(57)【要約】      （修正有）【課題】液体吐出ヘッドにおいて、電気配線基板の温度変化に対する信頼性を高める。【解決手段】液体吐出ヘッドは、記録素子基板と第１の支持面とを有する記録素子ユニットと、第１の支持面との間に溝２０が設けられた第２の支持面を有する支持部材８０と、一端が第１の接着剤によって第１の支持面に接合された電気配線基板４０と、を有する。液体吐出ヘッドを製造するには、電気配線基板を、溝２０を跨ぐように第１の支持面と第２の支持面との間に掛け渡し、電気配線基板の中間部４３を第２の接着剤９１によって第２の支持面に接合する。電気配線基板の中間部は、第１の接着剤と第２の接着剤の互いに対向する端部の間の最短距離Ｌ１が電気配線基板に沿った距離Ｌ２より小さい状態で第２の支持面に接合される。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する吐出口と、前記液体が前記吐出口から吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子と、を有する記録素子基板と、第１の支持面と、を有する記録素子ユニットと、前記第１の支持面との間に溝が設けられた第２の支持面を有する支持部材と、一端が第１の接着剤によって前記第１の支持面に接合され、前記エネルギー発生素子を駆動する電気信号を前記記録素子基板に供給する電気配線基板と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記電気配線基板を、前記溝を跨ぐように前記第１の支持面と前記第２の支持面との間に掛け渡すことと、
前記電気配線基板の中間部を第２の接着剤によって前記第２の支持面に接合することと、を有し、
前記電気配線基板の前記中間部は、前記第１の接着剤と前記第２の接着剤の互いに対向する端部の間の最短距離Ｌ１が前記互いに対向する端部の間の前記電気配線基板に沿った距離Ｌ２より小さい状態で前記第２の支持面に接合される、液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
１．００３×Ｌ１≦Ｌ２≦Ｌ１×１．２である、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記電気配線基板の前記中間部は押圧ツールで押圧することによって前記第２の支持面に接合される、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記記録素子ユニットは前記記録素子基板を前記第１の支持面で支持する、前記支持部材とは別の支持部材を有し、
複数の前記電気配線基板が複数の前記別の支持部材にそれぞれ接合され、
各々に前記電気配線基板が接合された複数の前記別の支持部材が、少なくとも２つの前記別の支持部材で前記溝の幅が異なるように長尺の前記支持部材に直線状に接合され、
前記押圧ツールの前記幅方向の位置は、別の支持部材毎に設定される、請求項３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記記録素子ユニットは前記記録素子基板を前記第１の支持面で支持する、前記支持部材とは別の支持部材を有し、
複数の前記電気配線基板が複数の前記別の支持部材にそれぞれ接合され、
各々に前記電気配線基板が接合された複数の前記別の支持部材が、少なくとも２つの前記別の支持部材で、前記第１の接着剤と前記第２の接着剤の表面の高低差が異なるように長尺の前記支持部材に直線状に接合され、
前記押圧ツールの前記幅方向の位置は、別の支持部材毎に設定される、請求項３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記第２の接着剤は熱硬化性樹脂であり、前記電気配線基板の前記中間部は、前記熱硬化性樹脂を加熱しながら前記電気配線基板を前記押圧ツールで押圧することによって前記第２の支持面に接合される、請求項３から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記押圧ツールは発熱可能であり、前記電気配線基板は発熱している前記押圧ツールによって押圧される、請求項６に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記電気配線基板は、前記支持部材を昇温させた状態で、前記押圧ツールによって押圧される、請求項６に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記記録素子ユニットの前記溝に面する側面と前記第２の接着剤の前記端部との間隔をＷ１、前記電気配線基板の前記中間部を前記第２の支持面に接合する際の前記側面と前記押圧ツールの前記側面と対向する側面との間隔をＷ２としたときに、Ｗ２≦０．８×Ｗ１である、請求項３から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記電気配線基板は前記押圧ツールによって前記溝に向けて押し込まれる、請求項３から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記押圧ツールは、前記電気配線基板を押圧する端部に、前記溝の底面に向けて突き出す突起を有している、請求項３から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記電気配線基板は前記第２の接着剤で接合された後に弛緩する、請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記第１の支持面は前記第２の支持面よりも前記溝の底面から離れている、請求項１から１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
液体を吐出する吐出口と、前記液体が前記吐出口から吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子と、を有する記録素子基板と、第１の支持面と、を有する記録素子ユニットと、前記第１の支持面との間に溝が設けられた第２の支持面を有する支持部材と、一端が前記第１の支持面に接合され、前記エネルギー発生素子を駆動する電気信号を前記記録素子基板に供給する電気配線基板と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記第２の支持面に接着剤を設けることと、
前記電気配線基板を、前記溝を跨ぐように前記第１の支持面と前記第２の支持面との間に掛け渡し、前記電気配線基板を前記接着剤に重ねることと、
前記一端の接合部と前記接着剤との間の部分が下方に押し込まれるように前記電気配線基板を押圧しながら変形させることと、
前記接着剤を介して前記電気配線基板が前記第２の支持面に固定された後に前記押圧を解除することと、を有する、液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１５】
液体を吐出する吐出口と、前記液体が前記吐出口から吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子と、を有する記録素子基板と、第１の支持面と、を有する記録素子ユニットと、
前記第１の支持面との間に溝が設けられた第２の支持面を有する支持部材と、
一端が第１の接着剤によって前記第１の支持面に接合され、前記エネルギー発生素子を駆動する電気信号を前記記録素子基板に供給する電気配線基板と、を有し、
前記電気配線基板が前記溝を跨ぐように前記第１の支持面と前記第２の支持面との間に掛け渡され、
前記電気配線基板の中間部が第２の接着剤によって前記第２の支持面に接合され、
前記電気配線基板の前記中間部は、前記第１の接着剤と前記第２の接着剤の互いに対向する端部の間の最短距離Ｌ１が前記互いに対向する端部の間の前記電気配線基板に沿った距離Ｌ２より小さい、液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吐出口から液体を吐出する液体吐出ヘッドとその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体記録ヘッドは一般に、液体を吐出する吐出口と、液体が吐出口から吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子と、を備えた記録素子基板を有している。エネルギー発生素子を駆動する電気信号を記録素子基板に供給するため、記録素子基板は電気配線基板によって他の基板ないし部材と接合される。特許文献１には、フレキシブル配線基板（電気配線基板）の一端が記録素子基板に接続され、他端が電気コンタクト基板に接続された液体吐出ヘッドが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１０１４２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
電気配線部材を他の基板ないし部材と接合する際の位置決め精度を確保するため、電気配線部材の一端を支持部材に接続した後、電気配線部材の中間部を他の支持部材に接合することがある。しかし、当該他の支持部材と電気配線基板は通常線膨張係数が異なるため、電気配線基板がテンションの掛かった状態で当該他の支持部材に接合されると、温度変化によって電気配線基板の配線が破断する可能性がある。
本発明は、電気配線基板の温度変化に対する信頼性を高めることのできる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、液体を吐出する吐出口と、液体が吐出口から吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子と、を有する記録素子基板と、第１の支持面と、を有する記録素子ユニットと、第１の支持面との間に溝が設けられた第２の支持面を有する第２の支持部材と、一端が第１の接着剤によって第１の支持面に接合され、エネルギー発生素子を駆動する電気信号を記録素子基板に供給する電気配線基板と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法に関する。本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、電気配線基板を、溝を跨ぐように第１の支持面と第２の支持面との間に掛け渡すことと、電気配線基板の中間部を第２の接着剤によって第２の支持面に接合することと、を有する。電気配線基板の中間部は、第１の接着剤と第２の接着剤の互いに対向する端部の間の最短距離Ｌ１が互いに対向する端部の間の電気配線基板に沿った距離Ｌ２より小さい状態で第２の支持面に接合される。
【発明の効果】
【０００６】
電気配線基板はＬ１＜Ｌ２を満たす状態で第２の接着剤に接合されるため、電気配線基板にテンションが掛かりにくい。従って、本発明によれば、電気配線基板の温度変化に対する信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明が適用される液体吐出ヘッドの一例の概略構成図である。
【図２】図１に示す液体吐出ヘッドの製造方法を示す概略フロー図である。
【図３】図１に示す液体吐出ヘッドの製造方法を示す概略ステップ図である。
【図４】図１に示す液体吐出ヘッドの製造方法を示す概略ステップ図である。
【図５】第１の実施形態における電気配線基板の接合方法を示す図である。
【図６】第２の実施形態における電気配線基板の接合方法を示す図である。
【図７】第３の実施形態における電気配線基板の接合方法を示す図である。
【図８】第４の実施形態における電気配線基板の接合方法を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。本実施形態はインクを吐出するインクジェット記録ヘッドを対象とするが、本発明はインク以外の液体を吐出する液体吐出ヘッドに広く適用することができる。図面に示される吐出口の個数や位置、記録素子基板の数やピッチは一例に過ぎず、本発明が図面に記載された液体吐出ヘッドに限定されるものではない。まず、本実施形態が適用される例示的な液体吐出ヘッド１００の構成について説明する。
図面及び以下の説明において、Ｘ方向は液体吐出ヘッド１００または第２の支持部材８０の長手方向、Ｙ方向は液体吐出ヘッド１００または第２の支持部材８０の短手方向を意味し、Ｙ方向はＸ方向と直交している。Ｙ方向は第１の支持部材３０と第２の支持部材８０との間に形成される溝２０の幅方向に対応する。Ｚ方向はＸ方向及びＹ方向と直交しており、液体吐出ヘッド１００のインク吐出方向に対応する。
【０００９】
（液体吐出ヘッド１００の構成）
図１（ａ）は、本実施形態が適用される液体吐出ヘッド１００の斜視図を、図１（ｂ）はその分解斜視図を、図１（ｃ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面図を示している。液体吐出ヘッド１００は、記録素子基板１０と、第１の支持部材３０と、第２の支持部材８０と、電気配線基板４０と、を有している。記録素子基板１０は、インクを吐出する吐出口１１と、インクが吐出口１１から吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子１３と、電気配線基板４０が接続される電極１２と、を有している。
【００１０】
第１の支持部材３０は記録素子基板１０を支持する第１の支持面３０ａを備えている。第１の支持面３０ａには、電気配線基板４０の一端が第１の接着剤９０によって接合されている。第１の支持部材３０は記録素子基板１０にインクを供給する流路（図示せず）を備え、インクが流通する開口３１が第１の支持面３０ａに設けられている。第１の支持部材３０は記録素子基板１０を支持するため、平面度が高く十分に高い信頼性をもつ材料、例えばアルミナ等のセラミックスで形成することが好ましい。
第２の支持部材８０は概ね直方体の形状を有している。第２の支持部材８０はＹ方向中央に第１の支持部材３０を支持する第３の支持面８０ｂを有し、第３の支持面８０ｂのＹ方向両側に第３の支持面８０ｂからＺ方向に突き出した突き出し部８１ａ，８１ｂを有している。一方の突き出し部８１ａの頂面は、電気配線基板４０の両側端部の間の中間部４３が接合される第２の支持面８０ａとなっている。第３の支持面８０ｂはインクを第１の支持部材３０に供給するための開口８３を有している。Ｙ方向における第１の支持面３０ａと第２の支持面８０ａとの間には溝２０が設けられており、溝２０の底面２０ａは第３の支持面８０ｂの一部を構成する。第１の支持面３０ａは第２の支持面８０ａよりもＺ方向において溝２０の底面２０ａから離れている。なお、第２の支持部材８０を「支持部材」とも称し、第１の支持部材３０を「支持部材とは別の支持部材」とも称する。
【００１１】
電気配線基板４０は、エネルギー発生素子１３を駆動する電気信号を記録素子基板１０に供給する。電気配線基板４０は溝２０を跨ぐように、第１の支持面３０ａと第２の支持面８０ａとの間にＹ方向に掛け渡されている。図１（ｃ）では、電気配線基板４０と溝２０の底面２０ａとの間は封止剤等が充填されない空間となっているが、電気配線基板４０を第１の支持面３０ａと第２の支持面８０ａとに接合した後に、この空間に封止剤等を充填してもよい。電気配線基板４０は、導電性の銅箔プリント配線を絶縁性の薄くて柔らかい２枚のポリイミドフィルムで挟み、貼り合わせたフレキシブル配線基板である。電気配線基板４０の厚さは０．３ｍｍ程度である。一方のポリイミドフィルムが他方のポリイミドフィルムよりも小さくされているため、銅箔プリント配線の両端部は露出している。両端の露出部は第１の接続端子４１と第２の接続端子４２とを形成している。第１の接続端子４１は、ワイヤーボンディングによって記録素子基板１０の電極１２と電気的に接続されている。第２の接続端子４２は外部との接続端子として使用され、電気信号を発生させるデバイス（図示せず）と電気的に接続される。記録素子基板１０の電極１２と、ワイヤー６０と、電気配線基板４０の第１の接続端子４１とを総称して電気接続部６１という。電気接続部６１はシーリング材７０によって被覆されている。
【００１２】
（液体吐出ヘッド１００の製造方法）
次に、以上説明した液体吐出ヘッド１００の製造方法を、図２に示す概略フロー図と図３，４に示す概略ステップ図とに基づき説明する。
【００１３】
まず、記録素子基板１０を第１の支持部材３０に接合するために、第１の支持部材３０に接着剤５０を塗布する（ステップＳ１）。図３（ａ）は接着剤５０が塗布された第１の支持部材３０の概略斜視図を、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ線に沿った概略断面図を示している。接着剤５０は熱硬化性樹脂である。接着剤５０は第１の支持部材３０の開口３１の周囲に塗布する。接着剤５０は、Ｘ方向及びＹ方向に移動可能なロボットで描画を行うことによって塗布する。接着剤５０の厚みは例えば０．１ｍｍ程度であり、接着剤５０を所望の塗布厚さで塗布することができる限り、転写、スキージなど他の方法を用いることもできる。接着剤５０は、インクに対して十分な耐食性を有しているものが好ましい。接着剤５０は記録素子基板１０の裏面に塗布してもよく、接着剤５０として接着シートを用いてもよい。
【００１４】
次に、記録素子基板１０を第１の支持部材３０に接合する（ステップＳ２）。図３（ｃ）は記録素子基板１０が接合された第１の支持部材３０と吸着ツール１１０の概略斜視図を、図３（ｄ）は、図３（ｃ）のＢ−Ｂ線に沿った概略断面図を示している。記録画質の向上のため、記録素子基板１０は第１の支持部材３０に、フローティング接着によって記録素子基板１０の上面から第１の支持部材３０の下面までの距離が一定となるように接合される。フローティング接着とは、部品の厚み公差等を接着剤で吸収して接着後のユニットの厚みを揃える手法である。具体的には、記録素子基板１０を吸着ツール１１０で吸着し、第１の支持部材３０をメカクランプ（図示せず）で固定し、記録素子基板１０を接着剤５０に当接させる。吸着ツール１１０は電気による昇温が可能である。本実施形態では、吸着ツール１１０を１６０℃まで昇温し、記録素子基板１０を接着剤５０に７秒間当接させて仮止めを行った。吸着ツール１１０を昇温させる代わりに第１の支持部材３０を加熱してもよく、接着剤５０の加熱方法はこれらの方法に限定されない。その後必要に応じキュアリングを行い、記録素子基板１０と第１の支持部材３０との接合が完了する。フローティング接着の代わりに突き当て接着を用いてもよい。なお、記録素子基板１０と第１の支持部材とが接合されたユニットを記録素子ユニット１４とも称する。本実施形態では、記録素子基板１０と第１の支持部材３０とを接着して記録素子ユニット１４を製造するが、記録素子ユニット１４の製造方法はこの方法に限定されない。第１の支持面３０ａを備える記録素子基板１０を記録素子ユニット１４として製造してもよい。
【００１５】
次に、電気配線基板４０を第１の接着剤９０で第１の支持部材３０に接合する（ステップＳ３）。図３（ｅ）は電気配線基板４０と第１の支持部材３０の概略斜視図を、図３（ｆ）は、図３（ｅ）のＣ−Ｃ線に沿った概略断面図を示している。第１の支持部材３０の第１の支持面３０ａに第１の接着剤９０を塗布し、第１の接着剤９０の上に電気配線基板４０の一端を重ね、電気配線基板４０を第１の支持部材３０に接合する。これにより、電気配線基板４０の一端に第１の支持部材３０との接合部が形成される。第１の接着剤９０は電気配線基板４０の裏面に塗布してもよく、第１の接着剤９０として接着シートを用いてもよい。
【００１６】
次に、電気配線基板４０を記録素子基板１０にワイヤーボンディングで接続する（ステップＳ４）。図３（ｇ）はワイヤーボンディングで接続された電気配線基板４０と第１の支持部材３０の概略斜視図を、図３（ｈ）は図３（ｇ）のＤ−Ｄ線に沿った概略断面図を示している。電気配線基板４０の第１の接続端子４１をワイヤー６０によって、記録素子基板１０の電極１２と電気的に接続し、電気接続部６１を形成する。ワイヤーボンディングの代わりに電極１２と第１の接続端子４１を直接圧着してもよい。
次に、電気接続部６１をシーリング材７０で封止する（ステップＳ５）。図４（ａ）は電気接続部６１が封止されたチップユニット２００の概略斜視図を、図４（ｂ）は図４（ａ）のＥ−Ｅ線に沿った概略断面図を示している。電気接続部６１はインク等の液体による電気ショートを防止するため、シーリング材７０で被覆される。これによって、記録素子基板１０が第１の支持部材３０に接合され、電気配線基板４０の一端が第１の支持部材３０に接合され、電気接続部６１が封止されたチップユニット２００が得られる。以上の工程を繰り返し、複数の電気配線基板４０を複数の第１の支持部材３０にそれぞれ接合し、複数のチップユニット２００を作成する。
【００１７】
次に、第３の接着剤８２で、第２の支持部材８０の第３の支持面８０ｂに第１の支持部材３０を接合する（ステップＳ６）。図４（ｃ）はチップユニット２００と第３の接着剤８２が塗布された第２の支持部材８０の概略斜視図を、図４（ｄ）は、図４（ｃ）のＦ−Ｆ線に沿った概略断面図を示している。第２の支持部材８０の第３の支持面８０ｂの開口８３の周囲に第３の接着剤８２を塗布し、チップユニット２００をフローティング接着する。第３の接着剤８２は熱硬化性樹脂である。第２の支持部材８０はＸ方向に長い長尺形状を有しており、複数のチップユニット２００を第２の支持部材８０の長手方向（Ｘ方向）にインラインで配列し、第２の支持部材８０に接合する。フローティング接着の代わりに突き当て接着を用いてもよい。
【００１８】
次に、第２の支持部材８０の第２の支持面８０ａに第２の接着剤９１を塗布する。（ステップＳ７）。図４（ｅ）はチップユニット２００と第２の接着剤９１が塗布された第２の支持部材８０の概略斜視図を、図４（ｆ）は、図４（ｅ）のＧ−Ｇ線に沿った概略断面図を示している。第２の接着剤９１の塗布は例えば転写によって行うことができる。第２の接着剤９１は熱硬化性樹脂である。第２の接着剤９１は電気配線基板４０の裏面に塗布してもよく、第２の接着剤９１として接着シートを用いてもよい。第２の接着剤９１を塗布する際には電気配線基板４０を上方に折り曲げ、治具（図示せず）で固定してもよい。
【００１９】
次に、電気配線基板４０を第２の支持部材８０の第２の支持面８０ａに接合する（ステップＳ８）。図４（ｇ）は電気配線基板４０が接合されたチップユニット２００と第２の支持部材８０の概略斜視図、図４（ｈ）は、図４（ｅ）のＨ−Ｈ線に沿った概略断面図を示している。第２の接着剤９１の上に電気配線基板４０の中間部４３を重ね、押圧ツール１２０で電気配線基板４０の中間部４３を押圧する。押圧ツール１２０は発熱可能であり、電気配線基板４０は発熱している押圧ツール１２０によって押圧される。これによって、熱硬化性樹脂である第２の接着剤９１が硬化し、電気配線基板４０の中間部４３が第２の接着剤９１で第２の支持部材８０の第２の支持面８０ａに接合される。つまり、電気配線基板４０の中間部４３は、熱硬化性樹脂を加熱しながら電気配線基板４０を押圧ツール１２０（図５〜８参照）で押圧することによって第２の支持面８０ａに接合される。一例では、１３０℃に昇温した押圧ツール１２０で電気配線基板４０を２０秒間押圧し、熱圧着を行った。電気配線基板４０は溝２０を跨ぐように第１の支持面３０ａと第２の支持面８０ａとの間に掛け渡される。この工程は、電気配線基板４０の第２の接続端子４２と電気信号を発生させるデバイスとの位置合わせ精度を高めるために行われる。
【００２０】
電気配線基板４０がテンションの掛かった状態で第２の支持面８０ａに接合されると、環境温度が変化した際に電気配線基板４０の配線が損傷する可能性がある。例えば、第２の支持部材８０の線膨張係数が電気配線基板４０の線膨張係数より大きい場合、第２の支持部材８０の伸びによって電気配線基板４０が引っ張られ、電気配線基板４０が引張応力で断線する可能性がある。そのため、電気配線基板４０の配線の損傷の発生を抑制するための電気配線基板４０の第２の支持部材８０への接合方法を、いくつかの実施形態によって説明する。
【００２１】
（第１の実施形態）
図５は図４（ｈ）のＡ部を示す詳細図であり、図５（ａ）は比較例、図５（ｂ）は第１の実施形態を示している。比較例及び第１の実施形態において、第１の支持部材３０と第１の接着剤９０と第３の接着剤８２の厚さの合計Ｈ１は１．３ｍｍであり、第３の支持面８０ｂから第２の接着剤９１の上面までの高さＨ２は０．９ｍｍである。第１の支持面３０ａは第２の支持面８０ａよりも、溝２０の底面２０ａないし第３の支持面８０ｂからこれらと直交する方向（Ｚ方向）に離れており、Ｈ１＞Ｈ２の関係が成立している。電気配線基板４０の線膨張係数は１６ｐｐｍであり、第２の支持部材８０の線膨張係数は３０ｐｐｍである。以下の説明で、第１の接着剤９０と第２の接着剤９１の互いに対向する端部、すなわち第１の接着剤９０の第２の接着剤９１と対向する端部と、第２の接着剤９１の第１の接着剤９０と対向する端部をそれぞれ第１の端部９０ａ、第２の端部９１ａという。第１の端部９０ａと第２の端部９１ａをまとめて両側端部という。さらに、いくつかの寸法を以下のように定義する。
Ｌ１：第１の接着剤９０の第１の端部９０ａと第２の接着剤９１の第２の端部９１ａとの間の直線距離ないし最短距離（図５（ａ）参照）
Ｌ２：第１の接着剤９０の第１の端部９０ａと第２の接着剤９１の第２の端部９１ａとの間の電気配線基板４０に沿った距離（図５（ｂ）参照）
Ｗ１：第１の支持部材３０の溝２０に面する側面３０ｂ（記録素子ユニット１４の側面）と、第２の接着剤９１の第２の端部９１ａとのＹ方向距離（間隔）
Ｗ２：電気配線基板４０の中間部４３を第２の支持面８０ａに接合する際の、第１の支持部材３０の溝２０に面する側面３０ｂと、押圧ツール１２０の側面３０ｂと対向する側面１２０ａとのＹ方向距離（間隔）
Ｗ３：第１の接着剤９０の第１の端部９０ａと、第２の接着剤９１の第２の端部９１ａとのＹ方向距離（間隔）
また、以下の説明で、押圧ツール１２０の端部は、押圧ツール１２０の電気配線基板４０と対向する２つの下側端部のうち、第１の支持部材３０側の端部を意味する。
【００２２】
比較例では、押圧ツール１２０の端部をＹ方向において第２の端部９１ａと同じ位置または第２の端部９１ａよりも第１の支持部材３０から離れた位置に位置決めして、電気配線基板４０を熱圧着している。押圧ツール１２０は第１の接着剤９０と第２の接着剤９１の両側端部間に存在しないため、電気配線基板４０は両側端部間で直線状に接合され、最短距離Ｌ１と距離Ｌ２とは、Ｌ１＝Ｌ２となる。押圧ツール１２０を電気配線基板４０から離した後も、電気配線基板４０には両側端部間にテンションが掛かっており、弛緩することはない。第２の支持部材８０の線膨張係数が電気配線基板４０の線膨張係数より大きいため、環境温度が高まると、図５（ａ）に矢印で示すように、第２の支持部材８０が電気配線基板４０に対しＹ方向に相対的に右側に移動する。このため、電気配線基板４０の第２の接着剤９１で固定された中間部４３が第２の支持部材８０によって右側に引っ張られ、電気配線基板４０の溝２０の上方に位置する部分が引張応力を受ける。電気配線基板４０の両側端部近傍の屈曲部では応力集中が生じる可能性もある。
【００２３】
これに対し、第１の実施形態では、図５（ｂ）に示すように、押圧ツール１２０の端部をＹ方向において第１の接着剤９０と第２の接着剤９１の両側端部間に位置決めして、押圧ツール１２０を下降させて電気配線基板４０を熱圧着している。これによって、押圧ツール１２０で電気配線基板４０を押圧する際に、電気配線基板４０は両側端部間で下方に屈曲するように変形し、Ｌ２＞Ｌ１となる。第２の接着剤９１を介して電気配線基板４０が第２の支持面８０ａに接合（固定）された後に押圧ツール１２０を上昇させて押圧を解除すると、電気配線基板４０は弛緩する（テンションの掛からない状態となる）。このように両側端部間で電気配線基板４０を屈曲させる工程をフォーミングと称する。電気配線基板４０をフォーミングして接合することによって、第２の支持部材８０と電気配線基板４０の線膨張係数の差による断線等が生じる可能性が低減される。Ｌ２はＬ２＞Ｌ１の関係を満たすことが好ましく、１．００３×Ｌ１≦Ｌ２≦Ｌ１×１．２の関係を満たすことがさらに好ましい。この関係は押圧ツール１２０のＹ方向位置を調整することで得られる。具体的には、Ｗ２≦０．８×Ｗ１とすることが好ましい。ただし、押圧ツール１２０と第１の支持部材３０との接触を回避する必要があるため、より正確には０＜Ｗ２≦０．８×Ｗ１であることが好ましい。電気配線基板４０の第１の接着剤９０と第２の接着剤９１との間の部分は押圧ツール１２０によって溝２０に向けて下方に押し込まれる。このため、電気配線基板４０がフォーミングによってシーリング材７０の上方に突き出し、記録媒体と接触して破損する可能性が軽減される。
【００２４】
本実施形態では、加熱した押圧ツール１２０を用いて電気配線基板４０を接合しているが、予め第２の支持部材８０を加熱し、第２の支持部材８０及び第２の接着剤９１を昇温させた状態で、電気配線基板４０を押圧ツール１２０で押圧してもよい。第２の支持部材８０が熱膨張している状態で電気配線基板４０を接合するため、第２の支持部材８０が冷却した際に第２の支持部材８０に形成された第２の接着剤９１が第１の支持部材３０のほうに移動する。これによって、電気配線基板４０を自然にフォーミングさせることができる。
【００２５】
（第２の実施形態）
図６を参照して本発明の第２の実施形態について説明する。以下の説明では第１の実施形態と異なる点を中心に述べる。説明を省略した点については第１の実施形態と同様である。図６（ａ）は複数のチップユニット２００が取り付けられた液体吐出ヘッド１００の平面図を示している。前述のように、第２の支持部材８０はＸ方向に長い長尺形状を有しているため、特に第２の支持部材８０がＸ方向に１ｍ以上の長さを有し、低コスト化のために樹脂部材を採用している場合は、Ｙ方向に反る傾向が生じやすい。この場合でも、チップユニット２００は第２の支持部材８０にＸ方向に沿って直線状に配置されるため、チップユニット２００の第２の支持部材８０に対するＹ方向の相対位置、あるいは溝２０のＹ方向寸法がチップユニット２００毎に変わる可能性がある。換言すれば、各々に電気配線基板４０が接合された複数の第１の支持部材３０が、少なくとも２つの第１の支持部材３０で溝２０のＹ方向幅が異なるように、第２の支持部材８０に直線状に接合されることになる。
【００２６】
図６（ｂ），６（ｃ）はそれぞれ図６（ａ）のＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線に沿った断面図を示している。これらの図に示すように、第２の接着剤９１は、第２の支持部材８０の溝２０に面する側面８０ｃと第２の接着剤９１の第２の端部９１ａとのＹ方向距離が各チップユニット２００で同じとなるように塗布されている。この場合、Ｗ１，Ｗ３は第２の支持部材８０のＸ方向中央では小さくなり、第２の支持部材８０のＸ方向端部では大きくなる。従って、Ｗ２の絶対値が全てのチップユニット２００で同じになるように押圧ツール１２０のＹ方向位置を決めると、Ｗ２／Ｗ１がチップユニット２００毎に変動する。この結果、１．００３×Ｌ１≦Ｌ２≦Ｌ１×１．２を満たさないチップユニット２００が生じる可能性がある。そこで、本実施形態では、押圧ツール１２０のＹ方向位置を、第１の支持部材３０毎（別の支持部材毎）に１．００３×Ｌ１≦Ｌ２≦Ｌ１×１．２を満たすように設定する。Ｌ１，Ｌ２はＨ１−Ｈ２，Ｗ１〜Ｗ３から求められ、Ｗ１〜Ｗ３は反りの量に応じて補正することができる。従って、Ｈ１−Ｈ２が各チップユニット２００で同じであれば、チップユニット２００を第２の支持部材８０に取り付ける前に、予め第２の支持部材８０のＹ方向の反りの量を、各チップユニット２００の取り付け位置で測定すればよい。そして、反りの量に応じて、１．００３×Ｌ１≦Ｌ２≦Ｌ１×１．２を満たすように押圧ツール１２０のＹ方向位置を決めることができる。
【００２７】
（第３の実施形態）
図７を参照して本発明の第３の実施形態について説明する。以下の説明では第１の実施形態と異なる点を中心に述べる。説明を省略した点については第１の実施形態と同様である。前述のように、複数の第１の支持部材３０は第２の支持部材８０にフローティング接着される。しかし、それによって第３の接着剤８２の厚さがチップユニット２００毎に異なることがある。すなわち、複数の第１の支持部材３０が、少なくとも２つの第１の支持部材３０で、第１の接着剤９０と第２の接着剤９１の表面の高低差Ｈ１−Ｈ２が異なるように第２の支持部材８０に直線状に接合される可能性がある。
【００２８】
図７（ａ）は第３の接着剤８２の厚さが薄いチップユニット２００を、図７（ｂ）は第３の接着剤８２の厚さが厚いチップユニット２００を示している。チップユニット２００によってＨ１が異なるため、全てのチップユニット２００でＷ２の絶対値が同じになるように押圧ツール１２０のＹ方向位置を決めると、１．００３×Ｌ１≦Ｌ２≦Ｌ１×１．２を満たさないチップユニット２００が生じる可能性がある。そこで、本実施形態では、押圧ツール１２０のＹ方向の位置を、第１の支持部材３０毎に１．００３×Ｌ１≦Ｌ２≦Ｌ１×１．２を満たすように設定する。上述のように、Ｌ１，Ｌ２はＨ１，Ｈ２，Ｗ１〜Ｗ３から求められため、Ｈ２，Ｗ１〜Ｗ３が各チップユニット２００で同じであれば、チップユニット２００毎にＨ１を補正すればよい。具体的には、第３の接着剤８２の厚さを各第１の支持部材３０の位置で測定しておき、第３の接着剤８２の厚みに応じてＨ１を補正し、１．００３×Ｌ１≦Ｌ２≦Ｌ１×１．２を満たすように押圧ツール１２０のＹ方向位置を決めることができる。
なお、本実施形態は第２の実施形態と組み合わせることも可能である。Ｈ１−Ｈ２，Ｗ１〜Ｗ３が各チップユニット２００で異なる場合も、これらの寸法を予め求めることによって、押圧ツール１２０のＹ方向の位置を、第１の支持部材３０毎に１．００３×Ｌ１≦Ｌ２≦Ｌ１×１．２を満たすように設定することができる。
【００２９】
（第４の実施形態）
図８を参照して本発明の第３の実施形態について説明する。以下の説明では第１の実施形態と異なる点を中心に述べる。説明を省略した点については第１の実施形態と同様である。押圧ツール１２０は、電気配線基板４０を押圧する端部に、溝２０の底面２０ａに向けて突き出す突起１２１を有している。押圧ツール１２０を下降させると、突起１２１が電気配線基板４０に当接するため、押圧ツール１２０の下降中に電気配線基板４０がフォーミングされる。押圧ツール１２０が早期に電気配線基板４０を押圧するため、押圧ツール１２０のＹ方向位置の調整時間を短くすることができる。
【符号の説明】
【００３０】
１４  記録素子ユニット
３０ａ  第１の支持面
４０  電気配線基板
８０  第２の支持部材
８０ａ  第２の支持面
９０  第１の接着剤
９１  第２の接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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