(57)【要約】【課題】気泡含有液体を用いた高い洗浄能力を有する洗浄システムを提供すること。【解決手段】本発明に係る洗浄システム１００は、ウルトラファインバブル生成装置１３５と、ファインバブル生成装置１４３と、槽１１０とを具備する。  ウルトラファインバブル生成装置１３５は、洗浄原液中にウルトラファインバブルを発生させ、ウルトラファインバブル液を生成する。ファインバブル生成装置１４３は、ウルトラファインバブル液中にファインバブルを発生させ、洗浄液を生成する。槽１１０は、洗浄液が供給される。【選択図】図１
2020062613.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄原液中にウルトラファインバブルを発生させ、ウルトラファインバブル液を生成するウルトラファインバブル生成装置と、
前記ウルトラファインバブル液中にファインバブルを発生させ、洗浄液を生成するファインバブル生成装置と、
前記洗浄液が供給される槽と
を具備する洗浄システム。
【請求項２】
請求項１に記載の洗浄システムであって、
前記ファインバブル生成装置に接続され、前記洗浄液の流路を複数の流路に分岐させ、前記槽に供給する分岐管ユニットをさらに具備する
洗浄システム。
【請求項３】
請求項２に記載の洗浄システムであって、
前記槽は、前記洗浄液の液面の高さに設けられた液面排出口と、前記液面排出口に向けて前記洗浄液を押出する押出口とを備え、
前記複数の流路のうちの一つは前記押出口に接続されている
洗浄システム。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の洗浄システムであって、
前記槽に配置され、前記複数の流路のうちの一つが接続されたバブリング装置をさらに具備する
洗浄システム。
【請求項５】
請求項２に記載の洗浄システムであって、
前記槽内の前記洗浄液を前記ファインバブル生成装置に供給する循環経路を有する
洗浄システム。
【請求項６】
請求項５に記載の洗浄システムであって、
前記槽は、前記槽の槽内を、洗浄対象物が浸漬される洗浄区画と、前記循環経路への流入口が設けられた非洗浄区画に分ける仕切板を備える
洗浄システム。
【請求項７】
請求項６に記載の洗浄システムであって、
前記非洗浄区画には、前記ウルトラファインバブル生成装置から前記ウルトラファインバブル液が供給されるウルトラファインバブル液供給口が設けられている
洗浄システム。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の洗浄システムであって、
前記非洗浄区画には、前記複数の流路のうちの一つが接続された洗浄液供給口が設けられている
洗浄システム。
【請求項９】
請求項６から８のいずれか一つに記載の洗浄システムであって、
前記槽は、前記洗浄液の液面の高さに設けられた液面排出口と、前記液面排出口に向けて前記洗浄液を押出する押出口とを備え、
前記複数の流路のうちの一つは前記押出口に接続され、
前記液面排出口は前記洗浄区画に設けられ、前記押出口は前記非洗浄区画に設けられている
洗浄システム。
【請求項１０】
請求項１に記載の洗浄システムであって、
前記槽内の前記洗浄液を前記ファインバブル生成装置に供給する循環経路を有し、
前記ウルトラファインバブル液は前記ウルトラファインバブル生成装置からウルトラファインバブル液供給タンクに供給され、前記ウルトラファインバブル液供給タンクから前記槽へ供給され、
前記ウルトラファインバブル生成装置は前記ウルトラファインバブル液供給タンクから前記洗浄原液が供給される
洗浄システム。
【請求項１１】
請求項１に記載の洗浄システムであって、
前記ウルトラファインバブル液は前記ウルトラファインバブル生成装置からウルトラファインバブル液供給タンクに供給され、前記ウルトラファインバブル液供給タンクから前記ファインバブル生成装置へ供給され、
前記ウルトラファインバブル生成装置は前記ウルトラファインバブル液供給タンクから前記洗浄原液が供給される
洗浄システム。
【請求項１２】
請求項１に記載の洗浄システムであって、
前記ウルトラファインバブル液は前記ウルトラファインバブル生成装置から前記ファインバブル生成装置へ供給され、
前記ウルトラファインバブル生成装置は洗浄原液供給タンクから前記洗浄原液が供給される
洗浄システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気泡を含有する液体によって洗浄を行う洗浄システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、水等の液体に微小な気泡を含有させた気泡含有液体の普及が進んでいる。微小な気泡には、直径１μｍ未満のウルトラファインバブル（ＵＦＢ：ultra fine bubble)や直径１０μｍ以下のマイクロバブル、直径１ｍｍ以下のミリバブル等がある。
【０００３】
気泡含有液体の用途の一つに、気泡含有液体を洗浄対象物に接触させ、気泡によって汚れを除去する洗浄システムが挙げられる。例えば特許文献１及び２には、気泡含有液体を利用した洗浄システムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１７３０８６号公報
【特許文献２】特開２０１０−１８９７４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のような気泡含有液体を用いた洗浄システムにおいては、洗浄能力のさらなる向上が求められている。
【０００６】
以上のような事情に鑑み、本発明は、気泡含有液体を用いた高い洗浄能力を有する洗浄システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本技術に係る洗浄システムは、ウルトラファインバブル生成装置と、ファインバブル生成装置と、槽とを具備する。
上記ウルトラファインバブル生成装置は、洗浄原液中にウルトラファインバブルを発生させ、ウルトラファインバブル液を生成する。
上記ファインバブル生成装置は、上記ウルトラファインバブル液中にファインバブルを発生させ、洗浄液を生成する。
上記槽は、上記洗浄液が供給される。
【０００８】
この構成によれば、槽には、ウルトラファインバブル（以下、ＵＦＢ）とファインバブル（以下、ＦＢ）を含む洗浄液が供給される。この洗浄液によって洗浄対象物の洗浄を行うと、ＵＦＢの消滅時の衝撃圧あるいはＵＦＢによる接触角低下（ぬれ性向上）効果によって洗浄対象物の汚れが剥離される。汚れはＦＢによって包み込まれて洗浄液の液面に浮上し、洗浄対象物から除去される。このため、この洗浄システムは高い洗浄能力を有する。
【０００９】
上記洗浄ユニットは、上記ファインバブル生成装置に接続され、上記洗浄液の流路を複数の流路に分岐させ、上記槽に供給する分岐管ユニットをさらに具備してもよい。
【００１０】
上記槽は、上記洗浄液の液面の高さに設けられた液面排出口と、上記液面排出口に向けて上記洗浄液を押出する押出口とを備え、
上記複数の流路のうちの一つは上記押出口に接続されていてもよい。
【００１１】
上記洗浄システムは、上記槽に配置され、上記複数の流路のうちの一つが接続されたバブリング装置をさらに具備してもよい。
【００１２】
上記洗浄システムは、上記槽内の上記洗浄液を上記ファインバブル生成装置に供給する循環経路を有してもよい。
【００１３】
上記槽は、上記槽の槽内を、洗浄対象物が浸漬される洗浄区画と、上記循環経路への流入口が設けられた非洗浄区画に分ける仕切板を備えてもよい。
【００１４】
上記非洗浄区画には、上記ウルトラファインバブル生成装置から上記ウルトラファインバブル液が供給されるウルトラファインバブル液供給口が設けられていてもよい。
【００１５】
上記非洗浄区画には、上記複数の流路のうちの一つが接続された洗浄液供給口が設けられていてもよい。
【００１６】
上記槽は、上記洗浄液の液面の高さに設けられた液面排出口と、上記液面排出口に向けて上記洗浄液を押出する押出口とを備え、
上記複数の流路のうちの一つは上記押出口に接続され、
上記液面排出口は上記洗浄区画に設けられ、上記押出口は上記非洗浄区画に設けられていてもよい。
【００１７】
上記槽内の上記洗浄液を上記ファインバブル生成装置に供給する循環経路を有し、
上記ウルトラファインバブル液は上記ウルトラファインバブル生成装置からウルトラファインバブル液供給タンクに供給され、上記ウルトラファインバブル液供給タンクから上記槽へ供給され、
上記ウルトラファインバブル生成装置は上記ウルトラファインバブル液供給タンクから上記洗浄原液が供給されてもよい。
【００１８】
上記ウルトラファインバブル液は上記ウルトラファインバブル生成装置からウルトラファインバブル液供給タンクに供給され、上記ウルトラファインバブル液供給タンクから上記ファインバブル生成装置へ供給され、
上記ウルトラファインバブル生成装置は上記ウルトラファインバブル液供給タンクから上記洗浄原液が供給されてもよい。
【００１９】
上記ウルトラファインバブル液は上記ウルトラファインバブル生成装置から上記ファインバブル生成装置へ供給され、
上記ウルトラファインバブル生成装置は洗浄原液供給タンクから上記洗浄原液が供給されてもよい。
【発明の効果】
【００２０】
以上のように、本技術によれば、気泡含有液体を用いた高い洗浄能力を有する洗浄システムを提供することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る洗浄システムの模式図である。
【図２】同洗浄システムが備えるウルトラファインバブル生成装置の斜視図である。
【図３】同ウルトラファインバブル生成装置の断面図である。
【図４】同ウルトラファインバブル生成装置が備える回転体の斜視図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る洗浄システムの模式図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る洗浄システムの模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態に係る洗浄システムについて説明する。
【００２３】
［洗浄システムの構成］
図１は、本実施形態に係る洗浄システム１００の構成を示す模式図である。同図に示すように、洗浄システム１００は、槽１１０、濾過タンク１２０、ＵＦＢ液生成部１３０、洗浄液生成部１４０及び洗浄液供給部１５０から構成されている。
【００２４】
洗浄システム１００の各部は配管Ｌ１〜Ｌ２０によって接続され、各配管には開閉弁Ｂ、圧力計Ｐ、流量計Ｆ及び温度計Ｔが設けられている。
【００２５】
洗浄システム１００は、洗浄原液が供給されると、洗浄原液中にウルトラファインバブル（以下、ＵＦＢ）を発生させ、ＵＦＢ液を生成する。さらにＵＦＢ液中にファインバブル（以下、ＦＢ）を発生させ、洗浄液を生成する。
【００２６】
ウルトラファインバブルは、液体中に形成される直径１μｍ未満の気泡である。ウルトラファインバブルを形成する気体は、空気、二酸化炭素、水素、二酸化炭素、不活性ガス又はオゾン等であり、特に限定されない。
【００２７】
ファインバブルは、液体中に形成される直径１００μｍ以下の気泡である。ファインバブルを形成する気体は空気、二酸化炭素、水素、二酸化炭素、不活性ガス又はオゾン等であり、特に限定されない。
【００２８】
ファインバブルには直径１μｍ以上１００μｍ以下のマイクロバブルや上記ウルトラファインバブルが含まれる。
【００２９】
洗浄原液は、水、次亜塩素酸水、電解水、アルカリ洗浄水又は研磨用クーラント等の各種液体であり、ＵＦＢ及びＦＢを発生可能な液体であれば特に限定されない。
【００３０】
槽１１０は、洗浄液Ｗを貯留する槽であり、洗浄対象物Ｓが洗浄液Ｗに浸漬され、洗浄が行われる。槽１１０には仕切板１１１が設けられ、仕切板１１１によって槽内が洗浄区画１１０ａと非洗浄区画１１０ｂに分けられている。仕切板１１１は、図１に示すように槽１１０の底面から一定の高さまで設けられ、洗浄区画１１０ａと非洗浄区画１１０ｂの間での洗浄液Ｗの移動を制限する。
【００３１】
洗浄区画１１０ａは、洗浄対象物Ｓの洗浄が行われる区画である。洗浄区画１１０ａの底面にはバブリング装置１１２が配置され、洗浄対象物Ｓにバブリングが行われる。洗浄区画１１０ａにおいて洗浄液Ｗの液面の高さには液面排出口１１３が設けられ、底面には底面排出口１１４が設けられている。
【００３２】
液面排出口１１３は、配管Ｌ１によって濾過タンク１２０に接続され、底面排出口１１４は配管Ｌ２によって濾過タンク１２０に接続されている。
【００３３】
非洗浄区画１１０ｂは、洗浄液Ｗの供給及び循環に用いられる区画である。非洗浄区画１１０ｂには、流入口１１５、洗浄液供給口１１６、押出口１１７及びＵＦＢ液供給口１１８が設けられている。
【００３４】
流入口１１５は、槽１１０から洗浄液生成部１４０に延びる循環経路（配管Ｌ１０）への流入口であり、槽１１０の底面に設けられている。洗浄液供給口１１６は、洗浄液供給部１５０から配管Ｌ１７を介して洗浄液Ｗが供給される供給口であり、流入口１１５の近傍に設けられている。
【００３５】
押出口１１７は、洗浄液供給部１５０から配管Ｌ１８を介して洗浄液Ｗが供給される供給口であり、洗浄液Ｗの液面近傍に設けられている。押出口１１７は液面排出口１１３に向けられたノズルとすることができる。ＵＦＢ液供給口１１８は、ＵＦＢ液生成部１３０から配管Ｌ９を介してＵＦＢ液が供給される供給口であり、流入口１１５の近傍に設けられている。
【００３６】
また、槽１１０には、洗浄液Ｗの液面の高さを検出する液面センサ１１９が設けられている。
【００３７】
濾過タンク１２０は、液面排出口１１３及び底面排出口１１４から洗浄廃液が流入するタンクである。濾過タンク１２０にはフィルタ１２１が設けられ、フィルタ１２１の下流側には配管Ｌ１９を介して送液ポンプ１２２が接続され、送液ポンプ１２２は配管Ｌ２０を介して槽１１０に接続されている。
【００３８】
ＵＦＢ液生成部１３０は、洗浄原液中にＵＦＢを発生させ、ＵＦＢ液を生成する。ＵＦＢ液生成部１３０は、ＵＦＢ液供給タンク１３１、気体送入部１３２、送液ポンプ１３３、フィルタ１３４、ＵＦＢ生成装置１３５及び熱交換器１３６を備える。
【００３９】
ＵＦＢ液供給タンク１３１は、洗浄原液Ｇが供給されるタンクであり、かつ生成されたＵＦＢ液Ｒを貯留するタンクである。ＵＦＢ液供給タンク１３１は、配管Ｌ３を介して気体送入部１３２に接続されている。また、ＵＦＢ液供給タンク１３１は、配管Ｌ９を介してＵＦＢ液供給口１１８に接続されている。
【００４０】
気体送入部１３２は、ＵＦＢ液供給タンク１３１から供給される洗浄原液ＧにＵＦＢを形成する気体Ａ１を送入する。気体Ａ１は、上述したように空気等とすることができる。気体送入部１３２は、洗浄原液Ｇの圧力を一時的に低下させ、気体Ａ１の送入を可能とするベンチュリ管とすることができる。気体送入部１３２は、配管Ｌ４を介して送液ポンプ１３３に接続されている。
【００４１】
送液ポンプ１３３は、洗浄原液ＧをＵＦＢ液供給タンク１３１からＵＦＢ生成装置１３５に圧送する。送液ポンプ１３３は、配管Ｌ５を介してフィルタ１３４に接続されている。
【００４２】
フィルタ１３４は、配管Ｌ５から流入する洗浄原液Ｇから不純物を除去する。フィルタ１３４は、配管Ｌ６を介してＵＦＢ生成装置１３５に接続されている。
【００４３】
ＵＦＢ生成装置１３５は、配管Ｌ６から供給された洗浄原液Ｇに含まれる気体Ａ１の気泡を微細化してＵＦＢを発生させ、ＵＦＢ液Ｒを生成する。ＵＦＢ生成装置１３５の構成については後述する。ＵＦＢ生成装置１３５は配管Ｌ７を介して熱交換器１３６に接続されている。
【００４４】
熱交換器１３６は、配管Ｌ６から供給されたＵＦＢ液Ｒを冷却する。ＵＦＢ液ＲはＵＦＢ生成装置１３５の通過によって高温となっているためである。熱交換器１３６の構造は特に限定されず、例えばプレート式熱交換器とすることができる。熱交換器１３６は配管Ｌ８によってＵＦＢ液供給タンク１３１に接続されている。
【００４５】
洗浄液生成部１４０は、ＵＦＢ液Ｒ中にＦＢを発生させ、洗浄液Ｗを生成する。洗浄液生成部１４０は、送液ポンプ１４１、フィルタ１４２及びＦＢ生成装置１４３を備える。
【００４６】
送液ポンプ１４１は、配管Ｌ１０を介して槽１１０に接続され、槽１１０に貯留されている液体（ＵＦＢ液Ｒ又は洗浄液Ｗ）を槽１１０からＦＢ生成装置１４３に圧送する。送液ポンプ１４１は、配管Ｌ１１を介してフィルタ１４２に接続されている。
【００４７】
フィルタ１４２は、配管Ｌ１１から流入する液体から不純物を除去する。フィルタ１４２は、配管Ｌ１２を介してＦＢ生成装置１４３に接続されている。
【００４８】
ＦＢ生成装置１４３は、槽１１０から供給される液体（ＵＦＢ液Ｒ又は洗浄液Ｗ）中にＦＢを形成する気体Ａ２を送入してＦＢを発生させる。気体Ａ２は上述のように空気等とすることができる。気体Ａ２は気体Ａ１と同一であっても良く、異なってもよい。
【００４９】
ＦＢ生成装置１４３は、液体中に気体Ａ２を送入し、ＦＢを発生させることが可能なＦＢノズルとすることができる。また、ＦＢ生成装置１４３はＦＢノズルに限られず、ＦＢを発生させることが可能なものであればよい。ＦＢ生成装置１４３は、配管Ｌ１３を介して洗浄液供給部１５０に接続されている。
【００５０】
洗浄液供給部１５０は、洗浄液Ｗを槽１１０に供給する。洗浄液供給部１５０は、分岐管ユニット１５１を備える。
【００５１】
分岐管ユニット１５１は、洗浄液生成部１４０から延びる配管Ｌ１３に接続され、洗浄液Ｗの流路を分岐させる。分岐管ユニット１５１は、洗浄区画１１０ａに延びる配管Ｌ１４、バブリング装置１１２に延びる配管Ｌ１５、非洗浄区画１１０ｂに延びる配管Ｌ１６に流路を分岐させることができる。
【００５２】
配管Ｌ１４は洗浄液Ｗを洗浄対象物Ｓに噴射する噴射口１５２に接続されている。配管Ｌ１４は洗浄対象物Ｓの異なる位置に洗浄液を噴射可能なように複数本が設けられているものが好適であるが、一本であってもよい。
【００５３】
配管Ｌ１６は、洗浄液供給口１１６に延びる配管Ｌ１７と押出口１１７に延びる配管Ｌ１８にさらに分岐されている。配管Ｌ１６には、流量調整弁１５３が設けられ、配管Ｌ１８には流量調整弁１５４が設けられている。
【００５４】
［ＵＦＢ生成装置の構成］
図２はＵＦＢ生成装置１３５を示す斜視図であり、図３はＵＦＢ生成装置１３５の模式的断面図である。これら図に示すようにＵＦＢ生成装置１３５は、ケーシング１６１、固定板１６２、回転体１６３及び回転駆動源１６４を備える。
【００５５】
図３に示すようにケーシング１６１は、固定板１６２と共に回転体１６３を収容する収容空間を形成する。ケーシング１６１にはケーシング１６１内に連通する送出口１６１ａが設けられている。送出口１６１ａには送出管１６１ｂが接続され、送出管１６１ｂは配管Ｌ７（図１参照）に接続されている。
【００５６】
固定板１６２は、ケーシング１６１に固定された平板状の部材である。固定板１６２の中央部には送入口１６２ａが設けられ、送入口１６２ａには送入管１６２ｂが接続されている。送入管１６２ｂには配管Ｌ６（図１参照）が接続されている。
【００５７】
回転体１６３は、収容空間に収容されている。図４は回転体１６３の斜視図である。同図に示すように回転体１６３は基板部１６５及び凹凸構造１６６を有する。回転体１６３は回転軸１６７に接続され、回転軸１６７を回転中心としてケーシング１６１及び固定板１６２に対して回転可能に支持されている。
【００５８】
基板部１６５は円板状であり、基板部１６５の固定板１６２側の面には、凸部１６６ａと凹部１６６ｂから構成された凹凸構造１６６が設けられている。
【００５９】
凹凸構造１６６は、回転体１６３の回転軸方向からみて六角形形状の複数の凹部１６６ｂと、複数の凹部１６６ｂを囲む凸部１６６ａから構成されるハニカム構造とすることができる。また、凹凸構造１６６はハニカム構造に限られず、凸部１６６ａが回転軸方向からみて格子状や放射状等の各種形状を有するものとすることも可能である。
【００６０】
凹凸構造１６６と固定板１６２の間隙は気体含有液体が通過する流路として機能する。図３にこの流路を流路Ｄとして示す。
【００６１】
回転駆動源１６４は、回転軸１６７に接続され、回転体１６３を回転させる。回転駆動源１６４は例えば、電動モーターとすることができる。
【００６２】
ＵＦＢ生成装置１３５では、気体が送入された液体が送入口１６２ａから圧送され、流路Ｄを流れる。回転体１６３は、回転駆動源１６４によって回転駆動され、流路Ｄを流れる液体は、液体に印加されている圧力及び回転体１６３の回転による遠心力によって回転体１６３の外周に向かって流れる。
【００６３】
流路Ｄを流れる液体には回転する回転体１６３によって剪断応力が印加され、凹部１６６ｂ内に噴流が発生する。凹部１６６ｂ内においてはこの噴流によって渦が発生し、液体中の気泡に作用する。これにより気泡が微細化され、液体中にＵＦＢが生成する。
【００６４】
なお、ＵＦＢ生成装置１３５の構成はここに示すものに限られず、液体中にＵＦＢを発生させることが可能なものであればよい。
【００６５】
［洗浄システムの動作］
洗浄システム１００の動作について説明する。
【００６６】
まず、ＵＦＢ液生成部１３０（図１参照）においてＵＦＢ液の生成を行う。ＵＦＢ液供給タンク１３１に洗浄原液Ｇが供給されると、送液ポンプ１３３は洗浄原液ＧをＵＦＢ生成装置１３５に圧送する。この際、気体送入部１３２は、洗浄原液Ｇに気体Ａ１を送入する。
【００６７】
ＵＦＢ生成装置１３５は、上述のように洗浄原液Ｇに剪断応力を印加し、洗浄原液Ｇ中にＵＦＢを発生させる。これにより、ＵＦＢ液Ｒが生成される。生成したＵＦＢ液Ｒは熱交換器１３６によって冷却され、ＵＦＢ液供給タンク１３１に貯留される。
【００６８】
このＵＦＢ液の生成プロセスは、ＵＦＢ液Ｒに含まれるＵＦＢが所望の密度になるまで実行することができる。
【００６９】
続いて、ＵＦＢ液Ｒから洗浄液Ｗを生成する。ＵＦＢ液供給タンク１３１から、配管Ｌ９を介してＵＦＢ液供給口１１８にＵＦＢ液Ｒを供給する。送液ポンプ１４１は、ＵＦＢ液Ｒを槽１１０からＦＢ生成装置１４３に圧送する。
【００７０】
ＦＢ生成装置１４３は、ＵＦＢ液Ｒに気体Ａ２を送入し、ＦＢを発生させる。これにより洗浄液Ｗが生成される。生成された洗浄液Ｗは洗浄液供給部１５０に供給される。
【００７１】
洗浄液供給部１５０では、分岐管ユニット１５１によって洗浄液Ｗの流路が分岐され、噴射口１５２から槽１１０に洗浄液Ｗが噴射される。槽１１０の洗浄区画１１０ａに洗浄対象物Ｓを配置することにより、洗浄対象物Ｓに洗浄液Ｗが噴射され、洗浄対象物Ｓが洗浄される。
【００７２】
この際、洗浄液Ｗに含まれるＵＦＢ及びＦＢは洗浄対象物Ｓの汚れを除去すると共に洗浄液Ｗ中から消失する。
【００７３】
洗浄液Ｗは仕切板１１１を越えて非洗浄区画１１０ｂに流入し、流入口１１５に流入する。洗浄液Ｗは洗浄液生成部１４０によってＦＢが再生成される。ＵＦＢ液生成部１３０からはＵＦＢ液供給口１１８にＵＦＢ液Ｒが継続的に供給される。このようにして洗浄液Ｗ中のＵＦＢ及びＦＢの密度が維持され、洗浄対象物Ｓの洗浄が行われる。
【００７４】
洗浄対象物Ｓから剥離された汚れは、洗浄区画１１０ａにおいて洗浄液Ｗの液面に浮上する。ここで、洗浄液Ｗの一部は洗浄液供給部１５０から押出口１１７に分岐され、押出口１１７から洗浄液Ｗの液面近傍に供給される。押出口１１７から放出された洗浄液Ｗの流れは、洗浄区画１１０ａにおいて液面に浮上した汚れを液面排出口１１３に向かって押し流し、液面排出口１１３から排出させる。
【００７５】
さらに、洗浄液Ｗの一部は洗浄液供給部１５０から洗浄液供給口１１６に分岐され、洗浄液供給口１１６から非洗浄区画１１０ｂに供給される。洗浄液供給口１１６は流入口１１５の近傍に設けられており、流入口１１５の近傍に上昇流を形成する。これにより、液面に浮上した汚れが流入口１１５に流入することが防止されている。
【００７６】
押出口１１７及び洗浄液供給口１１６へ供給される洗浄液Ｗの流量は、液面センサ１１９の出力を利用して流量調整弁１５３によって調整することができる。また、押出口１１７と洗浄液供給口１１６の間の流量は、流量調整弁１５４によって調整することができる。
【００７７】
さらに、洗浄液Ｗの一部は洗浄液供給部１５０からバブリング装置１１２に供給される。バブリング装置１１２からは泡が浮上し、汚れの液面への浮上を補助する。なお、バブリング装置１１２は洗浄液Ｗに含まれるＵＦＢ及びＦＢをそのまま放出するものであってもよいが、より大きな泡（例えばマイクロバブル）を放出するものが好適である。バブリング装置１１２にＵＦＢ及びＦＢが衝突するような構造を設けることにより、ＵＦＢ及びＦＢをより大きな泡とすることができる。
【００７８】
液面排出口１１３から排出された、洗浄液Ｗと汚れを含む洗浄廃液は濾過タンク１２０に供給され、フィルタ１２１によって汚れが除去される。フィルタ１２１を通過した洗浄液Ｗは送液ポンプ１２２によって槽１１０に戻され、再利用される。
【００７９】
以上のようにして洗浄対象物Ｓの洗浄が行われる。なお、槽１１０において洗浄液Ｗに投込ヒーター等を投入し、洗浄液Ｗの温度を調整してもよい。洗浄終了後には、洗浄液Ｗと汚れを含む洗浄廃液は底面排出口１１４から濾過タンク１２０へ排出される。
【００８０】
［洗浄システムの効果］
上記のように、洗浄システム１００では、ＵＦＢとＦＢを含む洗浄液Ｗが洗浄対象物Ｓに噴射され、洗浄対象物Ｓが洗浄される。
【００８１】
ＵＦＢは洗浄対象物Ｓ表面の汚れに衝突し、ＵＦＢの消滅時の衝撃圧あるいはＵＦＢによる接触角低下（ぬれ性向上）効果によって汚れを洗浄対象物Ｓから剥離させる。マイクロバブル（以下、ＭＢ）は浮上しやすいため、汚れを洗浄液Ｗの液面に浮上させる。
【００８２】
また、ＦＢはマイナスの電荷を有し、汚れはプラスの電荷を有するため、汚れはＦＢに引き付けられ、ＦＢに包みこまれる。このため、ＦＢはＭＢと共に汚れを洗浄液Ｗの液面に浮上させる。
【００８３】
このように、ＵＦＢとＦＢを含む洗浄液Ｗによって洗浄を行うことにより高い洗浄能力を発生させることが可能である。また、ＭＢは浮上しやすいため、ＭＢ生成後に短時間で消失するが、ＵＦＢは浮上しにくく、液体中に長時間存在する。したがって、ＵＦＢ液供給タンク１３１にＵＦＢ液Ｒを一定時間貯留しておくことが可能である。
【００８４】
また、一般に洗浄対象物Ｓの洗浄はｐＨ１１〜１２程度で行うが、何度も洗浄を行うとｐＨ濃度が低下する。これに対しＵＦＢ液供給タンク１３１を備えることにより、自動的にｐＨ濃度を一定に保つことが可能である。
【００８５】
また、洗浄液供給部１５０によって洗浄液Ｗの流路を複数に分岐させることで洗浄対象物Ｓに複数の方向から洗浄液Ｗを噴射することができ、さらに洗浄能力を向上させることが可能であると共にＦＢ生成装置１４３の必要数を削減することが可能である。
【００８６】
さらに、バブリング装置１１２からバブリングを行うことにより、汚れをより浮上させやすくし、押出口１１７から液面排出口１１３に向かって洗浄液Ｗの流れを発生させることにより、汚れの速やかな排出と排出される洗浄液Ｗの削減が可能である。
【００８７】
また、洗浄液供給口１１６から洗浄液Ｗを供給することにより、汚れが流入口１１５に流入することが防止されており、高い利用効率で洗浄液Ｗを利用することができる。
【００８８】
加えて、噴射口１５２、バブリング装置１１２、洗浄液供給口１１６及び押出口１１７への洗浄液Ｗの供給は、一つの送液ポンプ１４１による圧送によってなされている。このため、個別に動力源を設ける必要がなく、省力化が可能である。
【００８９】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態に係る洗浄システムについて説明する。
【００９０】
［洗浄システムの構成］
図５は、本実施形態に係る洗浄システム２００の構成を示す模式図である。同図に示すように、洗浄システム２００は、槽２１０、ＵＦＢ液生成部２３０、洗浄液生成部２４０及び洗浄液供給部２５０から構成されている。
【００９１】
洗浄システム２００の各部は配管Ｌ１〜Ｌ１２によって接続され、各配管には開閉弁Ｂ、圧力計Ｐ、流量計Ｆ及び温度計Ｔが設けられている。
【００９２】
洗浄システム２００は、第１の実施形態と同様に洗浄原液が供給されると、洗浄原液中にＵＦＢを発生させ、ＵＦＢ液を生成する。さらにＵＦＢ液中に以下、ＦＢを発生させ、洗浄液を生成する。ＵＦＢ及びＦＢを形成する気体と洗浄原液の種類は第１の実施形態と同様である。
【００９３】
槽２１０は、洗浄液Ｗを貯留する槽であり、洗浄対象物Ｓが洗浄液Ｗに浸漬され、洗浄が行われる。槽２１０の底面にはバブリング装置２１２が配置され、洗浄対象物Ｓにバブリングが行われる。
【００９４】
槽２１０において洗浄液Ｗの液面の高さには液面排出口２１３が設けられている。液面排出口２１３は、第１の実施形態と同様に図示しない濾過タンクに接続されるものとすることができる。
【００９５】
また、槽２１０において洗浄液Ｗの液面近傍には押出口２１７が設けられている。押出口２１７は、洗浄液供給部２５０から配管Ｌ１２を介して洗浄液Ｗが供給される供給口である。押出口２１７は液面排出口２１３に向けられたノズルとすることができる。
【００９６】
ＵＦＢ液生成部２３０は、洗浄原液中にＵＦＢを発生させ、ＵＦＢ液を生成する。ＵＦＢ液生成部２３０は、ＵＦＢ液供給タンク２３１、気体送入部２３２、送液ポンプ２３３、フィルタ２３４、ＵＦＢ生成装置２３５及び熱交換器２３６を備える。
【００９７】
ＵＦＢ液供給タンク２３１は、洗浄原液Ｇが供給されるタンクであり、かつ生成されたＵＦＢ液Ｒを貯留するタンクである。ＵＦＢ液供給タンク２３１は、配管Ｌ１を介して気体送入部２３２に接続されている。また、ＵＦＢ液供給タンク１３１は、配管Ｌ７を介して洗浄液生成部２４０に接続されている。
【００９８】
気体送入部２３２は、ＵＦＢ液供給タンク２３１から供給される洗浄原液ＧにＵＦＢを形成する気体Ａ１を送入する。気体送入部２３２は、洗浄原液Ｇの圧力を一時的に低下させ、気体Ａ１の送入を可能とするベンチュリ管とすることができる。また、気体送入部２３２は、気体Ａ１の送入が可能なものであればベンチュリ管でなくてもよい。気体送入部２３２は、配管Ｌ２を介して送液ポンプ２３３に接続されている。
【００９９】
送液ポンプ２３３は、洗浄原液ＧをＵＦＢ液供給タンク２３１からＵＦＢ生成装置２３５に圧送する。送液ポンプ２３３は、配管Ｌ３を介してフィルタ２３４に接続されている。
【０１００】
フィルタ２３４は、配管Ｌ３から流入する洗浄原液Ｇから不純物を除去する。フィルタ２３４は、配管Ｌ４を介してＵＦＢ生成装置２３５に接続されている。
【０１０１】
ＵＦＢ生成装置２３５は、洗浄原液Ｇに含まれる気体の気泡を微細化してＵＦＢを発生させる。ＵＦＢ生成装置２３５は第１の実施形態に係るＵＦＢ生成装置１３５と同様の構成とすることができる。ＵＦＢ生成装置２３５は配管Ｌ５を介して熱交換器２３６に接続されている。
【０１０２】
熱交換器２３６は、配管Ｌ５から供給されたＵＦＢ液Ｒを冷却する。熱交換器２３６の構造は特に限定されず、例えばプレート式熱交換器とすることができる。熱交換器２３６は配管Ｌ６によってＵＦＢ液供給タンク２３１に接続されている。
【０１０３】
洗浄液生成部２４０は、ＵＦＢ液体中にＦＢを発生させ、洗浄液Ｗを生成する。洗浄液生成部２４０は、送液ポンプ２４１及びＦＢ生成装置２４３を備える。
【０１０４】
送液ポンプ２４１は、配管Ｌ７を介してＵＦＢ液供給タンク２３１に接続され、ＵＦＢ液をＵＦＢ液供給タンク２３１からＦＢ生成装置２４３に圧送する。送液ポンプ２４１は、配管Ｌ８を介してＦＢ生成装置２４３に接続されている。
【０１０５】
ＦＢ生成装置２４３は、ＵＦＢ液Ｒ中にＦＢを形成する気体Ａ２を送入し、ＦＢを発生させる。気体Ａ２は気体Ａ１と同一であっても良く、異なってもよい。
【０１０６】
ＦＢ生成装置２４３は、液体中に気体Ａ２を送入し、ＦＢを発生させることが可能なＦＢノズルとすることができる。また、ＦＢ生成装置２４３はＦＢノズルに限られず、ＦＢを発生させることが可能なものであればよい。ＦＢ生成装置２４３は、配管Ｌ９を介して洗浄液供給部２５０に接続されている。
【０１０７】
洗浄液供給部２５０は、洗浄液Ｗを槽２１０に供給する。洗浄液供給部２５０は、分岐管ユニット２５１を備える。
【０１０８】
分岐管ユニット２５１は、配管Ｌ９に接続され、洗浄液Ｗの流路を分岐させる。分岐管ユニット２５１は、槽２１０内に延びる配管Ｌ１０、バブリング装置２１２に延びる配管Ｌ１１及び押出口２１７に延びる配管Ｌ１２に流路を分岐させることができる。配管Ｌ１２には、流量調整弁２５４が設けられている。
【０１０９】
配管Ｌ１０は洗浄液Ｗを噴射する噴射口２５２に接続されている。配管Ｌ１０は洗浄対象物Ｓの異なる位置に洗浄液を噴射可能なように複数本が設けられているものが好適であるが、一本であってもよい。
【０１１０】
［洗浄システムの動作］
洗浄システム２００の動作について説明する。
【０１１１】
まず、ＵＦＢ液生成部２３０においてＵＦＢ液Ｒの生成を行う。ＵＦＢ液供給タンク２３１に洗浄原液Ｇが供給されると、送液ポンプ２３３は洗浄原液ＧをＵＦＢ生成装置２３５に圧送する。この際、気体送入部２３２は、洗浄原液Ｇに気体Ａ１を送入する。
【０１１２】
ＵＦＢ生成装置２３５は、洗浄原液Ｇに剪断応力を印加し、洗浄原液Ｇ中にＵＦＢを発生させる。これにより、ＵＦＢ液Ｒが生成される。生成したＵＦＢ液Ｒは熱交換器２３６によって冷却され、ＵＦＢ液供給タンク２３１に貯留される。
【０１１３】
このＵＦＢ液の生成プロセスは、ＵＦＢ液Ｒ中に含まれるＵＦＢが所望の密度になるまで実行することができる。
【０１１４】
続いて、ＵＦＢ液Ｒから洗浄液Ｗを生成する。ＵＦＢ液供給タンク２３１から配管Ｌ７を介して送液ポンプ２４１にＵＦＢ液Ｒを供給し、送液ポンプ２４１は、ＵＦＢ液ＲをＦＢ生成装置２４３に圧送する。
【０１１５】
ＦＢ生成装置２４３は、ＵＦＢ液Ｒに気体Ａ２を送入し、ＦＢを発生させる。これにより洗浄液Ｗが生成される。生成された洗浄液Ｗは洗浄液供給部２５０に供給される。
【０１１６】
洗浄液供給部２５０では、分岐管ユニット２５１によって洗浄液Ｗの流路が分岐され、噴射口２５２から槽２１０に洗浄液Ｗが噴射される。槽２１０に洗浄対象物Ｓを配置することにより、洗浄対象物Ｓに洗浄液Ｗが出射され、洗浄対象物Ｓが洗浄される。
【０１１７】
洗浄対象物Ｓから剥離された汚れは、槽２１０において洗浄液Ｗの液面に浮上する。ここで、洗浄液Ｗの一部は洗浄液供給部２５０から押出口２１７に分岐され、押出口２１７から洗浄液Ｗの液面近傍に供給される。押出口２１７から放出された洗浄液Ｗの流れは、液面に浮上した汚れを液面排出口２１３に向かって押し流し、液面排出口２１３から排出させる。
【０１１８】
押出口２１７へ供給される洗浄液Ｗの流量は、流量調整弁２５４によって調整することができる。
【０１１９】
また、洗浄液Ｗの一部は洗浄液供給部２５０からバブリング装置２１２に供給される。バブリング装置２１２からは泡が浮上し、汚れの液面への浮上を補助する。なお、バブリング装置１１２は洗浄液Ｗに含まれるＵＦＢ及びＦＢをそのまま放出するものであってもよいが、より大きな泡（例えばマイクロバブル）を放出するものが好適である。バブリング装置２１２にＵＦＢ及びＦＢが衝突するような構造を設けることにより、ＵＦＢ及びＦＢをより大きな泡とすることができる。
【０１２０】
以上のようにして洗浄対象物Ｓの洗浄が行われる。なお、槽２１０において洗浄液Ｗに投込ヒーター等を投入し、洗浄液Ｗの温度を調整してもよい。洗浄終了後には、洗浄液Ｗと汚れを含む廃液は図示しない底面排出口から濾過タンクへ排出される。
【０１２１】
［洗浄システムの効果］
洗浄システム２００では、第１の実施形態と同様にＵＦＢとＦＢを含む洗浄液Ｗによって洗浄を行うことにより高い洗浄能力を発生させることが可能である。また、洗浄液の効率的な利用と省力化が可能である。
【０１２２】
（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態に係る洗浄システムについて説明する。
【０１２３】
［洗浄システムの構成］
図６は、本実施形態に係る洗浄システム３００の構成を示す模式図である。同図に示すように、洗浄システム３００は、槽３１０、ＵＦＢ液生成部３３０、洗浄液生成部３４０及び洗浄液供給部３５０から構成されている。
【０１２４】
洗浄システム３００の各部は配管Ｌ１〜Ｌ９によって接続され、各配管には開閉弁Ｂ、圧力計Ｐ、流量計Ｆ及び温度計Ｔが設けられている。
【０１２５】
洗浄システム３００は、第１の実施形態と同様に洗浄原液が供給されると、洗浄原液中にＵＦＢを発生させ、ＵＦＢ液を生成する。さらにＵＦＢ液中にＦＢを発生させ、洗浄液を生成する。ＵＦＢ及びＦＢを形成する気体と洗浄原液の種類は第１の実施形態と同様である。
【０１２６】
槽３１０は、洗浄液Ｗを貯留する槽であり、洗浄対象物Ｓが洗浄液Ｗに浸漬され、洗浄が行われる。槽３１０の底面にはバブリング装置３１２が配置され、洗浄対象物Ｓにバブリングが行われる。
【０１２７】
槽３１０において洗浄液Ｗの液面の高さには液面排出口３１３が設けられている。液面排出口３１３は、第１の実施形態と同様に図示しない濾過タンクに接続されるものとすることができる。
【０１２８】
また、槽３１０において洗浄液Ｗの液面近傍には押出口３１７が設けられている。押出口３１７は、洗浄液供給部３５０から配管Ｌ９を介して洗浄液Ｗが供給される供給口である。押出口３１７は液面排出口３１３に向けられたノズルとすることができる。
【０１２９】
ＵＦＢ液生成部３３０は、洗浄原液中にＵＦＢを発生させ、ＵＦＢ液を生成する。ＵＦＢ液生成部３３０は、洗浄原液供給タンク３３１、気体送入部３３２、送液ポンプ３３３、フィルタ３３４及びＵＦＢ生成装置３３５を備える。
【０１３０】
洗浄原液供給タンク３３１は、洗浄原液Ｇが供給されるタンクである。洗浄原液供給タンク３３１は、配管Ｌ１を介して気体送入部３３２に接続されている。
【０１３１】
気体送入部３３２は、洗浄原液供給タンク３３１から供給される洗浄原液ＧにＵＦＢを形成する気体Ａ１を送入する。気体送入部３３２は、洗浄原液Ｇの圧力を一時的に低下させ、気体Ａ１の送入を可能とするベンチュリ管とすることができる。また、気体送入部３３２は、気体Ａ１の送入が可能なものであればベンチュリ管でなくてもよい。気体送入部３３２は、配管Ｌ２を介して送液ポンプ３３３に接続されている。
【０１３２】
送液ポンプ３３３は、洗浄原液Ｇを洗浄原液供給タンク３３１からＵＦＢ生成装置３３５に圧送する。送液ポンプ３３３は、配管Ｌ３を介してフィルタ３３４に接続されている。
【０１３３】
フィルタ３３４は、配管Ｌ３から流入する洗浄原液Ｇから不純物を除去する。フィルタ３３４は、配管Ｌ４を介してＵＦＢ生成装置３３５に接続されている。
【０１３４】
ＵＦＢ生成装置３３５は、配管Ｌ４から供給された液体に含まれる気体の気泡を微細化し、ＵＦＢを発生させる。ＵＦＢ生成装置３３５は第１の実施形態に係るＵＦＢ生成装置１３５と同様の構成とすることができる。ＵＦＢ生成装置３３５は配管Ｌ５を介して洗浄液生成部３４０に接続されている。
【０１３５】
洗浄液生成部３４０は、ＵＦＢ液Ｒ中にＦＢを発生させ、洗浄液を生成する。洗浄液生成部３４０は、ＦＢ生成装置３４３を備える。
【０１３６】
ＦＢ生成装置３４３は、ＵＦＢ液Ｒ中にＦＢを形成する気体Ａ２を送入し、ＦＢを発生させる。気体Ａ２は気体Ａ１と同一であっても良く、異なってもよい。
【０１３７】
ＦＢ生成装置３４３は、液体中に気体Ａ２を送入し、ＦＢを発生させることが可能なＦＢノズルとすることができる。また、ＦＢ生成装置３４３はＦＢノズルに限られず、ＦＢを発生させることが可能なものであればよい。ＦＢ生成装置３４３は、配管Ｌ６を介して洗浄液供給部３５０に接続されている。
【０１３８】
洗浄液供給部３５０は、洗浄液Ｗを槽３１０に供給する。洗浄液供給部３５０は、分岐管ユニット３５１を備える。
【０１３９】
分岐管ユニット３５１は、配管Ｌ６に接続され、洗浄液Ｗの流路を分岐させる。分岐管ユニット３５１は、槽３１０の槽内に延びる配管Ｌ７、バブリング装置３１２に延びる配管Ｌ８及び押出口３１７に延びる配管Ｌ９に流路を分岐させることができる。配管Ｌ９には、流量調整弁３５４が設けられている。
【０１４０】
配管Ｌ７は洗浄液Ｗを噴射する噴射口３５２に接続されている。配管Ｌ７は洗浄対象物Ｓの異なる位置に洗浄液を噴射可能なように複数本が設けられているものが好適であるが、一本であってもよい。
【０１４１】
［洗浄システムの動作］
洗浄システム３００の動作について説明する。
【０１４２】
まず、ＵＦＢ液生成部３３０においてＵＦＢ液の生成を行う。洗浄原液供給タンク３３１に洗浄原液Ｇが供給されると、送液ポンプ３３３は洗浄原液ＧをＵＦＢ生成装置３３５に圧送する。この際、気体送入部３３２は、洗浄原液Ｇに気体Ａ１を送入する。
【０１４３】
ＵＦＢ生成装置３３５は、洗浄原液Ｇに剪断応力を印加し、洗浄原液Ｇ中にＵＦＢを発生させる。これにより、ＵＦＢ液Ｒが生成される。生成したＵＦＢ液Ｒは洗浄液生成部３４０に圧送される。
【０１４４】
続いて、ＵＦＢ液Ｒから洗浄液Ｗを生成する。ＦＢ生成装置３４３は、ＵＦＢ液Ｒに気体Ａ２を送入し、ＦＢを発生させる。これにより洗浄液Ｗが生成される。生成された洗浄液Ｗは洗浄液供給部３５０に供給される。
【０１４５】
洗浄液供給部３５０では、分岐管ユニット３５１によって洗浄液Ｗの流路が分岐され、噴射口３５２から槽３１０に洗浄液Ｗが噴射される。槽３１０に洗浄対象物Ｓを配置することにより、洗浄対象物Ｓに洗浄液Ｗが出射され、洗浄対象物Ｓが洗浄される。
【０１４６】
洗浄対象物Ｓから剥離された汚れは、槽３１０において洗浄液Ｗの液面に浮上する。ここで、洗浄液Ｗの一部は洗浄液供給部３５０から押出口３１７に分岐され、押出口３１７から洗浄液Ｗの液面近傍に供給される。押出口３１７から放出された洗浄液Ｗの流れは、液面に浮上した汚れを液面排出口３１３に向かって押し流し、液面排出口３１３から排出させる。
【０１４７】
また、洗浄液Ｗの一部は洗浄液供給部３５０からバブリング装置３１２に供給される。バブリング装置３１２からは泡が浮上し、汚れの液面への浮上を補助する。なお、バブリング装置３１２は洗浄液Ｗに含まれるＵＦＢ及びＦＢをそのまま放出するものであってもよいが、より大きな泡（例えばマイクロバブル）を放出するものが好適である。バブリング装置３１２にＵＦＢ及びＦＢが衝突するような構造を設けることにより、ＵＦＢ及びＦＢをより大きな泡とすることができる。
【０１４８】
以上のようにして洗浄対象物Ｓの洗浄が行われる。なお、槽３１０において洗浄液Ｗに投込ヒーター等を投入し、洗浄液Ｗの温度を調整してもよい。洗浄終了後には、洗浄液Ｗと汚れを含む廃液は図示しない底面排出口から濾過タンクへ排出される。
【０１４９】
［洗浄システムの効果］
洗浄システム３００では、第１及び第２のの実施形態と同様にＵＦＢとＦＢを含む洗浄液Ｗによって洗浄を行うことにより高い洗浄能力を発生させることが可能である。また、洗浄液の効率的な利用と省力化が可能である。
【０１５０】
（変形例）
上記各実施形態に係る洗浄システムは槽に浸漬させた洗浄対象物を洗浄するものとしたが、槽自体を洗浄するものであってもよい。
【０１５１】
また、上記各実施形態に係る洗浄システムでは槽の液面近傍に設けた押出口から洗浄液を流し、洗浄液の液面に浮上した汚れを押し流すものとしたが、これに限られない。例えば洗浄液の液面において液面排出口に向けて送風することによって、洗浄液の液面に浮上した汚れを押し流してもよい。
【０１５２】
さらに、上記各実施形態に係る洗浄システムでは分岐管ユニットによって洗浄液を分岐させ、バブリング装置に洗浄液を供給するものとしたがこれに限られない。バブリング装置には、別途空気等を供給する配管を接続し、バブリングを行ってもよい。
【符号の説明】
【０１５３】
１００、２００、３００…洗浄システム
１１０、２１０、３１０…槽
１１１…仕切板
１１２、２１２、３１２…バブリング装置
１３０、２３０、３３０…ＵＦＢ液生成部
１３５、２３５、３３５…ＵＦＢ生成装置
１４０、２４０、３４０…洗浄液生成部
１４３、２４３、３４３…ＦＢ生成装置
１５０、２５０、３５０…洗浄液供給部
１５１、２５１、３５１…分岐管ユニット
【図１】
2020062613.tif 000003
【図２】
2020062613.tif 000004
【図３】
2020062613.tif 000005
【図４】
2020062613.tif 000006
【図５】
2020062613.tif 000007
【図６】
2020062613.tif 000008