(57)【要約】【課題】  高温の原料ガスが導入される導入側開口部の外周側に、弁部材の弁座に設けたＯリングを密接させて導入側開口部を弁部材で閉塞させる場合に、高温の原料ガスの熱によってＯリングが劣化するのを防止する。【解決手段】  高温の原料ガスGhがガス導入流路10から導かれる導入側開口部11に向けて弁部材40を移動装置52により移動させて、弁部材の前面における弁座41の外周部に設けたＯリング42を導入側開口部の外周部に密接させるように押し付け、弁部材によって導入側開口部を閉塞させるにあたり、弁座に設けられたＯリングに向けて冷却ガスGcを吹き付ける冷却ノズル部44を設けた。【選択図】  図３
2020060233.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高温の原料ガスがガス導入流路から導かれる導入側開口部に向けて弁部材を移動装置により移動させて、前記の弁部材の前面における弁座の外周部に設けたＯリングを前記の導入側開口部の外周部に密接させるように押し付け、前記の弁部材によって前記の導入側開口部を閉塞させる弁部材押付式バルブにおいて、前記の弁座に設けられたＯリングに向けて冷却ガスを吹き付ける冷却ノズル部を設けたことを特徴とする弁部材押付式バルブ。
【請求項２】
請求項１に記載の弁部材押付式バルブにおいて、前記の弁部材を導入側開口部に向けて移動させる移動装置に導入側開口部に向けて伸縮されるロッドを設け、前記のロッド内に前記の冷却ノズル部に冷却ガスを導く冷却ガス導入路を設けたことを特徴とする弁部材押付式バルブ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の弁部材押付式バルブにおいて、前記のＯリングに向けて冷却ガスを吹き付ける冷却ノズル部の他に、Ｏリングと当接する導入側開口部の外周部に向けて冷却ガスを吹き付ける冷却ノズル部を設けたことを特徴とする弁部材押付式バルブ。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の弁部材押付式バルブにおいて、前記の弁座に設けられたＯリングの内周側に、前記の導入側開口部に向けて突出するようにして冷却ガスが導かれる冷却ガス導入部を設け、この冷却ガス導入部に、冷却ガスを吹き付ける冷却ノズル部として噴出孔を複数設け、複数の噴出孔から前記のＯリング及び導入側開口部に向けて冷却ガスを吹き付けることを特徴とする弁部材押付式バルブ。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の弁部材押付式バルブにおいて、高温の原料ガスが導かれる前記の導入側開口部に向けて弁部材を移動させる移動速度を制御する移動制御装置を設け、前記の弁部材を導入側開口部に向けて移動させて、Ｏリングを流路の導入側開口部の外周部に押し付ける際に、前記の移動制御装置により弁部材を導入側開口部に向けて移動させる速度を制御し、Ｏリングと当接する導入側開口部の外周部の温度を低下させた状態で、Ｏリングを当接させることを特徴とする弁部材押付式バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高温の原料ガスがガス導入流路から導かれる導入側開口部に向けて弁部材を移動装置により移動させて、前記の弁部材の前面における弁座の外周部に設けたＯリングを前記の導入側開口部の外周部に密接させるように押し付け、前記の弁部材によって前記の導入側開口部を閉塞させるようにした弁部材押付式バルブに関するものである。特に、前記のように弁部材の前面における弁座の外周部に設けたＯリングを前記の導入側開口部の外周部に密接させるように押し付け、前記の弁部材によって前記の導入側開口部を閉塞させる場合に、Ｏリングを適切に冷却させて、高温の原料ガスの熱によってＯリングがすぐに劣化するのを防止できるようにすると共に、前記の高温の原料ガスとして、セレン等を気化させたガスに窒素ガス等を混合させた高温の原料ガスを用いた場合に、この原料ガスがＯリング等の近傍において冷却されて、気化されたセレン等がＯリング等の近傍に液化して付着するのを適切に防止できるようにした点に特徴を有するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、セレン等を気化させたガスに窒素ガス等を混合させた高温の原料ガスをガス導入流路から導入側開口部を通してバルブ部内に導き、このようにバルブ部内に導かれた前記の高温の原料ガスを、バルブ部内から導出側開口部を通してガス導出流路に導き、このようにガス導出流路に導かれた高温の原料ガスをフィルター等に導いて処理することが行われている。
【０００３】
ここで、このように高温の原料ガスを処理するフィルター等の交換やメンテナンスを行う場合等において、ガス導入流路から高温の原料ガスが導かれる導入側開口部を閉塞させて、高温の原料ガスがバルブ部を通して導出側開口部からガス導出流路に送られるのを停止させることが必要になる。
【０００４】
そして、従来においては、ガス導入流路から導入側開口部を通して導かれた反応性ガス等の高温の原料ガスを、バルブ部から導出側開口部を通してガス導出流路に導くようにした状態から、反応性ガス等の高温の原料ガスが導入側開口部からバルブ部内を通して導出側開口部からガス導出流路に送られないようにするにあたって、特許文献１、２に示されるように、前記の高温の原料ガスがガス導入流路から導入側開口部を通して導かれる前記のバルブ部内に弁部材を設け、この弁部材を前記の導入側開口部に向けて移動させて、前記の弁部材の前面における弁座の外周部に設けたＯリングを前記の導入側開口部の外周部に密接させるように押し付け、前記の弁部材によって前記の導入側開口部を閉塞させるようにしたものが提案されている。
【０００５】
ここで、弁部材に使用されている一般のＯリングの耐熱性は必ずしも十分であるとはいえず、通常は２８０℃程度の温度までで使用するようにしている。
【０００６】
しかし、前記のようにセレン等を気化させたガスに窒素ガス等を混合させた高温の原料ガスの場合、原料ガスの温度が２８０℃を超える３５０℃以上の温度になり、この原料ガスの熱によって弁部材に使用されているＯリングがすぐに劣化してしまい、前記のようにＯリングを導入側開口部の外周部に密接させて導入側開口部を弁部材で閉塞させることが困難になるという問題があった。また、前記のようなセレン等を気化させたガスに窒素ガス等を混合させた高温の原料ガスの場合、前記のＯリング等の近傍を冷却させると、Ｏリング等の近傍において原料ガスが冷却され、原料ガス中におけるセレン等が液化されて、Ｏリングやその近傍に付着してリークや動作不良が生じるという問題もあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−２７８９４２号公報
【特許文献２】特開２００６−３２９３６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、高温の原料ガスがガス導入流路から導かれる導入側開口部に向けて弁部材を移動装置により移動させて、前記の弁部材の前面における弁座の外周部に設けたＯリングを前記の導入側開口部の外周部に密接させるように押し付け、前記の弁部材によって前記の導入側開口部を閉塞させる場合における前記のような様々な問題を解決することを課題とするものである。
【０００９】
すなわち、本発明は、前記のように高温の原料ガスがガス導入流路から導かれる導入側開口部の外周部に、弁部材の前面における弁座の外周部に設けたＯリングを密接させるように押し付け、前記の弁部材によって前記の導入側開口部を閉塞させる場合に、Ｏリングを適切に冷却させて、高温の原料ガスの熱によってＯリングが劣化するのを防止できるようにすると共に、前記の高温の原料ガスとして、セレン等を気化させたガスに窒素ガス等を混合させた高温の原料ガスを用いた場合に、この原料ガスがＯリング等の近傍において冷却されて、原料ガス中におけるセレン等が液化されてＯリング等の近傍に付着するのを適切に防止できるようにすることを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明における弁部材押付式バルブにおいては、前記のような課題を解決するため、高温の原料ガスがガス導入流路から導かれる導入側開口部に向けて弁部材を移動装置により移動させて、前記の弁部材の前面における弁座の外周部に設けたＯリングを前記の導入側開口部の外周部に密接させるように押し付け、前記の弁部材によって前記の導入側開口部を閉塞させる弁部材押付式バルブにおいて、前記の弁座に設けられたＯリングに向けて冷却ガスを吹き付ける冷却ノズル部を設けるようにした。
【００１１】
そして、この弁部材押付式バルブにおいて、前記の弁座に設けられたＯリングに向けて冷却ノズル部から冷却ガスを吹き付けるようにすると、高温の原料ガスが導かれるガス導入流路の導入側開口部に向けて弁部材を移動装置により移動させ、この弁部材の前面における弁座の外周部に設けられたＯリングを前記の導入側開口部の外周部に密接させて、弁部材により導入側開口部を閉塞させる際に、高温の原料ガスの温度が２８０℃を超える３５０℃以上であってもＯリングが過剰に加熱されて劣化するのが防止され、またセレン等を気化させたガスに窒素ガス等を混合させた高温の原料ガスを用いた場合においても、前記の導入側開口部からＯリングに向かう前記の高温の原料ガスが、冷却ノズル部からＯリングに向けて吹き付けられる冷却ガスによってパージされ、気化されたセレン等が液化されてＯリングやその近傍に付着するのも防止される。
【００１２】
ここで、前記の弁部材押付式バルブにおいて、前記のように冷却ノズル部に冷却ガスを導くにあたっては、前記の弁部材を導入側開口部に向けて移動させる移動装置に導入側開口部に向けて伸縮されるロッドを設け、前記のロッド内に前記の冷却ノズル部に冷却ガスを導く冷却ガス導入路を設けるようにすることができる。
【００１３】
また、本発明における弁部材押付式バルブにおいては、前記のＯリングに向けて冷却ガスを吹き付ける冷却ノズル部の他に、Ｏリングと当接するガス導入流路の導入側開口部の外周部に向けて冷却ガスを吹き付ける冷却ノズル部を設けることが好ましい。このように、前記の冷却ノズル部からＯリングに向けて冷却ガスを吹き付けると共に、Ｏリングと当接する導入側開口部の外周部に向けて冷却ガスを吹き付けるようにすると、Ｏリングと当接する導入側開口部の外周部も冷却ガスにより冷却され、Ｏリングをガス導入流路の導入側開口部の外周部に当接させて導入側開口部を閉塞させる際に、Ｏリングが導入側開口部の外周部との接触により加熱されて劣化するのも防止されるようになる。さらに、このようにＯリングやＯリングと当接する導入側開口部の外周部に向けて冷却ガスを吹き付ける冷却ノズル部を設ける他に、導入側開口部に向けて冷却ガスを吹き付ける冷却ノズル部をさらに多く設けるようにすることもできる。
【００１４】
また、本発明における弁部材押付式バルブにおいては、前記のように複数の冷却ノズル部を設けるにあたり、前記の弁座に設けられたＯリングの内周側に、前記の導入側開口部に向けて突出するようにして冷却ガスが導かれる冷却ガス導入部を設けると共に、この冷却ガス導入部に、冷却ガスを吹き付ける冷却ノズル部として噴出孔を複数設け、複数の噴出孔から前記のＯリング及び導入側開口部に向けて冷却ガスを吹き付けるようにすることができる。
【００１５】
そして、このように冷却ガス導入部に設けた複数の各噴出孔から冷却ガスをＯリング及び導入側開口部に向けて噴出させると、導入側開口部から導かれた高温の原料ガスの温度が２８０℃を超える３５０℃以上であっても、ＯリングやＯリングが当接される導入側開口部の外周部や前記の冷却ガス導入部が過剰に加熱されて劣化するのが防止され、またセレン等を気化させたガスに窒素ガス等を混合させた高温の原料ガスを用いた場合においても、前記の導入側開口部からＯリングに向かう前記の高温の原料ガスが、冷却ガス導入部の各噴出孔から導入側開口部に向けて噴出される冷却ガスによってパージされ、気化されたセレン等が液化されてＯリングや前記の冷却ガス導入部に付着するのも防止される。
【００１６】
また、本発明における弁部材押付式バルブにおいては、高温の原料ガスが導かれる前記の導入側開口部に向けて弁部材を移動させる移動速度を制御する移動制御装置を設け、前記の弁部材をガス導入流路の導入側開口部に向けて移動させて、Ｏリングをガス導入流路の導入側開口部の外周部に押し付ける際に、前記の移動制御装置により弁部材をガス導入流路の導入側開口部に向けて移動させる速度を制御し、Ｏリング及びＯリングと当接するガス導入流路の導入側開口部の外周部の温度を低下させた状態で、Ｏリングを当接させるようにすることができる。このようにすると、Ｏリングをガス導入流路の導入側開口部の外周部に接触させて導入側開口部を閉塞させる際に、冷却時間が長く得られ、Ｏリングが加熱されて劣化するのがより一層防止されるようになる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明における弁部材押付式バルブにおいては、前記のように高温の原料ガスがガス導入流路から導かれる導入側開口部に向けて弁部材を移動装置により移動させて、弁部材の前面における弁座の外周部に設けたＯリングを前記の導入側開口部の外周部に密接させるように押し付け、前記の弁部材によって導入側開口部を閉塞させるにあたり、弁座に設けられたＯリングに向けて冷却ノズル部から冷却ガスを吹き付けて、Ｏリングを冷却させるようにした。
【００１８】
この結果、本発明における弁部材押付式バルブにおいては、弁部材の弁座に設けられたＯリングを高温の原料ガスが導かれる導入側開口部の外周側に密接させて、高温の原料ガスが導かれる導入側開口部を弁部材で閉塞させる場合に、温度が２８０℃を超える３５０℃以上になった高温の原料ガスであっても、Ｏリングを冷却ノズル部から吹き付けられる冷却ガスによって適切に冷却させることができ、高温の原料ガスの熱によってＯリングが劣化するのを適切に防止できるようになる。
【００１９】
また、本発明における弁部材押付式バルブにおいては、セレン等を気化させたガスに窒素ガス等を混合させた高温の原料ガスを用いた場合においても、前記の導入側開口部からＯリングに向かう前記の高温の原料ガスが、冷却ノズル部からＯリングに向けて吹き付けられる冷却ガスによってパージされ、気化されたセレン等が液化されてＯリングやその近傍に付着するのも防止できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態に係る弁部材押付式バルブにおいて、ガス導入流路から高温の原料ガスが導入側開口部を通して導かれるバルブ部内に設けた弁部材を導入側開口部から離間させた状態で、導入側開口部から導かれた高温の原料ガスをバルブ部内を通して導出側開口部からガス導出流路に導くにあたり、（Ａ）は弁部材の弁座に設けられたＯリングの内周側に、前記の導入側開口部に向けて突出するようにして冷却ガスが導かれる冷却ガス導入部を設け、この冷却ガス導入部に冷却ガスを吹き付ける冷却ノズル部として複数の噴出孔を設け、冷却ガス導入部に導かれた冷却ガスを前記の各噴出孔を通してＯリングや導入側開口部に向けて吹き付ける状態を示した概略説明図であり、（Ｂ）は前記の弁部材の拡大説明図である。
【図２】前記の実施形態に係る弁部材押付式バルブにおいて、冷却ガス導入部に導かれた冷却ガスを前記の各噴出孔を通してＯリングや導入側開口部に向けて吹き付けながら、移動装置のシリンダーにおけるロッドを伸長させて、前記の弁部材を高温の原料ガスが導かれる導入側開口部に向けて移動させる状態を示した概略部分説明図である。
【図３】前記の実施形態に係る弁部材押付式バルブにおいて、冷却ガス導入部に導かれた冷却ガスを前記の各噴出孔を通してＯリングや導入側開口部に向けて吹き付けながら、前記のロッドにより弁部材を高温の原料ガスが導かれる導入側開口部に向けて移動させて、導入側開口部を弁部材によって閉塞させるにあたり、（Ａ）は前記の弁部材の弁座に設けられたＯリングを導入側開口部の外周側に密接させる直前に、制御装置によって前記のロッドによって弁部材を導入側開口部に向けて移動させる速度を遅くする状態を示した概略部分説明図、（Ｂ）は前記の弁部材の弁座に設けられたＯリングを導入側開口部の外周側に密接させて、前記の導入側開口部を弁部材によって閉塞させる状態を示した概略部分説明図である。
【図４】前記の実施形態に係る弁部材押付式バルブにおいて、前記の弁部材の弁座に設けられたＯリングの内周側に導入側開口部に向けて突出するように設けた冷却ガスが導かれる冷却ガス導入部に、冷却ガスをＯリング等に吹き付ける噴出孔のみを設ける状態を変更させた変更例の概略部分説明図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の実施形態に係る弁部材押付式バルブを添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、本発明に係る弁部材押付式バルブは、下記の実施形態に示したものに限定されず、発明の要旨を変更しない範囲において、適宜変更して実施できるものである。
【００２２】
この実施形態に係る弁部材押付式バルブにおいては、図１等に示すように、高温の原料ガスＧｈをガス導入流路１０から導入側開口部１１を通してバルブ部２０内に導き、このようにバルブ部２０内に導かれた高温の原料ガスＧｈを導出側開口部３１を通してガス導出流路３０に導くにあたり、前記のバルブ部２０内に前記の導入側開口部１１に向けて移動する円板状の弁部材４０を円形の導入側開口部１１から離間させる一方、この弁部材４０を導入側開口部１１に向けて移動させて、この弁部材４０により導入側開口部１１を閉塞させるようにしている。
【００２３】
ここで、この実施形態に係る弁部材押付式バルブにおいては、前記の弁部材４０を移動させる移動装置５０としてシリンダー５０を用い、このシリンダー５０において伸縮されるロッド５１を前記の導入側開口部１１と反対側におけるバルブ部２０の隔壁２１を通してバルブ部２０内に延出させ、前記のシリンダー５０を移動制御装置５２によって制御して、シリンダー５０におけるロッド５１の伸縮を制御するようにし、このロッド５１の先端に前記の弁部材４０を取り付けるようにしている。
【００２４】
また、バルブ部２０内に延出されたロッド５１の外周側を覆うようにして耐熱性の伸縮するベローズ２２を、前記の導入側開口部１１から離れて対向するバルブ部２０の隔壁２１から前記の弁部材４０に至るようにして取り付け、導入側開口部１１からバルブ部２０内に導かれた高温の原料ガスＧｈが前記のロッド５１に接触することによって冷却されないようにしている。
【００２５】
このようにすると、高温の原料ガスＧｈとして、前記のようなセレン等を気化させたガスに窒素ガス等を混合させた高温の原料ガスＧｈを用いた場合においても、この高温の原料ガスＧｈが前記のロッド５１に接触して冷却され、気化されたセレン等が液化されて前記のロッド５１に付着するのが防止される。また、前記のセレン等を気化させたガスに窒素ガス等を混合させた高温の原料ガスＧｈが前記のベローズ２２に接触して冷却され、気化されたセレン等が液化されて前記のベローズ２２に付着するのを防止するように、図示していないが、前記のベローズ２２を加熱させるための加熱装置を設けるようにすることが好ましい。
【００２６】
そして、前記のロッド５１の先端に取り付けられた前記の弁部材４０の前面の弁座４１の周辺部に沿って加工されたＯリング溝４６にＯリング４２を設け、このＯリング４２や前記の導入側開口部１１に向かうようにして冷却ガスＧｃを吹き付ける冷却ノズル部４４を設けるようにしている。
【００２７】
ここで、この実施形態に係る弁部材押付式バルブにおいて、前記のように弁座４１の周辺部に沿って設けたＯリング４２に冷却ノズル部４４から冷却ガスＧｃを吹き付けるにあたっては、前記のロッド５１の中心部から弁座４１を貫通するようにして冷却ガス導入路５１ａを設け、冷却ガス供給装置５３から供給された冷却ガスＧｃを前記の冷却ガス導入路５１ａから弁座４１を通して前記の導入側開口部１１と対向する弁部材４０の前面側に導くようにしている。
【００２８】
そして、前記のように弁座４１に設けられたＯリング４２の内周側に、前記の冷却ガスＧｃが導かれる冷却ガス導入部４３を導入側開口部１１に向けて突出するように設け、この冷却ガス導入部４３に冷却ガスＧｃをＯリング４２や前記の導入側開口部１１に向かうようにして吹き付ける冷却ノズル部４４として複数の噴出孔４４を設けている。
【００２９】
また、この実施形態においては、Ｏリング４２に向けて吹き付けられた冷却ガスＧｃをＯリング４２の周辺部に順次入れ換えながら維持して、Ｏリング４２が冷却ガスＧｃによって効率よく冷却されるようにするため、Ｏリング４２の外周側における弁座４１の外周に沿って外周壁４５を設けている。
【００３０】
ここで、この実施形態における弁部材押付式バルブにおいては、前記のようにバルブ部２０内に設けた前記の弁部材４０を導入側開口部１１から離間させて、高温の原料ガスＧｈをガス導入流路１０から導入側開口部１１を通してバルブ部２０に導き、このようにバルブ部２０に導かれた高温の原料ガスＧｈを導出側開口部３１からガス導出流路３０に導く場合においても、前記の冷却ガス供給装置５３から前記の冷却ガス導入路５１ａを通して冷却ガスＧｃを、弁座４１におけるＯリング４２の内周側において導入側開口部１１に突出するように設けた冷却ガス導入部４３に供給し、このように供給された冷却ガスＧｃを、この冷却ガス導入部４３に設けた複数の噴出孔４４からＯリング４２や前記の導入側開口部１１に向かうようにして吹き付けるようにしている。
【００３１】
このようにすると、弁座４１に設けられたＯリング４２や冷却ガス導入部４３に導かれる前記の高温の原料ガスＧｈが、前記の各噴出孔４４からＯリング４２や導入側開口部１１に向かうようにして吹き付けられた冷却ガスＧｃによって吹き飛ばされて、Ｏリング４２や冷却ガス導入部４３が高温の原料ガスＧｈの熱によって劣化するのが防止されると共に、セレン等を気化させたガスに窒素ガス等を混合させた高温の原料ガスＧｈを用いた場合においても、この高温の原料ガスＧｈにおける気化されたセレン等が液化されてＯリング４２や冷却ガス導入部４３に付着するのが防止されるようになる。
【００３２】
次に、前記のようにバルブ部２０内に設けた前記の弁部材４０を導入側開口部１１から離間させて、高温の原料ガスＧｈをガス導入流路１０から導入側開口部１１を通してバルブ部２０内に導き、このようにバルブ部２０内に導かれた高温の原料ガスＧｈを導出側開口部３１からガス導出流路３０に導く状態から、前記の弁部材４０を導入側開口部１１に向けて移動させて、この弁部材４０により導入側開口部１１を閉塞させる場合について説明する。
【００３３】
この場合、前記のように冷却ガス導入部４３に設けた複数の噴出孔４４から冷却ガスＧｃをＯリング４２や前記の導入側開口部１１に向かうように吹き付けた状態で、前記の移動制御装置５２によって、図２に示すように、前記のシリンダー５０におけるロッド５１を導入側開口部１１に向けて伸長させると共に、これに伴ってロッド５１の外周側を覆うようにして設けた前記のベローズ２２を伸長させて、ロッド５１の先端に取り付けられた前記の弁部材４０を導入側開口部１１に向けて移動させる。
【００３４】
そして、このようにシリンダー５０におけるロッド５１及びベローズ２２を導入側開口部１１に向けて伸長させて、前記の弁部材４０を導入側開口部１１に向けて移動させ、図３（Ａ）に示すように、ロッド５１の先端に取り付けられた弁部材４０が導入側開口部１１にある程度近づいた時点で、前記の移動制御装置５２により、シリンダー５０におけるロッド５１を伸長させて弁部材４０を導入側開口部１１に向けて移動させる速度を制御して遅くさせる。このようにすると、冷却ガス導入部４３に設けた複数の噴出孔４４から噴出された冷却ガスＧｃにより、Ｏリング４２及びＯリング４２が当接される導入側開口部１１の外周部１１ａ等が十分に冷却されるようになる。
【００３５】
そして、前記のように弁部材４０を導入側開口部１１に向けて移動させる速度を遅くさせた状態で、図３（Ｂ）に示すように、弁部材４０の弁座４１に設けられたＯリング４２を前記の導入側開口部１１の外周部１１ａに当接させて、導入側開口部１１を弁部材４０によって閉塞させるようにする。
【００３６】
ここで、前記の制御としては、弁部材４０を導入側開口部１１に向けて移動させる速度を遅くする代わりに、弁部材４０の移動を一旦止めた後、再度移動させる制御も含まれる。
【００３７】
このようにすると、弁座４１に設けたＯリング４２及びＯリング４２が当接される導入側開口部１１の外周部１１ａが十分に冷却された状態で当接され、導入側開口部１１を通して導かれる高温の原料ガスＧｈによってＯリング４２が加熱されて劣化するのが防止され、またセレン等を気化させたガスに窒素ガス等を混合させた高温の原料ガスＧｈを用いた場合においても、前記の冷却ガス導入部４３に設けた複数の噴出孔４４から導入側開口部１１に向けて噴出される冷却ガスＧｃによって前記の高温の原料ガスＧｈがパージされ、気化されたセレン等が液化されてＯリング４２や冷却ガス導入部４３に付着するのが防止される。
【００３８】
つまり、Ｏリング４２及びＯリング４２が当接される導入側開口部１１の外周部１１ａが冷やされた状態のまま密着することになり、Ｏリング４２が耐熱温度以上にならずに済むようになる。
【００３９】
なお、前記の実施形態においては、前記のように弁座４１の周辺部に沿って設けたＯリング４２に冷却ノズル部４４から冷却ガスＧｃを吹き付けるにあたり、前記のように弁座４１に設けられたＯリング４２の内周側に設けた冷却ガス導入部４３の様々な位置に、冷却ガスＧｃをＯリング４２や前記の導入側開口部１１に向かうようにして吹き付ける冷却ノズル部４４として複数の噴出孔４４を設けるようにしたが、冷却ガス導入部４３に設ける噴出孔４４の数や位置は特に限定されず、少なくとも、弁座４１に設けられたＯリング４２を冷却できるようになっていればよく、例えば、図４に示すように、この冷却ガス導入部４３に冷却ガスＧｃをＯリング４２に向けて吹き付ける噴出孔４４を複数設けるようにするだけであってもよい。
【００４０】
また、図示していないが、前記のような導入側開口部１１へ向けて突出した冷却ガス導入部４３を設けずに、弁座４１の周辺部に沿って設けたＯリング４２に、冷却ノズル部４４から直接冷却ガスＧｃを吹き付けるようにすることも可能である。
【００４１】
また、突出した冷却ガス導入部４３は、Ｏリング４２が前記の導入側開口部１１の外周部１１ａに密着できるよう、前記の外周部１１ａの内側に納まる形状とし、Ｏリング４２の外周側における弁座４１の外周に沿って設けた前記の外周壁４５は前記の外周部１１ａの外側に収まる形状とすることも可能である。
【００４２】
また、ここでは弁部材４０を円板状とし、導入側開口部１１を円形としたが、円以外の形状（例えば矩形）であってもよい。
【符号の説明】
【００４３】
１０    ：ガス導入流路
１１    ：導入側開口部
１１ａ  ：外周部
２０    ：バルブ部
２１    ：隔壁
２２    ：ベローズ
３０    ：ガス導出流路
３１    ：導出側開口部
４０    ：弁部材
４１    ：弁座
４２    ：Ｏリング
４３    ：冷却ガス導入部
４４    ：冷却ノズル部（噴出孔）
４５    ：外周壁
４６    ：Ｏリング溝
５０    ：移動装置（シリンダー）
５１    ：ロッド
５１ａ  ：冷却ガス導入路
５２    ：移動制御装置
５３    ：冷却ガス供給装置
Ｇｃ    ：冷却ガス
Ｇｈ    ：高温の原料ガス
【図１】
2020060233.tif 000003
【図２】
2020060233.tif 000004
【図３】
2020060233.tif 000005
【図４】
2020060233.tif 000006