(57)【要約】【課題】被検査物における複数の異なる部位の検査の質を向上させる。【解決手段】検査装置１は、被検査物２を検査するための検査装置であって、被検査物２が載置される円形の載置領域１２４と、載置領域１２４よりも内径が大きい円形の開口１２５を有する上面と、載置領域１２４と開口１２５との間に形成されており、載置領域１２４に載置された被検査物２の外側面から到来する光を上方に反射する斜面１２３と、を有する反射部材１２と、反射部材１２の上方に設けられており、被検査物２の上端及び反射部材１２の斜面１２３を撮像することにより、被検査物２の上端を示す上端画像及び被検査物２の外側面を示す外側面画像を含む撮像画像を生成する撮像部１３と、上端画像及び外側面画像をそれぞれ異なる方式で解析することにより被検査物２の形状を検査する解析部１４と、を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物を検査するための検査装置であって、
前記被検査物が載置される円形の載置領域と、前記載置領域よりも内径が大きい円形の開口を有する上面と、前記載置領域と前記開口との間に形成されており、前記載置領域に載置された前記被検査物の外側面から到来する光を上方に反射する斜面と、を有する反射部材と、
前記反射部材の上方に設けられており、前記被検査物の上端及び前記反射部材の斜面を撮像することにより、前記被検査物の上端を示す上端画像及び前記被検査物の外側面を示す外側面画像を含む撮像画像を生成する撮像部と、
前記上端画像及び前記外側面画像をそれぞれ異なる方式で解析することにより前記被検査物の形状を検査する解析部と、
を有する検査装置。
【請求項２】
前記解析部は、前記上端画像に基づいて前記被検査物の外径を特定するとともに、前記外側面画像を複数の基準画像と比較した結果に基づいて前記被検査物の外側面の状態を特定する、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記解析部は、前記被検査物の外径が基準範囲外である場合、又は前記被検査物の外側面の状態が、前記被検査物の外側面の状態が良好な状態を示す良品基準画像よりも、前記被検査物の外側面の状態が不良な状態を示す不良品基準画像に近い場合に、前記被検査物が不良品であることを示す検査結果を出力する、
請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記解析部は、特定した前記被検査物の外径を示す外径値に関連付けて前記外側面画像を記憶媒体に記憶させる、
請求項２又は３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記解析部は、前記外側面画像を、前記外側面画像の輪郭線の方向が長辺の方向と同一の長方形画像に変換し、前記長方形画像に基づいて前記被検査物の形状を検査する、
請求項１から４のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項６】
前記被検査物は、周方向における基準位置を示す基準部を外側面に有しており、
前記解析部は、前記基準位置が前記長方形画像の長手方向における所定の位置になるように、前記外側面画像を前記長方形画像に変換する、
請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
被検査物を検査する方法であって、
前記被検査物が載置される円形の載置領域と、前記載置領域よりも内径が大きい円形の開口を有する上端と、前記載置領域と前記開口との間に形成されており、前記載置領域に載置された前記被検査物の外側面から到来する光を上方に反射する斜面と、を有する反射部材における前記載置領域に前記被検査物を載置するステップと、
前記被検査物の上方において、前記被検査物の上端及び前記反射部材の斜面を撮像することにより、前記被検査物の上端を示す上端画像及び前記被検査物の外側面を示す外側面画像を含む撮像画像を生成するステップと、
前記上端画像及び前記外側面画像をそれぞれ異なる方式で解析することにより前記被検査物の形状を検査するステップと、
を有する検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物を検査するための検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、円筒状の被検査物の端面及び外側面を同時に撮像して被検査物を検査する方法が知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−４４６５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の検査方法では、被検査物の端面の画像及び外側面の画像に対して共通の信号処理方式を用いて検査をしていた。被検査物の端面の検査内容と、被検査物の外側面の検査内容とが同一である場合、共通の信号処理方式を用いて被検査物の端面の画像及び外側面の画像を検査すれば足りる。
【０００５】
しかしながら、被検査物の端面に対して検査するべき内容と、被検査物の外側面に対して検査するべき内容とが異なる場合がある。例えば、円筒形状の被検査物の端面の検査においては、被検査物の内径及び外径が所定の範囲に入っているか否かを検査することが求められ、円筒形状の被検査物の外側面の検査においては、外観が許容範囲であるか否かを検査することが求められる場合がある。このような場合に共通の信号処理方式を用いて被検査物の端面の画像及び外側面の画像を検査すると、一方の検査に適していても他方の検査に適していない検査方法が用いられてしまうので、検査の質が不十分であるという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、被検査物における複数の異なる部位の検査の質を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様の検査装置は、被検査物を検査するための検査装置であって、前記被検査物が載置される円形の載置領域と、前記載置領域よりも内径が大きい円形の開口を有する上面と、前記載置領域と前記開口との間に形成されており、前記載置領域に載置された前記被検査物の外側面から到来する光を上方に反射する斜面と、を有する反射部材と、前記反射部材の上方に設けられており、前記被検査物の上端及び前記反射部材の斜面を撮像することにより、前記被検査物の上端を示す上端画像及び前記被検査物の外側面を示す外側面画像を含む撮像画像を生成する撮像部と、前記上端画像及び前記外側面画像をそれぞれ異なる方式で解析することにより前記被検査物の形状を検査する解析部と、を有する。
【０００８】
前記解析部は、例えば、前記上端画像に基づいて前記被検査物の外径を特定するとともに、前記外側面画像を複数の基準画像と比較した結果に基づいて前記被検査物の外側面の状態を特定する。
【０００９】
前記解析部は、前記被検査物の外径が基準範囲外である場合、又は前記被検査物の外側面の状態が、前記被検査物の外側面の状態が良好な状態を示す良品基準画像よりも、前記被検査物の外側面の状態が不良な状態を示す不良品基準画像に近い場合に、前記被検査物が不良品であることを示す検査結果を出力してもよい。前記解析部は、特定した前記被検査物の外径を示す外径値に関連付けて前記外側面画像を記憶媒体に記憶させてもよい。
【００１０】
前記解析部は、前記外側面画像を、前記外側面画像の輪郭線の方向が長辺の方向と同一の長方形画像に変換し、前記長方形画像に基づいて前記被検査物の形状を検査してもよい。この場合、前記被検査物は、周方向における基準位置を示す基準部を外側面に有しており、前記解析部は、前記基準位置が前記長方形画像の長手方向における所定の位置になるように、前記外側面画像を前記長方形画像に変換してもよい。
【００１１】
本発明の第２の態様の検査方法は、被検査物を検査する方法であって、前記被検査物が載置される円形の載置領域と、前記載置領域よりも内径が大きい円形の開口を有する上端と、前記載置領域と前記開口との間に形成されており、前記載置領域に載置された前記被検査物の外側面から到来する光を上方に反射する斜面と、を有する反射部材における前記載置領域に前記被検査物を載置するステップと、前記被検査物の上方において、前記被検査物の上端及び前記反射部材の斜面を撮像することにより、前記被検査物の上端を示す上端画像及び前記被検査物の外側面を示す外側面画像を含む撮像画像を生成するステップと、前記上端画像及び前記外側面画像をそれぞれ異なる方式で解析することにより前記被検査物の形状を検査するステップと、を有する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、被検査物における複数の異なる部位の検査の質を向上させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態に係る検査装置の構成を示す図である。
【図２】反射部材の構成を示す図である。
【図３】被検査物の形状の一例を示す図である。
【図４】撮像部が生成した撮像画像の例である。
【図５】上端画像を示す図である。
【図６】解析部が被検査物の外側面の良否を判定する方法の例を説明するための図である。
【図７】検査装置の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
［検査装置１の概要］
図１は、本実施形態に係る検査装置１の構成を示す図である。検査装置１は、例えば円筒形状又は円柱形状の被検査物２を検査するための装置である。検査装置１は、載置台１１と、反射部材１２と、撮像部１３と、解析部１４とを有する。載置台１１と、反射部材１２と、撮像部１３と、解析部１４は、一つの筐体に収容されていてもよく、少なくとも一部が異なる筐体に収容されていてもよい。
【００１５】
載置台１１は、被検査物２が載置される台である。載置台１１は、例えば板状の部材である。本明細書においては、載置台１１の表面の方向を水平方向という。また、本明細書においては、載置台１１に対して撮像部１３が設けられている側を上方という。
【００１６】
反射部材１２は、被検査物２の外側面を上方から視認できるようにするための部材である。図２は、反射部材１２の構成を示す図である。図２（ａ）は反射部材１２の上面視図であり、図２（ｂ）はＡ−Ａ線断面図である。反射部材１２は、底面１２１と、上面１２２と、斜面１２３とを有する。
【００１７】
底面１２１には、被検査物２が載置される円形の載置領域１２４が形成されている。図２に示す反射部材１２における載置領域１２４は円形の開口であるが、載置領域１２４に円形の板状部材が設けられていてもよい。
【００１８】
上面１２２には、載置領域１２４よりも内径が大きい円形の開口１２５が形成されている。斜面１２３は、載置領域１２４と開口１２５との間に形成されており、載置領域１２４に載置された被検査物２の外側面から到来する光を上方に反射する。反射部材１２の材質は任意であるが、少なくとも斜面１２３は光を反射する鏡面を有している。
【００１９】
斜面１２３と、載置領域１２４と、開口１２５とにより囲まれた空間の形状は円錐台形状である。すなわち、斜面１２３はすり鉢の斜面と同等の形状である。図１及び図２に示す斜面１２３の傾斜角は一定であるが、斜面１２３の傾斜角が水平方向の位置により異なっていてもよい。
【００２０】
撮像部１３は、例えばカメラであり、レンズ、撮像素子及び画像処理部を有する。撮像部１３は、反射部材１２の上方に設けられており、被検査物２の上端及び反射部材１２の斜面１２３を撮像することにより、被検査物の上端を示す上端画像及び被検査物の外側面を示す外側面画像を含む撮像画像を生成する。載置領域１２４及び開口１２５の輪郭線が撮像画像において円形になるように、撮像部１３は、載置領域１２４の中心及び開口１２５の中心を結ぶ線の延長線と光軸とが一致する位置及び向きに設けられていることが好ましい。撮像部１３は、生成した撮像画像を解析部１４へと出力する。
【００２１】
解析部１４は、例えばコンピュータであり、撮像部１３が生成した撮像画像に含まれる上端画像及び外側面画像をそれぞれ異なる方式で解析することにより被検査物２の形状を検査する。解析部１４は、例えば、上端画像に基づいて被検査物２の外径を特定するとともに、外側面画像を複数の基準画像と比較した結果に基づいて被検査物２の外側面の状態を特定する。解析部１４の動作の詳細については後述する。
【００２２】
［被検査物２の形状］
図３は、被検査物２の形状の一例を示す図である。図３（ａ）は被検査物２の上面視図であり、図３（ｂ）は被検査物２の手前から被検査物２を視認した側面視図である。
【００２３】
被検査物２は、円形の上側フレーム２１と、円形の下側フレーム２２とを有する。上側フレーム２１と下側フレーム２２との間には、リブ２３、リブ２４、リブ２５、リブ２６、リブ２７及びリブ２８が形成されている。これらのリブのうち、リブ２３の横幅は他のリブの横幅よりも大きい。また、リブ２３の上方には突起２９が形成されている。上側フレーム２１と下側フレーム２２と各リブに囲まれた領域にはメッシュ状の薄膜３０が形成されている。
【００２４】
本明細書においては、被検査物２における周方向の他の位置に同一の形状がない領域を基準領域と称し、基準領域に含まれる特定の部位を基準部と称し、基準部における特定の位置（例えば端部又は中央部）を基準位置と称する。以下の説明においては、リブ２３が被検査物２における基準部であり、リブ２３の左端が基準位置であるとする。
【００２５】
［解析部１４における処理］
図４は、被検査物２が載置領域１２４内において載置台１１に載置された状態で撮像部１３が生成した撮像画像Ｆ１の例である。撮像画像Ｆ１には、被検査物２の上端が撮像された上端画像Ｘが含まれる載置領域画像と、斜面１２３に反射した被検査物２の外側面が撮像された外側面画像Ｙが含まれる斜面画像とが含まれている。
【００２６】
解析部１４は、撮像画像Ｆ１における上端画像Ｘと外側面画像Ｙとをそれぞれ異なる方式で画像処理することにより解析する。図５は、上端画像Ｘを示す図である。
【００２７】
解析部１４は、上端画像Ｘにエッジ強調処理を施すことにより上端画像Ｘに含まれている被検査物２の輪郭線Ｌ１及び輪郭線Ｌ２を特定する。解析部１４は、撮像画像から抽出した上端画像Ｘに含まれる被検査物２の外側面の輪郭線Ｌ１及び内側面の輪郭線Ｌ２を特定し、特定した円形の輪郭線Ｌ１及び輪郭線Ｌ２に基づいて被検査物２の外径Ｄ１及び内径Ｄ２を特定する。解析部１４は、例えば、外側の円形の輪郭線Ｌ１に含まれる複数の画素の間の距離のうち最大の距離を被検査物２の外径Ｄ１として特定する。また、解析部１４は、例えば、内側の円形の輪郭線Ｌ２に含まれる複数の画素の間のうち最大の距離を被検査物２の内径Ｄ２として特定する。
【００２８】
また、解析部１４は、外側面画像Ｙを基準画像と比較することにより、被検査物２の外側面の状態の良否を判定する。基準画像は、例えば被検査物２の外側面の状態が良好な状態を示す一以上の良品基準画像、及び被検査物２の外側面の状態が不良な状態を示す一以上の不良品基準画像を含む。解析部１４は、被検査物２の外側面の状態が、良品基準画像よりも不良品基準画像に近い場合に、被検査物２が不良品であると判定し、被検査物２の外側面の状態が、不良品基準画像よりも良品基準画像に近い場合に、被検査物２が良品であると判定する。解析部１４は、良品基準画像及び不良品基準画像を教師データとして学習させた学習モデルに外側面画像を入力することにより、被検査物２の外側面の状態の良否を判定してもよい。
【００２９】
解析部１４は、被検査物２の外径が基準範囲外である場合、又は被検査物２の側面の状態が、良好な状態を示す良品基準画像よりも不良な状態を示す不良品基準画像に近い場合に、被検査物２が不良品であることを示す検査結果を出力する。解析部１４は、例えば検査結果をディスプレイに表示させたり、外部装置に送信したり、紙に印刷したりすることにより検査結果を出力する。
【００３０】
解析部１４は、被検査物２のロット番号又は被検査物２に固有の識別番号に関連付けて、特定した外径Ｄ１の値及び内径Ｄ２の値を記憶媒体に記憶させてもよい。記憶媒体は、例えば解析部１４が有するハードディスク又はＥＥＰＲＯＭ（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory）である。解析部１４は、特定した外径Ｄ１の値及び内径Ｄ２の値を外部装置に送信してもよい。
【００３１】
さらに、解析部１４は、被検査物２のロット番号又は被検査物２に固有の識別番号、及び特定した被検査物２の外径を示す外径値に関連付けて、外側面画像Ｙを記憶媒体に記憶させたり外部装置に送信したりしてもよい。このように、解析部１４は、撮像部１３が被検査物２を１回撮影することで生成される撮像画像に含まれる上端画像Ｘにより特定される被検査物２の大きさを示す値と外側面画像Ｙとを、ロット番号又は被検査物２の識別番号に関連付けて記録する。
【００３２】
解析部１４がこのような構成を有することで、検査装置１は、被検査物２を１回撮影するだけで、当該被検査物２を製造した時点での形状を示す値及び外側面の状態を示す画像を履歴として残すことができる。その結果、検査装置１は、被検査物２の製造工程のトレーサビリティを確保するためにデータを記録する処理の効率を向上させることができる。
【００３３】
［外側面の良否判定方法の例］
図６は、解析部１４が被検査物２の外側面の良否を判定する方法の例を説明するための図である。解析部１４が外側面画像Ｙに基づいて被検査物２の外側面の良否を判定する場合、被検査物２は周方向において自由な向きで載置台１１に載置されるので、周方向における基準領域の位置ごとに異なる良品基準画像及び不良品基準画像を用いる必要が生じる。この場合、解析部１４は、良品基準画像及び不良品基準画像と比較する前に、周方向における基準領域の位置を特定する必要があるので、検査時間が長くなってしまう。一方、被検査物２を載置台１１に載置する際に、周方向における基準領域の位置が一定の位置になるように制御するためには、被検査物２を載置する工程が複雑になるとともに、載置に要する時間が長くなる。
【００３４】
そこで、解析部１４は、外側面画像Ｙを図６に示す長方形画像Ｒに変換し、長方形画像Ｒを解析することにより、被検査物２の良否を判定する。具体的には、解析部１４は、円形の前記外側面画像Ｙの輪郭線の方向が長辺の方向と平行な長方形画像Ｒに変換し、当該長方形画像Ｒに基づいて被検査物２の良否を判定する。解析部１４は、被検査物２の基準位置が長方形画像Ｒの長手方向における所定の位置になるように外側面画像Ｙを長方形画像Ｒに変換する。
【００３５】
解析部１４は、予め図４に示す外側面画像Ｙの座標と図６に示す長方形画像Ｒの座標との対応関係を記憶している。解析部１４は、例えば、外側面画像Ｙにおける被検査物２の基準位置に対応し、かつ最も下方に対応する画素（図４における画素Ｚ１）の座標が長方形画像Ｒにおける原点の画素（図６における画素Ｚ２）になるように、外側面画像Ｙの全ての画素の座標を決定する。そして、解析部１４は、決定した座標と対応関係とに基づいて、外側面画像に含まれる各画素を長方形画像Ｒの各画素に割り当てることにより、外側面画像Ｙを長方形画像Ｒに変換する。なお、解析部１４は、斜面画像を長方形画像Ｒに変換してもよい。
【００３６】
解析部１４は、外側面画像Ｙにおける内側（斜面の下方）の輪郭線の長さと外側（斜面の上方）の輪郭線の長さとの違いの影響を補うために、外側面画像Ｙの外側の輪郭線に近い領域の画素を間引きしてもよい。あるいは、解析部１４は、外側面画像Ｙの内側の輪郭線に近い領域の１つの画素を長方形画像Ｒにおける複数の画素に割り当ててもよい。
【００３７】
図６に示す例においては、リブ２３の左側の端部が長方形画像Ｒの左端に位置するように、外側面画像Ｙが長方形画像Ｒに変換されている。この場合、解析部１４は、リブ２３の左側の端部が長方形の左端に位置する良品基準画像及び不良品基準画像と長方形画像Ｒとを比較することにより、被検査物２の外側面の状態の良否を判定する。このようにすることで、解析部１４は、被検査物２が載置台１１に載置される向きがランダムであっても、向きによらず共通の良品基準画像及び不良品基準画像を用いて被検査物２の外側面状態の良否を判定することができる。
【００３８】
［被検査物２の検査方法のまとめ］
以上の説明のとおり、被検査物２の製造者は、検査装置１を用いて以下の手順により被検査物２を検査することができる。まず、反射部材１２における載置領域１２４に被検査物を載置する。続いて、被検査物２の上方に設置された撮像部１３を用いて、被検査物２の上端及び反射部材１２の斜面を撮像することにより、被検査物２の上端を示す上端画像及び被検査物２の外側面を示す外側面画像を含む撮像画像を生成する。続いて、解析部１４を用いて上端画像及び外側面画像をそれぞれ異なる方式で解析することにより被検査物の形状を検査する。上記の一連の検査方法の手順は、コンピュータがプログラムを実行することにより行ってもよく、一部の工程を製造者が行ってもよい。
【００３９】
［第１変形例］
図７は、検査装置１の変形例を示す図である。図１に示した検査装置１においては、載置台１１の表面に被検査物２が載置されていたが、図７に示すように、検査装置１が、載置台１１の表面に対して上方に突出した載置部１５をさらに有してもよい。被検査物２が載置部１５に載置されることにより、斜面１２３の最も下方の位置よりも上方に被検査物２の最下部が位置するようになる。その結果、撮像画像に含まれる斜面画像の端部と、被検査物２の外側面が写った外側面画像の端部との間にマージン領域が形成されるので、外側面画像の端部付近の検査精度が向上する。
【００４０】
さらに、載置部１５は上下方向に移動可能に構成されていてもよい。載置部１５が上下方向に移動できるように構成されていることで、検査装置１は、被検査物２の厚みによらず、被検査物２の外側面画像が斜面画像における中央付近に位置するように制御することができる。
【００４１】
［第２変形例］
以上の説明においては、解析部１４が良品基準画像及び不良品基準画像を用いて被検査物２の外側面の状態の良否を判定する場合を例示したが、解析部１４は、良品基準画像及び不良品基準画像の一方を用いてもよい。この場合、解析部１４は、例えば外側面画像と良品基準画像との相関値を算出し、相関値が基準値以上である場合に被検査物２が良品であると判定する。同様に、解析部１４は、外側面画像と不良品基準画像との相関値を算出し、相関値が基準値以上である場合に被検査物２が不良品であると判定してもよい。
【００４２】
［第３変形例］
以上の説明においては、被検査物２が円筒形状又は円柱形状である場合を例示したが、被検査物２は他の形状を有してもよい。また、以上の説明においては、被検査物２の外側面に複数のリブが設けられている場合を例示したが、被検査物２の外側面の状態は任意である。
【００４３】
［検査装置１による効果］
以上説明したように、検査装置１は、被検査物２が載置される円形の載置領域１２４と、載置領域１２４よりも内径が大きい円形の開口１２５を有する上面１２２と、載置領域と開口との間に形成されており、載置領域１２４に載置された被検査物２の外側面から到来する光を上方に反射する斜面１２３と、を有する反射部材１２を有する。そして、解析部１４は、被検査物の上端を示す上端画像及び被検査物の外側面を示す外側面画像をそれぞれ異なる方式で解析することにより被検査物の形状を検査する。検査装置１がこのような構成を有することで、上端画像には被検査物２の内径及び外径を特定するために適した画像処理を施し、外側面画像には外側面の状態の良否を判定するために適した画像処理を施すことができるので、被検査物２における複数の異なる部位の検査の質を向上させることができる。
【００４４】
そして、解析部１４は、上端画像に基づいて被検査物２の外径を特定するとともに、外側面画像を複数の基準画像と比較した結果に基づいて被検査物２の外側面の状態を特定することができるので、被検査物２の外径の特定及び被検査物２の外側面の状態の特定という異なる性質の検査を行うための時間を短縮することができる。
【００４５】
また、解析部１４は、特定した被検査物２の外径を示す外径値に関連付けて外側面画像を記憶媒体に記憶させることで、被検査物２の製造工程のトレーサビリティを確保するためのデータ記録処理の効率を向上させることができる。
【００４６】
さらに、解析部１４は、外側面画像Ｙを、当該外側面画像Ｙの輪郭線の方向が長辺の方向と同一の長方形画像Ｒに変換し、当該長方形画像Ｒに基づいて被検査物２の形状を検査する。解析部１４がこのような構成を有することで、解析部１４は、被検査物２が載置される向きがランダムであっても、向きによらず共通の基準画像を用いて被検査物２の外側面状態の良否を判定することができる。
【００４７】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、装置の分散・統合の具体的な実施の形態は、以上の実施の形態に限られず、その全部又は一部について、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合して構成することができる。また、複数の実施の形態の任意の組み合わせによって生じる新たな実施の形態も、本発明の実施の形態に含まれる。組み合わせによって生じる新たな実施の形態の効果は、もとの実施の形態の効果を合わせ持つ。
【符号の説明】
【００４８】
１  検査装置
２  被検査物
１１  載置台
１２  反射部材
１３  撮像部
１４  解析部
１５  載置部
２１  上側フレーム
２２  下側フレーム
２３、２４、２５、２６、２７、２８  リブ
２９  突起
３０  薄膜
１２１  底面
１２２  上面
１２３  斜面
１２４  載置領域
１２５  開口
【図１】
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【図２】
2020079715.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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