(57)【要約】【課題】接触型の切断手段によって被着体を第１接着シートと共に切断して複数の個片体を形成する工程を実施したとしても、被着体の外周部に位置する外周部個片体が第２接着シートから脱落することを防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。【解決手段】シート貼付装置１０は、一方の面が被着体ＷＦに貼付された第１接着シートＡＳ１の他方の面であって、被着体ＷＦの外縁部に対応する外縁対応部ＡＲに凹凸ＲＨを形成する凹凸形成手段４４と、凹凸ＲＨを形成した外縁対応部ＡＲに第２接着シートＡＳ２を貼付する第２接着シート貼付手段３０とを備えている。【選択図】図１
2020004850.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面が被着体に貼付された第１接着シートの他方の面であって、前記被着体の外縁部に対応する外縁対応部に凹凸を形成する凹凸形成手段と、
前記凹凸を形成した前記外縁対応部に第２接着シートを貼付する第２接着シート貼付手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
第１接着シートの一方の面を被着体に貼付する第１接着シート貼付手段と、
一方の面が前記被着体に貼付された前記第１接着シートの他方の面に第２接着シートを貼付する第２接着シート貼付手段と、
前記第１接着シートが貼付された被着体を保持し、当該第１接着シートが貼付された被着体を前記第１接着シート貼付手段から前記第２接着シート貼付手段に搬送する搬送手段とを備え、
前記搬送手段は、一方の面が前記被着体に貼付された前記第１接着シートの他方の面であって、前記被着体の外縁部に対応する外縁対応部に凹凸を形成する凹凸形成手段を備え、
前記第２接着シート貼付手段は、前記凹凸を形成した前記外縁対応部に前記第２接着シートを貼付することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
一方の面が被着体に貼付された第１接着シートの他方の面であって、前記被着体の外縁部に対応する外縁対応部に凹凸を形成する凹凸形成工程と、
前記凹凸を形成した前記外縁対応部に第２接着シートを貼付する第２接着シート貼付工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、一方の面が被着体に貼付された第１接着シートの他方の面に第２接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３１７７１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置で接着シート（第１接着シート）にダイシングテープ（第２接着シート）を貼付した状態で、例えば、刃物やワイヤ等の接触型の切断手段によって半導体ウェハ（被着体）を第１接着シートと共に切断し、複数のチップ（個片体）を形成する工程を実施すると、被着体の外周部に位置する外周部個片体が第２接着シートから脱落するという不都合が生じる場合がある。
【０００５】
本発明の目的は、接触型の切断手段によって被着体を第１接着シートと共に切断して複数の個片体を形成する工程を実施したとしても、被着体の外周部に位置する外周部個片体が第２接着シートから脱落することを防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、一方の面が被着体に貼付された第１接着シートの他方の面の外縁対応部に凹凸を形成し、当該凹凸を形成した外縁対応部に第２接着シートを貼付するので、第２接着シートの接着剤層が第１接着シートの凹凸に入り込み、第１接着シートに対する第２接着シートの接着力が高まる。このため、接触型の切断手段によって被着体を第１接着シートと共に切断して複数の個片体を形成する工程を実施したとしても、被着体の外周部に位置する外周部個片体が第２接着シートから脱落することを防止することができる。
また、搬送手段が凹凸形成手段を備えれば、凹凸形成手段を独立して設ける必要がなくなり、装置の構造を簡素化することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
図１において、シート貼付装置１０は、第１接着シートＡＳ１の一方の面を被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦに貼付する第１接着シート貼付手段２０と、一方の面がウエハＷＦに貼付された第１接着シートＡＳ１の他方の面に第２接着シートＡＳ２を貼付する第２接着シート貼付手段３０と、第１接着シートＡＳ１が貼付されたウエハＷＦを保持し、当該第１接着シートＡＳ１が貼付されたウエハＷＦを第１接着シート貼付手段２０から第２接着シート貼付手段３０に搬送する搬送手段４０とを備えている。
【００１１】
第１接着シート貼付手段２０は、原接着シートＢＳの一方の面に第１剥離シートＲＬ１が仮着され、原接着シートＢＳの他方の面に第２剥離シートＲＬ２が仮着された原反ＲＳ１を繰り出す繰出手段２１と、原反ＲＳ１に閉ループ状の切込ＣＵを形成し、第２剥離シートＲＬ２および原接着シートＢＳにおける切込ＣＵの内側に、それぞれ所定形状の不要内側剥離シートＲＬＡと第１接着シートＡＳ１とを形成するとともに、第２剥離シートＲＬ２および原接着シートＢＳにおける切込ＣＵの外側に、それぞれ不要外側剥離シートＲＬＢと不要接着シート部分ＡＳＡとを形成する切断手段２２と、不要内側剥離シートＲＬＡと不要外側剥離シートＲＬＢとに接着テープや接着剤等の接続部材ＣＭを取付ける図示しない接続部材取付手段と、切込ＣＵが形成された原反ＲＳ１から、不要内側剥離シートＲＬＡ、不要外側剥離シートＲＬＢ、不要接着シート部分ＡＳＡおよび接続部材ＣＭからなる不要原反部分ＲＳＡを剥離する不要原反部分剥離手段２３と、ウエハＷＦに第１接着シートＡＳ１を貼付するとともに、当該第１接着シートＡＳ１から第１剥離シートＲＬ１を剥離して回収する貼付回収手段２４と、ウエハＷＦを支持して搬送する第１搬送手段２５とを備えている。
【００１２】
繰出手段２１は、原反ＲＳ１を支持する支持ローラ２１Ａと、駆動機器としての回動モータ２１Ｂによって駆動され、ピンチローラ２１Ｃとで原反ＲＳ１を挟み込む駆動ローラ２１Ｄとを備えている。
切断手段２２は、駆動機器としての回動モータ２２Ａによって駆動されるローラ本体２２Ｂと、ローラ本体２２Ｂの外周面に設けられた切断刃２２Ｃと、図示しない機構によりローラ本体２２Ｂと同期回転するプラテンローラ２２Ｄとを備えている。
不要原反部分剥離手段２３は、原反ＲＳ１を案内するガイドローラ２３Ａと、剥離縁２３Ｂで原反ＲＳ１を折り返して当該原反ＲＳ１から不要原反部分ＲＳＡを剥離する剥離部材としての剥離板２３Ｃと、駆動機器としての回動モータ２３Ｄによって駆動され、ピンチローラ２３Ｅとで不要原反部分ＲＳＡを挟み込む駆動ローラ２３Ｆと、図示しない駆動機器によって駆動され、ピンチローラ２３Ｅとの間に存在する不要原反部分ＲＳＡに常に所定の張力を付与して回収する回収ローラ２３Ｇとを備えている。
貼付回収手段２４は、駆動機器としてのリニアモータ２４Ａのスライダ２４Ｂに支持されたフレーム２４Ｃと、フレーム２４Ｃに支持された駆動機器としての回動モータ２４Ｄによって駆動され、ピンチローラ２４Ｅとで第１剥離シートＲＬ１を挟み込む駆動ローラ２４Ｆと、図示しない駆動機器によって駆動され、ピンチローラ２４Ｅとの間に存在する第１剥離シートＲＬ１に常に所定の張力を付与して回収する回収ローラ２４Ｇとを備えている。
第１搬送手段２５は、駆動機器としてのリニアモータ２５Ａのスライダ２５Ｂに支持された駆動機器としての直動モータ２５Ｃと、直動モータ２５Ｃの出力軸２５Ｄに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持面２５Ｅを有する支持部材としてのテーブル２５Ｆとを備えている。
【００１３】
第２接着シート貼付手段３０は、第３剥離シートＲＬ３の一方の面に第２接着シートＡＳ２が仮着された原反ＲＳ２を支持する支持ローラ３１と、原反ＲＳ２を案内するガイドローラ３２と、第３剥離シートＲＬ３から第２接着シートＡＳ２を剥離縁３３Ａで折り返して剥離する剥離部材としての剥離板３３と、駆動機器としての回動モータ３４Ａによって駆動され、ピンチローラ３４Ｂとで第３剥離シートＲＬ３を挟み込む駆動ローラ３４と、図示しない駆動機器によって駆動され、ピンチローラ３４Ｂとの間に存在する第３剥離シートＲＬ３に常に所定の張力を付与して回収する回収ローラ３５と、ウエハＷＦに貼付された第１接着シートＡＳ１およびフレーム部材としてのリングフレームＲＦに第２接着シートＡＳ２を押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ３６と、ウエハＷＦおよびリングフレームＲＦを支持して搬送する第２搬送手段３７とを備え、凹凸ＲＨを形成した外縁対応部ＡＲに第２接着シートＡＳ２を貼付する構成となっている。
第２搬送手段３７は、駆動機器としてのリニアモータ３７Ａのスライダ３７Ｂに支持された駆動機器としての直動モータ３７Ｃと、直動モータ３７Ｃの出力軸３７Ｄに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持面３７Ｅ、３７Ｆを有する支持部材としてのテーブル３７Ｇとを備えている。
【００１４】
搬送手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持された駆動機器としての直動モータ４２と、直動モータ４２の出力軸４２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持面４３Ａを有する保持手段４３と、一方の面がウエハＷＦに貼付された第１接着シートＡＳ１の他方の面であって、ウエハＷＦの外縁部に対応する外縁対応部ＡＲに凹凸ＲＨを形成する凹凸形成手段４４とを備えている。
凹凸形成手段４４は、第１接着シートＡＳ１に圧着されることで、当該第１接着シートＡＳ１の外縁対応部ＡＲに凹凸ＲＨを転写（形成）可能な凹凸形成面４４Ａを備えている。なお、凹凸形成面４４Ａは、保持面４３Ａの一部を構成し、当該保持面４３Ａに吸着保持力を付与する図示しない減圧手段によって、当該保持面４３Ａと同時に吸着保持が可能となっている。
【００１５】
以上のシート貼付装置１０の動作を説明する。
先ず、各部材が初期位置で待機する図１中実線で示すシート貼付装置１０に対し、当該シート貼付装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が原反ＲＳ１、ＲＳ２を同図のようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、第１接着シート貼付手段２０が回動モータ２１Ｂ、２２Ａ、２３Ｄ、２４Ｄおよび図示しない接続部材取付手段を駆動し、原反ＲＳ１を繰り出しながら当該原反ＲＳ１に切込ＣＵを形成しつつ、不要内側剥離シートＲＬＡと不要外側剥離シートＲＬＢとに接続部材ＣＭを取付ける。そして、剥離板２３Ｃの剥離縁２３Ｂで原反ＲＳ１から不要原反部分ＲＳＡが剥離され、図１中実線で示すように、第１剥離シートＲＬ１に仮着された先頭の第１接着シートＡＳ１がテーブル２５Ｆの上方の所定位置に到達すると、第１接着シート貼付手段２０が回動モータ２１Ｂ、２２Ａ、２３Ｄ、２４Ｄおよび図示しない接続部材取付手段の駆動を停止する。また、第２接着シート貼付手段３０が回動モータ３４Ａを駆動し、原反ＲＳ２を繰り出し、図１中実線で示すように、先頭の第２接着シートＡＳ２の繰出方向先端部が剥離板３３の剥離縁３３Ａで所定量剥離されると、回動モータ３４Ａの駆動を停止する。
【００１６】
次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段が、図１中実線で示すように、ウエハＷＦをテーブル２５Ｆ上の所定の位置に載置するとともに、リングフレームＲＦをテーブル３７Ｇ上の所定の位置に載置すると、第１接着シート貼付手段２０および第２接着シート貼付手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面２５Ｅ、３７ＦでのウエハＷＦおよびリングフレームＲＦの吸着保持を開始する。その後、第１接着シート貼付手段２０が直動モータ２５Ｃを駆動し、図１中二点鎖線で示すように、テーブル２５Ｆを上昇させてウエハＷＦを第１接着シートＡＳ１に接近させた後、第１接着シート貼付手段２０が回動モータ２４Ｄおよびリニアモータ２４Ａを駆動し、第１剥離シートＲＬ１を回収ローラ２４Ｇ方向へ送りつつ、フレーム２４Ｃを左方に移動させる。これにより、第２接着シートＡＳ２が駆動ローラ２４ＦによってウエハＷＦに押圧され、当該ウエハＷＦの上面に第１接着シートＡＳ１が貼付されるとともに、当該第１接着シートＡＳ１から第１剥離シートＲＬ１が剥離され、貼合体ＷＫ１が形成される。第１接着シートＡＳ１から第１剥離シートＲＬ１が完全に剥離されると、第１接着シート貼付手段２０が回動モータ２４Ｄおよびリニアモータ２４Ａの駆動を停止する。
【００１７】
次に、第１接着シート貼付手段２０が直動モータ２５Ｃを駆動し、テーブル２５Ｆを初期位置に復帰させると、第１接着シート貼付手段２０が回動モータ２４Ｄの回転をロックさせた状態で、回動モータ２１Ｂ、２２Ａ、２３Ｄ、図示しない接続部材取付手段およびリニアモータ２４Ａを駆動し、フレーム２４Ｃを初期位置方向に移動させる。すると、上記と同様に、原反ＲＳ１に切込ＣＵが形成されつつ、不要内側剥離シートＲＬＡと不要外側剥離シートＲＬＢとに接続部材ＣＭが取付けられ、次の第２接着シートＡＳ２がテーブル２５Ｆの上方の所定位置に到達すると、第１接着シート貼付手段２０が回動モータ２１Ｂ、２２Ａ、２３Ｄ、図示しない接続部材取付手段およびリニアモータ２４Ａの駆動を停止する。そして、第１接着シート貼付手段２０がリニアモータ２５Ａを駆動し、図１中二点鎖線で示すように、テーブル２５Ｆを保持手段４３の下方の所定位置に移動させると、搬送手段４０が直動モータ４２を駆動し、保持手段４３を下降させて保持面４３Ａを第１接着シートＡＳ１に当接させる。これにより、凹凸形成面４４Ａが第１接着シートＡＳ１の外縁対応部ＡＲに圧着され、当該外縁対応部ＡＲに凹凸ＲＨが転写（形成）される。次いで、搬送手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、凹凸形成面４４Ａを含む保持面４３Ａでの第１接着シートＡＳ１の吸着保持を開始する。この際、第１接着シートＡＳ１の外縁対応部ＡＲを凹凸形成面４４Ａで吸引するため、より確実に外縁対応部ＡＲに凹凸ＲＨを形成することができる。
【００１８】
その後、第１接着シート貼付手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面２５Ｅでの貼合体ＷＫ１の吸着保持を解除した後、搬送手段４０が直動モータ４２を駆動し、貼合体ＷＫ１を保持面２５Ｅから離間させると、第１接着シート貼付手段２０がリニアモータ２５Ａを駆動し、テーブル２５Ｆを初期位置に復帰させる。次に、搬送手段４０がリニアモータ４１および直動モータ４２を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、保持面４３Ａで吸着保持した貼合体ＷＫ１をテーブル３７Ｇ上の所定の位置に載置する。そして、第２接着シート貼付手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面３７Ｅでの貼合体ＷＫ１の吸着保持を開始すると、搬送手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面４３Ａでの貼合体ＷＫ１の吸着保持を解除した後、直動モータ４２およびリニアモータ４１を駆動し、保持手段４３を初期位置に復帰させる。
【００１９】
次いで、第２接着シート貼付手段３０がリニアモータ３７Ａを駆動し、テーブル３７Ｇを右方に移動させ、当該テーブル３７Ｇが所定の位置に到達すると、第２接着シート貼付手段３０が回動モータ３４Ａを駆動し、リングフレームＲＦおよび貼合体ＷＫ１の移動速度に合わせて原反ＲＳ２を繰り出す。これにより、第２接着シートＡＳ２が剥離板３３の剥離縁３３Ａで第３剥離シートＲＬ３から剥離され、当該第２接着シートＡＳ２が押圧ローラ３６によってリングフレームＲＦおよび第１接着シートＡＳ１の上面に押圧され、一体物ＷＫ２が形成される。この際、第１接着シートＡＳ１の外縁対応部ＡＲに凹凸ＲＨが形成されているため、当該凹凸ＲＨに第２接着シートＡＳ２の接着剤層が入り込み、第１接着シートＡＳ１に対する第２接着シートＡＳ２の接着力が高まる。その後、次の第２接着シートＡＳ２の繰出方向先端部が剥離板３３の剥離縁３３Ａで所定量剥離されると、第２接着シート貼付手段３０が回動モータ３４Ａの駆動を停止する。
【００２０】
テーブル３７Ｇが押圧ローラ３６の右方の所定位置に到達すると、第２接着シート貼付手段３０がリニアモータ３７Ａの駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面３７Ｅ、３７ＦでのウエハＷＦおよびリングフレームＲＦの吸着保持を解除する。次に、使用者または図示しない移送手段が一体物ＷＫ２を次工程に搬送すると、第２接着シート貼付手段３０がリニアモータ３７Ａを駆動し、テーブル３７Ｇを初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２１】
以上のような実施形態によれば、一方の面がウエハＷＦに貼付された第１接着シートＡＳ１の他方の面の外縁対応部ＡＲに凹凸ＲＨを形成し、当該凹凸ＲＨを形成した外縁対応部ＡＲに第２接着シートＡＳ２を貼付するので、第２接着シートＡＳ２の接着剤層が第１接着シートＡＳ１の凹凸ＲＨに入り込み、第１接着シートＡＳ１に対する第２接着シートＡＳ２の接着力が高まる。このため、接触型の切断手段によってウエハＷＦを第１接着シートＡＳ１と共に切断して複数の個片体を形成する工程を実施したとしても、ウエハＷＦの外周部に位置する外周部個片体が第２接着シートＡＳ２から脱落することを防止することができる。
【００２２】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２３】
例えば、予め、ウエハＷＦの一方の面に第１接着シートＡＳ１が貼付されている場合、シート貼付装置１０は、凹凸形成手段４４と、第２接着シート貼付手段３０とで構成してもよい。この場合、テーブル３７Ｇで支持した貼合体ＷＫ１の第１接着シートＡＳ１の外縁対応部ＡＲに凹凸形成手段４４の凹凸形成面４４Ａを圧着することで、当該外縁対応部ＡＲに凹凸ＲＨを形成した後、当該凹凸ＲＨを形成した外縁対応部ＡＲに上述と同様に、第２接着シート貼付手段３０で第２接着シートＡＳ２を貼付すればよい。
【００２４】
第１接着シート貼付手段２０は、テーブル２５Ｆを上昇させてウエハＷＦを第１接着シートＡＳ１に接近させた際、ウエハＷＦを第１接着シートＡＳ１に当接させてもよいし、当接させなくてもよいし、原接着シートＢＳをウエハＷＦの上面に貼付した後に、当該原接着シートＢＳを切断手段で所定形状に切断してもよいし、切断手段２２を採用せずに、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２に仮着された原接着シートＢＳに閉ループ状の切込ＣＵが設けられた原反を繰り出してもよいし、第２接着シート貼付手段３０と同様の構成とし、例えば、枚葉の第１剥離シートＲＬ１が仮着された第１接着シートＡＳ１が所定間隔を隔てて帯状の第２剥離シートＲＬ２上に仮着された原反を繰り出し、第１剥離シートＲＬ１が仮着された第１接着シートＡＳ１をウエハＷＦに貼付してもよいし、第２剥離シートＲＬ２が仮着されていない原反ＲＳ１を採用してもよいし、接続部材取付手段として、第２接着シート貼付手段３０と同等の構成のものを採用したり、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で接続部材ＣＭを保持し、当該保持部材で保持した接続部材ＣＭを不要内側剥離シートＲＬＡと不要外側剥離シートＲＬＢとに貼付するものを採用したりしてもよい。
【００２５】
第２接着シート貼付手段３０は、第３剥離シートＲＬ３に仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が第２接着シートＡＳ２とされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が第３剥離シートＲＬ３に仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を第２接着シートＡＳ２としてもよいし、第２接着シートＡＳ２を第３剥離シートＲＬ３から剥離する際、原反ＲＳ２に所定の張力が付与されるように回動モータ３４Ａのトルク制御を行ってもよいし、原反ＲＳ２を巻回すことなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、第３剥離シートＲＬ３を巻回すことなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、第３剥離シートＲＬ３を回収しなくてもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で第２接着シートＡＳ２を保持し、当該保持部材で保持した第２接着シートＡＳ２を第１接着シートＡＳ１とリングフレームＲＦとに貼付してもよい。
第２接着シート貼付手段３０は、ウエハＷＦや第１接着シートＡＳ１と同形状の第２接着シートＡＳ２を第１接着シートＡＳ１に貼付するものであってもよく、ウエハＷＦとリングフレームＲＦを一体化するものでなくてもよい。この場合、第１搬送手段２５は、テーブル２５Ｆが第２接着シート貼付手段３０の下方まで移動可能な長さとなるようにリニアモータ２５Ａを構成し、保持面２５Ｅで保持した貼合体ＷＫ１に第２接着シート貼付手段３０でウエハＷＦや第１接着シートＡＳ１と同形状の第２接着シートＡＳ２を第１接着シートＡＳ１に貼付してもよく、この場合、第２接着シート貼付手段３０に第２搬送手段３７が備わっていなくてもよい。
第２搬送手段３７は、テーブル３７Ｇが第１接着シート貼付手段２０の下方まで移動可能な長さとなるようにリニアモータ３７Ａを構成し、保持面３７Ｅで保持したウエハＷＦに第１接着シート貼付手段２０で第１接着シートＡＳ１を貼付してもよい。この場合、第１接着シート貼付手段２０に第１搬送手段２５が備わっていなくてもよい。
【００２６】
搬送手段４０は、上記以外の駆動機器で貼合体ＷＫ１を搬送してもよいし、ウエハＷＦの第１接着シートＡＳ１が貼付された面の反対側の面を保持して搬送してもよい。
凹凸形成手段４４は、搬送手段４０の保持手段４３から独立した別体の構成としてもよく、この場合、テーブル２５Ｆに支持された貼合体ＷＫ１の第１接着シートＡＳ１の外縁対応部ＡＲに、保持手段４３から独立した別体の凹凸形成手段４４の凹凸形成面４４Ａを圧着して当該外縁対応部ＡＲに凹凸ＲＨを形成した後、当該凹凸ＲＨを形成した貼合体ＷＫ１を保持手段４３で吸着保持してテーブル３７Ｇに搬送してもよいし、テーブル２５Ｆに支持された貼合体ＷＫ１を保持手段４３で吸着保持してテーブル３７Ｇに搬送した後、当該貼合体ＷＫ１の外縁対応部ＡＲに、保持手段４３から独立した別体の凹凸形成手段４４の凹凸形成面４４Ａを圧着して当該外縁対応部ＡＲに凹凸ＲＨを形成してもよい。
凹凸形成手段４４は、表面が凹凸形状とされたローラや、ブラシ、剣山、砥石、やすり、サンドペーパ等を第１接着シートＡＳ１の外縁対応部ＡＲに当接させて凹凸ＲＨを形成してもよいし、当該外縁対応部ＡＲに粘着シートを貼付したり剥がしたりして凹凸ＲＨを形成してもよい。
【００２７】
フレーム部材は、リングフレームＲＦ以外に、環状でない（外周が繋がっていない）ものや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。
【００２８】
また、本発明における接着シートＡＳ１、ＡＳ２および被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、ウエハＷＦよりも大きい形状であってもよいし、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳ１、ＡＳ２が採用された場合は、当該接着シートＡＳ１、ＡＳ２を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳ１、ＡＳ２を機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００２９】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第１接着シート貼付手段は、第１接着シートの一方の面を被着体に貼付可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、当該ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、ローラの表面やローラ自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、ローラの表面やローラ自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断してもよい。
【符号の説明】
【００３０】
１０    シート貼付装置
２０    第１接着シート貼付手段
３０    第２接着シート貼付手段
４０    搬送手段
４４    凹凸形成手段
ＡＲ    外縁対応部
ＡＳ１  第１接着シート
ＡＳ２  第２接着シート
ＲＨ    凹凸
ＷＦ    ウエハ（被着体）
【図１】
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