(57)【要約】      （修正有）【課題】導電性ボールが正常に実装されていない箇所を検出した場合に、その箇所において導電性ボールが正常に実装されるように修正（リペア）する導電性ボール検査リペア装置を提供する。【解決手段】導電性ボール検査リペア装置１は、検査装置２と、リペア装置３と、を備える。検査装置２は、主検査部２０を有する。主検査部２０は、カメラ２００と、レンズ２０１と、照明装置４１、４２、４３と、を有する。照明装置４１、４２、４３は、主検査部２０のカメラ２００およびレンズ２０１と、ワークＷとの間に、鉛直方向であるＺ１・Ｚ２方向に３段配置されている。３段の照明装置４１、４２、４３は、それぞれ、ワークＷの検査箇所およびその周囲を照明する。この結果、この発明は、複数の照明機能が得られる。【選択図】図２
2020136304.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性ボールがワークの電極に正常に実装されているか否かを検査する検査部を有する検査装置と、
前記検査部により、前記導電性ボールが正常に実装されていない箇所を検出した場合に、前記箇所において前記導電性ボールが正常に実装されるように修正するリペア部を有するリペア装置と、
を備え、
前記主検査部は、
カメラおよびレンズと、
前記カメラおよび前記レンズと前記ワークとの間に鉛直方向に複数段配置されていて、前記ワークを照明する照明装置と、
を有し、
複数段の前記照明装置は、それぞれ、
中央部分に空間が設けられている環状の枠部材と、
前記枠部材に複数個設けられている発光素子群と、
を有する、
ことを特徴とする導電性ボール検査リペア装置。
【請求項２】
前記発光素子群は、前記枠部材の環状に倣って環状に配置されていて、
前記レンズの中心と前記枠部材の中心とは、同一線上に位置する、
ことを特徴とする請求項１に記載の導電性ボール検査リペア装置。
【請求項３】
複数段の前記照明装置のうち、前記ワークに最も近い位置に配置されている前記照明装置の前記発光素子群は、複数の組から構成されていて、
複数の組の前記発光素子群がそれぞれ発する光の波長は、組毎に異なっている、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の導電性ボール検査リペア装置。
【請求項４】
複数段の前記照明装置のうち、前記ワークに最も近い位置に配置されている前記照明装置は、前記発光素子群において発した光を、入射して、かつ、拡散光として前記ワーク側に出射させる光拡散部材を、有する、
ことを特徴とする請求項３に記載の導電性ボール検査リペア装置。
【請求項５】
複数段の前記照明装置のうち、前記ワークに最も近い位置に配置されている前記照明装置は、主に、前記導電性ボールを照明する照明装置である、
ことを特徴とする請求項３に記載の導電性ボール検査リペア装置。
【請求項６】
複数段の前記照明装置のうち、前記ワークに最も近い位置に配置されている前記照明装置の前記発光素子群は、複数の組から構成されていて、
複数の組の前記発光素子群がそれぞれ発する光の波長は、複数の組毎に異なっていて、
複数段の前記照明装置のうち、前記ワークに最も近い位置に配置されている前記照明装置以外の前記照明装置の前記発光素子群が発する光の波長は、複数の組の前記発光素子群が発する光のうち最も短い波長よりも長い、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の導電性ボール検査リペア装置。
【請求項７】
前記ワークは、配線が形成されている基板であって、
複数段の前記照明装置のうち、前記ワークに最も近い位置に配置されている前記照明装置以外の前記照明装置は、主に、前記ワークの前記配線を照明する照明装置である、
ことを特徴とする請求項６に記載の導電性ボール検査リペア装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性ボール検査リペア装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
導電性ボール検査リペア装置として以下の特許文献１がある。特許文献１のボール検査リペア装置は、検査装置とリペア装置とを備える。検査装置は、カメラおよび照明装置を有し、ワークの電極に導電性ボールが正常に実装されているか否かを検査する。リペア装置は、検査装置により、導電性ボールが正常に実装されていない箇所を検出した場合に、その箇所において導電性ボールが正常に実装されるように修正（リペア）する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−３４１７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のボール検査リペア装置は、照明装置をカメラの下方に一段配置したものであるから、一つの照明機能しか得られない。
【０００５】
この発明が解決しようとする課題は、複数の照明機能が得られる、導電性ボール検査リペア装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明の導電性ボール検査リペア装置は、導電性ボールがワークの電極に正常に実装されているか否かを検査する検査部を有する検査装置と、検査部により、導電性ボールが正常に実装されていない箇所を検出した場合に、箇所において導電性ボールが正常に実装されるように修正するリペア部を有するリペア装置と、を備え、主検査部が、カメラおよびレンズと、カメラおよびレンズとワークとの間に鉛直方向に複数段配置されていて、ワークを照明する照明装置と、を有し、複数段の照明装置が、それぞれ、中央部分に空間が設けられている環状の枠部材と、枠部材に複数個設けられている発光素子群と、を有する、ことを特徴とする。
【０００７】
この発明の導電性ボール検査リペア装置において、発光素子群が、枠部材の環状に倣って環状に配置されていて、レンズの中心と枠部材の中心とが、同一線上に位置する、ことが好ましい。
【０００８】
この発明の導電性ボール検査リペア装置において、複数段の照明装置のうち、ワークに最も近い位置に配置されている照明装置の発光素子群が、複数の組から構成されていて、複数の組の発光素子群がそれぞれ発する光の波長が、組毎に異なっている、ことが好ましい。
【０００９】
この発明の導電性ボール検査リペア装置において、複数段の照明装置のうち、ワークに最も近い位置に配置されている照明装置が、発光素子群において発した光を、入射して、かつ、拡散光としてワーク側に出射させる光拡散部材を、有する、ことが好ましい。
【００１０】
この発明の導電性ボール検査リペア装置において、複数段の照明装置のうち、ワークに最も近い位置に配置されている照明装置が、主に、導電性ボールを照明する照明装置である、ことが好ましい。
【００１１】
この発明の導電性ボール検査リペア装置において、複数段の照明装置のうち、ワークに最も近い位置に配置されている照明装置が、発光素子群において発した光を、入射して、かつ、拡散光としてワーク側に出射させる光拡散部材を、有し、主に、導電性ボールを照明する照明装置である、ことが好ましい。
【００１２】
この発明の導電性ボール検査リペア装置において、複数段の照明装置のうち、ワークに最も近い位置に配置されている照明装置の発光素子群が、複数の組から構成されていて、複数の組の発光素子群がそれぞれ発する光の波長が、複数の組毎に異なっていて、複数段の照明装置のうち、ワークに最も近い位置に配置されている照明装置以外の照明装置の発光素子群が発する光の波長が、複数の組の発光素子群が発する光のうち最も短い波長よりも長い、ことが好ましい。
【００１３】
この発明の導電性ボール検査リペア装置において、ワークが、配線が形成されている基板であって、複数段の照明装置のうち、ワークに最も近い位置に配置されている照明装置以外の照明装置が、主に、ワークの配線を照明する照明装置である、ことが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
この発明の導電性ボール検査リペア装置によれば、複数の照明機能が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、この発明にかかる導電性ボール検査リペア装置の実施形態を示す全体の概略平面図である。
【図２】図２は、一部分を示す概略正面図（図１における概略ＩＩ−ＩＩ線矢視図）である。
【図３】図３は、一部分を示す概略縦断面図（図１における概略ＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図）である。
【図４】図４は、３段の照明装置を示す拡大概略縦断面図である。
【図５】図５は、検査時における光路を示す概念説明図である。
【図６】図６は、発光素子群の配置状態を示す概略底面図である。図６（Ａ）は、青色ＬＥＤと赤色ＬＥＤとを周方向に交互に配置した状態を示す概略底面図である。図６（Ｂ）は、青色ＬＥＤと赤色ＬＥＤとを同心円上に配置した状態を示す概略底面図である。
【図７】図７は、銅（Ｃｕ）の分光反射率を示す説明図（グラフ）である。図７中の縦軸は、反射率（％）である。図中の横軸は、波長（ｎｍ）である。
【図８】図８は、スズ合金（Ｓｎ合金）の分光反射率を示す説明図（グラフ）である。図７中の縦軸は、反射率（％）である。図中の横軸は、波長（ｎｍ）である。
【図９】図９は、ワークおよび導電性ボールを示す概略説明図である。図６（Ａ）は、導電性ボールがワークの電極に正常に実装されている状態を示す概略説明図である。図６（Ｂ）は、導電性ボールがワークの電極に正常に実装されていない状態であって、導電性ボールがワークの電極に搭載されていない状態すなわち導電性ボールが無い状態（ミッシングボール状態）を示す概略説明図である。図６（Ｃ）は、導電性ボールがワークの電極に正常に実装されていない状態であって、導電性ボールがワークの電極から外れた位置に位置している状態（シフトボール状態）を示す概略説明図である。図６（Ｄ）は、導電性ボールがワークの電極に正常に実装されていない状態であって、余分（余計）な導電性ボールがワークに搭載されている状態（余剰ボール状態）を示す概略説明図である。
【図１０】図１０は、工程を示すフロー説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、この発明にかかる導電性ボール検査リペア装置の実施形態（実施例）の１例を図面に基づいて詳細に説明する。この明細書において、左、右、前、後、上、下は、オペレーターがこの発明にかかる導電性ボール検査リペア装置を見た時の左、右、前、後、上、下である。なお、図面においては、概略図であるため、主な構成部品を図示し、主な構成部品以外の構成部品の図示を省略する。
【００１７】
（実施形態の構成の説明）
以下、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置の構成について説明する。なお、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置については、特許文献１を参照しても良い。
【００１８】
図１〜図３中において、符号「１」は、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置である。また、図１〜図４において、符号「Ｘ１」は「左側」、「Ｘ２」は「右側」、「Ｙ１」は「前（手前）側」、「Ｙ２」は「後（奥、向）側」、「Ｚ１」は「上側」、「Ｚ２」は「下側」である。
【００１９】
ここで、水平方向である「Ｘ方向」は「Ｘ１−Ｘ２方向、左右方向」、同じく水平方向である「Ｙ方向」は「Ｙ１−Ｙ２方向、前後方向」、鉛直方向である「Ｚ方向」は「Ｚ１−Ｚ２方向、上下方向」である。Ｘ方向とＹ方向とＺ方向とは、それぞれ、相互に直交する。
【００２０】
（ワークＷの説明）
図１〜図３に示すように、ワークＷは、この例では、基板である。この基板は、絶縁板に導電性の配線が形成されているものである。絶縁板は、ガラス繊維が含有されている合成樹脂から構成されている。導電性の配線は、主に、銅から構成されている。
【００２１】
ここで、基板の製造過程において、絶縁板に配線を形成する時の熱処理により、絶縁板が熱膨張収縮する。これにより、設計上の配線パターンと製造された配線パターンとの間において、寸法誤差が生じる。このため、ワークＷが基板の場合は、検査の前工程において、製造された配線のパターンを実際に確認して登録する工程が必要である。
【００２２】
この工程は、後記する主検査部２０において、基板に付されているターゲットマークやアライメントマークなど（図示せず）を認識して行われる。この工程は、図１０中の工程Ｓ３に示す「ワークＷの検査パターン登録」である。
【００２３】
この例のワークＷは、円板形状をなす。なお、ワークＷとしては、この例の円板形状以外に、矩形形状をなすものがある。そして、ワークＷの一面には、複数個の四角形の集積回路チップ（図示せず）が、形成され、かつ、縦横に配置されている。集積回路チップの個数は、ワークＷの径（直径）に基づいて決定される。ワークＷの直径は、たとえば、５０ｍｍから３００ｍｍである。また、ワークＷの厚さは、たとえば、０．５ｍｍから１ｍｍである。一方、集積回路チップの１辺の長さは、たとえば、３０ｍｍである。
【００２４】
円板形状をなすワークＷは、作業工程前に、向きを合わせる必要がある。そこで、ワークＷの円周縁には、向きを合わせる時の目印となる直線部（図示せず）または切り欠き部（図示せず）が設けられている。また、ワークＷは、集積回路チップの構成および個数が回路設計毎に異なっているものである。そこで、ワークＷには、回路設計毎のワークＷを認識するための認識マーク（図示せず）が、設けられている。
【００２５】
図９に示すように、ワークＷ（複数個の集積回路チップ）には、導電性ボール実装装置（図示せず）により、導電性ボールＢが実装されている。すなわち、ワークＷの一面には、パッド状またはランド状の電極Ｅが設けられている。この電極Ｅには、導電性ボールＢが、フラックスＦの接着を介して、実装されている。
【００２６】
導電性ボールＢの直径は、たとえば、３０μｍから７０μｍである。導電性ボールＢは、導電性の部材からなる。たとえば、半田、金または銀などの金属ボール、あるいは、樹脂ボールまたはセラミックボールの表面に導電性メッキが施されたボールなどである。
【００２７】
（導電性ボールＢの実装状態の説明）
図９は、導電性ボール実装装置がワークＷに導電性ボールＢを実装した、状態を示す。すなわち、図９（Ａ）は、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されている状態（正常ボール状態）を示す。図９（Ｂ）は、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されていない状態であって、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに搭載されていない状態すなわち導電性ボールＢが無い状態（ミッシングボール状態）を示す。図９（Ｃ）は、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されていない状態であって、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅから外れた位置に位置している状態（シフトボール状態）を示す。図９（Ｄ）は、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されていない状態であって、余分（余計）な導電性ボールＢ１がワークＷに搭載されている状態（余剰ボール状態）を示す。
【００２８】
このように、導電性ボール実装装置がワークＷに導電性ボールＢを実装した時に、図９（Ａ）に示すように、全ての導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されているとは、必ずしも限らない。すなわち、図９（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）に示すように、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されていない、場合がある。そこで、導電性ボール実装装置がワークＷに導電性ボールＢを実装した後には、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されているか否かを検査する、必要がある。また、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されていない場合には、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されるように修正する、必要がある。
【００２９】
ここで、図９（Ａ）に示すように、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されている箇所を、以下、「正常箇所」と称する。また、図９（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）に示すように、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されていない箇所を、以下、「不良箇所」と称する。さらに、正常箇所および不良箇所を、以下、「箇所」と総称する。箇所は、１個の電極Ｅ、１個の導電性ボールＢ、および、それらの周囲を示す。
【００３０】
（導電性ボール検査リペア装置１の説明）
導電性ボール検査リペア装置１は、導電性ボール実装装置がワークＷに導電性ボールＢを実装した後に、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されているか否かを、検査する。また、導電性ボール検査リペア装置１は、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されていない場合に、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されるように、修正する。
【００３１】
図１〜図３に示すように、導電性ボール検査リペア装置１は、検査装置２と、リペア装置３と、撮像装置（図示せず）と、表示装置５と、を備える。また、図１〜図３に示すように、導電性ボール検査リペア装置１は、キャリブレーション部６と、ステージ搬送部７と、検査部搬送部２０Ｚ、２１Ｚと、リペア部搬送部３０Ｚ、３１Ｚ、３２Ｚと、制御部（図示せず）と、を備える。さらに、図１〜図３に示すように、導電性ボール検査リペア装置１は、架台１０と、支持部材１１と、ロードポート１２と、プリアライナー１３と、ステージ１４と、ワーク搬送部としての搬送ロボット１５と、ワーク認識情報取得部１６と、を備える。
【００３２】
なお、オペレーター（図示せず）は、図１中において、架台１０の前側Ｙ１でかつ右側Ｘ２寄りの位置に位置している。また、オペレーターは、表示装置５と対向している。
【００３３】
架台１０は、床面または設置面（図示せず）上に設置される。架台１０には、図示されていないが、作業空間を形成する壁や天井が設けられている。ここで、作業空間は、図１において、架台１０の４辺により囲まれた空間とする。作業空間内部には、検査装置２、リペア装置３、撮像装置、表示装置５、キャリブレーション部６、ステージ搬送部７、検査部搬送部２０Ｚ、２１Ｚ、リペア部搬送部３０Ｚ、３１Ｚ、３２Ｚ、検出部、駆動部、支持部材１１、プリアライナー１３、ステージ１４、搬送ロボット１５およびワーク認識情報取得部１６が配置されている。また、作業空間外部には、操作部およびロードポート１２が配置されている。
【００３４】
図１〜図３に示すように、支持部材１１は、架台１０の上面の右側および後側に配置されている。支持部材１１は、２本の支柱１１０と、２本の腕１１１と、１本の桁１１２と、からなる。２本の支柱１１０の下端は、架台１０の上面に左右にそれぞれ固定されていて、２本の支柱１１０は、Ｚ方向に設けられている。２本の腕１１１の後端は、支柱１１０の上端に固定されていて、２本の腕１１１は、Ｙ方向に設けられている。１本の桁１１２の左右両端は、２本の腕１１１の前端に固定されていて、１本の桁１１２は、Ｘ方向に設けられている。
【００３５】
図１に示すように、ロードポート１２は、架台１０の左側の外側に配置されている。ロードポート１２のテーブル面（上面）には、搬送容器１７（いわゆる、ＦＯＵＰ）が載置される。搬送容器１７は、図示されていない天井モノレールまたは床面走行ロボットなどによりロードポート１２に、または、ロードポート１２から搬送される。搬送容器１７は、ワークＷを密閉状態で格納する。搬送容器１７には、ワークＷを出し入れするためのドアが設けられている。搬送容器１７のドアは、制御部からの制御信号に基づいて制御される駆動部により開閉される。
【００３６】
図１に示すように、プリアライナー１３は、架台１０の上面の左側および後側に配置されている。プリアライナー１３は、検査装置２による検査の前に、ワークＷの中心および向きを、ワークＷの直線部または切り欠き部の目印に基づいて、合わせる。プリアライナー１３は、制御部からの制御信号に基づいて駆動する。なお、プリアライナー１３は、ワークＷが矩形形状の基板の場合、備える必要が無い。
【００３７】
図１〜図４に示すように、ステージ１４は、ステージ搬送部７により、Ｘ方向およびＹ方向に搬送される。ステージ１４の上面には、ワークＷが載置される。なお、図１、図２に示すステージ１４の位置は、初期位置とする。
【００３８】
図１に示すように、搬送ロボット１５は、架台１０の上面の左側およびプリアライナー１３の前側に配置されている。搬送ロボット１５は、ワークＷを、搬送容器１７とプリアライナー１３との間、および、プリアライナー１３とステージ１４との間に、おいて搬送する。なお、作業空間外部側の搬送容器１７と作業空間内部側のプリアライナー１３との間の壁には、ワークＷを出し入れするためのドアが設けられている。搬送ロボット１５は、制御部からの制御信号に基づいて駆動する。壁のドアは、制御部からの制御信号に基づいて制御される駆動部により開閉される。
【００３９】
図１、図２に示すように、ワーク認識情報取得部１６は、この例では、カメラ１６０と、レンズ１６１と、照明具１６２と、からなる。ワーク認識情報取得部１６は、リペア装置３のフラックス転写部３０に設けられている。なお、ワーク認識情報取得部１６は、フラックス転写部３０以外の箇所に設けても良い。
【００４０】
ここで、ワーク認識情報取得部１６により取得される位置情報は、レンズ１６１の下端（先端）の中心（レンズ１６１の光軸）の位置情報である。
【００４１】
ワーク認識情報取得部１６は、プリアライナー１３によるワークＷの中心および向きを合わせ後に、ステージ１４上のワークＷの認識マークから、ワークＷの認識情報を取得する。そして、ワーク認識情報取得部１６は、取得したワーク認識情報を、検出信号として制御部に出力する。これにより、ワークＷは、制御部を介して、どのような回路設計のワークＷであるか、認識される。なお、このワーク認識情報取得部１６は、前記のターゲットマークやアライメントマークなどの認識を行っても良い。
【００４２】
（ステージ搬送部７の説明）
図１〜図３に示すように、ステージ搬送部７は、架台１０の上面であって、支持部材１１の前側かつ搬送ロボット１５の右側に配置されている。ステージ搬送部７は、ステージ１４を、水平方向であって相互に直交するＸ方向とＹ方向とに、それぞれ搬送する。ステージ搬送部７は、Ｘ方向固定部（Ｘ方向ガイド部）７０Ｘと、Ｘ方向移動部７１Ｘと、Ｘ方向駆動部と、Ｙ方向固定部（Ｙ方向ガイド部）７０Ｙと、Ｙ方向移動部７１Ｙと、Ｙ方向駆動部と、からなる。
【００４３】
Ｘ方向固定部７０Ｘは、架台１０の上面にＸ方向に固定されている。Ｘ方向移動部７１Ｘは、Ｘ方向固定部７０ＸにＸ方向に移動可能に取り付けられている。Ｘ方向駆動部は、たとえば、サーボモータであって、Ｘ方向移動部７１ＸをＸ方向固定部７０Ｘの長手方向のＸ方向に移動させる。Ｘ方向駆動部は、制御部からの制御信号に基づいて駆動する。
【００４４】
Ｙ方向固定部７０Ｙは、Ｘ方向移動部７１Ｘの上面にＹ方向に固定されている。Ｙ方向移動部７１は、Ｙ方向固定部７０にＹ方向に移動可能に取り付けられている。Ｙ方向駆動部は、たとえば、サーボモータであって、Ｙ方向移動部７１ＹをＹ方向固定部７０Ｙの長手方向のＹ方向に移動させる。Ｙ方向駆動部は、制御部からの制御信号に基づいて駆動する。なお、図１〜図３において、Ｘ方向移動部７１ＸとＹ方向固定部７０Ｙとは、一体に図示されている。
【００４５】
（検査部搬送部２０Ｚ、２１Ｚの説明）
図２に示すように、検査部搬送部２０Ｚ、２１Ｚは、検査装置２の検査部としての主検査部２０、ベリファイ用検査部２１（以下、「検査部の各部２０、２１」と称する）を、それぞれ、Ｘ方向およびＹ方向に対して直交する鉛直方向であるＺ方向に搬送する。
【００４６】
主検査部２０の検査部搬送部２０Ｚは、Ｚ方向固定部（Ｚ方向ガイド部）と、Ｚ方向移動部と、Ｚ方向駆動部２００Ｚと、からなる。Ｚ方向固定部は、桁１１２の前面の左側に固定されている。Ｚ方向移動部は、Ｚ方向固定部にＺ方向に移動可能に取り付けられている。Ｚ方向駆動部２００Ｚは、たとえば、サーボモータであって、Ｚ方向移動部をＺ方向固定部の長手方向のＺ方向に移動させる。Ｚ方向駆動部２００Ｚは、制御部からの制御信号に基づいて駆動する。
【００４７】
同様に、ベリファイ用検査部２１の検査部搬送部２１Ｚは、Ｚ方向固定部（Ｚ方向ガイド部）と、Ｚ方向移動部と、Ｚ方向駆動部２１０Ｚと、からなる。Ｚ方向固定部は、桁１１２の前面であって主検査部２０の検査部搬送部２０ＺのＺ方向固定部の左側に固定されている。Ｚ方向移動部は、Ｚ方向固定部にＺ方向に移動可能に取り付けられている。Ｚ方向駆動部２１０Ｚは、たとえば、サーボモータであって、Ｚ方向移動部をＺ方向固定部の長手方向のＺ方向に移動させる。Ｚ方向駆動部２１０Ｚは、制御部からの制御信号に基づいて駆動する。
【００４８】
（リペア部搬送部３０Ｚ、３１Ｚ、３２Ｚの説明）
図２、図３に示すように、リペア部搬送部３０Ｚ、３１Ｚ、３２Ｚは、リペア装置３のリペア部としてのフラックス転写部３０、導電性ボール搭載部３１、余剰導電性ボール除去部３２（以下、「リペア部の各部３０、３１、３２」と称する）を、それぞれ、Ｘ方向およびＹ方向に対して直交する鉛直方向であるＺ方向に搬送する。
【００４９】
フラックス転写部３０のリペア部搬送部３０Ｚは、Ｚ方向固定部（Ｚ方向ガイド部）と、Ｚ方向移動部と、Ｚ方向駆動部３００Ｚと、からなる。Ｚ方向固定部は、桁１１２の前面の中間に固定されている。Ｚ方向移動部は、Ｚ方向固定部にＺ方向に移動可能に取り付けられている。Ｚ方向駆動部３００Ｚは、たとえば、サーボモータであって、Ｚ方向移動部をＺ方向固定部の長手方向のＺ方向に移動させる。Ｚ方向駆動部３００Ｚは、制御部からの制御信号に基づいて駆動する。
【００５０】
同様に、導電性ボール搭載部３１のリペア部搬送部３１Ｚは、Ｚ方向固定部（Ｚ方向ガイド部）と、Ｚ方向移動部と、Ｚ方向駆動部３１０Ｚと、からなる。Ｚ方向固定部は、桁１１２の前面であってフラックス転写部３０のリペア部搬送部３０ＺのＺ方向固定部の右側に固定されている。Ｚ方向移動部は、Ｚ方向固定部にＺ方向に移動可能に取り付けられている。Ｚ方向駆動部３１０Ｚは、たとえば、サーボモータであって、Ｚ方向移動部をＺ方向固定部の長手方向のＺ方向に移動させる。Ｚ方向駆動部３１０Ｚは、制御部からの制御信号に基づいて駆動する。
【００５１】
また、同様に、余剰導電性ボール除去部３２のリペア部搬送部３２Ｚは、Ｚ方向固定部（Ｚ方向ガイド部）と、Ｚ方向移動部と、Ｚ方向駆動部３２０Ｚと、からなる。Ｚ方向固定部は、桁１１２の前面であって導電性ボール搭載部３１のリペア部搬送部３１ＺのＺ方向固定部の右側に固定されている。Ｚ方向移動部は、Ｚ方向固定部にＺ方向に移動可能に取り付けられている。Ｚ方向駆動部３２０Ｚは、たとえば、サーボモータであって、Ｚ方向移動部をＺ方向固定部の長手方向のＺ方向に移動させる。Ｚ方向駆動部３２０Ｚは、制御部からの制御信号に基づいて駆動する。
【００５２】
（キャリブレーション部６の説明）
キャリブレーション部６は、リペア部の各部３０、３１、３２の、Ｘ方向の位置情報、Ｙ方向の位置情報およびＺ方向の位置情報（以下、「Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の位置情報」と称する）を取得する。リペア部の各部３０、３１、３２のＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置情報は、フラックス転写部３０のフラックス転写ピン３００の先端（下端）、導電性ボール搭載部３１の導電性ボール搭載ノズル３１０の先端（下端）、余剰導電性ボール除去部３２の余剰導電性ボール除去ノズル３２０の先端（下端）のＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置情報である。そして、キャリブレーション部６が取得した位置情報により、ワークＷの位置が較正される。
【００５３】
図１に示すように、キャリブレーション部６は、ステージ１４に固定されている。キャリブレーション部６は、Ｘ−Ｙ位置情報取得部（図示せず）と、Ｚ位置情報取得部（図示せず）と、を有する。
【００５４】
Ｘ−Ｙ位置情報取得部は、リペア部の各部３０、３１、３２のＸ方向の位置情報およびＹ方向の位置情報を、取得して、検出信号として、制御部に出力する。Ｘ−Ｙ位置情報取得部は、この例では、カメラである。
【００５５】
Ｚ位置情報取得部は、リペア部の各部３０、３１、３２のＺ方向の位置情報を、取得して、検出信号として、制御部に出力する。Ｚ位置情報取得部は、この例では、接触センサまたは接触式変位センサである。
【００５６】
また、同様に、キャリブレーション部６は、検査部の各部２０、２１のＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置情報と、ワーク認識情報取得部１６のＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置情報と、を取得して、検出信号として、制御部に出力する。
【００５７】
（検査装置２の説明）
検査装置２は、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されているか否かを検査する。図１、図２に示すように、検査装置２は、検査部としての主検査部２０とベリファイ用検査部２１とを有する。
【００５８】
主検査部２０は、検査部搬送部２０ＺのＺ方向移動部に設けられている。ベリファイ用検査部２１は、検査部搬送部２１ＺのＺ方向移動部に設けられている。この結果、主検査部２０とベリファイ用検査部２１とは、Ｘ方向に左右に配置されている。
【００５９】
主検査部２０は、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されているか否かを検査する。主検査部２０は、この例では、カメラ２００と、レンズ２０１と、照明装置４１、４２、４３と、を有する。主検査部２０のカメラ２００の視野（画角）は、ワークＷ上の１個または複数個の集積回路チップを撮像できる範囲である。また、主検査部２０のレンズ２０１を、ズーム機能を有するものに、することにより、主検査部２０のカメラ２００の倍率を可変させて、撮像範囲を任意に可変することができる。
【００６０】
ここで、主検査部２０により取得されるＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置情報は、レンズ２０１の下端（先端）の中心（レンズ２０１の光軸）の位置情報である。
【００６１】
主検査部２０は、カメラ２００によりワークＷ上の複数個の集積回路チップを１個ずつ撮像して、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されているか否かの情報を取得する。主検査部２０は、取得した情報を、検出信号として、制御部に出力する。そして、主検査部２０が取得した情報により、導電性ボールＢがワークＷの電極Ｅに正常に実装されているか否かが、制御部において検査される。
【００６２】
ベリファイ用検査部２１は、主検査部２０により、不良箇所を検出した場合に、不良箇所を確認する。ベリファイ用検査部２１は、この例では、カメラ２１０と、レンズ２１１と、照明具２１２と、からなる。ベリファイ用検査部２１のカメラ２１０の視野（画角）は、狭くとも、１つの箇所を撮像できる範囲である。したがって、ベリファイ用検査部２１のレンズ２１１の倍率は、主検査部２０のレンズ２０１の倍率よりも大きい。
【００６３】
ここで、ベリファイ用検査部２１のキャリブレーション部６により取得されるＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置情報は、レンズ２１１の下端（先端）の中心（レンズ２１１の光軸）の位置情報である。
【００６４】
ベリファイ用検査部２１は、カメラ２１０により主検査部２０により検出された不良箇所を撮像して、リペア装置３による修正が必要か否かの情報を取得する。ベリファイ用検査部２１は、取得した情報を、検出信号として、制御部に出力する。そして、ベリファイ用検査部２１が取得した情報は、画像として、表示装置５に表示される。オペレーターが、表示装置５に表示された画像を目視することにより、リペア装置３による修正を必要とするか否かが確認される。
【００６５】
（照明装置４１、４２、４３の説明）
図３に示すように、照明装置４１、４２、４３は、主検査部２０のカメラ２００およびレンズ２０１と、ワークＷとの間に、鉛直方向であるＺ方向に複数段、この例では、３段配置されている。３段の照明装置４１、４２、４３は、それぞれ、ワークＷの検査箇所Ｐおよびその周囲を照明する。
【００６６】
なお、ワークＷは、ステージ１４の上面に載置されている。このステージ１４は、ステージ搬送部７により、Ｘ方向およびＹ方向に搬送される。この結果、ワークＷは、ステージ搬送部７およびステージ１４を介して、主検査部２０の下方の所定の位置に位置される。すなわち、ワークＷの検査箇所Ｐは、主検査部２０のレンズ２０１の光軸Ｃ上に位置する。
【００６７】
なお、３段の照明装置４１、４２、４３のうち、ワークＷに最も近い位置に配置されている照明装置４１を、第１照明装置（最下位照明装置）４１と称する。また、３段の照明装置４１、４２、４３のうち、第１照明装置４１の上側Ｚ１に配置されている照明装置４２を、第２照明装置（中位照明装置）４２と称する。さらに、３段の照明装置４１、４２、４３のうち、ワークＷから最も離れた位置に配置されている照明装置４３を、第３照明装置（最上位照明装置）４３と称する。
【００６８】
図４に示すように、３段の照明装置４１、４２、４３は、それぞれ、枠部材４１０、４２０、４３０と、発光素子群４１１Ｂ、４１１Ｒ、４２１、４３１と、を有する。枠部材４１０、４２０、４３０の平面形状（上側Ｚ１から下側Ｚ２を見た形状）は、環状、この例では、円形環状（もしくは多角形環状）をなす。円形環状の枠部材４１０、４２０、４３０の中央部分には、空間４１２、４２２、４３２が設けられている。
【００６９】
発光素子群４１１Ｂ、４１１Ｒ、４２１、４３１は、枠部材４１０、４２０、４３０の円形環状に倣って円形環状に配置されている。レンズ２０１の中心と枠部材４１０、４２０、４３０の中心とは、レンズ２０１の光軸Ｃである同一線Ｃ上に位置する。
【００７０】
（第１照明装置４１の説明）
以下、第１照明装置４１について説明する。枠部材４１０は、固定部材４０の下端部に固定されている。固定部材４０の上端部は、支持部材１１の桁１１２に固定されている。枠部材４１０の下面には、発光素子群４１１Ｂ、４１１Ｒが、２重の円形環状に配置されている。
【００７１】
発光素子群４１１Ｂ、４１１Ｒは、複数の組、この例では、２組から構成されている。２組の発光素子群４１１Ｂ、４１１Ｒがそれぞれ発する光Ｌ１の波長は、組毎に異なっている。この例では、第１組の発光素子群４１１Ｂが発する光Ｌ１の波長は、青色光の波長の約４７０ｎｍである。第２組の発光素子群４１１Ｒが発する光Ｌ１の波長は、赤色光の波長の約６３０ｎｍである。
【００７２】
すなわち、第１組の発光素子群４１１Ｂは、青色光を発する発光素子、この例では、青色ＬＥＤの群からなる。第２組の発光素子群４１１Ｒは、赤色光を発する発光素子、この例では、赤色ＬＥＤの群からなる。
【００７３】
図６に示すように、青色ＬＥＤの群からなる第１組の発光素子群４１１Ｂと、赤色ＬＥＤの群からなる第２組の発光素子群４１１Ｒとは、２重の円形環状に配置されている。なお、図６において、第１組の発光素子群（青色ＬＥＤの群）４１１Ｂは、白抜きの小円形の図形にて示し、第２組の発光素子群（赤色ＬＥＤの群）４１１Ｒは、白抜きの小円形の中に小＋を描いた図形にて示す。
【００７４】
そして、図６（Ａ）に示すように、青色ＬＥＤと赤色ＬＥＤとは、周方向に交互にそれぞれ配置されている。また、図６（Ｂ）に示すように、青色ＬＥＤと赤色ＬＥＤとは、内側の円形環状と外側の円形環状とにそれぞれ配置されている。なお、青色ＬＥＤと赤色ＬＥＤとの配置は、図示の例以外の配置であっても良い。
【００７５】
第１照明装置４１は、光拡散部材４１３を有する。光拡散部材４１３は、枠部材４１０および発光素子群４１１Ｂ、４１１Ｒの下側Ｚ２に設けられている。光拡散部材４１３は、発光素子群４１１Ｂ、４１１Ｒに対向する入射面と、検査箇所Ｐに対向する出射面と、を有する。光拡散部材４１３は、発光素子群４１１Ｂ、４１１Ｒにおいて発した光Ｌ１を、入射面から入射して、かつ、拡散光Ｌ１０として出射面からワークＷ側すなわち検査箇所Ｐ側に出射させる。
【００７６】
図５に示すように、第１照明装置４１は、主に、導電性ボールＢを照明する。すなわち、第１照明装置４１の光拡散部材４１３から出射された拡散光Ｌ１０は、ワークＷの一面（導電性ボールＢが実装されている面）への入射角θが大きい。このため、拡散光Ｌ１０は、導電性ボールＢの球面の表面に入射すると（当たると）、小さい反射角で、反射光Ｌ１１として反射する。導電性ボールＢからの反射光Ｌ１１は、主検査部２０のレンズ２０１に入射する。
【００７７】
一方、拡散光Ｌ１０は、ワークＷの一面に入射すると（当たると）、大きい反射角で、反射光Ｌ１２として反射する。ワークＷからの反射光Ｌ１２は、主検査部２０のレンズ２０１に入射せずに、レンズ２０１の視野外に進む。これにより、第１照明装置４１は、主に、導電性ボールＢを照明する。
【００７８】
（第１照明装置４１の青色光と赤色光との使い分けの説明）
以下、第１照明装置４１の青色光と赤色光との使い分けについて、図７、図８を参照して、説明する。なお、図７は、銅（Ｃｕ）の分光反射率を示す説明図（グラフ）である。図７から明らかなように、銅（Ｃｕ）は、波長が長い光程、反射率が高い。
【００７９】
図８は、スズ合金（Ｓｎ合金）の分光反射率を示す説明図（グラフ）である。図８から明らかなように、スズ合金（Ｓｎ合金）は、銅（Ｃｕ）と同様に、波長が長い光程、反射率が高い。なお、図８において、初期のスズ合金は、黒塗りの小菱形にて示す。また、表面酸化品、すなわち、表面が錆びたスズ合金は、黒塗りの小正方形にて示す。
【００８０】
ワークＷすなわち基板の配線や電極Ｅは、主に、銅（Ｃｕ）から構成されている。これにより、主検査部２０において、ワークＷの配線パターンや電極Ｅを、高精度に検査（測定）するためには、波長が長い赤色光を使用することが好ましい。
【００８１】
また、導電性ボールＢは、この例では、半田から構成されている。半田は、主に、スズと鉛との合金、すなわち、スズ合金（Ｓｎ合金）からなる。これにより、主検査部２０において、導電性ボールＢを、高精度に検査（測定）するためには、波長が長い赤色光を使用することが好ましい。特に、表面が酸化した導電性ボールＢの場合、波長が長い赤色光を使用することが好ましい。
【００８２】
ここで、光学的分解能は、波長が短い光程、小さく（高く）、高精度の検査（測定）ができる。これにより、主検査部２０において、導電性ボールＢを、高精度に検査（測定）するためには、波長が短い青色光を使用することが好ましい。特に、表面が酸化していない初期（新品）の導電性ボールＢの場合、波長が短い青色光を使用することが好ましい。
【００８３】
以上から、第１照明装置４１は、照明する対象物に合わせて、青色光と赤色光とに使い分けすることができる。
【００８４】
（第２照明装置４２の説明）
以下、第２照明装置４２について説明する。枠部材４２０は、固定部材４０の下端部であって、第１照明装置４１の枠部材４１０の上側Ｚ１に固定されている。枠部材４２０の内側の傾斜面には、発光素子群４２１が、３重の円形環状に配置されている。発光素子群４２１の中心線は、検査箇所Ｐに向いている。
【００８５】
第２照明装置４２の発光素子群４２１が発する光Ｌ２の波長は、第１照明装置４１の２組の発光素子群４１１Ｂ、４１１Ｒが発する光Ｌ１のうち最も短い波長（この例では、青色光の波長の約４７０ｎｍ）よりも長い。すなわち、第２照明装置４２の発光素子群４２１が発する光Ｌ２の波長は、第１照明装置４１の第１組の発光素子群４１１Ｂが発する光Ｌ１すなわち青色光の波長（約４７０ｎｍ）よりも長い。この例では、発光素子群４２１が発する光Ｌ２の波長は、赤色光の波長の約６３０ｎｍである。
【００８６】
第２照明装置４２は、主に、ワークＷの配線や電極Ｅを照明する。すなわち、図７に示すように、第２照明装置４２は、赤色光の光Ｌ２により、主に銅（Ｃｕ）から構成されているワークＷの配線や電極Ｅを照明するのに、適している。
【００８７】
（第３照明装置４３の説明）
以下、第３照明装置４３について説明する。枠部材４３０は、主検査部２０のレンズ２０１の下端部に固定されている。枠部材４３０の下面には、発光素子群４３１が、３重の円形環状に配置されている。発光素子群４３１の中心線は、検査箇所Ｐに向いている。
【００８８】
第３照明装置４３の発光素子群４３１が発する光Ｌ３の波長は、第１照明装置４１の２組の発光素子群４１１Ｂ、４１１Ｒが発する光Ｌ１のうち最も短い波長（この例では、青色光の波長の約４７０ｎｍ）よりも長い。すなわち、第３照明装置４３の発光素子群４３１が発する光Ｌ３の波長は、第１照明装置４１の第１組の発光素子群４１１Ｂが発する光Ｌ１すなわち青色光の波長（約４７０ｎｍ）よりも長い。この例では、発光素子群４３１が発する光Ｌ３の波長は、赤色光の波長の約６３０ｎｍである。
【００８９】
第３照明装置４３は、主に、ワークＷの配線や電極Ｅを照明する。すなわち、図７に示すように、第３照明装置４３は、赤色光の光Ｌ２により、主に銅（Ｃｕ）から構成されているワークＷの配線や電極Ｅを照明するのに、適している。
【００９０】
（リペア装置３の説明）
リペア装置３は、主検査部２０により不良箇所が検出され、かつ、ベリファイ用検査部２１により不良箇所において修正が必要と判断された場合に、導電性ボールＢが正常に実装されるように、修正する。図１、図２に示すように、リペア装置３は、フラックス転写部３０と、導電性ボール搭載部３１と、余剰導電性ボール除去部３２と、を有する。
【００９１】
フラックス転写部３０は、リペア部搬送部３０ＺのＺ方向移動部に設けられている。導電性ボール搭載部３１は、リペア部搬送部３１ＺのＺ方向移動部に設けられている。余剰導電性ボール除去部３２は、リペア部搬送部３２ＺのＺ方向移動部に設けられている。この結果、フラックス転写部３０と、導電性ボール搭載部３１と、余剰導電性ボール除去部３２とは、Ｘ方向に左右に配置されている。
【００９２】
フラックス転写部３０は、導電性ボールＢが搭載されていない電極ＥにフラックスＦを転写する。フラックス転写部３０には、フラックス転写ピン３００が、ピンホルダー、ロック機構および位置測定センサを介して取り付けられている。ここで、フラックス転写部３０のキャリブレーション部６により取得される位置情報は、前記の通り、フラックス転写ピン３００の下端（先端）の中心の位置情報である。
【００９３】
フラックス転写ピン３００の下方には、フラックス供給トレイ３０１が、Ｙ方向移動機構３０２を介して、配置されている。Ｙ方向移動機構３０２は、固定部（ガイド部）と、移動部と、駆動部３０３と、からなる。駆動部３０３は、たとえば、サーボモータであって、移動部を固定部の長手方向のＹ方向に移動させる。これにより、フラックス供給トレイ３０１は、Ｙ方向に移動して、フラックス転写ピン３００の下に位置したり、フラックス転写ピン３００の下から退避したりする。駆動部３０３は、制御部からの制御信号に基づいて駆動する。
【００９４】
フラックス転写ピン３００は、下に位置するフラックス供給トレイ３０１から適量のフラックスＦを付着する。また、フラックス転写ピン３００は、フラックス供給トレイ３０１が下から退避した後に、Ｚ方向に下がって、ミッシングボール状態の電極ＥにフラックスＦを転写する。
【００９５】
導電性ボール搭載部３１は、フラックス転写部３０により転写されたフラックスＦを介して電極Ｅに導電性ボールＢを搭載する。導電性ボール搭載部３１には、導電性ボール搭載ノズル３１０が、ノズルホルダー、ロック機構および位置測定センサを介して取り付けられている。ここで、導電性ボール搭載部３１のキャリブレーション部６により取得される位置情報は、前記の通り、導電性ボール搭載ノズル３１０の下端（先端）の中心の位置情報である。
【００９６】
導電性ボール搭載ノズル３１０の下方には、導電性ボール供給トレイ３１１が、Ｙ方向移動機構３１２を介して、配置されている。Ｙ方向移動機構３１２は、固定部（ガイド部）と、移動部と、駆動部３１３と、からなる。駆動部３１３は、たとえば、サーボモータであって、移動部を固定部の長手方向のＹ方向に移動させる。これにより、導電性ボール供給トレイ３１１は、Ｙ方向に移動して、導電性ボール搭載ノズル３１０の下に位置したり、導電性ボール搭載ノズル３１０の下から退避したりする。駆動部３１３は、制御部からの制御信号に基づいて駆動する。
【００９７】
導電性ボール搭載ノズル３１０は、下に位置する導電性ボール供給トレイ３１１から１個の導電性ボールＢを吸着する。また、導電性ボール搭載ノズル３１０は、導電性ボール供給トレイ３１１が下から退避した後に、Ｚ方向に下がって、吸着した導電性ボールＢをミッシングボール状態の電極ＥのフラックスＦに搭載する。
【００９８】
余剰導電性ボール除去部３２は、ワークＷに余分に搭載された余剰導電性ボールＢ１を除去する。余剰導電性ボール除去部３２には、余剰導電性ボール除去ノズル３２０が、ノズルホルダー、ロック機構および位置測定センサを介して取り付けられている。ここで、余剰導電性ボール除去部３２のキャリブレーション部６により取得される位置情報は、前記の通り、余剰導電性ボール除去ノズル３２０の下端（先端）の中心の位置情報である。
【００９９】
余剰導電性ボール除去ノズル３２０の下方には、余剰導電性ボール受トレイ３２１が、Ｙ方向移動機構３２２を介して、配置されている。Ｙ方向移動機構３２２は、固定部（ガイド部）と、移動部と、駆動部３２３と、からなる。駆動部３２３は、たとえば、サーボモータであって、移動部を固定部の長手方向のＹ方向に移動させる。これにより、余剰導電性ボール受トレイ３２１は、Ｙ方向に移動して、余剰導電性ボール除去ノズル３２０の下に位置したり、余剰導電性ボール除去ノズル３２０の下から退避したりする。駆動部３２３は、制御部からの制御信号に基づいて駆動する。
【０１００】
余剰導電性ボール除去ノズル３２０は、余剰導電性ボール受トレイ３２１が下から退避している時に、Ｚ方向に下がって、余分な導電性ボールＢ１を吸着する。また、余剰導電性ボール除去ノズル３２０は、Ｚ方向に上がって、下に位置した余剰導電性ボール受トレイ３２１に、吸着した余分な導電性ボールＢ１を、受け渡す。
【０１０１】
なお、余剰導電性ボール除去ノズル３２０は、図９（Ｃ）に示すシフトしている導電性ボールＢをも、除去する。
【０１０２】
（撮像装置の説明）
撮像装置は、少なくともリペア部の各部３０、３１、３２が修正する箇所を対象として撮像する。撮像装置は、リペア装置３に対して、オペレーターが位置する側すなわち前側Ｙ１に、配置されている。撮像装置は、撮像した画像を、信号として、制御部に出力する。撮像装置が撮像した画像は、制御部を介して、拡大されて表示装置５に表示される。
【０１０３】
撮像装置は、制御部の制御の駆動停止により、リペア部の各部３０、３１、３２の間を自動移動し、かつ、リペア部の各部３０、３１、３２の位置に自動停止する。また、撮像装置は、オペレーターによる手動調整により、Ｙ方向、Ｚ方向およびＸ軸回り方向に、調整される。
【０１０４】
（表示装置５の説明）
表示装置５は、撮像装置が撮像した対象を、オペレーターが視認する画像として、拡大して表示する。図１、図２に示すように、表示装置５は、リペア装置３側に配置されている。すなわち、表示装置５は、リペア装置３よりも右側Ｘ２に配置されている。表示装置５の高さおよび向きは、オペレーターの目の位置、すなわち、オペレーターの表示装置５への視線方向に合わせられる。
【０１０５】
（制御部の説明）
導電性ボール検査リペア装置１は、制御部を備える。制御部は、指示信号および検出信号に基づいて、検査部の各部２０、２１が検査する工程およびリペア部の各部３０、３１、３２が修正する工程を制御する。制御部は、情報処理装置であって、たとえば、電子制御ユニット（ＥＣＵ）から構成されている。制御部は、マイクロコントローラとその他の電子回路とを含む。マイクロコントローラは、プロセッサとメモリとを含む。プロセッサは、ＣＰＵ、ＭＰＵまたはＧＰＵの少なくともいずれか１つである。メモリは、ＲＯＭとＲＡＭとを含む。プロセッサは、ＲＯＭに記憶されたプログラムやＲＡＭにロードされたプログラムを実行する。
【０１０６】
（実施形態の作用の説明）
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、以上のごとき構成からなり、以下、その作用について図１０の工程を示すフロー説明図を参照して説明する。
【０１０７】
まず、オペレーターが、手動により操作して、導電性ボール検査リペア装置１の作動を開始させる。あるいは、制御部の制御により、自動的に導電性ボール検査リペア装置１の作動を開始させる（スタート）。
【０１０８】
搬送容器１７のドアと壁のドアとが開く。搬送ロボット１５が、ワークＷを搬送容器１７内から取り出して導電性ボール検査リペア装置１内に搬入する（ワークＷの搬入Ｓ１）。これと同時に、搬送容器１７のドアと壁のドアとが閉じる。搬送ロボット１５がワークＷをプリアライナー１３にセットする。プリアライナー１３がワークＷの中心および向きを合わせる。なお、ワークＷが矩形形状の基板の場合、このプリアライナー１３によるワークＷの中心および向きを合わせる工程を省略する。
【０１０９】
搬送ロボット１５がワークＷをプリアライナー１３から初期位置のステージ１４上にセットする。ワークＷは、ステージ搬送部７およびキャリブレーション部６を介して、ワーク認識情報取得部１６に位置し、ワーク認識情報取得部１６により、認識される（ワークＷの認識Ｓ２）。
【０１１０】
また、この例のワークＷは、基板からなる。このため、主検査部２０において、製造された配線のパターンを実際に確認し、その認識したパターンをワークＷの検査パターンとして登録する（ワークＷの検査パターン登録Ｓ３）。すなわち、ワークＷは、ステージ搬送部７およびキャリブレーション部６を介して、主検査部２０に位置し、主検査部２０において、検査パターンが登録される。
【０１１１】
つぎに、ワークＷの複数個の集積回路チップは、それぞれ、前記のステージ（工程）Ｓ３において、ステージ搬送部７およびキャリブレーション部６を介して、主検査部２０に位置し、主検査部２０により、検査される（主検査部２０の検査Ｓ４）。
【０１１２】
制御部は、主検査部２０の検査に基づいて、ワークＷの複数個の集積回路チップに不良箇所が有るか無いかを判断する（不良箇所有無？Ｓ５）。ここで、不良箇所が無ければ、下記のステージ（工程）Ｓ１１に進む。一方、不良箇所が有ると、次のステージ（工程）Ｓ６に進む。
【０１１３】
不良箇所は、ステージ搬送部７およびキャリブレーション部６を介して、ベリファイ用検査部２１に位置し、ベリファイ用検査部２１により、確認のために、検査される（ベリファイ用検査部２１の検査Ｓ６）。すなわち、不良箇所は、ベリファイ用検査部２１のカメラ２１０により撮像され、その撮像された画像は、表示装置５に拡大表示される。
【０１１４】
オペレーターは、表示装置５に拡大表示された不良箇所の画像を、視認して、修正が必要か否かを判断する（修正必要？Ｓ７）。そして、オペレーターが、「修正の必要が無い」、と判断すると、下記のステージ（工程）Ｓ１１に進む。一方、オペレーターが、「修正の必要が有る」、と判断すると、次のステージ（工程）Ｓ８に進む。
【０１１５】
不良箇所は、ステージ搬送部７およびキャリブレーション部６を介して、リペア部の各部３０、３１、３２に位置する。そして、不良箇所は、リペア部の各部３０、３１、３２により修正される（リペア装置３が不良箇所を修正Ｓ８）。リペア部の各部３０、３１、３２が不良箇所を修正する作業状態は、下記の通りである。
【０１１６】
すなわち、不良箇所が、図９（Ｂ）に示すミッシングボール状態の場合。この場合は、まず、フラックス転写部３０のフラックス転写ピン３００が、フラックスＦを、導電性ボールＢが搭載されていない電極Ｅに、転写する。つぎに、導電性ボール搭載部３１の導電性ボール搭載ノズル３１０が、導電性ボールＢを、電極Ｅに転写されたフラックスＦ上に、搭載する。
【０１１７】
不良箇所が、図９（Ｃ）に示すシフトボール状態の場合。この場合は、まず、余剰導電性ボール除去部３２の余剰導電性ボール除去ノズル３２０が、電極Ｅから外れている導電性ボールＢを除去する。つぎに、フラックス転写部３０のフラックス転写ピン３００が、フラックスＦを、導電性ボールＢが外れていた電極Ｅに、転写する。それから、導電性ボール搭載部３１の導電性ボール搭載ノズル３１０が、導電性ボールＢを、電極Ｅに転写されたフラックスＦ上に、搭載する。
【０１１８】
不良箇所が、図９（Ｄ）に示す余剰ボール状態の場合。この場合は、余剰導電性ボール除去部３２の余剰導電性ボール除去ノズル３２０が、余分な導電性ボールＢを除去する。以上のようにして、リペア部の各部３０、３１、３２が不良箇所を修正する。
【０１１９】
このステージ（工程）Ｓ８において、撮像装置は、リペア部の各部３０、３１、３２が修正する不良箇所を、対象として、撮像する。撮像された対象は、表示装置５に拡大表示される。オペレーターは、表示装置５に拡大表示されている対象を目視して、不良箇所がリペア部の各部３０、３１、３２により修正されている状態を確認できる。
【０１２０】
不良箇所が修正されると、次のステージ（工程）Ｓ９に進む。修正された不良箇所は、ステージ搬送部７およびキャリブレーション部６を介して、ベリファイ用検査部２１に位置し、ベリファイ用検査部２１により、再確認される（ベリファイ用検査部２１の再検査Ｓ９）。すなわち、修正された不良箇所は、ベリファイ用検査部２１のカメラ２１０により撮像され、その撮像された画像は、表示装置５に拡大表示される。
【０１２１】
オペレーターは、表示装置５に拡大表示された不良箇所であって、修正された不良箇所の画像を、目視により再確認して、再修正が必要か否かを再判断する（再修正必要？Ｓ１０）。そして、オペレーターが、「再修正の必要が無い」、と判断すると、下記のステージ（工程）Ｓ１１に進む。一方、オペレーターが、「再修正の必要が有る」、と判断すると、前のステージ（工程）Ｓ８に再び進む。
【０１２２】
不良箇所が無く、また、修正の必要が無く、さらに、再修正の必要が無い場合。この場合は、ステージ１４を初期位置に戻す。これと同時に、搬送容器１７のドアと壁のドアとが開く。搬送ロボット１５が、ステージ１４上のワークＷを、導電性ボール検査リペア装置１内から搬出して搬送容器１７内に格納する（ワークＷの搬出Ｓ１１）。これと同時に、搬送容器１７のドアと壁のドアとが閉じる。
【０１２３】
以上で、導電性ボール検査リペア装置１の作業が、終了する（エンド）。
【０１２４】
（実施形態の効果の説明）
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、以上のごとき構成および作用からなり、以下、その効果について説明する。
【０１２５】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、主検査部２０のカメラ２００およびレンズ２０１と、ワークＷとの間に、照明装置４１、４２、４３を、鉛直方向であるＺ方向に３段配置したものである。また、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、３段の照明装置４１、４２、４３が、それぞれ、ワークＷの検査箇所Ｐおよびその周囲を照明するものである。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１によれば、複数の照明機能が得られる。
【０１２６】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、複数の照明機能が得られるので、複数の照明機能の中から、照明する対象物に適した照明機能を使い分けることができる。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、導電性ボールＢを高精度に検査（測定）することができる。
【０１２７】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、発光素子群４１１Ｂ、４１１Ｒ、４２１、４３１が枠部材４１０、４２０、４３０の円形環状に倣って円形環状に配置されていて、レンズ２０１の中心と枠部材４１０、４２０、４３０の中心とが同一線Ｃ上に位置する。これにより、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、発光素子群４１１Ｂ、４１１Ｒ、４２１、４３１からの光Ｌ１（Ｌ１０）、Ｌ２、Ｌ３を、ワークＷの検査箇所Ｐおよびその周囲を効率良く照明することができる。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、導電性ボールＢを高精度に検査（測定）することができる。
【０１２８】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、第１照明装置４１の発光素子群４１１Ｂ、４１１Ｒが２組から構成されていて、２組の発光素子群４１１Ｂ、４１１Ｒがそれぞれ発する光Ｌ１の波長が組毎に異なっているものである。すなわち、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、第１組の発光素子群４１１Ｂが波長の約４７０ｎｍの青色光の光Ｌ１を発し、第２組の発光素子群４１１Ｒが波長の約６３０ｎｍの赤色光の光Ｌ１を発するものである。これにより、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、青色光の光Ｌ１と赤色光の光Ｌ１とを選択して使い分けることができる。たとえば、表面が酸化していない初期（新品）の導電性ボールＢの場合、青色光の光Ｌ１を使用し、また、表面が酸化している導電性ボールＢの場合、赤色光の光Ｌ１を使用する。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、導電性ボールＢを高精度に検査（測定）することができる。
【０１２９】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、第１照明装置４１が光拡散部材４１３を有するものであるから、光拡散部材４１３から出射された拡散光Ｌ１０のワークＷに対する入射角θが大きい。このため、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１によれば、拡散光Ｌ１０が導電性ボールＢの球面の表面において反射光Ｌ１１として反射して主検査部２０のレンズ２０１に効率良く入射する。一方、拡散光Ｌ１０がワークＷにおいて反射光Ｌ１２として反射し主検査部２０のレンズ２０１に入射せずにレンズ２０１の視野外に進む。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、第１照明装置４１の光拡散部材４１３からの拡散光Ｌ１０が導電性ボールＢを効率良く照明することができ、導電性ボールＢを高精度に検査（測定）することができる。
【０１３０】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、ワークＷに最も近い位置に配置されている第１照明装置４１が導電性ボールＢを照明するものである。このため、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、第１照明装置４１からの光であって、光拡散部材４１３から出射された拡散光Ｌ１０のワークＷに対する入射角θが大きい。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、前記の通り、第１照明装置４１の光拡散部材４１３からの拡散光Ｌ１０が導電性ボールＢを効率良く照明することができ、導電性ボールＢを高精度に検査（測定）することができる。
【０１３１】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、第２照明装置４２の発光素子群４２１および第３照明装置４３の発光素子群４３１が赤色光の光Ｌ２、Ｌ３を発するものである。赤色光の波長が、第１照明装置４１の第１組の発光素子群４１１Ｂが発する青色光の光Ｌ１の波長（約４７０ｎｍ）よりも長い。これによれば、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、第２照明装置４２および第３照明装置４３からの赤色光の光Ｌ２、Ｌ３により、主に銅（Ｃｕ）から構成されているワークＷの配線や電極Ｅを照明するのに、適している。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、ワークＷの配線や電極Ｅおよび導電性ボールＢを高精度に検査（測定）することができ、しかも、高精度の検査パターンを登録することができる。
【０１３２】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、第２照明装置４２および第３照明装置４３がワークＷから離れた位置に配置されているので、第２照明装置４２および第３照明装置４３からの光Ｌ２、Ｌ３がワークＷの配線や電極Ｅを効率良く照明することができる。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、ワークＷの配線や電極Ｅおよび導電性ボールＢを高精度に検査（測定）することができ、しかも、高精度の検査パターンを登録することができる。
【０１３３】
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、第１照明装置４１、第２照明装置４２および第３照明装置４３の３方向からの赤色光の光Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３がワークＷの配線や電極Ｅを照明するものである。この結果、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置１は、ワークＷの配線や電極Ｅおよび導電性ボールＢを高精度に検査（測定）することができ、しかも、高精度の検査パターンを登録することができる。
【０１３４】
（実施形態以外の例の説明）
なお、前記の実施形態においては、ワークＷとして、円板形状をなす基板について説明するものである。しかしながら、この発明においては、ワークとして、円板形状以外の矩形形状をなす基板であっても良いし、基板以外にシリコンなどからなるウェハーであっても良い。
【０１３５】
また、前記の実施形態においては、３段の照明装置４１、４２、４３を配置するものである。しかしながら、この発明においては、照明装置を２段、あるいは、４段以上、配置するものであっても良い。
【０１３６】
また、前記の実施形態においては、３段の照明装置４１、４２、４３の枠部材４１０、４２０、４３０の平面形状が円形環状もしくは多角形環状をなすものである。しかしながら、この発明においては、枠部材４１０、４２０、４３０の平面形状が円形環状もしくは多角形環状以外の形状、たとえば、楕円形環状、三角形環状、四角形環状などの環状であっても良い。
【０１３７】
また、前記の実施形態においては、レンズ２０１の中心と枠部材４１０、４２０、４３０の中心とが同一線Ｃ上に位置するものである。しかしながら、この発明においては、レンズ２０１の中心と枠部材４１０、４２０、４３０の中心とが同一線Ｃ上に位置せずにずれているものであっても良い。
【０１３８】
また、前記の実施形態においては、第１照明装置４１の発光素子群４１１Ｂ、４１１Ｒが２組から構成されているものである。しかしながら、この発明においては、第１照明装置４１の発光素子群を１組または３組以上から構成されているものであっても良い。
【０１３９】
そして、前記の実施形態においては、第１照明装置４１の２組の発光素子群４１１Ｂ、４１１Ｒが青色光と赤色光とを発するものである。しかしながら、この発明においては、第１照明装置４１の複数組の発光素子群が青色光、緑色光、赤色光、などを発するものであっても良い。また、第１照明装置４１の発光素子群が１組の場合において、１組の発光素子群が青色光、緑色光、赤色光、などの単一光を発するものであっても良い。
【０１４０】
また、前記の実施形態においては、第１照明装置４１が光拡散部材４１３を有するものである。しかしながら、この発明においては、第１照明装置４１に光拡散部材４１３を設けなくても良い。
【０１４１】
また、前記の実施形態においては、第２照明装置４２の発光素子群４２１および第３照明装置４３の発光素子群４３１が赤色光を発するものである。しかしながら、この発明においては、第２照明装置４２の発光素子群４２１および第３照明装置４３の発光素子群４３１が緑色光などを発するものであっても良い。すなわち、第２照明装置４２の発光素子群４２１が発する光の色（光の波長）と、第３照明装置４３の発光素子群４３１が発する光の色（光の波長）とが、同じである。しかしながら、この発明においては、第２照明装置４２の発光素子群４２１が発する光の色（光の波長）と、第３照明装置４３の発光素子群４３１が発する光の色（光の波長）とが、相違しても良い。
【０１４２】
なお、この発明は、前記の実施形態により限定されるものではない。
【符号の説明】
【０１４３】
１  導電性ボール検査リペア装置
１０  架台
１１  支持部材
１１０  支柱
１１１  腕
１１２  桁
１２  ロードポート
１３  プリアライナー
１４  ステージ
１５  搬送ロボット（ワーク搬送部）
１６  ワーク認識情報取得部
１６０  カメラ
１６１  レンズ
１６２  照明具
１７  搬送容器（ＦＯＵＰ）
２  検査装置
２０  主検査部（検査部）
２００  カメラ
２０１  レンズ
２０Ｚ  主検査部２０の検査部搬送部
２００Ｚ  Ｚ方向駆動部
２１  ベリファイ用検査部（検査部）
２１０  カメラ
２１１  レンズ
２１２  照明具
２１Ｚ  ベリファイ用検査部２１の検査部搬送部
２１０Ｚ  Ｚ方向駆動部
３  リペア装置
３０  フラックス転写部（リペア部）
３００  フラックス転写ピン
３０１  フラックストレイ
３０２  Ｙ方向移動機構
３０３  駆動部
３０Ｚ  フラックス転写部３０のリペア部搬送部
３００Ｚ  Ｚ方向駆動部
３１  導電性ボール搭載部（リペア部）
３１０  導電性ボール搭載ノズル
３１１  導電性ボール供給トレイ
３１２  Ｙ方向移動機構
３１３  駆動部
３１Ｚ  導電性ボール搭載部３１のリペア部搬送部
３１０Ｚ  Ｚ方向駆動部
３２  余剰導電性ボール除去部（リペア部）
３２０  余剰導電性ボール除去ノズル
３２１  余剰導電性ボール受トレイ
３２２  Ｙ方向移動機構
３２３  駆動部
３２Ｚ  余剰導電性ボール除去部３２のリペア部搬送部
３２０Ｚ  Ｚ方向駆動部
４０  固定板
４１  第１照明装置（最下位照明装置）
４１０  枠部材
４１１Ｂ  青色発光素子群（青色ＬＥＤ）
４１１Ｒ  赤色発光素子群（赤色ＬＥＤ）
４１２  空間
４１３  光拡散部材
４２  第２照明装置（中位照明装置）
４２０  枠部材
４２１  赤色発光素子群（赤色ＬＥＤ）
４２２  空間
４３  第３照明装置（最上位照明装置）
４３０  枠部材
４３１  赤色発光素子群（赤色ＬＥＤ）
４３２  空間
５  表示装置
６  キャリブレーション部
７  ステージ搬送部
７０Ｘ  Ｘ方向固定部（Ｘ方向ガイド部）
７１Ｘ  Ｘ方向移動部
７０Ｙ  Ｙ方向固定部（Ｙ方向ガイド部）
７１Ｙ  Ｙ方向移動部
Ｂ  導電性ボール
Ｂ１  余分（余計）な導電性ボール
Ｃ  レンズ２０１の光軸（同一線）
Ｅ  電極
Ｆ  フラックス
Ｌ１  光（青色光または赤色光）
Ｌ２  光（赤色光）
Ｌ３  光（赤色光）
Ｌ１０  拡散光
Ｌ１１  反射光
Ｌ１２  反射光
Ｐ  検査箇所
Ｗ  ワーク
Ｘ１  左側
Ｘ２  右側
Ｙ１  前（手前）側
Ｙ２  後（奥、向）側
Ｚ１  上側
Ｚ２  下側
θ  入射角
【図１】
2020136304.tif 000003
【図２】
2020136304.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2020136304.tif 000007
【図６】
2020136304.tif 000008
【図７】
2020136304.tif 000009
【図８】
2020136304.tif 000010
【図９】
2020136304.tif 000011
【図１０】
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