(57)【要約】【課題】ワーク位置検出センサの検出精度の低下を抑制できるシーム溶接装置及びシーム溶接方法を提供する。【解決手段】シーム溶接装置は、一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂを一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂの軸の向きを変更可能に保持する電極保持機構１４と、一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂで挟まれたフランジ対ＦＰの縁部から離間した位置に配置され、該縁部の位置を検出するワーク位置検出センサ１６と、ワーク位置検出センサ１６の検出結果に基づいて電極保持機構１４を制御する制御部１８と、ワーク位置検出センサ１６とフランジ対ＦＰとの間にエアカーテンＡＣを生成するエアカーテン生成機構２０と、を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを一対のローラ電極で挟んで前記一対のローラ電極を回転させながら前記ワークに対して移動させることにより、前記ワークをシーム溶接するシーム溶接装置であって、
前記一対のローラ電極を該一対のローラ電極の軸の向きを変更可能に保持する電極保持機構と、
前記一対のローラ電極で挟まれた前記ワークの縁部から離間した位置に配置され、該縁部の位置を検出するワーク位置検出センサと、
前記ワーク位置検出センサの検出結果に基づいて前記電極保持機構を制御する制御部と、
前記ワーク位置検出センサと前記ワークとの間にエアカーテンを生成するエアカーテン生成機構と、
を備える、シーム溶接装置。
【請求項２】
請求項１に記載のシーム溶接装置であって、
前記エアカーテン生成機構は、供給された気流を面状に排出するスリット状の排出口を少なくとも１つ有するノズル構造体を含む、シーム溶接装置。
【請求項３】
請求項２に記載のシーム溶接装置であって、
前記エアカーテンは、前記ワークの縁部の延在方向に沿って生成される、シーム溶接装置。
【請求項４】
請求項３に記載のシーム溶接装置であって、
前記ノズル構造体は、前記気流の排出方向が互いに反対な２つの前記排出口を有し、
前記ノズル構造体は、前記ワーク位置検出センサの検出軸方向から見て、前記ワーク位置検出センサに隣接するように配置される、シーム溶接装置。
【請求項５】
請求項３に記載のシーム溶接装置であって、
前記ノズル構造体は、前記気流の排出方向が互いに反対な２つの前記排出口を有し、
前記ノズル構造体は、前記ワーク位置検出センサの検出範囲に隣接する位置に配置される、シーム溶接装置。
【請求項６】
ワークを電圧が印加される一対のローラ電極で挟んで前記一対のローラ電極を回転させながら前記ワークに対して移動させることにより、前記ワークをシーム溶接するシーム溶接方法であって、
前記ワークの縁部の位置を検出するワーク位置検出センサと、前記ワークとの間にエアカーテンを生成するエアカーテン生成ステップと、
前記ワーク位置検出センサの検出結果に基づいて前記一対のローラ電極の軸の向きを制御しつつ、前記シーム溶接を行うシーム溶接ステップと、
を含む、シーム溶接方法。
【請求項７】
請求項６に記載のシーム溶接方法であって、
前記エアカーテン生成ステップは、前記エアカーテンを前記ワークの縁部の延在方向に沿うように生成する、シーム溶接方法。
【請求項８】
請求項６又は７に記載のシーム溶接方法であって、
前記エアカーテン生成ステップは、同一平面に沿って互いに反対方向に流れる面状の２つの気流からなる２つのエアカーテンを生成し、
前記２つのエアカーテンの間の領域は、前記ワーク位置検出センサの検出軸方向から見て、少なくとも一部が前記ワーク位置検出センサに重なる、シーム溶接方法。
【請求項９】
請求項６又は７に記載のシーム溶接方法であって、
前記エアカーテン生成ステップは、同一平面に沿って互いに反対方向に流れる面状の２つの気流からなる２つのエアカーテンを生成し、
前記２つのエアカーテンの間の領域は、少なくとも一部が前記ワーク位置検出センサの検出範囲に入る、シーム溶接方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを一対のローラ電極で挟んで一対のローラ電極を回転させながらワークに対して移動させることにより、ワークをシーム溶接するシーム溶接装置及びシーム溶接方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ワークを一対のローラ電極で挟んで一対のローラ電極を回転させながらワークに対して移動させることにより、ワークをシーム溶接するシーム溶接設備（シーム溶接装置）が開示されている。
【０００３】
特許文献１に開示されたシーム溶接設備は、ワークの縁部の位置をセンサで検出し、その検出結果に基づいて一対のローラ電極の軸の向きを制御することにより、シーム溶接の溶接軌道を補正している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第６２５０５５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載のシーム溶接設備では、シーム溶接により発生するヒュームがセンサに付着すると、センサの検出精度が低下する。この場合には、シーム溶接の溶接軌道を精度良く補正することができない。
【０００６】
本発明はこのような課題を考慮してなされたものであり、ワーク位置検出センサの検出精度の低下を抑制できるシーム溶接装置及びシーム溶接方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様は、ワークを一対のローラ電極で挟んで前記一対のローラ電極を回転させながら前記ワークに対して移動させることにより、前記ワークをシーム溶接するシーム溶接装置であって、前記一対のローラ電極を該一対のローラ電極の軸の向きを変更可能に保持する電極保持機構と、前記一対のローラ電極で挟まれた前記ワークの縁部から離間した位置に配置され、該縁部の位置を検出するワーク位置検出センサと、前記ワーク位置検出センサの検出結果に基づいて前記電極保持機構を制御する制御部と、前記ワーク位置検出センサと前記ワークとの間にエアカーテンを生成するエアカーテン生成機構と、を備える、シーム溶接装置である。
【０００８】
本発明の第２の態様は、ワークを電圧が印加される一対のローラ電極で挟んで前記一対のローラ電極を回転させながら前記ワークに対して移動させることにより、前記ワークをシーム溶接するシーム溶接方法であって、前記ワークの縁部の位置を検出するワーク位置検出センサと、前記ワークとの間にエアカーテンを生成するエアカーテン生成ステップと、前記ワーク位置検出センサの検出結果に基づいて前記一対のローラ電極の軸の向きを制御しつつ、前記シーム溶接を行うシーム溶接ステップと、を含む、シーム溶接方法である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、シーム溶接により発生するヒュームが、ワーク位置検出センサとワークとの間に生成されるエアカーテンにより遮断されるため、ワーク位置検出センサにヒュームが付着することを抑制でき、ワーク位置検出センサの検出精度の低下を抑制できる。この結果、シーム溶接の溶接軌道を精度良く補正することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本実施形態に係るシーム溶接装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】シーム溶接装置の溶接対象であるフランジ対を含む車体の側面図である。
【図３】シーム溶接装置の電極保持機構の支持部材と該支持部材に支持される各構成部を示す側面図である。
【図４】エアカーテン生成機構及びワーク位置検出センサの斜視図である。
【図５】エアカーテン生成機構及びワーク位置検出センサの正面図である。
【図６】図６Ａは、エアカーテン生成機構のノズル構造体の平面図である。図６Ｂは、エアカーテン生成機構のノズル構造体の側面図である。図６Ｃは、図６Ａのノズル構造体をＶＩＣ−ＶＩＣ線に沿って切断した断面を示す図である。図６Ｄは、取り付け部のフランジ部に対してノズル部のフランジ部を正対させて載置した状態を示す図である。図６Ｅは、取り付け部のフランジ部に対してノズル部のフランジ部を傾斜させて載置した状態を示す図である。
【図７】エアカーテン生成機構により生成されるエアカーテン、ワーク位置検出センサ及びフランジ対の位置関係を示す正面図である。
【図８】エアカーテン生成機構により生成されるエアカーテン、ワーク位置検出センサ及びフランジ対の位置関係を示す斜視図である。
【図９】図９Ａは、シーム溶接中にセンサ出力が異常値となる例を示す図である。図９Ｂは、シーム溶接の中断によって溶接ビードが切れる例を示す図である。
【図１０】図１０Ａは、シーム溶接時のヒュームが少ない場合のセンサ出力の異常の一例を示す図である。図１０Ｂは、シーム溶接時のヒュームが多い場合のセンサ出力の異常の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明に係るシーム溶接装置及びシーム溶接方法について、好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照して詳細に説明する。
【００１２】
図１は、シーム溶接装置１０の構成の一例を示す斜視図である。シーム溶接装置１０は、ワークをシーム溶接する装置である。詳述すると、シーム溶接装置１０は、重ねられた複数の板状体から成るワークを電圧（詳しくはパルス電圧）が印加される一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂで挟んで一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂを回転させながらワークに対して移動させることにより、ワークを連続してスポット溶接する装置である。
【００１３】
シーム溶接装置１０の溶接対象であるワークは、一例として、図２及び図３に示されるように、車体Ｂのセンターピラー１１における内側メンバのフランジ１３（板状体）と外側メンバのフランジ１５（板状体）である。図３には、図２のセンターピラー１１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面が示されている。以下、フランジ１３とフランジ１５を併せて「フランジ対ＦＰ」とも呼ぶ。
【００１４】
シーム溶接装置１０は、図１に示されるように、一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂに加えて、電極保持機構１４と、ワーク位置検出センサ１６と、エアカーテン生成機構２０と、制御部１８と、操作部２９とを備える。
【００１５】
電極保持機構１４は、一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂの軸の向きを変更可能に一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂを保持する。ローラ電極１２Ａは、第１モータ１９により回転駆動される。ローラ電極１２Ｂは、第２モータ２１により回転駆動される。
【００１６】
電極保持機構１４は、一例として多関節ロボット（ここでは、６つの関節部を持つ６軸ロボット）である。電極保持機構１４は、オペレータにより操作部２９を介して操作されるとともに、制御部１８により制御される。電極保持機構１４では、互いに同軸に配置された第１軸部１７Ａ（相対的に先端側の軸部）と第２軸部１７Ｂ（相対的に基端側の軸部）とが、第１関節部１４ａにより、軸回りに相対回転可能に接続されている。
【００１７】
第１軸部１７Ａの先端には、一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂの各々を回転可能に支持するとともに、ワーク位置検出センサ１６及びエアカーテン生成機構２０を支持する略直方体形状の支持部材９が取り付けられている。
【００１８】
支持部材９は、図１及び図３に示されるように、一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂを、各々の軸が互いに略平行となり、且つ、各々の外周面が互いに対向するように支持する。支持部材９の長手方向（支持部材９の先端と基端を結ぶ方向）は、第１軸部１７Ａ及び第２軸部１７Ｂの軸に対して略平行である。
【００１９】
図３に示されるように、ローラ電極１２Ａを回転駆動する第１モータ１９は、支持部材９の一側面である支持面９ａの先端部に、回転軸１９ａが支持部材９の長手方向に略直交するように固定されている。第１モータ１９の回転軸１９ａには、ローラ電極１２Ａが同軸に固定されている。
【００２０】
ローラ電極１２Ｂを回転駆動する第２モータ２１は、支持部材９の支持面９ａの第１モータ１９が固定された箇所（支持面９ａの先端部）の基端側の箇所に、回転軸２１ａが第１モータ１９の回転軸１９ａに略平行となり、且つ、支持部材９に対して支持部材９の長手方向に移動可能（スライド可能）に設けられている。第２モータ２１の回転軸２１ａには、ローラ電極１２Ｂが同軸に固定されている。ローラ電極１２Ｂの外周面は、ローラ電極１２Ａの外周面に対向している。
【００２１】
支持部材９の支持面９ａの第２モータ２１が設けられた箇所の基端側の箇所に、第２モータ２１を支持部材９の長手方向に沿って移動させる（駆動する）シリンダ７が設けられている。シリンダ７は、支持部材９の長手方向に伸縮する。シリンダ７の伸縮動作により、第２モータ２１の回転軸２１ａに固定されたローラ電極１２Ｂは、第１モータ１９の回転軸１９ａに固定されたローラ電極１２Ａに接近する方向及びローラ電極１２Ａから離間する方向を含む一軸方向（支持部材９の長手方向）に移動可能となっている。これにより、所定範囲における任意の厚さのフランジ対ＦＰを、一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂで挟持することができる。さらに、シーム溶接中におけるフランジ対ＦＰの厚さの変化にも対応できる。第１モータ１９及び第２モータ２１は、制御部１８（図１）により制御される。
【００２２】
ここで、図１に示される第１関節部１４ａには、モータを含む駆動部が内蔵されている。このモータの駆動力により、支持部材９と一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂとが、第１軸部１７Ａ及び第２軸部１７Ｂの軸回りに一体に回転する。すなわち、このモータの駆動力により、一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂの軸の向きが同期して変わる。結果として、第１関節部１４ａを動作させることにより、一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂの軸の向きを変えることができる。以下、一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂを併せて「ローラ電極対ＲＥＰ」とも呼ぶ。
【００２３】
ワーク位置検出センサ１６は、図３に示されるように、一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂで挟まれたフランジ対ＦＰの縁部から離間した位置に配置され、該縁部の位置（ここでは、フランジ対ＦＰの縁部の端面の位置）を検出する。以下、フランジ対ＦＰの縁部の端面を「被検出面ＤＳ」とも呼ぶ。
【００２４】
詳述すると、ワーク位置検出センサ１６は、被検出面ＤＳに対向するように支持部材９の支持面９ａの第１モータ１９が設けられた箇所と第２モータ２１が設けられた箇所との間の箇所に固定されている。なお、ワーク位置検出センサ１６は、フランジ対ＦＰの縁部の位置を検出できればよく、被検出面ＤＳに対向しなくてもよい。被検出面ＤＳは、フランジ対ＦＰの縁部の端面に限らず、フランジ対ＦＰの縁部の他の面であってもよい。
【００２５】
ワーク位置検出センサ１６は、図４及び図５に示されるように、光照射部１６ａと、受光部１６ｂと、距離演算部１６ｃとを含む。
【００２６】
光照射部１６ａは、図３及び図４に示されるように、被検出面ＤＳ及びその周辺領域（例えば各ローラ電極）に光を照射する。光照射部１６ａは、例えばレーザダイオード等の発光素子１６ａ１と、該発光素子１６ａ１からの光の光路上に配置された光偏向器１６ａ２と、該光偏向器１６ａ２を介した光の光路上に配置された光透過窓１６ａ３とを有する。光偏向器１６ａ２は、発光素子１６ａ１からの光を一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂの並び方向（フランジ対ＦＰの延在方向に略直交する方向）に偏向走査する。光偏向器１６ａ２で偏向された光は、光透過窓１６ａ３を介して被検出面ＤＳ及びその周辺領域に向けて射出される。すなわち、光照射部１６ａは、被検出面ＤＳ及びその周辺領域を光により走査する。以下、一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂの並び方向を「電極並び方向」とも呼ぶ。
【００２７】
受光部１６ｂは、例えばフォトダイオード等の受光素子１６ｂ１と受光素子１６ｂ１の前段に配置された集光レンズ１６ｂ２と、集光レンズ１６ｂ２の前段に配置された光透過窓１６ｂ３とを有する。光照射部１６ａから射出され、被検出面ＤＳ及びその周辺領域で反射され光は、光透過窓１６ｂ３を透過し、集光レンズ１６ｂ２で集光され、受光素子１６ｂ１で受光される。光照射部１６ａと受光部１６ｂは、電極並び方向に略直交する方向（フランジ対ＦＰの延在方向）に沿って並んでいる。
【００２８】
距離演算部１６ｃは、例えばＣＰＵ等を含んで構成される。距離演算部１６ｃは、被検出面ＤＳ及びその周辺領域の走査中に、走査位置毎に、光照射部１６ａの射出タイミングと受光部１６ｂの受光タイミングとの時間差を算出する。距離演算部１６ｃは、当該時間差の算出結果のうちの最小値を距離に換算し、その換算値を、被検出面ＤＳまでの距離（ワーク位置検出センサ１６の検出結果）として、制御部１８へ出力する。なお、通常、被検出面ＤＳ及びその周辺領域の走査中、被検出面ＤＳは、ワーク位置検出センサ１６から最も近い位置にある。他の態様では、距離演算部１６ｃを設けずに、距離演算部１６ｃの機能を制御部１８に担わせてもよい。
【００２９】
光照射部１６ａ、受光部１６ｂ及び距離演算部１６ｃは、略直方体形状のパッケージ１６ｅ内に収容されている。光照射部１６ａの射出面ＥＳとなる光透過窓１６ａ３は、パッケージ１６ｅ外に露出し、且つ、被検出面ＤＳに対向するようにパッケージ１６ｅの壁１６ｅ１に設けられている。ここでは、射出面ＥＳは、電極並び方向を長手方向とする矩形状とされているが、他の形状であってもよい。受光部１６ｂの受光面ＲＳとなる光透過窓１６ｂ３は、パッケージ１６ｅ外に露出し、且つ、被検出面ＤＳに対向するようにパッケージ１６ｅの壁１６ｅ１に設けられている。ここでは、受光面ＲＳは、円形状とされているが、他の形状であってもよい。光照射部１６ａの射出面ＥＳ及び受光部１６ｂの受光面ＲＳは、電極並び方向に直交する方向（フランジ対ＦＰの延在方向）に互いに幾分内側を向いた状態で並んでいる。すなわち、本実施形態では、光照射部１６ａの射出面ＥＳの法線と受光部１６ｂの受光面ＲＳの法線とが互いに非平行となっている。なお、光照射部１６ａの射出面ＥＳの法線と受光部１６ｂの受光面ＲＳの法線とが互いに平行となるように、光照射部１６ａ及び受光部１６ｂが構成されてもよい。
【００３０】
なお、ワーク位置検出センサ１６の構成及び配置は、上記したものに限らず、適宜変更可能である。ワーク位置検出センサ１６は、例えばイメージセンサ及び画像処理部を含む画像センサであってもよい。この場合、イメージセンサの出力画像（距離画像）に対して、画像処理部でエッジ検出処理を行うことによりフランジ対ＦＰの縁部の位置を検出することができる。ワーク位置検出センサ１６は、例えば２つのイメージセンサを含むステレオ画像センサであってもよい。この場合、２つのイメージセンサの出力から得られる視差値から、フランジ対ＦＰの縁部までの距離を検出することができる。
【００３１】
光照射部１６ａは、光偏向器１６ａ２を有していなくてもよい。この場合、例えば、複数の発光素子１６ａ１が電極並び方向に沿って配列された発光素子アレイから、被検出面ＤＳ及びその周辺領域（例えば各ローラ電極）を含む照射範囲に光を照射するようにしてもよい。このとき、複数の発光素子１６ａ１の発光タイミングをずらして照射範囲の各照射位置からの反射光を単一の受光素子１６ｂ１で異なるタイミングで受光することにより、照射範囲の各照射位置までの距離を算出することができる。
【００３２】
光照射部１６ａが光偏向器１６ａ２を有しない場合に、例えば、光照射部１６ａは、単一の発光素子１６ａ１からの光を電極並び方向に直交する方向（フランジ対ＦＰの延在方向）に収束させて電極並び方向に延びるライン状の光を射出するシリンドリカルレンズを有していてもよい。この場合、例えば、複数の受光素子１６ｂ１が電極並び方向に沿って配列された受光素子アレイを用いて、発光素子１６ａ１から射出され、被検出面ＤＳ及びその周辺領域（例えば各ローラ電極）を含む照射範囲の各照射位置に照射された光の反射光を対応する受光素子１６ｂ１で受光することにより、照射範囲の各照射位置までの距離を算出してもよい。
【００３３】
光照射部１６ａが光偏向器１６ａ２を有しない場合に、例えば、複数の発光素子１６ａ１が電極並び方向に沿って配列された発光素子アレイと、複数の発光素子１６ａ１に対応する複数の受光素子１６ｂ１が電極並び方向に沿って配列された受光素子アレイとを用いてもよい。この場合、発光素子アレイの各発光素子１６ａ１から被検出面ＤＳ及びその周辺領域（例えば各ローラ電極）を含む照射範囲の各照射位置に光を照射し、その反射光を該発光素子１６ａ１に対応する受光素子１６ｂ１で受光することにより、照射範囲の各照射位置までの距離を検出することができる。
【００３４】
光照射部１６ａにおいて、発光素子１６ａ１から光の光路上にレンズ（例えばカップリングレンズ、シリンドリカルレンズ等）が配置される場合に、最前段のレンズのレンズ面を射出面ＥＳとして外部に露出させてもよい。例えば受光部１６ｂの集光レンズ１６ｂ２のレンズ面を受光面ＲＳとして外部に露出させてもよい。
【００３５】
エアカーテン生成機構２０は、図３に示されるように、ワーク位置検出センサ１６とフランジ対ＦＰとの間にエアカーテンＡＣを生成する。エアカーテン生成機構２０は、支持部材９の支持面９ａの第１モータ１９が設けられた箇所と第２モータ２１が設けられた箇所との間の箇所（ワーク位置検出センサ１６より支持部材９の先端側の箇所）に固定部材６を介して固定されている。
【００３６】
エアカーテン生成機構２０は、ベース部材２２と、ベース部材２２に取り付けられたノズル構造体２３と、ノズル構造体２３に連通するエア流路２４とを含む。
【００３７】
ベース部材２２は、図４に示されるように、略直方体形状の中実部材から成り、ワーク位置検出センサ１６のパッケージ１６ｅと共に段部を形成するように配置されている。すなわち、図３に示されるように、ベース部材２２の互いに直交する２つの壁２２ｂ、２２ｃにより形成される角部２２ｄと、パッケージ１６ｅの互いに直交する２つの壁１６ｅ１、１６ｅ２により形成される角部１６ｅ３とが互いに近傍にある。角部２２ｄと角部１６ｅ３とは、互いに突き当たっていてもよい。ベース部材２２と共に段部を形成するパッケージ１６ｅの壁は、光照射部１６ａの光透過窓１６ａ３及び受光部１６ｂの光透過窓１６ｂ３が設けられた壁１６ｅ１である。図５に示されるように、ベース部材２２は、ワーク位置検出センサ１６の検出範囲ＤＲから外れている。「ワーク位置検出センサ１６の検出範囲ＤＲ」は、光照射部１６ａから射出された射出光の光路ＤＲ１及び被検出面ＤＳを含む照射範囲から受光部１６ｂへ到る反射光の光路ＤＲ２から成る範囲である。
【００３８】
図４及び図５に示されるように、ベース部材２２の内部には、エア流路２４が形成されている。エア流路２４は、図５に示されるように、ベース部材２２の長手方向に延び、工場（ここでは車体製造工場）に設置されたエア供給源（例えばエアポンプ）に一端が連通するメイン流路２４ａと、該メイン流路２４ａから分岐する２つの分岐流路２４ｂ１、２４ｂ２とを含む。各分岐流路の内周には、雌ねじが形成されている。
【００３９】
メイン流路２４ａの一端２４ａ１は、ベース部材２２の長手方向に対向する２つの側面のうち一方の側面に開口している。メイン流路２４ａの一端２４ａ１近傍の内周には、雌ねじが形成されている。メイン流路２４ａの他端２４ａ２は、ベース部材２２の長手方向に対向する２つの側面のうち他方の側面に開口している。メイン流路２４ａの他端２４ａ２近傍の内周には、雌ねじが形成されている。
【００４０】
ここでは、メイン流路２４ａの他端２４ａ２に、ねじ込み式の栓２４ｃがされ、閉塞され、且つ、メイン流路２４ａの一端２４ａ１をエア供給源にねじ込み式のコネクタ２５を介して連通させている。これとは逆に、メイン流路２４ａの一端２４ａ１にねじ込み式の栓をして閉塞させ、メイン流路２４ａの他端２４ａ２をエア供給源にコネクタ２５を介して連通させてもよい。すなわち、シーム溶接装置１０とエア供給源との位置関係等に応じて、メイン流路２４ａの一端２４ａ１及び他端２４ａ２のうち、エア供給源と連通させやすい方を適宜選択することができる。
【００４１】
なお、エアカーテン生成機構２０は、エア流路２４に連通するエア供給源（例えばエアポンプ）を有していてもよい。メイン流路２４ａから分岐し、ベース部材２２の表面に開口する分岐流路を増設し、該分岐流路をエア供給源に連通させる候補としてもよい。
【００４２】
メイン流路２４ａと上記エア供給源との間には、制御部１８により開閉制御される電磁弁（不図示）が設けられており、ノズル構造体２３への気流の供給又は非供給の切り換えができるようになっている。なお、メイン流路２４ａと上記エア供給源との間に、ノズル構造体２３への気流の供給又は非供給の切り換えを行うための手動バルブを設けてもよい。また、手動バルブ及び電磁弁を設けなくてもよい。電磁弁を設けない場合は、エアカーテン生成機構２０は、上記エア供給源のオン・オフに応じてオン・オフする。
【００４３】
ベース部材２２には、図４に示されるように、ワーク位置検出センサ１６のパッケージ１６ｅの角部１６ｅ３（図３）の近傍にある角部２２ｄ（図３）とは反対側（フランジ対ＦＰ側）の角部が一部切り欠かれて、ワーク位置検出センサ１６側ほど高くなるように傾斜する傾斜面２２ａが形成されている。２つの分岐流路２４ｂ１、２４ｂ２の先端は、図５に示されるように、傾斜面２２ａに開口している。ここでは、分岐流路２４ｂ２の先端（開口）は、ねじ込み式の栓２２ａ１がされ、閉塞されている。
【００４４】
ノズル構造体２３は、図５に示されるように、ワーク位置検出センサ１６の検出範囲ＤＲから外れるようにベース部材２２の傾斜面２２ａに取り付けられている。詳しくは、ノズル構造体２３は、ワーク位置検出センサ１６の検出範囲ＤＲに隣接するようにベース部材２２の傾斜面２２ａに取り付けられている。
【００４５】
換言すると、ノズル構造体２３は、ワーク位置検出センサ１６の検出軸ＤＡ方向から見て、ワーク位置検出センサ１６のセンサ部（光照射部１６ａ又は受光部１６ｂ）に隣接するようにベース部材２２の傾斜面２２ａに取り付けられている。「ワーク位置検出センサ１６の検出軸ＤＡ方向」は、光照射部１６ａの射出面ＥＳの法線方向と受光部１６ｂの受光面ＲＳの法線方向とが互いに平行な場合は、各法線方向を意味する。「ワーク位置検出センサ１６の検出軸ＤＡ方向」は、図４に示されるように、光照射部１６ａの射出面ＥＳの法線ＮＶ１と受光部１６ｂの受光面ＲＳの法線ＮＶ２とが互いに非平行な場合は、光照射部１６ａの射出面ＥＳの法線ＮＶ１と受光部１６ｂの受光面ＲＳの法線ＮＶ２との交点ＩＰと、射出面ＥＳの中心Ｃ１と受光面ＲＳの中心Ｃ２とを結ぶ線分の中点ＭＰとを通る直線が延びる方向を意味する。図４では、射出面ＥＳの法線ＮＶ１は、射出面ＥＳの中心Ｃ１を通っているが、射出面ＥＳの中心Ｃ１以外の点を通っていてもよい。図４では、受光面ＲＳの法線ＮＶ２は、受光面ＲＳの中心Ｃ２を通っているが、受光面ＲＳの中心Ｃ２以外の点を通っていてもよい。図４では、法線ＮＶ１と法線ＮＶ２との交点ＩＰは、射出光の光路ＤＲ１と反射光の光路ＤＲ２とが交わる位置である被検出面ＤＳを含む照射範囲の位置に一致しているが、被検出面ＤＳを含む照射範囲の位置からずれていてもよい。
【００４６】
ノズル構造体２３は、図６Ａ、図６Ｂ及び図６Ｃに示されるように、傾斜面２２ａに取り付けられる取り付け部２３ａと、取り付け部２３ａに接続されるノズル部２３ｂとを含む。
【００４７】
取り付け部２３ａは、傾斜面２２ａに開口する分岐流路２４ｂ１の内周に螺合する雄ねじが外周に形成された管部２３ａ１と、該管部２３ａ１の一端に連続するフランジ部２３ａ２とを有する。図６Ｃに示されるように、管部２３ａ１の開口端（取り付け部２３ａのメイン流路２４ａ側の開口端）の内周部は、メイン流路２４ａから離れるほど径が小さくなるテーパ形状となっている。管部２３ａ１は、フランジ部２３ａ２が傾斜面２２ａに当接するまで、分岐流路２４ｂ１にねじ込まれている。取り付け部２３ａの内径は、メイン流路２４ａ側の開口端の内周部以外は、一定となっている。図６Ｄ及び図６Ｅに示されるように、フランジ部２３ａ２の外周部には、例えば６つのタップ穴２８が正六角形の６つの頂点に位置するように形成されている。
【００４８】
ノズル部２３ｂは、図６Ａ、図６Ｂ及び図６Ｃに示されるように、取り付け部２３ａのフランジ部２３ａ２に接合されるフランジ部２３ｂ１と、フランジ部２３ｂ１から該フランジ部２３ｂ１の軸方向に突出する中空突出部２３ｂ２とを有する。図６Ｃに示されるように、フランジ部２３ｂ１とフランジ部２３ａ２とは、シール部材としてのパッキン２７を介して接合されており、接合部からの気流の漏れが防止される。フランジ部２３ｂ１の開口端（ノズル部２３ｂの取り付け部２３ａ側の開口端）の内周部は、取り付け部２３ａから離れるほど径が小さくなるテーパ形状となっている。フランジ部２３ｂ１の開口端の内周部の最大径は、管部２３ａ１の開口端の内周部（テーパ部）の最小径に等しい。図６Ｂ及び図６Ｃに示されるように、中空突出部２３ｂ２は、先端部に先細りのテーパ面を有する略円筒状の部分から成る。ノズル部２３ｂの内径は、中空突出部２３ｂ２の先端部及びフランジ部２３ｂ１の開口端の内周部以外は、一定となっている。
【００４９】
以上の説明から分かるように、ノズル構造体２３は、図６Ｃに示されるような、基端側から先端側にかけて内径が段階的（ここでは３段階）に小さくなる絞り流路ＴＣを内部に有している。これにより、ノズル構造体２３の基端側から供給された気流の圧力を段階的に高くすることができる。
【００５０】
中空突出部２３ｂ２は、図６Ａ、図６Ｂ及び図６Ｃに示されるように、供給された気流を面状に排出するスリット状の排出口Ｖｅを先端側に２つ有する。２つの排出口Ｖｅは、気流の排出方向が互いに反対方向である。詳述すると、２つの排出口Ｖｅは、中空突出部２３ｂ２の互いに相対する周壁部に中空突出部２３ｂ２の軸に対して同一の傾斜方向及び傾斜角度で形成されている。２つの排出口Ｖｅの傾斜方向及び傾斜角度は、図３に示されるように、ノズル構造体２３がベース部材２２の傾斜面２２ａ（図４）に取り付けられたときに、各排出口Ｖｅの長手方向が支持部材９の支持面９ａに沿うように（各排出口Ｖｅの長手方向が電極並び方向と平行になるように）設定されている。
【００５１】
ここで、図６Ａ、図６Ｄ、図６Ｅに示されるように、ノズル部２３ｂのフランジ部２３ｂ１における中空突出部２３ｂ２を挟む２つの位置には、中空突出部２３ｂ２の軸の中心を中心とする円弧状の２つの長穴ＬＨ（貫通穴）が形成されている。２つの長穴ＬＨは、正六角形の６つの頂点にそれぞれ配置された６つのタップ穴２８のうち該正六角形の中心を挟んで対向する少なくとも一対のタップ穴２８に対応するようになっている。このため、当該対向する一対のタップ穴２８の各々に対してボルト３１を螺合させて、取り付け部２３ａのフランジ部２３ａ２とノズル部２３ｂのフランジ部２３ｂ１とを固定することができる。この固定の際、フランジ部２３ａ２に対するフランジ部２３ｂ１の軸回りの位置（長穴ＬＨ内でのボルト３１の位置）を調整することができる。このため、取り付け部２３ａが傾斜面２２ａに対して多少曲がった状態でねじ込まれていても（フランジ部２３ａ２が傾斜面２２ａに対して多少曲がっていても）、ノズル部２３ｂの姿勢を所望の姿勢（各排出口Ｖｅの長手方向が支持部材９の支持面９ａに沿って延びる姿勢）に設定することができる。
【００５２】
以上のように構成されるノズル構造体２３では、図３、図７及び図８に示されるように、各排出口Ｖｅから排出される気流は、支持面９ａに沿って互いに逆向きに流れる面状の気流であり、この気流がエアカーテンＡＣとなる。各排出口Ｖｅから排出される気流から成るエアカーテンＡＣは、支持部材９の支持面９ａに沿っている（図３参照）。各排出口Ｖｅからの気流の排出方向、すなわちエアカーテンＡＣにおいて気流が流れる方向は、フランジ対ＦＰの縁部の延在方向（電極並び方向に直交する方向）に沿っている。
【００５３】
図１に示される制御部１８は、一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂへの通電、エアカーテン生成機構２０のオン・オフを制御するとともに、ワーク位置検出センサ１６の検出結果（以下「センサ出力」とも呼ぶ）に基づいて電極保持機構１４を制御する。制御部１８は、例えばＣＰＵ等を含んで構成される。
【００５４】
ところで、シーム溶接は、電圧が印加されるローラ電極対を、ワーク（例えばフランジ対）における所望の溶接軌道に沿って回転させながら、ワークに対して移動させることにより行われる。しかし、実際のシーム溶接時には、シーム溶接装置とワークとの距離が刻々と微妙に変動するので、ローラ電極対をそのまま（軸の向きが一定の状態で）移動させると、ローラ電極対が、所望の溶接軌道を中心とする目標範囲から逸脱（離脱）してしまう。
【００５５】
そこで、制御部１８は、センサ出力に基づいて電極保持機構１４を制御して、溶接軌道を補正する。具体的には、制御部１８は、センサ出力に基づいて、ローラ電極対ＲＥＰが、所望の溶接軌道を中心とする目標範囲から逸脱（離脱）しないように、ローラ電極対ＲＥＰの軸の向き（角度）、すなわちローラ電極対ＲＥＰの舵角を制御する。
【００５６】
詳述すると、制御部１８は、センサ出力に基づいて、電極保持機構１４の制御量を算出し、その算出結果を、電極保持機構１４へ出力する。電極保持機構１４は、入力された制御量を用いてローラ電極対ＲＥＰの軸の向き（舵角）を制御する。制御量は、センサ出力に基づくローラ電極対ＲＥＰの軸の角度（向き）の目標値と、その時点（制御時）のローラ電極対ＲＥＰの軸の角度との差分である。制御量は、ローラ電極対ＲＥＰの軸の向きの制御方向に応じて正負がある。
【００５７】
次に、上記のように構成されたシーム溶接装置１０の動作及びシーム溶接装置１０を用いたシーム溶接方法の作用を説明する。制御部１８は、図１に示される、溶接開始ボタン等が設けられた操作部２９に接続されている。
【００５８】
ここで、オペレータは、制御部１８によるシーム溶接の開始に先立って、操作部２９を介して電極保持機構１４を制御して、ローラ電極対ＲＥＰでフランジ対ＦＰを狭持させた後、操作部２９を介して制御部１８へ溶接開始トリガ信号を送信する。具体的には、オペレータは、操作部２９を介して、ローラ電極１２Ｂを回転駆動する第２モータ２１を電極並び方向に移動させるシリンダ７、第１関節部１４ａ、第２関節部１４ｂ、第３関節部１４ｃ、第４関節部１４ｄ、第５関節部１４ｅ及び第６関節部１４ｆを適宜動作させることにより、一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂでフランジ対ＦＰを狭持させるとともに、操作部２９の溶接開始ボタンを押して制御部１８へ溶接開始トリガ信号を送信する。
【００５９】
制御部１８は、操作部２９から溶接開始トリガ信号を受信すると、図３に示されるように、フランジ対ＦＰの縁部の位置を検出するワーク位置検出センサ１６と、フランジ対ＦＰの縁部との間にエアカーテンＡＣを生成する。具体的には、制御部１８は、図７及び図８に示されるように、エアカーテンＡＣをフランジ対ＦＰの縁部の延在方向に沿うように生成する。
【００６０】
詳述すると、制御部１８は、操作部２９から溶接開始トリガ信号を受信すると、上記電磁弁を開く。このとき、上記エア供給源からの気流が、エア流路２４のメイン流路２４ａ、分岐流路２４ｂ１を通ってノズル構造体２３内へ流入する。ノズル構造体２３内へ流入した気流は、ノズル構造体２３の基端部から先端部にかけて段階的（例えば３段階）に絞られる。ノズル構造体２３の先端部に到達した気流は、該先端部に形成された２つの排出口Ｖｅから、フランジ対ＦＰの延在方向に沿って（支持面９ａ（図３）に沿って）、互いに反対方向に面状に排出される。すなわち、図７及び図８に示されるように、フランジ対ＦＰの延在方向に沿って、互いに反対方向へ流れる面状の２つの気流によって、フランジ対ＦＰの延在方向に隣接する２つのエアカーテンＡＣが生成される。換言すると、互いに反対方向に流れる面状の２つの気流からなる２つのエアカーテンＡＣが生成され、これら２つのエアカーテンＡＣの間の領域Ｂｏは、ワーク位置検出センサ１６の検出軸ＤＡ方向から見て、ワーク位置検出センサ１６に隣接する。すなわち、図７に示されるように、２つのエアカーテンＡＣの間の領域Ｂｏは、少なくとも一部がワーク位置検出センサ１６の検出範囲ＤＲに入る。
【００６１】
次いで、制御部１８は、ワーク位置検出センサ１６の検出結果に基づいて一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂの軸の向きを制御しつつ、シーム溶接を行う。具体的には、制御部１８は、操作部２９から溶接開始トリガ信号を受信すると、ローラ電極対ＲＥＰに電圧（パルス電圧）を印加するとともに、ワーク位置検出センサ１６の検出結果に基づいて電極保持機構１４を制御して、ローラ電極対ＲＥＰをフランジ対ＦＰの所望の溶接軌道に沿って移動させる。具体的には、制御部１８は、ワーク位置検出センサ１６の検出結果に基づいて、第１関節部１４ａ、第２関節部１４ｂ、第３関節部１４ｃ、第４関節部１４ｄ、第５関節部１４ｅ及び第６関節部１４ｆを適宜動作させることにより、ローラ電極対ＲＥＰをフランジ対ＦＰの所望の溶接軌道に沿って移動させることにより、所望の溶接軌道に沿って連続したシーム溶接を行う。
【００６２】
このとき、シーム溶接における溶接箇所からヒュームが飛散する。飛散したヒュームの一部は、ワーク位置検出センサ１６へ向かう。ワーク位置検出センサ１６へ向かったヒュームは、互いに反対方向に流れる２つの気流からなるエアカーテンＡＣのいずれかにより、遮断され、且つ、フランジ対ＦＰの縁部の延在方向に沿ってワーク位置検出センサ１６から離れる方向に吹き飛ばされる。
【００６３】
次に、上記のように構成されたシーム溶接装置１０の効果及びシーム溶接装置１０を用いたシーム溶接方法の効果を説明する。
【００６４】
本実施形態のシーム溶接装置１０は、図１及び図３に示されるように、フランジ対ＦＰ（ワーク）を一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂで挟んで一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂを回転させながらフランジ対ＦＰに対して移動させることにより、フランジ対ＦＰをシーム溶接するシーム溶接装置である。シーム溶接装置１０は、一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂを一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂの軸の向きを変更可能に保持する電極保持機構１４と、一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂで挟まれたフランジ対ＦＰの縁部から離間した位置に配置され、該縁部の位置を検出するワーク位置検出センサ１６と、ワーク位置検出センサ１６の検出結果に基づいて電極保持機構１４を制御する制御部１８と、ワーク位置検出センサ１６とフランジ対ＦＰとの間にエアカーテンＡＣを生成するエアカーテン生成機構２０と、を備える。
【００６５】
この場合、シーム溶接により発生するヒュームが、ワーク位置検出センサ１６とフランジ対ＦＰとの間に生成されるエアカーテンＡＣにより遮断されるため、ワーク位置検出センサ１６に付着することを抑制でき、ワーク位置検出センサ１６の検出精度の低下を抑制できる。この結果、シーム溶接の溶接軌道を精度良く補正することができる。
【００６６】
一方、上記のようなエアカーテン生成機構２０と異なり、フランジ対ＦＰの溶接箇所で発生するヒュームに対して、例えばエアブロワーでエアーを吹くと、ヒュームを巻き込んだエアーがワーク位置検出センサ１６側に流れて、ワーク位置検出センサ１６に付着するおそれがある。
【００６７】
例えば図９Ａに示されるように、ワーク位置検出センサ１６の射出面ＥＳ及び受光面ＲＳの少なくとも一方にヒュームが付着すると、センサ出力が突然異常値（センサ出力が正常範囲から著しく低い値）を示すことがある。この場合、シーム溶接を中断しなければならず、稼働率が低下する。さらに、この場合、例えば図９Ｂに示されるように、シーム溶接の溶接ビードが切れてしまい、中断箇所からシーム溶接を再開するときに、溶接加修が必要となる。
【００６８】
例えば図１０Ａ及び図１０Ｂに示されるように、ワーク位置検出センサ１６の射出面ＥＳ及び受光面ＲＳの少なくとも一方にヒュームが付着し、光照射部１６ａから射出された光が散乱（拡散）すると、センサ出力の精度が低下してしまう。図１０Ａ及び図１０Ｂにおいて、２点鎖線は、走査位置毎の理想的なセンサ出力を示している。図１０Ａに示される例は、ワーク位置検出センサ１６に付着したヒュームの量が比較的少ない例であり、フランジ対ＦＰの縁部の一部が欠けたようなセンサ出力が得られている。図１０Ｂに示される例は、ワーク位置検出センサ１６に付着したヒュームの量が非常に多い例であり、光照射部１６ａから射出され被検出面ＤＳを含む照射範囲で反射された光が受光部１６ｂでほとんど受光されず、センサ出力がほとんど確認できない状態（得られない状態）となっている。
【００６９】
エアカーテン生成機構２０は、図６Ａに示されるように、供給された気流を面状に排出するスリット状の排出口Ｖｅを少なくとも１つ有するノズル構造体２３を含む。これにより、少数の排出口Ｖｅにより、効率良くエアカーテンＡＣを生成することができる。
【００７０】
エアカーテンＡＣは、図７及び図８に示されるように、フランジ対ＦＰの縁部の延在方向に沿って生成される。これにより、フランジ対ＦＰの縁部の延在方向に沿って延びるエアカーテンＡＣを生成できるので、シーム溶接時に発生するヒュームを効果的にシーム溶接装置１０の外部へ排出できる。この結果、シーム溶接時に発生するヒュームがワーク位置検出センサ１６に付着することをより確実に抑制できる。
【００７１】
ノズル構造体２３は、図７に示されるように、気流の排出方向が互いに反対な２つの排出口Ｖｅを有する。ノズル構造体２３は、ワーク位置検出センサ１６の検出軸ＤＡ方向から見て、ワーク位置検出センサ１６に隣接する位置に配置される。換言すると、図４、図５及び図７に示されるように、ノズル構造体２３は、ワーク位置検出センサ１６の検出範囲ＤＲに隣接する位置に配置される。これにより、シーム溶接時に発生するヒュームをワーク位置検出センサ１６から離れる方向に飛ばすことができる。この結果、エアカーテンＡＣで一度遮断したヒュームがワーク位置検出センサ１６に舞い戻ってきてワーク位置検出センサ１６に付着することを抑制できる。
【００７２】
本実施形態のシーム溶接方法は、図３に示されるように、フランジ対ＦＰ（ワーク）を電圧が印加される一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂで挟んで一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂを回転させながらフランジ対ＦＰに対して移動させることにより、フランジ対ＦＰをシーム溶接するシーム溶接方法である。本実施形態のシーム溶接方法は、図７及び図８に示されるように、フランジ対ＦＰの縁部の位置を検出するワーク位置検出センサ１６と、フランジ対ＦＰの縁部との間にエアカーテンＡＣを生成するエアカーテン生成ステップを含む。本実施形態のシーム溶接方法は、さらに、図３に示されるように、ワーク位置検出センサ１６の検出結果に基づいて一対のローラ電極１２Ａ、１２Ｂの軸の向きを制御しつつ、シーム溶接を行うシーム溶接ステップを含む。
【００７３】
この場合、シーム溶接により発生するヒュームが、ワーク位置検出センサ１６とフランジ対ＦＰとの間に生成されるエアカーテンＡＣにより遮断されるため、ワーク位置検出センサ１６に付着することを抑制でき、ワーク位置検出センサ１６の検出精度の低下を抑制できる。この結果、シーム溶接の溶接軌道を精度良く補正することができる。
【００７４】
エアカーテン生成ステップは、エアカーテンＡＣをフランジ対ＦＰの縁部の延在方向に沿うように生成する。これにより、フランジ対ＦＰの縁部の延在方向に沿って延びるエアカーテンＡＣを生成できるので、シーム溶接時に発生するヒュームを効果的に外部へ排出できる。この結果、シーム溶接時に発生するヒュームがワーク位置検出センサ１６に付着することをより確実に抑制できる。
【００７５】
エアカーテン生成ステップは、図３、図７及び図８に示されるように、支持面９ａ（同一平面）に沿って互いに反対方向に流れる面状の２つの気流からなる２つのエアカーテンＡＣを生成する。２つのエアカーテンＡＣの間の領域Ｂｏは、ワーク位置検出センサ１６の検出軸ＤＡ方向から見て、少なくとも一部がワーク位置検出センサ１６に重なる。換言すると、２つのエアカーテンＡＣの間の領域Ｂｏは、少なくとも一部がワーク位置検出センサ１６の検出範囲ＤＲに入る。これにより、シーム溶接時に発生するヒュームをワーク位置検出センサ１６から離れる方向に飛ばすことができる。この結果、エアカーテンＡＣで一旦遮断したヒュームがワーク位置検出センサ１６側に舞い戻ってくることを抑制でき、ひいては該ヒュームがワーク位置検出センサ１６に付着することを抑制できる。
【００７６】
［変型例］
以上説明した上記実施形態のシーム溶接装置１０及びシーム溶接方法は、適宜変更可能である。
【００７７】
ノズル構造体２３の構成は、適宜変更可能である。ノズル構造体２３は、２つの部材（取り付け部２３ａ及びノズル部２３ｂ）で構成されているが、単一の部材で構成されてもよい。ノズル構造体２３に形成される排出口Ｖｅの位置、形状、大きさ、個数は、適宜変更可能である。例えば、ノズル構造体にスリット状の排出口Ｖｅを１つ形成し、単一のエアカーテンＡＣを生成してもよい。この場合、ワーク位置検出センサ１６とフランジ対ＦＰとの間の領域に単一のエアカーテンＡＣが生成されるようにノズル構造体２３を配置することが好ましい。
【００７８】
上記実施形態では、傾斜面２２ａに開口する分岐流路２４ｂ１にノズル構造体２３が取り付けられているが、これに代えて又は加えて、傾斜面２２ａに開口する分岐流路２４ｂ２にノズル構造体２３を取り付けてもよい。例えばノズル構造体２３の位置を変えることにより、２つのエアカーテンＡＣの間の領域Ｂｏ（図７及び図８参照）の位置を変えることができる。例えばノズル構造体２３を増設することにより、エアカーテンＡＣの個数を増やすことができ、ヒュームの遮断効果を高めることができる。
【符号の説明】
【００７９】
９ａ…支持面（同一平面）                  １０…シーム溶接装置
１２Ａ、１２Ｂ…ローラ電極                １４…電極保持機構
１６…ワーク位置検出センサ                １８…制御部
２０…エアカーテン生成機構                ２３…ノズル構造体
ＤＡ…検出軸                              ＤＲ…検出範囲
ＤＳ…被検出面（ワークの縁部の端面）      ＦＰ…フランジ対（ワーク）
Ｖｅ…排出口
【図１】
2020055008.tif 000003
【図２】
2020055008.tif 000004
【図３】
2020055008.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2020055008.tif 000011
【図１０】
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