(57)【要約】【課題】高い応答性を維持しながら大流量を確保すること。【解決手段】ケーシング６２の回転に伴って、回り止め部６５を介したプラグねじ部３６におけるボディ１１の内周面に対するねじ込みが行われて、弁座プラグ３０が弁ばね４６の付勢力に抗してボディ１１の軸方向に移動可能になっている。さらに、カバー部材７０におけるボディ１１に対するねじ込みが行われて、ケーシング６２が付勢ばね６６の付勢力及び弁ばね４６の付勢力に抗して第１弁体４０及び第２弁体４２と一体的にボディ１１の軸方向に移動可能になっている。【選択図】図１
2020200934.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状のボディと、
前記ボディ内を前記ボディの軸方向に一体的に移動可能に構成された第１弁体及び第２弁体と、
前記ボディ内に設けられるとともに前記第１弁体が接離する環状の第１弁座と、
前記ボディ内に設けられるとともに前記第２弁体が接離する環状の第２弁座と、
前記ボディの軸方向に伸縮するピエゾ素子の伸縮に伴い前記第１弁体及び前記第２弁体を一体的に移動させるピエゾアクチュエータと、を備え、
前記第１弁座及び前記第２弁座が、前記ボディの軸方向で同一方向を向いており、
前記第１弁体及び前記第２弁体は、弁ばねによって前記第１弁座及び前記第２弁座それぞれに接近する方向へ付勢されており、
前記ピエゾアクチュエータは、前記ピエゾ素子を収容するとともに前記ピエゾ素子の伸縮に追従して伸縮可能なケーシングを有し、前記ケーシングが前記弁ばねの付勢力に抗して伸長することにより、前記第１弁体及び前記第２弁体が前記第１弁座及び前記第２弁座それぞれから離間する切換弁であって、
前記ケーシングは、円筒状であり、
前記ボディ内における前記ピエゾアクチュエータと前記第１弁体との間には、前記第１弁座を有する円筒状の弁座プラグが配置され、
前記第２弁座は、前記ボディに形成されており、
前記弁座プラグは、前記ボディの内周面にねじ込まれるプラグねじ部を有し、
前記ケーシングと前記弁座プラグとの間には、前記ケーシングにおける前記弁座プラグに対する回転を規制する回り止め部が設けられており、
前記ケーシングの回転に伴って、前記回り止め部を介した前記プラグねじ部における前記ボディの内周面に対するねじ込みが行われて、前記弁座プラグが前記弁ばねの付勢力に抗して前記軸方向に移動可能になっており、
前記ケーシングは、付勢ばねによって前記第１弁体及び前記第２弁体が前記第１弁座及び前記第２弁座それぞれに接近する方向へ付勢されており、
前記ケーシングにおける前記付勢ばねの付勢力による移動を規制する筒状のカバー部材が前記ボディに対してねじ込まれており、
前記カバー部材における前記ボディに対するねじ込みが行われて、前記ケーシングが前記付勢ばねの付勢力及び前記弁ばねの付勢力に抗して前記第１弁体及び前記第２弁体と一体的に前記ボディの軸方向に移動可能になっていることを特徴とする切換弁。
【請求項２】
前記ケーシングは、前記弁座プラグ内に挿入されるアクチュエータ挿入部を有し、
前記回り止め部は、
前記弁座プラグの内周面の一部分に形成される一対のプラグ平面と、
前記アクチュエータ挿入部に形成されるとともに前記一対のプラグ平面にそれぞれ当接可能な一対のアクチュエータ平面と、から構成されていることを特徴とする請求項１に記載の切換弁。
【請求項３】
前記第１弁座の流路断面積と前記第２弁座の流路断面積とが同じであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の切換弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切換弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１には、第１弁座に接離可能な第１弁体と、第２弁座に接離可能な第２弁体と、を備えた、所謂、複座弁方式の切換弁が開示されている。第１弁体及び第２弁体は、筒状のボディ内をボディの軸方向に一体的に移動可能に構成されている。第１弁座及び第２弁座は、ボディの軸方向で同一方向を向いている。第１弁体及び第２弁体は、弁ばねによって第１弁座及び第２弁座それぞれに接近する方向へ付勢されている。そして、第１弁体及び第２弁体が、弁ばねの付勢力に抗して、第１弁座及び第２弁座それぞれに対して離間する方向へ一体的に移動することにより、第１弁体と第１弁座との間の流体の流れが許容されるとともに、第２弁体と第２弁座との間の流体の流れが許容される。これによれば、弁体と弁座とがそれぞれ一つずつしか設けられていない、所謂、単座弁方式の切換弁に比べると、流量を多く確保することができる。
【０００３】
また、例えば特許文献２に開示されているようなピエゾアクチュエータを用いて、第１弁体及び第２弁体を一体的に移動させることが考えられている。このようなピエゾアクチュエータにおいては、ピエゾ素子を収容するとともにピエゾ素子の伸縮に追従して伸縮可能なケーシングを有しているものがある。そして、ケーシングが弁ばねの付勢力に抗して伸長することにより、第１弁体及び第２弁体が第１弁座及び第２弁座それぞれから離間する。このような構成は、例えば、電磁力及びばね力を用いたソレノイド方式よりも高い応答性が得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２１８３５４号公報
【特許文献２】特開２００４−２８１３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような切換弁においては、第１弁座及び第２弁座の位置調整や、ピエゾアクチュエータのケーシングの位置調整が精度良く行われていないと、例えば、ケーシングが弁ばねの付勢力に抗して伸長して第１弁体が第１弁座から離間している状態であるにもかかわらず、第２弁体が第２弁座にまだ着座している場合がある。このように、第１弁体及び第２弁体が第１弁座及び第２弁座それぞれから同時に離間しない場合、高い応答性を維持しながら大流量を確保することが困難となる虞がある。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、高い応答性を維持しながら大流量を確保することができる切換弁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する切換弁は、筒状のボディと、前記ボディ内を前記ボディの軸方向に一体的に移動可能に構成された第１弁体及び第２弁体と、前記ボディ内に設けられるとともに前記第１弁体が接離する環状の第１弁座と、前記ボディ内に設けられるとともに前記第２弁体が接離する環状の第２弁座と、前記ボディの軸方向に伸縮するピエゾ素子の伸縮に伴い前記第１弁体及び前記第２弁体を一体的に移動させるピエゾアクチュエータと、を備え、前記第１弁座及び前記第２弁座が、前記ボディの軸方向で同一方向を向いており、前記第１弁体及び前記第２弁体は、弁ばねによって前記第１弁座及び前記第２弁座それぞれに接近する方向へ付勢されており、前記ピエゾアクチュエータは、前記ピエゾ素子を収容するとともに前記ピエゾ素子の伸縮に追従して伸縮可能なケーシングを有し、前記ケーシングが前記弁ばねの付勢力に抗して伸長することにより、前記第１弁体及び前記第２弁体が前記第１弁座及び前記第２弁座それぞれから離間する切換弁であって、前記ケーシングは、円筒状であり、前記ボディ内における前記ピエゾアクチュエータと前記第１弁体との間には、前記第１弁座を有する円筒状の弁座プラグが配置され、前記第２弁座は、前記ボディに形成されており、前記弁座プラグは、前記ボディの内周面にねじ込まれるプラグねじ部を有し、前記ケーシングと前記弁座プラグとの間には、前記ケーシングにおける前記弁座プラグに対する回転を規制する回り止め部が設けられており、前記ケーシングの回転に伴って、前記回り止め部を介した前記プラグねじ部における前記ボディの内周面に対するねじ込みが行われて、前記弁座プラグが前記弁ばねの付勢力に抗して前記軸方向に移動可能になっており、前記ケーシングは、付勢ばねによって前記第１弁体及び前記第２弁体が前記第１弁座及び前記第２弁座それぞれに接近する方向へ付勢されており、前記ケーシングにおける前記付勢ばねの付勢力による移動を規制する筒状のカバー部材が前記ボディに対してねじ込まれており、前記カバー部材における前記ボディに対するねじ込みが行われて、前記ケーシングが前記付勢ばねの付勢力及び前記弁ばねの付勢力に抗して前記第１弁体及び前記第２弁体と一体的に前記ボディの軸方向に移動可能になっている。
【０００８】
上記切換弁において、前記ケーシングは、前記弁座プラグ内に挿入されるアクチュエータ挿入部を有し、前記回り止め部は、前記弁座プラグの内周面の一部分に形成される一対のプラグ平面と、前記アクチュエータ挿入部に形成されるとともに前記一対のプラグ平面にそれぞれ当接可能な一対のアクチュエータ平面と、から構成されているとよい。
【０００９】
上記切換弁において、前記第１弁座の流路断面積と前記第２弁座の流路断面積とが同じであるとよい。
【発明の効果】
【００１０】
この発明によれば、高い応答性を維持しながら大流量を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施形態における切換弁を示す断面図。
【図２】弁座プラグをプラグ突出部側から見た正面図。
【図３】ピエゾアクチュエータのケーシングを底壁側から見た正面図。
【図４】切換弁の断面図。
【図５】弁座プラグを位置決めする方法を説明するための断面図。
【図６】ケーシングを位置決めする方法を説明するための断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、切換弁を具体化した一実施形態を図１〜図６にしたがって説明する。
図１に示すように、切換弁１０は、筒状のボディ１１を備えている。ボディ１１は、弁ボディ１２及びハウジング５０を有している。弁ボディ１２及びハウジング５０はそれぞれ筒状である。弁ボディ１２は、ボディ本体１３と、ボディ本体１３に連結されるキャップ部材１４と、を有している。ボディ本体１３には、弁孔１５が形成されている。弁孔１５は、ボディ本体１３の一端面１３ａから一端面１３ａとは反対側の面である他端面１３ｂにかけて貫通している。弁孔１５が延びる方向は、ボディ１１の軸方向である。
【００１３】
弁孔１５は、小径孔１５ａ及び大径孔１５ｂを有している。小径孔１５ａ及び大径孔１５ｂはそれぞれ円孔状である。小径孔１５ａの孔径は、大径孔１５ｂの孔径よりも小さい。小径孔１５ａの一端は、ボディ本体１３の一端面１３ａに開口するとともに、小径孔１５ａの他端は、大径孔１５ｂの一端に連通している。大径孔１５ｂの他端部は、雌ねじ孔１５ｃになっている。雌ねじ孔１５ｃは、ボディ本体１３の他端面１３ｂに開口している。
【００１４】
ボディ本体１３には、第１ポート１６が形成されている。第１ポート１６は、弁ボディ１２の軸方向に対して直交する方向に延びている。第１ポート１６は、ボディ本体１３における弁ボディ１２の軸方向に対して直交する方向で小径孔１５ａと重なる位置に配置されている。第１ポート１６の一端は、ボディ本体１３における弁ボディ１２の軸方向に対して直交する方向に位置する外面に開口しており、配管等を介して図示しない流体供給源に接続されている。第１ポート１６の他端は、弁ボディ１２の軸方向に対して直交する方向で小径孔１５ａから離間した位置に配置されている。
【００１５】
ボディ本体１３には、第１接続通路１７が形成されている。第１接続通路１７は、弁孔１５に平行に延びている。第１接続通路１７は、第１ポート１６を横切っている。したがって、第１ポート１６は、第１接続通路１７の途中に連通している。第１接続通路１７の一端は、ボディ本体１３の一端面１３ａに開口している。第１接続通路１７の他端は、弁ボディ１２の軸方向に対して直交する方向で大径孔１５ｂから離間した位置に配置されている。
【００１６】
ボディ本体１３には、第２接続通路１８が形成されている。第２接続通路１８は、弁ボディ１２の軸方向に対して直交する方向に延びている。第２接続通路１８は、ボディ本体１３における弁ボディ１２の軸方向に対して直交する方向に位置する外面から弁孔１５の大径孔１５ｂに向けて延びている。第２接続通路１８の一端は、弁孔１５の大径孔１５ｂに連通している。第２接続通路１８の他端は、閉塞部材１８ａによって閉塞されている。第２接続通路１８の途中は、第１接続通路１７の他端に連通している。
【００１７】
ボディ本体１３には、第２ポート１９が形成されている。第２ポート１９は、弁ボディ１２の軸方向に対して直交する方向に延びている。第２ポート１９は、弁ボディ１２の軸方向に対して直交する方向において、弁孔１５の小径孔１５ａに対して第１ポート１６とは反対側に位置している。第２ポート１９の一端は、ボディ本体１３における弁ボディ１２の軸方向に対して直交する方向に位置する外面に開口しており、配管等を介して図示しない流体圧機器に接続されている。第２ポート１９の他端は、弁孔１５の小径孔１５ａに連通している。本実施形態の切換弁１０は、２ポート弁である。
【００１８】
キャップ部材１４は、ボディ本体１３の一端面１３ａに連結されている。キャップ部材１４におけるボディ本体１３側の端面１４ａとボディ本体１３の一端面１３ａとの間は、ガスケット２１によってシールされている。キャップ部材１４の端面１４ａには、円孔状の凹部２２が形成されている。凹部２２は、弁孔１５の小径孔１５ａに連通している。凹部２２の孔径は、小径孔１５ａの孔径及び大径孔１５ｂの孔径よりも大きい。凹部２２の内周面の軸心は、小径孔１５ａの軸心に一致している。小径孔１５ａの内周面、大径孔１５ｂの内周面、及び凹部２２の内周面は、ボディ１１の内周面を形成している。
【００１９】
キャップ部材１４には、第３接続通路２３が形成されている。第３接続通路２３の一端は、キャップ部材１４の端面１４ａに開口し、第１接続通路１７に連通している。第３接続通路２３は、第１接続通路１７が延びる方向と同一方向に延びている。
【００２０】
キャップ部材１４には、第４接続通路２４が形成されている。第４接続通路２４は、第３接続通路２３が延びる方向に対して直交する方向に延びている。第４接続通路２４は、キャップ部材１４における弁ボディ１２の軸方向に対して直交する方向に位置する外面から凹部２２に向けて延びている。第４接続通路２４の一端は、凹部２２に連通している。第４接続通路２４の他端は、閉塞部材２４ａによって閉塞されている。第４接続通路２４の途中は、第３接続通路２３の他端に連通している。
【００２１】
切換弁１０は、弁座プラグ３０を備えている。弁座プラグ３０は、円筒状である。弁座プラグ３０は、ボディ本体１３の他端面１３ｂ側から弁孔１５の大径孔１５ｂ内に挿入されるプラグ挿入部３１と、ボディ本体１３の他端面１３ｂから突出するプラグ突出部３２と、を有している。プラグ挿入部３１の外周面の外径は、プラグ突出部３２の外周面の外径よりも小さい。プラグ挿入部３１の外周面の外径は、大径孔１５ｂの孔径よりも僅かに小さい。
【００２２】
弁座プラグ３０は、プラグ大径孔３３、プラグ中径孔３４、及びプラグ小径孔３５を有している。プラグ大径孔３３の孔径は、プラグ中径孔３４の孔径及びプラグ小径孔３５の孔径よりも大きい。プラグ中径孔３４の孔径は、プラグ小径孔３５の孔径よりも大きい。よって、プラグ小径孔３５の孔径は、プラグ大径孔３３の孔径及びプラグ中径孔３４の孔径よりも小さい。
【００２３】
プラグ大径孔３３は、プラグ突出部３２におけるプラグ挿入部３１とは反対側の端面に開口している。プラグ中径孔３４は、プラグ挿入部３１におけるプラグ突出部３２とは反対側の端面に開口している。プラグ小径孔３５は、プラグ大径孔３３とプラグ中径孔３４とを連通している。プラグ大径孔３３の軸心、プラグ中径孔３４の軸心、及びプラグ小径孔３５の軸心は一致している。プラグ大径孔３３の内周面、プラグ中径孔３４の内周面、及びプラグ小径孔３５の内周面は、弁座プラグ３０の内周面を形成している。
【００２４】
図２に示すように、プラグ大径孔３３の内周面の一部分は、一対のプラグ平面３３ａになっている。したがって、一対のプラグ平面３３ａは、弁座プラグ３０の内周面の一部分に形成されている。一対のプラグ平面３３ａは、互いに平行に延びている。一対のプラグ平面３３ａの最短距離は、プラグ小径孔３５の孔径よりも大きい。プラグ大径孔３３の軸心から各プラグ平面３３ａまでの最短距離はそれぞれ同じである。
【００２５】
図１に示すように、プラグ挿入部３１の外周面におけるプラグ突出部３２側の端部は、雄ねじが形成されたプラグねじ部３６になっている。弁座プラグ３０は、プラグねじ部３６が雌ねじ孔１５ｃにねじ込まれることにより、ボディ本体１３に取り付けられている。したがって、弁座プラグ３０は、ボディ１１の内周面にねじ込まれるプラグねじ部３６を有している。
【００２６】
プラグ挿入部３１には、弁座プラグ３０の径方向に延びる連通孔３７が形成されている。連通孔３７は、弁ボディ１２の軸方向に対して直交する方向で、第２接続通路１８における弁孔１５の大径孔１５ｂに対する開口部分と対向している。したがって、プラグ挿入部３１におけるプラグ突出部３２とは反対側の端面は、第２接続通路１８における弁孔１５の大径孔１５ｂに対する開口部分よりも弁孔１５の小径孔１５ａ寄りに位置している。
【００２７】
プラグ挿入部３１におけるプラグ突出部３２とは反対側の端面には、円環状の第１弁座３８が突設されている。したがって、弁座プラグ３０は、第１弁座３８を有している。第１弁座３８は、弁孔１５の大径孔１５ｂ内に配置されている。したがって、第１弁座３８は、ボディ１１内に設けられている。第１弁座３８は、プラグ挿入部３１におけるプラグ突出部３２とは反対側の端面を平面視したとき、プラグ中径孔３４を取り囲んでいる。
【００２８】
ボディ本体１３の一端面１３ａには、円環状の第２弁座３９が突設されている。したがって、第２弁座３９は、ボディ１１に形成されている。第２弁座３９は、凹部２２内に配置されている。したがって、第２弁座３９は、ボディ１１内に設けられている。第２弁座３９は、ボディ本体１３の一端面１３ａを平面視したとき、弁孔１５の小径孔１５ａを取り囲んでいる。
【００２９】
第１弁座３８の軸心は、第２弁座３９の軸心に一致している。第１弁座３８の内径は、第２弁座３９の内径と同じである。したがって、第１弁座３８の流路断面積と第２弁座３９の流路断面積とが同じである。第１弁座３８及び第２弁座３９は、ボディ１１の軸方向で同一方向を向いている。
【００３０】
プラグ挿入部３１におけるプラグ突出部３２とは反対側の端面と弁孔１５の大径孔１５ｂとで区画される空間は、第１弁体４０が収容される第１弁室４１になっている。そして、第１弁座３８には第１弁体４０が接離する。また、ボディ本体１３の一端面１３ａと凹部２２とで区画される空間は、第２弁体４２が収容される第２弁室４３になっている。そして、第２弁座３９には第２弁体４２が接離する。
【００３１】
切換弁１０は、第１弁体４０を有する第１弁棒４４と、第２弁体４２を有する第２弁棒４５と、を備えている。第１弁棒４４及び第２弁棒４５は、弁孔１５内に収容されている。第１弁棒４４及び第２弁棒４５は、弁孔１５内を弁ボディ１２の軸方向に一体的に移動可能である。
【００３２】
第１弁棒４４は、円柱状の第１軸部４４ａと、第１軸部４４ａの外周面の端部から第１軸部４４ａの径方向に突出する円環状の第１鍔部４４ｂと、を有している。第１弁棒４４の第１軸部４４ａは、プラグ小径孔３５内に挿入されている。第１軸部４４ａの外径は、プラグ小径孔３５の孔径よりも僅かに小さい。第１軸部４４ａにおける第１鍔部４４ｂとは反対側の端部は、プラグ大径孔３３内に出没可能になっている。プラグ小径孔３５の内周面は、第１弁棒４４が弁ボディ１２の軸方向に移動する際に、第１軸部４４ａの外周面と摺接し、第１弁棒４４における弁ボディ１２の軸方向への移動をガイドするガイド面として機能している。第１軸部４４ａにおける第１鍔部４４ｂとは反対側の端面は、平坦面状である。
【００３３】
第１鍔部４４ｂは、第１弁室４１内に収容されている。第１弁体４０は、第１鍔部４４ｂにおける第１軸部４４ａ側の端面に取り付けられている。第１弁体４０は、円環状のゴム部材である。第１弁体４０の外径は、第１鍔部４４ｂの外径と同じである。第１鍔部４４ｂにおける第１軸部４４ａとは反対側の端面、及び第１軸部４４ａにおける第１鍔部４４ｂ側の端面は、第１軸部４４ａの径方向に延びる平坦面状であるとともに同一平面上に位置している。
【００３４】
第２弁棒４５は、円柱状の第２軸部４５ａと、第２軸部４５ａの端部から第２軸部４５ａの径方向に突出する円環状の第２鍔部４５ｂと、を有している。第２弁棒４５の第２軸部４５ａは、弁孔１５の小径孔１５ａ内に挿入されている。第２軸部４５ａの外径は、小径孔１５ａの孔径の１／３以下である。第２軸部４５ａにおける第２鍔部４５ｂとは反対側の端部は、大径孔１５ｂ内に出没可能になっている。第２軸部４５ａにおける第２鍔部４５ｂとは反対側の端面は、平坦面状である。そして、第２軸部４５ａにおける第２鍔部４５ｂとは反対側の端面は、第１軸部４４ａにおける第１鍔部４４ｂ側の端面に面接触した状態で当接している。
【００３５】
第２鍔部４５ｂは、凹部２２内に収容されている。第２弁体４２は、第２鍔部４５ｂにおける第２軸部４５ａ側の端面に取り付けられている。第２弁体４２は、円環状のゴム部材である。第２弁体４２の外径は、第２鍔部４５ｂの外径と同じである。第１弁棒４４の第１鍔部４４ｂの外径は、第２弁棒４５の第２鍔部４５ｂの外径と同じであり、第１弁体４０の外径は、第２弁体４２の外径と同じである。
【００３６】
凹部２２内には、弁ばね４６が収容されている。弁ばね４６は、第２弁棒４５の第２鍔部４５ｂと凹部２２の底面との間に介在されている。弁ばね４６の一端は第２鍔部４５ｂに支持されるとともに、弁ばね４６の他端は凹部２２の底面に支持されている。弁ばね４６は、第２弁体４２が第２弁座３９に接近する方向へ第２弁棒４５を付勢している。
【００３７】
ハウジング５０は、ハウジング５０の一端面５０ａとボディ本体１３の他端面１３ｂとが突き合わさった状態でボディ本体１３に連結されている。また、ハウジング５０は、ハウジング５０における一端面５０ａとは反対側の面である他端面５０ｂから突出する円筒部５０ｆを有している。
【００３８】
ハウジング５０には、貫通孔５１が形成されている。貫通孔５１は、ハウジング５０の一端面５０ａから円筒部５０ｆの突出端面にかけて貫通している。貫通孔５１が延びる方向は、ハウジング５０の軸方向である。円筒部５０ｆの軸心は、貫通孔５１の軸心に一致している。また、ハウジング５０の軸方向は、弁ボディ１２の軸方向に一致している。
【００３９】
貫通孔５１は、第１孔５１ａ、第２孔５１ｂ、及び第３孔５１ｃを有している。第１孔５１ａ、第２孔５１ｂ、及び第３孔５１ｃはそれぞれ円孔状である。第１孔５１ａは、貫通孔５１におけるハウジング５０の一端面５０ａ側の端部であり、ハウジング５０の一端面５０ａに開口している。第２孔５１ｂは、貫通孔５１におけるハウジング５０の円筒部５０ｆの突出端面側の端部であり、円筒部５０ｆの突出端面に開口している。第３孔５１ｃは、第１孔５１ａと第２孔５１ｂとを連通する。
【００４０】
第１孔５１ａの軸心、第２孔５１ｂの軸心、及び第３孔５１ｃの軸心はそれぞれ一致している。第１孔５１ａの軸心、第２孔５１ｂの軸心、及び第３孔５１ｃの軸心、つまり、貫通孔５１の軸心は、弁孔１５の軸心に一致している。第１孔５１ａの孔径は、第２孔５１ｂの孔径と同じである。第３孔５１ｃの孔径は、第１孔５１ａの孔径及び第２孔５１ｂの孔径よりも小さい。第１孔５１ａは、弁孔１５の大径孔１５ｂに連通している。第１孔５１ａの孔径は、弁座プラグ３０のプラグ突出部３２の外径よりも僅かに大きい。そして、プラグ突出部３２は、ボディ本体１３の一端面１３ａから突出して第１孔５１ａ内に配置されている。
【００４１】
ハウジング５０には、止めねじ用孔５０ｈが形成されている。止めねじ用孔５０ｈは、ハウジング５０の軸方向に対して直交する方向に延びている。止めねじ用孔５０ｈの一端は、ハウジング５０におけるハウジング５０の軸方向に対して直交する方向に位置する外面に開口している。止めねじ用孔５０ｈの他端は、第１孔５１ａに連通している。止めねじ用孔５０ｈには、止めねじ５２が螺合されている。そして、止めねじ５２がプラグ突出部３２の外周面に当接することにより、弁座プラグ３０におけるボディ１１の軸方向への移動が規制されている。
【００４２】
切換弁１０は、ピエゾアクチュエータ６０を備えている。ピエゾアクチュエータ６０は、貫通孔５１内に収容されている。ピエゾアクチュエータ６０は、複数のピエゾ素子６１と、ピエゾ素子６１を収容する円筒状のケーシング６２と、を有している。ピエゾ素子６１は、板状である。そして、複数のピエゾ素子６１は、板厚方向に積層されてピエゾスタックを構成している。複数のピエゾ素子６１の積層方向は、ケーシング６２の軸方向に一致している。ピエゾ素子６１は、ピエゾ素子６１への通電が行われることにより板厚方向に伸長するとともに、ピエゾ素子６１への通電が停止されると縮小して伸長する前の元の形状に復帰する。
【００４３】
ケーシング６２は、底壁６２ａと、底壁６２ａの外周縁から延びる円筒状の周壁６２ｂと、を有する有底円筒状である。底壁６２ａ及び周壁６２ｂは金属製の薄板により形成されている。底壁６２ａは、平板状である。したがって、底壁６２ａの外面は、平坦面状である。ケーシング６２における底壁６２ａ側の部位は、弁座プラグ３０のプラグ大径孔３３内に挿入されるアクチュエータ挿入部６３になっている。したがって、ケーシング６２は、弁座プラグ３０内に挿入されるアクチュエータ挿入部６３を有している。弁座プラグ３０は、ボディ１１内におけるピエゾアクチュエータ６０と第１弁体４０との間に配置されている。
【００４４】
アクチュエータ挿入部６３が弁座プラグ３０のプラグ大径孔３３内に挿入された状態において、ケーシング６２の底壁６２ａの外面は、第１軸部４４ａにおける第１鍔部４４ｂとは反対側の端面に面接触した状態で当接している。
【００４５】
図３に示すように、アクチュエータ挿入部６３の外周面の一部分は、一対のアクチュエータ平面６４になっている。したがって、一対のアクチュエータ平面６４は、アクチュエータ挿入部６３に形成されている。一対のアクチュエータ平面６４は、互いに平行に延びている。一対のアクチュエータ平面６４の最短距離は、一対のプラグ平面３３ａの最短距離よりも僅かに小さい。
【００４６】
図１に示すように、一対のアクチュエータ平面６４は、一対のプラグ平面３３ａにそれぞれ当接可能になっている。そして、一対のアクチュエータ平面６４が一対のプラグ平面３３ａにそれぞれ当接することにより、ケーシング６２における弁座プラグ３０に対する回転が規制される。したがって、一対のプラグ平面３３ａ及び一対のアクチュエータ平面６４は、ケーシング６２と弁座プラグ３０との間に設けられるとともに、ケーシング６２における弁座プラグ３０に対する回転を規制する回り止め部６５を構成している。
【００４７】
ケーシング６２の周壁６２ｂにおけるアクチュエータ挿入部６３以外の部位は、貫通孔５１の第１孔５１ａ内から第３孔５１ｃ内を通過して第２孔５１ｂ内に突出している。ケーシング６２の周壁６２ｂにおける第３孔５１ｃ内に位置する部位の大部分は、蛇腹状の伸縮部６２ｃになっている。周壁６２ｂの外周面における底壁６２ａとは反対側の端部には、外方へ突出する円環状のフランジ６２ｆが設けられている。フランジ６２ｆは、貫通孔５１の第２孔５１ｂ内に位置している。
【００４８】
貫通孔５１の第２孔５１ｂ内には、付勢ばね６６が収容されている。付勢ばね６６は、第２孔５１ｂの内周面と第３孔５１ｃの内周面とを繋ぐ段差面５１ｅと、フランジ６２ｆとの間に介在されている。付勢ばね６６の一端は段差面５１ｅに支持されるとともに、付勢ばね６６の他端はフランジ６２ｆに支持されている。付勢ばね６６は、ケーシング６２が弁座プラグ３０から離間する方向へケーシング６２を付勢する。
【００４９】
貫通孔５１の第１孔５１ａの内周面における弁座プラグ３０よりも第３孔５１ｃ寄りの部位とケーシング６２の周壁６２ｂの外周面との間には、環状のシール部材６７が配設されている。シール部材６７は、貫通孔５１の内周面とケーシング６２の周壁６２ｂの外周面との間をシールする。
【００５０】
ケーシング６２の周壁６２ｂにおける底壁６２ａとは反対側の開口には、配線６８を有する端子台６９が取り付けられている。端子台６９は、周壁６２ｂの開口を閉塞する金属製である円盤状の蓋部材である。配線６８は、端子台６９におけるケーシング６２の周壁６２ｂとは反対側に位置する端面６９ｅから引き出されている。配線６８は、図示しない電力供給部に接続されている。そして、ピエゾアクチュエータ６０は、電力供給部からの配線６８を介した複数のピエゾ素子６１への通電が行われるように構成されている。
【００５１】
電力供給部からの配線６８を介した複数のピエゾ素子６１への通電が行われると、複数のピエゾ素子６１が伸長し、複数のピエゾ素子６１の伸長に追従して伸縮部６２ｃが伸長するようになっている。また、電力供給部からの配線６８を介した複数のピエゾ素子６１への通電が停止されると、複数のピエゾ素子６１が縮小し、複数のピエゾ素子６１の縮小に追従して伸縮部６２ｃが縮小するようになっている。したがって、ケーシング６２は、ピエゾ素子６１の伸縮に追従して伸縮可能である。
【００５２】
端子台６９の端面６９ｅは、平面視円形状である。端子台６９の端面６９ｅの中央部には、治具用溝６９ａが形成されている。治具用溝６９ａは、端子台６９の端面６９ｅにおいて、ケーシング６２の軸線上に位置している。
【００５３】
円筒部５０ｆの外周面には、雄ねじ５０ｇが形成されている。雄ねじ５０ｇには、有底筒状のカバー部材７０がねじ込まれている。したがって、カバー部材７０は、ボディ１１に対してねじ込まれている。カバー部材７０は、平板状のカバー底壁７０ａと、カバー底壁７０ａの外周部から筒状に突出するカバー周壁７０ｂと、を有している。
【００５４】
カバー底壁７０ａには、円孔状の配線挿通孔７０ｃが形成されている。配線挿通孔７０ｃは、カバー底壁７０ａを厚み方向に貫通している。配線挿通孔７０ｃの孔径は、端子台６９の端面６９ｅの外径よりも小さい。
【００５５】
カバー周壁７０ｂの内周面には、円筒部５０ｆの雄ねじ５０ｇに螺合される雌ねじ７０ｇが形成されている。そして、カバー部材７０の雌ねじ７０ｇが円筒部５０ｆの雄ねじ５０ｇに螺合されることにより、カバー部材７０が円筒部５０ｆに取り付けられている。
【００５６】
カバー周壁７０ｂには、止めねじ用孔７０ｈが形成されている。止めねじ用孔７０ｈは、カバー周壁７０ｂの軸方向に対して直交する方向に延びている。止めねじ用孔７０ｈの一端は、カバー周壁７０ｂの外周面に開口している。止めねじ用孔７０ｈの他端は、カバー周壁７０ｂの内周面における雌ねじ７０ｇよりもカバー底壁７０ａ寄りの部位に連通している。止めねじ用孔７０ｈには、止めねじ７１が螺合されている。そして、止めねじ７１が円筒部５０ｆの外周面に当接することにより、カバー部材７０における円筒部５０ｆに対する軸方向への移動が規制されている。
【００５７】
カバー部材７０が円筒部５０ｆに取り付けられている状態において、配線６８は、配線挿通孔７０ｃを通過してカバー部材７０のカバー底壁７０ａから突出している。治具用溝６９ａは、配線挿通孔７０ｃを介してカバー部材７０の外部に臨んでいる。端子台６９の端面６９ｅの外周部は、カバー底壁７０ａの内面における配線挿通孔７０ｃの周囲に当接している。これにより、カバー部材７０は、ケーシング６２における付勢ばね６６の付勢力による移動を規制する。
【００５８】
次に、本実施形態の作用について説明する。
図４に示すように、電力供給部からの配線６８を介した複数のピエゾ素子６１への通電が行われて、複数のピエゾ素子６１が伸長し、複数のピエゾ素子６１の伸長に追従して伸縮部６２ｃが伸長すると、ケーシング６２が弁ばね４６の付勢力に抗して第１弁棒４４を押圧する。そして、第１弁棒４４が第２弁棒４５を押圧することにより、第１弁体４０及び第２弁体４２が一体的に移動する。これにより、第１弁体４０が第１弁座３８から離間するとともに、第２弁体４２が第２弁座３９から離間する。したがって、第１弁体４０及び第２弁体４２は、ボディ１１内をボディ１１の軸方向に一体的に移動可能に構成されている。そして、第１弁体４０及び第２弁体４２は、ケーシング６２が弁ばね４６の付勢力に抗して伸長することにより、第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれから同時に離間する。
【００５９】
第１弁体４０及び第２弁体４２が、第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに対して離間する方向へ一体的に移動することにより、第１弁体４０と第１弁座３８との間の流体の流れが許容されるとともに、第２弁体４２と第２弁座３９との間の流体の流れが許容される。そして、流体供給源からの流体が、第１ポート１６、第１接続通路１７、第２接続通路１８、連通孔３７、プラグ中径孔３４、第１弁室４１、小径孔１５ａ、及び第２ポート１９を通過して流体圧機器に供給される。また、流体供給源からの流体が、第１ポート１６、第１接続通路１７、第３接続通路２３、第４接続通路２４、第２弁室４３、小径孔１５ａ、及び第２ポート１９を通過して流体圧機器に供給される。
【００６０】
図１に示すように、電力供給部からの配線６８を介した複数のピエゾ素子６１への通電が停止されて、複数のピエゾ素子６１が縮小し、複数のピエゾ素子６１の縮小に追従して伸縮部６２ｃが縮小すると、弁ばね４６の付勢力によって第２弁棒４５が第１弁棒４４に向けて移動する。そして、第２弁棒４５が第１弁棒４４を押圧することにより、第１弁体４０及び第２弁体４２が一体的に移動する。これにより、第１弁体４０が第１弁座３８に接近して第１弁座３８に着座するとともに、第２弁体４２が第２弁座３９に接近して第２弁座３９に着座する。したがって、第１弁体４０及び第２弁体４２は、弁ばね４６によって第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに接近する方向へ付勢されている。第１弁体４０及び第２弁体４２は、第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに同時に着座する。
【００６１】
このように、ケーシング６２は、ピエゾ素子６１の伸縮に追従して伸縮可能である。そして、ピエゾアクチュエータ６０は、ボディ１１の軸方向に伸縮するピエゾ素子６１の伸縮に伴い第１弁体４０及び第２弁体４２を一体的に移動させる。
【００６２】
第１弁体４０及び第２弁体４２が、第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに着座することにより、第１弁体４０と第１弁座３８との間の流体の流れが規制されるとともに、第２弁体４２と第２弁座３９との間の流体の流れが規制される。これにより、流体供給源からの流体における第１ポート１６、第１接続通路１７、第２接続通路１８、連通孔３７、プラグ中径孔３４、第１弁室４１、小径孔１５ａ、及び第２ポート１９を介した流体圧機器への供給が遮断される。また、流体供給源からの流体における第１ポート１６、第１接続通路１７、第３接続通路２３、第４接続通路２４、第２弁室４３、小径孔１５ａ、及び第２ポート１９を介した流体圧機器への供給が遮断される。
【００６３】
このとき、第１弁座３８の内径と第２弁座３９の内径とが同じである。つまり、第１弁座３８の流路断面積と第２弁座３９の流路断面積とが同じであるため、第１弁体４０及び第２弁体４２に作用する流体の圧力が互いに相殺される。これにより、第１弁体４０及び第２弁体４２には、弁ばね４６の付勢力のみが作用するため、第１弁体４０における第１弁座３８に対するシール、及び第２弁体４２における第２弁座３９に対するシールが安定する。
【００６４】
図５に示すように、弁座プラグ３０を位置決めする際には、まず、第１弁体４０及び第２弁体４２が第１弁座３８及び第２弁座３９に着座している状態において、治具用溝６９ａに治具７２を嵌め込み、治具７２を用いて、プラグねじ部３６が雌ねじ孔１５ｃに対して螺進する方向にケーシング６２を回転させる。このとき、一対のアクチュエータ平面６４が一対のプラグ平面３３ａにそれぞれ当接することにより、ケーシング６２における弁座プラグ３０に対する回転が規制される。これにより、弁座プラグ３０は、ケーシング６２の回転に伴って、プラグねじ部３６が雌ねじ孔１５ｃに対して螺進することにより、弁ばね４６の付勢力に抗して、ケーシング６２に対して離間する方向へボディ１１の軸方向に移動する。したがって、弁座プラグ３０は、ケーシング６２の回転に伴って、回り止め部６５を介したプラグねじ部３６におけるボディ１１の内周面に対するねじ込みが行われて、弁ばね４６の付勢力に抗してボディ１１の軸方向に移動可能になっている。
【００６５】
そして、第１弁体４０が第１弁座３８に着座した状態が維持されながら、弁座プラグ３０が第１弁棒４４を押圧し、第１軸部４４ａにおける第１鍔部４４ｂ側の端面が第２軸部４５ａにおける第２鍔部４５ｂとは反対側の端面に面接触した状態で、第１弁棒４４が第２弁棒４５を押圧する。これにより、弁ばね４６の付勢力に抗して、第２弁体４２が第２弁座３９から離間し、第１弁体４０と第１弁座３８との間の流体の流れが規制された状態で、第２弁体４２と第２弁座３９との間の流体の流れが許容される。
【００６６】
流体供給源からの流体は、第１ポート１６、第１接続通路１７、第３接続通路２３、第４接続通路２４、第２弁室４３、小径孔１５ａ、及び第２ポート１９を流れる。そして、例えば、第２ポート１９を流れる流体の流量を検出する図示しない流量センサを用いて、第２ポート１９を流れる流体の流量が検出される。
【００６７】
流量センサによる第２ポート１９を流れる流体の流量の検出が行われると、治具７２を用いて、プラグねじ部３６が雌ねじ孔１５ｃに対して螺退する方向にケーシング６２を回転させる。これにより、弁座プラグ３０は、ケーシング６２に接近する方向へボディ１１の軸方向に移動する。このとき、弁ばね４６の付勢力が、第２弁棒４５を介して第１弁棒４４に伝達されていることから、第１弁体４０が第１弁座３８に接近する方向へ第１弁棒４４が付勢されており、第１弁体４０が第１弁座３８に着座されている状態が維持されている。そして、弁ばね４６の付勢力によって、第２弁体４２が第２弁座３９に接近する方向へ第２弁棒４５が付勢され、第２弁体４２が第２弁座３９に着座する。
【００６８】
これにより、第２弁体４２と第２弁座３９との間の流体の流れが規制され、第２ポート１９を流れる流体の流量が流量センサによって検出されなくなる。そして、流量センサによる流体の流量の検出がされなくなったタイミングで、治具７２によるプラグねじ部３６が雌ねじ孔１５ｃに対して螺退する方向へのケーシング６２の回転を停止する。さらに、止めねじ５２を止めねじ用孔５０ｈに螺合し、止めねじ５２によって、弁座プラグ３０におけるボディ１１の軸方向への移動を規制する。これにより、第１軸部４４ａにおける第１鍔部４４ｂ側の端面と第２軸部４５ａにおける第２鍔部４５ｂとは反対側の端面とが面接触した状態で、第１弁体４０及び第２弁体４２が、第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに同時に着座する位置に弁座プラグ３０が位置決めされる。つまり、第１弁体４０及び第２弁体４２が一体的に移動可能な状態で、第１弁体４０及び第２弁体４２が、第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに同時に着座する位置に弁座プラグ３０が位置決めされる。
【００６９】
図６に示すように、ケーシング６２を位置決めする際には、まず、カバー部材７０を雄ねじ５０ｇに対して螺進させる。このとき、カバー底壁７０ａの内面における配線挿通孔７０ｃの周囲が、端子台６９の端面６９ｅの外周部に当接している。これにより、ケーシング６２が、付勢ばね６６の付勢力に抗して弁座プラグ３０に向けて移動するとともに、ケーシング６２の底壁６２ａの外面が、第１軸部４４ａにおける第１鍔部４４ｂとは反対側の端面に面接触した状態で当接する。
【００７０】
そして、カバー部材７０を雄ねじ５０ｇに対してさらに螺進させることにより、第１弁棒４４がケーシング６２に押圧され、弁ばね４６の付勢力に抗して、第１弁棒４４及び第２弁棒４５が一体的にボディ１１の軸方向に移動する。これにより、第１弁体４０及び第２弁体４２が、第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに対して離間する方向へ一体的に移動し、第１弁体４０と第１弁座３８との間の流体の流れが許容されるとともに、第２弁体４２と第２弁座３９との間の流体の流れが許容される。したがって、ケーシング６２は、カバー部材７０におけるボディ１１に対するねじ込みが行われて、ケーシング６２が付勢ばね６６の付勢力及び弁ばね４６の付勢力に抗して第１弁体４０及び第２弁体４２と一体的にボディ１１の軸方向に移動可能になっている。
【００７１】
そして、流体供給源からの流体が、第１ポート１６、第１接続通路１７、第２接続通路１８、連通孔３７、プラグ中径孔３４、第１弁室４１、小径孔１５ａ、及び第２ポート１９を流れる。また、流体供給源からの流体が、第１ポート１６、第１接続通路１７、第３接続通路２３、第４接続通路２４、第２弁室４３、小径孔１５ａ、及び第２ポート１９を流れる。そして、第２ポート１９を流れる流体の流量が流量センサによって検出される。
【００７２】
流量センサによる第２ポート１９を流れる流体の流量の検出が行われると、カバー部材７０を雄ねじ５０ｇに対して螺退させる。これにより、ケーシング６２が、付勢ばね６６の付勢力によって、カバー底壁７０ａの内面における配線挿通孔７０ｃの周囲と端子台６９の端面６９ｅの外周部とが当接しながら、弁座プラグ３０に対して離間する方向へ移動する。さらに、弁ばね４６の付勢力によって、ケーシング６２の底壁６２ａの外面と第１軸部４４ａにおける第１鍔部４４ｂとは反対側の端面とが面接触した状態で、第１弁体４０及び第２弁体４２が第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに接近する方向へ第１弁棒４４及び第２弁棒４５が一体的に移動する。したがって、ケーシング６２は、付勢ばね６６によって第１弁体４０及び第２弁体４２が第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに接近する方向へ付勢されている。そして、第１弁体４０及び第２弁体４２が、第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに同時に着座する。
【００７３】
これにより、第１弁体４０と第１弁座３８との間の流体の流れが規制されるとともに、第２弁体４２と第２弁座３９との間の流体の流れが規制され、第２ポート１９を流れる流体の流量が流量センサによって検出されなくなる。そして、流量センサによる流体の流量の検出がされなくなったタイミングで、カバー部材７０における雄ねじ５０ｇに対する螺退を停止する。そして、止めねじ７１を止めねじ用孔７０ｈに螺合し、止めねじ７１によって、カバー部材７０における円筒部５０ｆに対する軸方向への移動を規制する。これにより、ケーシング６２の底壁６２ａの外面と第１軸部４４ａにおける第１鍔部４４ｂとは反対側の端面とが面接触した状態で、第１弁体４０及び第２弁体４２が、第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに同時に着座する位置にケーシング６２が位置決めされる。つまり、ケーシング６２、第１弁体４０、及び第２弁体４２が一体的に移動可能な状態で、第１弁体４０及び第２弁体４２が、第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに同時に着座する位置にケーシング６２が位置決めされる。
【００７４】
このように、第１弁体４０及び第２弁体４２が、第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに同時に着座する位置に弁座プラグ３０及びケーシング６２が位置決めされることで、ケーシング６２が弁ばね４６の付勢力に抗して伸長したときに、第１弁体４０及び第２弁体４２が第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれから同時に離間する。
【００７５】
上記実施形態では以下の効果を得ることができる。
（１）第１弁座３８を有する弁座プラグ３０は、ボディ１１の内周面にねじ込まれるプラグねじ部３６を有している。第２弁座３９はボディ１１に形成されている。ケーシング６２と弁座プラグ３０との間には、ケーシング６２における弁座プラグ３０に対する回転を規制する回り止め部６５が設けられている。そして、ケーシング６２の回転に伴って、回り止め部６５を介したプラグねじ部３６におけるボディ１１の内周面に対するねじ込みが行われて、弁座プラグ３０が弁ばね４６の付勢力に抗してボディ１１の軸方向に移動可能になっている。
【００７６】
これによれば、ケーシング６２の回転に伴って、プラグねじ部３６がボディ１１の内周面に対して螺進すると、弁座プラグ３０が、弁ばね４６の付勢力に抗してボディ１１の軸方向に移動し、第１弁体４０が第１弁座３８に着座した状態が維持されながら、第１弁体４０及び第２弁体４２が一体的に移動して、第２弁体４２が第２弁座３９から離間する。そして、ケーシング６２の回転に伴って、プラグねじ部３６がボディ１１の内周面に対して螺退すると、弁ばね４６の付勢力により、第１弁体４０が第１弁座３８に着座した状態が維持されながら、第２弁体４２が第２弁座３９に着座する。これにより、第１弁体４０及び第２弁体４２が一体的に移動可能な状態で、第１弁体４０及び第２弁体４２が、第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに同時に着座する位置に弁座プラグ３０を位置決めすることができる。
【００７７】
さらに、カバー部材７０におけるボディ１１に対するねじ込みが行われて、ケーシング６２が付勢ばね６６の付勢力及び弁ばね４６の付勢力に抗して第１弁体４０及び第２弁体４２と一体的にボディ１１の軸方向に移動可能になっている。これによれば、カバー部材７０がボディ１１に対して螺進すると、ケーシング６２が付勢ばね６６の付勢力に抗して弁座プラグ３０に向けて移動するとともに、弁ばね４６の付勢力に抗して、第１弁体４０及び第２弁体４２が、第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに対して離間する。そして、カバー部材７０をボディ１１に対して螺退させると、付勢ばね６６の付勢力によって、ケーシング６２が第１弁体４０及び第２弁体４２が第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに接近する方向へ付勢され、弁ばね４６の付勢力によって、第１弁体４０及び第２弁体４２が、第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに同時に着座する。これにより、ケーシング６２、第１弁体４０、及び第２弁体４２が一体的に移動可能な状態で、第１弁体４０及び第２弁体４２が、第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに同時に着座する位置にケーシング６２を位置決めすることができる。
【００７８】
このように、第１弁体４０及び第２弁体４２が、第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに同時に着座する位置に弁座プラグ３０及びケーシング６２が位置決めされることで、ケーシング６２が弁ばね４６の付勢力に抗して伸長したときに、第１弁体４０及び第２弁体４２が第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれから同時に離間することができる。その結果、切換弁１０において、高い応答性を維持しながら大流量を確保することができる。
【００７９】
（２）ケーシング６２における弁座プラグ３０に対する回転を規制する回り止め部６５は、弁座プラグ３０の内周面の一部分に形成される一対のプラグ平面３３ａと、アクチュエータ挿入部６３に形成される一対のアクチュエータ平面６４と、から構成されている。このように、弁座プラグ３０の内周面の一部分に一対のプラグ平面３３ａを形成し、アクチュエータ挿入部６３に一対のアクチュエータ平面６４を形成することにより、ケーシング６２における弁座プラグ３０に対する回転を規制する回り止め部６５を容易に構成することができる。
【００８０】
（３）第１弁座３８の流路断面積と第２弁座３９の流路断面積とが同じである。このため、第１弁体４０及び第２弁体４２が第１弁座３８及び第２弁座３９それぞれに着座されている状態において、第１弁体４０及び第２弁体４２に作用する流体の圧力が互いに相殺される。これにより、第１弁体４０及び第２弁体４２には、弁ばね４６の付勢力のみが作用するため、第１弁体４０における第１弁座３８に対するシール、及び第２弁体４２における第２弁座３９に対するシールが安定する。
【００８１】
（４）プラグねじ部３６におけるボディ１１の内周面に対する螺進方向と、カバー部材７０におけるボディ１１に対する螺進方向とは同じ方向である。したがって、一方向で弁座プラグ３０及びケーシング６２それぞれの位置決めを行うことができるため、切換弁１０の組立作業を容易なものとすることができる。
【００８２】
（５）既存の構成であるピエゾアクチュエータ６０のケーシング６２が、弁座プラグ３０を位置決めする際に用いられる治具として機能しているため、弁座プラグ３０を位置決めするために用いる治具を別途用意する必要が無く、切換弁１０の組付作業を容易なものとすることができる。
【００８３】
なお、上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
【００８４】
・  実施形態において、ケーシング６２における弁座プラグ３０に対する回転を規制する回り止め部６５は、弁座プラグ３０の内周面の一部分に形成される一対のプラグ平面３３ａと、アクチュエータ挿入部６３に形成される一対のアクチュエータ平面６４と、から構成されるものに限らない。例えば、アクチュエータ挿入部６３から弁座プラグ３０に向けて突出する一対の突起と、弁座プラグ３０に形成されるとともに一対の突起が嵌め込まれる一対の凹部と、から回り止め部が構成されていてもよい。
【００８５】
・  実施形態において、第１弁座３８は、円環状に限らず、例えば、四角環状であってもよい。さらに、第２弁座３９も円環状に限らず、例えば、四角環状であってもよい。そして、第１弁座３８が四角環状であって、第２弁座３９の四角環状である場合に、第１弁座３８の流路断面積と第２弁座３９の流路断面積とが同じであってもよい。
【００８６】
・  実施形態において、第１弁座３８の流路断面積が第２弁座３９の流路断面積と異なっていてもよい。
・  実施形態において、第１ポート１６の一端に、配管等を介して流体圧機器が接続されており、第２ポート１９の一端に、配管等を介して流体供給源が接続されていてもよい。
【００８７】
・  実施形態において、切換弁１０は、２ポート弁ではなく、例えば、供給ポート、出力ポート、及び排出ポートを有する３ポート弁であってもよい。
【符号の説明】
【００８８】
１０…切換弁、１１…ボディ、３０…弁座プラグ、３３ａ…プラグ平面、３６…プラグねじ部、３８…第１弁座、３９…第２弁座、４０…第１弁体、４２…第２弁体、４６…弁ばね、６０…ピエゾアクチュエータ、６１…ピエゾ素子、６２…ケーシング、６３…アクチュエータ挿入部、６４…アクチュエータ平面、６５…回り止め部、６６…付勢ばね、７０…カバー部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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