(57)【要約】【課題】第２方向の大型化を抑制しつつ各共通流路の容積を大きくする。【解決手段】ヘッド１は、第１方向に２列に配列された複数の個別流路１６Ａ，１６Ｂと、第１方向に延び、複数の個別流路１６Ａ，１６Ｂに連通する供給流路５１及び帰還流路５２とを有する。各個別流路１６Ａ，１６Ｂは、ノズル１１と、ノズル１１よりも上方に配置された圧力室１２とを含む。供給流路５１及び帰還流路５２は、圧力室１２よりも上方において、鉛直方向に互いに重なっている。供給流路５１及び帰還流路５２は、それぞれ、複数の圧力室１２と鉛直方向に重なっている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉛直方向と直交する第１方向に配列された複数の第１個別流路と、
前記第１方向に延び、前記複数の第１個別流路に連通する第１共通流路と、
前記第１共通流路よりも下方において、前記第１方向に延び、前記複数の第１個別流路に連通する第２共通流路と、を備え、
前記複数の第１個別流路は、それぞれ、第１ノズルと、前記第１ノズルに連通し、前記第１ノズルよりも上方に配置された第１圧力室と、を含み、
前記第１共通流路及び前記第２共通流路は、複数の前記第１圧力室よりも上方において、鉛直方向に互いに重なり、かつ、それぞれ、前記複数の第１圧力室と鉛直方向に重なることを特徴とする、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第１共通流路は、前記複数の第１個別流路の入口に連通し、
前記第２共通流路は、前記複数の第１個別流路の出口に連通し、
前記第２共通流路の流路面積は、前記第１共通流路の流路面積よりも小さいことを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
鉛直方向において前記第１共通流路と前記第２共通流路との間に、前記第１共通流路に接する第１ダンパ膜と前記第２共通流路に接する第２ダンパ膜とで形成された、ダンパ室が設けられたことを特徴とする、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第１共通流路は、前記第２共通流路よりも、前記第１方向の長さが短く、かつ、前記第１方向及び鉛直方向の双方と直交する第２方向の長さが長く、
前記第１共通流路の上面に、第１開口が形成され、
前記第２共通流路における、前記第１共通流路に対して前記第１方向に突出した部分の上面に、第２開口が形成されたことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第１共通流路及び前記第２共通流路の一方は、前記第１共通流路及び前記第２共通流路の他方よりも、前記第１方向及び鉛直方向の双方と直交する第２方向の長さが長く、かつ、鉛直方向の長さが短いことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
鉛直方向において前記第１共通流路と前記第１圧力室との間に配置され、前記第１共通流路と前記第１圧力室とを連結する第１連結流路と、
鉛直方向において前記第２共通流路と前記第１圧力室との間に配置され、前記第２共通流路と前記第１圧力室とを連結する第２連結流路と、をさらに備えたことを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記複数の第１個別流路のそれぞれにおいて、前記第１ノズルは、前記第１圧力室の直下に位置することを特徴とする、請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記第１共通流路における前記第１圧力室と鉛直方向に重ならない部分から、前記第１圧力室よりも下方まで、鉛直方向に延びる第１流路部と、
前記第１圧力室よりも下方に配置された第２流路部であって、前記第１流路部に連通する一端と、前記第１圧力室と鉛直方向に重なりかつ前記第１圧力室に連通する他端とを有する第２流路部と、をさらに備えたことを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記第１共通流路及び前記第２共通流路が形成された筐体と、
前記筐体よりも下方に配置され、前記複数の第１個別流路が形成された流路基板と、を備え、
前記第１流路部は、前記筐体及び前記流路基板に形成された穴で構成され、
前記第２流路部は、前記流路基板の下端に形成された穴で構成されていることを特徴とする、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記第１方向に配列された複数の第２個別流路であって、前記第１方向及び鉛直方向の双方と直交する第２方向に前記複数の第１個別流路と並ぶ複数の第２個別流路をさらに備え、
前記第１共通流路及び前記第２共通流路は、それぞれ、前記複数の第２個別流路に連通し、
前記複数の第２個別流路は、それぞれ、第２ノズルと、前記第２ノズルに連通し、前記第２ノズルよりも上方に配置された第２圧力室と、を含み、
前記第１共通流路及び前記第２共通流路は、複数の前記第２圧力室よりも上方に配置され、かつ、それぞれ、前記複数の第２圧力室と鉛直方向に重なることを特徴とする、請求項１〜９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記第１共通流路は、前記複数の第１個別流路の入口に連通し、
前記第２共通流路は、前記複数の第１個別流路の出口に連通し、
前記複数の第１個別流路は、それぞれ、前記第１ノズルと前記第１圧力室とを接続する第１接続流路をさらに含み、
前記複数の第２個別流路は、それぞれ、前記第２ノズルと前記第２圧力室とを接続する第２接続流路をさらに含み、
前記第２方向において前記第１圧力室と前記第２圧力室との間に配置され、前記第２共通流路から下方に延びる中間流路と、
前記第１接続流路と前記中間流路とを連通させる第１排出流路と、
前記第２接続流路と前記中間流路とを連通させる第２排出流路と、をさらに備えたことを特徴とする、請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記複数の第１圧力室及び前記複数の第２圧力室が形成された圧力室基板と、
前記圧力室基板の上面に配置され、前記複数の第１圧力室及び前記複数の第２圧力室のそれぞれと鉛直方向に重なる複数のアクチュエータを有するアクチュエータ基板と、
前記アクチュエータ基板の上面に配置され、前記複数のアクチュエータが収容される凹部を有する保護基板と、を備え、
前記中間流路の鉛直方向の長さは、前記保護基板、前記アクチュエータ基板及び前記圧力室基板からなる部分の鉛直方向の長さ以上であることを特徴とする、請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記第１排出流路及び前記第２排出流路は、それぞれ、前記第１ノズル及び前記第２ノズルとの鉛直方向の距離が、前記アクチュエータ基板との鉛直方向の距離よりも短いことを特徴とする、請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記複数の第１個別流路に属する複数の前記第１ノズル及び前記複数の第２個別流路に属する複数の前記第２ノズルが形成されたノズルプレートを備え、
前記中間流路、前記第１排出流路及び前記第２排出流路は、前記ノズルプレートにおける、前記第２方向において前記複数の第１ノズルと前記複数の第２ノズルとの間の部分によって画定されていることを特徴とする、請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
前記第２方向において前記第１圧力室と前記第２圧力室との間に配置され、前記第２共通流路から下方に延びる中間流路と、
前記中間流路と前記第１圧力室とを連通させる第１連通流路と、
前記中間流路と前記第２圧力室とを連通させる第２連通流路と、をさらに備えたことを特徴とする、請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１６】
前記第１共通流路は、前記複数の第１個別流路の入口に連通し、
前記第２共通流路は、前記複数の第１個別流路の出口に連通し、
前記複数の第１圧力室及び前記複数の第２圧力室が形成された圧力室基板と、
前記圧力室基板の上面に配置され、前記複数の第１圧力室及び前記複数の第２圧力室のそれぞれと鉛直方向に重なる複数のアクチュエータを有するアクチュエータ基板と、
前記アクチュエータ基板の上面に配置され、前記複数のアクチュエータが収容される凹部を有する保護基板と、を備え、
前記中間流路の鉛直方向の長さは、前記保護基板及び前記アクチュエータ基板からなる部分の鉛直方向の長さ以上であり、
前記中間流路は、前記圧力室基板の上面に形成された凹部で構成され、
前記第１連通流路及び前記第２連通流路は、前記圧力室基板の上面に形成されかつ前記凹部に接続する溝で構成されていることを特徴とする、請求項１５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１７】
前記複数の第１圧力室が形成された圧力室基板と、
前記圧力室基板の上面に配置され、前記複数の第１圧力室のそれぞれと鉛直方向に重なる複数のアクチュエータを有するアクチュエータ基板と、
前記アクチュエータ基板の上面に配置され、前記複数のアクチュエータが収容される凹部を有する保護基板と、を備えたことを特徴とする、請求項１〜１６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１８】
前記保護基板は、前記第２共通流路の下面を画定することを特徴とする、請求項１７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１９】
前記複数のアクチュエータと電気的に接続され、前記複数のアクチュエータに駆動信号を供給する駆動回路であって、鉛直方向において前記第２共通流路と前記保護基板との間に挟まれた駆動回路を備え、
前記駆動回路は、前記第２共通流路を画定する壁に接触することを特徴とする、請求項１７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項２０】
前記複数のアクチュエータと電気的に接続され、前記複数のアクチュエータに駆動信号を供給する駆動回路であって、鉛直方向において前記第２共通流路と前記保護基板との間に挟まれた駆動回路と、
前記第２共通流路を画定する壁と前記駆動回路とに接触し、弾性を有する伝熱部材と、を備えたことを特徴とする、請求項１７に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の個別流路、第１共通流路及び第２共通流路を備えた液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ヘッド長手方向（第１方向）に配列された複数の個別流路と、それぞれ複数の個別流路に連通するマニホールド及び循環流路（共通流路）とを備えた液体吐出ヘッドが示されている。複数の個別流路は、それぞれ、ノズルと、ノズルよりも上方に配置された圧力発生室（圧力室）とを含む。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１３４５０７号公報（図３、図４）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１では、マニホールド、複数の圧力発生室（圧力室）及び循環流路が、ヘッド幅方向（第２方向）に並んでいる。この場合、各共通流路について、圧力損失低減等の目的で容積を大きくしようとすると、液体吐出ヘッドが第２方向に大型化し得る。
【０００５】
本発明の目的は、第２方向の大型化を抑制しつつ各共通流路の容積を大きくできる液体吐出ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、鉛直方向と直交する第１方向に配列された複数の第１個別流路と、前記第１方向に延び、前記複数の第１個別流路に連通する第１共通流路と、前記第１共通流路よりも下方において、前記第１方向に延び、前記複数の第１個別流路に連通する第２共通流路と、を備え、前記複数の第１個別流路は、それぞれ、第１ノズルと、前記第１ノズルに連通し、前記第１ノズルよりも上方に配置された第１圧力室と、を含み、前記第１共通流路及び前記第２共通流路は、複数の前記第１圧力室よりも上方において、鉛直方向に互いに重なり、かつ、それぞれ、前記複数の第１圧力室と鉛直方向に重なることを特徴とする、液体吐出ヘッドが提供される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、第２方向の大型化を抑制しつつ各共通流路の容積を大きくできる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１実施形態に係るヘッドを備えたプリンタの平面図である。
【図２】図１のプリンタに含まれる１つのヘッドの平面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ったヘッドの断面図である。
【図４】図１のプリンタの電気的構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係るヘッドの図３に対応する断面図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係るヘッドの図３に対応する断面図である。
【図７】本発明の第４実施形態に係るヘッドの図３に対応する断面図である。
【図８】本発明の第５実施形態に係るヘッドの図３に対応する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
＜第１実施形態＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の全体構成について説明する。
【００１０】
プリンタ１００は、４つのヘッド１を含むヘッドユニット１ｘ、プラテン３、搬送機構４及び制御部５を備えている。
【００１１】
プラテン３の上面に、用紙９が載置される。
【００１２】
搬送機構４は、搬送方向にプラテン３を挟んで配置された２つのローラ対４ａ，４ｂを有する。制御部５の制御により搬送モータ４ｍ（図４参照）が駆動されると、ローラ対４ａ，４ｂが用紙９を挟持した状態で回転し、用紙９が搬送方向に搬送される。
【００１３】
ヘッドユニット１ｘは、紙幅方向（搬送方向及び鉛直方向の双方と直交する方向）に長尺であり、位置が固定された状態でノズル１１（図２及び図３参照）から用紙９に対してインクを吐出するライン式である。４つのヘッド１は、それぞれ紙幅方向に長尺であり、紙幅方向に千鳥状に配列されている。
【００１４】
制御部５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、制御部５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、各ヘッド１のドライバＩＣ１ｄ及び搬送モータ４ｍ（共に図４参照）を制御し、用紙９上に画像を記録する。
【００１５】
次いで、図２及び図３を参照し、ヘッド１の構成について説明する。
【００１６】
ヘッド１は、図３に示すように、流路基板１０、アクチュエータ基板３０、保護基板４０及び筐体５０を有する。
【００１７】
流路基板１０は、鉛直方向に積層された２枚のプレート１０ａ，１０ｂで構成されている。プレート１０ａ（本発明に係る「圧力室基板」）には、複数の圧力室１２が形成されている。プレート１０ｂ（本発明に係る「ノズルプレート」）には、複数のノズル１１が形成されている。
【００１８】
ノズル１１は、圧力室１２毎に設けられており、圧力室１２よりも下方に配置され、圧力室１２に連通している。本実施形態において、ノズル１１は圧力室１２の直下に位置し、ノズル１１と圧力室１２との間に別の流路（例えば、後述の第２実施形態における接続流路２１５）が介在していない。
【００１９】
複数の圧力室１２は、図２に示すように、ヘッド１の長手方向（紙幅方向。本発明に係る「第１方向」に該当し、以下「第１方向」という。）に千鳥状に配列されている。圧力室１２は、鉛直方向と直交する平面において、ヘッド１の幅方向（搬送方向と平行な方向。本発明に係る「第２方向」であり、以下「第２方向」という。）に長尺な略矩形状である。ノズル１１は、鉛直方向と直交する平面において、圧力室１２の中央に配置されている。
【００２０】
圧力室１２における第２方向の一端及び他端には、第１連結流路１３及び第２連結流路１４が連結している。第１連結流路１３及び第２連結流路１４は、それぞれ、図３に示すように、圧力室１２から上方に延びている。
【００２１】
ノズル１１、圧力室１２、第１連結流路１３及び第２連結流路１４は、個別流路１６Ａ，１６Ｂを構成している。個別流路１６Ａ，１６Ｂは、それぞれ、１つのノズル１１と、１つの圧力室１２と、１つの第１連結流路１３と、１つの第２連結流路１４とを含む。第１連結流路１３の上端が個別流路１６Ａ，１６Ｂの入口１６ｘに該当し、第２連結流路１４の上端が個別流路１６Ａ，１６Ｂの出口１６ｙに該当する。
【００２２】
複数の第１個別流路１６Ａは、図２に示すように、第１方向に１列に等間隔で配列されている。複数の第２個別流路１６Ｂは、複数の第１個別流路１６Ａと第２方向に並び、第１方向に１列に等間隔で配列されている。
【００２３】
第１個別流路１６Ａに属する圧力室１２が本発明に係る「第１圧力室」に該当し、第２個別流路１６Ｂに属する圧力室１２が本発明に係る「第２圧力室」に該当する。
【００２４】
第１個別流路１６Ａに属するノズル１１が本発明に係る「第１ノズル」に該当し、第２個別流路１６Ｂに属するノズル１１が本発明に係る「第２ノズル」に該当する。
【００２５】
個別流路１６Ａ，１６Ｂに属する複数の第１連結流路１３は、個別流路１６Ａ，１６Ｂに属する複数の第２連結流路１４に対して、第２方向の両側に配置されている。第２方向において、第１個別流路１６Ａに属する第１連結流路１３と、第２個別流路１６Ｂに属する第１連結流路１３との間に、第１個別流路１６Ａに属する第２連結流路１４と、第２個別流路１６Ｂに属する第２連結流路１４とが配置されている。
【００２６】
図３に示すように、プレート１０ｂは、プレート１０ａよりも第２方向の長さが短く、複数の圧力室１２を下方から覆うように、プレート１０ａの下面に接着されている。
【００２７】
アクチュエータ基板３０は、下から順に、振動板３１、２つの共通電極３２、複数の圧電体３３及び複数の個別電極３４を含む。
【００２８】
振動板３１は、プレート１０ａの上面に接着され、プレート１０ａに形成された全ての圧力室１２を覆っている。また、振動板３１には、第１連結流路１３及び第２連結流路１４を構成する貫通孔が形成されている。
【００２９】
２つの共通電極３２は、振動板３１の上面に形成され、個別流路１６Ａ，１６Ｂの列毎に、複数の圧力室１２に跨るように、第１方向に延びている。各共通電極３２は、各個別流路１６Ａ，１６Ｂに属する複数の圧力室１２と鉛直方向に重なっている。
【００３０】
圧電体３３及び個別電極３４は、圧力室１２毎に設けられており、各圧力室１２と鉛直方向に重なっている。
【００３１】
個別電極３４及び共通電極３２は、ドライバＩＣ１ｄ（図４参照）と電気的に接続されている。ドライバＩＣ１ｄは、共通電極３２の電位をグランド電位に維持する一方、個別電極３４の電位を変化させる。具体的には、ドライバＩＣ１ｄは、制御部５からの制御信号に基づいて駆動信号を生成し、当該駆動信号を個別電極３４に付与する。これにより、個別電極３４の電位が所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。このとき、振動板３１及び圧電体３３において個別電極３４と圧力室１２とで挟まれた部分（アクチュエータ３０ｘ）が、圧力室１２に向かって凸となるように変形することにより、圧力室１２の容積が変化し、圧力室１２内のインクに圧力が付与され、ノズル１１からインクが吐出される。
【００３２】
保護基板４０は、振動板３１の上面に接着されている。
【００３３】
保護基板４０の下面には、第１方向に延びる２つの凹部４０ｘが形成されている。２つの凹部４０ｘのうち、一方は、第１個別流路１６Ａに属する複数の圧力室１２と鉛直方向に重なり、他方は、第２個別流路１６Ｂに属する複数の圧力室１２と鉛直方向に重なっている。各凹部４０ｘ内に、各個別流路１６Ａ，１６Ｂに対応する複数のアクチュエータ３０ｘが収容されている。
【００３４】
また、保護基板４０には、第１連結流路１３及び第２連結流路１４を構成する貫通孔が形成されている。
【００３５】
筐体５０は、保護基板４０の上面に接着されている。筐体５０は、鉛直方向に積層された５枚のプレート５０ａ〜５０ｅで構成されている。筐体５０には、プレート５０ｂ〜５０ｅに形成された貫通孔により、供給流路５１（本発明に係る「第１共通流路」）と、帰還流路５２（本発明に係る「第２共通流路」）と、鉛直流路５３ａ，５３ｂとが形成されている。帰還流路５２の下面は保護基板４０により画定されており、保護基板４０の上面が帰還流路５２の下面に該当する。
【００３６】
鉛直流路５３ａ，５３ｂは、凹部４０ｘと鉛直方向に重なっていない。鉛直流路５３ａ，５３ｂが凹部４０ｘと鉛直方向に重なると、プレート５０ｅと保護基板４０との接着時に押圧力が作用し難くなり、接着不良が生じ得る。これに対し、本構成によれば、接着不良を抑制できる。
【００３７】
流路５１，５２，５３ａ，５３ｂは、個別流路１６Ａ，１６Ｂよりも上方に配置され、ヘッド１に形成された全ての圧力室１２と鉛直方向に重なっている。帰還流路５２及び鉛直流路５３ａ，５３ｂは、供給流路５１よりも下方において、供給流路５１と鉛直方向に重なっている。供給流路５１は、帰還流路５２よりも第２方向の長さが長く、帰還流路５２に対して第２方向の両側に突出している。供給流路５１の鉛直方向の長さ５１Ｈは、帰還流路５２の鉛直方向の長さ５２Ｈよりも短い。帰還流路５２の流路面積（第１方向と直交する面積）は、供給流路５１の流路面積よりも小さい。
【００３８】
供給流路５１及び帰還流路５２は、図２に示すように、それぞれ、第１方向に延びている。鉛直流路５３ａ，５３ｂは、供給流路５１における第２方向の一端及び他端それぞれにおいて、第１方向に延びている。鉛直流路５３ａ，５３ｂは、第１方向において供給流路５１と同じ長さを有する。
【００３９】
供給流路５１は、鉛直流路５３ａ，５３ｂを介して、ヘッド１に形成された全ての個別流路１６Ａ，１６Ｂの入口１６ｘに連通している。鉛直流路５３ａは、供給流路５１における第２方向の一端と、複数の第１個別流路１６Ａの入口１６ｘとを連結している。鉛直流路５３ｂは、供給流路５１における第２方向の他端と、複数の第２個別流路１６Ｂの入口１６ｘとを連結している。鉛直流路５３ａ，５３ｂの下面には、複数の入口１６ｘが第１方向に並んでいる。供給流路５１は、鉛直流路５３ａを介して複数の第１個別流路１６Ａの入口１６ｘに連通し、鉛直流路５３ｂを介して複数の第２個別流路１６Ｂの入口１６ｘに連通している。
【００４０】
帰還流路５２は、各個別流路１６Ａ，１６Ｂに属する第２連結流路１４の直上に配置され、ヘッド１に形成された全ての個別流路１６Ａ，１６Ｂの出口１６ｙに連通している。帰還流路５２の下面には、第２方向の一端及び他端それぞれにおいて、複数の出口１６ｙが第１方向に並んでいる。
【００４１】
供給流路５１は、ヘッド１に形成された全ての圧力室１２と、鉛直方向に全体的に重なっている。一方、帰還流路５２は、ヘッド１に形成された全ての圧力室１２と、鉛直方向に部分的に重なっている。具体的には、帰還流路５２は、第１個別流路１６Ａに属する圧力室１２における第２方向の一端（図２及び図３において右側の端部）、及び、第２個別流路１６Ｂに属する圧力室１２における第２方向の他端（図２及び図３において左側の端部）と、鉛直方向に重なっている。
【００４２】
図３に示すように、鉛直方向において供給流路５１と帰還流路５２との間に、ダンパ室８０が設けられている。ダンパ室８０は、供給流路５１における鉛直流路５３ａ，５３ｂが連結する部分を除く全領域と鉛直方向に重なり、帰還流路５２の全領域と鉛直方向に重なっている。また、図示は省略するが、ダンパ室８０は、第１方向の両端において、大気と連通している。したがって、ダンパ室８０の圧力は、大気圧と同じである。
【００４３】
ダンパ室８０は、供給流路５１に接する第１ダンパ膜８１と、帰還流路５２に接する第２ダンパ膜８２とで形成されている。プレート５０ｃの下面に、ハーフエッチング等により、ダンパ室８０を構成する窪みが形成されている。当該窪みの底部における、供給流路５１と鉛直方向に重なる部分が、第１ダンパ膜８１として機能する。プレート５０ｄは、上記窪みを下方から覆うように、プレート５０ｃの下面に接着されている。プレート５０ｄにおける、上記窪みを覆う部分のうち、帰還流路５２と鉛直方向に重なる部分が、第２ダンパ膜８２として機能する。
【００４４】
第１ダンパ膜８１の第２方向の長さは、第２ダンパ膜８２の第２方向の長さよりも長い。また、第１ダンパ膜８１のヤング率は、第２ダンパ膜８２のヤング率よりも高い。例えば、プレート５０ｃは金属（ＳＵＳ等）からなり、プレート５０ｄは樹脂（ポリイミド等）からなる。
【００４５】
供給流路５１の上面を画定するプレート５０ａの厚みは、ダンパ膜８１，８２の厚みと略同じである。したがって、供給流路５１は、上面及び下面の双方に、ダンパ膜が設けられている。
【００４６】
帰還流路５２は、図２に示すように、供給流路５１よりも第１方向の長さが長く、供給流路５１に対して第１方向の両側に突出している。
【００４７】
供給流路５１の上面に、供給口５１ｘ（本発明に係る「第１開口」）が形成されている。供給口５１ｘは、鉛直方向と直交する平面において、供給流路５１の中央に配置されている。供給流路５１は、供給口５１ｘを介して、サブタンク（図示略）に連通している。サブタンクは、メインタンクに連通し、メインタンクから供給されたインクを貯留している。サブタンク内のインクは、制御部５の制御により循環ポンプ７ｐ（図４参照）が駆動されることで、供給口５１ｘから供給流路５１に流入する。供給流路５１に流入したインクは、鉛直流路５３ａを介して各個別流路１６Ａに分配され、鉛直流路５３ｂを介して各個別流路１６Ｂに分配される。
【００４８】
帰還流路５２の上面に、帰還口５２ｘ（本発明に係る「第２開口」）が形成されている。帰還口５２ｘは、帰還流路５２における供給流路５１に対して第１方向に突出した部分に配置されている。帰還流路５２は、帰還口５２ｘを介して、サブタンク（図示略）に連通している。個別流路１６Ａ，１６Ｂ内のインクは、帰還流路５２に流入し、帰還口５２ｘを通ってサブタンクに戻される。
【００４９】
供給流路５１から各個別流路１６Ａ，１６Ｂに分配されたインクは、図３に示すように、第１連結流路１３を通って圧力室１２に入り、圧力室１２内を第２方向に移動し、一部がノズル１１から吐出され、残りは第２連結流路１４を通って帰還流路５２に流入する。
【００５０】
このようにサブタンクとヘッド１との間でインクを循環させることで、ヘッド１の流路内のエアの排出やインクの増粘防止が実現される。また、インクが沈降成分（沈降が生じ得る成分。顔料等）を含む場合、当該成分が攪拌されて沈降が防止される。
【００５１】
なお、ノズル１１にメニスカスを保持する観点等から、帰還流路５２は、第２方向の長さが３ｍｍ、鉛直方向の長さ５２Ｈが０．３ｍｍ程度が好ましく、鉛直流路５３ａ，５３ｂは、第２方向の長さが１．５ｍｍ、鉛直方向の長さが０．２０５ｍｍ程度が好ましく、個別流路１６Ａ，１６Ｂ当たりの循環流量は、５０ｎｌ／ｓ程度が好ましい。
【００５２】
以上に述べたように、本実施形態によれば、供給流路５１、帰還流路５２及び複数の圧力室１２が、鉛直方向に互いに異なる位置にあり、かつ、鉛直方向に互いに重なっている（図３参照）。これにより、ヘッド１が第２方向に大型化することを抑制しつつ、流路５１，５２の容積を大きくできる。しかも、本実施形態では、供給流路５１が帰還流路５２よりも上方に配置されているため、浮力の作用により、供給流路５１から圧力室１２内へのエアの侵入を抑制できる。
【００５３】
帰還流路５２の流路面積は、供給流路５１の流路面積よりも小さい（図３参照）。これにより、帰還流路５２内の流速が大きくなり、帰還流路５２を介したエアの排出を効率よく行える。
【００５４】
鉛直方向において供給流路５１と帰還流路５２との間に、ダンパ室８０が設けられている（図３参照）。この場合、供給流路５１及び帰還流路５２に対して個別にダンパ室を設ける場合に比べ、構成が簡素化され、かつ、ヘッド１を鉛直方向に小型化できる。
【００５５】
供給流路５１の上面に供給口５１ｘが形成され、帰還流路５２における、供給流路５１に対して第１方向に突出した部分の上面に、帰還口５２ｘが形成されている（図２参照）。この場合、供給流路５１及び帰還流路５２が鉛直方向に互いに重なる構成において、供給口５１ｘに対するチューブの取り付け、及び、帰還口５２ｘに対するチューブの取り付けを、上方から行うことができ、取付作業が容易である。
【００５６】
供給流路５１は、帰還流路５２よりも、第２方向の長さが長く、かつ、鉛直方向の長さが短い（図３参照）。この場合、供給流路５１と帰還流路５２との間の流路抵抗の差を低減でき、メニスカスを確実に保持できる。
【００５７】
供給流路５１と圧力室１２とを連結する第１連結流路１３が、鉛直方向において供給流路５１と圧力室１２との間に配置され、帰還流路５２と圧力室１２とを連結する第２連結流路１４が、鉛直方向において帰還流路５２と圧力室１２との間に配置されている（図３参照）。つまり、連結流路１３，１４が、圧力室１２よりも上方に配置されている。この場合、浮力の作用により、第１連結流路１３を介した圧力室１２内へのエア侵入の抑制、及び、第２連結流路１４を介した圧力室１２からのエアの排出を、効率よく行える。
【００５８】
個別流路１６Ａ，１６Ｂにおいて、ノズル１１は、圧力室１２の直下に位置する（図３参照）。圧力室１２の上部でインクの流入及び流出が行われる構成のため、接続流路２１５の直下にノズル１１があると、ノズル１１近傍にまで循環のインクの流れが及ばす、ノズル１１内のインク増粘防止効果を得難い。これに対し、本構成では、圧力室１２の直下にノズル１１があるため、圧力室内を通るインクの流れにより、ノズル１１内のインク増粘防止効果が得られる。
【００５９】
供給流路５１及び帰還流路５２は、第１個別流路１６Ａのみではなく第２個別流路１６Ｂとも連通し、第１個別流路１６Ａ及び第２個別流路１６Ｂに属する複数の圧力室１２の上方に配置され、これら圧力室１２と鉛直方向に重なっている（図３参照）。この場合、第１個別流路１６Ａ及び第２個別流路１６Ｂのそれぞれに対して供給流路５１及び帰還流路５２を設ける場合に比べ、流路構成が簡素化し、さらに、流路５１，５２の容積を大きくし易い。
【００６０】
アクチュエータ基板３０の上面に、保護基板４０が配置されている（図３参照）。この場合、保護基板４０によりアクチュエータ３０ｘを保護できる。
【００６１】
保護基板４０は、帰還流路５２の下面を画定している（図３参照）。この場合、帰還流路５２の下面を画定するための部材を別途設ける場合に比べ、部品点数を削減できる。
【００６２】
＜第２実施形態＞
続いて、図５を参照し、本発明の第２実施形態に係るヘッド２０１について説明する。なお、第１実施形態と同じ構成要素については、第１実施形態と同じ符号を付して説明を省略する。
【００６３】
ヘッド２０１は、流路基板２１０、アクチュエータ基板３０、保護基板４０及び筐体２５０を有する。
【００６４】
流路基板２１０は、鉛直方向に積層された３枚のプレート２１０ａ〜２１０ｃと、プレート２１０ｃの下面に接着された２枚のプレート２１０ｄ及び１枚のプレート２１０ｅとで構成されている。プレート２１０ａ（本発明に係る「圧力室基板」）には、複数の圧力室１２が形成されている。プレート２１０ｂは、プレート２１０ａの下面に接着されている。プレート２１０ｃは、プレート２１０ｂの下面に接着されている。２枚のプレート２１０ｄは、第２方向において互いに離隔している。プレート２１０ｄは、他のプレート２１０ａ〜２１０ｃ，２１０ｅよりも厚みが小さく、ダンパ膜として機能する。プレート２１０ｅは、プレート２１０ｃの第２方向の中央であって、第２方向において２枚のプレート２１０ｄの間に配置されている。プレート２１０ｅ（本発明に係る「ノズルプレート」）には、複数のノズル１１が形成されている。
【００６５】
第１個別流路２１６Ａは、第１実施形態の第１個別流路１６Ａと同様、第１方向に１列に等間隔で配列されている。第２個別流路２１６Ｂは、第１実施形態の第２個別流路１６Ｂと同様、複数の第１個別流路２１６Ａと第２方向に並び、第１方向に１列に等間隔で配列されている。
【００６６】
第１個別流路２１６Ａに属する圧力室１２が本発明に係る「第１圧力室」に該当し、第２個別流路２１６Ｂに属する圧力室１２が本発明に係る「第２圧力室」に該当する。
【００６７】
第１個別流路２１６Ａに属するノズル１１が本発明に係る「第１ノズル」に該当し、第２個別流路２１６Ｂに属するノズル１１が本発明に係る「第２ノズル」に該当する。
【００６８】
個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの構成は、第１実施形態の個別流路１６Ａ，１６Ｂの構成と異なる。個別流路２１６Ａ，２１６Ｂは、それぞれ、１つのノズル１１と、１つの圧力室１２と、１つの導入流路２１３と、１つの接続流路２１５と、１つの排出流路２１４とを含む。
【００６９】
導入流路２１３は、圧力室１２における第２方向の一端から、下方に延びている。導入流路２１３の下端が、個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの入口２１６ｘに該当する。
【００７０】
接続流路２１５は、圧力室１２における第２方向の他端から下方に延び、ノズル１１と圧力室１２とを接続している。
【００７１】
排出流路２１４は、接続流路２１５の下端の側面から、第２方向に延びている。排出流路２１４の先端が、個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの出口２１６ｙに該当する。
【００７２】
排出流路２１４は、プレート２１０ｅによって画定されており、鉛直方向においてノズル１１と接する位置にある。排出流路２１４は、ノズル１１との鉛直方向の距離（本実施形態では略ゼロ）が、アクチュエータ基板３０との鉛直方向の距離よりも短い。
【００７３】
第１個別流路２１６Ａに属する排出流路２１４が本発明に係る「第１排出流路」に該当し、第２個別流路２１６Ｂに属する排出流路２１４が本発明に係る「第２排出流路」に該当する。
【００７４】
個別流路２１６Ａ，２１６Ｂに属する複数の導入流路２１３は、個別流路２１６Ａ，２１６Ｂに属する複数の排出流路２１４に対し、第２方向の両側に配置されている。第２方向において、第１個別流路２１６Ａに属する導入流路２１３と、第２個別流路２１６Ｂに属する導入流路２１３との間に、第１個別流路２１６Ａに属する排出流路２１４と、第２個別流路２１６Ｂに属する排出流路２１４とが配置されている。
【００７５】
第２方向において第１個別流路２１６Ａに属する圧力室１２と第２個別流路２１６Ｂに属する圧力室１２との間に、中間流路２５４が配置されている。中間流路２５４は、帰還流路２５２（本発明に係る「第２共通流路」）の第２方向の中央から下方に延び、個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの排出流路２１４に連結している。
【００７６】
中間流路２５４は、保護基板４０に形成された貫通孔と、振動板３１に形成された貫通孔と、プレート２１０ａ〜２１０ｃに形成された貫通孔とで構成されている。中間流路２５４の鉛直方向の長さは、保護基板４０、アクチュエータ基板３０及びプレート２１０ａからなる部分の鉛直方向の長さ以上である。
【００７７】
中間流路２５４の下端、及び、排出流路２１４は、プレート２１０ｅにおける、第２方向において第１個別流路２１６Ａに属するノズル１１と第２個別流路２１６Ｂに属するノズル１１との間の部分によって画定されている。
【００７８】
中間流路２５４は、帰還流路２５２と同様、第１方向に延びている。中間流路２５４は、第１方向において帰還流路２５２と同じ長さを有する。
【００７９】
中間流路２５４は、帰還流路２５２と、各個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの出口２１６ｙとを連結している。中間流路２５４における第２方向の一方の側面には、複数の第１個別流路２１６Ａの出口２１６ｙが第１方向に並んでいる。中間流路２５４における第２方向の他方の側面には、複数の第２個別流路２１６Ｂの出口２１６ｙが第１方向に並んでいる。
【００８０】
筐体２５０は、保護基板４０の上面に接着されている。筐体２５０は、鉛直方向に積層された５枚のプレート２５０ａ〜２５０ｅで構成されている。筐体２５０には、プレート２５０ｂ〜２５０ｅに形成された貫通孔により、供給流路２５１（本発明に係る「第１共通流路」）と、帰還流路２５２と、鉛直流路２５３ａ，２５３ｂとが形成されている。鉛直流路２５３ａ，２５３ｂは、プレート２５０ｃ，２５０ｄ，２５０ｅに形成された貫通孔と、保護基板４０に形成された貫通孔と、振動板３１に形成された貫通孔と、プレート２１０ａ〜２１０ｃに形成された貫通孔とで構成されている。
【００８１】
供給流路２５１及び帰還流路２５２は、個別流路２１６Ａ，２１６Ｂよりも上方に配置され、ヘッド１に形成された全ての圧力室１２と鉛直方向に重なっている。帰還流路２５２及び鉛直流路２５３ａ，２５３ｂは、供給流路２５１よりも下方において、供給流路２５１と鉛直方向に重なっている。
【００８２】
供給流路２５１の鉛直方向の長さ２５１Ｈは、帰還流路２５２の鉛直方向の長さ２５２Ｈよりも短い。帰還流路２５２の流路面積（第１方向と直交する面積）は、供給流路２５１の流路面積よりも小さい。
【００８３】
供給流路２５１及び帰還流路２５２は、それぞれ、第１方向に延びている。鉛直流路２５３ａ，２５３ｂは、供給流路２５１における第２方向の一端及び他端それぞれにおいて、第１方向に延びている。
【００８４】
鉛直流路２５３ａ，２５３ｂの下端には、水平流路２５５ａ，２５５ｂが連結している。鉛直流路２５３ａの下端における、第２方向の一方の側面から、水平流路２５５ａが第２方向に延びている。鉛直流路２５３ａの下端における、第２方向の他方の側面から、水平流路２５５ｂが第２方向に延びている。第２方向において鉛直流路２５３ａと鉛直流路２５３ｂとの間に、水平流路２５５ａ，２５５ｂが配置されている。水平流路２５５ａ，２５５ｂは、第１方向に延びている。
【００８５】
鉛直流路２５３ａ，２５３ｂ及び水平流路２５５ａ，２５５ｂは、第１方向において供給流路５１と同じ長さを有する。
【００８６】
供給流路２５１は、鉛直流路２５３ａ，２５３ｂ及び水平流路２５５ａ，２５５ｂを介して、ヘッド２０１に形成された全ての個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの入口２１６ｘに連通している。鉛直流路２５３ａ及び水平流路２５５ａは、供給流路２５１における第２方向の一端と、複数の第１個別流路２１６Ａの入口２１６ｘとを連結している。鉛直流路２５３ｂ及び水平流路２５５ｂは、供給流路２５１における第２方向の他端と、複数の第２個別流路２１６Ｂの入口２１６ｘとを連結している。水平流路２５５ａ，２５５ｂの上面には、複数の入口２１６ｘが第１方向に並んでいる。供給流路２５１は、鉛直流路２５３ａ及び水平流路２５５ａを介して複数の第１個別流路２１６Ａの入口２１６ｘに連通し、鉛直流路２５３ｂ及び水平流路２５５ｂを介して複数の第２個別流路２１６Ｂの入口２１６ｘに連通している。
【００８７】
帰還流路２５２は、中間流路２５４の直上に配置され、中間流路２５４を介して、ヘッド２０１に形成された全ての個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの出口２１６ｙに連通している。帰還流路２５２の下面は保護基板４０により画定されており、保護基板４０の上面が帰還流路２５２の下面に該当する。
【００８８】
供給流路２５１及び帰還流路２５２は、ヘッド２０１に形成された全ての圧力室１２と、鉛直方向に全体的に重なっている。帰還流路２５２は、第１実施形態の帰還流路５２（図３参照）よりも第２方向に長い。供給流路２５１は、帰還流路２５２よりも第２方向の長さが長く、帰還流路２５２に対して第２方向の両側に突出している。
【００８９】
循環ポンプ７ｐ（図４参照）の駆動により、供給口５１ｘ（図２参照）から供給流路２５１に流入したインクは、鉛直流路２５３ａ及び水平流路２５５ａを介して各個別流路２１６Ａに分配され、鉛直流路２５３ｂを及び水平流路２５５ｂ介して各個別流路２１６Ｂに分配される。各個別流路２１６Ａ，２１６Ｂに分配されたインクは、導入流路２１３を通って圧力室１２に入り、圧力室１２内を第２方向に移動する。圧力室１２の第２方向の他端に至ったインクは、接続流路２１５を通って下方に移動し、一部がノズル１１から吐出され、残りは排出流路２１４を通って中間流路２５４に流入する。そしてインクは、中間流路２５４内を上方に移動して帰還流路２５２に流入し、帰還口５２ｘ（図２参照）を通ってサブタンクに戻される。
【００９０】
鉛直方向において供給流路２５１と帰還流路２５２との間に、ダンパ室２８０が設けられている。ダンパ室２８０は、供給流路２５１における鉛直流路２５３ａ，２５３ｂが連結する部分を除く全領域と鉛直方向に重なり、帰還流路２５２の全領域と鉛直方向に重なっている。また、図示は省略するが、ダンパ室２８０は、第１方向の両端において、大気と連通している。したがって、ダンパ室２８０の圧力は、大気圧と同じである。
【００９１】
ダンパ室２８０は、供給流路２５１に接する第１ダンパ膜２８１と、帰還流路２５２に接する第２ダンパ膜２８２とで形成されている。プレート２５０ｃの下面に、ハーフエッチング等により、ダンパ室２８０を構成する窪みが形成されている。当該窪みの底部における、供給流路２５１と鉛直方向に重なる部分が、第１ダンパ膜２８１として機能する。プレート２５０ｄは、上記窪みを下方から覆うように、プレート２５０ｃの下面に接着されている。プレート２５０ｄにおける、上記窪みを覆う部分のうち、帰還流路２５２と鉛直方向に重なる部分が、第２ダンパ膜２８２として機能する。
【００９２】
第１ダンパ膜２８１の第２方向の長さは、第２ダンパ膜２８２の第２方向の長さよりも長い。また、第１ダンパ膜２８１のヤング率は、第２ダンパ膜２８２のヤング率よりも高い。例えば、プレート２５０ｃは金属（ＳＵＳ等）からなり、プレート２５０ｄは樹脂（ポリイミド等）からなる。
【００９３】
供給流路２５１の上面を画定するプレート２５０ａの厚みは、ダンパ膜２８１，２８２の厚みと略同じである。したがって、供給流路２５１は、上面及び下面の双方に、ダンパ膜が設けられている。
【００９４】
以上に述べたように、本実施形態によれば、第１実施形態と同様の構成に基づく効果に加え、以下の効果が得られる。
【００９５】
鉛直流路２５３ａ，２５３ｂは、本発明に係る「第１流路部」に該当し、供給流路２５１における圧力室１２と鉛直方向に重ならない部分から、圧力室１２よりも下方まで、鉛直方向に延びている。水平流路２５５ａ，２５５ｂ及び導入流路２１３を含む部分は、本発明に係る「第２流路部」に該当し、圧力室１２よりも下方に配置され、鉛直流路２５３ａ，２５３ｂに連通する一端と、圧力室１２と鉛直方向に重なりかつ圧力室１２に連通する他端とを有する。本実施形態によれば、鉛直流路２５３ａ，２５３ｂが圧力室１２の側方において鉛直方向に延びることで、第１実施形態に比べ、供給流路２５１を第２方向に長く、供給流路２５１の容積を大きくできる。
【００９６】
鉛直流路２５３ａ，２５３ｂは、筐体２５０及び流路基板２１０に形成された穴（具体的には、鉛直流路２５３ａ，２５３ｂは、プレート２５０ｃ，２５０ｄ，２５０ｅに形成された貫通孔と、保護基板４０に形成された貫通孔と、振動板３１に形成された貫通孔と、プレート２１０ａ〜２１０ｃに形成された貫通孔）とで構成されている。水平流路２５５ａ，２５５ｂは、流路基板２１０の下端に形成された穴（具体的には、プレート２１０ｃに形成された貫通孔）で構成されている。この場合、鉛直流路２５３ａ，２５３ｂが圧力室１２の側方において鉛直方向に延びる構成を、実効的に実現できる。
【００９７】
第２方向において第１個別流路２１６Ａに属する圧力室１２と第２個別流路２１６Ｂに属する圧力室１２との間に、中間流路２５４が配置されている。この場合、第２方向において第１個別流路２１６Ａに属する圧力室１２と第２個別流路２１６Ｂに属する圧力室１２との間に、中間流路２５４の代わりに、帰還流路２５２が配置された場合に比べ、ヘッド２０１を第２方向に小型化できる。さらに、本実施形態では、接続流路２１５と中間流路２５４とが、排出流路２１４を介して連通している。この場合、後述の第３実施形態（圧力室１２と中間流路３５４とが、排出流路３１４を介して連通した構成）に比べ、中間流路２５４が鉛直方向に長く、圧力室１２よりも下方にあるノズル１１近傍のインクを回収し易い。したがって、ノズル１１近傍のインク増粘効果が高まる。
【００９８】
また、本実施形態では、排出流路２１４が、個別流路２１６Ａ，２１６Ｂを構成する。この場合において、中間流路２５４を省略し、排出流路２１４を帰還流路２５２まで延ばすと、排出流路２１４の長さが長くなり、排出流路２１４の流路抵抗が大きくなることで、循環流量を増大させ難くなる。これに対し、本構成では、中間流路２５４を設け、排出流路２１４を帰還流路２５２まで延ばさないことで、排出流路２１４の流路抵抗を小さくでき、循環流量を増大させ易い。
【００９９】
中間流路２５４の鉛直方向の長さは、保護基板４０、アクチュエータ基板３０及びプレート２１０ａからなる部分の鉛直方向の長さ以上である。この場合、中間流路２５４が鉛直方向に長く、ノズル１１近傍のインクを回収し易い構成を、実効的に実現できる。
【０１００】
排出流路２１４は、ノズル１１との鉛直方向の距離が、アクチュエータ基板３０との鉛直方向の距離よりも短い。この場合、排出流路２１４が鉛直方向においてノズル１１に近く、ノズル１１近傍のインクを回収し易い構成を、より実効的に実現できる。
【０１０１】
中間流路２５４及び排出流路２１４は、プレート２１０ｅにおける、第２方向において第１個別流路２１６Ａに属するノズル１１と第２個別流路２１６Ｂに属するノズル１１との間の部分によって画定されている。この場合、中間流路２５４が鉛直方向に長く、かつ、排出流路２１４が鉛直方向においてノズル１１に近い構成を、容易に実現できる。また、第１個別流路２１６Ａに属するノズル１１と第２個別流路２１６Ｂに属するノズル１１とが、１枚のプレート２１０ｅに形成されており、２枚のプレートに個別に形成された場合に比べ、プレートの接着作業の回数が削減され、ヘッド２０１の製造が容易である。
【０１０２】
＜第３実施形態＞
続いて、図６を参照し、本発明の第３実施形態に係るヘッド３０１について説明する。本実施形態は、第２実施形態と類似しており、第２実施形態と同じ構成要素については、第２実施形態と同じ符号を付して説明を省略する。
【０１０３】
個別流路２１６Ａ，２１６Ｂにおいて、排出流路３１４は、圧力室１２の上部の側面から、第２方向に延びている。排出流路３１４の先端が、個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの出口３１６ｙに該当する。
【０１０４】
第１個別流路２１６Ａに属する排出流路３１４が本発明に係る「第１連通流路」に該当し、第２個別流路２１６Ｂに属する排出流路３１４が本発明に係る「第２連通流路」に該当する。
【０１０５】
第２方向において第１個別流路２１６Ａに属する圧力室１２と第２個別流路２１６Ｂに属する圧力室１２との間に、中間流路３５４が配置されている。中間流路３５４は、帰還流路２５２の第２方向の中央から下方に延び、各個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの排出流路３１４に連結している。
【０１０６】
中間流路３５４は、保護基板４０に形成された貫通孔と、振動板３１に形成された貫通孔と、プレート２１０ａの上面にハーフエッチング等で形成された凹部とで構成されている。中間流路２５４の鉛直方向の長さは、保護基板４０及びアクチュエータ基板３０からなる部分の鉛直方向の長さ以上である。
【０１０７】
中間流路３５４の鉛直方向の長さは、第２実施形態の中間流路２５４の鉛直方向の長さよりも短い。
【０１０８】
排出流路３１４は、プレート２１０ａの上面にハーフエッチング等で形成された溝で構成されている。当該溝は、中間流路３５４の下端を構成する凹部に接続している。
【０１０９】
中間流路３５４は、帰還流路２５２と同様、第１方向に延びている。中間流路３５４は、第１方向において帰還流路２５２と同じ長さを有する。
【０１１０】
中間流路３５４は、帰還流路２５２と、各個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの出口３１６ｙとを連結している。中間流路３５４における第２方向の一方の側面には、複数の第１個別流路２１６Ａの出口３１６ｙが第１方向に並んでいる。中間流路３５４における第２方向の他方の側面には、複数の第２個別流路２１６Ｂの出口３１６ｙが第１方向に並んでいる。
【０１１１】
以上に述べたように、本実施形態によれば、第２実施形態と同様、第２方向において第１個別流路２１６Ａに属する圧力室１２と第２個別流路２１６Ｂに属する圧力室１２との間に、中間流路３５４が配置されている。この場合、第２方向において第１個別流路２１６Ａに属する圧力室１２と第２個別流路２１６Ｂに属する圧力室１２との間に、中間流路３５４の代わりに、帰還流路２５２が配置された場合に比べ、ヘッド３０１を第２方向に小型化できる。また、第２実施形態と同様、中間流路３５４を設け、排出流路３１４を帰還流路２５２まで延ばさないことで、排出流路３１４の流路抵抗を小さくでき、循環流量を増大させ易いという効果も得られる。さらに、排出流路３１４が個別流路２１６Ａ，２１６Ｂを構成し、中間流路３５４を設け、排出流路３１４を帰還流路２５２まで延ばさないことで、第２実施形態と同様、排出流路３１４の流路抵抗を小さくできる。
【０１１２】
中間流路３５４は、プレート２１０ａの上面に形成された凹部で構成され、排出流路３１４は、プレート２１０ａの上面に形成されかつ上記凹部に接続する溝で構成されている。この場合、圧力室１２の上面に滞留したエアを、排出流路３１４を介して効率よく排出できる。
【０１１３】
＜第４実施形態＞
続いて、図７を参照し、本発明の第４実施形態に係るヘッド４０１について説明する。本実施形態は、第２実施形態と類似しており、第２実施形態と同じ構成要素については、第２実施形態と同じ符号を付して説明を省略する。
【０１１４】
ヘッド４０１は、流路基板２１０、アクチュエータ基板３０、保護基板４０及び筐体２５０に加え、ＩＣ収容部材４５０を有する。
【０１１５】
ＩＣ収容部材４５０は、保護基板４０の上面、及び、筐体２５０の下面に接着されている。ＩＣ収容部材４５０には、鉛直流路２５３ａ，２５３ｂを構成する貫通孔と、中間流路２５４を構成する貫通孔と、ドライバＩＣ１ｄ（本発明に係る「駆動回路」）を収容する２つの凹部４５０ｘとが形成されている。２つの凹部４５０ｘは、保護基板４０に形成された２つの凹部４０ｘのそれぞれと鉛直方向に重なり、第１方向に延びている。
【０１１６】
各ドライバＩＣ１ｄは、各個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの列に対応する共通電極３２、及び、各個別流路２１６Ａ，２１６Ｂに対応する個別電極３４と、配線（図示略）を介して電気的に接続されている。ドライバＩＣ１ｄは、ＩＣ収容部材４５０における凹部４５０ｘの底壁と、保護基板４０との間に挟まれている。
【０１１７】
帰還流路２５２の下面はＩＣ収容部材４５０により画定されており、ＩＣ収容部材４５０の上面が帰還流路２５２の下面に該当する。ドライバＩＣ１ｄは、鉛直方向において帰還流路２５２と保護基板４０との間に挟まれ、帰還流路２５２を画定する壁（ＩＣ収容部材４５０における凹部４５０ｘの底壁）に接触している。
【０１１８】
以上に述べたように、本実施形態によれば、ドライバＩＣ１ｄは、帰還流路２５２を画定する壁に接触している。この場合、ドライバＩＣ１ｄの熱が壁を介して帰還流路２５２内のインクに伝わることで、ドライバＩＣ１ｄを冷却できる。
【０１１９】
本実施形態では、ドライバＩＣ１ｄが、供給流路２５１を画定する壁ではなく、帰還流路２５２を画定する壁に接触している。ドライバＩＣ１ｄが供給流路２５１を画定する壁に接触する場合、ドライバＩＣ１ｄの熱によって供給流路２５１内のインクの温度が上昇し、当該インクが圧力室１２に供給されることで、吐出のバラツキやインクのサテライトが生じ得る。本構成では、当該問題を抑制できる。
【０１２０】
＜第５実施形態＞
続いて、図８を参照し、本発明の第５実施形態に係るヘッド５０１について説明する。本実施形態は、第４実施形態と類似しており、第４実施形態と同じ構成要素については、第４実施形態と同じ符号を付して説明を省略する。
【０１２１】
ＩＣ収容部材４５０に形成された２つの凹部４５０ｘには、ドライバＩＣ１ｄに加え、伝熱部材５５０が収容されている。伝熱部材５５０は、ドライバＩＣ１ｄの上面に配置され、帰還流路２５２を画定する壁（ＩＣ収容部材４５０における凹部４５０ｘの底壁）とドライバＩＣ１ｄとに接触している。伝熱部材５５０は、弾性及び熱伝導性を有する部材であり、例えばシート、グリス等からなる。
【０１２２】
以上に述べたように、本実施形態によれば、伝熱部材５５０が、帰還流路２５２を画定する壁とドライバＩＣ１ｄとに接触している。この場合、ドライバＩＣ１ｄの熱が、伝熱部材５５０及び壁を介して帰還流路２５２内のインクに伝わることで、ドライバＩＣ１ｄを冷却できる。
【０１２３】
＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。
【０１２４】
例えば、上述の実施形態では、供給流路が「第１共通流路」に該当し、帰還流路が「第２共通流路」に該当するが、これに限定されず、帰還流路が「第１共通流路」に該当し、供給流路が「第２共通流路」に該当してもよい。第１共通流路が各個別流路の入口及び出口の一方に連通し、第２共通流路が各個別流路の入口及び出口の他方に連通すればよい。
【０１２５】
上述の実施形態では、供給流路が、各圧力室の全体と鉛直方向に重なっているが、これに限定されず、各圧力室の一部と鉛直方向に重なってもよい。つまり、第１共通流路及び第２共通流路は、それぞれ、各圧力室の全体と鉛直方向に重なることに限定されず、各圧力室の一部と鉛直方向に重なってもよい。
【０１２６】
第１ダンパ膜のヤング率が第２ダンパ膜のヤング率よりも高いという要件を実現するため、上述の実施形態ではダンパ膜の材料を異ならせているが、これに限定されず、ダンパ膜の厚みを異ならせてもよい。例えば、第１ダンパ膜の厚みを、第２ダンパ膜の厚みより大きくしてもよい。
【０１２７】
第１ダンパ膜のヤング率と、第２ダンパ膜のヤング率とが、互いに同じであってもよい。例えば、第１ダンパ膜及び第２ダンパ膜が、共に樹脂（ポリイミド等）からなってもよい。
【０１２８】
鉛直方向において第１共通流路と第２共通流路との間に、ダンパ室が設けられなくてよい。例えば、第１共通流路及び第２共通流路に対して個別にダンパ室が設けられてもよい。また、ダンパ室は、共通流路の上面や下面に設けられることに限定されず、共通流路の側面に設けられてもよい。共通流路に対してダンパ室やダンパ膜を設けなくてもよい。
【０１２９】
筐体は、複数のプレートで構成されることに限定されず、例えば樹脂からなる一体成形品で構成されてもよい。
【０１３０】
第１実施形態では、鉛直流路５３ａ，５３ｂが、第１方向に延びて複数の個別流路１６Ａ，１６Ｂに連通するが、これに限定されず、連結流路１３のそれぞれに対して設けられ、個別流路１６Ａ，１６Ｂを構成してもよい。この場合、鉛直流路５３ａ，５３ｂの上端が個別流路１６Ａ，１６Ｂの入口１６ｘに該当する。
【０１３１】
第１実施形態では、連結流路１３，１４が、個別流路１６Ａ，１６Ｂを構成するが、これに限定されず、鉛直流路５３ａ，５３ｂと同様に、第１方向に延びてもよい。この場合、圧力室１２の上端において、連結流路１３，１４と連結する部分が、個別流路１６Ａ，１６Ｂの入口１６ｘ及び出口１６ｙに該当する。
【０１３２】
第２実施形態では、鉛直流路２５３ａ，２５３ｂ及び水平流路２５５ａ，２５５ｂが、第１方向に延びて複数の個別流路２１６Ａ，２１６Ｂに連通するが、これに限定されず、導入流路２１３のそれぞれに対して設けられ、個別流路２１６Ａ，２１６Ｂを構成してもよい。この場合、鉛直流路２５３ａ，２５３ｂの上端が個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの入口２１６ｘに該当する。
【０１３３】
第２実施形態では、導入流路２１３が、個別流路２１６Ａ，２１６Ｂを構成するが、これに限定されず、鉛直流路２５３ａ，２５３ｂ及び水平流路２５５ａ，２５５ｂと同様に、第１方向に延びてもよい。この場合、圧力室１２の下端において、導入流路２１３と連結する部分が、個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの入口２１６ｘに該当する。
【０１３４】
第２及び第３実施形態では、排出流路２１４，３１４が個別流路２１６Ａ，２１６Ｂを構成するが、これに限定されず、中間流路２５４，３５４と同様に、第１方向に延びてもよい。この場合、第２実施形態では、接続流路２１５の側面において排出流路２１４と連結する部分が個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの出口２１６ｙに該当し、第３実施形態では、圧力室１２の側面において排出流路３１４と連結する部分が個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの出口３１６ｙに該当する。
【０１３５】
第４及び第５実施形態では、ドライバＩＣ１ｄの冷却効果を高める観点から、第２共通流路を画定する壁（ＩＣ収容部材４５０における凹部４５０ｘの底壁）を、熱伝導性の高い材料（例えば、ＳＵＳ等の金属）で構成することが好ましい。
【０１３６】
第１個別流路及び第２個別流路のそれぞれに対して、第１共通流路及び第２共通流路を設けてもよい。つまり、上述の実施形態では、第１共通流路及び第２共通流路が、第１個別流路及び第２個別流路の双方に連通するが、これに限定されず、第１共通流路及び第２共通流路が、第１個別流路には連通するが、第２個別流路には連通せず、第２個別流路に連通する別の共通流路が別途設けられてもよい。この場合において、第１個別流路及び第２個別流路に対し、種類（色等）の異なる液体を供給してよい。
【０１３７】
本発明において、第２個別流路は必須ではなく、第１個別流路と、これに連通する第１共通流路及び第２共通流路とが設けられればよい。
【０１３８】
上述の実施形態（図１）では、ヘッドユニット１ｘが４つのヘッド１を含むが、ヘッドユニット１ｘが含むヘッド１の数は任意であり、例えばヘッドユニット１ｘが６つの又は８つのヘッド１を含んでもよい。また、本発明が適用される装置は、複数のヘッドを含むヘッドユニットを有することに限定されず、１つのヘッドを有してもよい。
【０１３９】
本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。
【符号の説明】
【０１４０】
１；２０１；３０１；４０１；５０１  ヘッド
１ｄ  ドライバＩＣ（駆動回路）
１０；２１０  流路基板
１０ａ；２１０ａ  プレート（圧力室基板）
１０ｂ；２１０ｅ  プレート（ノズルプレート）
１１  ノズル
１２  圧力室
１３  第１連結流路
１４  第２連結流路
１６Ａ；２１６Ａ  第１個別流路
１６Ｂ；２１６Ｂ  第２個別流路
１６ｘ；２１６ｘ  入口
１６ｙ；２１６ｙ；３１６ｙ  出口
３０  アクチュエータ基板
３０ｘ  アクチュエータ
４０  保護基板
４０ｘ  凹部
５０；２５０  筐体
５１；２５１  供給流路（第１共通流路）
５１ｘ  供給口（第１開口）
５２；２５２  帰還流路（第２共通流路）
５２ｘ  帰還口（第２開口）
８０；２８０  ダンパ室
８１；２８１  第１ダンパ膜
８２；２８２  第２ダンパ膜
１００  プリンタ
２１３  導入流路（第２流路部）
２１４  排出流路
２１５  接続流路
２５３ａ，２５３ｂ  鉛直流路（第１流路部）
２５４；３５４  中間流路
２５５ａ，２５５ｂ  水平流路（第２流路部）
３１４  排出流路（連通流路）
５５０  伝熱部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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