(57)【要約】【課題】検査対象であるフィルム部材をたるみや皺の発生を抑えつつ平面性よく保持することで検査を高精度に実施することができるフィルム検査装置を提供する。【解決手段】  このフィルム検査装置１は、フィルム部材の表面検査を行う検出装置１００と、そのフィルム部材を搬送する搬送機構１５０と、検査時に上記フィルム部材を平面状態で保持する検査ステージ２００とを備えるフィルム検査装置であって、上記検査ステージ２００は、上記フィルム部材の幅方向の両端部を保持して当該フィルム部材に張力を付与する幅方向保持テーブル２１０と、上記フィルム部材の長手方向の上流側および下流側の２箇所を保持して当該フィルム部材に張力を付与する搬送方向保持テーブル２０５との少なくとも一方を有する。【選択図】図２Ｂ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム部材の表面検査を行う検出装置と、
前記フィルム部材を搬送する搬送機構と、
検査時に前記フィルム部材を平面状態で保持する検査ステージと、
を備えるフィルム検査装置であって、
前記検査ステージは、
前記フィルム部材の幅方向の両端部を保持して当該フィルム部材に張力を付与する幅方向保持テーブルと、
前記フィルム部材の長手方向の上流側および下流側の２箇所を保持して当該フィルム部材に張力を付与する搬送方向保持テーブルと、
の少なくとも一方を有する、
フィルム検査装置。
【請求項２】
前記検査ステージは、さらに、
前記フィルム部材の中央領域を支持する中央保持テーブルを有する、
請求項１に記載のフィルム検査装置。
【請求項３】
前記検査ステージは、
前記幅方向保持テーブル、前記搬送方向保持テーブル、および前記中央保持テーブルを全て有するものであって、
前記各テーブルは、前記フィルム部材を吸着保持する機能を有する、
請求項２に記載のフィルム検査装置。
【請求項４】
前記幅方向保持テーブルとして、
前記幅方向に所定の間隔をあけて配置されるとともに前記幅方向にスライド移動可能に設けられた第１のテーブルブロックと、
該第１のテーブルブロックの外側に配置され前記幅方向にスライド移動可能に設けられた第２のテーブルブロックと、
を少なくとも有する、請求項１〜３のいずれか一項に記載のフィルム検査装置。
【請求項５】
前記幅方向保持テーブルとして、さらに、
前記第２のテーブルブロックの外側に配置され前記幅方向にスライド移動可能に設けられた第３のテーブルブロックを有する、
請求項４に記載のフィルム検査装置。
【請求項６】
前記搬送方向保持テーブルとして、
前記長手方向に所定の間隔をあけて配置されるとともに前記長手方向にスライド移動可能に設けられた搬送方向テーブルブロックを有する、
請求項１〜５のいずれか一項に記載のフィルム検査装置。
【請求項７】
フィルム部材の表面検査時に前記フィルム部材を平面状態で保持する検査ステージであって、
前記フィルム部材の幅方向の両端部を保持して当該フィルム部材に張力を付与する幅方向保持テーブルと、
前記フィルム部材の長手方向の上流側および下流側の２箇所を保持して当該フィルム部材に張力を付与する搬送方向保持テーブルと、
の少なくとも一方を有する、
検査ステージ。
【請求項８】
さらに、
前記フィルム部材の中央領域を支持する中央保持テーブルを有する、
請求項７に記載の検査ステージ。
【請求項９】
フィルム部材を平面状態で保持して表面検査を行う検査方法であって、
前記フィルム部材の幅方向の両端部を保持して当該フィルム部材に張力を付与する工程、および、前記フィルム部材の長手方向の上流側および下流側の２箇所を保持して当該フィルム部材張力を付与する工程との少なくとも一方を行うフィルム部材保持ステップと、
その後、前記フィルム部材の表面状態を計測する検査ステップと、
を有する、フィルム部材の表面検査方法。
【請求項１０】
前記フィルム部材保持ステップは、
前記フィルム部材の中央領域を吸着することなく、前記フィルム部材の幅方向の両端部を吸着により保持するとともに前記フィルム部材の長手方向の上流側および下流側の２箇所を吸着により保持する、
請求項９に記載の表面検査方法。
【請求項１１】
前記フィルム部材保持ステップは、
前記フィルム部材の幅方向の両端部を保持して当該フィルム部材に張力を付与する幅方向保持テーブル、前記フィルム部材の長手方向の上流側および下流側の２箇所を保持して当該フィルム部材に張力を付与する搬送方向保持テーブル、および前記フィルム部材の中央領域を支持する中央保持テーブルを備える検査ステージを用いて行われ、
ａ：前記幅方向保持テーブル、前記搬送方向保持テーブル、および前記中央保持テーブルで前記フィルム部材を吸着保持する工程と、
ｂ：その後、前記中央保持テーブルの吸着保持のみを解除する工程と、
を含む、請求項１０に記載の表面検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可撓性のあるフィルム部材の表面を観察して欠陥等を検査するためのフィルム検査装置等に関し、特には、検査対象であるフィルム部材をたるみや皺の発生を抑えつつ平面性よく保持することで検査を高精度に実施することができるフィルム検査装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
フィルム製品の製造においては、製造されたフィルム部材の品質を確認するためフィルム表面を観察する検査が行われることがある。例えば、特許文献１では、シート部材の表面に形成された塗布層を観察する技術に関し、凸条が形成された固定台の上に磁気シートを吸着保持させることが開示されている。このような構成により、磁気シートを、たるみや皺を生じることなく凸条の上面に沿わせて略平面状に保持することが可能となる。
【０００３】
また、特許文献２では、検査時に薄膜フィルムを平面性よく保持する技術に関し、静電気力によって薄膜フィルムを吸着保持することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−６５３７９号
【特許文献２】特開２０１７−１５５６４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
フィルム部材の微小なキズ等の表面観察においては、検査対象であるフィルム部材が平面性よく保持され、たるみや皺の発生が抑えられていることが好ましい。
【０００６】
特許文献１、２では、検査対象物を吸引によって保持したり、静電気力によって保持したりすることを開示しているものの、フィルム部材を平らな状態のまま、かつ、平面性よく保持するためには改善の余地が残されている。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、検査対象であるフィルム部材をたるみや皺の発生を抑えつつ平面性よく保持することで検査を高精度に実施することができるフィルム表面検査方法およびフィルム検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を達成するため本発明の一形態は以下のとおりである：
フィルム部材の表面検査を行う検出装置と、
前記フィルム部材を搬送する搬送機構と、
検査時に前記フィルム部材を平面状態で保持する検査ステージと、
を備えるフィルム検査装置であって、
前記検査ステージは、
前記フィルム部材の幅方向の両端部を保持して当該フィルム部材に張力を付与する幅方向保持テーブルと、
前記フィルム部材の長手方向の上流側および下流側の２箇所を保持して当該フィルム部材に張力を付与する搬送方向保持テーブルと、
の少なくとも一方を有する、
フィルム検査装置。
【０００９】
上記構成によれば、幅方向保持テーブルおよび／または搬送方向保持テーブルでフィルム部材に張力を与えた状態で同フィルム部材を保持しつつ表面検査を行うことができるので、フィルム部材の平面性が向上し、検査を良好に行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、検査対象であるフィルム部材をたるみや皺の発生を抑えつつ平面性よく保持することで検査を高精度に実施することができるフィルム検査装置等を提供することができる。フィルム部材の微小なキズ等の表面観察においては、検査対象であるフィルム部材が平面性よく保持されたるみや皺の発生が抑えられていることが良好な表面観察の実施という観点から好ましいところ、本発明によれば、狭い視野を拡大して観察する際に被写体界深度が比較的浅い装置でも検査を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】フィルム検査装置の全体的な構成を模式的に示す図である。
【図２Ａ】検査ステージおよびフィルム部材を上面側から見た模式図である。
【図２Ｂ】検査ステージおよびフィルム部材を上面側から見た模式図であって、図２Ａのものよりも簡素化された構造の一例を示す模式図である。
【図３】検査ステージの各部の寸法を示した図である。
【図４】検査ステージの支持構造および引張機構を模式的に示す側面図である。
【図５Ａ】フィルム部材の検査方法の一例のフローチャートである。
【図５Ｂ】フィルム部材保持の具体的な一例を示すフローチャートである。
【図６】本発明の他の一形態に係る検査ステージの例を示す模式図である。
【図７】テーブルブロックを移動させるための機構の一例を説明するための図であり、（ａ）が上面側から見た模式図、（ｂ）がバネ部分をＴＤ方向に通過する切断線に沿った模式的断面図、（ｃ）がエアシリンダ部分をＴＤ方向に通過する切断線に沿った模式的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態のフィルム検査装置について図面を参照しながら説明する。なお、本明細書では、フィルム部材の長手方向（搬送方向）を「ＭＤ方向（Ｍａｃｈｉｎｅ  Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ）」と表現し、フィルム部材の幅方向を「ＴＤ方向（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ  Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ）」と呼ぶこともある。また、装置の各部について図面中の符号を付して説明するが、説明の都合上、符号を省略して説明する場合もある。
【００１３】
［構成］
本発明の一形態に係るフィルム検査装置１は、図１に示すように、フィルム部材５の表面状態を計測して検査を行うためのものであり、フィルム部材５の上方に配置された検査装置１００と、フィルム部材５を搬送する搬送機構１５０と、検査時にフィルム部材５を保持する検査ステージ２００とを備えている。
【００１４】
フィルム部材５としては、特に限定されるものではないが、一例で樹脂製のフィルムであってもよく、具体的には、例えばポリイミドフィルム、ポリオレフィンフィルム、ポリエステルフィルム、ポリエーテルスルホンフィルム、ナイロンフィルム等であってもよい。フィルム部材５は、原反ロールから引き出された長尺な部材であってもよい。フィルム部材５の幅は、特に限定されるものではないが、一例で、５０ｍｍ〜２５００ｍｍの範囲内、好ましくは５０ｍｍ〜７００ｍｍの範囲内であってもよい。フィルム部材５の厚みは、一例で、０．００７５ｍｍ〜０．１ｍｍの範囲内、好ましくは０．０１２５ｍｍ〜０．０７５ｍｍの範囲内であってもよい（本明細書で「ａ〜ｂ」は「ａ以上ｂ以下」を意味する）。
【００１５】
検査装置１００は、光学式の検出器１０１と、その検出器１０１をフィルム部材５の幅方向に往復移動させる駆動装置（不図示）とを有している。検出器１０１としては、フィルム部材５の表面の変位を検出するレーザ変位計等を利用することができる。検出器１０１の被写界深度は、限定されるものではないが、例えば１ｍｍ以下程度であってもよく、または、０．１ｍｍ以下程度であってもよい。駆動装置は、検出器１０１をフィルム部材５の幅方向のみに移動させるものであってもよいし、または、検出器１０１をフィルム部材５の幅方向と長手方向とに移動させるものであってもよい。
【００１６】
検査装置１００としては、上記の他にも、検出器１０１からの計測情報を処理するコンピュータ（不図示）と、検査結果を表示する１つまたは複数の表示ディスプレイ（不図示）とが設けられていてもよい。
【００１７】
搬送機構１５０としては、フィルム部材５を搬送するための複数のローラを有するものであってもよい。搬送機構１５０は、この例では、原反ロールからフィルム部材５を送り出す巻出し装置１５１と、その下流側に配置されたクリーニングローラ１５３と、検査ステージ２００を間においてその上流側および下流側に配置された一対の搬送ローラ１５５、１５７と、搬送ローラ１５７の下流側に配置された巻取りローラ１５９とを有するものであってもよい。搬送機構１５０は、不図示の制御装置によって動作が制御されるように構成されている。限定されるものではないが、本実施形態では一例として、フィルム部材５は検査ステージ２００上を、平面状態で、水平方向に搬送されるものであってもよい。
【００１８】
当然ながら、搬送機構１５０は図１に示されている要素以外の要素を備えていてもよい。または、図１に示されている要素の一部が省略されていてもよい。
【００１９】
検査ステージ２００は、検査の際に、フィルム部材５を部分的に保持する機能を備えている。具体的な構成について、図２Ａ等も参照しながら以下説明する。図２Ａの左右方向がフィルム部材の幅方向（ＴＤ方向）であり、上下方向がフィルム部材の長手方向（ＭＤ方向）である。なお、図２Ａに示しているフィルム部材５のサイズはあくまで一例であって、より幅広のものを用いてもよいし、より幅狭なものを用いてもよい。また、検査に関し、長尺なフィルムの状態のまま検査を行うものであってよいし、所定のサイズに切断したうえでその検査対象のフィルム部材５を検査ステージ２００上にセットして検査を行うものであってもよい。
【００２０】
図２Ａに示すように、この検査ステージ２００は、複数に分割されたテーブルを備えており、具体的には、フィルム部材５の中央領域を支持する中央保持テーブル２０１と、その中央保持テーブル２０１の両側に配置された幅方向保持テーブル２１０と、フィルム部材の搬送方向に見て中央保持テーブル２０１の上流側および下流側に配置された搬送方向保持テーブル２０５とを有している。
【００２１】
各テーブル２０１〜２０５に共通する機能として、これらのテーブルはフィルム部材が載せられる上面が平坦に形成され、かつ、フィルム部材を保持するための吸引機能を有するもので構成される。吸引機能は、具体的には、テーブルの上面に複数の微小孔が開口し、この孔から空気を吸引することでフィルム部材を吸着保持できるように構成されたものであってもよい。限定されるものではないが、各テーブルは、矩形の輪郭形状に形成されていてもよい。隣接するテーブルどうしは、一例で、実質的に隙間なく互いに当接可能に構成されていてもよい。各テーブル２０１〜２０５の上面はいずれも平坦に設けられ、全体で１つの平坦な支持面を形成するものであってもよい。
【００２２】
中央保持テーブル２０１に関し、ＴＤ方向の寸法は、検査対象のフィルム部材５の幅寸法に応じて適宜設定されている。中央保持テーブル２０１のＭＤ方向の寸法についても、具体的な数値に限定されるものではないが、例えば、検査装置１００のスキャン範囲等を考慮して適宜設定すればよい。図２Ｂを参照して具体的な一例について説明する。図２Ｂでは、中央保持テーブル２０１とその周辺の保持テーブル２０５、２１０とが示され、それらのテーブル上にフィルム部材５が配置されている。中央保持テーブル２０１の大きさは、一例として検査領域のサイズと実質的に同一である。フィルム端部の吸着固定される幅（ｄa、ｄｂ）は、限定されるものではないが、５〜５０ｍｍ程度であってもよく、好ましくは５〜１０ｍｍ程度であってもよい。ｄａの寸法とｄｂの寸法とは同一であってもよいし異なっていてもよい。
【００２３】
再び図２Ａを参照し、幅方向保持テーブル２１０としては、この例では、第１の幅方向テーブルブロック２０２と、第２の幅方向テーブルブロック２０３と、第３の幅方向テーブルブロック２０４とが設けられている。第１の幅方向テーブルブロック２０２は、具体的には、第１のサイズのフィルム部材５の幅方向端部を保持する一対の部材であり、第２のブロック２０３は第２のサイズのフィルム部材５の幅方向端部を保持するためのものであり、第３のブロック２０４は第３のサイズのフィルム部材５の幅方向端部を保持するためのものである。なお、本実施形態では、様々なサイズのフィルム部材に対応するため、第１〜第３のテーブルブロック２０２〜２０４を設けているが、本発明は必ずしもこれに限られるものではなく、一対または二対のみを設ける構成としてもよい。あるいは、４対以上の複数のテーブルブロックを設けるようにしてもよい。本実施形態のように複数のテーブルブロックを設けることで、一台の装置で種々のサイズのフィルム部材に対応することが可能となる。
【００２４】
検査ステージ２００の全体的なサイズとしては、一例として図３に示すように、ｄ１（中央保持テーブルの幅）、ｄ２（第１のテーブルブロック２０２間の最大幅）、ｄ３（第２のテーブルブロック２０３間の最大幅）、ｄ４（第３のテーブルブロック２０４間の最大幅：搬送方向保持テーブル２０５単体の幅でもある）、ｄ５（搬送方向保持テーブル２０５間の搬送方向の寸法）、ｄ６（搬送方向保持テーブル２０５単体の搬送方向の寸法）がそれぞれ、５０４ｍｍ、５５０ｍｍ、６２０ｍｍ、６６０ｍｍ、３４０ｍｍ、２０ｍｍ程度であってもよい（一例で、これら数値に当該数値の１０％の数値を加除した数値範囲）。
【００２５】
幅方向テーブルブロック２０２〜２０４は、それぞれ独立して、ＴＤ方向にスライド移動可能に構成されている。このような構成としている理由は、検査時にフィルム部材５をＴＤ方向に張力を付与するためである。
【００２６】
続いて搬送方向保持テーブル２０５について説明すると、搬送方向保持テーブル２０５も幅方向保持テーブル２１０と同様、中央保持テーブル２０１を間に置いて配置された一対のテーブルブロックとして設けられている（以下、「搬送方向テーブルブロック２０５」ともいう）。搬送方向テーブルブロック２０５も、幅方向テーブルブロック同様、検査時にフィルム部材５に張力を付与できるよう、それぞれ独立してＭＤ方向にスライド移動可能に構成されている。
【００２７】
なお、図２Ａ等の例では、搬送方向テーブルブロック２０５は一対しか設けていないが、必要に応じて、他のテーブルブロックを追加的に設けるようにしてもよい。
【００２８】
各テーブルブロック２０２〜２０５をスライド移動させるための具体的な構造については、特に限定されるものではないが、例えば図４のような構成としてもよい（テーブルブロック２０２のみを例示して示す）。図４では、中央保持テーブル２０１が、低線膨張係数の材質である支持材２１１によって支持されている。幅方向テーブルブロック２０２については、引張機構２１２によって保持され、水平方向にスライド移動可能に構成されている。図示していないＴＤ方向の他の幅方向テーブルブロック２０３、２０４およびＭＤ方向の搬送方向テーブルブロック２０５についても、これと同様の構成とすることができる。
【００２９】
引張機構２１２としては、テーブルブロックをスライド移動させるための機構（不図示）を有するものであってもよい。この機構は、操作者の操作によって手動で動かされるものであってもよいし、バネ等を用いて弾性的に力を付与するものであってもよいし、所定のアクチュエータを駆動源として動作するものであってもよい。バネ等を用いた機構については他の図面も参照しながら後述するものとする。
【００３０】
テーブルブロックの移動に伴い、現在フィルム部材にどの程度の張力が付与されているかを検出するための計器などが設けられていてもよい。さらに、検査ステージ２００は所定の制御装置（不図示）を有し、その制御装置によって、（ｉ）各テーブルブロックの吸引吸着の動作のＯＮ／ＯＦＦ、および／または、（ｉｉ）各テーブルブロックの移動動作が制御されるように構成されていてもよい。
【００３１】
［動作］
続いて、以上のように構成された本実施形態のフィルム検査装置１の動作例について、図５Ａ等のフローチャートも参照しつつ説明する。
【００３２】
まず、ステップＳ１において、フィルム部材５の搬送を停止し、テーブル上にフィルム部材５を保持可能な状態とする。なお、フィルム搬送時には、テーブル２００が下降するもしくはローラ１５５、１５７が上昇することにより、フィルム部材とテーブルとの間に隙間が生じた状態でフィルム部材が搬送される。その隙間は、一例で１ｍｍ〜１０ｍｍ程度である。
【００３３】
そして、ステップＳ２において、フィルム部材５の保持を行う。具体的にはこの工程は、図５Ｂのフローチャートにも示すように、ステップＳ２ａで、中央保持テーブル２０１、幅方向保持テーブル２１０（第１のテーブルブロック２０２）、および搬送方向保持テーブル２０５にフィルム部材５が載せられた状態として、すべてのテーブル２０１、２１０、２０５の吸引機能を動作させ全面吸着を行う。これにより、フィルム部材５の下面が全面的に吸着保持される。
【００３４】
次いで、ステップＳ２ｂ（図５Ｂ）において、中央保持テーブル２０１のみ吸着を解除し、幅方向保持テーブル２１０および搬送方向保持テーブル２０５でフィルム部材５の周辺部を部分的に保持した状態とする。なお、ここでは、中央保持テーブル２０１でフィルム部材５を一旦吸着保持する例について説明しているが、場合によってはこの工程を省略してもよい。
【００３５】
このように、一旦、フィルム部材を全面吸着した後に部分的に吸着を解除する構成によれば、テーブル上にフィルム部材を配置した際などに生じうるたるみによる皺が、全面吸着の作用によって引き延ばされるので、フィルム部材の平面性を向上させることができる。吸着解除後も平面性は保持されたまま、異物の噛み込みによるフィルム表面の突起発生も防止することができる。
【００３６】
次いで、ステップＳ３において、第１のテーブルブロック２０２をそれぞれＴＤ方向外側に所定の距離だけスライド移動させ、フィルム部材５に対して張力（ＴＤ方向）を付与する。同様に、搬送方向保持テーブル２０５をそれぞれＭＤ方向に沿った前後方向に所定の距離だけスライド移動させ、フィルム部材５に対して張力（ＭＤ方向）を付与する。このときの張力の大きさは、検査対象であるフィルム部材５の材質やサイズ等を考慮し、皺やたるみの発生が抑えられるような数値範囲に適宜設定することが望ましく、具体的な数値の例としては一例で１Ｎ／ｍ〜２０Ｎ／ｍ、好ましくは５〜１０Ｎ／ｍ程度としてもよい。ＴＤ方向の引張りとＭＤ方向の引張りとは、同時に実施されてもよいし、異なるタイミングで実施（いずれか一方を実施した後、他の一方を実施する）されてもよい。
【００３７】
次いで、ステップＳ４において、検査装置１００の検出器１０１を走査させ、フィルム部材５の表面の変位の計測を行う。検査結果は、限定されるものではないが、横軸がフィルム部材５のＴＤ方向の位置で縦軸が変位を示すグラフとして表示されるものであってもよい。
【００３８】
以上説明した本実施形態のフィルム検査装置１によれば、フィルム部材５の周辺部を幅方向保持テーブル２１０（テーブルブロック２０２）および搬送方向保持テーブル２０５で吸着保持し、張力を付与した状態でフィルム部材５を平面状態に保持しているので、フィルム部材５のたるみや皺の発生が防止され、したがって、検査装置１００での検査を良好に行うことが可能となる。
【００３９】
特に、中央保持テーブル２０１については、検査時に吸引機能を動作させておらず、フィルム部材５の中央領域は吸引されていない状態となっているので、テーブル上面とフィルム部材との間に異物が介在してしまうことに起因したフィルム表面の凹凸の発生も抑制することができる。
【００４０】
以上本発明の一形態について図面を参照しながら具体的に説明したが、本発明は上述したものに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００４１】
例えば、検査対象であるフィルム部材の材質やサイズ等によっては、幅方向保持テーブル２１０と搬送方向保持テーブル２０５との一方を用いるだけで、フィルム部材を平面性よく保持できる可能性がある。この場合は、これらのテーブルの双方を設ける必要、または、利用する必要はない。
【００４２】
また、以上の実施形態では、フィルム部材の全周を保持するものであったが、例えば、図６に模式的に示すように、フィルム部材５の任意の辺の一部のみを保持するような搬送方向保持テーブル２０５′、幅方向保持テーブル２１０′を用いるようにしてもよい。
【００４３】
本明細書に開示したそれぞれの技術的事項は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜組合せて使用することができる。
【００４４】
（検査ステージの具体的構成の一例）
図７は、テーブルブロックを移動させるための機構の一例を説明するための図である。図７では一例として幅方向テーブルブロック２０２周辺の機構を示している。
【００４５】
図７の例では、中央保持テーブル２０１のＴＤ方向側方に幅方向テーブルブロック２０２が配置されている。幅方向テーブルブロック２０２は、一例でベース板２０２ｐ上に設けられており、ベース板２０２ｐはクロスローラテーブル２３５によって保持されることによりスライド移動可能となっている。ベース板２０２ｐには、バネ２３３およびエアシリンダ２３１が接続されている。
【００４６】
なお、この例では、クロスローラテーブル２３５が２つ、バネ２３３が２つ、エアシリンダ２３１が１つ設けられているが、各要素の数は必ずしもこれに限定されるものではなく適宜変更可能である。
【００４７】
上記のように構成された機構で幅方向テーブルブロック２０２を移動させる場合、次のような動作を行うようにしてもよい。まず、エアシリンダ２３１を作動させ、幅方向テーブルブロック２０２を中央保持テーブル２０１側に移動させて幅方向テーブルブロック２０２が中央保持テーブル２０１に突き当たった状態とする。
【００４８】
この状態では、バネ２３３が自然長から所定の長さだけ伸ばされており、テーブルブロック２０２に図示右方向（中央保持テーブル２０１から離れる方向）の力が加わっている。その後、エアシリンダ２３１の作動を解除することで、バネ２３３の復元力によりテーブルブロック２０２がクロスローラテーブル２３５上を動き、同ブロック２０２上に吸着保持されたフィルム部材（不図示）が引っ張られて張力が付与されることとなる。
【００４９】
このような構成では、バネ２３３を用い、フィルム部材に対して弾性的に張力が付与されることとなるので、フィルム部材を損傷等させることなく、良好に保持できるものとなる。幅方向保持テーブルのみならず、同様の機構を搬送方向保持テーブルに適用してもよい。
【００５０】
（付記）
本出願は、下記の発明を少なくとも開示する。なお、上記記載の括弧内の符号は本発明を何ら限定するものではない：
１．フィルム部材の表面検査を行う検出装置（１００）と、
上記フィルム部材を搬送する搬送機構（１５０）と、
検査時に上記フィルム部材を平面状態で保持する検査ステージ（２００）と、
を備えるフィルム検査装置（１）であって、
上記検査ステージ（２００）は、
上記フィルム部材の幅方向の両端部を保持して当該フィルム部材に張力を付与する幅方向保持テーブル（２１０、２０２〜２０４）と、
上記フィルム部材の長手方向の上流側および下流側の２箇所を保持して当該フィルム部材に張力を付与する搬送方向保持テーブル（２０５）と、
の少なくとも一方を有する、
フィルム検査装置（１）。
【００５１】
２．上記検査ステージは、さらに、上記フィルム部材の中央領域を支持する中央保持テーブル（２０１）を有する、上記記載のフィルム検査装置。
【００５２】
３．上記検査ステージは、上記幅方向保持テーブル、上記搬送方向保持テーブル、および上記中央保持テーブルを全て有するものであって、上記各テーブルは、上記フィルム部材を吸着保持する機能を有する、上記記載のフィルム検査装置。
【００５３】
４．上記幅方向保持テーブルとして、上記幅方向に所定の間隔をあけて配置されるとともに上記幅方向にスライド移動可能に設けられた第１のテーブルブロック（２０２）と、該第１のテーブルブロックの外側に配置され上記幅方向にスライド移動可能に設けられた第２のテーブルブロック（２０３）と、を少なくとも有する、上記記載のフィルム検査装置。
【００５４】
５．上記幅方向保持テーブルとして、さらに、上記第２のテーブルブロックの外側に配置され上記幅方向にスライド移動可能に設けられた第３のテーブルブロック（２０３）を有する、上記記載のフィルム検査装置。
【００５５】
６．上記搬送方向保持テーブルとして、上記長手方向に所定の間隔をあけて配置されるとともに上記長手方向にスライド移動可能に設けられた搬送方向テーブルブロック（２０５）を有する、上記記載のフィルム検査装置。
【００５６】
７．フィルム部材の表面検査時に上記フィルム部材を平面状態で保持する検査ステージ（２００）であって、上記フィルム部材の幅方向の両端部を保持して当該フィルム部材に張力を付与する幅方向保持テーブル（２０２〜２０４）と、上記フィルム部材の長手方向の上流側および下流側の２箇所を保持して当該フィルム部材に張力を付与する搬送方向保持テーブル（２０５）と、の少なくとも一方を有する、検査ステージ（２００）。
【００５７】
８．さらに、上記フィルム部材の中央領域を支持する中央保持テーブルを有する、上記記載の検査ステージ。
【００５８】
９．フィルム部材を平面状態で保持して表面検査を行う検査方法であって、
上記フィルム部材の幅方向の両端部を保持して当該フィルム部材に張力を付与する工程、および、上記フィルム部材の長手方向の上流側および下流側の２箇所を保持して当該フィルム部材張力を付与する工程との少なくとも一方を行うフィルム部材保持ステップと、
その後、上記フィルム部材の表面状態を計測する検査ステップと、
を有する、フィルム部材の表面検査方法。
【００５９】
１０．上記フィルム部材保持ステップは、上記フィルム部材の中央領域を吸着することなく、上記フィルム部材の幅方向の両端部を吸着により保持するとともに上記フィルム部材の長手方向の上流側および下流側の２箇所を吸着により保持する、上記記載の表面検査方法。
【００６０】
１１．上記フィルム部材保持ステップは、前記フィルム部材の幅方向の両端部を保持して当該フィルム部材に張力を付与する幅方向保持テーブル、前記フィルム部材の長手方向の上流側および下流側の２箇所を保持して当該フィルム部材に張力を付与する搬送方向保持テーブル、および前記フィルム部材の中央領域を支持する中央保持テーブルを備える検査ステージを用いて行われ、
ａ：前記幅方向保持テーブル、前記搬送方向保持テーブル、および前記中央保持テーブルで前記フィルム部材を吸着保持する工程と、
ｂ：その後、上記中央保持テーブルの吸着保持のみを解除する工程と、
を含む、上記記載の表面検査方法。
【符号の説明】
【００６１】
１  フィルム検査装置
５  フィルム部材
１００  検査装置
１０１  検出器
１５０  搬送機構
１５１  巻出しローラ
１５３  クリーニングローラ
１５５、１５７  搬送ローラ
１５９  巻取りローラ
２００  検査ステージ
２０１  中央保持テーブル
２０２〜２０４  幅方向テーブルブロック
２０２ｐ  ベース板
２０５、２０５′  搬送方向保持テーブル
２１０、２１０′  幅方向保持テーブル
２１１  支持材
２１２  引張機構
２３１  エアシリンダ
２３３  バネ（スプリング、付勢手段）
２３５  クロスローラテーブル
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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