(57)【要約】【課題】中空管の内周面に設けられた情報を確実に読み取ることができる長尺体支持装置を提供すること。【解決手段】長尺体支持装置２０は、支持手段２１と、読取手段２２とを備え、読取手段２２は、所定波長の電磁波を出力可能な電磁波出力手段２２Ａと、電磁波を反射して情報ＢＣを映し出す反射手段２２Ｂと、所定の撮像領域内を撮像して撮像画像を形成し、当該撮像画像内にある反射手段２２Ｂが映し出した情報ＢＣを読み取る撮像手段２２Ｃとを備え、電磁波出力手段２２Ａは、第１波長の電磁波ＥＷ１および第２波長の電磁波ＥＷ２を出力可能に構成され、反射手段２２Ｂは、第２波長の電磁波ＥＷ２を透過して第１波長の電磁波ＥＷ１を反射する第１反射手段２２Ｂ４と、撮像手段２２Ｃに対して第１反射手段２２Ｂ４よりも読取手段２２に離間した位置に配置され、第２波長の電磁波ＥＷ２を反射する第２反射手段２２Ｂ６とを備えている。【選択図】図１
2020013302.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空管の外周面に長尺体が巻回された支持対象物を支持する支持手段と、
前記中空管の内周面に設けられた所定の情報を読み取る読取手段とを備え、
前記読取手段は、所定波長の電磁波を出力可能な電磁波出力手段と、前記電磁波を反射して前記情報を映し出す反射手段と、前記反射手段を含めた所定の撮像領域内を撮像して撮像画像を形成し、当該撮像画像内にある前記反射手段が映し出した前記情報を読み取る撮像手段とを備え、
前記電磁波出力手段は、第１波長の電磁波および第２波長の電磁波を出力可能に構成され、
前記反射手段は、前記第２波長の電磁波を透過して前記第１波長の電磁波を反射する第１反射手段と、前記撮像手段に対して前記第１反射手段よりも離間した位置に配置され、前記第２波長の電磁波を反射する第２反射手段とを備えていることを特徴とする長尺体支持装置。
【請求項２】
前記電磁波出力手段は、前記第１波長の電磁波および前記第２波長の電磁波を含む複数波長の電磁波を出力可能に構成され、前記複数波長の電磁波から前記第１波長の電磁波または、前記第２波長の電磁波を選択して出力する電磁波選択手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載の長尺体支持装置。
【請求項３】
中空管の外周面に長尺体が巻回された支持対象物を支持する支持工程と、
前記中空管の内周面に設けられた所定の情報を読み取る読取工程とを実施し、
前記読取工程では、所定波長の電磁波を出力する電磁波出力工程と、前記電磁波を反射手段で反射して前記情報を映し出す反射工程と、前記反射手段を含めた所定の撮像領域内を撮像して撮像画像を形成し、当該撮像画像内にある前記反射手段が映し出した前記情報を撮像手段で読み取る撮像工程とを実施し、
前記電磁波出力工程では、第１波長の電磁波および第２波長の電磁波を出力し、
前記反射工程では、前記第２波長の電磁波を透過して前記第１波長の電磁波を反射する第１反射手段と、前記撮像手段に対して前記第１反射手段よりも離間した位置に配置され、前記第２波長の電磁波を反射する第２反射手段とを用い、前記第１反射手段を透過した前記第２波長の電磁波を前記第２反射手段で反射して前記情報を映し出す透過反射工程を実施することを特徴とする長尺体支持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、長尺体支持装置および長尺体支持方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、中空管の外周面に長尺体が巻回された支持対象物を支持手段で支持し、中空管の内周面に設けられた情報を読取手段で読み取る長尺体支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】再公表ＷＯ２００４／０１４７３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の収納部３１０（長尺体支持装置）は、フィルムロール１００（支持対象物）を支持シャフト３０１（支持手段）に装着した際、紙管１０２（中空管）の内周面に貼付されている記録媒体１１０（情報）が、記録媒体読取装置３０２（読取手段）の読取可能位置に位置決めされて配置されるようになっているため、例えば、中空管の延出方向の長さが異なることで、情報の所在位置が当該中空管の延出方向内でずれている場合、読取手段が情報を読み取ることができなという不都合を発生する。
【０００５】
本発明の目的は、中空管の内周面に設けられた情報を確実に読み取ることができる長尺体支持装置および長尺体支持方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、読取手段が第１波長の電磁波および第２波長の電磁波を出力可能な電磁波出力手段と、第２波長の電磁波を透過して第１波長の電磁波を反射する第１反射手段と、第２波長の電磁波を反射する第２反射手段とを備えたので、中空管の内周面に設けられた情報を確実に読み取ることができる。
また、電磁波出力手段が電磁波選択手段を備えれば、簡単な構成で第１波長の電磁波または第２波長の電磁波を出力することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の一実施形態に係る長尺体支持装置の説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
本発明の長尺体支持装置を用いた処理装置としてのシート貼付装置１０は、長尺体支持装置２０と、被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦに接着シートＡＳを押圧して貼付する貼付手段３０と、ウエハＷＦを支持して搬送するウエハ搬送手段４０と、当該シート貼付装置１０の全体的または部分的な動作を制御するパーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段５０と、制御手段５０の判定結果を出力するモニタ、パネル、表示灯、発音器等の報知手段６０とを備えている。
【００１１】
長尺体支持装置２０は、中空管ＨＰの外周面ＨＰ１に長尺体としての原反ＲＳが巻回された支持対象物ＳＪを支持する支持手段２１と、中空管ＨＰの内周面ＨＰ２に設けられた所定の情報ＢＣを読み取る読取手段２２と、蝶番２３を介してフレーム３６に支持された開閉可能なカバー部材２４とを備えている。
【００１２】
本実施形態の場合、原反ＲＳは、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に所定形状の接着シートＡＳが所定の間隔を空けて仮着されたものが採用されている。
また、情報ＢＣは、例えば、接着シートＡＳや剥離シートＲＬの種類、材質、品名、コード、寸法等原反ＲＳを識別可能な情報や、原反ＲＳに係る諸情報等がバーコード、ＱＲコード（登録商標）、文字、図形、またはこれらを組み合わせたものであり、ラベルＲＡの表面に表示され、中空管ＨＰの内周面ＨＰ２に貼付されている。
さらに、本実施形態では、図１（Ｂ）に示すように、中空管ＨＰの延出方向（Ｙ軸方向）の長さがＷ１の第１支持対象物ＳＪ１と、中空管ＨＰの延出方向の長さがＷ２の第２支持対象物ＳＪ２とが使用され、いずれの支持対象物ＳＪ１、ＳＪ２の中空管ＨＰにも、その挿入側開口部ＨＰＡから所定距離隔てた位置にラベルＲＡが貼付されている。
【００１３】
支持手段２１は、回転軸受部２１Ａによって貼付手段３０を構成するフレーム３６に支持され、中空管ＨＰの挿通を抑制するストッパ２１Ｂを備えた支持軸２１Ｃを備えている。支持軸２１Ｃは、中空管ＨＰがストッパ２１Ｂに突き当たった際、情報ＢＣと重なって当該情報ＢＣを隠さない長さに設定されている。
【００１４】
読取手段２２は、所定波長の電磁波ＥＷを出力可能な電磁波出力手段２２Ａと、電磁波ＥＷを反射して情報ＢＣを映し出す反射手段２２Ｂと、反射手段２２Ｂを含めた所定の撮像領域ＡＭ内を撮像して撮像画像を形成し、当該撮像画像内にある反射手段２２Ｂが映し出した情報ＢＣを読み取る撮像手段としてのカメラ２２Ｃと、撮像画像内にある情報ＢＣをカメラ２２Ｃが読み取れるように当該撮像画像を補正する画像補正手段２２Ｄとを備えている。
電磁波出力手段２２Ａは、第１波長の電磁波としての４２０ｎｍの光ＥＷ１および、第２波長の電磁波としての６８０ｎｍの光ＥＷ２を含む複数波長の電磁波ＥＷを出力可能に構成された電磁波発光源としての環状の蛍光灯２２Ａ１と、複数波長の電磁波ＥＷから４２０ｎｍの光ＥＷ１または、６８０ｎｍの光ＥＷ２を選択して出力する電磁波選択手段としての第１光学フィルタ２２Ａ２および第２光学フィルタ２２Ａ３と、蛍光灯２２Ａ１並びに第１光学フィルタ２２Ａ２および第２光学フィルタ２２Ａ３の何れか一方を支持する発光源ケース２２Ａ４とを備えている。第１光学フィルタ２２Ａ２は、電磁波ＥＷのうち４２０ｎｍの光ＥＷ１だけを透過し、それ以外の光を透過しない構成とされ、第２光学フィルタ２２Ａ３は、電磁波ＥＷのうち６８０ｎｍの光ＥＷ２だけを透過し、それ以外の光を透過しない構成とされ、発光源ケース２２Ａ４は、図示しない支持部材を介してカバー部材２４に支持されている。
反射手段２２Ｂは、支持軸２１Ｃに支持された駆動機器であって移動手段としての直動モータ２２Ｂ１と、その出力軸２２Ｂ２に支持され、６８０ｎｍの光ＥＷ２を透過して４２０ｎｍの光ＥＷ１を反射する凸鏡面２２Ｂ３を有する第１反射手段２２Ｂ４と、支持軸２１Ｃの右端面に支持されてカメラ２２Ｃに対して第１反射手段２２Ｂ４よりも離間した位置に配置され、６８０ｎｍの光ＥＷ２を反射する凸鏡面２２Ｂ５を有する第２反射手段２２Ｂ６とを備えている。
カメラ２２Ｃは、カバー部材２４に支持され、支持軸２１Ｃに対向した図１（Ｂ）に示す閉塞位置と、支持軸２１Ｃから離間した解放位置との間で移動可能に設けられ、撮像領域ＡＭ内の情報ＢＣを読み取り、読み取った情報ＢＣを制御手段５０に出力するようになっている。
【００１５】
貼付手段３０は、原反ＲＳを案内するガイドローラ３１と、剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離縁３２Ａで剥離する剥離手段としての剥離板３２と、接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ３３と、駆動機器としての回動モータ３４Ａによって駆動され、ピンチローラ３４Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ３４と、図示しない駆動機器によって駆動され、ピンチローラ３４Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与して回収する回収ローラ３５と、当該貼付手段３０を構成する前述の各部材を直接的または間接的に支持するフレーム３６とを備えている。
【００１６】
ウエハ搬送手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１と、リニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持可能な支持面４２Ａを有するテーブル４２とを備えている。
【００１７】
以上のシート貼付装置１０の動作を説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図１（Ａ）中実線で示す状態のシート貼付装置１０に対し、当該シート貼付装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転の信号を入力する。次いで、使用者がカバー部材２４を開き、発光源ケース２２Ａ４に第１光学フィルタ２２Ａ２をセットした後、図１（Ｂ）に示すように、第１支持対象物ＳＪ１の中空管ＨＰをストッパ２１Ｂに突き当て、当該第１支持対象物ＳＪ１を当該支持軸２１Ｃに支持させた後、原反ＲＳを引き出して当該原反ＲＳを図１（Ａ）に示すようにセットする。その後、使用者がカバー部材２４を閉じ、カメラ２２Ｃが支持軸２１Ｃに対向配置されると、当該読取手段２２が蛍光灯２２Ａ１およびカメラ２２Ｃを駆動し、電磁波ＥＷを出力するとともに、撮像領域ＡＭ内を撮像して撮像画像を形成し、当該撮像画像内にある中空管ＨＰの内周面ＨＰ２に設けられた情報ＢＣを読み取り、読み取った情報ＢＣを制御手段５０に出力する。このとき、蛍光灯２２Ａ１から発せられた電磁波ＥＷが第１光学フィルタ２２Ａ２を透過することで、電磁波出力手段２２Ａから４２０ｎｍの光ＥＷ１が出力され、当該４２０ｎｍの光ＥＷ１が第１反射手段２２Ｂ４の凸鏡面２２Ｂ３に反射し、撮像領域ＡＭ内に情報ＢＣが映し出される。
【００１８】
次に、入力された情報ＢＣに基づいて制御手段５０が原反ＲＳを識別し、当該原反ＲＳがシート貼付装置１０で使用するものとして適格な適格原反であるか、不適格な不適格原反であるかを判定し、その判定結果を報知手段６０に出力する。ここで、入力された情報ＢＣに基づいて、支持軸２１Ｃで支持している原反ＲＳが不適格原反であると制御手段５０が判定した場合、当該制御手段５０は、報知手段６０を介してその旨を使用者に知らせるとともに、当該シート貼付装置１０が作動しないようにインターロックを掛ける。そして、支持軸２１Ｃに支持させている原反ＲＳが不適格原反であることを使用者が報知手段６０を介して認識すると、セットした原反ＲＳを中空管ＨＰに巻き取り、支持軸２１Ｃで支持させている第１支持対象物ＳＪ１を当該支持軸２１Ｃから抜き取る。次いで、上記と同様にして、他の第１支持対象物ＳＪ１を支持軸２１Ｃに支持させて原反ＲＳをセットした後、入力された情報ＢＣに基づいて、支持軸２１Ｃに支持させている原反ＲＳが適格原反であると制御手段５０が判定した場合、当該制御手段５０は、報知手段６０を介してその旨を使用者に知らせるとともに、当該シート貼付装置１０のインターロックを解除する。
【００１９】
その後、貼付手段３０が回動モータ３４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出し、図１中実線で示すように、先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板３２の剥離縁３２Ａで所定量剥離されると、回動モータ３４Ａの駆動を停止する。次に、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段がテーブル４２上の所定の位置にウエハＷＦを載置すると、ウエハ搬送手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面４２Ａでの当該ウエハＷＦの吸着保持を開始する。そして、ウエハ搬送手段４０がリニアモータ４１を駆動し、テーブル４２を左方に移動させ、当該テーブル４２が所定の位置に到達すると、貼付手段３０が回動モータ３４Ａを駆動し、テーブル４２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳが剥離板３２で剥離シートＲＬから剥離され、押圧ローラ３３によってウエハＷＦに押圧されて貼付され、次の接着シートＡＳが剥離板３２の剥離縁３２Ａで所定量剥離されると、貼付手段３０が回動モータ３４Ａの駆動を停止する。
【００２０】
その後、テーブル４２が、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ３３の左方の所定位置に到達すると、ウエハ搬送手段４０がリニアモータ４１の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４２Ａでの当該ウエハＷＦの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が、接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦを次工程に搬送すると、ウエハ搬送手段４０がリニアモータ４１を駆動し、テーブル４２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２１】
ここで、使用者が第２支持対象物ＳＪ２を支持軸２１Ｃに支持させる場合、第１反射手段２２Ｂ４では撮像領域ＡＭ内に情報ＢＣを映し出すことができない。この場合、使用者は、発光源ケース２２Ａ４に第２光学フィルタ２２Ａ３をセットし、シート貼付装置１０が上記同様の動作を行う。このとき、蛍光灯２２Ａ１から発せられた電磁波ＥＷが第２光学フィルタ２２Ａ３を透過することで、電磁波出力手段２２Ａから６８０ｎｍの光ＥＷ２が出力され、第１反射手段２２Ｂ４を透過した６８０ｎｍの光ＥＷ２が第２反射手段２２Ｂ６の凸鏡面２２Ｂ５に反射することによって撮像領域ＡＭ内に情報ＢＣが映し出される。その後は、上記と同様の動作が繰り返される。
【００２２】
以上のような実施形態によれば、読取手段２２が４２０ｎｍの光ＥＷ１および６８０ｎｍの光ＥＷ２を出力可能な電磁波出力手段２２Ａと、６８０ｎｍの光ＥＷ２を透過して４２０ｎｍの光ＥＷ１を反射する第１反射手段２２Ｂ４と、６８０ｎｍの光ＥＷ２を反射する第２反射手段２２Ｂ６とを備えたので、中空管ＨＰの内周面ＨＰ２に設けられた情報ＢＣを確実に読み取ることができる。
【００２３】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２４】
支持手段２１は、支持軸２１Ｃに代えてまたは併用して、支持対象物ＳＪを下から支持するローラやベルト等を採用してもよいし、支持軸２１Ｃは、円柱形状、円筒形状、楕円あるいは多角の筒形状や柱形状でもよいし、ストッパ２１Ｂを採用しなくてもよいし、回転軸受部２１Ａを採用せずにフレーム３６に対して回転不能に支持されていてもよいし、フレーム３６とは別の支持体に支持されていてもよい。
【００２５】
読取手段２２は、カバー部材２４に支持されていなくてもよいし、中空管ＨＰの内側に設けてもよいし、電磁波出力手段として、紫外線、可視光線、赤外線、ガンマ線、Ｘ線等の電磁波を出力するものを採用してもよく、第１波長の電磁波として４２０ｎｍの光ＥＷ１以外に例えば紫外線を出力し、第２波長の電磁波として６８０ｎｍの光ＥＷ２以外に例えば赤外線を出力してもよいし、第１波長の電磁波を含み、第２波長の電磁波を含まない複数の波長の電磁波を第１波長の電磁波として出力してもよいし、第１反射手段２２Ｂ４が反射できない単波長または複数の波長の電磁波を第２波長の電磁波として出力してもよいし、第１波長の電磁波および第２波長の電磁波のうち少なくとも一方が単波長でなくてもよいし、電磁波発光源として、環状でない蛍光灯を採用してもよいし、環状または環状でないＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等を採用してもよいし、それらを適宜に組み合わせたものを採用してもよいし、第１光学フィルタ２２Ａ２と第２光学フィルタ２２Ａ３とを入れ替える駆動機器を切替手段として採用してもよいし、電磁波選択手段として、公知の波長変換フィルタ、波長変換シート等を採用してもよいし、電磁波選択手段として、第２波長の電磁波を含まない単波長または複数の波長の電磁波を第１波長の電磁波として透過するものと、第１反射手段２２Ｂ４が反射できない単波長または複数の波長の電磁波を第２波長の電磁波として透過するものとで構成してもよいし、電磁波選択手段を発光源ケース２２Ａ４に支持させなくてもよいし、電磁波選択手段を採用しなくてもよく、電磁波選択手段を採用しない場合、例えば、４２０ｎｍの光ＥＷ１を発光可能なＬＥＤと、６８０ｎｍの光ＥＷ２を発光可能なＬＥＤとで電磁波発光源を構成し、それらを切り替えて４２０ｎｍの光ＥＷ１と６８０ｎｍの光ＥＷ２とを出力できるようにしてもよい。
読取手段２２は、中空管ＨＰよりもフレーム３６側（外側）に第２反射手段２２Ｂ６を設けてもよく、この場合、外側に設けられた反射手段が反射可能な波長の電磁波を透過するガラスや樹脂等で中空の支持軸を構成し、当該中空の支持軸の中に第１、第２反射手段２２Ｂ４、２２Ｂ６を配置してもよい。
読取手段２２は、撮像手段として例えばバーコードリーダや投影機等を採用してもよいし、画像補正手段２２Ｄとして、例えば、レンズやプリズム等の補正部材の他、撮像手段内に内蔵されたコンピュータやプログラム等を採用してもよいし、画像補正がなくても撮像画像内にある情報ＢＣを撮像手段が読み取れる場合、画像補正手段２２Ｄを採用しなくてもよいし、画像補正手段２２Ｄを撮像手段とは別に設けてもよいし、画像補正手段２２Ｄを備えれば、撮像画像が反射手段２２Ｂによって変形し、撮像手段が情報ＢＣを読み取れなくなることを防止することができるし、反射手段２２Ｂによって反転した情報ＢＣを撮像手段が読み取れない場合、反転した情報ＢＣをさらに反転し、撮像手段が読み取れるようにすることもできる。
移動手段は、第２反射手段２２Ｂ６のみを中空管ＨＰの延出方向に移動させてもよいし、第１反射手段２２Ｂ４と第２反射手段２２Ｂ６との両方を中空管ＨＰの延出方向に移動させてもよく、反射手段が移動手段を備えれば、第１、第２反射手段２２Ｂ４、２２Ｂ６を情報ＢＣの近くに移動させることで、情報ＢＣを拡大して反射でき、読取手段２２が容易に情報ＢＣを読み取ることができる。
【００２６】
例えば、第１支持対象物ＳＪ１に、第２支持対象物ＳＪ２として例示したものと同じ位置にもラベルＲＡが貼付されることで、１つの中空管ＨＰの内周面ＨＰ２に複数の情報ＢＣが設けられている場合、読取手段２２は、以下の動作を実施してもよい。
すなわち、電磁波出力手段２２Ａで４２０ｎｍの光ＥＷ１を出力し、第１反射手段２２Ｂ４で反射させた一方（右側）の情報ＢＣをカメラ２２Ｃで読み取る。次いで、電磁波出力手段が切替手段を介して第１光学フィルタ２２Ａ２と第２光学フィルタ２２Ａ３とを入れ替えたり、電磁波出力手段が電磁波発光源で発光する光を切り替えたりして、当該電磁波出力手段２２Ａで出力する電磁波を４２０ｎｍの光ＥＷ１から６８０ｎｍの光ＥＷ２に切り替えて出力する。その後、第２反射手段２２Ｂ６で反射させた他方（左側）の情報ＢＣをカメラ２２Ｃで読み取る。この場合、一方の情報ＢＣを読み取るタイミングと、他方の情報ＢＣを読み取るタイミングとが逆でもよいし、同時でもよい。
【００２７】
貼付手段３０は、天地反転して配置したり横置きに配置したりして、ウエハＷＦの下面や側面等に接着シートＡＳを貼付するように構成してもよいし、帯状の接着シートが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反や、剥離シートＲＬに仮着されていない帯状の接着シートからなる原反が採用された場合、切断手段で帯状の接着シートを所定形状に切断して接着シートＡＳを形成し、当該接着シートＡＳを貼付してもよいし、帯状のまま接着シートを被着体に貼付してもよいし、貼付手段３０の構成物は、フレーム３６とは別の支持体に支持されていてもよい。
【００２８】
ウエハ搬送手段４０は、テーブル４２の位置を固定しておきまたは、テーブル４２を移動させつつ長尺体支持装置２０および貼付手段３０を移動させて接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付してもよいし、シート貼付装置１０に対して他の装置でウエハＷＦを移動させる場合、なくてもよい。
【００２９】
シート貼付装置１０は、例えば、入力された情報ＢＣに基づいて、支持軸２１Ｃで支持している原反ＲＳが不適格原反であると制御手段５０が判定した場合、当該制御手段５０は、報知手段６０を介してその旨を使用者に知らせなくてもよいし、シート貼付装置１０にインターロックを掛けなくてもよいし、入力された情報ＢＣに基づいて、支持軸２１Ｃで支持している原反ＲＳが適格原反であると制御手段５０が判定した場合、当該制御手段５０は、報知手段６０を介してその旨を使用者に知らせなくてもよく、この場合、報知手段６０はなくてもよい。
中空管ＨＰは、円筒形状に限らず、楕円筒形状や多角筒形状であってもよいし、紙製、樹脂製、金属製等であってもよく、何ら限定されるものではない。
情報ＢＣは、中空管ＨＰの内周面ＨＰ２に直接印刷されたり記載されたり刻印されたりしたものであってもよいし、原反ＲＳのロットナンバー、原反ＲＳを使用した長さ、原反ＲＳの残りの長さ、接着シートＡＳの品質保証期限、繰出開始前後の接着シートＡＳの残数、繰り出された接着シートＡＳの枚数、接着シートＡＳを最適に繰り出すことのできる推奨繰出速度、接着シートＡＳを最適に貼付することができる推奨貼付張力や推奨押圧力や貼付温度等の接着シートＡＳの貼付条件、接着シートＡＳや原反ＲＳについての相談窓口の連絡先等をであってもよく、シート貼付装置１０は当該情報をモニタやパネル等表示手段（報知手段６０）に表示させてもよいし、読取手段２２が読み取った情報ＢＣの内容に基づいて、制御手段５０で各駆動機器を制御してもよく、例えば、接着シートＡＳの推奨繰出速度を基にして、回動モータ３４Ａの回転速度や、リニアモータ４１でテーブル４２を移動させる移動速度を制御したり、推奨押圧力を基にして、押圧ローラ３３を昇降させる図示しない直動モータの昇降量やその出力軸に加えるトルクなどを制御したり、押圧力を制御したり、加熱手段の温度を制御してもよい。
長尺体は、基材と接着剤層とからなる帯状の接着シート、単層または複層の紙の他、電線、針金、糸、布、ロープ、ホース、鋼板、樹脂板等であってもよく、何ら限定されるものではない。
本発明の長尺体支持装置を用いた処理装置としては、例えば、原反ＲＳを巻き取る巻取装置、原反ＲＳを検査する検査装置、原反ＲＳを所定の長さに切断する切断装置、原反ＲＳを使用して接着シートＡＳとしての保護シートをウエハＷＦから剥離する剥離装置等、何ら限定されるものではなく、本願発明の長尺体支持装置は、それら装置における原反ＲＳを繰り出す側の支持軸や、原反ＲＳを巻き取る側の支持軸として採用することができる。
本発明の長尺体支持装置は、他の機構や他の部材等と組み合わせて処理装置とすることなく、単体で使用することもできる。
【００３０】
また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品等も対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００３１】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持手段は、中空管の外周面に長尺体が巻回された支持対象物を支持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【００３２】
２０      長尺体支持装置
２１      支持手段
２２      読取手段
２２Ａ    電磁波出力手段
２２Ａ２  第１光学フィルタ（電磁波選択手段）
２２Ａ３  第２光学フィルタ（電磁波選択手段）
２２Ｂ    反射手段
２２Ｃ    カメラ（撮像手段）
２２Ｄ    画像補正手段
２２Ｂ１  直動モータ（移動手段）
２２Ｂ４  第１反射手段
２２Ｂ６  第２反射手段
ＥＷ      電磁波
ＥＷ１    ４２０ｎｍの光（第１波長の電磁波）
ＥＷ２    ６８０ｎｍの光（第２波長の電磁波）
ＢＣ      情報
ＨＰ      中空管
ＨＰ１    外周面
ＨＰ２    内周面
ＲＳ      原反（長尺体）
ＳＪ      支持対象物
【図１】
2020013302.tif 000003