(57)【要約】【課題】流体圧機器を稼動させる流体供給吸引手段のパレットへの搭載を回避し、単一の流体供給吸引手段にて複数のパレットの流体圧機器を稼動させる。【解決手段】パレット搬送装置１０は、パレット２１を移動可能に搭載する搬送レール１６と、搬送レールに搭載されたパレットと係止可能に構成され搬送レールに沿って無端で設けられて循環する循環ベルト２７と、循環ベルトを循環させる循環手段２８，２９とを備える。パレットに流体圧機器４１が搭載され、パレットが係止する側の循環ベルトが載置可能に構成され循環ベルトにより覆われる凹溝３６ａが搬送方向に形成された支持レール３６が搬送レールに沿って設けられ、流体供給吸引手段４３が凹溝に連通して設けられ、循環ベルトのパレットと係合する部位に凹溝３６ａに連通する通孔２７ｅが形成され、搬送レールに搭載された状態で通孔と流体圧機器４１とを連通させる連通路４６がパレットに形成される。【選択図】  図１
2020037161.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パレット(21)を移動可能に搭載する搬送レール(16,51)と、前記搬送レール(16,51)に搭載された前記パレット(21)と係止可能に構成され前記搬送レール(16,51)に沿って無端で設けられて循環する循環ベルト(27)と、前記循環ベルト(27)を循環させる循環手段(28,29)とを備えたパレット搬送装置において、
前記パレット(21)に流体圧機器(41)が搭載され、
前記パレット(21)が係止する側の前記循環ベルト(27)が載置可能に構成され前記循環ベルト(27)により覆われる凹溝(36a)が搬送方向に形成された支持レール(36)が前記搬送レール(16,51)に沿って設けられ、
前記凹溝(36a)に流体を供給し又は前記凹溝(36a)から流体を吸引する流体供給吸引手段(43)が前記凹溝(36a)に連通して設けられ、
前記支持レール(36)に載置された前記循環ベルト(27)の前記パレット(21)と係合する部位に前記凹溝(36a)に連通する通孔(27e)が形成され、
前記搬送レール(16,51)に搭載された状態で前記通孔(27e)と前記流体圧機器(41)とを連通させる連通路(46)が前記パレット(21)に形成された
ことを特徴とするパレット搬送装置。
【請求項２】
パレット(21)が、搬送レール(16,51)を跨いで前記搬送レール(16,51)上を移動可能に構成された直線運動ブロック(21a)と、前記ブロック(21a)に取付けられた台座(21b)と、前記台座(21b)に前記搬送レール(16,51)に沿うように設けられた係止部材(26)とを備え、
循環ベルト(27)は幅方向に延びる凹凸(27a,27b)が長手方向に交互に連続する歯付きベルトであって、
前記凹凸(27a,27b)に係合可能な被凹凸(26a,26b)が前記係止部材(26)に形成され、
前記凹凸(27a,27b)に前記被凹凸(26a,26b)が係合することにより前記パレット(21)が前記循環ベルト(27)に係止するように構成された請求項１記載のパレット搬送装置。
【請求項３】
係止部材(26)に通孔(27e)に連通する第一連通孔(26c)が形成され、
台座(21b)に前記第一連通孔(26c)に連通する第二連通孔(21c)が形成され、
連通路が前記第二連通孔(21c)と流体圧機器(41)との間に架設された連通管(46)である
請求項２記載のパレット搬送装置。
【請求項４】
支持レール(36)の両側に前記支持レール(36)と共に前記支持レール(36)に載置された循環ベルト(27)の両側を覆って凹溝(36a)への流体の流入又は前記凹溝(36a)からの流体の漏れを抑制する押さえ金具(38)が設けられた請求項１ないし３いずれか１項に記載のパレット搬送装置。
【請求項５】
搬送レール(16,51)の搬送方向前方に設けられた第一プーリ(23)と前記搬送レール(16,51)の基端側に設けられた第二プーリ(24)とに循環ベルト(27)が掛け回され、
循環手段が前記第一プーリ(23)を回転させる第一アクチュエータ(28)と前記第二プーリ(24)を回転させる第二アクチュエータ(29)とを備え、
前記循環手段は前記第一及び第二プーリ(23,24)を同時に同方向に同速度で回転させることにより前記循環ベルト(27)を循環させる
請求項１ないし４いずれか１項に記載のパレット搬送装置。
【請求項６】
搬送レール(51)に平行に設けられた戻りレール(52)と、前記戻りレール(52)に搭載されたパレット(21)を後退させるパレット後退手段(54)と、前記搬送レール(51)に搭載された前記パレット(21)を前記戻りレール(52)に移動させる第一移動機構(56)と、前記戻りレール(52)に搭載された前記パレット(21)を前記搬送レール(51)に移動させる第二移動機構(57)と、を更に備える請求項１ないし５いずれか１項に記載のパレット搬送装置。
【請求項７】
パレット(21)を搬送レール(16,51)に搭載し、前記搬送レール(16,51)に沿って設けられた循環ベルト(27)に前記パレット(21)を係止し、前記循環ベルト(27)を循環させることにより前記パレット(21)を搬送するパレット搬送方法において、
前記パレット(21)に流体圧機器(41)を搭載し、
前記パレット(21)が係止する側の前記循環ベルト(27)が載置される支持レール(36)に前記循環ベルト(27)により覆われる凹溝(36a)を搬送方向に伸びて形成し、
前記循環ベルト(27)を循環させつつ前記循環ベルト(27)により覆われる凹溝(36a)に流体を供給し又は前記凹溝(36a)から流体を吸引し、
前記凹溝(36a)に前記パレット(21)に搭載された流体圧機器(41)を連通させて前記流体圧機器(41)を稼動させつつ前記パレット(21)を搬送する
ことを特徴とするパレット搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送レールに搭載されたパレットを循環ベルトに係止させて搬送するパレット搬送装置及びパレット搬送方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、製造ラインにおいて、ワークをコンベアにて搬送し、搬送先の加工ステーションにおける工作機がワークに対して所定の加工を行うベルトコンベアが知られている。しかしながら、このような従来のベルトコンベアにあっては、例えばステータ等の重量の大きいワークを載せて搬送する場合、ワークを停止させた際にワークに働く慣性力が大きいため、搬送速度を高めることが難しく、ストッパを介して正確に位置決めすることが難しいという不具合があった。
【０００３】
このような不具合を解消するために、本出願人は、パレットを長手方向に沿って移動可能に搭載する搬送レールと、その搬送レールに搭載されたパレットと係合可能に構成され搬送レールに沿って無端で設けられて循環するベルトと、ベルトを循環させる循環手段とを備えたパレット搬送装置を提案した（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
この搬送装置では、パレットを循環するベルトに係止させて搬送するようにしているので、パレットの数や搭載間隔を容易に変更することができるとともに、ワークの搬送速度と位置決め精度を高めることが期待できるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２１６２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、近年では、パレットに流体圧により稼動する流体圧機器を搭載し、その流体圧機器を稼動させた状態でパレットを搬送させようとする要望も高まってきている。
【０００７】
しかし、パレットに流体圧機器を搭載すると、流体を供給し又は流体を吸引して流体圧機器を稼動させる流体供給吸引手段をもパレットに搭載する必要が生じ、パレットの重量が増加するとともに、パレットにおけるワークの搭載エリアが減少して、ワークの効率的な搬送が困難になるという不具合があった。
【０００８】
また、複数のパレットを搬送レールに搭載して搬送する場合にあって、それら複数のパレットにそれぞれ流体圧機器を搭載すると、流体圧機器を稼動させる流体供給吸引手段をもそれら複数のパレットにそれぞれ搭載する必要が生じ、パレットの数と同数の流体供給吸引手段が必要となることから、パレット搬送装置の単価が押し上げられるという未だ解決すべき課題が残存していた。
【０００９】
本発明の目的は、流体圧機器を稼動させる流体供給吸引手段のパレットへの搭載を回避し得るパレット搬送装置及びパレット搬送方法を提供することにある。
【００１０】
本発明の別の目的は、複数のパレットを搬送する場合であっても、単一の流体供給吸引手段にて複数のパレットにそれぞれ搭載された流体圧機器を稼動し得るパレット搬送装置及びパレット搬送方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のパレット搬送装置は、パレットを移動可能に搭載する搬送レールと、搬送レールに搭載されたパレットと係止可能に構成され搬送レールに沿って無端で設けられて循環するベルトと、ベルトを循環させる循環手段とを備えたパレット搬送装置の改良である。
【００１２】
その特徴ある構成は、パレットに流体圧機器が搭載され、パレットが係止する側の循環ベルトが載置可能に構成され循環ベルトにより覆われる凹溝が搬送方向に形成された支持レールが搬送レールに沿って設けられ、凹溝に流体を供給し又は凹溝から流体を吸引する流体供給吸引手段が凹溝に連通して設けられ、支持レールに載置された循環ベルトのパレットと係合する部位に凹溝に連通する通孔が形成され、搬送レールに搭載された状態で通孔と流体圧機器とを連通させる連通路がパレットに形成されたところにある。
【００１３】
パレットが、搬送レールを跨いでそのレール上を移動可能に構成された直線運動ブロックと、そのブロックに取付けられた台座と、その台座に搬送レールに沿うように設けられた係止部材とを備える場合、ベルトは幅方向に延びる凹凸が長手方向に交互に連続する歯付きベルトであって、凹凸に係合可能な被凹凸が係止部材に形成され、凹凸に被凹凸が係合することによりパレットがベルトに係止するように構成され、係止部材に通孔に連通する第一連通孔が形成され、台座に第一連通孔に連通する第二連通孔が形成され、連通路が第二連通孔と流体圧機器との間に架設された連通管であることが好ましい。
【００１４】
また、搬送レールの搬送方向前方に設けられた第一プーリと搬送レールの基端側に設けられた第二プーリとに循環ベルトが掛け回され、循環手段が第一プーリを回転させる第一アクチュエータと第二プーリを回転させる第二アクチュエータとを備え、循環手段は第一及び第二プーリを同時に同方向に同速度で回転させることにより循環ベルトを循環させることが好ましい。
【００１５】
更に、搬送レールに平行に設けられた戻りレールと、戻りレールに搭載されたパレットを後退させるパレット後退手段と、搬送レールに搭載されたパレットを戻りレールに移動させる第一移動機構と、戻りレールに搭載されたパレットを搬送レールに移動させる第二移動機構と、を更に備えることもできる。
【００１６】
別の本発明は、搬送レールにパレットを搭載し、搬送レールに沿って設けられた循環ベルトにパレットを係止し、循環ベルトを循環させることによりパレットを搬送するパレット搬送方法である。
【００１７】
その特徴有る点は、パレットに流体圧機器を搭載し、パレットが係止する側の循環ベルトが載置される支持レールに循環ベルトにより覆われる凹溝を搬送方向に伸びて形成し、循環ベルトを循環させつつ循環ベルトにより覆われる凹溝に流体を供給し又は凹溝から流体を吸引し、その凹溝にパレットに搭載された流体圧機器を連通させて流体圧機器を稼動させつつパレットを搬送するところにある。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のパレット搬送装置及びパレット搬送方法では、パレットが係止する側の循環ベルトが載置される支持レールに循環ベルトにより覆われる凹溝を搬送方向に伸びて形成し、その凹溝に流体供給吸引手段から流体を供給し又はその凹溝から流体を吸引し、その凹溝にパレットに搭載された流体圧機器を連通させて流体圧機器を稼動させつつパレットを搬送するので、流体圧機器を稼動させる流体供給吸引手段のパレットへの搭載を回避することができる。
【００１９】
また、循環ベルトが載置される支持レールに凹溝を搬送方向に伸びて形成するので、複数のパレットを搬送レールに搭載して搬送する場合であっても、支持レールに載置された循環ベルトの複数のパレットと係合する部位に凹溝に連通する通孔をそれぞれ形成することにより、それら複数のパレットに搭載された流体圧機器を凹溝にそれぞれ連結することができる。この結果、単一の流体供給吸引手段であっても、その流体圧供給吸引手段によりその凹溝に流体を供給し又はその凹溝から流体を吸引することにより、複数のパレットにそれぞれ搭載された流体圧機器を同時に稼動させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明実施形態のパレット搬送装置を示す図４のＡ−Ａ線断面図である。
【図２】その搬送レールに搭載されたパレットを上方から見た図である。
【図３】そのパレットの正面を示す図２のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】そのパレット搬送装置を示す正面図である。
【図５】戻りレールが設けられた別のパレット搬送装置を示す正面図である。
【図６】その搬送レールの両端を示す図８のＣ−Ｃ線拡大断面図である。
【図７】そのパレットを搬送レールに沿って搬送する以前の状態を示す上面図である。
【図８】そのパレットを搬送レールに沿って搬送した後であってそのパレットを戻りレールに移動する以前の状態を示す上面図である。
【図９】そのパレットを戻りレールに移動した後であってそのパレットを戻りレールに沿って後退させる以前の状態を示す上面図である。
【図１０】そのパレットを戻りレールに沿って後退させた後であってそのパレットを搬送レールに移動する以前の状態を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
次に本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
【００２２】
図１ないし図４に、本発明におけるパレット搬送装置１０を示す。各図において、互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚの３軸を設定し、Ｘ軸が略水平横方向、Ｙ軸が略水平前後方向、Ｚ軸が鉛直方向に延びるものとし、パレット搬送装置１０の構成について説明する。
【００２３】
図４に示すように、この実施の形態におけるパレット搬送装置１０は、比較的小さな製品を製造するラインに設けられるものを例示し、この製造ラインは３台の加工ステーション１１〜１３がＸ軸方向に所定の間隔で一列に並ぶものを示す。各加工ステーション１１〜１３は箱形形状を成し、内部には図示しない工作機が設置される。
【００２４】
そして、各加工ステーション１１〜１３における工作機は、パレット搬送装置１０によって搬送されるワーク４２（図１）に対して穴開けやカシメ、溶接等の各種必要な加工を順に行い、図示しない製品を自動的に製造するものとする。
【００２５】
パレット搬送装置１０は、待機テーブル１４と点在して設置された複数の加工ステーション１１〜１３とを連結する搬送レール１６と、その搬送レール１６に搭載されたパレット２１を備える。複数の加工ステーション１１〜１３はＸ軸方向に直線的に配置され、そのＸ軸の延長線上に待機位置となる待機テーブル１４が設置される。複数の加工ステーション１１〜１３には搬送レール１６が固定される架台１１ａ〜１３ａがそれぞれ形成され、待機テーブル１４には搬送レール１６が固定される天板１４ａが設けられる。
【００２６】
図１に示すように、この実施の形態における搬送レール１６は、断面においてＺ軸方向に長い方形を成す支持板１８と、その支持板１８の上縁にねじ止めにより固定された市販の直線運動ガイドレール１９を備える。支持板１８の下端には取付板１７が溶接され、その取付板１７が各加工ステーション１１〜１３における架台１１ａ〜１３ａ及び待機テーブル１４における天板１４ａに直接ネジ止めされる（図１では、待機テーブル１４における天板１４ａに固定されたものを示す。）。これにより、搬送レール１６は待機テーブル１４上における待機位置と複数の加工ステーション１１〜１３とを連結するように固定される（図４）。
【００２７】
一方、パレット２１は、搬送レール１６を跨いでそのレール１６上を移動可能に構成された直線運動ブロック２１ａと、そのブロック２１ａにねじ止めされた台座２１ｂとを有し、その台座２１ｂの下側であって、搬送レール１６に沿う片側には係止部材２６が設けられる。
【００２８】
この直線運動ブロック２１ａは搬送レール１６における直線運動ガイドレール１９と対に販売される市販のものであって、図２に示すように、台座２１ｂに対して直線運動ブロック２１ａが２個、Ｘ軸方向に離間して設けられる。この直線運動ブロック２１ａを用いることにより、その幅方向（Ｙ軸方向）の移動を禁止しつつパレット２１が搬送レール１６上を移動する抵抗を軽減するものであり、これによりパレット２１は搬送レール１６に移動可能に搭載される。
【００２９】
図１に示す様に、パレット２１における台座２１ｂには流体圧機器４１が搭載される。図に示す流体圧機器４１は、ワーク４２を吸着するためのものであって、パレット２１は、この流体圧機器４１を介してワーク４２を吸着して保持するように構成される。なお、図示しないワーク４２は、各加工ステーション１１〜１３において加工されるものであって、図１では、流体圧機器４１において吸着可能な平板を例示するものとする。
【００３０】
図４に戻って、このパレット搬送装置１０は、そのパレット２１が搭載される待機テーブル１４上の待機位置と、その待機位置から離間する複数の加工ステーション１１〜１３との間を搬送レール１６に沿って搬送する搬送手段２２を備える。図に示すパレット搬送手段２２は、搬送レール１６に搭載されたパレット２１と係止可能に構成され搬送レール１６に沿って無端で設けられて循環するベルト２７を備えるものを示す。
【００３１】
具体的に、搬送レール１６の長手方向の両側には第一及び第二プーリ２３，２４が設けられ、ベルト２７は、その第一及び第二プーリ２３，２４に掛け渡されて、その第一及び第二プーリ２３，２４の回転により搬送レール１６に沿って循環可能に設けられる。
【００３２】
この実施の形態における第一及び第二プーリ２３，２４は同形同大の同一品からなり、第一プーリ２３は第一加工ステーション１１に設けられ、第二プーリ２４は待機テーブル１４に設けられる。循環ベルト２７は、この第一及び第二プーリ２３，２４に掛け渡されることにより、搬送レール１６に沿って待機テーブル１４とその待機位置から最も遠い第一加工ステーション１１とを連結するように設けられる。
【００３３】
このため、この循環ベルト２７は、搬送レール１６に沿って、上下に第一及び第二プーリ２３，２４の外径に略等しい間隔を開けて設けられることに成り、搬送レール１６には、第一及び第二プーリ２３，２４に掛け回された循環ベルト２７の下側におけるベルト２７ｃを支持してその下側のベルト２７ｃの弛みを抑制するベルトレール３３と、上側のベルト２７ｄが撓むことを防止する支持レール３６とが設けられる。
【００３４】
即ち、図１に示す様に、搬送レール１６における支持板１８には、ベルトレール３３を搬送レール１６に取付ける第一取付部材３４が、支持板１８の長手方向に所定の間隔を空けて複数設けられ、この複数の第一取付部材３４を介してベルトレール３３が搬送レール１６に取付けられる。
【００３５】
また、搬送レール１６における支持板１８の第一取付部材３４より上方には、支持レール３６を搬送レール１６に取付ける第二取付部材３７が、支持板１８の長手方向に所定の間隔を空けて複数設けられ、この複数の第二取付部材３７を介して支持レール３６が搬送レール１６に取付けられる。
【００３６】
一方、この実施の形態における循環ベルト２７は、いわゆる歯付きベルトである。図３に示すように、歯付きベルトである循環ベルト２７は、幅方向に延びる凹凸２７ａ，２７ｂが長手方向に交互に連続するベルト２７であって、その凹凸２７ａ，２７ｂに係合可能な被凹凸２６ａ，２６ｂがパレット２１における係止部材２６に形成される。
【００３７】
図１に示すように、係止部材２６はパレット２１における台座２１ｂの下側にベルト２７に対向するように設けられ、この係止部材２６の被凹凸部２６ａ，２６ｂは、ベルト２７の凹凸２７ａ，２７ｂに上方から係合するように形成される。
【００３８】
即ち、図１及び図３に示すように、搬送レール１６にパレット２１が搭載されると、支持レール３６に支持された上側のベルト２７ｄに係止部材２６が上側から重合する様に構成され、その重合状態で、循環ベルト２７に形成された凹凸２７ａ，２７ｂが係止部材２６における被凹凸２６ａ，２６ｂに係合する様に構成される。
【００３９】
そして、支持レール３６は、上側のベルト２７ｄが撓んで、凹凸２７ａ，２７ｂと被凹凸２６ａ，２６ｂとの係合が解除されることを防止するように、搬送方向の全長に亘って設けられる。また、この支持レール３６の両側には、その支持レール３６に支持された上側のベルト２７ｄの両側を上方から押さえて、支持レール３６上面からの浮き上がりを防止するための断面Ｌ字状の押さえ金具３８が支持レール３６の全長に亘ってそれぞれ取付けられる。
【００４０】
図３に戻って、係止部材２６は、長手方向に連続して形成された被凹凸２６ａ，２６ｂが循環ベルト２７における凹凸２７ａ，２７ｂに係合可能であるので、パレット２１における被凹凸２６ａ，２６ｂがそれらの凹凸２７ａ，２７ｂに係合すると、循環ベルト２７と独立したパレット２１の移動は禁止され、これによりパレット２１は循環ベルト２７に係止される。
【００４１】
図４に示すように、パレット搬送手段２２は、そのベルト２７を循環させる循環手段を備える。この実施の形態における循環手段は、第一プーリ２３を回転駆動する第一アクチュエータ２８と、第二プーリ２４を回転駆動する第二アクチュエータ２９であって、この第一及び第二アクチュエータ２８，２９は、第一及び第二プーリ２３，２４を回転可能な電気駆動式のサーボモータである。そして、回転軸に第一プーリ２３が取付けられた第一サーボモータ２８が第一加工ステーション１１に取付けられ、回転軸に第二プーリ２４が取付けられた第二サーボモータ２９が待機テーブル１４に取付けられる場合を示す。
【００４２】
この第一及び第二サーボモータ２８，２９にはコントローラ３２からの制御出力がそれぞれ接続され、コントローラ３２は、その第一サーボモータ２８と第二サーボモータ２９を同期制御するように構成される。そして、このコントローラ３２からの指令によりその第一及び第二サーボモータ２８，２９が同期制御されて駆動すると、それらの回転軸とともに第一及び第二プーリ２３，２４が同時に同方向に回転し、第一及び第二プーリ２３，２４に掛け回された循環ベルト２７を循環させるように構成される。
【００４３】
図１〜図３に示す様に、支持レール３６の上側のベルト２７ｄにより覆われる上面には長手方向に延びる凹溝３６ａが形成され、図１及び図４に示すように、搬送レール１６の近傍にはこの凹溝３６ａに流体を供給し又はこの凹溝３６ａから流体を吸引する流体供給吸引手段４３が設けられる。
【００４４】
この実施の形態における流体供給吸引手段は、流体であるエアを吐出又は吸引する流体ポンプ４３であり、この流体ポンプ４３が待機テーブル１４の内部に設置される場合を示す（図４）。そして、この流体ポンプ４３の吐出吸引口には連通管４４の一端が取付けられ、この連通管４４の他端が凹溝３６ａに開放するように支持レール３６に取付けられる。これにより流体供給吸引手段４３である流体ポンプは、上側のベルト２７ｄにより覆われる凹溝３６ａに流体を供給し又はその凹溝３６ａから流体を吸引する様に構成される。
【００４５】
図１及び図３に示すように、支持レール３６に載置された上側のベルト２７ｄのパレット２１と係合する部位には、凹溝３６ａに連通する通孔２７ｅが上下に貫通して形成され、その循環ベルト２７と係合するパレット２１の係止部材２６には、その通孔２７ｅに連通する第一連通孔２６ｃが形成される。また、パレット２１の台座２１ｂには、係止部材２６における第一連通孔２６ｃに連通する第二連通孔２１ｃが形成され、この第二連通孔２１ｃと流体圧機器４１とを連通させる連通管４６がパレット２１に設けられる。
【００４６】
図１における流体圧機器４１は、下端においてワーク４２を吸着する吸着ノズルであって、この吸着ノズル４１は、パレット２１における台座２１ｂの端部に鉛直方向に向けて取付けられる。連通管４６は、その一端が第二連通孔２１ｃに開放して取付けられ、その他端は吸着ノズル４１の上端に連結される。このようにして、パレット２１には、搬送レール１６に搭載された状態で循環ベルト２７に形成された通孔２７ｅと流体圧機器４１とを連通させる連通路が形成される。
【００４７】
従って、流体供給吸引手段４３であるポンプを駆動させ、例えば、循環ベルト２７により覆われる凹溝３６ａ内のエアを吸引して負圧にすると、その凹溝３６ａに連通管４６を介して連通する流体圧機器４１である吸引ポンプでは、ワーク４２をその下端において吸着する様に構成される。
【００４８】
そして、歯付きベルトである循環ベルト２７は、搬送レール２６に搭載されたパレット２１が係止可能に構成されているので、第一及び第二アクチュエータ２８，２９（図４）を駆動させてパレット２１が係止された循環ベルト２７を循環させると、ワーク４２をその下端において吸着する流体圧機器４１が設けられたパレット２１を、循環ベルト２７が沿う搬送レール１６に沿って搬送するように構成される。
【００４９】
次に、上記パレット搬送装置を用いた本発明におけるパレット搬送方法を説明する。
【００５０】
本発明におけるパレット搬送方法は、パレット２１を搬送レール１６に搭載し、搬送レール１６に沿って設けられた循環ベルト２７にパレット２１を係止し、循環ベルト２７を循環させることによりパレット２１を搬送する方法である。
【００５１】
この実施の形態では、待機テーブル１４と複数の加工ステーション１１〜１３との間を搬送するものであり、待機テーブル１４から加工ステーション１１〜１３に向かうパレット２１の移動を前進とし、加工ステーション１１〜１３から待機テーブル１４に向かうパレット２１の移動を後退として説明する。
【００５２】
そして、このパレット２１に搭載された流体圧機器４１には待機テーブル１４において加工用のワーク４２が吸着されるものとし、その吸着は待機テーブル１４の搬送レール１６にパレット２１を搭載した状態で行われる。
【００５３】
このため、図１に示す様に、待機テーブル１４における支持レール３６には、凹溝３６ａが既に形成されており、その待機テーブル１４の支持レール３６に凹溝３６ａを覆うように載置された上側のベルト２７ｄのパレット２１に係止する部位には通孔２７ｅが形成されるものとする。そして、搬送レール１６にパレット２１を搭載した状態で、その通孔２７ｅに係止部材２６の第一連通孔２６ｃを連通させるものとし、これにより凹溝３６ａをパレット２１の連通管４６に連通させるものとする。
【００５４】
このように待機テーブル１４において搬送レール１６にパレット２１を搭載した後には、流体供給吸引手段４３である流体ポンプを駆動させて、上側のベルト２７ｄにより覆われる凹溝３６ａの内部のエアを吸引して、その凹溝３６ａの内部を負圧にさせる。これにより、連通管４６を介して凹溝３６ａに連通するパレット２１の流体圧機器４１からエアを吸引して、その流体圧機器４１である吸引ノズルの下端にワーク４２を吸着させる。
【００５５】
このように、ワーク４２を吸着させた後に、待機テーブル１４にあるパレット２１を、ワーク４２を吸着させた状態で、図４の実線矢印で示す様に、搬送レール１６に沿って加工ステーション１１〜１３に向けて前進させる。このパレット２１の前進は、第一及び第二サーボモータ２８，２９をコントローラ３２からの指令により駆動させ、第一及び第二プーリ２３，２４を同方向に回転させて、それらに掛け回された循環ベルト２７を循環させることにより行われ、これにより、循環ベルト２７に係止されたパレット２１を搬送レール１６に沿って前進させることができる。
【００５６】
ここで、凹溝３６ａは支持レール３６の長手方向、即ち、パレット２１の搬送方向に延びて形成されているので、循環ベルト２７が循環して、その循環ベルト２７の移動と共にパレット２１が前進しても、上側のベルト２７ｄが覆う凹溝３６ａに循環ベルト２７の通孔２７ｅは連通することに成り、その通孔２７ｅとともにパレット２１が移動するので、パレット２１が移動しても、通孔２７ｅとパレット２１の相対移動はない。
【００５７】
このため、上側のベルト２７ｄにより覆われる凹溝３６ａの内部の流体供給吸引手段４３によりエアの吸引が継続される限り、連通管４６を介して凹溝３６ａに連通するパレット２１の流体圧機器４１からのエアの吸引も継続される。この結果、パレット２１が移動しても、その流体圧機器４１である吸引ノズルの下端におけるワーク４２の吸着も持続される。よって、このパレット搬送装置１０では、流体供給吸引手段４３をパレット２１に搭載しなくても、流体圧機器４１を稼動させつつパレット２１を搬送移動させることが可能となり、流体圧機器４１を稼動させる流体供給吸引手段４３のパレット２１への搭載を回避することが可能となるのである。
【００５８】
ここで、上側のベルト２７ｄにより覆われる凹溝３６ａの内部のエアを、流体供給吸引手段４３により吸引すると、その上側のベルト２７ｄが支持レール３６の上面に吸着されて、その支持レール３６上を上側のベルト２７ｄが摺動する抵抗となり得る。
【００５９】
けれども、パレット２１を移動させる循環ベルト２７の循環に際し、コントローラ３２からの指令により第一及び第二サーボモータ２８，２９を同期制御して駆動させることにより、その抵抗に抗して循環ベルト２７を有効に循環させることが可能となる。
【００６０】
即ち、循環ベルト２７が掛け渡された両端における第一及び第二プーリ２３，２４を同時に同方向に同じ速度で回転させると、一方のプーリ２３が回転して引っ張られる上側のベルト２７ｄは他方のプーリ２４によりその一方のプーリ２３に向かって押し出され、一方のプーリ２３が回転して押し出す下側のベルト２７ｃは他方のプーリ２４により引っ張られることになる。
【００６１】
これにより、例え、上側のベルト２７ｄが支持レール３６の上面に吸着されていても、第一及び第二プーリ２３，２４のいずれか一方のプーリ２３又は２４のみが回転する場合に比較して、循環ベルト２７の撓みや延び等を抑制することができる。よって、支持レール３６上を上側のベルト２７ｄが摺動する抵抗に起因して、循環ベルト２７の循環速度にムラが生じることを回避することができ、このように循環速度のムラを回避することにより、その循環ベルト２７に係止したパレット２１を安定して前進、即ち搬送することが可能となる。
【００６２】
特に、この実施の形態では、第一及び第二プーリ２３，２４を比較的トルクの高い電気駆動式のサーボモータ２８，２９を用いて回転駆動させるので、例え循環ベルト２７に比較的高い摺動抵抗が生じている状態であっても、その循環ベルト２７を精度良く循環させることができ、その循環ベルト２７に係止したパレット２１の搬送精度を高めることができる。
【００６３】
パレット２１が前進すると、最初に第３加工ステーション１３に対峙する。第３加工ステーション１３に対峙した段階で第一及び第二サーボモータ２８，２９は停止され、循環ベルト２７の循環を停止することにより、その循環ベルト２７に係止されたパレット２１を第３加工ステーション１３に対峙した状態で維持する。そして、第３加工ステーション１３における図示しない工作機を稼動させ、パレット２１における流体圧機器４１である吸引ノズルに吸着されたワーク４２に対して定められた加工を行う。
【００６４】
第３加工ステーション１３における加工が終了した後には、再び、循環ベルト２７を循環させてパレット２１を再び前進させる。このように、待機テーブル１４から前進するパレット２１を順次各加工ステーション１１〜１３に対峙させて、パレット２１における流体圧機器４１である吸引ノズルに吸着されたワーク４２に対して順次加工を施す。
【００６５】
すると、最終的に待機テーブル１４から最も離れた第一加工ステーション１１に対峙した段階で循環ベルト２７の循環を停止することにより、その循環ベルト２７に係止されたパレット２１を待機テーブル１４から最も遠い第一加工ステーション１１に対峙して維持することができる。
【００６６】
そして、第一加工ステーション１１に対峙するパレット２１における流体圧機器４１である吸引ノズルに吸引されたワーク４２に対して第一加工ステーション１１における加工を行い、これにより各ワーク４２ステーション１１〜１３における一連の加工を終了させる。
【００６７】
一連の加工が終了した後には、図４の破線矢印で示す様に、パレット２１を後退させて待機テーブル１４にまで戻す。このパレット２１の後退は循環ベルト２７を逆方向に循環させることにより行われる。循環ベルト２７の逆方向への循環は、第一及び第二サーボモータ２８，２９の回転方向を逆にして第一及び第二プーリ２３，２４を同期して逆方向に回転させることにより行われる。
【００６８】
このパレット２１の後退にあっても、上側のベルト２７ｄにより覆われる凹溝３６ａの内部を負圧にすると、その上側のベルト２７ｄが支持レール３６の上面に吸着されて、その支持レール３６上を上側のベルト２７ｄが摺動する抵抗となり得る。
【００６９】
けれども、循環ベルト２７が掛け渡された両端における第一及び第二プーリ２３，２４を同時に逆方向に同じ速度で回転させることにより、支持レール３６上を上側のベルト２７ｄが摺動する抵抗に起因して、循環ベルト２７の循環速度にムラが生じることを回避することができ、このように循環速度のムラを回避することにより、その循環ベルト２７に係止したパレット２１を安定して後退させることが可能となる。
【００７０】
そして、パレット２１が待機テーブル１４に戻った段階で循環ベルト２７の循環を停止することにより、その循環ベルト２７に係止したパレット２１を搬送レール１６の待機テーブル１４に維持する。
【００７１】
その後は、流体供給吸引手段４３で有るポンプの駆動を停止して、凹溝３６ａを常圧に戻す。これにより流体圧機器４１である吸引ノズルによりワーク４２の吸着は解除され、一連の加工が成されたワーク４２を、この待機テーブル１４において回収する。
【００７２】
このように加工が成されたワーク４２を回収した後には、次の新たなワーク４２に対する加工が新たに始められる。即ち、流体供給吸引手段４３で有るポンプを再び駆動させて、新たに加工を施す新たなワーク４２を流体圧機器４１である吸引ノズルに吸着させる。そして、新たワーク４２が搭載されたパレット２１を再び前進させて各加工ステーション１１〜１３にまで搬送し、各加工ステーション１１〜１３における加工がなされることになるのである。
【００７３】
なお、上述した実施の形態では、第一及び第二アクチュエータ２８，２９である第一及び第二サーボモータを同期制御して駆動し、第一及び第二プーリ２３，２４を同時に同方向に同じ速度で回転させる場合を説明したが、循環ベルト２７の循環に支障が生じない限り、第一及び第二サーボモータ２８，２９を設けることなく、いずれか一方のみ設けて、その一方のサーボモータ２８又は２９により、第一又は第二プーリ２３又は２４を回転させて、循環ベルト２７を循環させるようにしても良い。
【００７４】
また、上述した実施の形態では、第一及び第二プーリ２３，２４を第一加工ステーション１１と待機テーブル１４に設ける例を示すけれども、第一及び第二プーリ２３，２４を搬送レール１６の端部に設けるようにしても良い。
【００７５】
更に、上述した実施の形態では、第一及び第二アクチュエータ２８，２９が電気駆動式のサーボモータである場合を説明したが、第一及び第二プーリ２３，２４を回転可能である限り、サーボモータに代えて流体圧シリンダや流体圧モータを第一及び第二アクチュエータ２８，２９として用いても良い。
【００７６】
図５ないし図１０に、本発明の別の実施の形態を示す。
【００７７】
この別の実施の形態におけるパレット搬送装置５０は、図７〜図１０に示すように、Ｘ方向に延びて設けられた搬送レール５１と、その搬送レール５１からＹ軸方向に離間してその搬送レール５１と平行に設けられた戻りレール５２と、搬送レール５１に搭載されたパレット２１を前進させるパレット前進手段５３と、戻りレール５２に搭載されたパレット２１を後退させるパレット後退手段５４と、搬送レール５１又は戻りレール５２に搭載されたパレット２１を戻りレール５２又は搬送レール５１に移動させるパレット移動機構５６，５７とを備える。
【００７８】
搬送レール５１は、支持板１８の上縁に市販の直線運動ガイドレール１９（図６）をねじ止めすることにより構成された、上記実施の形態における搬送レール１６と同一構造であり、戻りレール５２にあっても、支持板１８の上縁に市販の直線運動ガイドレール１９（図８〜図１０）をねじ止めすることにより構成された上記搬送レール５１と同一構造のものが用いられる。この搬送レール５１及び戻りレール５２は、互いに平行になるように、その両端が架台５０ａ，５０ｂに取付けられるものとする。
【００７９】
また、この搬送レール５１及び戻りレール５２に搭載されるパレット２１も上記実施の形態におけるパレット２１（図１）と同一のものである。このため、これらの繰り返しての説明を省略する。
【００８０】
図５に示すように、搬送レール５１に搭載されたパレット２１を前進させるパレット前進手段５３は、上記実施の形態における搬送手段２２と同一構造で有り、搬送レール５１に搭載されたパレット２１と係止可能に構成され、搬送レール５１の両端に設けられた第一及び第二プーリ２３，２４に掛け渡されて、搬送レール５１に沿って無端で設けられて循環するベルト２７を備える。
【００８１】
ただし、そのベルト２７を循環させる循環手段にあっては、前進方向の先端における第一プーリ２３を回転駆動する第一サーボモータ２８のみが設けられ、後退方向の基端側における第二プーリ２４は、回転自在に搬送レール５１に設けられるものとする。そして、搬送レール５１には、第一及び第二プーリ２３，２４に掛け回された循環ベルト２７の下側におけるベルト２７ｃを支持してその下側のベルト２７ｃの弛みを抑制するベルトレール３３と、上側のベルト２７ｄが撓むことを防止する支持レール３６とが設けられる（図５）。
【００８２】
図７〜図１０に示すように、戻りレール５２に搭載されたパレット２１を後退させるパレット後退手段５４にあっても上記実施の形態における搬送手段２２と同一構造で有り、戻りレール５２に搭載されたパレット２１と係止可能に構成され、戻りレール５２の両端に設けられた第３及び第４プーリ５４ａ，５４ｂに掛け渡されて、戻りレール５２に沿って無端で設けられて循環するベルト２７を備える。
【００８３】
ただし、そのベルト２７を循環させる循環手段にあっては、後退方向の基端における第３プーリ５４ａを回転駆動する第３サーボモータ５４ｃのみが設けられ、前進方向の先端側における第４プーリ５４ｂは、回転自在に戻りレール５２に設けられるものとする。そして、戻りレール５２には、循環ベルト２７の下側におけるベルトを支持する図示しないベルトレールと、上側のベルトが撓むことを防止する支持レール３６とが設けられる。
【００８４】
図６〜図１０に示すように、搬送レール５１の先端側及び戻りレール５２の基端側には受容切り欠き５１ｄ，５２ｄがそれぞれ形成され、搬送レール５１の基端側及び戻りレール５２の先端側には収容切り欠き５１ｃ，５２ｃがそれぞれ形成される。この場合、搬送レール５１における受容切り欠き５１ｄは戻りレール５２の収容切り欠き５２ｃに対向して形成され、戻りレール５２における受容切り欠き５２ｄは搬送レール５１の収容切り欠き５１ｃに対向して形成される。
【００８５】
収容切り欠き５１ｃ，５２ｃと受容切り欠き５１ｄ，５２ｄは、それぞれ同一の大きさで有り、その長さＬ（図６）は、パレット２１における台座２１ｂの搬送方向における幅Ｗ（図６）と略同一、又はその幅Ｗより僅かに広くなるように形成される。
【００８６】
図７〜図１０に示す様に、この実施の形態では、収容切り欠き５１ｃ，５２ｃと受容切り欠き５１ｄ，５２ｄの間に３台の加工ステーション１１〜１３が入る場合を示し、この３台の加工ステーション１１〜１３を挟むように、対峙するパレット２１における流体圧機器４１にワーク４２を吸着させるワーク供給機６１と、ワーク４２を流体圧機器４１の下端から離脱させて回収する回収機６２とが設けられるものとする。
【００８７】
図では、収容切り欠き５１ｃと第三加工ステーション１３との間にワーク供給機６１が設けられ、受容切り欠き５１ｄと第一加工ステーション１１との間にワーク回収機６２が設けられる場合を示す。このワーク供給機６１とワーク回収機６２は加工ステーション１１〜１３と同一のピッチＰで設けられ、収容切り欠き５１ｃ，５２ｃと受容切り欠き５１ｄ，５２ｄのＸ軸方向における間隔Ｄ（図７）は、加工ステーション１１〜１３間のピッチＰの整数倍の間隔Ｄを空けて設けられるものとする。
【００８８】
パレット移動機構は、搬送レール５１に搭載されたパレット２１をその前進側先端から戻りレール５２の先端に移動させる第一移動機構５６と、戻りレール５２に搭載されたパレット２１をその基端から搬送レール５１の基端に移動させる第二移動機構５７とを有する。この第一及び第二移動機構は収容切り欠き５１ｃ，５２ｃや受容切り欠き５１ｄ，５２ｄを塞ぐ可動体６３をそれぞれ備える。
【００８９】
可動体６３は、収容切り欠き５１ｃ，５２ｃや受容切り欠き５１ｄ，５２ｄに収容された状態で搬送レール５１における支持板１８に連続する台板６３ａと、その台板６３ａの上縁に取付けられてガイドレール１９に連続する短レール６３ｂとを備える。短レール６３ｂはガイドレール１９と同一の断面形状を有し、収容切り欠き５１ｃ，５２ｃや受容切り欠き５１ｄ，５２ｄを可動体６３が塞いた状態で、ガイドレール１９上を移動したパレット２１が短レール６３ｂにまで移動可能に構成され、これにより、この可動体６３はそのように移動したパレット２１を搭載可能に構成される。
【００９０】
第一及び第二移動機構５６，５７は同一構造であって、この実施の形態では、この可動体６を昇降させかつ回転させる昇降回転手段である場合を示す。そして、これらの昇降回転手段５６，５７は、搬送レール５１及び戻りレース５２の先端側における収容切り欠き５１ｃと受容切り欠き５２ｄの間、及び搬送レール５１及び戻りレース５２の基端側における収容切り欠き５２ｃと受容切り欠き５１ｄの間に設けられた本体部５６ａ，５７ａと、その本体部５６ａ，５７ａから鉛直方向上方に出没可能に設けられた出没軸５６ｃ，５７ｃと、その出没軸５６ｃ，５７ｃから水平方向に延びて突出して設けられたアーム５６ｂ，５７ｂとをそれぞれ備え、そのアーム５６ｂ，５７ｂの突出端に可動体６３がそれぞれ取付けられるものとする。
【００９１】
そして、昇降回転手段５６，５７は、出没軸５６ｃ，５７ｃを出没させてアーム５６ｂ，５７ｂと共に可動体６３を昇降させると共に、上昇したアーム５６ｂ，５７ｂを水平面内において本体部５６ａ，５７ａを中心として旋回させることにより、アーム５６ｂ，５７ｂの先端に設けられた可動体６３を搬送又は戻りレール５１，５２の受容切り欠き５１ｄ，５２ｄから戻り又は搬送レール５２，５１の収容切り欠き５１ｃ，５２ｃにまで案内するように構成される。
【００９２】
これにより、第一移動機構５６は、搬送レール５１から可動体６３に移動して搭載されたパレット２１を搬送レール５１の前進側先端から戻りレール５２の先端に移動させ、第二移動機構５７は、戻りレール５２から可動体６３に移動して搭載されたパレット２１を、戻りレール５２の基端から搬送レール５１の基端に移動させるように構成される。
【００９３】
図５に示すように、搬送レール５１における支持レール３６の上側のベルト２７ｄにより覆われる上面には長手方向に延びる凹溝３６ａが形成され、搬送レール１６の近傍には、この凹溝３６ａに流体を供給し又はこの凹溝３６ａから流体を吸引する流体供給吸引手段である流体ポンプ４３が設けられる。
【００９４】
一方、支持レール３６に支持されて搬送レール５１に搭載されたパレット２１が係止する循環ベルト２７には、加工ステーション１１〜１３が設けれたピッチＰ（図７）と同一のピッチＰを開けて複数の通孔２７ｅがその全長に亘って形成される。そして、搬送レール５１には、パレット２１における係止部材２６の第一連通孔２６ｃが循環ベルト２７の通孔２７ｅに連通するように、複数のパレット２１が加工ステーション１１〜１３と同一のピッチＰで連続して搭載されるものとする。
【００９５】
従って、流体供給吸引手段４３であるポンプを駆動させ、例えば、循環ベルト２７により覆われる凹溝３６ａ内のエアを吸引して負圧にすると、搬送レール５１に搭載されたパレット２１では、図１に示す様に、そのパレット２１に搭載された流体圧機器４１と凹溝３６ａは連通管４６を介して連通しているので、その流体圧機器４１から流体が連通管４６や係止部材２６の第一連通孔２６ｃや循環ベルト２７の通孔２７ｅを介して凹溝３６ａ側に流れて流体圧機器４１が稼働し、この実施の形態ではワーク４２をその下端において吸着する様に構成される。
【００９６】
また、歯付きベルトである循環ベルト２７は、搬送レール５１に搭載されたパレット２１が係止可能に構成されているので、その循環ベルト２７を循環させると、ワーク４２をその下端において吸着する流体圧機器４１が設けられたパレット２１は、循環ベルト２７が沿う搬送レール５１に沿って搬送されることになる。
【００９７】
そして、図５の拡大図に示すように、ワーク供給機６１が設けられる搬送レール５１の基端において、その搬送レール５１における支持レール３６の上側に既に凹溝３６ａは形成され、この凹溝３６ａは、回収機６２が設けられる搬送レール５１の先端において終了するように構成される。
【００９８】
一方、この実施の形態では、戻りレール５２における支持レール３６の上側のベルト２７ｄにより覆われる上面には凹溝３６ａは形成されず、流体供給吸引手段４３も連結されないものとする。このため、戻りレール５２に搭載されたパレット２１において、ワーク４２の流体圧機器４１による吸着はされないものとする。
【００９９】
次に、上記別のパレット搬送装置を用いたパレット搬送方法を説明する。
【０１００】
この別の実施の形態では、搬送レール５１に搭載されたパレット２１を前進させ、その前進したパレット２１を戻りレール５２に搭載して後退させ、その後そのパレット２１を搬送レール５１の基端側に戻すことにより、複数のパレット２１が循環するように搬送する方法で有る。
【０１０１】
このため、搬送レール５１に複数のパレット２１を搭載することから始められる。このパレット２１の搭載にあっては、先ずパレット２１を搬送レール５１の基端側、即ち収容切り欠き５１ｃにおいて搭載するけれども、パレット２１を搬送レール５１に搭載すると、パレット５１における係止部材２６が循環ベルト２７に重合することになる。従って、パレット２１の搭載にあっては、係止部材２６における第一連通孔２６ｃが循環ベルト２７の通孔２７ｅに連通する位置において搭載される。
【０１０２】
このように搬送レール５１の基端側からパレット２１を搭載した後には、循環ベルト２７を循環させて既に搭載されたパレット２１を所定のピッチＰ搬送する。そして、搬送レール５１の基端側から新たにパレット２１を搬送レール５１に搭載して、その新たに搭載したパレット２１の係止部材２６における第一連通孔２６ｃを循環ベルト２７の次の通孔２７ｅに連通させる。
【０１０３】
このようなことを繰り返して、図７に示す様に、複数のパレット２１（この実施の形態では６台）を搬送レール５１に加工ステーション１１〜１３のピッチＰと同一のピッチＰで搭載する。
【０１０４】
次に、複数のパレット２１が循環するように搬送される状態を説明する。
【０１０５】
図７に示す状態から搬送レール５１に沿う循環ベルト２７を循環させると、所定のピッチＰを保った状態で複数のパレット２１は前進し、所定のピッチＰだけ前進すると、先頭のパレット２１は搬送レール５１における受容切り欠き５１ｄに達し、この受容切り欠き５１ｄに可動体６３が収容されていると、図８に示す様に、搬送レール５１におけるガイドレール１９上を移動したパレット２１が可動体６３の短レール６３ｂにまで移動して先頭のパレット２１は可動体６３は搭載される。
【０１０６】
次に、第一移動機構５６により、図９に示す様に、搬送レール５１に搭載されたパレット２１をその前進側先端から戻りレール５２の先端に移動させる。具体的には、第一移動機構５６におけるアーム５６ｂを上昇させてパレット２１が搭載された可動体６３をパレット２１と共に上昇させて受容切り欠き５１ｄから離脱させ、上昇したアーム５６ｂを水平面内において本体部５６ａを中心として旋回させ、アーム５６ｂの先端に設けられた可動体６３を戻りレール５２の収容切り欠き５２ｃの上方にまで案内し、その状態でアーム５６ｂを下降させて、パレット２１が搭載された可動体６３をパレット２１と共に下降させて収容切り欠き５２ｃに収容させる。このようにして、パレット２１を戻りレール５２に移動する。
【０１０７】
ここで、パレット２１が搭載された可動体６３をパレット２１と共に上昇させると、パレット２１と循環ベルト２７の係合は外れるので、そのパレット２１を可動体６３と共にその後旋回させることに支障を生じさせない。
【０１０８】
そして、そのパレット２１を可動体６３と共に下降させて戻りレール５２の収容切り欠き５２ｃに可動体６３が収容されると、その可動体６３は戻りレール５２と一直線上になり、そのパレット２１は戻りレール５２に沿って設けられた循環ベルト２７に新たに係止されることになる。
【０１０９】
次に、そのパレット２１を戻りレール５２に搭載して後退させる。そのために、戻りレール５２に設けられた駆動機構であるサーボモータ５４ｃを駆動させて、循環ベルト２７を循環させる。すると、可動体６３に搭載されたパレット２１は、先ず戻りレール５２上に移動し、戻りレール５２上に移動したパレット２１は更に後退することになる。
【０１１０】
このパレット２１の後退は、そのパレット２１が戻りレール５２の基端に達するまで行われ、図１０に示す様に、戻りレール５２の受容切り欠き１３ｄに第二移動機構５７における可動体６３を収容させて、戻りレール５２に搭載されて後退するパレット２１を可動体６３にまで移動させて搭載する。
【０１１１】
次に、第二移動機構５７により、戻りレール５２に搭載されたパレット２１をその基端から搬送レール５１の基端に移動させる。具体的には、第二移動機構５７におけるアーム５７ｂを上昇させてパレット２１が搭載された可動体６３をパレット２１と共に上昇させて、戻りレール５２における受容切り欠き５２ｄから離脱させ、上昇したアーム５７ｂを水平面内において本体部５７ａを中心として旋回させ、アーム５７ｂの先端に設けられた可動体６３を搬送レール５１の収容切り欠き５１ｃの上方にまで案内し、その状態でアーム５７ｂを下降させて、図７に示す様に、パレット２１が搭載された可動体６３をパレット２１と共に下降させて収容切り欠き５１ｃに収容させる。このようにして、パレット２１を搬送レール５１に移動させる。
【０１１２】
ここで、パレット２１を可動体６３と共に下降させて搬送レール５１の収容切り欠き５１ｃに可動体６３が収容された状態で、その可動体６３は搬送レール５１と一直線上になり、そのパレット２１は搬送レール５１に沿って設けられた循環ベルト２７に新たに係止することになる。従って、パレット２１の下降にあっては、パレット２１の係止部材２６における第一連通孔２６ｃが循環ベルト２７の通孔２７ｅに連通する位置において搭載されるようにする（図５）。
【０１１３】
これにより、このパレット２１は搬送レール５１に先に搭載されているパレット２１と所定のピッチＰにより搭載され、この新たに搬送レール５１に搭載されたパレット２１は、循環ベルト２７の循環により再び前進可能となり、このようにして複数のパレット２１を循環させる。
【０１１４】
そして、この別の実施の形態では、搬送レール５１に搭載されたパレット２１において、ワーク４２の流体圧機器４１による吸着を可能とし、戻りレール５２に搭載されたパレット２１において、ワーク４２の流体圧機器４１による吸着を不能とした。
【０１１５】
このため、搬送レール５１に搭載されたパレット２１の搬送にあっては、それに沿うように設けられた循環ベルト２７を循環させつつ、その循環ベルト２７により覆われる支持レール３６の凹溝３６ａに流体を供給し又はその凹溝３６ａから流体を吸引し、その凹溝３６ａにパレット２１に搭載された流体圧機器４１を連通させて流体圧機器４１を稼動させつつパレット２１を搬送することになる。
【０１１６】
具体的に、循環ベルト２７を循環させて、搬送レール５１の基端側に搭載されたパレット、図７では、搬送レール５１の収容切り欠き５１ｃに収容された可動体６３に搭載されたパレット２１を、搬送レール５１の先端に向けて搬送すると、そのパレット２１は先ずワーク供給機６１に対峙する。
【０１１７】
図５の拡大図に示す様に、ワーク供給機６１に対峙する支持レール３６には、凹溝３６ａが既に形成されており、その凹溝３６ａを覆うように載置された上側のベルト２７ｄのパレット２１に係止する部位には通孔２７ｅが形成されているので、パレット２１をワーク供給機６１に対峙させた後、流体供給吸引手段４３である流体ポンプを駆動させて、上側のベルト２７ｄにより覆われる凹溝３６ａの内部のエアを吸引して、その凹溝３６ａの内部を負圧にさせる。
【０１１８】
これにより、連通管４６を介して凹溝３６ａに連通するパレット２１の流体圧機器４１からエアを吸引して、ワーク供給機６１により供給されるワーク４２を、その流体圧機器４１である吸引ノズルの下端に吸着させる（図１）。
【０１１９】
ワーク４２を吸着させた後に、搬送レール５１に沿う循環ベルト２７を再び循環させて、パレット２１をワーク４２を吸着させた状態で前進させると、そのパレット２１は次に第３加工ステーション１３に対峙することになる。
【０１２０】
ここで、凹溝３６ａは支持レール３６の長手方向、即ち、パレット２１の搬送方向に延びて形成されているので、循環ベルト２７が循環して、その循環ベルト２７の移動と共にパレット２１が前進しても、上側のベルト２７ｄが覆う凹溝３６ａに循環ベルト２７の通孔２７ｅは連通することに成り、その通孔２７ｅとともにパレット２１が移動するので、パレット２１が移動しても、通孔２７ｅとパレット２１の相対移動はない。
【０１２１】
このため、上側のベルト２７ｄにより覆われる凹溝３６ａの内部の流体供給吸引手段４３によりエアの吸引が継続される限り、凹溝３６ａに連通するパレット２１の流体圧機器４１からのエアの吸引も継続される。この結果、パレット２１が移動しても、その流体圧機器４１である吸引ノズルの下端におけるワーク４２の吸着（図１）も持続される。よって、この別のパレット搬送装置５０であっても、流体圧機器４１を稼動させつつパレット２１を移動させることが可能となるのである。
【０１２２】
ここで、循環ベルト２７の循環は、搬送レール５１の前進側に設けられたサーボモータ２８を駆動し、パレット２１が係止した上側のベルト２７ｄを引っ張るようなかたちで循環させるので、その上側のベルト２７ｄが撓むようなことは回避され、循環ベルト２７を有効に循環させることが可能となる。
【０１２３】
前進したパレット２１が加工ステーション１１〜１３に対峙すると、その段階でパレット２１の前進は停止されて、各加工ステーション１１〜１３においてワーク４２が加工される。これにより、パレット２１における流体圧機器４１である吸引ノズルに吸着されたワーク４２に対して定められた加工を行い、それらの加工が終了した後には、再び、循環ベルト２７を循環させてパレット２１を前進させる。
【０１２４】
このようにして、前進するパレット２１を順次各加工ステーション１１〜１３に対峙させて、パレット２１における流体圧機器４１である吸引ノズルに吸着されたワーク４２に対して順次加工を施す。
【０１２５】
全ての加工ステーション１１〜１３による加工が終了すると、その後に前進するパレット２１は回収機６２に対峙する。図５の拡大図に示す様に、上側のベルト２７ｄにより覆われる凹溝３６ａは回収機６２に対峙する位置に置いて消滅しているために、流体供給吸引手段４３である流体ポンプを駆動させてその凹溝３６ａの内部のエアを吸引していても、凹溝３６ａが消滅した段階でパレット２１の流体圧機器４１からのエアの吸引は無くなる。これによりワーク４２の吸着は解除され、一連の加工が成されて流体圧機器４１から解除されたワーク４２を、この回収機６２は回収することになる。
【０１２６】
ワーク４２が回収されたパレット２１は、その後に、搬送レール５１における受容切り欠き５１ｄに達する。
【０１２７】
ここで、可動体６３が収容される受容切り欠き５１ｄは、各加工ステーション１１〜１３と同一のピッチＰで形成されているので、搬送レール５１にこのピッチＰと同一のピッチＰで複数のパレット２１を搭載すると、パレット２１が可動体６３に達すると、他のパレット２１も各加工ステーション１１〜１３に対峙するので、各加工ステーション１１〜１３においてワーク４２の加工のために、パレット２１の搬送は一旦停止することになる。
【０１２８】
この加工のための停止中に、搬送レール５１の受容切り欠き５１ｄに収容された可動体６３に達したパレット２１は、搬送レール５１から戻りレール５２に移動して後退し、搬送レール５１の基端側に再び搭載されることになる。
【０１２９】
搬送レール５１の先端から基端にパレット２１を戻すようなことが１回行われると、搬送レール５１に搭載された複数のパレット２１をそれぞれ１個分づつ反時計回り方向に搬送することができる。そしてこのようなサイクルを１回行われる毎に、パレット搬送装置５０の動作を停止した状態で、各加工ステーション１１〜１３を稼動させ、搬送レール５１に並ぶ各パレット２１において吸着された各ワーク４２に対して各種の加工や、そのワーク４２の吸着や回収が並行して行われる。
【０１３０】
このように、この別の実施の形態におけるパレット搬送装置５０及びパレット搬送方法では、複数のパレット２１を循環させるようなかたちで搬送することが可能となり、循環ベルト２７のパレット２１が係止する箇所に連通孔２７ｅをパレット２１毎に形成することにより、単一の流体供給吸引手段４３であっても、その複数のパレット２１の流体圧機器４１をそれぞれ稼動させた状態で、その複数のパレット２１を同時に搬送することが可能となるのである。
【０１３１】
なお、上述した実施の形態では、戻りレール５２における支持レール３６の上側のベルトにより覆われる上面には凹溝は形成せず、戻りレール５２に搭載されたパレット２１では、その流体圧機器４１を稼動させない場合を説明した。けれども、パレット２１を後退させる戻りレール５２における支持レール３６にも凹溝を形成するようにしても良い。この場合には、戻りレール５２に沿って循環する循環ベルト２７のパレット２１が係止する箇所に連通孔をパレット２１毎に形成し、その凹溝に流体を供給し又は吸引させることにより、戻りレール５２に搭載されたパレット２１においても、流体圧機器４１を稼動させることが可能となる。
【０１３２】
また、上述した実施の形態では、流体圧機器４１が流体であるエアの吸引によりワーク４２を吸着させる吸着ノズルである場合を説明した。けれども、流体圧機器４１は流体により稼動する限り、これに限られるものではなく、例えば、流体の吸引によりワーク４２を回転させるようなものやワーク４２を加工するようなものであっても良い。
【０１３３】
また、上述した実施の形態では、上側のベルト２７ｄにより覆われる凹溝３６ａのエアを流体供給吸引手段である流体ポンプ４３により吸引して負圧とし、これにより流体圧機器４１を稼動させるようにした。けれども、凹溝３６ａに流体を供給して加圧し、その凹溝３６ａから供給される流体により稼動する流体圧機器４１をパレット２１に設けるようにしても良い。
【０１３４】
凹溝３６ａに流体を供給して加圧すると、この凹溝３６ａを覆う上側のベルト２７ｄが浮き上がってその流体の漏洩が考えられる。けれども、図１に示す様に、支持レール３６の両側に、その支持レール３６に支持された上側のベルト２７ｄの両側を上方から押さえて、支持レール３６上面からの浮き上がりを防止するための押さえ金具３８を支持レール３６の全長に亘ってそれぞれ取付けることにより、上側のベルト２７ｄの浮き上がりを防止してその流体の漏洩を抑制し、流体圧機器４１の稼動を確保することが可能となる。
【符号の説明】
【０１３５】
１０，５０  パレット搬送装置
１６，５１  搬送レール
２１  パレット
２１ａ  直線運動ブロック
２１ｂ  台座
２１ｃ  第二連通孔
２３  第一プーリ
２４  第二プーリ
２６  係止部材
２６ａ，２６ｂ  被凹凸
２６ｃ  第一連通孔
２７  循環ベルト
２７ａ，２７ｂ  凹凸
２７ｅ  通孔
２８  第一アクチュエータ（循環手段）
２９  第二アクチュエータ（循環手段）
３６  支持レール
３６ａ  凹溝
３８  押さえ金具
４１  流体圧機器
４３  流体供給吸引手段
４６  連通管（連通路）
５２  戻りレール
５４  パレット後退手段
５６  第一移動機構
５７  第二移動機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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