(57)【要約】【課題】ノズルホルダをヘッドから簡易に着脱することができるノズルホルダ着脱装置およびヘッドメンテナンス方法を提供する。【解決手段】ノズルホルダ着脱装置５０は、ヘッド８が有する少なくとも１つのノズルホルダ３０に係合するホルダ係合部５１と、ホルダ係合部５１を回転させる回転機構部と、を備えている。そして、ノズルホルダ着脱装置５０は、ホルダ係合部５１とノズルホルダ３０とが係合した状態において、回転機構部がホルダ係合部５１を回転させることにより、ノズルホルダ３０をヘッド８に着脱する。【選択図】図９
2020136548.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドが有する少なくとも１つのノズルホルダに係合するホルダ係合部と、
前記ホルダ係合部を回転させる回転機構部と、を備え、
前記ホルダ係合部と前記ノズルホルダとが係合した状態において、前記回転機構部が前記ホルダ係合部を回転させることにより、前記ノズルホルダを前記ヘッドに着脱する、ノズルホルダ着脱装置。
【請求項２】
操作部をさらに設け、
前記回転機構部は、前記操作部の操作により前記ホルダ係合部を回転させる、請求項１に記載のノズルホルダ着脱装置。
【請求項３】
前記操作部は、少なくとも１つの側面に設けられた押圧部材であり、
前記回転機構部は、前記押圧部材の押圧動作を回転に変換する、請求項１または２に記載のノズルホルダ着脱装置。
【請求項４】
前記ヘッドに対する前記ホルダ係合部の位置合わせをする位置合わせ部を備える、請求項１から３のいずれかに記載のノズルホルダ着脱装置。
【請求項５】
前記ホルダ係合部は、ノズルを有する前記ノズルホルダに係合する、請求項１から４のいずれかに記載のノズルホルダ着脱装置。
【請求項６】
前記回転機構部は、複数の前記ホルダ係合部を一括で回転させる、請求項１から５のいずれかに記載のノズルホルダ着脱装置。
【請求項７】
前記回転機構部は、複数の前記ホルダ係合部のうち選択された前記ホルダ係合部を回転させる選択機構部を有する、請求項１から５のいずれかに記載のノズルホルダ着脱装置。
【請求項８】
前記回転機構部は、複数の前記ホルダ係合部を同じ方向に回転させる、請求項６または７に記載のノズルホルダ着脱装置。
【請求項９】
前記回転機構部は、前記選択機構部によって選択された前記ホルダ係合部を逆方向に回転させる、請求項７に記載のノズルホルダ着脱装置。
【請求項１０】
前記ホルダ係合部は、前記ヘッドが有するシャフト部材に装着されるノズルホルダに係合する、請求項１から９のいずれかに記載のノズルホルダ着脱装置。
【請求項１１】
ヘッドが有する少なくとも１つのノズルホルダにホルダ係合部を係合させるホルダ係合ステップと、
係合した前記ホルダ係合部を回転させる回転ステップと、を含む、ヘッドメンテナンス方法。
【請求項１２】
前記回転ステップの後に、
前記ホルダ係合部を前記ヘッドから遠ざけて前記ノズルホルダを前記ヘッドから取り外すホルダ外しステップと、
前記ホルダ係合部が保持する前記ノズルホルダを前記ヘッドに取り付けるホルダ付けステップと、
前記ノズルホルダを前記ヘッドに取り付けている状態で、前記ホルダ係合部を前記回転ステップとは反対方向に回転させる逆回転ステップと、をさらに含む、請求項１１に記載のヘッドメンテナンス方法。
【請求項１３】
前記ホルダ係合ステップにおいて、前記ヘッドが有する複数の前記ノズルホルダに複数の前記ホルダ係合部をそれぞれ係合させ、
前記回転ステップにおいて、複数の前記ホルダ係合部を一括で回転させ、
前記ホルダ外しステップにおいて、複数の前記ノズルホルダを前記ヘッドから取り外し、
前記ホルダ付けステップにおいて、複数の前記ノズルホルダを前記ヘッドに取り付け、
前記逆回転ステップにおいて、複数の前記ホルダ係合部を一括で反対方向に回転させる、請求項１２に記載のヘッドメンテナンス方法。
【請求項１４】
前記ホルダ係合ステップの前、および、前記ホルダ付けステップの前に、
前記ヘッドに対する前記ホルダ係合部の位置合わせを実施する位置合わせステップを含む、請求項１２または１３に記載のヘッドメンテナンス方法。
【請求項１５】
前記ノズルホルダは、前記ヘッドが有するシャフト部材に装着されており、
前記ホルダ外しステップの後に、
前記ノズルホルダが外された前記シャフト部材を清掃する清掃ステップをさらに含む、請求項１２または１３に記載のヘッドメンテナンス方法。
【請求項１６】
ヘッドに装着される少なくとも１つのノズルホルダをホルダ係合部に保持させるホルダ準備ステップと、
前記ホルダ係合部が保持する前記ノズルホルダを前記ヘッドに取り付けるホルダ付けステップと、
前記ノズルホルダを前記ヘッドに取り付けている状態で、前記ホルダ係合部を逆回転させる逆回転ステップと、を含む、ヘッドメンテナンス方法。
【請求項１７】
前記ホルダ準備ステップにおいて、複数の前記ホルダ係合部に複数の前記ノズルホルダをそれぞれ保持させ、
前記ホルダ付けステップにおいて、複数の前記ノズルホルダを前記ヘッドに取り付け、
前記逆回転ステップにおいて、複数の前記ホルダ係合部を一括で逆回転させる、請求項１６に記載のヘッドメンテナンス方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品実装装置で使用するヘッドのメンテナンスに使用するノズルホルダ着脱装置およびヘッドメンテナンス方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
部品実装装置は、昇降するシャフト部材を有するヘッドをヘッド移動機構により移動させ、シャフト部材にノズルホルダを介して装着されたノズルにフィーダが供給する部品を吸着させて基板に装着する。このような部品実装装置のヘッドは、シャフト部材に付着した粉塵などを除去する清掃などのメンテナンスを定期的に行う必要がある。メンテナンスの際は、シャフト部材からノズルホルダが取り外される（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の部品実装装置は、ヘッド移動機構とヘッドを制御して、ヘッドの下方に設置されたノズルホルダ着脱ブロックに形成されたホルダ挿入孔にシャフト部材に装着されたノズルホルダを挿入し、シャフト部材を回転させてシャフト部材とノズルホルダの結合を解除させた後、シャフト部材を上昇させてノズルホルダを取り外している。その後、シャフト部材などを洗浄するメンテナンスが行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１５３７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１を含む従来技術では、メンテナンスの際に自動的にノズルホルダを着脱することができるものの、部品実装装置またはメンテナンス専用の装置にヘッドを装着した状態でメンテナンス用のプログラムに従ってヘッドを制御しながらメンテナンスを行うため、メンテナンスを行う場所が限定されるという問題点があった。そこで、ヘッドを部品実装装置から外した状態や部品実装装置に電源が供給されていない状態であっても、シャフト部材からノズルホルダを簡易な作業で着脱することができることが望まれている。
【０００６】
そこで本発明は、ノズルホルダをヘッドから簡易に着脱することができるノズルホルダ着脱装置およびヘッドメンテナンス方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のノズルホルダ着脱装置は、ヘッドが有する少なくとも１つのノズルホルダに係合するホルダ係合部と、前記ホルダ係合部を回転させる回転機構部と、を備え、前記ホルダ係合部と前記ノズルホルダとが係合した状態において、前記回転機構部が前記ホルダ係合部を回転させることにより、前記ノズルホルダを前記ヘッドに着脱する。
【０００８】
本発明のヘッドメンテナンス方法は、ヘッドが有する少なくとも１つのノズルホルダにホルダ係合部を係合させるホルダ係合ステップと、係合した前記ホルダ係合部を回転させる回転ステップと、を含む。
【０００９】
本発明の他のヘッドメンテナンス方法は、ヘッドに装着される少なくとも１つのノズルホルダをホルダ係合部に保持させるホルダ準備ステップと、前記ホルダ係合部が保持する前記ノズルホルダを前記ヘッドに取り付けるホルダ付けステップと、前記ノズルホルダを前記ヘッドに取り付けている状態で、前記ホルダ係合部を逆回転させる逆回転ステップと、を含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ノズルホルダをヘッドから簡易に着脱することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施の形態の部品実装装置の平面図
【図２】本発明の一実施の形態の部品実装装置に用いられるヘッドの斜視図
【図３】本発明の一実施の形態の部品実装装置に用いられるヘッドのシャフト部材に装着されたノズルホルダおよびノズルの説明図
【図４】本発明の一実施の形態の部品実装装置に用いられるノズルホルダおよびノズルの構造の説明図
【図５】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態の部品実装装置に用いられるノズルホルダのシャフト部材への着脱動作の説明図
【図６】本発明の一実施の形態のノズルホルダ着脱装置の斜視図
【図７】本発明の一実施の形態のノズルホルダ着脱装置の（ａ）平面一部断面図（ｂ）前面断面図
【図８】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態のノズルホルダ着脱装置の機能説明図
【図９】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態のノズルホルダ着脱装置を使用したノズルホルダの着脱方法の工程説明図
【図１０】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態のノズルホルダ着脱装置を使用したノズルホルダの着脱方法の工程説明図
【図１１】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態のノズルホルダ着脱装置を使用したノズルホルダの着脱方法の工程説明図
【図１２】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態のノズルホルダ着脱装置を使用したノズルホルダの着脱方法の工程説明図
【図１３】本発明の一実施の形態の他のノズルホルダ着脱装置の（ａ）平面一部断面図（ｂ）前面断面図
【図１４】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態の他のノズルホルダ着脱装置の機能説明図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に図面を用いて、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、部品実装装置、ヘッド、ノズルホルダ、ノズルホルダ着脱装置の仕様に応じ、適宜変更が可能である。以下では、全ての図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図１、及び後述する一部では、水平面内で互いに直交する２軸方向として、基板搬送方向のＸ方向（図１における左右方向）、基板搬送方向に直交するＹ方向（図１における上下方向）が示される。図２、及び後述する一部では、水平面と直交する高さ方向としてＺ方向（図２における上下方向）が示される。Ｚ方向は、部品実装装置が水平面上に設置された場合の上下方向である。
【００１３】
まず図１を参照して、部品実装装置１の構成を説明する。図１において、基台１ａの中央には、基板搬送機構２がＸ方向に設置されている。基板搬送機構２は、上流側から搬入された基板３をＸ方向へ搬送し、以下に説明する実装ヘッド（以下、単に「ヘッド」と称する。）による実装作業位置に位置決めして保持する。また、基板搬送機構２は、部品実装作業が完了した基板３を下流側に搬出する。基板搬送機構２の両側方には、それぞれ部品供給部４が設置されている。
【００１４】
両方の部品供給部４には、複数のテープフィーダ５がＸ方向に並列に装着されている。テープフィーダ５は、部品を格納するポケットが形成されたキャリアテープを部品供給部４の外側から基板搬送機構２に向かう方向（テープ送り方向）にピッチ送りすることにより、ヘッドが部品をピックアップする部品取り出し位置に部品を供給する。
【００１５】
図１において、基台１ａの上面におけるＸ方向の両端部には、リニア駆動機構を備えたＹ軸テーブル６が配置されている。Ｙ軸テーブル６には、同様にリニア機構を備えたビーム７がＹ方向に移動自在に結合されている。ビーム７には、ヘッド８がＸ方向に移動自在に装着されている。ヘッド８の下端部には、部品を真空吸着して保持する吸着ノズル（以下、単に「ノズル」と称する。）が装着されている。
【００１６】
Ｙ軸テーブル６およびビーム７は、ヘッド８を水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に移動させるヘッド移動機構を構成する。ヘッド移動機構およびヘッド８は、部品供給部４に装着されているテープフィーダ５の部品取り出し位置から部品をノズルによって真空吸着してピックアップし、基板搬送機構２に保持された基板３の実装位置に移送して実装する部品実装作業の一連のターンを繰り返し実行する。
【００１７】
図１において、ビーム７には、ビーム７の下面側に位置してヘッド８とともに一体的に移動するヘッドカメラ９が装着されている。ヘッド８が移動することにより、ヘッドカメラ９は基板搬送機構２の実装作業位置に位置決めされた基板３の上方に移動して、基板３に設けられた基板マーク（図示省略）を撮像して基板３の位置を認識する。
【００１８】
部品供給部４と基板搬送機構２との間には、部品認識カメラ１０が設置されている。部品認識カメラ１０は、部品供給部４から部品を取り出したヘッド８が部品認識カメラ１０の上方に位置した際に、ノズルに保持された部品を下方から撮像する。ヘッド８による部品の基板３への部品実装作業では、ヘッドカメラ９による基板３の認識結果と部品認識カメラ１０による部品の認識結果とを加味して実装位置の補正が行われる。
【００１９】
次に図２を参照して、ヘッド８の構成を説明する。ヘッド８は複数（ここでは１２個）のノズルユニット１１を並設して備えた多連型ヘッドである。ヘッド８は結合プレート８ａを介してビーム７に着脱自在に装着される。それぞれのノズルユニット１１は、ノズル昇降駆動部１１ａからシャフト部材２０を下方に延出させた構成となっており、シャフト部材２０の下端部に着脱自在に結合されたノズルホルダ３０には、ノズル４０が着脱自在に装着されている。
【００２０】
それぞれのノズル昇降駆動部１１ａは、シャフト部材２０と結合された昇降軸（図示省略）をリニアモータにより昇降させるノズル昇降機構を備えている。ノズル昇降機構を駆動することによりシャフト部材２０は上下方向に駆動され、これによりノズルホルダ３０に装着されたノズル４０は個別に昇降する。
【００２１】
複数列のノズルユニット１１の側方にはθ軸モータ１２が駆動軸を下向きにして配置されている。駆動軸に結合された駆動プーリ１２ａとそれぞれのシャフト部材２０に装着された従動プーリ１２ｂには、ベルト１２ｃが調帯されている。θ軸モータ１２を駆動することにより、シャフト部材２０はノズルホルダ３０に装着されたノズル４０とともにθ回転し、これによりノズル４０に保持された部品のθ方向の位置合わせが行われる。
【００２２】
次に図３、図４、図５を参照して、ノズルホルダ３０およびノズル４０の構造を説明する。図３に示すように、シャフト部材２０には、シャフト部材２０が上下に挿通されてケーシング部材２１が固定されている。ノズルホルダ３０は、ケーシング部材２１を介してシャフト部材２０の下端に結合される。ノズルホルダ３０は、上下に貫通する摺動孔３１ａが設けられた本体部３１の両側面に、２つのクランプ部材３２を引張りバネ部材３３によって押しつけた構成となっている。ノズルホルダ３０の下端には、２つのクランプ部材３２によってノズル４０が着脱自在に保持される。
【００２３】
図４は、上述構成においてノズルホルダ３０からノズル４０を取り外し、さらにノズルホルダ３０をシャフト部材２０から取り外した状態を示している。図５は、図３におけるＡ−Ａ断面を示している。さらに図３におけるケーシング部材２１とノズルホルダ３０の一部（本体部３１の上部３１ｄの一部）の断面は、図５（ａ）におけるＢ−Ｂ断面に対応している。
【００２４】
図３、図４に示すように、ノズル４０は、ノズルホルダ３０によってクランプされて保持されるための被クランプ部４０ａを円板状の鍔部４０ｃの上面側に配置した構成となっている。鍔部４０ｃの下面側には、吸着孔４０ｅを有し下方に延出する吸着軸４０ｄが設けられている。被クランプ部４０ａには、本体部３１の下部の嵌合部３１ｂに水平方向に放射状に突設された１対のピン部材３１ｃが嵌合する嵌合切欠き部４０ｂが設けられている。
【００２５】
ノズル４０をノズルホルダ３０に保持させる際には、図４に示す状態において、嵌合部３１ｂをノズル４０に設けられた嵌入部４０ｆに嵌入させるとともに、嵌合切欠き部４０ｂにピン部材３１ｃを嵌合させる。さらに、クランプ部材３２によって被クランプ部４０ａを両側から挟み込んで、引張りバネ部材３３の弾性力によってクランプする。これにより、図３に示すように、ノズル４０はノズルホルダ３０に装着される。
【００２６】
図４に示すように、ケーシング部材２１の下方から突出したシャフト部材２０は、ノズルホルダ３０の本体部３１の摺動孔３１ａに嵌合して摺動する摺動軸２０ｂを構成する。ケーシング部材２１の下面側には嵌入用開口部２１ａが設けられている。ノズルホルダ３０をケーシング部材２１に装着する際は、本体部３１の上部３１ｄが嵌入用開口部２１ａに嵌入される。本体部３１の上部３１ｄには、本体部３１に下端部が当接するコイル状の圧縮バネ部材３４が装着されている。
【００２７】
シャフト部材２０にノズルホルダ３０を装着する際は、本体部３１の上部３１ｄをケーシング部材２１の嵌入用開口部２１ａに嵌入させるとともに、図４の鎖線矢印ａに示すように、摺動軸２０ｂを摺動孔３１ａに上下方向に摺動自在に嵌合させる。これにより、ノズルホルダ３０はシャフト部材２０に上下方向の変位が許容された状態で装着され、ノズルホルダ３０は上下方向に案内される。また、ケーシング部材２１の下面と上端部が当接した圧縮バネ部材３４は、ノズルホルダ３０の本体部３１に下向きの付勢力を与える。
【００２８】
図３に示すようにノズル４０がノズルホルダ３０に装着され、さらにノズルホルダ３０がシャフト部材２０に装着された状態において、シャフト部材２０の吸引孔２０ａは、摺動孔３１ａ、嵌入部４０ｆ（図４）を介して吸着孔４０ｅと連通する。この状態で真空吸引源２２を駆動して吸引孔２０ａから真空吸引することにより、ノズル４０は吸着軸４０ｄの下端部に部品Ｐを吸着して保持する。
【００２９】
本体部３１の上部３１ｄの上端部近傍には、両側方に突出した１対のピン形状の係止部材３１ｅが設けられている（図５も参照）。ノズルホルダ３０をシャフト部材２０に装着した状態では、ケーシング部材２１に設けられた嵌入用開口部２１ａに本体部３１の上部３１ｄが嵌入する。図５（ａ）に示すように、ケーシング部材２１には嵌入用開口部２１ａと連通して、相対向する１対の水平溝部２１ｂおよび相対向する１対の垂直溝部２１ｃが、それぞれ相直交する位置に設けられている。水平溝部２１ｂおよび垂直溝部２１ｃは、切欠き部２１ｄによって連結されている。切欠き部２１ｄは、ケーシング部材２１の側面部を図５（ａ）にて破線で示す切り欠き範囲だけ所定の高さ寸法で水平方向に切り欠いて形成されている。
【００３０】
図５（ａ）に示すように、水平溝部２１ｂおよび垂直溝部２１ｃは、嵌入用開口部２１ａからケーシング部材２１の外側まで貫通するように形成されている。切欠き部２１ｄの一端部にある垂直溝部２１ｃは、ノズルホルダ３０を下方からシャフト部材２０に装着し、またシャフト部材２０から取り外す際に、係止部材３１ｅが干渉することなく上下に挿通可能な平面形状で形成される。切欠き部２１ｄの他端部にある水平溝部２１ｂは、切欠き部２１ｄの下端部をさらに係止部材３１ｅが嵌合可能な幅寸法で下方に所定の深さ寸法だけ切り込んで形成されている。
【００３１】
図５（ｂ）、図５（ｃ）は、ノズルホルダ３０をシャフト部材２０に装着する際の、本体部３１のケーシング部材２１への嵌合動作を示している。すなわちノズルホルダ３０をシャフト部材２０に装着する際には、まず図５（ｂ）に示すように、本体部３１の摺動孔３１ａ（図４参照）に摺動軸２０ｂを嵌合させる。この時、本体部３１の係止部材３１ｅをケーシング部材２１の垂直溝部２１ｃに合わせた状態で、ノズルホルダ３０をケーシング部材２１の下面側から押し上げて、係止部材３１ｅを切欠き部２１ｄの高さに到達させる。以下、この時のノズルホルダ３０の高さ位置を「上方到達高さ」と称する。
【００３２】
ノズルホルダ３０が上方到達高さに到達したならば、ノズルホルダ３０を略９０度だけシャフト部材２０の廻りに上方から見て反時計回りに回転させる（図５（ｂ）の矢印ｂ）。これにより、係止部材３１ｅは切欠き部２１ｄ内を旋回し、水平溝部２１ｂの位置に到達する。以下、係止部材３１ｅを垂直溝部２１ｃの位置から水平溝部２１ｂの位置に到達させる回転の方向（矢印ｂ）を「係止方向」と称する。
【００３３】
次いでノズルホルダ３０を下げることにより、図５（ｃ）に示すように、係止部材３１ｅは水平溝部２１ｂ内に嵌合する。これにより、ノズルホルダ３０は、ノズル軸廻りの回転位置が規制され、ケーシング部材２１に正しい位置関係で装着される。この時、図３に示すように、圧縮バネ部材３４によって係止部材３１ｅが下方に付勢されて水平溝部２１ｂの底面によって係止されることにより、ノズルホルダ３０の脱落が防止される。係止部材３１ｅは、ノズルホルダ３０がケーシング部材２１に装着された状態で、その先端部がケーシング部材２１の外側まで突き出る長さに設定されている。このように、ノズルホルダ３０は、ヘッド８が有するシャフト部材２０に装着される。
【００３４】
ノズルホルダ３０をシャフト部材２０から取り外す際には、上述と逆順の操作を行って本体部３１の上部３１ｄを嵌入用開口部２１ａから離脱させる。すなわち、ノズルホルダ３０を上方到達高さまで持ち上げて、時計回りに略９０度だけ回転させて係止部材３１ｅを垂直溝部２１ｃに合わせ、この状態でノズルホルダ３０を引き下げることにより、ノズルホルダ３０がシャフト部材２０から取り外される。以下、以下、係止部材３１ｅを水平溝部２１ｂの位置から垂直溝部２１ｃの位置に到達させる回転の方向（矢印ｂとは反対方向）を「解除方向」と称する。
【００３５】
次に図６、図７を参照して、ヘッド８が有するシャフト部材２０にノズルホルダ３０を着脱させる際に使用されるノズルホルダ着脱装置５０の構成について説明する。図７（ｂ）は、図７（ａ）におけるＣ−Ｃ断面を示している。図６において、ノズルホルダ着脱装置５０の上面５０ａには複数の開口５０ｂが形成されており、ノズルホルダ３０を保持する略円筒形の複数のホルダ係合部５１が各開口５０ｂから突出するように配置されている。ホルダ係合部５１の数および配置は、ヘッド８が有するシャフト部材２０の数および配置に対応して設計される。図６、図７に示すノズルホルダ着脱装置５０は、図２に示すヘッド８に対応した１２個のホルダ係合部５１を備えている。
【００３６】
図６において、ホルダ係合部５１には、上部が開口するホルダ保持孔５１ａが形成されている。ホルダ係合部５１の上部には、ホルダ保持孔５１ａからホルダ係合部５１の外側まで貫通し、上部が開口する一対の係止溝５１ｂが形成されている。ホルダ係合部５１にノズルホルダ３０を保持させる際は、ノズルホルダ３０の係止部材３１ｅの方向を係止溝５１ｂに合わせて、ノズルホルダ３０を上方からホルダ保持孔５１ａに挿入させる。ノズルホルダ３０は、係止部材３１ｅが係止溝５１ｂの底面に係止される状態でホルダ係合部５１に保持される。なお、ホルダ保持孔５１ａは、ノズル４０が装着されたノズルホルダ３０、または、ノズル４０が外されたノズルホルダ３０のいずれも保持できるように形成されている。
【００３７】
図６において、ノズルホルダ着脱装置５０の上面５０ａには、ヘッド８の下面の２箇所に突出した位置決め部１３に形成された位置決め孔１３ａ（図９参照）にそれぞれ嵌入される２本の位置合わせピン５２が上方に突出して設けられている。ヘッド８の位置決め孔１３ａに位置合わせピン５２を挿入するようにノズルホルダ着脱装置５０をヘッド８の下方から上方に持ち上げることで、１２本のシャフト部材２０にそれぞれ装着された１２個のノズルホルダ３０を、１２個のホルダ係合部５１のホルダ保持孔５１ａにそれぞれ同時に挿入することができる。このように、ヘッド８の２箇所の位置決め孔１３ａとノズルホルダ着脱装置５０の２本の位置合わせピン５２は、ヘッド８に対するホルダ係合部５１の位置合わせをする位置合わせ部を構成する。
【００３８】
図７（ａ）、図７（ｂ）において、ノズルホルダ着脱装置５０の両側の側面５０ｃには、それぞれ押圧部材５３が配置されている。ノズルホルダ着脱装置５０の内部には、両側の側面５０ｃが対向する方向（以下、「左右方向」と称する。）に水平に延びる２本のラック５４が配置されている。２本のラック５４は、それぞれ連結部５４ｂを介して左右の押圧部材５３に接続されている。ラック５４は、ノズルホルダ着脱装置５０の前面５０ｄの内側および後面５０ｅの内側にそれぞれ配置されたスライダ５５によって上下方向の移動が規制された状態で、左右方向に移動自在に設けられている。押圧部材５３を内部に押し込んだり、外側に突出させると、押圧部材５３の移動に合わせてラック５４は左右方向に移動する（図８（ｂ）、図８（ｃ）参照）。
【００３９】
押圧部材５３の外方向の移動は、押圧部材５３においてノズルホルダ着脱装置５０の内部に位置する袴部５３ａが側面５０ｃの内側に当接する位置で規制される。以下、押圧部材５３の外方向の移動が規制される位置を「待機位置」と称する。押圧部材５３の内方向の移動は、ノズルホルダ着脱装置５０の内部に設けられた規制板５６に袴部５３ａが当接する位置（図８（ｂ）参照）で規制される。以下、押圧部材５３の内方向の移動が規制される位置を「最大押し込み位置」と称する。
【００４０】
連結部５４ｂには、一端が規制板５６に当接し、他端が押圧部材５３の内壁５３ｂに当接するコイル状の圧縮バネ５７が装着されている。すなわち、押圧部材５３は、圧縮バネ５７によって外側に付勢されている。そのため、押圧部材５３を外から最大押し込み位置まで押し込んだ後に押す力を除去すると、押圧部材５３は圧縮バネ５７の付勢力により外側に移動して待機位置に戻る（図８（ｃ）参照）。
【００４１】
図７（ａ）、図７（ｂ）において、ホルダ係合部５１の底部には、上下方向に延伸する回転軸５８が固定されている。回転軸５８の下方側は、ベアリングを内蔵する軸受け５９によってθ回転可能に保持されている。回転軸５８には、ラック５４に形成された歯５４ａに噛み合う歯６０ａが外周に形成された平歯車６０が固定されている。この構成により、平歯車６０がθ回転すると、回転軸５８に固定されたホルダ係合部５１がθ回転する。
【００４２】
次に図８を参照して、ノズルホルダ着脱装置５０の機能について説明する。図８（ａ）〜図８（ｃ）は、図７（ａ）に示すノズルホルダ着脱装置５０の内部を概略的に表しており、スライダ５５などの表示は省略している。図８（ａ）に示す両側の押圧部材５３が待機位置にある状態から、図８（ｂ）に示すように両側の押圧部材５３を内側に最大押し込み位置まで押し込むと（矢印ｃ）、２本のラック５４はそれぞれ内方向に移動する（矢印ｄ）。このラック５４の移動に伴い平歯車６０がそれぞれ時計回りにθ回転し、これに伴ってホルダ係合部５１も時計回りにθ回転する（矢印ｅ）。
【００４３】
図８に示すノズルホルダ着脱装置５０は、押圧部材５３を待機位置から最大押し込み位置まで押し込むと、ホルダ係合部５１が時計回りに略９０度回転するように規制板５６の位置、ラック５４の歯５４ａと平歯車６０の歯６０ａの間隔などが設計されている。このように、ノズルホルダ着脱装置５０は、左右の押圧部材５３を待機位置から最大押し込み位置まで押し込むことで、複数（１２個）のホルダ係合部５１を一括して時計回りに略９０度回転させることができる。なお、押圧部材５３を待機位置から最大押し込み位置まで押し込むことで回転するホルダ係合部５１の回転角度は、ノズルホルダ３０、ケーシング部材２１の構成などに応じて自在に変更される。
【００４４】
両側の押圧部材５３を最大押し込み位置まで押し込んだ状態（図８（ｂ））から押圧部材５３を押し込む力を緩めると、図８（ｃ）に示すように押圧部材５３は圧縮バネ５７の反発力によって待機位置まで移動する（矢印ｆ）。押圧部材５３の待機位置への移動に伴って、２本のラック５４はそれぞれ外方向に移動する（矢印ｇ）。このラック５４の移動に伴い平歯車６０がそれぞれ反時計回りにθ回転し、これに伴ってホルダ係合部５１も反時計回りにθ回転する（矢印ｈ）。このように、ノズルホルダ着脱装置５０は、左右の押圧部材５３を最大押し込み位置から待機位置に戻すことで、複数（１２個）のホルダ係合部５１を一括して反時計回りに略９０度回転させることができる。
【００４５】
このように、ラック５４、回転軸５８、軸受け５９、平歯車６０は、ホルダ係合部５１を一括で回転させる回転機構部を構成する。また、回転機構部は、ラック５４に接続された押圧部材５３の押圧動作（図８（ｂ）の矢印ｃ、図８（ｃ）の矢印ｆ）を回転に変換する。すなわち、押圧部材５３は、押圧部材５３の操作（押圧動作）によってホルダ係合部５１を回転させる操作部である。
【００４６】
なお、上記は押圧部材５３がノズルホルダ着脱装置５０の左右の側面５０ｃに合わせて２つ設けられた構成であったが、押圧部材５３はいずれかの側面５０ｃに１つ設けられた構成であってもよい。その場合、１つの押圧部材５３に前列のホルダ係合部５１を回転させるラック５４と後列のホルダ係合部５１を回転させるラック５４を接続させる。すなわち、押圧部材５３（操作部）は、少なくともノズルホルダ着脱装置５０の１つの側面５０ｃに設けられる。なお、操作部は押圧部材５３に限定されることはない。例えば、操作部は、レバーの操作でラック５４を水平方向に往復移動させるものであってもよい。
【００４７】
次に図９〜図１２を参照して、ノズルホルダ着脱装置５０を使用したヘッド８のシャフト部材２０に装着されるノズルホルダ３０の着脱方法について説明する。本実施の形態のノズルホルダ３０の着脱は、部品実装装置１においてヘッド８を作業者が作業し易い位置まで移動させた後、ヘッド８が動作しない状態にしてから実行される。または、部品実装装置１からヘッド８を取り出して、ヘッド保持具（図示省略）に保持させた状態で実行される。すなわち、電源を切断するなどヘッド８が動作しない状態でノズルホルダ３０の着脱が実行される。
【００４８】
まず、図９（ａ）に示すヘッド８が有する複数のシャフト部材２０にそれぞれ装着されたノズルホルダ３０を取り外す工程について説明する。図９（ａ）において、作業者はノズルホルダ着脱装置５０を片手（図示省略）で保持して、ヘッド８の下方からノズルホルダ着脱装置５０を接近させる。その際、ノズルホルダ着脱装置５０の位置合わせピン５２がヘッド８の位置決め孔１３ａに挿入できる位置に位置を合わせる。これにより、ヘッド８の複数のシャフト部材２０のそれぞれに複数のホルダ係合部５１の位置が合わせられる。このように、ヘッド８に対するホルダ係合部５１の位置合わせを実施する（ＳＴ１：位置合わせステップ）。
【００４９】
図９（ａ）において、シャフト部材２０に装着された複数のノズルホルダ３０の係止部材３１ｅは、それぞれ横方向を向いている。ノズルホルダ着脱装置５０の複数のホルダ係合部５１の一対の係止溝５１ｂも、それぞれ横方向を向いている。図９（ｂ）において、作業者はノズルホルダ着脱装置５０を持ち上げて（矢印ｊ１）、ノズルホルダ着脱装置５０の位置合わせピン５２をヘッド８の位置決め孔１３ａに挿入させる。これにより、ノズルホルダ３０がホルダ係合部５１のホルダ保持孔５１ａに挿入される。
【００５０】
作業者は、係止部材３１ｅが係止溝５１ｂに進入して係止溝５１ｂの底面に当接し、さらに係止溝５１ｂの底面が係止部材３１ｅを押し上げてノズルホルダ３０が上方到達高さになるまでノズルホルダ着脱装置５０を持ち上げる。位置合わせピン５２の上部と位置決め孔１３ａの上部は、ノズルホルダ３０が上方到達高さとなる状態で当接するように設定されている。これにより、ノズルホルダ着脱装置５０を容易に上方到達高さで停止させることができる。
【００５１】
なお、位置決め部１３の下面とノズルホルダ着脱装置５０の上面５０ａを、ノズルホルダ３０が上方到達高さとなる状態で当接するように設定してもよい。このように、ヘッド８が有する複数のシャフト部材２０にそれぞれ装着された複数のノズルホルダ３０に複数のホルダ係合部５１を一括で係合させる（ＳＴ２：ホルダ係合ステップ）。
【００５２】
図１０（ａ）において、次いで作業者は、手に持ったノズルホルダ着脱装置５０の左右の押圧部材５３を、親指と小指などを使って最大押し込み位置まで押し込む（矢印ｊ２）。これにより、ノズルホルダ着脱装置５０の複数のホルダ係合部５１は時計回りに略９０度同時に回転し、係止部材３１ｅがホルダ係合部５１の係止溝５１ｂに係合したノズルホルダ３０は解除方向に略９０度回転する。すなわち、ノズルホルダ３０が係合した複数のホルダ係合部５１を一括で解除方向に回転させる（ＳＴ３：回転ステップ）。
【００５３】
図１０（ｂ）において、次いで作業者は、左右の押圧部材５３を最大押し込み位置まで押し込んだ状態で（矢印ｊ２）、ノズルホルダ着脱装置５０を下方に引き下げる（矢印ｊ３）。これによって、ノズルホルダ３０はホルダ係合部５１に保持された状態でシャフト部材２０から離脱する。すなわち、回転ステップ（ＳＴ３）の後に、複数のホルダ係合部５１をヘッド８から遠ざけて複数のノズルホルダ３０を複数のシャフト部材２０から一括で取り外す（ＳＴ４：ホルダ外しステップ）。
【００５４】
このように、ホルダ係合部５１とノズルホルダ３０とが係合した状態において（ＳＴ２）、回転機構部（ラック５４、回転軸５８、軸受け５９、平歯車６０）がホルダ係合部５１を回転させてることにより（ＳＴ３）、ノズルホルダ３０がシャフト部材２０から取り外される。これにより、シャフト部材２０の摺動軸２０ｂが露出される。また、ノズルホルダ３０をホルダ係合部５１の中に収納した状態で取り外すため、ノズルホルダ３０の圧縮バネ部材３４が脱落することが防止できる。本実施の形態のヘッドメンテナンス方法では、このようにしてノズルホルダ３０が外されたシャフト部材２０を作業者が清掃する（ＳＴ５：清掃ステップ）。なお、専用の洗浄装置を使用してシャフト部材２０を清掃してもよい。
【００５５】
次に、ヘッド８が有する複数のシャフト部材２０にそれぞれノズルホルダ３０を取り付ける工程について説明する。ノズルホルダ３０を取り付ける工程は、上述したシャフト部材２０の清掃のために取り外したノズルホルダ３０をそのまま取り付ける際や、ノズルホルダ３０を交換する際に実行される。
【００５６】
ノズルホルダ３０を交換する際など、ノズルホルダ着脱装置５０のホルダ係合部５１にノズルホルダ３０がない場合では、まず作業者は、ヘッド８が有する複数のシャフト部材２０にそれぞれ装着される複数のノズルホルダ３０を複数のホルダ係合部５１に保持させる（ＳＴ６：ホルダ準備ステップ）。この時、ノズルホルダ３０の係止部材３１ｅがホルダ係合部５１の係止溝５１ｂに挿入されるように回転方向を合わせてノズルホルダ３０をホルダ係合部５１に保持させる（図１１（ａ）参照）。
【００５７】
図１１（ａ）において、次いで作業者は、位置合わせステップ（ＳＴ１）と同様に、ノズルホルダ着脱装置５０の位置合わせピン５２がヘッド８の位置決め孔１３ａに挿入できるように位置を合わせて、ノズルホルダ着脱装置５０をヘッド８の下方から接近させる。すなわち、ヘッドメンテナンスでは、ホルダ係合ステップ（ＳＴ２）の前、および、後述するホルダ付けステップ（ＳＴ７）の前に位置合わせステップ（ＳＴ１）が実行される。
【００５８】
この時、作業者は、ノズルホルダ着脱装置５０の左右の押圧部材５３を、最大押し込み位置まで押し込む（矢印ｊ４）。これにより、ノズルホルダ着脱装置５０の複数のホルダ係合部５１は時計回りに略９０度同時に回転し、ノズルホルダ３０の係止部材３１ｅの方向がケーシング部材２１の垂直溝部２１ｃの方向と一致する。
【００５９】
図１１（ｂ）において、次いで作業者は、押圧部材５３を最大押し込み位置まで押し込んだ状態（矢印ｊ４）でノズルホルダ着脱装置５０を持ち上げて（矢印ｊ５）、ノズルホルダ着脱装置５０の位置合わせピン５２をヘッド８の位置決め孔１３ａに挿入させる。これにより、ノズルホルダ３０の係止部材３１ｅがケーシング部材２１の垂直溝部２１ｃに進入する状態でノズルホルダ３０がシャフト部材２０に挿入される（図５（ｂ）参照）。作業者は、ノズルホルダ３０が上方到達高さになるまでノズルホルダ着脱装置５０を持ち上げる。このように、複数のホルダ係合部５１が保持する複数のノズルホルダ３０が複数のシャフト部材２０にそれぞれ一括で取り付けられる（ＳＴ７：ホルダ付けステップ）。
【００６０】
図１２（ａ）において、次いで作業者は、ノズルホルダ３０が上方到達高さにある状態でノズルホルダ着脱装置５０の左右の押圧部材５３を待機位置まで戻す（矢印ｊ６）。これにより、ノズルホルダ着脱装置５０の複数のホルダ係合部５１は反時計回りに略９０度同時に回転し、各ホルダ係合部５１に保持されたノズルホルダ３０は係止方向に略９０度回転する。すなわち、複数のノズルホルダ３０を複数のシャフト部材２０に取り付けている状態で、複数のホルダ係合部５１を回転ステップ（ＳＴ３）とは反対方向（係止方向）に一括で回転（逆回転）させる（ＳＴ８：逆回転ステップ）。
【００６１】
図１２（ｂ）において、次いで作業者は、ノズルホルダ着脱装置５０を下方に引き下げる（矢印ｊ７）。これにより、ノズルホルダ３０の係止部材３１ｅがケーシング部材２１の水平溝部２１ｂ内に嵌合される（図５（ｃ）も参照）。このように、複数のノズルホルダ３０が複数のシャフト部材２０に一括で装着される。
【００６２】
上記説明したように、本実施の形態のノズルホルダ着脱装置５０は、ヘッド８が有する少なくとも１つのノズルホルダ３０に係合するホルダ係合部５１と、ホルダ係合部５１を回転させる回転機構部（ラック５４、回転軸５８、軸受け５９、平歯車６０）と、を備えている。そして、ノズルホルダ着脱装置５０は、ホルダ係合部５１とノズルホルダ３０とが係合した状態において、回転機構部がホルダ係合部５１を回転させることにより、ノズルホルダ３０をヘッド８に着脱する。これによって、ノズルホルダ３０をヘッド８から簡易に着脱することができる。
【００６３】
次に図１３、図１４を参照して、ノズルホルダ着脱装置の他の実施例（以下、「他のノズルホルダ着脱装置７０」と称する。）について説明する。他のノズルホルダ着脱装置７０は、複数のホルダ係合部５１の回転方向、回転の有無を個別に選択できるところが上記のノズルホルダ着脱装置５０と異なる。以下。ノズルホルダ着脱装置５０と同じ部分には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。図１３（ｂ）は、図１３（ａ）におけるＤ−Ｄ断面を示している。他のノズルホルダ着脱装置７０は、ノズルホルダ着脱装置５０と同様に、上部に１２個のホルダ係合部５１と２位置合わせピン５２を備えている。
【００６４】
図１３（ａ）、図１３（ｂ）において、他のノズルホルダ着脱装置７０の両側面に配置された押圧部材５３には、ノズルホルダ着脱装置５０のラック５４と同様の第１ラック７１の他、第２ラック７２がそれぞれ接続されている。第１ラック７１と第２ラック７２には、ホルダ係合部５１に連結される平歯車７３の歯７３ａに噛み合う歯７１ａと歯７２ａが互いに対向する辺に形成されている。第２ラック７２は、平歯車７３を挟んで第１ラック７１に対向し、第１ラック７１より低い高さ位置に、第１ラック７１と平行に配置されている。押圧部材５３を内部に押し込んだり、外側に突出させると、押圧部材５３の移動に合わせて第１ラック７１と第２ラック７２は一緒に左右方向に移動する（図１４（ｂ）、図１４（ｃ）参照）。
【００６５】
図１３（ｂ）において、ホルダ係合部５１の底部には、上下方向に延伸する回転軸７４の上部に形成されたスプライン溝（図示省略）に係合して回転軸７４をθ回転可能に保持するスプライン軸受け７５が固定されている。回転軸７４の下方側は、ベアリングを内蔵して回転軸７４を回転可能に保持する軸受け７６に挿通されて、他のノズルホルダ着脱装置７０の下面７０ａの外側に突き出ている。他のノズルホルダ着脱装置７０の下面７０ａより突き出た回転軸７４の下端にはつまみ部材７７が装着されている。回転軸７４には、平歯車７３が固定されている。
【００６６】
作業者がつまみ部材７７をつまんで上下方向に移動させると、回転軸７４が上下方向に移動する。これにより、回転軸７４に固定された平歯車７３が第１ラック７１に噛み合う高さ位置（以下、「第１回転位置」と称する。）と、第２ラック７２に噛み合う高さ位置（以下、「第２回転位置」と称する。）との間を上下に移動する。第１ラック７１と第２ラック７２との間には、平歯車７３が干渉することなく位置することができるだけの高低差が設けられている。以下、平歯車７３が第１ラック７１と第２ラック７２に干渉しない高さ位置を「無回転位置」と称する。
【００６７】
平歯車７３が第１回転位置にある場合、平歯車７３は第１ラック７１と噛み合う。この状態で第１ラック７１が左右方向に移動すると平歯車７３がθ回転し、回転軸７４、スプライン軸受け７５を介してホルダ係合部５１がθ回転する。平歯車７３が第２回転位置にある場合、平歯車７３は第２ラック７２と噛み合う。この状態で第２ラック７２が左右方向に移動すると平歯車７３がθ回転し、回転軸７４、スプライン軸受け７５を介してホルダ係合部５１が第１回転位置とは逆方向にθ回転する。平歯車７３が無回転位置にある場合、平歯車７３は第１ラック７１、第２ラック７２の移動には追従しない。すなわち、平歯車７３が無回転位置にある場合、ホルダ係合部５１は回転しない。
【００６８】
このように、第１ラック７１、第２ラック７２、平歯車７３、回転軸７４、スプライン軸受け７５、軸受け７６は、ホルダ係合部５１を回転させる回転機構部を構成する。そして、平歯車７３、回転軸７４、つまみ部材７７は、ホルダ係合部５１を回転させる（第１回転位置）、回転させない（無回転位置）、逆方向に回転させる（第２回転位置）ことを選択する選択機構部を構成する。すなわち、回転機構部は、複数のホルダ係合部５１のうち選択したホルダ係合部５１を回転させる、回転させない、または逆方向に回転させるように機能させる選択機構部を有する。
【００６９】
図１３（ｂ）において、複数のホルダ係合部５１の平歯車７３は、左から第１回転位置、無回転位置、第２回転位置、第１回転位置、無回転位置、第２回転位置になるように選択されている。
【００７０】
次に図１４を参照して、他のノズルホルダ着脱装置７０の機能について説明する。図１４（ａ）〜図１４（ｃ）は、図１３（ａ）に示す他のノズルホルダ着脱装置７０の内部を概略的に表している。他のノズルホルダ着脱装置７０の複数のホルダ係合部５１の平歯車７３は、前列（６個）も後列（６個）も、それぞれ図１３（ｂ）に示す位置に選択されているとする。図１４（ａ）に示す両側の押圧部材５３が待機位置にある状態から、図１４（ｂ）に示すように両側の押圧部材５３を内側に最大押し込み位置まで押し込むと（矢印ｋ）、左右の第１ラック７１と第２ラック７２はそれぞれ内方向に移動する（矢印ｍ）。
【００７１】
図１４（ｂ）において、第１ラック７１の移動に伴い、第１回転位置にある平歯車７３がそれぞれ時計回りにθ回転し、これに伴ってホルダ係合部５１も時計回りにθ回転する（矢印ｎ）。また、無回転位置にある平歯車７３は回転せず、ホルダ係合部５１も回転しない。また、第２ラック７２の移動に伴い、第２回転位置にある平歯車７３がそれぞれ反時計回りにθ回転し、これに伴ってホルダ係合部５１も反時計回り（逆方向）にθ回転する（矢印ｐ）。
【００７２】
両側の押圧部材５３を最大押し込み位置まで押し込んだ状態（図１４（ｂ））から押圧部材５３を押し込む力を緩めると、図１４（ｃ）に示すように押圧部材５３は圧縮バネ５７の反発力によって待機位置まで移動する（矢印ｑ）。押圧部材５３の待機位置への移動に伴って、左右の第１ラック７１と第２ラック７２はそれぞれ外方向に移動する（矢印ｒ）。
【００７３】
図１４（ｃ）において、第１ラック７１の移動に伴い、第１回転位置にある平歯車７３がそれぞれ反時計回りにθ回転し、これに伴ってホルダ係合部５１も反時計回り（逆方向）にθ回転（逆回転）する（矢印ｓ）。また、無回転位置にある平歯車７３は回転せず、ホルダ係合部５１も回転しない。また、第２ラック７２の移動に伴い、第２回転位置にある平歯車７３がそれぞれ時計回りにθ回転し、これに伴ってホルダ係合部５１も時計回りにθ回転（逆回転）する（矢印ｔ）。
【００７４】
他のノズルホルダ着脱装置７０は、例えば、図２に示すシャフト部材２０を１２本有するヘッド８に装着されたノズルホルダ３０のうち、一部のノズルホルダ３０だけ着脱する際に使用される。その場合、他のノズルホルダ着脱装置７０は、着脱させるノズルホルダ３０に対応するホルダ係合部５１の平歯車７３を第１回転位置または第２回転位置に合わせ、その他の平歯車７３は無回転位置に合わせて使用される。
【００７５】
また、ノズルホルダ３０を取り外す時は全ての平歯車７３を第１回転位置に合わせて使用し、ノズルホルダ３０を装着する時は全ての平歯車７３を第２回転位置に合わせて使用してもよい。その場合、ノズルホルダ３０の取り外しでは、図９〜図１０に示す位置合わせステップ（ＳＴ１）、ホルダ係合ステップ（ＳＴ２）、回転ステップ（ＳＴ３）、ホルダ外しステップ（ＳＴ４）が実行される。そして、ノズルホルダ３０の装着時では、ホルダ付けステップ（ＳＴ７）では押圧部材５３は待機位置にある状態で行い、逆回転ステップ（ＳＴ８）で押圧部材５３を最大押し込み位置まで押し込んで複数のホルダ係合部５１を一括で逆回転させる。すなわち、回転ステップ（ＳＴ３）と逆回転ステップ（ＳＴ８）での押圧部材５３の操作を同じにできる。
【００７６】
また、ヘッド８が有する複数のシャフト部材２０にノズルホルダ３０を着脱する際にノズルホルダ３０を回転する方向が混在している場合は、他のノズルホルダ着脱装置７０のホルダ係合部５１の平歯車７３を、ヘッド８に合わせて第１回転位置または第２回転位置にすることで、ノズルホルダ３０を一括で着脱することができる。
【００７７】
なお、上記の他のノズルホルダ着脱装置７０は、回転、無回転、逆回転の３態様を選択する構成であったが、回転、無回転の２態様を選択する構成であってもよい。その場合、第２ラック７２は削除できる。また、上記のノズルホルダ着脱装置５０、他のノズルホルダ着脱装置７０は、ホルダ係合部５１を１２個有する構成であったが、ホルダ係合部５１の個数はヘッド８の構成に応じて自由に変更される。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本発明のノズルホルダ着脱装置およびヘッドメンテナンス方法は、ノズルホルダをヘッドから簡易に着脱することができるという効果を有し、部品を基板に実装する分野において有用である。
【符号の説明】
【００７９】
８  ヘッド
１３ａ  位置決め孔（位置合わせ部）
２０  シャフト部材
３０  ノズルホルダ
４０  ノズル
５０  ノズルホルダ着脱装置
５１  ホルダ係合部
５２  位置合わせピン（位置合わせ部）
５３  押圧部材（操作部）
５４  ラック（回転機構部）
５８  回転軸（回転機構部）
５９、７６  軸受け（回転機構部）
６０  平歯車（回転機構部）
７０  他のノズルホルダ着脱装置（ノズルホルダ着脱装置）
７１  第１ラック（回転機構部）
７２  第２ラック（回転機構部）
７３  平歯車（回転機構部、選択機構部）
７４  回転軸（回転機構部、選択機構部）
７５  スプライン軸受け（回転機構部）
７７  つまみ部材（選択機構部）
【図１】
2020136548.tif 000003
【図２】
2020136548.tif 000004
【図３】
2020136548.tif 000005
【図４】
2020136548.tif 000006
【図５】
2020136548.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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