(57)【要約】【課題】容器のポートと流路との接続を検出できるロードポート装置を提供する。【解決手段】  容器を載置する載置部を有するロードポート装置であって、上昇位置に移動することにより前記載置部に載置された前記容器の底部に設けられるポートに接触可能であって、前記ポートを介して前記容器内と連通可能な流路を有する可動部と、前記可動部が、前記上昇位置と、前記上昇位置より下方の下降位置との間で移動できるように、前記可動部を相対移動可能に支持するベース部と、前記ベース部の上表面より下方に配置されており、前記可動部の移動を検出する検出部と、を有するロードポート装置。【選択図】図３
2020017705.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器を載置する載置部を有するロードポート装置であって、
上昇位置に移動することにより前記載置部に載置された前記容器の底部に設けられるポートに接触可能であって、前記ポートを介して前記容器内と連通可能な流路を有する可動部と、
前記可動部が、前記上昇位置と、前記上昇位置より下方の下降位置との間で移動できるように、前記可動部を相対移動可能に支持するベース部と、
前記ベース部の上表面より下方に配置されており、前記可動部の移動を検出する検出部と、を有するロードポート装置。
【請求項２】
前記可動部は、前記下降位置において、前記ベース部の下表面より下方に延出する被検出部を有し、
前記検出部は、前記ベース部の前記下表面より下方の位置で、前記被検出部の移動を検出する請求項１に記載のロードポート装置。
【請求項３】
前記ベース部には、前記可動部において前記流路が形成されるノズル部が、前記ベース部を上下方向に挿通する第１の開口と、前記被検出部が、前記ベース部を前期上下方向に挿通する第２の開口と、が形成されている請求項２に記載のロードポート装置。
【請求項４】
前記可動部は、前記可動部において前記流路が形成されるノズル部から外径方向に突出するノズル鍔部を有しており、
前記被検出部の上端は、前記ノズル鍔部に接続している請求項２または請求項３に記載のロードポート装置。
【請求項５】
前記検出部は、前記ベース部の下表面に取り付けられていることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれかに記載のロードポート装置。
【請求項６】
前記検出部は、前記ベース部が固定される前記載置部に取り付けられていることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれかに記載のロードポート装置。
【請求項７】
検出部は、光を生じる発光部と、前記光を受光して信号を出力する受光部と、を有する光学式センサであることを特徴とする請求項１から請求項６までのいずれかに記載のロードポート装置。
【請求項８】
前記被検出部は、前記可動部の移動の少なくとも一部において、前記発光部と前記受光部との間を通ることを特徴とする請求項７に記載のロードポート装置。
【請求項９】
前記流路に清浄化ガスを供給するガス供給部と、
前記検出部の信号が入力される制御部と、を有しており、
前記制御部は、前記検出部からの前記信号により、前記可動部が前記上昇位置にあることを認識した後、前記ガス供給部を制御して前記流路に前記清浄化ガスを供給し、前記ポートを介して前記容器内に前記清浄化ガスを導入することを特徴とする請求項１から請求項８までのいずれかに記載のロードポート装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場などで容器の受け渡しなどを行うロードポート装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体工場などでは、シリコンウエハなどの基板が収容された容器を受け渡すための装置として、容器を載置する載置部を有するロードポート装置が用いられる。ロードポート装置は、たとえば載置部に載置された容器を、基板に対して各種の処理を行う半導体処理装置に繋がるＥＦＥＭなどへ連結することができ、これにより、ＥＦＥＭ内のウエハ搬送アームが、容器内の基板にアクセスすることが可能となる。
【０００３】
近年、半導体処理装置などの処理対象となる基板を酸化や汚染から守るために、ウエハを収容する環境の清浄度を高めることが求められている。このようなニーズに対応したロードポート装置として、載置部に載置された容器の内部に、容器の底部に設けられたポートを介して清浄化ガスを導入し、載置中の容器を清浄化するものが提案されている。また、このようなロードポート装置では、容器の底部に対して接触・離間するように上下動するノズルを有するものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１８７５３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来のロードポート装置では、ノズルを上下動させる機構に生じる動作誤差や、動作不良などにより、容器のポートとロードポート装置のノズルとの接続が完全でない状態が生じる場合があり、問題となっている。容器のポートとロードポート装置のノズルとの接続が完全でない状態で清浄化動作を開始すると、清浄化ガスを容器内に導入できず、また、工場内に清浄化ガスが漏洩するなどの問題が生じる。なお、ロードポート装置の載置部と容器の底部との隙間を狭くした場合には、ノズルのストロークを短くして装置を小型化できるメリットがあるが、小さい隙間に部材を追加することは難しくなる。
【０００６】
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、容器のポートと流路との接続を検出できるロードポート装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係るロードポート装置は、
容器を載置する載置部を有するロードポート装置であって、
上昇位置に移動することにより前記載置部に載置された前記容器の底部に設けられるポートに接触可能であって、前記ポートを介して前記容器内と連通可能な流路を有する可動部と、
前記可動部が、前記上昇位置と、前記上昇位置より下方の下降位置との間で移動できるように、前記可動部を相対移動可能に支持するベース部と、
前記ベース部の上表面より下方に配置されており、前記可動部の移動を検出する検出部と、を有する。
【０００８】
本発明に係るロードポート装置では、可動部が行う上昇位置と下降位置との間の移動を検出する検出部を有するため、容器のポートと流路との接続を適切に検出できる。また、検出部がベース部の上表面より下方に配置されているため、たとえ載置部と容器の底部との隙間を狭くしたとしても、検出部の設置に支障がない。したがって、本発明に係るロードポート装置は、ノズルのストロークを短くして装置を小型化することと、ポートと流路との接続の検出とを、両立させることができる。
【０００９】
また、たとえば、前記可動部は、前記下降位置において、前記ベース部の下表面より下方に延出する被検出部を有してもよく、
前記検出部は、前記ベース部の前記下表面より下方の位置で、前記被検出部の移動を検出してもよい。
【００１０】
このようなロードポート装置では、検出部をベース部の下表面の下方に、ベース部に対して重ねて配置することができるため、平面方向のスペースが狭くても、可動部の上下方向の動きを検出する検出部を配置できる。
【００１１】
また、たとえば、前記ベース部には、前記可動部において前記流路が形成されるノズル部が、前記ベース部を前記上下方向に挿通する第１の開口と、前記被検出部が、前記ベース部を前記上下方向に挿通する第２の開口と、が形成されていてもよい。
【００１２】
このようなロードポート装置は、ノズル部がベース部の第１の開口を挿通しており、被検出部がベース部の第２の開口を挿通していることにより、可動部がベース部に対して相対回転することを防止できる。また、被検出部がノズル部とは別に設けられているため、ノズル部を直接検出する場合に比べて、検出部を小型化することができる。
【００１３】
また、たとえば、前記可動部は、前記可動部において前記流路が形成されるノズル部から外径方向に突出するノズル鍔部を有してもよく、
前記被検出部の上端は、前記ノズル鍔部に接続してもよい。
【００１４】
ノズル鍔部に被検出部の上端が接続していることにより、ノズル部を避けて検出部を配置することができるため、可動部の上下方向の全長を、コンパクトにすることができる。
【００１５】
また、たとえば、前記検出部は、前記ベース部の下表面に取り付けられていてもよい。
【００１６】
検出部がベース部の下表面に取り付けられていることにより、検出部と、ベース部と可動部とを一体のユニットとすることができ、また、ユニットを小型化することができる。
【００１７】
また、たとえば、前記検出部は、前記ベース部が固定される前記載置部に取り付けられていてもよい。
【００１８】
検出部をベース部に取り付けせず、載置部に取り付けることにより、ベース部に検出部の取り付け部を設けなくてよくなるため、ベース部を小型化することができる。
【００１９】
また、たとえば、前記検出部は、光を生じる発光部と、前記光を受光して信号を出力する受光部と、を有する光学式センサであってもよい。
【００２０】
可動部の移動を検出する検出部としては、たとえば、磁気センサ、接触式センサ、光学式センサなどを用いることができるが、センサの信頼性・耐久性などの観点から、光学式センサを用いることが好ましい。
【００２１】
また、例えば、前記被検出部は、前記上下方向の移動の少なくとも一部において、前記発光部と前記受光部との間を通ってもよい。
【００２２】
発光部と受光部との間を通る被検出部を検出することにより、このような検出部は、可動部の動きを確実に検出することができる。
【００２３】
また、たとえば、本発明に係るロードポート装置は、前記流路に清浄化ガスを供給するガス供給部と、
前記検出部の信号が入力される制御部と、を有してもよく、
前記制御部は、前記検出部からの前記信号により、前記可動部が前記上昇位置にあることを認識した後、前記ガス供給部を制御して前記流路に前記清浄化ガスを供給し、前記ポートを介して前記容器内に前記清浄化ガスを導入してもよい。
【００２４】
このようなロードポート装置は、容器のポートとロードポート装置のノズルとの接続が完全でない状態で清浄化動作が開始されることを防止し、清浄化ガスを容器内に確実に導入するとともに、工場内に清浄化ガスが漏洩する問題を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係るロードポート装置及びロードポート装置に載置される容器の概略図である。
【図２】図２は、ロードポート装置が有するボトムパージユニットの１つの配置を示す部分拡大図である。
【図３】図３は、図２に示すボトムパージユニットの正面図であり、可動部が上昇位置にある状態を表している。
【図４】図４は、図２に示すボトムパージユニットの正面図であり、可動部が下降位置にある状態を表している。
【図５】図５は、図３及び図４に示すボトムパージユニットに含まれる可動部の正面図である。
【図６】図６は、図２に示すボトムパージユニットの底面図である。
【図７】図７は、図２に示すボトムパージユニットの斜視図であり、動部が上昇位置にある状態を表している。
【図８】図８は、実施形態、第１変形例及び第２変形例における可動部の動きと検出部による検出方法を表す概念図である。
【図９】図９は、第３変形例に係る可動部の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るロードポート装置１０と、ロードポート装置１０の載置部１２に載置された容器としてのフープ８０とを示す外観図である。ロードポート装置１０は、通常イーフェム（ＥＦＥＭ）の壁部に設置され、イーフェムの一部を構成する。イーフェムは、ウエハ搬送用のロボットアームなどが設けられるミニエンバイロメントを形成し、ロボットアームは、ロードポート装置１０によってミニエンバイロメントに接続されたフープ８０内から、フープ８０内に収容されるシリコンウエハなどの基板を取り出し、半導体処理装置へ搬送する。
【００２７】
ロードポート装置１０は、フープ８０を載置する載置部１２の他に、ドア１４、フレーム１６、ボトムパージユニット２０、ガス供給部６０、制御部７０などを有する。ロードポート装置１０の載置部１２には、基板を密封して収容及び搬送するフープ（ＦＯＵＰ）８０が、着脱自在に載置可能になっている。載置部１２は、フープ８０を上部に載置した状態で、Ｙ軸方向に移動する移動テーブルなどで構成され、フープ８０の主開口８６を、フレーム１６のフレーム開口１６ａに接続することができる。なお、図面において、Ｙ軸が載置部１２の移動方向を示し、Ｚ軸が鉛直方向の上下方向を示し、Ｘ軸がこれらのＹ軸およびＺ軸に垂直な方向を示す。
【００２８】
ロードポート装置１０のフレーム１６は、載置部１２から上方（Ｚ軸正方向）に延びており、載置部１２及び載置部１２に設置されたフープ８０は、フレーム１６に対して接近・離間するように移動する。フレーム１６には、フープ８０の主開口８６に対向するようにフレーム開口１６ａが形成されており、フレーム開口１６ａは、ドア１４によって開閉される。
【００２９】
ロードポート装置１０のドア１４は、フレーム開口１６ａを開閉するとともに、フープ８０の主開口８６に着脱自在に設けられる蓋部に係合し、主開口８６を開閉することができる。ロードポート装置１０では、載置部１２がフープ８０をフレーム１６に接触する位置まで移動させた後、ドア１４がフープ８０の蓋部を係合してミニエンバイロメント内に引き込むことにより、フープ８０内とミニエンバイロメントとを、フープ８０の主開口８６を介して気密に連結することができる。
【００３０】
図１に示すように、ロードポート装置１０のボトムパージユニット２０は、載置部１２に設けられている。ボトムパージユニット２０は、載置部１２に載置されたフープ８０の底部８２に備えられるポート８４を介して、フープ８０内に清浄化ガスを供給する。なお、図１では、ロードポート装置１０が有するボトムパージユニット２０のうち１つのみが表示されているが、ロードポート装置１０は複数のボトムパージユニット２０を有していてもよい。
【００３１】
ロードポート装置１０には、ボトムパージユニット２０の流路３２（図５参照）に清浄化ガスを供給するガス供給部６０と、ボトムパージユニット２０、載置部１２、ガス供給部６０及びドア１４などを制御する制御部７０を有する。ガス供給部６０は、ボトムパージユニット２０への清浄化ガスの供給・供給停止を切り換える弁などを有しており、制御部７０は、各部を制御するための演算処理を行うプロセッサなどを有する。
【００３２】
図２は、ロードポート装置１０におけるボトムパージユニット２０の配置を示す概念図である。ボトムパージユニット２０は、フープ８０の底部８２に備えられるポート８４に対向するように配置される。図２に示すように、フープ８０の底部８２に備えられるポート８４と載置部１２との間には隙間が形成されている。
【００３３】
図３及び図４は、図２に示すボトムパージユニット２０及びボトムパージユニット２０が取り付けられる載置部１２の設置部１２ａを示す正面図である。図３は、ボトムパージユニット２０の可動部３０が上昇位置Ｐ２にある状態を表しており、図４は、ボトムパージユニット２０の可動部３０が下降位置Ｐ１にある状態を表している。なお、図６はボトムパージユニット２０の底面図であり、図７はボトムパージユニット２０の斜視図である。なお、設置部１２ａの形状は、ボトムパージユニット２０の説明のために載置部１２の一部を表示したものであり、設置部１２ａは、載置部１２の他の部分から分離可能であってもよく、一体であってもよい。
【００３４】
図３及び図４に示すように、ボトムパージユニット２０は、可動部３０と、ベース部４０と、検出部５０とを有する。可動部３０は、設置部１２ａに形成される設置部開口１２ｂと、ベース部４０に形成される第１の開口４４及び第２の開口４６を上下方向に挿通する。図５は、ボトムパージユニット２０に含まれる可動部３０のみを表示した正面図である。
【００３５】
可動部３０は、内部に流路３２が形成される中空筒状のノズル部３４と、ノズル部３４から外径方向に突出するノズル鍔部３５とを有する。ノズル鍔部３５は、ノズル部３４の上部に接続しており、図３及び図４に示すように、ベース部４０の第１の開口４４から上方に露出する。斜視図である図７に示すように、ノズル３４及びノズル鍔部３５は、Ｚ軸方向から見てリング状であるが、ノズル部３４及びノズル鍔部３５の形状は、円筒形状やリング形状のみに限定されない。
【００３６】
図７に示すように、ノズル鍔部３５の上表面には、リング状の接触部３７が設けられている。接触部３７は、樹脂などの弾力のある材質で構成されることが好ましく、流路３２とポート８４との接続部分の気密性を高め、可動部３０の流路３２とポート８４内を流れる流体が、外部へ流出することを防止する。
【００３７】
図５に示すように、ノズル部３４の下端には、継ぎ手部３６が取り付けられている。継ぎ手部３６の内部には、ノズル部３４内の流路３２につながるガス供給流路が形成されている。図３及び図４に示すように、継ぎ手部３６には、ガス供給部６０の接続経路６２が接続されている。ノズル部３４の流路３２には、継ぎ手部３６を介して接続するガス供給部６０の接続経路６２から、清浄化ガスが供給される。
【００３８】
図５に示すように、可動部３０は、ノズル鍔部３５から下方に突出する被検出部３３を有する。被検出部３３は棒状であり、被検出部３３の上端３３ｂは、ノズル鍔部３５の下表面に接続している。被検出部３３はＺ軸方向に伸びており、ノズル部３４と平行である。
【００３９】
図４に示すように、被検出部３３の下端部３３ａは、可動部３０が下降位置Ｐ１にある状態において、ベース部４０の下表面４０ｂより下方に延出する。ベース部４０の下表面４０ｂには、可動部３０の移動を検出する検出部５０が、取り付け冶具を介して取り付けられている。底面図である図６に示すように、被検出部３３の下端部３３ａが通過する位置に、検出部５０の隙間５６が配置されている。
【００４０】
図３に示すように、可動部３０は、上昇位置Ｐ２に移動することにより、載置部１２に載置されたフープ８０の底部８２に設けられるポート８４（図２参照）に接触可能である。また、図７に示す可動部３０の流路３２は、可動部３０が上昇位置Ｐ２に移動することにより、ポート８４を介してフープ８０内と連通できる。
【００４１】
図３及び図４に示すように、ベース部４０は、可動部３０が上昇位置Ｐ２と、上昇位置Ｐ２より下方の下降位置Ｐ１との間で上下方向に移動できるように、可動部３０を相対移動可能に支持する。図３及び図４に示すように、ベース部４０は、上ベース部４２と下ベース部４３との２つの部材を、上下に組み合わせて構成されている。
【００４２】
ベース部４０には、可動部３０のノズル部３４が上下方向に挿通する第１の開口４４と、可動部３０の被検出部３３が上下方向に挿通する第２の開口４６とが形成されている。第１の開口４４と第２の開口４６とは、ベース部４０を上下方向に貫通する貫通孔である。図６に示すように、第１の開口４４及び第２の開口４６の開口形状は円形であり、第１の開口４４の内径はノズル部３４の外径とほぼ同じか僅かに大きく、第２の開口４６は被検出部３３の外径とほぼ同じか僅かに大きい。したがって、ノズル部３４と被検出部３３は、第１の開口４４又は第２の開口４６の内部をスライドして、上下方向に円滑に移動することができる。
【００４３】
図４に示すように、第１の開口４４の開口径は、ノズル鍔部３５の外径より小さくなっているため、可動部３０が下方に抜け落ちることが防止されている。また、図６に示すように、被検出部３３が通る第２の開口４６の開口径は、ノズル部３４が通る第１の開口４４の開口径より小さくなっており、これにより検出部５０を小型化することが可能である。
【００４４】
図３に示すように、ベース部４０の内部には、可動部３０に動力を伝える圧力室が形成されており、上ベース部４２と下ベース部４３には、ベース部４０の内部の圧力室に圧力を伝えるための第１接続部４２ａと第２接続部４３ａとが形成されている。ベース部４０と可動部３０とは、シリンダとピストンの関係になっており、第１接続部４２ａ及び第２接続部４３ａからベース部４０内の圧力室に圧力が伝えられることにより、可動部３０を上下方向に移動させることができる。なお、各図では、第１接続部４２ａ及び第２接続部４３ａに圧力を伝える配管については、図示していない。また、可動部３０の圧力室への圧力の伝達は、図１に示す制御部７０によって制御される。
【００４５】
図６に示すように、検出部５０は、光を生じる発光部５２と、発光部５２からの光を受光して信号を出力する受光部５４とを有する光学式センサである。図８（ａ）及び図８（ｂ）は、検出部５０による可動部３０の上下方向の移動を検出する検出方法を表す概念図である。
【００４６】
図３に示すように、可動部３０が上昇位置Ｐ２にある場合、ノズル鍔部３５に接続する被検出部３３も上昇している。これにより、図８（ａ）に示すように、可動部３０が上昇位置Ｐ２にある場合は、被検出部３３の下端部３３ａが、検出部５０の隙間５６より上方に移動し、隙間５６には被検出部３３の下端部３３ａが位置しない。したがって、発光部５２からの光は被検出部３３によって遮蔽されることなく受光部５４に到達し、受光部５４は、可動部３０が上昇位置Ｐ２にあることを検出する。
【００４７】
これに対して、図４に示すように、可動部３０が下降位置Ｐ１にある場合、ノズル鍔部３５に接続する被検出部３３も下降している。これにより、図８（ｂ）に示すように、可動部３０が下降位置Ｐ１にある場合は、被検出部３３の下端部３３ａが検出部５０の隙間５６を通り、隙間５６内に位置する。したがって、発光部５２からの光は被検出部３３によって遮蔽されて受光部５４に到達せず、受光部５４は、可動部３０が下降位置Ｐ１にあることを検出する。
【００４８】
検出部５０は、可動部３０の位置情報に関する信号を、制御部７０（図１参照）へ出力する。検出部５０による信号は、図３に示す配線部５８を介して、制御部７０へ入力される。図５に示すように、ノズル鍔部３５の下表面から被検出部３３の下端までの上下方向の長さＬ１は、ノズル鍔部３５の下表面から流路３２を形成するノズル部３４及び継ぎ手部３６の上下方向の長さＬ２より短い。これにより、検出部５０を有するボトムパージユニット２０の全体サイズを、コンパクトにできる。なお、被検出部３３の長さＬ１は、ベース部４０の上表面４０ａから下表面４０ｂまでの上下方向の長さＬ３（図４参照）より長くなっており、これにより、検出部５０は、被検出部３３の位置を確実に検出することができる。
【００４９】
図１に示すロードポート装置１０では、例えば以下のような手順で、制御部７０がボトムパージユニット２０を制御し、載置部１２に載置されたフープ８０の内部へ、清浄化ガスを導入することができる。すなわち、第１の工程では、ロードポート装置１０の制御部７０は、フープ８０が載置部１２に載置されたことを検出する。この際、ボトムパージユニット２０の可動部３０は、図２及び図４に示す下降位置Ｐ１に位置している。
【００５０】
次に、第２の工程では、ロードポート装置１０の制御部７０は、ボトムパージユニット２０を制御し、可動部３０を図３及び図７に示す上昇位置Ｐ２に移動させる。可動部３０が上昇位置Ｐ２に移動したことにより、ボトムパージユニット２０の検出部５０は、図８（ａ）に示すように、発光部５２による光を受光部５４が受光して可動部３０の移動を検出し、検出信号を制御部７０へ出力する。
【００５１】
次に、第３の工程では、ロードポート装置１０の制御部７０は、検出部５０からの検出信号により、可動部３０が上昇位置Ｐ２にあることを認識した後、図１に示すガス供給部６０を制御して、ボトムパージユニット２０の流路３２に清浄化ガスを供給し、フープ８０の底部８２のポート８４を介して、フープ８０内に清浄化ガスを導入する。
【００５２】
ロードポート装置１０は、可動部３０が行う上昇位置Ｐ２と下降位置Ｐ１との間の移動を検出する検出部５０を有するため、フープ８０のポート８４とノズル部３４の流路３２との接続を、適切に検出できる。検出部５０がベース部４０の上表面４０ａより下方に配置されているため、たとえ載置部１２とフープ８０の底部８２との隙間を狭くしたとしても、検出部５０の設置に支障がない。したがって、ロードポート装置１０は、可動部３０のストロークを短くしてボトムパージユニット２０を小型化することと、ポート８４と流路３２との接続の検出とを、両立させることができる。
【００５３】
また、ロードポート装置は、フープ８０のポート８４とロードポート装置１０のノズル部３４の流路３２との接続が完全でない状態で清浄化動作が開始されることを防止し、工場内に清浄化ガスが漏洩するなどの問題を防止するとともに、清浄化ガスをフープ８０内に確実に導入できる。また、被検出部３３がノズル部３４とは別に設けられているため、ノズル部３４を直接検出する場合に比べて、検出部５０を小型化することができる。また、被検出部３３とノズル部３４とが別々の開口である第２の開口４６と第１の開口４４とを挿通しているため、可動部３０がベース部４０に対して相対回転する問題を防止できる。
【００５４】
なお、図３及び図４に示すように、実施形態に係るボトムパージユニット２０では、検出部５０はベース部４０の下表面４０ｂより下方の位置で被検出部３３の移動を検出する。このようなボトムパージユニット２０は、平面方向のサイズを小さくすることができ、小型化に対して有利である。ただし、検出部５０の配置はこれに限定されず、ベース部４０の上表面４０ａから下表面４０ｂまでの間に隙間５６が位置するように、検出部５０を配置してもよい。このようなボトムパージユニット２０は、薄型化の観点で有利である。
【００５５】
以上、実施形態を示して本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態のみに限定されるものではなく、他の多くの実施形態及び変形例を有するものであることは言うまでもない。たとえば、可動部３０をベース部４０に対して相対移動させる方法は、エアシリンダ方式に限定されず、モータによる駆動など、他の駆動方式を用いてもよい。また、可動部３０は、下降位置Ｐ１と上昇位置Ｐ２の間で位置を変化させることができればよく、可動部３０が移動する移動方向は、上下方向のみに限定されず、斜め方向や、回転方向、およびこれらと他の移動方向との組み合わせであってもよい。
【００５６】
また、図５に示すように、可動部３０の被検出部３３は光を遮蔽する棒状であるが、被検出部としてはこれに限定されず、可動部３０の移動の少なくとも一部において、発光部５２と受光部５４との間を通るものであればよい。図８（ｃ）及び図８（ｄ）は、第１変形例に係る可動部１３０の上下方向の移動を、検出部５０によって検出する検出方法を表す概念図である。可動部１３０は、被検出部１３３の下端部１３３ａに、スリット状の貫通孔１３３ｂが形成されていることを除き、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示す可動部３０と同様である。なお、変形例については、実施形態との共通部分については説明を省略し、実施形態との相違点のみ説明する。
【００５７】
図８（ｃ）に示すように、可動部１３０が上昇位置Ｐ２にある場合は、被検出部１３３の下端部１３３ａに形成された貫通孔１３３ｂが、検出部５０の隙間５６内に位置する。したがって、発光部５２からの光は貫通孔１３３ｂを通り、被検出部１３３によって遮蔽されることなく受光部５４に到達し、受光部５４は、可動部１３０が上昇位置Ｐ２にあることを検出する。
【００５８】
これに対して、図８（ｄ）に示すように、可動部１３０が下降位置Ｐ１にある場合は、被検出部３３の下端部３３ａが検出部５０の隙間５６より下方に移動し、隙間５６内には、被検出部３３のうち貫通孔１３３ｂが形成されていない部分が位置する。したがって、発光部５２からの光は被検出部１３３によって遮蔽されて受光部５４に到達せず、受光部５４は、可動部１３０が下降位置Ｐ１にあることを検出する。
【００５９】
図８（ｅ）及び図８（ｆ）は、第２変形例に係る可動部２３０の上下方向の移動を、検出部５０によって検出する検出方法を表す概念図である。可動部２３０は、被検出部２３３の中間部２３３ｃに、スリット状の貫通孔２３３ｄが形成されていることを除き、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示す可動部３０と同様である。
【００６０】
図８（ｅ）に示すように、可動部２３０が上昇位置Ｐ２にある場合は、被検出部２３３のうち貫通孔２３３ｄが形成されていない下端部が位置する。したがって、発光部５２からの光は被検出部２３３によって遮蔽されて受光部５４に到達せず、受光部５４は、可動部２３０が上昇位置Ｐ２にあることを検出する。
【００６１】
これに対して、図８（ｄ）に示すように、可動部２３０が下降位置Ｐ１にある場合は、被検出部２３３の下端部が、検出部５０の隙間５６より下方に移動し、隙間５６内には、被検出部２３３の中間部２３３ｃに形成された貫通孔２３３ｄが、検出部５０の隙間５６内に位置する。したがって、発光部５２からの光は貫通孔２３３ｄを通り、被検出部２３３によって遮蔽されることなく受光部５４に到達し、受光部５４は、可動部２３０が下降位置Ｐ１にあることを検出する。
【００６２】
図８（ｂ）〜図８（ｄ）に示すような第１及び第２変形例に係る可動部１３０、２３０を有するボトムパージユニットも、実施形態に係るボトムパージユニット２０と同様の効果を奏する。なお、検出部の受光部５４は、被検出部３３、１３３、２３３が反射した光を検出するものであってもよい。
【００６３】
また、図３に示すように、実施形態に示す可動部３０の被検出部３３は、ベース部４０に形成された第２の開口４６を挿通するが、被検出部としては、ベース部４０を挿通しない形状であってもよい。図９は、第３変形例に係る可動部３３０を表す正面図である。可動部３３０は、被検出部３３３の形状及び接続位置が異なることを除き、図５に示す可動部３０と同様である。
【００６４】
図９に示すように、可動部３３０の被検出部３３３は、ノズル鍔部３５の側面に接続しており、水平方向に延びる第１部分３３３ｆと、第１部分３３３ｆの先端に接続しており第１部分３３３ｆの先端から下方へ延びる第２部分３３３ｇとを有する。被検出部３３３は、Ｌ字状の外形状を有しており、図３に示すベース部４０を迂回して検出部まで延びている。
【００６５】
可動部３３０の移動を検出する検出部は、図３に示す検出部５０と同様にベース部４０に取り付けられていてもよいが、ベース部４０が固定される載置部１２（図１参照）に取り付けられていてもよい。このような可動部３３０を有するボトムパージユニットも、実施形態に係るボトムパージユニット２０と同様の効果を奏する。
【符号の説明】
【００６６】
１０…ロードポート装置
１２…載置部
１２ａ…設置部
１２ｂ…設置部開口
１４…ドア
１６…フレーム
１６ａ…フレーム開口
２０…ボトムパージユニット
３０、１３０、２３０、３３０…可動部
３２…流路
３３、１３３、２３３、３３３…被検出部
３３ａ、１３３ａ…下端部
３３ｂ…上端
１３３ｂ、２３３ｄ…貫通孔
３３３ｆ…第１部分
３３３ｇ…第２部分
３４…ノズル部
３５…ノズル鍔部
３６…継ぎ手部
３７…接触部
Ｐ１…下降位置
Ｐ２…上昇位置
４０…ベース部
４０ａ…上表面
４０ｂ…下表面
４２…上ベース部
４２ａ…第１接続部
４３…下ベース部
４３ａ…第２接続部
４４…第１の開口
４６…第２の開口
５０…検出部
５２…発光部
５４…受光部
５６…隙間
５８…配線部
６０…ガス供給部
６２…接続経路
７０…制御部
８０…フープ
８２…底部
８４…ポート
８６…主開口    
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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