(57)【要約】【課題】  処理部で処理を実施する領域の基台のサイズを必要最小限に抑制しつつ、処理範囲における移動精度を担保する、搬送ステージと、それを使用したインクジェット装置とを提供する。【解決手段】第１走査方向４１沿いに第１分割基台１ａの両側に距離を離して第２分割基台１ｃを第１分割基台１ａと高さを変えて配置した基台部１と、基台部上に第１走査方向に沿って延在し第１分割基台と同一材料のガイド２と、ガイド沿いに移動する搬送テーブル３と、ガイドとテーブル間に配置されテーブルをガイド沿いに移動自在に支持する軸受部１２と、テーブルに連結されテーブルを移動させる駆動部９とを含む。第２領域Ｂ内でテーブルをピッチング方向に予め湾曲させることで、ローリング方向の曲げ剛性よりピッチング方向の曲げ剛性を小さくすることで、第１領域Ａ内で、テーブル３をガイド２に沿いやすくする。【選択図】図１Ａ
2020196063.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１分割基台と、第１走査方向沿いに前記第１分割基台の両側に空間を開けて配置されかつ前記第１分割基台と同一材料の第２分割基台とで構成されて前記第１走査方向沿いに延在する基台部と、
前記基台部上に前記第１走査方向に沿って延在するように配置され、前記第１分割基台及び前記第２分割基台と同一材料の複数のガイド部材を有するガイドと、
前記ガイドに沿って前記第１走査方向に移動する搬送テーブルと、
前記ガイドと前記搬送テーブルとの間に配置されて前記搬送テーブルを前記ガイドに沿って移動自在に支持する軸受部と、
前記搬送テーブルに連結されて前記搬送テーブルを移動させる駆動部と、を備え、
前記ガイドの前記第１走査方向における前記第１分割基台の鉛直方向の上方の領域を第１領域とし、前記ガイドが前記両側の前記第２分割基台に支持されかつ前記ガイドの前記第１走査方向における前記第１領域以外の領域をそれぞれ第２領域とするとき、前記搬送テーブルが、一方の前記第２領域から前記第１領域、前記第１領域の更に反対側の他方の前記第２領域に亘って走行し、かつ、前記搬送テーブルの前記第２領域内での前記第１走査方向の変形量が、前記搬送テーブルの前記第１領域内での前記第１走査方向の変形量より大きい、搬送ステージ。
【請求項２】
前記第１分割基台と、前記第２分割基台と、前記ガイド部材とが石材料で構成されている、
請求項１に記載の搬送ステージ。
【請求項３】
前記基台部は、さらに、前記第１走査方向における、前記第１分割基台と前記第２分割基台との間に配置され、前記ガイドより剛性の低い第３分割基台を有し、
前記ガイドの前記第１走査方向における前記第１分割基台の鉛直方向の上方の領域を前記第１領域とし、前記ガイドが前記両側の前記第２分割基台と前記第３分割基台とに支持されかつ前記ガイドの前記第１走査方向における前記第１領域以外の領域をそれぞれ前記第２領域とするとき、前記搬送テーブルが、一方の前記第２領域から前記第１領域、前記第１領域の更に反対側の他方の前記第２領域に亘って走行し、かつ、前記搬送テーブルの前記第２領域内での前記第１走査方向の変形量が、前記搬送テーブルの前記第１領域内での前記第１走査方向の変形量より大きい、
請求項１又は２に記載の搬送ステージ。
【請求項４】
前記第１分割基台と前記第２分割基台とは石材料で構成され、前記第３分割基台は鉄系材料で構成されている、
請求項３に記載の搬送ステージ。
【請求項５】
前記搬送テーブル上の処理対象物に対して所定の処理を行い、前記ガイドとの間に前記搬送テーブルが通過する空間を有するように配置される処理部を有し、
前記処理部で前記所定の処理の処理位置は、前記第１領域内に含まれる、
請求項１〜４のいずれか１つに記載の搬送ステージ。
【請求項６】
前記搬送テーブルの前記第１走査方向及び前記鉛直方向と直交する方向を第２走査方向とするとき、前記ガイド部材は、前記第２走査方向の座標が互いに異なる位置に、間隔をあけて、少なくとも３つ以上配置されている、
請求項１〜５のいずれか１つに記載の搬送ステージ。
【請求項７】
前記第１走査方向沿いの前記複数のガイド部材の端部同士が対向する継目は、前記第１領域内に位置する、
請求項１〜６のいずれか１つに記載の搬送ステージ。
【請求項８】
前記第２領域における前記ガイドと前記第３分割基台との間に複数個配置されかつ高さを調整可能な高さ調整部をさらに備え、
前記第３分割基台を構成する少なくとも１つ以上の材料のうち、最も占有体積の大きい材料の熱膨張係数は、前記第１分割基台と前記第２分割基台とを構成する材料の熱膨張係数よりも大きく、前記第２領域における前記ガイドは、前記高さ調整部により、対向面が互いにスライドできる滑り拘束により、不連続に支持されている、
請求項３又は４に記載の搬送ステージ。
【請求項９】
請求項５に記載の搬送ステージと、
前記処理部は、前記ガイド部材を跨ぐように配置された支持部材に支持され、前記搬送テーブル上の印刷対象物に、インクを吐出する少なくとも一つ以上の印刷ヘッドとを有し、
前記印刷ヘッドは、前記第１領域内に配置される、
インクジェット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送ステージとそれを使用したインクジェット装置に関する。特に、本発明は、大型搬送ステージとそれを使用したインクジェット装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェット装置を用いてデバイスを製造する方法が注目されている。インクジェット装置は、液滴吐出を行う複数のノズルを有し、ノズルと印刷対象物との位置関係を制御しながらノズルから液滴を吐出することで、印刷対象物に液滴を塗布するものである。
【０００３】
この種のインクジェット装置の１つとして、ラインヘッドと呼ばれる、印刷対象物の幅方向に並設された複数のモジュールヘッド（言い換えれば、複数の吐出口を有する液滴吐出ヘッド）を備えているものがある。このラインヘッドを、主走査方向と同一水平面内で直交する方向である副走査方向に並べて配置することで、幅の大きい印刷対象物に対して、１度の搬送工程で、インクを一括で塗布することができる。
【０００４】
更に、副走査方向にモジュールヘッドを並設されたラインヘッドを主走査方向にも複数個搭載することで、例えば色が異なるなどの複数種のインクを、１度の搬送工程の間に一括で印刷対象物に塗布することができる。
【０００５】
この構成によれば、例えば、Ｇ４サイズ（６８０ｍｍ  ｘ  ８８０ｍｍ）以上の大型の印刷対象物に対しても１度の搬送工程で複数種のインクを一括で塗布できるので、印刷対象物にインクを塗布するタクトの低減が可能になると共に、インク塗布後の乾燥条件等を均一にしやすいために、例えばインク膜厚を均一に制御できるなどの印刷プロセス上の利点がある。
【０００６】
しかしながら、近年、生産性の向上のため、印刷対象物の更なる大型化が求められている。印刷対象物が大きくなると、その分、搬送距離が長くなり、必然的に、印刷対象物を搭載して主走査方向に走るガイドも長くする必要がある。このため、１つの部材では必要とされる精度での加工及び製作できないという問題が生じる。同様に、ガイドを支持する基台についても必要サイズが大きくなり、１つの部材では加工及び製作できないという問題が生じる。また、仮に１つの部材で加工及び製作が可能な場合であっても、サイズが大きくなると、調達コストが非常に高くなること、又は、各国の交通法によっては搬送出来ない等の問題が生じるため、それぞれの部材のサイズを小さくすることが求められる。
【０００７】
すなわち、高い平面度が求められるガイド及び基台は、高精度な加工がしやすく熱変形も少ない石部材を用いることが望ましい。が、昨今、印刷対象物の更なる大型化が求められる一方で、資源枯渇の観点からも大型の石部材の調達は難易度が増している。よって、仮に調達及び加工が可能であったとしても、コスト及び調達納期の観点からは大きなデメリットとなる。また、装置重量も重くなるため、装置を設置する工場の補強等が必要になることも考えられ、更にコストがかさむという問題も生じる。
【０００８】
そのため、ガイドレール及びそれを支持する架台は、それぞれ、複数の部材から成る構成として、位置決め基準面を設けて結合できる構成とする方法が開示されている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平７―１２４８３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、前記方法によれば、搬送テーブルが振動することなく高い走行精度で走査することを求められる場合、ガイドレールを支持する複数の基台の高さ方向の平面度を確保することが困難となり、その影響によりガイドレールの高さ方向の平面度を確保することが困難であることから、走行精度が悪化する。また、その影響により、複数のガイドレールが連結される継目部において段差等が生じやすく、継目部を搬送テーブルが通過する際に振動が生じやすいという問題が生じる。
【００１１】
そのため、例えばインクジェット装置のように、搬送テーブルが振動することなく高精度に走行することが求められる装置において、搬送テーブルの振動等に起因してインクジェットヘッドから吐出するインクの着弾する位置がばらつく等の問題が生じ、高分解能の印刷対象物を製作できない等の問題が生じる。
【００１２】
すなわち、本発明の課題は、処理部で処理を実施する領域の基台のサイズを必要最小限に抑制しつつ、処理範囲における移動精度を担保する、搬送ステージと、それを使用したインクジェット装置とを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の１つの態様によれば、第１分割基台と、第１走査方向沿いに前記第１分割基台の両側に空間を開けて配置されかつ前記第１分割基台と同一材料の第２分割基台とで構成されて前記第１走査方向沿いに延在する基台部と、
前記基台部上に前記第１走査方向に沿って延在するように配置され、前記第１分割基台及び前記第２分割基台と同一材料の複数のガイド部材を有するガイドと、
前記ガイドに沿って前記第１走査方向に移動する搬送テーブルと、
前記ガイドと前記搬送テーブルとの間に配置されて前記搬送テーブルを前記ガイドに沿って移動自在に支持する軸受部と、
前記搬送テーブルに連結されて前記搬送テーブルを移動させる駆動部と、を備え、
前記ガイドの前記第１走査方向における前記第１分割基台の鉛直方向の上方の領域を第１領域とし、前記ガイドが前記両側の前記第２分割基台に支持されかつ前記ガイドの前記第１走査方向における前記第１領域以外の領域をそれぞれ第２領域とするとき、前記搬送テーブルが、一方の前記第２領域から前記第１領域、前記第１領域の更に反対側の他方の前記第２領域に亘って走行し、かつ、前記搬送テーブルの前記第２領域内での前記第１走査方向の変形量が、前記搬送テーブルの前記第１領域内での前記第１走査方向の変形量より大きい、搬送ステージを提供する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の前記態様によれば、処理部で処理を実施する領域の基台のサイズを必要最小限に抑制しつつ、処理範囲における移動精度を担保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１Ａ】実施の形態１において、インクジェット装置を上面から見た模式図
【図１Ｂ】実施の形態１において、インクジェット装置を正面から見た模式図
【図１Ｃ】実施の形態１において、インクジェット装置の断面の模式図
【図２Ａ】インクジェット装置の軸受部の配置を示す模式図
【図２Ｂ】インクジェット装置の軸受部の配置を示す斜視図
【図２Ｃ】回転軸受部の配置を示す説明図
【図３】インクジェット装置の基台とガイドの位置関係を示す模式図
【図４】実施の形態１において、インクジェット装置の搬送テーブルの変形形状を示す図
【図５】軸受け部の第２の配置を示す図
【図６Ａ】搬送テーブルの厚さが薄くて、幅方向（すなわち図６Ａの左右方向）の３ヶ所の軸受支持では支持していない部分で、搬送テーブルが垂れてしまう場合のインクジェット装置を正面から見た模式図
【図６Ｂ】搬送テーブルの厚さを薄くした場合のインクジェット装置の搬送テーブルの変形状態を説明するための模式図
【図７】搬送テーブルの厚さを薄くした場合の搬送テーブルの垂れを抑えるための軸受け部の配置を示す図
【図８】高さ調整部の詳細図
【図９Ａ】実施の形態２において、インクジェット装置を上面から見た模式図
【図９Ｂ】実施の形態２において、インクジェット装置を正面から見た模式図
【図９Ｃ】実施の形態２において、インクジェット装置の断面の模式図
【図１０Ａ】実施の形態３において、インクジェット装置を上面から見た模式図
【図１０Ｂ】実施の形態３において、インクジェット装置を正面から見た模式図
【図１０Ｃ】実施の形態３において、インクジェット装置の断面の模式図
【図１１Ａ】比較例として、準基準基台を設けないインクジェット装置を上面から見た模式図
【図１１Ｂ】比較例として、準基準基台を設けないインクジェット装置を正面から見た模式図
【図１１Ｃ】比較例として、準基準基台を設けないインクジェット装置の断面の模式図
【図１２Ａ】比較例のインクジェット装置の補助基台が変形した状態を説明する模式図
【図１２Ｂ】比較例のインクジェット装置の補助基台が変形した場合の搬送テーブルの変形形状を示す図
【図１３Ａ】実施の形態２において、補助基台の代わりにフレーム部を段構造にしたインクジェット装置を断面から見た模式図
【図１３Ｂ】実施の形態２において、フレーム部を設けずにインクジェット装置を直接床面に設置する場合の断面から見た模式図
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１７】
（実施の形態１）
図１Ａは、実施の形態１にかかるインクジェット装置１０を印刷対象物６の主面方向から表した平面図である。図１Ａにより、インクジェット装置１０の全体像について説明する。ここでは、処理対象物の一例として印刷対象物６であり、所定の処理の一例としては印刷であり、処理部の一例として印刷ヘッドとしている。
【００１８】
図１Ａに示すように、インクジェット装置１０は、少なくとも、搬送ステージ２０と、支持部材の一例としての門型形状のガントリー４と、印刷ヘッドの一例としてのラインヘッド５とを備えている。
【００１９】
搬送ステージ２０は、少なくとも、基台部１と、ガイド２と、搬送テーブル３と、軸受部１２と、駆動部９とを備えている。
【００２０】
基台部１は、主走査方向（例えば、第１走査方向の一例）４１に長尺な長方形の平面形状の中央部に幅方向である副走査方向４２に幅広の部分を設けた形状で構成している。
【００２１】
ガントリー４は、主走査方向４１から見た正面形状が門型形状であり、平面的に見て基台部１の幅方向である副走査方向４２に跨るように基台部１の所定位置、例えば、主走査方向４１の中間位置に固定されている。
【００２２】
ガイド２は、基台部１の長手方向すなわち主走査方向４１沿いに、基台部１の上面に固定されている。一例として、ガイド２は、主走査方向４１に直交する方向沿いの断面が矩形の直方体形状の部材で構成されている。ガイド２は、基台部１上に主走査方向４１に沿って延在するように配置された、複数の分割ガイド部材２ａ，２ｂを連結した少なくとも１個、好ましくは複数個のレール状のガイド部材２ｃで構成されている（図３参照）。
【００２３】
搬送テーブル３は矩形の平板状で、ガイド２でガイドされつつ基台部１の主走査方向４１に搬送可能となっている。搬送テーブル３の上面には、基板などの印刷対象物６が保持可能となっている。
【００２４】
ラインヘッド５は、基台部１に連結されているガントリー４に支持されている。ラインヘッド５は、搬送テーブル３がラインヘッド５の下を主走査方向４１に通過するタイミングに合わせて、搬送テーブル３に向けてインクを吐出する。すなわち、ラインヘッド５の下を、搬送テーブル３が、主走査方向４１沿いに図１Ａの左側から右側に移動すると同時に、ラインヘッド５からインクが吐出され、搬送テーブル３の上面にて保持される印刷対象物６の塗布領域に、インクが塗布される。
【００２５】
なお、本構成においては、ラインヘッド５は、図１Ａに示すように、２種類のラインヘッド５がガントリー４の両面（すなわち、図１Ａではガントリー４の左右面）にそれぞれ配置される構成としたが、ラインヘッド５は、１個のみがガントリー４に配置されていても良いし、ガントリー４が２個配置され、それぞれのガントリー４の両面に合計４個のラインヘッド５が配置されていても良い。ラインヘッド５の個数及び配置などの構成については、印刷対象物６に対して、ラインヘッド５で行いたい処理によって決めれば良い。
【００２６】
なお、以後の説明では、印刷対象物６を搬送する方向を主走査方向４１とし、主走査方向４１と同一水平面内で主走査方向４１と直交する方向を副走査方向（例えば、第２走査方向の一例）（又は幅方向）４２とし、印刷対象物６の主面方向、すなわち一般的には鉛直方向、を上下方向４３（図１Ｂを参照）とする。
【００２７】
なお、搬送テーブル３を主走査方向４１に駆動させるため、少なくとも一つ以上の駆動部９が、基台部１に主走査方向４１沿いに配置され搬送テーブル３に連結されて、搬送テーブル３を主走査方向４１に搬送駆動可能としている。駆動部９の一例として、図１Ａ及び図１Ｂでは、幅方向の両端部近傍に主走査方向４１沿いに２個の駆動部９が基台部１に配置されている。各駆動部９は、リニアモータであっても良いし、又は、回転モータに連結されたボールねじ等であっても良いが、本実施の形態１の構成では、長尺の構成としやすいリニアモータを用いている。
【００２８】
図１Ｂは、インクジェット装置１０を、図１ＡのＹ−Ｙ線から見た正面図である。
【００２９】
図１Ｂに示すように、ガイド２は基台部１上に固定されている。基台部１は、床面２１の不陸すなわち凹凸等の影響を直接受けないために、基台部１を保持するフレーム部７を介して設置されている。
【００３０】
なお、フレーム部７と床面２１との間、及び、フレーム部７と基台部１との間には、高さ方向の調整をそれぞれ独立して行うことができる複数の高さ調整部８に支持させるのが良い。そのように構成することで、インクジェット装置１０の基台部１を設置する床面２１に応じて、基台部１の上面の平面度を出すために、複数の高さ調整部８で基台部１の上面を高さ調整することが出来る。
【００３１】
高さ調整部８は、例えば、いわゆるレベリングブロックであり、図８に示すように、くさび機構１８を用いた場合、取付台１８ｅ上の複数のブロック１８ａ，１８ｂ間に対して、横方向に取り付けられたボルト１８ｃの正逆回転によりくさび１８ｄを横方向に押し引きすることで、ブロック１８ａ，１８ｂの高さが変動する機構で構成することができる。
【００３２】
ガイド２と搬送テーブル３との間には、少なくとも一つ以上の軸受部１２が連結されている。詳しくは、ガイド２の上面と搬送テーブル３の下面との間に軸受部１２を配置して、搬送テーブル３は、軸受部１２を介してガイド２上で摺動自在に支持されている。
【００３３】
軸受部１２は、搬送テーブル３の自重を支持するとともに、副走査方向４２を軸とした回転方向（ピッチング方向）の回転を防止するために、ガイド２の上面と搬送テーブル３の下面との両方に支持される軸受部１２Ａと、搬送テーブル３の水平方向の蛇行を防止するために、ガイド２の側面で支持される軸受部１２Ｂとの両方で構成することができる（図５〜図７参照）。
【００３４】
なお、軸受部１２は、搬送テーブル３の自重を支持するため及びピッチング方向の回転を防止するために、ガイド２の上方だけに配置され摺動自在に支持されても良い。本構成では、搬送テーブル３の自重を支持するため及びピッチング方向の回転を防止するためにガイド２の上面を摺動自在に支持し、搬送テーブル３の水平方向の蛇行を防止するために、ガイド２の副走査方向４２の両側面を摺動自在に支持する構成とするが、詳細については後述する。
【００３５】
なお、軸受部１２の形式は、ベアリングを用いた直線ガイドでも良いが、高精度で振動が少ない搬送を実現するために、軸受部１２から空気などの気体をガイド２に向けて噴出することで、軸受部１２とガイド２とが非接触で対向する静圧軸受を用いるのが望ましい。なお、軸受部１２を静圧軸受とした場合、自成絞り又はオリフィス絞りのパッドを用いても良いし、搬送テーブル３の裏面に溝を切って表面絞りの形式としても良い。が、本構成では、より振動が生じにくくするため、多孔質絞りのパッドを用いている。
【００３６】
なお、軸受部１２を静圧軸受とした場合、軸受部１２から噴出された空気によるガイド２からの浮上量により軸受剛性は変化するため、軸受剛性が最も強くなる浮上量となるように設計するのが望ましい。本構成では、一例として、狙いとする浮上量を、軸受部１２の剛性が最も高くなる１０μｍとしている。
【００３７】
図２Ａは、搬送テーブル３を図１ＢのＺ−Ｚ矢視から見た図である。図２Ｂは、搬送テーブルを下側から見た場合の斜視図である。図２Ａ、図２Ｂを用いて、本構成における搬送テーブル３と、軸受部１２の配置構成を示す。なお、図２Ａにおいて、実際は断面図には出てこないが、説明を容易にするために、ガイド部材２ｃについても仮想的に破線で示している。
【００３８】
本構成では、軸受部１２は、搬送テーブル３の自重支持及びピッチング方向の回転を防止するために、ガイド部材２ｃの上面で摺動自在に支持する軸受部１２Ａを搬送テーブル３の裏面にガイド部材２ｃの上面と対向するように配置している。また、搬送テーブル３の水平方向の蛇行を防止するために、中央のガイド部材２ｃの両側面を支持する軸受部１２Ｂを有している。
【００３９】
なお、軸受部１２Ａの合計受圧面積は、軸受部１２Ａの負荷容量と搬送テーブル３の重量とによって決められる。
【００４０】
本構成では、一例として、搬送テーブル３は、主走査方向４１の寸法が３．２ｍで、副走査方向４２の寸法が２．６ｍで、厚さを３０ｍｍとした。そして、搬送テーブル３の下面に受圧面を例えば１２０ｍｍ角とする平面が正方形の軸受部１２Ａを各ガイド部材２ｃの主走査方向４１の複数点（例えば５点）で受ける構成としている。なお、本構成では、図５〜図７に示すように、また副走査方向４２においても、複数点（例えば３点）で受ける構成としている。すなわち、図２Ａに示すように、軸受部１２Ａは、一例として、主走査方向４１に５列、副走査方向４２に３列の計１５個が搬送テーブル３の裏面に配置される構成としている。
【００４１】
なお、一例として、軸受部１２Ａの配置に合わせ、ガイド部材２ｃの上面における副走査方向４２の幅は１５０ｍｍとして、副走査方向４２に等間隔に３列並べる配置としている。
【００４２】
なお、後述のように、本構成では、搬送テーブル３を予めピッチング方向に湾曲させておくことで、ローリング方向よりもピッチング方向に湾曲しやすくなり、ガイド部材２ｃの主走査方向４１の撓み形状に対して追従しやすくなる。
【００４３】
また、軸受部１２Ｂについては、一例として、受圧面を９０ｍｍ角とする平面が正方形の軸受部とし、搬送テーブル３の中心部のみにおいてガイド部材２ｃの両側面を支持する構成としている。なお、軸受部１２Ｂの配置に合わせて、一例として、ガイド部材２ｃの高さは１２０ｍｍとする。
【００４４】
なお、本構成では、駆動部９を、搬送テーブル３の副走査方向４２における両端付近に２列配置して、２軸駆動させている。また、図示は省略しているが、走行中及び停止中において、２軸を個別に微動させることで、ヨーイング方向の位置補正ができる制御構成としている。そのように構成することで、搬送テーブル３のヨーイング方向の回転を抑制するようにしている。その際に、ガイド部材２ｃに非接触で対向する静圧軸受の軸受部１２Ｂが、駆動部９の駆動力によってガイド部材２ｃに接触することを防止するために、搬送テーブル３の中心部に回転軸受部１３を設けた。
【００４５】
回転軸受部１３は、図２Ｃに示すように、搬送テーブル３の中心部の下面に配置されてリング状の軸受け部材で構成された回転軸受本体部１３ｂと、搬送テーブル３の中心部の下面に配置された回転軸受本体部１３ｂと軸受部１２Ａとの間に配置され縦断面Ｕ字状の回転軸受支持部１３ａとで構成されている。回転軸受本体部１３ｂに対して搬送テーブル３は、回転軸受支持部１３ａにより、回転軸受本体部１３ｂの回転軸周りに自在に回転可能となっている。このような構成により、ヨーイング方向の位置補正のために、中央のガイド２に対して搬送テーブル３が回転しても、その回転を回転軸受部１３により吸収することができて、軸受部１２Ｂは影響を受けないようにすることができる。
【００４６】
なお、このとき、中央のガイド２の歪みによって生じるヨーイングについて、その回転ズレについては前述のように左右２つの駆動部９と不図示の制御機構で補正することが出来る。
【００４７】
なお、駆動部９はリニアスケール等の自己位置把握機能を有するのが良く、リニアスケールで把握した位置に従ってインクを吐出することにより、印刷対象物６に対して正確に液滴を塗布することが出来る。
【００４８】
なお、リニアスケール等の自己位置把握機能が温度変化によって伸縮する恐れがある場合は、それぞれのリニアスケール値を正確に校正できるように各リニアスケール近傍にレーザ測長器を設置しておき、走査の度にレーザ測長の測定結果と照合し、測定結果に基づいて、自己位置補正を行うのが良い。
【００４９】
なお、その場合、走査時にリアルタイムで補正するのでも良いが、熱変形が、時間的に緩やかにしか変化しない場合は、１回前の走査時の測定結果に基づいて次の走査時の補正を行うのでも良い。また、レーザビームの経路へ一定温度に温調された空気を流すことで、より正確に校正ができる。
【００５０】
ここで、一例として、搬送テーブル３の構成を図５に示す。図５の搬送テーブル３は、主走査方向４１に３列、副走査方向４２に３列の計９個の軸受部１２Ａが搬送テーブル３の裏面に配置される構成としている。
【００５１】
ところで、搬送テーブル３では、可動部重量の軽量化という理由で、搬送テーブル３の厚さを薄くしたい要望がある。
【００５２】
この要望に応えるべく、前記した図５の搬送テーブル３の厚さを単に薄くした薄型の搬送テーブル７３では、図６Ａ及び図６Ｂに示すように、搬送テーブル７３が幅方向（すなわち副走査方向４２）沿いに波打ってしまい、搬送テーブル７３が下向きに垂れることになる。具体的には、図６Ａは、搬送テーブル７３の厚さが薄いため、幅方向（すなわち、図６Ａの左右方向すなわち副走査方向４２）の３ヶ所の軸受部１２Ａで支持していない部分で、搬送テーブル７３が垂れてしまう場合のインクジェット装置を正面から見た模式図である。図６Ａにおいて、符号７３は、厚さを薄くした薄型の搬送テーブルを示し、符号７４は、厚さを薄くした薄型の搬送テーブル７３の周辺部を楕円形の領域として点線で示している。図６Ｂは、薄型の搬送テーブル７３のインクジェット装置の搬送テーブル７３の変形状態を説明するための模式図である。搬送テーブル７３の幅方向の３ヶ所の軸受部１２Ａで支持していない部分では、搬送テーブル７３が下向きに垂れてしまっている。
【００５３】
このような不具合を防止するためには、軸受部１２Ａの配置を増やして配置間隔を小さくすればよい。図７は、薄型の搬送テーブル７３の垂れを抑えるための軸受部１２Ａの配置例を示す図である。図７では、一例として、軸受部１２Ａは、主走査方向４１に５列、副走査方向４２に５列の計２５個が搬送テーブル７３の裏面に配置される構成としている。これにより、図５の搬送テーブル３よりも、軸受部１２Ａと軸受部１２Ａとの間隔を小さくすることができて、搬送テーブル７３が下向きに垂れることを防止することができる。
【００５４】
次に、図１Ｃ及び図３を用いて、基台部１とガイド２との構成について説明する。
【００５５】
図１Ｃは図１ＡのＸ―Ｘ線の矢視から見た断面図である。図１Ｃに示すように、基台部１は、ガイド２の主走査方向４１における所定位置、例えば中央部に位置する。基台部１は、主基準基台１ａと、１つ以上の準基準基台１ｃとで少なくとも構成される。
【００５６】
一例として、図１Ｃでは、主走査方向４１において、中央部に主基準基台１ａが配置され、両端近傍に準基準基台１ｃが配置されている。
【００５７】
一例として、主基準基台１ａは第１分割基台として機能し、準基準基台１ｃは第２分割基台として機能する。
【００５８】
主基準基台１ａは、ガイド２と同一材料で構成され、上面を高精度に加工をされている。準基準基台１ｃも、主基準基台１ａと同一材料で構成され、主走査方向４１において主基準基台１ａとは離れて配置され、詳細は後述するが、主基準基台１ａと準基準基台１ｃとの上面の高さには段差９０を設けている。
【００５９】
本構成においては、一例として、主基準基台１ａ及び準基準基台１ｃはそれぞれ石材料で構成する。石材料の例としては御影石である。
【００６０】
なお、主基準基台１ａ及び準基準基台１ｃは、それぞれ、概略直方体から成る構成として、軽量化のために所望の空洞部を設ける。準基準基台１ｃは、一例として、副走査方向４２に細長い概略直方体でガイド２を支持する上面の平面度は、主基準基台１ａと同等の高精度とする。
【００６１】
なお、一例として、平面度が要求されるガイド２についても、石材料を用いる構成とする。
【００６２】
主基準基台１ａの上面でガイド２を直接的に支持するとともに、準基準基台１ｃの上面でも、ガイド２を直接的に支持している。
【００６３】
よって、ガイド２、例えば、複数の分割ガイド部材２ａ，２ｂのそれぞれは、主基準基台１ａの上面と、準基準基台１ｃの上面とで支持されている。
【００６４】
なお、準基準基台１ｃの上面で複数の分割ガイド部材２ａ又は２ｂを支持するとき、準基準基台１ｃの上面を高精度の平面にすることと、図１Ｃと図１Ｂとに示すように準基準基台１ｃの下に高さ調整部８を副走査方向４２の方向に複数（例えば２ヶ所）配置し、複数の高さ調整部８の上面で準基準基台１ｃを支持することとにより、準基準基台１ｃ上に並べられた複数の分割ガイド部材２ａ又は２ｂの高さを精度良く調整できるようにしている。
【００６５】
主基準基台１ａとガイド２とは、同じ石材料を用いているため、熱変形によってひずみが生じる恐れも少なく、また、平面が高精度に担保された主基準基台１ａに、ガイド２を強固に締結させることでガイド２の平面度も高精度に保たれる。このため、主基準基台１ａとガイド２とは、一例として、ねじを介して締結する。なお、主基準基台１ａと同じく平面度が高精度に担保された準基準基台１ｃとガイド２とについても、ガイド２の副走査方向４２への蛇行を防止し、かつ高さ方向（すなわち、鉛直方向）の精度を出しやすくするため、準基準基台１ｃとガイド２とは、一例として、ねじを介して締結する構成とする。
【００６６】
図３は、基台１とガイド２とについて、印刷対象物６の主面方向から表した平面図、すなわち鉛直方向の下向きに見た図である。
【００６７】
ガイド２は、主走査方向４１沿いに準基準基台１ｃと主基準基台１ａと準基準基台１ｃとを跨ぐように設置され、ガイド２の自重は、準基準基台１ｃと、主基準基台１ａと、準基準基台１ｃとに支持されている。一例として、ガイド２は、主走査方向４１沿いに準基準基台１ｃと主基準基台１ａと準基準基台１ｃとを跨ぐように延在しかつ互いに平行な複数個のレール状のガイド部材２ｃで構成することができる。なお、この実施の形態１では、基台部１として、主基準基台１ａと、主走査方向４１に主基準基台１ａと距離を離して配置した準基準基台１ｃとで、ガイド２を直接支持する構成としている。
【００６８】
なお、以下の説明において、図３に示すように、主基準基台１ａの鉛直方向の上方の領域を第１領域Ａとし、第１領域Ａ以外の第１領域Ａの主走査方向４１の両側のそれぞれの領域を第２領域Ｂとする。
【００６９】
なお、本構成では、ガイド２は、副走査方向４２において間隔をあけて３列、互いに平行に並べるガイド部材２ｃで構成している。これらの３列のガイド部材２ｃの上面高さは、少なくとも第１領域Ａ内においては極力同一とし、準基準基台１ｃ上においては、副走査方向４２に対して３列のガイド部材２ｃの上面高さを極力同一にするのが望ましい。
【００７０】
さらに、本構成では、主基準基台１ａの上面の高さと、主基準基台１ａと距離を離して配置した準基準基台１ｃの上面の高さとに段差９０を設けて、主基準基台１ａ上のガイド部材２ｃの上面に対して、準基準基台１ｃ上のガイド部材２ｃの上面の高さを、高く、もしくは低くする。
【００７１】
つまり、準基準基台１ｃの上面と、主基準基台１ａの上面とを、副走査方向４２の方向については、平行にして、主走査方向４１に対しては段差９０を設ける。
【００７２】
基台１をこのように構成することで、主基準基台１ａと準基準基台１ｃとに跨るように設置したガイド部材２ｃを、主走査方向４１沿いに上向き凸又は下向き凸に湾曲させる。
前記した本発明の効果を奏するためには、主基準基台１ａと準基準基台１ｃとの段差９０の範囲は、少なくとも０．１ｍｍ以上でかつ、湾曲によってガイドに加わる最大応力が許容応力以内である必要があり、例えば最大でも３ｍｍ以下の寸法とする。
【００７３】
すなわち、ガイド部材２ｃを、主基準基台１ａと、主基準基台１ａと離れた場所に設けた主基準基台１ａと高さの異なる準基準基台１ｃとによって支持することで、ガイド部材２ｃを鉛直面に対して湾曲した形状、例えばなだらかな曲線を描く形状、で支持することが出来る。このような具体的な形状の一例としては、上向き凸又は下向き凸に湾曲した形状として例示することができる。
【００７４】
以上のように、基台部１とガイド２とを構成することで、ガイド２の上面に沿って軸受部１２を介して搬送される搬送テーブル３は、第１領域Ａ内においては平面状になり、第１領域Ａ以外の第２領域Ｂにおいては、搬送テーブル３を主走査方向４１に沿って鉛直面に対して湾曲した形状３０（図１Ｃ参照）にすることができる。
【００７５】
その湾曲形状を図４に詳しく示す。図４は、搬送テーブル３を第２領域Ｂに搬送したときの搬送テーブル３の湾曲形状を示す図である。
【００７６】
図４の中の点線で示した３１の形状は、比較のために示した、搬送テーブル３の湾曲していない状態の形状を示している。搬送テーブル３が第１領域Ａ内に搬送されると、３１の形状になる。これに対して、図４の中の実線で示した１３１は、搬送テーブル３の湾曲した状態の形状を示している。５０は搬送テーブル３の主走査方向４１の主基準基台１ａ側の端部の副走査方向４２沿いの直線状態を示す矢印である。５１は矢印５０と反対側すなわち準基準基台１ｃ側の端部の副走査方向４２沿いの直線状態を示す矢印である。５２、５３は搬送テーブル３の主走査方向４１に沿った方向の湾曲形状を示す矢印である。本構成では、主基準基台１ａの上面と、準基準基台１ｃの上面とが副走査方向４２には平行であるので、図４の矢印５０と矢印５１とは平行になり、主基準基台１ａの上面と準基準基台１ｃの上面との鉛直方向４３に段差９０を設けてあるので、図４の矢印５２、５３は、主走査方向４１に沿った方向に下向き凸の湾曲形状となる。つまり、本構成にすることで、第２領域Ｂにおいて、符号３０（図１Ｃ参照）で示すように、搬送テーブル３を主走査方向４１の１つの方向に対してだけ湾曲させることができる。
【００７７】
これに対して、比較例として、準基準基台１ｃを設けず、ガイド２も湾曲させない場合について、図１１Ａ〜図１２Ｂに基づいて説明する。図１１Ａは、比較例のインクジェット装置１１０を上面から見た模式図である。図１１Ｂは、図１１ＡのＹ−Ｙ方向から見た矢視図で、図１１Ｃは図１１ＡのＸ−Ｘ方向の断面図である。
【００７８】
比較例の基台部１０１は、床面２１上に高さ調整部８を介してフレーム部７を配置し、フレーム部７上の中央部に高さ調整部８を介して主基準基台１１１ａを配置し、主基準基台１１１ａの主走査方向４１の隣接部に補助基台１１１ｂを配置し、補助基台１１１ｂの上部に複数の高さ調整部８を配置して構成されている。
【００７９】
ガイド２は、主基準基台１１１ａの上面と補助基台１１１ｂの上面とに配置された複数の高さ調整部８によって支持され、複数の高さ調整部８を調整して、ガイド２の上面が平面になるように設置されている。
【００８０】
主基準基台１１１ａは石材料で構成し、補助基台１１１ｂは、熱変形が大きく加工精度が出しづらいが、軽量化が容易でかつ安価である鋼材で構成している。
【００８１】
この比較例の場合に、熱によって補助基台１１１ｂが変形を起こした場合の問題点を図１２Ａ、図１２Ｂで説明する。
【００８２】
図１２Ａは補助基台１１１ｂが熱変形した場合のインクジェット装置１１０の正面図、図１２Ｂは図１２Ａで搬送テーブル３を第２領域Ｂに搬送した時の変形状態の詳細を示す図である。６０は搬送テーブル３の主走査方向４１の主基準基台１１１ａ側の端部の副走査方向４２沿いの変形状態を示す矢印である。６１は矢印６０と反対側すなわち補助基台１１１ｂ側の端部の副走査方向４２沿いの変形状態を示す矢印である。６２、６３は搬送テーブル３の主走査方向４１に沿った方向の形状を示す矢印である。
【００８３】
比較例では、ガイド２の主走査方向４１の中央部以外は、熱変形の大きい補助基台１１１ｂで支持されている。このため、補助基台１１１ｂに熱変形が生じた場合に、ガイド２を構成する３本のガイド部材２ｃは、図１２Ａのように補助基台１１１ｂの上部で高さが揃わず、３本のガイド部材２ｃで構成される上面の平面性が損なわれる。その結果、ガイド２の上面に沿って軸受部１２を介して搬送される搬送テーブル３は、図１２Ｂのように、主基準基台１１１ａ側の端部では矢印６０に示すように直線に近い形状となるが、反対側のガイド２の先端側は矢印６１に示すように大きく湾曲する。その結果、搬送テーブル３全体は、副走査方向４２方向に湾曲するために、主走査方向４１の曲げ（ピッチング方向の曲げ）に対する断面２次モーメントが大きくなって、主走査方向４１に曲がりにくくなり（ピッチング方向に曲がりにくくなり）、主走査方向４１に沿った方向には、矢印６２、６３のように直線的になってしまう。そのため、搬送テーブル３が第１領域Ａに進入しても、搬送テーブル３の全面が第１領域Ａ内に全て入るまでは、主基準基台１１１ａの上面に倣って平面にはならない。
【００８４】
なお、比較例の補助基台１１１ｂの変形の例として熱変形で説明したが、実際には、熱変形に限らず、精度の出しにくい鋼材で製作した補助基台１１１ｂの上面に高さ調整部８を複数個並べて平面調整しようとすると、副走査方向４２に対して３本のガイド部材２ｃの高さを高精度に合わせることは極めて困難で、その調整誤差によっても、３本のガイドの高さの差が発生して、同様の問題が生じる。
【００８５】
この比較例に対して、本実施の形態１では、ガイド２の両端部を高精度に平面度を担保した剛性の高い準基準基台１ｃの上面で支持し、準基準基台１ｃと主基準基台１ａとの段差９０を設けることで、ガイド２を構成する３本のガイド部材２ｃは、主基準基台１ａ上で高さを揃えることが出来るとともに、ガイド２の両端部でも、３本のガイド部材２ｃの副走査方向４２に対する高さを揃えることができる。このため、第２領域Ｂにおいて、ガイド部材２ｃを主走査方向４１に沿ってのみ湾曲させることができる。その結果、ガイド２の上面に沿う形で搬送される搬送テーブル３は、第２領域Ｂにあるときに、主走査方向４１に対してのみ予め湾曲させておくことができるので、比較例と比べて、搬送テーブル３を主走査方向４１に対して（ピッチング方向に）曲がり易くできる。その結果、搬送テーブル３が第２領域Ｂから第１領域Ａ内に進入してくるに従って、搬送テーブル３の進入完了部分を、第１領域Ａ内のガイド２の平面に順次倣わせることが出来る。
【００８６】
なお、本実施の形態１の一例として、主基準基台１ａの主走査方向４１の長さを４ｍ、主基準基台１ａ〜１ｃを含む基台部１の主走査方向４１の長さを１３ｍ、準基準基台１ｃの主走査方向４１の長さは０．３ｍ、主基準基台１ａと準基準基台１ｃとの段差９０は、０．５ｍｍとする。
【００８７】
なお、各ガイド部材２ｃは、主走査方向４１において一つの部材で構成されるのが望ましいが、例えば、印刷対象物のサイズがＧ８（すなわち、２２００ｍｍ  ｘ  ２４００ｍｍ）以上のように印刷対象物のサイズが大きい場合、ガイド部材２ｃが長尺となるために材料調達及び加工が困難となる。このため、ガイド部材２ｃとしては、複数のレール状の分割ガイド部材２ａ，２ｂを主走査方向４１沿いに連結して用いるのが良い。
【００８８】
本構成では、一例として、ガイド部材２ｃの必要長さが１２．５ｍであり、１つの部材で加工することが困難なため、３本のガイド部材２ｃは、それぞれ主走査方向４１において２つの分割ガイド部材２ａ，２ｂで構成するようにしている。
【００８９】
その際、分割ガイド部材２ａ，２ｂの継目１４が生じるが、継目１４は、第１領域Ａ内にあるのが望ましい。そのように構成することで、継目１４において段差が生じにくい構成とすることができる。すなわち、ガイド部材２ａ，２ｂは、同時加工等で概略同一高さに加工できるため、継目１４で段差が生じやすいか否かは、ガイド部材２ａ，２ｂを受ける基台１の平面度により大きな影響を受ける。第１領域Ａ内では、基台部１の平面度を高くできるので、継目１４で段差が生じにくくなる。
【００９０】
なお、複数の継目１４の主走査方向４１における位置座標は、主走査方向４１において互いに異なる位置に配置するのが良い。そのように構成することで、複数の軸受部１２が主走査方向４１沿いに同時に継目１４を通過することを避けて、搬送テーブル３の振動を抑制することができる。
【００９１】
なお、継目１４は、ガイド２の材料よりも縦弾性係数の小さい封入材の材料により主走査方向４１の隙間が埋められており、封入材は、継目１４におけるガイド部材２ｃの上面よりも低い位置に配置されることが望ましい。そのように構成することで、軸受部１２から噴出された空気が、継目１４における隙間より漏れて、搬送テーブル３の振動源になることを防止することが出来る。封入材の一例としてはワックスである。
【００９２】
このように前記実施の形態１によれば、主基準基台１ａと準基準基台１ｃとの上面の高さには段差９０を設け、ガイド２の主走査方向４１における第１分割基台１ａの鉛直方向の上方の領域を第１領域Ａとし、ガイド２が両側の第２分割基台１ｃに支持されかつガイド２の主走査方向４１における第１領域Ａ以外の領域をそれぞれ第２領域Ｂとするとき、搬送テーブル３が、一方の第２領域Ｂから第１領域Ａ、第１領域Ａの更に反対側の他方の第２領域Ｂに亘って走行し、かつ、搬送テーブル３の第２領域Ｂ内での主走査方向４１の変形量が、搬送テーブル３の第１領域Ａ内での主走査方向４１の変形量より大きくなるように構成している。このような構成とすることで、搬送テーブル３は、第２領域Ｂにおいて主走査方向４１に予め湾曲することで主走査方向４１に曲がりやすくなり、搬送テーブル３が、ラインヘッド５を配置される下部の範囲、すなわち、第１領域Ａに進入するに伴って、搬送テーブル３の上面が、高精度な平面である主基準基台１ａで支持されたガイド２の高精度な上面に沿う形となる。このため、搬送テーブル３の上面は、高精度な平面度を保つことが出来る。
【００９３】
（実施の形態２）
実施の形態２については、実施の形態１と異なる部分について説明する。
【００９４】
図９Ａは、実施の形態２のインクジェット装置１０を上面から見た模式図である。図９Ｂは、図９ＡのＹ−Ｙ方向から見た矢視図である。図９Ｃは図９ＡのＸ−Ｘ方向の断面図である。
【００９５】
実施の形態２の実施の形態１との違いは、図９Ｃに示すように、主走査方向４１における基台部１を構成する主基準基台１ａと準基準基台１ｃとの間に、補助基台１ｂが配置され、補助基台１ｂとガイド２との間に複数の高さ調整部８が配置されていることである。
【００９６】
一例として、主基準基台１ａは第１分割基台として機能し、準基準基台１ｃは第２分割基台として機能し、補助基台１ｂは第３分割基台として機能する。
【００９７】
実施の形態２では、実施の形態１と同様に、主基準基台１ａと準基準基台１ｃとは、ガイド２と同一材料で構成され、上面を高精度に加工をされている。補助基台１ｂは、主基準基台１ａとは異なる材料で、ガイド２より剛性が低くなるように構成される。本構成においては、一例として、主基準基台１ａ及び準基準基台１ｃ、ガイド２は、それぞれ石材料で構成し、補助基台１ｂは、一例として、石材料よりも熱膨張係数が大きいため、熱変形も生じやすく、かつ加工精度が出しづらいが、軽量化が容易でかつ安価である鉄系材料、すなわち鋼材のフレーム構造とする。
【００９８】
実施の形態２では、実施の形態１と同様に、主基準基台１ａの上面でガイド２を直接的に支持するとともに、準基準基台１ｃの上面でも、ガイド２を直接的に支持している。
【００９９】
一方、補助基台１ｂは、補助基台１ｂの上面でガイド２を直接的に支持するのではなく、１個又は複数個の高さ調整部８を介して、主走査方向４１において不連続にガイド２を支持する構成とする。よって、ガイド２の複数のガイド部材２ｃのそれぞれは、主基準基台１ａの上面と、準基準基台１ｃの上面と、補助基台１ｂの上に設置された複数の高さ調整部８の上面とで支持されている。
【０１００】
そして、主基準基台１ａの上面の高さと準基準基台１ｃの上面の高さとを異ならせて構成し、さらに補助基台１ｂ上の高さ調整部８の上面の高さを、主基準基台１ａの上面の高さと準基準基台１ｃの上面の高さとの間を補間するように、すなわち、主基準基台１ａの上面の高さと準基準基台１ｃの上面の高さとの間の高さとなるように、高さ調整することで、ガイド２を緩やかに湾曲させるように構成している。
【０１０１】
なお、補助基台１ｂは、材料が異なることから主基準基台１ａ及び準基準基台１ｃよりも熱膨張率が大きいため、高さ方向に延びてガイド２を押し上げることが考えられるが、補助基台１ｂをガイド２よりも剛性を低くすることで、ガイド２を押し上げる作用を小さく抑えることができ、ガイド２の温度変化による湾曲形状の変化を小さく出来る。
【０１０２】
なお、補助基台１ｂとガイド２とでは構成材料が異なり、補助基台１ｂは、ガイド２よりも熱膨張率が大きい。このため、補助基台１ｂとガイド２とを、ねじ等を用いて移動不可に固定して完全拘束すると、補助基台１ｂの熱膨張によりガイド２にひずみが生じる恐れがある。そこで、補助基台１ｂとガイド２とは、ねじ等を用いて相対移動不可に固定する完全拘束を行うのでなく、ガイド２の自重を補助基台１ｂで支持して相対移動可能とする滑り拘束とするのが良い。すなわち、補助基台１ｂとガイド２とは、ねじ等で締結して全方向を拘束するのでなく、例えば高さ調整部８を補助基台１ｂにねじで互いに直交する主走査方向４１と副走査方向４２と鉛直方向４３との３方向の全方向を拘束して固定する一方、ガイド２は、高さ調整部８の上面上にねじ等を介さずに、ガイド２の自重を高さ調整部８の上面で単に支持するだけで、主走査方向４１沿いには相対移動可能な状態で支持する。このように構成することにより、高さ調整部８とガイド２との接触面同士は、互いにスライドが可能な状態としている。
【０１０３】
そのように構成することで、周囲の温度変化によって補助基台１ｂが伸縮した場合においても、補助基台１ｂとガイド２とが相対移動可能ゆえに、ガイド２にひずみが生じることを防止し、補助基台１ｂ側からガイド２にかかる負荷を軽減している。
【０１０４】
なお、補助基台１ｂの熱変形によってガイド２の上面の平面度が悪化することも考えられるが、そのような場合には、高さ調整部８にパッシブの受動型回転機構を持たせても良い。そのように構成することで、主に補助基台１ｂの熱変形によって補助基台１ｂとガイド２との対向面の角度が変わった場合でも、パッシブの回転機構により補助基台１ｂとガイド２との対向面の角度を変化させて追随させて、ガイド２にひずみが生じにくくすることができる。
【０１０５】
以上の通り、実施の形態２のように、主基準基台１ａと準基準基台１ｃとの間に、補助基台１ｂを配置し、補助基台１ｂの上部に複数の高さ調整部８を配置する構成にすることによって、ガイド２の支持点の間隔を小さく出来て、実施の形態１のように主基準基台１ａと準基準基台１ｃのみで支持する場合に比べて、ガイド部材２ｃの高さを低くすることが出来き、ガイド部材２ｃのサイズを小さくすることができる。
【０１０６】
よって、軽量化及びコストダウンを目的として、例えば主基準基台１ａと準基準基台１ｃとは、高精度な加工が行いやすい石材料を用いる構成とし、補助基台１ｂには、軽量化及びコストダウンが行いやすい鉄系材料を用いる構成としつつ、第１領域Ａ内においては、搬送テーブル３の上面の平面度を高精度に保つことができる。
【０１０７】
なお、本実施の形態２では、基台部１をフレーム部７の上に主基準基台１ａと準基準基台１ｃと補助基台１ｂとを搭載する構成としたが、図１３Ａのように、フレーム部７に補助基台１ｂに相当する上向きに突出した段７ｂを設けて、補助基台１ｂを無くしても良く、必要に応じて準基準基台１ｃの外側にも、高さ調整部８を配置しても良い。
【０１０８】
なお、図１３Ｂに示すように、フレーム部７を用いずに、高さ調整部８を介して基台部１を直接保持する構成としても良い。
【０１０９】
（実施の形態３）
実施の形態３について、実施の形態２と異なる部分について説明する。
【０１１０】
図１０Ａは実施の形態３のインクジェット装置１０を上面から見た模式図である。図１０Ｂは図１０ＡのＹ−Ｙ方向から見た矢視図である。図１０Ｃは図１０ＡのＸ−Ｘ方向の断面図である。
【０１１１】
実施の形態３の実施の形態２との違いは、図１０Ａ、図１０Ｂ、図１０Ｃに示すように、ガントリー４とラインヘッド５との間にガイド４４及び駆動部４５を備えて、ガントリー４に対して、ラインヘッド５を副走査方向４２に相対移動できるように構成されていることである。なお、ラインヘッド５は不図示のラインヘッド位置検出手段と制御手段によって、ガントリー４上を副走査方向４２に、搬送テーブル３の動きと同期して精密に移動できるように構成されている。
【０１１２】
前記の構成にすることによって、ガイド２の真直性が完全な直線ではなく、印刷対象物６がガントリー４の下を通過する際に、印刷対象物６がガントリー４に対して副走査方向４２に位置ズレを起こす場合であっても、そのズレに追従するようにラインヘッド５を移動させながら、ラインヘッド５からインクを吐出することによって、印刷対象物６に対して一直線状に印刷することが出来る。
【０１１３】
（実施の形態１〜３）
以上の実施の形態１〜３の構成によって、基台部１を構成する部材のうち、石材料等の高精度な加工を行いやすい材料を用いることが望ましい主基準基台１ａ及び準基準基台１ｃのサイズを最小限に抑制しつつ、インクジェット等でプロセス処理を行うために走行精度が必要な範囲においては、印刷対象物６を高精度で搬送することができる。そのため、重量、コスト、及び搬送等についての問題を解消することができる。
【０１１４】
なお、インクジェット装置１０に限らず、大型の処理対象物に何らかのプロセス処理を行う装置において、本実施の形態１〜３の搬送ステージを活用することで、インクジェット装置の場合と同様の効果が得られる。
【０１１５】
従って、前記実施の形態１〜３によれば、例えばガイド２の主走査方向４１の中央部に主基準基台１ａを配置し、ガイド２の両端近傍に準基準基台１ｃを主基準基台１ａと高さを変えて配置することで、第２領域Ｂ内におけるガイド２を主走査方向４１に沿って湾曲させ、その上に軸受部１２を介して搬送する搬送テーブル３を第２領域Ｂ内で予め主走査方向４１に沿って湾曲させておくことによって、主走査方向４１に湾曲して変形しやすくなるように構成している。
【０１１６】
言い換えれば、前記構成により、第２領域Ｂにおいて、搬送テーブル３を予めピッチング方向に湾曲させておくことで、搬送テーブル３のローリング方向の曲げ剛性よりもピッチング方向の曲げ剛性を小さくすることで、ガイド部材２ｃの主走査方向４１の撓みに対して追従しやすくしている。
【０１１７】
よって、ラインヘッド５などの処理部で所定の処理を実施する第１領域Ａの主基準基台１ａのサイズを必要最小限に抑制しつつ、処理範囲における移動精度を担保することができる。
【０１１８】
すなわち、長尺で高精度な搬送を要求される搬送ステージ２０において、石材料等の高精度な加工を必要とする材料で構成される主基準基台１ａ及び準基準基台１ｃを最小限のサイズに抑え、主基準基台１ａと準基準基台１ｃとで段差９０を設けて、ガイド２の中央部と両端部とを支持する構成にすることで、装置のコストダウン及び調達容易化及び軽量化を実現することができる。そのため、例えば、大型の印刷対象物に対して一度の搬送でラインヘッド５からインクを高精度に塗布するインクジェット装置１０のコストダウンを図ることができ、それにより、印刷対象物６の生産効率を向上させることができる。
【０１１９】
なお、実施の形態１〜３では、搬送テーブル３の上面で印刷対象物６を保持する構成としているが、搬送テーブル３と印刷対象物を保持するテーブルが別部材であっても、搬送テーブルと共に同様に変形できる構成であれば、印刷対象物を保持するテーブルが搬送テーブル３の上に配置される構成であっても構わない。
【０１２０】
なお、前記様々な実施の形態又は変形例のうちの任意の実施の形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施の形態同士の組み合わせ又は実施例同士の組み合わせ又は実施の形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施の形態又は実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
【産業上の利用可能性】
【０１２１】
本発明の前記態様にかかる搬送ステージとそれを使用したインクジェット装置は、大型の印刷対象物にインク等を塗布する装置に有効であり、有機ＥＬの発光体、ホール輸送層、又は電子輸送層の印刷、又は、カラーフィルターの印刷等で、大型の印刷対象物に効率良くインク等の材料を塗布する装置に適用することができる。
【符号の説明】
【０１２２】
１  基台部
１ａ  主基準基台
１ｂ  補助基台
１ｃ  準基準基台
２  ガイド
２ａ、２ｂ  レール状の分割ガイド部材
２ｃ  レール状のガイド部材
３  搬送テーブル
４  ガントリー
５  ラインヘッド
６  印刷対象物
７  フレーム部
７ｂ  上向きに突出した段
８  高さ調整部
９  駆動部
１０  インクジェット装置
１２Ａ  ガイド２の上面で支持する軸受部
１２Ｂ  ガイド２の側面で支持する軸受部
１３  回転軸受部
１３ａ  回転軸受支持部
１３ｂ  回転軸受本体部
１４  継目
１８  くさび機構
２０  搬送ステージ
２１  床面
３０  第２領域Ｂでの搬送テーブルの主走査方向に沿って鉛直面に対して湾曲した状態の形状
３１  第１領域Ａでの搬送テーブルの湾曲していない状態の形状
４１  主走査方向
４２  副走査方向
４３  上下方向
４４  ガイド
４５  駆動部
５０〜５３  搬送テーブルの変形形状を示す矢印
６０〜６３  比較例の搬送テーブルの変形形状を示す矢印
７３  厚さを薄くした搬送テーブル
７４  厚さを薄くした搬送テーブル周辺部の範囲を示すための囲い
９０  段差
１０１  比較例の基台部
１１０  比較例のインクジェット装置
１１１ａ  主基準基台
１１１ｂ  補助基台
１３１  第１領域Ａでの搬送テーブルの湾曲した状態の形状
Ａ  第１領域
Ｂ  第２領域
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１０Ｃ】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１１Ｃ】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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