(57)【要約】【課題】積層体を搬送に用いられる載置部材に載置したままの状態で、積層ずれを検査する積層体検査装置を提供する。【解決手段】積層体検査装置１５０は、積層方向と直交する搬送方向Ｄ１において互いに対向する一対の端部５０ａ，５０ｂをそれぞれ検出する一対の検出部９１Ａ，９１Ｂを備える。また、一対の検出部９１Ａ，９１Ｂは、検出光ＳＧを発生する発生部９２、及び発生部９２との間で積層体５０を挟む位置に配置され、検出光ＳＧを受信する受信部９３をそれぞれ有する。載置部材６０は、検出部９１Ａ，９１Ｂに対応する位置にて、積層方向に貫通する貫通部６１Ａ，６１Ｂを有する。従って、検出部９１Ａ，９１Ｂの発生部９２が、載置部材６０に載置されたままの状態の積層体５０の端部５０ａ，５０ｂに対して検出光ＳＧを発生した場合であっても、検出光ＳＧは載置部材６０に遮られることなく、貫通部６１Ａ，６１Ｂを通過することができる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のシート状の対象物を積層することによって形成される積層体を検査する積層体検査装置であって、
前記積層体を載せる載置部材と、
前記載置部材に載せられた前記積層体のうち、積層方向と直交する第１の方向において互いに対向する一対の第１の端部をそれぞれ検出する一対の第１の検出部と、を備え、
一対の前記第１の検出部は、検出線を発生する発生部、及び前記発生部との間で前記積層体を挟む位置に配置され、前記検出線を受信する受信部をそれぞれ有し、
前記載置部材は、前記第１の検出部に対応する位置にて、前記積層方向に貫通する第１の貫通部を有する、積層体検査装置。
【請求項２】
前記載置部材に載せられた前記積層体のうち、前記積層方向と直交し前記第１の方向と交差する第２の方向において互いに対向する一対の第２の端部をそれぞれ検出する一対の第２の検出部を更に備え、
一対の前記第２の検出部は、検出線を発生する発生部、及び前記発生部との間で前記積層体を挟む位置に配置され、前記検出線を受信する受信部をそれぞれ有し、
前記載置部材は、前記第２の検出部に対応する位置に、前記積層方向に貫通する第２の貫通部を有する、請求項１に記載の積層体検査装置。
【請求項３】
前記載置部材を搬送方向へ搬送する搬送部を更に備え、
前記搬送部は、前記搬送方向に並べられた複数のローラを有し、
前記第１の検出部は、前記積層方向から見て、一対の前記ローラ間の隙間の位置に配置される、請求項１又は２に記載の積層体検査装置。
【請求項４】
前記第１の検出部を挟む一対の前記ローラ間の隙間は、前記積層方向から見て、他のローラ間の隙間より大きい、請求項３に記載の積層体検査装置。
【請求項５】
前記積層方向と直交する方向において前記載置部材の位置合わせを行う位置合わせ機構を更に備える、請求項１〜４の何れか一項に記載の積層体検査装置。
【請求項６】
前記積層方向と直交する方向において前記載置部材の位置合わせを行う位置合わせ機構を備え、
前記位置合わせ機構は、前記ローラ上で、前記載置部材に当接し、前記載置部材を前記ローラの軸心方向に摺動させることにより位置合わせを行う、請求項３又は４記載の積層体検査装置。
【請求項７】
前記載置部材には、当該載置部材との間で前記積層体の各角部を挟み込むことによって、前記積層体を前記載置部材上で保持する爪部が設けられる、請求項１〜６の何れか一項に記載の積層体検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層体検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数のシート状の対象物を積層することによって形成される積層体を検査する積層体検査装置として、特許文献１に示すものが知られている。この積層体検査装置は、積層体の下方から光を投光し、積層体の上方から投影された積層体の形状の画像をカメラで撮影する。積層体検査装置は、撮影した画像に基づいて積層体の積層ずれを検査する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１７６６９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
蓄電装置の製造工程では、電極より積層体を形成する工程の後、積層体を加圧して密着させる工程、積層体をテープ貼り等で一体に固定し、電極組立体とする工程、などが続く。各々の工程で必要とされる設備は異なり、電極や積層体、電極組立体は、都度、設備間を搬送装置で搬送される。積層ずれは積層時に生じるのみではなく、積層体形成後の搬送装置への移載や、搬送装置での搬送中にも生じることもある。一方で、特許文献１の技術は、透明な積層ステージを用い、下方よりの投光により生じた投影、すなわち外形の影により積層ずれを検査するものである為、外形の影が安定して得られる固定されたステージでないと、利用が難しい。しかしながら、検査のために搬送装置よりステージに移載した場合、その移載自体により積層ずれが発生することもありうる。従って、積層体を、搬送時に用いられる載置部材より移載することなく、積層ずれを検査することが求められていた。
【０００５】
本発明は、積層体を搬送に用いられる載置部材に載置したままの状態で、積層ずれを検査する積層体検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面に係る積層体検査装置は、複数のシート状の対象物を積層することによって形成される積層体を検査する積層体検査装置であって、積層体を載せる載置部材と、載置部材に載せられた積層体のうち、積層方向と直交する第１の方向において互いに対向する一対の第１の端部をそれぞれ検出する一対の第１の検出部と、を備え、一対の第１の検出部は、検出線を発生する発生部、及び発生部との間で積層体を挟む位置に配置され、検出線を受信する受信部をそれぞれ有し、載置部材は、第１の検出部に対応する位置にて、積層方向に貫通する第１の貫通部を有する。
【０００７】
この積層体検査装置は、積層方向と直交する第１の方向において互いに対向する一対の第１の端部をそれぞれ検出する一対の第１の検出部を備える。また、一対の第１の検出部は、検出線を発生する発生部、及び発生部との間で積層体を挟む位置に配置され、検出線を受信する受信部をそれぞれ有する。積層体に第１の方向における積層ずれが生じている場合、積層方向から見たときの、第１の方向における積層体の寸法が、見た目上、大きくなる。従って、積層体に積層ずれが生じていない場合と生じている場合とでは、一対の第１の検出部の受信部での検出線の受信状況が異なる。従って、一対の第１の検出部は、少なくとも第１の方向における積層ずれを検出することができる。ここで、載置部材は、第１の検出部に対応する位置にて、積層方向に貫通する第１の貫通部を有する。従って、第１の検出部の発生部が、載置部材に載置されたままの状態の積層体の端部に対して検出線を発生した場合であっても、検出線は載置部材に遮られることなく、貫通部を通過することができる。以上により、積層体を搬送に用いられる載置部材に載置したままの状態で、積層ずれを検査することができる。
【０００８】
積層体検査装置は、載置部材に載せられた積層体のうち、積層方向と直交し第１の方向と交差する第２の方向において互いに対向する一対の第２の端部をそれぞれ検出する一対の第２の検出部を更に備え、一対の第２の検出部は、検出線を発生する発生部、及び発生部との間で積層体を挟む位置に配置され、検出線を受信する受信部をそれぞれ有し、載置部材は、第２の検出部に対応する位置に、積層方向に貫通する第２の貫通部を有してよい。この場合、第２の検出部は、積層体を載置部材に載置したままの状態で、第２の方向における積層体の積層ずれを検出することができる。
【０００９】
積層体検査装置は、載置部材を搬送方向へ搬送する搬送部を更に備え、搬送部は、搬送方向に並べられた複数のローラを有し、第１の検出部は、積層方向から見て、一対のローラ間の隙間の位置に配置されてよい。この場合、検出線がローラと干渉することを抑制することができる。
【００１０】
積層体検査装置において、第１の検出部を挟む一対のローラ間の隙間は、積層方向から見て、他のローラ間の隙間より大きくてよい。これにより、ローラ間に検出線を通過させるための大きい隙間を確保できる。
【００１１】
積層体検査装置は、積層方向と直交する方向において載置部材の位置合わせを行う位置合わせ機構を更に備えてよい。この場合、載置部材の位置合わせを行うことで、積層体と第１の検出部との間の位置合わせを行った状態で検査を行うことができる。
【００１２】
積層体検査装置において、積層方向と直交する方向において載置部材の位置合わせを行う位置合わせ機構を備え、位置合わせ機構は、ローラ上で、載置部材に当接し、載置部材をローラの軸心方向に摺動させることにより位置合わせを行ってよい。これにより、位置合わせ機構は、搬送部であるローラ上に載置部材を配置したままの状態で、当該載置部材の位置合わせを行うことができる。
【００１３】
積層体検査装置において、載置部材には、当該載置部材との間で積層体の各角部を挟み込むことによって、積層体を載置部材上で保持する爪部が設けられてよい。この場合、載置部材に対して積層体がずれることを抑制した状態で、検査を行うことができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、積層体を搬送に用いられる載置部材に載置したままの状態で、積層ずれを検査する積層体検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係る積層体検査装置の検査対象となる電極の積層体を用いて製造される蓄電装置の内部を示す断面図である。
【図２】図１のII−II線断面図である。
【図３】積層体検査装置及び積層装置の概略平面図である。
【図４】載置部材が搬送される前の状態の移載ステーション及び検査ステーションを示す平面図である。
【図５】積層体を載せた載置部材が搬送された状態の移載ステーション及び検査ステーションを示す平面図である。
【図６】載置部材の平面図である。
【図７】載置部材、検出部、及び積層体同士の位置関係を示す図である。
【図８】図７に対応する図であり、積層ずれが生じた場合の様子を示す図である。
【図９】検出部の拡大図である。
【図１０】検出部周辺におけるローラの配置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、図面において、同一または同等の要素には同じ符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１７】
図１は、本発明の実施形態に係る積層体検査装置の検査対象となる電極の積層体を用いて製造される蓄電装置の内部を示す断面図である。図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。図１及び図２において、蓄電装置１は、積層型の電極組立体を有するリチウムイオン二次電池である。
【００１８】
蓄電装置１は、例えば略直方体形状のケース２と、このケース２内に収容された電極組立体３とを備えている。ケース２は、例えばアルミニウム等の金属により形成されている。ケース２の内部には、図示はしないが、例えば非水系（有機溶媒系）の電解液が注液されている。ケース２上には、正極端子４及び負極端子５が互いに離間して配置されている。正極端子４は、絶縁リング６を介してケース２に固定され、負極端子５は、絶縁リング７を介してケース２に固定されている。また、電極組立体３とケース２の内側の側面及び底面との間には絶縁フィルムが配置されており、絶縁フィルムによってケース２と電極組立体３との間が絶縁されている。図１では便宜上、電極組立体３の下端とケース２の底面との間には僅かな隙間が設けられているが、実際には電極組立体３の下端が絶縁フィルムを介してケース２の内側の底面に接触している。また、電極組立体３の積層方向において、電極組立体３のガタツキを低減するために、電極組立体３とケース２との間の隙間に、数枚のスペーサが配置されている。スペーサの枚数は、電極組立体３の厚みに応じて適宜調整される。
【００１９】
電極組立体３は、複数の正極８と複数の負極９とが袋状のセパレータ１０を介して交互に積層された構造を有している。正極８は、袋状のセパレータ１０に包まれている。袋状のセパレータ１０に包まれた状態の正極８は、セパレータ付き正極１１として構成されている。従って、電極組立体３は、複数のセパレータ付き正極１１と複数の負極９とが交互に積層された構造を有している。なお、電極組立体３の両端に位置する電極は、負極９である。
【００２０】
正極８は、例えばアルミニウム箔からなる正極集電体である金属箔１４と、この金属箔１４の両面に形成された正極活物質層１５とを有している。金属箔１４は、平面視矩形状の箔本体部１４ａと、この箔本体部１４ａと一体化されたタブ１４ｂとを有している。タブ１４ｂは、箔本体部１４ａの長手方向の一端部近傍の縁から突出している。そして、タブ１４ｂは、セパレータ１０を突き抜けている。複数の正極８より延びる複数のタブ１４ｂは、集箔された状態で導電部材１２に接続（溶接）され、導電部材１２を介して正極端子４に接続されている。なお、図２では、便宜上タブ１４ｂを省略している。
【００２１】
正極活物質層１５は、箔本体部１４ａの表裏両面に形成されている。正極活物質層１５は、正極活物質とバインダとを含んで形成された多孔質の層である。正極活物質としては、例えば複合酸化物、金属リチウムまたは硫黄等が挙げられる。複合酸化物には、例えばマンガン、ニッケル、コバルト及びアルミニウムの少なくとも１つとリチウムとが含まれる。
【００２２】
負極９は、例えば銅箔からなる負極集電体である金属箔１６と、この金属箔１６の両面に形成された負極活物質層１７とを有している。金属箔１６は、平面視矩形状の箔本体部１６ａと、この箔本体部１６ａと一体化されたタブ１６ｂとを有している。タブ１６ｂは、箔本体部１６ａの長手方向の一端部近傍の縁から突出している。タブ１６ｂは、導電部材１３を介して負極端子５に接続されている。なお、図２では、便宜上タブ１６ｂを省略している。
【００２３】
負極活物質層１７は、箔本体部１６ａの表裏両面に形成されている。負極活物質層１７は、負極活物質とバインダとを含んで形成された多孔質の層である。負極活物質としては、例えば黒鉛、高配向性グラファイト、メソカーボンマイクロビーズ、ハードカーボン、ソフトカーボン等のカーボン、リチウム、ナトリウム等のアルカリ金属、金属化合物、ＳｉＯｘ（０．５≦ｘ≦１．５）等の金属酸化物またはホウ素添加炭素等が挙げられる。
【００２４】
セパレータ１０は、平面視矩形状を呈している。セパレータ１０の形成材料としては、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン系樹脂からなる多孔質フィルム、或いはポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、メチルセルロース等からなる織布または不織布等が例示される。
【００２５】
以上のように構成された蓄電装置１を製造する場合は、概略として、セパレータ付き正極１１及び負極９を製作した後、セパレータ付き正極１１と負極９とを交互に積層し、積層体を形成する。この積層体を加圧することでセパレータ付き正極１１及び負極９を密着させた後、セパレータ付き正極１１及び負極９をテープ等で固定することで電極組立体３を得る。そして、セパレータ付き正極１１のタブ１４ｂを導電部材１２を介して正極端子４に接続すると共に、負極９のタブ１６ｂを導電部材１３を介して負極端子５に接続した後、電極組立体３をケース２内に収容する。本実施形態は、この製造工程において、積層体の形成より、電極組立体とするまでの工程に関わる。該当する工程において、より詳しくは、積層体が形成された後、次に加圧されることで、層間の空気が抜かれるととともにより密着する。密着した積層体は、テープ等で固定され、一体の電極組立体として形成される。前述の積層・加圧・固定は、別の設備（装置）で実施され、積層体は、その間を搬送される。
【００２６】
次に、図３を参照して、本発明の実施形態に係る積層体検査装置１５０及び積層体を形成する積層装置１００について。図３は、積層体検査装置１５０及び積層装置１００の概略平面図である。積層装置１００は、積層体検査装置１５０の上流側で複数のシート状の電極８，９（対象物）を積層することによって積層体５０を形成する装置である。
【００２７】
積層装置１００は、積層ユニット１４０と、一対のサーボループ１２０Ａ，１２０Ｂと、を備える。積層ユニット１４０は、一対のサーボループ１２０Ａ，１２０Ｂの間に配置されている。サーボループ１２０Ａ，１２０Ｂは、循環するベルト１２１に複数の羽根部１２２を取り付けることで、羽根部１２２を循環移動させる装置である。サーボループ１２０Ａは、積層ユニット１４０の反対側の位置にて羽根部１２２でセパレータ付き正極１１を受け取り、羽根部１２２にセパレータ付き正極１１を保持した状態で、当該羽根部１２２を循環させる。サーボループ１２０Ａは、積層ユニット１４０側の位置にて、当該積層ユニット１４０に対して羽根部１２２からセパレータ付き正極１１を送出する。サーボループ１２０Ｂは、積層ユニット１４０の反対側の位置にて羽根部１２２で負極９を受け取り、羽根部１２２で負極９を保持した状態で、当該負極９を循環させる。サーボループ１２０Ｂは、積層ユニット１４０側の位置にて、当該積層ユニット１４０に対して羽根部１２２から負極９を送出する。サーボループ１２０Ａとサーボループ１２０Ｂは、交互にセパレータ付き正極１１と負極９を積層ユニット１４０に送出する。
【００２８】
積層ユニット１４０は、複数段の積層部を有している。従って、サーボループ１２０Ａ，１２０Ｂは、それぞれの積層部に対して電極１１，９を送出する。各積層部では、所定枚数の電極１１，９が積層されることで、積層体５０が形成される。
【００２９】
積層ユニット１４０と積層体検査装置１５０との間には、取出ユニット１３０が設けられる。取出ユニット１３０は、積層ユニット１４０の各段の積層部から積層体５０を取り出し、積層体検査装置１５０側へ移送する。取出ユニット１３０は、積層ユニット１４０から積層体５０を取り出し、保持部１３１で積層体５０を保持したままで９０°回転旋回する。そして、取出ユニット１３０は、アーム１３２を伸ばすことにより、保持部１３１ごと積層体５０を積層体検査装置１５０の手前の位置まで移送する。なお、取出ユニット１３０は、積層ユニット１４０の複数段の積層部から一段ずつ積層体５０を取り出してもよいが、積層部に対応する数の保持部１３１を有することで複数段の積層部から積層体５０を一括で取出してもよい。
【００３０】
積層体検査装置１５０は、積層体５０を載せる載置部材６０と、搬送方向Ｄ１へ載置部材６０を搬送する搬送部７０と、を備える。搬送方向Ｄ１は、積層体検査装置１５０へ積層体５０を受け渡すときの取出ユニット１３０のアーム１３２が延びる方向と直交する方向である。なお、取出ユニット１３０から積層体検査装置１５０へ積層体５０を移載する方向を移載方向Ｄ２と称する場合がある。移載方向Ｄ２は、搬送方向Ｄ１と直交する。また、積層体検査装置１５０は、搬送部７０の所定の位置に、移載ステーション８０と、検査ステーション９０と、を備える。移載ステーション８０は、取出ユニット１３０から載置部材６０へ積層体５０を移載するための箇所である。検査ステーション９０は、載置部材６０に載置された積層体５０の検査を行うための箇所である。移載ステーション８０は、取出ユニット１３０が積層体５０を移送してくる位置に設けられる。検査ステーション９０は、搬送部７０の搬送方向Ｄ１において、移載ステーション８０よりも下流側の位置に設けられる。
【００３１】
次に、図４及び図５を参照して、積層体検査装置１５０の詳細な構成について説明する。図４は、載置部材６０が搬送される前の状態の移載ステーション８０及び検査ステーション９０を示す平面図である。図５は、積層体５０を載せた載置部材６０が搬送された状態の移載ステーション８０及び検査ステーション９０を示す平面図である。
【００３２】
なお、積層体５０は、矩形のシート状の電極１１，９を複数枚積層することによって形成されるため、直方体（または立方体）の形状をなしている。図５に示すように、積層体５０は、積層方向（図４及び図５における紙面表裏の方向）と直交する長手方向において互いに対向する一対の端部５０ａ，５０ｂ（第１の端部）と、積層方向と直交し長手方向と直交する短手方向において互いに対向する一対の端部５０ｃ，５０ｄ（第２の端部）と、を備える。また、載置部材６０は、矩形板状の形状を有しており、搬送方向Ｄ１に対向する端部６０ａ，６０ｂと、移載方向Ｄ２に対向する端部６０ｃ，６０ｄと、を有する。端部６０ａは搬送方向Ｄ１の下流側に配置され、端部６０ｂは上流側に配置される。端部６０ｃは移載方向Ｄ２の下流側に配置され、端部６０ｄは上流側に配置される。載置部材６０は、端部５０ａ，５０ｂが端部６０ａ，６０ｂと平行となり、端部５０ｃ，５０ｄが端部６０ｃ，６０ｄと平行となるように、積層体５０を支持する。この際、端部５０ａは搬送方向Ｄ１の下流側に配置され、端部５０ｂは上流側に配置される。端部５０ｃは移載方向Ｄ２の下流側に配置され、端部５０ｄは上流側に配置される。載置部材６０の端部６０ａ，６０ｂ，６０ｃ，６０ｄは、いずれも積層体５０の端部５０ａ、５０ｂ，５０ｃ，５０ｄよりも水平方向における外側へ離間した位置に配置される。このような配置により、搬送方向Ｄ１が請求項における「第１の方向」に対応し、移載方向Ｄ２が請求項における「第２の方向」に対応する。タブ１４ｂ，１６ｂは、移載方向Ｄ２の下流側へ向かって突出する。ただし、積層体５０は、タブ１４ｂ，１６ｂがどのような向きとなるように載置部材６０に支持されるかは特に限定されず、タブ１４ｂ，１６ｂが移載方向Ｄ２の上流側へ向かって突出してもよい。なお、載置部材６０の更に詳細な説明については、後述する。
【００３３】
搬送部７０は、ローラコンベアによって構成される。搬送部７０は、搬送方向Ｄ１に並べられた複数のローラ７１を有し、載置部材６０を搬送方向Ｄ１へ搬送する。複数のローラ７１は、移載方向Ｄ２に回転軸が延びるように配置される。複数のローラ７１は、図示されない駆動部から駆動力を付与されることで回転する。これにより、複数のローラ７１上に載置された載置部材６０は、搬送方向Ｄ１へ搬送される。
【００３４】
積層体検査装置１５０は、移載ステーション８０の位置において、移載ユニット８１と、位置合わせ機構１１０と、を備える。積層体検査装置１５０は、検査ステーション９０の位置において、検出部９１Ａ，９１Ｂ（第１の検出部）と、検出部９１Ｃ，９１Ｄ（第２の検出部）と、位置合わせ機構１１０と、を備える。
【００３５】
移載ステーション８０の移載ユニット８１は、取出ユニット１３０で保持された積層体５０を移載ステーション８０に配置された載置部材６０へ移載する。移載ユニット８１は、保持部８２と、水平方向駆動機構８３と、上下方向駆動機構８６と、を備える。保持部８２は、取出ユニット１３０の保持部１３１に保持されている積層体５０を保持し、当該積層体５０を載置部材６０上に載置する。水平方向駆動機構８３は、保持部８２を水平方向に駆動する機構である。本実施形態では、水平方向駆動機構８３は、移載方向Ｄ２に保持部８２を往復移動させることができる。保持部８２は、接続部材８４を介して水平方向駆動機構８３に接続される。接続部材８４は、水平方向へ延びるアーム部８４ａと、アーム部８４ａの先端から上方へ延びるアーム部８４ｂと、を備える。保持部８２は、アーム部８４ｂの上端部に設けられる。水平方向駆動機構８３の構成は特に限定されないが、保持部８２を接続部材８４を介して支持した状態で移載方向Ｄ２へスライドするスライド部材８７と、スライド部材８７を移載方向Ｄ２へガイドするガイド部材８５と、を備える。上下方向駆動機構８６は、ガイド部材８５を上下方向へスライドするスライド部材８９と、スライド部材８９を上下方向へガイドするガイド部材８８と、を備える。なお、水平方向駆動機構８３及び上下方向駆動機構８６の駆動源は特に限定されないが、例えばシリンダやモータ機構などを採用してよい。
【００３６】
取出ユニット１３０の保持部１３１は、載置部材６０よりも移載方向Ｄ２の上流側であり、且つ、載置部材６０の上方にて待機する（図５参照）。移載ユニット８１の保持部８２は、上下方向における位置を合わせ、移載方向Ｄ２の上流側へ移動して、保持部１３１の積層体５０を保持する。そして、保持部８２は、移載方向Ｄ２の下流側へ移動して、積層体５０の位置を載置部材６０に合わせる。保持部８２は、下方へ移動して、積層体５０を載置部材６０上に載置する。なお、前述のように、取出ユニット１３０は、複数段の保持部１３１を有する場合がある。この場合、移載ユニット８１の保持部８２は、一の段の保持部１３１から一つの積層体５０を取り出して載置部材６０に載置した後、次の段の保持部１３１から他の積層体５０を取り出して次に移載ステーション８０に配置された載置部材６０に載置する。なお、載置部材６０は、積層体５０が載置される際に保持部１３１との干渉を避けるため、積層方向に貫通するスリットを有していてもよい。
【００３７】
位置合わせ機構１１０は、積層方向と直交する方向において載置部材６０の位置合わせを行う機構である。位置合わせ機構１１０は、位置決めユニット１１１と、基準プレート１１２と、ストッパ１１３と、を備える。基準プレート１１２は、搬送部７０のうち、移載方向Ｄ２の下流側に配置される。基準プレート１１２は、載置部材６０の端部６０ｃと当接し、当該端部６０ｃの位置決めを行う。ストッパ１１３は、移載ステーション８０の搬送方向Ｄ１の下流側の端部付近に配置される。ストッパ１１３は、搬送部７０で移載ステーション８０に搬送されて来た載置部材６０の端部６０ａと当接し、載置部材６０の移動を止める。なお、ストッパ１１３はローラ７１の隙間に配置され、上下方向に往復移動可能である。ストッパ１１３がローラ７１から上方へ突出している状態から、突出しない状態へ移行した場合、載置部材６０は再び搬送方向Ｄ１へ搬送される。
【００３８】
位置決めユニット１１１は、搬送部７０の移載方向Ｄ２の上流側に配置される。位置決めユニット１１１は、位置決め部材１１４Ａ，１１４Ｂ，１１４Ｃと、駆動機構１１６と、を備える。位置決め部材１１４Ａは、端部６０ａと当接し、当該端部６０ａの搬送方向Ｄ１の位置決めを行う。位置決め部材１１４Ｂは、端部６０ｂと当接し、当該端部６０ｂの搬送方向Ｄ１の位置決めを行う。位置決め部材１１４Ｃは、端部６０ｄと当接し、当該端部６０ｄの移載方向Ｄ２の位置決めを行う。駆動機構１１６は、位置決め部材１１４Ａ，１１４Ｂを支持すると共に、当該位置決め部材１１４Ａ，１１４Ｂを搬送方向Ｄ１へ往復移動させる。駆動機構１１６は、位置決め部材１１４Ｃを支持すると共に、当該位置決め部材１１４Ｃを移載方向Ｄ２へ往復移動させる。なお、駆動機構１１６は、位置決め部材１１４Ｃを移載方向Ｄ２へ往復移動させることに伴い、位置決め部材１１４Ａ，１１４Ｂを移載方向Ｄ２へ往復移動させる。以上のような構成により、位置合わせ機構１１０は、ローラ７１上で、位置決め部材１１４Ｃにて載置部材６０に当接し、載置部材６０をローラ７１の軸心方向（すなわち、搬送部７０の幅方向であり、移載方向Ｄ２と平行な方向）に摺動させることにより位置合わせを行う。
【００３９】
載置部材６０が移載ステーション８０へ搬送されてくる時には、位置決め部材１１４Ａ，１１４Ｂ，１１４Ｃは、載置部材６０と干渉しないように、移載方向Ｄ２の上流側の位置に退避している。位置決めユニット１１１は、載置部材６０がストッパ１１３で止められたタイミングで、位置決め部材１１４Ｃで移載方向Ｄ２の下流側へ移動させ、基準プレート１１２へ押し付ける。これにより、載置部材６０の移載方向Ｄ２の位置決めがなされる。また、位置決め部材１１４Ａ，１１４Ｂは、位置決め部材１１４Ｃの移動に伴って載置部材６０と対向する位置まで移動する。位置決め部材１１４Ａ，１１４Ｂは、載置部材６０へ向かって搬送方向Ｄ１の上流側及び下流側へそれぞれ移動して、載置部材６０を挟み込む。これにより、載置部材６０の搬送方向Ｄ１の位置決めがなされる。前述の移載ユニット８１は、移載ステーション８０において載置部材６０が水平方向に正確に位置決めされた後、当該載置部材６０へ積層体５０を移載する。
【００４０】
なお、検査ステーション９０に設けられる位置合わせ機構１１０は、移載ステーション８０に設けられる位置合わせ機構１１０と同趣旨の構成を有している。これにより、載置部材６０及び積層体５０は、検査ステーション９０において、位置合わせ機構１１０により水平方向に正確に位置決めされる。なお、以下の検出部９１Ａ〜９１Ｄの説明においては、積層体５０は、特に積層ずれや載置部材６０に対する位置ずれがない状態にて、載置部材６０に配置され、且つ、位置合わせ機構１１０で載置部材６０の位置決めがなされた後の状態であるものとする。
【００４１】
検出部９１Ａ，９１Ｂは、積層体５０のうち、長手方向において互いに対向する一対の端部５０ａ，５０ｂをそれぞれ検出する。従って、検出部９１Ａ，９１Ｂは、搬送方向Ｄ１において互いに対向するように配置される。積層方向から見たときに、検出部９１Ａは、搬送方向Ｄ１の下流側において、端部５０ａと重なる位置に配置され、検出部９１Ｂは、搬送方向Ｄ１の上流側において、端部５０ｂと重なる位置に配置される。検出部９１Ａ，９１Ｂは、移載方向Ｄ２において、積層体５０の短手方向の略中央位置に配置される。
【００４２】
検出部９１Ｃ，９１Ｄは、積層体５０のうち、短手方向において互いに対向する一対の端部５０ｃ，５０ｄをそれぞれ検出する。従って、検出部９１Ｃ，９１Ｄは、移載方向Ｄ２において互いに対向するように配置される。積層方向から見たときに、検出部９１Ｃは、移載方向Ｄ２の下流側において、端部５０ｃと重なる位置に配置され、検出部９１Ｄは、移載方向Ｄ２の上流側において、端部５０ｄと重なる位置に配置される。検出部９１Ｃ，９１Ｄは、搬送方向Ｄ１において、積層体５０の長手方向の略中央位置に配置される。
【００４３】
図７（ｂ）に示すように、検出部９１Ａ，９１Ｂ，９１Ｃ，９１Ｄは、発生部９２及び受信部９３を有する。なお、図７では、載置部材６０の板状の部分、積層体５０及び検出部９１Ａ，９１Ｂ，９１Ｃ，９１Ｄの位置関係を説明するために、それら以外の構成要素を省略している。また、載置部材６０の検出部９１Ａ，９１Ｂ付近の一部は、断面図として示されている。発生部９２は、載置部材６０及び積層体５０の上方に配置される。発生部９２は、受信部９３へ向けて下方に検出光ＳＧ（検出線）を発生する。発生部９２は、検出光ＳＧとして、例えばレーザ光を発生する。受信部９３は、発生部９２との間で積層体５０及び載置部材６０を挟むように、積層体５０及び載置部材６０の下方に配置される。受信部９３は、発生部９２から発生された検出光ＳＧを受信する。発生部９２及び受信部９３は、積層方向に互いに対向するように配置され、積層方向から見たときに、互いに重なるような位置及び形状に構成される。より詳細には、図９に示すように、発生部９２は、複数個の発光素子９２ａを配列させた構成を有している。また、受信部９３は、発光素子９２ａと対をなすように、複数の受光素子９３ａを配列させた構成を有している。図示されない制御装置が発生部９２へ制御信号を送信すると、全部の発光素子９２ａが検出光ＳＧを発生する。検出光ＳＧのうち、積層体５０に遮られることなく通過した検出光ＳＧは、受光素子９３ａに受光される。検出光ＳＧを受光した受光素子９３ａは、制御装置に信号を送信する。これにより、制御装置は、検出部９１Ａ，９１Ｂ，９１Ｃ，９１Ｄのセンサエリアのうち、どの部分で検出光ＳＧが積層体５０に遮られることなく通過したかを把握することができる。なお、図７（ｂ）及び図８（ｂ）では、理解を容易とするために、複数本の検出光ＳＧが通過している範囲全体を破線で示している。すなわち、発生部９２と受信部９３との間で破線で示された範囲には、複数本の検出光ＳＧが通過している。
【００４４】
積層体５０に積層ずれが無い状態では、検出部９１Ａは、検出光ＳＧの一部が積層体５０の端部５０ａ付近で遮られ、他の一部が積層体５０で遮られることなく下方へ透過するような位置に、配置される。受信部９３は、検出光ＳＧのうち、積層体５０で遮られることなく透過した部分を受信する。これにより、検出部９１Ａは、発生部９２が発生した検出光ＳＧの光量（すなわち、図９に示す発光素子９２ａからの検出光ＳＧの本数）と、受信部９３が受信した検出光ＳＧの光量（すなわち、図９に示す受光素子９３ａに到達した検出光ＳＧの本数）とに基づいて、端部５０ａの状態を把握することができる。なお、検出部９１Ｂ，９１Ｃ，９１Ｄの発生部９２及び受信部９３は、検出部９１Ａと同趣旨の構成を有している。
【００４５】
図４に示すように、検出部９１Ａ，９１Ｂ，９１Ｃ，９１Ｄは、積層方向から見て、一対のローラ７１間の隙間の位置に配置される。なお、検出部９１Ａ，９１Ｂ，９１Ｃ，９１Ｄが配置される隙間は、検出部９１Ａ，９１Ｂ，９１Ｃ，９１Ｄとローラ７１が重ならないように、他のローラ７１間の通常の隙間に比して大きく設定されている。より詳細には、図１０（ａ）に示すように、検出部９１Ａを挟む一対のローラ７１Ｅ，７１Ｆ間の隙間、検出部９１Ｃ，９１Ｄを挟む一対のローラ７１Ｅ，７１Ｃ間の隙間、及び検出部９１Ｂを挟む一対のローラ７１Ｂ，７１Ａ間の隙間は、積層方向から見て、他のローラ７１間の隙間より大きい。なお、図１０では、ローラ７１及び検出部９１Ａ，９１Ｂ，９１Ｃ，９１Ｄ以外の構成を省略している。このような隙間は、例えば、該当箇所におけるローラ７１を一本、または複数本取り除くことによって構成される。ただし、検出部９１Ａ，９１Ｂ，９１Ｃ，９１Ｄの大きさと、ローラ７１の通常の隙間の大きさとの関係次第では、検出部９１Ａ，９１Ｂ，９１Ｃ，９１Ｄに対応する隙間の大きさは、他の通常の隙間と同じ大きさであってもよい。受信部９３（図７（ｂ）参照）の積層方向における位置は、ローラ７１よりも下方であってもよく、ローラ７１間に挟まれる位置であってもよい。
【００４６】
次に、図６及び図７を参照して、載置部材６０の構成について、詳細に説明する。図６は、載置部材６０の平面図である。図７は、載置部材６０、検出部９１Ａ，９１Ｂ，９１Ｃ，９１Ｄ、及び積層体５０同士の位置関係を示す図であり、（ａ）が平面図であり、（ｂ）が移載方向Ｄ２の下流側から見た側面図である。
【００４７】
図６及び図７に示すように、載置部材６０は、搬送方向Ｄ１に対向する貫通部６１Ａ，６１Ｂ（第１の貫通部）と、移載方向Ｄ２に対向する貫通部６１Ｃ，６１Ｄ（第２の貫通部）を有する。貫通部６１Ａ，６１Ｂは、検出部９１Ａ，９１Ｂに対応する位置にて、積層方向に貫通する。貫通部６１Ｃ，６１Ｄは、検出部９１Ｃ，９１Ｄに対応する位置にて、積層方向に貫通する。
【００４８】
積層方向から見たときに、貫通部６１Ａは、搬送方向Ｄ１の下流側の端部６０ａにおいて、検出部９１Ａと重ならないような位置及び大きさに形成され、貫通部６１Ｂは、搬送方向Ｄ１の上流側の端部６０ｂにおいて、検出部９１Ｂと重ならないような位置及び大きさに形成される。貫通部６１Ａ，６１Ｂは、移載方向Ｄ２において、載置部材６０の略中央位置に配置される。貫通部６１Ａは、端部６０ａから搬送方向Ｄ１の上流側へ向かって凹をなすような切欠部によって構成される。貫通部６１Ｂは、端部６０ｂから搬送方向Ｄ１の下流側へ向かって凹をなすような切欠部によって構成される。貫通部６１Ａ，６１Ｂの幅方向（移載方向Ｄ２）及び深さ方向（搬送方向Ｄ１）の大きさは、載置部材６０の位置ずれや製造誤差を考慮した場合であっても、検出部９１Ａ，９１Ｂと重ならない大きさ、すなわち検出光ＳＧと接触しない大きさに設定される。従って、貫通部６１Ａ，６１Ｂの移載方向Ｄ２に対向する一対の端部は、検出部９１Ａ，９１Ｂから移載方向Ｄ２に離間する位置に配置される。貫通部６１Ａ，６１Ｂの底端部は、搬送方向Ｄ１において、検出部９１Ａ，９１Ｂから中央側へ離間する位置に配置される。
【００４９】
積層方向から見たときに、貫通部６１Ｃは、移載方向Ｄ２の下流側の端部６０ｃにおいて、検出部９１Ｃと重ならないような位置及び大きさに形成され、貫通部６１Ｄは、移載方向Ｄ２の上流側の端部６０ｄにおいて、検出部９１Ｄと重ならないような位置及び大きさに形成される。貫通部６１Ｃ，６１Ｄは、搬送方向Ｄ１において、載置部材６０の略中央位置に配置される。貫通部６１Ｃは、端部６０ｃから移載方向Ｄ２の上流側へ向かって凹をなすような切欠部によって構成される。貫通部６１Ｄは、端部６０ｄから移載方向Ｄ２の下流側へ向かって凹をなすような切欠部によって構成される。貫通部６１Ｃ，６１Ｄの幅方向（搬送方向Ｄ１）及び深さ方向（移載方向Ｄ２）の大きさは、載置部材６０の位置ずれや製造誤差を考慮した場合であっても、検出部９１Ｃ，９１Ｄと重ならない大きさ、すなわち検出光ＳＧと接触しない大きさに設定される。なお、貫通部６１Ｃは、タブ１４ｂ，１６ｂ間の隙間に配置される。従って、貫通部６１Ｃ，６１Ｄの搬送方向Ｄ１に対向する一対の端部は、検出部９１Ｃ，９１Ｄから搬送方向Ｄ１に離間する位置に配置される。貫通部６１Ｃ，６１Ｄの底端部は、移載方向Ｄ２において、検出部９１Ｃ，９１Ｄから中央側へ離間する位置に配置される。
【００５０】
図５及び図６に示すように、載置部材６０には、当該載置部材６０との間で積層体５０の各角部を挟み込むことによって、積層体５０を載置部材６０上で保持する複数の爪部６３が設けられる。爪部６３は、載置部材６０の四方の角部にそれぞれ配置される。爪部６３は、載置部材６０の上面から上方へ延びる支持部６４の上面にて回転可能に支持される。支持部６４は、載置部材６０の角部付近の領域のうち、積層体５０よりも水平方向の外側の領域に設けられる。爪部６３の基端部６３ａは、支持部６４の上面に回転可能に取り付けられる。爪部６３の先端部６３ｂは、支持部６４の上面から水平方向に突出する位置まで延びている。爪部６３は、積層体５０の上面に対応する高さ位置に配置される。
【００５１】
図６（ａ）に示すように、積層体５０を載置部材６０に載置する際、及び載置部材６０から積層体５０を取り出す際などは、爪部６３は、積層方向から見て、積層体５０と重ならない位置へ退避する。一方、図６（ｂ）に示すように、移載完了後は、爪部６３は、先端部６３ｂが載置部材６０の中央位置を向くように、基端部６２ａ周りに回転する。爪部６３は、先端部６３ｂにて積層体５０の上面の角部付近の領域と当接する（図５参照）。これにより、積層体５０の四方の角部が載置部材６０に押し付けられることで、積層体５０が載置部材６０に保持される。
【００５２】
次に、本実施形態に係る積層体検査装置１５０の作用・効果について説明する。
【００５３】
この積層体検査装置１５０は、積層方向と直交する搬送方向Ｄ１において互いに対向する一対の端部５０ａ，５０ｂをそれぞれ検出する一対の検出部９１Ａ，９１Ｂを備える。また、一対の検出部９１Ａ，９１Ｂは、検出光ＳＧを発生する発生部９２、及び発生部９２との間で積層体５０を挟む位置に配置され、検出光ＳＧを受信する受信部９３をそれぞれ有する。積層体５０に搬送方向Ｄ１における積層ずれが生じている場合、積層方向から見たときの、搬送方向Ｄ１における積層体５０の寸法が、見た目上、大きくなる（例えば図８（ａ）参照）。従って、積層体５０に積層ずれが生じていない場合と生じている場合とでは、一対の検出部９１Ａ，９１Ｂの受信部９３での検出光ＳＧの受信状況が異なる。従って、一対の検出部９１Ａ，９１Ｂは、少なくとも搬送方向Ｄ１における積層ずれを検出することができる。
【００５４】
例えば、図７に示すように積層体５０の積層ずれが生じていない状態において、仮に図７に示す位置から、積層体５０全体の位置が検出部９１Ａ側に変位した場合、検出部９１Ａの検出光が積層体５０に遮られる量が増える分、検出部９１Ｂの検出光が遮られる量は同量だけ減る。従って、検出部９１Ａの受信部９３により検出される検出光ＳＧの光量が減る分、検出部９１Ｂの受信部９３により検出される検出光ＳＧの光量が増える。よって、検出部９１Ａ，９１Ｂは、積層ずれが発生していない場合は、積層体５０全体が水平方向にずれても、積層ずれが発生していないことを把握することができる。一方、図８に示すように検出部９１Ａ側へ一部の電極がはみ出るような積層ずれが生じている場合について説明する。この場合、検出部９１Ｂの受信部９３は、積層ずれが生じていない場合（図７の状態）と同じ光量の検出光ＳＧを受信する。それに対し、検出部９１Ａ側では、検出光ＳＧが端部５０ａから突出した電極に遮られる。従って、検出部９１Ｂの受信部９３は、積層ずれが生じていない場合（図７の状態）よりも少ない光量の検出光ＳＧを受信する。これにより、検出部９１Ａ，９１Ｂは、積層ずれが発生していることを把握することができる。
【００５５】
ここで、載置部材６０は、検出部９１Ａ，９１Ｂに対応する位置にて、積層方向に貫通する貫通部６１Ａ，６１Ｂを有する。従って、検出部９１Ａ，９１Ｂの発生部９２が、載置部材６０に載置されたままの状態の積層体５０の端部５０ａ，５０ｂに対して検出光ＳＧを発生した場合であっても、検出光ＳＧは載置部材６０に遮られることなく、貫通部６１Ａ，６１Ｂを通過することができる。以上により、積層体５０を搬送に用いられる載置部材６０に載置したままの状態で、積層ずれを検査することができる。
【００５６】
積層体検査装置１５０は、載置部材６０に載せられた積層体５０のうち、積層方向と直交し搬送方向Ｄ１と交差する移載方向Ｄ２において互いに対向する一対の端部５０ｃ，５０ｄをそれぞれ検出する一対の検出部９１Ｃ，９１Ｄを更に備え、一対の検出部９１Ｃ，９１Ｄは、検出光ＳＧを発生する発生部９２、及び発生部９２との間で積層体５０を挟む位置に配置され、検出光ＳＧを受信する受信部９３をそれぞれ有し、載置部材６０は、検出部９１Ｃ，９１Ｄに対応する位置に、積層方向に貫通する貫通部６１Ｃ，６１Ｄを有する。この場合、検出部９１Ｃ，９１Ｄは、積層体５０を載置部材６０に載置したままの状態で、移載方向Ｄ２における積層体の積層ずれを検出することができる。例えば、図８（ａ）に示すように、移載方向Ｄ２に積層ずれが生じていた場合、検出部９１Ｃ，９１Ｄは、当該積層ずれを検出することができる。
【００５７】
なお、図８では、積層ずれの一例として、一部の電極だけが積層体５０の端部から突出するような態様を例示した。しかし、積層ずれの態様は特に限定されず、あらゆる積層ずれを検出できる。例えば、複数の電極が特定の方向に少しずつずれることで、積層体５０の端部全体が傾斜するような態様の積層ずれでもよい。あるいは、複数の電極のうち、積層方向の中央位置付近へ向かうにしたがって徐々にずれることで、積層体５０の端部全体が湾曲する形状をなすような積層ずれであってもよい。また、電極が水平方向に真っ直ぐに突出するのみならず、積層方向からみたときに、一部の電極が回転するような態様でずれてもよい。
【００５８】
積層体検査装置１５０において、載置部材６０には、当該載置部材６０との間で積層体５０の各角部を挟み込むことによって、積層体５０を載置部材６０上で保持する爪部６３が設けられている。この場合、載置部材６０に対して積層体５０がずれることを抑制した状態で、検査を行うことができる。
【００５９】
積層体検査装置１５０は、載置部材６０を搬送方向Ｄ１へ搬送する搬送部７０を更に備え、搬送部７０は、搬送方向Ｄ１に並べられた複数のローラ７１を有し、検出部９１Ａ，９１Ｂは、積層方向から見て、一対のローラ７１間の隙間の位置に配置されてよい。この場合、搬送部７０の途中に検査ステーション９０を設けることができる。また、このような構成を採用する場合であっても、検出光ＳＧがローラ７１と干渉することを抑制することができる。
【００６０】
積層体検査装置１５０において、検出部９１Ａ，９１Ｂ，９１Ｃ，９１Ｄを挟む一対のローラ７１間の隙間は、積層方向から見て、他のローラ７１間の隙間より大きい。これにより、ローラ７１間に検出光ＳＧを通過させるための大きい隙間を確保できる。
【００６１】
積層体検査装置１５０は、積層方向と直交する方向において載置部材６０の位置合わせを行う位置合わせ機構１１０を更に備えている。この場合、載置部材６０の位置合わせを行うことで、積層体５０と検出部９１Ａ，９１Ｂとの間の位置合わせを行った状態で検査を行うことができる。
【００６２】
積層体検査装置１５０は、積層方向と直交する方向において載置部材６０の位置合わせを行う位置合わせ機構１１０を備え、位置合わせ機構１１０は、ローラ７１上で、載置部材６０に当接し、載置部材６０をローラ７１の軸心方向に摺動させることにより位置合わせを行う。これにより、位置合わせ機構１１０は、搬送部７０であるローラ７１上に載置部材６０を配置したままの状態で、当該載置部材６０の位置合わせを行うことができる。
【００６３】
本発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。
【００６４】
例えば、上述の実施形態では、発生部９２が載置部材６０の上方に設けられ、受信部９３が載置部材６０の下方に設けられているが、上下が逆であってもよい。
【００６５】
なお、上述の実施形態では、検出部９１Ａ，９１Ｂを請求項における「第１の検出部」とし検出部９１Ｃ，９１Ｄを請求項における「第２の検出部」として説明したが、検出部９１Ａ，９１Ｂを請求項における「第２の検出部」とし検出部９１Ｃ，９１Ｄを請求項における「第１の検出部」としてもよい。また、上述の実施形態では、一対の検出部９１Ａ，９１Ｂと一対の検出部９１Ｃ，９１Ｄが設けられていたが、少なくとも一方の対に係る検出部が設けられていればよい。
【００６６】
上述の実施形態では、検出部は、検出光の光量に基づいて積層ずれを検出していたが、検出方式は特に限定されない。例えば、検出光ＳＧのレーザ光を細くし、受信部が検出光を受信したか否かのみで積層ずれを判定してもよい。また、検出線としてレーザ光などの可視光による検出光を例示したが、これに限定されず、検出線としてＸ線などを採用してよい。
【００６７】
例えば、上述の実施形態では、図１０（ａ）に示すように、検出部９１Ａ，９１Ｂ，９１Ｃ，９１Ｄを配置するためのローラ７１間の隙間は、対応箇所におけるローラ７１を取り除くことによって大きくされていた。これに代えて、対応箇所におけるローラ７１を検出部９１Ａ，９１Ｂ，９１Ｃ，９１Ｄの位置で分割することで、検出部９１Ａ，９１Ｂ，９１Ｃ，９１Ｄが配置されている箇所だけ、ローラ７１間の隙間を大きくしてよい。具体的には、図１０（ｂ）に示すように、ローラ７１Ｅ，７１Ｆ間のローラ７１Ｌは、検出部９１Ａの位置で分割されており、当該分割部分でのみ、ローラ７１Ｅ，７１Ｆ間の大きな隙間が形成されている。ローラ７１Ｃ，７１Ｄ間のローラ７１Ｋは、検出部９１Ｃ，９１Ｄの位置で分割されており、当該分割部分でのみ、ローラ７１Ｃ，７１Ｄ間の大きな隙間が形成されている。ローラ７１Ａ，７１Ｂ間のローラ７１Ｈは、検出部９１Ｂの位置で分割されており、当該分割部分でのみ、ローラ７１Ａ，７１Ｂ間の大きな隙間が形成されている。
【００６８】
上述の実施形態では、搬送部の中に検査ステーションが設けられていた。これに代えて、搬送部とは異なる位置に検査ステーションが設けられてもよい。
【符号の説明】
【００６９】
５０…積層体、６０…載置部材、６１Ａ，６１Ｂ…貫通部（第１の貫通部、第２の貫通部）、６１Ｃ，６１Ｄ…貫通部（第２の貫通部、第１の貫通部）、６３…爪部、９１Ａ，９１Ｂ…検出部（第１の検出部、第２の検出部）、９１Ｃ，９１Ｄ…検出部（第２の検出部、第１の検出部）、９２…発生部、９３…受信部、１１０…位置合わせ機構、１５０…積層体検査装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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