(57)【要約】【課題】８３０℃以下で焼結が十分に進行し、環境への負荷が少なく、かつ、炭化ケイ素粉末を含んでも焼成時に著しい発泡がなく、良好な耐摩耗性や熱伝導率を有する被覆層を形成可能な複合粉末材料を提供する。【解決手段】酸化物基準のモル％表示で、ＳｉＯ２を３１〜４２％、Ｂ２Ｏ３を１６〜２６％、ＺｎＯを２〜１０％、ＣａＯを２０〜３０％、ＢａＯを１〜１０％、ＳｒＯを１〜１０％、Ａｌ２Ｏ３を１〜１０％含有するガラス粉末、炭化ケイ素粉末、およびアルミナ粉末を含有し、炭化ケイ素粉末およびアルミナ粉末の合計の含有量に対する炭化ケイ素粉末の含有量の体積比（炭化ケイ素粉末／アルミナ粉末＋炭化ケイ素粉末）が１〜６５％である複合粉末材料。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化物基準のモル％表示で、ＳｉＯ２を３１〜４２％、Ｂ２Ｏ３を１６〜２６％、ＺｎＯを２〜１０％、ＣａＯを２０〜３０％、ＢａＯを１〜１０％、ＳｒＯを１〜１０％、Ａｌ２Ｏ３を１〜１０％含有するガラス粉末、炭化ケイ素粉末、およびアルミナ粉末を含有し、
前記炭化ケイ素粉末および前記アルミナ粉末の合計の含有量に対する前記炭化ケイ素粉末の含有量の体積比（炭化ケイ素粉末／アルミナ粉末＋炭化ケイ素粉末）が１〜６５％である複合粉末材料。
【請求項２】
前記ガラス粉末は、酸化物基準のモル％表示で、ＳｉＯ２を３５〜４０％、Ｂ２Ｏ３を１８〜２４％、ＺｎＯを４〜６％、ＣａＯを２３〜２７％、ＢａＯを４〜６％、ＳｒＯを４〜６％、Ａｌ２Ｏ３を２〜５％含有する、請求項１に記載の複合粉末材料。
【請求項３】
前記炭化ケイ素粉末および前記アルミナ粉末の合計の含有量に対する前記炭化ケイ素粉末の含有量の体積比（炭化ケイ素粉末／アルミナ粉末＋炭化ケイ素粉末）が１０〜５０％である、請求項１または２に記載の複合粉末材料。
【請求項４】
前記炭化ケイ素粉末および前記アルミナ粉末の合計の含有量に対する前記炭化ケイ素粉末の含有量の体積比（炭化ケイ素粉末／アルミナ粉末＋炭化ケイ素粉末）が２０〜４０％である、請求項３に記載の複合粉末材料。
【請求項５】
前記ガラス粉末の含有量は４０〜９０体積％、前記炭化ケイ素粉末の含有量は３〜１６体積％、前記アルミナ粉末の含有量は５〜４５体積％である請求項１〜４のいずれか１項に記載の複合粉末材料。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の複合粉末材料とビークルとを含有する複合粉末材料ペースト。
【請求項７】
基板と、前記基板の表面上に形成された発熱抵抗層と、前記基板の表面上の少なくとも一部と前記発熱抵抗層の前記基板と反対側の面の全体とを覆う絶縁膜とを備えるレーザプリンタ用のプリンタヘッドであって、
前記基板はアルミナを含有し、
前記絶縁膜は質量％表示で、ＳｉＯ２を１６〜２４％、Ｂ２Ｏ３を９〜１７％、ＺｎＯを２〜５％、ＣａＯを９〜１４％、ＢａＯを５〜８％、ＳｒＯを３〜５％、Ａｌ２Ｏ３を２０〜４８％、ＳｉＣを３〜１５％含有するレーザプリンタ用のプリンタヘッド。
【請求項８】
前記絶縁膜における、前記ＳｉＣおよびＡｌ２Ｏ３の合計の含有量に対する前記ＳｉＣの含有量の質量比（ＳｉＣ／Ａｌ２Ｏ３＋ＳｉＣ）が５〜５０％である、請求項７に記載のレーザプリンタ用のプリンタヘッド。
【請求項９】
前記絶縁膜における、前記ＳｉＣおよびＡｌ２Ｏ３の合計の含有量に対する前記ＳｉＣの含有量の質量比（ＳｉＣ／Ａｌ２Ｏ３＋ＳｉＣ）が２０〜４５％である、請求項８に記載のレーザプリンタ用のプリンタヘッド。
【請求項１０】
基板と、前記基板の表面上に形成されたグレーズ層と、前記グレーズ層の前記基板と反対側の面上に形成された発熱抵抗層と、前記発熱抵抗層の前記グレーズ層と反対側の面上に形成された電極層と、前記電極層の前記発熱抵抗層と反対側の面上に形成された保護層とを備えるサーマルプリンタ用のサーマルプリンタヘッドであって、
前記保護層は質量％表示で、ＳｉＯ２を１６〜２４％、Ｂ２Ｏ３を９〜１７％、ＺｎＯを２〜５％、ＣａＯを９〜１４％、ＢａＯを５〜８％、ＳｒＯを３〜５％、Ａｌ２Ｏ３を２０〜４８％、ＳｉＣを３〜１５％含有するサーマルプリンタヘッド。
【請求項１１】
前記保護層における、前記ＳｉＣおよびＡｌ２Ｏ３の合計の含有量に対する前記ＳｉＣの含有量の質量比（ＳｉＣ／Ａｌ２Ｏ３＋ＳｉＣ）が５〜５０％である、請求項１０に記載のサーマルプリンタヘッド。
【請求項１２】
前記保護層における、前記ＳｉＣおよびＡｌ２Ｏ３の合計の含有量に対する前記ＳｉＣの含有量の質量比（ＳｉＣ／Ａｌ２Ｏ３＋ＳｉＣ）が２０〜４５％である、請求項１１に記載のサーマルプリンタヘッド。
【請求項１３】
前記グレーズ層と前記発熱抵抗層の間にバリア層を備える請求項１０〜１２のいずれか１項に記載のサーマルプリンタヘッド。
【請求項１４】
前記基板がガラスまたはセラミックスからなる請求項１０〜１３のいずれか１項に記載のサーマルプリンタヘッド。
【請求項１５】
前記発熱抵抗層が金属からなる請求項１０〜１４のいずれか１項に記載のサーマルプリンタヘッド。
【請求項１６】
前記発熱抵抗層がＡｇとＰｄを含む合金からなる請求項１０〜１５のいずれか１項に記載のサーマルプリンタヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複合粉末材料、及び当該複合粉末材料を含有する複合粉末材料ペーストに関する。また、本発明は、当該複合粉末材料を用いて形成された被覆層を備えるレーザプリンタ用のプリンタヘッド、及びサーマルプリンタヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラスを主成分とする被覆層が様々な用途において使用されている。
【０００３】
例えばレーザプリンタ等の、トナー画像を紙等の被印刷物に転写して定着する形式のプリンタでは、定着装置において被印刷物が加熱されつつ加圧されることによって、転写されたトナーが溶融し、被印刷物に定着する。定着装置には、被印刷物を加熱するための定着ヒータと、被印刷物を定着ヒータに向かって加圧しつつ一方向に送るための加圧ローラとが備えられている。このような定着装置の一形式として、平板長尺状の定着ヒータと加圧ローラとの間に、加圧ローラの回転に伴って回転させられる耐熱樹脂製の定着フィルムを設けて、定着装置を小型化すると共にその熱容量を低下させたものがある。
当該形式における定着ヒータは、例えばガラスやセラミックス等から成る平板状の基板の表面に、印刷或いは転写等の適宜の方法でＡｇ／Ｐｄ合金等から成る発熱抵抗層が設けられたものである。この発熱抵抗層は、例えばその両端部がＡｇ等から成る電極端子に接続されており、通電されることにより発熱する。このような発熱抵抗層において絶縁性の確保や、耐擦性の向上等の目的で、その表面にガラスを主成分とする絶縁膜が形成される。このような絶縁膜は、平板状の定着ヒータに限られず、円筒状の絶縁性基材の外周面に発熱抵抗層を設けた定着ローラにも設けられている。
【０００４】
また、サーマルプリンタは、印字部において、記録紙を一方向に送りつつ加熱することにより、記録紙上に画像を形成する。特に感熱記録紙を用いる形式のもの（感熱式プリンタ）では、感熱記録紙に設けられた感熱層中の感熱色素が加熱されることによって発色して画像が形成される。また、熱転写インクリボンを用いる形式のもの（熱転写プリンタ）では、加熱されることにより溶融或いは昇華したインクが記録紙に転写させられて画像が形成される。この形式では記録紙に普通紙が用いられる。
上記のいずれの形式においても、上記印字部には、感熱記録紙や熱転写インクリボンを加熱するためのサーマルプリンタヘッドと、記録紙をそのサーマルプリンタヘッドに向かって押圧しつつ一方向に送るための加圧ローラとが備えられている。このサーマルプリンタヘッドは、例えば、セラミック基板の一面に蓄熱層を介して設けられたライン状の発熱抵抗層の上に電極層が形成され、これらがガラスを主成分とする保護層で覆われた基本構造を備えている。電極層としては、例えば、Ａｕリード電極、Ａｇ外部電極等が形成され、発熱抵抗層として、例えば、ＲｕＯ２層等が形成される。
【０００５】
また、例えば回路基板においても、その表面に設けられた電極等の導体膜や電子部品等を保護する目的でガラスを主成分とする絶縁膜が形成される。
以下、これらの絶縁膜や保護層をまとめて「被覆層」とも記載する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特公平０４−００２５３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のような被覆層は、一般的に、ガラス粉末を含む粉末材料の焼成により形成される。当該焼成の温度は、電極等の特性の劣化を防止するために、９００℃以下が好ましいが、電極等の種類によってさらに低温化することが求められており、例えば８３０℃以下であることが要求される。
しかし、焼成温度が低いと、粉末材料によっては十分に焼結が進行せず、得られる被覆層の緻密性が低下し、表面平滑性が劣化するおそれがある。表面平滑性が劣化すると、プリンタの被覆層として用いた際に被印刷物を傷つけてしまうおそれがある。
よって、８３０℃以下で焼成した場合においても、十分に焼結が進行し、十分な表面平滑性を有する被覆層が得られる粉末材料が望まれている。
【０００８】
また、ガラス粉末を含む粉末材料には、熱膨張係数、熱伝導率、耐摩耗性の向上を目的にアルミナ、炭化ケイ素、ジルコニア、ムライト、シリカ、コーディエライト、チタニア、酸化スズ等のセラミックス粉末を含有させる場合がある。特に炭化ケイ素は、ビッカーズ硬度が高く耐摩耗性に優れ、さらに高い熱伝導率を有する、有効なセラミックス粉末であり、これを含有させることにより、熱伝導率が高く、耐摩耗性が高い被覆層が得られることが期待される。
【０００９】
従来の被覆層の材料としては、鉛を必須成分として含有するＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系ガラスが使用されることが多く、特許文献１においてもこのようなガラスが開示されている。また、特許文献１には、セラミックス粉末としてアルミナや炭化ケイ素を含有させることが開示されている。
近年、環境保護の観点から、環境負荷物質の削減、例えばＰｂＯの削減が推進されており、ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系ガラスに代わって、鉛を必須成分としないガラスが求められている。しかし、鉛を含有しないガラスと炭化ケイ素粉末とを組み合わせると、焼成時に発泡してしまうので、実質的に炭化ケイ素粉末が使用できないという課題があった。
【００１０】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、８３０℃以下で焼結が十分に進行し、環境への負荷が少なく、かつ、炭化ケイ素粉末を含んでも焼成時に著しい発泡がなく、良好な耐摩耗性や熱伝導率を有する被覆層を形成可能な複合粉末材料を提供することを目的とする。
また、本発明は、当該複合粉末材料を含有する複合粉末材料ペーストを提供することを目的とする。
また、本発明は、当該複合粉末材料を用いて形成された絶縁膜を備えるレーザプリンタ用のプリンタヘッドを提供することを目的とする。
また、本発明は、当該複合粉末材料を用いて形成された保護層を備えるサーマルプリンタヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らは、ガラス組成が特定の範囲であるガラス組成物と反応抑制剤としてアルミナ粉末を組み合わせ、そこに炭化ケイ素粉末を組み合わせることで、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成した。
本発明は以下の構成の複合粉末材料、複合粉末材料ペースト、レーザプリンタ用のプリンタヘッド、及びサーマルプリンタヘッドを提供する。
【００１２】
本発明の複合粉末材料は、酸化物基準のモル％表示で、ＳｉＯ２を３１〜４２％、Ｂ２Ｏ３を１６〜２６％、ＺｎＯを２〜１０％、ＣａＯを２０〜３０％、ＢａＯを１〜１０％、ＳｒＯを１〜１０％、Ａｌ２Ｏ３を１〜１０％含有するガラス粉末、炭化ケイ素粉末、およびアルミナ粉末を含有し、炭化ケイ素粉末およびアルミナ粉末の合計の含有量に対する炭化ケイ素粉末の含有量の体積比（炭化ケイ素粉末／アルミナ粉末＋炭化ケイ素粉末）が１〜６５％である。
本発明の複合粉末材料の一態様において、ガラス粉末は、酸化物基準のモル％表示で、ＳｉＯ２を３５〜４０％、Ｂ２Ｏ３を１８〜２４％、ＺｎＯを４〜６％、ＣａＯを２３〜２７％、ＢａＯを４〜６％、ＳｒＯを４〜６％、Ａｌ２Ｏ３を２〜５％含有してもよい。
本発明の複合粉末材料の一態様において、炭化ケイ素粉末およびアルミナ粉末の合計の含有量に対する炭化ケイ素粉末の含有量の体積比（炭化ケイ素粉末／アルミナ粉末＋炭化ケイ素粉末）が１５〜４５％であってもよい。
本発明の複合粉末材料の一態様において、炭化ケイ素粉末およびアルミナ粉末の合計の含有量に対する炭化ケイ素粉末の含有量の体積比（炭化ケイ素粉末／アルミナ粉末＋炭化ケイ素粉末）が２０〜４０％であってもよい。
本発明の複合粉末材料の一態様において、ガラス粉末の含有量は４０〜９０体積％、炭化ケイ素粉末の含有量は３〜１６体積％、アルミナ粉末の含有量は５〜４５体積％であってもよい。
【００１３】
本発明の複合粉末材料ペーストは、本発明の複合粉末材料とビークルとを含有する。
【００１４】
本発明のレーザプリンタ用のプリンタヘッドは、基板と、基板の表面上に形成された発熱抵抗層と、基板の表面上の少なくとも一部と発熱抵抗層の基板と反対側の面の全体とを覆う絶縁膜とを備えるレーザプリンタ用のプリンタヘッドであって、基板はアルミナを含有し、絶縁膜は質量％表示で、ＳｉＯ２を１６〜２４％、Ｂ２Ｏ３を９〜１７％、ＺｎＯを２〜５％、ＣａＯを９〜１４％、ＢａＯを５〜８％、ＳｒＯを３〜５％、Ａｌ２Ｏ３を２０〜４８％、ＳｉＣを３〜１５％含有する。
本発明のレーザプリンタ用のプリンタヘッドの一態様において、絶縁膜における、ＳｉＣおよびＡｌ２Ｏ３の合計の含有量に対するＳｉＣの含有量の質量比（ＳｉＣ／Ａｌ２Ｏ３＋ＳｉＣ）が５〜５０％であってもよい。
本発明のレーザプリンタ用のプリンタヘッドの一態様において、絶縁膜における、ＳｉＣおよびＡｌ２Ｏ３の合計の含有量に対するＳｉＣの含有量の質量比（ＳｉＣ／Ａｌ２Ｏ３＋ＳｉＣ）が２０〜４５％であってもよい。
【００１５】
本発明のサーマルプリンタヘッドは、基板と、基板の表面上に形成されたグレーズ層と、グレーズ層の基板と反対側の面上に形成された発熱抵抗層と、発熱抵抗層のグレーズ層と反対側の面上に形成された電極層と、電極層の発熱抵抗層と反対側の面上に形成された保護層とを備えるサーマルプリンタ用のサーマルプリンタヘッドであって、保護層は質量％表示で、ＳｉＯ２を１６〜２４％、Ｂ２Ｏ３を９〜１７％、ＺｎＯを２〜５％、ＣａＯを９〜１４％、ＢａＯを５〜８％、ＳｒＯを３〜５％、Ａｌ２Ｏ３を２０〜４８％、ＳｉＣを３〜１５％含有する。
本発明のサーマルプリンタヘッドの一態様において、保護層における、ＳｉＣおよびＡｌ２Ｏ３の合計の含有量に対するＳｉＣの含有量の質量比（ＳｉＣ／Ａｌ２Ｏ３＋ＳｉＣ）が５〜５０％であってもよい。
本発明のサーマルプリンタヘッドの一態様において、保護層における、ＳｉＣおよびＡｌ２Ｏ３の合計の含有量に対するＳｉＣの含有量の質量比（ＳｉＣ／Ａｌ２Ｏ３＋ＳｉＣ）が２０〜４５％であってもよい。
本発明のサーマルプリンタヘッドの一態様において、グレーズ層と発熱抵抗層の間にバリア層を備えてもよい。
本発明のサーマルプリンタヘッドの一態様において、基板がガラスまたはセラミックスからなってもよい。
本発明のサーマルプリンタヘッドの一態様において、発熱抵抗層が金属からなってもよい。
本発明のサーマルプリンタヘッドの一態様において、発熱抵抗層がＡｇとＰｄを含む合金からなってもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の複合粉末材料は、８３０℃以下で焼結が十分に進行し、環境への負荷が少なく、かつ、炭化ケイ素粉末を含んでも著しい発泡がなく、良好な耐摩耗性や熱伝導率を有する被覆層を形成可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本発明のガラス組成物を含有する絶縁膜を備えるレーザプリンタ用のプリンタヘッドの実施形態の概略図である。
【図２】図２は、本発明のガラス組成物を含有する絶縁膜を備えるサーマルプリンタヘッドの実施形態の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態について説明する。なお、本発明は、以下に説明する実施形態に限定されるものではない。また、以下の図面において、同じ作用を奏する部材・部位には同じ符号を付して説明することがあり、重複する説明は省略または簡略化することがある。また、図面に記載の実施形態は、本発明を明瞭に説明するために模式化されており、実際のサイズや縮尺を必ずしも正確に表したものではない。
【００１９】
＜ガラス組成物＞
まず、本実施形態の複合粉末組成物に含まれるガラス粉末を構成するガラス組成物（以下「本実施形態のガラス組成物」ともいう）について説明する。
本実施形態のガラス組成物は、酸化物基準のモル％表示で、ＳｉＯ２を３１〜４２％、Ｂ２Ｏ３を１６〜２６％、ＺｎＯを２〜１０％、ＣａＯを２０〜３０％、ＢａＯを１〜１０％、ＳｒＯを１〜１０％、Ａｌ２Ｏ３を１〜１０％含有する。上記のように各成分の含有範囲を規制した理由を以下に説明する。なお、本明細書のガラス組成物に含まれる各成分の含有量の説明において、特に断りのない限り％表示は酸化物基準のモル％表示を意味する。
【００２０】
ＳｉＯ２は、ガラス骨格を形成する成分であり、炭化ケイ素粉末との過剰な反応による発泡の抑制に寄与する成分である。さらに、ガラス組成物の電極との反応性が高いと、焼成時にガラス組成物が電極と反応して電極が断線するおそれがあり、したがって、ガラス組成物には電極との反応性が低いことも求められるが、ＳｉＯ２は電極との反応性を抑制する成分でもある。また、ガラス組成物を焼成して得られる被覆層は、その用途によっては長期的安定性の観点から耐水性が要求される場合があるが、ＳｉＯ２は耐水性の向上にも寄与する成分である。本実施形態のガラス組成物のＳｉＯ２の含有量が少ないと、上記の効果を充分に得ることができない。
一方、本実施形態のガラス組成物のＳｉＯ２の含有量が多いと、ガラス組成物の軟化点が上昇する。ガラス組成物の軟化点が上昇すると、焼成に必要な温度が上昇するため、８３０℃以下の温度で焼成した際に、焼結が十分に進行せず、得られる被覆層の緻密性や表面平滑性が劣化するおそれがある。
以上の理由により、本実施形態のガラス組成物のＳｉＯ２の含有量は３１〜４２％とする。また、本実施形態のガラス組成物のＳｉＯ２の含有量は３３％以上が好ましく、３５％以上がより好ましく、また、４１％以下が好ましく、４０％以下がより好ましい。
【００２１】
Ｂ２Ｏ３は、ガラス骨格を形成し、ガラス化範囲を広げる成分である。Ｂ２Ｏ３は、ＳｉＯ２と比較して骨格が弱く低軟化成分である。
本実施形態のガラス組成物のＢ２Ｏ３の含有量が少ないと、ガラス組成物の軟化点が上昇し、ひいては８３０℃以下の温度で焼成した際に得られる被覆層の緻密性や表面平滑性が劣化するおそれがある。
一方、本実施形態のガラス組成物のＢ２Ｏ３の含有量が多いと、炭化ケイ素粉末との反応が進み発泡したり、耐水性が悪化したり、電極との反応性が高くなる。
以上の理由により、本実施形態のガラス組成物のＢ２Ｏ３の含有量は１６〜２６％とする。また、本実施形態のガラス組成物のＢ２Ｏ３の含有量は１７％以上が好ましく、１８％以上がより好ましい。また、２５％以下が好ましく、２４％以下がより好ましい。
【００２２】
また、ＳｉＯ２とＢ２Ｏ３の含有量の合計（以下「ＳｉＯ２＋Ｂ２Ｏ３」とも記載する）も炭化ケイ素粉末との反応の抑制（ひいては発泡の抑制）や耐水性の向上、及び、軟化点の低減にとって重要である。
得られる被覆層の発泡の抑制、及び耐水性を向上させる観点からは、本実施形態のガラス組成物におけるＳｉＯ２＋Ｂ２Ｏ３は、５３％以上が好ましく、５４％以上がより好ましく、５６％以上がさらに好ましい。
一方、ガラス組成物の軟化点を低減する観点からは、本実施形態のガラス組成物におけるＳｉＯ２＋Ｂ２Ｏ３は、６０％以下が好ましく、５９％以下がより好ましく、５８％以下がさらに好ましい。
【００２３】
ＺｎＯは、ガラス組成物の軟化点を低下させる成分である。本実施形態のガラス組成物のＺｎＯの含有量が少ないと、ガラス組成物の軟化点が上昇する。
一方、本実施形態のガラス組成物のＺｎＯの含有量が多いと、得られる被覆層の化学的耐久性、特に耐酸性が低下する。
以上の理由により、本実施形態のガラス組成物のＺｎＯの含有量は２〜１０％とする。また、本実施形態のガラス組成物のＺｎＯの含有量は３％以上が好ましく、４％以上がより好ましく、また、６％以下が好ましい。
【００２４】
ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯは、ガラスを安定化させる成分である。本実施形態のガラス組成物において、これらの成分のそれぞれの含有量が少なすぎるとペースト化して焼成する際に結晶が析出し易くなり、軟化点が高くなり、得られる被覆層の表面平滑性が低下し易くなる。
一方、本実施形態のガラス組成物において、これらの成分のそれぞれの含有量が多すぎる場合も、ペースト化して焼成する際に結晶が析出し易くなり、得られる被覆層の表面平滑性が低下し易くなる。
以上の理由により、本実施形態のガラス組成物のＣａＯの含有量は２０〜３０％、ＳｒＯの含有量は１〜１０％、ＢａＯの含有量は１〜１０％とする。
本実施形態のガラス組成物のＣａＯの含有量は好ましくは２１％以上、より好ましくは２３％以上であり、また、好ましくは２８％以下、より好ましくは２７％以下である。
本実施形態のガラス組成物のＳｒＯの含有量は好ましくは３％以上、より好ましくは４％以上であり、また、好ましくは８％以下、より好ましくは６％以下である。
本実施形態のガラス組成物のＢａＯの含有量は好ましくは３％以上、より好ましくは４％以上であり、また、好ましくは８％以下、より好ましくは６％以下である。
また、表面平滑性を向上させるにはこれらの成分の含有量の合計（以下「ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ」とも記載する）の制御も重要である。
本実施形態のガラス組成物のＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯは、好ましくは２６％以上、より好ましくは３０％以上、さらに好ましくは３３％以上であり、また、好ましくは４０％以下、より好ましくは３８％以下、さらに好ましくは３７％以下である。
【００２５】
ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯの中でも特にＣａＯは表面平滑性への影響が大きい成分である。被覆層の表面平滑性を特に向上させるには、ＣａＯの含有量と、ＳｒＯ及びＢａＯの含有量の合計とをバランスよく調整することが効果的であり、ガラス組成物におけるＣａＯの含有量の、ＳｒＯ及びＢａＯの含有量の合計に対する比率（以下「ＣａＯ／（ＢａＯ＋ＳｒＯ）」とも記載する）が所定の範囲内となるよう制御することが効果的である。
よって、本実施形態のガラス組成物において、ＣａＯ／（ＢａＯ＋ＳｒＯ）は１以上が好ましく、１．４以上がより好ましく、また、５以下が好ましく、４．７以下がより好ましい。
【００２６】
Ａｌ２Ｏ３は、また得られる被覆層の耐摩耗性、耐水性を高める成分である。本実施形態のガラス組成物のＡｌ２Ｏ３の含有量が少ないと、上記の効果を充分に得ることができない。
一方、本実施形態のガラス組成物のＡｌ２Ｏ３の含有量が多いと、ペースト化して焼成する際に結晶が析出し易くなり、また、軟化点が上昇するため、得られる被覆層の表面平滑性が低下しやすくなる。
以上の理由により、本実施形態のガラス組成物のＡｌ２Ｏ３の含有量は１〜１０％とする。また、本実施形態のガラス組成物のＡｌ２Ｏ３の含有量は２％以上が好ましく、また、７％以下が好ましく、５％以下がより好ましい。
【００２７】
本実施形態のガラス組成物は、本発明の効果を奏する範囲において上記以外の成分を含んでいてもよい。本実施形態のガラス組成物が含有する他の成分の例について、以下に説明する。なお、本実施形態のガラス組成物が上記の成分以外に含む他の成分は、以下に例示するものに限定されない。
【００２８】
本実施形態のガラス組成物は、ＭｇＯを含有してもよいが、ＭｇＯの含有量が多くなるペースト化して焼成する際に結晶が析出し易くなり、得られる被覆層の表面平滑性が低下しやすくなる。したがって、本実施形態のガラス組成物のＭｇＯの含有量は３％以下が好ましく、１％以下がより好ましい。また、本実施形態のガラス組成物はＭｇＯを実質的に含有しないことが最も好ましい。
なお、本実施形態のガラス組成物がある成分を実質的に含有しないとは、不可避的な不純物以外には含有しないという意味、即ち、意図的には添加されていないという意味である。
【００２９】
本実施形態のガラス組成物は、他にも例えば、軟化点を低下させるために、Ｃｓ２Ｏ、Ｒｂ２Ｏ等をあわせて５％以下、好ましくは１％以下含有してもよい。またガラスを安定化させるために、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５、ＳｎＯ２、ＴｉＯ２、Ｎｂ２Ｏ５、Ｐ２Ｏ５、ＣｅＯ２、Ｖ２Ｏ５等をあわせて１０％以下、好ましくは１％以下含有してもよい。
【００３０】
ＰｂＯとＢｉ２Ｏ３は、軟化点を低下させる成分であるため、本実施形態のガラス組成物はこれらの成分を含有してもよいが、これらの成分は環境負荷物質でもあるため、本実施形態のガラス組成物はこれらの成分を実質的に含有しないことが好ましい。例えば、本実施形態のガラス組成物において、ＰｂＯ及びＢｉ２Ｏ３の含有量はそれぞれ０．３％以下が好ましく、０．１％以下がより好ましい。
【００３１】
また、本実施形態のガラス組成物はＬｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏといったアルカリ金属やＦ、Ｃｌといったハロゲンを実質的に含有しないことが好ましい。例えば、本実施形態のガラス組成物において、アルカリ金属の含有量は合計で０．３％以下が好ましく、０．１％以下がより好ましく、また、ハロゲンの含有量は合計で０．３％以下が好ましく、０．１％以下がより好ましい。
【００３２】
本実施形態のガラス組成物の軟化点は、好ましくは７３０〜７６０℃である。軟化点が７６０℃以上であると、ペースト化して８３０℃以下の温度で焼成した際に焼結が進みやすいので、緻密性及び表面平滑性に優れた被覆層を得やすい。また、軟化点が７３０℃以下であると、ガラス組成物と電極の反応性が高くなりにくい。
【００３３】
＜複合粉末材料＞
本実施形態の複合粉末材料は、上記のガラス組成物からなるガラス粉末と炭化ケイ素粉末とアルミナ粉末とを含有する複合粉末材料である。
【００３４】
ガラス粉末は、焼成時に融解し、その後凝固することで、緻密な被覆層を形成する材料である。
炭化ケイ素粉末は、被覆層の耐摩耗性、熱伝導率、及び耐電圧性の向上に寄与する材料であり、数あるセラミックス粉末の中でもより好ましい材料である。
プリンタにおいては発熱抵抗層から発生した熱を被印刷物に効率よく伝える必要があることから、また、回路基板においては電子部品から発生した熱を効率よく外に逃がす必要があることから、被覆層には高い熱伝導率が求められる。また、用途によっては、被覆層には耐電圧性が求められる。また、プリンタの被覆層においては、被印刷物により傷つけられないために、耐摩耗性（耐スクラッチ性）が高いことが求められ、ビッカーズ硬度が高いことが求められる。本実施形態の複合粉末材料においては、これらの特性を得るために、炭化ケイ素粉末を含有させる。
【００３５】
しかし、炭化ケイ素粉末は、ガラス粉末と同時に焼成した際、ガラス粉末と反応し発泡する場合がある。被覆層が泡を含有していると特性が悪化する。
そのため、本実施形態の複合粉末材料においては、アルミナ粉末を反応抑制剤として含有させる。アルミナ粉末は、本実施形態のガラス粉末との組み合わせにおいて、炭化ケイ素粉末とガラス粉末との過剰な反応を抑制する反応抑制剤として機能する材料であり、これを本実施形態の複合粉末材料に含有させることにより、炭化ケイ素粉末の添加に起因する発泡を抑制することができる。
また、アルミナ粉末は、炭化ケイ素粉末と同様に、被覆層の耐摩耗性、熱伝導率、及び耐電圧性の向上に寄与する材料でもある。したがって、本実施形態の複合粉末材料に炭化ケイ素粉末及びアルミナ粉末を含有させることにより、これらの材料による耐摩耗性、熱伝導率、及び耐電圧性の向上の効果を得ながら、ガラス粉末と炭化ケイ素粉末との反応による発泡を抑制することができ、好ましい被覆層を得ることができる。
【００３６】
本実施形態の複合粉末材料において、炭化ケイ素粉末およびアルミナ粉末の合計の含有量に対する炭化ケイ素粉末の含有量が多すぎると、アルミナ粉末による発泡抑制の機能が得られなくなる。したがって、本実施形態の複合粉末においては、炭化ケイ素粉末およびアルミナ粉末の合計の含有量に対する炭化ケイ素粉末の含有量の体積比（炭化ケイ素粉末／アルミナ粉末＋炭化ケイ素粉末）を１％以上、好ましくは１０％以上、より好ましくは２０％以上とする。
一方、炭化ケイ素粉末およびアルミナ粉末の合計の含有量に対する炭化ケイ素粉末の含有量が少なすぎると、得られる被覆層の耐摩耗性や熱伝導率、耐電圧性が不十分になる。したがって、本実施形態の複合粉末においては、炭化ケイ素粉末およびアルミナ粉末の合計の含有量に対する炭化ケイ素粉末の含有量の体積比（炭化ケイ素粉末／アルミナ粉末＋炭化ケイ素粉末）を６５％以下、好ましくは５０％以下、より好ましくは４０％以下とする。
【００３７】
本実施形態の複合粉末材料において、ガラス粉末、炭化ケイ素粉末及びアルミナ粉末のそれぞれの含有量は特に限定されないが、これらを好適な範囲内とすることで、特に発泡を抑制することができ、また、特に表面平滑性が高く、更に耐摩耗性や熱伝導率、耐電圧性にも優れる被覆層を得ることができる。
上記の観点より、本実施形態の複合粉末材料におけるガラス粉末の含有量は、４０体積％以上が好ましく、４５体積％以上がより好ましく、５０体積％以上がさらに好ましく、また、９０体積％以下が好ましく、８５体積％以下がより好ましく、６５体積％以下がさらに好ましい。
また、本実施形態の複合粉末材料における炭化ケイ素粉末の含有量は、３体積％以上が好ましく、４体積％以上がより好ましく、また、１８体積％以下が好ましく、１６体積％以下がより好ましく、１５体積％以下がさらに好ましい。
また、本実施形態の複合粉末材料におけるアルミナ粉末の含有量は、５体積％以上が好ましく、１０体積％以上がより好ましく、１４体積％以上が更に好ましく、また、４５体積％以下が好ましく、４２体積％以下がより好ましく、４０体積％以下がさらに好ましい。
【００３８】
本実施形態の複合粉末材料におけるガラス粉末の平均粒径Ｄ５０、及び最大粒径Ｄｍａｘは特に限定されないが、これらが形成する被覆層の厚みに対して大きすぎる場合、被覆層の表面平滑性が低下し易くなり、また被覆層中に大きな気泡が残存し易くなる。
レーザプリンタ用のプリンタヘッドにおける絶縁膜の厚みは４０〜８０μｍであり、本実施形態の複合粉末材料を用いて当該絶縁膜を形成する場合、ガラス粉末の平均粒径Ｄ５０は２．５μｍ以下が好ましく、最大粒径Ｄｍａｘは１５μｍ以下が好ましい。
サーマルプリンタヘッドの保護層の厚みは１０μｍ程度であり、本実施形態の複合粉末材料を用いて当該保護層を形成する場合、ガラス粉末の平均粒径Ｄ５０は１．５μｍ以下が好ましく、最大粒径Ｄｍａｘは１０μｍ以下が好ましい。
ガラス粉末の製造方法は特に限定されないが、例えば、溶融ガラスをフィルム状に成形した後、得られたガラスフィルムを粉砕することによりガラス粉末を製造することができる。この際に、粉砕の条件を調節したり、必要に応じて得られたガラス粉末を分級したりすることにより、所望の粒径のガラス粉末を得ることができる。
なお、レーザー回折法により測定した体積基準の累積粒度分布曲線において、その積算量が粒子の小さい方から累積して５０％である粒子径を「平均粒径Ｄ５０」とし、９９％である粒子径を「最大粒径Ｄｍａｘ」とする。
【００３９】
本実施形態における炭化ケイ素粉末の平均粒径Ｄ５０は０．２μｍ以上が好ましく、０．３μｍ以上がより好ましく、０．４μｍ以上がさらに好ましく、また、８μｍ以下が好ましく、３μｍ以下がより好ましく、１．５μｍ以下がさらに好ましい。
本実施形態における炭化ケイ素粉末の最大粒径Ｄｍａｘは２０μｍ以下が好ましく、５μｍ以下がより好ましい。炭化ケイ素粉末の粒度が大き過ぎると、被覆層の表面平滑性が低下し易くなる。炭化ケイ素粉末の粒度が小さすぎると、炭化ケイ素粉末の表面積が大きくなり、炭化ケイ素粉末の凝集による不具合や焼結不足が発生しやすくなる。
また、炭化ケイ素粉末の形状としては、球状に近ければ近いほど好ましい。
【００４０】
本実施形態におけるアルミナ粉末の平均粒径Ｄ５０は０．２μｍ以上が好ましく、０．３μｍ以上がより好ましく、０．４μｍ以上がさらに好ましく、また、２．０μｍ以下が好ましく、１．０μｍ以下がより好ましく、０．８μｍ以下がさらに好ましい。本実施形態におけるアルミナ粉末の最大粒径Ｄｍａｘは２０μｍ以下が好ましく、５μｍ以下がより好ましい。アルミナ粉末の粒度が大き過ぎると、被覆層の表面平滑性が低下し易くなる。アルミナ粉末の粒度が小さすぎると、アルミナ粉末の表面積が大きくなり、アルミナ粉末の凝集による不具合や焼結不足が発生しやすくなる。
また、アルミナ粉末の形状としては、球状に近ければ近いほど好ましい。
【００４１】
本実施形態の複合粉末材料は、本発明の効果を奏する範囲において上記のガラス粉末と炭化ケイ素粉末、アルミナ粉末以外の成分を含有してもよく、例えば、外観の識別のために、無機顔料や有機染料を含有してもよい。
【００４２】
無機顔料や有機染料の含有量は好ましくは０．０１質量％以上、より好ましくは０．１％以上であり、また、好ましくは３質量％以下、より好ましくは２質量％以下である。無機顔料や有機染料の含有量が多すぎると、表面平滑性を確保し難くなる。
【００４３】
また、本実施形態の複合粉末材料はアルミナ粉末以外に、他のセラミック粉末を１０質量％以下、好ましくは８質量％以下含有してもよい。他のセラミック粉末として、種々の材料が使用可能であり、例えば、被覆層の熱膨張係数や耐磨耗性等を調整するために、ジルコニア、ムライト、シリカ、コーディエライト、チタニア、酸化スズ等の内、一種又は二種以上を含有してもよい。
【００４４】
本実施形態の複合粉末材料は、例えば、質量％表示で、ＳｉＯ２を１６〜２４％、Ｂ２Ｏ３を９〜１７％、ＺｎＯを２〜５％、ＣａＯを９〜１４％、ＢａＯを５〜８％、ＳｒＯを３〜５％、Ａｌ２Ｏ３を２０〜４８％、ＳｉＣを３〜１５％含有する。また、本実施形態の複合粉末材料におけるＳｉＣおよびＡｌ２Ｏ３の合計の含有量に対するＳｉＣの含有量の質量比（ＳｉＣ／Ａｌ２Ｏ３＋ＳｉＣ）は、発砲抑制の観点からは好ましくは５％以上、より好ましくは２０％以上である。また、得られる被覆層の耐摩耗性や熱伝導率、耐電圧性の向上の観点からは、好ましくは５０％以下、より好ましくは４５％以下である。
【００４５】
本実施形態の複合粉末材料を焼成した後に測定する、５０〜３５０℃の温度範囲における平均熱膨張係数は、被覆層が形成される基板の反りを防止する観点から、好ましくは５５×１０−７／℃以上、より好ましくは６０×１０−７／℃以上であり、また、好ましくは７５×１０−７／℃以下、より好ましくは７２×１０−７／℃以下である。ここで、「熱膨張係数」は、熱機械分析装置（ＴＭＡ）により測定した値であり、実施例の欄に記載の方法で測定できる。
【００４６】
＜複合粉末材料ペースト＞
本実施形態の複合粉末材料ペーストは、上記の複合粉末材料とビークルとを含有する。ビークルは、複合粉末材料を分散させて、ペースト化するための材料であり、通常、熱可塑性樹脂、可塑剤、溶剤等により構成される。複合粉末材料ペーストは、複合粉末材料とビークルを所定の割合で混合、混練することにより作製することができる。
【００４７】
熱可塑性樹脂は、乾燥後の被覆層の強度を高める成分であり、また被覆層に柔軟性を付与する成分である。複合粉末材料ペースト中の熱可塑性樹脂の含有量は０．１〜２０質量％が好ましい。熱可塑性樹脂として、ポリブチルメタアクリレート、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタアクリレート、ポリエチルメタアクリレート、エチルセルロース等が好ましく、これらの内、一種又は二種以上を用いることが好ましい。
【００４８】
可塑剤は、印刷後のレベリング性等を調整し被覆層の表面粗度を滑らかにする成分である。複合粉末材料ペースト中の可塑剤の含有量は１〜２０質量％が好ましい。可塑剤として、フタル酸ジブチル、フタル酸ジオクチル、フタル酸ブチルベンジル、等が好ましく、これらの内、一種又は二種以上を用いることが好ましい。
溶剤は、熱可塑性樹脂を溶解させるための成分である。複合粉末材料ペースト中の溶剤の含有量は１０〜３０質量％が好ましい。溶剤として、ターピネオール、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、２，２，４−トリメチル−１，３−ペンタジオールモノイソブチレート等が好ましく、これらの内、一種又は二種以上を用いることが好ましい。
【００４９】
＜レーザプリンタ用のプリンタヘッド＞
図１は本実施形態のレーザプリンタ用のプリンタヘッド（以下単に「レーザプリンタヘッド」ともいう）の概略図である。本実施形態のレーザプリンタヘッド１０は、基板１１と、基板１１の表面上に形成された発熱抵抗層１２と、基板の表面上の少なくとも一部と発熱抵抗層１２の基板１１と反対側の面の全体とを覆う絶縁膜１３とを備える。
【００５０】
本実施形態における基板１１は、アルミナを含有する基板である。
【００５１】
本実施形態における発熱抵抗層１２は特に限定されないが、金属からなる層であることが好ましく、ＡｇとＰｄを含む合金からなる層であることがより好ましく、ＡｇとＰｄからなる合金からなる層であることがさらに好ましい。また、本実施形態において発熱抵抗層１２にはＡｇ外部電極等の電極（図示省略）が接続されている。
【００５２】
本実施形態における絶縁膜１３は、例えば、発熱抵抗層１２及び電極が形成された基板１１上に上記の複合粉末材料ペーストを塗布し、所定の膜厚の塗布層を形成した後、乾燥させて乾燥膜を得て、その後、乾燥膜を８００〜８３０℃の温度で５〜２０分間焼成することにより得られる。本実施形態の絶縁膜１３は、質量％表示で、ＳｉＯ２を１６〜２４％、Ｂ２Ｏ３を９〜１７％、ＺｎＯを２〜５％、ＣａＯを９〜１４％、ＢａＯを５〜８％、ＳｒＯを３〜５％、Ａｌ２Ｏ３を２０〜４８％、ＳｉＣを３〜１５％含有する。
絶縁膜におけるＳｉＣおよびＡｌ２Ｏ３の合計の含有量に対するＳｉＣの含有量の質量比（ＳｉＣ／Ａｌ２Ｏ３＋ＳｉＣ）は、発砲抑制の観点からは好ましくは５％以上、より好ましくは２０％以上である。また、耐摩耗性や熱伝導率、耐電圧性の向上の観点からは、好ましくは５０％以下、より好ましくは４５％以下である。
なお、焼成温度が低過ぎたり、焼成時間（保持時間）が短過ぎたりすると、乾燥膜が十分に焼結せず、被覆層の緻密性や表面平滑性が低下し易くなる。一方、焼成温度が高過ぎたり、焼成時間（保持時間）が長過ぎたりすると、ガラス粉末と発熱抵抗層が反応して、発熱抵抗層の特性が劣化したり、ガラス粉末と電極が反応して電極の断線が生じたりするおそれがある。
【００５３】
＜サーマルプリンタヘッド＞
図２は本実施形態のサーマルプリンタヘッド２０の概略図である。本実施形態のサーマルプリンタヘッド２０は、基板２１と、基板２１の表面上に形成されたグレーズ層２２と、グレーズ層２２の基板２１と反対側の面上に形成された発熱抵抗層２３と、発熱抵抗層２３のグレーズ層２２と反対側の面上に形成された電極層２４と、電極層２４の発熱抵抗層２３と反対側の面上に形成された保護層２５とを備える。
【００５４】
本実施形態における基板２１は特に限定されないが、例えばガラスまたはセラミックスからなる基板を用いることができる。
本実施形態におけるグレーズ層２２は特に限定されないが、例えばガラスからなる層である。
本実施形態における発熱抵抗層２３は特に限定されないが、金属からなる層であることが好ましく、ＡｇとＰｄを含む合金からなる層であることがより好ましく、ＡｇとＰｄからなる合金からなる層であることがさらに好ましい。
本実施形態における電極層２４は特に限定されないが、例えばＡｇ等の金属により形成することができる。
また、本実施形態のサーマルプリンタヘッド２０は、グレーズ層２２と発熱抵抗層２３の間にバリア層（図示省略）を備えてもよい。バリア層は特に限定されないが、例えばＳｉＯ２、ＳｉＯＮ、ＡｌＳｉＯ、Ａｌ２Ｏ３等の絶縁性を有する無機酸化物により形成することができる。
【００５５】
本実施形態における保護層２５は、例えば、まずグレーズ層２２、発熱抵抗層２３、電極層２４が形成された基板２１上に、本実施形態の複合粉末材料ペーストを塗布し、所定の膜厚の塗布層を形成した後、乾燥させて乾燥膜を得て、その後、乾燥膜を８００〜８３０℃の温度で５〜２０分間焼成することにより得られる。本実施形態の保護層２５は、質量％表示で、ＳｉＯ２を１６〜２４％、Ｂ２Ｏ３を９〜１７％、ＺｎＯを２〜５％、ＣａＯを９〜１４％、ＢａＯを５〜８％、ＳｒＯを３〜５％、Ａｌ２Ｏ３を２０〜４８％、ＳｉＣを３〜１５％含有する。
保護層におけるＳｉＣおよびＡｌ２Ｏ３の合計の含有量に対するＳｉＣの含有量の質量比（ＳｉＣ／Ａｌ２Ｏ３＋ＳｉＣ）は、発砲抑制の観点からは好ましくは５％以上、より好ましくは２０％以上である。また、耐摩耗性や熱伝導率、耐電圧性の向上の観点からは、好ましくは５０％以下、より好ましくは４５％以下である。
なお、焼成温度が低過ぎたり、焼成時間（保持時間）が短過ぎたりすると、乾燥膜が十分に焼結せず、被覆層の緻密性や表面平滑性が低下し易くなる。一方、焼成温度が高過ぎたり、焼成時間（保持時間）が長過ぎたりすると、ガラス粉末と発熱抵抗層が反応して、発熱抵抗層の特性が劣化したり、ガラス粉末と電極層が反応して電極の断線が生じたりするおそれがある。
【実施例】
【００５６】
以下、実施例に基づいて、本発明を詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施例に何ら限定されない。
【００５７】
＜ガラス粉末の製造＞
まず表１及び２に酸化物基準のモル％表示で示すガラス組成になるようにガラス原料を調合して、均一に混合した。次いで、混合したガラス原料を白金ルツボに入れて１３５０〜１４５０℃で２時間溶融した後、フィルム状に成形した。
続いて、得られたフィルム状のガラスをボールミルにて粉砕した後、気流分級して平均粒径Ｄ５０が１．０μｍ以下、最大粒径Ｄｍａｘが５μｍ以下の、各例の複合粉末材料において用いるガラス粉末を得た。
＜ガラス転移点（Ｔｇ）及び軟化点（Ｔｓ）の測定＞
得られたガラス粉末について、マクロ型示差熱分析計（ＤＴＡ）によりガラス転移点（Ｔｇ）及び軟化点（Ｔｓ）を測定した。結果を表１及び２に示す。なお、軟化点（Ｔｓ）は、マクロ型示差熱分析計（ＤＴＡ）で測定した第四の変曲点の温度である。
【００５８】
＜複合粉末材料の製造＞
つづいて得られたガラス粉末と、炭化ケイ素粉末と、アルミナ粉末とを十分に混合し、実施例１〜１０、及び比較例１〜８の複合粉末材料を得た。得られた複合粉末材料におけるガラス粉末、炭化ケイ素粉末、及びアルミナ粉末の含有量は表１及び２に示す通りであった。
なお、炭化ケイ素粉末の平均粒径Ｄ５０は１．５μｍ以下、最大粒径Ｄｍａｘは２０μｍ以下であった。
なお、アルミナ粉末の平均粒径Ｄ５０は２．０μｍ以下、最大粒径Ｄｍａｘは１０μｍ以下であった。
【００５９】
＜発泡の有無の評価＞
得られた複合粉末材料を、それぞれ１．５ｇ圧粉成型し、８１０〜８３０℃の温度で焼成し、得られた焼結体の外観を目視で評価し、発泡が確認されたものを「×」（不良）、発泡が確認されなかったものを「〇」（良好）とした。
【００６０】
＜被覆層の製造＞
発泡なく良好な結果が得られた比較例４、８及び実施例１〜１０の複合粉末材料とビークル（エチルセルロースを５質量％、アセチルクエン酸トリブチルを３質量％含むターピネオール）を混合し、３本ロールミルにて混練して、複合粉末材料ペーストを得た。アンダーグレーズ層を有するアルミナ基板上に、得られた複合粉末材料ペーストをスクリーン印刷法、＃３２５で塗布した後、塗布膜を乾燥し、電気炉で８１０〜８３０℃の温度で１０分間焼成し、約６〜９μｍ厚の被覆層を得た。得られた被覆層の表面平滑性と耐摩耗性（ビッカーズ硬度）を以下に示すように評価した。
【００６１】
＜表面平滑性の評価＞
得られた被覆層の表面の最大高さＲａを東京精密社製サーフコム１４００Ｄで測定し、Ｒａが０．３μｍ以下のものを「〇」（良好）、０．３μｍより大きいものを「×」（不良）と評価した。結果を表１及び２に示す。
【００６２】
＜耐摩耗性の評価＞
得られた被覆層のビッカーズ硬度をＡＫＡＳＨＩ製  ＡＶＫ−Ｇ１にて測定し、６００ＨＶ以上のものを「〇」（良好）、６００未満のもの「×」（不十分）と評価した。結果を表１及び２に示す。
【００６３】
【表１】
2020196642.tif 000002
【００６４】
【表２】
2020196642.tif 000003
【００６５】
比較例１〜３、比較例５〜７の複合粉末材料を用いて形成された焼結体は、発泡が確認された。
比較例４の複合粉末材料を用いて形成された被覆層は、ビッカーズ硬度が６００ＨＶ未満であり、耐摩耗性に劣った。比較例８の複合粉末材料を用いて形成された被覆層は、Ｒａが０．３μｍより大きく、表面平滑性に劣った。
一方、実施例１〜１０の複合粉末材料を用いて形成された被覆層は、発泡がなく、表面平滑性も良好で、耐摩耗性にも優れた。
【符号の説明】
【００６６】
１０：レーザプリンタ用のプリンタヘッド（レーザプリンタヘッド）
１１：基板
１２：発熱抵抗層
１３：絶縁膜
２０：サーマルプリンタヘッド
２１：基板
２２：グレーズ層
２３：発熱抵抗層
２４：電極層
２５：保護層
【図１】
2020196642.tif 000004
【図２】
2020196642.tif 000005