(57)【要約】【課題】エアカーテンによる被加工物とカバーガラスとの間の遮蔽状態を確認するべく、レーザー加工装置の加工補助装置におけるエアカーテンの形成状態を評価する評価方法を提供する。【解決手段】少なくともカバーガラスを有する集光器が加工補助装置上に配置された状態で、カバーガラスとは反対側に位置する空洞部の下方に、液体と、粉体が混入された気体との少なくとも一方を含む確認用流体を空洞部へ向けて噴射する流体噴射口を配置する準備ステップと、加工補助装置においてエアカーテンが形成された状態で、流体噴射口からカバーガラスに向かって確認用流体を噴射する確認用流体噴射ステップと、確認用流体がエアカーテンを通過してカバーガラスに到達するか否かを確認する確認ステップと、を備える、加工補助装置におけるエアカーテンの形成状態を評価する評価方法を提供する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザービームを発振するレーザー発振器と、
該レーザー発振器から出射された該レーザービームを集光する集光レンズと、該集光レンズの下方に設けられたカバーガラスとを有する集光器と、
該集光器の下方に位置し、該集光レンズを通過した該レーザービームを被加工物へ導くための空洞部と、該空洞部の側方に位置し、集光された該レーザービームが該被加工物に照射されたときに該被加工物から飛散するデブリを該空洞部から排出するための吸引口と、該空洞部に対して該吸引口とは反対側に位置し、該吸引口に向かって気体を噴射して該空洞部を横断するエアカーテンを形成するための気体噴射口と、を有する加工補助装置と、を備えるレーザー加工装置で使用される該加工補助装置における該エアカーテンの形成状態を評価する評価方法であって、
少なくとも該カバーガラスを有する該集光器が該加工補助装置上に配置された状態で、該カバーガラスとは反対側に位置する該空洞部の下方に、液体と、粉体が混入された気体との少なくとも一方を含む確認用流体を該空洞部へ向けて噴射する流体噴射口を配置する準備ステップと、
該加工補助装置において該エアカーテンが形成された状態で、該流体噴射口から該カバーガラスに向かって該確認用流体を噴射する確認用流体噴射ステップと、
該確認用流体が該エアカーテンを通過して該カバーガラスに到達するか否かを確認する確認ステップと、を備えることを特徴とする、評価方法。
【請求項２】
該確認用流体噴射ステップでは、該エアカーテンが形成された状態で、所定の平面方向で該流体噴射口を移動させることができる位置調整治具を用いて該所定の平面方向で該流体噴射口を異なる複数の位置に順次位置付けて、各位置で該流体噴射口から該カバーガラスに向かって該確認用流体を噴射させることを特徴とする、請求項１に記載の評価方法。
【請求項３】
該確認用流体の該粉体の平均粒子径は、該デブリの粒子径に応じて設定されることを特徴とする、請求項１又は２に記載の評価方法。
【請求項４】
レーザービームが通過するための空洞部と、該空洞部の側方に位置する吸引口と、該空洞部に対して該吸引口とは反対側に位置する気体噴射口と、を有する加工補助装置において該空洞部を横断する様に該気体噴射口と該吸引口との間に形成されるエアカーテンの形成状態を評価するための確認用流体噴射装置であって、
基台部と、
該基台部上に設けられ、該加工補助装置の該エアカーテンに確認用流体を噴射するためのノズルと、Ｘ軸方向で該ノズルの位置を調整するＸ軸位置調整ネジと、該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向で該ノズルの位置を調整するＹ軸位置調整ネジと、を有する位置調整治具と、を備えることを特徴とする、確認用流体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザー加工装置の加工補助装置におけるエアカーテンの形成状態を評価する評価方法、及び、エアカーテンの形成状態を評価するための確認用流体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被加工物に吸収される波長を有するレーザービームを被加工物に照射することにより、被加工物をアブレーション加工する方法が知られている。被加工物をアブレーション加工するためには、通常、レーザー加工装置が用いられる。
【０００３】
レーザー加工装置は集光器を備えており、この集光器は、例えば、レーザービームを集光させる集光レンズと、集光レンズよりも被加工物側に位置し集光レンズを保護するカバーガラスとを有する。更に、レーザー加工装置は、集光器と被加工物との間に配置された加工補助装置（加工ノズルとも言う（例えば、特許文献１参照））を備える。
【０００４】
加工補助装置は、レーザービームが通過する細長い空洞部を有している。この空洞部を側方から挟む様に、噴射口と吸引口とが配置されている。噴射口からは、空洞部へ向けてエアーが噴射される。吸引口にはエジェクタ等の吸引源が接続されており、吸引源を作動させることで、空洞部に存在するエアー等は吸引口へ吸引される。レーザービームで被加工物を加工する間、噴射口からのエアーの噴射と吸引口からの吸引とを継続的に行うことにより、空洞部の高さ方向を横切る様にエアカーテンが形成される。
【０００５】
レーザービームで被加工物を加工する際には、集光レンズにより集光させたレーザービームを、空洞部の下方に位置付けられた被加工物の一面に照射する。これにより、被加工物の一面側がアブレーション加工され、被加工物の一部はデブリ（debris）となり空洞部へ飛散する。デブリは、一旦、空洞部を上昇するが、通常、集光器のカバーガラスに達する前にエアカーテンにより吹き飛ばされ、吸引口から吸引される。
【０００６】
しかし、エアーの流量が十分でない場合、デブリが加工ヘッドの空洞部内に堆積し、デブリの吸引効率が低下するという問題がある。更に、デブリがエアカーテンを貫通してカバーガラスに付着し、集光レンズを透過したレーザービームの進行を妨げるという問題がある。なお、エアーが噴射される向きや位置が適切でない場合にも、デブリの付着や吸引効率の低下の問題が生じ得る。それゆえ、被加工物とカバーガラスとの間は、エアカーテンにより十分に遮蔽されることが望ましい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１７−１２４４３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、エアカーテンを目視しても、被加工物とカバーガラスとの間がエアカーテンにより十分に遮蔽されているか否かを確認することは困難であるので、エアカーテンの形成状態を評価する手法が切望されていた。
【０００９】
本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、エアカーテンによる被加工物とカバーガラスとの間の遮蔽状態を確認するべく、レーザー加工装置の加工補助装置におけるエアカーテンの形成状態を評価する評価方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様によれば、レーザービームを発振するレーザー発振器と、該レーザー発振器から出射された該レーザービームを集光する集光レンズと、該集光レンズの下方に設けられたカバーガラスとを有する集光器と、該集光器の下方に位置し、該集光レンズを通過した該レーザービームを被加工物へ導くための空洞部と、該空洞部の側方に位置し、集光された該レーザービームが該被加工物に照射されたときに該被加工物から飛散するデブリを該空洞部から排出するための吸引口と、該空洞部に対して該吸引口とは反対側に位置し、該吸引口に向かって気体を噴射して該空洞部を横断するエアカーテンを形成するための気体噴射口と、を有する加工補助装置と、を備えるレーザー加工装置で使用される該加工補助装置における該エアカーテンの形成状態を評価する評価方法であって、少なくとも該カバーガラスを有する該集光器が該加工補助装置上に配置された状態で、該カバーガラスとは反対側に位置する該空洞部の下方に、液体と、粉体が混入された気体との少なくとも一方を含む確認用流体を該空洞部へ向けて噴射する流体噴射口を配置する準備ステップと、該加工補助装置において該エアカーテンが形成された状態で、該流体噴射口から該カバーガラスに向かって該確認用流体を噴射する確認用流体噴射ステップと、該確認用流体が該エアカーテンを通過して該カバーガラスに到達するか否かを確認する確認ステップと、を備える評価方法が提供される。
【００１１】
好ましくは、該確認用流体噴射ステップでは、該エアカーテンが形成された状態で、所定の平面方向で該流体噴射口を移動させることができる位置調整治具を用いて該所定の平面方向で該流体噴射口を異なる複数の位置に順次位置付けて、各位置で該流体噴射口から該カバーガラスに向かって該確認用流体を噴射させる。また、好ましくは、該確認用流体の該粉体の平均粒子径は、該デブリの粒子径に応じて設定される。
【００１２】
本発明の他の態様によれば、レーザービームが通過するための空洞部と、該空洞部の側方に位置する吸引口と、該空洞部に対して該吸引口とは反対側に位置する気体噴射口と、を有する加工補助装置において該空洞部を横断する様に該気体噴射口と該吸引口との間に形成されるエアカーテンの形成状態を評価するための確認用流体噴射装置であって、基台部と、該基台部上に設けられ、該加工補助装置の該エアカーテンに確認用流体を噴射するためのノズルと、Ｘ軸方向で該ノズルの位置を調整するＸ軸位置調整ネジと、該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向で該ノズルの位置を調整するＹ軸位置調整ネジと、を有する位置調整治具と、を備える確認用流体噴射装置が提供される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の一態様に係る評価方法では、空洞部を横断するエアカーテンが形成された状態で、空洞部の下方に配置された流体噴射口からカバーガラスに向かって確認用流体を噴射する。そして、確認用流体がエアカーテンを通過してカバーガラスに到達するか否かを確認する。これにより、レーザー加工時に被加工物とカバーガラスとの間がエアカーテンにより適切に遮蔽されるか否かを評価できる。即ち、エアカーテンの形成状態を評価できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】レーザー加工装置の一部断面側面図である。
【図２】確認用流体噴射装置の斜視図である。
【図３】図３（Ａ）は準備ステップ及び確認用流体噴射ステップを示す一部断面側面図であり、図３（Ｂ）は確認ステップでのカバーガラスの窓近傍の上面図である。
【図４】エアカーテンの形成状態を評価する評価方法を説明するフロー図である。
【図５】第２実施形態における確認ステップでのカバーガラスの窓近傍の上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。まず、レーザー加工装置２について説明する。図１は、レーザー加工装置２の一部断面側面図である。レーザー加工装置２は、レーザービームＬを形成するレーザービーム形成ユニット４を有する。
【００１６】
レーザービーム形成ユニット４は、レーザービームを発振するレーザー発振器４ａを有する。レーザー発振器４ａは、例えば、Ｎｄ：ＹＡＧ又はＮｄ：ＹＶＯ４で形成されたロッド状のレーザー媒質を含む。レーザー発振器４ａは、例えば、出力がパルス状であるレーザービームを外部に出射する。
【００１７】
レーザー発振器４ａには、レーザービームのパルスの繰り返し周波数を設定する周波数設定ユニット（不図示）や、パルスの幅を調整するパルス幅調整ユニット（不図示）が接続されている。周波数設定ユニットは、パルスの繰り返し周波数を例えば２０ｋＨｚに設定する。
【００１８】
レーザー発振器４ａから出射されたパルス状のレーザービームは、レーザービーム調整ユニット４ｂに入射する。レーザービーム調整ユニット４ｂは、例えば、レーザービームの波長（即ち、周波数）を変換する波長変換部（不図示）を有する。波長変換部は、例えば、レーザービームの高調波を発生させる非線形光学結晶を有する。
【００１９】
また、レーザービーム調整ユニット４ｂは、例えば、レーザービームの出力を調整する出力調整部（不図示）を有する。出力調整部は、例えば、減衰器（アッテネータ）である。レーザービーム調整ユニット４ｂは、レーザー発振器４ａから入射したレーザービームを、例えば、波長３５５ｎｍ、出力６．０Ｗに調整する。
【００２０】
レーザービーム調整ユニット４ｂから出射されたレーザービームＬは、集光器１０に入射する。集光器１０は、略直方体形状の筐体１２を有する。筐体１２の上面には、円形の上部開口１２ａが形成されている。
【００２１】
上部開口１２ａには集光レンズ１４が固定されており、集光レンズ１４の光軸１４ａは上部開口１２ａの中心に略一致している。上部開口１２ａから筐体１２の所定の深さまでには、第１凹部１２Ａが形成されている。第１凹部１２Ａは、筒状の側壁１２ｂにより規定される円柱状の空間である。
【００２２】
第１凹部１２Ａの深さ方向において上部開口１２ａとは反対側には、筐体１２の内壁の一部である環状の底部１２ｃが設けられている。環状の底部１２ｃの内径よりも内側には、開口１２ｄが存在する。
【００２３】
開口１２ｄの下方には、開口１２ｄを頂部とし、筐体１２の下面に位置する円形の底部開口（図１の第１開口２４ａに対応する）を底部とする逆円錐台状の空間（即ち、第２凹部１２Ｂ）が形成されている。なお、開口１２ｄの中心も、集光レンズ１４の光軸１４ａと略一致している。
【００２４】
第２凹部１２Ｂと第１凹部１２Ａとは、環状の底部１２ｃ上に固定されたガラス製の円盤状のカバーガラス１６により、空間的に分離されている。カバーガラス１６の開口１２ｄに対応する領域は、集光レンズ１４側からカバーガラス１６の第２凹部１２Ｂ側を見るための窓１８として機能する。窓１８の直径は、例えば、４ｍｍである。
【００２５】
集光器１０の下方には、加工補助装置２０が固定されている。加工補助装置２０は、略直方体形状の筐体２２を有する。筐体２２には、集光器１０の第２凹部１２Ｂに連続的に接続する様に形成された空洞部２４（図３参照）が設けられている。図１では、第２凹部１２Ｂと空洞部２４との境界である円状の第１開口２４ａを破線で示す。
【００２６】
空洞部２４は、第１開口２４ａを頂部とし、第１開口２４ａよりも下方に位置し第１開口２４ａよりも小さい径を有する円形の第２開口２４ｂを底部とする逆円錐台状の第１空間２４Ａを有する。なお、第１空間２４Ａの高さ方向は、例えばＺ軸方向（光軸１４ａ方向）と平行であり、高さ方向に直交する平面方向は、例えばＸ軸及びＹ軸により規定される平面と平行である。Ｘ軸及びＹ軸は、互いに直交する軸である。
【００２７】
第１空間２４Ａの下方には、第１空間２４Ａと共に空洞部２４を構成する第２空間２４Ｂが存在する。第２空間２４Ｂの上部領域のＸ軸方向の一方（例えば、−Ｘ方向）側には、第１の気体噴射部３０が設けられている。
【００２８】
第１の気体噴射部３０は、レーザー加工装置２の外部に配置された気体供給源（不図示）から気体が供給される第１管部３０ａを有する。なお、図１では、第１管部３０ａを簡略化した記号で示す。
【００２９】
第１管部３０ａは、Ｙ軸方向に沿って延伸する。第１管部３０ａと空洞部２４とは、Ｘ軸方向に沿って延伸する第１流路３２により接続されている。第１流路３２は、空洞部２４を構成する筐体２２の内壁に開口した第１の気体噴射口３４を有する。
【００３０】
第１の気体噴射口３４は、これをＹ−Ｚ平面で見た場合に、例えば、縁部が直線部分と円弧部分とで構成される略トラック（track）状に形成されている。第１の気体噴射口３４の直線部分の長さは、例えば、１．５ｍｍであり、第１の気体噴射口３４の円弧部分の半径は、例えば、０．５ｍｍである。
【００３１】
第２空間２４Ｂの下部領域のＸ軸方向の一方（例えば、−Ｘ方向）側には、第２の気体噴射部４０が設けられている。第２の気体噴射部４０は、レーザー加工装置２の外部に配置された気体供給源から気体が供給される第２管部４０ａを有する。第２管部４０ａは、Ｙ軸方向に沿って延伸する。なお、図１では、第２管部４０ａを簡略化した記号で示す。
【００３２】
第２管部４０ａと第２空間２４Ｂとは、Ｘ軸方向に沿って延伸する第２流路４２により接続されている。第２流路４２は、第２空間２４Ｂに接する筐体２２の内壁に開口した第２の気体噴射口４４を有する。第２の気体噴射口４４は、これをＹ−Ｚ平面で見た場合に、例えば、略円状に形成されている。第２の気体噴射口４４の円の直径は、例えば、１．５ｍｍである。
【００３３】
第２の気体噴射部４０よりも下方には、筐体２２の底部に位置する開口（即ち、第３開口２４ｃ）が存在する。第３開口２４ｃは、第２空間２４Ｂの下端（即ち、カバーガラス１６とは反対側）に位置している。
【００３４】
第３開口２４ｃの上方には、第２空間２４Ｂの上端を規定する上壁が形成されている。この上壁は、筐体２２の内壁の一部であり、上壁の上方には、洗浄水噴射部５０が設けられている。洗浄水噴射部５０は、レーザー加工装置２の外部に配置された液体供給源（不図示）から純水等の洗浄水が供給される第３管部５０ａを有する。
【００３５】
第３管部５０ａは、Ｙ軸方向に沿って延伸する。なお、図１では、第３管部５０ａを簡略化した記号で示す。第３管部５０ａと空洞部２４とは、Ｘ軸方向の一方（例えば、−Ｘ方向）側に向かって斜め下方に延伸する第３流路５２により接続されている。
【００３６】
第３流路５２は、第２空間２４Ｂを構成する筐体２２の内壁に開口した洗浄水噴射口５４を有する。洗浄水噴射口５４は、これをＸ−Ｙ平面で見た場合に、略円状となる様に形成されている。例えば、第２空間２４Ｂを構成する筐体２２の内壁に付着したデブリを除去する場合に、洗浄水噴射口５４から洗浄水が噴射される。
【００３７】
第２空間２４Ｂに対して第１の気体噴射口３４及び第２の気体噴射口４４の反対側には、吸引路４６が形成されている。第２空間２４Ｂの側方に位置する吸引路４６は、吸引路４６のＸ軸方向の一方（例えば、−Ｘ方向）側に、吸引口４６ａを有する。
【００３８】
吸引口４６ａは、第３開口２４ｃのＸ軸方向の他方（例えば、＋Ｘ方向）側の端部に位置している。つまり、吸引口４６ａは、空洞部２４の第２空間２４Ｂと吸引路４６との境界に位置している。吸引口４６ａは、Ｙ−Ｚ平面で見た場合に円状となる様に形成されている。
【００３９】
吸引路４６のＸ軸方向の他方（例えば、＋Ｘ方向）側の端部には、エジェクタ等の吸引源４８が設けられている。吸引源４８が作動すると、空洞部２４等に存在する気体等が吸引口４６ａから吸引源４８に向かって吸引される。
【００４０】
筐体２２にはシャッタ装置６０が設けられている。シャッタ装置６０は、例えば、筐体２２のＹ軸方向の一方（例えば、＋Ｙ方向）側に設けられている。シャッタ装置６０は、筐体２２のＹ軸方向の一方側の側面に固定されたシリンダ部６２と、シリンダ部６２に対して入出可能なロッド状のピストン６４とを有する。
【００４１】
シリンダ部６２は、例えば、Ｘ軸方向に長手部を有する略直方体形のエアシリンダである。シリンダ部６２のＸ軸方向の一方（例えば、−Ｘ方向）側に圧縮空気が給気されると、ピストン６４はシリンダ部６２から押し出され、Ｘ軸方向の他方（例えば、＋Ｘ方向）側に移動する。
【００４２】
これに対して、シリンダ部６２のＸ軸方向の他方（例えば、＋Ｘ方向）側に圧縮空気が給気されると、ピストン６４はシリンダ部６２に引き込まれ、Ｘ軸方向の一方（例えば、−Ｘ方向）側に移動する。
【００４３】
ピストン６４の一端側は、シリンダ部６２内に収容されるよう構成されている。これに対して、ピストン６４の他端側には、板部材で形成された接続部６６が固定されている。接続部６６は、Ｚ軸方向に沿う第１直線部とＹ軸方向に沿う第２直線部とを有し、Ｙ−Ｚ平面視で略Ｌ字形状に構成されている。
【００４４】
接続部６６の第２直線部には、Ｘ軸方向に沿って長手部を有する板状のシャッタ板６６ａが固定されている。シャッタ板６６ａは、例えば、筐体２２のＹ軸方向の幅と同じ幅を有する。
【００４５】
シャッタ板６６ａには、シャッタ板６６ａの上面、下面及び長手方向の両端部を一巻きする様に、帯状のシート６６ｂが設けられている。シート６６ｂのＹ軸方向の幅は、例えば、シャッタ板６６ａのＹ軸方向の幅よりも短く、空洞部２４の第３開口２４ｃのＹ軸方向の幅よりも長い。
【００４６】
一巻き状のシート６６ｂの両端部は、筐体２２の底面に設けられたシート固定部６８により固定されている。なお、シート６６ｂは、張力が付与された状態でシャッタ板６６ａに巻かれている。
【００４７】
ピストン６４が、シリンダ部６２に収納される様にＸ軸方向の一方（例えば、−Ｘ方向）に移動すると、シャッタ板６６ａもＸ軸方向の一方（例えば、−Ｘ方向）に移動する。ピストン６４がシリンダ部６２に収納されると、シャッタ板６６ａは、空洞部２４の第３開口２４ｃを完全に塞ぐ。
【００４８】
このとき、シート６６ｂは、シャッタ板６６ａの動きに追従して変形する。それゆえ、シャッタ板６６ａの上面、下面及び長手方向の両端部には、張力が付与されたシート６６ｂが巻き付いた状態が維持される。
【００４９】
また、ピストン６４がシリンダ部６２から突出すると、シャッタ板６６ａは、空洞部２４の第３開口２４ｃを開放する。このときも、シート６６ｂは、シャッタ板６６ａの動きに追従して変形する。
【００５０】
被加工物１１をレーザー加工装置２で加工する場合に、筐体２２の下方には、チャックテーブル８が配置される。チャックテーブル８の上面側には、多孔質材で形成された円盤状のポーラス板（不図示）が設けられている。ポーラス板の孔は、チャックテーブル８の内部に形成された吸引路（不図示）等を介して真空ポンプ等の吸引源（不図示）に接続されている。
【００５１】
ポーラス板の表面は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に対して概ね平行に形成されている。上述の吸引源を動作させると、ポーラス板の表面には負圧が発生する。それゆえ、ポーラス板の表面は、半導体ウェーハ等の被加工物１１を保持する保持面８ａとして機能する。
【００５２】
チャックテーブル８の下方には、Ｚ軸方向に平行な回転軸の周りにチャックテーブル８を回転させる回転駆動源（不図示）が設けられている。また、チャックテーブル８の下方には、各々ボールネジ機構から成るＸ軸移動機構（不図示）とＹ軸移動機構（不図示）とが設けられている。Ｘ軸移動機構は、チャックテーブル８をＸ軸方向（加工送り方向）に移動させ、Ｙ軸移動機構は、チャックテーブル８をＹ軸方向（割り出し送り方向）に移動させる。
【００５３】
次に、レーザー加工装置２を用いた被加工物１１の加工方法について説明する。まず、被加工物１１を金属製の環状フレーム（不図示）の開口部に配置し、被加工物１１の裏面１１ｂ側と環状フレームの一面とに、粘着層及び基材層の積層により形成されたダイシングテープ１５の粘着層側を貼り付ける。これにより、フレームユニットを形成する。
【００５４】
なお、必要に応じて、フレームユニットの形成前に、スピンコーティング等の手法を用いて、被加工物１１の表面１１ａ側に、水溶性樹脂等で構成された保護膜が設けられてもよい。保護膜は、例えば、レーザー加工時に表面１１ａ側に形成されているデバイス（不図示）等を保護する。
【００５５】
その後、ダイシングテープ１５の基材層側がチャックテーブル８に接触する様に、フレームユニットをチャックテーブル８に載置する。そして、吸引源を動作させて、フレームユニットの基材層側を保持面８ａで吸引して、被加工物１１の裏面１１ｂ側を保持面８ａで保持する。次に、被加工物１１の分割予定ライン（不図示）がＸ軸方向と平行になる様に、回転駆動源でチャックテーブル８の向きを調整する。
【００５６】
そして、シリンダ部６２を動作させてピストン６４をシリンダ部６２から押し出し、接続部６６及びシャッタ板６６ａをＸ軸方向の他方（例えば、＋Ｘ方向）に移動させる。これにより、第３開口２４ｃがシャッタ板６６ａ及びシート６６ｂにより覆われていない状態（即ち、開放状態）とする。
【００５７】
次に、Ｘ軸移動機構及びＹ軸移動機構を作動させて、加工補助装置２０の第３開口２４ｃの一部であるレーザービーム通過領域（不図示）を、被加工物１１の分割予定ラインの延長線上に位置付ける。
【００５８】
その後、チャックテーブル８を加工補助装置２０に対して相対的にＸ軸方向に移動させながら、レーザービーム形成ユニット４から被加工物１１へレーザービームＬを照射する。集光器１０に入射したレーザービームＬは、集光レンズ１４、第１凹部１２Ａ、カバーガラス１６、第２凹部１２Ｂ及び空洞部２４を順次通過し、被加工物１１の表面１１ａ側に導かれる。
【００５９】
集光レンズ１４で集光された状態でレーザービームＬが表面１１ａ側に照射されると、表面１１ａ側はアブレーション加工される。例えば、Ｘ軸移動機構を用いて加工補助装置２０に対してチャックテーブル８をＸ軸方向に相対的に移動させることにより、分割予定ラインに沿って被加工物１１の表面１１ａ側が部分的に除去された溝１３が形成される。
【００６０】
アブレーション加工時には、第１の気体噴射口３４及び第２の気体噴射口４４から吸引口４６ａに向けて気体（本実施形態では、エアー）を継続的に噴射させ、且つ、吸引源４８を作動させる。これにより、集光レンズ１４の光軸１４ａ（つまり、レーザービームＬの進行方向）を横断するエアカーテン３６が、空洞部２４に形成される。
【００６１】
図１では、エアカーテン３６を破線で示し、エアカーテン３６を構成する気体が流れる方向を矢印で示す。エアカーテン３６を形成するために、第１管部３０ａ及び第２管部４０ａには、例えば、１つの気体供給源（不図示）から０．５ＭＰａの圧力で約２０℃のエアーが供給される。
【００６２】
その結果、例えば、第１の気体噴射口３４からは、約２６０ｋＰａの圧力で、７３（ｌ／ｍｉｎ）のエアーが噴射され、第２の気体噴射口４４からは、約９０ｋＰａの圧力で、２５（ｌ／ｍｉｎ）のエアーが噴射される。これにより、エアカーテン３６が形成される。
【００６３】
集光されたレーザービームＬが被加工物１１に照射されたときに被加工物１１から飛散するデブリ（不図示）は、第２空間２４Ｂ内を上方向へ進むが、エアカーテン３６により第１空間２４Ａへの侵入が遮断される。
【００６４】
デブリは、エアカーテン３６により吸引口４６ａへ吹き飛ばされ、第２空間２４Ｂから吸引口４６ａへ吸引されて排出される。それゆえ、デブリが空洞部２４を上昇して集光器１０のカバーガラス１６に達することを防止でき、また、デブリが加工補助装置２０の空洞部２４内に堆積することを防止できる。
【００６５】
但し、例えば、エアーの流量が十分でない場合、デブリを遮断する効果が低下するので、デブリがカバーガラス１６に付着し、カバーガラス１６に付着したデブリによりレーザービームＬの通過が妨げられる。また、エアーの流量が十分でない場合、デブリが空洞部２４や吸引路４６に堆積してデブリの吸引効率が低下し、デブリを十分に除去できなくなる。
【００６６】
そこで、被加工物１１のレーザー加工前に、確認用流体噴射装置７０（図２参照）を用いて、Ｚ軸方向にエアカーテン３６を横切る様に確認用流体Ａ（図３（Ａ）参照）を噴射する。これにより、レーザー加工装置２で使用される加工補助装置２０におけるエアカーテン３６の形成状態が評価される。図２は、確認用流体噴射装置７０の斜視図である。
【００６７】
確認用流体噴射装置７０は、板状の水平基台部７２ａを有する。水平基台部７２ａ上には角柱状の垂直基台部７２ｂが設けられており、垂直基台部７２ｂ上にはノズル位置調整治具（位置調整治具）７４が設けられている。
【００６８】
ノズル位置調整治具７４には、確認用流体Ａが供給される流路が設けられている。この流路は、金属製の円筒であり、Ｚ軸方向に延伸する第１直線部７８ａと、第１直線部７８ａからＬ字形状に屈曲してＸ軸方向に延伸する第２直線部７８ｂとを含む。
【００６９】
第２直線部７８ｂとは反対側の第１直線部７８ａの端部には、ノズル７６の噴射口（流体噴射口）７６ａが上を向く様にＺ軸方向に沿ってノズル７６が配置されている。これに対して、第１直線部７８ａとは反対側の第２直線部７８ｂの端部には、電磁弁８０を介して確認用流体供給源８２が接続されている。
【００７０】
確認用流体供給源８２は、例えば、純水等の液体をノズル７６に供給可能である。確認用流体供給源８２が液体を供給する場合、電磁弁８０を開状態にすると、ノズル７６の噴射口７６ａからは確認用流体Ａ（液体）が上向きに噴射される。
【００７１】
本実施形態では、確認用流体Ａとして純水を用いて、開口径０．６ｍｍの噴射口７６ａから純水を柱状に噴射させる。例えば、３８ｋＰａの圧力で、約２０℃の純水を０．１５（ｌ／ｍｉｎ）の流量で噴射させる。
【００７２】
但し、確認用流体Ａとしては、液体に限定されず、空気（即ち、エアー）等の気体が使用されてもよい。確認用流体供給源８２が気体を供給する場合、確認用流体供給源８２と電磁弁８０との間の経路には、粉体供給源（不図示）から更に粉体が混入される。電磁弁８０を開状態にすると、気体と粉体とが混合された第１の混合流体が、ノズル７６の噴射口７６ａから上向きに噴射される。
【００７３】
なお、液体、気体及び粉体が混合された第２の混合流体が使用されてもよい。また、確認用流体Ａとして液体に所定の色が付された着色液を用いてもよい。これに代えて、確認用流体Ａとして、気体及び所定の色が付された粉体が混合された第３の混合流体が使用されてもよい。
【００７４】
更に、少なくともいずれかが着色された液体及び粉体と、気体とが混合された第４の混合流体を用いてもよい。液体及び粉体の少なくともいずれかを着色することにより、着色しない場合に比べて、カバーガラス１６に付着する付着物の確認が容易になる。
【００７５】
確認用流体Ａに粉体を用いる場合、粉体の平均粒子径は、デブリの粒子径に応じて設定されてもよい。これにより、加工時のデブリ飛散条件に近い条件を実現できる。例えば、粉体の平均粒子径は、想定されるデブリの平均粒子径と同じになる様に設定される。
【００７６】
具体的な一例においては、想定されるデブリの平均粒子径が数μｍである場合、粉体の平均粒子径を数μｍとする。また、デブリの粒子径の度数分布が正規分布に従う場合、粉体の平均粒子径は、デブリの平均粒子径からのずれが±σ以下の範囲の所定の値となる様に設定されてもよい（なお、σは標準偏差）。
【００７７】
確認用流体Ａのノズル７６からの噴射及び停止は、オペレーターが手動により、又は、オペレーターの指示に従い制御部（不図示）が自動的に電磁弁７８を開閉することにより制御される。制御部は、例えばコンピュータであり、相互に接続されたＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスクドライブ、入出力装置等を有する。
【００７８】
ＣＰＵは、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスクドライブ等の記憶部分に格納されたプログラム、データ等に基づいて演算処理等を行う。ＣＰＵが記憶部分に格納されたプログラムを読み込むことにより、制御部は、ソフトウェアと上述のハードウェア資源とが協働した具体的手段として機能できる。
【００７９】
ノズル位置調整治具７４は、垂直基台部７２ｂのＸ軸方向の他方（例えば、＋Ｘ方向）側の側面よりもＸ軸方向の他方側に突出する態様で設けられたＸ軸位置調整ネジ８４を有する。Ｘ軸位置調整ネジ８４により、ノズル７６のＸ軸方向の位置が調整される。
【００８０】
例えば、Ｘ軸位置調整ネジ８４を時計回りに回転させるとノズル７６の位置を＋Ｘ方向に移動でき、Ｘ軸位置調整ネジ８４を反時計回りに回転させるとノズル７６の位置を−Ｘ方向に移動できる。この様に、Ｘ軸位置調整ネジ８４は、例えば、ボールネジ機構のネジ軸を回転させる駆動部に相当する。
【００８１】
ノズル位置調整治具７４は、垂直基台部７２ｂのＹ軸方向の一方（例えば、＋Ｙ方向）側の側面よりもＹ軸方向の一方側に突出する態様で設けられたＹ軸位置調整ネジ８６を更に有する。Ｙ軸位置調整ネジ８６により、ノズル７６のＹ軸方向の位置が調整される。
【００８２】
例えば、Ｙ軸位置調整ネジ８６を時計回りに回転させるとノズル７６の位置を＋Ｙ方向に移動でき、Ｙ軸位置調整ネジ８６を反時計回りに回転させるとノズル７６の位置を−Ｙ方向に移動できる。この様に、Ｙ軸位置調整ネジ８６は、例えば、ボールネジ機構のネジ軸を回転させる駆動部に相当する。
【００８３】
Ｘ軸位置調整ネジ８４及びＹ軸位置調整ネジ８６を用いて、ノズル７６を水平基台部７２ａ及び垂直基台部７２ｂに対して相対的に移動させることで、ノズル７６のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置は調整される。
【００８４】
ノズル位置調整治具７４は、垂直基台部７２ｂのＹ軸方向の他方（例えば、−Ｙ方向）よりもＹ軸方向の他方側に突出する態様で設けられたＸＹ位置固定ネジ８８を更に有する。Ｘ軸位置調整ネジ８４及びＹ軸位置調整ネジ８６でノズル７６の位置を定めた後、ＸＹ位置固定ネジ８８を締めることにより、ノズル７６のＸ及びＹ軸方向の位置は固定される。
【００８５】
ＸＹ位置固定ネジ８８よりも上方には、θ回転ネジ９０が配置されている。θ回転ネジ９０は、垂直基台部７２ｂのＹ軸方向の他方（例えば、−Ｙ方向）側の側面よりもＹ軸方向の他方側に突出する態様で設けられている。
【００８６】
ノズル位置調整治具７４のＸ軸方向の一方（例えば、−Ｘ方向）側には、上述の第２直線部７８ｂが突出しており、この第２直線部７８ｂの突出部分の周囲には円盤状の回転板９２が固定されている。回転板９２は、θ回転ネジ９０に回転可能に連結されており、θ回転ネジ９０を回転させることで、回転板９２は回転する。
【００８７】
例えば、θ回転ネジ９０を時計回りに回転させると、回転板９２をＸ軸方向の一方（例えば、−Ｘ方向）側から見た場合にノズル７６及び第１直線部７８ａを時計回りに回転できる。また、例えば、θ回転ネジ９０を反時計回りに回転させると、回転板９２をＸ軸方向の一方（例えば、−Ｘ方向）側から見た場合にノズル７６及び第１直線部７８ａを反時計回りに回転できる。
【００８８】
なお、本実施形態では、Ｘ軸位置調整ネジ８４、Ｙ軸位置調整ネジ８６、ＸＹ位置固定ネジ８８及びθ回転ネジ９０をオペレーターが手動で操作するが、オペレーターからの指示に従って上述の制御部がこれらを自動的に操作してもよい。また、ＸＹ位置固定ネジ８８に代えて、ノズル７６のＸ軸方向の位置を固定するＸ位置固定ネジと、ノズル７６のＹ軸方向の位置を固定するＹ位置固定ネジとが設けられてもよい。
【００８９】
次に、図３（Ａ）、図３（Ｂ）及び図４を用いて、第１実施形態に係るエアカーテン３６の形成状態を評価する評価方法について説明する。図３（Ａ）は、準備ステップ（Ｓ１０）及び確認用流体噴射ステップ（Ｓ２０）を示す一部断面側面図である。図４は、エアカーテン３６の形成状態を評価する評価方法を説明するフロー図である。
【００９０】
まず、準備ステップ（Ｓ１０）が行われる。準備ステップ（Ｓ１０）では、集光器１０及び加工補助装置２０をレーザー加工装置２から取り外し、集光器１０が加工補助装置２０上に配置された状態で、加工補助装置２０を確認用流体噴射装置７０上に固定する。
【００９１】
このとき、空洞部２４の下方にノズル７６を配置し、更に、確認用流体Ａが空洞部２４へ向けて噴射される様に、ノズル７６をＺ軸方向に沿って配置する。また、オペレーターがカバーガラス１６を目視しやすい様に、集光器１０からは集光レンズ１４を取り外す。
【００９２】
次いで、第１の気体噴射口３４及び第２の気体噴射口４４から吸引口４６ａに向けてエアーを継続的に噴射させ、且つ、吸引源４８を作動させる。これにより、第１の気体噴射口３４及び第２の気体噴射口４４と吸引口４６ａとの間の空洞部２４にエアカーテン３６を形成する。次いで、シリンダ部６２を動作させて、ピストン６４をシリンダ部６２から押し出す。これにより、空洞部２４の第３開口２４ｃを開放する。
【００９３】
その後、確認用流体噴射ステップ（Ｓ２０）が行われる。確認用流体噴射ステップ（Ｓ２０）では、加工補助装置２０においてエアカーテン３６が形成された状態で、噴射口７６ａからカバーガラス１６に向かって確認用流体Ａを噴射する。例えば、十分な流量のエアーにより、被加工物１１とカバーガラス１６との間がエアカーテン３６で十分に遮蔽されている場合、確認用流体Ａはカバーガラス１６に付着しない。
【００９４】
しかし、被加工物１１とカバーガラス１６との間がエアカーテン３６で十分に遮蔽されていない場合、確認用流体Ａはカバーガラス１６に付着する。そこで、確認用流体Ａがエアカーテン３６を通過してカバーガラス１６に到達するか否かを確認する（確認ステップ（Ｓ３０））。
【００９５】
確認ステップ（Ｓ３０）では、例えば、オペレーターがカバーガラス１６を第１凹部１２Ａ側から目視することにより行う。図３（Ｂ）は、確認ステップ（Ｓ３０）でのカバーガラス１６の窓１８近傍の上面図である。図３（Ｂ）では、窓１８近傍におけるカバーガラス１６の矩形領域を示す。図３（Ｂ）では、第２凹部１２Ｂ側のカバーガラス１６の表面に付着した水滴（即ち、付着物Ｂ）の位置を記号×で示す。
【００９６】
この様に、本実施形態では、カバーガラス１６に水滴が付着するか否かを確認することによって、アブレーション加工時に被加工物１１とカバーガラス１６との間がエアカーテン３６により適切に遮蔽されるか否かを確認できる。つまり、エアカーテン３６の形成状態を評価できる。
【００９７】
なお、オペレーターが目視でカバーガラス１６を目視することに代えて、第１凹部１２Ａの上方にカメラ（不図示）等を配置してカバーガラス１６を第１凹部１２Ａ側から撮像してもよい。この場合、オペレーターは、撮像されたカバーガラス１６の画像を見ることで、確認用流体Ａがカバーガラス１６に到達するか否かを確認できる。
【００９８】
次に、第２実施形態について説明する。第２実施形態では、第１の気体噴射口３４を有さず第２の気体噴射口４４を有する加工補助装置２０を用いる場合について説明する。具体的には、第２の気体噴射口４４の形状又は大きさが各々異なる３つの加工補助装置２０を準備し、各加工補助装置２０について確認用流体噴射ステップ（Ｓ２０）及び確認ステップ（Ｓ３０）を行って、エアカーテン３６の形成状態の評価を行う。
【００９９】
各加工補助装置２０を用いた確認用流体噴射ステップ（Ｓ２０）では、エアカーテン３６が形成された状態で、ノズル７６を異なる複数の位置に順次移動させて、各位置で噴射口７６ａから確認用流体Ａを噴射する。なお、第２実施形態では、確認用流体Ａとして純水を用い、各位置で噴射される純水の流量は同じである。
【０１００】
ノズル位置調整治具７４を用いることで、Ｘ−Ｙ平面方向（所定の平面方向）でノズル７６（即ち、噴射口７６ａ）を各位置に順次位置付けることができる。ノズル位置調整治具７４を利用することにより、これを利用しない場合に比べてノズル７６の位置をより正確に調整できる。
【０１０１】
例えば、ノズル７６の噴射方向をＺ軸方向と略平行に配置した状態で、ノズル位置調整治具７４を用いて、ノズル７６をＸ軸方向及びＹ軸方向に沿って順次移動させる。各位置で噴射口７６ａからカバーガラス１６に向かって確認用流体Ａを噴射させることで、カバーガラス１６のどの範囲に水滴（付着物Ｂ）が付着するかを評価できる。
【０１０２】
実際のレーザー加工プロセスでは、加工補助装置２０に対して被加工物１１を相対的に移動させながら加工する。それゆえ、光軸１４ａ上の位置に限定されず、様々な位置から、デブリが空洞部２４に入り込む可能性がある。第２実施形態では、噴射口７６ａを異なる複数の位置に位置付けることで、加工時のデブリ飛散条件により近い条件を実現できる。
【０１０３】
図５は、第２実施形態における確認ステップ（Ｓ３０）でのカバーガラス１６の窓１８近傍の上面図である。図５では、窓１８近傍におけるカバーガラス１６の矩形領域を示す。図５では、光軸１４ａ上に位置するカバーガラス１６の中心Ｄの位置を、窓１８のＸ軸方向の径を通る直線（破線）と、窓１８のＹ軸方向の径を通る直線（破線）との交点に示す。
【０１０４】
図５では、Ｘ軸方向の一方（例えば、−Ｘ方向）側に第２の気体噴射口４４が配置されており、Ｘ軸方向の他方（例えば、＋Ｘ方向）側に吸引口４６ａが配置されている。これにより、破線矢印で示す向きにエアカーテン３６を構成するエアーの流れＣが形成されている。
【０１０５】
第２実施形態では、エアカーテン３６が形成された状態で、ノズル位置調整治具７４を用いて、中心Ｄの直下を通る様にＸ軸方向に沿ってノズル７６を移動させる。このとき、ノズル７６をＸ軸方向に沿って所定長さだけ移動させた後にノズル７６を静止させ、噴射口７６ａからカバーガラス１６に向けて純水を噴射させる。Ｘ軸方向の一方（例えば、−Ｘ方向）側からＸ軸方向の他方（例えば、＋Ｘ方向）側まで、ノズル７６の移動及び静止と、噴射口７６ａからの純水の噴射とを繰り返す。
【０１０６】
第２の気体噴射口４４が第１のパターンであるときに、例えば、中心ＤよりもＸ軸方向の一方（例えば、−Ｘ方向）側に位置する境界位置Ｅ１ＸよりもＸ軸方向の他方（例えば、＋Ｘ方向）側には水滴が付かないが、境界位置Ｅ１ＸよりもＸ軸方向の一方側には水滴が付く。図５では、第２の気体噴射口４４が第１のパターンであるときに、水滴がカバーガラス１６に付着する領域の境界位置Ｅ１を記号“●”で示す。
【０１０７】
また、第２の気体噴射口４４が第２のパターンであるときに、例えば、中心ＤよりもＸ軸方向の一方（例えば、−Ｘ方向）側に位置する境界位置Ｅ２ＸよりもＸ軸方向の他方（例えば、＋Ｘ方向）側には水滴が付かないが、境界位置Ｅ２ＸよりもＸ軸方向の一方側には水滴が付く。図５では、第２の気体噴射口４４が第２のパターンであるときに、水滴がカバーガラス１６に付着する領域の境界位置Ｅ２を記号“▲”で示す。
【０１０８】
更に、第２の気体噴射口４４が第３のパターンであるときに、例えば、中心ＤよりもＸ軸方向の一方（例えば、−Ｘ方向）側に位置する境界位置Ｅ３ＸよりもＸ軸方向の他方（例えば、＋Ｘ方向）側には水滴が付かないが、境界位置Ｅ３ＸよりもＸ軸方向の一方側には水滴が付く。図５では、第２の気体噴射口４４が第３のパターンであるときに、水滴がカバーガラス１６に付着する領域の境界位置Ｅ３を記号“×”で示す。
【０１０９】
次に、エアカーテン３６が形成された状態で、ノズル位置調整治具７４を用いて、中心Ｄの直下を通る様にＹ軸方向に沿ってノズル７６を移動させる。このとき、ノズル７６をＹ軸方向に沿って所定長さだけ移動させた後にノズル７６を静止させ、噴射口７６ａからカバーガラス１６に向けて純水を噴射させる。Ｙ軸方向の他方（例えば、−Ｙ方向）側からＹ軸方向の一方（例えば、＋Ｙ方向）側まで、ノズル７６の移動及び静止と、噴射口７６ａからの純水の噴射とを繰り返す。
【０１１０】
例えば、第２の気体噴射口４４が第１のパターン（図５の記号“●”）であるときに、中心ＤよりもＹ軸方向の他方（例えば、−Ｙ方向）側に位置する境界位置Ｅ１Ｙ−と、中心ＤよりもＹ軸方向の一方（例えば、＋Ｙ方向）側に位置する境界位置Ｅ１Ｙ＋との間には、水滴が付かない。これに対して、境界位置Ｅ１Ｙ−のＹ軸方向の他方側と、境界位置Ｅ１Ｙ＋のＹ軸方向の一方側とには水滴が付く。
【０１１１】
また、例えば、第２の気体噴射口４４が第２のパターン（図５の記号“▲”）であるときに、中心ＤよりもＹ軸方向の他方（例えば、−Ｙ方向）側に位置する境界位置Ｅ２Ｙ−と、中心ＤよりもＹ軸方向の一方（例えば、＋Ｙ方向）側に位置する境界位置Ｅ２Ｙ＋との間には、水滴が付かない。これに対して、境界位置Ｅ２Ｙ−のＹ軸方向の他方側と、境界位置Ｅ２Ｙ＋のＹ軸方向の一方側とには水滴が付く。
【０１１２】
更に、例えば、第２の気体噴射口４４が第３のパターン（図５の記号“×”）であるときに、中心ＤよりもＹ軸方向の他方（例えば、−Ｙ方向）側に位置する境界位置Ｅ３Ｙ−と、中心ＤよりもＹ軸方向の一方（例えば、＋Ｙ方向）側に位置する境界位置Ｅ３Ｙ＋との間には、水滴が付かない。これに対して、境界位置Ｅ３Ｙ−のＹ軸方向の他方側と、境界位置Ｅ３Ｙ＋のＹ軸方向の一方側とには水滴が付く。
【０１１３】
この様に、異なる複数の位置で噴射口７６ａからカバーガラス１６に向かって確認用流体Ａを噴射させることで、デブリ飛散条件により近い条件下で、付着物Ｂがカバーガラス１６のどの範囲に付着するかを確認できる。これにより、加工補助装置２０におけるエアカーテン３６の形成状態を評価できる。
【０１１４】
なお、第２実施形態では、第１の気体噴射口３４を有さず第２の気体噴射口４４を有する加工補助装置２０を用いるが、第１の気体噴射口３４及び第２の気体噴射口４４を有する加工補助装置２０を用いて確認用流体噴射ステップ（Ｓ２０）及び確認ステップ（Ｓ３０）を行ってもよい。また、第２の気体噴射口４４を有さず第１の気体噴射口３４を有する加工補助装置２０を用いて確認用流体噴射ステップ（Ｓ２０）及び確認ステップ（Ｓ３０）を行ってもよい。
【０１１５】
また、第１の気体噴射口３４と、第２の気体噴射口４４と、ノズル７６の噴射口７６ａとの少なくとも一つの形状及び大きさを適宜変更した上で、確認用流体噴射ステップ（Ｓ２０）及び確認ステップ（Ｓ３０）を行ってもよい。
【０１１６】
更に、第２実施形態では、ノズル７６をＸ軸方向及びＹ軸方向の一方に沿って移動させたが、ノズル７６をＸ軸方向及びＹ軸方向とは平行ではないＸ−Ｙ平面方向に移動させてもよい。
【０１１７】
また、θ回転ネジ９０を用いて、噴射口７６ａの噴射角度をＹ−Ｚ平面内で変更しながら、確認用流体噴射ステップ（Ｓ２０）及び確認ステップ（Ｓ３０）を行ってもよい。更に、水平基台部７２ａをＸ−Ｙ平面で９０度回転させた後、θ回転ネジ９０を用いて、噴射口７６ａの噴射角度をＸ−Ｚ平面内で変更しながら確認用流体噴射ステップ（Ｓ２０）及び確認ステップ（Ｓ３０）を行ってもよい。
【０１１８】
また、第１の気体噴射口３４及び第２の気体噴射口４４から噴射される気体の流量や、噴射口７６ａから噴射される確認用流体Ａの流量を適宜変更した上で、確認用流体噴射ステップ（Ｓ２０）及び確認ステップ（Ｓ３０）を行ってもよい。
【０１１９】
この様に、確認用流体Ａの噴射条件を種々変更して確認用流体噴射ステップ（Ｓ２０）及び確認ステップ（Ｓ３０）を行うことで、適切なエアカーテン３６を形成するべく、第１の気体噴射口３４及び第２の気体噴射口４４の形状、大きさ、及び、気体流量の最適な条件を評価できる。
【０１２０】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。例えば、エアーの流量が多すぎると、レーザービームＬが揺らぐ場合や屈折する場合があるので、エアカーテン３６の形成状態を評価することにより、エアーの流量が適切か否かを評価してもよい。
【符号の説明】
【０１２１】
２  レーザー加工装置
４  レーザービーム形成ユニット
４ａ  レーザー発振器
４ｂ  レーザービーム調整ユニット
８  チャックテーブル
８ａ  保持面
１０  集光器
１１  被加工物
１１ａ  表面
１１ｂ  裏面
１２  筐体
１２Ａ  第１凹部
１２ａ  上部開口
１２ｂ  側壁
１２ｃ  底部
１２ｄ  開口
１２Ｂ  第２凹部
１３  溝
１４  集光レンズ
１４ａ  光軸
１５  ダイシングテープ
１６  カバーガラス
１８  窓
２０  加工補助装置
２２  筐体
２４  空洞部
２４Ａ  第１空間
２４Ｂ  第２空間
２４ａ  第１開口
２４ｂ  第２開口
２４ｃ  第３開口
３０  第１の気体噴射部
３０ａ  第１管部
３２  第１流路
３４  第１の気体噴射口
３６  エアカーテン
４０  第２の気体噴射部
４０ａ  第２管部
４２  第２流路
４４  第２の気体噴射口
４６  吸引路
４６ａ  吸引口
４８  吸引源
５０  洗浄水噴射部
５０ａ  第３管部
５２  第３流路
５４  洗浄水噴射口
６０  シャッタ装置
６２  シリンダ部
６４  ピストン
６６  接続部
６６ａ  シャッタ板
６６ｂ  シート
６８  シート固定部
７０  確認用流体噴射装置
７２ａ  水平基台部
７２ｂ  垂直基台部
７４  ノズル位置調整治具（位置調整治具）
７６  ノズル
７６ａ  噴射口
７８ａ  第１直線部
７８ｂ  第２直線部
８０  電磁弁
８２  確認用流体供給源
８４  Ｘ軸位置調整ネジ
８６  Ｙ軸位置調整ネジ
８８  ＸＹ位置固定ネジ
９０  θ回転ネジ
９２  回転板
Ａ  確認用流体
Ｂ  付着物
Ｃ  流れ
Ｄ  中心
Ｅ１Ｘ，Ｅ２Ｘ，Ｅ３Ｘ，Ｅ１Ｙ−，Ｅ２Ｙ−，Ｅ３Ｙ−，Ｅ１Ｙ＋，Ｅ２Ｙ＋，Ｅ３Ｙ＋  境界位置
Ｌ  レーザービーム
【図１】
2020142278.tif 000003
【図２】
2020142278.tif 000004
【図３】
2020142278.tif 000005
【図４】
2020142278.tif 000006
【図５】
2020142278.tif 000007