(57)【要約】【課題】高剛性、低熱膨張率を有する鋳物を得る。【解決手段】質量％で、Ｃ：０．０４０％以下、Ｓｉ：０．２５％以下、Ｍｎ：０．１５〜０．５０％、Ｃｒ：８．５〜１０．０％、Ｎｉ：０〜５．０％、及びＣｏ：４３．０〜５６．０％、Ｓ  ：０〜０．０５％、及びＳｅ：０〜０．０５％を含有し、残部がＦｅ及び不可避不純物であり、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｍｎの含有量［Ｎｉ］、［Ｃｏ］、［Ｍｎ］が５４．８≦２．２［Ｎｉ］＋［Ｃｏ］＋１．７［Ｍｎ］≦５５．６を満たし、組織がオーステナイト及びフェライトの２相組織であり、オーステナイト分率が７０％以上であることを特徴とする低熱膨張鋳物。【選択図】図１
2020056076.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
質量％で、
Ｃ  ：０．０４０％以下、
Ｓｉ：０．２５％以下、
Ｍｎ：０．１５〜０．５０％、
Ｃｒ：８．５０〜１０．０％、
Ｎｉ：０〜５．００％、
Ｃｏ：４３．０〜５６．０％
Ｓ  ：０〜０．０５０％、及び
Ｓｅ：０〜０．０５０％
を含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物であり、
Ｎｉ、Ｃｏ、Ｍｎの含有量［Ｎｉ］、［Ｃｏ］、［Ｍｎ］が
５４．８≦２．２［Ｎｉ］＋［Ｃｏ］＋１．７［Ｍｎ］≦５５．６
を満たし、
組織がオーステナイト及びフェライトの２相組織であり、オーステナイト分率が７０％以上である
ことを特徴とする低熱膨張鋳物。
【請求項２】
請求項１に記載の低熱膨張鋳物の製造方法であって、
Ｃ  ：０．０４０％以下、
Ｓｉ：０．２５％以下、
Ｍｎ：０．１５〜０．５０％、
Ｃｒ：８．５０〜１０．０％、
Ｎｉ：０〜５．００％、
Ｃｏ：４３．０〜５６．０％
Ｓ  ：０〜０．０５０％、及び
Ｓｅ：０〜０．０５０％
を含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物であり、
Ｎｉ、Ｃｏ、Ｍｎの含有量［Ｎｉ］、［Ｃｏ］、［Ｍｎ］が
５４．８≦２．２［Ｎｉ］＋［Ｃｏ］＋１．７［Ｍｎ］≦５５．６
を満たす鋳物を、
７００〜１０５０℃に加熱した後、炉内で冷却する
ことを特徴とする低熱膨張鋳物の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は高いヤング率を有する低熱膨張鋳物に関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトロニクスや半導体関連機器、レーザー加工機、超精密加工機器の部品材料として、熱的に安定なインバー合金が広く使用されている。しかしながら、従来のインバー合金には、ヤング率が一般鋼材の２分の１程度と小さいという問題があった。そのため、対象となる部品の肉厚を厚くするなどの、高剛性化設計を行う必要があった。
【０００３】
特許文献１は、耐ガラス腐食性にすぐれた光学ガラスレンズプレス成形用低熱膨張Ｃｏ基合金製金型として、高い弾性係数を有し、線熱膨張係数が２〜８×１０-6／Ｋをもつ合金を開示している。この合金は、望ましくは［１１１］の結晶方位を金型のプレス軸に配向させた単結晶組織をもつ。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−８１６４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示された合金は、２〜８×１０-6／Ｋという、比較的低い熱膨張係数を有するが、超精密加工機器の部品材料として使用するためには、さらに低い熱膨張係数が求められる。また、特許文献１に開示された合金は単結晶であるため、製造に時間がかかるという欠点がある。
【０００６】
本発明は、上記の問題を解決し、通常の鋳造により製造可能であり、高いヤング率、低い熱膨張係数を有する、低熱膨張鋳物及びその製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、高いヤング率と低い熱膨張係数を両立する低熱膨張鋳物を得る方法を鋭意検討した。その結果、特に、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｍｎの含有量を最適化することにより、高いヤング率と低い熱膨張係数を合わせ持つ低熱膨張鋳物を得ることができることを見出した。
【０００８】
通常の低熱膨張鋳物においても、成分組成の調整により、ヤング率と熱膨張係数をある程度調整することができる。しかしながら、ヤング率と熱膨張係数は、ほぼトレードオフの関係にある。すなわち、ヤング率が高くなると、熱膨張係数も大きくなる関係にあり、従来のＦｅ−ＮｉあるいはＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金では高ヤング率化に限界があった。
【０００９】
本発明者らは、低熱膨張鋳物において、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ合金の成分組成を最適化することにより、小さい熱膨張係数でもヤング率が向上することを見出した。
【００１０】
本発明は上記の知見に基づきなされたものであって、その要旨は以下のとおりである。
【００１１】
（１）質量％で、Ｃ：０．０４０％以下、Ｓｉ：０．２５％以下、Ｍｎ：０．１５〜０．５０％、Ｃｒ：８．５０〜１０．０％、Ｎｉ：０〜５．００％、Ｃｏ：４３．０〜５６．０％、Ｓ：０〜０．０５０％、及びＳｅ：０〜０．０５０％を含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物であり、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｍｎの含有量［Ｎｉ］、［Ｃｏ］、［Ｍｎ］が５４．８≦２．２［Ｎｉ］＋［Ｃｏ］＋１．７［Ｍｎ］≦５５．６を満たし、組織がオーステナイト及びフェライトの２相組織であり、オーステナイト分率が７０％以上であることを特徴とする低熱膨張鋳物。
【００１２】
（２）前記（１）の低熱膨張鋳物の製造方法であって、Ｃ：０．０４０％以下、Ｓｉ：０．２５％以下、Ｍｎ：０．１５〜０．５０％、Ｃｒ：８．５０〜１０．０％、Ｎｉ：０〜５．００％、Ｃｏ：４３．０〜５６．０％、Ｓ：０〜０．０５０％、及びＳｅ：０〜０．０５０％を含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物であり、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｍｎの含有量［Ｎｉ］、［Ｃｏ］、［Ｍｎ］が５４．８≦２．２［Ｎｉ］＋［Ｃｏ］＋１．７［Ｍｎ］≦５５．６を満たす鋳物を、７００〜１０５０℃に加熱した後、炉内で冷却することを特徴とする低熱膨張鋳物の製造方法。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、高いヤング率、低い熱膨張係数を有する、低熱膨張鋳物が得られるので、熱的に安定でありかつ高い剛性が必要となる部品等に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施例で製造した合金のＸ線回折の一例である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明について詳細に説明する。以下、成分組成に関する「％」は特に断りのない限り「質量％」を表すものとする。はじめに、本発明の合金の成分組成について説明する。
【００１６】
Ｃは、オーステナイトの低温安定性の向上に寄与するが、Ｃの含有量が多くなると、熱膨張係数が大きくなり、延性が低下し、さらに、合金の経年変化が大きくなるので、含有量は０．０４０％以下、好ましくは０．０２０％以下とする。Ｃは必須の元素ではなく、含有しなくてもよい。
【００１７】
Ｓｉは、脱酸材として添加される。凝固後の合金にはＳｉが含有される必要はないが、現実的には含有量を０とすることは難しく、０．０１％以上含有してもよい。Ｓｉ量が多くなると熱膨張係数が増加するので、Ｓｉ量は０．２５％以下、好ましくは０．２０％以下とする。溶湯の流動性を向上させるためには、Ｓｉは０．１０％以上含有させることが好ましい。
【００１８】
Ｍｎは、脱酸材として添加される。また、固溶強化による強度向上にも寄与する。この効果を得るためには、Ｍｎを０．１５％以上含有させる。Ｍｎの含有量が０．５０％を超えても効果が減少し、コスト高となるので、Ｍｎ量は０．５０％以下とする。好ましくは０．３０％以下とする。
【００１９】
Ｃｒは耐食性を確保するのに重要な元素であり、また、Ｃｏとの最適な組み合わせにより低熱膨張が得られる。耐食性確保のためにＣｒの含有量は８．５０％以上とする。Ｃｒ量が多くなりすぎると熱膨張係数が大きくなるため、Ｃｒ量は１０．０％以下とする。
【００２０】
Ｎｉは、Ｃｏとの組み合わせにより熱膨張係数の低下に寄与する。また、オーステナイトの低温安定性の向上に寄与し、−１９６℃でもマルテンサイト変態しないようになる。所望の熱膨張係数を得るため、Ｎｉの範囲は０〜５．００％とする。
【００２１】
Ｃｏは、熱膨張係数を低下させる、必須の元素である。Ｃｏ量は多すぎても少なすぎても熱膨張係数が十分に小さくならない。本発明においては、Ｃｏ量は４３．０〜５６．０％の範囲とする。
【００２２】
本発明の低熱膨張鋳物は、オーステナイト分率が７０％以上であるオーステナイト及びフェライトの２相組織を有する。この組織は、ＮｉとＣｏ、さらにＭｎのバランスを適正な範囲とすることにより得られ、熱膨張係数を低くすることができる。オーステナイト分率が７０％以上であるオーステナイト及びフェライトの２相組織、及び低い熱膨張係数を得るためには、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｍｎの含有量（質量％）［Ｎｉ］、［Ｃｏ］、［Ｍｎ］を、５４．８≦２．２［Ｎｉ］＋［Ｃｏ］＋１．７［Ｍｎ］≦５５．６を満たすようにする。
【００２３】
鋳物の組織は、Ｘ線回折で調べることができる。オーステナイトの分率は、Ｘ線回折パターンにおける各組織の強度を求め、全組織のピークの強度に対するオーステナイトのピークの強度比をオーステナイト分率とする。
【００２４】
組織を２相組織とすることにより、凝固組織が微細化（等軸晶化）されるので、安定的に高いヤング率を得ることができる。組織を微細化するめに、フェライト分率は２％以上とすることが好ましく、より好ましくは５％以上、さらに好ましくは１０％以上である。
【００２５】
この他に、被削性が要求される場合には、ＳあるいはＳｅをそれぞれ０．０５０％以下の範囲で添加してもよい。
【００２６】
成分組成の残部は、Ｆｅ及び不可避的不純物である。不可避的不純物とは、本発明で規定する成分組成を有する鋼を工業的に製造する際に、原料や製造環境等から不可避的に混入するものをいう。具体的には、Ａｌ、Ｓ、Ｐ、Ｃｕなどが挙げられる。これらの元素が不可避的に混入する場合の含有量は０．０１％以下程度である。
【００２７】
次に、本発明の低熱膨張鋳物の製造方法について説明する。
【００２８】
本発明の高剛性低熱膨張鋳物の製造に用いる鋳型や、鋳型への溶鋼の注入装置、注入方法は特に限定されるものではなく、公知の装置、方法を用いればよい。
【００２９】
得られた鋳鋼を７００〜１０５０℃に加熱し、０．５〜５ｈｒ保持した後、炉内冷却する。冷却速度は遅いほうが好ましく、１０℃／分以下が好ましく、５℃／分以下がより好ましい。
【００３０】
本発明の低熱膨張鋳物は、高いヤング率、低い熱膨張係数を有する。具体的には、１７０ＧＰａ以上、好ましくは１８０ＧＰａ以上のヤング率、±１．０×１０-6／℃以内、好ましくは±０．５×１０-6／℃以内の熱膨張係数を有する。
【実施例】
【００３１】
［実施例１］
表１に示す成分組成となるように調整した溶湯を鋳型に注湯し鋳鋼を製造した。鋳鋼は、φ１００×３５０とし、１０００℃×２ｈｒの熱処理を施し、炉内で冷却し、それぞれの試験片サイズに切り出し試験片とした。また、実施例３８及び３９の熱処理は、鍛造前に１２００℃の拡散処理を、鍛造後に８３０℃×２ｈｒの熱処理を施し、水冷しそれぞれの試験片サイズを切り出し試験片とした。それぞれ製造した試験片に対して３１５℃で２ｈｒ熱処理して最終的な鋳物を得た。
【００３２】
【表１】
2020056076.tif 000003
【００３３】
製造した試験片について、ヤング率、熱膨張係数、オーステナイト分率を測定した。
【００３４】
ヤング率は室温にて二点支持横共振法で測定した。熱膨張係数は、熱膨張測定機を用い、０〜６０℃の平均熱膨張係数として求めた。オーステナイト分率は、Ｘ線回折を使用し、オーステナイトとフェライトの強度比で求めた。図１にＸ線回折の一例として、実施例２７の例を示す。
【００３５】
結果を表１に示す。表１に示すとおり、本発明例の鋳物は、１×１０-6／℃以下の低い熱膨張係数を有し、１７０ＧＰａ以上と高いヤング率を有するという結果となった。
【図１】
2020056076.tif 000004