(57)【要約】【課題】  外部からの振動の影響を抑えて耐振動性を向上させ、位相雑音特性を良好にできる振動素子用の台座、振動子及び発振器を提供する。【解決手段】  水晶片等の振動素子を搭載する搭載部１１と、パッケージ３の基板に接続する複数の接続部１２と、搭載部１１の周囲に隙間部１４を隔てて配置され、複数の接続部１２を連結する外枠部１３と、搭載部１１の一辺と、外枠部１３又は接続部１２の一辺とを接続する複数のアーム部１５とを備え、接続部１２は、外枠部１３より厚みが厚く形成され、搭載部１１は、外枠部１３より厚みが薄く形成され、アーム部１５は、搭載部１１より厚みが薄く形成されている台座であり、それを備えた振動子及び発振器である。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動素子を搭載する振動素子用の台座であって、
表面に振動素子が搭載される矩形形状の搭載部と、
パッケージの基板に接続する複数の接続部と、
前記搭載部の周囲に隙間を隔てて配置され、前記複数の接続部を連結する外枠部と、
前記搭載部の一辺と、前記外枠部又は前記接続部の一辺とを接続する複数のアーム部とを備え、
前記接続部が、前記外枠部よりも厚みが厚く形成され、
前記搭載部が、前記外枠部よりも厚みが薄く形成され、
前記アーム部が、前記搭載部よりも厚みが薄く形成されていることを特徴とする台座。
【請求項２】
アーム部は、略Ｓ字形状に形成され、外枠部又は接続部の一辺と前記一辺に対向する搭載部の一辺の端部とを接続し、前記一辺の各端部に対応して４本設けられていることを特徴とする請求項１記載の台座。
【請求項３】
アーム部は、略Ｓ字形状に形成され、接続部の一辺と当該一辺に対向する搭載部の一辺とを接続し、２本設けられていることを特徴とする請求項１記載の台座。
【請求項４】
アーム部は、略Ｓ字形状に形成され、接続部の一辺と当該一辺に対向する搭載部の一辺とを接続する２本と、外枠部の一辺と当該一辺に対向する搭載部の一辺とを接続する２本とを備えたことを特徴とする請求項１記載の台座。
【請求項５】
アーム部は、略Ｓ字形状に形成され、接続部の一辺と当該一辺に対向する搭載部の一辺に隣接する一辺とを接続する２本と、外枠部の一辺と当該一辺に対向する搭載部の一辺に隣接する一辺とを接続する２本とを備えたことを特徴とする請求項１記載の台座。
【請求項６】
アーム部は、外枠部又は接続部の一辺と前記一辺に対向する搭載部の一辺とを一定の角度で斜めに接続し、直線形状に形成され、前記搭載部の各辺に対応して４本設けられていることを特徴とする請求項１記載の台座。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか記載の台座に振動素子を搭載し、パッケージ内に設置したことを特徴とする振動子。
【請求項８】
請求項１乃至６のいずれか記載の台座に振動素子を搭載して、パッケージ表面凹部に設置し、前記パッケージの裏面凹部に発振回路を搭載したことを特徴とする発振器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動素子を搭載する台座に係り、特に、外部からの振動への耐性を向上させ、位相雑音特性を良好にできる振動素子用の台座、振動子及び発振器に関する。
【背景技術】
【０００２】
［従来の技術］
従来の水晶振動子では、パッケージ及びパッケージ外部からの水晶片に与える影響を抑制する構成として、主に水晶から成る台座（水晶台座）を用いる構成が知られている。
また、パッケージを表裏に凹部が形成されたＨ構造とし、表側に水晶片と水晶台座を搭載し、裏面に発振回路のＩＣ（Integrated Circuit）を搭載した水晶発振器がある。
また、パッケージの表面又は裏面に温度補償回路を設けた温度補償型水晶発振器（ＴＣＸＯ：Temperature Compensated Crystal Oscillator）がある。
【０００３】
［関連技術］
尚、関連する先行技術として、特許第３０１７７５０号公報「水晶振動子」（特許文献１）、特許第４７１５２５２号公報「圧電振動子」（特許文献２）、特開２０１３−０９８６７８号公報「水晶振動子」（特許文献３）がある。
【０００４】
特許文献１には、保持用水晶板に振動子用水晶片を搭載する位置に凹部を形成し、その凹部によって形成される隙間で振動子用水晶片を確実に励振させ、振動子用水晶片の長手方向での熱によるストレスを発生させない水晶振動子が示されている。
【０００５】
特許文献２には、基板における熱膨張の影響を小さくするために、隙間を有するスプリング部を備える圧電振動子が示されている。
特許文献３には、温度変化に伴う水晶片の変形を防ぎ、良好な周波数温度特性が得られる構成の水晶振動子が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第３０１７７５０号公報
【特許文献２】特許第４７１５２５２号公報
【特許文献３】特開２０１３−０９８６７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の水晶振動子又は水晶発振器における水晶台座では、外部からの振動が水晶片に影響してしまい、その振動によって位相雑音特性が劣化するという問題点があった。
【０００８】
本発明は上記実情に鑑みて為されたもので、外部からの振動の影響を抑えて耐振動特性を向上させ、位相雑音特性を良好にできる振動素子用の台座、振動子及び発振器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記従来例の問題点を解決するための本発明は、振動素子を搭載する振動素子用の台座であって、表面に振動素子が搭載される矩形形状の搭載部と、パッケージの基板に接続する複数の接続部と、搭載部の周囲に隙間を隔てて配置され、複数の接続部を連結する外枠部と、搭載部の一辺と、外枠部又は前記接続部の一辺とを接続する複数のアーム部とを備え、接続部が、外枠部よりも厚みが厚く形成され、搭載部が、外枠部よりも厚みが薄く形成され、アーム部が、搭載部よりも厚みが薄く形成されていることを特徴としている。
【００１０】
また、本発明は、上記台座において、アーム部は、略Ｓ字形状に形成され、外枠部又は接続部の一辺と前記一辺に対向する搭載部の一辺の端部とを接続し、前記一辺の各端部に対応して４本設けられていることを特徴としている。
【００１１】
また、本発明は、上記台座において、アーム部は、略Ｓ字形状に形成され、接続部の一辺と当該一辺に対向する搭載部の一辺とを接続し、２本設けられていることを特徴としている。
【００１２】
また、本発明は、上記台座において、アーム部は、略Ｓ字形状に形成され、接続部の一辺と当該一辺に対向する搭載部の一辺とを接続する２本と、外枠部の一辺と当該一辺に対向する搭載部の一辺とを接続する２本とを備えたことを特徴としている。
【００１３】
また、本発明は、上記台座において、アーム部は、略Ｓ字形状に形成され、接続部の一辺と当該一辺に対向する搭載部の一辺に隣接する一辺とを接続する２本と、外枠部の一辺と当該一辺に対向する搭載部の一辺に隣接する一辺とを接続する２本とを備えたことを特徴としている。
【００１４】
また、本発明は、上記台座において、アーム部は、外枠部又は接続部の一辺と当該一辺に対向する搭載部の一辺とを一定の角度で斜めに接続し、直線形状に形成され、搭載部の各辺に対応して４本設けられていることを特徴とする請求項１記載の台座。
【００１５】
また、本発明は、振動子であって、上記いずれか記載の台座に振動素子を搭載し、パッケージ内に設置したことを特徴としている。
【００１６】
また、本発明は、発振器であって、上記いずれか記載の台座に振動素子を搭載して、パッケージ表面凹部に設置し、前記パッケージの裏面凹部に発振回路を搭載したことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、振動素子を搭載する振動素子用の台座であって、振動素子を搭載する振動素子用の台座であって、表面に振動素子が搭載される矩形形状の搭載部と、パッケージの基板に接続する複数の接続部と、搭載部の周囲に隙間を隔てて配置され、複数の接続部を連結する外枠部と、搭載部の一辺と、外枠部又は前記接続部の一辺とを接続する複数のアーム部とを備え、接続部が、外枠部よりも厚みが厚く形成され、搭載部が、外枠部よりも厚みが薄く形成され、アーム部が、搭載部よりも厚みが薄く形成されている台座としているので、外部からの振動が端子部に伝達されたとしても、変形の自由度が大きいアーム部で吸収して、搭載部への影響を小さくでき、位相雑音特性を良好にできる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１の台座の構成を示す説明図である。
【図２】第１の台座を用いた水晶振動子の断面構成図である。
【図３】第１の台座の別の構成（別の第１の台座）を示す説明図である。
【図４】第２の台座の構成を示す説明図である。
【図５】第３の台座の構成を示す説明図である。
【図６】第４の台座の構成を示す説明図である。
【図７】第５の台座の構成を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
［実施の形態の概要］
本発明の実施の形態に係る台座（本台座）は、水晶片等の振動素子を搭載する矩形形状の搭載部と、パッケージの基板に接続する複数の接続部と、搭載部の周囲に隙間を隔てて配置され、複数の接続部を連結する外枠部と、搭載部の一辺と、外枠部又は接続部の一辺とを接続する複数のアーム部とを備え、接続部は、外枠部より厚みが厚く形成され、搭載部は、外枠部より厚みが薄く形成され、アーム部は搭載部より厚みが薄く形成されているものであり、外部からの振動が接続部に伝達されたとしても、外枠部及びアーム部で吸収して搭載部への影響を小さくし、位相雑音特性を良好にできるものである。
【００２０】
また、本発明の実施の形態に係る振動子は（本振動子）は、本台座に振動素子を搭載し、凹部を有するパッケージに本台座を設置したものである。
また、本発明の実施の形態に係る発振器（本発振器）は、本振動子のパッケージの裏面凹部等に発振回路を搭載したものである。
尚、本台座には、後述するように第１〜第５の台座がある。
【００２１】
［第１の台座：図１］
次に、本発明の実施の形態に係る第１の台座（第１の台座）について図１を参照しながら説明する。図１は、第１の台座の構成を示す説明図であり、（ａ）は第１の台座に振動片を搭載した平面図であり、（ｂ）は、第１の台座に振動片を搭載した長辺側側面図である。
第１の台座１０は、図１に示すように、振動片（水晶片）２を搭載する矩形の搭載部１１と、搭載部１１の２つの長辺に沿って形成された２つの接続部１２ａ，１２ｂ（接続部１２）と、２つの接続部１２を連結して、搭載部１１の周囲を取り囲むよう形成された外枠部１３と、搭載部１１と外枠部１３とを接続する４本のアーム部１５ａ，１５ｂ,１５ｃ,１５ｄ（アーム部１５）とを備えている。
【００２２】
接続部１２及び外枠部１３と、搭載部１１とは、隙間部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ（隙間部１４）によって隔てられている。
隙間部１４は、搭載部１１の長辺に沿って形成された略コの字型の隙間部１４ａ，１４ｂと、搭載部１１の短辺に沿って形成され、２本のアーム部１５によって囲まれた盃型の隙間部１４ｃ，１４ｄとを備えている。
つまり、第１の台座１０は、外枠部１３及び接続部１２から成る囲いの内部に、搭載部１１が島状に配置され、アーム部１５によって搭載部１１が外枠部１３に接続された構成となっている。
【００２３】
搭載部１１には、水晶片２が導電性接着剤で固定されている。尚、図１（ｂ）では導電性接着剤は省略されている。
第１の台座１０は、例えば、耐熱プラスチック等の樹脂、ガラス、絶縁膜が表面にコーティングされた金属等の絶縁材料で形成される。
また、第１の台座１０は、振動片（水晶片）２と同様の水晶（水晶片２と同じＡＴカットやＺ板）により形成してもよい。その場合、台座１０と水晶片２の熱膨張係数は略等しく、温度変化に伴う応力は発生しない。
【００２４】
第１の台座１０の接続部１２ａ,１２ｂは、それぞれ、電極パターン１７ａ，１７ｂを備え、パッケージの基板に形成された金属パターンに電気的・物理的に接続するものであり、搭載部１１の両長辺に沿って設けられている。
【００２５】
そして、接続部１２は、外枠部１３に比べて厚みが厚く形成されている。また、搭載部１１は、外枠部１３に比べて厚みが薄く形成されている。アーム部１５は、搭載部１１より厚みが薄く形成されている。
つまり、第１の台座１０における各部の厚みは４段階であり、厚い方から順に、接続部１２＞外枠部１３＞搭載部１１＞アーム部１５となっている。
【００２６】
これにより、接続部１２をパッケージの基板に接触させて、第１の台座１０をパッケージに収納した状態において、外枠部１３及び搭載部１１は基板に接触しないものであり、基板からの振動の影響を受けにくくしている。
【００２７】
また、アーム部１５の幅を搭載部１１より狭くし、厚みを外枠部１３及び搭載部１１より薄くすることで、アーム部１５自身が撓んで変形しやすくなり、外部からの振動を吸収しやすくしているものである。
【００２８】
第１の台座１０の特徴部分であるアーム部１５は、図１に示すように、搭載部１１の１つの短辺と、外枠部１３の短辺とを接続するものであり、いずれも略Ｓ字形状（反転されたＳ字形状も含む）に形成されている。
アーム部１５を略Ｓ字形状に形成することにより、直線形状とした場合と比較してアーム部１５の長さを長くすることができ、外部からの振動を吸収しやすくするものである。
台座１０は、アーム部１５を含む各構成部分が一体で形成されるものであり、エッチングによって形成される。
【００２９】
このように、第１の台座１０では、接続部１２に外部からの振動が伝わったとしても、振動が外枠部１３及びアーム部１５に分散され、アーム部１５が変形して当該振動を吸収して、搭載部１１に振動が伝達されるのを防ぎ、水晶片２への影響を抑えて位相雑音特性を良好にすることができるものである。
更に、アーム部１５の接続位置を、搭載部１１の短辺中央付近ではなく、短辺両端の角部付近とすることにより、搭載される水晶片２への影響をできるだけ小さくしている。
【００３０】
次に、第１の台座１０の電極パターンについて説明する。
搭載部１１の一方の短辺側の角部に、電極パターン１７ａ，１７ｂが形成されており、電極パターン１７ａ，１７ｂは、導電性接着剤によって水晶片２の励振電極に接続する。
電極パターン１７ａは、アーム部１５ｄの表面、側面、底面に形成されて、更に外枠部１３の表面から接続部１２ａまで引き回され、接続部１２ａの表面、側面、底面に亘って形成されて、基板の電極に半田等で接続する。
アーム部１５の表面、側面、底面に金属パターンが形成されることにより、アーム部１５の構造的な強度が補強される。
同様に、電極パターン１７ｂは、アーム部１５ｃ、外枠部１３を介して、接続部１２ｂの表面、側面、底面に亘って形成されて、基板の電極に半田等で接続する。
尚、図１（ｂ）では、接続部１２の側面に形成された電極は省略している。
【００３１】
また、ここでは、第１の台座１０に搭載される振動素子として、ＡＴカットの水晶片２からなる水晶共振子を用いたが、例えば、表面弾性波（ＳＡＷ：Surface Acoustic Wave）共振子、その他の圧電振動子や微小電子機械システム（ＭＥＭＳ：Micro Electro Mechanical Systems）振動子等の発振素子（振動素子）を用いてもよい。
【００３２】
［本水晶振動子：図３］
次に、第１の台座を用いた水晶振動子について図２を用いて説明する。図２は、第１の台座を用いた水晶振動子の断面構成図である。
図２に示すように、本水晶振動子は、水晶片２が搭載された第１の台座１０が、パッケージ３の凹部底面となる基板に搭載されたものである。
具体的には、図２に示すように、本水晶振動子は、セラミック等で形成されたパッケージ３の凹部内部に、水晶片２を備えた第１の台座１０が搭載され、第１の台座１０の接続部１２がパッケージ３の基板に形成された金属パターンに半田６等によって接続されている。
【００３３】
また、パッケージ３の表面の周囲にはシームリング４が形成される。
シームリング４は、シーム封止を行うためにパッケージの表面周囲に銀（Ａｇ）ロウ等で形成される。
そして、パッケージ３の蓋となるリッド５が、シームリング４に接着するよう形成され、内部が封止される。リッド５は、コバールをニッケルメッキしたもの等が用いられる。
【００３４】
尚、図２では、パッケージ３として、表面側に凹部が形成されたものを示したが、裏面側にも凹部が形成され、断面が略Ｈ型の形状のものを用いてもよく、表面凹部に第１の台座１０及び水晶片２を収納して配置し、裏面凹部に発振回路を収容して搭載して、発振器を形成してもよい。
パッケージ３に第１の台座１０と発振回路を搭載する際には、半田６等で固定されるようになっている。
【００３５】
［第１の台座の別の構成：図３］
次に、第１の台座の別の構成について図３を用いて説明する。図３は、第１の台座の別の構成（別の第１の台座）を示す説明図であり、（ａ）は、別の第１の台座に振動片を搭載した平面図であり、（ｂ）は、別の第１の台座に振動片を搭載した長辺側側面図である。
図３に示すように、別の第１の台座１０′は、接続部１２ｃ，１２ｄ（接続部１２）を、台座本体の各短辺に設けた構成である。
その他の構成部分は、図１に示した第１の台座１０とほぼ同様であるが、電極パターン１７ｃ,１７ｄの形状及び位置が異なっている。
【００３６】
別の第１の台座１０′においては、アーム部１５の形状は第１の台座１０と同様であるが、外枠部１３ではなく、短辺側に設けられた接続部１２ｃ，１２ｄに接続されている。
別の台座１０′においても、接続部１２は外枠部１３より厚みが厚く形成され、搭載部１１は外枠部１３より薄く形成され、アーム部１５は搭載部１１よりも薄く形成されている。
これにより、別の第１の台座１０′が基板に設置された場合に、接続部１１以外の部分は、基板から浮いた状態となって外部からの振動を搭載部１１に伝わりにくくし、また、薄いアーム部１５によって振動を吸収しやすくするものである。
【００３７】
別の第１の台座１０′では、搭載部１１の対角に電極パターン１７ｃ,１７ｄが設けられ、導電性接着剤によって水晶片２の励振電極に接続される。
電極パターン１７ｃは、アーム部１５ａの表面、側面、底面に形成され、更に接続部１２ｃの表面、側面、裏面に亘って形成されて、基板の電極に半田等で接続する。
同様に、電極パターン１７ｄは、アーム部１５ｃ及び接続部１２ｄの表面、側面、裏面に亘って形成され、基板の電極に半田等で接続する。
【００３８】
［第１の台座及び別の第1の台座の効果］
第１の台座１０及び別の第１の台座の効果１０′によれば、水晶片２等の振動素子を搭載する搭載部１１と、パッケージ３の基板に接続する２つの接続部１２と、搭載部１１の周囲に隙間部１４を隔てて形成され、接続部１２を連結する外枠部１３と、外枠部１３又は接続部１２の一辺と、当該一辺に対向する搭載部１１の一辺の端部とを接続する４本のアーム部１５とを備え、接続部１２は、外枠部１３より厚みが厚く形成され、搭載部１１は、外枠部より厚みが薄く形成され、アーム部１５は搭載部１１より厚みが薄く、略Ｓ字形状に形成されているものとしているので、外部からの振動が接続部１２に伝達されたとしても、外枠部１３及びアーム部１５で振動を吸収して搭載部１１への影響を小さくし、位相雑音特性を良好にできる効果がある。
【００３９】
［第２の台座：図４］
次に、本発明の第２の実施の形態に係る台座（第２の台座）について、図４を用いて説明する。図４は、第２の台座の構成を示す説明図であり、（ａ）は、第２の台座に振動片を搭載した平面図であり、（ｂ）は、第２の台座に振動片を搭載した長辺側側面図である。
図４に示すように、第２の台座２０は、水晶片２を搭載する矩形の搭載部２１と、搭載部２１の短辺に沿って形成された２つの接続部２２ａ，２２ｂ（接続部２２）と、２つの接続部２２を連結し、搭載部２１の周囲を取り囲むよう形成された外枠部２３と、搭載部２１と接続部２２とを接続する２本のアーム部２５ａ，２５ｂ（アーム部２５）とを備えている。
【００４０】
第２の台座２０は、アーム部２５が、搭載部２１と、搭載部２１の短辺に対向するよう設けられた接続部２２とを接続しており、アーム部２５は略Ｓ字形状に形成されている。
第２の台座のアーム部２５は、第１の台座１０のアーム部１５に比べて、幅が細く、滑らかに湾曲したＳ字形状としており、直線形状に比べて全体の長さを長くして、振動を吸収しやすくするものである。
【００４１】
また、第２の台座２０でも、接続部２２は外枠部２３より厚みが厚く形成され、搭載部２１は外枠部より厚みが薄く形成され、アーム部２５は搭載部２１より薄く形成されている。
【００４２】
第２の台座２０における電極パターンについて説明する。
搭載部２１の対角に電極パターン２７ａ,２７ｂが設けられており、電極パターン２７ａ,２７ｂは、導電性接着剤によって水晶片２の励振電極に接続される。
電極パターン２７ａは、アーム部２５ａの表面、側面、裏面に形成され、更に接続部２２ａの表面、側面、裏面に亘って形成され、基板の電極に半田等で接続する。
同様に、電極パターン２７ｂは、アーム部２５ｂ及び接続部２２ｂの表面、側面、裏面に亘って形成され、基板の電極に半田等で接続する。
つまり、第２の台座２０のアーム部２５は、搭載部２１と接続部２２とを物理的・電気的に接続している。
【００４３】
尚、ここでは、搭載部２１の電極を対角に設けたが、上述した第１の台座１０と同様に、一方の短辺又は長辺に沿って設けるようにしてもよく、搭載される水晶片２の構成に応じて決めればよい。
この場合でも、接続部２２は、台座本体において互いに対向する位置に設けられるものである。
【００４４】
［第２の台座の効果］
第２の台座２０によれば、略Ｓ字形状に形成され、搭載部２１と接続部２２とを接続する２本のアーム部２５を備え、接続部２２は、外枠部２３より厚みが厚く形成され、搭載部２１は、外枠部２３より厚みが薄く形成され、アーム部２５は搭載部２１より厚みが薄く形成されているものとしているので、外部からの振動が接続部２２に伝達されたとしても、外枠部２３及びアーム部２５で振動を吸収して搭載部２１への影響を小さくし、位相雑音特性を良好にできる効果がある。
【００４５】
特に、第２の台座２０では、アーム部２５の本数を少なくしているので、接続部２２からの振動が搭載部２１に伝わりにくく、位相雑音特性を一層良好にできるものである。
【００４６】
［第３の台座：図５］
次に、本発明の第３の実施の形態に係る台座（第３の台座）について、図５を用いて説明する。図５は、第３の台座の構成を示す説明図であり、（ａ）は、第３の台座に振動片を搭載した平面図であり、（ｂ）は、第３の台座に振動片を搭載した長辺側側面図である。
尚、以下に説明する第３〜第５の台座については、いずれも搭載部、外枠部、接続部を備え、これらの構成は第１、第２の台座と同様であるため、各台座の特徴部分であるアーム部について説明を行うものとする。
【００４７】
図５に示すように、第３の台座３０は、搭載部３１が、接続部３２と外枠部３３から成る枠に囲まれた構成であり、４本のアーム部３５ａ，３５ｂ,３５ｃ,３５ｄ（アーム部３５）を備えている。
そのうちの２本は、搭載部３１と接続部３２ａ,３２ｂとを接続し、別の２本は、搭載部３１と外枠部３３とを接続している。
第３の台座３０のアーム部３５は、第２の台座２０のアーム部２５と同様に、略Ｓ字形状で、搭載部３１より薄く形成されている。
【００４８】
第３の台座３０では、アーム部３５を４本設けて、搭載部３１の４辺を接続部３２又は外枠部３３に接続している。
具体的には、アーム部３５ａ，３５ｂは、それぞれ、一端が接続部３２ａ，３２ｂの端に接続され、他端が当該接続部に対向する搭載部３１の一辺の中ほどに接続されている。
また、アーム部３５ｃ,３５ｄは、それぞれ、一端が外枠部３３の、接続部３２が設けられていない辺の中ほどに接続され、他端が、搭載部２１の、当該辺に対向する辺（アーム部３５ａ，３５ｂが接続していない辺）に接続している。
【００４９】
これにより、第３の台座３０は、第２の台座２０に比べて強度を向上させることができるものである。
尚、図５では、第３の台座３０の搭載部３１及び本体は略正方形に形成されているが、長方形であっても構わない。
【００５０】
第３の台座３０の各部の厚みは、接続部３２が一番厚く、以下、外枠部３３、搭載部３１、アーム部３５の順に薄くなっている。
このため、第３の台座３０では、第１、第２の台座と同様に、接続部３２以外の部分がパッケージ３の基板に接触しないものである。
【００５１】
第３の台座３０においては、搭載部３１の対角に電極パターン３７ａ,３７ｂが設けられ、それぞれ、導電性接着剤によって水晶片２の励振電極に接続される。
電極パターン３７ａは、アーム部３５ａの表面、側面、裏面に形成され、更に接続部３２ａの表面、側面、裏面に亘って形成され、基板の電極に半田等で接続する。
同様に、電極パターン３７ｂは、アーム部３５ｂ及び接続部３２ｂの表面、側面、裏面に亘って形成され、基板の電極に半田等で接続する。
【００５２】
つまり、第３の台座３０のアーム部３５ａ，３５ｂは、搭載部２１と接続部２２とを物理的・電気的に接続しており、アーム部３５ｃ，３５ｄは、搭載部２１と外枠部３３とを物理的に接続している。
【００５３】
［第３の台座の効果］
第３の台座３０によれば、略Ｓ字形状に形成され、搭載部３１と接続部３２とを対向する辺で接続する２本のアーム部３５ａ,３５ｂと、搭載部３１と外枠部３３とを対向する辺で接続する２本のアーム部３５ｃ，３５ｄとを備え、接続部３２は、外枠部３３より厚みが厚く形成され、搭載部３１は、外枠部３３より厚みが薄く形成され、アーム部３５は搭載部３１より厚みが薄く形成されているものとしているので、外部からの振動が接続部３２に伝達されたとしても、外枠部３３及びアーム部３５で振動を吸収して搭載部３１への影響を小さくし、位相雑音特性を良好にできる効果がある。
【００５４】
特に、第３の台座３０では、搭載部３１の４辺全てを接続部３２又は外枠部３３に固定する構成としているので、強度を向上させることができる効果がある。
【００５５】
［第４の台座：図６］
次に、本発明の実施の形態に係る第４の実施の形態に係る台座（第４の台座）について、図６を用いて説明する。図６は、第４の台座の構成を示す説明図であり、（ａ）は、第４の台座に振動片を搭載した平面図であり、（ｂ）は、第４の台座に振動片を搭載した長辺側側面図である。
図６に示すように、第４の台座４０は、上述した第３の台座３０と同様に、Ｓ字形状のアーム部４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄ（アーム部４５）を備えた構成であるが、搭載部４１と、外枠部４３若しくは接続部４２との接続位置が第３の台座３０とは異なっている。
【００５６】
具体的には、第４の台座４０では、アーム部４５は、搭載部４１の一辺と、外枠部４３又は接続部４２の、当該一辺に対向する辺に隣接する一辺に接続している。
個々のアーム部４５の接続について説明する。
図６（ａ）に示すように、アーム部４５ａは、台座本体の左辺に形成された接続部４２ａと、搭載部４１の、接続部４２ａに対向する辺に隣接する辺である、搭載部４１の上側の辺とを接続している。
【００５７】
アーム部４５ｂは、台座本体の右辺に形成された接続部４２ｂと、搭載部４１の、接続部４２ｂに対向する辺に隣接する辺である、搭載部４１の下側の辺とを接続している。
アーム部４５ｃは、外枠部４３の下側の辺と、搭載部４１の、当該辺に対向する辺に隣接する辺である、搭載部４１の左辺とを接続している。
アーム部４５ｄは、外枠部４３の上側の辺と、搭載部４１の、当該辺に対向する辺に隣接する辺である、搭載部４１の右辺とを接続している。
【００５８】
このようにアーム部４５を形成することで、第４の台座４０では、搭載部４１と外枠部４３との間の空間（隙間部４４）の内、角部分の空間を有効に利用して、Ｓ字型の曲線部分を配置でき、アーム部４５の長さを確保して十分に振動を吸収できるようにすると共に、無駄な空間を減らして小型化できる効果がある。
【００５９】
更に、外部からの振動をアーム部４５で吸収するのに加えて、搭載部４１において水晶片２から遠く離れた角部分にアーム部４５を接続できるため、振動片２への影響を抑えることができるものである。
また、第４の台座４０においても、図６（ｂ）に示すように、接続部４２ａ，４２ｂの厚みが最も厚く、外枠部４３、搭載部４１、アーム部４５の順で薄く形成されている。
【００６０】
第４の台座４０では、搭載部４１の対角に電極パターン４７ａ,４７ｂが設けられ、それぞれ、導電性接着剤によって水晶片２の励振電極に接続される。
電極パターン４７ａは、アーム部４５ａの表面、側面、裏面に形成されて、更に接続部４２ａの表面、側面、裏面に亘って形成され、基板の電極に半田等で接続する。
同様に、電極パターン４７ｂは、アーム部４５ｂ及び接続部４２ｂの表面、側面、裏面に亘って形成され、基板の電極に半田等で接続する。
【００６１】
つまり、第４の台座４０のアーム部４５ａ，４５ｂは、搭載部４１と接続部４２とを物理的・電気的に接続しており、アーム部４５ｃ，４５ｄは、搭載部４１と外枠部４３とを物理的に接続している。
【００６２】
［第４の台座の効果］
第４の台座４０によれば、略Ｓ字形状に形成され、接続部４２の一辺と、搭載部４１の当該一辺に対向する辺に隣接する辺とを接続する２本のアーム部４５ａ,４５ｂと、外枠部４３の一辺と、搭載部４１の当該一辺に対向する辺に隣接する辺とを接続する２本のアーム部４５ｃ，４５ｄとを備え、接続部４２は、外枠部４３より厚みが厚く形成され、搭載部４１は、外枠部４３より厚みが薄く形成され、アーム部４５は搭載部４１より厚みが薄く形成されているものとしているので、外部からの振動が接続部４２に伝達されたとしても、外枠部４３及びアーム部４５で振動を吸収して搭載部４１への影響を小さくし、位相雑音特性を良好にできる効果がある。
【００６３】
特に、第４の台座４０によれば、隙間部４４の角部分を有効に利用してＳ字形状のアーム部４５を配置しているので、無駄な空間を無くして、台座全体を小型化することができる効果がある。
【００６４】
［第５の台座：図７］
次に、本発明の実施の形態に係る第５の実施の形態に係る台座（第５の台座）について、図７を用いて説明する。図７は、第５の台座の構成を示す説明図であり、（ａ）は、第５の台座に振動子を搭載した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ′断面説明図である。
図７に示すように、第５の台座５０は、直線形状のアーム部５５ａ，５５ｂ，５５ｃ，５５ｄ（アーム部５５）を備えた構成であり、アーム部５５は、台座本体の各辺と、各辺に対向する搭載部５１の辺とを斜めに接続している。
【００６５】
具体的には、アーム部５５ａは、接続部５２ａとそれに対向する搭載部５１の辺とを接続し、アーム部５５ｂは、接続部５２ｂとそれに対向する搭載部５１の辺とを接続している。
また、アーム部５５ｃは、外枠部５３の下側の辺とそれに対向する搭載部５１の下側の辺とを接続し、アーム部５５ｄは、外枠部５３の上側の辺とそれに対向する搭載部５１の上側の辺とを接続している。
【００６６】
そして、第５の台座５０の特徴として、アーム部５５は、搭載部５１と接続部５２又は外枠部５３とを同一の角度で斜めに接続している。
斜めに接続することにより、直角に接続する場合に比べて、アーム部５５の長さを長くすることができ、パッケージ３の基板から接続部５２に振動が伝わった場合でも、アーム部５によって吸収して、搭載部５１への影響を防ぐことができるものである。
【００６７】
更に、アーム部５５が直線形状であるため、隙間部５４の空間をあまり広く取らなくてもアーム部５５を配置することができ、小型化を図ることができるものである。
また、図７（ｂ）に示すように、第５の台座５０においても、接続部５２の厚みが最も厚く、次いで外枠部５３、搭載部５１、アーム部５５の順で形成されている。
【００６８】
第５の台座５０においては、搭載部５１の対角に電極パターン５７ａ,５７ｂが設けられ、それぞれ、導電性接着剤によって水晶片２の励振電極に接続される。
電極パターン５７ａは、アーム部５５ａの表面、側面、裏面に形成されて、更に接続部５２ａの表面、側面、裏面に亘って形成され、基板の電極に半田等で接続する。
同様に、電極パターン５７ｂは、アーム部５５ｂ及び接続部５２ｂの表面、側面、裏面に亘って形成され、基板の電極に半田等で接続する。
【００６９】
［第５の台座の効果］
第５の台座５０によれば、接続部５２又は外枠部５３の一辺と、当該一辺に対向する搭載部５１の一辺とを、一定の角度で斜めに接続する４本のアーム部５５を備え、接続部５２は、外枠部５３より厚みが厚く形成され、搭載部５１は、外枠部５３より厚みが薄く形成され、アーム部５５は搭載部５１より厚みが薄く形成されている台座としているので、外部からの振動が接続部５２に伝達されたとしても、外枠部５３及びアーム部５５で振動を吸収して搭載部５１への影響を小さくし、位相雑音特性を良好にできる効果がある。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明は、外部からの振動の影響を抑えて耐振動性を向上させ、位相雑音特性を良好にできる振動素子用の台座、振動子及び発振器に適している。
【符号の説明】
【００７１】
２…振動片（水晶片）  ３…パッケージ、  ４…シームリング、  ５…リッド、  ６…半田、  １０…第１の台座、  １１，２１，３１，４１，５１…搭載部、  １２，２２，３２，４２，５２…接続部、  １３，２３，３３，４３，５３…外枠部、  １４，２４，３４，５４…隙間部、  １５，２５，３５，４５，５５…アーム部、  １７，２７，３７，４７，５７…金属パターン、  ２０…第２の台座、  ３０…第３の台座、  ４０…第４の台座、  ５０…第５の台座
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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