(57)【要約】【課題】ファイバの着脱を容易にできる真空ファイバ用フランジを提供できる。【解決手段】フランジ１０は、フランジ本体１１と、光ファイバ１００をフランジ本体１１に取り付ける取付部１２とを有する。取付部１２は、複数の光ファイバ１００をフランジ本体１１に対して光ファイバ１００毎に個別に取付固定する複数の弾性固定片８２と、該複数の弾性固定片８２による光ファイバ１００のフランジ本体１１に対する固定状態を一括して解除する解除片８３とを有する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽に複数の光ファイバを接続する真空ファイバ用フランジであって、
フランジ本体と、前記光ファイバを前記フランジ本体に取り付ける取付部とを有し、
前記取付部は、前記複数の光ファイバを前記フランジ本体に対して前記光ファイバ毎に個別に取付固定する複数の弾性固定片と、該複数の弾性固定片による前記光ファイバの前記フランジ本体に対する固定状態を一括して解除する解除片とを有する、真空ファイバ用フランジ。
【請求項２】
前記弾性固定片と前記解除片とは一体構成である、請求項１に記載の真空ファイバ用フランジ。
【請求項３】
前記取付部は、前記フランジ本体に対して１箇所で取り付けられる、請求項１又は２に記載の真空ファイバ用フランジ。
【請求項４】
前記解除片は、自身が移動されることで前記取付部を弾性変形させて前記弾性固定片を移動させ、前記光ファイバの前記フランジ本体に対する固定状態を解除するものであり、
前記解除片の移動範囲を規制する規制部を有する、請求項１〜３の何れか１項に記載の真空ファイバ用フランジ。
【請求項５】
前記フランジ本体に対して固定される固定部を有し、
前記固定部は、前記光ファイバを挿通するファイバ挿通孔と、該ファイバ挿通孔と連通され前記弾性固定片の移動を許容する連通孔とを有する、請求項１〜４の何れか１項に記載の真空ファイバ用フランジ。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか１項に記載の真空ファイバ用フランジと、該真空ファイバ用フランジに取り付けられる光ファイバと、を有する、真空ファイバユニット。
【請求項７】
前記光ファイバは、光ファイバ本体と、該光ファイバ本体の端部に取り付けられる口金とを有し、
前記口金は、前記弾性固定片が係合する溝部を有する、請求項６に記載の真空ファイバユニット。
【請求項８】
請求項５に記載の真空ファイバ用フランジと、該真空ファイバ用フランジに取り付けられる光ファイバと、を有し、
前記光ファイバは、光ファイバ本体と、該光ファイバ本体の端部に取り付けられる口金とを有し、
前記口金は、前記弾性固定片が係合する溝部を有し、
前記溝部及び前記弾性固定片は、前記光ファイバの挿通方向において面接触で係合する、真空ファイバユニット。
【請求項９】
前記弾性固定片は、その先端部が前記溝部内に位置することで互いに面接触で係合するものであり、
前記弾性固定片は、前記先端部における前記溝部との係合面の内、前記光ファイバの挿通方向上流側に位置する係合面側の角部に面取り部を有し、
前記面取り部は、前記光ファイバの挿通方向に対して傾斜する傾斜面であり、前記溝部の深さよりも該深さ方向における前記面取り部の長さが短い、請求項８に記載の真空ファイバユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ファイバ用フランジ、及び、真空ファイバユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、真空槽内に収容された検出対象物の位置などを検出するためのファイバセンサが知られている。ファイバセンサは、真空槽の開口部に対して真空ファイバ用フランジを備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような真空ファイバ用フランジでは、複数の光ファイバを同時に着脱自在に取り付けるロック機構部を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−２５９７１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記のような真空ファイバ用フランジは、複数の光ファイバを同時に着脱自在に取り付けるロック機構部を有するが、着脱の何れにおいても複数の光ファイバを同じタイミングで行う必要があり、改善の余地が残されている。
【０００６】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、ファイバの着脱を容易にできる真空ファイバ用フランジ及び真空ファイバユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する真空ファイバ用フランジは、真空槽に複数の光ファイバを接続する真空ファイバ用フランジであって、フランジ本体と、前記光ファイバを前記フランジ本体に取り付ける取付部とを有し、前記取付部は、前記複数の光ファイバを前記フランジ本体に対して前記光ファイバ毎に個別に取付固定する複数の弾性固定片と、該複数の弾性固定片による前記光ファイバの前記フランジ本体に対する固定状態を一括して解除する解除片とを有する。
【０００８】
上記態様によれば、弾性固定片により、光ファイバ毎に個別に取付固定することができる。また、解除片により、複数の弾性固定片による前記光ファイバの前記フランジ本体に対する固定状態を一括して解除することができる。
【０００９】
上記真空ファイバ用フランジにおいて、前記弾性固定片と前記解除片とは一体構成であることが好ましい。
上記態様によれば、弾性固定片と解除片とは一体構成であるため、解除片と弾性固定片とを別途連結部材によって連結する必要なく、簡素な構成とすることができる。
【００１０】
上記真空ファイバ用フランジにおいて、前記取付部は、前記フランジ本体に対して１箇所で取り付けられることが好ましい。
上記態様によれば、取付部は、フランジ本体に対して１箇所で取り付けられるため、フランジ本体に対する取付部の取り付けを容易とすることができる。
【００１１】
上記真空ファイバ用フランジにおいて、前記解除片は、自身が移動されることで前記取付部を弾性変形させて前記弾性固定片を移動させ、前記光ファイバの前記フランジ本体に対する固定状態を解除するものであり、前記解除片の移動範囲を規制する規制部を有することが好ましい。
【００１２】
上記態様によれば、解除片の移動範囲を規制する規制部を有することで、解除片を極端に移動させて解除片や取付部の破損を抑えることができる。
上記真空ファイバ用フランジにおいて、前記フランジ本体に対して固定される固定部を有し、前記固定部は、前記光ファイバを挿通するファイバ挿通孔と、該ファイバ挿通孔と連通され前記弾性固定片の移動を許容する連通孔とを有することが好ましい。
【００１３】
上記態様によれば、弾性固定片の移動を許容する連通孔によってファイバ挿通孔に挿通された光ファイバを取付固定することができる。また、光ファイバをファイバ挿通孔に挿通した状態では、光ファイバの移動が制限されるため、弾性固定片による光ファイバの取付固定を容易とすることができる。ファイバ挿通孔に挿通することで弾性固定片による光ファイバの取付固定を実現でき、作業性向上に寄与できる。
【００１４】
上記課題を解決する真空ファイバユニットは、上記記載の真空ファイバ用フランジと、該真空ファイバ用フランジに取り付けられる光ファイバと、を有する。
上記態様によれば、ファイバの着脱を容易にできる真空ファイバユニットを提供できる。
【００１５】
上記真空ファイバユニットにおいて、前記光ファイバは、光ファイバ本体と、該光ファイバ本体の端部に取り付けられる口金とを有し、前記口金は、前記弾性固定片が係合する溝部を有することが好ましい。
【００１６】
上記態様によれば、口金に弾性固定片が係合する溝部を有することで、弾性固定片による光ファイバの固定をより確実とすることができる。
上記課題を解決する真空ファイバユニットは、前記フランジ本体に対して固定される固定部を有する真空ファイバ用フランジと、該真空ファイバ用フランジに取り付けられる光ファイバと、を有し、前記固定部は、前記光ファイバを挿通するファイバ挿通孔と、該ファイバ挿通孔と連通され前記弾性固定片の移動を許容する連通孔とを有し、前記光ファイバは、光ファイバ本体と、該光ファイバ本体の端部に取り付けられる口金とを有し、前記口金は、前記弾性固定片が係合する溝部を有し、前記溝部及び前記弾性固定片は、前記光ファイバの挿通方向において面接触で係合することが好ましい。
【００１７】
上記態様によれば、溝部と弾性固定片とが光ファイバの挿通方向において面接触で係合するため、光ファイバの挿通方向における脱落を抑えることができる。
また、真空ファイバユニットによれば、前記弾性固定片は、その先端部が前記溝部内に位置することで互いに面接触で係合するものであり、前記弾性固定片は、前記先端部における前記溝部との係合面の内、前記光ファイバの挿通方向上流側に位置する係合面側の角部に面取り部を有し、前記面取り部は、前記光ファイバの挿通方向に対して傾斜する傾斜面であり、前記溝部の深さよりも該深さ方向における前記面取り部の長さが短いことが好ましい。
【００１８】
上記態様によれば、面取り部を有することで光ファイバの挿通容易性を向上させることができる。また溝部に弾性固定片の先端部が位置した場合に、面取り部の深さ方向における長さが溝部の深さよりも短いため、弾性固定片の係合面によって挿通方向において溝部と面接触させることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本開示の一態様によれば、ファイバの着脱を容易にできる真空ファイバ用フランジ及び真空ファイバユニットを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】一実施形態における真空ファイバユニットの斜視図である。
【図２】同実施形態における真空ファイバユニットの斜視図である。
【図３】同実施形態におけるフランジの分解斜視図である。
【図４】同実施形態におけるフランジの分解斜視図である。
【図５】同実施形態における真空ファイバユニットの断面図であって、図８における５−５線断面図である。
【図６】同実施形態における真空ファイバユニットの断面図である。
【図７】同実施形態における真空ファイバユニットの斜視図である。
【図８】同実施形態における真空ファイバユニットの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、真空ファイバユニットの一実施形態を図面に従って説明する。
図１に示すように、本実施形態の真空ファイバユニット１は、フランジ１０と、フランジ１０のそれぞれに取り付けられる複数の光ファイバ１００とを有する。
【００２２】
図１及び図２に示すように、フランジ１０は、フランジ本体１１と、フランジ本体１１に対して光ファイバ１００を取り付けるための取付部１２とを有する。本実施形態のフランジ１０は、例えばステンレス鋼、アルミニウム合金やチタニウム合金などの真空中での放出ガスが少ない材料を採用することが好ましい。
【００２３】
図１〜図３に示すように、フランジ本体１１は、略四角形板状のベースプレート２１と、ベースプレート２１の各板面２２ａ，２２ｂに取り付けられる柱状フランジ部３１とを有する。ここで、板面２２ａ側が真空槽内側に面し、板面２２ｂ側が真空槽外側（大気側）に面する。ここで、各板面２２ａ，２２ｂが面する方向（板面２２ａ，２２ｂと直交する方向）をＸ軸方向とし、各図において「Ｘ」として適宜示す。
【００２４】
図１〜図３に示すように、ベースプレート２１は、板面２２ａ，２２ｂと直交する方向から見た場合に各角部２３が曲面形状をなすように構成される。ベースプレート２１は、その角部２３近傍に図示しない真空槽に取り付けるための取付孔２４を計４つ（図１及び図２では３つのみ図示）有する。取付孔２４は、前記板面２２ａ，２２ｂと直交する方向に貫通する貫通孔である。換言すると取付孔２４は、板面２２ａと板面２２ｂとを連通する連通孔である。
【００２５】
図１及び図３に示すように、ベースプレート２１の一方の板面２２ａには、板面２２ａから板面２２ａと直交する方向（他方の板面２２ｂ側）に窪んだ溝部２５を有する。溝部２５は、円環状となっている。溝部２５には、円環状のＯリング２６が設けられる。
【００２６】
図１及び図３に示すように、ベースプレート２１の一方の板面２２ａには、前記溝部２５よりも中央寄りに前記板面２２ａから僅かに突出した円形突部２７を有する。円形突部２７には、複数の柱状フランジ部３１が取り付けられている。本実施形態では、円形突部２７に対して柱状フランジ部３１が４つ設けられる。また、図３においては、柱状フランジ部３１を１つのみ図示している。
【００２７】
図２に示すように、ベースプレート２１の他方の板面２２ｂには、板面２２ｂの略中央で柱状フランジ部３１を有する。より詳しくは、板面２２ａと板面２２ｂとには、それらの略中央位置に同数個の柱状フランジ部３１を有する。本実施形態のベースプレート２１は、板面２２ａ側に４個の柱状フランジ部３１が設けられ、板面２２ｂ側に４個の柱状フランジ部３１が設けられる。各柱状フランジ部３１は、略同一の構成となっている。
【００２８】
図３に示すように、ベースプレート２１の一方の板面２２ａ側に設けられる柱状フランジ部３１は、ねじ部品３２によりベースプレート２１に対してねじ締結される。より具体的には、ベースプレート２１の円形突部２７に形成されるねじ締結孔２７ａに対して柱状フランジ部３１の一部を挟み込んだ状態でねじ部品３２が螺合されることで、ベースプレート２１に対して柱状フランジ部３１がねじ締結される。ねじ部品３２の一例としてボルトを採用することができる。
【００２９】
図３及び図４に示すように、柱状フランジ部３１は、複数（本例では各柱状フランジ部３１毎に２つ）のパラレルピン３３によってベースプレート２１に対する回り止めがなされている。より具体的には、ベースプレート２１の円形突部２７に形成されたピン挿通孔２７ｂに対してパラレルピン３３の一端が挿通され、柱状フランジ部３１の一方側の端面３４に形成されたピン挿通孔３４ａに対してパラレルピン３３の他端が挿通されてベースプレート２１に対する柱状フランジ部３１の位置決めがなされる。
【００３０】
柱状フランジ部３１は、一方側の端面３４から他方側の端面３５にかけて貫通するように形成された２つの貫通孔３６を有する。各貫通孔３６は、柱状フランジ部３１をベースプレート２１に対して取り付けた状態でＸ軸方向に沿って形成されている。
【００３１】
各貫通孔３６には、中継ファイバ５０が挿通される。中継ファイバ５０は、光ファイバ（例えば石英ガラスファイバ）である。中継ファイバ５０を石英ガラスファイバで構成することで、素線同士の隙間が生じやすい多成分ガラスファイバを用いた場合と比較してリーク量を抑制できる。中継ファイバ５０は、柱状フランジ部３１よりも長い略柱状をなすように構成される。中継ファイバ５０は、ベースプレート２１の円形突部２７に形成された貫通孔２７ｃを通って逆側の柱状フランジ部３１の貫通孔３６にも挿通されるようになっている。つまり、中継ファイバ５０は、ベースプレート２１並びにベースプレート２１を挟んで配置される柱状フランジ部３１に収容されている。中継ファイバ５０は、貫通孔３６並びに貫通孔２７ｃに挿通された状態でＸ軸方向に長い構成となっている。また、中継ファイバ５０の長手方向の端面５１，５２はそれぞれ研磨されている。また、中継ファイバ５０は、その周囲にＯリング５３が取り付けられる。Ｏリング５３は、ベースプレート２１の円形突部２７に形成された貫通孔２７ｃの周囲の溝部２７ｄに配置された状態で中継ファイバ５０の外周を覆っている。Ｏリング５３は、ベースプレート２１に対して柱状フランジ部３１を取り付けた状態で柱状フランジ部３１の端面３４と溝部２７ｄとの間で挟持されて真空槽内の気密性を確保している。
【００３２】
図３及び図４に示すように、柱状フランジ部３１の外周面３７は、曲面部３７ａと平面部３７ｂとを有して略Ｄ字状をなすように構成される。平面部３７ｂは、柱状フランジ部３１がベースプレート２１に取り付けられた状態でＸ軸と直交する方向に面している。ここで、平面部３７ｂが面する方向をＹ軸方向とし、各図において「Ｙ」として適宜示す。
【００３３】
柱状フランジ部３１の端面３５側にはフランジカバー６１が取り付けられる。フランジカバー６１は固定部に相当する。
図３及び図４に示すように、フランジカバー６１は、略円柱状をなすように構成される。
【００３４】
図４に示すように、フランジカバー６１は、柱状フランジ部３１側に面した端面６２に、柱状フランジ部３１の端面３５に形成された凹部３８と嵌合する凸部６３を有する。凸部６３は、Ｘ軸方向において突出し、Ｘ軸方向に窪んだ凹部３８と嵌合する。フランジカバー６１は、凸部６３が凹部３８に嵌合した状態で凹部３８と回転方向において係合するため、柱状フランジ部３１に対してフランジカバー６１が回り止めされることとなる。すなわち、凹部３８と凸部６３とが嵌合することで柱状フランジ部３１に対するフランジカバー６１の位置決めがなされることとなる。
【００３５】
図３及び図４に示すように、フランジカバー６１は、その端面６２が柱状フランジ部３１の端面３５と当接した状態で、柱状フランジ部３１に対してねじ部品６４によってねじ締結される。より具体的には、フランジカバー６１のねじ挿通孔６５にねじ部品６４を挿通してフランジカバー６１の一部を挟み込んだ状態で、ねじ部品６４が柱状フランジ部３１の端面３５に形成されたねじ締結孔３９に対して螺合されることで、柱状フランジ部３１に対してフランジカバー６１がねじ締結される。ねじ部品６４の一例としてボルトを採用することができる。
【００３６】
フランジカバー６１の外周面６７は、柱状フランジ部３１の略同様の構成であって、曲面部６７ａと平面部６７ｂとを有して略Ｄ字状をなすように構成される。
フランジカバー６１の平面部６７ｂは、フランジカバー６１が柱状フランジ部３１に取り付けられた状態で柱状フランジ部３１の平面部３７ｂと略面一となっている。すなわち、フランジカバー６１の平面部６７ｂが面する方向はＹ軸方向と一致する。
【００３７】
図４〜図６に示すように、各フランジカバー６１は、端面６２側において柱状フランジ部３１に固定された状態で中継ファイバ５０が挿通された２つの貫通孔３６と対向する２つの貫通孔６６を有する。貫通孔６６は、端面６２から逆側の端面６８にかけて形成される。また、２つの貫通孔６６には光ファイバ１００が挿通される。
【００３８】
フランジカバー６１は、端面６８において前記貫通孔６６をＹ軸方向において挟むように端面６８からＸ軸方向において延出する延出部７２，７３を有する。延出部７２，７３のＸ軸方向における対向面７２ａ，７３ａはＹ軸方向に直交する平面形状をなすように構成される。
【００３９】
図１及び図２に示すように、光ファイバ１００は、図示しない真空槽内である真空側に取り付けられる真空側光ファイバ１０１と、前記真空槽外である大気側に取り付けられる大気側光ファイバ１０２とを有する。
【００４０】
図１及び図２に示すように、真空側光ファイバ１０１と大気側光ファイバ１０２は、ファイバ本体１１１と、ファイバ本体１１１の先端部に取り付けられる口金１１２とを有する。
【００４１】
図１及び図２に示すように、大気側光ファイバ１０２のファイバ本体１１１は、光ファイバであり、例えばポリファイバで構成することが好ましい。また、真空側光ファイバ１０１のファイバ本体１１１は、光ファイバであり、例えば多成分ガラスファイバで構成することが好ましい。真空側光ファイバ１０１のファイバ本体１１１としてガラスファイバを用いることで耐熱性向上並びにガス発生の抑制に寄与できる。また、ガラスファイバの内で多成分ガラスファイバを用いることで耐屈曲性に優れているため、真空槽内において曲げて利用する場合に好適である。大気側光ファイバ１０２のファイバ本体１１１は、図示しないファイバアンプと接続される。真空側光ファイバ１０１のファイバ本体１１１は、透過型又は反射型の図示しない検出部と接続される。これにより真空槽内の検出対象を検出する。本実施形態の光ファイバ１００は、２つの貫通孔６６の一方に投光用のファイバ本体１１１が挿通され、２つの貫通孔６６の他方に受光用のファイバ本体１１１が挿通される。
【００４２】
図５〜図７に示すように、口金１１２は、大径筒部１１３と、小径筒部１１４と、第１テーパ部１１５と、第２テーパ部１１６とを有する。
図５及び図６に示すように、口金１１２は、大径筒部１１３と、小径筒部１１４と、第１テーパ部１１５と、第２テーパ部１１６とが一方向（Ｘ軸方向）に連続し、各部１１３〜１１６を連通する貫通孔１１７を有する。すなわち、口金１１２はその全体が略筒状をなすように構成される。貫通孔１１７にはファイバ本体１１１が挿通されている。
【００４３】
大径筒部１１３は、一方向に長い略円筒状をなすように構成される。大径筒部１１３は、光ファイバ１００をフランジ本体１１に固定した状態で外部に露出している。大径筒部１１３の先端部には、延出部７２，７３の対向面７２ａ，７３ａとＹ軸方向において対向する平面部１１３ａを有する。平面部１１３ａはＹ軸方向両側に面した平面である。すなわち、平面部１１３ａと延出部７２，７３の対向面７２ａ，７３ａとをあわせることで、光ファイバ１００とフランジ本体１１とがＸ軸回りで相対回転しようとした場合であっても平面部１１３ａと延出部７２，７３の対向面７２ａ，７３ａとが干渉するため、前述したような相対回転を抑えることが可能となっている。
【００４４】
小径筒部１１４は、略円筒状をなすように構成され、大径筒部１１３の長手方向一端側から同方向（Ｘ軸方向）に延出する。小径筒部１１４は、その外径が大径筒部１１３の外径よりも小径となっている。小径筒部１１４の外周面１１４ａには径方向内側に窪んだ溝部１１４ｂが全周に亘って設けられる。
【００４５】
第１テーパ部１１５は、略円筒状をなすように構成され、小径筒部１１４の延出方向一端側（大径筒部１１３とは逆の端部側）から同方向（Ｘ軸方向）に延出する。第１テーパ部１１５は、その外周面１１５ａがテーパ形状をなすように構成される。
【００４６】
第２テーパ部１１６は、略円筒状をなすように構成され、第１テーパ部１１５の延出方向一端側（小径筒部１１４とは逆の端部側から）同方向に延出する。第２テーパ部１１６は、その外周面１１６ａがテーパ形状をなすように構成される。
【００４７】
第１テーパ部１１５の外周面１１５ａ並びに第２テーパ部１１６の外周面１１６ａは、何れも線形テーパ（先細形状）であり、それぞれの角度（テーパ角度）が異なっている。具体的には、小径筒部１１４から連続する第１テーパ部１１５のテーパ角度が第２テーパ部１１６のテーパ角度よりも鋭角である。つまり、第２テーパ部１１６のテーパ角度は、第１テーパ部１１５のテーパ角度よりも鈍角である。これにより、第２テーパ部１１６の先端部における外径を細くすることができ、貫通孔６６に対して光ファイバ１００を挿通する際に第２テーパ部１１６の先端部を容易に挿通することができる。
【００４８】
第１テーパ部１１５と第２テーパ部１１６との境界部１１８は、Ｒ面取り加工が施されて曲面形状となっている。
図１〜図８に示すように、光ファイバ１００は、取付部１２によってフランジ本体１１に対して取付固定される。
【００４９】
取付部１２は、金属をプレス加工にて形成される。取付部１２は、一方向に長い略板状をなすように構成される。
各取付部１２は、それぞれ、金具ベース部８１と、２つの弾性固定片８２と、１つの解除片８３とを有する。金具ベース部８１と、弾性固定片８２と、解除片８３とは、一体構成である。すなわち、弾性固定片８２と解除片８３とは繋がっている。
【００５０】
図３及び図４に示すように、金具ベース部８１は、略矩形板状をなすように構成される。金具ベース部８１は、その板面と直交する方向（板圧方向）に貫通する貫通孔８１ａを有する。貫通孔８１ａは、金具ベース部８１の長手方向の一端寄りに形成される。貫通孔８１ａには、ねじ部品８４が挿通される。すなわち、ねじ部品８４を貫通孔８１ａに挿通した状態で、フランジ本体１１を構成する柱状フランジ部３１の平面部３７ｂに形成されたねじ挿通孔４０にねじ部品８４が螺合されることで取付部１２がフランジ本体１１に対して取付固定される。取付部１２がフランジ本体１１に取り付けられた状態で金具ベース部８１の長手方向がＸ軸方向と一致している。また、金具ベース部８１の板面が面する方向がＹ軸方向と一致する。また金具ベース部８１の短手方向（Ｘ軸方向と直交するとともにＹ軸方向と直交する方向）をＺ軸方向とし、各図において「Ｚ」として適宜示す。
【００５１】
金具ベース部８１は、貫通孔８１ａよりもＸ軸方向における弾性固定片８２側に短手方向であるＺ軸方向に窪んだ窪み部８１ｂを有する。すなわち、金具ベース部８１の短手方向（Ｚ軸方向）長さを短く（細く）し、撓みやすくしている。
【００５２】
金具ベース部８１は、窪み部８１ｂよりもＸ軸方向における弾性固定片８２側に短手方向であるＺ軸方向に突出した突部８１ｃを有する。突部８１ｃは、取付部１２のフランジ本体１１に対する取付箇所であるねじ部品８４を中心として回動した場合に各平面部３７ｂ、６７ｂのＺ軸方向両端に形成された突起４１，７０と係合してねじ部品８４を中心とした回動を規制するようになっている。これにより、取付部１２の突起４１，７０以外の部分が他の部材と干渉することが抑えられる。
【００５３】
図８に示すように、２つの弾性固定片８２は、金具ベース部８１のＸ軸方向端部に設けられ、各弾性固定片８２同士はＺ軸方向において離間している。
図５及び図６に示すように、弾性固定片８２は、金具ベース部８１のＸ軸方向における端部から同方向（金具ベース部８１から離間する方向）に延出する第１延出部８５と、第１延出部８５の先端部から第１延出部８５と直交する方向（Ｙ軸方向）に延出する第２延出部８６とを有する。
【００５４】
図５及び図６に示すように、第２延出部８６は、フランジカバー６１の平面部６７ｂに形成されてファイバ挿通孔としての貫通孔６６に連通された連通孔６９に挿通される。このとき、第２延出部８６の先端部は、貫通孔６６に挿通された光ファイバ１００の口金１１２の溝部１１４ｂ内に位置して、光ファイバ１００の挿通方向であるＸ軸方向において面接触する。より具体的には、第２延出部８６は、Ｘ軸方向と直交する方向であるＹ軸方向に延出する。そして第２延出部８６はＹ軸方向に略平行な係合面８６ａ，８６ｂをＸ軸方向両側に有する。係合面８６ａ，８６ｂは、Ｘ軸方向と直交する面であり、溝部１１４ｂのＸ軸方向における端面１１４ｃとＸ軸方向において面接触により係合する。
【００５５】
弾性固定片８２は、第２延出部８６の先端側であって係合面８６ａ側に位置する角部に面取り部８６ｃを有する。面取り部８６ｃは、光ファイバ１００の挿通方向であるＸ軸方向と交差する斜面である。溝部１１４ｂに弾性固定片８２の先端部である第２延出部８６が位置した場合に、面取り部８６ｃの深さ方向における長さが溝部１１４ｂの深さよりも短い。
【００５６】
図３及び図４に示すように、解除片８３は、金具ベース部８１のＸ軸方向端部に設けられる。より具体的には、解除片８３は、２つの弾性固定片８２のＺ軸方向における間に設けられる。解除片８３は、フランジカバー６１のＸ軸方向における端面６８側に形成された挿通孔７１に対して挿通される。挿通孔７１は、解除片８３のＺ軸方向における移動範囲を規制する規制部に相当する。すなわち、挿通孔７１内に挿通された解除片８３は、挿通孔７１内においてしかＺ方向において移動できず、解除片８３の極端に移動させることにより解除片８３並びに取付部１２の破損を抑えることができる。
【００５７】
図３及び図４に示すように、解除片８３は、リブ８３ａを有する。リブ８３ａは、解除片８３の曲げ方向に対する剛性を高めるためのものであり、解除片８３の長手方向（Ｘ軸方向）に沿って形成された溝形状である。本例のリブ８３ａは、Ｙ軸方向において光ファイバ１００側に窪んだ形状としているが、Ｙ軸方向において反光ファイバ１００側に窪んだ形状としてもよい。
【００５８】
解除片８３は、その先端部が折り返されてなる折返し部８３ｂを有する。ここで、解除片８３を含む取付部１２はプレス加工にて形成されるため、所謂バリが発生しやすい。そこで前述したように折返し部８３ｂを設けることで人が触る解除片８３での操作性を良好とすることができる。
【００５９】
図８に示すように、解除片８３と弾性固定片８２との間には切欠き８８が形成される。これにより、例えば解除片８３のＺ軸方向一方側に位置する弾性固定片８２が光ファイバ１００によって撓んだ場合に、各切欠き８８によって逆側の弾性固定片８２に伝達されにくくする。すなわち、一方のみの弾性固定片８２が主に撓むこととなるため、例えば他方の弾性固定片８２による光ファイバ１００の取付固定状態が解除されることが抑えられる。
【００６０】
本実施形態の作用を説明する。
真空槽に取り付けられるフランジ１０は、フランジ本体１１に対して取付部１２によって光ファイバ１００が取付固定される。これにより、大気側に位置するファイバアンプから投光された光を光ファイバ１００並びに中継ファイバ５０を介して真空槽内に導くとともに、真空槽内の光ファイバ１００と接続された検出部にて受光した光を光ファイバ１００並びに中継ファイバ５０を介して真空槽外（大気側）に取り出すことが可能となる。また、本実施形態のフランジ１０はフランジ本体１１に対して光ファイバ１００を取付固定する際に光ファイバ１００を貫通孔６６に挿通すると、口金１１２の各テーパ部１１５，１１６によって弾性固定片８２が押し上げられる。このとき、テーパ角度の異なる第１テーパ部１１５と第２テーパ部１１６との境界部１１８は曲面形状であるため、境界部１１８において弾性固定片８２が引っかかることが抑えられている。そのまま、光ファイバ１００を貫通孔６６に挿通させると、溝部１１４ｂに対して弾性固定片８２の第２延出部８６が嵌入されて、光ファイバ１００の取付固定が完了する。このように、光ファイバ１００は各貫通孔６６に挿通することで自ずと溝部１１４ｂに対して弾性固定片８２が嵌入されるため、光ファイバ１００毎で容易に取付固定ができる。
【００６１】
光ファイバ１００を取り外す場合には、解除片８３を上動（光ファイバ１００から離間させる方向に）操作させることで、解除片８３と金具ベース部８１を介して繋がる弾性固定片８２が解除片８３の移動に伴って移動する。これにより、弾性固定片８２が溝部１１４ｂ外に位置して光ファイバ１００の取り外しが可能となる。本実施形態では、１つの解除片８３によって２つの弾性固定片８２を操作することができるため、同時に２つの光ファイバ１００を取り外すことが可能となる。
【００６２】
口金１１２の各テーパ部１１５，１１６により、光ファイバ１００の挿通容易性が向上される。各テーパ部１１５，１１６を例えば研磨によって形成する場合、研磨精度のばらつきによって各テーパ部１１５，１１６の傾斜角度やテーパ部１１５，１１６自身の長さが異なることが考えられる。そこで前述したように、弾性固定片８２に面取り部８６ｃを設けることで、光ファイバ１００の挿通容易性の向上を図ることができる。
【００６３】
以上説明した本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）取付部１２の弾性固定片８２により、光ファイバ１００毎に個別に取付固定することができる。また、取付部１２の解除片８３により、複数の弾性固定片８２による光ファイバ１００のフランジ本体１１に対する固定状態を一括して解除することができる。
【００６４】
（２）弾性固定片８２と解除片８３とは一体構成であるため、解除片と弾性固定片とを別途連結部材によって連結する必要なく、簡素な構成とすることができる。
（３）取付部１２は、フランジ本体１１に対して１箇所で取り付けられるため、フランジ本体１１に対する取付部１２の取り付けを容易とすることができる。
【００６５】
（４）解除片８３の移動範囲を規制する規制部としての挿通孔７１を有することで、解除片８３を極端に移動させて解除片８３や取付部１２の破損を抑えることができる。
（５）弾性固定片８２の移動を許容する連通孔６９によってファイバ挿通孔としての貫通孔６６に挿通された光ファイバ１００を取付固定することができる。また、光ファイバ１００を貫通孔６６に挿通した状態では、光ファイバ１００の移動が制限されるため、弾性固定片８２による光ファイバ１００の取付固定を容易とすることができる。
【００６６】
（６）口金としての口金１１２に弾性固定片８２が係合する溝部１１４ｂを有することで、弾性固定片８２による光ファイバ１００の固定をより確実とすることができる。
（７）溝部１１４ｂと弾性固定片８２とが光ファイバ１００の挿通方向において面接触で係合するため、光ファイバ１００の挿通方向における脱落を抑えることができる。
【００６７】
（８）面取り部８６ｃを有することで光ファイバ１００の挿通容易性を向上させることができる。また溝部１１４ｂに弾性固定片８２の先端部である第２延出部８６が位置した場合に、面取り部８６ｃの深さ方向における長さが溝部１１４ｂの深さよりも短いため、弾性固定片８２の係合面８６ａによって挿通方向において溝部１１４ｂと面接触させることができる。
【００６８】
なお、上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
【００６９】
・上記実施形態では、口金１１２の内、貫通孔６６内に挿通された小径筒部１１４の溝部１１４ｂ内に弾性固定片８２を嵌入させる構成としたが、これに限らない。貫通孔６６外に位置する大径筒部１１３に溝部を形成し、該溝部に弾性固定片を嵌入させてもよい。
【００７０】
・上記実施形態では、弾性固定片８２と溝部１１４ｂとを光ファイバ１００の挿通方向（Ｘ軸方向）において面接触する構成としたが、これに限らない。
・上記実施形態では、取付部１２をフランジ本体１１に対して１箇所で取り付けることとしたが、複数箇所で取付部１２をフランジ本体１１に対して取り付けるようにしてもよい。
【００７１】
・上記実施形態の取付部１２は、弾性固定片８２と解除片８３とを一体構成としたが、別体としてもよい。この場合、弾性固定片８２と、解除片８３とを後から接着や溶接等によって一体とする。
【００７２】
・上記実施形態では、規制部としての挿通孔７１を有する構成を採用したが、省略した構成を採用してもよい。
・上記実施形態では、口金１１２の周方向全体（全周）に亘って溝部１１４ｂを形成したが、これに限らず、弾性固定片８２に対応する箇所（一部）のみに溝部を形成してもよい。
【符号の説明】
【００７３】
１…真空ファイバユニット、１０…フランジ（真空ファイバ用フランジ）、１１…フランジ本体、１２…取付部、６１…フランジカバー（固定部）、６６…貫通孔（ファイバ挿通孔）、６９…連通孔、７１…挿通孔（規制部）、８２…弾性固定片、８３…解除片、８６ａ，８６ｂ…係合面、８６ｃ…面取り部、１００…光ファイバ、１１１…ファイバ本体、１１２…口金、１１４ｂ…溝部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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