(57)【要約】【課題】摩擦による粉塵や微粒子の発生を回避し、リニアモジュールの正常動作を行うと共に、作業環境の基準を保証することができる低塵発生リニアモジュールを提供する。【解決手段】本発明は、トラックユニット２０と、スライダ本体３１とスライダ外カバー３２を含むライダモジュール３０と、トラックユニット２０の二つの端部２１１にそれぞれ固定され、スライダ本体３１とスライダ外カバー３２との間を穿設する磁気受容セクション４３を有する防塵ベルト４０と、磁気受容セクション４３を磁気的に吸着させるための磁性素子５０とを備え、前記磁気受容セクション４３では、磁性素子５０によって磁気的に吸着される部分を磁気吸着部４３１とし、磁気吸着部４３１と磁性素子５０との間には、第１磁気吸引ギャップＨ１を形成し、磁気吸着部４３１とスライダ外カバー３２との間には、第２磁気吸引ギャップＨ２を形成する。【選択図】図３
2020037973.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
低塵発生リニアモジュールであって、
移動方向を有するトラックユニットと、
スライダ本体とスライダ外カバーを含み、前記スライダ本体は前記トラックユニット内で前記移動方向に沿ってスライド可能に設けられ、且つ前記移動方向に沿って設けられた二つのスライダ端部を有し、前記スライダ外カバーは前記スライダ本体に組み立てられたスライダモジュールと、
前記トラックユニットに固定された二つの端部を有し、さらに前記二つの端部間に配設され且つ前記スライダ本体と前記スライダ外カバーとの間を穿設する磁気受容セクションを有する防塵ベルトと、
前記防塵ベルトに対面する前記スライダ本体の一側に設けられ、前記磁気受容セクションを磁気的に吸着させるのに用いられる磁性素子と、を備え、
前記磁気受容セクションでは、前記磁性素子に対応して磁気的に吸着された部分を磁気吸着部とし、前記磁気吸着部と前記磁性素子との間には、第１磁気吸引ギャップを形成し、前記磁気吸着部と前記スライダ外カバーとの間には、第２磁気吸引ギャップを形成することを特徴とする、
低塵発生リニアモジュール。
【請求項２】
前記トラックユニットは、一つのトラック本体と二つのサイドカバーとを含み、前記二つのサイドカバーは、前記トラック本体の両側にそれぞれ設けられ、しかも前記トラック本体の両側辺に設けられた縦部と、前記縦部を連接する横部を有し、且つ二つの前記横部間は、前記防塵ベルトを配設するための空間を有することを特徴とする請求項１に記載の低塵発生リニアモジュール。
【請求項３】
前記二つのサイドカバーの横部には、互いに対応するサポート切欠きが設けられ、前記二つのサポート切欠きには、磁気ストリップがそれぞれ設けられ、前記磁気ストリップは、前記防塵ベルトの磁気受容セクションの両側を磁気的に吸着するのに用いられることを特徴とする請求項２に記載の低塵発生リニアモジュール。
【請求項４】
前記スライダ本体は、前記二つのスライダ端部の間に設けられたスライダ中間凸部と、前記スライダ中間凸部の両側にそれぞれ設けられた二つのスライダ側壁と、をさらに含み、且つ前記二つのスライダ側壁の間には、スライダ溝があり、前記防塵ベルトの磁気受容セクションは、前記スライダ溝を穿設し、且つ前記スライダ中間凸部における前記防塵ベルトの部分は、上向きに凸設されていることを特徴とする請求項１に記載の低塵発生リニアモジュール。
【請求項５】
前記磁性素子のトップサーフェスは、各前記サイドカバーの横部のトップサーフェスより低く設けられていることを特徴とする請求項２に記載の低塵発生リニアモジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はリニアモジュールに関し、特に粉塵の発生が少ない低塵発生リニアモジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的なリニアモジュールは、スライドベースと、前記スライドベース上をスライドするスライドテーブルと、前記スライドベースと前記スライドテーブルとの間に配置された防塵ベルトとを備え、前記防塵ベルトはスライドテーブルの移動時に発生する微小粒子（粉塵）が作業場に拡散されることを防止することで、作業環境の基準を満たすと同時に、前記粉塵がスライドベース内に落下してしかもリニアモジュールの動作に影響を与えることを回避することができる。
【０００３】
図１Ａには、特許文献１の一部を示す。
これによれば、このリニアモジュールのスライドテーブル１１１では、主にスライドテーブル１１１のスライダ１１２の両端に磁性素子１１３が設けられることにより、（磁気吸着）防塵ベルト１１４を磁気的に吸着し、スライダ１１２上の防塵ベルト１１４が上向きに凸設され且つスライドテーブル１１１の上面に貼合されているので、防塵効果に優れ、構造が簡単で設置が容易であるという利点がある。
【０００４】
しかし、前記スライダ１１２の移動過程中では、前記スライダ１１２両端の磁性素子１１３が防塵ベルト１１４を磁気的に吸着し且つ各前記磁性素子１１３と防塵ベルト１１４とが接触しているため、前記スライドテーブル１１１が変位すると、各前記磁気素子１１３と防塵ベルト１１４との間に摩擦が生じ、さらに粉塵が発生し、最後に粉塵がスライドテーブル１１１に落下してリニアモジュールの動作に影響を及ぼす。
【０００５】
図１Ｂには、特許文献２の一部を示す。
これによれば、これはリニアモジュールに適したスライドテーブルであって、主にトラック１２１上には磁性層が塗装または付着されており、しかもスライダ１２２にも磁性層が同様に塗布または付着されており、且つスライダ１２２の上面には蓋体１２３がロックされている。蓋体１２３底面の両側には一つの板ばね１２４がそれぞれ固定されており、板ばね１２４下面にはテフロン（登録商標）層が形成されており、しかもトラック１２１上にはスチールストリップ１２５が固設されしかもスライダ１２２と蓋体１２３との間に挟まれており、スチールストリップ１２５はトラック１２１の上方を完全に覆うことができ、作業場内の塵埃がトラック１２１内に侵入し、リニアモジュールの正常動作に影響を及ぼすことを回避し、且つスライダ１２２の作動によって生成された微小粒子が作業場に放出されることを防ぐことで、クリーンルームの作業環境基準を達成することができる。
【０００６】
しかし、スライダ１２２は、磁性層によってスチールストリップ１２５の磁性層に互いに磁気的に吸着し合い、且つ両者が接触した状態を保持しており、その他、前記蓋体１２３底面の板ばね１２４は、前記スチールストリップ１２５と当接しているので、前記スライダ１２２が変位すると、前記スライダ１２２と板ばね１２４の全てがスチールストリップ１２５との摩擦を生じることにより、粉塵や微粒子を発生させ、最後にトラック１２１内に前記粉塵を落下してリニアモジュールの動作に影響を与え、前記微粒子が作業場内に広がり、作業環境に影響を与える。次に、前記トラック１２１と前記スライダ１２２の両方に塗布または貼り付けによって磁性層を形成しなければならず、さらに板ばね１２４の底面にテフロン層を形成する必要がある。そのため、高い加工コストという欠点が問題視されている。
【０００７】
図１Ｃには、特許文献３の一部を示す。
これによれば、これはリニアモジュールに適したスライドテーブルであって、主にサイドカバー１３１にはマグネット１３２が設けられており、シールベルト１３３の両面は磁気的に密着してシール効果を発揮し、同時にスライダエンドキャップ１３４内には弾性押圧部材１３５が設けられており、前記弾性押圧部材１３５の弾性によって前記シールベルト１３３を押圧することにより、シール効果をさらに良くする。
【０００８】
しかし、スライドテーブルが変位すると、弾性押圧部材１３５とシールベルト１３３とが摩擦を発生して粉塵や微粒子を発生させ、最終的に前記粉塵はトラック１３６内に落下してリニアモジュールの動作に影響を及ぼし、前記微粒子は作業場に広がり、作業環境に影響を与える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】台湾特許第Ｉ５３０６２７号公報
【特許文献２】台湾特許第Ｍ３１９１１０号公報
【特許文献３】特開第２０１１−０２１７４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明が解決しようとする課題は、主に摩擦による粉塵や微粒子の発生を回避し、リニアモジュールの正常動作を行うと共に、作業環境の基準を保証することができる低塵発生リニアモジュールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明は下記の低塵発生リニアモジュールを提供する。
本発明の低塵発生リニアモジュールは、移動方向を有するトラックユニットと、スライダ本体とスライダ外カバーを含み、前記スライダ本体は前記トラックユニット内で前記移動方向に沿ってスライド可能に設けられ、且つ前記移動方向に沿って設けられた二つのスライダ端部を有し、前記スライダ外カバーは前記スライダ本体に組み立てられたスライダモジュールと、前記トラックユニットに固定された二つの端部を有し、さらに前記二つの端部間に配設され且つ前記スライダ本体と前記スライダ外カバーとの間を穿設する磁気受容セクションを有する防塵ベルトと、前記防塵ベルトに対面する前記スライダ本体の一側に設けられ、前記磁気受容セクションを磁気的に吸着させるのに用いられる磁性素子と、を備え、前記磁気受容セクションでは、前記磁性素子に対応して磁気的に吸着される部分を磁気吸着部とし、前記磁気吸着部と前記磁性素子との間には、第１磁気吸引ギャップを形成し、前記磁気吸着部と前記スライダ外カバーとの間には、第２磁気吸引ギャップを形成することを特徴とする。
【００１２】
より好ましくは、各磁性素子の磁気吸引力は２．３〜５．６ｋｇｆの間にあり、磁束密度（Ｇ）は３９００〜４１００ガウスの間にあり、各磁性素子の磁気吸着面は矩形であり、且つ磁気吸着面は、長さと幅が１０ｍｍ×１０ｍｍ〜１２ｍｍ×１２ｍｍの範囲内であり、前記第１磁気吸引ギャップは、０．１〜０．８ｍｍの間にある。これにより、前記磁気吸着部と前記磁性素子との間に第１磁気吸引ギャップＨ１が発生されると共に、前記磁気吸着部と前記スライダ外カバーとの間に第２磁気吸引ギャップＨ２が発生されるのを確保する。  
【００１３】
より好ましくは、各磁性素子の磁気吸引力は２．３〜５．６ｋｇｆの間にあり、磁束密度（Ｇ）は３９００〜４１００ガウスの間にあり、各磁性素子の磁気吸着面が円形であり、且つ磁気吸着面は直径が１０ｍｍ〜１８ｍｍ、各磁性素子は厚さが３ｍｍ〜５ｍｍとする。これにより、前記磁気吸着部と前記磁性素子との間に第１磁気吸引ギャップが発生されると共に、前記磁気吸着部と前記スライダ外カバーとの間に第２磁気吸引ギャップが発生されるのを確保する。
【００１４】
好ましくは、前記トラックユニットは、一つのトラック本体と二つのサイドカバーとを含み、前記二つのサイドカバーは、前記トラック本体の両側辺にそれぞれ設けられ、しかも前記トラック本体の両側端に設けられた縦部と、前記縦部を連接する横部を有し、且つ二つの前記横部間は、前記防塵ベルトを配設するための空間を有する。
【００１５】
好ましくは、前記二つのサイドカバーの横部には、互いに対応するサポート切欠きが設けられ、前記二つのサポート切欠きには、磁気ストリップがそれぞれ設けられ、前記磁気ストリップは、前記防塵ベルトの磁気受容セクションの両側を磁気的に吸着するのに用いられる。これにより、前記防塵ベルトの磁気受容セクションにおいては、前記磁性素子によって吸着されていない部分が前記二つのサイドカバーの間でシールされる。
【００１６】
好ましくは、前記スライダ本体は、前記二つのスライダ端部の間に設けられたスライダ中間凸部と、前記スライダ中間凸部の両側にそれぞれ設けられた二つのスライダ側壁と、をさらに含み、且つ前記二つのスライダ側壁の間には、スライダ溝があり、前記防塵ベルトの磁気受容セクションは、前記スライダ溝を穿設し、且つ前記スライダ中間凸部における前記防塵ベルトの部分は、上向きに凸設されている。
【００１７】
好ましくは、前記磁性素子の数量は二つあり、各前記磁性素子は、前記スライダ本体の前記二つのスライダ端部にそれぞれ設けられる。
【００１８】
好ましくは、前記磁性素子のトップサーフェスは、各前記サイドカバーの横部のトップサーフェスより低く設けられる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の低塵発生リニアモジュールは、少なくとも以下のような効果を奏することができる。
＜１＞前記スライダ本体の各スライダ端部に磁気素子を配設することにより、前記防塵ベルトが前記磁性素子によって磁気的吸着される磁気吸着部と前記磁性素子との間には第１磁気吸引ギャップＨ１を形成し、前記磁気吸着部と前記スライダ外カバーとの間には、第２磁気吸引ギャップＨ２を形成する。このため、前記防塵ベルトは前記磁性素子を通過する際に、磁性素子によって磁気的に吸着されることで前記スライダ本体と前記スライダ外カバーとの間に隙間が生成できて、磁性素子と防塵ベルトとの間に隙間が形成されるので、摩擦は発生しない。したがって、摩擦による粉塵や微粒子の発生を回避することができ、リニアモジュールの正常動作を行わせ、且つ作業環境の標準を保証することができる。
＜２＞前記第１磁気吸引ギャップＨ１と第２磁気吸引ギャップＨ２の大きさは、前記磁性素子の磁気吸着面積、磁気吸引力、及び磁束密度の全てに関係するので、これにより、各種寸法のリニアモジュールに適し、しかも磁気吸着部と前記磁性素子との間にある第１磁気吸引ギャップの生成と、磁気吸着部とスライダ外カバーとの間にある第２磁気吸引ギャップの生成を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１Ａ】特許文献１の一部説明図である。
【図１Ｂ】特許文献２の一部説明図である。
【図１Ｃ】特許文献３の一部説明図ある。
【図２】本発明の実施形態の全体斜視図である。
【図３】本発明の実施形態の局部斜視図である。
【図４】図２における線４−４の横断面図である。
【図５】図４の局所拡大図である。
【図６】本発明の実施形態の局所横断面図である。
【図７】図６の局所拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下に図面を参照しながら本発明を実施するための最良の形態について詳述する。
【００２２】
図２乃至図７に示すように、本発明の実施形態に係る低塵発生リニアモジュールは、主にトラックユニット２０と、スライダモジュール３０と、防塵ベルト４０と、２個の磁性素子５０とから構成される。
【００２３】
前記トラックユニット２０は、トラック本体２１と二つのサイドカバー２２とを含む。そのうち、前記トラック本体２１は、移動方向Ｘを有し、さらに前記移動方向Ｘに沿って二つのトラック端部２１１を備え、前記二つのサイドカバー２２は、前記トラック本体２１の両側にそれぞれ設けられている。各サイドカバーは、前記トラック本体２１の両側辺に設けられた縦部２２１と前記縦部を連接する横部２２２とを有し、且つ二つの前記横部２２２間には、空間２２３を備える。また、前記二つの横部２２２には、互いに対応するサポート切欠き２２２１が設けられており、前記二つのサポート切欠き２２２１には、一つの磁気ストリップ２３がそれぞれ設けられている。
【００２４】
前記スライダモジュール３０は、スライダ本体３１とスライダ外カバー３２とを含む。前記スライダ本体３１は、前記トラックユニット２１内で前記移動方向Ｘに沿ってスライド可能に設けられ、且つ前記移動方向Ｘに沿って設けられた二つのスライダ端部３１１を備える。
前記二つのスライダ端部３１１間には、スライダ中間凸部３１２が設けられており、前記スライダ中間凸部３１２の両側には、二つのスライダ側壁３１３がそれぞれ設けられており、且つ前記二つのスライダ側壁３１３間には、スライダ溝３１４が設けられており、前記スライダ外カバー３２は、前記スライダ本体３１に組み立てられている。
【００２５】
前記防塵ベルト４０は、鋼材等の磁性材料で形成されている。前記防塵ベルト４０は、プレス板４１を介して前記二つのトラック端部２１１に固定された二つの端部４２を有する。さらに前記二つの端部４２間には、前記スライダ本体３１と前記スライダ外カバー３２との間を穿設する磁気受容セクション４３が配設されている。
本実施形態では、前記防塵ベルト４０の磁気受容セクション４３が前記スライド溝３１４を穿設しており、且つ前記防塵ベルト４０の磁気受容セクション４３が前記スライダ中間凸部３１２の部分において上向きに凸状に突起している。磁気受容セクション４３は、前記スライダ中間凸部３１２の部分を穿設しておらず、その両側は、二つのサイドカバー２２の二つのサポート切欠き２２２１に設けられた磁気ストリップ２３によって、磁気的に吸引されている。これにより、前記防塵ベルト４０の磁気受容セクション４３は、二つのサイドカバー２２の間で封止されている。
【００２６】
前記二つの磁性素子５０は、前記防塵ベルト４０に対面する前記スライダ本体３１の一側に設けられている。なお、前記二つの磁性素子５０は、前記スライダ本体３１の二つのスライダ端部３１１にそれぞれ配設されている。これにより、防塵ベルト４０の磁気受容セクション４３を磁気的に吸着し、且つ各前記磁気素子５０のトップサーフェスが各前記サイドカバー２２の横部２２２のトップサーフェスよりも低い。前記磁気受容セクション４３では、前記二つの磁性素子５０に対応して磁気的に吸着される部分を磁気吸着部４３１とし、前記磁気吸着部４３１と前記磁性素子５０との間には、第１磁気吸引ギャップＨ１が形成され、前記磁気吸着部４３１と前記スライダ外カバー３２との間には、第２磁気吸引ギャップＨ２が形成される。本実施形態では、各前記磁性素子５０の材質は、ネオジム磁石である。但し、これに限定されるものではなく、ネオジム鉄ボロン（Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ）磁石であってもよい。
【００２７】
以上は、本発明の実施形態の各主要構成要件の説明であるが、以下に本発明の作用と効果について説明する。
摩擦による粉塵や微粒子の発生を回避する。前記スライダ本体３１の各スライダ端部３１１に磁気素子５０を配設することにより、前記防塵ベルト４０の前記磁性素子５０によって磁気的吸着された磁気吸着部４３１と前記磁性素子５０との間には第１磁気吸引ギャップＨ１が形成され、前記磁気吸着部４３１と前記スライダ外カバー３２との間には、第２磁気吸引ギャップＨ２が形成される。このため、前記防塵ベルト４０は前記磁性素子５０を通過する際に、磁性素子５０によって磁気的に吸着されることで前記スライダ本体３１と前記スライダ外カバー３２との間に隙間が生成でき、磁性素子５０と防塵ベルト４０との間に隙間が形成されるので、摩擦は発生しない。これにより、摩擦による粉塵や微粒子の発生を回避することができ、リニアモジュールの正常動作を行わせ、且つ作業環境の標準を保証することができる。
【００２８】
次に、前記スライダモジュール３０は直線移動によって作動されるので、その動力源はモータ（図示せず）によって提供される。上述から容易に分かるように、前記スライダモジュール３０が直線移動の過程中では、防塵ベルト４０が磁性素子５０を通過すると、磁性素子５０の磁気的吸着によって、前記スライダ本体３１とスライダ外カバー３２との間に隙間が発生して磁性部品５０と防塵ベルト４０との間に隙間を持たせることにより、摩擦は生じない。したがって、前記スライダモジュール３０の移動時の抵抗力を低減させ、故に前記スライダモジュール３０の移動を駆動するモータの負荷も低減させることができる。
【００２９】
本実施形態では、磁性素子５０は、形状が矩形であるが、これに限定されるものではなく、円形、円弧、半月状等であってもよい。また、本実施形態では、各磁性素子５０の磁気吸着面５１は矩形であり、且つ磁気吸着面５１は、長さと幅が１０ｍｍ×１０ｍｍ〜１２ｍｍ×１２ｍｍの範囲内であり、同時に各磁性素子５０の磁気吸引力は２．３〜５．６ｋｇｆであり、磁束密度（Ｇ）は３９００〜４１００ガウスの間にあるので、前記第１磁気吸引ギャップＨ１は、０．１〜０．８ｍｍの間にある。これにより、前記磁気吸着部４３１と前記磁性素子５０との間に第１磁気吸引ギャップＨ１の発生、さらに前記磁気吸着部４３１と前記スライダ外カバー３２との間に第２磁気吸引ギャップＨ２の発生を確保する。  
また、各磁性素子の磁気吸着面が円形である場合には、磁気吸着面は直径が１０ｍｍ〜１８ｍｍ、各磁性素子は厚さが３ｍｍ〜５ｍｍとする。これにより、前記と同様に、前記磁気吸着部４３１と前記磁性素子５０との間にある第１磁気吸引ギャップＨ１の発生、さらに前記磁気吸着部４３１と前記スライダ外カバー３２との間にある第２磁気吸引ギャップＨ２の発生を確保する。
【００３０】
次に、前記第１磁気吸引ギャップＨ１と第２磁気吸引ギャップＨ２の大きさは全て前記磁性素子５０の磁気吸着面積、磁気吸引力、及び磁束密度に関係する。これにより、様々な大きさのリニアモジュールに適し、しかも磁気吸着部と前記磁性素子との間にある第１磁気吸引ギャップの生成と、磁気吸着部とスライダ外カバーとの間にある第２磁気吸引ギャップの生成を確保する。
【００３１】
上記本発明の実施形態と図示は、本発明の好適な実施形態に過ぎず、本発明の実施範囲を限定するものではない。本発明の特許請求の範囲に基づく均等な変更や改変はすべて、本発明の保護範囲に含むものとする。
【００３２】
本発明は、リニアモジュールに関し、特に粉塵が低く発生する低塵発生リニアモジュールに適用することができる。
【符号の説明】
【００３３】
１１１  スライドテーブル
１１２  スライダ
１１３  磁性素子
１１４  （磁気吸着）防塵ベルト
１２１  トラック
１２２  スライダ
１２３  蓋体
１２４  板ばね
１２５  スチールストリップ
１３１  サイドカバー
１３２  マグネット
１３３  シールベルト
１３４  スライダエンドキャップ
１３５  弾性押圧部材
１３６  トラック
２０  トラックユニット
２１  トラック本体
Ｘ  移動方向
２１１  トラック端部
２２  サイドカバー
２２１  縦部
２２２  横部
２２２１  サポート切欠き
２２３  空間
２３  磁気ストリップ
３０  スライダモジュール
３１  スライダ本体
３１１  スライダ端部
３１２  スライダ中間凸部
３１３  スライダ側壁
３１４  スライダ溝
３２  スライダ外カバー
４０  防塵ベルト
４１  プレス板
４２  端部
４３  磁気受容セクション
４３１  磁気吸着部
５０  磁性素子
Ｈ１  第１磁気吸引ギャップ
Ｈ２  第２磁気吸引ギャップ
５１  磁気吸着面
【図１Ａ】
2020037973.tif 000003
【図１Ｂ】
2020037973.tif 000004
【図１Ｃ】
2020037973.tif 000005
【図２】
2020037973.tif 000006
【図３】
2020037973.tif 000007
【図４】
2020037973.tif 000008
【図５】
2020037973.tif 000009
【図６】
2020037973.tif 000010
【図７】
2020037973.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】令和1年10月21日(2019.10.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
低塵発生リニアモジュールであって、
移動方向を有するトラックユニットと、
スライダ本体とスライダ外カバーを含み、前記スライダ本体は前記トラックユニット内で前記移動方向に沿ってスライド可能に設けられ、且つ前記移動方向に沿って設けられた二つのスライダ端部を有し、前記スライダ外カバーは前記スライダ本体に組み立てられたスライダモジュールと、
前記トラックユニットに固定された二つの端部を有し、さらに前記二つの端部間に配設され且つ前記スライダ本体と前記スライダ外カバーとの間に挿入される磁気受容セクションを有する防塵ベルトと、
前記防塵ベルトに対面する前記スライダ本体の一側に設けられ、前記磁気受容セクションを磁気的に吸着させるのに用いられる磁性素子と、を備え、
前記磁気受容セクションでは、前記磁性素子に対応して磁気的に吸着された部分を磁気吸着部とし、前記磁気吸着部と前記磁性素子との間には、第１磁気吸引ギャップを形成し、前記磁気吸着部と前記スライダ外カバーとの間には、第２磁気吸引ギャップを形成し、前記トラックユニットは二つの横部を含み、前記二つの横部間は、前記防塵ベルトを配設するための空間を有し、前記二つの横部には、互いに対応するサポート切欠きが設けられ、前記二つのサポート切欠きには、磁気ストリップがそれぞれ設けられ、前記磁気ストリップは、前記防塵ベルトの磁気受容セクションの両側を磁気的に吸着するのに用いられることを特徴とする、
低塵発生リニアモジュール。
【請求項２】
前記トラックユニットは、一つのトラック本体と二つのサイドカバーとを含み、前記二つのサイドカバーは、前記トラック本体の両側にそれぞれ設けられ、しかも前記トラック本体の両側辺に設けられた縦部と、前記縦部を連接する前記横部を有することを特徴とする請求項１に記載の低塵発生リニアモジュール。
【請求項３】
前記スライダ本体は、前記二つのスライダ端部の間に設けられたスライダ中間凸部と、前記スライダ中間凸部の両側にそれぞれ設けられた二つのスライダ側壁と、をさらに含み、且つ前記二つのスライダ側壁の間には、スライダ溝があり、前記防塵ベルトの磁気受容セクションは、前記スライダ溝を穿設し、且つ前記スライダ中間凸部における前記防塵ベルトの部分は、上向きに凸設されていることを特徴とする請求項１に記載の低塵発生リニアモジュール。
【請求項４】
前記磁性素子のトップサーフェスは、各前記サイドカバーの横部のトップサーフェスより低く設けられていることを特徴とする請求項２に記載の低塵発生リニアモジュール。