(57)【要約】【課題】第１吸着ユニットによる電子部品の吸着に失敗してしまうことを抑制することができる電子部品搬送装置の位置補正方法を提供すること。【解決手段】電子部品を吸着させて電子部品の搬送を行う第１吸着ユニットを有する電子部品搬送装置が、前記第１吸着ユニットの位置を補正する電子部品搬送装置の位置補正方法であって、吸引を行いながら、予め決められた位置に固定される第１物体に前記第１吸着ユニットを近づけ、前記第１吸着ユニットを前記第１物体に近づけている間、前記第１吸着ユニットが有する第１吸引流路内の圧力が所定の閾値以下であることを検出した場合、前記第１吸着ユニットの位置を示す位置情報を記憶部に記憶し、前記記憶部に記憶した前記位置情報に基づいて、前記第１吸着ユニットが電子部品を吸着する位置を補正する、電子部品搬送装置の位置補正方法。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を吸着させて電子部品の搬送を行う第１吸着ユニットを有する電子部品搬送装置が、前記第１吸着ユニットの位置を補正する電子部品搬送装置の位置補正方法であって、
吸引を行いながら、予め決められた位置に固定される第１物体に前記第１吸着ユニットを近づけ、
前記第１吸着ユニットを前記第１物体に近づけている間、前記第１吸着ユニットが有する第１吸引流路内の圧力が所定の閾値以下であることを検出した場合、前記第１吸着ユニットの位置を示す位置情報を記憶部に記憶し、
前記記憶部に記憶した前記位置情報に基づいて、前記第１吸着ユニットが電子部品を吸着する位置を補正する、
電子部品搬送装置の位置補正方法。
【請求項２】
前記第１物体は、前記電子部品搬送装置に設けられたリブである、
請求項１に記載の電子部品搬送装置の位置補正方法。
【請求項３】
前記記憶部に記憶した前記位置情報が示す位置と、基準となる基準位置との差分をオフセットとして算出し、
算出した前記オフセットに基づいて前記第１吸着ユニットが電子部品を吸着する位置を補正する、
請求項１又は２に記載の電子部品搬送装置の位置補正方法。
【請求項４】
前記電子部品搬送装置は、電子部品を吸着させて電子部品の搬送を行う第２吸着ユニットを更に有し、
吸引を行いながら、予め決められた位置に固定される第２物体に前記第２吸着ユニットを近づけ、
前記第２吸着ユニットを前記第２物体に近づけている間、前記第２吸着ユニットが有する第２吸引流路内の圧力が前記閾値以下であることを検出した場合、前記第２吸着ユニットの位置を示す位置情報を、前記基準位置を示す基準位置情報として記憶部に記憶する、
請求項３に記載の電子部品搬送装置の位置補正方法。
【請求項５】
算出した前記オフセットに応じた値を前記電子部品搬送装置の表示部に表示させる、
請求項３又は４に記載の電子部品搬送装置の位置補正方法。
【請求項６】
算出した前記オフセットに応じた値を前記記憶部に記憶させる、
請求項３又は４に記載の電子部品搬送装置の位置補正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、電子部品搬送装置の位置補正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品検査装置についての研究、開発が行われている。
【０００３】
電子部品検査装置は、電子部品の電気的な検査を行う。電子部品は、例えば、ＩＣ（Integrated  Circuit）デバイスである。また、電子部品検査装置は、電子部品搬送装置を含む。電子部品搬送装置は、検査前の電子部品の供給と、検査後の電子部品の回収とを行う。このため、電子部品搬送装置は、搬送アームを有する。搬送アームは、ｎ個の吸着ユニットを有する。ここで、ｎは、１以上の整数である。
【０００４】
電子部品搬送装置は、搬送アームにｎ個の電子部品を搬送させる場合、搬送アームを所定の待機位置まで移動させる。そして、電子部品搬送装置は、搬送アームを移動させず、各吸着ユニットの先端を所定の吸着位置まで移動させ、各吸着ユニットの先端に電子部品を吸着させる。
【０００５】
ここで、ｎ個の吸着ユニットのうちの一部又は全部の先端の位置は、吸着位置からずれてしまうことがある。その結果、当該場合、ｎ個の吸着ユニットのうちの一部又は全部の先端の位置は、可動方向において互いに一致しないことがある。このような可動方向における先端の位置の不一致は、例えば、吸着ユニット間の搬送アームに対する組み付け誤差、吸着ユニット間の先端の劣化度合いの違い、吸着ユニット間の先端の歪みの違い等により生じる。そして、このような可動方向における先端の位置の不一致が生じた場合、電子部品搬送装置は、電子部品の吸着に失敗してしまうことがある。電子部品の吸着の失敗の発生は、電子部品検査装置の稼働を止めてしまうことに繋がるため、検査効率の観点から抑制されることが望ましい。
【０００６】
これに関し、電子部品搬送装置において、このような可動方向における先端の位置の不一致を補正する方法が知られている（特許文献１参照）。
【０００７】
特許文献１に記載された方法を用いる場合、ユーザーは、ｎ個の吸着ユニットのそれぞれについて、目視によって、吸着ユニットの所定の部位に設けられたピンの先端と、固定された治具の先端とを一致させ、当該吸着ユニットのエンコーダーから出力される出力値を電子部品搬送装置に教示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００５−３３７７６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１に記載された方法では、吸着ユニットの所定の部位に設けられたピンの先端と治具の先端とが一致しているか否かをユーザーが目視によって判断しているため、ピンの先端と、治具の先端とを精度よく一致させることが困難であった。そのため、当該方法では、電子部品の吸着に失敗してしまう虞があった。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために本発明の一態様は、電子部品を吸着させて電子部品の搬送を行う第１吸着ユニットを有する電子部品搬送装置が、前記第１吸着ユニットの位置を補正する電子部品搬送装置の位置補正方法であって、吸引を行いながら、予め決められた位置に固定される第１物体に前記第１吸着ユニットを近づけ、前記第１吸着ユニットを前記第１物体に近づけている間、前記第１吸着ユニットが有する第１吸引流路内の圧力が所定の閾値以下であることを検出した場合、前記第１吸着ユニットの位置を示す位置情報を記憶部に記憶し、前記記憶部に記憶した前記位置情報に基づいて、前記第１吸着ユニットが電子部品を吸着する位置を補正する、電子部品搬送装置の位置補正方法である。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施形態に係る電子部品検査装置１の構成の一例を示す斜視図である。
【図２】図１に示した電子部品検査装置１に含まれる電子部品搬送装置１０の構成の一例を示す上面図である。
【図３】吸着ユニット１３Ｕの構成の一例を示す図である。
【図４】制御部８００の機能構成の一例を示す図である。
【図５】制御部８００が電子部品検査装置１に位置決め動作を行わせる処理の流れの一例を示す図である。
【図６】オフセット設定画像の一例を示す図である。
【図７】オフセット設定画像の生成と表示を制御部８００が行う処理の流れの一例を示す図である。
【図８】制御部８００が搬送アーム１３に電子部品９０を搬送させる処理の流れの一例を示す図である。
【図９】各吸着ユニット１３Ｕの先端を吸着位置Ｘ２に移動させた場合における各吸着ユニット１３Ｕの先端と吸着位置Ｘ２との相対的な位置関係の一例を示す図である。
【図１０】タイミング設定画像の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
＜実施形態＞
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１３】
＜電子部品検査装置の構成＞
まず、図１及び図２を参照し、実施形態に係る電子部品検査装置（electronic  component  tester）１の構成について説明する。なお、図１及び図２のそれぞれに示した三次元直交座標系ＣＣは、各図中における方向を示す。
【００１４】
ここで、以下では、説明の便宜上、三次元直交座標系ＣＣにおけるＸ軸を、単にＸ軸と称して説明する。また、以下では、説明の便宜上、三次元直交座標系ＣＣにおけるＹ軸を、単にＹ軸と称して説明する。また、以下では、説明の便宜上、三次元直交座標系ＣＣにおけるＺ軸を、単にＺ軸と称して説明する。また、以下では、説明の便宜上、Ｘ軸と平行な２つの方向を、まとめてＸ軸方向と称して説明する。また、以下では、説明の便宜上、Ｙ軸と平行な２つの方向を、まとめてＹ軸方向と称して説明する。また、以下では、説明の便宜上、Ｚ軸と平行な２つの方向を、まとめてＺ軸方向と称して説明する。
【００１５】
また、以下では、説明の便宜上、Ｘ軸とＹ軸との両方を含む平面と平行な複数の平面を、まとめてＸＹ平面と称して説明する。また、以下では、説明の便宜上、ＸＹ平面と平行な方向を、水平又は水平方向と称して説明する。なお、本明細書では、水平には、ＸＹ平面に対して完全に平行な方向のみが含まれるわけではなく、電子部品検査装置１による電子部品の搬送が阻害されない限り、ＸＹ平面に対して若干（例えば±５°未満程度）傾いた方向も含まれる。また、以下では、説明の便宜上、Ｚ軸の正方向を、上又は上方と称して説明する。また、以下では、説明の便宜上、Ｚ軸の負方向を、下又は下方と称して説明する。
【００１６】
図１は、実施形態に係る電子部品検査装置１の構成の一例を示す斜視図である。また、図２は、図１に示した電子部品検査装置１に含まれる電子部品搬送装置（electronic  component  handler）１０の構成の一例を示す上面図である。
【００１７】
電子部品検査装置１は、図１に示す外観を有する。電子部品検査装置１は、最外装がカバーで覆われている。電子部品検査装置１は、前述した通り、図２に示した電子部品搬送装置１０を含む。
【００１８】
電子部品搬送装置１０は、ハンドラーである。具体的には、電子部品搬送装置１０は、電子部品を搬送する。以下では、一例として、電子部品搬送装置１０が、電子部品９０を搬送する場合について説明する。
【００１９】
電子部品９０は、例えば、ＢＧＡ（Ball  Grid  Array）パッケージであるＩＣデバイスである。当該ＩＣデバイスは、例えば、ＬＳＩ（Large  Scale  Integration）、ＣＭＯＳ（Complementary  MOS）、ＣＣＤ（Charge  Coupled  Device）、ＩＣデバイスを複数のモジュールとしてパッケージ化したモジュールＩＣ、水晶デバイス、圧力センサー、慣性センサー（加速度センサー）、ジャイロセンサー、指紋センサー等である。なお、電子部品９０は、これらのＩＣデバイスに代えて、他のＩＣデバイスであってもよい。また、電子部品９０は、ＩＣデバイスに代えて、他の種類の電子部品であってもよい。
【００２０】
図２に示した例では、電子部品９０の形状は、矩形の平板形状である。なお、電子部品９０の形状は、矩形の平板形状に代えて、円形、楕円形等の丸みを帯びた形状であってもよく、他の形状であってもよい。
【００２１】
電子部品検査装置１は、電子部品搬送装置１０による電子部品の搬送過程において、電子部品９０の検査（test）を行う。電子部品９０の検査は、例えば、電子部品９０の電気的特性の検査、試験等である。なお、電子部品９０の検査には、電子部品９０の電気的特性の検査、試験等に加えて、電子部品９０の他の検査、電子部品９０の他の試験が含まれる構成であってもよい。また、電子部品９０の検査は、電子部品９０の電気的特性の検査、試験等に代えて、電子部品９０の他の検査、電子部品９０の他の試験等であってもよい。
【００２２】
また、電子部品検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１と、電子部品供給領域Ａ２と、検査領域Ａ３と、電子部品回収領域Ａ４と、トレイ除去領域Ａ５との５つの領域を有する。当該５つの領域は、隔壁によって仕切られている。そして、電子部品検査装置１では、電子部品９０は、トレイ供給領域Ａ１からトレイ除去領域Ａ５まで、当該５つの領域を矢印α９０方向に順に経由し、途中の検査領域Ａ３において検査が行われる。このため、電子部品検査装置１は、当該５つの領域を経由するように電子部品９０を搬送する搬送部（transporter）２５と、検査領域Ａ３内で検査を行なう検査部１６を有する。また、図１に示すように、電子部品検査装置１は、電子部品検査装置１の各部を制御する制御部８００と、モニター３００と、シグナルランプ４００と、操作パネル７００を有する。なお、実施形態では、これらの構成から検査部１６を除いた構成によって電子部品搬送装置１０が構成されている。
【００２３】
また、電子部品検査装置１は、電子部品９０の種類毎に交換されるチェンジキットと呼ばれるものを予め搭載して用いられる。チェンジキットには、電子部品９０を載せる支持部が含まれる。電子部品検査装置１では、この支持部が複数の箇所に設置されている。支持部には、例えば、後述する温度調整部１２と、電子部品供給部１４と、電子部品回収部１８が含まれる。また、支持部には、チェンジキットに加えて、ユーザーが用意するトレイ２００と、回収用トレイ１９と、検査部１６も含まれる。
【００２４】
トレイ供給領域Ａ１は、未検査状態の複数の電子部品９０が配列されたトレイ２００が供給される領域である。各トレイ２００には複数の凹部（recess）が行列状に配置されている。これら複数の凹部のそれぞれは、電子部品９０を１つずつ載せることができる。
【００２５】
電子部品供給領域Ａ２は、トレイ供給領域Ａ１から搬送されたトレイ２００上の電子部品９０を検査領域Ａ３まで搬送する領域である。電子部品検査装置１では、トレイ供給領域Ａ１と電子部品供給領域Ａ２とを跨ぐようにトレイ搬送機構１１Ａ、トレイ搬送機構１１Ｂが設けられている。トレイ搬送機構１１Ａは、搬送部２５の一部である。トレイ搬送機構１１Ａは、トレイ２００を図２中の矢印α１１Ａ方向に移動させることができる。これにより、電子部品検査装置１は、電子部品９０をトレイ供給領域Ａ１から電子部品供給領域Ａ２に送り込むことができる。また、トレイ搬送機構１１Ｂは、トレイ２００を図２中の矢印α１１Ｂ方向に移動させることができる移動部である。これにより、電子部品検査装置１は、空のトレイ２００を電子部品供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に移動させることができる。
【００２６】
電子部品供給領域Ａ２には、温度調整部１２と、搬送アーム１３と、トレイ搬送機構１５が設けられる。また、電子部品供給領域Ａ２には、電子部品供給領域Ａ２と検査領域Ａ３とを跨いで移動する電子部品供給部１４が設けられる。
【００２７】
温度調整部１２は、電子部品９０を載せる支持部である。また、温度調整部１２は、載せられた電子部品９０を加熱又は冷却することができるソークプレートと呼ばれる。電子部品検査装置１では、温度調整部１２により、検査部１６で検査される前の電子部品９０を予め加熱し、高温検査に適した温度に調整することができる。また、電子部品検査装置１では、温度調整部１２により、検査部１６で検査される前の電子部品９０を予め冷却し、低温検査に適した温度に調整することができる。図２に示す構成では、温度調整部１２は、Ｙ軸方向に並んで２つ配置されており、トレイ２００上の電子部品９０が搬送アーム１３によっていずれかの温度調整部１２に搬送される。
【００２８】
搬送アーム１３は、電子部品９０を吸着して持ち上げる。換言すると、搬送アーム１３は、電子部品９０を保持する。そして、搬送アーム１３は、電子部品供給領域Ａ２内において、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向のそれぞれに移動することができる。搬送アーム１３は、搬送部２５の一部でもあり、トレイ２００と温度調整部１２との間の電子部品９０の搬送と、温度調整部１２と電子部品供給部１４との間の電子部品９０の搬送とを行うことができる。なお、図２中では、搬送アーム１３のＸ軸方向の移動を矢印α１３Ｘで示し、搬送アーム１３のＹ軸方向の移動を矢印α１３Ｙで示している。
【００２９】
電子部品供給部１４は、温度調整部１２で温度調整された電子部品９０を載せる支持部である。また、電子部品供給部１４は、載せられた電子部品９０を検査部１６の近傍まで搬送することができる。電子部品供給部１４は、供給用シャトルプレート、又は、供給シャトルと呼ばれることもある。電子部品供給部１４も、搬送部２５の一部となり得る。電子部品供給部１４は、電子部品９０を載せる複数の凹部を有している。
【００３０】
また、電子部品供給部１４は、電子部品供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間を矢印α１４方向に沿って往復移動することができる。これにより、電子部品供給部１４は、電子部品９０を電子部品供給領域Ａ２から検査領域Ａ３の検査部１６の近傍まで搬送することができる。また、電子部品供給部１４は、検査領域Ａ３で電子部品９０が電子部品搬送ヘッド１７によって取り去られた後、電子部品供給領域Ａ２に再び戻ることができる。
【００３１】
図２に示す構成では、電子部品供給部１４は、Ｙ軸方向に並んで２つ配置されている。なお、以下では、説明の便宜上、Ｙ軸の負方向側の電子部品供給部１４を電子部品供給部１４Ａと称し、Ｙ軸の正方向側の電子部品供給部１４を電子部品供給部１４Ｂと称して説明する。温度調整部１２上の電子部品９０は、電子部品供給領域Ａ２内で電子部品供給部１４Ａ又は電子部品供給部１４Ｂまで搬送される。
【００３２】
トレイ搬送機構１５は、全ての電子部品９０が除去された状態の空のトレイ２００を電子部品供給領域Ａ２内で矢印α１５方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、トレイ搬送機構１１Ｂによって電子部品供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に戻される。
【００３３】
検査領域Ａ３は、電子部品９０を検査する領域である。検査領域Ａ３には、電子部品９０に対して検査を行なう検査部１６と、電子部品搬送ヘッド１７が設けられる。
【００３４】
電子部品搬送ヘッド１７は、検査領域Ａ３内でＹ軸方向及びＺ軸方向に往復移動することができる。図２中では、電子部品搬送ヘッド１７のＹ軸方向の移動を矢印α１７Ｙで示している。また、図２に示す構成では、電子部品搬送ヘッド１７は、Ｙ軸方向に並んで２つ配置されている。なお、以下では、説明の便宜上、Ｙ軸の負方向側の電子部品搬送ヘッド１７を電子部品搬送ヘッド１７Ａと称し、Ｙ軸の正方向側の電子部品搬送ヘッド１７を電子部品搬送ヘッド１７Ｂと称して説明する。
【００３５】
電子部品搬送ヘッド１７Ａは、検査領域Ａ３内において、電子部品供給部１４Ａから検査部１６へ電子部品９０を搬送する。また、電子部品搬送ヘッド１７Ｂは、検査領域Ａ３内において、電子部品供給部１４Ｂから検査部１６へ電子部品９０を搬送する。また、電子部品搬送ヘッド１７Ａは、検査領域Ａ３内において、検査部１６から電子部品回収部１８Ａへ電子部品９０を搬送する。また、電子部品搬送ヘッド１７Ｂは、検査領域Ａ３内において、検査部１６から電子部品回収部１８Ｂへ電子部品９０を搬送する。
【００３６】
検査部１６は、電子部品９０を載せて、電子部品９０の電気的特性を検査する支持部である。また、検査部１６は、電子部品９０を載せる凹部を有する。当該凹部の底面には、図示しない複数のプローブピンが設けられている。凹部に電子部品９０を載せた場合、電子部品９０の端子とプローブピンとが接触する。これにより、電子部品検査装置１では、電子部品９０の検査が行なえる状態になる。電子部品９０の検査は、検査部１６に接続されるテスターが有する検査制御部に記憶されているプログラムに基づいて行われる。
【００３７】
電子部品回収領域Ａ４は、検査部１６での検査が終了した電子部品９０が回収される領域である。図２に示すように、電子部品回収領域Ａ４には、回収用トレイ１９と、搬送アーム２０と、トレイ搬送機構２１が設けられる。また、電子部品回収領域Ａ４には、検査領域Ａ３と電子部品回収領域Ａ４とを跨いで移動する電子部品回収部１８も設けられる。また、電子部品回収領域Ａ４には、空のトレイ２００も用意されている。
【００３８】
電子部品回収部１８は、検査部１６で検査が終了した電子部品９０が載せられ、当該電子部品９０を電子部品回収領域Ａ４まで搬送することができる支持部である。電子部品回収部１８は、回収用シャトルプレート、又は、単に回収シャトルと呼ばれることもある。電子部品回収部１８も、搬送部２５の一部となり得る。
【００３９】
電子部品回収部１８は、検査領域Ａ３と電子部品回収領域Ａ４との間を矢印α１８方向に沿って往復移動することができる。図２に示す構成では、電子部品回収部１８は、電子部品供給部１４と同様に、Ｙ軸方向に並んで２つ配置されている。なお、上述したように、説明の便宜上、Ｙ軸の負方向側の電子部品回収部１８を電子部品回収部１８Ａと称し、Ｙ軸の正方向側の電子部品回収部１８を電子部品回収部１８Ｂと称して説明する。そして、電子部品検査装置１では、検査部１６上の電子部品９０は、電子部品搬送ヘッド１７によって、電子部品回収部１８Ａまたは電子部品回収部１８Ｂに搬送され、載せられる。
【００４０】
回収用トレイ１９は、検査部１６で検査された電子部品９０を載せる支持部であり、電子部品回収領域Ａ４内で移動しないよう固定されている。なお、図２に示す構成では、回収用トレイ１９は、Ｘ軸方向に沿って３つ配置されている。
【００４１】
また、空のトレイ２００も、Ｘ軸方向に沿って３つ配置されている。この空のトレイ２００も、検査部１６で検査された電子部品９０を載置せる支持部となる。電子部品検査装置１では、電子部品回収領域Ａ４に移動してきた電子部品回収部１８上の電子部品９０は、回収用トレイ１９および空のトレイ２００のうちのいずれかに搬送され、載せられる。例えば、電子部品検査装置１では、電子部品９０の検査結果毎に載せるトレイ２００を分けることにより、電子部品９０をその検査結果毎、例えば、良品／不良品に分類して回収することができる。
【００４２】
搬送アーム２０は、電子部品回収領域Ａ４内でＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向のそれぞれに移動可能である。搬送アーム２０は、搬送部２５の一部であり、電子部品９０を電子部品回収部１８から回収用トレイ１９や空のトレイ２００に搬送することができる。なお、図２中では、搬送アーム２０のＸ軸方向の移動を矢印α２０Ｘで示し、搬送アーム２０のＹ軸方向の移動を矢印α２０Ｙで示している。
【００４３】
トレイ搬送機構２１は、トレイ除去領域Ａ５から搬入された空のトレイ２００を電子部品回収領域Ａ４内で矢印α２１方向に搬送する。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、電子部品９０が回収される位置に配されることとなり、前述の３つの空のトレイ２００のうちのいずれかとなり得る。
【００４４】
トレイ除去領域Ａ５は、検査済み状態の複数の電子部品９０が配列されたトレイ２００が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域Ａ５では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。
【００４５】
また、電子部品回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５とを跨いで、トレイ２００を１枚ずつＹ軸方向に搬送するトレイ搬送機構２２Ａ、トレイ搬送機構２２Ｂが設けられる。トレイ搬送機構２２Ａは、搬送部２５の一部であり、トレイ２００を矢印α２２Ａ方向に往復移動させることができる移動部である。これにより、電子部品検査装置１は、検査済みの電子部品９０を電子部品回収領域Ａ４からトレイ除去領域Ａ５に搬送することができる。また、トレイ搬送機構２２Ｂは、電子部品９０を回収するための空のトレイ２００を矢印α２２Ｂ方向に移動させることができる。これにより、電子部品検査装置１は、空のトレイ２００をトレイ除去領域Ａ５から電子部品回収領域Ａ４に移動させることができる。
【００４６】
制御部８００は、例えば、トレイ搬送機構１１Ａと、トレイ搬送機構１１Ｂと、温度調整部１２と、搬送アーム１３と、電子部品供給部１４と、トレイ搬送機構１５と、検査部１６と、電子部品搬送ヘッド１７と、電子部品回収部１８と、搬送アーム２０と、トレイ搬送機構２１と、トレイ搬送機構２２Ａと、トレイ搬送機構２２Ｂとの各部の作動を制御する。また、制御部８００には、外付けの記憶部１０００が取り付けられている。記憶部１０００は、記憶装置であり、例えば、ハードディスクであるが、これに代えて、ＳＳＤ（Solid  State  Drive）等の他の記憶装置であってもよい。また、制御部８００は、記憶部１０００を内蔵する構成であってもよい。
【００４７】
オペレーターは、モニター３００を介して電子部品検査装置１の動作条件等を設定したり、確認したりすることができる。モニター３００は、例えば、液晶画面で構成された表示画面３０１を有し、電子部品検査装置１の正面側上部に配置されている。図１に示すように、トレイ除去領域Ａ５の図中の右側には、マウスを載せるマウス台６００が設けられている。このマウスは、モニター３００に表示された画面を操作する際に用いられる。
【００４８】
なお、電子部品検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１、トレイ除去領域Ａ５が配置されている側、すなわち、図２においてＹ軸の負方向側が、電子部品検査装置１の正面側として使用される。また、電子部品検査装置１は、検査領域Ａ３が配置されている側、すなわち、図２においてＹ軸の正方向側が、電子部品検査装置１の背面側として使用される。
【００４９】
また、モニター３００の近傍には、操作パネル７００が配置されている。操作パネル７００は、電子部品検査装置１に所望の動作を命令するものである。また、シグナルランプ４００は、発光する色の組み合わせにより、電子部品検査装置１の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ４００は、電子部品検査装置１の上部に配置されている。また、電子部品検査装置１には、スピーカー５００が内蔵されており、このスピーカー５００によっても電子部品検査装置１の作動状態等を報知することもできる。
【００５０】
以上、電子部品検査装置１の全体構成について簡単に説明した。このような電子部品検査装置１では、前述したように、搬送アーム１３、搬送アーム２０によって電子部品９０が搬送される。そこで、以下では、このような搬送アーム１３、搬送アーム２０の構成についてより詳しく説明する。なお、搬送アーム１３、搬送アーム２０は、互いに同様の構成である。このため、以下では、説明の便宜上、搬送アーム１３について代表して説明し、搬送アーム２０については、説明を省略する。なお、搬送アーム１３、搬送アーム２０は、構成が互いに異なっていてもよく、これらのうちの少なくとも一方が、以下に説明する構成となっていればよい。なお、搬送アーム１３と搬送アーム２０とのうちのいずれか一方のみを以下において説明する構成にする場合、搬送アーム１３を当該構成にする方が望ましい。これは、搬送アーム１３が、検査部１６への電子部品９０の供給を行っているためである。
【００５１】
＜搬送アームの構成＞
以下、搬送アーム１３の構成について説明する。
【００５２】
搬送アーム１３は、気体の吸引による真空吸着によって電子部品９０を吸着させて電子部品９０の搬送を行う吸着ユニット１３Ｕを１個以上有する。以下では、一例として、搬送アーム１３が、８個の吸着ユニット１３Ｕを有する場合について説明する。すなわち、実施形態に係る搬送アーム１３は、最大で８個の電子部品９０の搬送を行うことができる。搬送アーム１３では、例えば、これら８個の吸着ユニット１３Ｕが、Ｘ軸方向に沿って４個ずつ２列に並んで配置される。なお、搬送アーム１３における８個の吸着ユニット１３Ｕの並び方は、これに限られるわけではない。
【００５３】
また、搬送アーム１３は、搬送アーム１３の位置を変えずに、搬送アーム１３から予め決められた可動方向に向かって各吸着ユニット１３Ｕを前後に移動させることができる。ここで、図１及び図２に示した例では、電子部品９０がＸＹ平面と平行な面状に配置されているため、可動方向は、Ｚ軸の負方向である。なお、可動方向は、当該負方向に代えて、他の方向であってもよい。この場合、電子部品９０は、可動方向と直交する平面上に配置される。
【００５４】
電子部品検査装置１は、搬送アーム１３に８個の電子部品９０を搬送させる場合、搬送アーム１３を所定の待機位置Ｘ１まで移動させる。待機位置Ｘ１は、各吸着ユニット１３Ｕを可動方向に動かすことによって各吸着ユニット１３Ｕに電子部品９０の吸着を行わせる場合に搬送アーム１３が待機する位置のことである。搬送アーム１３が待機位置Ｘ１において待機している場合、各吸着ユニット１３Ｕの先端から可動方向の前方に向かった先にはそれぞれ、電子部品９０が配置されている。このため、搬送アーム１３を待機位置Ｘ１に移動させた後、電子部品検査装置１は、各吸着ユニット１３Ｕの先端からの気体の吸引を開始する。そして、電子部品検査装置１は、搬送アーム１３を移動させず、各吸着ユニット１３Ｕの先端を所定の吸着位置Ｘ２まで移動させる。吸着位置Ｘ２は、前述の可動方向における位置である。例えば、吸着位置Ｘ２は、可動方向が重力方向である場合、重力方向における高さによって表される。また、吸着位置Ｘ２は、各吸着ユニット１３Ｕの先端の位置が一致した場合、各吸着ユニット１３Ｕの先端と電子部品９０との相対的な位置関係が、先端からの気体の吸引によって電子部品９０が先端に吸着される位置関係になる位置である。すなわち、電子部品検査装置１は、搬送アーム１３から可動方向に向かって各吸着ユニット１３Ｕを前に移動させ、各吸着ユニット１３Ｕの先端の位置を吸着位置Ｘ２と一致させる。換言すると、電子部品検査装置１は、搬送アーム１３から離れる方向に向かって各吸着ユニット１３Ｕを移動させ、各吸着ユニット１３Ｕの先端の位置を吸着位置Ｘ２と一致させる。これにより、電子部品検査装置１は、各吸着ユニット１３Ｕの先端に電子部品９０を吸着させることができる。
【００５５】
＜吸着ユニットの構成＞
以下、図３を参照し、吸着ユニット１３Ｕの構成について説明する。
【００５６】
図３は、吸着ユニット１３Ｕの構成の一例を示す図である。図３に示すように、吸着ユニット１３Ｕは、吸着により電子部品９０を保持する保持部１３１と、保持部１３１と連通する流路１３２が設けられる流路形成部１３０と、流路１３２内を減圧することにより保持部１３１に電子部品９０を吸着させるポンプとしての真空ポンプ１３３と、流路１３２の途中に設けられたバルブ１３４と、流路１３２内の圧力を検出する圧力検出部としての圧力センサー１３５を有する。
【００５７】
保持部１３１は、円筒状をなし、その外径が下方に向かって漸減したテーパー状となっている。そして、保持部１３１の下端面は、電子部品９０を吸着するための吸着面１３１ａとなっている。すなわち、保持部１３１の吸着面１３１ａは、吸着ユニット１３Ｕの先端である。
【００５８】
流路形成部１３０は、管状をなす部材を有し、内部に流路１３２が形成されている。
【００５９】
流路１３２は、その一部が保持部１３１内まで延長して設けられる。流路１３２が有する２つの端部のうちの一方の端部１３２ａは、吸着面１３１ａに開口している。また、当該２つの端部のうちの他方の端部１３２ｂは、真空ポンプ１３３と接続されている。また、流路１３２の途中に配置されたバルブ１３４は、流路１３２の状態を、流路１３２の真空ポンプ１３３側を閉じるとともに流路１３２の保持部１３１側を開放する閉状態と、流路１３２の真空ポンプ１３３側と保持部１３１側とを接続する開状態とのいずれかに切り替えることができる。このようなバルブ１３４としては、例えば、電磁バルブを用いることができる。流路１３２は、第１吸引流路、第２吸引流路それぞれの一例である。
【００６０】
圧力センサー１３５は、バルブ１３４に内蔵されており、流路１３２のバルブ１３４よりも保持部１３１側の部分すなわち端部１３２ａとバルブ１３４との間の領域の圧力を検出する。このように、圧力センサー１３５をバルブ１３４に内蔵することにより、電子部品検査装置１では、圧力センサー１３５とバルブ１３４とが一体化されるため、搬送アーム１３の小型化を図ることができる。ただし、圧力センサー１３５の配置としては、特に限定されず、例えば、バルブ１３４とは別の場所に配置されていてもよい。この場合、圧力センサー１３５は、バルブ１３４よりも保持部１３１側に位置していてもよいし、真空ポンプ１３３側に位置していてもよい。なお、圧力センサー１３５は、検出した圧力を示す圧力情報を制御部８００に出力する。
【００６１】
このような構成の吸着ユニット１３Ｕでは、例えば、真空ポンプ１３３の作動を継続した状態でバルブ１３４を操作することにより、電子部品９０の吸着、離脱（リリース）を行うことができる。例えば、バルブ１３４を閉じ、吸着面１３１ａを電子部品９０の上面に押し当て、電子部品９０で流路１３２の端部１３２ａ側の開口を塞ぎ、この状態でバルブ１３４を開くことにより、真空ポンプ１３３によって流路１３２内が大気圧に対して減圧され、吸着面１３１ａに電子部品９０が吸着される。反対に、吸着面１３１ａに電子部品９０が吸着されている状態でバルブ１３４を開けば、流路１３２内の減圧状態が解除されるため、電子部品９０が吸着面１３１ａからリリースされる。このため、実施形態において、吸着ユニット１３Ｕの先端からの気体の吸引を開始することは、バルブ１３４を閉じることを意味する。また、実施形態において、吸着ユニット１３Ｕの先端からの気体の吸引を終了することは、バルブ１３４を開くことを意味する。なお、吸着面１３１ａへの電子部品９０の吸着、リリースの方法としては、上述した方法に限定されない。
【００６２】
ここで、このような各吸着ユニット１３Ｕの先端の位置を前述の吸着位置Ｘ２と一致させる制御を電子部品検査装置１が行った場合、８個の吸着ユニット１３Ｕのうちの一部又は全部の先端の位置は、吸着位置Ｘ２からずれてしまうことがある。その結果、当該場合、８個の吸着ユニット１３Ｕのうちの一部又は全部の先端の位置は、可動方向において互いに一致しないことがある。このような可動方向における先端の位置の不一致は、例えば、吸着ユニット１３Ｕ間の搬送アーム１３に対する組み付け誤差、吸着ユニット１３Ｕ間の先端の劣化度合いの違い、吸着ユニット１３Ｕ間の先端の歪みの違い等により生じる。そして、このような可動方向における先端の位置の不一致が生じた場合、電子部品検査装置１は、８個の吸着ユニット１３Ｕのうちの一部又は全部において、電子部品９０の吸着に失敗してしまうことがある。電子部品９０の吸着の失敗の発生は、電子部品検査装置１の稼働を止めてしまうことに繋がるため、検査効率の観点から抑制されることが望ましい。そこで、電子部品検査装置１は、以下において説明する所定の位置決め動作を行う。なお、実施形態における電子部品９０の吸着の失敗は、電子部品９０が吸着できなかったこと、電子部品９０を意図せずに離脱させてしまうこと等を意味する。
【００６３】
＜電子部品検査装置が行う位置決め動作＞
電子部品検査装置１は、従来の電子部品検査装置と異なり、所定の位置決め動作を行う。以下では、電子部品検査装置１が行う位置決め動作について説明する。
【００６４】
電子部品検査装置１は、８個の吸着ユニット１３Ｕのうちユーザーにより選択された吸着ユニット１３Ｕを基準吸着ユニットとして特定する。電子部品検査装置１は、特定した基準吸着ユニットの先端により第１物体を吸着し、当該先端の位置のうち当該先端により第１物体を吸着した位置を、基準となる基準位置として決定する。第１物体は、電子部品検査装置１に対して動かないように取り付けられた物体である。第１物体の詳細については、後述する。また、電子部品検査装置１は、基準吸着ユニットを除く個々の吸着ユニット１３Ｕのそれぞれについて、吸着ユニット１３Ｕの先端により第１物体を吸着し、当該先端により第１物体を吸着した位置を特定する。そして、電子部品検査装置１は、基準吸着ユニットを除く個々の吸着ユニット１３Ｕのそれぞれについて、吸着ユニット１３Ｕについて特定した位置と、決定した基準位置との差分を、当該吸着ユニット１３Ｕについての第１オフセットとして算出する。なお、電子部品検査装置１は、基準吸着ユニットについての第１オフセットを０として算出する。電子部品検査装置１は、吸着ユニット１３Ｕ毎に算出した第１オフセットを、電子部品検査装置１自身に設定する。以上のような動作を、電子部品検査装置１は、位置決め動作として行う。
【００６５】
このように算出される第１オフセットは、吸着ユニット１３Ｕの先端を移動させる位置を、基準吸着ユニットの基準位置からずらす量である。つまり、搬送アーム制御部８０８吸着ユニット１３Ｕの先端を移動させる位置を、基準吸着ユニットの基準位置に第１オフセットを加えた位置に補正する。例えば、ある吸着ユニット１３Ｕの先端の位置をある位置Ｘ３に移動させる制御を電子部品検査装置１が行う場合において、当該吸着ユニット１３Ｕについての第１オフセットが電子部品検査装置１に設定されていると、搬送アーム制御部８０８は、当該吸着ユニット１３Ｕの先端を、基準吸着ユニットの基準位置が位置Ｘ３となるように移動させ、更に、基準位置から当該第１オフセット分ずれた位置に移動させる制御を行う。このため、当該吸着ユニット１３Ｕの先端の位置を位置Ｘ３に移動させる制御を電子部品検査装置１が行った場合において、当該先端が実際に移動する位置が位置Ｘ３からずれていたとしても、ユーザーは、電子部品検査装置１に対して当該吸着ユニット１３Ｕについての第１オフセットを設定することにより、当該先端が実際に移動する位置を位置Ｘ３に調整することができる。電子部品検査装置１は、このような第１オフセットの算出と電子部品検査装置１自身への第１オフセットの設定を、位置決め動作として吸着ユニット１３Ｕ毎に自動で行うことができる。その結果、電子部品検査装置１では、第１オフセットを算出するためにユーザーが目視で行う作業を必要とせず、精度の高い第１オフセットを算出することができるとともに、電子部品検査装置１を用いて行う作業におけるユーザーの手間を低減することができる。
【００６６】
また、電子部品検査装置１は、８個の吸着ユニット１３Ｕのそれぞれについて、吸着ユニット１３Ｕについて算出した第１オフセットに応じて、吸着ユニット１３Ｕの先端をユーザーが所望する位置に精度よく移動させる制御を行うことができる。その結果、電子部品検査装置１は、８個の吸着ユニット１３Ｕ全部の先端の位置を可動方向において互いに精度よく一致させることができる。そして、電子部品検査装置１は、吸着ユニット１３Ｕによる電子部品９０の吸着に失敗してしまうことを抑制することができる。
【００６７】
ここで、前述の第１物体は、吸着ユニット１３Ｕの先端による吸着が可能な面を接触面として有する物体である。また、第１物体は、電子部品検査装置１において、個々の吸着ユニット１３Ｕの先端が接触することが可能な範囲内に設けられる。例えば、第１物体は、電子部品検査装置１の枠体を構成する複数のリブのうち、個々の吸着ユニット１３Ｕの先端が接触することが可能な範囲内に設けられているリブである。なお、第１物体は、当該リブに代えて、接触面を有する物体であれば如何なる物体であってもよく、電子部品検査装置１に設けられた治具等の他の物体であってもよい。また、接触面は、可動方向と直交する面であり、実施形態では、ＸＹ平面と平行な面である。
【００６８】
＜制御部の機能構成＞
以下、図４を参照し、制御部８００の機能構成について説明する。図４は、制御部８００の機能構成の一例を示す図である。なお、図４では、制御部８００が有するすべての機能構成を示しているわけではなく、説明の便宜上、一部を省略している。しかしながら、制御部８００は、少なくとも、図４に示した機能構成を備えている。
【００６９】
制御部８００は、モニター３００、操作パネル７００、記憶部１０００のそれぞれと通信可能に接続されている。そして、制御部８００は、例えば、表示制御部８０１と、操作受付部８０２と、圧力情報取得部８０３と、判定部８０４と、位置情報取得部８０５と、算出部８０６と、記憶制御部８０７と、搬送アーム制御部８０８を有する。制御部８００が有するこれらの機能部は、例えば、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）等のプロセッサーが、記憶部１０００に記憶された各種のプログラムを実行することにより実現される。また、当該機能部のうちの一部又は全部は、ＬＳＩ（Large  Scale  Integration）、ＡＳＩＣ（Application  Specific  Integrated  Circuit）等のハードウェア機能部であってもよい。
【００７０】
表示制御部８０１は、モニター３００に表示させる各種の画像を生成する。表示制御部８０１は、生成した画像をモニター３００に表示させる。例えば、表示制御部８０１は、ユーザーから受け付けた操作に応じて、ユーザーからの操作を受け付ける操作受付画像を生成する。そして、表示制御部８０１は、生成した操作受付画像をモニター３００に表示させる。
【００７１】
操作受付部８０２は、操作パネル７００に対して行われたユーザーからの操作を受け付ける。
【００７２】
圧力情報取得部８０３は、各吸着ユニット１３Ｕが有する圧力センサー１３５から出力される圧力情報を、各圧力センサー１３５から取得する。ある圧力センサー１３５から出力される圧力情報は、当該圧力センサー１３５が検出した流路１３２内の圧力を示す情報のことである。
【００７３】
判定部８０４は、制御部８００が行う各種の判定を行う。
【００７４】
位置情報取得部８０５は、８個の吸着ユニット１３Ｕのそれぞれについて、吸着ユニット１３Ｕが有する図示しないエンコーダーから、当該吸着ユニット１３Ｕの位置を示す位置情報を取得する。
【００７５】
算出部８０６は、制御部８００が行う各種の算出を行う。算出部８０６は、例えば、位置情報取得部８０５により取得された位置情報に基づいて、前述の第１オフセットを吸着ユニット１３Ｕ毎に算出する。
【００７６】
記憶制御部８０７は、各種の情報を記憶部１０００に記憶させる。
【００７７】
搬送アーム制御部８０８は、搬送アーム１３を制御する。
【００７８】
＜制御部が電子部品検査装置に位置決め動作を行わせる処理＞
以下、図５を参照し、制御部８００が電子部品検査装置１に位置決め動作を行わせる処理について説明する。図５は、制御部８００が電子部品検査装置１に位置決め動作を行わせる処理の流れの一例を示す図である。
【００７９】
なお、制御部８００は、ユーザーにより予め設定された１つ以上のタイミングにおいて、図５に示したフローチャートの処理を行う。当該タイミングは、例えば、初期化をスタートした時、セットアップファイルを変更した時、コンタクトをユーザーにより設定された回数行った時、ユーザーにより設定された時間が経過した時等のタイミングであるが、これらに限られるわけではない。
【００８０】
また、以下では、一例として、制御部８００が、図５に示したステップＳ１１０の処理が行われるよりも前のタイミングにおいて、搬送アーム１３が有する８個の吸着ユニット１３Ｕの中からユーザーが所望する吸着ユニット１３Ｕを、基準吸着ユニットとして選択する操作を、前述の操作受付画像を介してユーザーから受け付けている場合について説明する。
【００８１】
搬送アーム制御部８０８は、搬送アーム１３が有する８個の吸着ユニット１３Ｕの中から、１つずつ対象吸着ユニットを選択する。そして、搬送アーム制御部８０８は、選択した対象吸着ユニットについて、ステップＳ１２０からステップＳ２５０の処理を繰り返し行う（ステップＳ１１０）。すなわち、対象吸着ユニットは、ステップＳ１２０〜ステップＳ２５０の処理を行う対象となる吸着ユニット１３Ｕのことである。
【００８２】
搬送アーム制御部８０８は、搬送アーム１３を動かし、対象吸着ユニットの先端の位置を、第１物体が有する接触面と直交する方向に接触面から所定の第１離間距離離れた第１待機位置と一致させる（ステップＳ１２０）。第１待機位置は、前述の待機位置Ｘ１の一例である。第１離間距離は、例えば、５ミリメートルである。なお、第１離間距離は、５ミリメートルよりも短い距離であってもよく、５ミリメートルよりも長い距離であってもよい。また、当該方向は、実施形態では、Ｚ軸の正方向である。なお、当該方向は、Ｚ軸の正方向に代えて、他の方向であってもよい。
【００８３】
次に、搬送アーム制御部８０８は、先端からの気体の吸引を対象吸着ユニットに開始させる（ステップＳ１３０）。
【００８４】
次に、搬送アーム制御部８０８は、搬送アーム１３を制御し、対象吸着ユニットの先端を可動方向に向かって前に所定の第１移動距離移動させる（ステップＳ１４０）。換言すると、搬送アーム制御部８０８は、搬送アーム１３を制御し、対象吸着ユニットの先端をＺ軸の負方向に向かって所定の第１移動距離移動させる。これにより、搬送アーム制御部８０８は、対象吸着ユニットの先端を第１物体の接触面に第１移動距離近づける。ここで、第１移動距離は、例えば、０．１ミリメートルである。なお、第１移動距離は、０．１ミリメートルよりも短い距離であってもよく、０．１ミリメートルよりも長い距離であってもよい。
【００８５】
なお、ステップＳ１３０の処理とステップＳ１４０の処理とは、並列に行われる構成であってもよく、逆の順で行われる構成であってもよい。
【００８６】
次に、判定部８０４は、対象吸着ユニットの流路１３２内の圧力が所定の閾値以下であるか否かを判定する（ステップＳ１５０）。具体的には、判定部８０４は、対象吸着ユニットが有する圧力センサー１３５から圧力情報を取得する。判定部８０４が取得した圧力情報は、対象吸着ユニットの流路１３２内の圧力を示す。すなわち、判定部８０４は、当該圧力情報に基づいて、対象吸着ユニットの流路１３２内の圧力が所定の閾値以下であるか否かを判定する。このような判定部８０４による判定は、対象吸着ユニットの先端が第１物体の接触面を吸着したか否かの判定と換言することもできる。何故なら、対象吸着ユニットの先端が当該接触面を吸着した場合、当該流路１３２内が真空に近づくことによって圧力が低下するからである。なお、所定の閾値は、例えば、対象吸着ユニットの先端が電子部品９０を吸着した場合における当該流路１３２内の圧力を事前に検出することによって決めることができる。ここで、当該真空は、完全な真空を意味するものではなく、対象吸着ユニットの先端が電子部品９０を吸着することが可能な程度の真空度の真空であればよい。
【００８７】
搬送アーム制御部８０８は、対象吸着ユニットの流路１３２内の圧力が閾値以下ではないと判定部８０４が判定した場合（ステップＳ１５０−ＮＯ）、ステップＳ１４０に遷移し、対象吸着ユニットを可動方向に向かって前に第１移動距離再び移動させる。
【００８８】
一方、搬送アーム制御部８０８は、対象吸着ユニットの流路１３２内の圧力が閾値以下であると判定部８０４が判定した場合（ステップＳ１５０−ＹＥＳ）、先端からの気体の吸引を対象吸着ユニットに終了させる（ステップＳ１６０）。なお、搬送アーム制御部８０８は、当該場合、ステップＳ１６０の処理を行う前のタイミングにおいて、対象吸着ユニットのチャタリングを検出する構成であってもよい。この場合、搬送アーム制御部８０８は、対象吸着ユニットのチャタリングが検出されると、ステップＳ１６０の処理を行わず、ステップＳ１２０に遷移し、対象吸着ユニットの先端の位置を第１待機位置と再び一致させる。すなわち、搬送アーム制御部８０８は、当該場合において対象吸着ユニットのチャタリングが検出されると、ステップＳ１２０からステップＳ１５０の処理をやり直す。
【００８９】
次に、位置情報取得部８０５は、対象吸着ユニットが有する図示しないエンコーダーから、対象吸着ユニットの先端の位置を示す位置情報を、対象吸着ユニットの先端が第１物体の接触面を吸着した位置を示す位置情報として取得する。そして、記憶制御部８０７は、位置情報取得部８０５が取得した位置情報を、対象吸着ユニットを示す吸着ユニット識別情報に対応付けて記憶部１０００に記憶させる（ステップＳ１７０）。
【００９０】
ステップＳ１２０〜ステップＳ１７０の処理は、対象吸着ユニットが第１物体を吸着する位置を荒く検出するための処理である。
【００９１】
次に、搬送アーム制御部８０８は、搬送アーム１３を制御し、対象吸着ユニットの先端を可動方向に向かって後に所定の第２移動距離移動させる（ステップＳ１８０）。換言すると、搬送アーム制御部８０８は、搬送アーム１３を制御し、対象吸着ユニットの先端をＺ軸の正方向に向かって所定の第２移動距離移動させる。これにより、搬送アーム制御部８０８は、対象吸着ユニットの先端を第１物体の接触面から第２移動距離離間させる。ここで、第２移動距離は、例えば、３ミリメートルである。なお、第２移動距離は、３ミリメートルよりも短い距離であってもよく、３ミリメートルよりも長い距離であってもよい。ただし、第２移動距離は、後述する第３移動距離よりも長い距離である。
【００９２】
次に、搬送アーム制御部８０８は、先端からの気体の吸引を対象吸着ユニットに開始させる（ステップＳ１９０）。
【００９３】
次に、搬送アーム制御部８０８は、搬送アーム１３を制御し、対象吸着ユニットの先端を可動方向に向かって前に所定の第３移動距離移動させる（ステップＳ２００）。換言すると、搬送アーム制御部８０８は、搬送アーム１３を制御し、対象吸着ユニットの先端をＺ軸の負方向に向かって所定の第３移動距離移動させる。これにより、搬送アーム制御部８０８は、対象吸着ユニットの先端を第１物体の接触面に第３移動距離近づける。ここで、第３移動距離は、例えば、０．０１ミリメートルである。なお、第３移動距離は、０．０１ミリメートルよりも短い距離であってもよく、０．０１ミリメートルよりも長い距離であってもよい。ただし、第３移動距離は、第１移動距離よりも短い距離である。
【００９４】
なお、ステップＳ１９０の処理とステップＳ２００の処理とは、並列に行われる構成であってもよく、逆の順で行われる構成であってもよい。
【００９５】
次に、判定部８０４は、対象吸着ユニットの流路１３２内の圧力が前述の閾値以下であるか否かを判定する（ステップＳ２１０）。具体的には、判定部８０４は、対象吸着ユニットが有する圧力センサー１３５から圧力情報を取得する。判定部８０４は、当該圧力情報に基づいて、対象吸着ユニットの流路１３２内の圧力が所定の閾値以下であるか否かを判定する。ステップＳ２１０の処理は、ステップＳ１５０の処理と同様の処理である。このため、ステップＳ２１０の処理について、これ以上の詳細な説明を省略する。
【００９６】
搬送アーム制御部８０８は、対象吸着ユニットの流路１３２内の圧力が閾値以下ではないと判定部８０４が判定した場合（ステップＳ２１０−ＮＯ）、ステップＳ２００に遷移し、対象吸着ユニットを可動方向に向かって前に第３移動距離再び移動させる。
【００９７】
一方、搬送アーム制御部８０８は、対象吸着ユニットの流路１３２内の圧力が閾値以下であると判定部８０４が判定した場合（ステップＳ２１０−ＹＥＳ）、先端からの気体の吸引を対象吸着ユニットに終了させる（ステップＳ２２０）。なお、搬送アーム制御部８０８は、当該場合、ステップＳ２２０の処理を行う前のタイミングにおいて、対象吸着ユニットのチャタリングを検出する構成であってもよい。この場合、搬送アーム制御部８０８は、対象吸着ユニットのチャタリングが検出されると、ステップＳ２２０の処理を行わず、ステップＳ１８０に遷移し、対象吸着ユニットの先端の位置を、第１物体の接触面からＺ軸の正方向に第２移動距離離間させた位置まで戻す。すなわち、搬送アーム制御部８０８は、当該場合において対象吸着ユニットのチャタリングが検出されると、ステップＳ１８０からステップＳ２１０の処理をやり直す。
【００９８】
次に、位置情報取得部８０５は、対象吸着ユニットが有する図示しないエンコーダーから、対象吸着ユニットの先端の位置を示す位置情報を、対象吸着ユニットの先端の位置のうち当該先端により第１物体を吸着した位置を示す位置情報として取得する。そして、記憶制御部８０７は、記憶部１０００に予め記憶された対象吸着ユニットについての位置情報を、位置情報取得部８０５が取得した位置情報に更新する（ステップＳ２３０）。
【００９９】
ステップＳ１８０〜ステップＳ２３０の処理は、対象吸着ユニットが第１物体を吸着する位置を高精度に検出するための処理である。
【０１００】
ステップＳ２３０の処理が行われた後、搬送アーム制御部８０８は、ステップＳ１１０に遷移し、未選択の吸着ユニット１３Ｕの中から、次の対象吸着ユニットを選択する。なお、ステップＳ１１０において未選択の吸着ユニット１３Ｕが存在しない場合、算出部８０６は、ステップＳ２４０に遷移する。
【０１０１】
なお、制御部８００は、ステップＳ１２０〜ステップＳ１７０の処理と、ステップＳ１８０〜ステップＳ２３０の処理とのうちいずれか一方を省略する構成であってもよい。また、制御部８００は、８個の吸着ユニット１３Ｕのうちの一部又は全部のそれぞれについてのステップＳ１２０〜ステップＳ２３０の処理を、並列に行う構成であってもよい。この場合、第１物体の接触面の面積は、８個の吸着ユニット１３Ｕのうちの一部又は全部それぞれの先端が並列に吸着可能な程度以上の面積である。
【０１０２】
ステップＳ１１０〜ステップＳ２３０の繰り返し処理が行われた後、算出部８０６は、個々の吸着ユニット１３Ｕについての第１オフセットを算出する（ステップＳ２４０）。具体的には、算出部８０６は、搬送アーム１３が有する８個の吸着ユニット１３Ｕのそれぞれを示す吸着ユニット識別情報と、記憶部１０００に記憶された８つの位置情報のそれぞれとに基づいて、先端が第１物体を吸着した位置を吸着ユニット１３Ｕ毎に特定する。また、算出部８０６は、特定した８つの位置のうち、予めユーザーから受け付けた操作によって選択された基準吸着ユニットを示す吸着ユニット識別情報に対応付けられた位置情報が示す位置を、基準位置として特定する。そして、算出部８０６は、基準吸着ユニットについての第１オフセットを、０として算出する。次に、算出部８０６は、基準吸着ユニットを除く個々の吸着ユニット１３Ｕのそれぞれについて、吸着ユニット１３Ｕが第１物体を吸着した位置と基準位置との差分を、当該吸着ユニット１３Ｕについての第１オフセットとして算出する。このようにして、算出部８０６は、ステップＳ２４０において、８個の吸着ユニット１３Ｕのそれぞれについての第１オフセットを算出する。
【０１０３】
次に、記憶制御部８０７は、８個の吸着ユニット１３Ｕのそれぞれについて、吸着ユニット１３Ｕについての第１オフセットと、当該吸着ユニット１３Ｕを示す吸着ユニット識別情報とを対応付けた第１オフセット情報を生成する。記憶制御部８０７は、８個の吸着ユニット１３Ｕのそれぞれについて生成した第１オフセット情報を、記憶部１０００に記憶させることにより電子部品検査装置１に設定し（ステップＳ２５０）、処理を終了する。
【０１０４】
ここで、電子部品検査装置１は、このように吸着ユニット１３Ｕ毎に設定される第１オフセットに加えて、吸着ユニット１３Ｕ毎にユーザーにより指定される第２オフセットを、モニター３００に表示されるオフセット設定画像を介してユーザーから受け付けることができる。第２オフセットは、第１オフセットと同様に、吸着ユニット１３Ｕの先端を移動させる位置を、基準吸着ユニットの基準位置からずらす量である。また、第２オフセットは、電子部品検査装置１の状態、何らかのユーザーの都合、電子部品９０の状態等に応じて、ユーザーが電子部品検査装置１に設定する量である。電子部品検査装置１において、ある吸着ユニット１３Ｕに第１オフセットと第２オフセットとの両方のオフセットが設定されている電子部品検査装置１では、搬送アーム制御部８０８は、当該吸着ユニット１３Ｕの先端をある位置Ｘ３に移動させる場合、当該吸着ユニット１３Ｕの先端を、基準吸着ユニットの基準位置が位置Ｘ３となるように移動させ、更に、当該吸着ユニット１３Ｕについての総オフセット量の分、基準位置からずれた位置に移動させる制御を行う。当該総オフセット量は、当該第１オフセットに当該第２オフセットを加算した量のことである。つまり、搬送アーム制御部８０８は、吸着ユニット１３Ｕの先端を移動させる位置を、基準吸着ユニットの基準位置に総オフセットを加えた位置に補正する。これにより、電子部品検査装置１は、各吸着ユニット１３Ｕの先端の移動についての調整の自由度を向上させることができる。
【０１０５】
なお、オフセット設定画像には、各吸着ユニット１３Ｕについての総オフセット量を表示させる構成であってもよく、各吸着ユニット１３Ｕについての第２オフセットを表示させる構成であってもよい。
【０１０６】
また、図５に示したフローチャートの処理において、ステップＳ２４０〜ステップＳ２５０の処理は、省略されてもよい。この場合、制御部８００は、各吸着ユニット１３Ｕの先端を吸着位置Ｘ２に移動させる毎に、記憶部１０００に記憶された吸着ユニット１３Ｕ毎の位置情報に基づいて、第１オフセットを吸着ユニット１３Ｕ毎に算出する。
【０１０７】
＜オフセット設定画像＞
以下、図６を参照し、オフセット設定画像について説明する。図６は、オフセット設定画像の一例を示す図である。図６に示した画像Ｐ１は、オフセット設定画像の一例を示す。
【０１０８】
画像Ｐ１には、画像Ｐ１１〜画像Ｐ１８の８つの画像と、入力表示欄Ｗ１１〜入力表示欄Ｗ１８の８つのＧＵＩ（Graphical  User  Interface）とが含まれている。なお、画像Ｐ１には、これらの画像及びＧＵＩに加えて、他の画像、他のＧＵＩを含む構成であってもよい。
【０１０９】
画像Ｐ１１〜画像Ｐ１８のそれぞれは、８個の吸着ユニット１３Ｕのそれぞれを示す画像である。なお、画像Ｐ１は、画像Ｐ１１〜画像Ｐ１８を含む構成に代えて、８個の吸着ユニット１３Ｕのそれぞれを示す文字等、８個の吸着ユニット１３Ｕのそれぞれを示す他の情報が含まれる構成であってもよい。
【０１１０】
入力表示欄Ｗ１１〜入力表示欄Ｗ１８のそれぞれは、８個の吸着ユニット１３Ｕのそれぞれについてのオフセットを入力可能な欄であり、且つ、８個の吸着ユニット１３Ｕのそれぞれについてのオフセットが表示される欄である。具体的には、入力表示欄Ｗ１１は、画像Ｐ１１が示す吸着ユニット１３Ｕについてのオフセットを入力可能であり、且つ、当該オフセットが表示される欄である。入力表示欄Ｗ１２は、画像Ｐ１２が示す吸着ユニット１３Ｕについてのオフセットを入力可能であり、且つ、当該オフセットが表示される欄である。入力表示欄Ｗ１３は、画像Ｐ１３が示す吸着ユニット１３Ｕについてのオフセットを入力可能であり、且つ、当該オフセットが表示される欄である。入力表示欄Ｗ１４は、画像Ｐ１４が示す吸着ユニット１３Ｕについてのオフセットを入力可能であり、且つ、当該オフセットが表示される欄である。入力表示欄Ｗ１５は、画像Ｐ１５が示す吸着ユニット１３Ｕについてのオフセットを入力可能であり、且つ、当該オフセットが表示される欄である。入力表示欄Ｗ１６は、画像Ｐ１６が示す吸着ユニット１３Ｕについてのオフセットを入力可能であり、且つ、当該オフセットが表示される欄である。入力表示欄Ｗ１７は、画像Ｐ１７が示す吸着ユニット１３Ｕについてのオフセットを入力可能であり、且つ、当該オフセットが表示される欄である。入力表示欄Ｗ１８は、画像Ｐ１８が示す吸着ユニット１３Ｕについてのオフセットを入力可能であり、且つ、当該オフセットが表示される欄である。
【０１１１】
ここで、実施形態では、入力表示欄Ｗ１１〜入力表示欄Ｗ１８のそれぞれは、互いに同じ構成である。そこで、入力表示欄Ｗ１１を例に挙げて、入力表示欄Ｗ１１〜入力表示欄Ｗ１８のそれぞれについて説明する。このため、入力表示欄Ｗ１２〜入力表示欄Ｗ１８のそれぞれについての説明を省略する。なお、入力表示欄Ｗ１１〜入力表示欄Ｗ１８のそれぞれは、互いに異なる構成であってもよい。
【０１１２】
画像Ｐ１が表示されたタイミングにおいて、入力表示欄Ｗ１１には、画像Ｐ１１が示す吸着ユニット１３Ｕについて設定されている第１オフセットに、当該吸着ユニット１３Ｕについて設定されている第２オフセットを加算した値が、総オフセット量として表示される。ここで、入力表示欄Ｗ１１には、前述の位置決め動作が１度も行われていない場合、第１オフセットを０として算出された総オフセット量が表示される。また、入力表示欄Ｗ１１には、ユーザーにより指定される第２オフセットを電子部品検査装置１が画像Ｐ１を介してユーザーから１度も受け付けていない場合、第２オフセットを０として算出された総オフセット量が表示される。また、入力表示欄Ｗ１１には、前述の位置決め動作が１度も行われていない場合、且つ、ユーザーにより指定される第２オフセットを電子部品検査装置１が画像Ｐ１を介してユーザーから１度も受け付けていない場合、０又は総オフセット量が設定されていないことを示す情報が表示される。
【０１１３】
ここで、入力表示欄Ｗ１１は、入力表示欄Ｗ１１に表示された総オフセット量を変更する操作をユーザーから受け付けることができる。当該操作を受け付けた場合、入力表示欄Ｗ１１には、当該操作に応じた総オフセット量が表示される。この際、電子部品検査装置１は、当該総オフセット量と画像Ｐ１１が示す吸着ユニット１３Ｕについての第１オフセットとの差分を、当該吸着ユニット１３Ｕについての第２オフセットとして電子部品検査装置１自身に記憶させることにより設定し直す。これにより、ユーザーは、当該吸着ユニット１３Ｕについての総オフセット量の確認と編集を容易に行うことができる。
【０１１４】
なお、前述した通り、入力表示欄Ｗ１１には、画像Ｐ１１が示す吸着ユニット１３Ｕについての総オフセット量に代えて、当該吸着ユニット１３Ｕについての第２オフセットが表示される構成であってもよい。この場合、ユーザーは、当該吸着ユニット１３Ｕについての第２オフセットの確認と編集とを容易に行うことができるとともに、当該吸着ユニット１３Ｕについての第１オフセットを意識することなく、吸着位置Ｘ２から当該吸着ユニット１３Ｕの先端をずらす量として第２オフセットを設定することができる。
【０１１５】
また、入力表示欄Ｗ１１は、画像Ｐ１１が示す吸着ユニット１３Ｕについて電子部品検査装置１に現在設定されている第１オフセット及び第２オフセットを合算した総オフセット量からの差分を示す値をユーザーが入力することが可能な欄であってもよい。この場合、入力表示欄Ｗ１１は、画像Ｐ１が表示されたタイミングにおいて、０が表示される。そして、入力表示欄Ｗ１１には、ユーザーから当該差分を入力する操作を受け付けた場合、当該操作に応じた値が表示される。この際、電子部品検査装置１は、当該第２オフセットと当該値との差分を、当該吸着ユニット１３Ｕについての第２オフセットとして電子部品検査装置１自身に記憶させることにより設定し直す。これにより、ユーザーは、当該総オフセット量の修正を、容易に行うことができる。
【０１１６】
＜オフセット設定画像の生成と表示を行う処理＞
以下、図７を参照し、オフセット設定画像の生成と表示を制御部８００が行う処理について説明する。図７は、オフセット設定画像の生成と表示を制御部８００が行う処理の流れの一例を示す図である。
【０１１７】
以下では、一例として、図７に示したステップＳ３１０の処理が行われるよりも前のタイミングにおいて、オフセット設定画像を表示させる操作を電子部品検査装置１がユーザーから受け付けている場合について説明する。
【０１１８】
表示制御部８０１は、記憶部１０００に記憶された第１オフセットを、吸着ユニット１３Ｕ毎に記憶部１０００から読み出す（ステップＳ３１０）。なお、第１オフセットが設定されていない吸着ユニット１３Ｕについて、表示制御部８０１は、当該吸着ユニット１３Ｕについての第１オフセットを０として特定する。
【０１１９】
次に、表示制御部８０１は、記憶部１０００に記憶された第２オフセットを、吸着ユニット１３Ｕ毎に記憶部１０００から読み出す（ステップＳ３２０）。なお、第２オフセットが設定されていない吸着ユニット１３Ｕについて、表示制御部８０１は、当該吸着ユニット１３Ｕについての第２オフセットを０として特定する。
【０１２０】
なお、ステップＳ３１０の処理とステップＳ３２０の処理とは、並列に行われる構成であってもよく、逆の順で行われる構成であってもよい。
【０１２１】
次に、表示制御部８０１は、ステップＳ３１０において読み出した第１オフセットに、ステップＳ３２０において読み出した第２オフセットを加算した総オフセット量を、吸着ユニット１３Ｕ毎に算出する。そして、表示制御部８０１は、吸着ユニット１３Ｕ毎に算出した総オフセット量に基づいて、図６に示したようなオフセット設定画像を生成する（ステップＳ３３０）。
【０１２２】
次に、表示制御部８０１は、ステップＳ３３０において生成したオフセット設定画像を、モニター３００に表示させる（ステップＳ３４０）。
【０１２３】
次に、表示制御部８０１は、オフセット設定画像を介してユーザーから操作を受け付けるまで待機する（ステップＳ３５０）。
【０１２４】
表示制御部８０１は、オフセット設定画像を介してユーザーから操作を受け付けたと判定した場合（ステップＳ３５０−ＹＥＳ）、受け付けた操作が、モニター３００におけるオフセット設定画像の表示の削除を行う操作であったか否かを判定する（ステップＳ３６０）。
【０１２５】
表示制御部８０１は、受け付けた操作が、モニター３００におけるオフセット設定画像の表示の削除を行う操作ではなかったと判定した場合（ステップＳ３６０−ＮＯ）、受け付けた操作に応じた処理を実行する（ステップＳ３７０）。当該処理は、例えば、入力表示欄Ｗ１１に表示された値の編集等である。ステップＳ３７０の処理が行われた後、表示制御部８０１は、ステップＳ３５０に遷移し、オフセット設定画像を介してユーザーから操作を受け付けるまで再び待機する。
【０１２６】
一方、表示制御部８０１は、受け付けた操作が、モニター３００におけるオフセット設定画像の表示の削除を行う操作であったと判定した場合（ステップＳ３６０−ＹＥＳ）、モニター３００におけるオフセット設定画像の表示を削除し（ステップＳ３８０）、処理を終了する。
【０１２７】
なお、図７に示したフローチャートの処理は、入力表示欄Ｗ１１〜入力表示欄Ｗ１８のそれぞれに表示される値が総オフセット量である場合の処理である。入力表示欄Ｗ１１〜入力表示欄Ｗ１８のそれぞれに表示される値が第２オフセットである場合、表示制御部８０１は、ステップＳ３１０の処理を省略する。そして、当該場合、表示制御部８０１は、ステップＳ３２０において吸着ユニット１３Ｕ毎に読み出した第２オフセットに基づくオフセット設定画像を、ステップＳ３３０において生成する。また、入力表示欄Ｗ１１〜入力表示欄Ｗ１８のそれぞれに表示される値が現在の第２オフセットからの差分である場合、表示制御部８０１は、ステップＳ３１０の処理を省略する。そして、当該場合、表示制御部８０１は、ステップＳ３２０において吸着ユニット１３Ｕ毎に読み出した第２オフセットに基づくオフセット設定画像を、ステップＳ３３０において生成する。
【０１２８】
＜搬送アームに電子部品を搬送させる処理＞
以下、図８を参照し、制御部８００が搬送アーム１３に電子部品９０を搬送させる処理について説明する。図８は、制御部８００が搬送アーム１３に電子部品９０を搬送させる処理の流れの一例を示す図である。
【０１２９】
制御部８００は、搬送アーム１３による電子部品９０の搬送を行う毎に、図８に示したフローチャートの処理を繰り返し行う。なお、図８に示したステップＳ４１０〜ステップＳ４３０の処理は、繰り返し行われる当該フローチャートの処理において、１回目の当該フローチャートの処理において制御部８００が行った後、２回目以降の当該フローチャートの処理において省略されてもよい。
【０１３０】
なお、以下では、一例として、前述のオフセット設定画像を介して、ユーザーから吸着ユニット１３Ｕ毎に指定された第２オフセットを示す第２オフセット情報が記憶部１０００に既に記憶されている場合について説明する。
【０１３１】
算出部８０６は、記憶部１０００に吸着ユニット１３Ｕ毎に記憶された第１オフセット情報を記憶部１０００から読み出す（ステップＳ４１０）。
【０１３２】
次に、算出部８０６は、記憶部１０００に吸着ユニット１３Ｕ毎に記憶された第２オフセット情報を記憶部１０００から読み出す（ステップＳ４２０）。
【０１３３】
次に、算出部８０６は、ステップＳ４１０において読み出した第１オフセット情報が示す第１オフセットに、ステップＳ４２０において読み出した第２オフセット情報が示す第２オフセットを加算した総オフセット量を、吸着ユニット１３Ｕ毎に算出する（ステップＳ４３０）。なお、ステップＳ４３０において、記憶制御部８０７は、算出部８０６により吸着ユニット１３Ｕ毎に算出された総オフセット量を示す総オフセット量情報を記憶部１０００に記憶させ、次回以降の処理において総オフセット量情報が示す総オフセット量を搬送アーム制御部８０８が繰り返し使えるようにする構成であってもよい。
【０１３４】
次に、搬送アーム制御部８０８は、ステップＳ４３０において吸着ユニット１３Ｕ毎に算出した総オフセット量に基づいて、電子部品９０の搬送を開始する（ステップＳ４４０）。具体的には、ステップＳ４４０の処理を実行中の搬送アーム制御部８０８は、８個の吸着ユニット１３Ｕのそれぞれについて、吸着ユニット１３Ｕの先端を吸着位置Ｘ２に移動させる制御を行う際、基準吸着ユニットの基準位置が吸着位置Ｘ２となるように移動させ、更に、吸着ユニット１３Ｕについての総オフセット量の分だけ基準位置からずれた位置に移動させる制御を行う。この際、例えば、すべての第２オフセットが０であれば、搬送アーム制御部８０８は、８個の吸着ユニット１３Ｕ全部の先端の位置を、可動方向において互いに精度よく一致させることができる。これはすなわち、搬送アーム制御部８０８が、記憶部１０００に吸着ユニット１３Ｕ毎に記憶した位置情報に基づいて、各吸着ユニット１３Ｕが電子部品９０を吸着する位置を補正していると換言することもできる。
【０１３５】
更に、ある第２オフセットが全部の吸着ユニット１３Ｕに設定されている場合、且つ、制御部８００が基準吸着ユニットの先端を吸着位置Ｘ２に移動させる制御を行った場合における当該先端の位置と吸着位置Ｘ２との差分が当該第２オフセットである場合、搬送アーム制御部８０８は、図９に示したように、８個の吸着ユニット１３Ｕ全部の先端の位置を、吸着位置Ｘ２に精度よく一致させることができる。
【０１３６】
ここで、図９は、各吸着ユニット１３Ｕの先端を吸着位置Ｘ２に移動させた場合における各吸着ユニット１３Ｕの先端と吸着位置Ｘ２との相対的な位置関係の一例を示す図である。
【０１３７】
図９では、煩雑さを解消するため、８個の吸着ユニット１３Ｕのうちの４個の吸着ユニット１３Ｕのみを示している。また、図９では、これら４個の吸着ユニット１３Ｕのそれぞれを、吸着ユニット１３ＵＡ〜吸着ユニット１３ＵＤとして示している。ここで、一例として、吸着ユニット１３ＵＡが、前述の基準吸着ユニットである場合について説明する。
【０１３８】
搬送アーム制御部８０８は、基準吸着ユニットについての第１オフセットが０であるため、実質的には、第２オフセットに基づいて吸着ユニット１３ＵＡの先端を吸着位置Ｘ２と一致させる。また、搬送アーム制御部８０８は、吸着ユニット１３ＵＢ〜吸着ユニット１３ＵＤのそれぞれについて、総オフセット量に基づいて、各吸着ユニット１３Ｕの先端を吸着位置Ｘ２と一致させる。この際、吸着ユニット１３ＵＢ〜吸着ユニット１３ＵＤのそれぞれについては、基準吸着ユニットの先端との相対的な先端の位置のずれを第１オフセットによって補正されている。また、吸着ユニット１３ＵＢ〜吸着ユニット１３ＵＤのそれぞれについては、先端の位置と吸着位置Ｘ２との位置のずれを、ユーザーにより指定される第２オフセットによって補正されている。
【０１３９】
ステップＳ４４０の処理が開始された後、搬送アーム制御部８０８は、電子部品９０の搬送が終了したか否かを判定する（ステップＳ４５０）。搬送アーム制御部８０８は、電子部品９０の搬送が終了していないと判定した場合（ステップＳ４５０−ＮＯ）、ステップＳ４４０において開始した処理を継続する。一方、搬送アーム制御部８０８は、電子部品９０の搬送が終了したと判定した場合（ステップＳ４５０−ＹＥＳ）、処理を終了する。
【０１４０】
このように、制御部８００は、位置決め動作において予め算出した第１オフセットに基づいて搬送アーム１３を制御し、電子部品９０の吸着に失敗してしまうことを抑制しつつ、電子部品９０の搬送を行うことができる。
【０１４１】
＜位置決め動作を行わせるタイミングを設定するタイミング設定画像＞
以下、図１０を参照し、前述の位置決め動作を電子部品検査装置１に行わせるタイミング設定するタイミング設定画像について説明する。図１０は、タイミング設定画像の一例を示す図である。図１０に示した画像Ｐ２は、タイミング設定画像の一例を示す。
【０１４２】
画像Ｐ２には、プルダウンメニューＰＤが含まれている。なお、画像Ｐ２には、プルダウンメニューＰＤに加えて、他の画像、他のＧＵＩ等が含まれる構成であってもよい。
【０１４３】
プルダウンメニューＰＤは、表示欄を有する。プルダウンメニューＰＤは、ユーザーによるクリック等の選択操作に応じて、ユーザーが選択可能なタイミングの候補のリストを表示させる。また、プルダウンメニューＰＤは、表示させた当該リストに含まれる候補のうちの１つにユーザーから選択操作が行われた場合、ユーザーにより選択候補が行われた候補のタイミングを表示欄に表示させるとともに、当該リストの表示を削除する。記憶制御部８０７は、プルダウンメニューＰＤの表示欄に表示されたタイミングを示すタイミング情報を記憶部１０００に記憶させる。
【０１４４】
そして、搬送アーム制御部８０８は、記憶部１０００に記憶されたタイミング情報が示すタイミングに基づいて、図５に示したフローチャートの処理を行う。これにより、搬送アーム制御部８０８は、ユーザーが所望するタイミングにおいて、位置決め動作を行うことができる。なお、プルダウンメニューＰＤにより選択可能なタイミングは、前述した通り、初期化をスタートした時、セットアップファイルを変更した時、コンタクトをユーザーにより設定された回数行った時、ユーザーにより設定された時間が経過した時等のタイミングであるが、これらに限られるわけではない。
【０１４５】
なお、上記において説明した電子部品検査装置１は、吸着ユニット１３Ｕ毎に、吸着ユニット１３Ｕの先端が吸着する物体を変えてもよい。ただし、各吸着ユニット１３Ｕの先端に吸着させる物体の面の高さは、互いに同じ高さに保たれている必要がある。
【０１４６】
以上のように、実施形態に係る電子部品搬送装置（上記において説明した例では、電子部品搬送装置１０）の位置補正方法は、電子部品（上記において説明した例では、電子部品９０）を吸着させて電子部品の搬送を行う第１吸着ユニット（上記において説明した例では、基準吸着ユニット以外の個々の吸着ユニット１３Ｕ）を有する電子部品搬送装置が、第１吸着ユニットの位置を補正する電子部品搬送装置の位置補正方法であって、吸引を行いながら、予め決められた位置に固定される第１物体に第１吸着ユニットを近づけ、第１吸着ユニットを第１物体に近づけている間、第１吸着ユニットが有する第１吸引流路（上記において説明した例では、流路１３２）内の圧力が所定の閾値以下であることを検出した場合、第１吸着ユニットの位置を示す位置情報を記憶部（上記において説明した例では、記憶部１０００）に記憶し、記憶部に記憶した位置情報に基づいて、第１吸着ユニットが電子部品を吸着する位置を補正する。これにより、位置補正方法は、第１吸着ユニットによる電子部品の吸着に失敗してしまうことを抑制することができる。
【０１４７】
また、電子部品搬送装置の位置補正方法では、第１物体は、電子部品搬送装置に設けられたリブである、構成が用いられてもよい。
【０１４８】
また、電子部品搬送装置の位置補正方法は、記憶部に記憶した位置情報が示す位置と、基準となる基準位置との差分をオフセット（上記において説明した例では、第１オフセット）として算出し、算出したオフセットに基づいて第１吸着ユニットが電子部品を吸着する位置を補正する、構成が用いられてもよい。
【０１４９】
また、電子部品搬送装置の位置補正方法では、電子部品搬送装置は、電子部品を吸着させて電子部品の搬送を行う第２吸着ユニット（上記において説明した例では、基準吸着ユニット）を更に有し、吸引を行いながら、予め決められた位置に固定される第２物体（上記において説明した例では、第１物体）に第２吸着ユニットを近づけ、第２吸着ユニットを第２物体に近づけている間、第２吸着ユニットが有する第２吸引流路（上記において説明した例では、流路１３２）内の圧力が閾値以下であることを検出した場合、第２吸着ユニットの位置を示す位置情報を、基準位置を示す基準位置情報（上記において説明した例では、基準吸着ユニットについての位置情報）として記憶部に記憶する、構成が用いられてもよい。
【０１５０】
また、電子部品搬送装置の位置補正方法は、算出したオフセットに応じた値（上記において説明した例では、総オフセット量）を電子部品搬送装置の表示部（上記において説明した例では、モニター３００）に表示させる、構成が用いられてもよい。
【０１５１】
また、電子部品搬送装置の位置補正方法は、算出したオフセットに応じた値を記憶部に記憶させる、構成が用いられてもよい。
【０１５２】
以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない限り、変更、置換、削除等されてもよい。
【０１５３】
また、以上に説明した装置における任意の構成部の機能を実現するためのプログラムを、コンピューター読み取り可能な記録媒体に記録し、そのプログラムをコンピューターシステムに読み込ませて実行するようにしてもよい。ここで、当該装置は、例えば、電子部品検査装置１、電子部品搬送装置１０等である。なお、ここでいう「コンピューターシステム」とは、ＯＳ（Operating  System）や周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、「コンピューター読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ（Compact  Disk）−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピューターシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピューター読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムが送信された場合のサーバーやクライアントとなるコンピューターシステム内部の揮発性メモリーのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。
【０１５４】
また、上記のプログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピューターシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピューターシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。
また、上記のプログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよい。さらに、上記のプログラムは、前述した機能をコンピューターシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル又は差分プログラムであってもよい。
【符号の説明】
【０１５５】
１…電子部品検査装置、１０…電子部品搬送装置、１１Ａ…トレイ搬送機構、１１Ｂ…トレイ搬送機構、１２…温度調整部、１３、２０…搬送アーム、１３Ｕ、１３ＵＡ、１３ＵＢ、１３ＵＤ…吸着ユニット、１４、１４Ａ、１４Ｂ…電子部品供給部、１５…トレイ搬送機構、１６…検査部、１７、１７Ａ、１７Ｂ…電子部品搬送ヘッド、１８、１８Ａ、１８Ｂ…電子部品回収部、１９…回収用トレイ、２１、２２Ａ、２２Ｂ…トレイ搬送機構、２５…搬送部、９０…電子部品、１３０…流路形成部、１３１…保持部、１３１ａ…吸着面、１３２…流路、１３２ａ、１３２ｂ…端部、１３３…真空ポンプ、１３４…バルブ、１３５…圧力センサー、２００…トレイ、３００…モニター、３０１…表示画面、４００…シグナルランプ、５００…スピーカー、６００…マウス台、７００…操作パネル、８００…制御部、８０１…表示制御部、８０２…操作受付部、８０３…圧力情報取得部、８０４…判定部、８０５…位置情報取得部、８０６…算出部、８０７…記憶制御部、８０８…搬送アーム制御部、１０００…記憶部、Ａ１…トレイ供給領域、Ａ２…電子部品供給領域、Ａ３…検査領域、Ａ４…電子部品回収領域、Ａ５…トレイ除去領域
【図１】
2020159937.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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