(57)【要約】【課題】人手を削減することができるシート切断装置およびシート切断方法を提供すること。【解決手段】接着シートＡＳを切り込むことが可能な切断部材１２を備えた切込手段１０と、切込手段１０と接着シートＡＳとを相対移動させ、当該接着シートＡＳに所定形状の切込を形成する移動手段２０とを備え、移動手段２０は、切断部材１２に付着した異物を接着シートＡＳに当接させ、当該切断部材１２から当該異物を除去する。【選択図】図１
2020078837.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シートを切り込むことが可能な切断部材を備えた切込手段と、
前記切込手段と前記接着シートとを相対移動させ、当該接着シートに所定形状の切込を形成する移動手段とを備え、
前記移動手段は、前記切断部材に付着した異物を前記接着シートに当接させ、当該切断部材から当該異物を除去することを特徴とするシート切断装置。
【請求項２】
前記接着シートは、被着体に貼付された状態で当該被着体の縁部からはみ出したはみ出し領域を有し、
前記移動手段は、前記切断部材に付着した異物を前記はみ出し領域に当接させ、当該切断部材から当該異物を除去することを特徴とする請求項１に記載のシート切断装置。
【請求項３】
前記切断部材に付着した前記異物の有無を検知可能な異物検知手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート切断装置。
【請求項４】
接着シートを切り込むことが可能な切断部材を備えた切込手段で、当該接着シートを切り込む切込形成工程と、
前記切込手段と前記接着シートとを相対移動させ、当該接着シートに所定形状の切込を形成する移動工程と、
前記切断部材に付着した異物を前記接着シートに当接させ、当該切断部材から当該異物を除去する異物除去工程とを実施することを特徴とするシート切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート切断装置およびシート切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被着体に貼付した接着シートを所定形状に切断するシート切断装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−４４７７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された従来の切断手段１０（シート切断装置）では、有機溶剤Ｌや回転ブラシ５０等の洗浄手段を用い、刃２１Ｂ（切断部材）に付着したシートＳの粘着剤（異物）を除去する構成が採用されているため、洗浄手段が異物で飽和状態となったり、経年劣化したりすると、その洗浄能力が低下するため、当該洗浄手段を新たなものに交換する交換作業に人手が割かれてしまうという不都合を発生する。
【０００５】
本発明の目的は、人手を削減することができるシート切断装置およびシート切断方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、切断部材に付着した異物を接着シートに当接させ、当該切断部材から当該異物を除去するので、洗浄手段の交換作業が不要となり、人手を削減することができる。
また、切断部材に付着した異物をはみ出し領域に当接させ、当該切断部材から当該異物を除去する構成とすれば、廃棄物を有効利用することができる。
さらに、異物検知手段を備えれば、当該異物検知手段が異物を検知した際に、切断部材から当該異物を除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（Ａ）〜（Ｅ）は、本発明のシート切断装置の説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。また、図１（Ｂ）〜（Ｅ）は、図１（Ａ）と同じ方向から観た図なので、方向を示す矢印は省略する。
【００１０】
本発明のシート切断装置ＥＡは、接着シートＡＳを切り込むことが可能な切断部材としての切断刃１２を備えた切込手段１０と、切込手段１０と接着シートＡＳとを相対移動させ、当該接着シートＡＳに所定形状の切込を形成する移動手段２０と、切断刃１２に付着した異物の有無を検知可能なカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の異物検知手段３０とを備え、被着体ＷＫを支持する被着体支持手段４０と、接着シートＡＳを繰り出す繰出手段５０と、被着体ＷＫに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段６０とでシート貼付装置ＥＡ１を形成している。
なお、接着シートＡＳは、基材シートＢＳと接着剤層ＡＬとを備え、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に仮着されて原反ＲＳを構成している。
【００１１】
切込手段１０は、チャック孔１１Ａが形成されたブラケット１１と、ブラケット１１に支持された切断刃１２とを備えている。
【００１２】
移動手段２０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端のアーム２１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット２１を備え、先端のアーム２１Ａの図示しないチャックピンが、チャック孔１１Ａに嵌り込むことで切込手段１０を保持する構成となっている。
【００１３】
被着体支持手段４０は、被着体支持テーブル４１を備えている。被着体支持テーブル４１には、接着シートＡＳが貼付されるシート支持面４１Ａと、当該シート支持面４１Ａから被着体ＷＫの厚み分下がり、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な被着体支持面４１Ｂと、シート支持面４１Ａと被着体支持面４１Ｂとの間に形成され、接着シートＡＳに所定形状の切込を形成する際、切断刃１２の切先１２Ａが入り込む環状の切断溝４１Ｃと、切断刃１２から異物を除去する際、当該切断刃１２の切先１２Ａが入り込む異物除去穴４１Ｄとが形成されている。なお、シート支持面４１Ａにおける異物除去穴４１Ｄの周囲は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能なシート吸引面４１Ｅとされている。
【００１４】
繰出手段５０は、原反ＲＳを支持する支持ローラ５１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ５２と、剥離シートＲＬが掛け回され、接着シートＡＳから当該剥離シートＲＬを剥離する剥離手段としての剥離ローラ５３と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡ１（シート切断装置ＥＡ）の自動運転が行われている間、剥離ローラ５３との間に存在する剥離シートＲＬに、常に所定の張力を付与して当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ５４と、駆動機器としての直動モータ５５Ａの出力軸５５Ｂに回転自在に支持された調整ローラ５５と、接着シートＡＳに繰出力を付与する繰出力付与手段５６と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡ１（シート切断装置ＥＡ）の自動運転が行われている間、繰出力付与手段５６との間に存在する接着シートＡＳに、常に所定の張力を付与して当該接着シートＡＳを回収する回収手段としての接着シート回収ローラ５７とを備えている。
繰出力付与手段５６は、駆動機器としてのリニアモータ５６Ａと、その第１スライダ５６Ｂに支持された駆動機器としてのリニアモータ５６Ｃと、そのスライダ５６Ｄに支持された駆動機器としての回動モータ５６Ｅと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ５６Ｆとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ５６Ｇとを備えている。
【００１５】
押圧手段６０は、繰出手段５０と共用されるリニアモータ５６Ａと、その第２スライダ５６Ｈに支持された駆動機器としてのリニアモータ６１と、そのスライダ６１Ａに回転自在に支持された押圧ローラ６２とを備えている。
【００１６】
以上のシート切断装置ＥＡを備えたシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して運転開始の信号を入力すると、異物検知手段３０がカメラ等を駆動し、切断刃１２に付着した異物の有無を検知する。次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない被着体搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体ＷＫを被着体支持テーブル４１上に載置すると、被着体支持手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、被着体支持面４１Ｂでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。その後、繰出手段５０が回動モータ５６Ｅの駆動を抑制した状態でリニアモータ５６Ａを駆動し、ピンチローラ５６Ｆおよび駆動ローラ５６Ｇを左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫ上に接着シートＡＳを繰り出す。この際、剥離シートＲＬは、剥離ローラ５３によって接着シートＡＳから剥離され、回収ローラ５４で回収される。
【００１７】
次に、繰出手段５０および押圧手段６０が直動モータ５５Ａおよびリニアモータ６１を駆動し、図１（Ｂ）に示すように、調整ローラ５５および押圧ローラ６２を下降させ、被着体ＷＫの被着面（上面）に対して接着シートＡＳを傾斜させる。そして、押圧手段６０がリニアモータ５６Ａを駆動し、押圧ローラ６２を左方へ移動させ、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、当該押圧ローラ６２で被着体ＷＫおよびシート支持面４１Ａに接着シートＡＳを所定の押圧力で押圧して貼付する。これにより、接着シートＡＳは、被着体ＷＫに貼付された状態で当該被着体ＷＫの縁部としての外縁からはみ出したはみ出し領域ＡＳ１を有することとなる（図１（Ｃ）参照）。
【００１８】
次いで、異物検知手段３０によって、切断刃１２に異物が付着していないことが検知されている場合、移動手段２０が多関節ロボット２１を駆動し、図１（Ｃ）に示すように、切断刃１２を接着シートＡＳに突き刺し、その切先１２Ａを切断溝４１Ｃ内に入り込ませることで、当該接着シートＡＳを切り込む。その後、移動手段２０が多関節ロボット２１を駆動し、当該切断刃１２を被着体ＷＫの外縁に沿って移動させて接着シートＡＳに所定形状の切込を形成し、被着体ＷＫに貼付された貼付用シートＳＳを形成した後、切断刃１２を初期位置に復帰させる。次に、繰出手段５０がリニアモータ５６Ｃを駆動し、図１（Ｄ）中二点鎖線で示すように、ピンチローラ５６Ｆおよび駆動ローラ５６Ｇを下降させ、当該駆動ローラ５６Ｇでシート支持面４１Ａに接着シートＡＳを所定の押圧力で押圧した後、押圧手段６０がリニアモータ５６Ａ、６１を駆動し、押圧ローラ６２を初期位置に復帰させる。そして、繰出手段５０がリニアモータ５６Ａおよび回動モータ５６Ｅを駆動し、図１（Ｄ）に示すように、駆動ローラ５６Ｇをシート支持面４１Ａおよび被着体ＷＫ上で転動させながら、ピンチローラ５６Ｆおよび駆動ローラ５６Ｇを右方へ移動させ、シート支持面４１Ａから貼付用シートＳＳが切り抜かれた接着シートＡＳを剥離する。
【００１９】
次いで、シート支持面４１Ａから接着シートＡＳ全体が剥離され、リニアモータ５６Ｃが初期位置に復帰すると、繰出手段５０がリニアモータ５６Ａおよび回動モータ５６Ｅの駆動を停止した後、直動モータ５５Ａおよびリニアモータ５６Ｃを駆動し、調整ローラ５５、ピンチローラ５６Ｆおよび駆動ローラ５６Ｇを初期位置に復帰させる。その後、被着体支持手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、被着体支持面４１Ｂでの被着体ＷＫの吸着保持を解除すると、使用者または図示しない被着体搬送手段が、貼付用シートＳＳが貼付された被着体ＷＫを次の工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２０】
ここで、異物検知手段３０によって、切断刃１２に異物が付着していることが検知されている場合、押圧ローラ６２で被着体ＷＫおよびシート支持面４１Ａに接着シートＡＳを貼付した後、移動手段２０は、切断刃１２に付着した異物をはみ出し領域ＡＳ１に当接させ、当該切断刃１２から当該異物を除去する異物除去動作（異物除去工程）を実施する。
この異物除去動作は、先ず、被着体支持手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、シート吸引面４１Ｅでの接着シートＡＳの吸着保持を開始する。次に、移動手段２０が多関節ロボット２１を駆動し、図１（Ｅ）に示すように、はみ出し領域ＡＳ１に切断刃１２を突き刺し、その切先１２Ａを異物除去穴４１Ｄ内に入り込ませた後、当該切断刃１２を接着シートＡＳから抜き取る。これにより、切断刃１２に付着していた異物は、接着シートＡＳにおける基材シートＢＳおよび接着剤層ＡＬの少なくとも一方に当接して接着し、当該切断刃１２から除去されることとなる。なお、接着シートＡＳに切断刃１２を突き刺す深さは、当該切断刃１２の刃先領域全域が突き刺さる深さがよいが、所定形状の切込を形成する刃先領域を含む深さでもよい。そして、移動手段２０が多関節ロボット２１を駆動し、図１（Ｃ）に示すように、切断刃１２を接着シートＡＳに突き刺した後、上記同様の動作が繰り返される。
【００２１】
以上のような実施形態によれば、切断刃１２に付着した異物を接着シートＡＳに当接させ、当該切断刃１２から当該異物を除去するので、洗浄手段の交換作業が不要となり、人手を削減することができる。
【００２２】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、切込手段は、接着シートを切り込むことが可能な切断部材を備えたものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【００２３】
切込手段１０は、切断部材として接着シートを切り込むことが可能なものであればどのようなものが採用されてもよく、例えば、切断刃１２の延出方向（図１（Ａ）の状態におけるＺ軸方向）に対し、峰が平行で刃先が傾斜した切断刃１２が採用されてもよいし、切断刃１２の延出方向に対し、刃先が平行で峰が傾斜した切断刃１２が採用されてもよいし、切断刃１２の延出方向に対し、刃先および峰の両方が傾斜した切断刃１２が採用されてもよいし、丸刃や鋸刃等のその他の形状の切断刃１２が採用されてもよいし、ニクロム線や金属線等の電熱線や、ワイヤやベルト等の線状刃物等が採用されてもよいし、ブラケット１１に支持されていなくてもよい。
【００２４】
移動手段２０は、例えば、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、切断刃１２に付着した異物を、接着シート回収ローラ５７で回収した接着シートＡＳにおける接着剤層ＡＬに当接させ、当該切断刃１２から当該異物を除去してもよいし、接着シート回収ローラ５７で回収した接着シートＡＳの層間に切断刃１２を突き刺し（Ｙ軸方向に突き刺し）たり、接着シート回収ローラ５７で回収した接着シートＡＳに切断刃１２を突き刺し（Ｙ軸方向に交差する方向に突き刺し）たりすることで、切断刃１２に付着した異物を接着シートＡＳに当接させ、当該切断刃１２から当該異物を除去してもよいし、切断刃１２に付着した異物を、接着シートＡＳにおける基材シートＢＳに当接させ、当該切断刃１２から当該異物を除去してもよいし、切断刃１２に付着した異物を、はみ出し領域ＡＳ１における基材シートＢＳまたは接着剤層ＡＬに当接させ、当該切断刃１２から当該異物を除去してもよいし、切断刃１２に付着した異物を、被着体ＷＫに貼付される前の接着シートＡＳに当接させ、当該切断刃１２から当該異物を除去してもよいし、切断刃１２に付着した異物を、被着体ＷＫに貼付された貼付用シートＳＳとなる予定の接着シートＡＳ部分に当接させ、当該切断刃１２から当該異物を除去してもよいし、切断刃１２に付着した異物を、被着体ＷＫに貼付された貼付用シートＳＳにおける基材シートＢＳに当接させ、当該切断刃１２から当該異物を除去してもよいし、切断刃１２に付着した異物を接着シートＡＳに当接させた状態で、切断刃１２と接着シートＡＳとを相対的に往復移動させたり、相対的に回転移動させたり、接着シートＡＳの面方向に相対的に移動させたりして、当該切断刃１２から当該異物を除去してもよいし、接着シートＡＳに対する切断刃１２の当接と離間とをそれぞれ１回ずつ行い、当該切断刃１２から当該異物を除去してもよいし、接着シートＡＳに対する切断刃１２の当接と離間とをそれぞれ複数回ずつ行い、当該切断刃１２から当該異物を除去してもよいし、切断刃１２を移動させずにまたは移動させつつ、接着シートＡＳを移動させて当該切断刃１２から当該異物を除去してもよい。
移動手段２０は、接着シートＡＳを切り込む前段で異物除去動作を行ってもよいし、所定形状の切込を形成した後段で異物除去動作を行ってもよいし、接着シートＡＳを切り込む前段と所定形状の切込を形成した後段との両方で異物除去動作を行ってもよいし、切断刃１２に異物が付着していなくても、当該切断刃１２で接着シートＡＳを切り込んだり所定形状の切込を形成したりする度に異物除去動作を行ってもよいし、切断刃１２で所定枚数の貼付用シートＳＳを形成した後に異物除去動作を行ってもよいし、切断刃１２で所定形状の切込を一定長さ形成した後に異物除去動作を行ってもよいし、所定の時間が経過した後に異物除去動作を行ってもよい。
移動手段２０は、切込手段１０を移動させずにまたは移動させつつ、接着シートＡＳを移動させて当該接着シートＡＳに所定形状の切込を形成してもよいし、図１（Ｃ）に示すように、切断刃１２における切先１２Ａの反対側を被着体ＷＫ方向に傾斜させて接着シートＡＳに所定形状の切込を形成してもよいし、切先１２Ａの反対側を被着体ＷＫ方向またはその反対方向に傾斜させずに接着シートＡＳに所定形状の切込を形成してもよいし、切先１２Ａの反対側を被着体ＷＫ方向の反対方向に傾斜させて接着シートＡＳに所定形状の切込を形成してもよいし、被着体ＷＫの外縁や内縁と同形状の所定形状の切込を形成してもよいし、被着体ＷＫの外縁の内側や、内縁の外側で接着シートＡＳに所定形状の切込を形成してもよいし、被着体ＷＫの外縁や内縁よりも被着体ＷＫから離れた位置で接着シートＡＳに所定形状の切込を形成してもよいし、被着体ＷＫの外縁や内縁とは関係なく接着シートＡＳに所定形状の切込を形成してもよいし、接着シートＡＳを貫通または貫通することのない所定形状の切込を形成してもよいし、接着シートＡＳを貫通または貫通することのない切込が断続的に続く所定形状の切込を形成してもよいし、接着シートＡＳを貫通することのない切込が連続的に続く所定形状の切込を形成してもよいし、接着シートＡＳを貫通する切込と当該接着シートＡＳを貫通することのない切込とが規則的または不規則的に、連続的または断続的に続く所定形状の切込を形成してもよいし、接着シートＡＳから貼付用シートＳＳを形成する所定形状の切込を形成するものでなくてもよく、例えば、被着体ＷＫの縁部からはみ出すことなく貼付された接着シートＡＳに対し、当該接着シートＡＳのみに所定形状の切込を形成したり、当該接着シートＡＳおよび被着体ＷＫの両方に同時または時差をおいて所定形状の切込を形成したりしてもよいし、切込手段１０を着脱可能または着脱不能な構成でもよい。
移動手段２０は、異物検知手段３０で切断刃１２に付着した異物の有無を検知する際、当該異物検知手段３０の検知領域の中で切断刃１２を回転させたり移動させたりして、当該切断刃１２の全周や所定領域に付着した異物の有無を検知させるようにしてもよいし、ブラケット１１を介さずに、切断刃１２のみを保持する構成でもよいし、所定時間が経過した時点や、所定数の所定形状の切込を形成した時点や、所定の長さ以上の所定形状の切込を形成した時点等で、切込手段１０の交換を行ってもよく、切込手段１０の交換は、当該移動手段２０が自動で行ってもよいし、人手で行ってもよいし、他の装置で行ってもよい。
【００２５】
異物検知手段３０は、切断刃１２の一方向側から当該切断刃１２に付着した異物の有無を検知してもよいし、切断刃１２に付着した異物の有無を検知する際、当該切断刃１２の周囲を回動したり移動したりして、当該切断刃１２の全周や所定領域に付着した異物の有無を検知してもよいし、シート切断装置ＥＡ（シート貼付装置ＥＡ１）に備わっていなくてもよく、この場合、移動手段２０は、切断刃１２で接着シートＡＳを切り込んだり所定形状の切込を形成したりする度に異物除去動作を行ったり、切断刃１２で所定枚数の貼付用シートＳＳを形成した後に異物除去動作を行ったり、切断刃１２で所定形状の切込を一定長さ形成した後に異物除去動作を行ったり、所定の時間が経過した後に異物除去動作を行ったりすればよい。
【００２６】
被着体支持手段４０は、被着体支持面４１Ｂとシート吸引面４１Ｅとの少なくとも一方が、吸着保持ができなくてもよいし、切断溝４１Ｃや異物除去穴４１Ｄが形成されていなくてもよいし、被着体支持面４１Ｂが被着体ＷＫの厚みに関係なくシート支持面４１Ａから下がっていてもよいし、被着体支持面４１Ｂがシート支持面４１Ａから下がっていなくてもよいし、被着体支持面４１Ｂをシート支持面４１Ａに対して昇降させる駆動機器が備わっていてもよいし、他の装置で被着体ＷＫを支持する場合、シート貼付装置ＥＡ１に備わっていなくてもよいし、被着体ＷＫとして、例えば、半導体ウエハおよびリングフレームのような複数のものを支持してもよく、この場合、押圧手段６０で半導体ウエハおよびリングフレームに接着シートＡＳを貼付し、リングフレームの面内やリングフレームの外縁に沿って接着シートＡＳに所定形状の切込を形成することができる。
【００２７】
繰出手段５０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を図示しない切断手段または、シート切断装置ＥＡで形成し、その切込で仕切られた所定の領域を接着シートＡＳとしてもよいし、支持ローラ５１やガイドローラ５２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳや剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートＲＬを回収してもよいし、剥離シートＲＬを回収しなくてもよいし、他の装置で接着シートＡＳを繰り出す場合、シート貼付装置ＥＡ１に備わっていなくてもよい。
繰出手段５０は、ピンチローラ５６Ｆおよび駆動ローラ５６Ｇを移動させずにまたは移動させつつ、支持ローラ５１、ガイドローラ５２、調整ローラ５５等を移動させ、接着シートＡＳを繰り出してもよいし、チャックシリンダや吸着パッド等の保持手段で接着シートＡＳを保持して繰り出してもよいし、調整ローラ５５を昇降させなくてもよいし、直動モータ５５Ａや調整ローラ５５が備わっていなくてもよいし、ピンチローラ５６Ｆおよび駆動ローラ５６Ｇを移動させずにまたは移動させつつ、被着体支持テーブル４１を移動させてシート支持面４１Ａから接着シートＡＳを剥離してもよいし、ピンチローラ５６Ｆおよび駆動ローラ５６Ｇを昇降させない構成としてもよいし、例えば、チャックシリンダや吸着パッド等の保持手段で接着シートＡＳを保持し、当該保持手段を移動させてシート支持面４１Ａから接着シートＡＳを剥離する構成としてもよい。
【００２８】
押圧手段６０は、リニアモータ５６Ａに代えて繰出手段５０と共用することのない駆動機器で押圧ローラ６２を移動させてもよいし、押圧ローラ６２を移動させずにまたは移動させつつ、被着体ＷＫおよび接着シートＡＳを移動させ、当該被着体ＷＫに接着シートＡＳを押圧して貼付してもよいし、押圧ローラ６２を昇降させない構成としてもよい。
【００２９】
シート切断装置ＥＡは、シート貼付装置ＥＡ１以外に、例えば、帯状の剥離シートＲＬに所定の間隔を隔てて複数の接着シートが仮着された原反を形成する原反製造装置や、接着シートＡＳに所定の印刷や印字を行う印刷機械やプリンタ等、接着シートに所定形状の切込を形成する必要があるものであればどのようなものに採用されてもよい。
接着シートＡＳは、剥離シートＲＬが仮着されていなくてもよいし、被着体ＷＫに貼付された状態で、当該被着体ＷＫの外縁からはみ出したはみ出し領域ＡＳ１を有してもよいし、例えば、被着体ＷＫがドーナツ形状のようなものの場合、当該被着体ＷＫの内縁からはみ出したはみ出し領域ＡＳ１を有してもよいし、当該被着体ＷＫの外縁および内縁の何れからもはみ出さないことで、はみ出し領域ＡＳ１を有していなくてもよい。接着シートＡＳが被着体ＷＫに貼付された状態で、はみ出し領域ＡＳ１を有さない場合、移動手段２０は、接着シートＡＳにおける基材シートＢＳに切断刃１２を当接させ、当該切断刃１２に付着した異物を当該切断刃１２から除去してもよい。
切断刃１２に付着した異物とは、接着剤層ＡＬを構成する接着剤や、基材シートＢＳの切れカスの他、油膜、酸化膜、雰囲気を舞っていた塵埃等が例示でき、何ら限定されるものではない。
【００３０】
本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層ＡＬだけの単層のもの、基材シートＢＳと接着剤層ＡＬのみとで構成されたもの、基材シートＢＳと接着剤層ＡＬとの間に中間層を有するもの、基材シートＢＳの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートＢＳを接着剤層ＡＬから剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、被着体ＷＫが半導体ウエハの場合、当該半導体ウエハの一方の面および他方の面のうち少なくとも一方に所定の回路が形成されていてもよいし、それら両方の面に回路が形成されていなくてもよい。また、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００３１】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。
【符号の説明】
【００３２】
ＥＡ…シート切断装置
１０…切込手段
１２…切断刃（切断部材）
２０…移動手段
３０…異物検知手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳ１…はみ出し領域
ＷＫ…被着体
【図１】
2020078837.tif 000003