(57)【要約】【課題】検査に係る手間を増やすことなく適切に検査できる非破壊検査装置を提供する。【解決手段】非破壊検査装置１は、第１レーザ光が照射されてテラヘルツ波を発振するテラヘルツ波発振部２０と、検査対象物３に照射されたテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部３０と、テラヘルツ波の検出トリガとして第２レーザ光をテラヘルツ波検出部３０に導入する導入部４０と、所定の基準位置にテラヘルツ波発振部２０とテラヘルツ波検出部３０とを配置した際の、第２レーザ光がテラヘルツ波検出部３０に導入されるまでの第１時間が、テラヘルツ波検出部３０がテラヘルツ波を検出するまでの第２時間に一致するように第２レーザ光に時間遅延を与える時間遅延部５０と、テラヘルツ波発振部２０及びテラヘルツ波検出部３０の位置に応じて、第１時間と第２時間との差異をなくすように自動補正する補正部６０と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を第１レーザ光と第２レーザ光とに分割する光分割部と、
前記光分割部により発せられた前記第１レーザ光が照射されることによりテラヘルツ波を発振するテラヘルツ波発振部と、
前記テラヘルツ波発振部から検査対象物に照射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部が前記テラヘルツ波を検出するトリガとして前記第２レーザ光を前記テラヘルツ波検出部に導入する導入部と、
前記検査対象物に対する所定の基準位置に前記テラヘルツ波発振部と前記テラヘルツ波検出部とを配置した場合における、前記レーザ光が前記第２レーザ光に分割されてから前記導入部を介して前記テラヘルツ波検出部に導入されるまでの時間である第１時間が、前記レーザ光が前記第１レーザ光に分割されてから前記テラヘルツ波検出部が前記テラヘルツ波を検出するまでの時間である第２時間に一致するように前記導入部の光路長を変更して前記テラヘルツ波検出部に導入される前記第２レーザ光に時間遅延を与える時間遅延部と、を備え、
前記検査対象物に対する前記テラヘルツ波発振部の位置及び前記テラヘルツ波検出部の位置の少なくともいずれか一方が、前記基準位置から変更された場合に、前記第１時間と前記第２時間との差異をなくすように自動補正する補正部と、
を備える非破壊検査装置。
【請求項２】
前記基準位置から前記位置が変更された前記テラヘルツ波発振部及び前記テラヘルツ波検出部から前記検査対象物までの距離を検出する距離検出部を備え、
前記補正部は、前記距離検出部により検出された距離に応じて自動補正する請求項１に記載の非破壊検査装置。
【請求項３】
前記検査対象物の形状を示す形状情報を取得する形状情報取得部を備え、
前記補正部は、前記形状情報に基づいて前記第１時間と前記第２時間との差異をなくすように自動補正する請求項１に記載の非破壊検査装置。
【請求項４】
前記補正部は、前記第２レーザ光が前記テラヘルツ波検出部に導入されるタイミングと、前記テラヘルツ波検出部が前記テラヘルツ波を検出するタイミングとの時間差に応じて自動補正する請求項１に記載の非破壊検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テラヘルツ時間領域分光法を用いた非破壊検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電磁波の一種であるテラヘルツ波を用いた非破壊検査の技術開発が行われている。テラヘルツ波は、樹脂材料やセラミック等の物質に対する透過性や、人体への安全性等の観点から非破壊検査への適用が期待される。このような非破壊検査は、例えば施設や工場等において塗装された設備の表面に現れていない錆の検出に利用可能である。また、このような錆の検出のみに限らず、設備の維持やメンテナンスへの利用も視野に入れられる。このようなテラヘルツ波を用いた非破壊検査に係る技術として、下記に出典を示す非特許文献１に記載のものがある。
【０００３】
非特許文献１に記載の非破壊検査装置は、テラヘルツ時間領域分光（ＴＨｚ−ＴＤＳ）が利用されている。この非破壊検査装置は、検査対象物に対してテラヘルツ波の送信を行う送信素子と、検査対象物で透過あるいは反射したテラヘルツ波を受信する受信素子とを備えて構成され、このようなテラヘルツ波の透過あるいは反射したパルスの波形に基づき検査対象物の特性を取得している。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】「テラヘルツ波非破壊検査装置」，ＪＦＥ技報  Ｎｏ．３５，ＪＦＥスチール株式会社，２０１５年２月，７８−７９頁
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、ＴＨｚ−ＴＤＳを用いた非破壊検査装置では、装置内でレーザ光をビームスプリッターを用いてポンプ光とプローブ光とに分割し、ポンプ光を検査対象物に照射すると共に、プローブ光を計測開始タイミングを決定するためのトリガとして利用している。例えば検査対象物からの反射波を検出素子が適切に検出するには、検査対象物で反射したポンプ光とビームスプリッターからのプローブ光との検出素子に到達するタイミング（＝光路長）を一致させる必要がある。このため、非破壊検査装置には、光路長を調整する光路長調整機能や、波形データを取得する時間遅延機能を備えて構成されるものがある。
【０００６】
しかしながら、このような光路長調整機能や時間遅延機能を有する非破壊検査装置であっても、スキャナー部（本願「テラヘルツ波発振部」に相当）と検査対象物との間との距離が予め規定された一定値より大きくなると、手動で当該距離を調整する等の対策を要し、検査に係る手間が増えていた。
【０００７】
そこで、テラヘルツ波発振部やテラヘルツ波検出部と検査対象物との距離に拘らず、検査に係る手間を増やすことなく適切に検査することが可能な非破壊検査装置が求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る非破壊検査装置の特徴構成は、レーザ光を第１レーザ光と第２レーザ光とに分割する光分割部と、前記光分割部により発せられた前記第１レーザ光が照射されることによりテラヘルツ波を発振するテラヘルツ波発振部と、前記テラヘルツ波発振部から検査対象物に照射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、前記テラヘルツ波検出部が前記テラヘルツ波を検出するトリガとして前記第２レーザ光を前記テラヘルツ波検出部に導入する導入部と、前記検査対象物に対する所定の基準位置に前記テラヘルツ波発振部と前記テラヘルツ波検出部とを配置した場合における、前記レーザ光が前記第２レーザ光に分割されてから前記導入部を介して前記テラヘルツ波検出部に導入されるまでの時間である第１時間が、前記レーザ光が前記第１レーザ光に分割されてから前記テラヘルツ波検出部が前記テラヘルツ波を検出するまでの時間である第２時間に一致するように前記導入部の光路長を変更して前記テラヘルツ波検出部に導入される前記第２レーザ光に時間遅延を与える時間遅延部と、を備え、前記検査対象物に対する前記テラヘルツ波発振部の位置及び前記テラヘルツ波検出部の位置の少なくともいずれか一方が、前記基準位置から変更された場合に、前記第１時間と前記第２時間との差異をなくすように自動補正する補正部と、を備えている点にある。
【０００９】
このような特徴構成とすれば、検査対象物に対するテラヘルツ波発振部の位置やテラヘルツ波検出部の位置が変更された場合に、補正部が第１時間と第２時間との差異をなくすように自動補正するので、当該差異を手動で補正する手間を省くことができる。したがって、検査に係る手間を増やすことなく適切に検査することが可能となる。また、検査対象物の検査に必要な冶具を検査対象物の形状に合わせて用意する必要がないので、低コストで非破壊検査装置を実現できる。
【００１０】
また、前記基準位置から前記位置が変更された前記テラヘルツ波発振部及び前記テラヘルツ波検出部から前記検査対象物までの距離を検出する距離検出部を備え、前記補正部は、前記距離検出部により検出された距離に応じて自動補正すると好適である。
【００１１】
このような構成とすれば、テラヘルツ波発振部やテラヘルツ波検出部と検査対象物との間の距離に応じて自動で補正できる。なお、このような構成にあっては、検出結果に合わせて光路長を調整して補正しても良いし、検出結果をフィードバックし、演算処理にて補正をしても良い。
【００１２】
あるいは、前記検査対象物の形状を示す形状情報を取得する形状情報取得部を備え、前記補正部は、前記形状情報に基づいて前記第１時間と前記第２時間との差異をなくすように自動補正するように構成しても良い。
【００１３】
このような構成とすれば、検査対象物の形状情報を、例えば検査対象物の設計図面から取得し、形状情報に応じて補正することが可能である。したがって、検査対象物の検査を行う際に、検査対象物の形状を新たに測定する手間を省くことができる。
【００１４】
更には、前記補正部は、前記第２レーザ光が前記テラヘルツ波検出部に導入されるタイミングと、前記テラヘルツ波検出部が前記テラヘルツ波を検出するタイミングとの時間差に応じて自動補正するように構成しても良い。
【００１５】
このような構成とすれば、テラヘルツ波の時間計測幅の中央値と、反射波として計測されたピーク位置における時間のズレを算出し、そのズレ量がゼロになるようにフィードバック制御をかけることで、自動で補正することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】非破壊検査装置の構成を示す図である。
【図２】検査工程におけるズレを説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
１．非破壊検査装置の全体構成
本発明に係る非破壊検査装置は、検査に係る手間を増やすことなく適切に検査することができるように構成されている。以下、本実施形態の非破壊検査装置１について説明する。
【００１８】
図１は、非破壊検査装置１の構成を模式的に示した図である。図１に示されるように、非破壊検査装置１は、光分割部１０、テラヘルツ波発振部２０、テラヘルツ波検出部３０、導入部４０、時間遅延部５０、補正部６０を備えて構成される。
【００１９】
光分割部１０は、レーザ光を第１レーザ光と第２レーザ光とに分割する。レーザ光はレーザ２から出力される。レーザ２から出力されるレーザ光は、本実施形態では高速繰り返しフェムト秒レーザ光が用いられる。このため、レーザ光は、所定時間毎にパルス状に出力される。光分割部１０は、このようなレーザ２から出力されたレーザ光を第１レーザ光と第２レーザ光との２つに分割する。第１レーザ光は、公知のテラヘルツ時間領域分光システムにおけるポンプ光に相当し、第２レーザ光は、公知のテラヘルツ時間領域分光システムにおけるプローブ光に相当する。
【００２０】
テラヘルツ波発振部２０は、光分割部１０により発せられた第１レーザ光が照射されることによりテラヘルツ波を発振する。光分割部１０により発せられた第１レーザ光とは、光分割部１０により分割して生成された第１レーザ光である。本実施形態では、光分割部１０により分割して生成された第１レーザ光は、ミラー７０により屈折され、テラヘルツ波発振部２０に導入される。テラヘルツ波発振部２０は第１レーザ光に基づきテラヘルツ波を発振する。このようなテラヘルツ波の発振は公知であるので説明は省略する。テラヘルツ波発振部２０により発振されたテラヘルツ波は検査対象物３に照射される。検査対象物３とは、非破壊検査装置１により検査する物であって、例えばタンクや配管等が相当する。なお、図１の例では、ミラー７０とテラヘルツ波発振部２０との間に補正部６０が設けられているが、当該補正部６０については後述する。
【００２１】
テラヘルツ波検出部３０は、テラヘルツ波発振部２０から検査対象物３に照射されたテラヘルツ波を検出する。テラヘルツ波発振部２０から照射されたテラヘルツ波は、検査対象物３により反射される。したがって、テラヘルツ波検出部３０は、検査対象物３で反射したテラヘルツ波を検出する。本実施形態では、テラヘルツ波検出部３０が検査対象物３で反射したテラヘルツ波を検出するように図１に示しているが、テラヘルツ波検出部３０は検査対象物３を透過したテラヘルツ波を検出するように構成することも可能である。係る場合、テラヘルツ波検出部３０は、テラヘルツ波発振部２０と共に、検査対象物３を挟む位置に配置される。
【００２２】
導入部４０は、テラヘルツ波検出部３０がテラヘルツ波を検出するトリガとして第２レーザ光をテラヘルツ波検出部３０に導入する。第２レーザ光は光分割部１０により分割して生成された第２レーザ光である。テラヘルツ波検出部３０がテラヘルツ波を検出するトリガとするとは、非破壊検査装置１が正確に検査対象物３を検査するために、テラヘルツ波検出部３０が適切にテラヘルツ波を検出するタイミングを設定するのに用いられることを意味する。このような第２レーザ光をトリガとして用いる技術思想は公知であるので、ここでは説明を省略する。
【００２３】
導入部４０は、特に限定されるものではないが、光分割部１０からテラヘルツ波検出部３０までの第２レーザ光の光路が相当する。このような導入部４０には、第２レーザ光の光路を屈折させる複数のミラー（例えばミラー７１及びミラー７４等）や、後述する時間遅延部５０や波形取得用遅延部５５や補正部６０が設けられる。
【００２４】
ここで、上述したように光分割部１０で分割され生成された第１レーザ光は、テラヘルツ波発振部２０から検査対象物３に照射される。検査対象物３に照射されたテラヘルツ波は、検査対象物３で反射し（或いは透過し）、テラヘルツ波検出部３０により検出される。一方、光分割部１０で分割され生成された第２レーザ光は、上述したように、テラヘルツ波検出部３０がテラヘルツ波を検出するトリガとしてテラヘルツ波検出部３０に導入される。このため、正確に検査対象物３を検査するには、レーザ光が第２レーザ光に分割されてから導入部４０を介してテラヘルツ波検出部３０に導入されるまでの時間である第１時間と、レーザ光が第１レーザ光に分割されてからテラヘルツ波検出部３０がテラヘルツ波を検出するまでの時間である第２時間とが、互いに一致する必要がある。
【００２５】
第２レーザ光が生成されてからテラヘルツ波検出部３０に検出するまでの時間（上記「第１時間」に相当）は、何ら対策を施さなければ、第１レーザ光が生成されてからテラヘルツ波検出部３０により検査対象物３で反射した（或いは透過した）テラヘルツ波が検出されるまでの時間（上記「第２時間」に相当）よりも通常、短くなる。
【００２６】
そこで、時間遅延部５０は、検査対象物３に対する所定の基準位置にテラヘルツ波発振部２０とテラヘルツ波検出部３０とを配置した場合における、第１時間が第２時間に一致するように導入部４０の光路長を変更してテラヘルツ波検出部３０に導入される第２レーザ光に時間遅延を与える。
【００２７】
図１の例では、ミラー７１で屈折された第２レーザ光の光路上に時間遅延部５０が設けられる。ミラー７１からの第２レーザ光を、時間遅延部５０が有するミラー７２で光路長調整ステージ５１の一方の調整ミラー５２に向けて屈折し、更に光路長調整ステージ５１の他方の調整ミラー５２によりミラー７３に向けて屈折させ、ミラー７１で屈折された第２レーザ光の光路上に戻している。これにより、２つの調整ミラー５２と、ミラー７２及びミラー７３との間隔を光路長調整ステージ５１で変更することで導入部４０の光路長が変更でき、テラヘルツ波検出部３０に導入される第２レーザ光に時間遅延を与えることが可能となる。このような時間調整は、検査対象物３に対して予め設定された角度や方向にしたがって、テラヘルツ波発振部２０及びテラヘルツ波検出部３０を所定の基準位置に配置した状態で行われる。
【００２８】
ミラー７３で屈折された第２レーザ光は、テラヘルツ波検出部３０へそのまま導入しても良いが、本実施形態では波形データを取得する波形取得用遅延部５５に導入される。波形取得用遅延部５５は、ミラー７３からの第２レーザ光を、ミラー５８でステージ５７が有する一方のミラー５６に向けて屈折させる。更に、第２レーザ光を、他方のミラー５６及びミラー５９を介して、ミラー７４に向けて屈折させる。波形取得用遅延部５５は、ステージ５７を所定の光路長分だけ、常時高速で往復動作するように構成される。これにより、高速で光路長が変動することになる。このような波形取得用遅延部５５は公知であるので説明は省略する。
【００２９】
波形取得用遅延部５５のミラー５９により屈折された第２レーザ光はミラー７４で屈折され、補正部６０に導入される。補正部６０は、検査対象物３に対するテラヘルツ波発振部２０の位置及びテラヘルツ波検出部３０の位置の少なくともいずれか一方が、基準位置から変更された場合に、第１時間と第２時間との差異をなくすように自動補正する。検査対象物３に対するテラヘルツ波発振部２０の位置及びテラヘルツ波検出部３０の位置の少なくともいずれか一方が、基準位置から変更された場合とは、検査対象物３の検査時に、検査対象物３との相対位置が変更されたテラヘルツ波発振部２０やテラヘルツ波検出部３０にあたる。
【００３０】
例えば、図２に示されるように、タンク（検査対象物３の一例）を検査する場合、Ａの位置を基準位置として、テラヘルツ波発振部２０及びテラヘルツ波検出部３０を配置し、第１時間が第２時間に一致するように時間遅延部５０で調整した後、検査過程において、テラヘルツ波発振部２０及びテラヘルツ波検出部３０がＢの位置に移動されることがある。係る場合、テラヘルツ波発振部２０及びテラヘルツ波検出部３０とタンクまでの距離がＡの位置よりもＢの位置の方が長くなり、第１時間が第２時間に対してずれる可能性がある。状況によって、テラヘルツ波発振部２０及びテラヘルツ波検出部３０の双方の位置が変更される場合もあるし、テラヘルツ波発振部２０及びテラヘルツ波検出部３０の一方の位置が変更される場合もある。第１時間とは、レーザ光が第２レーザ光に分割されてから導入部４０を介してテラヘルツ波検出部３０に導入されるまでの時間であり、第２時間とは、レーザ光が第１レーザ光に分割されてからテラヘルツ波検出部３０がテラヘルツ波を検出するまでの時間である。
【００３１】
いずれにしても、テラヘルツ波発振部２０及びテラヘルツ波検出部３０の双方の位置が変更された場合や、テラヘルツ波発振部２０及びテラヘルツ波検出部３０の一方の位置が変更された場合には、第１時間と第２時間とが一致しない状況となり得る。係る場合、補正部６０が、第１時間と第２時間とが互いに一致するように、第２時間を補正する。これにより、非破壊検査装置１が適切に検査対象物３を検査することが可能となる。
【００３２】
２．補正部による補正
次に、補正部６０による補正について、具体例を挙げて説明する。なお、以下に記載する補正は、非破壊検査装置１が検査対象物３の検査を行っている際は継続して補正するように構成しても良いし、所定時間毎（例えば１ミリ秒毎）に繰り返し行うように構成しても良い。
【００３３】
２−１．具体例１
具体例１の非破壊検査装置１は距離検出部を備えて構成すると良い。係る場合、距離検出部が、基準位置から位置が変更されたテラヘルツ波発振部２０及びテラヘルツ波検出部３０から検査対象物３までの距離を検出すると良い。基準位置から変更されたテラヘルツ波発振部２０及びテラヘルツ波検出部３０とは、時間遅延部５０により第１時間が第２時間に一致するように導入部４０の光路長を変更した状態における位置から変更されたテラヘルツ波発振部２０及びテラヘルツ波検出部３０である。もちろん、テラヘルツ波発振部２０及びテラヘルツ波検出部３０の双方である場合もあるが、テラヘルツ波発振部２０及びテラヘルツ波検出部３０の一方である場合もある。
【００３４】
距離検出部は、このような位置が変更されたテラヘルツ波発振部２０やテラヘルツ波検出部３０から検査対象物３までの距離を検出する。距離検出部は、例えばテラヘルツ波発振部２０及びテラヘルツ波検出部３０の夫々に設けると好適である。距離検出部の検出結果は、補正部６０に伝達される。
【００３５】
補正部６０は、距離検出部から伝達された距離を用いて、第１時間と第２時間との差異をなくすように自動補正する。具体的には、基準位置に対して検査対象物３からの距離が離れるようにテラヘルツ波発振部２０の位置が変更された場合には、補正部６０（テラヘルツ波検出部３０とミラー７４との間に設けられた補正部６０）は検出された距離に応じて第１時間を長くして第２時間の長さとの差異をなくすように自動補正すると良く、基準位置に対して検査対象物３からの距離が離れるようにテラヘルツ波検出部３０の位置が変更された場合には、補正部６０（テラヘルツ波発振部２０とミラー７０との間に設けられた補正部６０）は検出された距離に応じて第２時間を長くして第１時間の長さとの差異をなくすように自動補正すると良い。また、基準位置に対してテラヘルツ波発振部２０及びテラヘルツ波検出部３０の双方の位置が変更された場合には、補正部６０は検出された距離に応じて第１時間と第２時間との差異をなくすように自動補正すると良い。
【００３６】
このような補正部６０は、例えば時間遅延部５０のように光路長を変更できるように構成することが可能である。具体的には、外付けで光路長調整ステージ部を取り付け、当該光路長調整ステージに離隔距離に合わせてステージ位置を自動で調整できる機構を設けると好適である。また、ステージ位置の制御には例えばステッピングモータ等の高速で精度良く位置出しが可能な装置を用いることが可能である。
【００３７】
２−２．具体例２
具体例２の非破壊検査装置１は形状情報取得部を備えて構成すると良い。係る場合、形状情報取得部が、検査対象物３の形状を示す形状情報を取得すると良い。検査対象物３の形状を示す形状情報とは、検査対象物３の形状そのものを示す情報だけでなく、外形寸法、内形寸法、曲がり具合や屈曲具合を規定する情報も含む。このような形状情報は、例えば検査対象物３の設計値（パラメータ）に基づき、記憶部（図示せず）に記憶しておくと良い。係る場合、記憶部から形状情報取得部が読み込み、取得することが可能となる。あるいは、形状情報取得部にユーザが形状情報を入力して取得するように構成することも可能である。形状情報取得部は、このような形状情報を取得し、補正部６０に伝達する。
【００３８】
補正部６０は、形状情報に基づいて第１時間と第２時間との差異をなくすように自動補正する。具体的には、テラヘルツ波発振部２０やテラヘルツ波検出部３０の位置を変更しながら検査対象物３を検査する際に、基準位置でのテラヘルツ波発振部２０やテラヘルツ波検出部３０と検査対象物３との距離が変わる場合には、補正部６０は形状情報に応じて第１時間と第２時間との差異をなくすように自動補正すると良い。係る場合、形状情報に応じて、第１時間を長くするように補正しても良いし、短くなるように補正しても良い。また、第２時間を長くするように補正しても良いし、短くなるように補正しても良い。
【００３９】
２−３．具体例３
具体例３の非破壊検査装置１は時間差算定部を備えて構成すると良い。係る場合、時間差算定部が、第２レーザ光がテラヘルツ波検出部３０に導入されるタイミングと、テラヘルツ波検出部３０がテラヘルツ波を検出するタイミングとの時間差を算定すると良い。上述したように、時間遅延部５０により、検査対象物３に対する所定の基準位置にテラヘルツ波発振部２０とテラヘルツ波検出部３０とを配置した場合における、レーザ光が第２レーザ光に分割されてからテラヘルツ波検出部３０に導入されるまでの時間である第１時間が、レーザ光が第１レーザ光に分割されてからテラヘルツ波検出部３０がテラヘルツ波を検出するまでの時間である第２時間に一致するように設定されている。すなわち、第１時間と第２時間との差異が無いように設定されている。検査対象物３の検査を行う際、検査対象物３の形状や、テラヘルツ波発振部２０やテラヘルツ波検出部３０の位置変更に伴い、第１時間と第２時間との間で差異が生じることがある。時間差算定部は、基準位置からテラヘルツ波発振部２０やテラヘルツ波検出部３０の位置を変更した際に、第１時間と第２時間との時間差を算定すべく、実際に第１レーザ光と第２レーザ光とを発すると良い。時間差算定部は、このようなテラヘルツ波発振部２０やテラヘルツ波検出部３０の位置変更に伴う第１時間と第２時間との間で差異（時間差）を算定し、補正部６０に伝達する。
【００４０】
補正部６０は、時間差算定部により算定された時間差に応じて自動補正する。具体的には、第１時間が第２時間よりも長い場合には、補正部６０は第２時間を長くするように補正し、第１時間が第２時間よりも短い場合には、補正部６０は第１時間を長くするように補正すると良い。
【００４１】
上記において、例えば第１時間と第２時間との時間差をなくすようにする補正は、夫々、検査対象物３で反射した第１レーザ光が反射波として計測されたパルスのピーク位置における時刻（タイミング）と、第２レーザ光のＴＨｚパルス波計測における時間計測幅の中央値（時刻）とを用いて、互いの時刻の差異が無くなるように補正すると良い。
【００４２】
〔別実施形態〕
上記実施形態では、具体例１−３として補正部６０による補正を説明したが、具体例１−３のうち、複数を組み合わせて補正するように構成することも可能である。
【００４３】
上記実施形態では、図１において補正部６０が光分割部１０とテラヘルツ波発振部２０との間、及び光分割部１０とテラヘルツ波検出部３０との間に設けられているとして示したが、構成によっては、補正部６０が光分割部１０とテラヘルツ波発振部２０との間、及び光分割部１０とテラヘルツ波検出部３０との間の何れか一方に設けることも可能である。
【００４４】
上記実施形態では、補正部６０は、外付けで光路長調整ステージ部を取り付けるものとして説明したが、非破壊検査装置１に内蔵した内蔵型で構成しても良い。
【００４５】
なお、上記実施形態（別実施形態を含む、以下同じ）で開示される構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示される構成と組み合わせて適用することが可能であり、また、本明細書において開示された実施形態は例示であって、本発明の実施形態はこれに限定されず、本発明の目的を逸脱しない範囲内で適宜改変することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、テラヘルツ時間領域分光法を用いた非破壊検査装置に用いることが可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１：非破壊検査装置
３：測定対象物
１０：光分割部
２０：テラヘルツ波発振部
３０：テラヘルツ波検出部
４０：導入部
５０：時間遅延部
６０：補正部
【図１】
2020159952.tif 000003
【図２】
2020159952.tif 000004