(57)【要約】【課題】Ｘ線漏洩量が低く、Ｘ線照射部からのＸ線が適正にＸ線ラインセンサに到達するＸ線検査装置を提供する。【解決手段】Ｘ線検査装置１は、Ｘ線照射部７と、検出素子がＺ方向に並設されたＸ線ラインセンサ15と、スリット8aを備えたコリメータ８と、Ｘ線照射部７を移動させる第１アクチュエータ９と、スリットの中心線Ｃを回転軸としてコリメータを回転方向Ｂに移動させる第２アクチュエータ11と、制御部５を有する。制御部５は、第１アクチュエータを駆動してＸ線の検出量の平均が最も高いＸ線照射部のＸ方向の位置を決定し（図３）、次に第２アクチュエータを駆動してスリットの長手方向とＸ線ラインセンサの検出素子の並設方向が平行となるようにコリメータの位置を決める（図４）。【選択図】図２
2020034494.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送される被検査物（Ｗ）にＸ線を照射し、被検査物を透過するＸ線の透過量に基づいて被検査物を検査するＸ線検査装置（１）であって、
Ｘ線を発生するＸ線照射部（７）と、
Ｘ線を検出する複数の検出素子が所定方向（Ｚ）に並設されてなるＸ線ラインセンサ（１５）と、
前記Ｘ線ラインセンサに対するＸ線の照射範囲を制限するスリット（８ａ）を備えたコリメータ（８）と、
並設された前記検出素子を含む平面と平行な平面内において、前記所定方向と直交する方向（Ｘ）に沿って前記Ｘ線照射部を移動させる第１の移動手段（９）と、
前記コリメータの前記スリットの中心を通過する中心線（Ｃ）を回転軸として前記コリメータを回転方向（Ｂ）に移動させる第２の移動手段（１１）と、
前記Ｘ線ラインセンサが検出するＸ線の検出量に基づいて前記第１の移動手段と前記第２の移動手段を制御する制御部（５）と、
を有することを特徴とするＸ線検査装置（１）。
【請求項２】
前記制御部（５）は、
前記Ｘ線照射部（７）から照射されるＸ線の中心線が、前記コリメータ（８）の前記スリット（８ａ）を通過して前記Ｘ線ラインセンサ（１５）に到達するように前記第１の移動手段（９）を制御し、
前記コリメータの前記スリットの長手方向と、前記Ｘ線ラインセンサにおいて前記検出素子が並設された前記所定方向（Ｚ）とが平行となるように前記第２の移動手段（１１）を制御することを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置（１）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送される被検査物にＸ線を照射し、被検査物を通過したＸ線の透過量に基づいて被検査物の検査を行うＸ線検査装置に係り、特に装置の内部から外部に漏れるＸ線の量（漏洩Ｘ線量）が少ないＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線検査装置は、例えば、生肉、魚、加工食品、医薬品などを被検査物としており、被検査物にＸ線を照射したときに被検査物を通過するＸ線の透過量に基づいて異物混入の有無、シール部不良の有無、欠品の有無などの各種検査を行う装置として従来から知られている。
【０００３】
この種のＸ線検査装置には、Ｘ線照射部から照射されるＸ線を絞り込むために、スリットが設けられたコリメータと呼ばれる装置が取り付けられている。Ｘ線照射部から照射されたＸ線は、コリメータのスリットに絞り込まれるため、Ｘ線ラインセンサに対する照射領域が制限され、Ｘ線ラインセンサ以外の領域への拡散を抑止する。
【０００４】
尚、Ｘ線管、コリメータ、Ｘ線検出器を備えた装置としては、例えば下記特許文献１に開示される装置が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平４−３２９９３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、Ｘ線検査装置に用いられるＸ線照射部は、筐体の内部にＸ線源としてＸ線管を有している。このＸ線管では、その内部にある陽極ターゲットに加速された電子を衝突させてＸ線を発生させている。陽極ターゲットにおいて、電子が衝突してＸ線が発生する箇所を焦点と呼ぶが、その焦点の位置はＸ線照射部の外側から目視することはできない。またＸ線照射部の筐体に対するＸ線管の取り付け位置には一定の誤差がある。従って、Ｘ線照射部から出たＸ線がスリットを通過してＸ線ラインセンサに到達できるようにＸ線照射部とコリメータの配置を精密に決定することは容易なことではない。このような事情があるため、従来のＸ線検査装置では、Ｘ線の焦点の位置に一定の誤差があることを前提とし、Ｘ線がスリットを通過してＸ線ラインセンサに到達できるような配置関係で組み立てるために、Ｘ線を絞り込むコリメータのスリットは幅に余裕を持たせた大きめの寸法設定となっていた。
【０００７】
ところが、このようにコリメータのスリットを広めの寸法とした場合には、相対的に幅の狭いスリットに比べれば、スリットを通過したＸ線はＸ線ラインセンサの受光部分以外のより広い領域に拡散するため、漏洩Ｘ線量が増大する可能性がある。これを防止するには、Ｘ線検査装置の全体の機長をより長くし、被検査物の搬入側と搬出側により多くの遮蔽カーテンを設けて漏洩Ｘ線量の低減を図る必要がある。しかし、このような構成ではＸ線検査装置が大型化してしまい、機長の延長及び遮蔽カーテン数の増加に伴って製造コスト増大の問題が生じるとともに、設置スペースの増大及び被検査物がカーテンに引っ掛かる搬送リスクといった問題も生じる。
【０００８】
上述のような漏洩Ｘ線量の増大に起因する問題を回避するためには、コリメータのスリットを狭くすればよいが、その場合には、前述した通り、Ｘ線照射部におけるＸ線の焦点の位置の誤差のため、必ずしもＸ線がスリットを通過してＸ線ラインセンサに到達できるような配置関係で装置各部の組み立てができるとは限らない。
【０００９】
本発明は以上説明した従来の技術における上記課題に鑑みてなされたものであり、コリメータのスリットの開口幅をなるべく狭くすることにより、Ｘ線検査装置からのＸ線漏洩量を低減させるとともに、コリメータのスリットの開口幅が狭くてもＸ線照射部からのＸ線がスリットを通過して適正な状態でＸ線ラインセンサに到達できるようなＸ線検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載されたＸ線検査装置１は、
搬送される被検査物ＷにＸ線を照射し、被検査物Ｗを透過するＸ線の透過量に基づいて被検査物Ｗを検査するＸ線検査装置１であって、
Ｘ線を発生するＸ線照射部７と、
Ｘ線を検出する複数の検出素子が所定方向Ｚに並設されてなるＸ線ラインセンサ１５と、
前記Ｘ線ラインセンサ１５に対するＸ線の照射範囲を制限するスリット８ａを備えたコリメータ８と、
並設された前記検出素子を含む平面と平行な平面内において、前記所定方向Ｚと直交する方向Ｘに沿って前記Ｘ線照射部７を移動させる第１の移動手段９と、
前記コリメータ８の前記スリット８ａの中心を通過する中心線Ｃを回転軸として前記コリメータ８を回転方向Ｂに移動させる第２の移動手段１１と、
前記Ｘ線ラインセンサ１５が検出するＸ線の検出量に基づいて前記第１の移動手段９と前記第２の移動手段１１を制御する制御部５と、
を有することを特徴としている。
【００１１】
請求項２に記載されたＸ線検査装置１は、請求項１記載のＸ線検査装置１において、
前記制御部５が、
前記Ｘ線照射部７から照射されるＸ線の中心線が、前記コリメータ８の前記スリット８ａを通過して前記Ｘ線ラインセンサ１５に到達するように前記第１の移動手段９を制御し、
前記コリメータ８の前記スリット８ａの長手方向と、前記Ｘ線ラインセンサ１５において前記検出素子が並設された前記所定方向Ｚとが平行となるように前記第２の移動手段１１を制御することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１に記載されたＸ線検査装置によれば、Ｘ線照射部が発生したＸ線は、コリメータのスリットを通過して照射範囲が絞り込まれるためＸ線ラインセンサに対するＸ線の照射範囲が制限され、コリメータのスリットの幅がより大きいためにＸ線ラインセンサの受光部分以外のより広い領域にＸ線が拡散する場合に比べて漏洩Ｘ線量を抑えることができる。コリメータを通過したＸ線は、搬送される被検査物を透過してＸ線ラインセンサに到達する。制御部は、Ｘ線ラインセンサによるＸ線の検出量に基づいて被検査物の検査を行うことができる。
【００１３】
このＸ線検査装置によれば、漏洩Ｘ線量を最小化するとともに、被検査物を適正に検査できるようにＸ線を適切な状態でＸ線ラインセンサに到達させるため、Ｘ線照射部とコリメータとＸ線ラインセンサの位置関係を適正に調整することができる。すなわち、Ｘ線ラインセンサにおいて検出素子が並設されている所定方向と直交する方向に沿って、第１の移動手段でＸ線照射部を移動させることができる。また、第２の移動手段でコリメータを回転方向に移動させることができる。制御部は、Ｘ線ラインセンサが検出するＸ線の検出量に基づいて第１の移動手段と第２の移動手段の上述した動作を制御することにより、Ｘ線照射部とコリメータとＸ線ラインセンサの位置関係を適正に調整して、漏洩Ｘ線量を最小化するとともに、Ｘ線を適切な状態でＸ線ラインセンサに到達させるように調整することができる。
【００１４】
請求項２に記載されたＸ線検査装置によれば、まず、制御部が第１の移動手段を制御することにより、Ｘ線照射部から照射されるＸ線の中心線がコリメータのスリットの中央部を通過して、並設された検出素子の中央部に到達するようにＸ線照射部の位置の調整を行い、複数の検出素子が検出するＸ線の検出量の平均値が最も高くなるようにすることができる。次に、制御部が第２の移動手段を制御することにより、コリメータのスリットの長手方向と、Ｘ線ラインセンサにおいて検出素子が並設された所定方向とが平行となるようにコリメータの位置の調整を行い、コリメータの複数の検出素子が検出するＸ線の検出量が所定の閾値よりも高くなるようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係るＸ線検査装置の概略構成を示す図である。
【図２】Ｘ線照射部、コリメータ及びラインセンサの配置関係と、ラインセンサに対するＸ線照射部及びコリメータの位置調整動作を示す概略斜視図である。
【図３】ラインセンサに対するＸ線照射部の位置調整において、制御部の演算により得られたラインセンサの各検出素子におけるＸ線検出量の平均値と、Ｘ線照射部の位置との関係を示すデータをグラフで表した図である。
【図４】ラインセンサに対するＸ線照射部の位置調整において、制御部の演算によりコリメータの位置ごとに得られたラインセンサの各検出素子の位置と、Ｘ線の検出量との関係を示すデータをグラフで表した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について図１〜図４を参照して説明する。
本発明の実施形態に係るＸ線検査装置１は、例えば、被検査物となる物品の製造ライン等の一部に組み込まれる検査装置であって、ラインを構成する搬送装置の上流側から順次搬送されてくる被検査物（物品）を受け入れ、これに対してＸ線を照射し、当該被検査物を透過したＸ線の透過量（透過Ｘ線量）、すなわちＸ線のセンサが検出したＸ線の検出量に基づいて異物混入の有無、シール部不良の有無、欠品の有無などの各種検査を行い、下流側に搬出する基本機能を有する装置である。また、このＸ線検査装置１は、外部への漏洩Ｘ線量を最小化するとともに、後述するようにＸ線照射部７とコリメータ８の配置を適正に調整して、Ｘ線を適切な状態でＸ線ラインセンサ１５に到達させる調整機能も備えている。
【００１７】
まず、図１を参照して、Ｘ線検査装置１の基本機能に係る部分の構成及び作用について説明する。図１に示すように、本実施の形態のＸ線検査装置１は、被検査物Ｗを搬送する搬送部２と、搬送部２の上方に設けられた第１ユニット３と、搬送部２の内部に設けられた第２ユニット４と、制御部５を備えている。
【００１８】
搬送部２は、被検査物Ｗを搬送する手段であり、例えば装置本体において水平に配置されたベルトコンベアで構成される。搬送部２としてのベルトコンベアは、Ｘ線を透過しやすい材料（原子量の大きい元素以外の元素）からなる搬送ベルト２ａを備えており、搬入口から搬入された被検査物Ｗを、搬出口側に向けて図１に示す方向Ｘ（搬送方向）に沿って搬送する。
【００１９】
第１ユニット３は、搬送部２の高さ方向（Ｙ方向）の上部側に所定距離だけ離れて設けられたＸ線照射側のユニットである。第１ユニット３はＸ線遮蔽構造の筐体６を備えており、この筐体６内にはＸ線照射部７と、コリメータ８が設けられている。なお、Ｘ線照射部７には、これを移動させるための移動手段である第１アクチュエータ９が設けられ、コリメータ８には、これを移動させるための移動手段である第２アクチュエータ１１が設けられているが、これら両アクチュエータ９，１１の詳細については、Ｘ線検査装置１の調整機能に関する後の説明で詳述する。
【００２０】
第１ユニット３の筐体６の底面には、Ｘ線照射部７からのＸ線を後述するＸ線ラインセンサ１５に向けて照射するための照射開口窓６ａが形成されている。この照射開口窓６ａは、搬送方向Ｘを含む水平な平面内において、搬送方向Ｘと直交する方向（図１に示す方向Ｚ）に形成された例えば矩形状の孔である。また、のれん状の遮蔽カーテン１０が、必要に応じて第１ユニット３の筐体６の下面の搬入口側と搬出口側に設けられており、外部へのＸ線の漏洩を防止している。
【００２１】
Ｘ線照射部７は、搬入口から搬出口に向かって搬送方向Ｘに搬送路上を搬送される被検査物ＷにＸ線を照射する手段であり、電圧を印可して加速した電子をターゲットに射突させてＸ線を発生させる。
【００２２】
Ｘ線照射部７は、絶縁油が満たされた略直方体形状の金属製の筐体７ａと、筐体７ａの内部に設けられて絶縁油に浸漬された円筒状のＸ線管７ｂとを有する。Ｘ線管７ｂは、搬送方向Ｘを含む水平な平面内において、その長手方向が被検査物Ｗの搬送方向Ｘ（又は搬送方向Ｘと直交する方向Ｚ）と平行となるように設けられている。Ｘ線管７ｂは、陰極７ｃと、支持体７ｄと、支持体７ｄに支持されて陰極７ｃと所定距離をおいて対向するように配置された陽極ターゲット７ｅとを有しており、陰極７ｃからの電子ビームを陽極ターゲット７ｅに射突させてＸ線を発生させる。Ｘ線発生位置である陽極ターゲット７ｅで生成したＸ線は、出射窓７ｆから出射し、後述するコリメータ８を経て、後述するＸ線ラインセンサ１５に向けてスクリーン状に照射される。尚、この出射窓７ｆは、搬送方向Ｘを含む水平な平面内において、搬送方向Ｘと直交する方向Ｚに平行に形成された例えば矩形状の孔である。
【００２３】
コリメータ８は、Ｘ線照射部７の下方に設けられ、後述するＸ線ラインセンサ１５に対するＸ線の照射領域、言い換えれば、Ｘ線管７ｂからＸ線ラインセンサ１５に向けて照射されるＸ線の進路を制限するための手段として、例えば矩形状の照射スリット８ａを有している。コリメータ８は、照射スリット８ａの長手方向が搬送方向Ｘと直交する方向Ｚに平行な方向に一致する状態を基本位置としている。
【００２４】
第２ユニット４は、第１ユニット３と高さ方向（Ｙ方向）に所定距離離れて対向するように、搬送部２の上側の搬送ベルト２ａと下側の搬送ベルト２ａの間に設けられたＸ線検出側のユニットである。第２ユニット４は筐体４ａを備えており、この筐体４ａの中にはＸ線ラインセンサ１５が設けられている。
【００２５】
Ｘ線ラインセンサ１５は、被検査物Ｗの搬送方向Ｘを含む水平な平面内において、搬送方向Ｘと直交する所定方向（Ｚ方向）に沿って複数の検出素子が一直線上に並設されたセンサである。その構造を詳説すると、Ｘ線ラインセンサ１５は、所定方向に沿ってライン状に並設された複数のフォトダイオードと、これらフォトダイオード上に設けられたシンチレータとを備えたアレイ状の検出素子を有している。Ｘ線ラインセンサ１５は、複数の検出素子（フォトダイオードとシンチレータのアレイ）によって被検査物Ｗおよび搬送ベルト２ａを透過するＸ線を検出し、複数の素子数を１ラインとして素子毎に検出データ（Ｘ線の検出量）を順次出力し、被検査物Ｗの搬送に伴い順次出力を繰り返す。このＸ線ラインセンサ１５の出力は、被検査物Ｗの異物混入の有無、シール部不良の有無、欠品の有無などの各種検査を行う際に用いられる。
【００２６】
このＸ線検査装置１によれば、搬送部２で搬送される被検査物Ｗは、上流側及び下流側の遮蔽カーテン１０と、上側の搬送ベルト２ａと、第１ユニット３の筐体６の下面と図示しないその他の遮蔽壁等によって区画された検査空間内において上方からＸ線を照射される。ここで、Ｘ線照射部７が発生したＸ線は、コリメータ８の照射スリット８ａを通過することにより、Ｘ線ラインセンサ１５に対するＸ線の照射範囲が制限される。コリメータ８を通過したＸ線は、搬送される被検査物Ｗ及び上側の搬送ベルト２ａを透過してＸ線ラインセンサ１５に到達する。図１に示す制御部５は、Ｘ線照射部７の駆動と、Ｘ線ラインセンサ１５からの検出信号の受信を行い、Ｘ線ラインセンサ１５が検出したＸ線の検出量に基づいて被検査物Ｗの検査を行う。なお、図１では、制御部５Ｗの当該検査機能に対応する制御線の図示を省略している。なお図１に示した制御部５の制御線は、Ｘ線検査装置１の調整機能に係わるものであり、以下の説明において言及する。
【００２７】
次に、図１及び図２を参照して、Ｘ線検査装置１の調整機能に係る部分の構成について説明する。
この調整機能に係る部分は、位置を固定されたＸ線ラインセンサ１５に対するＸ線照射部７とコリメータ８の位置を適正に調整するための機構であり、Ｘ線を適切な状態でＸ線ラインセンサ１５に到達させるための手段である。なお前述したように、Ｘ線ラインセンサ１５は、複数の検出素子が所定方向（Ｚ方向）に並設されるような位置又は姿勢で第２ユニット４の筐体４ａに固定されている。
【００２８】
Ｘ線照射部７には、これを移動させるための第１の移動手段である第１アクチュエータ９が設けられている。Ｘ線照射部７は、この第１アクチュエータ９を制御部５が駆動することにより、図２に示すように移動することができる。なお、ここで移動とは、位置又は姿勢を変更することを意味する。また、図１において第１アクチュエータ９は模式的に示してある。より具体的には、図２中に矢印Ａで示すように、制御部５に制御された第１アクチュエータ９は、Ｘ線照射部７を、Ｘ線照射部７の並設された検出素子の列を含む平面と平行な平面内において、前記所定方向（Ｚ方向）と直交する方向（Ｘ方向）に沿って直線的に往復移動させ、Ｘ線照射部７を必要な位置に位置決めできる。
【００２９】
第１アクチュエータ９の構成及び第１アクチュエータ９によってＸ線照射部７が移動（直動）するための機構については、特に限定はなく公知のあらゆる駆動手段及び機構が適用できる。例えば、Ｘ線照射部７をＸ方向に沿って配置した案内レールによって往復して移動可能とし、ソレノイド、モータ（パルスモータ、ステッピングモータなど）、流体圧シリンダ等の駆動源によってＸ線照射部７をＸ方向に沿って移動させ、Ｘ方向の任意の位置に位置決めできるようにしてもよい。
【００３０】
コリメータ８には、これを移動させるための第２の移動手段である第２アクチュエータ１１が設けられている。コリメータ８は、第２アクチュエータ１１を制御部５が駆動することにより、図２に示すように移動することができる。なお、ここで移動とは、位置又は姿勢を変更することを意味する。また、図１において第２アクチュエータ１１は模式的に示してある。より具体的には、図２中に矢印Ｂで示すように、第２アクチュエータ１１は、コリメータ８を、照射スリット８ａの中心線Ｃを回転軸として、回転方向に移動させ、コリメータ８を回転方向の必要な位置に位置決めできる。
【００３１】
第２アクチュエータ１１の構成及び第２アクチュエータ１１によってコリメータ８が移動（回動）するための機構については、特に限定はなく公知のあらゆる駆動手段及び機構が適用できる。例えば、照射スリット８ａの長手方向の中央を通過するＹ方向に平行な軸を回転軸としてコリメータ８をＸＺ平面内で回動可能とし、ソレノイド、モータ（パルスモータ、ステッピングモータなど）、流体圧シリンダ等の駆動源によってコリメータ８を中心線Ｃを回転中心としてＸＺ平面内で回動させ、回転方向の任意の位置に位置決めできるようにしてもよい。このような動作を可能とするより具体的な機構の一例を説明する。図２において、矩形状のコリメータ８の両端であって、照射スリット８ａが形成されていない２カ所の部分に溝をそれぞれ形成する。２つの溝は、中心線Ｃが照射スリット８ａを通過する点を中心点とした円弧状の溝である。また、コリメータ８が支持される本装置のフレームに、各溝に係合する２個の突起部材を固設する。そして、第２アクチュエータ１１を、その作動力がコリメータ８に回転力を与えるように設置する。このような構成であれば、第２アクチュエータ１１を作動させることにより、コリメータ８は２対の溝及び突起部材に案内されて前記中心点の廻りを回転方向に移動することができる。
【００３２】
以上説明したように、位置を固定されたＸ線ラインセンサ１５に対してＸ線照射部７とコリメータ８の位置を調整する機構を設けた理由は次の通りである。すなわち、Ｘ線ラインセンサ１５とコリメータ８は、Ｘ線検査装置１内において比較的困難なくアクセスできる位置に設けられているため、作業者はこれらの構成部品については、目視により相当程度の精度で装置のフレームに組み付けることができる。しかしながら、Ｘ線ラインセンサ１５及びコリメータ８に対してＸ線照射部７が正しい位置に取り付けられているか否かは、目視だけでは判断できず、実際にＸ線を照射してＸ線ラインセンサ１５の検知状態を見る必要がある。これは、「発明が解決しようとする課題」の項でも説明したように、Ｘ線照射部７におけるＸ線管７ｂの筐体７ａの取り付け位置に誤差があり、またＸ線管７ｂの筐体７ａ内における陽極ターゲット７ｅの位置にも誤差があり、Ｘ線管７ｂ及び陽極ターゲット７ｅの位置は何れも外側からは目視できないからである。
【００３３】
そこで、本実施形態では、先に説明したようにＸ線照射部７とコリメータ８の位置を調整自在とし、以下に説明するように実際にＸ線照射部７からＸ線を照射し、Ｘ線ラインセンサ１５によるＸ線の検知状態に基づいて、Ｘ線照射部７とコリメータ８の最適の位置を制御部５が判断するものとした。
【００３４】
次に、図１〜図４を参照して、Ｘ線検査装置１の調整機能に係る部分の作用について説明する。まず、Ｘ線ラインセンサ１５に対するＸ線照射部７の位置調整を行う。
制御部５は第１アクチュエータ９（図１参照）を作動させ、Ｘ線照射部７がＸ方向に移動できる範囲の一方の端部から他方の端部に向けてＸ線照射部７を移動させる。また、Ｘ線照射部７の移動に伴い、Ｘ線照射部７を駆動し、Ｘ線を照射させる。制御部５は、Ｘ線ラインセンサ１５が出力する検知信号（Ｘ線の検出量に対応した信号）を受信し、得られたデータを次のような手順で演算し、Ｘ方向におけるＸ線照射部７の最適な位置を判断する。
【００３５】
図３は、制御部５の演算により得られたデータをグラフで表したものである。このグラフは、ラインセンサの各検出素子が検出したＸ線検出量の平均値と、Ｘ線照射部７の位置との関係を示している。制御部５は、図３に示すデータが取得された後、このデータに基づき、Ｘ線検出量の平均値（縦軸）が最も高い中央の特定位置を調整されたＸ線照射部７の位置として決定し、第１アクチュエータ９を作動させてＸ線照射部７を当該位置に位置決めする。これにより、Ｘ線照射部７から照射されるＸ線の中心線がコリメータ８の照射スリット８ａの中心を通過して検出素子の中央部に到達する。このとき、Ｘ線の照射の中心線と、照射スリット８ａの中心線Ｃとは略一致している。なお、ここで照射スリット８ａの中心線Ｃとは、Ｘ線照射部７の焦点と、コリメータ８の照射スリット８ａの長手方向の中心とを結ぶ線を意味する。または、コリメータ８の照射スリット８ａの長手方向の中心を通過し、照射スリット８ａが開口したコリメータ８の上面に垂直な線を意味する。このようにＸ線照射部７を位置決めすれば、複数の検出素子が検出するＸ線の検出量の平均値を最も高くすることができる。
【００３６】
次に、Ｘ線ラインセンサ１５に対するコリメータ８の位置調整を行う。
制御部５は第２アクチュエータ１１（図１参照）を作動させ、コリメータ８をＢ方向（図２参照）に回転させ、照射スリット８ａがＺ方向と略平行と考えられる位置の前後の複数位置でそれぞれ停止し、各位置でＸ線照射部７を駆動し、Ｘ線を照射させる。制御部５は、Ｘ線ラインセンサ１５が出力する検知信号をコリメータ８の位置ごとに受信し、得られたデータを次のような手順で演算し、回転方向Ｂにおけるコリメータ８の最適な位置を判断する。
【００３７】
図４は、制御部５の演算により得られたデータをグラフで表したものである。このグラフは、コリメータ８の位置ごとに得られたＸ線ラインセンサ１５の各検出素子によるＸ線の検出量を示すデータを、Ｘ線ラインセンサ１５の各検出素子の位置を縦軸とし、Ｘ線ラインセンサ１５の各検出素子によるＸ線検出量を横軸として示したものである。すなわち、図４のグラフ中の複数の曲線（図４では３本が例示されている）は、回転方向Ｂの位置が異なるコリメータ８によって得られた複数のデータに相当する。また、横軸には、Ｘ線ラインセンサ１５の各検出素子によるＸ線の検出量として好ましいと判断できる閾値が設定されている。
【００３８】
制御部５は、図４に示すデータにおいて、各検出素子によるＸ線の検出量（横軸）が何れも閾値を越えているデータ（図４に示す曲線中では実線で表したもの）を選択する。そして、当該データに係るコリメータ８の回転方向Ｂの位置を調整後の位置として決定し、さらに第２アクチュエータ１１を作動させてコリメータ８を当該位置に位置決めする。これにより、コリメータ８の照射スリット８ａの長手方向とＸ線ラインセンサ１５の検出素子が並設された所定方向（Ｚ方向）が平行となるように、コリメータ８の位置の調整を行うことができ、Ｘ線ラインセンサ１５の複数の検出素子によるＸ線の検出量が所定の閾値よりも高くなるようにすることができる。
【００３９】
以上説明したように、本実施形態のＸ線検査装置１によれば、制御部５の制御により、Ｘ線ラインセンサ１５が検出するＸ線の検出量に基づいて第１アクチュエータ９と第２アクチュエータ１１の動作を制御することにより、Ｘ線照射部７とコリメータ８とＸ線ラインセンサ１５の位置関係を適正に調整して、Ｘ線を適切な状態でＸ線ラインセンサ１５に到達させるように調整することができる。このような調整機構があるため、コリメータ８の照射スリット８ａは可能な範囲で狭く設定することができ、当該調整機構を持たないために照射スリットの幅を大きくせざるを得ない場合に比べて漏洩Ｘ線量を最小化することができる。
【００４０】
以上説明した実施形態のＸ線検査装置１は、相対的に上方の位置に配置したＸ線照射部７から、相対的に下方の位置に配置したＸ線ラインセンサ１５に対し、下向きにＸ線を照射し、両者の間にある被検査物Ｗを検査する構造であったが、これは一例にすぎない。例えば、横照射形のＸ線検査装置１も本発明の対象となる。横照射形のＸ線検査装置１においては、被検査物Ｗの搬送方向（図１ではＸ方向）と直交する搬送ベルトの幅方向（図１ではＺ方向）に関する搬送部の一側方にＸ線照射部を配置し、このＸ線照射部が、被検査物Ｗの搬送方向と直交する鉛直面内で側方の被検査物Ｗに横向き（図１では概ねＺ方向）にＸ線を照射するように構成されている。また、このＸ線照射部と対向する搬送部の他側方には、検出素子が縦方向（図１ではＹ方向）に並ぶようにＸ線ラインセンサが配置される。そして、搬送部で搬送される被検査物Ｗに対して一側方からＸ線を照射し、透過Ｘ線を他側方で受光して検査を行う。但し、横照射形のＸ線検査装置１では、搬送部上に載置された被検査物Ｗの全体にＸ線を照射すると、被検査物Ｗの最下部よりも下方の搬送部に対してもＸ線が照射される。このため、Ｘ線ラインセンサの検出素子が検出したデータのうち、搬送部を透過したＸ線に係る部分は前述した図４に示す閾値を下回ってしまうと考えられる。このため、Ｘ線ラインセンサの検出素子のうち、搬送部を透過したＸ線を検出すると想定される部分にはＸ線遮蔽カバーを設け、検出信号が出力されないようにするか、またはその部分のデータを前述の演算に使用しないようにする配慮が必要である。
【００４１】
以上、本発明に係るＸ線検査装置１の最良の形態について説明したが、この形態による記述及び図面により本発明が限定されることはない。すなわち、この形態に基づいて当業者等によりなされる他の形態、実施例及び運用技術などはすべて本発明の範疇に含まれることは勿論である。
【符号の説明】
【００４２】
１…Ｘ線検査装置
２…搬送部
３…第１ユニット
４…第２ユニット
５…制御部
７…Ｘ線照射部
８…コリメータ
８ａ…コリメータの照射スリット
９…第１の移動手段である第１アクチュエータ
１１…第２の移動手段である第２アクチュエータ
１５…Ｘ線ラインセンサ
Ｗ…被検査物
【図１】
2020034494.tif 000003
【図２】
2020034494.tif 000004
【図３】
2020034494.tif 000005
【図４】
2020034494.tif 000006