(57)【要約】      （修正有）【課題】本発明は、真空ポンプ構造部材のバリ取りする為の方法を提供する。【解決手段】（ｉ）画像取得ユニットを用いて真空ポンプ構造部材の画像を取得する、（ｉｉ）画像を基にして真空ポンプ構造部材の実際輪郭を算出する、（ｉｉｉ）実際輪郭に基づいて目標輪郭を算出する、（ｉｖ）目標輪郭をレーザー座標に変換する、及び（ｖ）レーザー座標に基づいてレーザーを用いて真空ポンプ構造部材のバリ取りをする、ステップを含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空ポンプ構造部材（１５）のバリ取りする為の方法であって、
（ｉ）    画像取得ユニット（１３）を用いて真空ポンプ構造部材（１５）の画像（１１）を取得する、
（ｉｉ）  画像（１１）を基にして真空ポンプ構造部材（１５）の実際輪郭（４９）を算出する、
（ｉｉｉ）実際輪郭（４９）に基づいて目標輪郭（５１）を算出する、
（ｉｖ）  目標輪郭（５１）をレーザー座標に変換する、及び
（ｖ）    レーザー座標に基づいて、レーザー（１７）を用いて真空ポンプ構造部材（１５）のバリ取りをする、ステップを含む方法。
【請求項２】
真空ポンプ構造部材（１５）は画像取得中に照明される、ことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
実際輪郭（４９）の算出は、取得する画像（１１）のコントラストが上げられることを含む、ことを特徴とする請求項１又は２記載の方法。
【請求項４】
実際輪郭（４９）の算出は、構造部材の縁部（１９）、バリ（２１）及び切り粉（２３）が取得する画像（１１）内で検出されることを含む、ことを特徴とする請求項１〜３の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項５】
実際輪郭（４９）に基づいて真空ポンプ構造部材（１５）の位置が特定される、ことを特徴とする請求項１〜４の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項６】
非選択的なエッジ検出アルゴリズムによって実際輪郭（４９）が算出される、ことを特徴とする請求項１〜５の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項７】
目標輪郭（５１）の算出は、構造部材の縁部（１９）から分離した要素（２５）、特にバリ（２１）と切り粉（２３）が実際輪郭（４９）から除去されることを含む、ことを特徴とする請求項１〜６の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項８】
目標輪郭（５１）の算出は、構造部材の縁部（１９）と接続する要素（２７）、特にバリ（２１）とオーバーラップしている切り粉（２３）が、実際輪郭（４９）から取り除かれることを含む、ことを特徴とする請求項１〜７の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項９】
収縮アルゴリズムによって目標輪郭（５１）が算出される、ことを特徴とする請求項１〜８の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項１０】
バリ（２１）と切り粉（２３）がレーザー（１７）によって切り離される、ことを特徴とする請求項１〜９の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項１１】
真空ポンプ構造部材（１５）がローターディスク（１５５）である、ことを特徴とする請求項１〜１０の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項１２】
真空ポンプ構造部材（１５）の画像（１１）を取得するための画像取得ユニット（１３）と、
レーザー（１７）と、
画像取得ユニット（１３）及びレーザー（１７）に接続されている制御装置（３７）とを有する真空ポンプ構造部材（１５）のバリ取りする為の装置（２９）であって、
制御装置（３７）は、画像（１１）を基にして真空ポンプ構造部材（１５）の実際輪郭（４９）を算出し、実際輪郭（４９）に基づいて目標輪郭（５１）を算出し、目標輪郭（５１）をレーザー座標に変換し、及び真空ポンプ構造部材（１５）のバリ取りの為にレーザー座標に基づいてレーザー（１７）を制御するように形成されている、装置（２９）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザーを用いた真空ポンプ構造部材のバリ取りする為の方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばローターディスクのような真空ポンプ構造部材は、鋸引きプロセスを用いて製造することが知られている。鋸引き切断によってバリが切断箇所の縁部で形成し得るために、構造部材は再加工をしなければならない。構造部材がローターディスクである場合に、このローターディスクは従来手作業でバリ取りされている。これに関して個々のステップは、各々のばりを個別に三角形状スクレーパー（独語：Ｄｒｅｉｋａｎｔｓｃｈａｂｅｒｓ）によって曲げ、及び研削盤でもって除去されることを企図する。様々な接触圧力下でバリを手作業で曲げるので、構造部材の縁部で不均一にバリ取りされ得る。それ故に手作業でのバリ取りは、時間、仕事、そしてコストの割合が高いだけでなく、加えて精密ではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】中国特許出願公開第１０７９３１８４６号明細書
【特許文献２】米国特許第５９４０３０２号明細書
【特許文献３】中国特許出願公開第１０３２８６４５４号明細書
【特許文献４】欧州特許出願公開第１００９９７０号明細書
【特許文献５】米国特許出願公開第２００８／３１７５９０号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
それ故に、高い経済性によって傑出している真空ポンプ構造部材のバリ取りする為の方法を提供することが、本発明の課題である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この課題は、請求項１の特徴を有する方法によって解決される。
【０００６】
本発明による方法は、
（ｉ）    画像取得ユニットを用いて真空ポンプ構造部材の画像を取得する、
（ｉｉ）  画像を基にして真空ポンプ構造部材の実際輪郭を算出する、
（ｉｉｉ）実際輪郭に基づいて目標輪郭を算出する、
（ｉｖ）  目標輪郭をレーザー座標に変換する、及び
（ｖ）    レーザー座標に基づいて、レーザーを用いて真空ポンプ構造部材のバリ取りをする、
ステップを含む。
【０００７】
本発明は、真空ポンプ構造部材が少なくとも部分的に自動でレーザーによってバリ取りするという一般的な思想に基づいている。
【０００８】
その目的に対して、第一のステップでは真空ポンプ構造部材の画像が撮影される。このために、真空ポンプ構造部材は画像取得ユニット付近に配置され、及び有利には、真空ポンプ構造部材の正面が基本的に画像取得面に対して平行に延びるように調整される。画像取得面に対する真空ポンプ構造部材の平行の調整により、画像の歪みが防止されることが可能になる。
【０００９】
次いで、撮影された画像は、特にコンピューターベースの画像加工プログラムを用いて処理される。具体的には、撮影された画像を基にして、第一に構造部材のある実際輪郭が算出される。実際輪郭とは、その文脈において、未加工の真空ポンプ構造部材の輪郭を意味する。換言すれば、実際輪郭が存在する構造部材の縁部だけを含むのではなく、加えて場合によって存在するバリと切り紛を含む。
【００１０】
算出する実際輪郭に基づいて、所望の目標輪郭が次に算出される。
【００１１】
真空ポンプ構造部材のバリ取りの為のレーザー使用を可能にするために、次いで目標輪郭のデータがレーザー座標に変換され、レーザー座標でもってレーザーが引き続き制御され、レーザー座標に沿うように、つまり目標輪郭に応じて目標輪郭に含まれない真空ポンプ構造部材の材料を除去する。
【００１２】
好ましくは、レーザーが各々の利用に応じて選択され及び調整される。レーザーの出力，強度及び周波数のようなパラメータは、切断特性つまり最終的にバリ取りの結果に影響を与える。例えばレーザーは、別の構造部材部分を破損しないために、所望の材料厚さだけを切断するように選択することができ、及び調整することができる。レーザーは、材料厚さにだけではなく、加えて使用する材料，所望の切断深さ等にも適合することができる。
【００１３】
本発明による方法の有利な実施形態は、従属請求項，明細書並びに図面から見て取れる。
【００１４】
実施形態に従い、真空ポンプ構造部材は画像取得中に照明される。照明は、特に画像取得ユニットに組み込まれ又は分離して配置することができる光源によって実施される。真空ポンプ構造部材の照明によって、可能な限り真空ポンプ構造部材のすべての構造、特に精密な構造でさえも画像取得ユニットによって取得されるために、真空ポンプ構造部材の正面を明るくすることができる。
【００１５】
別の形態に従って、実際輪郭の算出は取得する画像のコントラストを上げることを含む、ことが企図されている。コントラストを上げることによって、真空ポンプ構造部材の個別の構造がさらに際立つことができる。特にバリと切り粉はしばしばとても細かく、コントラストを上げることにより、これらが画像でより視認可能にすることができる。従って、画像は、コントラストを上げることによって後続のエッジ検出に理想的な準備をされる。
【００１６】
有利には実際輪郭の算出が、構造部材の縁部，バリ及び切り粉を取得する画像で検出されることを含む。その際、構造部材の縁部と結合した要素はバリとして分類され、それから分離した要素は切り粉として分類される。
【００１７】
別の実施形態に従って、実際輪郭を用いて真空ポンプ構造部材の位置が特定される。真空ポンプ構造部材の位置は、特に取得する画像つまり算出する実際輪郭の基礎である座標システムを用いて特定される。位置特定によって、レーザーを正確に制御すること、及び場合によっては真空ポンプ構造部材もまた画像取得とバリ取りの間で、バリ取りの効果に影響を与えることなしに移動することが可能である。
【００１８】
有利には実際輪郭が、非選択性のエッジ検出アルゴリズムによって算出される。適切な非選択性のエッジ検出アルゴリズムは、基本的に知られている。
【００１９】
別の実施形態に従って、目標輪郭の決定は、構造部材の縁部から分離した要素、特にバリと切り粉が実際輪郭から除去されるということを含む。ここで、分離した要素とは、真空ポンプ構造材料の構造部材縁部との接続部を有しない構造を意味する。分離した要素は、特に構造要素からすでに分離された切り粉、又は正面の平面に真空ポンプ構造部材と接続されていないバリが含まれる。換言すればこれらバリが、正面の平面より下にある平面で真空ポンプ構造部材と接続されており、及び例えば画像取得ユニットによってバリの上部が、正面の平面で取得される形で上方に曲げられているものであることが可能である。それ故に、取得するバリは、接続するバリにもかかわらず離れた切り粉のように現れ得る。
【００２０】
有利には、目標輪郭の算出は、構造部材の縁部と接続する要素、特にオーバーラップするバリと切り粉が実際輪郭から除去されることを含む。接続する要素とは、特に構造部材の正面の範囲において構造部材の縁部との接合部が備えられているすべての要素と理解される。構造部材の縁部とオーバーラップする（造部材の縁部から実際分離した）切り粉もまた、接続する要素として検出される。それら接続する要素は、処理された構造部材の縁部を得るために、実際輪郭から除去される。
【００２１】
別の実施形態に従い、目標輪郭が収縮アルゴリズムによって算出される。収縮アルゴリズムを用いて、接続する要素、特にオーバーラップするバリと切り粉は、実際輪郭から差し引くことができる。適切な収縮アルゴリズムは、基本的に知られている。
【００２２】
実際のバリ取りの間、取得するバリと切り粉はレーザーを用いて好ましくは切り離される。それに従って、真空ポンプ構造部材をバリ取りするために、レーザー切断が実施されるが、除去すべき材料の溶解と再溶融は決して実施されない。その除去プロセスによって、とりわけ精密できれいな構造部材の縁部が獲得される。
【００２３】
すでに上述した通り、真空ポンプ構造部材は、特にターボ分子ポンプの為に設けられているローターディスクであることが可能である。
【００２４】
このようなローターディスクの場合には、ローターブレードの鋸引き中にローターブレードが上方に曲がることがあるので、真空ポンプ構造部材の製造に用いられるデータ（例えばＣＡＤデータ）中に設けられていない、個別のローターブレードの間の隙間のばらつきが生じるリスクがある。従って、特にローターディスクのバリ取りの場合に、構造部材の個々の実際輪郭が決定され、これに基づいて目標輪郭が計算されることが有利である。理想的な製造プロセスの場合に算出する目標輪郭が、ＣＡＤデータに一致することがわかる。
【００２５】
ローターディスクのローターブレードは、少なくとも部分的にオーバーラップし得るので、バリ取り中に加工されるローターブレードに対して下にあるローターブレードが保護されていることが好ましい。このため、ローターディスクに適合された保護体を使用することができる。選択的に又は付加的に、より下にあるローターブレードがレーザーの影響を受けないように、レーザーをオーバーラップするローターブレードに調整することが可能である。レーザーのそのような遮蔽若しくは調整がローターディスクの為だけではなく、バリ取りされるあらゆる真空ポンプ構造部材の為に利用可能であるとわかる。
【００２６】
本発明の別の対象は、請求項１２の特徴を備える装置であり、これによって上述の利点が対応じて達成される。
【００２７】
本発明は、以下で添付の図面を参照しつつ、一例に過ぎない有利な実施形に基づいて説明される。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】ターボ分子ポンプの斜視図である。
【図２】図１のターボ分子ポンプの下側の図である。
【図３】図２に示された切断線Ａ−Ａに沿ったターボ分子ポンプの断面図である。
【図４】図２に示された切断線Ｂ−Ｂに沿ったターボ分子ポンプの断面図である。
【図５】図２に示された切断線Ｃ−Ｃに沿ったターボ分子ポンプの断面図である。
【図６】本発明による方法の実施する為の本発明による装置である。
【図７】図１のターボ分子ポンプのローターディスクの取得した画像の概略図である。
【図８】高いコントラストの図７の画像である。
【図９】図７のローターディスクの実際輪郭である。
【図１０】分離した要素除去後の図９の実際輪郭である。
【図１１】図７のローターディスクの算出する目標輪郭である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
図１に示されたターボ分子ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３に取り囲まれたポンプインレット１１５を有する。そのポンプインレットには、既知の方法で図示されていないレシーバーを接続することができる。レシーバーからのガスは、ポンプインレット１１５を介してレシーバーから吸引し得、及びポンプを通ってポンプアウトレット１１７へと搬送することができる。ポンプアウトレットに例えばローターリーベーンポンプのような真空ポンプが接続されることができる。
【００３０】
インレットフランジ１１３は、図１の真空ポンプの向きにおいては真空ポンプ１１１のハウジング１１９の上側の端部を形成する。ハウジング１１９は、下部分１２１を含み、その側面にエレクトロニクスハウジング１２３が配置されている。エレクトロニクスハウジング１２３内には、例えば真空ポンプに配置されている電動モーター１２５の駆動の為に真空ポンプ１１１の電子的及び／又は電気的コンポーネントが収容されている。エレクトロニクスハウジング１２３には、アクセサリーの為の複数の接続部１２７が設けられている。その上、例えばＲＳ４８５スタンダードに従うデータインターフェース１２９、及び電源供給接続部１３１がエレクトロニクスハウジング１２３に配置されている。
【００３１】
ターボ分子ンポンプ１１１のハウジング１１９には、特にフローバルブの形式のフローインレット１３３が設けられており、これを介して真空ポンプ１１１をフローすることができる。その上、下部分１２１の領域内には、シールガスコネクター１３５（このシールガスコネクターは、フラッシュガスコネクターとも称される）が配置されている。これを介して、フラッシュガスが、ポンプが搬送するガスに対する電動モーター１２５の保護の為、モーター室１３７（この中に真空ポンプ１１１の電動モーター１２５が組み込まれている）内へと運ぶことができる。下部分１２１内には、更に二つの冷却媒体コネクター１３９が配置されている。その際、この冷却媒体コネクターの一方は、冷却媒体の為のインレットとして、そして他方の冷却媒体コネクターは冷却媒体の為のアウトレットとして設けられている。この冷却媒体は、冷却目的のために真空ポンプ内に導くことができる。
【００３２】
真空ポンプの下側１４１は、起立面として使用することができるので、真空ポンプ１１１が下側１４１で起立して作動することができる。しかし、真空ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３を介してレシーバーに固定することもでき、それ故にいわば吊架されて作動することもできる。その上、真空ポンプ１１１は、図１に示されたものと異なった向きとされているときにも、作動することもできるよう形成することができる。下側１４１は下向きではなく、横向き、又は上向きに配置することができる場合の真空ポンプの実施形態もまた実現可能である。
【００３３】
図２に図示されている下側１４１には、更にいくつかのねじ１４３が配置されており、これらによってここでは別に特定されていない真空ポンプの構造部材が互いに固定されている。例えば支承部カバー１４５は、下側１４１に固定されている。
【００３４】
その上、下側１４１には、複数の固定穴１４７が配置されており、これらを介してポンプ１１が例えば載置面に固定することができる。
【００３５】
図２から５には、冷却媒体導管１４８が図示されており、この中では冷却媒体コネクター１３９を介して導入及び導出される冷却媒体が循環し得る。
【００３６】
図３から５の断面図が示すように、真空ポンプは、ポンプインレット１１５に存在するプロセスガスをポンプアウトレット１７７へ搬送する為の複数のプロセスガスポンプ段を有する。
【００３７】
ハウジング１１９内にはローター１４９が配置されており、これは、回転軸線１５１を中心として回転可能なローターシャフト１５３を有する。
【００３８】
ターボ分子ポンプ１１１は、ポンプ作用を奏する、互いに直列に接続された複数のターボ分子ポンプ段を有する。これは、ローターシャフト１５３に固定された半径方向の複数のローターディス１５５を有し、ローターディスク１５５間に配置され、ハウジング１１９内に固定された固定子ディスク１５７を有する。その際、一つのローターディスク１５５と隣接する一つのステーターディスク１５７は、各々一つのターボ分子的ポンプ段を形成する。ステーターディスク１５７は、スペーサーリング１５９によって所望の軸方向の間隔で互いに保持されている。その上、真空ポンプは半径方向において互いに入れ子式に配置され、及びポンプ作用を奏する、互いに直列に接続された複数のホルベックポンプ段を有する。ホルベックポンプ段のローターは、ローターシャフト１５３に配置されたローターハブ１６１とローターハブ１６１に固定され、そしてこれによって担持されるシリンダー側面形状の二つのホルベックロータースリーブ１６３，１６５を有する。これらは、回転軸線１５１と同軸に向けられており、及び半径方向において互いに入れ子式に接続されている。更に、シリンダー側面形状の二つのホルベックステータースリーブ１６７，１６９が設けられている。これらは同様に回転軸線１５１に同軸に向けられており、半径方向でみて入れ子式に接続されている。
【００３９】
ポンプ効果を発するホルベックポンプ段の表面は、カバー面によって、つまりホルベックロータースリーブ１６３，１６５とホルベックステータースリーブ１６７，１６９の半径方向内側面及び／又は外側面によって形成されている。外側のホルベックステータースリーブ１６７の半径方向内側面は、外側のホルベックロータースリーブ１６３の半径方向外側面と、半径方向のホルベック間隙１７１を形成しつつ向き合っており、そしてこれと共にターボ分子ポンプに続く第一のホルベックポンプ段を形成する。外側のホルベックロータースリーブ１６３の半径方向内側面は、内側のホルベックステータースリーブ１６９の半径方向外側面と、半径方向のホルベック間隙１７３を形成しつつ向かい合っており、そしてこれと共に第二のホルベックポンプ段を形成する。内側のホルベックステータースリーブ１６９の半径方向内側面は、内側のホルベックロータースリーブ１６５の半径方向外側面と、半径方向のホルベック間隙１７５を形成しつつ向き合っており、そしてこれと第三のホルベックポンプ段を形成する。
【００４０】
ホルベックロータースリーブ１６３の下側の端部には、半径方向に延びるチャネルが設けることができる。これを介して半径方向外側に位置するホルベック間隙１７１が中央のホルベック間隙１７３と接続されている。更に、内側のホルベックステータースリーブ１６９の上側の端部には、半径方向に延びるチャネルを設けることができる。これを介して中央のホルベック間隙１７３が半径方向内側に位置するホルベック間隙１７５と接続されている。これによって、入れ子式に接続された複数のホルベックポンプ段が直列に互いに接続される。半径方向内側のホルベックロータースリーブ１６５の下側の端部には、更に、アウトレット１１７への接続チャネル１７９を設けることができる。
【００４１】
上述したポンプ効果を発するホルベックステータースリーブ１６３，１６５の表面は、各々、スパイラル形状に回転軸線１５１の周りを軸方向へと推移する複数のホルベック溝を有している。他方で、ホルベックロータースリーブ１６３，１６５の向き合ったカバー面は滑らかに形成されており、そしてガスを真空ポンプ１１１の作動の為に、ホルベック溝内で前進させる。
【００４２】
ローターシャフト１５３の回転可能な支承のため、ポンプアウトレット１１７の領域に転がり軸受１８１が、そしてポンプインレット１１５の領域に永久磁石支承部１８３が設けられている。
【００４３】
転がり軸受１８１の領域には、ローターシャフト１５３に、転がり軸受１８１の方に向かって増加する外直径を有する円すい形のスプラッシュナット１８５が設けられている。スプラッシュナット１８５は、作動媒体貯蔵部の少なくとも一つのスキマーと滑らかに接触している。作動媒体貯蔵部は、互いに積重ねられた吸収性の複数のディスク１８７を有している。これらは、転がり軸受１８１の為の作動媒体、例えば潤滑媒体を染み込ませられている。
【００４４】
真空ポンプ１１１の作動中には、作動媒体が毛細管作用によって作動媒体貯蔵部からスキマーを介して回転するスプラッシュナット１８５へと伝達され、及び遠心力によってスプラッシュナット１８５に沿って、スプラッシュナット９２の大きくなる外直径の方向へ、転がり軸受１８１に向かって搬送され、そこで例えば潤滑機能を発揮する。転がり軸受１８１と作動媒体貯蔵部は、槽形状のインサート１８９と支承部カバー１４５によって真空ポンプ内にはめ込まれている。
【００４５】
永久磁石支承部１８３は、ローター側の支承半部１９１とステーター側の支承半部１９３を有する。これらは、軸方向に互いに積層されたいくつかの永久磁石の複数のリング１９５，１９７からなる各一つのリング積層部を有する。リングマグネット１９５，１９７は、半径方向の支承間隙１９９を形成しつつ向かい合っており、その際、ローター側のリングマグネット１９５は半径方向外側に、及びステーター側のリングマグネット１９７は半径方向内側に配置されている。支承間隙１９９内に存在する磁場は、ローターシャフト１５３の半径方向の支承を行うリングマグネット１９５，１９７の間に磁気的反発力を引き起こす。ローター側のリングマグネット１９５は、リングマグネット１９５を半径方向外側で取り囲んでいるローターシャフト１５３の担持部分２０１によって担持されている。ステーター側のリングマグネット１９７は、リングマグネット１９７を通って延在しているステーター側の担持部分２０３によって担持されており、及びハウジング１１９の半径方向の支柱２０５に懸架されている。回転軸線１５１に対して平行に、ローター側のリングマグネット１９５は、担持部分２０３と連結されたカバー要素２０７によって固定されている。ステーター側のリングマグネット１９７は、回転軸線１５１に対して平行に、一方の方向では、担持部分２０３と接続された固定リング２０９並びに担持部分２０３と接続された固定リング２１１によって固定されている。固定リング２１１とリングマグネット１９７の間には、更に、さらばね２１３を設けることができる。
【００４６】
マグネット支承部の内部には、ローター１４９の為の半径方向のストッパーを形成するために、真空ポンプ１１１の通常の作動では非接触で空転し、及びローター１４９がステーターに対して過剰に半径方向に変位した際に干渉する緊急用若しくは安全用軸受２１５が設けられている。その場合に、ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのが防止される。安全用軸受２１５は非潤滑式の転がり軸受として形成されており、並びにローター１４９及び／又はステーターと半径方向の間隙を形成する。この間隔は、安全用軸受２１５が通常のポンプ作動中に干渉しないために生じる。安全用軸受２１５が干渉する半径方向の変位は、安全用軸受２１５が真空ポンプの通常の作動中、干渉が発生しないよう十分大きく寸法どられており、そして同時に、ローター側の構造のステーター側の構造との衝突があらゆる状況で防止されるよう十分小さく寸法どられている。
【００４７】
真空ポンプ１１１は、ローター１４９の回転駆動の為の電動モーター１２５を有する。電動モーター１２５のアンカーは、ローター１４９によって形成されており、そのローターシャフト１５３は、モーターステーター２１７を通って延びている。モーターステーター２１７を通って延在するローターシャフト１５３の部分には、永久磁石装置が半径方向外側に、又は埋め込まれて設けることができる。モーターステーター２１７とモーターステーター２１７を通って延在するローター１４９の部分の間には、半径方向のモーター間隙を有する中間空間２１９が配置されており、モーター間隙を介してモーターステーター２１７と永久磁石装置が駆動トルクの伝達の為に磁気的に影響し得る。
【００４８】
モーターステーター２１７は、ハウジング内において、電動モーター１２５の為に設けられたモーター空間１３７の内部に固定されている。シールガスコネクター１３５を介してシールガス（これはフラッシュガスとも称され、及び空気又は窒素であることが可能である）がモーター室１３７に至る。シールガスを介して電動モーター１２５はプロセスガス、例えば腐食作用のプロセスガスの部分から保護することができる。モーター室１３７は、ポンプアウトレット１１７を介しても真空引きされることができ、即ちモーター室１３７内は少なくとも近似的に、ポンプアウトレット１１７に接続される予真空ポンプによって引き起こされる真空圧となる。
【００４９】
その上、ローターハブ１６１とモーター室１３７を画成する壁部２２１の間には、特に、半径方向外側に位置するホルベックポンプ段に対するモーター室２１７のより良好なシールを達成するために、それ自体公知のいわゆるラビリンスシール２２３を設けることができる。
【００５０】
図６には装置２９が示されており、それを用いて上述のターボ分子ポンプ１１１のローターディスク１５５をバリ取りすることができる。
【００５１】
装置２９はロボットアーム３５に固定されているレーザー１７、光源３３、画像取得ユニット１３、制御装置３７及びローターディスク１５５用のキャリア４１を含む。制御装置３７は、光源３３、画像取得ユニット１３、ロボットアーム３５及びレーザー１７と結合されており、これらを制御するためにある。
【００５２】
図示されている実施例には、光源３３が画像取得ユニット１３から遠ざかっており、及びローターディスク１５５の正面４５に好ましくは全面に渡って照明を当てることができるように、キャリア４１に位置しているローターディスク１５５に対して位置決めされている。光源３３は、画像取得ユニット１３にも組み込むことができる。その上、一つより多い光源３３を設けることができる。
【００５３】
更に、図示されている実施例では装置２９は不動の構造であって、この構造中でローターディスク１５５が方法の開始時に位置決めされ、及びその構造中からローターディスク１５５が方法の終了後、まず再び除去される。しかしながら基本的には、装置２９の構造はここに示されている構造とも異なり得る。例えば、レーザー１７がローターディスク１５５を加工し得るために、レーザー１７は、画像取得ユニット１３から、画像取得の次にローターディスク１５５をレーザー１７のところへ運び、及び再配置されなければならないほどに、離れて配置することもできる。
【００５４】
更に、本発明の実施例に従って、制御装置３７以外、装置２９の構成要素は、すべて一つの共通のハウジング３１に組み込まれている。しかしながら、制御装置３７もハウジング３１の内側に配置することもまた可能である。ハウジング３１は、とりわけハウジングデッキ４３に配置されている画像取得ユニット１３及び光源３３の固定のために使用される。光源３３による最適な照明の為の改善した暗色化に対してもまたハウジング３１が寄与する。基本的にはハウジング３１を省いてもよい。
【００５５】
以下で、装置２９によるローターディスク１５５のバリ取りを説明する。
【００５６】
はじめに、ローターディスク１５５はキャリア４１上に位置決めされる。次に画像取得ユニット１３は、ローターディスク１５５の画像１１（図７）を取得し、その間にローターディスクが光源３３によって照射される。光源３３を用いた照明によって、ローターディスク１５５の正面４５が完全に照らされている。
【００５７】
その後で、図７の取得画像１１が制御装置３７内で処理される。特に、第一に画像１１のコントラストが上げられる。高いコントラストで結果生じた画像１１は図８に示されている。コントラストを上げることによって、構造部材の縁部１９、バリ２１及び切り粉２３をより良く検出することができるので、これによってエッジ検出の画像１１が準備される。
【００５８】
次に、高いコントラストの画像１１から成る非選択性のエッジ検出アルゴリズムを使用して、構造部材の縁部１９、バリ２１及び切り粉２３を含むローターディスク１５５の実際輪郭が算出される。換言すると、ローター１５５の輪郭及びバリ２１と切り粉２３の外郭は明確になりデジタル化される。
【００５９】
非選択性のエッジ検出アルゴリズムの利用結果は、図９に示されている。これはもはや、撮影され及び／又は加工した画像１１ではなく、ローターディスク１５５の実際輪郭４９のデジタル描写である。
【００６０】
その際実際輪郭４９は、構造部材の縁部１９から分離した要素２５も、構造部材の縁部１９に接続する要素２７も含む。分離した要素２５は主に、正面４５の平面でローターディスク１５５と連結しない、切り粉２３又はバリ２１である。他方、接続する要素２７は、平面４５の正面内で構造部材の縁部１９に対する接合部を備えるバリ２１又は構造部材の縁部１９とオーバーラップする切り粉２３である。換言すると、分離した切り粉２３は少なくとも部分的に正面４５上に置かれ、及び取得する画像１１内とそこから算出する実際輪郭４９で、構造部材の縁部１９と接続する要素２７のように見えてくる。
【００６１】
次のステップでは、構造部材の縁部１９から分離した要素２５が実際輪郭から除去される。それに応じて修正した実際輪郭４９が、図１０に示されている。
【００６２】
その後、接続する要素２７は、収縮アルゴリズムを用いて実際輪郭４９から計算上除去される。より正確には、最小厚さを満たさず、例えば構造要素の縁部１９のように一貫した構造に属してもいないすべての要素が実際輪郭から差し引かれる。最小厚さは例えば基本的には平行に配置されている二つの構造部材の縁部断片部４７から特定することができる。
【００６３】
時間的に、接続する要素２７より前に分離した要素２５の除去は、一つには分離する要素２５の除去が単純であり、及びまた一つには接続する要素２７の除去が単純化されるので有利である。
【００６４】
収縮アルゴリズムの実施によって、引き続きレーザー座標に変換される目標輪郭５１を実際輪郭４９から得る。
【００６５】
本来のバリ取りステップの為に、最終的にロボットアーム３５と、これに取り付けられているレーザー１７とが、制御装置３７により、レーザー１７が算出するレーザー座標に基づいて所望の目標輪郭５１をたどって、存在するバリ１９と切り粉２１をローターディスク１５５から実際に切り離すように制御される。
【００６６】
目標輪郭５１は、示された実施例で基本的にはバリ１９と切り粉２１がない実際輪郭４９に適合される。目標輪郭は変動する構造部材の縁部１９を付加的に含むこともまた可能である。換言すると、目標輪郭によって新たな構造部材の縁部１９もまた定義することができる。その際、レーザー１７はバリ取りの際に、バリ２１と切り粉２３を取り除くだけではなく、くわえてローターディスク１５５の中実材で切断を行う。これにより例えば、個別の構造を薄くし、縁を丸くし又は似たような変化を行うことによって、構造部材の縁部１９の位置及び／又は延長方向を変更することができる。
【００６７】
レーザー１７は、例えばローターディスク１５５のレーザーマーキングのような別のプロセスステップの為でも使用することができることがわかる。
【符号の説明】
【００６８】
１１  画像
１３  画像取得ユニット
１５  真空ポンプ構造部材
１７  レーザー
１９  構造部材の縁部
２１  バリ
２３  切り粉
２５  分離した要素
２７  接続する要素
２９  装置
３１  ハウジング
３３  光源
３５  ロボットアーム
３７  制御装置
３９  基板
４１  キャリア
４３  ハウジングデッキ
４５  正面
４７  構造部材の縁部断面部
４９  実際輪郭
５１  目標輪郭
１１１  ターボ分子ポンプ
１１３  インレットフランジ
１１５  ポンプインレット
１１７  ポンプアウトレット
１１９  ハウジング
１２１  下部分
１２３  エレクトロニクスハウジング
１２５  電動モーター
１２７  アクセサリー接続部
１２９  データインターフェース
１３１  電源供給接続部
１３３  フローインレット
１３５  シールガス接続部
１３７  モーター室
１３９  冷却媒体接続部
１４１  下側
１４３  スクリュー
１４５  支承部カバー
１４７  固定穴
１４８  冷却媒体配管
１４９  ローター
１５１  回転軸線
１５３  ローターシャフト
１５５  ローターディスク
１５７  ステーターディスク
１５９  スペーサーリング
１６１  ローターハブ
１６３  ホルベックロータースリーブ
１６５  ホルベックロータースリーブ
１６７  ホルベックステータースリーブ
１６９  ホルベックステータースリーブ
１７１  ホルベック間隙
１７３  ホルベック間隙
１７５  ホルベック間隙
１７９  接続チャネル
１８１  転がり軸受
１８３  永久磁石支承部
１８５  スプラッシュナット
１８７  ディスク
１８９  インサート
１９１  ローター側の支承半部
１９３  ステーター側の支承半部
１９５  リングマグネット
１９７  リングマグネット
１９９  支承間隙
２０１  キャリア部分
２０３  キャリア部分
２０５  半径方向の支柱
２０７  カバー要素
２０９  支持リング
２１１  固定リング
２１３  さらばね
２１５  緊急用又は安全用軸受
２１７  モーターステーター
２１９  中間空間
２２１  壁部
２２３  ラビリンスシール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2020097932.tif 000009
【図８】
2020097932.tif 000010
【図９】
2020097932.tif 000011
【図１０】
2020097932.tif 000012
【図１１】
2020097932.tif 000013
【外国語明細書】
2020097932000001.pdf