(57)【要約】      （修正有）【課題】特定の偏波面および単一のモードを有する光の伝搬、ならびに特定の偏波面を有する光の伝搬が可能な光ファイバアレイおよび光学測定装置を提供する。【解決手段】支持体１１と、支持体上に配列された単一モード光ファイバ１４、および複数の多モード光ファイバ１２ａ〜１２ｄと、支持体の端面１１ａに設けられた偏光板１６と、を具備し、単一モード光ファイバは偏波保持特性を有し、単一モード光ファイバの端面および多モード光ファイバの端面は、支持体の端面側を向き、偏光板は多モード光ファイバの端面を覆う光ファイバアレイ１０。【選択図】図２
2020034862.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体と、
前記支持体上に配列された単一モード光ファイバ、および複数の多モード光ファイバと、
前記支持体の端面に設けられた偏光板と、を具備し、
前記単一モード光ファイバは偏波保持特性を有し、
前記単一モード光ファイバの端面および前記多モード光ファイバの端面は、前記支持体の前記端面側を向き、
前記偏光板は前記多モード光ファイバの端面を覆う光ファイバアレイ。
【請求項２】
前記多モード光ファイバのコア径は１００μｍ以上、５００μｍ以下である請求項１に記載の光ファイバアレイ。
【請求項３】
前記多モード光ファイバの端面は、前記支持体の前記端面と同一平面に位置する請求項１または２に記載の光ファイバアレイ。
【請求項４】
前記単一モード光ファイバはレンズドファイバであり、
前記単一モード光ファイバの端面は前記支持体の端面の外側に突出する請求項１から３のいずれか一項に記載の光ファイバアレイ。
【請求項５】
前記単一モード光ファイバの両側のそれぞれに少なくとも２つの前記多モード光ファイバが配列されている請求項１から４のいずれか一項に記載の光ファイバアレイ。
【請求項６】
前記偏光板の厚さは１００μｍ以上、４００μｍ以下である請求項１から５のいずれか一項に記載の光ファイバアレイ。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載の光ファイバアレイと、
前記光ファイバアレイの端面と光変調素子との間の距離を調整する距離調整部と、
前記光ファイバアレイの単一モード光ファイバに接続されたレーザ光源と、
前記光ファイバアレイの多モード光ファイバに接続され、前記光変調素子の出射光の強度を測定する強度測定部と、を具備し、
前記レーザ光源から出射されるレーザ光は前記単一モード光ファイバを通じて前記光変調素子に入射し、
前記光変調素子から出射されるレーザ光は、前記光ファイバアレイの偏光板および前記多モード光ファイバを通じて前記強度測定部に入射する光学測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光ファイバアレイおよび光学測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、単一モード光ファイバアレイの先端に多モード光ファイバアレイを接続する技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−１９９００２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
光変調素子から出射される光の強度などを測定することがある。この場合、特定の偏波面および単一モードを有するレーザ光を光変調素子に入射し、光変調素子の出射光のうち特定の偏波面を有するレーザ光を測定器に伝搬させる。しかし上記のような多モード光ファイバにおいては、複数の偏波およびモードが混在し得るため、光変調素子の測定における光の入射および出射が困難となる。そこで、特定の偏波面および単一のモードを有する光の伝搬、ならびに特定の偏波面を有する光の伝搬が可能な光ファイバアレイおよび光学測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る光ファイバアレイは、支持体と、前記支持体上に配列された単一モード光ファイバ、および複数の多モード光ファイバと、前記支持体の端面に設けられた偏光板と、を具備し、前記単一モード光ファイバは偏波保持特性を有し、前記単一モード光ファイバの端面および前記多モード光ファイバの端面は、前記支持体の前記端面側を向き、前記偏光板は前記多モード光ファイバの端面を覆うものである。
【０００６】
本発明に係る光学測定装置は、上記の光ファイバアレイと、前記光ファイバアレイの端面と光変調素子との間の距離を調整する距離調整部と、前記光ファイバアレイの単一モード光ファイバに接続されたレーザ光源と、前記光ファイバアレイの多モード光ファイバに接続され、前記光変調素子の出射光の強度を測定する強度測定部と、を具備し、前記レーザ光源から出射されるレーザ光は前記単一モード光ファイバを通じて前記光変調素子に入射し、前記光変調素子から出射されるレーザ光は、前記光ファイバアレイの偏光板および前記多モード光ファイバを通じて前記強度測定部に入射するものである。
【発明の効果】
【０００７】
上記発明によれば、特定の偏波面および単一のモードを有する光の伝搬、ならびに特定の偏波面を有する光の伝搬が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は光学測定装置を例示するブロック図である。
【図２】図２（ａ）は光ファイバアレイおよび光変調素子を例示する平面図である。図２（ｂ）は光ファイバアレイを例示する正面図である。
【図３】図３（ａ）は距離Ｄ１と光強度との関係を示すグラフである。図３（ｂ）は光ファイバの中心からの距離と結合損失との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
[本願発明の実施形態の説明]
最初に本願発明の実施形態の内容を列記して説明する。
【００１０】
本願発明の一形態は、（１）支持体と、前記支持体上に配列された単一モード光ファイバ、および複数の多モード光ファイバと、前記支持体の端面に設けられた偏光板と、を具備し、前記単一モード光ファイバは偏波保持特性を有し、前記単一モード光ファイバの端面および前記多モード光ファイバの端面は、前記支持体の前記端面側を向き、前記偏光板は前記多モード光ファイバの端面を覆う光ファイバアレイである。偏波保持特性を有する単一モード光ファイバにより、特定の偏波面および単一モードを有する光を伝搬することができる。また、偏光板を通った光が多モード光ファイバに入射する。このため特定の偏波面を有する光が多モード光ファイバを伝搬することができる。
（２）前記多モード光ファイバのコア径は１００μｍ以上、５００μｍ以下でもよい。光ファイバアレイの端面に偏光板を設けるため、光ファイバアレイと光変調素子との間を離間させる。光変調素子から広がる出射光を受光するため、単一モード光ファイバに比べてコア径が大きい多モード光ファイバを用いる。このため結合損失が低下する。
（３）前記多モード光ファイバの端面は、前記支持体の前記端面と同一平面に位置してもよい。多モード光ファイバが端面に入射する光を受光するため、結合損失が低減される。また、支持体の端面に偏光板を設けることで、光の偏波状態を変更することができる。
（４）前記単一モード光ファイバはレンズドファイバであり、前記単一モード光ファイバの端面は前記支持体の端面の外側に突出してもよい。単一モード光ファイバで光を集光し、端面を光変調素子に近づけることで結合損失を低下させる。
（５）前記単一モード光ファイバの両側のそれぞれに少なくとも２つの前記多モード光ファイバが配列されてもよい。これにより光変調素子から出射される複数の光を受光することができる。
（６）前記偏光板の厚さは１００μｍ以上、４００μｍ以下でもよい。光ファイバアレイと外部の機器との間に偏光板を設けることができる。
（７）上記の光ファイバアレイと、前記光ファイバアレイの端面と光変調素子との間の距離を調整する距離調整部と、前記光ファイバアレイの単一モード光ファイバに接続されたレーザ光源と、前記光ファイバアレイの多モード光ファイバに接続され、前記光変調素子の出射光の強度を測定する強度測定部と、を具備し、前記レーザ光源から出射されるレーザ光は前記単一モード光ファイバを通じて前記光変調素子に入射し、前記光変調素子から出射されるレーザ光は、前記光ファイバアレイの偏光板および前記多モード光ファイバを通じて前記強度測定部に入射する光学測定装置である。単一モード光ファイバを通じて入射光を光変調素子に入射し、光変調素子の出射光を多モード光ファイバにより取り出すことができる。
【００１１】
［本願発明の実施形態の詳細］
本発明の実施形態に係る光ファイバアレイおよび光学測定装置の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【実施例１】
【００１２】
（光学測定装置）
図１は光学測定装置１００を例示するブロック図である。図１に示すように、光学測定装置１００は、光ファイバアレイ１０、調芯用ステージ３０、温調ステージ４０、角度調整用ステージ４２、カメラ４４、モニタ４６、温度コントローラ５０、調芯コントローラ５２、波長可変レーザ光源５４、４つの光パワーメータ５６、電流電圧源５８、および制御装置６０を有する。
【００１３】
光学測定装置１００は、光変調素子２０にレーザ光を入射し、光変調素子２０で変調された光を取り出すことで、光変調素子２０の評価を行う装置である。図２（ａ）で後述するように、光変調素子２０の１つの面に入射ポートおよび出射ポートが配置されている。このため、光ファイバアレイ１０を光変調素子２０の当該面に対向させ、レーザ光の伝搬を行う。
【００１４】
光変調素子２０には特定の偏波面を有する単一モードのレーザ光を入射する。また、光変調素子２０の出射光のうち特定の偏波面を有する光を測定する。光ファイバアレイ１０によりこれらの光の入射および反射を行う。
【００１５】
（光ファイバアレイ１０）
図２（ａ）は光ファイバアレイ１０および光変調素子２０を例示する平面図である。図２（ｂ）は光ファイバアレイ１０を例示する正面図である。図２（ａ）に示すように、光ファイバアレイ１０と光変調素子２０とは対向している。光ファイバアレイ１０はベースプレート１１（支持体）、光ファイバ１２ａ〜１２ｄおよび光ファイバ１４を有する。ベースプレート１１の長さＬ１は例えば３ｍｍ以上、３０ｍｍ以下である。幅Ｗ１は例えば３ｍｍ以上、８ｍｍ以下である。
【００１６】
図２（ｂ）に示すように、ベースプレート１１の上面にはＶ字状の４つの溝１３、および１つの溝１５が設けられている。溝１３および１５は同一の方向に延伸する。１つの溝１３には光ファイバ１２ａ〜１２ｄのいずれかが配置される。溝１５には光ファイバ１４が配置される。光ファイバ１４はベースプレート１１の中央付近に位置し、光ファイバ１４の一方の側に光ファイバ１２ａおよび１２ｂが配列し、他方の側に光ファイバ１２ｃおよび１２ｄが配列する。光ファイバ１２ａ〜１２ｄおよび光ファイバ１４は同じ方向に延伸する。
【００１７】
光ファイバ１２ａ〜１２ｄは多モード光ファイバ（ＭＭＦ：Multi Mode Fiber）である。光ファイバ１４は偏波保持特性を有する単一モード光ファイバ（ＳＭＦ：Single Mode Fiber）であり、かつ先端が凸状に加工されたレンズドファイバである。光ファイバ１２ａ〜１２ｄのコア径は光ファイバ１４のコア径より大きく、例えば４００μｍである。光ファイバ１４のコア径は例えば８μｍであり、ガラス部分の外径は１２５μｍである。
【００１８】
図２（ａ）に示すように、光ファイバアレイ１０のベースプレート１１の面１１ａは光変調素子２０に対向する。面１１ａと光変調素子２０との間の距離Ｄ１は例えば０．４ｍｍであり、５０μｍ以上、０．５ｍｍ以下としてもよい。
【００１９】
光ファイバ１２ａ〜１２ｄの端面は面１１ａと同一平面に位置する。面１１ａには２つの偏光板１６が貼り付けられている。１つの偏光板１６は光ファイバ１２ａおよび１２ｂを覆い、もう１つの偏光板１６は光ファイバ１２ｃおよび１２ｄを覆う。偏光板１６の厚さＴ１は例えば０．２ｍｍであり、１００μｍ以上、４００μｍ以下でもよい。一方、光ファイバ１４の端面は、偏光板１６に覆われず、面１１ａよりも光変調素子２０側に突出する。光ファイバ１４の先端と偏光板１６との間の距離Ｄ２は例えば０．１ｍｍであり、１００μｍ以上、３００μｍ以下でもよい。光ファイバ１４の先端と光変調素子２０との接触を避けるため、面１１ａと光変調素子２０との間の距離Ｄ１は例えば０．２ｍｍ以上、０．５ｍｍ以下であることが好ましい。
【００２０】
（光変調素子２０）
光変調素子２０は例えばＧａＡｓ系半導体またはＩｎＰ系半導体などで形成されたマッハツェンダー型変調器である。図２（ｂ）に示すように、光変調素子２０は複数の光導波路２１を有し、かつ不図示の電極を有する。光導波路２１は結合および分岐し、かつ屈曲する。なお図1では光導波路２１を省略した。
【００２１】
光変調素子２０の光ファイバアレイ１０と対向する面には、１つの入射ポート２４および４つの出射ポート２２ａ〜２２ｄが設けられている。入射ポート２４および出射ポート２２ａ〜２２ｄは光導波路２１に接続されている。入射ポート２４は光ファイバ１４に対向する。出射ポート２２ａ〜２２ｄはそれぞれ光ファイバ１２ａ〜１２ｄに対向する。隣り合う出射ポート間の距離は例えば０．７ｍｍである。出射ポート２２ｂおよび２２ｃと入射ポート２４との間の距離は例えば１ｍｍである。
【００２２】
偏波保持特性を有する単一モードの光ファイバ１４から、光変調素子２０の入射ポート２４にレーザ光を入射する。すなわち、特定の偏波面を有する単一モードの入射光を光変調素子２０に入射する。
【００２３】
入射光の結合損失を低減するため、光ファイバ１４はレンズドファイバとし、かつ先端をベースプレート１１の面１１ａよりも光変調素子２０側に突出させる。光変調素子２０が光ファイバアレイ１０に対して傾斜すると偏光板１６に接触し、光変調素子２０が破損する恐れがある。傾斜角度が３°でも接触を抑制できるように、光ファイバ１４の先端と偏光板１６との間の距離Ｄ２は例えば０．１ｍｍとする。
【００２４】
レーザ光は光導波路２１を伝搬する。不図示の電極に電圧を印加することでレーザ光は例えば四位相偏移変調（ＱＰＳＫ：Quadrature Phase Shift Keying）される。変調後の出射光は出射ポート２２ａ〜２２ｄおよび偏光板１６を通じて光ファイバ１２ａ〜１２ｄに入射する。このため例えばＴＥ方向のように特定の偏波面を有する出射光を取り出すことができる。図１に示すように光学測定装置１００内において光ファイバ１２ａ〜１２ｄを曲げることがある。曲がった光ファイバ１２ａ〜１２ｄ内において偏波面を所望の方向に維持するため、偏光板１６を面１１ａに設け、光ファイバ１２ａ〜１２ｄへの入射前に出射光を偏光板１６に通す。偏光板１６を挿入するためには、面１１ａと光変調素子２０との間に空間を設ける。
【００２５】
光ファイバアレイ１０と光変調素子２０との距離Ｄ１を例えば数ｍｍ程度まで大きくすることで、厚い偏光板を設けることができる。しかし光変調素子２０の出射光は、出射ポート２２ａ〜２２ｄから空間に出ると広がる。光ファイバ１２ａ〜１２ｄで受光されない光が多くなり、結合損失が増大する。また、偏光板１６の中でも出射光は広がるため、結合損失が増大する。距離Ｄ１を小さくし、結合損失を低減するため、偏光板１６は厚さ０．２ｍｍ程度のフィルム状のものが好ましい。
【００２６】
また、距離Ｄ１の間で広がる出射光の大部分を受光し、結合損失を低減できるように、光ファイバ１４よりもコア径の大きい多モードの光ファイバ１２ａ〜１２ｄを用いる。
【００２７】
距離Ｄ１および光ファイバ１２ａ〜１２ｄのコア径について実験を行った。図３（ａ）は距離Ｄ１と光強度との関係を示すグラフである。横軸は距離Ｄ１、縦軸は光ファイバ１２ａ〜１２ｄのうち１つが受光する光の強度である。光ファイバのコア径は４００μｍである。図３（ａ）に示すように、距離Ｄ１が５００μｍ以下では強度は１４ｄＢｍ付近で安定し、５００μｍ以上では距離Ｄ１の増加とともに強度が低下する。受光する光の強度を高めるため、距離Ｄ１は例えば５０μｍ以上、４００μｍ以下であることが好ましい。
【００２８】
図３（ｂ）は光ファイバの中心からの距離と結合損失との関係を示すグラフである。横軸は中心からの径方向の距離を表す。縦軸は損失量であり、ピークのパワーからの減少を表す。白抜きの円および白抜きの四角はそれぞれ距離Ｄ１が５０μｍの例および１００μｍの例を示す。黒塗りの三角および白抜きの三角はそれぞれ距離Ｄ１が２００μｍの例および３００μｍの例を示す。黒塗りの円および黒塗りの四角はそれぞれ距離Ｄ１が４００μｍの例および５００μｍの例を示す。光ファイバのコア径は４００μｍである。光ファイバの中心からの距離が大きくなるにつれ、損失量は増大する。例えば距離Ｄ１が４００μｍ以下ならば、損失量を−０．２ｄＢ以下とするためには中心からの距離を６０μｍ以下とする。つまり、光ファイバアレイ１０における光ファイバの配列、光ファイバアレイ１０と光変調素子２０との調芯における誤差を６０μｍ程度とする。
【００２９】
次に、図１に示す光学測定装置１００の他の構成について説明する。制御装置６０は例えばパーソナルコンピュータ（ＰＣ：Personnel Computer）などのコンピュータであり、温度コントローラ５０、調芯コントローラ５２、波長可変レーザ光源５４、４つの光パワーメータ５６および電流電圧源５８と、電気的に接続されている。
【００３０】
図１に示すように、調芯用ステージ３０の上にフォルダ３２が設けられ、フォルダ３２の上に光ファイバアレイ１０が搭載されている。光ファイバアレイ１０の１つの端面は冶具３４に突き当てられる。図１に示す固定器具３６がカバー１８を上から押さえることで、光ファイバを固定する。冶具３４および固定器具３６は例えばテフロン（登録商標）製である。
【００３１】
調芯用ステージ３０は調芯コントローラ５２と電気的に接続されている。作業者は制御装置６０を用いて調芯コントローラ５２を制御し、調芯用ステージ３０上の光ファイバアレイ１０の位置を調整する。調芯用ステージ３０および後述の角度調整用ステージ４２は距離Ｄ１を調整する距離調整部として機能する。
【００３２】
光ファイバアレイ１０は、図２（ａ）および図２（ｂ）でも示したように、４つの光ファイバ１２ａ〜１２ｄおよび光ファイバ１４を有する。光ファイバ１４の一端は光変調素子２０に対向し、他端はコネクタ５３により波長可変レーザ光源５４と光学的に接続されている。光ファイバ１４のガラスは被覆されており、被覆を含む外径は例えば２５０μｍであり、例えば１．５３μｍ〜１．５７μｍの範囲の単一波長かつ単一モードのレーザ光が伝搬する。
【００３３】
光ファイバ１２ａ〜１２ｄの一端は光変調素子２０に対向し、他端はコネクタ５５により光パワーメータ５６（強度測定部）と光学的に接続されている。光ファイバ１２ａ〜１２ｄの長さはそれぞれ例えば７３０μｍであり、曲げ半径は例えば４７ｍｍである。
【００３４】
波長可変レーザ光源５４が出射するレーザ光は光ファイバ１４を通じて光変調素子２０に入射する。光変調素子２０はレーザ光を変調する。変調後のレーザ光は光ファイバ１２ａ〜１２ｄを通じて光パワーメータ５６のそれぞれに入射する。制御装置６０は波長可変レーザ光源５４から出射されるレーザ光の波長を制御し、光パワーメータ５６が測定する光の強度を取得する。
【００３５】
角度調整用ステージ４２の上に温調ステージ４０が搭載され、温調ステージ４０の上に光変調素子２０が搭載されている。温調ステージ４０は例えばペルチェ素子などを含み、温度コントローラ５０と電気的に接続されている。作業者は制御装置６０を用いて温度コントローラ５０から温調ステージ４０に印加する電力を制御する。これにより温調ステージ４０上の光変調素子２０の温度を調整する。
【００３６】
光変調素子２０は、ボンディングワイヤ４３を介してマルチコンタクトプローブ４１と電気的に接続されている。マルチコンタクトプローブ４１は光変調素子２０の二辺と対向し、電流電圧源５８と電気的に接続されている。
【００３７】
電流電圧源５８は多チャンネルの直流電源であり、マルチコンタクトプローブ４１を介して光変調素子２０の複数の電極に電圧を印加し、かつ複数の電極における電流を測定することができる。作業者は制御装置６０から電流電圧源５８を制御し、光変調素子２０に逆バイアス電圧を印加し、かつ光変調素子２０に流れる電流を確認する。
【００３８】
カメラ４４は光変調素子２０の光ファイバアレイ１０との対向面が視野に入るように配置される。モニタ４６はカメラ４４に接続され、カメラ４４が撮像する映像を表示する。また、モニタ４６には光変調素子２０の位置合わせの基準となる基準線が表示されている。
【００３９】
（光変調素子２０の評価）
作業者は、モニタ４６内の画像を見ながら、光変調素子２０の端面とモニタ４６上の基準線とが一致するように、角度調整用ステージ４２のマイクロメータを操作する。マルチコンタクトプローブ４１を光変調素子２０の電極（不図示）に接触させる。作業者は、電流電圧源５８を用いて光変調素子２０に例えば−５Ｖの逆バイアス電圧を印加する。電流が規定値以上であれば電流電圧源５８をオフにする。電流が規定値未満ならば、規定値以上の電流が得られるまでマルチコンタクトプローブ４１の位置合わせなどを行う。
【００４０】
調芯用ステージ３０により光ファイバアレイ１０の位置を動かし、光ファイバ１４の先端を光変調素子２０の入射ポート２４から例えば５０μｍの位置まで近づける。波長可変レーザ光源５４を駆動させ、例えば１．５３〜１．５７μｍの範囲内の単一波長のレーザ光を光変調素子２０に入射する。光変調素子２０から出射される光は光ファイバ１２ａ〜１２ｄを通じて光パワーメータ５６に入射する。光パワーメータ５６が示すパワーが最大となるように調芯用ステージ３０により光ファイバアレイ１０の位置を調整する。
【００４１】
測定プログラムを動作させ、電流電圧源５８により逆バイアス電圧を例えば−１１Ｖ〜−５Ｖにスキャンして、光変調素子２０の出射光の強度を測定する。これにより光変調素子２０の評価を行う。終了後、波長可変レーザ光源５４および電流電圧源５８をオフにする。光ファイバアレイ１０およびマルチコンタクトプローブ４１を光変調素子２０から遠ざけ、光変調素子２０を温調ステージ４０から取り外す。
【００４２】
実施例１によれば、光ファイバアレイ１０の光ファイバ１４は偏波保持特性を有する単一モード光ファイバである。このため、光ファイバ１４を用いて特定の偏波面を有する単一モードのレーザ光を伝搬することができる。光ファイバ１２ａ〜１２ｄは多モード光ファイバであり、偏光板１６は光ファイバ１２ａ〜１２ｄを覆う。したがって偏光板１６により偏光したレーザ光を光ファイバ１２ａ〜１２ｄで受光し、伝搬することができる。
【００４３】
光変調素子２０の小型化のため、光変調素子２０の１つの端面に入射ポート２４、出射ポート２２ａ〜２２ｄが配列されている。光ファイバ１２ａ〜１２ｄおよび１４の端面は光ファイバアレイ１０の面１１ａ側に位置する。このため面１１ａを入射ポート２４、出射ポート２２ａ〜２２ｄに対向させることで、光ファイバアレイ１０を用いて、光変調素子２０に光の入射および出射が可能となる。
【００４４】
例えば、光ファイバアレイ１０を光学測定装置１００に用いることで、特定の偏波面を有する単一モードのレーザ光を光ファイバ１４から光変調素子２０に入射し、光変調素子２０から特定の偏波面を有する出射光を光ファイバ１２ａ〜１２ｄにより光パワーメータ５６まで伝搬することができる。光パワーメータ５６で強度を測定しながら、距離Ｄ１を調整することで、光変調素子２０を適切な位置に配置し、評価することが可能である。
【００４５】
光変調素子２０の出射ポート２２ａ〜２２ｄにおいて、出射光のモード直径は例えば１．５μｍ程度であるが、出射ポート２２ａ〜２２ｄから出ると広がる。また、光ファイバアレイ１０と光変調素子２０との間に偏光板１６を設けるため、光ファイバアレイ１０と光変調素子２０とは距離Ｄ１だけ離間させる。出射光は距離Ｄ１進む間に広がってしまう。結合損失を抑制するため、コア径の大きな多モード光ファイバ１２ａ〜１２ｄで受光する。例えば、光ファイバ１２ａ〜１２ｄのコア径は１００μｍ以上、５００μｍ以下であることが好ましい。
【００４６】
光ファイバ１２ａ〜１２ｄの端面は、ベースプレート１１の面１１ａと同一平面に位置する。光ファイバ１２ａ〜１２ｄを光変調素子２０に近づけ、かつ偏光板１６を貼り付けることができる。これにより、面１１ａから入射するレーザ光の結合損失を抑制し、かつ偏波状態を変化させることができる。
【００４７】
光ファイバアレイ１０と光変調素子２０との間の距離Ｄ１は例えば４００μｍ以下であり、偏光板１６は長さＤ１の空間に配置可能なものである。したがって偏光板１６の厚さは例えば１００μｍ以上、４００μｍ以下である。偏光板１６はＴＥ方向の偏光を通してもよいし、他の方向の偏光を通してもよい。
【００４８】
光ファイバ１４はレンズドファイバであり、光ファイバ１４の先端でレーザ光が集光される。また、光ファイバ１４の端面は面１１ａの外側に突出するため、レーザ光の結合損失が低減される。光ファイバ１４にモード直径が８μｍの光を入射した場合、先端ではモード直径が例えば３μｍ程度となるように、光ファイバ１４の先端をレンズ加工する。
【００４９】
光変調素子２０は中央付近に入射ポート２４を有し、入射ポート２４の一方の側に出射ポート２２ａおよび２２ｄを有し、他方の側に出射ポート２２ｃおよび２２ｄを有する。これに対応し、光ファイバアレイ１０は中央付近に光ファイバ１４を有し、光ファイバ１４の一方の側に光ファイバ１２ａおよび１２ｂを有し、他方の側に光ファイバ１２ｃおよび１２ｄを有する。これにより光変調素子２０との間でレーザ光の入射および出射が可能である。
【００５０】
光変調素子２０のポートの数などに応じて、光ファイバの数を変えてもよい。光ファイバ１４の両側のそれぞれに少なくとも２つの多モード光ファイバを配列する。これにより複数の光の受光が可能である。また、光ファイバ１２ａおよび１２ｄをモニタ用、光ファイバ１２ｂおよび１２ｃを変調光の測定用などと用途を分けてもよい。
【００５１】
なお、光ファイバ１２ａ〜１２ｄおよび１４の曲げ半径を大きくすると、レーザ光が光ファイバから漏れてしまう。したがって曲げ半径が小さくなるように、光学測定装置１００の部品を配置する。例えば光ファイバ１２ａ〜１２ｄの曲げ半径は４７ｍｍ以下とする。
【符号の説明】
【００５２】
１０                    光ファイバアレイ
１１                    ベースプレート
１２ａ〜１２ｄ、１４    光ファイバ
１３、１５              溝
１６                    偏光板
１８                    カバー
２０                    光変調素子
２２ａ〜２２ｄ          出射ポート
２４                    入射ポート
３０                    調芯用ステージ
３２                    フォルダ
３４                    冶具
３６                    固定器具
４０                    温調ステージ
４１                    マルチコンタクトプローブ
４２                    角度調整用ステージ
４３                    ボンディングワイヤ
４４                    カメラ
４６                    モニタ
５０                    温度コントローラ
５２                    調芯コントローラ
５３、５５              コネクタ
５４                    波長可変レーザ光源
５６                    光パワーメータ
５８                    電流電圧源
６０                    制御装置
１００                  光学測定装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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