(57)【要約】【課題】延伸装置を調整することにより、特性の良好な薄膜を製造する。【解決手段】搬送部と、搬送部の一方の側に設けられたクリップ巡回装置と、搬送部の他方の側に設けられたクリップ巡回装置とを有する延伸装置の調整を次のように行う。センサＳＬＫによりリンク間距離（リンクピッチｐＫ）を算出し、レール３０ａとレール３０ｂとの間隔を調整する。この工程は、リンク間距離（リンクピッチｐＫ）が許容範囲を超える場合に、制御部により屈曲部を制御することにより、レール３０ａとレール３０ｂとの間隔を大きくし、リンク間距離（リンクピッチｐＫ）が許容範囲未満である場合に、制御部により屈曲部を制御することにより、レール３０ａとレール３０ｂとの間隔を小さくする、工程である。【選択図】図１４
2020172029.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）搬送部と、前記搬送部の一方の側に設けられたＬ側チェーン移動装置と、前記搬送部の他方の側に設けられたＲ側チェーン移動装置とを有する延伸装置を準備する工程、
ここで、
（ａ１）前記Ｌ側チェーン移動装置は、
複数のＬ側リンクの連結体からなるＬ側チェーンと、
前記Ｌ側リンクの第１端に設けられたＬ側クリップと、
前記複数のＬ側リンクの前記第１端が走行するＬ側第１レールと、
前記複数のＬ側リンクの前記第１端と反対側の第２端が走行するＬ側第２レールと、
前記Ｌ側第１レールに設けられたＬ側第１屈曲部と、
前記Ｌ側リンクの通過を検出するＬ側第１センサと、
前記Ｌ側第１屈曲部に接続されたＬ側制御部と、を有し、
（ａ２）前記Ｒ側チェーン移動装置は、
複数のＲ側リンクの連結体からなるＲ側チェーンと、
前記Ｒ側リンクの第１端に設けられたＲ側クリップと、
前記複数のＲ側リンクの前記第１端が走行するＲ側第１レールと、
前記複数のＲ側リンクの前記第１端と反対側の第２端が走行するＲ側第２レールと、
前記Ｒ側第１レールに設けられたＲ側第１屈曲部と、
前記Ｒ側リンクの通過を検出するＲ側第１センサと、
前記Ｒ側第１屈曲部に接続されたＲ側制御部と、を有し、
（ｂ）前記（ａ）工程の後、前記Ｌ側第１センサにより前記複数のＬ側リンクの内の隣り合うＬ側リンクの前記第１端の間の距離であるＬ側第１リンク間距離を算出する工程、
（ｃ）前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を調整する工程であって、
（ｃ１）前記Ｌ側第１リンク間距離が許容範囲を超える場合に、前記Ｌ側制御部により前記Ｌ側第１屈曲部を制御することにより、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を大きくし、
（ｃ２）前記Ｌ側第１リンク間距離が許容範囲未満である場合に、前記Ｌ側制御部により前記Ｌ側第１屈曲部を制御することにより、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を小さくする、工程、
を有する延伸装置の調整方法。
【請求項２】
請求項１記載の延伸装置の調整方法において、
前記Ｌ側第１レールと前記Ｒ側第１レールは、第１領域および第２領域に配置され、
前記第２領域における前記Ｌ側第１レールと前記Ｒ側第１レールとの間隔は、前記第１領域における前記Ｌ側第１レールと前記Ｒ側第１レールとの間隔より大きく、
前記第２領域において、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールは、斜めに配置され、
前記Ｌ側第１センサは、前記第２領域に配置されている、延伸装置の調整方法。
【請求項３】
請求項２記載の延伸装置の調整方法において、
前記Ｌ側第１センサは、前記Ｌ側第１屈曲部の近傍に配置されている、延伸装置の調整方法。
【請求項４】
請求項３記載の延伸装置の調整方法において、
前記Ｌ側第１センサより搬送方向の下流にＬ側第２センサを有し、
前記Ｌ側第１センサにより算出された前記Ｌ側第１リンク間距離に基づき、前記Ｌ側第１センサ部の近傍のＬ側第１ゾーンにおいて、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を調整した後、
前記Ｌ側第２センサにより算出されたＬ側第２リンク間距離に基づき、前記Ｌ側第２センサの近傍のＬ側第２ゾーンにおいて、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を調整する、延伸装置の調整方法。
【請求項５】
請求項４記載の延伸装置の調整方法において、
前記Ｌ側第１リンク間距離と前記Ｌ側第１ゾーンにおける設定値との比較により前記Ｌ側第１ゾーンにおいて、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を調整し、
前記Ｌ側第２リンク間距離と前記Ｌ側第２ゾーンにおける設定値との比較により前記Ｌ側第２ゾーンにおいて、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を調整する、延伸装置の調整方法。
【請求項６】
（ａ）搬送部と、前記搬送部の一方の側に設けられたＬ側チェーン移動装置と、前記搬送部の他方の側に設けられたＲ側チェーン移動装置とを有し、
（ａ１）前記Ｌ側チェーン移動装置は、
複数のＬ側リンクの連結体からなるＬ側チェーンと、
前記Ｌ側リンクの第１端に設けられたＬ側クリップと、
前記複数のＬ側リンクの前記第１端が走行するＬ側第１レールと、
前記複数のＬ側リンクの前記第１端と反対側の第２端が走行するＬ側第２レールと、
前記Ｌ側第１レールに設けられたＬ側第１屈曲部と、
前記Ｌ側リンクの通過を検出するＬ側第１センサと、
前記Ｌ側第１屈曲部に接続されたＬ側制御部と、を有し、
（ａ２）前記Ｒ側チェーン移動装置は、
複数のＲ側リンクの連結体からなるＲ側チェーンと、
前記Ｒ側リンクの第１端に設けられたＲ側クリップと、
前記複数のＲ側リンクの前記第１端が走行するＲ側第１レールと、
前記複数のＲ側リンクの前記第１端と反対側の第２端が走行するＲ側第２レールと、
前記Ｒ側第１レールに設けられたＲ側第１屈曲部と、
前記Ｒ側リンクの通過を検出するＲ側第１センサと、
前記Ｒ側第１屈曲部に接続されたＲ側制御部と、を有し、
前記Ｌ側第１センサは、前記Ｌ側リンクの通過時間を検出し、
前記Ｌ側制御部は、
前記Ｌ側リンクの通過時間から算出された前記Ｌ側第１リンク間距離が許容範囲を超える場合に、前記Ｌ側制御部により前記Ｌ側第１屈曲部を制御することにより、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を大きくし、
前記Ｌ側第１リンク間距離が許容範囲未満である場合に、前記Ｌ側制御部により前記Ｌ側第１屈曲部を制御することにより、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を小さくする、延伸装置。
【請求項７】
請求項６記載の延伸装置において、
前記Ｌ側第１レールと前記Ｒ側第１レールは、第１領域および第２領域に配置され、
前記第２領域における前記Ｌ側第１レールと前記Ｒ側第１レールとの間隔は、前記第１領域における前記Ｌ側第１レールと前記Ｒ側第１レールとの間隔より大きく、
前記第２領域において、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールは、斜めに配置され、
前記Ｌ側第１センサは、前記第２領域に配置されている、延伸装置。
【請求項８】
請求項７記載の延伸装置において、
前記Ｌ側第１センサは、前記Ｌ側第１屈曲部の近傍に配置されている、延伸装置。
【請求項９】
請求項８記載の延伸装置において、
前記Ｌ側第１センサより搬送方向の下流にＬ側第２センサを有し、
前記Ｌ側制御部は、
前記Ｌ側第１センサにより算出された前記Ｌ側第１リンク間距離に基づき、前記Ｌ側第１センサ部の近傍のＬ側第１ゾーンにおいて、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を調整した後、
前記Ｌ側第２センサにより算出されたＬ側第２リンク間距離に基づき、前記Ｌ側第２センサの近傍の第２ゾーンにおいて、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を調整する、延伸装置。
【請求項１０】
請求項９記載の延伸装置において、
前記Ｌ側制御部は、
前記Ｌ側第１リンク間距離と前記Ｌ側第１ゾーンにおける設定値との比較により前記Ｌ側第１ゾーンにおいて、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を調整し、
前記Ｌ側第２リンク間距離と前記Ｌ側第２ゾーンにおける設定値との比較により前記Ｌ側第２ゾーンにおいて、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を調整する、延伸装置。
【請求項１１】
（ａ）搬送部と、前記搬送部の一方の側に設けられたＬ側チェーン移動装置と、前記搬送部の他方の側に設けられたＲ側チェーン移動装置とを有する延伸装置を準備する工程、
ここで、
（ａ１）前記Ｌ側チェーン移動装置は、
複数のＬ側リンクの連結体からなるＬ側チェーンと、
前記Ｌ側リンクの第１端に設けられたＬ側クリップと、
前記複数のＬ側リンクの前記第１端が走行するＬ側第１レールと、
前記複数のＬ側リンクの前記第１端と反対側の第２端が走行するＬ側第２レールと、
前記Ｌ側第１レールに設けられたＬ側第１屈曲部と、
前記Ｌ側リンクの通過を検出するＬ側第１センサと、
前記Ｌ側第１屈曲部に接続されたＬ側制御部と、を有し、
（ａ２）前記Ｒ側チェーン移動装置は、
複数のＲ側リンクの連結体からなるＲ側チェーンと、
前記Ｒ側リンクの第１端に設けられたＲ側クリップと、
前記複数のＲ側リンクの前記第１端が走行するＲ側第１レールと、
前記複数のＲ側リンクの前記第１端と反対側の第２端が走行するＲ側第２レールと、
前記Ｒ側第１レールに設けられたＲ側第１屈曲部と、
前記Ｒ側リンクの通過を検出するＲ側第１センサと、
前記Ｒ側第１屈曲部に接続されたＲ側制御部と、を有し、
（ｂ）前記（ａ）工程の後、前記Ｌ側第１センサおよび前記Ｌ側第１センサにより、前記複数のＬ側リンクの内の特定のＬ側リンクと、前記複数のＲ側リンクの内の前記特定のリンクと対応する特定のＲ側リンクと、のズレ量を算出する工程、
（ｃ）前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔、または、前記Ｒ側第１レールと前記Ｒ側第２レールとの間隔を調整する工程、
を有する延伸装置の調整方法。
【請求項１２】
請求項１１記載の延伸装置の調整方法において、
前記（ｃ）工程は、
（ｃ１）前記Ｌ側制御部により前記Ｌ側第１屈曲部を制御することにより、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を大きくする、
（ｃ２）前記Ｌ側制御部により前記Ｌ側第１屈曲部を制御することにより、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を小さくする、
（ｃ３）前記Ｒ側制御部により前記Ｒ側第１屈曲部を制御することにより、前記Ｒ側第１レールと前記Ｒ側第２レールとの間隔を大きくする、
（ｃ４）前記Ｒ側制御部により前記Ｒ側第１屈曲部を制御することにより、前記Ｒ側第１レールと前記Ｒ側第２レールとの間隔を小さくする、
のいずれかの工程を有する、延伸装置の調整方法。
【請求項１３】
（ａ）搬送部と、前記搬送部の一方の側に設けられたＬ側チェーン移動装置と、前記搬送部の他方の側に設けられたＲ側チェーン移動装置とを有し、
（ａ１）前記Ｌ側チェーン移動装置は、
複数のＬ側リンクの連結体からなるＬ側チェーンと、
前記Ｌ側リンクの第１端に設けられたＬ側クリップと、
前記複数のＬ側リンクの前記第１端が走行するＬ側第１レールと、
前記複数のＬ側リンクの前記第１端と反対側の第２端が走行するＬ側第２レールと、
前記Ｌ側第１レールに設けられたＬ側第１屈曲部と、
前記Ｌ側リンクの通過を検出するＬ側第１センサと、
前記Ｌ側第１屈曲部に接続されたＬ側制御部と、を有し、
（ａ２）前記Ｒ側チェーン移動装置は、
複数のＲ側リンクの連結体からなるＲ側チェーンと、
前記Ｒ側リンクの第１端に設けられたＲ側クリップと、
前記複数のＲ側リンクの前記第１端が走行するＲ側第１レールと、
前記複数のＲ側リンクの前記第１端と反対側の第２端が走行するＲ側第２レールと、
前記Ｒ側第１レールに設けられたＲ側第１屈曲部と、
前記Ｒ側リンクの通過を検出するＲ側第１センサと、
前記Ｒ側第１屈曲部に接続されたＲ側制御部と、を有し、
前記Ｌ側制御部または前記Ｒ側制御部は、
前記Ｌ側第１センサおよび前記Ｌ側第１センサにより、前記複数のＬ側リンクの内の特定のＬ側リンクと、前記複数のＲ側リンクの内の前記特定のＬ側リンクと対応する特定のＲ側リンクと、のズレ量を算出結果に基づき、
前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔、または、前記Ｒ側第１レールと前記Ｒ側第２レールとの間隔を調整する、延伸装置。
【請求項１４】
請求項１３記載の延伸装置において、
前記Ｌ側制御部は、
（ｃ１）前記Ｌ側制御部により前記Ｌ側第１屈曲部を制御することにより、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を大きく、または、
（ｃ２）前記Ｌ側制御部により前記Ｌ側第１屈曲部を制御することにより、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を小さくし、
前記Ｒ側制御部は、
（ｃ３）前記Ｒ側制御部により前記Ｒ側第１屈曲部を制御することにより、前記Ｒ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を大きく、または、
（ｃ４）前記Ｒ側制御部により前記Ｒ側第１屈曲部を制御することにより、前記Ｒ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を小さくする、延伸装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜を縦方向および横方向に引き延ばす延伸装置に好適に利用できるものである。
【背景技術】
【０００２】
延伸装置においては、縦延伸と横延伸を行うことができ、これらを順番に行うことを逐次二軸延伸法といい、一度に行うことを同時二軸延伸法という。同時二軸延伸法は、逐次延伸法に比べ、スクラッチが発生しにくい、原料の適応範囲が広く、結晶化速度が速くても延伸可能である、物性の縦横均一性が高いなどのメリットがある。
【０００３】
例えば、特許文献１（特開２００４−１５５１３８号公報）には、折尺状に形成された複数個の等長リンク装置よりシート状物の両側端に配置された無端リンク装置を、シート状物の入口側及び出口側のスプロケットにより駆動し、進行方向に末広がり状に配置されたガイドで形成されるガイドレールによって案内し、シート状物を横方向に延伸させるシート状物の延伸機が開示されている。そして、この延伸機においては、延伸区間の最大屈曲部の後流に特定リンク装置を感知するセンサと、該センサの信号により無端リンクの駆動系を制御する制御装置を設け、シート状物の両側端の無端リンク装置の同期を制御している。
【０００４】
また、特許文献２（特開２０００−３７７７２号公報）には、リンクを駆動している左右出入り口のスプロケットを独立駆動させ、スプロケット位置をパルスゲージにて検知し個々の速度を比較計算しその偏差値を信号で送信しモータの回転数制御する同時二軸延伸装置が開示されている。
【０００５】
また、特許文献３（特開２００８−３０２５８１号公報）には、未延伸フィルムを、複数の把持子を備える延伸機に連続的に供給し、前記未延伸フィルムの両端部を前記把持子で把持し、前記把持子を移動させることにより前記未延伸フィルムを縦及び横方向に同時二軸延伸する工程を含む、延伸光学フィルムの製造方法が開示されている。そして、前記同時二軸延伸の工程において、前記把持子が未延伸フィルムを把持する際のピッチが１０〜６０ｍｍの間隔であり、且つ相対する両把持子の一方が延伸終了部に到達したとき、各対の前記両把持子の中心を結ぶ線と、前記フィルム面内におけるフィルム搬送方向に垂直な方向とがなす角度が、０．５°以内にあるよう制御される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１５５１３８号公報
【特許文献２】特開２０００−３７７７２号公報
【特許文献３】特開２００８−３０２５８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明者は、上記特許文献に記載のような同時二軸延伸装置についての研究開発に従事しており、特性の良好な薄膜（例えば、高機能フィルムなど）の製造方法について鋭意検討している。
【０００８】
この研究開発過程において、薄膜を縦方向および横方向に引き延ばす延伸装置において、薄膜の延伸方向が、斜めになるなど、所定の方向からズレることが判明した。このようなズレが生じた場合、薄膜の特性が変化してしまう。特に、高機能フィルムの製造に際しては、延伸方向のズレが、膜中の機能部位の不均一や光学特性の低下などに繋がり、膜特性に大きな影響を与える。
【０００９】
よって、同時二軸延伸装置における延伸方向のズレを解消し、延伸される薄膜の膜特性を向上させることが望まれる。
【００１０】
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本願において開示される延伸装置の調整方法は、（ａ）搬送部と、前記搬送部の一方の側に設けられたＬ側チェーン移動装置と、前記搬送部の他方の側に設けられたＲ側チェーン移動装置とを有する延伸装置を準備する工程を有する。
【００１２】
そして、（ａ１）前記Ｌ側チェーン移動装置は、複数のＬ側リンクの連結体からなるＬ側チェーンと、前記Ｌ側リンクの第１端に設けられたＬ側クリップと、前記複数のＬ側リンクの前記第１端が走行するＬ側第１レールと、前記複数のＬ側リンクの前記第１端と反対側の第２端が走行するＬ側第２レールと、前記Ｌ側第１レールに設けられたＬ側第１屈曲部と、前記Ｌ側リンクの通過を検出するＬ側第１センサと、前記Ｌ側第１屈曲部に接続されたＬ側制御部と、を有する。また、（ａ２）前記Ｒ側チェーン移動装置は、複数のＲ側リンクの連結体からなるＲ側チェーンと、前記Ｒ側リンクの第１端に設けられたＲ側クリップと、前記複数のＲ側リンクの前記第１端が走行するＲ側第１レールと、前記複数のＲ側リンクの前記第１端と反対側の第２端が走行するＲ側第２レールと、前記Ｒ側第１レールに設けられたＲ側第１屈曲部と、前記Ｒ側リンクの通過を検出するＲ側第１センサと、前記Ｒ側第１屈曲部に接続されたＲ側制御部と、を有する。
【００１３】
そして、前記（ａ）工程の後、（ｂ）前記Ｌ側第１センサにより前記複数のＬ側リンクの内の隣り合うＬ側リンクの前記第１端の間の距離であるＬ側第１リンク間距離を算出する工程、（ｃ）前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を調整する工程であって、（ｃ１）前記Ｌ側第１リンク間距離が許容範囲を超える場合に、前記Ｌ側制御部により前記Ｌ側第１屈曲部を制御することにより、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を大きくし、（ｃ２）前記Ｌ側第１リンク間距離が許容範囲未満である場合に、前記Ｌ側制御部により前記Ｌ側屈曲部を制御することにより、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を小さくする、工程、を有する。
【００１４】
本願において開示される延伸装置は、（ａ）搬送部と、前記搬送部の一方の側に設けられたＬ側チェーン移動装置と、前記搬送部の他方の側に設けられたＲ側チェーン移動装置とを有する。そして、（ａ１）前記Ｌ側チェーン移動装置は、複数のＬ側リンクの連結体からなるＬ側チェーンと、前記Ｌ側リンクの第１端に設けられたＬ側クリップと、前記複数のＬ側リンクの前記第１端が走行するＬ側第１レールと、前記複数のＬ側リンクの前記第１端と反対側の第２端が走行するＬ側第２レールと、前記Ｌ側第１レールに設けられたＬ側第１屈曲部と、前記Ｌ側リンクの通過を検出するＬ側第１センサと、前記Ｌ側第１屈曲部に接続されたＬ側制御部と、を有する。また、（ａ２）前記Ｒ側チェーン移動装置は、複数のＲ側リンクの連結体からなるＲ側チェーンと、前記Ｒ側リンクの第１端に設けられたＲ側クリップと、前記複数のＲ側リンクの前記第１端が走行するＲ側第１レールと、前記複数のＲ側リンクの前記第１端と反対側の第２端が走行するＲ側第２レールと、前記Ｒ側第１レールに設けられたＲ側第１屈曲部と、前記Ｒ側リンクの通過を検出するＲ側第１センサと、前記Ｒ側第１屈曲部に接続されたＲ側制御部と、を有する。そして、前記Ｌ側第１センサは、前記Ｌ側リンクの通過時間を検出し、前記Ｌ側制御部は、前記Ｌ側リンクの通過時間から算出された前記Ｌ側第１リンク間距離が許容範囲を超える場合に、前記Ｌ側制御部により前記Ｌ側第１屈曲部を制御することにより、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を大きくし、前記Ｌ側第１リンク間距離が許容範囲未満である場合に、前記Ｌ側制御部により前記Ｌ側第１屈曲部を制御することにより、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔を小さくする。
【００１５】
本願において開示される延伸装置の調整方法は、（ａ）搬送部と、前記搬送部の一方の側に設けられたＬ側チェーン移動装置と、前記搬送部の他方の側に設けられたＲ側チェーン移動装置とを有する延伸装置を準備する工程を有する。
【００１６】
そして、（ａ１）前記Ｌ側チェーン移動装置は、複数のＬ側リンクの連結体からなるＬ側チェーンと、前記Ｌ側リンクの第１端に設けられたＬ側クリップと、前記複数のＬ側リンクの前記第１端が走行するＬ側第１レールと、前記複数のＬ側リンクの前記第１端と反対側の第２端が走行するＬ側第２レールと、前記Ｌ側第１レールに設けられたＬ側第１屈曲部と、前記Ｌ側リンクの通過を検出するＬ側第１センサと、前記Ｌ側第１屈曲部に接続されたＬ側制御部と、を有する。また、（ａ２）前記Ｒ側チェーン移動装置は、複数のＲ側リンクの連結体からなるＲ側チェーンと、前記Ｒ側リンクの第１端に設けられたＲ側クリップと、前記複数のＲ側リンクの前記第１端が走行するＲ側第１レールと、前記複数のＲ側リンクの前記第１端と反対側の第２端が走行するＲ側第２レールと、前記Ｒ側第１レールに設けられたＲ側第１屈曲部と、前記Ｒ側リンクの通過を検出するＲ側第１センサと、前記Ｒ側第１屈曲部に接続されたＲ側制御部と、を有する。
【００１７】
そして、（ａ）工程の後、（ｂ）前記Ｌ側第１センサおよび前記Ｌ側第１センサにより、前記複数のＬ側リンクの内の特定のＬ側リンクと、前記複数のＲ側リンクの内の前記特定のリンクと対応する特定のＲ側リンクと、のズレ量を算出する工程、（ｃ）前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔、または、前記Ｒ側第１レールと前記Ｒ側第２レールとの間隔を調整する工程、を有する。
【００１８】
本願において開示される延伸装置は、（ａ）搬送部と、前記搬送部の一方の側に設けられたＬ側チェーン移動装置と、前記搬送部の他方の側に設けられたＲ側チェーン移動装置とを有する。そして、（ａ１）前記Ｌ側チェーン移動装置は、複数のＬ側リンクの連結体からなるＬ側チェーンと、前記Ｌ側リンクの第１端に設けられたＬ側クリップと、前記複数のＬ側リンクの前記第１端が走行するＬ側第１レールと、前記複数のＬ側リンクの前記第１端と反対側の第２端が走行するＬ側第２レールと、前記Ｌ側第１レールに設けられたＬ側第１屈曲部と、前記Ｌ側リンクの通過を検出するＬ側第１センサと、前記Ｌ側第１屈曲部に接続されたＬ側制御部と、を有する。また、（ａ２）前記Ｒ側チェーン移動装置は、複数のＲ側リンクの連結体からなるＲ側チェーンと、前記Ｒ側リンクの第１端に設けられたＲ側クリップと、前記複数のＲ側リンクの前記第１端が走行するＲ側第１レールと、前記複数のＲ側リンクの前記第１端と反対側の第２端が走行するＲ側第２レールと、前記Ｒ側第１レールに設けられたＲ側第１屈曲部と、前記Ｒ側リンクの通過を検出するＲ側第１センサと、前記Ｒ側第１屈曲部に接続されたＲ側制御部と、を有する。そして、前記Ｌ側制御部または前記Ｒ側第１センサは、前記Ｌ側第１センサおよび前記Ｌ側第１センサにより、前記複数のＬ側リンクの内の特定のＬ側リンクと、前記複数のＲ側リンクの内の前記特定のＬ側リンクと対応する特定のＲ側リンクと、のズレ量を算出結果に基づき、前記Ｌ側第１レールと前記Ｌ側第２レールとの間隔、または、前記Ｒ側第１レールと前記Ｒ側第２レールとの間隔を調整する。
【発明の効果】
【００１９】
本願において開示される延伸装置の調整方法によれば、特性の良好な薄膜を製造することができる。本願において開示される延伸装置によれば、特性の良好な薄膜を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施の形態１の薄膜の製造システムの構成を示す模式図である。
【図２】実施の形態１の同時二軸延伸装置の構成を示す平面図である。
【図３】リンクおよびガイドレールの構成を示す断面模式図である。
【図４】リンクおよびガイドレールの構成を示す平面模式図である。
【図５】ガイドレールの駆動部の構成を模式的に示す平面図である。
【図６】実施の形態１の同時二軸延伸装置の構成を示す平面図である。
【図７】理想的な薄膜の延伸状態を示す平面図である。
【図８】比較例の薄膜の延伸状態を示す平面図である。
【図９】リンクのズレの補正制御を示す模式図である。
【図１０】リンクピッチとリンク走行速度との関係を示す図である。
【図１１】レール幅の調整の様子を示す図である。
【図１２】リンクのズレの補正制御を示す模式図である。
【図１３】センサＳＬ１を通過するリンクの一端（リンクプレート）の様子およびセンサＳＬ１の信号を示す図である。
【図１４】センサを通過するリンクの様子およびセンサの信号を示す図である。
【図１５】通常のリンクを随時検出する逐次センサと、特定のリンクを検出する追跡センサとの関係を示す図である。
【図１６】通常のリンクを随時検出する逐次センサと、特定のリンクを検出する追跡センサとの関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、実施の形態を実施例や図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００２２】
（実施の形態１）
図１は、本実施の形態の薄膜の製造システムの構成を示す模式図である。
【００２３】
ＥＸは二軸混練押し出し装置、ＴはＴダイ、Ｃは原反冷却装置、ＳＴは同時二軸延伸装置、ＷＩは巻き取り装置である。
【００２４】
例えば、図１の二軸混練押し出し装置ＥＸの原料供給部Ｔａに樹脂材料（ペレット）および添加剤などを供給し、混合しながら輸送（搬送）し、混練物（溶融樹脂）をＴダイＴのスリットから押し出しつつ、原反冷却装置Ｃにおいて冷却することで、薄膜（シート、フィルム）を形成する。
【００２５】
次いで、上記薄膜を同時二軸延伸装置ＳＴによりＭＤ方向およびＴＤ方向に延伸する。次いで、引き延ばされた薄膜を巻き取り装置ＷＩに巻き取る。
【００２６】
このようにして、薄膜を製造することができる。なお、上記製造システム（図１）は、一例であり、形成する薄膜の特性に応じて、抽出槽を設け、膜中の可塑剤（例えば、パラフィンなど）を除去するなど、種々の変更が可能である。
【００２７】
ここで、上記同時二軸延伸装置ＳＴは、薄膜をＭＤ方向およびＴＤ方向に引き延ばす。ＭＤ（Machine Direction）方向は、搬送方向であり、縦方向とも言う。また、ＴＤ（Transverse Direction）方向は、搬送方向と交差する方向であり、横方向とも言う。
【００２８】
具体的に、薄膜は、その両側のレールを走行する複数のリンク（クリップ）によって両端を把持され、走行するリンク（クリップ）と共に搬送される。この際、両側のレール間隔が徐々に広がることで薄膜はＴＤ方向に延伸され、また、レール幅が狭まりリンク間距離が大きくなることで薄膜はＭＤ方向に延伸される。以下、さらに詳細に説明する。
【００２９】
図２は、本実施の形態の同時二軸延伸装置の構成を示す平面図である。図２に示すように、本実施の形態の同時二軸延伸装置１は、２つのクリップ巡回装置（チェーン移動装置とも言う、２Ｌ、２Ｒ）を有する。２つのクリップ巡回装置（２Ｌ、２Ｒ）間において、延伸対象物（薄膜Ｓ）が、搬送される。この２つのクリップ巡回装置（２Ｌ、２Ｒ）間を“搬送部”と言う場合がある。
【００３０】
搬送方向（ＭＤ）に対して右側にクリップ巡回装置２Ｒが配置され、搬送方向（ＭＤ）に対して左側にクリップ巡回装置２Ｌが配置されている。これらのクリップ巡回装置（２Ｌ、２Ｒ）間において、薄膜Ｓが、搬送されながら引き延ばされる。即ち、前述したように、薄膜Ｓは、入口（ＩＮ、図中左側）において、その両側の端部をクリップ３で把持され、このクリップ３が移動することで、薄膜ＳをＭＤ方向およびＴＤ方向に延伸し、出口（ＯＵＴ、図中右側）において、クリップ３からはずされ、例えば、巻き取り装置（ＷＩ）に巻き取られる。
【００３１】
また、同時二軸延伸装置は、領域Ａ１、領域Ａ２、領域Ａ３において、それぞれ熱処理装置（図示せず）で覆われている。Ａ１はプレヒート領域、Ａ２は延伸領域、Ａ３は熱固定領域である。
【００３２】
クリップ巡回装置２Ｌ（２Ｒ）は、環状でジグザグ状のチェーン４と、チェーン４を駆動するスプロケット５ａ、５ｂ、５ｃと、チェーン４の移動経路となるガイドレール３０とを有している。
【００３３】
ガイドレール３０は、一対のレール（３０ａ、３０ｂ、図３参照）よりなり、この２本のレールは、環状に配置されている。
【００３４】
環状のチェーン４は、複数のリンク８の連結体からなる。具体的には、同じ長さのリンク８が複数個、ジグザグに連結され、リンク（リンクプレート）８の一端が、一対のレールの一方の側（外側レール、３０ａ）に移動可能に配置され、リンク８の他端が、一対のレールの他方の側（内側レール、３０ｂ）に移動可能に配置されている（図３、図４も参照）。
【００３５】
そして、リンク８の一端には、クリップ３が連結されており、前述したように、このクリップ３により、薄膜Ｓが入口（ＩＮ、図中左側）において把持され、このクリップ３が移動することで、薄膜ＳをＭＤ方向およびＴＤ方向に延伸しながら、搬送する。クリップ３は、例えば、バネなどにより把持部が開閉するように構成されている（図３も参照）。
【００３６】
図３は、リンクおよびガイドレールの構成を示す断面模式図であり、図４は、リンクおよびガイドレールの構成を示す平面模式図である。
【００３７】
前述したように、チェーン４は、ジグザグ状に連結された複数のリンク８から構成されている。そして、リンク８の一端は、リンクプレートＡに回転可能に軸止めされている。また、リンク８の一端およびリンクプレートＡとともに、クリップ３が軸止めされている。リンクプレートＡの一端は、外側レール３０ａの一方の側に配置された軸受けローラＲａ１と接続され、リンクプレートＡの他端は、外側レール３０ａの他方の側に配置された軸受けローラＲａ２と接続されている。外側レール３０ａは、クリップ側のレールであり、また、延伸対象物（薄膜）の搬送側のレールである。
【００３８】
リンク８の他端は、リンクプレートＢに回転可能に軸止めされている。リンクプレートＢの一端は、内側レール３０ｂの一方の側に配置された軸受けローラＲｂ１と接続され、リンクプレートＡの他端は、内側レール３０ｂの他方の側に配置された軸受けローラＲｂ２と接続されている。なお、リンク８の端部には、前述した部材以外の部材が軸止めされていてもよい。
【００３９】
例えば、図４に示すように、一対のレール３０ａ、３０ｂの間隔（“レール幅”と言う）が縮まることにより、リンクピッチ（リンクプレート間距離、隣り合うリンクの端部間距離、開度）を変化させることができる。即ち、図４に示すように、レール幅が図中左側から右側にかけて狭くなると、ジグザグ状に連結された複数のリンク８の接続角度が大きくなり、リンクピッチが大きくなる。図４においては、リンクピッチがＰＴ１からＰＴ２に大きくなっている（ＰＴ１＜ＰＴ２）。このため、クリップ３に把持された薄膜Ｓは、ＭＤ方向に延伸される。
【００４０】
ここで、レール幅および搬送部の両側のレール間隔は、駆動部（制御部）により制御することができる。図５は、ガイドレール（３０）の駆動部の構成を模式的に示す平面図である。図５に示すように、レールは、複数のレール部により構成され、レール部間は屈曲部（変局部、関節部ともいう）Ｐ１により接続されている。図５においては、この屈曲部Ｐ１を黒丸で示す。
【００４１】
この屈曲部Ｐ１の位置を駆動軸を介してモータ（ＭＴ、ＭＭ）により制御する。図５に示すモータＭＴにより、４つの屈曲部Ｐ１の位置を移動させることができる。これにより、４つの屈曲部Ｐ１がＴＤ方向に移動し、搬送部の両側のレール間隔ＷＬＲを調整することができる。例えば、前述したように、搬送部の両側のレール間隔ＷＬＲを調整することにより、クリップ３に把持された薄膜ＳをＴＤ方向に引き延ばすことができる。一方、モータＭＭにより、２つの屈曲部Ｐ１の間隔を変更することができる。即ち、屈曲部Ｐ１をモータＭＭにより屈曲させることにより、屈曲部Ｐ１の間隔およびレール部の幅（Ｗａｂ）を変更することができる。例えば、前述したように、屈曲部Ｐ１の間隔（レール部の幅）を狭くすることにより、リンクピッチが大きくなるため、クリップ３に把持された薄膜ＳをＭＤ方向に引き延ばすことができる。モータＭＭにより駆動される屈曲部Ｐ１は、スプロケット５ｂと５ｃ間のレール（搬送方向のレール）に位置する屈曲部Ｐ１である。なお、スプロケット５ａと５ｃ間のレールは、戻り方向のレールと呼ばれる。
【００４２】
ここで、本実施の形態の同時二軸延伸装置においては、図６に示すように、ガイドレール３０に沿って複数のセンサＳＬ１〜ＳＬ１０、ＳＲ１〜ＳＲ１０が設けられている。図６は、本実施の形態の同時二軸延伸装置の構成を示す平面図である。
【００４３】
図６に示すように、クリップ巡回装置２Ｌの搬送方向のレールにおいて、領域Ａ１に、センサＳＬ１、ＳＬ２が配置され、領域Ａ２に設けられた複数の屈曲部Ｐ１の近傍に、センサＳＬ３〜ＳＬ８が配置され、領域Ａ３に、センサＳＬ９、ＳＬ１０が配置されている。
【００４４】
また、クリップ巡回装置２Ｒの搬送方向のレールにおいて、センサＳＲ１、ＳＲ２が配置され、領域Ａ２に設けられた複数の屈曲部Ｐ１の近傍に、センサＳＲ３〜ＳＲ８が配置され、領域Ａ３に、センサＳＲ９、ＳＲ１０が配置されている。クリップ巡回装置２Ｌ、２Ｒは、搬送部に対してそれぞれ対称な構成であり、センサＳＲ１〜ＳＲ１０は、センサＳＬ１〜ＳＬ１０と対応する位置に配置されている。
【００４５】
領域Ａ１はプレヒート領域であり、搬送部の両側のレール間隔（ＷＬＲ）はほぼ一定である。また、領域Ａ２は延伸領域であり、搬送部の両側のレール間隔は徐々に大きくなる。別の言い方をすれば、領域Ａ２のレール間隔は、領域Ａ１のレール間隔より広く、領域Ａ２の搬送方向のガイドレール３０は、搬送部から遠ざかるように、斜めに配置されている。また、領域Ａ３は熱固定領域であり、搬送部の両側のレール間隔は領域Ａ１および領域Ａ２のレール間隔より大きく、ほぼ一定である。
【００４６】
このように、本実施の形態においては、搬送部の両側に配置されるクリップ巡回装置２Ｌ、２Ｒのそれぞれに、センサＳＬ１〜ＳＬ１０、センサＳＲ１〜ＳＲ１０を設けたので、クリップ巡回装置２Ｌ、２Ｒのリンク位置のズレを補正することができる。
【００４７】
その結果、クリップ巡回装置２Ｌ、２Ｒのリンク位置のズレにより、薄膜の延伸方向が斜めになり、延伸された薄膜の特性が低下することを抑制できる。特に、高機能フィルムにおいて、膜中の機能部位の不均一や光学特性の低下などを抑制し、特性の良好な高機能フィルムを製造することができる。
【００４８】
特に、前述したように、クリップ巡回装置は、複雑な機構（例えば、リンクをレールに沿って走行させるための構成や、駆動部など）を有しており、リンク８とガイドレール３０とに生じる隙間、レール幅のズレなどによりリンク位置のズレが生じ易い。さらに、延伸時に熱を加える場合には、クリップ巡回装置の各部位の熱膨張などにより、リンク位置のズレが大きくなり易く、その調整が重要となる。このため、本実施の形態のように、クリップ巡回装置に、センサを設け、リンク位置のズレを補正することは、非常に有効である。
【００４９】
図７は、理想的な薄膜の延伸状態を示す平面図である。図８は、比較例の薄膜の延伸状態を示す平面図である。
【００５０】
図７に示すように、特定のクリップＣＬとこれに対向するクリップＣＲについて、延伸処理が進み、即ち、クリップＣＬ、ＣＲが移動し、時刻Ｔ０→Ｔ１→Ｔ２→Ｔ３→Ｔ４と時間が進んでも、クリップＣＬ、ＣＲを結ぶ線ＬＮが搬送方向に対しほぼ垂直であることが望まれる。
【００５１】
しかしながら、現実には、図８に示すように、延伸処理が進み、即ち、クリップＣＬ、ＣＲが移動し、時刻Ｔ０→Ｔ１→Ｔ２→Ｔ３→Ｔ４と時間が進むにしたがって、クリップＣＬ、ＣＲの位置にズレが生じ、クリップＣＬ、ＣＲを結ぶ線ＬＮが搬送方向に対し斜めになってしまう。
【００５２】
これに対し、本実施の形態においては、前述したセンサにより、リンク位置のズレを補正することができる。特に、本発明者らの検討によれば、薄膜を搬送（延伸）していない状態においてもリンク位置のズレが確認されている。このような場合、現実に、薄膜の延伸処理を開始した場合、リンクのズレがより大きくなり、薄膜の特性劣化に繋がる。
【００５３】
よって、リンクのズレの補正については、薄膜の延伸処理の開始前に予備補正を行うことが好ましい。
【００５４】
（予備補正）
以下に図９を参照しながら予備補正の工程について説明する。図９は、リンクのズレの補正制御を示す模式図である。図１０は、リンクピッチとリンク走行速度との関係を示す図であり、図１１は、レール幅の調整の様子を示す図である。リンクピッチは、前述したように、隣り合うリンクの端部間距離である。
【００５５】
図９においては、領域Ａ１において２つのセンサＳＡ１、ＳＡ２が、領域Ａ２において、４つのセンサＳＢ１、ＳＢ２、ＳＣ１、ＳＣ２が配置されている。センサがリンクの通過を検出している期間（通過時間）をＯＮとする。各センサ間において２つのセンサの反応時間差からリンクの走行速度を求め、対応するリンクのリンクピッチ（リンクプレート間距離、開度）を算定する。センサＳＢ１−ＳＢ２間、センサＳＣ１−ＳＣ２間でのリンクの走行速度とリンクピッチ（ＰＢ、ＰＣ）の関係式は以下のように示される。
ＰＢ＝ＰＡ・（ＬＢ／ｔＢ）／（ＬＡ／ｔＡ）
ＰＣ＝ＰＡ・（ＬＣ／ｔＣ）／（ＬＡ／ｔＡ）
ＰＡは、センサＳＡ１−ＳＡ２間のリンクピッチ
ＰＢは、センサＳＢ１−ＳＢ２間のリンクピッチ
ＰＣは、センサＳＣ１−ＳＣ２間のリンクピッチ
ＬＡは、センサＳＡ１−ＳＡ２間の距離
ＬＢは、センサＳＢ１−ＳＢ２間の距離
ＬＣは、センサＳＣ１−ＳＣ２間の距離
ｔＡは、センサＳＡ１−ＳＡ２間のセンサ反応時間差
ｔＢは、センサＳＢ１−ＳＢ２間のセンサ反応時間差
ｔＣは、センサＳＣ１−ＳＣ２間のセンサ反応時間差
である。
【００５６】
そして、（ＬＡ／ｔＡ）がセンサＳＡ１−ＳＡ２間でのリンク走行速度、（ＬＢ／ｔＢ）がセンサＳＢ１−ＳＢ２間でのリンク走行速度、（ＬＣ／ｔＣ）がセンサＳＣ１−ＳＣ２間でのリンク走行速度であり、上記の２式からＰＡを基準としてＰＢ、ＰＣを算定できる。図１０に示すように、リンク走行速度Ｖｐの箇所と、Ｖｑの箇所において、リンクピッチｐ、ｑとすると、ｐ：ｑ＝Ｖｐ：Ｖｑの関係がある。
【００５７】
但し、センサＳＢ１−ＳＢ２間はリンクピッチが経時変化する延伸部であるため、ＰＢはセンサＳＢ１−ＳＢ２間の平均のリンクピッチとなる。この算出結果をもとに、各センサ間でレール幅（３０ａと３０ｂの間）を調整してリンクピッチを修正する。例えば、図１１に示すように、屈曲部Ｐ１間の距離を縮めること（図中の矢印部）により、レール幅を小さくすることができる。
【００５８】
さらに、出口側のスプロケット（５ｃ）の回転速度を変化させて搬送部側のリンク数の調整を行う（図６参照）。これは、レール幅を調整により、スプロケット５ｂと５ｃ間のレール（搬送方向のレール）において、リンク８の数（クリップ３の数）が変化し得るため、スプロケット５ｃの回転速度を変更して、リンク８の数（クリップ３の数）を調整する。
【００５９】
例えば、上記処理を図６に示すセンサＳＬ３〜ＳＬ８のそれぞれの間においてリンクピッチを算出し、レール幅の調整を順次実行する。
【００６０】
（本補正）
次いで、延伸処理中の本補正について説明する。
【００６１】
上記予備補正で、延伸処理中のリンクのズレが抑制されるが、延伸処理中にもリンクのズレが生じ得る。特に、延伸対象物（薄膜）の材料などによって薄膜の張力が変化し、リンクのズレが生じやすい場合が想定される。
【００６２】
以下に図１２を参照しながら本補正の工程について説明する。図１２は、リンクのズレの補正制御を示す模式図である。
【００６３】
図１２においては、薄膜の搬送部の両側に配置されるクリップ巡回装置２Ｌ、２Ｒについて、それぞれ３つのセンサが配置されている。具体的にクリップ巡回装置２Ｌの領域Ａ１においてセンサＳ１Ｌが、領域Ａ２において、センサＳ２Ｌ、Ｓ３Ｌが配置されている。また、具体的にクリップ巡回装置２Ｒの領域Ａ１においてセンサＳ１Ｒが、領域Ａ２において、センサＳ２Ｒ、Ｓ３Ｒが配置されている。この本補正においては、リンクの相対的な位置の補正を行う。具体的には、薄膜の搬送部の両側に配置されるクリップ巡回装置２Ｌ、２Ｒの対応するセンサの反応時間差から対応するリンクのズレ量を算出する。これらの関係式は以下のように示される。
ｄ１＝ｔ１・Ｖ１
ｄ２＝ｔ２・Ｖ２
ｄ３＝ｔ３・Ｖ３
ｄ１は、センサＳ１Ｌ、Ｓ１Ｒの位置におけるリンクのズレ量
ｄ２は、センサＳ２Ｌ、Ｓ２Ｒの位置におけるリンクのズレ量
ｄ３は、センサＳ３Ｌ、Ｓ３Ｒの位置におけるリンクのズレ量
ｔ１は、センサＳ１Ｌ、Ｓ１Ｒのセンサ反応時間差
ｔ２は、センサＳ２Ｌ、Ｓ２Ｒのセンサ反応時間差
ｔ３は、センサＳ３Ｌ、Ｓ３Ｒのセンサ反応時間差
Ｖ１は、センサＳ１ＬまたはＳ１Ｒの位置におけるリンク通過速度
Ｖ２は、センサＳ２ＬまたはＳ２Ｒの位置におけるリンク通過速度
Ｖ３は、センサＳ３ＬまたはＳ３Ｒの位置におけるリンク通過速度
上記の３式からリンクのズレ量（ｄ１、ｄ２、ｄ３）を算出し、ズレ量をもとにレール幅を調整してリンクの位置を補正する（図１１参照）。例えば、クリップ巡回装置２Ｒ側を基準として、クリップ巡回装置２Ｌのリンクの位置を調整する。基準となるクリップ巡回装置は、２Ｌ側でもよい。
【００６４】
例えば、上記処理を図６に示すセンサＳＬ３〜ＳＬ８、ＳＲ３〜ＳＲ８のそれぞれの位置においてリンクのズレ量を算出し、レール幅の調整を順次実行する。このとき、ズレ量が大きい箇所から優先的にレール幅の調整を行ってもよい。全ての箇所においてズレ量が許容範囲内に収まるまでズレ量の算定およびレール幅の調整を繰り返し行う。
【００６５】
この本補正においては、搬送部側のリンク数が変化しない範囲での調整（微調整）を行うことが望ましい。但し、予備補正と同様に、搬送部側のリンク数の調整を行ってもよい。
【００６６】
（実施の形態２）
本実施の形態においては、図６に示す同時二軸延伸装置を用いた延伸装置の調整方法について説明する。
【００６７】
（Ｓｔ１）まず、薄膜の延伸処理の開始前において、同時二軸延伸装置のクリップ巡回装置２Ｌを駆動させる。
【００６８】
（Ｓｔ２）そして、クリップ巡回装置２Ｌにおいて、センサによりリンクピッチを算定する。この際、領域Ａ１のリンクピッチを基準として、領域Ａ２や領域Ａ３のリンクピッチの倍率を算出する。
【００６９】
（Ｓｔ３）そして、算出されたリンクピッチの倍率と予め設定されている設定ＭＤ倍率（設定値）とを比較する。この設定ＭＤ倍率は、演算装置によるシミュレーションなどにより求められる。
【００７０】
（Ｓｔ４）リンクピッチの差が許容範囲外である場合、リンクピッチを調整するために、領域Ａ２のレール幅を調整する。具体的には、算出されたリンクピッチの倍率が、設定ＭＤ倍率より小さい場合は、リンクピッチを大きくするべく、レール幅を小さくする。逆に、設定ＭＤ倍率より大きい場合は、リンクピッチを小さくするべく、レール幅を大きくする。
【００７１】
このような調整は、センサが配置されたレール部毎に行うことが可能である。例えば、センサＳＬ３、ＳＬ４、ＳＬ５、ＳＬ６、ＳＬ７、ＳＬ８が配置されたレール部をゾーン３、ゾーン４、ゾーン５、ゾーン６、ゾーン７、ゾーン８とする（図６）。これらのゾーンにおいては、前述したように、モータＭＭにより、２つの屈曲部Ｐ１の間隔を変更することができる。即ち、屈曲部Ｐ１をモータＭＭにより屈曲させることにより、レール部の間隔を調整することができる。なお、センサＳＬ１、ＳＬ２が配置されたレール部は“領域Ａ１のレール部”と言い、センサＳＬ９、ＳＬ１０が配置されたレール部は“領域Ａ３のレール部”と言う。
【００７２】
この後、上記ステップ２（Ｓｔ２）に戻り、ステップ３（Ｓｔ３）、ステップ４（Ｓｔ４）を行う。
【００７３】
ステップ４（Ｓｔ４）において、リンクピッチの差が許容範囲内になった時点で、予備補正を終了する。ステップ４（Ｓｔ４）において、リンクピッチの差が未だ許容範囲外である場合には、ステップ２（Ｓｔ２）〜ステップ４（Ｓｔ４）を繰り返す。この際、ゾーン３〜ゾーン９の同じ部位において、レール部の間隔の調整を繰り返してもよいが、ゾーンを変更しつつ、レール部の間隔の調整を繰り返してもよい。例えば、ゾーン３からゾーン９まで、搬送の上流側から順次調整を行ってもよい。
【００７４】
その後、薄膜を流し、薄膜の延伸処理を行う。
【００７５】
（実施例１）
例えば、センサを用い、リンクの一端（リンクプレート、ドグ、ブラケットとも言う）が、センサを横切る期間（通過時間）をＯＮとする。センサの構成について制限はないが、例えば、光ファイバセンサを用いる。この光ファイバセンサは、リンクプレートの走行位置の上方に配置された発光部およびリンクプレートの走行位置の下方に配置された受光部を有する。そして、これらと電子制御装置との間が光ファイバで接続されている。なお、発光部と受光部の位置を逆にしてもよい。
【００７６】
リンクの一端（リンクプレートＢ）がセンサＳＬ１を横切り、次のリンクの一端（リンクプレートＢ）がセンサＳＬ１を横切る。このように、センサＳＬ１は、順次通過するリンクの一端（リンクプレートＢ）を検出する。図１３に、センサＳＬ１を通過するリンクの一端（リンクプレートＢ）の様子およびセンサＳＬ１の信号を示す。
【００７７】
また、同じ時期（期間）において、リンクの一端がセンサＳＬＫを横切り、次のリンクの一端（リンクプレートＢ）がセンサＳＬＫを横切る。このように、センサＳＬＫは、順次通過するリンクの一端（リンクプレートＢ）を検出する。図１４に、センサＳＬＫを通過するリンク（リンクプレートＢ）の様子およびセンサＳＬＫの信号を示す。
【００７８】
図１３、図１４に示すように、センサＳＬ１において、ＯＮの期間がｔ１、ＯＦＦの期間がｔ１’であり、センサＳＬＫにおいて、ＯＮの期間がｔＫ、ＯＦＦの期間がｔＫ’である。
【００７９】
ここで、センサＳＬ１が配置された領域Ａ１のレール部のリンクピッチｐ１は、リンクの一端（リンクプレートＢ）の幅Ｌとリンク間の隙間Ｌ１との和となり、以下の（式１）で示される。
【数１】
2020172029.tif 000003
【００８０】
また、センサＳＬＫが配置されたレール部（ゾーンＫとも言う）のリンクピッチｐＫは、リンクの一端（リンクプレートＢ）の幅Ｌとリンク間の隙間ＬＫとの和となり、以下の（式２）で示される。
【数２】
2020172029.tif 000004
【００８１】
そして、センサＳＬＫが配置されたレール部（ゾーンＫ）での、リンクピッチの倍率ＰＶＫは、センサＳＬ１が配置された領域Ａ１のリンクピッチｐ１を基準として、以下の（式３）で示される。
【数３】
2020172029.tif 000005
【００８２】
さらに、センサＳＬＫが配置されたレール部（ゾーンＫ）での、リンクピッチの倍率ＰＶＫが、ゾーンＫでの設定ＭＤ倍率ＳＶＫ（許容範囲を含む）より大きい場合は、リンクピッチを小さくするべく、ゾーンＫのレール幅を大きくする。また、センサＳＬＫが配置されたレール部（ゾーンＫ）での、リンクピッチの倍率ＰＶＫが、ゾーンＫでの設定ＭＤ倍率ＳＶＫより小さい場合は、リンクピッチを大きくするべく、ゾーンＫのレール幅を小さくする。
【００８３】
なお、式４に示す関係があるため、ＰＶＫは式５のように近似できる。
【数４】
2020172029.tif 000006
【数５】
2020172029.tif 000007
【００８４】
センサＳＬＫは、例えば、センサＳＬ３〜ＳＬ８である（図６）。例えば、センサＳＬ３の信号に基づき、リンクピッチの倍率ＰＶ３を求め、ゾーン３での設定ＭＤ倍率ＳＶ３（許容範囲を含む）と比較し、ゾーン３のレール幅を調整する。この後、センサＳＬ４〜ＳＬ８について同様にレール幅を調整する。
【００８５】
（実施例２）
上記実施例１においては、ゾーン毎に、リンクピッチの倍率（例えば、ＰＶ３）と、設定ＭＤ倍率（例えば、ＳＶ３）とを比較し、対応するゾーンのレール幅を調整したが、以下のようにレール幅を調整してもよい。
【００８６】
センサＳＬＫ、例えば、センサＳＬ３〜ＳＬ８について、センサＳＬ３〜ＳＬ８のそれぞれの信号に基づき、それぞれのリンクピッチの倍率ＰＶ３〜ＰＶ８を求める。次いで、リンクピッチの倍率ＰＶ３〜ＰＶ８と、それぞれのゾーンでの設定ＭＤ倍率ＳＶ３〜ＳＶ８（例えば、許容範囲を含まない中心値）とを比較し、それらの差（誤差）ｅ３〜ｅ８を求める。
【００８７】
ゾーンＫの誤差ｅＫは、以下の式６で示される。なお、ＳＶＫは、ゾーンＫでの設定ＭＤ倍率であり、ＰＶＫは、ゾーンＫでのリンクピッチの倍率である。
【数６】
2020172029.tif 000008
【００８８】
そして、各誤差ｅ３〜ｅ８の２乗の和（評価関数Ｊ）を算出し、あらかじめ設定された許容値ＡＶと比較する。評価関数Ｊは、以下の式７で示される。
【数７】
2020172029.tif 000009
【００８９】
演算結果が、Ｊ＜ＡＶであれば、補正は不要、即ち、レール幅の調整は不要であると判断する。Ｊ≧ＡＶであれば、補正が必要と判断し、レール幅の調整を行う。
【００９０】
レール幅の調整は次のように行う。例えば、上流側のゾーンから順に調整を行う。ゾーン３において、誤差ｅ３≧０（リンクピッチの倍率ＰＶ３が、設定ＭＤ倍率ＳＶ３以下である）場合には、ゾーン３のレール幅を狭める。逆に、誤差ｅ３＜０（リンクピッチの倍率ＰＶ３が、設定ＭＤ倍率ＳＶ３より大きい）場合には、ゾーン３のレール幅を広げる。
【００９１】
このように、ゾーン３のレール幅を調整した後、再び、各誤差ｅ３〜ｅ８の２乗の和（評価関数Ｊ）を算出し、許容値ＡＶと比較する。未だＪ≧ＡＶであれば、補正が必要と判断し、レール幅の調整を行う。ここでは、上記ゾーン３より下流側のゾーン４について、その誤差（ｅ４≧０またはｅ４＜０）に基づいて、ゾーン４のレール幅の調整を行う。
【００９２】
このように、各誤差ｅ３〜ｅ８の２乗の和（評価関数Ｊ）が、許容値ＡＶ未満となるまで、ゾーン５、ゾーン６…の順にレール幅の調整を行う。
【００９３】
（応用例）
上記実施例２においては、各ゾーンでのレール幅の調整を１回としたが、各ゾーンでのレール幅の調整回数を複数回または所定の時間毎としてもよい。
【００９４】
（実施の形態３）
上記実施例２においては、薄膜の延伸処理の開始前の誤差ｅＫおよび評価関数Ｊを用いた補正について説明したが、薄膜の延伸処理中の補正において誤差ｅＫおよび評価関数Ｊを用いてもよい。
【００９５】
例えば、薄膜の延伸処理中において、センサＳＬ３〜ＳＬ８について、センサＳＬ３〜ＳＬ８のそれぞれの信号に基づき、それぞれのリンクピッチの倍率ＰＶ３〜ＰＶ８を求める。次いで、リンクピッチの倍率ＰＶ３〜ＰＶ８と、それぞれのゾーンでの設定ＭＤ倍率ＳＶ３〜ＳＶ８（例えば、許容範囲を含まない中心値）とを比較し、それらの差（誤差）ｅ３〜ｅ８を求める。
【００９６】
そして、各誤差ｅ３〜ｅ８の２乗の和（評価関数Ｊ）を算出し、あらかじめ設定された許容値ＡＶと比較する。
【００９７】
演算結果が、Ｊ＜ＡＶであれば、補正は不要、即ち、レール幅の調整は不要であると判断する。Ｊ≧ＡＶであれば、補正が必要と判断し、レール幅の調整を行う。
【００９８】
レール幅の調整は次のように行う。ゾーン３において、誤差ｅ３≧０（リンクピッチの倍率ＰＶ３が、設定ＭＤ倍率ＳＶ３以下である）場合には、ゾーン３のレール幅を狭める。逆に、誤差ｅ３＜０（リンクピッチの倍率ＰＶ３が、設定ＭＤ倍率ＳＶ３より大きい）場合には、ゾーン３のレール幅を広げる。
【００９９】
このように、ゾーン３のレール幅を調整した後、再び、各誤差ｅ３〜ｅ８の２乗の和（評価関数Ｊ）を算出し、許容値ＡＶと比較する。未だＪ≧ＡＶであれば、補正が必要と判断し、レール幅の調整を行う。ここでは、上記ゾーン３について、再度、レール幅の調整を行う。
【０１００】
このように、各誤差ｅ３〜ｅ８の２乗の和（評価関数Ｊ）が、許容値ＡＶ未満となるまで、領域Ａ２において、最も上流側にあるゾーン３のレール幅の調整を、各誤差ｅ３〜ｅ８の２乗の和（評価関数Ｊ）が、許容値ＡＶ未満となるまで、繰り返し行ってもよい。
【０１０１】
（実施の形態４）
本実施の形態においては、各種の変形例について説明する。
【０１０２】
（変形例１）
図１１に示す予備補正および図１２に示す本補正において、領域Ａ２のガイドレールが斜めに配置されている部分において、リンクピッチや左右のリンクのズレ量を算出し、レール幅を調整することが好ましい。この領域Ａ２は、延伸領域であり、膜の特性に大きく関係する部分である。さらに、延伸処理中においては、膜の張力が大きく加わる箇所であるため、この領域Ａ２において延伸装置の調整を行うことが好ましい。
【０１０３】
（変形例２）
図１１に示す予備補正および図１２に示す本補正において、予備補正においては、センサとして通過するリンク（通常のリンク）を随時検出する逐次センサを用い、本補正においては、特定のリンクを検出する追跡センサを用いてもよい。例えば、特定のリンクにおいて幅を大きくし（図１５参照）、この幅広リンクの通過を検出することにより、リンクのズレ量（ｄ１、ｄ２、ｄ３）を算出してもよい。図１５は、通常のリンクを随時検出する逐次センサと、特定のリンクを検出する追跡センサとの関係（配置および信号）を示す図である。
【０１０４】
具体的には、本補正においては、特定のリンク（幅広リンク）を検出する追跡センサを用いる。図１５に示すように、通常のリンク（通常のリンク、Ｂ）を逐次センサ（ＳＬ１）で検出し、特定のリンク（幅広リンク、ＢＷ）を追跡センサ（ＳＬＷ）で検出する。例えば、逐次センサ（ＳＬ１）と追跡センサ（ＳＬＷ）とのＯＮ信号の重なりにより特定のリンク（幅広リンク、ＢＷ）を検出することができる。また、追跡センサ（ＳＬＷ）のＯＮ信号が規定値より長い場合に特定のリンク（幅広リンク、ＢＷ）であると判定することにより、特定のリンク（幅広リンク）を検出してもよい。
【０１０５】
（変形例３）
上記変形例２においては、特定のリンクを、幅広リンク（図１５参照）としたが、特定のリンクを、丈長リンクとしてもよい。図１６は、通常のリンクを随時検出する逐次センサと、特定のリンクを検出する追跡センサとの関係（配置および信号）を示す図である。
【０１０６】
この場合も、予備補正においては、センサとして通過するリンクを随時検出する逐次センサを用い、本補正においては、特定のリンクを検出する追跡センサを用いる。図１６に示すように、通常のリンク（通常のリンク、Ｂ）を逐次センサ（ＳＬ１）で検出し、丈長リンク（丈長リンク、ＢＬ）を追跡センサ（ＳＬＬ）で検出する。追跡センサ（ＳＬＬ）は、逐次センサ（ＳＬ１）より後方、別の言い方をすれば、レール（内側レール）３０ｂより遠く配置されている。ここで、レール３０ｂと通常のリンクの端部との距離Ａ１は、レール３０ｂと逐次センサ（センサ位置、例えば、光ファイバセンサの発光部）との距離Ａ２より大きく、また、レール３０ｂと丈長リンクの端部との距離Ａ３は、レール３０ｂと追跡センサ（センサ位置）との距離Ａ４より大きく、さらに、レール３０ｂと追跡センサ（センサ位置）との距離Ａ４は、レール３０ｂと通常のリンクの端部との距離Ａ１より大きい。
【０１０７】
また、この場合も、逐次センサと追跡センサとにおいて、光ファイバセンサを用いる際には、光の干渉を低減するため、発光部の位置を逐次センサにおいては上側に、追跡センサにおいては、下側とするなど、発光部の配置位置をずらしてもよい。
【０１０８】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態および実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態または実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【０１０９】
例えば、上記実施の形態において予備補正を薄膜の延伸処理中に行ってもよく、また、本補正を薄膜の延伸前の予備補正として行ってもよい。また、予備補正中において、クリップ巡回装置２Ｌ、２Ｒが、熱処理装置（図示せず）により加熱された状態であってもよく、加熱されていない状態であってもよい。
【０１１０】
また、上記実施の形態のおいては、センサが配置されているレール部に対応してゾーンを設定したが、ゾーンの定義は適宜変更可能である。例えば、センサを中心とした所定の領域をゾーンとしてもよい。
【符号の説明】
【０１１１】
２Ｌ  クリップ巡回装置
２Ｒ  クリップ巡回装置
３  クリップ
４  チェーン
５ａ  スプロケット
５ｂ  スプロケット
５ｃ  スプロケット
８  リンク
３０  ガイドレール
３０ａ  レール
３０ｂ  レール
Ａ  リンクプレート
Ａ１  領域
Ａ２  領域
Ａ３  領域
Ｂ  リンクプレート
Ｃ  原反冷却装置
ＣＬ  クリップ
ＣＲ  クリップ
Ｌ  リンクの一端（リンクプレート）の幅
Ｌ１  リンク間の隙間
ＬＫ  リンク間の隙間
ＬＮ  線
ＭＭ  モータ
ＭＴ  モータ
ｐ  リンクピッチ
ｐ１  リンクピッチ
Ｐ１  屈曲部
ｐＫ  リンクピッチ
ｑ  リンクピッチ
Ｒａ１  軸受けローラ
Ｒａ２  軸受けローラ
Ｒｂ１  軸受けローラ
Ｒｂ２  軸受けローラ
Ｓ  薄膜
Ｓ１Ｌ  センサ
Ｓ１Ｒ  センサ
Ｓ２Ｌ  センサ
Ｓ２Ｒ  センサ
Ｓ３Ｌ  センサ
Ｓ３Ｒ  センサ
ＳＡ１  センサ
ＳＡ２  センサ
ＳＢ１  センサ
ＳＢ２  センサ
ＳＣ１  センサ
ＳＣ２  センサ
ＳＬ１〜ＳＬ１０  センサ
ＳＬＫ  センサ
ＳＲ１〜ＳＲ１０  センサ
ＳＴ  同時二軸延伸装置
Ｔ  Ｔダイ
Ｔａ  原料供給部
Ｗａｂ  レール部の幅（レール幅）
ＷＩ  巻き取り装置
ＷＬＲ  レール間隔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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