又は、前記閉空間の内部においてガスの流動を発生させる流動発生部（例えば、後述の流動発生部１９）を更に備えてもよい。
【００１１】
（６）  本発明は、電解液又は固体電解質の漏洩があり得る電池又はキャパシタを含む閉空間を形成する閉空間形成部と、前記閉空間の内部の雰囲気を減圧する減圧部、又は、前記閉空間の内部においてガスの流動を発生させる流動発生部と、検査用の光を出射する光出射部（例えば、後述の光出射部１０、光発振器４１）と、前記電池又は前記キャパシタの電解液又は固体電解質から発生するガスによって吸収される光を検出可能な光検出部（例えば、後述の赤外線検出部１６、可視光線検出部１６１）と、前記光検出部が検出した前記光に基づいて、前記ガスの検出画像を形成する画像形成部（例えば、後述の画像形成部１７１）と、を備える漏洩検査装置に関する。
【００１２】
（７）  （６）の漏洩検査装置において、前記光は、Ｘ線、紫外光、可視光、赤外光のうちの一つ以上であり、前記画像形成部は、前記光検出部が検出した前記光のエネルギー、温度、波長及び屈折率のうちのいずれか一つ以上に基づいて、前記ガスの検出画像を形成し、前記検出画像は、濃淡画像であってもよい。
【００１３】
（８）  （６）の漏洩検査装置において、前記光は、可視光であり、前記画像形成部によって形成された前記ガスの検出画像についてガスによる屈折率の変化による空間の揺らぎを認識する画像認識部（例えば、後述の画像認識部１７３）を更に備えていてもよい。
【００１４】
（９）本発明は、電解液又は固体電解質の漏洩があり得る電池又はキャパシタを含む閉空間を形成する閉空間形成部と、前記閉空間の内部のガスを前記閉空間形成部の複数の箇所から個別に排出する複数のガス排出部（例えば、後述のガス排出部５１〜５９）と、前記閉空間の内部の雰囲気を減圧する減圧部と、前記電池又は前記キャパシタの電解液又は固体電解質から発生して前記複数のガス排出部の各々から排出されたガスの組成を検出可能な組成検出部（例えば、後述の組成検出部１６０）と、前記組成検出部が検出した前記ガスの組成に基づいて、前記ガスの検出画像を形成する画像形成部と、を備える漏洩検査装置に関する。
【００１５】
（１０）  （９）に記載の漏洩検査装置において、前記組成検出部が検出したガスの量が増加した前記ガス排出部に対応する前記電池又は前記キャパシタの箇所を、前記電解液が漏れた箇所又は固体電解質からガスが発生する箇所と特定する箇所特定部（例えば、後述の箇所特定部１７２）を更に備えていてもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、電池又はキャパシタの電解液又は固体電解質から発生するガスを効率良く検出することにより電池又はキャパシタからの電解液又は固体電解質の漏洩の検査の精度を向上させることができる漏洩検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施形態としての漏洩検査装置を示す概略斜視図である。
【図２】本発明の第２実施形態としての漏洩検査装置を示す概略斜視図である。
【図３】本発明の第３実施形態としての漏洩検査システムを示す概略斜視図である。
【図４】本発明の第４実施形態としての漏洩検査装置を示す概略斜視図である。
【図５】本発明の第５実施形態としての漏洩検査装置を示す概略斜視図である。
【図６】本発明の第６実施形態としての漏洩検査システムを示す概略斜視図である。
【図７】本発明の第７実施形態としての漏洩検査装置を示す概略斜視図である。
【図８】本発明の変形例５としての漏洩検査装置を示す概略斜視図である。
【図９】本発明の変形例６としての漏洩検査装置を示す概略斜視図である。
【図１０Ａ】本発明の変形例７としての漏洩検査装置を示す概略斜視図である。
【図１０Ｂ】本発明の変形例７としての漏洩検査装置を示す概略側面図である。
【図１１】本発明の変形例８としての漏洩検査装置を示す概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を、図面等を参照しながら説明する。但し、本発明は異なる態様で実施することができ、以下に例示する実施の形態に限定して解釈されない。また、本明細書と図面において、前に説明した構成と同一の構成を後に説明する場合には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略する場合がある。
【００１９】
〔第１実施形態〕
〔漏洩検査装置の全体構成〕
本発明の第１実施形態の漏洩検査装置について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の第１実施形態としての漏洩検査装置を示す概略斜視図である。漏洩検査装置１００は、光出射部１０と、載置台１１１と、閉空間形成部としての筐体１１と、ガス排出部１４と、減圧部１５と、光検出部１６と、制御部１７と、モニタ１８と、を備える。
【００２０】
〔光出射部〕
光出射部１０は、光を出射する。出射された光は、筐体１１の入射光用窓１１３（後述）を介して、検査対象物としての電池５０に照射される。光の種類は、光検出部１６の検出性能などに応じて、Ｘ線、紫外光、可視光、赤外光のうちの一つ以上である。なお、図３以降の図面において、光出射部１０の図示を省略している。
【００２１】
〔載置台〕
載置台１１１は、検査対象物としての電池５０を載置するための台である。本発明の漏洩検査装置によって検査される検査対象物は、電解液又は固体電解質の漏洩があり得る電池又はキャパシタであって、本発明が適用可能なものであれば、制限されない。電池５０は例示である。検査対象物は、例えば、化学電池のうち一次電池又は二次電池、キャパシタ（コンデンサ）のうち、電解キャパシタ又は電気二重層キャパシタである。
【００２２】
例えば、一次電池としては、リチウムイオン電池（有機系電解液を含む）、マンガン乾電池（水系電解液を含む）、アルカリ乾電池（水系電解液を含む）が挙げられる。二次電池として、鉛蓄電池（水系電解液を含む）、ニッケルカドニウム電池（水系電解液を含む）、ニッケル水素電池（水系電解液を含む）、ナトリウムイオン電池（有機系電解液、又は固体電解質を含む）、リチウムイオン電池（水系電解液、有機系電解液、又は固体電解質を含む）、カリウムイオン電池（有機系電解液、又は固体電解質を含む）が挙げられる。
【００２３】
電解キャパシタとしては、アルミ電解キャパシタ、タンタル電解キャパシタ、ニオブキャパシタ、酸化ニオブキャパシタが挙げられる。電気二重層キャパシタとしては、炭素キャパシタが挙げられ、電気二重層に加えて、酸化還元容量を有するレドックスキャパシタ、疑似キャパシタ、疑似二重層キャパシタなども挙げられ、有機系電解液を用いるものも含む。
【００２４】
〔筐体〕
筐体１１は、電池５０をその周りに閉空間が形成されるように包囲する部材である。筐体１１は、内部（内側）が空洞になっており、天板と側板を有し、底板を有しない。つまり、筐体１１の底側は、開口している。筐体１１は、電池５０の上部と側部を覆うように載置台１１１上に載置される。これにより、筐体１１の内部は密閉され、電池５０を含む閉空間が形成される。
【００２５】
筐体１１は、検査用の入射光を入射する入射光用窓１１３（光学窓）と、検査用の放出光を放出させる放出光用窓１１４（光学窓）と、閉空間の内部の雰囲気を減圧するための雰囲気排出口１１５と、閉空間の内部にガスを導入するためのガス導入口１５２と、閉空間の内部の雰囲気を加熱する加熱装置１１６と、閉空間の内部の雰囲気を冷却する冷却装置１１７と、を備える。
【００２６】
〔ガス排出管・減圧部〕
ガス排出部１４は、筐体１１に連結され、雰囲気排出口１１５を介して筐体１１の内部のガス（雰囲気）を排出する部位である。ガス排出部１４は、管で構成されている。
減圧部１５は、ガス排出部１４に連結され、ガス排出部１４及び雰囲気排出口１１５を介して筐体１１の内側の空間を減圧する部位である。減圧部１５は、内部に空間を有する筐体である。減圧部１５にはファン１５１が配置されている。減圧部１５のファン１５１が動作することにより、減圧部１５の内部が減圧され、更にガス排出部１４の内部が減圧され、最終的に筐体１１の内部が減圧される。筐体１１の内部が減圧されることにより、筐体１１の閉空間の空気（酸素及び窒素等）が減少し、閉空間の空気の濃度が低下する（閉空間の内部が脱気される）。
ガス排出部１４、雰囲気排出口１１５及び減圧部１５は、電池５０から電解液又は固体電解質の漏洩がある場合に、当該漏洩を促進するため又は漏洩箇所を明確にするために、閉空間の内部の雰囲気を減圧するための部位である。
【００２７】
例えば、電池５０としてリチウムイオン電池が用いられた場合に、空気（酸素、窒素等）が減圧部１５によって除去され、空気の濃度が低下した状態で、電池５０から漏洩した電解液から発生するガスの組成が測定される。そのため、測定時の空気の影響が低減され、電解液から発生したガスが簡易、高感度、高精度に測定される。
または、例えば、電池５０として全固体電池が用いられた場合に、空気（酸素、窒素等）が減圧部１５によって除去され、空気の濃度が低下した状態で、電池５０の固体電解質から発生するガスの組成が測定される。そのため、測定時の空気の影響が低減され、固体電解質から発生したガスが簡易、高感度、高精度に測定される。
また、漏洩個所がある場合、減圧によってガスの漏洩が促進され、感度および精度が向上することに加え、減圧の度合いによっては、電池の密閉性の度合いも評価できる。
【００２８】
ガス導入口１５２は、減圧部１５のファン１５１が動作することにより、筐体１１の外部のガスがガス導入口１５２を介して筐体１１の内部に流入する。外部からのガスは、アルゴンや窒素等の不活性化ガスが好ましい。
【００２９】
〔赤外線検出部〕
本実施形態においては、光検出部は、赤外線検出部１６から構成される。赤外線検出部１６は、リチウムイオン電池等の電池５０の電解液から発生するガスによって吸収される赤外線、又は、全固体電池等の電池５０の固体電解質から発生するガスによって吸収される赤外線を、放出光用窓１１４を介して検出可能な部位である。赤外線検出部１６としては、例えば赤外線カメラが用いられる。赤外線カメラのレンズは、放出光用窓１１４を挟んで電池５０と対向する位置に配置される。
なお、光検出部は、赤外線検出部１６に限定されず、Ｘ線、紫外光、可視光（後述の第２実施形態参照）、赤外光のうちの一つ以上の光を検出可能な検出部であってもよい。
【００３０】
加熱装置１１６は、閉空間の内部の雰囲気を加熱する。冷却装置１１７は、閉空間の内部の雰囲気を冷却する。加熱装置１１６及び冷却装置１１７の構成は、制限されない。なお、図２以降の図面において、加熱装置１１６及び冷却装置１１７の図示を省略している。加熱装置１１６及び冷却装置１１７は、必須ではなく、一方又は両方が設けられていなくてもよい。
【００３１】
〔赤外線検出部が電解液から発生するガスを検出する場合〕
電池５０がリチウムイオン電池である場合には、赤外線検出部１６は、電池５０の電解液から揮発するガスによって吸収される赤外線を検出可能である。
電解液から揮発するガスとして、例えば環状炭酸エステル系（Ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  Ｃａｒｂｏｎａｔｅ，Ｅｔｈｙｌｅｎｅ  Ｃａｒｂｏｎａｔｅ，  Ｖｉｎｙｌｅｎｅ  Ｃａｒｂｏｎａｔｅ，  Ｖｉｎｙｌ  Ｅｔｈｙｌｅｎｅ  Ｃａｒｂｏｎａｔｅ，  Ｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅｃａｒｂｏｎａｔｅ）や鎖状炭酸エステル系（Ｄｉｍｅｔｈｙｌ  Ｃａｒｂｏｎａｔｅ，  ＤｉｅｔｈｙｌＣａｒｂｏｎａｔｅ，  Ｅｔｈｙｌ  Ｍｅｔｈｙｌ  Ｃａｒｂｏｎａｔｅ）の（電解質の）溶媒が挙げられ、また、水溶液系電解液の場合、水が挙げられる。
【００３２】
〔赤外線検出部が固体電解質から発生するガスを検出する場合〕
電池５０が全固体電池である場合には、赤外線検出部１６は、電池５０の固体電解質から揮発するガスによって吸収される赤外線を検出可能である。
硫化物系固体電解質の成分としては、例えば、リチウム、リン、硫黄が挙げられる。硫化物系固体電解質から揮発するガスとしては、例えば、硫化水素が挙げられる。
赤外線検出部１６は、赤外線のエネルギーが強い部分と赤外線のエネルギーが弱い部分とを検出する。
【００３３】
〔制御部〕
制御部１７は、漏洩検査装置の全体を制御するものであり、具体的構成として画像形成部１７１を有する。なお、図面において、制御部１７に接続される信号線については、一点鎖線で示している。
画像形成部１７１は、赤外線検出部１６が検出した赤外線に基づいて、ガスの検出画像を形成する。例えば、画像形成部１７１は、赤外線検出部１６が検出した赤外線のエネルギー、温度、波長及び屈折率のいずれか一つ以上に基づいて、ガスの検出画像を形成する。
【００３４】
詳細には、画像形成部１７１は、電池５０の周囲の電解液又は固体電解質から発生するガス及びその更に周囲のガスによって吸収される赤外線のエネルギーの強弱に基づいて、ガスの検出画像としての濃淡画像を形成する。エネルギーが強い場所が淡い（典型的には、白っぽい）画像となり、エネルギーが弱い場所が濃い（典型的には、黒っぽい）画像となる。このように画像処理することにより、ガスは可視化される。
前述した赤外線検出部１６及び画像形成部１７１により赤外線サーモグラフィが形成される。サーモグラフィは、一般的に、赤外線を検出して画像処理によって温度分布を可視化したものである。
【００３５】
リチウムイオン電池の場合には、画像形成部１７１は、赤外線検出部１６が検出したガスの赤外線に基づいて、環状炭酸エステル系（Ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  Ｃａｒｂｏｎａｔｅ，Ｅｔｈｙｌｅｎｅ  Ｃａｒｂｏｎａｔｅ，  Ｖｉｎｙｌｅｎｅ  Ｃａｒｂｏｎａｔｅ，  Ｖｉｎｙｌ  Ｅｔｈｙｌｅｎｅ  Ｃａｒｂｏｎａｔｅ，  Ｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅｃａｒｂｏｎａｔｅ）や鎖状炭酸エステル系（Ｄｉｍｅｔｈｙｌ  Ｃａｒｂｏｎａｔｅ，  ＤｉｅｔｈｙｌＣａｒｂｏｎａｔｅ，  Ｅｔｈｙｌ  Ｍｅｔｈｙｌ  Ｃａｒｂｏｎａｔｅ）の（電解質の）溶媒の濃淡画像を形成し、また、水溶液系電解液の場合、水の濃淡画像を形成する。全固体電池の場合には、画像形成部１７１は、赤外線検出部１６が検出したガスの赤外線に基づいて、硫化水素の濃淡画像を形成する。
【００３６】
なお、赤外線のエネルギーと、温度、波長、屈折率との関係を以下に説明する。
電磁波のエネルギーの式は、Ｅ＝ｈν＝ｈｃ／λ［Ｊ］となる。ただし、Ｅは赤外線のエネルギー、ｈはプランク定数、ｃは真空中の光速、λは真空中の電磁波の波長である。この関係式により、赤外線のエネルギーが大きい場合には波長が短い、赤外線のエネルギーが小さい場合には波長が長い、といった関係が理解できる。また、波長が短い光は光の屈折率が小さく、波長が長い光は光の屈折率が大きい。さらに、ガスの赤外線のエネルギーが大きい場合にはガスの温度が高く、ガスの赤外線のエネルギーが小さい場合にはガスの温度が低い。
【００３７】
〔モニタ〕
モニタ１８は、画像形成部１７１が形成した画像を表示する。モニタ１８は、制御部１７に接続されている。作業者は、モニタ１８から画像形成部１７１が処理した画像を確認し、電池５０の周囲の淡い画像部分を電池５０の電解液からガスが発生した部分と判断することができ、電池５０のいずれの部位から電解液が漏洩しているのかを判断することができる。
【００３８】
〔漏洩検査装置の動作の一例〕
漏洩検査装置１００の動作の一例を説明する。図１に示されるように、作業者は、電池５０を載置台１１１の上に載置し、電池５０を覆うように筐体１１を載置台１１１の上に配置する。
【００３９】
制御部１７は、減圧部１５、ガス排出部１４及び筐体１１の内部の空気がファン１５１から外部に排出されるように、ファン１５１の動作を制御する。これにより、電池５０から電解液又は固体電解質の漏洩がある場合に、当該漏洩が促進されるか又は漏洩箇所が明確にされる。この状態において、電池５０がリチウムイオン電池であって電解液が漏れている場合には、電解液からガスが揮発する。また、電池５０が全固体電池であって固体電解質が外部の空気と結合する場合には、固体電解質からガスが揮発する。揮発したガスによって、赤外線は吸収される。
制御部１７は、ガスによって吸収される赤外線を検出するように、赤外線検出部１６の動作を制御する。
【００４０】
制御部１７の画像形成部１７１は、検出される赤外線の強弱に基づいて濃淡画像を形成する。制御部１７は、形成された濃淡画像がモニタ１８に表示されるように、モニタ１８の動作を制御する。作業者は、電池の周囲の淡い画像部分を電池５０の電解液からガスが発生した部分と判断することができ、電池５０のいずれの部位から電解液が漏れて揮発しているのかを判断することができる。
【００４１】
本実施形態の漏洩検査装置１００によれば、例えば、以下の効果が奏される。
本実施形態の漏洩検査装置１００は、電解液又は固体電解質の漏洩があり得る電池５０を含む閉空間を形成する閉空間形成部１１と、閉空間形成部１１に設けられる雰囲気排出口１１５であって、電池５０から電解液又は固体電解質の漏洩がある場合に、当該漏洩を促進するため又は漏洩箇所を明確にするために、閉空間の内部の雰囲気を減圧するための雰囲気排出口１１５と、閉空間形成部１１に設けられる光学窓（入射光用窓１１３、放出光用窓１１４）であって、電池５０から発生するガスの測定に用いられる光学窓と、を備え、前記漏洩がある場合に、当該漏洩を促進し又は漏洩箇所を明確にした状態において、前記光学窓に検査用の光を透過させる。
【００４２】
そのため、測定時の空気の影響が低減され、電池５０の電解液又は固体電解質からガスが発生するガスを効率良く検出することにより電池５０の検査の精度を向上させることができる。また、電池の不具合の箇所を速く特定することができる。電池の安全性が簡単に確認できる。電池の不具合に起因した発火事故を抑制できる。
【００４３】
また、本実施形態の漏洩検査装置１００は、前記閉空間の内部にガスを導入するためのガス導入口１５２を更に備える。そのため、前記閉空間の内部にガスが導入されることにより、閉空間の内部が過剰に（必要以上に）減圧されることを抑制することができる。
【００４４】
また、本実施形態の漏洩検査装置１００は、前記閉空間の内部の雰囲気を加熱する加熱装置１１６を更に備える。そのため、電解液又は固体電解質のガス化を促進して、ガスの検出効率を向上させることができる。また、高温雰囲気下（例えば、使用時）での電池５０の耐久性を確認することができる。
【００４５】
また、本実施形態の漏洩検査装置１００は、前記閉空間の内部の雰囲気を冷却する冷却装置１１７を更に備える。そのため、低温雰囲気下（例えば、保管時、使用時）での電池の耐久性を確認することができる。
【００４６】
〔第２実施形態〕
本発明の第２実施形態の漏洩検査装置について、図面を参照して説明する。図２は、本発明の第２実施形態としての漏洩検査装置を示す概略斜視図である。第２実施形態の漏洩検査装置は、第１実施形態の漏洩検査装置と比較して、以下に説明する流動発生部、光出射部、可視光線検出部、制御部の構成について異なる。その他の構成に関しては、第２実施形態の漏洩検査装置は、第１実施形態の漏洩検査装置１００と基本的に同じである。
【００４７】
〔流動発生部〕
第２実施形態は、第１実施形態における減圧部１５に代えて、流動発生部１９を備える。流動発生部１９は、ガス排出部１４に連結され、ガス排出部１４を介して筐体１１の閉空間においてガスの流動を発生させる部位である。流動発生部１９は、ファン１９１と、筐体１１に設けられたガス導入口１９２とを備える。流動発生部１９のファン１９１が動作することにより、筐体１１の外部の空気がガス導入口１９２を介して筐体１１の内部に流入し、ガス排出部１４を介して、ファン１９１から排出される。これにより、筐体１１の閉空間の内部のガスの流動が発生する。なお、外部から、空気の他にアルゴンや窒素等の不活性化ガスを導入してもよい。
【００４８】
〔光出射部〕
第２実施形態における筐体１１は、第１実施形態における入射光用窓１１３を備えていない。その代わりに、光出射部１０は、筐体１１の内部に配置されており、出射光を直接、検査対象物としての電池５０に照射する。
【００４９】
〔可視光線検出部〕
第２実施形態は、第１実施形態における赤外線検出部１６に代えて、光検出部として、可視光線検出部１６１を備える。可視光線検出部１６１は、電池５０の電解液から発生するガスによって吸収される可視光線、又は、電池５０の固体電解質から発生するガスによって吸収される可視光線を検出可能な部位である。可視光線検出部１６１としては、例えば可視光線カメラが用いられる。可視光線カメラのレンズは、放出光用窓１１４を挟んで電池５０と対向する位置に配置される。
【００５０】
〔制御部〕
制御部１７は、画像形成部１７１の他に更に画像認識部１７３を有する。画像認識部１７３は、画像形成部１７１によって形成されたガスの検出画像についてガスによる屈折率の変化による空間の揺らぎを認識する。この揺らぎの認識により、ガスを検出できる。
【００５１】
本実施形態の漏洩検査装置によれば、可視光線検出部１６１によっても電解液又は固体電解質から発生するガスを検出することができる。
【００５２】
〔第３実施形態〕
図３は、本発明の第３実施形態としての漏洩検査システム３００を示す概略斜視図である。漏洩検査システム３００は、漏洩検査装置１００と、コンベア２０と、を備える。漏洩検査装置１００は、第１実施形態と比べて、支持アーム１２と昇降ガイド１３とを更に備える。
コンベア２０は、筐体１１と、筐体１１に覆われた電池５０とを搬送する。コンベア２０としては、例えばベルトコンベアが用いられる。コンベア２０は、ベルト２１と、ベルト２１を駆動させる複数のローラ２２と、を有する。
【００５３】
〔支持アーム〕
支持アーム１２は、筐体１１の側面に連結されており、側方に延びている。
〔昇降ガイド〕
昇降ガイド１３は、支持アーム１２の昇降を案内するガイドである。昇降ガイド１３が支持アーム１２の下方への移動を案内することにより、支持アーム１２に固定された筐体１１は、載置台１１１に上方から接触し、その筐体１１の内部に電池５０が収納される。昇降ガイド１３が支持アーム１２の上方への移動を案内することにより、支持アーム１２に固定された筐体１１は、載置台１１１から上方へ離間し、その筐体１１の内部から電池５０が取り出し可能になる。
【００５４】
制御部１７は、ローラ２２を回転させて、ベルト２１の上の電池５０を搬送させ、電池５０が筐体１１の下方に移動すると電池５０の搬送を一時停止させるように、ローラ２２の動作を制御する。制御部１７は、昇降ガイド１３に沿って支持アーム１２が下降して、支持アーム１２に固定された筐体１１がベルト２１の上の電池５０を覆って密閉するように、支持アーム１２の動作を制御する。制御部１７は、減圧部１５がガス排出部１４を介して筐体１１及びベルト２１で囲まれた空間を減圧するように、ファン１５１の動作を制御する。これにより、筐体１１及びベルト２１で囲まれた空間の中の空気（酸素、窒素等）の濃度が減少する。制御部１７は、ファン１５１の動作を停止させるようにファン１５１の動作を制御してから、赤外線検出部１６のスイッチをオンにするように赤外線検出部１６の動作を制御する。
【００５５】
赤外線検出部１６は、電池５０がリチウムイオン電池である場合には、電解液から漏洩する有機成分から発生するガスによって吸収される赤外線を検出する。また、赤外線検出部１６は、電池５０が全固体電池である場合には、固体電解質が外部のガスを結合して発生するガスによって吸収される赤外線を検出する。
制御部１７は、ガスの赤外線画像を形成すると共に、形成された画像を表示させるようにモニタ１８の動作を制御する。
【００５６】
本実施形態の漏洩検査システム３００によれば、筐体１１及び筐体１１に覆われた電池５０を搬送するコンベア２０と、漏洩検査装置１００と、を備える。そのため、流れ作業のように検査を行うことができ、複数の電池５０が効率良く検査される。
【００５７】
〔第４実施形態〕
図４は、本発明の第４実施形態としての漏洩検査装置４００を示す概略斜視図である。漏洩検査装置４００は、光出射部としての光発振器４１と、発散部４２と、電池支持機構４３と、赤外線検出部１６と、を備える。なお、本実施形態は、発散部を備えているが、発散部が無い構成であってもよい。
【００５８】
光発振器４１は、筐体１１の内部に配置され、光としての赤外線や可視光を出射する機器である。本実施形態では、光発振器４１として、赤外線レーザー光を発振する赤外線発振器や、可視光レーザー光を発振する可視光レーザー発振器が用いられる。例えば、赤外線発振器４１は、エチレンカーボネート、ジエチルカーボネート、ジメチルカーボネート等や硫黄化合物の分子が吸収可能な波長を多く発振可能な赤外線レーザーの発振器である。
【００５９】
発散部４２は、赤外線発振器４１が出射した赤外線を発散させる。詳細には、発散部４２は、赤外線レーザーを進行方向に対して数度〜２０度程度の広がりで散乱させる散乱板である。
【００６０】
電池支持機構４３は、赤外線発振器４１が発振した光もしくは発散部４２が発散した光を多方向から受けるように、電池５０を支持しながらその向きを変える多軸回転可能な機構であり、多軸コントロールモーメントジャイロとも呼ばれるものである。電池支持機構４３は、Ｚ軸部４３０と、第１環状部４３１と、第２環状部４３２と、第３環状部４３３と、を有する。
Ｚ軸部４３０は、Ｚ軸（不図示）に沿う方向に延びる。第１環状部４３１は、Ｚ軸部４３０に連結されており、Ｚ軸部４３０がＺ軸回りに回転することにより、Ｚ軸部４３０と共にＺ軸回りに回転する。第２環状部４３２は、第１環状部４３１と回転軸４６で連結されており、回転軸４６がＸ軸回りに回転することにより、回転軸４６と共にＸ軸回りに回転する。第３環状部４３３は、第２環状部４３２と回転軸４７で連結されており、回転軸４７がＹ軸回りに回転することにより、回転軸４７と共にＹ軸回りに回転する。
【００６１】
光検出部１６は、リチウムイオン電池等の電池５０から漏れた電解液から発生するガスによって吸収される赤外線を検出可能な部位であり、また、全固体電池等の電池５０の固体電解質から発生するガスによって吸収される赤外線を検出可能な部位である。
【００６２】
制御部１７は、画像形成部１７１を有する。画像形成部１７１は、赤外線の強弱に基づいて、ガスの濃淡画像を形成する部位である。
可視光レーザーの場合には、ガスによる屈折率の変化による空間の揺らぎを認識する画像認識部（画像認識部１７３）を更に備えていてもよい。
【００６３】
本実施形態の漏洩検査装置４００の構成によれば、光を出射する光発振器４１と、電池５０が光を多方向から受けるように、電池５０を支持しながらその向きを変える電池支持機構４３と、を更に備える。
そのため、電池５０を多角的に光検出部１６によって検出可能であり、また、強い強度の光によって分析をすることができ、高精度に電池５０の不具合箇所を特定することができる。
なお、本実施形態の構成において、可視光線カメラも加えて構成することにより、明確な電解液又はガスの発生場所を表示するようにしてもよい。
【００６４】
〔第５実施形態〕
図５は、本発明の第５実施形態としての漏洩検査装置を示す概略斜視図である。漏洩検査装置５００は、閉空間形成部としての筐体１１と、複数のガス排出部５１〜５９と、複数の減圧部１５と、複数の組成検出部１６０と、を備える。
【００６５】
〔筐体〕
筐体１１は、電池５０をその周りに閉空間が形成されるように包囲し、電池５０を含む閉空間を形成する。
〔複数のガス排出部〕
複数のガス排出部５１〜５９は、その一端が筐体１１に連結されて、筐体１１の内側のガスを筐体１１の複数の箇所から個別に排出し、その他端が減圧部１５に連結されて筐体１１の内側のガスを減圧部１５に排出する部位である。ガス排出部５１〜５９は管である。複数のガス排出部５１〜５９の各々は、ガスの流通を制御するバルブ６１〜６９を有する。なお、図５〜図７において、ガス排出部５１〜５９と減圧部１５との接続の図示を省略している。
【００６６】
〔減圧部〕
減圧部１５は、ガス排出部５１〜５９と連結され、筐体１１の内側の空間の雰囲気を減圧する部位である。
〔組成検出部〕
組成検出部１６０は、電池５０から漏れた電解液から発生して複数のガス排出部５１〜５９の各々から排出されたガスの組成を検出する部位である。また、組成検出部１６０は、電池５０の固体電解質から発生して複数のガス排出部５１〜５９の各々から排出されたガスの組成を検出する部位でもある。
〔画像形成部〕
画像形成部１７１は、組成検出部１６０が検出したガスに基づいて、ガスの検出画像を形成する。
【００６７】
本実施形態の漏洩検査装置５００によれば、例えば、以下の効果が奏される。
本実施形態の漏洩検査装置５００は、電池５０を含む閉空間を形成する筐体１１と、閉空間の内部のガスを筐体１１の複数の箇所から個別に排出する複数のガス排出部５１〜５９と、筐体１１の内側の空間の内部の雰囲気を減圧する減圧部１５と、電池５０の電解液又は固体電解質から発生して複数のガス排出部５１〜５９の各々から排出されたガスを検出する組成検出部１６０と、を備える。
【００６８】
そのため、複数のガス排出部５１〜５９毎にガスの組成を検出し、いずれのガス排出部５１〜５９からガスを検出したかにより、ガスの漏洩箇所を判断することができる。
【００６９】
〔第６実施形態〕
図６は、本発明の第６実施形態としての漏洩検査システム６００を示す概略斜視図である。漏洩検査システム６００は、漏洩検査装置５００と、コンベア２０と、を備える。なお、図６に示す形態は、支持アーム１２と昇降ガイド１３とを備えているが、図６には、支持アーム１２及び昇降ガイド１３の図示を省略している。
コンベア２０は、筐体１１と、筐体１１に覆われた電池５０とを搬送する。コンベア２０としては、例えばベルトコンベアが用いられる。
【００７０】
制御部１７は、ローラ２２を回転させて、ベルト２１の上の電池５０を搬送させ、電池５０が筐体１１の下方に移動すると電池５０の搬送を一時停止させるように、ローラ２２の動作を制御する。制御部１７は、支持アーム１２が下降して筐体１１がベルト２１上の電池５０を覆って密閉するように、支持アーム１２の動作を制御する。制御部１７は、減圧部１５がガス排出部５１〜５９を介して筐体１１及びベルト２１で囲まれる閉空間を減圧するように、ファン１５１の動作を制御する。これにより、筐体１１及びベルト２１で囲まれる閉空間の空気（酸素、窒素等）の濃度が減少する。制御部１７は、ファン１５１の動作を停止させるようにファン１５１の動作を制御してから、組成検出部１６０のスイッチをオンにするように組成検出部１６０の動作を制御する。
【００７１】
組成検出部１６０は、電池５０がリチウムイオン電池である場合には、電解液から漏洩する有機成分から発生するガスによって吸収される赤外線を検出する。また、組成検出部１６０は、電池５０が全固体電池である場合には、固体電解質が外部のガスを結合して揮発するガスによって吸収される赤外線を検出する。制御部１７は、ガスの赤外線画像を形成すると共に、形成された画像を表示させるようにモニタ１８の動作を制御する。
【００７２】
本実施形態の漏洩検査システム６００によれば、筐体１１及び筐体１１に覆われた電池５０を搬送するコンベア２０と、漏洩検査装置５００と、を備える。そのため、流れ作業のように検査を行うことができ、複数の電池５０が効率良く検査される。
【００７３】
〔第７実施形態〕
図７は、本発明の第７実施形態としての漏洩検査装置７００を示す概略斜視図である。第７実施形態の漏洩検査装置７００は、第５実施形態の漏洩検査装置５００と比較すると、光検出部としての赤外線検出部１６と、画像形成部１７１の別の制御と、が付加されている点で異なる。
【００７４】
赤外線検出部１６は、電池５０の電解液又は固体電解質から発生するガスによって吸収される光を検出可能な部位である。画像形成部１７１は、赤外線検出部１６が検出した赤外線に基づいて、ガスの検出画像を更に別に形成する。
【００７５】
本実施形態の漏洩検査装置によれば、赤外線検出部１６は、電池５０の電解液又は固体電解質から発生するガスによって吸収される光を検出可能であり、画像形成部１７１は、赤外線検出部１６が検出した赤外線に基づいてガスの検出画像を形成する。組成検出部１６０は、電池５０から電解液から発生して複数のガス排出部５１〜５９の各々から排出されたガスの組成を検出可能であり、画像形成部１７１は、組成検出部１６０が検出したガスの組成に基づいて、ガスの検出画像を形成する。
【００７６】
従って、ガスによって吸収される赤外線に基づいて電池から発生するガスの検出画像を形成する制御と、ガスの組成に基づいて電池から発生するガスの検出画像を形成する制御と、の２つのガスの分析方法があり、一方の分析方法が他方の分析方法のバックアップ的に用いられ、ガスの発生を再確認することができる。
【００７７】
例えば、バルブ６１〜６９が開いている間においては、組成検出部１６０がガスを検出すると共に画像形成部１７１が検出画像を形成し、一方、バルブ６１〜６９が閉じている間においては、赤外線検出部１６がガスを検出すると共に画像形成部１７１が検出画像を形成する、というように、制御部１７は、組成検出部１６０、赤外線検出部１６及び画像形成部１７１を制御する。
【００７８】
〔変形例１〕
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に制限されない。例えば、第３実施形態の漏洩検査システム３００，第６実施形態の漏洩検査システム６００では、コンベアとしてベルトコンベアが用いられていたが、上記実施形態に限定されることなく、ローラコンベア、チェーンコンベアが用いられてもよい。
【００７９】
〔変形例２〕
第１、第３〜第７実施形態では、画像形成部１７１が濃淡画像を形成していたが、上記実施形態に限定されることなく、濃淡の範囲内で色を指定して、複数の色により画像を形成してもよい。
【００８０】
〔変形例３〕
第１〜第７実施形態の漏洩検査装置では、閉空間形成部としての箱状の筐体が用いられていたが、上記実施形態に限定されることなく、閉空間形成部としての袋などの非箱状のものが用いられてもよい。
【００８１】
〔変形例４〕
第１〜第７実施形態の漏洩検査装置では、筐体１１の内部を減圧しているが、上記実施形態に限定されることなく、筐体１１の内部を真空にしてもよい。
【００８２】
〔変形例５〕
第１実施形態の漏洩検査装置１００では、制御部１７が電池５０の不具合箇所を特定する構成ではなかったが、上記実施形態に限定されない。すなわち、図８に示される電池の漏洩検査装置８０１のように、制御部１７が箇所特定部１７２を有する構成であってもよい。
例えば、箇所特定部１７２が、ガスの検出画像が変化する箇所から、電池５０の電解液が漏れた箇所又は固体電解質からガスが発生する箇所であると特定し、作業者に警告するために印で示すように構成される。すなわち、箇所特定部１７２は、ガスの画像が電池５０から遠ざかっていく箇所から、電解液又は固体電解質からガスが発生している箇所であると特定し、作業者に警告するために〇印で囲むように構成される。
【００８３】
なお、このような変形例は、図５を参照して前述した第５実施形態の漏洩検査装置５００の構成において、制御部１７が箇所特定部１７２を含むように構成してもよい。この場合には、箇所特定部１７２が、組成検出部１６０がガスの組成を検出したガス排出部１４に対応する電池５０の箇所を、電解液が漏れた箇所又は固体電解質からガスが発生する箇所として特定するように構成されてもよい。
【００８４】
〔変形例６〕
第１実施形態の漏洩検査装置１００では、赤外線検出部１６が１つであったが、上記実施形態に限定されない。すなわち、図９に示される漏洩検査装置８０２のように、筐体１１の天板に４つの赤外線検出部１６が取り付けられ、筐体１１の側板に２つの赤外線検出部１６が取り付けられた構成であってもよい。
【００８５】
〔変形例７〕
第１実施形態の漏洩検査装置１００では、載置台１１１に対して筐体１１が上下方向に移動する構成であったが、上記実施形態に限定されない。すなわち、図１０Ａ及び図１０Ｂに示される漏洩検査装置８０３のように、載置台１１１に対して筐体１１がヒンジ１１２の回りに回転する構成であってもよい。この構成によれば、筐体１１の内部への電池の出し入れが容易である。また、漏洩検査装置８０３の可搬性に優れる。
【００８６】
〔変形例８〕
第１実施形態の漏洩検査装置１００では、電池５０が筐体１１よりも小さい構成であったが、上記実施形態に限定されなくてもよい。すなわち、図１１に示される漏洩検査装置８０４のように、電池５０が筐体１１よりも大きい構成であってもよい。
この構成によれば、自動車の車載用電池のような大型の電池を検査試験場の大型の検査装置によって検査するのみではなく、持ち運び可能な（可搬性を有する）小型の検査装置で検査することができる。
【００８７】
第４実施形態の漏洩検査装置４００は、コンベア２０と組み合わせて構成されていないが、上記実施形態に限定されない。すなわち、漏洩検査装置４００とコンベア２００とを組み合わせた構成であってもよい。
例えば、コンベア２０のベルト２１の上に電池５０を支持した電池支持機構４３を載置し、このコンベア２０を回転させる。この一方で、筐体１１の内側に、光発振器４１と、発散部４２と、光検出部１６と、を取り付ける。そして、制御部１７は、筐体１１の下方に電池５０を支持した電池支持機構４３が搬送されてくると、筐体１１を下降させて電池５０を覆うように筐体１１の動作を制御する。
【００８８】
〔その他の変形例〕
前述の各実施形態の構成は、適宜組み合わせることができる。
前記実施形態において電池５０についてした説明は、本発明を適用可能な各種電池又はキャパシタに援用される。
減圧部１５は、ファン１５１の代わりに、ポンプを備えて構成されてもよい。
【００８９】
入射光用窓１１３が筐体１１（閉空間形成部）に設けられている場合には、光出射部１０は、筐体１１（閉空間形成部）の外部に離れて配置されていてもよい。放出光用窓１１４が筐体１１（閉空間形成部）に設けられている場合には、光検出部１６は、筐体１１（閉空間形成部）の外部に離れて配置されていてもよい。光検出部１６は、放出光用窓１１４を有しない筐体１１（閉空間形成部）の内部に配置されていてもよい。光出射部１０及び光検出部１６は、筐体１１（閉空間形成部）の外面又は内面に対して着脱自在に構成されていてもよい。
【符号の説明】
【００９０】
１０  光出射部
１１  筐体（閉空間形成部）
１４  ガス排出部
１５  減圧部
１６  赤外線検出部（光検出部）
１７  制御部
１８  モニタ
１９  流動発生部
２０  コンベア
２１  ベルト
２２  ローラ
４１  赤外線発振器（光発振器）
４３  電池支持機構
５０  電池（電解液又は固体電解質の漏洩があり得る電池又はキャパシタ）
５１〜５９  ガス排出部
１００，４００，５００，７００，８０１，８０２，８０３，８０４  漏洩検査装置
１１１  載置台
１１３  入射光用窓（光学窓）
１１４  放出光用窓（光学窓）
１１５  雰囲気排出口
１１６  加熱装置
１１７  冷却装置
１５１  ファン
１５２  ガス導入口
１６０  組成検出部
１６１  可視光線検出部（光検出部）
１７１  画像形成部
１７２  箇所特定部
１７３  画像認識部
３００，６００  漏洩検査システム
【図１】
2020071903.tif 000003
【図２】
2020071903.tif 000004
【図３】
2020071903.tif 000005
【図４】
2020071903.tif 000006
【図５】
2020071903.tif 000007
【図６】
2020071903.tif 000008
【図７】
2020071903.tif 000009
【図８】
2020071903.tif 000010
【図９】
2020071903.tif 000011
【図１０Ａ】
2020071903.tif 000012
【図１０Ｂ】
2020071903.tif 000013
【図１１】
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