(57)【要約】      （修正有）【課題】重ね合わされるべきリードの位置ずれを、簡易な設定で正確に検出できる検査装置、実装装置及び検査方法を提供する。【解決手段】第１のワーク及び第２のワークを検査対象として、基準マークが含まれるように撮像された撮像画像から、第１のワークの基準マークの画像を抽出した第１のマーク画像を含む第１の抽出画像を生成する第１の抽出部９２と、撮像画像から、第２のワークの基準マークの画像を抽出した第２のマーク画像を含む第２の抽出画像を生成する第２の抽出部９３と、第１の抽出画像及び第２の抽出画像に基づいて、第１のワークのリードと第２のワークのリードとの位置ずれを検出する検出部９５とを有する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに重ね合わされて電気的に接続されるべきリードと、前記リードの位置合わせのための基準マークとを有する第１のワーク及び第２のワークである検査対象が、前記基準マークが含まれるように撮像された撮像画像から、前記第１のワークの基準マークの画像を抽出した第１のマーク画像を含む第１の抽出画像を生成する第１の抽出部と、
前記撮像画像から、前記第２のワークの基準マークの画像を抽出した第２のマーク画像を含む第２の抽出画像を生成する第２の抽出部と、
前記第１の抽出画像及び前記第２の抽出画像に基づいて、前記第１のワークのリードと前記第２のワークのリードとの位置ずれを検出する検出部と、
を有することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記第１のマーク画像と前記第２のマーク画像とを、前記撮像画像における互いの位置を維持した状態で合成した合成マーク画像を含む合成画像を生成する合成部を有し、
前記検出部は、
前記第１のマーク画像及び前記第２のマーク画像の少なくとも一方の位置と、前記合成マーク画像の位置とを検出する位置検出部と、
前記位置検出部により検出された位置に基づいて、前記第１のワークのリードと前記第２のワークのリードの位置ずれの量を測定する測定部と、
を有することを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
前記第１の抽出部及び前記第２の抽出部は、共通の前記撮像画像から、前記第１の抽出画像及び前記第２の抽出画像を生成することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の検査装置。
【請求項４】
前記撮像画像を生成するために、前記検査対象を撮像する撮像部と、
前記検査対象に対して、前記撮像部の光軸の周囲から光を照射するリング照明を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項５】
異方性導電フィルムを介して、第１のワーク及び第２のワークの互いのリードを加熱圧着する圧着装置と、
請求項１乃至４のいずれかに記載の検査装置と、
を有することを特徴とする実装装置。
【請求項６】
第１の抽出部が、互いに重ね合わされて電気的に接続されるべきリードと、前記リードの位置合わせのための基準マークとを有する第１のワーク及び第２のワークを含む検査対象が、前記基準マークが含まれるように撮像された撮像画像から、前記第１のワークの基準マークの画像を抽出した第１のマーク画像を含む第１の抽出画像を生成し、
第２の抽出部が、前記撮像画像から、前記第２のワークの基準マークの画像を抽出した第２のマーク画像を含む第２の抽出画像を生成し、
検出部が、前記第１の抽出画像及び前記第２の抽出画像に基づいて、前記第１のワークのリードと前記第２のワークのリードとの位置ずれを検出する、
ことを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置、実装装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等の表示装置は、ガラス板の上に回路及び信号線を形成するアレイ工程、一対のガラス板を貼り合せて表示領域を構成する基板としてのパネルを形成するセル工程、パネルにおける表示領域の外側に駆動用のドライバＩＣ等を取り付けるモジュール工程を経て製造される。
【０００３】
ドライバＩＣの実装方法として、従来から、ＣＯＦ（ｃｈｉｐ  ｏｎ  ｆｉｌｍ）等のドライバＩＣを搭載したフレキシブルなフィルム状の電子部品を用いた方法が行われている。これは、パネルの表示領域の周囲から、表示面と平行な水平方向に露出して形成された電極に対して、電子部品の端子を圧着して接続する方法である。
【０００４】
以下、このような圧着対象となる基板、電子部品等の部材をそれぞれワークと呼ぶ。また、ワークの電極、端子等の導電性を有する部分をリードと呼ぶ。リードは、一対のワークを合わせたときに、互いに電気的に接続されるべき部分である。
【０００５】
ワーク同士の接続には、加熱圧着により、それぞれのワークのリード間の導電性を確保する異方性導電フィルム（ＡＣＦ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ）が用いられている。異方性導電フィルムは、基材となる樹脂の中に、小さな導電粒子が多数入ったシート状の部材である。基材の樹脂としては、熱硬化性樹脂が用いられている。
【０００６】
基板と電子部品には、互いのリードの位置合わせのために基準マークが設けられている。一対のワークの基準マークを撮像により検出して、両者の位置が一致するように位置決めする。そして、リード間に異方性導電フィルムを挟んだ一対のワークを、加熱しながら加圧すると、互いのリードの部分がワークの表面よりも出っ張っているので、その部分の導電粒子が押し潰されることによりリード同士が電気的に接続される。他の部分は押し潰されずに厚みが維持されるので、導電性が生じることがなく、絶縁性が確保される。熱硬化性樹脂の基材は、加熱により硬化するので、ワーク同士が機械的に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−２２７２１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
以上のように、基板に設けられたリードと、それに対応する電子部品のリードとを異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を介して接続しても、接続後の端子同士の位置がずれていると電気的な接続状態が悪くなる。例えば、基板と電子部品との平行度が出ていない場合や、荷重が偏っている場合、ずれが生じる。
【０００９】
このため、接続後のリード同士の位置ずれを測定することにより、不良品を判別することが考えられる。このようなリード同士の位置ずれについても、撮像により検出することができる。但し、リード同士は、ほぼ完全に重なっている場合もあれば、大きくずれている場合もある。しかも、基板のリード、電子部品のリードは異なる輝度で撮像されるとともに、リード以外の背景は、通常、両者のリードの輝度の中間の輝度となる。
【００１０】
このため、接続後の双方のリード同士の境界、各リードと背景との境界を正確に検出するために、境界を検出する箇所毎に、適切なしきい値と走査方向とを設定しなければならず、設定作業が煩雑となり、オペレータの負担が増大する。
【００１１】
本発明は、上述のような課題を解決するために提案されたものであり、重ね合わされるべきリードの位置ずれを、簡易な設定で正確に検出できる検査装置、実装装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するために、本発明の検査装置は、互いに重ね合わされて電気的に接続されるべきリードと、前記リードの位置合わせのための基準マークとを有する第１のワーク及び第２のワークを含む検査対象が、前記基準マークが含まれるように撮像された撮像画像から、前記第１のワークの基準マークの画像を抽出した第１のマーク画像を含む第１の抽出画像を生成する第１の抽出部と、前記撮像画像から、前記第２のワークの基準マークの画像を抽出した第２のマーク画像を含む第２の抽出画像を生成する第２の抽出部と、前記第１の抽出画像及び前記第２の抽出画像に基づいて、前記第１のワークのリードと前記第２のワークのリードとの位置ずれを検出する検出部と、を有する。
【００１３】
本発明の実装装置は、異方性導電フィルムを介して、第１のワーク及び第２のワークの互いのリードを加熱圧着する圧着装置と、前記検査装置と、を有する。
【００１４】
本発明の検査方法は、第１の抽出部が、互いに重ね合わされて電気的に接続されるべきリードと、前記リードの位置合わせのための基準マークとを有する第１のワーク及び第２のワークを含む検査対象が、前記基準マークが含まれるように撮像された撮像画像から、前記第１のワークの基準マークの画像を抽出した第１のマーク画像を含む第１の抽出画像を生成し、第２の抽出部が、前記撮像画像から、前記第２のワークの基準マークの画像を抽出した第２のマーク画像を含む第２の抽出画像を生成し、検出部が、前記第１の抽出画像及び前記第２の抽出画像に基づいて、前記第１のワークのリードと前記第２のワークのリードとの位置ずれを検出する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、重ね合わされるべきリードの位置ずれを、簡易な設定で正確に検出できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】検査対象を示す斜視図である。
【図２】検査対象のリードを示す平面図である。
【図３】撮像部により撮像された画像を示す図である。
【図４】検査対象の圧着部分の熱圧着前（Ａ）と熱圧着後（Ｂ）を示す断面図である。
【図５】実施形態の圧着装置及び検査装置を示すブロック図である。
【図６】圧着装置を示す構成図である。
【図７】検査装置を示す構成図である。
【図８】実施形態の制御装置を示すブロック図である。
【図９】第１の抽出画像（Ａ）、第２の抽出画像（Ｂ）、合成画像（Ｃ）を示す図である。
【図１０】合成画像を示す図である。
【図１１】検査装置の動作手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の実施の形態（以下、本実施形態と呼ぶ）について、図面を参照して具体的に説明する。
［検査対象］
図１〜図３を参照して、本実施形態による検査対象Ｔを説明する。検査対象Ｔは、互いに重ね合わされて電気的に接続されるべきリード１１、２１を有する第１のワーク１及び第２のワーク２である。第１のワーク１及び第２のワーク２は、リード１１、２１の位置合わせのための基準マーク１１ａ、２１ａ（図３参照）を有する。本実施形態の検査対象Ｔは、第１のワーク１及び第２のワーク２と、リード１１、２１を電気的及び機械的に接続するためのＡＣＦ３を含む。
【００１８】
第１のワーク１は、図１及び図２に示すように、導電性を有する部分であるリード１１を有するとともに、透光性を有する基板である。第１のワーク１の基材１ａは、柔軟性のある樹脂により形成されたフレキシブルなシートである。リード１１は、銅などの金属材料からなる電極である。
【００１９】
本実施形態の第１のワーク１は、例えば、ＣＯＦ（ｃｈｉｐ  ｏｎ  ｆｉｌｍ）等の電子部品である。ＣＯＦは、フレキシブルなシートに、ドライバＩＣを搭載するとともにプリント配線を形成した部材である。
【００２０】
リード１１は、図２に示すように、第１のワーク１の辺の近傍に設けられている。各リード２１は、ドライバＩＣ（不図示）に信号線を介して接続されている。リード２１は、所定の間隔を空けて、複数本が並べて配置されている。
【００２１】
さらに、図３に示すように、第１のワーク１には、基準マーク１１ａが設けられている。基準マーク１１ａは、幾何学的な形状とする。本実施形態の基準マーク１１ａは、複数のリード１１のうちの一つのリード１１、より具体的には、複数のリード１１のうち端に位置するリード１１から、リード１１の並び方向に延びた部分と、リード１１の長手方向に延びた部分とが交差した十字形状である。基準マーク１１ａは、リード１１を構成する材質と共通の材質であり、リード１１とともに形成される。
【００２２】
第２のワーク２は、導電性を有する部分であるリード２１を有するとともに、透光性を有する基板である。透光性を有するとは、赤外線、可視光線又は紫外線を透過することをいう。透光性は、光源からの光を透過できればよい。このため、赤外線、可視光線、紫外線の少なくとも一種を透過できればよい。第２のワーク２の基材２ａは、例えば、ガラス又は樹脂により形成されている。リード２１は、ＩＴО（酸化インジウムスズ）などの透光性を有する材料からなる電極である。リード２１は、第１のワーク１のリード２１と、ＡＣＦ３を介して電気的に接続するための部分である。
【００２３】
本実施形態の第２のワーク２は、例えば、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等の表示領域を有する表示パネルである。このような表示パネルは、その大きさにより、図１（Ａ）に示すように、第１のワーク１が複数圧着される場合と、図１（Ｂ）に示すように、単一の第１のワーク１が圧着される場合がある。
【００２４】
リード２１は、図２に示すように、第２のワーク２の辺の近傍に複数設けられている。各リード２１は、表示領域内の回路に信号線を介して接続されている。リード２１は、所定の間隔を空けて、複数本が並べて配置されている。
【００２５】
さらに、図３に示すように、第２のワーク２には、基準マーク２１ａが設けられている。基準マーク２１ａは、幾何学的な形状とする。本実施形態の基準マーク２１ａは、複数のリード２１のうちの一つのリード２１、より具体的には、複数のリード２１のうち端に位置するリード２１から、リード２１の並び方向に延びた部分と、リード２１の長手方向に延びた部分とが交差した十字形状である。基準マーク２１ａは、リード２１を構成する材質と共通の材質であり、リード２１とともに形成される。基準マーク２１ａは、基準マーク１１ａと重なり合った場合に、その外縁が一致する形状と大きさである。
【００２６】
第１のワーク１のリード１１、第２のワーク２のリード２１は、互いに接続されるべき対応関係が決まっていて、対応するリード１１、２１同士の位置が合うように圧着される必要がある。このため、リード１１、２１の間隔も一致している。この一致は、対応するリード１１、２１同士の導電性が確保できるとともに、他の隣接するリード１１、２１との絶縁性が確保できる程度であればよい。また、基準マーク１１ａと基準マーク２１ａは、互いに外縁が一致するように重なり合った場合に、リード１１、２１同士の位置が合う位置に設けられている。
【００２７】
ＡＣＦ３は、異方性導電部材であり、図４（Ａ）に示すように、基材３１に導電粒子３２を分散させ、膜状としたフィルムである。基材３１としては、加熱により硬化する熱硬化性樹脂であって、透光性のある材料が用いられる。なお、導電粒子３２は、透光性を有しない。つまり、赤外線、可視光線又は紫外線を透過しない。
【００２８】
ＡＣＦ３は、第１のワーク１と第２のワーク２との間に挟まれて、加熱されながら加圧される。すると、図４（Ｂ）に示すように、リード１１とリード２１との間に位置する導電粒子３２がリード１１、２１で挟まれて潰れることにより、リード２１とリード１１との厚み方向の導電性と、厚み方向に交差する面方向の絶縁性を実現する。また、加熱により基材３１の熱硬化性樹脂が硬化して、第１のワーク１を第２のワーク２に接着させる。つまり、加熱圧着により、リード１１とリード２１との電気的接続と、第１のワーク１と第２のワーク２との機械的接続が実現できる。
【００２９】
このように、第１のワーク１のリード１１と第２のワーク２のリード２１とが互いの位置が合うようにＡＣＦ３を介して加熱圧着されたものが、検査対象Ｔとなる。但し、本実施形態は、リード１１とリード２１のずれを検査する装置であるため、検査対象Ｔには、リード２１とリード１１とがずれて、電気的接続が不良となっているものも含む。
【００３０】
［実装装置］
本実施形態の実装装置１００は、図５に示すように、圧着装置４０によって、ＡＣＦ３を介して第１のワーク１及び第２のワーク２の互いのリード１１、２１を加熱圧着し、この第１のワーク１及び第２のワーク２を検査対象Ｔとして、検査装置５０がリード１１、２１の位置ずれを検査する装置である。まず、圧着装置４０について説明する。
【００３１】
［圧着装置の構成］
圧着装置４０の構成を、図６を参照して説明する。なお、図中、第１のワーク１及び第２のワーク２が加圧される加圧方向に沿う方向をｚ方向とする。ｚ方向に直交する平面において、複数のリード１１、２１の並び方向をｘ方向とし、ｘ方向に直交するリード１１、２１の長手方向に沿う方向をｙ方向とする。これらの方向は、各装置の各構成の位置関係を述べるための表現であり、各装置が設置対象に設置された際の位置関係や方向を限定するものではない。
【００３２】
圧着装置４０は、圧着部４１、圧力受部４２、支持部４３を有する。圧着部４１は、ＡＣＦ３を介して、第１のワーク１及び第２のワーク２のリード１１及びリード２１を加熱圧着する構成部である。圧着部４１は、加圧部材４１ａ、加熱部４１ｂ、圧力調整部４１ｃを有する。なお、第１のワーク１は、圧着装置４０の前工程に配置された仮圧着装置によって、第２のワーク２にＡＣＦ３を介して仮圧着された状態で、圧着装置４０に供給されるものとして説明する。
【００３３】
加圧部材４１ａは、第１のワーク１を加圧する部材である。加圧部材４１ａは、幅方向に長尺な略直方体形状であり、第２のワーク２に仮圧着された複数の第１のワーク１を一括して加熱圧着できる長さを有している。この加熱圧着を本圧着と呼ぶ。加圧部材４１ａにおける第１のワーク１に対向する面には、帯状に突出した加圧部４１１を有する。この加圧部４１１は、第１のワーク１に平行に対向する平坦な加圧面を有する。
【００３４】
なお、図６では図示を省略しているが、加圧部材４１ａと第１のワーク１との間には、クッションシートが介在する。クッションシートは、加圧時の緩衝用のシートであり、図示しない供給リールに巻装されていて回動により送り出されて、回収リールに巻き取られて回収される。
【００３５】
加熱部４１ｂは、加圧部材４１ａを加熱するヒータ等の部材である。圧力調整部４１ｃは、加熱部４１ｂによって加熱された加圧部材４１ａによって、第１のワーク１を加圧させる。圧力調整部４１ｃは、図示はしないが、加圧源、駆動機構を有する。加圧源は、エアシリンダ等により加圧部材４１ａに圧力を与える装置である。駆動機構は、加圧源とともに、加圧部材４１ａを第１のワーク１に接離する方向に駆動するボールねじ等の機構である。
【００３６】
圧力受部４２は、加圧部材４１ａの加圧部４１１との間で、第１のワーク１及び第２のワーク２を挟持する部材である。圧力受部４２は、不図示の昇降機構により昇降自在の略直方体形状の部材であり、加圧部材４１ａと幅方向に同等の長さを有する。加熱部４２ｂは、圧力受部４２に内蔵され、バックアップ部４２ａを加熱するヒータ等の部材である。
【００３７】
支持部４３は、第２のワーク２を支持する装置である。支持部４３は、ステージ４３ａ、移動装置４３ｂを有する。ステージ４３ａは、第２のワーク２をｘｙ平面で支持する台である。本実施形態では、ステージ４３ａは水平方向の平坦面で第２のワーク２を支持する。ステージ４３ａには、図示はしないが、真空源に接続された複数の穴が形成され、第２のワーク２を吸着保持可能に構成されている。移動装置４３ｂは、ステージ４３ａをｘ方向、ｙ方向に移動自在に且つｚ方向を軸として回動自在に支持する装置である。
【００３８】
支持部４３は、仮圧着装置等の前工程から、第１のワーク１がＡＣＦ３を介して仮圧着された第２のワーク２を受け取り、第１のワーク１が、加圧部４１１によって第２のワーク２に圧着される圧着位置に来るように、第２のワーク２を移動させる。また、支持部４３は、圧着作業が完了して第１のワーク１が圧着された第２のワーク２、つまり検査対象Ｔを、導通検査のための検査装置等の後工程へと受け渡す。
【００３９】
［検査装置の構成］
次に、検査装置５０の構成を、図７を参照して説明する。検査装置５０は、ステージ６０、撮像部７０、照明部８０、制御装置９０を有する。なお、以下の説明では、リード１１、２１を撮像するための光軸に沿う方向がｚ方向である。
（ステージ）
ステージ６０は、ＡＣＦ３を介して加熱圧着済みの検査対象Ｔを載置する部材である。ステージ６０は、水平方向の板状の部材である。ステージ６０の上面は、第１のワーク１とは反対側の第２のワーク２の面が接するｘｙ平面である載置面６１０を有する。
【００４０】
ステージ６０は、保持部６１１、開口６１２を有する。保持部６１１は、検査対象Ｔを保持する。保持部６１１は、図示はしないが、載置面６１０に形成された吸着孔を有し、吸着孔に接続された図示しない空気圧回路に接続され、負圧による吸着を行うことができる。これにより、検査対象Ｔの第１のワーク１は、載置面６１０に吸着保持される。
【００４１】
開口６１２は、保持部６１１に保持される検査対象Ｔのリード１１、２１及び基準マーク１１ａ、２１ａに対応する位置に、ステージ６０を上下に貫通するように設けられている。
【００４２】
（撮像部）
撮像部７０は、検査対象Ｔを撮像する。つまり、検査対象Ｔの基準マーク１１ａ、２１ａが含まれるように、検査対象Ｔを撮像する。基準マーク１１ａ、２１ａが含まれるとは、基準マーク１１ａ、２１ａの少なくとも一部が含まれていればよい。また、基準マーク１１ａ、２１ａ以外のリード１１、２１が含まれていてもよい。本実施形態では、基準マーク１１ａ、２１ａとともに、リード１１、２１の一部が含まれるように撮像する。なお、本実施形態では、撮像部７０に近い側が第１のワーク１であって上側となり、遠い側が第２のワーク２となって下側となるように重ね合わされるが、これと逆であってもよい。
【００４３】
撮像部７０は、カメラ７１を有する。カメラ７１は、レンズ等を含む光学部材、撮像素子であるＣＣＤ、ＣＣＤの受光量に応じて画像データを生成する画像処理回路を有するＣＣＤカメラである。ＣＣＤは、筐体７２に収容され、光学部材は鏡筒７３に収容されている。カメラ７１は、図３に示すように、少なくとも基準マーク１１ａ、２１ａ、本実施形態では、基準マーク１１ａ、２１ａ及びこれに連続したリード１１、２１が視野に収まるように、図示しない移動機構によって位置決め可能に設けられている。なお、カメラ７１は、移動と撮像を繰り返し行い、撮像された画像を合成することにより所望の視野の画像を得るラインスキャンカメラとして構成してもよい。
【００４４】
（照明部）
照明部８０は、検査対象Ｔに対して光を照射する。照明部８０は、第１の照明装置８１、第２の照明装置８２、第３の照明装置８３を有する。第１の照明装置８１は、光源からの光を、カメラ７１の光軸と平行な方向で照射する同軸落射照明装置である。第１の照明装置８１は、カメラ７１のレンズを内蔵した鏡筒７３の側面から、鏡筒７３内に光を照射するＬＥＤ等の光源と、光源からの光の方向を変換して検査対象Ｔに照射させるハーフミラーを有する。
【００４５】
第２の照明装置８２は、撮像部７０の光軸の周囲から光を照射するリング照明装置である。第２の照明装置８２は、複数のＬＥＤ等の光源をリング状に配置して、光源からの光を検査対象Ｔに対して３６０°方向から照射する。第２の照明装置８２のリング状の発光部分は、カメラ７１と検査対象Ｔとの間に、カメラ７１の光軸と同軸に配置されている。第３の照明装置８３は、ＬＥＤ等の光源を、検査対象Ｔを挟んで、カメラ７１と反対側に配置した透過照明装置である。
【００４６】
撮像部７０のカメラ７１は、第１の照明装置８１及び第２の照明装置８２から検査対象Ｔに照射された光の反射光及び第３の照明装置８３から検査対象Ｔに照射された光の透過光を受光して、画像処理回路により、画像データである撮像画像を生成して出力する。照明部８０の光量は、図３に示すように、撮像部７０が撮像した撮像画像ＣＰ内において、第１のワーク１のリード１１及び基準マーク１１ａが輝度が最小の黒、第２のワーク２のリード２１及び基準マーク２１ａが輝度が最大の白、第１のワーク１の基材１ａ及び第２のワーク２の基材２ａ（背景）が白と黒の間の輝度となるように調整されている。すなわち、２５６階調のグレースケールの撮像画像ＣＰを、第１のワーク１のリード１１及び基準マーク１１ａの画素値が最小の０（黒）、第２のワーク２のリード２１及び基準マーク２１ａの画素値が最大の２５５（白）、背景がその間の画素値となるように調整されている。なお、実際には、リード１１、２１や基準マーク１１ａ、２１ａの画素値が０や２５５になる必要はなく、一方が画素値０に近く、他方が画素値２５５に近く、背景がその間の画素値となっていればよいが、本実施形態では説明を解り易くするために、輝度が黒と白に調整されるものとする。
【００４７】
（制御装置）
制御装置９０は、圧着装置４０、検査装置５０を制御する装置である。制御装置９０は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって構成される。制御装置９０は、各部の制御内容のプログラムがメモリに記憶されており、ＰＬＣやＣＰＵなどの処理装置によりそのプログラムが読み出されて実行される。
【００４８】
制御装置９０は、図８に示すように、機構制御部９１、第１の抽出部９２、第２の抽出部９３、合成部９４、検出部９５、判定部９６、記憶部９７、入出力制御部９８を有する。機構制御部９１は、圧着装置４０、検査装置５０の各部の動作、発光等を制御する。
【００４９】
第１の抽出部９２は、図３に示すように撮像部７０が撮像した撮像画像ＣＰから、図９（Ａ）に示すように、第１のワーク１の基準マーク１１ａの画像を抽出した第１のマーク画像Ｍ１を含む画像データである第１の抽出画像ＣＰａを生成する。本実施形態では、第１のマーク画像Ｍ１には、リード１１の画像も含まれる。抽出は、基準マーク１１ａ及びリード１１の領域とそれ以外の領域が区別された画像とすることをいう。第１の抽出画像ＣＰａの抽出は、撮像画像ＣＰを、２値化することにより行う。つまり、図３に示すように、基準マーク１１ａ及びリード１１の黒の部分とその他の部分とを識別する輝度（画素値）のしきい値に基づいて、撮像画像ＣＰにおける黒の部分を黒とし、その他の部分を白に変換する。
【００５０】
第２の抽出部９３は、図３に示すように、撮像部７０が撮像した撮像画像ＣＰから、図９（Ｂ）に示すように、第２のワーク２の基準マーク２１ａを抽出した第２のマーク画像Ｍ２を含む画像データである第２の抽出画像ＣＰｂを生成する。本実施形態では、第２のマーク画像Ｍ２には、リード２１の画像も含まれる。抽出は、基準マーク２１ａ及びリード２１の領域とそれ以外の領域が区別された画像とすることをいう。第２の抽出画像ＣＰｂの抽出は、撮像画像ＣＰを、２値化することにより行う。つまり、図３に示すように、基準マーク２１ａ及びリード２１の白の部分とその他の部分とを識別する輝度（画素値）のしきい値に基づいて、撮像画像ＣＰにおける白の部分を黒、その他の部分を白に変換する。
【００５１】
合成部９４は、第１のマーク画像Ｍ１と第２のマーク画像Ｍ２とを、撮像画像ＣＰにおける互いの位置関係を維持した状態で合成した合成マーク画像Ｍ３を含む合成画像ＣＰｃを生成する。つまり、合成部９４は、図９（Ｃ）に示すように、第１の抽出画像ＣＰａと第２の抽出画像ＣＰｂの黒色の部分（領域）を、撮像部７０が撮像した共通の撮像画像における座標上の位置を変えずに合成する。
【００５２】
検出部９５は、第１の抽出画像ＣＰａ及び第２の抽出画像ＣＰｂに基づいて、第１のワーク１のリード１１と第２のワーク２のリード２１との位置ずれの量を検出する。検出部９５は、位置検出部９５ａ、測定部９５ｂを有する。位置検出部９５ａは、第１のマーク画像Ｍ１及び第２のマーク画像Ｍ２の少なくとも一方の位置と、合成マーク画像Ｍ３の位置とを検出する。この検出する位置とは、画像上の座標である。本実施形態では、ｘ方向及びｙ方向の位置を示すｘｙ座標を用いる。なお、位置の検出は、画像上の第１のマーク画像Ｍ１、第２のマーク画像Ｍ２、合成マーク画像Ｍ３の一部の座標を認識することも、認識した座標から、第１のマーク画像Ｍ１、第２のマーク画像Ｍ２、合成マーク画像Ｍ３の一部の座標を演算により求めることも含む。なお、ここで位置検出部９５ａは、第１のマーク画像Ｍ１及び第２のマーク画像Ｍ２の少なくとも一方の位置を検出する。但し、いずれの位置を検出するかは、予めオペレータが選択して設定することができる。例えば、オペレータは、図３に示すように、検査対象Ｔにおいて、撮像されたときに他の部材に遮蔽されることなく全形が映し出される方のマーク画像を、位置を検出するマーク画像として設定することができる。本実施形態では、第１のマーク画像Ｍ１、すなわち、第１のワーク１のリード１１と基準マーク１１ａの画像を選択して設定している。なお、第１のワーク１、第２のワーク２同士を重ね合せる上下関係から、全形が映るマーク画像Ｍ１、Ｍ２が一義的に決定される場合、例えば、上側のワークのリード及び基準マークの全形が映る場合には、検査対象Ｔのうち上側に位置するワークのマーク画像の位置を検出するように、制御装置９０に予め設定しておくこともできる。
【００５３】
本実施形態の位置の検出は、第１のマーク画像Ｍ１、第２のマーク画像Ｍ２、合成マーク画像Ｍ３の所定の端部の位置を検出することにより行う。例えば、あらかじめ設定されたライン上を走査することにより端部の位置を検出できる。本実施形態では、図９（Ａ）に示すように、検出部９５は、第１のマーク画像Ｍ１からＸ１、ＹＴ１、ＹＢ１を検出し、図９（Ｂ）に示すように、第２のマーク画像Ｍ２からＸ２を抽出し、図９（Ｃ）に示すように、合成マーク画像Ｍ３からＹＴ２、ＹＢ２を検出する。
【００５４】
Ｘ１は、第１のマーク画像Ｍ１に含まれるリード１１の端部のｘ座標である。Ｘ２は、第２のマーク画像Ｍ２に含まれるリード２１の端部のｘ座標である。Ｘ１、Ｘ２は、ずれが無ければ互いに一致すべき端部のｘ座標である。
【００５５】
ＹＴ１は、第１のマーク画像Ｍ１に含まれる基準マーク１１ａの一端部、ここでは図中の上端部のｙ座標である。ＹＴ２は、合成マーク画像Ｍ３に含まれる基準マーク１１ａ、２１ａの最上端部のｙ座標である。本実施形態では、第２のマーク画像Ｍ２が画面上側にずれた状態を示しているので、基準マーク２１ａの上端部のｙ座標が検出されている。ＹＴ１、ＹＴ２は、ずれが無ければ互いに一致すべき端部のｙ座標である。なお、基準マーク２１ａが画面下側にずれた場合にもＹＴ１、ＹＴ２は一致する。
【００５６】
ＹＢ１は、第１のマーク画像Ｍ１に含まれる基準マーク１１ａのうち、ＹＴ１の端部と反対側の下端部のｙ座標である。ＹＢ２は、合成マーク画像Ｍ３に含まれる基準マーク１１ａ、２１ａのうち、ＹＴ２の端部と反対側の最下端部のｙ座標である。このＹＢ２は、ずれが無ければ、ＹＢ１と一致する。また、基準マーク２１ａが画面上側にずれた場合にもＹＢ２はＹＢ１と一致する。本実施形態では、第２のマーク画像Ｍ２が画面上側にずれた状態を示しているので、ＹＢ２はＹＢ１と一致する。なお、基準マーク２１ａが画面下側にずれた場合には、基準マーク２１ａの下端部のｙ座標が検出される。ＹＣ１は、ＹＴ１とＹＢ１とのｙ方向の中点であり、ＹＴ１とＹＢ１から演算により求める。ＹＣ２は、ＹＴ２とＹＢ２とのｙ方向の中点であり、ＹＣ２とＹＢ２から演算により求める。
【００５７】
測定部９５ｂは、位置検出部９５ａにより検出された位置に基づいて、第１のワーク１のリード１１と第２のワーク２のリード２１との位置ずれの量を測定する。例えば、図１０に示すように、位置検出部９５ａにより、Ｘ１、Ｘ２、ＹＴ１、ＹＴ２、ＹＢ１、ＹＢ２が検出されたとする。すると、測定部９５ｂは、以下の式により、ｘ方向のずれ量Ｄｘ、ｙ方向のずれ量Ｄｙを算出できる。
【００５８】
Ｄｘ＝Ｘ２−Ｘ１                                            …式（１）
Ｄｙ＝２｛ＡＶＥ（ＹＴ２，ＹＢ２）−ＡＶＥ（ＹＴ１，ＹＢ１）｝
＝２（ＹＣ２−ＹＣ１）                                  …式（２）
【００５９】
式（１）は、Ｘ２とＸ１との差分をとることにより、ｘ方向のずれ量Ｄｘを求める式である。式（２）は、ＹＴ２とＹＢ２の平均、つまりｙ方向の中点ＹＣ２と、ＹＴ１とＹＢ１の平均、つまりｙ方向の中点ＹＣ１との差分をとり、これを２倍することにより、ｙ方向のずれ量Ｄｙを求める式である。
【００６０】
判定部９６は、ずれ量Ｄｘ、Ｄｙに基づいて、検査対象Ｔの良否を判定する。例えば、判定部９６は、検出部９５により求めたずれ量Ｄｘが、ｘ方向のずれ量のしきい値を超えている場合には、検査対象Ｔは不良（否）と判定する。また、判定部９６は、検出部９５により求めたずれ量Ｄｙが、ｙ方向のずれ量のしきい値を超えている場合には、検査対象Ｔは不良（否）と判定する。つまり、判定部９６は、ずれ量Ｄｘ及びＤｙの少なくとも一方がしきい値を超えていれば、検査対象Ｔは不良と判定する。
【００６１】
記憶部９７は、本実施形態の制御に必要な情報を記憶する。記憶部９７に記憶される情報としては、撮像画像ＣＰ、第１のマーク画像Ｍ１を抽出するための２値化のしきい値及び第１の抽出画像ＣＰａ、第２のマーク画像Ｍ２を抽出するための２値化のしきい値及び第２の抽出画像ＣＰｂ、合成画像ＣＰｃ、位置検出部９５ａにより検出された位置、測定部９５ｂによる演算式及び測定されたずれ量、判定部９６による判定のためのしきい値及び判定結果が含まれる。入出力制御部９８は、制御対象となる各部との間での信号の変換や入出力を制御するインタフェースである。
【００６２】
さらに、制御装置９０には、入力装置９９ａ、出力装置９９ｂが接続されている。入力装置９９ａは、オペレータが、制御装置９０を介して圧着装置４０、検査装置５０を操作するためのスイッチ、タッチパネル、キーボード、マウス等の入力手段である。オペレータは、入力装置９９ａによって、所望の動作タイミング、しきい値等を入力することができる。
【００６３】
出力装置９９ｂは、装置の状態を確認するための情報を、オペレータが認識可能な状態とする出力手段である。例えば、出力装置９９ｂは、撮像画像ＣＰ、第１の抽出画像ＣＰａ、第２の抽出画像ＣＰｂ、合成画像ＣＰｃ、検出部９５により検出されたずれ量、判定部９６による判定結果等を表示する表示装置を含む。なお、出力装置９９ｂは、判定部９６による判定結果に応じて点灯するランプや音声を出力するスピーカ、ブザー等によって構成してもよい。例えば、判定結果が不良であった場合に、ランプが点灯することにより、又はスピーカ、ブザーが音を発することにより、不良であることをオペレータに通知してもよい。
【００６４】
［動作］
次に、本実施形態の動作例を、図１〜図１０に加えて、図１１のフローチャートを参照して説明する。
【００６５】
（圧着動作）
まず、図６に示すように、第１のワーク１がＡＣＦ３を介して仮圧着された第２のワーク２が、支持部４３のステージ４３ａに載置され、移動装置４３ｂによって、第２のワーク２、第１のワーク１が圧着位置に来る。そして、圧力受部４２が上昇して、バックアップ部４２ａの受け面が、第２のワーク２の下面に接する位置に来る。加圧部材４１ａ、バックアップ部４２ａは、それぞれ加熱部４１ｂ、４２ｂによって加熱されている。
【００６６】
この状態で、加圧部材４１ａが下降して、加圧部４１１の加圧面が、クッションシートを介して第１のワーク１に当接する。ＡＣＦ３の基材３１はバックアップ部４２ａの加熱部４２ｂによる加熱と加圧部４１１からの輻射熱によって加熱されて温度上昇を開始し、加圧面が第１のワーク１に当接すると、導電粒子３２が潰れて、リード２１とリード１１との導電性が確保され、電気的な接続が確立される。その後、基材３１の硬化が進行して、第１のワーク１と第２のワーク２とが接合され、機械的な接続が確立される。
【００６７】
（ずれ量の検出）
以上のように第１のワーク１が加熱圧着された第２のワーク２、つまり、検査対象Ｔは、図７に示すように、第２のワーク２側がステージ６０の載置面６１０に載置され、保持部６１１により吸着保持される（ステップＳ１０１）。このとき、開口６１２の上に、リード１１、２１の一部を含む基準マーク１１ａ、２１ａが来る。
【００６８】
照明部８０により検査対象Ｔに対して光が照射され、撮像部７０により検査対象Ｔの基準マーク１１ａ、２１ａを含むリード１１、２１が撮像される（ステップＳ１０２）。第１の抽出部９２は、得られた撮像画像ＣＰを２値化することにより、図９（Ａ）に示すように、第１のマーク画像Ｍ１の部分を黒とする第１の抽出画像ＣＰａを生成する（ステップＳ１０３）。位置検出部９５ａは第１のマーク画像Ｍ１のＸ１、ＹＴ１、ＹＢ１を検出し、ＹＣ１＝（ＡＶＥ（ＹＴ１，ＹＢ１））を求める（ステップＳ１０４）。
【００６９】
第２の抽出部９３は、撮像画像ＣＰを２値化することにより、図９（Ｂ）に示すように、第２のマーク画像Ｍ２の部分を黒とする第２の抽出画像ＣＰｂを生成する（ステップＳ１０５）。位置検出部９５ａは、第２のマーク画像Ｍ２のＸ２を検出する（ステップＳ１０６）。
【００７０】
合成部９４は、第１の抽出画像ＣＰａの第１のマーク画像Ｍ１と第２の抽出画像ＣＰｂの第２のマーク画像Ｍ２を合成した合成マーク画像Ｍ３を含む合成画像ＣＰｃを生成する（ステップＳ１０７）。位置検出部９５ａは、合成マーク画像Ｍ３のＹＴ２、ＹＢ２を検出し、ＹＣ２＝（ＡＶＥ（ＹＴ２，ＹＢ２））を求める（ステップＳ１０８）。
【００７１】
測定部９５ｂは、ｘ方向の座標であるＸ１及びＸ２と、ｙ方向の座標であるＹＣ１及びＹＣ２に基づいて、ｘ方向のずれ量Ｄｘを、Ｄｘ＝Ｘ２−Ｘ１として求め、ｙ方向のずれ量Ｄｙを、Ｄｙ＝２（ＹＣ２−ＹＣ１）として求める（ステップＳ１０９）。
【００７２】
判定部９６は、ｘ方向のずれ量Ｄｘがしきい値を超えているか否か、ｙ方向のずれ量Ｄｙがしきい値を超えていること否かにより検査対象Ｔの良否を判定する（ステップＳ１１０）。Ｄｘ及びＤｙの双方がしきい値を超えていない場合には（ステップＳ１１０のＮＯ）、良品であると判定する（ステップＳ１１１）。Ｄｘ及びＤｙの少なくとも一方がしきい値を超えている場合には（ステップＳ１１０のＹＥＳ）、不良品と判定する（ステップＳ１１２）。
【００７３】
このような判定結果は、出力装置９９ｂにより出力されることにより、オペレータに通知され、オペレータは、不良と判定された検査対象Ｔを排除することにより、導通検査等の次工程に進めないようにする。これにより、検査対象を絞り、生産効率を高めることができる。
【００７４】
［作用効果］
（１）以上のような実施形態の検査装置５０は、互いに重ね合わされて電気的に接続されるべきリード１１、２１と、リード１１、２１の位置合わせのための基準マーク１１ａ、２１ａとを有する第１のワーク１及び第２のワーク２がリード同士の位置を合わせるように重ね合わされた（具体的には、熱圧着された）ものを検査対象Ｔとする。検査装置５０は、基準マーク１１ａ、２１ａが含まれるように撮像された撮像画像ＣＰから、第１のワーク１の基準マーク１１ａの画像を抽出した第１のマーク画像Ｍ１を含む第１の抽出画像ＣＰａを生成する第１の抽出部９２と、撮像画像ＣＰから、第２のワーク２の基準マーク２１ａの画像を抽出した第２のマーク画像Ｍ２を含む第２の抽出画像ＣＰｂを生成する第２の抽出部９３を有する。また、検査装置５０は、第１の抽出画像ＣＰａ及び第２の抽出画像ＣＰｂに基づいて、第１のワーク１のリード１１と第２のワーク２のリード２１との位置ずれを検出する検出部９５を有する。
【００７５】
このため、検査対象Ｔの撮像画像から、第１の抽出部９２は、第１のマーク画像Ｍ１のみを抽出すればよく、第２の抽出部９３は、第２のマーク画像Ｍ２のみを抽出すればよい。このため、抽出のための設定が容易となる。例えば、上記の図３に示したように、撮像画像ＣＰにおいて、第１のワーク１の基準マーク１１ａ及びリード１１が黒、第２のワーク２の基準マーク２１ａ及びリード２１が白となるように照明が調整され、背景となる第１のワーク１の基材１ａ、第２のワーク２の基材２ａは中間色のグレーの画像となるとする。すると、この撮像画像から、リード１１と背景、リード２１と背景、リード１１とリード２１を識別しようとすると、グレーから走査を開始して白を識別するしきい値、白から走査を開始してグレーを識別するしきい値、グレーから走査を開始して黒を識別するしきい値、黒から走査を開始してグレーを識別するしきい値、白から走査を開始して黒を識別するしきい値、黒から走査を開始して白を識別するしきい値等と様々のしきい値を設定する必要がある。また、それぞれの境界を判断できたとしても、リード１１、リード２１、背景の上下関係を判断することも難しい。
【００７６】
本実施形態では、撮像画像ＣＰから第１のマーク画像Ｍ１のみを抽出した第１の抽出画像ＣＰａと、撮像画像ＣＰから第２のマーク画像Ｍ２のみを抽出した第２の抽出画像ＣＰｂを用いるため、それぞれを抽出するためのしきい値の設定が簡易となる。
【００７７】
（２）第１のマーク画像Ｍ１と第２のマーク画像Ｍ２とを、撮像画像ＣＰにおける互いの位置を維持した状態で合成した合成マーク画像Ｍ３を含む合成画像ＣＰｃを生成する合成部９４を有し、検出部９５は、第１のマーク画像Ｍ１及び第２のマーク画像Ｍ２の少なくとも一方の位置と、合成マーク画像Ｍ３の位置とを検出する位置検出部９５ａと、位置検出部９５ａにより検出された位置に基づいて、第１のワーク１のリード１１と第２のワーク２のリード２１の位置ずれの量を測定する測定部９５ｂと、を有する。
【００７８】
第１の抽出画像ＣＰａに対して第１のマーク画像Ｍ１のみを検出対象とし、第２の抽出画像ＣＰｂに対しては第２のマーク画像Ｍ２のみを検出対象とすればよいため、それぞれの位置の検出が容易となる。合成マーク画像Ｍ３の位置を検出することにより、リード１１とリード２１とを識別したり、リード１１とリード２１の重なりの上下関係を判断する必要がない。例えば、第１のマーク画像Ｍ１の位置、これに対応する第２のマーク画像Ｍ２の位置を容易に検出できるので、リード１１とリード２１がどの方向にどの程度ずれているかについても座標から判断できる。さらに、図９（Ｂ）のＹＮのように、対象画像が小さくなったり、図９（Ｃ）、図１０のＹＮのように、リード１１の外縁であるか、リード２１の外縁であるかが判断し難い位置について検出することなく、外縁として特定し易い箇所の位置のみで位置ずれを判定することができる。
【００７９】
さらに、本実施形態では、いずれの画像ＣＰａ、ＣＰｂ、ＣＰｃについても２値化画像としている。そのため、それぞれの画像ＣＰａ、ＣＰｂ、ＣＰｃ内からマーク画像Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３を検出するしきい値も共通する一つのしきい値とすることができる。このことからも、リード１１とリード２１の位置ずれを容易に検出することができる。
【００８０】
（３）第１の抽出部９２及び第２の抽出部９３は、共通の撮像画像から、第１の抽出画像ＣＰａ及び第２の抽出画像ＣＰｂを生成する。このため、第１の抽出画像ＣＰａに含まれる第１のマーク画像Ｍ１と第２の抽出画像ＣＰｂに含まれる第２のマーク画像Ｍ２との互いの位置関係を容易且つ正確に維持できる。
【００８１】
（４）撮像画像ＣＰを生成するために、検査対象Ｔを撮像する撮像部７０と、検査対象Ｔに対して、撮像部７０の光軸の周囲から光を照射するリング照明装置である第２の照明装置８２を有する。このため、影が生じることを防止して、基準マーク１１ａ、２１ａの外縁を正確に反映した第１のマーク画像Ｍ１、第２のマーク画像Ｍ２を抽出できる。
【００８２】
［変形例］
基準マーク１１ａ、２１ａの形状や位置は、上記の態様には限定されない。リード１１、２１と連続していても、リード１１、２１から独立していてもよい。また、リード１１、２１の一部を基準マーク１１ａ、２１ａとして用いてもよい。例えば、リード１１のいずれか１つ、これに重ね合わされるべきリ１つのリード２１を、基準マーク１１ａ、２１ａとしてもよい。
【００８３】
上記の態様では、第１のマーク画像Ｍ１、第２のマーク画像Ｍ２を黒、それ以外の背景を白で２値化したが、第１のマーク画像Ｍ１、第２のマーク画像Ｍ２を白、それ以外の背景を黒で２値化してもよい。また、表示装置に表示する際には、一旦、２値化した第１のマーク画像Ｍ１、第２のマーク画像Ｍ２とそれ以外の背景の色を、白と黒で表示してもよいが、互いを識別できる他の色に変換して表示してもよい。
【００８４】
基材１ａの材質は樹脂製には限定されない。また、フレキシブルでなくてもよい。基材１ａにガラス製の基板を用いてもよい。基材２ａを、ガラス製ではなく樹脂製としてもよい。基材２ａがフレキシブルであってもよい。基材１ａ、２ａの樹脂としては、ポリイミドやポリエチレンテレフタレート等、現在又は将来において、透光性を有する基板材料として適用可能な種々のものを用いることができる。リード１１、２１は、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化チタン、ポリアニリン、グラフェン等、現在又は将来において、透光性を有する電極材料として適用可能な種々の材料を用いることができる。
【００８５】
さらに、基材１ａ及び基材２ａ、ＡＣＦ３の基材３１、リード２１の全部又は一部は、透光性を有していなくてもよい。また、リード１１は、透光性であってもよい。但し、リード１１及び基準マーク１１ａの輝度と、リード２１及び基準マーク２１ａの輝度と、それ以外の背景の輝度とは、それぞれ異なるように撮像されることが好ましい。
【００８６】
また、第１の抽出部９２および第２の抽出部９３が抽出する画像は、ｘ方向及びｙ方向の位置が検出できる画像であればよい。したがって、基準マーク１１ａ、２１ａのみでｘおよびｙ方向の位置が検出できるのであれば、リード１１、２１の画像を含まない基準マーク１１ａ、２１ａの画像のみを抽出してもよい。
【００８７】
また、撮像部７０による撮像画像は、白黒画像（グレースケール画像）でも、カラー画像でもどちらでもよい。要は、基準マーク１１ａの画像、基準マーク２１ａの画像、背景画像との３つの画像が区別できる画像であればよい。
【００８８】
また、上記の態様では、本圧着によって加熱圧着された第１のワーク１及び第２のワーク２を検査対象Ｔとしたが、これに限られるものではなく、例えば、仮圧着されて本圧着される前の第１のワーク１及び第２のワーク２を検査対象Ｔとしてもよい。要は、リード同士の位置を合わせるように重ね合わされた第１のワーク１と第２のワーク２であればよい。
【００８９】
また、制御装置９０は、圧着装置４０と検査装置５０とで共用するものに限られるものではなく、例えば、それぞれ制御装置を個別に備えるようにしてもよく、さらに個別に設けた制御装置を上位の統括制御装置で統括制御するようにしてもよい。
【００９０】
［他の実施形態］
以上、本発明の実施形態及び各部の変形例を説明したが、この実施形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。
【符号の説明】
【００９１】
１  第１のワーク
１ａ、２ａ  基材
２  第２のワーク
１１、２１  リード
１１ａ、２１ａ  基準マーク
３  ＡＣＦ
３１  基材
３２  導電粒子
４０  圧着装置
４１  圧着部
４１ａ  加圧部材
４１ｂ  加熱部
４１ｃ  圧力調整部
４２    圧力受部
４２ａ  バックアップ部
４２ｂ  加熱部
４３    支持部
４３ａ  ステージ
４３ｂ  移動装置
５０  検査装置
６０  ステージ
７０  撮像部
７１  カメラ
７２  筐体
７３  鏡筒
８０  照明部
８１  第１の照明装置
８２  第２の照明装置
８３  第３の照明装置
９０  制御装置
９１  機構制御部
９２  第１の抽出部
９３  第２の抽出部
９４  合成部
９５  検出部
９５ａ  位置検出部
９５ｂ  測定部
９６  判定部
９７  記憶部
９８  入出力制御部
９９ａ  入力装置
９９ｂ  出力装置
１００  実装装置
４１１  加圧部
６１０  載置面
６１１  保持部
６１２  開口
ＣＰ  撮像画像
ＣＰａ  第１の抽出画像
ＣＰｂ  第２の抽出画像
ＣＰｃ  合成画像
Ｄｘ、Ｄｙ  ずれ量
Ｍ１  第１のマーク画像
Ｍ２  第２のマーク画像
Ｍ３  合成マーク画像
Ｔ  検査対象
【図１】
2020136327.tif 000003
【図２】
2020136327.tif 000004
【図３】
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【図４】
2020136327.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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