(57)【要約】【課題】低コストでシール部品の局所的な面圧を測定することのできる技術を提供する。【解決手段】面圧測定装置１０は、シール部品９０の面圧を測定する装置である。面圧測定装置１０は、当接部品２０と、ポンプ３５と、圧力センサ３２と、コントローラ１７を備えている。当接部品２０は、シール部品９０に当接する。当接部品２０は、シール部品９０が当接する範囲に孔２２が設けられている。当接部品２０の内部には、孔２２に通じる流路２３が設けられている。ポンプ３５は、流路２３を通じて孔２２へ流体を送る。圧力センサ３２は、流路２３の内部における流体の圧力を測定する。コントローラ１７は、圧力センサ３２の測定データの変化から孔２２が当接している箇所の面圧を特定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シール部品の面圧を測定する面圧測定装置であり、
前記シール部品に当接する当接部品であって、前記シール部品が当接する範囲に孔が設けられているとともに当該当接部品の内部に前記孔に通じる流路が設けられている当接部品と、
前記流路を通じて前記孔へ流体を送るポンプと、
前記流路内部における前記流体の圧力を測定する圧力センサと、
前記圧力センサの測定データの変化から前記孔が当接している箇所の面圧を特定するコントローラと、
を備えている、面圧測定装置。
【請求項２】
前記流路の断面積が前記孔の断面積よりも大きい、請求項１に記載の面圧測定装置。
【請求項３】
前記シール部品に対して前記当接部品を相対的に移動させるアクチュエータをさらに備えている、請求項１又は２に記載の面圧測定装置。
【請求項４】
前記流路の内圧を大気圧まで開放する開閉弁をさらに備えている、請求項１から３のいずれか１項に記載の面圧測定装置。
【請求項５】
前記コントローラは、前記シール部品の第１位置の面圧を測定後、前記孔の位置を移動させて前記シール部品の第２位置の面圧を測定する際、前記第１位置における面圧測定後、前記第２位置における面圧測定前に、前記開閉弁を開閉して前記流路の内圧を大気圧に開放する、請求項４に記載の面圧測定装置。
【請求項６】
前記当接部品の前記シール部品に当接する面に排水溝が設けられている、請求項１から５のいずれか１項に記載の面圧測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書が開示する技術は、面圧測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を通すパイプと、パイプ同士をつなぐ継手の間には、液体の漏れを防ぐためにシール部品が取り付けられることが多い。シール部品の性能を評価するには、シール部品がパイプあるいは継手に加える面圧を知る必要がある。面圧を測定することのできる装置の例が特許文献１、２に開示されている。
【０００３】
特許文献１には、パイプのフランジ継手の面圧を測定する装置が開示されている。その装置は、パイプのフランジ継手に音響振動を与え、フランジ継手同士の共振振動の変化からフランジ継手の締め付け面圧を推定する。
【０００４】
特許文献２に開示されている面圧測定装置は次の通りである。面圧測定装置は、測定対象のシール部品に当接する当接プレートを備えている。当接プレートのシール部品との当接面に孔が設けられているとともに、孔から進退可能に支持されているプローブピンを備えている。当接プレートをシール部品に当接し、プローブピンの先端面を当接プレートの表面に対して面一状態に保持するときにプローブピンに加わる荷重から、プローブピンの当接箇所の面圧を特定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平５−２６７４９号公報
【特許文献２】特開２０１８−２１８２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の装置では、フランジ全体の平均的な面圧は測定できるが局所的な面圧を測定することはできない。特許文献２の装置は、局所的な面圧を測定することができるが、プローブピンの先端を当接プレートの表面に対して正確に面一に保持するアクチュエータが必要であり、装置のコストが高い。本明細書は、特許文献２に開示されている測定装置よりも低コストでシール部品の局所的な面圧を測定することのできる技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本明細書が開示する面圧測定装置は、当接部品と、ポンプと、圧力センサと、コントローラを備えている。当接部品は、面圧の測定対象のシール部品に当接する部品である。当接部品には、シール部品が当接する範囲に孔が設けられているとともに、その内部に孔に通じる流路が設けられている。ポンプは、流路を通じて孔へ流体を送る。圧力センサは、流路内部の流体の圧力を測定する。コントローラは、圧力センサの測定データの変化から、孔が当接している箇所の面圧を特定する。
【０００８】
具体的には、コントローラは、ポンプで流体を圧送している間の流体の圧力変化をモニタする。流体の圧力がシール部品の面圧よりも低ければ、シール部品と当接部品の接触箇所から流体が漏れることはない。流体の圧力が面圧よりもわずかでも大きくなると、シール部品と当接部品の間から流体が漏れ始め、流体の圧力はそれ以上には上がらなくなる。従って、圧力変化がほぼなくなったときの流体の圧力が、シール部品の面圧として特定できる。
【０００９】
本明細書が開示する技術の詳細とさらなる改良は以下の「発明を実施するための形態」にて説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施例の面圧測定装置の模式図である。
【図２】図１の範囲IIの拡大図である。
【図３】面圧の測定原理を説明する図である。
【図４】流体の圧力変化の一例のグラフである。
【図５】面圧測定結果の一例を示すグラフである。
【図６】第２実施例の面圧測定装置の模式図である。
【図７】第３実施例の面圧測定装置の模式図である。
【図８】第４実施例の面圧測定装置の模式図である。
【図９】第５実施例の面圧測定装置の模式図である。
【図１０】第６実施例の面圧測定装置の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（第１実施例）図面を参照して第１実施例の面圧測定装置１０を説明する。図１に、面圧測定装置１０の模式図を示す。図１は、面圧測定装置１０の構造の一部を断面図で描き、残りをブロック図で描いた図である。
【００１２】
面圧測定装置１０は、環状のシール部品９０の面圧を測定する。環状のシール部品９０は、パイプ等に装着され、パイプの外周面と、パイプの外周に嵌め込まれる継手の内周面との間を密封する部品である。シール部品９０は、樹脂製またはゴム製であり、内周側に二重のリップ９１、９２を有している。２個のリップ９１、９２の間には空間９３が確保されている。
【００１３】
図１の面圧測定装置１０は、シール部品９０がパイプ等に装着されたとき、リップ９１、９２がパイプの表面に加える面圧を測定する。面圧測定装置１０は、当接部品２０、液体供給回路３０、コントローラ１７を備えている。当接部品２０は、パイプのかわりとなる部品であり、円柱形状をなしており、シール部品９０が装着される。なお、シール部品９０の外周側は、ハウジング１１、１２に挟まれ、固定されている。
【００１４】
当接部品２０は、ロッド１３に支持されている。ロッド１３は、アクチュエータ１４に支持されており、アクチュエータ１４は、装置の土台１５に固定されている。アクチュエータ１４は、ロッド１３を図の上下方向に進退させることができる。ハウジング１１、１２は、土台１５に対して相対的に固定されており、アクチュエータ１４を動かすことによって、シール部品９０に対して当接部品２０が当接する箇所を変えることができる。アクチュエータ１４は、コントローラ１７によって制御される。
【００１５】
当接部品２０の表面（当接面２１）には、微小な孔２２が設けられている。図２に、図１の範囲IIの拡大図を示す。図２では見やすくするために、樹脂製またはゴム製のシール部品９０をグレーのハッチングで示してある。孔２２は、当接部品２０の内部で流路２３に通じている。孔２２の断面積は、流路２３の断面積よりもはるかに小さい。面圧測定装置１０は、シール部品９０において孔２２が対向する位置の面圧を測定する。従って、面圧測定の空間分解能は孔２２の大きさに依存する。それゆえ、孔２２の面積は小さいほどよい。一方、液体が流れたときの圧力損失は小さい方がよいので、流路２３の断面積は大きい方がよい。
【００１６】
当接部品２０の当接面２１には、排水溝２９が設けられている。排水溝２９は、シール部品９０の二重のリップ９１、９２の間の空間９３と外部の空間を連通するように設けられている。排水溝２９の機能については後述する。
【００１７】
流路２３の内部の圧力は、後述する圧力センサ３２によって測定されるが、圧力センサ３２は、孔２２から離れた箇所に設置されている。孔２２及び流路２３内に液体が流れたときの圧力損失は面圧測定の誤差の一因になる。流路２３の断面積を孔２２の断面積よりも大きくし、流路２３の長さを孔２２の長さよりも長くすることによって、孔２２及び流路２３の圧力損失の影響を抑えている。
【００１８】
図１に戻り、面圧測定装置１０の説明を続ける。流路２３は、当接部品２０の端面２４へ向けて延びており、途中で樹脂チューブ１６とつながっている。樹脂チューブ１６は接着剤で当接部品２０に接着されている。樹脂チューブ１６の一端には配管３１が接続されている。配管３１に続いている構成が、コントローラ１７を除いて液体供給回路３０である。図１ではコントローラ１７と液体供給回路３０は、ブロック図で模式的に描いてある。
【００１９】
液体供給回路３０について説明する。液体供給回路３０は、配管３１、圧力センサ３２、ポンプ３５、タンク３６、フィルタ３３、３７、開閉弁３４、吸入管３８ａ、吐出管３８ｂを備えている。
【００２０】
タンク３６には液体が蓄えられている。液体は水Ｗであるが、他の液体、例えば油であってもよい。タンク３６の中へポンプ３５の吸入管３８ａが延びており、ポンプ３５が動作すると、吸入管３８ａを通じて水Ｗが吸入される。吸入管３８ａの先端にはフィルタ３７が取り付けられており、タンク３６内の異物がポンプ３５に吸い込まれることを防止する。ポンプ３５は液送ポンプであり、たとえばプランジャ式のポンプである。
【００２１】
ポンプ３５の吐出管３８ｂの側には、開閉弁３４が設けられている。開閉弁３４を開くと、配管３１（流路２３）が大気とつながり、流路２３の内部が大気圧となる。開閉弁３４は、面圧を測定する前に一度開いて閉じられ、配管３１（流路２３）の内圧が大気圧にリセットされる。配管３１には配管３１の内部の液体の圧力を測定する圧力センサ３２が設けられている。圧力センサ３２が測定する圧力は、当接部品２０の当接面２１に設けられた孔２２内部の圧力でもある。圧力センサ３２の測定データはコントローラ１７に送られる。ポンプ３５と開閉弁３４は、コントローラ１７によって制御される。図１の破線矢印線は信号線を表している。
【００２２】
開閉弁３４を閉じ、ポンプ３５を駆動すると、タンク３６の内部の水Ｗが、配管３１、樹脂チューブ１６、流路２３を通じて孔２２へと送られる。配管３１の途中にもフィルタ３３が設けられている。フィルタ３３は、フィルタ３７よりもさらに目が細かく、微小な塵埃を除去することができる。フィルタ３７の目の細かさは、孔２２の直径よりも小さい。
【００２３】
次に面圧の測定方法について説明する。ポンプ３５から当接部品２０の孔２２に至る流路は、予め空気などの気体を除去し、液体（実施例の場合は水）で満たしておく。アクチュエータ１４を動作させて当接部品２０を動かし、シール部品９０の面圧を測定したい箇所に孔２２の位置を合わせる。図１では、孔２２は、リップ９１に対向するように調整されている。なお、当接部品２０と配管３１は柔軟な樹脂チューブ１６で接続されており、当接部品２０の移動に応じて樹脂チューブ１６が変形し、当接部品２０の内部の流路２３と配管３１の連通状態が保持される。ポンプ３５を動作させ、孔２２へタンク３６の水Ｗを送り込む。孔２２はシール部品９０（リップ９１）で塞がれているので、圧力が上昇する。
【００２４】
ポンプ３５の液送を続けると、孔２２の内部（配管３１の内部）の水Ｗの圧力が高まっていく。図３に、シール部品９０の面圧Ｐｓと孔２２の内部の水圧Ｐｗの関係を示す。図３は、面圧の測定原理を説明する図である。シール部品９０の孔２２を塞いでいる面に水圧Ｐｗが加わる。面圧Ｐｓが水圧Ｐｗよりも大きければ、シール部品９０の孔２２に対向している面が孔２２の側に膨らむ（図３（ａ））。
【００２５】
ポンプ３５の液送を続けていくと、やがて水圧Ｐｗが面圧Ｐｓに等しくなる。水圧Ｐｗが面圧Ｐｓに等しくなると、シール部品９０の孔２２に対向している面が当接面２１と面一になる（図３（ｂ））。
【００２６】
水圧Ｐｗがわずかでも面圧Ｐｓよりも大きくなると、水がシール部品９０を押しのけ、水が孔２２から流出し始める。そのため、孔２２の内圧（水圧Ｐｗ）は、それ以上は高くならない。このときの水圧Ｐｗの変化を図４に示す。コントローラ１７がポンプ３５を始動して液送すると、水圧Ｐｗは時間とともに大きくなるが、水圧Ｐｗがシール部品９０の面圧Ｐｓと一致すると、水圧Ｐｗの上昇が止まる。図４では、水圧Ｐｗの上昇が止まった時刻を時刻Ｔ１に揃えてある。面圧Ｐｓが大きくなるほど、水圧Ｐｗも大きくなる（グラフＧ１→グラフＧ３）。圧力センサ３２が測定する圧力が水圧Ｐｗに相当する。コントローラ１７は、圧力センサ３２の測定値をモニタする。圧力センサ３２の測定値（すなわち水圧Ｐｗ）の上昇が止まったとき、コントローラ１７は、そのときの測定値Ｐｗをシール部品９０の面圧Ｐｓとして特定する。
【００２７】
先に述べたように、当接部品２０の内部の流路２３の断面積は、孔２２の断面積よりもはるかに大きくしてある。孔２２の断面積を小さくすることで面圧測定の空間分解能を高め、流路２３の断面積を大きくすることで、測定値に対する圧力損失の影響を抑えている。
【００２８】
当接部品２０の当接面２１に設けられた排水溝２９について説明する。図１に示したシール部品９０は、二重のリップ９１、９２を備えており、排水溝２９は、リップ９１、９２で挟まれた空間９３と外部とを連通する。図１では、孔２２はリップ９１に面している。孔２２の内部の水圧が高まり、リップ９１を押し返して漏れた水が空間９３に溜まる場合がある。リップ９２の面圧がリップ９１の面圧よりも高いと、空間９３の内圧がリップ９２の面圧まで上昇する可能性がある。すなわち、孔２２の内部の水圧がリップ９２の面圧まで上昇するおそれがある。その場合、コントローラ１７は、リップ９１の面圧を誤測定してしまう。排水溝２９は、リップ９１、９２で囲まれた空間９３に溜まった水を外部へ排出し、面圧の誤測定を防止する。
【００２９】
コントローラ１７は、アクチュエータ１４を動作させ、測定箇所（孔２２が対向する箇所）を適宜に変えながら面圧を測定する。コントローラ１７は、特定の位置（第１位置）の面圧の測定と別の特定の位置（第２位置）の面圧の測定の間に、孔２２の内部の圧力を大気圧にリセットする。大気圧にリセットするには、孔２２をシール部品９０の無い位置へ移動させて孔２２を開放するか、あるいは、開閉弁３４を開閉することで行う。リセットを実行しないと、第２位置の面圧が先に測定した第１位置の面圧よりも低い場合に第２位置の面圧の測定精度が低くなってしまう。リセットすることで、毎回の面圧測定を一定の精度で行うことができる。
【００３０】
リセットを含めたコントローラ１７の処理は次のとおりである。（１）孔２２をシール部品９０の第１位置に当接させた状態で、ポンプ３５を動作させて孔２２へ流体（水Ｗ）を送りつつ測定データの変化から第１位置における面圧を特定する。（２）ポンプ３５を停止する。（３）アクチュエータ１４を制御してシール部品９０に対する孔２２の当接位置を第２位置へ移動させる。（４）ポンプ３５を再び動作させて孔２２へ流体（水Ｗ）を送りつつ測定データの変化から第２位置における面圧を特定する。コントローラ１７は、第１位置における面圧測定後、第２位置における面圧測定前に、開閉弁３４を開閉して流路２３の内圧（孔２２の内圧）を大気圧に開放する。シール部品９０の面圧の測定結果の一例を図５に示す。面圧測定装置１０は、図５に示すように、シール部品９０における面圧分布を測定することができる。
【００３１】
孔２２の直径Ｄが小さいほど、面圧測定の空間分解能が高くなる。コントローラ１７は、孔２２の位置を直径Ｄ程度だけ動かして再度面圧を測定することで、空間分解能はほぼ直径Ｄと等しくなる。しかしながら、孔２２の移動距離が小さい場合、孔２２の周囲とシール部品９０の間の静止摩擦力が面圧測定の精度に影響を与えるおそれがある。そこで、コントローラ１７は、面圧の測定位置を変更する際、孔２２をいったん距離Ｄよりも大きく動かしてから次の測定位置へ作動させるとよい。孔２２の位置を大きくずらすことで、静止摩擦力の影響を抑えることができる。
【００３２】
（第２実施例）図６に、第２実施例の面圧測定装置１０ａを示す。第２実施例の面圧測定装置１０ａは、第１実施例の面圧測定装置１０のハウジング１１、１２をハウジング１１１、１１２に交換したものである。ハウジング１１１、１１２は、Ｏリング１９０の外側を支持する形状を有している。Ｏリング１９０の内径は、図１で示したシール部品９０の内径と同じであるので、第１実施例の面圧測定装置１０の当接部品２０がそのまま使える。面圧測定装置１０ａの構造は、ハウジング１１１、１１２を除き、第１実施例の面圧測定装置１０と同じである。Ｏリング１９０を当接部品２０に嵌め、孔２２の位置をＯリング１９０の内側面に合わせ、孔２２へ水Ｗを送り込むことで、Ｏリング１９０の面圧を測定することができる。
【００３３】
（第３実施例）図７に第３実施例の面圧測定装置１０ｂを示す。面圧測定装置１０ｂは、面シール部品２９０の面圧を測定する。面シール部品２９０は、ホルダ２０３に支持されている。ホルダ２０３は連結部材２０２を介してアクチュエータ２０１に連結されている。アクチュエータ２０１は、ホルダ２０３を上下に動かすことができる。アクチュエータ２０１によって、面シール部品２９０を当接部品２２０に当接させる。当接部品２２０の当接面２２１には孔２２が設けられている。また、当接部品２２０の内部には流路２３が設けられている。孔２２は流路２３につながっている。流路２３は、樹脂チューブ１６を介して液体供給回路３０の配管３１に接続される。液体供給回路３０は、第１実施例の面圧測定装置１０と共通である。
【００３４】
当接部品２２０はスライドステージ２０４の上に設置されている。スライドステージ２０４は、水平方向にスライド可能に固定台２０５に支持されている。スライドステージ２０４は、連結部材２１３を介してアクチュエータ２１４に連結されている。アクチュエータ２１４は、スライドステージ２０４とともに当接部品２２０を水平方向に動かすことができる。コントローラ１７は、アクチュエータ２１４を制御し、当接部品２２０に対する孔２２の相対位置を面圧測定箇所に調整する。
【００３５】
面シール部品２９０の場合、面圧の測定箇所を変える際にアクチュエータ２０１によって面シール部品２９０を上方へ移動させ、面シール部品２９０を当接部品２２０から離間させた後、アクチュエータ２１４によって当接部品２２０（スライドステージ２０４）を移動させる。そして再びアクチュエータ２０１によって面シール部品２９０を下降させ、面シール部品２９０を当接部品２２０に当接させる。面シール部品２９０を当接部品２２０から離間させると孔２２が開放される。このとき、孔２２の内圧が大気圧に調整される。すなわち、孔２２の内圧がリセットされる。面圧測定装置１０ｂのその他の構造と動作は、第１実施例の面圧測定装置１０と同じである。
【００３６】
（第４実施例）図８に第４実施例の面圧測定装置１０ｃを示す。面圧測定装置１０ｃは、第１実施例の面圧測定装置１０に、第２の孔２２ａ、第２の流路２３ａ、第２の樹脂チューブ１６ａ、三方弁３０１を加えたものである。第２の孔２２ａ、第２の流路２３ａ、第２の樹脂チューブ１６ａ、は、孔２２、流路２３、樹脂チューブ１６と同じ構成である。第２の孔２２ａは、当接部品２０において、孔２２に対して周方向に１８０度離れた位置に設けられている。液体供給回路３０は第１実施例のものと同じであるが、配管３１には三方弁３０１が取り付けられている。配管３１を通じて供給される水Ｗは、三方弁３０１を切り替えることにより、一方の孔２２と第２の孔２２ａのいずれかへ供給される。面圧測定装置１０ｃは、２個の孔２２、２２ａでの面圧測定を組み合わせることで、当接部品２０の周方向の複数の箇所で、軸方向の面圧分布を測定することができる。
【００３７】
（第５実施例）図９に第５実施例の面圧測定装置１０ｄを示す。第５実施例の面圧測定装置１０ｄは、第１実施例の面圧測定装置１０に対して当接部品２０を軸の周方向に回転させる回転アクチュエータ４０２を加えたものである。図９の当接部品２０より上側の構造は第１実施例の面圧測定装置１０と同じである。
【００３８】
当接部品２０は回転ロッド４０１に連結されており、回転ロッド４０１は回転アクチュエータ４０２に連結されている。回転アクチュエータ４０２は、回転ロッド４０１とともに当接部品２０を回転ロッド４０１の軸周りに回転させることができる。
【００３９】
回転アクチュエータ４０２は、昇降台４０７に固定されている。昇降台４０７は、リニアガイド４０３により、支柱４０４に支持されている。昇降台４０７は、支柱４０４に対して上下方向に摺動可能である。昇降台４０７は、昇降ロッド４０６連結されている。当接部品２０は、昇降台４０７とともに、台４０５に固定されたリニアアクチュエータ４０８により、上下方向に移動可能になっている。
【００４０】
当接部品２０には、樹脂チューブ１６が接着されており、当接部品２０が回転したときに樹脂チューブ１６がねじれる。しかし、周方向の面圧分布を測定するには当接部品２０を軸の周りに１回転すればよいので、ねじれ量も１回転程度であり、樹脂チューブ１６はその変形量を吸収できる長さを有していればよい。
【００４１】
（第６実施例）図１０に第６実施例の面圧測定装置１０ｅを示す。面圧測定装置１０ｅは、シール部品９０の外周側のリップ９７、９８の面圧を測定する。面圧測定装置１０ｅの当接部品５２０は、円筒形状を有している。シール部品９０の外側のリップ９７、９８は、円筒形の当接部品５２０の内面に当接する。当接部品５２０の内面が当接面５２１に相当する。当接面５２１には孔５２２が設けられており、孔５２２は、当接部品５２０の内部に設けられている流路５２３につながっている。流路５２３の断面積は、孔５２２の断面積よりもはるかに大きい。
【００４２】
流路５２３は、当接部品５２０の外周に接着されている樹脂チューブ１６と連通している。樹脂チューブ１６は可撓性を有している。
【００４３】
円筒形状の当接部品５２０の内面（当接面５２１）には両方のリップ９７、９８を横断するように排水溝５２９が設けられている。排水溝５２９は、２個のリップ９７、９８の間に溜まった水を外部に排出する。
【００４４】
円筒形状のシール部品９０の内側には挿入部品５０１が挿入されている。シール部品９０の上端９９は、挿入部品５０１により位置決めされている。シール部品９０の下側は、拘束部品５０２により拘束される。拘束部品５０２は挿入部品５０１に対して固定される。拘束部品５０２は有底円筒形状であり、シール部品９０の下側のリップ９７の下側に当接する。シール部品９０は、挿入部品５０１と拘束部品５０２により、軸方向の位置が定められる。
【００４５】
当接部品５２０は、固定ステージ５０３に固定されており、固定ステージ５０３は支柱５０４を介して台５０７に固定されている。
【００４６】
拘束部品５０２にはロッド５０５が連結されており、ロッド５０５はリニアアクチュエータ５０６に連結されている。リニアアクチュエータ５０６はロッド５０５を上下に移動させることができる。ロッド５０５の上下動に伴い。挿入部品５０１と拘束部品５０２に挟まれたシール部品９０が当接部品５２０に対して上下に移動する。リニアアクチュエータ５０６により、シール部品９０に対する孔５２２の位置が調整可能となる。
【００４７】
面圧測定装置１０ｅの液体供給回路３０は、第１実施例の面圧測定装置１０が有する液体供給回路３０と同じ構造である。
【００４８】
面圧測定装置１０ｅは、第１実施例の面圧測定装置１０と同様に、シール部品９０のリップ９７、９８に対する孔５２２の相対位置を変化させながら面圧を測定することで、シール部品９０の外周側に設けられたリップ９７、９８の当接面の面圧分布を測定することができる。
【００４９】
実施例で説明した技術に関する留意点を述べる。Ｏリング１９０もシール部品の一種である。面圧測定装置１０、１０ａ−１０ｅは、流体（水）を利用してシール部品の局所的な面圧を測定することができる。機構が比較的に簡単であるので、面圧測定装置１０、１０ａ−１０ｅは、低コストで実現できる。面圧測定に利用する液体は水以外の液体（例えばオイル）であってもよい。
【００５０】
アクチュエータは、シール部品に対する当接部品の相対位置を変化させればよいので、シール部品と当接部品のいずれか一方を移動させるものであればよい。
【００５１】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００５２】
１０、１０ａ−１０ｅ：面圧測定装置    １１、１２：ハウジング    １３：ロッド    １４：アクチュエータ    １５：土台    １６、１６ａ：樹脂チューブ    １７：コントローラ    ２０：当接部品    ２１：当接面    ２２、２２ａ：孔    ２３、２３ａ：流路    ２９：排水溝    ３０：液体供給回路    ３１：配管    ３２：圧力センサ    ３３、３７：フィルタ    ３４：開閉弁    ３５：ポンプ    ３６：タンク    ９０：シール部品    ９１、９２、９７、９８：リップ    １９０：Ｏリング（シール部品）    ２９０：面シール部品
【図１】
2020159750.tif 000003
【図２】
2020159750.tif 000004
【図３】
2020159750.tif 000005
【図４】
2020159750.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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