(57)【要約】【課題】複数の貫通孔を有するシート部材に形成された成形バリを、特別な設備を使用せずに簡便な方法により、確実に除去することを可能にし、これにより、成形によって複数の貫通孔が精度よく形成されたシート部材を安定的かつ安価に製造することを実現する【解決手段】シート状の弾性材によって形成され、互いに反対方向を向く第１面１１と第２面１２とを有し、第１面１１から第２面１２に亘って貫通した複数の貫通孔１０が設けられている、シート部材１であって、貫通孔１０の内壁面１０ａと第１面１１との間の領域に、弾性材が欠損した箇所１３を有する。【選択図】図３
2020093452.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性材によって形成され、互いに反対方向を向く第１面と第２面とを有し、前記第１面から前記第２面に亘って貫通した複数の貫通孔が設けられている、シート部材であって、
前記貫通孔の内壁面と前記第１面との間の領域に、前記弾性材が欠損した箇所を有する
シート部材。
【請求項２】
弾性材によって形成され、互いに反対方向を向く第１面と第２面とを有し、前記第１面から前記第２面に亘って貫通した複数の貫通孔が設けられている、シート部材であって、
前記貫通孔の内壁面と前記第１面との間の領域に、前記弾性材の破断面を有する
シート部材。
【請求項３】
弾性材によって形成され、互いに反対方向を向く第１面と第２面とを有し、前記第１面から前記第２面に亘って貫通した複数の貫通孔が設けられている、シート部材であって、
前記貫通孔の内壁面と前記第１面との間の領域に、バリの除去痕が形成されている
シート部材。
【請求項４】
弾性材によって形成され、互いに反対方向を向く第１面と第２面とを有し、前記第１面から前記第２面に亘って貫通した複数の貫通孔が設けられている、シート部材であって、
前記第１面において、前記貫通孔の内壁面と前記第１面との間の領域の周辺に、粘着成分が付着している
シート部材。
【請求項５】
前記領域の形状は前記第１面よりも凹んだ凹形状である
請求項１〜４の何れか一項に記載のシート部材。
【請求項６】
前記凹形状は、前記保持孔に向かって窄まるすり鉢形状である
請求項５に記載のシート部材。
【請求項７】
前記領域の表面は、不規則な起伏面である
請求項１〜６の何れか一項に記載のシート部材。
【請求項８】
前記第１面の表面粗さ及び前記貫通孔の内壁面の表面粗さよりも、前記領域の表面粗さが粗くなっている
請求項１〜７の何れか一項に記載のシート部材。
【請求項９】
前記保持孔は、前記貫通孔の軸方向と交差する方向に切断した横断面の形状が、前記軸方向の位置によって異なる
請求項１〜８の何れか一項に記載のシート部材。
【請求項１０】
前記貫通孔が複数設けられ、前記複数の貫通孔の内、少なくとも一つの前記貫通孔において、バリが形成されていた箇所から外れた位置に、前記領域が形成されている
請求項１〜９の何れか一項に記載のシート部材。
【請求項１１】
複数の貫通孔を有するシート部材を、弾性材を成形型に充填して成形するステップと、
前記シート部材に対して前記貫通孔の開口部周辺を覆うように前記シート部材に粘着材を貼り付けるステップと、
前記粘着材を前記シート部材から引き剥がすステップとを有する
シート部材の製造方法。
【請求項１２】
前記シート部材には、前記貫通孔が複数設けられ、
前記粘着材を貼り付けるステップは、前記複数の貫通孔の開口部を全て覆うように前記シート部材に粘着材を貼り付けるステップを含む
請求項１１に記載のシート部材の製造方法。
【請求項１３】
前記粘着材を貼り付けるステップは、前記粘着材を前記シート部材上で転動させることで、前記粘着材を前記シート部材に貼り付けるステップを含み、
前記粘着材を前記シート部材から引き剥がすステップは、前記粘着材を前記シート部材上でさらに転動させることで、前記粘着材を前記シート部材から引き剥がすステップを含む
請求項１１又は１２に記載のシート部材の製造方法。
【請求項１４】
請求項１〜１０の何れか一項に記載のシート部材と、
前記シート部材の前記貫通孔に挿入されたコンタクトピンとを備えた
ソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート部材及びその製造方法に関するものであり、特に半導体装置（以下「ＩＣパッケージ」という）等の電気部品に電気的に接続される電気部品用ソケットのコンタクトピンを保持するために用いられるシート部材及びその製造方法、並びにこれを用いたソケットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電気部品用ソケットとしては、コンタクトピンが配置されたＩＣソケットが知られている。このＩＣソケットは、配線基板上に配置されると共に検査対象であるＩＣパッケージが収容されるように構成されており、このＩＣパッケージの端子と配線基板の電極とがコンタクトピンを介して電気的に接続されて、導通試験等の試験が行われる。
【０００３】
近年、ＩＣパッケージの小型化及び集積化によりＩＣパッケージに多数形成されている端子間のピッチ（相互間隔）が狭くなっている。これにともない、ＩＣパッケージの検査用のＩＣソケットにおいても、これら多数の端子に電気的に接触させるためのコンタクトピンのピッチを狭くすることが必要とされている。
【０００４】
ＩＣソケットの構成が複雑であると、コンタクトピンのピッチを狭くすることが困難となるため、ＩＣソケットの構成の簡素化が要望されている。
【０００５】
このような背景の下、複数の貫通孔が形成された一枚の弾性シート部材を用いるＩＣソケットが提案されている。このようなＩＣソケットにおいては、シート部材の持つ弾性力を使ってコンタクトピンの圧接を行うことができるため、コイルバネを有しないコンタクトピンを使用することができ、このような複数のコンタクトピンが、各貫通孔内に保持され、一枚のシート部材に弾性的に保持される。このような構成は、個々のコンタクトピンがコイルバネを有する構成と比べて簡素な構成となることからコンタクトピンを小型化することができ、これにより、ＩＣソケットのコンタクトピンのピッチをも狭くすることが可能となる。
【０００６】
弾性シート部材に貫通孔、つまりコンタクトピンを保持するための保持孔を形成する方法としては、例えばレーザ加工による方法がある。レーザ加工では、レーザ光を集光して微小なスポット径とし、これを用いてシート部材の所定の部分を繰り返し走査することで保持孔が形成される。その際、加工部分はレーザ光による熱の影響を継続的に受けることから、保持孔の径を弾性シート部材の厚み方向に対して精度よく一定に形成するのが困難であり、形成された保持孔の軸を含む断面形状が、設計上の形状からからずれてしまうおそれがある。
【０００７】
また、レーザ加工により保持孔を形成する方法にはさらに次のような問題もある。（１）形成できる保持孔の形状が限定される。（２）レーザ光によって加熱されるためシリカ等のシート部材の成分の粉体が発生し、形成された保持孔の内壁にこの粉体が付着し、付着した粉体を保持孔の内壁から除去するのが困難となる。（３）保持孔を１つずつ加工する必要があるので多数の保持孔を加工する場合には多くの時間が必要となる。（４）保持孔をシートの片側から順次加工していく過程で弾性シート部材が熱の影響により変形し、以降に加工される保持孔の位置や形状が設計上の位置や形状からずれてしまう。
【０００８】
なお、レーザ加工により保持孔を形成する際に、保持孔の位置や形状を設計上の位置や形状にする方法として、例えばポリイミドなどにより形成されるフィルムを弾性シート部材の表面に貼り付けて弾性シート部材の熱変形を抑制するという方法も考えられるが、この場合事前にフィルムを弾性シート部材に貼り付ける工程が必要となり、著しく手間が掛かってしまう。
【０００９】
これに対して、保持孔を有する弾性シート部材を、保持孔を形成するための成形ピンが立設された成形型を使用して射出成形等の方法により製造すれば、このようなレーザ加工が抱える種々の問題を回避することができる。特許文献１には、コンタクトピンよりも遙かに大きな電子部品を保持する保持孔を有する弾性部材を、成形型を使用して製造する方法が開示されている。しかしながら、成形ピンを使用した方法だと、成形ピンと、この成形ピンが挿入されるノゾキ孔との隙間に樹脂が入り込み、いわゆる成形バリが生じることとなる。この特許文献１に開示された技術では、成形により製造された弾性シート部材の表面を、全面にわたって面研削、フライス研削、ラッピング、又は鏡面加工処理等の研磨による表面処理を施すことにより成形バリが除去される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０１２−７１４３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、特許文献１に開示された技術では、シート部材の表面に形成された成形バリを除去するための後加工として、研磨による表面処理という大掛かりな２次加工が必要となり、またそのための設備も必要となる。また、特にＩＣソケット用の弾性シート部材のような微小サイズの保持孔を多数形成した部材においては、研磨による表面処理を施すことは、保持孔の目詰まりなどの問題もありこのような表面処理は好ましくないという問題があった。
【００１２】
本発明は、このような要望に鑑み創案されたものであり、本発明の目的はシート部材に形成される成形バリを、特別な設備を使用せずに簡便な方法により、確実に除去することを可能にし、これにより、成形によって保持孔が精度よく形成されたシート部材を安定的かつ安価に製造することを実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成すべく、本発明のシート部材は、弾性材によって形成され、互いに反対方向を向く第１面と第２面とを有し、前記第１面から前記第２面に亘って貫通した複数の貫通孔が設けられている、シート部材であって、前記貫通孔の内壁面と前記第１面との間の領域に、前記弾性材が欠損した箇所を有する。
【００１４】
上記目的を達成すべく、本発明のシート部材は、弾性材によって形成され、互いに反対方向を向く第１面と第２面とを有し、前記第１面から前記第２面に亘って貫通した複数の貫通孔が設けられている、シート部材であって、前記貫通孔の内壁面と前記第１面との間の領域に、前記弾性材の破断面を有する。
【００１５】
上記目的を達成すべく、本発明のシート部材は、弾性材によって形成され、互いに反対方向を向く第１面と第２面とを有し、前記第１面から前記第２面に亘って貫通した複数の貫通孔が設けられている、シート部材であって、前記貫通孔の内壁面と前記第１面との間の領域に、バリの除去痕が形成されている。
【００１６】
上記目的を達成すべく、本発明のシート部材は、弾性材によって形成され、互いに反対方向を向く第１面と第２面とを有し、前記第１面から前記第２面に亘って貫通した複数の貫通孔が設けられている、シート部材であって、前記第１面において、前記貫通孔の内壁面と前記第１面との間の領域の周辺に、粘着成分が付着している。
【００１７】
上記目的を達成すべく、本発明のシート部材の製造方法は、複数の貫通孔を有するシート部材を、弾性材を成形型に充填して成形するステップと、前記シート部材に対して前記貫通孔の開口部周辺を覆うように前記シート部材に粘着材を貼り付けるステップと、前記粘着材を前記シート部材から引き剥がすステップとを有する。
【００１８】
上記目的を達成すべく、本発明のソケットは、前記シート部材と、前記シート部材の前記貫通孔に挿入されたコンタクトピンとを備える。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、成形によって複数の貫通孔が精度よく形成されたシート部材の提供を実現することができる。またそのようなシート部材を安定的にかつ安価に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】シート部材の構成を示す斜視図。
【図２】シート部材の構成を示す平面図。
【図３】シート部材の構成を示す模式的な断面図であって、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面を拡大して示す図。
【図４】図３のＩＶ部を図３よりもさらに拡大して示す模式的な部分断面図。
【図５】成形型の要部の模式的な断面図。
【図６Ａ】成形型を使用して中間製品である、成形バリが形成された状態のシート部材を製造するまでの工程を説明するための成形型の模式的な断面図。
【図６Ｂ】成形型を使用して中間製品である、成形バリが形成された状態のシート部材を製造するまでの工程を説明するための成形型の模式的な断面図。
【図６Ｃ】成形型を使用して中間製品である、成形バリが形成された状態のシート部材を製造するまでの工程を説明するための成形型の模式的な断面図。
【図６Ｄ】成形型を使用して中間製品である、成形バリが形成された状態のシート部材を製造するまでの工程を説明するための成形型の模式的な断面図。
【図６Ｅ】成形型を使用して中間製品である、成形バリが形成された状態のシート部材を製造するまでの工程を説明するための成形型の模式的な断面図。
【図７Ａ】シート部材の製造方法における成形バリの除去方法を説明するための図であって、保持孔の周辺部の模式的な断面図。
【図７Ｂ】シート部材の製造方法における成形バリの除去方法を説明するための図であって、保持孔の周辺部の模式的な断面図。
【図７Ｃ】シート部材の製造方法における成形バリの除去方法を説明するための図であって、保持孔の周辺部の模式的な断面図。
【図７Ｄ】シート部材の製造方法における成形バリの除去方法を説明するための図であって、保持孔の周辺部の模式的な断面図。
【図７Ｅ】シート部材の製造方法における成形バリの除去方法を説明するための図であって、保持孔の周辺部の模式的な断面図。
【図７Ｆ】シート部材の製造方法における成形バリの除去方法を説明するための図であって、保持孔の周辺部の模式的な断面図。
【図７Ｇ】シート部材の製造方法における成形バリの除去方法を説明するための図であって、保持孔の周辺部の模式的な断面図。
【図８】ＩＣソケットの構成を示す斜視図。
【図９】ＩＣソケットの構成を示す平面図。
【図１０】ＩＣソケットの構成を示す側面図。
【図１１】ＩＣソケットのコンタクトピン周辺を拡大して示す断面図。
【図１２Ａ】シート部材の変形例の構成を示す保持孔の周辺部の模式的な断面図。
【図１２Ｂ】シート部材の変形例の構成を示す保持孔の周辺部の模式的な断面図。
【図１２Ｃ】シート部材の変形例の構成を示す保持孔の周辺部の模式的な断面図。
【図１２Ｄ】シート部材の変形例の構成を示す保持孔の周辺部の模式的な断面図。
【図１２Ｅ】シート部材の変形例の構成を示す保持孔の周辺部の模式的な断面図。
【図１２Ｆ】シート部材の変形例の構成を示す保持孔の周辺部の模式的な断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態に係るシート部材及びその製造方法、並びにこのシート部材を用いたソケットについて、図面を参照しながら説明する。以下に示す実施の形態はあくまでも例示に過ぎず、以下の実施の形態で明示しない種々の変形や技術の適用を排除するものではない。また、実施の形態の各構成は、それらの趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。さらに、実施の形態の各構成は、必要に応じて取捨選択することができ、あるいは適宜組み合わせることができる。
【００２２】
なお、以下の実施形態では、本発明のシート部材及びその製造方法、並びにこれを用いたソケットの一実施形態として、ＩＣソケットに適用されるコンタクトピン保持用のシート部材を挙げて説明を行うこととする。
【００２３】
また、便宜的に、ＩＣソケットのコンタクトピンは、第１接触部が上側に、第２接触部が下側に配置されているものとして説明を行う。但し、コンタクトピン及びＩＣソケットの配置がそのような配置に限られないことは言うまでもない。
【００２４】
また、実施の形態を説明するための全図において、同一要素は原則として同一の符号を付し、その説明を省略することもある。
【００２５】
［１．シート部材の構成］
図１〜図４を参照して、コンタクトピン保持用のシート部材１の構成について説明する。図１は、シート部材１の構成を示す斜視図である。図２はシート部材１の構成を示す平面図である。図３はシート部材１の構成を示す模式的な断面図であって、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面を拡大して示す図である。図４は、図３のＩＶ部を図３よりもさらに拡大して示す部分断面図である。
【００２６】
図１〜図３に示すシート部材１は、平面視略正方形を呈した弾性を有するシート状の部材であり、後述する複数のコンタクトピン２００を保持する。そのため、シート部材１には、コンタクトピン２００の配置にあわせて、コンタクトピン２００を保持するための貫通孔である保持孔１０が複数設けられている。本実施形態では、図１及び図２に示すように、シート部材１の４辺のそれぞれに沿って列状に並んだ複数の保持孔１０が、シート部材１の内側から外側に４列に設けられている。
【００２７】
図３によく示されているように、シート部材１は、互いに反対方向を向く第１面１１と第２面１２とを有し、各保持孔１０は、第１面１１から第２面１２に至る貫通孔として形成される。本実施形態において、保持孔１０は、第１面１１側に形成された第１孔部１０−１と、第１孔部１０−１の下部に連設され第２面１２側に形成された第２孔部１０−２とから構成されており、第１孔部１０−１と第２孔部１０−２とは何れも横断面（保持孔１０の軸方向と直交する方向に切断された際の断面）が円形で同軸上に上下（シート部材１の厚さ方向）に並べられ、第２孔部１０−２は、第１孔部１０−１よりも大径に形成されている。この保持孔１０に、保持孔１０の形状と対応した形状を持つコンタクトピン２００が挿通されることになる。
【００２８】
なお、図１及び図３に示すように、シート部材１の各側面の第２面１２側に設けられた各凹所１２ａには、後述する枠部材２１の内周縁が組み込まれる。保持孔１０は、この内周縁を避けるよう、図１及び図２に示すように平面視においてシート部材１の各四辺から所定の距離をあけて設けられている。
【００２９】
シート部材１の材料は、弾性を有する樹脂材料であり、例えば天然ゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等である。また、これらの材料は、フィラー等を配合したコンパウンド品や、複数種の樹脂をアロイ化またはブレンド化した混合品であってもよい。これらの材料は、シート部材の用途や使用条件に応じて適宜選択される。
【００３０】
シート部材１の各種寸法の一例を挙げると、縦寸法Ｌ１は２０ｍｍ、横寸法Ｌ２は２０ｍｍ、厚さ寸法ｔは１ｍｍ、保持孔１０の第１孔部１０−１の内径Ｄ１は０．１ｍｍ、第２孔部１０−２の内径Ｄ２は０．２ｍｍである。
【００３１】
ここで、シート部材１は後述する成形型１００を使用して射出成形（以下単に「成形」ともいう）により製造される。この成形の際に、保持孔１０の開口部周辺、後述するように特に第１面１１における保持孔１０の開口部周辺にバリ（以下「成形バリ」という）が生る。そして、この成形バリを除去する工程で、図３に示すように、当該開口部周辺の全周又は一部に、成形バリを除去した痕の形状が残る領域１３が形成される。
【００３２】
すなわち、成形バリの除去は、後述するように粘着テープ８０によりシート部材１から成形バリの引き剥がすことにより行われる。成形バリの除去によってシート部材１から欠損する箇所を制御することができず、シート部材１において弾性部材が欠損する箇所が秩序無く形成され、これが成形バリを除去した痕の形状となる。
【００３３】
以下、成形バリを除去した痕の形状を「バリ除去痕」といい、領域１３を除去痕領域１３ともいう。
【００３４】
以下、図４を参照して除去痕領域１３についてさらに説明する。図４は、図３のＩＶ部、つまりシート部材１の保持孔１０の開口部周辺の断面を図３よりも拡大して示す模式的な部分断面図である。図４では、成形バリ１１ｘが除去される前の状態が二点鎖線で示されており、成形バリ１１ｘが除去された後の状態が実線で示されている。
【００３５】
除去痕領域１３は、保持孔１０の開口部周辺、詳しくは、第１面１１と保持孔１０を形成する内壁面（保持孔１０を画成する壁面）１０ａとの間に形成される。なお、保持孔１０とは、詳しくは、コンタクトピン２００に接してコンタクトピン２００を保持する内壁面１０ａ（別の表現をすれば後述するピン駒１０４の転写面）に囲まれた空間をいう。
【００３６】
第１面１１における保持孔１０の開口部周辺に生じた成形バリ１１ｘは、後述する粘着テープ８０を使用して除去される。詳しくは、粘着テープ８０の粘着面８１を、成形バリ１１ｘを含む範囲において第１面１１に貼り付けた後、この粘着テープ８０を第１面１１から引き剥がす。これにより、粘着テープ８０に貼り付いた成形バリ１１ｘの一部が引きちぎられる。このような粘着テープ８０の貼り付けと引き剥がしとにより、成形バリ１１ｘが根元まで、つまり第１面１１との境界Ｌｓまで除去される。成形バリ１１ｘを確実に根元まで除去しようとすると、境界Ｌｓよりも深い部分１１ｙまで除去される。このため、第１面１１と内壁面１０ａとの間（第１面１１と内壁面１０ａとを接続する部分）に、第１面１１よりも凹んだ凹形状の領域１３が形成される。
【００３７】
なお、粘着テープ８０の貼り付けと引き剥がしの工程は、１回の作業によりすべての成形バリが除去できることが好ましいが、１回の作業では不十分である場合には、同じ箇所に対して同様の作業を複数回繰り返すことで所望のバリ除去面を形成するようにしてもよい。また、この作業は、第１面１１の全体に対して一度に行ってもよいし、第１面１１を複数の小領域に区分し、この小領域毎に行って成形バリが除去された１枚のシート部材を完成させるようにしてもよい。
【００３８】
成形バリ１１ｘは、引きちぎられるようにして第１面１１から除去される（破断する）ため、弾性材の破断面つまり領域１３の表面が、不規則な起伏面（所謂ギザギザ面）となる。すなわち、当該領域１３が、バリ除去痕として不規則な起伏面を有する除去痕領域となる。不規則な起伏面とは、例えば、起伏を構成する凹凸の高さ（深さ）、及び／又は、起伏を構成する凹凸の配置が不規則な面である。なお、図４では除去痕領域１３のバリ除去痕の起伏を誇張して大きく示している。
【００３９】
また、別の表現をすれば、除去痕領域１３とは、少なくともその一部が、後述する成形型１００の転写面である第１面１１、及び、ピン駒１０４の転写面である保持孔１０の内壁面１０ａよりも表面粗さが粗い領域である。なお、表面粗さとしては、ＪＩＳＢ０６０１により定義される線粗さ、又は、ＩＳＯ２５１７８により定義される面粗さが例示される。
【００４０】
除去痕領域１３は、上述したように、第１面１１と内壁面１０ａとの間に凹形状に形成されるが、この凹形状は、第１面１１から保持孔１０に向かって窄まるすり鉢形状となることが多い。
【００４１】
なお、保持孔１０が多数ある場合には、粘着テープ８０で成形バリ１１ｘを除去する際、成形バリ１１ｘが形成されている領域よりも外側まで除去される保持孔１０が出現することがある。すなわち、成形バリ１１ｘが形成されていた箇所から外れた位置に、図４中に一点鎖線で示すように除去痕領域１３が存在する保持孔１０が少なくとも一つ以上存在することがある。このような大きな除去痕領域１３の存在は、多数ある保持孔１０の全てにおいて成形バリ１１ｘが確実に除去されていることの１つの指標となる。よって、敢えてこのような大きな除去痕領域１３を形成してもよい。
【００４２】
［２．シート部材の製造方法］
以下、成形型１００の構成を説明しつつ、シート部材１の製造方法について説明する。
【００４３】
先ず、図５を参照して成形型１００の構成について説明する。図５は、成形型１００の要部の模式的な断面図である。なお、図５は、後述するキャビティ１０３内にシート部材１の材料１Ｍを射出する直前の状態を示す。
【００４４】
成形型１００は、図５に示すように、上型１０１及び下型１０２を備える。上型１０１と下型１０２とを閉じた状態で、上型１０１の下面１０１ｓ２と、下型１０２の上面１０２ｓ１との間にキャビティ１０３が形成される。キャビティ１０３は、シート部材１の材料１Ｍが所定の射出圧で充填される空間である。本実施形態では、上型１０１は位置が固定され、下型１０２は、図示しない機構により図５における上下方向に移動可能とされており上型１０１に対して離接可能に構成されている。
【００４５】
なお、成形型１００では、シート部材１は、図１及び図３に示すシート部材１の状態と上下が反転された状態で形成される。すなわち、図１及び図３では上側となる第１面１１は、下型１０２の上面１０２ｓ１の転写面として形成される。一方、図１及び図３では下側となる第２面１２は、上型１０１の下面１０１ｓ２の転写面として形成される。
【００４６】
図５に示すように、キャビティ１０３内には、あらかじめ枠部材２１の内周縁が設置されており、射出成形によって形成されたシート部材１は、枠部材２１と一体化される。
【００４７】
また、成形型１００は、さらにピン駒１０４を複数備える。ピン駒１０４は、後述するコンタクトピン２００を保持するための保持孔１０を形成するためのものである。このため、ピン駒１０４のキャビティ１０３内に配置される部位の形状は、コンタクトピン２００のキャビティ１０３内に配置される部位の形状と同じ形状とされ、換言すれば保持孔１０の形状を反転した形状とされる。
【００４８】
各ピン駒１０４は、上から順に同軸に並ぶ軸長の比較的短い大径部１０４ａ、軸長の比較的長い中径部１０４ｂ、及び、軸長の比較的長い小径部１０４ｃから構成される。また、小径部１０４ｃの先端はテーパ形状とされている。
【００４９】
上型１０１には、このピン駒１０４をセットするための孔部１０１ｈが形成され、下型１０２には、型閉めに伴ってピン駒１０４の小径部１０４ｃの先端部分が挿入される孔部１０２ｈ（以下「ノゾキ孔１０２ｈ」ともいう）が形成されている。上型１０１の孔部１０１ｈは、大径孔部１０１ｈ１と、この大径孔部１０１ｈ１の下方に連設され、大径孔部１０１ｈ１よりも小径の中径孔部１０１ｈ２とを備えて構成される。下型１０２のノゾキ孔１０２ｈは、中径孔部１０１ｈ２よりも小径に構成される。同一のピン駒１０４が挿通される大径孔部１０１ｈ１，中径孔部１０１ｈ２及びノゾキ孔１０２ｈは同軸上に上下に並んでいる。
【００５０】
大径孔部１０１ｈ１は上型１０１の上面１０１ｓ１から凹設され、中径孔部１０１ｈ２は、大径孔部１０１ｈ１の下端から上型１０１の下面１０１ｓ２まで貫設されている。ピン駒１０４の大径部１０４ａは、大径孔部１０１ｈ１内に格納される。詳しくは、大径孔部１０１ｈ１と中径孔部１０１ｈ２との径の差によって形成される段差部に、ピン駒１０４の大径部１０４ａの下面が載置される。
【００５１】
ノゾキ孔１０２ｈは下型１０２の上面１０２ｓ１から下面１０２ｓ２まで貫設される。ノゾキ孔１０２ｈの上部には、ピン駒１０４の先端（下端）が挿入される。
【００５２】
上型１０１と下型１０２とを閉じてキャビティ１０３が形成されると、キャビティ１０３内には、ピン駒１０４の中径部１０４ｂの下部と小径部１０４ｃの上部とが配置される状態となり、このキャビティ１０３内に配置されたピン駒１０４の部位が、保持孔１０の反転形状となる。
【００５３】
次いで、図６Ａ〜図６Ｅを参照してシート部材の製造方法について説明する。詳しくは、成形バリ１１ｘが未だ除去されていない中間製品であるシート部材１′を製造するまでの方法（シート部材を、弾性材を成形型に充填して成形するステップ）を、成形バリ１１ｘが生じる理由と共に説明する。図６Ａ〜図６Ｅは、成形型１００を使用して中間製品である成形バリが形成された状態のシート部材１′を製造する工程を成形型の状態を用いて順を追って示した模式的な断面図である。なお、図６Ｃ〜６Ｅでは、要部拡大図を併せて示す。
【００５４】
図６Ａに示すように、上型１０１と下型１０２とが分離された状態（型開き状態）において、上型１０１に設けられた複数の孔部１０１ｈにそれぞれピン駒１０４が設置される。なお、各ピン駒１０４は、上型１０１上に配置された図示しない固定板により、この設置位置に固定されている。この状態ではピン駒１０４の先端（下端）は、下型１０２のノゾキ孔１０２ｈには未だ挿入されていない。そして、枠部材２１を下型１０２上に設置した後、この状態から、下型１０２を黒塗りの矢印で示すように上方に移動させて上型１０１に接近させる。
【００５５】
これにより、成形型１００は、上型１０１に設置されたピン駒１０４の先端が、下型１０２のノゾキ孔１０２ｈに挿入された状態となる。この状態から更に下型１０２を上方に移動させて成形型１００を完全に閉じることにより、図６Ｂに示すように、上型１０１と下型１０２との間にはキャビティ１０３が形成される。なお、この図６Ｂに示す状態は、図５に示す状態と同じ状態である。
【００５６】
ここで、上型１０１の孔部１０１ｈにはピン駒１０４が固定されるため、ピン駒１０４が孔部１０１ｈから外れることの無いよう、孔部１０１ｈとピン駒１０４とのクリアランスは小さく設定されている。一方、下型１０２のノゾキ孔１０２ｈとピン駒１０４とのクリアランスは、上型１０１の孔部１０１ｈとピン駒１０４とのクリアランスよりも広めに設定されている。これは、ピン駒１０４とノゾキ孔１０２ｈとの位置が厳密に一致していなくとも、下型１０２を上型１０１に接近させれば、ピン駒１０４の先端がノゾキ孔１０２ｈに入り込むようにするためである。
【００５７】
そして、図６Ｃに示すように、流動性を有するシート部材１の材料１Ｍ（弾性材）が、所定の射出圧で、キャビティ１０３に充填される。上述したように、下型１０２のノゾキ孔１０２ｈとピン駒１０４とのクリアランスＣＬは、上型１０１の孔部１０１ｈとピン駒１０４とのクリアランスよりも広めに設定されている。このため、キャビティ１０３に射出された材料１Ｍの一部がクリアランスＣＬ内に流れ込んでしまう。
【００５８】
材料１Ｍが硬化した後、図６Ｃに黒塗りの矢印で示すように上型１０１から下型１０２を離隔させ、図６Ｄに示すように下型１０２のノゾキ孔１０２ｈからピン駒１０４を抜き取ると、ノゾキ孔１０２ｈに流れ込んだ材料１Ｍが成形バリ１１ｘとなって現れる。
【００５９】
そして、図６Ｅに示すように、下型１０２から中間製品である成形バリが形成された状態のシート部材１′が枠部材２１と一体となって取り出される。
【００６０】
ここで、成形バリ１１ｘの厚さが厚すぎると、粘着テープ８０により成形バリ１１ｘを除去するのが困難になる。成形バリ１１ｘの厚さは、ピン駒１０４とノゾキ孔１０２ｈとのクリアランスＣＬの大きさに比例する。したがって、ピン駒１０４とノゾキ孔１０２ｈとのクリアランスＣＬは、上型１０１と下型１０２とを組み付ける際にピン駒１０４をノゾキ孔１０２ｈに挿入するのが困難にならない範囲で小さいほうが好ましい。
【００６１】
次に、シート部材１′のバリ除去方法を、図７Ａ〜図７Ｇを参照して説明する。図７Ａ〜図７Ｇは、成形バリ１１ｘの除去方法を説明するための図であって、保持孔１０の周辺部の模式的な断面図である。
【００６２】
上述の成形型１００を使用してシート部材１′を成形した後、成形型１００から取り出されたシート部材１′の成形バリ１１ｘは、図７Ａ〜図７Ｇに示す手順で粘着テープ８０（粘着材）を使用して除去される。なお、図７Ａ〜図７Ｇでは、１つの保持孔１０に着目してその成形バリ１１ｘを除去することが示されているが、粘着テープ８０のサイズは、シート部材１′に形成された全ての保持孔１０を覆うことのできる大きさ（例えば第１面１１と略同じ大きさ）である。
【００６３】
成形バリ１１ｘの除去は、図７Ａ〜図７Ｇに示すように、シート部材１′を、成形バリ１１ｘが顕著に形成される第１面１１を上にした状態で行われる。つまり、図６Ｅに示す成形型１００より取り出された状態から上下に反転された状態で、成形バリ１１ｘの除去が行われる。
【００６４】
先ず、図７Ａに示すように、粘着面８１をシート部材１′に向けた状態で粘着テープ８０がシート部材１′の上方に配置される。詳しくは、シート部材１′に形成された全ての保持孔１０の成形バリ１１ｘを上方から覆うように１枚の粘着テープ８０がシート部材１′の上方に配置される。
【００６５】
次いで、図７Ｂに示すように粘着テープ８０はシート部材１′に押しつけられて、シート部材１′に形成された全ての保持孔１０の成形バリ１１ｘに、１枚の粘着テープ８０が一斉に貼り付けられる（シート部材に粘着材を貼り付けるステップ）。なお、図７Ｂでは、粘着テープ８０の粘着面８１はシート部材１′には接していないが、実際には、粘着面８１は、シート部材１′に押しつけられ、成形バリ１１ｘとシート部材１′との両方に粘着する。粘着テープ８０が透明であれば、粘着テープ８０と、成形バリ１１ｘ及びシート部材１′との間に空気層が無くなったこと、すなわち粘着テープ８０が成形バリ１１ｘ及びシート部材１′に隙間無く貼り付いたことを視認できる。
【００６６】
次いで、図７Ｃに示すように、シート部材１′から粘着テープ８０が剥がされる。ここで、粘着テープ８０の粘着力は、シート部材１′を形成する弾性材の種類や成形バリ１１ｘの予想される厚さ等を考慮して、成形バリ１１ｘを引きちぎって除去できる強さに調整されている。したがって、シート部材１′から粘着テープ８０が剥がされると、成形バリ１１ｘの一部（この例では殆どの部分）１１ｘ−１（以下「除去バリ１１ｘ−１」という）が粘着テープ８０に貼り付いた状態で、シート部材１′から除去される（粘着材をシート部材から引き剥がすステップ）。
【００６７】
この図７Ｃに示されるシート部材１′の状態は大部分の成形バリ１１ｘ（除去バリ１１ｘ−１）が除去され、保持孔１０の開口部に微小な凸部（成形バリ１１ｘ−２）が残留している状態であるが、この程度の残留バリであればシート部材として許容されるという場合（すなわち、成形バリ１１ｘ−２の残留が製品として許容される場合）には、この段階でバリ除去作業を終了してもよい。この場合、この図７Ｃに示される状態のシート部材１′を完成品とすればよい。
【００６８】
また、微小な凸部の残留が許容されない場合には、さらに図７Ｄ〜図７Ｆに示される以降のバリ除去作業を行うことで、シート部材としての完成品とする。この場合、粘着テープ８０は、新しい（未使用の）粘着テープ８０に交換されて、バリ除去作業が行われる。この新しい粘着テープ８０は、図７Ｄに示すように、粘着面８１をシート部材１′に向けた状態でシート部材１′の上方に配置される。
【００６９】
次いで、図７Ｅに示すように、粘着テープ８０がシート部材１′に貼り付けられる。
【００７０】
次いで、図７Ｆに示すように、シート部材１′から粘着テープ８０が剥がされると、成形バリ１１ｘ−２の一部をなす成形バリ１１ｘ−３が粘着テープ８０に貼り付いた状態で、シート部材１′から除去され、シート部材１′には微小な成形バリ１１ｘ−４が残る。
【００７１】
以下、図７Ｄ，図７Ｅ及び図７Ｆに示される前述の手順が、粘着テープ８０に成形バリが付着しなくなるまで（あるいは、成形バリの付着量が所定量未満となるまで、若しくは、目視により粘着テープ８０に貼り付いた成形バリを確認できなくなるまで）繰り返される。そして、図７Ｇに示されるようにシート部材１が完成する。このシート部材１には、成形バリ１１ｘが除去された結果、上述したように除去痕領域１３が形成される。
【００７２】
この粘着テープ８０により成形バリを除去する際に、第１面１１の除去痕領域１３の周辺に、粘着テープ８０の粘着面８１が１回または複数回貼り付けられるので、この第１面１１の除去痕領域１３の周辺には、粘着面８１を形成する粘着成分が付着する場合がある。
【００７３】
なお、成形バリ１１ｘを除去する方法は、上述のように１枚の粘着テープ８０をシート部材１′の全ての保持孔１０に一斉に貼り付ける方法に限定されない。シート部材１′の全ての保持孔１０の内の一部（１つだけを含む）の保持孔１０に、１枚の粘着テープ８０を貼り付け、この粘着テープ８０をシート部材１′から引き剥がすことで当該一部の保持孔１０の成形バリ１１ｘを除去するようにしてもよい。この場合、粘着テープ８０を貼り付ける位置、すなわち成形バリ１１ｘを除去する領域を順次変更していくことで、シート部材１′の全ての保持孔１０の成形バリ１１ｘが除去される。
【００７４】
このように、シート部材１′において成形バリ１１ｘを除去する領域を順次変更していく場合には、粘着テープ８０の貼り付け及び引き剥がしの回数は、当該領域によって異なる場合がある。つまり、成形バリ１１ｘ毎にその大きさ、厚さ、形状などが異なるので、成形バリ１１ｘの除去に必要な粘着テープ８０の貼り付け及び引き剥がしの回数も当該領域によって異なる場合がある。そして、粘着テープ８０を引き剥がすことにより、成形バリ１１ｘの形成されていない領域について、微細な凹凸が除去されて平滑化され、或いは、第１面１１から弾性材が微小に除去されて、表面粗さが変化する。すなわち、当該領域によって粘着テープ８０の引き剥がしの回数が異なるので、同じ第１面１１の中でも表面粗さが異なる領域が形成される場合がある。同様の理由により、第１面１１のみ粘着テープ８０を使用して成形バリ１１ｘを除去する場合には、第１面１１と第２面１２とで表面粗さが異なる場合もある。
【００７５】
成形型１００についてさらに説明する。
【００７６】
先ず、上型１０１及び下型１０２について説明する（図５参照）。上型１０１及び下型１０２に使用する材料は比較的硬度が低い金属材料が好ましい。硬度が低い材料であれば、ピン駒１０４を取り付けるための孔部１０１ｈ，１０２ｈをドリル加工により上型１０１及び下型１０２に容易に形成できる。このような比較的硬度が低い材料とは、例えば、アルミニウム，アルミニウム合金又はステンレス鋼などである。アルミニウム合金としては、Ａｌ−Ｍｇ合金，Ａｌ−Ｚｎ−Ｍｇ合金又はＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ−Ｃｕ合金が例示される。ステンレス鋼としてはＳＵＳ３０１，ＳＵＳ３０４又はＳＵＳ３１６が例示される。
【００７７】
次に、ピン駒１０４について説明する。ピン駒１０４に使用する材料は、その線膨張係数が、上型１０１及び下型１０２の線膨張係数よりも小さい材料が好ましく、また、旋盤加工可能な金属が好ましい。
【００７８】
キャビティ１０３に高温の材料１Ｍが充填された高温状態では、孔部１０１ｈ，１０２ｈならびにピン駒１０４はそれぞれ熱膨張する。ピン駒１０４が上型１０１及び下型１０２の線膨張係数よりも小さいと、ピン駒１０４の径の増加、すなわち成形品であるシート部材１の保持孔１０の形成にかかわる部分の形状の変化よりも、成形型１００の孔部１０１ｈ，１０２ｈの膨張による内径の減少、すなわち成形型１００の形状の変化のほうがより大きくなることとなる。この結果、シート部材１の保持孔１０の形状を、設計上の形状から大きく異ならせることなく、孔部１０１ｈ，１０２ｈとピン駒１０４とのクリアランスＣＬを小さくできる。上型１０１の孔部１０１ｈとピン駒１０４とのクリアランスＣＬが小さくなると、ピン駒１０４と上型１０１とが締まり嵌めのような状態となり、その結果として、上型１０１とピン駒１０４とが強固に結合することになる。また、下型１０２のノゾキ孔１０２ｈとピン駒１０４とのクリアランスＣＬが小さくなると、成形バリ１１ｘの原因となるクリアランスＣＬへの材料１Ｍの入り込みが軽減される。よって、成形バリ１１ｘが薄くかつ小さくなり、成形バリ１１ｘを除去し易くなる。
【００７９】
このような線膨張係数及び加工性の条件を満たす材料としては、例えば、ステンレス鋼，炭素鋼，炭素工具鋼又はハイス鋼（高速度鋼）のような鋼材、タングステンが例示される。ステンレス鋼としては、ＳＵＳ４０３，ＳＵＳ４１０又はＳＵＳ４３０が例示される。炭素鋼としてはＳ５０Ｃが例示される。炭素工具鋼としては、ＳＫ１２０（旧ＪＩＳ規格のＳＫ２），ＳＫ９５（旧ＪＩＳ規格のＳＫ４），ＳＫ８５（旧ＪＩＳ規格のＳＫ５）が例示される。ハイス鋼としてはＳＫＨ２，ＳＫＨ５０が例示される。
【００８０】
［３．ＩＣソケットの構成］
本発明のシート部材を使用したＩＣソケットの一実施形態の構成と、その使用方法とを、図８〜図１１を参照して説明する。図８は、本発明の一実施形態のＩＣソケット２の構成を示す斜視図である。図９は、本発明の一実施形態のＩＣソケット２の構成を示す平面図である。図１０は、本発明の一実施形態のＩＣソケット２の構成を示す側面図である。図１１は、本発明の一実施の形態のＩＣソケット２のコンタクトピン２００の周辺を拡大して示す断面図である。なお、図１０では便宜上一部のコンタクトピン２００のみを示す。
【００８１】
ＩＣソケット２は、図８〜図１０に示すように、ソケット本体２０と、枠部材２１とを備えている。
【００８２】
枠部材２１は、ソケット本体２０の四辺を囲う四角枠形状の部材である。枠部材２１の内周縁は、上述したように成形時にシート部材１に組み付けられる。これにより、ソケット本体２０の外周には枠部材２１が取り付けられている。
【００８３】
図１１に示すように、ＩＣソケット２は、配線基板４上に配置され、上面にＩＣパッケージ３が収容される。ＩＣパッケージ３には、略方形状のパッケージ本体３０の下面の周縁部の所定の範囲に、端子としての球状の半田ボール３１が複数設けられている。
【００８４】
ＩＣソケット２は、ＩＣパッケージ３の半田ボール３１と、配線基板４の電極（図示省略）とを電気的に接続するように構成されている。ＩＣソケット２は、例えばＩＣパッケージ３に対する導通試験の試験装置などに用いられる。
【００８５】
ＩＣソケット２のソケット本体２０について具体的に説明する。ソケット本体２０は、ＩＣパッケージ３を収容するように構成されており、図８〜図１１に示すように、シート部材１と、このシート部材１に複数設けられた保持孔１０のそれぞれに挿通され保持されたコンタクトピン２００とを備えて構成される。
【００８６】
各コンタクトピン２００は、シート部材１の第１面１１側に保持される略棒状（ここでは略円柱形状）の第１接触子２０１と、シート部材１の第２面１２側に保持されて第１接触子２０１よりも外径が大きい略筒状（ここでは略円筒形状）の第２接触子２０２とを有している。コンタクトピン２００の外径は例えば０．２ｍｍ程度である。
【００８７】
第１接触子２０１は、シート部材１の第１面１１から、保持孔１０の第１孔部１０−１に挿入され、上方の半田ボール３１に接触する。第２接触子２０２は、シート部材１の第２面１２から、保持孔１０の第２孔部１０−２に挿入され、下方の配線基板４の電極と接触する。この際、第１接触子２０１の下端部は、筒状の第２接触子２０２の内部空間に挿入されて第２接触子２０２の内周面２０２ｃに接触して摺動可能となっている。このような構成により、ＩＣパッケージ３の半田ボール３１と配線基板４の電極とが第１接触子２０１及び第２接触子２０２を介して電気的に接続するように構成されている。
【００８８】
第１接触子２０１は、略円柱形状の第１挿入部２０１ａとその一端に設けられて第１挿入部２０１ａよりも径が大きく比較的薄い円盤形状の第１接触部２０１ｂとを一体に有している。第１挿入部２０１ａと第１接触部２０１ｂとは何れも金属製である。さらに、第１接触部２０１ｂの上面には、所定形状の突起部２０１ｃが複数形成されている。本実施形態では、各突起部２０１ｃの形状は略円錐形状である。これらの突起部２０１ｃがＩＣパッケージ３の半田ボール３１にそれぞれ接触する。
【００８９】
第２接触子２０２は、円筒部２０２ａと、第２接触部２０２ｂとを備えて構成される。円筒部２０２ａと第２接触部２０２ｂとは何れも金属製である。円筒部２０２ａは、その内周面２０２ｃが第１接触子２０１の第１挿入部２０１ａと接触して摺動可能となる大きさ及び形状に形成されている。第２接触部２０２ｂは、円筒部２０２ａにおけるシート部材１の第２面１２側の端部が折り曲げられて形成された構成となっている。第２接触部２０２ｂと第１接触部２０１ｂとの間隔は、シート部材１自体の持つ弾性及び図１１における上下からの押圧力により可変である。
【００９０】
そして、シート部材１の第１面１１側に形成された第１孔部１０−１に第１接触子２０１の第１挿入部２０１ａが挿入される。また、反対側の第２面１２側に形成された第２孔部１０−２に第２接触子２０２の円筒部２０２ａが挿入される。
【００９１】
そして、第１接触子２０１の第１接触部２０１ｂがシート部材１の第１面１１側に露出した状態（ここでは第１接触部２０１ｂの下面がシート部材１の第１面１１に載置された状態）となる。また、円筒部２０２ａの上端が、第１孔部１０−１と第２孔部１０−２との間の段差に当接して第２接触部２０２ｂがシート部材１の第２面１２に露出した状態となる。
【００９２】
ここで、ＩＣソケット２の使用方法について図１１を参照して説明する。まず、配線基板４の端子に第２接触子２０２の第２接触部２０２ｂが接触するようにＩＣソケット２を配置する。次に、ＩＣパッケージ３の半田ボール３１が、第１接触部２０１ｂの突起部２０１ｃに接触するようにＩＣパッケージ３をＩＣソケット２のシート部材１の第１面１１に収容する。
【００９３】
その状態で自動機等によってＩＣパッケージ３を下方に押圧すると、図１１の状態から、ＩＣパッケージ３の半田ボール３１によって第１接触部２０１ｂが下方に押圧される。それに伴い、第１接触部２０１ｂの下面によって、弾性力を有するシート部材１が押圧される。これにより、このシート部材１が、第１接触部２０１ｂの下面と、第１孔部１０−１と第２孔部１０−２との間の段差面との間で圧縮変形され、元に戻ろうとする反発力、すなわち上方に向かう反発力を有した状態になる。同時に、シート部材１における第１孔部１０−１と第２孔部１０−２との間の段差面によって、第２孔部１０−２に挿入されている円筒部２０２ａが下方に押圧される。
【００９４】
その結果、シート部材１の上方への反発力により、第１接触部２０１ｂとＩＣパッケージ３の半田ボール３１との所定の接圧が確保される。同時に、第１孔部１０−１と第２孔部１０−２との間の段差面による円筒部２０２ａの下方への押圧により、第２接触部２０２ｂと配線基板４の電極との所定の接圧が確保される。
【００９５】
第１接触子２０１と第２接触子２０２との接続後、ＩＣパッケージ３の導通試験が行われる。
【００９６】
［４．作用効果］
本発明の一実施形態によれば次のような作用効果が得られる。
【００９７】
成形型１００を使用してシート部材１を製造することにより、複数の保持孔１０（貫通孔）をもつシート部材１を精度よく効率的に製造することができる。また、保持孔１０の開口部周辺に生じた成形バリ１１ｘを、粘着テープ８０を使用した簡便な方法により除去することができるので、成形バリ１１ｘを除去するための特別な設備が不要となる。したがって、本発明の一実施形態によれば、成形バリ１１ｘを除去して、射出成形によって精度よく保持孔が形成されたシート部材１の提供を実現することができる。また、特別な設備を使用せずに粘着テープ８０を使用して成形バリ１１ｘを除去することができるので、成形によって精度よく保持孔１０が形成されたシート部材１を、安定的にかつ安価に製造することができる。
【００９８】
また、シート部材１をＩＣソケットに用いる場合には、コンタクトピン２００を挿通する保持孔１０が微小であるため、保持孔１０の周囲の成形バリ１１ｘを研磨による表面処理で除去するのは、保持孔１０が目詰まりするおそれがあることから好ましくなく、また、研磨による表面処理は、成形バリ１１ｘをシート部材１から除去するための処理としては不向きであり、保持孔１０の周辺を損壊させてしまうおそれがあった。これに対し、粘着テープ８０を使用したバリの除去は、粘着テープ８０の粘着力を適正に調整することで、上述したように保持孔１０の微小な成形バリ１１ｘのみを実質的に除去できる。よって、本発明の一実施形態によれば、保持孔１０の周辺を損壊させることなくＩＣソケット２用のシート部材１の成形バリ１１ｘの除去、ひいてはＩＣソケット２用のシート部材１の製造に大きな効果を奏する。
【００９９】
さらに、保持孔１０の周辺を第１面１１よりも凹んだ凹形状とすることで、保持孔１０の周辺の成形バリ１１ｘを取り残すことなく確実に除去することができる。
【０１００】
［５．変形例］
（１）シート部材の形状は、前記実施形態の形状に限定されず種々変更できる。以下、図１２Ａ〜図１２Ｅを参照して、シート部材の変形例の構成を説明する。図１２Ａ〜図１２Ｅは、シート部材の変形例の構成を示す保持孔の周辺部の模式的な断面図である。なお、図１２Ａ〜図１２Ｅでは、除去痕領域は省略している。また、図１２Ｆでは、第１孔部１０Ｆ−１の拡大図を併せて示す。
【０１０１】
シート部材の各変形例は、前記実施形態の保持孔１０の第１孔部１０−１の形状（図３参照）が異なる。したがって、各変形例について、前記実施形態の第１孔部１０−１に相当する部分に関してだけ説明する。
【０１０２】
図１２Ａに示すシート部材１Ａにおける保持孔１０Ａでは、第１孔部１０−１の軸方向の略中央に鼓形状の空間である大径部１０Ａ−１が形成されている。鼓形状とは、円柱部と、この円柱部の上下に一体に設けられた背の低い円錐台部からなる形状である。
【０１０３】
図１２Ｂに示すシート部材１Ｂにおける保持孔１０Ｂでは、第１孔部１０−１の軸方向の略中央に上向きに拡径するクサビ形状（すなわち上向きに拡径する円錐台形状）の空間である大径部１０Ｂ−１が形成されている。
【０１０４】
図１２Ｃに示すシート部材１Ｃにおける保持孔１０Ｃでは、第１孔部１０−１の軸方向の略中央に太鼓形状の空間である大径部１０Ｃ−１が形成されている。太鼓形状とは、下方に拡径する円錐台部が上側に、下方に縮径する円錐台部が下側に並んだ形状であり、全体的には上下中央が横方向に膨らんだ形状である。
【０１０５】
図１２Ｄに示すシート部材１Ｄにおける保持孔１０Ｄでは、前記実施形態の保持孔１０の第１孔部１０−１に相当する箇所が、逆太鼓形状の空間に形成されている。逆太鼓形状とは、上方が絞られた絞り部１０Ｄ−１，中央が絞られた絞り部１０Ｄ−２及び円柱部１０Ｄ−３が上からこの順に並べて連設された回転体形状をいう。なお、絞り部１０Ｄ−１，絞り部１０Ｄ−２及び円柱部１０Ｄ−３からなる逆太鼓形状の空間は、前記実施形態の保持孔１０の第１孔部１０−１に比べると径が大きく、全体的に第２孔部１０−２と同程度の径となっている。
【０１０６】
図１２Ｅに示すシート部材１Ｅにおける保持孔１０Ｅでは、前記実施形態の保持孔１０の第１孔部１０−１に相当する箇所が、全勾配形状の空間、すなわち上方になるにしたがって縮径する円錐台形状部１０Ｅ−１とされている。
【０１０７】
図１２Ｆに示すシート部材１Ｆでは、前記実施形態の保持孔１０の第１孔部１０−１に相当する第１孔部１０Ｆ−１が、宿径部１０Ｆ−２と拡径部１０Ｆ−３とが軸方向に交互に並ぶ回転体形状の空間とされている。
【０１０８】
なお、保持孔１０Ａ〜１０Ｆを形成するためのピン駒のキャビティ１０３内に位置する部位、及び、コンタクトピンの保持孔１０Ａ〜１０Ｆ内に位置する部位の各外形は、保持孔１０Ａ〜１０Ｆを取り囲む壁面と同様の形状とされる。また、保持孔１０Ａ〜１０Ｆからピン駒を外す際及びコンタクトピンを挿通する際には、シート部材１Ａ〜１Ｆの弾性を利用して保持孔１０Ａ〜１０Ｆを拡げることにより、ピン駒を外したり、コンタクトピンを挿通したりすることができる。
【０１０９】
このようなシート部材１Ａ〜１Ｆの構成は、保持孔１０Ａ〜１０Ｆの軸方向の位置によって横断面形状が異なるので、保持孔１０Ａ〜１０Ｆに対応した形状のコンタクトピンを挿通した際には、コンタクトピンの軸方向の移動を抑制できる。すなわち、保持孔１０Ａ〜１０Ｆとコンタクトピンとの軸方向の位置による横断面形状の相異により、コンタクトピンと保持孔１０Ａ〜１０Ｆとが、軸方向に対し互いに係止するようになるので、コンタクトピンの軸方向の移動を抑制できる。
【０１１０】
（２）この他、保持孔の横断面形状を、Ｄ字形状のような非円形としてもよい。この場合、コンタクトピンの軸廻りの回転を抑制できる。
【０１１１】
（３）前記実施形態では、シート部材１′の符合１１で示される面を本発明の第１面として説明したが、シート部材１′の符合１２で示される面を本発明の第１面として粘着テープ８０による成形バリの除去を行うようにしてもよい。
【０１１２】
（４）前記実施形態では、除去痕領域１３の形状を、第１面１１よりも凹んだ凹形状として説明した。しかし、コンタクトピン２００によるＩＣパッケージ３と配線基板４との電気的な接続に支障をきたさない程度であれば、成形バリ１１ｘが僅かに残って、除去痕領域１３が、第１面１１又は第２面１２よりも凸となる凸形状であってもよい。或いは、除去痕領域１３の表面形状が、境界Ｌｓ（図４参照）を中心とする凹凸形状、つまり第１面１１又は第２面１２と略面一となる形状であってもよい。
【０１１３】
（５）粘着テープ８０を、シート部材１′の表面上を転動させることで成形バリ１１ｘを除去するようにしてもよい。具体的には、筒状又は円柱状の保持部材の外周面に、粘着面８１を外側にして粘着テープ８０を取り付け、粘着テープ８０を保持部材と一体にシート部材１′上を転動させればよい。粘着テープ８０をシート部材１′上で転動させることで、粘着テープ８０の一部がシート部材１′の成形バリ１１ｘに貼り付けられる（シート部材に粘着材を貼り付けるステップ）。粘着テープ８０をシート部材１′上でさらに転動させることで、粘着テープ８０の当該一部がシート部材１′から引きはがされ、成形バリ１１ｘが除去される（粘着材をシート部材から引き剥がすステップ）。
【０１１４】
（６）前記実施形態では、本発明のコンタクトピン保持用のシート部材及びその製造方法、並びにコンタクトピン保持用のシート部材を用いたソケットを、ＩＣパッケージの検査用のＩＣソケットに適用したが、本発明は、これに限られるものではなく、他の電気部品の検査用又はコネクタ等その他の種々の用途に適用できる。
【産業上の利用可能性】
【０１１５】
本発明は、コンタクトピン保持用のシート部材及びその製造方法、並びにコンタクトピン保持用のシート部材を用いたソケットとして特に好適に利用される。
【符号の説明】
【０１１６】
１,１Ａ〜１Ｆ  シート部材
１′  シート部材（中間製品）
１Ｍ  材料（弾性材）
２  ＩＣソケット
３  ＩＣパッケージ
４  配線基板
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ，１０Ｅ，１０Ｆ  保持孔
１０−１  第１孔部
１０−２  第２孔部
１０Ａ−１，１０Ｂ−１，１０Ｃ−１  大径部
１０Ｄ−１，１０Ｄ−２  絞り部
１０Ｄ−３  円柱部
１０Ｅ−１  円錐台形状部
１０Ｆ−１  第１孔部
１０Ｆ−２  宿径部
１０Ｆ−３  拡径部
１０ａ  内壁面
１１  第１面
１１ｘ，１１ｘ−１，１１ｘ−２，１１ｘ−３，１１ｘ−４  成形バリ
１１ｙ  境界Ｌｓよりも深い部分
１２  第２面
１２ａ  凹所
１３  除去痕領域
２０  ソケット本体
２１  枠部材
３０  パッケージ本体
３１  半田ボール
８０  粘着テープ（粘着材）
８１  粘着面
１００  成形型
１０１  上型
１０１ｈ  孔部
１０１ｈ１  大径孔部
１０１ｈ２  中径孔部
１０１ｓ１  上面
１０１ｓ２  下面
１０２  下型
１０２ｈ  孔部（ノゾキ孔）
１０２ｓ１  上面
１０２ｓ２  下面
１０３  キャビティ
１０４  ピン駒
１０４ａ  大径部
１０４ｂ  中径部
１０４ｃ  小径部
２００  コンタクトピン
２０１  第１接触子
２０１ａ  第１挿入部
２０１ｂ  第１接触部
２０１ｃ  突起部
２０２  第２接触子
２０２ａ  円筒部
２０２ｂ  第２接触部
２０２ｃ  内周面
ＣＬ  クリアランス
Ｌ１  縦寸法
Ｌ２  横寸法
Ｌｓ  境界
ｔ  厚さ寸法
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
2020093452.tif 000009
【図６Ｃ】
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【図６Ｄ】
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【図６Ｅ】
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【図７Ａ】
2020093452.tif 000013
【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図７Ｅ】
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【図７Ｆ】
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【図７Ｇ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１２Ｃ】
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【図１２Ｄ】
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【図１２Ｅ】
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【図１２Ｆ】
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