(57)【要約】【課題】流路継手構造を省スペースで設置できるようにする。【解決手段】第１及び第２流体デバイス５１，５２にそれぞれ形成された流路孔５３，５４同士を接続する流路継手構造１は、第１流体デバイス５１の端部において流路孔５３よりも径方向外側に形成された第１雄ねじ部１１と、第２流体デバイス５２の端部において流路孔５４よりも径方向外側に形成された第２雄ねじ部１２と、軸方向一方側に第１雄ねじ部１１が螺合される第１雌ねじ部１３ａを有し、軸方向他方側に第２雄ねじ部１２が螺合される第２雌ねじ部１３ｂを有するユニオンナット１３と、ユニオンナット１３の径方向内側において流路孔５３，５４同士の接続部分をシールするガスケット１４とを備える。第１雄ねじ部１１及び第１雌ねじ部１３ａは右ねじであり、第２雄ねじ部１２及び第２雌ねじ部１３ｂは左ねじである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの流体デバイスにそれぞれ形成された流路孔同士を接続する流路継手構造であって、
前記２つの流体デバイスの一方の端部において、当該一方の前記流路孔よりも径方向外側に形成された第１雄ねじ部と、
前記２つの流体デバイスの他方の端部において、当該他方の前記流路孔よりも径方向外側に形成された第２雄ねじ部と、
軸方向一方側に前記第１雄ねじ部が螺合される第１雌ねじ部を有し、軸方向他方側に前記第２雄ねじ部が螺合される第２雌ねじ部を有するユニオンナットと、
前記ユニオンナットの径方向内側において前記流路孔同士の接続部分をシールするガスケットと、を備え、
前記第１雄ねじ部及び前記第１雌ねじ部は、右ねじ及び左ねじのいずれか一方であり、
前記第２雄ねじ部及び前記第２雌ねじ部は、右ねじ及び左ねじのいずれか他方である、流路継手構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路継手構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体、液晶、有機ＥＬ等の各種技術分野の製造工程で取り扱われる薬液等の流体の配管経路において、ポンプ、バルブ、アキュムレータ、フィルタ、流量計、圧力センサ、及び配管ブロック等の２つの流体デバイスに形成された流路孔同士を最短で接続する流路継手構造として、図４に示すものが知られている。この流路継手構造は、短いチューブ１０１の両端それぞれに、スリーブ１０２とユニオンナット１０３を用いて、流体デバイス１１０を接続するように構成されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−２１９０６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記流路継手構造は、チューブ１０１、スリーブ１０２及びユニオンナット１０３を設置するための設置スペースが必要となる。半導体、液晶、有機ＥＬ等の製造工程において、薬液を送液及び循環する際に使用される流路継手構造は、その設置スペースが省スペースであることが好ましい。
【０００５】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、流路継手構造を省スペースで設置できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の流路継手構造は、２つの流体デバイスにそれぞれ形成された流路孔同士を接続する流路継手構造であって、前記２つの流体デバイスの一方の端部において、当該一方の前記流路孔よりも径方向外側に形成された第１雄ねじ部と、前記２つの流体デバイスの他方の端部において、当該他方の前記流路孔よりも径方向外側に形成された第２雄ねじ部と、軸方向一方側に前記第１雄ねじ部が螺合される第１雌ねじ部を有し、軸方向他方側に前記第２雄ねじ部が螺合される第２雌ねじ部を有するユニオンナットと、前記ユニオンナットの径方向内側において前記流路孔同士の接続部分をシールするガスケットと、を備え、前記第１雄ねじ部及び前記第１雌ねじ部は、右ねじ及び左ねじのいずれか一方であり、前記第２雄ねじ部及び前記第２雌ねじ部は、右ねじ及び左ねじのいずれか他方である。
【０００７】
本発明によれば、ユニオンナットには、第１雌ねじ部及び第２雌ねじ部により、右ねじ及び左ねじが形成されるため、ユニオンナットを締め付けることで、第１雌ねじ部に一方の流体デバイスの第１雄ねじ部が螺合され、第２雌ねじ部に他方の流体デバイスの第２雄ねじ部が螺合される。これにより、１つのユニオンナットだけで２つの流体デバイスの流路孔同士を接続することができ、ユニオンナットの径方向内側では、流路孔同士の接続部分をガスケットでシールすることができる。従って、本発明の流路継手構造は従来構造のチューブが不要になるため、流路継手構造を省スペースで設置することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、流路継手構造を省スペースで設置することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係る流路継手構造を分解した状態を示す断面図である。
【図２】前記流路継手構造による流路孔同士の接続途中の状態を示す断面図である。
【図３】前記流路継手構造により流路孔同士を接続した状態を示す断面図である。
【図４】従来の流路継手構造を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
［流路継手構造］
次に、本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る流路継手構造を分解した状態を示す断面図である。図１において、本実施形態の流路継手構造１は、例えば、半導体製造装置で使用される薬液が流れる配管経路において、第１流体デバイス５１にそれぞれ形成された流路孔５３と、第２流体デバイス５２に形成された流路孔５４とを接続する接続構造として使用される。
【００１１】
流路継手構造１は、第１雄ねじ部１１、第２雄ねじ部１２、ユニオンナット１３、及びガスケット１４を備えている。
第１雄ねじ部１１は、第１流体デバイス５１の一端面に突出して形成された第１突出部５５の外周面に形成されている。第１突出部５５の内部には、前記流路孔５３が貫通して形成されている。
【００１２】
第２雄ねじ部１２は、第２流体デバイス５２の一端面に突出して形成された第２突出部５６の外周面に形成されている。第２突出部５６の内部には、前記流路孔５４が貫通して形成されている。
【００１３】
本実施形態では、第１雄ねじ部１１は右ねじとされ、第２雄ねじ部１２は左ねじとされている。なお、本実施形態とは逆に、第１雄ねじ部１１を左ねじとし、第２雄ねじ部１２を右ねじとしてもよい。
【００１４】
第１突出部５５の先端面には、ガスケット１４の軸方向一方側が圧入される第１シール溝１５が形成されている。同様に、第２突出部５６の先端面には、ガスケット１４の軸方向他方側が圧入される第２シール溝１６が形成されている。
【００１５】
ユニオンナット１３は、軸方向一方側の内周に第１雌ねじ部１３ａを有し、軸方向他方側の内周に第２雌ねじ部１３ｂを有している。第１雌ねじ部１３ａには第１流体デバイス５１の第１雄ねじ部１１が螺合され、第２雌ねじ部１３ｂには第２流体デバイス５２の第２雄ねじ部１２が螺合される。
【００１６】
従って、本実施形態では、第１雌ねじ部１３ａは右ねじとされ、第２雌ねじ部１３ｂは左ねじとされている。なお、第１雄ねじ部１１が左ねじとされ、第２雄ねじ部１２が右ねじとされている場合には、第１雌ねじ部１３ａは左ねじとされ、第２雌ねじ部１３ｂは右ねじとされる。
【００１７】
ガスケット１４は、ユニオンナット１３の径方向内側において流路孔５３，５４同士の接続部分をシールするものであり、軸方向一方側に形成された第１圧入部１４ａと、軸方向他方側に形成された第２圧入部１４ａとを有している。第１圧入部１４ａは第１突出部５５の第１シール溝１５に圧入され、第２圧入部１４ａは第２突出部５６の第２シール溝１６に圧入される（図３参照）。
【００１８】
［流路継手構造による接続手順］
次に、本実施形態の流路継手構造１により、２つの流体デバイス５１，５２の流路孔５３，５４同士を接続する手順について説明する。まず、図１に示すように、第１流体デバイス５１の第１シール溝１５にガスケット１４の第１圧入部１４ａを圧入し、第１流体デバイス５１にガスケット１４を一体に取り付ける。なお、ガスケット１４は、第２流体デバイス５２に一体に取り付けてもよい。この場合は、第２流体デバイス５２の第２シール溝１６にガスケット１４の第２圧入部１４ｂを圧入すればよい。
【００１９】
次に、図１に示す状態から、ユニオンナット１３の軸方向両端に、第１流体デバイス５１の第１突出部５５の先端、及び第２流体デバイス５２の第２突出部５６の先端をそれぞれ当接させた状態で、ユニオンナット１３を締め付ける。これにより、図２に示すように、ユニオンナット１３の第１雌ねじ部１３ａに第１流体デバイス５１の第１雄ねじ部１１が螺合されるとともに、ユニオンナット１３の第２雌ねじ部１３ｂに第２流体デバイス５２の第２雄ねじ部１２が螺合される。
【００２０】
図２に示す状態から、さらにユニオンナット１３を締め付けると、第１雌ねじ部１３ａに対する第１雄ねじ部１１の螺合が進むことで、第１流体デバイス５１の第１突出部５５は、ユニオンナット１３の軸方向一方側（図２の右側）から軸方向中央に向かって移動する。同様に、第２雌ねじ部１３ｂに対する第２雄ねじ部１２の螺合が進むことで、第２流体デバイス５２の第２突出部５６は、ユニオンナット１３の軸方向他方側（図２の左側）から軸方向中央に向かって移動する。
【００２１】
これにより、図３に示すように、ガスケット１４の第２圧入部１４ｂが、第２流体デバイス５２の第２シール溝１６に圧入され、流路孔５３，５４同士が接続されるとともに、その接続部分がガスケット１４によりシールされる。
【００２２】
以上、本実施形態の流路継手構造１によれば、ユニオンナット１３には、第１雌ねじ部１３ａ及び第２雌ねじ部１３ｂにより、右ねじ及び左ねじが形成されるため、ユニオンナット１３を締め付けることで、第１雌ねじ部１３ａに第１流体デバイス５１の第１雄ねじ部１１が螺合され、第２雌ねじ部１３ｂに第２流体デバイス５２の第２雄ねじ部１３ｂが螺合される。これにより、１つのユニオンナット１３だけで２つの流体デバイス５１，５２の流路孔５３，５４同士を接続することができ、ユニオンナット１３の径方向内側では、流路孔５３，５４同士の接続部分をガスケット１４でシールすることができる。従って、本実施形態の流路継手構造１は従来構造のチューブが不要になるため、流路継手構造１を省スペースで設置することができる。
【００２３】
［その他］
上記実施形態の流路継手構造は、半導体製造装置に使用される場合について説明したが、液晶・有機ＥＬ分野、医療・医薬分野、または自動車関連分野などにおいて使用されてもよい。
今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００２４】
１  流路継手構造
１１  第１雄ねじ部
１２  第２雄ねじ部
１３  ユニオンナット
１３ａ  第１雌ねじ部
１３ｂ  第２雌ねじ部
１４  ガスケット
５１  第１流体デバイス
５２  第２流体デバイス
５３  流路孔
５４  流路孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2020034095.tif 000006