(57)【要約】【課題】電子部品の破損を抑制できるピックアップ装置を提供する。【解決手段】実施形態に係るピックアップ装置１は、粘着シート２に貼着された電子部品３をピックアップするピックアップ部４と、粘着シート２の電子部品３とは反対側の面に対向して設けられたバックアップ部２００とを有し、バックアップ部２００は、粘着シート２を吸着保持する吸着面２２０と、吸着面２２０内に共通の軸に沿って移動可能に設けられ、外形の大きさが異なる複数の押圧体３０が共通の軸に同軸の入れ子状に配設された押圧部２３０と、押圧部２３０を移動させて、全ての押圧体３０により粘着シート２を押圧する押圧動作と、押圧体３０を順次、離隔方向へ移動させる離隔動作を行わせる駆動機構２４０と、駆動機構２４０に設けられ、共通の軸に沿って移動する単一の駆動部材２４１の動作を、複数の押圧体３０の離隔動作に変換する変換機構２５０と、を有する。【選択図】図１
2020072125.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着シートに貼着された電子部品をピックアップするピックアップ部と、
前記粘着シートの前記電子部品とは反対側の面に対向して設けられたバックアップ部と、
を有し、
前記バックアップ部は、
前記粘着シートのピックアップされる前記電子部品に対応する領域を吸着保持する吸着面と、
前記吸着面内に共通の軸に沿って移動可能に設けられ、外形の大きさが異なる複数の押圧体が前記共通の軸に同軸の入れ子状に配設された押圧部と、
前記押圧部を移動させて、全ての押圧体により前記粘着シートを押圧する押圧動作と、いずれかの押圧体から隣接する押圧体を順次、前記電子部品を粘着シートから剥離させる離隔方向へ移動させる離隔動作とを行わせる駆動機構と、
前記駆動機構に設けられ、前記共通の軸に沿って移動する単一の駆動部材の動作を、前記複数の押圧体の離隔動作に変換する変換機構と、
を有することを特徴とする電子部品のピックアップ装置。
【請求項２】
前記変換機構は、
各押圧体の相反する側面から外方に延出した少なくとも一対の延出部と、
各押圧体の延出部を前記離隔方向に個別に付勢する付勢部材と、
前記駆動部材により駆動され、各押圧体の前記離隔方向への移動を、いずれかの押圧体から隣接する押圧体へと順次許容する第１のカム機構と、
を有することを特徴とする請求項１記載の電子部品のピックアップ装置。
【請求項３】
前記第１のカム機構は、
各押圧体の前記粘着シートに押圧される押圧面とは反対側の面に設けられ、前記共通の軸に交差する方向に沿って、前記押圧体毎に形状が異なるカム面と、
各押圧体のカム面に接して、各押圧体を前記付勢部材に抗する方向に付勢するとともに、前記離隔方向に交差する方向に移動するローラシャフトと、
を有することを特徴とする請求項２記載の電子部品のピックアップ装置。
【請求項４】
前記ローラシャフトの移動範囲は、前記吸着面の外縁の範囲内であることを特徴とする請求項３記載の電子部品のピックアップ装置。
【請求項５】
前記カム面の形状に応じて、前記一対の延出部の一方と他方に対する付勢部材の付勢力が相違することを特徴とする請求項３又は請求項４記載の電子部品のピックアップ装置。
【請求項６】
最も外側の前記押圧体の一対の前記延出部が最も外側に設けられ、内側の前記押圧体になるに従って、前記延出部が順次内側に設けられていることを特徴とする請求項２乃至５のいずれかに記載の電子部品のピックアップ装置。
【請求項７】
前記変換機構は、
前記駆動部材の前記共通の軸に沿う方向への移動を、前記ローラシャフトの前記離隔方向に交差する方向への移動へ変換する第２のカム機構を有することを特徴とする請求項２乃至６のいずれかに記載の電子部品のピックアップ装置。
【請求項８】
前記第２のカム機構は、
ローラ及びこれに接する傾斜面を有し、
前記ローラ及び前記傾斜面のいずれか一方を前記共通の軸に沿って移動させる主動カム、他方を前記共通の軸に交差する方向に移動させる従動カムとする直動カムであることを特徴とする請求項７記載の電子部品のピックアップ装置。
【請求項９】
前記押圧部は、５個以上の押圧体を備え、
最も外側の押圧体は、押圧面の大きさが、ピックアップされる前記電子部品の前記粘着シートに貼り付けられる面の大きさと同じ或いは若干小さくなるように形成され、
最も内側の押圧体は、押圧面の面積が、ピックアップされる前記電子部品の前記粘着シートに貼り付けられる面の面積の３０％以下となる大きさに形成されて成ることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の電子部品のピックアップ装置。
【請求項１０】
粘着シートに貼着された電子部品をピックアップするピックアップ機構と、
前記粘着シートの前記電子部品とは反対側の面に対向して設けられたバックアップ部と、
を有し、
前記バックアップ部は、
前記粘着シートのピックアップされる前記電子部品に対応する領域を吸着保持する吸着面と、
前記吸着面内に共通の軸に沿って移動可能に設けられ、外形の大きさが異なる複数の押圧体が前記共通の軸に同軸の入れ子状に配設された押圧部と、
前記押圧部を移動させて、全ての押圧体により前記粘着シートを押圧する押圧動作と、いずれかの押圧体から隣接する押圧体を順次、前記電子部品を粘着シートから剥離させる離隔方向へ移動させる離隔動作とを行う駆動機構と、
前記駆動機構に設けられ、前記共通の軸に沿って移動する単一の駆動部材の動作を、前記複数の押圧体の離隔動作に変換する変換機構と、
を有し、
前記変換機構は、
各押圧体を前記離隔方向に個別に付勢する付勢部材と、
各押圧体の前記粘着シートに押圧される押圧面とは反対側の面に設けられ、前記共通の軸に交差する方向に沿って、前記押圧体毎に形状が異なるカム面と、
各押圧体のカム面に接して、各押圧体を前記付勢部材に抗する方向に付勢するとともに、前記離隔方向に交差する方向に移動するローラシャフトと、
を有することを特徴とする電子部品のピックアップ装置。
【請求項１１】
粘着シートに貼着された電子部品をピックアップするピックアップ部と、
前記粘着シートの前記電子部品とは反対側の面に対向して設けられたバックアップ部と、
を有し、
前記バックアップ部は、
前記粘着シートのピックアップされる前記電子部品に対応する領域を吸着保持する吸着面と、
前記吸着面内に共通の軸に沿って移動可能に設けられ、外形の大きさが異なる複数の押圧体が同軸の入れ子状に配設された押圧部と、
前記複数の押圧体を前記共通の軸に沿って個別に動作させる駆動機構であって、共通の軸に沿って移動する単一の駆動部材と、この単一の駆動部材の動作を前記複数の押圧体の個別の動作に変換する変換機構と、を備える駆動機構と、
を有することを特徴とする電子部品のピックアップ装置。
【請求項１２】
半導体チップを貼着保持した粘着シートを保持する供給装置と、
基板を載置する基板ステージと、
前記供給装置が保持した前記粘着シートから前記半導体チップをピックアップするピックアップ装置と、
前記ピックアップ装置によって取り出された前記半導体チップを、前記基板に実装する実装機構と、を備えた実装装置であって、
前記ピックアップ装置は、請求項１乃至１１のいずれかに記載のピックアップ装置であることを特徴とする実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品のピックアップ装置及び実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップをリードフレームや配線基板、インターポーザ基板等の基板上に実装するにあたって、半導体チップ毎に切断されて個片化された半導体ウエーハが粘着シートに貼着されたウエーハシートから、半導体チップを１つずつ取り出し、基板上に移送して実装することが行われている。
【０００３】
このように、ウエーハシートなどの粘着シートに貼り付けられた半導体チップなどの電子部品を、粘着シートから剥離してピックアップするために、ピックアップ機構と突き上げ機構とを有するピックアップ装置が用いられている。ピックアップ機構は、電子部品を吸着する吸着ノズルを有する。突き上げ機構は、吸着ノズルに吸着された電子部品を下面側から突き上げピンで突き上げて、粘着シートからの電子部品の剥離及び取り出しを補助する。
【０００４】
ところで、最近の半導体チップは、その厚さが５０μｍ以下というように薄厚化が進められている。そのように薄い半導体チップを単に突き上げピンで粘着シートを引き伸ばしながら突き上げた場合には、半導体チップが損傷するおそれが大きくなる。そこで、特許文献１に示されるように、半導体チップの下面に貼着された粘着シートの剥離が半導体チップの周辺部から中心部に向かって徐々に進行するように、軸線を一致させて同心的に設けられた複数の押し上げ体を有するピックアップ装置が開発されている。このようなピックアップ装置において、複数の押し上げ体がなす上面形状は、通常、ピックアップされる半導体チップと同等の形状、例えば四角形に形成されている。
【０００５】
上記したピックアップ装置においては、まず複数の押し上げ体を同時に所定の高さまで上昇させて、ピックアップされる半導体チップの下面全体を押圧して押し上げる。そして、最も外側に位置する突き上げ体を残し、他の突き上げ体を所定の高さまでさらに上昇させる。次いで、２番目の突き上げ体を残して他の突き上げ体を上昇させる。半導体チップの下面の突き上げ体による支持は、周辺部から中心部に向かって順次開放されるため、半導体チップが粘着テープから剥離しやすくなる。さらに、半導体チップの下面からの粘着テープの剥離を促進するために、少なくとも最外周に位置する押し上げ体の粘着テープとの接触面（上面）に、粘着テープとの間に吸引力が作用する凹部を設けることが提案されている。押し上げ体の上面に設けられた凹部は、粘着シートが半導体チップから剥離し始める箇所となるため、剥離テープの半導体チップからの剥離を促進することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−０５６４６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述したような複数の押し上げ体を有すると共に、少なくとも最外周に位置する押し上げ体の上面に凹部を設けたピックアップ装置を用いた場合においても、半導体チップに破損が生じる場合がある。半導体チップの破損の原因は明確ではないものの、厚さが例えば３０μｍ以下というように薄厚化された半導体チップを粘着シートから剥離してピックアップする際に、半導体チップの破損が生じやすい。また、半導体チップに形成される回路も半導体チップの高容量化や高機能化等を図るために高密度化しており、そのような回路形状も半導体チップの破損の一因と考えられる。
【０００８】
例えば、ＮＡＮＤ型フラッシュメモリ等のメモリチップにおいては、その厚さが年々薄厚化されており、上記したように３０μｍ以下、さらに２５μｍ以下、２０μｍ以下というような厚さを有する半導体チップの実用化が進められている。このため、そのような薄厚化された半導体チップをピックアップする場合においても、半導体チップに破損を生じさせることなく、より確実に半導体チップを粘着シートから剥離してピックアップすることが可能なピックアップ装置が求められている。
【０００９】
本発明の目的は、電子部品の破損を抑制できるピックアップ装置及び実装装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
実施形態の電子部品のピックアップ装置は、粘着シートに貼着された電子部品をピックアップするピックアップ部と、前記粘着シートの前記電子部品とは反対側の面に対向して設けられたバックアップ部と、を有し、前記バックアップ部は、前記粘着シートのピックアップされる前記電子部品に対応する領域を吸着保持する吸着面と、前記吸着面内に共通の軸に沿って移動可能に設けられ、外形の大きさが異なる複数の押圧体が前記共通の軸に同軸の入れ子状に配設された押圧部と、前記押圧部を移動させて、全ての押圧体により前記粘着シートを押圧する押圧動作と、いずれかの押圧体から隣接する押圧体を順次、前記電子部品を粘着シートから剥離させる離隔方向へ移動させる離隔動作とを行わせる駆動機構と、前記駆動機構に設けられ、前記共通の軸に沿って移動する単一の駆動部材の動作を、前記複数の押圧体の離隔動作に変換する変換機構と、を有する。
【００１１】
前記変換機構は、各押圧体の相反する側面から外方に延出した少なくとも一対の延出部と、各押圧体の延出部を前記離隔方向に個別に付勢する付勢部材と、前記駆動部材により駆動され、各押圧体の前記離隔方向への移動を、いずれかの押圧体から隣接する押圧体へと順次許容する第１のカム機構と、を有していてもよい。
【００１２】
前記第１のカム機構は、各押圧体の前記粘着シートに押圧される押圧面とは反対側の面に設けられ、前記共通の軸に交差する方向に沿って、前記押圧体毎に形状が異なるカム面と、各押圧体のカム面に接して、各押圧体を前記付勢部材に抗する方向に付勢するとともに、前記離隔方向に交差する方向に移動するローラシャフトと、を有していてもよい。
【００１３】
前記ローラシャフトの移動範囲は、前記吸着面の外縁の範囲内であってもよい。前記カム面の形状に応じて、前記一対の延出部の一方と他方に対する付勢部材の付勢力が相違していてもよい。最も外側の前記押圧体の一対の前記延出部が最も外側に設けられ、内側の前記押圧体になるに従って、前記延出部が順次内側に設けられていてもよい。
【００１４】
前記変換機構は、前記駆動部材の前記共通の軸に沿う方向への移動を、前記ローラシャフトの前記離隔方向に交差する方向への移動へ変換する第２のカム機構を有していてもよい。
【００１５】
前記第２のカム機構は、ローラ及びこれに接する傾斜面を有し、前記ローラ及び前記傾斜面のいずれか一方を前記共通の軸に沿って移動させる主動カム、他方を前記共通の軸に交差する方向に移動させる従動カムとする直動カムであってもよい。
【００１６】
前記押圧部は、５個以上の押圧体を備え、最も外側の押圧体は、押圧面の大きさが、ピックアップされる前記電子部品の前記粘着シートに貼り付けられる面の大きさと同じ或いは若干小さくなるように形成され、最も内側の押圧体は、押圧面の面積が、ピックアップされる前記電子部品の前記粘着シートに貼り付けられる面の面積の３０％以下となる大きさに形成されて成っていてもよい。
【００１７】
本発明の電子部品のピックアップ装置は、粘着シートに貼着された電子部品をピックアップするピックアップ機構と、前記粘着シートの前記電子部品とは反対側の面に対向して設けられたバックアップ部と、を有し、前記バックアップ部は、前記粘着シートのピックアップされる前記電子部品に対応する領域を吸着保持する吸着面と、前記吸着面内に共通の軸に沿って移動可能に設けられ、外形の大きさが異なる複数の押圧体が前記共通の軸に同軸の入れ子状に配設された押圧部と、前記押圧部を移動させて、全ての押圧体により前記粘着シートを押圧する押圧動作と、いずれかの押圧体から隣接する押圧体を順次、前記電子部品を粘着シートから剥離させる離隔方向へ移動させる離隔動作とを行う駆動機構と、前記駆動機構に設けられ、前記共通の軸に沿って移動する単一の駆動部材の動作を、前記複数の押圧体の離隔動作に変換する変換機構と、を有し、前記変換機構は、各押圧体を前記離隔方向に個別に付勢する付勢部材と、各押圧体の前記粘着シートに押圧される押圧面とは反対側の面に設けられ、前記共通の軸に交差する方向に沿って、前記押圧体毎に形状が異なるカム面と、各押圧体のカム面に接して、各押圧体を前記付勢部材に抗する方向に付勢するとともに、前記離隔方向に交差する方向に移動するローラシャフトと、を有する。
【００１８】
本発明の電子部品のピックアップ装置は、粘着シートに貼着された電子部品をピックアップするピックアップ部と、前記粘着シートの前記電子部品とは反対側の面に対向して設けられたバックアップ部と、を有し、前記バックアップ部は、前記粘着シートのピックアップされる前記電子部品に対応する領域を吸着保持する吸着面と、前記吸着面内に共通の軸に沿って移動可能に設けられ、外形の大きさが異なる複数の押圧体が同軸の入れ子状に配設された押圧部と、前記複数の押圧体を前記共通の軸に沿って個別に動作させる駆動機構であって、共通の軸に沿って移動する単一の駆動部材と、この単一の駆動部材の動作を前記複数の押圧体の個別の動作に変換する変換機構と、を備える駆動機構と、を有する。
【００１９】
本発明の実装装置は、半導体チップを貼着保持した粘着シートを保持する供給装置と、基板を載置する基板ステージと、前記供給装置が保持した前記粘着シートから前記半導体チップをピックアップするピックアップ装置と、前記ピックアップ装置によって取り出された前記半導体チップを、前記基板に実装する実装機構と、を備えた実装装置であって、前記ピックアップ装置は、前記のいずれかのピックアップ装置である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、電子部品の破損を抑制できるピックアップ装置及び実装装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】第１の実施形態の電子部品のピックアップ装置の概略構成を示す透視正面図である。
【図２】第１の実施形態の吸着面を示す平面図である。
【図３】第１の実施形態の押圧体を示す平面図である。
【図４】第１の実施形態の押圧体を示す分解図であり、左側が正面図、右側が側面図である。
【図５】押圧体の動作手順を示す説明図である。
【図６】押圧体の動作手順を示す説明図である。
【図７】第１の実施形態の第２のカム機構を示す動作説明図である。
【図８】第１の実施形態の第１のカム機構を示す動作説明図である。
【図９】第２の実施形態の実装装置を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、実施形態のピックアップ装置について、図面を参照して説明する。以下に示す図面は模式的なものであり、各部のサイズ、形状、各部の相互のサイズの比率等は現実のものとは異なる場合がある。
【００２３】
［第１の実施形態］
［構成］
図１は、第１の実施形態のピックアップ装置１の概略構成を示す透視正面図、図２は図１に示すピックアップ装置１のバックアップ部２００の吸着面２２０を示す平面図、図３は押圧部２３０を示す平面図、図４は押圧部２３０の分解図である。図４（ａ）〜（ｈ）の左側が正面図、右側が側面図である。なお、以下の説明中において、押圧部２３０の軸に平行な直線をＺ軸、これに直交する平面において互いに直交する２軸をＸ軸及びＹ軸とする。軸に沿う方向といった場合、軸に平行な直線上の相反する２方向を含む。但し、押圧部２３０が移動して粘着シート２を押圧する方向を、図中の矢印で示すＺ方向、Ｚ方向に直交し、ローラシャフト８２が移動する方向を、図中の矢印で示すＸ方向とする。また、本実施形態では、Ｘ軸及びＹ軸は水平に沿う軸であり、Ｚ軸は垂直な軸であるものとする。さらに、本実施形態では、重力に従う方向を下方、重力に抗する方向を上方としている。なお、押圧部２３０の軸は、後述する粘着シート２に接離する押圧面３１の中心を貫いて、径方向の断面に直交する直線である。押圧部２３０の「径方向の断面」とは、押圧部２３０を押圧面３１に正対して見たときに、押圧面３１の外形線によって形成される平面図形に沿う方向の断面である。なお、「押圧面の中心」とは、押圧部２３０を押圧面３１に正対して見たときに、押圧面３１の外形線によって形成される平面図形の中心又は重心のことである。
【００２４】
（電子部品）
電子部品３は、例えば、半導体素子、及び半導体素子以外の抵抗やコンデンサ等を挙げることができる。半導体素子としては、例えば、トランジスタ、ダイオード、ＬＥＤ、コンデンサ、及びサイリスタ等のディスクリート半導体、ＩＣやＬＳＩ等の集積回路等を挙げることができる。本実施形態は、図１に示すように、電子部品３として、直方体形状の半導体チップを用いる。各半導体チップは、半導体ウエーハをさいの目状に切断するダイシングにより個片化したものである。
【００２５】
（粘着シート）
電子部品３は、ダイシングテープと呼ばれる粘着シート２に貼着されている。粘着シート２は、図示しないウエーハリングに保持されている。粘着シート２の粘着面に貼着された半導体ウエーハを、さいの目状に切断して個片化することにより、粘着シート２に複数の電子部品３が貼着された状態となっている。
【００２６】
複数の電子部品３が貼着された粘着シート２は、図示しない駆動機構によって、ウエーハリングをＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸に沿う方向に移動可能に設けられている。これにより、後述するバックアップ部２００に対して、粘着シート２をＸ軸及びＹ軸に沿う方向に位置決め可能に設けられるとともに、バックアップ部２００の吸着面２２０に対して接離可能に設けられている。なお、ウエーハリングと、バックアップ部２００とは、相対的にＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸に沿って駆動されるように構成されていればよい。即ち、バックアップ部２００がＺ軸方向に移動して、Ｚ軸方向に固定の粘着シート２に対して接離するようにしても良い。
【００２７】
（ピックアップ装置）
本実施形態のピックアップ装置１は、粘着シート２に貼着された複数の電子部品３を粘着シート２から個別に剥離して取り出す装置である。ピックアップ装置１は、ピックアップ機構１００、バックアップ部２００、制御装置３００を有する。
【００２８】
ピックアップ機構１００は、粘着シート２に貼着された電子部品３をピックアップする。ピックアップ機構１００は、電子部品３を個別に吸着保持するピックアップ部４を有する。ピックアップ部４は、主胴部５、吸着ノズル８を有する。主胴部５は、円柱形状の部材であり、図示しないＸ、Ｙ及びＺ駆動源によって、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸に沿う方向に駆動される。主胴部５の一端面には、粘着シート２に向かって突出した凸部６が設けられている。主胴部５には、先端を凸部６の端面に開口させた吸引孔７が、Ｚ軸に沿う方向に形成されている。この吸引孔７は、図示しない吸引ポンプを含む空気圧回路に接続されている。
【００２９】
吸着ノズル８は、凸部６に着脱可能に接続され、先端に向かって径が小さくなる円錐台形状の部材である。吸着ノズル８は、ゴムや軟質の合成樹脂などの弾性材料によって形成されている。吸着ノズル８には、一端が吸引孔７に連通し、他端が先端の平坦面８ａに開口したノズル孔９が形成されている。なお、主胴部５をＺ軸に沿う方向に駆動するＺ駆動源としてはボイスコイルモータなどを用い、ピックアップ部４による押圧荷重が一定となるよう制御することが好ましい。
【００３０】
バックアップ部２００は、粘着シート２の粘着面と反対側の面に対向して設けられている。バックアップ部２００は、収容体２１０、吸着面２２０、押圧部２３０、駆動機構２４０、変換機構２５０を有する。
【００３１】
収容体２１０は、Ｚ軸に平行な直線を軸とする円筒形状の容器である。収容体２１０には、配管等を介して内部を吸引する吸引ポンプ２１１が接続されている。吸着面２２０は、粘着シート２のピックアップされる電子部品３に対応する領域を吸着保持する面である。電子部品３に対応する領域とは、粘着シート２におけるピックアップされる電子部品３が貼り付けられた領域を囲み、この領域よりも大きな領域である。
【００３２】
吸着面２２０は、図２に示すように、収容体２１０の粘着シート２に対向する開口に取り付けられたキャップに形成されている。吸着面２２０には、複数の吸引孔２２１が設けられている。吸引孔２２１は、バックアップ部２００の内部や図示しない配管を介して吸引ポンプ２１１に接続されている。吸引ポンプ２１１を作動させることによって、吸着面２２０には、複数の吸引孔２２１を介して吸引力が発生する。従って、吸引ポンプ２１１を作動させて、吸着面２２０を粘着シート２の粘着面と反対側の面に接触させれば、粘着シート２が吸着保持される。つまり、本実施形態では、吸着面２２０において、吸引孔２２１が設けられている領域内の全体が、電子部品３に対応する領域となる。なお、吸引孔２２１は、吸着面２２０の略全域に設けるようにしているので、押圧部２３０上を含む吸着面２２０内の全域を、電子部品３に対応する領域としても良い。
【００３３】
押圧部２３０は、吸着面２２０内に共通の軸に沿って移動可能に設けられ、外形の大きさが異なる複数の押圧体３０が共通の軸に同軸の入れ子状に配設された部材である。ここで、共通の軸は、Ｚ軸に平行であり、上述した押圧部２３０の軸でもある。押圧部２３０は、吸着面２２０に設けられた矩形状の開口部２２２内に進退可能に設けられている。
【００３４】
押圧体３０は、図２及び図３に示すように、共通の軸に直交する断面が、電子部品３と相似形状の矩形の筒状体又は柱状体である。最内周の押圧体３０Ａは、粘着シート２に対向する端面が、矩形の押圧面３１となった柱状体である。最内周よりも外周の押圧体３０Ｂ〜３０Ｈは、粘着シート２に対向する端面が、矩形の枠状の押圧面３２となった筒状体である。本実施形態では、押圧体３０内に、これよりも小さな外形の押圧体３０が順次挿入されることにより、８つの押圧体３０Ａ〜３０Ｈが同軸の入れ子状に且つ摺動可能に配設されている。最外周の押圧体３０Ｈの外形の大きさは、ピックアップの対象となる電子部品３の粘着シート２に貼り付けられる面の外形の大きさと同じ或いは若干小さい。若干小さいとは、例えば、電子部品３の粘着シート２に貼り付けられる面の外形よりも、押圧体３０Ｈの側壁の厚さによって決まる押圧面３２の幅程度まで小さくても許容される。これにより、電子部品３への負荷を抑えつつ、最外周から粘着シート２を剥離させることができる。以下の説明では、押圧体３０Ａ〜３０Ｈを区別しない場合には、押圧体３０とする場合がある。
【００３５】
なお、電子部品３の破損を防止する観点からは、電子部品３の粘着シート２に貼り付けられる面の面積に対して、最内周の押圧体３０Ａの押圧面３１によって剥がされずに残る粘着シート２の面積が、３０％以下であることが好ましいが、本実施形態はこれに限定されない。また、各押圧体３０Ｂ〜３０Ｈの側壁の厚さによって決まる押圧面３２の幅は、０．６ｍｍ程度、或いはこれ以下とすることが好ましいが、本実施形態はこれには限定されない。また、本実施形態の電子部品３は正方形であるが、これには限定されず、長方形状であってもよい。電子部品３が長方形状の場合には、押圧面３１、３２は、電子部品３と相似の長方形とすれば良い。
【００３６】
押圧体３０Ｂ〜３０Ｈの押圧面３２には、図３及び図４に示すように、凹凸が形成されている。つまり、押圧面３２の矩形の４つの側辺部に沿って複数の第１の凸部３３が設けられ、矩形の４つの角部に第２の凸部３４が設けられている。第１の凸部３３と第２の凸部３４との間及び第１の凸部３３間には、凹部３５が設けられている。第１の凸部３３、第２の凸部３４の頭頂面は、粘着シート２を押圧する。このように粘着シート２を押し上げた時、第１の凸部３３は、電子部品３の４つの側辺部に平行な方向を部分的に支持し、第２の凸部３４は、電子部品３の中心から４つの角部に向かう方向を部分的に支持する。
【００３７】
凹部３５には、収容体２１０内に設けられた図示しない配管や押圧体３０Ａ〜３０Ｈ間の隙間及び切欠３６を通じて、吸引ポンプ２１１の吸引力が伝わる。切欠３６は、押圧体３０Ｂ〜３０Ｈの押圧面３２の一部に、部分円形状で切り欠くように形成された吸引経路である。また、隣接する押圧体３０においては、凹部３５は互い違いに設けられている。このような互い違いの構成により、外周及び角から中央に向かう吸引のラインが形成されるので、中央部分への吸引が最後まで確保され、粘着シート２の吸着性能が向上する。
【００３８】
駆動機構２４０は、押圧部２３０を移動させて、全ての押圧体３０により粘着シート２を押圧する押圧動作と、外側の押圧体３０から隣接する内側の押圧体３０を順次、電子部品を粘着シート２から剥離させる離隔方向へ移動させる離隔動作を行わせる機構である。ここで、本実施形態においては、離隔方向は、押圧の方向とは逆の方向である。変換機構２５０は、駆動機構２４０に設けられ、共通の軸に沿って移動する単一の第１の駆動部材２４１の動作を、複数の押圧体３０Ａ〜３０Ｈの離隔動作に変換する。
【００３９】
駆動機構２４０は、同軸の円筒形状の第１の駆動部材２４１、第２の駆動部材２４２を有する。第１の駆動部材２４１、第２の駆動部材２４２は、例えば、サーボモータにより駆動されるボールネジ機構やカムローラ機構等により、共通の軸に沿う方向に個別に駆動される。第１の駆動部材２４１は、後述する変換機構２５０を駆動する。第２の駆動部材２４２は、後述するフレーム５０を駆動する。
【００４０】
変換機構２５０は、フレーム５０、延出部６０、付勢部材７０、第１のカム機構８０、第２のカム機構９０を有する。フレーム５０は、収容体２１０内に収容され、押圧部２３０、第１のカム機構８０、第２のカム機構９０を支持する部材である。
【００４１】
フレーム５０は、支持ブロック５１、第１の支持板５２、リニアガイド５３、第２の支持板５４を有する。支持ブロック５１は、収容体２１０内の粘着シート２側に設けられた直方体形状であり、その内部に押圧部２３０がＺ軸方向に沿って摺動可能に挿通された直方体形状のガイド孔５１ａが形成されている。さらに、支持ブロック５１の粘着シート２側には、相反する側面の外側に突出した突出部５１ｂが設けられている。ここで、相反する側面とは、共通の軸に関して対向する位置関係にあることである。例えば、本実施形態のように、支持ブロック５１が直方体形状である場合、４つある側面のうち共通の軸を挟んで位置する（対向する）２つの側面が、相反する側面である。
【００４２】
第１の支持板５２は、支持ブロック５１が取り付けられた円板状の部材である。リニアガイド５３は、ガイドレールにより、後述する移動体８３をＸ方向にスライド移動可能に支持する部材である。第２の支持板５４は、フレーム５０の駆動機構２４０側に設けられた円板状の部材である。第２の支持板５４には、第１の駆動部材２４１が挿通する孔が形成されている。また、第２の支持板５４には第２の駆動部材２４２の先端が固定されている。なお、第１の支持板５２、リニアガイド５３、第２の支持板５４は、図示しないＺ軸方向の支柱により互いに接続固定されている。
【００４３】
延出部６０は、図３及び図４に示すように、押圧体３０の相反する側面の外側に、それぞれ一対ずつ設けられている。ここで、押圧体３０の相反する側面とは、本実施形態のように押圧体３０が矩形の筒状である場合、共通の軸を挟んで位置する（対向する）２つの側面のことである。なお、相反する側面は、一つの押圧体３０に２組存在するが、本実施形態では、Ｘ軸方向で対向する組を相反する側面としている。また、側面の外側とは、側面を正面から見た場合に両端部となる部分である。つまり、各押圧体３０の相反する２側面から、合計４つの延出部６０が設けられている。なお、延出部６０は、側面の下端に設けられる。最も外側の押圧体３０Ｈの一対の延出部６０は、最も外側に設けられ、内側の押圧体３０Ｇ〜３０Ａになるに従って、延出部６０が順次内側に設けられている。なお、最内周の押圧体３０Ａの延出部６０は、相反する側面に一つずつ設けられている。つまり、全ての押圧体３０Ａ〜３０Ｈが、相反する側面に一対ずつ延出部６０が設けられていなくてはならないものではない。なお、延出部６０は、Ｙ軸方向で対向する２つの側壁の下端を、Ｘ軸方向で対向する２つの側壁の下端よりも下側に所定量延長させ、この延長部分の両端をＸ軸方向に延出させた部分と捉えることもできる。
【００４４】
付勢部材７０は、図１及び図３に示すように、各押圧体３０の延出部６０を離隔方向に個別に付勢する部材である。付勢部材７０としては、板ばね、コイルスプリング等の弾性部材を用いて構成することができる。本実施形態では、付勢部材７０として、圧縮コイルばねを内蔵した筒の先端に、圧縮コイルばねの伸縮に応じて進退するピンが設けられた部材を用いる。付勢部材７０は、Ｚ軸に平行な方向に設けられ、一方の端部が支持ブロック５１に取り付けられ、他方の端部であるピンの先端が、延出部６０に接しているので、各押圧体３０を付勢している。
【００４５】
第１のカム機構８０は、第１の駆動部材２４１により駆動され、各押圧体３０の離隔方向への移動を、外側から内側に順次許容する機構である。第１のカム機構８０は、カム面８１、ローラシャフト８２、移動体８３を有する。
【００４６】
カム面８１は、各押圧体３０の粘着シート２とは反対側の面に設けられ、共通の軸に交差する方向、具体的には、Ｘ軸方向に沿って、各押圧体３０毎に形状が異なる面である。本実施形態では、カム面８１は、押圧面３１又は３２からの距離が押圧体３０毎に順次異なる部分を有する面である。カム面８１は、押圧体３０のＹ軸に沿う方向に対向する２つの側面の端面、具体的には、押圧面３１又は３２とは反対側である下端面に形成されている。カム面８１は、図４に示すように、第１の一致面８４と、傾斜面８５と、第２の一致面８６とを備える。第１の一致面８４は、押圧面３１又は３２からの距離がｄ１で一定の、他の押圧体３０との間で一致している面である。傾斜面８５は、第１の一致面８４に緩やかに連続して、押圧面３１又は３２からの距離がｄ２へと徐々に減少していく面である。第２の一致面８６は、押圧面３１又は３２からの距離がｄ２で一定の、他の押圧体３０との間で一致している面である。第１の一致面８４の長さｗは、内側の押圧体３０になるに従って長くなり、これに従って傾斜面８５の始端の位置ｐ及び第２の一致面８６の始端の位置ｑが、Ｘ軸に沿ってずれている。このことは、後述するローラシャフト８２が傾斜面８５に達するタイミングが、内側の押圧体３０になるほど遅くなることを意味する。
【００４７】
ローラシャフト８２は、各押圧体３０のカム面８１に接して、各押圧体３０を付勢部材７０に抗する方向に付勢するとともに、離隔方向に交差する方向、具体的には、Ｘ軸方向に移動する。ローラシャフト８２は、カム面８１が形成された２側面に亘る長さを有している。このローラシャフト８２が傾斜面８５に達していない場合、つまり第１の一致面８４に接している場合には、全ての押圧体３０を付勢部材７０に抗する方向に押し上げている。ローラシャフト８２が各押圧体３０の傾斜面８５に達すると、付勢部材７０の付勢力によって、各押圧体３０が順次、離隔方向に移動する。本実施形態では、内側の押圧体３０になるほどローラシャフト８２が傾斜面８５に達するタイミングが遅いので、外側の押圧体３０から順に離隔方向に移動することになる。
【００４８】
なお、ローラシャフト８２の移動範囲は、吸着面２２０の外縁の範囲内である。本実施形態では、ローラシャフト８２は、収容体２１０の内径の範囲内で移動する。よって、カム面８１もこの範囲内で形成されている。また、付勢部材７０は、カム面８１の形状に応じて、一対の延出部６０の一方と他方に対する付勢力が相違している。つまり、理論的には、傾斜面８５の位置が各押圧体３０の中央に位置している場合、各押圧体３０を挟む位置に配置された一対の付勢部材７０の付勢力を同等とすれば、各押圧体３０の傾きが防止される。しかし、カム面８１の位置が、中央からずれている場合には、そのずれ量に応じて、付勢部材７０の付勢力を変える必要がある。
【００４９】
例えば、一方の延出部６０とローラシャフト８２と他方の延出部６０との間には、力点と支点と作用点と同様の関係が成り立つ。すなわち、両側の延出部６０に一対の付勢部材７０で同等の付勢力が付与されていて、ローラシャフト８２が中央に位置しているときは、ローラシャフト８２に両側に均等に付勢力が作用し、傾きは防止される。これに対して、ローラシャフト８２の位置がどちらか一方の延出部６０の位置に寄った場合、一方の延出部６０よりも他方の延出部６０の方がローラシャフト８２からの距離が遠くなる。両方の延出部６０に付与される付勢力は同じであるから、ローラシャフト８２からの距離が遠い方である他方の延出部６０側の付勢力が強く作用することになる。このため、押圧体３０には、傾きを生じさせる力が作用することになる。この力の発生は、押圧体３０が停止状態のときには問題ないが、押圧体３０が離隔方向に移動するときに生じていると、円滑な移動を妨げる原因となり好ましくない。そこで、傾斜面８５から遠い方の付勢部材７０の付勢力を、傾斜面８５に近い方の付勢部材７０の付勢力よりも弱くする。つまり、圧縮コイルばねの押付力が弱いものを使用する。
【００５０】
付勢力の強弱は、傾斜面８５からの距離に応じて決定すれば良い。例えば、一対の付勢部材７０同士の間の距離と傾斜面８５までの距離の比率で付勢力を決定することができる。即ち、一対の付勢部材７０同士の間の距離を１０とした場合、一方の付勢部材７０から傾斜面８５までの距離が４、他方の付勢部材７０から傾斜面８５までの距離が６であるならば、一方の付勢部材７０の付勢力に対して他方の付勢部材７０の付勢力が４／６倍の関係になるように設定すれば良い。
【００５１】
移動体８３は、移動ブロック８３ａ、軸受け８３ｂを有する。移動ブロック８３ａは、略直方体形状の部材であり、リニアガイド５３によってＸ方向にスライド移動可能に設けられている。軸受け８３ｂは、移動体８３の押圧体３０側に設けられ、ローラシャフト８２のＹ軸に沿う方向の軸を回動可能に支持する部材である。
【００５２】
第２のカム機構９０は、第１の駆動部材２４１の離隔方向に沿う移動（Ｚ軸方向への移動）を、ローラシャフト８２の離隔方向に交差する方向（Ｘ軸方向）への移動に変換する機構である。第２のカム機構９０はローラ９２及びこれに接する傾斜面９１を有し、ローラ９２及び傾斜面９１のいずれか一方を、共通の軸、つまりＺ軸に沿って移動させる主動カム、他方をＺ軸に交差する方向（Ｘ軸方向）に移動させる従動カムとする直動カムである。
【００５３】
本実施形態の第２のカム機構９０は、傾斜面９１、ローラ９２、軸受け９３を有する。傾斜面９１は、移動ブロック８３ａの押圧体３０と反対側の面に設けられ、Ｚ方向に対して傾斜した面である。ローラ９２は、傾斜面９１に接して粘着シート２に近づく方向に移動することにより、移動ブロック８３ａをＸ方向に沿う図示左方向に移動させる（図１参照）。
【００５４】
軸受け９３は、ローラ９２のＹ軸に沿う方向の軸を回動可能に支持する。軸受け９３は、第１の駆動部材２４１の端部に固定されている。このため、第１の駆動部材２４１の移動に従って、軸受け９３がローラ９２とともに、粘着シート２側に移動する。
【００５５】
制御装置３００は、ピックアップ装置１の各部を制御する装置である。この制御装置３００は、例えば、プロセッサ、メモリ等を含む専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって構成できる。吸引ポンプ２１１による排気に関する制御、駆動機構２４０による駆動の制御、ピックアップ機構１００によるピックアップの制御などに関しては、その制御内容がプログラムされ、各種の設定がメモリ等の記憶部に記憶されている。制御装置３００は、ＰＬＣやＣＰＵなどの処理装置により、このような設定に従ってプログラムを実行する。
【００５６】
［動作］
以上のような本実施形態のピックアップ装置１の動作を、上記の図面に加えて、図５〜８を参照して説明する。まず、ウエーハリングを駆動する駆動機構によって、ピックアップされる電子部品３が、押圧部２３０の押圧面３２に合い、粘着シート２が吸着面２２０に接するように、粘着シート２を移動させる。この移動は、あらかじめ電子部品３の位置座標を含むマップ情報に基づいて行われる。
【００５７】
そして、図５（Ａ）に示すように、吸引ポンプ２１１によって、吸引孔２２１に吸引力を働かせることによって、粘着シート２を吸着面２２０に吸着させる。これにより、粘着シート２は、ピックアップされる電子部品３に対応する部分が吸着面２２０に吸着保持され、電子部品３の領域が、押圧体３０の押圧面３１、３２によっても吸着保持される。
【００５８】
このように、粘着シート２を吸着面２２０により吸着保持したら、ピックアップ部４を電子部品３に向けて移動させて、吸着ノズル８により、ピックアップされる電子部品３の上面を吸着する。
【００５９】
次に、駆動機構２４０により第２の駆動部材２４２を、粘着シート２側に予め設定した移動量だけ駆動することにより、図５（Ｂ）に示すように、フレーム５０に支持された押圧部２３０、つまり、押圧体３０Ａ〜３０Ｈを一括して粘着シート２側に押し上げる。すると、押圧体３０の押圧面３１、３２が、電子部品３の全体を均等に押圧するので、粘着シート２の電子部品３が貼着された部分が、吸着面２２０を超えて押し出される。
【００６０】
そして、駆動機構２４０により第１の駆動部材２４１を、粘着シート２側に駆動することにより、図７（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、粘着シート２側にローラ９２を移動させる。つまり、ローラ９２をＺ軸方向に沿って上昇させる。この移動方向を、図中、白塗りの矢印で示す。すると、傾斜面９１をローラ９２が付勢するので、移動体８３の移動ブロック８３ａ及び軸受け８３ｂがＸ方向に移動する。この移動方向を、図中、黒塗りの矢印で示す。これにより、ローラシャフト８２がＸ方向に沿う図示左側へ移動する。
【００６１】
このように、ローラシャフト８２が移動すると、図８に示すように、ローラシャフト８２が、押圧体３０の一致面８４からカム面８１に沿って移動する。すると、図５（Ｃ）、（Ｄ）、（Ｅ）、図６（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）に示すように、付勢部材７０の付勢力により、外側の押圧体３０Ｈから、押圧体３０Ｇ、３０Ｆ、３０Ｅ、３０Ｄ、３０Ｃ、３０Ｂが順次、離隔方向に移動、つまり、下降して行く。
【００６２】
このように、押圧体３０が順次移動すると、吸引ポンプ２１１の吸引力が作用しているため、電子部品３の外周側から内周側に向かって、粘着シート２の剥離が進行する。最終的には、図６（Ｅ）に示すように、最内周の押圧体３０Ａのみが、粘着シート２を押圧している状態となり、この押圧体３０Ａの押圧面３１の領域が、粘着シート２の電子部品３に貼着した部分となる。
【００６３】
最内周の押圧体３０Ａの押圧面３１は、その面積が非常に小さく設定されている。このため、電子部品３を吸着した吸着ノズル８を上昇させることによって、電子部品３は粘着シート２から容易に剥離される。つまり、押圧体３０Ａの押圧面３１が、電子部品３にかかるストレスを抑制して、剥離させることが可能な大きさに設定されている。この後、吸着ノズル８を上昇させることによって、電子部品３を粘着シート２からピックアップすることができる。
【００６４】
［作用効果］
（１）本実施形態のピックアップ装置１は、粘着シート２に貼着された電子部品３をピックアップするピックアップ部４と、粘着シート２の電子部品３とは反対側の面に対向して設けられたバックアップ部２００と、を有し、バックアップ部２００は、粘着シート２のピックアップされる電子部品３に対応する領域を吸着保持する吸着面２２０と、吸着面２２０内に共通の軸に沿って移動可能に設けられ、外形の大きさが異なる複数の押圧体３０が共通の軸に同軸の入れ子状に配設された押圧部２３０と、押圧部２３０を移動させて、全ての押圧体３０により粘着シート２を押圧する押圧動作と、外側の押圧体３０から隣接する内側の押圧体３０を、電子部品３を粘着シート２から剥離させる離隔方向へ移動させる離隔動作とを行わせる駆動機構２４０と、駆動機構２４０に設けられ、共通の軸に沿って移動する単一の第１の駆動部材２４１の動作を、複数の押圧体３０の離脱動作に変換する変換機構２５０と、を有する。
【００６５】
このため、単一の第１の駆動部材２４１の動作によって、複数の押圧体３０を外側から順次離隔方向へ移動させて、粘着シート２から剥離させることができる。従って、装置の複雑化や大型化を防ぎつつ、ピックアップ時の電子部品３の破損を防止できる。
【００６６】
（２）変換機構２５０は、各押圧体３０の相反する側面から外方に延出した少なくとも一対の延出部６０と、各押圧体３０の延出部６０を離隔方向に個別に付勢する付勢部材７０と、第１の駆動部材２４１により駆動され、各押圧体３０の離隔方向への移動を、外側から内側に順次許容する第１のカム機構８０と、を有する。
【００６７】
このため、押圧体３０の側面から外方に延出した延出部６０を付勢部材７０で押さえることになるので、押圧体３０の内部で押さえる場合に比べて、押さえる位置の間隔が広くなり、押圧体３０のぐらつき等を防止して、移動の安定化を図ることができる。
【００６８】
（３）第１のカム機構８０は、各押圧体３０の粘着シート２に押圧される押圧面３１、３２とは反対側の面に設けられ、共通の軸に交差する方向に沿って、押圧体３０毎に形状が異なるカム面８１と、各押圧体３０のカム面８１に接して、各押圧体３０を付勢部材７０に抗する方向に付勢するとともに、離隔方向に交差する方向に移動するローラシャフト８２と、を有する。
【００６９】
このため、ローラシャフト８２の移動に従って、複数の押圧体３０を順次離隔方向に移動させることができるので、個々の押圧体３０を独立に駆動する場合に比べて、簡単且つ小型の装置によって、押圧体３０の数を増やして多段にすることができる。従って、同一面積の電子部品３を粘着シート２から剥離する場合に、外側から剥離する際の一回毎の面積を小さくできるとともに、最後に残る中央の押圧面３１の面積を小さくすることができる。これにより、剥離の際に電子部品３に加わる負荷と剥離の速度のバランスを適切なものとして、電子部品３の破損を防止できる。例えば、押圧体３０を５つ以上としても、装置の複雑化や大型化を抑えつつ、電子部品３の破損を防ぐことができる。なお、平板の板状のブレードを押圧体として用いる場合と比べても、同様に、最後に残る中央の押圧面３１の面積を小さくすることができる。例えば、本実施形態では、電子部品３の粘着シート２に貼り付けられる面の面積に対して、最内周の押圧体３０Ａの押圧面３１によって剥がされずに残る粘着シート２の面積を、０．５％以下にすることができる。
【００７０】
（４）ローラシャフト８２の移動範囲は、吸着面２２０の外縁の範囲内である。このため、複数の押圧体３０が移動する共通の軸に直交する方向であるＸ軸方向に、ピックアップ装置１が大型化することを防止できる。
【００７１】
（５）カム面８１の形状に応じて、一対の延出部６０の一方と他方に対する付勢部材７０の付勢力が相違する。このため、付勢部材７０の付勢力を、各押圧体３０の傾きが生じないようにして、スムーズな動作を実現できる。
【００７２】
（６）最も外側の押圧体３０の一対の延出部６０が最も外側に設けられ、内側の押圧体３０になるに従って、延出部６０が順次内側に設けられている。外側の押圧体３０であるほど平面視での大きさが大きくなるため、ぐらついた場合の押圧面３１の変位量も大きくなる。本実施形態では、外側の延出部６０ほど間隔が広くなるため、傾きを防止して押圧面３１を安定させることができる。
【００７３】
（７）変換機構２５０は、第１の駆動部材２４１の共通の軸に沿う方向への移動を、ローラシャフト８２の離隔方向に交差する方向への移動へ変換する第２のカム機構９０を有する。このため、駆動機構２４０の第１の駆動部材２４１の移動を共通の軸方向であるＺ軸方向として、これに直交する方向であるＸ軸方向のスペースの拡大を防止できる。
【００７４】
（８）第２のカム機構９０は、ローラ９２及びこれに接する傾斜面９１を有し、ローラ９２及び傾斜面９１のいずれか一方を共通の軸に沿って移動させる主動カム、他方を前記共通の軸に交差する方向に移動させる従動カムとする直動カムである。このため、簡単な構成で、軸方向の動作をローラシャフト８２の動作に変換できる。なお、傾斜面９１を主動カム、ローラ９２を従動カムとしてもよい。
【００７５】
（９）押圧部２３０は、５個以上の押圧体３０Ａ〜３０Ｈを備え、最も外側の押圧体３０Ｈは、押圧面３２の大きさが、電子部品３の粘着シート２に貼り付けられる面の大きさ、つまり、電子部品３の外形よりも同じ或いは若干小さくなるように形成され、最も内側の押圧体３０Ａは、押圧面３１の面積が、電子部品３の粘着シート２に貼り付けられる面の面積の３０％以下となる大きさに形成されている。
【００７６】
このように構成されているため、電子部品３から粘着シート２を少しずつ引き剥がすことができるとともに、最終的に電子部品３から剥がされずに残る粘着シート２の面積を小さくすることができるので、厚みの薄い電子部品３であってもストレスを抑制して剥離させることが可能となる。このような構成は、一辺の長さを５ｍｍを超えるような比較的大きなサイズで、厚さが５０μｍ以下のような薄型の電子部品３のピックアップに特に有効である。なお、最も内側の押圧体３０Ａの押圧面３１の面積を電子部品３の面積の５％以下に設定し、筒状の押圧体３０の側壁の厚さを０．６ｍｍ以下となるように、その個数を設定すれば、より一層、ストレスに対する信頼性を向上させることができる。つまり、電子部品３の破損の抑制効果をより一層向上させることができる。
【００７７】
［第２の実施形態］
図９を参照して、第２の実施の形態として、第１の実施形態のピックアップ装置１を備えた実装装置４００について説明する。以下の説明では、垂直方向の直線に沿う方向をＺ軸方向、Ｚ軸方向に直交する水平方向の平面において、互いに直交する２直線に沿う方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向とする。
【００７８】
実装装置４００は、ピックアップ装置１及び制御装置３００の他、供給装置５００と、中間ステージ６００と、基板ステージ７００と、実装機構８００と、を有する。供給装置５００は、半導体チップなどの電子部品３を貼着保持した粘着シート２を保持する装置である。供給装置５００は、ウエーハリング５１０、ウエーハテーブル５２０及び図示しない駆動機構を有する。ウエーハリング５１０は、個片化された電子部品３が貼着された粘着シート２を保持する部材である。ウエーハテーブル５２０は、ウエーハリング５１０を移動可能に支持する装置である。駆動機構は、ウエーハテーブル５２０をＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸方向に移動可能に支持し、ウエーハリング５１０をＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸に沿って移動させる。
【００７９】
中間ステージ６００は、ピックアップ装置１の吸着ノズル８によって吸着保持された電子部品３を実装機構８００に受け渡す際に、電子部品３を一時的に載置するステージである。基板ステージ７００は、基板７１０を載置する部材である。つまり、電子部品３が実装される基板７１０を支持する部材である。基板ステージ７００は、図示しないＸＹθ方向移動機構に支持され、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、θ（水平回転）方向に移動可能に設けられている。
【００８０】
実装機構８００は、ピックアップ装置１によって取り出された電子部品３を、基板７１０に実装する機構である。実装機構８００は、中間ステージ６００上から電子部品３を吸着保持し、吸着保持した電子部品３を基板ステージ７００に支持された基板７１０上の所定の位置に実装する。実装機構８００は、実装ツール８１０及び図示しないＸＹＺ駆動機構を有する。実装ツール８１０は電子部品３を吸着保持する吸着ノズルである。ＸＹＺ駆動機構は、実装ツール８１０を、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動させる機構である。
【００８１】
ピックアップ装置１は、上述の第１の実施形態と同様の構成である。また、制御装置３００は、第１の実施形態の制御装置３００に、供給装置５００、基板ステージ７００、実装機構８００を制御する機能が付加されたものである。
【００８２】
このような実装装置４００においては、供給装置５００のウエーハテーブル５２０に支持されたウエーハリング５１０上から、ピックアップ装置１が、上述のように電子部品３をピックアップする。ピックアップ装置１は、ピックアップした電子部品３を、中間ステージ６００を介して、実装機構８００の実装ツール８１０に受渡す。実装ツール８１０は、基板ステージ７００上の基板７１０に実装される。実装装置４００は、このような電子部品３のピックアップ、受渡し、基板７１０への実装の動作を、順次繰り返し実行する。
【００８３】
このような実装装置４００では、上述の第１の実施形態と同様の作用効果を奏することができる。さらに、この作用効果によって、実装装置４００による電子部品３の実装品質の向上と実装の信頼性の向上を図ることができ、ひいては、電子部品３が基板７１０に実装されて製造される半導体パッケージなどの電子部品製品の品質の向上を図ることができる。
【００８４】
［変形例］
本実施形態は、以下のような変形例も適用可能である。例えば、粘着シート２の支持方向、ピックアップ機構１００のピックアップ方向、バックアップ部２００の第１の駆動部材２４１、第２の駆動部材２４２の駆動方向、押圧体３０の移動方向は、垂直方向であっても、水平方向であっても、これらに対して傾斜した方向であってもよい。
【００８５】
また、上記の態様において、第１の駆動部材２４１及び変換機構２５０によって、押圧体３０を外側の押圧体３０Ｈから隣接する内側の押圧体３０Ｇ、３０Ｆ…、に向けて順に離隔方向に移動、つまり、下降させるようにしたが、これに限られるものではない。例えば、内側に位置する押圧体３０Ａから隣接する外側の押圧体３０Ｂ、３０Ｃ…、の順に下降させるようにしても良いし、中間の押圧体３０から隣接する外側の押圧体３０と内側の押圧体３０に順に下降させるようにしてもよい。また、各押圧体３０を下降させるタイミングについても、均等の時間間隔で下降させるものに限られるものではなく、押圧体３０毎に下降させる時間間隔を違えるようにしてよい。例えば、電子部品３が粘着シート２に接している面積が小さくなるほど、押圧体３０を下降させる時間間隔を短くしてもよい。より具体的には、外側から内側に近づくほど、押圧体３０を下降させる時間間隔を短くしてもよい。
【００８６】
さらに、押圧体３０が移動する離隔方向は、電子部品３を粘着シート２から剥離させる方向であればよく、押圧の方向とは逆の方向には限定されない。例えば、押圧体３０を押圧方向に移動、つまり、上昇させるようにしても良い。すなわち、外側の押圧体３０Ｈに対してより内側の押圧体３０ほど高くなるように順次に上昇させるようにしてもよい。また、押圧体３０に上昇と下降を行わせるようにしてもよい。例えば、上記の態様において、カム面８１に、各押圧体３０を同じタイミングで所定量、上昇させる傾斜面を形成し、各押圧体３０を一括して所定量上昇させた後、外側の押圧体３０Ｈから順に下降させるように動作させてもよい。このように構成すれば、第２の駆動部材２４２を省くことが可能となる。
【００８７】
このような押圧体３０の動作のさせ方の変更は、カム面８１の形状、所謂、カム曲線を押圧体３０毎に適宜変更すればよい。例えば、上記の態様において、各押圧体３０を下降させる時間間隔を短くしたいのならば、各押圧体３０間のカム面８１における傾斜面８５の相対間隔を短くすればよい。また、押圧体３０の下降量を大きくしたいのならば、第１の一致面８４に対する第２の一致面８６の高低差を大きくすればよい。このように、カム面８１により制御する構成を採用すると、各押圧体３０のカム面８１のカム曲線の変更によって、各押圧体３０の押し上げ量や離隔量、押し上げ或いは離隔のタイミングを自由に設定することができる。
【００８８】
また、上記の態様において、押圧体３０を矩形の筒状、或いは、矩形の柱状に形成したものとしたが、これに限られるものではなく、円筒状や円柱状、或いは、矩形以外の各筒状や角柱状に形成してもよい。例えば、押圧体３０を円筒状及び円柱状とした場合、各押圧体３０の相反する側面とは、各押圧体３０の共通の軸を含む平面に対して垂直に交わる直線上に位置する２つの側面となる。したがって、円筒状の押圧体３０において、上記実施形態のように押圧体３０の側面の外側に延出部６０設けた場合には、延出部６０は円筒の側面に接するように設けられることになる。
【００８９】
なお、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施し得るものであり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００９０】
１  ピックアップ装置
２  粘着シート
３  電子部品
４  ピックアップ部
５  主胴部
６  凸部
７  吸引孔
８  吸着ノズル
８ａ  平坦面
９  ノズル孔
３０、３０Ａ〜３０Ｈ  押圧体
３１、３２  押圧面
３３  第１の凸部
３４  第２の凸部
３５  凹部
３６  切欠
５０  フレーム
５１  支持ブロック
５１ａ  ガイド孔
５１ｂ  突出部
５２  第１の支持板
５３  リニアガイド
５４  第２の支持板
６０  延出部
７０  付勢部材
８０  第１のカム機構
８１  カム面
８２  ローラシャフト
８３  移動体
８３ａ  移動ブロック
８３ｂ  軸受け
８４  第１の一致面
８５  傾斜面
８６  第２の一致面
９０  第２のカム機構
９１  傾斜面
９２  ローラ
９３  軸受け
１００  ピックアップ機構
２００  バックアップ部
２１０  収容体
２１１  吸引ポンプ
２２０  吸着面
２２１  吸引孔
２２２  開口部
２３０  押圧部
２４０  駆動機構
２４１  第１の駆動部材
２４２  第２の駆動部材
２５０  変換機構
３００  制御装置
４００  実装装置
５００  供給装置
５１０  ウエーハリング
５２０  ウエーハテーブル
６００  中間ステージ
７００  基板ステージ
７１０  基板
８００  実装機構
８１０  実装ツール
【図１】
2020072125.tif 000003
【図２】
2020072125.tif 000004
【図３】
2020072125.tif 000005
【図４】
2020072125.tif 000006
【図５】
2020072125.tif 000007
【図６】
2020072125.tif 000008
【図７】
2020072125.tif 000009
【図８】
2020072125.tif 000010
【図９】
2020072125.tif 000011