(57)【要約】【課題】共通流路内の液体の循環を実現しつつ第２方向の大型化を抑制する。【解決手段】ヘッド１は、第１方向に配列された複数の圧力室２０から構成される第１圧力室群２０Ａと、第１方向に配列された複数の圧力室２０から構成され、第１方向と交差する第２方向に前記第１圧力室群と並ぶ第２圧力室群２０Ｂと、第１方向に延び、第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０と第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０連通し、第１方向の一端に供給口が設けられ、第１方向の他端に帰還口が設けられた共通流路３０とを備えている。共通流路３０は、第２方向において、２つの圧力室群２０Ａ，２０Ｂの両側ではなく、２つの圧力室群２０Ａ，２０Ｂの間に位置する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に配列された複数の圧力室から構成される第１圧力室群と、
前記第１方向に配列された複数の圧力室から構成され、前記第１方向と交差する第２方向に前記第１圧力室群と並ぶ第２圧力室群と、
前記第１方向に延び、前記第１圧力室群に属する前記複数の圧力室と前記第２圧力室群に属する前記複数の圧力室とに連通し、前記第１方向の一端に供給口が設けられ、前記第１方向の他端に帰還口が設けられた共通流路と、を備え、
前記共通流路は、前記第２方向において前記第１圧力室群と前記第２圧力室群との間に位置することを特徴とする、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記帰還口は、前記共通流路の下端に設けられ、
前記共通流路の上端に設けられた排気口と、
前記帰還口を介した液体の流れと前記排気口を介した液体の流れとを切り替え可能な弁と、
をさらに備えたことを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記帰還口に接続し、上方に延びる帰還流路をさらに備えたことを特徴とする、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記供給口は、前記共通流路の上端に設けられたことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記共通流路は、ダンパ膜で画定されていることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記共通流路における前記ダンパ膜で画定された面は、前記共通流路における前記供給口が設けられた面、及び、前記共通流路における前記帰還口が設けられた面の、いずれとも異なることを特徴とする、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記第１圧力室群に属する前記複数の圧力室のそれぞれに連通する複数のノズルが形成された第１ノズルプレートと、
前記第２圧力室群に属する前記複数の圧力室のそれぞれに連通する複数のノズルが形成された第２ノズルプレートであって、前記第１ノズルプレートから分離し、前記第２方向において前記第１ノズルプレートとの間に前記ダンパ膜を挟む第２ノズルプレートと、をさらに備えたことを特徴とする、請求項５又は６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記第１方向に配列された複数の圧力室から構成され、前記第２方向において前記第１圧力室群との間に前記第２圧力室群を挟む第３圧力室群と、
前記第１方向に配列された複数の圧力室から構成され、前記第２方向において前記第１圧力室群との間に前記第２圧力室群及び前記第３圧力室群を挟む第４圧力室群と、
前記第１方向に延び、前記第３圧力室群に属する前記複数の圧力室と前記第４圧力室群に属する前記複数の圧力室とに連通し、前記第１方向の一端及び他端に供給口及び帰還口がそれぞれ設けられた別の共通流路と、を備え、
前記別の共通流路は、前記第２方向において前記第３圧力室群と前記第４圧力室群との間に位置し、
前記第２圧力室群に属する前記複数の圧力室のそれぞれに連通する複数のノズルと、前記第３圧力室群に属する前記複数の圧力室のそれぞれに連通する複数のノズルとが、１枚のノズルプレートに形成されたことを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記複数の圧力室のそれぞれと前記共通流路とを連結する複数の連結流路であって、前記第１方向及び前記第２方向の双方と直交する第３方向において、前記複数の圧力室のそれぞれの領域内に設けられた複数の連結流路をさらに備えたことを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記複数の連結流路は、それぞれ、前記複数の圧力室の下端に連結することを特徴とする、請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記複数の圧力室のそれぞれに連通する複数のノズルと、
前記第３方向に延び、前記複数の圧力室のそれぞれと前記複数のノズルのそれぞれとを接続する複数の接続流路と、をさらに備え、
前記複数の接続流路のそれぞれは、前記第１方向において前記複数の連結流路のそれぞれと異なる位置にあり、かつ、前記第２方向において前記複数の連結流路のそれぞれと近接していることを特徴とする、請求項９又は１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記複数の圧力室のそれぞれに設けられた仕切壁であって、前記第１方向において前記複数の連結流路のそれぞれと前記複数の接続流路のそれぞれとの間に位置する仕切壁をさらに備えたことを特徴とする、請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記複数の圧力室のそれぞれに連通する複数のノズルと、
前記第３方向に延び、前記複数の圧力室のそれぞれと前記複数のノズルのそれぞれとを接続する複数の接続流路と、をさらに備え、
前記複数の接続流路のそれぞれは、前記第１方向において前記複数の連結流路のそれぞれと同じ位置にあり、かつ、前記第２方向において前記複数の連結流路のそれぞれから離隔していることを特徴とする、請求項９又は１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記複数の圧力室及び前記共通流路が形成された流路基板と、
前記流路基板に固定され、前記第１方向及び前記第２方向の双方と直交する第３方向において前記複数の前記圧力室のそれぞれと重なる複数のアクチュエータを有するアクチュエータ基板と、
前記複数のアクチュエータと電気的に接続された配線基板と、をさらに備え、
前記配線基板は、前記アクチュエータ基板における前記第３方向において前記共通流路と重なる部分に固定されたことを特徴とする、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２つの圧力室群と、２つの圧力室群に対して設けられた共通流路とを備えた液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１（図３）には、Ｘ方向（第１方向）に配列された複数の圧力発生室（圧力室）からそれぞれ構成される２つの圧力室群と、２つの圧力室群のそれぞれに対して設けられた２つのマニホールド（共通流路）とを備えた液体吐出ヘッドが示されている。２つのマニホールドは、Ｘ方向の一端において流入路に連通し、Ｘ方向の他端において流出路に連通している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１０１０３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１（図３）では、流入路から流入した液体がマニホールドを通って流出路から流出し、マニホールド内を液体が循環することで、マニホールド内の気泡の除去や液体の増粘防止が実現される。しかしながら、２つのマニホールドが２つの圧力室群に対してＹ方向（第２方向）の両側に配置されているため、液体吐出ヘッドが第２方向に大型化し得る。
【０００５】
本発明の目的は、共通流路内の液体の循環を実現しつつ第２方向の大型化を抑制可能な液体吐出ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に配列された複数の圧力室から構成される第１圧力室群と、前記第１方向に配列された複数の圧力室から構成され、前記第１方向と交差する第２方向に前記第１圧力室群と並ぶ第２圧力室群と、前記第１方向に延び、前記第１圧力室群に属する前記複数の圧力室と前記第２圧力室群に属する前記複数の圧力室とに連通し、前記第１方向の一端に供給口が設けられ、前記第１方向の他端に帰還口が設けられた共通流路と、を備え、前記共通流路は、前記第２方向において前記第１圧力室群と前記第２圧力室群との間に位置することを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の平面図である。
【図２】ヘッド１の平面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ったヘッド１の断面図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ線に沿ったヘッド１の断面図である。
【図５】プリンタ１００の電気的構成を示すブロック図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係るヘッド２０１の平面図である。
【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿ったヘッド２０１の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
＜第１実施形態＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の全体構成について説明する。
【０００９】
プリンタ１００は、４つのヘッド１を含むヘッドユニット１ｘ、プラテン３、搬送機構４及び制御部５を備えている。
【００１０】
プラテン３の上面に、用紙９が載置される。
【００１１】
搬送機構４は、搬送方向にプラテン３を挟んで配置された２つのローラ対４ａ，４ｂを有する。制御部５の制御により搬送モータ４ｍ（図５参照）が駆動されると、ローラ対４ａ，４ｂが用紙９を挟持した状態で回転し、用紙９が搬送方向に搬送される。
【００１２】
ヘッドユニット１ｘは、紙幅方向（搬送方向及び鉛直方向の双方に対して直交する方向）に長尺であり、位置が固定された状態でノズル２１（図２及び図３参照）から用紙９に対してインクを吐出するライン式である。４つのヘッド１は、それぞれ紙幅方向に長尺であり、紙幅方向に千鳥状に配置されている。
【００１３】
制御部５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、制御部５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、各ヘッド１のドライバＩＣ１ｄ及び搬送モータ４ｍ（共に図５参照）を制御し、用紙９上に画像を記録する。
【００１４】
次いで、図２〜図４を参照し、ヘッド１の構成について説明する。
【００１５】
ヘッド１は、図３に示すように、流路基板１１、アクチュエータ基板１２、保護基板１３及び配線基板９０を有する。
【００１６】
流路基板１１には、複数の圧力室２０、複数のノズル２１、複数の接続流路２２、複数の連結流路２３、及び、共通流路３０が形成されている。
【００１７】
流路基板１１は、鉛直方向に積層された４枚のプレート１１ａ〜１１ｄと、４枚のプレート１１ａ〜１１ｄのうち最下層のプレート１１ｄの下面に接着された、２枚のノズルプレート１１ｅ１，１１ｅ２とで構成されている。
【００１８】
複数の圧力室２０は、プレート１１ａ，１１ｂに形成された貫通孔で構成され、流路基板１１の上面に開口している。
【００１９】
複数の圧力室２０は、図２に示すように、紙幅方向（第１方向）に千鳥状に配列され、第１圧力室群２０Ａ及び第２圧力室群２０Ｂを構成している。第１圧力室群２０Ａ及び第２圧力室群２０Ｂは、搬送方向と平行な方向（第１方向に１列に等間隔で配列された複数の圧力室２０で構成されている。）に並び、それぞれ各圧力室２０は、鉛直方向（第３方向）と直交する平面において、第２方向に長尺な略矩形状である。なお、第３方向は、第１方向及び第２方向の双方と直交する。
【００２０】
接続流路２２は、圧力室２０毎に設けられており、図３に示すように、圧力室２０の第２方向の一端（共通流路３０に近い側の端部）から下方に延び、圧力室２０とノズル２１とを接続している。接続流路２２は、プレート１１ｃ，１１ｄに形成された貫通孔で構成されている。
【００２１】
ノズル２１は、圧力室２０毎に設けられており、図３に示すように、接続流路２２の直下に位置し、流路基板１１の下面に開口している。ノズル２１は、接続流路２２を介して、圧力室２０に連通している。
【００２２】
第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０のそれぞれに連通する複数のノズル２１はノズルプレート１１ｅ１に形成され、第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０のそれぞれに連通する複数のノズル２１はノズルプレート１１ｅ２に形成されている。ノズルプレート１１ｅ１，１１ｅ２は、互いに分離し、それぞれ第１方向に延びる略矩形状のプレートである。ノズルプレート１１ｅ１が「第１ノズルプレート」に該当し、ノズルプレート１１ｅ２が「第２ノズルプレート」に該当する。
【００２３】
連結流路２３は、圧力室２０毎に設けられており、図３に示すように、圧力室２０の第２方向の一端（共通流路３０に近い側の端部）から、第２方向に共通流路３０に向けて延び、圧力室２０と共通流路３０とを連結している。連結流路２３は、プレート１１ｂに形成された貫通孔で構成されている。連結流路２３は、第３方向において圧力室２０の領域内（即ち、圧力室２０の高さの範囲内）に設けられている。
【００２４】
連結流路２３は、図３に示すように、圧力室２０の下端に連結している。
【００２５】
連結流路２３は、図２に示すように、圧力室２０の第１方向の一端に連結している。一方、接続流路２２は、圧力室２０の第１方向の他端に接続している。各圧力室２０に対し、連結流路２３及び接続流路２２は、第１方向において互いに異なる位置にあり、かつ、第２方向において互いに近接している。
【００２６】
各圧力室２０には、仕切壁１０が設けられている。仕切壁１０は、第１方向において連結流路２３と接続流路２２との間に位置し、圧力室２０の第２方向の一端（共通流路３０に近い側の端部）から圧力室２０の第２方向の略中央まで、第２方向に延びている。また、仕切壁１０は、図３に示すように、プレート１１ｃの上面から上方に、圧力室２０の第３方向の略中央まで延びている。
【００２７】
共通流路３０は、第１圧力室群２０Ａ及び第２圧力室群２０Ｂに対して共通に設けられており、図２及び図３に示すように、第２方向において第１圧力室群２０Ａと第２圧力室群２０Ｂとの間において、第１方向に延びている。共通流路３０は、複数の連結流路２３を介して、第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０と第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０とに連通している。
【００２８】
図３に示すように、第１圧力室群２０Ａに対し、第２方向において共通流路３０と反対側には、流路が設けられておらず、プレート１１ａ，１１ｂの壁部のみが設けられている。第２圧力室群２０Ｂに対し、第２方向において共通流路３０と反対側には、流路が設けられておらず、プレート１１ａ，１１ｂの壁部のみが設けられている。
【００２９】
共通流路３０は、図３及び図４に示すように、プレート１１ａ〜１１ｄに形成された貫通孔で構成されている。
【００３０】
共通流路３０の下面は、ダンパ膜５０で画定されている。ダンパ膜５０は、プレート１１ｄに形成された共通流路３０を画定する貫通孔を塞ぐように、プレート１１ｄの下面に接着されている。ダンパ膜５０は、図３に示すように、第２方向においてノズルプレート１１ｅ１とノズルプレート１１ｅ２との間に位置する。
【００３１】
図４に示すように、共通流路３０の第１方向の一端には、供給口３０ｘが設けられ、共通流路３０の第１方向の他端には、帰還口３０ｙ及び排気口３０ｚが設けられている。供給口３０ｘ及び排気口３０ｚは、共通流路３０の上端（本実施形態では上面）に設けられている。帰還口３０ｙは、共通流路３０の下端（本実施形態では下部側面）に設けられている。
【００３２】
共通流路３０におけるダンパ膜５０で画定された面（下面）は、共通流路３０における供給口３０ｘ及び排気口３０ｚが設けられた面（上面）、及び、共通流路３０における帰還口３０ｙが設けられた面（側面）の、いずれとも異なる。
【００３３】
アクチュエータ基板１２は、図３に示すように、流路基板１１の上面に固定されており、下から順に、振動板１２ａ、共通電極１２ｂ、複数の圧電体１２ｃ及び複数の個別電極１２ｄを含む。
【００３４】
振動板１２ａ及び共通電極１２ｂは、流路基板１１の上面（プレート１１ａの上面）の略全体に配置されており、流路基板１１に形成された全ての圧力室２０を覆っている。一方、圧電体１２ｃ及び個別電極１２ｄは、圧力室２０毎に設けられており、各圧力室２０と第３方向に重なっている。
【００３５】
アクチュエータ基板１２は、さらに、絶縁膜１２ｉ及び複数の個別配線１２ｅを含む。
【００３６】
絶縁膜１２ｉは、二酸化シリコン（ＳｉＯ2）等からなり、共通電極１２ｂの上面において圧電体１２ｃが設けられていない部分、圧電体１２ｃの側面、及び、個別電極１２ｄの上面を覆っている。絶縁膜１２ｉにおいて、個別電極１２ｄと鉛直方向に重なる部分には、貫通孔が設けられている。
【００３７】
複数の個別配線１２ｅは、絶縁膜１２ｉ上に形成されている。複数の個別配線１２ｅは、絶縁膜１２ｉの上記貫通孔に先端が入り込むことで、複数の個別電極１２ｄのそれぞれと電気的に接続されている。複数の個別配線１２ｅは、アクチュエータ基板１２の第２方向の中央まで、第２方向に延びている。
【００３８】
アクチュエータ基板１２における第２方向の中央（第３方向において共通流路３０と重なる部分）の上面には、配線基板９０の一端が固定されている。配線基板９０の他端は、制御部５に接続されている。配線基板９０の一端と他端との間には、ドライバＩＣ１ｄが実装されている。
【００３９】
配線基板９０は、ＣＯＦ（Chip On Film）等からなり、アクチュエータ基板１２の上面において、第１方向に延びている（図２参照）。配線基板９０は、複数の個別配線１２ｅのそれぞれと電気的に接続される複数の個別配線９０ｅ（図３参照）と、共通配線（図示略）とを有する。共通配線は、絶縁膜１２ｉに設けられた貫通孔を介して、共通電極１２ｂと電気的に接続されている。
【００４０】
ドライバＩＣ１ｄは、複数の個別配線９０ｅを介して複数の個別電極１２ｄのそれぞれと電気的に接続され、かつ、共通配線を介して共通電極１２ｂと電気的に接続されている。ドライバＩＣ１ｄは、共通電極１２ｂの電位をグランド電位に維持する一方、個別電極１２ｄの電位を変化させる。具体的には、ドライバＩＣ１ｄは、制御部５からの制御信号に基づいて駆動信号を生成し、当該駆動信号を個別電極１２ｄに付与する。これにより、個別電極１２ｄの電位が所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。このとき、振動板１２ａ及び圧電体１２ｃにおいて個別電極１２ｄと圧力室２０とで挟まれた部分（アクチュエータ１２ｘ）が、圧力室２０に向かって凸となるように変形することにより、圧力室２０の容積が変化し、圧力室２０内のインクに圧力が付与され、ノズル２１からインクが吐出される。
【００４１】
ノズル２１からインクが吐出される際、インクは、共通流路３０から、複数の連結流路２３を介して、複数の圧力室２０のそれぞれに供給される。具体的には、図２及び図３に示すように、共通流路３０内のインクは、複数の連結流路２３を通って第２方向に移動し、複数の圧力室２０の第１方向の一端かつ第２方向の一端に流入する。当該インクは、図２に示すように、各圧力室２０において、仕切壁１０に沿って、第２方向の一端から他端へと移動する。そして当該インクは、圧力室２０の第２方向の他端でＵターンし、圧力室２０の第１方向の他端かつ第２方向の一端に至り、接続流路２２を通って下方に移動して、ノズル２１から吐出される。
【００４２】
保護基板１３は、図３及び図４に示すように、絶縁膜１２ｉの上面に接着されており、２つの凹部１３ｘと、１つの貫通穴１３ｙとを有する。
【００４３】
２つの凹部１３ｘは、保護基板１３の下面に形成されており、それぞれ第１方向に延び、一方は第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０と第３方向に重なり、他方は第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０と第３方向に重なっている。各凹部１３ｘ内に、各圧力室群２０Ａ，２０Ｂに対応する複数のアクチュエータ１２ｘが収容されている。
【００４４】
貫通穴１３ｙは、保護基板１３の第２方向の中央において、第１方向に延び、保護基板１３を第３方向に貫通している。貫通穴１３ｙ内に、配線基板９０の一端が配置されている。
【００４５】
ヘッド１は、さらに、図４に示すように、供給口３０ｘに接続する供給流路３１と、帰還口３０ｙに接続する帰還流路３２と、排気口３０ｚに接続する排気流路３３とを備えている。
【００４６】
供給流路３１は、供給口３０ｘから上方に延びている。供給流路３１の上面には、開口３１ｘが形成されている。
【００４７】
帰還流路３２は、帰還口３０ｙから第１方向に延びる第１部分３２ａと、第１部分３２ａの先端から上方に延びる第２部分３２ｂとを含む。第２部分３２ｂの上面には、開口３２ｘが形成されている。
【００４８】
排気流路３３は、排気口３０ｚから上方に延びている。排気流路３３の上面には、開口３３ｘが形成されている。
【００４９】
供給流路３１及び排気流路３３は、保護基板１３及びアクチュエータ基板１２に形成された貫通孔で構成されている。帰還流路３２は、第１部分３２ａが、プレート１１ｄに形成された貫通孔で構成され、第２部分３２ｂが、保護基板１３、アクチュエータ基板１２及びプレート１１ａ〜１１ｃに形成された貫通孔で構成されている。
【００５０】
図２及び図４に示すように、開口３１ｘはヘッド１の第１方向の一端に位置し、開口３２ｘ，３３ｘはヘッド１の第１方向の他端に位置する。開口３３ｘは、第１方向において、開口３１ｘと開口３２ｘとの間に位置する。また、第１方向において開口３１ｘと開口３３ｘとの間に、配線基板９０の一端が配置されている。換言すると、開口３１ｘは配線基板９０の一端に対して第１方向の一方に配置され、開口３２ｘ，３３ｘは配線基板９０の一端に対して第１方向の他方に配置されている。開口３１ｘ〜３３ｘ、及び、配線基板９０の一端は、ヘッド１の第２方向の中央において、第１方向に並んでいる。
【００５１】
開口３１ｘ〜３３ｘは、図４に示すように、サブタンク７に連通している。サブタンク７は、メインタンク（図示略）に連通し、メインタンクから供給されたインクを貯留している。
【００５２】
開口３１ｘとサブタンク７とを接続する流路７ａには、循環ポンプ７ｐが設けられている。
【００５３】
開口３２ｘ，３３ｘとサブタンク７とを接続する流路７ｂには、切替弁７ｖが設けられている。流路７ｂは、切替弁７ｖから分岐した３つの流路（第１流路７ｂ１、第２流路７ｂ２及び第３流路７ｂ３）を含む。第１流路７ｂ１は、サブタンク７に接続する一端と、切替弁７ｖに接続する他端とを有する。第２流路７ｂ２は、切替弁７ｖに接続する一端と、開口３２ｘに接続する他端とを有する。第３流路７ｂ３は、切替弁７ｖに接続する一端と、開口３３ｘに接続する他端とを有する。
【００５４】
切替弁７ｖは、例えば電磁弁からなり、制御部５の制御により、開口３２ｘとサブタンク７とを連通させる帰還位置と、開口３３ｘとサブタンク７とを連通させる排気位置とに切り替えられる。即ち、切替弁７ｖにより、帰還口３０ｙ及び開口３２ｘを介したインクの流れと、排気口３０ｚ及び開口３３ｘを介したインクの流れとが切り替えられる。切替弁７ｖが、「弁」に該当する。
【００５５】
サブタンク７内のインクは、制御部５の制御により循環ポンプ７ｐが駆動されることで、開口３１ｘから供給流路３１に流入する。供給流路３１に流入したインクは、下方に移動し、供給口３０ｘから共通流路３０の第１方向の一端に流入する。共通流路３０の第１方向の一端に流入したインクは、共通流路３０内を第１方向の一端から他端に向かって移動する。
【００５６】
共通流路３０の第１方向の他端に至ったインクは、切替弁７ｖが帰還位置にあるときは、帰還口３０ｙから流出し、帰還流路３２、流路７ｂ２，７ｂ１を通ってサブタンク７に戻される。或いは、共通流路３０の第１方向の他端に至ったインクは、切替弁７ｖが排気位置にあるときは、排気口３０ｚから流出し、排気流路３３、流路７ｂ３，７ｂ１を通ってサブタンク７に戻される。
【００５７】
例えば、制御部５は、記録処理中、切替弁７ｖを帰還位置に保持して循環ポンプ７ｐを駆動させる一方、記録処理の直前やエラー停止後等は、切替弁７ｖを排気位置に保持して循環ポンプ７ｐを駆動させる。
【００５８】
このようにサブタンク７と共通流路３０との間でインクを循環させることで、共通流路３０における気泡の除去やインクの増粘防止が実現される。また、インクが沈降成分（沈降が生じ得る成分。顔料等）を含む場合、当該成分が攪拌されて沈降が防止される。
【００５９】
なお、帰還流路３２を通る経路及び排気流路３３を通る経路のいずれを通ってインクを循環させても、気泡の除去、インクの増粘防止、及び、沈降成分の攪拌を実現できる。ただし、帰還流路３２を通る経路では、帰還口３０ｙが共通流路３０の下端に設けられていることから、共通流路３０の下部に滞留した沈降成分の攪拌に特に有効である。また、排気流路３３を通る経路では、排気口３０ｚが共通流路３０の上端に設けられていることから、浮力により排気口３０ｚから気泡がスムーズに排出され、気泡の除去に特に有効である。
【００６０】
以上に述べたように、本実施形態によれば、供給口３０ｘ及び帰還口３０ｙが第１方向の一端及び他端にそれぞれ設けられた共通流路３０（図４参照）が、２つの圧力室群２０Ａ，２０Ｂに対して第２方向の両側ではなく、２つの圧力室群２０Ａ，２０Ｂの間に位置する（図２参照）。これにより、共通流路３０内のインクの循環を実現しつつ、ヘッド１の第２方向の大型化を抑制できる。
【００６１】
帰還口３０ｙを介したインクの流れと排気口３０ｚを介したインクの流れとを切り替え可能な切替弁７ｖが設けられている（図４参照）。本構成によれば、沈降成分の攪拌を積極的に行うこと（帰還流路３２を通る経路に沿ったインク循環）と、気泡の除去を積極的に行うこと（排気流路３３を通る経路に沿ったインク循環）とを、選択的に実行できる。
【００６２】
ヘッド１は、帰還口３０ｙに接続しかつ上方に延びる帰還流路３２を備えている（図４参照）。本構成によれば、共通流路３０内の気泡を、浮力により、帰還流路３２を介してスムーズに排出できる。
【００６３】
供給口３０ｘは、共通流路３０の上端に設けられている（図４参照）。本構成によれば、浮力の作用により、供給口３０ｘから共通流路３０への気泡の侵入を防止できる。
【００６４】
共通流路３０は、ダンパ膜５０で画定されている（図３及び図４参照）。本構成によれば、ダンパ膜５０の振動により、沈降成分が攪拌され、沈降成分の攪拌効果が高まる。ひいては、沈降成分の攪拌のためにインクの流速を過度に高める必要がなくなる。
【００６５】
共通流路３０におけるダンパ膜５０で画定された面（下面）は、共通流路３０における供給口３０ｘが設けられた面（上面）、及び、共通流路３０における帰還口３０ｙが設けられた面（側面）の、いずれとも異なる（図４参照）。供給口３０ｘや帰還口３０ｙが設けられた面にダンパ膜５０を設けようとすると、ダンパ膜５０の設置作業が困難であり、また、ダンパ膜５０の設置面積を確保し難く所望の減衰効果が得られない場合がある。これに対し、本構成によれば、供給口３０ｘや帰還口３０ｙが設けられていない面にダンパ膜５０を設けることで、ダンパ膜５０の設置作業が容易であり、ダンパ膜５０の設置面積を確保し易く所望の減衰効果を得ることができる。さらに、本実施形態では、共通流路３０の上側に配線基板９０があるため、ダンパ膜５０を設置し難い。一方、共通流路３０の下側は、配線基板９０等がなく、ノズルプレート１１ｅ１，１１ｅ２（図３参照）の設置に合わせてダンパ膜５０を設置し易い。しかも、本実施形態では、共通流路３０の下面にダンパ膜５０が設けられているため、ダンパ膜５０の振動により、共通流路３０の下部に滞留した沈降成分が攪拌され、沈降成分の攪拌に特に有効である。
【００６６】
第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０のそれぞれに連通する複数のノズル２１と、第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０のそれぞれに連通する複数のノズル２１とが、２枚のノズルプレート１１ｅ１，１１ｅ２に個別に形成されている（図３参照）。第２方向において２枚のノズルプレート１１ｅ１，１１ｅ２の間に、ダンパ膜５０が配置されている。この場合、例えば中央にダンパ膜５０設置用の貫通孔が設けられ且つヘッド１の全てのノズル２１が形成されたロの字状の１枚のノズルプレートを採用する場合に比べ、ノズルプレート全体としてのサイズを小さくでき、材料コストを低減できる。また、１枚の大きなノズルプレートを採用する場合、プレートに反りが生じて寸法精度が悪化し得るが、本構成では、２枚の小さなノズルプレート１１ｅ１，１１ｅ２を採用することで、プレートの反りが抑制され、寸法精度が向上する。
【００６７】
各圧力室２０と共通流路３０とを連結する連結流路２３が、第３方向において圧力室２０の領域内（即ち、圧力室２０の高さの範囲内）に設けられている（図３参照）。本構成によれば、連結流路２３が第３方向において圧力室２０の領域外にも設けられる場合（例えば、連結流路２３が、共通流路３０の下部側面から第２方向に延び、その後上方に屈曲して圧力室２０の下面又は側面に連結する場合等）に比べ、圧力室２０に直接的にインクが供給されるため、圧力室２０へのインクの供給不足（アンダーリフィル現象）を抑制できる。
【００６８】
連結流路２３は、圧力室２０の下端に連結している（図３参照）。本構成によれば、浮力の作用により、圧力室２０への気泡の侵入を防止できる。
【００６９】
各圧力室２０に対し、連結流路２３及び接続流路２２は、第１方向において互いに異なる位置にあり、かつ、第２方向において互いに近接している（図２参照）。本構成によれば、連結流路２３から圧力室２０の第１方向の一端かつ第２方向の一端に流入したインクが、圧力室２０の第２方向の他端でＵターンし、圧力室２０の第１方向の他端かつ第２方向の一端に至り、接続流路２２に流入することになる。これにより、圧力室２０全体にインクが行き渡り、圧力室２０内における淀みを抑制できる。
【００７０】
各圧力室２０に、第１方向において連結流路２３と接続流路２２との間に位置する仕切壁１０が設けられている（図２参照）。本構成によれば、圧力室２０内において、上記のようなＵターンするインクの流れがより確実に形成される。したがって、圧力室２０内における淀みをより確実に抑制できる。
【００７１】
配線基板９０は、アクチュエータ基板１２における第３方向において共通流路３０と重なる部分に固定されている（図３参照）。本構成によれば、共通流路３０内を循環するインクにより、配線基板９０の熱が吸収され、配線基板９０を冷却できる。
【００７２】
＜第２実施形態＞
続いて、図６及び図７を参照し、本発明の第２実施形態に係るヘッド２０１について説明する。
【００７３】
第１実施形態では、２つの圧力室群２０Ａ，２０Ｂと、２つの圧力室群２０Ａ，２０Ｂに属する複数の圧力室２０に連通する１つの共通流路３０とが設けられている（図２参照）が、本実施形態では、４つの圧力室群２０Ａ〜２０Ｄと、２つの圧力室群２０Ａ，２０Ｂに属する複数の圧力室２０に連通する共通流路３０と、２つの圧力室群２０Ｃ，２０Ｄに属する複数の圧力室２０に連通する別の共通流路２３０とが設けられている（図６参照）。
【００７４】
圧力室群２０Ｃは、「第３圧力室群」に該当し、第１方向に１列に等間隔で配列された複数の圧力室２０で構成されている。圧力室群２０Ｄは、「第４圧力室群」に該当し、第１方向に１列に等間隔で配列された複数の圧力室２０で構成されている。第２方向において第１圧力室群２０Ａと第３圧力室群２０Ｃとの間に、第２圧力室群２０Ｂが配置されている。第２方向において第１圧力室群２０Ａと第４圧力室群２０Ｄとの間に、第２圧力室群２０Ｂ及び第３圧力室群２０Ｃが配置されている。
【００７５】
共通流路２３０は、共通流路３０と同様、第１方向に延び、図示を省略するが、第１方向の一端に供給口３０ｘが設けられ、第１方向の他端に帰還口３０ｙ及び排気口３０ｚが設けられている（図４の共通流路３０を参照）。共通流路２３０は、図６に示すように、第２方向において第３圧力室群２０Ｃと第４圧力室群２０Ｄとの間に位置する。
【００７６】
保護基板２１３（図７参照）は、第１圧力室群２０Ａ及び第４圧力室群２０Ｄに対して個別に設けられた２つの凹部１３ｘ（図３参照）と、第２圧力室群２０Ｂ及び第３圧力室群２０Ｃに対して共通に設けられた１つの凹部２１３ｘと、２つの貫通穴１３ｙ，２１３ｙとを有する。凹部２１３ｘ内に、第２圧力室群２０Ｂ及び第３圧力室群２０Ｃに対応する複数のアクチュエータ１２ｘが収容されている。貫通穴１３ｙに、第１圧力室群２０Ａ及び第２圧力室群２０Ｂに対応する配線基板９０の一端（図３参照）が配置され、貫通穴２１３ｙに、第３圧力室群２０Ｃ及び第４圧力室群２０Ｄに対応する配線基板９０の一端（図３参照）が配置されている。
【００７７】
本実施形態では、第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０のそれぞれに連通する複数のノズル２１と、第３圧力室群２０Ｃに属する複数の圧力室２０のそれぞれに連通する複数のノズル２１とが、１枚のノズルプレート２１１ｅに形成されている（図７参照）。ノズルプレート２１１ｅは、第１方向に延びる略矩形状のプレートであり、第２方向において共通流路３０の下面に設けられたダンパ膜５０と共通流路２３０の下面に設けられたダンパ膜５０との間に位置する。第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０のそれぞれに連通する複数のノズル２１と、第４圧力室群２０Ｄに属する複数の圧力室２０のそれぞれに連通する複数のノズル２１とは、ノズルプレート２１１ｅとは別の、２枚のノズルプレート（図示略）に個別に形成されている。
【００７８】
本実施形態によれば、第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０のそれぞれに連通する複数のノズル２１と、第３圧力室群２０Ｃに属する複数の圧力室２０のそれぞれに連通する複数のノズル２１とが、２枚のノズルプレートに個別に形成される場合に比べ、ノズルプレートを接着する作業が簡素化され（接着作業の回数が削減され）、ヘッド２０１の製造が容易である。
【００７９】
また、第１実施形態では、各圧力室２０に対し、連結流路２３及び接続流路２２は、第１方向において互いに異なる位置にあり、かつ、第２方向において互いに近接しており、第１方向において連結流路２３と接続流路２２との間に仕切壁１０が設けられている（図２参照）が、本実施形態では、各圧力室２０に対し、連結流路２３及び接続流路２２は、第１方向において互いに同じ位置にあり、かつ、第２方向において互いに離隔しており、仕切壁１０が設けられていない（図６参照）。
【００８０】
本実施形態によれば、連結流路２３から圧力室２０に流入したインクは、圧力室２０内でＵターンすることなく、圧力室２０の第２方向の一端から他端に流れ、接続流路２２に流入する。接続流路２２にインクが直接的に供給されるため、ノズル２１からのインク吐出がスムーズになる。
【００８１】
＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。
【００８２】
第２方向は、第１方向と交差すればよく、第１方向と直交することには限定されない。
【００８３】
帰還口を介した液体の流れと排気口を介した液体の流れとを切り替え可能な弁として、上述の実施形態では切替弁７ｖ（図４参照）を例示したが、これに限定されず、例えばサブタンクと帰還口とを接続する流路及びサブタンクと排気口とを接続する流路のそれぞれに開閉弁を設けてもよい。
【００８４】
供給口及び排気口は、共通流路の上端に設けられる場合において、共通流路の上面に設けられることに限定されず、共通流路の上部側面に設けられてもよい。
【００８５】
供給口は、共通流路の上端に設けられることに限定されず、共通流路の鉛直方向中央等、共通流路における鉛直方向の任意の位置に設けられてよい。
【００８６】
排気口及び弁を省略してもよい。
【００８７】
帰還口は、共通流路の下端に設けられることに限定されず、共通流路の鉛直方向中央等、共通流路における鉛直方向の任意の位置に設けられてよい。
【００８８】
帰還口を共通流路の上面に設け、帰還流路を省略してもよい。
【００８９】
複数の共通流路が設けられた場合において、供給口及び帰還口の第１方向の位置が、複数の共通流路間で異なってもよい。例えば、第２実施形態において、共通流路３０の供給口が第１方向の一端（図６の下端）に設けられ、共通流路２３０の供給口が第１方向の他端（図６の上端）に設けられてもよい。この場合、共通流路３０内のインクの流れと共通流路２３０内のインクの流れとが互いに逆向きになる。
【００９０】
ダンパ膜は、共通流路の下面に設けられることに限定されず、共通流路の側面や上面に設けられてもよい。また、ダンパ膜は、共通流路における供給口、帰還口又は排気口が設けられた面に設けられてもよい。
【００９１】
第１実施形態において、２枚のノズルプレート１１ｅ１，１１ｅ２の代わりに、中央にダンパ膜５０設置用の貫通孔が設けられ且つヘッド１の全てのノズル２１が形成されたロの字状の１枚のノズルプレートを採用してもよい。
【００９２】
連結流路は、圧力室の下端に連結することに限定されず、圧力室の鉛直方向中央等、圧力室における鉛直方向の任意の位置に連結してよい。
【００９３】
また、連結流路は、第２方向に延びることに限定されず、第３方向や、第３方向と直交しかつ第１方向及び第２方向の双方と交差する方向に延びてもよい。
【００９４】
仕切壁の第２方向の長さ及び第３方向の長さは、上述の実施形態のものに限定されず、適宜変更可能である。例えば、仕切壁を、接続流路と第１方向に重なる領域にのみ設けてもよい。仕切壁を、圧力室の第１方向及び第２方向の略中央に設けてもよい。また、第１実施形態において、仕切壁を省略してもよい。
【００９５】
接続流路を省略し、圧力室の直下にノズルを設けてもよい。
【００９６】
保護基板を省略してもよい。この場合、保護基板とは別の部材で供給流路３１、帰還流路３２の一部及び排気流路３３（図４参照）を画定してよい。
【００９７】
各圧力室群は、上述の実施形態では１列に配列された複数の圧力室から構成されるが、複数列に配列された複数の圧力室から構成されてもよい。この場合、第１圧力室群に属する複数列に配列された複数の圧力室と、第２圧力室群に属する複数列に配列された複数の圧力室との間に、共通流路が設けられてよい。
【００９８】
１つの圧力室に連通するノズルの数は、上述の実施形態では１つであるが、２つ以上であってもよい。また、上述の実施形態では１つのノズルに対して１つの圧力室が設けられているが、１つのノズルに対して２つ以上の圧力室が設けられてもよい。
【００９９】
アクチュエータは、圧電素子を用いたピエゾ方式のものに限定されず、その他の方式（例えば、発熱素子を用いたサーマル方式、静電力を用いた静電方式等）のものであってもよい。
【０１００】
液体吐出ヘッドは、ライン式に限定されず、シリアル式（紙幅方向と平行な走査方向に移動しつつノズルから吐出対象に対して液体を吐出する方式）であってもよい。
【０１０１】
吐出対象は、用紙に限定されず、例えば布、基板等であってもよい。
【０１０２】
ノズルから吐出される液体は、インクに限定されず、任意の液体（例えば、インク中の成分を凝集又は析出させる処理液等）であってよい。
【０１０３】
本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。
【符号の説明】
【０１０４】
１；２０１  ヘッド（液体吐出ヘッド）
７ｖ  切替弁（弁）
１０  仕切壁
１１  流路基板
１１ｅ１  ノズルプレート（第１ノズルプレート）
１１ｅ２  ノズルプレート（第２ノズルプレート）
１２  アクチュエータ基板
２０  圧力室
２０Ａ  第１圧力室群
２０Ｂ  第２圧力室群
２０Ｃ  第３圧力室群
２０Ｄ  第４圧力室群
２１  ノズル
２２  接続流路
２３  連結流路
３０  共通流路
３０ｘ  供給口
３０ｙ  帰還口
３０ｚ  排気口
３２  帰還流路
５０  ダンパ膜
９０  配線基板
１００  プリンタ
２３０  別の共通流路
２１１ｅ  ノズルプレート
【図１】
2020168734.tif 000003
【図２】
2020168734.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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