(57)【要約】      （修正有）【課題】第１シートおよび第２シートを介して被着体が第フレーム部材に支持された一体物を形成するシート貼付方法において、第２シートに皺が形成されることのない貼付方法を提供する。【解決手段】第１シートＡＳ１を用意する第１シート用意工程と、第２シートＡＳ２を用意する第２シート用意工程と、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に第１シートを貼付する第１貼付工程と、被着体に貼付された第１シートおよびフレーム部材ＲＦに第２シートを貼付し、第シートおよび第２シートを介して被着体がフレーム部材に支持された一体物ＵＰを形成する第２貼付工程と、一体物にエネルギーを付与し、第１シートの状態を変化させるエネルギー付与工程とを実施し、第１シート用意工程では被着体の一方の面からはみ出さない形状の第１シートを用意し、第１貼付工程では被着体ＷＫの一方の面から第１シートがはみ出さないように、当該第１シートを被着体に貼付する。【選択図】図１
2020068328.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のエネルギーが付与されることで所定の状態に変化する第１シートを用意する第１シート用意工程と、
第２シートを用意する第２シート用意工程と、
被着体の一方の面に前記第１シートを貼付する第１貼付工程と、
前記被着体に貼付された前記第１シートおよびフレーム部材に前記第２シートを貼付し、前記第１シートおよび第２シートを介して前記被着体が前記フレーム部材に支持された一体物を形成する第２貼付工程と、
前記一体物に前記エネルギーを付与し、前記第１シートを所定の状態に変化させるエネルギー付与工程とを実施し、
前記第１シートは、前記エネルギーの付与により所定の変形を伴って所定の状態に変化するものであり、
前記第１シート用意工程では、前記エネルギー付与工程で前記エネルギーが付与されることで、前記第１シートが前記所定の変形を起すことを考慮し、前記被着体の一方の面からはみ出さない形状の第１シートを用意し、
前記第１貼付工程では、前記エネルギー付与工程で前記エネルギーが付与されることで、前記第１シートが前記所定の変形を起すことを考慮し、前記被着体の一方の面からはみ出さないように、当該被着体の一方の面に前記第１シートを貼付することを特徴とするシート貼付方法。
【請求項２】
前記第１シート用意工程では、第１剥離シートに第１シート基材が仮着された第１原反を用い、当該第１シート基材に閉ループ状の第１切込を形成し、当該第１切込で仕切られた領域に前記第１シートを形成して用意する第１切断工程を実施することを特徴とする請求項１に記載のシート貼付方法。
【請求項３】
前記第２シート用意工程では、第２剥離シートに第２シート基材が仮着された第２原反を用い、当該第２シート基材に閉ループ状の第２切込を形成し、当該第２切込で仕切られた領域に前記第２シートを形成して用意する第２切断工程を実施することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、第１シートおよび第２シートを介して被着体がフレーム部材に支持された一体物を形成するシート貼付方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１６５３６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された従来のマウント方法（シート貼付方法）では、ダイボンディングシート部ＤＳ（第１シート）として、所定のエネルギーの付与により収縮変形や膨張変形等の所定の変形を伴って所定の状態に変化するものが採用されると、第１シートおよびダイシングテープＤＴ（第２シート）を介してウエハＷ（被着体）がリングフレームＲＦ（フレーム部材）に支持された一体物を形成し、当該第１シートを所定の状態に変化させるために所定のエネルギーを付与すると、図１（Ｃ）に示すように、第１シートの変形によって第２シートに皺ＷＶが変形されるという不都合を発生する。
【０００５】
本発明の目的は、第１シートとして、所定のエネルギーの付与により所定の変形を伴って所定の状態に変化するものが採用され、第１シートおよび第２シートを介して被着体がフレーム部材に支持された一体物を形成し、当該第１シートを所定の状態に変化させるために所定のエネルギーを付与したとしても、第２シートに皺が形成されることのないシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、所定のエネルギーが付与されて第１シートが所定の変形を起すことを考慮し、第１シート用意工程では、被着体の一方の面からはみ出さない形状の第１シートを用意し、第１貼付工程では、被着体の一方の面から第１シートがはみ出さないように、当該被着体の一方の面に第１シートを貼付するので、第１シートとして、所定のエネルギーの付与により所定の変形を伴って所定の状態に変化するものが採用され、第１シートおよび第２シートを介して被着体がフレーム部材に支持された一体物を形成し、当該第１シートを所定の状態に変化させるために所定のエネルギーを付与したとしても、第２シートに皺が形成されることはない。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
本発明のシート貼付方法は、例えば、以下のシート貼付装置ＥＡによって実施することができる。
すなわち、シート貼付装置ＥＡは、所定のエネルギーとしての熱が付与されることで所定の状態に変化すなわち硬化する第１シートＡＳ１を用意する第１シート用意工程を実施するとともに、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に第１シートＡＳ１を貼付する第１貼付工程を実施する第１貼付手段１０と、第２シートＡＳ２を用意する第２シート用意工程を実施するとともに、被着体ＷＫに貼付された第１シートＡＳ１およびフレーム部材としてのリングフレームＲＦに第２シートＡＳ２を貼付し、第１シートＡＳ１および第２シートＡＳ２を介して被着体ＷＫがリングフレームＲＦに支持された一体物ＵＰを形成する第２貼付工程を実施する第２貼付手段２０と、一体物ＵＰに熱を付与し、第１シートＡＳ１を硬化させるエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段３０とを備え、被着体ＷＫおよびリングフレームＲＦを搬送する運搬工程を実施する運搬手段４０の近傍に配置されている。
なお、第１シートＡＳ１は、熱の付与により所定の変形すなわち収縮変形を伴って硬化するものが採用されている。
また、被着体ＷＫは、第１シートＡＳ１の収縮変形と共に変形することのない剛性を備えたものとする。剛性とは、圧縮、ずれ、ねじれ等の外力に対する物体の変形し難い性質のことである。
【００１１】
第１貼付手段１０は、第１シート用意工程として、第１剥離シートＲＬ１に第１シート基材ＢＳ１が仮着された第１原反ＲＳ１を用い、当該第１シート基材ＢＳ１に閉ループ状の第１切込ＣＵ１を形成し、当該第１切込ＣＵ１で仕切られた領域に第１シートＡＳ１を形成して用意するとともに、当該第１シートＡＳ１以外の領域に第１不要シートＵＳ１を形成する第１切断工程を実施する。
すなわち、第１貼付手段１０は、第１原反ＲＳ１を支持する支持ローラ１１と、第１原反ＲＳ１を案内するガイドローラ１２と、第１シート基材ＢＳ１に第１切込ＣＵ１を形成する切断手段１３と、第１不要シートＵＳ１が掛け回される剥離ローラ１４と、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、剥離ローラ１４との間に存在する第１不要シートＵＳ１に常に所定の張力を付与し、当該第１不要シートＵＳ１を回収する回収手段としての不要シート回収ローラ１５と、剥離縁１６Ａで第１剥離シートＲＬ１を折り返し、当該第１剥離シートＲＬ１から第１シートＡＳ１を剥離する剥離手段としての剥離板１６と、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に第１シートＡＳ１を押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１７と、駆動機器としての回動モータ１８Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１８Ｂとで第１剥離シートＲＬ１を挟み込む駆動ローラ１８と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１８Ｂとの間に存在する第１剥離シートＲＬ１に常に所定の張力を付与し、当該第１剥離シートＲＬ１を回収する回収手段としての回収ローラ１９と、当該第１貼付手段１０全体を前後方向に移動させる駆動機器としての図示しない直動モータを備えている。
切断手段１３は、駆動機器としての回動モータ１３Ａの出力軸１３Ｂに支持されたダイカットローラ１３Ｃと、その円周面１３Ｄに支持された平ループ状の切断部材としての切断刃１３Ｅと、ダイカットローラ１３Ｃと同期回転するアンビルローラ１３Ｆとを備えている。
【００１２】
第２貼付手段２０は、第２シート用意工程として、第２剥離シートＲＬ２に第２シート基材ＢＳ２が仮着された第２原反ＲＳ２を用い、当該第２シート基材ＢＳ２に閉ループ状の第２切込ＣＵ２を形成し、当該第２切込ＣＵ２で仕切られた領域に第２シートＡＳ２を形成して用意するとともに、当該第２シートＡＳ２以外の領域に第２不要シートＵＳ２を形成する第２切断工程を実施する。
すなわち、第２貼付手段２０は、第２原反ＲＳ２を支持する支持ローラ２１と、第２原反ＲＳ２を案内するガイドローラ２２と、第２シート基材ＢＳ２に第２切込ＣＵ２を形成する切断手段２３と、第２不要シートＵＳ２が掛け回される剥離ローラ２４と、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、剥離ローラ２４との間に存在する第２不要シートＵＳ２に常に所定の張力を付与し、当該第２不要シートＵＳ２を回収する回収手段としての不要シート回収ローラ２５と、剥離縁２６Ａで第２剥離シートＲＬ２を折り返し、当該第２剥離シートＲＬ２から第２シートＡＳ２を剥離する剥離手段としての剥離板２６と、被着体ＷＫに貼付された第１シートＡＳ１とリングフレームＲＦとに第２シートＡＳ２を押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ２７と、駆動機器としての回動モータ２８Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ２８Ｂとで第２剥離シートＲＬ２を挟み込む駆動ローラ２８と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ２８Ｂとの間に存在する第２剥離シートＲＬ２に常に所定の張力を付与し、当該第２剥離シートＲＬ２を回収する回収手段としての回収ローラ２９とを備えている。
切断手段２３は、駆動機器としての回動モータ２３Ａの出力軸２３Ｂに支持されたダイカットローラ２３Ｃと、その円周面２３Ｄに支持された平ループ状の切断部材としての切断刃２３Ｅと、ダイカットローラ２３Ｃと同期回転するアンビルローラ２３Ｆとを備えている。
【００１３】
エネルギー付与手段３０は、一体物ＵＰを複数収納可能な本体ケース３１と、駆動機器としての直動モータ３２Ａの出力軸３２Ｂに支持され、本体ケース３１の開口部３１Ａを開閉可能なケース蓋３２と、本体ケース３１の底面３１Ｂとケース蓋３２の天面３２Ｃとにそれぞれ支持されたエネルギー発生源としてのコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段３３とを備えている。
【００１４】
運搬手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持面４２Ａを有する保持テーブル４２を備えている。
【００１５】
以上のシート貼付装置ＥＡによる本発明のシート貼付方法を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２をセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して運転開始の信号を入力する。すると、第１、第２貼付手段１０、２０が回動モータ１３Ａ、１８Ａおよび２３Ａ、２８Ａを駆動し、ダイカットローラ１３Ｃ、２３Ｃを回転させて第１、第２シート基材ＢＳ１、ＢＳ２に第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２を形成し、第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２および、第１、第２不要シートＵＳ１、ＵＳ２を形成しつつ、第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２を繰り出す。
【００１６】
ここで、第１シート用意工程では、エネルギー付与工程で熱が付与されることで、第１シートＡＳ１が収縮変形を起すことを考慮し、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１からはみ出さない形状の第１シートＡＳ１を形成して用意する（以降も同様）。具体的には、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１からはみ出す形状の第１シートＡＳ１の場合、エネルギー付与手段３０で熱が付与された際、図３（Ｃ）に示すように、第１シートＡＳ１の収縮変形によって第２シートＡＳ２に皺ＷＶが形成されてしまう。そこで、本実施形態では、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１が直径３００ｍｍの円形状の場合、第１貼付手段１０は、直径２９９ｍｍの円形状の第１シートＡＳ１を形成する。次いで、図１（Ａ）に示すように、先頭の第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２の繰出方向先端部が剥離板１６、２６の剥離縁１６Ａ、２６Ａで所定長さ剥離されると、第１、第２貼付手段１０、２０が回動モータ１３Ａ、１８Ａおよび２３Ａ、２８Ａの駆動を停止する。
【００１７】
その後、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１に示すように、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１内に被着体ＷＫが配置されるようにそれらを保持テーブル４２上に載置すると、運搬手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面４２ＡでのリングフレームＲＦおよび被着体ＷＫの吸着保持を開始する。次に、運搬手段４０がリニアモータ４１を駆動し、保持テーブル４２を左方に移動させ、被着体ＷＫが剥離板１６に対する所定の位置に到達すると、第１貼付手段１０が回動モータ１３Ａ、１８Ａを駆動し、第１シート基材ＢＳ１に新たな切込ＣＵ１を形成しつつ、保持テーブル４２の移動速度に合わせて第１原反ＲＳ１を繰り出す。これにより、図１中二点鎖線で示すように、第１シートＡＳ１が第１剥離シートＲＬ１から剥離され、当該第１剥離シートＲＬ１から剥離された第１シートＡＳ１は、押圧ローラ１７によって被着体ＷＫに押圧されて貼付される。
【００１８】
ここで、第１貼付工程では、エネルギー付与工程で熱が付与されることで、第１シートＡＳ１が収縮変形を起すことを考慮し、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１からはみ出さないように、当該被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に第１シートＡＳ１を貼付する。具体的には、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１から第１シートＡＳ１がはみ出した状態で貼付されていると、エネルギー付与手段３０で熱が付与された際、図３（Ｃ）に示すように、第１シートＡＳ１の収縮変形によって第２シートＡＳ２に皺ＷＶが形成されてしまう。そこで、本実施形態では、直径３００ｍｍの円形状の一方の面ＷＫ１に対し、当該一方の面ＷＫ１の外縁位置から０ｍｍ乃至１ｍｍの範囲内に、直径２９９ｍｍの円形状の第１シートＡＳ１の外縁が位置するように、当該第１シートＡＳ１を被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に貼付する。この際、第１貼付手段１０が図示しない直動モータを駆動し、当該第１貼付手段１０全体を前後方向に移動させ、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に対する第１シートＡＳ１の前後方向の位置調整を行うとともに、左方へ移動中の保持テーブル４２に対し、回動モータ１３Ａ、１８Ａの駆動開始タイミングを調整し、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に対する第１シートＡＳ１の左右方向の位置調整を行う。そして、先頭の第１シートＡＳ１に次ぐ次の第１シートＡＳ１の繰出方向先端部が、剥離板１６の剥離縁１６Ａで所定長さ剥離されると、第１貼付手段１０が回動モータ１３Ａ、１８Ａの駆動を停止する。
【００１９】
次いで、運搬手段４０による保持テーブル４２の左方への移動が続行され、リングフレームＲＦが剥離板２６に対する所定の位置に到達すると、第２貼付手段２０が回動モータ２３Ａ、２８Ａを駆動し、第２シート基材ＢＳ２に新たな第２切込ＣＵ２を形成しつつ、保持テーブル４２の移動速度に合わせて第２原反ＲＳ２を繰り出す。これにより、図１中二点鎖線で示すように、第２シートＡＳ２が第２剥離シートＲＬ２から剥離され、当該第２剥離シートＲＬ２から剥離された第２シートＡＳ２は、押圧ローラ２７によってリングフレームＲＦおよび第１シートＡＳ１に押圧されて貼付され、一体物ＵＰを形成する。その後、先頭の第２シートＡＳ２に次ぐ次の第２シートＡＳ２の繰出方向先端部が、剥離板２６の剥離縁２６Ａで所定長さ剥離されると、第２貼付手段２０が回動モータ２３Ａ、２８Ａの駆動を停止する。
【００２０】
次に、リングフレームＲＦおよび第１シートＡＳ１に第２シートＡＳ２全体が貼付され、一体物ＵＰを支持した保持テーブル４２が押圧ローラ２７の左方所定位置に到達すると、運搬手段４０がリニアモータ４１の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面４２ＡでのリングフレームＲＦおよび被着体ＷＫの吸着保持を解除する。そして、使用者または図示しない搬送手段が、一体物ＵＰを保持し、当該一体物ＵＰを本体ケース３１内に収納した後、運搬手段４０がリニアモータ４１を駆動し、保持テーブル４２を初期位置に復帰させる。次いで、上記動作を繰り返し、所定数の一体物ＵＰが本体ケース３１内に収納されると、エネルギー付与手段３０が直動モータ３２Ａを駆動し、図１（Ｂ）に示すように、ケース蓋３２で本体ケース３１の開口部３１Ａを閉鎖する。その後、エネルギー付与手段３０が加熱手段３３を駆動し、所定温度で所定時間一体物ＵＰに熱を付与し、当該所定時間が経過すると、加熱手段３３の駆動を停止した後、直動モータ３２Ａを駆動し、本体ケース３１の開口部３１Ａを解放する。
【００２１】
ここで、第１シートＡＳ１は、所定温度で所定時間熱が付与されると硬化する。具体的には、約３ＧＰａ（ギガパスカル）だった硬化前の弾性率が、硬化後に約１０ＧＰａの弾性率に変化する。この際、第１シートＡＳ１は、収縮変形を伴って硬化しようとするが、被着体ＷＫが第１シートＡＳ１の収縮変形と共に変形することのない剛性を備えているため、当該第１シートＡＳ１の収縮変形は、被着体ＷＫの剛性によって阻止され、第２シートＡＳ２に皺ＷＶが形成されることはない。次に、使用者または図示しない搬送手段が、本体ケース３１内に収納されている一体物ＵＰを取り出し、それら一体物ＵＰを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２２】
以上のような実施形態によれば、熱が付与されて第１シートＡＳ１が収縮変形を起すことを考慮し、第１シート用意工程では、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１からはみ出さない形状の第１シートＡＳ１を用意し、第１貼付工程では、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１から第１シートＡＳ１がはみ出さないように、当該被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に第１シートＡＳ１を貼付するので、第１シートＡＳ１として、熱の付与により収縮変形を伴って硬化するものが採用され、第１シートＡＳ１および第２シートＡＳ２を介して被着体ＷＫがリングフレームＲＦに支持された一体物ＵＰを形成し、当該第１シートＡＳ１を硬化させるために熱を付与したとしても、第２シートＡＳ２に皺が形成されることはない。
【００２３】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、エネルギー付与工程は、一体物にエネルギーを付与し、第１シートを所定の状態に変化させることが可能であれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【００２４】
第１、第２貼付工程は、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２から第１、第２不要シートＵＳ１、ＵＳ２を剥離しなくてもよいし、第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２を支持する際、当該第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２を巻回することなく、例えば、ファンフォールド折りの状態で支持してもよいし、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２を回収する際、巻回することなく、例えば、ファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して回収してもよいし、第１、第２シート基材ＢＳ１、ＢＳ２に短寸幅方向全体の第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２を形成することで、その第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２で仕切られた領域を第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２とし、その他の領域を第１、第２不要シートＵＳ１、ＵＳ２としてもよいし、第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２を移動させずにまたは移動させつつ切断部材を移動させ、第１、第２シート基材ＢＳ１、ＢＳ２に第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２を形成してもよいし、例えば、第１、第２シート基材ＢＳ１、ＢＳ２に離間接近する切断部材としての所謂平刃を採用してもよいし、ダイカットローラ１３Ｃ、２３Ｃに対して着脱可能または着脱不能な切断刃１３Ｅ、２３Ｅを採用してもよいし、押圧ローラ１７、２７を被着体ＷＫに離間接近させ、被着体ＷＫにストレスがかかったり損傷したりすることを防止してもよいし、押圧ローラ１７、２７の代わりに、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２を保持し、当該保持部材で保持した第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２を被着体ＷＫに押圧して貼付してもよい。
第１貼付工程では、左方へ移動中の被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の位置と、繰り出される第１シートＡＳ１の位置とを、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の検知手段によって検知し、当該検知手段の検知結果を基に、第１貼付手段１０が図示しない直動モータを駆動するとともに、回動モータ１３Ａ、１８Ａの駆動開始タイミングを調整し、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１からはみ出さないように第１シートＡＳ１を貼付してもよい。なお、左方へ移動中の被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の位置が一定である場合、検知手段は、当該被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の位置を検知しなくてもよいし、繰り出される第１シートＡＳ１の位置が一定である場合、検知手段は、当該第１シートＡＳ１の位置を検知しなくてもよいし、左方へ移動中の被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の位置および、繰り出される第１シートＡＳ１の位置が一定である場合、検知手段は、当該被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の位置および、第１シートＡＳ１の位置を検知しなくてもよい。
【００２５】
第１シート用意工程は、第１貼付手段１０で実施しなくてもよく、例えば、第１剥離シートＲＬ１に所定形状の第１シートＡＳ１が予め仮着された第１原反ＲＳ１を採用してもよく、この場合、第１切断工程を実施しなくてもよい。なお、この場合においても、エネルギー付与工程で熱が付与されることで、第１シートＡＳ１が収縮変形を起すことを考慮し、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１からはみ出さない形状の第１シートＡＳ１が用意される。
第２シート用意工程は、第２貼付手段２０で実施しなくてもよく、例えば、第２剥離シートＲＬ２に所定形状の第２シートＡＳ２が予め仮着された第２原反ＲＳ２を採用してもよく、この場合、第２切断工程を実施しなくてもよい。
【００２６】
エネルギー付与工程は、エネルギー発生源を１または、３つ以上のもので実施してもよいし、本体ケース３１やケース蓋３２がないもので実施してもよいし、エネルギー発生源で第１シートＡＳ１に部分的にエネルギーを付与し、当該エネルギー発生源と第１シートＡＳ１とを相対移動させて当該第１シートＡＳ１全体にエネルギーを付与してもよいし、第１シートＡＳ１全体に一括でエネルギーを付与してもよいし、第１シートＡＳ１にエネルギーを照射する時間やエネルギー量は、当該第１シートＡＳ１の特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して任意に決定することができるし、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱を付与するものや、冷水や冷風等の負の熱を付与するもので実施してもよく、第１シートＡＳ１の特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して任意に決定することができるし、集光板や収集板等の集中手段で所定のエネルギーを第１シートＡＳ１に集中して付与してもよいし、ＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何でエネルギーを発生し、第１シートＡＳ１に付与してもよいし、それらを適宜に組み合わせてエネルギーを発生し、第１シートＡＳ１に付与してもよいし、他の装置でエネルギー付与工程を実施する場合、本発明のシート貼付方法において実施しなくてもよい。
【００２７】
運搬工程は、被着体ＷＫを移動させることなくまたは移動させつつ、第１、第２貼付手段１０、２０を移動させて当該被着体ＷＫに第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２を貼付してもよいし、保持テーブル４２で被着体ＷＫやリングフレームＲＦ等を吸着保持しなくてもよいし、他の装置で搬送工程を実施する場合、本発明のシート貼付方法において実施しなくてもよい。
【００２８】
被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の形状は、３００ｍｍ以上の円形状でもよいし、３００ｍｍ未満の円形状でもよく、第１シート用意工程で用意する第１シートＡＳ１の形状も、例えば、直径３００ｍｍの円形状の被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に対し、直径３００ｍｍの円形状の第１シートＡＳ１を用意してもよいし、直径２９９．５ｍｍや２８０ｍｍ等、直径３００ｍｍ以下の円形状の第１シートＡＳ１を用意してもよいし、三角形や四角形以上の多角形、楕円形等、円形状以外の第１シートＡＳ１を用意してもよい。
被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の形状は、三角形や四角形以上の多角形、楕円形等、円形以外の形状でもよく、このような一方の面ＷＫ１を有する被着体ＷＫに対して用意する第１シートＡＳ１の形状は、三角形や四角形以上の多角形、楕円形等、円形以外の形状でもよく、例えば、四角形の一方の面ＷＫ１に対して楕円形の第１シートＡＳ１を用意してもよいし、楕円形の一方の面ＷＫ１に対して五角形の第１シートＡＳ１を用意してもよい。
エネルギーの付与による第１シートＡＳ１の所定の変形とは、膨張変形、拡大変形、収縮変形、縮小変形、うねり変形、ひずみ変形等、どのような変形でもよい。
エネルギーの付与による第１シートＡＳ１の所定の状態への変化とは、例えば、当該第１シートの硬度や強度が増加したり低下したりする変化、当該第１シートの容積や体積が増加したり減少したりする変化、当該第１シートの被着体への接着力が増加したり低下したりする変化、当該第１シートの色彩が変わる変化、当該第１シートの温度が上昇したり低下したりする変化、当該第１シートが軟化したり溶融したりする変化等、どのような変化でもよい。
エネルギーの付与により所定の変形を伴って所定の状態に変化する第１シートの例としては、例えば、所定のエネルギーとしての熱や赤外線の付与により、膨張変形や拡大変形等を伴って体積が増加するものや、所定のエネルギーとしての冷気や冷媒の付与により、収縮変形や縮小変形等を伴って体積が減少するものや、所定のエネルギーとしての紫外線の付与により、膨張変形、収縮変形、拡大変形、縮小変形、うねり変形または、ひずみ変形等を伴って被着体に対する接着力が低下したり色彩が色あせたりするものや、所定のエネルギーとしての赤外線や超音波の付与により、膨張変形や拡大変形等を伴って温度が上昇したり軟化したりするもの等が例示できるが、エネルギーが付与されて所定の変形を伴って所定の状態に変化するものであればどのようなものでもよい。
フレーム部材は環状でもよいし、環状でなくてもよく、どのような形状でもよい。
本発明のシート貼付方法は、シート貼付装置ＥＡ以外の装置や人手によって実施されてもよい。
【００２９】
本発明における第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２は、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２の場合は、当該第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００３０】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【００３１】
ＡＳ１…第１シート
ＡＳ２…第２シート
ＢＳ１…第１シート基材
ＢＳ２…第２シート基材
ＣＵ１…第１切込
ＣＵ２…第２切込
ＲＦ…リングフレーム（フレーム部材）
ＲＬ１…第１剥離シート
ＲＬ２…第２剥離シート
ＲＳ１…第１原反
ＲＳ２…第２原反
ＵＰ…一体物
ＷＫ…被着体
【図１】
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