(57)【要約】【課題】弁体を駆動するモータ内における摺動ロスを低減することのできる弁体駆動装置を提供すること。【解決手段】弁体駆動装置１において、弁体７１は、第１付勢部材８によって反出力側Ｌｂに付勢されているため、回転軸６１は反出力側Ｌｂに付勢される。従って、回転軸６１の反出力側Ｌｂの端部６１ａは、スラスト軸受６６としての鋼球６６１に支持されるため、摺動ロスを低減することができる。第１付勢部材８は、弁体７１を径方向外側で囲むように配置された圧縮コイルバネ８０である。圧縮コイルバネ８０の出力側Ｌａの端部８１は、弁体７１によって開閉される開口部１３０を備えた流路構成部材１００によって支持され、圧縮コイルバネ８０の反出力側Ｌｂの端部８２は、弁体７１のバネ受け部７１５によって支持されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータケース、前記モータケースから出力側に突出した部分の外周面に螺旋溝が形成され回転軸、および前記回転軸の反出力側の端部を回転可能に支持するスラスト軸受を有するモータと、
前記螺旋溝と係合する凸部を備えた弁体と、
前記弁体の前記回転軸との供回りを防止しながら前記弁体を軸線方向にガイドするガイド部材と、
前記弁体を反出力側に向けて付勢する第１付勢部材と、
を備えていることを特徴とする弁体駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の弁体駆動装置において、
前記第１付勢部材は、前記弁体を径方向外側で囲むように配置された圧縮コイルバネであることを特徴とする弁体駆動装置。
【請求項３】
請求項２に記載の弁体駆動装置において、
前記弁体は、前記圧縮コイルバネの前記反出力側の端部を受けるバネ受け部を有していることを特徴とする弁体駆動装置。
【請求項４】
請求項１から３までの何れか一項に記載の弁体駆動装置において、
前記スラスト軸受は、前記回転軸の反出力側の端部を受ける鋼球を有することを特徴とする弁体駆動装置。
【請求項５】
請求項１から４までの何れか一項に記載の弁体駆動装置において、
前記弁体は、内周面に前記凸部が形成された第１筒部と、前記第１筒部を径方向と外側で囲む第２筒部と、を備え、
前記第１筒部と前記第２筒部とによって径方向で挟まれた空間内に前記ガイド部材が配置されていることを特徴とする弁体駆動装置。
【請求項６】
請求項１から５までの何れか一項に記載の弁体駆動装置において、
前記ガイド部材と前記弁体とが軸線方向で離間する位置には、前記弁体および前記ガイド部材を互いに離間する方向に付勢する第２付勢部材が配置されていることを特徴とする弁体駆動装置。
【請求項７】
請求項６に記載の弁体駆動装置において、
前記第１付勢部材は、前記第２付勢部材より付勢力が強いことを特徴とする弁体駆動装置。
【請求項８】
請求項１から７までの何れか一項に記載の弁体駆動装置において、
前記第１付勢部材の出力側の端部は、前記弁体によって開閉される開口部を備えた流路構成部材によって支持されていることを特徴とする弁体駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弁体をモータによって直線駆動する弁体駆動装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
弁体をモータによって直線駆動する弁体駆動装置としては、外周面に雄ねじが形成された回転軸を有するモータと、雄ねじと係合する雌ねじが形成された弁体と、弁体の回転軸との供回りを防止するガイド部材とを備えた態様が提案されている（特許文献１参照）。かかる弁体駆動装置において、モータは、一般的に、回転軸の反出力側の端部がスラスト軸受によって回転可能に支持されている。また、特許文献１に記載の弁体駆動装置では、ガイド部材を反出力側に付勢する付勢部材が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１８−１４８６５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の弁体駆動装置に用いられるモータにおいて、モータケースの出力側の端板に固定されたラジアル軸受に対し、ロータが直接あるいはワッシャを介して軸線方向から当接することがある。例えば、特許文献１に記載の弁体駆動装置に用いられるモータでは、付勢部材の付勢力が弁体を介して回転軸に出力側への付勢力として加わるため、モータケースの出力側の端板に固定されたラジアル軸受に対し、ロータが直接あるいはワッシャを介して軸線方向から当接することになる。従って、回転軸の反出力側の端部とスラスト軸受との間が摺動面とならずに、ラジアル軸受とロータとの間に摺動面が構成されてしまうため、大きな摺動ロスが発生するという問題点がある。
【０００５】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、弁体を駆動するモータ内における摺動ロスを低減することのできる弁体駆動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明に係る弁体駆動装置は、モータケース、前記モータケースから出力側に突出した部分の外周面に螺旋溝が形成され回転軸、および前記回転軸の反出力側の端部を回転可能に支持するスラスト軸受を有するモータと、前記螺旋溝と係合する凸部を備えた弁体と、前記弁体の前記回転軸との供回りを防止しながら前記弁体を軸線方向にガイドするガイド部材と、前記弁体を反出力側に向けて付勢する第１付勢部材と、を備えていることを特徴とする。
【０００７】
本発明では、回転軸が回転すると、弁体は、ガイド部材によって回転軸との供回りが阻止されながら軸線方向にガイドされ、軸線方向に移動する。また、弁体は、第１付勢部材によって反出力側に付勢されているため、回転軸は反出力側に付勢される。従って、回転軸の反出力側の端部はスラスト軸受に支持され、回転軸の摺動面が回転軸とスラスト軸受との間に発生する。それ故、弁体を駆動するモータ内における摺動ロスを低減することができる。
【０００８】
本発明において、前記第１付勢部材は、前記弁体を径方向外側で囲むように配置された圧縮コイルバネである態様を採用することができる。かかる態様によれば、弁体は、圧縮コイルバネの内側で軸線方向に移動するので、第１付勢部材を設けた場合でも、弁体によ
る開閉動作に支障がない。また、弁体が軸線方向に移動した際でも、簡素な構成で、第１付勢部材が弁体を反出力側に付勢し続けることができる。
【０００９】
本発明において、前記弁体は、前記圧縮コイルバネの前記反出力側の端部を受けるバネ受け部を有している態様を採用することができる。かかる構成によれば、バネ受け部によって圧縮コイルバネを支持することができる。
【００１０】
本発明において、前記スラスト軸受は、前記回転軸の反出力側の端部を受ける鋼球を有する態様を採用することができる。かかる態様によれば、回転軸とスラスト軸受との摺動面積が狭いので、摺動ロスを効果的に低減することができる。
【００１１】
本発明において、前記弁体は、内周面に前記凸部が形成された第１筒部と、前記第１筒部を径方向と外側で囲む第２筒部と、を備え、前記第１筒部と前記第２筒部とによって径方向で挟まれた空間内に前記ガイド部材が配置されている態様を採用することができる。
【００１２】
本発明において、前記ガイド部材と前記弁体とが軸線方向で離間する位置には、前記弁体および前記ガイド部材を互いに離間する方向に付勢する第２付勢部材が配置されている態様を採用することができる。かかる態様によれば、ガイド部材を反出力側に付勢することができるので、ガイド部材を反出力側で固定しやすい。
【００１３】
本発明において、前記第１付勢部材は、前記第２付勢部材より付勢力が強い態様を採用することができる。かかる態様によれば、第２付勢部材を設けた場合でも、弁体が軸線方向のいずれの位置にあっても、第１付勢部材によって弁体を反出力側に付勢することができる。
【００１４】
本発明において、前記第１付勢部材の出力側の端部は、前記弁体によって開閉される開口部を備えた流路構成部材によって支持されている態様を採用することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明では、回転軸が回転すると、弁体は、ガイド部材によって回転軸との供回りが阻止されながら軸線方向にガイドされ、軸線方向に移動する。また、弁体は、第１付勢部材によって反出力側に付勢されているため、回転軸は反出力側に付勢される。従って、回転軸の反出力側の端部はスラスト軸受に支持され、回転軸の摺動面が回転軸とスラスト軸受との間に発生する。それ故、弁体を駆動するモータ内における摺動ロスを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明を適用した弁体駆動装置の一態様を示す斜視図。
【図２】図１に示す弁体駆動装置の分解斜視図。
【図３】図２に示す弁体が開位置にあるときの断面図。
【図４】回転軸の周りからガイド部材、第２付勢部材および弁体を分離した様子を示す分解斜視図。
【図５】図４に示すモータケースとガイド部材との固定構造を示す断面図。
【図６】図２に示す弁体が閉位置にあるときの断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明では、弁体駆動装置１の軸線にＬを付し、軸線Ｌ方向の出力側Ｌａを付し、反出力側にＬｂを付して説明する。
【００１８】
（弁体駆動装置１の全体構成）
図１は、本発明を適用した弁体駆動装置１の一態様を示す斜視図である。図２は、図１に示す弁体駆動装置１の分解斜視図である。図３、図２に示す弁体７１が開位置にあるときの断面図である。
【００１９】
図１、図２および図３に示す弁体駆動装置１は、モータ１０によって弁体７１を軸線Ｌ方向に駆動するリニアアクチュエータとして構成されている。モータ１０は、モータケース２１と、モータケース２１から出力側に突出した部分の外周面に螺旋溝６１０が形成された回転軸６１とを有しており、モータケース２１は、封止部材２２ととともに弁体駆動装置１のケーシング２を構成している。
【００２０】
弁体７１は、回転軸６１の径方向外側に配置された筒状部材であり、出力側Ｌａの端部が塞がっている。弁体７１の内周面には、回転軸６１の螺旋溝６１０と係合する凸部７１０が形成されている。本実施形態において、凸部７１０は、弁体７１の内周面に螺旋状に形成されている。すなわち、回転軸６１は、外周面に雄ねじが形成された送りねじとして構成され、弁体７１は、内周面に雌ねじが形成されたナット部材として構成されている。
【００２１】
弁体駆動装置１は、弁体７１の回転軸６１との供回りを防止しながら弁体７１を軸線Ｌ方向にガイドするガイド部材７２を有している。従って、回転軸６１が軸線Ｌ周りに回転すると、弁体７１は、軸線Ｌ方向に直線駆動される。
【００２２】
弁体駆動装置１がバルブ装置（図示せず）に搭載される際、弁体７１等を含む出力側Ｌａの部分が流路構成部材１００の内側が収容される。本実施形態において、流路構成部材１００は、弁体駆動装置１の出力側Ｌａの部分が収容される胴部１１０と、胴部１１０から側方に突出した筒部１２０とが構成されており、胴部１１０の内部と筒部１２０の内部とは連通している。流路構成部材１００の胴部１１０の底部は、開口部１３０が形成された底板部１４０になっており、弁体駆動装置１を流路構成部材１００に搭載した状態で、弁体７１は、開口部１３０と対向する。
【００２３】
本実施形態では、弁体駆動装置１と流路構成部材１００との間には第１付勢部材８が配置されている。第１付勢部材８の構成等は後述する。
【００２４】
（モータ１０の詳細構成）
モータ１０は、ステッピングモータであり、モータケース２１の内側に円筒状のステータ５を有し、ステータ５の内側にロータ６を有している。ステータ５においてコイル５１が巻回されるコイルボビン５３の内側にステーアコア５２が配置されている。モータケース２１およびステータ５の軸線Ｌ方向の他方側Ｌｂの開口を塞ぐ蓋部５４がコイルボビン５３と一体に形成されている。ロータ６は、回転軸６１と、回転軸６１の外周面に固定された円筒状の永久磁石６２とを有している。
【００２５】
回転軸６１は、軸線Ｌ方向の他方側Ｌｂの端部６１ａがスラスト軸受６６およびラジアル軸受６７によって回転可能に支持され、スラスト軸受６６およびラジアル軸受６７は、蓋部５４に支持されている。回転軸６１は、モータケース２１の軸線Ｌ方向の一方側Ｌａの端板部２１１の中央穴２１２に保持されたラジアル軸受６８によっても回転可能に支持されている。また、ロータ６の永久磁石６２とラジアル軸受６８との間にはワッシャ６９が配置されている。
【００２６】
本実施形態において、スラスト軸受６６は、回転軸６１の軸線Ｌ方向の他方側Ｌｂの端部に軸線Ｌ方向の他方側Ｌｂから当接する鋼球６６１を有している。
【００２７】
（弁体７１の詳細構成）
図４は、回転軸６１の周りからガイド部材７２、第２付勢部材９および弁体７１を分離した様子を示す分解斜視図である。図３に示すように、弁体７１は、流路構成部材１００の開口部１３０を開閉する。このため、弁体７１は、軸線Ｌ方向の一方側Ｌａの端部に円錐面７１３が形成されている。弁体７１は、内周面に凸部７１０（雄ねじ）が形成された第１筒部７１６と、第１筒部７１６を径方向外側で囲む第２筒部７１７とを有しており、第１筒部７１６と第２筒部７１７との間には、軸線Ｌ方向の他方側Ｌｂに開口する環状の凹部７１４が構成されている。
【００２８】
また、弁体７１の第２筒部７１７の反出力側Ｌｂの端部には、径方向外側にフランジ状に張り出したバネ受け部７１５が形成されている。
【００２９】
図４に示すように、第２筒部７１７は、円筒状である。これに対して、第１筒部７１６の外周面は、互いに対向する２つの平面部７１８と、２つの平面部７１８の端部同士を結ぶ円弧部７１９とを有している。
【００３０】
（ガイド部材７２の構成）
図５は、図４に示すモータケース２１とガイド部材７２との固定構造を示す断面図である。図３および図４に示すように、ガイド部材７２は、モータケース２１の出力側Ｌａの端板部２１１に出力側Ｌａから重なる円環状のフランジ部７２１と、フランジ部７２１の内縁から出力側Ｌａに突出した筒部７２２とを有しており、筒部７２２は、弁体７１の第１筒部７１６と第２筒部７１７との間の凹部７１４の内側に位置する。本実施形態において、筒部７２２の外径は、出力側Ｌａより反出力側Ｌｂで大きくなっている。
【００３１】
ガイド部材７２において、フランジ部７２１および筒部７２２には軸線Ｌ方向に貫通する穴７２５が形成されており、穴７２５の内側に弁体７１の第１筒部７１６が嵌っている。穴７２５は、第１筒部７１６の外周面と同様、互いに対向する２つの平面部７２６と、平面部７２６の端部同士を結ぶ円弧部７２７とを有している。従って、ガイド部材７２は、弁体７１の回転軸６１との供回りを防止しながら弁体７１を軸線Ｌ方向にガイドすることができる。
【００３２】
フランジ部７２１には、反出力側Ｌｂに突出した２つの第１凸部７２３と、反出力側Ｌｂに突出した２つの第２凸部７２４とが形成されている。第１凸部７２３および第２凸部７２４はいずれも、軸線Ｌ方向からみた形状が円形である。第１凸部７２３は、第２凸部７２４より突出寸法が大きいが、第２凸部７２４より細い。
【００３３】
第１凸部７２３および第２凸部７２４は、穴７２５の周りに交互に形成されている。従って、第１凸部７２３および第２凸部７２４の形成位置を結ぶ正方形の対角位置に２つの第１凸部７２３は形成され、別の対角位置に２つの第２凸部７２４が形成されている。
図５に示すように、モータケース２１の出力側Ｌａの端板部２１１には、中央穴２１２の周りに、２つの第１凸部７２３が各々嵌った第１穴２１３が形成されている。第１凸部７２３は、第１穴２１３から反出力側Ｌｂに突出している。ここで、第１凸部７２３の先端側には円錐面７２３ａが形成されている一方、第１凸部７２３の側面には、軸線Ｌを中心とする径方向外側の部分に、端板部２１１の第１穴２１３の縁に反出力側Ｌｂから係合する段部７２３ｂが形成されている。
【００３４】
従って、ガイド部材７２のフランジ部７２１をモータケース２１の端板部２１１に重ねると、第１凸部７２３は、第１穴２１３に容易に嵌るが、段部７２３ｂが端板部２１１の第１穴２１３の縁に反出力側Ｌｂから係合するため、ガイド部材７２は、モータケース２１から外れにくい。
【００３５】
なお、図３に示すように、モータケース２１の端板部２１１には、２つの第２凸部７２４が各々嵌った第２穴２１４が形成されている。第２凸部７２４は、第２穴２１４から反出力側Ｌｂに突出しておらず、第１凸部７２３とともに、ガイド部材７２が軸線Ｌ周りに回転することを阻止する。
【００３６】
（第２付勢部材９の構成）
本実施形態において、ガイド部材７２と弁体７１とが軸線Ｌ方向で離間する位置には、弁体７およびガイド部材７２を互いに離間する方向に付勢する第２付勢部材９が配置されている。本実施形態において、第２付勢部材９は、圧縮コイルバネ９０であり、弁体７１の凹部７１４の内側において、ガイド部材７２の筒部７２２を径方向外側で囲むように配置されている。圧縮コイルバネ９０の出力側Ｌａの端部９１は、弁体７１の凹部７１４の出力側Ｌａの底部に当接し、反出力側Ｌｂの端部９２は、ガイド部材７２のフランジ部７２１に当接している。
【００３７】
弁体７１は、回転軸６１が回転しない限り、弁体７１の凸部７１０と回転軸６１の螺旋溝６１０との係合によって軸線Ｌ方向における位置が固定されている。従って、第２付勢部材９は、ガイド部材７２のフランジ部７２１をモータケース２１の端板部２１１に付勢している。
【００３８】
（封止部材２２の詳細構成）
図２および図３に示す封止部材２２は、樹脂製であり、モータケース２１の外周面のうち、軸線Ｌ方向の他方側Ｌｂに位置する部分を覆い、モータケース２１と蓋部５４との隙間を封止する。蓋部５４には、軸線Ｌに対して直交する方向に延在する複数の端子ピン５５が支持されている。端子ピン５５の一方端５５１はカバー２９で覆われ、カバー２９は封止部材２２によって覆われている。封止部材２２には、軸線Ｌに対して直交する径方向外側に開口する筒状のコネクタハウジング部２３が形成されており、コネクタハウジング部２３の内側に端子ピン５５の他方端５５２が位置する。
【００３９】
図２に示すように、封止部材２２は、全体として円筒状の外周壁２２０を有しており、外周壁２２０の軸線Ｌ方向の中央付近には、径方向外側に向けて突出した円環状のフランジ部２２５が設けられている。従って、弁体駆動装置１を流路構成部材１００に固定する際、図３に示すように、フランジ部２２５と流路構成部材１００との間に円環状のシール部材１６０を配置した状態で、固定具（図示せず）をフランジ部２２５に反出力側Ｌｂから重ね、しかる後に、固定具をボルト等によって流路構成部材１００に止める。従って、弁体駆動装置１は、流路構成部材１００との間が封止された状態で流路構成部材１００に固定される。なお、封止部材２２の外周壁２２０のうち、フランジ部２２５に対して反出力側Ｌｂで隣り合う位置には、固定具と係合して弁体駆動装置１の軸線周りの回転を防止する平面部２２１が構成されている。
【００４０】
（第１付勢部材８の構成）
図２および図３に示すように、弁体駆動装置１には、弁体７１を反出力側Ｌｂに向けて付勢する第１付勢部材８が配置されている。本実施形態において、第１付勢部材８は、弁体７１を径方向外側で囲むように配置された圧縮コイルバネ８０である。圧縮コイルバネ８０は、出力側Ｌａの端部８１が流路構成部材１００の底板部１４０に支持され、反出力側Ｌｂの端部８２が弁体７１のバネ受け部７１５に支持されている。
【００４１】
ここで、第１付勢部材８は、第２付勢部材９より付勢力が大きい。このため、弁体７１は、常時、反出力側Ｌｂに向けて付勢されている。
【００４２】
（動作）
図６は、図２に示す弁体７１が閉位置にあるときの断面図である。図２に示すように、弁体７１が反出力側Ｌｂに位置する状態では開口部１３０が開状態にあるため、バルブ装置の流路１５０は、開口部１３０を介して胴部１１０の内部と連通する。従って、流路１５０に供給された流体は、矢印Ｇで示すように、開口部１３０を介して胴部１１０の内部に流入し、筒部１２０から流出する。
【００４３】
これに対して、図６に示すように、回転軸６１が回転して弁体７１が出力側Ｌａに移動すると、開口部１３０が閉状態になる。このため、流路１５０に供給される流体は、弁体７１によって胴部１１０の内部への流入が阻止され、筒部１２０から流出しない。
【００４４】
かかる閉動作の際、第１付勢部材８は、軸線Ｌ方向に収縮する一方、第２付勢部材９は、軸線Ｌ方向に伸長する。
【００４５】
（本実施形態の主な効果）
以上説明したように、本実施形態の弁体駆動装置１において、弁体７１は、第１付勢部材８によって反出力側Ｌｂに付勢されているため、回転軸６１は反出力側Ｌｂに付勢される。従って、回転軸６１の反出力側Ｌｂの端部６１ａはスラスト軸受６６に支持される。このため、回転軸６１の摺動面が回転軸６１とスラスト軸受６６との間に発生し、ロータ６とラジアル軸受６８との間に発生しない。それ故、弁体７１を駆動するモータ１０内における摺動ロスを低減することができる。
【００４６】
特に本実施形態において、スラスト軸受６６は、回転軸６１の反出力側の端部を受ける鋼球６６１を有するため、回転軸６１とスラスト軸受６６との摺動面積が狭い。それ故、モータ１０内における摺動ロスを効果的に低減することができる。
【００４７】
また、第１付勢部材８によって弁体７１が反出力側Ｌｂに付勢されているため、弁体７１の凸部７１０（雌ねじ）は、回転軸６１の螺旋溝６１０（雄ねじ）の内壁に出力側Ｌａから常に接している。このため、図６に示す閉状態から、弁体７１を反出力側Ｌｂに駆動する方向に回転軸６１が回転し始める際、弁体７１の凸部７１０と回転軸６１の螺旋溝６１０の内壁との間にガタが存在しないので、回転軸６１が回転し始めると同時に弁体７１の反出力側Ｌｂへの移動が開始するという利点もある。
【００４８】
また、第１付勢部材８は、弁体７１を径方向外側で囲むように配置された圧縮コイルバネ８０である。このため、弁体７１は、圧縮コイルバネ８０の内側で軸線Ｌ方向に移動するので、第１付勢部材８を設けた場合でも、弁体７１による開閉動作に支障がない。また、弁体７１が軸線Ｌ方向に移動した際でも、簡素な構成で、第１付勢部材８が弁体７１を反出力側Ｌｂに付勢し続けることができる。
【００４９】
また、圧縮コイルバネ８０の出力側Ｌａの端部８１は、弁体７１によって開閉される開口部１３０を備えた流路構成部材１００によって支持され、圧縮コイルバネ８０の反出力側Ｌｂの端部８２は、弁体７１のバネ受け部７１５によって支持されている。このため、弁体駆動装置１を流路構成部材１００に搭載する際、弁体７１の外側を囲むように圧縮コイルバネ８０を配置するだけで、弁体７１が反出力側Ｌｂに付勢された弁体駆動装置１を構成することができる。
【００５０】
また、ガイド部材７２と弁体７１とが軸線Ｌ方向で離間する位置には、弁体７１およびガイド部材７２を互いに離間する方向に付勢する第２付勢部材９が配置されているため、ガイド部材７２を反出力側Ｌｂに付勢することができる。従って、ガイド部材７２のフランジ部７２１がモータケース２１の端板部２１１に押し付けられることになるので、第１
凸部７２３および第２凸部７２４を用いた簡素な構成で、ガイド部材７２をモータケース２１に固定することができる。従って、ガイド部材７２をモータケース２１の端板部２１１に他の方法で固定する場合と比較して、ガイド部材７２をモータケース２１の端板部２１１に固定するために、軸線Ｌ方向に大きなスペースを必要としない。従って、弁体駆動装置１の軸線Ｌ方向の小型化を図ることができる。
【００５１】
この場合、第２付勢部材９は、第１付勢部材８に抗して、弁体７１を出力側Ｌａに付勢することになるが、第１付勢部材８は、第２付勢部材９より付勢力が強い。このため、弁体７１が軸線Ｌ方向のいずれの位置にあっても、第１付勢部材８によって弁体７１を反出力側Ｌｂに付勢することができる。
【００５２】
［他の実施形態］
上記実施形態では、ガイド部材７２の第１凸部７２３および第２凸部７２４をモータケース２１の第１穴２１３および第２穴２１４に嵌めた状態で第２付勢部材９によってガイド部材７２を反出力側Ｌｂに付勢することにより、ガイド部材７２をモータケース２１に固定したが、ガイド部材７２をモータケース２１に別の方法で固定してもよい。この場合、第２付勢部材９を省略することができる。
【００５３】
上記実施形態では、圧縮コイルバネ８０の出力側Ｌａの端部８１を流路構成部材１００によって支持したが、別の部材によって支持してもよい。例えば、ケーシング２から出力側Ｌａに延在したフレーム等によって、圧縮コイルバネ８０の出力側Ｌａの端部８１を支持してもよい。
【００５４】
上記実施形態では、第１付勢部材８および第２付勢部材９として圧縮コイルバネを用いたが、他のバネを用いてもよい。
【００５５】
上記実施形態では、スラスト軸受６６に鋼球６６１を使用しているが、回転軸６１の反出力側Ｌｂの端部を球面等の凸曲面とし、スラスト軸受の軸受面を平板状としてもよい。この場合も、回転軸６１とスラスト軸受との摺動面積を狭くすることができるので、モータ１０内における摺動ロスを効果的に低減することができる。
【符号の説明】
【００５６】
１…弁体駆動装置、２…ケーシング、５…ステータ、６…ロータ、８…第１付勢部材、９…第２付勢部材、１０…モータ、２１…モータケース、２２…封止部材、６１…回転軸、６２…永久磁石、６６…スラスト軸受、７１…弁体、７２…ガイド部材、８０、９０…圧縮コイルバネ、１００…流路構成部材、１１０…胴部、１３０…開口部、６１０…螺旋溝、６６１…鋼球、７１０…凸部、７１３…円錐面、７１４…凹部、７１５…バネ受け部、７１６…第１筒部、７１７…第２筒部、Ｌ…軸線、Ｌａ…出力側、Ｌａ、Ｌｂ…側
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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