(57)【要約】【課題】拡散反射率を低くすることによって、被吸着体の輪郭の誤認識を防止することができる載置用部材と、この載置用部材を備えた検査装置および加工装置を提供する。【解決手段】本開示の載置用部材は、被吸着体を吸着、保持するための吸着面を有する吸着部と、前記吸着面を囲繞する環状面を有する支持部とを備えてなる載置用部材であって、前記支持部は、マンガンの酸化物、コバルトの酸化物および珪素の酸化物を含み、前記マンガンの酸化物の含有量が２質量％以上６質量％以下であり、前記コバルトの酸化物の含有量が０．６質量％以上２質量％以下であり、前記珪素の酸化物の含有量が０．０２質量％以上３質量％以下である酸化アルミニウム質セラミックスからなる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被吸着体を吸着、保持するための吸着面を有する吸着部と、前記吸着面を囲繞する環状面を有する支持部とを備えてなる載置用部材であって、前記支持部は、マンガンの酸化物、コバルトの酸化物および珪素の酸化物を含み、前記マンガンの酸化物の含有量が２質量％以上６質量％以下であり、前記コバルトの酸化物の含有量が０．６質量％以上２質量％以下であり、前記珪素の酸化物の含有量が０．０２質量％以上３質量％以下である酸化アルミニウム質セラミックスからなる、載置用部材。
【請求項２】
前記吸着面を径方向に分割する分割面を有する環状隔壁部が備えられ、該環状隔壁部は前記酸化アルミニウム質セラミックスからなる、請求項１に記載の載置用部材。
【請求項３】
前記環状面および前記分割面の少なくともいずれかは、算術平均粗さＲａが０．４μｍ以下である、請求項１または請求項２に記載の載置用部材。
【請求項４】
前記環状面および前記分割面の少なくともいずれかは、外周側の算術平均粗さＲａが内周側の算術平均粗さＲａよりも小さい、請求項３に記載の載置用部材。
【請求項５】
前記環状面および前記分割面の少なくともいずれかの粗さ曲線における２５％の負荷長さ率での切断レベルと、前記粗さ曲線における７５％の負荷長さ率での切断レベルとの差を表す、前記粗さ曲線における切断レベル差（Ｒδｃ）が０．７μｍ以下である、請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の載置用部材。
【請求項６】
前記環状面および前記分割面の少なくともいずれかは、外周側の前記切断レベル差（Ｒδｃ）が内周側の前記切断レベル差（Ｒδｃ）よりも小さい、請求項５に記載の載置用部材。
【請求項７】
前記環状面および前記分割面の少なくともいずれかを測定対象面とし、該測定対象面のＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間における明度指数Ｌ＊が４０以下であり、クロマティクネス指数ａ＊が−１以上１以下であり、クロマティクネス指数ｂ＊が−１以上１以下である、請求項１乃至請求項５に記載の載置用部材。
【請求項８】
前記測定対象面の色差ΔＥ＊ａｂは０．５以下（但し、０を除く）である、請求項７に記載の載置用部材。
【請求項９】
前記環状面および前記分割面の少なくともいずれかの反射率は、波長が７００ｎｍから４００ｎｍに向かって多項式近似曲線に従って減少する、請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の載置用部材。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれかに記載の載置用部材を備えてなる、検査装置。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項９のいずれかに記載の載置用部材を備えてなる、加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、載置用部材、検査装置および加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、シリコンウエハーを検査あるいは加工するために、真空チャック等の吸着用部材が用いられている。
【０００３】
このような吸着用部材として、本件出願人は、例えば、特許文献１で、多孔質材料をそれぞれ含んだ複数の吸着部と、複数の吸着部の間に設けられる隔離部とを備え、隔離部は、隔離部に含まれる粒子が前記複数の吸着部の孔部内に入り込むことにより前記複数の吸着部に接合されている真空吸着部材を提案している。
【０００４】
そして、真空吸着部材は、吸着部を支持する支持部を備え、この支持部は、アルミナを主成分とする緻密質セラミックスからなることが好適であることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２７４３７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載された吸着用部材の吸着部にシリコンウェハー等の被吸着体を吸着、保持させた状態で、被吸着体の表面に高い強度の白色光を照射して検査しようとすると、表面の外周側では、被吸着体、支持部ともに白く見えていた。このことが原因となって、被吸着体の輪郭がぼやけ、輪郭の誤認識を発生させてしまうという問題があった。
【０００７】
本発明は、拡散反射率を低くすることによって、被吸着体の輪郭の誤認識を防止することができる載置用部材と、この載置用部材を備えた検査装置および加工装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の載置用部材は、被吸着体を吸着、保持するための吸着面を有する吸着部と、前記吸着面を囲繞する環状面を有する支持部とを備えてなる載置用部材であって、前記支持部は、マンガンの酸化物、コバルトの酸化物および珪素の酸化物を含み、前記マンガンの酸化物の含有量が２質量％以上６質量％以下であり、前記コバルトの酸化物の含有量が０．６質量％以上２質量％以下であり、前記珪素の酸化物の含有量が０．０２質量％以上３質量％以下である酸化アルミニウム質セラミックスからなる。
【０００９】
本開示の検査装置は、上記載置用部材を備えてなる。
【００１０】
本開示の加工装置は、上記載置用部材を備えてなる。
【発明の効果】
【００１１】
本開示の載置部用部材は、被吸着体の輪郭の誤認識を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本開示の載置用部材の一例を示す斜視図である。
【図２】図１の載置用部材に被吸着体を載置した一例を示す、（ａ）は、平面図、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ’線における断面図である。
【図３】本開示の載置用部材の他の例を示す斜視図である。
【図４】図３の載置用部材に被吸着体を載置した一例を示す、（ａ）は、平面図、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ’線における断面図である。
【図５】図１に示す載置用部材の環状面の反射率を示すグラフである。
【図６】図１に示す載置用部材を備えた本開示の検査装置の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。
【００１４】
図１は、本開示の載置用部材の一例を示す斜視図である。図２は、図１の載置用部材に被吸着体を載置した一例を示す、（ａ）は、平面図、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ’線における断面図である。
【００１５】
図１および図２に示す載置用部材１は、半導体ウエハやガラス基板等の被吸着体Ｗを吸着して保持する部材であって、被吸着体Ｗを吸着、保持するための吸着面２ａを有する吸着部２と、吸着面２ａを囲繞する環状面３ａを有する支持部３とを備えてなる。
【００１６】
吸着部２は多孔質セラミックスからなり、支持部３は緻密質セラミックスからなる。
【００１７】
支持部３は、底面側に円周方向に帯状部３ｂを備え、帯状部３ｂには円周方向に沿って等間隔に取り付け穴３ｃが設置され、ボルト（不図示）等を介して、固定ベース（不図示）に連結、固定される。
【００１８】
支持部３は、厚み方向に位置する通気路３ｄと、通気路３ｄが吸着部２側に同心円状や格子状等に開口する吸引溝３ｅとを備えており、真空ポンプ等の吸引手段（図示しない）を通気路３ｄに接続、吸引することにより、吸着面２ａに載置した被吸着体を吸着して保持する。環状面３ａは、吸着面２ａと面一とされ、環状面３ａの内周側に、例えば、直径が３００ｍｍのシリコンウェハーＷの外周部が当接する。
【００１９】
多孔質セラミックスの気孔率は、例えば、２８体積％以上３８体積％以下である。多孔質セラミックスの気孔率が２８体積％以上であると、多孔質セラミックス全体における通気抵抗が低くなるので、吸着部２は低い吸引力で被吸着体Ｗを固定することができる。また、多孔質セラミックスの気孔率が３８体積％以下であると、多孔質セラミックス全体の放熱特性は高くなるので、速やかな放熱が求められる被吸着体Ｗにも適用させることができる。
【００２０】
ここで、吸着部２の気孔率は、ＪＩＳ  Ｒ  １６５５−２００３に準拠した水銀圧入法に準拠して求めることができる。
【００２１】
一方、緻密質セラミックスの相対密度は、９８％以上である。
【００２２】
この相対密度は、セラミックスの理論密度に対する支持部３の見掛密度の百分率である。なお、セラミックスの理論密度を求めるには、まず、支持部３の一部を粉砕し、得られた粉体を塩酸などの溶液に溶解した後、ＩＣＰ（Inductively Coupled Plasma）発光分光分析装置（例えば、(株)島津製作所製（ＩＣＰＳ−８１００））によって金属成分の含有量を求める。支持部３を構成する各成分はＣｕＫα線を用いたＸ線回折装置によって同定する。同定された成分が、Ａｌ２Ｏ３であれば、ＩＣＰ（Inductively Coupled Plasma）発光分光分析装置により求めたＡｌの含有量の値を用いてＡｌ２Ｏ３に換算する。同定さ
れた成分が、ＭｎＯおよびＣｏ３Ｏ４であれば、同じ方法で、それぞれＭｎＯ、Ｃｏ３Ｏ４に換算すればよい。支持部３の見掛密度は、ＪＩＳ  Ｒ  １６３４−１９９８に準拠して求めればよい。
【００２３】
そして、セラミックスを構成する主成分が酸化アルミニウムであり、主成分以外の成分が酸化マンガンおよび酸化コバルトである場合、含有量がそれぞれａ質量％，ｂ質量％、ｃ質量％であるとすると、各成分の理論密度の値（酸化アルミニウム＝３．９９ｇ／ｃｍ３、酸化マンガン＝５．０３ｇ／ｃｍ３および酸化コバルト＝６．１１ｇ／ｃｍ３）を用いて、以下の式（１）によりセラミックスの理論密度（Ｔ．Ｄ）を求めることができる。Ｔ．Ｄ＝１／（０．０１×（ａ／３．９９＋ｂ／５．０３＋ｃ／６．１１））・・・（１）
【００２４】
例えば、セラミックスを構成する成分の含有量が、酸化アルミニウムが９４．７質量％であり、酸化マンガンが４質量％、酸化コバルト１．３質量％であるときには、式（１）を用いて計算すると、セラミックスの理論密度（Ｔ．Ｄ）は、４．０４ｇ／ｃｍ３となり、ＪＩＳ  Ｒ  １６３４−１９９８に準拠して求めたセラミックスの見掛密度を、この理論密度（Ｔ．Ｄ）４．０４ｇ／ｃｍ３で除すことにより相対密度を求めることができる。
【００２５】
吸着部２は、ガラスによって支持部３に接合されており、ガラスの成分は、酸化珪素、酸化アルミニウムおよび酸化カルシウムを含み、例えば、酸化珪素が５０質量％以上６０質量％以下、酸化アルミニウムが１０質量％以上２０質量％以下、酸化カルシウムが１０質量％以上２０質量％以下である。
【００２６】
図３は、本開示の載置用部材の他の例を示す斜視図である。図４は、図３の載置用部材に被吸着体を載置した一例を示す、（ａ）は、平面図、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ’線における断面図である。
【００２７】
図３および図４に示す載置用部材１０は、吸着面２ａを径方向に分割する分割面４ａを有する環状隔壁部４が備えられ、環状隔壁部４と支持部３とは一体的に形成されてなる。環状隔壁部４は、その側面が上記ガラスによって吸着部２と接合されている。直径が小さいシリコンウェハーを吸着面２ａに載置する場合、分割面４ａの内周側に、例えば、直径が２００ｍｍのシリコンウェハーＷの外周部が当接する。この場合、環状隔壁部４の内周側に位置する通気路３ｄおよび吸引溝３ｅのみを介して吸着部２の内部の空気を吸引すればよい。
【００２８】
なお、図３および図４では、吸着部２は環状隔壁部４を単数備えた載置用部材１を示したが、環状隔壁部４を複数備えたものであってもよい。
【００２９】
本開示の載置用部材１，１０は、支持部３がマンガンの酸化物、コバルトの酸化物および珪素の酸化物を含み、マンガンの酸化物の含有量が２質量％以上６質量％以下であり、コバルトの酸化物の含有量が０．６質量％以上２質量％以下であり、珪素の酸化物の含有量が０．０２質量％以上３質量％以下である酸化アルミニウム質セラミックスからなる。
【００３０】
ここで、酸化アルミニウム質セラミックスとは、セラミックスを構成する全成分の合計１００質量％のうち、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）の含有量が８９質量％以上であるセラミックスのことを指す。
【００３１】
そして、載置用部材１，１０を構成する酸化アルミニウム質セラミックスに含まれるマンガンの酸化物およびコバルトの酸化物は、着色成分である。そして、マンガンの酸化物の含有量は２質量％以上６質量％以下であり、コバルトの酸化物の含有量は０．６質量％
以上２質量％以下である。本開示の載置用部材１０はこのような着色成分を含むことによって、色調を暗色（黒色）にすることができるため、波長域３６０ｎｍ〜６５０ｎｍにおける全反射率が１５％以下と低くなる。このように全反射率が低くなることによって、被吸着体Ｗの輪郭とのコントラストが明確になり、被吸着体Ｗの輪郭の誤認識を防止することができる。
【００３２】
ここで、マンガンの酸化物は、光を吸収し、着色成分がマンガンの酸化物のみである酸化アルミニウム質セラミックスの場合には、赤色を呈する。また、コバルトの酸化物は、光を吸収し、着色成分がコバルトの酸化物のみである酸化アルミニウム質セラミックスの場合には、酸化度によって青色や緑色を呈する。マンガンの酸化物およびコバルトの酸化物の含有量をそれぞれ上記範囲とすることで、環状面３ａや分割面４ａを反射率の低い黒色とすることができる。
【００３３】
また、珪素の酸化物は、結晶同士を結合する粒界相を形成して破壊靭性を向上させ、着色成分であるマンガンの酸化物やコバルトの酸化物と結合して、着色剤の脱色を抑制する成分である。珪素の酸化物の含有量は、０．０２質量％以上３質量％以下である。珪素の酸化物の含有量が、０．０２質量％以上とすることにより結晶同士を結合する粒界相を形成して破壊靭性を向上させ、着色成分であるマンガンの酸化物やコバルトの酸化物と結合して、着色剤の脱色を抑制するが、３質量％を超えると、アルミノケイ酸塩が生成される可能性が高くなり、このアルミノケイ酸塩が生成されると、環状面３ａや分割面４ａにしみが残るおそれが生じる。
【００３４】
また、酸化アルミニウム質セラミックスは、上記成分以外に、焼結助剤としての作用をなし、主に粒界相を構成する成分として、マグネシウムの酸化物およびカルシウムの酸化物を含んでいてもよい。マグネシウムの酸化物およびカルシウムの酸化物の含有量の合計は、酸化アルミニウム質セラミックスを構成する全成分の合計１００質量％のうち、例えば、０．１質量％以上０．２質量％以下である。
【００３５】
本開示の載置用部材１，１０の環状面３ａおよび分割面４ａの少なくともいずれかは、算術平均粗さＲａが０．４μｍ以下であるとよい。
【００３６】
算術平均粗さＲａが上記範囲であると、正反射率はわずかに増加するものの、拡散反射率は大幅に減少するため、被吸着体Ｗの輪郭の誤認識を防止することがより容易になる。
【００３７】
特に、載置用部材１，１０の環状面３ａおよび分割面４ａの少なくともいずれかは、算術平均粗さＲａが０．１１μｍ以上０．３５μｍ以下であるとよい。
【００３８】
算術平均粗さＲａが０．１１μｍ以上であると、被吸着体Ｗを吸着面に吸着、保持して研磨する場合、研磨用スラリーに含まれる、砥粒や研磨屑が吸着面上に固着しにくくなるので、研磨終了後、次の被吸着体Ｗの吸着、保持が容易となる。
【００３９】
算術平均粗さＲａが０．３５μｍ以下であると、その面の波長域３６０ｎｍ〜６５０ｎｍにおける拡散反射率はさらに低くなり、１１％以下となる。また、純水等で環状面３ａおよび分割面４ａを洗浄する場合、純水に対する接触角が小さくなるので、洗浄効率が向上する。
【００４０】
また、環状面３ａおよび分割面４ａの少なくともいずれかは、外周側の算術平均粗さＲａが内周側の算術平均粗さＲａよりも小さくてもよい。なお、環状面３ａの外周側とは、環状面３ａにおける、内周と外周との中央よりも外周側に位置する部位を言い、環状面３ａの内周側とは、環状面３ａにおける、内周と外周との中央よりも内周側の部位を言う。
【００４１】
同様に、分割面４ａの外周側とは、分割面４ａにおける、内周と外周との中央よりも外周側の部位を言い、分割面４ａの内周側とは、分割面４ａにおける、内周と外周との中央よりも内周側に位置する部位を言う。
【００４２】
環状面３ａの外周側の算術平均粗さＲａが内周側の算術平均粗さＲａよりも小さいと、環状面３ａの外周側の拡散反射率がさらに低下するので、外周部が環状面３ａの内周側に当接する、直径の大きな被吸着体Ｗの輪郭の誤認識を防止する効果がさらに高くなる。この場合、環状面３ａの内周側の算術平均粗さＲａが環状面３ａの外周側の算術平均粗さＲａよりも大きくなるので、被吸着体Ｗに対するアンカー効果が向上するため、被吸着体Ｗの保持力が高くなる。
【００４３】
環状面３ａの外周側の算術平均粗さＲａと内周側の算術平均粗さＲａとの差は、例えば、０．０１μｍ以上０．１３μｍ以下である。
【００４４】
同様に、分割面４ａの外周側の算術平均粗さＲａが内周側の算術平均粗さＲａよりも小さいと、分割面４ａの外周側の拡散反射率がさらに低下するので、外周部が分割面４ａの内周側に当接する、直径の小さな被吸着体Ｗの輪郭の誤認識を防止する効果がさらに高くなる。この場合、分割面４ａの内周側の算術平均粗さＲａが分割面４ａの外周側の算術平均粗さＲａよりも大きくなるので、被吸着体Ｗに対するアンカー効果が向上するため、被吸着体Ｗの保持力が高くなる。
【００４５】
分割面４ａの外周側の算術平均粗さＲａと内周側の算術平均粗さＲａとの差は、例えば、０．０１μｍ以上０．１３μｍ以下である。
【００４６】
環状面３ａおよび分割面４ａの少なくともいずれかの粗さ曲線における２５％の負荷長さ率での切断レベルと、粗さ曲線における７５％の負荷長さ率での切断レベルとの差を表す、粗さ曲線における切断レベル差（Ｒδｃ）が０．７μｍ以下であるとよい。
【００４７】
ここで、切断レベル差（Ｒδｃ）とは、ＪＩＳ  Ｂ０６０１：２００１で規定されている粗さ曲線における負荷長さ率Ｒｍｒ１、Ｒｍｒ２にそれぞれ一致する切断レベルＣ（Ｒｒｍ１）、Ｃ（Ｒｒｍ２）の高さ方向の差である。切断レベル差（Ｒδｃ）が大きい場合、測定の対象とする面の凹凸は大きくなり、小さい場合には、その面の凹凸は小さくなる。
【００４８】
切断レベル差（Ｒδｃ）が上記範囲であると、正反射率はわずかに増加するものの、拡散反射率は大幅に減少し、拡散反射率が低下するので、被吸着体Ｗの輪郭の誤認識を防止することがより容易になる。
【００４９】
環状面３ａの外周側の切断レベル差（Ｒδｃ）が内周側の切断レベル差（Ｒδｃ）よりも小さいと、環状面３ａの外周側の拡散反射率がさらに低下するので、外周部が環状面３ａの内周側に当接する、直径の大きな被吸着体Ｗの輪郭の誤認識を防止する効果がさらに高くなる。この場合、環状面３ａの内周側の切断レベル差（Ｒδｃ）が環状面３ａの外周側の切断レベル差（Ｒδｃ）よりも大きくなるので、被吸着体Ｗに対するアンカー効果が向上するため、被吸着体Ｗの保持力が高くなる。
【００５０】
環状面３ａの外周側の切断レベル差（Ｒδｃ）と内周側の切断レベル差（Ｒδｃ）との差は、例えば、０．０４μｍ以上０．２５μｍ以下である。
【００５１】
同様に、分割面４ａの外周側の切断レベル差（Ｒδｃ）が内周側の切断レベル差（Ｒδ
ｃ）よりも小さいと、分割面４ａの外周側の拡散反射率がさらに低下するので、外周部が分割面４ａの内周側に当接する、直径の小さな被吸着体Ｗの輪郭の誤認識を防止する効果がさらに高くなる。この場合、分割面４ａの内周側の切断レベル差（Ｒδｃ）が分割面４ａの外周側の切断レベル差（Ｒδｃ）よりも大きくなるので、被吸着体Ｗに対するアンカー効果が向上するため、被吸着体Ｗの保持力が高くなる。
【００５２】
分割面４ａの外周側の切断レベル差（Ｒδｃ）と内周側の切断レベル差（Ｒδｃ）との差は、例えば、０．０４μｍ以上０．２５μｍ以下である。
【００５３】
なお、算術平均粗さＲａおよび切断レベル差（Ｒδｃ）は、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−２００１に準拠し、レーザー顕微鏡（(株)キーエンス製、超深度カラー３Ｄ形状測定顕微鏡（ＶＫ−Ｘ１０００またはその後継機種））を用いて測定することができる。測定条件としては、カットオフ値λｓを無し、カットオフ値λｃを０．０８ｍｍ、測定対象とする環状面３ａあるいは分割面４ａから１か所当たりの測定範囲を１４０４μｍ×１０５３μｍを設定して、各測定範囲毎に長手方向に沿って、略等間隔となるように４本測定対象とする線を引けばよい。そして、環状面３ａあるいは分割面４ａの円周上に、略等間隔に８か所上記測定範囲を設定して、合計３２本の測定対象とする線に対して線粗さ計測を行えばよい。
【００５４】
環状面３ａおよび分割面４ａの少なくともいずれかを測定対象面とし、測定対象面のＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間における明度指数Ｌ＊が４０以下であって、クロマティクネス指数ａ＊，ｂ＊がいずれも−１以上１以下であってもよい。明度指数Ｌ＊およびクロマティクネス指数ａ＊，ｂ＊がこの範囲であると、可視光線領域全般に亘って黒色系の無彩色化の傾向が強くなるので、反射率を低減することができる。さらに、無彩色化の傾向が強くなるため、色むらが抑制される。
【００５５】
測定対象面の色差ΔＥ＊ａｂは０．５以下（但し、０を除く）であってもよい。色差ΔＥ＊ａｂが上記範囲であると、測定対象面の色調感のばらつきが低減して、そのばらつきを視認しにくくなるので、商品価値が向上する。
【００５６】
ここで、色差ΔＥ＊ａｂは、色調感のばらつきを示す指標であり、以下の式（２）で示される。
ΔＥ＊ａｂ＝〔（ΔＬ＊）２＋（Δａ＊）２＋（Δｂ＊）２〕１／２    （２）
（ΔＬ＊は、環状面３ａあるいは分割面４ａの外周側に位置する第１測定対象点の明度指数Ｌ１＊と第１測定対象点の径方向内周側に位置する第２測定対象点の明度指数Ｌ２＊との差、Δａ＊は上記第１測定対象点のクロマティクネス指数ａ１＊と上記第２測定対象点の明度指数ａ２＊との差、Δｂ＊は上記第１測定対象点のクロマティクネス指数ｂ１＊と上記第２測定対象点の明度指数ｂ２＊との差である。）
【００５７】
環状面３ａあるいは分割面４ａの円周上に、略等間隔に４か所それぞれについて、第１測定対象点および第２測定対象点を設定して明度指数Ｌ＊およびクロマティクネス指数ａ＊，ｂ＊を測定すればよい。
【００５８】
明度指数Ｌ＊およびクロマティクネス指数ａ＊，ｂ＊の値は、ＪＩＳ  Ｚ  ８７２２：２００９に準拠して求めることができる。例えば、分光色差計（日本電色工業(株)製ＮＦ７７７またはその後継機種）を用い、測定条件としては、光源をＣＩＥ標準光源Ｄ６５、視野角を２°に設定すればよい。
【００５９】
環状面３ａおよび分割面４ａの少なくともいずれかの反射率は、波長が７００ｎｍから４００ｎｍに向かって多項式近似曲線に従って減少していてもよい。
【００６０】
波長が７００ｎｍから４００ｎｍに向かって、反射率が多項式近似曲線に従って減少していると、例えば、波長域が４００ｎｍ〜６４０ｎｍに分光分布のピークを有する白色光（例えば、ＬＥＤ光源による白色光）を照射して被吸着体Ｗの検査する場合、被吸着体Ｗの輪郭をより鮮明にすることができる。
【００６１】
図５は、図１に示す載置用部材の環状面の反射率を示すグラフである。
【００６２】
具体的には、このグラフは、波長域が４００ｎｍ〜７００ｎｍの範囲で波長の間隔を２０ｎｍとして、上記第１測定対象点および第２測定対象点の反射率をそれぞれプロットし、各プロットを曲線で繋いだグラフである。
【００６３】
波長が７００ｎｍから４００ｎｍに向かって多項式近似曲線に従って減少している状態を判断するには、まず、Excel（登録商標、Microsoft Corporation）に備えられているグラフツールを用いてプロットを曲線で繋いだグラフに最も近い近似曲線を選択する。選択した近似曲線が多項式近似曲線であれば、多項式近似曲線がグラフに最も近くなるように多項式近似曲線の次数（図５に示すグラフでは、次数はいずれも４）を選定した後、相関係数Ｒを算出する。そして、ｒ表（相関係数検定表）を用いて、有意水準５％（両側確率）で相関係数Ｒを検定する。有意であれば、波長が７００ｎｍから４００ｎｍに向かって多項式近似曲線に従って減少していると言える。被吸着体Ｗの  第１測定対象点の反射率をプロットして得られる曲線の多項式近似式および決定係数Ｒ２は、図４に示す通りであり、相関係数Ｒは０．９９２１、サンプル数は１６である。
【００６４】
第２測定対象点の反射率をプロットして得られる曲線の多項式近似式および決定係数Ｒ２は、図４に示す通りであり、相関係数Ｒは０．９９２６、サンプル数は１６である。反射率をプロットして得られる曲線は相関係数Ｒを有意水準５％で検定するといずれも有意である。
【００６５】
波長が７００ｎｍから６４０ｎｍ向かって反射率は急激に低下し、６４０ｎｍから４００ｎｎｍに向かって反射率は徐々に低下している。
【００６６】
図６は、図１に示す載置用部材を備えた本開示の検査装置の一例を示す模式図である。
【００６７】
検査装置２０は、載置用部材１，１０と、吸引手段としての真空ポンプ２１と、光照射手段としての照射部２２と、撮像手段としてのＣＣＤカメラ２３とを備えている。
【００６８】
照射部２２は、真空ポンプ２１の吸引によって吸着面２ａに吸着、保持された被吸着体Ｗの外縁部表面および環状面３ａに反射ミラー２４を介して光を照射する。ＣＣＤカメラ２３は、被吸着体Ｗの外縁部表面および環状面３ａから正反射された光を受光し、その光をもとに画像を撮像して、画像処理部２４に出力する。
【００６９】
ここで、ＣＣＤカメラ２３は、外縁部表面および環状面３ａから拡散反射された光を受光しにくい位置に設けられている。
【００７０】
画像処理部２４はＣＣＤカメラ２３から入力した画像に所定のしきい値で２値化処理を施して、２値画像を得る。この２値画像から被吸着体Ｗの輪郭を抽出して、被吸着体Ｗの中心位置を抽出する。画像処理部２４は、抽出した被吸着体Ｗの中心位置を制御部に出力することにより、様々な制御を施されるようにされている。
【００７１】
また、本開示の加工装置（図示しない）は、例えば、検査装置２０を備えた、被吸着体
Ｗを格子状に切断する切断装置、あるいは、被吸着体Ｗの表面を研磨する研磨装置である。切断装置は、検査装置と、被吸着体を格子状に切断する切断ブレードと、この切断ブレードを回転駆動させる駆動手段とを備えている。また、研磨装置は、検査装置と、被吸着体の表面を研磨する研磨板と、この研磨板と被吸着体Ｗとを相対的に摺動させる回転駆動させる駆動手段とを備えている。
【００７２】
このような加工装置は、被吸着体Ｗの輪郭の誤認識を防止することができる本開示の載置用部材を用いているので、被吸着体Ｗを精度よく加工することができる。
【００７３】
次に、載置用部材の製造方法の一例について説明する。
まず、主成分の原料である酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）粉末、焼結助剤として酸化珪素（ＳｉＯ２）粉末、着色成分として酸化マンガン（ＭｎＯ２）粉末および酸化コバルト（Ｃｏ３Ｏ４）粉末を準備する。
【００７４】
次に、これらの粉末を所望量秤量して１次原料粉末とする。例えば、焼結助剤は、セラミック焼結体を構成する全成分１００質量％のうち、珪素をＳｉＯ２に換算した含有量の合計が０．０２質量％以上３質量％以下となるように秤量する。また、着色成分は、セラミック焼結体を構成する全成分１００質量％のうち、マンガンをＭｎＯ２に換算した含有量が２質量％６質量％以下、コバルトをＣｏ３Ｏ４に換算した含有量が０．６質量％以上２質量％以下となるように秤量する。そして、残部が酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）粉末となるように秤量する。次に、１次原料粉末１００質量部に対し、０．１質量部以上１質量部以下のＰＥＧ（ポリエチレングリコール）などのバインダと、１００質量部の溶媒とを秤量し、１次原料粉末とともに混合・攪拌してスラリーを得る。
【００７５】
その後、噴霧造粒装置（スプレードライヤー）を用いてスラリーを噴霧造粒して顆粒を得た後、粉末プレス成形法や静水圧プレス成形法（ラバープレス法）により円板状の成形体を成形し、この成形体に、吸着部を装着するための凹部を切削加工によって形成する。
【００７６】
そして、凹部が形成された成形体を大気（酸化）雰囲気中、例えば、１４００℃以上１５００℃以下で所望時間保持することにより、緻密質セラミックスからなる支持部を得ることができる。
【００７７】
支持部の凹部の内周面および底面に、ガラスを塗布し、予め、作製された円板状の多孔質セラミックスからなる吸着部を凹部に載置し、厚み方向から加圧する。温度を、例えば、９００℃以上１１００℃として、所定時間保持することで支持部と吸着部とが接合された接合体を得ることができる。
【００７８】
そして、平均粒径が８μｍ以上１２μｍ以下のダイヤモンド砥粒と、鍛鉄または鋳鉄製の研磨板とを用いて、接合体の上面を対象に第１の研磨を行う。次に、平均粒径が２μｍ以上６μｍ以下のダイヤモンド砥粒と、銅製または鋳鉄製の研磨板とを用いて第２の研磨を行う。第１の研磨および第２の研磨に用いられる研磨板は、特に、球状黒鉛含有鋳鉄製であるとよい。 
【００７９】
最後に、平均粒径が１μｍ以上３μｍ以下のダイヤモンド砥粒と、錫製または錫鉛合金製の研磨板を用いて第３の研磨を行う。
【００８０】
そして、接合体の上面を、平均粒径が１０μｍ以下のダイヤモンド砥粒を含むスラリーを、例えば、鋳鉄製の研磨板に滴下し、ハンドラップすることにより、本開示の載置用部材を得ることができる。
【００８１】
算術平均粗さＲａ、切断レベル差（Ｒδｃ）、明度指数Ｌ＊およびクロマティクネス指数ａ＊、ｂ＊については、研磨板の材質、ダイヤモンド砥粒の平均粒径、被研摩面である接合体の上面に対する面圧およびスラリーの単位時間当たりの供給量を適宜調整しながらハンドラップすることで、所定の値とすることができる。
【００８２】
以上、本開示の載置用部材について説明したが、本開示は上述の実施形態に限定されず、本開示の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良および変更を行なってもよい。
【符号の説明】
【００８３】
１、１０：載置用部材
２      ：吸着部
２ａ    ：吸着面
３      ：支持部
３ａ    ：環状面
３ｂ    ：帯状部
３ｃ    ：取り付け穴
３ｄ    ：通気路
３ｅ    ：吸引溝
４      ：環状隔壁部
４ａ    ：分割面
２０    ：検査装置
２１    ：真空ポンプ
２２    ：照射部
２３    ：ＣＣＤカメラ
２４    ：反射ミラー
２５    ：画像処理部
２６    ：制御部
Ｗ      ：被吸着体（ウェハー）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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