(57)【要約】【課題】従来よりも小型で、かつ脱泡に要する時間が短い脱泡装置を提供する。【解決手段】脱泡装置１０は、貼合体Ｗから気泡を除去するためのものであって、制御部５０が、（１）スライド機構５１を作動させることによりステージ２０の載置部２１および貼合体Ｗを脱泡室３０内に移動させ、（２）天板側および底板側シール機構３２ａ，３２ｂ，３６ａ，３６ｂの動作状態を変更することにより載置部２１のまわりに密閉空間を形成し、（３）加減圧用ポンプ５３の動作状態を変更することにより密閉空間を加圧し、（４）加減圧用ポンプ５３の動作状態を変更することにより密閉空間を常圧まで減圧し、（５）天板側および底板側シール機構３２ａ，３２ｂ，３６ａ，３６ｂの動作状態を変更することにより密閉空間を開放し、（６）スライド機構５１を作動させることにより載置部２１および貼合体Ｗを脱泡室３０外に移動させる、ように構成されている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの部材を貼り合わせてシート状またはパネル状の貼合体を作成する際に該２つの部材の間に挟み込まれた気泡を前記貼合体から除去する脱泡装置であって、
前記貼合体を３枚まで載置可能な広さの載置部を備えたステージと、
前記ステージの前記載置部を受け入れるための開口部を有する脱泡室と、
前記ステージを水平方向に往復移動させるためのスライド機構と、
前記脱泡室内を加圧および減圧するための加減圧用ポンプと、
制御部と、
を備え、
前記脱泡室は、天板部と、底板部と、前記開口部が形成されるように前記天板部および前記底板部の間に設けられた平面視コの字状の側壁部とを有し、
前記天板部の下面には、天板側シール機構が設けられ、
前記底板部の上面には、底板側シール機構が設けられ、
前記天板部および前記底板部の少なくとも一方には、前記加減圧用ポンプに接続された加減圧用ポートが開口形成され、
前記制御部は、（１）前記スライド機構を作動させることにより前記ステージの前記載置部および該載置部に載置された前記貼合体を前記開口部から前記脱泡室内に移動させ、（２）前記天板側シール機構および前記底板側シール機構の動作状態を変更することにより前記載置部のまわりに密閉空間を形成し、（３）前記加減圧用ポンプの動作状態を変更することにより前記密閉空間を加圧し、（４）前記加減圧用ポンプの動作状態を変更することにより前記密閉空間を常圧まで減圧し、（５）前記前記天板側シール機構および前記底板側シール機構の動作状態を変更することにより前記密閉空間を開放し、（６）前記スライド機構を作動させることにより前記ステージの前記載置部および該載置部に載置された前記貼合体を前記脱泡室外に移動させるよう構成されている
ことを特徴とする脱泡装置。
【請求項２】
前記加減圧用ポートは、前記底板部にのみ開口形成され、
前記載置部は、上下方向に貫通する複数の貫通孔と、前記貼合体を支持する複数の突起部とを有する
ことを特徴とする請求項１に記載の脱泡装置。
【請求項３】
前記天板側シール機構は、前記脱泡室内に移動させられた前記ステージの前記載置部を取り囲むように前記天板部の下面に形成された天板側溝部と、前記溝部に嵌め込まれた天板側Ｏリングと、前記天板側溝部と前記脱泡室の外部とを連通させる天板側シール開閉用ポートとを有し、
前記天板側シール開閉用ポートは、シール開閉用ポンプに接続され、
前記天板側Ｏリングは、前記制御部が前記シール開閉用ポンプに吸引動作を行わせているときは前記天板側溝部に収容された非シール状態をとり、前記制御部が前記シール開閉用ポンプに吐出動作を行わせているときは前記天板側溝部から下方に向かって一部が突出したシール状態をとる
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の脱泡装置。
【請求項４】
前記底板側シール機構は、前記脱泡室内に移動させられた前記ステージの前記載置部を取り囲むように前記底板部の上面に形成された底板側溝部と、前記溝部に嵌め込まれた底板側Ｏリングと、前記底板側溝部と前記脱泡室の外部とを連通させる底板側シール開閉用ポートとを有し、
前記天板側シール開閉用ポートは、シール開閉用ポンプに接続され、
前記底板側Ｏリングは、前記制御部が前記シール開閉用ポンプに吸引動作を行わせているときは前記底板側溝部に収容された非シール状態をとり、前記制御部が前記シール開閉用ポンプに吐出動作を行わせているときは前記底板側溝部から上方に向かって一部が突出したシール状態をとる
ことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の脱泡装置。
【請求項５】
２つの部材を貼り合わせてシート状またはパネル状の貼合体を作成する際に該２つの部材の間に挟み込まれた気泡を前記貼合体から除去する脱泡装置であって、
水平方向において離間した両端部の一方に前記貼合体を３枚まで載置可能な広さの第１載置部を備えるとともに、前記両端部の他方に前記貼合体を３枚まで載置可能な広さの第２載置部を備えたステージと、
前記ステージの前記第１載置部を受け入れるための開口部を有する第１脱泡室と、
前記ステージの前記第２載置部を受け入れるための開口部を有する第２脱泡室と、
前記ステージを水平方向に往復移動させるスライド機構と、
前記第１および第２脱泡室を個別に加圧および減圧するための加減圧用ポンプと、
制御部と、
を備え、
前記第１および第２脱泡室は、天板部と、底板部と、前記開口部が形成されるように前記天板部および前記底板部の間に設けられた平面視コの字状の側壁部とを有し、
前記天板部の下面には、天板側シール機構が設けられ、
前記底板部の上面には、底板側シール機構が設けられ、
前記天板部および前記底板部の少なくとも一方には、前記加減圧用ポンプに接続された加減圧用ポートが開口形成され、
前記第１および第２脱泡室は、前記開口部が向かい合うように配置され、
前記制御部は、（１）前記スライド機構を作動させることにより前記ステージの前記第１載置部および該第１載置部に載置された前記貼合体を前記開口部から前記第１脱泡室内に移動させ、（２）前記第１脱泡室の前記天板側シール機構および前記底板側シール機構の動作状態を変更することにより前記第１載置部のまわりに密閉空間を形成し、（３）前記加減圧用ポンプの動作状態を変更することにより前記密閉空間を加圧し、（４）前記加減圧用ポンプの動作状態を変更することにより前記密閉空間を常圧まで減圧し、（５）前記第１脱泡室の前記前記天板側シール機構および前記底板側シール機構の動作状態を変更することにより前記密閉空間を開放し、（６）前記スライド機構を作動させることにより前記ステージの前記第１載置部および該第１載置部に載置された前記貼合体を前記第１脱泡室外に移動させるよう構成されており、
前記ステージの前記第１載置部が前記第１脱泡室内に移動すると前記第２載置部が前記第２脱泡室外に移動し、前記第２載置部が前記第２脱泡室内に移動すると前記第１載置部が前記第１脱泡室外に移動する
ことを特徴とする脱泡装置。
【請求項６】
前記第１および第２載置部のうちの一方のまわりに形成された前記密閉空間が加圧および／または減圧されている間に、前記第１および第２載置部のうちの他方に載置されている脱泡後の前記貼合体を次工程に搬送するとともに、脱泡前の前記貼合体を前工程から前記他方に搬送する工程間搬送機構をさらに備える
ことを特徴とする請求項５に記載の脱泡装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２つの部材を貼り合わせてシート状またはパネル状の貼合体を作成する際に該２つの部材の間に挟み込まれた気泡を該貼合体から除去する脱泡装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、液晶ディスプレイおよび有機ＥＬディスプレイ等の表示デバイスの製造には、２つの部材を貼り合わせてシート状またはパネル状の貼合体を作成する工程が含まれる。この貼り合わせ工程では、２つの部材の間に気泡が挟み込まれないことが極めて重要である。気泡の挟み込みは、表示品質の低下を招くとともに、剥がれの原因となるからである。
【０００３】
気泡の挟み込みを防ぐために、真空中で貼り合わせを行うように構成された貼り合わせ装置が検討されている。このタイプの貼り合わせ装置では、貼り合わされる２つの部材を真空チャンバ内に導入し、チャンバ内の真空引きが行われる。そして、貼り合わせが完了した後に、チャンバ内の真空を破り、貼合体が取り出される。このタイプの貼り合わせ装置によれば、気泡の挟み込みを確実に防ぐことができる。しかしながら、このタイプの貼り合わせ装置は、貼り合わせを行う度に真空引きを行うため、生産性が低いという問題があった。
【０００４】
別のアプローチとして、貼り合わせの際に挟み込まれた気泡を脱泡装置（例えば、非特許文献１参照）で除去することも検討されている。この脱泡装置によれば、複数の貼合体を収容したチャンバ内の圧力を高めることにより、挟み込まれた気泡を除去することができる。しかしながら、この脱泡装置は、非常に大型であるため貼り合わせ装置に組み込むことが難しいという問題があった。また、この脱泡装置は、チャンバ内の圧力を目標値まで高めるのに時間がかかるという問題もあった。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】"Autoclave（オートクレーブ）−恒温加圧オートクレーブの概要"、［online］、日新オートクレーブ社、［平成30年7月31日検索］、インターネット〈URL：http://suflux.com/JP/products/autoclave-binding-touch-panel.html〉
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、従来よりも小型で、かつ脱泡に要する時間が短い脱泡装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係る第１の脱泡装置は、２つの部材を貼り合わせてシート状またはパネル状の貼合体を作成する際に該２つの部材の間に挟み込まれた気泡を前記貼合体から除去する装置であって、
前記貼合体を３枚まで載置可能な広さの載置部を備えたステージと、前記ステージの前記載置部を受け入れるための開口部を有する脱泡室と、前記ステージを水平方向に往復移動させるためのスライド機構と、前記脱泡室内を加圧および減圧するための加減圧用ポンプと、制御部とを備え、
前記脱泡室は、天板部と、底板部と、前記開口部が形成されるように前記天板部および前記底板部の間に設けられた平面視コの字状の側壁部とを有し、前記天板部の下面には、天板側シール機構が設けられ、前記底板部の上面には、底板側シール機構が設けられ、前記天板部および前記底板部の少なくとも一方には、前記加減圧用ポンプに接続された加減圧用ポートが開口形成され、
前記制御部は、（１）前記スライド機構を作動させることにより前記ステージの前記載置部および該載置部に載置された前記貼合体を前記開口部から前記脱泡室内に移動させ、（２）前記天板側シール機構および前記底板側シール機構の動作状態を変更することにより前記載置部のまわりに密閉空間を形成し、（３）前記加減圧用ポンプの動作状態を変更することにより前記密閉空間を加圧し、（４）前記加減圧用ポンプの動作状態を変更することにより前記密閉空間を常圧まで減圧し、（５）前記前記天板側シール機構および前記底板側シール機構の動作状態を変更することにより前記密閉空間を開放し、（６）前記スライド機構を作動させることにより前記ステージの前記載置部および該載置部に載置された前記貼合体を前記脱泡室外に移動させるよう構成されている、ことを特徴とする。
【０００８】
上記第１の脱泡装置は、前記加減圧用ポートが、前記底板部にのみ開口形成され、前記載置部が、上下方向に貫通する複数の貫通孔と、前記貼合体を支持する複数の突起部とを有する、との構成であってもよい。
【０００９】
上記第１の脱泡装置は、前記天板側シール機構が、前記脱泡室内に移動させられた前記ステージの前記載置部を取り囲むように前記天板部の下面に形成された天板側溝部と、前記溝部に嵌め込まれた天板側Ｏリングと、前記天板側溝部と前記脱泡室の外部とを連通させる天板側シール開閉用ポートとを有し、前記天板側シール開閉用ポートが、シール開閉用ポンプに接続され、前記天板側Ｏリングが、前記制御部が前記シール開閉用ポンプに吸引動作を行わせているときは前記天板側溝部に収容された非シール状態をとり、前記制御部が前記シール開閉用ポンプに吐出動作を行わせているときは前記天板側溝部から下方に向かって一部が突出したシール状態をとる、との構成であってもよい。
【００１０】
上記第１の脱泡装置は、前記底板側シール機構が、前記脱泡室内に移動させられた前記ステージの前記載置部を取り囲むように前記底板部の上面に形成された底板側溝部と、前記溝部に嵌め込まれた底板側Ｏリングと、前記底板側溝部と前記脱泡室の外部とを連通させる底板側シール開閉用ポートとを有し、前記天板側シール開閉用ポートが、シール開閉用ポンプに接続され、前記底板側Ｏリングが、前記制御部が前記シール開閉用ポンプに吸引動作を行わせているときは前記底板側溝部に収容された非シール状態をとり、前記制御部が前記シール開閉用ポンプに吐出動作を行わせているときは前記底板側溝部から上方に向かって一部が突出したシール状態をとる、との構成であってもよい。
【００１１】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る第２の脱泡装置は、２つの部材を貼り合わせてシート状またはパネル状の貼合体を作成する際に該２つの部材の間に挟み込まれた気泡を前記貼合体から除去する装置であって、
水平方向において離間した両端部の一方に前記貼合体を３枚まで載置可能な広さの第１載置部を備えるとともに、前記両端部の他方に前記貼合体を３枚まで載置可能な広さの第２載置部を備えたステージと、前記ステージの前記第１載置部を受け入れるための開口部を有する第１脱泡室と、前記ステージの前記第２載置部を受け入れるための開口部を有する第２脱泡室と、前記ステージを水平方向に往復移動させるスライド機構と、前記第１および第２脱泡室を個別に加圧および減圧するための加減圧用ポンプと、制御部とを備え、
前記第１および第２脱泡室は、天板部と、底板部と、前記開口部が形成されるように前記天板部および前記底板部の間に設けられた平面視コの字状の側壁部とを有し、前記天板部の下面には、天板側シール機構が設けられ、前記底板部の上面には、底板側シール機構が設けられ、前記天板部および前記底板部の少なくとも一方には、前記加減圧用ポンプに接続された加減圧用ポートが開口形成され、前記第１および第２脱泡室は、前記開口部が向かい合うように配置され、
前記制御部は、（１）前記スライド機構を作動させることにより前記ステージの前記第１載置部および該第１載置部に載置された前記貼合体を前記開口部から前記第１脱泡室内に移動させ、（２）前記第１脱泡室の前記天板側シール機構および前記底板側シール機構の動作状態を変更することにより前記第１載置部のまわりに密閉空間を形成し、（３）前記加減圧用ポンプの動作状態を変更することにより前記密閉空間を加圧し、（４）前記加減圧用ポンプの動作状態を変更することにより前記密閉空間を常圧まで減圧し、（５）前記第１脱泡室の前記前記天板側シール機構および前記底板側シール機構の動作状態を変更することにより前記密閉空間を開放し、（６）前記スライド機構を作動させることにより前記ステージの前記第１載置部および該第１載置部に載置された前記貼合体を前記第１脱泡室外に移動させるよう構成されており、
前記ステージの前記第１載置部が前記第１脱泡室内に移動すると前記第２載置部が前記第２脱泡室外に移動し、前記第２載置部が前記第２脱泡室内に移動すると前記第１載置部が前記第１脱泡室外に移動する、ことを特徴とする。
【００１２】
上記第２の脱泡装置は、前記第１および第２載置部のうちの一方のまわりに形成された前記密閉空間が加圧および／または減圧されている間に、前記第１および第２載置部のうちの他方に載置されている脱泡後の前記貼合体を次工程に搬送するとともに、脱泡前の前記貼合体を前工程から前記他方に搬送する工程間搬送機構をさらに備えていてもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、従来よりも小型で、かつ脱泡に要する時間が短い脱泡装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施例に係る脱泡装置の概略的な構成を示す上面図である。
【図２】図１に示したステージの詳細な構成を示す図であって、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は端面図である。
【図３】図１に示した脱泡室の詳細な構成を示す図であって、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は底面図、（Ｄ）は別の方向から見た側面図である。
【図４】図１に示した脱泡室の詳細な構成を示す図であって、（Ａ）は端面図、（Ｂ）は別の方向から見た端面図である。
【図５】図１に示した脱泡室の構成部材を示す図であって、（Ａ）は天板部の下面を示す図、（Ｂ）は底板部の上面を示す図である。
【図６】図１に示した脱泡装置の動作を示す図である。
【図７】図１に示した脱泡装置の動作を示す図である。
【図８】図１に示した脱泡装置の動作を示す図である。
【図９】（Ａ）は図６（Ｂ）に対応する脱泡室等の断面図、（Ｂ）は図６（Ｃ）に対応する脱泡室等の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照しながら、本発明に係る脱泡装置の実施例について説明する。
【００１６】
図１に、本発明の実施例に係る脱泡装置１０を示す。この脱泡装置１０は、約６インチの液晶ディスプレイの主要部となるパネルと偏光フィルムとを貼り合わせてなる貼合体Ｗから気泡を除去するための装置であって、同図に示すように、水平方向に往復移動可能なステージ２０と、第１脱泡室３０と、第２脱泡室４０とを備えている。また、脱泡装置１０は、該脱泡装置１０に脱泡処理前の貼合体Ｗ（Ｗ４）を前工程から搬送してくる上流側搬送機構６０と、脱泡処理後の貼合体Ｗ（Ｗ１）を後工程へと搬送していく下流側搬送機構７０とをさらに備えている。
【００１７】
後で詳細に説明するが、ステージ２０は、各１枚の貼合体Ｗを載置することができる第１載置部２１および第２載置部２２を有している。第２脱泡室４０において第２載置部２２に載置された貼合体Ｗ２の脱泡処理がなされているとき、上流側搬送機構６０および下流側搬送機構７０とともに本発明の「工程間搬送機構」を構成する不図示のチャック装置は、第１脱泡室３０において先に脱泡処理がなされた貼合体Ｗ１を第１載置部２１から下流側搬送機構７０に移動させるとともに、まだ脱泡処理がなされていない貼合体Ｗ４を上流側搬送機構６０から第１載置部２１に移動させる。つまり、この脱泡装置１０では、２つの脱泡室３０，４０が交替で脱泡処理を行う。
【００１８】
図２に示すように、ステージ２０は、厚手の金属板からなるステージ本体部２６と、ステージ本体部２６の両端部のうちの一方に設けられた第１載置部２１と、両端部のうちの他方に設けられた第２載置部２２と、ステージ本体部２６の側面に回転自在に設けられた１２個のガイドローラ２５とを有している。図２（Ｂ）から明らかなように、ガイドローラ２５の直径Ｄｂは、ステージ本体部２６の厚みＤａよりも僅かに大きい。
【００１９】
図２（Ａ）と、この図の線Ｃ−Ｃにおける端面図である図２（Ｃ）に示すように、ステージ本体部２６を深さＤｃだけくり貫いた部分が第１載置部２１および第２載置部２２となっている。第１載置部２１の底面には、４×６＝２４個の貫通孔２３と、３×５＝１５個の突起部２４とが設けられている。突起部２４は、頂部が潰れた四角錐状を有している。また、突起部２４の高さは、Ｄｄ（ただし、Ｄｄ＜Ｄｃ）である。
【００２０】
第１載置部２１は、貼合体Ｗを１枚だけ載置可能な広さを有している。第１載置部２１に載置された貼合体Ｗは、１５個の突起部２４の頂部によって支持される。
【００２１】
第２載置部２２は、第１載置部２１と同じ構成を有している。
【００２２】
図３と、図３（Ａ）の線Ａ−Ａにおける端面図である図４（Ａ）と、図３（Ａ）の線Ｂ−Ｂにおける端面図である図４（Ｂ）とに示すように、第１脱泡室３０は、金属製の天板部３１と、金属製の底板部３４と、ステージ２０の第１載置部２１を受け入れるための開口部３９が形成されるように天板部３１および底板部３４の間に設けられた平面視コの字状の金属製の側壁部３８とを有している。天板部３１、底板部３４および側壁部３８は、複数本のボルトによって隙間が生じないようにしっかりと固定されている。側壁部３８の厚みＤｅは、ガイドローラ２５の直径Ｄｂに等しい。
【００２３】
図４および図５（Ａ）に示すように、天板部３１の下面３１ａには、ひと続きの天板側溝部３２ａが形成され、そこに天板側Ｏリング３２ｂが嵌め込まれている。また、天板側溝部３２ａには、第１脱泡室３０の外部にまで続く天板側シール開閉用ポート３３が設けられている。天板側シール開閉用ポート３３に接続されたシール開閉用ポンプ５４（図６等参照）が吸引動作を行うと、天板側Ｏリング３２ｂは天板側溝部３２ａに完全に収容される。一方、シール開閉用ポンプ５４が吐出動作を行うと、天板側Ｏリング３２ｂは天板側溝部３２ａから下方に向かって飛び出そうとする。なお、天板側溝部３２ａおよび天板側Ｏリング３２ｂは、本発明の「天板側シール機構」に相当する。
【００２４】
図４および図５（Ｂ）に示すように、底板部３４の上面３４ａには、ひと続きの底板側溝部３６ａが形成され、そこに底板側Ｏリング３６ｂが嵌め込まれている。また、底板側溝部３６ａには、第１脱泡室３０の外部にまで続く底板側シール開閉用ポート３７が設けられている。底板側シール開閉用ポート３７に接続されたシール開閉用ポンプ５４が吸引動作を行うと、底板側Ｏリング３６ｂは底板側溝部３６ａに完全に収容される。一方、シール開閉用ポンプ５４が吐出動作を行うと、底板側Ｏリング３６ｂは底板側溝部３６ａから上方に向かって飛び出そうとする。なお、底板側溝部３６ａおよび底板側Ｏリング３６ｂは、本発明の「底板側シール機構」に相当する。
【００２５】
底板部３４には、加減圧用ポート３５がさらに開口形成されている。加減圧用ポート３５は、加減圧用ポンプ５３（図６等参照）に接続されている。
【００２６】
第２脱泡室４０は、第１脱泡室３０と同じ構成を有している。ただし、第２脱泡室４０の加減圧用ポート３５は、加減圧用ポンプ５３と同じ構成の別のポンプに接続されている。また、第２脱泡室４０の天板側シール開閉用ポート３３および底板側シール開閉用ポート３７は、シール開閉用ポンプ５４と同じ構成の別のポンプに接続されている。なお、以下では、第２脱泡室４０に関する説明は省略する。
【００２７】
図６に示すように、脱泡装置１０は、制御部５０と、スライド機構５１と、スライド機構５１とステージ２０とを連結する連結部５２と、ポンプ５３，５４を含む前述した４つのポンプとをさらに備えている。
【００２８】
制御部５０は、ＭＰＵ（Micro Processing Unit）を中心とした演算処理装置である。制御部５０は、スライド機構５１、加減圧用ポンプ５３およびシール開閉用ポンプ５４の動作を制御する。
【００２９】
スライド機構５１は、制御部５０の制御下で、連結部５２を介してステージ２０を水平移動させるアクチュエータである。加減圧用ポンプ５３およびシール開閉用ポンプ５４は、制御部５０の制御下で吸引動作と吐出動作とを行う任意のポンプである。
【００３０】
続いて、図６〜図９を参照しながら、本実施例に係る脱泡装置１０の動作について順を追って説明する。
【００３１】
まず初めに、図６（Ａ）に示すように、不図示のチャック装置によってステージ２０の第１載置部２１に脱泡処理前の貼合体Ｗが載置される。このとき、制御部５０は、加減圧ポンプ５３の動作を停止させている。また、制御部５０は、シール開閉用ポンプ５４に吸引動作を行わせている。このため、天板側Ｏリング３２ｂおよび底板側Ｏリング３６ｂは、天板側溝部３２ａおよび底板側溝部３６ａに完全に収容されている。言い換えると、天板側Ｏリング３２ｂおよび底板側Ｏリング３６ｂは、「非シール状態」をとっている。
【００３２】
図６（Ｂ）および図９（Ａ）は、制御部５０がスライド機構５１を作動させた後の状態を示している。スライド機構５１が作動すると、ガイドローラ２５に案内されながら、ステージ２０の第１載置部２１が開口部３９から第１脱泡室３０の内部に移動する。天板側Ｏリング３２ｂおよび底板側Ｏリング３６ｂが非シール状態をとっているため、この状態では、天板側Ｏリング３２ｂとステージ２０との間および底板側Ｏリング３６ｂとステージ２０との間に隙間がある。
【００３３】
図６（Ｃ）および図９（Ｂ）は、制御部５０が、シール開閉用ポンプ５４の動作状態を吸引動作から吐出動作に変更した後の状態を示している。シール開閉用ポンプ５４が吐出動作を行うと、天板側Ｏリング３２ｂが下方に向けて飛び出し、その結果、天板側Ｏリング３２ｂとステージ２０との間の隙間が埋められる。同様に、シール開閉用ポンプ５４が吐出動作を行うと、底板側Ｏリング３６ｂが上方に向けて飛び出し、その結果、底板側Ｏリング３６ｂとステージ２０との間の隙間が埋められる。そして、これらの結果、第１載置部２１のまわりに密閉空間が形成される。なお、このときの天板側Ｏリング３２ｂおよび底板側Ｏリング３６ｂの状態を、「シール状態」と呼ぶこととする。
【００３４】
図７（Ａ）は、制御部５０が、加減圧用ポンプ５３の動作状態を停止から吐出動作に変更した後の状態を示している。加減圧用ポンプ５３が吐出動作を行うと、第１載置部２１のまわりに形成された密閉空間が加圧され、貼合体Ｗに挟み込まれた気泡が押し出されるように除去される。このとき、加減圧用ポンプ５３が吐出した空気は、第１載置部２１に設けられた２４個の貫通孔２３を通って密閉空間の全体に素早く行き渡る。
【００３５】
図７（Ｂ）は、制御部５０が、加減圧用ポンプ５３の動作状態を吐出動作から吸引動作に変更した後の状態を示している。この変更は、加減圧用ポンプ５３の吐出動作が開始されてから、予め定められた期間が経過した後に行われる。加減圧用ポンプ５３の吸引動作は、第１載置部２１のまわりに形成された密閉空間の圧力が常圧に戻るまで継続される。
【００３６】
図７（Ｃ）は、制御部５０が、加減圧用ポンプ５３を停止させるとともに、シール開閉用ポンプ５４の動作を吐出動作から吸引動作に変更した後の状態を示している。シール開閉用ポンプ５４が吸引動作を行うと、天板側Ｏリング３２ｂおよび底板側Ｏリング３６ｂは、非シール状態をとる。その結果、第１載置部２１のまわりの密閉空間は開放される。
【００３７】
図８（Ａ）は、制御部５０がスライド機構５１を作動させた後の状態を示している。スライド機構５１が作動すると、ステージ２０の第１載置部２１は、第１脱泡室３０の外部（元の位置）に移動する。
【００３８】
最後に、図８（Ｂ）に示すように、不図示のチャック装置によって脱泡処理後の貼合体Ｗが第１載置部２１から下流側搬送機構７０へと搬送される。
【００３９】
このように、本実施例において、第１脱泡室３０（第２脱泡室４０）は、貼合体Ｗが１枚だけ載置された載置部のまわりに密閉空間を形成することができるだけの容積を有していればよい。したがって、本実施例によれば、他の装置に組み込むことが可能な程度に脱泡装置１０を小型化することができる。第１脱泡室３０（第２脱泡室４０）の容積が小さいことは、加圧時間の短縮においても有利である。
【００４０】
また、本実施例では、ステージ２０の第１載置部２１（第２載置部２２）を第１脱泡室３０（第２脱泡室４０）に出し入れするときに、天板側Ｏリング３２ｂおよび底板側Ｏリング３６ｂが非シール状態をとる。このため、本実施例によれば、スライド機構５１として非力で安価なアクチュエータを使用することができる。
【００４１】
以上、本発明に係る脱泡装置の実施例について説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００４２】
例えば、本発明に係る脱泡装置は、ステージ２０の第２載置部２２および第２脱泡室４０が省略されていてもよい。
【００４３】
また、本発明に係る脱泡装置の第１脱泡室３０は、天板部３１および底板部３４の両方に加減圧用ポート３５が設けられていてもよいし、天板部３１にのみ加減圧用ポート３５が設けられていてもよい。
【００４４】
また、制御部５０は、加減圧用ポンプ５３に吸引動作を行わせるのではなく、大気開放することにより密閉空間を減圧してもよい。
【００４５】
また、ステージ２０の第１載置部２１および第２載置部２２は、それぞれ、２枚または３枚の貼合体Ｗを重ねずに載置可能な広さを有していてもよい。載置可能な貼合体Ｗの枚数を増やすと、その分だけ第１脱泡室３０および第２脱泡室４０の容積が大きくなって加圧時間が長くなってしまうが、３枚までであれば従来の脱泡装置に対するメリットが十分に得られる。
【００４６】
また、貼合体Ｗは、約６インチの液晶ディスプレイの主要部となるパネルと偏光フィルムとを貼り合わせたものに限定されない。本発明に係る脱泡装置は、２つの任意の部材を貼り合わせてなる貼合体Ｗに挟み込まれた気泡を除去することができる。
【符号の説明】
【００４７】
１０    脱泡装置
２０    ステージ
２１    第１載置部
２２    第２載置部
２３    貫通孔
２４    突起部
２５    ガイドローラ
２６    ステージ本体部
３０    第１脱泡室
３１    天板部
３２ａ    天板側溝部
３２ｂ    天板側Ｏリング
３３    天板側シール開閉用ポート
３４    底板部
３５    加減圧用ポート
３６ａ    底板側溝
３６ｂ    底板側Ｏリング
３７    底板側シール開閉用ポート
３８    側壁部
３９    開口部
４０    第２脱泡室
５０    制御部
５１    スライド機構
５２    連結部
５３    加減圧用ポンプ
５４    シール開閉用ポンプ
６０    上流側搬送機構
７０    下流側搬送機構
Ｗ      貼合体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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