(57)【要約】【課題】白色等の多波長の光を用いて測定対象物の厚み、距離、変位等の特徴量を高い精度で測定することが可能な共焦点変位計を提供する。【解決手段】レーザ光源と、レーザ光源からの光を集光するための光源光学部材と、光源光学部材により集光された光により励起される蛍光体と、一端に蛍光体を備え、該一端側から蛍光体が発光する光を受け付け、他端側に受け付けた光を伝搬する、一又は複数の光ファイバからなる光ファイバ部と、該光ファイバ部の他端から出射される光を測定対象物に向けて集光するヘッド光学部材と、測定対象物からの光を波長に応じて選択的に受光し、受光量に対応した信号に光電変換する受光素子と、該受光素子からの波長に応じた受光量を示す信号に基づいて測定対象物の特徴量を測定する測定制御部とを備える。【選択図】図７
2020079807.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源と、
前記レーザ光源に対向して設けられ、当該レーザ光源からの光を集中させる光源レンズと、
前記光源レンズにより前記レーザ光が集中する領域に固定され、前記光源レンズにより集中された前記レーザ光源からの光により励起される蛍光体と、
入射端部分に前記蛍光体が固定配置され、当該蛍光体が前記レーザ光源波の光により励起され発光した多波長の光を、共焦点位置に配置された出射端から出射する光ファイバと、
光軸方向に沿って色収差を生じる第１のレンズを有し、前記出射端から出射される光を、前記第１のレンズを介して測定対象物に向けて光の波長に応じて前記光軸方向に沿って異なる位置に集光するヘッド光学部材と、
前記出射端から前記光ファイバに入射した測定対象物からの反射光を、当該光ファイバを介して波長に応じて選択的に受光し、受光量に対応した信号に光電変換する受光素子と、
前記受光素子からの波長に応じた受光量を示す信号に基づいて測定対象物の厚み又は変位を測定する測定制御部と
を備え、
前記光ファイバのコア径は２００μｍ以下であり、光路に直交する方向の前記蛍光体の大きさは該コア径よりも大きいことを特徴とする共焦点変位計。
【請求項２】
前記レーザ光源からの光及び前記蛍光体が発光する光を透過し、前記蛍光体を前記レーザ光が集中する領域に固定する光透過性媒体を備えることを特徴とする請求項１に記載の共焦点変位計。
【請求項３】
前記光透過性媒体を含む前記蛍光体の光路方向の厚みが１０μm以上２００μｍ以下であることを特徴とする請求項２に記載の共焦点変位計。
【請求項４】
前記光透過性媒体として接着性樹脂が選択され、前記蛍光体は接着固定されることを特徴とする請求項２又は３に記載の共焦点変位計。
【請求項５】
前記蛍光体の光路方向の厚みが１０μm以上２００μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の共焦点変位計。
【請求項６】
前記レーザ光源からの光を透過し、前記蛍光体が発光する光を反射する反射フィルタを備え、
前記蛍光体は、前記反射フィルタと前記入射端との間に固定されていることを特徴とする請求項３乃至５のいずれか一項に記載の共焦点変位計。
【請求項７】
前記光ファイバのコア径が５０μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の共焦点変位計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、白色等の多波長の光を用いて測定対象物の厚み、距離、変位等の特徴量を測定することが可能な共焦点変位計に関する。
【背景技術】
【０００２】
光電測定装置は、可視光、赤外光等を投光部から投光し、測定対象物の表面で反射した反射光、あるいは測定対象物を透過した透過光を受光部で検出する。測定部は、受光部における波長ごとの光強度分布に応じて測定対象物の厚み、距離、変位、色等の特徴量をする（特許文献１乃至４参照）。
【０００３】
従来の多波長光電測定装置では、発光源としてハロゲンランプ、キセノンランプ等の白色光源、白色ＬＥＤ、ＳＬＤ（スーパールミネッセントダイオード）等を用いている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許公報４，５８５，３４９号
【特許文献２】特開２０１２−０２１８５６号公報
【特許文献３】特開２０１０−１２１９７７号公報
【特許文献４】特開平０２−０９５２２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、発光源としてＳＬＤ（スーパールミネッセントダイオード）を用いた場合、測定仕様によっては発光する光の波長幅が足りず、所望の測定ができないという問題点があった。また、発光源としてハロゲンランプ、キセノンランプ等の白色光源、白色ＬＥＤ等を用いた場合、発光部の面積が大きいために小さなスポット径となるように結像させることが困難となる。測定対象物へ照射される光のスポット径が大きくなった場合、所望の測定対象領域以外にも光が照射されることになり、適切に測定することができないおそれがあるという問題点があった。
【０００６】
特に、共焦点変位計や干渉変位計においては、測定対象物へ照射される光のスポット径が大きくなった場合、光軸方向に対して垂直方向の精度だけでなく、光軸方向に沿って測定される厚み、変位等の測定精度も悪化する。
【０００７】
斯かる問題点を解消するために、測定対象物へ照射される光のスポット径を小さくするべく発光源に絞りを設けることも考えられる。しかし、ハロゲンランプ、キセノンランプ等の白色光源は寿命が短いという問題点があり、また、白色ＬＥＤを用いた場合であっても、白色ＬＥＤは単位面積当たりの発光量が小さいため、測定対象物へ照射される光の光量が小さく、測定可能な測定対象物が制限されたり、高い精度で測定対象物の厚み、距離等を検出することができないという問題点があった。
【０００８】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、白色等の多波長の光を用いて測定対象物の厚み、距離、変位等の特徴量を高い精度で測定することが可能な共焦点変位計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために第１発明に係る共焦点変位計は、レーザ光源と、前記レーザ光源に対向して設けられ、当該レーザ光源からの光を集中させる光源レンズと、前記光源レンズにより前記レーザ光が集中する領域に固定され、前記光源レンズにより集中された前記レーザ光源からの光により励起される蛍光体と、入射端部分に前記蛍光体が固定配置され、当該蛍光体が前記レーザ光源波の光により励起され発光した多波長の光を、共焦点位置に配置された出射端から出射する光ファイバと、光軸方向に沿って色収差を生じる第１のレンズを有し、前記出射端から出射される光を、前記第１のレンズを介して測定対象物に向けて光の波長に応じて前記光軸方向に沿って異なる位置に集光するヘッド光学部材と、前記出射端から前記光ファイバに入射した測定対象物からの反射光を、当該光ファイバを介して波長に応じて選択的に受光し、受光量に対応した信号に光電変換する受光素子と、前記受光素子からの波長に応じた受光量を示す信号に基づいて測定対象物の厚み又は変位を測定する測定制御部とを備え、前記光ファイバのコア径は２００μｍ以下であり、光路に直交する方向の前記蛍光体の大きさは該コア径よりも大きいことを特徴とする。
【００１０】
また、第２発明に係る共焦点変位計は、第１発明において、前記レーザ光源からの光及び前記蛍光体が発光する光を透過し、前記蛍光体を前記レーザ光が集中する領域に固定する光透過性媒体を備えることを特徴とする。
【００１１】
また、第３発明に係る共焦点変位計は、第２発明において、前記光透過性媒体を含む前記蛍光体の光路方向の厚みが１０μm以上２００μｍ以下であることを特徴とする。
【００１２】
また、第４発明に係る共焦点変位計は、第２又は第３発明において、前記光透過性媒体として接着性樹脂が選択され、前記蛍光体は接着固定されることを特徴とする。
【００１３】
また、第５発明に係る共焦点変位計は、第１発明において、前記蛍光体の光路方向の厚みが１０μm以上２００μｍ以下であることを特徴とする。
【００１４】
また、第６発明に係る共焦点変位計は、第３乃至第５発明のいずれか１つにおいて、前記レーザ光源からの光を透過し、前記蛍光体が発光する光を反射する反射フィルタを備え、前記蛍光体は、前記反射フィルタと前記入射端との間に固定されていることを特徴とする。
【００１５】
また、第７発明に係る共焦点変位計は、第１乃至第６発明のいずれか１つにおいて、前記光ファイバのコア径が５０μｍ以下であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、レーザ光源から出射された光を、光ファイバ部の光源光学部材側の一端に備えた蛍光体を介して光ファイバ部へ入光させることができるので、光が蛍光体により波長変換されて拡散された場合であっても確実に絞り込むことができ、光ファイバ部へ効率的に入光させることが可能となる。したがって、高い精度で測定対象物の厚み、距離、変位等の特徴量を測定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態に係る多波長光電測定装置を模式的に示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る多波長光電測定装置である共焦点測定装置（共焦点変位計）の構成を模式的に示すブロック図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係るヘッドユニットの構成を示す模式図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る投光ユニットの主要構成を示す模式図である。
【図５】本発明の実施の形態１に係る投光ユニットの枠体を設けた構成を示す模式図である。
【図６】本発明の実施の形態１に係る投光ユニットの枠体を設けた構成を示す部分拡大模式図である。
【図７】本発明の実施の形態１に係る投光ユニットの反射型フィルタを設けた構成を示す模式図である。
【図８】本発明の実施の形態１に係る投光ユニットの構成を示す正面図及び断面図である。
【図９】本発明の実施の形態１に係る投光ユニットに筒状の反射鏡を用いた構成を示す模式図である。
【図１０】本発明の実施の形態１に係る投光ユニットにレンズ及び筒状の反射鏡の両方を用いた構成を示す模式図である。
【図１１】本発明の実施の形態１に係る投光ユニットのレーザ光源の配置を変えた構成を示す模式図である。
【図１２】本発明の実施の形態１に係る投光ユニットの複数の光ファイバを連結した構成を示す模式図である。
【図１３】本発明の実施の形態１に係る投光ユニットの複数の光ファイバを連結した部分の構成を示す拡大模式図である。
【図１４】本発明の実施の形態２に係る多波長光電測定装置である干渉測定装置の構成を模式的に示すブロック図である。
【図１５】本発明の実施の形態２に係るヘッドユニットの構成を示す模式図である。
【図１６】本発明の実施の形態２に係る投光ユニットの構成を示す正面図及び断面図である。
【図１７】本発明の実施の形態２に係る投光ユニットに筒状の反射鏡を用いた構成を示す模式図である。
【図１８】本発明の実施の形態２に係る投光ユニットにレンズ及び筒状の反射鏡の両方を用いた構成を示す模式図である。
【図１９】本発明の実施の形態２に係る投光ユニットのレーザ光源の配置を変えた構成を示す模式図である。
【図２０】本発明の実施の形態２に係る投光ユニットの複数の光ファイバを連結した構成を示す模式図である。
【図２１】本発明の実施の形態２に係る投光ユニットの複数の光ファイバを連結した部分の構成を示す拡大模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態に係る多波長光電測定装置について、図面に基づいて具体的に説明する。
【００１９】
（多波長光電測定装置）
図１は、本発明の実施の形態に係る多波長光電測定装置を模式的に示すブロック図である。多波長光電測定装置１００は、レーザ光源１０１、光源光学部材２００、蛍光体７０、光ファイバ部３００、ヘッド光学部材４００、受光素子５００、及び測定制御部６００から構成される。
【００２０】
レーザ光源１０１は、単一波長の光を発し、好ましくは、波長が４５０ｎｍ以下の青色あるいは紫外光を発するもので構成される。さらに好ましくは、青色の光を発するものであると、蛍光体７０の励起に利用され波長変換された光と蛍光体７０の励起に利用されず青色のままの光が混じりあった光を測定対象物に投光することができる。
【００２１】
蛍光体７０は、レーザ光源１０１からの光で励起され異なる波長に変換して光を発する。蛍光体７０は、一又は複数種の蛍光体７０で構成され、例えば、青色の光で励起され、黄色光に変換して光を発するようにしても良く、また、２種の蛍光体７０により青色の光で励起され緑色に変換して光を発するとともに青色の光で励起され赤色に変換して光を発するようにしても良い。
【００２２】
蛍光体７０は、レーザ光源１０１からの光及び蛍光体７０が発光する光を透過する樹脂、ガラス等の光透過性媒体（図４の７１）内に固定されても良い。
【００２３】
光ファイバ部３００は、一又は複数の光ファイバ３０で構成される。取り扱いを容易にするために、光ファイバ３０の端にフェルール２０を用いても良い。ヘッド光学部材４００側の光ファイバ３０の端である出射端のコア径は、測定対象物に結像されるスポット径に影響があるため直径２００μｍ以下が好ましく、直径５０μｍ以下がより好ましい。
【００２４】
光ファイバ部３００は、光ファイバ３０の光源光学部材２００側の一端である入射端側に蛍光体７０が固定されている。蛍光体７０は、レーザ光源１０１からの光及び蛍光体７０が発光する光を透過する樹脂、ガラス等の光透過性媒体７１内に固定されるとともに光透過性媒体７１が光ファイバ３０の入射端に固定されるようにしても良い。このときレーザ光源１０１からの光及び蛍光体７０からの光を効率よく光ファイバ３０に入射するために、光透過性媒体７１の屈折率は、光ファイバ３０の入射端側のコアの屈折率以下としている。
【００２５】
蛍光体７０の励起に利用され波長変換された光と蛍光体７０の励起に利用されず青色のままの光が混じりあった光とを所望の状態にするために、光透過性媒体７１を含む蛍光体７０の光路方向の厚みは１０μｍ〜２００μｍ程度に設定され、光透過性媒体７１中の蛍光体７０の濃度は３０％〜６０％程度に設定される。
【００２６】
蛍光体７０、又は光透過性媒体７１を含む蛍光体７０の光路方向の厚みは１０μｍ〜２００μｍ程度に設定される場合、光ファイバ部３０の入射端に入射される光の光路に対応した形状の開口が形成された枠体（図５の８０）を設け、枠体８０の開口に蛍光体７０、又は、光透過性媒体７１を含む蛍光体７０を収容することが好ましい。
【００２７】
効率的に蛍光体７０を励起し、蛍光体７０の励起に利用され波長変換された光と蛍光体７０の励起に利用されず青色のままの光が混じりあった光を効率よく光ファイバ部３００に入射するために、枠体８０の内周壁面を反射面（図６の８１）とする、及び／又は、レーザ光源１０１からの光を透過し、蛍光体７０が発光する光を反射する光学フィルタ（反射型フィルタ：図７の９０）により枠体８０の光源光学部材２００側を覆うようにしても良い。
【００２８】
光透過性媒体７１は、レーザ光源１０１からの光が集中する領域に配置されるため、光透過性媒体７１としては、耐熱性の高い材料及び／又は放熱性の高い材料が選択される。
【００２９】
光透過性媒体７１として接着性樹脂が選択され、蛍光体７０が接着性樹脂により光ファイバ３０の入射端に接着固定されても良い。
【００３０】
ヘッド光学部材４００は、光ファイバ部３００の出射端から出射される光を測定対象物（ワーク）Ｗに向けて集光する。
【００３１】
受光素子５００は、多分割ＰＤ（フォトダイオード）あるいはＣＣＤ、ＣＭＯＳ等の撮像素子で構成され、回折格子、プリズム等により構成される分光器５０１あるいは色選択光学フィルタを介して測定対象物Ｗからの光を波長に応じて選択的に受光する。
【００３２】
受光素子５００は、測定対象物Ｗからの光を、光ファイバ部３００を介して受光するものであっても良く、他の光学経路を介して受光するものであっても良い。
【００３３】
測定制御部６００は、受光素子５００からの波長に応じた受光量を示す信号に基づいて測定対象物Ｗの厚み、距離、変位、色等の特徴量を測定する。
【００３４】
ヘッド光学部材４００が、光ファイバ部３００の出射端が共焦点位置となるように構成されている場合、測定対象物Ｗからの光は、回折格子やプリズム等により構成される分光器５０１により光を波長に応じて分離され、受光素子５００における受光位置によって測定対象物Ｗからの光の波長−輝度分布が検出される。例えば、ヘッド光学部材４００として色収差レンズを用いた場合、測定制御部６００は、より短い波長の光が検出されると測定対象物Ｗがより近い距離に存在し、より長い波長の光が検出されると測定対象物Ｗがより遠い距離に存在すると評価し、ヘッド光学部材４００として回折レンズを用いた場合、測定制御部６００は、より短い波長の光が検出されると測定対象物Ｗがより遠い距離に存在し、より長い波長の光が検出されると測定対象物Ｗがより近い距離に存在すると評価することにより、測定対象物Ｗの厚み、距離を測定する。
【００３５】
（実施の形態１）
図２は、本発明の実施の形態１に係る多波長光電測定装置である共焦点測定装置（共焦点変位計）の構成を模式的に示すブロック図である。図２に示すように、本実施の形態１に係る共焦点測定装置（共焦点変位計）１００は、ヘッド光学部材において投光と受光とが同軸となる同軸光学系を構成しており、投光ユニット１０から投光された複数の波長を含む光Ｌｂを用いて、測定対象物（以下、ワーク）Ｗの厚み、距離等を測定する。
【００３６】
フェルール２０は、投光ユニット１０から投光された光を伝送する光ファイバ３０の端部を保持している。投光される光の光軸とフェルール２０（光ファイバ３０）の中心軸とは一直線上になるよう配置されている。
【００３７】
スプリッタ４０は、光ファイバ３０を介してフェルール２０、受光ユニット５０及びヘッドユニット６０に接続されている。フェルール２０に入光された光は、そのままヘッドユニット６０に伝送され、ヘッドユニット６０からの反射光等を受光ユニット５０へ伝送する。
【００３８】
光ファイバ３０は、投光ユニット１０から投光された光をヘッドユニット６０まで伝送する伝送媒体である。光ファイバ３０は、導光体である芯線と、芯線を被覆する樹脂膜とで構成される。
【００３９】
ヘッドユニット６０は、ワークＷに対して複数の波長の光Ｌｂを出射し、ワークＷ表面で反射された反射光の一部が入射される。ワークＷからの反射光は、光ファイバ３０及びスプリッタ４０を介して受光ユニット５０へ伝送される。受光ユニット５０は、伝送された反射光を分光して、ワークＷの厚み、距離等を算出する。
【００４０】
図３は、本発明の実施の形態１に係るヘッドユニット６０の構成を示す模式図である。図３に示すように、本実施の形態１に係るヘッドユニット６０は、コリメートレンズ６１よりワークＷ側にレンズ６２が配置されている。
【００４１】
光ファイバ３０の端部から出射された光は、コリメートレンズ６１で平行光に変換され、平行光をレンズ６２でワークＷに集光されるとともに、光軸方向に沿って色収差が生じている。レンズ６２により集光するので、光の波長に依存して焦点距離が異なる。したがって、測定精度は、光の波長に大きく依存する。
【００４２】
図４は、本発明の実施の形態１に係る投光ユニット１０の主要構成を示す模式図である。図４に示すように、レーザ光源１０１から出射された光をレンズ（光学部材）１０２により光ファイバ３０へ入光させる。レーザ光源１０１からの距離に応じて焦点位置を光ファイバ３０の先端部分に容易に合わせることができるので、光ファイバ３０内へ効率的に入光させることができる。フェルール２０のレンズ（光学部材）１０２側の先端部分（光ファイバ３０の先端部分）には、蛍光体７０を薄く塗布している。なお、レーザ光源１０１からの光及び蛍光体７０が発光する光を透過する樹脂、ガラス等の光透過性媒体７１内に固定されていても良い。
【００４３】
蛍光体７０を、光ファイバ３０のレンズ１０２側の先端部分に備えることにより、レーザ光源１０１から出射された一又は複数の波長の光を、光ファイバ３０のレンズ１０２側の先端部分に備えた蛍光体７０を介して光ファイバ３０内へ入光させることができる。したがって、光が蛍光体７０により波長変換されて拡散された場合であっても、光ファイバ３０へと確実に絞り込むことができ、光ファイバ３０内へ効率的に入光させることが可能となる。
【００４４】
より確実に光ファイバ３０内に入光させるために、蛍光体７０の周囲を囲む枠体を設けることが好ましい。図５は、本発明の実施の形態１に係る投光ユニット１０の枠体を設けた構成を示す模式図である。
【００４５】
図５に示すように、レーザ光源１０１から出射された光をレンズ１０２により光ファイバ３０へ入光させる。フェルール２０のレンズ（光学部材）１０２側の先端部分（光ファイバ３０の先端部分）には、蛍光体７０を薄く塗布している。
【００４６】
そして、蛍光体７０の周囲を囲むように、円環状の枠体を備えている。図６は、本発明の実施の形態１に係る投光ユニット１０の枠体を設けた構成を示す部分拡大模式図である。図６（ａ）は、フェルール２０の先端部分の正面図を、図６（ｂ）及び（ｃ）は、フェルール２０の先端部分を示す図６（ａ）のＡ−Ａ断面図を、それぞれ示している。
【００４７】
図６に示すように、フェルール２０の先端部分には蛍光体７０を塗布しており、周囲を囲むように枠体８０を設けている。枠体８０は円環状であり、光ファイバ３０の入射端に入射される光の光路に対応した形状の開口が形成されている。枠体８０の開口には、蛍光体７０、又は光透過性媒体７１を含む蛍光体７０を収容することが好ましい。
【００４８】
なお、図６（ｂ）に示すように、枠体８０の内径側の壁部に反射面８１を備えることが好ましい。光ファイバ３０内へより効率的に入光させることができるからである。もちろん、反射面８１は、光軸に平行であっても良いし、傾斜していても良い。例えば図６（ｃ）に示すように、枠体８０の開口径を光ファイバ３０側とレーザ光源１０１側とで異ならせる（レーザ光源１０１側の開口径の方が小さいことが好ましい）ことにより、反射面で反射光を今一度光ファイバ３０へと入光させることができ、伝送効率を高く維持することができる。
【００４９】
もちろん、枠体８０を覆うように反射型フィルタを備えても良い。図７は、本発明の実施の形態１に係る投光ユニット１０の反射型フィルタを設けた構成を示す模式図である。図７（ａ）は、投光ユニット１０全体の構成を示す模式図を、図７（ｂ）は、フェルール２０の先端部分の模式断面図を、それぞれ示している。
【００５０】
図７に示すように、蛍光体７０の周囲を囲むように設けられた枠体８０を覆うように、反射型フィルタ９０が設けられている。反射型フィルタ９０を、レーザ光源１０１からの光を透過させ、蛍光体７０により波長変換された光を反射するよう設定しておくことにより、波長変換された光を光ファイバ３０内へより効率的に入光させることが可能となる。
【００５１】
図８は、本発明の実施の形態１に係る投光ユニット１０の構成を示す正面図及び断面図である。図８（ａ）は、投光ユニット１０の構成を示す正面図を、図８（ｂ）は、投光ユニット１０の構成を示す図８（ａ）のＢ−Ｂ断面図を、それぞれ示している。
【００５２】
図８に示すように、投光ユニット１０は、光ファイバ３０が組み込まれたフェルール２０をフェルール押さえ２５で固定している。フェルール押さえ２５は、レンズ１０２を固定しているレンズホルダ１０３の一端部分にかぶせるように固着されている。また、レンズホルダ１０３の他端部分には、駆動基板１０５とともにレーザ光源１０１が装着された光源ホルダ１０４が挿入されている。
【００５３】
フェルール２０の先端部分（光ファイバ３０の先端部分）には蛍光体７０が塗布されており、蛍光体７０を囲むように枠体８０が設けてある。枠体８０を覆うように反射型フィルタ９０を設け、波長変換された光が光ファイバ３０内へより効率的に入光できるようにしてある。
【００５４】
もちろん、フェルール２０の先端部分の構成は、これに限定されるものではなく、図４に示すように、蛍光体７０を塗布しただけであっても良いし、図５に示すように、塗布された蛍光体７０の周囲を囲むように枠体８０を設けた構成であっても良い。
【００５５】
なお、上述した実施の形態１では、光学部材としてレンズ１０２を用いているが、レンズ１０２の代わりに反射鏡を用いても良い。図９は、本発明の実施の形態１に係る投光ユニット１０に筒状の反射鏡を用いた構成を示す模式図である。図９に示すように、レーザ光源１０１から出射された一又は複数の波長の光をレンズ（光学部材）１１０を介して反射鏡１１１により光ファイバ３０内へ入光させる。レンズ単体を用いた場合に外部へ拡散していた光も、反射鏡１１１により光ファイバ３０内へ入光させることができるので、光強度の減衰を抑制することができる。
【００５６】
フェルール２０のレンズ（光学部材）１１０側の先端部分（光ファイバ３０の先端部分）には、蛍光体７０を薄く塗布している。蛍光体７０を、光ファイバ３０のレンズ１１０側の先端部分に備えることにより、レーザ光源１０１から出射された一又は複数の波長の光を、光ファイバ３０のレンズ１１０側の先端部分に備えた蛍光体７０を介して光ファイバ３０内へ入光させることができる。したがって、光が蛍光体７０により波長変換されて拡散された場合であっても、光ファイバ３０へと確実に絞り込むことができ、光ファイバ３０内へ効率的に入光させることが可能となる。
【００５７】
より確実に光ファイバ３０内に入光させるために、蛍光体の周囲を囲む枠体８０を設けても良いし、枠体８０を覆うように、反射型フィルタ９０を設けても良い。いずれも、波長変換された光を光ファイバ３０内へより効率的に入光させることが可能となる。
【００５８】
また、フェルール２０に組み込まれた光ファイバ３０内に光を入光させる光学部材として、一又は複数のレンズ及びレンズが組み込まれた筒状の反射鏡の両方を用いても良い。図１０は、本発明の実施の形態１に係る投光ユニット１０にレンズ及び筒状の反射鏡の両方を用いた構成を示す模式図である。
【００５９】
図１０の例では、レーザ光源１０１と反射鏡１１１との間に一のレンズ１０２が配置されており、蛍光体７０は、反射鏡１１１の、レーザ光源１０１及び一のレンズ１０２が配置されている側の先端部分に塗布されている。これにより、光ファイバ３０の開口数の制限で光ファイバ３０内に入光することができなかった光も含めて光ファイバ３０内へ入光させることができ、光強度のロスを抑制することが可能となる。
【００６０】
上述した実施例と同様、蛍光体７０の周囲を囲む枠体８０を有し、枠体８０の内径側の壁部に反射面８１を備えていても良い。さらに、枠体８０を覆うように反射型フィルタ９０を備えていても良い。いずれも、蛍光体７０により波長変換された光を、光ファイバ３０内へより効率的に入光させることが可能となる。
【００６１】
なお、レーザ光源１０１から出射される光の光軸と、光ファイバ３０（フェルール２０）の中心軸とが一直線上に配置されることに限定されるものではない。図１１は、本発明の実施の形態１に係る投光ユニット１０のレーザ光源１０１の配置を変えた構成を示す模式図である。
【００６２】
図１１の例では、レーザ光源１０１から出射される光を反射して、光ファイバ３０側へ反射させる反射鏡１５０を備えている。レーザ光源１０１から出射された一又は複数の波長の光は、レンズ１０２で集光され反射鏡１５０へ誘導される。反射鏡１５０は、表面に蛍光体７０が塗布されており、蛍光体７０により波長変換された光を反射する。
【００６３】
反射鏡１５０で反射された光はレンズ１０９で集光され、フェルール２０に組み込まれた光ファイバ３０の先端部分へ入光される。これにより、光学部材の配置の自由度が高まり、装置全体を小型化することが可能となる。
【００６４】
なお、光強度を高めるためには、光量を増大する必要があり、光量の増大により蛍光体７０が発熱するおそれもある。蛍光体７０の発熱により、反射効率は低下し、発光が飽和するおそれも生じる。反射鏡１５０を用いる場合には、反射鏡１５０を回転又は移動させることにより、蛍光体７０の発熱を抑制することができるので、上述した問題を解決することも可能となる。
【００６５】
また、投光ユニット１０内で複数の光ファイバ３０を連結しても良い。図１２は、本発明の実施の形態１に係る投光ユニット１０の複数の光ファイバ３０を連結した構成を示す模式図である。
【００６６】
図１２の例では、フェルール２０ａ、２０ｂに組み込まれた光ファイバ３０ａをレーザ光源１０１側に配置し、フェルール２０ｃに組み込まれた光ファイバ３０がレーザ光源１０１側と反対側に配置されている。フェルール２０ｂとフェルール２０ｃとの間、フェルール２０ｃのレンズ１０２側のみに蛍光体７０が塗布されている。
【００６７】
図１３は、本発明の実施の形態１に係る投光ユニット１０の複数の光ファイバ３０を連結した部分の構成を示す拡大模式図である。図１３に示すように、フェルール２０ｃの光ファイバ３０のレンズ（光学部材）１０２側の先端部分に蛍光体７０を塗布している。蛍光体７０を塗布するだけでも構わないが、より効率良く光ファイバ３０内へ光を入光させるために、上述した実施例と同様、蛍光体７０の周囲を囲む枠体８０を有し、枠体８０の内径側の壁部に反射面８１を備えていても良い。さらに、枠体８０を覆うように反射型フィルタ９０を備えていても良い。いずれも、蛍光体７０により波長変換された光を、光ファイバ３０内へより効率的に入光させることが可能となる。
【００６８】
なお、図１３では、レーザ光源１０１から発した光をフェルール２０ａに組み込まれた光ファイバ３０ａに集光させるのに一のレンズ１０２を用いているが、特にこれに限定されるものではなく、図９に示す反射鏡１１１を用いても良いし、図１０に示すように複数のレンズ１０２、１１０及び反射鏡１１１を用いても良いことは言うまでもない。
【００６９】
以上のように本実施の形態１によれば、レーザ光源１０１から出射された一又は複数の波長の光を、光ファイバ３０の光学部材側の先端部分に備えた蛍光体７０を介して光ファイバ３０内へ入光させることができるので、光が蛍光体７０により波長変換されて拡散された場合であっても確実に絞り込むことができ、光ファイバ３０内へ効率的に入光させることが可能となる。したがって、高い精度で測定対象物の厚み、距離等を測定することが可能となる。
【００７０】
（実施の形態２）
図１４は、本発明の実施の形態２に係る多波長光電測定装置である干渉測定装置の構成を模式的に示すブロック図である。図１４に示すように、本実施の形態２に係る干渉測定装置３１０は、投光ユニット１０から投光された複数の波長を含む光Ｌｂを用いて、測定対象物（以下、ワーク）Ｗの厚み、距離等を測定する。
【００７１】
フェルール２０は、投光ユニット１０から投光された光を伝送する光ファイバ３０の端部を保持している。投光される光の光軸とフェルール２０（光ファイバ３０）の中心軸とは一直線上になるよう配置されている。
【００７２】
スプリッタ４０は、光ファイバ３０を介してフェルール２０、受光ユニット５０及びヘッドユニット６０に接続されている。フェルール２０に入光された光は、そのままヘッドユニット６０に伝送され、ヘッドユニット６０からの反射光等を受光ユニット５０へ伝送する。
【００７３】
光ファイバ３０は、投光ユニット１０から投光された光をヘッドユニット６０まで伝送する伝送媒体である。光ファイバ３０は、導光体である芯線と、芯線を被覆する樹脂膜とで構成される。
【００７４】
ヘッドユニット６０は、ワークＷに対して複数の波長の光Ｌｂを出射し、ワークＷ表面で反射された反射光の一部が入射される。ワークＷからの反射光と、ヘッドユニット６０内で生じる反射光とは、光ファイバ３０及びスプリッタ４０を介して受光ユニット５０へ伝送される。受光ユニット５０は、伝送された反射光を分光して、ワークＷの厚みを算出する。
【００７５】
図１５は、本発明の実施の形態２に係るヘッドユニット６０の構成を示す模式図である。図１５に示すように、本実施の形態２に係るヘッドユニット６０は、ワークＷの膜厚を測定するための干渉反射光Ｌ３を生成する干渉光学系を備えている。
【００７６】
本実施の形態２に係る干渉光学系は、ミロー型又はミラウ型の干渉光学系であり、集光レンズ１３１、ガラス板１３２、ハーフミラー１３３、ピンミラー１３４で構成されている。光ファイバ３０の先端部分から出射された光Ｌ０の一部が、検出光Ｌ１として出射され、ワークＷの表面で反射された反射光が光ファイバ３０の先端部分へ入射される。そして、光Ｌ０の参照面で反射した反射光と、検出光Ｌ１のワークＷの表面での反射光とで干渉反射光Ｌ３が生成され、光ファイバ３０の先端部分に入射される。
【００７７】
集光レンズ１３１に集光された光Ｌ０は、ハーフミラー１３３により透過光と反射光とに分離される。ガラス板１３２の中心にピンミラー１３４が配置されており、光Ｌ０のハーフミラー１３３での反射光をハーフミラー１３３側へ反射させる。これにより、仮想的な基準面１３５を形成する。ピンミラー１３４は、ワークＷから仮想的な基準面１３５までの距離ｄが０（ゼロ）である場合に、光Ｌ０の参照面による反射光と、検出光Ｌ１のワークＷの表面での反射光とが同位相となる位置に形成される。
【００７８】
光Ｌ０がハーフミラー１３３により反射された検出光Ｌ２は、ピンミラー１３４に入射する。ピンミラー１３４により反射された検出光Ｌ２は、ハーフミラー１３３により一部が集光レンズ１３１に向けて反射される。
【００７９】
ワークＷの膜厚は、干渉反射光Ｌ３に基づいて、仮想的な基準面１３５とワークＷとの間の距離ｄとして求められる。
【００８０】
図１６は、本発明の実施の形態２に係る投光ユニット１０の構成を示す正面図及び断面図である。図１６（ａ）は、投光ユニット１０の構成を示す正面図を、図１６（ｂ）は、投光ユニット１０の構成を示す図１６（ａ）のＢ−Ｂ断面図を、それぞれ示している。
【００８１】
図１６に示すように、投光ユニット１０は、光ファイバ３０が組み込まれたフェルール２０をフェルール押さえ２５で固定している。フェルール押さえ２５は、レンズ１０２を固定しているレンズホルダ１０３の一端部分にかぶせるように固着されている。また、レンズホルダ１０３の他端部分には、駆動基板１０５とともにレーザ光源１０１が装着された光源ホルダ１０４が挿入されている。
【００８２】
フェルール２０の先端部分（光ファイバ３０の先端部分）には蛍光体７０が塗布されており、蛍光体７０を囲むように枠体８０が設けてある。枠体８０を覆うように反射型フィルタ９０を設け、波長変換された光が光ファイバ３０内へより効率的に入光できるようにしてある。
【００８３】
もちろん、フェルール２０の先端部分の構成は、これに限定されるものではなく、実施の形態１と同様に、蛍光体７０を塗布しただけであっても良いし、塗布された蛍光体７０の周囲を囲むように枠体８０を設けた構成であっても良い。
【００８４】
なお、上述した実施の形態２では、光学部材としてレンズ１０２を用いているが、レンズ１０２の代わりに反射鏡を用いても良い。図１７は、本発明の実施の形態２に係る投光ユニット１０に筒状の反射鏡を用いた構成を示す模式図である。図１７に示すように、レーザ光源１０１から出射された複数の波長の光をレンズ（光学部材）１１０を介して反射鏡１１１により光ファイバ３０内へ入光させる。レンズ単体を用いた場合に外部へ拡散していた光も、反射鏡１１１により光ファイバ３０内へ入光させることができるので、光強度の減衰を抑制することができる。
【００８５】
フェルール２０のレンズ（光学部材）１１０側の先端部分（光ファイバ３０の先端部分）には、蛍光体７０を薄く塗布している。蛍光体７０を、光ファイバ３０のレンズ１１０側の先端部分に備えることにより、レーザ光源１０１から出射された一又は複数の波長の光を、光ファイバ３０のレンズ１１０側の先端部分に備えた蛍光体７０を介して光ファイバ３０内へ入光させることができる。したがって、光が蛍光体７０により波長変換されて拡散された場合であっても、光ファイバ３０へと確実に絞り込むことができ、光ファイバ３０内へ効率的に入光させることが可能となる。
【００８６】
より確実に光ファイバ３０内に入光させるために、蛍光体の周囲を囲む枠体８０を設けても良いし、枠体８０を覆うように、反射型フィルタ９０を設けても良い。いずれも、波長変換された光を光ファイバ３０内へより効率的に入光させることが可能となる。
【００８７】
また、フェルール２０に組み込まれた光ファイバ３０内に光を入光させる光学部材として、一又は複数のレンズ及びレンズが組み込まれた筒状の反射鏡の両方を用いても良い。図１８は、本発明の実施の形態２に係る投光ユニット１０にレンズ及び筒状の反射鏡の両方を用いた構成を示す模式図である。
【００８８】
図１８の例では、レーザ光源１０１と反射鏡１１１との間に一のレンズ１０２が配置されており、蛍光体７０は、反射鏡１１１の、レーザ光源１０１及び一のレンズ１０２が配置されている側の先端部分に塗布されている。これにより、光ファイバ３０の開口数の制限で光ファイバ３０内に入光することができなかった光も含めて光ファイバ３０内へ入光させることができ、光強度のロスを抑制することが可能となる。
【００８９】
実施の形態１と同様、蛍光体７０の周囲を囲む枠体８０を有し、枠体８０の内径側の壁部に反射面８１を備えていても良い。さらに、枠体８０を覆うように反射型フィルタ９０を備えていても良い。いずれも、蛍光体７０により波長変換された光を、光ファイバ３０内へより効率的に入光させることが可能となる。
【００９０】
なお、レーザ光源１０１から出射される光の光軸と、光ファイバ３０（フェルール２０）の中心軸とが一直線上に配置されることに限定されるものではない。図１９は、本発明の実施の形態２に係る投光ユニット１０のレーザ光源１０１の配置を変えた構成を示す模式図である。
【００９１】
図１９の例では、レーザ光源１０１から出射される光を反射して、光ファイバ３０側へ反射させる反射鏡１５０を備えている。レーザ光源１０１から出射された一又は複数の波長の光は、レンズ１０２で集光され反射鏡１５０へ誘導される。反射鏡１５０は、表面に蛍光体７０が塗布されており、蛍光体７０により波長変換された光を反射する。
【００９２】
反射鏡１５０で反射された光はレンズ１０９で集光され、フェルール２０に組み込まれた光ファイバ３０の先端部分へ入光される。これにより、光学部材の配置の自由度が高まり、装置全体を小型化することが可能となる。
【００９３】
なお、光強度を高めるためには、光量を増大する必要があり、光量の増大により蛍光体７０が発熱するおそれもある。蛍光体７０の発熱により、反射効率は低下し、発光が飽和するおそれも生じる。反射鏡１５０を用いる場合には、反射鏡１５０を回転又は移動させることにより、蛍光体７０の発熱を抑制することができるので、上述した問題を解決することも可能となる。
【００９４】
また、投光ユニット１０内で複数の光ファイバ３０を連結しても良い。図２０は、本発明の実施の形態２に係る投光ユニット１０の複数の光ファイバ３０を連結した構成を示す模式図である。
【００９５】
図２０の例では、フェルール２０ａ、２０ｂに組み込まれた光ファイバ３０ａをレーザ光源１０１側に配置し、フェルール２０ｃに組み込まれた光ファイバ３０がレーザ光源１０１側と反対側に配置されている。フェルール２０ｂとフェルール２０ｃとの間、フェルール２０ｃのレンズ１０２側のみに蛍光体７０が塗布されている。
【００９６】
図２１は、本発明の実施の形態２に係る投光ユニット１０の複数の光ファイバ３０を連結した部分の構成を示す拡大模式図である。図２１に示すように、フェルール２０ｃの光ファイバ３０のレンズ（光学部材）１０２側の先端部分に蛍光体７０を塗布している。蛍光体７０を塗布するだけでも構わないが、より効率良く光ファイバ３０内へ光を入光させるために、上述した実施例と同様、蛍光体７０の周囲を囲む枠体８０を有し、枠体８０の内径側の壁部に反射面８１を備えていても良い。さらに、枠体８０を覆うように反射型フィルタ９０を備えていても良い。いずれも、蛍光体７０により波長変換された光を、光ファイバ３０内へより効率的に入光させることが可能となる。
【００９７】
なお、図２０では、レーザ光源１０１から発した光をフェルール２０ａに組み込まれた光ファイバ３０ａに集光させるのに一のレンズ１０２を用いているが、特にこれに限定されるものではなく、図１７に示す反射鏡１１１を用いても良いし、図１８に示すように複数のレンズ１０２、１１０及び反射鏡１１１を用いても良いことは言うまでもない。
【００９８】
また、枠体８０を設けるのに代えて、蛍光体７０を光ファイバ３０ａ内に分散配置するようにしてもよい。この場合、反射型フィルタ９０は、光ファイバ３０と光ファイバ３０ａとの間に設けるのに代えて、光ファイバ３０ａの入射端を覆うように設けられる。
【００９９】
以上のように本実施の形態２によれば、レーザ光源１０１から出射された一又は複数の波長の光を、光ファイバ３０の光学部材側の先端部分に備えた蛍光体７０を介して光ファイバ３０内へ入光させることができるので、光が蛍光体７０により波長変換されて拡散された場合であっても確実に絞り込むことができ、光ファイバ３０内へ効率的に入光させることが可能となる。したがって、高い精度で測定対象物の厚み、距離等を測定することが可能となる。
【０１００】
以下、付記する。
（付記１）
レーザ光源と、
前記レーザ光源からの光を集光するための光源光学部材と、
前記光源光学部材により集光された光により励起される蛍光体と、
一部の光路が共通し、分岐部を介して分岐した第１の光路及び第２の光路を形成する一又は複数の光ファイバと前記分岐部とを有し、分岐した前記第１の光路に対応する光ファイバの第１の端に前記蛍光体を備え、前記第１の端側から前記蛍光体が発光する光を受け付け、共通した前記一部の光路に対応する光ファイバの第２の端側で受け付けた光を伝搬し、前記第２の端側から入射された光の少なくとも一部を、分岐した前記第２の光路に対応する光ファイバの第３の端側に伝搬する光ファイバ部と、
光軸方向に沿って色収差を生じる第１のレンズを有し、共焦点位置に配置された前記光ファイバの前記第２の端から出射される光を、前記第１のレンズを介して測定対象物に向けて光の波長に応じて前記光軸方向に沿って異なる位置に集光するヘッド光学部材と、
測定対象物からの、前記第２の端、前記第２の光路及び前記第３の端を介した光を波長に応じて選択的に受光し、受光量に対応した信号に光電変換する受光素子と、
前記受光素子からの波長に応じた受光量を示す信号に基づいて測定対象物の厚み又は変位を測定する測定制御部と
を備えることを特徴とする多波長共焦点測定装置。
【０１０１】
（付記２）
前記蛍光体は、前記レーザ光源からの光及び前記蛍光体が発光する光を透過する光透過性媒体内に固定され、かつ、前記光透過性媒体が前記光ファイバの前記第１の端に固定されることを特徴とする付記１に記載の多波長共焦点測定装置。
【０１０２】
（付記３）
前記蛍光体と前記光源光学部材との間に、前記レーザ光源からの光を透過し、かつ、前記蛍光体が発光する光を反射する光学フィルタをさらに備えることを特徴とする付記１又は２に記載の多波長共焦点測定装置。
【０１０３】
（付記４）
前記光ファイバの前記第１の端側に入射される光の光路に対応した形状の開口が形成された、前記開口に前記蛍光体を収容する枠体をさらに備えることを特徴とする付記１乃至３のいずれか一に記載の多波長共焦点測定装置。
【０１０４】
（付記５）
前記光ファイバの前記第１の端側に入射される光の光路に対応した形状の開口が形成されており、前記開口に前記蛍光体を収容する枠体と、
前記枠体の前記光源光学部材側を覆い、前記レーザ光源からの光を透過し、かつ、前記蛍光体が発光する光を反射する光学フィルタと
をさらに備えることを特徴とする付記１に記載の多波長光電測定装置。
【０１０５】
（付記６）
前記光ファイバの前記第１の端側に入射される光の光路に対応した形状の開口を有し、前記開口に前記蛍光体を収容する枠体をさらに備え、
前記蛍光体は、前記レーザ光源からの光及び前記蛍光体が発光する光を透過する光透過性媒体内に固定され、
前記蛍光体及び前記光透過性媒体が、前記枠体の開口に収容されることを特徴とする付記１に記載の多波長共焦点測定装置。
【０１０６】
（付記７）
前記光ファイバの前記第１の端側に入射される光の光路に対応した形状の開口を有し、前記開口に前記蛍光体を収容する枠体と、
前記枠体の前記光源光学部材側を覆い、前記レーザ光源からの光を透過し、かつ、前記蛍光体が発光する光を反射する光学フィルタと
をさらに備え、
前記蛍光体は、前記レーザ光源からの光及び前記蛍光体が発光する光を透過する光透過性媒体内に固定され、
前記蛍光体及び前記光透過性媒体が、前記枠体の開口に収容されることを特徴とする付記１に記載の多波長共焦点測定装置。
【０１０７】
（付記８）
前記枠体の内径側の壁部に反射面を備えることを特徴とする付記４乃至７のいずれか一項に記載の多波長共焦点測定装置。
【０１０８】
（付記９）
前記光源光学部材は、一又は複数のレンズで構成されていることを特徴とする付記１乃至８のいずれか一項に記載の多波長共焦点測定装置。
【０１０９】
（付記１０）
前記光源光学部材は、レンズが組み込まれた筒状の反射鏡で構成されていることを特徴とする付記１乃至８のいずれか一項に記載の多波長共焦点測定装置。
【０１１０】
（付記１１）
レーザ光源と、
前記レーザ光源からの光を集光するための光源光学部材と、
前記光源光学部材により集光された光により励起される蛍光体と、
反射面に前記蛍光体を備え、前記反射面において前記蛍光体が発光する光を反射する反射部材と、
前記蛍光体が発光する光を集光するための第２光源光学部材と、
一部の光路が共通し、分岐部を介して分岐した第１の光路及び第２の光路を形成する一又は複数の光ファイバと前記分岐部とを有し、前記第２光源光学部材で集光された光が分岐した前記第１の光路に対応する光ファイバの第１の端側から入射され、共通した前記一部の光路に対応する光ファイバの第２の端側に前記光を伝搬し、前記第２の端側から入射された光の少なくとも一部を、分岐した前記第２の光路に対応する光ファイバの第３の端側に伝搬する光ファイバ部と、
光軸方向に沿って色収差を生じる第１のレンズを有し、共焦点位置に配置された前記光ファイバの前記第２の端から出射される光を、前記第１のレンズを介して測定対象物に向けて光の波長に応じて前記光軸方向に沿って異なる位置に集光するヘッド光学部材と、
測定対象物からの、前記第２の端、前記第２の光路及び前記第３の端を介した光を波長に応じて選択的に受光し、受光量に対応した信号に光電変換する受光素子と、
前記受光素子からの波長に応じた受光量を示す信号に基づいて測定対象物の厚み又は変位を測定する測定制御部と
を備えることを特徴とする多波長共焦点測定装置。
【０１１１】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内であれば多種の変更、改良等が可能である。例えば上述した実施の形態１及び２で開示されている光学部材は、これらに限定されるものではなく、凸レンズ以外にも凹レンズ、反射鏡（リフレクタ）等を組み合わせても良い。
【０１１２】
また、蛍光体として使用する蛍光材料の種類、比率、コーティング等については、光学特性に応じて適切な組み合わせ、比率を用いて実施することが可能である。
【符号の説明】
【０１１３】
１０  投光ユニット
２０、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ  フェルール
３０、３０ａ  光ファイバ
４０  スプリッタ
５０  受光ユニット
６０  ヘッドユニット
７０  蛍光体
８０  枠体
８１  反射面
９０  反射型フィルタ
１００  共焦点測定装置（多波長光電測定装置：共焦点変位計）
１０１  レーザ光源
１０２、１０９、１１０  レンズ
１１１、１５０  反射鏡
３１０  干渉測定装置（多波長光電測定装置）
Ｗ  ワーク
【図１】
2020079807.tif 000003
【図２】
2020079807.tif 000004
【図３】
2020079807.tif 000005
【図４】
2020079807.tif 000006
【図５】
2020079807.tif 000007
【図６】
2020079807.tif 000008
【図７】
2020079807.tif 000009
【図８】
2020079807.tif 000010
【図９】
2020079807.tif 000011
【図１０】
2020079807.tif 000012
【図１１】
2020079807.tif 000013
【図１２】
2020079807.tif 000014
【図１３】
2020079807.tif 000015
【図１４】
2020079807.tif 000016
【図１５】
2020079807.tif 000017
【図１６】
2020079807.tif 000018
【図１７】
2020079807.tif 000019
【図１８】
2020079807.tif 000020
【図１９】
2020079807.tif 000021
【図２０】
2020079807.tif 000022
【図２１】
2020079807.tif 000023