(57)【要約】【課題】装置を大型にすることなく、短時間で封入路に封入液を満たすことが可能な封入装置及び封入方法を提供することを目的とする。【解決手段】封入路に封入液を封入する封入装置であって、前記封入路に接続され、真空排気後に前記封入液が充填される密閉容器と、前記密閉容器の中に設けられ、収縮または膨張する弾性体と、前記密閉容器と前記弾性体とを真空排気する真空ポンプと、前記弾性体に大気を導入するために開かれるバルブである大気導入バルブと、前記密閉容器と前記封入路との間に設けられ、大気の導入によって前記弾性体が膨張するときに前記封入液を前記封入路に送液するために開かれるバルブである送液バルブを備えることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
封入路に封入液を封入する封入装置であって、
前記封入路に接続され、真空排気後に前記封入液が充填される密閉容器と、
前記密閉容器の中に設けられ、収縮または膨張する弾性体と、
前記密閉容器と前記弾性体とを真空排気する真空ポンプと、
前記弾性体に大気を導入するために開かれるバルブである大気導入バルブと、
前記密閉容器と前記封入路との間に設けられ、大気の導入によって前記弾性体が膨張するときに前記封入液を前記封入路に送液するために開かれるバルブである送液バルブを備えることを特徴とする封入装置。
【請求項２】
請求項１に記載の封入装置であって、
前記弾性体はベローズであり、
前記ベローズの収縮及び膨張を停止させる停止部をさらに備えることを特徴とする封入装置。
【請求項３】
請求項２に記載の封入装置であって、
前記停止部は、前記ベローズの内側の底面に一端が接続される支持棒と、前記支持棒の他端に接続され、所定の高さに固定される部材とを有することを特徴とする封入装置。
【請求項４】
請求項３に記載の封入装置であって、
前記部材は前記所定の高さに引っ掛けられることを特徴とする封入装置。
【請求項５】
請求項３に記載の封入装置であって、
前記部材は気密が保たれる空間を２つに区切るピストンであり、前記空間の間の圧力差によって前記所定の高さで固定されることを特徴とする封入装置。
【請求項６】
請求項２に記載の封入装置であって、
前記停止部は、前記ベローズを最小面間の位置に停止させることを特徴とする封入装置。
【請求項７】
請求項２に記載の封入装置であって、
前記停止部は、前記密閉容器に前記封入液が充填される前に前記ベローズを収縮状態で停止させ、前記密閉容器に前記封入液が充填された後で解除されることを特徴とする封入装置。
【請求項８】
封入路に封入液を封入する封入方法であって、
密閉容器と前記密閉容器の中に設けられる弾性体とを真空排気する排気ステップと、
前記密閉容器に前記封入液を充填する充填ステップと、
前記弾性体に大気を導入することによって前記密閉容器から前記封入路へ前記封入液を送液する送液ステップを備えることを特徴とする封入方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、差圧・圧力伝送器等の封入路にオイル等の封入液を封入する封入装置及び封入方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
差圧・圧力伝送器は圧力を測定し伝送する機器であり、ダイアフラム付フランジで受けた圧力を圧力伝達媒体としての封入液によって、差圧・圧力伝送器の本体や他のダイアフラム付フランジ等へ伝送する。差圧・圧力伝送器は、設置場所の制約等から小型化が望まれており、小型化にともない封入液が封入される封入路の細径化が進んでいる。封入路が細径化されると、封入液の粘性や表面張力が自重に対して相対的に大きくなるので、封入路の末端の細部まで封入液を満たすことが困難になる。
【０００３】
特許文献１には、封入路の末端の細部まで封入液を満たすために、真空引きで取り込まれた封入液が収容される封入液収容室の容積を変化させることにより、容積の変化分に対応する量の封入液を封入路に送る封入装置が開示されている。なお特許文献１の封入装置は、封入液収容室の容積を変化させるために、空気圧発生部や駆動力発生部を備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１８１９４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら特許文献１では、短時間で封入路に封入液を満たすためには、封入液収容室の容積を変化させるための空気圧発生部や駆動力発生部を大型にする必要であり、それにともなって封入装置が大型になる。
【０００６】
そこで本発明は、装置を大型にすることなく、短時間で封入路に封入液を満たすことが可能な封入装置及び封入方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために本発明は、封入路に封入液を封入する封入装置であって、前記封入路に接続され、真空排気後に前記封入液が充填される密閉容器と、前記密閉容器の中に設けられ、収縮または膨張する弾性体と、前記密閉容器と前記弾性体とを真空排気する真空ポンプと、前記弾性体に大気を導入するために開かれるバルブである大気導入バルブと、前記密閉容器と前記封入路との間に設けられ、大気の導入によって前記弾性体が膨張するときに前記封入液を前記封入路に送液するために開かれるバルブである送液バルブを備えることを特徴とする。
【０００８】
また本発明は、封入路に封入液を封入する封入方法であって、密閉容器と前記密閉容器の中に設けられる弾性体とを真空排気する排気ステップと、前記密閉容器に前記封入液を充填する充填ステップと、前記弾性体に大気を導入することによって前記密閉容器から前記封入路へ前記封入液を送液する送液ステップを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、装置を大型にすることなく、短時間で封入路に封入液を満たすことが可能な封入装置及び封入方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施例１の封入装置の全体構成の一例を示す図である。
【図２】実施例１の封入装置によって封入液を封入する工程の一例を示す図である。
【図３】実施例１の封入液を封入する工程の一例を補足説明する図である。
【図４】ベローズの収縮及び膨張を停止させる停止部の一例を示す図である。
【図５】ベローズの収縮及び膨張を停止させる停止部の他の例を示す図である。
【図６】ベローズの収縮及び膨張を停止させる停止部の他の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００１１】
以下、図面を参照して、本実施例の封入装置１００について説明する。封入装置１００は、差圧・圧力伝送器１２０等にオイル等の封入液を封入する装置である。
【００１２】
図１を用いて、本実施例の封入装置１００について説明する。封入装置１００は、密閉容器１０１、ベローズ１０２、真空ポンプ１０３、オイルタンク１０４を備え、各部は真空ライン１０５やバルブ１１１〜１１６によって接続される。以下、各部について説明する。
【００１３】
密閉容器１０１はフランジ１０１ａで閉じられることにより気密が保たれる空間を内部に有する容器であり、真空排気された後に封入液が充填される。密閉容器１０１の内部の空間は、第二バルブ１１２を介して真空ポンプ１０３と、第三バルブ１１３を介してオイルタンク１０４と、第五バルブ１１５を介して差圧・圧力伝送器１２０と、それぞれ接続される。
【００１４】
ベローズ１０２は気密が保たれる空間を内部に有するとともに収縮または膨張する弾性体の一つであり、密閉容器１０１の中に設けられる。ベローズ１０２の内部の空間は、第一バルブ１１１を介して真空ポンプ１０３と、第四バルブ１１４を介して外気と、それぞれ接続される。
【００１５】
真空ポンプ１０３は密閉容器１０１やベローズ１０２、真空ライン１０５等の中を真空排気する装置であり、具体的にはロータリポンプやターボ分子ポンプ等である。各部の真空排気は図１に示すように単一の真空ポンプ１０３により行われても良いし、複数の真空ポンプにより個別に行われても良い。
【００１６】
オイルタンク１０４は気密が保たれる空間を内部に有する容器であり、封入液であるオイル１０６が収容される。オイル１０６は、例えば脱気されたシリコンオイルであり、オイルタンク１０４の内部が真空排気されてから収容される。オイルタンク１０４から密閉容器１０１へオイル１０６を水頭圧によって充填するために、オイルタンク１０４は密閉容器１０１よりも高い位置、例えば１ｍ程度高い位置に設けられる。また１ｍ程度の水頭圧でも１分程度の短時間でオイル１０６が充填されるように、オイルタンク１０４と密閉容器１０１の間の配管は１０ｍｍ以上の内径を有することが好ましい。
【００１７】
バルブ１１１〜１１６は各部を接続する配管を通る流体の出入りを開閉によって調節する弁である。図面中、各バルブ１１１〜１１６が開いている状態を白色で、閉じている状態を黒色で表す。
【００１８】
真空ライン１０５は真空排気のための配管であり、図１では真空状態の箇所がハッチングで示される。なお図１の封入装置１００には、封入液であるオイル１０６が封入される差圧・圧力伝送器１２０に接続されており、第六バルブ１１６が開いているので、差圧・圧力伝送器１２０の内部は真空状態である。
【００１９】
封入液が封入される封入路である差圧・圧力伝送器１２０について説明する。差圧・圧力伝送器１２０は、ダイアフラム付フランジ１２１、キャピラリチューブ１２２、伝送器本体１２３を備える。ダイアフラム付フランジ１２１は弾性薄膜であるダイアフラムを有するフランジであり、圧力を測定したい箇所にダイアフラムが接するように取り付けられる。ダイアフラムが受けた圧力は、ダイアフラム付フランジ１２１及びキャピラリチューブ１２２の内部に封入される封入液に伝達され、封入液によって伝送器本体１２３へ伝送される。キャピラリチューブ１２２はダイアフラム付フランジ１２１と伝送器本体１２３とを接続する細管であり、内径１〜２ｍｍ、長さ３〜１５ｍ程度の大きさである。伝送器本体１２３は封入液によって伝送された圧力を計測し表示する装置である。すなわち、ダイアフラム付フランジ１２１、キャピラリチューブ１２２、伝送器本体１２３の内部は接続されており、封入液で満たされる。
【００２０】
差圧・圧力伝送器１２０の製造工程では、内部に封入液を充填する工程、特にキャピラリチューブ１２２に封入液を封入する工程に時間を要する。本実施例の封入装置１００は、差圧・圧力伝送器１２０の内部を真空排気し、封入液を封入する工程を短縮できる装置である。
【００２１】
なお封入装置１００は制御装置１３０に接続されても良い。制御装置１３０は、通信線１３１を介して封入装置１００の各部を制御する装置であり、例えばいわゆるコンピュータである。操作者は制御装置１３０が有するキーボードやマウス、タッチパネル等の入力部から封入装置１００の運転条件等を入力し、液晶ディスプレイやタッチパネル等の出力部で封入装置１００の運転状況を確認する。
【００２２】
図２及び図３を用いて、本実施例の封入装置１００によって封入液を封入する工程について説明する。なお図２に示す工程は、操作者によって手動で実行されても良いし、封入装置１００に接続される制御装置１３０によって実行されても良い。また図３には、本実施例の封入装置１００の要部である密閉容器１０１とベローズ１０２、両者に接続される各バルブ１１１〜１１５が示され、各バルブ１１１〜１１５を開いている状態が白色で、閉じている状態が黒色で表される。以下、図２の各ステップについて説明する。
【００２３】
（Ｓ２０１）
密閉容器１０１とベローズ１０２とが真空排気される。具体的には、図３（ａ）に示すように、第一バルブ１１１と第二バルブ１１２が開かれることにより、密閉容器１０１とベローズ１０２が真空ポンプ１０３によって真空排気される。密閉容器１０１とベローズ１０２の両方が真空排気されるので、ベローズ１０２は、自身のバネ性と自重とのバランスによる自由長の状態が維持される。
【００２４】
（Ｓ２０２）
密閉容器１０１にオイル１０６が充填される。具体的には、図３（ｂ）に示すように、第一バルブ１１１と第二バルブ１１２が閉じられて第三バルブ１１３が開かれることにより、オイル１０６がオイルタンク１０４から密閉容器１０１に水頭圧によって充填される。
【００２５】
（Ｓ２０３）
ベローズ１０２へ大気が導入される。具体的には、図３（ｃ）に示すように、第三バルブ１１３が閉じられて第四バルブ１１４が開かれることにより、ベローズ１０２に大気が導入される。
【００２６】
（Ｓ２０４）
差圧・圧力伝送器１２０へオイル１０６が送液される。具体的には、図３（ｄ）に示すように、第五バルブ１１５が開かれてベローズ１０２が膨張することにより、密閉容器１０１から差圧・圧力伝送器１２０へオイル１０６が送液される。ベローズ１０２が膨張するとき、密閉容器１０１の中のオイル１０６には、ベローズ１０２に導入された大気の圧力である大気圧が概ね印加される。
【００２７】
以上説明した工程により、弾性体であるベローズ１０２が膨張するときに、封入液であるオイル１０６に大気圧が印加されて、封入路である差圧・圧力伝送器１２０へオイル１０６が送液されるので、短時間で封入路に封入液を満たすことができる。また本実施例の封入装置１００には真空ポンプ１０３が備えられるものの、空気圧発生部や駆動力発生部は備えられず、装置を大型にすることはない。
【実施例２】
【００２８】
実施例１では、ベローズ１０２を自由長の状態から膨張させて、オイル１０６を送液することについて説明した。ベローズ１０２の自由長は、最小面間と最大面間とのほぼ中間に設計されることが多い。ベローズ１０２を、自由長よりも短い状態、例えば最小面間の状態から膨張させると、オイル１０６を送液する量を増やすことができる。そこで本実施例では、ベローズ１０２を自由長よりも短い状態、すなわち収縮状態から膨張させることについて説明する。なお封入装置１００の全体構成は実施例１と同じであるので説明を省略し、密閉容器１０１及びベローズ１０２に追加される箇所について説明する。
【００２９】
図４を用いて、本実施例の密閉容器１０１及びベローズ１０２について説明する。なお図４（ａ）と図４（ｂ）は密閉容器１０１の上面図であり、図４（ｃ）と図４（ｄ）は密閉容器１０１及びベローズ１０２の断面図である。また図４（ａ）と図４（ｃ）はベローズ１０２の自由長の状態を示す図であり、図４（ｂ）と図４（ｄ）はベローズ１０２の収縮状態を示す図である。密閉容器１０１及びベローズ１０２に接続されるバルブ等は実施例１と同じである。
【００３０】
本実施例の密閉容器１０１及びベローズ１０２には、支柱４０１、支持棒４０２、止め板４０３が新たに追加される。支柱４０１は、密閉容器１０１のフランジ１０１ａの上面に設けられ、鉛直方向に延在する２本の柱である。支持棒４０２は、ベローズ１０２の内側の底面に接続され、２本の支柱４０１の間に設けられる丸棒であり、フランジ１０１ａの中央に開けられる穴４０２ａを通される。なお穴４０２ａの内側には、鉛直方向に移動する支持棒４０２とフランジ１０１ａとの間の気密を保つＯリング４０２ｂが取り付けられる。止め板４０３は、支持棒４０２の上端に回転可能に接続される矩形の板であり、一辺は支柱４０１の間隔よりも長く、他の一辺は支柱４０１の間隔よりも短い。
【００３１】
本実施例の支柱４０１、支持棒４０２、止め板４０３が、ベローズ１０２の収縮及び膨張を停止させる停止部として機能することについて説明する。図４（ａ）、図４（ｃ）に示されるように止め板４０３が２本の支柱４０１の間に位置するとき、ベローズ１０２は自由長の状態である。これに対し、図４（ｂ）、図４（ｄ）に示されるように止め板４０３が引き上げられるとともに９０度回転させられ、２本の支柱４０１の上端部に引っ掛けられたとき、ベローズ１０２は収縮状態となり、膨張を停止させられる。さらに、支持棒４０２の長さを、支柱４０１の長さとフランジ１０１ａの厚さとベローズ１０２が最小面間の状態のときの長さとの和とすると、支柱４０１の上端部に止め板４０３が引っ掛けられたときに、ベローズ１０２が最小面間の状態になる。すなわち、ベローズ１０２の膨張とともに収縮も停止させられるので、支柱４０１、支持棒４０２、止め板４０３が停止部として機能する。なお、止め板４０３が支柱４０１の上端部に引っ掛けられたときに、ベローズ１０２が最小面間の状態でなくても、ベローズ１０２をさらに収縮させる外力がなければ、支柱４０１、支持棒４０２、止め板４０３を停止部としてみなすことができる。
【００３２】
本実施例ではさらにスイッチ４０４が備えられても良い。スイッチ４０４は止め板４０３が支柱４０１の上端部に引っ掛けられたか否かを検知するセンサであり、例えば支柱４０１の上端側部に設けられる。スイッチ４０４による検知結果は制御装置１３０に送信され、制御装置１３０は検知結果に基づいて各部を制御しても良い。
【００３３】
以上説明した停止部を、図２のＳ２０２より前、すなわち密閉容器１０１にオイル１０６が充填される前に動作させることにより、ベローズ１０２を収縮状態、好ましくは最小面間の状態で停止させることができる。そして、図２のＳ２０２の後で停止部を解除、すなわち止め板４０３を９０度回転させて図４（ａ）、図４（ｃ）に示される状態に戻すことにより、図２のＳ２０４において、ベローズ１０２を収縮状態から膨張させることができる。ベローズ１０２が収縮状態、特に最小面間の状態から膨張すると、封入装置１００が差圧・圧力伝送器１２０のような封入路へ送液するオイル１０６の量を増やすことができる。
【００３４】
図５を用いて、停止部の他の例について説明する。図５に示される停止部では、図４の止め板４０３の代わりに、上板５０１、回転板５０２、ハンドル５０３、雄ねじ棒５０４、枠体５０５、支持板５０６、ストッパ板５０７が備えられ、大型のベローズ１０２を引き上げるのに適する。なお図５（ａ）はベローズ１０２の自由長の状態を示す断面図であり、図５（ｂ）はストッパ板５０７の上面図、図５（ｃ）はベローズ１０２の収縮状態を示す断面図である。
【００３５】
上板５０１は支柱４０１の上端部に設けられる板材であり、中央部にスラスト軸受５０１ａを有する。回転板５０２は上板５０１のスラスト軸受５０１ａによって回転可能に支持される円板である。ハンドル５０３は回転板５０２の辺縁部に設けられ、回転板５０２を手動で回転させるために用いられる。雄ねじ棒５０４は回転板５０２の下面に設けられ、表面に溝を有する丸棒である。枠体５０５は支柱４０１の長手方向に沿って移動可能な部材であり、雄ねじ棒５０４と噛み合う雌ねじ穴５０５ａを上部に、後述する支持板５０６が有する止め具５０６ａを通す開口５０５ｂを下部に有する。支持板５０６は支持棒４０２の上端に接続される板であり、先端に段差を有する止め具５０６ａを上面に備える。ストッパ板５０７は図５（ｂ）に示されるような円形と矩形を組み合わせた鍵穴形状の穴を有する板であり、枠体５０５の下部の上面に配置され、水平方向にスライドさせられる。なお鍵穴形状の穴の円形の内径は止め具５０６ａの最外径よりも大きく、矩形の幅は止め具５０６ａの先端の段差が嵌め込まれる程度の大きさである。
【００３６】
図５の停止部の動作について説明する。操作者がハンドル５０３を用いて回転板５０２を回転させると雄ねじ棒５０４も回転するので、雄ねじ棒５０４と噛み合う雌ねじ穴５０５ａを有する枠体５０５が支柱４０１の長手方向に沿って移動する。枠体５０５の開口５０５ｂ及びストッパ板５０７の円形側の穴を止め具５０６ａの先端の段差が通過するまで枠体５０５が下降した後、ストッパ板５０７がスライドさせられ、ストッパ板５０７の矩形側の穴に止め具５０６ａの先端の段差が嵌め込まれてロックされる。そして止め具５０６ａがストッパ板５０７にロックされた状態で枠体５０５が上昇させられることにより、支持板５０６と支持棒４０２が引き上げられて所定の高さに固定され、ベローズ１０２は収縮状態、好ましくは最小面間の状態となる。
【００３７】
以上説明した停止部を図２のＳ２０２より前に動作させることにより、ベローズ１０２を収縮状態で停止させることができる。そして、図２のＳ２０２の後で停止部を解除、すなわちストッパ板５０７をスライドさせて図５（ａ）に示される状態に戻すことにより、ベローズ１０２を収縮状態から膨張させることができ、封入路へ送液する封入液の量を増やすことができる。さらに図５の停止部によれば、ベローズ１０２を任意の長さで停止させることができるので、封入路へ送液する封入液の量を調整することができる。またハンドル５０３を用いて回転板５０２及び雄ねじ棒５０４を回転させることにより、枠体５０５及び支持板５０６、支持棒４０２を引き上げるので、変形させづらい大型のベローズ１０２であっても収縮状態にすることが容易になる。
【００３８】
図６を用いて、停止部のさらに別の例について説明する。なお図６（ａ）はベローズ１０２の自由長の状態を示す断面図であり、図６（ｂ）はベローズ１０２の収縮状態を示す断面図である。図６に示される停止部では、図４の止め板４０３の代わりに、エアバルブ６００とピストン６０１が備えられる。
【００３９】
エアバルブ６００は、支柱４０１の上端部に設けられ、気密が保たれる円柱形状の空間を内部に有する容器である。なお図６の支柱４０１は、２本の柱ではなく、１本の円筒形状の柱であっても良い。ピストン６０１は、支持棒４０２の上端に接続され、エアバルブ６００の内部の空間を２つに区切る円板であり、２つの空間の間の気密を保ちながらエアバルブ６００の中を鉛直方向に移動できる。なおエアバルブ６００の内部の区切られた空間の一方には支持棒４０２が気密を保ちながら貫通する貫通孔と第一流出入孔６０２が、他方には第二流出入孔６０３が設けられる。第一流出入孔６０２は、圧縮空気を導入する図示されないコンプレッサに接続されるか、開放される。また第二流出入孔６０３は開放されるか、真空ポンプ１０３に接続される。なお第一流出入孔６０２または第二流出入孔６０３には、エアバルブ６００の中のいずれかの空間の圧力を計測する圧力センサ６０４が接続されても良い。
【００４０】
図６の停止部の動作について説明する。第一流出入孔６０２から圧縮空気が導入されるか、第二流出入孔６０３から真空排気がなされると、エアバルブ６００の中の下側の空間が上側の空間に対し陽圧化されるので、ピストン６０１が上昇する。そしてピストン６０１が上昇することにより、支持棒４０２が引き上げられ、ベローズ１０２は収縮状態、好ましくは最小面間の状態となる。なお、エアバルブ６００の中の２つの空間の間の圧力差を圧力センサ６０４で計測しながら一定に保つことにより、ピストン６０１を所定の高さに固定させ、ベローズ１０２を任意の長さで停止させても良い。
【００４１】
以上説明した停止部を図２のＳ２０２より前に動作させることにより、ベローズ１０２を収縮状態で停止させることができる。そして、図２のＳ２０２の後で停止部を解除、すなわちエアバルブ６００の中の圧力差をなくして図６（ａ）に示される状態に戻すことにより、ベローズ１０２を収縮状態から膨張させることができ、封入路へ送液する封入液の量を増やすことができる。さらに図６の停止部に圧力センサ６０４を設けることにより、エアバルブ６００の中の圧力差を一定に保ち、ベローズ１０２を任意の長さで停止させることができるので、封入路へ送液する封入液の量を調整することができる。
【００４２】
以上説明したように本実施例によれば、ベローズ１０２を収縮状態から膨張させることができるので、封入装置１００が封入路へ送液する封入液の量を実施例１に比べて増やすことができる。なお短時間で封入路に封入液を満たすことができることは実施例１と同様である。
【００４３】
本発明の封入装置の２つの実施例を説明した。なお、本発明の封入装置は上記実施例に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施例に開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせても良い。さらに、上記実施例に示される全構成要素からいくつかの構成要素を削除しても良い。
【符号の説明】
【００４４】
１００：封入装置、１０１：密閉容器、１０１ａ：フランジ、１０２：ベローズ、１０３：真空ポンプ、１０４：オイルタンク、１０５：真空ライン、１０６：オイル、１１１：第一バルブ、１１２：第二バルブ、１１３：第三バルブ、１１４：第四バルブ、１１５：第五バルブ、１１６：第六バルブ、１２０：差圧・圧力伝送器、１２１：ダイアフラム付フランジ、１２２：キャピラリチューブ、１２３：伝送器本体、１３０：制御装置、１３１：通信線、４０１：支柱、４０２：支持棒、４０２ａ：穴、４０２ｂ：Ｏリング、４０３：止め板、４０４：スイッチ、５０１：上板、５０２：回転板、５０３：ハンドル、５０４：雄ねじ棒、５０５：枠体、５０５ａ：雌ねじ穴、５０５ｂ：開口、５０６：支持板、５０６ａ：止め具、５０７：ストッパ板、６００：エアバルブ、６０１：ピストン、６０２：第一流出入孔、６０３：第二流出入孔、６０４：圧力センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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