(57)【要約】【課題】熱圧着ツールから伝達される熱により基板の温度が過剰に高くなる事態を防止できる部品圧着装置、シート設置ユニットおよびシート設置ユニットの取付け方法を提供することを目的とする。【解決手段】基台１１に基板の端部を下方から支持するバックアップステージ１２と、バックアップステージ１２に支持された基板に部品を熱圧着する熱圧着ツール１６を有して構成される部品圧着装置が、基台１１に着脱自在に取り付けられるシート設置ユニット２０を備える。シート設置ユニット２０は、バックアップステージ１２の前側の領域からシートＳＨを供給するシート供給体ＳＴと、シート供給体ＳＴから供給されるシートＳＨをバックアップステージ１２の後側で保持してシートＳＨをバックアップステージ１２の上面側に設置するシート保持部２３と、シートＳＨに冷却空気を吹き付けてシートＳＨを冷却する冷却部２４とを備える。【選択図】図４
2020004834.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、
前記基台に設けられて基板の端部を下方から支持する基板支持部と、
前記基板支持部の上方で上下動作することにより前記基板支持部に支持された前記基板に部品を熱圧着する熱圧着ツールと、
前記基台に着脱自在に取り付けられるシート設置ユニットとを有し、
前記シート設置ユニットは、
前記基板支持部の前側の領域からシートを供給するシート供給体と、
前記シート供給体から供給される前記シートを前記基板支持部の後側で保持して前記シートを前記基板支持部の上面側に設置するシート保持部と、
前記シートを冷却する冷却部とを備えた部品圧着装置。
【請求項２】
前記冷却部は前記シートに冷却空気を吹き付けて前記シートを冷却する請求項１に記載の部品圧着装置。
【請求項３】
前記シート設置ユニットは、前記基台に着脱自在に取り付けられるベース部と、前記ベース部に連結されて横方向に延びた軸部の軸線回りに揺動自在なヘッド部とを有し、前記シート保持部と前記冷却部は前記ヘッド部に設けられ、前記ヘッド部は、前記シート保持部が前記基板支持部の後側に位置して前記シート供給体から供給される前記シートが前記基板支持部の上面側に設置されるシート設置位置と、前記シート保持部が前記基板支持部の前側に位置するシート設置準備位置との間で揺動可能な請求項１または２に記載の部品圧着装置。
【請求項４】
前記シート設置ユニットは、前記ヘッド部が前記シート設置準備位置に位置した状態で前記ベース部が前記基台に取り付けられた後、前記ヘッド部が前記シート設置位置へ揺動されることで前記シートが前記基板支持部の上面側に設置される請求項３に記載の部品圧着装置。
【請求項５】
前記基板支持部に対して相対的に固定して設けられ、前記シート保持部に前記シートの送り動作を行わせるシート送り駆動部を有し、前記シート設置ユニットが前記基板支持部の前側の領域に取り付けられることで前記シート保持部が前記シート送り駆動部と連結可能となる請求項１〜４のいずれかに記載の部品圧着装置。
【請求項６】
前記シート設置位置に位置した前記ヘッド部を前記基板支持部に対して相対的に固定するロック部を備えた請求項３〜５のいずれかに記載の部品圧着装置。
【請求項７】
基台と、前記基台に設けられて基板の端部を下方から支持する基板支持部と、前記基板支持部の上方で上下動作することにより前記基板支持部に支持された前記基板に部品を熱圧着する熱圧着ツールとを備えた部品圧着装置の前記基台に着脱自在に取り付けられるシート設置ユニットであって、
前記基板支持部の前側の領域からシートを供給するシート供給体と、
前記シート保持体から供給される前記シートを前記基板支持部の後側で保持して前記シートを前記基板支持部の上面側に設置するシート保持部と、
前記シートを冷却する冷却部とを備えたシート設置ユニット。
【請求項８】
前記冷却部は前記シートに冷却空気を吹き付けて前記シートを冷却する請求項７に記載のシート設置ユニット。
【請求項９】
前記基台に着脱自在に取り付けられるベース部と、前記ベース部に連結されて横方向に延びた軸部の軸線回りに揺動自在なヘッド部とを有し、前記シート保持部と前記冷却部は前記ヘッド部に設けられ、前記ヘッド部は、前記シート保持部が前記基板支持部の後側に位置して前記シート供給体から供給される前記シートが前記基板支持部の上面側に設置されるシート設置位置と、前記シート保持部が前記基板支持部の前側に位置するシート設置準備位置との間で揺動可能な請求項７または８に記載のシート設置ユニット。
【請求項１０】
基台と、前記基台に設けられて基板の端部を下方から支持する基板支持部と、前記基板支持部の上方で上下動作することにより前記基板支持部に支持された前記基板に部品を熱圧着する熱圧着ツールと、前記基台に着脱自在に取り付けられるシート設置ユニットとを有し、前記シート設置ユニットは、前記基板支持部の前側の領域からシートを供給するシート供給体と、前記シート供給体から供給される前記シートを前記基板支持部の後側で保持して前記シートを前記基板支持部の上面側に設置するシート保持部と、前記シートを冷却する冷却部とを備え、前記シート設置ユニットは、前記基台に着脱自在に取り付けられるベース部と、前記ベース部に連結されて横方向に延びた軸部の軸線回りに揺動自在なヘッド部とを有し、前記シート保持部と前記冷却部は前記ヘッド部に設けられ、前記ヘッド部は、前記シート保持部が前記基板支持部の後側に位置して前記シート供給体から供給される前記シートが前記基板支持部の上面側に設置されるシート設置位置と、前記シート保持部が前記基板支持部の前側に位置するシート設置準備位置との間で揺動可能な部品圧着装置におけるシート設置ユニットの取付け方法であって、
前記ベース部を、前記ヘッド部が前記シート設置準備位置に位置した状態で前記基台に取り付ける第１工程と、
前記ヘッド部を前記シート設置位置へ揺動させることで前記シートを前記基板支持部の上面側に設置する第２工程とを含むシート設置ユニットの取付け方法。
【請求項１１】
前記基板支持部に対して相対的に固定して設けられ、前記シート保持部に前記シートの送り動作を行わせるシート送り駆動部を有し、前記ヘッド部を前記シート設置位置へ揺動させることで前記シート保持部が前記シート送り駆動部と連結可能となる請求項１０に記載のシート設置ユニットの取付け方法。
【請求項１２】
前記第２工程により前記シート設置位置に位置した前記ヘッド部をロック部により前記基板支持部に対して相対的に固定する第３工程を含む請求項１０または１１に記載のシート設置ユニットの取付け方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板支持部により支持した基板に部品を熱圧着する部品圧着装置、部品圧着装置に取り付けられるシート設置ユニットおよびシート設置ユニットの取付け方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネル等の基板に部品を圧着する部品圧着装置は、基板支持部により基板の端部を下方から支持したうえで、基板支持部の上方で熱圧着ツールを上下動作させることで、基板に部品を熱圧着する構成となっている。このような部品圧着装置では、厚さの異なる基板に部品を熱圧着する場合に、熱圧着ツール側の加熱温度に応じて熱圧着ツールを構成する部品の平行度の調整を行う必要がある。この平行度の調整は作業者にとって面倒な作業であるが、基板支持部の上面に（すなわち基板支持部と基板との間に）シートを設置することで、その作業を容易にできることが知られている（例えば、下記の特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１１５８９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、基板支持部の上面にシートを設置して部品の圧着を行うと、熱圧着ツールから伝達される熱によって基板の温度が過剰に高くなるという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、熱圧着ツールから伝達される熱により基板の温度が過剰に高くなる事態を防止できる部品圧着装置、シート設置ユニットおよびシート設置ユニットの取付け方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の部品圧着装置は、基台と、前記基台に設けられて基板の端部を下方から支持する基板支持部と、前記基板支持部の上方で上下動作することにより前記基板支持部に支持された前記基板に部品を熱圧着する熱圧着ツールと、前記基台に着脱自在に取り付けられるシート設置ユニットとを有し、前記シート設置ユニットは、前記基板支持部の前側の領域からシートを供給するシート供給体と、前記シート供給体から供給される前記シートを前記基板支持部の後側で保持して前記シートを前記基板支持部の上面側に設置するシート保持部と、前記シートを冷却する冷却部とを備えた。
【０００７】
本発明のシート設置ユニットは、基台と、前記基台に設けられて基板の端部を下方から支持する基板支持部と、前記基板支持部の上方で上下動作することにより前記基板支持部に支持された前記基板に部品を熱圧着する熱圧着ツールとを備えた部品圧着装置の前記基台に着脱自在に取り付けられるシート設置ユニットであって、前記基板支持部の前側の領域からシートを供給するシート供給体と、前記シート保持体から供給される前記シートを前記基板支持部の後側で保持して前記シートを前記基板支持部の上面側に設置するシート保持部と、前記シートを冷却する冷却部とを備えた。
【０００８】
本発明のシート設置ユニットの取付け方法は、基台と、前記基台に設けられて基板の端部を下方から支持する基板支持部と、前記基板支持部の上方で上下動作することにより前記基板支持部に支持された前記基板に部品を熱圧着する熱圧着ツールと、前記基台に着脱自在に取り付けられるシート設置ユニットとを有し、前記シート設置ユニットは、前記基板支持部の前側の領域からシートを供給するシート供給体と、前記シート供給体から供給される前記シートを前記基板支持部の後側で保持して前記シートを前記基板支持部の上面側に設置するシート保持部と、前記シートを冷却する冷却部とを備え、前記シート設置ユニットは、前記基台に着脱自在に取り付けられるベース部と、前記ベース部に連結されて横方向に延びた軸部の軸線回りに揺動自在なヘッド部とを有し、前記シート保持部と前記冷却部は前記ヘッド部に設けられ、前記ヘッド部は、前記シート保持部が前記基板支持部の後側に位置して前記シート供給体から供給される前記シートが前記基板支持部の上面側に設置されるシート設置位置と、前記シート保持部が前記基板支持部の前側に位置するシート設置準備位置との間で揺動可能な部品圧着装置におけるシート設置ユニットの取付け方法であって、前記ベース部を、前記ヘッド部が前記シート設置準備位置に位置した状態で前記基台に取り付ける第１工程と、前記ヘッド部を前記シート設置位置へ揺動させることで前記シートを前記基板支持部の上面側に設置する第２工程とを含む。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、熱圧着ツールから伝達される熱により基板の温度が過剰に高くなる事態を防止できる部品圧着装置、シート設置ユニットおよびシート設置ユニットの取付け方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施の形態における部品圧着装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態における部品圧着装置の一部の側面図
【図３】本発明の一実施の形態における部品圧着装置の一部の斜視図
【図４】本発明の一実施の形態における部品圧着装置の一部の側面図
【図５】本発明の一実施の形態における部品圧着装置の一部の斜視図
【図６】本発明の一実施の形態における部品圧着装置が備えるシート設置ユニットの斜視図
【図７】本発明の一実施の形態における部品圧着装置の一部の側面図
【図８】本発明の一実施の形態における部品圧着装置の一部の側面図
【図９】本発明の一実施の形態における部品圧着装置の一部の斜視図
【図１０】本発明の一実施の形態における部品圧着装置が備えるバックアップステージの近傍の側面図
【図１１】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品圧着装置が備えるロック部の動作説明図
【図１２】本発明の一実施の形態における部品圧着装置が備えるシート送り駆動部を示す斜視図
【図１３】本発明の一実施の形態における部品圧着装置の基台にシート設置ユニットを取り付ける様子を示す斜視図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１および図２は本発明の一実施の形態における部品圧着装置１を示している。部品圧着装置１は、図示しない他の装置との間で部品実装ラインを構成しており、図示しないＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ）を介して部品ＢＨが搭載された基板ＫＢを上流工程側から搬入し、基板ＫＢに部品ＢＨを熱圧着して下流工程側に搬出する装置である。ここでは説明の便宜上、部品実装ラインにおける基板ＫＢの流れ方向である作業者ＯＰから見た部品圧着装置１の横方向（左右方向）をＸ軸方向とする。また、作業者ＯＰから見た部品圧着装置１の前後方向をＹ軸方向とし、上下方向をＺ軸とする。更に、作業者ＯＰから見た部品圧着装置１の手前側を前側とし、その反対側を後側と称する。
【００１２】
図２および図３において、基台１１のＹ軸方向のほぼ中間部の位置にはバックアップステージベース１２Ｂが設けられている。バックアップステージベース１２ＢはＸ軸方向に延びており、バックアップステージベース１２Ｂの上部には、Ｘ軸方向に延びた基板支持部としてのバックアップステージ１２が左右に２つ並んで設けられている（図３）。基台１１の後側の領域には門型フレーム１３が設けられており、バックアップステージ１２の上方には門型フレーム１３によって後側の端部が支持された天井部１４が配置されている。
【００１３】
図１、図２および図３において、天井部１４には圧着シリンダ１５が設けられている。圧着シリンダ１５は左右の２つのバックアップステージ１２に対応して左右に２つ設けられている。左側の圧着シリンダ１５は左側のバックアップステージ１２の上方に位置しており、右側の圧着シリンダ１５は右側のバックアップステージ１２の上方に位置している。
【００１４】
左右の２つの圧着シリンダ１５はそれぞれ、天井部１４の下方にピストンロッド１５Ｒを突出させている。左右の圧着シリンダ１５それぞれのピストンロッド１５Ｒの下端には熱圧着ツール１６が取り付けられている。このため、左側の圧着シリンダ１５がピストンロッド１５Ｒを作動させると左側の熱圧着ツール１６が左側のバックアップステージ１２の上方で上下動作し、右側の圧着シリンダ１５がピストンロッド１５Ｒを作動させると、右側の熱圧着ツール１６が右側のバックアップステージ１２の上方で上下動作する。各熱圧着ツール１６には加熱ヒータ（図示せず）が内蔵されている。加熱ヒータは、後述する部品ＢＨの熱圧着時において、熱圧着ツール１６を加熱する。
【００１５】
図１において、部品圧着装置１は、基台１１の前側の領域に基板設置部１７を備えている。基板設置部１７は、図示しない基板搬送部より搬送されてきた基板ＫＢ（部品ＢＨが搭載された基板ＫＢ）を受け取って所定位置に設置する機構であり、基板ＫＢをほぼ水平姿勢に保持する基板保持部１７ａと、基板保持部１７ａを移動させる保持部移動機構１７ｂを備えている。基板保持部１７ａは左右のバックアップステージ１２および熱圧着ツール１６に対応して２枚の基板ＫＢをＸ軸方向に並べて保持する。
【００１６】
図１、図２および図３において、基台１１には保護シート設置カセット１８が着脱自在に設けられている。図２に示すように、保護シート設置カセット１８は、外郭を形成するケース１８Ｃ内に、保護シート１８Ｓを供給する供給リール１８Ｒと、供給リール１８Ｒが供給する保護シート１８Ｓを引き出して後側へ送る保護シート送り部１８Ｍを備えている。保護シート設置カセット１８が基台１１に取り付けられた状態では、供給リール１８Ｒから引き出された保護シート１８Ｓが左右のバックアップステージ１２と熱圧着ツール１６との間に位置する（図２および図４）。保護シート１８Ｓが保護シート送り部１８Ｍによって後側に送られると、保護シート１８Ｓの熱圧着ツール１６の下方に位置する部分が更新される。
【００１７】
図３において、基台１１上の左右のバックアップステージ１２の前側の領域には複数のユニット取付け台１９が設けられている。これら複数のユニット取付け台１９には、シート設置ユニット２０が取り付けられている（図２および図５）。シート設置ユニット２０は、シートＳＨを供給するシート供給体ＳＴを左右に２つ備えており、これら２つのシート供給体ＳＴのそれぞれから供給されるシートＳＨを、左右のバックアップステージ１２それぞれの上面側に設置する。
【００１８】
図４、図５および図６において、シート設置ユニット２０は、ベース部２１、ヘッド部２２、シート保持部２３、冷却部２４およびロック部２５を備えている。ベース部２１は、Ｘ軸方向に並んで配置された４つのベース板２１ａ（左側の２つのベース板２１ａと右側の２つのベース板２１ａ）を備えている。各ベース板２１ａはＺ軸方向に延びた形状を有している。
【００１９】
図５および図６において、４つのベース板２１ａのうち左側の２つのベース板２１ａと右側の２つのベース板２１ａはそれぞれ、シート供給体ＳＴのＸ軸方向の寸法よりもやや大きい間隔でＸ軸方向に配置されている。４つのベース板２１ａは下端側に配置された下部ロッド２１ｂと上端側に配置された揺動軸２１ｃによって相互に連結されている。また、左側の２つのベース板２１ａと右側の２つのベース板２１ａはそれぞれ、Ｘ軸方向（左右方向）に延びた複数の連結部材２１ｄによって連結されている。シート設置ユニット２０は、下部ロッド２１ｂが基台１１上に設けられた複数のユニット取付け台１９の上面に設けられた溝部１９Ｍ（図３）に上方から載置されることでユニット取付け台１９に（すなわち基台１１に）取り付けられる。
【００２０】
図４および図６において、４つのベース板２１ａそれぞれの下端側には、上方に開口した溝状の供給体保持部２１Ｔが設けられている。シート供給体ＳＴはその中心をＸ軸方向に貫通して設けられた供給体回転軸ＳＪを有している。左側のシート供給体ＳＴは左側の２つのベース板２１ａに設けられた一対の供給体保持部２１Ｔに供給体回転軸ＳＪが保持され、右側のシート供給体ＳＴは右側の２つのベース板２１ａに設けられた一対の供給体保持部２１Ｔに供給体回転軸ＳＪが保持される。
【００２１】
図４、図５および図６において、ヘッド部２２はベース部２１の上部に設けられている。ヘッド部２２は、Ｘ軸方向に並んで配置された４つの側板２２ａ（左側の２つの側板２２ａと右側の２つの側板２２ａ）を有している。左側２つの側板２２ａは左側の２つのベース板２１ａの内側（外側であってもよい）に設けられており、右側の２つの側板２２ａは右側の２つのベース板２１ａの内側（外側であってもよい）に設けられている。
【００２２】
図６において、左側の２つの側板２２ａと右側の２つの側板２２ａはそれぞれ、Ｘ軸方向（左右方向）に延びた複数の連結ロッド２２ｂによって連結されている。これら４つの側板２２ａはその基端部が揺動軸２１ｃによってベース部２１に連結されており、ヘッド部２２の全体が横方向（Ｘ軸方向）に延びた軸部である揺動軸２１ｃの軸線回りに揺動自在になっている。
【００２３】
図４、図５および図６において、シート保持部２３はヘッド部２２に設けられている、シート保持部２３は、保持ローラ３１、ピンチローラ３２および被駆動ギヤ３３を備えている。保持ローラ３１はバックアップステージ１２の後側において４つの側板２２ａをＸ軸方向に貫通して延びており、Ｘ軸方向に延びた自身の軸線回りに回転自在である。４つの側板２２ａは保持ローラ３１によって連結されているため、４つの側板２２ａは一体となって揺動軸２１ｃの軸線回りに揺動自在である。
【００２４】
図４および図６において、ピンチローラ３２は、左側の２つの側板２２ａの間と、右側の２つの側板２２ａの間のそれぞれに設けられている。各ピンチローラ３２は、４つの側板２２ａに取り付けられた付勢手段３２Ｆによって保持ローラ３１に押し付けられている（図４）。
【００２５】
図４、図５および図６において、被駆動ギヤ３３は、４つの側板２２ａをＸ軸方向に貫通する保持ローラ３１の中間部、すなわち、４つの側板２２ａのうちの内側の２つの側板２２ａの間の部分に設けられている。被駆動ギヤ３３は保持ローラ３１に固定されている。従って被駆動ギヤ３３は、保持ローラ３１と一体に保持ローラ３１の回転軸線回りに回転する。
【００２６】
図４において、ベース部２１に保持されたシート供給体ＳＴから供給されるシートＳＨは、バックアップステージ１２の上方を通ってバックアップステージ１２の後側に延び、シート保持部２３によって（詳細には、保持ローラ３１とピンチローラ３２によって挟み込まれて）保持されている。すなわち、シート供給体ＳＴから供給されるシートＳＨは、バックアップステージ１２の後側においてシート保持部２３によって保持され、適度なテンションが与えられた状態でバックアップステージ１２の上面側に設置されるようになっている。
【００２７】
ヘッド部２２は、「シート設置位置」から「シート設置準備位置」へ揺動させることができ（図４→図７→図８）、また、「シート設置準備位置」から「シート設置位置」へ揺動させることができる（図８→図７→図４）。ここで「シート設置位置」とは、シート設置ユニット２０がユニット取付け台１９に取り付けられた状態で、シート保持部２３がバックアップステージ１２の後側に位置してシート供給体ＳＴから供給されるシートＳＨがバックアップステージ１２の上面側に設置される位置である（図４および図５）。また、「シート設置準備位置」とは、シート設置ユニット２０がユニット取付け台１９に取り付けられた状態で、シート保持部２３がバックアップステージ１２の前側に位置する位置である（図８および図９）。
【００２８】
図４、図７および図８において、ヘッド部２２を構成する各側板２２ａの揺動軸２１ｃの近傍位置には、Ｘ軸方向に突出した突起２２Ｔが設けられている。一方、ベース板２１ａの上端部には弧状のガイド溝２１Ｇが設けられている。各側板２２ａの突起２２Ｔはベース板２１ａのガイド溝２１Ｇ内に位置しており、ヘッド部２２が（すなわち側板２２ａが）揺動軸２１ｃの軸線回りに揺動すると、これに応じて突起２２Ｔがガイド溝２１Ｇ内を移動する。ヘッド部２２は、突起２２Ｔがガイド溝２１Ｇの一端側の縁部（上縁部）に当接した状態で「シート設置位置」に位置し（図４）、突起２２Ｔがガイド溝２１Ｇの他端側の縁部（下縁部）に当接した状態で「シート設置準備位置」に位置する（図８）。
【００２９】
図４、図５および図６において、左側の２つの側板２２ａと右側の２つの側板２２ａの間のそれぞれにはパネル部材２２Ｐが掛け渡されており、冷却部２４はこれら左右のパネル部材２２Ｐのそれぞれの下面（内面）側に取り付けられている。冷却部２４はここでは吹出し口２４Ｋから冷却空気Ａｉｒ（図１０）を吹き出す空気吹出し装置であり、吹出し口２４Ｋから吹き出す冷却空気Ａｉｒがバックアップステージ１２の上部に当たり、これによりシートＳＨ（特に、シートＳＨの、バックアップステージ１２の上面側に設置される部分）が冷却されるようにパネル部材２２Ｐに取り付けられている。なお、冷却部２４が吹き出す冷却空気Ａｉｒは常温の空気でもよいが、常温よりも低い温度の空気（冷気）であることが好ましい。
【００３０】
図５および図６において、ヘッド部２２を構成する４つの側板２２ａのうち、内側の２枚の側板２２ａの間には、これら２枚の側板２２ａを連結するロック部取付け板２２ＳがＸ軸方向に延びて設けられている。ロック部２５はこのロック部取付け板２２Ｓに取り付けられている。
【００３１】
図１１（ａ），（ｂ）において、ロック部２５は、つまみ部分４１とつまみ部分４１から延びた円筒部４２を備えている。つまみ部分４１はヘッド部２２が「シート設置位置」に位置した状態でロック部取付け板２２Ｓの前側に位置しており、円筒部４２はロック部取付け板２２Ｓを板厚方向に貫通して後側に延びている。円筒部４２の後側の端部には雄螺子（図示せず）が形成されている。
【００３２】
図３および図９において、バックアップステージベース１２Ｂの前側面には、前側に向けて開口したロック穴１２Ｈが設けられている。ロック穴１２Ｈの内壁にはロック部２５の雄螺子と螺合する雌螺子（図示せず）が形成されている。基台１１のユニット取付け台１９に取り付けられたシート設置ユニット２０のヘッド部２２が「シート設置位置」に位置した状態では、ロック部２５の円筒部４２ロック穴１２Ｈに前側から嵌入し（図１１（ａ））、円筒部４２の雄螺子がロック穴１２Ｈの雌螺子に螺合された状態で、ヘッド部２２をバックアップステージベース１２Ｂに固定（すなわちバックアップステージ１２に対して相対的に固定）している。
【００３３】
上記のようにしてヘッド部２２がバックアップステージベース１２Ｂに固定された状態では、ヘッド部２２を「シート設置位置」から「シート設置準備位置」の側へ揺動させることはできず、シート設置ユニット２０をユニット取付け台１９からのシート設置ユニット２０の取り外すこともできない。なお、ロック部２５側の雄螺子がロック穴１２Ｈ側の雌螺子に螺合された状態では、ロック部取付け板２２Ｓの後面はバックアップステージベース１２Ｂの前面に密着する。このためヘッド部２２はバックアップステージベース１２Ｂに対して安定した状態で固定される。
【００３４】
作業者ＯＰは、ヘッド部２２を「シート設置位置」から「シート設置準備位置」に移動（揺動）させるときには、つまみ部分４１を円筒部４２の軸回りに回転させて円筒部４２の雄螺子とロック穴１２Ｈの雌螺子の螺合を解いたうえで、ヘッド部２２を手前側に引き寄せればよい。
【００３５】
図２、図３、図４および図５において、バックアップステージベース１２Ｂの後側にはシート送り駆動部５０が設けられている。シート送り駆動部５０は、図１２に示すように、バックアップステージベース１２Ｂの後側の面に取り付けられたブラケット５１に、シート送りモータ５２、駆動ギヤ５３およびアイドルギヤ５４を備えた構成となっている。
【００３６】
図１２において、巻取りモータ５２は駆動軸５２ＪをＸ軸方向に向けており、駆動ギヤ５３は巻取りモータ５２の駆動軸５２Ｊに取り付けられている。アイドルギヤ５４は、ブラケット５１からＸ軸方向に（すなわち巻取りモータ５２の駆動軸５２Ｊと平行に）延びた支持シャフト５５に回転自在に取り付けられており、駆動ギヤ５３と噛合している。このためシート送りモータ５２を作動させて駆動ギヤ５３をＸ軸回りに回転させると、アイドルギヤ５４が駆動ギヤ５３とは反対方向に回転する。
【００３７】
ヘッド部２２が有する被駆動ギヤ３３は、シート設置ユニット２０が基台１１に取り付けられてヘッド部２２が「シート設置位置」に位置した状態で、シート送り駆動部５０が有するアイドルギヤ５４と噛合している。この状態でシート送り駆動部５０のシート送りモータ５２が作動して駆動ギヤ５３を回転させると、アイドルギヤ５４を介して被駆動ギヤ３３が回転駆動され、保持ローラ３１が回転する。保持ローラ３１が回転すると、保持ローラ３１とピンチローラ３２とによって挟み込まれたシートＳＨが後側に送られ、シート供給体ＳＴからシートＳＨが新たに引き出されることによって、シートＳＨのうち、バックアップステージ１２の上方に位置する部分が更新される。
【００３８】
シート送り駆動部５０によって後側に送られたシートＳＨは自重で垂れ、バックアップステージ１２の後側に設置されたシートガイド６１を経てシュータ６２（図２）から部品圧着装置１の外部に排出される。保護シート設置カセット１８から排出される保護シート１８Ｓも、シートガイド６１を経てシュータ６２から部品圧着装置１の外部に排出される（図２）。
【００３９】
シート設置ユニット２０を基台１１に取り付ける手順（シート設置ユニットの取付け方法）では、作業者ＯＰは、先ず、ヘッド部２２を「シート設置準備位置」に位置させた状態で（図８および図９）、ベース部２１を基台１１上（詳細には、バックアップステージ１２の前側の領域に設けられた複数のユニット取付け台１９）に取り付ける（第１工程。図１３）。そして、ベース部２１に保持させたシート供給体ＳＴからシートＳＨを引き出して、その引き出したシートＳＨの先端部を、保持ローラ３１とピンチローラ３２によって挟み込む作業（シート設置準備作業と称する）を行う。
【００４０】
作業者ＯＰは、上記のシート設置準備作業を行ったら、ヘッド部２２を「シート設置準備位置」から「シート設置位置」に揺動させる（図８→図７→図４）。これによりシート保持部２３がバックアップステージ１２の前側から後側へ弧状の軌道で移動し、シート供給体ＳＴから引き出されてシート保持部２３に保持されたシートＳＨが、バックアップステージ１２の上面側に設置される（第２工程。図４および図５）。
【００４１】
また、ヘッド部２２を「シート設置準備位置」から「シート設置位置」に揺動させると、ヘッド部２２側の被駆動ギヤ３３がシート送り駆動部５０側のアイドルギヤ５４と噛み合う。これによりシート保持部２３がシート送り駆動部５０に連結され、シート送り駆動部５０によるシート保持部２３の駆動が可能となる。
【００４２】
作業者ＯＰは、上記のようにしてヘッド部２２を「シート設置位置」に位置させたらロック部２５を操作し、円筒部４２をロック穴１２Ｈに嵌入させた後（図１１（ａ）中に示す矢印Ｐ）、円筒部４２の軸回りに回転させて（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｎ）、円筒部４２の雄螺子をロック穴１２Ｈの雌螺子にねじ込む。これにより「シート設置位置」に位置したヘッド部２２がバックアップステージベース１２Ｂに固定（バックアップステージ１２に対して相対的に固定）された状態となる（第３工程）。
【００４３】
このように、本実施の形態では、ヘッド部２２を「シート設置準備位置」に位置させてシート保持部２３がバックアップステージ１２の前側に位置した状態でシート設置準備作業を行うことができる。また、シート設置準備作業の後、ヘッド部２２を揺動させるだけでバックアップステージ１２の上面側へシートＳＨを設置できる。このため作業者ＯＰはシートＳＨの設置作業を大変容易に行うことができる。
【００４４】
上記手順によりシート設置ユニット２０を基台１１に設置したら、部品圧着装置１による部品圧着作業が実行可能となる。部品圧着装置１は、部品圧着作業を実行するときは、先ず、基板設置部１７が、部品実装ラインの上流工程側より前述の図示しない基板搬送部により搬送されてきた２枚の基板ＫＢを受け取って保持し、左右のバックアップステージ１２の前側に位置させる。そして、２枚の基板ＫＢを後側に移動させ、ＡＣＦを介して部品ＢＨが搭載されている後側の端部を左右のバックアップステージ１２の上面に位置させる。このとき基板ＫＢは、シート設置ユニット２０によってバックアップステージ１２の上面側に設置されたシートＳＨを介してバックアップステージ１２に支持される。
【００４５】
２枚の基板ＫＢが左右のバックアップステージ１２に支持されたら、圧着シリンダ１５が熱圧着ツール１６を下降させる。これにより基板ＫＢの端部に搭載されていた部品ＢＨが基板ＫＢに押し付けられる。このとき熱圧着ツール１６は図示しない加熱ヒータによって加熱されており、部品ＢＨを通じてＡＣＦを軟化させることで部品ＢＨを基板ＫＢに圧着する。
【００４６】
熱圧着ツール１６が部品ＢＨを基板ＫＢに押圧するとき、熱圧着ツール１６は保護シート設置カセット１８が供給する保護シート１８Ｓを押し下げて部品ＢＨに上方から当接する（図４に一点鎖線で示す熱圧着ツール１６参照）。このため熱圧着ツール１６は基板ＫＢや部品ＢＨとは直接接触せず、熱圧着ツール１６が部品ＢＨの縁からはみ出たＡＣＦによって汚れることが防止される。
【００４７】
熱圧着ツール１６による部品ＢＨの基板ＫＢへの熱圧着の際、基板ＫＢはシート設置ユニット２０によってバックアップステージ１２の上面側に設置されたシートＳＨを介してバックアップステージ１２の上面に押し付けられる。これにより基板ＫＢは熱圧着ツール１６により加熱されるが、本実施の形態では、熱圧着ツール１６による部品ＢＨの熱圧着作業時には、冷却部２４から冷却空気Ａｉｒを吹き出させるようになっている。
【００４８】
前述したように、シート設置ユニット２０のヘッド部２２が「シート設置位置」に位置された状態では、冷却部２４が吹出し口２４Ｋから吹き出す冷却空気Ａｉｒはバックアップステージ１２の上部に当たり、これによりシートＳＨ（特に、シートＳＨの、バックアップステージ１２の上面側に設置される部分）が冷却されるので、シートＳＨと接触した基板ＫＢが適度に冷却される。このため熱圧着作業中に熱圧着ツール１６から基板ＫＢに熱が伝達されても基板ＫＢの温度が過剰に高くなることはなく、基板ＫＢの温度が過剰に高くなることによって生じ得る種々の弊害の発生を未然に防止することができる。
【００４９】
部品ＢＨが基板ＫＢに圧着されたら圧着シリンダ１５は熱圧着ツール１６を上昇させる。熱圧着ツール１６が上昇したら基板設置部１７は２枚の基板ＫＢをバックアップステージ１２の前側に移動させ、基板搬送部に受け渡す。基板搬送部は基板設置部１７より２枚の基板ＫＢを受け取ったら、その２枚の基板ＫＢを部品実装ラインの下流工程側に搬出する。
【００５０】
以上説明したように、本実施の形態における部品圧着装置１では、基台１１に着脱自在に取り付けられてシート供給体ＳＴを保持するとともに、シート供給体ＳＴから供給されるシートＳＨをバックアップステージ１２の上面側に設置するシート設置ユニット２０に、シートＳＨに冷却空気Ａｉｒを吹き付けてシートＳＨを冷却する冷却部２４が備えられている。このため熱圧着ツール１６による基板ＫＢへの部品ＢＨの熱圧着作業中に冷却部２４によりシートＳＨを冷却することでシートＳＨを通じて基板ＫＢを冷却することができ、基板ＫＢの温度が過剰に高くなる事態を防止できる。
【００５１】
また本実施の形態では、シート設置ユニット２０は、基台１１に着脱自在に取り付けられるベース部２１と、２１ベース部に連結されて横方向に延びた軸部（揺動軸２１ｃ）の軸線回りに揺動自在なヘッド部２２を有しており、シート保持部２３と冷却部２４はヘッド部２２に設けられた構成となっている。そして、ヘッド部２２は、シート保持部２３がバックアップステージ１２の後側に位置してシート供給体ＳＴから供給されるシートＳＨがバックアップステージ１２の上面側に設置される「シート設置位置」と、シート保持部２３がバックアップステージ１２の前側に位置する「シート設置準備位置」との間で揺動可能となっている。このため、ヘッド部２２を「シート設置準備位置」に位置させた状態でシート設置ユニット２０を基台１１に取り付けた後、ヘッド部２２を「シート設置位置」へ揺動させるだけで、シートＳＨをバックアップステージ１２の上面側に設置することでき、シートＳＨの設置および冷却部２４のバックアップステージ１２に対する位置決めを極めて容易に行うことができる。
【００５２】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されず、種々の変形等が可能である。例えば、上述の実施の形態では、冷却部２４はシートＳＨに空気を吹き付けてシートＳＨを冷却する構成であったが、シートＳＨを冷却できるものであれば他の構成であってもよい。また、上述の実施の形態では、シート設置ユニット２０のヘッド部２２が横方向に延びた軸部（揺動軸２１ｃ）の軸線回りに揺動する構成であったが、これはシート設置準備作業とその後のシートＳＨのバックアップステージ１２の上面側への設置作業とを行い易かったからであり、必ずしもヘッド部２２が揺動自在になっていなければならないわけではない。また、「シート設置位置」に位置したヘッド部２２をバックアップステージ１２に対して相対的に固定するロック部２５の構成は上述したものに限られず、その他の構成を採用することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
熱圧着ツールから伝達される熱により基板の温度が過剰に高くなる事態を防止できる部品圧着装置、シート設置ユニットおよびシート設置ユニットの取付け方法を提供する。
【符号の説明】
【００５４】
１  部品圧着装置
１１  基台
１２  バックアップステージ（基板支持部）
１６  熱圧着ツール
２０  シート設置ユニット
２１  ベース部
２１ｃ  揺動軸（軸部）
２２  ヘッド部
２３  シート保持部
２４  冷却部
２５  ロック部
５０  シート送り駆動部
ＳＴ  シート供給体
ＳＨ  シート
Ａｉｒ  冷却空気
ＫＢ  基板
ＢＨ  部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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