(57)【要約】      （修正有）【課題】異物による部品の損傷を防止し、長寿命化するストロークセンサを提供する。【解決手段】被検出体に追従して原点位置Ｏから移動する検出シャフトの移動量Ｓを検出するストロークセンサ１であって、検出シャフトと、第一のハウジングと、第二のハウジングと、原点位置Ｏから移動した後の検出シャフトを原点位置Ｏに復帰させるスプリング４０と、を備え、検出シャフトは、気密部材１５が取り付けられる径中部１２と第二のハウジングから外部に突出する径小部１３を有し、第二のハウジングは、径小部１３を摺動可能に支持するシャフト穴３３と、径中部１２を摺動可能に支持する筒穴部３５を有し、径小部１３と径中部１２の端部１５ｂと筒穴部３５との間に、空間Ｃが形成される。【選択図】図２
2020071104.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検出体に追従して原点位置から移動する検出シャフトの移動量を検出するストロークセンサであって、
前記検出シャフトと、
第一のハウジングと、
第二のハウジングと、
前記原点位置から移動した後の前記検出シャフトを前記原点位置に復帰させるスプリングと、を備え、
前記検出シャフトは、気密部材が取り付けられる径中部と前記第二のハウジングから外部に突出する径小部を有し、
前記第二のハウジングは、前記径小部を摺動可能に支持するシャフト穴と、前記径中部を摺動可能に支持する筒穴部を有し、
前記径小部と前記径中部の端部と前記筒穴部との間に、空間が形成される、
ことを特徴とするストロークセンサ。
【請求項２】
前記空間は、前記検出シャフトが前記第二のハウジングの方向に移動した場合であっても形成される、
ことを特徴とする請求項１に記載のストロークセンサ。
【請求項３】
前記端部は、前記気密部材を保持する、
ことを特徴とする請求項１乃至２のいずれか１つに記載のストロークセンサ。
【請求項４】
前記端部は、前記径小部の方向に傾斜を設ける、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１つに記載のストロークセンサ。
【請求項５】
前記端部は、前記検出シャフトが前記第二のハウジングの方向に移動した場合であっても前記シャフト穴と接しない、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１つに記載のストロークセンサ。
【請求項６】
前記径小部と前記シャフト穴の隙間は、０．００４ｍｍ以上０．０２４ｍｍ以下である、
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１つに記載のストロークセンサ。
【請求項７】
前記ストロークセンサは、前記検出シャフトが前記第一のハウジングの方向に移動した場合と前記第二のハウジングの方向に移動した場合とで、移動量が異なる、
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１つに記載のストロークセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はストロークセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車や自動２輪車のレバーなどの移動体の移動量を検出するセンサとして、例えば、特許文献１に開示されたものがある。
このシフトロッド装置は、シフトロッドにストローク量を計測するストロークセンサと、シフトチェンジペダルからのシフトアップ及びシフトダウンの操作荷重に対応して伸縮方向にストロークするシフト荷重センサとを一体的に設けていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５-１０５００２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１記載のシフト荷重センサは自動２輪車に取り付けられ、外気に晒されている。そのため、シフトロッドの伸縮により、ピストンの外部に露出している部分からシフトロッドボディ内部に砂埃などの異物が侵入し、部品を損傷させる恐れがあるという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、異物による部品の損傷を防止し、長寿命化するストロークセンサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明に係るストロークセンサは、
被検出体に追従して原点位置から移動する検出シャフトの移動量を検出するストロークセンサであって、
前記検出シャフトと、
第一のハウジングと、
第二のハウジングと、
前記原点位置から移動した後の前記検出シャフトを前記原点位置に復帰させるスプリングと、
を備え、
前記検出シャフトは、気密部材が取り付けられる径中部と前記第二のハウジングから外部に突出する径小部を有し、
前記第二のハウジングは、前記径小部を摺動可能に支持するシャフト穴と、前記径中部を摺動可能に支持する筒穴部を有し、
前記径小部と前記径中部の端部と前記筒穴部との間に、空間が形成される、
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、異物による部品の損傷を防止し、長寿命化するストロークセンサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明のストロークセンサの平面図である。
【図２】本発明のストロークセンサのＡ−Ａ断面図である。
【図３Ａ】本発明のストロークセンサの検出シャフトのＡ−Ａ断面図である。
【図３Ｂ】本発明のストロークセンサの第一のハウジングのＡ−Ａ断面図である。
【図３Ｃ】本発明のストロークセンサの第二のハウジングのＡ−Ａ断面図である。
【図４】本発明のストロークセンサの第１の態様における領域Ｂの拡大図である。
【図５】本発明のストロークセンサの第１の態様における領域Ｂの拡大図である。
【図６】本発明のストロークセンサの第２の態様における領域Ｂの拡大図である。
【図７】本発明のストロークセンサの第３の態様における領域Ｂの拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、本発明に係るストロークセンサを添付図面に基づいて説明する。
【００１０】
図１及び図２を参照する。図１は、ストロークセンサ１の平面図を示す。図２は、ストロークセンサ１のＡ−Ａ断面図を示す。ストロークセンサ１は、被検出体に追従して原点位置Ｏから移動する検出シャフト１０の移動量Ｓを検出するストロークセンサであって、検出シャフト１０と、第一のハウジング２０と、第二のハウジング３０と、原点位置Ｏから移動した後の検出シャフト１０を原点位置Ｏに復帰させるスプリング４０と、を備え、検出シャフト１０は、気密部材１５が取り付けられる径中部１２と第二のハウジング３０から外部に突出する径小部１３を有し、第二のハウジング３０は、径小部１３を摺動可能に支持するシャフト穴３３と、径中部１２を摺動可能に支持する筒穴部３５を有し、径小部１３と径中部１２の端部１５ｂと筒穴部３５との間に、空間Ｃが形成される。
【００１１】
図３Ａを併せて参照する。図３Ａは、ストロークセンサ１の検出シャフト１０のＡ−Ａ断面図を示す。検出シャフト１０は、被検出体の移動によって追従される検出媒体であり、例えば、被検出体に連結されて外力が伝達され、軸方向に往復して追従する。検出シャフト１０は、ある程度剛性を有する非磁性材料が好ましく、例えばオーステナイト系のステンレス鋼（SUS: Steel Use Stainless）からなる。
【００１２】
検出シャフト１０は、円柱状の直径の異なる径大部１１、径中部１２、径小部１３、及び突部１９を有し、本態様では、第一のハウジング２０の方向から突部１９、径大部１１、径中部１２、径小部１３の並びで構成される。検出シャフト１０は、棒状の被加工材を切削して成形されてもよく、鋳造や射出成形によって成形されてもよい。
【００１３】
径大部１１は、第一のハウジング２０内に配置され、第一の座金１８ａを支持する。
【００１４】
径中部１２は、径大部１１側に第一の座金１８ａ、スプリング４０、第二の座金１８ｂを通し、径小部１３側に止め輪１４と気密部材１５が取り付けられる。
【００１５】
径小部１３は、第二のハウジング３０のシャフト穴３３から外側に突き出しており、図示しない被検出体と接続される。
【００１６】
止め輪１４は、非磁性材料からなるラジアル方向取り付け式止め輪であり、径中部１２に設けられた図示しない溝によって保持される。止め輪１４は、第二の座金１８ｂを支持する。
【００１７】
気密部材１５は、ゴムからなるＯリングであり、径中部１２に設けられた溝１５ａによって保持される。気密部材１５は、ストロークセンサ１の気密を保つために用いられ、溝１５ａは、気密部材１５の気密機能を発揮するために必要な溝構造を満たすように構成される。
【００１８】
径中部１２において、径小部１３との境界に端部１５ｂが形成される。端部１５ｂは、溝１５ａの一部を形成し、気密部材１５を保持してもよい。端部１５ｂは、径小部１３の方向に傾斜Ｒを有する。これにより、気密部材１５は、径小部１３の方向から径中部１２の溝１５ａにはめ込むことが容易になる。さらに、径中部１２と径小部１３の段差により、気密部材１５が傷つくことを防止できる。
【００１９】
切り欠き面１６は、突部１９の側面の切り欠きにより形成された平坦な面であり、第一のハウジング２０の軸支持部２２よりも短い軸方向の長さを有している。この切り欠き面１６によって検出シャフト１０の回転が、後述する軸支持部２２の平面部２２ａと協働して、規制される。
【００２０】
第一の座金１８ａは、非磁性材料からなるＯ型のワッシャであり、その直径は径大部１１、第二のハウジング３０の内径及びスプリング４０よりも大きく、後述する第一のハウジング２０の第一のハウジング２０の内径よりも小さく構成される。
第二の座金１８ｂは、非磁性材料からなるＯ型のワッシャであり、その直径は後述する第二のハウジング３０の孔部３２及びスプリング４０よりも大きく、第二のハウジング３０の内径より小さく構成される。
第一の座金１８ａ及び第二の座金１８ｂは、検出シャフト１０の移動により、別の部材に接触した際のスラスト荷重に耐えるように設計される。
【００２１】
突部１９は、検出シャフト１０の径大部１１側に形成された突出した軸である。突部１９は、第一のハウジング２０内に配置され、後述する軸支持部２２を摺動する。
磁石収納部１９ａは、突部１９の先端をくりぬいて形成され、磁石５１を収納し接着剤などで固定して保持する。
【００２２】
図３Ｂを併せて参照する。図３Ｂは、ストロークセンサ１の第一のハウジング２０のＡ−Ａ断面図を示す。第一のハウジング２０は、検出シャフト１０の径大部１１を受ける第一の受部２１と、軸支持部２２と、第一の座金支持部２３と、基板収納部２５と、雌ねじ部２９を有して構成される。
【００２３】
第一のハウジング２０は、アルミニウムやステンレス鋼などの非磁性材料が好ましく、略円筒状に形成されている。
【００２４】
第一の受部２１は、第一のハウジング２０の内側に設けられる円環状の面であり、検出シャフト１０の径大部１１と接し、検出シャフト１０の移動量Ｓを制限する。原点位置Ｏから第一の受部２１までの長さは、スプリング４０の最大たわみ量より小さくなるように構成される。
【００２５】
軸支持部２２は、第一のハウジング２０の内側に設けられ、検出シャフト１０の突部１９を支持する溝として形成される。軸支持部２２は、検出シャフト１０の切り欠き面１６に対向する平面部２２ａを有する。検出シャフト１０は、平面部２２ａと検出シャフト１０の切り欠き面１６によって中心軸回りの回転が規制され、しかも軸方向には、突部１９の摺動が高精度になされるように支持される。
【００２６】
第一の座金支持部２３は、第一のハウジング２０の内側に設けられる円環状の面であり、その直径は検出シャフト１０の径大部１１より大きく、第一の座金１８ａよりも小さい。
【００２７】
基板収納部２５は、第一のハウジング２０の表面を掘り下げて構成されており、後述する磁気検出素子５２を検出シャフト１０の磁石５１に近づけて配置するために用いられる。基板収納部２５には、後述する基板５０を取り付けるためのねじ穴が設けられる。
【００２８】
雌ねじ部２９は、第一のハウジング２０の内径面に備えられ、第一のハウジング２０と第二のハウジング３０を連結するために用いられる。
【００２９】
図３Ｃを併せて参照する。図３Ｃは、ストロークセンサ１の第二のハウジング３０のＡ−Ａ断面図を示す。第二のハウジング３０は、検出シャフト１０の第一の座金１８ａを受ける第二の受部３１と、孔部３２と、シャフト穴３３と、第二の座金支持部３４と、筒穴部３５と、段部３６と、面加工部３８と、雄ねじ部３９を有して構成される。
【００３０】
第二のハウジング３０は、アルミニウムやステンレス鋼などの非磁性材料が好ましく、略円筒状に形成されている。
【００３１】
第二の受部３１は、第二のハウジング３０の縁に設けられる円環状の面であり、検出シャフト１０の第一の座金１８ａを受け、検出シャフト１０の移動量Ｓを制限する。原点位置Ｏから第二の受部３１までの長さは、スプリング４０の最大たわみ量より小さくなるように構成される。
【００３２】
孔部３２は、第二の受部３１と反対方向の第二のハウジング３０の内側に設けられ、その直径は止め輪１４よりも大きく、第二の座金１８ｂよりも小さく構成される。孔部３２の深さは、移動量Ｓより少し長く設けられ、止め輪１４が第二のハウジング３０とスラスト方向に接しないように構成されている。
【００３３】
シャフト穴３３は、検出シャフト１０の径小部１３を摺動可能に支持して外部に取り出す。
【００３４】
第二の座金支持部３４は、孔部３２の外周に設けられる円環状の面であり、その直径は孔部３２より大きく、第二の座金１８ｂよりも小さく構成される。
【００３５】
筒穴部３５は、孔部３２に設けられ、シャフト穴３３に連続する。筒穴部３５は、検出シャフト１０の径中部１２を摺動可能に支持する。筒穴部３５は、検出シャフト１０が第二のハウジング３０の方向に移動した場合に、端部１５ｂがシャフト穴３３及び後述する段部３６に接しないように構成される。
【００３６】
段部３６は、筒穴部３５とシャフト穴３３の段差によって形成される。
【００３７】
面加工部３８は、第二のハウジング３０の端を多角形状となるように面取り加工した部位である。これにより、第二のハウジング３０をレンチやスパナで回すことができ、第一のハウジング２０との連結が容易になる。
【００３８】
雄ねじ部３９は、孔部３２と反対方向の第二のハウジング３０の外径面に備えられ、第一のハウジング２０と第二のハウジング３０を連結するために用いられる。前記連結に際しては、補強用接着剤（例えば、シーロック剤）などでねじの緩み防止をさらに行ってもよい。
【００３９】
スプリング４０は、ステンレス鋼線や鉄または鉄合金からなるオイルテンパー線などが好ましく、例えばＳＵＳ３０４ＷＰＢ、ＳＷＯＳＣ-ＢやＳＷＯＳＣ−Ｖなどによる円筒状のコイルばねで構成される。
【００４０】
スプリング４０は、内側に検出シャフト１０を通すように構成され、検出シャフト１０の第一の座金１８ａ及び第二の座金１８ｂと接している。
【００４１】
原点位置Ｏにある検出シャフト１０が第一のハウジング２０の方向に押し込まれるように移動すると、止め輪１４に支持された第二の座金１８ｂがスプリング４０を押し、且つ、第一の座金支持部２３に支持された第一の座金１８ａがスプリング４０を支持することで、スプリング４０が押し潰され、検出シャフト１０の径大部１１が第一のハウジング２０の第一の受部２１に当たるまでの移動量Ｓ分だけ移動することができる。そして、検出シャフト１０を押し込む力がなくなると、スプリング４０に蓄積されたばね力で、原点位置Ｏに戻される。
【００４２】
また、原点位置Ｏにある検出シャフト１０が第二のハウジング３０の方向に引き込まれるように移動すると、径大部１１に支持された第一の座金１８ａがスプリング４０を押し、且つ、第二の座金支持部３４に支持された第二の座金１８ｂがスプリング４０を支持することで、スプリング４０が押し潰され、検出シャフト１０の径大部１１によって支持された第一の座金１８ａが第二のハウジング３０の第二の受部３１に当たるまでの移動量Ｓ分だけ移動することができる。そして、検出シャフト１０を引き込む力がなくなると、スプリング４０に蓄積されたばね力で、原点位置Ｏに戻される。
【００４３】
磁石５１は、円柱状に形成された希土類系磁石（例えば、ＳｍＣｏやＮｄＦｅＢなどの材料の磁石）からなり、検出シャフト１０の磁石収納部１９ａに取り付けられる。
【００４４】
磁石５１は、磁気検出素子５２に磁界を提供しており、磁石５１が検出シャフト１０とともに移動することで磁気検出素子５２へ与える磁界の向き及び強さを変え、結果的に磁気検出素子５２が移動量Ｓとして検出する。磁石５１は、製造手法により焼結磁石やプラスチックと混ぜて圧縮もしくは成形されたプラスチック磁石などのいずれでもよい。焼結磁石の方が強力な磁力を有する一方、プラスチック磁石の方が大量生産性や耐割れ性が高いなど特性があることから、使用条件や設計要件に応じて適宜選択すればよい。
【００４５】
磁気検出素子５２は、被検出体の位置や移動量などの変化を磁界の向き及び強さにより検出するものであり、例えば、ホール素子などで構成され、被検出体の移動などに伴う磁界の変化を電気信号に変換して外部に出力するものである。
【００４６】
磁気検出素子５２による検出シャフト１０の移動量Ｓの検出は、検出シャフト１０に備えられた磁石５１が発する磁界の向き及び強さの変化を検出し、前記磁界に応じた電気信号に変換して外部に出力する。
【００４７】
基板５０は、ガラスエポキシなどからなるプリント基板（Printed Circuit Board; PCB）であり、磁気検出素子５２を備える。基板５０は、基板収納部２５にねじによって固定され、基板収納部２５にエポキシ樹脂などの封止部材６０を充填することで気密に封止される。
【００４８】
基板５０の磁気検出素子５２への電源の取り込みや外部への電気信号の出力は、電気コード５３にて行われる。グロメット５４は、基板収納部２５の端面から電気コード５３を保護する。
なお、基板５０の磁気検出素子５２への電源の取り込みや外部への電気信号の出力は、電気コード５３の代わりにダイレクトコネクタやカプラーなどを用いてもよい。
【００４９】
図４及び図５を併せて参照する。図４は、ストロークセンサ１の第１の態様における検出シャフト１０が原点位置Ｏにあるときの領域Ｂの拡大図を示し、図５は、ストロークセンサ１の第１の態様における検出シャフト１０が第二のハウジング３０の方向に移動量Ｓ分だけ移動したときの領域Ｂの拡大図を示す。
【００５０】
空間Ｃは、径小部１３、径中部１２の端部１５ｂ、筒穴部３５、段部３６によって形成される空間である。空間Ｃは、径小部１３とシャフト穴３３の隙間Ｗから侵入した異物をこの空間に留め置く。また、ストロークセンサ１は、検出シャフト１０が第二のハウジング３０の方向に移動した場合でも空間Ｃが確保されるよう構成される。これにより、異物が端部１５ｂを越えて侵入し、気密部材１５を傷つけることを防止できる。さらに、端部１５ｂは、径小部１３の側に傾斜Ｒを有することで、段部３６から端部１５ｂの摺動面までの距離Ｄを大きくすることができる。
【００５１】
径小部１３とシャフト穴３３の隙間Ｗは、０．００４ｍｍ以上０．０２４ｍｍ以下であることが望ましい。これにより、検出シャフト１０は摺動可能であり、且つ径小部１３とシャフト穴３３の隙間Ｗより大きな異物が、ストロークセンサ１の内部に侵入することを防止できる。
【００５２】
図６は、ストロークセンサ１の第２の態様における領域Ｂの拡大図を示す。ストロークセンサ１の第２の態様は、検出シャフト１０の第二のハウジング３０の方向への移動量が、移動量Ｓよりも大きい移動量Ｓ１となっている。
【００５３】
上述したように、ストロークセンサ１は、検出シャフト１０が第二のハウジング３０の方向に移動した場合でも空間Ｃが確保されるよう構成される。そのため、筒穴部３５は、移動量Ｓ１と移動量Ｓの差の分長く形成することが好ましい。これにより、検出シャフト１０が原点位置Ｏにあるときの段部３６から端部１５ｂの摺動面までの距離Ｄ１を大きくすることができ、広くなった空間Ｃにより多くの異物を留めることができる。
【００５４】
図７は、ストロークセンサ１の第３の態様における領域Ｂの拡大図を示す。ストロークセンサ１の第３の態様は、検出シャフト１０の第二のハウジング３０の方向への移動量が、移動量Ｓよりも小さい移動量Ｓ２となっている。
【００５５】
上述したように、ストロークセンサ１は、検出シャフト１０が第二のハウジング３０の方向に移動した場合でも空間Ｃが確保されるよう構成される。そのため、ストロークセンサ１の検出シャフト１０が第二のハウジング３０の方向に移動したときの段部３６から端部１５ｂの摺動面までの距離（Ｄ２−Ｓ２）を第１の態様の距離（Ｄ−Ｓ）と等しくなるように構成した場合、筒穴部３５は、移動量Ｓ２と移動量Ｓの差の分短く形成することができる。これにより、空間Ｃを確保しつつ、ストロークセンサ１を小型化することができる。
【００５６】
以上に説明した本発明は、以下の効果を奏する。
【００５７】
ストロークセンサ１は、検出シャフト１０と、第一のハウジング２０と、第二のハウジング３０と、原点位置Ｏから移動した後の検出シャフト１０を原点位置Ｏに復帰させるスプリング４０と、を備え、検出シャフト１０は、気密部材１５が取り付けられる径中部１２と第二のハウジング３０から外部に突出する径小部１３を有し、第二のハウジング３０は、径小部１３を摺動可能に支持するシャフト穴３３と、径中部１２を摺動可能に支持する筒穴部３５を有し、径小部１３と径中部１２の端部１５ｂと筒穴部３５との間に、空間Ｃが形成される。これにより、ストロークセンサ１は、シャフト穴３３から侵入した異物を空間Ｃに留めることができ、異物が気密部材１５を傷つけることを防止する。
【００５８】
空間Ｃは、検出シャフト１０が第二のハウジング３０の方向に移動した場合であっても形成される。これにより、ストロークセンサ１は、常に空間Ｃが形成されることで、侵入した異物を空間Ｃに留めることができる。
【００５９】
端部１５ｂは、気密部材１５を保持する。これにより、ストロークセンサ１は、水分が内部に侵入することを防止し、内部の部品の腐食を防止する。
【００６０】
端部１５ｂは、径小部１３の方向に傾斜Ｒを設ける。これにより、ストロークセンサ１は、段部３６から端部１５ｂの摺動面までの距離Ｄを大きくすることができ、異物が端部１５ｂを超えることを防止する。
また、端部１５ｂの傾斜Ｒは、気密部材１５を径小部１３の方向から径中部１２の溝１５ａにはめ込むことが容易にし、且つ気密部材１５が径中部１２と径小部１３の段差によって傷つくことを防止する。
【００６１】
端部１５ｂは、検出シャフト１０が第二のハウジング３０の方向に移動した場合であっても前記シャフト穴と接しない。これにより、ストロークセンサ１は、常に空間Ｃが形成されることで、侵入した異物を空間Ｃに留めることができる。
【００６２】
径小部１３とシャフト穴３３の隙間Ｗは、０．００４ｍｍ以上０．０２４ｍｍ以下である。これにより、ストロークセンサ１は、径小部１３とシャフト穴３３の隙間Ｗより大きな異物が内部に侵入することを防止し、空間Ｃに溜まる異物の量を減らすことができる。
【００６３】
ストロークセンサ１は、検出シャフト１０が第一のハウジング２０の方向に移動した場合と第二のハウジング３０の方向に移動した場合とで、移動量が異なる。これにより、ストロークセンサ１は、空間Ｃを広く構成したり、空間Ｃを確保しつつ小型化することができる。
【００６４】
なお、上述の態様において、突部１９は、磁石５１の大きさ及び磁石収納部１９ａの形状に応じて、直径を自由に設定してよい。
【００６５】
なお、上述の態様において、ストロークセンサ１は、取り付けレイアウトや運転者の好む操作量に応じて、検出シャフト１０の移動量Ｓ、Ｓ１、Ｓ２を設定してもよい。
【００６６】
本発明は、上述の態様及び図面によって限定されるものではない。本発明の要旨を変更しない範囲で、適宜、変更（構成要素の削除も含む）を加えることが可能である。
【符号の説明】
【００６７】
１      ストロークセンサ
１０    検出シャフト
１１    径大部
１２    径中部
１３    径小部
１４    止め輪
１５    気密部材
１５ｂ  端部
１８ａ  第一の座金
１８ｂ  第二の座金
１９    突部
２０    第一のハウジング
２１    第一の受部
３０    第二のハウジング
３１    第二の受部
３２    孔部
３３    シャフト穴
３５    筒穴部
３６    段部
４０    スプリング
５０    基板
５１    磁石
５２    磁気検出素子
６０    封止部材
Ｃ      空間
Ｏ      原点位置
Ｓ，Ｓ１，Ｓ２  移動量
Ｗ      隙間
【図１】
2020071104.tif 000003
【図２】
2020071104.tif 000004
【図３Ａ】
2020071104.tif 000005
【図３Ｂ】
2020071104.tif 000006
【図３Ｃ】
2020071104.tif 000007
【図４】
2020071104.tif 000008
【図５】
2020071104.tif 000009
【図６】
2020071104.tif 000010
【図７】
2020071104.tif 000011