(57)【要約】【課題】洗浄装置において、蒸気乾燥および水切りに必要な液体の消費量を低減できるようにする。【解決手段】洗浄装置５０は水切り槽、蒸気乾燥槽４、回収器、貯留槽５、比重計１２、移送機構１６、および制御部を含む。水切り槽は被洗浄物Ｗから水を水切りする第１液体を貯留する。蒸気乾燥槽４は蒸気形成用液体Ｌ４を貯留し、蒸気Ｇで形成され、被洗浄物Ｗを乾燥する蒸気層を含む。回収器は、回収液体Ｌ６を回収する。貯留槽５は回収液体Ｌ６を貯留する。比重計１２は回収液体Ｌ６の含水率に対応する第１データを取得する。移送機構１６は、貯留槽５から水切り槽および蒸気乾燥槽の少なくとも１つに回収液体Ｌ６を移送可能に設けられている。制御部は、第１データに基づいて、移送機構１６による回収液体Ｌ６の移送動作を制御する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物から水を水切りする第１液体を貯留する水切り槽と、
前記第１液体と同種の第２液体を貯留し、前記第２液体の蒸気で形成され、前記水切り槽において前記水が水切りされた前記被洗浄物を乾燥する蒸気層を含む蒸気乾燥槽と、
前記蒸気乾燥槽に設けられ、前記蒸気乾燥槽内で前記蒸気が凝縮されて形成された第３液体を回収する回収器と、
前記回収器によって回収された前記第３液体を貯留する貯留槽と、
前記貯留槽における前記第３液体の含水率に対応する第１データを取得する第１含水率測定器と、
前記貯留槽から前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽の少なくとも１つに前記第３液体を移送可能に設けられた移送機構と、
前記第１データに基づいて、前記移送機構による前記第３液体の移送動作を制御する制御部と、
を備える、洗浄装置。
【請求項２】
前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽に対してそれぞれ設定された許容含水率を記憶する記憶部をさらに備え、
前記制御部は、
前記許容含水率を前記記憶部から読み出し、
前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽のうち、前記許容含水率が、前記第１データに基づく前記含水率を超え、かつ最小の値に設定された槽に、前記第３液体を移送するための制御信号を前記移送機構に送出する、
請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記蒸気乾燥槽における前記第２液体の含水率に対応する第２データを取得する第２含水率測定器と、
前記水切り槽における前記第１液体の含水率に対応する第３データを取得する第３含水率測定器と、
をさらに備え、
前記制御部は、
前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽のいずれかであって、前記第２データまたは前記第３データに基づく前記含水率が、前記第１データに基づく前記含水率を超えている液体が貯留された槽に、前記第３液体を移送するための制御信号を前記移送機構に送出する、
請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記制御部は、
前記槽が複数槽からなる場合に、前記複数槽のうち、前記被洗浄物が最も後に移動される槽に、前記第３液体を移送するための制御信号を前記移送機構に送出する、
請求項３に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記制御部は、
前記槽が複数槽からなる場合に、前記複数槽のうち、前記第２データまたは前記第３データに基づく前記含水率が最小である液体が貯留された槽に、前記第３液体を移送するための制御信号を前記移送機構に送出する、
請求項３に記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記蒸気乾燥槽における前記第２液体の含水率に対応する第２データを取得する第２含水率測定器と、
前記水切り槽における前記第１液体の含水率に対応する第３データを取得する第３含水率測定器と、
をさらに備え、
前記制御部は、
前記第２含水率測定器または前記第３含水率測定器によって取得された前記第２データまたは前記第３データを、前記被洗浄物が前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽に移動される順序と逆順の判定順序において、前記第１データと比較し、
前記第２データまたは前記第３データに基づく前記含水率が前記第１データに基づく前記含水率を超えているかどうかを判定し、
前記判定順序において最初に、前記第２データまたは前記第３データに基づく前記含水率が前記第１データに基づく前記含水率を超えていると判定された液体が貯留された槽に、前記第３液体を移送するための制御信号を前記移送機構に送出する、
請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記第１含水率測定器は、比重センサを備える、
請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項８】
前記第２含水率測定器および第３含水率測定器は、比重センサを備える、
請求項３に記載の洗浄装置。
【請求項９】
前記水切り槽は、２槽以上からなる、
請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項１０】
前記制御部からの制御信号に基づいて、表示がなされる表示部をさらに備え、
前記制御部は、
前記第１データに基づいて、前記第３液体を移送できる槽がないと判定された場合に、前記表示部に、前記第３液体を移送できる槽がないことを表示させる前記制御信号を送出する、
請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項１１】
被洗浄物から水を水切りする第１液体を貯留する水切り槽と、前記第１液体と同種の第２液体を貯留し、前記第２液体の蒸気で形成され、前記水切り槽において前記水が水切りされた前記被洗浄物を乾燥する蒸気層を含む蒸気乾燥槽と、前記蒸気乾燥槽に設けられ、前記蒸気乾燥槽内で前記蒸気が凝縮されて形成された第３液体を回収する回収器と、前記回収器によって回収された前記第３液体を貯留する貯留槽と、前記貯留槽から前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽の少なくとも１つに前記第３液体を移送可能に設けられた移送機構と、を備える洗浄装置を準備することと、
前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽に対してそれぞれ許容含水率を設定することと、
前記貯留槽における前記第３液体の含水率に対応する第１データを取得することと、
前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽のうち、前記許容含水率が、前記第１データに基づく前記含水率を超え、かつ最小の値に設定された槽に、前記第３液体を移送することと、を備える、洗浄装置の制御方法。
【請求項１２】
被洗浄物から水を水切りする第１液体を貯留する水切り槽と、前記第１液体と同種の第２液体を貯留し、前記第２液体の蒸気で形成され、前記水切り槽において前記水が水切りされた前記被洗浄物を乾燥する蒸気層を含む蒸気乾燥槽と、前記蒸気乾燥槽に設けられ、前記蒸気乾燥槽内で前記蒸気が凝縮されて形成された第３液体を回収する回収器と、前記回収器によって回収された前記第３液体を貯留する貯留槽と、前記貯留槽から前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽の少なくとも１つに前記第３液体を移送可能に設けられた移送機構と、を備える洗浄装置を準備することと、
前記貯留槽における前記第３液体の含水率に対応する第１データを取得することと、
前記蒸気乾燥槽における前記第２液体の含水率に対応する第２データを取得することと、
前記水切り槽における前記第１液体の含水率に対応する第３データを取得することと、
前記第２データまたは前記第３データを前記第１データと比較することと、
前記第２データまたは前記第３データに基づく前記含水率が前記第１データに基づく前記含水率を超えているかどうかと判定することと、
前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽のいずれかであって、前記第２データまたは前記第３データに基づく前記含水率が前記第１データに基づく前記含水率を超えている液体が貯留された槽に、前記第３液体を移送することと、
を備える、洗浄装置の制御方法。
【請求項１３】
被洗浄物から水を水切りする第１液体を貯留する水切り槽と、前記第１液体と同種の第２液体を貯留し、前記第２液体の蒸気で形成され、前記水切り槽において前記水が水切りされた前記被洗浄物を乾燥する蒸気層を含む蒸気乾燥槽と、前記蒸気乾燥槽に設けられ、前記蒸気乾燥槽内で前記蒸気が凝縮されて形成された第３液体を回収する回収器と、前記回収器によって回収された前記第３液体を貯留する貯留槽と、前記貯留槽から前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽の少なくとも１つに前記第３液体を移送可能に設けられた移送機構と、を備える洗浄装置を準備することと、
前記貯留槽における前記第３液体の含水率に対応する第１データを取得することと、
前記蒸気乾燥槽における前記第２液体の含水率に対応する第２データを取得することと、
前記水切り槽における前記第１液体の含水率に対応する第３データを取得することと、
前記被洗浄物が前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽に移動される順序と逆順の判定順序において、前記第２データまたは前記第３データを前記第１データと比較することと、
前記第２データまたは前記第３データに基づく前記含水率が前記第１データに基づく前記含水率を超えているかどうかと判定することと、
前記判定順序において最初に、前記第２データまたは前記第３データに基づく前記含水率が前記第１データに基づく前記含水率を超えていると判定された液体が貯留された槽に、前記第３液体を移送することと、
を備える、洗浄装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄装置および洗浄装置の制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
蒸気乾燥槽を有する洗浄装置が知られている。蒸気乾燥槽は、例えば、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）などの有機溶剤を加熱蒸発させて、蒸気層を形成する。洗浄された被洗浄物は、蒸気層に導入される。蒸気層においては蒸気が被洗浄物に凝縮する。被洗浄物上の凝縮液は被洗浄物から流れ落ちる。洗浄によって被洗浄物の表面に付着した水分、水切り液、洗浄液などの液体は被洗浄物から除去される。被洗浄物に蒸気が凝縮しなくなると、被洗浄物が乾燥する。
特許文献１には、ベーパ浴槽と、トレーと、排液管と、を有するウェハ乾燥装置におけるベーパ乾燥装置が記載されている。ベーパ浴槽にはＩＰＡの蒸気が満たされる。トレーは、被洗浄物から滴下する液体を受ける。排液管は、トレーの底部から液体を排出する。
特許文献１におけるベーパ乾燥装置では、被洗浄物から滴下する液体を排出管で外部に排出することによって、滴下した液体に混じる水分等がベーパ浴槽に混入することを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３１７００５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような関連技術の洗浄装置には、以下の問題がある。
特許文献１には、排出液の処理について明記されていない。排出液は、再生処理されるか、または廃棄されることが考えられる。
しかし、ＩＰＡは、水と共沸混合物を形成するので、蒸留処理ではＩＰＡを再生することができない。ＩＰＡの再生には蒸留処理以外のコストの再生処理が必要になるので、再生処理コストが高価になる。
排出液が廃棄される場合、同量の新しい有機溶剤を補給する必要があるため、洗浄装置のランニングコストが増大する。さらに排出液の廃棄処理のコストも増大する。
【０００５】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、蒸気乾燥および水切りに必要な液体の消費量を低減できる洗浄装置および洗浄装置の制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の第１の態様の洗浄装置は、被洗浄物から水を水切りする第１液体を貯留する水切り槽と、前記第１液体と同種の第２液体を貯留し、前記第２液体の蒸気で形成され、前記水切り槽において前記水が水切りされた前記被洗浄物を乾燥する蒸気層を含む蒸気乾燥槽と、前記蒸気乾燥槽に設けられ、前記蒸気乾燥槽内で前記蒸気が凝縮されて形成された第３液体を回収する回収器と、前記回収器によって回収された前記第３液体を貯留する貯留槽と、前記貯留槽における前記第３液体の含水率に対応する第１データを取得する第１含水率測定器と、前記貯留槽から前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽の少なくとも１つに前記第３液体を移送可能に設けられた移送機構と、前記第１データに基づいて、前記移送機構による前記第３液体の移送動作を制御する制御部と、を備える。
【０００７】
上記洗浄装置では、前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽に対してそれぞれ設定された許容含水率を記憶する記憶部をさらに備え、前記制御部は、前記許容含水率を前記記憶部から読み出し、前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽のうち、前記許容含水率が、前記第１データに基づく前記含水率を超え、かつ最小の値に設定された槽に、前記第３液体を移送するための制御信号を前記移送機構に送出してもよい。
【０００８】
上記洗浄装置では、前記蒸気乾燥槽における前記第２液体の含水率に対応する第２データを取得する第２含水率測定器と、前記水切り槽における前記第１液体の含水率に対応する第３データを取得する第３含水率測定器と、をさらに備え、前記制御部は、前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽のいずれかであって、前記第２データまたは前記第３データに基づく前記含水率が、前記第１データに基づく前記含水率を超えている液体が貯留された槽に、前記第３液体を移送するための制御信号を前記移送機構に送出してもよい。
【０００９】
上記洗浄装置では、前記制御部は、前記槽が複数槽からなる場合に、前記複数槽のうち、前記被洗浄物が最も後に移動される槽に、前記第３液体を移送するための制御信号を前記移送機構に送出してもよい。
【００１０】
上記洗浄装置では、前記制御部は、前記槽が複数槽からなる場合に、前記複数槽のうち、前記第２データまたは前記第３データに基づく前記含水率が最小である液体が貯留された槽に、前記第３液体を移送するための制御信号を前記移送機構に送出してもよい。
【００１１】
上記洗浄装置では、前記蒸気乾燥槽における前記第２液体の含水率に対応する第２データを取得する第２含水率測定器と、前記水切り槽における前記第１液体の含水率に対応する第３データを取得する第３含水率測定器と、をさらに備え、前記制御部は、前記第２含水率測定器または前記第３含水率測定器によって取得された前記第２データまたは前記第３データを、前記被洗浄物が前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽に移動される順序と逆順の判定順序において、前記第１データと比較し、前記第２データまたは前記第３データに基づく前記含水率が前記第１データに基づく前記含水率を超えているかどうかを判定し、前記判定順序において最初に、前記第２データまたは前記第３データに基づく前記含水率が前記第１データに基づく前記含水率を超えていると判定された液体が貯留された槽に、前記第３液体を移送するための制御信号を前記移送機構に送出してもよい。
【００１２】
上記洗浄装置では、前記第１含水率測定器は、比重センサを備えてもよい。
【００１３】
上記洗浄装置では、前記第２含水率測定器および第３含水率測定器は、比重センサを備えてもよい。
【００１４】
上記洗浄装置では、前記水切り槽は、２槽以上からなっていてもよい。
【００１５】
上記洗浄装置では、前記制御部からの制御信号に基づいて、表示がなされる表示部をさらに備え、前記制御部は、前記第１データに基づいて、前記第３液体を移送できる槽がないと判定された場合に、前記表示部に、前記第３液体を移送できる槽がないことを表示させる前記制御信号を送出してもよい。
【００１６】
本発明の第２の態様の洗浄装置の制御方法は、被洗浄物から水を水切りする第１液体を貯留する水切り槽と、前記第１液体と同種の第２液体を貯留し、前記第２液体の蒸気で形成され、前記水切り槽において前記水が水切りされた前記被洗浄物を乾燥する蒸気層を含む蒸気乾燥槽と、前記蒸気乾燥槽に設けられ、前記蒸気乾燥槽内で前記蒸気が凝縮されて形成された第３液体を回収する回収器と、前記回収器によって回収された前記第３液体を貯留する貯留槽と、前記貯留槽から前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽の少なくとも１つに前記第３液体を移送可能に設けられた移送機構と、を備える洗浄装置を準備することと、前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽に対してそれぞれ許容含水率を設定することと、
前記貯留槽における前記第３液体の含水率に対応する第１データを取得することと、前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽のうち、前記許容含水率が、前記第１データに基づく前記含水率を超え、かつ最小の値に設定された槽に、前記第３液体を移送することと、を備える。
【００１７】
本発明の第３の態様の洗浄装置の制御方法は、被洗浄物から水を水切りする第１液体を貯留する水切り槽と、前記第１液体と同種の第２液体を貯留し、前記第２液体の蒸気で形成され、前記水切り槽において前記水が水切りされた前記被洗浄物を乾燥する蒸気層を含む蒸気乾燥槽と、前記蒸気乾燥槽に設けられ、前記蒸気乾燥槽内で前記蒸気が凝縮されて形成された第３液体を回収する回収器と、前記回収器によって回収された前記第３液体を貯留する貯留槽と、前記貯留槽から前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽の少なくとも１つに前記第３液体を移送可能に設けられた移送機構と、を備える洗浄装置を準備することと、前記貯留槽における前記第３液体の含水率に対応する第１データを取得することと、前記蒸気乾燥槽における前記第２液体の含水率に対応する第２データを取得することと、前記水切り槽における前記第１液体の含水率に対応する第３データを取得することと、前記第２データまたは前記第３データを前記第１データと比較することと、前記第２データまたは前記第３データに基づく前記含水率が前記第１データに基づく前記含水率を超えているかどうかと判定することと、前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽のいずれかであって、前記第２データまたは前記第３データに基づく前記含水率が前記第１データに基づく前記含水率を超えている液体が貯留された槽に、前記第３液体を移送することと、を備える。
【００１８】
本発明の第４の態様の洗浄装置の制御方法は、被洗浄物から水を水切りする第１液体を貯留する水切り槽と、前記第１液体と同種の第２液体を貯留し、前記第２液体の蒸気で形成され、前記水切り槽において前記水が水切りされた前記被洗浄物を乾燥する蒸気層を含む蒸気乾燥槽と、前記蒸気乾燥槽に設けられ、前記蒸気乾燥槽内で前記蒸気が凝縮されて形成された第３液体を回収する回収器と、前記回収器によって回収された前記第３液体を貯留する貯留槽と、前記貯留槽から前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽の少なくとも１つに前記第３液体を移送可能に設けられた移送機構と、を備える洗浄装置を準備することと、前記貯留槽における前記第３液体の含水率に対応する第１データを取得することと、前記蒸気乾燥槽における前記第２液体の含水率に対応する第２データを取得することと、前記水切り槽における前記第１液体の含水率に対応する第３データを取得することと、前記被洗浄物が前記水切り槽および前記蒸気乾燥槽に移動される順序と逆順の判定順序において、前記第２データまたは前記第３データを前記第１データと比較することと、前記第２データまたは前記第３データに基づく前記含水率が前記第１データに基づく前記含水率を超えているかどうかと判定することと、前記判定順序において最初に、前記第２データまたは前記第３データに基づく前記含水率が前記第１データに基づく前記含水率を超えていると判定された液体が貯留された槽に、前記第３液体を移送することと、を備える。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の洗浄装置および洗浄装置の制御方法によれば、蒸気乾燥および水切りに必要な液体の消費量を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１の実施形態の洗浄装置の構成例を示す模式図である。
【図２】本発明の第１の実施形態の洗浄装置の制御系のブロック図である。
【図３】本発明の第１の実施形態の洗浄装置の動作を示すフローチャートである。
【図４】本発明の第２の実施形態の洗浄装置の構成例を示す模式図である。
【図５】本発明の第２の実施形態の洗浄装置の制御系のブロック図である。
【図６】本発明の第２の実施形態の洗浄装置の動作を示すフローチャートである。
【図７】本発明の第３の実施形態の洗浄装置の動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
【００２２】
［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態の洗浄装置について説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態の洗浄装置の構成例を示す模式図である。図２は、本発明の第１の実施形態の洗浄装置の制御系のブロック図である。
【００２３】
図１に示す本実施形態の洗浄装置５０は、被洗浄物Ｗを洗浄および乾燥する目的で使用される。洗浄装置５０は、洗浄槽１、リンス槽２、第１水切り槽３Ａ（水切り槽）、第２水切り槽３Ｂ（水切り槽）、第３水切り槽３Ｃ（水切り槽）、および蒸気乾燥槽４、貯留槽５、および移動機構２０を備える。
【００２４】
洗浄装置５０によって洗浄される被洗浄物Ｗの種類は特に限定されない。例えば、被洗浄物Ｗの材料は、ガラス等の無機材料、樹脂材料、金属材料などであってもよい。例えば、被洗浄物Ｗは、レンズ、プリズム、平板ガラスなどの光学素子であってもよい。例えば、被洗浄物Ｗは金型部品などであってもよい。
【００２５】
洗浄槽１は、上側に開口を有する有底箱状の容器である。洗浄槽１の開口は、被洗浄物Ｗおよび後述する搬送かご２１が挿通可能な大きさを有する。
洗浄槽１は、洗浄液Ｌ１を貯留する。洗浄液Ｌ１は、被洗浄物Ｗを洗浄する目的で用いられる。洗浄液Ｌ１は、被洗浄物Ｗを洗浄可能な液体である。洗浄液Ｌ１には、添加物が添加されていてもよい。
洗浄液Ｌ１に用いる液体は、単一の液体でもよいし、複数の液体が混合された混合液でもよい。
洗浄液Ｌ１に用いる添加物としては、液体成分または固体成分が用いられる。例えば、添加物の例としては、界面活性剤、アルカリ調整剤、酸性調整剤などが挙げられる。
洗浄液Ｌ１の例としては、水、水系洗浄剤、ＩＰＡ、炭化水素系洗浄剤、溶剤系洗浄剤、エマルジョン洗浄剤、準水系洗浄剤、アルコール系洗浄剤、フッ素系洗浄剤などが挙げられる。
洗浄槽１の底部には、超音波発振器６が配置されている。超音波発振器６は、洗浄槽１に貯留された洗浄液Ｌ１に超音波振動を印加する。
【００２６】
リンス槽２は、上側に開口を有する有底箱状の容器である。リンス槽２の開口は、洗浄槽１の開口と同様な大きさを有する。
リンス槽２はリンス液Ｌ２を貯留する。リンス液Ｌ２は、被洗浄物Ｗに付着した洗浄液Ｌ１をすすぐ目的で用いられる。リンス液Ｌ２としては水が用いられる。例えば、リンス液Ｌ２の例としては、純水、市水、および井水などが挙げられる。
リンス槽２の底部には、洗浄槽１と同様の超音波発振器６が配置されている。リンス槽２における超音波発振器６は、リンス槽２に貯留されたリンス液Ｌ２に超音波振動を印加する。
【００２７】
第１水切り槽３Ａ、第２水切り槽３Ｂ、および第３水切り槽３Ｃは、上側に開口を有する有底箱状の容器である。第１水切り槽３Ａ、第２水切り槽３Ｂ、および第３水切り槽３Ｃの各開口は、洗浄槽１の開口と同様な大きさを有する。
第１水切り槽３Ａは、水切り液Ｌ３Ａ（第１液体）を貯留する。水切り液Ｌ３Ａは、被洗浄物Ｗに付着した水を水切りする目的で用いられる。水切り液Ｌ３Ａは、被洗浄物Ｗに付着した水を水切りできる液体であれば、特に限定されない。例えば、水切り液Ｌ３Ａとして、水切り可能な有機溶剤が用いられてもよい。ただし、本実施形態では、水切り液Ｌ３Ａと同種の液体は後述する蒸気形成用液体Ｌ４にも用いられる。このため、水切り液Ｌ３Ａとしては、蒸気比重が１より大きい液体が用いられることがより好ましい。
例えば、水切り液Ｌ３Ａに好適な有機溶剤の例としては、ＩＰＡ、エタノールなどが挙げられる。
例えば、ＩＰＡの２５℃における密度は約０．８ｇ／ｃｍ３、比重は約０．８である。このため、水切り液Ｌ３ＡとしてＩＰＡが用いられる場合、水切り液Ｌ３Ａに混入する水分量が増大すると、水切り液Ｌ３Ａの比重も増大する。
【００２８】
第２水切り槽３Ｂは、水切り液Ｌ３Ｂ（第１液体）を貯留する。水切り液Ｌ３Ｂは、水切り液Ｌ３Ａと同様、被洗浄物Ｗに付着した水を水切りする目的で用いられる。ただし、洗浄装置５０においては、被洗浄物Ｗは、第１水切り槽３Ａに浸漬された後、第２水切り槽３Ｂに浸漬される。水切り液Ｌ３Ｂは、第１水切り槽３Ａにおいて水切りできなかった水分を水切りする目的で用いられる。
水切り液Ｌ３Ｂとしては、水切り液Ｌ３Ａと同様の液体が用いられる。
【００２９】
第３水切り槽３Ｃは、水切り液Ｌ３Ｃ（第１液体）を貯留する。水切り液Ｌ３Ｃは、水切り液Ｌ３Ａと同様、被洗浄物Ｗに付着した水を水切りする目的で用いられる。ただし、洗浄装置５０においては、被洗浄物Ｗは、第２水切り槽３Ｂに浸漬された後、第３水切り槽３Ｃに浸漬される。水切り液Ｌ３Ｃは、第２水切り槽３Ｂにおいて水切りできなかった水分を水切りする目的で用いられる。
水切り液Ｌ３Ｃとしては、水切り液Ｌ３Ａと同様の液体が用いられる。
【００３０】
第１水切り槽３Ａ、第２水切り槽３Ｂ、および第３水切り槽３Ｃの各底部には、洗浄槽１と同様の超音波発振器６がそれぞれ配置されている。各底部に配置された超音波発振器６は、各水切り槽の水切り液に超音波振動をそれぞれ印加する。
図２に示すように、各超音波発振器６は、後述する制御部３０と通信可能に接続されている。各超音波発振器６の動作は、後述する制御部３０からの制御信号に基づいて制御される。
【００３１】
図１に示すように、第１水切り槽３Ａ、第２水切り槽３Ｂ、および第３水切り槽３Ｃには、それぞれ比重計７Ａ、７Ｂ、７Ｃ（第３含水率測定器、比重センサ）が設けられている。
比重計７Ａは、第１水切り槽３Ａにおける水切り液Ｌ３Ａの含水率に対応する第３データを取得する目的で、水切り液Ｌ３Ａの比重を測定する。
後述するように、洗浄装置５０が洗浄を繰り返すと、水切り液Ｌ３Ａに水分が混入していく。水分が混入していない水切り液Ｌ３Ａの比重（以下、水切り液Ｌ３Ａの初期比重と称する）は既知であり、かつ水の比重と異なる。このため、比重計７Ａによる比重の測定値と、水切り液Ｌ３Ａの初期比重との相違から、第１水切り槽３Ａの水切り液Ｌ３Ａの含水率が推定される。
比重計７Ａの測定方式は特に限定されない。例えば、比重計７Ａの測定方式は、浮子式、電子天秤式、超音波式、差圧式、振動式などであってもよい。
【００３２】
同様に、比重計７Ｂ、７Ｃは、それぞれ第２水切り槽３Ｂ、第３水切り槽３Ｃにおける水切り液Ｌ３Ｂ、Ｌ３Ｃの含水率に対応する第３データを取得する目的で、水切り液Ｌ３Ｂ、Ｌ３Ｃの比重を測定する。
比重計７Ｂ、７Ｃの構成は、比重計７Ａと同様な構成が用いられる。
図２に示すように、比重計７Ａ、７Ｂ、７Ｃは、後述する制御部３０と通信可能に接続されている。比重計７Ａ、７Ｂ、７Ｃは、測定した比重の情報を後述する制御部３０に送出する。
【００３３】
図１に示すように、蒸気乾燥槽４は、蒸気形成用液体Ｌ４（第２液体）と、蒸気形成用液体Ｌ４が蒸発した蒸気Ｇと、を収容する容器である。蒸気乾燥槽４は、上側に開口する有底の箱状に形成されている。蒸気乾燥槽４の開口は、洗浄槽１の開口と同様な大きさを有する。
蒸気形成用液体Ｌ４は、蒸気乾燥槽４の下部に貯留される。蒸気形成用液体Ｌ４としては、水切り液Ｌ３Ａ、Ｌ３Ｂ、Ｌ３Ｃと同じ種類の液体が用いられる。
【００３４】
蒸気乾燥槽４は、加熱管９、冷却管１０、比重計８（第２含水率測定器、比重センサ）および凝縮液回収部４ａ、４ｂ、４ｃ（回収器）を備える。
【００３５】
加熱管９は、蒸気乾燥槽４の内部において、蒸気形成用液体Ｌ４が貯留される部位およびその上方に配置されている。
加熱管９は、蒸気形成用液体Ｌ４を気化させて蒸気形成用液体Ｌ４の蒸気Ｇを形成する目的で用いられる。加熱管９の内部には、加熱された熱媒体（図示略）が流通している。加熱管９の表面温度は、蒸気形成用液体Ｌ４の沸点以上である。加熱管９に流通する熱媒体は、液体でもよいし、気体でもよい。
【００３６】
冷却管１０は、蒸気乾燥槽４の上部の内周部に配置されている。冷却管１０は、蒸気乾燥槽４内の蒸気形成用液体Ｌ４の液面４ｄおよび加熱管９よりも上方に配置されている。
冷却管１０は、蒸気Ｇを冷却して、蒸気乾燥槽４の内部に閉じ込める目的で用いられる。冷却管１０の内部には、蒸気Ｇの露点温度よりも低温の熱媒体（図示略）が流通している。冷却管１０の表面温度は、蒸気Ｇの露点温度未満である。冷却管１０に流通する熱媒体は、液体でもよいし、気体でもよい。
【００３７】
比重計８は、蒸気乾燥槽４における蒸気形成用液体Ｌ４の含水率に対応する第２データを取得する目的で、蒸気形成用液体Ｌ４の比重を測定する。
後述するように、洗浄装置５０が洗浄を繰り返すと、蒸気形成用液体Ｌ４に徐々に水分が混入する可能性がある。水分が混入していない蒸気形成用液体Ｌ４の比重（以下、蒸気形成用液体Ｌ４の初期比重と称する）は既知であり、かつ水の比重と異なる。このため、比重計８による比重の測定値と、初期比重との相違から、蒸気乾燥槽４内の蒸気形成用液体Ｌ４の含水率が推定される。
比重計８の測定方式は特に限定されない。比重計８の測定方式は、例えば、比重計７Ａに好適な方式のうちから選ばれてもよい。
図２に示すように、比重計８は、後述する制御部３０と通信可能に接続されている。比重計８は、測定した比重の情報を後述する制御部３０に送出する。
【００３８】
図１に示すように、凝縮液回収部４ａ、４ｂは、それぞれ凝縮液体Ｌ５ａ、Ｌ５ｂ（第３液体）を回収する容器である。凝縮液体Ｌ５ａ、Ｌ５ｂは、冷却管１０の表面に蒸気Ｇが凝縮することによって形成される。
凝縮液体Ｌ５ａ、Ｌ５ｂには、蒸気乾燥槽４内の雰囲気に含まれる水分が混入する可能性がある。
凝縮液回収部４ａは、蒸気乾燥槽４の上端部に近い冷却管１０の下側に配置されている。凝縮液回収部４ｂは、冷却管１０の最下端部の下側に配置されている。
凝縮液回収部４ａ、４ｂには、回収した凝縮液体Ｌ５ａ、Ｌ５ｂを排出する目的で、それぞれ排出管Ｐａ、Ｐｂが接続されている。
【００３９】
凝縮液回収部４ｃは、凝縮液体Ｌ５ｃ（第３液体）を回収する容器である。凝縮液体Ｌ５ｃは、蒸気乾燥槽４内に移動された被洗浄物Ｗおよび後述する搬送かご２１（以下、被洗浄物Ｗ等と称する場合がある）に蒸気Ｇが触れて、蒸気Ｇが凝縮することによって形成される。
凝縮液体Ｌ５ｃには、蒸気乾燥槽４内の雰囲気に含まれる水分と、被洗浄物Ｗ等に付着した水分と、が混入する可能性がある。
凝縮液回収部４ｃは、被洗浄物Ｗ等の移動位置（二点鎖線参照）と液面４ｄとの間であって、平面視で被洗浄物Ｗ等と重なる位置に配置されている。凝縮液回収部４ｃは、凝縮液体Ｌ５ｃを被洗浄物Ｗ等の下方で回収する。
凝縮液回収部４ｃには、回収した凝縮液体Ｌ５ｃを排出する目的で、排出管Ｐｃが接続されている。
【００４０】
以下では、簡単のため、洗浄槽１、リンス槽２、第１水切り槽３Ａ、第２水切り槽３Ｂ、第３水切り槽３Ｃ、および蒸気乾燥槽４を「各処理槽」と総称する場合がある。この場合、各処理槽に貯留される液体は、それぞれ「処理液」と呼ばれる。特に、第１水切り槽３Ａ、第２水切り槽３Ｂ、第３水切り槽３Ｃ、および蒸気乾燥槽４を「各後処理槽」と総称する場合がある。各後処理槽に貯留される液体は、それぞれ「後処理液」と呼ばれる。
【００４１】
貯留槽５は、凝縮液回収部４ａ、４ｂによって回収された凝縮液体Ｌ５ａ、Ｌ５ｂと、凝縮液回収部４ｃによって回収された凝縮液体Ｌ５ｃと、を貯留する。
貯留槽５には、回収管Ｐ１が接続されている。回収管Ｐ１には、排出管Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃが接続されている。これにより、排出管Ｐａ、Ｐｂを流れる凝縮液体Ｌ５ａ、Ｌ５ｂと、排出管Ｐｃを流れる凝縮液体Ｌ５ｃと、が回収管Ｐ１に合流する。凝縮液体Ｌ５ａ、Ｌ５ｂ、Ｌ５ｃは互いに混合し、回収管Ｐ１を通して貯留槽５に貯留される。以下では、貯留槽５において混合している凝縮液体Ｌ５ａ、Ｌ５ｂ、Ｌ５ｃを回収液体Ｌ６（第３液体）と称する。
【００４２】
貯留槽５は、比重計１２（第１含水率測定器、比重センサ）と、液面センサ１３、１４と、を備える。
比重計１２は、回収液体Ｌ６の含水率に対応する第１データを取得する目的で、比重計１２の比重を測定する。上述のように、回収液体Ｌ６には、水分が混入する可能性がある。比重計１２による回収液体Ｌ６の比重の測定値と、蒸気形成用液体Ｌ４の初期比重との相違から、回収液体Ｌ６の含水率が推定される。
比重計１２の測定方式は特に限定されない。比重計１２の測定方式は、例えば、比重計７Ａに好適な方式のうちから選ばれてもよい。
図２に示すように、比重計１２は、後述する制御部３０と通信可能に接続されている。比重計１２は、測定した比重の情報を後述する制御部３０に送出する。
【００４３】
図１に示すように、液面センサ１３、１４は、貯留槽５の底面に対する回収液体Ｌ６の液面Ｓの高さ（水位）を検出する。
液面センサ１３は、回収液体Ｌ６の水位が第１高さＨ１以上かどうか検出する。第１高さＨ１は、貯留槽５において回収液体Ｌ６の比重測定に必要な最小貯留量に対応する水位である。第１高さＨ１は、比重計１２の測定上の必要に応じて予め定められている。
【００４４】
液面センサ１４は、回収液体Ｌ６の水位が第２高さＨ２（ただし、Ｈ２＞Ｈ１）以上かどうか検出する。後述するように、本実施形態では、貯留槽５における回収液体Ｌ６の水位が第２高さＨ２以上になるまでは、回収液体Ｌ６の移送を見合わせる制御が行われる。第２高さＨ２は、回収液体Ｌ６の移送開始を許可可能な水位である。例えば、第２高さＨ２は、貯留槽５内の回収液体Ｌ６を後述するポンプ１５によって安定的に移送できる量にする目的で、予め定められている。
【００４５】
液面センサ１３、１４の構成は特に限定されない。例えば、液面センサ１３、１４としては、それぞれ第１高さＨ１、第２高さＨ２に配置され、配置位置における液体の有無を検知するセンサが用いられてもよい。例えば、液面センサ１３、１４としては、液面Ｓの高さを測定するセンサが用いられてもよい。
図２に示すように、液面センサ１３、１４は、後述する制御部３０と通信可能に接続されている。液面センサ１３、１４は、回収液体Ｌ６の水位がそれぞれ第１高さＨ１、第２高さＨ２以上であることを検出すると、それぞれの検出信号を後述する制御部３０に送出する。
【００４６】
図１に示すように、貯留槽５には、移送管Ｐ２が接続されている。移送管Ｐ２上には、移送管Ｐ２を通して、回収液体Ｌ６を貯留槽５から外部に移送する目的でポンプ１５が設けられている。
ポンプ１５の種類は回収液体Ｌ６を移送できれば特に限定されない。例えば、ポンプ１５としては、ダイヤフラム、ベーンポンプ、ギヤポンプなどが用いられてもよい。
図２に示すように、ポンプ１５は、後述する制御部３０と通信可能に接続されている。ポンプ１５の動作は、後述する制御部３０からの制御信号に基づいて制御される。
【００４７】
図１に示すように、移送管Ｐ２において、ポンプ１５の下流側には、移送管Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、Ｐ６がそれぞれ接続されている。
移送管Ｐ３は、移送管Ｐ２と蒸気乾燥槽４とを連通させる。移送管Ｐ３には、移送管Ｐ３の流路を開閉するバルブＶ１が設けられている。
移送管Ｐ４は、移送管Ｐ２と第１水切り槽３Ａとを連通させる。移送管Ｐ４には、移送管Ｐ４の流路を開閉するバルブＶ２が設けられている。
移送管Ｐ５は、移送管Ｐ２と第２水切り槽３Ｂとを連通させる。移送管Ｐ５には、移送管Ｐ５の流路を開閉するバルブＶ３が設けられている。
移送管Ｐ６は、移送管Ｐ２と第３水切り槽３Ｃとを連通させる。移送管Ｐ６には、移送管Ｐ６の流路を開閉するバルブＶ４が設けられている。
バルブＶ１〜Ｖ４の種類は、各流路を開閉可能であれば、特に限定されない。バルブＶ１〜Ｖ４は、各流路の流量を調整可能であってもよい。例えば、バルブＶ１〜Ｖ４としては、グローブバルブ、ゲートバルブ、ボールバルブなどが用いられてもよい。
図２に示すように、バルブＶ１〜Ｖ４は、後述する制御部３０と通信可能に接続されている。バルブＶ１〜Ｖ４は、後述する制御部３０からの制御信号に基づいて、開閉される。
【００４８】
図１に示すように、移送管Ｐ２〜Ｐ６、ポンプ１５、およびバルブＶ１〜４は、移送機構１６を構成している。
移送機構１６によれば、バルブＶ１〜Ｖ４を適宜開閉駆動した状態でポンプ１５を駆動することによって、回収液体Ｌ６を、貯留槽５から、第１水切り槽３Ａ、第２水切り槽３Ｂ、第３水切り槽３Ｃ、および蒸気乾燥槽４の少なくとも１つに移送することができる。
【００４９】
貯留槽５の底部には、再利用できない回収液体Ｌ６を貯留槽５から排出する目的で、排出管Ｐ７が接続されている。排出管Ｐ７には、排出管Ｐ７の流路を開閉するバルブＶ５が設けられている。バルブＶ５としては、バルブＶ１と同様の構成が用いられてもよい。
図２に示すように、バルブＶ５は、後述する制御部３０と通信可能に接続されている。バルブＶ５は、後述する制御部３０からの制御信号に基づいて、開閉される。
図１に示すように、排出管Ｐ７の端部には、排出槽１７が連結されている。排出槽１７は、回収液体Ｌ６を廃棄処理設備（図示略）に移送するまで一時的に貯留する。
ただし、排出管Ｐ７は、排出槽１７に代えて、廃棄処理設備に直接接続されてもよい。
【００５０】
さらに貯留槽５の上部および排出槽１７には、貯留槽５が満杯になるのを防ぐ目的で、排出管Ｐ８が接続されている。排出管Ｐ８は、貯留槽５において回収液体Ｌ６の貯留限度に対応する高さに開口している。排出管Ｐ８の開口に達した回収液体Ｌ６は、排出管Ｐ８にオーバーフローし、排出槽１７に向かって排出される。
【００５１】
移動機構２０は、搬送かご２１と、移動アーム２０ａと、移動ガイド２０ｂと、を備える。
搬送かご２１は、被洗浄物Ｗを収容する。例えば、搬送かご２１としては、液体および気体の流通性が良好な多数の開口を有するワイヤーフレーム、網状体などが用いられる。  移動アーム２０ａは、搬送かご２１を鉛直方向に移動可能に保持する。さらに、移動アーム２０ａは、後述する移動ガイド２０ｂに沿って移動可能に設けられている。
移動アーム２０ａは、駆動源を内蔵することによって移動ガイド２０ｂ上を自走してもよい。移動アーム２０ａは、例えば、図示略の駆動ワイヤ、駆動ベルトなど外部駆動部によって移動ガイド２０ｂに沿って駆動されてもよい。
移動ガイド２０ｂは、水平方向における移動アーム２０ａの移動を案内する。移動ガイド２０ｂは、洗浄槽１、リンス槽２、第１水切り槽３Ａ、第２水切り槽３Ｂ、第３水切り槽３Ｃ、および蒸気乾燥槽４の上方に配置されている。
移動アーム２０ａに保持された搬送かご２１は、各処理槽の上方に停止したとき、移動アーム２０ａが昇降することによって、被洗浄物Ｗとともに、各処理槽への出入りが可能である。
【００５２】
図２に示すように、移動機構２０は、後述する制御部３０と通信可能に接続されている。移動機構２０の動作は、後述する制御部３０からの制御信号に基づいて、制御される。
【００５３】
制御部３０は、洗浄装置５０におけるバルブＶ１〜Ｖ４、ポンプ１５、比重計７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、８、１２、液面センサ１３、１４、超音波発振器６、および移動機構２０と通信可能に接続されている。
制御部３０は、洗浄装置５０の動作全体を制御する。制御部３０には、操作部３１および表示部３３が接続されている。制御部３０は、操作部３１からの操作入力に応じて洗浄装置５０の動作を制御する。制御部３０は、必要に応じて表示部３３に洗浄装置５０の操作に必要な情報、警告表示などを表示させる。
【００５４】
制御部３０には、記憶部３２が接続されている。記憶部３２には、洗浄装置５０の制御動作に必要な情報が予め記憶されている。例えば、記憶部３２には、各後処理槽における各後処理液の初期比重、許容比重などが記憶されている。
許容比重は、各後処理液の許容含水率に応じて、予め決められた使用限度を表す比重である。各後処理槽のそれぞれの含水率がある程度高くなると各後処理液の処理性能（蒸気乾燥性能、水切り性能）が低下するおそれがあるので、各後処理液には許容含水率が設定されている。本実施形態では、各許容含水率は、各後処理液が確実に処理に支障を来す絶対的な限度よりは少し低めに設定されている。各後処理液の含水率は、それぞれの許容含水率以下であることがより好ましい。
許容含水率は、後処理の上流側から下流側に向かって低くなる。
以下では、蒸気形成用液体Ｌ４、水切り液Ｌ３Ａ、水切り液Ｌ３Ｂ、水切り液Ｌ３Ｃの許容比重の値をＡ４、Ａ３Ａ、Ａ３Ｂ、Ａ３Ｃで表す。許容比重の大きさは、Ａ３Ａ＞Ａ３Ｂ＞Ａ３Ｃ＞Ａ４である。
【００５５】
例えば、制御部３０は、各後処理槽における各後処理液の比重の測定値と、各後処理液における許容比重とを比較し、各後処理液の寿命に達したかどうか判定する。例えば、制御部３０は、寿命に達した後処理液の情報と、後処理液の交換を促すメッセージとを、表示部３３に表示させる。
例えば、制御部３０は、後述するように、貯留槽５における回収液体Ｌ６の比重の測定値に基づいて、回収液体Ｌ６の再利用がＺ能な後処理槽を判定する。制御部３０は、再利用可能な後処理槽に、回収液体Ｌ６を移送する制御を行う。
制御部３０のより詳しい制御動作については、洗浄装置５０の動作とともに後述する。
【００５６】
制御部３０の装置構成は、後述する制御を行う適宜のハードウェアが用いられる。制御部３０としては、例えば、ＣＰＵ、メモリ、入出力インターフェース、外部記憶装置などを含むコンピュータが用いられてもよい。この場合、コンピュータは、後述する動作に対応する制御信号を生成する適宜の制御プログラムを実行する。制御プログラムは、上述のメモリ、外部記憶装置に記憶されていてもよい。制御プログラムは、記憶媒体から読み込むことでメモリにロードされてもよい。制御プログラムは、通信回線を通してメモリにロードされてもよい。
【００５７】
次に、洗浄装置５０の動作について、回収液体Ｌ６の移送動作を中心として説明する。
図３は、本発明の第１の実施形態の洗浄装置の動作を示すフローチャートである。
【００５８】
洗浄装置５０によって被洗浄物Ｗを洗浄するには、各処理槽にそれぞれの処理液が貯留される。制御部３０は、蒸気乾燥槽４を除く各処理槽における超音波発振器６に制御信号を送出し、超音波発振器６による超音波印加を開始させる。
蒸気乾燥槽４に貯留された蒸気形成用液体Ｌ４は、加熱管９によって加熱される。蒸気形成用液体Ｌ４からは蒸気Ｇが発生する。蒸気Ｇは蒸気乾燥槽４内に充満する。蒸気乾燥槽４の上部に移動した蒸気Ｇは冷却管１０によって冷却されて下降するので、大部分の蒸気Ｇは、蒸気乾燥槽４の内部に閉じ込められる。これにより、蒸気形成用液体Ｌ４の液面の上方には蒸気Ｇが充満した蒸気層が形成される。蒸気Ｇは、蒸気乾燥槽４の外部の雰囲気よりも昇温されている。
【００５９】
蒸気乾燥槽４において、冷却管１０の近傍の蒸気Ｇの一部は、冷却管１０の表面に凝縮する。蒸気Ｇの凝縮液は、自重で凝縮液回収部４ａ、４ｂに流下する。凝縮液回収部４ａ、４ｂにそれぞれ流下した凝縮液体Ｌ５ａ、Ｌ５ｂは、排出管Ｐａ、Ｐｂ、および回収管Ｐ１を経由して、貯留槽５に貯留される。
凝縮液体Ｌ５ａ、Ｌ５ｂの成分は、蒸気形成用液体Ｌ４と同一である。ただし、凝縮液体Ｌ５ａ、Ｌ５ｂの含水率は、蒸気形成用液体Ｌ４とは異なる可能性がある。
【００６０】
上述のように、各処理槽の初期化が終了すると、被洗浄物Ｗの洗浄が開始される。
被洗浄物Ｗは、搬送かご２１に収容された状態で、移動アーム２０ａによって保持される。制御部３０は、移動機構２０に制御信号を送出し、被洗浄物Ｗを各処理槽に移動させる。被洗浄物Ｗは搬送かご２１とともに各処理槽を移動する。
被洗浄物Ｗは、洗浄槽１上に移動され、洗浄槽１内の洗浄液Ｌ１に浸漬される。被洗浄物Ｗは、洗浄槽１内で超音波洗浄される。被洗浄物Ｗの汚れ成分は、被洗浄物Ｗから除去され、洗浄液Ｌ１中に分散する。
超音波洗浄が終了したら、被洗浄物Ｗは、移動機構２０によって、洗浄槽１の上方に引き上げられリンス槽２に移動される。
【００６１】
被洗浄物Ｗは、リンス槽２内のリンス液Ｌ２に浸漬される。リンス槽２では、被洗浄物Ｗがすすがれる。洗浄槽１において被洗浄物Ｗに付着した洗浄液Ｌ１成分は、被洗浄物Ｗから除去され、リンス槽２中に分散する。
すすぎが終了したら、被洗浄物Ｗは、移動機構２０によって、リンス槽２の上方に引き上げられ第１水切り槽３Ａに移動される。
【００６２】
被洗浄物Ｗは、第１水切り槽３Ａ内の水切り液Ｌ３Ａに浸漬される。被洗浄物Ｗに付着したリンス液Ｌ２由来の水分は、水切り液Ｌ３Ａによって水切りされる。被洗浄物Ｗに付着した水分の少なくとも一部は、被洗浄物Ｗから除去され、第１水切り槽３Ａ中に分散する。
第１水切り槽３Ａにおける水切りが終了したら、被洗浄物Ｗは、移動機構２０によって、第１水切り槽３Ａの上方に引き上げられ第２水切り槽３Ｂに移動される。
第２水切り槽３Ｂにおいても、第１水切り槽３Ａと同様の水切りが行われ、被洗浄物Ｗに付着した水分はさらに低減される。被洗浄物Ｗの表面に残存した水分の少なくとも一部は、被洗浄物Ｗから除去され、第２水切り槽３Ｂ中に分散する。
続いて、第３水切り槽３Ｃでも同様な水切りが行われる。
このように異なる３槽においてそれぞれ水切りが行われることによって、被洗浄物Ｗに付着した水分はほとんど被洗浄物Ｗから除去される。
第３水切り槽３Ｃにおける水切りが終了したら、被洗浄物Ｗは、第３水切り槽３Ｃの上方に引き上げられ、移動機構２０によって、蒸気乾燥槽４に移動される。
【００６３】
被洗浄物Ｗは、蒸気乾燥槽４内の蒸気層に配置される（図１における二点鎖線参照）。被洗浄物Ｗの温度は蒸気層の温度よりも低いので、被洗浄物Ｗには蒸気Ｇが凝縮する。蒸気Ｇが凝縮した凝縮液体Ｌ５ｃは、万一、被洗浄物Ｗ上の付着物が存在する場合でも、付着物とともに下方に落下する。例えば、微量の水分が被洗浄物Ｗに付着している場合でも、水分は凝縮液体Ｌ５ｃによって洗い流される。
被洗浄物Ｗから落下した凝縮液体Ｌ５ｃは、凝縮液回収部４ｃに回収される。凝縮液体Ｌ５ｃは、凝縮液回収部４ｃから排出管Ｐｃおよび回収管Ｐ１を経由して、貯留槽５に貯留される。
被洗浄物Ｗの温度が蒸気Ｇの温度と等しくなると、蒸気Ｇが凝縮することはなくなる。このようにして、被洗浄物Ｗが蒸気乾燥される。乾燥された被洗浄物Ｗは、移動機構２０によって、搬送かご２１とともに蒸気乾燥槽４の上方に引き上げられる。被洗浄物Ｗは、移動機構２０によって蒸気乾燥槽４の外部に搬出される。
【００６４】
このようにして、被洗浄物Ｗが洗浄装置５０の各処理槽を移動することによって、被洗浄物Ｗが洗浄される。洗浄装置５０においては、必要に応じて他の被洗浄物Ｗが同様にして洗浄される。このようにして多数の被洗浄物Ｗが洗浄されていくと、各処理槽の各処理液の成分は、初期状態から徐々に変化する。
例えば、第１水切り槽３Ａ、第２水切り槽３Ｂ、および第３水切り槽３Ｃには、被洗浄物Ｗから除去された水分が混入していく。この結果、水切り液Ｌ３Ａ、Ｌ３Ｂ、Ｌ３Ｃの含水率は徐々に大きくなる。
蒸気乾燥槽４における蒸気形成用液体Ｌ４は徐々に減少し、貯留槽５における回収液体Ｌ６が増加していく。
本実施形態では、制御部３０の制御によって、回収液体Ｌ６が各後処理槽に移送される。これにより、回収液体Ｌ６が移送先の後処理槽によって再利用される。
以下では、回収液体Ｌ６の移送動作について、移送動作の制御方法とともに説明する。ただし、簡単のため、各後処理液の初期比重が水の比重よりも小さい場合の例で説明する。各後処理液の初期比重が水の比重よりも大きい場合の動作は、以下の説明において、含水率に対する比重の大小関係を反対に読めばよい。
【００６５】
回収液体Ｌ６の移送制御では、図３に示すステップＳ１〜Ｓ１１が図３に示すフローに沿って実行される。ただし、移送制御は、例えば、操作部３１から洗浄の停止または終了の操作入力がなされると、割り込みによって停止または終了される。
移送制御の開始時には、バルブＶ１〜Ｖ５はすべて閉止されており、ポンプ１５は停止されている。
【００６６】
ステップＳ１では、回収液体Ｌ６（図３では「第３液体」）の水位が第２高さＨ２以上かどうか判定される。制御部３０は、液面センサ１３、１４の検出信号に基づいて、液面Ｓの高さが第２高さＨ２以上かどうか判定する。
制御部３０は、液面センサ１３から水位が第１高さＨ１以上であることを示す検出信号を受信し、かつ液面センサ１４から水位が第２高さＨ２以上であることを示す検出信号を受信している場合に、液面Ｓの高さが第２高さＨ２以上であると判定する。
制御部３０は、それ以外の場合には、液面Ｓの高さが第２高さＨ２以上でないと判定する。
液面Ｓの高さが第２高さＨ２以上の場合、ステップＳ２が実行される。
液面Ｓの高さが第２高さＨ２以上でない場合、ステップＳ１が実行される。ただし、液面センサ１３から水位が第１高さＨ１未満であることを示す検出信号を受信している場合には、液面センサ１３、１４のいずれかが誤検知している可能性がある。この場合には、制御部３０は、表示部３３に警告メッセージを表示させて、操作者に警告する。
【００６７】
ステップＳ２では、第１含水率測定器から第１データが取得される。具体的には、制御部３０は、比重計１２から回収液体Ｌ６の比重の測定値Ｍ６（第１データ）を取得する。以下では、測定値Ｍ６の大きさも符号と同じＭ６で表す（他の測定値も同様）。
ステップＳ２が実行される場合、回収液体Ｌ６の水位は第１高さＨ１および第２高さＨ２を超えている。比重計１２は、回収液体Ｌ６の比重を正確に測定することが可能である。
ステップＳ２の後、ステップＳ３が実行される。
【００６８】
ステップＳ３では、第１データが許容範囲内かどうか判定される。具体的には、制御部３０は、測定値Ｍ６と、記憶部３２に記憶された貯留槽５における回収液体Ｌ６の許容比重Ａ６（許容限度）と、を比較する。測定値Ｍ６の許容範囲は、許容比重Ａ６以下である。以下では、許容比重Ａ６の大きさも符号と同じＡ６で表す（他の許容比重も同様）。
測定値Ｍ６が許容範囲内の場合、ステップＳ４が実行される。
測定値Ｍ６が許容範囲内でない場合、ステップＳ８が実行される。
【００６９】
ステップＳ８は、貯留槽５における回収液体Ｌ６の含水率が許容含水率を超えていることに対応して実行される。許容含水率を超えた回収液体Ｌ６は、洗浄装置５０内では再利用できない。
ステップＳ８では、表示部３３に警告１が表示される。警告１は、貯留槽５の回収液体Ｌ６の含水率が許容含水率を超えたので回収液体Ｌ６が排出されることを操作者に通知するメッセージまたは信号である。具体的には、制御部３０は、表示部３３に警告１に対応するメッセージ、または信号を表示させる。メッセージとしては、文字、画像、音声などが用いられてもよい。例えば、メッセージには測定値Ｍ６、測定値Ｍ６に基づく含水率、回収液体Ｌ６の許容比重、許容含水率などが含まれてもよい。信号としては、警告ランプの点灯、警告音などが挙げられる。
警告１が表示された場合、誤作動が疑われる場合を除けば、操作者は特になにもしなくてもよい。
ステップＳ８の後、ステップＳ９が実行される。
【００７０】
ステップＳ９では、貯留槽５から排出槽１７に回収液体Ｌ６が排出される。具体的には、制御部３０は、バルブＶ５に流路を開放する制御信号を送出する。これによりバルブＶ５が開放される。回収液体Ｌ６は排出管Ｐ７を経由して排出槽１７に排出される。
本ステップでは、制御部３０は、予め設定された開放時間が経過すると、バルブＶ５に流路を閉止する制御信号を送出する。開放時間としては、ステップＳ７が実行されたときに貯留槽５内に貯留されている回収液体Ｌ６をすべて排出することが可能な時間が用いられる。
ステップＳ９が終了したら、ステップＳ１が実行される。
ステップＳ９が終了すると、貯留槽５における再利用できない回収液体Ｌ６はすべて排出槽１７に排出される。
【００７１】
ステップＳ４では、第２データおよび第３データが、それぞれ第２含水率測定器および第３含水率測定器から取得される。具体的には、制御部３０は、比重計８から蒸気形成用液体Ｌ４の比重の測定値Ｍ４（第２データ）を取得する。さらに、制御部３０は、比重計７Ａ、７Ｂ、７Ｃからそれぞれ水切り液Ｌ３Ａ、Ｌ３Ｂ、Ｌ３Ｃの比重の測定値Ｍ３Ａ、Ｍ３Ｂ、Ｍ３Ｃ（第３データ）を取得する。
ステップＳ４の後、ステップＳ５が実行される。
【００７２】
ステップＳ５では、第２データおよび第３データが許容範囲内かどうか判定される。具体的には、制御部３０は、取得した測定値Ｍ４、Ｍ３Ａ、Ｍ３Ｂ、Ｍ３Ｃと、記憶部３２に記憶された各後処理液のそれぞれの許容比重Ａ４、Ａ３Ａ、Ａ３Ｂ、Ａ３Ｃと、を比較する。各測定値の許容範囲は、対応する許容比重以下の範囲である。
少なくとも１つの測定値が許容範囲内でない場合、ステップＳ１０が実行される。
すべての測定値Ｍ４、Ｍ３Ａ、Ｍ３Ｂ、Ｍ３Ｃが許容範囲内の場合、ステップＳ６が実行される。
【００７３】
ステップＳ１０は、後処理槽における後処理液のいずれかの含水率が許容含水率を超えていることに対応して実行される。許容含水率を超えた後処理液は、処理性能は低下しているので、使用されないことがより好ましい。
ステップＳ１０では、表示部３３に警告２が表示される。警告２は、特定の後処理槽の含水率が許容含水率を超えたので洗浄を中断することを操作者に通知するメッセージまたは信号である。具体的には、制御部３０は、表示部３３に警告２に対応するメッセージ、または信号を表示させる。メッセージとしては、文字、画像、音声などが用いられてもよい。例えば、メッセージには特定の後処理槽の比重の測定値、測定値に基づく含水率、特定の後処理槽の許容比重、許容含水率などが含まれてもよい。信号としては、警告ランプの点灯、警告音などが挙げられる。
ステップＳ１０の後、ステップＳ１１が実行される。
【００７４】
ステップＳ１１では、洗浄の中断処理が実行される。具体的には、制御部３０は、移動機構２０に、洗浄槽１に浸漬される前の被洗浄物Ｗの洗浄槽１内への移動を停止する制御信号を送出する。さらに、制御部３０は、移動機構２０に、現在処理中の各被洗浄物Ｗの移動を継続する制御信号を送出する。これにより、処理中の各被洗浄物Ｗの洗浄は、順次完了する。
以上で、洗浄装置５０における洗浄の中断処理が終了する。洗浄装置５０は、洗浄の再開の操作入力待ちになる。
操作者は、警告２で表示された特定の後処理槽における後処理液を新しい後処理液に交換することができる。操作者は、操作部３１から洗浄装置５０による洗浄処理を開始する操作入力を行うことによって、洗浄を再開させることができる。
【００７５】
ステップＳ６では、第３液体を後処理槽に移送可能かどうか、第１データに基づいて判定される。本実施形態では、第２データまたは第３データに基づく含水率が、第１データに基づく含水率を超えている後処理液が貯留された後処理槽が存在する場合に第３液体が移送可能であると判定される。
具体的には、制御部３０は、測定値Ｍ４、Ｍ３Ａ、Ｍ３Ｂ、Ｍ３Ｃと、測定値Ｍ６と、を比較し、測定値Ｍ４、Ｍ３Ａ、Ｍ３Ｂ、Ｍ３Ｃの中に、測定値Ｍ６を超える測定値Ｘがあるか判定する。
測定値Ｘが存在する場合、制御部３０は、回収液体Ｌ６が移送可能であると判定する。
制御部３０は、測定値Ｍ６を超える測定値Ｘが存在しない場合、回収液体Ｌ６が移送可能でないと判定する。
【００７６】
回収液体Ｌ６が移送可能であると判定された場合、ステップＳ７が実行される。
回収液体Ｌ６が移送可能でないと判定された場合、ステップＳ１が実行される。この場合、本ステップでは、回収液体Ｌ６は排出槽１７に排出されずに、上述のステップＳ１からの移送動作が繰り返される。
【００７７】
本実施形態において、回収液体Ｌ６が移送可能でないと判定された場合に、ステップＳ１が実行される理由は、洗浄の進行とともに後処理槽の含水率が増大する可能性があるからである。後処理槽の含水率が増大したときには、貯留槽５に貯留された回収液体Ｌ６が移送可能になる場合もある。この場合、回収液体Ｌ６の利用効率をさらに向上できる。
しかし、例えば、後処理槽の含水率が増大するまでに時間がかかり、回収液体Ｌ６がオーバーフローする可能性が高い場合には、回収液体Ｌ６が移送可能でないと判定されるたびに、排出槽１７に排出させてもよい。例えば、ステップＳ６の後、ステップＳ９と同様な排出動作を行わせてからステップＳ１が実行されるようにしてもよい。
【００７８】
ステップＳ７では、第３液体が移送先に移送される。具体的には、制御部３０は、移送先を決定した後、移送先に第３液体を移送する。
測定値Ｘが１つの場合（ケース１）、測定値Ｘが取得された後処理液が貯留された後処理槽Ｙが移送先に決定される。
測定値Ｘが複数の場合（ケース２）、測定値Ｘが取得された後処理液が貯留された複数の後処理槽Ｙのいずれかが、予め決められた決定条件に基づいて移送先に選ばれる。
【００７９】
ケース２の場合、例えば、複数の後処理槽Ｙのうち、被洗浄物Ｗが最も後に移動される槽が移送先に選定されてもよい（決定条件２ａ）。すなわち、移送先は、複数の後処理槽Ｙのうち、後処理の最も下流側の槽であってもよい。
この場合、本実施形態における移送先の優先順序は、優先度の高い方から、蒸気乾燥槽４、第３水切り槽３Ｃ、第２水切り槽３Ｂ、および第１水切り槽３Ａの順である。例えば、測定値Ｘが測定値Ｍ３Ｃ、Ｍ３Ｂからなる場合、移送先は第３水切り槽３Ｃに決定される。
【００８０】
例えば、複数の後処理槽Ｙのうち、測定値Ｘのうち最小の測定値Ｘｍｎが取得された槽が移送先に選定されてもよい（決定条件２ｂ）。この場合、移送先は洗浄の処理順序とは無関係に決定される。
ただし、測定値Ｘｍｎが複数存在する場合には、測定値Ｘｍｎが取得された後処理液が貯留された複数の後処理槽Ｙのいずれかが予め定められた優先順序に基づいて選択される。例えば、優先順序は、優先度の高い方から、蒸気乾燥槽４、第３水切り槽３Ｃ、第２水切り槽３Ｂ、および第１水切り槽３Ａの順であってもよい。この優先順序に基づくと、例えば、測定値Ｘが測定値Ｍ４、Ｍ３Ｃ、Ｍ３Ｂであって、Ｍ３Ｂ＞Ｍ３Ｃ＝Ｍ４の場合、移送先は蒸気乾燥槽４に決定される。
【００８１】
以下では、決定された移送先の後処理槽を後処理槽Ｙｄと表記する。
後処理槽Ｙｄが決定された後、制御部３０は、バルブＶ１〜Ｖ４のうち、後処理槽Ｙｄに向かう移送管に設けられたバルブに流路を開放する制御信号を送出する。これにより、貯留槽５内の回収液体Ｌ６は、後処理槽Ｙｄに移送される。
例えば、後処理槽Ｙｄが第３水切り槽３Ｃの場合、制御部３０は、バルブＶ４に流路を開放する制御信号を送出する。さらに、制御部３０は、ポンプ１５を駆動する制御信号をポンプ１５に送出する。この場合、回収液体Ｌ６は、移送管Ｐ２、Ｐ６を経由して第３水切り槽３Ｃに移送される。回収液体Ｌ６が水切り液Ｌ３Ｃに分散すると、回収液体Ｌ６の移送量に応じて水切り液Ｌ３Ｃの含水率が低下する。
本実施形態では、移送先がいずれの後処理槽であっても、Ｘ＞Ｍ６であるため、後処理槽Ｙｄの含水率は、回収液体Ｌ６の移送量に応じて低下する。
【００８２】
ステップＳ７の後、ステップＳ１が実行される。これにより、上述のステップＳ１からの移送動作が繰り返される。
【００８３】
洗浄装置５０は、同種類の後処理液の利用が可能であって、含水率の増大量および許容含水率が互いに異なる複数の後処理槽を有している。
例えば、蒸気形成用液体Ｌ４は、水切り後の被洗浄物Ｗの乾燥に使用されるので、許容含水率は低い。しかし、蒸気乾燥槽４において蒸気形成用液体Ｌ４に混入する水分は、例えば、第１水切り槽３Ａ、第２水切り槽３Ｂ、および第３水切り槽３Ｃに混入する水分よりも格段に少ない。加えて、第１水切り槽３Ａ、第２水切り槽３Ｂ、および第３水切り槽３Ｃに用いられる各後処理液の許容含水率は、蒸気形成用液体Ｌ４の許容含水率よりも高い。
洗浄装置５０では、上述のような移送動作が行われるので、貯留槽５の回収液体Ｌ６が移送されても含水率が悪化しない後処理槽Ｙが存在する間は、回収液体Ｌ６は後処理槽Ｙから選択される後処理槽Ｙｄに移送される。移送された回収液体Ｌ６は、後処理槽Ｙｄで再利用される。
【００８４】
上述したように、洗浄装置５０では、蒸気乾燥槽４から回収した回収液体Ｌ６が、その含水率に応じて、再利用可能な後処理槽に自動的に移送される。回収液体Ｌ６は、移送先の後処理性能を悪化させることなく再利用される。
この結果、蒸気乾燥槽４から回収された回収液体Ｌ６が後処理槽のいずれかにおいて再利用されるので、蒸気形成用液体Ｌ４の利用効率が向上する。
さらに、移送先の含水率も改善される方向であるため、移送先における後処理液の寿命も向上する。
このように、洗浄装置５０によれば、蒸気乾燥および水切りに必要な液体がそれぞれの許容含水率に応じて個別に廃棄される場合に比べて、蒸気乾燥および水切りに必要な液体の消費量を低減できる。
本実施形態によれば、水との共沸混合物を形成する液体を使用する場合でも、高価な分離処理を施すことなく、後処理液の寿命を延ばすことができる。
【００８５】
特に、上述の決定条件２ａによって移送先が決定される場合、下流側の後処理槽ほど、含水率の増大が抑制されるので、後処理の下流側における処理性能の低下を抑制できる。
特に、上述の決定条件２ｂによって移送先が決定される場合、含水率が低い後処理液ほど、含水率の増大が抑制されるので、初期含水率に近い後処理液の寿命を延ばしやすい。
【００８６】
［第２の実施形態］
本発明の第２の実施形態の洗浄装置について説明する。
図４は、本発明の第２の実施形態の洗浄装置の構成例を示す模式図である。図５は、本発明の第２の実施形態の洗浄装置の制御系のブロック図である。
【００８７】
図４に示すように、本実施形態の洗浄装置６０は、第１の実施形態の洗浄装置５０から比重計７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、８が削除されている。さらに図５に示すように、洗浄装置６０は、洗浄装置５０の制御部３０に代えて、制御部７０を備える。
以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００８８】
制御部７０の装置構成は、第１の実施形態の制御部３０と同様である。
本実施形態の記憶部３２には、第１の実施形態と同様に、各後処理液の許容比重Ａ３Ａ、Ａ３Ｂ、Ａ３Ｃ、Ａ４が記憶されている。ただし、洗浄装置６０は比重計７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、８を有しないので、制御部７０によって行われる回収液体Ｌ６の移送制御は、第１の実施形態における制御部３０の移送制御と異なる。
以下では、洗浄装置６０の動作について、回収液体Ｌ６の移送動作およびその制御方法を中心として説明する。ただし、第１の実施形態と同様、各後処理液の初期比重が水の比重よりも小さい場合の例で説明する。
図６は、本発明の第２の実施形態の洗浄装置の動作を示すフローチャートである。
【００８９】
本実施形態における回収液体Ｌ６の移送制御では、図６に示すステップＳ２１〜Ｓ２９が図６に示すフローに沿って実行される。ただし、移送制御は、例えば、操作部３１から洗浄の停止または終了の操作入力がなされると、割り込みによって、停止または終了される。
移送制御の開始時には、バルブＶ１〜Ｖ５はすべて閉止されており、ポンプ１５は停止されている。
【００９０】
ステップＳ２１〜Ｓ２３、Ｓ２６、Ｓ２７は、制御部７０によって実行される以外は、第１の実施形態におけるステップＳ１〜Ｓ３、Ｓ８、Ｓ９と同様にして実行される。
【００９１】
ステップＳ２３の後、ステップＳ２４が実行される。
本実施形態では、回収液体Ｌ６の移送先は、ステップＳ２２で取得された第１データに基づく第３液体の含水率と、各後処理槽に設定された許容含水率と、によって決定される。
ステップＳ２４では、第３液体を後処理槽に移送可能かどうか、第１データに基づいて判定される。本実施形態では、許容含水率が、第１データに基づく含水率を超え、かつ最小である後処理液が貯留された後処理槽が存在する場合に第３液体が移送可能であると判定される。
具体的には、制御部７０は、許容比重Ａ４、Ａ３Ａ、Ａ３Ｂ、Ａ３Ｃと、測定値Ｍ６と、を比較し、許容比重Ａ４、Ａ３Ａ、Ａ３Ｂ、Ａ３Ｃの中に、測定値Ｍ６を超える許容比重Ａがあるか検索する。許容比重Ａが存在する場合、制御部７０は、許容比重Ａの最小値Ａｍｎと、最小値Ａｍｎが測定された後処理槽Ｚと、を特定する。検索および最小値の特定方法は特に限定されない。
複数の最小値Ａｍｎが存在する場合には、最小値Ａｍｎが設定された後処理液が貯留された複数の後処理槽Ｚのいずれかが予め定められた優先順序に基づいて選択される。例えば、優先順序は、優先度の高い方から、蒸気乾燥槽４、第３水切り槽３Ｃ、第２水切り槽３Ｂ、および第１水切り槽３Ａの順であってもよい。
制御部７０は、移送先の後処理槽Ｚが決定できたら回収液体Ｌ６が後処理槽Ｚに移送可能であると判定する。
制御部７０は、測定値Ｍ６を超える許容比重Ａが存在しない場合、回収液体Ｌ６が移送可能でないと判定する。
【００９２】
回収液体Ｌ６が移送可能であると判定された場合、ステップＳ２５が実行される。
回収液体Ｌ６が移送可能でないと判定された場合、ステップＳ２８が実行される。
【００９３】
ステップＳ２５では、第３液体が移送先に移送される。制御部７０は、バルブＶ１〜Ｖ４のうち、移送先の後処理槽Ｚに向かう移送管に設けられたバルブに流路を開放する制御信号を送出する。これにより、貯留槽５内の回収液体Ｌ６は、移送先の後処理槽Ｚに移動される。
本実施形態では、移送先がいずれの後処理槽であっても、Ａ＞Ｍ６であるため、回収液体Ｌ６が移送されることが原因で後処理槽の含水率は許容含水率を超えることはない。
【００９４】
ステップＳ２８では、表示部３３に警告３が表示される。警告３は、貯留槽５の回収液体Ｌ６の含水率が後処理槽の許容含水率を超えているので排出槽１７に排出されることを操作者に通知するメッセージまたは信号である。具体的には、制御部７０は、表示部３３に警告３に対応するメッセージ、または信号を表示させる。メッセージとしては、文字、画像、音声などが用いられてもよい。例えば、メッセージには測定値Ｍ、測定値Ｍに基づく含水率、後処理槽の許容比重、許容含水率などが含まれてもよい。信号としては、警告ランプの点灯、警告音などが挙げられる。
操作者は、警告３によって、回収液体Ｌ６の含水率が高くなっていることを知ることができる。
ステップＳ２８の後、ステップＳ２９が実行される。
【００９５】
ステップＳ２９では、貯留槽５から排出槽１７に回収液体Ｌ６が排出される。具体的には、制御部７０は、ステップＳ２７と同様の制御を行う。これにより、後処理槽の許容含水率を超える回収液体Ｌ６は後処理槽に移送されない。
このように、回収液体Ｌ６の含水率が高い状態が続くと、回収液体Ｌ６は自動的に排出槽１７に排出されていく。操作者は、警告３が表示された場合、回収液体Ｌ６の含水率が高くなっている原因を究明して適切な対応を取ることができる。例えば、蒸気形成用液体Ｌ４の含水率自体が高くなっている場合には、蒸気形成用液体Ｌ４を補充、交換することが考えられる。
ステップＳ２９の後、ステップＳ２１が実行される。
【００９６】
洗浄装置６０では、上述のような移送動作が行われるので、第１データおよび許容比重に基づいて、貯留槽５の回収液体Ｌ６が移送されても含水率を悪化しない後処理槽Ｚが存在する間は、後処理槽Ｚで再利用される。
【００９７】
上述したように、洗浄装置６０では、第１の実施形態と同様に、蒸気乾燥槽４から回収した回収液体Ｌ６が、その含水率に応じて、再利用可能な後処理槽に自動的に移送される。回収液体Ｌ６は、移送先の後処理性能を悪化させることなく再利用される。
このため、第１の実施形態と同様、蒸気乾燥および水切りに必要な液体がそれぞれの許容含水率に応じて個別に廃棄される場合に比べて、蒸気乾燥および水切りに必要な液体の消費量を低減できる。さらに、水との共沸混合物を形成する液体を使用する場合でも、高価な分離処理を施すことなく、後処理液の寿命を延ばすことができる。
【００９８】
ただし、洗浄装置６０においては、各後処理槽の比重測定は自動的には行われないので、水切りおよび蒸気乾燥の繰り返しによる含水率の増大に起因する後処理液の寿命は自動的には検出できない。洗浄装置６０を使用する場合には、許容含水率を超えた後処理液による後処理が行われることを防止する目的で、各後処理槽における後処理液の比重を定期的に検査することがより好ましい。
【００９９】
［第３の実施形態］
本発明の第３の実施形態の洗浄装置について説明する。
図２に示すように、本実施形態の洗浄装置８０は、第１の実施形態の洗浄装置５０の制御部３０に代えて、制御部９０を備える。図１に示すように、洗浄装置８０においてその他の構成は洗浄装置５０と同様である。
以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【０１００】
制御部９０の装置構成は、第１の実施形態の洗浄装置６０と同様である。ただし、制御部９０によって行われる回収液体Ｌ６の移送制御は、第１の実施形態における制御部３０の移送制御と異なる。
以下では、洗浄装置６０の動作について、回収液体Ｌ６の移送動作その制御方法を中心として説明する。ただし、第１の実施形態と同様、各後処理液の初期比重が水の比重よりも小さい場合の例で説明する。
図７は、本発明の第３の実施形態の洗浄装置の動作を示すフローチャートである。
【０１０１】
本実施形態における回収液体Ｌ６の移送制御では、図７に示すステップＳ４１〜Ｓ５４が図７に示すフローに沿って実行される。ただし、移送制御は、例えば、操作部３１から洗浄の停止または終了の操作入力がなされると、割り込みによって、停止または終了される。
移送制御の開始時には、バルブＶ１〜Ｖ５はすべて閉止されており、ポンプ１５は停止されている。
【０１０２】
ステップＳ４１〜Ｓ４３、Ｓ５１〜Ｓ５４は、制御部９０によって実行される以外は、第１の実施形態におけるステップＳ１〜Ｓ３、Ｓ８〜Ｓ１１と同様にして実行される。
【０１０３】
ステップＳ４３の後、ステップＳ４４〜Ｓ４９が実行される。
ステップＳ４４〜Ｓ４９では、各後処理槽における第２データまたは第３データと、第１データとが、判定順序に沿って比較される。判定順序は、被洗浄物Ｗが各後処理槽に移動される順序の逆順である。本実施形態では、第１の実施形態同様、被洗浄物Ｗは、第１水切り槽３Ａ、第２水切り槽３Ｂ、第３水切り槽３Ｃ、蒸気乾燥槽４の順に移動される。以下では、判定順序を１から４までの整数ｋで表す。各後処理槽を判定順序に対応させて槽ｋと表記すると、槽１、槽２、槽３、槽４は、それぞれ蒸気乾燥槽４、第３水切り槽３Ｃ、第２水切り槽３Ｂ、第１水切り槽３Ａである。各槽ｋに対応する後処理液の第２データまたは第３データをデータｋと表記すると、データ１、データ２、データ３、データ４は、それぞれ測定値Ｍ４、Ｍ３Ｃ、Ｍ３Ｂ、Ｍ３Ａである。
【０１０４】
ステップＳ４４では、制御部９０は、制御プログラムにおいて、判定順序に対応するカウンタｋを０に初期化する。ステップＳ４４の後、ステップＳ４５が実行される。
ステップＳ４５では、制御部９０は、カウンタｋを更新する（ｋ＝ｋ＋１）。ステップＳ４５の後、ステップＳ４６が実行される。
【０１０５】
ステップＳ４６では、制御部９０は、カウンタｋがＮ以下かどうか判定する。ここで、Ｎは、第２データまたは第３データを取得する後処理槽の数である。本実施形態では、Ｎ＝４である。
ｋがＮ以下でない場合は、各後処理槽の判定が終了しているので、ステップＳ４１が実行される。
ｋがＮ以下である場合は、ステップＳ４７が実行される。
【０１０６】
ステップＳ４６においてフローがステップＳ４１に分岐した場合、回収液体Ｌ６がいずれの槽ｋにも移送可能でないと判定されたことに相当する。このとき、ステップＳ４１が実行される理由は、上記第１の実施形態においてステップＳ６に関連して説明した理由と同様である。
ただし、本実施形態においても、上記第１の実施形態と同様、回収液体Ｌ６が移送可能でないと判定されるたびに、排出槽１７に排出させてもよい。例えば、ステップＳ４６の後、ステップＳ５２（Ｓ９）と同様な排出動作を行わせてからステップＳ４１が実行されるようにしてもよい。
【０１０７】
ステップＳ４７では、制御部９０は、データｋを取得する。例えば、ｋ＝１の場合は、制御部９０は、比重計８から測定値Ｍ４を取得する。
ステップＳ４７の後、ステップＳ４８が実行される。
【０１０８】
ステップＳ４８では、データｋが許容範囲内かどうか判定される。具体的には、制御部９０は、データｋと、記憶部３２に記憶された槽ｋの許容比重と、を比較する。
データｋが許容範囲内でない場合、ステップＳ５３が実行される。
ステップＳ５３の後は、ステップＳ５４が実行される。ステップＳ５３、Ｓ５４は、それぞれ、第１の実施形態のステップＳ１０、Ｓ１１と同様に実行される。
データｋが許容範囲内の場合、ステップＳ４９が実行される。
【０１０９】
ステップＳ４９では、制御部９０は、データｋが第１データを超えているかどうか判定する。例えば、ｋ＝１の場合は、制御部９０は、Ｍ４がＭ６を超えているかどうか判定する。
データｋが第１データを超えている場合、ステップＳ５０が実行される。
データｋが第１データを超えていない場合、ステップＳ４５が実行される。この場合、ステップＳ４５〜Ｓ４９が上述のように繰り返される。
【０１１０】
ステップＳ５０では、第３液体が槽ｋに移送される。ここで、ｋは、カウンタｋに保持された整数である。制御部９０は、バルブＶ１〜Ｖ４のうち、槽ｋに向かう移送管に設けられたバルブに流路を開放する制御信号を送出する。これにより、貯留槽５内の回収液体Ｌ６は、槽ｋに移送される。
第１の実施形態におけると同様、槽ｋの含水率は回収液体Ｌ６の移送量に応じて低下する。
ステップＳ５０の後、ステップＳ４１が実行される。これにより、ステップＳ４１から上述の動作が繰り返される。
【０１１１】
洗浄装置８０では、上述のような移送動作が行われるので、第１の実施形態と同様、貯留槽５の回収液体Ｌ６が移送されても含水率が悪化しない槽ｋが存在する間は、回収液体Ｌ６は槽ｋに移送される。移送された回収液体Ｌ６は、槽ｋで再利用される。
このため、第１の実施形態と同様、蒸気乾燥および水切りに必要な液体がそれぞれの許容含水率に応じて個別に廃棄される場合に比べて、蒸気乾燥および水切りに必要な液体の消費量を低減できる。さらに、水との共沸混合物を形成する液体を使用する場合でも、高価な分離処理を施すことなく、後処理液の寿命を延ばすことができる。
【０１１２】
ただし、本実施形態では、回収液体Ｌ６の移送先は判定順序の順に決定される。したがって、回収液体Ｌ６は、判定順序においてより上位の後処理槽に移送できなくなるまでは、下位の後処理槽に移送されることはない。
判定順序は、後処理の下流側から上流側に向かう順序であるので、判定順序は、含水率が低い順序になっていることが多い。下流側の後処理槽ほど、含水率が増大する時間が長いため、より上流側の後処理液よりも後処理液の寿命が相対的に長くなる。この結果、回収液体Ｌ６の寿命も下流側の後処理槽に移送されるほど長くなる。
【０１１３】
本実施形態では、回収液体Ｌ６が移送可能な後処理槽が複数ある場合にも、下流側の後処理槽が優先的に移送先に決定されるので、より上流側の後処理槽が移送可能かどうか判定されることがない。このため、より上流側の後処理槽が移送可能かどうか判定する場合に比べて、移送先がより迅速に決定される。
【０１１４】
なお、上記の各実施形態の説明では、第３液体の移送動作の制御をすべて制御部が自動的に行う場合の例で説明した。しかし、第３液体の移送動作の制御は、操作者の手動操作によって行われてもよい。この場合、制御部は、比重の測定値Ｍ６、Ｍ４、Ｍ３Ａ、Ｍ３Ｂ、Ｍ３Ｃ、許容比重Ａ４、Ａ３Ａ、Ａ３Ｂ、Ａ３Ｃなどの情報を必要に応じて表示部３３に表示させる。さらに、制御部は、表示部３３に表示した情報に基づいて、移送動作のガイダンスを表示してもよい。
操作者は、表示部３３に表示された情報に基づいて、上述の各実施形態における制御対象を操作する操作入力を行うことによって、上述と同様の移送動作を洗浄装置に実行させることができる。
洗浄装置５０、７０における制御部３０、７０では、制御モードとして、マニュアルモードと自動モードとが切り替え可能に設けられていてもよい。マニュアルモードでは、上述のように操作者の操作入力に基づいて移送制御が行われる。自動モードでは、第１および第２の実施形態で説明した移送制御が制御部３０、７０によって自動的に行われる。
【０１１５】
上記各実施形態の説明では、第１データ、第２データ、第３データが、それぞれ第３液体、第２液体、第１液体の含水率に対応する比重の測定値からなる場合の例で説明した。しかし、含水率の大きさの変化を検出できる測定値であれば、比重以外の測定値が用いられてもよい。
例えば、比重に代えて、各液体の屈折率などの測定値が用いられてもよい。第１含水率測定器、第２含水率測定器、第３含水率測定器は、これらの測定値を取得する適宜の測定器を使用できる。
例えば、第１データ、第２データ、第３データは、含水率自体であってもよい。
例えば、第１データ、第２データ、第３データは、第１含水率測定器、第２含水率測定器、第３含水率測定器で含水率以外の測定値が測定された後、第１含水率測定器、第２含水率測定器、第３含水率測定器において、含水率に変換されたデータでもよい。
【０１１６】
上記各実施形態の説明では、後処理槽が、１槽の蒸気乾燥槽と、３槽の水切り槽からなる例で説明した。しかし、後処理槽としては、蒸気乾燥槽および水切り槽を少なくとも１槽有していれば、槽数は特に制限されない。
上記各実施形態の説明では、すべての後処理槽に、第３液体を移送できる構成の例で説明した。しかし、第３液体は、後処理槽のうち少なくとも２槽に移送可能であればよい。
【０１１７】
上記各実施形態の説明では、蒸気乾燥槽４は被洗浄物Ｗを乾燥させる目的で使用される例で説明した。しかし、例えば、被洗浄物Ｗは、蒸気形成用液体Ｌ４に浸漬されることによってさらに洗浄された後、蒸気層において乾燥されてもよい。
【０１１８】
上記各実施形態の説明における移送先の判定条件はいずれも一例であり、洗浄に支障なく第３液体を再利用できる判定条件であれば、上述の条件に限定されるものではない。
例えば、第１および第３の実施形態において、「第２データまたは第３データに基づく含水率が、第１データに基づく含水率を超えている」という条件に代えて、「第２データまたは第３データに基づく含水率が、第１データに基づく含水率以上である」という条件が用いられてもよい。
例えば、第２の実施形態において、「許容含水率が、第１データに基づく含水率を超え、かつ最小」という条件に代えて、「許容含水率が、第１データに基づく含水率を超え」または「許容含水率が、第１データに基づく含水率以上」という条件が用いられてもよい。
【０１１９】
以上、本発明の好ましい各実施形態を説明したが、本発明はこれらの各実施形態に限定されることはない。本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。
また、本発明は前述した説明によって限定されることはなく、添付の特許請求の範囲によってのみ限定される。
例えば、第１の実施形態の洗浄装置の構成において、第２の実施形態における移送制御が行われてもよい。
例えば、第３の実施形態における移送先を判定順序に沿って判定する移送制御は、第２の実施形態の移送制御に適用されてもよい。
【符号の説明】
【０１２０】
３Ａ  第１水切り槽
３Ｂ  第２水切り槽
３Ｃ  第３水切り槽
４  蒸気乾燥槽
４ａ、４ｂ、４ｃ  凝縮液回収部（回収器）
５  貯留槽
７Ａ、７Ｂ、７Ｃ  比重計（第３含水率測定器、比重センサ）
８  比重計（第２含水率測定器、比重センサ）
１２  比重計（第１含水率測定器、比重センサ）
１３、１４  液面センサ
１５  ポンプ
１６  移送機構
３０、７０、９０  制御部
３２  記憶部
３３  表示部
５０、６０、８０  洗浄装置
Ｇ  蒸気
Ｌ３Ａ、Ｌ３Ｂ、Ｌ３Ｃ  水切り液
Ｌ４  蒸気形成用液体
Ｌ５ａ、Ｌ５ｂ、Ｌ５ｃ  凝縮液体（第３液体）
Ｌ６  回収液体
Ｐ１  回収管
Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、Ｐ６  移送管
Ｐ７、Ｐ８、Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ  排出管
Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、Ｖ５  バルブ
Ｗ  被洗浄物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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