(57)【要約】【課題】  大がかりな設備や専用装置を用いずに、シリコーン系粘着剤にワークを直接貼付したり、機械的に把持したりしない方法で、ワークを安全に保持、運搬、脱離することができる、ワーク運搬装置を提供する【解決手段】  ワーク運搬装置は、運搬時の把持と高電圧発生のための本体部２と、ワークを吸着する吸着部と、本体部と吸着部を接続するジョイント部３から構成され、本体部は筐体と、そこに内蔵された電圧発生回路と、第一正極（負極）とを有する、吸着部は、ベース部と、第一正極（負極）に電気的に接続した第二正極（負極）として設置されたシート状の電極層と、そこに一体的に形成されたシート状の吸着層からなる積層シートからなる。電圧発生回路から発生した電圧を、第一正極（負極）を通じて電極層に印加し、電極層とワークとの間にクーロン引力を発生させ、ワークを吸着させる。【選択図】図１
2020072193.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャック型のワーク運搬装置であって、
前記ワーク運搬装置は、ワーク運搬時に把持するとともに高電圧を発生する本体部と、ワークを吸着する吸着部と、前記本体部と前記吸着部を機械的に接続するジョイント部を備え、
前記本体部は、ワーク運搬時に把持する筐体と、前記筐体に内蔵され、電池を電源として３００Ｖ以上の高電圧を発生させる電圧発生回路と、同様に前記本体筐体に内蔵され、前記電圧を出力するための第一正極と第一負極と、を有し、
前記吸着部は、平板状のベース部と、第二正極または第二負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層に一体的に形成されたシート状の吸着層からなる積層シートと、を有し、
前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上の樹脂板よりなり、
前記電極層は、柔軟性を有する厚さが８μｍ以上３０μｍ以下の２枚以上の金属箔２枚以上の金属箔を有する薄膜よりなり、
前記吸着層は、柔軟性を有する厚さが７μｍ以上３００μｍ以下の樹脂シートよりなり、
前記積層シートは、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の全部または一部がワークの形状に対応したゆとりを持って、前記電極層が前記ベース部に対面する向きで、前記ベース部に着脱自在に固定され、
前記第一正極は、前記第二正極に、前記第一負極は前記第二負極に、電気的に接続されている、
ことを特徴とする、ワーク運搬装置。
【請求項２】
前記ジョイント部は、前記吸着部の向き・角度を一定の範囲内で調整・保持可能である、
ことを特徴とする、請求項１に記載のワーク運搬装置。
【請求項３】
前記吸着層の反電極層側に、前記樹脂シートより比誘電率の低い低誘電膜または電気伝導性を有する導電膜が形成されている、
ことを特徴とする、請求項１または２何れか１項に記載のワーク運搬装置。
【請求項４】
前記ベース部の面内に１個以上の開口が形成されている、
ことを特徴とする、請求項１から３何れか１項に記載のワーク運搬装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主に薄型プリント基板・フレキシブル基板上への電子部品の実装工程や、半導体製造工程において、プリント基板やシリコーンウエハーなどのワークを保持して運搬するためのワーク運搬装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子回路実装工程や半導体製造工程において、薄型プリント基板・フレキシブル基板などのワークに電子部品を実装する場合、ワークが撓んだりずれたりせず、形状や位置を一定に保持するために、従来はガラスエポキシ樹脂製のベースにシリコーン系粘着剤を塗布した基板搬送治具にワークを貼りつけて、取り扱っていた（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、シリコーン系粘着剤は、熱に強い、貼り剥がしが可能であり繰り返し使用できるといった利点がある反面、粘着剤に含まれるシロキサン等の低分子シリコーン成分が基板や部品に転写してはんだ印刷不良を引き起こしたり、ガス化して二酸化ケイ素に分解し、導通不良を引き起こしたりなど、障害の原因になることが問題となっている。
【０００４】
また、特に、ワークがシリコーンウエハーのような脆いものの場合、容易に破損するため、半導体製造工程や太陽電池製造工程において取り扱うときは注意が必要であったが、粘着剤による固定方法では、取り外しに外力を必要とするので、割れてしまう危険性があり、その意味でもこの方法を用いることには弊害が伴った。
【０００５】
さらに、シリコーンウエハーを運搬する方法として、専用の設備や装置があるが、設備が大掛かりであったり、汎用性が低かったりして、導入や維持のための費用が問題となる他、取り扱いも簡単とは言えず、作業効率や品質の安定という面において問題となっている（例えば、特許文献２，３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−５９７９０号公報
【特許文献２】特開２００４−２６００３７号公報
【特許文献３】特開２０１２−５２２３８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
この発明の目的は、上記事情に鑑み、大がかりな設備や専用装置を用いずに、シリコーン系粘着剤にワークを直接貼付したり、機械的に把持したりしない方法で、ワークを安全に保持、運搬、脱離することができる、ワーク運搬装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャック型のワーク運搬装置であって、前記ワーク運搬装置は、ワーク運搬時に把持するとともに高電圧を発生する本体部と、ワークを吸着する吸着部と、前記本体部と前記吸着部を機械的に接続するジョイント部を備え、前記本体部は、ワーク運搬時に把持する筐体と、前記筐体に内蔵され、電池を電源として３００Ｖ以上の高電圧を発生させる電圧発生回路と、同様に前記本体筐体に内蔵され、前記電圧を出力するための第一正極と第一負極と、を有し、前記吸着部は、平板状のベース部と、第二正極または第二負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層に一体的に形成されたシート状の吸着層からなる積層シートと、を有し、前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上の樹脂板よりなり、前記電極層は、柔軟性を有する厚さが８μｍ以上３０μｍ以下の２枚以上の金属箔を有する薄膜よりなり、前記吸着層は、柔軟性を有する厚さが７μｍ以上３００μｍ以下の樹脂シートよりなり、前記積層シートは、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の全部または一部がワークの形状に対応したゆとりを持って、前記電極層が前記ベース部に対面する向きで、前記ベース部に着脱自在に固定され、前記第一正極は、前記第二正極に、前記第一負極は前記第二負極に、電気的に接続されている、ことを特徴とする。
請求項２に記載の発明は、前記ジョイント部は、請求項１に記載のワーク運搬装置であって、前記吸着部の向き・角度を一定の範囲内で調整・保持可能である、ことを特徴とする。
請求項３に記載の発明は、請求項１または２何れか１項に記載のワーク運搬装置であって、前記吸着層の反電極層側に、前記樹脂シートより比誘電率の低い低誘電膜または電気伝導性を有する導電膜が形成されている、ことを特徴とする。
請求項４に記載の発明は、請求項１から３何れか１項に記載のワーク運搬装置であって、前記ベース部の面内に１個以上の開口が形成されている、ことを特徴とする。
これによれば、電池から供給された電圧が、電圧発生回路で３００Ｖ以上に昇圧され、第一正極、第一負極から端子部を通じて電極層に印加され、吸着層に静電気を発生させ、この静電力によりワークを吸着させる。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１に記載の発明によれば、大がかりな設備や専用装置を用いないでワークを安全に保持・運搬・脱離することが可能となる。ワークを治具にシリコーン系粘着剤で直接貼りつけない為、シリコーンによるワークの汚染を防止し、不具合をなくすことが可能となる。また、吸着層や電極層の貼り剥がしが自在でベース部を繰り返し使用する事ができるので、製造コストの削減が可能となる。また、電極層と吸着層が一体的に形成されているため、取り扱いが容易であるとともに、電極層と吸着層に隙間が生じたときの吸着力の低下を防ぐことが可能である。また、吸着層と電極層の外周のみがベース部に固定されており、適度なゆとりがある為、吸着層がワークの凹凸やたわみに追従して、吸着能力を維持・向上させることが可能になる。
【００１０】
請求項２に記載の発明によれば、ジョイント部により吸着部の向きが一定の範囲内で調整が可能であるので、使用態様に応じて最適な向きでワークを運搬できる。また、使用しないときは、折りたたむことでコンパクトに収納できる。
【００１１】
請求項３に記載の発明によれば、樹脂シートとワークの間に低誘電膜または導電膜を介することにより、電極層内の電荷が消失すると同時に速やかに吸着力が減衰するので、スムーズにワークを脱離することが可能となる。
【００１２】
請求項４に記載の発明によれば、開口からベース部と積層シートの間に空気が取り込まれることで、吸着層がワークの凹凸やたわみに追従しやすくなるので、より吸着能力を維持・向上させることが可能となる。また、吸着層がたわみやすくなることで、スムーズなワークの脱離が可能となる。また。ワークが吸着されているかどうかを、反対側の面から視覚で確認することが可能となり、使用時の事故を防ぐことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の形態に係る、ワーク運搬装置の概略構成ブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る、ワーク運搬装置の概略正面図（ａ）と側面断面図（ｂ）と裏面図（ｃ）である。
【図３】本発明の実施の形態に係る、ワーク運搬装置のベース部の概略正面図（ワーク吸着側）である。
【図４】本発明の実施の形態に係る、ワーク運搬装置の吸着部の向きの調整状態を示す概略側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施の形態について、添付の図面を参照しながら説明する。なお、図面において、図面中の各部の構成の大きさ、間隔、数、その他詳細は、視認と理解の助けのために、実際の物に比べて大幅に簡略化・省略化して表現している。
【００１５】
図１は、ワーク運搬装置１の概略構成ブロック図である。また、図２は、ワーク運搬装置１の概略正面図（ａ）と側面断面図（ｂ）と裏面図（ｃ）である。ワーク運搬装置１は、ワーク運搬時に把持するとともに高電圧を発生する本体部２と、前記本体部と前記吸着部を機械的に接続するジョイント部３と、ワークを吸着する吸着部４とを備える。
【００１６】
本体部２は、ワーク運搬時に把持するプラスチック製の筐体２１と、筐体２１に内蔵され、高電圧を出力するための第一電極部と、電池を電源として３００Ｖ以上の高電圧を発生させる電圧発生回路２３と、吸着スイッチ２５１と、脱離スイッチ２５２と、スリット２６とから構成されている。また、第一電極部は、第一正極２２Ｐと第一負極２２Ｎから構成されている。
【００１７】
電圧発生回路２３は、ブロッキング発振回路２３１と、コッククロフト・ウォルトン回路（以下「ＣＷ回路」という）２３２から成り立っている。
【００１８】
ブロッキング発振回路２３１は、トランスとトランジスタと抵抗から構成される回路であり、電池２４から入力された直流電圧を、交流電圧に変換すると同時に昇圧する機能を有する。本実施の形態では、電池２４から印加された１．５Ｖの電圧を３００Ｖの交流電圧に変換・昇圧し、ＣＷ回路２３２に送る。
【００１９】
ＣＷ回路２３２は、複数のコンデンサとダイオードから構成される回路であり、交流電圧を、直流電圧に変換すると共に昇圧する回路であり、２個のダイオードと２個のコンデンサで１組の最小回路単位をつくり、この最小回路単位毎に電圧を２倍に昇圧する。本実施の形態では、２組の最小回路単位を組み、４倍に昇圧させる。すなわち、ブロッキング発振回路２３１から入力された交流電圧を、ＣＷ回路２３２で直流１２００Ｖに昇圧している。電圧は、低すぎると吸着力が弱くなり、ワークを確りと保持できなくなる一方、高すぎると吸着層４３を絶縁破壊してリーク電流を起こしたり、電極層４２の２枚の電極間で放電を起こしたり、さらにはワークの脱離性を損なったりするので、吸着層４３の材料の絶縁破壊厚さを考慮して、適正な範囲に設定する。具体的には３００Ｖ以上４０００Ｖ以下が好ましく、６００Ｖ以上であるとさらに好ましい。本実施の形態で使用しているポリイミドの絶縁破壊電圧は、約４００ｋＶ／ｍであるので、３８μｍ厚では理論上約１５ｋＶまで耐えられる。
【００２０】
第一正極２２Ｐと、第一負極２２Ｎは、電圧発生回路２３で発生した電圧を、外部へ出力するための電極であり、それぞれ筐体２１の外壁に取り付けられた端子から構成されている。
【００２１】
吸着スイッチ２５１は、電池２４とブロッキング発振回路２３１を電気的に接続するための押しボタンスイッチであり、押下したときにＯＮ、離したときにＯＦＦとなる。
【００２２】
脱離スイッチ２５２は、第一正極２２Ｐと第一負極２２Ｎを、所定の大きさの除電用の電気抵抗（図示略）を介して電気的に接続し、両極に誘起された電荷を打ち消して消滅させて、ワークを吸着部４から脱離するための押しボタンスイッチであり、押下したときにＯＮ（脱離）となる。本実施の形態では、除電用の電気抵抗は１ＭΩを使用している。
【００２３】
スリット２６は、本体部２に形成されており、筐体２１内の第一正極２２Ｐ、第一負極２２Ｎと、筐体２１外の第二正極４２Ｐ、第二負極４２Ｎを接続するための細線状の開口である。
【００２４】
ジョイント部３は、本体部２と吸着部４を機械的に接続するためのヒンジ状のプラスチック製の部品であり、本実施の形態では、筐体２１とはボルトで接続されている一方（図示略）、ベース部４１とは一体的に形成されている。ジョイント部３は、一軸（図３では紙面に垂直な方向）を中心に、図３（ａ）〜（ｃ）のように、０度以上２７０度以下の範囲で回動することが可能であり、また、その範囲内の任意の角度で姿態を保持することが可能である。
【００２５】
吸着部４は、平板状のベース部４１と、第二正極４２Ｐまたは第二負極４２Ｎとして設置されたシート状の電極層４２と、電極層４２に一体的に形成されたシート状の吸着層４３からなる積層シートとから構成される。
【００２６】
ベース部４１は、厚さが０．５ｍｍ以上３ｍｍ以下の樹脂板よりなる。本実施の形態では、耐熱性や耐薬品性に優れた、厚さ２ｍｍのガラスエポキシ樹脂を使用しているが、０．５ｍｍより薄いと、撓みやすくなり、ワークの自重に負けて曲がりやすくなり、保持性が弱まる。一方、３ｍｍより厚くなると、ベース部４１の重量が大きくなるので、ジョイント部３において、姿態保持性が低下する。ここで、ベース部４１の主要部は、目的とするワークの大きさや形状によって任意の形態を取ることができる。本実施の形態では、ベース部４１は、ワークは直径６インチ（約１５ｃｍ）サイズの円板状のシリコーンウエハーを吸着するために、主要部が直径１６ｃｍの円板形状をしている。ベース部が、ワークサイズより極端に小さいと、ワークの大きさ・重さに対して吸着力が弱くなり、ワークの保持性が低下する。
【００２７】
電極層４２は、一定の間隔をおいて水平に配置された、２枚以上の金属箔を有する薄膜よりなる。金属箔は、２枚で１組の正極と負極、すなわち第二正極４２Ｐと第二負極４２Ｎを構成する。厚さは、薄すぎると耐久性が低下するので、５μｍ以上であることが望ましく、８μｍ以上であることがさらに好ましい。一方、厚すぎると、柔軟性が低下して、後述するような吸着力の低下が懸念されるので、５０μｍ以下であることが望ましく、３０μｍ以下であるとさらに好ましい。本実施の形態では、電極層４２は、厚さ８μｍの１組（２枚）の半円形の銅箔である。
【００２８】
吸着層４３は、厚さが５μｍ以上３００μｍ以下の耐熱性絶縁材である樹脂シートで形成されており、本実施の形態１では、耐熱性、耐薬品性や柔軟性、絶縁性、及び吸着力を考慮して、３８μｍ厚のポリイミドシートが使用されている。ここで、吸着層の厚さは、理論上は薄いほど静電気による吸着力が高まるが、あまり薄いと破けやすくなるため、強度を確保する観点から、５μｍ以上あることが望ましく、７μｍ以上であるとさらに好ましい。一方、厚すぎると柔軟性が低下して後述するような吸着力の低下が懸念されるので、３００μｍ以下であることが望ましく、２００μｍ以下であるとさらに好ましい。また、大きさは、ベース部４１の大きさに応じて適宜調整するが、本実施の形態では、主要部の円板形状は、ベース部４１と略同じ直径に設定されている。
【００２９】
ここで、本実施の形態では、電極層４２は、吸着層４３であるポリイミドシートの片面に、スパッタリングまたは無電解めっきにより厚さ５〜５０μｍで銅箔を形成した積層シートに対して、フォトリソグラフィ法によりレジストでパターン形成をし、エッチング法により銅箔を溶かして、電極層４２の形状に加工したものであり、吸着層４３の外周から５〜１０ｍｍの余白の内側にある。両電極間の間隔は両電極間の絶縁が保持されるように、印加する電圧により異なる距離をとる。ここで、空気の絶縁耐力は、約３０００Ｖ／ｍｍであるので、例えば印加電圧が３０００Ｖの場合には、少なくとも１ｍｍ以上の間隔をとる必要がある。本実施の形態では、余裕を持って、２ｍｍの間隔を確保している。
【００３０】
吸着層４３は、電極層４２がベース部４１の側に向くようにして、固定手段４４によりベース部４１に固定されている。固定手段には、熱硬化型接着剤やシリコーン系の粘着剤、耐熱性粘着テープなどが使用されるが、本実施の形態では、剥離と貼り合せを繰り返し行える点で、シリコーン系粘着剤を使用している。
【００３１】
この場合、電極層４２または吸着層４３の全面を完全にベース部４１に固定せずにワークの形状に対応したゆとりを持ってゆとりを持たせることで、電極層４２及び吸着層４３がワークの凹凸や歪みに追従してワークを確りと保持することで吸着能力が向上する（グラップリング効果）。そこで、本実施の形態では、吸着層４３と電極層４２は、その外周部の一部または全部がベース部４１に固定されている。すなわち、固定手段４４であるシリコーン系粘着剤は、ベース部４１のワーク吸着側の全面ではなく、外周部にのみ塗布され、吸着層４３の余白部（電極層４２がない範囲）がその場所に固定されるような形態をしている。
【００３２】
また、前述したように、電極層４２と吸着層４３は、厚くなりすぎると柔軟性が低下してワークへの追従性が低下するため、グラップリング効果が有効に発揮できるような適正なものに設定されている。
【００３３】
第二正極４２Ｐと第二負極４２Ｎは、スリット２６から筐体２１内に延伸されており、筐体内部で第一正極２２Ｐ、第一負極２２Ｎに電気的に接続されている。
【００３４】
次に、本実施の形態に係る、ワーク運搬装置１の使用方法について説明する。本実施の形態では、吸着するワークは、台の上に横向きに載置された、直径６インチのシリコーンウエハーとする。
【００３５】
吸着層４３をワークに軽く押し当て、吸着スイッチ２５１を押下すると、電池２４と電圧発生回路２３が電気的に接続されて、電圧発生回路２３で１２００Ｖの直流電圧が発生する。
【００３６】
直流電圧は、第一正極２２Ｐ、第一負極２２Ｎを通じて第二正極４２Ｐ、第二負極４２Ｎに印加され、第二正極４２Ｐには正電荷が、第二負極４２Ｎには負電荷が誘起される。
【００３７】
ワークの内部は、静電誘導により電極層４２のプラスに対向する部分は電子が引き寄せられてマイナスに、マイナスに対向する部分は電子が遠ざかってプラスに帯電するので、ワークと電極層４２の間には、互いに引き寄せあう力（クーロン引力）が働く。このとき、ワークのマイナス（プラス）帯電側と電極層４２のプラス（マイナス）帯電側は、それぞれ吸着層４３を誘電体とするコンデンサを構成しており、全体として２個のコンデンサを直列に接続した形態となっていると見ることができる。従って、ワークのマイナス（プラス）帯電側と電極層４２のプラス（マイナス）帯電側の間には、それぞれ電圧発生回路２３から印加された電圧（本実施の形態では１２００Ｖ）の半分ずつが印加されていると考えられる。
【００３８】
さらに、電気的絶縁体である吸着層４３の内部に電場が通過することで、吸着層４３には誘電分極による静電気も発生する。この静電気による力（静電気力）によってもワークは吸着部４に吸着される。
【００３９】
ここで、吸着力は、電極層に印加された電圧の自乗、吸着層４３の厚さの逆自乗に比例し、吸着層４３の比誘電率に比例する。すなわち、電圧と吸着層４３の比誘電率が大きければ、吸着力は強くなり、吸着層４３の厚さが厚ければ、吸着力は弱くなる。
【００４０】
ワークは吸着部４に保持されたら、吸着スイッチ２５１を開放して、直流電圧の印加が終了したとしても、電極層４２と吸着層４３とワークが一種のコンデンサを形成し、吸着層４３を介して、電極層４２とワークに発生した電荷が引き合うので、数十秒〜数分間吸着力が維持される。
【００４１】
ワークを所定の場所に移動したら、脱離スイッチ２５２を押下すると、第二正極４２Ｐには正電荷と第二負極４２Ｎの負電荷が打ち消しあい、それにより吸着層４３中の分極と、ワーク中に誘導された電荷が消失し、ワークが脱離する。
【００４２】
本実施の形態の発明によれば、大がかりな設備や専用装置を用いないでワークを安全に保持・運搬・脱離することが可能となる。また、ワークを治具にシリコーン系粘着剤で直接貼りつけない為、シリコーンによるワークの汚染を防止し、不具合をなくすことが可能となる。また、吸着層４３や電極層４２の貼り剥がしが自在でベース部を繰り返し使用する事ができるので、製造コストの削減が可能となる。また、電極層４２と吸着層４３が一体的に形成されているため、取り扱いが容易であるとともに、電極層４２と吸着層４３に隙間が生じたときの吸着力の低下を防ぐことが可能である。また、吸着層４２と電極層４３の外周のみがベース部に固定されており、適度なゆとりがある為、吸着層がワークの凹凸やたわみに追従して、吸着能力を維持・向上させることが可能になる。
【００４３】
また、ジョイント部３により吸着部４の向きが一定の範囲内で調整が可能であるので、使用態様に応じて最適な向きでワークを運搬できる。また、使用しないときは、折りたたむことでコンパクトに収納できる。
【００４４】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本願発明の範囲は以上の実施の形態に限られるものではなく、これと同視しうる他の形態に対しても及ぶ。例えば、本実施の形態では、吸着層４３は、ポリイミドシートからなり、この上にワークを吸着させていたが、吸着層４３のワーク吸着側の面に、ポリイミドシートより比誘電率の低い低誘電膜または電気伝導性を有する導電膜を形成することで、吸着層４３全体の厚さをコントロールできるので、吸着力をコントロールできる。また、高誘電膜であるポリイミドシートと低誘電層を重ね合わせることで、吸着層４３の全体の比誘電率を調整することが出来るので、吸着力をコントロールできる。これにより、脱離スイッチ２５２を押下したときに、ワークに接する層の分極が消失し、静電力が消失し易くすることができ、電極層４２内の電荷が消失すると同時に速やかに吸着力が減衰するので、スムーズにワークを脱離することが可能となる。導電膜の場合は、より静電力喪失の効果が顕著である。ここで、低誘電性膜としては、例えばＰＴＦＥシートが挙げられる。また、導電膜としては、一般に知られている帯電防止剤を吸着層４２上に塗布して形成することが挙げられる。なお、この場合でも、ポリイミドシートと低誘電膜または導電膜の厚さの合計は、３００μｍ以下であることが望ましく、２００μｍ以下であることがさらに望ましい。
【００４５】
さらに、ベース部４１の面内に１個以上の開口を形成することで、開口からベース部４１と積層シートの間に空気が取り込まれることで、吸着層４２がワークの凹凸やたわみに追従しやすくなるので、より吸着能力を維持・向上させることが可能となる。また、吸着層４２がたわみやすくなることで、スムーズなワークの脱離が可能となる。また。ワークが吸着されているかどうかを、反対側の面から視覚で確認することが可能となり、使用時の事故を防ぐことが可能となる。
【００４６】
また、吸着層４３の樹脂シートは必ずしもポリイミドシートである必要はなく、使用条件（温度、印加電圧など）によっては、ガラス繊維シートや耐熱プラスチックシート、例えばポリ塩化ビニリデンフィルムのような、食品用ラップフィルムに使われており比較的廉価で入手が容易なものを使用しても、吸着能力を発揮することができる。
【００４７】
電圧発生回路２３において、ブロッキング発信回路２３１のみで所望の電圧が得られる場合は、コッククロフト・ウォルトン回路２３２は必ずしも必要ではない。この場合、コッククロフト・ウォルトン回路２３２の代わりにダイオードを使用して、ブロッキング発信回路２３１から出力される交流電圧を直流電圧に変えることができる。なお、ブロッキング発信回路２３１の出力電圧を高くするためには、コイルの巻き数を変えて、トランスの昇圧性能を高くしたり、電池２４の出力を高くしたりする方法がある。
【００４８】
さらに、電極層４２は、半円形だけでなく、様々な形状に形成可能である。例えば、グラジエント式と言われる静電チャックは、櫛型に形成した一対の櫛型電極の歯を互い違いに並べて配置するが、本実施の形態でもこれを用いてもよい。
【００４９】
ワークはシリコーンウエハーに限られず、薄型プリント基板、フレキシブル基板、金属片、プラスチック類、繊維なども吸着が可能である。
【符号の説明】
【００５０】
１              ワーク運搬装置
２              本体部
２１            筐体
２２            第一電極部
２２Ｐ          第一正極部
２２Ｎ          第一負極部
２３            電圧発生回路
３              ジョイント部
４              吸着部
４１            ベース部
４２            電極層
４２Ｐ          第二正極部
４２Ｎ          第二負極部
【図１】
2020072193.tif 000003
【図２】
2020072193.tif 000004
【図３】
2020072193.tif 000005
【図４】
2020072193.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】令和1年5月27日(2019.5.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャック型のワーク運搬装置であって、
前記ワーク運搬装置は、ワーク運搬時に把持するとともに高電圧を発生する本体部と、ワークを吸着する吸着部と、前記本体部と前記吸着部を機械的に接続するジョイント部を備え、
前記本体部は、ワーク運搬時に把持する筐体と、前記筐体に内蔵され、電池を電源として３００Ｖ以上の高電圧を発生させる電圧発生回路と、同様に前記筐体に取り付けられ、前記電圧を出力するための第一正極と第一負極と、を有し、
前記吸着部は、平板状のベース部と、第二正極または第二負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層に一体的に形成されたシート状の吸着層からなる積層シートと、を有し、
前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上の樹脂板よりなり、
前記電極層は、柔軟性を有する厚さが８μｍ以上３０μｍ以下の２枚以上の金属箔を有する薄膜よりなり、
前記吸着層は、柔軟性を有する厚さが７μｍ以上３００μｍ以下の樹脂シートよりなり、
前記積層シートは、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の全部または一部がワークの歪みや凹凸に追従可能なゆとりを持って、前記電極層が前記ベース部に対面する向きで、前記ベース部に着脱自在に固定され、
前記第一正極は、前記第二正極に、前記第一負極は前記第二負極に、電気的に接続されている、
ことを特徴とする、ワーク運搬装置。
【請求項２】
前記ジョイント部は、前記吸着部の向き・角度を一定の範囲内で調整・保持可能である、
ことを特徴とする、請求項１に記載のワーク運搬装置。
【請求項３】
前記吸着層の反電極層側に、前記樹脂シートより比誘電率の低い低誘電膜または電気伝導性を有する導電膜が形成されている、
ことを特徴とする、請求項１または２何れか１項に記載のワーク運搬装置。
【請求項４】
前記ベース部の面内に１個以上の開口が形成されている、
ことを特徴とする、請求項１から３何れか１項に記載のワーク運搬装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャック型のワーク運搬装置であって、前記ワーク運搬装置は、ワーク運搬時に把持するとともに高電圧を発生する本体部と、ワークを吸着する吸着部と、前記本体部と前記吸着部を機械的に接続するジョイント部を備え、前記本体部は、ワーク運搬時に把持する筐体と、前記筐体に内蔵され、電池を電源として３００Ｖ以上の高電圧を発生させる電圧発生回路と、同様に前記筐体に取り付けられ、前記電圧を出力するための第一正極と第一負極と、を有し、前記吸着部は、平板状のベース部と、第二正極または第二負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層に一体的に形成されたシート状の吸着層からなる積層シートと、を有し、前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上の樹脂板よりなり、前記電極層は、柔軟性を有する厚さが８μｍ以上３０μｍ以下の２枚以上の金属箔を有する薄膜よりなり、前記吸着層は、柔軟性を有する厚さが７μｍ以上３００μｍ以下の樹脂シートよりなり、前記積層シートは、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の全部または一部がワークの歪みや凹凸に追従可能なゆとりを持って、前記電極層が前記ベース部に対面する向きで、前記ベース部に着脱自在に固定され、前記第一正極は、前記第二正極に、前記第一負極は前記第二負極に、電気的に接続されている、ことを特徴とする。
請求項２に記載の発明は、前記ジョイント部は、請求項１に記載のワーク運搬装置であって、前記吸着部の向き・角度を一定の範囲内で調整・保持可能である、ことを特徴とする。
請求項３に記載の発明は、請求項１または２何れか１項に記載のワーク運搬装置であって、前記吸着層の反電極層側に、前記樹脂シートより比誘電率の低い低誘電膜または電気伝導性を有する導電膜が形成されている、ことを特徴とする。
請求項４に記載の発明は、請求項１から３何れか１項に記載のワーク運搬装置であって、前記ベース部の面内に１個以上の開口が形成されている、ことを特徴とする。
これによれば、電池から供給された電圧が、電圧発生回路で３００Ｖ以上に昇圧され、第一正極、第一負極から端子部を通じて電極層に印加され、吸着層に静電気を発生させ、この静電力によりワークを吸着させる。