(57)【要約】【課題】スクライビングホイールの姿勢を安定に維持して基板の表面にスクライブラインを形成することができるホルダユニット、およびこのようなホルダユニットに備えられるピンを提供することを目的とする。【解決手段】基板１５の表面Ｈにスクライブラインを形成するためのスクライビングホイール４０を保持するホルダユニット３０であって、スクライビングホイール４０が挿入される保持溝６３と、保持溝６３を跨ぐように形成されたピン孔６４ａ、６４ｂと、保持溝６３に挿入されたスクライビングホイール４０の貫通孔４１とピン孔６４ａ、６４ｂとに挿入され、保持溝６３に挿入されたスクライビングホイール４０を回転可能に支持する支持部材５１、５２と、を備え、支持部材５１、５２は、少なくとも２箇所において、貫通孔４１の内周面４１ａと接触する。【選択図】図３
2020037196.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面にスクライブラインを形成するためのスクライビングホイールを保持するホルダユニットであって、
前記スクライビングホイールが挿入される保持溝と、
前記保持溝を跨ぐように形成されたピン孔と、
前記保持溝に挿入された前記スクライビングホイールの貫通孔と前記ピン孔とに挿入され、前記保持溝に挿入された前記スクライビングホイールを回転可能に支持する支持部材と、を備え、
前記支持部材は、少なくとも２箇所において、前記貫通孔の内周面と接触する、ことを特徴とするホルダユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のホルダユニットにおいて、
前記支持部材は、少なくとも２つのピンからなっており、
前記各ピンが、互いに平行に並び、且つ、それぞれ前記貫通孔の内周面に接するように設置される、ことを特徴とするホルダユニット。
【請求項３】
請求項２に記載のホルダユニットにおいて、
前記支持部材は、２つの前記ピンからなっており、
前記各ピンのうちスクライブ方向の前方側に設置されるピンは、前記基板に垂直な方向の高さ位置が他方のピンよりも高く設置されている、ことを特徴とするホルダユニット。
【請求項４】
請求項３に記載のホルダユニットにおいて、
前記各ピンと前記貫通孔との接触点を結ぶそれぞれの線分のなす角が、５〜３０度であるように前記２つのピンが設置される、ことを特徴とするホルダユニット。
【請求項５】
請求項２に記載のホルダユニットにおいて、
前記ピン孔は、前記各ピンが互いに離間した状態で保持されるように前記ピンの数だけ設けられる、ことを特徴とするホルダユニット。
【請求項６】
請求項２に記載のホルダユニットにおいて、
前記ピンの両端がそれぞれ嵌められて、前記各ピンを互いに離間した状態で保持するピン保持部を備える、ことを特徴とするホルダユニット。
【請求項７】
請求項１に記載のホルダユニットにおいて、
前記支持部材は、１つのピンからなっており、
前記ピンの長手方向に直交する断面の形状は、２つの円が互いの中心位置をずらすよう重なった形状である、ことを特徴とするホルダユニット。
【請求項８】
スクライビングホイールの貫通孔に挿入されて前記スクライビングホイールを回転可能に支持するためのピンであって、
前記ピンの長手方向に直交する断面の形状は、２つの円が互いの中心位置をずらすよう重なった形状である、ことを特徴とするピン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の表面にスクライブラインを形成するためのスクライビングホイールを備えるホルダユニット、およびそのようなホルダユニットに備えられるピンに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス基板等の脆性材料基板の分断は、基板の表面にスクライブラインを形成するスクライブ工程と、形成されたスクライブラインに沿って基板の表面に所定の力を付加するブレイク工程とによって行われる。スクライブ工程では、スクライビングホイールの刃先が基板の表面に押し付けられながら、所定のラインに沿って移動される。
【０００３】
以下の特許文献１には、所望のスクライブラインを形成するために、安定した姿勢でスクライブ動作を行うように構成されたホルダが開示されている。特許文献１において、スクライビングホイールを保持するホルダは、ホルダジョイントの下部に設けられている開口穴から挿入される。開口穴の内側に、平面視でＶ字形状の平坦面が基板に対して垂直方向に沿って形成されている。この開口穴の上方に位置決め部材のピンが設けられ、ピンよりも上方に磁石が設けられている。
【０００４】
ホルダジョイントに挿入されたホルダは、ホルダの上部に形成されている傾斜面にピンが接触して位置決めされるとともに、ホルダの上端部が磁石に吸引されて保持される。このとき、磁石によってホルダが引き上げられて、傾斜面がピンに押し付けられる。また、傾斜面の背面側は、Ｖ字形状の平坦面に押し付けられるため、ホルダの姿勢が自動的に一定の方向に向いた状態で、ホルダがホルダジョイントに取り付けられる。よって、安定的にスクライブラインを形成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１７−１１９３４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１では、ホルダの姿勢を安定に維持するための構成が開示されている。しかし、基板に接触しているのはスクライビングホイールであるため、ホルダの姿勢を安定に維持したとしても、スクライビングホイールの姿勢が安定した状態でない場合、スクライビングホイールがふらついて蛇行したスクライブラインが形成される。
【０００７】
かかる課題に鑑み、本発明は、スクライビングホイールの姿勢を安定に維持して基板の表面にスクライブラインを形成することができるホルダユニット、およびこのようなホルダユニットに備えられるピンを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の主たる態様は、基板の表面にスクライブラインを形成するためのスクライビングホイールを保持するホルダユニットに関する。この態様に係るホルダユニットは、スクライビングホイールが挿入される保持溝と、前記保持溝を跨ぐように形成されたピン孔と、前記保持溝に挿入された前記スクライビングホイールの貫通孔と前記ピン孔とに挿入され、前記保持溝に挿入された前記スクライビングホイールを回転可能に支持する支持部材と、を備える。前記支持部材は、少なくとも２箇所において、前記貫通孔の内周面と接触するように構成される。
【０００９】
本態様に係るホルダユニットによれば、支持部材が、少なくとも２箇所において貫通孔の内周面に接触する。このため、スクライビングホイールがピンに対して移動し難くなり、スクライビングホイールは、スクライブ方向に平行となる姿勢に維持され易くなる。よって、スクライビングホイールは蛇行することなく、安定した姿勢でスクライブ動作を行うことができる。その結果、スクライブラインの質を高めることができる。
【００１０】
本態様に係るホルダユニットにおいて、前記支持部材は、少なくとも２つのピンからなっており、前記各ピンが、互いに平行に並び、且つ、それぞれ前記貫通孔の内周面に接するように設置されよう構成され得る。
【００１１】
この構成によれば、少なくとも２つのピンが、互いに平行に並んだ状態で貫通孔の内周面に接する。これにより、スクライビングホイールは、スクライブ方向に平行となる姿勢に維持され得る。よって、スクライビングホイールは、より安定的にスクライブ動作を行うことができる。
【００１２】
本態様に係るホルダユニットにおいて、前記支持部材は、２つの前記ピンからなっており、前記各ピンのうちスクライブ方向の前方側に設置されるピンは、前記基板に垂直な方向の高さ位置が他方のピンよりも高く設置されるよう構成され得る。
【００１３】
この構成によれば、２つのピンのうち、一方はスクライブ方向の前方側、他方はスクライブ方向の後方側に位置付けられる。これにより、スクライビングホイールの貫通孔とピンとの接触点を結ぶ線分がスクライブ時にスクライビングホイールが受ける力に対して垂直に近づくため、スクライビングホイールの姿勢が安定しやすく、スクライビングホイールは安定した状態でスクライブ動作を行うことができる。
【００１４】
この場合、前記各ピンと前記貫通孔との接触点を結ぶぞれぞれの線分のなす角が、５〜３０度であるように前記２つのピンが設置されるよう構成され得る。
【００１５】
この構成であれば、スクライビングホイールの貫通孔とピンとの接触点を結ぶ線分がスクライブ時にスクライビングホイールが受ける力に対して垂直に近づく。よって、スクライビングホイールの姿勢が安定しやすく、スクライビングホイールは安定した状態でスクライブ動作を行うことができる。
【００１６】
本態様に係るホルダユニットにおいて、前記ピン孔は、前記各ピンが互いに離間した状態で保持されるように前記ピンの数だけ設けられるよう構成され得る。
【００１７】
この構成であれば、各ピンを互いに平行に、離間した状態で確実に保持することができる。したがって、ピンがスクライブ中に互いに接触したり、捻られたりすることを防止し、スクライビングホイールの安定性を維持することができる。
【００１８】
本態様に係るホルダユニットにおいて、前記ピンの両端がそれぞれ嵌められて、前記各ピンを互いに離間した状態で保持するピン保備えるよう構成され得る。この構成であれば、各ピンを互いに平行な状態で、貫通孔内に容易に設置できる。
【００１９】
本態様に係るホルダユニットにおいて、前記支持部材は、１つのピンからなっており、前記ピンの長手方向に直交する断面の形状は、２つの円が互いの中心位置をずらすよう重なった形状であるよう構成され得る
ピンの断面の形状が上記のような形状であれば、ピンの外周面の少なくとも２箇所において、ピンが貫通孔の内周面と接触し得る。よって、スクライビングホイールは、スクライブ方向に平行な姿勢に維持され易くなり、より安定的に、スクライブ動作を行うことができる。また、ピンが１つであるため、貫通孔における位置決めを行いやすい。
【００２０】
本発明の第２の態様は、スクライビングホイールの貫通孔に挿入されて前記スクライビングホイールを回転可能に支持するためのピンであって、前記ピンの長手方向に直交する断面の形状は、２つの円が互いの中心位置をずらすよう重なった形状である。
【００２１】
このような構成のピンが貫通孔に挿入されてスクライビングホイールが支持されると、スクライビングホイールは、スクライブ方向に平行となる姿勢に維持され易くなる。これにより、より安定的にスクライブ動作を行うことができ、スクライブラインの品質を高めることができる。
【発明の効果】
【００２２】
以上のとおり、本発明によれば、スクライビングホイールの姿勢を安定に維持して基板の表面にスクライブラインを形成することができるホルダユニット、およびこのようなホルダユニットに備えられるピンを提供することができる。
【００２３】
本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の１つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、実施形態１に係るホルダユニットを備えるスクライブ装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】図２（ａ）は、実施形態１に係るホルダユニットをＸ軸正側から見た図である。図２（ｂ）は、ホルダユニットをＹ軸正側から見た図である。
【図３】図３（ａ）、（ｂ）は、支持部材により、スクライビングホイールの姿勢が安定に維持されることを説明するための図である。
【図４】図４（ａ）、（ｂ）は、実施形態１に係るスクライビングホイールの貫通孔に配置された支持部材をＹ軸正側から見た図である。
【図５】図５（ａ）、（ｂ）は、実施形態１に係るスクライビングホイールの貫通孔に配置された支持部材をＹ軸正側から見た図である。
【図６】図６（ａ）、（ｂ）は、実施形態１に係るホルダユニットのピン孔の構成を説明するための図である。
【図７】図７（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ、実施形態２に係るスクライビングホイールの貫通孔に配置された支持部材をＹ軸正側から見た図である。
【図８】図８（ａ）、（ｂ）は、変形例２に係るピン保持部の構成を説明するための図である。
【図９】図９（ａ）〜（ｃ）は、変形例３に係る支持部材の断面形状を説明するための図である。
【図１０】図９は、変形例４に係るピン保持部の構成を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が付記されている。Ｚ軸は、スクライビングホイールの中心軸に垂直であり、鉛直方向における上方および下方を示す。以降、上方および下方は、それぞれＺ軸正側およびＺ軸負側を意味する。
【００２６】
＜実施形態１＞
図１は、実施形態１に係るスクライブ装置１の構成を模式的に示す図である。スクライブ装置１は、移動台１０を備えている。移動台１０は、ボールネジ１１と螺合されている。移動台１０は、一対の案内レール１２によってＹ軸方向に移動可能に支持されている。モータの駆動によりボールネジ１１が回転することで、移動台１０が、一対の案内レール１２に沿ってＹ軸方向に移動する。
【００２７】
移動台１０の上面には、モータ１３が設置されている。モータ１３は、上部に位置するテーブル１４をＸＹ平面で回転させて所定角度に位置決めする。モータ１３により水平回転可能なテーブル１４は、図示しない真空吸着手段を備えている。テーブル１４上に載置された基板１５は、この真空吸着手段によって、テーブル１４上に保持される。
【００２８】
基板１５は、ガラス基板、低温焼成セラミックスや高温焼成セラミックスからなるセラミック基板、シリコン基板、化合物半導体基板、サファイア基板、石英基板等である。また、基板１５は、基板の表面または内部に脆性材料に該当しない薄膜あるいは半導体材料を付着させたり、含ませたりしたものであってもよい。
【００２９】
スクライブ装置１は、テーブル１４に載置された基板１５の上方に、この基板１５に形成されたアライメントマークを撮像する二台のカメラ１６を備えている。また、移動台１０とその上部のテーブル１４とを跨ぐように、ブリッジ１７が支柱１８ａ、１８ｂに架設されている。
【００３０】
ブリッジ１７には、ガイド１９が取り付けられている。スクライブヘッド２０は、このガイド１９に案内されてＸ軸方向に移動するように設置されている。スクライブヘッド２０は、下端にホルダジョイント２１を備えている。ホルダ６０にスクライビングホイール４０が保持されているホルダユニット３０が、ホルダジョイント２１を介してスクライブヘッド２０に取り付けられている。
【００３１】
スクライブ装置１を用いて基板１５の表面Ｈにスクライブラインを形成する場合、まず、スクライビングホイール４０が取り付けられたホルダユニット３０がスクライブヘッド２０に取り付けられる。次に、スクライブ装置１は、一対のカメラ１６によって基板１５の位置決めを行う。そして、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０を所定の位置に移動させ、スクライビングホイール４０に対して所定の荷重を印加して、基板１５へ接触させる。その後、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０をＸ軸方向に移動させることにより、基板１５の表面に所定のスクライブラインを形成する。なお、スクライブ装置１は、必要に応じてテーブル１４を回動ないしＹ軸方向に移動し、上記の場合と同様にしてスクライブラインを形成する。
【００３２】
上記のように、本実施の形態においては、スクライブヘッド２０がＸ軸方向に移動し、テーブル１４がＹ軸方向に移動すると共に、回転するスクライブ装置について示したが、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０とテーブル１４とが相対的に移動するものであればよい。たとえば、スクライブヘッド２０が固定され、テーブル１４がＸ軸、Ｙ軸方向に移動し、かつ回転するスクライブ装置１であってもよい。また、この場合、カメラ１６はスクライブヘッド２０に固定されていてもよい。
【００３３】
図２（ａ）は、ホルダユニット３０をＸ軸正側から見た正面図であり、図２（ｂ）は、ホルダユニット３０をＹ軸正側から見た側面図である。なお、図２（ａ）、（ｂ）には、ホルダユニット３０が直接取り付けられるホルダジョイント２１が併せて図示されている。
【００３４】
ホルダユニット３０は、スクライビングホイール４０と、支持部材５０と、ホルダ６０と、から構成される。ホルダユニット３０は、図２（ｂ）に示すようにホルダジョイント２１に取付ネジ３１によって取り付けられている。ホルダジョイント２１は、取付部２２と、回転軸２３と、２つのベアリング２４ａ、２４ｂと、で構成されている。取付部２２は、断面形状が逆Ｌ字状となっている。取付部２２は、鉛直方向に延びる壁２２ａと、水平方向に延びる壁２２ｂからなっている。回転軸２３は、取付部２２の壁２２ｂの天面側から鉛直方向に延びている。ベアリング２４ａ、２４ｂには、回転軸２３が挿通されている。
【００３５】
ホルダユニット３０がホルダジョイント２１に取り付けられると、ホルダユニット３０の側面が取付部２２の壁２２ａと接触し、ホルダユニット３０の上面が壁２２ｂと接触する。また、壁２２ａには、図２（ａ）に示すように取付ネジ３１が挿入されるネジ孔２５が形成されている。
【００３６】
ホルダジョイント２１は、取付部２２に取り付けられたホルダユニット３０がスクライブヘッド２０の下端から露出するように、スクライブヘッド２０の内部へと固定される。このとき、ホルダユニット３０は、ホルダジョイント２１の回転軸２３を中心として回転自在となっている。なお、二点鎖線は、回転軸２３の軸中心Ｆを示しており、破線は、基板１５の表面Ｈを示している。表面Ｈは、水平面に平行で、回転軸２３に対して垂直である。
【００３７】
スクライブ装置１を用いて基板１５の表面Ｈにスクライブラインを形成する場合、スクライビングホイール４０は、図２（ｂ）に示す矢印Ｒの方向（Ｘ軸正方向）に進むように回転する。なお、スクライブ装置１は、ホルダジョイント２１を用いないで、ホルダユニット３０自身が回転軸２３やベアリング２４ａ、２４ｂを備える構成であってもよい。
【００３８】
スクライビングホイール４０は、たとえば、焼結ダイヤモンドや超硬合金等で形成された、円板状の部材である。スクライビングホイール４０の厚み方向に貫通孔４１が形成されている。貫通孔４１には、スクライビングホイールの姿勢を安定に維持するための支持部材５０が挿入される。実施形態１では、支持部材５０は、２つの円柱状のピン５１、５２で構成される。
【００３９】
また、スクライビングホイール４０には、稜線を形成するＶ字状の刃が外周部に形成されている。スクライビングホイール４０は、たとえば、厚さが０．４〜１．１ｍｍ程度、外径が１．０〜５．０ｍｍ程度である。また、貫通孔４１の径は、たとえば、０．６〜１．０ｍｍ程度、刃の刃先角は、９０〜１５０°程度である。
【００４０】
ピン５１、５２は、たとえば、焼結ダイヤモンドや超硬合金等で形成された、円柱状の部材である。ピン５１、５２の径は、スクライビングホイール４０の貫通孔４１の径よりも小さく設計される。ピン５１、５２の径は、たとえば、貫通孔４１の径が０．８ｍｍのとき、０．３〜０．４ｍｍ程度、ピン５１、５２の間隔（中心間の距離）は０．５ｍｍ以下とされる。ピンの外径とピンの間隔については、ピン５１、５２が貫通孔４１に挿入された状態で、ピン５１、５２と貫通孔４１との間に回転に必要な隙間（クリアランス）が生じるように設定される。また、図２（ａ）では、ピン５１、５２の両端部は平坦面であるが、たとえば、Ｙ軸正側または負側の端部が尖頭形状であってもよい。なお、支持部材５０であるピン５１、５２については、後で詳細に説明する。
【００４１】
ホルダ６０は、ステンレスや炭素工具鋼からなっている。ホルダ６０は、図２（ｂ）に示すように、下部が側面視において下端に向かって幅が狭くなる台形形状となっている。また、ホルダ６０の台形形状部分には、それぞれ保持部６２ａ、６２ｂが形成され、保持部６２ａ、６２ｂとの間に保持溝６３が形成されている。保持溝６３の互いに対向する内側面は、水平面（ＸＹ平面）に垂直である。また、
なお、図２（ａ）、（ｂ）の構成では、ホルダ６０が、１つの基材で構成されているが、たとえば、保持部６２ａ、６２ｂをそれぞれ有する２つの基材を固定することでホルダ６０が形成されてもよい。
【００４２】
保持部６２ａ、６２ｂには、ピン５１が挿入されるピン孔６４ａ、６４ｂおよびピン５２が挿入されるピン孔６４ｃ、６４ｄが、保持溝６３を跨ぐように形成されている。ピン孔６４ａ、６４ｂの径の大きさは、ピン５１と同程度の大きさであり、ピン孔６４ｃ、６４ｄの径の大きさは、ピン５２と同程度の大きさである。スクライビングホイール４０が保持溝６３に挿入された状態で、スクライビングホイール４０の貫通孔４１とピン孔６４ａ、６４ｂにピン５１が挿入され、貫通孔４１とピン孔６４ｃ、６４ｄにピン５２が挿入される。なお、ピン５２、およびピン孔６４ｃ、６４ｄは、図２（ａ）では図示されないが、図６にて図示される。また、ホルダ６０の上部には、取付ネジ３１が挿入されるネジ孔６５が形成されている。
【００４３】
次に、支持部材５０であるピン５１、５２によってスクライビングホイール４０の姿勢が安定化する作用について、図３（ａ）、（ｂ）に基づいて説明する。
【００４４】
図３（ａ）は、本実施の形態に係る支持部材５０をスクライビングホイール４０の貫通孔４１に挿入した場合の模式図である。図３（ｂ）は、比較例に係る支持部材１００をスクライビングホイール４０の貫通孔４１に挿入した場合の模式図である。図３（ａ）、（ｂ）は、スクライビングホイール４０の所定の直径の位置でスクライビングホイール４０を切断したときの断面図である。
【００４５】
図３（ｂ）に示すように、支持部材１００を貫通孔４１に挿入し、スクライビングホイール４０にスクライブ動作を開始させると、支持部材１００は、貫通孔４１の内周面４１ａと線接触する。このとき、貫通孔４１と支持部材１００との間にクリアランスが存在するため、スクライビングホイール４０はスクライブ方向に平行な方向に移動しやすく、姿勢が不安定な状態である。このように、貫通孔４１の内周面４１ａと１つの支持部材１００とが１箇所のみで線接触する場合、スクライビングホイール４０の姿勢は安定に維持されにくい。
【００４６】
これに対し、図３（ａ）に示すように、支持部材５０として、２つのピン５１、５２をスクライビングホイール４０の貫通孔４１に挿入し、スクライブ動作を開始させると、ピン５１、５２がそれぞれの接線５１ａ、５２ａにおいて貫通孔４１の内周面４１ａに線接触する。図３（ａ）は、図３（ｂ）の場合とは異なり、貫通孔４１の内周面４１ａと、支持部材５０とが２箇所で線接触する。このため、貫通孔４１と支持部材５０との間にクリアランスが存在しても、スクライビングホイール４０がスクライブ方向と平行な方向に移動しにくくなる。これにより、スクライビングホイール４０のふらつきが抑えられ、スクライビングホイール４０の姿勢を安定に維持することができる。したがって、基板１５に形成されるスクライブラインの品質が向上する。
【００４７】
以上より、貫通孔４１の内周面４１ａを少なくとも２箇所において、支持部材５０で支持した場合、スクライビングホイール４０の姿勢は安定的に維持される。
【００４８】
次に、貫通孔４１に対するピン５１、５２の配置方法について説明する。
【００４９】
図４（ａ）〜図５（ｂ）は、貫通孔４１におけるピン５１、５２をＹ軸正側から見た図である。図４（ａ）〜図５（ｂ）において、スクライブ方向は、Ｘ軸負側から正側に向かう方向である。また、図４（ａ）〜図５（ｂ）の上段は、非スクライブ動作時の状態、つまり、スクライビングホイール４０が基板１５に非接触の状態を示す。図４（ａ）〜図５（ｂ）の下段は、スクライブ動作時の状態、つまり、スクライビングホイール４０が基板１５に押しつけられている状態を示す。
【００５０】
また、図４（ａ）〜図５（ｂ）において、ピン５１における点Ｐは、ピン５１が貫通孔４１に接触することを示しており、ピン５１の点Ｐは、図３（ａ）の接線５１ａに相当する。同様に、ピン５２における点Ｑは、ピン５２が貫通孔４１に接触するすることを示しており、ピン５２の点Ｑは、図３（ａ）の接線５２ａに相当する。また、図４（ａ）〜図５（ｂ）において、線分Ｌ１は、基板１５に平行な線分である。線分Ｌ３は、上記した点Ｐと点Ｑとを結ぶ線分である。さらに、Ｄ１は、点Ｐと点Ｑとの距離である。
【００５１】
図４（ａ）は、Ｘ軸正側に配置されているピン５２の方が、Ｘ軸負側に配置されているピン５１よりも、基板１５に垂直な方向の高さ位置が高い場合を示している。
【００５２】
図４（ａ）の上段に示すように、非スクライブ動作時において、ピン５１、５２は、スクライビングホイール４０の自重により、ともに貫通孔４１の内周面４１ａに接触する。よって、図３（ａ）を参照して説明したとおり、非スクライブ動作時において、スクライビングホイール４０は、スクライブ方向に平行な安定した姿勢を維持できる。
【００５３】
これに対し、スクライブ動作時、スクライビングホイール４０は、所定のスクライブ荷重及び速度で基板１５上を転動させられる。このとき、図４（ａ）の下段に示すように、スクライビングホイール４０は、基板１５の反力によりピン５１、５２に対して上方に位置するとともに、スクライブ方向後方に位置することとなる。そのため、非スクライブ動作時に比べて、貫通孔４１の内周面４１ａにおけるピン５１、５２と接触する位置が、全体的に下に位置する。
【００５４】
スクライブ動作時においても、荷重により、ピン５１、５２がともに貫通孔４１の内周面４１ａに接触する。よって、図３（ａ）を参照して説明したとおり、スクライブ動作時においても、スクライビングホイール４０は、スクライブ方向に平行な安定した姿勢を維持できる。
【００５５】
さらに、Ｘ軸正側に配置されているピン５２の方が、Ｘ軸負側に配置されているピン５１よりも、基板１５に垂直な方向の高さ位置が高く配置されているため、スクライブ動作時、点Ｐと点Ｑとを結ぶ線分Ｌ２と、スクライブ時にスクライビングホイールが受ける力の方向がより垂直に近くなる。このため、スクライブ中にスクライビングホイール４０の移動を抑制する効果が高くなる。
【００５６】
図４（ｂ）は、Ｘ軸正側に配置されているピン５２の方が、Ｘ軸負側に配置されているピン５１よりも、基板１５に垂直な方向の高さ位置が低い場合を示している。
【００５７】
図４（ｂ）の上段に示すように、非スクライブ動作時において、ピン５１、５２は、スクライビングホイール４０の自重により、ともに貫通孔４１の内周面４１ａに接触する。よって、図３（ａ）を参照して説明したとおり、非スクライブ動作時において、スクライビングホイール４０は、安定した姿勢を維持している。
【００５８】
図４（ｂ）の下段に示すように、スクライブ動作時、図４（ａ）の下段と同様の理由により、スクライビングホイール４０は、ピン５１、５２に対して上方に位置するとともに、スクライブ方向後方に位置することとなる。
【００５９】
スクライブ動作時においても、荷重により、ピン５１、５２がともに貫通孔４１の内周面４１ａに接触する。よって、図３（ａ）を参照して説明したとおり、スクライブ動作時においても、スクライビングホイール４０は、スクライブ方向に平行な安定した姿勢を維持できる。
【００６０】
しかし、スクライブ動作時、線分Ｌ２と、スクライブ動作時にスクライビングホイールが受ける力の方向との角度が図４（ａ）の場合より小さくなる。このため、図４（ａ）と比較するとスクライブ中にスクライビングホイール４０の移動を抑制する効果が小さくなる。
【００６１】
このため、スクライビングホイール４０をより安定的に支持するためには、図４（ａ）のピン５１、５２の配置がより好ましいと言える。
【００６２】
図５（ａ）は、図４（ａ）に比べて、点Ｐと点Ｑとの間の距離であるＤ１を縮めてピン５１、５２を配置した場合を示している。
【００６３】
図５（ａ）の上段に示すように、非スクライブ動作時において、ピン５１、５２は、スクライビングホイール４０の自重により、ともに貫通孔４１の内周面４１ａに接触する。よって、図３（ａ）を参照して説明したとおり、非スクライブ動作時において、スクライビングホイール４０は、安定した姿勢を維持している。
【００６４】
図５（ａ）の下段に示すように、スクライブ動作時、図４（ａ）と同様の理由により、スクライビングホイール４０は上方かつスクライブ方向後方に位置する。
【００６５】
図５（ａ）の場合も、スクライブ動作時、ピン５１、５２がともに貫通孔４１の内周面４１ａに接触する。このため、スクライビングホイール４０は、安定した姿勢に維持される。
【００６６】
なお、図５（ｂ）の場合、貫通孔４１においてピン５１、５２が接触している箇所は、点Ｏに対して基板１５側に位置するとともに、Ｄ１の距離が図５（ａ）より小さくなる。このため、スクライブ中にスクライビングホイール４０の移動を抑制する効果が小さく、スクライビングホイール４０の支持状態がやや不安定になりやすい。このため、スクライビングホイール４０をより安定的に支持するためには、図４（ａ）のように、点Ｐと点Ｑとの距離Ｄ１、すなわち、ピン５１、５２と貫通孔４１とがそれぞれ接触する部分の間の距離が大きくなるように配置することがより好ましいと言える。
【００６７】
図５（ｂ）は、ピン５１、５２が貫通孔４１において、基板１５に垂直な方向の高さ位置が同じ場合を示している。
【００６８】
図５（ｂ）の上段に示すように、非スクライブ動作時において、ピン５１、５２は、スクライビングホイール４０の自重により、ともに貫通孔４１の内周面４１ａに接触する。よって、図３（ａ）を参照して説明したとおり、非スクライブ動作時において、スクライビングホイール４０は、安定した姿勢を維持している。
【００６９】
図５（ｂ）の下段に示すように、スクライブ動作時、図４（ａ）の下段と同様の理由により、スクライビングホイール４０は上方に移動する。
【００７０】
図５（ｂ）の場合も、スクライブ動作時、ピン５１、５２がともに貫通孔４１の内周面４１ａに接触するため、スクライビングホイール４０は、安定した姿勢に維持される。また、図５（ｂ）の場合、スクライブ方向を逆向きにしても、線分Ｌ２と、スクライブ時にスクライビングホイールが受ける力の方向との角度が変化しない。このため、図５（b）の場合はスクライブ方向が変化する場合であっても、スクライビングホイール４０の移動を抑制する効果が変化せず、スクライビングホイール４０を安定した姿勢に維持することができる。
【００７１】
上記の図４（ａ）〜図５（ｂ）より、スクライビングホイール４０を安定に支持するための貫通孔４１におけるピン５１、５２の配置は、基板１５に垂直な方向の高さ位置が互いに異なり、且つ、高さ位置の高い方のピンがスクライブ方向の前方に位置している場合であると考えられる。
【００７２】
この場合、基板１５に平行な線分Ｌ１と、線分Ｌ２とのなす角α１が、５〜３０度に設定されることが好ましい。これにより、線分Ｌ２と、スクライブ動作時にスクライビングホイール４０が受ける力の方向との角度が垂直に近くなり、スクライビングホイール４０をより安定的に支持することができる。
【００７３】
＜実施形態１の効果＞
図３（ａ）に示すように、ピン５１、５２が貫通孔４１の内周面４１ａに２箇所で線接触すると、スクライブ動作時において、スクライビングホイール４０を安定に維持することができる。
【００７４】
図４（ａ）〜図５（ｂ）に示すように、基板Ｈの平行な線分Ｌ１と、ピン５１と貫通孔４１との接点である点Ｐ、およびピン５２と貫通孔４１と接点である点Ｑとを結ぶ線分Ｌ２とのなす角α１が、５〜３０度であり、また、点Ｐと点Ｑとの距離Ｄ１ができるだけ離れて位置付けられていることが好ましい。
【００７５】
図６は、実施形態１に係るピン５１、５２の保持に関して説明するための図であり、Ｚ軸負側から見た図である。また、図６では、説明を分かり易くするため、上記にて説明した図５（ｂ）のピン５１、５２の配置に対応させている。
【００７６】
図６に示すように、スクライビングホイール４０が保持溝６３に挿入された状態で、スクライビングホイール４０の貫通孔４１とピン孔６４ａ、６４ｂにピン５１が挿入され、貫通孔４１とピン孔６４ｃ、６４ｄにピン５２が挿入される。
【００７７】
ピン５１、５２をピン孔６４ａ、６４ｂに挿入した後、ピン孔６４、６４ｂをそれぞれ、蓋７０ａ、７０ｂで閉塞する。ピン孔６４ｃ、６４ｄも同様に、蓋７０ｃ、７０ｄで閉塞する。これにより、ピン５１、５２がピン孔６４、６４ｂおよびピン孔６４ｃ、６４ｄ、また、貫通孔４１から抜け落ちることを防ぐ。
【００７８】
＜実施形態２＞
上記実施形態１では、スクライビングホイール４０を支持する支持部材５０は、ピン５１、５２であった。これに対し、実施形態２に係るホルダユニット３０では、長手方向に直交する断面の形状に特徴を有する１つのピン５３によって支持部材５０が構成されている。
【００７９】
図７（ａ）〜図７（ｄ）は、スクライブ動作時における貫通孔４１に設置されたピン５３をＹ軸正側から見た図である。図７（ａ）〜図７（ｄ）では、スクライブ方向は、Ｘ軸負側から正側に向かう方向である。
【００８０】
図７（ａ）に示すように、ピン５３の長手方向に直交する断面の形状（これ以降、単に、「断面の形状」と表記する。）は、同一の径を有する２つの円５３ａ、５３ｂが互いの中心位置をずらすよう重なった形状であり、いわゆる、だるま状である。このような形状であるため、支持部材５０は１つのピンのみであるが、実施形態１で図３（ａ）、（ｂ）を用いて説明したように、ピン５３の２つの接線において貫通孔４１の内周面４１ａに接触する。よって、ピン５３はスクライビングホイール４０をスクライブ方向に平行な安定した姿勢に維持できる。
【００８１】
したがって、実施形態２では、貫通孔４１におけるピン５３の配置は、貫通孔４１における円５３ａ、５３ｂの配置として決定することができる。また、図７（ａ）〜（ｄ）において、円５３ａにおける点Ｍは、ピン５３が貫通孔４１に接触することを示しており、ピン５３の点Ｍは、図３（ａ）の接線５１ａに相当する。同様に、円５３ｂにおける点Ｎは、ピン５３が貫通孔４１に接触することを示しており、ピン５３の点Ｎは、図３（ａ）の接線５２ａに相当する。また、図７（ａ）〜（ｄ）において、線分Ｌ１は、基板１５に平行な線分である。線分Ｌ３は、上記した点Ｍと点Ｎとを結ぶ線分である。さらに、Ｄ２は、点Ｍと点Ｎとの距離である。
【００８２】
図７（ａ）は、スクライブ動作時、ピン５３のうちＸ軸正側に位置する円５３ｂの方が、Ｘ軸負側に位置する円５３ａよりも、基板１５に垂直な方向の高さ位置が高い場合を示している。
【００８３】
図７（ａ）は、実施形態１の図４（ａ）に対応する。図７（ａ）では、図４（ａ）の非スクライブ動作時の状態と同様に、ピン５３は、スクライビングホイール４０の自重により、貫通孔４１の内周面４１ａに２箇所（点Ｍと点Ｎ）で接触する。よって、図３（ａ）を参照して説明したとおり、非スクライブ動作時において、スクライビングホイール４０は、スクライブ方向に平行な安定した姿勢を維持できる。
【００８４】
図７（ａ）に示すように、スクライブ動作時、スクライビングホイール４０は、基板１５に押しつけられて、基板１５の反力により上方に移動する。さらに、スクライビングホイール４０には、スクライブ方向と反対方向に力が掛かり、スクライブ方向後方へも移動する。そのため、非スクライブ動作時に比べて、貫通孔４１の内周面４１ａにおけるピン５３と接触する位置が、全体的に下に移動する。
【００８５】
スクライブ動作時においても、荷重により、ピン５３がともに貫通孔４１の内周面４１ａに接触する。よって、図３（ａ）を参照して説明したとおり、スクライブ動作時においても、スクライビングホイール４０は、スクライブ方向に平行な安定した姿勢を維持できる。
【００８６】
スクライブ動作時、スクライビングホイール４０の貫通孔４１にはピン５３から下向きの力とスクライブ方向のへ力が掛かり、スクライブ方向の後方斜め上に押しつけられる。このとき、線分Ｌ３と、スクライブ動作時にスクライビングホイールが受ける力の方向がより垂直に近くなる。このため、スクライブ動作中にスクライビングホイール４０の移動を抑制する効果が高まる。
【００８７】
図７（ｂ）は、スクライブ動作時、ピン５３のうち、Ｘ軸正側に位置する円５３ｂの方が、Ｘ軸負側に配置されている円５３ａよりも、基板１５に垂直な方向の高さ位置が低い場合を示している。
【００８８】
図７（ｂ）は、実施形態１の図４（ｂ）に対応する。図７（ｂ）では、図４（ｂ）の非スクライブ動作時の状態と同様に、ピン５３は、スクライビングホイール４０の自重により、貫通孔４１の内周面４１ａに２箇所（点Ｍと点Ｎ）接触する。よって、図３（ａ）を参照して説明したとおり、非スクライブ動作時において、スクライビングホイール４０は、スクライブ方向に平行な安定した姿勢を維持できる。
【００８９】
図７（ｂ）に示すように、スクライブ動作時、スクライビングホイール４０は、基板１５に押しつけられて、基板１５の反力により上方に移動する。そのため、非スクライブ動作時に比べて、貫通孔４１の内周面４１ａにおけるピン５３と接触する位置が、全体的に下に移動する。
【００９０】
スクライブ動作時においても、荷重により、ピン５３がともに貫通孔４１の内周面４１ａに接触する。よって、図３（ａ）を参照して説明したとおり、スクライブ動作時においても、スクライビングホイール４０は、スクライブ方向に平行な安定した姿勢を維持できる。
【００９１】
しかし、スクライブ動作時、線分Ｌ３と、スクライブ時にスクライビングホイールが受ける力の方向との角度がより小さくなる。このため、図７（ａ）と比較するとスクライブ中にスクライビングホイール４０の移動を抑制する効果が小さくなる。
【００９２】
このため、スクライビングホイール４０をより安定的に支持するためには、図７（ａ）のピン５３の配置がより好ましいと言える。
【００９３】
図７（ｃ）は、図７（ａ）に比べて、距離Ｄ２を縮めるように、ピン５３を貫通孔４１に配置した場合である。なお、図７（ｃ）は、実施形態１の図５（ａ）に対応する。図７（ｃ）では、図５（ａ）の非スクライブ動作時の状態と同様に、ピン５３は、スクライビングホイール４０の自重により、貫通孔４１の内周面４１ａに２箇所接触する。よって、図３（ａ）を参照して説明したとおり、非スクライブ動作時において、スクライビングホイール４０は、スクライブ方向に平行な安定した姿勢を維持できる。
【００９４】
図７（ｃ）に示すように、スクライブ動作時、スクライビングホイール４０は、基板１５に押しつけられて、基板１５の反力により上方に移動する。そのため、非スクライブ動作時に比べて、貫通孔４１の内周面４１ａにおけるピン５３と接触する位置が、全体的に下に移動する。
【００９５】
スクライブ動作時においても、荷重により、ピン５３の２つの接線５３ｃ、５３ｄがともに貫通孔４１の内周面４１ａに接触する。よって、図３（ａ）を参照して説明したとおり、スクライブ動作時においても、スクライビングホイール４０は、スクライブ方向に平行な安定した姿勢を維持できる。
【００９６】
なお、図７（ｃ）の場合、貫通孔４１においてピン５３が接触している箇所である点Ｍ、点Ｎは、点Ｏに対して基板１５側に位置するとともに、距離Ｄ２が図７（ａ）よりも小さい。このため、スクライブ動作中にスクライビングホイール４０の移動を抑制する効果が小さく、スクライビングホイール４０の支持状態がやや不安定になりやすい。このため、スクライビングホイール４０をより安定的に支持するためには、図７（ａ）のように、ピン５３と貫通孔４１との接線の距離が大きくなるように配置することがより好ましいと言える。
【００９７】
図７（ｄ）は、貫通孔４１において、円５３ａ、５３ｂが、基板１５に垂直な方向の高さ位置が同じになるように、ピン５３を貫通孔４１に配置した場合を示している。なお、図７（ｄ）は、実施形態１の図５（ｂ）に対応する。
【００９８】
図７（ｄ）では、図５（ｂ）の非スクライブ動作時の状態と同様に、ピン５３は、スクライビングホイール４０の自重により、貫通孔４１の内周面４１ａに２箇所（点Ｍと点Ｎ）で接触する。よって、図３（ａ）を参照して説明したとおり、非スクライブ動作時において、スクライビングホイール４０は、スクライブ方向に平行な安定した姿勢を維持できる。
【００９９】
図７（ｄ）に示すように、スクライブ動作時、スクライビングホイール４０は、基板１５に押しつけられて、基板１５の反力により上方に移動する。そのため、非スクライブ動作時に比べて、貫通孔４１の内周面４１ａにおけるピン５３と接触する位置が、全体的に下に移動する。
【０１００】
スクライブ動作時においても、荷重により、ピン５３がともに貫通孔４１の内周面４１ａに接触する。よって、図３（ａ）を参照して説明したとおり、スクライブ動作時においても、スクライビングホイール４０は、スクライブ方向に平行な安定した姿勢を維持できる。
【０１０１】
図７（ｄ）の場合、スクライビングホイール４０のスクライブ方向に関わらず、ピン５３によってスクライビングホイール４０が支持される。また、スクライブ動作時、ピン５３の２箇所が貫通孔４１の内周面４１ａに接触するため、スクライビングホイール４０は、安定した姿勢に維持される。
【０１０２】
また、図７（ｄ）の場合、スクライブ方向を逆向きにしても、線分Ｌ２と、スクライブ動作時にスクライビングホイール４０が受ける力の方向との角度が変化しない。このため、図７（ｄ）のようにピン５３を配置すれば、スクライブ方向が変化する場合であっても、スクライビングホイール４０の移動を抑制する効果が変化せず、スクライビングホイール４０を安定した姿勢に維持することができる。
【０１０３】
この場合、基板１５に平行な線分Ｌ１と、ピン５３の接線を結ぶ線分Ｌ３とのなす角α２が、５〜３０度に設定されることが好ましい。これにより、線分Ｌ３と、スクライブ動作時にスクライビングホイール４０が受ける力の向きとの角度が垂直に近くなり、スクライビングホイール４０をより安定的に支持することができる。
【０１０４】
実施形態２に係るピン５３も、実施形態１と同様に、ピン孔で保持される。ここで、ピン５３は１つの支持部材であるため、ピン孔は１つ形成されていればよい。
【０１０５】
また、側面視におけるピン孔の形状は、ピン５３を挿入し、かつピン５３が回転しないように保持することができれば、どのような形状であってもよい。たとえば、ピン５３の断面の形状に合わせて、だるま状に形成してもよい。また、ピン５４の断面の形状が収まるように、貫通孔４１とほぼ同じ長さで、円５３の直径よりわずかに幅が広く、Ｚ軸方向に５〜３０度傾いた矩形状の孔としてもよい。
【０１０６】
このように、ピン孔にピン５３を挿入することにより、ピン５３を貫通孔４１の所定の位置及び角度に保持することができる。また、実施形態１と同様に、ピン孔を閉塞するための蓋を保持部６２ａ、６２ｂに設けることにより、ピンが貫通孔４１およびピン孔から脱落することを確実に防ぐことができる。
【０１０７】
＜実施形態２の効果＞
図７（ａ）〜（ｄ）に示すように、ピン５３が貫通孔４１の内周面４１ａに接触すると、スクライブ動作時において、スクライビングホイール４０を安定に維持することができる。
【０１０８】
また、スクライブ動作時、ピン５３は貫通孔４１の内周面４１ａに２箇所（点Ｍと点Ｎ）接触する。これにより、スクライビングホイール４０は、スクライブ方向に平行な安定した姿勢を維持できる。このとき、線分Ｌ１と線分Ｌ３とのなす角α２が、５〜３０度であり、また、スクライビングホイール４０と距離Ｄ２ができるだけ離れて位置付けられている場合、スクライビングホイール４０をより安定に維持できる。
【０１０９】
また、支持部材５０は、１つのピン５３で構成されるため、貫通孔４１における位置決めを行いやすい。
【０１１０】
＜変形例＞
［変形例１］
次に、ピン５１、５２を貫通孔４１の所定の位置に位置決めする構成に関する変形例である、ピン保持部８０ａ、８０ｂについて説明する。
【０１１１】
図８（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、ピン保持部８０ａ、８０ｂを説明するための図であり、Ｚ軸負側から見た図である。説明の便宜上、スクライビングホイール４０、保持部６２ａ、６２ｂ、ピン５１、５２、およびピン保持部８０ａ、８０ｂのみを図示している。また、図８（ａ）、（ｂ）では、図６と同様に、説明を分かり易くするため、上記にて説明した図５（ｂ）のピン５１、５２の配置に対応させている。
【０１１２】
図８（ａ）に示すように、実施形態と異なり、ホルダ６０の保持部６２ａ、６２ｂには、スクライビングホイールの貫通孔とほぼ同じ径のピン孔６４ａ、６４ｂのみが設けられている。ピン保持部８０ａは、Ｙ軸正側の保持部６２ａに設けられ、保持部６２ａにおけるピン孔６４ａを閉塞するとともに、ピン５１の端部５１ｂおよびピン５１の端部５１ｃを覆う。
【０１１３】
ピン保持部８０ａには、ピン５１の端部５１ｂおよびピン５２の端部５２ｂを嵌めるため、段付き孔８１ａ、８１ｂが設けられている。段付き孔８１ａには、孔８２ａと孔８３ａとが含まれており、段付き孔８１ｂには、孔８２ｂと孔８３ｂとが含まれている。孔８３ａ、８３ｂは、孔８２ａ、８２ｂにそれぞれ連通しており、孔８２ａ、８２ｂの径よりも小さく且つピン５１、５２の径よりも小さい径の孔である。ピン５１の端部５１ｂは、段付き孔８１ａの孔８２ａに嵌められる。ピン５２の端部５２ｂは、段付き孔８１ｂの孔８２ｂに嵌められる。
【０１１４】
ピン保持部８０ｂは、Ｙ軸負側の保持部６２ｂに設けられ、保持部６２ｂにおけるピン孔６４ｂを閉塞するとともに、ピン５１の端部５１ｃおよびピン５１の端部５２ｃを覆う。
【０１１５】
ピン保持部８０ｂには、ピン５０の端部５１ｃおよびピン５２の端部５２ｃを嵌めるために、凹部８４ａ、７８ｂが設けられている。
【０１１６】
ピン保持部８０ａと保持部６２ａ、およびピン保持部８０ｂと保持部６２ｂとは、ネジ止めなどにより開閉可能に接続することができる。
【０１１７】
このように、ピン保持部８０ａ、８０ｂを設けることにより、貫通孔４１において、たとえば、図４（ａ）〜図５（ｂ）に示すような位置にピン５１、５２を設置することができる。また、ピン５１、５２が貫通孔４１から脱落することを確実に防止できる。
【０１１８】
さらに、ピン保持部８０ａに段付き孔８１ａ、８１ｂを設けることにより、たとえば、スクライビングホイール４０やピン５１、５２を交換したい場合、まず、ピン保持部８０ｂを保持部６２ｂから取り外す。そして、図８（ｂ）に示すように、ピン保持部８０ａの孔８３ａ、８３ｂのそれぞれに細い軸状の部材８５ａ、８５ｂを挿入してピン５１、５２をＹ軸負側へ押すと、ピン５１、５２を簡単に保持部６２ａ、６２ｂから取り出すことができる。
【０１１９】
［変形例１の効果］
図８（ａ）、（ｂ）に示すように、ピン保持部８０ａ、８０ｂを保持部６２ａ、６２ｂに取り付けることにより、ピン５１、５２は貫通孔４１の所定の位置に位置付けられ、貫通孔４１内での移動が規制される。これにより、ピン５１、５２により、スクライビングホイール４０を確実に支持できる。よって、スクライビングホイール４０は、安定した姿勢を維持しながらスクライブ動作を行うことができる。
【０１２０】
また、ピン保持部８０ａ、８０ｂがピン５１、５２の両端部を覆うため、ピン５１、５２が貫通孔４１およびピン孔６４ａ、６４ｂから脱落することを確実に防ぐ。
【０１２１】
さらに、図８（ａ）、（ｂ）に示すように、ピン保持部８０ａに段付き孔８１ａ、８１ｂが形成されているため、孔８３ａ、８３ｂに部材８５ａ、８５ｂを挿入し、ピン５１、５２を押し出せば、ピン５１、５２を簡単に貫通孔４１およびピン孔６４ａ、６４ｂから取り出すことができる。
【０１２２】
［変形例２］
実施形態２に係るピン５３も、実施形態１と同様に、変形例として段付き孔を有するピン保持部８０ａ、および凹部を有するピン保持部８０ｂで保持されてもよい。ここで、ピン５３は１つの支持部材であるため、ピン保持部８０ａの段付き孔、およびピン保持部８０ｂの凹部は、１つ形成されていればよい。
【０１２３】
また、側面視におけるピン保持部８０ａの段付き孔、およびピン保持部８０ｂの凹部の形状は、ピン５３を嵌めることができれば、どのような形状であってもよい。たとえば、ピン５３の断面の形状に合わせて、だるま状に形成してもよい。
【０１２４】
このように、ピン保持部８０ａ、８０ｂにピン５３の両端部をそれぞれ嵌めることにより、ピン５３を貫通孔４１の所定の位置に設置し、また、貫通孔４１およびピン孔６４ａ、６４ｂからの脱落を確実に防ぐ。
【０１２５】
また、変形例１と同様に、段付き孔のうち径の小さい孔を利用して、ピン５３を貫通孔４１およびピン孔６４ａ、６４ｂから簡単に取り出すことができる。
【０１２６】
［変形例３］
上記実施形態２では、支持部材５０は１つのピン５３で構成していた。このピン５３の断面の形状は、互いに同じ径を有する２つの円５３ａ、５３ｂが、互いの中心位置をずらして重なるような形状であった。この変形例として、ピン５４の断面の形状が、互いに異なる径を有する２つの円５４ａ、５４ｂが互いの中心をずらして重なるような形状であってもよい。
【０１２７】
図９（ａ）〜（ｃ）は、変形例３に係るピン５４の断面形状を説明するための図である。図９（ａ）に示すように、ピン５４の断面の形状は、互いに異なる径を有する２つの円５４ａ、５４ｂが互いの中心位置をずらすよう重なった形状である。このような形状であるため、支持部材５０の数は１つのみであるが、実施形態２と同様に、貫通孔４１の内周面４１ａに２箇所で接触する。よって、スクライビングホイール４０を安定に支持できる。
【０１２８】
変形例３のピン５４も、実施形態２と同様に、図９（ａ）において、円５４ａにおける点Ｓは、ピン５４が貫通孔４１に接触することを示しており、ピン５４の点Ｓは、図３（ａ）の接線５１ａに相当する。同様に、円５４ｂにおける点Ｔは、ピン５４が貫通孔４１に接触することを示しており、ピン５４の点Ｔは、図３（ａ）の接線５２ａに相当する。また、図９（ａ）おいて、線分Ｌ１は、基板１５に平行な線分である。線分Ｌ４は、上記した点Ｓと点Ｔとを結ぶ線分である。さらに、Ｄ３は、点Ｓと点Ｔとの距離である。
【０１２９】
変形例３においても、線分Ｌ１と線分Ｌ４とのなす角α３が、５〜３０度であるように、貫通孔４１に位置付けられることが好ましい。また、距離Ｄ３は、できるだけ離れていることが好ましい。これらを考慮してピン５４を貫通孔４１の内周面４１ａに位置付ければ、スクライビングホイール４０を適切に支持できる。
【０１３０】
変形例３においても、実施形態２の図７（ａ）〜（ｄ）と同様に、ピン５４を貫通孔４１に挿入して、スクライビングホイール４０を支持することができる。なお、図９（ａ）は、実施形態２の図７（ａ）に対応する。
【０１３１】
また、ピン孔の側面視における形状は、実施形態２と同様に、ピン５４を挿入し、かつピン５４が回転しないように保持することができれば、どのような形状であってもよい。たとえば、ピン５４の断面の形状に合わせて、だるま状に形成してもよい。また、ピン５４の断面の形状が収まるように、図９（ｂ）の破線で示すような矩形状にしてもよい。また、図９（ｃ）の破線で示すように、大きい方の円５４ａを覆うような矩形状の孔と、小さい方の円５４ｂを覆うような矩形状の孔とを組み合わせた形状の孔に形成してもよい。
【０１３２】
［変形例４］
図１０は、変形例４に係るピン保持部８０ａ、８０ｂを説明するための図である。
【０１３３】
上記変形例１および２に係るピン保持部８０ｂは、ピンのＹ軸負側の端部を嵌め込むための凹部８４ａ、８４ｂが設けられていた。変形例４では、図１０に示すように、ピン保持部８０ｂを、ピン５１、５２のＹ軸負側の端部５１ｃ、５２ｃを保持するための孔８６ａ、８６ｂを有し、この孔８６ａ、８６ｂを覆い、ピン５１、５２のＹ軸負側の端部の移動を規制する蓋８７設けてもよい。
【０１３４】
この場合、貫通孔４１、およびピン孔６４ａ、６４ｂにピン５１、５２に挿入され、孔８６ａ、８６ｂにピン５１、５２の端部５１ｃ、５２ｃのそれぞれが嵌め込まれる。そして、孔８６ａ、８６ｂは、蓋８７で覆われる。これにより、ピン５１、５２の貫通孔４１内での移動が規制される。また、ピン５１、５２が貫通孔４１およびピン孔６４ａ、６４ｂから脱落することを防ぐ。
【０１３５】
また、ピン５１、５２を交換等のために貫通孔４１、およびピン孔６４ａ、６４ｂから取り出す場合、蓋８７を取り外せば、実施形態１と同様にしてピン５１、５２を取り出すことができる。よって、ピン保持部８０ｂ自体を保持部６２ｂから取り外す必要がないため、利便性が向上する。
【０１３６】
なお、変形例４においても、変形例３のように、側面視における孔８６ａ、８６ｂの形状を、ピンの断面の形状に合わせて形成してもよい。
【０１３７】
［変形例５］
上記実施形態２において、ピン孔６４ａ、６４ｂにピン５３を圧入等により嵌め込むような構成としてもよい。この場合においても、ピン孔６４ａ、６４ｂからピン５３が脱落しないように、ピン保持部８０ａ、８０ｂを設けることが好ましい。
【０１３８】
［その他の変形例］
上記の実施形態および変形例では、支持部材のピンは、円形または、２つの円を互いの中心をずらすように重ねた形状であったが、貫通孔４１の内周面４１ａに、少なくとも２箇所接触するように設置されるのであれば、ピンの断面の形状はこれらに限られない。多角形状であってもよく、楕円状であってもよい。
【０１３９】
また、実施形態１および変形例１のように、支持部材が複数のピンである場合、ピンの長手方向に直交する断面の面積は、互いに異なるように形成してもよい。
【０１４０】
また、実施形態１では、ピン保持部８０ａの段付き孔８１ａ、８１ｂにおいて、径の小さい方の孔８３ａ、８３ｂは、Ｙ軸負側の開口部が閉じられていなかったが、径の小さい方の孔８３ａ、８３ｂを設けず、孔８２ａ、８２ｂの開口部にさらに開閉可能な蓋を設けてもよい。
【０１４１】
本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【０１４２】
１  …スクライブ装置
１５  …基板
３０  …  ホルダユニット
４０  …  スクライビングホイール
４１  …  貫通孔
４１ａ  …  貫通孔の内周面
５０  …  支持部材
５１、５２、５３、５４  …  ピン
５１ｂ、５１ｃ  …  端部
５２ｂ、５２ｃ  …  端部
５２ａ、５２ｂ、５３ａ、５３ｂ  …  円
６２ａ、６２ｂ  …  保持部
６３  …  保持溝
６４ａ、６４ｂ  …  ピン孔
６４ｃ、６４ｄ  …  ピン孔
７０ａ、７０ｂ  …蓋
８０ａ、８０ｂ  …  ピン保持部
８１ａ、８１ｂ  …段付き孔
Ｍ、Ｎ  …  ピンと貫通孔との接触点
Ｐ、Ｑ  …  ピンと貫通孔との接触点
Ｓ、Ｔ  …  ピンと貫通孔との接触点
Ｈ  …  基板の表面
【図１】
2020037196.tif 000003
【図２】
2020037196.tif 000004
【図３】
2020037196.tif 000005
【図４】
2020037196.tif 000006
【図５】
2020037196.tif 000007
【図６】
2020037196.tif 000008
【図７】
2020037196.tif 000009
【図８】
2020037196.tif 000010
【図９】
2020037196.tif 000011
【図１０】
2020037196.tif 000012