(57)【要約】【課題】非理想的な床であっても装置を安定させて支持することが可能な支持構造を提供する。【解決手段】装置１１を支持する支持構造１２は、装置１１を支持するベース部１４と、ベース部１４を支持する複数の脚部１６と、を備える。複数の脚部１６の少なくとも一つは、ベース部１４の高さ方向に長さを調節可能な高さ調節機構２２と、接地する接地部材２４とを有し、接地部材２４は、ベース部１４との間に高さ調節機構２２を挟んでベース部１４に固定されることにより高さ調節機構２２を固定し、接地部材２４の接地面２４ａは凸状の曲面になっている。【選択図】図１
2020060258.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置を支持する支持構造であって、
前記装置を支持するベース部と、
前記ベース部を支持する複数の脚部と、
を備え、
複数の前記脚部の少なくとも一つは、前記ベース部の高さ方向に長さを調節可能な高さ調節機構と、接地する接地部材とを有し、前記接地部材は、前記ベース部との間に前記高さ調節機構を挟んで前記ベース部に固定されることにより前記高さ調節機構を固定し、前記接地部材の接地面は凸状の曲面になっている、支持構造。
【請求項２】
請求項１に記載の支持構造であって、
前記ベース部の上、且つ、前記装置の下に設置されて、振動を抑制する振動抑制部を備える、支持構造。
【請求項３】
請求項１または２に記載の支持構造であって、
前記高さ調節機構は、楔型部材と、前記楔型部材を上下から挟む上側部材および下側部材と、を含む、支持構造。
【請求項４】
請求項３に記載の支持構造であって、
前記楔型部材、前記上側部材および前記下側部材は、第１ボルトを貫通させるための貫通孔をそれぞれ有し、
前記接地部材は、前記第１ボルトのねじ溝と螺合するねじ穴を有する、支持構造。
【請求項５】
請求項４に記載の支持構造であって、
前記楔型部材および前記上側部材は、第２ボルトを貫通させるための貫通孔をそれぞれ有し、前記下側部材は、前記第２ボルトのねじ溝と螺合するねじ孔を有し、
前記接地部材は、前記第２ボルトの先端に対応する逃げ穴を有する、支持構造。
【請求項６】
請求項３に記載の支持構造であって、
前記下側部材が、前記接地部材を兼ねている、支持構造。
【請求項７】
請求項６に記載の支持構造であって、
前記楔型部材および前記上側部材は、ボルトを貫通させるための貫通孔をそれぞれ有し、
前記下側部材は、前記ボルトのねじ溝と螺合するねじ穴を有する、支持構造。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の支持構造であって、
少なくとも３つの前記脚部の接地面は凸状の曲面になっている、支持構造。
【請求項９】
請求項２項に記載の支持構造であって、
前記振動抑制部は、床からの振動および前記装置からの振動の少なくとも一方を抑制する、支持構造。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の支持構造であって、
前記接地部材は、金属板を介して接地されている、支持構造。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の支持構造であって、
前記接地部材の接地面は部分球面形状の曲面になっている、支持構造。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の支持構造と、工作機械である前記装置と、を備える、工作機械システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、装置を支持するための支持構造および工作機械システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
下記に示す特許文献１に記載の工作機械は、高さ調節機構を備えた脚を４本備えた支持構造により支えられている。各脚の底部は平面になっており、床が平面であれば工作機械全体を安定して支えることができる。工具および各軸にかかる力を偏らせないためには加工テーブルを水平に保つ必要があり、そのために各脚に高さ調節機構が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−４９５８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、工作機械としての装置が設置される場所の床面の状態は、必ずしも理想的な平面ではない。概ね水平な平面であっても、各々の脚が着座する床面を微視的に見た場合、コンクリートのモルタルの凹凸、ひび割れによる微小な段差、経年的に生じた床のうねり、または施工時のコテの跡などによって床に凹凸が生じている。したがって、特許文献１に記載の工作機械の各々の脚部品の底面の全面が、非理想的な床に安定して着座するのは事実上不可能であり、支持機構および装置のガタつきの原因となり、高精度な加工または動作を行うことができない。
【０００５】
高さ調節機構は高さ方向の長さがずれやすい構成であるため、支持機構のガタつきによる振動によって高さ方向の長さがずれてしまい、装置を安定に保てないという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明は、非理想的な床であっても装置を安定させて支持することが可能な支持構造および工作機械システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様は、装置を支持する支持構造であって、前記装置を支持するベース部と、前記ベース部を支持する複数の脚部と、を備え、複数の前記脚部の少なくとも一つは、前記ベース部の高さ方向に長さを調節可能な高さ調節機構と、接地する接地部材とを有し、前記接地部材は、前記ベース部との間に前記高さ調節機構を挟んで前記ベース部に固定されることにより前記高さ調節機構を固定し、前記接地部材の接地面は凸状の曲面になっている。
【０００８】
本発明の第２の態様は、工作機械システムであって、上記の支持構造と、工作機械である前記装置と、を備える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、非理想的な床であっても装置を安定させて支持することが可能な支持構造および工作機械システムが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】工作機械システムの構成を示す側面図である。
【図２】支持構造の一部を示す斜視図である。
【図３】ベース部に固定されている脚部の様子を示す斜視図である。
【図４】ベース部に固定される前の高さ調節機構および接地部材の様子を示す斜視図である。
【図５】ベース部に固定される前の高さ調節機構および接地部材の様子を示す別の斜視図である。
【図６】変形例１における装置を支持する支持構造の構成を示す側面図である。
【図７】変形例３における高さ調節機構の構成を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明に係る支持構造および工作機械システムについて、好適な実施の形態を掲げ、添付の図面を参照しながら以下、詳細に説明する。
【００１２】
［実施の形態］
図１は、工作機械システム１０の構成を示す側面図である。工作機械システム１０は、工作機械としての装置１１と、装置１１を搭載する支持台１１ａと、装置１１および支持台１１ａを支持する支持構造１２と、を備える。支持構造１２は、装置１１を支持する架台であるベース部１４と、ベース部１４を支持する複数の脚部１６と、を備える。さらに、支持構造１２は、ベース部１４の上、且つ、装置１１の下に設置されて、振動を抑制する振動抑制部１８を備える。振動抑制部１８は、ベース部１４の上に設置されて、支持台１１ａを直接支持する。脚部１６は、工作機械システム１０全体の重量を支えるのに不可欠な主脚であり、その数は３以上である。なお、主脚以外に補助的な脚を追加してもよい。
【００１３】
装置１１の具体例は、超精密加工機である。要求される加工精度の分解能が１００ナノメートル以下の超精密加工機は、位置制御の指令単位が１０ナノメートル刻み、またはそれより微細な刻みになる。装置１１の他の例としては、半導体のウェハー研削装置である。支持構造１２が支える装置１１が有する加工テーブルの水平レベルの目標値は、０．２ｍｍ／１ｍ以下の水平度を要する。
【００１４】
複数の脚部１６のうちの一つである脚部１６ａは、ベース部１４の高さ方向（Ｚ方向）に長さを調節可能な高さ調節機構２２と、支持構造１２の設置場所の床に接地する接地部材２４とを有している。設置場所の床は、Ｘ方向およびＹ方向に平行であり、重力の向きは−Ｚ方向である。Ｚ方向を上の方向、−Ｚ方向を下の方向として、上下を定める。高さ調節機構２２は、装置１１が有する加工テーブルの水平だしなどのために設けられている。接地部材２４は、ベース部１４との間に高さ調節機構２２を挟んでベース部１４に固定されることにより高さ調節機構２２を固定する。接地部材２４の接地面２４ａは凸状の曲面になっている。複数の脚部１６の少なくとも一つは、高さ調節機構２２および接地部材２４を有する脚部１６ａである必要がある。なお、複数の脚部１６の全てが高さ調節機構２２および接地部材２４を有する脚部１６ａであってもよい。
【００１５】
複数の脚部１６のうちの一つである脚部１６ｂは、高さ調節機構２２を有していないが、脚部１６ｂの接地面１７は接地面２４ａと同様の凸状の曲面になっている。したがって、複数の脚部１６が脚部１６ａと、脚部１６ｂとから構成されるならば、複数の脚部１６の全ての接地面は凸状の曲面になっている。
【００１６】
なお、脚部１６は３つ以上あれば支持構造１２は安定するので、少なくとも３つの脚部１６の接地面が凸状の曲面になっていればよい。これにより、床面の凹凸に対して凸状の曲面が略点状で床面を捉えて接触することが確実に可能となり、支持構造１２のガタつきを防いで、支持構造１２を確実に安定化できる。接地面が凸状の曲面になっている脚部１６のうち少なくとも一つが高さ調節機構２２および接地部材２４を有する脚部１６ａであれば、残りは高さ調節機構２２を有さない脚部１６ｂであってもよい。また、少なくとも３つの脚部１６の接地面が凸状の曲面になっていれば、接地面が平面の補助的な脚部が脚部１６とは別に支持構造１２に設けられてもよい。
【００１７】
図２は、支持構造１２の一部を示す斜視図である。図２では、高さ調節機構２２および接地部材２４を有する脚部１６ａがＹ方向に２つ並んでいる様子が示されている。振動抑制部１８が効果的に機能するためには、ベース部１４および脚部１６に高い剛性が要求される。したがって、接地部材２４は、十分な厚さの金属、またはそれに準ずる剛性のある材料で構成されている必要がある。例えば、接地部材２４を構成する材料は、ＳＳ４００、Ｓ４５Ｃといった金属である。接地部材２４の材料は、支持構造１２が設置される床のコンクリートの硬さまたは脆さを勘案して選定するのが好ましい。接地部材２４の接地面２４ａは、半径Ｒが５０ｍｍ〜１０００ｍｍ程度の部分球面形状の曲面になっていることが好ましい。特に、半径Ｒが１００ｍｍ〜５００ｍｍの間の部分球面形状の曲面が好適である。これにより、床面の凹凸に対して接地面２４ａの凸状の曲面が略点状で床面をより好適に捉えて接触することが可能になる。
【００１８】
半径Ｒが小さくなるほど、支持構造１２の適正な許容荷重は小さくなるが、対応可能な床面の凹凸の程度および傾きの大きさに対する許容範囲は広くなる。逆に、半径Ｒが大きくなるほど、支持構造１２が支持可能な荷重は大きくなるが、対応可能な床面の凹凸の程度および傾きの大きさに対する許容範囲は狭まっていく。例えば、床面の傾斜を５度までと想定すると、図１の支持構造１２から上の全体の機械の重さが１トン〜５トン程度であれば、半径Ｒ＝３００〜４００ｍｍ程度の球面が好ましい。
【００１９】
図３は、ベース部１４に固定されている脚部１６ａの様子を示す斜視図である。図４は、ベース部１４に固定される前の高さ調節機構２２および接地部材２４の様子を示す斜視図である。図５は、ベース部１４に固定される前の高さ調節機構２２および接地部材２４の様子を示す別の斜視図である。
【００２０】
図４に示すように、ベース部１４に形成されたボルト穴２６に挿入される第１ボルト２８と、ベース部１４に形成されたボルト穴３０に挿入される第２ボルト３２とによって、高さ調節機構２２および接地部材２４はベース部１４に固定される。高さ調節機構２２は、上側部材３４、楔型部材３６、下側部材３８および高さ調節ボルト４０を備える。高さ調節機構２２においては、それぞれが楔型部材３６と同じ傾きのテーパ面を持つ二つの部材である上側部材３４および下側部材３８が楔型部材３６を上下から挟んでいる。上記テーパ面は、Ｘ方向に進むとＺ方向の高さが変化する斜面である。Ｘ方向に延びる高さ調節ボルト４０は、楔型部材３６と螺合している。高さ調節ボルト４０を一方に回すことにより楔型部材３６はＸ方向に駆動され、高さ調節ボルト４０を他方に回すことにより楔型部材３６は−Ｘ方向に駆動される。したがって、高さ調節ボルト４０を操作することにより上側部材３４と下側部材３８との上下方向の間隔が変化するので、高さ調節機構２２の高さ方向（Ｚ方向）の長さを適切に調節することができる。そして、床の傾きに合わせて高さ調節ボルト４０を操作して、高さ調節機構２２の高さ方向（Ｚ方向）の長さを調節することにより、装置１１が有する加工テーブルを水平に保つように調節することができる。
【００２１】
そして、上側部材３４、楔型部材３６および下側部材３８は、第１ボルト２８を貫通させるための貫通孔４２をそれぞれ有している。さらに、接地部材２４は、第１ボルト２８のねじ溝と螺合するねじ穴２４ｂを有している。すなわち、第１ボルト２８は、接地部材２４と螺合するボルトである。なお、楔型部材３６の貫通孔４２は第１ボルト２８と干渉しないようにＸ方向の径がＹ方向の径より大きい長孔になっている。第１ボルト２８により、接地部材２４は、ベース部１４との間に高さ調節機構２２を挟んでベース部１４に固定される。その結果、高さ調節機構２２をベース部１４に確実に固定することができる。
【００２２】
また、上側部材３４および楔型部材３６は、第２ボルト３２を貫通させるための貫通孔４４ａをそれぞれ有し、下側部材３８は、第２ボルト３２のねじ溝と螺合するねじ孔４４ｂを有している。すなわち、第２ボルト３２は、下側部材３８と螺合するボルトである。さらに、接地部材２４は、第２ボルト３２の先端に対応する逃げ穴２４ｃを有している。なお、楔型部材３６の貫通孔４４ａは第２ボルト３２と干渉しないようにＸ方向の径がＹ方向の径より大きい長孔になっている。第２ボルト３２により、下側部材３８は、ベース部１４との間に上側部材３４および楔型部材３６を挟んでベース部１４に固定される。その結果、高さ調節機構２２全体をベース部１４に確実に固定することができる。
【００２３】
高精度な加工を要求される工作機械システム１０では振動が高精度加工の妨げとなるので、その対策として、加工テーブルを含んだ装置１１の全体を振動抑制部１８の上に配置している。振動抑制部１８は、床からの振動を抑制する除振機能を有し、振動抑制部１８の上側の支持台１１ａおよび装置１１に振動を伝えないようにしている。この場合、振動抑制部１８は、床の振動を検出して当該振動を相殺する制御を行う能動型除振制御を実行する。
【００２４】
また、振動抑制部１８は、装置１１からの振動を抑制する制振機能を有し、床に振動を伝えないようにする。さらに、振動抑制部１８は、装置１１および支持台１１ａの内外の様々な振動源からの振動を抑制する制振制御を実行してもよい。これにより、振動抑制部１８は、振動抑制部１８が支持する支持台１１ａおよび装置１１を、あたかも上空の一点から吊り下げられているかのように空間の一定位置に保つことができる。すなわち、スカイフックダンパが実現できる。したがって、装置１１において実際に加工が実行される位置である加工点も空間の一定位置に保つことができる。
【００２５】
なお、振動抑制部１８は、除振機能および制振機能の双方の機能を有しているが、いずれか一方の機能を有しているのでもかまわない。すなわち、振動抑制部１８は、床からの振動および装置１１からの振動の少なくとも一方を抑制することができれば、装置１１を安定して制御することが可能になる。
【００２６】
以下に、本実施の形態の効果を説明する。楔型部材３６と、楔型部材３６を上下から挟んでいる上側部材３４および下側部材３８とからなる構成の高さ調節機構２２は、高さ方向の長さがずれやすい構成である。しかしながら、本実施の形態にかかる支持構造１２においては、接地部材２４が、ベース部１４との間に高さ調節機構２２を挟んでベース部１４に固定されることにより、高さ調節機構２２がしっかりとベース部１４に固定されてガタつきが抑えられる。その結果、高さ調節機構２２の高さ方向の長さがずれにくくなり脚部１６ａが安定化するという効果が得られる。さらに、接地部材２４の接地面２４ａが凸状の曲面になっていることにより、非理想的な床面の凹凸に対して接地面２４ａの凸状の曲面が略点状で床面を捉えて接触することが可能になり、支持構造１２のガタつきを防ぐことができる。凸状の曲面を介して支持構造１２が安定するように接地するので、上記効果も含めて支持構造１２が装置１１を安定させて支持することが可能になる。これにより、高精度の加工動作が必要な工作機械システム１０の性能を向上させることが可能となる。
【００２７】
また、支持構造１２が振動抑制部１８を備える場合は、制振動作によって強弱が変動する動的な荷重が発生して脚部１６に作用する。しかし、本実施の形態の脚部１６を用いることで、脚部１６の周辺の剛性を維持して、振動抑制部１８の除振機能および制振機能の低下を防ぐことができる。すなわち、支持構造１２を安定させることができるので、振動抑制部１８は、最大限の制御性能を発揮することが可能となる。その結果、スカイフックダンパ状態に安定して制御された装置１１が得られる。そして、装置１１の各種加工軸に対してより高精度な制御が可能となるので、超精密加工機または超精密研削機といった高精度の加工動作が必要な装置１１の性能をさらに向上させることが可能となる。
【００２８】
［変形例］
上記実施の形態は、以下のように変形してもよい。
【００２９】
＜変形例１＞
図６は、変形例１における装置１１を支持する支持構造１２の構成を示す側面図である。図６は、接地部材２４が金属板４６を介して接地されている様子を示している。接地部材２４の凸状の曲面である接地面２４ａと、支持構造１２の設置場所の床の凹凸との噛み合い状態をより好適にするために、接地部材２４の接地面２４ａが金属板４６を介して接地されている。なお、脚部１６ｂの接地面１７も金属板４６を介して接地されている。金属板４６は、アルミ板、銅板、軟鋼板などの比較的柔らかい材質の金属の薄板である。金属板４６の厚みは、０．１ｍｍ〜５ｍｍ程度であることが望ましく、特に好ましくは０．５ｍｍ〜３ｍｍ程度である。金属板４６を、床と接地部材２４との間に適宜挟むことによって、床のコンクリートの細かな凹凸を金属板４６が倣って吸収する。それと共に、接地面２４ａの凸状の曲面が程よく金属板４６に沈み込むため、支持構造１２の接地状態をより好適にするのに効果的である。なお、例えば、金属板４６の代わりにゴムまたはマット類を設置してしまうと、ゴムまたはマット類は柔らかな弾性体なので、振動抑制部１８の制御の妨げになる。また、金属板４６としては、薄さの不十分な鉄板も弾性体となり得るため、好ましくない。
【００３０】
＜変形例２＞
図３および図４においては、接地部材２４と螺合する第１ボルト２８および下側部材３８と螺合する第２ボルト３２がそれぞれ一本ずつであるとして説明した。しかし、第１ボルト２８が複数本あって、それぞれに対応する複数の貫通孔４２が上側部材３４、楔型部材３６および下側部材３８に形成されて、それぞれに対応する複数のねじ穴２４ｂが接地部材２４に形成されている構成にしてもよい。また、第２ボルト３２がない構成であってもかまわない。さらに、第１ボルト２８が少なくとも一本あるのであれば、第２ボルト３２が複数本ある構成であってもかまわない。第１ボルト２８または第２ボルト３２を複数本用いることにより、接地部材２４および高さ調節機構２２をベース部１４にさらに確実に固定することができる。
【００３１】
＜変形例３＞
図７は、変形例３における高さ調節機構２２ａの構成を示す側面図である。高さ調節機構２２ａは、上側部材３４、楔型部材３６、下側部材４８および高さ調節ボルト４０を備える。そして、下側部材４８は、上記実施の形態における下側部材３８と同様に機能すると共に、上記実施の形態における接地部材２４を兼ねている。すなわち、下側部材４８の接地面４８ａは、接地部材２４の接地面２４ａと同様な凸状の曲面になっている。
【００３２】
図７に示すように、ベース部１４に形成されたボルト穴２６に挿入されるボルト５０と、ベース部１４に形成されたボルト穴３０に挿入されるボルト５０とによって、高さ調節機構２２ａはベース部１４に固定される。なお、図７では、ボルト５０が二本として説明しているが、ボルト５０は一本でもよく、三本以上の複数存在する構成であってもかまわない。
【００３３】
上側部材３４は、ボルト５０を貫通させるための貫通孔５２を有し、楔型部材３６は、ボルト５０を貫通させるための貫通孔５４を有し、下側部材４８は、ボルト５０のねじ溝と螺合するねじ穴５６を有している。すなわち、ボルト５０は、下側部材４８と螺合するボルトである。なお、楔型部材３６の貫通孔５４はボルト５０と干渉しないようにＸ方向の径がＹ方向の径より大きい長孔になっている。ボルト５０により、下側部材４８は、ベース部１４との間に上側部材３４および楔型部材３６を挟んでベース部１４に固定される。その結果、高さ調節機構２２ａ全体をベース部１４に確実に固定することができる。
【００３４】
すなわち、高さ調節機構２２ａの底面自体が凸状の曲面になっている。これにより、上記実施の形態のように高さ調節機構２２に加えて接地部材２４を設ける必要がなく、上記実施の形態より支持構造１２の部品点数を減らしても装置１１を安定させて支持することができる。
【００３５】
＜変形例４＞
また、支持構造１２は、工作機械以外の装置１１に適用することも可能であり、装置１１および支持台１１ａが、ナノメートルオーダーまたはピコメートルオーダーの測定が可能な超精密測定器を構成してもかまわない。本実施の形態の支持構造１２を利用すれば、超精密測定器の性能の向上も可能になる。
【００３６】
＜変形例５＞
なお、上記変形例１〜４を矛盾が生じない範囲で任意に組み合わせた態様であってもかまわない。
【００３７】
［実施の形態から得られる発明］
上記実施の形態および変形例から把握しうる発明について、以下に記載する。
【００３８】
＜第１の発明＞
装置（１１）を支持する支持構造（１２）は、装置を支持するベース部（１４）と、ベース部（１４）を支持する複数の脚部（１６）と、を備える。複数の脚部（１６）の少なくとも一つは、ベース部（１４）の高さ方向に長さを調節可能な高さ調節機構（２２）と、接地する接地部材（２４）とを有し、接地部材（２４）は、ベース部（１４）との間に高さ調節機構（２２）を挟んでベース部（１４）に固定されることにより高さ調節機構（２２）を固定し、接地部材（２４）の接地面（２４ａ）は凸状の曲面になっている。
【００３９】
これにより、高さ調節機構（２２）がしっかりとベース部（１４）に固定されてガタつきが抑えられ、高さ調節機構（２２）の高さ方向の長さがずれにくくなるという効果が得られる。非理想的な床面の凹凸に対して接地面（２４ａ）の凸状の曲面が略点状で床面を捉えて接触することが可能になり、支持構造（１２）のガタつきを防ぐことができる。凸状の曲面を介して支持構造（１２）が安定するように接地するので、上記効果も含めて支持構造（１２）が装置（１１）を安定させて支持することが可能になる。
【００４０】
支持構造（１２）は、ベース部（１４）の上、且つ、装置（１１）の下に設置されて、振動を抑制する振動抑制部（１８）を備えもよい。これにより、振動抑制部（１８）は、最大限の制御性能を発揮することが可能となり、高精度の加工動作が必要な装置（１１）の性能をさらに向上させることが可能となる。
【００４１】
高さ調節機構（２２）は、楔型部材（３６）と、楔型部材（３６）を上下から挟む上側部材（３４）および下側部材（３８）と、を含んでもよい。
【００４２】
楔型部材（３６）、上側部材（３４）および下側部材（３８）は、第１ボルト（２８）を貫通させるための貫通孔（４２）をそれぞれ有してもよい。接地部材（２４）は、第１ボルト（２８）のねじ溝と螺合するねじ穴（２４ｂ）を有してもよい。これにより、高さ調節機構（２２）をベース部（１４）に確実に固定することができる。
【００４３】
楔型部材（３６）および上側部材（３４）は、第２ボルト（３２）を貫通させるための貫通孔（４４ａ）をそれぞれ有し、下側部材（３８）は、第２ボルト（３２）のねじ溝と螺合するねじ孔（４４ｂ）を有してもよい。接地部材（２４）は、第２ボルト（３２）の先端に対応する逃げ穴（２４ｃ）を有してもよい。これにより、高さ調節機構（２２）全体をベース部（１４）に確実に固定することができる。
【００４４】
下側部材（４８）が、接地部材（２４）を兼ねていてもよい。これにより、高さ調節機構（２２）に加えて接地部材（２４）を設ける必要がなく、支持構造（１２）の部品点数を減らしても装置（１１）を安定させて支持することができる。
【００４５】
楔型部材（３６）および上側部材（３４）は、ボルト（５０）を貫通させるための貫通孔（５２、５４）をそれぞれ有してもよい。下側部材（４８）は、ボルト（５０）のねじ溝と螺合するねじ穴（５６）を有してもよい。これにより、高さ調節機構（２２ａ）全体をベース部（１４）に確実に固定することができる。
【００４６】
支持構造（１２）の少なくとも３つの脚部（１６）の接地面は凸状の曲面になっていてもよい。これにより、支持構造（１２）を確実に安定化できる。
【００４７】
振動抑制部（１８）は、床からの振動および装置（１１）からの振動の少なくとも一方を抑制してもよい。これにより、装置（１１）を安定して制御することが可能になる。
【００４８】
接地部材（２４）は、金属板（４６）を介して接地されてもよい。これにより、支持構造（１２）の接地状態をより好適にすることができる。
【００４９】
接地部材（２４）の接地面（２４ａ）は部分球面形状の曲面になっていてもよい。これにより、床面の凹凸に対して接地面（２４ａ）の凸状の曲面が略点状で床面をより好適に捉えて接触することが可能になる。
【００５０】
＜第２の発明＞
工作機械システム（１０）は、上記の支持構造（１２）と、工作機械である装置（１１）と、を備える。
【００５１】
これにより、高精度の加工動作が必要な工作機械システム（１０）の性能を向上させることが可能となる。
【符号の説明】
【００５２】
１０…工作機械システム                  １１…装置
１１ａ…支持台                          １２…支持構造
１４…ベース部                          １６、１６ａ、１６ｂ…脚部
１７、２４ａ、４８ａ…接地面            １８…振動抑制部
２２、２２ａ…高さ調節機構              ２４…接地部材
２４ｂ、５６…ねじ穴                    ２４ｃ…逃げ穴
２６、３０…ボルト穴                    ２８…第１ボルト
３２…第２ボルト                        ３４…上側部材
３６…楔型部材                          ３８、４８…下側部材
４０…高さ調節ボルト                    ４２、４４ａ、５２、５４…貫通孔
４４ｂ…ねじ孔                          ４６…金属板
５０…ボルト
【図１】
2020060258.tif 000003
【図２】
2020060258.tif 000004
【図３】
2020060258.tif 000005
【図４】
2020060258.tif 000006
【図５】
2020060258.tif 000007
【図６】
2020060258.tif 000008
【図７】
2020060258.tif 000009