(57)【要約】      （修正有）【課題】カルボン酸ポリマーを気体アルコール類の除去材料として用いる用途及び気体アルコール類の除去に用いるメッシュフィルター構造の提供。【解決手段】第１側面を有する第１メッシュフィルターと、第１側面に対向する第２側面を有する第１メッシュフィルターの片側に設けられている第２メッシュフィルター、及び第１メッシュフィルターと第２メッシュフィルターとの間に設けられたモノマーの炭素数が７未満であるカルボン酸ポリマーを含む気体アルコール類の除去材料により構成し、ここでカルボン酸ポリマーはアミノ基をさらに含んでもよい。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
カルボン酸ポリマーの気体アルコール類の除去材料としての用途。
【請求項２】
カルボン酸ポリマーのモノマーの炭素数は７未満である請求項１に記載の用途。
【請求項３】
カルボン酸ポリマーは、アミノ基（−ＮＨ２）をさらに含む請求項１に記載の用途。
【請求項４】
カルボン酸ポリマーは、ポリメチルビニルエーテルマレイン酸交互共重合体（ｐｏｌｙ（ｍｅｔｈｙｌ  ｖｉｎｙｌ  ｅｔｈｅｒ−ａｌｔ−ｍａｌｅｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリアクリル酸・マレイン酸共重合体（ｐｏｌｙ（ａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ−ｃｏ−ｍａｌｅｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリアクリル酸（ｐｏｌｙ（ａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリメタクリル酸（ｐｏｌｙ（ｍｅｔｈａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリマレイン酸（ｐｏｌｙ（ｍａｌｅｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリアクリルアミド・アクリル酸共重合体（ｐｏｌｙ  ａｃｒｙｌａｍｉｄｅ−ｃｏ−ａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ）、ポリエチレン・アクリル酸共重合体（ｐｏｌｙ（ｅｔｈｙｌｅｎｅ−ｃｏ−ａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリエチレン・メタクリル酸共重合体（ｐｏｌｙ（ｅｔｈｙｌｅｎｅ−ｃｏ−ｍｅｔｈａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ））のうちの一つ又はその組合せからなる群から選ばれる請求項１に記載の用途。
【請求項５】
第１側面を有する第１メッシュフィルターと、
第２側面を有し、前記第２側面を前記第１側面に対向させるように前記第１メッシュフィルターの片側に設けられている第２メッシュフィルターと、
前記第１メッシュフィルターと前記第２メッシュフィルターとの間に設けられ、カルボン酸ポリマーを含む気体アルコール類の除去材料と、を含む、気体アルコール類の除去に用いるメッシュフィルター構造。
【請求項６】
前記気体アルコール類の除去材料は、６００〜８００ｇ／ｍ２の量で前記第１メッシュフィルターと前記第２メッシュフィルターとの間に設けられている請求項５に記載のメッシュフィルター構造。
【請求項７】
前記カルボン酸ポリマーのモノマーの炭素数は７未満である請求項５に記載のメッシュフィルター構造。
【請求項８】
前記カルボン酸ポリマーは、アミノ基（−ＮＨ２）をさらに含む請求項５に記載のメッシュフィルター構造。
【請求項９】
前記カルボン酸ポリマーは、ポリメチルビニルエーテルマレイン酸交互共重合体（ｐｏｌｙ（ｍｅｔｈｙｌ  ｖｉｎｙｌ  ｅｔｈｅｒ−ａｌｔ−ｍａｌｅｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリアクリル酸・マレイン酸共重合体（ｐｏｌｙ（ａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ−ｃｏ−ｍａｌｅｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリアクリル酸（ｐｏｌｙ（ａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリメタクリル酸（ｐｏｌｙ（ｍｅｔｈａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリマレイン酸（ｐｏｌｙ（ｍａｌｅｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリアクリルアミド・アクリル酸共重合体（ｐｏｌｙ  ａｃｒｙｌａｍｉｄｅ−ｃｏ−ａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ）、ポリエチレン・アクリル酸共重合体（ｐｏｌｙ（ｅｔｈｙｌｅｎｅ−ｃｏ−ａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリエチレン・メタクリル酸共重合体（ｐｏｌｙ（ｅｔｈｙｌｅｎｅ−ｃｏ−ｍｅｔｈａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ））のうちの一つ又はその組合せからなる群から選ばれる請求項５に記載のメッシュフィルター構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カルボン酸ポリマーを気体アルコール類の除去材料として用いる用途及び気体アルコール類の除去に用いるメッシュフィルター構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体製造業の産業製造分野においては、製品の生産効率をさらに向上させるために、清潔で汚染のない隔離された環境において製品の生産製造を行う為にクリーンルームが幅広く使用されている。
【０００３】
クリーンルームとして環境条件を達成するには、一般的は、クリーンルームの吸気口に送風機及び濾過設備を設置し、気流が濾過設備のメッシュフィルターを通過してからクリーンルームに入るように送風機を駆動されることで、粉塵及び各種の有機と無機汚染物を濾過する。
【０００４】
汚染物の中で、気体アルコール類は、粉塵のように特定の形状を有しておらず、メッシュフィルターのポアのサイズの制御では濾過並びに除去することができず、また、通常の活性炭材料は低濃度の気体アルコール類に対する除去能力が好ましくない。従って、如何に低濃度の気体アルコール類を効率的に除去するのかが解決すべき課題である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の主な目的は、カルボン酸ポリマーを気体アルコール類の除去材料として用いる用途を提供することにある。
【０００６】
本発明のもう一つの目的は、気体アルコール類の除去に用いるメッシュフィルター構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るカルボン酸ポリマーの気体アルコール類の除去材料としての用途において、カルボン酸ポリマーのモノマーの炭素数は７未満である。
【０００８】
本発明の一実施例において、カルボン酸ポリマーは、アミノ基（−ＮＨ２）をさらに含む。
【０００９】
本発明の一実施例において、カルボン酸ポリマーは、ポリメチルビニルエーテルマレイン酸交互共重合体（ｐｏｌｙ（ｍｅｔｈｙｌ  ｖｉｎｙｌ  ｅｔｈｅｒ−ａｌｔ−ｍａｌｅｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリアクリル酸・マレイン酸共重合体（ｐｏｌｙ（ａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ−ｃｏ−ｍａｌｅｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリアクリル酸（ｐｏｌｙ（ａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリメタクリル酸（ｐｏｌｙ（ｍｅｔｈａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリマレイン酸（ｐｏｌｙ（ｍａｌｅｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリアクリルアミド・アクリル酸共重合体（ｐｏｌｙ  ａｃｒｙｌａｍｉｄｅ−ｃｏ−ａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ）、ポリエチレン・アクリル酸共重合体（ｐｏｌｙ（ｅｔｈｙｌｅｎｅ−ｃｏ−ａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリエチレン・メタクリル酸共重合体（ｐｏｌｙ（ｅｔｈｙｌｅｎｅ−ｃｏ−ｍｅｔｈａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ））のうちの一つ又はその組合せからなる群から選ばれる。
【００１０】
本発明に係る気体アルコール類の除去に用いるメッシュフィルター構造は、第１メッシュフィルター、第２メッシュフィルター、及び気体アルコール類の除去材料を含む。第１メッシュフィルターは、第１側面を有する。第２メッシュフィルターは、第２側面を有し、第２メッシュフィルターは、第２側面を第１側面に対向させるように第１メッシュフィルターの片側に設けられている。気体アルコール類の除去材料は、第１メッシュフィルターと第２メッシュフィルターとの間に設けられ、気体アルコール類の除去材料は、カルボン酸ポリマーを含む。
【００１１】
本発明の一実施例において、気体アルコール類の除去材料は、６００〜８００ｇ／ｍ２の量で第１メッシュフィルターと第２メッシュフィルターとの間に設けられている。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る気体アルコール類の除去に用いるメッシュフィルター構造の実施例の模式図。
【図２】異なるサンプルの本発明に係る気体アルコール類の除去材料による気体吸着試験の結果。
【図３】異なる設置量の本発明に係る気体アルコール類の除去材料による気体吸着試験の結果。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明に係るカルボン酸（Ｃａｒｂｏｘｙｌｉｃ  ａｃｉｄ，一般式：Ｒ−ＣＯＯＨ）ポリマーは、気体アルコール類を除去する為の材料として用いられる。アルコール類は、エタノール、イソブタノール、イソプロパノールを含むが、それらに限定されるものではない。
【００１４】
一実施例において、カルボン酸ポリマーのモノマーの炭素数は７未満であるが、それに限定されない。別の実施例において、カルボン酸ポリマーは、アミノ基（−ＮＨ２）をさらに含む。より具体的には、一実施例において、カルボン酸ポリマーは、ポリメチルビニルエーテルマレイン酸交互共重合体（ｐｏｌｙ（ｍｅｔｈｙｌ  ｖｉｎｙｌ  ｅｔｈｅｒ−ａｌｔ−ｍａｌｅｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリアクリル酸・マレイン酸共重合体（ｐｏｌｙ（ａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ−ｃｏ−ｍａｌｅｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリアクリル酸（ｐｏｌｙ（ａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリメタクリル酸（ｐｏｌｙ（ｍｅｔｈａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリマレイン酸（ｐｏｌｙ（ｍａｌｅｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリアクリルアミド・アクリル酸共重合体（ｐｏｌｙ  ａｃｒｙｌａｍｉｄｅ−ｃｏ−ａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ）、ポリエチレン・アクリル酸共重合体（ｐｏｌｙ（ｅｔｈｙｌｅｎｅ−ｃｏ−ａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ））、ポリエチレン・メタクリル酸共重合体（ｐｏｌｙ（ｅｔｈｙｌｅｎｅ−ｃｏ−ｍｅｔｈａｃｒｙｌｉｃ  ａｃｉｄ））のうちの一つ又はその組合せからなる群から選ばれる。
【００１５】
さらに言えば、カルボキシ基は、水素結合を形成可能なヒドロキシ基とカルボニル基で構成されるので、極性を有する。この極性により、アルコール類物質を吸着し、それを対象物から取り除くことによって、気体アルコール類を除去する効果を達成することができる。例えば、メッシュフィルター構造にこの気体アルコール類の除去材料を設けることにより、このメッシュフィルターを通過する気体から気体アルコール類化合物を取り除くことができる。
【００１６】
図１に示す実施例において、本発明に係る気体アルコール類の除去に用いるメッシュフィルター構造９００は、第１メッシュフィルター１００、第２メッシュフィルター２００、及び気体アルコール類の除去材料３００を含む。第１メッシュフィルター１００は、第１側面１０１を有する。第２メッシュフィルター２００は、第２側面２０２を有し、第２メッシュフィルター２００は、第２側面２０２を第１側面１０１に対向させるように第１メッシュフィルター１００の一方側に設けられている。第１メッシュフィルター１００、第２メッシュフィルター２００は、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ，ＰＥＴ）、ポリプロピレン（ｐｏｌｙｐｒｏｐｙｌｅｎｅ，ＰＰ）などの材料を使用してもよく、ポアのサイズは、５０〜６０メッシュ（ｍｅｓｈ）であってもよい。
【００１７】
気体アルコール類の除去材料３００は、第１メッシュフィルター１００と第２メッシュフィルター２００との間に設けられ、気体アルコール類の除去材料３００は、カルボン酸ポリマーを含む。より具体的には、一実施例において、気体アルコール類の除去材料３００は、６００〜８００ｇ／ｍ２の量で第１メッシュフィルター１００と第２メッシュフィルター２００との間に設けられている。気体アルコール類の除去材料の直径は、３０〜６０メッシュ（ｍｅｓｈ）である。第１メッシュフィルター１００と第２メッシュフィルター２００の反対側（即ち、メッシュフィルター構造９００の両外方側）の圧力差は２０〜３０Ｐａである。
【００１８】
一実施例において、第１メッシュフィルター及び第２メッシュフィルターをそれぞれ不織布とし、異なるサンプルの気体アルコール類の除去材料を供給して６００ｇ／ｍ２の量で第１メッシュフィルターと第２メッシュフィルターとの間に設けた。気体アルコール類の除去材料に含まれるカルボン酸ポリマーは、表１に示すとおりである。
【００１９】
【表１】
2020078791.tif 000002
その後、濃度１００μｇ／ｍ３のエタノール、イソブタノール、及びイソプロパノールをそれぞれ試験ガスとしてメッシュフィルター構造を通過させ、ガスクロマトグラフ分析計（ＳＨＩＭＡＤＺＵ  ＧＣＭＳ−ＱＰ２０２０，日本）及び加熱脱着装置（ＭＡＲＫＥＳ  Ｔｈｅｒｍａｌ  Ｄｅｓｏｒｂｅｒ  ＵＮＩＴＹ−ｘｒ）を使用し、１０００μｇ／ｍ３のトルエンを半定量基準として用いて、出口の濃度を連続的にモニタリングして平衡吸着量を計算し、算出した値は、即ち、気体アルコール類の除去材料１ｇ当りが吸着できる試験ガスの質量（ｍｇ）である。試験結果は表２及び図２に示すとおりである。
【００２０】
【表２】
2020078791.tif 000003
表２及び図２に示す結果から分かるように、本発明に係る気体アルコール類の除去に用いるメッシュフィルター構造は、カルボン酸ポリマーを含む気体アルコール類の除去材料を使用することにより、気体アルコール類に対し良好な吸着効果を有し、気体アルコール類を効率的に除去できる。
【００２１】
一実施例において、第１メッシュフィルター及び第２メッシュフィルターをそれぞれ不織布とし、異なる質量のポリアクリル酸を含む気体アルコール類の除去材料を供給して第１メッシュフィルターと第２メッシュフィルターとの間に設けた。そして、濃度１００μｇ／ｍ３のエタノール、イソブタノール、及びイソプロパノールをそれぞれ試験ガスとしてメッシュフィルター構造を通過させ、ガスクロマトグラフ（ＳＨＩＭＡＤＺＵ  ＧＣＭＳ−ＱＰ２０２０，日本）及び加熱脱着装置（ＭＡＲＫＥＳ  Ｔｈｅｒｍａｌ  Ｄｅｓｏｒｂｅｒ  ＵＮＩＴＹ−ｘｒ）を使用し、１０００μｇ／ｍ３のトルエンを半定量標準として用いて、出口の濃度を連続的にモニタリングして平衡吸着量を計算し、算出した値は、即ち、気体アルコール類の除去材料１ｇ当りが吸着できる試験ガスの質量（ｍｇ）である。試験結果は、表３及び図３に示すとおりである。
【００２２】
【表３】
2020078791.tif 000004
一実施例において、第１メッシュフィルター及び第２メッシュフィルターをそれぞれ不織布とし、異なる質量のポリメタクリル酸を含む気体アルコール類の除去材料を供給して第１メッシュフィルターと第２メッシュフィルターとの間に設けた。その後、濃度１００μｇ／ｍ３のエタノール、イソブタノール、及びイソプロパノールをそれぞれ試験ガスとしてメッシュフィルター構造を通過させ、ガスクロマトグラフ（ＳＨＩＭＡＤＺＵ  ＧＣＭＳ−ＱＰ２０２０，日本）及び加熱脱着装置（ＭＡＲＫＥＳ  Ｔｈｅｒｍａｌ  Ｄｅｓｏｒｂｅｒ  ＵＮＩＴＹ−ｘｒ）を使用し、１０００μｇ／ｍ３のトルエンを半定量標準として用いて、出口の濃度を連続的にモニタリングして平衡吸着量を計算し、算出した値は、即ち、気体アルコール類の除去材料１ｇ当りが吸着できる試験ガスの質量（ｍｇ）である。試験結果は、表４に示すとおりである。
【００２３】
【表４】
2020078791.tif 000005
表３、図３及び表４に示す結果から分かるように、本発明に係る気体アルコール類の除去に用いるメッシュフィルター構造は、第１メッシュフィルターと第２メッシュフィルターとの間に設けられる気体アルコール類の除去材料の量は、６００〜８００ｇ／ｍ２であることが好ましい。
【００２４】
上記の説明及び図面には、本発明の好ましい実施例が既に開示されているが、各種の追加、変更及び置換は、添付された特許請求の範囲で限定される本発明の原理の精神及び範囲から逸脱することなく、本発明の好ましい実施例に用いることが可能であることを理解すべきである。当業者は、本発明が多くの形式、構造、配置、割合、材料、素子及び構成部品の変更に用いられることを承知している。したがって、本明細書においてここで開示されている実施例は、本発明を制限するためのものではなく、本発明を説明するためのものであると見なすべきである。本発明の範囲は、以上の説明ではなく添付された特許請求の範囲により限定され、その合法的な等価物を含むべきである。
【符号の説明】
【００２５】
１００  ：  第１メッシュフィルター
１０１  ：  第１側面
２００  ：  第２メッシュフィルター
２０２  ：  第２側面
３００  ：  気体アルコール類の除去材料
９００  ：  メッシュフィルター構造
【図１】
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【図２】
2020078791.tif 000007
【図３】
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