(57)【要約】【課題】異物によるショートが生じにくく、振動に寄与する電極部分の面積をより大きく確保する。【解決手段】圧電振動片６は、基部８から１対の振動腕部７が延設され、その長手方向の主面に溝部７２が形成されている。溝部７２により、振動腕部７には、外側土手部７３と内側土手部７４が形成される。振動腕部７の外周面を構成する側面と主面、溝部７２内には、第１励振電極、第２励振電極として機能する、異なる２系統の励振電極９１、９２が形成されている。振動腕部７に形成された、外側土手部７３の両主面２箇所と、内側土手部７４の両主面２箇所の合計４箇所のうちの少なくとも１箇所に対して、励振電極９１、９２の一方が側面から主面まで延設され、他方が主面よりも低い位置まで形成されている。これにより、導電性異物Ｓが主として飛来する土手部の主面箇所において、励振電極９１と励振電極９２とのショートを回避することができる。【選択図】図１
2020072365.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から並んで延設された１対の振動腕部と、
前記１対の振動腕部の両主面に、長手方向に沿って形成された溝部と、
前記溝部の各々により、当該溝部の両側に形成される土手部と、
前記１対の振動腕部における、一方の振動腕部の両側面と、他方の振動腕部の溝部の両側面に形成された第１側面電極と、
前記１対の振動腕部における、前記一方の振動腕部の溝部の両側面と、前記他方の振動腕部の両側面に形成された第２側面電極と、
前記１対の振動腕部の各々における、４つの前記土手部の主面のうちの少なくとも１つの主面に、前記第１側面電極から延出して形成された第１主面電極と、
前記１対の振動腕部の各々において、４つの前記土手部の主面のうち、前記第１主面電極が、全ての主面に形成されている場合には最大３つの主面に、全ての主面には形成されていない場合には最大４つの主面に、前記第２側面電極から延出して形成された第２主面電極と、
を具備したことを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
前記主面に前記第１主面電極が延出していない土手部の側面に形成された前記第１側面電極は、当該土手部の主面よりも下側まで形成され、
前記主面に前記第２主面電極が延出していない土手部の側面に形成された前記第２側面電極は、当該土手部の主面よりも下側まで形成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記第１主面電極は、前記一方の振動腕部、又は他方の振動腕部における、４つの前記土手部の全主面に形成され、
前記第２主面電極は、前記第１主面電極が形成されていない側の振動腕部における、４つの前記土手部の全主面に形成されている、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記１対の振動腕部における互いに対向する側の前記土手部を内側土手部とし、対向しない側の前記土手部を外側土手部とした場合、
前記第１主面電極は、前記両振動腕部の前記内側土手部と、前記一方の振動腕部の前記外側土手部又は他方の振動腕部の前記外側土手部に形成され、
前記第２主面電極は、前記両振動腕部の前記内側土手部と、前記第１主面電極が形成されていない側の前記外側土手部に形成されている、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電振動片。
【請求項５】
前記振動腕部の外側に並んで前記基部から延設された、実装用の１対の支持腕部を有する、
ことを特徴とする請求項１から請求項４のうちの何れか１の請求項に記載の圧電振動片。
【請求項６】
前記１対の振動腕部の間に前記基部から延設された、実装用の１つの支持腕部を備え、
前記１対の振動腕部における前記支持腕部に対向する側の土手部を内側土手部とし、対向しない側の土手部を外側土手部とした場合、
前記第１主面電極は、前記両振動腕部の前記外側土手部と、前記一方の振動腕部の前記内側土手部又は他方の振動腕部の前記内側土手部に形成され、
前記第２主面電極は、前記両振動腕部の前記外側土手部と、前記第１主面電極が形成されていない側の前記内側土手部に形成されている、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電振動片。
【請求項７】
実装部を備えたパッケージと、
前記実装部に接合材を介して実装された、請求項１から請求項６のうちのいずれか１の請求項に記載の圧電振動片と、
を具備したことを特徴とする圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片、及び圧電振動子に係り、詳細には、振動腕部を励振させる電極に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、携帯電話や携帯情報端末機器等の電子機器には、時刻源や制御信号等のタイミング源、リファレンス信号源等に用いられるデバイスとして、水晶等を利用した圧電振動子が用いられる。
この種の圧電振動子として、特許文献１に示すように、パッケージと蓋体で形成されるキャビティ内に圧電振動片を気密封止したものが知られている。
【０００３】
図６は、従来の一般的な圧電振動片６００の構造についての、斜視図（ａ）とＰ−Ｐ断面からの斜視図（ｂ）を表したものである。
図６（ａ）、（ｂ）に示すように、圧電振動片６００は、圧電材料により形成された所定長さの基部８００と、基部８００から並んで延びる一対の振動腕部７００ａ、ｂを備えている。
両振動腕部７００ａ、ｂには、その主面（表裏面）に振動腕の長手方向に延びる溝７２０ａ、ｂが形成されると共に、その主面と側面に駆動用の電圧が印加される２系統の電極９１０、９２０が形成されている。
電極９１０、９２０の形成は、溝７２０ａ、ｂ内を含めた圧電振動片６００の全体に対して電極材料を蒸着やスパッタリングによって成膜する。そして両振動腕部７００ａ、ｂの主面に形成された成膜のうち、図６に示す白色部分をフォトリソグラフにより取り除くことで、電極９１０と電極９２０とを分割している。
このようにして形成した圧電振動片６００は、電極９１０と電極９２０とに異なる系統の電圧を掛けることで、両振動腕部７００ａ、ｂが互いに振動する。
【０００４】
しかし、電極９１０と電極９２０とを振動腕部７００ａ、ｂの主面において分割しているため、導電性の異物Ｓが付着するとショートしてしまうという課題がある。
この導電性の異物Ｓとしては、例えば、圧電振動片を収容したパッケージと蓋体を接着する際の銀ロウのスプラッシュがある。
また、両振動腕部７００ａ、ｂの両サイドや両者間に形成されたアームにより、圧電振動片をパッケージ内に接着し固定する場合には、導電性接着剤が異物Ｓとなる場合がある。
特に圧電振動片が小型化する傾向にあるが、小型化するほど両電極９１０、９２０間の幅も狭くなるため、より小さな異物Ｓもショートの原因になっていた。
【０００５】
一方、それぞれの電極９１０と電極９２０を主面上には形成せず、振動腕部７００ａ、ｂの側面と、溝７２０ａ、ｂの内側面に、主面よりも低い位置まで形成する技術も存在する（特許文献１）。
しかし、主面に電極を形成しないことで、導電性の異物Ｓによるショートは回避できるが、電極面積が減少してしまい、電界効率が低下（ＣＩ値が上昇）してしまうという課題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−１１８２５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、異物によるショートが生じにくく、振動に寄与する電極部分の面積をより大きく確保することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）請求項１に記載の発明では、基部と、前記基部から並んで延設された１対の振動腕部と、前記１対の振動腕部の両主面に、長手方向に沿って形成された溝部と、前記溝部の各々により、当該溝部の両側に形成される土手部と、前記１対の振動腕部における、一方の振動腕部の両側面と、他方の振動腕部の溝部の両側面に形成された第１側面電極と、前記１対の振動腕部における、前記一方の振動腕部の溝部の両側面と、前記他方の振動腕部の両側面に形成された第２側面電極と、前記１対の振動腕部の各々における、４つの前記土手部の主面のうちの少なくとも１つの主面に、前記第１側面電極から延出して形成された第１主面電極と、前記１対の振動腕部の各々において、４つの前記土手部の主面のうち、前記第１主面電極が、全ての主面に形成されている場合には最大３つの主面に、全ての主面には形成されていない場合には最大４つの主面に、前記第２側面電極から延出して形成された第２主面電極と、を具備したことを特徴とする圧電振動片を提供する。
（２）請求項２に記載の発明では、前記主面に前記第１主面電極が延出していない土手部の側面に形成された前記第１側面電極は、当該土手部の主面よりも下側まで形成され、前記主面に前記第２主面電極が延出していない土手部の側面に形成された前記第２側面電極は、当該土手部の主面よりも下側まで形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片を提供する。
（３）請求項３に記載の発明では、前記第１主面電極は、前記一方の振動腕部、又は他方の振動腕部における、４つの前記土手部の全主面に形成され、前記第２主面電極は、前記第１主面電極が形成されていない側の振動腕部における、４つの前記土手部の全主面に形成されている、ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電振動片を提供する。
（４）請求項４に記載の発明では、前記１対の振動腕部における互いに対向する側の前記土手部を内側土手部とし、対向しない側の前記土手部を外側土手部とした場合、前記第１主面電極は、前記両振動腕部の前記内側土手部と、前記一方の振動腕部の前記外側土手部又は他方の振動腕部の前記外側土手部に形成され、前記第２主面電極は、前記両振動腕部の前記内側土手部と、前記第１主面電極が形成されていない側の前記外側土手部に形成されている、ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電振動片を提供する。
（５）請求項５に記載の発明では、前記振動腕部の外側に並んで前記基部から延設された、実装用の１対の支持腕部を有する、ことを特徴とする請求項１から請求項４のうちの何れか１の請求項に記載の圧電振動片を提供する。
（６）請求項６に記載の発明では、前記１対の振動腕部の間に前記基部から延設された、実装用の１つの支持腕部を備え、前記１対の振動腕部における前記支持腕部に対向する側の土手部を内側土手部とし、対向しない側の土手部を外側土手部とした場合、前記第１主面電極は、前記両振動腕部の前記外側土手部と、前記一方の振動腕部の前記内側土手部又は他方の振動腕部の前記内側土手部に形成され、前記第２主面電極は、前記両振動腕部の前記外側土手部と、前記第１主面電極が形成されていない側の前記内側土手部に形成されている、ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電振動片を提供する。
（７）請求項７に記載の発明では、実装部を備えたパッケージと、前記実装部に接合材を介して実装された、請求項１から請求項６のうちのいずれか１の請求項に記載の圧電振動片と、を具備したことを特徴とする圧電振動子を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、１対の励振腕部の各々における、４つの土手部の主面のうちの少なくとも１つの主面に、第１側面電極から延出して第１主面電極が形成され、４つの土手部の主面のうち、第１主面電極が、全ての主面に形成されている場合には最大３つの主面に、全ての主面には形成されていない場合には最大４つの主面に、第２側面電極から延出して第２主面電極が形成されているので、異物によるショートが生じにくく、振動に寄与する電極部分の面積を主面までの延設によって、より大きく確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】圧電振動片の構成と断面を表した図である。
【図２】圧電振動片の変形例の構成を表した断面図である。
【図３】圧電振動片の他の変形例を表した断面図である。
【図４】圧電振動片の更に他の変形例を表した断面図である。
【図５】圧電振動子の構成を表した斜視図である。
【図６】従来の圧電振動片の構造について表した説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の圧電振動片、及び圧電振動子における好適な実施形態について、図１から図５を参照して詳細に説明する。
（１）実施形態の概要
本実施形態の圧電振動片６は、音叉形の圧電振動片であり、基部８から１対の振動腕部７が延設されると共に、基部８から振動腕部７の両外側に並列して延設された支持腕部９を備える。１対の振動腕部７の長手方向には、その主面（裏表面）に一定幅の溝部７２が形成されている。この溝部７２により、振動腕部７には、外側土手部７３と内側土手部７４が形成されている。
【００１２】
振動腕部７の外周面を構成する側面と主面及び溝部７２内には、第１励振電極、第２励振電極として機能する、異なる２系統の励振電極９１、９２が形成されている。
本実施形態および各変形例によれば、振動腕部７に形成された、各４箇所の主面（外側土手部７３の両主面２箇所と、内側土手部７４の両主面２箇所の合計４箇所）のうちの少なくとも１箇所に対して、励振電極９１、９２の一方が側面から主面まで延設され、励振電極９１、９２の他方が側面における主面よりも低い位置まで形成されている。
これにより、導電性異物Ｓが主として飛来する土手部の主面箇所において、励振電極９１と励振電極９２とのショートを回避することができる。
なお、第１励振電極のうち、各土手の側面に形成されている部分が第１側面電極として機能し、土手の主面に形成されている部分が第１主面電極として機能する。また第２励振電極のうち、各土手の側面に形成されている部分が第２側面電極として機能し、土手の主面に形成されている部分が第２主面電極として機能する。
【００１３】
（２）実施形態の詳細
図１は、実施形態に係る圧電振動片６の構成と断面を表した図である。
圧電振動片６は、水晶やタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された、いわゆる音叉形の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。本実施形態では、圧電材料として水晶を使用して形成した圧電振動片を例に説明する。
【００１４】
図１（ａ）に示すように、圧電振動片６は、一対の振動腕部７ａ、７ｂと、基部８と、一対の支持腕部９ａ、９ｂを備えている。
以下、振動腕部７ａ、７ｂの長さ方向（図１の左右方向）を長手方向、振動腕部７ａ、７ｂが対向する方向（図１（ａ）の上下方向）を短手方向、圧電振動片６の厚さの方向（図１（ｂ）の上下方向）を厚さ方向という。
また、本実施形態及び変形例の圧電振動片６や後述する圧電振動子１は左右対称な構造となっているため、振動腕部７ａと振動腕部７ｂというように、対称配置された両部分を同一の数字で表すと共に、両部分を区別するため、一方に区別符合ａ、Ａ、他方に区別符合ｂ、Ｂを付して説明する。ただし、区別符号を適宜省略して説明した場合には、両部分を指しているものとする。
【００１５】
基部８は、一対の振動腕部７ａ、７ｂにおける長手方向の一方の端部同士を連結している。
基部８には、短手方向を向く両端面から外側に延びる連結部８１ａ、８１ｂが連結され、この連結部８１ａ、８１ｂには、長手方向に延びる支持腕部９ａ、９ｂが連結されている。一対の支持腕部９ａ、９ｂは、短手方向において、振動腕部７ａ、７ｂの両外側に配置されている。
【００１６】
一対の振動腕部７ａ、７ｂは、互いに平行となるように配置されており、基部８側の端部を固定端とし、先端が自由端として振動する。
一対の振動腕部７ａ、７ｂは、その全長のほぼ中央部分の幅を基準幅とした場合、この基準幅よりも両側に広くなるように形成された拡幅部７１ａ、７１ｂを備えている。この拡幅部７１ａ、７１ｂは、振動腕部７ａ、７ｂの重量及び振動時の慣性モーメントを増大する機能を有している。これにより、振動腕部７ａ、７ｂは振動し易くなり、振動腕部７ａ、７ｂの長さを短くすることができ、小型化が図られている。
なお、本実施形態の圧電振動片６は、振動腕部７ａ、７ｂに拡幅部７１ａ、７１ｂが形成されているが、拡幅部のない圧電振動片を使用してもよい。
【００１７】
また、本実施形態の圧電振動片６では、図示しないが、振動腕部７ａ、７ｂの先端部（拡幅部７１ａ、７１ｂ）に、所定周波数の範囲内で振動するように調整（周波数調整）するための重り金属膜（粗調膜及び微調膜からなる）が形成されている。この重り金属膜を、例えばレーザ光を照射して適量だけ取り除くことで、周波数調整を行い、一対の振動腕部７ａ、７ｂの周波数をデバイスの公称周波数の範囲内に収めることができるようになっている。この重り金属膜についても、拡幅部と同様に形成しないことも可能である。
【００１８】
図１（ｂ）は、図１（ａ）に示すＶ−Ｖ線に沿った断面を矢印の方向に見た振動腕部７ａ、７ｂの断面図である。
図１（ｂ）に示すように、一対の振動腕部７ａ、７ｂには、一定幅の溝部７２ａ、７２ｂが形成されている。
溝部７２ａ、７２ｂは、一対の振動腕部７ａ、７ｂの両主面（表裏面）上において、厚さ方向に凹むとともに、基部８側から長手方向に沿って延在している。溝部７２ａ、７２ｂは、振動腕部７ａ、７ｂの基端（基部８の先端側の端部）から、拡幅部７１ａ、７１ｂの手前までに形成されている。
溝部７２ａ、７２ｂにより、一対の振動腕部７ａ、７ｂは、それぞれ図１（ｂ）に示すように断面Ｈ型となっている。
【００１９】
そして、振動腕部７ａ、７ｂの主面には、溝部７２ａ、７２ｂが形成されることで、振動腕部７ａ、７ｂの短手方向外側の側面と、溝部７２ａ、７２ｂの短手方向外側の側面との間に外側土手部７３ａ、７３ｂが形成されている。
また、振動腕部７ａ、７ｂの短手方向内側の側面（振動腕部７ａ、７ｂの互いに対応する側の面）と、溝部７２ａ、７２ｂの短手方向内側の側面との間に内側土手部７４ａ、７４ｂが形成されている。
【００２０】
図１（ｂ）に示すように、一対の振動腕部７ａ、７ｂの外表面上（外周面）には、一対の（２系統の）励振電極９１、９２（第１励振電極、第２励振電極）が形成されている。この励振電極９１、９２は、電圧が印加されたときに一対の振動腕部７ａ、７ｂを互いに接近又は離間する方向に所定の共振周波数で振動させる電極であり、電気的に切り離された状態で振動腕部７ａ、７ｂ上にパターニングされて形成されている。
具体的には、一方の励振電極９１が、主に一方の振動腕部７ａの溝部７２ａ内と、他方の振動腕部７ｂの側面上とに互いに電気的に接続された状態で形成されている。
また、他方の励振電極９２が、主に他方の振動腕部７ｂの溝部７２ｂ内と、一方の振動腕部７ａの側面上とに互いに電気的に接続された状態で形成されている。
【００２１】
本実施形態では、振動腕部７ａ、７ｂの外側と内側の両側面に形成された側の励振電極は、外側土手部７３ａ、７３ｂと内側土手部７４ａ、７４ｂの主面まで延設されている。
一方、溝部７２ａ、７２ｂの短手方向の両側面に形成された側の励振電極は、振動腕部７ａ、７ｂの主面よりも低い位置まで形成されていて、両土手部７３ａ、７３ｂ、７４ａ、７４ｂの主面まで延設されていない。
具体的には、図１（ｂ）に示されるように、振動腕部７ａでは、その両側面に形成された励振電極９２が外側土手部７３ａと内側土手部７４ａの主面まで延設され、溝部７２ａの短手方向の側面に形成された励振電極９１が主面よりも低い位置（主面よりも底面側の位置）まで形成されている。
また振動腕部７ｂでは、その両側面に形成された励振電極９１が外側土手部７３ｂと内側土手部７４ｂの主面まで延設され、溝部７２ｂの短手方向の側面に形成された励振電極９２が主面よりも低い位置（主面よりも底面側の位置）まで形成されている。
【００２２】
圧電振動片６の一方の主面側の面（図１（ａ）の反対側の面）には、点線で示すように、支持腕部９ａ、９ｂに２系統のマウント電極９９ａ、９９ｂが形成されている。このマウント電極９９ａ、９９ｂは、図５で後述するように、パッケージに形成された実装部１４Ａ、１４Ｂに圧電振動片６をマウントする際に、電極パッド２０Ａ、２０Ｂと導電性接着剤５１ａ、ｂ、５２ａ、ｂで接続される。
両マウント電極９９ａ、９９ｂと電気的に接続した２系統の引回し電極（図示しない）が連結部８１ａ、８１ｂと基部８に形成されている。
そして、支持腕部９ａに形成された第１系統のマウント電極９９ａが引回し電極を介して励振電極９２（図１（ｂ）参照）と接続され、支持腕部９ｂに形成された第２系統のマウント電極９９ｂが引回し電極を介して励振電極９１と接続されている。
２系統の励振電極９１、９２は、一対のマウント電極９９ａ、９９ｂを介して電圧が印加されるようになっている。
【００２３】
なお、励振電極９１、９２、マウント電極９９ａ、９９ｂ、及び引回し電極は、例えば、クロム（Ｃｒ）と金（Ａｕ）との積層膜であり、水晶と密着性の良いクロム膜を下地として成膜した後に、表面に金の薄膜を施したものである。但し、この場合に限られず、例えば、クロムとニクロム（ＮｉＣｒ）の積層膜の表面にさらに金の薄膜を積層しても構わないし、クロム、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）やチタン（Ｔｉ）等の単層膜でも構わない。
【００２４】
これら励振電極９１、９２、マウント電極９９ａ、９９ｂ、及び、引回し電極の形成は従来と同様にして行われる。すなわち、各電極を形成する前の圧電振動片６の、溝部７２ａ、７２ｂ内を含めた全体に電極材料を成膜する。この成膜は、電極材料の蒸着やスパッタリングによる。
そして、励振電極９１、９２、マウント電極９９ａ、９９ｂ、引回し電極を形成する部分を残し、それ以外の部分をフォトリソグラフにより取り除くことで、２系統の電極ラインが形成される。
【００２５】
以上説明したように、本実施形態の圧電振動片６によれば、図１（ｂ）に示すように、２系統の励振電極９１、９２のうち、振動腕部７ａ、７ｂの側面に形成された側の励振電極が、両土手部７３ａ、７３ｂ、７４ａ、７４ｂの主面上にまで延出して形成され、他方側の励振電極は、溝部７２ａ、７２ｂの側面の途中まで形成されている。
すなわち、両土手部７３ａ、７３ｂ、７４ａ、７４ｂには、励振電極９１、９２のうちの何れか一方だけが形成されている。
このため、図１（ｃ）に示すように、振動腕部７ａ、７ｂの主面上に導電性の異物Ｓが付着したとしても、溝部７２ａ、７２ｂの側面側の励振電極は主面よりも低い位置までしか形成されていないので、励振電極９１と励振電極９２とのショートを回避することができる。
また、本実施形態の圧電振動片６によれば、振動腕部７ａ、７ｂの側面に形成された側の励振電極が、両土手部７３ａ、７３ｂ、７４ａ、７４ｂの主面上にまで延出して形成されることで、励振電極９１、９２を土手部の主面に形成しない場合（例えば、特許文献１）に比べて、主面上の延出分だけ電極面積を確保でき、その結果電界効率を上げることができる。
【００２６】
なお、説明した実施形態では、外側土手部７３ａ、７３ｂ、内側土手部７４ａ、７４ｂの各主面に延出している励振電極９１又は励振電極９２の長さは、各土手部の短手方向の幅をＬとした場合に、Ｌ／２よりも短く形成しているが、Ｌ／２よりも広く形成するようにしてもよい。例えば、各主面の延出長さとしてＬ／２や、２Ｌ／３、３Ｌ／４の長さとしてもよい。
主面部にまで延出する励振電極９１又は励振電極９２の長さを長くすることで、異物Ｓによるショートを回避しつつ、より電界効率を上げることができる。
なお、励振電極９１又は励振電極９２の長さをＬ／２よりも長くすることについては、後述する各変形例において、各土手部の主面に励振電極９１と励振電極９２の何れか一方だけを延出させる場合に適用可能である。
【００２７】
次に、圧電振動片６の変形例について図２〜４を参照して説明する。
図２は圧電振動片６の変形例の構成を表した断面図である。
図２に示した変形例の圧電振動片６では、両土手部７３ａ、７３ｂ、７４ａ、７４ｂの主面に形成する励振電極９１、９２が異なる点を除き、他は実施形態と同じである。
図２（ａ）に示した第１変形例では、図１（ｂ）で説明した実施形態と逆に、２系統の励振電極９１、９２のうち、溝部７２ａ、７２ｂの短手方向の側面に形成された側の励振電極が、両土手部７３ａ、７３ｂ、７４ａ、７４ｂの主面上にまで延出して形成され、他方側の励振電極は、振動腕部７ａ、７ｂの側面の途中まで形成されている。
具体的には、振動腕部７ａでは、溝部７２ａの短手方向の側面に形成された励振電極９１が外側土手部７３ａと内側土手部７４ａの主面まで延設され、振動腕部７ａの両側面に形成された励振電極９２が主面よりも低い位置まで形成されている。
また、振動腕部７ｂでは、溝部７２ｂの短手方向の側面に形成された励振電極９２が外側土手部７３ｂと内側土手部７４ｂの主面まで延設され、振動腕部７ｂの両側面に形成された励振電極９１が主面よりも低い位置まで形成されている。
この第２変形例においても、振動腕部７ａ、７ｂの主面上に導電性の異物Ｓが付着したとしても、振動腕部７ａ、７ｂの両側面側の励振電極が主面よりも低い位置までしか形成されていないので、励振電極９１と励振電極９２とのショートを回避することができる。
また、主面上の延出分だけ電極面積を確保できるため、電界効率を上げることができる。
【００２８】
実施形態と第１変形例は、振動腕部７ａ、７ｂにおける外側土手部７３ａ、７３ｂ、内側土手部７４ａ、７４ｂの各主面には、励振電極９１、９２のうちの何れか一方だけを形成することで、導電性の異物Ｓによるショートを回避するものである。
しかし、ショートの原因である導電性の異物Ｓは、上述したように、圧電振動片６をパッケージ内にマウントする際の導電性接着剤や、パッケージと蓋体を接着する際の銀ロウ等のスプラッシュが原因である。
そして、いずれの場合の異物Ｓも、圧電振動片６の短手方向外側から飛来するものであるため、異物Ｓによる励振電極９１、９２のショートは、主として外側土手部７３ａ、７３ｂに生じている。
【００２９】
そこで、図２（ｂ）（ｃ）に示した第２、第３変形例では、外側土手部７３ａ、７３ｂの各主面にだけ励振電極９１、９２のうちの何れか一方を形成し、内側土手部７４ａ、７４ｂでは、励振電極９１、９２の両者を主面まで延出させている。
これにより、導電性異物Ｓによる励振電極９１、９２のショートを有効に回避しつつ、励振に寄与する励振電極の面積をより大きく確保することができる。
【００３０】
すなわち、図２（ｂ）に示した第２変形例では、振動腕部７ａの外側土手部７３ａには、溝部７２ａに形成された励振電極９１が主面に延設され、振動腕部７ａの外側面の励振電極９２は主面より低く形成されている。
振動腕部７ｂの外側土手部７３ｂには、溝部７２ｂに形成された励振電極９２が主面に延設され、振動腕部７ｂの外側面の励振電極９１は主面より低く形成されている。
一方、振動腕部７ａ、７ｂの内側土手部７４ａ、７４ｂは、両励振電極９１、９２が共に主面まで延設されている。
【００３１】
図２（ｃ）に示した第３変形例では、振動腕部７ａの外側土手部７３ａには、振動腕部７ａの外側面の励振電極９２が主面まで延設され、溝部７２ａの外側土手部７３ａ側に形成された励振電極９１は主面より低く形成されている。
振動腕部７ｂの外側土手部７３ｂには、振動腕部７ｂの外側面の励振電極９１が主面まで延設され、溝部７２ｂの外側土手部７３ｂ側に形成された励振電極９２は主面より低く形成されている。
一方、振動腕部７ａ、７ｂの内側土手部７４ａ、７４ｂは、両励振電極９１、９２が共に主面まで延設されている。
【００３２】
図３は、圧電振動片６の他の変形例を表した断面図である。
実施形態や第１〜第３変形例で説明した圧電振動片６は、いずれも振動腕部７ａ、７ｂの両外側にマウント用の支持腕部９ａ、９ｂが形成された、いわゆるサイドアーム型の例である。
これに対して図３（ａ）に示した第４変形例、同（ｂ）の第５変形例は、両振動腕部７ａ、７ｂの間に１本の支持腕部９ｃが配設されている、いわゆるセンターアーム型の例である。
第４、第５変形例の圧電振動片６は、この支持腕部９ｃにより圧電振動子のパッケージにマウントされる。そして、１本の支持腕部９ｃに、２系統のマウント電極９９ａ、９９ｂ（図示しない）が、図面下側の主面に形成されている。
【００３３】
図３に示した第４、第５変形例では、中央の支持腕部９ｃ側に近い側の内側土手部７４ａ、７４ｂの各主面にだけ励振電極９１、９２のうちの何れか一方を形成し、外側土手部７３ａ、７３ｂでは、励振電極９１、９２の両者を主面まで延出させている。
図３（ａ）に示した第４変形例では、振動腕部７ａの内側土手部７４ａに、溝部７２ａに形成された励振電極９１が主面に延設され、振動腕部７ａの内側（支持腕部９ｃ側）面の励振電極９２は主面より低く形成されている。
振動腕部７ｂの内側土手部７４ｂには、溝部７２ｂに形成された励振電極９２が主面に延設され、振動腕部７ｂの内側（支持腕部９ｃ側）面の励振電極９１は主面より低く形成されている。
一方、振動腕部７ａ、７ｂの外側土手部７３ａ、７３ｂは、両励振電極９１、９２が共に主面まで延設されている。
【００３４】
図３（ｂ）に示した第５変形例では、振動腕部７ａの内側（支持腕部９ｃ側）面の励振電極９２が主面まで延設され、溝部７２ａの内側土手部７４ａ側に形成された励振電極９１は主面より低く形成されている。
振動腕部７ｂの内側土手部７４ｂには、振動腕部７ｂの内側（支持腕部９ｃ側）面の励振電極９１が主面まで延設され、溝部７２ｂの内側土手部７４ｂ側に形成された励振電極９２は主面より低く形成されている。
一方、振動腕部７ａ、７ｂの外側土手部７３ａ、７３ｂは、両励振電極９１、９２が共に主面まで延設されている。
【００３５】
なお、図３に示したセンターアーム型の圧電振動片６では、導電性の異物Ｓの主原因が、支持腕部９ｃで圧電振動片６をマウントする際の導電性接着剤であり、パッケージに蓋体を接着する際のスプラッシュによる異物Ｓではない場合の例である。
マウントによる導電性接着剤と、接着によるスプラッシュの両者が異物Ｓとなる場合には、実施形態や第１変形例（図１（ｂ）、図２（ａ）参照）と同様に、外側土手部７３ａ、７３ｂと内側土手部７４ａ、７４ｂ共に、励振電極９１、９２の何れか一方のみを主面まで延設することができる。
【００３６】
逆に、センターアーム型の圧電振動片６において、導電性の異物Ｓの主原因が、支持腕部９ｃで圧電振動片６をマウントする際の導電性接着剤ではなく、パッケージに蓋体を接着する際のスプラッシュによる異物Ｓである場合には、図２（ｂ）、（ｃ）で示した第２、第３変形例と同様に、外側土手部７３ａ、７３ｂに対して励振電極９１、９２の何れか一方のみを主面まで延設することができる。
この場合、内側土手部７４ａ、７４ｂは、両励振電極９１、９２が共に主面まで延設される。
【００３７】
次に、更に別の変形例について説明する。
圧電振動片６では、主面が２つ存在している。すなわち、振動腕部７ａ、７ｂの外側土手部７３ａ、７３ｂと内側土手部７４ａ、７４ｂに対して、図１（ｂ）、図２、図３に示した圧電振動片６では、図面上側の主面と下側の主面が存在する。
説明した実施形態と第１〜第５変形例の圧電振動片６では、外側土手部７３ａ、７３ｂ、内側土手部７４ａ、７４ｂの両主面とも、励振電極９１、９２の延設状態が同じである。
例えば、図２（ｂ）に示した第２変形例では、外側土手部７３ａ、７３ｂ共に、両主面まで励振電極９１、９２の一方が延設され、他方が主面よりも低く形成されている。また、内側土手部７４ａ、７４ｂ共に、両主面まで励振電極９１、９２の両方が延設されている。
【００３８】
これに対して、次に説明する変形例では、励振電極９１、９２のうちの一方だけが主面まで延設されるのは、圧電振動片６の両主面のうちの一方側の主面だけであり、他方側の主面では両励振電極９１、９２が主面まで延設される。
ここで、「一方側の主面」とは、導電性異物Ｓの原因になる導電性接着剤（マウント部）とスプラッシュを生じる部分（蓋の接続部）に近い側の主面が該当する。
そして、両主面のうち、一方の主面がマウント部に近く、他方の主面が蓋の接続部に近い場合、いずれか導電性の異物Ｓの主原因となっている側だけを対象とする。但し、両者が導電性異物Ｓの主原因となっている場合には、実施形態又は第１〜第５変形例による。
なお、圧電振動片６の支持腕部９ａ、９ｂは振動腕部７ａ、７ｂとほぼ同じ厚さに形成されるため、支持腕部９ａ、９ｂにマウント電極９９ａ、９９ｂが形成される側の面が「一方側の主面」となる。
【００３９】
図４は、圧電振動片の第６、第７変形例を表した断面図である。
この第６、第７変形例は、サイドアーム型の圧電振動片６で、マウントによる導電性接着剤よりも、図面上方からのスプラッシュが主原因となる場合の例である。
図４（ａ）に示した圧電振動片６では、振動腕部７ａの外側土手部７３ａの両主面のうち、上側の主面にだけ、溝部７２ａに形成された励振電極９１が延設され、振動腕部７ａの外側面の励振電極９２は主面より低く形成されている。
振動腕部７ｂの外側土手部７３ｂの両主面のうち、上側の主面にだけ、溝部７２ｂに形成された励振電極９２が主面に延設され、振動腕部７ｂの外側面の励振電極９１は主面より低く形成されている。
そして、外側土手部７３ａ、７３ｂの下側の主面、及び、内側土手部７４ａ、７４ｂの両主面は、両励振電極９１、９２が共に主面まで延設されている。
【００４０】
図４（ｂ）に示した第７変形例は、第６変形例と同様に、外側土手部７３ａ、７３ｂの上側の主面にだけ、励振電極９１、９２の一方を主面まで延設し、他方を主面より低く形成した例である。
すなわち、第７変形例では、第６変形例とは逆に、振動腕部７ａ、７ｂにおける各外側面の励振電極９２、９１が外側土手部７３ａ、７３ｂの上側主面まで延設され、溝部７２ａ、７２ｂの励振電極９１、９２が主面よりも低く形成されている。
そして、外側土手部７３ａ、７３ｂの下側の主面、及び、内側土手部７４ａ、７４ｂの両主面は、両励振電極９１、９２が共に主面まで延設されている。
【００４１】
なお、図４に示した第６、第７変形例では、圧電振動片６の主面のうち、図面上側の主面に導電性異物Ｓが付着する場合、すなわち、主として図面上方からのスプラッシュが原因である場合を例に説明した。これに対し、上方からのスプラッシュよりも、マウント電極９９ａ、９９ｂが形成される側の主面への、マウントによる導電性接着剤が主原因になる場合には、外側土手部７３ａ、７３ｂの下側の主面にだけ、励振電極９１、９２の一方を主面まで延設し、他方を主面より低く形成する。
【００４２】
また、図４に示した第６、第７変形例は、サイドアーム型（図１（ａ）参照）の圧電振動片６を対象にしているが、図３で説明したセンターアーム型の圧電振動片６に対しても同様に適用することができる。
更に、基部８から延びる支持腕部９を備えていない、圧電振動片６においても、外側土手部７３ａ、７３ｂ、内側土手部７４ａ、７４ｂの両主面のうちの何れかの主面に対して、側面から延設する励振電極を励振電極９１、９２の一方とする、実施形態、変形例を適用することができる。この場合の圧電振動片６は、基部８にマウント電極９９ａ、９９ｂが形成される。
【００４３】
以上説明した実施形態および各変形例によれば、振動腕部７ａと振動腕部７ｂの各々に形成された、各４箇所の主面（外側土手部７３ａ、７３ｂの両主面２箇所と、内側土手部７４ａ、７４ｂの両主面２箇所の合計４箇所）のうちの少なくとも１箇所に対して、励振電極９１、９２のうちの一方が側面から主面まで延設され、他方が側面における主面よりも低い位置まで形成されている。
これにより、導電性異物Ｓが主として飛来する土手部の主面箇所において、励振電極９１と励振電極９２とのショートを回避することができる。
【００４４】
次に、圧電振動片６を実装した圧電振動子１について説明する。
この圧電振動子１は、図１（ａ）で説明したサイドアーム型の圧電振動片を例に説明するが、センターアーム型の圧電振動片６や、支持腕部９を有しない圧電振動片６についても、マウント部の構造とマウント箇所が異なることを除き同様である。
図５は、上述した実施形態又は変形例に係るサイドアーム型の圧電振動片６を備えた圧電振動子１の分解斜視図である。
図５に示すように、本実施形態の圧電振動子１は、内部に気密封止されたキャビティＣを有するパッケージ２と、キャビティＣ内に収容された圧電振動片６と、を備えたセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子である。
パッケージ２は、概略直方体状に形成されている。パッケージ２は、パッケージ本体３と、パッケージ本体３に対して接合されるとともに、パッケージ本体３との間にキャビティＣを形成する封口板４と、を備えている。
パッケージ本体３は、互いに重ね合わされた状態で接合された第１ベース基板１０および第２ベース基板１１と、第２ベース基板１１上に接合されたシールリング１２と、を備えている。
【００４５】
第１ベース基板１０および第２ベース基板１１の四隅には、平面視１／４円弧状の切欠部１５が、両ベース基板１０、１１の厚み方向の全体に亘って形成されている。これら第１ベース基板１０および第２ベース基板１１は、例えばウエハ状のセラミック基板を２枚重ねて接合した後、両セラミック基板を貫通する複数のスルーホールを行列状に形成し、その後、各スルーホールを基準としながら両セラミック基板を格子状に切断することで作製される。その際、スルーホールが４分割されることで、切欠部１５となる。
【００４６】
なお、第１ベース基板１０および第２ベース基板１１はセラミックス製としたが、その具体的なセラミック材料としては、例えばアルミナ製のＨＴＣＣ（Ｈｉｇｈ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃ）や、ガラスセラミック製のＬＴＣＣ（Ｌｏｗ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃ）等が挙げられる。
【００４７】
第１ベース基板１０の上面は、キャビティＣの底面に相当する。
第２ベース基板１１は、第１ベース基板１０に重ねられており、第１ベース基板１０に対して焼結などにより結合されている。すなわち、第２ベース基板１１は、第１ベース基板１０と一体化されている。
なお、後述するように第１ベース基板１０と第２ベース基板１１の間には、両ベース基板１０、１１に挟まれた状態で接続電極（図示せず）が形成されている。
【００４８】
第２ベース基板１１には、貫通部１１ａが形成されている。貫通部１１ａは、四隅が丸みを帯びた平面視長方形状に形成されている。貫通部１１ａの内側面は、キャビティＣの側壁の一部を構成している。貫通部１１ａの短手方向で対向する両側の内側面には、内方に突出する実装部１４Ａ、１４Ｂが設けられている。実装部１４Ａ、１４Ｂは、貫通部１１ａの長手方向略中央に形成されている。実装部１４Ａ、１４Ｂは、貫通部１１ａの長手方向の長さの１／３以上の長さに形成されている。
【００４９】
シールリング１２は、第１ベース基板１０および第２ベース基板１１の外形よりも一回り小さい導電性の枠状部材であり、第２ベース基板１１の上面に接合されている。具体的には、シールリング１２は、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付けによって第２ベース基板１１上に接合、あるいは、第２ベース基板１１上に形成（例えば、電解メッキや無電解メッキの他、蒸着やスパッタ等により）された金属接合層に対する溶着等によって接合されている。
【００５０】
シールリング１２の材料としては、例えばニッケル基合金等が挙げられ、具体的にはコバール、エリンバー、インバー、４２−アロイ等から選択すれば良い。特に、シールリング１２の材料としては、セラミック製とされている第１ベース基板１０および第２ベース基板１１に対して熱膨張係数が近いものを選択することが好ましい。例えば、第１ベース基板１０および第２ベース基板１１として、熱膨張係数６．８×１０−６／℃のアルミナを用いる場合には、シールリング１２としては、熱膨張係数５．２×１０−６／℃のコバールや、熱膨張係数４．５〜６．５×１０−６／℃の４２−アロイを用いることが好ましい。
【００５１】
封口板４は、シールリング１２上に重ねられた導電性基板であり、シールリング１２に対する接合によってパッケージ本体３に対して気密に接合されている。そして、封口板４、シールリング１２、第２ベース基板１１の貫通部１１ａ、および第１ベース基板１０の上面により画成された空間が、気密に封止されたキャビティＣとして機能する。
【００５２】
封口板４の溶接方法としては、例えばローラ電極を接触させることによるシーム溶接や、レーザ溶接、超音波溶接等が挙げられる。また、封口板４とシールリング１２との溶接をより確実なものとするため、互いになじみの良いニッケルや金等の接合層を、少なくとも封口板４の下面と、シールリング１２の上面とにそれぞれ形成することが好ましい。
【００５３】
第２ベース基板１１の実装部１４Ａ、１４Ｂの上面には、圧電振動片６との接続電極である一対の電極パッド２０Ａ、２０Ｂが形成されている。また、第１ベース基板１０の下面には、一対の外部電極２１Ａ、２１Ｂがパッケージ２の長手方向に間隔をあけて形成されている。電極パッド２０Ａ、２０Ｂおよび外部電極２１Ａ、２１Ｂは、例えば蒸着やスパッタ等で形成された単一金属による単層膜、または異なる金属が積層された積層膜である。
電極パッド２０Ａ、２０Ｂと外部電極２１Ａ、２１Ｂとは、第２ベース基板１１の実装部１４Ａ、１４Ｂに形成された第２貫通電極２２Ａ、２２Ｂ、第１ベース基板１０と第２ベース基板１１の間に形成された接続電極（図示せず）、及び、第１ベース基板１０に形成された第１貫通電極（図示せず）を介して互いにそれぞれ導通している。
【００５４】
圧電振動片６は、一対の支持腕部９ａ、９ｂにより実装部１４Ａ、１４Ｂ上に実装された状態で、気密封止されたパッケージ２のキャビティＣ内に収容されている。
すなわち、図５に示すように、圧電振動片６は、支持腕部９ａ、９ｂに設けられた各マウント電極９９ａ、９９ｂ（図１（ａ）参照）が、実装部１４Ａ、１４Ｂ上の電極パッド２０Ａ、２０Ｂ（上面にメタライズ層が形成されている場合は該メタライズ層）にそれぞれ接合材５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂを介して電気的および機械的に接合されている。
このように、本実施形態の圧電振動片６は、支持腕部９ａ、９ｂのそれぞれが、その長さ方向（長手方向）の２箇所で実装部１４Ａ、１４Ｂ上に接合保持（２点支持）される。
【００５５】
接合材５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂは、導電性を有し、かつ接合初期の段階において流動性を持ち、接合後期の段階において固化して接合強度を発現する性質を有するものが使用され、例えば、銀ペースト等の導電性接着剤や、金属バンプ等の使用が好適である。
接合材５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂが導電性接着剤により構成されている場合、塗布装置の移動ヘッドに支持されたディスペンサノズルにより塗布される。
本実施形態では、各接合材のサイズは圧電振動子１のサイズによるが、例えば、１．２ｍｍ×１．０ｍｍサイズの圧電振動子１の場合、半径０．１ｍｍ程度に塗布される。
【００５６】
このように構成された圧電振動子１を作動させる場合には、外部電極２１Ａ、２１Ｂに所定の電圧を印加する。外部電極２１Ａ、２１Ｂに所定の電圧が印加されると、２系統の励振電極９１、９２に電流が流れ、２系統の励振電極９１、９２間に発生する電界による逆圧電効果によって、一対の振動腕部７ａ、７ｂは、例えば互いに接近、離間する方向（短手方向）に所定の共振周波数で振動する。一対の振動腕部７ａ、７ｂの振動は、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源などとして用いられる。
本実施形態の圧電振動片６では、上述したように、外側土手部７３ａ、７３ｂ、内側土手部７４ａ、７４ｂの主面には、励振電極９１、９２の少なくとも一方の励振電極が側面（外側側面又は溝部７２ａ、７２ｂの側面）から延設しているので、導電性異物の付着によるショートを回避しつつ、振動に寄与する面積を大きくすることができ、圧電効果を良くすることができる。
【００５７】
以上説明した圧電振動子１は、電波時計、携帯電話や携帯情報端末機器には、時刻源や制御信号等のタイミング源、リファレンス信号源等として、また、ジャイロセンサなどの計測機器等として使用される。
【００５８】
本発明は、図面を参照して説明した上述の実施形態に限定されるものではなく、その技術的範囲において様々な変形例が考えられる。
例えば、上記実施形態においては、圧電振動片６を用いた圧電振動子１として、セラミックパッケージタイプの表面実装型振動子について説明したが、圧電振動片６を、ガラス材によって形成されるベース基板およびリッド基板が陽極接合によって接合されるガラスパッケージタイプの圧電振動子１に適用することも可能である。
また、説明した実施形態の電極パッド２０は、実装部１４のほぼ全面に形成されているが、接合材５１、５２の少なくとも一方に対応する領域に形成されていればよい。
【００５９】
また、本実施形態として圧電振動片、圧電振動子を次のように構成するようにしてもよい。
（１）構成１
基部と、
前記基部から並んで延設された１対の振動腕部と、
前記１対の振動腕部の両主面に、長手方向に沿って形成された溝部と、
前記溝部の各々により、当該溝部の両側に形成される土手部と、
一方側の前記振動腕部の側面と、他方側の前記振動腕部の溝部に形成された第１励振電極と、
前記他方側の前記振動腕部の側面と、前記一方側の前記振動腕部の溝部に形成された第２励振電極と、を備え、
前記振動腕部の各々は、４つのうちの少なくとも１つの前記土手部において、前記第１励振電極と前記第２励振電極のうちの一方の励振電極が当該土手部の一方の側面から主面まで延設され、他方の励振電極が他方の側面から主面よりも下側まで形成されている、
ことを特徴とする圧電振動片。
この構成の圧電振動片によれば、振動腕部の各々は、４つのうちの少なくとも１つの土手部において、第１励振電極と第２励振電極のうちの一方の励振電極が当該土手部の一方の側面から主面まで延設され、他方の励振電極が他方の側面から主面よりも下側まで形成されているので、異物によるショートが生じにくく、振動に寄与する電極部分の面積を主面までの延設によって、より大きく確保することができる。
【００６０】
（２）構成２
前記４つのうちの他の土手部が存在する場合には当該他の土手部において、前記第１励振電極と前記第２励振電極の両方が前記土手部の側面から主面まで延設されている、
ことを特徴とする構成１に記載の圧電振動片。
（３）構成３
前記４つの全土手部において、前記一方の励振電極が当該土手部の一方の側面から主面まで延設され、前記他方の励振電極が他方の側面から主面よりも下側まで形成されている、
ことを特徴とする構成１、又は構成２に記載の圧電振動片。
（４）構成４
前記４つの土手部のうち、
前記他方の振動腕部から離れた側の外側土手部において、前記一方の励振電極が当該土手部の一方の側面から主面まで延設され、前記他方の励振電極が他方の側面から主面よりも下側まで形成され、
前記他方の振動腕部に近い側の内側土手部において、前記第１励振電極と前記第２励振電極の両方が前記土手部の側面から主面まで延設されている、
ことを特徴とする構成１、又は構成２に記載の圧電振動片。
（５）構成５
前記振動腕部の外側に並んで前記基部から延設された、実装用の１対の支持腕部を有する、
ことを特徴とする構成１から構成４のうちのいずれか１の構成に記載の圧電振動片。
（６）構成６
前記１対の振動腕部の間に前記基部から延設された、実装用の１つの支持腕部を備え、
前記４つの土手部のうち、少なくとも前記他方の振動腕部に近い側の内側土手部において、前記一方の励振電極が当該土手部の一方の側面から主面まで延設され、前記他方の励振電極が他方の側面から主面よりも下側まで形成されている、
ことを特徴とする構成１、又は請求項２に記載の圧電振動片。
（７）構成７
実装部を備えたパッケージと、
前記実装部に接合材を介して実装された、構成１から構成６のうちのいずれか１の構成に記載の圧電振動片と、
を具備したことを特徴とする圧電振動子。
【符号の説明】
【００６１】
１  圧電振動子
２  パッケージ
３  パッケージ本体
４  封口板
６  圧電振動片
７  振動腕部
８  基部
９  支持腕部
１０  第１ベース基板
１１  第２ベース基板
１４  実装部
２０  電極パッド
２１  外部電極
２２  第２貫通電極
５１、５２  接合材
７２  溝部
７３  外側土手部
７４  内側土手部
９１  励振電極
９２  励振電極
９９  マウント電極
【図１】
2020072365.tif 000003
【図２】
2020072365.tif 000004
【図３】
2020072365.tif 000005
【図４】
2020072365.tif 000006
【図５】
2020072365.tif 000007
【図６】
2020072365.tif 000008