(57)【要約】【課題】簡単な構成で、手作業によりウエハをウエハケースに収納する際のハンドリングミスによるウエハ同士の接触を容易に防止することができるウエハケース用治具を提供すること。【解決手段】ウエハケース用治具は、ウエハを支持する複数のスロットを備えるウエハケースに取り付けて、ウエハケースにウエハをガイドするウエハケース用治具であって、複数のスロットが配置されるピッチと同じピッチで配置される複数の溝が互いに対向し、複数のスロットから延在する位置に配置され、対向する位置に配置される一対の溝によりウエハをスロットにガイドするウエハガイドを備え、ウエハケース用治具をウエハケースの開口側に取り付けた際に、ウエハガイドはウエハケースに収納されたウエハの外側に配置されるか、又は、ウエハガイドはウエハケースに収納されたウエハを覆う位置に配置される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハを支持する複数のスロットを備えるウエハケースに取り付けて、前記ウエハケースにウエハをガイドするウエハケース用治具であって、
前記複数のスロットが配置されるピッチと同じピッチで配置される複数の溝が互いに対向し、前記複数のスロットから延在する位置に配置され、前記対向する位置に配置される一対の前記溝によりウエハを前記スロットにガイドするウエハガイドを備え、
前記ウエハケース用治具を前記ウエハケースの開口側に取り付けた際に、前記ウエハガイドはウエハケースに収納されたウエハの外側に配置されるか、又は、前記ウエハガイドは前記ウエハケースに収納されたウエハを覆う位置に配置されるウエハケース用治具。
【請求項２】
前記ウエハガイドは、前記一対の溝を識別する識別部を備える、請求項１に記載のウエハケース用治具。
【請求項３】
前記複数の溝の幅は、それぞれ、前記複数のスロットの幅と同一である、請求項１又は請求項２に記載のウエハケース用治具。
【請求項４】
前記ウエハガイドは、前記ウエハケースの一部と同一の形状を含む、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のウエハケース用治具。
【請求項５】
前記ウエハケース用治具を前記ウエハケースに対して位置決めした状態で接続する接続部を備える、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のウエハケース用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハケース用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話や端末機に搭載されるＳＡＷフィルタは、通信技術の進歩により、１デバイスあたりに搭載される個数が増加してきている。ＳＡＷフィルタは、例えばタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等を原料とする単結晶のウエハから製造され、ＳＡＷフィルタの材料となるウエハの生産数も増加している。ウエハの製造プロセスでは、最終検査として外観検査が行われる。
【０００３】
外観検査の回数は、ウエハの生産数の増加に伴い増加している。外観検査は、例えば人の目による目視検査により行われ、目視検査後に、作業者はエアピンセットを用いてウエハをウエハケース（ウエハキャリア、ウエハカセット等とも呼ばれる）に収納する。
【０００４】
ウエハをウエハケースに収納する工程では、エアピンセットで吸着したウエハと既に収納してあるウエハとが接触しウエハの表面が損傷し不良となることがある。例えば、ウエハがウエハケースのスロットに対して傾いた状態でウエハケースに収納すると、既にウエハケースに収納されたウエハと接触してウエハの表面が損傷することがある。作業者が習熟していない場合、ウエハ収納時におけるウエハ同士の接触の頻度が増加する。
【０００５】
また、近年の外観検査の増加に伴い、外観検査の時間が長くなりウエハの収納の回数も増加している。これにより、作業者の集中力の低下や反復動作による慣れによる作業者のハンドリングミスが生じやすくなり、ウエハ収納時におけるウエハ同士の接触の頻度が増加している。
【０００６】
ウエハの収納に用いられるウエハケース用治具が従来から知られている。例えば、下記の特許文献１には、ウエハケースを所定の位置に固定するウエハケース案内部材と、ウエハケース内に配設されたウエハ収容スリットの上部に、ウエハ収容スリットに対して垂直方向に架設された支持棒と、ウエハ収容スリットに対して平行にウエハが挿通するウエハ案内孔が穿設されたウエハ案内部材とを有し、ウエハ案内部材が、支持棒に回動自在、かつ支持棒に沿って移動可能に装着される構成のウエハケース用治具が記載されている。
【０００７】
また、下記の特許文献２には、ウエハ整列溝を有するウエハケースに装着して、ウエハケースに収納されたウエハ同士の接触を防止する治具であって、長方形状の支持枠からなり、一方の対をなす壁に、それぞれ内方に向かって櫛状に分節されたリブが対向して設けられ、リブ間のスリットはウエハ整列溝の溝ピッチと同一ピッチを有し、スリットの幅がウエハ整列溝の溝幅よりも狭い構成のウエハケース用治具が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平０７−２６３５３２号公報
【特許文献２】特許第３４４１６１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１のウエハケース用治具は、ウエハ案内部材を移動可能な構成とするため、構成が複雑となる。また、このウエハケース用治具は、ウエハを収納する対象のスリットにウエハ案内部材を移動させて使用するため、使用時に手間と時間がかかる。
【００１０】
特許文献２のウエハケース用治具は、ウエハケースからウエハを手動で取り出す際の煩雑な作業を簡素化し、作業を低減することを目的とした構成である。このウエハケース用治具は、特定のウエハケースに装着して、ウエハケースに収納されたウエハをスリットで支持することにより、ウエハケース傾け装置を用いることなく、ウエハ同士を接触させずにウエハをウエハケースから取り出すことができる。しかしながら、このウエハケース用治具の場合、ウエハケースに収納されたウエハの両端面をスリットで支持するため、スリットで支持されたウエハにおいてスリットより外側の部分は、開放された保護のない状態となり、上述のウエハ収納時におけるウエハ同士の接触を防止することが困難である。
【００１１】
本発明は、上述の問題点に着目してなされたもので、簡単な構成で、手作業によりウエハをウエハケースに収納する際のハンドリングミスによるウエハ同士の接触を容易に防止することができるウエハケース用治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の態様では、ウエハを支持する複数のスロットを備えるウエハケースに取り付けて、ウエハケースにウエハをガイドするウエハケース用治具であって、複数のスロットが配置されるピッチと同じピッチで配置される複数の溝が互いに対向し、複数のスロットから延在する位置に配置され、対向する位置に配置される一対の溝によりウエハをスロットにガイドするウエハガイドを備え、ウエハケース用治具をウエハケースの開口側に取り付けた際に、ウエハガイドは、ウエハケースに収納されたウエハの外側に配置されるか、又は、ウエハガイドはウエハケースに収納されたウエハを覆う位置に配置される、ウエハケース用治具が提供される。
【００１３】
また、ウエハケース用治具において、ウエハガイドが一対の溝を識別する識別部を備える構成としてもよい。また、複数の溝の幅は、それぞれ、複数のスロットの幅と同一である構成としてもよい。また、ウエハガイドは、ウエハケースの一部と同一の形状を含む構成としてもよい。また、ウエハケース用治具をウエハケースに対して位置決めした状態で接続する接続部を備える構成としてもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の態様のウエハケース用治具によれば、簡単な構成で、手作業によりウエハをウエハケースに収納する際のハンドリングミスによるウエハ同士の接触を容易に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態に係るウエハケース用治具の一例を示す斜視図である。
【図２】ウエハケース用治具をウエハケースに取り付けた状態を示す斜視図である。
【図３】ウエハケース用治具をウエハケースから取り外した状態を示す斜視図である。
【図４】ウエハケース用治具をウエハケースに取り付けた状態を示す正面図である。
【図５】ウエハケース用治具をウエハケースに取り付けた状態を示す上面図である。
【図６】ウエハケース用治具及びウエハケースの変形例を示す図であり、ウエハケース用治具をウエハケースに取り付けた状態を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれに限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。また、以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、鉛直方向をＺ方向とし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向とする。また、Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向のそれぞれについて、適宜、矢印の先の側（方向）を＋側（方向）（例、＋Ｘ側（方向））と称し、その反対側（方向）を−側（方向）（例、−Ｘ側（方向））と称す。また、本実施形態では、Ｘ方向を左右方向、＋Ｘ方向を右方向、−Ｘ方向を左方向と称すこともある。また、本明細書において、数値等の範囲を「Ａ〜Ｂ」と記載した場合、「Ａ以上、Ｂ以下」であることを意味する。
【００１７】
［実施形態］
以下、本実施形態のウエハケース用治具について、図面を参照して説明する。図１は、本実施形態に係るウエハケース用治具の一例を示す斜視図である。図２は、ウエハケース用治具をウエハケースに取り付けた状態を示す斜視図である。図３は、ウエハケース用治具をウエハケースから取り外した状態を示す斜視図である。図４は、ウエハケース用治具をウエハケースに取り付けた状態を＋Ｘ方向から見た正面図である。図５は、ウエハケース用治具をウエハケースに取り付けた状態を＋Ｚ方向から見た上面図である。図６は、ウエハケース用治具及びウエハケースの変形例を示す図であり、ウエハケース用治具をウエハケースに取り付けた状態を＋Ｘ方向から見た正面図である。
【００１８】
図１に示すウエハケース用治具１（以下「治具」と略す。）は、ウエハケース２にウエハＷをガイドする治具である。治具１は任意のウエハＷに適用することができる。治具１は、使用する対象のウエハケース２の構成に応じて構成され、一般的なウエハケース２に適用することができる。本実施形態では、治具１を図示のウエハケース２に適用する例を説明するが、ウエハケース２は図示の構成に限定されない。
【００１９】
まず、ウエハケース２について説明する。ウエハケース２は、ウエハＷを支持して収納する複数のスロット３を備える（図３参照）。各スロット３は、ウエハケース２の内側の＋Ｙ側及び−Ｙ側に形成された互いに対向する位置に配置される一対の溝４により構成される。各溝４は、ウエハケース２の筐体及びリブ５により形成される。各溝４は、ウエハケース２の内側の上端から上半部においてはＺ方向に沿って配置され、上半部から下方においてはウエハケース２の中心側に向かって傾斜する。各溝４は、断面がＶ字状に形成されている。各溝４は、所定の溝幅で形成されている。溝幅は限定されず任意である。各溝４は、Ｘ方向において、所定のピッチで等間隔に並んで配置される。このピッチは限定されず任意である。各溝４は、ウエハＷの周縁部分を支持し、ウエハＷのＸ方向の移動を規制する。一対の溝４により構成されるスロット３は、１枚のウエハＷを収納する。複数のスロット３は、上述の構成により、複数のウエハＷを離間した状態でＸ方向に並べて収納する。
【００２０】
治具１について説明する。治具１は、図２に示すように、ウエハケース２に取り付けて使用する。治具１は、図１及び図２に示すように、ウエハケース２に対して着脱可能に構成されている。治具１は、図１及び図２に示すように、フレーム１１、接続部１２、ウエハガイド１３、及び識別部１４を備える。フレーム１１は、治具１の各部を支持する。フレーム１１は、例えば、平面視（＋Ｚ側から見た状態）での外形が長方形状（正方形を含む）である枠体である。フレーム１１は、複数の部材で形成されている。フレーム１１は、＋Ｙ側の部材１６と−Ｙ側の部材１７とを連結部材１８で連結した構造である。なお、フレーム１１は一体でもよい。フレーム１１における枠体の内側の領域は、ウエハＷがＺ方向に通過する領域である。
【００２１】
また、フレーム１１は、図３に示すように、ウエハケース２の開口部２０に設置可能に形成されている。ここで開口部２０とは、ウエハケース２において、ウエハＷが挿入される側（開口側、＋Ｚ側）の開口部分を意味する。開口部２０は、ウエハＷが通過する領域である。
【００２２】
開口部２０は、治具１を載置する載置面２２を有する。載置面２２は、ウエハケース２の＋Ｙ側及び−Ｙ側の上端に配置され、平面状に形成されている。フレーム１１の＋Ｙ側及び−Ｙ側の端部には、それぞれ、＋Ｙ側及び−Ｙ側の載置面２２に載置される被載置部２３が設けられている。＋Ｙ側及び−Ｙ側の被載置部２３は、それぞれ、平面視において、＋Ｙ側及び−Ｙ側の載置面２２と同様の形状である。＋Ｙ側及び−Ｙ側の被載置部２３は、下面（−Ｚ側の面）は平面状に形成されている。治具１をウエハケース２に取り付ける際、＋Ｙ側及び−Ｙ側の被載置部２３が＋Ｙ側及び−Ｙ側の載置面２２で載置されるように、治具１及びウエハケース２を配置する。＋Ｙ側及び−Ｙ側の被載置部２３の上部には、それぞれ、後述するウエハガイド１３が設けられている。フレーム１１の構成については、後にさらに説明する。なお、フレーム１１の構成は、上述の例に限定されない。
【００２３】
接続部１２は、治具１をウエハケース２に位置決めした状態で接続する。治具１に接続部１２が設けられることにより、容易に治具１をウエハケース２に位置決めした状態で取り付けることができる。本例の接続部１２は、−Ｙ側の載置面２２の＋Ｘ側の端部及び−Ｘ側の端部に設けられた２つの凸部２６ａと、−Ｙ側の被載置部２３の＋Ｘ側の端部及び−Ｘ側の端部に設けられた２つの凹部２７ａと、＋Ｙ側の載置面２２の＋Ｘ側の端部及び−Ｘ側の端部に設けられた２つの凹部２７ｂと、＋Ｙ側の被載置部２３の＋Ｘ側の端部及び−Ｘ側の端部に設けられた２つの凸部２６ｂと、有する。凸部２６ａを凹部２７ａと嵌め合わせ、且つ、凸部２６ｂを凹部２７ｂと嵌め合わせることにより、治具１をウエハケース２に位置決めした状態で接続することができる。凸部２６ａ、凹部２７ａ、凸部２６ｂ、及び凹部２７ｂは、例えば、直径３〜５ｍｍ程度に設定される。なお、接続部１２の構成は、治具１をウエハケース２に位置決めした状態で接続する構成であれば任意の構成を採用することができる。また、接続部１２は、備えられなくてもよく、この構成の場合、治具１をウエハケース２にクリップ、粘着テープ等で固定することにより、治具１をウエハケース２に固定してもよい。
【００２４】
ウエハガイド１３は、ウエハＷをスロット３にガイドする。ウエハガイド１３は、フレーム１１内側の＋Ｙ側及び−Ｙ側に形成された互いに対向する位置に配置される複数の溝３０により構成される（図１参照）。各溝３０は、Ｚ方向に沿って配置される。各溝３０は、フレーム１１及びリブ３１により形成される。各溝３０は、ウエハＷの周縁部分を支持し、ウエハＷのＸ方向の移動を規制する。ウエハガイド１３は、対向する一対の溝３０により１枚のウエハＷをガイドする（図５参照）。
【００２５】
各溝３０は、複数のスロット３が配置されるピッチと同じピッチで配置される。また、各溝３０の溝幅は、ウエハケース２の溝幅と同一に設定される。これらの構成の場合、作業者が手作業により容易にウエハＷを治具１に出し入れすることができ、また、ウエハＷを治具１とウエハケース２との間でスムーズにガイドすることができる。各溝３０のピッチ及び溝幅は、例えば、ウエハケース２と同じピッチ５ｍｍ、溝幅３ｍｍ程度とすることができる。また、治具１の高さ（Ｚ方向の寸法）は、特に制限はないが、２０ｍｍ〜３０ｍｍが好ましい。この治具１の高さの場合、作業者がエアピンセットで吸着してウエハＷを収納する際の手首の負担を軽減することができる。
【００２６】
リブ３１はウエハケース２のリブ５と同様のＶ字状の断面形状に形成され、各溝３０もウエハケース２の溝４と同様のＶ字状の断面形状に形成される。この構成により、治具１はウエハＷをウエハケース２との間でスムーズにガイドすることができる。なお、治具１のリブ３１とウエハケース２のリブ５は、互いに異なった断面形状でもよい、また、治具１の溝３０とウエハケース２の溝４は、互いに異なった形状でもよい。
【００２７】
治具１をウエハケース２の開口側に取り付けた際に、複数の溝３０は、それぞれ、複数のスロット３から延在する位置に配置される。また、治具１をウエハケース２の開口側に取り付けた際に、複数の溝３０は、それぞれ、複数のスロット３の溝４の近傍に配置される。これらの構成により、治具１はウエハＷをウエハケース２との間でスムーズにガイドすることができる。
【００２８】
治具１をウエハケース２の開口側に取り付けた際に、ウエハガイド１３はウエハケース２に収納されたウエハＷの外側（本例では＋Ｚ側）に配置される（図４参照）。なお、ウエハガイド１３はウエハケース２に収納されたウエハＷを覆う位置に配置されてもよい（図６参照）。言い換えれば、治具１をウエハケース２の開口側に取り付けた際に、図４及び図６に示すように、ウエハケース３に収納されたウエハＷの端部Ｗｐは、ウエハガイド１３におけるウエハケース２側（本例では−Ｚ側）と反対側（本例では＋Ｚ側）の端部ＰＨに対して、ウエハケース２側（内側）に配置される。
【００２９】
上述の治具１をウエハケース２の開口側に取り付けた際に、治具１のウエハガイド１３はウエハケース２に収納されたウエハＷの外側に配置されているか、又は、ウエハガイド１３はウエハケース２に収納されたウエハＷを覆う位置に配置される構成により、ウエハＷをウエハケース２に収納する際に、収納するウエハＷは、まずウエハガイド１３によりガイドされるため傾いた状態でウエハケース２に収納されることが抑制され、収納するウエハＷがウエハケース２に収納されたウエハＷに接触することを抑制することができる。
【００３０】
また、本例の治具１は、上述したようにリブ３１がウエハケース２のリブ５と同形状、各溝３０もウエハケース２の溝４と同じ形状、溝幅、ピッチで形成される。すなわち、本例のウエハガイド１３は、ウエハケース２の一部と同一の形状を含む。この構成の場合、ウエハケース２を材料として治具１を製造することができる。例えば、図１に示すウエハケース２をＸＹ平面でカットすることにより、治具１の一部分とすることができ、治具１を容易に製造することができる。なお、治具１の材料は、例えば樹脂を用いることができる。
【００３１】
識別部１４は、一対の溝３０を識別する。一対の溝３０のそれぞれの近傍に配置される。識別部１４は、例えば、マーク、文字、数字、記号などであり、これらは複数の異なる色としてもよい。識別部１４を備える構成の場合、容易にウエハＷを対象の一対の溝３０に挿入することができる。
【００３２】
治具１の使用方法について説明する。治具１は、使用の際、ウエハケース２に取り付ける。治具１をウエハケース２の開口側に取り付ける。本例では、治具１の＋Ｙ側及び−Ｙ側の被載置部２３が、ウエハケース２の＋Ｙ側及び−Ｙ側の載置面２２で載置されるように、治具１及びウエハケース２を配置する。この際、上述の接続部１２により、治具１をウエハケース２に位置決めした状態で接続する。位置決めした状態で治具１２がウエハケース２に接続されると、治具１の複数の溝３０は、それぞれ、複数のスロット３から延在する近傍の位置に配置される。治具１はウエハＷをウエハケース２との間でスムーズにガイドすることができる。上述のように、治具１はウエハケース２に位置決めした状態で設置する作業のみで、容易に使用することができる。
【００３３】
ウエハＷをウエハケース２に収納する際、エアピンセットで吸着したウエハ１を、治具１に設けられたウエハＷを挿入する対象の一対の溝３０に挿入する。挿入対象の一対の溝３０は、識別部１４により容易に確認することができる。本実施形態では、ウエハＷを治具１に挿入する際、治具１のウエハガイド１３はウエハケース２に収納されたウエハＷの外側に配置されているか、又は、ウエハガイド１３はウエハケース２に収納されたウエハＷを覆う位置に配置される。このため、収納するウエハＷは、まずウエハガイド１３によりガイドされるため、傾いた状態でウエハケースに収納される等のハンドリングミスによるウエハ同士の接触を容易に防止することができる。治具１は、使用した後、図３に示すように、ウエハケース２から治具１を取り外すことができる。
【００３４】
以上の説明のように、本実施形態の治具１は、ウエハＷを支持する複数のスロット３を備えるウエハケース２に取り付けて、ウエハケース２にウエハＷをガイドする治具１であって、複数のスロット３が配置されるピッチと同じピッチで配置される複数の溝３０が互いに対向し、複数のスロット３から延在する位置に配置され、対向する位置に配置される一対の溝３０によりウエハＷをスロット３にガイドするウエハガイド１３を備え、治具１をウエハケース２の開口側に取り付けた際に、ウエハガイド１３は、ウエハケース２に収納されたウエハＷの外側に配置されるか、又は、ウエハガイド１３はウエハケース２に収納されたウエハＷを覆う位置に配置される。本構成によれば、簡単な構成で、手作業によりウエハＷをウエハケース２に収納する際のハンドリングミスによるウエハＷ同士の接触を容易に防止することができる。本実施形態の治具１は、ウエハＷをウエハケース２に収納用の治具として好適に用いることができる。また、本実施形態の治具１は、タンタル酸リチウム又はニオブ酸リチウムのような脆性の単結晶のウエハＷ用として好適に用いることができる。
【実施例】
【００３５】
以下、本発明の実施例について具体的に説明する。なお、本発明は実施例によって何ら限定されるものではない。
【００３６】
タンタル酸リチウム又はニオブ酸リチウムを原料として育成された単結晶にアニーリング処理を施し、単結晶の端部をカット及び円筒研削した後、ワイヤーソーを用いて直径６インチ、厚さ０．４２ｍｍのウエハにスライスした。続いて、スライスしたウエハの外周及びオリフラ部に対して、面取り装置により面取りを施した後、両面研磨装置にて砥粒を用いて、ウエハ両面を所定の厚さまでラッピング加工した。ラッピング加工後、ウエハ表面の汚れを除去するため、エッチング処理を行った。エッチング処理後、ウエハの外周部と表面をコロイダルシリカを用いて所定の厚さになるまで鏡面研磨を行った。鏡面研磨されたウエハに対して、自動平坦度装置により厚さ、平行度、反りを検査し最終製品とした。最終製品のウエハに、作業者による目視検査（外観検査）を施した。目視検査は、作業者がエアピンセットによりウエハを吸着し、吸着したウエハの表面及び外周を目視することにより実施した。
【００３７】
目視検査にて良品と判定されたウエハは、エアピンセットによって吸着し、図１に示すウエハケース用治具１を装着した状態のウエハケース２に収納した。上述の方法を５ロット（５００枚）のウエハに対して実施したところ、表１に示すように、ウエハ同士が接触して発生したキズは見られなかった。
【００３８】
【表１】
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【比較例】
【００３９】
比較例として、ウエハケース用治具１を使用せずに、作業者が目視検査（外観検査）を行った時の結果を表２に示す。なお、比較例は、ウエハケース用治具１を用いない以外は、実施例と同様にして実施した。比較例では、ウエハケースに収納する際に、ウエハが傾いた状態となり、収納されているウエハと接触してウエハ表面に入ったキズ不良が１〜３％の発生率で見られた。
【００４０】
【表２】
2020136614.tif 000004
【００４１】
上述の実施例及び比較例の結果から、本実施形態のウエハケース用治具は、手作業によりウエハケースにウエハを収納する際のハンドリングミスによるウエハ同士の接触を防止することができることが確認された。
【００４２】
なお、本発明の技術範囲は、上述の実施形態などで説明した態様に限定されるものではない。上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、上述の実施形態などで説明した要件は、本発明の要旨を逸脱しない範囲において各部材の改良、構造の変更を行ってもよい。また、法令で許容される限りにおいて、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
【００４３】
例えば、フレーム１１の構成は、上述の例に限定されず任意である。例えば、フレーム１１は、接続部材１８を備えなくてもよい。すなわち、治具１は、図１等に示す＋Ｙ側の部分と−Ｙ側の部分とが連結されなくてもよく、例えば、＋Ｙ側のウエハガイド１３の部分と、−Ｙ側のウエハガイド１３の部分とを連結せずに、独立した構成としてもよい。
【符号の説明】
【００４４】
Ｗ…ウエハ
１…ウエハケース用治具（治具）
２…ウエハケース
３…スロット
４…溝（ウエハケース）
５…リブ
１１…フレーム
１２…接続部
１３…ウエハガイド
１４…識別部
１６…部材
１７…部材
１８…連結部材
２０…開口部
２２…載置面
２３…被載置部
２６ａ、２６ｂ…凸部
２７ａ、２７ｂ…凹部
３０…溝
３１…リブ
【図１】
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【図２】
2020136614.tif 000006
【図３】
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【図４】
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【図５】
2020136614.tif 000009
【図６】
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