(57)【要約】【課題】ヘッドユニットを構成する流路部材を含む構成部材の特性を加味した吐出特性に基づいて複数のヘッドユニットを共通保持部材に配置する。【解決手段】液体が流れる流路を有する流路部材（１９）から導入した液体をノズル（４０）から吐出するヘッドユニット（１１）を共通保持部材（１０）に複数備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、ヘッドユニットを構成する流路部材から導入した液体をノズルから吐出させることにより、流路部材を含む構成部材の特性に応じて変動する液体の吐出状態を示す吐出特性を特定する特性特定工程と、特定した吐出特性に基づいて、複数のヘッドユニットを組み合わせて共通保持部材に配置する配置工程と、を含むことを特徴とする。【選択図】図１３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路を有する流路部材から導入した液体をノズルから吐出するヘッドユニットを共通保持部材に複数備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドユニットを構成する前記流路部材から導入した液体を前記ノズルから吐出させることにより、前記流路部材を含む構成部材の特性に応じて変動する液体の吐出状態を示す吐出特性を特定する特性特定工程と、
特定した前記吐出特性に基づいて、複数の前記ヘッドユニットを組み合わせて前記共通保持部材に配置する配置工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記ヘッドユニットは、流路が形成されたシリコン単結晶基板からなる構成基板を前記構成部材に含み、
前記配置工程において、前記ヘッドユニットの前記構成基板を前記共通保持部材に固定することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記構成基板は、ノズルが形成されたノズル形成面を有し、
前記配置工程では、前記ノズル形成面を前記共通保持部材に固定することを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記共通保持部材の前記ヘッドユニットが固定される面に、前記ヘッドユニットの配置位置をガイドするガイド部材を備え、
前記ガイド部材は、前記共通保持部材に固定される第１面と、当該第１面とは反対側の第２面と、前記第２面側から前記第１面側へ向けて形成された収容空部と、を備え、
前記配置工程において、前記ヘッドユニットを前記収容空部に挿入して当該収容空部を区画する壁により前記共通保持部材側にガイドして前記共通保持部材に配置することを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記ヘッドユニットは、前記流路部材に液体を導入する液体導入部と、液体を吐出するための圧力を生じる駆動素子を駆動する駆動信号が入力される信号入力部と、を備え、
前記特性特定工程において、前記液体導入部から前記流路部材に液体を導入し、前記信号入力部を通じて前記駆動信号を前記駆動素子に印加することを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記ヘッドユニットの前記構成部材の特性を示す構成部材特性データと、当該特性を有する前記ヘッドユニットの前記ノズルから液体を吐出させて得られた前記吐出特性を示す吐出特性データとの組み合わせからなるデータセットを、前記液体吐出ヘッドの製造に係るデータ処理装置に入力する第１入力工程と、
前記ヘッドユニットの学習用の構成部材特性データを前記データ処理装置に入力する第２入力工程と、
前記第２入力工程で入力された学習用の前記構成部材特性データに対応する前記吐出特性データの推定を、前記データ処理装置により前記データセットに基づき機械学習して学習モデルを得る機械学習工程と、
を前記特性特定工程の前に実行することを特徴とする請求項１から請求項５の何れか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記構成部材特性データを、前記データ処理装置へ入力する第３入力工程と、
前記特性特定工程において、前記機械学習工程により得られた前記学習モデルに基づき、前記第３入力工程で入力された前記構成部材特性データに対応する前記吐出特性データを特定することを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
請求項６又は請求項７に係る液体吐出ヘッドの製造方法に係る機械学習装置であって、
前記データセットを取得する第１取得部と、
学習用の前記構成部材特性データを取得する第２取得部と、
前記第２取得部が取得した学習用の前記構成部材特性データと前記第１取得部が取得した前記データセットとに基づき、学習用の前記構成部材特性データに対応する前記吐出特性データを機械学習して学習モデルを得る学習部と、
を備えることを特徴とする機械学習装置。
【請求項９】
前記構成部材特性データを取得する第３取得部と、
前記学習部により得られた前記学習モデルに基づき、前記第３取得部により取得された前記構成部材特性データに対応する前記吐出特性データを出力する出力部と、
を備えることを特徴とする請求項８に記載の機械学習装置。
【請求項１０】
前記出力部により出力された前記吐出特性に基づいて、前記共通保持部材に配置する複数の前記ヘッドユニットを選定する選定部を備えることを特徴とする請求項９に記載の機械学習装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体吐出ヘッドの製造方法、及び、当該製造方法に係る機械学習装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出装置は液体吐出ヘッドを備え、この液体吐出ヘッドから各種の液体を液滴として吐出（噴射）する装置である。この液体吐出装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは色材を含む液体を吐出し、ディスプレイ製造装置用の色材吐出ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）などの各色材を含む液体を吐出する。また、電極形成装置用の電極材吐出ヘッドでは電極材料を含む液体を吐出し、チップ製造装置用の生体有機物吐出ヘッドでは生体有機物を含む液体を吐出する。
【０００３】
液体吐出装置には、複数のヘッドユニット（或はヘッドチップとも言う）が組み合わされて構成された液体吐出ヘッド（換言すると、液体噴射ヘッド）を採用するものがある（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１では、液体が吐出されるノズルと、当該ノズルに連通する圧力室と、圧力室の一部を区画する振動板と、振動板を介して圧力室内に圧力変動を生じさせる駆動素子としての圧電素子とを有するセグメントを複数備えたチップを複数組み合わせて液体吐出ヘッドが構成されている。各ヘッドユニットについては、ノズルから実際に液体を吐出させることなくセグメントの固有振動数（換言すると、固有振動周期）が電気的に計測されてランク分けされている。あるいは、ヘッドユニットからの液体の吐出結果に基づいてヘッドユニットをランク分けするために、液体を供給するための冶具であってヘッドユニットを構成する流路部材とは形状が異なる冶具を一時的にチップに取り付け、ノズルから液体を吐出させてインク重量を計測し、ヘッドユニットをランク分けしている。その後、当該ランク分けに基づいて組み合わせるヘッドユニットが選択される。これらにより、各ヘッドユニットの液体の吐出量や液体の飛翔速度や飛翔方向（即ち、飛翔の曲がり具合）等の吐出特性のばらつきを抑えた液体吐出ヘッドが得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１８−０５１９０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の吐出特性は、ヘッドユニットを構成する構成部材の形状・寸法等の種々の要因に応じて変化するため、これらの要因を加味して各ヘッドユニットの吐出特性をより高い精度で揃えることが求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、流路を有する流路部材から導入した液体をノズルから吐出するヘッドユニットを共通保持部材に複数備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドユニットを構成する前記流路部材から導入した液体を前記ノズルから吐出させることにより、前記流路部材を含む構成部材の特性に応じて変動する液体の吐出状態を示す吐出特性を特定する特性特定工程と、
特定した前記吐出特性に基づいて、複数の前記ヘッドユニットを組み合わせて前記共通保持部材に配置する配置工程と、
を含むことを特徴とする（第１の方法）。
【０００７】
本発明によれば、液体吐出ヘッドのヘッドユニットを構成する流路部材を含む構成部材の特性を加味した吐出特性に基づいてヘッドユニットが組み合わされるので、共通保持部材に固定・保持された各ヘッドユニットの吐出特性をより高い精度で揃えることが可能となる。
【０００８】
また、上記第１の方法において、前記ヘッドユニットは、流路が形成されたシリコン単結晶基板からなる構成基板を前記構成部材に含み、
前記配置工程において、前記ヘッドユニットの前記構成基板を前記共通保持部材に固定する方法を採用することが望ましい（第２の方法）。
【０００９】
この構成によれば、シリコン単結晶基板からなる構成基板は、例えば、合成樹脂や金属等の他の材質からなる構成部材と比較して寸法及び形状の精度が高いので、各ヘッドユニットの共通保持部材における位置精度を高めることが可能となる。
【００１０】
また、上記第２の方法において、前記構成基板は、ノズルが形成されたノズル形成面を有し、
前記配置工程では、前記ノズル形成面を前記共通保持部材に固定する方法を採用することが望ましい（第３の方法）。
【００１１】
この構成によれば、ノズルが形成されたノズル形成面が共通保持部材に固定されるので、各ヘッドユニットの各ノズル間の位置精度がより向上する。
【００１２】
また、上記第１から第３の何れか一の方法において、前記共通保持部材の前記ヘッドユニットが固定される面に、前記ヘッドユニットの配置位置をガイドするガイド部材を備え、
前記ガイド部材は、前記共通保持部材に固定される第１面と、当該第１面とは反対側の第２面と、前記第２面側から前記第１面側へ向けて形成された収容空部と、を備え、
前記配置工程において、前記ヘッドユニットを前記収容空部に挿入して当該収容空部を区画する壁により前記共通保持部材側にガイドして前記共通保持部材に配置する方法を採用することが望ましい（第４の方法）。
【００１３】
本発明によれば、ヘッドユニットを収容空部に挿入することにより共通保持部材の所定位置に案内されるので、組み立て作業の効率化が図られる。
【００１４】
上記第１から第４の何れか一の方法において、前記ヘッドユニットは、
前記流路部材に液体を導入する液体導入部と、液体を吐出するための圧力を生じる駆動素子を駆動する駆動信号が入力される信号入力部と、を備え、
前記特性特定工程において、前記液体導入部から前記流路部材に液体を導入し、前記信号入力部を通じて前記駆動信号を前記駆動素子に印加する方法を採用することが望ましい（第５の方法）。
【００１５】
この方法によれば、液体吐出ヘッドの製造工程において、ノズルから液体を実際に吐出してヘッドユニットの吐出特性を特定することができる。
【００１６】
上記第１から第５の何れか一の方法において、前記ヘッドユニットの前記構成部材の特性を示す構成部材特性データと、当該特性を有する前記ヘッドユニットの前記ノズルから液体を吐出させて得られた前記吐出特性を示す吐出特性データとの組み合わせからなるデータセットを、前記液体吐出ヘッドの製造に係るデータ処理装置に入力する第１入力工程と、
前記ヘッドユニットの学習用の構成部材特性データを前記データ処理装置に入力する第２入力工程と、
前記第２入力工程で入力された学習用の前記構成部材特性データに対応する前記吐出特性データの推定を、前記データ処理装置により前記データセットに基づき機械学習して学習モデルを得る機械学習工程と、
を前記特性特定工程の前に実行することが望ましい（第６の方法）。
【００１７】
この方法によれば、構成部材特性データに対応する吐出特性データを推定するための学習モデルが得られるので、入力としての構成部材特性データに対応する出力（即ち、結果）としてより精度の高い吐出特性データを取得することができる。
【００１８】
上記第６の方法において、前記構成部材特性データを、前記データ処理装置へ入力する第３入力工程と、
前記特性特定工程において、前記機械学習工程により得られた前記学習モデルに基づき、前記第３入力工程で入力された前記構成部材特性データに対応する前記吐出特性データを特定する方法を採用することが望ましい（第７の方法）。
【００１９】
この方法によれば、ノズルから液体を実際に吐出して検査を行うことなく、入力された構成部材特性データと学習モデルとに基づいてより精度の高い吐出特性データを特定できるので、液体吐出ヘッドの製造効率が向上する。
【００２０】
また、本発明の機械学習装置は、上記第６の方法又は第７の方法に係る機械学習装置であって、
前記データセットを取得する第１取得部と、
学習用の前記構成部材特性データを取得する第２取得部と、
前記第２取得部が取得した学習用の前記構成部材特性データと前記第１取得部が取得した前記データセットとに基づき、学習用の前記構成部材特性データに対応する前記吐出特性データを機械学習して学習モデルを得る学習部と、
を備えることを特徴とする（第１の構成）。
【００２１】
この構成によれば、構成部材特性データに対応する吐出特性データを推定するための学習モデルが得られるので、入力としての構成部材特性データに対応する出力として、より精度の高い吐出特性データを取得することができる。
【００２２】
上記第１の構成において、前記構成部材特性データを取得する第３取得部と、
前記学習部により得られた前記学習モデルに基づき、前記第３取得部により取得された前記構成部材特性データに対応する前記吐出特性データを出力する出力部と、
を備えることを特徴とする（第２の構成）。
【００２３】
この構成によれば、ノズルから液体を実際に吐出して検査を行うことなく、入力された構成部材特性データと学習モデルとに基づいてより精度の高い吐出特性データを特定できるので、液体吐出ヘッドの製造効率が向上する。
【００２４】
上記第２の構成において、前記出力部により出力された前記吐出特性に基づいて、前記共通保持部材に配置する複数の前記ヘッドユニットを選定する選定部を備える構成を採用することが望ましい（第３の構成）。
【００２５】
この構成によれば、ヘッドユニットを構成する流路部材を含む構成部材の特性を加味した吐出特性に基づいて共通保持部材に配置するヘッドユニットが組み合わされるので、共通保持部材に固定・保持された各ヘッドユニットの吐出特性のばらつきが抑制される。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】液体吐出装置の一形態の構成を説明する模式図である。
【図２】液体吐出ヘッドの一形態の構成を説明する分解斜視図である。
【図３】ホルダーの構成を説明する上面図である。
【図４】ヘッドユニットの一形態の構成を説明する分解斜視図である。
【図５】ヘッドユニットの正面図である。
【図６】図５におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図７】図５におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図８】ヘッド本体部の構成を説明する上面図である。
【図９】図８におけるＣ−Ｃ線断面図である。
【図１０】図８におけるＤ−Ｄ線断面図である。
【図１１】ヘッド製造装置の電気的な構成の一例を説明するブロック図である。
【図１２】機械学習工程について説明するフローチャートである。
【図１３】液体吐出ヘッドの組立工程について説明するフローチャートである。
【図１４】共通保持部材にヘッドユニットを配置する工程を説明する図である。
【図１５】共通保持部材にヘッドユニットが固定された状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明では、本発明の液体吐出ヘッドの一形態として、液体吐出装置の一種であるインクジェット式記録装置（以下、プリンター１）に搭載される記録ヘッド３を例示する。
【００２８】
図１は、プリンター１の構成を模式的に示す平面図である。プリンター１は、記録用紙や合成樹脂製のフィルム等の媒体２の表面に対し、記録ヘッド３から液体の一種であるインクを吐出して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、記録ヘッド３、制御装置４、および搬送機構５等を備えている。制御装置４は、プリンター１を構成する各部を統括的に制御する。搬送機構５は、制御装置４による制御の下で、媒体２を給紙側から排紙側に向けて搬送する。また、プリンター１には、インクが充填されたインク貯留部材６が装着される。このインク貯留部材６としては、カートリッジ上のものやインクを再充填可能なタンク状のもの等、種々の構成のものを採用することができる。そして、図示しないポンプの駆動により、インク貯留部材６から記録ヘッド３へインクが送られ、また、記録ヘッド３からのインクがインク貯留部材６へと送られる。即ち、インク貯留部材６と記録ヘッド３との間でインクが循環する。なお、必ずしもインクが循環する構成でなくても良く、インク貯留部材６から記録ヘッド３へインクが一方通行で供給される構成を採用することもできる。
【００２９】
図２は、記録ヘッド３の一形態の構成を説明する分解斜視図である。本実施形態における記録ヘッド３は、インク貯留部材６側から供給されるインクを制御装置４による制御の下で複数のノズル４０（図９参照）から媒体２に対してインクを吐出する所謂ライン型記録ヘッドである。この記録ヘッド３は、複数のヘッドユニット１１を共通保持部材１０に固定した状態で備えている。各ヘッドユニット１１は、共通保持部材１０のヘッドユニット１１の保持面（後述する上面１０ｂ）に設けられたホルダー１２の内部に収容されている。このホルダー１２は、後述するようにヘッドユニット１１を共通保持部材１０に配置する際にガイド部材としても機能する。なお、以下においては、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向のうち、媒体２の幅方向であり、記録ヘッド３の長尺方向をＸ方向とし、媒体２の搬送方向である副走査方向をＹ方向とし、記録ヘッド３のノズル形成面２２に平行な面をＸＹ平面とし、当該ノズル形成面２２、即ち、ＸＹ平面に直交する方向をＺ方向とする。
【００３０】
図３は、ホルダー１２の構成を説明する上面図である。図２及び図３に示されるように、この収容空部１３は、共通保持部材１０側の第１面１２ａと、当該第１面１２ａとは反対側の第２面１２ｂとがそれぞれ開口した中空箱体状の部材である。このホルダー１２は、四方の側壁１４と、これらの側壁１４と共にヘッドユニット１１の収容空部１３を区画する区画壁１５と、を備えている。各側壁１４は、Ｚ方向からの平面視において共通保持部材１０の外形に倣って矩形の枠状となるように形成されている。また、区画壁１５は、側壁１４よりも内側に形成されている。これらの側壁１４及び区画壁１５（即ち、本発明における壁）によって区画される収容空部１３は、ヘッドユニット１１を個別に収容可能な空間であり、本実施形態ではホルダー１２の上面１２ｂから下面１２ａに向けて貫通する状態に形成されている。つまり、収容空部１３を区画している側壁１４及び区画壁１５は、共通保持部材１０における各ヘッドユニット１１の配置位置を囲繞するように形成されている。そして、この収容空部１３を区画している側壁１４内面と区画壁１５とは、ヘッドユニット１１の位置を規定するガイド面として機能する。即ち、側壁１４内面と区画壁１５とで区画される収容空部１３内にヘッドユニット１１を挿入することにより、当該ヘッドユニット１１のＸ方向及びＹ方向の位置が概ね規定される。
【００３１】
共通保持部材１０は、例えば、ステンレス鋼等の金属製の板材から構成されている。共通保持部材１０の長尺方向であるＸ方向の寸法は、プリンター１において印刷可能な最大サイズの媒体２の幅よりも長く設定されている。この共通保持部材１０は、印刷動作時における媒体２と対向する面である下面１０ａとは反対側のヘッドユニット１１が固定される固定面である上面１０ｂにホルダー１２が接合され、さらにこの上面１０ｂにホルダー１２の収容空部１３に収容されたヘッドユニット１１が接合される。共通保持部材１０において、ヘッドユニット１１が配置される領域に、当該ヘッドユニット１１のノズルが形成されたノズル形成面２２であるノズルプレート４６を露出させるための開口部１６が形成されている。開口部１６は、ノズルプレート４６よりも少し大きく、尚且つ、後述する流路形成基板３７よりも小さく設定されている。そして、この開口部１６内にノズルプレート４６が位置する状態で、各ヘッドユニット１１が共通保持部材１０の上面１０ｂに接着剤により固定・保持される。
【００３２】
図４は、本実施形態におけるヘッドユニット１１の分解斜視図、図５は、ヘッドユニット１１の正面図、図６は、図５におけるＡ−Ａ線の要部断面図、図７は、図５におけるＢ−Ｂ線の要部断面図である。本実施形態におけるヘッドユニット１１は、ヘッド本体部１８と、ヘッド本体部１８にインクを供給する流路部材１９と、流路部材１９に保持された回路基板２０と、回路基板２０に接続された配線基板２１と、を備えている。
【００３３】
ヘッド本体部１８は、インク貯留部材６側から供給されたインクをインク滴としてノズル４０から吐出するものであり、ノズル４０に連通する流路と、流路内のインクに圧力変変動を生じさせる駆動素子である圧電素子５０（図９参照）等が設けられている。また、ヘッド本体部１８には、一端部が圧電素子５０に接続されたフレキシブル配線部材である駆動配線２３を備えている。駆動配線２３は、例えば、圧電素子５０を駆動するための駆動回路（駆動ＩＣ）が実装されたＣＯＦ基板等から構成されている。なお、ヘッド本体部１８の詳細については後述する。
【００３４】
流路部材１９は、例えば、合成樹脂により形成された流路部材本体２４と、流路部材本体２４の両側面にそれぞれ設けられた第１蓋部材２５と第２蓋部材２６と、を備えている。また、流路部材１９の上面には、上記インク貯留部材６に連通してヘッド本体部１８にインクを導入する導入部２７（本発明における液体導入部の一種）と、ヘッド本体部１８からのインクをインク貯留部材６側に排出する導出部２８と、回路基板２０と配線基板２１との電気的な接点であるコネクター１７（本発明における信号入力部の一種）と、が設けられている。導入部２７には、インク貯留部材６側から流路部材１９側にインクが供給される図示しない供給チューブが着脱可能に接続される。同様に、導出部２８には、流路部材１９側からインク貯留部材６側へインクが送液される図示しない排出チューブが着脱可能に接続される。また、導入部２７には、ヘッドユニット１１が製造された後の吐出特性の検査の際に、検査用の液体（インク）を導入するための流路やチューブが着脱可能に接続される。同様に、コネクター１７には、検査用の駆動信号を入力するための配線が着脱可能に接続される。これにより、導入部２７から検査用の液体を導入し、信号入力部を通じて駆動信号を駆動素子に印加することで、後述する記録ヘッド３の製造工程においてノズル４０から液体、即ち、インクを実際に吐出してヘッドユニット１１の吐出特性を特定することができる。
【００３５】
図６に示されるように、流路部材本体２４の内部において、Ｘ方向における一側には、導入部２７と連通する導入路２９と、導入路２９と連通するフィルター室３０と、フィルター室３０とヘッド本体部１８とを接続する連通流路３１と、が形成されている。フィルター室３０は、流路部材本体２４に側面（即ち、第１蓋部材２５側）に開口する凹状に形成されており、第１蓋部材２５によって当該開口が封止されることで画成されている。また、連通流路３１は、一端がフィルター室３０に連通し、他端がヘッド本体部１８の流路に接続されるように形成されている。
【００３６】
さらに、フィルター室３０には、インクに含まれるゴミや気泡などの異物を除去するためのフィルター３２が設けられている。フィルター３２としては、例えば、金属や樹脂等の繊維を細かく編むことで複数の微細孔が形成されたシート状のものや、金属や樹脂等の板状部材に複数の微細孔を貫通させたものなどを用いることができる。なお、フィルター３２としては、金属製のものには限られず、例えば、不織布等を用いることもできる。
【００３７】
また、流路部材本体２４には、導入路２９及びフィルター室３０が開口する第１蓋部材２５側とは反対側の第２蓋部材２６側に開口する凹部３３が設けられている。回路基板２０は、この流路部材本体２４の凹部３３内に挿入される。そして、凹部３３内に挿入された回路基板２０は、流路部材本体２４と凹部３３の開口を塞ぐ第２蓋部材２６との間で保持されている。
【００３８】
回路基板２０は、図示しない電子部品や配線等が設けられたプリント基板からなり、流路部材本体２４の凹部３３内に流路部材本体２４と第２蓋部材２６との間に挟持されている。このような回路基板２０には、ヘッド本体部１８の駆動配線２３が電気的に接続されると共に、コネクター１７を介して配線基板２１が電気的に接続されている。これにより、外部の制御回路等からの駆動信号は、配線基板２１、回路基板２０、及び駆動配線２３を介して後述する圧電素子５０に供給される。なお、回路基板２０としては、フレキシブル基板及びリジット基板の何れか、又はこれらが組み合わされた複合基板であってもよい。
【００３９】
図７に示されるように、流路部材本体２４の内部において、導入路２９が形成された一側とはＸ方向における他側には、導出部２８と連通した導出路３４が形成されている。この導出路３４は、ヘッド本体部１８の共通液室４５に供給されたインクをインク貯留部材６側に回収するための流路である。
【００４０】
このようなヘッドユニット１１では、インク貯留部材６からのインクが流路部材１９の導入部２７を介してヘッド本体部１８の後述する共通液室４５内に取り込まれ、共通液室４５からノズル４０に至るまで内部がインクで満たされた状態で、駆動回路等からの駆動信号によって圧電素子５０が駆動されることでノズル４０からインクがインク滴として吐出される。また、ヘッド本体部１８の共通液室４５内に供給されたインクは、流路部材１９の導出部２８を介してインク貯留部材６に戻される。
【００４１】
図８〜図１０は、本実施形態におけるヘッド本体部１８の構成を説明する図であり、図８は、上面図、図９は、図８におけるＣ−Ｃ線断面図、図１０は、図８におけるＤ−Ｄ線断面図である。ヘッド本体部１８は、ヘッドユニット１１を構成する構成部材の一つであり、さらに、複数の構成部材が積層されて構成されている。ヘッド本体部１８の構成部材の一つである流路形成基板３７は、シリコン単結晶基板から作製され、インクが流れる流路が形成された構成基板の一種である。この流路形成基板３７には、複数の圧力室３８が複数のノズル４０が並設されるＸ方向に沿って並設されている。また、流路形成基板３７には、圧力室３８がＸ方向に並設された列が複数列、本実施形態ではＹ方向に２列並設されている。
【００４２】
また、各列の圧力室３８のＹ方向における外側の領域には連通部４１が形成され、連通部４１と各圧力室３８とが、圧力室３８毎に設けられた個別連通路４２を介して連通されている。連通部４１は、後述する保護基板４３の共通液室部４４と連通して圧力室列を構成する各圧力室３８に共通のインク室となる共通液室４５の一部を構成する。個別連通路４２は、圧力室３８よりも狭い幅で形成されており、連通部４１から圧力室３８に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。シリコン単結晶基板からなる流路形成基板３７における圧力室３８等の流路は、異方性エッチングにより形成されている。
【００４３】
また、流路形成基板３７のＺ方向における下面には、Ｙ方向において各圧力室３８の個別連通路４２とは反対側の端部に連通するノズル４０が形成された構成基板の一種であるノズルプレート４６が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。本実施形態では、流路形成基板３７に圧力室３８が並設された列が２列設けられているため、１つのヘッドユニット１１には、ノズル４０が並設されたノズル列８（図１参照）が２列設けられている。本実施形態においては、ノズルプレート４６のノズル４０が形成された面が、記録ヘッド３のノズル形成面２２に相当する。
【００４４】
また、本実施形態におけるノズルプレート４６は、流路形成基板３７と相似形状を呈しているが、当該流路形成基板３７よりも小さい面積のシリコン単結晶基板から作製されており、これにより、流路形成基板３７において、ノズルプレート４６が接合された領域より外側には、当該流路形成基板３７の下面が露出した部分が設けられている。この露出した部分は、共通保持部材１０にヘッドユニット１１が固定される際に、共通保持部材１０に当接される当接面４７として機能する。この当接面４７は、ノズルプレート４６、即ち、ノズル形成面に直交するＺ方向から見たときに、ノズル形成面の外側に見える面あり、当該ノズル形成面との平行度が高い精度で確保された面であると言える。なお、このような当接面４７は、シリコン単結晶基板からなり、ノズル形成面と平行度が確保された面であれば、流路形成基板３７以外の構成部材に設けられても良い。
【００４５】
流路形成基板３７のノズルプレート４６とは反対側には、弾性膜４８が形成され、この弾性膜４８上には、絶縁体膜４９が形成されている。これらの弾性膜４８及び絶縁体膜４９は、圧電素子５０の駆動に応じて変位する振動板として機能する。この振動板を構成する絶縁体膜４９上には、駆動素子の一種である圧電素子５０が形成されている。ここで、圧電素子５０は、図示しない下電極、圧電体層及び上電極を含み、一方の電極を共通電極とし、他方の電極を個別電極として、当該個別電極及び圧電体層が圧力室３８毎にパターニングされて構成されている。圧電素子５０の個別電極には、絶縁体膜４９上まで延設されたリード電極５１（接続端子）が接続されている。リード電極５１の一端部は、圧電素子５０に接続され、リード電極５１の他端部側は、圧電素子５０が並設された列と列との間に延設されている。即ち、リード電極５１の他端部側は、Ｙ方向で互いに隣り合う圧電素子５０の間に延設されている。そして、このリード電極５１の他端部は、駆動配線２３と接続されている。
【００４６】
このような圧電素子５０が形成された流路形成基板３７上には、共通液室４５の一部を構成する共通液室部４４を有する保護基板４３が接合されている。この共通液室部４４は、本実施形態では、保護基板４３を厚さ方向に貫通して圧力室３８の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板３７の連通部４１と連通されて各圧力室３８の共通のインク室となる共通液室４５を構成している。なお、本実施形態では、流路形成基板３７に共通液室４５となる連通部４１を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、流路形成基板３７の連通部４１を圧力室３８毎に複数に分割して、共通液室部４４のみを共通液室４５としてもよい。また、例えば、流路形成基板３７に圧力室３８のみを設け、流路形成基板３７と保護基板４３との間に介在する部材（例えば、弾性膜４８、絶縁体膜４９等）に共通液室４５と各圧力室３８とを連通する個別連通路４２を設けるようにしてもよい。また、圧力室３８を流路形成基板３７に設けずに別途の基板に設け、圧力室３８と連通する流路を流路形成基板３７に設けてもよい。
【００４７】
保護基板４３の圧電素子５０に対向する領域には、圧電素子５０の運動を阻害しない程度の空間である保持空部５２が設けられている。保持空部５２は、圧電素子５０の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。なお、本実施形態では、圧電素子５０が並設された列が２列設けられているため、保持空部５２が圧電素子５０の並設された各列に対応してそれぞれ設けられている。即ち、保護基板４３には、保持空部５２がＹ方向に２つ並設されている。
【００４８】
また、保護基板４３には、保護基板４３を厚さ方向に貫通する配線空部５３が設けられている。配線空部５３は、本実施形態では、２つの保持空部５２の間に設けられている。そして、各圧電素子５０から引き出されたリード電極５１の端部近傍は、配線空部５３内に露出するように設けられている。
【００４９】
保護基板４３上には、封止膜５５及び支持板５６とからなるコンプライアンス基板５７が接合されている。ここで、封止膜５５は、可撓性を有する材料（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜５５によって共通液室部４４の一方面が封止されている。また、支持板５６は、金属等の硬質の材料（例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この支持板５６の共通液室４５に対向する領域は、厚さ方向に貫通した開口部５６ａとなっているため、共通液室４５の一方面は可撓性を有する封止膜５５のみで封止されている。また、図１０に示されるように、コンプライアンス基板５７には、共通液室４５にインクを供給する導入口５８と、共通液室４５のインクを排出する導出口５９とが設けられている。なお、導入口５８と導出口５９とは、共通液室４５のＸ方向における両端部側に設けられている。
【００５０】
コンプライアンス基板５７上には、ケース６０が固定されている。図１０に示されるように、ケース６０には、開口部５６ａに対向する領域に凹形状の逃し部６２が形成され、開口部５６ａのたわみ変形が適宜行われるようになっている。さらに、図９に示されるように、ケース６０には、保護基板４３に設けられた配線空部５３と連通する配線挿通口６１が設けられており、駆動配線２３は、配線挿通口６１及び配線空部５３内に挿通された状態で、駆動配線２３の下端部がリード電極５１と電気的に接続されている。また、ケース６０には、導入口５８に連通して流路部材１９の連通流路３１からのインクを共通液室４５に供給する供給路６３と、導出口５９に連通して流路部材１９の導出路３４にインクを排出する排出路６４と、が設けられている。
【００５１】
そして、インク貯留部材６からのインクは、流路部材１９の導入部２７から導入路２９に導入されて、フィルター室３０のフィルター３２を通過して連通流路３１とヘッド本体部１８の供給路６３を通り、導入口５８を介して共通液室４５に導入される。共通液室４５からは個別連通路４２を介して各圧力室３８にそれぞれインクが供給され、圧電素子５０の駆動によりノズル４０からインク滴として吐出される。また、共通液室４５内のインクは、導出口５９から排出路６４と流路部材１９の導出路３４を通って導出部２８からインク貯留部材６側に送られる。即ち、インク貯留部材６と記録ヘッド３との間でインクが循環される。
【００５２】
上記構成のヘッドユニット１１は、ノズル４０が並設されたノズル列８がＸ方向に揃うように共通保持部材１０に並設される。そして、並設されたヘッドユニット１１は、並設方向でノズル４０の列が連続するように固定される。このように、複数のヘッドユニット１１のノズル４０の列がＸ方向に連続するように並べられることで、より幅の広い媒体２に印刷を行うことができる。
【００５３】
次に、上記の記録ヘッド３の製造方法（即ち、製造工程）について説明する。
図１１は、ヘッド製造装置６６、即ち、記録ヘッド３の製造に係るデータ処理装置の電気的な構成の一例を説明するブロック図である。図１２は、記録ヘッド３の製造工程のうちヘッドユニット１１の吐出特性について学習する機械学習工程（学習段階）について説明するフローチャートである。図１３は、本発明に係る記録ヘッド３の製造方法のうち記録ヘッド３の組立工程（運用段階）について説明するフローチャートである。
【００５４】
本実施形態におけるヘッド製造装置６６について説明する。データ処理装置の一種であり、機械学習装置であるヘッド製造装置６６は、制御部６７と、表示制御部６８と、記憶部７０と、インターフェース部７１と、を備えている。また、インターフェース部７１には、例えば、キーボードやマウスなどの入力装置からなる入力部７２が接続されている。
【００５５】
制御部６７は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等から構成される。この制御部６７は、ヘッド製造装置６６の各部を制御する。本実施形態における制御部６７は、後述するように、ヘッドユニット１１の構成部材の特性データ（以下、構成部材特性データ）及び教師データ７４に基づきヘッドユニット１１の吐出特性の推定について機械学習を実行する。表示制御部６８は、図示しない画像メモリを有し、制御部６７による制御に基づいて画像を画像メモリに展開し、当該画像を液晶表示装置等の図示しない表示部に表示させる。記憶部７０は、例えば、ハードディスクドライブやＮＶＲＡＭ（不揮発性記憶素子）等の記憶装置から構成され、オペレーションシステム、各種アプリケーションプログラム、後述する教師データ７４や学習モデル７５等が記憶されている。なお、教師データ７４や学習モデル７５については記憶部７０に記憶されたものには限られず、例えばネットワークを介して接続されたサーバーに記憶され、当該サーバーから適宜読み出す構成とすることもできる。インターフェース部７１は、例えばＬＡＮインターフェース、電話回線インターフェース、或いはＵＳＢインターフェース等から構成され、各種インターフェースに対応したネットワークを介して外部機器とデータの送受を行う。
【００５６】
次に、ヘッド製造装置６６によりヘッドユニット１１のノズル４０からインクの吐出状態を示す吐出特性について学習する機械学習工程について説明する。本実施形態においては、予め、ヘッドユニット１１の構成部材の材質、形状、寸法、若しくは駆動素子である圧電素子５０の静電容量や共振周波数等の、ヘッドユニット１１の構造上の又は電気的な特性を示す構成部材特性データと、ヘッドユニット１１から実際にインクを吐出して得られるインク滴の量等の吐出特性を示す吐出特性データとを対応付けた多数の教師データ７４がヘッド製造装置６６に付与される。即ち、本実施形態においては、記憶部７０に教師データ７４が記憶される。また、学習モデル７５は、入力データである構成部材特性データから出力データである吐出特性データを推定・導出するための関数等を示す情報であり、機械学習後に得られるモデルである。そして、訓練データ７６は、機械学習用の構成部材特性データである。即ち、訓練データ７６が機械学習によって訓練されて所定の条件を満たしたことによって得られたモデル、換言すると、入力から、より正しい解としての吐出特性を推定して出力するための関数等の情報が学習モデル７５である。
【００５７】
まず、ヘッドユニット１１が製造された後に吐出特性の検査が行われ、得られた吐出特性データが、構成部材特性データと対応付けられ、これらのデータの組み合わせ（即ち、データセット）である教師データ７４として入力部７２等を通じてヘッド製造装置６６に入力される（ステップＳ１：本発明における第１入力工程に相当）。データの入力は作業者による手動入力であっても良いし、吐出検査を行った検査装置による自動入力であっても良い。ここで、教師データ７４の吐出特性データは、検査において実測により得られた実測データであり、後述する機械学習工程における正解である。本実施形態では、制御部６７が第１取得部として機能し、入力された吐出特性データと構成部材特性データとを対応付けて実測データ、即ち、教師データ７４として取得し、記憶部７０に記憶する。構成部材特性データについては後述する。
【００５８】
吐出特性の検査は、ヘッドユニット１１が製造された状態、即ち、ヘッド本体部１８に流路部材１９や回路基板２０等が組付けられ、内部の流路にインクが導入されて実際にノズル４０からインクの吐出が可能となった状態で行われる。即ち、この検査では、導入部２７に検査用のインクを導入するための図示しない供給チューブが導入部２７に着脱可能に接続され、検査用の駆動信号を入力するための図示しない配線がコネクター１７に着脱可能に接続される。吐出特性は、所定の駆動信号で圧電素子５０を駆動したときにノズル４０から吐出されるインク滴の重量又は体積、飛翔速度、飛翔方向（飛翔の曲がり具合）等であり、同一ノズル列内の各ノズル４０の重量等のばらつきを示す情報（例えば、標準偏差）等も含まれる。また、ヘッドユニット１１に複数のノズル列が設けられている場合、ノズル列間でのばらつきも含まれる。さらに、例えば、所定の駆動信号で圧電素子５０を駆動したときに圧力室３８内のインクに生じる圧力振動の固有振動周期や、同一ノズル４０からインク滴を連続吐出する際の吐出周波数（換言すると駆動周波数）を変化させたときの当該ノズル４０から吐出されるインク滴の重量や飛翔速度の変化に関する周波数特性等も吐出特性に含まれる。上記の吐出特性の測定方法については、検査用パターンを媒体２に印刷し、印刷された検査用パターンに基づき取得する方法や、圧電素子５０を駆動したときに当該圧電素子５０に生じる起電力に基づき取得する方法等、周知の種々の方法を採用することができる。
【００５９】
次に、入力部７２等を通じて、学習に係る構成部材特性データが、訓練データとして入力される（ステップＳ２：本発明における第２入力工程に相当）。即ち、制御部６７は、第２取得部として機能し、入力された構成部材特性データを訓練データ７６として取得し、記憶部７０に記憶する。構成部材特性データとしては、ヘッドユニット１１の構成部材の材質、形状、寸法、重量、製造ロット、或は、加工時間等の吐出特性に影響する各種の情報が含まれる。また、この構成部材特性データには、流路を構成する各部、即ち、ノズル４０、圧力室３８、連通部４１、及び共通液室４５の数や位置関係（即ち、距離等）、流路を構成する各部の流路断面積や開口径、フィルター３２の有効面積、流路抵抗、或は、接着剤の種類、粘度、硬化温度、塗布方法等も含まれる。なお、構成部材特性データとしては、例示した情報を全て含まなくても良く、吐出特性により大きく影響するものを選択的に採用することができる。また、本実施形態で例示したもの以外にも、ヘッドユニット１１を構成する構成部材の特性に関する情報であって、吐出特性に影響するものを構成部材特性データに含ませることもできる。
【００６０】
構成部材特性データが入力されると、ヘッド製造装置６６の制御部６７は、本発明における学習部として機能し、訓練データ７６である構成部材特性データを構成する形状・寸法等の各情報を入力（即ち、状態変数）とし、多層構造のニューラルネットワーク等のアルゴリズムを用いて、より正しい吐出特性を出力するための機械学習工程を実行する（ステップＳ３）。この機械学習工程では、入力に対し、上記の吐出特性を構成する各種のデータの推定値が出力される。つまり、機械学習工程では、構成部材特性データである訓練データ７６と、吐出特性の実測値に関するデータである教師データ７４と、に基づき吐出特性を推定し、推定値が教師データ７４に一致するように学習が行われる。例えば、入力である構成部材特性データの各情報をＸｎ（但しｎは構成部材特性データを構成する各情報に付与される通し番号）、教師データ７４をＣｍ（但しｎは教師データを構成する各情報に付与される通し番号）、出力である吐出特性の各情報をＳｍとし、損失関数Ｌ(Ｘｎ，Ｓｍ)Ｃｍが一定値に収束するまで学習されて学習モデル７５が更新される。このようにして構成部材特性データに対応する吐出特性データを推定するための学習モデル７５が得られるので、当該学習モデル７５を用いた運用段階では、入力としての構成部材特性データに対応する出力としてより精度の高い吐出特性データを取得することができる。
【００６１】
次に、図１３を参照して、上記機械学習工程で学習された学習モデル７５に基づいてヘッドユニット１１の吐出特性を取得し、これに応じてヘッドユニット１１を組み合わせて記録ヘッド３を組み立てる工程（即ち、運用段階）について説明する。
【００６２】
この記録ヘッド３の製造工程では、主に、複数のヘッドユニット１１の吐出特性をそれぞれ特定し、特定した吐出特性に基づいて共通保持部材１０に配置するヘッドユニット１１を選定し、選定されたヘッドユニット１１を共通保持部材１０に配置・固定する工程について説明する。吐出特性の特定に関し、検査においてノズル４０から実際にインクを吐出して実測により得られた実測データを得ることで特定することもできるが、本実施形態においては、上記の機械学習で得られた学習モデル７５を用いて、ヘッドユニット１１の構成部材特性データから吐出特性データが特定される。
【００６３】
まず、入力部７２等を通じて、ヘッドユニット１１の構成部材特性データが入力される（ステップＳ１０：第３入力工程）。即ち、制御部６７は、第３取得部として機能し、入力された構成部材特性データを記憶部７０に記憶する。続いて、制御部６７は、出力部として機能し、上記機械学習工程で学習された学習モデル７５に基づいて、入力された構成部材特性データに対応する吐出特性データを出力する（ステップＳ１１）。即ち、制御部６７は、入力された構成部材特性データの各情報Ｘｎから学習モデル７５に基づき吐出特性の各情報Ｓｍを得る。そして、制御部６７は、吐出特性データを構成する各情報Ｓｍを、表示制御部６８を制御して表示装置に表示させたり、又は、ヘッド製造装置６６に接続されたプリンター等の印刷装置によって媒体等に印刷させたりすることによって出力する。即ち、例えば、吐出特性データを構成する各情報Ｓｍを二次元コード（所謂ＱＲコード（登録商標））等に変換した識別ラベルを印刷することで出力することができる。印刷された識別ラベルは、ヘッドユニット１１に貼付される。何れの場合でも、ヘッドユニット１１と吐出特性データとがそれぞれ対応付けられた形で吐出特性データが出力される。
【００６４】
このようにして、複数のヘッドユニット１１について、構成部材特性データに基づく吐出特性データがそれぞれ取得・特定される。即ち、上記ステップＳ１０及びステップＳ１１は、本発明における特性特定工程に相当する。次に、同一の記録ヘッド３を構成するヘッドユニット１１として適した吐出特性を有するヘッドユニット１１が選定される（ステップＳ１２）。つまり、ヘッドユニット１１のうち、吐出特性ができるだけ近いもの（所定の条件を満たすもの）同士が組み合わされる。このヘッドユニット１１の選定については、例えば、作業者が行っても良いし、ヘッド製造装置６６が行っても良い。後者の場合、制御部６７が選定部として機能し、上記のようにして得られた吐出特性データ、即ち、例えば、識別ラベルに基づきヘッドユニット１１をランク分けし、同一ランクを有するヘッドユニット１１を組み合わされて選定する。選定結果は、表示装置や配置作業を行う装置等に出力されるようにすることもできる。ランク分けでは、例えば、吐出特性データを構成する各情報Ｓｍについて複数の範囲が設定され、同一範囲内に入るものは同一ランクに分類される。本実施形態においては、このようなヘッドユニット１１が合計６つ選定される。記録ヘッド３を構成するヘッドユニット１１が選定されたならば、これらのヘッドユニット１１が共通保持部材１０に配置される配置工程が行われる（ステップＳ１３）。
【００６５】
図１４は、ヘッドユニット１１の配置工程を説明する工程図である。また、図１５は、共通保持部材１０にヘッドユニット１１が固定された状態を示す部分断面図である。本実施形態においては、共通保持部材１０のヘッド保持面である上面１０ｂにホルダー１２が位置決めされた状態で固定される。そして、共通保持部材１０の下面１０ａが、例えば定盤７８に載置される。図１４に示されるように、上記の選定された各ヘッドユニット１１が、ノズル形成面２２を共通保持部材１０に対向させた姿勢で、それぞれホルダー１２の共通保持部材１０と接合された下面とは反対側の上面側から収容空部１３内に挿入される。このとき、収容空部１３を区画している側壁１４内面と区画壁１５とにガイドされつつ共通保持部材１０におけるそれぞれの配置位置に向けて案内される。これにより、ヘッドユニット１１の共通保持部材１０におけるＸ方向及びＹ方向の位置が概ね規定される。このように、ヘッドユニット１１を収容空部に挿入することにより共通保持部材１０の所定位置に案内されるので、組み立て作業の効率化が図られる。
【００６６】
そして、ノズルプレート４６が開口部１６内に嵌入し、流路形成基板３７の当接面４７が共通保持部材１０の上面１０ｂに当接することで、共通保持部材１０に対するヘッドユニット１１のＺ方向の位置が規定される。このようにして、各ヘッドユニット１１が、共通保持部材１０の所定位置にそれぞれ配置される。このヘッドユニット１１を配置する工程は、作業者の手によって行われても良いし、製造装置により自動で行われても良い。なお、図１５に示されるように、当接面４７と共通保持部材１０の上面１０ｂ（より具体的には、開口部１６の周縁部）との間には、予め、塗布又は転写により接着剤８０が設けられている。このため、当接面４７は、接着剤８０を介して共通保持部材１０の上面１０ｂに間接的に当接される。また、本実施形態においては、ホルダー１２の側壁１４及び区画壁１５とヘッドユニット１１との間の隙間にも接着剤８１がディスペンサー等により充填される。
【００６７】
次に、接着剤８０，８１が硬化していない仮固定の状態で、各ヘッドユニット１１の位置を微調整する工程が行われる（ステップＳ１４）。この工程では、例えば、ＣＣＤカメラ等の撮像手段によってノズルプレート４６を撮影した画像に基づき、ノズルプレート４６における所定の２つ以上のノズル４０が、位置決めの基準となるアライメントマークと重なるように、治具に保持されたヘッドユニット１１のＸ方向又はＹ方向における位置が微調整される。そして、各ヘッドユニット１１の位置が微調整された後、加熱処理等により接着剤８０，８１の硬化が促進されて、各ヘッドユニット１１が共通保持部材１０及びホルダー１２に固定される（ステップＳ１５）。ここで、ヘッドユニット１１とホルダー１２とが接着剤により接着されて固定される構成を採用することにより、例えば、ヘッドユニット１１とホルダー１２とがネジ留めされる構成と比較して、固定時の応力によりヘッドユニット１１が共通保持部材１０に対して傾いたり位置ずれしたりすることが抑制される。このため、共通保持部材１０に固定された各ヘッドユニット１１の位置精度の向上に寄与する。また、本実施形態においては、シリコン単結晶基板からなる構成基板の一種である流路形成基板３７は、例えば、合成樹脂や金属等の他の材質からなる構成部材と比較して寸法及び形状の精度が高いので、当該流路形成基板３７の当接面４７を共通保持部材１０に当接させて固定することにより、各ヘッドユニット１１の共通保持部材１０における位置精度、特にＺ方向における位置精度を高めることが可能となる。なお、ヘッドユニット１１がホルダー１２の収容空部１３に挿通されることで共通保持部材１０に対するヘッドユニット１１の位置が高い精度で規定される場合には、ステップ１４の工程は必ずしも行われなくても良い。
【００６８】
以上のようにして、記録ヘッド３が製造される。このようにして製造された記録ヘッド３では、ヘッドユニット１１を構成する流路部材１９を含む構成部材の特性を加味した吐出特性に基づいて共通保持部材１０に保持・固定される複数のヘッドユニット１１が組み合わされるので、共通保持部材１０に固定・保持された各ヘッドユニット１１の吐出特性のばらつきが抑制される。その結果、各ヘッドユニット１１のノズル４０から吐出されるインクの媒体２に対する着弾位置ずれを抑制することが可能となる。その結果、記録された画像等の画質の低下を低減することができる。また、本実施形態においては、ノズル４０からインクを実際に吐出して検査を行うことなく、入力された構成部材特性データと機械学習で得られた学習モデル７５とに基づいてより精度の高い吐出特性データを自動で特定できるので、液体吐出ヘッドの製造効率が向上する。
【００６９】
なお、上記実施形態では、シリコン単結晶基板からなる構成基板の一種である流路形成基板３７の当接面４７を共通保持部材１０に固定する構成を例示したが、これには限られず、ノズル形成面２２と可及的に平行な面を有し、シリコン単結晶基板からなる他の構成基板を共通保持部材１０に固定する構成を採用することもできる。そして、ノズル形成面２２を有し、シリコン単結晶基板からなる構成基板の一種であるノズルプレート４６を共通保持部材１０に固定する構成を採用することが望ましい。これにより、各ヘッドユニット１１の各ノズル４０間の位置精度をより高めることが可能となる。
【００７０】
なお、以上の実施形態においては、合計６つのヘッドユニット１１を共通保持部材１０に固定する構成を例示したが、ヘッドユニット１１の数はこれには限られない。要するに複数のヘッドユニット１１を共通保持部材１０に固定する構成において本発明を適用することが可能である。また、必ずしもホルダー１２を用いなくても良く、共通保持部材１０のみに対してヘッドユニット１１を固定する構成とすることもできる。また、共通保持部材１０とヘッドユニット１１とは、当接面４７が共通保持部材１０の上面１０ｂに直接当接した状態で、接着剤８０とは異なる固定手段により固定される構成を採用することもできる。
【００７１】
さらに、上記実施形態における記録ヘッド３として、媒体２に対して幅方向の走査を伴うことなくインクを吐出する所謂ライン型記録ヘッドを例示したが、これには限られず、媒体２の幅方向に往復走査させながらインクを吐出させる所謂シリアル型記録ヘッドにも同様に本発明を適用することができる。
【００７２】
そして、以上では、液体吐出ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド３を例に挙げて説明したが、本発明は、複数のヘッドユニットを共通保持部材に固定する構成を採用する他の液体吐出ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材吐出ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物吐出ヘッド等の製造にも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００７３】
１…プリンター，２…媒体 ，３…記録ヘッド，４…制御装置，５…搬送機構，６…インク貯留部材，８…ノズル列，１０…共通保持部材，１１…ヘッドユニット，１２…ホルダー，１３…収容空部，１４…側壁，１５…区画壁，１６…開口部，１７…コネクター，１８…ヘッド本体部，１９…流路部材，２０…回路基板，２１…配線基板，２２…ノズル形成面，２３…駆動配線，２４…流路部材本体，２５…第１蓋部材，２６…第２蓋部材，２７…導入部，２８…導出部，２９…導入路，３０…フィルター室，３１…連通流路，３２…フィルター，３３…凹部，３４…導出路，３７…流路形成基板，３８…圧力室，４０…ノズル，４１…連通部，４２…個別連通路，４３…保護基板，４４…共通液室部，４５…共通液室，４６…ノズルプレート，４７…当接面，４８…弾性膜，４９…絶縁体膜，５０…圧電素子，５１…リード電極，５２…保持空部，５３…配線空部，５５…封止膜，５６…支持板，５７…コンプライアンス基板，５８…導入口，５９…導出口，６０…ケース，６１…配線挿通口，６２…逃し部，６３…供給路，６４…排出路，６６…ヘッド製造装置，６７…制御部，６８…表示制御部，６９…通信部，７０…記憶部，７１…インターフェース部，７２…入力部，７４…教師データ７４…学習モデル，７６…訓練データ，７８…定盤，８０…接着剤，８１…接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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