(57)【要約】【課題】温度測定装置を提供することを課題とする。【解決手段】温度測定装置であって、少なくとも１個の支持手段と、てんびん棒と感知部材と弾性部材とを備え、てんびん棒は支点で支持手段に連結するため支持手段の下方に設けられ、てんびん棒の一端が弾性部材に連結され、てんびん棒の他端が感知部材に連結され、感知部材の端部が通常支持手段より高く、感知部材が支点に相対してトルクを受けた時、弾性部材に弾性力による位置エネルギーが蓄えられ；トルクが解除された時、弾性部材から弾性力による位置エネルギーが放出されることで、感知部材を元の位置に復帰させる少なくとも１個の温度感知手段と、を含む。本発明の温度測定装置を通じて全自動、リアルタイムな温度モニタリングを実行でき、また温度測定の様々な変量を減らすこともできる。【選択図】  図１
2020201117.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１個の支持手段と、
てんびん棒と感知部材と弾性部材とを備え、前記てんびん棒は支点で前記支持手段に連結するため前記支持手段の下方に設けられ、前記てんびん棒の一端が前記弾性部材に連結され、前記てんびん棒の他端が前記感知部材に連結され、前記感知部材の端部が通常前記支持手段より高く、前記感知部材が前記支点に相対してトルクを受けた時、前記弾性部材に弾性力による位置エネルギーが蓄えられ；前記トルクが解除された時、前記弾性部材から前記弾性力による位置エネルギーが放出されることで、前記感知部材を元の位置に復帰させる少なくとも１個の温度感知手段と、
を含むことを特徴とする、温度測定装置。
【請求項２】
前記支持手段は、枠体と支持体とを含み、前記枠体の上方で前記支持体を載置し、前記枠体の下方が前記支点に連結されることを特徴とする、請求項１に記載の温度測定装置。
【請求項３】
前記弾性部材に連結された調整手段を更に含み、前記調整手段が前記支点に相対して調整トルクをかけることで前記感知部材の高さを調整することを特徴とする、請求項１に記載の温度測定装置。
【請求項４】
２個の前記支持手段と４個の前記温度感知手段とを備え、前記支持手段はスティック状を呈し、かつ互いに平行に設けられ、前記支持手段の両端に各々前記温度感知手段が設けられることを特徴とする、請求項１に記載の温度測定装置。
【請求項５】
前記温度感知手段に接続される温度記録モジュールを更に含むことを特徴とする、請求項１に記載の温度測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、温度測定装置に関し、特に、リアルタイムモニタリングの温度測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
熱処理工程の時、熱処理物の温度に対するモニタリングは、往々にしてリアルタイムになっていない。従来のアプローチは、１枚の被測定物を取り、手作業で被測定物の表面に温度感知部材を貼付し、被測定物を熱処理工程の設備内に送り込み、測定して得られた温度データを実際の熱処理工程のデータとして推定していた。このアプローチは、時間と手間を費やすだけでなく、温度の測点も手作業による貼付のずれの可能性があることにより精度も失ってきた。最も重要なことは、推定されたデータが実際の製造工程温度データに取って代わることができず、これは実際に生産する時の熱処理物にリアルタイムの温度モニタリングが欠けしていることを示している。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
これにより、本発明は、従来の温度測定装置の様々な問題を解決するため、リアルタイムモニタリングの温度測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記目的及び他の目的を達成するため、本発明に係る温度測定装置は、少なくとも１個の支持手段と、てんびん棒と感知部材と弾性部材とを備え、前記てんびん棒は支点で前記支持手段に連結するため前記支持手段の下方に設けられ、前記てんびん棒の一端が前記弾性部材に連結され、前記てんびん棒の他端が前記感知部材に連結され、前記感知部材の端部が通常前記支持手段より高く、前記感知部材が前記支点に相対してトルクを受けた時、前記弾性部材に弾性力による位置エネルギーが蓄えられ；前記トルクが解除された時、前記弾性部材から前記弾性力による位置エネルギーが放出されることで、前記感知部材を元の位置に復帰させる少なくとも１個の温度感知手段と、を含む。
【０００５】
本発明の一実施例において、前記支持手段は、枠体と支持体とを含み、前記枠体の上方で前記支持体を載置し、前記枠体の下方が前記支点に連結される。
【０００６】
本発明の一実施例において、前記弾性部材に連結された調整手段を更に含み、前記調整手段が前記支点に相対して調整トルクをかけることで前記感知部材の高さを調整する。
【０００７】
本発明の一実施例において、２個の前記支持手段と４個の前記温度感知手段とを備え、こられ支持手段はスティック状を呈し、かつ互いに平行に設けられ、こられ支持手段の両端に各々前記温度感知手段が設けられる。
【０００８】
本発明の一実施例において、前記温度感知手段に接続される温度記録モジュールを更に含む。
【発明の効果】
【０００９】
よって、本発明に係る温度測定装置は、全自動、リアルタイムな温度モニタリングを実行でき、また温度測定の様々な変量を減らすこともできる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施例に係る温度測定装置の非支持状態を示す模式図である。
【図２】本発明の実施例に係る温度測定装置の支持状態を示す模式図である。
【図３】本発明の実施例の温度測定装置の立体意図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明を十分理解するため、下記具体的実施例を通じて、添付図面を組み合わせ、本発明について詳細に説明する。当業者は、本明細書で開示された内容から本発明の目的、特徴及び効果を理解できる。ここで留意すべき点は、本発明がその他の異なる具体的実施例を通じて実施又は応用でき、本明細書内の各種詳細な説明も異なる観点と応用に基づいて、本発明の精神を脱しない範囲内で様々な修飾及び変更することができる。以下の実施形態は、更に本発明の関連技術内容を詳細に説明するものとするが、開示される内容が本発明の特許請求の範囲を限定するために用いられるものではない。後記に説明する。
【００１２】
図１乃至図３に示すように、本発明の実施例に係る温度測定装置１００は、少なくとも１個の支持手段１と少なくとも１個の温度感知手段２とを含む。
【００１３】
支持手段１は、被測定物Ｓを支持するために用いられ、支持手段１と被測定物Ｓとの間が点接触或いは線接触とすることがきる。被測定物Ｓは、板状のガラス片或いはシリコン基板とするが好ましく、本発明は、これに限られるものではない。
【００１４】
温度感知手段２は、てんびん棒２１と感知部材２２と弾性部材２３とを備える。てんびん棒２１は、支点２１１で支持手段１に連結するため支持手段１の下方に設けられる。てんびん棒２１の一端は、弾性部材２３に連結され、てんびん棒２１の他端が感知部材２２に連結される。図１に示すように、感知部材２２の端部２２１は通常（即ち、支持手段１が被測定物Ｓを支持しない状態において）が支持手段１より略高い。
【００１５】
図２に示すように、支持手段１は被測定物Ｓを支持した時、その端部２２１が圧下されることで、被測定物Ｓに接触して被測定物Ｓの温度を検知するよう確保し、この場合において、感知部材２２が支点２１１に相対してトルクを受けたため、弾性部材２３に弾性力による位置エネルギーが蓄えられる。前記トルクが解除された時（被測定物Ｓを除去した時）、弾性部材２３から前記弾性力による位置エネルギーが放出されることで感知部材２２を元の位置に復帰させる。この時端部２２１は、次回の温度検知に備えるため、またも支持手段１より略高い位置に戻る。
【００１６】
本発明の温度測定装置１００を経由して、被測定物Ｓが全自動の方式（ロボットアーム等を利用する）で熱処理工程設備内の支持手段１の上に送り込まれると、直接温度感知手段２を通じてリアルタイムな温度モニタリングを全過程で記録できる。過程にいて手作業によらず、全自動、リアルタイムな温度モニタリングを実行でき、また温度測定の様々な変量を減らすこともできる。
【００１７】
さらに、一実施例において、支持手段１は、枠体１１と支持体１２とを含み、枠体１１の上方で支持体１２を載置し、枠体１１の下方が支点２１１に連結される。図２に示すように、支持体１２の形状は、被測定物Ｓと最小面積で接触できる。
【００１８】
さらに、一実施例において、図１及び図２に示すように、温度測定装置１００は、調整手段３を更に含む。調整手段３は、弾性部材２３に連結され、支点２１１に相対して調整トルクをかけることで、調整感知部材２２の高さを調整する。例えば、調整手段３は、ボルトを含むことができ、ボルトのねじ込み深さにより調整トルクを変更させて感知部材２２の高さを変更する。
【００１９】
さらに、一実施例において、図１及び図２に示すように、温度測定装置１００は、温度感知手段２に接続されて温度感知手段２で測定して得られた温度データを分析、記録する温度記録モジュール４を更に含む。
【００２０】
１個の支持手段１及び１個の温度感知手段２は、１組の温度測定装置１００を構成できるが、本発明はこれに限られるものではない。図３に示すように、好ましい態様において、温度測定装置１００は、２個の支持手段１と４個の温度感知手段２とを備え、これら支持手段１がスティック状を呈しかつ互いに平行に設けられ、各支持手段１の両端に各々温度感知手段２が設けられる。被測定物Ｓが支持手段１の上に置かれた時、温度感知手段２は、各々被測定物Ｓの４個の測点を感知できる。しかしながら本発明は、これに限られるものではなく、温度測定装置１００が複数組の支持手段１と温度感知手段２とを更に含むことができ、かつ温度感知手段２の位置も自由に変更できる。
【００２１】
以上本発明につき、好ましい実施例を挙げて種々説明したが、これらはあくまでも本発明の技術内容を明らかにするものであって、本発明の実施範囲がそのような実施例に限定されるものではないことは当業者にとって明らかである。留意すべき点は、前記実施例との均等の範囲内の変化及び置換が均しく本発明の範囲内に網羅する。よって、本発明の保護範囲は、特許請求の範囲で画定する範囲を基準とする。
【符号の説明】
【００２２】
１００  温度測定装置
１      支持手段
１１    枠体
１２    支持体
２      温度感知手段
２１    てんびん棒
２１１  支点
２２    感知部材
２２１  端部
２３    弾性部材
３      調整手段
４      温度記録モジュール
Ｓ      被測定物
【図１】
2020201117.tif 000003
【図２】
2020201117.tif 000004
【図３】
2020201117.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】令和2年10月7日(2020.10.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１個の支持手段と、
てんびん棒と感知部材と弾性部材とを備え、前記てんびん棒は重力方向において支点で前記支持手段に連結するため前記支持手段の下方に設けられ、前記てんびん棒の一端が前記弾性部材に連結され、前記てんびん棒の他端が前記感知部材に連結され、前記感知部材の端部が重力方向において通常前記支持手段より高く、前記感知部材が前記支点に相対してトルクを受けた時、前記弾性部材に弾性力による位置エネルギーが蓄えられ、前記トルクが解除された時、前記弾性部材から前記弾性力による位置エネルギーが放出されることで、前記感知部材を重力方向において前記端部が通常前記支持手段より高い位置に復帰させる少なくとも１個の温度感知手段と、
を含むことを特徴とする、温度測定装置。
【請求項２】
前記支持手段は、枠体と支持体とを含み、前記枠体の重力方向における上方で前記支持体を載置し、前記枠体の重力方向における下方が前記支点に連結されることを特徴とする、請求項１に記載の温度測定装置。
【請求項３】
前記弾性部材に連結された調整手段を更に含み、前記調整手段が前記支点に相対して調整トルクをかけることで前記感知部材の高さを調整することを特徴とする、請求項１に記載の温度測定装置。
【請求項４】
２個の前記支持手段と４個の前記温度感知手段とを備え、前記支持手段はスティック状を呈し、かつ互いに平行に設けられ、前記支持手段の両端に各々前記温度感知手段が設けられることを特徴とする、請求項１に記載の温度測定装置。
【請求項５】
前記温度感知手段に接続される温度記録モジュールを更に含むことを特徴とする、請求項１に記載の温度測定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
上記目的及び他の目的を達成するため、本発明に係る温度測定装置は、少なくとも１個の支持手段と、てんびん棒と感知部材と弾性部材とを備え、前記てんびん棒は重力方向において支点で前記支持手段に連結するため前記支持手段の下方に設けられ、前記てんびん棒の一端が前記弾性部材に連結され、前記てんびん棒の他端が前記感知部材に連結され、前記感知部材の端部が重力方向において通常前記支持手段より高く、前記感知部材が前記支点に相対してトルクを受けた時、前記弾性部材に弾性力による位置エネルギーが蓄えられ、前記トルクが解除された時、前記弾性部材から前記弾性力による位置エネルギーが放出されることで、前記感知部材を重力方向において前記端部が通常前記支持手段より高い位置に復帰させる少なくとも１個の温度感知手段と、を含む。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明の一実施例において、前記支持手段は、枠体と支持体とを含み、前記枠体の重力方向における上方で前記支持体を載置し、前記枠体の重力方向における下方が前記支点に連結される。