(57)【要約】      （修正有）【課題】切削ブレードの装着工具の離脱忘れによって切削装置を損傷させる問題を防止することができる切削装置を提供する。【解決手段】被加工物Ｗを保持する保持手段１８と、保持手段１８に保持された被加工物Ｗを切削する切削ブレード３４がナットによって回転軸に装着された切削手段３０と、から少なくとも構成される切削装置１であって、回転軸に装着された切削ブレード３４を固定したナットの取り外し及び装着を行う装着工具を載置する工具テーブル５０と、工具テーブル５０の所定の位置５２に装着工具が載置されているか否かを判定し、工具テーブル５０の所定の位置５２に装着工具が載置されていないと判定される場合に、作業者に対する警告信号を発信する警告信号発信手段と、を備えた切削装置が提供される。【選択図】図１
2020142342.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードがナットによって回転軸に装着された切削手段と、から少なくとも構成される切削装置であって、
該回転軸に装着された切削ブレードを固定したナットの取り外し及び装着を行う装着工具を載置する工具テーブルと、
該工具テーブルの所定の位置に該装着工具が載置されているか否かを判定し、該工具テーブルの所定の位置に該装着工具が載置されていないと判定される場合に、作業者に対する警告信号を発信する警告信号発信手段と、を備えた切削装置。
【請求項２】
該警告信号発信手段は、発光素子と受光素子とを備え、該発光素子から照射された光が、該装着工具で反射して反射光となり、該反射光を該受光素子で受光した場合に該工具テーブルの所定の位置に該装着工具が載置されていると判定するものであって、該工具テーブルの所定の位置に該装着工具が載置されていると判定された場合に、該被加工物を加工する際に警告信号を発信せず、該工具テーブルの所定の位置に該装着工具が載置されていないと判定された場合に、該警告信号を発信する請求項１に記載の切削装置。
【請求項３】
該警告信号発信手段は、該工具テーブルの所定の位置に該装着工具が載置されているか否かを判定し、該工具テーブルの所定の位置に該装着工具が載置されていないと判定される場合で、且つ該切削ブレードにより被加工物を加工するための指示を検知した場合に作業者に対する警告信号を発信する請求項１、又は２に記載の切削装置。
【請求項４】
該警告信号発信手段は、該警告信号を発信する際には、該切削ブレードにより被加工物を加工するための指示を無効とする、請求項１乃至３のいずれかに記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードがナットによって回転軸に装着された切削手段と、から少なくとも構成される切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、切削装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
切削装置は、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードがナットによって回転軸に装着された切削手段と、該保持手段と該切削手段とを相対的に加工送りする加工送り手段と、切削すべき領域を検出する撮像手段と、から少なくとも構成されウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割できる。
【０００４】
また、回転軸へのナットの装着及び取り外しは比較的困難であることから、装着及び取り外しに好適な装着工具が本出願人によって提案されている（特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５９７７２３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記した装着工具を用いることによって、切削ブレードの装着及び取り外しが適切に実施することが可能になるが、回転軸に切削ブレードを装着すべくナットを締結した後、該ナットから装着工具を離脱させることを失念し、該装着工具を装着したまま、該切削装置を稼働させるケースが生じ、該装着工具によって切削装置が損傷するという問題がある。
【０００７】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、切削ブレードの装着工具の離脱忘れによって切削装置を損傷させる問題を防止することができる切削装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードがナットによって回転軸に装着された切削手段と、から少なくとも構成される切削装置であって、該回転軸に装着された切削ブレードを固定したナットの取り外し及び装着を行う装着工具を載置する工具テーブルと、該工具テーブルの所定の位置に該装着工具が載置されているか否かを判定し、該工具テーブルの所定の位置に該装着工具が載置されていないと判定される場合に、作業者に対する警告信号を発信する警告信号発信手段と、を備えた切削装置が提供される。
【０００９】
該警告信号発信手段は、発光素子と受光素子とを備え、該発光素子から照射された光が、該装着工具で反射して反射光となり、該反射光を該受光素子で受光した場合に該工具テーブルの所定の位置に該装着工具が載置されていると判定するものであって、該工具テーブルの所定の位置に該装着工具が載置されていると判定された場合に、該被加工物を加工する際に警告信号を発信せず、該工具テーブルの所定の位置に該装着工具が載置されていないと判定された場合に、該警告信号を発信することができる。
【００１０】
より好ましくは、該警告信号発信手段は、該工具テーブルの所定の位置に該装着工具が載置されているか否かを判定し、該工具テーブルの所定の位置に該装着工具が載置されていないと判定される場合で、且つ該切削ブレードにより被加工物を加工するための指示を検知した場合に作業者に対する警告信号を発信する。さらに、該警告信号発信手段は、該警告信号を発信する際には、該切削ブレードにより被加工物を加工するための指示を無効とすることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の切削装置は、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードがナットによって回転軸に装着された切削手段と、から少なくとも構成される切削装置であって、該回転軸に装着された切削ブレードを固定したナットの取り外し及び装着を行う装着工具を載置する工具テーブルと、該工具テーブルの所定の位置に該装着工具が載置されているか否かを判定し、該工具テーブルの所定の位置に該装着工具が載置されていないと判定される場合に、作業者に対する警告信号を発信する警告信号発信手段と、を備えていることから、装着工具を用いて回転軸にナットを装着した後、該装着工具をナットから離脱させずに切削装置を稼働させることが防止され、切削装置を損傷させることが防止される。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】切削装置の斜視図である。
【図２】（ａ）図１の切削装置に配設される切削手段の斜視図、（ｂ）（ａ）に記載の切削手段の分解斜視図、及び装着工具の斜視図である。
【図３】図１の切削装置の工具テーブルの一部を拡大した斜視図である。
【図４】警告信号発信手段の構成を説明するための概念図である。
【図５】図１に記載の切削装置によって実行される制御フローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１には、本発明に基づき構成された実施形態に係る切削装置１の斜視図が示されている。切削装置１は、被加工物として用意されるウエーハＷに切削加工を施す装置である。以下に、図１を参照しながら、切削装置１について説明する。
【００１４】
切削装置１は、基台２を備え、基台２には、ダイシングテープＴを介して環状のフレームＦと一体化されたウエーハＷを複数枚収容可能なウエーハカセット８が配設される。ウエーハカセット８は、上下動可能なカセット昇降手段９上に載置される。
【００１５】
ウエーハカセット８の後方には、ウエーハカセット８から切削加工前のウエーハＷを搬出するとともに、加工後のウエーハＷをウエーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウエーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウエーハＷが一時的に載置され、フレームＦに保持されたウエーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ機能を有する仮置き手段１２が配設されている。
【００１６】
仮置き手段１２の近傍には、ウエーハＷを保持するフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されている。搬出入手段１０によってウエーハカセット８から仮置き手段１２上に搬出されたウエーハＷは、搬送手段１６により吸着されて搬送される。
【００１７】
基台２には、保持手段として機能するチャックテーブル１８が配設されている。ウエーハＷは、搬送手段１６によって、図１にて搬送位置に位置付けられたチャックテーブル１８上に搬送される。チャックテーブル１８に搬送されたウエーハＷは、ダイシングテープＴを介してチャックテーブル１８に吸引されると共に、複数のクランプ１９によりフレームＦが固定される。チャックテーブル１８は、後述する切削手段３０とチャックテーブル１８とを相対的に加工送りする加工送り手段（図示は省略）を備える。該加工送り手段は、チャックテーブル１８を回転駆動し、図中矢印Ｘで示すＸ軸方向に進退動可能に構成される。また、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウエーハＷの切削加工すべき位置（例えば、ウエーハＷ上の分割予定ライン）を検出するアライメント手段２０が配設されている。
【００１８】
アライメント手段２０は、ウエーハＷの表面を撮像する撮像手段を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の画像処理によって切削加工すべき分割予定ラインを検出することができる。アライメント手段２０によって取得された画像は、後述する制御手段１００（図４を参照）に送られて、表示手段６に表示される。
【００１９】
アライメント手段２０のＸ軸方向で隣接する位置には、切削手段３０が配設されている。切削手段３０は、切削ブレード３４が装着され、チャックテーブル１８に保持されたウエーハＷを切削し、分割する。
【００２０】
切削手段３０によって切削加工が施されたウエーハＷは、チャックテーブル１８と共に図中手前側の搬送位置に移動され、搬送手段４１により吸着されて、切削加工によって切削屑等が付着し汚染されたウエーハＷを洗浄する洗浄手段４０まで搬送される。
【００２１】
洗浄手段４０によって洗浄され乾燥処理が施されたウエーハＷは、搬送手段１６によりウエーハＷを支持するフレームＦが吸着されて仮置き手段１２に搬送され、搬出入手段１０によりウエーハカセット８の所定の収納場所に戻される。
【００２２】
基台２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４と、円形の凹部で形成された装着工具収容部５２と、同じく円形の凹部で形成されたナット収容部５４と、切削手段３０によって実施される切削加工を指示するための稼働ボタン５６と、が形成された工具テーブル５０が配設される。基台２の上部には、作業者に対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示される表示手段６が設けられている。表示手段６は、切削加工に関連する情報等を表示するだけでなく、表示画面に触れることで情報を入力可能なタッチパネル機能を備えることもできる。
【００２３】
装着工具収容部５２の凹部は、後述する装着工具７０の形状に合わせて形成されており、ナット収容部５４の凹部は、切削手段３０の切削ブレード３４を固定するための後述するナット３５の形状に合わせた形状になっている。
【００２４】
基台２の上部を構成し、工具テーブル５０上の装着工具収容部５２に対向するように形成された壁面２Ａには、発光素子６１と、装着工具収容部５２に載置された装着工具７０で反射した光Ｌを受光する受光素子６２とが配設されている。さらに、壁面２Ａの上方には、警告信号を発信する警告ランプ６３が配設されている。
【００２５】
図２を参照しながら、上記した切削手段３０、及び装着工具７０についてより具体的に説明する。図２（ａ）に、図１に示す切削装置１に配設された切削手段３０を拡大して示し、図２（ｂ）には、切削手段３０を分解した斜視図、及び装着工具７０の斜視図を示す。
【００２６】
図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、切削手段３０は、図１に矢印Ｙで示すＹ軸方向に延びる回転軸ハウジング３１と、回転軸ハウジング３１の先端に装着されたブレードカバー３２と、回転軸ハウジング３１に回転自在に支持された回転軸３３と、回転軸３３の先端部に着脱自在に固定される環状の切削ブレード３４と、回転軸３３の先端部に切削ブレード３４を固定するためのナット３５とを含む。
【００２７】
図２（ｂ）に示すように、ブレードカバー３２は、回転軸ハウジング３１に固定される第一のカバー部材３２ａと、第一のカバー部材３２ａの前面にねじ３８によって固定される第二のカバー部材３２ｂと、第一のカバー部材３２ａの上方からねじ３７によって固定されるブレード検出ブロック３２ｃとからなる。ブレード検出ブロック３２ｃには、切削ブレード３４の摩耗や欠けを検出するためのブレードセンサ（図示は省略）が配設されている。第一のカバー部材３２ａ、及び第二のカバー部材３２ｂには、切削ブレード３４の側面に沿って延び、切削ブレード３４によって被加工物を切削する際に切削水を供給する第一の切削水供給ノズル３６ａ、及び第二の切削水供給ノズル３６ｂが配設されている。
【００２８】
回転軸３３の先端側には、環状のフランジ３３ａが配設され、フランジ３３ａのさらに先端側の外周面には雄ねじ３３ｂが形成され、回転軸３３の端面には六角穴３３ｃが形成されている。該先端側に切削ブレード３４を装着して、ナット３５の雌ねじ３５ａを螺合して締結することによって、切削ブレード３４がフランジ３３ａとナット３５とによって挟み込まれて固定される。
【００２９】
ブレード検出ブロック３２ｃによって、切削ブレード３４の刃先が摩耗して交換時期になったことが検出された場合は、図２（ｂ）に示すように、第二のカバー部材３２ｂと、ブレード検出ブロック３２ｃとを第一のカバー部材３２ａから外し、次いで、回転軸３３の先端に締結されたナット３５を外す。このナット３５を回転軸３３から外す際に使用されるのが、図に示す装着工具７０である。なお、図２（ｂ）には、装着工具７０の一端面７１側から見た斜視図を上方に、他端面７４から見た斜視図を下方側に示している。
【００３０】
装着工具７０は、略円柱形状をなし、一端面７１側にナット収容凹部７２が形成されており、ナット収容凹部７２の底部には、ナット３５の表面に複数（本実施形態では６個）配設された孔部３５ｂに挿入される突起７３が、該孔部３５ｂと対向する位置に配設されている。また、装着工具７０の一端面７１と反対側の他端面７４側の外周側面には、作業者が装着工具７０を把持し易いように凹凸形状をなす把持部７５が形成されている。さらに、装着工具７０の他端面７４側には、ナットを外す際、及び装着する際に別途トルクレンチ等の工具を挿入し、回転軸３３の端面に形成された六角穴３３ｃに係合させて回転軸３３の回転を規制するための挿入孔７６が形成されている。
【００３１】
回転軸３３の先端に締結されたナット３５を外す際には、上記した装着工具７０の突起７３をナット３５の孔部３５ａに挿入し、適宜のトルクレンチ（図示は省略）を装着工具７０の挿入孔７６に挿入して、回転軸３３の六角穴３３ｃに係合して固定し、作業者が装着工具７０の把持部７５を掴み、矢印Ｒ１で示す反時計回り方向に回転して、ナット３５を緩める。ナット３５を緩めて外し、摩耗した切削ブレード３４を取り外したならば、新しい切削ブレード３４を用意する。なお、取り外したナット３５は、ナット収容部５４に載置する。
【００３２】
新しい切削ブレード３４を用意したならば、回転軸３３の先端に新しい切削ブレード３４とナット３５を装着し、上記した装着工具７０と図示しないトルクレンチとを使用して、ナット３５を矢印Ｒ２で示す方向に回転し、締結して切削ブレード３４をフランジ３３ａとナット３５とによって挟み込み、固定する。
【００３３】
切削ブレード３４の交換作業を終えたならば、操作手段４、又は表示手段６によって所定の加工条件を入力し、切削加工の開始を指示するための稼働ボタン５６を操作することにより、切削加工が開始される。稼働ボタン５６が押されることにより、図１に示すウエーハカセット８に収容されたウエーハＷが、搬出入手段１０によって搬出され、仮置き手段１２、及び搬送手段１６によってウエーハＷをチャックテーブル１８に搬送し、チャックテーブル１８上にウエーハＷを載置し、図示しない吸引手段、及びクランプ１９を作動して吸引保持させる。
【００３４】
チャックテーブル１８にウエーハＷが吸引保持されたならば、チャックテーブル１８に保持されているウエーハＷを上記したアライメント手段２０の直下に位置付けて、ウエーハＷの加工すべき領域と、切削手段３０の切削ブレード３４による切削加工位置との位置合わせ（アライメント）を実施する。
【００３５】
上記したアライメントを実施したならば、チャックテーブル１８を移動して、切削ブレード３４の直下にウエーハＷを位置付ける。ウエーハＷを切削ブレード３４の直下に位置付けたならば、切削手段３０と、図示しない加工送り手段を作動してチャックテーブル１８と共にウエーハＷを矢印Ｘで示すＸ軸方向に加工送りして、切削ブレード３４によって所定の分割予定ラインに沿って切削加工を実施し、切削溝を形成する。
【００３６】
上記した切削加工を、切削手段３０、及び図示しない加工送り手段により移動させられるチャックテーブル１８の作動により、ウエーハＷの上面に形成された全ての分割予定ラインに沿って実施して切削溝を形成する。
【００３７】
上記したように、切削溝が形成されたならば、チャックテーブル１８を、加工前のウエーハＷを載置した搬送位置に位置付ける。チャックテーブル１８の移動に伴い該搬送位置に位置付けられたウエーハＷは、チャックテーブル１８による吸引保持が解除され、搬送手段４１によって洗浄手段４０に搬送される。
【００３８】
洗浄手段４０によってウエーハＷを洗浄、乾燥したならば、ウエーハＷは搬送手段１６、及び搬出入手段１０によって、ウエーハカセット８の所定の位置に戻され、切削加工が完了する。
【００３９】
ここで、図３に示すように、装着工具７０は、古い切削ブレード３４の取り外し、又は新しい切削ブレード３４の装着に使用されている場合を除き、工具テーブル５０上に形成された装着工具収容部５２に載置されるように作業マニュアルで規定されている。そこで、本実施形態の切削装置１は、図４に示すように、警告信号発信手段８０を備えることにより、工具テーブル５０の装着工具収容部５２に装着工具７０が載置されているか否かを判定し、装着工具収容部５２に装着工具７０が載置されていないと判定される場合に、作業者に対する警告信号を発信する。なお、本実施形態では、装着工具収容部５２に装着工具７０が載置されていないと判定される場合に常に警告信号を発信し続けるのではなく、装着工具７０によって切削ブレード３４の装着及び取り外しを実施している最中に警告信号が発信されないように、装着工具収容部５２に装着工具７０が載置されていないと判定される場合であって、且つ、稼働ボタン５６によって切削加工の開始が指示された場合に警告信号を発信するようになっている。
【００４０】
本実施形態における警告信号発信手段８０について、図４、及び図５を参照しながら以下に説明する。
【００４１】
図４には、切削装置１の工具テーブル５０の一部を拡大した平面図と、壁面２Ａ内に収容され、警告信号発信手段８０を構成する制御手段１００、及び制御手段１００に接続される発光素子６１、受光素子６２、稼働ボタン５６、及び警告ランプ６３の概念図が示されている。
【００４２】
制御手段１００は、コンピュータにより構成され、制御プログラムに従って演算処理する中央演算処理装置（ＣＰＵ）と、制御プログラム等を格納するリードオンリメモリ（ＲＯＭ）と、検出した検出値、演算結果等を一時的に格納するための読み書き可能なランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）と、入力インターフェース、及び出力インターフェースとを備えている（詳細についての図示は省略）。制御手段１００には、切削装置１の各作動部を制御するための制御プログラムに加え、図５に示す制御フローチャートを実施するための制御プログラムも記憶されている。図５を参照しながら、警告信号発信手段８０の動作について、以下に説明する。なお、図５に示す制御フローチャートは、切削装置１が使用されている間は、所定時間毎に常に繰り返し実行される。
【００４３】
切削装置１の電源がオンされて、制御手段１００の作動が開始されると、ステップＳ１にて発光素子６１から光Ｌが照射され、受光素子６２における光Ｌの受光状態が検出される。図４に示すように、装着工具収容部５２に装着工具７０が載置されており、受光素子６２において所定の光量以上の光Ｌが受光された場合は、受光素子信号Ｓが１となり、所定の光量以上の光が受光されない場合は、受光素子信号Ｓは０となる。ステップＳ１にて受光素子信号Ｓが検出されたならば、ステップＳ２に進み、稼働ボタン５６による切削加工の指示状態が検出される。稼働ボタン５６によって切削加工の開始が指示された場合は、稼働ボタン信号Ｑが１となり、稼働ボタン５６によって切削加工の開始が指示されていない場合は、稼働ボタン信号Ｑが０となる。次いでステップＳ３に進み、稼働ボタン５６からの稼働ボタン信号Ｑが１であるか否かが判定される。ここで、Ｑ＝１でない（Ｑ≠１）場合（ｎｏ）、すなわち、切削加工の開始の指示が、まだなされていない場合は、警告信号を発信する必要がないため、ステップＳ４に進み、警告信号の発信が停止した状態、すなわち警告ランプ６３を消灯状態として、リターンからスタートに戻る。
【００４４】
ステップＳ３に戻り説明を続けると、ステップＳ３にて、稼働ボタン５６からの稼働ボタン信号Ｑが１であるか否かが判定され、Ｑ＝１である場合（ｙｅｓ）、すなわち、稼働ボタン５６によって切削加工の開始が指示されていると判定される場合は、ステップＳ５に進み、ステップＳ５において、受光素子信号Ｓが１である（Ｓ＝１）か否か、すなわち、発光素子６１から照射された光Ｌが受光素子６２で検出されているか否か、が判定される。ここで、Ｓ＝１であると判定された場合（ｙｅｓ）、すなわち、装着工具７０が、装着工具収容部５２に載置されていると判定された場合は、切削加工を実施しても問題ないため、ステップＳ６に進み、警告信号の発信を停止した状態、すなわち、警告ランプ６３を消灯した状態とする。そして、警告信号の発信を停止した状態とした後、ステップＳ７に進み、稼働ボタン５６による指示を有効とする。これによって、装着工具７０が装着工具収容部５２に載置されている状態で、切削加工が実施される。
【００４５】
ステップＳ５に戻り説明を続けると、ステップＳ５にて、受光素子信号Ｓが１であるか否か判定され、Ｓ＝１でない（Ｓ≠１）と判定された場合（ｎｏ）、すなわち、装着工具７０が、装着工具収容部５２に載置されていないと判定された場合は、装着工具７０が切削手段３０の回転軸３３の先端部に装着されたままの可能性があり、そのまま切削加工を実施すると切削装置１が損傷するおそれがある。よって、ステップＳ８に進み、警告信号を発信した状態、すなわち、警告ランプ６３を点灯状態とする。これにより、作業者に対して、装着工具７０が回転軸３３に装着されたままである可能性があることを知らせて確認を促す。そして、警告信号を発信した後は、ステップＳ９に進み、稼働ボタン５６によって切削加工の開始の指示がなされていたとしても、稼働ボタン５６からの信号を無効として、リターンからスタートに戻る。
【００４６】
なお、上記した本実施形態では、警告信号の発信の具体的な実施態様として、警告ランプ６３を点灯させるように説明したが、他の手段によって警告信号を発信することもできる。例えば、警告ランプ６３を点灯させると共に、又は、警告ランプ６３の点灯に代えて、表示手段６に装着工具７０が装着工具収容部５２に載置されていない旨を表示したり、警告ブザーを作動させたりする等、他の警告手段を作動して、装着工具７０の戻し忘れを作業者に知らせてもよい。
【００４７】
上記した実施形態によれば、作業者が、新しい切削ブレード３４を、装着工具７０を用いて回転軸３３の先端に締結した後、装着工具７０の取り外しを失念して、回転軸３３の先端に装着工具７０を装着したまま切削加工の準備を進め、稼働ボタン５６によって切削加工を指示した場合であっても、警告信号の発信によって、作業者に対し、装着工具７０の外し忘れについての確認を促して、装着工具７０が装着されたままの切削加工の作動開始を防止し、切削手段３０が破損することが防止される。さらに、上記した実施形態では、警告信号を発信した後に、稼働ボタン５６によって切削加工の開始の指示がなされていたとしても、稼働ボタン５６からの信号を無効とすることから、より確実に装着工具７０が装着されたままの切削加工の作動開始を防止することができる。
【００４８】
本発明によれば、上記した実施形態に限定されず、種々の変形例が提供される。例えば、上記した実施形態では、装着工具収容部５２上に装着工具７０が載置されているか否かを判定する具体的な手段として、発光素子６１によって照射された光Ｌを装着工具７０にて反射させ、反射した該光Ｌを受光素子６２にて受光することにより、装着工具収容部５２上に装着工具７０が載置されていることを検出した。しかし、本発明はこれに限定されない。例えば、超音波を照射して装着工具７０で反射させ、反射した該超音波を検出することで、装着工具７０が装着工具収容部５２上に載置されていることを検出してもよく、さらには、装着工具７０が載置されることでオンとなる物理的なスイッチを装着工具収容部５２に設けて、該スイッチの動作で装着工具収容部５２に装着工具７０が載置されていることを判定することとしてもよい。
【００４９】
また、上記した実施形態では、装着工具収容部５２に装着工具７０が載置されていないと判定される場合であって、且つ、稼働ボタン５６によって切削加工の開始が指示された場合に警告信号を発信するようにしたが、本発明は、これに限定されず、装着工具収容部５２に装着工具７０が載置されていないと判定される場合に、常に警告信号を発信するようにすることもできる。その場合は、切削ブレード３４の交換中も警告ランプ６３が点灯したままとなるが、稼働ボタン５６を操作するまでもなく、装着工具７０の外し忘れに気が付くことが可能になる。
【００５０】
さらに、上記した実施形態では、切削加工の開始を指示するための手段として、工具テーブル５０上に稼働ボタン５６を配設し、稼働ボタン５６の作動状態によって切削ブレード３４によりウエーハＷを加工するための指示を検知したが、本発明はこれに限定されず、操作手段４、又は表示手段６のタッチパネル機能によって切削加工の開始を指示するものであってもよい。
【符号の説明】
【００５１】
１：切削装置
２：基台
４：操作手段
６：表示手段
８：ウエーハカセット
９：カセット昇降手段
１０：搬出入手段
１２：仮置手段
１６：搬送手段
１８：チャックテーブル
２０：アライメント手段
３０：切削手段
３１：回転軸ハウジング
３２：ブレードカバー
３３：回転軸
３３ａ：雄ねじ部
３４：切削ブレード
３５：ナット
３５ａ：雌ねじ部
４０：洗浄手段
５０：工具テーブル
５２：装着工具収容部
５４：ナット収容部
５６：稼働ボタン
６１：発光素子
６２：受光素子
６３：警告ランプ
７０：装着工具
８０：警告信号発信手段
１００：制御手段
【図１】
2020142342.tif 000003
【図２】
2020142342.tif 000004
【図３】
2020142342.tif 000005
【図４】
2020142342.tif 000006
【図５】
2020142342.tif 000007