(57)【要約】【課題】制御の過渡状態における制御量の均一化手法について不適当な選択が発生する可能性を低減する。【解決手段】選択判断支援装置１は、過渡状態の制御量ＰＶが要求範囲の近傍に到達した時点以降の時間帯において操作量ＭＶが飽和している飽和時間を検出する飽和時間検出部４と、過渡状態の制御量ＰＶが要求範囲の近傍に到達した時点から設定値ＳＰに到達する時点までの均一化時間を検出する均一化時間検出部５と、飽和時間と均一化時間の比率を算出する判断指標算出部６と、比率が閾値未満の場合、設定値ＳＰ変更後の各制御ループの制御量ＰＶを指数関数的に設定値ＳＰに収束させる均一制御量制御手法を適用すべきと判定し、比率が閾値以上の場合、設定値ＳＰ変更後の各制御ループの制御量ＰＶを略一定上昇率で変化させて設定値ＳＰに収束させる均一制御量制御手法を適用すべきと判定する判定部７を備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の制御量がそれぞれ設定値と一致するように複数の制御ループの制御を行う制御装置に対して均一制御量制御手法が適用される前の制御の過渡状態における制御量と操作量の時系列データを、前記制御装置から取得するように構成されたデータ取得部と、
前記複数の制御ループについて制御の過渡状態で均一化が必要とされる制御量の要求範囲を予め記憶するように構成された要求範囲記憶部と、
前記データ取得部によって取得された時系列データに基づいて、過渡状態の制御量が前記要求範囲の近傍に到達した時点以降の時間帯において操作量が規定の操作量上限値で飽和している飽和時間を検出するように構成された飽和時間検出部と、
前記データ取得部によって取得された時系列データに基づいて、過渡状態の制御量が前記要求範囲の近傍に到達した時点から設定値に到達する時点までの均一化時間を検出するように構成された均一化時間検出部と、
前記飽和時間と前記均一化時間の比率を判断指標として算出するように構成された判断指標算出部と、
前記判断指標として算出された比率が予め規定された閾値未満の場合、設定値変更後の各制御ループの制御量を指数関数的に変更後の設定値に収束させる均一制御量制御手法を制御対象に適用すべきと判定し、前記比率が前記閾値以上の場合、設定値変更後の各制御ループの制御量を略一定上昇率で変化させて変更後の設定値に収束させる均一制御量制御手法を制御対象に適用すべきと判定するように構成された判定部と、
この判定部の判定結果を提示するように構成された判定結果提示部とを備えることを特徴とする選択判断支援装置。
【請求項２】
請求項１記載の選択判断支援装置において、
前記飽和時間は、制御の進捗度が最も早い制御ループの制御量が前記要求範囲に到達した時点以降の時間帯、あるいは最も早い制御ループの制御量が前記要求範囲に到達した時よりも規定時間前の時点以降の時間帯において、操作量が前記操作量上限値で飽和している時間が最も長い制御ループの飽和時間であることを特徴とする選択判断支援装置。
【請求項３】
請求項１記載の選択判断支援装置において、
前記均一化時間は、制御の進捗度が最も早い制御ループの制御量が前記要求範囲に到達した時点、あるいは最も早い制御ループの制御量が前記要求範囲に到達した時よりも規定時間前の時点から、制御の進捗度が最も遅い制御ループの制御量が設定値に到達する時点までの時間であることを特徴とする選択判断支援装置。
【請求項４】
複数の制御量がそれぞれ設定値と一致するように複数の制御ループの制御を行う制御装置に対して均一制御量制御手法が適用される前の制御の過渡状態における制御量と操作量の時系列データを、前記制御装置から取得する第１のステップと、
前記複数の制御ループについて制御の過渡状態で均一化が必要とされる制御量の要求範囲を予め記憶する要求範囲記憶部を参照し、前記第１のステップで取得した時系列データに基づいて、過渡状態の制御量が前記要求範囲の近傍に到達した時点以降の時間帯において操作量が規定の操作量上限値で飽和している飽和時間を検出する第２のステップと、
前記第１のステップで取得した時系列データに基づいて、過渡状態の制御量が前記要求範囲の近傍に到達した時点から設定値に到達する時点までの均一化時間を検出する第３のステップと、
前記飽和時間と前記均一化時間の比率を判断指標として算出する第４のステップと、
前記判断指標として算出された比率が予め規定された閾値未満の場合、設定値変更後の各制御ループの制御量を指数関数的に変更後の設定値に収束させる均一制御量制御手法を制御対象に適用すべきと判定し、前記比率が前記閾値以上の場合、設定値変更後の各制御ループの制御量を略一定上昇率で変化させて変更後の設定値に収束させる均一制御量制御手法を制御対象に適用すべきと判定する第５のステップと、
この第５のステップの判定結果を提示する第６のステップとを含むことを特徴とする選択判断支援方法。
【請求項５】
請求項４記載の選択判断支援方法において、
前記飽和時間は、制御の進捗度が最も早い制御ループの制御量が前記要求範囲に到達した時点以降の時間帯、あるいは最も早い制御ループの制御量が前記要求範囲に到達した時よりも規定時間前の時点以降の時間帯において、操作量が前記操作量上限値で飽和している時間が最も長い制御ループの飽和時間であることを特徴とする選択判断支援方法。
【請求項６】
請求項４記載の選択判断支援方法において、
前記均一化時間は、制御の進捗度が最も早い制御ループの制御量が前記要求範囲に到達した時点、あるいは最も早い制御ループの制御量が前記要求範囲に到達した時よりも規定時間前の時点から、制御の進捗度が最も遅い制御ループの制御量が設定値に到達する時点までの時間であることを特徴とする選択判断支援方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、制御装置のオペレータを支援する技術に係り、特に制御装置の制御アルゴリズムの選択判断を支援するための選択判断支援装置および支援方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数の制御ループを備える装置を扱うために、汎用調節計（温調計）が使用されることがある（特許文献１参照）。汎用調節計（温調計）が対象とする加熱装置の例を図６に示す。図６に示した加熱装置の例では、酸化拡散炉１００内の石英管１０３の内部に、シリコンウェハ１０４が搬入される。温度センサＳ１〜Ｓ４は、それぞれヒータＨ１〜Ｈ４によって加熱される温度制御ゾーンＺ１〜Ｚ４の温度ＰＶ１〜ＰＶ４を測定する。調節計１０１は、温度センサＳ１〜Ｓ４が計測した温度ＰＶ１〜ＰＶ４が温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４と一致するように操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出してヒータ電源１０２に出力する。ヒータ電源１０２は、操作量ＭＶ１〜ＭＶ４に応じた電力をヒータＨ１〜Ｈ４に供給する。こうして、酸化拡散炉１００内の石英管１０３内に導入される酸素とシリコンウェハ１０４とを加熱することにより、シリコンウェハ１０４の表面に酸化膜を形成する。この図６に示した加熱装置においては、温度ＰＶ１〜ＰＶ４を制御する制御ループが４個形成されていることになる。
【０００３】
また、マルチループの温度制御系において、複数の制御ループの制御量ＰＶ（温度計測値）を過渡状態においても均一に維持するための手法（均一温度制御手法）として、特許文献２や特許文献３に開示された技術が実用されている。これら特許文献２、特許文献３に開示された技術は、直接的に温度の均一化を狙った技術である。
【０００４】
また、均一温度制御手法と同等に活用可能な手法として、特許文献４や特許文献５に開示された技術が実用されている。これら特許文献４、特許文献５に開示された技術は、複数の制御ループを同時昇温させる際に、昇温完了のタイミングを揃えることを狙った制御アルゴリズムを提供するものである。昇温開始前の各制御ループが同一の温度で整定していて、同一の温度へと昇温するのであれば、複数の制御ループの制御量ＰＶ（温度計測値）を過渡状態（昇温状態）においても均一に維持するための手法として活用できる。
【０００５】
特許文献２、特許文献３に開示された技術は、図７（Ｂ）に示すように、昇温時の制御量ＰＶの時系列データが指数関数軌道のような形になる制御手法と言える。なお、図７（Ａ）、図７（Ｂ）は制御ループが４個の場合で、設定値ＳＰ１〜ＳＰ４がステップ変更された場合の制御量ＰＶ１〜ＰＶ４および操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を示しており、図７（Ａ）は特許文献２、特許文献３に開示された技術を適用する前の制御量ＰＶ１〜ＰＶ４および操作量ＭＶ１〜ＭＶ４、図７（Ｂ）は特許文献２、特許文献３に開示された技術を適用した場合の制御量ＰＶ１〜ＰＶ４および操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を示している。
【０００６】
一方、特許文献４、特許文献５に開示された技術は、図８（Ｂ）に示すように、昇温時の制御量ＰＶの時系列データが略一定昇温率になる制御手法と言える。図７（Ａ）、図７（Ｂ）と同様に、図８（Ａ）は特許文献４、特許文献５に開示された技術を適用する前の制御量ＰＶ１〜ＰＶ４および操作量ＭＶ１〜ＭＶ４、図８（Ｂ）は特許文献４、特許文献５に開示された技術を適用した場合の制御量ＰＶ１〜ＰＶ４および操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を示している。
【０００７】
このように、特許文献２、特許文献３に開示された技術と特許文献４、特許文献５に開示された技術には、それぞれに特徴があるので、制御結果に差異が生じることがある。したがって、特定の制御対象に対して不適切な方の手法を選択すると、可能な範囲での最良の制御結果（制御量ＰＶの均一化）が得られなくなる。
【０００８】
例えば、図７（Ａ）、図７（Ｂ）の場合の制御対象に特許文献５に開示された技術を適用した場合、図９のような結果になる。図９によれば、図７（Ｂ）と比較して過渡状態（昇温状態）における制御量ＰＶ１〜ＰＶ４の均一化のレベルが低下していることが分かる。また、図８（Ａ）、図８（Ｂ）の場合の制御対象に特許文献３に開示された技術を適用した場合、図１０のような結果になる。図１０によれば、図８（Ｂ）と比較して過渡状態における制御量ＰＶ１〜ＰＶ４の均一化のレベルが低下していることが分かる。
【０００９】
このように、制御対象に応じて、特許文献２、特許文献３に開示された技術と特許文献４、特許文献５に開示された技術のうちどちらか適切な方の技術を選択する必要がある。しかしながら、オペレータが適切な方の技術を選択できるとは限らず、改善が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０１２−０４８３７０号公報
【特許文献２】特開２０００−１８７５１４号公報
【特許文献３】特開２００５−３０９９４１号公報
【特許文献４】特開２００２−０４９４０６号公報
【特許文献５】特開２０１３−０２０３９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、制御の過渡状態における制御量の均一化手法について、不適当な選択が発生する可能性を低減することができる選択判断支援装置および支援方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の選択判断支援装置は、複数の制御量がそれぞれ設定値と一致するように複数の制御ループの制御を行う制御装置に対して均一制御量制御手法が適用される前の制御の過渡状態における制御量と操作量の時系列データを、前記制御装置から取得するように構成されたデータ取得部と、前記複数の制御ループについて制御の過渡状態で均一化が必要とされる制御量の要求範囲を予め記憶するように構成された要求範囲記憶部と、前記データ取得部によって取得された時系列データに基づいて、過渡状態の制御量が前記要求範囲の近傍に到達した時点以降の時間帯において操作量が規定の操作量上限値で飽和している飽和時間を検出するように構成された飽和時間検出部と、前記データ取得部によって取得された時系列データに基づいて、過渡状態の制御量が前記要求範囲の近傍に到達した時点から設定値に到達する時点までの均一化時間を検出するように構成された均一化時間検出部と、前記飽和時間と前記均一化時間の比率を判断指標として算出するように構成された判断指標算出部と、前記判断指標として算出された比率が予め規定された閾値未満の場合、設定値変更後の各制御ループの制御量を指数関数的に変更後の設定値に収束させる均一制御量制御手法を制御対象に適用すべきと判定し、前記比率が前記閾値以上の場合、設定値変更後の各制御ループの制御量を略一定上昇率で変化させて変更後の設定値に収束させる均一制御量制御手法を制御対象に適用すべきと判定するように構成された判定部と、この判定部の判定結果を提示するように構成された判定結果提示部とを備えることを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の選択判断支援装置の１構成例において、前記飽和時間は、制御の進捗度が最も早い制御ループの制御量が前記要求範囲に到達した時点以降の時間帯、あるいは最も早い制御ループの制御量が前記要求範囲に到達した時よりも規定時間前の時点以降の時間帯において、操作量が前記操作量上限値で飽和している時間が最も長い制御ループの飽和時間である。
また、本発明の選択判断支援装置の１構成例において、前記均一化時間は、制御の進捗度が最も早い制御ループの制御量が前記要求範囲に到達した時点、あるいは最も早い制御ループの制御量が前記要求範囲に到達した時よりも規定時間前の時点から、制御の進捗度が最も遅い制御ループの制御量が設定値に到達する時点までの時間である。
【００１４】
また、本発明の選択判断支援方法は、複数の制御量がそれぞれ設定値と一致するように複数の制御ループの制御を行う制御装置に対して均一制御量制御手法が適用される前の制御の過渡状態における制御量と操作量の時系列データを、前記制御装置から取得する第１のステップと、前記複数の制御ループについて制御の過渡状態で均一化が必要とされる制御量の要求範囲を予め記憶する要求範囲記憶部を参照し、前記第１のステップで取得した時系列データに基づいて、過渡状態の制御量が前記要求範囲の近傍に到達した時点以降の時間帯において操作量が規定の操作量上限値で飽和している飽和時間を検出する第２のステップと、前記第１のステップで取得した時系列データに基づいて、過渡状態の制御量が前記要求範囲の近傍に到達した時点から設定値に到達する時点までの均一化時間を検出する第３のステップと、前記飽和時間と前記均一化時間の比率を判断指標として算出する第４のステップと、前記判断指標として算出された比率が予め規定された閾値未満の場合、設定値変更後の各制御ループの制御量を指数関数的に変更後の設定値に収束させる均一制御量制御手法を制御対象に適用すべきと判定し、前記比率が前記閾値以上の場合、設定値変更後の各制御ループの制御量を略一定上昇率で変化させて変更後の設定値に収束させる均一制御量制御手法を制御対象に適用すべきと判定する第５のステップと、この第５のステップの判定結果を提示する第６のステップとを含むことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、設定値変更後の各制御ループの制御量を指数関数的に変更後の設定値に収束させる均一制御量制御手法を適用すべきか、各制御ループの制御量を略一定上昇率で変化させて変更後の設定値に収束させる均一制御量制御手法を適用すべきかの、オペレータの判断を支援することができる。その結果、本発明では、不適当な制御手法が選択される可能性を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の実施例に係る選択判断支援装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図２は、本発明の実施例に係る選択判断支援装置の動作を説明するフローチャートである。
【図３】図３は、本発明の実施例に係る選択判断支援装置の飽和時間検出部と均一化時間検出部の動作を説明する図である。
【図４】図４は、本発明の実施例に係る選択判断支援装置の飽和時間検出部と均一化時間検出部の動作を説明する図である。
【図５】図５は、本発明の実施例に係る選択判断支援装置を実現するコンピュータの構成例を示すブロック図である。
【図６】図６は、複数の制御ループを備えた加熱装置の構成例を示す図である。
【図７】図７は、特許文献２、特許文献３に開示された技術による制御を説明する図である。
【図８】図８は、特許文献４、特許文献５に開示された技術による制御を説明する図である。
【図９】図９は、図７の場合の制御対象に特許文献５に開示された技術を適用した場合の制御結果を示す図である。
【図１０】図１０は、図８の場合の制御対象に特許文献３に開示された技術を適用した場合の制御結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
［発明の原理］
制御の過渡状態における制御量ＰＶが均一になるように設定値ＳＰ変更後の各制御ループの制御量ＰＶを指数関数的に変更後の設定値ＳＰに収束させる均一制御量制御手法（特許文献２、特許文献３に開示された技術、以下、第１の制御手法とする）では、最終的な平衡点となる操作量ＭＶ付近に早めに移行して、その近傍で操作量ＭＶを制約されずに変化させることができる状態を発生させ、全ての制御ループがなるべく同質の収束動作になることで、制御量ＰＶの均一化の効果を得ることができる。
【００１８】
一方、制御の過渡状態における制御量ＰＶが均一になるように設定値ＳＰ変更後の各制御ループの制御量ＰＶを略一定上昇率で変化させて変更後の設定値ＳＰに収束させる均一制御量制御手法（特許文献４、特許文献５に開示された技術、以下、第２の制御手法とする）では、応答の進捗度が最も遅い制御ループの制御量ＰＶを最大限の上昇率（操作量上限値）で一旦上昇させてから、最終的な平衡点となる操作量ＭＶ付近に降下させる動作を発生させ、他の制御ループの制御量ＰＶを、応答の進捗度が最も遅い制御ループの制御量ＰＶの上昇の進捗度に合わせることで、制御量ＰＶの均一化の効果を得ることができる。
【００１９】
発明者は、以上のような点に着眼し、制御量ＰＶの均一化手法を適用する前の時系列データにおける操作量飽和（操作量上限値への到達）の有無あるいは多寡を、制御手法の選択の判断指標にできることに想到した。具体的には、過渡状態における制御量ＰＶの均一化のために重要な時間帯において、操作量飽和が発生している時間の割合が高い場合に第２の制御手法の適用を推奨し、操作量飽和が発生している時間の割合が低い場合に第１の制御手法の適用を推奨する。
【００２０】
［実施例］
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。図１は本発明の実施例に係る選択判断支援装置の構成を示すブロック図である。選択判断支援装置１は、複数の制御量ＰＶがそれぞれ設定値ＳＰと一致するように複数の制御ループの制御を行う制御装置１０に対して均一制御量制御手法が適用される前の制御の過渡状態における制御量ＰＶと操作量ＭＶの時系列データを、制御装置１０から取得するデータ取得部２と、複数の制御ループについて制御の過渡状態で均一化が必要とされる制御量ＰＶの要求範囲を予め記憶する要求範囲記憶部３と、データ取得部２によって取得された時系列データに基づいて、過渡状態の制御量ＰＶが要求範囲の近傍に到達した時点以降の時間帯において操作量ＭＶが規定の操作量上限値で飽和している飽和時間ＴＡを検出する飽和時間検出部４と、データ取得部２によって取得された時系列データに基づいて、過渡状態の制御量ＰＶが要求範囲の近傍に到達した時点から設定値ＳＰに到達する時点までの均一化時間ＴＢを検出する均一化時間検出部５と、飽和時間ＴＡと均一化時間ＴＢの比率Ｒ＝ＴＡ／ＴＢを判断指標として算出する判断指標算出部６と、判断指標として算出された比率が予め規定された閾値未満の場合、第１の制御手法を制御対象に適用すべきと判定し、比率が閾値以上の場合、第２の制御手法を制御対象に適用すべきと判定する判定部７と、判定部７の判定結果を提示する判定結果提示部８とを備えている。
【００２１】
図２は本実施例の選択判断支援装置の動作を説明するフローチャートである。まず初めに、図１の制御装置１０は、設定値ＳＰ１〜ＳＰ４と制御量ＰＶ１〜ＰＶ４とを入力として、制御量ＰＶ１〜ＰＶ４がそれぞれ設定値ＳＰ１〜ＳＰ４と一致するように、ＰＩＤ制御演算を行って操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出し、算出した操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を制御対象に出力する。このような制御装置１０は周知の構成なので、詳細な説明は省略する。制御装置１０は、１台で複数の制御ループに対応できるマルチループの制御装置であってもよいし、シングルループの制御装置を制御ループの数だけ設けるようにしてもよい。
【００２２】
本実施例では、複数の設定値ＳＰ１〜ＳＰ４が同一の値である。また、図１の例では、制御ループの数をｎ＝４としているが、本発明は４ループに限定されないことは言うまでもない。
【００２３】
選択判断支援装置１のデータ取得部２は、適用対象候補のｎ個（本実施例ではｎ＝４）の制御ループについて、均一制御量制御手法が適用される前の制御の過渡状態（昇温状態）における制御量ＰＶｉ（ｉ＝１〜ｎ）の時系列データと操作量ＭＶｉの時系列データとを制御装置１０から取得する（図２ステップＳ１００）。この処理は、例えば図７（Ａ）や図８（Ａ）に示した制御量ＰＶｉと操作量ＭＶｉの時系列データを取得する処理に相当する。
【００２４】
選択判断支援装置１のオペレータは、均一制御量制御手法を適用する前の設定値ＳＰｉ（ｉ＝１〜ｎ）の変更時に制御量ＰＶｉと操作量ＭＶｉの時系列データを取得するよう選択判断支援装置１に対して指示を与えるようにすればよい。
【００２５】
選択判断支援装置１の要求範囲記憶部３には、制御の過渡状態において均一化が必要とされる制御量ＰＶの要求範囲が予め記憶されている。例えば図７（Ａ）や図８（Ａ）の例では、２８０℃以上を、均一化が要求される制御量ＰＶｉの要求範囲とする。このような要求範囲は、例えば制御装置１０が適用される加熱装置によって製造される製品の仕様から決定される。
【００２６】
図３、図４は選択判断支援装置１の飽和時間検出部４と均一化時間検出部５の動作を説明する図である。図３は、図７（Ａ）に示した制御量ＰＶｉと操作量ＭＶｉの時系列データに対して飽和時間検出部４と均一化時間検出部５の処理を適用した場合の結果を示している。図４は、図８（Ａ）に示した制御量ＰＶｉと操作量ＭＶｉの時系列データに対して飽和時間検出部４と均一化時間検出部５の処理を適用した場合の結果を示している。
【００２７】
選択判断支援装置１の飽和時間検出部４は、データ取得部２によって取得された制御量ＰＶｉと操作量ＭＶｉの時系列データに基づいて、制御の進捗度が最も早い制御ループの制御量ＰＶｉが要求範囲記憶部３に記憶されている要求範囲に到達した時点以降の時間帯、あるいは最も早い制御ループの制御量ＰＶｉが要求範囲に到達した時よりも規定時間前の時点以降の時間帯において、操作量ＭＶｉが予め規定された操作量上限値で飽和している時間が最も長い制御ループの飽和時間ＴＡを検出する（図２ステップＳ１０１）。
【００２８】
図３（図７（Ａ））の例では、いずれの制御ループも操作量ＭＶｉ（ｉ＝１〜４）が飽和していないため、飽和時間ＴＡ＝０．０秒になる。一方、図４（図８（Ａ））の例では、各制御ループの操作量ＭＶｉが操作量上限値（本実施例では１００％）で飽和しており、これら操作量ＭＶｉのうちＭＶ４の飽和時間が最も長いため、飽和時間ＴＡ＝１００．０秒になる。
【００２９】
続いて、選択判断支援装置１の均一化時間検出部５は、データ取得部２によって取得された制御量ＰＶｉと操作量ＭＶｉの時系列データに基づいて、制御の進捗度が最も早い制御ループの制御量ＰＶｉが要求範囲記憶部３に記憶されている要求範囲に到達した時点、あるいは最も早い制御ループの制御量ＰＶｉが要求範囲に到達した時よりも規定時間前の時点から、制御の進捗度が最も遅い制御ループの制御量ＰＶｉが対応する設定値ＳＰｉに到達する時点までの均一化時間ＴＢを検出する（図２ステップＳ１０２）。
なお、飽和時間検出部４と均一化時間検出部５とに設定されている規定時間については、制御量ＰＶｉが均一化されるために、操作量ＭＶｉが先行して均一化のための動作に入ることから規定時間前とするのが好ましいのであるから、制御対象のむだ時間や時定数に関連して調整される制御装置１０のＰＩＤパラメータの積分時間や微分時間を参照して規定すればよい。具体的には、例えばＰＩＤパラメータの積分時間と略同一の時間を規定時間として設定しておけばよい。
【００３０】
図３（図７（Ａ））の例では、均一化時間ＴＢ＝５００．０秒になる。一方、図４（図８（Ａ））の例では、均一化時間ＴＢ＝５１５．０秒になる。
【００３１】
次に、選択判断支援装置１の判断指標算出部６は、飽和時間ＴＡと均一化時間ＴＢの比率Ｒ＝ＴＡ／ＴＢを判断指標として算出する（図２ステップＳ１０３）。
図３（図７（Ａ））の例では、比率Ｒ＝ＴＡ／ＴＢ＝０．０／５００．０＝０．０になる。図４（図８（Ａ））の例では、比率Ｒ＝ＴＡ／ＴＢ＝１００．０／５１５．０＝０．１９４になる。
【００３２】
選択判断支援装置１の判定部７は、比率Ｒ＝ＴＡ／ＴＢと予め規定された閾値ＴＸとを比較する。判定部７は、比率Ｒが閾値ＴＸ以上の場合（図２ステップＳ１０４においてＹＥＳ）、制御量ＰＶｉと操作量ＭＶｉの時系列データが得られた制御対象に対して第２の制御手法を適用すべきと判定し（図２ステップＳ１０５）、比率Ｒが閾値ＴＸ未満の場合（ステップＳ１０４においてＮＯ）、制御対象に対して第１の制御手法を適用すべきと判定する（図２ステップＳ１０６）。
【００３３】
選択判断支援装置１の判定結果提示部８は、判定部７の判定結果をオペレータに対して提示する（図２ステップＳ１０７）。
例えば、閾値ＴＸ＝０．１とすると、図３（図７（Ａ））の例では、制御対象に対して第１の制御手法を適用すべきという判定結果が提示される。一方、図４（図８（Ａ））の例では、制御対象に対して第２の制御手法を適用すべきという判定結果が提示される。
【００３４】
こうして、選択判断支援装置１の動作が終了する。本実施例の選択判断支援装置１は、第１の制御手法を適用すべきか第２の制御手法を適用すべきかの、オペレータの判断を支援するものであり、最終的にどのような制御手法（制御アルゴリズム）を制御装置１０に適用するかはオペレータによって判断される。上記のとおり、第１の制御手法は特許文献２、特許文献３に開示され、第２の制御手法は特許文献４、特許文献５に開示されている。これら制御手法の詳細な構成は本発明の必須の構成要件ではないので、制御手法の詳細な説明は省略する。
【００３５】
なお、飽和時間ＴＡの定義や均一化時間ＴＢを定義は、本実施例どおりに厳密なものでなくても構わない。概ね同等の時間が検出できるのであれば、異なる定義に適宜変更して構わない。
【００３６】
本実施例で説明した選択判断支援装置１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。このコンピュータの構成例を図５に示す。コンピュータは、ＣＰＵ３００と、記憶装置３０１と、インターフェース装置（以下、Ｉ／Ｆと略する）３０２とを備えている。Ｉ／Ｆ３０２には、制御装置１０や表示装置等が接続される。このようなコンピュータにおいて、本実施例の選択判断支援方法を実現させるためのプログラムは記憶装置３０１に格納される。ＣＰＵ３００は、記憶装置３０１に格納されたプログラムに従って本実施例で説明した処理を実行する。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明は、制御装置の制御アルゴリズムを選択する技術に適用することができる。
【符号の説明】
【００３８】
１…選択判断支援装置、２…データ取得部、３…要求範囲記憶部、４…飽和時間検出部、５…均一化時間検出部、６…判断指標算出部、７…判定部、８…判定結果提示部、１０…制御装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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