(57)【要約】【課題】配管やバルブを有する容器から漏えいする液体材料を吸収し、着火している場合には消火し、漏えいを抑制する治具であって、種々の形状に対応可能な治具を提供する。【解決手段】液体材料を貯留する容器１からの液体材料の漏えいを抑制するための液体材料漏えい抑制治具２は、難燃性の織布から構成される筒状体１０と、筒状体１０の下部に配置される、液体材料容器を挿入するための下部開口部１１と、下部開口部１１の外周部に配置される吸収剤収納部１２とを有する。下部開口部１１は、液体材料容器１の胴部に密着するように締め込み可能な締め込み部１３を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
難燃性の織布から構成される筒状体と、
前記筒状体の下部に配置される、液体材料容器を挿入するための下部開口部と、
前記下部開口部の周囲に沿って配置される吸収剤収納部と、を有し、
前記下部開口部は、前記液体材料容器の胴部に前記吸収剤収納部を密着させるように締め込み可能な締め込み部を有する、液体材料漏えい抑制治具。
【請求項２】
前記筒状体の上部に、開閉可能な上部開口部を有する、請求項１に記載の液体材料漏えい抑制治具。
【請求項３】
前記上部開口部は、難燃性紐による平縫いにより閉口されることを特徴とする、請求項２に記載の液体材料漏えい抑制治具。
【請求項４】
前記上部開口部は、難燃性針状体により閉口されることを特徴とする、請求項２に記載の液体材料漏えい抑制治具。
【請求項５】
前記締め込み部は、１または２以上の垂直方向の切れ込み部を有し、前記切れ込み部の右側と左側とを重ね合わせて固定させることにより、締め込みが行われることを特徴とする、請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の液体材料漏えい抑制治具。
【請求項６】
前記難燃性の織布は、無機繊維の織布である、請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の液体材料漏えい抑制治具。
【請求項７】
前記吸収剤収納部には、無機繊維、ケイ酸塩鉱物、もしくは珪藻土、膨張ひる石又はこれらの組合せが収納されることを特徴とする、請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の液体材料漏えい抑制治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、容器に貯留された液体材料の、容器外への漏えいを抑制し、またその液体が引火、発火した際に窒息消火により火災を抑制する治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、半導体製品内の薄膜堆積、形状加工をするための材料（気体、液体または固体である）を運搬・供給するための容器として、一定の気密性能を有した金属製の容器に、バルブを装着したものが使用されている。容器を形成する材料としては、例えばステンレス鋼、鉄、アルミニウム等が挙げられる。金属製の容器は、１つまたは複数の配管を有し、配管にはバルブが取り付けられている。
【０００３】
材料が気体状態である場合には、ガスシリンダーに充填され、運搬・供給される。
ガスシリンダーからガスが漏えいした際には、漏えいしているシリンダーを修理設備へ返還する必要がある。そこで、修理設備への返還までの間のガス漏えいを抑制する治具が提案されている（たとえば、特許文献１）。
特許文献１に記載される治具は、容器弁の周囲をシール可能な筐体で囲い、容器弁付近から漏えいしたガスを収集する構造になっている。
ガスシリンダーは標準化された形状で製作されるため、ガス漏洩を抑制する治具も標準化されたガスシリンダーの形状に合わせて製作される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１１６０４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一方で、材料が液体である場合には、それらの材料を貯留するための容器の形状は標準化されておらず、多数の種類がある。材料を使用するプロセスと、そのプロセスにおける使用量や要求される材料純度等に応じて様々な形状の容器が製作されている。液体の材料が可燃性、発火性、毒性等を有する場合には、緊急的に漏えいを抑制したうえで、修理設備へ返送する必要がある。特に発火した場合には消火した上で、漏洩を抑制する必要がある。
容器に貯留された液体材料の漏えいを抑制する場合、特許文献１に記載されるような漏えい抑制治具を容器に取り付けるには、それぞれの容器形状に合わせて密閉可能になるように漏えい抑制治具を設計しなければならない。すると多様な形状の容器に合わせて漏えい抑制治具を準備しなければならず、ある容器に合わせて製作した漏えい抑制治具は、他の形状の容器には転用できないことになる。
また、特許文献１の漏えい抑制治具は、筐体構造を有するため漏えいした気体を外部環境から遮断することは可能であるが、漏えい物が液体である場合に、漏えいした液体を吸収する機能がない。このため、容器から漏えいした液体が地面に浸透し、土壌汚染を発生させる恐れがある。
【０００６】
漏えいした液体状態の危険物が発火した場合に、消火するための平布状の不燃性布も市販されている。この不燃性布は、液体を被覆させることにより液体と酸素との接触を遮断し、発火を防止したり着火している液体の消火をするためのものである。
しかし、液体材料を貯留する容器から液体が漏えいする場合の多くは、容器に取り付けられた配管またはその配管に付設されたバルブといった突起部分が漏えい個所となる。そして、漏えい個所である突起部分の周囲には、容器を持ち運ぶための持ち手や、バルブを保護するためのガードなどが取り付けられている。このため、平布状の不燃性布を、突起部分から漏えいする液体に酸素を遮断するように容器等に密着させてかぶせることは困難である。
【０００７】
また漏洩した液体の地面での拡散を抑制するための吸着剤を充填した、帯状の液体吸収治具も市販されている。
市販の吸収治具は、主に容器から地面または床面へ漏えいした液体をふき取ったり、漏えいした液体をせき止める目的で使用されるものである。したがって吸収治具は地面状または床面上において使用される。したがって、地面や床面に接触する前に液体材料を吸収させることは困難である。
【０００８】
そのため、配管やバルブを有する容器から漏えいする液体材料を地面または床面に接触する前に吸収することができ、着火している場合には消火し、漏えいを抑制する治具であって、種々の形状に対応可能な治具の開発が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明に係る液体材料漏えい抑制治具は、難燃性の織布から構成される筒状体と、前記筒状体の下部に配置される、液体材料容器を挿入するための下部開口部と、前記下部開口部の周囲に沿って配置される吸収剤収納部と、を有し、前記下部開口部は、前記容器の胴部に吸収剤収納部を密着させるように締め込み可能な締め込み部を有する。
【００１０】
液体材料容器は、金属製（たとえばステンレススチール製である）の円筒型容器であることが一般的であり、その上部に液体材料を導入するための液体材料導入配管、キャリアガスを導入するためのキャリアガス導入配管、液体材料を液体状態または気体状態で容器から導出させるための液体材料導出配管等の配管が取り付けられ、それぞれの配管には必要に応じてバルブが配置されている。容器の運搬や配管、バルブ等の保護のために容器にハンドルが取り付けられることも多い。
それぞれの配管には継手やバルブが取り付けられているが、これらの部分は外部からの衝撃、締付不良、内圧の上昇等の理由により気密性が低下することが考えられる。液体材料容器内は大気圧以上の圧力で気体が封入されていることも多く、継手やバルブの気密性が低下すると、液体材料容器の内部から液体材料が漏えいするおそれがある。液体材料には酸素や水との反応により分解したり、発火したりするものがあるため、発火した場合には消火し、漏えいを抑制させたうえで、容器を液体材料の処理をすることができる場所まで移動させる必要がある。漏えいを抑制させる際には、液体材料が地面に浸透することに起因する土壌汚染を防止する必要がある。
【００１１】
本発明の構成によれば、円筒状の液体材料容器の上部から液体材料が漏えいし、発火したときには、本発明に係る液体材料漏えい抑制治具を液体材料容器の上方向からかぶせて漏えいした液体材料を覆い、大気中の酸素との接触を遮断することによって、反応または発火を抑制し、さらに吸収剤に液体材料を吸収させることによって地面への液体材料の漏えいを抑制させる。
【００１２】
液体材料容器は、液体材料漏えい抑制治具の下部開口部から、難燃性の織布から構成される筒状体に挿入される。筒状体に挿入されたのちに、下部開口部の締め込み部を締めこむことにより、筒状体と、円筒状の液体材料容器の胴部とが密着し、漏えいした液体材料と大気との接触を遮断する。
さらに、本発明に係る液体材料漏えい抑制治具は、下部開口部の周囲に沿って配置される吸収剤収納部を有する。吸収剤は、液体材料を吸収する材料であればよく、発火や反応を低減させることができる材料であってもよい。液体材料容器から漏えいした液体材料は、液体材料容器の外周を伝い、上部から下部に向かって流れ出る。ここで、吸収剤を収納させた吸収剤収納部を、締め込み部により液体材料容器の胴部に密着させるように絞めこむと、液体材料は吸収剤に吸収されることから、その反応および発火を低減させることが可能となる。また、液体材料が地面に浸透することによる土壌汚染等を防止することができる。
【００１３】
吸収剤は筒状体を構成する織布と同じ素材からなる織布からなる筒状中空帯に収容された状態で、筒状体に取り付けられる。このように構成することにより、漏えいした液体材料は織布から浸透し、吸収剤に吸収される。このように吸収剤に吸収させることにより、液体材料が液体材料容器の外壁を伝って広く漏えいする現象や、漏えいした液体材料の発熱、発火、有害物質の発生等の危険な現象を抑制させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】液体材料容器の構成例を示す図である。
【図２】液体材料漏えい抑制治具の構成例および使用状態を示す図である。
【図３】液体材料漏えい抑制治具の構成例および使用状態を示す図である。
【図４】液体材料漏えい抑制治具の拡大断面を示す図である。
【図５】液体材料漏えい抑制治具の拡大断面を示す図である。
【図６】液体材料漏えい抑制治具の構成例および使用状態を示す図である。
【図７】液体材料漏えい抑制治具の構成例および使用状態を示す図である。
【図８】液体材料漏えい抑制治具の構成例および使用状態を示す図である。
【図９】液体材料漏えい抑制治具の構成例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明に係る液体材料漏えい抑制治具は、難燃性の織布から構成される筒状体と、前記筒状体の下部に配置される、液体材料容器を挿入するための下部開口部と、前記下部開口部の周囲に沿って配置される吸収剤収納部と、を有し、前記下部開口部は、前記容器の胴部に吸収剤収納部を密着させるように締め込み可能な締め込み部を有する。
【００１６】
液体材料容器内に貯留される液体材料は、特に限定されず、例えば可燃性液体または自然発火性液体であってもよい。可燃性液体の例としてテトラメチルシラン、ヘキサクロロジシラン、ヘキサメチルジシロキサン、トリメチルアルミニウムなど、自然発火性液体の例としてトリメチルアルミニウムが挙げられるが、これらに限定されない。
【００１７】
この漏洩および火災を抑制する治具は、一枚の四角形状の難燃性の織布から筒状体にしても良いし、もともとロール状の布を使用してもよい。吸収剤収納部は、筒状体の布の下部を利用して作成しても良いし、別途、吸収剤を筒に詰めたものを袋の下部に取り付ける形でも良い。筒状体と吸収剤収納部が異なる材料であっても良い。それぞれを形作るまたは結合する部分においては金属を用いての結合でも、布と同様の繊維からできた糸で結合する形でもよい。
難燃性の織布は耐熱性のある織布であり、かつ、液体材料容器に貯留される液体材料に対して不活性な素材により構成されるものであればよく、例えばガラス繊維であってもよい。難燃性の織布は、液体材料容器に貯留される液体材料の燃焼温度以上の温度まで耐熱性を有することが好ましく、耐熱温度は例えば１５００℃であり、好ましくは２０００℃以上である。
【００１８】
吸収剤は、液体材料を吸収し、反応、発火を低減させることができる材料であればよく、無機繊維、ケイ酸塩鉱物、もしくは珪藻土、膨張ひる石又はこれらの組合せであってもよいが、これらに限定されない。
例えばヘキサメチルジシロキサン（液体材料の具体例）に対しては膨張ひる石（吸収剤の具体例）を使用することもできる。
吸収剤収納部は、下部開口部の外周部に着脱可能に取り付けられていてもよい。液体材料容器内部に貯留される液体材料の種類または量に応じた吸収剤の種類、量を選定して取り付けることができる。
また、吸収剤収納部に収納される吸収剤は取り出し可能であってもよい。一定の大きさの吸収剤収納部を設け、そこに液体材料の種類または量に応じた種類、量の吸収剤を入れて使用することが可能となる。
【００１９】
また、締め込み部を有することにより、種々の外径および高さを有する液体材料容器に対して本発明に係る液体材料漏えい抑制治具を適用することが可能となる。
たとえば、筒状体の直径は、液体材料容器の外径の１．０５倍以上３倍以下であってもよい。筒状体の高さは、液体材料容器の肩部（円筒状の容器の外径が最大となる部分のうち最も高い位置）から、バルブまでの高さの１．０５倍以上１０倍以下であってもよい。
吸収剤収納部は、筒状体の下部に配置される。吸収剤収納部は筒状体の下端から筒状体の５０％の高さまでの間に配置されてもよく、好ましくは筒状体の下端から３０％の高さまでに配置される。
締め込み部は筒状体の最下端に配置されてもよく、吸収剤収納部の外周部に配置されていてもよい。締め込み部によって、吸収剤収納部が液体材料容器の胴部に密着されるよううに絞めこまれることが好ましく、締め込み部は吸収剤収納部の下端から、吸収剤収納部の高さの２／３までの間に配置されることが好ましい。
【００２０】
本発明に係る液体材料漏えい抑制治具の筒状体の上部は、袋状に閉止されていてもよいが、開閉可能な上部開口部を有してもよい。
液体材料漏えい抑制治具を液体材料容器にかぶせる際には、上部開口部は閉止された状態であってもよい。その後、液体材料を、液体材料の処理設備へ搬入してバルブ等の操作をしようとするときには、上部開口部を開口させ、筒状体の上部からバルブ操作等を実施することが可能となる。また、漏洩した液体材料が発火した場合には、酸素を遮断することにより消火し、温度が下がって安全な状態となった際に上部開口部を開けて、容器上部の漏洩箇所に対応することが可能となる。漏えいした可燃性の液体材料が発火していた場合、まず液体材料漏えい抑制治具をかぶせることにより、酸素との接触が遮断されて消火される。消火されたのちは上部開口部を開けて大気に接触させても着火源がない限り再着火しないことから、安全にバルブを閉じたり漏えいしている継手を絞めこんだりする対応が可能となる。
上部開口部は、筒状体の頂部に設けられていてもよい。上部開口部を開口させた場合の開口部の大きさは、液体材料容器のバルブ等の操作をすることが可能な大きさであればよく、例えば液体材料容器の外径の０．５倍以上２倍以下であってもよい。
【００２１】
別の実施形態として、上部開口部を開けたまま、液体材料漏えい抑制治具を液体材料容器にかぶせてもよい。上部開口部を開けた状態では、液体材料容器にかぶせる際に液体材料容器の上方から下方への空気の流れが、閉じた状態よりも緩やかになる。このため、漏えいしている液体材料や、その蒸気が周囲に拡散する現象を抑制しながら液体材料漏えい抑制治具をかぶせることが可能になる。
上部開口部を開けた状態で液体材料容器にかぶせたのちに、締め込み部を絞めこむことにより液体材料漏えい抑制治具を液体材料に固定する。この後で上部開口部を閉じることにより液体材料と大気との接触を遮断する。これにより、液体材料が発火している場合に、その消火を実施することが可能となる。
上部開口部を閉じる手段は特に限定されず、たとえばファスナーであってもよく、ステープラを使用してもよい。
【００２２】
上記発明において上部開口部は、難燃性紐による平縫いにより閉口されていてもよい。平縫いにされることにより、難燃性紐は容易に筒状体から外され、上部開口部を開口することが容易となる。
【００２３】
上記発明において上部開口部は、難燃性の針状体により閉口されることを特徴としてもよい。針状体は、上部開口部を閉止することができるものであればよく、例えば金属製のステープラであってもよい。針状体は加工が容易であり、上部開口部の開閉を短時間で実施することができる点で、上部開口部を閉止する方法として好適である。
【００２４】
上記発明において、締め込み部は、筒状体を絞るように占めこむ構成としてもよいが、１または２以上の垂直方向の切れ込み部を有し、前記切れ込み部の右側と左側とを重ね合わせて固定させることにより、締め込みが行われることを説く直としてもよい。
このような重ね合わせによって筒状体を液体材料容器に密着させることにより、漏えいした液体材料が、下部開口部の外部にまで漏洩することを抑制することが可能となる。
【００２５】
上記発明の筒状体を構成する難燃性の織布は、液体材料と、大気または織布自身との反応により燃焼することを抑制することができる織布であることが好適であり、例えば無機繊維の織布（たとえばグラス繊維、セラミック繊維、または特殊金属繊維が挙げられるがこれらに限定されない）であってもよい。
【００２６】
（実施例）
図１〜３にステンレススチール製の円筒型の液体材料容器に使用する、液体材料漏えい抑制治具の使用例の一例を示す。
図１は、液体材料容器１を示す。液体材料容器１の内部には液体材料（本実施例においてはヘキサメチルジシロキサンである）が充填され、液体材料容器１の内部は不活性ガスを陽圧で充填することにより大気圧以上の圧力となっていることが多い。液体材料容器１の上部には液体材料やキャリアガスを導入または導出するためのバルブが配置され、バルブは液体材料容器１と溶接または継手により接続されている。
溶接や継手にリークがあると、そのリーク部分から液体材料容器１の内部に充填された液体材料が外部に漏れ、大気と反応して発熱、発火するおそれがある。
そこで、リークが発生して液体材料が外部に漏えいした場合に、図２に示すように、本発明に係る液体材料漏えい抑制治具２を液体材料容器１の上方向からかぶせる対処を実施する。
【００２７】
図２に示す液体材料漏えい抑制治具２は、難燃性の織布であるガラス繊維製で、筒状体１０と、下方向に開口する下部開口部１１と、下部開口部１１の外周部に配置される吸収剤収納部１２を有する。下部開口部１１はその開口部分を絞めこむことにより、液体材料容器１に液体材料漏えい抑制治具が密着するようにするための締め込み部１３を有する。
筒状体１０の直径は、液体材料容器１を収納するため液体材料容器1の直径よりも大きく設計される。本実施例においては、液体材料容器１の直径は３５０ｍｍであり、筒状体１０の直径は４５０ｍｍである。
【００２８】
吸収剤収納部１２は、筒状体１０と同じ材質で筒状体の外周を囲うように帯状に筒状体１０に取り付けられている。吸収剤収納部１２の内部には液体材料を吸収する材料が収納される。本実施例においては、ヘキサメチルジシロキサンを吸収しうる膨張ひる石を吸収剤とした。吸収剤収納部１２に収納される吸収剤の量は、液体材料容器１に充填される液体材料の少なくとも一部を吸収することができる量であればよい。吸収剤の量は、想定される液体材料の漏えい量に応じて定められてもよい。本実施例では、液体材料容器１に充填されたヘキサメチルジシロキサンは１０ｋｇであり、吸収剤収納部１２に収納される吸収剤の重量は０．５ｋｇであった。
【００２９】
液体材料容器１の高さ（すなわち、図１にＣで示す底面から、図１にＡで示す容器上部に取り付けられたバルブおよびハンドルの上部までの高さ）は、約１０００ｍｍである。また、図１にＢで示す液体材料容器１の肩部からバルブおよびハンドルまで（図１のＡ）は約２５０ｍｍである。液体材料漏えい抑制治具２の筒状体１０の高さは、４００ｍｍであり、液体材料容器１の肩部の下方約１５０ｍｍよりも上方を覆うことができる高さである。
【００３０】
図３は、液体材料容器１に液体材料漏えい抑制治具２をかぶせた後に、下部開口部１１の締め込み部１３を絞めこんだ状態を示す図である。締め込み部は下部開口部１１の最下端に、開口部分の円周に沿って設けられた筒状の空洞に締め込み紐２０を通した構造であり、締め込み紐２０を左右に引くことにより下部開口部１１の開口部が液体材料容器と密着するように絞めこまれる。
【００３１】
図４に液体材料漏えい抑制治具の下部開口部１１付近の拡大断面図を示す。図４の左手側が液体材料容器に１液体材料漏えい抑制治具２をかぶせた場合に内側となり、図４の右手側が外側となる。
筒状体１０の下部に設けられる下部開口部１１の周囲に沿って吸収剤収納部１２が配置される。吸収剤収納部１２は、下部開口部１１に沿って円周を描くように空間部３０を有しており、空間部３０に吸収剤を収納する。
吸収剤収納部１２の下方には締め込み部１３が配置される。締め込み部１３は中空状とした構造に、締め込み紐（図４に２０で示す）等を貫通させて、下部開口部１１を液体材料容器１に密着させるように絞めこむ構造である。
【００３２】
別の実施形態として、締め込み部３０が配置される高さ（図５にEで示す）は、吸収剤収納部１２の下方ではなく、吸収剤収納部の下端（図５にFで示す）から吸収剤収納部１２の高さ（図５にDで示す）の２／３までの間としてもよい。
【００３３】
さらに別の実施形態として、図６に示すように一連の不燃性の織布により筒状体１０、吸収体収納部１２、および締め込み部１３を形成してもよい。筒状体１０の下方で不燃性の織布を折り返して、図６にHで示す部分で筒状体１０に縫製することによりに締め込み部１３を形成する。さらに中空部を設けながら図６にGで示す部分で筒状体１０に縫製することにより、吸収体収納部１２を形成する。
【００３４】
別の実施例として、図７に示す例では筒状体１０の上部に開閉可能な上部開口部４０を設けた。上部開口部４０は、使用前は難燃性紐で縫い合わせることにより閉じられている。図７に４１で示す縫合部が、縫い合わされた部分である。液体材料容器１から液体材料が漏えいした場合には、液体材料容器１に液体材料漏えい抑制治具２を上からかぶせる。特に漏えいした液体材料が発火した場合には、酸素を遮断することにより消火をさせる。その後、締め込み部１１により締め込みを行い、下部開口部１１を液体材料容器１に密着させ、漏えいした液体材料は吸収剤収容部１２に収容された吸収剤に吸収させる。その後、液体材料抑制治具２をかぶせたままの状態の液体材料容器１は、メンテナンス等を実施する場へと移動させてもよい。メンテナンスでは、液体材料容器１の上部に取り付けられる継手やバルブを操作する必要があるが、このときに図８に示すように、上部開口部４０を縫い合わせている難燃性紐をほどき、上部開口部４０を開口させる。図８は上部開口部４０が開口している状態を示す。図８に４２で示す開口からレンチ等の工具を挿入し、液体材料容器１のバルブ操作などを実施することができる。
【００３５】
別実施形態として、上部開口部４０を縫い合わせている難燃性紐に代わり、ファスナーを用いて上部開口部４０を開閉してもよい。図９に上部開口部４０に配置されるファスナー４３により筒状体１０の上部が開口される状態を示す。
【００３６】
このような構成により、液体材料抑制治具２を取り外すことなく、液体材料を吸収剤に吸収させながら、開口している部分（図８および図９中の４２）からバルブ等の操作を実施することができ、メンテナンス作業の安全性が確保される。
また、液体材料の漏えい量が多く、その全量を吸収体で吸収しきれない場合には、開口している部分から追加的に吸収体を投入し、液体材料を吸収させることもできる。
【符号の説明】
【００３７】
１．  液体材料容器
２．  液体材料漏えい抑制治具
１０．  筒状体
１１．  下部開口部
１２．  吸収剤収納部
１３．  締め込み部
２０．  締め込み紐
３０．  空間部
４０．  上部開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2020151158.tif 000006
【図５】
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【図６】
2020151158.tif 000008
【図７】
2020151158.tif 000009
【図８】
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【図９】
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