(57)【要約】【課題】  ロールを効率的に加熱して密度の高い焼結体を得ることができる粉体焼結装置を提供すること。【解決手段】  粉体焼結装置は、粉体材料を搬送方向に搬送する粉体搬送機構と、搬送方向に搬送されている粉体材料を加熱加圧する一対のロールと、一対のロールを覆う箱状の部材であって、搬送方向に搬送されている粉体材料を通過させる隙間を有する箱部と、箱部の外部に配置され、一対のロールのうちの少なくとも一方のロールを加熱するランプヒータと、少なくとも一方のロールとランプヒータとの間の位置にて箱部に取り付けられ、ランプヒータによる光を箱部の内部に導入する窓部と、を備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粉体材料を搬送方向に搬送する粉体搬送機構と、
前記搬送方向に搬送されている前記粉体材料を加熱加圧する一対のロールと、
前記一対のロールを覆う箱状の部材であって、前記搬送方向に搬送されている前記粉体材料を通過させる隙間を有する箱部と、
前記箱部の外部に配置され、前記一対のロールのうちの少なくとも一方のロールを加熱するランプヒータと、
前記少なくとも一方のロールと前記ランプヒータとの間の位置にて前記箱部に取り付けられ、前記ランプヒータによる光を前記箱部の内部に導入する窓部と、を備える、粉体焼結装置。
【請求項２】
前記窓部は、前記一対のロールが互いに最も近接する近接点よりも前記搬送方向の上流側に配置される、請求項１に記載の粉体焼結装置。
【請求項３】
前記窓部は、前記少なくとも一方のロールに面する主面を有し、前記主面は、水平方向又は水平方向よりも下方を向く、請求項１又は２に記載の粉体焼結装置。
【請求項４】
前記窓部の前記主面は、水平方向を向くように鉛直に延在する、請求項３に記載の粉体焼結装置。
【請求項５】
前記箱部の内部にガスを導入する第１ガス導入口を前記箱部に設け、
前記第１ガス導入口は、前記窓部の表面に沿う方向へガスを吹き付ける、請求項１から４のいずれか１つに記載の粉体焼結装置。
【請求項６】
前記第１ガス導入口は、前記一対のロールが互いに最も近接する近接点よりも前記搬送方向の上流側に配置される、請求項５に記載の粉体焼結装置。
【請求項７】
前記箱部の内部にガスを導入する第２ガス導入口を前記箱部に設け、
前記第２ガス導入口は、前記搬送方向の下流側にガスを吹き付ける、請求項１から６のいずれか１つに記載の粉体焼結装置。
【請求項８】
前記第２ガス導入口は、前記一対のロールが互いに最も接近する近接点よりも前記搬送方向の上流側に配置される、請求項７に記載の粉体焼結装置。
【請求項９】
前記箱部に排気口を設けた、請求項１から８のいずれか１つに記載の粉体焼結装置。
【請求項１０】
前記排気口は、前記一対のロールが互いに最も近接する近接点よりも前記搬送方向の下流側に配置される、請求項９に記載の粉体焼結装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粉体を焼結する粉体焼結装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミックスや金属の粉末を加圧成形した後、融点以下の温度で熱処理することで、粉体間の結合が生じ、焼結体を得ることができる。この方法は、窯業製品、セラミックス、粉末冶金、サーメットなどを製造する主要な方法である。
【０００３】
焼結方法としては、常圧焼結法、ガス圧焼結法、ホットプレス法、熱間静水圧法（ＨＩＰ）、通電加圧法、ミリ波法等がある。
【０００４】
より緻密な焼結体を得るためには、ガス圧焼結法、ホットプレス法、熱間静水圧法、通電加圧法などで、粉末成形体を加圧状態で加熱することが有効である。
【０００５】
これらの方法はバッチ処理であり、生産性を高めるためには連続的に処理することが有効である。例えば、特許文献１には、金属粉末を加熱し、圧延ロールで加圧することでシートを形成できることが示されている。
【０００６】
ここで、焼結時の密度をより高くするためには圧延ロールを加熱し、ワークの温度を高く保つことが重要である。ロールを加熱するための手段としては、ヒータ加熱、誘導加熱、ランプ加熱等がある。より高密度の焼結体を得るため、さらにワークがロールに固着することを防止するためには、ロールの硬度が高い必要があり、セラミック表面を有するロールが有効である。セラミックロールを効率的に加熱するためには、ランプ加熱が有効であり、例えば、特許文献２には、ランプヒータによりロールを加熱する方法が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特表２００３−５２０２９２号公報
【特許文献２】特開２０１８―９４５８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、ランプヒータを用いた場合、ランプヒータの周辺で粉体材料が舞ってランプヒータに付着すると、ランプヒータの光が遮られランプヒータによるロールの加熱が阻害される可能性がある。このような場合、ロールを効率的に加熱することができず、粉体材料を十分に加熱することができなくなり、得られる焼結体の密度が低くなるおそれがある。
【０００９】
従って、本発明の目的は、ロールを効率的に加熱して密度の高い焼結体を得ることができる粉体焼結装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の粉体焼結装置は、粉体材料を搬送方向に搬送する粉体搬送機構と、前記搬送方向に搬送されている前記粉体材料を加熱加圧する一対のロールと、前記一対のロールを覆う箱状の部材であって、前記搬送方向に搬送されている前記粉体材料を通過させる隙間を有する箱部と、前記箱部の外部に配置され、前記一対のロールのうちの少なくとも一方のロールを加熱するランプヒータと、前記少なくとも一方のロールと前記ランプヒータとの間の位置にて前記箱部に取り付けられ、前記ランプヒータによる光を前記箱部の内部に導入する窓部と、を備える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の粉体焼結装置によれば、ロールを効率的に加熱して密度の高い焼結体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施の形態１における粉体焼結装置の模式図
【図２】実施の形態２における粉体焼結装置の模式図
【図３】変形例における粉体焼結装置の模式図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の第１態様によれば、粉体材料を搬送方向に搬送する粉体搬送機構と、前記搬送方向に搬送されている前記粉体材料を加熱加圧する一対のロールと、前記一対のロールを覆う箱状の部材であって、前記搬送方向に搬送されている前記粉体材料を通過させる隙間を有する箱部と、前記箱部の外部に配置され、前記一対のロールのうちの少なくとも一方のロールを加熱するランプヒータと、前記少なくとも一方のロールと前記ランプヒータとの間の位置にて前記箱部に取り付けられ、前記ランプヒータによる光を前記箱部の内部に導入する窓部と、を備える、粉体焼結装置を提供する。
【００１４】
本発明の第２態様によれば、前記窓部は、前記一対のロールが互いに最も近接する近接点よりも前記搬送方向の上流側に配置される、第１態様に記載の粉体焼結装置を提供する。
【００１５】
本発明の第３態様によれば、前記窓部は、前記少なくとも一方のロールに面する主面を有し、前記主面は、水平方向又は水平方向よりも下方を向く、第１態様又は第２態様に記載の粉体焼結装置を提供する。
【００１６】
本発明の第４態様によれば、前記窓部の前記主面は、水平方向を向くように鉛直に延在する、第３態様に記載の粉体焼結装置を提供する。
【００１７】
本発明の第５態様によれば、前記箱部の内部にガスを導入する第１ガス導入口を前記箱部に設け、前記第１ガス導入口は、前記窓部の表面に沿う方向へガスを吹き付ける、第１態様から第４態様のいずれか１つに記載の粉体焼結装置を提供する。
【００１８】
本発明の第６態様によれば、前記第１ガス導入口は、前記一対のロールが互いに最も近接する近接点よりも前記搬送方向の上流側に配置される、第５態様に記載の粉体焼結装置を提供する。
【００１９】
本発明の第７態様によれば、前記箱部の内部にガスを導入する第２ガス導入口を前記箱部に設け、前記第２ガス導入口は、前記搬送方向の下流側にガスを吹き付ける、第１態様から第６態様のいずれか１つに記載の粉体焼結装置を提供する。
【００２０】
本発明の第８態様によれば、前記第２ガス導入口は、前記一対のロールが互いに最も接近する近接点よりも前記搬送方向の上流側に配置される、第７態様に記載の粉体焼結装置を提供する。
【００２１】
本発明の第９態様によれば、前記箱部に排気口を設けた、第１態様から第８態様のいずれか１つに記載の粉体焼結装置を提供する。
【００２２】
本発明の第１０態様によれば、前記排気口は、前記一対のロールが互いに最も近接する近接点よりも前記搬送方向の下流側に配置される、第９態様に記載の粉体焼結装置を提供する。
【００２３】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２４】
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１における粉体焼結装置１の概略構成を示す図である。図１に示す粉体焼結装置１は、粉体材料２を焼結して焼結体３を得る装置である。粉体焼結装置１は、粉体搬送機構１０１と、加熱加圧機構２０１と、箱部３０１と、材料回収機構４０１と、を備える。
【００２５】
粉体材料２は、例えば、粒子径１００μｍより小さい粒子の集合体であり、その粒径分布はなんら制限されるものではない。粉体材料２は、事前に厚みや幅をそろえるための成形処理が施されてもよい。成形処理としては例えば、一対のロールを用いて粉体をシート状に圧縮成形する方法や、金型を用いて粉体をプレスする方法などがある。
【００２６】
粉体搬送機構１０１は、粉体材料２を搬送方向Ａに搬送する機構である。粉体搬送機構１０１は、粉体材料２を加熱加圧機構２０１へ供給する機能を有する。実施の形態１における搬送方向Ａは水平方向である。粉体搬送機構１０１は例えば、ベルトコンベアで構成されている。ベルトコンベアとしては、スチールベルト、メッシュベルト等を用いることができる。
【００２７】
加熱加圧機構２０１は、粉体材料２を加熱しながら加圧する機構である。加熱加圧機構２０１は、一対のロールとして、第１ロール２１と、第２ロール２２とを備える。図１に示すように、ロール２１、２２は、箱部３０１の内部に収容されている。第１ロール２１および第２ロール２２は、搬送方向Ａに搬送されている粉体材料２を両側から挟みながら加熱加圧する。実施の形態１では、第１ロール２１および第２ロール２２は上下に配置されており、上側の第１ロール２１と下側の第２ロール２２によって粉体材料２を上下に挟みながら加熱加圧する。第１ロール２１と第２ロール２２が互いに最も近接する点を近接点３２とする。
【００２８】
ロール２１、２２の材質としては、特に限定するものではないが、粉体材料２の固着を防止するためには、セラミックス、あるいは、金属とセラミックスの複合材料を用いてもよい。例えば、窒化ケイ素、炭化ケイ素、アルミナ、サイアロン、ジルコニア等を用いてもよい。さらに、粉体材料２に接触するロール２１、２２の表面材料と、ロール２１、２２を回転させる軸材料とで、異なる材料を用いてもよい。例えば、表面材料にはセラミックスを用い、軸材料には炭素鋼、ステンレス鋼、高速度工具鋼、クロム鋼等を用いてもよい。セラミックスと軸材料の組合せとしては、軸材料に直接溶射法や蒸着法等を用いて、セラミック膜を形成する構造や、軸体の外側にスリーブ構造のセラミックスを組み合わせた構造を用いることができる。
【００２９】
ロール２１、２２の加熱温度は例えば、４００℃以上７００℃以下に設定してもよい。４００℃以上に設定することで、焼結体３の温度を十分に上昇させることができ、高い密度の焼結体３を得ることができる。また、７００℃以下に設定することで、ロール２１、２２の軸部の温度上昇を抑制し、軸部を支えるベアリングの寿命を長くすることができる。
【００３０】
また、図示していないが、粉体材料２が加熱加圧機構２０１に到達する前に予備加熱しておくことも可能である。予備加熱手段としては、特に限定するものではないが、加熱炉、シーズヒータ、セラミックヒータ、ハロゲンランプヒータ、カーボンヒータ、フラッシュランプヒータなどを用いてもよい。
【００３１】
粉体焼結装置１はさらに、ロール２１、２２を加熱するための部材として、第１ランプヒータ２３と、第２ランプヒータ２４とを備える。第１ランプヒータ２３は、第１ロール２１を加熱する部材であり、第２ランプヒータ２４は、第２ロール２２を加熱する部材である。ランプヒータ２３、２４としては、ハロゲンランプヒータ、カーボンヒータ、フラッシュランプヒータなどを用いてもよい。
【００３２】
図１に示すように、ランプヒータ２３、２４は、箱部３０１の外部に配置される。実施の形態１のランプヒータ２３、２４はいずれも、箱部３０１に対して搬送方向Ａの上流側に設けられる。
【００３３】
箱部３０１は、一対のロール２１、２２を覆って収容する箱状の部材である。図１に示すように、箱部３０１は、搬送方向Ａに搬送されている粉体材料２を通過させる隙間３３を有する。実施の形態１における箱部３０１は、大略直方体状の形状を有している。
【００３４】
箱部３０１には、窓部２５、２６が設けられている。第１窓部２５は、第１ランプヒータ２３の光を箱部３０１の内部に導入する部材であり、第２窓部２６は、第２ランプヒータ２４の光を箱部３０１の内部に導入する部材である。第１窓部２５は、第１ロール２１と第１ランプヒータ２３との間の位置にて箱部３０１に取り付けられており、第２窓部２６は、第２ロール２２と第２ランプヒータ２４との間の位置にて箱部３０１に取り付けられている。実施の形態１の窓部２５、２６はいずれも、近接点３２およびロール２１、２２よりも搬送方向Ａの上流側に設けられている。
【００３５】
窓部２５、２６はそれぞれ、主面２５Ａ、２６Ａを有する。主面２５Ａ、２６Ａはそれぞれ、ロール２１、２２に面している。実施の形態１における主面２５Ａ、２６Ａはともに水平方向を向くように鉛直に延在している。
【００３６】
窓部２５、２６の材料としては、石英ガラス、ネオセラム等、透明あるいは半透明の材料を用いてもよい。
【００３７】
箱部３０１にはさらに、ガス導入口２７〜３０および排気口３１が設けられている。
【００３８】
ガス導入口２７〜３０は、箱部３０１の内部にガスを導入するための部材である。ガスは例えば、窒素、アルゴン等、任意のガスを用いてもよい。実施の形態１のガス導入口２７〜３０はいずれも、近接点３２よりも搬送方向Ａの上流側に設けられている。
【００３９】
排気口３１は、箱部３０１の内部の雰囲気を外部へ排気するための部材である。実施の形態１の排気口３１は、近接点３２よりも搬送方向Ａの下流側に設けられている。
【００４０】
ガス導入口２７〜３０および排気口３１を設けることにより、箱部３０１の内部の雰囲気を循環させることができる。ガス導入口２７〜３０、排気口３１並びに箱部３０１は、箱部３０１の内部の雰囲気を制御する雰囲気制御部として機能する。
【００４１】
ガス導入口２７〜３０は、第１ガス導入口２７、２８と、第２ガス導入口２９、３０とを備える。
【００４２】
第１ガス導入口２７、２８はそれぞれ、窓部２５、２６の表面に沿う方向にガスを吹き付ける部材である。第１ガス導入口２７は、第１窓部２５の表面に沿う方向、かつ、近接点３２に近付く方向へガスを吹き付ける。第２ガス導入口２８は、第２窓部２６の表面に沿う方向、かつ、近接点３２に近付く方向へガスを吹き付ける。第１ガス導入口２７は第１窓部２５よりも上方に配置され、下方に向けてガスを吹き付ける。第２ガス導入口２８は第２窓部２６よりも下方に配置され、上方に向けてガスを吹き付ける。
【００４３】
第２ガス導入口２９、３０はそれぞれ、搬送方向Ａの上流側から下流側に向けてガスを吹き付ける部材である。第２ガス導入口２９は、第１ロール２１が粉体材料２と接触する箇所に向けてガスを吹き付ける。第２ガス導入口３０は、第２ロール２１が粉体材料２と接触する箇所に向けてガスを吹き付ける。図１に示すように、第２ガス導入口２９は、第１窓部２５の下方に配置され、第２ガス導入口３０は、第２窓部２６の上方に配置されている。
【００４４】
材料回収機構４０１は、箱部３０１を通過した焼結体３を回収するための機構である。材料回収機構４０１は例えば、焼結体３を一定の長さに切断してから、シート状で回収してもよい。また、焼結体３をシート状よりさらに細かく粉砕してフレーク状にしてから回収してもよい。
【００４５】
上述した構成によれば、ロール２１、２２を加熱するためのランプヒータ２３、２４を箱部３０１の外部に配置している。このため、箱部３０１の内部で粉体材料２が舞う場合でも、ランプヒータ２３、２４の表面に粉体材料２が付着することを防止することができる。これにより、ランプヒータ２３、２４によるロール２１、２２の加熱が粉体材料２によって阻害されることを防止することができる。
【００４６】
また、実施の形態１では、ランプヒータ２３、２４の光を箱部３０１の内部に導入する窓部２５、２６を設けている。窓部２５、２６を設けることで、ランプヒータ２３、２４の熱をロール２１、２２に効率的に伝えることができる。このようにして、ロール２１、２２を効率的に加熱して粉体材料２を十分に加熱することができ、密度の高い焼結体３を得ることができる。
【００４７】
さらに実施の形態１の粉体焼結装置１によれば、ランプヒータ２３、２４を箱部３０１に対して搬送方向Ａの上流側に配置している。このため、ランプヒータ２３、２４によってロール２１、２２が加熱される箇所から、ロール２１、２２が粉体材料２と接触する箇所までの距離を短くすることができる。これにより、ランプヒータ２３、２４による熱をロール２１、２２から粉体材料２に効率的に伝えることができる。
【００４８】
さらに実施の形態１の粉体焼結装置１によれば、窓部２５、２６は、ロール２１、２２同士の近接点３２よりも搬送方向Ａの上流側に配置されている。このような構成によれば、箱部３０１の中で舞う粉体材料２が窓部２５、２６の表面に付着しにくくなり、窓部２５、２６の光透過性が低下することを抑制することができる。
【００４９】
さらに実施の形態１の粉体焼結装置１によれば、窓部２５、２６は、ロール２１、２２に面する主面２５Ａ、２６Ａを有し、主面２５Ａ、２６Ａは水平方向を向くように鉛直に延在している。窓部２５、２６の主面２５Ａ、２６Ａをこのように方向付けすることで、箱部３０１の中で舞う粉体材料２が主面２５Ａ、２６Ａに到達しても、主面２５Ａ、２６Ａに堆積せずに落ちやすくなる。これにより、窓部２５、２６の光透過性が低下することを抑制することができる。さらに、主面２５Ａ、２６Ａを鉛直に配置することで、簡単なレイアウトを採用することができる。
【００５０】
さらに実施の形態１の粉体焼結装置１によれば、箱部３０１の内部にガスを導入する第１ガス導入口２７、２８を箱部３０１に設けている。第１ガス導入口２７、２８は、窓部２５、２６の表面に沿う方向へガスを吹き付ける。このような構成によれば、箱部３０１の中で舞う粉体材料２が窓部２５、２６の表面に付着しにくくなり、窓部２５、２６の光透過性が低下することを抑制することができる。
【００５１】
さらに実施の形態１の粉体焼結装置１によれば、第１ガス導入口２７、２８は、ロール２１、２２同士の近接点３２よりも搬送方向Ａの上流側に配置される。このような構成によれば、箱部３０１の内部において搬送方向Ａの上流側から下流側に向かう気流の発生を促すことができる。これにより、箱部３０１の中で舞う粉体材料２が窓部２５、２６の表面に付着しにくくなり、窓部２５、２６の光透過性が低下することを抑制することができる。
【００５２】
さらに実施の形態１の粉体焼結装置１によれば、箱部３０１の内部にガスを導入する第２ガス導入口２９、３０を箱部３０１に設けている。第２ガス導入口２９、３０は、搬送方向Ａの下流側にガスを吹き付ける。このような構成によれば、箱部３０１の内部において搬送方向Ａの上流側から下流側に向かう気流の発生を促すことができる。これにより、箱部３０１の中で舞う粉体材料２が窓部２５、２６の表面に付着しにくくなり、窓部２５、２６の光透過性が低下することを抑制することができる。
【００５３】
さらに実施の形態１の粉体焼結装置１によれば、第２ガス導入口２９、３０は、ロール２１、２２同士の近接点３２よりも搬送方向Ａの上流側に配置される。このような構成によれば、箱部３０１の内部において搬送方向Ａの上流側から下流側に向かう気流の発生を促すことができる。これにより、箱部３０１の中で舞う粉体材料２が窓部２５、２６の表面に付着しにくくなり、窓部２５、２６の光透過性が低下することを抑制することができる。
【００５４】
さらに実施の形態１の粉体焼結装置１によれば、箱部３０１に排気口３１を設けている。このような構成によれば、箱部３０１の内部の雰囲気を循環させることができる。
【００５５】
さらに実施の形態１の粉体焼結装置１によれば、排気口３１は、ロール２１、２２同士の近接点３２よりも搬送方向Ａの下流側に配置される。このような構成によれば、箱部３０１の内部において搬送方向Ａの下流側に向かう気流の発生を促すことができる。これにより、箱部３０１の中で舞う粉体材料２が窓部２５、２６の表面に付着しにくくなり、窓部２５、２６の光透過性が低下することを抑制することができる。
【００５６】
（実施の形態２）
本発明に係る実施の形態２の粉体焼結装置５０１について、図２を用いて説明する。なお、実施の形態２では、主に実施の形態１と異なる点について説明する。また、同一又は同等の構成については同じ符号を付して説明を省略する。
【００５７】
図２は、実施の形態２における粉体焼結装置５０１の概略構成を示す図である。図２に示す粉体焼結装置５０１は、実施の形態１と同様の構成として、粉体搬送機構１０１と、加熱加圧機構２０１と、材料回収機構４０１とを備え、実施の形態１と異なる構成として、箱部６０１を備える。
【００５８】
実施の形態１では、箱部３０１にガス導入口２７〜３０および排気口３１を設けていたのに対して、実施の形態２では、箱部６０１にガス導入口および排気口を設けていない点が異なっている。
【００５９】
箱部６０１にガス導入口および排気口を設けない場合であっても、実施の形態１と同様にランプヒータ２３、２４を箱部６０１の外部に配置しつつ、窓部２５、２６を設けることで、実施の形態１と同様の効果を奏することができる。
【００６０】
以上、上述の実施の形態１、２を挙げて本発明を説明したが、本発明は上述の実施の形態１、２に限定されない。例えば、上記実施の形態１、２では、ランプヒータ２３、２４および窓部２５、２６をともに、ロール２１、２２に対して搬送方向Ａの上流側に設ける場合について説明したが、このような場合に限らない。例えば、図３に示すような位置にランプヒータおよび窓部を設けてもよい。
【００６１】
図３に示す例では、箱部８０１の上側に第１ランプヒータ８０３および第１窓部８０５を設けている。一方で、第２ランプヒータ２４および第２窓部２６の配置は実施の形態１と同じである。このような場合であっても、ランプヒータ８０３を箱部８０１の外部に設けつつ、ランプヒータ８０３と第１ロール２１の間に窓部８０５を設けることで、ロール２１を効率的に加熱して、密度の高い焼結体３を得ることができる。
【００６２】
図３に示す窓部８０５の主面８０５Ａは、第１加熱ロール２１に向かって鉛直下方を向いており水平に延在している。このような構成によれば、箱部８０１の中で舞う粉体材料２が窓部８０５の主面８０５Ａに到達しても、主面８０５Ａに堆積せずに下方に落ちやすくなる。
【００６３】
当変形例および実施の形態１で示すように、窓部の主面は、水平方向あるいは水平方向よりも下方に向くように設定されてもよい。このような配置によれば、窓部への粉体材料２の付着を抑制し、ロールを効率的に加熱することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明は、粉体材料を焼結する粉体焼結装置に適用可能である。
【符号の説明】
【００６５】
１          粉体焼結装置
２          粉体材料
３          焼結体
２１        上ロール
２２        下ロール
２３、２４  ランプヒータ
２５、２６  窓部
２５Ａ、２６Ａ  主面
２７、２８  第１ガス導入口
２９、３０  第２ガス導入口
３１        排気口
３２        近接点
３３        隙間
１０１      粉体搬送機構
２０１      加熱加圧機構
３０１      箱部
４０１      材料回収機構
５０１      粉体焼結装置
６０１      箱部
７０１      粉体焼結装置
８０１      箱部
８０３      ランプヒータ
８０５      窓部
８０５Ａ    主面
【図１】
2020097139.tif 000003
【図２】
2020097139.tif 000004
【図３】
2020097139.tif 000005