(57)【要約】【課題】噴流により形成した水柱内に超音波を伝播させる噴流式超音波探傷法において、被検査対象物に衝突して飛散した水が水柱に当たらないようにすることである。【解決手段】実施形態に係る超音波検査装置は、被検査物体に向けて水を噴出することによって前記被検査物体との間に水柱を形成するためのノズルと、前記水柱を媒体として前記被検査物体に向けて超音波を送信し、前記被検査物体からの超音波反射波を受信する超音波振動子と、前記ノズル及び前記超音波振動子と前記被検査物体との間における相対位置を変える移動機構とを備え、前記被検査物体に当たって飛散する水が前記水柱に当たることを防止するためのカバーを前記ノズルに設けたものである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物体に向けて水を噴出することによって前記被検査物体との間に水柱を形成するためのノズルと、
前記水柱を媒体として前記被検査物体に向けて超音波を送信し、前記被検査物体からの超音波反射波を受信する超音波振動子と、
前記ノズル及び前記超音波振動子と前記被検査物体との間における相対位置を変える移動機構とを備え、
前記被検査物体に当たって飛散する水が前記水柱に当たることを防止するためのカバーを前記ノズルに設けた超音波検査装置。
【請求項２】
前記移動機構は前記ノズルの先端と前記被検査物体との間に１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下の間隔が生じるように前記相対位置を変えるように構成され、
前記カバーと前記被検査物体との間における隙間が１ｍｍ以上５ｍｍ以下となるように前記カバーを前記ノズルに設けた請求項１記載の超音波検査装置。
【請求項３】
前記カバーを柔軟なプラスチック又はスポンジで構成した請求項１又は２記載の超音波検査装置。
【請求項４】
前記カバーを、水の吸収を防止する材料で表面がコーティングされたスポンジで構成した請求項１又は２記載の超音波検査装置。
【請求項５】
前記カバーをパイプ状の構造体又は鉛直下方に落下する水を受ける板状の構造体で構成した請求項１乃至４のいずれか１項に記載の超音波検査装置。
【請求項６】
長さが異なる複数のカバーを交換可能に備え、前記カバーと前記被検査物体との間における隙間を調節できるようにした請求項１乃至５のいずれか１項に記載の超音波検査装置。
【請求項７】
板状の前記被検査物体を挟んで対向配置される２つの前記ノズルを備え、
前記２つのノズルにそれぞれ対応する２つの超音波振動子で前記被検査物体の両面で反射した超音波反射波を受信できるようにした請求項１乃至６のいずれか１項に記載の超音波検査装置。
【請求項８】
前記移動機構は前記水柱の長さ方向が前記被検査物体の表面に垂直となるように前記相対位置を変えるように構成される請求項１乃至７のいずれか１項に記載の超音波検査装置。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の超音波検査装置を用いて前記被検査物体の探傷検査を行う超音波検査方法。
【請求項１０】
ノズルから被検査物体に向けて水を噴出することによって前記被検査物体との間に水柱を形成するステップと、
超音波振動子を用いて前記水柱を媒体として前記被検査物体に向けて超音波を送信し、前記被検査物体からの超音波反射波を受信するステップと、
前記ノズル及び前記超音波振動子と前記被検査物体との間における相対位置を移動機構で変えるステップとを有し、
前記ノズルにカバーを設けることによって前記被検査物体に当たって飛散する水が前記水柱に当たることを防止する超音波検査方法。
【請求項１１】
前記被検査物体に当たって飛散する水が前記水柱に当たることを前記カバーで防止することによって前記水柱を伝播する前記超音波反射波の減衰量を低減し、前記減衰量が減少した前記超音波反射波の検出信号に対する閾値処理によって前記被検査物体に生じた損傷を信号処理装置で自動的に検出できるようにする請求項９又は１０記載の超音波検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、超音波検査装置及び超音波検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、超音波探傷法として水柱を形成し、形性した水柱に超音波を伝播させて被検査対象物の探傷を行う手法が知られている（例えば特許文献１、特許文献２及び特許文献３参照）。また、ガラス繊維強化プラスチック（ＧＦＲＰ：  Ｇｌａｓｓ  ｆｉｂｅｒ  ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ  ｐｌａｓｔｉｃｓ）や炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ：  Ｃａｒｂｏｎ  Ｆｉｂｅｒ  Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ）等の複合材の曲面を対象として高速で非破壊検査を行うことができるようにした噴流式超音波探傷法が知られている（例えば特許文献４参照）。
【０００３】
噴流式超音波探傷法は、被検査対象物と超音波探触子との間においてウォータージェット噴流により形成した水柱内に超音波を伝播させることによって被検査対象物の内部における損傷等の欠陥を検知する超音波探傷法である。噴流式超音波探傷法によれば、水柱内を伝播する超音波の減衰を低減することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−０７７１９６号公報
【特許文献２】特開２００１−１４７２２１号公報
【特許文献３】特開２００１−１５３８５１号公報
【特許文献４】特開平０８−０７５７１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の噴流式超音波探傷法では、被検査対象物に衝突して飛散した水が超音波を伝播させるための水柱に当たることがある。飛散した水が水柱に当たると超音波の乱れが生じ、十分な精度で探傷データを得ることができない場合がある。その場合、探傷検査を再度実施して探傷データを取り直すことが必要となる。
【０００６】
また、被検査対象物に衝突して飛散した水が水柱に当たらないようにするためには、水流の流速を増加させることによって水滴の落下を回避することが必要となる。しかしながら、水流の流速を増加させると水柱内における超音波の減衰量が増加し、欠陥の検出感度が低下する。欠陥の検出感度が低下すると、被検査対象物の品質を向上させることが困難となる。
【０００７】
そこで本発明は、噴流により形成した水柱内に超音波を伝播させる噴流式超音波探傷法において、被検査対象物に衝突して飛散した水が水柱に当たらないようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の実施形態に係る超音波検査装置は、被検査物体に向けて水を噴出することによって前記被検査物体との間に水柱を形成するためのノズルと、前記水柱を媒体として前記被検査物体に向けて超音波を送信し、前記被検査物体からの超音波反射波を受信する超音波振動子と、前記ノズル及び前記超音波振動子と前記被検査物体との間における相対位置を変える移動機構とを備え、前記被検査物体に当たって飛散する水が前記水柱に当たることを防止するためのカバーを前記ノズルに設けたものである。
【０００９】
また、本発明の実施形態に係る超音波検査方法は、上述した超音波検査装置を用いて前記被検査物体の探傷検査を行うものである。
【００１０】
また、本発明の実施形態に係る超音波検査方法は、ノズルから被検査物体に向けて水を噴出することによって前記被検査物体との間に水柱を形成するステップと、超音波振動子を用いて前記水柱を媒体として前記被検査物体に向けて超音波を送信し、前記被検査物体からの超音波反射波を受信するステップと、前記ノズル及び前記超音波振動子と前記被検査物体との間における相対位置を移動機構で変えるステップとを有し、前記ノズルにカバーを設けることによって前記被検査物体に当たって飛散する水が前記水柱に当たることを防止するものである。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る超音波検査装置の構成を示す正面図。
【図２】図１に示すノズルの側面図。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る超音波検査装置の構成を示す正面図。
【図４】図３に示すノズルの側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の実施形態に係る超音波検査装置及び超音波検査方法について添付図面を参照して説明する。
【００１３】
（第１の実施形態）
（超音波検査装置の構成及び機能）
図１は本発明の第１の実施形態に係る超音波検査装置の構成を示す正面図であり、図２は図１に示すノズルの側面図である。
【００１４】
超音波検査装置１は、水柱Ｗを媒体として超音波を送受することによって非破壊で被検査物体Ｏの探傷検査を行う装置である。このため、超音波検査装置１を用いれば、繊維強化複合材でハニカムを挟んだ複合材ハニカムサンドイッチ構造部品のように、水に沈めることが困難な被検査物体Ｏを対象として超音波探傷検査を行うことができる。もちろん、複合材ハニカムサンドイッチ構造部品に限らず、所望の構造を有する被検査物体Ｏを対象として超音波探傷検査を行うことができる。
【００１５】
超音波検査装置１は、被検査物体Ｏに向けて水を噴出するためのノズル２、水供給系３、超音波探触子４、移動機構５、信号処理装置６及びディスプレイ７で構成することができる。
【００１６】
ノズル２は水供給系３と水の供給管８で連結される。すなわち、供給管８の先端にノズル２が取付けられ、供給管８の他端が水供給系３と接続される。水供給系３は水を貯留する水槽９と水槽９に貯留された水を吐出するポンプ１０で構成することができる。そして、ポンプ１０で吐き出された水を被検査物体Ｏに向けてノズル２から噴射することができる。尚、水供給系３の一部又は全部を超音波検査装置１の構成要素とせずに、超音波検査装置１が据え付けられる工場等に備えられる既存の設備としても良い。
【００１７】
ノズル２から被検査物体Ｏに向けて水を噴出すると、ノズル２と被検査物体Ｏとの間に水柱Ｗが形成される。ノズル２と被検査物体Ｏとの間に形成される水柱Ｗの長さ方向はノズル２からの水の噴射方向となり、超音波探触子４には超音波を水柱Ｗの長さ方向に送信できるように超音波振動子が配置される。このため、ノズル２と被検査物体Ｏとの間に形成される水柱Ｗを媒体として超音波探触子４に備えられる超音波振動子から被検査物体Ｏに向けて超音波を送信し、被検査物体Ｏからの超音波反射波を受信することができる。
【００１８】
尚、典型的な超音波探触子４には被検査物体Ｏの複数の位置で反射した超音波を受信できるように複数の超音波振動子が備えられるが、単一の超音波振動子で超音波探触子４を構成してもよい。
【００１９】
図１に示す例では被検査物体Ｏが板状の物体となっている。そして、板状の被検査物体Ｏを挟んで２つのノズル２が対向配置されている。また、２つのノズル２には、それぞれ超音波探触子４が組合わせられている。このため、２つのノズル２にそれぞれ対応する２つの超音波探触子４に備えられる超音波振動子で被検査物体Ｏの両面で反射した超音波反射波を受信することができる。つまり、板状の被検査物体Ｏの両側から超音波探傷検査を行うことができる。
【００２０】
移動機構５は、ノズル２及び超音波探触子４と被検査物体Ｏとの間における相対位置を変えるための装置である。従って、移動機構５は、ノズル２及び超音波探触子４と、被検査物体Ｏの少なくとも一方を移動できるように構成される。ノズル２及び超音波探触子４と被検査物体Ｏとの間における相対位置を移動機構５で変えながら超音波を送受すれば、被検査物体Ｏの探傷検査を２次元的に行うことができる。すなわち、被検査物体Ｏの異なる位置で超音波を反射させることによって被検査物体Ｏの検査エリアについて損傷やボイド等の欠陥の有無を検出することが可能となる。
【００２１】
また、被検査物体Ｏで反射した超音波反射波ができるだけ散乱せずに水柱Ｗを伝播して超音波探触子４に到達するようにすることが必要である。そこで、移動機構５は水柱Ｗの長さ方向が被検査物体Ｏの表面に垂直となるように、ノズル２及び超音波探触子４と被検査物体Ｏとの間における相対位置を変えるように構成される。これにより、被検査物体Ｏに向けて送信される超音波及び被検査物体Ｏの表面で反射した超音波反射波の進行方向を水柱Ｗの長さ方向とし、被検査物体Ｏに向けて送信される超音波及び被検査物体Ｏの表面で反射した超音波反射波の減衰量を低減することができる。
【００２２】
移動機構５は、レール等の軌道に沿って車輪が走行する走行機構、ボールねじ、ラック・アンド・ピニオン、シリンダ機構等の所望の機構で構成することができる。また、特開平０８−０７５７１５号公報に例示されているように、ノズル２及び超音波探触子４と、被検査物体Ｏの少なくとも一方を直線的に移動させる機構に限らず、回転機構を用いて移動機構５を構成することもできる。
【００２３】
回転機構を用いて移動機構５を構成すれば、ノズル２及び超音波探触子４と、被検査物体Ｏとの間における相対的な角度を変えることができる。このため、被検査物体Ｏが凹凸を有する場合、厚さが変化する場合、厚さ方向が変化する場合或いは湾曲する場合のように表面が平面でない場合であっても被検査物体Ｏの表面に垂直となるように水柱Ｗ及び超音波の伝播経路を形成することが可能となる。
【００２４】
但し、被検査物体Ｏが凹凸を有する場合等のように複雑な形状を有する場合には、ノズル２と被検査物体Ｏが干渉しないようにすることが重要である。すなわち、ノズル２の先端が被検査物体Ｏに接触しないようにすることが重要である。
【００２５】
そこで、ノズル２の先端と被検査物体Ｏとの間に、例えば１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下の所定の間隔が生じるようにノズル２及び超音波探触子４と被検査物体Ｏとの間における相対位置を変える機能が移動機構５の制御装置に備えられる。この場合、ノズル２の先端と被検査物体Ｏとの間に形成される空間に水柱Ｗが形成されることになる。
【００２６】
このため、被検査物体Ｏに向けて水流を噴射すると、被検査物体Ｏに当たって飛散する水が水柱Ｗに当たる場合がある。特に被検査物体Ｏに当たって上方に飛散した水滴は重力で落下するため水柱Ｗに当たる可能性が高い。水滴が水柱Ｗに衝突すると、水柱Ｗを伝播する被検査物体Ｏからの超音波反射波はもちろん、被検査物体Ｏに向けて送信される超音波が減衰する要因となる。
【００２７】
そこで、ノズル２には、被検査物体Ｏに当たって飛散する水が水柱Ｗに当たることを防止するためのカバー１１が設けられる。図１及び図２に示す例では、鉛直下方に落下する水を受ける板状の構造体でカバー１１が構成されている。換言すれば、水柱Ｗの上方側が板状のカバー１１で覆われている。これにより、被検査物体Ｏに当たって飛散した水滴が水柱Ｗに当たることを回避し、超音波の減衰を防止することができる。
【００２８】
カバー１１についても被検査物体Ｏと接触して被検査物体Ｏに損傷が生じないようにすること並びに被検査物体Ｏと接触して変形し、水柱Ｗを遮らないようにすることが重要である。そこで、カバー１１と被検査物体Ｏとの間における隙間が１ｍｍ以上５ｍｍ以下となるようにカバー１１をノズル２に設けることが、カバー１１と被検査物体Ｏとの間における接触を回避しつつ水滴が水柱Ｗに当たることを回避する観点から好ましい。換言すれば、ノズル２にカバー１１を取付けることによって、被検査物体Ｏと超音波検査装置１との間における隙間を１ｍｍ以上５ｍｍ以下にすることができる。
【００２９】
また、カバー１１が被検査物体Ｏに衝突する不具合が発生したとしても、被検査物体Ｏに傷がつかないように、カバー１１を柔軟なプラスチック又はスポンジで構成することが好ましい。但し、スポンジは内部に細かな孔が無数に空いた多孔質の柔らかい物質であるため、スポンジのみでカバー１１を構成すると被検査物体Ｏに当たって飛散した水がスポンジに吸収されてカバー１１が過剰に重くなる恐れがある。カバー１１が過剰に重くなれば変形して水柱Ｗと接触する恐れがある。
【００３０】
そこで、カバー１１をスポンジで構成する場合には、水の吸収を防止する材料でスポンジの表面をコーティングすることが望ましい。すなわち、水の吸収を防止する材料で表面がコーティングされたスポンジでカバー１１を構成することができる。水の吸収を防止するコーティング材としては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）が挙げられるが、水の吸収防止効果が得られれば他の材料を用いても良い。
【００３１】
形状が異なる複数の被検査物体Ｏが超音波検査装置１による探傷検査の対象となる場合には、カバー１１の先端と被検査物体Ｏの表面との間における適切な距離が変化する場合がある。そのような場合には、長さが異なる複数のカバー１１をアタッチメントとして着脱及び交換可能にノズル２に取付けることができる。これにより、カバー１１と被検査物体Ｏとの間における隙間を調節することができる。
【００３２】
信号処理装置６は、電気信号として超音波送信信号を生成し、生成した超音波送信信号を超音波探触子４に備えられる超音波振動子に印加する一方、超音波振動子で受信された超音波反射信号を取得して探傷検査に必要な信号処理を行う装置である。このため、信号処理装置６は、パルサー、Ａ／Ｄ（ａｎａｌｏｇ−ｔｏ−ｄｉｇｉｔａｌ）変換器、プログラムを読込ませたコンピュータ等の電気回路で構成することができる。
【００３３】
探傷検査に必要な信号処理は、検査法に応じて決定することができる。例えば、ノズル２及び超音波探触子４と被検査物体Ｏとの間における相対位置を移動機構５で２次元的又は３次元的に変えることによって２次元又は３次元のスキャンを行う場合であれば、超音波反射信号が２次元又は３次元の座標別に取得される。このため、超音波反射信号の強度をカラースケール又はグレースケールで表す超音波強度画像を生成し、生成した超音波強度画像をディスプレイ７に表示させることができる。これにより、超音波探傷検査を行う検査員が目視で探傷検査を行うことができる。
【００３４】
或いは、信号処理装置６において探傷検査を自動的に行うようにしてもよい。特に、ノズル２に取付けられたカバー１１によって、被検査物体Ｏに当たって飛散する水が水柱Ｗに当たることが防止される。このため、水柱Ｗを伝播する超音波反射波の減衰量が低減され、減衰量が減少した超音波反射波の検出信号を信号処理装置６において取得することができる。その結果、欠陥が存在する部位で反射した超音波反射波の検出信号を高感度に検出することができる。尚、必要に応じてノイズを除去するためのフィルタ処理、アベレージング処理、周波数解析処理等を超音波反射波の検出信号に対して実行するようにしても良い。
【００３５】
欠陥が存在する部位で反射した超音波反射波の波形は、欠陥が存在しない部位で反射した超音波反射波の波形と異なる。このため、超音波反射波を表す検出信号の振幅等の波形の代表値に、欠陥が存在しない場合における代表値に相当する閾値を設定し、設定した閾値を用いた閾値処理によって被検査物体Ｏに生じた損傷等の欠陥を信号処理装置６で自動的に検出できるようにすることもできる。
【００３６】
（超音波検査方法）
上述した超音波検査装置１を用いて被検査物体Ｏの探傷検査を行う場合には、被検査物体Ｏが超音波検査装置１にセットされ、移動機構５によって被検査物体Ｏと、ノズル２及び超音波探触子４との間における相対位置の位置決めが行われる。すなわち、ノズル２及び超音波探触子４の先に被検査物体Ｏの検査対象となる表面が配置されるように被検査物体Ｏと、ノズル２及び超音波探触子４との間における相対位置の位置決めが行われる。この時、ノズル２の先端が被検査物体Ｏに干渉しないように、安全のため所定の間隔を空けて被検査物体Ｏと、ノズル２の先端との間における相対位置の位置決めが行われる。
【００３７】
そして、水供給系３のポンプ１０が駆動し、水槽９の水が供給管８を経由してノズル２に導かれる。このため、ノズル２から被検査物体Ｏに向けて水が噴出される。その結果、ノズル２と被検査物体Ｏとの間に水柱Ｗが形成される。すなわち、被検査物体Ｏの表面と、ノズル２の先端との間における距離に相当する長さの水柱Ｗが形成される。
【００３８】
一方、信号処理装置６において送信信号が電気信号として生成され、生成された送信信号が超音波探触子４に備えられる超音波振動子に印加される。このため、超音波振動子において送信信号が電気信号から超音波信号に変換される。そして、超音波探触子４に備えられる超音波振動子から超音波が発信される。超音波振動子は被検査物体Ｏに向けて配置されているため、超音波振動子から発信された超音波は、水柱Ｗを媒体として被検査物体Ｏに向けて送信される。すなわち、超音波振動子から発信された超音波は、被検査物体Ｏに向かって水柱Ｗを伝播する。
【００３９】
被検査物体Ｏに向けて超音波が送信されると、被検査物体Ｏの表面において超音波が反射する。これにより生じた超音波反射波は水柱Ｗを伝播して超音波振動子に到達する。そして、被検査物体Ｏからの超音波反射波は超音波振動子により受信される。尚、ノズル２にはカバー１１が設けられているため、被検査物体Ｏに当たって飛散する水が水柱Ｗに当たることを防止することができる。その結果、水柱Ｗを伝播する超音波及び超音波反射波の減衰を低減することができる。
【００４０】
超音波振動子において受信された超音波反射波は、超音波反射波の波形を表す電気信号に変換される。超音波反射波の波形を表す電気信号は、超音波反射波の検出信号として信号処理装置６に出力される。
【００４１】
そして、ノズル２及び超音波探触子４と被検査物体Ｏとの間における相対位置を移動機構５で変えながら、同様な超音波反射波の検出信号の収集が繰返される。その結果、信号処理装置６では、被検査物体Ｏの検査対象エリアで反射した２次元の超音波反射波の検出信号が得られる。
【００４２】
このため、超音波反射波の検出信号に基づいて超音波反射波の振幅分布を表す強度画像等の検査画像を信号処理によって生成することができる。生成された検査画像は、ディスプレイ７に表示させることができる。このため、検査員は、ディスプレイ７に表示された検査画像を観察して被検査物体Ｏの探傷検査を行うことができる。或いは、信号処理装置６における信号処理によって被検査物体Ｏの探傷検査を自動的に行うようにしても良い。
【００４３】
（効果）
以上のような超音波検査装置１及び超音波検査方法は、水柱Ｗを形成して超音波探傷を行う噴流式超音波探傷検査において、水を噴射するためのノズル２の先端に水柱Ｗを保護するためのカバー１１を取付けたものである。
【００４４】
このため、超音波検査装置１及び超音波検査方法によれば、送信超音波及び超音波反射波を伝播させるための水柱Ｗに、被検査物体Ｏで跳ね返った水滴が当たることを防止することができる。このため、従来のように水柱Ｗを形成するための水流の流速を上げなくでも、水柱Ｗの乱れを防止することができる。その結果、送信超音波及び超音波反射波の減衰量を低減させ、探傷検査の感度を向上させることができる。探傷検査の感度が向上すれば、被検査物体Ｏの品質も向上させることができる。
【００４５】
また、従来は被検査物体Ｏに当たって飛散した水が水柱Ｗに当たった場合には、超音波探傷検査のデータを取り直すことが必要となる場合があった。これに対して、超音波検査装置１及び超音波検査方法によれば、被検査物体Ｏに当たって飛散した水が水柱Ｗに当たることは無い。このため、超音波探傷検査のフロータイムの削減を図ることができる。
【００４６】
（第２の実施形態）
図３は本発明の第２の実施形態に係る超音波検査装置の構成を示す正面図であり、図４は図３に示すノズルの側面図である。
【００４７】
図３及び図４に示された第２の実施形態における超音波検査装置１Ａでは、カバー１１をパイプ状の構造体で構成した点が第１の実施形態における超音波検査装置１と相違する。第２の実施形態における超音波検査装置１Ａの他の構成及び作用については第１の実施形態における超音波検査装置１と実質的に異ならないため同一の構成又は対応する構成については同符号を付して説明を省略する。
【００４８】
図３及び図４に示すようにカバー１１を柔軟なパイプ状の構造体で構成しても良い。第２の実施形態のようにカバー１１を柔軟なパイプ状の構造体で構成しても第１の実施形態と同様な効果を得ることができる。加えて、第２の実施形態によれば、様々な方向から飛散してくる水滴が水柱Ｗに当たることを防止することができる。
【００４９】
（他の実施形態）
以上、特定の実施形態について記載したが、記載された実施形態は一例に過ぎず、発明の範囲を限定するものではない。ここに記載された新規な方法及び装置は、様々な他の様式で具現化することができる。また、ここに記載された方法及び装置の様式において、発明の要旨から逸脱しない範囲で、種々の省略、置換及び変更を行うことができる。添付された請求の範囲及びその均等物は、発明の範囲及び要旨に包含されているものとして、そのような種々の様式及び変形例を含んでいる。
【符号の説明】
【００５０】
１、１Ａ  超音波検査装置
２  ノズル
３  水供給系
４  超音波探触子
５  移動機構
６  信号処理装置
７  ディスプレイ
８  供給管
９  水槽
１０  ポンプ
１１  カバー
Ｏ  被検査物体
Ｗ  水柱
【図１】
2020034390.tif 000003
【図２】
2020034390.tif 000004
【図３】
2020034390.tif 000005
【図４】
2020034390.tif 000006