(57)【要約】【課題】液晶パネル等の表示パネルを検査する検査システムにおいて、表示パネルを搬送するための構成を従来よりも簡素化することが可能な検査システムを提供する。【解決手段】この検査システムでは、液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置へ搬入するときに、パネル搬入機構のカセット載置部３７に載置されたカセット８が検査装置側のカセット載置部９よりも上側に配置された状態でカセット載置部９の上方までカセット載置部３７に載置されたカセット８を移動させた後、カセット載置部３７を降下させてカセット載置部９にカセット８を載置し、検査装置からのカセット８の搬出時に、カセット載置部９に載置されたカセット８の下側に配置されるパネル搬出機構のカセット載置部３７をカセット載置部９の上側まで上昇させてカセット載置部３７にカセット８を載置した後、カセット載置部３７を移動させている。【選択図】図３
2020204478.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カセットに収容された状態の表示パネルを検査する検査装置と、検査前の前記表示パネルが収容された前記カセットを前記検査装置に搬入するパネル搬入機構と、検査後の前記表示パネルが収容された前記カセットを前記検査装置から搬出するパネル搬出機構とを備え、
前記検査装置は、前記カセットが載置される装置側カセット載置部を備え、
前記パネル搬入機構および前記パネル搬出機構は、前記カセットが載置される可動側カセット載置部と、前記可動側カセット載置部を直線的に移動させる移動機構とを備え、
前記検査装置が前記装置側カセット載置部を昇降させる昇降機構を備えているか、または、前記パネル搬入機構および前記パネル搬出機構が前記可動側カセット載置部を昇降させる昇降機構を備えており、
前記パネル搬入機構および前記パネル搬出機構が前記昇降機構を備えている場合には、前記移動機構は、前記昇降機構と一緒に前記可動側カセット載置部を直線的に移動させ、
前記昇降機構は、前記可動側カセット載置部に載置される前記カセットが前記装置側カセット載置部よりも上側に配置される位置と、前記装置側カセット載置部に載置される前記カセットよりも前記可動側カセット載置部が下側に配置される位置との間で前記装置側カセット載置部または前記可動側カセット載置部を昇降させ、
前記移動機構は、上下方向に直交する左右方向に前記可動側カセット載置部を往復移動させ、
前記パネル搬入機構の前記可動側カセット載置部と前記パネル搬出機構の前記可動側カセット載置部とは、上下方向と左右方向とに直交する前後方向において同じ位置に配置され、
前記パネル搬入機構の前記移動機構は、前記可動側カセット載置部の前後方向の一方側に配置され、
前記パネル搬出機構の前記移動機構は、前記可動側カセット載置部の前後方向の他方側に配置され、
前記検査装置への前記カセットの搬入時には、前記パネル搬入機構の前記可動側カセット載置部に載置された前記カセットが前記装置側カセット載置部よりも上側に配置された状態で前記パネル搬入機構の前記移動機構が前記装置側カセット載置部の上方まで前記パネル搬入機構の前記可動側カセット載置部に載置された前記カセットを移動させた後、前記昇降機構が前記装置側カセット載置部に対して前記パネル搬入機構の前記可動側カセット載置部を相対的に降下させて前記装置側カセット載置部に前記カセットを載置し、
前記検査装置からの前記カセットの搬出時には、前記装置側カセット載置部に載置された前記カセットの下側に配置される前記パネル搬出機構の前記可動側カセット載置部を前記昇降機構が前記装置側カセット載置部の上側まで相対的に上昇させて前記パネル搬出機構の前記可動側カセット載置部に前記カセットを載置した後、前記パネル搬出機構の前記移動機構が前記パネル搬出機構の前記可動側カセット載置部を移動させることを特徴とする検査システム。
【請求項２】
前記パネル搬入機構および前記パネル搬出機構が前記昇降機構を備えていることを特徴とする請求項１記載の検査システム。
【請求項３】
前記パネル搬入機構によって搬入される前記カセットの移動方向と、前記パネル搬出機構によって搬出される前記カセットの移動方向とは、左右方向のうちの同じ方向となっており、
前記パネル搬入機構の前記可動側カセット載置部の移動時の高さと、前記パネル搬出機構の前記可動側カセット載置部の移動時の高さとが同じ高さになっていることを特徴とする請求項１または２記載の検査システム。
【請求項４】
左右方向に配列される複数の前記検査装置を備え、
左右方向で隣接する２個の前記検査装置のうちの一方を第１検査装置とし、他方の前記検査装置を第２検査装置とすると、
前記パネル搬入機構によって搬入される前記カセットの移動方向と、前記パネル搬出機構によって搬出される前記カセットの移動方向とは、左右方向のうちの同じ方向となっており、
前記第１検査装置から前記カセットを搬出する前記パネル搬出機構が、前記第２検査装置に前記カセットを搬入する前記パネル搬入機構となっていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の検査システム。
【請求項５】
複数の前記検査装置の中には、前記表示パネルを点灯検査する点灯検査装置が含まれ、
前記点灯検査装置と左右方向で隣接する前記検査装置を点灯検査隣接装置とすると、
前記点灯検査装置と前記点灯検査隣接装置との間には、前記点灯検査装置と前記点灯検査隣接装置との間で前記移動機構を少なくとも上側および前後方向の両側から覆うトンネル部材が配置されていることを特徴とする請求項４記載の検査システム。
【請求項６】
複数の前記検査装置からなる検査装置群の左右方向の一方側に配置されるとともに空の前記カセットに検査前の前記表示パネルが収容されるパネル収容部と、前記検査装置群の左右方向の他方側に配置されるとともに検査後の前記表示パネルが前記カセットから取り出されるパネル排出部とを備え、
前記検査装置群の中で最も前記パネル収容部側に配置される前記検査装置を最上流検査装置とし、前記検査装置群の中で最も前記パネル排出部側に配置される前記検査装置を最下流検査装置とすると、
前記最上流検査装置に前記カセットを搬入する前記パネル搬入機構は、前記パネル収容部から前記カセットを搬出し、
前記最下流検査装置から前記カセットを搬出する前記パネル搬出機構は、前記パネル排出部に前記カセットを搬入することを特徴とする請求項４記載の検査システム。
【請求項７】
複数の前記検査装置の中には、前記表示パネルを点灯検査する点灯検査装置が含まれ、
前記点灯検査装置と左右方向で隣接する前記検査装置、前記パネル収容部または前記パネル排出部を点灯検査隣接装置とすると、
前記点灯検査装置と前記点灯検査隣接装置との間には、前記点灯検査装置と前記点灯検査隣接装置との間で前記移動機構を少なくとも上側および前後方向の両側から覆うトンネル部材が配置されていることを特徴とする請求項６記載の検査システム。
【請求項８】
前記トンネル部材の左右方向の一端側の一部を塞ぐためのシャッター部材を備えることを特徴とする請求項５または７記載の検査システム。
【請求項９】
前記カセットおよび前記装置側カセット載置部のいずれか一方には、前記装置側カセット載置部に対して水平方向で前記カセットを位置決めするための複数の第１位置決め穴が形成され、
前記カセットおよび前記装置側カセット載置部のいずれか他方は、前記第１位置決め穴に挿入されて前記装置側カセット載置部に対して水平方向で前記カセットを位置決めする複数の第１位置決めピンを備え、
前記カセットおよび前記可動側カセット載置部のいずれか一方には、前記可動側カセット載置部に対して水平方向で前記カセットを位置決めするための複数の第２位置決め穴が形成され、
前記カセットおよび前記可動側カセット載置部のいずれか他方は、前記第２位置決め穴に挿入されて前記可動側カセット載置部に対して水平方向で前記カセットを位置決めする複数の第２位置決めピンを備えることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の検査システム。
【請求項１０】
前記可動側カセット載置部が載置される直線状のレールを備え、
前記レールの長手方向は、左右方向と一致しており、
前記パネル搬入機構および前記パネル搬出機構は、前記レール上で転がる車輪と、前記レールを前後方向で挟む一対のガイドローラとを備えることを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載の検査システム。
【請求項１１】
前記パネル収容部は、空の前記カセットに収容される前に前記表示パネルを位置合わせするためのアライメント機構を備え、
前記アライメント機構は、前記表示パネルを位置合わせするときに前記表示パネルを吸着して把持する平面状のパネル吸着面を有するパネル把持部材を備え、
前記パネル把持部材は、ポリエーテルエーテルケトンで形成され、
前記パネル吸着面には、前記表示パネルを吸引する複数の吸引穴が形成されていることを特徴とする請求項６または７記載の検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の表示パネルを検査するための検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネルの検査を行う検査装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の検査装置は、液晶パネルの製造処理工程の途中に組み込まれている。この検査装置は、液晶パネルの点灯検査を行うプローバと、検査前の液晶パネルをプローバに向かって搬送する搬入側コンベヤと、搬入側コンベヤで搬送された液晶パネルをプローバに搬入する搬入機構と、検査後の液晶パネルをプローバから搬出する搬出機構と、搬出機構によって搬出された液晶パネルを搬送する搬出側コンベヤとを備えている。
【０００３】
特許文献１に記載の検査装置では、搬入側コンベヤの中に、搬入側コンベヤで搬送された液晶パネルを位置決めして支持するパネルクランプと、パネルクランプに支持される液晶パネルを持ち上げるパネルリフターとが設置されている。パネルリフターで持ち上げられた液晶パネルは、搬入機構によってプローバに搬入される。また、搬出側コンベヤの中にも、パネルクランプとパネルリフターとが設置されている。搬出機構によってプローバから搬出された液晶パネルがパネルクランプに受け渡されると、パネルリフターが液晶パネルを下降させて、搬出側コンベヤに載置する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１０７９７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の検査装置では、液晶パネルを搬送するための構成として、搬入側コンベヤ、搬出側コンベヤ、パネルクランプおよびパネルリフターに加えて、搬入機構および搬出機構が設置されている。すなわち、特許文献１に記載の検査装置では、液晶パネルを搬送するために、数多くの機構が設置されており、液晶パネルを搬送するための構成が複雑になっている。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、液晶パネル等の表示パネルを検査する検査装置を備える検査システムにおいて、表示パネルを搬送するための構成を従来よりも簡素化することが可能な検査システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の検査システムは、カセットに収容された状態の表示パネルを検査する検査装置と、検査前の表示パネルが収容されたカセットを検査装置に搬入するパネル搬入機構と、検査後の表示パネルが収容されたカセットを検査装置から搬出するパネル搬出機構とを備え、検査装置は、カセットが載置される装置側カセット載置部を備え、パネル搬入機構およびパネル搬出機構は、カセットが載置される可動側カセット載置部と、可動側カセット載置部を直線的に移動させる移動機構とを備え、検査装置が装置側カセット載置部を昇降させる昇降機構を備えているか、または、パネル搬入機構およびパネル搬出機構が可動側カセット載置部を昇降させる昇降機構を備えており、パネル搬入機構およびパネル搬出機構が昇降機構を備えている場合には、移動機構は、昇降機構と一緒に可動側カセット載置部を直線的に移動させ、昇降機構は、可動側カセット載置部に載置されるカセットが装置側カセット載置部よりも上側に配置される位置と、装置側カセット載置部に載置されるカセットよりも可動側カセット載置部が下側に配置される位置との間で装置側カセット載置部または可動側カセット載置部を昇降させ、移動機構は、上下方向に直交する左右方向に可動側カセット載置部を往復移動させ、パネル搬入機構の可動側カセット載置部とパネル搬出機構の可動側カセット載置部とは、上下方向と左右方向とに直交する前後方向において同じ位置に配置され、パネル搬入機構の移動機構は、可動側カセット載置部の前後方向の一方側に配置され、パネル搬出機構の移動機構は、可動側カセット載置部の前後方向の他方側に配置され、検査装置へのカセットの搬入時には、パネル搬入機構の可動側カセット載置部に載置されたカセットが装置側カセット載置部よりも上側に配置された状態でパネル搬入機構の移動機構が装置側カセット載置部の上方までパネル搬入機構の可動側カセット載置部に載置されたカセットを移動させた後、昇降機構が装置側カセット載置部に対してパネル搬入機構の可動側カセット載置部を相対的に降下させて装置側カセット載置部にカセットを載置し、検査装置からのカセットの搬出時には、装置側カセット載置部に載置されたカセットの下側に配置されるパネル搬出機構の可動側カセット載置部を昇降機構が装置側カセット載置部の上側まで相対的に上昇させてパネル搬出機構の可動側カセット載置部にカセットを載置した後、パネル搬出機構の移動機構がパネル搬出機構の可動側カセット載置部を移動させることを特徴とする。
【０００８】
本発明の検査システムでは、検査装置へのカセットの搬入時に、パネル搬入機構の可動側カセット載置部に載置されたカセットが装置側カセット載置部よりも上側に配置された状態でパネル搬入機構の移動機構が装置側カセット載置部の上方までパネル搬入機構の可動側カセット載置部に載置されたカセットを移動させた後、昇降機構が装置側カセット載置部に対してパネル搬入機構の可動側カセット載置部を相対的に降下させて装置側カセット載置部にカセットを載置している。また、本発明では、検査装置からのカセットの搬出時に、装置側カセット載置部に載置されたカセットの下側に配置されるパネル搬出機構の可動側カセット載置部を昇降機構が装置側カセット載置部の上側まで相対的に上昇させてパネル搬出機構の可動側カセット載置部にカセットを載置した後、パネル搬出機構の移動機構がパネル搬出機構の可動側カセット載置部を移動させている。
【０００９】
そのため、本発明では、特許文献１に記載された搬入機構および搬出機構が設置されていなくても、検査前の表示パネルを検査装置に搬入することが可能になるとともに、検査後の表示パネルを検査装置から搬出することが可能になる。したがって、本発明では、特許文献１に記載の検査装置と比較して、表示パネルを搬送するための構成を簡素化することが可能になる。すなわち、本発明では、表示パネルを搬送するための構成を従来よりも簡素化することが可能になる。
【００１０】
また、本発明では、パネル搬入機構の可動側カセット載置部とパネル搬出機構の可動側カセット載置部とが前後方向において同じ位置に配置されているが、パネル搬入機構の移動機構が可動側カセット載置部の前後方向の一方側に配置され、パネル搬出機構の移動機構が可動側カセット載置部の前後方向の他方側に配置されている。そのため、本発明では、左右方向において装置側カセット載置部が配置された位置までパネル搬入機構の移動機構によって可動側カセット載置部を移動させることが可能になっており、かつ、左右方向において装置側カセット載置部が配置された位置までパネル搬出機構の移動機構によって可動側カセット載置部を移動させることが可能になっていても、パネル搬入機構の移動機構とパネル搬出機構の移動機構との干渉を防止することが可能になる。
【００１１】
なお、本発明において、「パネル搬入機構の可動側カセット載置部とパネル搬出機構の可動側カセット載置部とが前後方向において同じ位置に配置されている」には、パネル搬入機構の可動側カセット載置部とパネル搬出機構の可動側カセット載置部とが前後方向において全く同じ位置に配置されている場合に加えて、パネル搬入機構の可動側カセット載置部とパネル搬出機構の可動側カセット載置部とが前後方向においてほぼ同じ位置に配置されている場合も含まれる。
【００１２】
本発明において、たとえば、パネル搬入機構およびパネル搬出機構が昇降機構を備えている。
【００１３】
本発明において、たとえば、パネル搬入機構によって搬入されるカセットの移動方向と、パネル搬出機構によって搬出されるカセットの移動方向とは、左右方向のうちの同じ方向となっており、パネル搬入機構の可動側カセット載置部の移動時の高さと、パネル搬出機構の可動側カセット載置部の移動時の高さとが同じ高さになっている。この場合には、パネル搬入機構の構造とパネル搬出機構の構造とを同じ構造にすることが可能になる。
【００１４】
本発明において、検査システムは、左右方向に配列される複数の検査装置を備え、左右方向で隣接する２個の検査装置のうちの一方を第１検査装置とし、他方の検査装置を第２検査装置とすると、パネル搬入機構によって搬入されるカセットの移動方向と、パネル搬出機構によって搬出されるカセットの移動方向とは、左右方向のうちの同じ方向となっており、第１検査装置からカセットを搬出するパネル搬出機構が、第２検査装置にカセットを搬入するパネル搬入機構となっていることが好ましい。このように構成すると、第１検査装置からのカセットの搬出と、第２検査装置へのカセットの搬入を同じ機構を用いて行うことができるため、検査システムの構成を簡素化することが可能になる。
【００１５】
本発明において、複数の検査装置の中には、表示パネルを点灯検査する点灯検査装置が含まれ、点灯検査装置と左右方向で隣接する検査装置を点灯検査隣接装置とすると、点灯検査装置と点灯検査隣接装置との間には、点灯検査装置と点灯検査隣接装置との間で移動機構を少なくとも上側および前後方向の両側から覆うトンネル部材が配置されていることが好ましい。このように構成すると、たとえば、点灯検査隣接装置からカセットを搬出するパネル搬出機構が、点灯検査装置にカセットを搬入するパネル搬入機構となっていても、表示パネルの点灯検査時に暗室となる点灯検査装置の内部に、点灯検査装置の外部からの光が入り込むのをトンネル部材によって抑制することが可能になる。
【００１６】
本発明において、検査システムは、たとえば、複数の検査装置からなる検査装置群の左右方向の一方側に配置されるとともに空のカセットに検査前の表示パネルが収容されるパネル収容部と、検査装置群の左右方向の他方側に配置されるとともに検査後の表示パネルがカセットから取り出されるパネル排出部とを備え、検査装置群の中で最もパネル収容部側に配置される検査装置を最上流検査装置とし、検査装置群の中で最もパネル排出部側に配置される検査装置を最下流検査装置とすると、最上流検査装置にカセットを搬入するパネル搬入機構は、パネル収容部からカセットを搬出し、最下流検査装置からカセットを搬出するパネル搬出機構は、パネル排出部にカセットを搬入する。
【００１７】
本発明において、複数の検査装置の中には、表示パネルを点灯検査する点灯検査装置が含まれ、点灯検査装置と左右方向で隣接する検査装置、パネル収容部またはパネル排出部を点灯検査隣接装置とすると、点灯検査装置と点灯検査隣接装置との間には、点灯検査装置と点灯検査隣接装置との間で移動機構を少なくとも上側および前後方向の両側から覆うトンネル部材が配置されていることが好ましい。このように構成すると、たとえば、点灯検査隣接装置からカセットを搬出するパネル搬出機構が、点灯検査装置にカセットを搬入するパネル搬入機構となっていても、表示パネルの点灯検査時に暗室となる点灯検査装置の内部に、点灯検査装置の外部からの光が入り込むのをトンネル部材によって抑制することが可能になる。
【００１８】
本発明において、検査システムは、トンネル部材の左右方向の一端側の一部を塞ぐためのシャッター部材を備えることが好ましい。このように構成すると、表示パネルの点灯検査時に暗室となる点灯検査装置の内部に、点灯検査隣接装置からの光が入り込むのを抑制することが可能になる。
【００１９】
本発明において、カセットおよび装置側カセット載置部のいずれか一方には、装置側カセット載置部に対して水平方向でカセットを位置決めするための複数の第１位置決め穴が形成され、カセットおよび装置側カセット載置部のいずれか他方は、第１位置決め穴に挿入されて装置側カセット載置部に対して水平方向でカセットを位置決めする複数の第１位置決めピンを備え、カセットおよび可動側カセット載置部のいずれか一方には、可動側カセット載置部に対して水平方向でカセットを位置決めするための複数の第２位置決め穴が形成され、カセットおよび可動側カセット載置部のいずれか他方は、第２位置決め穴に挿入されて可動側カセット載置部に対して水平方向でカセットを位置決めする複数の第２位置決めピンを備えることが好ましい。このように構成すると、装置側カセット載置部と可動側カセット載置部との間で精度良くカセットを受け渡すことが可能になる。
【００２０】
本発明において、検査システムは、可動側カセット載置部が載置される直線状のレールを備え、レールの長手方向は、左右方向と一致しており、パネル搬入機構およびパネル搬出機構は、レール上で転がる車輪と、レールを前後方向で挟む一対のガイドローラとを備えることが好ましい。本発明では、移動機構が可動側カセット載置部の前後方向の一方側または他方側に配置されているため、可動側カセット載置部に載置されるカセットおよび表示パネルの重量が重くなると、移動機構によって左右方向に移動する可動側カセット載置部の移動状態が不安定になるおそれがあるが、このように構成すると、可動側カセット載置部に載置されるカセットおよび表示パネルの重量が重くなっても、移動機構によって左右方向に移動する可動側カセット載置部の移動状態を安定させることが可能になる。
【００２１】
本発明において、パネル収容部は、空のカセットに収容される前に表示パネルを位置合わせするためのアライメント機構を備え、アライメント機構は、表示パネルを位置合わせするときに表示パネルを吸着して把持する平面状のパネル吸着面を有するパネル把持部材を備え、パネル把持部材は、ポリエーテルエーテルケトンで形成され、パネル吸着面には、表示パネルを吸引する複数の吸引穴が形成されていることが好ましい。このように構成すると、表示パネルを位置合わせするときにゴム製の吸着パッドで表示パネルを把持する場合と比較して、パネル把持部材で表示パネルを把持する際、および、パネル把持部材で把持している表示パネルをパネル把持部材から離す際の、表示パネルのずれを抑制することが可能になる。したがって、アライメント機構によって、表示パネルを精度良く位置合わせすることが可能になる。
【発明の効果】
【００２２】
以上のように、本発明では、液晶パネル等の表示パネルを検査する検査装置を備える検査システムにおいて、表示パネルを搬送するための構成を従来よりも簡素化することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施の形態にかかる検査システムの概略構成を説明するための平面図である。
【図２】図１のＥ部の構成を説明するための平面図である。
【図３】図２に示す装置側カセット載置部およびパネル搬送機構の構成を説明するための側面図である。
【図４】図２に示す装置側カセット載置部およびパネル搬送機構の構成を説明するための側面図である。
【図５】（Ａ）は、図４のＦ部の構成を説明するための拡大図であり、（Ｂ）は、図３のＧ部の構成を説明するための拡大図である。
【図６】図２のＨ部の構成を説明するための平面図である。
【図７】図１に示すアライメント機構のパネル把持部材の構成を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００２５】
（検査システムの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる検査システム１の概略構成を説明するための平面図である。図２は、図１のＥ部の構成を説明するための平面図である。
【００２６】
本形態の検査システム１は、表示パネルである液晶パネル２を検査するためのシステムである。検査システム１は、液晶パネル２を検査する複数の検査装置３〜７を備えている。具体的には、検査システム１は、５個の検査装置３〜７を備えている。図１に示すように、５個の検査装置３〜７は、一列に配列されている。検査装置３〜７で検査される液晶パネル２は、カセット８に収容されている。すなわち、検査装置３〜７では、カセット８に収容された状態の液晶パネル２が検査される。
【００２７】
以下の説明では、検査装置３〜７の配列方向（図１等のＹ方向）を「左右方向」とし、上下方向（鉛直方向）と左右方向とに直交する図１等のＸ方向を「前後方向」とする。また、左右方向の一方側である図１等のＹ１方向側を「左」側とし、左側の反対側である図１等のＹ２方向側を「右」側とし、前後方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「前」側とし、前側の反対側である図１等のＸ２方向側を「後ろ」側とする。
【００２８】
液晶パネル２は、中型のパネルである。液晶パネル２は、長方形の平板状に形成されている。カセット８は、全体として略長方形の平板状に形成されている。検査システム１で取り扱われるカセット８の厚さ方向は、上下方向と一致している。また、検査システム１において、略長方形の平板状に形成されるカセット８の長辺方向は、左右方向と略一致している。液晶パネル２は、カセット８の上面側に収容される。また、液晶パネル２は、液晶パネル２の厚さ方向と上下方向とが一致するようにカセット８に収容される。
【００２９】
検査装置３〜７は、左側から右側に向かってこの順番に配列されている。検査装置３では、たとえば、液晶パネル２のショート検査が行われ、検査装置４では、たとえば、液晶パネル２の逆バイアス検査が行われる。検査装置５〜７では、液晶パネル２を点灯させた状態で検査する液晶パネル２の点灯検査が行われる。すなわち、検査装置５〜７は、液晶パネル２を点灯検査する点灯検査装置であり、５個の検査装置３〜７の中には、３個の点灯検査装置が含まれている。検査装置５〜７の内部は、液晶パネル２を検査する際に暗室となる。なお、検査装置３、４の内部も液晶パネル２を検査する際に暗室となるが、液晶パネル２の検査時の検査装置３、４の内部が液晶パネル２の検査時の検査装置５〜７の内部より明るくても、液晶パネル２の検査に支障は生じない。
【００３０】
検査装置３〜７は、各種の検査を行うための検査用機器を備えている。また、検査装置３〜７は、カセット８が載置される装置側カセット載置部としてのカセット載置部９と、検査用機器およびカセット載置部９が載置される架台１０（図３、図４参照）とを備えている。さらに、検査装置３〜７は、検査用機器およびカセット載置部９の前後左右の側面および上面を覆うカバー１１を備えている。本形態では、検査装置５〜７は、カバー１１を個別に備えている。一方、検査装置３、４のカバー１１は、共通になっており、検査装置３の検査用機器およびカセット載置部９と、検査装置４の検査用機器およびカセット載置部９とが同じカバー１１の中に配置されている。
【００３１】
検査システム１は、空のカセット８に検査前の液晶パネル２が収容されるパネル収容部１３と、検査後の液晶パネル２がカセット８から取り出されるパネル排出部１４とを備えている。パネル収容部１３は、５個の検査装置３〜７からなる検査装置群１５の左側に配置され、パネル排出部１４は、検査装置群１５の右側に配置されている。すなわち、パネル収容部１３は、検査装置３の左側に配置され、パネル排出部１４は、検査装置７の右側に配置されている。また、検査システム１は、パネル排出部１４からパネル収容部１３に空のカセット８を搬送するコンベヤ１６を備えている。コンベヤ１６は、たとえば、ローラーコンベヤである。コンベヤ１６は、検査装置３〜７、パネル収容部１３およびパネル排出部１４の後ろ側に配置されている。
【００３２】
また、検査システム１は、検査装置３〜７に対して液晶パネル２を搬送する複数のパネル搬送機構２１〜２６を備えている。具体的には、検査システム１は、６個のパネル搬送機構２１〜２６を備えている。パネル搬送機構２１は、検査前の液晶パネル２が収容されたカセット８をパネル収容部１３から搬出して検査装置３に搬入する。パネル搬送機構２２は、検査装置３で検査が行われた後の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置３から搬出して検査装置４に搬入する。
【００３３】
また、パネル搬送機構２３は、検査装置４で検査が行われた後の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置４から搬出して検査装置５に搬入し、パネル搬送機構２４は、検査装置５で検査が行われた後の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置５から搬出して検査装置６に搬入し、パネル搬送機構２５は、検査装置６で検査が行われた後の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置６から搬出して検査装置７に搬入し、パネル搬送機構２６は、検査装置７で検査が行われた後の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置７から搬出してパネル排出部１４に搬入する。
【００３４】
本形態のパネル搬送機構２１は、検査装置３で検査が行われる前（検査前）の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置３に搬入するパネル搬入機構である。すなわち、パネル搬送機構２１は、検査装置３にとって、カセット８を搬入するパネル搬入機構である。検査装置３にカセット８を搬入するパネル搬入機構であるパネル搬送機構２１は、パネル収容部１３からカセット８を搬出する。本形態の検査装置３は、検査装置群１５の中で最もパネル収容部１３側に配置される最上流検査装置である。
【００３５】
また、本形態のパネル搬送機構２６は、検査装置７で検査が行われた後（検査後）の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置７から搬出するパネル搬出機構である。すなわち、パネル搬送機構２６は、検査装置７にとって、カセット８を搬出するパネル搬出機構である。検査装置７からカセット８を搬出するパネル搬出機構であるパネル搬送機構２６は、パネル排出部１４にカセット８を搬入する。本形態の検査装置７は、検査装置群１５の中で最もパネル排出部１４側に配置される最下流検査装置である。
【００３６】
また、本形態のパネル搬送機構２２は、検査装置３で検査が行われた後の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置３から搬出するパネル搬出機構であるとともに、検査装置４で検査が行われる前の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置４に搬入するパネル搬入機構である。すなわち、パネル搬送機構２２は、検査装置３にとっては、カセット８を搬出するパネル搬出機構であるが、検査装置４にとっては、カセット８を搬入するパネル搬入機構であり、検査後の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置３から搬出するパネル搬出機構が、検査前の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置４に搬入するパネル搬入機構となっている。
【００３７】
また、パネル搬送機構２３は、検査装置４で検査が行われた後の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置４から搬出するパネル搬出機構であるとともに、検査装置５で検査が行われる前の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置５に搬入するパネル搬入機構である。すなわち、パネル搬送機構２３は、検査装置４にとっては、カセット８を搬出するパネル搬出機構であるが、検査装置５にとっては、カセット８を搬入するパネル搬入機構であり、検査後の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置４から搬出するパネル搬出機構が、検査前の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置５に搬入するパネル搬入機構となっている。
【００３８】
また、パネル搬送機構２４は、検査装置５で検査が行われた後の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置５から搬出するパネル搬出機構であるとともに、検査装置６で検査が行われる前の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置６に搬入するパネル搬入機構である。すなわち、パネル搬送機構２４は、検査装置５にとっては、カセット８を搬出するパネル搬出機構であるが、検査装置６にとっては、カセット８を搬入するパネル搬入機構であり、検査後の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置５から搬出するパネル搬出機構が、検査前の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置６に搬入するパネル搬入機構となっている。
【００３９】
また、パネル搬送機構２５は、検査装置６で検査が行われた後の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置６から搬出するパネル搬出機構であるとともに、検査装置７で検査が行われる前の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置７に搬入するパネル搬入機構である。すなわち、パネル搬送機構２５は、検査装置６にとっては、カセット８を搬出するパネル搬出機構であるが、検査装置７にとっては、カセット８を搬入するパネル搬入機構であり、検査後の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置６から搬出するパネル搬出機構が、検査前の液晶パネル２が収容されたカセット８を検査装置７に搬入するパネル搬入機構となっている。
【００４０】
本形態では、左右方向で隣接する検査装置３と検査装置４との関係において、検査装置３は第１検査装置であり、検査装置４は第２検査装置である。また、左右方向で隣接する検査装置４と検査装置５との関係において、検査装置４は第１検査装置であり、検査装置５は第２検査装置であり、左右方向で隣接する検査装置５と検査装置６との関係において、検査装置５は第１検査装置であり、検査装置６は第２検査装置であり、左右方向で隣接する検査装置６と検査装置７との関係において、検査装置６は第１検査装置であり、検査装置７は第２検査装置である。
【００４１】
（カセット載置部およびカセット載置部の周辺部の構成）
図３、図４は、図２に示すカセット載置部９およびパネル搬送機構２４の構成を説明するための側面図である。図５（Ａ）は、図４のＦ部の構成を説明するための拡大図であり、図５（Ｂ）は、図３のＧ部の構成を説明するための拡大図である。
【００４２】
カセット載置部９は、カセット８が載置される複数の載置部材２９と、カセット載置部９に対して水平方向でカセット８を位置決めするための複数の位置決めピン３０とを備えている。本形態のカセット載置部９は、８個の載置部材２９と、２本の位置決めピン３０とを備えている。また、カセット載置部９は、載置部材２９および位置決めピン３０が固定される支持フレーム３１を備えている。
【００４３】
支持フレーム３１は、架台１０の上面に固定されている。本形態のカセット載置部９は、カセット８の左前端部を下側から支持するための支持フレーム３１と、カセット８の右前端部を下側から支持するための支持フレーム３１と、カセット８の左後端部を下側から支持するための支持フレーム３１と、カセット８の右後端部を下側から支持するための支持フレーム３１とを備えている。すなわち、カセット載置部９は、４個の支持フレーム３１を備えている。
【００４４】
カセット８の左前端部を下側から支持するための支持フレーム３１と、カセット８の右前端部を下側から支持するための支持フレーム３１とは、左右方向に間隔をあけた状態で配置され、カセット８の左後端部を下側から支持するための支持フレーム３１と、カセット８の右後端部を下側から支持するための支持フレーム３１とは、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。また、カセット８の前端部を下側から支持するための２個の支持フレーム３１と、カセット８の後端部を下側から支持するための２個の支持フレーム３１とは、前後方向に間隔をあけた状態で配置されている。
【００４５】
載置部材２９の上面は、上下方向に直交する平面となっている。載置部材２９の上面には、カセット８の下面が接触する。８個の載置部材２９のうちの４個の載置部材２９には、カセット８の前端部が載置され、残りの４個の載置部材２９には、カセット８の後端部が載置されている。カセット８の前端部が載置される４個の載置部材２９は、左右方向に間隔をあけた状態で配置され、カセット８の後端部が載置される４個の載置部材２９は、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。４個の支持フレーム３１のそれぞれの上面には、２個の載置部材２９が固定されている。
【００４６】
２本の位置決めピン３０は、前後方向および左右方向において互いに間隔をあけた状態で配置されている。たとえば、２本の位置決めピン３０は、カセット８の左前端部を下側から支持するための支持フレーム３１と、カセット８の右後端部を下側から支持するための支持フレーム３１に固定されている。位置決めピン３０は、支持フレーム３１の上面から上側に向かって突出している。
【００４７】
カセット８には、位置決めピン３０が挿入される２個の位置決め穴８ａが形成されている（図５（Ａ）参照）。すなわち、カセット８には、カセット載置部９に対して水平方向でカセット８を位置決めするための２個の位置決め穴８ａが形成されている。本形態では、２本の位置決めピン３０が２個の位置決め穴８ａに挿入されると、カセット載置部９に対して水平方向でカセット８が位置決めされる。本形態の位置決めピン３０は、第１位置決めピンであり、位置決め穴８ａは、第１位置決め穴である。
【００４８】
検査装置３〜７は、載置部材２９に載置されたカセット８を載置部材２９に押し付けるための２個のクランプ機構３２を備えている。２個のクランプ機構３２は、載置部材２９に載置されたカセット８の、対角線上に配置される２個の角部のそれぞれを上側から押える。クランプ機構３２は、たとえば、カセット８の左前端部を下側から支持するための支持フレーム３１の左側と、カセット８の右後端部を下側から支持するための支持フレーム３１の右側とに設置されている。クランプ機構３２は、カセット８の角部を上側から押える爪部材３３と、爪部材３３を昇降させるシリンダ３４とを備えている。
【００４９】
（パネル搬送機構の構成）
図６は、図２のＨ部の構成を説明するための平面図である。
【００５０】
パネル搬送機構２４は、カセット８が載置される可動側カセット載置部としてのカセット載置部３７と、カセット載置部３７を昇降させる昇降機構３８と、昇降機構３８と一緒にカセット載置部３７を直線的に移動させる移動機構３９とを備えている。パネル搬送機構２１〜２３、２５、２６は、パネル搬送機構２４と同様に構成されている。すなわち、パネル搬送機構２１〜２３、２５、２６は、パネル搬送機構２４と同様に、カセット載置部３７と昇降機構３８と移動機構３９とを備えている。移動機構３９は、カセット載置部３７を左右方向に往復移動させる。すなわち、左右方向（Ｙ方向）は、移動機構３９によって移動するカセット載置部３７の移動方向である。
【００５１】
カセット載置部３７は、略長方形の平板状に形成されるベース板４０を備えている。カセット載置部３７は、ベース板４０の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。また、カセット載置部３７は、略長方形の平板状に形成されるベース板４０の長辺方向と左右方向とが一致するように配置されている。カセット載置部３７の前後方向の幅（ベース板４０の短辺方向の幅）は、カセット８の前端部を下側から支持するための支持フレーム３１と、カセット８の後端部を下側から支持するための支持フレーム３１との前後方向の間隔よりも狭くなっている。
【００５２】
また、カセット配置部３７は、カセット８が載置される複数の載置部材４１と、カセット載置部３７に対して水平方向でカセット８を位置決めするための複数の位置決めピン４２とを備えている。本形態のカセット載置部３７は、４個の載置部材４１と、２本の位置決めピン４２とを備えている。載置部材４１の上面は、上下方向に直交する平面となっている。載置部材４１の上面には、カセット８の下面が接触する。載置部材４１は、ベース板４０の上面に固定されている。また、載置部材４１は、ベース板４０の四隅に固定されている。なお、図２の一部および図６では、載置部材４１の図示を省略している。
【００５３】
２本の位置決めピン４２は、ベース板４０の前後方向の両端側に固定されている。また、２本の位置決めピン４２は、ベース板４０の左右方向の中心位置に固定されている。位置決めピン４２は、ベース板４０の上面から上側に向かって突出している。カセット８には、位置決めピン４２が挿入される２個の位置決め穴８ｂが形成されている（図５（Ｂ）参照）。すなわち、カセット８には、カセット載置部３７に対して水平方向でカセット８を位置決めするための２個の位置決め穴８ｂが形成されている。本形態では、２本の位置決めピン４２が２個の位置決め穴８ｂに挿入されると、カセット載置部３７に対して水平方向でカセット８が位置決めされる。本形態の位置決めピン４２は、第２位置決めピンであり、位置決め穴８ｂは、第２位置決め穴である。
【００５４】
カセット載置部３７は、前後方向において、カセット８の前端部を下側から支持するための支持フレーム３１と、カセット８の後端部を下側から支持するための支持フレーム３１との間に配置されている。また、パネル搬送機構２１のカセット載置部３７と、パネル搬送機構２２のカセット載置部３７と、パネル搬送機構２３のカセット載置部３７と、パネル搬送機構２４のカセット載置部３７と、パネル搬送機構２５のカセット載置部３７と、パネル搬送機構２６のカセット載置部３７とが前後方向において同じ位置に配置されている。
【００５５】
具体的には、パネル搬送機構２１のカセット載置部３７と、パネル搬送機構２２のカセット載置部３７と、パネル搬送機構２３のカセット載置部３７と、パネル搬送機構２４のカセット載置部３７と、パネル搬送機構２５のカセット載置部３７と、パネル搬送機構２６のカセット載置部３７とが、前後方向において全く同じ位置に配置されているか、あるいは、前後方向においてほぼ同じ位置に配置されている。
【００５６】
昇降機構３８は、カセット載置部３７に載置されるカセット８がカセット載置部９よりも上側に配置される位置（図３に示す位置）と、カセット載置部９に載置されるカセット８よりもカセット載置部３７が下側に配置される位置（図４に示す位置）との間でカセット載置部３７を昇降させる。昇降機構３８は、シリンダ４５と、シリンダ４５の本体部が固定される支持フレーム４６と、カセット載置部３７を上下方向に案内するガイド機構４７とを備えている。
【００５７】
シリンダ４５は、シリンダ４５のロッド４５ａ（図３参照）が上側に突出するように配置されている。ロッド４５ａの先端部（上端部）は、ベース板４０の中心部に固定されている。ガイド機構４７は、ベース板４０に固定される４本のガイド軸４８と、ガイド軸４８が挿通される４個のガイドブッシュ４９とから構成されている。ガイド軸４８は、ガイド軸４８の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。ガイド軸４８は、ベース板４０の下面から下側に突出している。ガイドブッシュ４９は、支持フレーム４６に固定されている。
【００５８】
移動機構３９は、左右方向に直線状に移動するスライダ５２と、スライダ５２を左右方向に移動させるとともにスライダ５２を左右方向に案内する駆動ガイド機構５３とを備えている。駆動ガイド機構５３は、左右方向に細長い直線状に形成されている。駆動ガイド機構５３は、架台１０の上面に取り付けられている。スライダ５２は、駆動ガイド機構５３に上側から載っている。スライダ５２には、支持フレーム４６が固定されている。
【００５９】
駆動ガイド機構５３は、スライダ５２を左右方向に移動させるためのモータと、モータの動力をスライダ５２に伝達する動力伝達機構と、スライダ５２を左右方向に案内するためのガイドレールとを備えている。スライダ５２は、ガイドレールに係合している。動力伝達機構は、たとえば、モータの動力で回転するねじ軸と、スライダ５２に固定されるとともにネジ軸に係合するナットとを備えるボールねじである。
【００６０】
移動機構３９は、前後方向において、カセット８の前端部を下側から支持するための支持フレーム３１と、カセット８の後端部を下側から支持するための支持フレーム３１との間に配置されている。また、パネル搬送機構２１の移動機構３９は、カセット載置部３７の後ろ側に配置され、パネル搬送機構２２の移動機構３９は、カセット載置部３７の前側に配置され、パネル搬送機構２３の移動機構３９は、カセット載置部３７の後ろ側に配置され、パネル搬送機構２４の移動機構３９は、カセット載置部３７の前側に配置され、パネル搬送機構２５の移動機構３９は、カセット載置部３７の後ろ側に配置され、パネル搬送機構２６の移動機構３９は、カセット載置部３７の前側に配置されている。
【００６１】
すなわち、パネル搬送機構２１〜２６の移動機構３９は、左右方向に千鳥配列されている。また、パネル搬送機構２１の移動機構３９と、パネル搬送機構２２の移動機構３９と、パネル搬送機構２３の移動機構３９と、パネル搬送機構２４の移動機構３９と、パネル搬送機構２５の移動機構３９と、パネル搬送機構２６の移動機構３９とは、上下方向において同じ位置に配置されている。
【００６２】
パネル搬送機構２２の駆動ガイド機構５３の左端は、パネル搬送機構２１の駆動ガイド機構５３の右端よりも左側に配置されている。同様に、パネル搬送機構２３の駆動ガイド機構５３の左端は、パネル搬送機構２２の駆動ガイド機構５３の右端よりも左側に配置され、パネル搬送機構２４の駆動ガイド機構５３の左端は、パネル搬送機構２３の駆動ガイド機構５３の右端よりも左側に配置され、パネル搬送機構２５の駆動ガイド機構５３の左端は、パネル搬送機構２４の駆動ガイド機構５３の右端よりも左側に配置され、パネル搬送機構２６の駆動ガイド機構５３の左端は、パネル搬送機構２５の駆動ガイド機構５３の右端よりも左側に配置されている。
【００６３】
すなわち、前後方向から見ると、パネル搬送機構２１の駆動ガイド機構５３の右端部とパネル搬送機構２２の駆動ガイド機構５３の左端部とが重なっている。また、前後方向から見ると、パネル搬送機構２２の駆動ガイド機構５３の右端部とパネル搬送機構２３の駆動ガイド機構５３の左端部とが重なり、パネル搬送機構２３の駆動ガイド機構５３の右端部とパネル搬送機構２４の駆動ガイド機構５３の左端部とが重なり、パネル搬送機構２４の駆動ガイド機構５３の右端部とパネル搬送機構２５の駆動ガイド機構５３の左端部とが重なり、パネル搬送機構２５の駆動ガイド機構５３の右端部とパネル搬送機構２６の駆動ガイド機構５３の左端部とが重なっている。
【００６４】
パネル搬送機構２１の移動機構３９は、検査装置３のカセット載置部９にカセット８を引き渡し可能な位置まで、パネル搬送機構２１のカセット載置部３７および昇降機構３８を移動させる。パネル搬送機構２２の移動機構３９は、検査装置３のカセット載置部９からカセット８を受け取り可能な位置と、検査装置４のカセット載置部９にカセット８を引き渡し可能な位置との間で、パネル搬送機構２２のカセット載置部３７および昇降機構３８を移動させる。パネル搬送機構２３の移動機構３９は、検査装置４のカセット載置部９からカセット８を受け取り可能な位置と、検査装置５のカセット載置部９にカセット８を引き渡し可能な位置との間で、パネル搬送機構２３のカセット載置部３７および昇降機構３８を移動させる。
【００６５】
パネル搬送機構２４の移動機構３９は、検査装置５のカセット載置部９からカセット８を受け取り可能な位置と、検査装置６のカセット載置部９にカセット８を引き渡し可能な位置との間で、パネル搬送機構２４のカセット載置部３７および昇降機構３８を移動させる。パネル搬送機構２５の移動機構３９は、検査装置６のカセット載置部９からカセット８を受け取り可能な位置と、検査装置７のカセット載置部９にカセット８を引き渡し可能な位置との間で、パネル搬送機構２５のカセット載置部３７および昇降機構３８を移動させる。パネル搬送機構２６の移動機構３９は、検査装置７のカセット載置部９からカセット８を受け取り可能な位置まで、パネル搬送機構２６のカセット載置部３７および昇降機構３８を移動させる。
【００６６】
支持フレーム４６の下側には、昇降機構３８およびカセット載置部３７が載置される２本のレール５６が配置されている。すなわち、検査システム１は、昇降機構３８およびカセット載置部３７が載置される２本のレール５６を備えている。レール５６は、架台１０の上面に固定されている。レール５６の長手方向は、左右方向と一致している。２本のレール５６は、前後方向に間隔をあけた状態で配置されている。レール５６は、左右方向において、パネル搬送機構２１〜２６のカセット載置部３７および昇降機構３８の可動範囲の全域に形成されている。
【００６７】
支持フレーム４６には、レール５６上で転がる車輪（ローラ）５７と、レール５６を前後方向で挟む一対のガイドローラ５８とが取り付けられている。すなわち、パネル搬送機構２１〜２６は、車輪５７と一対のガイドローラ５８とを備えている。車輪５７およびガイドローラ５８は、ボールベアリングである。車輪５７は、ベース板４０の四隅の下側で支持フレーム４６に取り付けられている。一対のガイドローラ５８は、たとえば、２本のレール５６のうちの前側に配置されるレール５６を前後方向で挟んでいる。また、一対のガイドローラ５８は、支持フレーム４６の左右の両端側に取り付けられている。
【００６８】
上述のように、検査装置３〜７は、左側から右側に向かってこの順番に配列され、パネル収容部１３は、検査装置３の左側に配置され、パネル排出部１４は、検査装置３の右側に配置されている。また、上述のように、パネル搬送機構２１は、カセット８をパネル収容部１３から搬出して検査装置３に搬入し、パネル搬送機構２２は、カセット８を検査装置３から搬出して検査装置４に搬入し、パネル搬送機構２３は、カセット８を検査装置４から搬出して検査装置５に搬入し、パネル搬送機構２４は、カセット８を検査装置５から搬出して検査装置６に搬入し、パネル搬送機構２５は、カセット８を検査装置６から搬出して検査装置７に搬入し、パネル搬送機構２６は、カセット８を検査装置７から搬出してパネル排出部１４に搬入する。
【００６９】
すなわち、パネル搬送機構２１〜２５によって搬入されるカセット８は、右方向へ移動し、パネル搬送機構２２〜２６によって搬出されるカセット８は、右方向へ移動する。すなわち、本形態では、パネル搬送機構２１〜２５によって搬入されるカセット８の移動方向と、パネル搬送機構２２〜２６によって搬出されるカセット８の移動方向とは、左右方向のうちの同じ方向となっている。
【００７０】
検査装置３〜７へのカセット８の搬入時には、カセット載置部３７に載置されたカセット８がカセット載置部９よりも上側に配置された状態で（図３参照）、移動機構３９がカセット載置部９の上方までカセット載置部３７に載置されたカセット８を右方向へ移動させた後、昇降機構３８がカセット載置部３７を降下させてカセット載置部９にカセット８を載置する（図４参照）。このときには、カセット載置部３７は、カセット載置部９に載置されるカセット８よりも下側まで降下する。また、このときには、位置決めピン３０が位置決め穴８ａに挿入される。カセット載置部９にカセット８が載置されると、クランプ機構３２がカセット８を載置部材２９に押し付ける。検査装置３〜７では、この状態で液晶パネル２の検査が行われる。
【００７１】
検査装置３〜７からのカセット８の搬出時には、まず、カセット載置部９に載置されたカセット８の下側に、カセット８を搬出するパネル搬送機構２２〜２６のカセット載置部３７を移動させる。このときには、カセット載置部３７は、カセット載置部９に載置されたカセット８よりも下側に配置されている。また、クランプ機構３２によるカセット８のクランプ状態を解除する。その後、カセット載置部９に載置されたカセット８の下側に配置されるカセット載置部３７を昇降機構３８がカセット載置部９の上側まで上昇させてカセット載置部３７にカセット８を載置した後（図４、図３参照）、移動機構３９がカセット載置部３７を右方向へ移動させる。カセット載置部３７にカセット８が載置されるときには、位置決めピン４２が位置決め穴８ｂに挿入される。
【００７２】
本形態では、パネル搬送機構２１のカセット載置部３７の移動時の高さと、パネル搬送機構２２のカセット載置部３７の移動時の高さと、パネル搬送機構２３のカセット載置部３７の移動時の高さと、パネル搬送機構２４のカセット載置部３７の移動時の高さと、パネル搬送機構２５のカセット載置部３７の移動時の高さと、パネル搬送機構２６のカセット載置部３７の移動時の高さとが同じ高さになっている。
【００７３】
なお、検査装置３〜７は、カセット載置部９とカセット載置部３７との間でカセット８の受け渡しが可能な位置にカセット載置部３７が配置されていることを検知するための検知機構を備えている。パネル搬送機構２１〜２６の移動機構３９（具体的には、移動機構３９のモータ）は、この検知機構の検知結果に基づいて制御されている。
【００７４】
そのため、検査装置３の内部でのパネル搬送機構２１のカセット載置部３７とパネル搬送機構２２のカセット載置部３７との接触、検査装置４の内部でのパネル搬送機構２２のカセット載置部３７とパネル搬送機構２３のカセット載置部３７との接触、検査装置５の内部でのパネル搬送機構２３のカセット載置部３７とパネル搬送機構２４のカセット載置部３７との接触、検査装置６の内部でのパネル搬送機構２４のカセット載置部３７とパネル搬送機構２５のカセット載置部３７との接触、および、検査装置７の内部でのパネル搬送機構２５のカセット載置部３７とパネル搬送機構２６のカセット載置部３７との接触を防止することが可能になっている。
【００７５】
（パネル収容部およびパネル排出部の概略構成）
図７は、図１に示すアライメント機構６３のパネル把持部材６４の構成を説明するための図である。
【００７６】
パネル収容部１３は、コンベヤ１６の左端部まで搬送された空のカセット８を検査装置３の左側まで搬送するカセット搬送機構６１を備えている。パネル排出部１４は、パネル搬送機構２６によってパネル排出部１４まで搬送され、液晶パネル２が取り出された後の空のカセット８をコンベヤ１６の右端部まで搬送するカセット搬送機構６２を備えている。カセット搬送機構６１、６２は、たとえば、２軸の直交ロボットである。
【００７７】
また、パネル収容部１３は、空のカセット８に収容される前に液晶パネル２を位置合わせするためのアライメント機構６３を備えている。アライメント機構６３は、液晶パネル２を位置合わせするときに液晶パネル２を把持するパネル把持部材６４を備えている。また、アライメント機構６３は、前後左右方向にパネル把持部材６４を移動させるとともに上下方向を回動の軸方向としてパネル把持部材６４を回動させる把持部材駆動機構、液晶パネル２が載置されるアライメントステージ、および、アライメント用のカメラ等を備えている。
【００７８】
パネル把持部材６４は、ポリエーテルエーテルケトンで形成されている。また、パネル把持部材６４は、たとえば、平板状に形成されており、パネル把持部材６４の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。パネル把持部材６４の下面は、液晶パネル２を吸着して把持する平面状のパネル吸着面６４ａとなっている。パネル吸着面６４ａには、液晶パネル２を吸引する複数の吸引穴６４ｂ、６４ｃが形成されている。
【００７９】
具体的には、所定の大きさの液晶パネル２を吸引するための複数の吸引穴６４ｂと、複数の吸引穴６４ｂで吸引される液晶パネル２より大きな液晶パネル２を吸引するための複数の吸引穴６４ｃとがパネル吸着面６４ａに形成されている。本形態では、複数の吸引穴６４ｂによる液晶パネル２の吸引と、複数の吸引穴６４ｃによる液晶パネル２の吸引とを個別に行うことが可能になっている。
【００８０】
アライメント機構６３では、アライメントステージに載置される液晶パネル２の向きをアライメント用のカメラで確認した後、パネル把持部材６４で液晶パネル２を把持して持ち上げる。また、カメラでの確認結果に基づいて、パネル把持部材６４を前後左右方向に移動させたり、回動させたりすることで、液晶パネル２を位置合わせする。位置合わせされた後の液晶パネル２は、アライメント機構６３によってカセット８に自動で収容される。
【００８１】
（トンネル部材およびシャッター部材の構成）
図２に示すように、検査装置５と検査装置６との間には、検査装置５と検査装置６との間で、パネル搬送機構２４の移動機構３９を上側および前後方向の両側から覆うトンネル部材６７が配置されている。具体的には、検査装置５のカバー１１と検査装置６のカバー１１との間にトンネル部材６７が配置されている。
【００８２】
また、図１に示すように、検査装置４と検査装置５との間には、検査装置４と検査装置５との間で、パネル搬送機構２３の移動機構３９を上側および前後方向の両側から覆うトンネル部材６８が配置され、検査装置６と検査装置７との間には、検査装置６と検査装置７との間で、パネル搬送機構２５の移動機構３９を上側および前後方向の両側から覆うトンネル部材６９が配置されている。具体的には、検査装置３、４のカバー１１と検査装置５のカバー１１との間にトンネル部材６８が配置され、検査装置６のカバー１１と検査装置７のカバー１１との間にトンネル部材６９が配置されている。
【００８３】
また、検査装置７とパネル排出部１４との間には、検査装置７とパネル排出部１４との間で、パネル搬送機構２６の移動機構３９を上側および前後方向の両側から覆うトンネル部材７０が配置され、パネル収容部１３と検査装置３との間には、パネル搬送機構２１の移動機構３９を上側および前後方向の両側から覆うトンネル部材７１が配置されている。具体的には、検査装置７のカバー１１とパネル排出部１４のカバーとの間にトンネル部材７０が配置され、パネル収容部１３のカバーと検査装置３、４のカバー１１との間にトンネル部材７１が配置されている。
【００８４】
トンネル部材６７〜７１は、左右方向の両側と下側とが開口する角溝状に形成されている。トンネル部材６７〜７１は、２本のレール５６も上側および前後方向の両側から覆っている。トンネル部材６７の左端は、検査装置５のカバー１１の内部に配置され、トンネル部材６７の右端は、検査装置６のカバー１１の内部に配置されている。トンネル部材６８の左端は、検査装置３、４のカバー１１の内部に配置され、トンネル部材６８の右端は、検査装置５のカバー１１の内部に配置されている。
【００８５】
トンネル部材６９の左端は、検査装置６のカバー１１の内部に配置され、トンネル部材６９の右端は、検査装置７のカバー１１の内部に配置されている。トンネル部材７０の左端は、検査装置７のカバー１１の内部に配置され、トンネル部材７０の右端は、パネル排出部１４のカバーの内部に配置されている。トンネル部材７１の左端は、パネル収容部１３のカバーの内部に配置され、トンネル部材７１の右端は、検査装置３、４のカバー１１の内部に配置されている。
【００８６】
左右方向におけるトンネル部材６７〜７０の一端側には、トンネル部材６７〜７０の一端側の一部を塞ぐためのシャッター部材７３が配置されている。本形態では、シャッター部材７３は、トンネル部材６７、６８、７０の右側と、トンネル部材６９の左側とに配置されている。シャッター部材７３は、シャッター部材７３を移動させるシャッター駆動機構に連結されている。シャッター駆動機構は、シャッター部材７３がトンネル部材６７〜７０の一端側の一部を塞ぐ閉鎖位置と、シャッター部材７３がトンネル部材６７〜７０の一端側を開放する開放位置との間でシャッター部材７３を移動させる。
【００８７】
検査装置５において液晶パネル２の点灯検査が行われるときには、トンネル部材６７の右側に配置されるシャッター部材７３がトンネル部材６７の右端側の一部を塞ぐとともに、トンネル部材６８の右側に配置されるシャッター部材７３がトンネル部材６８の右端側の一部を塞ぐ。また、検査装置６において液晶パネル２の点灯検査が行われるときには、トンネル部材６７の右側に配置されるシャッター部材７３がトンネル部材６７の右端側の一部を塞ぐとともに、トンネル部材６９の左側に配置されるシャッター部材７３がトンネル部材６９の左端側の一部を塞ぎ、検査装置７において液晶パネル２の点灯検査が行われるときには、トンネル部材６９の左側に配置されるシャッター部材７３がトンネル部材６９の左端側の一部を塞ぐとともに、トンネル部材７０の右側に配置されるシャッター部材７３がトンネル部材６９の右端側の一部を塞ぐ。
【００８８】
本形態では、検査装置５にとって、検査装置４および検査装置６は、点灯検査装置である検査装置５に左右方向で隣接する点灯検査隣接装置である。また、検査装置６にとっては、検査装置５および検査装置７は、点灯検査装置である検査装置６に左右方向で隣接する点灯検査隣接装置である。また、検査装置７にとっては、検査装置６およびパネル排出部１４は、点灯検査装置である検査装置７に左右方向で隣接する点灯検査隣接装置である。
【００８９】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、検査装置３〜７へのカセット８の搬入時に、カセット載置部３７に載置されたカセット８がカセット載置部９よりも上側に配置された状態で、移動機構３９がカセット載置部９の上方までカセット載置部３７に載置されたカセット８を移動させた後、昇降機構３８がカセット載置部３７を降下させてカセット載置部９にカセット８を載置している。また、本形態では、検査装置３〜７からのカセット８の搬出時に、カセット載置部９に載置されたカセット８の下側に配置されるカセット載置部３７を昇降機構３８がカセット載置部９の上側まで上昇させてカセット載置部３７にカセット８を載置した後、移動機構３９がカセット載置部３７を移動させている。
【００９０】
そのため、本形態では、上述の特許文献１に記載された搬入機構および搬出機構が設置されていなくても、液晶パネル２を検査装置３〜７に搬入することが可能になるとともに、液晶パネル２を検査装置３〜７から搬出することが可能になる。したがって、本形態では、液晶パネル２を搬送するための構成を従来よりも簡素化することが可能になる。
【００９１】
本形態では、パネル搬送機構２１のカセット載置部３７とパネル搬送機構２２のカセット載置部３７とが前後方向において同じ位置に配置されているが、パネル搬送機構２１の移動機構３９は、カセット載置部３７の後ろ側に配置され、パネル搬送機構２２の移動機構３９は、カセット載置部３７の前側に配置されている。そのため、本形態では、左右方向において検査装置３のカセット載置部９が配置された位置までパネル搬送機構２１の移動機構３９によってカセット載置部３７を移動させることが可能になっており、かつ、左右方向において検査装置３のカセット載置部９が配置された位置までパネル搬送機構２２の移動機構３９によってカセット載置部３７を移動させることが可能になっていても、パネル搬送機構２１の移動機構３９とパネル搬送機構２２の移動機構３９との干渉を防止することが可能になる。
【００９２】
同様に、本形態では、パネル搬送機構２３の移動機構３９が、カセット載置部３７の後ろ側に配置され、パネル搬送機構２４の移動機構３９が、カセット載置部３７の前側に配置され、パネル搬送機構２５の移動機構３９が、カセット載置部３７の後ろ側に配置され、パネル搬送機構２６の移動機構３９が、カセット載置部３７の前側に配置されているため、パネル搬送機構２２の移動機構３９とパネル搬送機構２３の移動機構３９との干渉、パネル搬送機構２３の移動機構３９とパネル搬送機構２４の移動機構３９との干渉、パネル搬送機構２４の移動機構３９とパネル搬送機構２５の移動機構３９との干渉、および、パネル搬送機構２５の移動機構３９とパネル搬送機構２６の移動機構３９との干渉を防止することが可能になる。
【００９３】
本形態では、パネル搬送機構２２は、カセット８を検査装置３から搬出するパネル搬出機構であるとともに、カセット８を検査装置４に搬入するパネル搬入機構であり、パネル搬送機構２２によって、検査装置３からカセット８の搬出と検査装置４へのカセット８の搬入とが行われている。そのため、本形態では、検査システム１の構成を簡素化することが可能になる。
【００９４】
同様に、本形態では、パネル搬送機構２３が、カセット８を検査装置４から搬出するパネル搬出機構であるとともに、カセット８を検査装置５に搬入するパネル搬入機構であり、パネル搬送機構２４が、カセット８を検査装置５から搬出するパネル搬出機構であるとともに、カセット８を検査装置６に搬入するパネル搬入機構であり、パネル搬送機構２５が、カセット８を検査装置６から搬出するパネル搬出機構であるとともに、カセット８を検査装置７に搬入するパネル搬入機構であるため、検査システム１の構成を簡素化することが可能になる。
【００９５】
本形態では、検査装置４と検査装置５との間に、パネル搬送機構２３の移動機構３９を上側および前後方向の両側から覆うトンネル部材６８が配置され、検査装置５と検査装置６との間に、パネル搬送機構２４の移動機構３９を上側および前後方向の両側から覆うトンネル部材６７が配置され、検査装置６と検査装置７との間に、パネル搬送機構２５の移動機構３９を上側および前後方向の両側から覆うトンネル部材６９が配置され、検査装置７とパネル排出部１４との間に、パネル搬送機構２６の移動機構３９を上側および前後方向の両側から覆うトンネル部材７０が配置されている。
【００９６】
そのため、本形態では、点灯検査装置である検査装置５〜７の内部に、検査装置５〜７の外部からの光が入り込むのをトンネル部材６７〜７０によって抑制することが可能になる。すなわち、液晶パネル２の点灯検査時に暗室となる検査装置５〜７の内部に、検査装置５〜７の外部からの光が入り込むのを抑制することが可能になる。したがって、本形態では、検査装置５〜７において、液晶パネル２の適切な点灯検査を行うことが可能になる。
【００９７】
本形態では、左右方向におけるトンネル部材６７、６８の一端側に、トンネル部材６７、６８の一端側の一部を塞ぐためのシャッター部材７３が配置されており、検査装置５において液晶パネル２の点灯検査が行われるときには、トンネル部材６７、６８の一端側の一部をシャッター部材７３が塞いでいる。そのため、本形態では、検査装置４、６での液晶パネル２の検査のタイミングと、検査装置５での液晶パネル２の検査のタイミングとがずれても、点灯検査を行っている検査装置５の内部に検査装置４、６からの光が入り込むのを抑制することが可能になる。
【００９８】
また、本形態では、左右方向におけるトンネル部材６７、６９の一端側にシャッター部材７３が配置されており、検査装置６において液晶パネル２の点灯検査が行われるときには、トンネル部材６７、６９の一端側の一部をシャッター部材７３が塞いでいるため、検査装置５、７での液晶パネル２の検査のタイミングと、検査装置６での液晶パネル２の検査のタイミングとがずれても、点灯検査を行っている検査装置６の内部に検査装置５、７からの光が入り込むのを抑制することが可能になる。
【００９９】
また、本形態では、左右方向におけるトンネル部材６９、７０の一端側にシャッター部材７３が配置されており、検査装置７において液晶パネル２の点灯検査が行われるときには、トンネル部材６９、７０の一端側の一部をシャッター部材７３が塞いでいるため、検査装置６での液晶パネル２の検査のタイミングと、検査装置７での液晶パネル２の検査のタイミングとがずれても、点灯検査を行っている検査装置７の内部に検査装置６からの光が入り込むのを抑制することが可能になるとともに、検査装置７の内部にパネル排出部１４からの光が入り込むのを抑制することが可能になる。したがって、本形態では、検査装置５〜７において、液晶パネル２の適切な点灯検査を行うことが可能になる。
【０１００】
本形態では、カセット８に、カセット載置部９に対して水平方向でカセット８を位置決めするための２個の位置決め穴８ａが形成され、カセット載置部９は、位置決め穴８ａに挿入されてカセット載置部９に対して水平方向でカセット８を位置決めする２本の位置決めピン３０を備えている。また、本形態では、カセット８に、カセット載置部３７に対して水平方向でカセット８を位置決めするための２個の位置決め穴８ｂが形成され、カセット載置部３７は、位置決め穴８ｂに挿入されてカセット載置部３７に対して水平方向でカセット８を位置決めする２本の位置決めピン４２を備えている。そのため、本形態では、カセット載置部９とカセット載置部３７との間で精度良くカセット８を受け渡すことが可能になる。
【０１０１】
本形態では、支持フレーム４６に、レール５６上で転がる車輪５７と、レール５６を前後方向で挟む一対のガイドローラ５８とが取り付けられている。そのため、本形態では、カセット載置部３７に載置されるカセット８および液晶パネル２の重量が重くなっても、移動機構３９によって左右方向に移動するカセット載置部３７の移動状態を安定させることが可能になる。
【０１０２】
本形態では、液晶パネル２を位置合わせするときに液晶パネル２を吸着して把持するパネル把持部材６４がポリエーテルエーテルケトンで形成されるとともに、パネル把持部材６４の平面状のパネル吸着面６４ａに複数の吸引穴６４ｂ、６４ｃが形成されている。そのため、本形態では、液晶パネル２を位置合わせするときにゴム製の吸着パッドで液晶パネル２を把持する場合と比較して、パネル把持部材６４で液晶パネル２を把持する際、および、パネル把持部材６４で把持している液晶パネル２をパネル把持部材６４から離す際の、液晶パネル２のずれを抑制することが可能になる。したがって、本形態では、アライメント機構６３によって、液晶パネル２を精度良く位置合わせすることが可能になる。
【０１０３】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【０１０４】
上述した形態において、検査装置３〜７は、カセット載置部９を昇降させる昇降機構を備えていても良い。この場合には、昇降機構３８が不要になる。また、この場合には、昇降機構は、カセット載置部３７に載置されるカセット８がカセット載置部９よりも上側に配置される位置と、カセット載置部９に載置されるカセット８よりもカセット載置部３７が下側に配置される位置との間でカセット載置部９を昇降させる。
【０１０５】
また、この場合、検査装置３〜７へのカセット８の搬入時には、カセット載置部３７に載置されたカセット８がカセット載置部９よりも上側に配置されるように、カセット載置部９が下降した状態で、移動機構３９がカセット載置部９の上方までカセット載置部３７に載置されたカセット８を右方向へ移動させた後、カセット載置部９を上昇させて（すなわち、カセット載置部９に対してカセット載置部３７を相対的に降下させて）カセット載置部９にカセット８を載置する。
【０１０６】
また、この場合、検査装置３〜７からのカセット８の搬出時には、カセット載置部９に載置されたカセット８の下側にカセット載置部３７が配置されている状態でカセット載置部９をカセット載置部３７の下側まで降下させて（すなわち、カセット載置部９に載置されたカセット８の下側に配置されるカセット載置部３７をカセット載置部９の上側まで相対的に上昇させて）カセット載置部３７にカセット８を載置した後、移動機構３９がカセット載置部３７を右方向へ移動させる。
【０１０７】
上述した形態において、位置決め穴８ａに相当する位置決め穴がカセット載置部９に形成され、位置決めピン３０に相当する位置決めピンをカセット８が備えていても良い。また、上述した形態において、位置決め穴８ｂに相当する位置決め穴がカセット載置部３７に形成され、位置決めピン４２に相当する位置決めピンをカセット８が備えていても良い。
【０１０８】
上述した形態において、トンネル部材６７〜７１は、移動機構３９を下側から覆っていても良い。すなわち、トンネル部材６７〜７１は、移動機構３９を上下方向の両側および前後方向の両側から覆っていても良い。この場合には、トンネル部材６７〜７１は、たとえば、左右方向の両側が開口する四角筒状に形成されている。また、上述した形態において、カセット載置部３７に載置されるカセット８および液晶パネル２の重量が軽い場合には、検査システム１は、レール５６、車輪５７およびガイドローラ５８を備えていなくても良い。
【０１０９】
上述した形態において、パネル収容部１３は、カセット搬送機構６１を備えていなくも良い。この場合には、コンベヤ１６の左端部まで搬送された空のカセット８を作業員が検査装置３の左側まで運ぶ。また、作業員が空のカセット８に検査前の液晶パネル２を収容するのであれば、パネル収容部１３は、アライメント機構６３を備えていなくても良い。また、上述した形態において、パネル排出部１４は、カセット搬送機構６２を備えていなくても良い。この場合には、液晶パネル２が取り出された後の空のカセット８を作業員がコンベヤ１６の右端部まで運ぶ。
【０１１０】
上述した形態において、検査システム１が備える検査装置の数は、６個以上であっても良いし、４個以下であっても良い。また、検査システム１が備える検査装置の数が１個である場合には、パネル搬入機構によって検査装置に搬入されるカセット８の移動方向と、パネル搬出機構によって検査装置から搬出されるカセット８の移動方向とが逆方向になっていても良い。たとえば、パネル搬入機構によって検査装置に搬入されるカセット８の移動方向が右方向となっており、パネル搬出機構によって検査装置から搬出されるカセット８の移動方向が左方向となっていても良い。
【０１１１】
上述した形態において、パネル把持部材６４は、ポリエーテルエーテルケトン以外の材料で形成されていても良い。また、アライメント機構６３は、パネル把持部材６４に代えて、液晶パネル２を吸着して把持するゴム製の吸着パッドを備えていても良い。また、上述した形態では、検査システム１で検査される表示パネルは、液晶パネル２であるが、検査システム１で搬送される表示パネルは、液晶パネル２以外の表示パネルであっても良い。たとえば、検査システム１で搬送される表示パネルは、有機ＥＬパネルであっても良い。
【符号の説明】
【０１１２】
１  検査システム
２  液晶パネル（表示パネル）
３  検査装置（第１検査装置、最上流検査装置）
４  検査装置（第１検査装置、第２検査装置、点灯検査隣接装置）
５  検査装置（第１検査装置、第２検査装置、点灯検査装置、点灯検査隣接装置）
６  検査装置（第１検査装置、第２検査装置、点灯検査装置、点灯検査隣接装置）
７  検査装置（第２検査装置、点灯検査装置、点灯検査隣接装置、最下流検査装置）
８  カセット
８ａ  位置決め穴（第１位置決め穴）
８ｂ  位置決め穴（第２位置決め穴）
９  カセット載置部（装置側カセット載置部）
１３  パネル収容部
１４  パネル排出部（点灯検査隣接装置）
１５  検査装置群
２１  パネル搬送機構（パネル搬入機構）
２２  パネル搬送機構（パネル搬入機構、パネル搬出機構）
２３  パネル搬送機構（パネル搬入機構、パネル搬出機構）
２４  パネル搬送機構（パネル搬入機構、パネル搬出機構）
２５  パネル搬送機構（パネル搬入機構、パネル搬出機構）
２６  パネル搬送機構（パネル搬出機構）
３０  位置決めピン（第１位置決めピン）
３７  カセット載置部（可動側カセット載置部）
３８  昇降機構
３９  移動機構
４２  位置決めピン（第２位置決めピン）
５６  レール
５７  車輪
５８  ガイドローラ
６７〜７１  トンネル部材
６３  アライメント機構
６４  パネル把持部材
６４ａ  パネル吸着面
６４ｂ、６４ｃ  吸引穴
７３  シャッター部材
Ｘ  前後方向
Ｙ  左右方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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