(57)【要約】【課題】磁石に対してコイルとは反対側に設けたヨークの所定位置に磁石を向けることのできるアクチュエータ、およびその製造方法を提供すること。【解決手段】アクチュエータにおいて、磁気駆動回路６では、第１磁石８１および第２磁石８２に対して第１コイル７１および第２コイル７２とは反対側に第１ヨーク８６が設けられている。第１ヨーク８６には、第１ヨーク８６の一部を突出させた位置決め凸部８６５が設けられている。位置決め凸部８６５のうち、共通の凸部８６５ｃ（第１凸部８６５ａおよび第２凸部８６５ｂ）は、第１磁石８１の第２磁石８２側の位置を規定するとともに、第２磁石８２の第１磁石８１側の位置を規定する。第１磁石８１および第２磁石８２は、第３凸部８６５ｄおよび第３凸部８６５ｅによって第３方向Ｙの所定位置に配置される。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体と、
可動体と、
弾性および粘弾性の少なくとも一方を有し、前記可動体および前記支持体に接続する接続体と、
磁気駆動回路と、
を備え、
前記磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第１コイルと、前記第１コイルの側に一方面を向けて前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられたヨークと、前記ヨークの前記一方面に前記第１コイルと第１方向で対向するように保持された第１磁石と、を備え、前記可動体を前記第１方向に対して交差する第２方向に駆動し、
前記ヨークは、前記ヨークの一部が前記一方面から突出して前記第１磁石の前記ヨークの面内方向における位置決めを行う位置決め凸部を有することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載のアクチュエータにおいて、
前記磁気駆動回路は、前記第１磁石と隣り合うように前記ヨークの前記一方面に保持された第２磁石を備え、
前記第１磁石の前記第２磁石側の磁極と前記第２磁石の前記第１磁石側の磁極とが異なっており、
前記位置決め凸部は、前記第１磁石の前記第２磁石側の位置を規定する第１凸部と、前記第２磁石の前記第１磁石側の位置を規定する第２凸部と、を含むことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
請求項２に記載のアクチュエータにおいて、
前記磁気駆動回路は、前記第１コイルと隣り合うように前記一方側部材に設けられた第２コイルを備え、
前記第２磁石は、前記第２コイルと前記第１方向で対向していることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
請求項２または３に記載のアクチュエータにおいて、
前記第１凸部と前記第２凸部とは、共通の凸部からなることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
請求項２から４までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記第１磁石と前記第２磁石とは、前記第２方向で隣り合っていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項６】
請求項２から５までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記位置決め凸部は、前記第１磁石と前記第２磁石とが隣り合う方向と交差する方向における前記第１磁石の位置決め、および前記第２磁石の位置決めを行う第３凸部を含むことを特徴とすることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項７】
請求項２から６までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記位置決め凸部の前記一方面からの突出寸法は、前記第１磁石の厚さ、および前記第２磁石の厚さより低いことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項８】
請求項７に記載のアクチュエータにおいて、
前記ヨークの前記第１磁石に対して前記第２磁石と反対側、および前記第２磁石に対して前記第１磁石と反対側には、前記位置決め凸部が設けられていないことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項９】
請求項１から８までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記位置決め凸部は、前記ヨークの一部を前記一方面とは反対側の面から突出させた凸部であることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１０】
請求項１から７までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記位置決め凸部は、前記ヨークの一部を折り曲げた凸部であることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１１】
請求項１から１０までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記第１磁石および前記ヨークのうちの少なくとも一方には、前記第１磁石に対する着磁方向を示すマークが付されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１２】
請求項７または８に記載のアクチュエータの製造方法において、
前記ヨークに前記第１磁石および前記第２磁石を配置する工程では、カートリッジの内部に積層された複数の磁石のうち、最も下方に位置する磁石をスライドさせて、前記第１磁石および前記第２磁石を前記ヨークの前記一方面に配置することを特徴とするアクチュエータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動体を振動させるアクチュエータ、およびアクチュエータの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
情報を振動によって報知するデバイスとして、支持体と、可動体と、可動体および支持体に接続された接続体と、可動体を支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路とを有するアクチュエータが提案されており、磁気駆動回路は、第１方向で対向するコイルおよび磁石によって、可動体を第１方向と交差する第２方向に駆動する（特許文献１参照）。特許文献１には、枠状の分銅の開口部に磁石を接着剤によって固定した振動アクチュエータが提案されている。かかる構造によれば、可動体上の所定位置に磁石を配置することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１８−１３７９９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
引用文献１に記載の振動アクチュエータでは、磁石に対してコイルと反対側にヨークが設けられていないため、磁気効率が低いという問題点がある。また、ヨークの一方面に磁石を固定すれば、磁石を配置する開口部を設けた部材を必要としないので、構成の簡素化を図ることができる。しかしながら、ヨークの一方面に磁石を配置した構造では、磁石の位置がずれやすいという問題点がある。
【０００５】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、磁石に対してコイルとは反対側に設けたヨークの所定位置に磁石を向けることのできるアクチュエータ、およびアクチュエータの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、支持体と、可動体と、弾性および粘弾性の少なくとも一方を有し、前記可動体および前記支持体に接続する接続体と、磁気駆動回路と、を備え、前記磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第１コイルと、前記第１コイルの側に一方面を向けて前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられたヨークと、前記ヨークの前記一方面に前記第１コイルと第１方向で対向するように保持された第１磁石と、を備え、前記可動体を前記第１方向に対して交差する第２方向に駆動し、前記ヨークは、前記ヨークの一部が前記一方面から突出して前記第１磁石の前記ヨークの面内方向における位置決めを行う位置決め凸部を有することを特徴とする。
【０００７】
本発明では、第１磁石に対して第１コイルとは反対側にヨークが設けられているため、磁気効率を高めることができる。また、第１磁石は、ヨークの一方面に保持されているが、ヨークの一方面から位置決め凸部が突出しているため、ヨークの一方面の所定位置に第１磁石を配置することができる。また、位置決め凸部は、ヨークの一部を突出させた部分であるため、位置決め凸部を設けても、コストの増大を抑制することができる。
【０００８】
本発明において、前記磁気駆動回路は、前記第１磁石と隣り合うように前記ヨークの前
記一方面に保持された第２磁石を備え、前記第１磁石の前記第２磁石側の磁極と前記第２磁石の前記第１磁石側の磁極とが異なっており、前記位置決め凸部は、前記第１磁石の前記第２磁石側の位置を規定する第１凸部と、前記第２磁石の前記第１磁石側の位置を規定する第２凸部と、を含む態様を採用することができる。かかる態様の場合には、第１磁石および第２磁石を配置する際、引力が作用するが、第１磁石は第１凸部によって第２磁石側の位置が規定され、第２磁石は第２凸部によって第１磁石側の位置が規定される。従って、ヨークの一方面の所定位置に第１磁石および第２磁石を配置することができる。
【０００９】
本発明において、前記磁気駆動回路は、前記第１コイルと隣り合うように前記一方側部材に設けられた第２コイルを備え、前記第２磁石は、前記第２コイルと前記第１方向で対向している態様を採用することができる。
【００１０】
本発明において、前記第１凸部と前記第２凸部とは、共通の凸部からなる態様を採用することができる。
【００１１】
本発明において、前記第１磁石と前記第２磁石とは、前記第２方向で隣り合っている態様を採用することができる。
【００１２】
本発明において、前記位置決め凸部は、前記第１磁石と前記第２磁石とが隣り合う方向と交差する方向における前記第１磁石の位置決め、および前記第２磁石の位置決めを行う第３凸部を含む態様を採用することができる。かかる態様によれば、ヨークの一方面のうち、第１磁石および第２磁石が隣り合う方向と交差する方向における所定位置に第１磁石および第２磁石を配置することができる。
【００１３】
本発明において、前記位置決め凸部の前記一方面からの突出寸法は、前記第１磁石の厚さ、および前記第２磁石の厚さより低い態様を採用することができる。かかる態様によれば、アクチュエータを製造するにあたって、前記ヨークに前記第１磁石および前記第２磁石を配置する工程において、カートリッジの内部に積層された複数の磁石のうち、最も下方に位置する磁石をスライドさせて、前記第１磁石および前記第２磁石を前記ヨークの前記一方面に配置する際、位置決め凸部が邪魔にならない。
【００１４】
本発明において、前記ヨークの前記第１磁石に対して前記第２磁石と反対側、および前記第２磁石に対して前記第１磁石と反対側には、前記位置決め凸部が設けられていない態様を採用することができる。かかる態様によれば、アクチュエータを製造するにあたって、前記ヨークに前記第１磁石および前記第２磁石を配置する工程において、カートリッジの内部に積層された複数の磁石のうち、最も下方に位置する磁石をスライドさせて、前記第１磁石および前記第２磁石を前記ヨークの前記一方面に配置する際、位置決め凸部が邪魔にならない。
【００１５】
本発明において、前記位置決め凸部は、前記ヨークの一部を前記一方面とは反対側の面から突出させた凸部である態様を採用することができる。
【００１６】
本発明において、前記位置決め凸部は、前記ヨークの一部を折り曲げた凸部である態様を採用することができる。
【００１７】
本発明において、前記第１磁石および前記ヨークのうちの少なくとも一方には、前記第１磁石に対する着磁方向を示すマークが付されている態様を採用することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明では、第１磁石に対して第１コイルとは反対側にヨークが設けられているため、
磁気効率を高めることができる。また、第１磁石は、ヨークの一方面に保持されているが、ヨークの一方面から位置決め凸部が突出しているため、ヨークの一方面の所定位置に第１磁石を配置することができる。また、位置決め凸部は、ヨークの一部を突出させた部分であるため、位置決め凸部を設けても、コストの増大を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態に係るアクチュエータの斜視図。
【図２】図１に示すアクチュエータのＸＺ断面図。
【図３】図１に示すアクチュエータを分解して第１方向の一方側からみたときの分解斜視図。
【図４】図１に示すアクチュエータを分解して第１方向の他方側からみたときの分解斜視図。
【図５】図２に示す磁気駆動回路の分解斜視図。
【図６】図５に示すホルダおよびコイル等の説明図。
【図７】図６に示すホルダ等の説明図。
【図８】図２に示す可動体の説明図。
【図９】図７に示す第１ヨーク等の説明図。
【図１０】図７に示す第２ヨーク等の説明図。
【図１１】図１０に示す第２ヨークに磁石を搭載する工程を示す説明図。
【図１２】本発明の別の実施形態に係るアクチュエータの説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する３つの方向を各々、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙとして説明する。また、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙは、互いに直交する方向である。また、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付して説明する。
【００２１】
また、以下に説明するアクチュエータ１の磁気駆動回路６では、コイル７が支持体２（一方側部材）の側に設けられ、磁石８が可動体３（他方側部材）の側に設けられた態様、および磁石８が支持体２（他方側部材）の側に設けられ、コイル７が可動体３（一方側部材）の側に設けられた態様を採用することができる。以下の説明では、コイル７が支持体２の側に設けられ、磁石８が可動体３の側に設けられた態様を中心に説明する。
【００２２】
（全体構成）
図１は、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１のＸＺ断面図である。図３は、図１に示すアクチュエータ１を分解して第１方向Ｚの一方側Ｚ１からみたときの分解斜視図である。図４は、図１に示すアクチュエータ１を分解して第１方向Ｚの他方側Ｚ２からみたときの分解斜視図である。
【００２３】
図１および図２に示すように、本形態のアクチュエータ１は、全体として、第２方向Ｘの寸法が第３方向Ｙの寸法より大きい直方体形状を有している。また、図２に示すように、アクチュエータ１は、支持体２と、支持体２に移動可能に支持された可動体３と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動回路６とを有しており、磁気駆動回路６は、可動体３を第２方向Ｘに振動させる。また、アクチュエータ１には、支持体２および可動体３に接続された接続体９０が設けられている。
おいて
【００２４】
図１、図２および図３に示すように、支持体２は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１から他方側
Ｚ２に順に重ねられた第１ケース部材１６、ホルダ６０、および第２ケース部材１７を有しており、第１ケース部材１６と第２ケース部材１７との間に可動体３および磁気駆動回路６が配置される。第１ケース部材１６、ホルダ６０および第２ケース部材１７は各々、四角形の平面形状を有している。第１ケース部材１６の角部である第１角部１６０、ホルダ６０の角部である第２角部６００、および第２ケース部材１７の角部である第３角部１７０は第１方向Ｚで重なっている。本形態において、第１ケース部材１６、ホルダ６０、および第２ケース部材１７は各々、樹脂製である。
【００２５】
図３および図４に示すように、第１ケース部材１６は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部１６１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部１６２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部１６３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部１６４とによって囲まれた底板部１６５を有している。第１方向Ｚからみたとき、第１壁部１６１および第２壁部１６２の幅（第２方向Ｘの寸法）は、第３壁部１６３および第４壁部１６４の幅（第３方向Ｙの寸法）より広い。
【００２６】
第１ケース部材１６の４つの角付近の各々には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて開口した位置決め用の穴１６ｃが形成されている。また、第１ケース部材１６の一方の対角位置には、タッピングネジからなるネジ１８を止めるための有底の穴１６ｅが形成され、他方の対角位置には貫通穴１６ｆが形成されている。
【００２７】
底板部１６５の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面には、第２方向Ｘで並ぶ２つの凹部１６６、１６７が形成されている。凹部１６６の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の角、および凹部１６７の第２方向Ｘの他方側Ｘ２の角には貫通穴１６ａが形成されている。凹部１６６、１６７の第３方向Ｙの両端部には貫通穴１６ｂが形成されている。
【００２８】
第３壁部１６３の外面では、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に凹んだ凹部１６８が第２方向Ｘに沿って延在している。第３壁部１６３では、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した複数の凸板部１６３ａが第２方向Ｘに沿って所定の間隔に形成されている。第１壁部１６１および第２壁部１６２には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した円柱状の凸部１６１ｈ、１６２ｈが形成されている。また、第１壁部１６１および第２壁部１６２には、外縁から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した凸板部１６１ａ、１６２ａが第３方向Ｙの中央に形成されている。
【００２９】
第２ケース部材１７は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部１７１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部１７２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部１７３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部１７４とによって囲まれた底板部１７５を有している。第１方向Ｚからみたとき、第１壁部１７１および第２壁部１７２の幅（第２方向Ｘの寸法）は、第３壁部１７３および第４壁部１７４の幅（第３方向Ｙの寸法）より広い。
【００３０】
第２ケース部材１６の４つの角付近の各々には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて開口した位置決め用の凹部１７ｄが形成されている。また、第２ケース部材１７の一方の対角位置には、ネジ１８を止めるための貫通穴１７ｅが形成され、他方の対角位置には貫通穴１７ｆが形成されている。
【００３１】
底板部１７５の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面には、第２方向Ｘで並ぶ２つの凹部１７６、１７７が形成されている。また、凹部１７６、１７７の縁には、切り欠き１７ｂが形成されている。
【００３２】
第３壁部１７３の外面では、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に凹んだ凹部１７８が第２方向Ｘ
に沿って延在している。第１壁部１７１および第２壁部１７２には、第１ケース部材１６の凸部１６１ｈ、１６２ｈが嵌る穴１７１ｈ、１７２ｈが形成されている。第１壁部１７１には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出した凸板部１７１ａが第３方向Ｙの中央に形成されている。
【００３３】
（磁気駆動回路６の構成）
図５は、図２に示す磁気駆動回路６の分解斜視図である。図２および図５に示すように、磁気駆動回路６は、コイル７と、コイル７に対して第１方向Ｚで対向する磁石８とを有している。コイル７は、第２方向Ｘで並列するように配置された第１コイル７１および第２コイル７２からなり、コイル７は、支持体２のうち、ホルダ６０に保持されている。
【００３４】
（コイル７およびホルダ６０の構成）
図６は、図５に示すホルダ６０およびコイル７等の説明図である。図７は、図６に示すホルダ６０等の説明図である。図６および図７に示すように、コイル７は、第３方向Ｙに長辺７０１（有効部分）が延在する長円形状の空芯コイルであり、第３方向Ｙの一方側Ｙ１にコイル線の端部７０５が引き出されている。
【００３５】
ホルダ６０は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部６１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部６２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部６３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部６４とによって囲まれた底板部６５を有している。第１方向Ｚからみたとき、第１壁部６１および第２壁部６２の幅（第２方向Ｘの寸法）は、第３壁部６３および第４壁部６４の幅（第３方向Ｙの寸法）より広い。
【００３６】
ホルダ６０の一方の対角位置には、ネジ１８を通すための貫通穴６０ｅが形成され、他方の対角位置には貫通穴６０ｆが形成されている。第３壁部６３および第４壁部６４の第２方向Ｘの両端には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出した位置決め用の凸部６０ｃと、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した位置決め用の凸部６０ｄとが形成されている。
【００３７】
底板部６５には、２つのコイル保持穴６５１、６５２が第２方向Ｘで並列するように形成されており、コイル保持穴６５１、６５２の各々に第１コイル７１および第２コイル７２が配置されている。コイル保持穴６５１、６５２は貫通穴であり、第３方向Ｙの両端部には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２でコイル保持穴６５１、６５２の一部に重なるように張り出した受け部６４１、６４２が形成されている。従って、第１コイル７１および第２コイル７２を第１方向Ｚの一方側Ｚ１からコイル保持穴６５１、６５２に装着すると、コイル７の短辺７０２（無効部分）が受け部６４１、６４２によって第１方向Ｚの他方側Ｚ１で支持された状態となる。この状態で、ホルダ６０には第１方向Ｚの一方側Ｚ１からプレート２６が重ねられ、プレート２６は、接着剤によって第１コイル７１および第２コイル７２と固定されるとともに、ホルダ６０に固定される。プレート２６は、例えば、アルミニウムやステンレス等の非磁性の金属板である。
【００３８】
ホルダ６０には、コイル保持穴６５１と第１壁部６１との間に第１開口部６０１が形成され、コイル保持穴６５２と第２壁部６２との間に第２開口部６０２が形成されている。第１開口部６０１、および第２開口部６０２はホルダ６０の底板部６５を第１方向Ｚで貫通している。第１開口部６０１、および第２開口部６０２の内周面には切り欠き６０３が形成されている。
【００３９】
第１壁部６１において、第２角部６００の間には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に凹部６１１（図２および図４参照）が形成され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に凹部６１２が形成されている。第２壁部６２において、第２角部６００の間には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に凹部６２１（図２および図４参照）が形成され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に凹部６２２が形
成されている。従って、４つの第２角部６００は、第１方向Ｚの両側に向けて突出した構造になっている。
【００４０】
第３壁部６３の外面では、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に凹んだ凹部６３０が第２方向Ｘに沿って延在しており、凹部６３０の底部には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に開口した切り欠き状の引き出し部６８が第２方向Ｘに沿って複数、形成されている。また、凹部６３０のうち、引き出し部６８によって挟まれた部分は、凹部６３０の底部からさらに第３方向Ｙの他方側に凹んだ凹部６３０ａになっている。
【００４１】
凹部６３０の底部には、凹部６３０ａに対して第２方向Ｘでずれた位置で第３方向Ｙの一方側Ｙ１に突出した係合凸部６９が第２方向Ｘに沿って複数、形成されている。本形態において、係合凸部６９は３か所に形成されている。
【００４２】
（支持体２の構成）
本形態では、第１ケース部材１６、ホルダ６０および第２ケース部材１７を第１方向Ｚに重ねた状態で、第２ケース部材１７の貫通穴１７ｅ、ホルダ６０の貫通穴６０ｅ、および第２ケース部材１７の貫通穴１７ｅにネジ１８を止め、第１ケース部材１６、ホルダ６０および第２ケース部材１７を第１方向Ｚで締結する。ネジ１８を止めた際、ネジ１８の頭は、第２ケース部材１７から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出しない。
【００４３】
また、第１ケース部材１６の第１角部１６０とホルダ６０の第２角部６００との間に接着剤が充填され、ホルダ６０の第２角部６００と第２ケース部材１７の第３角部１７０との間に接着剤が充填される。
【００４４】
このようにして、第１ケース部材１６、ホルダ６０、および第２ケース部材１７によって支持体２が形成される。その際、第１ケース部材１６の凸部１６１ｈ、１６２ｈは各々、ホルダ６０の穴６１ｈ、６２ｈを貫通して第２ケース部材１７の穴１７１ｈ、１７２ｈに嵌る。また、第１ケース部材１６の穴１６ｃにホルダ６０の凸部６０ｃが嵌り、第２ケース部材１７の凹部１７ｃにホルダ６０の凸部６０ｄが嵌る。従って、第１ケース部材１６、ホルダ６０および第２ケース部材１７は互いに位置決めされた状態で連結される。また、第１ケース部材１６の凸板部１６３ａがホルダ６０の凹部６３０ａに重なる。
【００４５】
なお、第２ケース部材１７の貫通穴１７ｆ、ホルダ６０の貫通穴６０ｆ、および第２ケース部材１７の貫通穴１７ｆは、アクチュエータ１を各種機器に搭載する際、機器のフレームに対して止めるネジ（図示せず）が止められる。
【００４６】
（コイル７の端部の処理）
本形態では、ホルダ６０の第３壁部６３の外面に配線基板１５が固定される。配線基板１５には、引き出し部６８と重なる部分に切り欠き１５８が形成されている。また、配線基板１５には、係合凸部６９と重なる部分に複数の係合穴１５９が形成されている。本形態では、係合凸部６９の数に対応して、複数の係合穴１５９として３つの係合穴１５９が形成されており、３つの係合穴１５９のうち、中央の係合穴１５９は、切り欠き１５８と繋がった切り欠き状に形成されている。
【００４７】
配線基板１５は、係合凸部６９と係合穴１５９とが係合した状態で、ホルダ６０の第３壁部６３の外面に接着剤により固定されている。配線基板１５には、第１コイル７１の端部７０５、および第２コイル７２の端部７０５が電気的に接続されるランド１５１と、外部からの配線部材（図示せず）が電気的に接続されるランド１５２とが形成されており、第１コイル７１の端部および第２コイル７２の端部７０５は、引き出し部６８を介してランド１５１まで引き回された後、ハンダによりランド１５１に電気的に接続される。なお
、ランド１５１とランド１５２とは配線パターン（図示せず）を介して繋がっている。
【００４８】
本形態では、ランド１５１が３つ形成されており、第１コイル７１の巻き終わりの端部７０５、および第２コイル７２の巻き始めの端部７０５は、中央のランド１５１に電気的に接続される。従って、第１コイル７１と第２コイル７２とは直列に電気的に接続される。なお、第１コイル７１と第２コイル７２とは、並列に電気的に接続してもよい。
【００４９】
（可動体３の構成）
図８は、図２に示す可動体３の説明図である。図９は、図８に示す第１ヨーク８６等の説明図である。図１０は、図８に示す第２ヨーク８７等の説明図である。
【００５０】
図８に示すように、図２等に示す可動体３は、コイル７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向する平板部８６０を備えた第１ヨーク８６と、コイル７に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向する平板部８７０を備えた第２ヨーク８７と、磁石８とを有している。磁石８は、第１ヨーク８６の平板部８６０のコイル７と対向する面、および第２ヨーク８７の平板部８７０のコイル７と対向する面の少なくとも一方に保持されてコイル７に第１方向Ｚで対向している。
【００５１】
本形態においては、図９に示すように、可動体３は、磁石８として、第１ヨーク８６の平板部８６０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された第１磁石８１と、第２ヨーク８７の平板部８７０のコイル７と対向する面のうち、第１方向Ｚに対して交差する方向で第１磁石８１と隣り合う第２磁石８２とを備えている。本形態において、第１磁石８１と第２磁石８２は第２方向Ｘで隣り合っている。従って、第１磁石８１は、第１コイル７１の長辺７０１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向し、第２磁石８２は、第２コイル７２の長辺７０１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向している。
【００５２】
また、図１０に示すように、可動体３は、磁石８として、第２ヨーク８７の平板部８７０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された第１磁石８３と、第２ヨーク８７の平板部８７０のコイル７と対向する面のうち、第１方向Ｚに対して交差する方向で第１磁石８３と隣り合う第２磁石８４とを備えている。本形態において、第１磁石８３と第２磁石８４は、第２方向Ｘで隣り合っている。従って、第１磁石８３は、第１コイル７１の長辺７０１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向し、第２磁石８４は、第２コイル７２の長辺７０１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向している。
【００５３】
本形態において、第１磁石８１、８３、および第２磁石８２、８４は各々、厚さ方向（第１方向Ｚ）および幅方向（Ｘ方向）で分極着磁されている。第１磁石８１と第２磁石８２とは、隣り合う方向（第２方向Ｘ）で同一方向に着磁され、第１磁石８３と第２磁石８４とは、隣り合う方向（第２方向Ｘ）で同一方向に着磁されている。従って、第１磁石８１の第２磁石８２側の磁極と第２磁石８２の第１磁石８１側の磁極とが異なっており、第１磁石８３の第２磁石８４側の磁極と第２磁石８４の第１磁石８３側の磁極とが異なっている。
【００５４】
また、第１磁石８１と第１磁石８３とは、隣り合う方向（第２方向Ｘ）で逆方向に着磁され、第２磁石８２と第２磁石８４とは、隣り合う方向（第２方向Ｘ）で逆方向に着磁されている。従って、第１磁石８１と第１磁石８３とでは、第１コイル７１に対向する面の磁極が異なっており、第２磁石８２と第２磁石８４とでは、第２コイル７２に対向する面の磁極が異なっている。
【００５５】
図８、図９および図１０に示すように、第１ヨーク８６は、平板部８６０の第２方向の一方側Ｘ１の端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に延在して第２ヨーク８７と連結された第
１連結板部８６１と、平板部８６０の第２方向の他方側Ｘ２の端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に延在して第２ヨーク８７と連結された第２連結板部８６２とを備えている。第１連結板部８６１および第２連結板部８６２は平板部８６０より第３方向Ｙの寸法が小さく、第１連結板部８６１および第２連結板部８６２の両側には切り欠き８６９が形成されている。ここで、図３および図４に示すように、第１連結板部８６１は、コイル７に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１でホルダ６０の第１開口部６０１を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて延在し、第２連結板部８６２は、コイル７に対して第２方向Ｘの他方側Ｚ２でホルダ６０の第２開口部６０２を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて延在している。
【００５６】
本形態では、第１連結板部８６１および第２連結板部８６２は、溶接により第２ヨーク８７の端部と連結されている。より具体的には、第１連結板部８６１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部８６１ａは、第２ヨーク８７の平板部８７０の第１側面８７１に重なって第１連結板部８６１と第２ヨーク８７の第１側面８７１とが溶接されている。同様に、第２連結板部８６２の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部８６２ａは、第２ヨーク８７の平板部８７０の第２側面８７２に重なって第２連結板部８６２と第２ヨーク８７の第２側面８７２とが溶接されている。
【００５７】
第１連結板部８６１の端部８６１ａ、および第１側面８７１のうちの一方には、他方に形成された凹部に嵌って溶接された凸部が形成され、第２連結板部８６２の端部８６２ａ、および第２側面８７２のうちの一方には、他方に形成された凹部に嵌って溶接された凸部が形成されている。本形態では、平板部８７０に形成された凸部８７３が第１連結板部８６１の端部８６１ａに形成された凹部８６３に嵌って溶接され、平板部８７０に形成された凸部８７４が第２連結板部８６２の端部８６２ａに形成された凹部８６４に嵌って溶接されている。
【００５８】
本形態では、第１ヨーク８６の平板部８６０、および第２ヨーク８７の平板部８７０の第３方向Ｙの端部には、磁石８を搭載する際に第１ヨーク８６および第２ヨーク８７の位置決めを行うための切り欠き８６０ａ、８７０ａが形成されている。
【００５９】
このように構成した可動体３において、第１ヨーク８６および磁石８の少なくとも一方には、磁石８の着磁方向を示すマークが付されている。例えば、第１ヨーク８６には、平板部８６０の４つの角のうち、Ｓ極が位置する側の角が切り欠かれたマーク８６ｓが付され、他の角は角張っている。また、第２ヨーク８７および磁石８の少なくとも一方にも、磁石８の着磁方向を示すマークが付されている。例えば、第２ヨーク８７には、平板部８７０の４つの角のうち、Ｎ極が位置する側の角が切り欠かれたマーク８７ｓが付され、他の角は角張っている。なお、磁石８に対して、マークを付す場合には、印刷等を利用すればよい。
【００６０】
（位置決め凸部８６５、８７５の構成）
図１１は、図１０に示す第２ヨーク８７に磁石８を搭載する工程を示す説明図である。図９に示すように、第１ヨーク８６は、第１ヨーク８６の一部が、磁石８が固定された一方面から突出して第１磁石８１および第２磁石８２の第１ヨーク８６の平板部８６０の面内方向における位置決めを行う位置決め凸部８６５を有している。本形態において、位置決め凸部８６５は、第１磁石８１の第２磁石８２側の位置を規定する第１凸部８６５ａと、第２磁石８２の第１磁石８１側の位置を規定する第２凸部８６５ｂとを含んでいる。本形態において、第１凸部８６５ａと第２凸部８６５ｂとは、第１磁石８１と第２磁石８２との間に設けられた共通の凸部８６５ｃからなる。凸部８６５ｃ（第１凸部８６５ａおよび第２凸部８６５ｂ）は、第３方向Ｙで離間する２箇所に設けられている。
【００６１】
位置決め凸部８６５は、さらに、第１磁石８１と第２磁石８２とが隣り合う第２方向Ｘ
と交差する第３方向Ｙにおける第１磁石８１の位置決め、および第２磁石８２の位置決めを行う第３凸部８６５ｄ、８６５ｅを含んでいる。本形態において、第３凸部８６５ｄは、第１磁石８１のＹ方向の両側２箇所に設けられ、第３凸部８６５ｅは、第２磁石８２のＹ方向の両側２箇所に設けられている。
【００６２】
図１０に示すように、第２ヨーク８７も、第１ヨーク８６と同様、第２ヨーク８７の一部が、磁石８が固定された一方面から突出して第１磁石８３および第２磁石８４の第２ヨーク８７の平板部８７０の面内方向における位置決めを行う位置決め凸部８７５を有している。本形態において、位置決め凸部８７５は、第１磁石８３の第２磁石８４側の位置を規定する第１凸部８７５ａと、第２磁石８４の第１磁石８３側の位置を規定する第２凸部８７５ｂとを含んでいる。本形態において、第１凸部８７５ａと第２凸部８７５ｂとは、第１磁石８３と第２磁石８４との間に設けられた共通の凸部８７５ｃからなる。凸部８７５ｃ（第１凸部８７５ａおよび第２凸部８７５ｂ）は、第３方向Ｙで離間する２箇所に設けられている。
【００６３】
位置決め凸部８７５は、さらに、第１磁石８３と第２磁石８４とが隣り合う第２方向Ｘと交差する第３方向Ｙにおける第１磁石８３の位置決め、および第２磁石８４の位置決めを行う第３凸部８７５ｄ、８７５ｅを含んでいる。本形態において、第３凸部８７５ｄは、第１磁石８３のＹ方向の両側２箇所に設けられ、第３凸部８７５ｅは、第２磁石８４のＹ方向の両側２箇所に設けられている。
【００６４】
位置決め凸部８６５は、第１ヨーク８６の平板部８６０の一部を、磁石８とは反対側の他方面側から磁石８が位置する一方面側に突出させた凸部である。また、位置決め凸部８７５は、第２ヨーク８７の平板部８７０の一部を、磁石８とは反対側の他方面側から磁石８が位置する一方面側に突出させた凸部である。従って、例えば、図８に示すように、第２ヨーク８７の平板部８７０の磁石８とは反対側の他方面には、位置決め凸部８７５を形成した際の凹状の痕８７５ｘが残っている。また、図４に示すように、第１ヨーク８６の平板部８６０の磁石８とは反対側の他方面には、位置決め凸部８６５を形成した際の凹状の痕８６５ｘが残っている。
【００６５】
ここで、第１ヨーク８６では、第１磁石８１に対して第２磁石８２と反対側、および第２磁石８２に対して第１磁石８１と反対側には、位置決め凸部８６５が設けられていない。また、第２ヨーク８７では、第１磁石８３に対して第２磁石８４と反対側、および第２磁石８４に対して第１磁石８３と反対側には、位置決め凸部８７５が設けられていない。また、図１１に示すように、位置決め凸部８７５の平板部８７０からの突出寸法は、磁石８の厚さ（第１磁石８３の厚さ、および第２磁石８４の厚さ）より低い。
【００６６】
従って、アクチュエータ１を製造するにあたって、第２ヨーク８７に第１磁石８３および第２磁石８４を配置する工程において、カートリッジ８００の内部に積層された複数の磁石８のうち、最も下方に位置する磁石８をスライドさせて、第１磁石８３および第２磁石８４を第２ヨーク８７の一方面に配置する際、位置決め凸部８７５とカートリッジ８００とが干渉しにくい等、位置決め凸部８７５が邪魔にならない。
【００６７】
図示を省略するが、第１ヨーク８６でも、第２ヨーク８７の側と同様、位置決め凸部８６５の平板部８６０からの突出寸法は、磁石８の厚さ（第１磁石８１の厚さ、および第２磁石８２の厚さ）より低い。従って、図１１に示す工程では、第１磁石８１および第２磁石８２を配置する際、位置決め凸部８６５が邪魔にならない。なお、第１ヨーク８６では、第１連結板部８６１および第２連結板部８６２が存在するが、カートリッジ８００を傾ければ、第１連結板部８６１および第２連結板部８６２がカートリッジ８００と干渉することを回避することができる。
【００６８】
（ストッパの構成）
図２に示すように、本形態では、可動体３に用いた第１ヨーク８６の第１連結板部８６１に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１には、第１ケース部材１６の第１壁部１６１、ホルダ６０の第１壁部６１、および第２ケース部材１７の第１壁部１７１の内面が、連続した平面を構成した状態で対向している。従って、第１連結板部８６１は、可動体３が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動した際に可動体３の第２方向Ｘの一方側Ｘ１への可動範囲を規制する第１ストッパを構成している。
【００６９】
同様に、第２連結板部８６２に対して第２方向Ｘの他方側Ｘ２には、第１ケース部材１６の第２壁部１６２、ホルダ６０の第２壁部６２、および第２ケース部材１７の第２壁部１７２の内面が、連続した平面を構成した状態で対向している。従って、第２連結板部８６２は、可動体３が第２方向Ｘの他方側Ｘ２に移動した際に可動体３の第２方向Ｘの他方側Ｘ２への可動範囲を規制する第２ストッパを構成している。
【００７０】
（基本動作）
本形態のアクチュエータ１において、コイル７に交流を印加すると、可動体３は、第２方向Ｘに振動するため、アクチュエータ１における重心が第２方向Ｘに変動する。このため、利用者は、第２方向Ｘの振動を体感することができる。その際、コイル７に印加する交流波形を調整して、可動体３が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する加速度と、可動体３が第２方向の他方側Ｘ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第２方向Ｘにおいて方向性を有する振動を体感することができる。
【００７１】
（接続体９０および粘弾性部材９の構成）
図２、図４および図５に示すように、支持体２および可動体３に対して接続する接続体９０が設けられている。接続体９０は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えている。本形態において、接続体９０は、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所に設けられた粘弾性部材９であり、第１方向Ｚ、第２方向Ｘ、および第３方向Ｙ方向に弾性的に変形可能である。粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、粘弾性部材９として、各種ゲル状部材を用いることができる。粘弾性部材９として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。
【００７２】
本形態において、接続体９０として粘弾性部材９のみが支持体２および可動体３の双方に接続されている。本形態においては、粘弾性部材９として、可動体３の第１ヨーク８６と支持体２の第１ケース部材１６とが第１方向Ｚで対向する個所に第１粘弾性部材９１が配置され、可動体３の第２ヨーク８７と支持体２の第２ケース部材１７とが第１方向Ｚで対向する個所に第２粘弾性部材９２が配置されている。より具体的には、第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク８６の平板部８６０と第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７の底部との間の各々に設けられ、第２粘弾性部材９２は、第２ヨーク８７の平板部８７０と第２ケース部材１７の凹部１７６、１７７の底部との間の各々に設けられている。
【００７３】
ここで、第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク８６の平板部８６０と第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７の底部との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置され、第２粘弾性部材９２は、第２ヨーク８７の平板部８７０と第２ケース部材１７の凹部１７６、１７７の底部との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置されている。第１粘弾性部材９１は
、支持体２と接する面（第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７の底部）に接着され、可動体３と接する面（第１ヨーク８６）と接着されている。第２粘弾性部材９２は、支持体２と接する面（第２ケース部材１７の凹部１７６、１７７の底部）に接着され、可動体３と接する面（第２ヨーク８７）と接着されている。
【００７４】
本形態において、粘弾性部材９（第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２）は、針入度が１０度から１１０度であるシリコーン系ゲルである。針入度とは、ＪＩＳ−Ｋ−２２０７やＪＩＳ−Ｋ−２２２０で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。粘弾性部材９は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、粘弾性部材９は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。一方、本形態のように、粘弾性部材９が厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材９では、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、本形態のように、粘弾性部材９のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもった振動を実現することができる。
【００７５】
本形態では、第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７のうち、第１粘弾性部材９１が接続される接続領域１６６ａ、１６７ａには複数の凹部が形成されている。また、第２ケース部材１７の凹部１７６、１７７のうち、第２粘弾性部材９２が接続される接続領域１７６ａ、１７７ａには複数の凹部が形成されている。
【００７６】
また、接続体９０は、第１方向Ｚに圧縮された状態にあるため、接続体９０は、一部が複数の凹部の内側に位置する。このため、複数の凹部の縁は、接続体９０が第１方向Ｚと交差する方向に移動することを抑制する。従って、接続体９０を支持体２と可動体３との間に配置する際、複数の凹部の縁は、接続体９０が第１方向Ｚと交差する方向に移動することを効果的に抑制する。また、可動体３が第２方向Ｘに駆動される際、複数の凹部の縁は、接続体９０が第２方向Ｘに移動することを効果的に抑制する。それ故、支持体２と可動体３との間に配置した接続体９０の位置ずれを抑制することができる。また、接続体９０は、接続領域１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａに接着剤を介して固定され、接着剤の一部は、複数の凹部の内側に位置する。このため、接続体９０の接着強度が高い。
【００７７】
（アクチュエータ１の組み立て工程）
本形態では、第１ケース部材１６の貫通穴１６ｂから差し込んだ支持ピン（図示せず）によって第１ヨーク８６を支持しながら、第１ケース部材１６、第１ヨーク８６、ホルダ６０、および第２ヨーク８７を第１方向Ｚに重ねるとき、貫通穴１６ａから差し込んだ位置決めピンを基準に第１ケース部材１６の貫通穴１６ａ、第１ヨーク８６の切り欠き８６９、ホルダ６０の切り欠き６０３、および第２ヨーク８７の切り欠き８７９を重ねる。従って、第１ケース部材１６、第１ヨーク８６、ホルダ６０、および第２ヨーク８７を適正に重ねることができる。
【００７８】
その際、第１ヨーク８６の第１連結板部８６１をホルダ６０の第１開口部６０１を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて突出させ、第２連結板部８６２をホルダ６０の第２開口部６０２を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて突出させる。従って、第１ヨーク８６の第１連結板部８６１および第２連結板部８６２を各々、第２ヨーク８７と連結することができる。
【００７９】
また、第１ケース部材１６および第１ヨーク８６の一方に第１粘弾性部材９１を予め、接着剤によって接続しておき、第１ケース部材１６と第１ヨーク８６とを重ねる際、第１ケース部材１６および第１ヨーク８６の他方に第１粘弾性部材９１を接着剤によって接続する。また、第２ケース部材１７および第２ヨーク８７の一方に第２粘弾性部材９２を予め、接着剤によって接続しておき、第２ケース部材１７と第２ヨーク８７とを重ねる際、第２ケース部材１７および第２ヨーク８７の他方に第２粘弾性部材９２を接着剤によって接続する。その際、貫通穴１６ｂから差し込んだ支持ピンを第２ケース部材１７の切り欠き１７ｂに当接させて第２ケース部材１７を支持する。
【００８０】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のアクチュエータ１において、第１磁石８１および第２磁石８２に対して第１コイル７１および第２コイル７２とは反対側に第１ヨーク８６が設けられているため、磁気効率を高めることができる。また、第１ヨーク８６には、第１磁石８１および第２磁石８２の面内方向における位置決めを行う位置決め凸部８６５が設けられているため、第１ヨーク８６の一方面の所定位置に第１磁石８１および第２磁石８２を設けることができる。また、第１磁石８３および第２磁石８４に対して第１コイル７１および第２コイル７２とは反対側に第２ヨーク８７が設けられているため、磁気効率を高めることができる。また、第２ヨーク８７には、第１磁石８３および第２磁石８４の面内方向における位置決めを行う位置決め凸部８７５が設けられているため、第２ヨーク８７の一方面の所定位置に第１磁石８３および第２磁石８４を設けることができる。さらに、位置決め凸部８６５、８７５は、第１ヨーク８６および第２ヨーク８７の一部を突出させた部分であるため、位置決め凸部８６５、８７５を設けても、コストの増大を抑制することができる。
【００８１】
特に本形態において、第１磁石８１の第２磁石８２側の磁極と第２磁石８２の第１磁石８１側の磁極とが異なっているため、第１磁石８１および第２磁石８２を配置する際、引力が作用するが、第１磁石８１は第１凸部８６５ａによって第２磁石８２側の位置が規定され、第２磁石８２は第２凸部８６５ｂによって第１磁石８１側の位置が規定される。従って、第１ヨーク８６の一方面の所定位置に第１磁石８１および第２磁石８２を配置することができる。また、第１磁石８３の第２磁石８４側の磁極と第２磁石８４の第１磁石８３側の磁極とが異なっているため、第１磁石８３および第２磁石８４を配置する際、引力が作用するが、第１磁石８３は第１凸部８７５ａによって第２磁石８４側の位置が規定され、第２磁石８４は第２凸部８７５ｂによって第１磁石８３側の位置が規定される。従って、第２ヨーク８７の一方面の所定位置に第１磁石８３および第２磁石８４を配置することができる。また、第１凸部８６５ａと第２凸部８６５ｂは、共通の凸部８６５ｃからなり、第１凸部８７５ａと第２凸部８７５ｂは、共通の凸部８７５ｃからなる。このため、第１ヨーク８６および第２ヨーク８７に対する加工を効率よく行うことができる。
【００８２】
また、第１磁石８１および第２磁石８２は、第３凸部８６５ｄおよび第３凸部８６５ｅによって第３方向Ｙでも第１ヨーク８６の所定位置に配置される。また、第１磁石８３および第２磁石８４は、第３凸部８７５ｄおよび第３凸部８７５ｅによって第２ヨーク８７の所定位置に配置される。それ故、第１磁石８１、８３および第２磁石８２、８４が第１コイル７１および第２コイル７２に対して適正に配置されるので、磁気効率を高めることができる。
【００８３】
［別の実施形態］
図１２は、本発明の別の実施形態に係るアクチュエータ１の説明図である。上記実施形態に係るアクチュエータ１において、位置決め凸部８７５は、第２ヨーク８７の平板部８７０の一部を、磁石８とは反対側の他方面側から磁石８が位置する一方面側に突出させた凸部であったが、図１２に示すように、位置決め凸部８７５は、第２ヨーク８７の一部を
折り曲げた凸部であってもよい。図１２には、第２ヨーク８７の一部を切り起こした凸部によって位置決め凸部８７５を形成した例を示してある。なお、図示を省略するが、図９を参照して説明した位置決め凸部８６５に代えて、第１ヨーク８６の一部を折り曲げて位置決め凸部８６５を形成してもよい。
【００８４】
［他の実施形態］
上記実施形態では、２つの磁石８（第１磁石８１および第２磁石８２）を有していたが、例えば、コイル７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１のみに磁石８が配置され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に第２ヨーク８７のみが存在する態様の場合に本発明を適用してもよい。
【００８５】
上記実施形態では、粘弾性部材９としてシリコーン系ゲル等のゲル状部材を用いたが、ゴム等を粘弾性部材として用いてもよい。また、上記実施形態では、接続体９０として粘弾性部材９を用いたが、バネ等の弾性部材を用いてもよい。
【００８６】
上記実施形態では、コイルおよびホルダが支持体２に設けられ、磁石およびヨークが可動体３に設けられていたが、コイルおよびホルダが可動体３に設けられ、磁石およびヨークが支持体２に設けられている場合に本発明を適用してもよい。上記実施形態では、可動体３を第２方向Ｘのみに駆動するアクチュエータ１に本発明を適用したが、可動体３を第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに駆動するアクチュエータ１に本発明を適用してもよい。
【符号の説明】
【００８７】
１…アクチュエータ、２…支持体、３…可動体、６…磁気駆動回路、７…コイル、８…磁石、９…粘弾性部材、１５…配線基板、１６…第１ケース部材、１７…第２ケース部材、６０…ホルダ、７１…第１コイル、７２…第２コイル、８１、８３…第１磁石、８２、８４…第２磁石、８６…第１ヨーク、８６ｓ、８７ｓ…マーク、８７…第２ヨーク、９０…接続体、９１…第１粘弾性部材、９２…第２粘弾性部材、１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａ…接続領域、６０１…第１開口部、６０２…第２開口部、７０１…長辺、７０２…短辺、８００…カートリッジ、８６０、８７０…平板部、８６１…第１連結板部、８６２…第２連結板部、８６５、８７５…位置決め凸部、８６５ａ、８７５ａ…第１凸部、８６５ｂ、８７５ｂ…第２凸部、８６５ｃ…凸部、８６５ｄ、８６５ｅ、８７５ｄ、８７５ｅ…第３凸部、８６５ｘ、８７５ｘ…痕、Ｘ…第２方向、Ｙ…第３方向、Ｚ…第１方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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