(57)【要約】【課題】  検出領域に応じた柔軟な配置をすることができ、しかも設置面への取付けを容易に行えるセンサ装置およびセンサシステムを提供する。【解決手段】  センサ装置１において、各々センサＫ１、Ｋ２、Ｋ３、Ｋ４、Ｋ５を内蔵することによりそれぞれがセンサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５を構成する複数の筐体１０１Ｃ、１０２Ｃ、１０３Ｃ、１０４Ｃ、１０５Ｃと、各筐体１０１Ｃ、１０２Ｃ、１０３Ｃ、１０４Ｃ、１０５Ｃを連結するためのチューブｔ１〜ｔ４とを設け、各筐体１０１Ｃ、１０２Ｃ、１０３Ｃ、１０４Ｃ、１０５Ｃがチューブｔ１〜ｔ４で連結されていることにより、各筐体１０１Ｃ、１０２Ｃ、１０３Ｃ、１０４Ｃ、１０５Ｃ間の位置関係が保たれている。また、チューブｔ１〜ｔ４は、各筐体１０１Ｃ、１０２Ｃ、１０３Ｃ、１０４Ｃ、１０５Ｃ間の位置関係を調節可能に設けられている。【選択図】  図２
2020196083.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサ装置であって、
各々センサを内蔵することによりそれぞれがセンサユニットを構成する複数の筐体と、
前記各筐体を連結するための連結部材とを備え、
前記各筐体が前記連結部材で連結されていることにより、前記各筐体間の位置関係が保たれている、
ことを特徴とするセンサ装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記連結部材が、前記各筐体間の前記位置関係を調節可能に設けられている、
ことを特徴とするセンサ装置。
【請求項３】
請求項１において、
前記連結部材が中空部材であって、前記各筐体は、前記連結部材の端部が着脱可能に連結される被連結部を有している、
ことを特徴とするセンサ装置。
【請求項４】
請求項１に記載の前記各センサユニットが、ロボットアームに設けられる治工具またはワークへの人の接近を検知するように配置されている、
ことを特徴とするセンサシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出領域に応じた柔軟な配置をすることができ、しかも設置面への取付けを容易に行えるセンサ装置およびセンサシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
特開昭５８−２１１８８０号公報には、ロボットの可動部の先端に取り付けたヘッド部（筐体）の内部に複数の検出部（センサ）を配置し、これらの検出部によりヘッド部の下方の検出領域を検出することで、可動部の位置ずれ誤差を検出するようにしたものが記載されている（同公報の第３頁右上欄第１３〜１９行、ならびに第１図、第２図および第６図参照）。
【０００３】
また、特開２００３−１７３２０１号公報には、複数の磁気センサ（センサ）をカバー（筐体）の内部に配置し、これらの磁気センサによりロボットアームの回転時の変位量を検出するようにしたものが記載されている（同公報の段落［００１５］〜［００１７］および図１〜図３参照）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特開昭５８−２１１８８０号公報および上記特開２００３−１７３２０１号公報に記載のものでは、一つの筐体の内部に複数のセンサを配置しており、各センサの取付位置が一つの筐体の内部に限定されている。このため、検出領域が変われば、その都度、検出領域に対応した筐体を新たに用意する必要がある。また、各センサの取付けの際には、個々のセンサの位置を一つずつ定めてやる必要があり、取付作業が煩雑になる。
【０００５】
本発明は、このような従来の実情に鑑みてなされたものであり、本発明が解決しようとする課題は、検出領域に応じた柔軟な配置をすることができ、しかも設置面への取付けを容易に行えるセンサ装置およびセンサシステムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るセンサ装置は、各々センサを内蔵することによりそれぞれがセンサユニットを構成する複数の筐体と、各筐体を連結するための連結部材とを備え、各筐体が連結部材で連結されていることにより、各筐体間の位置関係が保たれている。
【０００７】
本発明においては、複数の筐体の各々がセンサを内蔵していてそれぞれセンサユニットを構成しているので、各筐体つまり各センサユニットの配置や数を自由に変えることができ、これにより、検出領域に応じた柔軟な配置をすることができる。その結果、センサ装置として、汎用性を向上でき、コストを低減できる。しかも、本発明によれば、各筐体が連結部材で連結されていることで各筐体間の位置関係が保たれており、これにより、各筐体つまり各センサユニットを設置面に取り付ける際に各センサユニットの位置を一つずつ定めていく必要がなくなり、取付作業を容易に行えるようになる。
【０００８】
本発明では、連結部材が、各筐体間の位置関係を調節可能に設けられている。
【０００９】
本発明では、連結部材が中空部材であって、各筐体が連結部材の端部を着脱可能に連結する被連結部を有している。
【００１０】
本発明に係るセンサシステムは、各センサユニットが、ロボットアームに設けられる治工具またはワークへの人の接近を検知するように配置されている。
【発明の効果】
【００１１】
以上のように本発明によれば、複数の筐体が各々センサを内蔵していてそれぞれがセンサユニットを構成しているので、検出領域に応じた柔軟な配置をすることができ、さらに、各筐体が連結部材で連結されていることで各筐体間の位置関係が保たれているので、設置面への取付けを容易に行える。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施例によるセンサ装置を備えたセンサシステムの全体斜視図である。
【図２】前記センサシステム（図1）の平面図である。
【図３】図２のIII-III線矢視図である。
【図４】図３のIV-IV線矢視図であって、前記センサ装置を構成する各センサユニット間の連結部材（チューブ）が省略された状態を示している。
【図５】前記センサ装置（図１）を構成するセンサユニットの平面図である。
【図６】図５のVI-VI線矢視図である。
【図７】前記センサユニット（図５）を上方から見た斜視図であって、一方の被連結部に連結部材が装着されるとともに、他方の被連結部が軸方向に切断された状態を示している。
【図８】前記センサユニット（図５）を下方から見た斜視図であって、一方の被連結部に連結部材が装着されるとともに、他方の被連結部が軸方向に切断された状態を示している。
【図９】前記センサユニット（図５）を上方から見た斜視図であって、一方の被連結部に透明樹脂製の連結部材が装着された状態を示している。
【図１０】前記センサユニット（図６）を連結部材を介して直線状に連結した状態を示す側面概略図である。
【図１１】前記センサユニット（図５）から蓋体を取り外した状態を示す平面図であって、連結部材の内部を配線が通っている状態を示している。
【図１２】前記センサユニット（図１１）を円周上に配列した状態を示しており、図２に相当する図である。
【図１３】本実施例による作用効果を説明するための図である。
【図１４】本発明によるセンサ装置を構成する各センサユニットの他のレイアウトの例を示す平面図である。
【図１５】本発明によるセンサ装置を構成する各センサユニットの別のレイアウトの例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。
図１ないし図１３は、本発明の一実施例によるセンサ装置を説明するための図である。ここでは、本実施例によるセンサ装置がロボットアームの治工具としてのナットランナーに適用された例を示している。
【００１４】
図１に示すように、ロボットアームＲＡの先端には、ナットランナー（治工具）ＮＲが回転可能に設けられている。ナットランナーＮＲは、先端部がたとえばソケット状に形成されており、これがナット／ボルト頭部（ワーク）に嵌合してナット／ボルト頭部を回転させることにより、ナット／ボルトの締緩を行うための工具である。ナットランナーＮＲの上部には、円板状のテーブルＴが配置されている。図２に示すように、テーブルＴの中央には貫通孔Ｔａが形成されており、ナットランナーＮＲは、貫通孔Ｔａを挿通して下方に延びている。
【００１５】
図１および図２に示すように、テーブルＴ上には、センサ装置１を構成する複数（この例では５個）のセンサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５がナットランナーＮＲの回りの円周上に均等間隔または概略均等間隔で配置されている。センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５はそれぞれ筐体内にセンサを内蔵しており、各筐体１０１Ｃ、１０２Ｃ、１０３Ｃ、１０４Ｃ、１０５Ｃがそれぞれセンサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５を構成している。各筐体１０１Ｃ、１０２Ｃ、１０３Ｃ、１０４Ｃ、１０５Ｃは、絶縁性樹脂から構成されている。また、各センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５は、それぞれレーザ光を下方に向かって照射することにより、レーザ光の照射領域に侵入した人体等の侵入体を検知するように設けられている。この例では、ＴＯＦ（Time of Flight)方式を利用した測距センサが用いられているが、その他の方式を採用するようにしてもよいし、また、カメラやイメージセンサを採用するようにしてもよい。
【００１６】
図１中、符号Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５は、各センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５の検知エリア（センシングエリア）をそれぞれ示している。図２に示すように、周方向に隣り合う各センサユニットは、チューブ（連結部材）ｔにより連結されている。すなわち、各センサユニット１０１、１０２間はチューブｔ１により、各センサユニット１０２、１０３間はチューブｔ２により、各センサユニット１０３、１０４間はチューブｔ３により、各センサユニット１０４、１０５間はチューブｔ４によりそれぞれ連結されている。また、各センサユニット１０１、１０５間はチューブにより連結されておらず、センサユニット１０１はチューブｔ５によりコントロールユニット２０に連結されている。各チューブｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４、ｔ５は、可撓性を有する中空の樹脂製部材から構成されている。図２に示すように、各チューブｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４、ｔ５は、弧状に湾曲しつつ配設されている。コントローラユニット２０から延びるケーブル２１は、ロボットアームＲＡの制御盤（図示せず）に接続されている。なお、センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５（または筐体１０１Ｃ、１０２Ｃ、１０３Ｃ、１０４Ｃ、１０５Ｃ）、チューブｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４、ｔ５、およびナットランナーＮＲにより、本発明によるセンサシステムが構成されている。
【００１７】
図３および図４に示すように、センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５の各検知エリアＤ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５は、それぞれ下方に向かって円錐状に広がっており、互いに一部オーバラップしつつ配置されている。これらの検知エリアＤ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５を合わせた領域がセンサ装置１による検出領域である。図３において各センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５から下方に所定の距離Ｈだけ離れた位置に配置された平面Ｗにおける各検知エリアＤ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５が図４に示されている。平面Ｗは、ナット（図示せず）が配置される作業面に相当している。図４では、図示の便宜上、各センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５を連結するための各チューブｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４が省略されている。
【００１８】
図４から分かるように、各検知エリアＤ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５は、ナットランナーＮＲを囲繞しつつ（つまり取り囲むように）その周囲に配置されており、ナットランナーＮＲは、どの検知エリアＤ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５にも含まれていない。これは、各センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５がナットランナーＮＲに対する人等の侵入体の接近を検知するためのものであって、各センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５によってナットランナーＮＲ自体が検知されないようにするためである。
【００１９】
図４に示すように、各センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５の下面１０１Ｂ、１０２Ｂ、１０３Ｂ、１０４Ｂ、１０５Ｂには、それぞれセンサ投受光部１０１Ｓ、１０２Ｓ、１０３Ｓ、１０４Ｓ、１０５Ｓが配置されている。各センサ投受光部１０１Ｓ、１０２Ｓ、１０３Ｓ、１０４Ｓ、１０５Ｓは、レーザ光の投受光部からそれぞれ構成されている。各センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５は、チューブｔの端部を着脱可能に連結するための一対の筒状の被連結部１０１ａ、１０１ｂ；１０２ａ、１０２ｂ；１０３ａ、１０３ｂ；１０４ａ、１０４ｂ；１０５ａ、１０５ｂをそれぞれ有している。
【００２０】
次に、各センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５を構成する各筐体１０１Ｃ、１０２Ｃ、１０３Ｃ、１０４Ｃ、１０５Ｃの詳細について、図５ないし図１３を用いて説明する。
ここでは、センサユニット１０１を例にとって説明するが、他のセンサユニット１０２、１０３、１０４、１０５についても同様であり、センサユニット１０１についての説明は、他のセンサユニット１０２、１０３、１０４、１０５についても当てはまる。
【００２１】
図５ないし図９に示すように、筐体１０１Ｃは、本体部１０１Ｃ１と、これにねじ止め固定される蓋体１０１Ｃ２とを有している。被連結部１０１ａ、１０１ｂは、この例では本体部１０１Ｃ１に一体に設けられているが、これは別体でもよい。また、被連結部１０１ａ、１０１ｂは、チューブｔの端部が圧入される凸部ａｒ、ｂｒをそれぞれ外周に有している。チューブｔは、隣り合う各センサユニットの筐体同士を被連結部を介して連結している（図２参照）。なお、図７ないし図９では、一方の被連結部１０１ａにチューブｔが装着され、他方の被連結部１０１ｂにチューブｔが装着されていない状態が示されており、さらに図７および図８の被連結部１０１ｂは、軸方向に切断された状態で示されている。
【００２２】
図１０は、複数（ここでは３個）のセンサユニット１０１をチューブｔを介して連結した状態を示している。このとき、チューブｔが可撓性を有していて同図の上下方向に撓み得るようになっており、各センサユニット１０１は、各下面１０１Ｂが概ね直線（またはわずかに湾曲する曲線）Ｌを通る平面（または曲面）に沿って配置される。このとき、チューブｔの長さが長くなるほど、センサユニット１０１の重量の影響を受けやすくなって、チューブｔの撓み量が大きくなり、センサユニット１０１の各下面１０１Ｂはより湾曲した曲線に沿って配置されることになる。このような場合であっても、各センサユニット１０１間の位置関係（すなわち、配置や間隔等）は保たれている。
【００２３】
また、可撓性を有するチューブｔがその中心軸回りに捩じれることにより、各センサユニット１０１がチューブｔの中心軸回りをわずかに傾動し、その結果、各センサユニット１０１がチューブｔの中心軸回りに捩じれて配置される場合もある。図１０では、図示の簡略化のため、いずれのセンサユニット１０１もチューブｔの中心軸回りを傾動していない状態が示されているが、すべてのセンサユニット１０１がチューブｔの中心軸回りを同じ角度または略同一の角度だけ傾動する場合は元より、各センサユニット１０１がチューブｔの中心軸回りを互いに異なる角度だけ傾動する場合においても、各センサユニット１０１間の位置関係（すなわち、配置や間隔等）は保たれている。なお、チューブｔの中心軸の延長線上にセンサユニット１０１の重心が配置されるようにすれば、各センサユニット１０１がチューブｔの回りを傾動する角度を小さくしたり、各センサユニット１０１の傾動角度を揃えたりすることも可能である。
【００２４】
図１１は、センサユニット１０１の筐体１０１Ｃから蓋体１０１Ｃ２を取り外した状態を示している。同図に示すように、筐体１０１Ｃの本体部１０１Ｃ１には、センサ投受光部１０１Ｓが搭載されたセンサ（基板）Ｋ１が収容されている。センサＫ１には、リード線２５１ａ、２５１ｂがそれぞれ接続されている。各リード線２５１ａ、２５１ｂはそれぞれ被連結部１０１ａ、１０１ｂを通って本体部１０１Ｃ１の左右に取り出されており、それぞれチューブｔ５、ｔ１の内部を通って配線されている。
【００２５】
図１２は、図２に示した各センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５からそれぞれの蓋体を取り外した状態を示している。図１２に示すように、センサユニット１０２、１０３、１０４、１０５の各リード線２５２ｂ、２５３ｂ、２５４ｂについても同様に、それぞれチューブｔ２、ｔ３、ｔ４の内部を通って配線されており、センサユニット１０２、１０３、１０４、１０５の各センサＫ２、Ｋ３、Ｋ４、Ｋ５にそれぞれ接続されている。
【００２６】
次に、本実施例の作用効果について説明する。
ロボットアームＲＡに取り付けられたナットランナーＮＲの駆動時には、図１および図４に示すように、センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５の各センサ投受光部１０１Ｓ、１０２Ｓ、１０３Ｓ、１０４Ｓ、１０５Ｓがオンとなっていて、各センサ投受光部１０１Ｓ、１０２Ｓ、１０３Ｓ、１０４Ｓ、１０５Ｓから下方に向かってそれぞれレーザ光が出射されている。各レーザ光の検知エリアＤ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５は、上述したように、ナットランナーＮＲの周囲にそれぞれ円錐状に形成されるとともに、周方向に隣り合う各検知エリアが互いに一部オーバラップしている。
【００２７】
この状態から、図１３に示すように、作業者の手指などの侵入体がいずれかの検知エリアＤ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５、たとえば検知エリアＤ２またはＤ３に侵入すると、センサＫ２またはＫ３が侵入体を検知する。すると、センサＫ２またはＫ３の検知信号はコントローラユニット２０に入力され、ロボットアームＲＡの制御盤に入力される。その結果、ナットランナーＮＲが一時停止（または緊急停止）する。これにより、作業者の手指がナットランナーＮＲの先端およびナット間で挟み込まれるのを確実に防止できる。しかも、この場合には、センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５がナットランナーＮＲの全周にわたって配置されているので、ナットランナーＮＲに対して全方位からの侵入検知をすることができる。また、ナットランナーＮＲがナット（図示せず）の上方に配置されているとき、作業者の手指などの侵入体がナットに接近すると、侵入体はいずれかの検知エリアに侵入することになるので、同様にして、いずれかのセンサが侵入体を検知し、ナットランナーＮＲが一時停止（または緊急停止）する。
【００２８】
このように本実施例によれば、複数の筐体１０１Ｃ、１０２Ｃ、１０３Ｃ、１０４Ｃ、１０５ＣがそれぞれセンサＫ１、Ｋ２、Ｋ３、Ｋ４、Ｋ５を内蔵していてそれぞれセンサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５を構成しているので、各筐体つまり各センサユニットの配置を自由に変えることができ、これにより、検出領域の大きさや形状等に応じた柔軟な配置をすることができ、レイアウトの自由度をアップできる。その結果、センサ装置として、汎用性を向上でき、コストを低減できる。この場合、センサユニットの筐体として一つの筐体を用意すれば足りるので、金型も一種類で済み、コストを大幅に削減できる。これに対して、従来のように、複数のセンサを一つの筐体の内部に配置する構造では、検出領域の大きさや形状等が変われば、検出領域に合わせてその都度筐体を新たに作り直す必要があり、コスト高となる。
【００２９】
しかも、本実施例によれば、各筐体１０１Ｃ、１０２Ｃ、１０３Ｃ、１０４Ｃ、１０５Ｃがチューブｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４で連結されていることで各筐体１０１Ｃ、１０２Ｃ、１０３Ｃ、１０４Ｃ、１０５Ｃ間の位置関係が保たれており、これにより、各筐体つまり各センサユニットを設置面に取り付ける際に各センサユニットの位置を一つずつ定めていく必要がなくなり、取付作業を容易に行えるようになる。その一方、各チューブｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４が可撓性を有していることにより、各チューブｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４は湾曲や屈曲等の変形が可能であり、そのため、同じチューブｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４を用いて、各筐体１０１Ｃ、１０２Ｃ、１０３Ｃ、１０４Ｃ、１０５Ｃを直線状に配置することも、円弧状やＵ字状等に配置することも可能である。すなわち、本実施例においては、各筐体間の位置関係が調節可能になっている。また、各センサユニットがそれぞれ筐体に収容されているので、個々のセンサユニットが防水性、防滴性および防油性を有している。さらに、リード線２５１ｂ、２５２ｂ、２５３ｂ、２５４ｂがそれぞれチューブｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４の内部に収容されていることにより、センサ装置全体として筐体構造を有しており、これにより、装置全体の剛性をアップできるとともに、装置全体として耐環境性を向上できる。
【００３０】
〔第１の変形例〕
前記実施例では、各センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５がいずれも一つのセンサ投受光部１０１Ｓ、１０２Ｓ、１０３Ｓ、１０４Ｓ、１０５Ｓを内蔵している場合を例にとって説明したが、各センサユニットが内蔵するセンサ投受光部の数は２つまたはそれ以上でもよく、また各センサユニットが内蔵するセンサ投受光部の数は、センサユニットによって異なっていてもよい。
【００３１】
〔第２の変形例〕
前記実施例では、連結部材として、中空の樹脂製部材からなるチューブｔを用いた例を示したが、本発明の適用はこれに限定されない。連結部材として、中実の樹脂製部材を採用するようにしてもよい。また、樹脂製部材にかぎらず、硬質ラバーから構成するようにしてもよい。さらには、チューブｔとして、可撓性や伸縮性の乏しい、たとえば金属製の中実の棒材または中空のパイプ等を採用するようにしてもよい。
【００３２】
〔第３の変形例〕
前記実施例では、円周上に５個のセンサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５を配置した例を示したが、本発明の適用はこれに限定されない。センサ装置を構成するセンサユニットの個数は、５個より多くても少なくてもよく、治工具のサイズや侵入体の大きさ等によって定まる検出領域の大きさに応じて適宜決定される。図１４は、円周上に１２個のセンサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６、１０７、１０８、１０９、１０１０、１０１１、１０１２を配置した例を示しているが（同図では、図示の便宜上、各センサユニットを連結するチューブを省略）、この場合、同じ円周上であっても、侵入体が人の胴体であれば、各センサユニットの配列ピッチは相対的に大きめにしてもよく、また侵入体が人の手指であれば、各センサユニットの配列ピッチは相対的に小さめにしてもよい。本発明によるセンサ装置１は、各センサユニットの各筐体を連結部材で連結するという構成を採用しているので、センサユニットの数量変更にも柔軟に対応することができる。
【００３３】
〔第４の変形例〕
前記実施例では、各センサユニットを円周上に配置した例を示したが、本発明の適用はこれに限定されない。本発明によるセンサユニットは、検出領域に応じて、矩形状、コの字状、Ｕ字状、Ｖ字状、Ｌ字状、馬蹄形状、楕円状、長円状、オーバル状等の種々の形状に沿って配置するようにしてもよい。図１５は、センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６、１０７、１０８、１０９をＵ字状に配置した例を示している。なお、図１５では、各センサユニットを連結するチューブを省略して示している。
【００３４】
〔第５の変形例〕
前記実施例では、周方向に隣り合う各センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５を連結する各チューブｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４が一定の長さを有している例を示したが、これらのチューブは樹脂製部材であって切断可能なので、その長さを自由に変えることが可能である。そのため、チューブの長さを長くすることにより、各センサユニットの配列ピッチを大きくして疎に配置でき、これとは逆に、チューブの長さを短くすることにより、各センサユニットの配列ピッチを小さくして密に配置できる。このように、連結部材として樹脂製のチューブを用いることにより、各センサユニット間（または各筐体間）の位置関係が調節可能になっている。
【００３５】
〔第６の変形例〕
前記実施例では、連結部材として樹脂製のチューブを用いた例を示したが、本発明の適用はこれに限定されない。連結部材として、伸縮性を有する部材を採用するようにしてもよい。たとえば、径の異なる複数の筒状部材を用意してこれらを入れ子状に組み合わせることにより、テレスコピック構造の伸縮可能な連結部材を構成するようにしてもよい。あるいは、連結部材として蛇腹状の部材を用いるようにしてもよい。これらいずれの場合においても、連結部材が伸縮性を有していることにより、前記実施例のように連結部材を切断することなく、各センサユニット間（または各筐体間）の位置関係が調節可能になっている。
【００３６】
〔第７の変形例〕
前記実施例では、各センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５の被連結部１０１ａ、１０１ｂ；１０２ａ、１０２ｂ；１０３ａ、１０３ｂ；１０４ａ、１０４ｂ；１０５ａ、１０５ｂが、各センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５の筐体１０１Ｃ、１０２Ｃ、１０３Ｃ、１０４Ｃ、１０５Ｃの各本体部に一体に設けられて固定されている例を示した（図５において筐体１０１Ｃの中心線ＣＬに対して各被連結部１０１ａ、１０１ｂの各中心線ＣａＬ、ＣｂＬは直交している）が、本発明の適用はこれに限定されない。被連結部１０１ａ、１０１ｂ；１０２ａ、１０２ｂ；１０３ａ、１０３ｂ；１０４ａ、１０４ｂ；１０５ａ、１０５ｂの各基端部を、各センサユニット１０１、１０２、１０３、１０４、１０５の筐体１０１Ｃ、１０２Ｃ、１０３Ｃ、１０４Ｃ、１０５Ｃの各本体部に対してボールジョイント連結することにより、被連結部が本体部に対して任意の方向に傾動可能に構成されていてもよい（このとき、図５中の各被連結部１０１ａ、１０１ｂの各中心線ＣａＬ、ＣｂＬが筐体１０１Ｃの中心線ＣＬに対してなす角度は変化し得る）。この場合には、隣り合う各センサユニット間をチューブで連結する際に被連結部が傾動するので、チューブに無理な力がかかることなく、チューブによる連結を円滑に行える。
【００３７】
〔その他の変形例〕
上述した実施例および各変形例はあらゆる点で本発明の単なる例示としてのみみなされるべきものであって、限定的なものではない。本発明が関連する分野の当業者は、本明細書中に明示の記載はなくても、上述の教示内容を考慮するとき、本発明の精神および本質的な特徴部分から外れることなく、本発明の原理を採用する種々の変形例やその他の実施例を構築し得る。
【００３８】
〔他の適用例〕
前記実施例では、本発明によるセンサ装置がロボットアームＲＡのナットランナーＮＲに適用された例を示したが、本発明の適用はこれに限定されない。本発明はナットランナーＮＲ以外の治工具にも適用可能である。また、本発明の適用はロボットアームの治工具に限らず、本発明は治工具以外のエンドエフェクタにも適用でき、またロボットアーム以外の機械や装置にも同様に適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明は、検出領域に応じた柔軟な配置をすることができ、しかも設置面への取付けを容易に行えるセンサ装置およびセンサシステムに有用である。
【符号の説明】
【００４０】
１：  センサ装置
１０１、１０２、１０３、１０４、１０５：  センサユニット
１０１ａ、１０１ｂ；１０２ａ、１０２ｂ；１０３ａ、１０３ｂ：  被連結部
１０４ａ、１０４ｂ；１０５ａ、１０５ｂ：  被連結部
１０１Ｃ、１０２Ｃ、１０３Ｃ、１０４Ｃ、１０５Ｃ：  筐体
Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３、Ｋ４、Ｋ５：  センサ
ｔ、ｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４：  チューブ（連結部材）
ＲＡ：  ロボットアーム
ＮＲ：  ナットランナー（治工具）
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４１】
【特許文献１】特開昭５８−２１１８８０号公報（第３頁右上欄第１３〜１９行および第１図、第２図、第６図参照）
【特許文献２】特開２００３−１７３２０１号公報（段落［００１５］〜［００１７］および図１〜図３参照）
【図１】
2020196083.tif 000003
【図２】
2020196083.tif 000004
【図３】
2020196083.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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