(57)【要約】【課題】摩耗粉等のアクチュエータ内部への飛散を抑制する。【解決手段】過給機２４の過給圧制御用バルブ１９を駆動するアクチュエータは、モータ３６と、出力シャフト２６と、前記モータの回転を減速して前記出力シャフトに伝達する減速部３７と、を備え、前記減速部は、軸穴５３ｈを有する１つ以上のギヤ５３と、前記軸穴に挿入され、前記ギヤを回転可能に保持するシャフト６１と、前記シャフトの両端に、前記ギヤを挟むように設けられた壁部４１ｗ、４２ｗと、を有し、さらに、前記シャフトの外周よりも外側であって、前記軸穴の２つの端部および２つの前記壁部のうちの少なくとも１つに、摩耗粉または異物を滞留可能に保持する摩耗粉保持部７０を有する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータ（１０）であって、
モータ（３６）と、
出力シャフト（２６）と、
前記モータの回転を減速して前記出力シャフトに伝達する減速部（３７）と、
を備え、
前記減速部は、
軸穴（５３ｈ）を有する１つ以上のギヤ（５３）と、
前記軸穴に挿入され、前記ギヤを回転可能に保持するシャフト（６１）と、
前記シャフトの両端に、前記ギヤを挟むように設けられた壁部（４１ｗ、４２ｗ）と、
を有し、さらに、
前記シャフトの外周よりも外側であって、前記軸穴の２つの端部および２つの前記壁部のうちの少なくとも１つに、摩耗粉または異物を滞留可能に保持する摩耗粉保持部（７０）を有する、
アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載のアクチュエータであって、
前記ギヤの前記摩耗粉保持部における前記軸穴の開口面積は、前記摩耗粉保持部以外の場所における前記軸穴の開口面積よりも大きい、アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または２に記載のアクチュエータであって、
前記摩耗粉保持部における前記シャフトの軸と垂直な断面積は、前記摩耗粉保持部以外の場所における前記シャフトの軸と垂直な断面積よりも小さい、アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
前記摩耗粉保持部は、前記壁部に形成された凹部（４１ｄ、４２ｄ）により形成されている、アクチュエータ。
【請求項５】
請求項４に記載のアクチュエータであって、
前記ギヤは、前記シャフトに沿った方向に突出する突起部（５３ｅ）であって、前記摩耗粉保持部に侵入する突起部を有する
アクチュエータ。
【請求項６】
請求項４に記載のアクチュエータであって、
前記凹部は、前記シャフトに沿った方向に突出する突起部（４２ｃ）であって、前記摩耗粉保持部に侵入する突起部を有する、
アクチュエータ。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
前記摩耗粉保持部における前記ギヤの径方向の大きさ（Ｗ２）は、前記摩耗粉保持部以外の場所における前記シャフトと前記ギヤとの間の間隔（Ｗ１）よりも大きい、
アクチュエータ。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
前記摩耗粉保持部における前記シャフトに沿った方向の大きさ（Ｗ４）は、前記ギヤと前記壁部との間の間隔（Ｗ３）よりも大きい、
アクチュエータ。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
前記摩耗粉保持部における前記ギヤの径方向の大きさ（Ｗ２）は、前記壁部と前記シャフトとの間隔（Ｗ５）よりも大きい、
アクチュエータ。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
前記壁部の一方は、前記シャフトを固定し、
前記壁部の他方は、前記シャフトを固定せずに位置決めする位置決め部（４２ｈ）を有する、
アクチュエータ。
【請求項１１】
請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
前記減速部を格納するハウジング部（４１）と、
前記ハウジング部に蓋をするケース部（４２）と、
を備え、
前記壁部は、前記ハウジング部および前記ケース部に設けられる、アクチュエータ。
【請求項１２】
請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
前記ギヤと前記シャフトとの嵌合部に転がり軸受け（７５）を備え、
前記転がり軸受けは、外輪（７５ｏ）が前記ギヤに固定される構成または内輪（７５ｉ）が前記シャフトに固定される構成の少なくとも一方の構成を備える、アクチュエータ。
【請求項１３】
請求項１２に記載のアクチュエータであって、
前記転がり軸受けの前記外輪が前記ギヤに固定され、かつ、前記内輪が前記シャフトに固定されている、アクチュエータ。
【請求項１４】
請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
前記ギヤの回転位置を検出するための磁束を発生させる磁気回路部（６６、６７）と、
前記磁束を検出する磁束検出部（６５）と、
を備える、アクチュエータ。
【請求項１５】
請求項１４に記載のアクチュエータであって、
前記減速部の１つ以上の前記ギヤの前記軸穴と、前記シャフトのうちの１つ以上が金属で構成されている、アクチュエータ。
【請求項１６】
請求項１から請求項１５までのいずれか一項に記載のアクチュエータであって、
前記アクチュエータは、過給機（２４）の過給圧制御用バルブ（１９）を駆動するアクチュエータである、
アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、減速機構を有するアクチュエータが開示されている。このアクチュエータは、従動歯車と固定軸との嵌合部に、嵌合部において発生した異物、たとえば従動歯車の摩耗粉、あるいは外部より嵌合部に侵入した異物が滞留可能な空間として、従動歯車の中心孔の内周面に螺旋状の溝を設けている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２１４１９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のアクチュエータでは、従動歯車の中心孔の内周面に設けられた螺旋状の溝と、シャフトとが線接触するため、接触部分における面圧が高くなり、従動歯車の中心孔の内周面あるいはシャフトの摩耗が促進される虞があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一形態によれば、過給圧制御用バルブ（１９）を駆動するアクチュエータ（１０）が提供される。このアクチュエータは、モータ（３６）と、出力シャフト（２６）と、前記モータの回転を減速して前記出力シャフトに伝達する減速部（３７）と、を備え、前記減速部は、軸穴（５３ｈ）を有する１つ以上のギヤ（５３）と、前記軸穴に挿入され、前記ギヤを回転可能に保持するシャフト（６１）と、前記シャフトの両端に、前記ギヤを挟むように設けられた壁部（４１ｗ、４２ｗ）と、を有し、さらに、前記シャフトの外周よりも外側であって、前記軸穴の２つの端部および２つの前記壁部のうちの少なくとも１つに、摩耗粉または異物を滞留可能に保持する摩耗粉保持部（７０）を有する。この形態によれば、シャフトの外周よりも外側であって、軸穴の２つの端部および２つの壁部のうちの少なくとも１つに、摩耗粉または異物を滞留可能に保持する摩耗粉保持部を有するので、摩耗粉等のアクチュエータ内部への飛散を抑制できる。また、シャフトやギヤの内周面の摩耗を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１実施形態のアクチュエータが適用されたエンジンの吸排気部の概略図である。
【図２】過給機の説明図である。
【図３】アクチュエータの上面図である。
【図４】減速部の各ギヤを示す説明図である。
【図５】図３のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】図３のＶＩ−ＶＩ線断面図である。
【図７】第１実施形態の摩耗粉保持部を示す説明図である。
【図８】第２実施形態の摩耗粉保持部を示す説明図である。
【図９】第３実施形態の摩耗粉保持部を示す説明図である。
【図１０】第４実施形態の摩耗粉保持部を示す説明図である。
【図１１】第５実施形態の摩耗粉保持部を示す説明図である。
【図１２】第６実施形態の摩耗粉保持部を示す説明図である。
【図１３】第７実施形態の摩耗粉保持部を示す説明図である。
【図１４】第８実施形態の摩耗粉保持部を示す説明図である。
【図１５】第９実施形態の摩耗粉保持部を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
・第１実施形態：
図１に示すように、第１実施形態によるアクチュエータ１０は、車両走行用の動力源であるエンジン１１に適用されている。
【０００８】
エンジン１１には、吸気をエンジン１１の気筒内へ導く吸気通路１２と、気筒内で発生した排ガスを大気中に排出する排気通路１３とが設けられている。吸気通路１２の途中には、過給機２４の吸気コンプレッサ１４のコンプレッサホイール１４ａと、スロットルバルブ１５とが設けられている。コンプレッサホイール１４ａは、エンジン１１への吸気を過給する。スロットルバルブ１５は、車両のアクセルペダル（図示せず）の踏み込み量に応じてエンジン１１に供給される吸気量の調整を行う。
【０００９】
排気通路１３の途中には、過給機２４の排気タービン１６のタービンホイール１６ａと、排ガスの浄化を行う触媒１７とが設けられている。タービンホイール１６ａは、回転軸３０によりコンプレッサホイール１４ａに接続されている。すなわち、エンジン１１の排気エネルギーでタービンホイール１６ａを回転させ、コンプレッサホイール１４ａを回転させる。触媒１７はモノリス構造を採用する周知な三元触媒であり、排ガスにより活性化温度に昇温されることで排ガス中に含まれる有害物質を酸化作用と還元作用により浄化する。
【００１０】
排気通路１３には、タービンホイール１６ａと並列に、タービンホイール１６ａを迂回して排ガスを流すバイパス通路１８が設けられている。このバイパス通路１８には、過給圧制御用バルブであるウェイストゲートバルブ１９が設けられている。ウェイストゲートバルブ１９が開弁すると、エンジン１１からの排ガスの一部は、バイパス通路１８を通って触媒１７へ直接導かれる。ウェイストゲートバルブ１９は、エンジン１１からの排ガスの圧力がウェイストゲートバルブ１９の開弁圧力を超えたときに開弁する。また、ウェイストゲートバルブ１９の開閉は、ＥＣＵ（エンジン・コントロール・ユニット）２２によっても制御される。すなわち、ＥＣＵ２２は、アクチュエータ１０を駆動し、アクチュエータ１０とウェイストゲートバルブ１９との間に設けられたリンク機構２５によってウェイストゲートバルブ１９の開閉を実行する。
【００１１】
図２に示すように、過給機２４は、排気タービン１６と、吸気コンプレッサ１４と、アクチュエータ１０と、を備える。排気タービン１６は、エンジン１１から排出された排ガスによって回転駆動されるタービンホイール１６ａ（図１）と、このタービンホイール１６ａを収容する渦巻形状のタービンハウジング１６ｂと、を備えている。吸気コンプレッサ１４は、タービンホイール１６ａの回転力を受けて回転するコンプレッサホイール１４ａ（図１）と、このコンプレッサホイール１４ａを収容する渦巻形状のコンプレッサハウジング１４ｂとを備えている。タービンホイール１６ａとコンプレッサホイール１４ａとは、回転軸３０（図１）により接続されている。
【００１２】
タービンハウジング１６ｂには、タービンホイール１６ａの他、バイパス通路１８が設けられている。バイパス通路１８は、タービンハウジング１６ｂに流入した排ガスをタービンホイール１６ａに供給せずにタービンハウジング１６ｂの排気出口へ直接導く。このバイパス通路１８は、ウェイストゲートバルブ１９により開閉される。ウェイストゲートバルブ１９は、タービンハウジング１６ｂの内部でバルブ軸２０により回動可能に支持されているスイングバルブである。ウェイストゲートバルブ１９は、排ガスの圧力がウェイストゲートバルブ１９の開弁圧力を超えると開弁するが、アクチュエータ１０によっても駆動され、開閉する。
【００１３】
アクチュエータ１０を格納するハウジング３５は、過給機２４の排気タービン１６から離れた吸気コンプレッサ１４側に取り付けられている。こうすれば、排ガスの熱の影響を回避できる。過給機２４には、アクチュエータ１０の出力をウェイストゲートバルブ１９に伝達するためのリンク機構２５（図１）が設けられている。本実施形態では、リンク機構２５として、アクチュエータレバー２７と、ロッド２８と、バルブレバー２９と、を備える４節リンク機構を採用している。アクチュエータレバー２７は、アクチュエータ１０の出力シャフト２６に接続され、アクチュエータ１０によって回動操作される。バルブレバー２９は、バルブ軸２０に結合される。ロッド２８は、アクチュエータレバー２７に付与される回動トルクをバルブレバー２９に伝える。
【００１４】
アクチュエータ１０は、マイクロコンピュータを搭載するＥＣＵ２２により動作が制御される。具体的に、ＥＣＵ２２は、エンジン１１の高回転時などにウェイストゲートバルブ１９の開度を調整するようにアクチュエータ１０を制御して過給機２４による過給圧を制御する。また、ＥＣＵ２２は、例えば冷間始動直後など、触媒１７の温度が活性化温度に達していない時には、ウェイストゲートバルブ１９を全開になるようにアクチュエータ１０を制御して触媒１７の暖機を行う。これにより、タービンホイール１６ａに熱を奪われていない高温の排ガスを触媒１７へ直接導くことができ、触媒１７を短時間で暖機できる。
【００１５】
次に、アクチュエータ１０について、図３〜図６を参照して説明する。アクチュエータ１０は、吸気コンプレッサ１４に取り付けられるハウジング３５に格納されている。図３に示すように、ハウジング３５は、第１ハウジング部４１および第２ハウジング部４２を有している。第２ハウジング部４２は、「ケース４２」とも呼ぶ。第１ハウジング部４１及び第２ハウジング部４２は、例えばアルミニウム、アルミニウム合金、鉄鋼等の金属材料で形成されている。なお、第１ハウジング部４１及び第２ハウジング部４２は、樹脂で形成されていてもよい。また、第１ハウジング部４１及び第２ハウジング部４２は、ダイキャスト、重力鋳造、射出成形、プレスのいずれの製法で形成されてもよい。第２ハウジング部４２は、締結部材４３により第１ハウジング部４１に締結されている。第２ハウジング部４２からは、出力シャフト２６が突き出ており、アクチュエータレバー２７に接続されている。
【００１６】
図４、図５に示すように、第１ハウジング部４１は、第２ハウジング部４２と共に収容空間４４を形成している。モータ３６は、収容空間４４に収容されている。具体的に、モータ３６は、第１ハウジング部４１に形成されたモータ挿入穴４６に挿入され、スクリュ４７により第１ハウジング部４１に固定されている。モータ３６とモータ挿入穴４６の底面との間にはウェーブワッシャ４５が設置されている。ウェーブワッシャ４５は、備えられなくても良い。モータ３６は、形式を問わず、例えば周知の直流モータであっても良いし、周知のステッピングモータ等であっても良い。
【００１７】
図４、図６に示すように、アクチュエータ１０は、減速部３７を有する。減速部３７は、モータ３６の回転を減速して出力シャフト２６に伝達する平行軸式の減速機であり、複数のギヤを有している。本実施形態では、複数のギヤとして、ピニオンギヤ５１、第１中間ギヤ５２、第２中間ギヤ５３および出力ギヤ５４を有している。
【００１８】
ピニオンギヤ５１は、モータ３６のモータ軸５５に固定されている。ピニオンギヤ５１は、金属で形成された金属ギヤである。金属としては、例えば鉄系焼結金属が用いられる。
【００１９】
第１中間ギヤ５２は、第１大径外歯部５７と第１小径外歯部５８とを有する複合ギヤであり、第１金属シャフト５６により回転自在に支持されている。第１大径外歯部５７は、大径ギヤであり、モータ３６のモータ軸５５に固定されたピニオンギヤ５１に噛み合っている。第１小径外歯部５８は、第１大径外歯部５７と比べて小径な小径ギヤである。第１大径外歯部５７と第１小径外歯部５８は、いずれも金属で形成された金属ギヤである。同様に、金属としては、例えば鉄系焼結金属が用いられる。第１大径外歯部５７は、イナーシャを低減するために、複数の開口５７ｏを有する。
【００２０】
第２中間ギヤ５３は、第２大径外歯部６２と第２小径外歯部６３とを有する複合ギヤであり、第２金属シャフト６１により回転自在に支持されている。第２大径外歯部６２は、大径ギヤであり第１中間ギヤ５２の第１小径外歯部５８に噛み合っている。第２大径外歯部６２は、金属で形成されている金属ギヤである。同様に、金属としては、例えば鉄系焼結金属が用いられる。第２小径外歯部６３は、第２大径外歯部６２と比べて小径な小径ギヤであり、樹脂で形成されている樹脂ギヤである。樹脂としては、例えばポリアミド樹脂、ナイロン樹脂、ポリアセタール樹脂が使用可能である。樹脂ギヤは、金属ギヤに比べて、イナーシャが小さい。そのため、エンジン１１の排気圧の脈動からウェイストゲートバルブ１９、バルブレバー２９、ロッド２８、アクチュエータレバー２７、出力シャフト２６、出力ギヤ５４を介して第２中間ギヤ５３に大きな衝撃荷重が掛かった場合、第２中間ギヤ５３を含め、その上流側（モータ側）のギヤ、例えば、第１中間ギヤ５２やピニオンギヤ５１にもその衝撃を伝達され難くできる。さらに出力ギヤ５４を樹脂ギヤとしているので、出力ギヤ５４に大きな衝撃荷重が掛かった場合、出力ギヤを含めその上流側（モータ側）のギヤ、例えば、第２中間ギヤ５３、第１中間ギヤ５２やピニオンギヤ５１にもその衝撃を伝達され難くできる。
【００２１】
出力ギヤ５４は、第２小径外歯部６３に噛み合っており、出力ギヤ５４の中心軸ＡＸ３に沿って、出力シャフト２６が接続され、固定されている。出力ギヤ５４は、樹脂で形成された樹脂ギヤである。従って、第１実施形態においては、上流側のピニオンギヤ５１から第２大径外歯部６２までが金属ギヤであり、下流側の第２小径外歯部６３から出力ギヤ５４までが樹脂ギヤである。すなわち、減速部３７が備えるギヤは、出力ギヤ５４と、出力ギヤ５４に噛み合う複合ギヤである第２中間ギヤ５３の第２小径外歯部６３と、を除いたギヤが金属ギヤである。
【００２２】
図５、図６に示すように、アクチュエータ１０は、モータ３６と出力シャフト２６と減速部３７とを格納する第１ハウジング部４１と、第１ハウジング部４１に蓋をするケースである第２ハウジング部４２と、を備えており、第２金属シャフト６１の一方の端部は第１ハウジング部４１に固定され、他方の端部は第２ハウジング部４２の位置決め部４２ｈで支持されている。そのため、第２金属シャフト６１の一方の端部を第１ハウジング部４１に固定し、他方の端部を支持しない場合に比べて、モータ３６の駆動や、ウェイストゲートバルブ１９からの脈動に起因する振動・トルクによって第２金属シャフト６１が傾くことを低減できる。例えば、ウェイストゲートバルブ１９からの脈動に起因する振動・トルクによって、第２金属シャフト６１が傾き、組み付けられている第２中間ギヤ５３も傾くと、や第２大径外歯部６２や第２小径外歯部６３も傾く。このとき、第２大径外歯部６２と第１小径外歯部５８との噛み合い接触では、歯幅方向の一部のみが接触しその一部の面圧が高くなり、第２大径外歯部６２と第１小径外歯部５８に偏摩耗が生じるおそれがある。第２小径外歯部６３と出力ギヤ５４の噛み合いも同様であり、第２小径外歯部６３と出力ギヤ５４に偏摩耗が生じるおそれがある。一方、第２金属シャフト６１が傾いたが第２中間ギヤ５３が傾かない場合、第２金属シャフト６１と第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈとが平行で無くなり、第２金属シャフト６１と軸穴５３ｈの内面が偏摩耗するおそれがある。第２金属シャフト６１の一方の端部を第１ハウジング部４１ハウジングに固定し、他方の端部を第２ハウジング部４２の位置決め部４２ｈで支持することで、このような偏摩耗を抑制できる。
【００２３】
出力ギヤ５４には、磁束発生部である磁石６６、６７と、磁束伝達部であるヨーク６８、６９が設けられている。磁石６６、６７およびヨーク６８、６９は、出力シャフト２６の軸方向視において弧状の閉磁気回路を形成する磁気回路部６４を構成している。磁気回路部６４は、出力ギヤ５４および出力シャフト２６と一体に回動する。
【００２４】
出力ギヤ５４の磁気回路部６４の閉磁気回路の内側には、磁石６６、６７の磁束を検出する磁束検出部６５が配置されている。磁束検出部６５は、例えばホールＩＣを用いて構成されている。磁気回路部６４および磁束検出部６５は、出力シャフト２６の回転角度を検出する回転角センサ３９として機能する。磁気回路部６４および磁束検出部６５の基本的な用途や機能は、特開２０１４−１２６５４８号に開示されているものと同様である。回転角センサ３９により検出される出力シャフト２６の回転角は、ＥＣＵ２２（図１参照）に出力される。なお、図６に示す磁気回路部６４および磁束検出部６５の構成は一例であり、他の構成であってもよい。
【００２５】
図６に示すように、出力シャフト２６は、第１ハウジング部４１に設けられた軸受４８と、第２ハウジング部４２に設けられた軸受４９とにより回転自在に支持されている。出力シャフト２６の一端部は、ハウジング３５の第２ハウジング部４２から外に延び出ている。アクチュエータレバー２７は、第２ハウジング部４２の外で出力シャフト２６に固定されている。
【００２６】
図６、図７に示すように、第１中間ギヤ５２の第１金属シャフト５６に沿った方向の両端部には、摩耗粉または異物を滞留可能に保持する摩耗粉保持部７０が設けられ、第２中間ギヤ５３の第２金属シャフト６１に沿った方向の両端部には摩耗粉または異物を滞留可能に保持する摩耗粉保持部７０が設けられている。以下、第２中間ギヤ５３の第２金属シャフト６１に沿った方向の両端部の摩耗粉保持部７０を例にとって説明するが、第１中間ギヤ５２の第１金属シャフト５６に沿った方向の両端部の摩耗粉保持部７０についても同様の構成を採用可能である。
【００２７】
図７に示すように、第２中間ギヤ５３は、軸穴５３ｈを備えている。軸穴５３ｈには、第２金属シャフト６１が貫通している。第２金属シャフト６１の一方の端部は、第１ハウジング部４１に固定され、他方の端部は、第２ハウジング部４２に支持されている。ここで、第１ハウジング部４１の第２中間ギヤ５３側の面を「第１壁部４１ｗ」と呼び、第２ハウジング部４２の第２中間ギヤ５３側の面を「第２壁部４２ｗ」と呼ぶ。第２中間ギヤ５３は、第１壁部４１ｗと第２壁部４２ｗに挟まれており、第２金属シャフト６１回りの回転が可能である。
【００２８】
第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈの２つの端部には、第２金属シャフト６１から離れるように凹む円筒形の凹部５３ｄが形成されており、第２金属シャフト６１と接触していない。一方、軸穴５３ｈの端部を除いた中心部は、第２金属シャフト６１と嵌合する嵌合部５３ｃを形成している。この凹部５３ｄにより形成された略円筒形の空間が摩耗粉８０や異物を保持する摩耗粉保持部７０として機能する。すなわち、摩耗粉保持部７０は、第２金属シャフト６１の外周よりも外側であって、軸穴５３ｈの端部に設けられている。
【００２９】
以上、第１実施形態によれば、第２金属シャフト６１の外周よりも外側であって、軸穴５３ｈの端部に摩耗粉保持部７０を備えるので、摩耗粉保持部７０に摩耗粉８０等を保持し、摩耗粉８０等のアクチュエータ１０内部への飛散を抑制できる。
【００３０】
また、第１実施形態によれば、摩耗粉保持部７０は、第２金属シャフト６１の外周よりも外側であって、軸穴５３ｈの端部に設けられ、軸穴５３ｈの端部以外の場所、すなわち、第２中間ギヤ５３の第２金属シャフト６１と接する嵌合部５３ｃの中間に設けられていない。その結果、摩耗粉保持部７０と軸穴５３ｈの境界の角の数を無くすことができる。このような角による接触は、第２中間ギヤ５３の回転により、周方向の線接触となり、面接触に比べると、第２金属シャフト６１や軸穴５３ｈの内周面を摩耗させやすい。第１実施形態によれば、摩耗粉保持部７０と軸穴５３ｈの境界の角の数を無くし、第２金属シャフト６１や、第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈの内周面の摩耗を抑制できる。
【００３１】
第１実施形態によれば、第２金属シャフト６１や、第１壁部４１ｗ、第２壁部４２ｗの構成について、摩耗粉保持部７０を設けない場合と同じ構成を採用できる。すなわち、構成を簡素化できる。
【００３２】
第１実施形態によれば、第２中間ギヤ５３は、摩耗粉保持部７０に対応する位置の材料が削除されており、軽量化している。したがって、第２中間ギヤ５３のイナーシャを低減できる。
【００３３】
第１実施形態によれば、第２中間ギヤ５３を第２金属シャフト６１に組み付けるときに、凹部５３ｄを誘い形状として利用できる。なお、上記説明では、凹部５３ｄは、略円筒形状として説明したが、第１壁部４１ｗ、第２壁部４２ｗ側が広くなった円錐台形状であってもよい。
【００３４】
・第２実施形態：
図８に示すように、第２実施形態では、第２金属シャフト６１に沿った方向の両端よりも内側の中央部６１ｃにおける第２金属シャフト６１の直径ｄ２が、中央部６１ｃを除いた両端部分の直径ｄ１よりも大きくなっている。第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈは、第２金属シャフト６１の中央部６１ｃを収納できる内径を有している。中央部６１ｃよりも第２金属シャフト６１に沿った方向の両端側において、第２金属シャフト６１と第２中間ギヤ５３とは、接しておらず、略円筒形の空間が形成されている。この略円筒形の空間が摩耗粉８０や異物を保持する摩耗粉保持部７１として機能する。すなわち、摩耗粉保持部７１は、第２金属シャフト６１の外周よりも外側であって、軸穴５３ｈの端部に設けられている。
【００３５】
以上、第２実施形態によれば、第１実施形態と同様に、第２金属シャフト６１の外周よりも外側であって、軸穴５３ｈの端部に摩耗粉保持部７１を備えるので、摩耗粉保持部７１に摩耗粉８０等を保持し、摩耗粉８０等のアクチュエータ１０内部への飛散を抑制できる。
【００３６】
また、第２実施形態によれば、第１実施形態と同様に、摩耗粉保持部７１は、第２中間ギヤ５３の第２金属シャフト６１と接する嵌合部５３ｃの中間に設けられていない。その結果、摩耗粉保持部７０と軸穴５３ｈの境界の角の数を無くすことができる。このような角による接触は、面接触に比べると、接触部を摩耗させやすい。第２実施形態によれば、第１実施形態と同様に、摩耗粉保持部７０と軸穴５３ｈの境界の角の数を無くし、第２金属シャフト６１や、第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈの内周面の摩耗を抑制できる。
【００３７】
第２実施形態によれば、第２中間ギヤ５３や、第１壁部４１ｗ、第２壁部４２ｗの構成について、摩耗粉保持部７１を設けない場合と同じ構成を採用できる。すなわち、構成を簡素化できる。
【００３８】
第２実施形態によれば、摩耗粉保持部７１における第２金属シャフト６１の軸と垂直な断面積は、摩耗粉保持部７１以外の場所における第２金属シャフト６１の軸と垂直な断面積より小さいので、第２金属シャフト６１に第２中間ギヤ５３を組み付けるときに、第２中間ギヤ５３の開口に第２金属シャフト６１を誘い込みやすい。
【００３９】
・第３実施形態：
図９に示すように、第３実施形態では、第１ハウジング部４１の第１壁部４１ｗは、第２金属シャフト６１の回りに円柱形の凹部４１ｄを備え、第２ハウジング部４２の第２壁部４２ｗは、第２金属シャフト６１の回りに円柱形の凹部４２ｄを備える。凹部４１ｄ、４２ｄでは、円周面である内周面４１ｓ、４２ｓと第２金属シャフト６１とは接しておらず、略円筒形の空間が形成されている。この略円筒形の空間が摩耗粉８０や異物を保持する摩耗粉保持部７２として機能する。すなわち、摩耗粉保持部７２は、第２金属シャフト６１と第１壁部４１ｗとの嵌合部および第２金属シャフト６１と第２壁部４２ｗとの嵌合部に、設けられている。なお、同様に、第２金属シャフト６１と第２壁部４２ｗとの嵌合部にも、摩耗粉保持部７２が設けられている。摩耗粉保持部７２においては、第２金属シャフト６１と第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈの内周面とは接触していない。
【００４０】
以上、第３実施形態によれば、摩耗粉保持部７２は、第２金属シャフト６１と第１壁部４１ｗ、第２壁部４２ｗとの嵌合部に、設けられているので、摩耗粉保持部７２に摩耗粉８０等を保持し、摩耗粉８０等のアクチュエータ１０内部への飛散を抑制できる。
【００４１】
第３実施形態によれば、摩耗粉保持部７２においては、第２金属シャフト６１と第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈの内周面とは接触していない。そのため、第２中間ギヤ５３が第２金属シャフト６１回りに回転しても、摩耗粉保持部７２の角によって、第２金属シャフト６１や、第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈの内周面が摩耗し難い。すなわち、第２金属シャフト６１や、第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈの内周面の摩耗を抑制できる。
【００４２】
第３実施形態によれば、第２金属シャフト６１に第２中間ギヤ５３を組み付けるときに、第２中間ギヤ５３の開口に第２金属シャフト６１を誘い込みやすい。
【００４３】
第３実施形態によれば、第２中間ギヤ５３や、第２金属シャフト６１の構成の構成について、摩耗粉保持部７１を設けない場合と同じ構成を採用できる。すなわち、構成を簡素化できる。また、第２金属シャフト６１の第２中間ギヤ５３と接する嵌合部６１ｃの長さを長くできる。その結果、第２金属シャフト６１に対して第２中間ギヤ５３を傾き難くできる。その結果、第２大径外歯部６２と第１小径外歯部５８の偏摩耗、あるいは、第２金属シャフト６１と軸穴５３ｈの内面の偏摩耗を抑制できる。
【００４４】
・第４実施形態：
図１０に示す第４実施形態は、第２実施形態で説明した摩耗粉保持部７１と、第３実施形態で説明した摩耗粉保持部７２との両方の摩耗粉保持部合わせた形状の摩耗粉保持部７３を備える。したがって、第４実施形態においても、第１実施形態、第３実施形態と同様に、摩耗粉保持部７３に摩耗粉８０等を保持し、摩耗粉８０等のアクチュエータ１０内部への飛散を抑制できる。また、第１実施形態と同様に、摩耗粉保持部７３と軸穴５３ｈの境界の角の数を無くし、第２金属シャフト６１や、第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈの内周面の摩耗を抑制できる。
【００４５】
以上の実施形態をまとめると、各実施形態は、軸穴５３ｈを有する第２中間ギヤ５３と、軸穴５３ｈに挿入され、第２中間ギヤ５３を回転可能に保持する第２金属シャフト６１と、第２金属シャフト６１の両端に、第２中間ギヤ５３を挟むように設けられた第１壁部４１ｗ、第２壁部４２ｗと、を備える。各実施形態は、第２金属シャフト６１の外周よりも外側であって、軸穴５３ｈの端部および第１壁部４１ｗ、第２壁部４２ｗの第２金属シャフト６１の回りに、摩耗粉または異物を滞留可能に保持する摩耗粉保持部７０、７１、７２、７３を有する構成である。このような構成を採用することで、摩耗粉保持部７０、７１、７２、７３に摩耗粉８０等を保持し、摩耗粉８０等のアクチュエータ１０内部への飛散を抑制できる。また、第２金属シャフト６１や、第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈの内周面の摩耗を抑制できる。なお、摩耗粉保持部７０、７１、７２、７３を、軸穴５３ｈの端部および第１壁部４１ｗ、第２壁部４２ｗの第２金属シャフト６１の回りの全てに設ける必要は無く、いずれかに設ければよい。
【００４６】
なお、例えば、第１壁部４１ｗ側の摩耗粉保持部として第１実施形態で説明した摩耗粉保持部７０の構成を採用し、第２壁部４２ｗ側の摩耗粉保持部として第３実施形態で説明した摩耗粉保持部７２の構成を採用するなど、第１実施形態、第３実施形態、摩耗粉保持部７０、７２を適宜組み合わせて採用しても良い。また、第１壁部４１ｗ側の摩耗粉保持部として第２実施形態で説明した摩耗粉保持部７１の構成を採用し、第２壁部４２ｗ側の摩耗粉保持部として第４実施形態で説明した摩耗粉保持部７３の構成を採用するなど、第２実施形態、第３実施形態、摩耗粉保持部７１、７３を適宜組み合わせて採用しても良い。また、第２実施形態と第４実施形態とを組み合わせてもよい。例えば、第４実施形態のように、第１壁部４１ｗと第２壁部４２ｗ壁部に第２金属シャフト６１の直径ｄ２よりも大きな凹部４１ｄ、４２ｄを設け、第２実施形態における第２金属シャフト６１の直径ｄ２の中央部６１ｃを第１壁部４１ｗと第２壁部４２ｗに侵入するまで伸ばし、第２金属シャフト６１の外周と凹部４１ｄ、４２ｄに囲われた摩耗粉保持部を備えても良い。
【００４７】
・第５実施形態：
図１１に示す第５実施形態は、図９に示す第３実施形態において、第２中間ギヤ５３は、第２金属シャフト６１に沿った方向に突出する突起部５３ｅを備える。突起部５３ｅは、摩耗粉保持部７２に侵入している。このとき、内周面４１ｓと突起部５３ｅとの間隔Ｇ１は、第２金属シャフト６１と、第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈとの間隔Ｇ３と同じ大きさ以上の大きさである。ここで、間隔Ｇ３は、[（軸穴５３ｈの直径）−（第２金属シャフト６１）]／２で算出される。こうすれば、内周面４１ｓと突起部５３ｅとを接触し難くできる。なお、間隔Ｇ１の上限値は、Ｇ３よりも大きく、２×Ｇ３以下の値であってもよい。間隔Ｇ１がこの大きさであれば、保持した摩耗の摩耗粉保持部７２からの飛散を抑制できるからである。なお、第２中間ギヤ５３は、第２壁部４２ｗ側についても、同様の構成の突起部５３ｅを備えている。
【００４８】
第５実施形態によれば、摩耗粉等は、内周面４１ｓと突起部５３ｅとの間を通り抜け難いので、摩耗粉保持部７２からの摩耗粉等の飛散を抑制できる。
【００４９】
なお、第５実施形態において、突起部５３ｅの頂部と、凹部４１ｄとの間隔Ｇ２を内周面４１ｓと突起部５３ｅとの間隔Ｇ１と同等の大きさとしてもよい。この場合においても、摩耗粉等は、突起部５３ｅの頂部と凹部５１ｄとの間を通り抜け難いので、摩耗粉保持部７２からの摩耗粉等の飛散を抑制できる。
【００５０】
・第６実施形態：
図１２に示す第６実施形態は、図１１に示す第５実施形態において、突起部５３ｅを、第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈとほぼ一致するまで太くした構成を有する。第６実施形態においても、内周面４１ｓと突起部５３ｅとの間隔Ｇ１は、第２金属シャフト６１と、第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈとの間隔Ｇ３と同じ大きさ以上２×Ｇ３以下である。また、第２壁部４２ｗ側についても、同様の構成の突起部５３ｅを備えている。
【００５１】
第６実施形態によれば、第５実施形態と同様に、摩耗粉等は、内周面４１ｓと突起部５３ｅとの間を通り抜け難いので、摩耗粉保持部７２からの摩耗粉等の飛散を抑制できる。
【００５２】
第６実施形態によれば、突起部５３ｅが第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈとほぼ一致するまで太くなった構成を有するので、第２中間ギヤ５３の第２金属シャフト６１と接する嵌合部５３ｃの長さを長くできる。その結果、第２金属シャフト６１に対する第２中間ギヤ５３を傾き難くできる。
【００５３】
・第７実施形態：
図１３に示す第７実施形態は、図７に示す第１実施形態において、第１壁部４１ｗは、第２金属シャフト６１に沿った方向に突出する突起部４１ｃを備える。突起部４１ｃは、摩耗粉保持部７０に侵入している。内周面５３ｓと突起部４１ｃとの間隔Ｇ４は、第２金属シャフト６１と、第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈとの間隔Ｇ３と同じ大きさ以上２×Ｇ３以下である。第２壁部４２ｗも、同様の構成の突起部４２ｃを備えている。
【００５４】
第７実施形態によれば、摩耗粉等は、内周面５３ｓと突起部４１ｃとの間を通り抜け難いので、摩耗粉保持部７０からの摩耗粉等の飛散を抑制できる。
【００５５】
第７実施形態において、突起部４１ｃの頂部と、凹部４１ｄとの間隔Ｇ５を内周面４１ｓと突起部５３ｅとの間隔Ｇ１と同等の大きさとしてもよい。この場合においても、摩耗粉等は、と突起部４１ｃの頂部と凹部４１ｄとの間を通り抜け難いので、摩耗粉保持部７０からの摩耗粉等の飛散を抑制できる。
【００５６】
・第８実施形態：
図１４に示す第８実施形態のように、摩耗粉保持部７０は、第２壁部４２ｗと、第２中間ギヤ５３の境界面側が大きくなる円錐台形を有していても良い。同様に、摩耗粉等を保持できる。また、摩耗粉保持部７０が円錐台形状を有していると、第２中間ギヤ５３を第２金属シャフト６１に挿入するときに摩耗粉保持部７０がガイドとなって第２中間ギヤ５３を第２金属シャフト６１に組み付けやすい。
【００５７】
次に、各部材の間隔と凹部の大きさについて説明する。第２金属シャフト６１と、第２中間ギヤ５３との間隔をＷ１、摩耗粉保持部７０の第２中間ギヤ５３の径方向の長さをＷ２とすると、Ｗ２は、Ｗ１よりも大きい。このように摩耗粉保持部７０を設けると、Ｗ２をＷ１と同じ大きさとするよりも、摩耗粉保持部７０に摩耗粉等を留め易くでき、第２金属シャフト６１や第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈの内周面の摩耗を抑制できる。
【００５８】
第２中間ギヤ５３と第２壁部４２ｗとの間隔をＷ３、摩耗粉保持部７０の第２金属シャフト６１に沿った方向の大きさをＷ４とすると、Ｗ４は、Ｗ３よりも大きい。このように摩耗粉保持部７０を設けると、Ｗ４をＷ３と同じ大きさとするよりも、摩耗粉保持部７０に摩耗粉等を留め易くでき、第２金属シャフト６１や第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈの内周面の摩耗を抑制できる。
【００５９】
第２金属シャフト６１と第２壁部４２ｗとの嵌合部における第２金属シャフト６１の径方向の第２壁部４２ｗと間隔をＷ５とすると、Ｗ２は、Ｗ５よりも大きい。このように摩耗粉保持部７０を設けると、Ｗ２をＷ５と同じ大きさとするよりも、摩耗粉保持部７０に摩耗粉等を留め易くでき、第２金属シャフト６１や第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈの内周面の摩耗を抑制できる。
【００６０】
第８実施形態では、第２中間ギヤ５３に円錐台形状を有している摩耗粉保持部７０を設けたが、図９に示した第３実施形態において摩耗粉保持部７２を円錐台形状としても良く、図１０に示した第４実施形態において、摩耗粉保持部７０、７２をそれぞれ円錐台形状としてもよい。
【００６１】
・第９実施形態：
図１５に示す第９実施形態は、図１０に示す第４実施形態の摩耗粉保持部７１に、軸受け７５を設けた構成である。軸受け７５は、内輪７５ｉと外輪７５ｏとベアリングボール７５ｂとを備える。内輪７５ｉは、第２金属シャフト６１に固定され、外輪７５ｏは、第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈの両端部に固定されている。
【００６２】
第９実施形態によれば、第２金属シャフト６１と、第２中間ギヤ５３との間に軸受け７５を備えているので、摩耗粉８０等の発生量を低減できる。第９実施形態では、軸受け７５として、ベアリングボール７５ｂを用いる球軸受けを用いているが、ベアリングボール７５ｂの代わりに円筒形や樽形のころを用いるころ軸受け、針を用いる針軸受け等も採用可能である。
【００６３】
第９実施形態において、内輪７５ｉは、第２金属シャフト６１に固定され、外輪７５ｏは、第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈの両端部に固定されているので、第２金属シャフト６１に沿った方向の第２中間ギヤ５３の位置を固定化できるので、ギヤの噛み合いを安定化させることができる。また、第２中間ギヤ５３と、第１壁部４１ｗ、第２壁部４２ｗとの間の間隔を一定の間隔に保持できるため、摩擦粉８０等の発生を抑制し、トルク伝達における機械的損失を低減できる。なお、内輪７５ｉと外輪７５ｏのいずれか一方が固定され、他方が自由である構成であってもよい。内輪７５ｉと外輪７５ｏのいずれか一方が固定されれば、第２金属シャフト６１に沿った方向の第２中間ギヤ５３の位置をほぼ固定化できるからである。
【００６４】
上記第１実施形態から第９実施形態において、第２中間ギヤ５３は、軸穴５３ｈを含む第２小径外歯部６３が樹脂ギヤ、第２大径外歯部６２が金属ギヤであるハイブリッドギヤであるが、軸穴５３ｈを含む第２小径外歯部６３、第２大径外歯部６２をいずれも樹脂ギヤとしてもよく、金属ギヤとしてもよい。また、第２金属シャフト６１が金属のシャフトであるが、樹脂製のシャフトとしてもよい。第１実施形態から第９実施形態において、第２中間ギヤ５３の軸穴５３ｈと、第２金属シャフト６１の少なくとも一方が金属で形成される場合であっても、生じた磁性体である摩耗粉を摩耗粉保持部７０、７１、７２、７３に保持し、磁気回路部６４に付着させないようにできる。
【００６５】
上記第１実施形態から第９実施形態の説明では、摩耗粉保持部７０、７１、７２、７３の内周面４１ｓ、４２ｓ、５３ｓは、いわゆる円筒面形状あるいは、円錐面形状となるように説明したが、多角柱の側面形状、多角錐台の側面形状であってもよい。
【００６６】
上記第１実施形態から第９実施形態の説明では、第２中間ギヤ５３の回りの構成を例にとって説明したが、第１中間ギヤ５２の回りについても、同様の構成を採用できる。
【００６７】
上記第１実施形態から第９実施形態の説明では、第２中間ギヤ５３の第１壁部４１ｗ側、第２壁部４２ｗ側の両方に摩耗粉保持部７０、７１、７２、７３を備える構成を例にとって説明したが、第２中間ギヤ５３の第１壁部４１ｗ側、第２壁部４２ｗ側のいずれか一方にのみ摩耗粉保持部７０、７１、７２、７３を備える構成であってもよい。第１壁部４１ｗ側、第２壁部４２ｗ側のいずれか一方の摩耗粉保持部７０、７１、７２、７３であっても摩耗粉を保持できる。
【００６８】
上記各実施形態では、過給機２４の過給圧制御用バルブであるウェイストゲートバルブ１９を駆動するアクチュエータ１０の第２中間ギヤ５４を例にとって説明したが、シャフト回りに回転するギヤを備えるものであれば、適用できる。また、第１中間ギヤ５２や第２中間ギヤ５３のような大径のギヤと小径のギヤとを備える複合ギヤでない１個のギヤにおいても、同様の構成を採用できる。
【００６９】
本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【００７０】
本開示は、以下の形態として実現することが可能である。
【００７１】
（１）本開示の一形態によれば、アクチュエータ（１０）が提供される。このアクチュエータは、モータ（３６）と、出力シャフト（２６）と、前記モータの回転を減速して前記出力シャフトに伝達する減速部（３７）と、を備え、前記減速部は、軸穴（５３ｈ）を有する１つ以上のギヤ（５３）と、前記軸穴に挿入され、前記ギヤを回転可能に保持するシャフト（６１）と、前記シャフトの両端に、前記ギヤを挟むように設けられた壁部（４１ｗ、４２ｗ）と、を有し、さらに、前記シャフトの外周よりも外側であって、前記軸穴の２つの端部および２つの前記壁部のうちの少なくとも１つに、摩耗粉または異物を滞留可能に保持する摩耗粉保持部（７０）を有する。
【００７２】
（２）上記形態において、前記ギヤの前記摩耗粉保持部における前記軸穴の開口面積は、前記摩耗粉保持部以外の場所における前記軸穴の開口面積よりも大きくてもよい。この形態によれば、シャフトや、壁部の構成を簡素化できる。また、ギヤを軽量化できるので、ギヤのイナーシャを低減できる。ギヤをシャフトに組み付けるときに、開口を誘い形状として利用できる。
【００７３】
（３）上記形態において、前記摩耗粉保持部における前記シャフトの軸と垂直な断面積は、前記摩耗粉保持部以外の場所における前記シャフトの軸と垂直な断面積よりも小さくてもよい。この形態によれば、ギヤや、壁部の構成を簡素化できる。また、シャフトの摩耗粉保持部における軸と垂直な断面積は、摩耗粉保持部以外の場所におけるシャフトの軸と垂直な断面積より小さいので、シャフトにギヤを組み付けるときに、摩耗粉保持部がガイドとなってギヤをシャフトに組み付けやすい。
【００７４】
（４）上記形態において、前記摩耗粉保持部は、前記壁部に形成された凹部（４１ｄ、４２ｄ）により形成されていてもよい。この形態によれば、ギヤや、シャフトの構成を簡素化できる。また、ギヤとシャフトの接する長さを長くできる。
【００７５】
（５）上記形態において、前記ギヤは、前記シャフトに沿った方向に突出する突起部（５３ｅ）であって、前記摩耗粉保持部に侵入する突起部を有してもよい。この形態によれば、突起部により、摩耗粉保持部に摩耗粉等を留め、摩耗粉保持部からの摩耗粉等の飛散を抑制できる。
【００７６】
（６）上記形態において、前記凹部は、前記シャフトに沿った方向に突出する突起部（４２ｃ）であって、前記摩耗粉保持部に侵入する突起部を有してもよい。この形態によれば、突起部により、摩耗粉保持部に摩耗粉等を留め、摩耗粉保持部からの摩耗粉等の飛散を抑制できる。
【００７７】
（７）上記形態において、前記摩耗粉保持部における前記ギヤの径方向の大きさ（Ｗ２）は、前記摩耗粉保持部以外の場所における前記シャフトと前記ギヤとの間の間隔（Ｗ１）よりも大きくてもよい。この形態によれば、摩耗粉保持部におけるギヤの径方向の大きさを、シャフトとギヤとの間の間隔と同じにするよりも、摩耗粉保持部に摩耗粉等を留め易くでき、シャフトやギヤの軸穴の内周面の摩耗を抑制できる。
【００７８】
（８）上記形態において、前記摩耗粉保持部における前記シャフトに沿った方向の大きさ（Ｗ４）は、前記ギヤと前記壁部との間の間隔（Ｗ３）よりも大きくてもよい。この形態によれば、摩耗粉保持部におけるシャフトに沿った方向の大きさを、ギヤと壁部との間の間隔と同じにするよりも、摩耗粉保持部に摩耗粉等を留め易くでき、シャフトやギヤの軸穴の内周面の摩耗を抑制できる。また、摩耗粉保持部からの摩耗粉等の飛散を抑制できる。
【００７９】
（９）上記形態において、前記摩耗粉保持部における前記ギヤの径方向の大きさ（Ｗ２）は、前記壁部と前記シャフトとの間隔（Ｗ５）よりも大きくてもよい。この形態によれば、摩耗粉保持部におけるギヤの径方向の大きさを、壁部とシャフトとの間隔と同じにするよりも摩耗粉保持部に摩耗粉等を留め易くでき、シャフトやギヤの軸穴の内周面の摩耗を抑制できる。また、摩耗粉保持部からの摩耗粉等の飛散を抑制できる。
【００８０】
（１０）上記形態において、前記壁部の一方は、前記シャフトを固定し、前記壁部の他方は、前記シャフトを固定せずに位置決めする位置決め部を有しても良い。この形態によれば、２つの壁部の位置関係を決めることができる。
【００８１】
（１１）上記形態において、前記減速部を格納するハウジング部（４１）と、前記ハウジング部に蓋をするケース部（４２）と、を備え、前記壁部は、前記ハウジング部および前記ケース部に設けられていてもよい。この形態によれば、壁部をハウジング部およびケース部に設けることで、部品点数を低減できる。
【００８２】
（１２）上記形態において、前記ギヤと前記シャフトとの嵌合部に転がり軸受け（７５）を備え、前記転がり軸受けは、外輪（７５ｏ）が前記ギヤに固定される構成または内輪（７５ｉ）が前記シャフトに固定される構成の少なくとも一方の構成を備えてもよい。この形態によれば、摩耗粉の発生量を低減できる。
【００８３】
（１３）上記形態において、前記転がり軸受けの前記外輪が前記ギヤに固定され、かつ、前記内輪が前記シャフトに固定されていてもよい。この形態によれば、ギヤのシャフトに沿った方向の位置を固定できるので、ギヤの噛み合いを安定化させることができる。また、ギヤと、壁部との間の間隔を一定の間隔に保持できるため、摩擦粉等の発生を抑制し、トルク伝達における機械的損失を低減できる。
【００８４】
（１４）上記形態において、前記ギヤの回転位置を検出するための磁束を発生させる磁気回路部（６６、６７）と、前記磁束を検出する磁束検出部（６５）と、を備えてもよい。この形態によれば、ギヤの回転位置を検出することが可能となる。
【００８５】
（１５）上記形態において、前記減速部の１つ以上の前記ギヤの前記軸穴と、前記シャフトのうちの１つ以上が金属で構成されていてもよい。この形態によれば、ギヤの軸穴やシャフトが金属で形成され、磁性体であっても、磁性体である摩耗粉を摩耗粉保持部に保持し、磁気回路部に付着させないようにできる。その結果、磁気特性変動を抑制し、回転位置の検出精度を高く維持出来る。
【００８６】
（１６）上記形態において、前記アクチュエータは、過給機（２４）の過給圧制御用バルブ（１９）を駆動するアクチュエータであってもよい。
【００８７】
なお、本開示は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、ターボチャージャーのウェイストゲートバルブの開閉に用いられるアクチュエータの他、タービンを２つ備えるツインターボのタービンの切り替え用のアクチュエータや、可変容量ターボのタービンの切り替え用のアクチュエータなど過給機における過給圧を制御するアクチュエータとしても実現することができる。
【符号の説明】
【００８８】
１０  アクチュエータ    １１  エンジン    １２  吸気通路    １３  排気通路    １４  吸気コンプレッサ    １４ａ  コンプレッサホイール    １４ｂ  コンプレッサハウジング    １５  スロットルバルブ    １６  排気タービン    １６ａ  タービンホイール    １６ｂ  タービンハウジング    １７  触媒    １８  バイパス通路    １９  ウェイストゲートバルブ    ２０  バルブ軸    ２２  エンジン・コントロール・ユニット（ＥＣＵ）    ２４  過給機    ２５  リンク機構    ２６  出力シャフト    ２７  アクチュエータレバー    ２８  ロッド    ２９  バルブレバー    ３０  回転軸    ３５  ハウジング    ３６  モータ    ３７  減速部    ３９  回転角センサ    ４１  第１ハウジング部    ４１ｃ  突起部    ４１ｄ  凹部    ４１ｓ  内周面    ４１ｗ  第１壁部    ４２  第２ハウジング部（ケース）    ４２ｃ  突起部    ４２ｄ  凹部    ４２ｈ  位置決め部    ４２ｓ  内周面    ４２ｗ  第２壁部    ４３  締結部材    ４４  収容空間    ４５  ウェーブワッシャ    ４６  モータ挿入穴    ４７  スクリュ    ４８、４９  軸受    ５１  ピニオンギヤ    ５１ｄ  凹部    ５２  第１中間ギヤ    ５３  第２中間ギヤ    ５３ｃ  嵌合部    ５３ｄ  凹部    ５３ｅ  突起部    ５３ｈ  軸穴    ５３ｓ  内周面    ５４  出力ギヤ    ５５  モータ軸    ５６  第１金属シャフト    ５７  第１大径外歯部    ５７ｏ  開口    ５８  第１小径外歯部    ６１  第２金属シャフト    ６１ｃ  中央部    ６２  第２大径外歯部    ６３  第２小径外歯部    ６４  磁気回路部    ６５  磁束検出部    ６６、６７  磁石    ６８、６９  ヨーク    ７０、７１、７２、７３  摩耗粉保持部    ７５  軸受け  ７５ｂ  ベアリングボール    ７５ｉ  内輪    ７５ｏ  外輪    ８０  摩耗粉    ＡＸ１、ＡＸ２、ＡＸ３  中心軸    Ｇ、Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４、Ｇ５  間隔    ｄ１、ｄ２  直径
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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