(57)【要約】【課題】誘電エラストマーアクチュエータを周期的駆動する際に、変位の振幅が駆動初期に安定するようにする。【解決手段】誘電エラストマー成形体を第１電極と第２電極とで挟んだ構造を有する誘電エラストマーアクチュエータに、第１電極と第２電極との間に周期的な電圧を印加することで、周期的な変位を起こさせる誘電エラストマーアクチュエータの駆動方法であって、第２電極を基準電位として、１周期が、時間順で、正電圧を印加する第１時間ｔ１と、電圧を印加しない第２時間ｔ２と、負電圧を印加する第３時間ｔ３と、電圧を印加しない第４時間ｔ４とからなる周期的な電圧を、第１電極に印加する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電エラストマー成形体を第１電極と第２電極とで挟んだ構造を有する誘電エラストマーアクチュエータに、第１電極と第２電極との間に周期的な電圧を印加することで、周期的な変位を起こさせる誘電エラストマーアクチュエータの駆動方法であって、
第２電極を基準電位として、
１周期が、時間順で、正電圧を印加する第１時間と、電圧を印加しない第２時間と、負電圧を印加する第３時間と、電圧を印加しない第４時間とからなる周期的な電圧を、第１電極に印加することを特徴とする誘電エラストマーアクチュエータの駆動方法。
【請求項２】
誘電エラストマー成形体は、ウレタン系エラストマーよりなる請求項１記載の誘電エラストマーアクチュエータの駆動方法。
【請求項３】
ウレタン系エラストマーは、ポリロタキサンと架橋剤とがウレタン結合で結合されているものである請求項２記載の誘電エラストマーアクチュエータの駆動方法。
【請求項４】
誘電エラストマー成形体を第１電極と第２電極とで挟んだ構造を有する誘電エラストマーアクチュエータと、第１電極と第２電極との間に周期的な電圧を印加することで、誘電エラストマーアクチュエータに周期的な変位を起こさせる電圧印加装置とを含むアクチュエータ装置であって、
電圧印加装置は、
第２電極を基準電位として、
１周期が、時間順で、正電圧を印加する第１時間と、電圧を印加しない第２時間と、負電圧を印加する第３時間と、電圧を印加しない第４時間とからなる周期的な電圧を、第１電極に印加する装置であることを特徴とするアクチュエータ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘電エラストマーアクチュエータの駆動方法及びアクチュエータ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
誘電エラストマーアクチュエータは、誘電エラストマー成形体を２つの電極で挟んだ基本構造を有する駆動装置である。２つの電極間に電圧を印加すると、電極間に発生したクーロン力により、誘電エラストマー成形体は、電極間方向に収縮し、その直角方向に伸長するので、これらの変形を駆動用の変位として取り出す駆動装置となる。
【０００３】
誘電エラストマーアクチュエータの駆動方法（電圧の印加方法）には、一定の直流電圧を印加する一定的駆動方法と、周期的な直流電圧を印加する周期的駆動方法とがある。後者の例として、特許文献１には、矩形波又はサイン波の直流電圧をかけたところ、誘電エラストマーアクチュエータは波形に追従した周期的な変位をして振動を与えたこと、そして、この周期的駆動方法はハプティクス（触覚技術）用途に適していることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１８−３３２９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、本発明者らが矩形波の直流電圧をかけて試験したところ、誘電エラストマー成形体が周期的に変形することで、誘電エラストマーアクチュエータは周期的な変位を起こしたものの、その変位の振幅は、駆動初期（電圧印加開始直後の所定時間）に不安定であり、その後に安定した（後述する比較例にて詳述する）。このような駆動初期における変位の振幅の不安定は、誘電エラストマーアクチュエータの実使用時に、停止時から駆動させる際の制御を困難にするため問題である。
【０００６】
この駆動初期における振幅の不安定の原因は、現時点では判明していないが、誘電エラストマー成形体の内部に正極性又は負極性のどちらかに偏って存在する空間電荷が関連しているものと推定される。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、誘電エラストマーアクチュエータを周期的駆動する際に、変位の振幅が駆動初期に安定するようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
［１］誘電エラストマーアクチュエータの駆動方法
誘電エラストマー成形体を第１電極と第２電極とで挟んだ構造を有する誘電エラストマーアクチュエータに、第１電極と第２電極との間に周期的な電圧を印加することで、周期的な変位を起こさせる誘電エラストマーアクチュエータの駆動方法であって、
第２電極を基準電位として、
１周期が、時間順で、正電圧（正電位の電圧）を印加する第１時間と、電圧を印加しない第２時間と、負電圧（正電位の電圧）を印加する第３時間と、電圧を印加しない第４時間とからなる周期的な電圧を、第１電極に印加することを特徴とする。
【０００９】
［２］アクチュエータ装置
誘電エラストマー成形体を第１電極と第２電極とで挟んだ構造を有する誘電エラストマーアクチュエータと、第１電極と第２電極との間に周期的な電圧を印加することで、誘電エラストマーアクチュエータに周期的な変位を起こさせる電圧印加装置とを含むアクチュエータ装置であって、
電圧印加装置は、
第２電極を基準電位として、
１周期が、時間順で、正電圧を印加する第１時間と、電圧を印加しない第２時間と、負電圧を印加する第３時間と、電圧を印加しない第４時間とからなる周期的な電圧を、第１電極に印加する装置であることを特徴とするアクチュエータ装置。
【００１０】
＜作用＞
第２電極を基準電位として、１周期が、時間順で、正電圧（正電位の電圧）を印加する第１時間と、電圧を印加しない第２時間と、負電圧（正電位の電圧）を印加する第３時間と、電圧を印加しない第４時間とからなる周期的な電圧を、第１電極に印加すると、ことにより、誘電エラストマー成形体が周期的に変形することで、誘電エラストマーアクチュエータは周期的な変位を起こす。その変位の振幅は、駆動初期に安定する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、誘電エラストマーアクチュエータを周期的駆動する際に、変位の振幅が駆動初期に安定するという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１の実施例の誘電エラストマーアクチュエータの分解斜視図である。
【図２】図２は同誘電エラストマーアクチュエータの（ａ）は平面図、（ｂ）は側断面図である。
【図３】図３は同誘電エラストマーアクチュエータの駆動方法（印加方法）を示し、（ａ）は矩形波の直流電圧（比較例）を示すグラフ図、（ｂ）は矩形波の交流電圧（比較例）を示すグラフ図、（ｃ）は特殊矩形波の交流電圧（実施例）を示すグラフ図である。
【図４】図４は比較例１の変位−時間曲線を示すグラフ図である。
【図５】図５は比較例２の変位−時間曲線を示すグラフ図である。
【図６】図６は比較例３の変位−時間曲線を示すグラフ図である。
【図７】図７は比較例４の変位−時間曲線を示すグラフ図である。
【図８】図８は実施例１の変位−時間曲線を示すグラフ図である。
【図９】図９は実施例２の変位−時間曲線を示すグラフ図である。
【図１０】図１０は実施例３の変位−時間曲線を示すグラフ図である。
【図１１】図１１は実施例４の変位−時間曲線を示すグラフ図である。
【図１２】図１２は実施例５の変位−時間曲線を示すグラフ図である。
【図１３】図１３は実施例６の変位−時間曲線を示すグラフ図である。
【図１４】図１４は実施例７の変位−時間曲線を示すグラフ図である。
【図１５】図１５は実施例８の変位−時間曲線を示すグラフ図である。
【図１６】図１６は比較例５の変位−時間曲線を示すグラフ図である。
【図１７】図１７は実施例９の変位−時間曲線を示すグラフ図である。
【図１８】図１８は実施例１０の変位−時間曲線を示すグラフ図である。
【図１９】図１９は実施例１１の変位−時間曲線を示すグラフ図である。
【図２０】図２０は実施例１２の変位−時間曲線を示すグラフ図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
［１］誘電エラストマー成形体
誘電エラストマー成形体は、誘電エラストマーからなり、誘電エラストマー以外の成分を含んでいてもよい。
誘電エラストマーとしては、特に限定されないが、シリコーンエラストマー、スチレン系熱可塑性エラストマー、天然ゴム、ニトリルゴム、アクリルゴム、ウレタンゴム、ウレアゴム、フッ素ゴム、架橋ポリロタキサン等を例示できる。
これら種々の誘電エラストマーを検討したところ、ウレタン系エラストマーは、上述した駆動初期における振幅の不安定が特に起きやすい。よって、誘電エラストマーとしてウレタン系エラストマーを用いる場合に、本発明は特に好適である。ウレタン系エラストマーとしては、ポリロタキサンと架橋剤とがウレタン結合で結合されている架橋ポリロタキサン、ウレタンゴム等を例示できる。
【００１４】
誘電エラストマー成形体の形態としては、特に限定されないが、膜、線、短冊、リング、棒、塊等を例示できる。また、膜等は別の基材上に塗工されたものであってもよい。
【００１５】
誘電エラストマー成形体は、変位を大きく取れる点で、２以上の膜状の誘電エラストマー成形体と３以上の電極とを交互に（第１電極／誘電エラストマー成形体／第２電極／誘電エラストマー成形体／第１電極・・・）積層したものが好ましい。この場合、２以上の誘電エラストマー成形体は、互いに同一材料でもよいし異材料でもよい。異材料としては、架橋ポリロタキサンとそれ以外の誘電エラストマーとの併用を例示できる。
【００１６】
上記において、ポリロタキサンは、環状分子に直鎖状分子が相対スライド可能に貫通し、直鎖状分子の両末端に配された封鎖基により環状分子が脱離しない構造の分子集合体であり（例えば国際公開第２００５／０８０４６９号）、スライドリングマテリアルとも称されている。ポリロタキサンは、特定の環状分子、直鎖状分子、封鎖基を有するものに限定されない。
環状分子としては、シクロデキストリン、クラウンエーテル、シクロファン、カリックスアレーン、ククルビットウリル、環状アミド等を例示できる。
直鎖状分子としては、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラヒドロフラン等のポリエーテル類、ポリ乳酸等のポリエステル類、６−ナイロン等のポリアミド類、ポリイソプレン、ポリブタジエン等のジエン系重合体、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリビニルメチルエーテル、ポリイソブチレン等のビニル重合体や、ポリジメチルシロキサン等を例示できる。
封鎖基としては、ジニトロフェニル基類、シクロデキストリン類、アダマンタン基類、トリチル基類、フルオレセイン類、ピレン類、置換ベンゼン類（置換基として、アルキル、アルキルオキシ、ヒドロキシ、ハロゲン、シアノ、スルホニル、カルボキシル、アミノ、フェニルなどを例示できる。）、置換されていてもよい多核芳香族類（置換基として、上記と同じものを例示できる。）、ステロイド類等を例示できる。
現在、最も一般的なポリロタキサンは、環状分子としてシクロデキストリン、直鎖状分子としてポリエチレングリコールを用いたものである。
【００１７】
そして、架橋ポリロタキサンは、隣接するポリロタキサンの環状分子間が架橋剤で架橋されたものであり、誘電率が高いことと、粘弾性等のユニークな力学的特性から、誘電エラストマーアクチュエータの誘電エラストマー成形体に適している。架橋剤は、特定のものに限定されない。
架橋剤としては、塩化シアヌル、トリメソイルクロリド、テレフタロイルクロリド、エピクロロヒドリン、ジブロモベンゼン、グルタールアルデヒド、脂肪族多官能イソシアネート、芳香族多官能イソシアネート、ジイソシアン酸トリレイン、ヘキサメチレンジイソシアネート、ジビニルスルホン、１，１‘−カルボニルジイミダゾール、アルコキシシラン類、およびそれらの誘導体、ポリシロキサンを含有するブロック共重合体（ポリカプロラクトン−ポリシロキサンブロック共重合体、ポリアジペート−ポリシロキサンブロック共重合体、ポリエチレングリコール−ポリシロキサンブロック共重合体等）等を例示できる。
【００１８】
［２］第１電極及び第２電極
第１電極及び第２電極は、誘電エラストマー成形体の変形に追従して変形できるものであり、特に限定されないが、導電性粒子からなる導電性膜、導電性粒子を含む導電性塗膜、導電性粒子を含む導電性エラストマー成形体等を例示できる。
ここで、導電性粒子としては、特に限定されないが、カーボンブラック、カーボンナノチューブ、白金、金、銀、銅、ニッケル等の粒子等を例示できる。
導電性塗膜の樹脂成分としては、特に限定されないが、フタル酸系、アクリル系、ウレタン系、エポキシ系、ビニル系等の樹脂を例示できる。
導電性エラストマー成形体のエラストマー成分としては、特に限定されないが、上記［１］で例示した誘電エラストマーを例示できる。
【００１９】
［３］周期的な電圧
上述の通り、周期的な電圧は、１周期が時間順で、正電圧を印加する第１時間と、電圧を印加しない第２時間と、負電圧を印加する第３時間と、電圧を印加しない第４時間とからなり、これが繰り返されるものである。
第１時間と第３時間はそれぞれ、特に限定されないが、０．００２秒以上が好ましく、０．００５秒以上がより好ましい。０．００２秒未満では、誘電エラストマー成形体の変形が追い付きにくくなり、誘電エラストマーアクチュエータの振幅を大きく取り出しにくくなるからである。第１時間及び第３時間の上限は、特に無いが、敢えていえば最初の第１時間で誘電エラストマー成形体の変形が漸増を続ける５０秒、或いは３０秒である。
第２時間と第４時間はそれぞれ、特に限定されないが、０．００２秒以上が好ましく、０．００５秒以上がより好ましい。０．００２秒未満では、駆動初期における振幅を安定化する作用が弱まる傾向となるからである。第２時間及び第４時間の上限は、特に無いが、敢えていえば１００秒、或いは５０秒である。
【００２０】
第１時間と第２時間と第３時間と第４時間とは、互いに同一でもよいし相違してもよい。相違する場合は、第１時間と第３時間とは同一、第２時間と第４時間とは同一で、前者と後者とが相違することが好ましい。
【実施例】
【００２１】
以下、本発明を具体化した誘電エラストマーアクチュエータの駆動方法及び電圧印加装置の実施例について、次の順に説明する。なお、本発明は本実施例に限定されるものではない。
＜１＞誘電エラストマー成形体（架橋ポリロタキサン成形体）の作製
＜２＞電極（導電性エラストマー成形体）の作製
＜３＞誘電エラストマーアクチュエータの作製
＜４＞周期的駆動の試験
【００２２】
＜１＞誘電エラストマー成形体（架橋ポリロタキサン成形体）の作製
特開２０１２−６５４２６号公報の実施例１と同様のポリロタキサン組成物を作製した。
すなわち、まず、特開２０１２−６５４２６号公報に開示された、ポリロタキサンＡと、ポリシロキサンを含有するブロック共重合体Ｂと、ポリシロキサンを含有しない重合体Ｃとを作製した。
ポリロタキサンＡは、具体的には、環状分子としてシクロデキストリンを含有し、直鎖状分子としてポリエチレングリコールを含有し、直鎖状分子の両末端に封鎖基が配置されたものである。本例のポリロタキサンＡは、さらに溶化性や相溶性を得るため、カプロラクトン基を有するものである。
ポリシロキサンを含有するブロック共重合体Ｂは、ポリシロキサン（シリコーン成分）により耐湿性を向上させるものであり、具体的には、末端ブロックイソシアネート基を有するポリカプロラクトン−ポリジメチルシロキサン−ポリカプロラクトンのブロック共重合体である。同共重合体Ｂの添加は任意である。
ポリシロキサンを含有しない重合体Ｃは、ポリロタキサンとの相溶性が高く、これを含むことで高誘電率と低弾性を実現するものであり、具体的には、末端ブロックイソシアネート基を有するポリプロピレングリコールである。同重合体Ｃの添加は任意である。
これらとその他の成分を、次に示す配合（配合数値は質量部）で加えて攪拌し、よく脱泡して、ポリロタキサン組成物溶液を調製した。
ポリロタキサンＡ                      １０
ポリシロキサンブロック共重合体Ｂ        ４．９
重合体Ｃ                              １０．５
ポリプロピレングリコールジオール        ４．７
メチルセロソルブ                      ２５．９
ジラウリル酸ジブチルスズ                ０．０１４
ＤＢＬ−Ｃ３１（ＧＥＬＥＳＴ社製）      ０．１４
ＩＲＧＡＮＯＸ１７２６（ＢＡＳＦ社製）  ０．４２
【００２３】
上記ポリロタキサン組成物溶液を、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）板の上にスリットダイコータ法により塗布し、厚さ５０μｍのポリロタキサン成形体（膜）を形成した。続いて、ＰＥＴ板付きのポリロタキサン成形体を、１３０℃のオーブン内に減圧条件下で５時間おいて架橋・硬化させ、硬化した架橋ポリロタキサン成形体（誘電エラストマー成形体）をＰＥＴ板から剥がした。
【００２４】
＜２＞電極（導電性エラストマー成形体）の作製
シリコーンエラストマーとその他の成分を、次に示す配合（配合数値は質量部）で加えて攪拌し、よく脱泡して、エラストマー組成物溶液を作製した。カーボン粒子は、エラストマー成形体に導電性を付与するものである。
シリコーンエラストマー                １０
有機溶媒（ヘプタン）                ３００
カーボン粒子（ケッチェンブラック）      １
【００２５】
上記エラストマー組成物溶液を、ＰＥＴ板の上にスリットダイコータ法により塗布し、厚さ２０μｍの導電性エラストマー成形体（膜）を形成した。続いて、ＰＥＴ板付きの導電性エラストマー成形体を、１００℃のオーブン内に減圧条件下で２４時間おいて架橋・硬化させ、硬化した導電性エラストマー成形体をＰＥＴ板から剥がした。
【００２６】
＜３＞誘電エラストマーアクチュエータの作製
上記架橋ポリロタキサン成形体と導電性エラストマー成形体を、それぞれ表面プラズマ処理した。
図１及び図２に示すように、架橋ポリロタキサン成形体を１４ｍｍ×１６ｍｍの長方形に切断して、誘電エラストマー成形体３とした。また、導電性エラストマー成形体を１０ｍｍ×１３ｍｍの長方形に切断して、第１電極１及び第２電極２とした。
【００２７】
１０層の誘電エラストマー成形体３と、５層の第１電極１と、６層の第２電極２とを交互に（第２電極２／誘電エラストマー成形体３／第１電極１／誘電エラストマー成形体３／第２電極２・・・第２電極２）積層した。この１０層の誘電エラストマー成形体３が電圧印加により変形するものである。さらに、最上層の第２電極の上と、最下層の第２電極の下に、それぞれ電極保護のための誘電エラストマー成形体３を積層した。
【００２８】
第１電極１と第２電極２は、上記１３ｍｍの長さ方向に３ｍｍずらして配されることにより、平面視で１０ｍｍ×１０ｍｍの正方形領域（図２参照）で誘電エラストマー成形体３を挟んでいる。また、３ｍｍずらした部分にはシリコーンエラストマーからなる厚さ２０μｍの外埋め層４が設けられ、誘電エラストマー成形体３に段が付かないようになっている。
【００２９】
こうしてできた積層体を真空加熱プレス機にかけ、真空度１００Ｐａ以下、加熱温度１００℃の下で、圧力０．６７ＭＰａで５分圧着して接合し、誘電エラストマーアクチュエータ１０を作製した。誘電エラストマーアクチュエータ１０の静電容量は、理論値１４２０ｐＦのところ、実測値１３０６ｐＦであった。
【００３０】
＜４＞周期的駆動の試験
図２（ｂ）に示すように、誘電エラストマーアクチュエータ１０の第１電極１と第２電極２に電圧印加装置２０を接続し、図３に示す３種類の周期的な電圧を切り替えて印加する試験を行った。図３において、
（ａ）は、第２電極２を基準電位として、１周期が、時間順で、正電圧を印加する時間と、電圧を印加しない時間とからなる周期的な電圧（特許文献１と同様の矩形波の直流電圧）を、第１電極１に印加するものである（以下の比較例１〜４での印加方法）。
（ｂ）は、第２電極２を基準電位として、１周期が、時間順で、正電圧を印加する時間と、負電圧を印加しない時間とからなる周期的な電圧（矩形波の交流電圧）を、第１電極１に印加するものである（以下の比較例５での印加方法）。
（ｃ）は、第２電極２を基準電位として、１周期が、時間順で、正電圧を印加する第１時間ｔ１と、電圧を印加しない第２時間ｔ２と、負電圧を印加する第３時間ｔ３と、電圧を印加しない第４時間ｔ４とからなる周期的な電圧（特殊矩形波の交流電圧）を、第１電極１に印加するものである（以下の実施例１〜１２での印加方法）。
いずれの種類においても、正電圧は１２００Ｖであり、負電圧は１２００Ｖである。
【００３１】
これらの各種類においてさらに各時間を種々変えることにより、下記の比較例１〜５及び実施例１〜１２を行い、図４〜図２０に変位−時間曲線を示した。
・変位は、図２（ｂ）に示す誘電エラストマーアクチュエータ１０の全高の変位（振幅）である。
・時間については、測定開始と電圧印加開始とが同期しておらず、測定開始からやや遅れて電圧印加が開始されたため、各曲線の横軸には測定開始からの経過時間（秒）をそのまま示し、電圧印加開始時点に▲印を付けた。
・各曲線の上に、下記の１周期内の各電位の正負零表示（＋、−、０）を記し、その下に時間（秒）を記した。
【００３２】
（Ａ）１周期内の各時間が互いに同一である試験グループ
図４の比較例１は、（ａ）の矩形波の直流電圧を用い、正電圧を印加する時間を５秒、電圧を印加しない時間を５秒としたものであり、駆動初期の約５０秒間は変位が漸増して不安定であった。
図５の比較例２は、（ａ）の矩形波の直流電圧を用い、正電圧を印加する時間、電圧を印加しない時間を同一の０．５秒としたものであり、駆動初期の約４５秒間は変位が漸増して不安定であった。
図６の比較例３は、（ａ）の矩形波の直流電圧を用い、正電圧を印加する時間、電圧を印加しない時間を同一の０．０５秒としたものであり、駆動初期から変位は安定していた。
図７の比較例４は、（ａ）の矩形波の直流電圧を用い、正電圧を印加する時間、電圧を印加しない時間を同一の０．００５秒としたものであり、実質的に変位は起こらなかった。
【００３３】
図８の実施例１は、（ｃ）の特殊矩形波の交流電圧を用い、ｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４を同一の５秒としたものであり、駆動初期から変位は安定していた。
図９の実施例２は、（ｃ）の特殊矩形波の交流電圧を用い、ｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４を同一の０．５秒としたものであり、駆動初期から変位は安定していた。
図１０の実施例３は、（ｃ）の特殊矩形波の交流電圧を用い、ｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４を同一の０．０５秒としたものであり、駆動初期から変位は安定していた。
図１１の実施例４は、（ｃ）の特殊矩形波の交流電圧を用い、ｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４を同一の０．００５秒としたものであり、駆動初期から変位は安定していた。図７の比較例４との比較から、より短周期の変位が確認できた。
【００３４】
（Ｂ）１周期内の各時間が互いに相違する試験グループ
図１２の実施例５は、（ｃ）の特殊矩形波の交流電圧を用い、ｔ１とｔ３を共に５秒、ｔ２とｔ４を共に２．５秒としたものであり、駆動初期から変位は安定していた。
図１３の実施例６は、（ｃ）の特殊矩形波の交流電圧を用い、ｔ１とｔ３を共に５秒、ｔ２とｔ４を共に１．２５秒としたものであり、駆動初期から変位は安定していた。
図１４の実施例７は、（ｃ）の特殊矩形波の交流電圧を用い、ｔ１とｔ３を共に５秒、ｔ２とｔ４を共に０．６秒としたものであり、駆動初期から変位は安定していた。
図１５の実施例８は、（ｃ）の特殊矩形波の交流電圧を用い、ｔ１とｔ３を共に５秒、ｔ２とｔ４を共に０．３秒としたものであり、駆動初期から変位は安定していた。
【００３５】
図１６の比較例５は、実施例８のｔ２とｔ４をさらに減らして共に０秒にしたとみることができるものであって、（ｂ）の矩形波の交流電圧を用い、正電圧を印加する時間を５秒、負電圧を印加する時間を５秒としたものであり、駆動初期から３００秒以上待っても実質的に変位が起こらなかった。
【００３６】
図１７の実施例９は、（ｃ）の特殊矩形波の交流電圧を用い、ｔ１とｔ３を共に２．５秒、ｔ２とｔ４を共に５秒としたものであり、駆動初期から変位は安定していた。
図１８の実施例１０は、（ｃ）の特殊矩形波の交流電圧を用い、ｔ１とｔ３を共に１．２５秒、ｔ２とｔ４を共に５秒としたものであり、駆動初期から変位は安定していた。
図１９の実施例１１は、（ｃ）の特殊矩形波の交流電圧を用い、ｔ１とｔ３を共に０．６秒、ｔ２とｔ４を共に５秒としたものであり、駆動初期から変位は安定していた。
図２０の実施例１２は、（ｃ）の特殊矩形波の交流電圧を用い、ｔ１とｔ３を共に０．３秒、ｔ２とｔ４を共に５秒としたものであり、駆動初期から変位は安定していた。
【００３７】
なお、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、発明の趣旨から逸脱しない範囲で適宜変更して具体化することができる。
【符号の説明】
【００３８】
１    第１電極
２    第２電極
３    誘電エラストマー成形体
４    外埋め層
１０    誘電エラストマーアクチュエータ
２０    電圧印加装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【手続補正書】
【提出日】平成31年3月26日(2019.3.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
＜１＞誘電エラストマー成形体（架橋ポリロタキサン成形体）の作製
特開２０１７−６６３１８号公報の実施例１と同様のポリロタキサン組成物を作製した。
すなわち、まず、同公報に開示された、ポリロタキサンＡと、ポリシロキサンを含有するブロック共重合体Ｂと、ポリシロキサンを含有しない重合体Ｃとを作製した。
ポリロタキサンＡは、具体的には、環状分子としてシクロデキストリンを含有し、直鎖状分子としてポリエチレングリコールを含有し、直鎖状分子の両末端に封鎖基が配置されたものである。本例のポリロタキサンＡは、さらに溶化性や相溶性を得るため、カプロラクトン基を有するものである。
ポリシロキサンを含有するブロック共重合体Ｂは、ポリシロキサン（シリコーン成分）により耐湿性を向上させるものであり、具体的には、末端ブロックイソシアネート基を有するポリカプロラクトン−ポリジメチルシロキサン−ポリカプロラクトンのブロック共重合体である。同共重合体Ｂの添加は任意である。
ポリシロキサンを含有しない重合体Ｃは、ポリロタキサンとの相溶性が高く、これを含むことで高誘電率と低弾性を実現するものであり、具体的には、末端ブロックイソシアネート基を有するポリプロピレングリコールである。同重合体Ｃの添加は任意である。
これらとその他の成分を、次に示す配合（配合数値は質量部）で加えて攪拌し、よく脱泡して、ポリロタキサン組成物溶液を調製した。
ポリロタキサンＡ                      １０
ポリシロキサンブロック共重合体Ｂ        ４．９
重合体Ｃ                              １０．５
ポリプロピレングリコールジオール        ４．７
メチルセロソルブ                      ２５．９
ジラウリル酸ジブチルスズ                ０．０１４
ＤＢＬ−Ｃ３１（ＧＥＬＥＳＴ社製）      ０．１４
ＩＲＧＡＮＯＸ１７２６（ＢＡＳＦ社製）  ０．４２