(57)【要約】      （修正有）【課題】被加工物における水平クラックやファイバーの発生と拡大を抑制するスクライビングホイールを提供する。【解決手段】スクライビングホイールの外周部に周方向に交互に形成された複数の凸部４０および複数の凹部５０と、前記凹部５０内に形成された段部５３とを備え、前記段部５３は前記凹部５０の底面５１Ｃと前記凹部５０の頂部５２との間に形成されており、前記段部５３は前記スクライビングホイールの軸方向に長く、前記段部５３は前記凹部５０を構成する凹面に形成された内溝の頂部を含み、前記内溝の深さは前記凹部の深さよりも浅く、前記内溝はＶ溝である。【選択図】図３
2020142977.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクライビングホイールの外周部に周方向に交互に形成された複数の凸部および複数の凹部と、
前記凹部内に形成された段部とを備える
スクライビングホイール。
【請求項２】
前記段部は前記凹部の底面と前記凹部の頂部との間に形成されている
請求項１に記載のスクライビングホイール。
【請求項３】
前記段部は前記スクライビングホイールの軸方向に長い
請求項１または２に記載のスクライビングホイール。
【請求項４】
前記段部は前記凹部を構成する凹面に形成された内溝の頂部を含む
請求項１〜３のいずれか一項に記載のスクライビングホイール。
【請求項５】
前記内溝の深さは前記凹部の深さよりも浅い
請求項４に記載のスクライビングホイール。
【請求項６】
前記内溝はＶ溝である
請求項４または５に記載のスクライビングホイール。
【請求項７】
前記内溝の形状は非対称である
請求項６に記載のスクライビングホイール。
【請求項８】
前記凹部を構成する凹面は前記凹部の底面に対して前記スクライビングホイールの回転方向の後方に位置する第１凹面、および、前記凹部の底面に対して前記スクライビングホイールの回転方向の前方に位置する第２凹面を含み、
前記段部は前記第１凹面および前記第２凹面の少なくとも一方に形成されている
請求項１〜７のいずれか一項に記載のスクライビングホイール。
【請求項９】
前記凸部には前記スクライビングホイールの刃先を構成する第１稜線が形成され、
前記凹部を構成する凹面には前記第１稜線に連続する第２稜線が形成されている
請求項１〜８のいずれか一項に記載のスクライビングホイール。
【請求項１０】
前記凹部はＶ溝である
請求項９に記載のスクライビングホイール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板等の被加工物をスクライブするスクライビングホイールに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板等の脆性材料基板を切断するためにスクライブラインが形成される。これにはスクライビングホイールが用いられる。例えば特許文献１のスクライビングホイールは、外周部に周方向に間隔をおいて形成された多数の溝を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１３２５４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
スクライブ加工された被加工物の品質は例えば後工程での加工に影響する。被加工物の品質が低下する例としては、スクライブ加工にともない水平クラックまたはファイバーが被加工物に形成される場合が挙げられる。水平クラックとは、被加工物に形成されたスクライブラインに対して横方向の成分を含む方向に伸びるクラックである。ファイバーとは、スクライブラインの側方に発生した水平クラックが被加工物の表面まで進展し、被加工物から剥離して形成される走査方向に長い屑である。
本発明の目的は被加工物における水平クラックやファイバーの発生と拡大を抑制するスクライビングホイールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一形態に関するスクライビングホイールは、外周部に周方向に交互に形成された複数の凸部および複数の凹部と、凹部内に形成された段部とを備える。
上記スクライビングホイールを用いたスクライブ加工では、被加工物に深い垂直クラックが形成されやすい。これにはスクライビングホイールの回転にともない凸部が被加工物に衝撃を与え、さらに凸部が被加工物に食い込むことが影響していると考えられる。上記スクライビングホイールを用いたスクライブ加工では、さらに被加工物における水平クラックやファイバーの発生と拡大が抑えられる。これは凹部が被加工物に押し付けられた場合に凹部内の段部が被加工物に衝撃を与え、被加工物の内部の広い範囲に残留応力が蓄積される前に残留応力が開放されることが関係していると考えられる。
【０００６】
前記スクライビングホイールの一例では、前記段部は前記凹部の底面と前記凹部の頂部との間に形成されている。
上記スクライビングホイールによれば、段部が被加工物に食い込みやすく、被加工物に衝撃を与えやすい。
【０００７】
前記スクライビングホイールの一例では、前記段部は前記スクライビングホイールの軸方向に長い。
上記スクライビングホイールによれば、段部が被加工物の広い範囲に接触し、被加工物に対してより確実に衝撃を与えやすい。
【０００８】
前記スクライビングホイールの一例では、前記段部は前記凹部を構成する凹面に形成された内溝の頂部を含む。
上記スクライビングホイールによれば、凹部の凹面に形成された内溝により段部が構成される。段部を容易に形成できる。
【０００９】
前記スクライビングホイールの一例では前記内溝の深さは前記凹部の深さよりも浅い。
上記スクライビングホイールによれば、被加工物の残留応力を開放できる程度の適度な大きさの衝撃を被加工物に与えやすい。
【００１０】
前記スクライビングホイールの一例では、前記内溝はＶ溝である。
上記スクライビングホイールによれば、段部が被加工物に食い込みやすく、被加工物に衝撃を与えやすい。
【００１１】
前記スクライビングホイールの一例では、前記内溝の形状は非対称である。
上記スクライビングホイールによれば、内溝に鋭い頂部が形成される。この頂部を含む段部は被加工物に食い込みやすく、被加工物に衝撃を与えやすい。
【００１２】
前記スクライビングホイールの一例では、前記凹部を構成する凹面は前記凹部の底面に対して前記スクライビングホイールの回転方向の後方に位置する第１凹面、および、前記凹部の底面に対して前記スクライビングホイールの回転方向の前方に位置する第２凹面を含み、前記段部は前記第１凹面および前記第２凹面の少なくとも一方に形成されている。
上記スクライビングホイールによれば、段部が被加工物に食い込みやすく、被加工物に衝撃を与えやすい。
【００１３】
前記スクライビングホイールの一例では、前記凸部には前記スクライビングホイールの刃先を構成する第１稜線が形成され、前記凹部を構成する凹面には前記第１稜線に連続する第２稜線が形成されている。
上記スクライビングホイールを用いたスクライブ加工では、被加工物に深い垂直クラックが形成されやすい。これは凸部の第１稜線および凹部の第２稜線により直線的なスクライブラインが被加工物に形成されることが関係していると考えられる。
【００１４】
前記スクライビングホイールの一例では、前記スクライビングホイールの軸方向に直交する断面では、前記凹部はＶ溝である。
上記スクライビングホイールによれば、凹部を容易に形成できる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に関するスクライビングホイールはスクライブ加工された被加工物の品質の向上に寄与する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施形態のスクライビングホイールの斜視図。
【図２】図１のスクライビングホイールの側面図。
【図３】図１の外周部の一部を拡大した側面図。
【図４】図１の外周部の一部を拡大した斜視図。
【図５】図１の外周部の一部の断面図。
【図６】図１の外周部の一部の正面図。
【図７】被加工物に形成されたスクライブラインの一部の拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図１に示されるスクライビングホイール１０は被加工物のスクライブ加工に用いられる。被加工物は例えば基板である。基板は例えば脆性材料基板である。脆性材料基板は例えばガラス基板またはセラミックス基板である。スクライビングホイール１０は高硬度材料により形成される。高硬度材料は例えば焼結ダイヤモンド(Poly Crystalline Diamond)、超硬合金、単結晶ダイヤモンド、または、多結晶ダイヤモンドである。スクライビングホイール１０の基本的な構造として次の第１例および第２例が挙げられる。第１例では、スクライビングホイール１０の全体が高硬度材料により形成される。第２例では、スクライビングホイール１０は本体およびコーティング層を含む。コーティング層は本体の表面を被覆する。コーティング層は高硬度材料の層である。
【００１８】
スクライビングホイール１０は本体部２０および外周部３０を備えている。本体部２０はスクライビングホイール１０の中心軸１０Ａまわりの部分を構成する円板である。外周部３０は本体部２０の外周に位置し、スクライビングホイール１０の刃を構成する。本体部２０には、本体部２０をスクライビングホイール１０の軸方向に貫通する孔２１が形成されている。孔２１には、スクライビングホイール１０を支持するピンが挿入される。スクライビングホイール１０はピンに対して回転する。スクライビングホイール１０の軸方向の中心を通過し、中心軸１０Ａに直交する面を中心面と称する。スクライビングホイール１０は中心面に対して対称または非対称である。図１に示される例では、スクライビングホイール１０は中心面に対して対称である。この場合、中心面はスクライビングホイール１０の対称面に相当する。
【００１９】
スクライビングホイール１０の各部位の寸法は被加工物のサイズ等に応じて任意に設定できる。スクライビングホイール１０の外径は例えばφ１．５ｍｍ〜φ６ｍｍの範囲から選択される。一例では、スクライビングホイール１０の外径はφ２ｍｍである。スクライビングホイール１０の厚さは例えば０．４ｍｍ〜１．１ｍｍの範囲から選択される。一例では、スクライビングホイール１０の厚さは０．６４ｍｍである。
【００２０】
図２に示されるスクライビングホイール１０の側面図において、スクライビングホイール１０の輪郭を示す線を稜線３３と称する。稜線３３は外周部３０に形成されている。外周部３０は稜線３３により区分される第１外周面３１および第２外周面３２を含む。一例では、稜線３３はスクライビングホイール１０の中心面上に位置する。
【００２１】
スクライビングホイール１０の中心面を基準にした場合、スクライビングホイール１０は第１台部１１および第２台部１２に区分できる。第１台部１１および第２台部１２は円錐台に孔２１を形成した立体に相当する。第１台部１１の側面は第１外周面３１に相当する。第２台部１２の側面は第２外周面３２に相当する。スクライビングホイール１０の中心面に直交するスクライビングホイール１０の断面上では、外周部３０の幅は本体部２０から稜線３３に向けて狭くなる。
【００２２】
スクライビングホイール１０は外周部３０に周方向に交互に形成された複数の凸部４０および複数の凹部５０をさらに備えている。凸部４０の具体的な形態は任意に選択できる。一例では、凸部４０は第１外周面３１および第２外周面３２の両方に形成されている。凸部４０は稜線３３から各台部１１、１２の仮想の頂点に向かうように形成されている。凹部５０の具体的な形態は任意に選択できる。凹部５０は外周部３０の第１外周面３１および第２外周面３２の少なくとも一方に形成される。一例では、凹部５０は第１外周面３１および第２外周面３２の両方に形成されている。凹部５０は稜線３３から各台部１１、１２の仮想の頂点に向かうように形成されている。
【００２３】
凸部４０および凹部５０の数は任意に設定できる。凸部４０および凹部５０の数は例えば５〜７５０の範囲から選択される。一例では、凸部４０および凹部５０の数は１６０である。稜線３３は凸部４０および凹部５０のそれぞれに形成されている。凸部４０に形成された稜線３３を第１稜線３３Ａと称する。凹部５０内に形成された稜線３３を第２稜線３３Ｂと称する。第１稜線３３Ａに対する凸部４０の形状は対称および非対称のいずれにも設定できる。図４等では第１稜線３３Ａに対して対称な凸部４０を例示している。第２稜線３３Ｂに対する凹部５０の形状は対称および非対称のいずれにも設定できる。図４等では第２稜線３３Ｂに対して対称な凹部５０を例示している。稜線３３は周方向に交互に形成された複数の第１稜線３３Ａおよび複数の第２稜線３３Ｂにより構成されている。稜線３３を平面に展開した場合、稜線３３は直線である。このような稜線３３の形状によれば、被加工物に直線的なスクライブラインが形成され、被加工物に深い垂直クラックが形成されやすい。
【００２４】
スクライビングホイール１０の側面視において中心軸１０Ａと第１稜線３３Ａとを結ぶ線分をスクライビングホイール１０の半径と称する。スクライビングホイール１０の半径により決められる円をスクライビングホイール１０の円周と称する。凹部５０はスクライビングホイール１０の円周に対してスクライビングホイール１０の径方向の内側に凹んでいる。第１稜線３３Ａはスクライビングホイール１０の円周の一部に相当する。
【００２５】
凹部５０の形状は任意に選択できる。一例では、図３および図４に示されるように、凹部５０はＶ溝である。Ｖ溝には、スクライビングホイール１０の側面視における形状がＶ型の溝、および、Ｖ型に類似する溝が含まれる。形状がＶ型に類似する溝とは、例えば図３等に示される凹部５０のように溝の端部や底面が湾曲した溝である。凹部５０を構成する凹面５１は第１凹面５１Ａ、第２凹面５１Ｂ、および、底面５１Ｃを含む。図３および図４に示される例では、凸部４０と凹部５０との間に明確な境界は現れていない。ここでは、スクライビングホイール１０の円周上に凸部４０と凹部５０との境界を規定する。この境界は凹部５０の頂部５２を構成する。
【００２６】
図５はスクライビングホイール１０を稜線３３(第１稜線３３Ａ)を含む平面で切断したスクライビングホイール１０の断面(以下「基準断面」という)を示している。図５では凹部５０の凹面５１の曲がり具合を誇張して表現している。凹部５０の底面５１Ｃは凹部５０の最も深い部分５１Ｄ(以下「最深部５１Ｄ」という)を含む。最深部５１Ｄは凹部５０のうちスクライビングホイール１０の径方向において円周から最も離れた部分である。底面５１Ｃの形状は任意に選択できる。第１例では、図５に示されるように、底面５１Ｃは中心軸１０Ａに向けて窪む曲面である。第２例では、底面５１Ｃは平面である。第３例では、底面５１Ｃは基準断面上において鋭角、直角、または、鈍角を形成する。
【００２７】
基準断面における凹部５０の一方の頂部５２を第１頂部５２Ａと称し、他方の頂部５２を第２頂部５２Ｂと称する。第１頂部５２Ａは底面５１Ｃに対してスクライビングホイール１０の回転方向の後方に位置する。すなわち、第１頂部５２Ａはスクライブ加工時におけるスクライビングホイール１０の回転にともない、回転方向の後方に隣接する凸部４０に対して先に被加工物に接触する。第２頂部５２Ｂは底面５１Ｃに対してスクライビングホイール１０の回転方向の前方に位置する。すなわち、第２頂部５２Ｂはスクライブ加工時におけるスクライビングホイール１０の回転にともない、回転方向の前方に隣接する凸部４０に対して後に被加工物に接触する。第１凹面５１Ａは凹部５０の第１頂部５２Ａと底面５１Ｃとの間に形成されている。第１凹面５１Ａはスクライビングホイール１０の径方向に対して傾斜している。第２凹面５１Ｂは凹部５０の第２頂部５２Ｂと底面５１Ｃとの間に形成されている。第２凹面５１Ｂはスクライビングホイール１０の径方向に対して傾斜している。
【００２８】
図６はスクライビングホイール１０の径方向の外方から外周部３０を見た正面図である。図６の破線は凹部５０の最深部５１Ｄを示している。凹部５０の凹面５１には第２稜線３３Ｂが形成されている。スクライビングホイール１０の側面視では、凹部５０は第２稜線３３Ｂに対して対称である。凹部５０の他の形態では、凹部５０の凹面５１の全体が曲面であり、凹面５１内に第２稜線３３Ｂが形成されない。凹面５１はスクライビングホイール１０の円周に対して中心軸１０Ａに向けて窪む。この例では、凹部５０の輪郭を表す線が凹部５０の第２稜線に相当する。第１稜線３３Ａの端部において２本の第２稜線に分岐し、その第１稜線３３Ａに対して周方向に隣接する次の第１稜線３３Ａにおいて、分岐した２本の第２稜線が合流する。外周部３０の稜線３３は周方向に交互に形成される複数の第１稜線３３Ａ、および、複数の一対の第２稜線により構成される。
【００２９】
図３〜６に示されるように、凹部５０は段部５３を含む。段部５３は凹部５０が被加工物に押し付けられた場合に被加工物に食い込むように構成された部分である。段部５３の具体的な形態は任意に選択できる。第１例では、図５に示されるように、段部５３は凹部５０内に形成された内溝６０の頂部６２を含む。第２例では、段部５３は凹面５１から突出する突起を含む。突起はスクライビングホイール１０の円周の外方に突出しないように構成される。第３例では、段部５３は凹面５１に形成された階段状の部分を含む。第４例では、段部５３は上記第１例の内溝６０、上記第２例の突起、および、上記第３例の階段状の部分のうちの少なくとも２つを含む。段部５３の数は任意に選択できる。具体的には、内溝６０、突起、および、階段状の部分は上記第１〜第４例のそれぞれにおいて１または複数形成される。連続する段差が階段状の部分の単位を構成する。凹部５０内における段部５３の形成箇所は任意に選択できる。具体的には、内溝６０、突起、および、階段状の部分は上記第１〜第４例のそれぞれにおいて第１凹面５１Ａ、第２凹面５１Ｂ、および、底面５１Ｃの少なくとも１箇所に形成される。
【００３０】
凹部５０内における内溝６０の形成位置はスクライブ加工時に内溝６０が被加工物に接触する範囲で任意に選択できる。一例では、内溝６０は凹部５０の底面５１Ｃと頂部５２との間に形成されている。内溝６０の深さは凹部５０の深さよりも浅い。内溝６０は第１凹面５１Ａおよび第２凹面５１Ｂの少なくとも一方に形成される。この場合、底面５１Ｃに対して、スクライビングホイール１０の回転方向の前方または後方に内溝６０が形成されるため、スクライブ加工された被加工物の品質に対する段部５３の影響を一定にすることができる。図６に示される例では、第１凹面５１Ａおよび第２凹面５１Ｂのそれぞれに内溝６０が形成されている。第１凹面５１Ａの内溝６０と第２凹面５１Ｂの内溝６０とは、スクライビングホイール１０の正面視では凹部５０の最深部５１Ｄに対して線対称である。内溝６０の形成範囲はスクライブ加工時に内溝６０が被加工物に接触する範囲で任意に選択できる。一例では、内溝６０は第２稜線３３Ｂに対してスクライビングホイール１０の軸方向の両側に形成されている。この場合、第２稜線３３Ｂは凹部５０の凹面５１だけではなく、内溝６０の内部にも形成され、凹部５０内において連続する。
【００３１】
基準断面における内溝６０の形状は任意に選択できる。一例では、内溝６０は非対称または対称のＶ溝である。図５では非対称のＶ溝を例示している。Ｖ溝には、図５に示される内溝６０のように基準断面における形状がＶ型の溝、および、Ｖ型に類似する溝が含まれる。形状がＶ型に類似する溝とは、例えば溝の底面が湾曲した溝である。内溝６０を構成する内溝面６１は第１内溝面６１Ａ、第２内溝面６１Ｂ、および、内溝底面６１Ｃを含む。内溝底面６１Ｃは内溝６０の最も深い部分６１Ｄ(以下「最深部６１Ｄ」という)を含む。最深部６１Ｄは内溝６０のうち凹部５０の空間から最も離れた部分である。内溝底面６１Ｃの形状は任意に選択できる。第１例では、図５に示されるように、内溝底面６１Ｃは基準断面上において鋭角を形成する。第２例では、内溝底面６１Ｃは基準断面上において直角または鈍角を形成する。第３例では、内溝底面６１Ｃは中心軸１０Ａに向けて窪む曲面である。第４例では、内溝底面６１Ｃは平面である。
【００３２】
頂部６２は凹部５０の凹面５１と内溝６０の内溝面６１との境界に相当する。基準断面における内溝６０の一方の頂部６２を第１頂部６２Ａと称し、他方の頂部６２を第２頂部６２Ｂと称する。第１頂部６２Ａは凹部５０の底面５１Ｃ側に位置する。第２頂部６２Ｂは凹部５０の頂部５２側に位置する。第１内溝面６１Ａは内溝６０の第１頂部６２Ａと内溝底面６１Ｃとの間に形成されている。第２内溝面６１Ｂは内溝６０の第２頂部６２Ｂと内溝底面６１Ｃとの間に形成されている。
【００３３】
１つの内溝６０に対して２つの段部５３が形成されている。内溝６０の第１頂部６２Ａ、第１内溝面６１Ａ、および、第１頂部６２Ａを構成する凹部５０の凹面５１は第１の段部５３を形成している。内溝６０の第２頂部６２Ｂ、第２内溝面６１Ｂ、および、第２頂部６２Ｂを構成する凹部５０の凹面５１は第２の段部５３を形成している。
【００３４】
基準断面上では第１の段部５３、第２の段部５３、および、内溝６０の内溝底面６１Ｃはそれぞれ所定のなす角を有する。第１の段部５３のなす角は第１内溝面６１Ａと凹面５１とがなす角である。第２の段部５３のなす角は第２内溝面６１Ｂと凹面５１とがなす角である。内溝６０のなす角は第１内溝面６１Ａと第２内溝面６１Ｂとがなす角である。各なす角は任意に設定できる。一例では、第１の段部５３のなす角は鋭角である。第２の段部５３のなす角は鈍角である。内溝６０のなす角は鋭角である。段部５３のなす角が鋭角に設定される場合、段部５３が被加工物に一層強く食い込みやすくなる。
【００３５】
凹部５０の深さの規定方法は任意に選択できる。一例では、凹部５０の深さはスクライビングホイール１０の半径上における最深部５１Ｄとスクライビングホイール１０の円周との距離である。凹部５０の深さは例えば０．５μｍ〜１０μｍの範囲から選択される。一例では、凹部５０の深さは５μｍである。凹部５０の深さの設定のため、例えば被加工物の材質、被加工物の厚さ、スクライビングホイール１０を被加工物に押し付ける荷重、スクライブ加工後の被加工物の品質、および、後工程の加工後の被加工物の品質などが考慮される。
【００３６】
凹部５０の開口幅の規定方法は任意に選択できる。一例では、凹部５０の開口幅はスクライビングホイール１０の側面視(図６)における第１頂部５２Ａと第２頂部５２Ｂとの距離である。図６に示される例では、凹部５０の開口幅はスクライビングホイール１０の軸方向に対して変化する。凹部５０の開口幅は対称面上において最も広く、軸方向において対称面から離れるにつれて次第に狭くなる。凹部５０の最大の開口幅は例えば２．０μｍ〜５０μｍの範囲から選択される。一例では、凹部５０の最大の開口幅は３０μｍである。凹部５０の幅の設定のため、例えば凹部５０の深さの設定の場合と同様の事項が考慮される。
【００３７】
内溝６０の深さの規定方法は任意に選択できる。一例では、内溝６０の深さはスクライビングホイール１０の基準断面における内溝６０の開口と内溝６０の最深部６１Ｄとの距離である。内溝６０の開口は第１頂部６２Ａと第２頂部６２Ｂとの間に相当する。内溝６０の深さは例えば０．５μｍ〜３μｍの範囲から選択される。一例では、内溝６０の深さは１μｍである。内溝６０の深さの設定のため、例えば凹部５０の深さの設定の場合と同様の事項が考慮される。
【００３８】
内溝６０の開口幅の規定方法は任意に選択できる。一例では、内溝６０の開口幅はスクライビングホイール１０の基準断面における内溝６０の第１頂部６２Ａと第２頂部６２Ｂとの距離である。内溝６０の開口幅は例えば１．５μｍ〜６μｍの範囲から選択される。一例では、内溝６０の開口幅は３μｍである。内溝６０の開口幅の設定のため、例えば凹部５０の深さの設定の場合と同様の事項が考慮される。
【００３９】
図７はスクライビングホイール１０により被加工物１００に形成されたスクライブライン１１０の一例を示している。スクライブライン１１０はスクライビングホイール１０の走査方向に沿って形成されている。被加工物１００にはさらに、スクライブ加工されていない被加工物１００の表面１０１に対して窪んだ打痕１２０がスクライブライン１１０に沿って形成されている。打痕１２０はスクライビングホイール１０の転動にともない凸部４０および凹部５０の一部が被加工物１００の表面に転写されることにより形成される。
【００４０】
被加工物１００にスクライブライン１１０が形成された場合、スクライブライン１１０から被加工物１００の厚さ方向にクラックが進展する。これは垂直クラックと呼ばれる。複数の凸部４０および複数の凹部５０を備えるスクライビングホイール１０によるスクライブ加工では、被加工物１００に深い垂直クラックが形成されやすい。これにはスクライビングホイール１０の回転にともない凸部４０が被加工物１００に衝撃を与え、さらに凸部４０が断続的に被加工物１００に食い込むことが影響していると考えられる。被加工物１００の垂直クラックが深くなる程、後工程で被加工物１００がブレイク加工された場合の被加工物１００の品質が向上する。
【００４１】
スクライビングホイール１０を用いて被加工物１００をスクライブ加工した場合、被加工物１００に水平クラックやファイバーが発生および拡大しにくい。その理由は次のように推測される。スクライビングホイール１０の回転にともない凹部５０が被加工物１００に押し付けられた場合に凹部５０内の段部５３が被加工物１００に衝撃を与え、段部５３が被加工物１００に食い込み、被加工物１００に段部５３の形状が転写され、微小な打痕１３０が形成される。図７に示されるように、微小な打痕１３０は打痕１２０の内部に形成される。水平クラックの代表的な形態では、スクライブライン１１０から被加工物１００の内部において横方向の成分を含む方向に進展する。水平クラックがさらに進展し、被加工物１００の表面１０１にクラックが表れ、スクライブライン１１０に沿って拡大する場合、被加工物１００の表面１０１に到達したクラックにより表面１０１の一部が剥離し、ファイバーが形成される。
【００４２】
凹部５０内の段部５３により被加工物１００に微小な打痕１３０が形成される場合、被加工物１００の残留応力が開放される。被加工物１００の広い範囲に残留応力が蓄積された状態では、残留応力に起因して水平クラックが生じる場合に水平クラックがスクライブライン１１０に沿って広範囲に進展しやすい。これはファイバーの発生にも影響する。スクライビングホイール１０を用いる場合には、被加工物１００の広い範囲に残留応力が蓄積される前に、微小な打痕１３０の形成により残留応力が開放され、水平クラックやファイバーの発生と拡大が抑えられると考えられる。
【００４３】
なお、上記実施形態に示されたスクライビングホイール１０は本発明に関するスクライビングホイールの一例である。上記実施形態は本発明を制限しない。本発明に関するスクライビングホイールは上記実施形態に例示された形態とは異なる形態を取り得る。その一例は、実施形態の構成の一部を置換、変更、もしくは、省略した形態、または、実施の形態に新たな構成を付加した形態である。
【符号の説明】
【００４４】
１０  ：スクライビングホイール
３０  ：外周部
３３Ａ：第１稜線
３３Ｂ：第２稜線
４０  ：凸部
５０  ：凹部
５１  ：凹面
５１Ａ：第１凹面
５１Ｂ：第２凹面
５１Ｃ：底面
５２  ：頂部
５３  ：段部
６０  ：内溝
６２  ：頂部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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