(57)【要約】【課題】メンテナンス対象でない基板処理装置に対して誤ってメンテナンス動作が指示されることを防止することが可能でかつメンテナンスの利便性が向上された基板処理装置のメンテナンス装置を提供することである。【解決手段】一の認証装置４０において近距離無線通信により記憶媒体３０から認証情報が取得される。認証情報が当該認証装置４０が設けられた一の基板処理装置に対応するか否かが判定される。認証情報４０が一の基板処理装置に対応する場合、認証装置２０から近距離無線通信によりアクセス情報が送信される。指示端末２は、近距離無線通信によりアクセス情報を受信する。指示端末２がアクセス情報に基づいてメンテナンス指示装置５０にアクセスすることにより、当該指示端末２の表示部２ｆにメンテナンス画面が表示される。指示端末２は、メンテナンス動作を指示するために使用者により操作される操作部を有する。【選択図】図１
2020004866.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置に対応して設けられたメンテナンス指示装置と、
前記基板処理装置に対応する認証情報を記憶する記憶媒体と、
第１の近距離無線通信部を含み、前記基板処理装置に対応して設けられた認証装置と、
第２の近距離無線通信部および表示部を含む指示端末とを備え、
前記メンテナンス指示装置の各々は、当該メンテナンス指示装置が設けられた基板処理装置のメンテナンスを行うためのメンテナンス画面を示す画面情報を生成し、
前記認証装置は、
当該認証装置の第１の近距離無線通信部による通信可能範囲内に前記記憶媒体が存在するときに、前記記憶媒体に記憶された認証情報を前記第１の近距離無線通信部により取得する第１の認証情報取得部と、
前記第１の認証情報取得部により取得された認証情報が前記認証装置が設けられた基板処理装置に対応するか否かを判定する第１の判定部と、
前記取得された認証情報が前記基板処理装置に対応する場合に、前記指示端末が前記基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置との間で通信を行うためのアクセス情報を前記第１の近距離無線通信部により送信し、前記取得された認証情報が前記基板処理装置に対応しない場合に前記アクセス情報を送信しない情報送信部とを含み、
前記指示端末は、
当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内に前記認証装置が存在しかつ前記第１の近距離無線通信部により前記アクセス情報が送信されるときに、前記第２の近距離無線通信部により前記アクセス情報を受信し、受信したアクセス情報を用いて無線通信により前記基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置にアクセスするネットワークアクセス部と、
前記ネットワークアクセス部がアクセスしたメンテナンス指示装置により生成される画面情報に基づいて前記メンテナンス画面を前記表示部に表示させる表示制御部と、
前記表示部による前記メンテナンス画面の表示時に、前記基板処理装置にメンテナンス動作を指示するために使用者により操作される操作部とを含む、基板処理装置のメンテナンス装置。
【請求項２】
前記情報送信部は、前記第１の近距離無線通信部による前記アクセス情報の送信時に、前記基板処理装置に対応する認証情報を前記第１の近距離無線通信部により送信し、
前記指示端末は、
当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内に前記認証装置が存在しかつ前記第１の近距離無線通信部により前記認証情報が送信されるときに、前記第２の近距離無線通信部により前記認証情報を受信し、受信した認証情報を対象情報として記憶する対象情報記憶部と、
当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内で前記記憶媒体を着脱可能に保持する媒体保持部と、
前記媒体保持部に前記記憶媒体が保持された状態で、当該記憶媒体に記憶された認証情報を前記第２の近距離無線通信部により取得する第２の認証情報取得部と、
前記第２の認証情報取得部により取得された認証情報が前記対象情報記憶部に記憶された対象情報に一致するか否かを判定する第２の判定部と、
前記第２の認証情報取得部により取得された認証情報が前記対象情報に一致する場合に前記ネットワークアクセス部による前記メンテナンス指示装置へのアクセスを許容し、取得された認証情報が前記対象情報に一致しない場合に前記ネットワークアクセス部による前記メンテナンス指示装置へのアクセスを制限するアクセス制御部をさらに備える、請求項１記載の基板処理装置のメンテナンス装置。
【請求項３】
前記基板処理装置は、ノズルを用いて基板に処理液を供給する処理液供給ユニットを含み、
前記メンテナンス動作は、前記処理液供給ユニットにおける前記ノズルからの処理液の吐出動作を含む、請求項１または２記載の基板処理装置のメンテナンス装置。
【請求項４】
前記基板処理装置は、温度調整装置を用いて基板に熱処理を行う熱処理ユニットを含み、
前記メンテナンス動作は、前記熱処理ユニットにおける前記温度調整装置の温度調整動作を含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板処理装置のメンテナンス装置。
【請求項５】
前記基板処理装置は、基板を搬送する搬送装置を含み、
前記メンテナンス動作は、前記搬送装置の移動動作を含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載の基板処理装置のメンテナンス装置。
【請求項６】
基板処理装置のメンテナンス方法であって、
メンテナンス装置を用いて基板処理装置のメンテナンスを行うステップを含み、
前記メンテナンス装置は、
基板処理装置に対応して設けられたメンテナンス指示装置と、
前記基板処理装置に対応する認証情報を記憶する記憶媒体と、
第１の近距離無線通信部を含み、前記基板処理装置に対応して設けられた認証装置と、
第２の近距離無線通信部および表示部を含む指示端末とを備え、
前記メンテナンスを行うステップは、
前記認証装置において、当該認証装置の第１の近距離無線通信部による通信可能範囲内に前記記憶媒体が存在するときに、前記記憶媒体に記憶された認証情報を前記第１の近距離無線通信部により取得するステップと、
前記認証装置において、前記第１の認証情報取得部により取得された認証情報が前記認証装置が設けられた基板処理装置に対応するか否かを判定するステップと、
前記認証装置において、前記取得された認証情報が前記基板処理装置に対応する場合に、前記指示端末が前記基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置との間で通信を行うためのアクセス情報を前記第１の近距離無線通信部により送信し、前記取得された認証情報が前記基板処理装置に対応しない場合に前記アクセス情報を送信しないステップと、
前記指示端末において、当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内に前記認証装置が存在しかつ前記第１の近距離無線通信部により前記アクセス情報が送信されるときに、前記第２の近距離無線通信部により前記アクセス情報を受信し、受信したアクセス情報を用いて無線通信により前記基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置にアクセスするステップと、
前記アクセスされたメンテナンス指示装置において、当該メンテナンス指示装置が設けられた基板処理装置のメンテナンスを行うためのメンテナンス画面を示す画面情報を生成するステップと、
前記指示端末において、前記アクセスされたメンテナンス指示装置により生成される画面情報に基づいて前記メンテナンス画面を前記表示部に表示させるステップと、
前記指示端末において、前記表示部による前記メンテナンス画面の表示時に、使用者による当該指示端末の操作に基づいて前記基板処理装置にメンテナンス動作を指示するステップとを含む、基板処理装置のメンテナンス方法。
【請求項７】
前記メンテナンスを行うステップは、
前記認証装置において、前記第１の近距離無線通信部による前記アクセス情報の送信時に、前記基板処理装置に対応する認証情報を前記第１の近距離無線通信部により送信するステップと、
前記指示端末において、当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内に前記認証装置が存在しかつ前記第１の近距離無線通信部により前記認証情報が送信されるときに、前記第２の近距離無線通信部により前記認証情報を受信し、受信した認証情報を対象情報として記憶するステップと、
当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内で前記記憶媒体を当該指示端末に保持させるステップと、
前記指示端末において、前記記憶媒体が保持された状態で、前記保持された記憶媒体に記憶された認証情報を前記第２の近距離無線通信部により取得するステップと、
前記指示端末において、前記取得された認証情報が前記記憶された対象情報に一致するか否かを判定するステップと、
前記指示端末において、前記取得された認証情報が前記対象情報に一致する場合に前記メンテナンス指示装置へのアクセスを許容し、取得された認証情報が前記対象情報に一致しない場合に前記メンテナンス指示装置へのアクセスを制限するステップとをさらに含む、請求項６記載の基板処理装置のメンテナンス方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置のメンテナンス装置およびメンテナンス方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体基板、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板等の各種基板に種々の処理を行うために、基板処理装置が用いられている。
【０００３】
基板処理装置では、一枚の基板に対して複数の処理ユニットにより連続的に処理が行われる。また、複数の処理ユニット間で基板搬送装置により基板が搬送される。処理ユニットおよび基板搬送装置等のメンテナンス時には、メンテナンス対象となる装置の動作を調整するためのメンテナンス用の端末が用いられる。
【０００４】
例えば、特許文献１には、上記のメンテナンス用の端末として調整端末機が記載されている。調整端末機の使用者は、当該調整端末機に片腕を嵌め込んだ状態で、その調整端末機が備える入力機構を操作する。それにより、調整端末機から出力される指令信号が、無線または有線で基板処理装置の制御装置に与えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平７−１１４４３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
半導体デバイス等の製造工場においては、一般に、多数の基板処理装置が、比較的高い密度で並ぶようにクリーンルーム内に配置される。稼働中の基板処理装置が誤って停止されると、大きな経済的損失が生じる。そのため、メンテナンスの作業者が稼働中の基板処理装置に誤ってメンテナンス作業を行わないような対策が必要である。作業者が無線方式の指示端末を用いて基板処理装置にメンテナンスの指示を与えると、メンテナンス対象の基板処理装置の近くに配置される基板処理装置が誤ってメンテナンス動作を行う可能性がある。そこで、実際は、各基板処理装置に対応する有線方式の指示端末が用いられる。作業者は、メンテナンス対象となる基板処理装置に対応する指示端末を携行し、その基板処理装置に指示端末のケーブルを接続した後、その指示端末を用いてメンテナンス対象となる基板処理装置のメンテナンス動作を指示する。この場合、ケーブルが接続されていない基板処理装置にメンテナンス指示が与えられることはない。
【０００７】
しかしながら、有線式の指示端末を用いる場合には、作業者は、ケーブルを引き回して作業を行う必要があるため、作業性が良好ではない。また、ケーブルが種々の物に引っかかることがあるため、ケーブルの断線による指示端末の故障が生じる可能性がある。
【０００８】
本発明の目的は、メンテナンス対象でない基板処理装置に対して誤ってメンテナンス動作が指示されることを防止することが可能でかつメンテナンスの利便性が向上された基板処理装置のメンテナンス装置およびメンテナンス方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）第１の発明に係る基板処理装置のメンテナンス装置は、基板処理装置に対応して設けられたメンテナンス指示装置と、基板処理装置に対応する認証情報を記憶する記憶媒体と、第１の近距離無線通信部を含み、基板処理装置に対応して設けられた認証装置と、第２の近距離無線通信部および表示部を含む指示端末とを備え、メンテナンス指示装置の各々は、当該メンテナンス指示装置が設けられた基板処理装置のメンテナンスを行うためのメンテナンス画面を示す画面情報を生成し、認証装置は、当該認証装置の第１の近距離無線通信部による通信可能範囲内に記憶媒体が存在するときに、記憶媒体に記憶された認証情報を第１の近距離無線通信部により取得する第１の認証情報取得部と、第１の認証情報取得部により取得された認証情報が認証装置が設けられた基板処理装置に対応するか否かを判定する第１の判定部と、取得された認証情報が基板処理装置に対応する場合に、指示端末が基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置との間で通信を行うためのアクセス情報を第１の近距離無線通信部により送信し、取得された認証情報が基板処理装置に対応しない場合にアクセス情報を送信しない情報送信部とを含み、指示端末は、当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内に認証装置が存在しかつ第１の近距離無線通信部によりアクセス情報が送信されるときに、第２の近距離無線通信部によりアクセス情報を受信し、受信したアクセス情報を用いて無線通信により基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置にアクセスするネットワークアクセス部と、ネットワークアクセス部がアクセスしたメンテナンス指示装置により生成される画面情報に基づいてメンテナンス画面を表示部に表示させる表示制御部と、表示部によるメンテナンス画面の表示時に、基板処理装置にメンテナンス動作を指示するために使用者により操作される操作部とを含む。
【００１０】
そのメンテナンス装置においては、メンテナンス指示装置が基板処理装置に対応して設けられ、認証装置が基板処理装置に対応して設けられる。また、基板処理装置に対応する認証情報が記憶媒体に記憶される。
【００１１】
使用者は、メンテナンスすべき基板処理装置に対応する記憶媒体を基板処理装置に設けられた認証装置に近づける。記憶媒体が当該認証装置の第１の近距離無線通信部による通信可能範囲内に存在すると、当該記憶媒体に記憶された認証情報が当該認証装置の第１の認証情報取得部により取得される。また、当該認証装置において、取得された認証情報が当該基板処理装置に対応するか否かが判定される。
【００１２】
取得された認証情報が当該基板処理装置に対応する場合には、当該認証装置の第１の近距離無線通信部からアクセス情報が送信される。この状態で、指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内に認証装置が存在することにより、第２の近距離無線通信部によりアクセス情報が受信される。それにより、指示端末から当該基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置へのアクセスが可能になる。指示端末がメンテナンス指示装置にアクセスすることにより、当該指示端末の表示部にメンテナンス画面が表示される。そこで、使用者は、指示端末の表示部に表示されるメンテナンス画面を参照しつつ操作部を操作することにより、当該基板処理装置にメンテナンス動作を指示することができる。
【００１３】
当該認証装置において取得された認証情報が当該基板処理装置に対応しない場合、当該認証装置の第１の近距離無線通信部からアクセス情報は送信されない。それにより、指示端末から当該基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置へのアクセスが不可能になる。
【００１４】
上記の構成によれば、基板処理装置に設けられる認証装置においては、使用者により携行された記憶媒体の認証情報が当該基板処理装置に対応する場合にのみ、指示端末から当該基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置へのアクセスが可能になる。使用者により携行された記憶媒体の認証情報が当該基板処理装置に対応しない場合、指示端末から当該基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置へのアクセスはできない。したがって、メンテナンス対象でない基板処理装置に対して誤ってメンテナンス動作が指示されることが防止される。
【００１５】
また、上記の構成によれば、指示端末は、無線通信によりメンテナンス指示装置にアクセスする。そのため、使用者は、指示端末を携行する際に、通信用のケーブルを引き回す必要がない。また、ケーブルの断線による指示端末の故障も生じない。したがって、メンテナンスの利便性が向上される。
【００１６】
（２）情報送信部は、第１の近距離無線通信部によるアクセス情報の送信時に、基板処理装置に対応する認証情報を第１の近距離無線通信部により送信し、指示端末は、当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内に認証装置が存在しかつ第１の近距離無線通信部により認証情報が送信されるときに、第２の近距離無線通信部により認証情報を受信し、受信した認証情報を対象情報として記憶する対象情報記憶部と、当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内で記憶媒体を着脱可能に保持する媒体保持部と、媒体保持部に記憶媒体が保持された状態で、当該記憶媒体に記憶された認証情報を第２の近距離無線通信部により取得する第２の認証情報取得部と、第２の認証情報取得部により取得された認証情報が対象情報記憶部に記憶された対象情報に一致するか否かを判定する第２の判定部と、第２の認証情報取得部により取得された認証情報が対象情報に一致する場合にネットワークアクセス部によるメンテナンス指示装置へのアクセスを許容し、取得された認証情報が対象情報に一致しない場合にネットワークアクセス部によるメンテナンス指示装置へのアクセスを制限するアクセス制御部をさらに備えてもよい。
【００１７】
上記のメンテナンス装置においては、認証装置の第１の近距離無線通信部によりアクセス情報が送信される際には、当該認証装置が設けられた基板処理装置に対応する認証情報が第１の近距離無線通信部によりさらに送信される。
【００１８】
使用者は、記憶媒体を認証装置に近づけた後、指示端末を当該認証装置に近づける。それにより、第２の近距離無線通信部によりアクセス情報が受信される際には、第１の近距離無線通信部により送信された認証情報が、さらに第２の近距離無線通信部により受信される。指示端末においては、受信された認証情報が対象情報として記憶される。
【００１９】
次に、使用者は、選択した記憶媒体を指示端末の媒体保持部に取り付ける。この場合、媒体保持部は第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内にあるので、当該記憶媒体に記憶された認証情報が第２の近距離無線通信部により取得される。そこで、指示端末においては、取得された認証情報が記憶された対象情報に一致するか否かが判定される。
【００２０】
取得された認証情報が対象情報に一致する場合に、指示端末を用いたメンテナンス指示装置へのアクセスが許容される。一方、取得された認証情報が対象情報に一致しない場合に、指示端末を用いたメンテナンス指示装置へのアクセスが制限される。これにより、指示端末を用いた基板処理装置のメンテナンスが、当該基板処理装置に対応する記録媒体を携行する使用者に制限される。したがって、当該基板処理装置に対応する記録媒体を携行しない第三者が、指示端末を用いて当該基板処理装置を操作することが防止される。
【００２１】
（３）基板処理装置は、ノズルを用いて基板に処理液を供給する処理液供給ユニットを含み、メンテナンス動作は、処理液供給ユニットにおけるノズルからの処理液の吐出動作を含んでもよい。
【００２２】
この場合、一部の基板処理装置について、指示端末を用いた処理液供給ユニットのメンテナンスが可能となる。
【００２３】
（４）基板処理装置は、温度調整装置を用いて基板に熱処理を行う熱処理ユニットを含み、メンテナンス動作は、熱処理ユニットにおける温度調整装置の温度調整動作を含んでもよい。
【００２４】
この場合、一部の基板処理装置について、指示端末を用いた熱処理ユニットのメンテナンスが可能となる。
【００２５】
（５）基板処理装置は、基板を搬送する搬送装置を含み、メンテナンス動作は、搬送装置の移動動作を含んでもよい。
【００２６】
この場合、一部の基板処理装置について、指示端末を用いた搬送装置のメンテナンスが可能となる。
【００２７】
（６）第２の発明に係る基板処理装置のメンテナンス方法は、メンテナンス装置を用いて基板処理装置のメンテナンスを行うステップを含み、メンテナンス装置は、基板処理装置に対応して設けられたメンテナンス指示装置と、基板処理装置に対応する認証情報を記憶する記憶媒体と、第１の近距離無線通信部を含み、基板処理装置に対応して設けられた認証装置と、第２の近距離無線通信部および表示部を含む指示端末とを備え、メンテナンスを行うステップは、認証装置において、当該認証装置の第１の近距離無線通信部による通信可能範囲内に記憶媒体が存在するときに、記憶媒体に記憶された認証情報を第１の近距離無線通信部により取得するステップと、認証装置において、第１の認証情報取得部により取得された認証情報が認証装置が設けられた基板処理装置に対応するか否かを判定するステップと、認証装置において、取得された認証情報が基板処理装置に対応する場合に、指示端末が基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置との間で通信を行うためのアクセス情報を第１の近距離無線通信部により送信し、取得された認証情報が基板処理装置に対応しない場合にアクセス情報を送信しないステップと、指示端末において、当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内に認証装置が存在しかつ第１の近距離無線通信部によりアクセス情報が送信されるときに、第２の近距離無線通信部によりアクセス情報を受信し、受信したアクセス情報を用いて無線通信により基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置にアクセスするステップと、アクセスされたメンテナンス指示装置において、当該メンテナンス指示装置が設けられた基板処理装置のメンテナンスを行うためのメンテナンス画面を示す画面情報を生成するステップと、指示端末において、アクセスされたメンテナンス指示装置により生成される画面情報に基づいてメンテナンス画面を表示部に表示させるステップと、指示端末において、表示部によるメンテナンス画面の表示時に、使用者による当該指示端末の操作に基づいて基板処理装置にメンテナンス動作を指示するステップとを含む。
【００２８】
そのメンテナンス方法によれば、基板処理装置に設けられる認証装置においては、使用者により携行された記憶媒体の認証情報が当該基板処理装置に対応する場合にのみ、指示端末から当該基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置へのアクセスが可能になる。使用者により携行された記憶媒体の認証情報が当該基板処理装置に対応しない場合、指示端末から当該基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置へのアクセスはできない。したがって、メンテナンス対象でない基板処理装置に対して誤ってメンテナンス動作が指示されることが防止される。
【００２９】
また、上記の構成によれば、指示端末は、無線通信によりメンテナンス指示装置にアクセスする。そのため、使用者は、指示端末を携行する際に、通信用のケーブルを引き回す必要がない。また、ケーブルの断線による指示端末の故障も生じない。したがって、メンテナンスの利便性が向上される。
【００３０】
（７）メンテナンスを行うステップは、認証装置において、第１の近距離無線通信部によるアクセス情報の送信時に、基板処理装置に対応する認証情報を第１の近距離無線通信部により送信するステップと、指示端末において、当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内に認証装置が存在しかつ第１の近距離無線通信部により認証情報が送信されるときに、第２の近距離無線通信部により認証情報を受信し、受信した認証情報を対象情報として記憶するステップと、当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内で記憶媒体を当該指示端末に保持させるステップと、指示端末において、記憶媒体が保持された状態で、保持された記憶媒体に記憶された認証情報を第２の近距離無線通信部により取得するステップと、指示端末において、取得された認証情報が記憶された対象情報に一致するか否かを判定するステップと、指示端末において、取得された認証情報が対象情報に一致する場合にメンテナンス指示装置へのアクセスを許容し、取得された認証情報が対象情報に一致しない場合にメンテナンス指示装置へのアクセスを制限するステップとをさらに含んでもよい。
【００３１】
上記の方法によれば、指示端末を用いた基板処理装置のメンテナンスが、当該基板処理装置に対応する記録媒体を携行する使用者に制限される。したがって、当該基板処理装置に対応する記録媒体を携行しない第三者が、指示端末を用いて当該基板処理装置を操作することが防止される。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、メンテナンス対象でない基板処理装置に対して誤ってメンテナンス動作が指示されることを防止することが可能になるとともにメンテナンスの利便性が向上される。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の一実施の形態に係るメンテナンス装置の基本構成を示す図である。
【図２】図１のメンテナンス装置を用いたメンテナンスの一例を説明するための図である。
【図３】図１のメンテナンス装置を用いたメンテナンスの一例を説明するための図である。
【図４】図１のメンテナンス装置を用いたメンテナンスの一例を説明するための図である。
【図５】図１の指示端末および遠隔通信システムの構成を示すブロック図である。
【図６】認証装置における一連の処理の流れを示すフローチャートである。
【図７】指示端末における一連の処理の流れを示すフローチャートである。
【図８】図１の基板処理装置の一例を示す模式的ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、本発明の一実施の形態に係るメンテナンス装置およびメンテナンス方法について図面を用いて説明する。なお、以下の説明において、基板とは、半導体基板、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板またはフォトマスク用基板等をいう。
【００３５】
［１］メンテナンス装置の基本構成および概略
図１は、本発明の一実施の形態に係るメンテナンス装置の基本構成を示す図である。図１のメンテナンス装置１０は、４つの基板処理装置１００Ａ〜１００Ｄのメンテナンスを行うために用いられる。４つの基板処理装置１００Ａ〜１００Ｄの各々は、当該基板処理装置の各構成要素を制御するための制御装置４００を備える。
【００３６】
図１に示すように、メンテナンス装置１０は、指示端末２と４つの遠隔通信システム３Ａ〜３Ｄとを備える。指示端末２は、例えばタブレット端末、スマートフォンまたは携帯電話機等の使用者が携行可能な装置であり、表示部２ｆおよび操作部２ｅ（図５）を有する。
【００３７】
表示部２ｆには、複数の基板処理装置１００Ａ〜１００Ｄのうちいずれかのメンテナンスを行うためのメンテナンス画面が表示される。操作部２ｅ（図５）は、例えば表示部２ｆに設けられるタッチパネルである。使用者は、表示部２ｆに表示されるメンテナンス画面を視認しつつ操作部２ｅを操作する。それにより、メンテナンス対象となる基板処理装置に所望のメンテナンス動作を指示することができる。指示端末２の構成および動作の詳細は後述する。
【００３８】
４つの遠隔通信システム３Ａ〜３Ｄは、予め４つの基板処理装置１００Ａ〜１００Ｄにそれぞれ対応付けられている。遠隔通信システム３Ａ〜３Ｄの各々は、記憶媒体３０、認証装置４０およびメンテナンス指示装置５０を備える。認証装置４０およびメンテナンス指示装置５０は、対応する基板処理装置に設けられるとともに通信ケーブルを用いて互いに通信可能に接続される。
【００３９】
記憶媒体３０は、近距離無線通信による非接触での情報の読み取りが可能に構成され、対応する基板処理装置において予め定められた固有の認証情報を記憶する。すなわち、記憶媒体３０は、基板処理装置に対応付けられた当該基板処理装置に固有の認証情報を記憶する。
【００４０】
認証装置４０は、近距離無線通信により記憶媒体３０に記憶された認証情報を取得可能に構成される。また、認証装置４０は、指示端末２およびメンテナンス指示装置５０との間で無線通信を確立させるためのルータ機能を有する。認証装置４０の構成および動作の詳細は後述する。
【００４１】
メンテナンス指示装置５０は、対応する基板処理装置についてのメンテナンス画面を示す画面情報を生成し、生成された画面情報を認証装置４０を通して指示端末２に与える。また、メンテナンス指示装置５０は、対応する基板処理装置の制御装置４００に対して通信可能に設けられ、認証装置４０を通して指示端末２から与えられるメンテナンス動作の指示を、対応する基板処理装置の制御装置４００に与える。メンテナンス指示装置５０の構成および動作の詳細は後述する。
【００４２】
［２］メンテナンス装置１０の使用例
図２〜図４は、図１のメンテナンス装置１０を用いたメンテナンスの一例を説明するための図である。以下の説明では、図１の遠隔通信システム３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄが備える記憶媒体３０を、それぞれ記憶媒体３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄと呼ぶ。また、図１の遠隔通信システム３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄが備える認証装置４０を、それぞれ認証装置４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ，４０Ｄと呼ぶ。さらに、図１の遠隔通信システム３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄが備えるメンテナンス指示装置５０を、それぞれメンテナンス指示装置５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄと呼ぶ。
【００４３】
最初に、メンテナンス装置１０の使用者Ｕは、遠隔通信システム３Ａ〜３Ｄが対応付けられた４つの基板処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄのうち、メンテナンス対象となる基板処理装置を決定する。
【００４４】
例えばメンテナンス対象として基板処理装置１００Ａが決定された場合、使用者Ｕは、図２（ａ）に示すように、４つの記憶媒体３０Ａ〜３０Ｄのうちメンテナンス対象となる基板処理装置１００Ａに対応する記憶媒体３０Ａを選択する。その後、使用者Ｕは、図２（ｂ）に示すように、選択した記憶媒体３０Ａと指示端末２とを携行しつつ基板処理装置１００Ａの近傍まで移動する。
【００４５】
基板処理装置１００Ａ〜１００Ｄの各々においては、例えば装置の外壁の一部または操作パネルの近傍に、当該基板処理装置に対応付けられた遠隔通信システム３Ａ〜３Ｄの認証装置４０Ａ〜４０Ｄが設けられている。
【００４６】
使用者Ｕは、図３（ａ）に示すように、選択された記憶媒体３０Ａを認証装置４０Ａに近づける。それにより、記憶媒体３０Ａに記憶された認証情報が認証装置４０Ａにより近距離無線通信で取得される。
【００４７】
認証装置４０Ａ〜４０Ｄの各々には表示灯４９が設けられている。表示灯４９は、当該認証装置において認証情報が取得された時点から一定時間点灯し、認証情報が取得されないときに消灯する。これにより、使用者Ｕは、表示灯４９の点灯状態に基づいて記憶媒体３０Ａの認証情報が認証装置４０Ａにより取得されたか否かを認識することができる。
【００４８】
ここで、認証装置４０Ａには、基板処理装置１００Ａに対応する認証情報が予め記憶されている。認証装置４０Ａにおいては、記憶媒体から取得された認証情報が予め記憶された認証情報に一致するか否かが判定される。すなわち、使用者Ｕにより近づけられた記憶媒体（本例では記憶媒体３０Ａ）の認証情報が当該認証装置４０Ａが設けられた基板処理装置（本例では基板処理装置１００Ａ）に対応するか否かが判定される。
【００４９】
使用者Ｕは、表示灯４９の点灯状態に基づいて記憶媒体３０Ａの認証情報が認証装置４０Ａにより取得されたことを確認すると、図３（ｂ）に示すように、指示端末２を認証装置４０Ａに近づける。
【００５０】
指示端末２および認証装置４０Ａには、それぞれ後述する近距離無線通信部２ｃ，４ｃ（図５）が設けられている。それにより、近距離無線通信部２ｃ，４ｃが互いの通信可能範囲内に存在すると、指示端末２と認証装置４０Ａとの間で近距離無線通信が可能となる。認証装置４０Ａにおいて取得された認証情報が基板処理装置１００Ａに対応するときには、認証装置４０Ａからアクセス情報および基板処理装置１００Ａに対応する認証情報が送信される。このとき、指示端末２は、認証装置４０Ａから送信されるアクセス情報および認証情報を受信する。一方、認証装置４０Ａにおいて取得された認証情報が基板処理装置１００Ａに対応しないときには、認証装置４０Ａからアクセス情報および認証情報は送信されない。
【００５１】
アクセス情報が指示端末２により受信されると、指示端末２の表示部２ｆに、指示端末２においてアクセス情報が受信されたことを示す情報が表示される。
【００５２】
ここで、アクセス情報は、認証装置４０Ａをアクセスポイントとして指示端末２がメンテナンス指示装置５０Ａにアクセスするための情報である。アクセス情報には、例えば認証装置４０ＡのＳＳＩＤ（Service set identifier）およびパスワード、ならびにメンテナンス指示装置５０ＡのＩＰ（Internet protcol）アドレス等が含まれる。
【００５３】
指示端末２は、略矩形の板形状を有し、互いに対向する一面および他面を有する。表示部２ｆは、指示端末２の一面に設けられている。図３（ｃ）に示すように、指示端末２の他面には、記憶媒体３０Ａを挿入可能かつ抜き取り可能に形成された記録媒体保持部２ｄが設けられている。使用者Ｕは、指示端末２においてアクセス情報が受信されたことを確認した後、記録媒体保持部２ｄに記憶媒体３０Ａを挿入する。
【００５４】
この場合、指示端末２においては、近距離無線通信により、記録媒体保持部２ｄに保持された記憶媒体３０Ａから所定周期で認証情報が取得される。また、取得された認証情報が、認証装置４０Ａから送信された認証情報（本例では、基板処理装置１００Ａに対応する認証情報）に一致するか否かが判定される。その上で、取得された認証情報が認証装置４０Ａから送信された認証情報に一致する場合に、当該指示端末２とメンテナンス指示装置５０Ａとの間のアクセスが許容される。一方、認証情報が取得されないかまたは取得された認証情報が認証装置４０Ａから送信された認証情報に一致しない場合に、当該指示端末２とメンテナンス指示装置５０Ａとの間のアクセスが制限される。
【００５５】
当該指示端末２とメンテナンス指示装置５０Ａとの間のアクセスが許容される場合には、メンテナンス指示装置５０Ａにおいて生成される画面情報に基づいて、指示端末２の表示部２ｆにメンテナンス画面が表示される。したがって、使用者Ｕは、図４に示すように、メンテナンス画面を参照しつつ指示端末２の操作部２ｅ（図５）を操作することができる。この場合、使用者Ｕの操作に基づくメンテナンス動作の指示が、メンテナンス指示装置５０Ａを通じて基板処理装置１００Ａの制御装置４００に与えられる。このように、指示端末２、メンテナンス指示装置５０Ａおよび制御装置４００間では、いわゆるリモートディスクトップ接続が確立される。
【００５６】
［３］メンテナンス装置１０の構成の詳細
図１のメンテナンス装置１０の構成および動作について詳細を説明する。なお、図１の複数の遠隔通信システム３Ａ〜３Ｄは同じ構成を有する。そこで、以下の説明では、複数の遠隔通信システム３Ａ〜３Ｄのうち、代表して遠隔通信システム３Ａの構成および動作を説明する。
【００５７】
図５は、図１の指示端末２および遠隔通信システム３Ａの構成を示すブロック図である。図５に示すように、指示端末２は、制御部２ａ、ネットワークアクセス部２ｂ、近距離無線通信部２ｃ、記録媒体保持部２ｄ、操作部２ｅおよび表示部２ｆを備える。
【００５８】
ネットワークアクセス部２ｂは、アンテナを内蔵し、近距離無線通信部２ｃの通信可能範囲内に認証装置４０Ａが存在する場合に、遠隔通信システム３Ａから送信されるアクセス情報を近距離無線通信部２ｃにより受信する。また、ネットワークアクセス部２ｂは、受信したアクセス情報を用いてネットワークを利用した無線通信が可能に構成される。一方、近距離無線通信部２ｃは、アンテナを内蔵し、ＮＦＣ（Near field communication）技術を利用した近距離無線通信が可能に構成される。ＮＦＣでは、１０ｃｍ程度の範囲内で無線通信が行われる。記録媒体保持部２ｄは、近距離無線通信部２ｃに近接する位置に設けられている。記憶媒体３０Ａ〜３０Ｄのいずれかの記憶媒体が記録媒体保持部２ｄに差し込まれることにより、当該記憶媒体は近距離無線通信部２ｃの通信可能範囲内に存在することになる。
【００５９】
表示部２ｆは、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）パネルまたは有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）パネルにより構成される。操作部２ｅは、上記のように、表示部２ｆに設けられるタッチパネルである。なお、操作部２ｅは、タッチパネルに加えて、またはタッチパネルに代えて、１または複数のスイッチで構成されてもよい。
【００６０】
制御部２ａは、例えばＣＰＵ（中央演算処理装置）およびメモリにより構成される。制御部２ａは、機能部として、アクセス制御部２１、第２の判定部２２、第２の取得部２３、指示部２４、表示制御部２５および対象情報記憶部２６を含む。これらの機能部は、制御部２ａのＣＰＵが予めメモリに記憶されたメンテナンス用のプログラムを実行することにより実現される。なお、制御部２ａに含まれる上記の複数の構成要素の一部または全てが電子回路等のハードウェアにより実現されてもよい。
【００６１】
アクセス制御部２１は、後述する第２の判定部２２の判定結果に基づいてネットワークアクセス部２ｂによるメンテナンス指示装置５０Ａへのアクセスを許容または制限する。
【００６２】
対象情報記憶部２６は、近距離無線通信部２ｃの通信可能範囲内に認証装置４０Ａが存在する場合に、遠隔通信システム３Ａから送信される認証情報を近距離無線通信部２ｃにより受信する。また、対象情報記憶部２６は、受信した認証情報を対象情報として記憶する。
【００６３】
第２の取得部２３は、近距離無線通信部２ｃの通信可能範囲内に記憶媒体３０Ａ〜３０Ｄのいずれかの記憶媒体が存在する場合に、近距離無線通信部２ｃにより当該記憶媒体の認証情報を取得する。
【００６４】
第２の判定部２２は、対象情報記憶部２６に記憶された対象情報に基づいて、第２の取得部２３により取得された認証情報が遠隔通信システム３Ａが設けられた基板処理装置１００Ａに対応するか否かを判定する。
【００６５】
表示制御部２５は、近距離無線通信部２ｃによりアクセス情報が受信された場合に、指示端末２においてアクセス情報が受信されたことを表示部２ｆに表示させる。また、表示制御部２５は、ネットワークアクセス部２ｂを通してメンテナンス指示装置５０Ａから取得される画面情報に基づいて、表示部２ｆにメンテナンス画面を表示させる。
【００６６】
指示部２４は、使用者Ｕによる操作部２ｅの操作に基づいて、メンテナンス動作を指示するための信号をネットワークアクセス部２ｂを通してメンテナンス指示装置５０Ａに与える。
【００６７】
遠隔通信システム３Ａは、記憶媒体３０Ａ、認証装置４０Ａおよびメンテナンス指示装置５０Ａを備える。記憶媒体３０Ａは、例えばＩＣ（集積回路）カードであり、当該遠隔通信システム３Ａが設けられた基板処理装置１００Ａに対応する認証情報が予め記憶されている。
【００６８】
認証装置４０Ａは、例えばクレードルであり、制御部４ａ、ネットワークアクセス部４ｂおよび近距離無線通信部４ｃを備える。ネットワークアクセス部４ｂは、アンテナおよびルータを内蔵し、無線通信のアクセスポイントとして動作可能に構成される。ネットワークアクセス部４ｂは、後述するメンテナンス指示装置５０Ａのネットワークアクセス部５ｂに通信用のケーブルを介して有線接続されている。この場合、ケーブルは、例えばＬＡＮ（Local area network）ケーブルである。近距離無線通信部４ｃは、近距離無線通信部２ｃと同様に、アンテナを内蔵し、ＮＦＣ技術を利用した近距離無線通信が可能に構成される。なお、認証装置４０Ａは、図５に示される構成に加えて、図３の表示灯４９を備える。表示灯４９は、発光源としてＬＥＤ（発光ダイオード）を含む。
【００６９】
制御部４ａは、例えばＣＰＵ（中央演算処理装置）およびメモリにより構成される。制御部４ａは、機能部として、情報送信部４１、第１の判定部４２および第１の取得部４３を含む。これらの機能部は、制御部４ａのＣＰＵが予めメモリに記憶されたメンテナンス用のプログラムを実行することにより実現される。なお、制御部４ａに含まれる上記の複数の構成要素の一部または全てが電子回路等のハードウェアにより実現されてもよい。
【００７０】
第１の取得部４３は、近距離無線通信部４ｃの通信可能範囲内に記憶媒体３０Ａ〜３０Ｄのいずれかの記憶媒体が存在する場合に、近距離無線通信部４ｃにより当該記憶媒体の認証情報を取得する。また、第１の取得部４３は、認証情報を取得した場合に、図３の表示灯４９を所定時間点灯させる。
【００７１】
第１の判定部４２には、当該遠隔通信システム３Ａが設けられた基板処理装置１００Ａに対応する認証情報が予め記憶されている。そこで、第１の判定部４２は、第１の取得部４３により取得された認証情報が遠隔通信システム３Ａが設けられた基板処理装置１００Ａに対応する認証情報であるか否かを判定する。
【００７２】
情報送信部４１は、第１の判定部４２の判定結果に基づいてアクセス情報および基板処理装置１００Ａに対応する認証情報を、近距離無線通信部４ｃにより送信する。具体的には、情報送信部４１は、取得された認証情報が基板処理装置１００Ａに対応する場合に、アクセス情報および基板処理装置１００Ａに対応する認証情報を近距離無線通信部４ｃにより送信する。
【００７３】
メンテナンス指示装置５０Ａは、例えばサーバまたはパーソナルコンピュータであり、制御部５ａおよびネットワークアクセス部５ｂを備える。ネットワークアクセス部５ｂは、ネットワークを利用した通信が可能に構成される。ネットワークアクセス部５ｂは、上記のように、認証装置４０Ａのネットワークアクセス部４ｂに有線接続されるとともに、基板処理装置１００Ａの制御装置４００に有線接続されている。
【００７４】
制御部５ａは、例えばＣＰＵ（中央演算処理装置）およびメモリにより構成される。制御部５ａは、機能部として、画面情報生成部５１および操作指令部５２を含む。これらの機能部は、制御部５ａのＣＰＵが予めメモリに記憶されたメンテナンス用のプログラムを実行することにより実現される。なお、制御部５ａに含まれる上記の複数の構成要素の一部または全てが電子回路等のハードウェアにより実現されてもよい。
【００７５】
画面情報生成部５１は、ネットワークアクセス部５ｂを通して基板処理装置１００Ａの制御装置４００と通信することにより、基板処理装置１００Ａの動作状態に応じた画面情報を生成する。また、画面情報生成部５１は、指示端末２からの要求に応答して、生成した画面情報を指示端末２に与える。
【００７６】
操作指令部５２は、ネットワークアクセス部５ｂを通して指示端末２から与えらえるメンテナンス動作の指示を基板処理装置１００Ａの制御装置４００に与える。それにより、基板処理装置１００Ａにおいて、指示端末２により指示されたメンテナンス動作が行われる。
【００７７】
［４］認証装置４０Ａにおける一連の処理の流れ
図６は、認証装置４０Ａにおける一連の処理の流れを示すフローチャートである。図６に示される一連の処理は、例えば遠隔通信システム３Ａが設けられた基板処理装置１００Ａの電源がオンされた場合、または基板処理装置１００Ａに対してメンテナンスを行う旨の通知があった場合に開始される。
【００７８】
まず、図５の第１の取得部４３は、近距離無線通信部４ｃの通信可能範囲内に記憶媒体３０Ａ〜３０Ｄのいずれかの記憶媒体が存在するか否かを判定する（ステップＳ１１）。通信可能範囲内に記憶媒体が存在しない場合、第１の取得部４３は、ステップＳ１１の処理を繰り返す。一方、通信可能範囲内に記憶媒体が存在する場合、第１の取得部４３は、近距離無線通信部４ｃにより当該記憶媒体の認証情報を取得し（ステップＳ１２）、所定時間点灯するように図３の表示灯４９を制御する（ステップＳ１３）。
【００７９】
次に、図５の第１の判定部４２は、第１の取得部４３により取得された認証情報が当該認証装置４０Ａが設けられた基板処理装置１００Ａに対応する認証情報であるか否かを判定する（ステップＳ１４）。認証情報が基板処理装置１００Ａに対応している場合、図５の情報送信部４１は、近距離無線通信部４ｃの通信可能範囲内に指示端末２が存在するか否かを判定する（ステップＳ１５）。
【００８０】
通信可能範囲内に指示端末２が存在する場合、情報送信部４１は、近距離無線通信部４ｃによりアクセス情報および基板処理装置１００Ａに対応する認証情報を送信し（ステップＳ１６）、一連の処理を終了する。
【００８１】
上記のステップＳ１４において、認証情報が基板処理装置１００Ａに対応していない場合、第１の取得部４３はステップＳ１１の処理に戻る。また、上記のステップＳ１５において、通信可能範囲内に指示端末２が存在しない場合、情報送信部４１は、直前のステップＳ１４の処理から所定時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ１７）。
【００８２】
その上で、所定時間が経過していない場合、情報送信部４１は、ステップＳ１５の処理に戻る。一方、所定時間が経過している場合、情報送信部４１は、一連の処理を終了する。
【００８３】
上記の一連の処理は、その一連の処理の終了後予め定められた時間が経過した場合、またはその終了後基板処理装置１００Ａに対してメンテナンスを行う旨の再度の通知があった場合に、再度開始されてもよい。
【００８４】
［５］指示端末２における一連の処理の流れ
図７は、指示端末２における一連の処理の流れを示すフローチャートである。図７に示される一連の処理は、例えば指示端末２の電源がオンされた場合に開始される。
【００８５】
まず、図５のアクセス制御部２１は、近距離無線通信部２ｃの通信可能範囲内に認証装置４０Ａ〜４０Ｄのいずれかの認証装置が存在するか否かを判定する（ステップＳ２１）。通信可能範囲内に認証装置が存在しない場合、アクセス制御部２１は、ステップＳ２１の処理を繰り返す。一方、通信可能範囲内に認証装置が存在する場合、アクセス制御部２１は、上記のステップＳ１６の処理により認証装置から送信されるアクセス情報を近距離無線通信部２ｃにより受信する（ステップＳ２２）。また、図５の対象情報記憶部２６は、上記のステップＳ１６の処理により認証装置から送信される認証情報を近距離無線通信部２ｃにより受信し、対象情報として記憶する（ステップＳ２３）。さらに、図５の表示制御部２５は、アクセス情報が受信されたことを表示部２ｆに表示させる（ステップＳ２４）。
【００８６】
その後、図５の第２の取得部２３は、近距離無線通信部２ｃの通信可能範囲内に記憶媒体３０Ａ〜３０Ｄのいずれかの記憶媒体が存在するか否かを判定する（ステップＳ２５）。通信可能範囲内に記憶媒体が存在する場合、第２の取得部２３は、近距離無線通信部２ｃにより当該記憶媒体の認証情報を取得する（ステップＳ２６）。
【００８７】
次に、図５の第２の判定部２２は、直前のステップＳ２３の処理で対象情報記憶部２６に記憶された対象情報に基づいて、直前のステップＳ２６の処理で取得された認証情報が対象情報に一致しているか否かを判定する（ステップＳ２７）。
【００８８】
認証情報が対象情報に一致している場合、アクセス制御部２１は、図５のネットワークアクセス部２ｂがステップＳ２２で受信されたアクセス情報に基づいてメンテナンス指示装置へアクセスすることを許容する（ステップＳ２８）。一方、認証情報が対象情報に一致していない場合、アクセス制御部２１は、図５のネットワークアクセス部２ｂがステップＳ２２で受信されたアクセス情報に基づいてメンテナンス指示装置へアクセスすることを制限する（ステップＳ２９）。
【００８９】
その後、アクセス制御部２１は、使用者Ｕによる操作部２ｅの操作に基づいて処理の終了が指示されたか否かを判定する（ステップＳ３０）。終了が指示された場合、アクセス制御部２１は、一連の処理を終了する。一方、終了が指示されない場合、アクセス制御部２１は、ステップＳ２７の処理に戻る。
【００９０】
上記のステップＳ２５において、通信可能範囲内に記憶媒体が存在しない場合、第２の取得部２３は、直前のステップＳ２４の処理から所定時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ３１）。その上で、所定時間が経過していない場合、第２の取得部２３は、ステップＳ２５の処理に戻る。一方、所定時間が経過している場合、第２の取得部２３は、一連の処理を終了する。
【００９１】
指示端末２においては、上記のステップＳ２７の処理によりメンテナンス指示装置へのアクセスが許容された状態で、当該メンテナンス指示装置に対応する基板処理装置についてメンテナンス画面が表示される。また、メンテナンス指示装置へのアクセスが許容された状態で、当該メンテナンス指示装置に対応する基板処理装置について各種メンテナンス動作を指示することが可能となる。
【００９２】
［６］基板処理装置１００Ａの全体構成
図８は、図１の基板処理装置１００Ａの一例を示す模式的ブロック図である。図８に示すように、基板処理装置１００Ａは、例えば露光装置５００に隣接して設けられ、制御装置４００、塗布処理部４１０、現像処理部４２０、熱処理部４３０および基板搬送装置４４０を備える。
【００９３】
制御装置４００は、例えばＣＰＵおよびメモリ、またはマイクロコンピュータを含み、塗布処理部４１０、現像処理部４２０、熱処理部４３０および基板搬送装置４４０の動作を制御する。制御装置４００は、基板処理装置１００Ａのメンテナンス時に、上記の指示端末２から与えられる指示に応答して、指示されたメンテナンス動作が行われるように、基板処理装置１００Ａ内の各部の動作を制御する。
【００９４】
基板搬送装置４４０は、基板Ｗを塗布処理部４１０、現像処理部４２０、熱処理部４３０および露光装置５００の間で搬送する。
【００９５】
塗布処理部４１０および現像処理部４２０の各々は、複数の処理ユニットＰＵを含む。塗布処理部４１０に設けられる処理ユニットＰＵには、スピンチャック９１により回転される基板Ｗにレジスト膜を形成するための処理液を供給する処理液ノズル９３が設けられる。それにより、未処理の基板Ｗにレジスト膜が形成される。レジスト膜が形成された基板Ｗには、露光装置５００において露光処理が行われる。
【００９６】
現像処理部４２０に設けられる処理ユニットＰＵには、スピンチャック９１により回転される基板Ｗに現像液を供給する現像液ノズル９４が設けられる。それにより、露光装置５００による露光処理後の基板Ｗが現像される。
【００９７】
熱処理部４３０は、基板Ｗに加熱または冷却処理を行う複数の処理ユニットＴＵを含む。処理ユニットＴＵにおいては、基板支持部として温度調整プレート９５が設けられる。温度調整プレート９５は、加熱プレートまたはクーリングプレートである。熱処理部４３０においては、塗布処理部４１０による塗布処理、現像処理部４２０による現像処理、および露光装置５００による露光処理の前後に基板Ｗの熱処理が行われる。
【００９８】
上記の基板処理装置１００においては、塗布処理部４１０には、基板Ｗに反射防止膜を形成する処理ユニットＰＵが設けられてもよい。この場合、塗布処理部４１０には、基板Ｗと反射防止膜との密着性を向上させるための密着強化処理を行うための処理ユニットＴＵが設けられてもよい。また、塗布処理部４１０には、基板Ｗ上に形成されたレジスト膜を保護するためのレジストカバー膜を形成する処理ユニットＰＵが設けられてもよい。
【００９９】
さらに、上記の基板処理装置１００Ａにおいては、基板搬送装置４４０による搬送途中の基板Ｗを一時的に載置するための基板載置部が設けられてもよい。基板載置部は、例えば基板支持部として複数（例えば３つ）の支持ピンが設けられた構成を有する。
【０１００】
上記の構成を有する基板処理装置１００Ａに関して、指示端末２により指示可能なメンテナンス動作は、例えば塗布処理部４１０における処理液ノズル９３からの処理液の吐出動作、および現像処理部４２０における現像液ノズル９４からの現像液の吐出動作を含む。
【０１０１】
また、指示端末２により指示可能なメンテナンス動作は、熱処理部４３０における温度調整プレート９５の温度調整動作を含む。さらに、指示端末２により指示可能なメンテナンス動作は、基板搬送装置４４０の移動動作を含む。
【０１０２】
なお、図１の基板処理装置１００Ｂ〜１００Ｄは、上記の図８の基板処理装置１００Ａと同じ構成を有してもよいし、異なる構成を有してもよい。
【０１０３】
［７］効果
（ａ）上記のメンテナンス装置１０においては、使用者Ｕにより選択された記憶媒体３０が認証装置４０に近づけられる。このとき、記憶媒体３０の認証情報が当該認証装置４０が設けられた基板処理装置に対応する場合にのみ、指示端末２から当該基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置５０へのアクセスが可能になる。認証情報が当該認証装置４０が設けられた基板処理装置に対応しない場合、指示端末２から当該基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置５０へのアクセスはできない。したがって、メンテナンス対象でない基板処理装置に対して誤ってメンテナンス動作が指示されることが防止される。
【０１０４】
また、上記のメンテナンス装置１０によれば、指示端末２は、無線通信により認証装置４０を介してメンテナンス指示装置５０にアクセスする。そのため、使用者Ｕは、指示端末２を携行する際に、通信用のケーブルを引き回す必要がない。また、ケーブルの断線による指示端末２の故障も生じない。したがって、メンテナンスの利便性の低下が抑制される。
【０１０５】
（ｂ）指示端末２においては、アクセス情報とともに認証情報が受信される場合に、受信された認証情報が対象情報として記憶される。その後、記憶媒体が指示端末２の記録媒体保持部２ｄに取り付けられ、当該記憶媒体の認証情報が近距離無線通信部２ｃにより取得される。
【０１０６】
取得された認証情報が対象情報に一致する場合に、指示端末２を用いたメンテナンス指示装置５０へのアクセスが許容される。一方、取得された認証情報が対象情報に一致しない場合に、指示端末２を用いたメンテナンス指示装置５０へのアクセスが制限される。これにより、指示端末２を用いた基板処理装置のメンテナンスが、当該基板処理装置に対応する記録媒体を携行する使用者Ｕに制限される。したがって、当該基板処理装置に対応する記録媒体を携行しない第三者が指示端末２を用いて当該基板処理装置を操作することが防止される。
【０１０７】
［８］他の実施の形態
（ａ）上記実施の形態に係るメンテナンス装置１０は、複数の遠隔通信システム３Ａ〜３Ｄに対して１つの指示端末２を備えるが、メンテナンス装置１０は複数の指示端末２を備えてもよい。この場合、複数の使用者Ｕが、複数の指示端末２および複数の記憶媒体３０をそれぞれ用いて複数の基板処理装置を同時にメンテナンスすることができる。このような場合でも、各使用者Ｕが自己のメンテナンス対象でない基板処理装置に対して誤ってメンテナンス動作を指示することが防止される。
【０１０８】
（ｂ）上記実施の形態に係るメンテナンス装置１０においては、複数の遠隔通信システム３Ａ〜３Ｄの各々は、１つの記憶媒体３０を備えるが、本発明はこれに限定されない。
【０１０９】
各遠隔通信システム３Ａ〜３Ｄには、複数の記憶媒体３０が設けられてもよい。また、各遠隔通信システム３Ａ〜３Ｄの複数の記憶媒体３０には、当該遠隔通信システムが設けられる基板処理装置に対応しかつ互いに異なる複数の認証情報がそれぞれ記憶されてもよい。さらに、各基板処理装置に対応するメンテナンス指示装置においては、複数の認証情報にそれぞれ対応する複数のメンテナンス画面を示す複数の画面情報が生成されてもよい。
【０１１０】
この場合、一の遠隔通信システムについて、複数の使用者Ｕがそれぞれ指示端末２および記憶媒体３０を用いて上記の一連の認証作業を行うことにより、各指示端末２に個別のメンテナンス画面を表示させることができる。したがって、一の遠隔通信システムについて、複数のメンテナンスを同時に行うことが可能になる。
【０１１１】
［９］請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
【０１１２】
上記実施の形態では、近距離無線通信部４ｃが第１の近距離無線通信部の例であり、第１の取得部４３が第１の認証情報取得部の例であり、記録媒体保持部２ｄが媒体保持部の例であり、第２の取得部２３が第２の認証情報取得部の例であり、塗布処理部４１０および現像処理部４２０に設けられる処理ユニットＰＵが処理液供給ユニットの例であり、処理液ノズル９３および現像液ノズル９４がノズルの例であり、熱処理部４３０に設けられる処理ユニットＴＵが熱処理ユニットの例であり、温度調整プレート９５が温度調整装置の例であり、基板搬送装置４４０が搬送装置の例である。
【０１１３】
請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。
【符号の説明】
【０１１４】
２…指示端末，２ａ，４ａ，５ａ…制御部，２ｂ，４ｂ，５ｂ…ネットワークアクセス部，２ｃ，４ｃ…近距離無線通信部，２ｄ…記録媒体保持部，２ｅ…操作部，２ｆ…表示部，３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ…遠隔通信システム，１０…メンテナンス装置，２１…アクセス制御部，２２…第２の判定部，２３…第２の取得部，２４…指示部，２５…表示制御部，２６…対象情報記憶部，３０，３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄ…記憶媒体，４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ，４０Ｄ…認証装置，４１…情報送信部，４２…第１の判定部，４３…第１の取得部，４９…表示灯，５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄ…メンテナンス指示装置，５１…画面情報生成部，５２…操作指令部，９１…スピンチャック，９３…処理液ノズル，９４…現像液ノズル，９５…温度調整プレート，１００，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ…基板処理装置，４００…制御装置，４１０…塗布処理部，４２０…現像処理部，４３０…熱処理部，４４０…基板搬送装置，５００…露光装置，ＰＵ，ＴＵ…処理ユニット，Ｕ…使用者，Ｗ…基板
【図１】
2020004866.tif 000003
【図２】
2020004866.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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