(57)【要約】【課題】カバーの有無によらず、作業者がボタンを誤操作する可能性を低減できる緊急停止用機器を提供する。【解決手段】緊急停止用機器１はボタン２と近接センサ３と警告部とを備える。ボタン２は、作業者によって操作される操作部２１を有する。近接センサ３は操作部２１の頭頂面に設けられており、作業者の近接を検出する。警告部は近接センサ３による作業者の近接の検出に応答して、作業者に対して警告を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
緊急停止用機器であって、
作業者によって操作される操作部を有するボタンと、
前記操作部の頭頂面に設けられており、作業者の近接を検出する近接センサと、
前記近接センサによる作業者の近接の検出に応答して、作業者に対して警告を行う警告部と
を備える、緊急停止用機器。
【請求項２】
請求項１に記載の緊急停止用機器であって、
前記近接センサは前記操作部の前記頭頂面の中心を含む領域に設けられる、緊急停止用機器。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の緊急停止用機器であって、
前記近接センサの検出範囲を設定する入力部をさらに備える、緊急停止用機器。
【請求項４】
請求項３に記載の緊急停止用機器であって、
前記入力部は前記操作部の側面に設けられている、緊急停止用機器。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一つに記載の緊急停止用機器であって、
前記警告部は前記操作部の内部に設けられている、緊急停止用機器。
【請求項６】
請求項５に記載の緊急停止用機器であって、
前記警告部は警告音を出力し、
前記操作部には、前記警告部と向かい合う領域に貫通孔が形成されている、緊急停止用機器。
【請求項７】
請求項６に記載の緊急停止用機器であって、
前記貫通孔は複数の貫通孔を含み、
前記複数の貫通孔の一つを取り囲むように、残りの貫通孔が形成されている、緊急停止用機器。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか一つに記載の緊急停止用機器であって、
前記近接センサは、対象物までの距離を測定し、
前記警告部は、前記距離が第１値であるときに、前記距離が、前記第１値よりも大きい第２値であるときの警告レベルよりも高い警告レベルで警告を行う、緊急停止用機器。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか一つに記載の緊急停止用機器であって、
前記近接センサは、超音波を送波する距離センサを含む、緊急停止用機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、緊急停止用機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場内（例えばクリーンルーム内）には、半導体製造装置が設置される。この半導体製造装置には、種々の機械駆動部（例えばモータによって駆動される負荷など）が設けられている。このような機械駆動部の動作中に作業者が近づくことは、安全上の観点から望ましくない。
【０００３】
そこで半導体製造装置には、緊急停止用の押しボタンが設けられることがある。例えばある作業者が動作中の機械駆動部に近づいたときに、別の作業者がこの押しボタンを操作することにより、当該機械駆動部の動作を停止させる。これにより、作業者の安全を確保できる。
【０００４】
なお本願に関連する技術として特許文献１を挙げる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２８０９０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
作業者が作業に没頭して、緊急停止用の押しボタンの存在に気付かない場合がある。この場合、作業者は意図せずにその押しボタンを押してしまうことがある。あるいは、作業者が部品を運搬している最中に、押しボタンの存在に気付かずにその押しボタンを押してしまうこともあり得る。このような押しボタンの誤操作は好ましくない。そこで、押しボタンへの誤操作を抑制すべく、押しボタンを覆うカバーを設けることが考えられる。
【０００７】
しかしながら、このようなカバーを設けると、作業者が緊急時に押しボタンを操作しにくくなる。電気設備安全規格IEC60204-1においては、「非常停止用機器は容易にアクセスできるように配置しなければならない」と規定されており、上記カバーはこの規定を満足しない。
【０００８】
そこで、本願は、カバーの有無によらず、作業者がボタンを誤操作する可能性を低減できる緊急停止用機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
緊急停止用機器の第１の態様は、緊急停止用機器であって、作業者によって操作される操作部を有するボタンと、前記操作部の頭頂面に設けられており、作業者の近接を検出する近接センサと、前記近接センサによる作業者の近接の検出に応答して、作業者に対して警告を行う警告部とを備える。
【００１０】
緊急停止用機器の第２の態様は、第１の態様にかかる緊急停止用機器であって、前記近接センサは前記操作部の前記頭頂面の中心を含む領域に設けられる。
【００１１】
緊急停止用機器の第３の態様は、第１または第２の態様にかかる緊急停止用機器であって、前記近接センサの検出範囲を設定する入力部をさらに備える。
【００１２】
緊急停止用機器の第４の態様は、第３の態様にかかる緊急停止用機器であって、前記入力部は前記操作部の側面に設けられている。
【００１３】
緊急停止用機器の第５の態様は、第１から第４のいずれか一つの態様にかかる緊急停止用機器であって、前記警告部は前記操作部の内部に設けられている。
【００１４】
緊急停止用機器の第６の態様は、第５の態様にかかる緊急停止用機器であって、前記警告部は警告音を出力し、前記操作部には、前記警告部と向かい合う領域に貫通孔が形成されている。
【００１５】
緊急停止用機器の第７の態様は、第６の態様にかかる緊急停止用機器であって、前記貫通孔は複数の貫通孔を含み、前記複数の貫通孔の一つを取り囲むように、残りの貫通孔が形成されている。
【００１６】
緊急停止用機器の第８の態様は、第１から第７のいずれか一つの態様にかかる緊急停止用機器であって、前記近接センサは、対象物までの距離を測定し、前記警告部は、前記距離が第１値であるときに、前記距離が、前記第１値よりも大きい第２値であるときの警告レベルよりも高い警告レベルで警告を行う。
【００１７】
緊急停止用機器の第９の態様は、第１から第８のいずれか一つの態様にかかる緊急停止用機器であって、前記近接センサは、超音波を送波する距離センサを含む。
【発明の効果】
【００１８】
緊急停止用機器の第１の態様によれば、作業者がボタンに近づくと、警告部によって警告が行われる。よって、作業者がボタンを誤操作する可能性を低減できる。しかも、ボタンにカバーを設ける必要がない。
【００１９】
緊急停止用機器の第２の態様によれば、頭頂面の中心を含む領域への近接はボタンの誤操作を生じやすいところ、当該領域に近づく作業者を、より適切に検出できる。
【００２０】
緊急停止用機器の第３の態様によれば、設置環境に応じた検出範囲を設定できる。
【００２１】
緊急停止用機器の第４の態様によれば、操作部の側面は作業者によって触れられにくい。よって、通常使用時に、作業者が誤って入力部に対して入力を行う可能性を低減できる。
【００２２】
緊急停止用機器の第５の態様によれば、作業者は押しボタンの位置をより速やかに認識できる。また警告部が操作部によって保護されるので、警告部の信頼性を向上できる。
【００２３】
緊急停止用機器の第６の態様によれば、警告音をより効果的に外部に出力することができる。
【００２４】
緊急停止用機器の第７の態様によれば、警告音を効果的に広げて伝搬させることができる。
【００２５】
緊急停止用機器の第８の態様によれば、作業者がボタンに近づくと、高い警告レベルで警告が行われる。よって、作業者がボタンを誤操作する可能性をより低減できる。
【００２６】
緊急停止用機器の第９の態様によれば、半導体製造装置に適している。なぜなら、半導体製造装置内では、電磁波を用いた各種センサが用いられているものの、超音波は電磁波と干渉せず、互いの測定精度を低減させないからである。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】緊急停止用機器の外観の一例を概略的に示す斜視図である。
【図２】緊急停止用機器の電気的な構成の一例を概略的に示す機能ブロック図である。
【図３】半導体製造工場内の様子の一例を概略的に示す図である。
【図４】緊急停止用機器の動作の一例を示すフローチャートである。
【図５】緊急停止用機器の外観の一例を概略的に示す図である。
【図６】緊急停止用機器の動作の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、添付される図面を参照しながら実施の形態について説明する。なお、図面は概略的に示されており、説明の便宜のため、適宜、構成の省略、または、構成の簡略化がなされ得る。また、図面にそれぞれ示される構成などの大きさおよび位置の相互関係は必ずしも正確に記載されるものではなく、適宜変更され得るものである。
【００２９】
また、以下に示される説明では、同様の構成要素には同じ符号を付して図示し、それらの名称と機能とについても同様のものとする。したがって、それらについての詳細な説明を、重複を避けるために省略する場合がある。
【００３０】
＜１．緊急停止用機器＞
図１は、緊急停止用機器１の外観の一例を概略的に示す斜視図である。図２は、緊急停止用機器１の電気的な構成の一例を概略的に示す機能ブロック図である。
【００３１】
この緊急停止用機器１は所定の機械装置（例えば図３の半導体製造装置１０）に取り付けられる。この機械装置は、例えばモータ等によって駆動される機械駆動部を含む。動作中の機械駆動部に作業者が接触することは安全上の観点から望ましくない。
【００３２】
例えば半導体製造装置１０は、半導体用の基板に処理液を吐出して、その処理液に応じた処理を基板に対して行う基板処理装置と、その基板処理装置へと処理液を供給する処理液供給装置とを含んでいる。基板処理装置は、例えば、基板を保持しつつ水平面内で高速に回転させるスピンチャックと、基板に処理液を吐出するノズルとを備えている。基板を回転させつつ処理液を基板の上面に供給することで、基板の上面に着液した処理液が基板の回転に伴う遠心力を受けて広がる。これにより、基板の全面に処理液を作用させることができる。よって、処理液に応じた処理を基板に対して行うことができる。
【００３３】
このような基板処理装置において、例えば、回転中のスピンチャックに作業者が接触することは危険である。また、処理液の種類によっては、作業者がその処理液に触れることが望ましくない場合もある。この場合、作業者は基板に近づくことは望ましくない。
【００３４】
緊急停止用機器１は、作業者からの操作に応じて、機械装置（例えば半導体製造装置１０）の動作を停止させることができる。この緊急停止用機器１は、基板処理装置の動作を停止させてもよく、処理液供給装置の動作を停止させてもよい。あるいは、緊急停止用機器１はその両方の動作を停止させてもよい。要するに、緊急停止用機器１は機械装置の全体を停止させてもよく、その一部のみを停止させてもよい。例えばＳｅｍｉ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格において、緊急停止用機器１はＥＭＯ（Emergency off）であってもよく、ＥＭＳ（Emergency stop）であってもよい。以下では、一例として、緊急停止用機器１は基板処理装置および処理液供給装置の両方の動作を停止させて、半導体製造装置１０の動作を停止させるものとする。
【００３５】
図１および図２に例示するように、緊急停止用機器１は押しボタン２と近接センサ３と警告部４と制御部５とを含んでいる。
【００３６】
＜１−１．押しボタン＞
押しボタン２は、緊急停止用の操作ボタンである。作業者が押しボタン２を押すことにより、緊急停止用機器１は機械装置の動作を停止させる。以下では、緊急停止用機器１の説明のために、Ｘ軸を導入する。Ｘ軸は、押しボタン２の押し込み方向に沿う軸である。また以下では、押し込み側を＋Ｘ側と呼び、その反対側を−Ｘ側とも呼ぶ。
【００３７】
図１に例示するように、押しボタン２は操作部２１と支持部２２とを含んでいる。操作部２１は、作業員によって押される部分である。この操作部２１は、緊急停止という観点から、目立つことが望ましく、赤色に形成されていることが望ましい。よって、操作部２１は、赤の顔料が混入された材料によって形成されるとよい。
【００３８】
操作部２１は例えば頭部２１１と側壁部２１２とを含んでいる。頭部２１１は平面視において（つまりＸ軸方向に沿って見て）、例えば円形形状を有している。側壁部２１２は例えば頭部２１１の周縁に立設される。つまりここでは、操作部２１は、頭部２１１を底とした有底の略円筒形状を有している。操作部２１は、円筒形状の中心軸がＸ軸方向に沿う姿勢で配置される。例えば操作部２１の内部には、後に詳述する警告部４および制御部５が収納される。
【００３９】
支持部２２は操作部２１をＸ軸方向に移動可能に支持している。例えば支持部２２は、Ｘ軸方向を軸とした略円筒状の形状を有している。例えば、支持部２２の内径は操作部２１の側壁部２１２の外径よりも広く、支持部２２の−Ｘ側の一部は側壁部２１２の＋Ｘ側の一部と重なっている。言い換えれば、操作部２１の＋Ｘ側の一部が支持部２２の内部に挿入されている。
【００４０】
支持部２２の内部には、操作部２１のＸ軸方向における位置に応じて開閉する接点（不図示）が設けられている。当該接点は、例えば、作業者が押しボタン２を押していない状態で閉じる、いわゆるｂ接点である。この場合、接点は、操作部２１が初期位置に位置する状態で閉じており、操作部２１が初期位置から＋Ｘ側に移動して接点位置に到達することにより、開く。
【００４１】
より具体的には、支持部２２の内部には、操作部２１に連結された可動導体（不図示）と、支持部２２に連結された固定導体（不図示）とが設けられている。これら可動導体および固定導体が接点を構成する。可動導体および固定導体はＸ軸方向において向かい合って設けられる。可動導体は固定導体に対して＋Ｘ側に位置している。可動導体および固定導体は操作部２１が初期位置に位置する状態において、互いに接触している。つまり、初期的には接点は閉じている。作業者が操作部２１を＋Ｘ側に押し込むと、この操作部２１に連結された可動導体が＋Ｘ側に移動し、固定導体から離れる。つまり、接点が開く。
【００４２】
当該接点は、例えば、電源（不図示）と半導体製造装置１０とを接続する配線上に接続されていてもよい。この場合、操作部２１が初期位置に位置する状態では、当該接点が閉じているので、電源から半導体製造装置１０へと電力が供給される。一方で、操作部２１が＋Ｘ側に押し込まれると、当該接点が開き、電源から半導体製造装置１０へ供給される電力が遮断される。これにより、半導体製造装置１０の動作が停止する。
【００４３】
なお支持部２２の内部には、操作部２１を−Ｘ側に押圧する弾性部材（不図示）が設けられていてもよい。また支持部２２の内部には、作業者によって接点位置まで押し込まれた操作部２１をロックするロック機構（不図示）およびそのロックを解除する解除機構（不図示）が設けられてもよい。これらは本実施の形態の本質とは異なるため、詳細な説明を省略する。
【００４４】
＜１−２．近接センサ＞
近接センサ３は操作部２１の頭部２１１に設けられている。この近接センサ３は平面視において、頭部２１１の中央に設けられている。要するに、近接センサ３は頭部２１１のうち−Ｘ側の面（頭頂面）に設けられている。図１の例では、近接センサ３は、頭頂面の中心を含む領域に設けられている。
【００４５】
この近接センサ３は、自身に近接する対象物を検出する。例えば近接センサ３は反射型の距離センサを含む。より具体的な一例として、近接センサ３は−Ｘ側に測定波を出力し、対象物で反射した測定波を検出する。測定波は電磁波または超音波を含む。ここでは一例として測定波として超音波を採用する。この超音波は半導体製造工場内の使用に好適である。なぜなら、半導体製造工場内には、赤外線等の電磁波を用いた各種のセンサが設けられるところ、近接センサ３の測定波が超音波であれば、これらのセンサの電磁波と干渉しないからである。つまり、センサの精度低下を回避できる。
【００４６】
この近接センサ３は、超音波を−Ｘ側に送波する送波器と、対象物で反射した超音波を受波する受波器とを有している。近接センサ３は送波器から送波される超音波と、受波器で受波される超音波とに基づいて、対象物までの距離を求めることができる。例えば近接センサ３は超音波を送波してから受波されるまでの時間に基づいて、対象物までの距離を算出する。近接センサ３によって測定された距離（以下、測定距離とも呼ぶ）Ｄが所定の距離基準値Ｄｒｅｆよりも短ければ、対象物（ここでは作業者）は近接センサ３に接近している、といえる。
【００４７】
近接センサ３の測定動作の開始および停止は制御部５によって制御される。例えば制御部５が開始信号を近接センサ３に出力することで、近接センサ３は測定動作を開始し、制御部５が停止信号を近接センサ３に出力することで、近接センサ３は測定動作を停止する。
【００４８】
＜１−３．制御部＞
制御部５は緊急停止用機器１の全体を統括する制御部である。制御部５は例えば操作部２１の内部に設けられる。制御部５は近接センサ３および警告部４と電気的に接続されている。制御部５には、近接センサ３の検出結果を示す結果信号が入力される。この結果信号は、近接センサ３によって測定された測定距離Ｄの情報を含む。制御部５は近接センサ３の検出結果に基づいて作業者が接近しているか否かを判断する。具体的には、制御部５は測定距離Ｄが所定の距離基準値Ｄｒｅｆよりも短いか否かを判断し、測定距離Ｄが距離基準値Ｄｒｅｆよりも短いと判断したときに、作業者が緊急停止用機器１（より具体的には押しボタン２の操作部２１）に接近していると判断する。制御部５は作業者の接近を検出したと判断したときには、警告部４に警告を行わせる。
【００４９】
なお制御部５は電子回路機器であって、例えばデータ処理装置および記憶媒体を有していてもよい。データ処理装置は例えばＣＰＵ（Central Processor Unit）などの演算処理装置であってもよい。記憶部は非一時的な記憶媒体（例えばＲＯＭ（Read Only Memory）またはハードディスク）および一時的な記憶媒体（例えばＲＡＭ（Random Access Memory））を有していてもよい。非一時的な記憶媒体には、例えば制御部５が実行する処理を規定するプログラムが記憶されていてもよい。処理装置がこのプログラムを実行することにより、制御部５が、プログラムに規定された処理を実行することができる。もちろん、制御部５が実行する処理の一部または全部がハードウェアによって実行されてもよい。
【００５０】
図２の例では、制御部５には電源回路８が接続されている。この電源回路８は、外部の電源（例えば商用電源：不図示）に接続されている。電源回路８には、外部の電源から電圧が入力される。電源回路８は当該電圧を制御部５に適した電圧に変換し、変換後の電圧を制御部５に出力する。例えば電源回路８には、２４［Ｖ］の直流電圧が入力される。電源回路８はこの２４［Ｖ］の直流電圧を例えば５［Ｖ］の直流電圧に変換し、変換後の直流電圧を制御部５に出力する。
【００５１】
近接センサ３および警告部４は制御部５から給電されてもよい。あるいは、近接センサ３および警告部４は制御部５を迂回して、電源回路８から直接に給電されてもよい。
【００５２】
また、近接センサ３、警告部４および制御部５への給電は、作業者による押しボタン２の操作とは独立していてもよく、あるいは、依存していてもよい。つまり、作業者が押しボタン２を操作して半導体製造装置１０への給電が遮断されたときに、制御部５等への給電が維持されてもよく、あるいは、遮断されてもよい。
【００５３】
＜１−４．警告部＞
警告部４は作業者に警告を行うことができる。例えば警告部４は光源４１と音出力部４２とを含んでいる。光源４１は例えばＬＥＤ（Light Emitting Diode）であり、その発光が制御部５によって制御される。光源４１は例えば操作部２１の内部に設けられる。この場合、操作部２１は可視光についての透光性を有している。例えば操作部２１は、ポリカーボネートもしくはポリ塩化ビニルなどの樹脂によって形成される。光源４１から生じた光は操作部２１を透過する。光源４１が発光することにより、操作部２１は部分的または全体的に光ることとなる。この発光により、作業者に対して警告を行うことができる。
【００５４】
光源４１は複数設けられていてもよい。この場合、複数の光源４１は、Ｘ軸方向に沿って見て、側壁部２１２の中心を取り囲むように設けられていてもよい。より具体的には、複数の光源４１は側壁部２１２の周方向に沿って、互いに略等間隔に設けられていてもよい。これによれば、操作部２１が全体的に光るので、作業者は発光に気付きやすい。
【００５５】
音出力部４２は例えばブザーまたはスピーカであり、その音出力が制御部５によって制御される。音出力部４２は例えば操作部２１の内部に設けられる。この音出力部４２が警告音（例えばビープ音、あるいは、音声）を出力することにより、その警告音（空気の振動）が操作部２１を介して周囲に伝搬される。これにより、作業者に対して警告を行うことができる。
【００５６】
なお、警告部４は必ずしも光源４１および音出力部４２の両方を有している必要はなく、少なくともいずれか一方を有していればよい。また警告部４は、光源４１および音出力部４２の少なくともいずれか一方に替えて、あるいは、光源４１および音出力部４２の少なくともいずれか一方とともに、画像信号に基づいて画像を表示可能な表示装置を有していてもよい。当該表示装置が警告用の画像を表示することで、作業者に対して警告を行うことができる。
【００５７】
＜１−５．入力部＞
ところで、緊急停止用機器１の周囲の環境は、その緊急停止用機器１が設けられる工場内の設備配置に依存する。図３は、工場内の半導体製造装置群の構成の概念的な一例を示す平面図である。図３の例では、工場内には、４つの半導体製造装置１０が配置されている。以下では、４つの半導体製造装置１０をそれぞれ半導体製造装置１０ａ〜１０ｄとも呼ぶ。図３の例では、４つの半導体製造装置１０は矩形状に示されており、また略マトリクス状に配置されている。図３の例では、半導体製造装置１０ａと半導体製造装置１０ｂとが横方向に並んでおり、半導体製造装置１０ｃと半導体製造装置１０ｄとが横方向に並んでいる。また半導体製造装置１０ａと半導体製造装置１０ｃとが縦方向に並んでおり、半導体製造装置１０ｂと半導体製造装置１０ｄとが縦方向に並んでいる。半導体製造装置１０の相互間の空間は、作業者が移動する通路として機能し得る。図３の例では、半導体製造装置１０ａと半導体製造装置１０ｃとの間の間隔（通路の幅）は半導体製造装置１０ｂと半導体製造装置１０ｄとの間の間隔（通路の幅）よりも広い。
【００５８】
また図３の例では、半導体製造装置１０ａおよび半導体製造装置１０ｃの互いに向かい合う側面には、緊急停止用機器１が設けられている。同様に、半導体製造装置１０ｂおよび半導体製造装置１０ｄの互いに向かい合う側面には、緊急停止用機器１が設けられている。より具体的には、緊急停止用機器１はＸ軸（押し込み方向に沿う軸）が縦方向に沿う姿勢で、半導体製造装置１の側面に設けられている。この場合、押しボタン２は通路に面する。
【００５９】
このような工場において、近接センサ３の検出範囲が複数の緊急停止用機器１において同じに設定されると、次に説明する不都合が生じ得る。例えば、近接センサ３の検出範囲を半導体製造装置１０ａと半導体製造装置１０ｃとの間の通路の幅に応じた値に設定すると、半導体製造装置１０ｂと半導体製造装置１０ｄとの間の通路の幅に対しては、広すぎる値になり得る。この場合、作業者が半導体製造装置１０ｂと半導体製造装置１０ｄとの間の通路を通過しただけで、半導体製造装置１０ｂおよび半導体製造装置１０ｄの緊急停止用機器１において、警告部４が警告を行い得る。
【００６０】
逆に、近接センサ３の検出範囲を半導体製造装置１０ｂと半導体製造装置１０ｄとの間の通路の幅に応じた値に設定すると、半導体製造装置１０ａと半導体製造装置１０ｃとの間の通路の幅に対しては、狭すぎる値になり得る。この場合、作業者は半導体製造装置１０ａと半導体製造装置１０ｃとの間の通路であっても、押しボタン２により近い状態で警告が行われる。よって、押しボタン２への接触（押圧）を回避するための時間が少なくなり得る。
【００６１】
そこで、図１に例示するように、緊急停止用機器１は入力部６を含んでいてもよい。入力部６は、近接センサ３の検出範囲を設定する入力を受け付ける。入力部６は制御部５に電気的に接続される。例えば入力部６は押しボタン２の側面に設けられるとよい。図１の例では、入力部６は操作部２１の側壁部２１２に設けられている。
【００６２】
例えば入力部６は、可変抵抗６１と、可変抵抗６１の抵抗値を変更するための操作部６２とを有している。例えば、操作部６２は円柱状の形状を有しており、その中心軸が、押しボタン２の側壁部２１２の径方向に沿うように、かつ、回転可能に設けられている。操作部６２の頭部には、例えばすりわり、十字孔、四角孔または六角孔が形成されていてもよい。この場合、作業者は操作部６２の頭部の孔の形状に応じた工具を用いて、操作部６２を回転させることができる。可変抵抗６１の抵抗値は操作部６２の回転位置に応じて変化する。
【００６３】
可変抵抗６１の抵抗値は制御部５によって認識される。例えば、可変抵抗６１には直流電源が接続されている。この直列回路には、可変抵抗６１を流れる電流を検出するセンサ（不図示）が設けられる。当該センサによって検出された電流値は制御部５へと出力される。制御部５は当該電流値に基づいて可変抵抗６１の抵抗値を求めることができる。
【００６４】
制御部５は可変抵抗６１の抵抗値に応じて検出範囲を設定する。例えば制御部５は可変抵抗６１の抵抗値が大きいほど、検出範囲を広く設定する。近接センサ３の検出範囲は、例えば十数［ｃｍ］〜数［ｍ］程度の範囲内で任意に設定可能である。
【００６５】
ところで、上述のように制御部５は、近接センサ３によって検出された測定距離Ｄが距離基準値Ｄｒｅｆよりも短いときに、作業者が接近していると判断する。よって、この距離基準値Ｄｒｅｆは作業者の接近検出についての検出範囲を示しているといえる。そこで、以下では、検出範囲として距離基準値Ｄｒｅｆを採用する。つまり、制御部５は距離基準値Ｄｒｅｆを作業者による入力部６への入力に応じて設定する。
【００６６】
以上のように、入力部６によって近接センサ３の検出範囲を設定することができる。よって、複数の緊急停止用機器１が設けられる場合に、それぞれに適した検出範囲を設定することができる。
【００６７】
＜２．緊急停止用機器１の動作の一例＞
図４は、緊急停止用機器１の動作の一例を示すフローチャートである。まずステップＳ１にて、作業者は近接センサ３の検出範囲を設定する。この設定は、緊急停止用機器１を半導体製造装置１０に取り付ける際、または、緊急停止用機器１付きの半導体製造装置１０を工場に設置する際に行われる。より具体的には、作業者は入力部６の操作部６２を操作して検出範囲を入力する。制御部５は当該操作に応じて検出範囲（距離基準値Ｄｒｅｆ）を設定する。これにより、設置環境に応じた検出範囲を設定することができる。
【００６８】
次に制御部５は近接センサ３に対して測定動作の開始信号を出力する。近接センサ３はこの開始信号の入力に応答して、−Ｘ側に超音波を送波する。そして近接センサ３は、受波した超音波に基づいて対象物の距離を測定し、その測定距離Ｄを示す結果信号を制御部５に出力する。
【００６９】
次にステップＳ２にて、制御部５は、近接センサ３から入力された結果信号に基づいて、作業者が押しボタン２に近づいているか否かを判断する。制御部５はこの結果信号に含まれる測定距離Ｄが距離基準値Ｄｒｅｆよりも短いか否かを判断する。制御部５は測定距離Ｄが距離基準値Ｄｒｅｆよりも短いと判断したときに、作業者が接近していると判断する。一方で、制御部５は測定距離Ｄが距離基準値Ｄｒｅｆよりも長いと判断したときに、作業者が接近していないと判断する。
【００７０】
作業者の接近を検出していないときには、制御部５は再びステップＳ２を実行し、作業者の接近を検出しているときには、ステップＳ３にて、制御部５は警告部４に警告を行わせる。具体的には、制御部５は光源４１を発光させつつ、音出力部４２に警告音を出力させる。
【００７１】
これによれば、作業者が押しボタン２の存在に気付かずに、押しボタン２に近づいたときに、警告部４が警告を行う。よって、作業者は、自身の近くに押しボタン２が存在することを認識できる。したがって、作業者が押しボタン２を誤操作する可能性を低減することができる。
【００７２】
なお作業者が意図的に押しボタン２を押す際にも警告が行われるが、その場合には、作業者は警告を無視して押しボタン２を押す。この押下に応答して、緊急停止用機器１は半導体製造装置１０を停止させる。これにより、他の作業者が動作中の半導体製造装置１０に近づいた場合に、当該他の作業者の安全を確保することができる。
【００７３】
ところで、押しボタン２の誤操作を回避すべく、押しボタン２へのアクセスを物理的に困難にする手法が従来から存在する。例えば押しボタン２を全体的に囲むカバーを設ける場合がある。このカバーは開閉可能に設けられてる場合がある。この場合、作業者はまずカバーを開いた上で、押しボタン２を操作する。あるいは、カバーが外力によって容易に破壊可能に設けられている場合がある。この場合、作業者はカバーを破壊した上で、押しボタン２を操作する。もしくは、当該カバーに替えてカードリングが設けられる場合もある。このガードリングはＸ軸方向に沿って見て、押しボタン２の周囲を取り囲む。このガードリングは押しボタン２の頭頂面よりも−Ｘ側に突出している。よって、作業者が手のひらで押しボタンを押そうとすると、手の指などがガードリングに当って、押しボタン２を押しにくい。逆に言えば、作業者が意図せずに押しボタン２に近づいても、ガードリングに先に当接するので、押しボタン２が押下されにくいのである。
【００７４】
しかしながら、これらの手法は作業者による押しボタン２の操作を物理的により困難とするので、作業者は緊急時において押しボタン２を操作しにくい。よって、速やかに半導体製造装置１０の動作を停止しにくい。また、カバーおよびカードリングを取り付けることが禁じられた工場も存在する。
【００７５】
本実施の形態では、これらの手法を採用する必要がない。したがって、作業者は緊急時において、上記の物理的な困難なしに、押しボタン２を操作することができる。よって、より速やかに半導体製造装置１０の動作を停止させることができる。また上記手法を採用することが禁じられた工場においても、押しボタン２の誤操作を抑制することができる。
【００７６】
一方で、ケースまたはガードリングが許可された工場においては、緊急停止用機器１の押しボタン２に対して、ケースまたはガードリングを取り付けても構わない。これによれば、作業者が押しボタン２を誤操作する可能性をさらに低減することができる。
【００７７】
また、上述の例では、近接センサ３は、押しボタン２の頭頂面の中心を含む領域に設けられている。さて、押しボタン２の操作部２１を＋Ｘ側に移動させて押しボタン２を操作するには、作業者は操作部２１の頭頂面の中央付近を＋Ｘ側に押圧することが望ましい。言い換えれば、作業者が誤って押しボタン２の頭頂面の中央付近を＋Ｘ側に押圧すると、押しボタン２が誤操作しやすい。上述の例では、近接センサ３が、押しボタン２の頭頂面の中心を含む領域に設けられているので、誤操作を生じやすい領域への作業者の近接をより適切に検出することができる。ひいては、作業者による押しボタン２の誤操作をより効果的に抑制できる。
【００７８】
また上述の例では、警告部４が操作部２１の内部に設けられている。これにより、警告部４を外部から保護することができる。よって、警告部４の信頼性を向上できる。
【００７９】
また警告部４が操作部２１の内部に設けられていれば、警告は押しボタン２の内部から行われることとなる。よって、作業者は当該警告に基づいて押しボタン２の位置をより速やかに認識することができる。例えば光源４１により押しボタン２が発光すれば、作業者はその光の発生場所を押しボタン２と認識できる。あるいは、音出力部４２により押しボタン２から警告音が発生すると、作業者はその音の方向に基づいて押しボタン２の存在方向を速やかに認識することができる。
【００８０】
また上述の例では、入力部６は押しボタン２の操作部２１の側面に設けられている。この操作部２１の側面は作業者によって触れられにくい。よって、通常使用時に、作業者が誤って入力部６に対して入力を行う可能性を低減できる。したがって、半導体製造装置１０の設置時に設定された検出範囲が維持されやすい。つまり、入力部６への誤操作も抑制することができる。
【００８１】
＜３．音出力用の孔＞
図５は、緊急停止用機器１Ａの構成の一例を概略的に示す斜視図である。緊急停止用機器１Ａは音出力用の貫通孔７の有無を除いて、緊急停止用機器１と同様の構成を有している。この音出力用の貫通孔７は、操作部２１の内部に設けられた音出力部４２からの音を効率よく外部に出力するための孔であり、操作部２１に形成されている。図５の例では、この貫通孔７は操作部２１の側面（つまり側壁部２１２）に形成されている。貫通孔７は側壁部２１２をその厚み方向に貫通しており、操作部２１の内部空間と外部空間とを繋げている。
【００８２】
音出力部４２は操作部２１の内部において、貫通孔７と向かい合う領域に設けられるとよい。より具体的には、音出力部４２は側壁部２１２の径方向において貫通孔７と向かい合うとよい。また音出力部４２は貫通孔７の近傍に設けられるとよい。より具体的には、音出力部４２はＸ軸方向に沿って見て、側壁部２１２の中心と貫通孔７との間の領域に設けられる。
【００８３】
図５の例では、複数の貫通孔７が形成されている。図５の例では、複数の貫通孔７として、１つの貫通孔７ａと、この貫通孔７ｂを取り囲む複数（ここでは８個）の貫通孔７ｂとが示されている。より具体的には、複数の貫通孔７ｂは、貫通孔７ａを中心とした円上において、互いに略等間隔となる位置にそれぞれ形成されている。音出力部４２は操作部２１の内部において、少なくとも貫通孔７ａと向かい合う位置に設けられるとよい。
【００８４】
このような緊急停止用機器１Ａによれば、音出力部４２からの警告音は複数の貫通孔７を通って外部へと出力される。警告音が貫通孔７を通過するので、音出力部４２からの警告音の音量が小さくなりにくく、警告音を作業者に届けやすい。また複数の貫通孔７ｂが貫通孔７ａの周りを囲むように形成されている。よって、警告音（空気の振動）が回折して周りに広がりやすい。つまり、警告音がより水平方向に近い方向にも進むので、押しボタン２に対して−Ｘ側に位置する作業者に警告音を届けやすい。したがって、作業者は警告音に気付きやすく、押しボタン２の存在に気付きやすい。
【００８５】
＜４．警告レベル＞
警告部４は複数の警告レベルで警告を行うことが可能であってもよい。ここでいう警告レベルとは、作業者に対して行われる警告の強さを示している。例えば制御部５は光源４１の発光態様または音出力部４２の警告音の出力態様を変更することで、警告レベルを変更することができる。より具体的な例として、制御部５は光源４１に強度の高い光を発光させることにより、高い警告レベルで警告を行うことができる。つまり、光の強度の高いほど、警告レベルは高い。あるいは、制御部５が光源４１を点滅させる場合、短い周期で光源４１を点滅させることにより、高い警告レベルで警告を行うことができる。つまり、点滅の周期が短いほど、警告レベルは高い。
【００８６】
また制御部５は音出力部４２に大きな音量で警告音を出力させることにより、高い警告レベルで警告を行うことができる。あるいは、制御部５は高い音程（周波数）で警告音を出力することによっても、高い警告レベルで警告を行うことができる。つまり、警告音の音量が大きいほど、または、警告音の音程が高いほど、警告レベルは高い。あるいは、制御部５が音出力部４２に所定周期で繰り返し警告音を出力させる場合には、その周期が短いほど、高い警告レベルで警告を行うことができる。つまり、警告音の周期が短いほど、警告レベルは高い。
【００８７】
制御部５は測定距離Ｄが第１値であるときに、測定距離Ｄが、第１値よりも大きい第２値であるときの警告レベルよりも高い警告レベルで、警告部４に警告を行わせるとよい。これによれば、作業者が押しボタン２により近づくと、より高い警告レベルで警告が行われる。
【００８８】
図６は、緊急停止用機器１（あるいは、緊急停止用機器１Ａ）の上記動作の一例を示すフローチャートである。この図６の手順は、入力部６による検出範囲の設定が行われた状態で行われる。まずステップＳ１１にて、近接センサ３は、自身と対象物との間の測定距離Ｄを測定し、その結果信号を制御部５に出力する。次にステップＳ１２にて、制御部５は測定距離Ｄが距離基準値Ｄｒｅｆ以下であるか否かを判断する。測定距離Ｄが距離基準値Ｄｒｅｆよりも大きいときには、制御部５は再びステップＳ１１を実行する。
【００８９】
測定距離Ｄが距離基準値Ｄｒｅｆ以下であるときには、ステップＳ１３にて、制御部５は測定距離Ｄに応じた警告レベルで警告部４に警告を行わせる。
【００９０】
例えば制御部５は、前回のステップＳ１１で測定された測定距離Ｄと、今回のステップＳ１１で測定された測定距離Ｄとの大小を比較してもよい。そして制御部５は、今回の測定距離Ｄが前回の測定距離Ｄよりも小さいときに、警告レベルをより高いレベルに変更する。これによれば、作業者が押しボタン２に近づくほど、より高い警告レベルで警告が行われる。
【００９１】
あるいは、測定距離Ｄと警告レベルとの関係が予め定められて、その関係を示す関係情報が制御部５の記憶媒体に記憶されていてもよい。当該関係において、例えば、測定距離Ｄの範囲と当該範囲に応じた警告レベルとが設定されている。制御部５は、ステップＳ１１にて測定された測定距離Ｄと、記憶媒体に記憶された関係情報とに基づいて、警告レベルを決定し、その警告レベルで警告部４に警告を行わせる。これによっても、作業者が押しボタン２に近づくほど、より高い警告レベルで警告が行われる。
【００９２】
以上のように、緊急停止用機器１は、作業者が押しボタン２に近づくほど、より高い警告レベルで警告が行われる。つまり、作業者が誤って押しボタン２を操作する可能性がより高い状況で、より高い警告レベルでの警告が行われる。よって、作業者は、押しボタン２を誤って操作する可能性が高い状況で、警告に気付きやすく、ひいては、押しボタン２の存在に気付きやすい。したがって、作業者による押しボタン２の誤操作を回避しやすい。一方で、押しボタン２を誤操作する可能性が低い状況では、低い警告レベルで警告が行われる。よって、作業者は、警告がない場合に比べれば、押しボタン２の存在に気付きやすく、また警告レベルが低いので自身の作業を続行しやすい。
【００９３】
以上のように、緊急停止用機器は詳細に示され記述されたが、上記の記述は全ての態様において例示であって限定的ではない。したがって、緊急停止用機器は実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。また各種の実施の形態は相互に組み合わせることができる。
【００９４】
例えば、一つの半導体製造装置１０において、複数の緊急停止用機器１が設けられる場合、警告部４は複数の緊急停止用機器１で兼用されてもよい。例えば図３の例では、一つの半導体製造装置１０の一側面には、２つの押しボタン２が設けられている。各押しボタン２には、個別に近接センサ３が設けられる。よって、押しボタン２のそれぞれに近接する作業者を個別に検出することができる。一方で、例えば１つの警告部４が２つの押しボタン２の間において半導体製造装置１０の一側面に設けられてもよい。警告部４は、押しボタン２のいずれか一方の近接センサ３が作業者の近接を検出したときに、警告を行ってもよい。これによっても、作業者が押しボタン２に近接すると、警告が行われるので、作業者は押しボタン２に近接していることを認識できる。
【００９５】
また上述の例では、近接センサ３は距離センサを含むとして説明した。しかしながら、近接センサ３は例えばカメラを含んでいてもよい。制御部５は、カメラによって取得された撮像画像に対して画像処理を行って、作業者の近接を検出してもよい。
【００９６】
また上述の例では、緊急停止用機器について説明した。しかしながら、本実施の形態は必ずしもこれに限らない。つまり、押しボタンは緊急停止用のボタンでなくてもよい。さらに言えば、ボタンは必ずしも押しボタンである必要はなく、例えばユーザの指の接触を検知して切り替わる手動スイッチであってもよい。要するに、スイッチ装置が、ボタン（手動スイッチを含む）と、そのボタンのうちユーザによって操作される領域内に設けられた近接センサと、その近接センサがユーザの近接を検出したときに警告を行う警告部とを含んでいればよい。このようなスイッチ装置において、ユーザがボタンに近接すると、警告部が警告を行う。したがって、ユーザによってボタンが誤操作される可能性を低減できる。
【符号の説明】
【００９７】
１，１Ａ  緊急停止用機器
２  ボタン（押しボタン）
３  近接センサ
４  警告部
６  入力部
２１  操作部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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