(57)【要約】【課題】中間部及び／又は厚部が振動部の振動に及ぼす影響を低減できる振動素子用圧電片を提供する。【解決手段】振動部１２１ａは、平面視において水晶片１２１の内側の領域を含んでいる平板状である。厚部１２１は、平面視において水晶片１２１の外周側の領域の少なくとも一部を含んでおり、振動部１２１ａよりも厚い。中間部１２１ｂは、平面視において水晶片１２１の振動部１２１ａから厚部１２１ｃまでの領域を含んでおり、厚部１２１ｃ側ほど厚くなっている。中間部１２１ｂの第１傾斜面１２５Ａは、＋Ｙ´側に面しており、振動部１２１ａ側に対して厚部１２１ｃ側が＋Ｙ´側に位置する向きで第１主面１２４Ａに傾斜している平面状である。第１傾斜面１２５Ａの厚部１２１ｃ側の縁部１２５Ａｂは、第１平面１２６Ａよりも−Ｙ´側に位置している。【選択図】図４
2020182054.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板形状を有している圧電片であって、
平面視において前記板形状の内側の領域を含んでいる、平板状の振動部と、
平面視において前記板形状の外周側の領域の少なくとも一部を含んでいる、前記振動部よりも厚い厚部と、
平面視において前記板形状の前記振動部から前記厚部までの領域を含んでいる、前記厚部側ほど厚くなっている中間部と、
を有しており、
前記振動部は、
前記板形状の厚み方向の一方側に面しており、前記厚み方向に直交している第１主面と、
前記厚み方向の他方側に面しており、前記厚み方向に直交している第２主面と、を有しており、
前記厚部は、
前記厚み方向の前記一方側に面しており、前記第１主面よりも前記一方側に位置しており、前記厚み方向に直交している第１平面と、
前記厚み方向の前記他方側に面しており、前記第２主面よりも前記他方側に位置しており、前記厚み方向に直交している第２平面と、を有しており、
前記中間部は、
前記厚み方向の前記一方側に面しており、前記振動部側に対して前記厚部側が前記一方側に位置する向きで前記第１主面に傾斜している平面状の第１傾斜面と、
前記厚み方向の前記他方側に面しており、前記振動部側に対して前記厚部側が前記他方側に位置する向きで前記第２主面に傾斜している平面状の第２傾斜面と、を有しており、
前記第１傾斜面の前記厚部側の縁部は、前記第１平面よりも前記厚み方向の前記他方側に位置しており、
前記第２傾斜面の前記厚部側の縁部は、前記第２平面よりも前記厚み方向の前記一方側に位置している、又は前記第２傾斜面は前記第２平面に至っている
振動素子用圧電片。
【請求項２】
前記第１主面から前記第１平面までの前記厚み方向における高さをＨ１とし、前記第２主面から前記第２平面までの前記厚み方向における高さをＨ２としたとき、
２／３×Ｈ２≦Ｈ１≦３／２×Ｈ２
が成り立つ
請求項１に記載の振動素子用圧電片。
【請求項３】
前記中間部及び前記厚部からなる部分は、当該部分の一方の主面側から他方の主面側へ貫通している貫通孔を有している
請求項１又は２に記載の振動素子用圧電片。
【請求項４】
前記第１傾斜面の前記厚部側の縁部と、前記第２傾斜面の前記厚部側の縁部とは、前記中間部と前記厚部とが隣り合う方向において互いにずれている
請求項１〜３のいずれか１項に記載の振動素子用圧電片。
【請求項５】
前記第１傾斜面の前記振動部側の縁部と、前記第２傾斜面の前記振動部側の縁部とは、前記中間部と前記振動部とが隣り合う方向において互いにずれている
請求項１〜４のいずれか１項に記載の振動素子用圧電片。
【請求項６】
前記第１傾斜面の前記第１主面に対する傾斜角と、前記第２傾斜面の前記第２主面に対する傾斜角とが等しい
請求項４又は５に記載の振動素子用圧電片。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の振動素子用圧電片と、
前記第１主面に位置している第１励振電極と、
前記第２主面に位置している第２励振電極と、
前記第１平面及び前記第２平面の少なくとも一方の面に位置しており、前記第１励振電極と電気的に接続されている第１引出電極と、
前記第１平面及び前記第２平面の少なくとも一方の面に位置しており、前記第２励振電極と電気的に接続されている第２引出電極と、
を有している圧電振動素子。
【請求項８】
請求項７に記載の圧電振動素子と、
前記第１平面及び前記第２平面の一方である第１対向面に対向している第２対向面を有している基体と、
前記第１対向面と前記第２対向面とを接合している接合材と、
前記基体に接合されて前記圧電振動素子を密閉している蓋体と、
を有している圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、振動素子用圧電片、圧電振動素子及び圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電デバイスとして、例えば、水晶振動子及び水晶発振器が知られている。これらの圧電デバイスは、交流電圧の印加によって振動する振動素子を有している。振動素子は、板状の圧電片（例えば水晶片）と、圧電片の１対の主面（板形状の最も広い面。板形状の表裏。以下、同様。）に設けられた１対の励振電極とを有している。１対の励振電極は、圧電片に交番電圧を印加する。
【０００３】
特許文献１〜４では、板状の圧電片の形状として、平面視において互いに異なる領域を構成する、振動部、厚部及び中間部を有する形状を開示している。振動部は、励振電極が設けられる部位であり、平板状である。厚部は、振動部に対して外周側に位置しており、振動部よりも厚い。中間部は、振動部と厚部との間に位置しており、厚部側ほど厚くなっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−３４０６１号公報
【特許文献２】特開２０１８−１１０４４７号公報
【特許文献３】特開２０１８−５６８６０号公報
【特許文献４】特開２０１８−５６８６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
中間部及び／又は厚部が振動部の振動に及ぼす影響を低減できる振動素子用圧電片、圧電振動素子及び圧電デバイスが提供されることが待たれる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様に係る振動素子用圧電片は、板形状を有している圧電片であって、平面視において前記板形状の内側の領域を含んでいる、平板状の振動部と、平面視において前記板形状の外周側の領域の少なくとも一部を含んでいる、前記振動部よりも厚い厚部と、平面視において前記板形状の前記振動部から前記厚部までの領域を含んでいる、前記厚部側ほど厚くなっている中間部と、を有しており、前記振動部は、前記板形状の厚み方向の一方側に面しており、前記厚み方向に直交している第１主面と、前記厚み方向の他方側に面しており、前記厚み方向に直交している第２主面と、を有しており、前記厚部は、前記厚み方向の前記一方側に面しており、前記第１主面よりも前記一方側に位置しており、前記厚み方向に直交している第１平面と、前記厚み方向の前記他方側に面しており、前記第２主面よりも前記他方側に位置しており、前記厚み方向に直交している第２平面と、を有しており、前記中間部は、前記厚み方向の前記一方側に面しており、前記振動部側に対して前記厚部側が前記一方側に位置する向きで前記第１主面に傾斜している平面状の第１傾斜面と、前記厚み方向の前記他方側に面しており、前記振動部側に対して前記厚部側が前記他方側に位置する向きで前記第２主面に傾斜している平面状の第２傾斜面と、を有しており、前記第１傾斜面の前記厚部側の縁部は、前記第１平面よりも前記厚み方向の前記他方側に位置しており、前記第２傾斜面の前記厚部側の縁部は、前記第２平面よりも前記厚み方向の前記一方側に位置している、又は前記第２傾斜面は前記第２平面に至っている。
【０００７】
一例において、前記第１主面から前記第１平面までの前記厚み方向における高さをＨ１とし、前記第２主面から前記第２平面までの前記厚み方向における高さをＨ２としたとき、
２／３×Ｈ２≦Ｈ１≦３／２×Ｈ２
が成り立つ。
【０００８】
一例において、前記中間部及び前記厚部からなる部分は、当該部分の一方の主面側から他方の主面側へ貫通している貫通孔を有している。
【０００９】
一例において、前記第１傾斜面の前記厚部側の縁部と、前記第２傾斜面の前記厚部側の縁部とは、前記中間部と前記厚部とが隣り合う方向において互いにずれている。
【００１０】
一例において、前記第１傾斜面の前記振動部側の縁部と、前記第２傾斜面の前記振動部側の縁部とは、前記中間部と前記振動部とが隣り合う方向において互いにずれている。
【００１１】
一例において、前記第１傾斜面の前記第１主面に対する傾斜角と、前記第２傾斜面の前記第２主面に対する傾斜角とが等しい。
【００１２】
本開示の一態様に係る圧電振動素子は、上記の振動素子用圧電片と、前記第１主面に位置している第１励振電極と、前記第２主面に位置している第２励振電極と、前記第１平面及び前記第２平面の少なくとも一方の面に位置しており、前記第１励振電極と電気的に接続されている第１引出電極と、前記第１平面及び前記第２平面の少なくとも一方の面に位置しており、前記第２励振電極と電気的に接続されている第２引出電極と、を有している。
【００１３】
本開示の一態様に係る圧電デバイスは、上記の圧電振動素子と、前記第１平面及び前記第２平面の一方である第１対向面に対向している第２対向面を有している基体と、前記第１対向面と前記第２対向面とを接合している接合材と、前記基体に接合されて前記圧電振動素子を密閉している蓋体と、を有している。
【発明の効果】
【００１４】
上記の構成によれば、中間部及び／又は厚部が振動部の振動に及ぼす影響を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態に係る水晶デバイスの斜視図。
【図２】図１のII−II線における断面図。
【図３】図１の水晶デバイスの水晶素子の斜視図。
【図４】図３の水晶素子の水晶片の一部拡大側面図。
【図５】図５（ａ）、図５（ｂ）、図５（ｃ）及び図５（ｄ）は水晶素子の製造方法の一例を示す模式的な断面図。
【図６】図６（ａ）、図６（ｂ）、図６（ｃ）及び図６（ｄ）は種々の変形例を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、実施形態に係る水晶デバイスについて、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。同様に、図面相互の寸法比率等についても必ずしも一致していない。
【００１７】
（水晶デバイスの概略構成）
図１は、実施形態に係る水晶デバイス１００の斜視図である。図２は、II−II線における断面図である。なお、水晶デバイス１００は、いずれの方向が上下方向又は水平方向とされてもよいが、以下の説明では、便宜上、図１及び図２の紙面上方を上方として、上面等の用語を用いることがある。
【００１８】
水晶デバイス１００は、例えば、全体として略直方体形状となっている電子部品である。水晶デバイスの寸法は、適宜な大きさとされてよい。一例を挙げると、長辺又は短辺の長さは、０．６ｍｍ以上２．０ｍｍ以下であり、上下方向の厚さは、０．２ｍｍ以上１．５ｍｍ以下である。水晶デバイス１００は、例えば、その下面を不図示の回路基板部等の上面に対向させて表面実装される。
【００１９】
水晶デバイス１００は、例えば、一定の周波数で信号強度（例えば電圧及び／又は電流）が振動する発振信号の生成に寄与する振動子として構成されている。水晶デバイス１００は、例えば、発振信号の生成に利用される振動を生じる水晶素子１２０と、水晶素子１２０をパッケージングしているパッケージ１０３とを有している。
【００２０】
パッケージ１０３は、例えば、水晶素子１２０を支持する基体１１０と、基体１１０に接合されて水晶素子１２０を封止する蓋体１３０とを有している。水晶素子１２０は、例えば、導電性接着剤１４０によって基体１１０に接合されて支持されている。パッケージ１０３の内部空間は、例えば、真空とされ、又は適当なガス（例えば、窒素）が封入されている。
【００２１】
基体１１０は、例えば、水晶素子１２０を収容する凹部を有する形状とされている。別の観点では、基体１１０は、平板状の基板部１１０ａと、基板部１１０ａの上面の縁部に沿って設けられている枠部１１０ｂとを有している。基板部１１０ａおよび枠部１１０ｂからなる基体１１０は、セラミック材料等の絶縁材料からなる。蓋体１３０は、例えば、金属から構成され、枠部１１０ｂの上面にシーム溶接等により接合される。
【００２２】
パッケージ１０３は、水晶素子１２０と、水晶デバイス１００が実装される不図示の回路基板部等とを電気的に接続するための導体を有している。例えば、パッケージ１０３は、水晶素子１２０を実装するための搭載パッド１１１と、水晶デバイス１００を不図示の回路基板部等に実装するための実装端子１１２と、両者を接続する不図示の配線導体とを有している。
【００２３】
搭載パッド１１１は、基板部１１０ａの上面に位置する導電層により構成されている。実装端子１１２は、基板部１１０ａの下面に位置する導電層により構成されている。不図示の配線導体は、基板部１１０ａを上下に貫通する貫通導体を含んで構成されている。これらの導体の材料は、例えば、金属である。
【００２４】
水晶素子１２０は、導電性接着剤１４０によって搭載パッド１１１に接合されている。これにより、水晶素子１２０は、基体１１０に支持されているとともに、パッケージ１０３に電気的に接続されている。より詳細には、水晶素子１２０は、例えば、その一端側において搭載パッド１１１と接合されて、片持ち梁状に支持されている。導電性接着剤１４０は、例えば、金属からなるフィラーを混ぜ込んだ熱硬化性樹脂によって構成されている。
【００２５】
実装端子１１２は、例えば、不図示の回路基板部のパッドとはんだによって接合される。これにより、水晶デバイス１００は、回路基板部に支持されるとともに電気的に接続される。
【００２６】
（水晶素子の概略構成）
図３は、水晶素子１２０の斜視図である。なお、図中の＋Ｙ´方向は、図２の紙面上方に対応しており、＋Ｘ方向は、図２の紙面右方に対応している。ただし、図示の例の水晶素子１２０は、概略、Ｘ軸に平行な中心線に関して１８０°回転対称の構成であり、＋Ｙ´方向が図２の紙面下方（基板部１１０ａ側）に対応していてもよい。また、Ｘ軸の正負と、水晶素子１２０の形状との対応関係は、図示の対応関係と逆であっても構わない。
【００２７】
水晶素子１２０は、板状の水晶片１２１と、水晶片１２１に設けられている１対の金属パターン１２３とを有している。１対の金属パターン１２３によって水晶片１２１に電圧が印加されることによって水晶素子１２０は振動する。なお、板状は、例えば、互いに反対側に面する１対の面が他の面よりも広い形状ということができる。
【００２８】
水晶片１２１は、例えば、いわゆるＡＴカット板によって構成されている。すなわち、水晶においてＸ軸（電気軸）、Ｙ軸（機械軸）およびＺ軸（光軸）からなる直交座標系ＸＹＺを、Ｘ軸回りに３０°以上５０°以下（一例として、３５°１５′）回転させて直交座標系ＸＹ´Ｚ´を定義したとき、水晶片１２１は、ＸＺ´平面に基本的に平行な主面を有する板状である。
【００２９】
水晶片１２１は、例えば、平面視において互いに異なる領域を構成している、振動部１２１ａ、中間部１２１ｂ及び厚部１２１ｃを有している。振動部１２１ａは、発振信号の生成に寄与する振動を生じる部分であり、ＸＺ´平面に平行な平板状である。厚部１２１ｃは、例えば、基体１１０への接合に利用される部分であり、振動部１２１ａよりも厚い。中間部１２１ｂは、振動部１２１ａと厚部１２１ｃとの間の部分であり、厚部１２１ｃ側ほど厚くなっている。
【００３０】
１対の金属パターン１２３それぞれは、例えば、振動部１２１ａに電圧を印加する励振電極部１２３ａ、外部から電圧が印加される引出部１２３ｂ、及び励振電極１２３ａと引出部１２３ｂとを接続する配線部１２３ｃを有している。１対の励振電極部１２３ａは、例えば、振動部１２１ａの両主面に設けられている。１対の引出部１２３ｂは、厚部１２１ｃの少なくとも下面において（図示の例では上面においても）二つ並んで設けられている。配線部１２３ｃは、水晶片１２１の主面及び側面等に設けられている。金属パターン１２３は、金属等からなる導電性材料により形成されている。
【００３１】
水晶素子１２０は、振動部１２１ａを基板部１１０ａの上面に対向させて、基体１１０の凹部内に収容される。１対の引出部１２３ｂは、基体１１０の基板部１１０ａに設けられている１対の搭載パッド１１１に１対の導電性接着剤１４０により接着される。１対の励振電極部１２３ａは、１対の配線部１２３ｃ、１対の引出部１２３ｂおよび１対の導電性接着剤１４０によって、基体１１０に設けられている１対の搭載パッド１１１と電気的に接続されている。ひいては、１対の励振電極部１２３ａは、基板部１１０ａに設けられている実装端子１１２のいずれか２つと電気的に接続されている。
【００３２】
上記の２つの実装端子１１２は、不図示の発振回路によって交番電圧が印加される。ひいては、１対の励振電極１２３ａによって振動部１２１ａに交番電圧が印加される。これにより、振動部１２１ａは、いわゆる厚み滑り振動を生じる。この振動は、発振回路によって発振信号の生成に利用される。このとき、発振回路は、例えば、水晶片１２１の厚み滑り振動のうち基本波振動を利用する。
【００３３】
（水晶片の形状）
図４は、水晶片１２１の一部を拡大して示す側面図である。なお、図示の例の水晶片１２１では、ＸＹ´平面に平行な断面の形状は、Ｚ´軸方向において概略一定であり、図４は、水晶片１２１の断面図と捉えられても構わない。
【００３４】
図３及び図４に示す水晶片１２１（その全体）の平面形状等は適宜に設定されてよい。図示の例では、水晶片１２１の平面形状は、Ｚ´軸及びＸ軸に平行な辺を有する矩形状とされている。水晶片１２１の他の平面形状としては、例えば、円形及び楕円形を挙げることができる。また、矩形の４辺のうちいずれか１つ以上を外側に膨らむ曲線状（例えば円弧）にした形状を挙げることができる。
【００３５】
なお、矩形は、正方形及び狭義の長方形を含む。また、矩形又は矩形状というとき、特に断りが無い限り、角部が面取りされているなど、厳密に正方形又は長方形でなくてもよいものとする。水晶片１２１の平面形状以外の他の形状の説明においても同様である。
【００３６】
水晶片１２１の平面形状において、Ｘ軸方向（厚み滑り振動において主面同士が相対的に滑る方向）が長手方向であってもよいし（図示の例）、Ｚ´軸方向が長手方向であってもよいし、Ｚ´軸方向の長さとＸ軸方向の長さとが同等であってもよい。図示の例では、水晶片１２１は、Ｘ軸方向を長手方向としている。換言すれば、水晶片１２１は、Ｘ軸方向に平行な長辺と、Ｘ軸に平行な短辺を有している。
【００３７】
（振動部）
振動部１２１ａは、平面視において、少なくとも水晶片１２１の内側の領域を含んでいる。ここでいう内側の領域は、水晶片１２１の外縁から離れている領域である。より詳細には、例えば、振動部１２１ａは、水晶片１２１の平面視における図心を含む領域を含んでいてよい。確認的に記載すると、図心は、その点を通る任意の軸に対する断面一次モーメントが０になる点である。
【００３８】
振動部１２１ａの平面形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。図示の例では、振動部１２１ａの平面形状は、Ｚ´軸及びＸ軸に平行な辺を有する矩形状とされている。振動部１２１ａの他の平面形状としては、例えば、円形及び楕円形を挙げることができる。また、矩形の４辺のうちいずれか１つ以上を外側に膨らむ曲線状（例えば円弧）にした形状を挙げることができる。
【００３９】
振動部１２１ａの平面形状において、Ｘ軸方向（厚み滑り振動において主面同士が相対的に滑る方向）が長手方向であってもよいし、Ｚ´軸方向が長手方向であってもよいし（図示の例）、Ｚ´軸方向の長さとＸ軸方向の長さとが同等であってもよい。図示の例では、振動部１２１ａは、Ｚ´軸方向を長手方向としている。換言すれば、振動部１２１ａは、Ｚ´軸方向に平行な長辺と、Ｘ軸に平行な短辺を有している。
【００４０】
振動部１２１ａは、例えば、水晶片１２１の面積（平面透視における面積）のうち、比較的広い部分を占めている。例えば、振動部１２１ａは、水晶片１２１の面積の１／２以上を占めている。ただし、振動部１２１ａは、水晶片１２１の面積の１／２未満を占めるだけであってもよい。
【００４１】
振動部１２１ａは、ＸＺ´平面に平行な平板状であるから、ＸＺ´平面に平行な主面（第１主面１２４Ａ及び第２主面１２４Ｂ）を有している。第１主面１２４Ａは、＋Ｙ´側（水晶片１２１の厚み方向の一方側）に面しており、Ｙ´軸（厚み方向）に直交している。第２主面１２４Ｂは、−Ｙ´側（水晶片１２１の厚み方向の他方側）に面しており、Ｙ´軸（厚み方向）に直交している。別の観点では、第１主面１２４Ａ及び第２主面１２４Ｂは互いに平行である。
【００４２】
（厚部）
厚部１２１ｃは、平面視において水晶片１２１の外周側の領域の少なくとも一部を含んでいる。別の観点では、厚部１２１ｃは、中間部１２１ｂを挟んで振動部１２１ａの外縁の少なくとも一部と隣り合っている。厚部１２１ｃと振動部１２１ａの外縁とが隣り合う長さ（振動部１２１ａの外縁に沿う方向の長さ）は、後述の変形例（図６（ａ）及び図６（ｂ））からも理解されるように適宜に設定されてよい。図示の例では、厚部１２１ｃは、矩形状の振動部１２１ａの１辺に亘って振動部１２１ａと隣り合っている。
【００４３】
厚部１２１ｃと振動部１２１ａとが中間部１２１ｂを挟んで隣り合う方向は、Ｘ軸方向（厚み滑り振動において主面同士が相対的に滑る方向）であってもよいし（図示の例）、Ｚ´軸方向であってもよい。また、別の観点では、上記隣り合う方向は、振動部１２１ａの短手方向であってもよいし（図示の例）、振動部１２１ａの長手方向であってもよい。さらに、上記隣り合う方向と水晶片１２１の長手方向との関係も任意である。
【００４４】
厚部１２１ｃの平面形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。例えば、厚部１２１ｃは、一定の幅で振動部１２１ａの外縁に沿うような形状であってもよいし（図示の例）、振動部１２１ａ側の縁部の形状と、振動部１２１ａとは反対側の縁部の形状とが互いに異なるような形状であってもよい。図示の例では、厚部１２１ｃは、振動部１２１ａの１辺に平行な長辺を有する矩形状とされている。
【００４５】
厚部１２１ｃと振動部１２１ａとが中間部１２１ｂを挟んで互いに隣り合っている方向に直交する方向（図示の例ではＺ´軸方向）において、厚部１２１ｃは、振動部１２１ａに対して、小さくてもよいし、同等でもよいし（図示の例）、大きくてもよい。また、上記隣り合っている方向（図示の例ではＸ軸方向）における厚部１２１ｃの長さも任意である。図示の例では、厚部１２１ｃのＸ軸方向の長さは、振動部１２１ａのＸ軸方向の長さよりも短い。
【００４６】
厚部１２１ｃは、例えば、振動部１２１ａと同様に、ＸＺ´平面に平行な平板状である。ただし、厚部１２１ｃは、板状と概念できる広さを有しない形状であってもよい。厚部１２１ｃは、振動部１２１ａと同様に、ＸＺ´平面に平行な主面（第１平面１２６Ａ及び第２平面１２６Ｂ）を有している。第１平面１２６Ａは、＋Ｙ´側（水晶片１２１の厚み方向の一方側）に面しており、Ｙ´軸（厚み方向）に直交している。第２平面１２６Ｂは、−Ｙ´側（水晶片１２１の厚み方向の他方側）に面しており、Ｙ´軸（厚み方向）に直交している。別の観点では、第１平面１２６Ａ及び第２平面１２６Ｂは互いに平行である。さらに別の観点では、第１平面１２６Ａ及び第２平面１２６Ｂは、第１主面１２４Ａ及び第２主面１２４Ｂと平行である。
【００４７】
厚部１２１ｃは、既述のように振動部１２１ａよりも厚い。より詳細には、厚部１２１ｃは、振動部１２１ａに対して厚み方向（Ｙ´軸方向）の両側に高くなっている。別の観点では、厚み方向の一方側（＋Ｙ´側）に面している第１平面１２６Ａは、前記一方側に面している第１主面１２４Ａよりも前記一方側に位置している。また、厚み方向の他方側（−Ｙ´側）に面している第２平面１２６Ｂは、前記他方側に面している第２主面１２４Ｂよりも前記他方側に位置している。
【００４８】
厚み方向（Ｙ´軸方向）において、振動部１２１ａの厚部１２１ｃに対する位置は任意である。例えば、第１主面１２４Ａから第１平面１２６Ａまでの厚み方向における高さをＨ１とする。第２主面１２４Ｂから第２平面１２６Ｂまでの厚み方向における高さをＨ２とする。このとき、Ｈ１は、Ｈ２よりも小さくてもよいし、同等でもよいし（図示の例）、大きくてもよい。また、例えば、下記式のいずれかが成り立ってもよい。
２／３×Ｈ２≦Ｈ１≦３／２×Ｈ２
４／５×Ｈ２≦Ｈ１≦６／５×Ｈ２
９／１０×Ｈ２≦Ｈ１≦１１／１０×Ｈ２
【００４９】
（中間部）
中間部１２１ｂは、平面視において振動部１２１ａから厚部１２１ｃまでの領域を含んでいる。別の観点では、中間部１２１ｂは、振動部１２１ａに一体的につながっているとともに、厚部１２１ｃに一体的につながっており、これにより、振動部１２１ａと厚部１２１ｃとをつないでいる。
【００５０】
中間部１２１ｂは、例えば、概略、振動部１２１ａから厚部１２１ｃまでの領域のみからなる（他の領域を殆ど含まない）。また、中間部１２１ｂは、例えば、概略、厚部１２１ｃの振動部１２１ａ側の外縁の全体に亘っている。
【００５１】
従って、既述の、厚部１２１ｃが振動部１２１ａと隣り合う方向（図示の例ではＸ軸方向）、及び厚部１２１ｃが振動部１２１ａの外縁と隣り合う長さ（振動部１２１ａの外縁に沿う方向の長さ。図示の例では振動部１２１ａの１辺に相当する長さ）についての説明は、中間部１２１ｂが振動部１２１ａと隣り合う方向、及び中間部１２１ｂが振動部１２１ａの外縁と隣り合う長さに援用されてよい。
【００５２】
また、中間部１２１ｂの平面形状は、既述の振動部１２１ａ及び厚部１２１ｃの平面形状についての説明から類推可能である。すなわち、振動部１２１ａの縁部の形状の説明は、中間部１２１ｂの振動部１２１ａ側の縁部の形状に援用されてよい。厚部１２１ｃの振動部１２１ａ側の縁部の形状の説明は、中間部１２１ｂの厚部１２１ｃ側の縁部の形状に援用されてよい。図示の例では、中間部１２１ｂの平面形状は、振動部１２１ａの厚部１２１ｃ側の１辺と、厚部１２１ｃの振動部１２１ａ側の１辺とを有する矩形状である。
【００５３】
ただし、中間部１２１ｂは、平面視において、振動部１２１ａと厚部１２１ｃとの間に位置していない部分を有していたり、厚部１２１ｃの振動部１２１ａ側の縁部の全体に亘っていなかったりしてもよい。
【００５４】
中間部１２１ｂの平面視における寸法は適宜に設定されてよい。例えば、厚部１２１ｃと振動部１２１ａとが中間部１２１ｂを介して互いに隣り合っている方向に直交する方向（図示の例ではＺ´軸方向）において、中間部１２１ｂは、振動部１２１ａ及び／又は厚部１２１ｃに対して、小さくてもよいし、同等でもよいし（図示の例）、大きくてもよい。また、上記隣り合っている方向（図示の例ではＸ軸方向）における中間部１２１ｂの長さも任意である。図示の例では、中間部１２１ｂのＸ軸方向の長さは、厚部１２１ｃのＸ軸方向の長さよりも短い。
【００５５】
中間部１２１ｂは、既述のように厚部１２１ｃ側ほど厚くなっている。具体的には、中間部１２１ｂは、厚部１２１ｃ側ほど厚くなるように第１傾斜面１２５Ａ及び第２傾斜面１２５Ｂを有している。第１傾斜面１２５Ａは、厚み方向の一方側（＋Ｙ´側）に面しており、振動部１２１ａ側に対して厚部１２１ｃ側が前記一方側に位置する向きで第１主面１２４Ａに傾斜している。第２傾斜面１２５Ｂは、厚み方向の他方側（−Ｙ´側）に面しており、振動部１２１ａ側に対して厚部１２１ｃ側が前記他方側に位置する向きで第２主面１２４Ｂに傾斜している。
【００５６】
第１傾斜面１２５Ａの第１主面１２４Ａに対する傾斜角θ１、及び第２傾斜面１２５Ｂの第２主面１２４Ｂに対する傾斜角θ２は適宜に設定されてよい。例えば、傾斜角θ１及び傾斜角θ２は、互いに同等であってもよいし（図示の例）、互いに異なっていてもよい。なお、ここでいう傾斜角θ１及びθ２が同等は、例えば、両者の角度の差が３°以下又は１°以下の場合を含んでよいものとする。また、例えば、傾斜角θ１及びθ２は、４５°未満であってもよいし、４５°以上であってもよい。
【００５７】
（振動部、中間部及び厚部の境界）
第１主面１２４Ａと第１傾斜面１２５Ａとは互いに交差している。別の観点では、図４に示すような側面視若しくは断面視において、第１主面１２４Ａ及び第１傾斜面１２５Ａは角部を構成している。なお、角部は、極めて微視的に見た場合に、曲線を有していたり、段差を有していたりしてもよい。この場合の曲線の長さ又は段差の高さは、例えば、０．１μｍ未満である。また、第１主面１２４Ａと第１傾斜面１２５Ａとは、微視的に見なくても、両者の間に曲線が介在していたり、両者の間に段差が存在したりしてもよい。第１主面１２４Ａと第１傾斜面１２５Ａとの境界について説明したが、上記の説明は、第２主面１２４Ｂと第２傾斜面１２５Ｂとの境界に援用されてよい。
【００５８】
第１傾斜面１２５Ａの振動部１２１ａ側の縁部１２５Ａａと、第２傾斜面１２５Ｂの振動部１２１ａ側の縁部１２５Ｂａとは、中間部１２１ｂと振動部１２１ａとが隣り合う方向（図示の例ではＸ軸方向）における位置が一致していてもよいし、互いにずれていてもよい（図示の例）。位置が一致しているという場合、例えば、０．１μｍ未満のずれが存在してもよい。また、ずれ量は適宜に設定されてよく、例えば、０．５μｍ以上又は１μｍ以上とされてよい。
【００５９】
なお、上記のように２つの縁部が一致するか否かは、図４に示すような１側面又は１断面において特定されてよい。必要に応じて、Ｚ´軸方向において各縁部（ただし、後述する貫通孔１２２等の影響によって特異部分となる部分を除く）を長さ方向において４等分する３つの断面のずれの平均値から特定されてよい。後述する縁部１２５Ａｂ及び縁部１２５Ｂｂについても同様である。
【００６０】
また、図示の例のように、縁部１２５Ａａと縁部１２５ＢａとのＸ軸方向における位置が異なる態様において、Ｘ軸に直交する平面で振動部１２１ａと中間部１２１ｂとの境界を概念する場合、当該境界は、縁部１２５Ａａから縁部１２５Ｂａまでの間の適宜な位置とされてよい。例えば、当該境界は、２つの縁部のうち振動部１２１ａ側（＋Ｘ側）に位置する縁部（図示の例では縁部１２５Ａａ）とされてよい。平板状であるのは、縁部１２５Ａａよりも＋Ｘ側だからである。
【００６１】
第１平面１２６Ａと第１傾斜面１２５Ａとは互いに交差していない。より詳細には、図４に示す例では、側面視若しくは断面視において、第１平面１２６Ａと第１傾斜面１２５Ａとの間には段差１２７Ａが形成されている。別の観点では、厚み方向の一方側（＋Ｙ´側）に面している第１傾斜面１２５Ａにおいて、厚部１２１ｃ側の縁部１２５Ａｂは、前記一方側に面している第１平面１２６Ａよりも厚み方向の他方側（−Ｙ′側）に位置している。
【００６２】
同様に、第２平面１２６Ｂと第２傾斜面１２５Ｂとは互いに交差していない。より詳細には、図４に示す例では、側面視若しくは断面視において、第２平面１２６Ｂと第２傾斜面１２５Ｂとの間には段差１２７Ｂが形成されている。別の観点では、厚み方向の前記他方側（−Ｙ´側）に面している第２傾斜面１２５Ｂにおいて、厚部１２１ｃ側の縁部１２５Ｂｂは、前記他方側に面している第２平面１２６Ｂよりも前記一方側（＋Ｙ´側）に位置している。
【００６３】
段差１２７Ａは、傾斜角θ１と同様に定義される第１主面１２４Ａに対する角度（不図示）が傾斜角θ１よりも大きい段差面１２７Ａａを有している。当該角度は、例えば、６０°以上１２０°以上、又は８０°以上１００°以下とされてよい。図示の例では、上記角度は概ね９０°であり、段差面１２７Ａａは、第１主面１２４Ａ（第１平面１２６Ａ）に対して垂直な面となっている。段差面１２７Ａａは、平面状であってもよいし、曲面状であってもよい。段差１２７Ａ（段差面１２７Ａａ）について説明したが、当該説明は、段差１２７Ｂ（段差面１２７Ｂａ）に援用されてよい。
【００６４】
段差１２７Ａ及び１２７Ｂの高さ（ｈ１及びｈ２）は適宜に設定されてよい。例えば、。高さｈ１及びｈ２は互いに同一であってもよいし（図示の例）、互いに異なっていてもよい。また、高さｈ１及びｈ２は、例えば、０．１μｍ以上、０．５μｍ以上又は１μｍ以上とされてよく、また、０．５μｍ以下、１μｍ以下又は１．５μｍ以下とされてよく、上述の下限と上限とは、矛盾しない限り、適宜に組み合わされてよい。例えば、高さｈｈ１及びｈ２は、０．１μｍ以上１．５μｍ以下とされてよい。
【００６５】
第１傾斜面１２５Ａの厚部１２１ｃ側の縁部１２５Ａｂと、第２傾斜面１２５Ｂの厚部１２１ｃ側の縁部１２５Ｂｂとは、中間部１２１ｂと厚部１２１ｃとが隣り合う方向（図示の例ではＸ軸方向）における位置が一致していてもよいし、互いにずれていてもよい（図示の例）。位置が一致しているという場合、例えば、０．１μｍ未満のずれが存在してもよい。また、ずれ量は適宜に設定されてよく、例えば、０．５μｍ以上、１μｍ以上、１．５μｍ以上又は２μｍ以上とされてよい。また、厚部１２１ｃ側における縁部１２５Ａｂと縁部１２５Ｂｂとのずれ量は、振動部１２１ａ側における縁部１２５Ａａと縁部１２５Ｂａとのずれ量よりも小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよい。
【００６６】
なお、図示の例のように、厚部１２１ｃ側において縁部１２５Ａｂと縁部１２５ＢｂとのＸ軸方向における位置が異なる態様において、Ｘ軸に直交する平面で厚部１２１ｃと中間部１２１ｂとの境界を概念する場合、当該境界は、２つの縁部間の適宜な位置とされてよい。例えば、当該境界は、２つの縁部のうち厚部１２１ｃ側（−Ｘ側）に位置する縁部（図示の例では縁部１２５Ｂｂ）とされてよい。平板状であるのは、縁部１２５Ｂｂよりも−Ｘ側だからである。
【００６７】
上記のように、第１平面１２６Ａは、第１傾斜面１２５Ａの厚部１２１ｃ側の縁部１２５Ａｂよりも＋Ｙ´側に位置し、第２平面１２６Ｂは、第２傾斜面１２５Ｂの厚部１２１ｃ側の縁部１２５Ｂｂよりも−Ｙ´側に位置している。これは、別の観点では、縁部１２５Ａｂと縁部１２５ＢｂとのＹ軸方向（厚み方向）における距離ｔ２が厚部１２１ｃの厚さｔ３よりも小さいということができる。さらに別の観点では、中間部１２１ｂ（厚部１２１ｃとの境界は縁部１２５Ｂｂとする）の厚さｔ２′は、厚部１２１ｃの厚さｔ３よりも薄いということができる。上記のように捉えた場合において、縁部１２５Ａｂ及び１２５Ｂｂの双方において段差が形成されていなくてもよく、一方のみに段差が形成されていてもよい。また、縁部１２５Ａｂ及び１２５Ｂｂの一方の特定が困難であってもよい。すなわち、第１傾斜面１２５Ａ及び第２傾斜面１２５Ｂの一方は、厚部１２１ｃの主面（第１平面１２６Ａ又は第２平面１２６Ｂ）に至っていると捉えられる状態であってもよい。
【００６８】
（貫通孔）
水晶片１２１のうち、中間部１２１ｂ及び厚部１２１ｃからなる部分は、当該部分の一方の主面側から他方の主面側へ貫通する貫通孔１２２を有している。この貫通孔１２２は、例えば、水晶素子１２０の表裏の導通に寄与する。
【００６９】
貫通孔１２２の位置、形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。図示の例では、貫通孔１２２は、中間部１２１ｂに位置している。ただし、貫通孔１２２は、厚部１２１ｃに位置していてもよいし、中間部１２１ｂ及び厚部１２１ｃの双方に跨っていてもよい。また、貫通孔１２２の縁部の一部は、中間部１２１ｂの縁部の一部と一致していてもよいし、一致していなくてもよい。
【００７０】
図示の例では、貫通孔１２２は、振動部１２１ａと厚部１２１ｃとが隣り合う方向に直交する方向（Ｚ´軸方向）に延びるスリット状とされている。その長さは、例えば、振動部１２１ａのＺ´軸方向の長さの１／３以上である。また、貫通孔１２２は、例えば、振動部１２１ａのＺ´軸方向の範囲に対して、概ね中央に位置している。また、スリット状の貫通孔１２２は、中間部１２１ｂの幅（Ｘ軸方向の長さ）と概ね同等の幅（例えば前者の８割以上）を有している。貫通孔１２２は、ＸＺ´断面（開口）の形状及び寸法がＹ´軸方向（貫通方向）において一定であってもよいし、変化していてもよい。
【００７１】
（水晶片の寸法の一例）
水晶片１２１の各種の寸法は適宜に設定されてよい。以下に、一例を示す。水晶片１２１のＸ軸方向における長さは、５００μｍ以上１５００μｍ以下である。水晶片１２１（振動部１２１ａ）のＺ′軸方向における長さは４００μｍ以上７００μｍ以下である。振動部１２１ａのＸ軸方向における長さは、２５０μｍ以上１０００μｍ以下（ただし、水晶片１２１のＸ軸方向における長さよりも短い）である。振動部１２１ａの厚さｔ１は、１６μｍ以下である。これは、ＡＴカット板において厚み滑り振動の基本波振動を利用する場合、概ね１００ＭＨｚ以上の周波数に相当する。厚部１２１ｃの厚さｔ３は、５０μｍ以下である。
【００７２】
（金属パターン）
金属パターン１２３は、単一の材料からなる１層の金属層によって構成されていてもよいし、互いに異なる材料からなる複数の金属層が積層されて構成されていてもよい。金属層の材料としては、例えば、ニッケル、クロム、ニクロム、チタン、金若しくは銀又はこれらを含む合金を挙げることができる。
【００７３】
１対の励振電極部１２３ａは、既述のように振動部１２１ａに電圧を印加すべく、振動部１２１ａの両主面（１２４Ａ及び１２４Ｂ）に位置している。１対の励振電極１２３ａは、例えば、平面透視において概ね互いに過不足なく重なる位置、形状及び大きさで設けられている。ただし、互いに重複しない部位が存在しても構わない。平面視における励振電極１２３ａの位置、形状及び大きさ等は適宜に設定されてよい。
【００７４】
例えば、励振電極１２３ａは、振動部１２１ａの中央側の領域に位置している。別の観点では、励振電極１２３ａは、振動部１２１ａの外縁から離れて位置している。励振電極１２３ａの中心は、例えば、振動部１２１ａの中心とＺ´軸方向において一致している。また、励振電極１２３ａの中心は、振動部１２１ａの中心に対して、Ｘ軸方向において、＋Ｘ側に位置していてもよいし（図示の例）、一致していてもよいし、−Ｘ軸側に位置していてもよい。励振電極１２３ａは、例えば、振動部１２１ａの面積の１／３以上を占めている。
【００７５】
また、例えば、励振電極１２３ａの形状は、振動部１２１ａの形状と類似する形状であってもよいし（図示の例）、異なる形状であってもよい。前者としては、例えば、図示の例のように、振動部１２１ａの形状が矩形状であるのに対して、励振電極１２３ａの形状が振動部１２１ａの長辺と平行な長辺を有する矩形状である（少なくとも一方は正方形であってもよい。）態様を挙げることができる。また、後者としては、振動部１２１ａの形状が矩形状であるのに対して、励振電極１２３ａの形状が円形、楕円形又は多角形（四角形を除く）である態様を挙げることができる。
【００７６】
１対の引出部１２３ｂは、既述のように、パッケージ１０３の搭載パッド１１１と接合されるべく、厚部１２１ｃの少なくとも下面に設けられている。その具体的な位置、形状及び大きさ等は適宜に設定されてよい。例えば、１対の引出部１２３ｂは、水晶片１２１のＸ軸に平行な中心線（不図示）に対して、概略、線対称及び／又は１８０°回転対称の位置、形状及び大きさで設けられている。別の観点では、１対の引出部１２３ｂは、Ｚ´軸方向に並んで設けられている。
【００７７】
１対の配線部１２３ｃは、既述のように、１対の励振電極１２３ａと１対の引出部１２３ｂとを個別に接続するように水晶片１２１の表面の適宜な位置に設けられている。その具体的な位置、形状及び大きさ等は適宜に設定されてよい。例えば、１対の配線部１２３ｃは、水晶片１２１のＸ軸に平行な中心線（不図示）に対して、概略、１８０°回転対称の位置、形状及び大きさで設けられている。
【００７８】
また、引出部１２３ｂ及び配線部１２３ｃは、図示の例のように、必ずしも明確に区別できなくても構わない。以下では、引出部１２３ｂ及び配線部１２３ｃの位置、形状及び大きさについて、金属パターン１２３の語を用いて説明することがある。
【００７９】
引出部１２３ｂは、厚部１２１ｃの下面に位置する部分だけでなく、上面に位置する部分も有しており、下面に位置する部分とつながっている。これにより、例えば、引出部１２３ｂの剥がれ低減及び／又は１対の金属パターン１２３の対称性向上等が図られる。
【００８０】
水晶片１２１の一方の主面に位置する励振電極１２３ａと、当該励振電極１２３ａに電気的に接続される引出部１２３ｂのうち水晶片１２１の他方の主面に位置する部分とは、適宜に接続されてよい。図示の例では、このような接続を実現する部分として、金属パターン１２３（引出部１２３ｂ及び配線部１２３ｃ）は、水晶片１２１の表面のうち、側面（Ｚ´軸に交差する面）に位置する部分、端面（−Ｘ側に面する面）に位置する部分、及び貫通孔１２２の内面に位置する部分を含んでいる。
【００８１】
１対の金属パターン１２３のそれぞれは、水晶片１２１の主面において、厚部１２１ｃと中間部１２１ｂとの境界（別の観点では段差１２７Ａ及び１２７Ｂ）に跨っている。金属パターン１２３は、少なくとも、この境界に跨っている部分において、幅（Ｚ´軸方向の長さ）が比較的大きくされている。例えば、当該幅は、水晶片１２１の幅（Ｚ´軸方向）の１／６以上である。また、例えば、当該幅は、貫通孔１２２から水晶片１２１の一方の側面（Ｚ´軸に交差する面）に亘る大きさである。また、例えば、当該幅は、金属パターン１２３のうちの厚部１２１ｃと中間部１２１ｂとの境界よりも−Ｘ側に位置している一部（引出部１２３ｂ）の幅よりも大きい。このように境界に跨る部分の幅が大きくされていることにより、例えば、段差１２７Ａ及び１２７Ｂにおける断線の蓋然性が低減されている。さらに、金属パターン１２３は、水晶片１２１の主面において、中間部１２１ｂと振動部１２１ａとの境界に跨る部分における幅も、比較的長くされている。
【００８２】
また、１対の金属パターン１２３のそれぞれは、水晶片１２１の側面（Ｚ´軸に交差する面）においても、厚部１２１ｃと中間部１２１ｂとの境界に跨っている。例えば、金属パターン１２３は、厚部１２１ｃ及び中間部１２１ｂの側面の全面に亘っている。一方、水晶片１２１の側面は、厚部１２１ｃから中間部１２１ｂに亘って面一である。別の観点では、段差は存在しない。従って、例えば、厚部１２１ｃから中間部１２１ｂにかけての接続の信頼性が向上している。さらに、金属パターン１２３（引出部１２３ｂ及び配線部１２３ｃ）は、中間部１２１ｂと振動部１２１ａとの境界に跨る部分においても、水晶片１２１の側面に位置している。
【００８３】
（水晶素子の製造方法）
水晶素子１２０は、公知の種々の製造方法を応用して作製されてよい。以下では、その一例について説明する。
【００８４】
図５（ａ）〜図５（ｄ）は、水晶素子１２０の製造方法の一例を示す模式的な断面図である。なお、この図では、製造工程の進行に伴って、部材の形状が変化するが、便宜上、変化の前後で同一の符号を付す。
【００８５】
まず、複数の水晶片１２１が多数個取りされる、水晶からなるウェハ１５０を用意する。ウェハ１５０は、上述したＡＴカット板のカット角で切り出されたものであり、また、厚部１２１ｃの厚さと同等の厚さを有している。
【００８６】
次に、図５（ａ）に示すように、ウェハ１５０の両主面にエッチングマスク（１５１及び１５２）を形成する。エッチングマスクは、例えば、ウェハ１５０に重なる第１マスク１５１と、第１マスク１５１に重なる第２マスク１５３とを有している。
【００８７】
第１マスク１５１は、水晶片１２１（振動部１２１ａ、中間部１２１ｂ及び厚部１２１ｃ）となる領域（貫通孔１２２が形成される領域を除く。）と、複数の水晶片１２１の周囲の枠状部１５０ａ（捨て代）に重なっている。第２マスク１５２は、厚部１２１ｃとなる領域と、枠状部１５０ａに重なっている。第１マスク１５１は、例えば、金属膜によって構成されている。第２マスク１５２は、例えば、レジストによって構成されている。
【００８８】
次に、図５（ｂ）に示すように、エッチングマスクを介してウェハ１５０を両主面側からエッチングする。エッチングは、例えば、ウェハ１５０を薬液に浸すウェットエッチングである。これにより、水晶片１２１となる領域の周囲がエッチングされ、さらには、水晶片１２１を囲む貫通孔（スリット）が形成される。すなわち、水晶片１２１の外形が形成される。また、貫通孔１２２も形成される。
【００８９】
ただし、水晶片１２１の周囲の一部（連結部１５０ｂ）は残されており、水晶片１２１は、枠状部１５０ａに連結された状態が維持されている。すなわち、ウェハ状態は維持されている。連結部１５０ｂは、適宜な位置に設けられてよく、例えば、水晶片１２１のうち−Ｘ側に面する端面のＺ´軸方向の両端に設けられている。図示の例では、連結部１５０ｂは、連結部１５０ｂ上の開口が小さくされ、エッチングストップが生じることによって残されている。この他、連結部１５０ｂは、エッチングマスクによって覆われていることによって残されてもよい。
【００９０】
次に、図５（ｃ）に示すように、第１マスク１５１のうち、第２マスク１５２から露出している部分を薬液等によって除去する。換言すれば、ウェハ１５０のうち、振動部１２１ａ及び中間部１２１ｂとなる領域をエッチングマスクから露出させる。
【００９１】
次に、図５（ｄ）に示すように、再度、エッチングマスクを介してウェハ１５０を両主面側からエッチングする。エッチングは、例えば、ウェハ１５０を薬液に浸すウェットエッチングである。
【００９２】
このエッチングによって、振動部１２１ａとなる領域は、厚部１２１ｃとなる領域よりも薄くなる。また、中間部１２１ｂとなる領域は、水晶のエッチングに対する異方性に起因して、厚部１２１ｃ側ほど厚くなる。すなわち、この製造方法の例では、第１傾斜面１２５Ａ及び第２傾斜面１２５Ｂは、水晶のウェットエッチングによって現れる結晶面によって構成されている。
【００９３】
また、エッチング時間を比較的長くすることなどにより、中間部１２１ｂの結晶面がエッチングされる。ひいては、中間部１２１ｂの傾斜面（第１傾斜面１２５Ａ及び第２傾斜面１２５Ｂ）は、厚部１２１ｃの主面（第１平面１２６Ａ及び第２平面１２６Ｂ）よりも低くなる。換言すれば、段差１２７Ａ及び１２７Ｂが形成される。
【００９４】
エッチングマスクのうち、厚部１２１ｃとなる領域に重なる部分の中間部１２１ｂとなる領域側の縁部のＸ軸方向における位置は、ウェハ１５０の一方主面のエッチングマスクと他方主面のエッチングマスクとで、互いに異ならされてよい。これにより、第１傾斜面１２５Ａ（別の観点では縁部１２５Ａａ及び１２５Ａｂ）のＸ軸方向における位置と、第２傾斜面１２５Ｂ（別の観点では縁部１２５Ｂａ及び１２５Ｂｂ）のＸ軸方向における位置とを互いに異ならせることができる。
【００９５】
その後、特に図示しないが、エッチングマスクは除去され、金属パターン１２３が形成される。金属パターン１２３の形成後、水晶片１２１は、連結部１５０ｂを折ったり、切ったりすることなどにより、枠状部１５０ａと分離される（個片化される。）。なお、個片化の際及び／又は個片化後において、厚部１２１ｃは、水晶素子１２０の保持に利用されてよい。例えば、厚部１２１ｃが吸着保持されることによって、水晶素子１２０が冶具に保持されてよい。
【００９６】
以上のとおり、本実施形態では、板形状を有している圧電片（水晶片１２１）は、振動部１２１ａ、中間部１２１ｂ及び厚部１２１ｃを有している。振動部１２１ａは、平面視において水晶片１２１の内側の領域を含んでいる平板状である。厚部１２１ｃは、平面視において水晶片１２１の外周側の領域の少なくとも一部を含んでおり、振動部１２１ａよりも厚い。中間部１２１ｂは、平面視において水晶片１２１の振動部１２１ａから厚部１２１ｃまでの領域を含んでおり、厚部１２１ｃ側ほど厚くなっている。
【００９７】
より詳細には、振動部１２１ａの第１主面１２４Ａは、水晶片１２１の厚み方向の一方側（＋Ｙ´側）に面しており、厚み方向（Ｙ´軸方向）に直交している。振動部１２１ａの第２主面１２４Ｂは、厚み方向の他方側（−Ｙ´側）に面しており、厚み方向（Ｙ´軸方向）に直交している。厚部１２１ｃの第１平面１２６Ａは、＋Ｙ´側に面しており、第１主面１２４Ａよりも＋Ｙ´側に位置しており、Ｙ´軸に直交している。厚部１２１ｃの第２平面１２６Ｂは、−Ｙ´側に面しており、第２主面１２４Ｂよりも−Ｙ´側に位置しており、Ｙ´軸に直交している。中間部１２１ｂの第１傾斜面１２５Ａは、＋Ｙ´側に面しており、振動部１２１ａ側に対して厚部１２１ｃ側が＋Ｙ´側に位置する向きで第１主面１２４Ａに傾斜している平面状である。中間部１２１ｂの第２傾斜面１２５Ｂは、−Ｙ´側に面しており、振動部１２１ａ側に対して厚部１２１ｃ側が−Ｙ´側に位置する向きで第２主面１２４Ｂに傾斜している平面状である。
【００９８】
さらに、第１傾斜面１２５Ａの厚部１２１ｃ側の縁部１２５Ａｂは、第１平面１２６Ａよりも−Ｙ´側に位置している（第１平面１２６Ａよりも低くなっている。）。第２傾斜面１２５Ｂの厚部１２１ｃ側の縁部１２５Ｂｂは、第２平面よりも＋Ｙ´側に位置している。
【００９９】
従って、例えば、振動部１２１ａを広くすることが容易化される。例えば、本実施形態とは異なり、第１主面１２４Ａと第１平面１２６Ａとが面一で、第１傾斜面１２５Ａが形成されず、第２傾斜面１２５Ｂのみが形成されている比較例（背景技術の欄で挙げた文献参照）を想定する。本実施形態と比較例とで、振動部１２１ａ及び厚部１２１ｃの厚さが同等であるものとする。この場合、実施形態における第２主面１２４Ｂから第２平面１２６Ｂまでの高さＨ２は、比較例における第２主面１２４Ｂから第２平面１２６Ｂまでの高さに比較して、第１傾斜面１２５Ａ側の高さＨ１だけ低くなる。そして、本実施形態と比較例とで、第２傾斜面１２５Ｂの傾斜角θ２が同等であるとすると、本実施形態は、比較例よりも第２傾斜面１２５ＢのＸ軸方向の長さが短くなる。ひいては、中間部１２１ｂが水晶片１２１のＸ軸方向の長さに占める割合が小さくなる。その結果、例えば、振動部１２１ａを広くすることが容易化される。振動部１２１ａが広くされることによって、例えば、励振電極１２３ａと中間部１２１ｂとの距離を長くすることが容易化される。当該距離を長くすることによって、例えば、励振電極１２３ａによって励振される振動に中間部１２１ｂが及ぼす影響が低減される。
【０１００】
また、中間部１２１ｂは、振動部１２１ａ側ほど薄くなっていることから、中間部１２１ｂと振動部１２１ａとの境界における不連続性が低減される。その結果、例えば、応力集中が生じる蓋然性が低減され、水晶片１２１の強度的な信頼性が向上する。一方で、中間部１２１ｂと厚部１２１ｃとの境界においては、厚部１２１ｃが中間部１２１ｂの最大厚よりも厚くなっているから、両者の間の不連続性が高くなっている。その結果、例えば、中間部１２１ｂと厚部１２１ｃとの境界を越えて振動が伝搬する蓋然性が低減される。ひいては、厚部１２１ｃが振動部１２１ａにおける振動に影響を及ぼす蓋然性が低減される。
【０１０１】
また、本実施形態では、第１主面１２４Ａから第１平面１２６Ａまでの高さをＨ１とし、第２主面１２４Ｂから第２平面１２６Ｂまでの高さをＨ２としたとき、
２／３×Ｈ２≦Ｈ１≦３／２×Ｈ２
が成り立つ。
【０１０２】
この場合、高さＨ１と高さＨ２とは比較的近い大きさである。従って、例えば、上述した中間部１２１ｂの両面に傾斜面を構成したことによって振動部１２１ａが広くなる効果が向上する。
【０１０３】
また、本実施形態では、中間部１２１ｂ及び厚部１２１ｃからなる部分は、当該部分の一方の主面側から他方の主面側へ貫通している貫通孔１２２を有している。
【０１０４】
この場合、例えば、金属パターン１２３の一部を貫通孔１２２の内面に位置させて、水晶片１２１の表裏を導通させることができる。また、貫通孔１２２は、振動部１２１ａから厚部１２１ｃへの方向、又はその逆方向等において振動の伝搬を遮断する。従って、厚部１２１ｃが振動部１２１ａの振動に及ぼす影響を緩和することに寄与する。すなわち、貫通孔１２２は、導通と振動の遮断との双方に寄与する。
【０１０５】
また、本実施形態では、第１傾斜面１２５Ａの厚部１２１ｃ側の縁部１２５Ａｂと、第２傾斜面１２５Ｂの厚部１２１ｃ側の縁部１２５Ｂｂとは、中間部１２１ｂと厚部１２１ｃとが隣り合う方向（Ｘ軸方向）において互いにずれている。
【０１０６】
この場合、例えば、不要振動を分散させやすい。より詳細には、例えば、水晶片１２１の１対の主面を伝搬する不要振動は、中間部１２１ｂの傾斜面（１２５Ａ及び１２５Ｂ）と厚部１２１ｃの平面（１２６Ａ及び１２６Ｂ）との境界で反射する。このとき、一方の主面側（＋Ｘ側）における傾斜面と平面との境界と、他方の主面側（−Ｘ側）における傾斜面と平面との境界との位置がずれていることによって、１対の主面を伝搬する反射後の振動の位相がずれる。その結果、不要振動の位相が分散され、不要振動の振幅が大きくなる蓋然性が低減される。
【０１０７】
また、本実施形態では、第１傾斜面１２５Ａの振動部１２１ａ側の縁部１２５Ａａと、第２傾斜面１２５Ｂの振動部１２１ａ側の縁部１２５Ｂａとは、中間部１２１ｂと振動部１２１ａとが隣り合う方向（Ｘ軸方向）において互いにずれている。
【０１０８】
この場合、例えば、厚部１２１ｃ側の縁部１２５Ａｂ及び縁部１２５ＢｂがＸ軸方向において互いにずれている場合の効果と同様に、不要振動を分散させやすい。
【０１０９】
また、本実施形態では、上記のように傾斜面の縁部のＸ軸方向の位置が一方主面側と他方主面側とでずれつつも、第１傾斜面１２５Ａの第１主面１２４Ａに対する傾斜角θ１と、第２傾斜面１２５Ｂの第２主面１２４Ｂに対する傾斜角θ２とが等しい。
【０１１０】
この場合、例えば、上記のように不要振動を分散させる効果を得つつも、中間部１２１ｂのＸＺ´平面に平行な対称面に対する対称性をある程度維持することができる。対称性の維持により、例えば、厚部１２１ｃ及び中間部１２１ｂが振動部１２１ａの振動の対称性に及ぼす影響を低減することができる。
【０１１１】
なお、以上の実施形態において、水晶片１２１は振動素子用圧電片の一例である。水晶素子１２０は圧電振動素子の一例である。水晶デバイス１００は圧電デバイスの一例である。Ｙ´軸方向は厚み方向の一例である。１対の励振電極１２３ａは第１励振電極及び第２励振電極の一例である。１対の引出部１２３ｂは、第１引出電極及び第２引出電極の一例である。導電性接着剤１４０は接合材の一例である。第２平面１２６Ｂは第１対向面の一例である。基板部１１０ａの上面は第２対向面の一例である。
【０１１２】
（変形例）
以下、図６（ａ）〜図６（ｄ）を参照して、いくつかの変形例について説明する。なお、以下の説明では、基本的に、実施形態との相違点についてのみ述べる。特に言及がない事項については、実施形態と同様とされたり、実施形態から類推されたりしてよい。また、実施形態の構成と対応する構成については、実施形態と相違点があっても、便宜上、同一の符号を付すことがある。
【０１１３】
図６（ａ）は、変形例に係る水晶片２２１を示す平面図である。
【０１１４】
この図に示すように、中間部２２１ｂ及び厚部２２１ｃは、矩形状の振動部２２１ａの１辺だけでなく、２辺に対して隣り合っていてもよい。換言すれば、中間部２２１ｂ及び厚部２２１ｃは、Ｌ字に形成されていてもよい。なお、中間部２２１ｂがＬ字に構成されていると捉えるのではなく、直線状の中間部２２１ｂが合計で２つ設けられていると捉えられてもよい。厚部２２１ｃについても同様である。
【０１１５】
図６（ｂ）は、他の変形例に係る水晶片３２１を示す平面図である。
【０１１６】
この図に示すように、中間部３２１ｂ及び厚部３２１ｃは、矩形状の振動部３２１ａの３辺に対して隣り合っていてもよい。換言すれば、中間部３２１ｂ及び厚部３２１ｃは、Ｕ字に形成されていてもよい。なお、中間部３２１ｂがＵ字に構成されていると捉えるのではなく、直線状の中間部２２１ｂが合計で３つ設けられていると捉えられてもよい。厚部３２１ｃについても同様である。
【０１１７】
図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、振動部の２辺以上に対して中間部及び厚部が設けられる場合において、辺同士において中間部及び／又は厚部の形状及び／又は寸法は、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。例えば、ここでは不図示の引出部１２３ｂが設けられる辺（例えば紙面下方の辺）における厚部の幅は、他の辺における厚部の幅よりも大きくされてよい。
【０１１８】
図６（ｃ）は、水晶素子４２０の実装構造の変形例を示す模式的な断面図である。
【０１１９】
この変形例では、１対の励振電極１２３ａのうち一方に電気的に接続されている引出部１２３ｂは、実施形態と同様に、導電性接着剤１４０によって搭載パッド１１１に接合されている。一方、１対の励振電極１２３ａのうち他方に電気的に接続されている引出部１２３ｂは、ボンディングワイヤ１６０によって、ここでは不図示の搭載パッド１１１に接続されている。
【０１２０】
別の観点では、水晶素子４２０は、１つの導電性接着剤１４０によって支持されている。ただし、水晶素子４２０を支持するために、電気的接続に寄与しない接合材等が設けられていてもよい。２つの引出部１２３ｂは、互いに異なる主面に位置しており、紙面貫通方向の位置は、互いに重複していてもよいし、互いに異なっていてもよい。
【０１２１】
図６（ｄ）は、水晶素子５２０の実装構造の他の変形例を示す模式的な断面図である。
【０１２２】
この変形例では、１対の励振電極１２３ａに電気的に接続されている１対の引出部１２３ｂは、１対のボンディングワイヤ１６０によって、ここでは不図示の１対の搭載パッド１１１に接続されている。ただし、ここでは、１対のボンディングワイヤ１６０（及び引出部１２３ｂ）の一方は、他方に隠れて不図示である。
【０１２３】
また、この変形例では、水晶素子５２０の支持は、導電性を有さない接着剤１７０によってなされている。すなわち、接着剤１７０は、導電性接着剤１４０とは異なり、導電性フィラーを含んでいない。従って、例えば、接着剤１７０は、相対的にヤング率が低い。その結果、例えば、水晶素子５２０の支持（固定）に起因する応力が水晶片１２１の振動に及ぼす影響は低減されている。
【０１２４】
なお、図示の例では、接着剤１７０は、水晶片１２１と基板部１１０ａとに直接に接合されているが、金属パターン１２３及び／又は基板部１１０ａに設けられたダミーのパッド等に接合されていてもよい。接着剤１７０は、１つのみであってもよいし、２以上設けられてもよく、その位置も任意である。
【０１２５】
本開示に係る技術は、以上の実施形態及び変形例に限定されず、種々の態様で実施されてよい。
【０１２６】
圧電体は、水晶に限定されない。例えば、圧電体は、他の単結晶であってもよいし、多結晶からなるもの（例えばセラミック）であってもよい。また、圧電体は、厚み滑り振動の基本波振動を利用するものに限定されず、他の振動モードを利用するものであってもよいし、オーバートーン振動を利用するものであってもよい。また、厚み滑り振動を利用する水晶片のカットは、ＡＴカットに限定されない。例えば、ＢＴカットであってもよい。また、水晶片は、水晶のみからなるものに限定されず、水晶に金属等からなるドーパントを注入した材料からなるものも含むものとする。
【０１２７】
圧電デバイスは、圧電振動子に限定されない。例えば、圧電デバイスは、圧電振動素子に加えて、圧電振動素子に電圧を印加して発振信号を生成する集積回路素子（ＩＣ：Integrated Circuit）を有する発振器であってもよい。また、例えば、圧電デバイス（圧電振動子）は、水晶振動素子の他に、サーミスタ等の他の電子素子を有するものであってもよい。また、圧電デバイスは、恒温槽付のものであってもよい。
【０１２８】
圧電デバイスにおいて、圧電振動素子をパッケージングするパッケージの構造は、適宜な構成とされてよい。例えば、パッケージは、上面及び下面に凹部を有する断面Ｈ型のものであってもよい。また、パッケージは、基板状の基体（凹部を有していない基体）と、基体に被せられるキャップ状の蓋体とで構成されるものであってもよい。
【０１２９】
圧電振動素子は、片持ち梁状に支持されるものに限定されない。例えば、圧電振動素子は、両端が支持されるものであってもよい。
【符号の説明】
【０１３０】
１００…水晶デバイス（圧電デバイス）、１２０…水晶素子（圧電素子）、１２１…水晶片（圧電片）、１２１ａ…振動部、１２１ｂ…中間部、１２１ｃ…厚部、１２４Ａ…第１主面、１２４Ｂ…第２主面、１２５Ａ…第１傾斜面、１２５Ｂ…第２傾斜面、１２５Ａｂ…（第１傾斜面の厚部側の）縁部、１２５Ｂｂ…（第２傾斜面の厚部側の）縁部、１２６Ａ…第１平面、１２６Ｂ…第２平面。
【図１】
2020182054.tif 000003
【図２】
2020182054.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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