(57)【要約】【課題】止水性能と長期耐久性の両立を図ることが可能なダイヤフラムバルブを提供すること。【解決手段】ダイヤフラムバルブ１０では、ダイヤフラム１２は、第１隔膜部材２１０と、第２隔膜部材２２０と、を有する。第１隔膜部材２１０は、流路２４側に配置され、フッ素系樹脂を含む。第２隔膜部材２２０は、第１隔膜部材２１０の流路２４と反対側に配置され、弾性樹脂を含む。ダイヤフラム１２のうち隔膜ボルト６５が固定されている隔膜中央部７１０の周縁に設けられた隔膜周縁部７２０における第１隔膜部材２１０の厚みをａとし、第２隔膜部材２２０の厚みをｂとすると、０．１５≦ａ／ｂ≦０．３７５を満たす。【選択図】図８Ｂ
2020153519.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に形成された流路に当接部が設けられた弁本体と、
前記弁本体に配置され、前記当接部に接触することにより前記流路を閉塞する隔膜と、
前記隔膜を駆動する駆動機構と、
前記隔膜と前記駆動機構を連結する連結部材と、を備え、
前記隔膜は、前記流路側に配置され、フッ素系樹脂を含む第１層と、前記第１層の前記流路と反対側に配置され、弾性樹脂を含む第２層と、を有し、
前記隔膜のうち前記連結部材が固定されている固定部分の周縁に設けられた周縁部分における前記第１層の厚みをａとし、前記第２層の厚みをｂとすると、０．１５≦ａ／ｂ≦０．３７５を満たす、
ダイヤフラムバルブ。
【請求項２】
前記第１層の厚みａは、１．８ｍｍ以下である、
請求項１に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項３】
前記隔膜の前記流路側の面には、前記当接部に向かって突出した突条部が設けられており、
前記第１層の厚みａは、前記周縁部分のうち前記突条部以外の部分の厚みである、
請求項１に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項４】
前記連結部材は、前記固定部分における前記第１層または前記第２層に固定されている、
請求項１に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項５】
前記固定部分の厚みは、前記周縁部分の厚みよりも大きい、
請求項１〜４のいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項６】
前記隔膜の外周縁部を前記弁本体と挟むことによって前記隔膜を固定する蓋部を更に備え、
前記隔膜は、前記外周縁部と、前記外周縁部の内側の隔膜部と、前記流路側の面に設けられ、前記当接部に向かって突出した突条部と、を有し、
前記弁本体は、前記外周縁部が載置される載置部と、前記当接部の両端に設けられ、前記載置部と前記当接部を繋ぐ本体側肩部と、を有し、
前記突条部は、前記本体側肩部に対応する肩部と、前記肩部の間に設けられた主部と、を有し、前記肩部は、前記主部よりも高く形成されている、
請求項１、２、および４のいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項７】
前記隔膜の外周縁部を前記弁本体と挟むことによって前記隔膜を固定する蓋部を更に備え、
前記隔膜は、
前記外周縁部の前記弁本体側に周方向に設けられ、前記弁本体に接触する周縁凸部と、
前記隔膜の前記弁本体側であって前記周縁凸部の内側に前記当接部に沿って形成された突条部と、を有し、
前記突条部は、両端の各々に設けられ前記周縁凸部に接続する端部と、前記端部の間に設けられた中央部と、を有し、
前記端部は、前記中央部から前記周縁凸部に向かうに従って幅が広くなるように形成されている、
請求項１、２、および４のいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項８】
前記隔膜の外周縁部を前記弁本体と挟むことによって前記隔膜を固定する蓋部を更に備え、
前記隔膜は、
前記外周縁部の前記弁本体側に周方向に設けられ、前記弁本体に接触する周縁凸部を有し、
前記周縁凸部は、前記外周縁部側に配置された第１基端部と、前記第１基端部の前記弁本体側に配置された第１先端部と、を有し、
前記第１基端部の幅をＬａ１とし、前記第１先端部の幅をＬｂ１とすると、Ｌａ１＞Ｌｂ１を満たす、
請求項１、２、および４のいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項９】
前記隔膜は、前記外周縁部の内側に設けられた中央部と、前記中央部の前記当接部側に設けられ、前記当接部に当接可能な突条部と、を有し、
前記突条部は、
前記外周縁部側に配置された第２基端部と、前記第２基端部の前記弁本体側に配置された第２先端部と、を有し、
前記第２基端部の幅をＬａ２とし、前記第２先端部の幅をＬｂ２とすると、Ｌａ２＞Ｌｂ２を満たす、
請求項８に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項１０】
前記当接部は、前記流路の流通方向に対して垂直な平面において前記隔膜側に凹状に湾曲した第１本体側湾曲部および第２本体側湾曲部を含み、
前記駆動機構は、
前記流路の流通方向に対して垂直な平面において前記当接部側に凸状に湾曲した第１押圧側湾曲部および第２押圧側湾曲部を持ち、前記隔膜を前記当接部に押圧する押圧部を有し、
前記押圧部によって前記隔膜が前記当接部に押圧された状態において、前記第１本体側湾曲部は前記第１押圧側湾曲部と対向し、前記第１本体側湾曲部の湾曲の中心は、前記第１押圧側湾曲部の湾曲の中心と一致し、前記第２本体側湾曲部は前記第２押圧側湾曲部と対向し、前記第２本体側湾曲部の湾曲の中心は、前記第２押圧側湾曲部の湾曲の中心と一致する、
請求項１〜９のいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイヤフラムバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
水処理、化学、食品などのプラントにおける配管ラインには、ダイヤフラムバルブが設けられており、ダイヤフラムバルブによって、配管を流れる流体の制御が行われる（例えば特許文献１参照。）。
【０００３】
特許文献１に示すダイヤフラムバルブでは、ダイヤフラムは、コンプレッサに隔膜ボルトを用いて保持されている。ダイヤフラムは、ゴム弾性体と、ゴム弾性体の液接触面側に配置されたフッ素系樹脂シートを組み合わせて構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−２８８２６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記ダイヤフラムバルブの長期耐久性を向上させるためにフッ素系樹脂シートの厚みを厚くすると、フッ素系樹脂シートが変形し難くなるため、コンプレッサからフッ素系樹脂シートへ力を伝達し易くするようにゴム弾性体の厚みを薄くする必要があった。
【０００６】
しかしながら、シートのゴム弾性体の厚みを薄くしすぎると、コンプレッサからフッ素系樹脂シートへの力が分散し、止水性能が低減する場合があった。
【０００７】
本発明の目的は、上記従来の課題を考慮し、止水性能と長期耐久性の両立を図ることが可能なダイヤフラムバルブを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、第１の発明にかかるダイヤフラムバルブは、弁本体と、隔膜と、駆動機構と、連結部材と、を備える。弁本体の内部に形成された流路に当接部が設けられている。隔膜は、弁本体に配置され、当接部に接触することにより流路を閉塞する。駆動機構は、隔膜を駆動する。連結部材は、隔膜と駆動機構を連結する。隔膜は、第１層と、第２層と、を有する。第１層は、流路側に配置され、フッ素系樹脂を含む。第２層は、第１層の流路と反対側に配置され、弾性樹脂を含む。隔膜のうち連結部材が固定されている固定部分の周縁に設けられた周縁部分における第１層の厚みをａとし、第２層の厚みをｂとすると、０．１５≦ａ／ｂ≦０．３７５を満たす。
【０００９】
本発明者らは、フッ素系樹脂を含む第１層と弾性樹脂を含む第２層の厚みの比率を上記
範囲内に設定することによって、止水性能と長期耐久性能のバランスを保ち両立を図ることができることを見出した。
【００１０】
第２の発明にかかるダイヤフラムバルブは、第１の発明にかかるダイヤフラムバルブであって、第１層の厚みａは、１．８ｍｍ以下である。
【００１１】
これにより、第１層の厚みが厚くなり過ぎず止水性能を確保することができる。
第３の発明にかかるダイヤフラムバルブは、第１の発明にかかるダイヤフラムバルブであって、隔膜の流路側の面には、当接部に向かって突出した突条部が設けられている。第１層の厚みａは、周縁部分のうち突条部以外の部分の厚みである。
【００１２】
これにより、止水性能と長期耐久性能のバランスを保ち両立させることができる。
第４の発明にかかるダイヤフラムバルブは、第１の発明にかかるダイヤフラムバルブであって、連結部材は、固定部分における第１層または第２層に固定されている。
【００１３】
これによって、駆動機構によって隔膜を駆動することができる、なお、連結部材が第１層に固定されている場合は、連結部材は第２層を貫通して、第１層に挿入されており、第１層の駆動とともに第２層も駆動する。一方、連結部材が第２層に固定されている場合は、第１層は第２層に接着されており、第２層の駆動とともに第１層も駆動する。
【００１４】
第５の発明にかかるダイヤフラムバルブは、第１〜第４のいずれかの発明にかかるダイヤフラムバルブであって、固定部分の厚みは、周縁部分の厚みよりも大きい、
これによって、隔膜の主たる変形箇所である固定部分の耐久性を向上することができる。
【００１５】
第６の発明にかかるダイヤフラムバルブは、第１、２、または４の発明にかかるダイヤフラムバルブであって、蓋部を更に備える。蓋部は、隔膜の外周縁部を弁本体と挟むことによって隔膜を固定する。隔膜は、外周縁部と、外周縁部の内側の隔膜部と、流路側の面に設けられ、当接部に向かって突出した突条部と、を有する。弁本体は、外周縁部が載置される載置部と、当接部の両端に設けられ、載置部と当接部を繋ぐ本体側肩部と、を有する。突条部は、本体側肩部に対応する肩部と、肩部の間に設けられた主部と、を有し、肩部は、主部よりも高く形成されている。
【００１６】
このように、止水するための突条部の両端の肩部での高さを主部よりも高くしたので、閉じた状態での突条部の両端の肩部での弾性層の圧縮量を増大させることができ、当接部の両端の本体側肩部と突条部の両端の肩部との間のシール性を高めることができ、流路を確実に遮断することができる。
【００１７】
第７の発明にかかるダイヤフラムバルブは、第１、２、または４の発明にかかるダイヤフラムバルブであって、蓋部を更に備える。蓋部は、隔膜の外周縁部を弁本体と挟むことによって隔膜を固定する。隔膜は、外周縁部の弁本体側に周方向に設けられ、弁本体に接触する周縁凸部と、隔膜の弁本体側であって周縁凸部の内側に当接部に沿って形成された突条部と、を有する。突条部は、両端の各々に設けられ周縁凸部に接続する端部と、端部の間に設けられた中央部と、を有する。端部は、中央部から周縁凸部に向かうに従って幅が広くなるように形成されている。
【００１８】
流路を開閉する際にダイヤフラムが凹状態および凸状態になるときに、この端部が負荷のかかる屈曲点となるが、端部を中央部から周縁凸部に向かうに従って幅が広くなるように形成することにより、折り目が付きにくく、ひいては剥離、破断しにくくなるため、長期耐久性が向上する。
【００１９】
また、突条部から周縁凸部に向かうに従って幅が広くなるように突条部の端部を形成することによって、突条部の両端の接触面積を増やすことができる。これにより、隔膜揺動時にも突条部の端部が弁本体と接触することができ、突条部と弁本体の間で発生する面圧ばらつきを抑制することができる。
【００２０】
このため、突条部の両端に合わせて軸荷重を大きくする必要がなく止水に必要な軸荷重を低減することができ、隔膜内部で発生する応力も抑制できるので、長期耐久性能を向上させることが可能となる。
【００２１】
第８の発明にかかるダイヤフラムバルブは、第１、２、または４の発明にかかるダイヤフラムバルブであって、蓋部を更に備える。蓋部は、隔膜の外周縁部を弁本体と挟むことによって隔膜を固定する。隔膜は、外周縁部の弁本体側に周方向に設けられ、弁本体に接触する周縁凸部を有する。周縁凸部は、外周縁部側に配置された第１基端部と、第１基端部の弁本体側に配置された第１先端部と、を有する。第１基端部の幅をＬａ１とし、第１先端部の幅をＬｂ１とすると、Ｌａ１＞Ｌｂ１を満たす。
【００２２】
このように、周縁凸部に第１基端部と第１先端部を設け、第１基端部の幅Ｌａ１と、第１先端部の幅Ｌｂ１がＬａ１＞Ｌｂ１を満たすことによって、第１基端部によって蓋部からの圧縮力を受け、第１先端部によって止水するための力を受けることができる。第１基端部を第１先端部よりも幅を大きくすることにより、内圧負荷時にその内圧で第１基端部が大きく変形しないため、周縁凸部全体が大きく変形することなく止水することができる。また、第１先端部を第１基端部よりも幅を小さくすることにより、第１先端部は弱い力で変形するため、止水に必要な力を弱くすることができ、弁本体と蓋部による隔膜の圧縮力を小さくすることができる。
【００２３】
以上のように、周縁凸部全体が大きく変形することを防ぎ、止水に必要な圧縮力を小さくすることが出来るため、隔膜に発生する応力が低くなり、繰り返し開閉の耐久性を向上することが可能となる。
【００２４】
第９の発明にかかるダイヤフラムバルブは、第８の発明にかかるダイヤフラムバルブであって、隔膜は、外周縁部の内側に設けられた中央部と、中央部の当接部側に設けられ、当接部に当接可能な突条部と、を有する。突条部は、外周縁部側に配置された第２基端部と、第２基端部の弁本体側に配置された第２先端部と、を有する。第２基端部の幅をＬａ２とし、第２先端部の幅をＬｂ２とすると、Ｌａ２＞Ｌｂ２を満たす。
【００２５】
このように、突条部に第２基端部と第２先端部を設け、第２基端部の幅Ｌａ２と、第２先端部の幅Ｌｂ２がＬａ２＞Ｌｂ２を満たすことによって、第２基端部によって蓋部やコンプレッサからの圧縮力を受け、第２先端部によって止水するための力を受けることができる。第２基端部を第２先端部よりも幅を大きくすることにより、内圧負荷時にその内圧で第２基端部が大きく変形しないため、周縁凸部全体が大きく変形することなく止水することができる。また、第２先端部を第２基端部よりも幅を小さくすることにより、第１先端部は弱い力で変形するため、止水に必要な軸力を弱くすることができ、コンプレッサからの圧縮力を小さくすることができる。
【００２６】
以上のように、周縁凸部全体が大きく変形することを防ぎ、圧縮力を小さくすることが出来るため、隔膜に発生する応力が低くなり、繰り返し開閉の耐久性を向上することが可能となる。
【００２７】
第１０の発明にかかるダイヤフラムバルブは、第１〜９のいずれかの発明にかかるダイヤフラムバルブであって、当接部は、流路の流通方向に対して垂直な平面において隔膜側に凹状に湾曲した第１本体側湾曲部および第２本体側湾曲部を含む。駆動機構は、押圧部を有する。押圧部は、流路の流通方向に対して垂直な平面において当接部側に凸状に湾曲した第１押圧側湾曲部および第２押圧側湾曲部を持つ。押圧部によって隔膜が当接部に押圧された状態において、第１本体側湾曲部は第１押圧側湾曲部と対向し、第１本体側湾曲部の湾曲の中心は、第１押圧側湾曲部の湾曲の中心と一致し、第２本体側湾曲部は第２押圧側湾曲部と対向し、第２本体側湾曲部の湾曲の中心は、第２押圧側湾曲部の湾曲の中心と一致する。
【００２８】
押圧部に形成された湾曲部の中心と、それに対応して当接部に形成された湾曲部の中心が、押圧部によって隔膜が当接部に押圧された状態において一致することによって、当接部における応力集中箇所の発生を抑制することができる。
【００２９】
このため、押圧部から隔膜へ力が上手く伝達され止水性能を向上することができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、止水性能と長期耐久性の両立を図ることが可能なダイヤフラムバルブを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明にかかる実施の形態のダイヤフラムバルブの斜視図。
【図２】図１のダイヤフラムバルブの部分断面図。
【図３】図１の弁本体を上方から視た斜視図。
【図４】図３のＢＢ´間の矢示断面図。
【図５】図１のダイヤフラム、コンプレッサ、ステムおよびスリーブの関係を示す図。
【図６】図１のダイヤフラムユニットを隔膜ボルト側から視た斜視図。
【図７】図１のダイヤフラムユニットを隔膜ボルトの反対側から視た斜視図。
【図８Ａ】図１のダイヤフラムの底面図。
【図８Ｂ】図８ＡのＦＦ´間の矢視断面図。
【図８Ｃ】図８Ｂの第２隔膜部材の断面図。
【図８Ｄ】図８Ｂの第１隔膜部材の断面図。
【図８Ｅ】図１のダイヤフラムの突条部を含む部分断面図。
【図９】図１のＡＡ´間の矢示断面図。
【図１０】（ａ）図３の弁本体の開口部近傍を示す平面図、（ｂ）図９（ａ）の弁本体にダイヤフラムを載置した状態を示す平面図。
【図１１】図２の隔膜ボルトの斜視図。
【図１２】（ａ）図１のボンネットを上方から視た斜視図、（ｂ）図１１（ａ）のボンネットを下方から視た斜視図。
【図１３】（ａ）図５のコンプレッサを下方から視た底面図、（ｂ）図１１（ａ）のＣＣ´間の矢示断面図。
【図１４】（ａ）流路が閉鎖された状態を示す模式断面図、（ｂ）流路が開放された状態を示す模式断面図。
【図１５】図９の断面図において弁本体とコンプレッサを示した図。
【図１６】図９の断面図において弁本体とコンプレッサを示した図。
【図１７】本発明にかかる実施の形態の実施例の結果の表を示す図。
【図１８】（ａ）本発明にかかる実施の形態２のダイヤフラムを弁本体と反対側から視た斜視図、（ｂ）ダイヤフラムを裏側から視た斜視図。
【図１９Ａ】図１８のダイヤフラムの底面図。
【図１９Ｂ】図１９ＡのＧＧ´間の矢視断面図。
【図１９Ｃ】図１９ＡのＪ部拡大図。
【図１９Ｄ】図１９ＡのＫ部拡大図。
【図１９Ｅ】図１９ＡのＱＱ´間の矢視断面図であって端部の部分拡大図。
【図１９Ｆ】図１９ＡのＬ部拡大図。
【図２０】本発明にかかる実施の形態２の弁本体を示す斜視図。
【図２１】（ａ）図２０のＥＥ´間の矢視断面図、（ｂ）図２１（ａ）のＦ部拡大図。
【図２２】本発明にかかる実施の形態２のダイヤフラムバルブのダイヤフラムの周縁部近傍を示す断面図。
【図２３】（ａ）本発明にかかる実施の形態３のダイヤフラムを弁本体と反対側から視た斜視図、（ｂ）本発明にかかる実施の形態３のダイヤフラムを弁本体側から視た斜視図。
【図２４Ａ】図２３（ａ）のダイヤフラムの底面図。
【図２４Ｂ】図２４ＡのＮＮ´間の矢視断面図。
【図２４Ｃ】図２４ＡのＣ部拡大図。
【図２４Ｄ】図２４ＡのＤ部拡大図。
【図２５】本発明にかかる実施の形態の変形例におけるダイヤフラムユニットの構成を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明にかかる実施の形態におけるダイヤフラムバルブについて説明する。
＜１．構造＞
（１−１．ダイヤフラムバルブの概要）
図１は、本発明にかかる実施の形態のダイヤフラムバルブ１０の外観斜視図である。図２は、本実施の形態のダイヤフラムバルブ１０の部分断面構成図である。
【００３３】
本実施の形態のダイヤフラムバルブ１０は、図１および図２に示すように、弁本体１１と、ダイヤフラムユニット１５と、ボンネット１３（蓋部の一例）と、駆動機構１４と、を備えている。弁本体１１の両端に配管が接続される。弁本体１１には、流体が流れる流路２４が形成されている。ダイヤフラムユニット１５のダイヤフラム１２は、流路２４を開放または遮断する。ボンネット１３は、ダイヤフラムユニット１５を覆うように弁本体１１に取付けられている。駆動機構１４は、その一部がボンネット１３内に配置されており、ダイヤフラムユニット１５を駆動する。
【００３４】
（１−２．弁本体１１）
図３は、弁本体１１を後述する第１面３１側から視た斜視図である。図４は、図３のＢＢ´間の位置におけるダイヤフラムバルブ１０の矢示断面図である。
【００３５】
弁本体１１は、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＨＴ（耐熱塩化ビニル管）、ＰＰ（ポリプロピレン）、またはＰＶＣＦ（ポリフッ化ブニリデン）、ポリスチレン、ＡＢＳ樹脂、ポリテトラフルオロエチレン、パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、ポリクロロトリフロオロエチレン等の樹脂、または、鉄、銅、銅合金、真鍮、アルミニウム、ステンレス等の金属、または磁器などによって形成することができる。
【００３６】
弁本体１１は、図３に示すように、第１端部２１と、第２端部２２と、中央部２３と、流路２４と、を有する。
【００３７】
第１端部２１と第２端部２２と中央部２３は、一体的に形成されており、流路２４は、図４に示すように、第１端部２１、中央部２３および第２端部２２にわたって形成されている。
【００３８】
（１−２−１．第１端部２１、第２端部２２）
第１端部２１と第２端部２２は、図３〜図４に示すように、中央部２３を挟むように配置されており、中央部２３と繋がっている。
【００３９】
第１端部２１は、図３に示すように、流体が弁本体１１に流入する入口２４ａが形成されたフランジ２１３を有し、配管が接続可能である。
【００４０】
また、第２端部２２は、図４に示すように、弁本体１１から流体が排出される出口２４ｂが形成されたフランジ２２３を有し、配管が接続可能である。
【００４１】
フランジ２１３とフランジ２２３は、互いに対向して平行になるように形成されている。また、入口２４ａの位置と出口２４ｂの位置も対向している。フランジ２１３とフランジ２２３は、弁本体１１に対して別部品であってもよい。
【００４２】
（１−２−２．中央部２３）
中央部２３は、図３に示すように、第１端部２１と第２端部２２の間に設けられている。中央部２３は、第１面３１と、第２面３２（図４参照）と、壁部３３（図４参照）と、第１リブ３５と、第２リブ３６と、複数のボルト孔３７と、を有する。
【００４３】
第１面３１は、図３に示すように、略平面状であり、フランジ２１３とフランジ２２３に対して垂直に形成されている。第１面３１の中央には、開口部３１ａが形成されている。開口部３１ａは、その周縁が円形状に形成されている。
【００４４】
第１リブ３５は、図３および図４に示すように、ダイヤフラム１２の外周に沿うように第１面３１から突出して形成されている。第１リブ３５は、開口部３１ａの外周縁全体に亘って形成されている。第１リブ３５は、図３に示すように、円形状部３５１と、突出形状部３５２を有する。円形状部３５１は、開口部３１ａの外側であって開口部３１ａから所定の距離を空けて開口部３１ａの縁３１ａｅに沿って形成されている。突出形状部３５２は、円形状部３５１から外側に突出しており、概ね四角形状の外周をなぞるように形成されている。この突出形状部３５２の内側には、後述する図６に示すダイヤフラム１２の突出部１２５が配置される。
【００４５】
第１面３１は、図３に示すように、第１リブ３５と開口部３１ａの間に、ダイヤフラム１２の外周縁部１２１（後述する）が載置される載置部３１１を有する。第２リブ３６は、開口部３１ａの縁に沿って一周に亘って載置部３１１から突出して形成されている。第２リブ３６の高さは、リブ３５の高さよりも低く形成されている。
【００４６】
ボルト孔３７は、第１面３１の開口部３１ａの周囲であって、リブ３５よりもＹ方向外側に４つ形成されており、後述するボンネット１３のボルト孔１３４（図１２（ｂ）参照）と対向し、ボルト１００（図１参照）が挿入され、ボンネット１３が弁本体１１に固定される。
【００４７】
なお、入口２４ａから出口２４ｂを結ぶ線に沿った方向を第１方向Ｘ（流体の流通方向Ｘともいえる）とし、第１方向Ｘに対して垂直且つ第１面３１と平行な方向を第２方向Ｙ（幅方向Ｙともいえる）とする。第１方向Ｘは、フランジ２１３とフランジ２２３に対して垂直な直線に沿った方向ともいえる。また、後述するステム６３、コンプレッサ６１またはダイヤフラム１２の移動方向が矢印Ｚ（第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに垂直な方向）で示されている。
【００４８】
第２面３２は、図４に示すように、流路２４を挟んで第１面３１に対向する面である。第２面３２は、流路２４の形状に沿って形成されている。第２面３２は、中央部２３のボンネット１３が配置される側とは反対側の面である。
【００４９】
（１−２−３．流路２４）
流路２４は、図４に示すように、入口２４ａから出口２４ｂまで形成されている、壁部３３は、流路２４の中央に第１面３１に向かって突出して形成されている。壁部３３は、流路２４に傾斜を形成するように、流路２４の内面が第１面３１に向かって緩やかに盛り上がって形成されている。上述の開口部３１ａは、流路２４の途中に設けられている。また、開口部３１ａは、壁部３３に対応する位置に形成されている。
【００５０】
壁部３３の第１面３１側の先端である当接部３３ａには、後述するダイヤフラム１２が圧接する。当接部３３ａは、後述する図９に示すように、流通方向Ｘに対して垂直な平面において開口部３１ａ側に凹状に湾曲して形成されている。
【００５１】
流路２４は、図４に示すように、第１端部２１の入口２４ａから当接部３３ａまで形成されている入口側流路２４１と、第２端部２２の出口２４ｂから当接部３３ａまで形成されている出口側流路２４２と、入口側流路２４１と出口側流路２４２を連通する連通部２４３とを有する。
【００５２】
入口側流路２４１は、その内周面は湾曲して形成されており、図４に示すように、第１面３１と垂直な方向（駆動方向Ｚ）の幅が壁部３３に向かうに従って狭くなっている。一方、入口側流路２４１は、第１面３１と平行な方向の幅（図４における紙面に対して垂直な方向）は壁部３３に向かうに従って広くなっている。
【００５３】
出口側流路２４２は、その内周面は湾曲して形成されており、図４に示すように、第１面３１と垂直な方向の幅が壁部３３に向かうに従って狭くなっている。一方、出口側流路２４２は、第１面３１と平行な方向の幅（図４における紙面に対して垂直な方向）は壁部３３に向かうに従って広くなっている。
【００５４】
連通部２４３は、流路２４のうち壁部３３の第１面３１側の部分であり、入口側流路２４１と出口側流路２４２とを連通する。
【００５５】
第２面３２は、図４に示すように、入口側流路２４１に沿った入口側湾曲部３２１と、出口側流路２４２に沿った出口側湾曲部３２２とを有する。この入口側湾曲部３２１と出口側湾曲部３２２によって図４に示す壁部３３の第１面３１側への突出が形成されている。
【００５６】
なお、第２面３２には、補強用のリブ３８（図４参照）が設けられている。
（１−３．ダイヤフラムユニット１５）
図５は、ダイヤフラムユニット１５、ならびに後述するコンプレッサ６１、スリーブ６２およびステム６３等を示す斜視図である。図５には、ダイヤフラムユニット１５、コンプレッサ６１、スリーブ６２およびステム６３の中心軸Ｏが示されている。この中心軸Ｏは、第１面３１に対して垂直であり、後述するダイヤフラム１２、コンプレッサ６１およびステム６３の駆動方向と一致する。
【００５７】
図６は、ダイヤフラムユニット１５を隔膜ボルト６５側から視た斜視図である。図７は、ダイヤフラムユニット１５を隔膜ボルト６５の反対側から視た斜視図である。図８Ａはダイヤフラムユニット１５の底面図であり、図８Ｂは、図８ＡのＦＦ´間の矢示断面図である。
【００５８】
ダイヤフラムユニット１５は、ダイヤフラム１２と、隔膜ボルト６５を有している。ダイヤフラム１２は、駆動機構１４によって駆動され、流路２４を開閉する。隔膜ボルト６５は、ダイヤフラム１２に固定されており、駆動機構１４に連結されている。
【００５９】
（１−３−１．ダイヤフラム１２）
ダイヤフラム１２は、図２に示すように、開口部３１ａを塞ぐように第１面３１に配置されている。
【００６０】
図６および図７に示すように、ダイヤフラム１２は、隔膜部１２０と、外周縁部１２１と、突出部１２５と、リブ１２６と、溝部１２７と、を有する。
【００６１】
隔膜部１２０は、駆動機構１４によって上下動される。隔膜部１２０は、円形状であり、弁本体１１の開口部３１ａに対応する。
【００６２】
隔膜部１２０の当接部３３ａ側の面１２０ａには、図８Ａおよび図８Ｂに示すように、弁本体１１の壁部３３の当接部３３ａに向かって突出するように形成された突条部１２２が形成されている。突条部１２２は、第２方向Ｙに沿って形成されており、当接部３３ａに沿っている。隔膜部１２０の面１２０ａと反対側の面１２０ｂの中央部には、図８Ｂに示すように、ボンネット１３側に向かって突出した凸部１２４が形成されている。凸部１２４には、後述する隔膜ボルト６５がインサートされている。
【００６３】
隔膜部１２０は、隔膜中央部７１０と、隔膜周縁部７２０と、を有する。隔膜中央部７１０は、隔膜部１２０のうち中央に配置されている部分である。隔膜中央部７１０に、隔膜ボルト６５が挿入されて固定されている。隔膜周縁部７２０は、隔膜中央部７１０の周縁に設けられている。隔膜中央部７１０は、隔膜周縁部７２０より肉厚である。隔膜周縁部７２０は、部分球（球冠）状である。隔膜周縁部７２０が、ダイヤフラム１２の主たる変形箇所であり、流路２４を閉鎖するときには当接部３３ａに向かって凸状態に湾曲し、流路２４を開放するときには当接部３３ａに向かって凹状態に湾曲する。
【００６４】
図９は、図１のＡＡ´間の矢示断面図である。外周縁部１２１は、円環状であり、隔膜部１２０の隔膜周縁部７２０の外周に形成されており、図２および図９に示すように、後述するボンネット１３と弁本体１１によって挟まれている。
【００６５】
突出部１２５は、図６および図７に示すように、概ね直方体形状であり、外周縁部１２１から外側に向かって突出して形成されている。
【００６６】
リブ１２６は、図６および図８Ｂに示すように、外周縁部１２１の当接部３３ａとは反対側の面１２１ｂに周方向に沿って一周に亘って形成されており、図９に示すように、後述するボンネット１３の溝部１３８に嵌る。
【００６７】
溝部１２７は、外周縁部１２１の当接部３３ａ側の面１２１ａに周方向に沿って一周に亘って形成されており、図９に示すように、上述した弁本体１１の第２リブ３６に沿った形状であり、第２リブ３６が嵌る。リブ１２６と溝部１２７は対向する位置に形成されている。図９に示すように、溝部１２７に第２リブ３６が嵌ることによって、ダイヤフラム１２の位置ズレが規制される。
【００６８】
また、リブ３５が設けられていることによって、ダイヤフラム１２が弁本体１１とボンネット１３に圧縮された場合であってもダイヤフラム１２の外側へのフローが規制される。
【００６９】
なお、リブ３５の高さは、ダイヤフラム１２の膜厚よりも低く設定されている。これにより、弁本体１１とボンネット１３の間でダイヤフラム１２の外周縁部１２１を圧縮することができる。
【００７０】
図１０（ａ）は、弁本体１１の第１面３１を示す平面図である。図１０（ｂ）は、弁本体１１にダイヤフラムユニット１５を載置した状態を示す平面図である。図に示すように、リブ３５の内側であって溝部１２７がリブ３６に嵌るようにダイヤフラムユニット１５が載置される。ダイヤフラム１２の外周縁部１２１がリブ３５の内側の載置部３１１に配置される。また、突出部１２５が、リブ３５の突出形状部３５２の内側に配置されるようにダイヤフラム１２が載置される。これにより、ダイヤフラム１２の周方向における位置ズレが防止され、ダイヤフラム１２の突条部１２２を当接部３３ａに沿った位置に合わせることができる。
【００７１】
ダイヤフラム１２が後述する駆動機構１４によって下方に移動し、壁部３３の当接部３３ａに当接することによって連通部２４３を閉鎖して流路２４が閉じられる。また、ダイヤフラム１２が駆動機構１４によって上方に移動し、当接部３３ａからダイヤフラム１２が離間することによって流路２４が開放される。
【００７２】
また、ダイヤフラム１２は、図８Ｂに示すように、第１隔膜部材２１０と第２隔膜部材２２０によって形成されている。第１隔膜部材２１０は、ダイヤフラム１２の当接部３３ａ側を形成している。第２隔膜部材２２０は、ダイヤフラム１２の当接部３３ａと反対側を形成している。第１隔膜部材２１０は、第２隔膜部材２２０の隔膜ボルト６５が突出している面とは反対側の面に配置されているともいえる。第２隔膜部材２２０を貫通して第１隔膜部材２１０に隔膜ボルト６５が挿入されている。第２隔膜部材２２０から隔膜ボルト６５が駆動機構１４側（当接部３３ａと反対側）に突出している。
【００７３】
第１隔膜部材２１０の材質は、熱可塑性樹脂であり、例えば、フッ素系樹脂を用いることができる。フッ素系樹脂としては、例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）またはＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）を用いることができる。
【００７４】
第２隔膜部材２２０の材質は、ゴム状の弾性体であれば良く、特に限定されるものではない。また、第１隔膜部材２１０の材質とは異なるものが好ましい。例えば、エチレン・プロピレンゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、クロロスルフォン化ゴム、ニトリルゴム、スチレンブタジエンゴム、塩素化ポリエチレン、フッ素ゴム、ＥＰＤＭ（エチレン・プロピレン・ジエンゴム）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等が好適な材料として挙げられる。また、第２隔膜部材２２０には強度の高い補強布がインサートされていても良く、補強布はナイロン製であることが望ましい。これは、ダイヤフラムバルブの閉時にダイヤフラム１２に流体圧がかかったときにダイヤフラム１２の変形や破損を防止することが可能となるため好ましい。なお、エチレン・プロピレン・ジエンゴムを用いる場合には、他のゴムと比べ耐薬品性が高く、ＥＰＭなどと比較して加硫しやすいため容易に高強度の隔膜を得ることができる。
【００７５】
第１隔膜部材２１０を設けることにより、ゴム状の弾性体である第２隔膜部材２２０のみの場合と比較し、耐薬性能の向上が期待できる。また、第２隔膜部材２２０を設けることによって、ダイヤフラムバルブの駆動機構１４からの力を第１隔膜部材２１０に分散して伝達することができる。このため、第１隔膜部材２１０だけの場合よりも低い軸力（ハンドル６４の回転によってステム６３を介してコンプレッサ６１によってダイヤフラム１２´に付与される力）で高い圧縮力を得て止水することができる。また、第２隔膜部材２２０を弾性体であるゴムにすることで、ステム６３から与えられる軸力を、例えばフッ素隔膜である第１隔膜部材２１０へ応力分散させて伝えることができ、できるだけ小さな軸力で効率よく止水するために必要な力を得ることができる。また、第２隔膜部材２２０としてエチレン・プロピレン・ジエンゴムを用いた場合、他のゴムと比べ耐薬品性が高く、EPMなどと比較して加硫しやすいため容易に高強度のダイヤフラムを得ることができる。
【００７６】
図８Ｃは、第２隔膜部材２２０を示す断面図である。図８Ｄは、第１隔膜部材２１０を示す断面図である。
【００７７】
第１隔膜部材２１０は、図８Ｂおよび図８Ｄに示すように、突条部１２２、隔膜部１２０の面１２０ａ側の第１隔膜部分４１０、外周縁部１２１の面１２１ａ側の第１外周縁部分５１０、および溝部１２７を形成している。また、第１隔膜部分４１０は、隔膜中央部７１０の面１２０ａ側の部分を形成する第１隔膜中央部分４１１と、隔膜周縁部７２０の面１２０ａ側の部分を形成する第１隔膜周縁部分４１２と、を有する。
【００７８】
図８Ｅは、ダイヤフラム１２の突条部１２２を含む部分断面図である。なお、見やすくするために、ハッチングは省略している。
【００７９】
突条部１２２は、図８Ｅに示すように、幅方向の両端に設けられた肩部１２２ｓと、肩部１２２ｓの間に設けられた主部１２２ｔと、延長部１２２ｕと、を有している。
【００８０】
弁本体１１には、図９に示すように、当接部３３ａから載置部３１１を繋ぐように、当接部３３ａの両端に肩部３１２が設けられている。突条部１２２の肩部１２２ｓは、肩部３１２に対応するように配置される。延長部１２２ｕは、これら一対の肩部１２２ｓから径方向外側に直線状に延び、溝部１２７に達している。
【００８１】
これら肩部１２２ｓの高さＨ１は、主部１２２ｔの高さＨ２よりも高く形成されている。
【００８２】
第２隔膜部材２２０は、図８Ｂおよび図８Ｃに示すように、凸部１２４を含む隔膜部１２０の面１２０ｂ側の第２隔膜部分４２０、外周縁部１２１の面１２１ｂ側の第２外周縁部分５２０、およびリブ１２６を形成している。第２隔膜部分４２０は、隔膜中央部７１０の面１２０ｂ側の部分を形成する第２隔膜中央部分４２１と、隔膜周縁部７２０の面１２０ｂ側の部分を形成する第２隔膜周縁部分４２２と、を有する。
【００８３】
第２隔膜中央部分４２１は、凸部１２４を含んでおり、面１２０ｂの反対側の面の凸部１２４に対応する位置に凹部２２８が形成されている。また、第１隔膜中央部分４１１の面１２０ａの反対側の面の凸部１２４に対応する位置に凸部２２９が形成されており、凸部２２９が凹部２２８に嵌っている。
【００８４】
また、第１隔膜部材２１０の面１２１ａの反対側の面の第２隔膜部材２２０のリブ１２６に対応する位置にリブ２２６が形成されている。第２隔膜部材２２０の面１２１ｂの反対側の面には、第１隔膜部材２１０の溝部１２７に対応する位置に溝部２２７が形成されている。第１隔膜部材２１０のリブ２２６が第２隔膜部材２２０の溝部２２７に嵌っている。
【００８５】
第１隔膜部材２１０と第２隔膜部材２２０は接着加工されているほうが好ましいが、接着加工されていなくてもよい。この接着加工としては、接着剤（プライマー）または重合を用いて行うことができる。重合としては、ナトリウム重合またはプラズマ重合が挙げられる。
【００８６】
上述したように、隔膜部１２０の隔膜中央部７１０は、第１隔膜部材２１０の第１隔膜中央部分４１１と、第２隔膜部材２２０の第２隔膜中央部分４２１を有している。また、隔膜部１２０の隔膜周縁部７２０は、第１隔膜部材２１０の第１隔膜周縁部分４１２と、第２隔膜部材２２０の第２隔膜周縁部分４２２を有している。
【００８７】
ここで、第１隔膜部材２１０の第１隔膜周縁部分４１２の厚みをａとし、第２隔膜部材２２０の第２隔膜周縁部分４２２の厚みをｂとすると、以下の（式１）を満たすことが望ましい。
（式１）０．１５≦ａ／ｂ≦０．３７５
なお、厚みａは、第１隔膜周縁部分４１２の突条部１２２以外の部分の厚みである。
【００８８】
また、第１隔膜周縁部分４１２の厚みａは、２．０ｍｍ以下が好ましく、更に好ましくは１．８ｍｍ以下である。
【００８９】
（１−３−２．隔膜ボルト６５）
図１１は、隔膜ボルト６５を示す斜視図である。隔膜ボルト６５は、例えば金属製であり、ダイヤフラム１２を駆動機構１４に連結する。隔膜ボルト６５は、一端がダイヤフラム１２に埋め込まれており、他端がコンプレッサ６１に係止可能である。
【００９０】
隔膜ボルト６５は、柱状部７１と、挿入部７２と、一対の係止ピン７３と、を有する。
柱状部７１は、円柱形状であり、中心軸Ｏに沿って配置される。中心軸Ｏは、ダイヤフラム１２、コンプレッサ６１またはステム６３の駆動方向（後述する図１４（ａ）および図１４（ｂ）参照）に沿っているため、柱状部７１は、ダイヤフラム１２、コンプレッサ６１またはステム６３の駆動方向に沿って配置されているともいえる。
【００９１】
柱状部７１は、ダイヤフラム１２側に配置される第１端７１ａと、ステム６３側に配置される第２端７１ｂとを有する。
【００９２】
挿入部７２は、図８Ｂに示すように、ダイヤフラム１２の凸部１２４にインサート成形によって挿入されている。挿入部７２は、図１１に示すように、接続部９１と、４つの突出部９２ａ、９２ｂ、９２ｃ、９２ｄとを有する。接続部９１は、柱状部７１の第１端７１ａに接続されている。４つの突出部９２ａ、９２ｂ、９２ｃ、９２ｄは、接続部９１から中心軸Ｏに対して垂直方向に同じ長さ突出している。中心軸Ｏに対して垂直な平面視において、４つの突出部９２ａ、９２ｂ、９２ｃ、９２ｄは、９０度間隔で設けられており、挿入部７２は、十字状に配置されている。一対の突出部９２ａと突出部９２ｃが、中心軸Ｏを通る直線Ｌａに沿って接続部９１を挟んで配置されている。また、一対の突出部９２ｂと突出部９２ｄが、中心軸Ｏを通る直線Ｌｂに沿って接続部９１を挟んで配置されている。
【００９３】
突出部９２ａの先端９２ａｅから突出部９２ｃの先端９２ｃｅまで長さは、突出部９２ｂの先端９２ｂｅから突出部９２ｄの先端９２ｄｅまで長さと同じである。
【００９４】
一対の係止ピン７３は、柱状部７１の第２端７１ｂ側に設けられている。一対の係止ピン７３は、柱状部７１の側面から互いに反対側に突出している。一対の係止ピン７３がコンプレッサ６１の一対の切り欠き部６１６ｂ（図１３（ａ）参照）を通過するように、隔膜ボルト６５が、その第２端７１ｂ側から貫通孔６１６に挿入される。
【００９５】
その後、中心軸Ｏを中心にして隔膜ボルト６５を回転させてコンプレッサ６１に隔膜ボルト６５が取り付けられる。
【００９６】
（１−４．ボンネット１３）
ボンネット１３は、弁本体１１と同様に、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＨＴ（耐熱塩化ビニル管）、ＰＰ（ポリプロピレン）、またはＰＶＣＦ（ポリフッ化ブニリデン）、ポリスチレン、ＡＢＳ樹脂、ポリテトラフルオロエチレン、パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、ポリクロロトリフロオロエチレン等の樹脂、または、鉄、銅、銅合金、真鍮、アルミニウム、ステンレス等の金属、または磁器などによって形成することができる。
【００９７】
図１２（ａ）は、ボンネット１３の外観を示す斜視図である。図１２（ｂ）は、ボンネット１３を下方から視た斜視図である。図に示すように、ボンネット１３は、本体部１３１と、弁本体１１に固定される固定部１３２と、を有する。
【００９８】
本体部１３１は、ドーム状であって、図１２（ｂ）に示すように、その広がった端１３１ａを縁とする開口１３ａを有する。開口１３ａは、第１面３１の開口部３１ａに対応する。また、本体部１３１は、図１２（ａ）に示すように、その窄まった部分に貫通孔１３ｂを有する。貫通孔１３ｂは、開口１３ａに対向して形成されており、後述するスリーブ６２およびステム６３が配置される。
【００９９】
固定部１３２は、端１３１ａから外側に向かって突出するように形成されており、図１２（ｂ）および図９に示すように、複数のボルト孔１３４と、外側面１３５と、内側面１３６と、段差面１３７と、溝部１３８とを有する。
【０１００】
ボルト孔１３４は、固定部１３２に４つ形成されており、弁本体１１のボルト孔３７と対向し、ボルト１００（図１参照）が挿入され、ボンネット１３が弁本体１１に固定される。
【０１０１】
外側面１３５は、固定部１３２の弁本体１１側の面であって、外周に沿った部分である。内側面１３６は、外側面１３５の内側であって外側面１３５と開口１３ａの間に設けられている。内側面１３６は、外側面１３５よりもＺ方向において貫通孔１３ｂ側に位置しており、内側面１３６と外側面１３５の間には段差面１３７が形成されている。段差面１３７は、外側面１３５に対して概ね垂直に形成されている。外側面１３５は、図９に示すように、第１面３１と対向し、第１面３１上に配置される。リブ３５は、段差面１３７の内側に位置する。内側面１３６は、図９に示すように、リブ３５および載置部３１１に対向する。
【０１０２】
段差面１３７がリブ３５の外側に位置しているため、外側面１３５の内側縁１３５ａ（外側面１３５と段差面１３７の角ともいえる）は、図１２（ｂ）に示すように、円形状部１３５ｂと、突出形状部１３５ｃと、を有する。円形状部１３５ｂは、リブ３５の円形状部３５１（図３参照）の外側に位置し、突出形状部１３５ｃは、リブ３５の突出形状部３５２（図３参照）の外側に位置する。
【０１０３】
溝部１３８は、内側面１３６に開口１３ａに沿って周方向に一周にわたって形成されている。溝部１３８には、図９に示すように、ダイヤフラム１２のリブ１２６が嵌っており、ダイヤフラム１２の移動が規制される。
【０１０４】
（１−５．駆動機構１４）
駆動機構１４は、図２に示すように、コンプレッサ６１と、スリーブ６２と、ステム６３と、ハンドル６４と、を有する。
【０１０５】
（１−５−１．コンプレッサ６１）
コンプレッサ６１は、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）等によって形成されており、ダイヤフラムユニット１５の隔膜ボルト６５と連結されている。隔膜ボルト６５は、弁本体１１の反対側（非接液面側）に突出している。隔膜ボルト６５の突出した部分がコンプレッサ６１に係合されて、コンプレッサ６１とダイヤフラム１２は連結されている。
【０１０６】
図１３（ａ）は、コンプレッサ６１の底面図である。図１３（ｂ）は、コンプレッサ６１のＣＣ´間の矢示断面図である。
【０１０７】
コンプレッサ６１は、図１３（ａ）に示すように、底面から見て円状の中央部６１１と、中央部６１１から外側に向かって突出した複数の突出部６１２ａ、６１２ｂ、６１３ａ、６１３ｂ、６１４ａ、６１４ｂ、６１５ａ、６１５ｂを有している。
【０１０８】
中央部６１１には、図１３（ｂ）に示すように、孔部６１７と、凹部６１８と、貫通孔６１６が設けられている。孔部６１７は、円柱状の空間であり、中心軸Ｏを軸として形成されている。
【０１０９】
孔部６１７には、隔膜ボルト６５の係止ピン７３が配置される。また、孔部６１７には、後述するステム６３の先端部６３１が配置される。
【０１１０】
また、凹部６１８は、図１３（ｂ）に示すように、コンプレッサ６１の中央部６１１の当接部３３ａ側の面の中央に形成されている。凹部６１８は、底面視において略円柱形状の空間であり、中心軸Ｏを軸として形成されている。凹部６１８には、図９に示すように、ダイヤフラム１２の凸部１２４が挿入される。
【０１１１】
貫通孔６１６は、図１３（ｂ）に示すように、孔部６１７と凹部６１８を連通する。貫通孔６１６は、隔膜ボルト６５が挿入される。貫通孔６１６は、ダイヤフラム１２の駆動方向（中心軸Ｏ方向）に沿って形成されている。
【０１１２】
貫通孔６１６は、図１３（ａ）に示すように、円形孔部６１６ａと、円形孔部６１６ａの縁６１６ａｅから外側に向かって形成された一対の切り欠き部６１６ｂとを有する、一対の切り欠き部６１６ｂは、隔膜ボルト６５の係止ピン７３が挿入可能なように対向して形成されている。
【０１１３】
複数の突出部６１２ａ、６１２ｂ、６１３ａ、６１３ｂ、６１４ａ、６１４ｂ、６１５ａ、６１５ｂは、図１３（ａ）では、８個形成されており、等角度（約４５度）で形成されているため、２つずつが直径方向に対向する。すなわち、一対の突出部６１２ａと突出部６１２ｂが、円形孔部６１６ａの中心軸Ｏを通る直線に沿って中央部６１１を挟んで設けられている。また、一対の突出部６１３ａと突出部６１３ｂが、円形孔部６１６ａの中心軸Ｏを通る直線に沿って中央部６１１を挟んで設けられている。また、一対の突出部６１４ａと突出部６１４ｂが、円形孔部６１６ａの中心軸Ｏを通る直線に沿って中央部６１１を挟んで設けられている。また、一対の突出部６１５ａと突出部６１５ｂが、円形孔部６１６ａの中心軸Ｏを通る直線に沿って中央部６１１を挟んで設けられている。
【０１１４】
突出部６１２ａ、６１２ｂ、６１４ａ、６１４ｂは、中央部６１１から同じ長さ突出している。突出部６１３ａ、６１３ｂ、６１５ａ、６１５ｂは、中央部６１１から同じ長さ突出している。突出部６１２ａ、６１２ｂ、６１４ａ、６１４ｂの長さは、突出部６１３ａ、６１３ｂ、６１５ａ、６１５ｂの長さよりも長く形成されている。
【０１１５】
図１３（ｂ）に示すように、コンプレッサ６１の当接部３３ａ側に押圧面６１ａを有し、押圧面６１ａは、流通方向Ｘに対して垂直な平面において当接部３３ａに凸状に湾曲して形成されている。なお、コンプレッサ６１の湾曲形状については後述にて詳しく説明する。
【０１１６】
（１−５−２．スリーブ６２、ステム６３、ハンドル６４）
スリーブ６２は、図２に示すように、ボンネット１３の貫通孔１３ｂに支持されている。スリーブ６２の内側にはネジ形状が形成されている。
【０１１７】
ステム６３は、スリーブ６２の内側に配置されており、スリーブ６２の内側に形成されたネジ形状と螺合している。図９に示すように、ステム６３のボンネット１３の内側に配置される先端部６３１は、コンプレッサ６１に固定されている。先端部６３１は、コンプレッサ６１の孔部６１７に配置されており、ピン１０１によってコンプレッサ６１に固定されている。
【０１１８】
このように、ステム６３は、コンプレッサ６１と弁本体１１と反対側において固定されている。
【０１１９】
ハンドル６４は、図２に示すように、ステム６３のボンネット１３の外側に位置する部分の外周部に嵌合されている。
【０１２０】
＜２．動作＞
次に、本実施の形態のダイヤフラムバルブ１０の動作について説明する。図１４（ａ）および図１４（ｂ）は、ダイヤフラム１２の動作を模式的に示す図である。
【０１２１】
図１４（ａ）に示すような流路２４が開放されている状態から、流路２４を閉じる方向にハンドル６４を回転させると、ハンドル６４の回転に従ってスリーブ６２も回転し、ステム６３が下降する。ステム６３の下降とともに、ステム６３の端に固定されたコンプレッサ６１も下降する。
【０１２２】
コンプレッサ６１の下降により、ダイヤフラム１２は、図１４（ｂ）に示すように、第２面３２側に凸に湾曲し、壁部３３の当接部３３ａに圧接される。
【０１２３】
これによって、ダイヤフラムバルブ１０の流路２４が遮断された状態となる。
一方、ハンドル６４を開方向に回転させると、ハンドル６４およびスリーブ６２の回転に従ってステム６３が上昇する。ステム６３の上昇とともにコンプレッサ６１も上昇し、隔膜ボルト６５の係止ピン７３によってコンプレッサ６１と係合されたダイヤフラム１２の中央部が図１４（ａ）に示すように上昇する。
【０１２４】
これによって、ダイヤフラムバルブ１０の流路２４が開放された状態となる。
＜３．当接部およびコンプレッサの形状＞
図１５は、図９の断面図において弁本体１１とコンプレッサ６１を示した図であり、流路２４が開放されている状態を示す図である。
【０１２５】
図１５に示すように、当接部３３ａは、流路２４に対して垂直な平面において、異なる中心を有する第１本体側湾曲部１７１と第２本体側湾曲部１７２を有する。第１本体側湾曲部１７１は、図１５において当接部３３ａの中心１７０の左側に形成され、第２本体側湾曲部１７２は、当接部３３ａの中心１７０の右側に形成されている。第１本体側湾曲部１７１と第２本体側湾曲部１７２は、中心１７０で繋がっている。
【０１２６】
第１本体側湾曲部１７１は、円周上に形成されており、その中心が１７１ａとして示されている。中心１７１ａは、第１本体側湾曲部１７１の上方（ステム６３側）に設けられている。第１本体側湾曲部１７１は、中心１７１ａを通る点線（半径Ｒ１）の範囲で示されている。
【０１２７】
第２本体側湾曲部１７２は、円周上に形成されており、その中心が１７２ａとして示されている。中心１７２ａは、第２本体側湾曲部１７２の上方（ステム６３側）に設けられている。第２本体側湾曲部１７２は、中心１７２ａを通る点線（半径Ｒ１）の範囲で示されている。なお、第１本体側湾曲部１７１と第２本体側湾曲部１７２は、中心１７０を基準にして左右対称に形成されており、第１本体側湾曲部１７１の中心１７１ａからの半径と第２本体側湾曲部１７２の中心１７２ａからの半径は同じ長さである。
【０１２８】
本実施の形態では、当接部３３ａは、第１本体側湾曲部１７１と第２本体側湾曲部１７２の２つの円周上に形成された湾曲部で形成されている。
【０１２９】
一方、コンプレッサ６１の押圧面６１ａは、流路２４に対して垂直な平面において、異なる中心を有する第１押圧側湾曲部８１と第２押圧側湾曲部８２を有する。第１押圧側湾曲部８１は、図１５において貫通孔６１６の左側に形成され、第２本体側湾曲部１７２は、挿入孔６１３の右側に形成されている。
【０１３０】
第１押圧側湾曲部８１は、円周上に形成されており、その中心が８１ａとして示されている。中心８１ａは、第１押圧側湾曲部８１の上方（ステム６３側）に設けられている。第１押圧側湾曲部８１は、中心８１ａを通る点線（半径ｒ１）の範囲で示されている。
【０１３１】
第２押圧側湾曲部８２は、円周上に形成されており、その中心が８２ａとして示されている。中心８２ａは、第２押圧側湾曲部８２の上方（ステム６３側）に設けられている。第２押圧側湾曲部８２は、中心８２ａを通る点線（半径ｒ１）の範囲で示されている。なお、第１押圧側湾曲部８１と第２押圧側湾曲部８２は、貫通孔６１６の中心軸を基準にして左右対称に形成されており、第１押圧側湾曲部８１の中心８１ａからの半径と第２押圧側湾曲部８２の中心８２ａからの半径は同じ長さである。
【０１３２】
第１押圧側湾曲部８１は、第１本体側湾曲部１７１に対向して配置されており、第２押圧側湾曲部８２は、第２本体側湾曲部１７２に対向して配置されている。
【０１３３】
なお、当接部３３ａにおける半径Ｒ１および押圧面６１ａにおける半径ｒ１は、０．２ｒ１＜Ｒ１＜１０ｒ１を満たす。
【０１３４】
図１６は、図１５の状態からハンドル６４を回転させることによりコンプレッサ６１を当接部３３ａ側に移動（矢印Ｙ１参照）させて、当接部３３ａにダイヤフラム１２を押圧した状態を示す図である。図１６では、弁本体１１とコンプレッサ６１のみを示す。弁本体１１とコンプレッサ６１の間には、ダイヤフラム１２が配置されている。
【０１３５】
図１６に示すように、ダイヤフラム１２を当接部３３ａに押圧させた状態において、コンプレッサ６１の第１押圧側湾曲部８１の中心８１ａは、当接部３３ａの第１本体側湾曲部１７１の中心１７１ａと一致する。また、コンプレッサ６１の第２押圧側湾曲部８２の中心８２ａは、当接部３３ａの第２本体側湾曲部１７２の中心１７２ａと一致する。なお、本明細書における一致とは、概ね一致していればよく、機械的誤差も含む。
【０１３６】
このように、ダイヤフラム１２を当接部３３ａに押圧させた状態において、第１押圧側湾曲部８１と第１本体側湾曲部１７１は同心円上に形成されており、第２押圧側湾曲部８２と第２本体側湾曲部１７２は同心円上に形成されている。
【０１３７】
以上のように、コンプレッサ６１によってダイヤフラム１２が当接部３３ａに押圧された状態において中心１７１ａ、１７２ａが中心８１ａ、８２ａと一致することによって、コンプレッサ６１によって当接部３３ａを押圧する際に応力集中箇所の発生を抑制することができる。このため、コンプレッサ６１からダイヤフラム１２へ力が上手く伝達され止水性能を向上することができる。
【０１３８】
＜４．実施例＞
次に、実施例を用いて、本実施の形態のダイヤフラムバルブ１０について更に詳しく説明する。
【０１３９】
第１隔膜部材２１０にＰＴＦＥを用い、第２隔膜部材２２０にＥＰＤＭを用い、第１隔膜部材２１０の第１隔膜周縁部分４１２の厚みａを１．０ｍｍ、１．５ｍｍ、１．８ｍｍ、および２．０ｍｍに変化させ、厚み毎に、ａ／ｂを０．１、０．１２５、０．１５、０．１７５、０．２、０．３、０．３５、０．３７５、および０．４に変化させたダイヤフラムを用いたダイヤフラムバルブにおいて、応力解析および面圧解析を行った。解析としてはＣＡＥ（Computer Aided Engineering）解析を行い、解析ツールとしては、ＱＣＤＵＰを用いた。
【０１４０】
図１７は、上記実験の結果の表を示す図である。
図１７の応力解析は、ダイヤフラム内の発生応力を示し、８５ＭＰａ以上の場合は不良（×）とし、８５ＭＰａ未満の場合には、良好（○）とした。また、図１７の面圧解析は、バルブ止水時に弁本体とダイヤフラムの接触面に発生する止水圧を示し、解析結果が、３５ＭＰａより大きい場合に良好（○）とし、３２ＭＰａ以上３５ＭＰａ以下の場合に普通（△）とし、３２ＭＰａ未満の場合に不良（×）とした。なお、普通とは、使用の許容範囲内であることを示す。
【０１４１】
図１７に示すように、ａ／ｂの値が０．１の場合、厚みａが１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの全てにおいてダイヤフラム内の応力が大きくなり、不良となっている。また、ａ／ｂの値が０．１２５の場合、厚みａが１．０ｍｍ〜１．８ｍｍのときにおいてダイヤフラム内の応力が大きくなり、不良となっている。これは、ＥＰＤＭの厚みに対するＰＴＦＥの厚みの比率が小さすぎ、ＥＰＤＭからＰＴＦＥに伝わる駆動力が分散され難いためと考えられる。
【０１４２】
また、ａ／ｂの値が０．４の場合、厚みａが１．０ｍｍ、１．５ｍｍ、１．８ｍｍおよび２．０ｍｍにおいて面圧解析結果が低いため不良となっている。これは、ＥＰＤＭの厚みに対するＰＴＦＥの厚みの比率が大きすぎ、ＥＰＤＭからＰＴＦＥに伝わる駆動力が分散されすぎるためと考えられる。
【０１４３】
また、ａ／ｂの値が０．３５および０．３７５の場合、厚みａが２．０ｍｍのときの面圧解析結果が普通となっている。これは、ＰＴＦＥの厚みが大きいと硬くなるため、止水圧が比較的低くなるためと考えられる。
【０１４４】
以上より、ａ／ｂの値は、０．１５以上、０．３７５以下に設定することが好ましい。さらに、ＰＴＦＥの厚みは、１．０ｍｍ以上、２．０ｍｍ以下に設定することが好ましく、更には１．０ｍｍ以上、１．８ｍｍ以下に設定する方がより好ましい。
【０１４５】
（実施の形態２）
次に、本発明にかかる実施の形態２のダイヤフラムバルブについて説明する。
【０１４６】
本実施の形態２のダイヤフラムバルブ１０は、実施の形態１のダイヤフラムバルブ１０と比較してダイヤフラムの形状が異なっており、ダイヤフラムの形状に合わせて、弁本体の形状とボンネットの形状が異なっている。そのため、相違点を中心に説明する。
【０１４７】
（ダイヤフラム１２´）
本実施の形態のダイヤフラム１２´は、実施の形態１のダイヤフラム１２と比較して、溝部１２７、リブ２２６、溝部２２７が形成されておらず、面１２１ａに周縁リブ４４が形成されている。また、実施の形態２のダイヤフラム１２´には、面１２１ｂにリブ１２６が形成されておらず面１２１ｂは平面状に形成されている。さらに実施の形態２のダイヤフラム１２´では、止水リブである突条部１２２の形状が実施の形態１と異なっている。
【０１４８】
図１８（ａ）は、本実施の形態のダイヤフラム１２´を表側（弁本体１１と反対側）から視た斜視図である。図１８（ｂ）は、ダイヤフラム１２´を裏側（弁本体１１側）から視た斜視図である。図１９Ａはダイヤフラム１２´の底面図であり、図１９Ｂは、図１９ＡのＧＧ´間の矢視断面図である。図１９Ｃは、図１９ＡのＪ部拡大図である。図１９Ｄは、図１９ＡのＫ部拡大図である。図１９Ｅは、図１９ＡのＱＱ´間の矢視断面図であって端部４７の部分拡大図である。図１９Ｆは、図１９ＡのＬ部拡大図である。
【０１４９】
図１８（ａ）および図１８（ｂ）に示すように、ダイヤフラム１２´は、隔膜部１２０と、外周縁部１２１（外周縁部の一例）と、止水リブである突条部１２２´と、周縁リブ４４（周縁凸部の一例）と、突出部１２５と、を有する。
【０１５０】
（隔膜部１２０）
隔膜部１２０は、後述する駆動機構１４によって上下動される。隔膜部１２０は、上面視で円形状の部分球体であり、弁本体１１の開口部３１ａに対応する。
【０１５１】
隔膜部１２０の当接部３３ａ側の面１２０ａには、図１９Ａおよび図１９Ｂに示すように、弁本体１１の壁部３３の当接部３３ａに向かって突出し、凸条である突条部１２２´が形成されている。隔膜部１２０の面１２０ａと反対側の面１２０ｂの中央部には、図１８（ａ）及び図１９Ｂに示すように、ボンネット１３側に向かって突出した肉厚部である凸部１２４が形成されている。凸部１２４には、図１８（ａ）に示すように後述する隔膜ボルト６５が挿入される。
【０１５２】
（突条部１２２´）
突条部１２２´は、図１９Ａに示すように、第２方向Ｙに沿って円形状の隔膜部１２０の直径となる位置に形成されており、当接部３３ａに沿っている。突条部１２２´は、その幅方向（長手方向）の両端において周縁リブ４４に交わっている。
【０１５３】
本実施の形態では、突条部１２２´は、面１２０ａ側の根元部分の厚みが最も厚く、弁本体１１側の先端に向かうに従って厚みが薄くなるよう形成されている。
【０１５４】
突条部１２２´は、図１９Ａに示すように、端部４７と、中央部４８と、を有する。端部４７は、突条部１２２´の両端部分であり、周縁リブ４４に接続されている。中央部４８は、端部４７の間に設けられている。
【０１５５】
中央部４８は、Ｘ方向における幅は略一定に形成されている。中央部４８は、図１９Ｃに示すように、側面４８ｃと、側面４８ｄと、先端面４８ｅと、を有する。側面４８ｃは、中央部４８の出口２４ｂ側の側面である。側面４８ｄは、中央部４８の入口２４ａ側の側面である。側面４８ｃと側面４８ｄは、周縁リブ４４の外側に向かって突出するように若干湾曲して形成されている。詳細には、側面４８ｃは、出口２４ｂ側に向かって突出するように若干湾曲している。側面４８ｄは、入口２４ａ側に向かって突出するように若干湾曲している。なお、側面４８ｃと側面４８ｄは、湾曲しておらず直線状であってもよい。
【０１５６】
先端面４８ｅは、側面４８ｃと側面４８ｄの弁本体１１側の端を繋ぐように設けられている。先端面４８ｅは、円弧状に形成されている方が好ましいが、厳密な円弧状に限らなくてもよく、少なくとも弁本体１１側に凸に湾曲している方が好ましい。本実施の形態では、先端面４８ｅは、円弧の中央が当接部３３ａに対向して接触可能なように配置されている。
【０１５７】
端部４７は、中央部４８と周縁リブ４４を繋ぐように設けられている。端部４７は、突条部１２２´の両端に設けられ、中央部４８と周縁リブ４４を繋ぐ。端部４７の形状については、後段にて詳述する。
【０１５８】
（外周縁部１２１、突出部１２５）
外周縁部１２１は、円環状であり、隔膜部１２０の外周に水平方向に延びるように鍔状に形成されている。外周縁部１２１は、図２に示すように、ボンネット１３と弁本体１１によって挟まれている。
【０１５９】
突出部１２５は、図１９Ａおよび図１９Ｂに示すように、概ね四角形状であり、外周縁部１２１から水平方向外側に向かって突出して形成されている。この突出する向きは、突条部１２２´の伸び方向（長手方向）と直交する。
【０１６０】
（周縁リブ４４）
周縁リブ４４は、図１９Ａおよび図１９Ｂに示すように、外周縁部１２１の弁本体１１側の面１２１ａに周方向に沿って一周に亘って形成されており、図２２に示すように、載置部３１１に当接する。周縁リブ４４は、弁本体１１側に向かって突出している。
【０１６１】
周縁リブ４４は、図１９Ｂに示すように面１２１ａにおいて外周縁部１２１の外周側の端面１２１ｃから所定の間隔を空けて内側に設けられている。面１２１ａは、周縁リブ４４よりも内周側の第１面部１２１ａ１と、周縁リブ４４よりも外周側の第２面部１２１ａ２と、を有している。
【０１６２】
本実施の形態では、周縁リブ４４は、面１２１ａ側の根元部分の厚みが最も厚く、弁本体１１側の先端に向かうに従って厚みが薄くなるよう形成されている。
【０１６３】
周縁リブ４４は、周方向に沿って設けられており、突条部１２２´を取り囲むように形成されている。突条部１２２´は、周縁リブ４４の内側に形成されているともいえる。
【０１６４】
周縁リブ４４は、図１９Ｄに示すように、側面４４ｃと、側面４４ｄと、先端面４４ｅとを有する。側面４４ｃは、周縁リブ４４の内周側の側面である。側面４４ｄは、周縁リブ４４の外周側の側面である。側面４４ｃと側面４４ｄは、周縁リブ４４の外側に向かって突出するように若干湾曲して形成されている。詳細には、側面４４ｃは、内周側に向かって突出するように若干湾曲している。側面４４ｄは、外周側に向かって突出するように若干湾曲している。なお、側面４４ｃと側面４４ｄは、湾曲しておらず直線状であってもよい。
【０１６５】
先端面４４ｅは、側面４４ｃと側面４４ｄを繋ぐように形成されている。先端面４４ｅは、弁本体１１側に突出するように湾曲している。先端面４４ｅは、円弧状に形成されている方が好ましいが、厳密な円弧状に限らなくてもよく、少なくとも弁本体１１側に凸に湾曲している方が好ましい。
【０１６６】
先端面４４ｅは、円弧の中央が載置部３１１に対向して接触可能なように配置されている。
【０１６７】
（端部４７）
図１９Ａに示すように、突条部１２２´の両端の端部４７は、双方とも同様の形状であるため一方について説明する。
【０１６８】
端部４７は、面１２０ａおよび面１２１ａから弁本体１１方向に向かって突出して設けられている。端部４７は、面１２０ａから面１２１ａに亘って設けられている。端部４７は、中央部４８から周縁リブ４４に向かうに従って幅が広くなるように形成されている。なお、ダイヤフラム１２´が弁本体１１に載置された際には、端部４７は、後述する間隔３４ａ（図２０参照）を通って配置される。
【０１６９】
端部４７は、図１９Ｅおよび図１９Ｆに示すように、出口２４ｂ側の側面４７ｃと、入口２４ａ側の側面４７ｄと、側面４７ｃと側面４７ｄを繋ぐ先端面４７ｅと、を有する。なお、図１９Ｅは、端部４７の拡大断面図である。
【０１７０】
側面４７ｃは、端部４７の出口２４ｂ側の側面である。側面４７ｃは、面１２０ａおよび面１２１ａから弁本体１１側に向かって立ち上がるよう形成されている。側面４７ｃは、中央部４８の側面４８ｃと、周縁リブ４４の側面４４ｃとを繋ぐ。側面４７ｃは、端部４７の内側に向かって凸に湾曲して形成されている。
【０１７１】
図１９Ｆにおいて、側面４７ｃの周縁リブ４４の側面４４ｃとの接続部分が４７ｃ１として示され、側面４７ｃの中央部４８の側面４８ｃとの接続部分が４７ｃ２として示されている。接続部分４７ｃ１は、平面視において曲線である側面４４ｃと曲線である側面４７ｃを接続する変曲点である。接続部分４７ｃ２は、平面視において直線である側面４８ｃと曲線である側面４７ｃとの接続点である。
【０１７２】
側面４７ｄは、端部４７の入口２４ａ側の側面である。側面４７ｄは、面１２０ａおよび面１２１ａから弁本体１１側に向かって立ち上がるよう形成されている。側面４７ｄは、中央部４８の側面４８ｄと、周縁リブ４４の側面４４ｃとを繋ぐ。側面４７ｄは、平面視において端部４７の内側に向かって湾曲して形成されている。
【０１７３】
図１９Ｆにおいて、側面４７ｄの周縁リブ４４の側面４４ｃとの接続部分が４７ｄ１として示され、側面４７ｄの中央部４８の側面４８ｄとの接続部分が４７ｄ２として示されている。接続部分４７ｄ１は、平面視において曲線である側面４４ｄと曲線である側面４７ｄを接続する変曲点である。接続部分４７ｄ２は、平面視において直線である側面４８ｄと曲線である側面４７ｄとの接続点である。
【０１７４】
先端面４７ｅは、側面４７ｃと側面４７ｄの間を繋ぎ、中央部４８の先端面４８ｅと周縁リブ４４の先端面４４ｅの間を繋ぐように設けられている。
【０１７５】
図１９Ｆに示すように、端部４７の中央部４８との接続部４７ｂの幅をＡとし、端部４７の周縁リブ４４との接続部４７ａの幅をＢとすると、Ｂ／Ａは、２．１≦Ｂ／Ａ≦４．２を満たす方が好ましい。なお、幅とは、それぞれの接続部において、Ｘ方向における端部４７の最も大きい厚みであり、端部４７の面１２０ａ、１２１ａから立ち上がる根元部分である。また、接続部４７ａの幅Ｂは、接続部分４７ｃ１と接続部分４７ｄ１の間隔に相当する。また、接続部４７ｂの幅Ａは、接続部分４７ｃ２と接続部分４７ｄ２の間隔に相当する。幅Ａは、中央部４８の幅と一致している。
【０１７６】
（第１隔膜部材２１０、第２隔膜部材２２０）
図１９Ａおよび図１９Ｂに示すように、ダイヤフラム１２´は、第１隔膜部材２１０（第１層の一例）と、第２隔膜部材２２０（第２層の一例）と、を有している。第１隔膜部材２１０に隔膜ボルト６５（連結部の一例）が挿入されている。隔膜ボルト６５は、第１隔膜部材２１０から第２隔膜部材２２０を貫通して駆動機構１４側（当接部３３ａと反対側）に突出している。
【０１７７】
第１隔膜部材２１０は、ダイヤフラム１２´の当接部３３ａ側を形成しており、接液面を形成している。第２隔膜部材２２０は、ダイヤフラム１２´の当接部３３ａの反対側を形成している。
【０１７８】
第１隔膜部材２１０は、図１９Ｂに示すように、突条部１２２´、隔膜部１２０の面１２０ａ側の第１隔膜部分４１０、外周縁部１２１の面１２１ａ側の第１外周縁部分５１０、および周縁リブ４４を形成している。
【０１７９】
第２隔膜部材２２０は、凸部１２４を含む隔膜部１２０の面１２０ｂ側の第２隔膜部分４２０、および外周縁部１２１の面１２１ｂ側の第２外周縁部分５２０を形成している。
【０１８０】
外周縁部１２１において、第１隔膜部材２１０の第１外周縁部分５１０の面１２１ａと反対側の面１２１ｆｂは略平面に形成されている。外周縁部１２１において、第２隔膜部材２２０の第２外周縁部分５２０の第１隔膜部材２１０側の面１２１ｓａは略平面に形成されている。面１２１ｆｂと面１２１ｓａは、互いに平面で接触している。
【０１８１】
隔膜部１２０のうち第１隔膜部材２１０の第１隔膜部分４１０の面１２０ａと反対側の面１２０ｆｂには、凸部１２４に対応した凸部２２９が形成されている。凸部２２９に隔膜ボルト６５が挿入されている。
【０１８２】
隔膜部１２０のうち第２隔膜部材２２０の第２隔膜部分４２０の面１２０ｂと反対側の面１２０ｓａには、凸部２２９に対応した凹部２２８が形成されている。
【０１８３】
（弁本体１１´）
本実施の形態２の弁本体１１´は、実施の形態１の弁本体と第１リブ３５の構成は同じであるが、その他のリブの構成が異なっている。本実施の形態では、第１リブ３５をリブ３５と記載する。
【０１８４】
図２０は、本実施の形態２の弁本体１１´を示す斜視図である。図２１（ａ）は、図２０のＥＥ´間の矢視断面図である。図２１（ｂ）は、図２１（ａ）のＦ部拡大図である。図２２は、本実施の形態２のダイヤフラムバルブ１０のダイヤフラム１２´の外周縁部１２１近傍を示す断面図である。
【０１８５】
本実施の形態２の弁本体１１´の中央部２３は、第１面３１と、第２面３２（図２１（ａ）参照）と、壁部３３（図２１（ａ）参照）と、縁リブ３４と、リブ３５と、リブ３９と、複数のボルト孔３７と、を有する。
【０１８６】
縁リブ３４は、図２０、図２１（ａ）および図２１（ｂ）に示すように断面四角形状であり、開口部３１ａの縁に沿って第１面３１から上方（Ｚ方向上向き）に突出して形成されている。縁リブ３４は、図２０に示すように、第１リブ部分３４１と、第２リブ部分３４２と、を有する。第１リブ部分３４１は、平面視において開口部３１ａの縁に沿って円弧状に形成されている。第２リブ部分３４２は、平面視において開口部３１ａの縁に沿って円弧状に形成されている。円弧状の第１リブ部分３４１の両端と、円弧状の第２リブ部分３４２の両端の各々の間には、所定の間隔３４ａが設けられている。二つの間隔３４ａは、等長であり、幅方向Ｙに対向して設けられている。間隔３４ａには、ダイヤフラム１２´を弁本体１１に配置した際に、ダイヤフラム１２´の止水リブ４３の端部４７が通る。
【０１８７】
リブ３５は、図２２に示すように、ダイヤフラム１２の外周にわずかな隙間を空けて沿うように第１面３１から上方（Ｚ方向上向き）に突出して形成されている。リブ３５は、開口部３１ａの縁全体に亘って形成され、ほぼ円形状である。
【０１８８】
リブ３９は、図２１（ｂ）に示すように、リブ３５の縁リブ３４側（リブ３５の内側ともいえる）に第１面３１から突出してリブ３５に沿って形成されている。リブ３９は、リブ３５と一体的に形成されている。言い換えると、リブ３９は、第１面３１から垂直（Ｚ方向上向き）に立ち上がる側面と、その上端から繋がる水平な上面とを備える。外側のリブ３５は、内側のリブ３９の上面から垂直に立ち上がる内側側面と、その上端から繋がる水平な上面と、この上面の外端から垂直に垂れ下がる外側側面とを備える。リブ３９は、リブ３５よりも低く形成されている。リブ３９は、リブ３５の載置部３１１近傍に段差状に形成されている。よって、リブ３９とリブ３５とで、断面が２段の階段状となっている。
【０１８９】
第１面３１は、図２１（ｂ）に示すように、リブ３９と縁リブ３４の間に、ダイヤフラム１２の外周縁部１２１（後述する）が載置される載置部３１１を有する。
【０１９０】
（弁本体１１へのダイヤフラム１２´の配置）
図２２に示すように、弁本体１１´とボンネット１３´によって外周縁部１２１が挟持されてダイヤフラム１２が保持されている。
【０１９１】
図２２に示すように、ダイヤフラム１２´を弁本体１１´に配置した際には、ダイヤフラム１２´の周縁リブ４４に径方向において対向するようにリブ３９が配置されている。外周縁部１２１の外周側の端面１２１ｃの外側に弁本体１１´のリブ３５が配置されている。また、Ｚ方向において第２面部１２１ａ２に対向するように、弁本体１１´のリブ３９が配置されている。なお、径方向は、軸Ｏに対して垂直であって、軸Ｏに向かう若しくは軸Ｏから遠ざかる方向である。
【０１９２】
図２２に示すように、周縁リブ４４の先端面４４ｅが弁本体１１´の載置部３１１に接触している。このように湾曲した先端面４４ｅが載置部３１１に接触することにより、ダイヤフラム１２´の揺動時における応力集中の発生を低減することができる。
【０１９３】
なお、未使用時など内圧がかかっていないとき、外周縁部１２１において、ダイヤフラム１２´が弁本体１１´に接しているのは、先端面４４ｅだけである。周縁リブ４４は、リブ３９、リブ３５と隙間を空けており、接していない。
【０１９４】
また、周縁リブ４４のうち先端面４４ｅを形成する先端部分だけでは、弁本体１１´とボンネット１３´によって挟持固定される際に与えられるボンネット１３´からの圧縮力を受け過ぎるため、側面４４ｃ、４４ｄを形成する基端部分を設けることによって剛性を高めることができる。
【０１９５】
縁リブ３４は、ダイヤフラム１２´が上下動作した場合であってもダイヤフラム１２´に接触しない高さに形成されている。縁リブ３４とダイヤフラム１２´の間に間隔Ｓが設けられているため、周縁リブ４４は、流路２４に面している（曝されているともいえる）。このため、周縁リブ４４は、ダイヤフラムバルブ１０内で内圧が発生した際に、内圧によって外周側に広がるように変形して、リブ３９の内周面３９ａに接触し止水される。このため、リブ３９の内周面３９ａは、断面視において平面である方が好ましい。
【０１９６】
（ボンネット１３´）
本実施の形態２のボンネット１３´は、図２２に示すように、実施の形態１のボンネット１３と比較し、溝部１３８が設けられていない。ダイヤフラム１２´の外周縁部１２１は、弁本体１１´と反対側の面１２１ｂが内側面１３６に平面で接触するように配置されている。弁本体１１´のリブ３５は、Ｚ方向において内側面１３６に対向して配置されている。リブ３５は、段差面１３７の内周側に位置している。
【０１９７】
ダイヤフラム１２´の外周縁部１２１は、弁本体１１´の載置部３１１とボンネット１３´の内側面１３６によって挟まれて圧縮される。
【０１９８】
（実施の形態３）
次に、本発明にかかる実施の形態３のダイヤフラムバルブについて説明する。
【０１９９】
本実施の形態３のダイヤフラムバルブ１０は、実施の形態２のダイヤフラムバルブ１０と比較してダイヤフラムのリブの形状が異なっている。そのため、本相違点を中心に説明する。
【０２００】
図２３（ａ）は、本実施の形態のダイヤフラム１２´´を表側（弁本体１１と反対側）から視た斜視図である。図２３（ｂ）は、ダイヤフラム１２´´を裏側（弁本体１１側）から視た斜視図である。図２４Ａはダイヤフラム１２´の底面図であり、図２４Ｂは、図２４ＡのＮＮ´間の矢視断面図である。図２４Ｃは、図２４ＡのＣ部拡大図である。図２４Ｄは、図２４ＡのＤ部拡大図である。
【０２０１】
本実施の形態３のダイヤフラム１２´´は、実施の形態２の突条部１２１´および周縁リブ４４と形状が異なる突条部１２１´´および周縁リブ４４´を有している。
【０２０２】
（周縁リブ４４´）
図２４Ｃに示すように、周縁リブ４４´は、外周縁部１２１の面１２１ａから弁本体１１´に向かって突出するように設けられている。周縁リブ４４´は、概ね面１２１ａに対して垂直に形成されている。
【０２０３】
周縁リブ４４´は、基端部５１（第１基端部の一例）と、先端部５２（第１先端部の一例）と、を有する。基端部５１は、外周縁部１２１側に設けられている。基端部５１は、外周縁部１２１から弁本体１１´に向かって外周縁部１２１の面１２１ａから突出して形成されている。先端部５２は、基端部５１の弁本体１１´側の端に設けられ、基端部５１の端から弁本体１１´に向かって突出して形成されている。先端部５２が弁本体１１´に当接している。
【０２０４】
基端部５１は、側面５１ｃ（円弧部の一例）と側面５１ｄ（円弧部の一例）と、を有する。側面５１ｃは、基端部５１の内周側の側面である。側面５１ｄは、基端部５１の外周側の側面である。基端部５１の側面５１ｃ、５１ｄは、面１２１ａから弁本体１１´に向かって立ち上がるように形成されている。
【０２０５】
側面５１ｃおよび側面５１ｄは、周縁リブ４４´の外側に向かって凸に湾曲している。詳しくは、側面５１ｃは、ダイヤフラム１２の内周側に向かって凸に湾曲しており、側面５１ｄは、ダイヤフラム１２の外周側に向かって凸に湾曲している。本実施の形態では、側面５１ｃと側面５１ｄは、断面視において円弧状に形成されている。側面５１ｃと側面５１ｄは、同じ半径を有する。
【０２０６】
先端部５２は、基端部５１の幅方向における中央に設けられている。本実施の形態では、周縁リブ４４´は、周方向に垂直な断面において内周側と外周側がＺ方向に沿った線に対して線対称に形成されているが、対称でなくてもよい。
【０２０７】
先端部５２は、先端面５２ｅ（円弧部の一例）を有する。先端面５２ｅは、周縁リブ４４´の外側に向かって凸に湾曲している。詳細には、先端面５２ｅは、弁本体１１´側に向かって凸に湾曲している。先端面５２ｅは、側面５１ｃと側面５１ｄの弁本体１１´側の端を繋ぐように形成されている。本実施の形態では、先端面５２ｅは、断面視において円弧状に形成されている。先端面５２ｅが弁本体１１´の載置部３１１に当接する。先端面５２ｅは、断面視において概ね半円形状である。先端面５２ｅは、その半円形状の外形の略中心が弁本体１１´の載置部３１１に対向して接触するように配置されている。
【０２０８】
基端部５１の幅をＬａ１とし、先端部５２の幅をＬｂ１とすると、Ｌａ１とＬｂ１は、Ｌａ１＞Ｌｂ１を満たす。基端部５１の幅Ｌａ１は、径方向における最大の厚みに相当する。幅Ｌａ１は、基端部５１の外周縁部１２１との接続部分近傍の厚みである。先端部５２の幅Ｌｂ１は、径方向における最大の厚みに相当する。幅Ｌｂ１は、先端部５２の基端部５１との接続部分近傍の厚みである。なお、Ｌｂ１／Ｌａ１は、０．２以上０．３５以下が好ましい。
【０２０９】
基端部５１の高さをＨａ１とし、基端部５１と先端部５２を合わせた高さ（周縁リブ４４´全体の高さ）をＨｂ１とすると、Ｈｂ１＞Ｈａ１に設定されている。なお、Ｈｂ１／Ｈａ１は、１．２以上１．４５以下が好ましい。
【０２１０】
側面５１ｃ、５１ｄの半径をＲａ１とし、先端面５２ｅの半径をＲｂ１とすると、Ｒａ１＞Ｒｂ１に設定されているほうが好ましい。
【０２１１】
なお、未使用時など内圧がかかっていないとき、外周縁部１２１において、ダイヤフラム１２が弁本体１１´に接しているのは、先端面５２ｅだけである。周縁リブ４４´は、リブ３９、リブ３５と隙間を空けており、接していない。
【０２１２】
また、周縁リブ４４´のうち先端面５２ｅを形成する先端部５２だけでは、弁本体１１´とボンネット１３´によって挟持固定される際に与えられるボンネット１３´からの圧縮力を受け過ぎるため、側面５１ｃ、５１ｄを形成する基端部５１を設けることによって剛性を高めることができる。
【０２１３】
（突条部１２２´´）
本実施の形態では、突条部１２２´´の形状は、周縁リブ４４´と同じ形状に形成されている。
【０２１４】
図２４Ｄに示すように、突条部１２２´´は、隔膜部１２０の面１２０ａから弁本体１１´に向かって突出するように設けられている。突条部１２２´´は、概ね面１２０ａに対して垂直に形成されている。突条部１２２´´は、隔膜部１２０のＸ方向における略中央に設けられている。
【０２１５】
突条部１２２´´は、基端部２７１（第２基端部の一例）と、先端部２７２（第２先端部の一例）と、を有する。基端部２７１は、外周縁部１２１側に設けられている。基端部２７１は、隔膜部１２０から弁本体１１´に向かって隔膜部１２０の面１２０ａから突出して形成されている。先端部２７２は、基端部２７１の弁本体１１´側の端に設けられ、基端部２７１の端から弁本体１１´に向かって突出して形成されている。先端部２７２が弁本体１１´の当接部３３ａに当接可能である。
【０２１６】
基端部２７１は、側面２７１ｃと側面２７１ｄと、を有する。側面２７１ｃは、基端部２７１の出口２４ｂ側の側面である。側面２７１ｄは、基端部２７１の入口２４ａ側の側面である。基端部２７１の側面２７１ｃ、７１ｄは、面１２０ａから弁本体１１´に向かって立ち上がるように形成されている。
【０２１７】
側面２７１ｃおよび側面２７１ｄは、突条部１２２´´の外側に向かって凸に湾曲している。詳しくは、側面２７１ｃは、流路２４の出口２４ｂ側に向かって凸に湾曲しており、側面２７１ｄは、流路２４の入口２４ａ側に向かって凸に湾曲している。本実施の形態では、側面２７１ｃと側面２７１ｄは、断面視において円弧状に形成されている。側面２７１ｃと側面２７１ｄは、同じ半径を有する。
【０２１８】
先端部２７２は、基端部２７１の幅方向における中央に設けられている。本実施の形態では、突条部１２２´´は、長手方向（幅方向）に垂直な断面において出口２４ｂ側と入口２４ａ側がＺ方向に沿った線に対して線対称に形成されているが、対称でなくてもよい。
【０２１９】
先端部２７２は、先端面２７２ｅを有する。先端面２７２ｅは、突条部１２２´´の外側に向かって凸に湾曲している。詳細には、先端面２７２ｅは、弁本体１１´側に向かって凸に湾曲している。先端面２７２ｅは、側面２７１ｃと側面２７１ｄの弁本体１１´側の端を繋ぐように形成されている。本実施の形態では、先端面２７２ｅは、断面視において円弧状に形成されている。先端面２７２ｅが弁本体１１´の当接部３３ａに当接する。先端面２７２ｅは、断面視において概ね半円形状である。先端面２７２ｅは、その半円形状の外形の略中心が弁本体１１´の当接部３３ａに対向して接触するように配置されている。
【０２２０】
基端部２７１の幅をＬａ２とし、先端部２７２の幅をＬｂ２とすると、Ｌａ２とＬｂ２は、Ｌａ２＞Ｌｂ２を満たす。基端部２７１の幅Ｌａ２は、Ｘ方向における最大の厚みに相当する。幅Ｌａ２は、基端部２７１の隔膜部１２０との接続部分近傍の厚みである。先端部２７２の幅Ｌｂ２は、Ｘ方向における最大の厚みに相当する。幅Ｌｂ２は、先端部２７２の基端部２７１との接続部分近傍の厚みである。なお、Ｌｂ２／Ｌａ２は、０．２以上０．３５以下が好ましい。
【０２２１】
基端部２７１の高さをＨａ２とし、基端部２７１と先端部２７２を合わせた高さ（突条部１２２´´全体の高さ）をＨｂ２とすると、Ｈｂ２＞Ｈａ２に設定されている。なお、Ｈｂ２／Ｈａ２は、１．２以上１．４５以下が好ましい。
【０２２２】
側面２７１ｃ、２７１ｄの半径をＲａ２とし、先端面２７２ｅの半径をＲｂ２とすると、Ｒａ２＞Ｒｂ２に設定されているほうが好ましい。
【０２２３】
また、突条部１２２´´のうち先端面２７２ｅを形成する先端部２７２だけでは、コンプレッサ６１からの軸力による圧縮を受け過ぎるため、側面２７１ｃ、２７１ｄを形成する基端部２７１を設けることによって剛性を高めることができる。
【０２２４】
なお、周縁リブ４４´と突条部１２２´´は、同じ大きさであってもよいし、異なる大きさであってもよく、弁本体１１´の形状に合わせればよい。
【０２２５】
＜特徴等＞
（１）
本実施の形態１〜３のダイヤフラムバルブ１０は、弁本体１１、１１´と、ダイヤフラム１２、１２´、１２´´（隔膜の一例）と、駆動機構１４と、隔膜ボルト６５（連結部材の一例）と、を備える。弁本体１１、１１´の内部に形成された流路２４に当接部３３ａが設けられている。ダイヤフラム１２、１２´、１２´´は、弁本体１１、１１´に配置され、当接部３３ａに接触することにより流路２４を閉塞する。駆動機構１４は、ダイヤフラム１２、１２´、１２´´を駆動する。隔膜ボルト６５は、ダイヤフラム１２、１２´、１２´´と駆動機構１４を連結する。ダイヤフラム１２、１２´、１２´´は、第１隔膜部材２１０（第１層の一例）と、第２隔膜部材２２０（第２層の一例）と、を有する。第１隔膜部材２１０は、流路２４側に配置され、フッ素系樹脂を含む。第２隔膜部材２２０は、第１隔膜部材２１０の流路２４と反対側に配置され、弾性樹脂を含む。ダイヤフラム１２のうち隔膜ボルト６５が固定されている隔膜中央部７１０（固定部分の一例）の周縁に設けられた隔膜周縁部７２０（周縁部分の一例）における第１隔膜部材２１０の厚みをａとし、第２隔膜部材２２０の厚みをｂとすると、０．１５≦ａ／ｂ≦０．３７５を満たす。
【０２２６】
このように、フッ素系樹脂を含む第１隔膜部材２１０と弾性樹脂を含む第２隔膜部材２２０の厚みの比率を所定範囲内に設定することによって、止水性能と長期耐久性能のバランスを保ち両立を図ることができることを本願発明者らが見出した。
【０２２７】
（２）
本実施の形態１〜３のダイヤフラムバルブ１０では、第１隔膜部材２１０の厚みａは、１．８ｍｍ以下である。
【０２２８】
これにより、第１層の厚みが厚くなり過ぎず止水性能を確保することができる。
（３）
本実施の形態１〜３のダイヤフラムバルブ１０では、ダイヤフラム１２、１２´、１２´´の流路２４側の面には、当接部３３ａに向かって突出した突条部１２２、１２２´、１２２´´が設けられている。第１隔膜部材２１０の厚みａは、第２隔膜部材２２０のうち突条部１２２以外の部分の厚みである。
【０２２９】
これにより、止水性能と長期耐久性能のバランスを保ち両立させることができる。
（４）
本実施の形態１〜３のダイヤフラムバルブ１０では、隔膜ボルト６５は、隔膜中央部７１０における第１隔膜部材２１０または第２隔膜部材２２０に固定されている。
【０２３０】
これによって、駆動機構１４によってダイヤフラム１２、１２´、１２´´を駆動することができる、なお、隔膜ボルト６５が第１隔膜部材２１０に固定されている場合は、隔膜ボルト６５は第２隔膜部材２２０を貫通して、第１隔膜部材２１０に挿入されており、第１隔膜部材２１０の駆動とともに第２隔膜部材２２０も駆動する。一方、隔膜ボルト６５が第２隔膜部材２２０に固定されている場合は、第１隔膜部材２１０は第２隔膜部材２２０に接着されており、第２隔膜部材２２０の駆動とともに第１隔膜部材２１０も駆動する。
【０２３１】
（５） 
本実施の形態１〜３のダイヤフラムバルブ１０は、隔膜中央部７１０（固定部分の一例）の厚みは、隔膜周縁部７２０（周縁部分の一例）の厚みよりも大きい。
【０２３２】
これによって、ダイヤフラム１２、１２´、１２´´の耐久性を向上することができる。
【０２３３】
（６）
本実施の形態１〜３のダイヤフラムバルブ１０は、ボンネット１３、１３´（蓋部の一例）を更に備える。ボンネット１３、１３´は、ダイヤフラム１２、１２´、１２´´（隔膜の一例）の外周縁部１２１を弁本体１１、１１´と挟むことによってダイヤフラム１２、１２´、１２´´を固定する。ダイヤフラム１２、１２´、１２´´は、外周縁部１２１と、外周縁部１２１の内側の隔膜部１２０と、流路２４側の面に設けられ、当接部３３ａに向かって突出した突条部１２２、１２２´、１２２´´と、を有する。弁本体１１は、外周縁部１２１が載置される載置部３１１と、当接部３３ａの両端に設けられ、載置部３１１と当接部３３ａを繋ぐ肩部３１２（本体側肩部の一例）と、を有する。突条部１２２、１２２´、１２２´´は、肩部３１２に対応する肩部１２２ｓと、肩部１２２ｓの間に設けられた主部１２２ｔと、を有し、肩部１２２ｓは、主部１２２ｔよりも高く形成されている。
【０２３４】
このように、止水するための突条部１２２、１２２´、１２２´´の両端の肩部１２２ｓでの高さを主部１２２ｔよりも高くしたので、閉じた状態での突条部１２２、１２２´、１２２´´の両端の肩部１２２ｓでの弾性層の圧縮量を増大させることができ、当接部３３ａの両端の肩部３１２と突条部１２２、１２２´、１２２´´の両端の肩部１２２ｓとの間のシール性を高めることができ、流路２４を確実に遮断することができる。
【０２３５】
（７）
本実施の形態２、３のダイヤフラムバルブ１０は、ボンネット１３（蓋部の一例）を更に備える。ボンネット１３´は、ダイヤフラム１２´、１２´´（隔膜の一例）の外周縁部１２１を弁本体１１´と挟むことによってダイヤフラム１２´、１２´´を固定する。ダイヤフラム１２´、１２´´は、外周縁部１２１の弁本体１１´側に周方向に設けられ、弁本体１１´に接触する周縁リブ４４、４４´（周縁凸部の一例）と、ダイヤフラム１２´、１２´´の弁本体１１´側であって周縁リブ４４、４４´の内側に当接部３３ａに沿って形成された突条部１２２´、１２２´´と、を有する。突条部１２２´、１２２´´は、両端の各々に設けられ周縁リブ４４、４４´に接続する端部４７と、端部４７の間に設けられた中央部４８と、を有する。端部４７は、中央部４８から周縁リブ４４、４４´に向かうに従って幅が広くなるように形成されている。
【０２３６】
流路２４を開閉する際にダイヤフラム１２´、１２´´が凹状態および凸状態になるときに、この端部４７が負荷のかかる屈曲点となるが、端部４７を中央部４８から周縁リブ４４、４４´に向かうに従って幅が広くなるように形成することにより、折り目が付きにくく、ひいては剥離、破断しにくくなるため、長期耐久性が向上する。
【０２３７】
また、突条部１２２´、１２２´´から周縁リブ４４、４４´に向かうに従って幅が広くなるように突条部１２２´、１２２´´の端部を形成することによって、突条部１２２´、１２２´´の両端の接触面積を増やすことができる。これにより、隔膜揺動時にも突条部１２２´、１２２´´の端部が弁本体１１´と接触することができ、突条部突条部１２２´、１２２´´と弁本体１１´の間で発生する面圧ばらつきを抑制することができる。
【０２３８】
このため、突条部１２２´、１２２´´の両端に合わせて軸荷重を大きくする必要がなく止水に必要な軸荷重を低減することができ、隔膜内部で発生する応力も抑制できるので、長期耐久性能を向上させることが可能となる。
【０２３９】
（８）
本実施の形態３のダイヤフラムバルブ１０は、ボンネット１３´（蓋部の一例）を更に備える。ボンネット１３´は、ダイヤフラム１２´´（隔膜の一例）の外周縁部１２１を弁本体１１´と挟むことによってダイヤフラム１２´´を固定する。ダイヤフラム１２´´は、外周縁部１２１の弁本体１１´側に周方向に設けられ、弁本体１１´に接触する周縁リブ４４´（周縁凸部の一例）を有する。周縁リブ４４´は、外周縁部１２１側に配置された基端部５１（第１基端部の一例）と、基端部５１の弁本体１１´側に配置された先端部５２（第１先端部の一例）と、を有する。基端部５１の幅をＬａ１とし、先端部５２の幅をＬｂ１とすると、Ｌａ１＞Ｌｂ１を満たす。
【０２４０】
このように、周縁リブ４４´に基端部５１と先端部５２を設け、基端部５１の幅Ｌａ１と、先端部５２の幅Ｌｂ１がＬａ１＞Ｌｂ１を満たすことによって、基端部５１によってボンネット１３´からの圧縮力を受け、先端部５２によって止水するための力を受けることができる。基端部５１を先端部５２よりも幅を大きくすることにより、内圧負荷時にその内圧で基端部５１が大きく変形しないため、周縁リブ４４´全体が大きく変形することなく止水することができる。また、先端部５２を基端部５１よりも幅を小さくすることにより、先端部５２は弱い力で変形するため、止水に必要な力を弱くすることができ、弁本体１１´とボンネット１３´によるダイヤフラム１２´´の圧縮力を小さくすることができる。
【０２４１】
以上のように、周縁リブ４４´全体が大きく変形することを防ぎ、止水に必要な圧縮力を小さくすることが出来るため、ダイヤフラム１２´´に発生する応力が低くなり、繰り返し開閉の耐久性を向上することが可能となる。
【０２４２】
（９）
本実施の形態３のダイヤフラムバルブ１０では、ダイヤフラム１２´´（隔膜の一例）は、外周縁部１２１の内側に設けられた隔膜部１２０（中央部の一例）と、隔膜部１２０の当接部３３ａ側に設けられ、当接部３３ａに当接可能な突条部１２２´´と、を有する。突条部１２２´´は、外周縁部１２１側に配置された基端部２７１（第２基端部の一例）と、基端部２７１の弁本体１１´側に配置された先端部２７２（第２先端部の一例）と、を有する。基端部２７１の幅をＬａ２とし、先端部２７２の幅をＬｂ２とすると、Ｌａ２＞Ｌｂ２を満たす。
【０２４３】
このように、突条部１２２´´に基端部２７１と先端部２７２を設け、基端部２７１の幅Ｌａ２と、先端部２７２の幅Ｌｂ２がＬａ２＞Ｌｂ２を満たすことによって、基端部２７１によってボンネット１３´やコンプレッサ６１からの圧縮力を受け、先端部２７２によって止水するための力を受けることができる。基端部２７１を先端部２７２よりも幅を大きくすることにより、内圧負荷時にその内圧で基端部２７１が大きく変形しないため、周縁リブ４４´全体が大きく変形することなく止水することができる。また、先端部２７２を基端部２７１よりも幅を小さくすることにより、先端部２７２は弱い力で変形するため、止水に必要な軸力を弱くすることができ、コンプレッサからの圧縮力を小さくすることができる。
【０２４４】
以上のように、周縁リブ４４全体が大きく変形することを防ぎ、圧縮力を小さくすることが出来るため、ダイヤフラム１２´´に発生する応力が低くなり、繰り返し開閉の耐久性を向上することが可能となる。
【０２４５】
（１０）
本実施の形態１〜３のダイヤフラムバルブ１０では、当接部３３ａは、流路２４の流通方向に対して垂直な平面においてダイヤフラム１２、１２´、１２´´側に凹状に湾曲した第１本体側湾曲部１７１および第２本体側湾曲部１７２を含む。駆動機構１４は、コンプレッサ６１（押圧部の一例）を有する。コンプレッサ６１は、流路２４の流通方向に対して垂直な平面において当接部３３ａ側に凸状に湾曲した第１押圧側湾曲部８１および第２押圧側湾曲部８２を有する。コンプレッサ６１によってダイヤフラム１２、１２´、１２´´（隔膜の一例）が当接部３３ａに押圧された状態において、第１本体側湾曲部１７１は第１押圧側湾曲部８１と対向し、第１本体側湾曲部１７１の湾曲の中心１７１ａは、第１押圧側湾曲部８１の湾曲の中心８１ａと一致し、第２本体側湾曲部１７２は第２押圧側湾曲部８２と対向し、第２本体側湾曲部１７２の湾曲の中心１７２ａは、第２押圧側湾曲部８２の湾曲の中心８２ａと一致する。
【０２４６】
コンプレッサ６１に形成された湾曲部の中心と、それに対応して当接部３３ａに形成された湾曲部の中心が、コンプレッサ６１によってダイヤフラム１２、１２´、１２´´が当接部３３ａに押圧された状態において一致することによって、当接部３３ａにおける応力集中箇所の発生を抑制することができる。
【０２４７】
このため、コンプレッサ６１からダイヤフラム１２、１２´、１２´´へ力が上手く伝達され止水性能を向上することができる。
【０２４８】
［他の実施形態］
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【０２４９】
（Ａ）
また、上記実施の形態では、隔膜ボルト６５が、第１隔膜部材２１０に固定されていたが、第２隔膜部材２２０に固定されていてもよい。このようなダイヤフラムユニット１５´が図２５の断面構成図に示されている。ダイヤフラムユニット１５´のダイヤフラム１０１２は、第１隔膜部材２１０´と、第２隔膜部材２２０´によって形成されている。第１隔膜部材２１０´は、上記実施の形態の第１隔膜部材２１０と比較して凸部２２９が設けられておらず、突条部１２２に対応して第２隔膜部材２２０側の面に凹部２３０´が設けられている。また、第２隔膜部材２２０´は、上記実施の形態の第２隔膜部材２２０と比較して凹部２２８が設けられておらず、凹部２３０´に嵌る突条部２３１´が形成されている。隔膜ボルト６５´は、上記実施の形態の隔膜ボルト６５と同様の構成でもよいが、柱状部７１の端の径が挿入部７２に向かって小さくなるようにテーパー形状に形成されていてもよい。
【０２５０】
この場合、第１隔膜部材２１０´は第２隔膜部材２２０´の表面に接着加工によって固定されている。接着加工としては、プライマーを用いた接着、または重合（ナトリウム重合、プラズマ重合）を挙げることができる。
【０２５１】
（Ｂ）
上記実施の形態では、ダイヤフラム１２の外周縁部１２１は外周が円形状であるが、これにかぎられるものではなく、四角形状であってもよい。
【０２５２】
また、上記実施の形態では、ダイヤフラム１２の突出部１２５は、四角形状であるが、これに限られるものではなく、要するにダイヤフラム１２の回転方向への位置ズレを規制できさえすればよい。
【０２５３】
（Ｃ）
隔膜ボルト６５は、係止ピン７３によってコンプレッサ６１に係止されているが、係止ピン７３に限らなくても良く、例えば、ナットなどであってもよい。ナットの場合には、コンプレッサ６１の貫通孔６１６に貫通させた後に、凹部６１８側からナットを柱状部７１に締結すればよい。
【０２５４】
（Ｄ）
上記実施の形態のダイヤフラムバルブ１０では、ステム６３を駆動する駆動部の一例としてスリーブ６２および手動式のハンドル６４が設けられているが、空気駆動式または電気駆動式の駆動部によってステム６３が駆動されてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０２５５】
本発明の、ダイヤフラムバルブは、止水性能と長期耐久性の両立を図ることが可能な効果を発揮し、プラント等に利用可能である。
【符号の説明】
【０２５６】
１０        ：ダイヤフラムバルブ
１２        ：ダイヤフラム
１４        ：駆動機構
１５        ：ダイヤフラムユニット
２４        ：流路
６５        ：隔膜ボルト
２１０      ：第１隔膜部材
２２０      ：第２隔膜部材
７１０      ：隔膜中央部
７２０      ：隔膜周縁部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図８Ｅ】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９Ａ】
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【図１９Ｂ】
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【図１９Ｃ】
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【図１９Ｄ】
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【図１９Ｅ】
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【図１９Ｆ】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４Ａ】
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【図２４Ｂ】
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【図２４Ｃ】
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【図２４Ｄ】
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【図２５】
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