(57)【要約】【課題】ＡＤ変換回路等の分解能に依らず、内挿処理の分解能を向上させることが可能なエンコーダ等を提供する。【解決手段】本発明の一実施形態に係るエンコーダ１００は、測定対象の回転に応じて、所定の位相差を有する第１の周期信号及び第２の周期信号を出力する信号処理回路１７０と、第１の周期信号を第１のデータ長を有するデジタル信号に変換するＡＤ変換回路１７４と、第２の周期信号を第２のデータ長を有するデジタル信号に変換するＡＤ変換回路１７６と、ＡＤ変換回路１７４，１７６によりデジタル信号に変換された第１の周期信号及び前記第２の周期信号の値の間の除算値に基づき、第１の周期信号及び第２の周期信号の周期を内挿した内挿値を演算する下位処理回路１７８と、備え、下位処理回路１７８は、第１のデータ長及び第２のデータ長よりも長い第３のデータ長を有する上述の除算値に基づき、内挿値を演算する。【選択図】図２
2020034392.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象の回転に応じて、所定の位相差を有する第１の周期信号及び第２の周期信号を出力する信号出力部と、
前記第１の周期信号を第１のデータ長を有するデジタル信号に変換する第１の変換部と、
前記第２の周期信号を第２のデータ長を有するデジタル信号に変換する第２の変換部と、
前記第１の変換部及び前記第２の変換部によりデジタル信号に変換された前記第１の周期信号及び前記第２の周期信号の値の間の除算値に基づき、前記第１の周期信号及び前記第２の周期信号の周期を内挿した内挿値を演算する内挿部と、備え、
前記内挿部は、前記第１のデータ長及び前記第２のデータ長よりも長い第３のデータ長を有する前記除算値に基づき、前記内挿値を演算する、
エンコーダ。
【請求項２】
前記内挿部は、前記第１の周期信号及び前記第２の周期信号の周期を前記第３のデータ長に対応する所定数に分割し、設定された内挿候補値の中から、前記除算値に対応する前記内挿値を選択する、
請求項１に記載のエンコーダ。
【請求項３】
測定対象の回転に応じて、所定の位相差を有する第１の周期信号及び第２の周期信号を出力する信号出力部と、前記第１の周期信号を第１のデータ長を有するデジタル信号に変換する第１の変換部と、前記第２の周期信号を第２のデータ長を有するデジタル信号に変換する第２の変換部と、を備えるエンコーダに関する処理装置であって、
前記第１の変換部及び前記第２の変換部によりデジタル信号に変換された前記第１の周期信号及び前記第２の周期信号の値の間の除算値に基づき、前記第１の周期信号及び前記第２の周期信号の周期を内挿した内挿値を演算する内挿部を有し、
前記内挿部は、前記第１のデータ長及び前記第２のデータ長よりも長い第３のデータ長を有する前記除算値に基づき、前記内挿値を演算する、
処理装置。
【請求項４】
測定対象の回転に応じて、所定の位相差を有する第１の周期信号及び第２の周期信号を出力する信号出力部と、前記第１の周期信号を第１のデータ長を有するデジタル信号に変換する第１の変換部と、前記第２の周期信号を第２のデータ長を有するデジタル信号に変換する第２の変換部と、を備えるエンコーダに関する処理装置が実行する処理方法であって、
前記第１の変換部及び前記第２の変換部によりデジタル信号に変換された前記第１の周期信号及び前記第２の周期信号の値の間の除算値に基づき、前記第１の周期信号及び前記第２の周期信号の周期を内挿した内挿値を演算する内挿ステップを含み、
前記内挿ステップでは、前記第１のデータ長及び前記第２のデータ長よりも長い第３のデータ長を有する前記除算値に基づき、前記内挿値を演算する、
処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はエンコーダ等に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、測定対象の回転に伴い出力される、９０度の位相差を有する二つの周期信号（疑似正弦波）を用いて、二つの周期信号の周期を内挿した内挿値を演算し、電気的により細分化された回転位置を測定可能なエンコーダが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２４２８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、二つの周期信号がＡＤ（Analog-to-Digital）変換回路等によりデジタル信号に変換された上で、内挿処理が実行される。よって、二つの周期信号の周期の細分化のレベル、つまり、内挿処理の分解能がＡＤ変換回路等の分解能により制限されてしまう可能性がある。
【０００５】
そこで、上記課題に鑑み、ＡＤ変換回路等の分解能に依らず、内挿処理の分解能を向上させることが可能なエンコーダ等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の一実施形態では、
測定対象の回転に応じて、所定の位相差を有する第１の周期信号及び第２の周期信号を出力する信号出力部と、
前記第１の周期信号を第１のデータ長を有するデジタル信号に変換する第１の変換部と、
前記第２の周期信号を第２のデータ長を有するデジタル信号に変換する第２の変換部と、
前記第１の変換部及び前記第２の変換部によりデジタル信号に変換された前記第１の周期信号及び前記第２の周期信号の値の間の除算値に基づき、前記第１の周期信号及び前記第２の周期信号の周期を内挿した内挿値を演算する内挿部と、備え、
前記内挿部は、前記第１のデータ長及び前記第２のデータ長よりも長い第３のデータ長を有する前記除算値に基づき、前記内挿値を演算する、
エンコーダが提供される。
【０００７】
また、本発明の他の実施形態では、
測定対象の回転に応じて、所定の位相差を有する第１の周期信号及び第２の周期信号を出力する信号出力部と、前記第１の周期信号を第１のデータ長を有するデジタル信号に変換する第１の変換部と、前記第２の周期信号を第２のデータ長を有するデジタル信号に変換する第２の変換部と、を備えるエンコーダに関する処理装置であって、
前記第１の変換部及び前記第２の変換部によりデジタル信号に変換された前記第１の周期信号及び前記第２の周期信号の値の間の除算値に基づき、前記第１の周期信号及び前記第２の周期信号の周期を内挿した内挿値を演算する内挿部を有し、
前記内挿部は、前記第１のデータ長及び前記第２のデータ長よりも長い第３のデータ長を有する前記除算値に基づき、前記内挿値を演算する、
処理装置が提供される。
【０００８】
また、本発明の更に他の実施形態では、
測定対象の回転に応じて、所定の位相差を有する第１の周期信号及び第２の周期信号を出力する信号出力部と、前記第１の周期信号を第１のデータ長を有するデジタル信号に変換する第１の変換部と、前記第２の周期信号を第２のデータ長を有するデジタル信号に変換する第２の変換部と、を備えるエンコーダに関する処理装置が実行する処理方法であって、
前記第１の変換部及び前記第２の変換部によりデジタル信号に変換された前記第１の周期信号及び前記第２の周期信号の値の間の除算値に基づき、前記第１の周期信号及び前記第２の周期信号の周期を内挿した内挿値を演算する内挿ステップを含み、
前記内挿ステップでは、前記第１のデータ長及び前記第２のデータ長よりも長い第３のデータ長を有する前記除算値に基づき、前記内挿値を演算する、
処理方法が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
上述の実施形態によれば、ＡＤ変換回路等の分解能に依らず、内挿処理の分解能を向上させることが可能なエンコーダ等を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】一実施形態に係るエンコーダの一例を示す図である。
【図２】一実施形態に係るエンコーダの測定処理に関する構成の一例を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。
【００１２】
［エンコーダの構成及び構造］
まず、図１、図２を参照して、本実施形態に係るエンコーダ１００の構成及び構造等について説明する。
【００１３】
図１は、本実施形態に係るエンコーダ１００の一例を示す図である。具体的には、図１（Ａ）は、本実施形態に係るエンコーダ１００の一例を示す平面図であり、図１（Ｂ）は、本実施形態に係るエンコーダ１００の一例を示す側面断面図（図１（Ａ）のＡ−Ａ断面図）である。図２は、本実施形態に係るエンコーダ１００の測定処理に関する構成の一例を示すブロック図である。以下、エンコーダ１００の構造について、図中の三次元直交座標系（ＸＹＺ座標系）を適宜用いて説明を行い、便宜的に、Ｚ軸の正方向（以下、「Ｚ軸正方向」）を"上"、Ｚ軸の負方向（以下、「Ｚ軸負方向」）を"下"と称する場合がある。また、Ｘ軸の正方向及び負方向、Ｙ軸の正方向及び負方向、並びに、Ｚ軸の正方向及び負方向のそれぞれを、総括的に、"Ｘ軸方向"、"Ｙ軸方向"、及び、"Ｚ軸方向"と称する場合がある。
【００１４】
尚、図１（Ａ）において、基板１４０、及び、基板１４０に搭載される光学モジュール１５０等は、ハブ１１０及びスケール板１２０等がＺ軸正方向、つまり、上から露出して見えるように一点鎖線で表されている。また、図１において、エンコーダ１００の構成要素を収容する筐体（ケース）は、省略されている。
【００１５】
本実施形態に係るエンコーダ１００は、ハブ１１０と、スケール板１２０と、基板１４０を含む。また、エンコーダ１００は、測定処理に関する構成として、光学モジュール１５０と、信号処理回路１７０と、上位処理回路１７２と、ＡＤ変換回路（Analog-to-Digital Converter：ＡＤＣ）１７４，１７６と、下位処理回路１７８と、信号処理回路１８０と、インターフェース１９０を含み、これらは、基板１４０に実装されている。
【００１６】
ハブ１１０は、エンコーダ１００による一回転中の回転位置（回転角度）等の測定対象（例えば、回転式のサーボモータ等）の回転軸２００の一端に取り付けられる。
【００１７】
例えば、ハブ１１０は、回転軸２００に沿う方向（Ｚ軸方向）から見て、つまり、平面視で、回転軸２００の外径よりも大きな外径を有する略円柱形状を有する。ハブ１１０のＺ軸負方向側の端面（つまり、下側の端面）の軸心位置付近の領域には、ハブ１１０と同軸で、且つ、回転軸２００の外径と略同じ（実際上は、回転軸２００の外径よりも若干大きい）内径を有する窪み部が設けられる。当該窪み部には、ハブ１１０の軸心と回転軸２００の軸心２００ＡＸとが一致する態様で、回転軸２００が嵌挿される。また、ハブ１１０の軸心位置には、両端面の間を貫通するねじ孔が設けられ、ハブ１１０のＺ軸正方向側の端面（つまり、上側の端面）から下側の端面の窪み部に嵌挿された回転軸２００に対して、雄ねじ１１５が螺合されることで、ハブ１１０は、回転軸２００に取り付けられる。これにより、ハブ１１０は、測定対象の回転軸２００の回転に伴い、一体として回転する。
【００１８】
雄ねじ１１５は、平面状の頭頂部を有する。雄ねじ１１５は、例えば、平ねじであってよい。これにより、雄ねじ１１５の頭頂部と、ハブ１１０の上側の端面（平面）とを同一平面に揃える、つまり、面一の状態にすることができる。
【００１９】
スケール板１２０は、例えば、嫌気性の接着材等を用いて、ハブ１１０の回転軸２００が取り付けられる側の端面とは反対側の端面、つまり、上側の端面に取り付けられる。スケール板１２０は、例えば、ガラス製である。また、スケール板１２０は、金属製、ポリカーボネート製、ＰＥＴ（Polyethylene Terephthalate：ポリエチレンテレフタレート）フィルム製等であってもよい。具体的には、スケール板１２０は、円板形状を有し、平面視で、その中心が回転軸２００の軸心２００ＡＸに一致するように配置される。また、スケール板１２０のＺ軸正方向側の面（つまり、上面）には、その外周（外縁）付近における異なる半径位置の全周に亘って、インクリメンタルパターン１２２及びアブソリュートパターン１２３が設けられる。
【００２０】
インクリメンタルパターン１２２は、スケール板１２０の回転位置に応じて、光学モジュール１５０からの照射光を、任意の角度位置からの回転角度（つまり、相対角度）を表す所定のパターンで反射する。インクリメンタルパターン１２２は、例えば、全周に亘って、周方向に等間隔で２Ｎ個（Ｎは、２以上の整数。例えば、Ｎ＝９）配置される照射光を反射する反射部と、それぞれの反射部の間に配置される非反射部（或いは、反射部よりも反射率が低い低反射率部）によって構成される。これにより、インクリメンタルパターン１２２は、回転軸２００の１回転（３６０度）を２Ｎ個（Ｎ＝９の場合、５１２個）に等分割した角度間隔刻みの相対角度を表現できる。また、受光素子１５４は、インクリメンタルパターン１２２の反射部及び非反射部（或いは低反射率部）の繰り返しに対応する受光パターンを検出することにより、周期信号（例えば、正弦波信号）を出力できる。インクリメンタルパターン１２２の反射部、及び、非反射部或いは低反射率部は、例えば、既知のフォトエッチング加工により形成される。以下、アブソリュートパターン１２３の反射部、及び、非反射部或いは低反射率部についても同様である。
【００２１】
アブソリュートパターン１２３は、スケール板１２０の回転位置に応じて、光学モジュール１５０からの照射光を、回転角度の絶対位置を表す所定のパターンで反射する。アブソリュートパターン１２３は、例えば、スケール板１２０の角度位置に応じて、ＮビットのＭ系列コードを表す複数の反射部が周方向に配置される。これにより、Ｍ系列コードは、回転軸２００の１回転（３６０度）を２Ｎ個に等分割した角度間隔刻みの絶対角度を表現できる。このとき、アブソリュートパターン１２３の周方向における反射部同士の間には、非反射部或いは低反射率部が配置される。
【００２２】
基板１４０は、例えば、円板形状を有し、ハブ１１０（スケール板１２０等）からＺ軸正方向、つまり、上方向に所定の距離だけ離れた位置において、回転軸２００の軸心２００ＡＸと垂直に、即ち、スケール板１２０と平行に配置される。また、基板１４０は、円板形状の軸心が回転軸２００の軸心２００ＡＸと一致するように配置される。具体的には、基板１４０は、図示しないエンコーダ１００の構成要素を収容するケースに固定される。つまり、基板１４０は、回転軸２００と共に回転しないため、基板１４０に実装される各種センサ（例えば、光学モジュール１５０等）は、回転軸２００と共に回転するスケール板１２０の回転状態を観測できる。基板１４０は、例えば、ＦＲ−４（Flame Retardant type 4）規格の配線基板である。基板１４０には、上述の如く、測定処理に関する構成、つまり、光学モジュール１５０、信号処理回路１７０、上位処理回路１７２、ＡＤＣ１７４，１７６、下位処理回路１７８、信号処理回路１８０、及びインターフェース１９０等の電子部品が実装される。また、基板１４０には、その他、基板１４０に実装される電子部品を駆動する電源ＩＣ等の電気部品が実装される。
【００２３】
光学モジュール１５０は、基板１４０のＺ軸負方向側の面、つまり、下面において、スケール板１２０のインクリメンタルパターン１２２及びアブソリュートパターン１２３に対応する、回転軸２００の軸心２００ＡＸを中心とする半径位置に設けられる。光学モジュール１５０は、発光素子１５２と、受光素子１５４，１５６を含む。
【００２４】
発光素子１５２は、スケール板１２０に向けて光を照射する。発光素子は、例えば、ランバート型のＬＥＤ（Light Emitting Diode）である。
【００２５】
受光素子１５４は、インクリメンタルパターン１２２の反射部で反射された反射光を受光する。受光素子１５４は、例えば、フォトダイオード（Photo Diode：ＰＤ）を周方向に複数並べたＰＤアレイである。受光素子１５４は、インクリメンタルパターン１２２の反射部及び非反射部の繰り返しに対応する二つの正弦波信号を電流信号（光電流）として出力する。このとき、受光素子１５４は、１回転中に２Ｎ周期分に相当する二つの正弦波信号を出力する。二つの正弦波信号は、同一周期で、且つ、９０度の位相差を有する。受光素子１５４から出力される二つの正弦波信号は、信号処理回路１７０に入力される。
【００２６】
受光素子１５６は、アブソリュートパターン１２３の反射部で反射された反射光を受光する。受光素子１５６は、受光素子１５４と同様、例えば、フォトダイオードを周方向に複数並べたＰＤアレイである。受光素子１５６は、アブソリュートパターン１２３の反射部及び非反射部の配列、つまり、Ｍ系列コードに対応する電流信号（光電流）を出力する。受光素子１５６から出力される電流信号は、信号処理回路１８０に入力される。
【００２７】
信号処理回路１７０（信号出力部の一例）は、測定対象の回転に応じて、９０度の位相差（所定の位相差の一例）を有する二つの正弦波信号（第１の周期信号及び第２の周期信号の一例）をアナログ電圧信号として出力する。例えば、信号処理回路１７０は、受光素子１５４から入力される電流信号（正弦波信号）を電圧信号に変換する電流電圧変換回路や、電圧信号に変換された正弦波信号を増幅する増幅回路等を含む。信号処理回路１７０から出力される、電圧信号としての二つの正弦波信号は、上位処理回路１７２に入力される。また、信号処理回路１７０から出力される、電圧信号としての二つの正弦波信号は、それぞれ、ＡＤＣ１７４，１７６に入力される。
【００２８】
尚、信号処理回路１７０は、周期的に繰り返されるパターン情報としてのインクリメンタルパターン１２２の周期に対応する周期信号として、正弦波信号以外の電圧信号を出力してもよい。また、信号処理回路１７０から出力される二つの周期信号の位相差は、後述の如く、二つの周期信号の値の除算値に基づき、内挿値が演算可能であれば、９０度以外であってもよい。
【００２９】
上位処理回路１７２は、受光素子１５４から入力される二つの正弦波信号を２値化、つまり、矩形パルス信号への変換を行うと共に、矩形パルスをカウントすることにより、相対角度の上位データを生成し、出力する。
【００３０】
ＡＤＣ１７４（第１の変換部の一例）は、受光素子１５４から出力される二つの正弦波信号のうちの第１の正弦波信号（以下、便宜的に「ｓｉｎθ信号」）をデジタル信号に変換する。ＡＤＣ１７４は、例えば、Ｌ１ビット（Ｌ１は、２以上の整数。例えば、Ｌ１＝１４）の分解能を有し、Ｌ１ビットのデータ長（第１のデータ長の一例）を有するデジタル信号に変換し、出力する。ＡＤＣ１７４によりデジタル信号に変換されたｓｉｎθ信号は、下位処理回路１７８に入力される。
【００３１】
ＡＤＣ１７６（第２の変換部の一例）は、受光素子１５４から出力される二つの正弦波信号のうちの第２の正弦波信号（以下、便宜的に「ｃｏｓθ信号」）をデジタル信号に変換する。ＡＤＣ１７６は、例えば、Ｌ２ビット（Ｌ２は、２以上の整数。例えば、Ｌ２＝１４）の分解能を有し、Ｌ２ビットのデータ長（第２のデータ長の一例）を有するデジタル信号に変換し、出力する。ＡＤＣ１７６によりデジタル信号に変換されたｃｏｓθ信号は、下位処理回路１７８に入力される。
【００３２】
尚、ＡＤＣ１７４，１７６の分解能、つまり、Ｌ１，Ｌ２は、同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【００３３】
下位処理回路１７８（内挿部、処理装置の一例）は、ＡＤＣ１７４，１７６によりデジタル信号に変換されたｓｉｎθ信号及びｃｏｓθ信号に基づき、ｓｉｎθ信号及びｃｏｓθ信号の周期を内挿した位相角θの内挿値を演算する。つまり、下位処理回路１７８は、ｓｉｎθ信号及びｃｏｓθ信号の周期に相当するインクリメンタルパターン１２２の反射部及び非反射部（或いは低反射率部）の繰り返しの周期を、更に細分化した位相角θの内挿値を演算する。具体的には、下位処理回路１７８は、ＡＤＣ１７４，１７６によりデジタル信号に変換されたｓｉｎθ信号及びｃｏｓθ信号の間の除算値、例えば、ｓｉｎθ信号の値をｃｏｓθ信号の値で除した除算値、つまり、正接関数の値から逆正接関数の値としての位相角θの内挿値を演算し、相対角度の下位データを出力する。下位処理回路１７８による内挿処理の詳細は、後述する。
【００３４】
信号処理回路１８０は、受光素子１５６から入力される、アブソリュートパターン１２３のＭ系列コードに対応する電流信号（光電流）に基づき、Ｍ系列コードのデータを生成し、出力する。
【００３５】
インターフェース１９０は、外部装置（例えば、エンコーダ１００による回転位置等の測定対象であるサーボモータを制御するサーボアンプ等）に上位処理回路１７２、下位処理回路１７８、及び信号処理回路１８０の処理結果を出力する。インターフェース１９０は、例えば、雌型のコネクタ端子であり、外部装置から延設されるケーブルの先端に接続される雄型のコネクタ端子と接続されることにより、外部装置に処理結果（測定結果）を出力する。これにより、例えば、サーボアンプ等は、エンコーダ１００の測定結果に基づき、制御対象の一回転中の回転位置（絶対位置）を把握し、サーボモータを制御することができる。
【００３６】
［内挿処理］
次に、下位処理回路１７８の内挿処理の詳細について説明する。
【００３７】
まず、下位処理回路１７８は、例えば、所定の正規化処理（例えば、ＤＣ（Direct Current：直流）を減算する処理等）を施したｓｉｎθ信号の値をｃｏｓθ信号の値で除した除算値、つまり、正接関数（ｔａｎθ）の値を演算する。このとき、下位処理回路１７８は、ｓｉｎθ信号及びｃｏｓθ信号の値のデータ長、つまり、Ｌ１ビット及びＬ２ビットのデータ長（具体的には、Ｌ１ビット及びＬ２ビットのデータ長のうちの長い方）よりも長いＬ３ビット（例えば、Ｌ３＝１７）のデータ長（第３のデータ長の一例）の除算値を演算する。ｓｉｎθ信号及びｃｏｓθ信号の値が相対的に短いデータ長であっても、除算演算では、ｓｉｎθ信号及びｃｏｓθ信号の値を超えるデータ長の演算結果が得られるからである。
【００３８】
続いて、下位処理回路１７８は、ｓｉｎθ信号及びｃｏｓθ信号の周期をＬ３ビットのデータ長に対応する所定数、つまり、２Ｌ３個に等分割し、設定された位相角の候補値（内挿候補値の一例）の中から、演算結果の除算値に対応する内挿値（位相角θ）を選択する。
【００３９】
例えば、２Ｌ３個の内挿値（つまり、逆正接関数の値である位相値）と除算値（つまり、正接関数の値）との対応関係を示すテーブルデータが予め準備（規定）されており、下位処理回路１７８は、当該テーブルデータを参照して、演算された除算値に対応する内挿値を選択する。当該処理は、例えば、マルチプレクサ等を含む既知のテーブル参照回路（ハードウェアルックアップテーブル）等により実現されうる。また、当該処理は、上述のテーブルデータが記憶される不揮発性の内部メモリを含むマイクロコンピュータにより実現されてもよい。
【００４０】
このように、下位処理回路１７８は、相対的に低い分解能のＡＤＣ１７４，１７６を用いて、インクリメンタルパターン１２２の一周期を相対的に高い分解能で細分化した内挿値を演算し、相対的に高い分解能の内挿処理を実現させることができる。、つまり、下位処理回路１７８は、ＡＤ変換回路等の分解能に依らず、内挿処理の分解能を向上させることができる。
【００４１】
尚、下位処理回路１７８は、内挿処理において、ｃｏｓθ信号の値をｓｉｎθ信号の値を除した除算値を用いてもよいし、ｓｉｎθ信号及びｃｏｓθ信号の値の大小や正負の関係等に応じて、除数及び被除数を切り替えてもよい。この場合、除数及び被除数の変更に合せて、適宜、準備されるテーブルデータの内容が変更されればよい。
【００４２】
［変形・変更］
以上、本発明を実施するための形態について詳述したが、本発明はかかる特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【００４３】
例えば、上述した実施形態において、エンコーダ１００は、アブソリュート形であったが、インクリメンタル形であってもよい。この場合、スケール板１２０のアブソリュートパターン１２３、光学モジュール１５０のアブソリュートパターン１２３に対応する受光素子１５６、アブソリュートパターン１２３に対応するＭ系列コードを生成する信号処理回路１７０等は、省略される。
【００４４】
また、上述した実施形態及び変形例において、エンコーダ１００は、反射型であったが、透過型であってもよい。この場合、スケール板１２０のインクリメンタルパターン１２２やアブソリュートパターン１２３は、反射部、及び、非反射部或いは低反射率部の代わりに、照射光を透過する透過部、及び、照射光を透過しない非透過部により構成される。また、スケール板１２０に光を照射する発光素子は、光学モジュール１５０とは別に、スケール板１２０から見て、光学モジュール１５０（受光素子）とは反対側、つまり、スケール板１２０からＺ軸負方向（つまり、下方）に所定距離だけ離れた位置に設けられる。
【００４５】
また、上述した実施形態及び変形例において、上位処理回路１７２、下位処理回路１７８、及び信号処理回路１８０の機能は、エンコーダ１００の外部、つまり、インターフェース１９０によってエンコーダ１００と接続可能な外部装置（内挿部、処理装置の一例）に移管されてもよい。
【００４６】
また、上述した実施形態及び変形例の内挿処理方法は、エンコーダ１００以外の内挿処理に適用されてもよい。
【符号の説明】
【００４７】
１００  エンコーダ
１１０  ハブ
１２０  スケール板
１４０  基板
１５０  光学モジュール
１５２  発光素子
１５４，１５６  受光素子
１７０  信号処理回路（信号出力部）
１７２  上位処理回路
１７４，１７６  ＡＤ変換回路（第１の変換部、第２の変換部）
１７８  下位処理回路（内挿部、処理装置）
１８０  信号処理回路
１９０  インターフェース
２００  回転軸
２００ＡＸ  軸心
【図１】
2020034392.tif 000003
【図２】
2020034392.tif 000004