(57)【要約】【課題】リング共振器フィルタの製作精度を検査することができる波長可変レーザ素子およびリング共振器フィルタの検査方法を提供する。【解決手段】リング共振器フィルタ２００は、曲げ導波路２０１と、曲げ導波路２０１に結合する２つの結合器２０２，２０３と、４つのポートを有し、この４つのポートのうち２つのポートがレーザ共振器の一部をなす２つの入出力導波路２０４，２０５と、入力導波路２０４，２０５における残りの２つのポートのうちの１つに光学的に結合可能であり、レーザ共振器と異なる光を発振する発光部２０６と、２つの入力導波路２０４，２０５における残りの１つのポートに設けられ、外部へ光を取り出すための出力口２０７と、を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リング共振器フィルタを有するレーザ共振器を備える波長可変レーザ素子であって、
前記リング共振器フィルタは、
周回構造を形成する曲げ導波路と、
前記曲げ導波路に結合する２つの結合器と、
前記２つの結合器と光学的に結合し、４つのポートを有し、該４つのポートのうち２つのポートが前記レーザ共振器の一部をなす２つの入出力導波路と、
前記２つの入力導波路における残りの２つのポートのうちの１つに光学的に結合可能であり、前記レーザ共振器と異なる光を発光する発光部と、
前記２つの入力導波路における残りの１つのポートに設けられ、外部へ光を取り出すための出力口と、
を備える、
波長可変レーザ素子。
【請求項２】
請求項１に記載の波長可変レーザ素子であって、
前記出力口は、
前記レーザ共振器を構成する発光層と光学系に結合されたポート側の反対側のポート側に配置される、
ことを特徴とする波長可変レーザ素子。
【請求項３】
請求項１または２に記載の波長可変レーザ素子であって、
前記リング共振器フィルタは、
前記発光部と、前記２つの入出力導波路のうち前記発光部が光学的に結合される入出力導波路と、の間に設けられ、前記発光部が発光することによって出力した光を反対側へ折り返す折り返し導波路をさらに備える、
ことを特徴とする波長可変レーザ素子。
【請求項４】
請求項１または２に記載の波長可変レーザ素子であって、
前記リング共振器フィルタは、
外部へ光を取り出すための出力口を有する出力導波路と、
前記発光部と、前記リング共振器フィルタとの間に設けられ、前記発光部が発光した光を前記リング共振器フィルタへ出力する一方、前記発光部が発光した光を前記出力導波路の入力口へ出力する分岐結合器と、
をさらに備える、
ことを特徴とする波長可変レーザ素子。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一つに記載の波長可変レーザ素子であって、
前記発光部は、
当該半導体レーザの利得部と同一の層構造を有する、
ことを特徴とする波長可変レーザ素子。
【請求項６】
リング共振器フィルタを有するレーザ共振器を備える波長可変レーザ素子におけるリング共振器フィルタの検査方法であって、
前記リング共振器フィルタは、
周回構造を形成する曲げ導波路と、
前記曲げ導波路に結合する２つの結合器と、
前記２つの結合器と光学的に結合し、４つのポートを有し、該４つのポートのうち２つのポートが前記レーザ共振器の一部を構成する２つの入出力導波路と、
前記２つの入力導波路における残りの２つのポートのうちの１つに光学的に結合可能であり、前記レーザ共振器と異なる光を発光する発光部と、
前記２つの入力導波路における残りの１つのポートに設けられ、外部へ光を取り出すための出力口と、
を備え、
前記発光部に電流を供給することによって前記発光部に発光させ、
前記出力口から出力される光を検出した検出結果に基づいて、前記リング共振器フィルタの特性を検出する、
ことを特徴とするリング共振器フィルタの検査方法。
【請求項７】
請求項６に記載のリング共振器の検査方法であって、
前記リング共振器フィルタは、
外部へ光を取り出すための出力口を有する出力導波路と、
前記発光部と、前記リング共振器フィルタとの間に設けられ、前記発光部が発光した光を前記リング共振器フィルタへ出力する一方、前記発光部が発光した光を前記出力導波路の入力口へ出力する分岐結合器と、
をさらに備え、
前記２つの入力導波路における残り１つのポートの出力口において検出した前記光の検出結果と、前記出力導波路の出力口において検出した前記光の検出結果と、の比較結果に基づいて、前記リング共振器フィルタの特性を検出する、
ことを特徴とするリング共振器フィルタの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、波長可変レーザ素子およびリング共振器フィルタの検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、波長可変レーザモジュールにおいて、リング状の曲げ導波路と、各々が曲げ導波路と光学的に結合した２つのアーム部と、を有するリング共振器フィルタ（リング共振器）を含む反射ミラーによってレーザ共振器を構成する技術が知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１７８２８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、リング共振器フィルタを備える波長可変レーザモジュールでは、分布ブラッグ反射（ＤＢＲ）型波長可変レーザと比して、小型化が可能であるが、リング共振器フィルタの作製精度が要求される。このため、従来の方法では、波長可変レーザモジュールにレーザ発振させて、ヒータ制御を行うことによって波長マッピングを描くことでリング共振器を含む全体の作製精度の検査を行っている。
【０００５】
しかしながら、従来の方法では、波長可変レーザモジュール全体で作製精度の判定を行っているため、リング共振器フィルタのみの作製精度を判定することができず、リング共振器フィルタが正しく作製できているか否かの検査を行うことができなかった。
【０００６】
本開示は、上記に鑑みてなされたものであって、リング共振器フィルタの製作精度を検査することができる波長可変レーザ素子およびリング共振器フィルタの検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本開示に係る波長可変レーザ素子は、リング共振器フィルタを有するレーザ共振器を備える半導体レーザであって、前記リング共振器フィルタは、周回構造を形成する曲げ導波路と、前記曲げ導波路に結合する２つの結合器と、前記２つの結合器と光学的に結合し、４つのポートを有し、該４つのポートのうち２つのポートが前記レーザ共振器の一部をなす２つの入出力導波路と、前記２つの入力導波路における残りの２つのポートのうちの１つに光学的に結合可能であり、前記レーザ共振器と異なる光を発光する発光部と、前記２つの入力導波路における残りの１つのポートに設けられ、外部へ光を取り出すための出力口と、を備える。
【０００８】
また、本開示に係る波長可変レーザ素子は、上記開示において、前記出力口は、前記レーザ共振器を構成する発光層と光学系に結合されたポート側の反対側のポート側に配置される。
【０００９】
また、本開示に係る波長可変レーザ素子は、上記開示において、前記リング共振器フィルタは、前記発光部と、前記２つの入出力導波路のうち前記発光部が光学的に結合される入出力導波路と、の間に設けられ、前記発光部が発光することによって出力した光を反対側へ折り返す折り返し導波路をさらに備える。
【００１０】
また、本開示に係る波長可変レーザ素子は、上記開示において、前記リング共振器フィルタは、外部へ光を取り出すための出力口を有する出力導波路と、前記発光部と、前記リング共振器フィルタとの間に設けられ、前記発光部が発光した光を前記リング共振器フィルタへ出力する一方、前記発光部が発光した光を前記出力導波路の入力口へ出力する分岐結合器と、をさらに備える。
【００１１】
また、本開示に係る波長可変レーザ素子は、上記開示において、前記発光部は、当該半導体レーザの利得部と同一の層構造を有する。
【００１２】
また、本開示に係るリング共振器フィルタの検査方法であって、前記リング共振器フィルタは、周回構造を形成する曲げ導波路と、前記曲げ導波路に結合する２つの結合器と、前記２つの結合器と光学的に結合し、４つのポートを有し、該４つのポートのうち２つのポートが前記レーザ共振器の一部を構成する２つの入出力導波路と、前記２つの入力導波路における残りの２つのポートのうちの１つに光学的に結合可能であり、前記レーザ共振器と異なる光を発光する発光部と、前記２つの入力導波路における残りの１つのポートに設けられ、外部へ光を取り出すための出力口と、を備え、前記発光部に電流を供給することによって前記発光部に発光させ、前記出力口から出力される光を検出した検出結果に基づいて、前記リング共振器フィルタの特性を検出する。
【００１３】
また、本開示に係るリング共振器フィルタの検査方法であって、上記開示において、前記リング共振器フィルタは、外部へ光を取り出すための出力口を有する出力導波路と、前記発光部と、前記リング共振器フィルタとの間に設けられ、前記発光部が発光した光を前記リング共振器フィルタへ出力する一方、前記発光部が発光した光を前記出力導波路の入力口へ出力する分岐結合器と、をさらに備え、前記２つの入力導波路における残り１つのポートの出力口において検出した前記光の検出結果と、前記出力導波路の出力口において検出した前記光の検出結果と、の比較結果に基づいて、前記リング共振器フィルタの特性を検出する。
【発明の効果】
【００１４】
本開示によれば、リング共振器フィルタの製作精度を検査することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、実施の形態１に係る波長可変レーザ素子の模式的な斜視図である。
【図２】図２は、上述した波長可変レーザ素子１００に用いた際のリング共振器フィルタの上面図である。
【図３】図３は、検査時におけるリング共振器フィルタの上面図である。
【図４】図４は、制御装置が実行するリング共振器フィルタの検査方法を示すフローチャートである。
【図５】図５は、検査装置が検出するスペクトルの一例を模式的に示す図である。
【図６】図６は、実施の形態２に係るリング共振器フィルタの概略構成を示す上面図である。
【図７】図７は、実施の形態３に係るリング共振器フィルタの概略構成を示す上面図である。
【図８】図８は、制御装置が実行するリング共振器フィルタの検査方法を示すフローチャートである。
【図９】図９は、発光部が出力する赤外光のスペクトルを模式的に示す図である。
【図１０】図１０は、制御装置によって補正された光のスペクトルを模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に、図面を参照して本開示の実施の形態について説明する。なお、この実施の形態により、本開示が限定されるものでない。また、図面の記載において、同一または対応する要素には適宜同一の符号を付している。さらに、図面は、模式的なものであり、各要素の寸法の関係、各要素の比率等は、現実のものとは異なる場合があることに留意する必要がある。さらにまた、図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合がある。また、図中で適宜ｘｙｚ座標軸を示し、これにより方向を説明する。以下においては、本開示に係る波長可変レーザ素子として、バーニア効果を利用した波長可変レーザ素子について説明する。
【００１７】
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１に係る波長可変レーザ素子の模式的な斜視図である。図１に示す波長可変レーザ素子１００は、例えば１.５５μｍ帯でレーザ発振することによってレーザ光を出力する。波長可変レーザ素子１００は、共通の基部Ｂ上に形成された、第１の導波路部１１０と、第２の導波路部１２０と、を備える。
【００１８】
〔第１の導波路部の構成〕
まず、第１の導波路部１１０について説明する。
第１の導波路部１１０は、導波路部１１１と、半導体積層部１１２と、ｐ側電極１１３と、マイクロヒータ１１４と、を備える。第１の導波路部１１０は、第１の導波路構造としての埋込み導波路構造を有する。
【００１９】
導波路部１１１は、半導体積層部１１２内にｚ方向に延伸するように形成されている。また、導波路部１１１は、半導体積層部１１２内に配置された利得部１１１ａとＤＢＲ型の回折格子層１１１ｂと、を有する。
【００２０】
利得部１１１ａは、交互に積層された複数の井戸層と複数のバリア層を含んで構成された多重量子井戸構造と、多重量子井戸構造を上下から下部および上部光閉じ込め層と、を有しており、電流注入により発光する。この利得部１１１ａの多重量子井戸構造を構成する井戸層およびバリア層は、各々の組成が異なるＩｎＧａＡｓＰからなる。実施の形態１では、利得部１１１ａからの発光波長帯域が１．５５μｍ帯である。また、下部光閉じ込め層は、ｎ型ＩｎＧａＡｓＰからなる。上部光閉じ込め層は、ｐ型ＩｎＧａＡｓＰからなる。下部光閉じ込め層および上部光閉じ込め層のバンドギャップ波長は、利得部１１１ａのバンドギャップ波長より短い波長に設定されている。
【００２１】
回折格子層１１１ｂは、ｐ型ＩｎＧａＡｓＰ層にｚ方向に沿って標本化回折格子が形成され、回折格子の溝はＩｎＰで埋め込まれた構成を有する。回折格子層１１１ｂは、回折格子の格子間隔が一定であるが標本化されており、これにより波長に対し略周期的な反射応答を示す。回折格子層１１１ｂのｐ型ＩｎＧａＡｓＰ層のバンドギャップ波長は、利得部１１１ａのバンドギャップ波長より短いことが好ましく、たとえば１．２μｍである。
【００２２】
半導体積層部１１２は、半導体層が積層して構成されている。半導体積層部１１２は、導波路部１１１に対して、クラッド部の機能等を有する。半導体積層部１１２は、利得部１１１ａが含まれる部分においては、利得部１１１ａが含まれる部分と同様の材料、構造からなるが、ｐ型ＩｎＧａＡｓＰ層がｐ型ＩｎＰ層に置き換えられる点と、ｙ方向において利得部１１１ａを挟んでｐ型半導体層とｎ型半導体層との位置が逆転した積層構造を有する点とで異なる。また、半導体積層部１１２は、回折格子層１１１ｂが含まれる部分においては、ＩｎＧａＡｓＰからなる光導波層に置き換えられる点と、ｙ方向において回折格子層１１１ｂを挟んでｐ型半導体層とｎ型半導体層との位置が逆転した積層構造を有する点とで異なる。また、半導体積層部１１２には、ＳｉＮ保護膜が形成されている。
【００２３】
ｐ側電極１１３は、半導体積層部１１２上において、利得部１１１ａに沿うように配置されている。ｐ側電極１１３は、半導体積層部１１２のＳｉＮ保護膜に形成された開口部を介して半導体積層部１１２に接触している。また、半導体積層部１１２のｐ側電極１１３が形成された面と反対側の面には、不図示のｎ側電極が形成されている。
【００２４】
マイクロヒータ１１４は、半導体積層部１１２のＳｉＮ保護膜上において、回折格子層１１１ｂに沿うように配置されている。マイクロヒータ１１４は、第１の屈折率変化器として機能し、電流が供給されることによって発熱し、回折格子層１１１ｂを加熱する。即ち、マイクロヒータ１１４は、供給される電流量が変化させることによって回折格子層１１１ｂの温度が変化し、回折格子層１１１ｂの屈折率を変化させる。
【００２５】
〔第２の導波路部の構成〕
次に、第２の導波路部１２０について説明する。
第２の導波路部１２０は、メサ形状を有する２分岐部１２１と、メサ形状を有し、２つの直線導波路として機能するアーム部１２２およびアーム部１２３と、メサ形状を有するリング状の曲げ導波路１２４と、Ｔｉからなるマイクロヒータ１２５と、を備える。
【００２６】
２分岐部１２１は、１×２型の多モード干渉型（ＭＭＩ）導波路１２１ａを含む１×２型の分岐型導波路で構成され、２ポート側がアーム部１２２およびアーム部１２３の各々に接続されるとともに、１ポート側が第１の導波路部１１０側に接続される。２分岐部１２１により、アーム部１２２およびアーム部１２３の各々は、その一端が統合され、利得部１１１ａと光学的に結合される。
【００２７】
アーム部１２２およびアーム部１２３の各々は、いずれもｚ方向に延伸し、曲げ導波路１２４を挟むように配置されている。アーム部１２２およびアーム部１２３は、曲げ導波路１２４と近接し、いずれも同一の結合係数κで曲げ導波路１２４と光学的に結合している。κの値は、例えば０．２である。アーム部１２２、アーム部１２３および曲げ導波路１２４は、リング共振器フィルタＲＦ１を構成している。また、リング共振器フィルタＲＦ１と２分岐部１２１とは、反射ミラーＭ１を構成している。第２の屈折率変化器としてのマイクロヒータ１２５は、リング状であり、曲げ導波路１２４を覆うように形成されたＳｉＮ保護膜上に配置されている。
【００２８】
このように、第１の導波路部１１０および第２の導波路部１２０は、互いに光学的に接続された回折格子層１１１ｂと反射ミラーＭ１とにより構成されるレーザ共振器Ｃ１を構成している。利得部１１１ａは、レーザ共振器Ｃ１内に配置される。
【００２９】
また、波長可変レーザ素子１００では、その構成により、図１の光路ＯＰで示すように、レーザ共振器Ｃ１内の光帰還は、回折格子層１１１ｂから、２分岐部１２１、リング共振器フィルタＲＦ１のアーム部１２２、アーム部１２３のうちの一方、曲げ導波路１２４、アーム部１２２、アーム部１２３のうちの他方、２分岐部１２１を順に経由して回折格子層１１１ｂに帰還する経路で行われ、かつ１回の光帰還中に曲げ導波路１２４内を周回する。なお、光帰還の光路として、時計周りの光路と反時計周りの光路の２つが存在する。これにより、光帰還長が長くなるので、実効的な共振器長を長くでき、レーザ光Ｌ１の狭線幅化を実現できる。
【００３０】
〔リング共振器フィルタの詳細な構成〕
次に、上述した波長可変レーザ素子１００等に用いられるリング共振器フィルタ（リング共振器）について説明する。図２は、上述した波長可変レーザ素子１００に用いた際のリング共振器フィルタの上面図である。図３は、検査時におけるリング共振器フィルタの上面図である。
【００３１】
図２および図３に示すリング共振器フィルタ２００は、リング状をなす曲げ導波路２０１と、曲げ導波路２０１に光学的に結合された２つの方向性結合器２０２および方向性結合器２０３と、２つの方向性結合器２０２および方向性結合器２０３と光学的に結合し、４つのポートを有し、この４つのポートのうち２つのポートがレーザ共振器Ｃ１の一部をなす２つの第１の入出力導波路２０４および第２の入出力導波路２０５と、第１の入出力導波路２０４および第２の入出力導波路２０５における残りの２つのポートのうちの１つに光学的に結合可能であり、レーザ共振器Ｃ１と異なる光を発光する発光部２０６と、を備える。第１の入出力導波路２０４および第２の入出力導波路２０５は、曲げ導波路２０１を挟み込んで配置される。また、リング共振器フィルタ２００は、第２の入出力導波路２０５の一方に発光部２０６から発光された光が出力されるポートとして機能する出力口２０７を有する。さらに、リング共振器フィルタ２００には、出力口２０７に光学的に結合された検出部として機能する検査装置３００が配置されている。なお、発光部２０６は、上述した第１の導波路部と同様の構成のため、詳細な説明を省略する。さらに、第１の入出力導波路２０４および第２の入出力導波路２０５は、上述したアーム部２２およびアーム部２３として機能する。さらに、曲げ導波路２０１が上述したリング状導波路２４として機能する。
【００３２】
検査装置３００は、制御装置４００の制御のもと、出力口２０７から出力された光を受光することによって光のスペクトルを検出し、この検出結果を制御装置４００へ出力する。検査装置３００は、例えば光ファイバおよびスペクトルアナライザ等を用いて構成される。
【００３３】
制御装置４００は、マウス、キーボード、メモリおよびＣＰＵ（Central  Processing  Unit）等のハードウェアを用いて構成され、ユーザの操作に応じて発光部２０６に電流を供給する。制御装置４００は、検査装置３００の検出結果に基づいて、リング共振器フィルタ２００の作製精度を検査する。
【００３４】
〔リング共振器フィルタの検査方法〕
次に、上述した構成を有するリング共振器フィルタ２００の検査方法について説明する。図４は、制御装置４００が実行するリング共振器フィルタ２００の検査方法を示すフローチャートである。
【００３５】
図４に示すように、まず、制御装置４００は、発光部２０６に電流を供給することによって発光部２０６を発光させる（ステップＳ１）。この場合において、発光部２０６は、レーザ発振されないが、１５５０ｎｍ±４０ｎｍ程度の広い波長帯域を有する赤外光を発光する。このとき、発光部２０６によって発光された赤外光は、リング共振器フィルタ２００を経由し、出力口２０７から外部へ出力される。
【００３６】
続いて、制御装置４００は、検査装置３００に出力口２０７から出力された赤外光のスペクトルを検出させる（ステップＳ２）。
【００３７】
その後、制御装置４００は、検査装置３００から入力された検出結果に基づいて、赤外光のスペクトルの数値の解析を行うことによってリング共振器フィルタ２００の作製精度を解析する（ステップＳ３）。
【００３８】
図５は、検査装置３００が検出するスペクトルの一例を模式的に示す図である。図５において、横軸が波長（ｎｍ）を示し、縦軸が強度（ｄＢ）を示す。さらに、曲線Ｗ１がスペクトルアナライザによって検出されたスペクトルを示す。
【００３９】
図５に示すように、制御装置４００は、検査装置３００が検出した曲線Ｗ１のスペクトルの波形の山谷比、山谷差、強度およびピーク間隔のいずれか一つを用いることによってリング共振器フィルタ２００の作製精度を検査する。例えば、制御装置４００は、検査装置３００が検出した曲線Ｗ１のスペクトルの波形の山谷比が所定の閾値以下であるか否かによってリング共振器フィルタ２００が作製精度の基準以下であるか否かを判定する。具体的には、制御装置４００は、波形の山谷比が所定の閾値以下である場合、リング共振器フィルタ２００の作製精度が基準以下であると判定し、例えば音声等によって警告する。ステップＳ３の後、制御装置４００は、本処理を終了する。
【００４０】
以上説明した実施の形態１によれば、検査装置３００が制御装置４００の制御のもと、出力口２０７から出力された光を受光することによって光のスペクトルを検出し、この検出結果を制御装置４００へ出力するので、リング共振器フィルタ２００の単体の作製精度を検査することができる。
【００４１】
なお、実施の形態１では、第２の入出力導波路２０５が出力口２０７付近でリング共振器フィルタ２００の端面と略垂直に形成されているが、これに限定されることなく、例えば第２の入出力導波路２０５を出力口２０７付近で端面と斜めに形成して、反射を防止してもよい。もちろん、出力口２０７に反射防止のコーディングを施してもよいし、組み合わせてもよい。
【００４２】
（実施の形態２）
次に、実施の形態２について説明する。実施の形態２では、上述した実施の形態１に係るリング共振器フィルタの構成と異なる。以下においては、実施の形態２に係るリング共振器フィルタの構成について説明する。なお、上述した実施の形態１に係るリング共振器フィルタ２００と同一の構成には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４３】
〔リング共振器フィルタの構成〕
図６は、実施の形態２に係るリング共振器フィルタの概略構成を示す上面図である。図６に示すリング共振器フィルタ２００Ａは、発光部２０６と第１の入出力導波路２０４との間に、折り返し導波路２０８をさらに備える。折り返し導波路２０８は、一方が第１の入出力導波路２０４に光学的に接続され、他方が発光部２０６に光学的に接続される。
【００４４】
以上説明した実施の形態２によれば、上述した実施の形態１と同様にリング共振器フィルタ２００Ａの作製精度を検査することができるとともに、折り返し導波路２０８を設けたので、リング共振器フィルタ２００Ａにおける長手方向の長さを抑制することができる。
【００４５】
（実施の形態３）
次に、実施の形態３について説明する。実施の形態３では、上述した実施の形態１に係るリング共振器フィルタの構成と異なるうえ、検査方法が異なる。以下においては、実施の形態３に係るリング共振器フィルタの構成を説明した後に、実施の形態３に係るリング共振器フィルタの作製精度の検査方法について説明する。なお、上述した実施の形態１に係るリング共振器フィルタ２００と同一の構成には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４６】
〔リング共振器フィルタの構成〕
図７は、実施の形態３に係るリング共振器フィルタの概略構成を示す上面図である。図７に示すリング共振器フィルタ２００Ｂは、上述した実施の形態１に係る曲げ導波路２０１と、方向性結合器２０２と、方向性結合器２０３と、第１の入出力導波路２０４と、第２の入出力導波路２０５と、発光部２０６と、上述した実施の形態２に係る折り返し導波路２０８と、２分岐部２０９と、出力導波路２１０と、検査装置３００と、検査装置３１０と、を備える。
【００４７】
２分岐部２０９は、一方側が発光部２０６に光学的に接続され、他端側に折り返し導波路２０８および出力導波路２１０が光学的に接続される。２分岐部２０９は、１×２型の多モード干渉型（ＭＭＩ）等を用いて構成される。
【００４８】
出力導波路２１０は、一方側が２分岐部２０９に光学的に結合され、他端側からリング共振器を経由しない光が出力されるポートとして機能する出力口２１１を有する。さらに、出力口２１１には、検出部として機能する検査装置３１０が光学的に結合されて配置されている。
【００４９】
検査装置３１０は、制御装置４００の制御のもと、出力口２１１から出力された光であって、リング共振器フィルタ２００Ｂを経由しない光を受光することによって光のスペクトルを検出し、この検出結果を制御装置４００へ出力する。検査装置３１０は、例えば光ファイバおよびスペクトルアナライザ等を用いて構成される。
【００５０】
〔リング共振器フィルタの検査方法〕
次に、上述した構成を有するリング共振器フィルタ２００Ｂの検査方法について説明する。図８は、制御装置４００が実行するリング共振器フィルタ２００Ｂの検査方法を示すフローチャートである。
【００５１】
図８に示すように、まず、制御装置４００は、発光部２０６に電流を供給することによって発光部２０６を発光させる（ステップＳ１０）。
【００５２】
続いて、制御装置４００は、検査装置３００に出力口２０７から出力された赤外光のスペクトルおよび検査装置３１０に出力口２１１から出力された赤外光であって、リング共振器フィルタ２００Ｂを経由しない赤外光のスペクトルを検出させる（ステップＳ１１）。
【００５３】
その後、制御装置４００は、検査装置３００から入力された検出結果と検査装置３１０から入力された検出結果とを比較する（ステップＳ１２）。
【００５４】
続いて、制御装置４００は、検査装置３００から入力された検出結果と検査装置３１０から入力された検出結果とに基づいて、検査装置３００から入力された検出結果を補正する（ステップＳ１３）。
【００５５】
その後、制御装置４００は、補正された赤外光のスペクトルの数値の解析を行うことによってリング共振器フィルタ２００Ｂの作製精度を解析する（ステップＳ１４）。
【００５６】
図９は、発光部２０６が出力する赤外光のスペクトルを模式的に示す図である。図１０は、制御装置４００によって補正された光のスペクトルを模式的に示す図である。図９および図１０において、横軸が波長（ｎｍ）を示し、縦軸が強度（ｄＢ）を示す。また、図９において、曲線Ｗ２が発光部２０６から出力される赤外光のスペクトル、即ち、出力導波路２１０から出力される赤外光のスペクトルを示す。さらに、図１０において、曲線Ｗ３が制御装置４００によって補正された赤外光のスペクトルを示す。
【００５７】
制御装置４００は、図９に示す曲線Ｗ２のスペクトルに基づいて、図１０に示す曲線Ｗ３のスペクトルとなるように、出力口２０７から出力された赤外光のスペクトル、即ち、リング共振器フィルタ２００Ｂのスペクトルを補正する。ステップＳ１４の後、制御装置４００は、本処理を終了する。
【００５８】
以上説明した実施の形態３によれば、検査装置３００および検査装置３１０が制御装置４００の制御のもと、出力口２０７および出力口２１１から出力された光を受光することによって光のスペクトルを検出し、この検出結果を制御装置４００へ出力するので、リング共振器フィルタ２００Ｂの単体の作製精度を検査することができるうえ、リング共振器フィルタ２００Ｂのスペクトルを補正することができる。
【００５９】
（その他の実施の形態）
なお、上記した実施の形態１〜３により本開示が限定されるものではない。上述した各構成要素を適宜組み合わせて構成したものも本開示に含まれる。また、さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。よって、本開示のより広範な態様は、上記の実施の形態１〜３に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。
【００６０】
以上、本願の実施形態のいくつかを図面に基づいて詳細に説明したが、これらは例示であり、本開示の欄に記載の態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変形、改良を施した他の形態で本発明を実施することが可能である。
【符号の説明】
【００６１】
１００  波長可変レーザ素子
１１０  第１の導波路部
１１１  導波路部
１１１ａ  利得部
１１１ｂ  回折格子層
１１２  半導体積層部
１１３  ｎ側電極
１１４，１２５  マイクロヒータ
１２０  第２の導波路部
１２１ａ  ＭＭＩ導波路
１２２，１２３  アーム部
１２４，２０１  曲げ導波路
２００，２００Ａ，２００Ｂ，ＲＦ１  リング共振器フィルタ
２０２，２０３  方向性結合器
２０４  第１の入出力導波路
２０５  第２の入出力導波路
２０６  発光部
２０７，２１１  出力口
２０８  折り返し導波路
２０９  ２分岐部
２１０  出力導波路
３００，３１０  検査装置
４００  制御装置
Ｂ  基部
Ｃ１  レーザ共振器
Ｌ１  レーザ光
Ｍ１  反射ミラー
ＯＰ  光路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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