(57)【要約】【課題】液晶全体が劣化するまでの時間をさらに延長することができる液晶装置、および電子機器を提供すること。【解決手段】液晶装置１００において、第１基板１０と第２基板２０との間では、シール材１０７で囲まれた空間内に液晶５０が設けられている。シール材１０７より内側の表示領域１０ａとシール材１０７との間には、表示領域１０ａに接続する循環流路６０がシール材１０７および隔壁６９によって構成されている。隔壁６９は、シール材１０７と同時形成される。循環流路６０には、循環流路６０の液晶を強制的に流動させる強制循環装置７０が設けられている。循環流路６０は、表示領域１０ａよりイオンに対する吸着性が高く、循環流路６０を通過する液晶５０に含まれるイオン性不純物は、循環流路６０で液晶５０から除去される。【選択図】図６
2020187213.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基板と、
前記一対の基板間に設けられたシール材と、
前記シール材の内側に設けられた液晶と、
前記シール材より内側の表示領域と前記シール材との間に設けられ、前記液晶を流動させる循環流路と、
を備え、
前記循環流路は、前記表示領域よりイオンに対する吸着性が高いことを特徴とする液晶装置。
【請求項２】
一対の基板と、
前記一対の基板間に設けられたシール材と、
前記シール材の内側に設けられた液晶と、
前記シール材より内側の表示領域と前記シール材との間に設けられ、前記液晶を流動させる循環流路と、
前記表示領域および前記循環流路に設けられた配向膜と、
を備え、
前記配向膜のうち、前記表示領域に設けられた配向膜の表面には有機シラン化合物層が設けられ、前記循環流路に設けられた配向膜の表面には前記有機シラン化合物層が設けられていないことを特徴とする液晶装置。
【請求項３】
一対の基板と、
前記一対の基板間に設けられたシール材と、
前記シール材の内側に設けられた液晶と、
前記シール材より内側の表示領域と前記シール材との間に設けられ、前記液晶を流動させる循環流路と、
前記表示領域および前記循環流路に設けられた配向膜と、
を備え、
前記配向膜のうち、前記循環流路に設けられた配向膜は、前記表示領域に設けられた配向膜より、形成密度が低いことを特徴とする液晶装置。
【請求項４】
一対の基板と、
前記一対の基板間に設けられたシール材と、
前記シール材の内側に設けられた液晶と、
前記シール材より内側の表示領域と前記シール材との間に設けられ、前記液晶を流動させる循環流路と、
を有し、
前記表示領域には配向膜が設けられ、
前記循環流路には、前記配向膜よりイオンの吸着性が高いイオン吸着層が設けられていることを特徴とする液晶装置。
【請求項５】
請求項１から４までの何れか一項に記載の液晶装置において、
前記循環流路には、前記液晶を前記循環流路内で強制的に流動させる強制循環装置が設けられていることを特徴とする液晶装置。
【請求項６】
請求項１から５までの何れか一項に記載の液晶装置において、
前記循環流路における前記一対の基板の間隔は、前記表示領域における前記一対の基板の間隔より大きいことを特徴とする液晶装置。
【請求項７】
請求項１から６までの何れか一項に記載の液晶装置において、
前記循環流路は、前記一対の基板の一方の基板の外縁を規定する複数の辺のうち、隣り合う第１辺および第２辺に沿って連続して延在し、前記表示領域の対角に位置する２つの角で前記表示領域と繋がっていることを特徴とする液晶装置。
【請求項８】
請求項１から６までの何れか一項に記載の液晶装置において、
前記循環流路は、前記一対の基板の一方の基板の外縁を規定する複数の辺のうち、第１辺と、前記第１辺と隣り合う第２辺と、前記第１辺と対向し、前記第２辺と隣り合う第３辺と、に沿って連続して延在し、前記第１辺および前記第３辺に沿う部分で前記表示領域と繋がっていることを特徴とする液晶装置。
【請求項９】
請求項１から８までの何れか一項に記載の液晶装置において、
前記循環流路は、前記表示領域の外縁に接するように延在する第１部分と、前記第１部分を介して前記表示領域に繋がる第２部分と、を含み、
前記第１部分は、前記第２部分より、前記一対の基板の間隔が大きいことを特徴とする液晶装置。
【請求項１０】
請求項１から９までの何れか一項に記載の液晶装置を備えていることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対の基板間に液晶の循環流路が設けられた液晶装置、および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶装置は、一対の基板と、一対の基板を貼り合わせるシール材と、一対の基板の間においてシール材で囲まれた領域内に保持された液晶とを有している。かかる液晶装置において、光源からの光が長時間にわたって液晶に照射されると、液晶の分解や重合が発生して液晶が劣化する。その結果、液晶装置の光変調特性が変化し、投射型表示装置等の電子機器の信頼性が低下する。一方、シール材の内縁と外縁との間に液晶を流動させる循環流路を設け、一対の基板間に封入される液晶量を増加させるとともに、循環流路を通して液晶を対流させることにより、液晶全体が劣化するまでの時間を延長することが提案されている（特許文献１参照）。また、引用文献１には、循環流路の途中位置に吸着装置を設け、液晶材料が劣化した際の生成物を吸着する技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１４０００８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の構造のように、多孔質ガラスフィルタやモレキュラーシーブス等を備えた吸着装置を循環流路の途中位置に充填した構造では、吸着装置が小さく、吸着装置におけるイオンの吸着能力が小さいため、比較的短い時間で飽和してしまう。また、吸着装置を循環流路の途中位置に充填した構造では、流路抵抗が大きくなるため、液晶が循環流路をスムーズに流動しない。このため、特許文献１に記載の構造では、液晶装置、および液晶装置を備えた電子機器において、液晶全体が劣化するまでの時間をさらに延長することができない課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明に係る液晶装置は、一対の基板と、前記一対の基板間に設けられたシール材と、前記一対の基板間で前記シール材の内側に設けられた液晶と、前記シール材より内側の表示領域と前記シール材との間に設けられ、前記液晶を流動させる循環流路と、を備え、前記循環流路は、前記表示領域よりイオンに対する吸着性が高いことを特徴とする。
【０００６】
本発明に係る液晶装置の一態様は、一対の基板と、前記一対の基板間に設けられたシール材と、前記一対の基板間で前記シール材の内側に設けられた液晶と、前記シール材より内側の表示領域と前記シール材との間に設けられ、前記液晶を流動させる循環流路と、前記表示領域および前記循環流路に設けられた配向膜と、を備え、前記配向膜のうち、前記表示領域に設けられた配向膜の表面には有機シラン化合物層が設けられ、前記循環流路に設けられた配向膜の表面には前記有機シラン化合物層が設けられていないことを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る液晶装置の別態様は、一対の基板と、前記一対の基板間に設けられたシール材と、前記一対の基板間で前記シール材の内側に設けられた液晶と、前記シール材より内側の表示領域と前記シール材との間に設けられ、前記液晶を流動させる循環流路と、前記表示領域および前記循環流路に設けられた配向膜と、を備え、前記配向膜のうち、前記循環流路に設けられた配向膜は、前記表示領域に設けられた配向膜より、形成密度が低いことを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る液晶装置の別態様は、一対の基板と、前記一対の基板間に設けられたシール材と、前記一対の基板間で前記シール材の内側に設けられた液晶と、前記シール材より内側の表示領域と前記シール材との間に設けられ、前記液晶を流動させる循環流路と、を有し、前記表示領域には配向膜が設けられ、前記循環流路には、前記配向膜よりイオンの吸着性が高いイオン吸着層が設けられていることを特徴とする。
【０００９】
本発明を適用した液晶装置は、直視型表示装置や投射型表示装置等の各種電子機器に用いることができる。電子機器が投射型表示装置である場合、投射型表示装置は、前記液晶装置に供給される光を出射する光源部と、前記液晶装置によって変調された光を投射する投射光学系と、を有している。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に実施形態１に係る液晶装置の構成例を示す平面図。
【図２】図１に示す液晶装置Ｈ−Ｈ′断面図。
【図３】図１に示す液晶装置の画素等の具体的構成例を模式的に示す断面図。
【図４】図１に示す液晶装置に設けた循環流路の平面的な構成を模式的に示す説明図。
【図５】図４に示す強制循環装置の断面図。
【図６】本発明に実施形態１の変形例１に係る液晶装置の説明図。
【図７】本発明に実施形態１の変形例１に係る液晶装置の説明図。
【図８】本発明の実施形態２に係る液晶装置の説明図。
【図９】本発明の実施形態３に係る液晶装置の説明図。
【図１０】本発明の実施形態４に係る液晶装置の説明図。
【図１１】本発明の実施形態５に係る液晶装置の説明図。
【図１２】図１１に示す循環流路の断面構成を模式的に示す説明図。
【図１３】本発明の実施形態６に係る液晶装置の説明図。
【図１４】本発明を適用した液晶装置を用いた投射型表示装置（電子機器）の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。また、第１基板１０に形成される層を説明する際、上層側あるいは表面側とは第１基板１０の基板本体１０ｗが位置する側とは反対側（第２基板２０および液晶５０が位置する側）を意味し、下層側とは第１基板１０の基板本体１０ｗが位置する側を意味する。第２基板２０に形成される層を説明する際、上層側あるいは表面側とは第２基板２０の基板本体２０ｗが位置する側とは反対側（第１基板１０および液晶５０が位置する側）を意味し、下層側とは第２基板２０の基板本体２０ｗが位置する側を意味する。
【００１２】
［実施形態１］
（液晶装置１００の全体構成）
図１は、本発明に実施形態１に係る液晶装置１００の構成例を示す平面図である。図２は、図１に示す液晶装置１００のＨ−Ｈ′断面図である。図１および図２に示す液晶装置１００は液晶パネル１００ｐを有している。液晶装置１００では、第１基板１０（素子基板）と第２基板２０（対向基板）とからなる一対の基板が所定の隙間を介してシール材１０７によって貼り合わされており、シール材１０７は第２基板２０の外縁に沿うように枠状に設けられている。シール材１０７は、光硬化樹脂や熱硬化性樹脂等からなる接着剤である。シール材１０７には、一対の基板間の距離を所定値とするためのグラスファイバー、あるいはガラスビーズ等のギャップ材（図示せず）が配合されることがある。液晶装置１００において、第１基板１０と第２基板２０との間のうち、シール材１０７によって囲まれた領域内には液晶５０が設けられている。シール材１０７には、液晶注入口として利用される途切れ部分（図示せず）が形成される場合があり、この場合、途切れ部分は、液晶５０の注入後、封止材によって塞がれる。
【００１３】
液晶装置１００において、第１基板１０および第２基板２０はいずれも四角形であり、液晶装置１００の略中央には、表示領域１０ａが四角形の領域として設けられている。かかる形状に対応して、シール材１０７も略四角形の枠状に設けられ、表示領域１０ａの外側は、略四角系の枠状の外周領域になっている。本実施形態において、表示領域１０ａ、第１基板１０および第２基板２０はいずれも、Ｘ方向に長辺が延在する長方形である。
【００１４】
第１基板１０において、表示領域１０ａの外側のうち、第１基板１０が第２基板２０から張り出している側では、第１基板１０の一辺に沿ってデータ線駆動回路１０１および複数の端子１０２が形成されており、この一辺に隣接する他の辺に沿って走査線駆動回路１０４が形成されている。端子１０２は、シール材１０７より外周側に設けられている。端子１０２には、フレキシブル配線基板（図示せず）が接続されており、第１基板１０には、フレキシブル配線基板を介して各種電位や各種信号が入力される。本実施形態において、データ線駆動回路１０１および走査線駆動回路１０４はシール材１０７と平面視で重なっている。
【００１５】
第１基板１０は、石英基板やガラス基板等の透光性の基板本体１０ｗを有しており、第１基板１０（基板本体１０ｗ）の第２基板２０と対向する一方面１０ｓの側には、表示領域１０ａに複数の画素スイッチング素子、および複数の画素スイッチング素子の各々に電気的に接続する画素電極９ａがマトリクス状に形成されている。画素電極９ａの上層側には第１配向膜１６が形成されている。
【００１６】
第１基板１０の一方面１０ｓの側において、表示領域１０ａとシール材１０７とに挟まれた四角枠状の周辺領域１０ｂには、画素電極９ａと同時形成されたダミー画素電極９ｂが形成されている。図２では、１つの辺当たり、２列のダミー画素電極９ｂが表されているが、ダミー画素電極９ｂは、１列や３列以上形成される場合がある。
【００１７】
第２基板２０は、石英基板やガラス基板等の透光性の基板本体２０ｗを有しており、第２基板２０（基板本体２０ｗ）の第１基板１０と対向する一方面２０ｓの側には共通電極２１が形成されている。共通電極２１は、第２基板２０の全面に形成されている。第２基板２０の一方面２０ｓの側には、共通電極２１の下層側に遮光層２９が形成され、共通電極２１の液晶５０側の表面には第２配向膜２６が積層されている。遮光層２９と共通電極２１との間には透光性の絶縁膜２２が形成されている。遮光層２９は、表示領域１０ａの外周縁に沿って延在する額縁部分２９ａとして形成されており、額縁部分２９ａの内縁によって、表示領域１０ａの外縁が規定されている。額縁部分２９ａはダミー画素電極９ｂと平面的に重なる位置に形成されている。遮光層２９は、隣り合う画素電極９ａにより挟まれた画素間領域１０ｆに重なるブラックマトリクス部（図示せず）を含んで形成されてもよい。また、第２基板２０では、複数の画素電極９ａの各々と平面視で重なる領域にレンズが形成されることもある。
【００１８】
液晶装置１００において、シール材１０７より外側には、第２基板２０の一方面２０ｓの側の４つの角部分に、共通電極２１の一部からなる基板間導通用電極部２４ｔが形成されており、第１基板１０の一方面１０ｓの側には、第２基板２０の４つの角部分（基板間導通用電極部２４ｔ）と対向する位置に基板間導通用電極部６ｔが形成されている。基板間導通用電極部６ｔは、共通電位Ｖcomが印加された定電位配線６ｓに導通しており、定電位配線６ｓは、複数の端子１０２のうち、定電位用の端子１０２ａに導通している。基板間導通用電極部６ｔと基板間導通用電極部２４ｔとの間には、導電粒子を含んだ基板間導通材１０９が配置されており、第２基板２０の共通電極２１は、基板間導通用電極部６ｔ、基板間導通材１０９および基板間導通用電極部２４ｔを介して、第１基板１０側に電気的に接続されている。このため、共通電極２１は、第１基板１０の側から共通電位Ｖcomが印加されている。
【００１９】
本実施形態の液晶装置１００は透過型液晶装置である。従って、画素電極９ａおよび共通電極２１は、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜やＩＺＯ（Indium Zinc Oxide）膜等の透光性導電膜により形成されている。透過型の液晶装置１００では、例えば、第２基板２０の側から入射した光が第１基板１０から出射される間に変調されて画像を表示する。なお、共通電極２１を透光性導電膜により形成し、画素電極９ａを反射性電極とすれば、液晶装置１００は反射型液晶装置として構成される。反射型の液晶装置１００では、第２基板２０の側から入射した光が第１基板１０の画素電極９ａで反射して再び、第２基板２０の側から出射される間に変調されて画像を表示する。
【００２０】
液晶装置１００は、モバイルコンピューター、携帯電話機等といった電子機器のカラー表示装置として用いることができ、この場合、第１基板１０あるいは第２基板２０には、カラーフィルター（図示せず）が形成される。また、液晶装置１００は、後述する投射型表示装置（液晶プロジェクター）において、ＲＧＢ用のライトバルブとして用いることができる。この場合、ＲＧＢ用の各液晶装置１００の各々には、例えば、ＲＧＢ色分解用のダイクロイックミラーを介して分解された各色の光が投射光として各々入射されることになるので、カラーフィルターは形成されない。
【００２１】
（画素１００ａの具体的構成）
図３は、図１に示す液晶装置１００の画素等の具体的構成例を模式的に示す断面図である。図３に示すように、第１基板１０の一方面１０ｓ側には、導電性ポリシリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜からなる走査線３ａが形成されている。本実施形態において、走査線３ａは、タングステンシリサイド（ＷＳｉ）等の遮光膜からなる。走査線３ａの上層側には、透光性の絶縁膜１１が形成されており、かかる絶縁膜１１の表面側に、半導体層３０ａを備えた画素スイッチング素子３０が形成されている。本実施形態において、絶縁膜１１はシリコン酸化膜等からなる。
【００２２】
画素スイッチング素子３０は、半導体層３０ａと、半導体層３０ａと交差するゲート電極３０ｇとを備えており、半導体層３０ａとゲート電極３０ｇとの間に透光性のゲート絶縁層３０ｂを有している。半導体層３０ａは、ポリシリコン膜（多結晶シリコン膜）等によって構成されている。ゲート絶縁層３０ｂは、半導体層３０ａを熱酸化したシリコン酸化膜からなるゲート絶縁層と減圧ＣＶＤ法等により形成されたシリコン酸化膜からなる第２ゲート絶縁層との２層構造からなる。ゲート電極３０ｇは、ゲート絶縁層３０ｂおよび絶縁膜１１を貫通するコンタクトホール（図示せず）を介して走査線３ａに電気的に接続されている。
【００２３】
ゲート電極３０ｇの上層側には、シリコン酸化膜等からなる透光性の層間絶縁膜１２、１３、１４が順に形成されており、層間絶縁膜１２、１３、１４の間等を利用して、保持容量（図示せず）が構成されている。層間絶縁膜１２と層間絶縁膜１３との間には、データ線６ａおよびドレイン電極６ｂが形成されており、層間絶縁膜１３と層間絶縁膜１４との間に中継電極７ａが形成されている。データ線６ａは、層間絶縁膜１２およびゲート絶縁層３０ｂを貫通するコンタクトホール１２ａを介して半導体層３０ａのソース領域に電気的に接続している。ドレイン電極６ｂは、層間絶縁膜１２およびゲート絶縁層３０ｂを貫通するコンタクトホール１２ｂを介して半導体層３０ａのドレイン領域に電気的に接続している。中継電極７ａは、層間絶縁膜１３を貫通するコンタクトホール１３ａを介してドレイン電極６ｂに電気的に接続している。層間絶縁膜１４は、表面が平坦面になっており、層間絶縁膜１４の表面側（液晶５０の側の面側）には画素電極９ａが形成されている。画素電極９ａは、層間絶縁膜１４を貫通するコンタクトホール１４ａを介して中継電極７ａに導通している。従って、画素電極９ａは、中継電極７ａおよびドレイン電極６ｂを介して画素スイッチング素子３０のドレイン領域に電気的に接続している。
【００２４】
第１配向膜１６および第２配向膜２６は、シリコン酸化膜（ＳｉＯＸ（ｘ≦２））、チタン酸化膜（ＴｉＯ２）、マグネシウム酸化膜（ＭｇＯ）、アルミニウム酸化膜（Ａｌ２Ｏ３等）の斜方蒸着膜からなる無機配向膜である。従って、第１配向膜１６および第２配向膜２６では、柱状構造物１６０、２６０（カラム）が第１基板１０および第２基板２０の一方面１０ｓ、２０ｓに対する法線方向から斜めに傾いている。第１配向膜１６および第２配向膜２６の配向規制力は、アンチパラレルである。従って、第１配向膜１６および第２配向膜２６は、実線Ｌ１で示すように、液晶５０に用いた負の誘電異方性を備えたネマチック液晶分子（液晶分子５１）を第１基板１０および第２基板２０に対して斜めに傾斜配向させ、液晶分子５１にプレチルトを付している。本実施形態において、第１配向膜１６または第２配向膜２６は、例えば、図１に矢印Ｐで示すように、表示領域１０ａの外縁を規定する複数の辺に対して、４５度または１３５度の角度を成す方向に液晶分子５１を配向させている。従って、液晶分子５１は、表示領域１０ａの４つの角（第１角１０ａ１、第２角１０ａ２、第３角１０ａ３、および第４角１０ａ４）のうち、対角に位置する第１角１０ａ１と第３角１０ａ３とを結ぶ対角線に沿う方向に配向している。このようにして、液晶装置１００は、ノーマリブラックのＶＡモードの液晶装置として構成されている。なお、液晶分子５１のうち、第１基板１０および第２基板２０の近くに位置する液晶分子５１は各々、第１配向膜１６または第２配向膜２６に保持された状態にある。本実施形態において、一対の基板のうちの一方の基板（例えば、第２基板２０）の外縁を規定する複数の辺２０ａ６、２０ａ７、２０ａ８、２０ａ９のうち、第１辺２０ａ６および第３辺２０ａ８は短辺に相当し、第２辺２０ａ７および第４辺２０ａ９は長辺に相当する。
【００２５】
（循環流路６０の構成）
図４は、図１に示す液晶装置１００に設けた循環流路６０の平面的な構成を模式的に示す説明図である。図４に示すように、本実施形態の液晶装置１００において、シール材１０７と表示領域１０ａとの間には、液晶５０を流動させる循環流路６０がシール材１０７と、表示領域１０ａに沿って延在する隔壁６９との間に設けられている。本実施形態では、シール材１０７を設ける際、隔壁６９をシール材によって同時に形成する。このため、第１基板１０と第２基板２０とは、隔壁６９によっても接着されている。
【００２６】
本実施形態において、循環流路６０は、一対の基板のうちの一方の基板（例えば、第２基板２０）の外縁を規定する複数の辺２０ａ６、２０ａ７、２０ａ８、２０ａ９のうち、隣り合う２つの辺（第１辺２０ａ６、および第２辺２０ａ７）に沿って連続して延在している。より具体的には、循環流路６０は、第１辺２０ａ６に沿って延在する第１流路６０ａと、第１流路６０ａの端部から第２辺２０ａ７に沿って延在する第２流路６０ｂとを有している。隔壁６９は、表示領域１０ａの第１角１０ａ１の外側、および第３角１０ａ３の外側には形成されていない。このため、第１流路６０ａの第２流路６０ｂとは反対側の端部は、表示領域１０ａの第１角１０ａ１で表示領域１０ａと繋がり、第２流路６０ｂの第１流路６０ａとは反対側の端部は、表示領域１０ａの第３角１０ａ３で表示領域１０ａと繋がっている。
【００２７】
本実施形態においては、図３に示すように、循環流路６０における一対の基板（第１基板１０および第２基板２０）の間隔は、表示領域１０ａにおける一対の基板（第１基板１０および第２基板２０）の間隔と等しい。
【００２８】
（強制循環装置７０の構成）
図５は、図４に示す強制循環装置７０の断面図である。図４に示すように、本実施形態の液晶装置１００において、循環流路６０の途中位置には、循環流路６０内の液晶５０を強制的に流動させる強制循環装置７０が設けられている。強制循環装置７０は、循環流路６０全体の長さ方向の中央に設けられてもいる。なお、強制循環装置７０は、第１流路６０ａの中央や第２流路６０ｂの中央に設けられてもよい。
【００２９】
図５に示すように、強制循環装置７０は、例えば、圧電素子７２を備えた圧電素子ポンプであり、第１基板１０の循環流路６０に相当する部分を薄板化した振動板７１の外面に圧電素子７２が装着されている。圧電素子７２は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電材料を一対の電極で挟持したものである。循環流路６０における振動板７１の上流には突起７３が形成されており、突起７３と第１基板１０との間が、液晶５０の吸込み口７４とされる。循環流路６０における振動板７１の下流にも突起７７が形成されており、突起７７と第１基板１０との間が、液晶５０の吐出口７８に設定されている。吸込み口７４と吐出口７８との間には、振動板７１を隔壁とする圧力室７６が形成されている。突起７３の先端には導電層７５が形成され、突起７７の先端にも導電層７９が形成されている。
【００３０】
図５において、圧電素子７２に電圧を印加すると、圧電素子７２が膨張変形する。これにより、図５に一点鎖線で示すように、振動板７１が循環流路６０側に撓み変形して、圧力室７６の圧力が上昇する。また、圧電素子７２への通電と同時に、吐出口７８の導電層７９に通電する。すると、導電層７９の内部抵抗によりジュール熱が発生し、吐出口７８の周辺が加熱される。これにより、吐出口７８の液晶の粘度が吸込み口７４より低くなるので、吐出口７８の液晶の流動抵抗が吸込み口７４より低くなる。従って、圧力室７６内の液晶は吐出口７８を通って流出する。
【００３１】
次に、圧電素子７２への電圧印加を停止すると、図５に実線で示すように、圧電素子７２が元の形状に復帰する。これにより、振動板７１も元の形状に復帰して、圧力室７６の圧力が低下する。また、圧電素子７２への通電停止と同時に、吸込み口７４の導電層７５に通電して、吸込み口７４の周辺を加熱する。これにより、吸込み口７４の液晶の粘度が吐出口７８より低くなるので、吸込み口７４の液晶の流動抵抗が吐出口７８より低くなる。従って、液晶は吸込み口７４を通って圧力室７６内に流入する。
【００３２】
それ故、圧電素子７２への電圧印加および停止を繰り返すことにより、循環流路６０内の液晶５０を所定方向に強制的に流動させることができる。
【００３３】
なお、圧電素子７２への電圧印加を停止する代わりに、圧電素子７２に逆電圧を印加した場合でも、上記と略同様に動作する。また、吸込み口７４または吐出口７８を加熱して液晶５０の粘度を変化させる代わりに、吸込み口７４または吐出口７８において、液晶５０を駆動して粘度を変化させることも可能である。より具体的には、導電層７５、７９と共通電極２１との間に電界を印加すると、液晶５０が電場に応じて配向し、液晶の粘度が変化するので、かかる粘度の変化を利用して、吸込み口７４での液晶５０の吸い込み、および吐出口７８での吐出を行ってもよい。
【００３４】
（イオン吸着性）
本実施形態において、循環流路６０は、表示領域１０ａよりイオンに対する吸着性が高くなっている。より具体的には、循環流路６０の表面は、第１基板１０および第２基板２０において表示領域１０ａに相当する部分の表面よりイオンに対する吸着性が高くなっている。本実施形態では、第１基板１０において、表示領域１０ａおよび循環流路６０に設けられた第１配向膜１６のうち、表示領域１０ａに設けられた第１配向膜１６の表面には疎水性の有機シラン化合物層１７が設けられている。また、第２基板２０において、表示領域１０ａおよび循環流路６０に設けられた第２配向膜２６のうち、表示領域１０ａに設けられた第２配向膜２６の表面には疎水性の有機シラン化合物層２７が設けられている。このため、第１配向膜１６および第２配向膜２６のシラノール基と液晶５０とが接触していない。それ故、第１配向膜１６および第２配向膜２６のシラノール基と液晶５０との間で光化学反応が発生しにくいので、液晶５０の劣化を抑制することができる。
【００３５】
これに対して、循環流路６０に設けられた第１配向膜１６の表面、および第２配向膜２６の表面には、有機シラン化合物層１７、２７が設けられていない。例えば、循環流路６０に設けられた第１配向膜１６の表面、および第２配向膜２６の表面には、有機シラン化合物層が一切、設けられていないか、有機シラン化合物層１７、２７より疎水性が低下した有機シラン化合物層しか設けられていない。従って、循環流路６０の第１配向膜１６および第２配向膜２６は、循環流路６０の全域にわたって、表示領域１０ａの第１配向膜１６および第２配向膜２６よりイオンに対する吸着性が高くなっている。かかる構成でも、循環流路６０は、遮光層２９（額縁２９ａ）と重なっているため、循環流路６０内の液晶５０には強い光が到達しない。従って、循環流路６０では、第１配向膜１６および第２配向膜２６のシラノール基と液晶５０との間で光化学反応が発生しにくい。
【００３６】
第１配向膜１６の表面、および第２配向膜２６の表面に対する疎水性の付与は、例えば、有機シロキサン等のシランカップリング剤により水酸基（−ＯＨ）部分に有機シラン化合物層１７、２７を結合させることによって実現することができる。ここで用いたシランカップリング剤は、加水分解によってシラノール（Ｓｉ−ＯＨ）を生成した後、シラノール同士が徐々に縮合してシロキサン結合（Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ）を生成し、有機シラン化合物層１７、２７を形成する。また、シランカップリング剤は、第１配向膜１６および第２配向膜２６の無機酸化物表面と強固な結合を生成し、自己組織化単分子膜を形成する。シランカップリング剤としては、ｎ−ヘキシルトリメトキシシラン、ｎ−ヘキシルトリエトキシシラン、シクロヘキシルメチルジメトキシシラン、ｎ−オクチルトリエトキシシラン、ｎ−デシルトリメトキシシラン等を例示することができる。また、シランカップリング剤としては、疎水性有機官能基にフッ素原子（Ｆ）を含むものを用いることができる。
【００３７】
また、第１配向膜１６の表面全体、および第２配向膜２６の表面全体に有機シラン化合物層１７、２７を形成した後、循環流路６０に形成した有機シラン化合物層１７、２７に対してＵＶ（紫外線）等のエネルギー光を形成し、有機シラン化合物層１７、２７を分解すれば、疎水性を低下させることができる。このため、循環流路６０の第１配向膜１６および第２配向膜２６については、表示領域１０ａの第１配向膜１６および第２配向膜２６よりイオンに対する吸着性が高くすることができる。
【００３８】
（本実施形態の主な効果）
本実施形態の液晶装置１００においては、表示領域１０ａとシール材１０７とに挟まれた周辺領域１０ｂに循環流路６０が設けられているため、液晶５０の充填量を増やすことができる。また、液晶５０は、自然対流によって循環流路６０を介して循環することができる。例えば、液晶装置１００を後述する投射型表示装置等に搭載する際、第４辺２０ａ９を上方にした場合、光源からの強い光が表示領域１０ａに入射すると、表示領域１０ａの液晶５０が加熱される。加熱された液晶５０は、比重が低下して表示領域１０ａの上方に移動し、第１角１０ａ１から循環流路６０に流出する。循環流路６０は遮光層２９によって遮光されているので、循環流路６０には光源光が入射せず、循環流路６０内の液晶５０は冷却される。冷却された液晶５０は、比重が増加して循環流路６０内を下降し、第３角１０ａ３から表示領域１０ａに流入する。このように、循環流路６０を通して液晶５０を自然対流させることができる。
【００３９】
また、液晶装置１００を駆動した際、液晶５０において、液晶分子５１は、図３に実線Ｌ１および点線Ｌ２で示すように、液晶分子５１の姿勢が切り換わる。従って、液晶５０では、第１基板１０の近くおよび第２基板２０の近くでは、矢印Ｆ１および矢印Ｆ２で示すように、液晶５０の流動が発生する。従って、液晶５０は、例えば、第１角１０ａ１において表示領域１０ａから循環流路６０に流出する一方、第３角１０ａ３において循環流路６０から表示領域１０ａに流入する等の循環を行う。
【００４０】
さらに、本実施形態では、強制循環装置７０が設けられているため、強制循環装置７０によって、表示領域１０ａの液晶５０は、第１角１０ａ１から循環流路６０に強制的に吸込まれる一方、第３角１０ａ３において循環流路６０から表示領域１０ａに強制的に吐出される。
【００４１】
それ故、表示領域１０ａにおいて、液晶５０が光源からの光による光化学反応によって劣化した場合でも、表示領域１０ａの液晶５０全体が劣化するまでの時間を延長することができる。なお、強制循環装置７０の駆動による液晶５０の循環は、後述する投射型表示装置等の電子機器の使用中に連続的に行ってもよく、間欠的に行ってもよい。また、電子機器の立ち上げ時または立ち下げ時に、一定時間だけ行ってもよい。
【００４２】
また、循環流路６０は、表示領域１０ａよりイオンに対する吸着性が高いため、循環流路６０では液晶５０からイオン性不純物の除去が行われる。このため、循環流路６０から表示領域１０ａに流入する液晶５０について、イオン性不純物の濃度を低くすることができるので、表示領域１０ａの液晶５０におけるイオン性不純物の濃度を低く維持することができる。従って、画像を表示した際、表示領域１０ａの角でのイオン性不純物の凝集に起因するシミ等の表示ムラが発生しにくい。
【００４３】
また、液晶５０に対する配向方向における表示領域１０ａの距離が長い第１角１０ａ１および第３角１０ａ３ではイオン性不純物等が集中しやすいが、本実施形態において、循環流路６０は、第１角１０ａ１および第３角１０ａ３で表示領域１０ａと繋がっている。従って、イオン性不純物の濃度が高まった液晶５０を表示領域１０ａから循環流路６０に流出させやすいので、循環流路６０によって、液晶５０からイオン性不純物等を効率よく除去することができる。
【００４４】
［実施形態１の変形例１］
図６は、本発明に実施形態１の変形例１に係る液晶装置１００の説明図であり、図３と同様、画素１００ａの具体的構成例を模式的に示す断面図である。なお、本実施形態、および後述する形態のいずれにおいても、基本的な構成が実施形態１と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して図示し、それらの説明を省略する。
【００４５】
実施形態１では、循環流路６０を表示領域１０ａよりイオンに対する吸着性が高くするために、表示領域１０ａの第１配向膜１６の表面および第２配向膜２６のみに疎水性の有機シラン化合物層１７、２７を設けた。これに対して、本実施形態では、図６に示すように、第１基板１０において、表示領域１０ａおよび循環流路６０に設けられた第１配向膜１６のうち、循環流路６０に設けられた第１配向膜１６は、表示領域１０ａに設けられた第１配向膜１６より、柱状構造物１６０の形成密度が低くなっており、循環流路６０では、柱状構造物１６０の間に隙間が空いている。このため、循環流路６０に設けられた第１配向膜１６は、表示領域１０ａに設けられた第１配向膜１６より、表面積が広いため、イオンに対する吸着性が高い。同様に、第２基板２０において、表示領域１０ａおよび循環流路６０に設けられた第２配向膜２６のうち、循環流路６０に設けられた第２配向膜２６は、表示領域１０ａに設けられた第２配向膜２６より、形成密度が低くなっている。このため、循環流路６０に設けられた第２配向膜２６は、表示領域１０ａに設けられた第２配向膜２６より、表面積が広いため、イオンに対する吸着性が高い。
【００４６】
かかる構成は、第１配向膜１６および第２配向膜２６を斜方蒸着により形成する際、マスク蒸着法を利用して、表示領域１０ａに対する成膜条件と、循環流路６０に対する成膜条件とにおいて、蒸着角度（基板に対する法線方向と蒸着方向とが成す角度）、成膜時間、蒸着速度等を変えることによって実現することができる。例えば、循環流路６０に対する成膜の際は、表示領域１０ａに対する成膜の際より、蒸着角度を大きくした条件、膜厚を厚くした条件、あるいは成膜速度を低下させた条件とする。また、表示領域１０ａに対してはイオンアシスト法により成膜する一方、循環流路６０に対しては通常のＥＢ（電子線）蒸着を行うことによっても、上記の構成を実現することができる。その他の構成は、実施形態１と同様である。
【００４７】
かかる構成でも、実施形態１と同様、循環流路６０を流動する液晶５０からイオン性不純物を捕捉することができるので、表示領域１０ａの液晶５０におけるイオン性不純物の濃度を低くすることができる。従って、画像を表示した際、画像には、表示領域１０ａの角でのイオン性不純物の凝集に起因するシミ等が発生しにくい。
【００４８】
［実施形態１の変形例２］
図７は、本発明に実施形態１の変形例２に係る液晶装置１００の説明図であり、図３と同様、画素１００ａの具体的構成例を模式的に示す断面図である。本実施形態では、図７に示すように、第１基板１０において、表示領域１０ａには第１配向膜１６が設けられている一方、循環流路６０には第１配向膜１６が設けられておらず、第１配向膜１６よりイオンの吸着性が高いイオン吸着層１８が設けられている。また、第２基板２０でも、第１基板１０と同様、表示領域１０ａには第２配向膜２６が設けられている一方、循環流路６０には第２配向膜２６が設けられておらず、第２配向膜２６よりイオンの吸着性が高いイオン吸着層２８が設けられている。イオン吸着層１８、２８としては、ゼオライト、シリカゲル等の無機材料の多孔質層や、ポリイミド、フッ素樹脂、ポリメタクリレート、ポリアクリレート、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン等の有機材料の多孔質層を用いることができる。その他の構成は、実施形態１と同様である。
【００４９】
かかる構成でも、実施形態１と同様、循環流路６０を流動する液晶５０からイオン性不純物を捕捉することができるので、表示領域１０ａの液晶５０におけるイオン性不純物の濃度を低くすることができる。従って、画像を表示した際、画像には、表示領域１０ａの角でのイオン性不純物の凝集に起因するシミ等が発生しにくい。
【００５０】
［実施形態１の変形例３］
実施形態１、変形例１および変形例２では、循環流路６０におけるイオン吸着性を表示領域１０ａにおけるイオン吸着性を高くするにあたって、第１基板１０の側、および第２基板２０の側の双方で循環流路６０に面する部分のイオン吸着性を高めたが、第１基板１０の側、および第２基板２０の側の一方で循環流路６０に面する部分のイオン吸着性を高めてもよい。
【００５１】
［実施形態２］
図８は、本発明の実施形態２に係る液晶装置１００の説明図であり、循環流路６０の平面的な構成を模式的に示す説明図である。図８に示すように、本実施形態の液晶装置１００においても、実施形態１と同様、シール材１０７と表示領域１０ａとの間には、液晶５０を流動させる循環流路６０がシール材１０７と隔壁６９との間に設けられている。循環流路６０は、第２基板２０の外縁を規定する複数の辺のうち、第１辺２０ａ６に沿って延在する第１流路６０ａと、第１辺２０ａ６と隣り合う第２辺２０ａ７に沿って延在する第２流路６０ｂと、第１辺２０ａ６と対向する第３辺２０ａ８に沿って延在する第３流路６０ｃとを有している。第３辺２０ａ８は、第２辺２０ａ７と隣り合う辺である。また、循環流路６０は、表示領域１０ａのうち、第１辺２０ａ６および第３辺２０ａ８に沿う部分で表示領域１０ａと繋がっている。
【００５２】
より具体的には、第１流路６０ａは、第２角１０ａ２から第１辺２０ａ６の途中位置まで延在し、第１辺２０ａ６に沿う部分の途中位置で表示領域１０ａと繋がっている。第３流路６０ｃは、第３角１０ａ３から第３辺２０ａ８の途中位置まで延在し、第３辺２０ａ８に沿う部分の途中位置で表示領域１０ａと繋がっている。第２流路６０ｂは、第２角１０ａ２の外側で第１流路６０ａと繋がり、第３角１０ａ３の外側で第３流路６０ｃと繋がっている。
【００５３】
本実施形態でも、実施形態１と同様、循環流路６０の途中位置には、循環流路６０内の液晶５０を強制的に流動させる強制循環装置７０が設けられている。従って、表示領域１０ａにおいて、液晶５０が光源からの光による光化学反応によって劣化した場合でも、表示領域１０ａの液晶５０全体が劣化するまでの時間を延長することができる。本実施形態において、強制循環装置７０は、循環流路６０のうち、第２流路６０ｂの中央に設けられている。このため、強制循環装置７０は、循環流路６０全体の長さ方向の中央に設けられている。なお、強制循環装置７０は、第１流路６０ａや第３流路６０ｃに設けられてもよい。
【００５４】
また、本実施形態でも、実施形態１、変形例１、および変形例２と同様、循環流路６０は、表示領域１０ａよりイオンに対する吸着性が高い。従って、実施形態１と同様、循環流路６０を流動する液晶５０からイオン性不純物を捕捉することができるので、表示領域１０ａの液晶５０におけるイオン性不純物の濃度を低くすることができる。従って、画像を表示した際、画像には、表示領域１０ａの角でのイオン性不純物の凝集に起因するシミ等が発生しにくい。
【００５５】
［実施形態３］
図９は、本発明の実施形態３に係る液晶装置１００の説明図であり、循環流路６０の平面的な構成を模式的に示す説明図である。図９に示すように、本実施形態の液晶装置１００においても、実施形態１と同様、シール材１０７と表示領域１０ａとの間には、液晶５０を流動させる循環流路６０がシール材１０７と隔壁６９と間に設けられている。循環流路６０は、第２基板２０の外縁を規定する複数の辺のうち、第１辺２０ａ６に沿って延在する第１流路６０ａと、第２辺２０ａ７に沿って延在する第２流路６０ｂと、第３辺２０ａ８に沿って延在する第３流路６０ｃとを有している。また、本実施形態でも、実施形態１と同様、循環流路６０の途中位置には、循環流路６０内の液晶５０を強制的に流動させる強制循環装置７０が設けられている。また、本実施形態でも、実施形態１、変形例１、および変形例２と同様、循環流路６０は、表示領域１０ａよりイオンに対する吸着性が高い。
【００５６】
本実施形態において、第１流路６０ａは、第２角１０ａ２から第１角１０ａ１まで第１辺２０ａ６に沿って延在し、第１辺２０ａ６に沿う部分で表示領域１０ａと繋がっている。より具体的には、第１流路６０ａは、第１角１０ａ１、第２角１０ａ２、および第２辺２０ａ６の途中位置で表示領域１０ａと繋がっている。第３流路６０ｃは、第３角１０ａ３から第４角１０ａ４まで第３辺２０ａ８に沿って延在し、第３辺２０ａ８に沿う部分で表示領域１０ａと繋がっている。より具体的には、第３流路６０ｃは、第３角１０ａ３、第４角１０ａ４、および第３辺２０ａ８の途中位置で表示領域１０ａと繋がっている。第２流路６０ｂは、第２角１０ａ２の外側で第１流路６０ａと繋がり、第３角１０ａ３の外側で第３流路６０ｃと繋がっている。従って、表示領域１０ａから循環流路６０への液晶５０の流出、および循環流路６０から表示領域１０ａへの液晶５０の流入をスムーズに行うことができる。
【００５７】
［実施形態４］
図１０は、本発明の実施形態４に係る液晶装置１００の説明図であり、循環流路６０の平面的な構成を模式的に示す説明図である。図１０に示すように、本実施形態の液晶装置１００においても、実施形態１と同様、シール材１０７と表示領域１０ａとの間には、液晶５０を流動させる循環流路６０がシール材１０７と隔壁６９とによって構成されている。循環流路６０は、第２基板２０の外縁を規定する複数の辺のうち、第１辺２０ａ６に沿って延在する第１流路６０ａと、第２辺２０ａ７に沿って延在する第２流路６０ｂと、第３辺２０ａ８に沿って延在する第３流路６０ｃとを有している。
【００５８】
本実施形態において、第１流路６０ａは、第２角１０ａ２から第１角１０ａ１まで第１辺２０ａ６に沿って延在し、第１角１０ａ１、および第２角１０ａ２で表示領域１０ａと繋がっている。第３流路６０ｃは、第３角１０ａ３から第４角１０ａ４まで第３辺２０ａ８に沿って延在し、第３角１０ａ３、および第４角１０ａ４で表示領域１０ａと繋がっている。第２流路６０ｂは、第２辺２０ａ７から第２角１０ａ２および第１流路６０ａの外側を通って第１辺２０ａ６の途中位置まで延在し、第１流路６０ａの途中位置と繋がっている。また、第２流路６０ｂは、第２辺２０ａ７から第３角１０ａ３および第３流路６０ｃの外側を通って第３辺２０ａ８の途中位置まで延在し、第３流路６０ｃの途中位置と繋がっている。従って、表示領域１０ａから循環流路６０への液晶５０の流出、および循環流路６０から表示領域１０ａへの液晶５０の流入をスムーズに行うことができる。
【００５９】
本実施形態でも、本実施形態でも、実施形態１と同様、循環流路６０の途中位置には、循環流路６０内の液晶５０を強制的に流動させる強制循環装置７０が設けられている。また、本実施形態でも、実施形態１、変形例１、および変形例２と同様、循環流路６０は、表示領域１０ａよりイオンに対する吸着性が高い。
【００６０】
［実施形態５］
図１１は、本発明の実施形態５に係る液晶装置１００の説明図であり、循環流路６０の平面的な構成を模式的に示す説明図である。図１２は、図１１に示す循環流路６０の断面構成を模式的に示す説明図である。図１１に示すように、本実施形態の液晶装置１００においても、実施形態１と同様、シール材１０７と表示領域１０ａとの間には、液晶５０を流動させる循環流路６０が設けられている。循環流路６０は、第２基板２０の外縁を規定する複数の辺のうち、第１辺２０ａ６に沿って延在する第１流路６０ａと、第２辺２０ａ７に沿って延在する第２流路６０ｂと、第３辺２０ａ８に沿って延在する第３流路６０ｃとを有している。
【００６１】
本実施形態において、第１流路６０ａは、表示領域１０ａの第１辺２０ａ６に沿う部分の略全体にわたって延在し、第３流路６０ｃは、表示領域１０ａの第３辺２０ａ８に沿う部分の略全体にわたって延在している。第２流路６０ｂは、表示領域１０ａに隔壁６９を介して隣り合う位置で第２辺２０ａ７に沿って延在し、第２流路６０ｂの両端は各々、第２角１０ａ２および第３角１０ａ３の外側で、第１流路６０ａの端部、および第３流路６０ｃの端部と繋がっている。
【００６２】
ここで、第１流路６０ａおよび第３流路６０ｃは、表示領域１０ａの外縁に接するように延在する第１部分６１になっており、第１流路６０ａおよび第３流路６０ｃは、第１辺２０ａ６に沿う部分の全体、および第３辺２０ａ８に沿う部分の全体にわたって表示領域１０ａと繋がっている。これに対して、第２流路６０ｂと表示領域１０ａとの間には隔壁６９が設けられており、第２流路６０ｂは、第１部分６１（第１流路６０ａおよび第３流路６０ｃ）を介して表示領域１０ａと繋がった第２部分６２になっている。
【００６３】
本実施形態においては、図１２に示すように、第２基板２０には、第１部分６１に相当する溝６６が形成されている。このため、第１部分６１は、第２部分６２より、一対の基板の間隔が大きく、液晶５０の層厚が大きくなっている。例えば、第１基板１０と第２基板２０との間隔は数μｍ程度であるのに対して、循環流路６０の第１部分６１における第１基板１０と第２基板２０との間隔を数１０μｍ程度、あるいは数１００μｍ程度まで広くなっている。従って、循環流路６０の断面積を増大させることができるので、循環流路６０の容積を増大させることができるとともに、表示領域１０ａから循環流路６０への液晶５０の流出、および循環流路６０から表示領域１０ａへの液晶５０の流入をスムーズに行うことができる。
【００６４】
また、本実施形態でも、実施形態１と同様、循環流路６０の第２部分６２の途中位置には、循環流路６０内の液晶５０を強制的に流動させる強制循環装置７０が設けられている。本実施形態において、強制循環装置７０は、第２部分６２に設けられている。また、本実施形態でも、実施形態１、変形例１、および変形例２と同様、循環流路６０は、表示領域１０ａよりイオンに対する吸着性が高い。
【００６５】
［実施形態６］
図１３は、本発明の実施形態５に係る液晶装置１００の説明図であり、循環流路６０の平面的な構成を模式的に示す説明図である。図１３に示すように、本実施形態の液晶装置１００においても、実施形態１と同様、シール材１０７と表示領域１０ａとの間には、液晶５０を流動させる循環流路６０が設けられている。循環流路６０は、表示領域１０ａの外縁を規定する複数の辺のうち、第１辺２０ａ６に沿って延在する第１流路６０ａと、第２辺２０ａ７に沿って延在する第２流路６０ｂと、第３辺２０ａ８に沿って延在する第３流路６０ｃとを有している。
【００６６】
本実施形態において、第１流路６０ａは、表示領域１０ａの第１辺２０ａ６に沿う部分の全体にわたって延在し、第３流路６０ｃは、表示領域１０ａの第３辺２０ａ８に沿う部分の全体にわたって延在している。第１流路６０ａおよび第３流路６０ｃは、表示領域１０ａの外縁に接するように延在する第１部分６１になっている。第２流路６０ｂは、第１部分６１（第１流路６０ａおよび第３流路６０ｃ）を介して表示領域１０ａと繋がった第２部分６２になっている。より具体的には、第２流路６０ｂは、第２角１０ａ２および第１流路６０ａの外側を通って第１辺２０ａ６の途中位置まで延在し、第１流路６０ａと繋がっている。また、第２流路６０ｂは、第３角１０ａ３および第３流路６０ｃの外側を通って第３辺２０ａ８の途中位置まで延在し、第３流路６０ｃと繋がっている。
【００６７】
本実施形態においても、実施形態５において図１２を参照して説明したように、第１部分６１は、第２部分６２より、一対の基板の間隔より広くなっている。従って、表示領域１０ａから循環流路６０への液晶５０の流出、および循環流路６０から表示領域１０ａへの液晶５０の流入をスムーズに行うことができる。
【００６８】
また、本実施形態でも、実施形態１と同様、循環流路６０の第２部分６２の途中位置には、循環流路６０内の液晶５０を強制的に流動させる強制循環装置７０が設けられている。本実施形態において、強制循環装置７０は、第２部分６２に設けられている。また、本実施形態でも、実施形態１、変形例１、および変形例２と同様、循環流路６０は、表示領域１０ａよりイオンに対する吸着性が高い。
【００６９】
［他の実施形態］
上記実施形態１〜４においては、循環流路６０における一対の基板（第１基板１０および第２基板２０）の間隔は、表示領域１０ａにおける一対の基板（第１基板１０および第２基板２０）の間隔と等しい態様になっていたが、第１基板１０の基板本体１０ｗ、および第２基板２０の基板本体２０ｗのうちの少なくとも一方には、循環流路６０に相当する部分に溝が形成されており、循環流路６０における一対の基板の間隔は、溝によって、表示領域１０ａにおける一対の基板の間隔より大きくなっている態様であってもよい。
【００７０】
また、上記実施形態５、６においては、循環流路６０の第２部分６２における一対の基板（第１基板１０および第２基板２０）の間隔は、表示領域１０ａにおける一対の基板（第１基板１０および第２基板２０）の間隔と等しい態様になっていたが、第１基板１０の基板本体１０ｗ、および第２基板２０の基板本体２０ｗのうちの少なくとも一方には、循環流路６０に相当する部分に溝が形成されており、循環流路６０における一対の基板の間隔は、溝によって、表示領域１０ａにおける一対の基板の間隔より大きくなっている態様であってもよい。この場合でも、第１部分６１における一対の基板（第１基板１０および第２基板２０）の間隔は、第２部分６２における一対の基板（第１基板１０および第２基板２０）の間隔より大きくすることが好ましい。
【００７１】
上記実施形態では、透過型の液晶装置１００に本発明を適用したが、反射型の液晶装置１００に本発明を適用してもよい。
【００７２】
［電子機器への搭載例］
上述した実施形態に係る液晶装置１００を用いた電子機器について説明する。図１４は、本発明を適用した液晶装置１００を用いた投射型表示装置の概略構成図である。図１４には、偏光板等の光学素子の図示を省略してある。図１４に示す投射型表示装置２１００は、液晶装置１００を用いた電子機器の一例である。
【００７３】
図１４に示す投射型表示装置２１００において、上記実施形態に係る液晶装置１００がライトバルブとして用いられ、装置を大きくすることなく高精細で明るい表示が可能である。図１４に示すように、投射型表示装置２１００の内部には、ハロゲンランプ等の白色光源を有するランプユニット２１０２（光源部）が設けられている。ランプユニット２１０２から射出された投射光は、内部に配置された３枚のミラー２１０６および２枚のダイクロイックミラー２１０８によってＲ（赤）色、Ｇ（緑）色、Ｂ（青）色の３原色に分離される。分離された投射光は、各原色に対応するライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ、１００Ｂにそれぞれ導かれ、変調される。なお、Ｂ色の光は、他のＲ色やＧ色と比較すると光路が長いので、その損失を防ぐために、入射レンズ２１２２、リレーレンズ２１２３および出射レンズ２１２４を有するリレーレンズ系２１２１を介して導かれる。
【００７４】
ライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ、１００Ｂによってそれぞれ変調された光は、ダイクロイックプリズム２１１２に３方向から入射する。そして、ダイクロイックプリズム２１１２において、Ｒ色およびＢ色の光は９０度に反射し、Ｇ色の光は透過する。したがって、各原色の画像が合成された後、スクリーン２１２０には、投射レンズ群２１１４（投射光学系）によってカラー画像が投射される。
【００７５】
（他の投射型表示装置）
なお、投射型表示装置については、光源部として、各色の光を出射するＬＥＤ光源等を用い、かかるＬＥＤ光源から出射された色光を各々、別の液晶装置に供給するように構成してもよい。
【００７６】
（他の電子機器）
本発明を適用した液晶装置１００を備えた電子機器は、上記実施形態の投射型表示装置２１００に限定されない。例えば、投射型のＨＵＤ（ヘッドアップディスプレイ）や直視型のＨＭＤ（ヘッドマウントディスプレイ）、パーソナルコンピューター、デジタルスチルカメラ、液晶テレビ等の電子機器に用いてもよい。
【符号の説明】
【００７７】
９ａ…画素電極、９ｂ…ダミー画素電極、１０…第１基板、１０ａ…表示領域、１０ｂ…周辺領域、１０ａ１…第１角、１０ａ２…第２角、１０ａ３…第３角、１０ａ４…第４角、１６…第１配向膜、１７、２７…有機シラン化合物層、１８、２８…イオン吸着層、２０…第２基板、２０ａ６…第１辺、２０ａ７…第２辺、２０ａ８…第３辺、２０ａ９…第４辺、２１…共通電極、２６…第２配向膜、２９…遮光層、２９ａ…額縁部分、５０…液晶、５１…液晶分子、６０…循環流路、６０ａ…第１流路、６０ｂ…第２流路、６０ｃ…第３流路、６１…第１部分、６２…第２部分、６６…溝、６９…隔壁、７０…強制循環装置、７１…振動板、７２…圧電素子、７６…圧力室、１００…液晶装置、１００Ｂ、１００Ｇ、１００Ｒ…ライトバルブ、１００ｐ…液晶パネル、１０７…シール材、１６０、２６０…柱状構造物、２１００…投射型表示装置、２１０２…ランプユニット（光源部）、２１０６…ミラー、２１０８…ダイクロイックミラー、２１１２…ダイクロイックプリズム、２１１４…投射レンズ群（投射レンズ系）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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