(57)【要約】【課題】１つの受光素子で複数の吐出口から吐出される液滴を安定して確実に検出する。【解決手段】複数の吐出口が配列線に沿って配された液滴吐出手段と、それぞれの吐出口から吐出される液滴の吐出タイミングを制御する制御手段と、前記配列線に対して所定の間隔を保って前記配列線と平行に液滴検知光線を照射する１つの光線照射手段と、前記液滴検知光線を受光する１つの受光手段と、を有し、前記制御手段は、隣接する吐出口どうしの間に所定のズレ時間を保って、前記配列線上の一端側の吐出口から他端側の吐出口に向かって順に前記液滴を吐出する動作を複数サイクル繰り返し、かつ、任意の吐出口から吐出される液滴の吐出間隔時間が、１サイクル分の前記ズレ時間の合計時間よりも長くなるように制御する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吐出口が配列線に沿って配された液滴吐出手段と、それぞれの吐出口から吐出される液滴の吐出タイミングを制御する制御手段と、前記配列線に対して所定の間隔を保って前記配列線と平行に液滴検知光線を照射する１つの光線照射手段と、前記液滴検知光線を受光する１つの受光手段と、を有し、
前記制御手段は、隣接する吐出口どうしの間に所定のズレ時間を保って、前記配列線上の一端側の吐出口から他端側の吐出口に向かって順に前記液滴を吐出する動作を複数サイクル繰り返し、かつ、任意の吐出口から吐出される液滴の吐出間隔時間が、１サイクル分の前記ズレ時間の合計時間よりも長くなるように制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記光線照射手段は、前記液滴の構成物を破壊する波長の光成分を取り除く光フィルターを備えていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記制御手段は、任意の吐出口に対する液滴の吐出命令信号と、前記受光手段から出力される液滴検出信号との時間差である検出時間に基づいて、液滴吐出速度を算出することを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記液滴吐出速度に基づいて、前記液滴吐出手段を構成する駆動部に印加する駆動電圧を補正し、全ての吐出口から吐出される液滴の吐出速度が均一になるように制御することを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記制御手段は、任意の吐出口に対して吐出動作をさせた後、前記検出時間が経過しても前記受光手段が液滴を検出しない場合、当該吐出口は液滴が不吐出であったことを記録することを特徴とする請求項３または４に記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット方式の液滴吐出装置において、吐出された複数の液滴を同時に検知する方法として、例えばレーザ光線を液滴に当て、生じた散乱光を受光手段で検出する方法が知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【０００３】
しかしながら、散乱光によって液滴を検出する方法では、同一のタイミングで吐出した複数の液滴を検知するためには、レーザー光線の光路上から外れた位置、即ち散乱光が向かう方向に、同時に吐出する液滴の数以上の受光素子を設ける必要があり、コストが掛かり、装置が大型化する懸念がある。
【０００４】
一方、レーザー光線の光路上に１つの受光素子を設け、光路上を液滴が通過することによるレーザ光線の一時的な入力遮断を検出することで液滴を検出する方法も知られており、液滴の検出を１つの受光素子で行うために、低コストで小型化が可能な液滴吐出装置にすることができる。
【０００５】
このように、液滴の検出を１つの受光素子で行う方法では、複数の液滴を互いに所定の時間差（ズレ時間）を確保して順次吐出させる必要がある。しかしながら、吐出口における液体表面のメニスカスは、液滴を吐出した直後から一定の時間、上下に振動しているため、液滴の吐出間隔が短いと吐出タイミングにズレが生じやすく、１つの受光素子で複数の吐出口から吐出される液滴を安定して検出することが難しいという課題があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、複数の吐出口から吐出された複数の液滴を、１つの受光部で安定して確実に検出することができる液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための手段としての本発明の液滴吐出装置は、複数の吐出口が配列線に沿って配された液滴吐出手段と、それぞれの吐出口から吐出される液滴の吐出タイミングを制御する制御手段と、前記配列線に対して所定の間隔を保って前記配列線と平行に液滴検知光線を照射する１つの光線照射手段と、前記液滴検知光線を受光する１つの受光手段と、を有し、前記制御手段は、隣接する吐出口どうしの間に所定のズレ時間を保って、前記配列線上の一端側の吐出口から他端側の吐出口に向かって順に前記液滴を吐出する動作を複数サイクル繰り返し、かつ、任意の吐出口から吐出される液滴の吐出間隔時間が、１サイクル分の前記ズレ時間の合計時間よりも長くなるように制御する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、１つの受光素子で複数の吐出口から吐出される液滴を安定して確実に検出することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、本発明の液滴吐出装置の一例を示す概略図である。
【図２】図２は、図１の液滴吐出手段を下側から見た時の平面図である。
【図３】図３は、本発明の液滴吐出装置における液滴の検出動作を示す模式図である。
【図４】図４は、吐出口における溶液のメニスカスの振動振幅の時間推移を示す説明図である。
【図５】図５は、制御手段が駆動部を制御する流れを示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態の液滴吐出装置について説明する。なお、以下に示す各実施形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。また、以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために、便宜上、要部となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
【００１１】
図１は、本発明の一実施形態の液滴吐出装置の一例を示す概略図である。
図２は、図１の液滴吐出手段を下側から見た時の平面図である。
本実施形態の液滴吐出装置１は、液滴吐出手段１０、液滴検出手段２０、及び制御手段３０を有している。
【００１２】
液滴吐出手段１０は、液滴Ｄを形成する液体Ｒが貯留される略立方体の液体保持部１１と、この液体保持部１１の底面１１ａに形成された複数の吐出口（ノズル）１２と、液体保持部１１の上部で、それぞれの吐出口に対応する位置に形成された複数の駆動部１３と、この駆動部１３に接するように形成された膜状部材１４と、を備えている。
【００１３】
吐出口１２は、例えば円形の貫通口からなり、その開口径は、液体Ｒが表面張力によって吐出口１２から流出しない程度とされている。本実施形態では、液体保持部１１の底面１１ａの長手方向に沿って設定された仮想線である配列線Ｌ１に沿って、互いに等間隔に３つの吐出口１２ａ，１２ｂ，１２ｃが形成されている。
なお、吐出口１２の形成個数は３つに限定されるものではなく、２つ以上、任意の個数の吐出口１２が形成されていればよい。
【００１４】
駆動部１３は、例えばピエゾ素子などから構成され、隣接して形成された膜状部材１４を局部的に振動させて、液体保持部１１に貯留された液体Ｒに圧力を加えることによって、液体Ｒを吐出口１２から液滴Ｄとして吐出させる。本実施形態では、駆動部１３は、３つの駆動部１３ａ，１３ｂ，１３ｃからなり、吐出口１２ａ，１２ｂ，１２ｃそれぞれ対応して、液滴Ｄを吐出させる。こうした駆動部１３ａ，１３ｂ，１３ｃは、制御手段３０から出力される吐出命令信号によって、それぞれ独立して吐出動作が行われる。
【００１５】
駆動部１３の形状としては、特に制限はなく、膜状部材の形状に合わせて適宜設計することができる。駆動部１３としては、例えば圧電素子を適用することができる。圧電素子としては、例えば、圧電材料の上面及び下面に電圧を印加するための電極を設けた構造とすることができる。この場合、駆動部１３から圧電素子の上下電極間に電圧を印加することによって膜の面横方向に圧縮応力が加わり、膜状部材１４を上下方向に振動させることができる。
【００１６】
駆動部１３を圧電素子とした場合の圧電材料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）、ビスマス鉄酸化物、ニオブ酸金属物、チタン酸バリウム、又はこれらの材料に金属や異なる酸化物を加えたものなどが挙げられる。これらの中でも、ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）が好ましい。
【００１７】
膜状部材１４は、液体保持部１１に保持された液体Ｒを振幅運動による振動により吐出口１２から液滴Ｄとして吐出させる部材である。本実施形態のように液滴吐出手段１０がクローズヘッドの場合には、膜状部材１４は液体保持部１１の上端部分に固定されている。なお、液滴吐出手段１０をオープンヘッドにする場合には、膜状部材１４は液体保持部１１の下端部に固定すればよい。液体保持部１１に保持された液体Ｒは、膜状部材１４の振動により吐出口１２から液滴Ｄとして吐出される。
【００１８】
膜状部材１４の平面形状、大きさ、材質、及び構造については特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。膜状部材１４の平面形状としては、液体保持部１１の形状に合わせればよく、例えば、円形、楕円形、長方形、正方形、菱形などが挙げられる。
【００１９】
膜状部材１４の材質としては、柔らかすぎると膜状部材が簡単に振動し、吐出しないときに直ちに振動を抑えることが困難であるため、ある程度の硬さを有する材質を用いることが好ましい。膜状部材１４の材質としては、例えば、金属、セラミックス、高分子材料などが挙げられ、具体的には、ステンレス鋼、ニッケル、アルミニウム、二酸化ケイ素、アルミナ、ジルコニアなどが挙げられる。
【００２０】
液体保持部１１は、液滴Ｄを形成するための液体Ｒを貯留（保持）する部材であり、液滴吐出手段１０をオープンヘッドにする場合には、液体保持部１１の上部側に大気開放部を形成すればよい。
【００２１】
液体保持部１１は、形状、大きさ、材質、及び構造については特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。液体保持部１１の材質としては、液体保持部１１に貯留する液体Ｒに対する付着性の低い材料を用いることが好ましい。
【００２２】
液体保持部１１の材質の具体例としては、ステンレス鋼、ニッケル、アルミニウム等や、二酸化ケイ素、アルミナ、ジルコニアなどが挙げられる。また、これら以外にも、材料表面をコーティングすることで液体Ｒに対する付着性を低下させることも考えられる。例えば、材料表面を前述の金属又は金属酸化物材料でコーティングすることが可能である。
【００２３】
なお、本実施形態では、液体保持部１１は複数の吐出口１２に共通する１つの液槽から構成されているが、これ以外にも、隔壁によって、それぞれの吐出口１２ごとに３つの液室に分けて構成することもできる。こうした構成の場合、吐出口１２ごとに成分の異なる液滴を吐出することができる。
【００２４】
こうした液体保持部１１に貯留される液体Ｒは、後述するレーザー光線を透過させない液体であれば、どのようなものであってもよい。例えば、細胞などの粒子が分散されたイオン交換水、蒸留水、純水、生理食塩水などが挙げられる。
【００２５】
なお、液滴吐出手段１０の動作方式は上述した構成に限定されるものではなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、圧電素子を用いた圧電加圧方式、ヒータを用いたサーマル方式、静電引力によって液を引っ張る静電方式等によるインクジェットヘッドなどが挙げられる。これらの中でも、粒子に対する熱や電場のダメージが比較的小さい点から、圧電加圧方式が好ましい。
【００２６】
液滴検出手段２０は、任意の吐出口１２ａ，１２ｂ，１２ｃから吐出された飛翔中の液滴Ｄを検出するものである。なお、ここでいう飛翔中とは、液滴Ｄが吐出口１２から吐出されてから、被着対象物に液滴Ｄが着滴するまでの間の状態を指す。
液滴検出手段２０は、１つの光線照射手段２１と、１つの受光手段２２を有している。
【００２７】
光線照射手段２１は、複数の吐出口１２が配列された配列線Ｌ１に対して所定の距離Ｗ１を保って配列線Ｌ１と平行になるように液滴検知光線Ｌｓを照射する。液滴検知光線Ｌｓはレーザー光線であればよく、光線照射手段２１はレーザー光線を照射可能なレーザー光源が用いられる。
【００２８】
光線照射手段２１としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、固体レーザー装置、半導体レーザー装置、色素レーザー装置などが挙げられる。固体レーザー装置としては、例えば、ＹＡＧレーザー装置、ルビーレーザー装置、ガラスレーザー装置などが挙げられる。
【００２９】
液滴検知光線Ｌｓであるレーザー光線のスポット径としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、１００μｍ以上２０００μｍ以下が好ましい。スポット径が１００μｍ以上２０００μｍ以下であると、液滴Ｄの吐出ばらつきが発生した場合においても液滴Ｄにレーザー光線が照射される確率が高くなるため、液滴Ｄを高精度に検出可能であるという利点がある。
【００３０】
液滴検知光線Ｌｓは連続光線であっても、パルス光線であってもよい。液滴検知光線Ｌｓとしてパルス光線を用いる場合、パルス幅の制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば１０μｓ以下が好ましく、１μｓ以下がより好ましい。
【００３１】
液滴検知光線Ｌｓの波長範囲は、検出する液滴Ｄの構成物を破壊（分解）する波長の光成分を含まないことが好ましい。このため、液滴検知光線Ｌｓは、検出する液滴Ｄの性質に合わせて選択することが好ましい。
【００３２】
また、本実施形態では、光線照射手段２１の出射側に光フィルター２３を備えている。こうした光フィルター２３は、例えば、液滴Ｄの構成物を破壊する波長の光成分を取り除く。これにより、光線照射手段２１から照射される液滴検知光線Ｌｓに、液滴Ｄの構成物を破壊する波長の光成分が含まれていても、当該光成分は光フィルター２３によって取り除かれ、液滴検知光線Ｌｓによって液滴Ｄの構成物が破壊されることを防止できる。
【００３３】
受光手段２２は、光線照射手段２１から照射される液滴検知光線Ｌｓの光路上に配され、液滴検知光線Ｌｓを受光する。受光手段２２としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。受光手段２２の具体例としては、フォトダイオード、フォトセンサなどが挙げられる。これらの中でも、光電子増倍管、アバランシェフォトダイオードが好ましい。また、受光手段２２として、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）、ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）撮像素子、ゲートＣＣＤなどの撮像素子を用いることもできる。
【００３４】
本実施形態の液滴検出手段２０は、液滴Ｄの吐出中は光線照射手段２１から連続して液滴検知光線Ｌｓを照射する。そして、受光手段２２において液滴検知光線Ｌｓの入射が断絶された際に、液滴Ｄの検出としている。即ち、液滴検知光線Ｌｓの光路を飛翔中の液滴が通過すると、液滴検知光線Ｌｓが液滴Ｄに吸収されたり、受光手段２２以外の方向に液滴検知光線Ｌｓが反射されるので、液滴検知光線Ｌｓの入射が瞬間的に遮断されたタイミングで、受光手段２２は制御手段３０に向けて液滴検出信号を出力する。
【００３５】
制御手段３０は、ＣＰＵ、記憶メモリ、およびドライバ回路などから構成される。制御手段３０は、複数の駆動部１３をそれぞれ任意のタイミングで動作させ、また、光線照射手段２１を制御し、受光手段２２から出力される液滴検出信号が入力される。
【００３６】
以下、本実施形態の液滴吐出装置の作用を図１〜３を参照して説明する。
図３は、液滴吐出装置における液滴の検出動作を示す模式図である。
以下の説明では、複数の吐出口１２のうち、一端側の吐出口１２ａから他端側の吐出口１２ｃに向かって、順に液滴Ｄを吐出する動作を１サイクルとして、こうしたサイクルを複数回繰り返す動作を想定する。
【００３７】
まず、制御手段３０は駆動部１３ａに吐出命令信号を出力して、吐出口１２ａから液滴Ｄａ１を吐出させる。次に、予め設定したズレ時間ｄｔ１の経過後に、制御手段３０は駆動部１３ｂに吐出命令信号を出力して、吐出口１２ｂから液滴Ｄｂ１を吐出させる。さらに、予め設定したズレ時間ｄｔ２の経過後に、制御手段３０は駆動部１３ｃに吐出命令信号を出力して、吐出口１２ｃから液滴Ｄｃ１を吐出させる。こうして、１サイクル目の液滴吐出動作が完了する。
【００３８】
飛翔している液滴Ｄａ１，Ｄｂ１，Ｄｃ１は、それぞれ光線照射手段２１から照射されている液滴検知光線Ｌｓの光路上に達すると、液滴検知光線Ｌｓを遮って受光手段２２に入射させなくする。こうした液滴検知光線Ｌｓの瞬間的な入射遮断によって、受光手段２２はそれぞれの液滴Ｄの吐出を検出する。
【００３９】
この時、液滴Ｄａ１，Ｄｂ１，Ｄｃ１は、互いにズレ時間ｄｔを開けて順次吐出されるので、液滴検知光線Ｌｓの光路上で複数の液滴Ｄが重なることがない。よって、１つの光線照射手段２１と１つの受光手段２２からなる液滴検出手段２０によって、複数の吐出口１２からそれぞれ吐出された複数の液滴Ｄを個別に認識して検出することができる。
【００４０】
また、制御手段３０は予め設定された液滴Ｄの吐出速度（飛翔速度）と、吐出口１２と液滴検知光線Ｌｓの光路との距離Ｗ１とから、吐出されたそれぞれの液滴Ｄが液滴検知光線Ｌｓの光路上に達する検出時間を設定し、それぞれの吐出口１２に対して液滴Ｄの吐出命令信号を出力してから検出時間が経過しても、受光手段２２から液滴検出信号が出力されない時には、対応する吐出口１２から液滴が吐出されない不吐出が生じたことを記憶する。
【００４１】
次に、制御手段３０は駆動部１３ａを動作させて、吐出口１２ａから２サイクル目の液滴Ｄａ２を吐出させる。この時、制御手段３０は、吐出口１２ａから液滴Ｄａを吐出させる吐出間隔時間（サイクル）、例えば、１サイクル目の液滴Ｄａ１を吐出してから２サイクル目の液滴Ｄａ２を吐出するまでの吐出間隔時間Ｔ’１は、１サイクル分のズレ時間の合計時間（ｄｔ１＋ｄｔ２）よりも長くなるように制御する（ｄｔ１＋ｄｔ２＜Ｔ’１）。
【００４２】
全ての液滴Ｄの吐出速度は同一であるので、こうした制御を行うことによって、吐出口１２ｃから吐出された１サイクル目の液滴Ｄｃ１が液滴検知光線Ｌｓ上に達したときに、吐出口１２ａから吐出された２サイクル目の液滴Ｄａ２は、液滴Ｄｃ１に対して吐出方向に沿って十分に間隔をあけて飛翔する。
【００４３】
これにより、液滴Ｄｃ１と液滴Ｄａ２が同時に液滴検知光線Ｌｓの光路上で重なってしまうことがない。よって、受光手段２２は、吐出口１２ｃから吐出された１サイクル目の液滴Ｄｃ１と、吐出口１２ａから吐出された２サイクル目の液滴Ｄａ２とを、別々の液滴として認識して確実に検出することが可能になる。
【００４４】
他の吐出口１２ｂ，１２ｃについても、吐出間隔時間Ｔ’２、Ｔ’３がそれぞれ１サイクル分のズレ時間の合計時間（ｄｔ１＋ｄｔ２）よりも長くなるように制御する（ｄｔ１＋ｄｔ２＜Ｔ’２、ｄｔ１＋ｄｔ２＜Ｔ’３）。これによって、２サイクル目の液滴Ｄｂ２，Ｄｃ２も同様に他の液滴と重なることなく液滴検知光線Ｌｓの光路上を通過する。
【００４５】
制御手段３０がこうした制御を行うことで、全ての吐出口１２において、吐出のサイクルを繰り返しても、吐出された全ての液滴Ｄが液滴検知光線Ｌｓの光路上で互いに重なってしまうことがなく、吐出された全ての液滴Ｄをそれぞれ個別に受光手段２２によって確実に検出することができる。
【００４６】
図４は、吐出口における溶液のメニスカスの振動振幅の時間推移を示す説明図である。
図４に示すように、吐出口１２ａの吐出間隔時間Ｔ１が短い間隔であると、液滴Ｄの吐出による吐出口１２ａのメニスカスの振動振幅が収まりきらないうちに、次の液滴Ｄを吐出することになる。このような状態では吐出が安定して行われなくなり、また吐出間隔時間Ｔ１，Ｔ２、Ｔ３で互いにズレた場合は、それぞれの吐出口１２でメニスカスの振動状態が異なったまま液滴Ｄを吐出するために、吐出が正常である吐出口１２と、吐出が異常である吐出口１２とが生じてしまう。
【００４７】
しかし、本実施形態では、吐出口１２は、１サイクル目の吐出が完了してメニスカスの振動が収まった吐出間隔時間Ｔ’１、Ｔ’２、Ｔ’３でそれぞれ２サイクル目の吐出を行うため、複数サイクル吐出を繰り返しても安定して液滴Ｄを吐出させることができる。
【００４８】
次に、制御手段によって駆動部を制御する方法の一例を説明する。
図５は、制御手段が駆動部を制御する流れを示すフローチャートである。
制御手段３０は、液滴Ｄの吐出にあたって、まず、目標液滴速度ｓｐ１を設定する（Ｓ１）。次に、駆動部１３に加える印加電圧ｖ１を設定する（Ｓ２）。そして、液滴Ｄの吐出を行う駆動部１３に吐出命令信号を出力する（Ｓ３）。また、同時に吐出命令信号を出力した時間ｔ１をメモリに記録する（Ｓ４）。
【００４９】
吐出命令信号が入力された駆動部１３は、設定された印加電圧ｖ１で液体Ｒに振動を加える。これにより、対応する吐出口１２から液滴Ｄが吐出される（Ｓ５）。次に、制御手段３０は光線照射手段２１から液滴検知光線Ｌｓを照射させ、吐出させた液滴Ｄに当てる（Ｓ６）。そして、受光手段２２で液滴Ｄを検出すると、受光手段２２は液滴検出信号を制御手段３０に出力する（Ｓ７）。
【００５０】
制御手段３０は、吐出命令信号を出力した時間ｔ１から液滴検出信号が入力されるまでの時間（検出時間）ｔ２と、吐出口１２と液滴検知光線Ｌｓの光路との距離Ｗ１とから、実際の液滴吐出速度（飛翔速度）ｓｐ２を算出する（Ｓ８）。そして、ｓｐ２がｓｐ１と等しい場合、最初に設定した印加電圧ｖ１を駆動部１３に加えて液滴Ｄの吐出を行う（Ｓ９）。一方、ｓｐ２がｓｐ１と異なっていた場合、再び駆動部１３に加える印加電圧ｖ１を設定する（Ｓ２）。
【００５１】
このように、制御手段３０は、任意の吐出口１２に対する液滴Ｄの吐出命令信号と、受光手段２２から出力される液滴検出信号との時間差である検出時間ｔ２に基づいて、実際の液滴吐出速度ｓｐ２を算出する。
【００５２】
そして、制御手段３０は、液滴吐出速度ｓｐ２に基づいて、液滴吐出手段１０を構成する駆動部１３に印加する印加電圧ｖ１を補正し、全ての吐出口１２から吐出される液滴Ｄの液滴吐出速度ｓｐ２が均一になるように制御する。
【００５３】
これにより、液滴Ｄの吐出速度が安定し、液滴検出手段２０によって液滴Ｄを安定して正確に検出することができ、かつ、駆動部１３に駆動電圧を印加しても液滴Ｄが吐出されない不吐出の発生を抑制することができる。
【００５４】
以上、本発明の一実施形態を説明したが、こうした実施形態は例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。こうした実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【００５５】
本発明は、以下の態様を含む。
［１］複数の吐出口が配列線に沿って配された液滴吐出手段と、それぞれの吐出口から吐出される液滴の吐出タイミングを制御する制御手段と、前記配列線に対して所定の間隔を保って前記配列線と平行に液滴検知光線を照射する１つの光線照射手段と、前記液滴検知光線をする１つの受光手段と、を有し、
前記制御手段は、隣接する吐出口どうしの間に所定のズレ時間を保って、前記配列線上の一端側の吐出口から他端側の吐出口に向かって順に前記液滴を吐出する動作を複数サイクル繰り返し、かつ、任意の吐出口から吐出される液滴の吐出間隔時間が、１サイクル分の前記ズレ時間の合計時間よりも長くなるように制御することを特徴とする液滴吐出装置である。
［２］前記光線照射手段は、前記液滴の構成物を破壊する波長の光成分を取り除く光フィルターを備えていることを特徴とする前記［１］に記載の液滴吐出装置である。
［３］前記制御手段は、任意の吐出口に対する液滴の吐出命令信号と、前記受光手段から出力される液滴検出信号との時間差である検出時間に基づいて、液滴吐出速度を算出することを特徴とする前記［１］または［２］に記載の液滴吐出装置である。
［４］前記制御手段は、前記液滴吐出速度に基づいて、前記液滴吐出手段を構成する駆動部に印加する駆動電圧を補正し、全ての吐出口から吐出される液滴の吐出速度が均一になるように制御することを特徴とする前記［３］に記載の液滴吐出装置である。
［５］前記制御手段は、任意の吐出口に対して吐出動作をさせた後、前記検出時間が経過しても前記受光手段が液滴を検出しない場合、当該吐出口は液滴が不吐出であったことを記録することを特徴とする前記［３］または［４］に記載の液滴吐出装置である。
【符号の説明】
【００５６】
１  液滴吐出装置
１０  液滴吐出手段
１１  液体保持部
１２  吐出口（ノズル）
１３  駆動部
１４  膜状部材
２０  液滴検出手段
２１  光線照射手段
２２  受光手段
２３  光フィルター
３０  制御手段
Ｄ  液滴
Ｒ  液体
【先行技術文献】
【特許文献】
【００５７】
【特許文献１】特開２０１８−１７７００号公報
【図１】
2020151939.tif 000003
【図２】
2020151939.tif 000004
【図３】
2020151939.tif 000005
【図４】
2020151939.tif 000006
【図５】
2020151939.tif 000007