(57)【要約】【課題】液切れ性を効果的に改善できる液体供給方法を提供する。【解決手段】液体供給方法は、液体５０を吐出する吐出口１１を有する液室１０と、液室１０内で動作するプランジャ２０と、液室１０に液体５０を所定の圧力で供給する供給部３０と、プランジャ２０を動作させる駆動部４０と、を備えた液体供給装置１における液体供給方法であって、駆動部４０は、空間１２が広くなるようにプランジャ２０の先端部２１を吐出口１１から離れる方向に動作させる第１動作（ステップＳ１１）と、第１動作後に、空間１２が狭くなるように先端部２１を吐出口１１に対して近づく方向に動作させる第２動作（ステップＳ１２）と、第２動作後に、空間１２が広くなるように、かつ、第１動作によって形成された空間１２よりも狭くなるように、先端部２１を吐出口１１から離れる方向に動作させる第３動作（ステップＳ１３）と、を行う。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する吐出口を有する液室と、
前記液室内で動作するプランジャと、
前記液室に前記液体を所定の圧力で供給する供給部と、
前記プランジャを動作させる駆動部と、を備えた液体供給装置における液体供給方法であって、
前記駆動部は、
前記液室の前記吐出口側と前記プランジャの先端部との隙間によって形成される前記液室内の空間に、前記所定の圧力によって前記液体を充填するため、前記空間が広くなるように前記先端部を前記吐出口から離れる方向に動作させる第１動作と、
前記第１動作後に、前記吐出口から前記液体を吐出するため、前記空間が狭くなるように前記先端部を前記吐出口に対して近づく方向に動作させる第２動作と、
前記第２動作後に、前記空間が広くなるように、かつ、前記第１動作によって形成された前記空間よりも狭くなるように、前記先端部を前記吐出口から離れる方向に動作させる第３動作と、を行う
液体供給方法。
【請求項２】
前記駆動部は、前記第３動作後に、前記第３動作によって形成された前記空間が狭くなるように前記先端部を前記吐出口に対して近づく方向に動作させる第４動作を更に行う
請求項１に記載の液体供給方法。
【請求項３】
前記第３動作は、前記第２動作後、前記吐出口から吐出された前記液体がワークに付いた後に行われる
請求項１又は２に記載の液体供給方法。
【請求項４】
前記第３動作による前記先端部の前記吐出口から離れる方向への動作では、前記第３動作によって形成された前記空間に前記液体が充填されない
請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体供給方法。
【請求項５】
前記第３動作によって形成された前記空間における前記先端部と前記吐出口との距離は、前記第１動作によって形成された前記空間における当該距離の４分の１以下である
請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体供給方法。
【請求項６】
前記第３動作によって形成された前記空間のうち前記液室と前記先端部との隙間の最も狭い箇所における流体抵抗は、前記吐出口における流体抵抗の２倍以上である
請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体供給方法。
【請求項７】
液体を吐出する吐出口を有する液室と、
前記液室内で動作するプランジャと、
前記液室に前記液体を所定の圧力で供給する供給部と、
前記プランジャを動作させる駆動部と、を備えた液体供給装置であって、
前記駆動部は、
前記液室の前記吐出口側と前記プランジャの先端部との隙間によって形成される前記液室内の空間に、前記所定の圧力によって前記液体を充填するため、前記空間が広くなるように前記先端部を前記吐出口から離れる方向に動作させる第１動作と、
前記第１動作後に、前記吐出口から前記液体を吐出するため、前記空間が狭くなるように前記先端部を前記吐出口に対して近づく方向に動作させる第２動作と、
前記第２動作後に、前記空間が広くなるように、かつ、前記第１動作によって形成された前記空間よりも狭くなるように、前記先端部を前記吐出口から離れる方向に動作させる第３動作と、を行う
液体供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、液体供給方法及び液体供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体の吐出口に当接したプランジャを離隔させて液体を充填し、その後、プランジャを吐出口へ衝突させることにより、液体を吐出する方式が開示されている（例えば、特許文献１及び２）。これにより、微小な液滴をワークに供給することが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１６／１５９３３８号
【特許文献２】国際公開第２００８／１０８０９７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記方式では、例えば粘性の高い液体が使用された場合には、液体の吐出後の液切れ性が悪く、液体の吐出後に吐出口において液体の糸引きが発生する。この場合、ワークの様々な場所へ液体を供給するために吐出口を順々に移動させていく際に当該糸引きがワーク上を伝って、ワークにおける液体の供給場所以外にも液体が付着してしまうという問題がある。
【０００５】
そこで、本開示は、液切れ性を効果的に改善できる液体供給方法等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様に係る液体供給方法は、液体を吐出する吐出口を有する液室と、前記液室内で動作するプランジャと、前記液室に前記液体を所定の圧力で供給する供給部と、前記プランジャを動作させる駆動部と、を備えた液体供給装置における液体供給方法であって、前記駆動部は、前記液室の前記吐出口側と前記プランジャの先端部との隙間によって形成される前記液室内の空間に、前記所定の圧力によって前記液体を充填するため、前記空間が広くなるように前記先端部を前記吐出口から離れる方向に動作させる第１動作と、前記第１動作後に、前記吐出口から前記液体を吐出するため、前記空間が狭くなるように前記先端部を前記吐出口に対して近づく方向に動作させる第２動作と、前記第２動作後に、前記空間が広くなるように、かつ、前記第１動作によって形成された前記空間よりも狭くなるように、前記先端部を前記吐出口から離れる方向に動作させる第３動作と、を行う。
【０００７】
なお、これらの包括的または具体的な側面は、システム、装置、方法、記録媒体、または、コンピュータプログラムで実現されてもよく、システム、装置、方法、記録媒体、および、コンピュータプログラムの任意な組み合わせで実現されてもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本開示に係る液体供給方法等によれば、液切れ性を効果的に改善できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、実施の形態に係る液体供給装置の断面構成図である。
【図２】図２は、実施の形態に係る液体供給装置の動作の一例を示すフローチャートである。
【図３】図３は、実施の形態に係る駆動部へ印加される電圧のタイミングチャートである。
【図４】図４は、実施の形態に係る液体供給装置の第１動作時における先端部周辺を拡大したときの断面図である。
【図５】図５は、実施の形態に係る液体供給装置の第２動作時における先端部周辺を拡大したときの断面図である。
【図６】図６は、実施の形態に係る液体供給装置の第３動作時における先端部周辺を拡大したときの断面図である。
【図７】図７は、液室と先端部との隙間の最も狭い箇所のギャップと当該箇所における流体抵抗との関係を示すグラフである。
【図８】図８は、実施の形態に係る液体供給装置の第４動作時における先端部周辺を拡大したときの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本開示の液体供給方法は、液体を吐出する吐出口を有する液室と、前記液室内で動作するプランジャと、前記液室に前記液体を所定の圧力で供給する供給部と、前記プランジャを動作させる駆動部と、を備えた液体供給装置における液体供給方法であって、前記駆動部は、前記液室の前記吐出口側と前記プランジャの先端部との隙間によって形成される前記液室内の空間に、前記所定の圧力によって前記液体を充填するため、前記空間が広くなるように前記先端部を前記吐出口から離れる方向に動作させる第１動作と、前記第１動作後に、前記吐出口から前記液体を吐出するため、前記空間が狭くなるように前記先端部を前記吐出口に対して近づく方向に動作させる第２動作と、前記第２動作後に、前記空間が広くなるように、かつ、前記第１動作によって形成された前記空間よりも狭くなるように、前記先端部を前記吐出口から離れる方向に動作させる第３動作と、を行う。
【００１１】
これによれば、プランジャを備える液体供給装置において、第１動作によって液室の吐出口側と先端部との隙間によって形成される液室内の空間に液体が充填され、第２動作によって当該空間に充填された液体が液体供給装置の液体の供給対象であるワークへ吐出された後、第３動作によって、先端部が吐出口から離れる方向に動作させられる。このように、液体の吐出後に第３動作によって先端部が吐出口から離れる方向に引き戻されるため、吐出口において発生する液体の糸引きが吐出口に吸い込まれ、液切れ性が改善される。また、このとき、例えば、第３動作においても、第１動作と同じような動作が行われると、第１動作時と同じように広くなった空間へ供給部による所定の圧力によって液体が充填され、そのまま液体が吐出口から押し出されてしまい、液漏れが発生するおそれがある。これに対して、第３動作によって形成される空間が第１動作によって形成された空間よりも狭くなるように、つまり、先端部が吐出口から離れる方向に少しだけ引き戻される。これにより、第３動作によって形成された空間と供給部とを繋ぐ流路は狭くなり、当該空間に所定の圧力がかかりにくくなるため、液漏れの発生を抑制しつつ、液切れ性を改善できる。このように、液切れ性を効果的に改善できる。
【００１２】
また、前記駆動部は、前記第３動作後に、前記第３動作によって形成された前記空間が狭くなるように前記先端部を前記吐出口に対して近づく方向に動作させる第４動作を更に行ってもよい。
【００１３】
第３動作によって形成された空間と供給部とを繋ぐ流路は狭くはなっているが、閉じてはいないため、当該空間は少なからず供給部による所定の圧力の影響を受ける。そこで、第４動作が行われることで、当該流路を閉じることができるため、液漏れの発生をより抑制できる。
【００１４】
具体的には、前記第３動作は、前記第２動作後、前記吐出口から吐出された前記液体がワークに付いた後に行われてもよい。
【００１５】
このように、第２動作後に液体がワークに付いた後のタイミングで第３動作が行われてもよい。
【００１６】
また、前記第３動作による前記先端部の前記吐出口から離れる方向への動作では、前記第３動作によって形成された前記空間に前記液体が充填されなくてもよい。具体的には、前記第３動作によって形成された前記空間における前記先端部と前記吐出口との距離は、前記第１動作によって形成された前記空間における当該距離の４分の１以下であってもよい。また、具体的には、前記第３動作によって形成された前記空間のうち前記液室と前記先端部との隙間の最も狭い箇所における流体抵抗は、前記吐出口における流体抵抗の２倍以上であってもよい。
【００１７】
これらのようにすることで、第３動作によって形成された空間に、所定の圧力で液体を供給する供給部からの液体が充填されないようにする（正確には、されにくくする）ことができる。
【００１８】
本開示の液体供給装置は、液体を吐出する吐出口を有する液室と、前記液室内で動作するプランジャと、前記液室に前記液体を所定の圧力で供給する供給部と、前記プランジャを動作させる駆動部と、を備えた液体供給装置であって、前記駆動部は、前記液室の前記吐出口側と前記プランジャの先端部との隙間によって形成される前記液室内の空間に、前記所定の圧力によって前記液体を充填するため、前記空間が広くなるように前記先端部を前記吐出口から離れる方向に動作させる第１動作と、前記第１動作後に、前記吐出口から前記液体を吐出するため、前記空間が狭くなるように前記先端部を前記吐出口に対して近づく方向に動作させる第２動作と、前記第２動作後に、前記空間が広くなるように、かつ、前記第１動作によって形成された前記空間よりも狭くなるように、前記先端部を前記吐出口から離れる方向に動作させる第３動作と、を行う。
【００１９】
これによれば、液切れ性を効果的に改善できる液体供給装置を提供できる。
【００２０】
なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、構成要素、構成要素の配置位置および接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本開示を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。
【００２１】
（実施の形態）
以下、図１から図８を用いて実施の形態について説明する。
【００２２】
［液体供給装置の全体構成］
まず、実施の形態に係る液体供給装置１の全体構成について図１を用いて説明する。
【００２３】
図１は、実施の形態に係る液体供給装置１の断面構成図である。なお、図１に示しているコンピュータ１００は、液体供給装置１の構成要素であってもよいし、液体供給装置１の構成要素でなく、液体供給装置１を制御するための外部のコンピュータであってもよい。例えば、コンピュータ１００は、外部のコンピュータとしてサーバ装置等であってもよい。ここでは、コンピュータ１００を液体供給装置１の構成要素として説明する。
【００２４】
液体供給装置１は、液体５０を基板等のワーク６０（後述する図５等参照）に供給するための装置であり、液室１０と、プランジャ２０と、供給部３０と、駆動部４０とを備える。また、液体供給装置１は、駆動部４０を制御するためのコンピュータ１００と、駆動部４０により発生する力をプランジャ２０へ伝えるためのテコ４１とを備える。なお、液体供給装置１は、テコ４１を備えていなくてもよく、例えば、駆動部４０により発生する力が直接的にプランジャ２０へ伝えられてもよい。
【００２５】
供給部３０は、液室１０に液体５０を供給するための構成要素であり、例えば、シリンジ及びチューブ等からなる。供給部３０は、液室１０に液体５０を所定の圧力で供給する。例えば、供給部３０は、常時一定の圧力を発生させて液室１０に液体５０を供給する。これにより、例えば必要なときにだけ圧力を発生させるといった間欠動作をすることなく、液室１０に液体５０を充填可能な空間が発生すれば、常時発生させている一定の圧力によって当該空間に液体５０を自動的に充填させることが可能となる。
【００２６】
液体５０は、例えば、ＵＶ硬化樹脂若しくはシリコーン樹脂等の接着剤又ははんだ等である。なお、液体５０の種類は、これらに限らず特に限定されない。
【００２７】
液室１０は、供給部３０から液体５０が供給されるシリンダ等であり、供給された液体５０を吐出する吐出口１１を有する。液室１０は、液体５０を吐出するノズル内の空間である。例えば、吐出口１１の径は約１５０μｍであり、長さは約５００μｍであるが、これらは一例であり特に限定されない。また、液室１０の吐出口１１側は、漏斗形状となっている。
【００２８】
プランジャ２０は、液室１０内に設けられた棒状の部材であり液室１０内で動作する。具体的には、図１における上下方向へ往復移動可能となっている。詳細は後述するが、プランジャの先端部２１が動作（移動）することで、図１に示されるように吐出口１１から液体５０が吐出される。例えば、液体５０が粘性の高い液体の場合、液体５０の吐出後に吐出口において液体５０の糸引きが発生し得る。なお、図１では、プランジャ２０を模式的に示しているが、プランジャ２０の先端部２１は、後述する図４等に示すような形状を有する。
【００２９】
駆動部４０は、プランジャ２０を動作させる構成要素であり、例えば、圧電素子からなる。駆動部４０にテコ４１が接続され、また、プランジャ２０の先端部２１とは反対側にテコ４１が接続されている。例えば、駆動部４０（圧電素子）に電圧が印加（充電）されることで、当該電圧が力に変換されて、駆動部４０が図１における下方向へ変形する。これにより、当該力がテコ４１を介して、プランジャ２０に伝わり、先端部２１は、下方向へ移動する。また、駆動部４０に電圧を印加しないようにすることで（つまり放電することで）、駆動部４０が図１における上方向へ変形する（元の形状に戻る）。これにより、先端部２１は、上方向へ移動する。
【００３０】
なお、駆動部４０は、プランジャ２０を動作可能な構成要素であれば、圧電素子に限らない。例えば、駆動部４０は、エアシリンダ及びバネからなる構成であってもよいし、磁歪素子からなる構成であってもよい。
【００３１】
コンピュータ１００は、プロセッサ、メモリ等を含むコンピュータである。メモリは、ＲＯＭ、ＲＡＭ等であり、プロセッサにより実行されるプログラムを記憶することができる。プロセッサが、プログラムに従って動作することにより、後述する駆動部４０の第１動作、第２動作、第３動作及び第４動作が実現される。
【００３２】
［液体供給装置の動作］
次に、液体供給装置１の動作について、図２から図８を用いて説明する。
【００３３】
図２は、実施の形態に係る液体供給装置１の動作の一例を示すフローチャートである。なお、図２に示される各処理（ステップＳ１１〜ステップＳ１４）は、駆動部４０の動作を示し、コンピュータ１００が駆動部４０に行わせる動作を示すものでもある。また、図２に示される各処理は、後述する液体供給方法をコンピュータ１００に実行させるプログラムの内容を示すものでもある。
【００３４】
まず、駆動部４０は、液室１０の吐出口１１側とプランジャ２０の先端部２１との隙間によって形成される液室１０内の空間１２（後述する図４等参照）に、所定の圧力によって液体５０を充填するため、空間１２が広くなるように先端部２１を吐出口１１から離れる方向に動作させる第１動作を行う（ステップＳ１１）。ステップＳ１１の動作の詳細については、後述する図３及び図４で説明する。
【００３５】
駆動部４０は、第１動作後に、吐出口１１から液体５０を吐出するため、空間１２が狭くなるように先端部２１を吐出口１１に対して近づく方向に動作させる第２動作を行う（ステップＳ１２）。ステップＳ１２の動作の詳細については、後述する図３及び図５で説明する。
【００３６】
駆動部４０は、第２動作後に、空間１２が広くなるように、先端部２１を吐出口１１から離れる方向に少し動作させる第３動作を行う（ステップＳ１３）。具体的には、駆動部４０は、第２動作後に、空間１２が広くなるように、かつ、第１動作によって形成された空間１２よりも狭くなるように、先端部２１を吐出口１１から離れる方向に動作させる第３動作を行う。ステップＳ１３の動作の詳細については、後述する図３、図６及び図７で説明する。
【００３７】
そして、駆動部４０は、第３動作後に、第３動作によって形成された空間１２が狭くなるように先端部２１を吐出口１１に対して近づく方向に動作させる第４動作を行う（ステップＳ１４）。ステップＳ１４の動作の詳細については、後述する図３及び図８で説明する。
【００３８】
次に、第１動作から第４動作の詳細について、図３から図８を用いて説明する。
【００３９】
図３は、実施の形態に係る駆動部４０へ印加される電圧のタイミングチャートである。
【００４０】
例えば、駆動部４０へは基本的には、電圧が印加されており、ワーク６０へ液体５０が供給されるとき以外は、図１に示されるように、プランジャ２０の先端部２１は、液室１０の吐出口１１側の内壁（漏斗形状部分の内壁）に当接している。
【００４１】
ワーク６０へ液体５０を供給する場合、図３に示されるように、まず、第１動作のために、駆動部４０への電圧の印加が停止される。例えば、第１動作は、数ミリ秒かけて行われる。これにより、先端部２１は、図４に示されるように、吐出口１１から離れる方向に移動する。
【００４２】
図４は、実施の形態に係る液体供給装置１の第１動作時における先端部２１周辺を拡大したときの断面図である。図４には、図１に示されたプランジャ２０の先端部２１の具体的な構成が示されている。後述する図５、図６及び図８についても同様である。例えば、プランジャ２０の先端部２１は、球体が挟まれたような構成となっており、球形状となっている。先端部２１がこのような球形状となっていることで、後述する第２動作時及び第４動作時に先端部２１と、液室１０の吐出口１１側の漏斗形状の内壁とがぴったりと当接しやすくなる。例えば、先端部２１における球体の径は約１５００μｍである。
【００４３】
図４に示されるように、先端部２１が吐出口１１から離れる方向に移動することで、もともと先端部２１があった部分が空間１２となり、空間１２が広くなる。供給部３０から液室１０へ所定の圧力で液体５０が供給されているため、広くなった空間１２に液体５０が押し込まれて空間１２に液体５０が充填される。
【００４４】
図３に示される第１動作と第２動作との間の駆動部４０に電圧が印加されない時間によって、空間１２に充填される液体５０の量が調整される。例えば、ワーク６０への液体５０の１回あたりの供給量が多くする場合には、第１動作と第２動作との間の駆動部４０に電圧が印加されない時間が長くなるように調整される。また、先端部２１が吐出口１１から離れる方向に移動される距離によっても、空間１２に充填される液体５０の量を調整できる。例えば、先端部２１が吐出口１１から離れる方向により多く移動されることで、その分空間１２が広くなり（言い換えると空間１２へ充填可能な液体５０の量が増え）、ワーク６０への液体５０の１回あたりの供給量を多くすることができる。
【００４５】
空間１２への液体５０の充填が終わると、図３に示されるように、第２動作のために、駆動部４０へ電圧が印加される。例えば、第２動作は、数十マイクロ秒かけて行われる。これにより、先端部２１は、図５に示されるように、吐出口１１に対して近づく方向に移動する。
【００４６】
図５は、実施の形態に係る液体供給装置１の第２動作時における先端部２１周辺を拡大したときの断面図である。図５では、先端部２１周辺を図４よりもさらに拡大している。なお、後述する図６及び図８についても同様である。
【００４７】
図４に示される第１動作によって形成された空間１２に液体５０が充填され、第２動作によって先端部２１が吐出口１１に対して近づく方向に移動することで、空間１２が狭くなっていき、狭くなった分吐出口１１から空間１２内の液体５０が吐出される。そして、図５に示されるように、第２動作によって、先端部２１と、液室１０の吐出口１１側の漏斗形状の内壁とがぴったりと当接して液体５０の吐出口１１からの吐出が止まる。このとき、液体５０の粘性が高い場合、吐出口１１から吐出された液滴が吐出口１１内の液体５０と切断されにくくなり、図５に示されるように、液体５０の糸引きが発生することがある。例えば、液体５０がワーク６０に供給された後に糸引きが発生したまま、ワーク６０の別の箇所に吐出口１１（ノズル）を移動させたときに、糸引きがワーク６０上を伝ってワーク６０の液体５０の供給が不要な箇所にも液体５０が付着してしまうおそれがある。そこで、第３動作が行われる。
【００４８】
第２動作後、図３に示されるように、第３動作のために、第２動作時よりも低い電圧が駆動部４０へ印加される。例えば、第３動作は、吐出口１１から吐出された液体５０がワーク６０に付いた後に行われる。例えば、図３に示されるように、ヘルムホルツ周期をＴとした場合、第２動作後５Ｔ以上経過後に第３動作が行われる。液体５０がワーク６０に付く前（例えば第２動作後５Ｔ経過前）に第３動作が行われた場合、ワーク６０に付く前の液滴が吐出口１１側へ引き戻されて飛び散るおそれがあるためである。なお、第３動作が行われるタイミングは、吐出口１１から吐出された液体５０がワーク６０に付いた後のタイミングであれば、当該５Ｔ以上経過後に限らない。図６に示されるように、第３動作によって、先端部２１は吐出口１１から離れる方向に移動する。
【００４９】
図６は、実施の形態に係る液体供給装置１の第３動作時における先端部２１周辺を拡大したときの断面図である。
【００５０】
図３に示されるように、第２動作時よりも駆動部４０へ印加される電圧値が低くなることで、図６に示されるように、先端部２１が吐出口１１から離れる方向に移動して、吐出口１１内の液体５０も液室１０の内部へ吸い込まれる。これにより、図５に示されるような吐出口１１から液滴に繋がる糸引きを、強制的に切断することができる。したがって、液体５０の吐出口１１における液切れ性を改善できる。
【００５１】
また、第２動作時よりも低い電圧が駆動部４０へ印加されることで空間１２はある程度広くなるが、先端部２１の移動量は少ないため、第３動作によって形成された空間１２は、第１動作によって形成された図４に示されるような空間１２よりは狭い。このように先端部２１を少し移動させるような、第３動作による先端部２１の吐出口１１から離れる方向への動作では、第３動作によって形成された空間１２に液体５０が充填されない（正確には、充填されにくい）。例えば、第１動作時のように空間１２に液体５０が充填される場合には、供給部３０からの所定の圧力によって空間１２に充填された液体５０がそのまま吐出口１１から押し出されて漏れてしまい得るが、空間１２に液体５０が充填されにくいことで液体５０が吐出口１１から漏れることを抑制できる。
【００５２】
例えば、第３動作によって形成された空間１２における先端部２１と吐出口１１との距離Ｄ２は、第１動作によって形成された空間１２における先端部２１と吐出口１１との距離Ｄ１（図４参照）の４分の１以下である。例えば、これにより、空間１２に液体５０が充填されないようにすることが可能となる。なお、空間１２に液体５０が充填されないための条件はこれに限らない。空間１２に液体５０が充填されないためのその他の条件について、図７を用いて説明する。
【００５３】
図７は、液室１０と先端部２１との隙間の最も狭い箇所のギャップｔと当該箇所における流体抵抗との関係を示すグラフである。ギャップｔは、具体的には、図６に示されるように、先端部２１と液室１０の漏斗形状の箇所の内壁との距離である。ギャップｔは、第２動作時及び第４動作時には０となる（つまり、先端部２１は、当該内壁に当接する）。
【００５４】
例えば、液室１０と先端部２１との隙間の最も狭い箇所における流体抵抗が吐出口１１における流体抵抗よりも大きいときに、空間１２に液体５０が充填されにくくすることができる。液室１０と先端部２１との隙間の最も狭い箇所において、吐出口１１における流体抵抗よりも大きな流体抵抗によって液体５０が空間１２へ流れにくくなるためである。そこで、本発明者は、様々な径の大きさの吐出口１１のそれぞれについて、第３動作時に、液室１０と先端部２１との隙間の最も狭い箇所における流体抵抗と吐出口１１における流体抵抗とが釣り合うときのギャップｔを実験により求めた。例えば、図７に示されるギャップｔ１は、吐出口１１の径が５０μｍの場合に上記各流体抵抗が釣り合うときのギャップｔを示している。同じように、ギャップｔ２、ｔ３及びｔ４は、それぞれ、吐出口１１の経が１００μｍ、１５０μｍ及び２００μｍの場合に上記各流体抵抗が釣り合うときのギャップｔを示している。そして、液室１０と先端部２１との隙間の最も狭い箇所における流体抵抗が吐出口１１の流体抵抗よりも大きくなるように、吐出口１１の径に応じてギャップｔを調整する。例えば、液室１０と先端部２１との隙間の最も狭い箇所における流体抵抗が吐出口１１の流体抵抗の２倍以上となるようなギャップｔとすることで、空間１２に液体５０が充填されないようにすることができる。
【００５５】
このように、第３動作によって形成された空間１２における先端部２１と吐出口１１との距離Ｄ２を、第１動作によって形成された空間１２における先端部２１と吐出口１１との距離Ｄ１の４分の１以下としたり、第３動作によって形成された空間１２のうち液室１０と先端部２１との隙間の最も狭い箇所における流体抵抗を、吐出口１１における流体抵抗の２倍以上としたりすることで、第３動作によって形成された空間１２に、所定の圧力で液体５０を供給する供給部３０からの液体５０が充填されないようにすることができる。所定の圧力で液体５０を供給する供給部３０からの液体５０が狭いギャップｔによって空間１２に充填されない（されにくい）ということは、空間１２に所定の圧力がかかりにくくなっていることを示し、つまりは、吐出口１１から液体５０が押し出されない（押し出されにくい）ことを示すためである。
【００５６】
第３動作後、図３に示されるように、第４動作のために、駆動部４０へ電圧が印加される。印加される電圧の大きさは、例えば、第２動作時と同じである。これにより、先端部２１は、図８に示されるように、吐出口１１に対して近づく方向に移動する。
【００５７】
図８は、実施の形態に係る液体供給装置１の第４動作時における先端部２１周辺を拡大したときの断面図である。
【００５８】
図６に示されるような先端部２１が吐出口１１から少し離れる方向に移動した状態では、第３動作によって形成された空間１２と供給部３０とを繋ぐ流路は狭くなっており、空間１２に液体５０が充填されにくいが、空間１２は少なからず供給部３０による所定の圧力の影響を受ける。このため、第３動作後の状態のままにしておくと、液体５０が吐出口１１から漏れるおそれがある。そこで、第４動作が行われることで、例えば図８に示されるように、先端部２１が液室１０の吐出口１１側の内壁（漏斗形状部分における内壁）に当接して、供給部３０側と吐出口１１側とをプランジャ２０によって分断することができる。つまり、上記流路を閉じることができる。これにより、プランジャ２０によって閉じられた空間１２に供給部３０からの所定の圧力をよりかかりにくくすることができ、液漏れの発生をより抑制できる。
【００５９】
そして、ワーク６０の様々な箇所へ液体５０を供給する際に、第１動作から第４動作が繰り返し行われる。
【００６０】
「まとめ」
以上説明したように、プランジャ２０を備える液体供給装置１において、第１動作によって液室１０の吐出口１１側と先端部２１との隙間によって形成される液室１０内の空間１２に液体５０が充填され、第２動作によって空間１２に充填された液体５０が液体供給装置１の液体５０の供給対象であるワーク６０へ吐出された後、第３動作によって、先端部２１が吐出口１１から離れる方向に動作させられる。このように、液体５０の吐出後に第３動作によって先端部２１が吐出口１１から離れる方向に引き戻されるため、吐出口１１において発生する液体５０の糸引きが吐出口１１に吸い込まれ、液切れ性が改善される。また、このとき、例えば、第３動作においても、第１動作と同じような動作が行われると、第１動作時と同じように広くなった空間１２へ供給部３０による所定の圧力によって液体５０が充填され、そのまま吐出口１１から液体５０が押し出されてしまい、液漏れが発生するおそれがある。これに対して、第３動作によって形成される空間１２が第１動作によって形成された空間１２よりも狭くなるように、つまり、先端部２１が吐出口１１から離れる方向に少しだけ引き戻される。これにより、第３動作によって形成された空間１２と供給部３０とを繋ぐ流路は狭くなり、空間１２に所定の圧力がかかりにくくなるため、液漏れの発生を抑制しつつ、液切れ性を改善できる。このように、本開示によれば、液切れ性を効果的に改善できる。
【００６１】
［液体供給方法］
なお、本開示は、液体供給装置１として実現できるだけでなく、液体供給装置１を構成する各構成要素が行うステップ（処理）を含む液体供給方法として実現できる。
【００６２】
具体的には、液体供給方法は、液体５０を吐出する吐出口１１を有する液室１０と、液室１０内で動作するプランジャ２０と、液室１０に液体５０を所定の圧力で供給する供給部３０と、プランジャ２０を動作させる駆動部４０と、を備えた液体供給装置１における液体供給方法である。図２に示されるように、液体供給方法では、駆動部４０は、液室１０の吐出口１１側とプランジャ２０の先端部２１との隙間によって形成される液室１０内の空間１２に、所定の圧力によって液体５０を充填するため、空間１２が広くなるように先端部２１を吐出口１１から離れる方向に動作させる第１動作（ステップＳ１１）と、第１動作後に、吐出口１１から液体５０を吐出するため、空間１２が狭くなるように先端部２１を吐出口１１に対して近づく方向に動作させる第２動作（ステップＳ１２）と、第２動作後に、空間１２が広くなるように、かつ、第１動作によって形成された空間１２よりも狭くなるように、先端部２１を吐出口１１から離れる方向に動作させる第３動作（ステップＳ１３）と、行う。
【００６３】
また、液体供給方法では、駆動部４０は、第３動作後に、第３動作によって形成された空間１２が狭くなるように先端部２１を吐出口１１に対して近づく方向に動作させる第４動作（ステップＳ１４）を更に行ってもよい。
【００６４】
（その他の実施の形態）
以上、本開示の液体供給方法及び液体供給装置１について、実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、上記実施の形態に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したもの、及び、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本開示の範囲内に含まれる。
【００６５】
例えば、上記実施の形態において、第４動作が行われたが、行われなくてもよい。つまり、第３動作後に第４動作が行われず、ワーク６０における次の箇所への液体５０の供給のために、次の第１動作が行われてもよい。例えば、第３動作が行われるタイミングと次の第１動作が行われるタイミングとの間隔が短い場合には、第４動作が行われなくてもすぐに次の液体５０の供給のための動作が始まるため、吐出口１１からの液漏れの問題が発生しにくい。
【００６６】
例えば、上記実施の形態において、供給部３０は、常時所定の圧力を発生させて液室１０に液体５０を供給したが、これに限らない。例えば、供給部３０は、第３動作及び第４動作の少なくとも一方においては、所定の圧力を発生させなくてもよい。つまり、供給部３０は、間欠的に液室１０に液体５０を供給する機能を有していてもよい。
【００６７】
例えば、液体供給方法におけるステップは、コンピュータ（コンピュータシステム）によって実行されてもよい。そして、本開示は、液体供給方法に含まれるステップを、コンピュータに実行させるためのプログラムとして実現できる。さらに、本開示は、そのプログラムを記録したＣＤ−ＲＯＭ等である非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体として実現できる。
【００６８】
例えば、本開示が、プログラム（ソフトウェア）で実現される場合には、コンピュータのＣＰＵ、メモリ及び入出力回路等のハードウェア資源を利用してプログラムが実行されることによって、各ステップが実行される。つまり、ＣＰＵがデータをメモリ又は入出力回路等から取得して演算したり、演算結果をメモリ又は入出力回路等に出力したりすることによって、各ステップが実行される。
【００６９】
また、上記実施の形態の液体供給装置１に含まれる各構成要素は、専用又は汎用の回路として実現されてもよい。
【００７０】
また、上記実施の形態の液体供給装置１に含まれる各構成要素は、集積回路（ＩＣ：Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）であるＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ  Ｓｃａｌｅ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）として実現されてもよい。
【００７１】
また、集積回路はＬＳＩに限られず、専用回路又は汎用プロセッサで実現されてもよい。プログラム可能なＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｇａｔｅ  Ａｒｒａｙ）、又は、ＬＳＩ内部の回路セルの接続及び設定が再構成可能なリコンフィギュラブル・プロセッサが、利用されてもよい。
【００７２】
さらに、半導体技術の進歩又は派生する別技術によりＬＳＩに置き換わる集積回路化の技術が登場すれば、当然、その技術を用いて、液体供給装置１に含まれる各構成要素の集積回路化が行われてもよい。
【００７３】
その他、実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本開示に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本開示は、例えば、接着剤等を基板等のワークに供給するための装置等に利用できる。
【符号の説明】
【００７５】
１  液体供給装置
１０  液室
１１  吐出口
１２  空間
２０  プランジャ
２１  先端部
３０  供給部
４０  駆動部
４１  テコ
５０  液体
６０  ワーク
１００  コンピュータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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