(57)【要約】      （修正有）【課題】試料を載置台に平坦かつ安定に保持し、長時間にわたる高精度な観察あるいは形状測定を実現する。【解決手段】試料保持方法は、観察装置または測定装置の載置台１に液体Ｌを配置し、載置台と試料Ｓとの間に介在する液体で試料を載置台に貼り付けて保持する。【選択図】図１Ｂ
2020187001.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察装置または測定装置の載置台と試料との隙間に液体を配置することと、
前記載置台と前記試料との前記隙間に介在する前記液体で前記試料を前記載置台に貼り付けて保持すること、とを有する試料保持方法。
【請求項２】
請求項１に記載の試料保持方法であって、
前記載置台と前記試料との前記隙間の一部に前記液体を配置し、
前記載置台と前記試料との前記隙間に前記液体を広げる、試料保持方法。
【請求項３】
請求項２に記載の試料保持方法であって、
前記液体の配置は、前記載置台の上面に液体を滴下し、前記液体の表面に前記試料を接触させる、試料保持方法。
【請求項４】
請求項２に記載の試料保持方法であって、
前記液体の配置は、前記載置台と前記試料との前記隙間の一部に、前記液体を浸透させる、試料保持方法。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載の試料保持方法であって、
前記液体が前記隙間から揮発または流出することを抑制する抑制部を、前記試料の端部の少なくとも一部に接触または近接するように配置する、試料保持方法。
【請求項６】
請求項５に記載の試料保持方法であって、
前記抑制部は、前記液体に対して撥液性を有する、試料保持方法。
【請求項７】
請求項５または６に記載の試料保持方法であって、
前記抑制部は、前記試料の端面と所定値以下の間隔で配置される、試料保持方法。
【請求項８】
請求項５または６に記載の試料保持方法であって、
前記抑制部を前記載置台に固定する固定部がさらに配置される、試料保持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料保持方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、観察装置あるいは形状測定装置において、例えばフィルム状の薄い試料を載置台に保持する場合、試料を単に載置台に載せるか、両面粘着テープで試料を載置台に固定するか、載置台に設けた吸着用孔により試料を吸着するか、のいずれかの方法を採用していた。
一方、例えば遮光フィルムのような大面積で薄いフィルム状の材料を窓ガラスのような部材に貼り付ける方法として、両者を水等の液体を介して貼り付ける、いわゆる「水貼り」と呼ばれる方法が知られていた。例えば、特許文献１には、プラスチックフィルムを、水を介してガラスの表面に押し付けて窓ガラスの表面に水貼りすることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３６５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の通り、特許文献１には、面積の大きな素材等の用途について開示されているものの、観察装置あるいは形状測定装置の載置台への試料の保持方法としての適用については、開示も示唆もない。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の第１の態様は、観察装置または測定装置の載置台と試料との隙間に液体を配置することと、前記載置台と前記試料との前記隙間に介在する前記液体で前記試料を前記載置台に貼り付けて保持すること、とを有する試料保持方法に関する。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、試料を載置台に平坦かつ安定に保持することができ、長時間にわたって試料を高精度に観察あるいは形状測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１Ａ】図１Ａは、本発明の第１の実施形態に係る試料保持方法において、載置台の上面に液体が滴下された状態を示す説明図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、本発明の第１の実施形態に係る試料保持方法において、液体の表面に試料を接触させた状態を示す説明図である。
【図１Ｃ】図１Ｃは、本発明の第１の実施形態に係る試料保持方法において、液体が載置台の上面と試料の下面との隙間のほぼ全域に広がった状態を示す説明図である。
【図２Ａ】図２Ａは、本発明の第２の実施形態に係る試料保持方法において、載置台の上面に試料が載せられた状態を示す説明図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、本発明の第２の実施形態に係る試料保持方法において、液体が試料の端面近傍に滴下された状態を示す説明図である。
【図２Ｃ】、図２Ｃは、本発明の第２の実施形態に係る試料保持方法において、液体が載置台の上面と試料の下面との隙間のほぼ全域に広がった状態を示す説明図である。
【図３Ａ】図３Ａは、本発明の第３の実施形態に係る試料保持方法において、上面に抑制部が配置された状態の載置台を上方より見た平面図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、本発明の第３の実施形態に係る試料保持方法において、上面に抑制部が配置された状態の載置台を側方より見た側面図である。
【図３Ｃ】図３Ｃは、本発明の第３の実施形態に係る試料保持方法において、試料の端部全域に抑制部を配置した構成を示す構成図である。
【図４】図４は、抑制部を固定部により載置台に固定する構成を示す構成図である。
【図５】図５は、本発明の第１の実施形態による試料保持方法を説明するフローチャートである。
【図６】図６は、本発明の第２の実施形態による試料保持方法を説明するフローチャートである。
【図７】図７は、本発明の第３の実施形態による試料保持方法を説明するフローチャートである。
【図８Ａ】図８Ａは、従来の試料保持方法において、載置台に試料を載せた状態を示す説明図である。
【図８Ｂ】図８Ｂは、従来の試料保持方法において、試料を両面粘着テープにより載置台に保持した状態を示す説明図である。
【図８Ｃ】図８Ｃは、従来の試料保持方法において、載置台に設けた吸着用孔により試料を載置台に保持した状態を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
（第１の実施形態）
以下、図面を参照して本発明を実施するための第１の実施形態について説明する。図１Ａ、図１Ｂおよび図１Ｃは、第１の実施形態に係る、載置台１の上面１ａに試料Ｓを保持する方法を示す説明図である。図１Ａは、載置台１の上面１ａに液体Ｌ（水）を滴下した状態を示す。図１Ｂは、液体Ｌの表面に試料Ｓを接触させた状態を示す。この状態から、試料Ｓの自重あるいは液体Ｌの表面張力等の作用により、液体Ｌは、載置台１の上面１ａと試料Ｓの下面との間の隙間に広がる。なお、試料Ｓを載置台１の上面１ａに向けて適度に押圧してもよい。図１Ｃは、液体Ｌが、載置台１の上面１ａと試料Ｓの下面との隙間のほぼ全域に広がり、試料Ｓが載置台１に保持された状態を示す。
上述した方法によれば、液体Ｌの表面張力等の作用により試料Ｓの反りあるいはうねりが矯正され、かつ、不要な変形を受けずに、試料Ｓを載置台１に保持することができる。
【０００９】
第１の実施形態の保持方法により載置台１に保持した試料Ｓの表面形状を、レーザー顕微鏡を用いて測定したところ、３．５ｍｍ角の範囲における最大高さ（最も高い位置と低い位置との高さの差）は約３μｍであった。一方、両面粘着テープにより載置台１に試料Ｓを保持した状態で試料Ｓの表面形状を同じレーザー顕微鏡を用いて測定したところ、３．５ｍｍ角の範囲における最大高さは約１０μｍであった。このことから、第１の実施形態の保持方法によれば、試料Ｓの反りあるいはうねりが矯正され、かつ、不要な変形を受けずに、試料Ｓを載置台１に保持できることがわかる。
【００１０】
液体Ｌとしては、水、エチレングリコール、油、生理食塩水等を用いることが可能である。載置台１の上面１ａは、使用する液体Ｌに対して適度な撥液性（液体Ｌが水の場合には撥水性）、あるいは、適度な濡れ性を有することが好ましい。撥液性が低すぎる場合、すなわち、親液性（液体Ｌが水の場合には親水性）が高すぎる場合、載置台１の上面１ａに滴下された液体Ｌは、載置台１の上面１ａを急速に広がり、液体Ｌの表面は平面に近付く。このような状態では、試料Ｓと載置台１の上面１ａとの間に気泡が入らないように試料Ｓの下面を液体Ｌに接触させることが難しい。逆に、撥液性が高すぎる場合、すなわち、親液性が低すぎる場合、液体は載置台１の上面１ａに沿って広がりにくいため、試料Ｓと上面１ａとの間に液体Ｌが広がる際に気泡が残留する可能性がある。試料Ｓと載置台１の上面１ａとの間に気泡が残留した場合、良好な平面性は保った状態で試料Ｓを保持することができない。
【００１１】
試料Ｓの下面も、使用する液体Ｌに対して適度な撥液性、すなわち、適度な濡れ性を有することが好ましい。撥液性が低すぎる場合、すなわち、親液性が高すぎる場合、載置台１の上面１ａに滴下された液体Ｌに試料Ｓの下面が接触した途端に、試料Ｓの下面に沿って液体Ｌが急速に広がり、試料Ｓの下面と載置台１との間に気泡が残留する可能性がある。逆に、撥液性が高すぎる場合、すなわち、親液性が低すぎる場合、液体Ｌは試料Ｓの下面に沿って広がりにくく、この場合にも、試料Ｓの下面と載置台１との間に気泡が残留する可能性がある。
【００１２】
（第２の実施形態）
第１の実施形態においては、上記の通り、液体Ｌを載置台１の上面１に滴下した後、試料Ｓの下面を液体Ｌの表面に接触させ、その状態から、液体Ｌを載置台１の上面１ａと試料Ｓの下面との隙間に沿って広げた。第２の実施においては、この手順に代えて、試料Ｓの下面と載置台１の上面１ａとを所定の隙間を設けた状態とし、その状態で、この隙間に液体Ｌを浸透させて広げる。図２Ａ、図２Ｂおよび図２Ｃは、第２の実施形態に係る、載置台１の上面１ａに試料Ｓを保持する構成を示す説明図である。
【００１３】
図２Ａは、載置台１の上面１ａに試料Ｓを載せた状態を示す。この段階では、試料Ｓは、反りあるいはうねりを有した状態で載置台１の上面１ａに載置される。図２Ｂは、液体Ｌを試料Ｓの端面近傍に滴下した状態を示す。なお、図２Ｂにおいては、液体ＬがノズルＮにより試料Ｓの端面近傍に送液される状態を示しているが、実施形態１と同様に、液体Ｌを上方から試料Ｓの端面近傍に滴下してもよい。滴下された液体Ｌは、表面張力により、載置台１の上面１ａと下面との隙間に浸透し、最終的に隙間のほぼ全域を満たす。この状態を図２Ｃに示す。
【００１４】
第２の実施形態の保持方法により載置台１に保持した試料Ｓの表面形状をレーザー顕微鏡を用いて測定したところ、３．５ｍｍ角の範囲における最大高さ（最も高い位置と低い位置との高さの差）は約３μｍであった。このことから、第１の実施形態の保持方法によれば、試料Ｓの反りあるいはうねりが矯正され、かつ、不要な変形を受けずに、試料Ｓを載置台１に保持できることがわかる。
【００１５】
本実施形態においても、載置台１の上面１ａおよび試料Ｓの下面は共に、使用する液体Ｌに対して適度な撥液性、すなわち、適度な濡れ性を有することが好ましい。撥液性が低すぎる場合、すなわち、親液性（液体Ｌが水の場合には親水性）が高すぎる場合、図２Ｂにおいて滴下された液体Ｌは、載置台１の上面１ａと試料Ｓの下面との間の隙間を急速に広がり、気泡が残留する可能性がある。逆に、撥液性が高すぎる場合、すなわち、親液性が低すぎる場合、液体Ｌが載置台１の上面１ａと試料Ｓの下面との間の隙間を広がるのに長時間を要し、また、試料Ｓを載置台１に向けて押圧して液体Ｌを広げようとした場合には、載置台１の上面１ａと試料Ｓの下面との間の隙間に気泡が残留する可能性がある。
【００１６】
上述した方法によれば、液体Ｌの表面張力等の作用により試料Ｓの反りあるいはうねりが矯正され、かつ、不要な変形を受けずに、試料Ｓを載置台１に保持することができる。
【００１７】
以下、従来から知られているフィルム状の試料を貼り付ける方法との比較で説明する。
フィルム状の試料は、加工された際の残留応力により反りあるいはうねりを有している。上記の通り、従来は、試料に単に載置台に載せるか、両面粘着テープで試料を載置台に保持するか、載置台に設けた吸着用孔により試料を吸着するか、のいずれかの方法で試料を載置台に保持して、観察あるいは形状測定を行っていた。しかし、これらの方法によって好ましい状態で試料を載置台に保持することは困難であった。この点について、図８Ａ、図８Ｂおよび図８Ｃを用いて説明する。
【００１８】
図８Ａは、観察装置あるいは形状測定装置の載置台１の上面１ａに、フィルム状の試料Ｓを単に載せただけの状態、すなわち、試料Ｓに外力を加えないで載置台１の上面１ａに載置した状態を示す。載置台１の上面１ａは、平面性および表面粗さが十分高いレベルに加工されている。しかし、上記の通り、試料Ｓは、加工の際に発生する残留応力等に起因する反りあるいはうねりを有しており、特に、試料Ｓが薄いフィルム状である場合には、反りあるいはうねりが大きい。この反りあるいはうねりは、試料Ｓの自重により完全に矯正されることはない。
【００１９】
図８Ｂは、観察装置あるいは形状測定装置の載置台１の上面１ａに、フィルム状の試料Ｓを両面粘着テープ２により載置台１に保持した状態を示す。載置台１の上面１ａと試料Ｓの下面とは両面粘着テープ２に密着している。ここで、両面粘着テープ２の表面には粘着物質等が塗布されているが、その厚さは均一ではない。すなわち、両面粘着テープ２の平行度あるいは平面度は良好なレベルではない。従って、試料Ｓを両面粘着テープ２に密着させて固定すると、両面粘着テープ２の表面の状態が試料Ｓの表面に転写するように試料Ｓは変形する。
【００２０】
図８Ｃは、観察装置あるいは形状測定装置の載置台１の上面１ａに、載置台１に設けた吸着用孔によりフィルム状の試料Ｓを載置台１に保持した状態を示す。載置台１には吸着用の細孔１ｂが複数設けられており、これらの細孔１ｂを通して排気することで、試料Ｓは載置台１の上面１ａに吸着される。この時、細孔１ｂの近傍においては負圧となるため、試料Ｓは細孔１ｂに引き込まれて変形する。この変形は、試料Ｓの厚さが小さいほど大きい。
【００２１】
上記説明の通り、従来方法により試料Ｓを載置台１に保持した場合、試料Ｓの反りあるいはうねりが矯正されない状態、あるいは、試料Ｓに変形が発生した状態となる。このような状態の場合、試料Ｓの観察あるいは形状測定を高精度に行うことができない。例えば、レーザー顕微鏡あるいはプローブ顕微鏡等において、高倍率で試料Ｓを観察あるいは形状測定する場合、試料Ｓの反り、うねり、変形等が、観察結果あるいは計測結果に影響を及ぼし、高精度な観察あるいは測定が行えない。例えば、１００倍より高い倍率、例えば、５００倍、１０００倍、１００００倍のような高い倍率での観察あるいは計測を行う場合ほど、この影響は大きい。
一方、第１および第２の実施形態によれば、従来から知られているフィルム状試料を貼り付ける際の種々の問題を解決することができる。
【００２２】
上述した第１および第２の実施形態によれば、次の作用効果が得られる。
（１）第１および第２の実施形態の試料保持方法において、観察装置または測定装置の載置台と試料との隙間に液体を配置することと、前記載置台と前記試料との前記隙間に介在する前記液体で前記試料を前記載置台に貼り付けて保持すること、とを有する。これにより、試料を載置台に平坦かつ安定に保持することができ、長時間にわたって試料を高精度に観察あるいは形状測定を行うことができる。
（２）第１および第２の実施形態の試料保持方法において、載置台と試料との隙間の一部に液体を配置し、この液体を載置台と試料との隙間に広げる。これにより、試料を載置台に平坦かつ安定に保持することを確実に行うことができ、長時間にわたって試料を高精度に観察あるいは形状測定を行うことができる。
【００２３】
また、上述した第１の実施形態の試料保持方法によれば、次の作用効果が得られる。
（３）第１の実施形態において、液体の配置は、載置台の上面に液体を滴下し、液体の表面に試料を接触させる。これにより、試料を載置台に平坦かつ安定に保持することを確実にかつ容易に行うことができ、長時間にわたって試料を高精度に観察あるいは形状測定を行うことができる。
【００２４】
また、上述した第２の実施形態によれば、次の作用効果が得られる。
（４）第２の実施形態の試料保持方法において、液体の配置は、載置台と試料との隙間の一部に、液体を浸透させる。これにより、試料を載置台に平坦かつ安定に保持することを確実にかつ容易に行うことができ、長時間にわたって試料を高精度に観察あるいは形状測定を行うことができる。
【００２５】
（第３の実施形態）
第３の実施形態においては、第１および第２の実施形態として説明した手順に加えて、載置台１の上面１ａと試料Ｓの下面との隙間の端部から液体Ｌが揮発および／または流出することを抑制するための抑制部Ｐが配置される。図３Ａ、図３Ｂおよび図３Ｃは、抑制部Ｐが試料Ｓの端部に配置された状態を示す。図３Ａは、載置台１を上方より見た平面図、図３Ｂはその側面図である。図３Ａおよび図３Ｃにおいて、試料Ｓの左右方向（長手方向）の両端部に接触または近接して抑制部Ｐが配置されている。抑制部Ｐの材料としては、その内部に向けて液体Ｌが浸透せず、また、少なくとも液体Ｌが接する領域は撥液性を有することが好ましく、例えば、合成ゴム、エラストマー、シリコーン等を用いることができる。
【００２６】
載置台１の上面１ａと試料Ｓの下面との隙間に浸透した液体Ｌは、観察あるいは測定を行っている最中に、載置台１の上面１ａと試料Ｓの下面との隙間から揮発および／または流出する可能性がある。抑制部Ｐを試料Ｓの端部に配置することにより、液体Ｌが揮発あるいは流出することを抑制することができる。抑制部Ｐは、試料Ｓの端部に接触するように配置してもよいし、あるいは、試料Ｓの端部と微小な隙間を隔てて配置してもよい。試料Ｓの端部に接触して配置する場合には、試料Ｓに過大な力が加わらないように配置することが好ましい。
【００２７】
上記説明においては、抑制部Ｐは、試料Ｓの左右方向（長手方向）の両端部に接触または近接して抑制部Ｐが配置される旨説明した。すなわち、試料Ｓの端部に一部に接触または近接するように抑制部Ｐを載置台１の上面１ａに配置する旨説明したがこれに限られない。試料Ｓの端部全域に接触または近接するように載置台１の上面１ａに配置してもよい。このような構成を図３Ｃに示す。試料Ｓの反りあるいはうねりの状態に合わせて、抑制部Ｐの形状あるいは配置する位置を設定することが好ましい。
【００２８】
抑制部Ｐは、載置台１の上面１ａと試料Ｓの下面との隙間のほぼ全域に液体Ｌが浸透した後に載置台１の上面１ａに配置してもよい。抑制部Ｐは、載置台１の上面１ａと試料Ｓの下面との隙間に液体Ｌが浸透している最中に載置台１の上面１ａに配置してもよい。図１Ａ、図１Ｂおよび図１Ｃに示す試料Ｓの保持方法を採用する場合、液体Ｌを滴下する前、すなわち、図１Ａの状態とする前に抑制部Ｐを載置台１の上面１ａに配置してもよい。また、図２Ａ、図２Ｂおよび図２Ｃに示す試料Ｓの保持方法を採用する場合、液体Ｌを滴下する部分を確保した形状の抑制部Ｐを用いることで、液体Ｌを試料Ｓの端面近傍に滴下する前、すなわち、図２Ｂの状態とする前に抑制部Ｐを載置台１の上面１ａに配置してもよい。すなわち、図１Ａ、図１Ｂ、図１Ｃ、図２Ａ、図２Ｂおよび図２Ｃのそれぞれに示すいずれかの状態において、抑制部Ｐを載置台１の上面１ａに配置してもよい。
【００２９】
抑制部Ｐの形状は、試料Ｓの形状に合わせて設定することが好ましい。試料Ｓの外径形状が複雑な場合には、形状の変更が容易な抑制部Ｐを使用することが好ましい。このような目的のために、抑制部Ｐの材料として粘土等の組成材料を用いてもよい。また、袋状の部材に液体あるいあゲル状材料を封入して形状が自由に変化できるようにしたものを抑制部Ｐとして用いてもよい。
【００３０】
抑制部Ｐは、載置台１に固定してもよい。図４は、抑制部Ｐを固定部Ｆにより載置台１に固定する一例を示す構成図である。図４に示す構成図では、固定部Ｆは、抑制部Ｐを載置部１との間に挟んで固定する構成を採用している。ただし、固定部Ｆの構成はこの例に限られず、例えば、ボルトにより載置台１に固定部Ｐを固定するような構成でもよい。固定部Ｆで抑制部Ｐを固定する際の応力で載置台１の表面が変形しないように、固定部Ｆにより抑制部Ｐを固定する。
【００３１】
本発明の第１の実施形態による試料保持方法について、図５に示すフローチャートに沿って説明する。ステップＳ１１において、観察装置あるいは測定装置の載置台１の上面１ａに、液体Ｌ、例えば、水を適量だけ滴下し、ステップＳ１２に進む。ステップＳ１２において、観察あるいは測定すべき試料Ｓを、液体Ｌに気泡が取り込まれないように接触させ、ステップＳ１３に進む。Ｓ１３において、載置台１の上面１ａと試料Ｓの下面との隙間に液体Ｌを広げ、処理を終了する。
【００３２】
本発明の第２の実施形態による試料保持方法について、図６に示すフローチャートに沿って説明する。ステップＳ２１において、観察装置あるいは測定装置の載置台１の上面１ａに試料Ｓを載置して、ステップＳ２２に進む。ステップＳ２２において、液体Ｌを試料Ｓの端面近傍に滴下し、ステップＳ２３に進む。ステップＳ２３において、載置台１の上面１ａと試料Ｓの下面との隙間に液体Ｌを広げ、処理を終了する。
【００３３】
本発明の第３の実施形態による試料保持方法について、図７に示すフローチャートに沿って説明する。ステップＳ３１からステップＳ３３までの処理は、図４を参照して説明したステップＳ１１〜ステップＳ１３までの処理と同様である。本処理フローにおいては、ステップ３３が完了したら、ステップＳ３４に進む。ステップＳ３４において、試料Ｓの端部に近接させて抑制部Ｐが配置され、処理を終了する。
【００３４】
なお、図７に示した処理フローは、第３の実施形態の一例であり、上記説明の通り、抑制部Ｐを配置するタイミングは、図１Ａ、図１Ｂ、図１Ｃ、図２Ａ、図２Ｂおよび図２Ｃのそれぞれに示すいずれの状態であってもよい。
【００３５】
上述した第３の実施形態によれば、次の作用効果が得られる。
（５）第３の実施形態の試料保持方法において、液体が隙間から揮発または流出することを抑制する抑制部を、試料の端部の少なくとも一部に接触または近接するように配置する。これにより、長時間にわたって試料を高精度に観察あるいは形状測定を行うことができる。
（６）第３の実施形態の試料保持方法において、抑制部は、液体に対して撥液性を有する。これにより、液体が隙間から揮発または流出することを確実に抑制し、長時間にわたって試料を高精度に観察あるいは形状測定を行うことができる。
（７）第３の実施形態の試料保持方法において、抑制部は、試料の端面と所定値以下の間隔で配置される。これにより、液体が隙間から揮発または流出することを確実に抑制し、長時間にわたって試料を高精度に観察あるいは形状測定を行うことができる。
（８）第３の実施形態の試料保持方法において、抑制部を載置台に固定する固定部がさらに配置される。これにより、抑制部が確実に固定されるので、液体が隙間から揮発または流出することを確実に抑制し、長時間にわたって試料を高精度に観察あるいは形状測定を行うことができる。
【００３６】
［態様］ 
上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。 
【００３７】
（第１項）一態様に係る試料保持方法は、観察装置または測定装置の載置台と試料との隙間に液体を配置することと、前記載置台と前記試料との前記隙間に介在する前記液体で前記試料を前記載置台に貼り付けて保持すること、とを有する。これにより、試料を載置台に平坦かつ安定に保持することができ、長時間にわたって試料を高精度に観察あるいは形状測定を行うことができる。
【００３８】
（第２項）第１項に記載の試料保持方法において、前記載置台と前記試料との前記隙間の一部に前記液体を配置し、前記載置台と前記試料との前記隙間に前記液体を広げる。これにより、試料を載置台に平坦かつ安定に保持することを確実に行うことができ、長時間にわたって試料を高精度に観察あるいは形状測定を行うことができる。
【００３９】
（第３項）第２項に記載の試料保持方法において、前記液体の配置は、前記載置台の上面に液体を滴下し、前記液体の表面に前記試料を接触させる。これにより、試料を載置台に平坦かつ安定に保持することを確実にかつ容易に行うことができ、長時間にわたって試料を高精度に観察あるいは形状測定を行うことができる。
【００４０】
（第４項）第２項に記載の試料保持方法において、前記液体の配置は、前記載置台と前記試料との前記隙間の一部に、前記液体を浸透させる。これにより、試料を載置台に平坦かつ安定に保持することを確実にかつ容易に行うことができ、長時間にわたって試料を高精度に観察あるいは形状測定を行うことができる。
【００４１】
（第５項）第１項から第４項のいずれかに記載の試料保持方法において、前記液体が前記隙間から揮発または流出することを抑制する抑制部を、前記試料の端部の少なくとも一部に接触または近接するように配置する。これにより、長時間にわたって試料を高精度に観察あるいは形状測定を行うことができる。
【００４２】
（第６項）第５項に記載の試料保持方法において、前記抑制部は、前記液体に対して撥液性を有する。これにより、液体が隙間から揮発または流出することを確実に抑制し、長時間にわたって試料を高精度に観察あるいは形状測定を行うことができる。
【００４３】
（第７項）第５項または第６項に記載の試料保持方法において、前記抑制部は、前記試料の端面と所定値以下の間隔で配置される。これにより、液体が隙間から揮発または流出することを確実に抑制し、長時間にわたって試料を高精度に観察あるいは形状測定を行うことができる。
【００４４】
（第８項）第５項または第６項に記載の試料保持方法において、前記抑制部を前記載置台に固定する固定部がさらに配置される。これにより、抑制部が確実に固定されるので、液体が隙間から揮発または流出することを確実に抑制し、長時間にわたって試料を高精度に観察あるいは形状測定を行うことができる。
【符号の説明】
【００４５】
１…載置台、１ａ…載置台上面、Ｌ…液体、Ｓ…試料、Ｐ…抑制部、Ｎ…ノズル、Ｆ…固定部
【図１Ａ】
2020187001.tif 000003
【図１Ｂ】
2020187001.tif 000004
【図１Ｃ】
2020187001.tif 000005
【図２Ａ】
2020187001.tif 000006
【図２Ｂ】
2020187001.tif 000007
【図２Ｃ】
2020187001.tif 000008
【図３Ａ】
2020187001.tif 000009
【図３Ｂ】
2020187001.tif 000010
【図３Ｃ】
2020187001.tif 000011
【図４】
2020187001.tif 000012
【図５】
2020187001.tif 000013
【図６】
2020187001.tif 000014
【図７】
2020187001.tif 000015
【図８Ａ】
2020187001.tif 000016
【図８Ｂ】
2020187001.tif 000017
【図８Ｃ】
2020187001.tif 000018