(57)【要約】【課題】カバー部材と流路基板とを接合する接着剤厚みを薄くする。【解決手段】複数のヘッド１と、各ヘッド１のノズル板１２の吐出面１２ａの全ての辺の周縁部を覆うカバー部材１１１とを備え、カバー部材１１１は、流路基板１３のノズル板１２側の面において、ノズル板１２の外方領域に接着剤２０で接合され、カバー部材１１１の流路基板１３との接合面１１１ａはノズル板１２の吐出面１２ａよりも流路基板１３側に位置している。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するノズルが形成されたノズル板と、
前記ノズルに通じる個別流路を形成する流路基板と、を含むヘッドと、
前記ヘッドの前記ノズル板の吐出面の少なくとも一辺を覆うカバー部材と、を備え、
前記ノズル板の外形状は前記流路基板の外形状よりも小さく、
前記カバー部材は、前記流路基板の前記ノズル板側の面において、前記ノズル板の外方領域に接着剤で接合され、
前記カバー部材の前記流路基板との接合面は、前記ノズル板の吐出面よりも前記流路基板側に位置している
ことを特徴とするヘッドモジュール。
【請求項２】
前記カバー部材には、前記ノズル板の前記吐出面に対向する部分と前記流路基板に接合する部分との間に段差部が設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載のヘッドモジュール。
【請求項３】
前記カバー部材の段差部は、前記ノズル板の前記吐出面に対向する部分の厚みが、前記流路基板と接合する部分の厚みよりも薄い
ことを特徴とする請求項２に記載のヘッドモジュール。
【請求項４】
前記カバー部材の段差部は、前記ノズル板の前記吐出面に対向する部分と前記流路基板と接合する部分とを接続する部分が傾斜している
ことを特徴とする請求項２又は３に記載のヘッドモジュール。
【請求項５】
前記カバー部材の前記ノズル板の前記吐出面に対向する領域と前記ノズル板の前記吐出面との間には隙間がある
ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のヘッドモジュール。
【請求項６】
前記カバー部材の前記ノズル板の前記吐出面に対向する領域と前記ノズル板の前記吐出面との間は、前記カバー部材と前記流路基板とを接合している接着剤によって埋められている
ことを特徴とする請求項１に記載のヘッドモジュール。
【請求項７】
複数の前記ヘッドと、
１つの前記カバー部材と、を備えている
ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のヘッドモジュール。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載のヘッドモジュールを共通ベース部材に複数備えている
ことを特徴とするヘッドユニット。
【請求項９】
液体を吐出するノズルが形成されたノズル板と、
前記ノズルに通じる個別流路を形成する流路基板と、
前記ノズル板の吐出面の少なくとも一辺を覆うカバー部材と、を備え、
前記ノズル板の外形状は前記流路基板の外形状よりも小さく、
前記カバー部材は、前記流路基板の前記ノズル板側の面において、前記ノズル板の外方領域に接着剤で接合され、
前記カバー部材の前記流路基板との接合面は、前記ノズル板の吐出面よりも前記流路基板側に位置している
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記カバー部材には、前記ノズル板の吐出面に対向する部分と前記流路基板に接合する部分との間に段差部が設けられている
ことを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記カバー部材の段差部は、前記ノズル板の前記吐出面に対向する部分の厚みが、前記流路基板と接合する部分の厚みよりも薄い
ことを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記カバー部材の段差部は、前記ノズル板に対向する部分と前記流路基板と接合する部分とを接続する部分が傾斜している
ことを特徴とする請求項１０又は１１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記カバー部材の前記ノズル板の前記吐出面に対向する領域と前記ノズル板の前記吐出面の周縁部との間には隙間がある
ことを特徴とする請求項９ないし１２のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記カバー部材の前記ノズル板の前記吐出面に対向する領域と前記ノズル板の前記吐出面の周縁部との間は、前記カバー部材と前記流路基板とを接合している接着剤によって埋められている
ことを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
請求項１ないし７のいずれかに記載のヘッドモジュール、又は、請求項８に記載のヘッドユニット、若しくは、請求項９ないし１４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えている
ことを特徴とする液体を吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はヘッドモジュール、ヘッドユニット、液体を吐出するヘッド、液体を吐出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出するヘッド（液体吐出ヘッド）として、ノズルが形成されたノズル面の周縁部を覆うカバー部材を設けるものがある。
【０００３】
従来、ノズル板と、ノズル板が接合され、ノズルが連通する個別流路を形成する流路部材と、少なくともノズル板の表面周縁部を覆うヘッド保護部材とを有し、流路部材とヘッド保護部材とが流路部材の溝部内に設けられた接着剤で接合されている構成としたものが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−０５６９２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されているように、ノズル板の外方領域で流路部材とヘッド保護部材とを接着剤接合する構成にあっては、少なくともノズル板の厚み分の接着剤厚みが必要になって、接着剤厚みが厚くなり、温度変化によって位置ずれが生じるおそれがある。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、カバー部材と流路基板とを接合する接着剤の厚みを薄くすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明に係るヘッドモジュールは、
液体を吐出するノズルが形成されたノズル板と、
前記ノズルに通じる個別流路を形成する流路基板と、を含むヘッドと、
前記ヘッドの前記ノズル板の吐出面の少なくとも対向する一対の辺の周縁部を覆うカバー部材と、を備え、
前記ノズル板の外形状は前記流路基板の外形状よりも小さく、
前記カバー部材は、前記流路基板の前記ノズル板側の面において、前記ノズル板の外方領域に接着剤で接合され、
前記カバー部材の前記流路基板との接合面は、前記ノズル板の吐出面よりも前記流路基板側に位置している
構成とした。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、カバー部材と流路基板とを接合する接着剤の厚みを薄くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態に係るヘッドモジュールの外観斜視説明図である。
【図２】同じくヘッド並び方向の斜視断面説明図である。
【図３】同じくカバー部材側から見た外観斜視説明図である。
【図４】同じくカバー部材を外した状態の図３と同様な斜視説明図である。
【図５】同実施形態におけるヘッドとカバー部材との取り付け部分を示す断面斜視説明図である。
【図６】同じく図５の要部拡大断面斜視説明図である。
【図７】同じく要部拡大断面説明図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係るヘッドモジュールの外観斜視説明図である。
【図９】同じく図８と反対側から見た外観斜視説明図である。
【図１０】同じく分解斜視説明図である。
【図１１】同じく模式的断面説明図である。
【図１２】本発明の第３実施形態に係るヘッドモジュールの外観斜視説明図である。
【図１３】同じく断面斜視説明図である。
【図１４】同じく要部拡大斜視説明図である。
【図１５】本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドの側面説明図である。
【図１６】本発明の第５実施形態に係る１つのヘッドのノズル面部分の平面説明図である。
【図１７】本発明の第６実施形態の説明に供するヘッドとカバー部材の接合部分の断面説明図である。
【図１８】本発明の第７実施形態の説明に供するヘッドとカバー部材の接合部分の断面説明図である。
【図１９】本発明の第８実施形態の説明に供するヘッドとカバー部材の接合部分の断面説明図である。
【図２０】本発明の第９実施形態の説明に供するヘッドとカバー部材の接合部分の断面説明図である。
【図２１】本発明に係る液体を吐出する装置の一例の概略説明図である。
【図２２】同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態について図１ないし図５を参照して説明する。図１は同実施形態に係るヘッドモジュールの外観斜視説明図、図２は同じくヘッド並び方向の斜視断面説明図、図３は同じくカバー部材側から見た外観斜視説明図、図４は同じくカバー部材を外した状態の図３と同様な斜視説明図である。
【００１１】
ヘッドモジュール１００は、複数（ここでは、４つ）の液体を吐出する液体吐出ヘッドであるヘッド１を備えている。ヘッド１からはＦＰＣなどの配線部材２が引き出されている。
【００１２】
ヘッド１は、液体を吐出するノズル１１が形成されたノズル板１２と、ノズル１１が通じる個別流路を形成する流路基板１３と、保持基板１４と、フレーム部材１５とを備えている。このヘッド１においては、ノズル板１２の外形状は、流路基板１３の外形状よりも小さい。
【００１３】
複数のヘッド１はベース部材１０２に保持されている。ベース部材１０２には各ヘッド１のノズル板１２の吐出面（ノズル面）１２ａの周縁部を覆うカバー部材１１１が取付けられている。本実施形態では、カバー部材１１１は、各ヘッド１の吐出面１２ａの全ての辺の周縁部を覆う構成とし、各ヘッド１に対応する開口部１１２を有している。
【００１４】
また、このヘッドモジュール１００においては、複数のヘッド１の上方には各ヘッド１に液体を供給する流路を含む流路部品１０３と、配線部材２が接続されるプリント基板１０８が配置され、これらの流路部品１０３及びプリント基板１０８はケース部材１０５内に収容されている。なお、流路部品１０３には液体ポート１０３ａが接続されている。
【００１５】
プリント基板１０８にはコネクタ１８１が設けられている。ケース部材１０５には、コネクタ１８１などに対して外部からアクセスできるようにする開口部１５３が設けられている。
【００１６】
次に、本実施形態におけるカバー部材の詳細について図５ないし図７も参照して説明する。図５はヘッドとカバー部材との取り付け部分を示す断面斜視説明図、図６は同じく図５の要部拡大断面斜視説明図、図７は同じく断面説明図である。
【００１７】
カバー部材１１１は、流路基板１３のノズル板１２側の面において、ノズル板１２の外方領域に接着剤２０で接合されている。このとき、カバー部材１１１の流路基板１３との接合面１１１ａは、ノズル板１２の吐出面１２ａよりも流路基板１３側に位置している。
【００１８】
そして、カバー部材１１１には流路基板１３側に対向する側に段差部１１１ｂが設けられている。段差部１１１ｂは、流路基板１３との接合面１１１ａと、ノズル板１２の吐出面１２ａの周縁部に対向する部分１１１ｃの対向面１１１ｅと、接合面１１１ａと対向面１１１ｅとをつなぐ面１１１ｆで構成される。
【００１９】
この段差部１１１ｂにより、カバー部材１１１は、ノズル板１２の吐出面１２ａの周縁部に対向する部分１１１ｃの厚みｔ１が、流路基板１３と接合する部分１１１ｄの厚みｔ２よりも薄くなっている。
【００２０】
このように構成したので、カバー部材１１１と流路基板１３とを接合する接着剤２０の厚みを薄くしつつ、カバー部材１１１はノズル板１２の周縁部を覆うことで、ノズル板１２のエッジを保護することができる。
【００２１】
また、カバー部材１１１の吐出面１２ａの周縁部に対向する部分１１１ｃと吐出面１２ａとの間には隙間１１０を設けている。
【００２２】
このように構成したので、カバー部材１１１と流路基板１３とを接合する接着剤２０の厚みを薄くすることができる。
【００２３】
また、カバー部材１１１の吐出面１２ａの周縁部に対向する部分１１１ｃと吐出面１２ａとの間には隙間１１０を設けている。
【００２４】
これにより、温度変化などによってカバー部材１１１が動くことがなく、信頼性が向上する。
【００２５】
また、隙間１１０には接着剤２０が充填されていないので、ノズル板１２の吐出面１２ａとカバー部材１１１とは接着剤接合していない。
【００２６】
これにより、ノズル板１２の吐出面１２ａには、ノズル１１近傍だけでなく、ノズル板１２の吐出面１２ａの周縁部まで撥液膜（撥水膜、撥インク膜とも言う）を形成することができる。このように構成することで、吐出面１２ａの周縁部付近に付着した液体が吐出面１２ａから除去しやすくなる。
【００２７】
次に、本発明の第２実施形態について図８ないし図１１を参照して説明する。図８は同実施形態に係るヘッドモジュールの外観斜視説明図、図９は同じく図８と反対側から見た外観斜視説明図、図１０は同じく分解斜視説明図、図１１は同じく模式的断面説明図である。
【００２８】
ヘッドモジュール１００は、ヘッド１と、ヘッド１に接続されたＦＰＣなどの配線部材２と、配線部材２に搭載された駆動ＩＣなどの素子３で構成されるサブヘッドモジュール１０１を複数（ここでは４個）備えている。
【００２９】
そして、４つのサブヘッドモジュール１０１を保持するベース部材１０２を備えている。ベース部材１０２の下面（ヘッド１の吐出面側の面）には、前記第１実施形態と同様に、サブヘッドモジュール１０１の各ヘッド１のノズル板１２の吐出面１２ａの周縁部を覆うカバー部材１１１が取付けられている。このカバー部材１１１の構成及び各ヘッド１への接着剤接合に関する構成などは、前記第１実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００３０】
また、ヘッドモジュール１００は、サブヘッドモジュール１０１の配線部材２に搭載された素子３に熱的に結合する放熱部材１０４と、少なくとも放熱部材１０４を囲むケース部材１０５とを備えている。
【００３１】
なお、「結合」とは、素子３と放熱部材１０４が熱伝導性を有する部材（例．熱伝導テープ）を介して結合している構成、バネなどの弾性部材によって素子３が放熱部材１０４に押し付けられることで直接接触して結合している構成などが挙げられる。また、素子３を搭載した配線部材２の基材が熱伝導性を有する部材を介して放熱部材１０４に結合される構成でも良い。
【００３２】
ここで、放熱部材１０４は、熱伝導率が高い金属材料（金属部材）が好ましく、アルミ、銀、銅、金を含む金属を挙げることができる。
【００３３】
放熱部材１０４は、重力方向に沿った主面を有する第１板状部１４１と、水平方向に沿った主面を有する第２板状部１４２とを有している。ここで、第１板状部１４１は、吐出面１２ａに対し面直方向に沿う方向の板状部であり、第２板状部１４２は、吐出面１２ａの面内方向に沿う板状部である。放熱部材１０４は、これらの第１板状部１４１と第２板状部１４２で略Ｌ字形状をなす部材である。
【００３４】
放熱部材１０４の第２板状部１４２には、配線部材２を通す貫通口部１４２ａが設けられ、貫通口部１４２ａの壁面と配線部材２上の素子３とを結合している。
【００３５】
放熱部材１０４の第１板状部１４１にはプリント基板１０８が固定され、各ヘッド１と配線部材２で接続されている。
【００３６】
次に、本発明の第３実施形態について図１２ないし図１４を参照して説明する。図１２は同実施形態に係るヘッドモジュールの外観斜視説明図、図１３は同じく断面斜視説明図、図１４は同じく要部拡大斜視説明図である。
【００３７】
本実施形態は、１つのヘッド１と、１つカバー部材１１１とを備えているものである。１つのヘッド１に関わるその他の構成は、前記第１実施形態と同様であるので、説明を省略する。
【００３８】
次に、本発明の第４実施形態について図１５を参照して説明する。図１５は同実施形態に係る液体吐出ヘッドの側面説明図である。
【００３９】
ヘッド１は、流路基板１３に接着剤２０で接合したカバー部材１１１を有している。カバー部材１１１の構成及び流路基板１３への接合などは、前記第１実施形態と同様であるので、説明を省略する。
【００４０】
次に、本発明の第５実施形態の異なる例について図１６を参照して説明する。図１６は同実施形態に係る１つのヘッドのノズル面部分の平面説明図である。
【００４１】
図１６（ａ）に示す第１例は、ノズル板１２の短辺１２ｂ、１２ｂの周縁部を覆うカバー部材１１１を設けている。
【００４２】
図１６（ｂ）に示す第２例は、ノズル板１２の長辺１２ｃ、１２ｃの周縁部を覆うカバー部材１１１を設けている。
【００４３】
つまり、本実施形態では、カバー部材１１１は、ノズル板１２の吐出面１２ａの対向する一対の辺の周縁部を覆う構成としている。
【００４４】
次に、本発明の第６実施形態について図１７を参照して説明する。図１７は同実施形態の説明に供するヘッドとカバー部材の接合部分の断面説明図である。
【００４５】
本実施形態では、カバー部材１１１の段差部１１１ｂの接合面１１１ａと対向面１１１ｅとをつなぐ面１１１ｆを傾斜面としている。
【００４６】
このように構成することで、カバー部材１１１とノズル板１２との隙間１１０内に侵入した液体を溜まりにくくすることができる。これにより、液体が接着剤２０に接することを抑制して、接着剤２０の劣化を低減できる。
【００４７】
次に、本発明の第７実施形態について図１８を参照して説明する。図１８は同実施形態の説明に供するヘッドとカバー部材の接合部分の断面説明図である。
【００４８】
本実施形態では、カバー部材１１１に段差部を設けないで、接合面１１１ａからノズル板１２の吐出面１２ａに対向する傾斜面１１１ｇを設けている。
【００４９】
このように構成することで、より、液体が隙間１１０内に溜まりにくくなる。
【００５０】
次に、本発明の第８実施形態について図１９を参照して説明する。図１９は同実施形態の説明に供するヘッドとカバー部材の接合部分の断面説明図である。
【００５１】
本実施形態では、カバー部材１１１の流路基板１３側の段差部１１１ｂに対応して流路基板１３と反対側にも段差部１１１ｈを設けている。
【００５２】
このように構成することで、板厚が一定の板材でカバー部材を形成できる。
【００５３】
次に、本発明の第９実施形態について図２０を参照して説明する。図２０は同実施形態の説明に供するヘッドとカバー部材の接合部分の断面説明図である。
【００５４】
本実施形態では、カバー部材１１１とノズル板１２との間の隙間１１０を接着剤２０で埋めている。
【００５５】
これにより、ノズル板１２の吐出面に付着する液体が流路基板１３とカバー部材１１１の接合部分まで侵入することを確実に防止でき、封止性が向上する。
【００５６】
なお、上記第５実施形態ないし第９実施形態の構成はヘッドモジュール及びヘッドのいずれにも適用することができる。
【００５７】
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図２１及び図２２を参照して説明する。図２１は同装置の概略説明図、図２２は同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。
【００５８】
この液体を吐出する装置である印刷装置５００は、連続体５１０を搬入する搬入手段５０１と、搬入手段５０１から搬入された連続体５１０を印刷手段５０５に案内搬送する案内搬送手段５０３と、連続体５１０に対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段５０５と、連続体５１０を乾燥する乾燥手段５０７と、連続体５１０を搬出する搬出手段５０９などを備えている。
【００５９】
連続体５１０は搬入手段５０１の元巻きローラ５１１から送り出され、搬入手段５０１、案内搬送手段５０３、乾燥手段５０７、搬出手段５０９の各ローラによって案内、搬送されて、搬出手段５０９の巻取りローラ５９１にて巻き取られる。
【００６０】
この連続体５１０は、印刷手段５０５において、ヘッドユニット５５０に対向して搬送され、ヘッドユニット５５０から吐出される液体によって画像が印刷される。
【００６１】
ここで、ヘッドユニット５５０には、図１５に示すように、本発明に係る３つのヘッドモジュール１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃを共通ベース部材５５２に備えている。
【００６２】
本願において、ヘッドが液体吐出ヘッドであるとき、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
【００６３】
また、液体を吐出する装置には、ヘッドモジュール、ヘッドユニットなどを備え、ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【００６４】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【００６５】
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【００６６】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【００６７】
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
【００６８】
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【００６９】
また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。
【００７０】
また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【００７１】
なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【符号の説明】
【００７２】
１  ヘッド
２  配線部材
３  素子
１１  ノズル
１２  ノズル板
１３  流路基板
１００  ヘッドモジュール
１０１  サブヘッドモジュール
１０２  ベース部材
１０５  ケース部材
１１１  カバー部材
１１１ｂ  段差部
５００  印刷装置（液体を吐出する装置）
５０１  搬入手段
５０５  印刷手段
５１０  連続体
５０７  乾燥手段
５０９  搬出手段
５５０  ヘッドユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2020151880.tif 000006
【図５】
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【図６】
2020151880.tif 000008
【図７】
2020151880.tif 000009
【図８】
2020151880.tif 000010
【図９】
2020151880.tif 000011
【図１０】
2020151880.tif 000012
【図１１】
2020151880.tif 000013
【図１２】
2020151880.tif 000014
【図１３】
2020151880.tif 000015
【図１４】
2020151880.tif 000016
【図１５】
2020151880.tif 000017
【図１６】
2020151880.tif 000018
【図１７】
2020151880.tif 000019
【図１８】
2020151880.tif 000020
【図１９】
2020151880.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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