(57)【要約】【課題】装置を小型化できる。【解決手段】この発明は、第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）と、第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）と、を備える。第１搬送装置２は、レール部材２０と、移動部材２１と、駆動部２２と、を有し、第２搬送装置３を介して検査器具１１、１２、１３、１４をＸＹ平面上において一次搬送させる、搬送装置である。第２搬送装置３は、アーム機構４、５、６から構成されていて、移動部材２１に取り付けられていて、かつ、検査器具１１、１２、１３、１４が取り付けられ、第１搬送装置２により一次搬送された検査器具１１、１２、１３、１４を、少なくとも、ＸＹ平面に対して交差する方向に、二次搬送させる、搬送装置である。この結果、この発明は、装置を小型化できる。【選択図】        図１
2020112402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査器具により電子部品を検査する電子部品検査装置であって、
第１搬送装置と、第２搬送装置と、を備え、
前記第１搬送装置は、
ＸＹ平面上であって、前記電子部品の周囲に敷設されるレール部材と、
前記レール部材に取り付けられている移動部材と、
前記移動部材を前記レール部材に沿って移動させる駆動部と、
を有し、
前記第２搬送装置を介して前記検査器具を前記ＸＹ平面上において一次搬送させる、搬送装置であり、
前記第２搬送装置は、
アーム機構から構成されていて、
前記移動部材に取り付けられていて、かつ、前記検査器具が取り付けられ、
前記第１搬送装置により一次搬送された前記検査器具を、少なくとも、前記ＸＹ平面に対して交差する方向に、二次搬送させる、搬送装置である、
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項２】
前記レール部材は、円形形状もしくは円形の一部の形状からなる、
ことを特徴とする請求項１に記載の電子部品検査装置。
【請求項３】
前記アーム機構は、少なくとも１組のＸＹアーム機構と、１組のＺアーム機構と、を有し、
前記ＸＹアーム機構は、
固定部と、
前記固定部に、前記ＸＹ平面に対して垂直である回転軸の周りに回転可能に取り付けられている回転部と、
一端が前記回転部に取り付けられているアーム部と、
前記回転部および前記アーム部を前記固定部に対して前記回転軸の周りに回転させる駆動部と、
を有し、
前記Ｚアーム機構は、
前記アーム部の他端に固定されている固定部と、
前記固定部に前記ＸＹ平面に対して垂直であるＺ軸方向に移動可能に取り付けられていて、前記検査器具が取り付けられる移動部と、
前記移動部を前記固定部に対して前記Ｚ軸方向に移動させる駆動部と、
を有する、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の電子部品検査装置。
【請求項４】
前記第１搬送装置および前記第２搬送装置は、前記ＸＹ平面に対して垂直に複数段備える、
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の電子部品検査装置。
【請求項５】
前記電子部品が載置されるステージを備え、
前記ステージは、前記ＸＹ平面上において、直交するＸ方向とＹ方向とに移動可能である、
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の電子部品検査装置。
【請求項６】
前記電子部品が載置されるステージを備え、
前記ステージは、前記ＸＹ平面上において、直交するＸ方向とＹ方向とに移動可能であり、かつ、前記ＸＹ平面に対して垂直である回転軸の周りに回転可能である、
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の電子部品検査装置。
【請求項７】
１本の前記レール部材には、複数の前記移動部材、複数の前記駆動部および複数の前記第２搬送装置が、それぞれ、取り付けられている、
ことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品検査装置として以下の特許文献１がある。特許文献１の基板検査装置は、固定側アーム部と、可動側アーム部と、移動体と、昇降機構と、プローブと、を備える。特許文献１の基板検査装置は、固定側アーム部に対して可動側アーム部をＸ軸方向に移動させ、可動側アーム部に対して移動体をＹ軸方向に移動させ、移動体に対して昇降機構を介してプローブをＺ軸方向に移動させ、プローブを被検査基板の検査ポイントに接触させることにより、被検査基板の検査が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１６４１１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の基板検査装置は、固定側アーム部に対して可動側アーム部をＸ軸方向に移動させる機構と、可動側アーム部に対して移動体をＹ軸方向に移動させる機構と、移動体に対してプローブをＺ軸方向に移動させる昇降機構とを、必要とするものである。この結果、特許文献１の基板検査装置は、大型化する傾向にある。
【０００５】
ここで、かかる電子部品検査装置においては、装置を小型化することが好ましい、ことである。
【０００６】
この発明が解決しようとする課題は、装置を小型化することができる、電子部品検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の電子部品検査装置は、検査器具により電子部品を検査する電子部品検査装置であって、第１搬送装置と、第２搬送装置と、を備え、第１搬送装置が、ＸＹ平面上であって、電子部品の周囲に敷設されるレール部材と、レール部材に取り付けられている移動部材と、移動部材をレール部材に沿って移動させる駆動部と、を有し、第２搬送装置を介して検査器具をＸＹ平面上において一次搬送させる、搬送装置であり、第２搬送装置が、アーム機構から構成されていて、移動部材に取り付けられていて、かつ、検査器具が取り付けられ、第１搬送装置により一次搬送された検査器具を、少なくとも、ＸＹ平面に対して交差する方向に、二次搬送させる、搬送装置である、ことを特徴とする。
【０００８】
この発明の電子部品検査装置において、レール部材が、円形形状もしくは円形の一部の形状からなる、ことが好ましい。
【０００９】
この発明の電子部品検査装置において、アーム機構が、少なくとも１組のＸＹアーム機構と、１組のＺアーム機構と、を有し、ＸＹアーム機構が、固定部と、固定部に、ＸＹ平面に対して垂直である回転軸の周りに回転可能に取り付けられている回転部と、一端が回転部に取り付けられているアーム部と、回転部およびアーム部を固定部に対して回転軸の周りに回転させる駆動部と、を有し、Ｚアーム機構が、アーム部の他端に固定されている固定部と、固定部にＸＹ平面に対して垂直であるＺ軸方向に移動可能に取り付けられていて、検査器具が取り付けられる移動部と、移動部を固定部に対してＺ軸方向に移動させる駆動部と、を有する、ことが好ましい。
【００１０】
この発明の電子部品検査装置において、第１搬送装置および第２搬送装置が、ＸＹ平面に対して垂直に複数段備える、ことが好ましい。
【００１１】
この発明の電子部品検査装置において、電子部品が載置されるステージを備え、ステージが、ＸＹ平面上において、直交するＸ方向とＹ方向とに移動可能である、ことが好ましい。
【００１２】
この発明の電子部品検査装置において、電子部品が載置されるステージを備え、ステージが、ＸＹ平面上において、直交するＸ方向とＹ方向とに移動可能であり、かつ、ＸＹ平面に対して垂直である回転軸回りに回転可能である、ことが好ましい。
【００１３】
この発明の電子部品検査装置において、１本のレール部材には、複数の移動部材、複数の駆動部および複数の第２搬送装置が、それぞれ、取り付けられている、ことが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
この発明の電子部品検査装置によれば、装置を小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、この発明にかかる電子部品検査装置の実施形態１を示す要部の概略斜視図である。
【図２】図２は、要部を示す概略平面図（図１における概略ＩＩ矢視図）である。
【図３】図３は、要部を示す概略拡大断面図（図２における概略ＩＩＩ−ＩＩＩ線拡大断面図）である。
【図４】図４は、要部の一部を示す概略拡大平面図である。
【図５】図５は、構成部品を示すブロック図である。
【図６】図６は、この発明にかかる電子部品検査装置の実施形態２を示す要部の概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、この発明にかかる電子部品検査装置の実施形態（実施例）の２例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、図面においては、概略図であるため、主な構成部品を図示し、主な構成部品以外の構成部品の図示を省略する。
【００１７】
（実施形態１の構成の説明）
図１〜図５は、この発明にかかる電子部品検査装置の実施形態１を示す。以下、この実施形態１にかかる電子部品検査装置の構成について説明する。
【００１８】
図１〜図５中において、符号「１」は、この実施形態１にかかる電子部品検査装置である。また、図１〜図４において、符号「Ｘ」は「左右の水平方向」、「Ｙ」は「前後の水平方向」、「Ｚ」は「上下の鉛直方向」である。Ｘ方向とＹ方向とＺ方向とは、それぞれ、相互に直交する。さらに、図３において、符号「Ｃ」は、Ｚ方向であって、電子部品検査装置１の中心軸である。
【００１９】
（電子部品検査装置１の説明）
電子部品検査装置１は、検査器具１１、１２、１３、１４により電子部品１０を検査するものである。検査対象である電子部品（ＤＵＴ）１０は、たとえば、プリント配線基板などの実装基板、ベアボード、パッケージなどである。
【００２０】
図１〜図３に示すように、電子部品検査装置１は、４つのユニットの第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）と、４つのユニットの第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）と、１台のステージ１００と、２枚の架台部材１０２と、適宜本数の支柱部材１０３と、を備える。電子部品検査装置１は、設置面１０１上に設置されている。
【００２１】
２枚の架台部材１０２は、この例では、同形で同じ大きさの円環形状の板部材からなる。２枚の架台部材１０２は、支柱部材１０３を介して、設置面１０１上に上下に設置される。上の架台部材１０２の上方、上下２枚の架台部材１０２の間、および、下の架台部材１０２と設置面１０１との間には、それぞれ、適宜な空間が設けられている。上下２枚の架台部材１０２の中心は、中心軸Ｃに位置する。
【００２２】
支柱部材１０３は、この例では、円柱形状をなす。支柱部材１０３の両端は、上側の架台部材１０２の下面と下側の架台部材１０２の上面との間、および、下側の架台部材１０２の下面と設置面１０１の上面との間に、それぞれ、固定されている。
【００２３】
この結果、電子部品検査装置１は、設置面１０１上に設置される。架台部材１０２および支柱部材１０３は、電子部品検査装置１の骨組みを構成する。なお、架台部材１０２の枚数や形状、および、支柱部材１０３の本数や形状は、特に限定しない。
【００２４】
設置面１０１上であって、架台部材１０２の内側には、ステージ１００が設置されている。ステージ１００の上面の載置面には、電子部品１０が載置される。ステージ１００は、図示されていない駆動機構により、ＸＹ平面上において、直交するＸ方向とＹ方向とに移動可能であり、かつ、ＸＹ平面に対して垂直である回転軸（この例では、中心軸Ｃ）回りに回転可能である。
【００２５】
この結果、ステージ１００に載置されている電子部品１０は、ステージ１００の可動により、ＸＹ平面上において、直交するＸ方向とＹ方向とに移動可能であり、かつ、ＸＹ平面に対して垂直である回転軸すなわち中心軸Ｃ回りに回転可能である。
【００２６】
なお、ステージ１００は、ＸＹ平面上において、直交するＸ方向とＹ方向とに移動可能に構成されているものであっても良い。この場合においては、ステージ１００に載置されている電子部品１０が、ステージ１００の可動により、ＸＹ平面上において、直交するＸ方向とＹ方向とに移動できる、構成となる。
【００２７】
（第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）の説明）
図１〜図３に示すように、第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）は、この例では、４つのユニットからなる。すなわち、上から、第１段の第１搬送装置２、２Ａと、第２段の第１搬送装置２、２Ｂと、第３段の第１搬送装置２、２Ｃと、第４段の第１搬送装置２、２Ｄと、からなる。
【００２８】
第１段の第１搬送装置２、２Ａは、上側の架台部材１０２の上面側に設けられている。第２段の第１搬送装置２、２Ｂは、上側の架台部材１０２の下面側に設けられている。第３段の第１搬送装置２、２Ｃは、下側の架台部材１０２の上面側に設けられている。第４段の第１搬送装置２、２Ｄは、下側の架台部材１０２の下面側に設けられている。この結果、第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）は、ＸＹ平面に対して垂直に４段備える。
【００２９】
４つのユニットの第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）は、それぞれ、レール部材２０と、移動部材２１と、駆動部２２と、を有する。４つのユニットの第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）は、それぞれ、４つのユニットの第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）を介して検査器具１１、１２、１３、１４をＸＹ平面上において一次搬送させる、搬送装置である。
【００３０】
レール部材２０は、上から見て円形形状をなす。レール部材２０は、上下の架台部材１０２の内側縁部分の上下両面に、それぞれ、固定されている。この結果、レール部材２０は、電子部品１０の周囲に敷設される。
【００３１】
移動部材２１は、レール部材２０に、上側からまたは下側から跨るようにして取り付けられている。移動部材２１は、レール部材２０に沿って移動可能である。
【００３２】
駆動部２２は、移動部材２１をレール部材２０に沿って移動させる。駆動部２２は、移動部材２１に内蔵されているサーボモータ、または、レール部材２０および移動部材２１に組み込まれているリニアモータなどである。
【００３３】
（第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）の説明）
図１〜図３に示すように第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）は、この例では、第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）と同様に、４つのユニットからなる。すなわち、上から、第１段の第２搬送装置３、３Ａと、第２段の第２搬送装置３、３Ｂと、第３段の第２搬送装置３、３Ｃと、第４段の第２搬送装置３、３Ｄと、からなる。
【００３４】
第１段の第２搬送装置３、３Ａは、上側の架台部材１０２の上面側に設けられている。第２段の第２搬送装置３、３Ｂは、上側の架台部材１０２の下面側に設けられている。第３段の第２搬送装置３、３Ｃは、下側の架台部材１０２の上面側に設けられている。第４段の第２搬送装置３、３Ｄは、下側の架台部材１０２の下面側に設けられている。この結果、第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）は、ＸＹ平面に対して垂直に４段備える。
【００３５】
４つのユニットの第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）は、それぞれ、アーム機構から構成されている。４つのユニットの第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）は、それぞれ、４つのユニットの第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）の移動部材２１に取り付けられている。４つのユニットの第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）は、それぞれ、検査器具１１、１２、１３、１４が取り付けられている。
【００３６】
この結果、４つのユニットの第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）は、それぞれ、４つのユニットの第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）により一次搬送された検査器具１１、１２、１３、１４を、ＸＹ平面上の所定の方向およびＺ方向に、二次搬送させる、搬送装置である。
【００３７】
（アーム機構の説明）
図１〜図４に示すように第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）のアーム機構は、２組のＸＹアーム機構４、５と、１組のＺアーム機構６と、を有する。
【００３８】
一方のＸＹアーム機構４は、第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）の移動部材２１に取り付けられている。他方のＸＹアーム機構５は、一方のＸＹアーム機構４に取り付けられている。Ｚアーム機構６は、他方のＸＹアーム機構５に取り付けられている。
【００３９】
（ＸＹアーム機構４、５の説明）
２組のＸＹアーム機構４、５は、それぞれ、固定部４０、５０と、回転部４１、５１と、アーム部４２、５２と、駆動部４３、５３と、を有する。
【００４０】
一方のＸＹアーム機構４において、固定部４０は、第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）の移動部材２１の上面または下面に固定されている。回転部４１は、固定部４０の上面または下面に回転軸４４の周りに回転可能に取り付けられている。アーム部４２の一端は、回転部４１に取り付けられている。回転軸４４は、ＸＹ平面に対して垂直である。
【００４１】
駆動部４３は、回転部４１およびアーム部４２を、固定部４０に対して回転軸４４の周りに、すなわち、ＸＹ平面上の所定の方向に、回転させる。駆動部４３は、固定部４０または回転部４１の少なくともいずれか一方に内蔵されているサーボモータである。
【００４２】
他方のＸＹアーム機構５において、固定部５０は、一方のＸＹアーム機構４のアーム部４２の他端に固定されている。回転部５１は、固定部５０の上面または下面に回転軸５４の周りに回転可能に取り付けられている。アーム部５２の一端は、回転部５１に取り付けられている。回転軸５４は、ＸＹ平面に対して垂直である。
【００４３】
駆動部５３は、回転部５１およびアーム部５２を、固定部５０に対して回転軸５４の周りに、すなわち、ＸＹ平面上の所定の方向に、回転させる。駆動部５３は、固定部５０または回転部５１の少なくともいずれか一方に内蔵されているサーボモータである。
【００４４】
（Ｚアーム機構６の説明）
Ｚアーム機構６は、固定部６０と、移動部６１と、駆動部６２と、を有する。固定部６０は、他方のＸＹアーム機構５のアーム部５２の他端に固定されている。移動部６１は、固定部６０にＸＹ平面に対して垂直であるＺ軸方向（Ｚ方向）に移動可能に取り付けられている。移動部６１には、検査器具１１、１２、１３、１４が取り付けられている。
【００４５】
駆動部６２は、移動部６１を固定部６０に対してＺ軸方向（Ｚ方向）に移動させる。駆動部６２は、移動部６１に内蔵されているサーボモータ、または、固定部６０および移動部６１に組み込まれているリニアモータなどである。
【００４６】
（検査器具１１、１２、１３、１４の説明）
【００４７】
第１段の第２搬送装置３、３Ａの移動部６１には、この例では、カメラとしての検査器具１１が取り付けられている。カメラとしての検査器具１１は、この例では、電子部品１０の上面の所定の位置を撮像し、その画像データを制御部７に出力する。
【００４８】
第２段の第２搬送装置３、３Ｂの移動部６１には、この例では、ＩＥＣ６１０１０規格のＣＡＴＩＩの測定用プローブとしての検査器具１２が取り付けられている。測定用プローブとしての検査器具１２は、この例では、電子部品１０の上面の所定の検査ポイントに接触して、電気的計測を行う。
【００４９】
第３段の第２搬送装置３、３Ｃの移動部６１には、この例では、ＩＥＣ６１０１０規格のＣＡＴＩＩＩの上側の測定用プローブとしての検査器具１３が取り付けられている。測定用プローブとしての検査器具１３は、この例では、電子部品１０の上面の所定の検査ポイントに接触して、電気的計測を行う。
【００５０】
第４段の第２搬送装置３、３Ｄの移動部６１には、この例では、ＩＥＣ６１０１０規格のＣＡＴＩＩＩの上側の測定用プローブとしての検査器具１４が取り付けられている。測定用プローブとしての検査器具１４は、この例では、電子部品１０の下面の所定の検査ポイントに接触して、電気的計測を行う。
【００５１】
（制御部７、撮像部７０、操作部７１、検出部７２、表示部７３、駆動部２２、４３、５３、６２の説明）
図５に示すように、電子部品検査装置１は、制御部７、撮像部７０、操作部７１、検出部７２、表示部７３および前記の駆動部２２、４３、５３、６２を備える。
【００５２】
撮像部７０は、撮像素子などからなるカメラであって、検査器具１１のカメラも含む。撮像部７０は、４つのユニットの第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）や４つのユニットの第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）の任意の部分に取り付けられる。撮像部７０は、撮像した画像データを制御部７に出力する。
【００５３】
表示部７３は、撮像部７０が撮像した対象を、オペレーター（図示せず）が視認する画像として、拡大して表示する。表示部７３は、オペレーターが目視する視線方向に配置されている。
【００５４】
操作部７１は、オペレーターが操作することにより指示信号を制御部７に出力する。操作部７１は、この例では、表示部７３と別個体の画面（タッチパネルなど。図示せず）からなる。オペレーターが、表示部７３に表示される画像を見ながら、操作部７１の画面をタッチ操作する。これにより、この実施形態１にかかる電子部品検査装置１の各装置が、操作される。操作部７１と表示部７３とは、たとえば、ユーザーインターフェースまたはＨＭＩなどから構成される。
【００５５】
検出部７２は、たとえば、接触センサまたは接触式変位センサ、レーザーセンサ、超音波センサなどである。検出部７２は、４つのユニットの第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）や４つのユニットの第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）の任意の部分に取り付けられる。検出部７２は、４つのユニットの第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）や４つのユニットの第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）の位置情報を取得する。検出部７２は、検出した検出データ、すなわち、取得した位置情報を制御部７に出力する。
【００５６】
制御部７は、撮像部７０から出力された画像データ、操作部７１から出力された指示信号および検出部７２から出力された検出データ（位置情報）を入力し、画像データ、指示信号および検出データ（位置情報）に基づいて、駆動部２２、４３、５３、６２の駆動を制御する。制御部７は、４つのユニットの第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）および４つのユニットの第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）が相互に接触しないように、制御する機能を有する。すなわち、制御部７は、４つのユニットの第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）および４つのユニットの第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）の禁則範囲を定める機能を有する。
【００５７】
制御部７は、情報処理装置であって、たとえば、電子制御ユニット（ＥＣＵ）から構成されている。制御部７は、マイクロコントローラとその他の電子回路とを含む。マイクロコントローラは、プロセッサとメモリとを含む。プロセッサは、ＣＰＵ、ＭＰＵまたはＧＰＵの少なくともいずれか１つである。メモリは、ＲＯＭとＲＡＭとを含む。プロセッサは、ＲＯＭに記憶されたプログラムやＲＡＭにロードされたプログラムを実行する。
【００５８】
駆動部２２、４３、５３、６２は、制御部７から出力される制御信号に基づいて、駆動する。駆動部２２、４３、５３、６２は、４つのユニットの第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）や４つのユニットの第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）の駆動部である。
【００５９】
図５に示す駆動部には、前記の駆動部２２、４３、５３、６２の他に、ステージ１００を、Ｘ方向に移動させる駆動部、Ｙ方向に移動させる駆動部、および、中心軸Ｃの周りに回転させる駆動部が、含まれる。
【００６０】
（実施形態１の作用の説明）
この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、以上のごとき構成からなり、以下、その作用について説明する。
【００６１】
まず、オペレーターが、手動により操作部７１を操作して、電子部品検査装置１の作動を開始（スタート）させる。あるいは、制御部７の制御により、自動的に電子部品検査装置１の作動を開始（スタート）させる。
【００６２】
まず、４つのユニットの第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）において、移動部材２１がレール部材２０に沿って電子部品１０の周囲を、すなわち、ＸＹ平面上を移動して所定の位置で停止する。
【００６３】
つぎに、４つのユニットの第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）において、一方のＸＹアーム機構４の回転部４１およびアーム部４２が、固定部４０に対して回転軸４４の周りに、すなわち、ＸＹ平面上の所定の方向に、回転して所定の位置で停止する。
【００６４】
それから、４つのユニットの第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）において、他方のＸＹアーム機構５の回転部５１およびアーム部５２が、固定部５０に対して回転軸５４の周りに、すなわち、ＸＹ平面上の所定の方向に、回転して所定の位置で停止する。
【００６５】
そして、４つのユニットの第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）において、Ｚアーム機構６の移動部６１が、固定部６０にＸＹ平面に対して垂直であるＺ軸方向（Ｚ方向）に移動して所定の位置で停止する。
【００６６】
これにより、カメラの検査器具１１は、電子部品１０の上面の所定の位置を撮像し、その画像データを制御部７に出力する。また、ＩＥＣ６１０１０規格のＣＡＴＩＩの測定用プローブの検査器具１２は、電子部品１０の上面の所定の検査ポイントに接触して、電気的計測を行う。さらに、ＩＥＣ６１０１０規格のＣＡＴＩＩＩの上側の測定用プローブの検査器具１３は、電子部品１０の上面の所定の検査ポイントに接触して、電気的計測を行う。さらにまた、ＩＥＣ６１０１０規格のＣＡＴＩＩＩの上側の測定用プローブの検査器具１４は、電子部品１０の下面の所定の検査ポイントに接触して、電気的計測を行う。
【００６７】
ここで、移動部材２１の移動、一方のＸＹアーム機構４の回転部４１およびアーム部４２の回転、他方のＸＹアーム機構５の回転部５１およびアーム部５２の回転、および、Ｚアーム機構６の移動部６１の移動は、それぞれ別個に行われたり、あるいは、全て同時に行われたり、あるいは、任意に組み合わせて行われたりする。
【００６８】
また、移動部材２１の移動、一方のＸＹアーム機構４の回転部４１およびアーム部４２の回転、および、他方のＸＹアーム機構５の回転部５１およびアーム部５２の回転は、ＸＹ平面上において行わる。Ｚアーム機構６の移動部６１の移動は、ＸＹ平面に対して垂直であるＺ軸方向（Ｚ方向）において行われる。
【００６９】
さらに、図５に示す前記の駆動部２２、４３、５３、６２の他の駆動部により、ステージ１００は、Ｘ方向に移動し、Ｙ方向に移動し、中心軸Ｃの周りに回転する。
【００７０】
（実施形態１の効果の説明）
この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、以上のごとき構成および作用からなり、以下、その効果について説明する。
【００７１】
この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）により、検査器具１１、１２、１３、１４を、ＸＹ平面上であって、電子部品１０の周囲において、移動させることができる。この結果、この実施形態１にかかる電子部品検査装置１によれば、装置を小型化することができる。
【００７２】
特に、この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）において、レール部材２０に移動部材２１を取り付けた構造からなる。この結果、この実施形態１にかかる電子部品検査装置１によれば、移動部材２１を、特許文献１の基板検査装置のＸ軸方向の可動側アームと比較して、小型化することができる。
【００７３】
この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、装置、特に、第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）における移動部材２１を小型化することができるので、装置特に移動部材２１の剛性を下げて、移動部材２１の重量を軽くできる。この結果、この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、移動部材２１の移動速度を上げることができるので、電子部品１０の検査時間を短縮できる。しかも、この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、移動部材２１を所定の位置に正確に停止させることができるので、電子部品１０の正確な検査を行うことができる。
【００７４】
この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）と第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）とを備えるものである。この結果、この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）により、検査器具１１、１２、１３、１４を、ＸＹ平面上において一次搬送させて、所定の位置に大まかに位置させることができる。しかも、この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）により、一次搬送された検査器具１１、１２、１３、１４を、ＸＹ平面上およびＺ軸方向（Ｚ方向）において二次搬送させて、所定の位置に細やかに（高精度に）位置させることができる。
【００７５】
この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）のレール部材２０が中心軸Ｃを中心とする円形形状をなし、かつ、ＸＹ平面上において電子部品１０の周囲に敷設されるものである。この結果、この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）のレール部材２０および移動部材２１により、第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）を介して、検査器具１１、１２、１３、１４を、ＸＹ平面上において、所定の位置に、迅速に位置させることができる。
【００７６】
すなわち、中心軸Ｃからレール部材２０までの距離は、レール部材２０の半径であって、最短距離である。この結果、検査器具１１、１２、１３、１４は、電子部品１０の所定の検査ポイントまでの距離が最短距離の位置に、位置できる。これにより、この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、電子部品１０の検査を迅速に行うことができる。
【００７７】
この実施形態１にかかる電子部品検査装置１によれば、第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）のアーム機構が、２組のＸＹアーム機構４、５と、１組のＺアーム機構６と、を有する。この結果、この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、一次搬送された検査器具１１、１２、１３、１４を、ＸＹ平面上およびＺ軸方向（Ｚ方向）の所定の位置に、さらに、高精度に位置させることができる。
【００７８】
しかも、この実施形態１にかかる電子部品検査装置１によれば、２組のＸＹアーム機構４、５の回転部４１、５１およびアーム部４２、５２が、ＸＹ平面上において回転し、かつ、１組のＺアーム機構６の移動部６１が、Ｚ軸方向（Ｚ方向）に移動する。この結果、この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、一次搬送された検査器具１１、１２、１３、１４を、ＸＹ平面上およびＺ軸方向（Ｚ方向）の所定の位置に、さらに確実に、高精度に位置させることができる。
【００７９】
この実施形態１にかかる電子部品検査装置１によれば、第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）と第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）とが、ＸＹ平面に対して垂直（Ｚ方向）に、４段備えるものである。この結果、この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、電子部品１０の複数の所定の検査ポイントを、同時にもしくは短時間で検査することができる。
【００８０】
この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、ステージ１００を、Ｘ方向に移動させ、Ｙ方向に移動させ、中心軸Ｃの周りに回転させることができる。この結果、この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、ステージ１００を介して、電子部品１０を、Ｘ方向に移動させ、Ｙ方向に移動させ、中心軸Ｃの周りに回転させることができる。これにより、この実施形態１にかかる電子部品検査装置１は、電子部品１０の検査を迅速にかつ正確に行うことができる。
【００８１】
（実施形態２の説明）
図６は、この発明にかかる電子部品検査装置の実施形態２を示す。以下、この実施形態２にかかる電子部品検査装置１Ａについて説明する。図中、図１〜図５と同符号は、同一のものを示す。
【００８２】
この実施形態２にかかる電子部品検査装置１Ａは、１つのレール部材２０に、複数この例では２台の移動部材２１、２台の駆動部２２（第１搬送装置２の駆動部２２）および２台の第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）を、それぞれ、取り付けたものである。
【００８３】
なお、１つのレール部材２０に、３台以上の移動部材２１、３台以上の駆動部２２および３台以上の第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）を、それぞれ、取り付けたものであっても良い。
【００８４】
この実施形態２にかかる電子部品検査装置１Ａは、以上のごとき構成からなるので、前記の実施形態１にかかる電子部品検査装置１とほぼ同様の作用効果を達成することができる。
【００８５】
特に、この実施形態２にかかる電子部品検査装置１Ａは、１つのレール部材２０に、複数この例では２台の移動部材２１、２台の駆動部２２および２台の第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）を、それぞれ、取り付けたものである。この結果、この実施形態１にかかる電子部品検査装置１Ａは、電子部品１０の複数の所定の検査ポイントを、同時にもしくは短時間で検査することができる。
【００８６】
（実施形態１、２以外の例の説明）
なお、前記の実施形態１においては、４つのユニットの第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）と、４つのユニットの第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）と、を備えるものである。しかしながら、この発明においては、第１搬送装置２および第２搬送装置３のユニット数を特に限定しない。すなわち、第１搬送装置２および第２搬送装置３は、それぞれ、１つのユニットを備えるものであっても良い。
【００８７】
また、前記の実施形態１、２においては、レール部材２０が円形形状をなすものである。しかしながら、この発明においては、レール部材の形状を特に限定しない。レール部材の形状としては、たとえば、円形形状の一部からなるもの、曲線形状をなすもの、直線形状をなすもの、であっても良い。すなわち、レール部材は、ＸＹ平面上であって、電子部品１０の周囲に敷設されるものであれば良い。
【００８８】
さらに、前記の実施形態１、２においては、第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）のアーム機構が２組のＸＹアーム機構４、５と１組のＺアーム機構６とを有する、例について説明するものである。しかしながら、この発明においては、アーム機構の数を特に限定しない。１組のアーム機構であっても良い。
【００８９】
すなわち、前記の実施形態１、２においては、第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）が、第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）により一次搬送された検査器具１１、１２、１３、１４をＸＹ平面上の所定の方向およびＺ方向に二次搬送させる搬送装置である、例について説明するものである。しかしながら、この発明においては、第２搬送装置３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）として、第１搬送装置２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）により一次搬送された検査器具１１、１２、１３、１４を少なくともＸＹ平面に対して交差する方向に二次搬送させる搬送装置であれば良い。
【００９０】
なお、この発明は、前記の実施形態１、２により限定されるものではない。
【符号の説明】
【００９１】
１  電子部品検査装置
１Ａ  電子部品検査装置
１０  電子部品
１１  検査器具（カメラ）
１２  検査器具（ＩＥＣ６１０１０規格のＣＡＴＩＩの測定用プローブ）
１３  検査器具（ＩＥＣ６１０１０規格のＣＡＴＩＩＩの上側の測定用プローブ）
１４  検査器具（ＩＥＣ６１０１０規格のＣＡＴＩＩＩの上側の測定用プローブ）
１００  ステージ
１０１  設置面
１０２  架台部材
１０３  支柱部材
２  第１搬送装置
２Ａ  第１段の第１搬送装置
２Ｂ  第２段の第１搬送装置
２Ｃ  第３段の第１搬送装置
２Ｄ  第４段の第１搬送装置
２０  レール部材
２１  移動部材
２２  駆動部
３  第２搬送装置
３Ａ  第１段の第２搬送装置
３Ｂ  第２段の第２搬送装置
３Ｃ  第３段の第２搬送装置
３Ｄ  第４段の第２搬送装置
４  一方のＸＹアーム機構、
４０  固定部
４１  回転部
４２  アーム部
４３  駆動部
４４  回転軸
５  他方のＸＹアーム機構、
５０  固定部
５１  回転部
５２  アーム部
５３  駆動部
５４  回転軸
６  Ｚアーム機構
６０  固定部
６１  移動部
６２  駆動部
７  制御部
７０  撮像部
７１  操作部
７２  検出部
７３  表示部
Ｃ  中心軸
【図１】
2020112402.tif 000003
【図２】
2020112402.tif 000004
【図３】
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【図４】
2020112402.tif 000006
【図５】
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【図６】
2020112402.tif 000008