(57)【要約】【課題】  集積配置したとしても、ボディ部材の側面に配置されたヒータを容易に取り外すことができるメンテナンス性に優れた流体制御装置を提供する。【解決手段】流体が流れる流路を内部に有するブロック状のものであり、前記流路を流れる流体を制御するための各機器が設置された設置面と、前記設置面と隣接する側面とを有するボディ部材と、前記ボディ部材を加熱するヒータと、前記ボディ部材の前記設置面と対向する対向面を有し、前記対向面を前記設置面に対向させた状態で、前記ヒータを前記側面に沿うように保持するヒータ保持部材と、前記対向面を前記設置面へ向けて押圧する押圧機構とを具備する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れる流路を内部に有するブロック状のものであり、前記流路を流れる流体を制御するための各機器が設置された設置面と、前記設置面と隣接する側面とを有するボディ部材と、
前記ボディ部材を加熱するヒータと、
前記ボディ部材の前記設置面と対向する対向面を有し、前記対向面を前記設置面に対向させた状態で、前記ヒータを前記側面に沿うように保持するヒータ保持部材と、
前記対向面を前記設置面へ向けて押圧する押圧機構とを具備することを特徴とする流体制御装置。
【請求項２】
前記設置面が、前記対向面に接触する第１接触部を備えるものであり、
前記対向面が、前記第１接触部と接触する第２接触部を備えるものであり、
前記第１接触部又は前記第２接触部の少なくとも一方が、前記押圧機構の押圧方向に対して傾斜する面状に形成されている請求項１記載の流体制御装置。
【請求項３】
前記第１接触部及び前記第２接触部が、前記設置面と前記対向面との間に介在するスライド機構を構成するものであり、
前記スライド機構が、前記押圧機構の押圧により、前記ヒータが前記側面側へ向かうように、前記ヒータ保持部材を前記ボディ部材に対してスライドさせるものである請求項２記載の流体制御装置。
【請求項４】
前記第１接触部及び前記第２接触部が、互いに面接触するように構成されている請求項２又は３のいずれかに記載の流体制御装置。
【請求項５】
前記ヒータ保持部材が、
前記対向面を有する取付部と、
前記取付部の前記対向面側から前記側面に沿うように延びるヒータ保持部とを備えるものであり、
前記ヒータが、前記ヒータ保持部の前記側面と対向する一方面又は前記一方面と反対側の他方面の少なくとも一方に設けられている請求項１乃至４のいずれかに記載の流体制御装置。
【請求項６】
前記ヒータ保持部材の前記一方面が、前記対向面から前記側面側へ向かって傾斜している請求項５記載の流体制御装置。
【請求項７】
前記押圧機構が、
前記設置面に設けられたネジ孔と、
前記取付部を貫通し、前記ヒータ保持部から遠ざかる方向へ延びる長孔と、
前記長孔に通された状態で、前記ネジ孔にネジ止めされるネジ部材とを備えるものである請求項５又は６のいずれかに記載の流体制御装置。
【請求項８】
流体が流れる流路を内部に有するブロック状のものであり、前記流路を流れる流体を制御するための各機器が設置された設置面と、前記設置面と隣接する一対の側面とを備えるボディ部材と、前記各側面に沿うように配置されるヒータと、前記ヒータを前記側面に密着させて保持する保持機構とを具備し、
前記保持機構が、
前記ボディ部材のそれぞれの側面と対向し、当該側面との間で前記ヒータを保持する一対のヒータ保持板と、
前記ボディ部材に設けられ、前記一対のヒータ保持板の前記設置面が向く方向と反対方向へ延びる一端部を係止する係止構造と、
前記一対のヒータ保持板の前記設置面が向く方向へ延びる他端部同士を互いに連結する連結機構とを具備し、
前記一対のヒータ保持板の一端部を前記係止部に係止すると共に他端部同士を前記連結機構で連結することにより、前記ヒータが前記側面に密着して保持されるように構成されていることを特徴とする流体制御装置。
【請求項９】
流体が流れる流路を内部に有するブロック状のものであり、前記流路を流れる流体を制御するための各機器が設置された設置面と、前記設置面と隣接する一対の側面とを備えるボディ部材と、前記側面に沿うように配置されるヒータと、前記ヒータを前記側面に密着させて保持する保持機構とを具備し、
前記保持機構が、
前記ボディ部材の側面と対向し、当該側面との間で前記ヒータを保持するヒータ保持板と、
前記ボディ部材に設けられ、前記ヒータ保持板の前記設置面が向く方向と反対方向へ延びる一端部を係止する係止構造と、
前記ヒータ保持板の前記設置面が向く方向へ延びる他端部を前記ボディ部材と連結する連結機構とを具備し、
前記一対のヒータ保持板の一端部を前記係止部に係止すると共に他端部を前記設置面に前記連結機構で連結することにより、前記ヒータが前記側面に密着して保持されるように構成されていることを特徴とする流体制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体制御装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の流体制御装置として、例えば、特許文献１に示すように、流体が流れる流路を内部に有するブロック状のボディ部材と、ボディ部材の設置面に設置され、流路を流れる流体を制御するための各機器とを備えたものがある。
【０００３】
なお、前記従来の流体制御装置は、ボディ部材を加熱するためのヒータをボディ部材の設置面と隣接する側面にネジ止めした構造になっている。
【０００４】
ところで、この種の流体制御装置は、複数集積して設置されることが一般的であるが、この場合、隣り合う流体制御装置は、ボディ部材の側面同士を近接させて配置される。このため、ヒータが、隣り合うボディ部材の間に位置付けられてアクセスし難くなり、ヒータのメンテナンスが非常に面倒であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１６−１１９０１２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明は、集積配置したとしても、ボディ部材の側面に配置されたヒータを容易に取り外すことができるメンテナンス性に優れた流体制御装置を得ることを主な課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
すなわち、本発明に係る流体制御装置は、流体が流れる流路を内部に有するブロック状のものであり、前記流路を流れる流体を制御するための各機器が設置された設置面と、前記設置面と隣接する側面とを有するボディ部材と、前記ボディ部材を加熱するヒータと、前記ボディ部材の前記設置面と対向する対向面を有し、前記対向面を前記設置面に対向させた状態で、前記ヒータを前記側面に沿うように保持するヒータ保持部材と、前記対向面を前記設置面へ向けて押圧する押圧機構とを具備することを特徴とするものである。
【０００８】
このようなものであれば、ボディ部材の設置面に押圧機構によって押圧して取り付けられるヒータ保持部材により、ヒータを側面に沿うように保持する構造としたので、集積配置された後でも比較的アクセスが容易なボディ部材の設置面側からヒート保持部材を取り外すことができる。これにより、ヒータのメンテナンス性が向上する。なお、押圧機構によって対向面を設置面へ向けて押圧しているため、ボディ部材に対するヒータ保持部材の位置ずれを抑制できる。
【０００９】
また、前記設置面が、前記対向面に接触する第１接触部を備えるものであり、前記対向面が、前記第１接触部と接触する第２接触部を備えるものであり、前記第１接触部又は前記第２接触部の少なくとも一方が、前記押圧機構の押圧方向に対して傾斜する面状に形成されているものであってもよい。
【００１０】
なお、前記第１接触部及び前記第２接触部が、前記設置面と前記対向面との間に介在するスライド機構を構成するものであり、前記スライド機構が、前記押圧機構の押圧により、前記ヒータが前記側面側へ向かうように、前記ヒータ保持部材を前記ボディ部材に対してスライドさせるものであってもよい。
【００１１】
このようなものであれば、設置面と対向面との間に、押圧機構の押圧により、ヒータが側面側へ向かうように、ヒータ保持部材をボディ部材に対してスライドさせることができるため、ボディ部材の側面に対してヒータを確実に密着させることができる。これにより、ボディ部材に対してヒータの熱が効率的に伝達されるようになる。
【００１２】
前記スライド機構の具体的な構成としては、前記スライド機構が、前記設置面に設けられた第１接触部と、前記対向面に設けられ、前記第１接触部と接触する第２接触部とを備えるものであり、前記第１接触部又は前記第２接触部の少なくとも一方が、前記押圧機構の押圧方向に対して傾斜する面状に形成されている構成とすればよい。また、この場合、前記第１接触部及び前記第２接触部が、互いに面接触するように構成されたものであってもよい。
【００１３】
このようなものであれば、複雑な構造を用いることがなく、ヒータ保持部材をボディ部材に対してスライドさせることができるスライド機構を構成することができる。
【００１４】
また、前記ヒータ保持部材の具体的な構成としては、前記ヒータ保持部材が、前記対向面を有する取付部と、前記取付部の前記対向面側から前記側面に沿うように延びるヒータ保持部とを備えるものであり、前記ヒータが、前記ヒータ保持部の前記側面と対向する一方面又は前記一方面と反対側の他方面の少なくとも一方に設けられた構成のものが挙がられる。
【００１５】
また、前記ヒータ保持部材の前記一方面が、前記対向面から前記側面側へ向かって傾斜しているものであってもよい。
【００１６】
このようなものであれば、押圧機構によって対向面を設置面へ向けて押圧させた場合に、ヒータ保持部の少なくとも一部を側面に対して付勢された状態で密着させることができる。
【００１７】
また、前記押圧機構の具体的な構成としては、前記押圧機構が、前記設置面に設けられたネジ孔と、前記取付部を貫通し、前記ヒータ保持部から遠ざかる方向へ延びる長孔と、前記長孔に通された状態で、前記ネジ孔にネジ止めされるネジ部材とを備えるものが挙げられる。
【００１８】
このように構成した流体制御装置によれば、集積配置したとしても、ボディ部材の側面に配置されたヒータを設置面側から容易に取り外すことができ、メンテナンス性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１の実施形態に係る流体制御装置を模式的に示す分解斜視図である。
【図２】第１の実施形態に係る流体制御装置のボディ部材を長手方向に切断した状態を模式的に示す断面図である。
【図３】第１の実施形態に係る流体制御装置のボディ部材を幅方向に切断した状態を模式的に示す分解断面図である。
【図４】第１の実施形態に係る流体制御装置のボディ部材に対してヒータ保持部材を取り付ける過程を模式的に示す断面図である。
【図５】第２の実施形態に係る流体制御装置のボディ部材を幅方向に切断した状態を模式的に示す断面図である。
【図６】第２の実施形態に係る流体制御装置のボディ部材に対してヒータ保持部材を取り付ける過程を模式的に示す断面図である。
【図７】第１の実施形態に係るその他の実施形態の流体制御装置を模式的に示す断面図である。
【図８】第１の実施形態に係るその他の実施形態の流体制御装置を模式的に示す断面図である。
【図９】第２の実施形態に係るその他の実施形態の流体制御装置を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に、本発明に係る流体制御装置を図面に基づいて説明する。
【００２１】
本発明に係る流体制御装置は、例えば、半導体製造ライン等に組み込まれて使用されるものである。
【００２２】
＜第１の実施形態＞  本実施形態に係る流体制御装置１００は、図１及び図２に示すように、流体が流れる流路Ｌを内部に有するボディ部材１０と、ボディ部材１０に設置され、流路Ｌを流れる流体を制御する各機器２０と、ボディ部材１０を加熱するヒータ３０と、ボディ部材１０に取り付けられ、ヒータ３０を保持するヒータ保持部材４０と、を備えている。
【００２３】
前記ボディ部材１０は、ブロック状のものである。具体的には、ボディ部材１０は、直方体状のものである。なお、ボディ部材１０は、長手方向の一端面に流路Ｌへ流体を導入する導入ポート１０ａを備えていると共に、長手方向の他端面に流路Ｌから流体を導出する導出ポート１０ｂを備えている。
【００２４】
なお、前記ボディ部材１０は、長手方向に延びる所定面を設置面Ｓ１とし、当該設置面Ｓ１に対し、各機器２０が設置されると共に、ヒータ保持部材４０が取り付けられるように構成されている。また、ボディ部材１０は、設置面Ｓ１に流路Ｌへパージガスを導入するパージガス導入ポート１０ｃを備えている。
【００２５】
前記各機器２０は、流路Ｌを流れる流体を制御するものである。具体的には、本実施形態の各機器２０は、第１空圧弁２０ａ、予備加熱タンク２０ｂ、第１流量調節弁２０ｃ、加熱タンク２０ｄ、圧力センサ２０ｅ、第２空圧弁２０ｆ、第３空圧弁２０ｇ、第２流量調節弁２０ｈ、流量センサ２０ｉ、を備えている。なお、これらの各機器２０は、ボディ部材１０の設置面Ｓ１に対し、流路Ｌの上流側から下流側に向かってこの順番で設置されている。
【００２６】
そして、前記本実施形態の各機器２０は、導入ポート１０ａから導入された液体材料の流量を第１流量調節弁２０ｃによって調節しながら予備加熱タンク２０ｂ及び加熱タンク２０ｄで加熱して材料ガスとし、材料ガスの流量を流量センサ２０ｉの測定値が設定値に近づくように第２流量調節弁２０ｈによってフィードバック制御して導出ポート１０ｂから導出するように構成されている。
【００２７】
前記ヒータ３０は、偏平板状のものである。ヒータ３０としては、例えば、ラバーヒータを用いることができる。
【００２８】
前記ヒータ保持部材４０は、ボディ部材１０の設置面Ｓ１に取り付けられ、ボディ部材１０の設置面Ｓ１と隣接する側面Ｓ２に沿うようにヒータ３０を保持するものである。ここで、側面Ｓ２は、ボディ部材１０の設置面Ｓ１に対して長手方向に沿って隣接する面であり、本実施形態の側面Ｓ２は、設置面Ｓ１に対して直交している。なお、本実施形態においては、二つのヒータ保持部材４０をボディ部材１０に取り付ける構造になっているが、両ヒータ保持部材４０の構造及びその取付構造は、ボディ部材１０の長手方向に延びる中心線αに対して対称構造になっているため、以下においては、一方のヒータ保持部材４０に絞って構造を説明する。
【００２９】
前記ヒータ保持部材４０は、具体的には、ボディ部材１０の設置面Ｓ１と対向する対向面４０ｓを備えた一対の取付部４０ａと、各取付部４０ａに架け渡されるヒータ保持部４０ｂと、を備えている。なお、ヒータ保持部４０ｂは、図３に示すように、一対の取付部４０ａの対向面４０ｓを設置面Ｓ１に対向させた状態で、ボディ部材１０の側面Ｓ２に沿うように延びている。また、ヒータ保持部材４０は、各取付部４０ａの対向面４０ｓが押圧機構５０によって設置面Ｓ１へ向けて押圧されるように構成されている。本実施形態のヒータ保持部材４０は、二つの取付部４０ａを備えているが、取付部４０ａを一つ又は三つ以上の備えるものであってもよい。
【００３０】
なお、前記ヒータ３０は、ヒータ保持部４０ｂの側面Ｓ１と対向する一方面４０ｘと反対側の他方面４０ｙに設けられている。ヒータ３０は、ヒータ保持部４０ｂの一方面４０ｘに設けてもよく、一方面４０ｘ及び他方面４０ｙの双方に設けてもよい。
【００３１】
前記押圧機構５０は、対向面４０ｓを設置面Ｓ１へ向けて押圧するものである。具体的には、押圧機構５０は、ボディ部材１０の設置面Ｓ１に設けられたネジ孔５０ａと、ヒータ保持部材４０の取付部４０ａを貫通し、ヒータ保持部４０ｂから遠ざかる方向（一方面４０ｘと交差する方向）へ延びる長孔５０ｂと、長孔５０ｂに通された状態で、ネジ孔５０ａにネジ止めされるボルト状のネジ部材５０ｃと、を備えている。なお、ネジ部材５０ｃは、長孔５０ｂを通過する軸部５０ｘと、長孔５０ｂを通過しない頭部５０ｙと、を有している。
【００３２】
そして、前記押圧機構５０は、ネジ部材５０ｃをネジ孔５０ａに対してねじ込むことにより、長孔５０ｂに引っ掛かるネジ部材５０ｃの頭部５０ｙによって取付部４０ａの対向面４０ｓを設置面Ｓ１へ向けて押圧するように構成されている。
【００３３】
また、前記対向面４０ｓと前記設置面Ｓ１との間には、スライド機構６０が介在している。なお、スライド機構６０は、押圧機構５０の押圧により、ヒータ保持部４０ｂに保持されたヒータ３０が側面側Ｓ２へ向かうように、ヒータ保持部材４０をボディ部材１０に対してスライドさせるものである。
【００３４】
具体的には、前記スライド機構６０は、設置面Ｓ１に設けられた第１接触部６０ａと、対向面４０ｓに設けられた第２接触部６０ｂと、を備えるものである。なお、第１接触部６０ａは、設置面Ｓ１のうちで対向面４０ｓと接触する部分によって構成され、例えば、面形状や突起形状のものである。また、第２接触部６０ｂは、対向面４０ｓのうちで設置面Ｓ１と接触する部分によって構成され、例えば、面形状や突起形状のものである。そして、第１接触部６０ａと第２接触部６０ｂとは、押圧機構５０によって対向面４０ｓが設置面Ｓ１へ向けて押圧された場合に、互いにスライド可能に接触するように構成されている。
【００３５】
本実施形態の前記第１接触部６０ａ及び前記第２接触部６０ｂは、図３に示すように、押圧機構５０の押圧方向Ｘに対して傾斜する面状（具体的には、平面状）に形成されている。なお、そして、第１接触部６０ａ及び第２接触部６０ｂは、互いに面接触するように構成されている。また、第１接触部６０ａを構成する面は、側面Ｓ２となす角度θ１が鋭角になるように傾斜している。また、第２接触部６０ｂを構成する面は、一方面４０ｘとなす角度θ２が鋭角になるように傾斜している。なお、当該側面Ｓ２は、第１接触部６０ａ及び第２接触部６０ｂを接触させることにより、設置面Ｓ１に取り付けられるヒータ保持部材４０によって保持されたヒータ３０が対向する面を示している。因みに、第１接触部６０ａを構成する面は、側面Ｓ２が向く方向（図３中、左方向）と反対方向（図３中、右方向）側へ向くように傾斜しており、第２接触部６０ｂを構成する面は、一方面４０ｘが向く方向（図３中、右方向）と反対方向（図３中、左方向）側へ向くように傾斜している。言い換えれば、第１接触部６０ａと第２接触部６０ｂとを接触させた状態で、第２接触部６０ｂを構成する面は、側面Ｓ２が向く方向（図３中、左方向）と同一方向側へ向くように傾斜している。すなわち、第１接触部６０ａと第２接触部６０ｂとは、互いに接触させた状態で少なくとも一方が押圧機構５０の押圧方向Ｘに対して傾斜する面状に形成されており、第１接触部６０ａが面状に形成されている場合には、当該面が側面Ｓ２が向く方向と反対方向側に向くように傾斜し、第２接触部６０ｂが面状に形成されている場合には、当該面が側面Ｓ２が向く方向と同一方向側（一方面４０ｘが向く方向と反対方向側）へ向くように傾斜していればよい。
【００３６】
なお、前記第１接触部６０ａ又は前記第２接触部６０ｂは、少なくとも一方が押圧機構５０の押圧方向Ｘに対して傾斜する面状に形成されていればよく、当該一方の面に対して他方が点接触又は線接触するように構成してもよい。この場合、第１接触部６０ａ及び第２接触部６０ａが、二箇所以上で接触するように構成することが好ましい。
【００３７】
また、前記第１接触部６０ａ及び前記第２接触部６０ｂを接触させた状態において、ヒータ保持部４０ｂは、一方面４０ｘが側面Ｓ２と平行か、或いは、一方面４０ｘが対向面４０ｓから側面側に向かって傾斜している。
【００３８】
なお、本実施形態のボディ部材１０は、設置面Ｓ１における圧力センサ２０ｅ及び第２空圧弁２０ｆの間と、第３空圧弁２０ｇ及び第２流量調節弁２０ｈとの間と、に第１接触部６０ａを設けている。
【００３９】
次に、本実施形態におけるボディ部材１０に対するヒータ保持部材４０の取付方法を図４に基づいて説明する。
【００４０】
先ず、図４（ａ）に示すように、ヒータ保持部材４０を、対向面４０ｓが設置面Ｓ１と対向するように配置する。そして、第１接触部６０ａ及び第２接触部６０ｂを互いに接触させる。
【００４１】
次に、ネジ部材５０ｃの軸部５０ｘを、長孔５０ｂに通した状態でネジ孔５０ａにネジ止めする。そして、ネジ部材５０ｃをネジ孔５０ａに対してねじ込むことにより、ネジ部材５０ｃの頭部５０ｙによって取付部４０ａを押圧し、第２接触部６０ｂを第１接触部６０ａに向けて押圧する。
【００４２】
これにより、図４（ｂ）に示すように、第１接触部６０ａと第２接触部６０ｂとの間でスライドが生じる。その結果、ヒータ保持部材４０が、ボディ部材１０に対してスライドする。そして、ヒータ保持部４０ｂに保持されたヒータ３０が、当該ヒータ保持部４０ｂを介して側面Ｓ２へ間接的に密着する。
【００４３】
＜第２の実施形態＞  本実施形態に係る流体制御装置１００は、図５及び図６に示すように、流体が流れる流路Ｌを内部に有するボディ部材１０と、ボディ部材１０に設置され、流路Ｌを流れる流体を制御する各機器２０と、ボディ部材１０を加熱するヒータ３０と、ヒータ３０をボディ部材１０に密着させて保持する保持機構Ｍと、を備えている。
【００４４】
前記ボディ部材１０は、ブロック状のものである。具体的には、ボディ部材１０は、直方体状のものである。また、ボディ部材１０は、長手方向に延びる設置面Ｓ１と、長手方向へ延び設置面Ｓ１と隣接する一対の側面Ｓ２と、を備えている。そして、ボディ部材１０は、当該設置面Ｓ１に対し、各機器２０が設置されるように構成されている。従って、一対の側面Ｓ１は、互いに反対方向を向いている。
【００４５】
前記保持機構Ｍは、一対のヒータ保持板７０と、係止構造８０と、連結構造９０と、を備えている。
【００４６】
前記一対のヒータ保持板７０は、ボディ部材１０のそれぞれの側面Ｓ２と対向し、当該側面Ｓ２との間でヒータ３０を保持するものである。例えば、ヒータ保持板７０は、弾性を有する板材を折り曲げて形成されたものである。
【００４７】
前記ヒータ保持板７０は、具体的には、ボディ部材１０の側面Ｓ２に沿って延伸する保持部７１と、保持部７１からボディ部材１０の設置面Ｓ１が向く方向Ｘ（図５の上方）と反対方向へ延びる一端部に形成された引掛部７２と、保持部７１から設置面Ｓ１が向く方向Ｘへ延びる他端部に形成された対向部７３と、を備えている。そして、ヒータ保持板７０は、保持部７１と側面Ｓ２との間でヒータ３０を挟んで保持するように構成されている。なお、設置面Ｓ１が向く方向は、言い換えれば、設置面Ｓ１に設置された各機器２０の起立方向とも言える。
【００４８】
具体的には、前記保持部７１は、ボディ部材１０と当該ボディ部材１０の設置面Ｓ１に設置された各機器２０とに対向するように延伸している。そして、保持部７１には、側面Ｓ２と対向する内面にヒータ３０が取り付けられている。前記引掛部７２は、ヒータ保持板７０の一端部を下向きＬ字状に折り曲げて形成されている。また、前記対向部７３は、ヒータ保持板７０の他端部を直角に折り曲げて形成されており、設置面Ｓ１と対向するように構成されている。また、対向部７３には、連結構造９０を構成する貫通孔７３ｈが形成されている。
【００４９】
前記係止構造８０は、ボディ部材１０に設けられ、一対のヒータ保持板７０の一端部を係止するものである。前記係止構造８０は、具体的には、ボディ部材１０の設置面Ｓ１と反対面Ｓ３に沿って延びる長尺矩形状をなし、当該反対面Ｓ３よりも幅広に形成されたプレート８１と、プレート８１の長手方向に延びる両辺から立ち上がってボディ部材１０の側面Ｓ２と対向する係止片８２と、を備えている。
【００５０】
前記プレート８１は、ボディ部材１０の前記反対面Ｓ３に固定される。前記係止片８２は、ボディ部材１０の側面Ｓ２に沿うように延びると共に、当該側面Ｓ２と対向する係止面８２ｓを備えている。そして、係止面８２ｓと側面Ｓ２との間の距離は、ヒータ３０の厚みと同じ距離又は当該厚みよりも短い距離になっている。なお、係止構造８０は、本実施形態のようにボディ部材１０と別の部材によって構成してもよく、ボディ部材１０と一体に設けてもよい。
【００５１】
前記連結構造９０は、一対のヒータ保持板７０の設置面Ｓ１が向く方向へ延びる他端部同士を互いに連結するものである。連結構造９０は、具体的には、対向部７３に形成された貫通孔７３ｈと、各対向部７３間に架け渡される連結板９１と、貫通孔７３ｈに通された状態で連結板９１にネジ止めされるネジ９２と、を備えている。連結構造９０は、設置面Ｓ１と当該設置面Ｓ１に設置された各機器２０を挟んで対向する位置において、一対のヒータ保持板７０の他端部に形成された対向部７３を互いに連結するようになっている。
【００５２】
そして、前記一対のヒータ保持板７０は、引掛部７２（一端部）が係止構造８０に係止されると共に、対向部７３（他端部）が連結構造９０によって連結された状態において、互いに対向する方向へ向かって撓むように構成されている。これにより、ヒータ３０が、撓んだヒータ保持板７０の弾性によって側面Ｓ２へ向けて押圧された状態となる。
【００５３】
また、前記ヒータ保持板７０、前記プレート８１及び前記連結板９１は、いずれも長手方向の長さがボディ部材１０の長手方向の長さと同じ長さ又は当該長さよりも長くなっている。これにより、保持機構Ｍは、ボディ部材１０の側面Ｓ２にヒータ３０を保持した状態で、ボディ部材１０及び各機器２０を内部に収容する筐体を構成するようになっている。
【００５４】
次に、本実施形態に係る流体制御装置１００の組立手順を説明する。
【００５５】
先ず、図６（ａ）に示すように、係止構造８０を構成するプレート８１を、ボディ部材１０の設置面Ｓ１と反対面Ｓ３に固定する。この場合、係止片８２を、ボディ部材１０の側面Ｓ２から離間するように配置する。次に、一対のヒータ保持板７０の引掛部７２を、係止面８２ｓと側面Ｓ２との間に挿し込んで当該係止片８２に係止させる。次に、図６（ｂ）に示すように、一対のヒータ保持板７０を、係止片８２との係止位置を支点とし、保持部７１が側面Ｓ２と略平行になる位置まで回転させる。これにより、ヒータ３０は、ヒータ保持板７０の弾性によって側面Ｓ２に押圧され、ボディ部材１０の側面Ｓ２に密着した状態となる。最後に、図６（ｃ）に示すように、一対のヒータ保持板７０の対向部７３を連結構造９０によって互いに連結する。具体的には、一対のヒータ保持板７０を、対向部７３の貫通孔７３ｈに通したネジ９２を連結板９１にネジ止めすることによって連結する。これにより、ヒータ３０は、ヒータ保持板７０の保持部７１とボディ部材１０の側面Ｓ２との間に挟まれ、当該側面Ｓ２に密着した状態で保持される。
【００５６】
このような構成によれば、ヒータ保持板７０が、その弾性復元力によってヒータ３０を側面Ｓ２へ押圧して保持するため、ボディ部材１０に対してヒータ３０を密着させることができる。これにより、ヒータ３０の熱が、ボディ部材１０へ効率良く伝達されるようになる。また、保持機構Ｍによってボディ部材１０及び各機器２０を収容する筐体を兼ねることができ、別途ボディ部材１０にヒータ３０を保持するための専用部品を用意する必要がなく、部品点数を低減できる。また、一対のヒータ保持板７０の設置面Ｓ１と対向する対向部７３同士を連結構造９０によって連結する構成としたので、ボディ部材１０の設置面Ｓ１側から連結構造９０による両ヒータ保持板７０の連結を解除することができる。
【００５７】
なお、前記係止構造８０も、他の構造のものであってもよく、例えば、ボディ部材１０の側面Ｓ２に固定される構造のものであってもよい。また、本実施形態では、プレート８１に設けられた係止片８２にヒータ保持板７０を係止する構成としているが、例えば、プレート８１に設けられた係止孔にヒータ保持板７０を係止する構成としてもよい。また、前記連結構造９０は、他の構造のものであってもよく、例えば、一対のヒータ保持板７０の他端部に互いに係合するフックを設けた構造のものであってもよい。
【００５８】
＜その他の実施形態＞  第１の実施形態に係るその他の実施形態としては、図７（ａ）に示すように、ヒータ保持部材４０が、ヒータ保持部４０ｂの一方面４０ｘを対向面４０ｓから側面Ｓ２側へ向かって傾斜するように構成してもよい。このようなものであれば、押圧機構５０によって対向面４０ｓを設置面Ｓ１へ向けて押圧させた場合に、ヒータ保持部４０ｂの少なくとも一部が側面Ｓ２に対して付勢され、側面Ｓ２に対する密着力が増す。
【００５９】
また、前記第１の実施形態においては、ヒータ保持部材４０を一つの部材によって構成しているが、図７（ｂ）に示すように、ヒータ保持部材４０を複数の部材（図７（ｂ）では、二つの部材）によって構成してもよい。なお、同様に、前記実施形態においては、ボディ部材１０を一つの部材から構成しているが、複数の部材によって構成してもよい。
【００６０】
また、前記第１の実施形態においては、第１接触部６０ａ及び第２接触部６０ｂを平行な平面状に構成しているが、図８（ａ）に示すように、平行な曲面状に構成してもよい。
【００６１】
また、図８（ｂ）に示すように、設置面Ｓ１又は対向面４０ｓの少なくとも一方に、第１接触部６０ａ及び第２接触部６０ｂとは別に、押圧方向Ｘに対して直交する接触面ＣＳ１、ＣＳ２を設けてもよい。このようなものであれば、接触面ＣＳ１、ＣＳ２の接触により、押圧機構５０による押圧を規制できると共に、設置面Ｓ１に対する対向面４０ｓの位置決めを行うことができる。
【００６２】
また、前記第１の実施形態においては、ヒータ保持部材４０をボディ部材１０の設置面Ｓ１に取り付ける構成としているが、設置面Ｓ１と反対面（設置面Ｓ１をボディ部材１０の上面とした場合における下面）に取り付ける構成としてもよい。
【００６３】
また、前記第１の実施形態においては、ヒータ保持部４０ｂの他方面４０ｙにヒータ３０を設けているが、ヒータ保持部４０ｂの一方面４０ｘにヒータ３０を設け、他方面４０ｙに断熱材を設けてもよい。このようなものであれば、ヒータ３０の熱がより効率的にボディ部材１０へ伝達されるようになる。
【００６４】
また、前記第１の実施形態に係るその他の実施形態として、第１接触部６０ａと第２接触部６０ｂとの間に、第１接触部６０ａ及び第２接触部６０ｂよりも摩擦抵抗の低いワッシャー部材を介在させてもよい。さらに、第１接触部６０ａの表面に当該第１接触部６０ａよりも摩擦抵抗の低い材料を積層してもよく、第２接触部６０ｂの表面に当該第２接触部６０ｂよりも摩擦抵抗の低い材料を積層してもよい。このようなものであれば、ヒータ保持部材４０が、ボディ部材１０に対してスライドし易くなり、作業性が向上する。また、第１接触部６０ａ及び第２接触部６０ｂに対して材料が固着することも防止できる。
【００６５】
また、前記第２の実施形態においては、連結構造９０によって一対のヒータ保持板７０の他端部同士を連結する構造としたが、図９に示すように、連結構造９０によってヒータ保持板７０の他端部（対向部７３）をボディ部材１０（具体的には、ボディ部材１０の設置面Ｓ１）に連結する構造としてもよい。この場合、連結構造９０は、例えば、対向部７３に形成された貫通孔７３ｈと、ボディ部材１０の設置面Ｓ１に設けられたネジ孔１０ｈと、貫通孔７３ｈに通された状態でネジ孔１０ｈネジ止めされるネジ９２と、を備えるように構成すればよい。
【００６６】
その他、本発明は前記各実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【００６７】
１００  流体制御装置
１０  ボディ部材
Ｓ１  設置面
Ｓ２  側面
２０  各機器
３０  ヒータ
４０  ヒータ保持部材
４０ａ  取付部
４０ｓ  対向面
４０ｂ  ヒータ保持部
４０ｘ  一方面
４０ｙ  他方面
５０  押圧機構
５０ａ  ネジ孔
５０ｂ  長孔
５０ｃ  ネジ部材
６０  スライド機構
６０ａ  第１接触部
６０ｂ  第２接触部
Ｍ  保持機構
７０  ヒータ保持板
８０  係止構造
９０  連結構造
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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