(57)【要約】【課題】加工機械の加工プログラムが開示されていなくても、より簡単に回転工具の動作タイミングを把握して回転工具の診断を行えるようにする。【解決手段】本発明の一態様の回転工具診断システム１００は、回転工具を回転させる第１の電動機１６０に接続された少なくとも１本の電力線の電流を検知する第１の電流検知器１６２と、回転工具を移動させるために用いられる第２の電動機１６３に接続された少なくとも１本の電力線の電流を検知する第２の電流検知器１６５と、第２の電流検知器１６５の出力信号に対する処理の結果を元にトリガをかけて、第１の電流検知器１６２からの出力信号の記録を開始するように構成された信号処理装置１７０と、を備える。【選択図】図１
2020078848.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転工具を回転させる第１の電動機に接続された少なくとも１本の電力線の電流を検知する第１の電流検知器と、
前記回転工具を移動させるために用いられる第２の電動機に接続された少なくとも１本の電力線の電流を検知する第２の電流検知器と、
前記第２の電流検知器の出力信号に対する処理の結果を元にトリガをかけて、前記第１の電流検知器からの出力信号の記録を開始するように構成された信号処理装置と、を備える
回転工具診断システム。
【請求項２】
前記信号処理装置は、
前記第２の電流検知器の出力信号に対する処理の結果をトリガに１回動作し、指定された時間、記録実行信号を出力するトリガ出力部と、
前記トリガ出力部から出力される前記記録実行信号を受信して前記第１の電流検知器からの出力信号を記録するデータ記録部と、を備える
請求項１に記載の回転工具診断システム。
【請求項３】
前記信号処理装置は、
前記第２の電流検知器の出力信号の値を閾値と比較し、前記第２の電流検知器の出力信号の値が前記閾値を超える場合には、前記第２の電流検知器の出力信号に対する処理の結果として、前記第２の電流検知器の出力信号の値が前記閾値を超えることを前記トリガ出力部へ通知する比較部、を備える
請求項２に記載の回転工具診断システム。
【請求項４】
前記信号処理装置は、
前記データ記録部による前記第１の電流検知器の出力信号の記録結果を外部装置へ送信する通信回路、を備える
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の回転工具診断システム。
【請求項５】
電池から電源電圧を生成する電源回路、を備え、
前記信号処理装置は、前記電源回路で生成された前記電源電圧で駆動される
請求項１に記載の回転工具診断システム。
【請求項６】
前記第１の電流検知器及び前記第２の電流検知器以外の電流検知器が前記電流を検知して得た電力から電源電圧を生成する電源回路、を備え、
前記信号処理装置は、前記電源回路で生成された前記電源電圧で駆動される
請求項１に記載の回転工具診断システム。
【請求項７】
前記信号処理装置は、前記通信回路を用いて前記外部装置から動作設定値を受信し、受信した前記動作設定値に基づいて前記トリガ出力部及び前記比較部が動作するように構成されている
請求項４に記載の回転工具診断システム。
【請求項８】
前記信号処理装置は、
前記第１の電流検知器及び前記第２の電流検知器の出力信号を選択的に切り替える選択部、を備え、
前記第２の電流検知器の出力信号に対する処理の結果を元にトリガをかけて、前記選択部により前記第１の電流検知器の出力信号に切り替え、前記第１の電流検知器からの出力信号の記録を開始するように構成されている
請求項１に記載の回転工具診断システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削工具等の回転工具を診断する回転工具診断システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
回転工具による金属等の加工は様々な製造現場で活用されている。一般的には、ドリルやエンドミルといった切削工具を用いて鉄等の材料を加工する。被加工物の加工途中で切削工具が破損すると、その被加工物の品質に影響を及ぼす可能性があるため、加工中に被加工物の破損が起こらないよう、切削工具の寿命に余裕を持って使用することが必要である。しかし、頻繁に切削工具を交換することは製造コストの増大に繋がる。よって、適切な期間及び回数だけ切削工具を使用し、適切なタイミングで切削工具を交換することが好ましい。
【０００３】
切削工具の劣化判断の方法として、切削工具の使用時間や使用回数を記録しておき、これらの値を経験的に知られている劣化までの値と比較して判断する方法が実用されている。しかし、この劣化判断方法では、切削工具の製造ばらつき等による切削工具の寿命ばらつきによって実際の寿命が経験的に予測される寿命からずれてしまう可能性がある。
【０００４】
一方で、加工に用いる電動機の負荷の大きさを、電動機が発生するトルクの大きさから判断し、このトルクがある一定の大きさや条件を満たしたときに切削工具が劣化したと判断する方法が知られている。切削工具が劣化すると加工に必要なトルクが通常時（劣化前）よりも大きくなるから、通常時のトルクと加工時のトルクを比較することで劣化を判断することが可能である。この判断方法では、実測に基づいた診断が出来るため、経験に基づく診断と比較して切削工具そのものの製造ばらつきなどの影響を受けない、精度の高い劣化診断が可能となる。
【０００５】
特許文献１には、加工機の主軸電動機に高周波電流センサを取り付け、予兆検出装置により高周波電流センサで得られる電流波形をサンプリングし、記録した実負荷電流波形の時系列変化から回転刃具の折損の予兆を判断する方法が記載されている。
【０００６】
特許文献２には、モータ負荷トルク測定機能として、モータの負荷トルクの計測を加工プログラムと照らし合わせながら負荷トルクの計測を実施する技術が開示されている。特許文献２に記載の方法では、必要な計測区間だけ計測を行うため、特許文献１に記載の方法と比較して記憶装置の記憶可能容量を小さくすることができ、また、解析に用いる計算機の処理能力も比較的小さくすることが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１１−０２０２２１号公報
【特許文献２】特開２０１１−１１８８４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前述の通り、電動機が発生する電流やトルクを計測することで、精度の高い切削工具の劣化診断が可能となるが、これまで知られている診断方法には以下のような問題があった。
【０００９】
例えば、特許文献１に記載の方法では、保存及び解析するデータ量が、その高周波サンプリングにより膨大となり、計測及び解析には大容量の記憶装置と計算能力の高い解析用計算機が必要となる。また、回転刃具のデータを取得するトリガをかける方法について言及されておらず、人が手動で予兆検知装置の記録スイッチを入れるか、常時記録し続ける必要がある。このため加工が休止している時間でもデータを記録し続けることになり、記憶容量及び解析にかかる時間と電力が大きくなってしまう。
【００１０】
一方で、特許文献２に記載の技術は、加工機械の加工プログラムや加工シーケンスが開示された状態でなければ適用不可能であるとともに、加工機械に実装された制御コントローラとの連携機構等のコストが大きい。
【００１１】
本発明は、上記の状況を考慮してなされたものであり、加工機械の加工プログラムや加工シーケンスの情報がなくても、より簡単に回転工具の動作タイミングを把握して回転工具の診断を可能とすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の一態様の回転工具診断システムは、回転工具を回転させる第１の電動機に接続された少なくとも１本の電力線の電流を検知する第１の電流検知器と、回転工具を移動させるために用いられる第２の電動機に接続された少なくとも１本の電力線の電流を検知する第２の電流検知器と、この第２の電流検知器の出力信号に対する処理の結果を元にトリガをかけて、第１の電流検知器からの出力信号の記録を開始するように構成された信号処理装置と、を備える。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の少なくとも一態様によれば、加工機械の加工プログラムや加工シーケンスが開示された状態でなくても、より簡単な構成で回転工具の動作タイミングを把握して回転工具の診断を行うことができる。
上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る回転工具診断方法を実現するためのシステム構成例を示すブロック図である。
【図２】観測される回転工具の電流波形の一例を示す図である。
【図３】回転工具による加工の一例を示す図である。
【図４】図３に示す回転工具による加工時における各電動機の電流波形を示す図である。
【図５】本発明の第１の実施形態に係る演算制御部の各部の動作波形の一例を示す図である。
【図６】本発明の第１の実施形態における下り伝送パケットの構成例を示す図である。
【図７】本発明の第１の実施形態に係る回転工具診断システムのネットワーク構成例を示すブロック図である。
【図８】本発明の第２の実施形態に係る回転工具診断方法を実現するためのシステム構成例を示すブロック図である。
【図９】本発明の第２の実施形態に係る演算制御部の各部の動作波形の一例を示す図である。
【図１０】本発明の第３の実施形態に係る回転工具診断方法を実現するためのシステム構成例を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための形態の例について、添付図面を参照しながら説明する。添付図面において実質的に同一の機能又は構成を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００１６】
＜１．第１の実施形態＞
まず、本発明の第１の実施形態について説明する。本実施形態に係る回転工具診断システムは、被加工物の移動及び加工を行う複数の電動機を備える加工機械（例えば回転工具）の健全性をその駆動電流を計測することで診断するためのシステムである。
【００１７】
一般に、加工機械を用いて被加工物を加工する際には、被加工物を所定の位置に移動してから回転工具による加工を実施する。本発明は、この作業に着目してなされたものである。具体的には、本発明は、同一加工機械が備える複数の電動機の電流波形をモニタリングし、各電動機の電流波形をトリガとして回転工具を駆動する主電動機の電流波形を記録し、この電流波形に基づいて診断を行う。
【００１８】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る回転工具診断方法を実現するためのシステム構成例を示すブロック図である。診断単位１００は、複数の電動機１６０，１６３と、サーボアンプ１６１，１６４と、電動機１６０，１６３に接続された電力線に取り付けられた電流検知器（カレントトランスフォーマ：ＣＴ）１６２，１６５と、信号処理装置１７０から構成される。診断単位１００は、最小単位の回転工具診断システムの一例と言える。
【００１９】
図１では、診断単位を「ＳＥＮＳＥ」、電動機を「Ｍｏｔｏｒ」、サーボアンプを「ＡＭＰ」、電流検知器を「ＣＴ」、及び信号処理装置を「ＥＤＧＥＳＥＮ」と表記している。本実施形態では、電動機１６０及び電動機１６３に三相交流モータを用いている。
【００２０】
電動機１６０（第１の電動機）は、サーボアンプ１６１（第１のサーボアンプ）と３本の電力線（それぞれＵ相、Ｖ相、Ｗ相）で接続され、サーボアンプ１６１から供給される三相交流電源で駆動される。電動機１６０は、エンドミル等の回転工具の主軸に接続され、回転工具を回転させる主電動機（直接の診断対象の例）である。
【００２１】
また、電動機１６３（第２の電動機）は、サーボアンプ１６４（第２のサーボアンプ）と３本の電力線（それぞれＵ相、Ｖ相、Ｗ相）で接続され、サーボアンプ１６４から供給される三相交流電源で駆動される。電動機１６３は、上記回転工具に設置された、回転工具に対して母材（被加工物）の位置を相対的に移動させる電動機である。
【００２２】
本実施形態では、一例として電動機１６０のＷ相の電力線に電流検知器１６２（第１の電流検知器）が設けられ、また電動機１６３のＷ相の電力線に電流検知器１６５（第２の電流検知器）が設けられ、それぞれＷ相の電流を独立してモニタリング可能に構成されている。電流検知器１６２は、検知電流に応じた電流ＣＴＯＰ１，ＣＴＯＮ１を出力し、また電流検知器１６２，１６５は、検知電流に応じた電流ＣＴＯＰ２，ＣＴＯＮ２を出力する。上記２つの電動機１６０，１６３は同じ工作機械の構成物であり、電動機１６３がＸ−Ｙステージ又は回転工具の高さＺ（掘り込み深さ）を制御し、電動機１６０が回転工具を回転駆動する役目をそれぞれ担う。
【００２３】
電流検知器は、電動機（本例では三相交流モータ）に流れる電流の大きさに応じて、適切に選択する必要がある。電流容量の大きな電動機に対して許容電流容量の小さな電流検知器を適用すると、電流検知器が破損する恐れがあるので注意を要する。また、逆に電流容量の小さな電動機に対して許容電流容量の大きな電流検知器を適用すると、電流信号が検出できなくなる。電流検知器は、電動機に接続された少なくとも１本の電力線の電流を検知する。
【００２４】
次に、信号処理装置１７０について説明する。
信号処理装置１７０は、アナログフロントエンド１１０，１２０、演算制御部１３０、通信回路１４０、及び電源回路１５０から構成される。図１では、アナログフロントエンドを「ＡＦＥ」、演算制御部を「ＣＯＮＴＲＯＬ」、通信回路を「ＣＯＭＭ」、及び電源回路を「ＰＯＷＥＲ」と表記している。すべてのブロックは、アナログ回路及びデジタル回路（ハードウェア）、又は、ソフトウェアで構成される。
【００２５】
電流検知器１６２が出力する電流ＣＴＯＰ１と電流ＣＴＯＮ１は、アナログフロントエンド１１０の入力回路（図１では「ＣＯＮＤ」と表記）１１１に入力される。また、電流検知器１６５が出力する電流ＣＴＯＰ２と電流ＣＴＯＮ２は、アナログフロントエンド１２０の入力回路１２１に入力される。アナログフロントエンド１１０の出力ＣＯＮＤＯ１、及びアナログフロントエンド１２０の出力ＣＯＮＤＯ２は、演算制御部１３０に入力される。
【００２６】
アナログフロントエンド１１０（第１のアナログフロントエンド）は、入力回路１１１から構成される。入力回路１１１は、電流検知器１６２から入力される電流ＣＴＯＰ１，ＣＴＯＮ１に対してレベル変換及び入力フィルタ処理を行う。同様に、アナログフロントエンド１２０（第２のアナログフロントエンド）は、入力回路１２１から構成される。入力回路１２１は、電流検知器１６５から入力される電流ＣＴＯＰ２，ＣＴＯＮ２に対してレベル変換及び入力フィルタ処理を行う。これにより、アナログフロントエンド１１０，１２０は、電流検知器１６２，１６５の各出力から必要な帯域の信号を取り出すと共に、アナログデジタル変換の電圧変換範囲と信号の電圧レベルを合わせることで演算制御部１３０の破損を防止することができる。
【００２７】
演算制御部１３０には、通信回路１４０が上位システム（クラウド計算機７２０：図７参照）から受信したパケットＰＫＴＤＯＷＮに含まれる動作設定値が入力される。例えば、パケットＰＫＴＤＯＷＮには、参照レベルＲＥＦ、タイマカウント設定値ＴＣＯＮＴ、計測回数ＭＴＩＭＥ、計測間隔ＭＩＮＴ、及び出力演算条件ＭＣＯＮＤの情報が含まれる。
【００２８】
参照レベルＲＥＦは、比較器１３５による比較処理で用いられる閾値である。タイマカウント設定値ＴＣＯＮＴは、トリガ出力部１３６のオン時間を設定する情報である。計測回数ＭＴＩＭＥは、規定時間内又は回転工具を使用中に、電動機１６０の電流波形を何回計測するかを示す値である。計測間隔ＭＩＮＴは、上記条件で電流波形を複数回計測する場合の一の計測から次の計測までの間隔を示す値である。出力演算条件ＭＣＯＮＤは、出力演算部１３３の出力ＯＵＴを得るために演算制御部１３０に入力される上記の情報をどのように組み合わせるか、及び計測データＤＡＴＡに処理を実施するかを示す情報である。
【００２９】
演算制御部１３０は、アナログデジタル変換器１３１、データ記録部１３２、出力演算部１３３、アナログデジタル変換器１３４、比較器１３５、及びトリガ出力部１３６から構成される。図１では、アナログデジタル変換器を「ＡＤＣ」、データ記録部を「ＳＴＯＲＥ」、出力演算部を「ＣＡＬ」、比較器を「ＣＭＰ」、及びトリガ出力部を「ＴＲＩＧ」と表記している。
【００３０】
アナログデジタル変換器１３１は、入力されたアナログ信号の出力ＣＯＮＤＯ１をデジタル化して、出力ＡＤＣＯ１を得る。アナログデジタル変換器１３１の出力ＡＤＣＯ１は、データ記録部１３２に供給される。
【００３１】
また、アナログデジタル変換器１３４は、入力されたアナログ信号の出力ＣＯＮＤＯ２をデジタル化して、出力ＡＤＣＯ２を得る。アナログデジタル変換器１３４の出力ＡＤＣＯ２は、比較器１３５に供給される。
【００３２】
比較器１３５（比較部の一例）は、アナログデジタル変換器１３４の出力ＡＤＣ２Ｏを、通信回路１４０から設定される参照レベルＲＥＦ（閾値）と比較し、出力ＡＤＣ２Ｏに対する処理の結果として比較結果ＣＭＰＯを得る。比較結果ＣＭＰＯはトリガ出力部１３６に入力される。比較器１３５は、出力ＡＤＣ２Ｏの値が参照レベルＲＥＦを超える場合には、比較結果ＣＭＰＯを“Ｈｉｇｈ”にすることで、出力ＡＤＣ２Ｏの値が参照レベルＲＥＦを超えることをトリガ出力部１３６へ通知する。トリガ出力部１３６には、出力演算部１３３から出力される測定イネーブル信号ＭＥＡＳＥＮも入力される。
【００３３】
トリガ出力部１３６は、測定イネーブル信号ＭＥＡＳＥＮが“Ｈｉｇｈ”の間に、比較結果ＣＭＰＯをトリガに１回だけ動作し、トリガ出力部１３６が動作中であることを示す信号ＳＴＥＮ（記録実行信号）を出力する。その動作期間は、タイマカウント設定値ＴＣＯＮＴにより指定された期間である。なお、本実施形態では、比較結果ＣＭＰＯをトリガとして１回だけ動作する構成としたが、複数回動作する構成としてもよい。
【００３４】
トリガ出力部１３６の動作中であることを示す信号ＳＴＥＮがデータ記録部１３２に入力されると、データ記録部１３２は、アナログデジタル変換器１３１の出力ＡＤＣＯ１の信号を記録する。データ記録部１３２には、例えば不揮発性の半導体メモリ又は揮発性の半導体メモリを用いることができる。そして、記録された出力ＡＤＣＯ１の信号は、計測データＤＡＴＡとしてデータ記録部１３２から出力演算部１３３へ出力される。
【００３５】
出力演算部１３３には、計測データＤＡＴＡ、計測回数ＭＴＩＭＥ、計測間隔ＭＩＮＴ、及び出力演算条件ＭＣＯＮＤが入力される。出力演算部１３３は、計測回数ＭＴＩＭＥ、計測間隔ＭＩＮＴ、及び出力演算条件ＭＣＯＮＤによって決められた回数と間隔で測定イネーブル信号ＭＥＡＳＥＮを発行する。
【００３６】
また、出力演算部１３３は、出力演算条件ＭＣＯＮＤに基づいて、計測データＤＡＴＡに対して振幅成分の抽出、周波数解析、符号化、周波数成分抽出処理、出力のためのセキュリティ処理等が実施し、出力ＯＵＴを得る。出力演算部１３３は、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、ハードウェアロジック回路、マイクロコンピュータ上で動作するソフトウェアなどの様々な実装方法で構成することができる。
【００３７】
通信回路１４０は、データ記録部１３２によるＡＤＣＯ１の記録結果として、演算制御部１３０の出力ＯＵＴの情報を含むパケットＰＫＴＵＰを、通信ネットワーク７３０を経由して上位システム（図７のクラウド計算機７２０）にアップリンクで送信する。上位システムは、外部装置の一例である。なお、出力演算部１３３が、出力ＯＵＴを診断単位１００が備える不図示の表示装置に出力して表示するようにしてもよい。
【００３８】
電源回路１５０には例えば電池１５１が接続され、電源回路１５０は信号処理装置１７０内の各回路を作動させる電源電圧ＶＣＣを生成する。この電源電圧ＶＣＣの電圧値はモニタリングされ、例えば無線信号等を用いて電池残量情報として、通信回路１４０から上位システム（クラウド計算機７２０）に収集される。これにより、電源電圧ＶＣＣの低下に起因する無線端末の電池残量切れによるダウン（動作停止）を予知することができ、電池交換を適切なタイミングで行うことができる。電池残量情報を診断単位１００が備える不図示の表示装置に出力するようにしてもよい。
【００３９】
本実施形態では、必要な時間だけ電動機１６０側の出力ＡＤＣＯ１の信号を記録するため、電池１５０の電力消費が抑えられ、電池１５０を用いても信号処理装置１７０を安定的に駆動させることができる。なお、電池１５１を使用するのは一例であり、不図示の太陽電池セルなどの環境発電設備を設置して、電源回路１５０が環境発電設備から電源電圧ＶＣＣを得るようにしてもよい。環境発電設備は、電池１５１と併用してもよい。
【００４０】
図２は、電流検知器を用いて観測される回転工具の電流波形の一例を示す。図１において、回転工具を駆動する電動機１６０の電流波形がＭａｉｎ、Ｘ−ＹステージのＸ軸及びＹ軸の電流波形がＸ−ａｘｉｓ及びＹ−ａｘｉｓである。図１に示す各波形図の横軸は時間である。図１における電流検知器１６２の出力はＭａｉｎ、電流検知器１６５の出力はＸ−ａｘｉｓまたはＹ−ａｘｉｓと考えればよい。図１の診断単位１００に別途電流検知器（第３の電流検知器）、アナログフロントエンド（第３のアナログフロントエンド）を追加して、Ｙ−ａｘｉｓを計測してもよい。また、電流検知器１６５の出力又は別途追加する第３の電流検知器の出力が、Ｚ軸の電流波形（Ｚ−ａｘｉｓ）であってもよい。
【００４１】
図２から理解されるように、スタンバイ状態（図中の「Standby」）において回転工具をＸ軸又はＹ軸の方向に移動させると、Ｘ軸又はＹ軸の電流波形に変化が現れた後に電動機１６０による加工が始まる（図中の「Active」）。図２は、回転工具をＸ軸及びＹ軸に対して斜め方向に移動させた例となっている。図２に示されている全時間帯でＭａｉｎの電流波形を記録すると、そのうちのおよそ３／４の電流波形が無駄なデータとなり、データ記録部１３２の記憶容量を無駄に消費すると共に、意味の無いデータ領域を選別するデータ処理も必要となる。一方で、Ｘ軸またはＹ軸の電流波形がある一定レベルを超えたことをトリガとしてＭａｉｎの波形を取り込むようにすることで、必要なデータだけを選択して記録することが可能となる。
【００４２】
一般に工作機械では、被加工物をまず所定の位置に移動してから回転工具による加工が実施される。上記所定の位置への被加工物の移動も、加工と同様に電動機で行われることから、本発明では、このＸ−Ｙステージを移動させる電動機の電流波形を計測することで被加工物の所定の位置への移動を検知し、回転工具の診断に必要なデータを取得する。
【００４３】
図３は、回転工具による加工の一例を示す。
図４は、図３に示す回転工具による加工時における各電動機の電流波形の一例を示す。
【００４４】
図３は、エンドミル３０１により母材３００（被加工物）に四角形の辺に沿って溝３０２を加工する例を示し、母材３００を上から見下ろした図である。図４は、上記加工における各電動機の電流波形（トルク電流）の大きさを模式的に示したものである。Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の正の向きはそれぞれ図３に示す通りである。図１に示す各波形図の横軸は時間である。エンドミル３０１は初期位置１から加工をスタートし、位置１→位置２→位置３→位置４と移動し、最後に位置１に戻って加工を終了するものとする。
【００４５】
まず、位置１では、Ｚ軸の電動機の負方向にトルクを発生させて主電動機である電動機１６０をＺ軸に移動させ、母材３００をエンドミル３０１で加工する。このとき穴を掘り進めるため、電動機１６０のトルク電流Ｍａｉｎは最初のトルク電流が大きくなる。
【００４６】
次に、エンドミル３０１が位置１から位置２に移動する加工では、電動機１６０のトルク電流Ｍａｉｎのトルクは一定となり矢印で示す加工の方向（Ｙ軸負方向）に沿ってＸＹＺステージを動かしていく。ＸＹＺステージが動いている間は、ＸＹＺステージの各軸に設けられた電動機のトルク電流が正及び負の値を持つ。
【００４７】
その後、同様にしてエンドミル３０１が位置２から位置３（Ｘ軸正方向）に移動する加工、エンドミル３０１が位置３から位置４（Ｙ軸正方向）に移動する加工、及びエンドミル３０１が位置４から位置１（Ｘ軸負方向）に移動する加工が行われることで、母材３００に四角形の辺に沿って溝３０２が形成される。
【００４８】
本発明の回転工具診断方法によれば、例えばＺ軸の電動機のトルク電流が負の閾値を超えた時から決められた時間だけトルク電流Ｍａｉｎの電動機の電流波形を記録するという動作をしたとき、電動機１６０のトルク電流Ｍａｉｎに現れる加工が始まる時の大きなトルク電流のみを観測することが可能となる。実際のトルク電流の波形は、加工の形状や母材３００の材質にも依存するものの、負荷が大きくなる時の電流波形だけを取得することで回転工具の劣化を診断できる。このようにすることで、加工中すべての電流波形を取得することなく効率的に劣化の診断ができるようになる。
【００４９】
また、エンドミル３０１の方向を転換した時だけ電流波形を取得したいような場合には、Ｘ軸、もしくはＹ軸のトルク電流の閾値によりＭａｉｎの電流波形の記録を開始する動作とすればよい。直線状に加工するときよりも方向を変換して掘り進めるような加工で劣化が激しいと分かれば、この方向を転換した時だけ電流波形を取得する方法が効果的となる。
【００５０】
加工の形状やプロセスは、プログラムが無くても外から見える範囲で分かるため、回転工具に相対的に最も負荷がかかるタイミングに合わせてＭａｉｎ（主電動機）の電流波形の計測トリガをかけるようにすることが可能である。本発明は、このような方法をその技術的範囲に含むものである。
【００５１】
図５は、演算制御部１３０の各部の動作波形の一例を示す。電動機１６０の系統であるアナログデジタル変換器１３４の出力ＡＤＣＯ２は、定期的に参照レベルＲＥＦを超える出力になる。出力ＡＤＣＯ２が最初に参照レベルＲＥＦを超えた時、比較器１３５の出力ＣＭＰＯの出力が“Ｈｉｇｈ”になる。出力演算部１３３から出力される測定イネーブル信号ＭＥＡＳＥＮが予め“Ｈｉｇｈ”であることから、トリガ出力部１３６では、比較器１３５の出力ＣＭＰＯの遷移（Ｈｉｇｈ）を受けて１ショットタイマ機能のトリガがかかり、予めタイマカウント設定値ＴＣＯＮＴの時間だけ当該タイマ機能が起動する。それにより、このタイマカウント設定値ＴＣＯＮＴの時間だけ、トリガ出力部１３６から出力される信号ＳＴＥＮが“Ｈｉｇｈ”になる。この信号ＳＴＥＮが“Ｈｉｇｈ”の期間に、アナログデジタル変換器１３１からの出力ＡＤＣＯ１のデータが、データ記録部１３２に記録され続ける。
【００５２】
トリガ出力部１３６から出力される信号ＳＴＥＮは、１ショットタイマのカウントが終了（タイマカウント設定値ＴＣＯＮＴの時間が経過）すると“Ｌｏｗ”になる。これにより、電動機１６０の電流波形の１回の計測が終了する。
【００５３】
このように、トリガ出力部１３６が電流検知器１６５の出力電流の信号に対する比較処理の結果をトリガに１回動作し、指定された時間（ＴＣＯＮＴ）、記録実行信号ＳＴＥＮを出力することにより、実際の加工に基づいて必要な回数及び時間だけデータが記録される。
【００５４】
次の測定が開始されるかは測定イネーブル信号ＭＥＡＳＥＮのレベルに依存する。予め設定した測定周期（計測間隔ＭＩＮＴ）、及び測定回数ＭＴＩＭＥになるように、出力演算部１３３によって測定イネーブル信号ＭＥＡＳＥＮが制御される。すなわち、測定イネーブル信号ＭＥＡＳＥＮの波形は、所定の周期で繰り返される。図５に示す例では、出力ＡＤＣＯ２が３回目に参照レベルＲＥＦを超えるタイミングにおいて、測定イネーブル信号ＭＥＡＳＥＮが“Ｌｏｗ”である。そのため、トリガ出力部１３６から出力される信号ＳＴＥＮが“Ｌｏｗ”のままであり、電動機１６０の電流波形（出力ＡＤＣＯ１）の計測、即ち記録は行われない。
【００５５】
図６は、本発明の第１の実施形態における下り伝送パケットの構成例を示す。この図６は、上位システム（図７のクラウド計算機７２０）からのダウンリンクで受信するパケットＰＫＴＤＯＷＮの構成例である。例えば、パケットＰＫＴＤＯＷＮは、センサ状態を示すための情報（Sensor Condition）、計測のための設定データ（Setting）、信頼性を担保するための情報（Security/Reliability）で構成される。
【００５６】
センサ状態を示すための情報（Sensor Condition）としては、例えば情報を識別するための識別子「sensorID」が含まれる。「sensorID」は、診断単位（sense）を識別可能な情報（番号や記号等）である。また、設定データ（Setting）としては、例えば参照レベル「ＲＥＦ」、タイマカウント設定値「ＴＣＯＮＴ」、計測回数「ＭＴＩＭＥ」、計測間隔「ＭＩＮＴ」、出力演算条件「ＭＣＯＮＤ」といった各種設定データが含まれる。また、信頼性を担保するための情報（Security/Reliability）として、例えばＣＲＣ情報が含まれる。
【００５７】
これらの情報を含むパケットＰＫＴＤＯＷＮの受信タイミングは、信号処理装置１７０を設置時や信号処理装置１７０の設定情報（動作設定値）を変更したい場合である。通常動作をしているときには、通信のタイミング毎にこれらの値を設定する必要は無く、ダウンリンクとして受信する必要も無い。ダウンリンクは通信コストが高い（消費電力が大きい）ため、必要最低限で行うことが好ましい。
【００５８】
図７は、本発明の第１の実施形態に係る回転工具診断システムのネットワーク構成例を示すブロック図である。図７に示す回転工具診断システム７００は、複数の回転工具を遠隔地から監視することが可能な構成である。
【００５９】
回転工具診断システム７００は、複数の計測サイト７１０ａ〜７１０ｎ、通信ネットワーク７３０、及びクラウド計算機７２０から構成される。システム構成によっては、１台の計測サイト７１０ａだけが設けられる場合もある。
【００６０】
図７では、回転工具システムを「ＳＥＮＳＹＳ」、計測サイトを「ＳＩＴＥ」、通信ネットワーク７３０を「ＮＥＴ」、及びクラウド計算機を「ＣＯＭＰＵＴＥＲ」と表記している。以降の説明において、計測サイト７１０ａ〜７１０ｎを区別しない場合には「計測サイト７１０」と称する。また、診断単位１００ａ〜１００ｎを区別しない場合には「診断単位１００」と称する。
【００６１】
計測サイト７１０ａ〜７１０ｎの各々は、複数の診断単位１００ａ〜１００ｎと、複数の診断単位１００からパケットＰＫＴ１〜ＰＫＴｎ（図１のＰＫＴＵＰに対応）を収集するデータ収集装置７１１とによって構成される。データ収集装置７１１は、クラウド計算機７２０からの指示に基づいて、診断単位１００ａ〜１００ｎの各々に動作設定値等の設定情報を含むパケットＰＫＴ１〜ＰＫＴｎ（図１のパケットＰＫＴＤＯＷＮに相当）を送信する。図７では、１個の計測サイト７１０ａの構成を示したが、他の計測サイト７１０ｂ〜７１０ｍも、同様の構成である。図７では、データ収集装置を「ＭＡＮＡＧＥＲ」と表記している。
【００６２】
診断単位１００の数は、計測サイト７１０内の加工機械の台数やデータ収集装置７１１がパケットを収集できる限界の計測サイトの台数に応じて設計される。システム構成によっては、１つの診断単位１００ａだけが設けられる場合もある。
【００６３】
一つの診断単位１００は、例えば、電動機１６０，１６３と、サーボアンプ１６１，１６４と、電流検知器１６２，１６５と、信号処理装置１７０とから構成される。それぞれの診断単位１００ａ〜１００ｎの信号処理装置１７０が備える通信回路１４０（図１参照）は、主電動機である電動機１６０の計測データ（出力ＯＵＴ）が含まれるパケットＰＫＴ１，・・・，ＰＫＴｎを出力する。それぞれの計測サイト７１０のデータ収集装置７１１は、診断単位１００ａ〜１００ｎから収集（受信）したパケットＰＫＴ１，・・・，ＰＫＴｎを、通信ネットワーク７３０を介してクラウド計算機７２０に送信する。
【００６４】
クラウド計算機７２０は、計測サイト７１０ａ〜７１０ｎから受信したデータを、蓄積する。そして、クラウド計算機７２０の演算ノード７２１において、蓄積したデータを使った診断処理等の様々な処理が施される。なお、演算ノード７２１の情報は、回転工具の監視を行う不図示の監視システム（端末装置）から参照され、回転工具の劣化状況に合わせたオペレーションに役立てられる。また、クラウド計算機７２０に蓄積された情報は、通信ネットワーク７３０を介して別途タブレット端末等で参照することもできることから、現場における回転工具の劣化チェックに活用できる。
【００６５】
上述した第１の実施形態によれば、主電動機の電動機１６０と異なる電動機１６３の電流波形をモニタリングすることにより、加工機械の加工プログラムや加工シーケンスと連携を取ることなく、従来と比較して簡単な構成で回転工具の動作タイミングを把握して回転工具を診断することができる。そのため、加工機械などに対して大規模な改造を伴うことなく、回転工具の診断機能を低コストで実現できる。このように、本実施形態では、電動機の電力線の電流を検知する電流検知器といった、低コストのＩｏＴ（Internet of Things）デバイスを加工機械に設置して信号処理装置１７０を用意するだけで、回転工具の劣化診断を行うことが可能である。
【００６６】
また、本実施形態によれば、電動機１６３の電流波形をモニタリングすることにより、回転工具の診断を行うためのデータ（電動機１６０側の出力ＡＤＣＯ１）を実際の加工に基づいた必要な時間だけ記録することができる。それにより、信号処理装置１７０の記憶容量や演算能力を低く抑え、例えば電池で駆動可能な少ない電力範囲内で回転工具の診断に必要な信号処理やデータ通信を可能とする。
【００６７】
さらに、本実施形態よれば、各診断単位１００の信号処理装置１７０から収集した回転工具の計測データを元に、回転工具の診断をクラウド計算機７２０や監視システム（端末装置）により低コストで実現することができる。それにより、加工品質の劣化を抑えつつ適切な時間及び回数だけ回転工具を使用することができるようになり、製造コストを低減することができる。
【００６８】
なお、診断単位１００が、図示しない３以上の、電流検知器及びアナログフロントエンドの組み合わせを備えていてもよい。例えば、信号処理装置１７０に、図示しない第３のアナログフロントエンドと第２の比較器を設け、回転工具の第３の電動機（図示せず）の電力線に取り付けられた第３の電流検知器からの出力電流の信号を、第３のアナログフロントエンドを介して演算制御部１３０に入力する。演算制御部１３０の第２の比較器は、第３のアナログフロントエンドの出力ＣＯＮＤＯ３（図示せず）を第２の参照レベルＲＥＦ２（図示せず）と比較し、出力ＣＯＮＤＯ３が第２の参照レベルＲＥＦ２よりも大きい場合には、出力ＣＭＰＯ２（図示せず）としてトリガ出力部１３６へ入力する。トリガ出力部１３６は、比較器１３５からの出力ＣＭＰＯ及び第２の比較器からの出力ＣＭＰＯ２として“Ｈｉｇｈ”が入力された場合に、測定イネーブル信号ＭＥＡＳＥＮの信号レベルに応じて、信号ＳＴＥＮを“Ｈｉｇｈ”に遷移させる。
【００６９】
＜２．第２の実施形態＞
図８は、本発明の第２の実施形態に係る回転工具診断方法を実現するためのシステム構成例を示すブロック図である。第２の実施形態に係る信号処理装置８７０は、図１に示す第１の実施形態の場合と比較して、アナログフロントエンド１１０の出力ＣＯＮＤＯ１及びアナログフロントエンド１２０の出力ＣＯＮＤＯ２を、選択部８３１で受ける点が大きく異なる。
【００７０】
信号処理装置８７０は、アナログフロントエンド１１０，１２０、演算制御部８３０、通信回路１４０、及び電源回路１５０から構成される。
【００７１】
演算制御部８３０は、選択部８３１、アナログデジタル変換器８３２、データ記録部８３３、出力演算部８３４、比較器８３５（比較部の一例）、及びトリガ出力部８３６から構成される。図８では、選択部を「ＭＵＸ」と表記している。
【００７２】
選択部８３１は、アナログフロントエンド１１０の出力ＣＯＮＤＯ１を取り込む“１”と、アナログフロントエンド１２０の出力ＣＯＮＤＯ２を取り込む“０”を選択的に切り替えて、いずか一方のアナログ信号を出力ＭＵＸＯとして出力する。初期値として、アナログフロントエンド１２０の出力ＣＯＮＤＯ２が選択されている。
【００７３】
アナログデジタル変換器８３２、データ記録部８３３、及び出力演算部８３４の各々は、アナログデジタル変換器１３１，１３４、データ記録部１３２、及び出力演算部１３３（図１参照）と同様の構成及び機能を有する。データ記録部８３３は、アナログデジタル変換器８３２のデジタル信号の出力ＡＤＣＯを取り込み、出力ＡＤＣＯの信号を計測データＤＡＴＡとして出力演算部８３４へ出力する。
【００７４】
比較器８３５は、比較器１３５とほぼ同等の構成及び機能を有する。比較器８３５は、アナログデジタル変換器８３２の出力ＡＤＣＯを、通信回路１４０から設定される参照レベルＲＥＦ（閾値）と比較し、比較結果ＣＭＰＯを得る。比較結果ＣＭＰＯはトリガ出力部８３６に入力される。トリガ出力部８３６には、出力演算部８３４から出力される測定イネーブル信号ＭＥＡＳＥＮも入力される。
【００７５】
トリガ出力部８３６も、トリガ出力部１３６とほぼ同等の構成及び機能を有する。トリガ出力部８３６は、測定イネーブル信号ＭＥＡＳＥＮが“Ｈｉｇｈ”の間に、比較結果ＣＭＰＯをトリガに１回だけ動作し、トリガ出力部８３６が動作中であることを示す信号ＳＴＥＮ（記録実行信号）を出力する。その動作期間は、タイマカウント設定値ＴＣＯＮＴに応じた期間である。トリガ出力部８３６が動作中であることを示す信号ＳＴＥＮは、選択部８３１及びデータ記録部８３３に入力される。
【００７６】
上記のように構成された演算制御部８３０では、初期状態において選択部８３１により“０”が選択されており、選択部８３１から電流検知器１６５側の出力ＣＯＮＤＯ２が出力ＭＵＸＯとしてアナログデジタル変換器８３２へ出力される。そして、アナログ信号である出力ＭＵＸＯは、アナログデジタル変換器８３２によりデジタル値に変換される。このデジタル値に変換された出力ＡＤＣＯを比較器８３５で参照レベルＲＥＦと比較した比較結果ＣＭＰＯに応じて、トリガ出力部８３６が起動し、トリガ出力部８３６の動作中を示す信号ＳＴＥＮが選択部８３１に出力される。
【００７７】
選択部８３１にトリガ出力部８３６の動作中を示す信号ＳＴＥＮが入力されると、トリガ出力部８３６では選択が“０”（電流検知器１６５の系統）から“１”（電流検知器１６２の系統）に変更される。そして、同じく信号ＳＴＥＮにより有効状態（イネーブル）とされたデータ記録部８３３によって、電流検知器１６２側の出力ＡＤＣＯが取り込まれる。演算制御部８３０のその他の構成は、図１の演算制御部１３０と同一である。
【００７８】
図９は、演算制御部８３０の各部の動作波形の一例を示す。アナログデジタル変換器８３２の出力ＡＤＣＯの内容は、信号ＳＴＥＮに基づく選択部８３１の選択によって出力ＣＯＮＤＯ１及び出力ＣＯＮＤＯ２のいずれかに切り替わる。データ記録部８３３に出力ＡＤＣＯが記録されていない時は、出力ＣＯＮＤＯ２が選択部８３１により選択された状態である。
【００７９】
選択部８３１において出力ＣＯＮＤＯ２が選択され、且つ、出力ＡＤＣＯが参照レベルＲＥＦを超えたとき時、比較器８３５から出力される比較結果ＣＭＰＯが“Ｈｉｇｈ”になる。比較結果ＣＭＰＯが“Ｈｉｇｈ”に遷移したことを受け、トリガ出力部８３６が動作中であることを示す信号ＳＴＥＮが“Ｈｉｇｈ”になり、トリガ出力部８３６の１ショットタイマのトリガがかかり、カウントが開始される。カウントはタイマカウント設定値ＴＣＯＮＴで決まる期間継続し、カウンタが動作している時間は、トリガ出力部８３６が動作中であることを示す信号ＳＴＥＮが“Ｈｉｇｈ”になる。
【００８０】
そして、信号ＳＴＥＮが“Ｈｉｇｈ”に遷移したことを受け、一定時間遅延後にトリガ出力部８３６の出力ＣＭＰＥＮが“Ｌｏｗ”になり、比較器８３５の動作が停止する。このような動作としたのは、選択部８３１の選択が“０”から“１”に切り替えられたとき、すなわち主電動機である電動機１６３側の出力ＣＯＮＤＯ２を選択部８３１が選択しているときに、比較器８３５が比較動作を行わないようにするためである。これにより、電動機１６０側の出力ＣＯＮＤＯ１の電流波形に基づく、トリガ出力部８３６の１ショットタイマの誤動作を避けることができる。
【００８１】
トリガ出力部８３６の１ショットタイマのカウント（タイマカウント設定値ＴＣＯＮＴ）が終了すると、信号ＳＴＥＮが“Ｌｏｗ”になる。これを受けて、測定イネーブル信号ＭＥＡＳＥＮが“Ｈｉｇｈ”ならば、一定時間遅延後にトリガ出力部８３６の出力ＣＭＰＥＮが“Ｈｉｇｈ”になり、比較器８３５の動作が再開される。図８の例では、測定イネーブル信号ＭＥＡＳＥＮが“Ｌｏｗ”の波形も示されており、このときは測定イネーブル信号ＭＥＡＳＥＮの“Ｌｏｗ”への遷移を受けて出力ＣＭＰＥＮが“Ｌｏｗ”になり、比較器８３５がＯＦＦする。この状態では、その後に出力ＣＯＮＤＯ２が参照レベルＲＥＦを超えても、トリガ出力部８３６が動作中であることを示す信号ＳＴＥＮは“Ｈｉｇｈ”に遷移せず、データ記録部８３３は記録動作には移行しない。
【００８２】
上述した第２の実施形態によれば、信号処理装置１７０は、電流検知器１６５の出力信号に対する処理の結果を元にトリガをかけて、選択部８３１により電流検知器１６２の出力信号に切り替え、電流検知器１６２からの出力信号の記録を開始する。一台のアナログデジタル変換器８３２を複数のモータで共有する構成とすることで、第１の実施形態に比較して回路規模を小さくすることが可能となる。さらに、主電動機である電動機１６０側の出力ＣＯＮＤＯ１を選択部８３１が選択している時には、比較器８３５で比較動作を行わないため、出力ＣＯＮＤＯ１の波形によるトリガ出力部８３６の誤動作を防止できる。また、電動機１６３側の出力ＣＯＮＤＯ２を選択部８３１が選択している時には、アナログデジタル変換器８３２及びデータ記録部８３３に出力ＣＯＮＤＯ１が入力されないため、電力消費を低減できる。
【００８３】
なお、診断単位１００が、図示しない３以上の、電流検知器及びアナログフロントエンドの組み合わせを備えていてもよい。例えば、信号処理装置８７０に、図示しない第３のアナログフロントエンドを設け、回転工具の第３の電動機（図示せず）の電力線に取り付けられた第３の電流検知器からの出力電流の信号を、第３のアナログフロントエンドを介して選択部８３１に入力する。選択部８３１は、初期設定の選択“０”のとき、アナログフロントエンド１２０の出力ＣＯＮＤＯ２と第３のアナログフロントエンドの出力ＣＯＮＤＯ３（図示せず）との論理積又は論理和をとった信号を、ＡＤＣ８３２に入力する。
【００８４】
＜３．第３の実施形態＞
ここまで説明した構成では、第１の実施形態及び第２の実施形態の信号処理装置が備える電源回路１５０として、電池１５１又は環境発電を備える構成とした。これに対して、電源回路１５０として、電動機１６３に接続された電力線から検知した電流を電源として使用してもよい。
【００８５】
図１０は、本発明の第３の実施形態に係る回転工具診断方法を実現するためのシステム構成例を示すブロック図である。図１０に示すように、電動機１６０のＵ相の電力線に、電流検知器１６６（第４の電流検知器）を配置し、電流検知器１６６で得た電流を、電源回路１５０に供給する。図１０の例では、第１の実施形態に係る信号処理装置１７０を備える診断単位１００（図１参照）において、電流検知器１６５を設けた構成としている。Ｕ相の電力線から電流を得るのは一例であり、その他の相の電力線でもよい。但し、異常を検知するための電流検知器１６５とは別の相の電力線から電流を得るのが好ましい。
【００８６】
そして、電源回路１５０は、電流検知器１６６で得られた電流から、信号処理装置１７０を作動させる電源電圧ＶＣＣを得る。図１０に示す信号処理装置１７０のその他の構成については、図１に示す信号処理装置１７０と同様に構成する。
【００８７】
このようにして、電動機１６３を駆動させる電力から信号処理装置１７０を作動させる電源を得る構成とすることで、電池１５１（電池交換）や環境発電などが不要になり、メンテナンスコストの低減、電源回路の構成を簡単にできるといった利点がある。なお、電動機１６０の電力線に電流検知器１６６を配置して電流を検出し、電源を生成する構成としてもよい。ただし、計測対象ではない電動機１６３から電流を得る構成の方が好ましいと言える。
【００８８】
＜４．変形例＞
なお、本発明は上述した各実施形態例に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した本発明の要旨を逸脱しない限りにおいて、その他種々の応用例、変形例を取り得ることは勿論である。
【００８９】
例えば、上述した実施形態例は本発明を分かりやすく説明するために装置及びシステムの構成を詳細且つ具体的に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施形態例の構成の一部を他の実施形態例の構成に置き換えることは可能である。また、ある実施形態例の構成に他の実施形態例の構成を加えることも可能である。また、各実施形態例の構成の一部について、他の構成の追加、削除、置換をすることも可能である。
【００９０】
また、構成図や機能ブロック図では、制御線や情報線は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしも全ての制御線や情報線を示しているとは限らない。実際には殆ど全ての構成が相互に接続されていると考えてもよい。
【００９１】
また、各実施形態例で説明した各構成、機能、処理部、処理手段等は、それらの一部又は全部を、例えば集積回路で設計する等によりハードウェアで実現してもよい。また、各実施形態例で説明した各構成は、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することによりソフトウェアで実現してもよい。例えば第１の実施形態に係る信号処理装置１７０では、データ記録部１３２、出力演算部１３３、比較器１３５、及びトリガ出力部１３６をソフトウェアで実現できる。各機能を実現するプログラムなどの情報は、メモリや、ハードディスク、ＳＳＤ（Solid State Drive）等の記録装置、または、ＩＣカード、ＳＤカード、光ディスク等の記録媒体に置くことができる。
【符号の説明】
【００９２】
１００，１００ａ〜１００ｎ…診断単位、  １６０，１６３…電動機、  １６１，１６４…サーボアンプ、  １６２，１６５，１６６…電流検知器、  １１０，１２０…アナログフロントエンド、  １１１，１２１…入力回路部、  １３０…演算制御部、  １３１…アナログデジタル変換器、  １３２…データ記録部、  １３３…出力演算部、  １３４…アナログデジタル変換器、  １３５…比較器、  １３６…トリガ出力部、  １４０…通信回路部、  １５０…電源回路、  １５１…電池、  １７０…信号処理装置、  ３００…被母材、  ３０１…回転工具、  ３０２…溝、  ７００…回転工具診断システム、  ７１０ａ〜７１０ｎ…計測サイト、  ７１１…データ収集装置、  ７２０…計算機、  ７２１…演算ノード、  ８３０…演算制御部、  ８３１…選択部、  ８３２…アナログデジタル変換器、  ８３３…データ記録部、  ８３４…出力演算部、  ８３５…比較器、  ８３６…トリガ出力部、  ８７０…信号処理装置
【図１】
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【図２】
2020078848.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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