(57)【要約】【課題】測定対象に対するＨｉ側とＬｏ側の各ソース端子およびＨｉ側とＬｏ側の各センス端子の接触抵抗を個別に測定する。【解決手段】測定用信号源２の電源系の第１グランドＧ１と測定部３Ａの電源系における第２グランドＧ２とが電気的に分離され、測定部３Ａは、測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘを検出するための第４検出部２５Ａに加えて、各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを検出するための検査用信号源２１、第１検出部２２Ａ、第２検出部２３Ａ、第３検出部２４Ａおよび第５検出部２６Ａを備えている。また、処理部２７は、第１検出部２２Ａ〜第５検出部２６Ａから出力される第１検出電圧Ｖｄ１〜第５検出電圧Ｖｄ５に基づいて、内部抵抗Ｒｘおよび各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを算出（検出）する。【選択図】図１
2020076600.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｈｉ側とＬｏ側の各ソース端子間に接続される測定対象に交流測定電流を供給する測定用信号源と、前記交流測定電流により前記測定対象に生じる交流電圧をＨｉ側とＬｏ側の信号検出用の各センス端子を介して測定すると共に当該測定した交流電圧と前記交流測定電流とに基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定する測定部とを備えているインピーダンス測定装置であって、
前記測定用信号源の電源系における第１グランドと前記測定部の電源系における第２グランドとは電気的に分離され、
前記測定部は、
前記Ｈｉ側のセンス端子と前記第２グランドに接続された前記Ｌｏ側のセンス端子との間に接続される前記測定対象に交流検査電流を供給する検査用信号源と、
前記Ｈｉ側のソース端子に接続されて、当該Ｈｉ側のソース端子から前記Ｌｏ側のソース端子を介して前記第１グランドに至る経路に流れる前記交流測定電流に基づいて当該Ｈｉ側のソース端子に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第１検出電圧として出力する第１検出部と、
前記Ｌｏ側のソース端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｌｏ側のソース端子に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第２検出電圧として出力する第２検出部と、
前記Ｌｏ側のソース端子に接続されて、前記交流検査電流に基づいて当該Ｌｏ側のソース端子に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第３検出電圧として出力する第３検出部と、
前記Ｈｉ側のセンス端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｈｉ側のセンス端子に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第４検出電圧として出力する第４検出部と、
前記Ｈｉ側のセンス端子に接続されて、前記交流検査電流に基づいて当該Ｈｉ側のセンス端子に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第５検出電圧として出力する第５検出部と、
前記第１検出電圧、前記第２検出電圧、前記第３検出電圧、前記第４検出電圧、前記第５検出電圧、前記交流測定電流および前記交流検査電流に基づいて、前記Ｈｉ側のソース端子、前記Ｌｏ側のソース端子、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のそれぞれと前記測定対象との間の各接触抵抗、並びに前記インピーダンスを算出する処理部とを備えているインピーダンス測定装置。
【請求項２】
Ｈｉ側とＬｏ側の各ソース端子間に接続される測定対象に交流測定電流を供給する測定用信号源と、前記交流測定電流により前記測定対象に生じる交流電圧をＨｉ側とＬｏ側の信号検出用の各センス端子を介して測定すると共に当該測定した交流電圧と前記交流測定電流とに基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定する測定部とを備えているインピーダンス測定装置であって、
前記測定用信号源の電源系における第１グランドと前記測定部の電源系における第２グランドとは電気的に分離され、
前記測定部は、
前記Ｈｉ側のセンス端子と前記Ｌｏ側のセンス端子との間に接続される前記測定対象に交流検査電流を供給する検査用信号源と、
前記Ｈｉ側と前記Ｌｏ側の各ソース端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｈｉ側と当該Ｌｏ側の各ソース端子間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第１検出電圧として出力する第１検出部と、
前記Ｌｏ側のソース端子と前記Ｌｏ側のセンス端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｌｏ側のソース端子と当該Ｌｏ側のセンス端子との間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第２検出電圧として出力する第２検出部と、
前記Ｌｏ側のソース端子と前記Ｌｏ側のセンス端子に接続されて、前記交流検査電流に基づいて当該Ｌｏ側のソース端子と当該Ｌｏ側のセンス端子との間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第３検出電圧として出力する第３検出部と、
前記Ｈｉ側と前記Ｌｏ側の各センス端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｈｉ側と当該Ｌｏ側の各センス端子間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第４検出電圧として出力する第４検出部と、
前記Ｈｉ側と前記Ｌｏ側の各センス端子に接続されて、前記交流検査電流に基づいて当該Ｈｉ側と当該Ｌｏ側の各センス端子間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第５検出電圧として出力する第５検出部と、
前記第１検出電圧、前記第２検出電圧、前記第３検出電圧、前記第４検出電圧、前記第５検出電圧、前記交流測定電流および前記交流検査電流に基づいて、前記Ｈｉ側のソース端子、前記Ｌｏ側のソース端子、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のそれぞれと前記測定対象との間の各接触抵抗、並びに前記インピーダンスを算出する処理部とを備えているインピーダンス測定装置。
【請求項３】
Ｈｉ側とＬｏ側の各ソース端子間に接続される測定対象に交流測定電流を供給する測定用信号源と、前記交流測定電流により前記測定対象に生じる交流電圧をＨｉ側とＬｏ側の信号検出用の各センス端子を介して測定すると共に当該測定した交流電圧と前記交流測定電流とに基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定する測定部とを備えているインピーダンス測定装置であって、
前記測定用信号源の電源系における第１グランドと前記測定部の電源系における第２グランドとは電気的に分離され、
前記測定部は、
前記Ｈｉ側のセンス端子と前記Ｌｏ側のセンス端子との間に接続される前記測定対象に交流検査電流を供給する検査用信号源と、
前記Ｈｉ側と前記Ｌｏ側の各ソース端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｈｉ側と当該Ｌｏ側の各ソース端子間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第１検出電圧として出力する第１検出部と、
前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｈｉ側のセンス端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｈｉ側のソース端子と当該Ｈｉ側のセンス端子との間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第２検出電圧として出力する第２検出部と、
前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｈｉ側のセンス端子に接続されて、前記交流検査電流に基づいて当該Ｈｉ側のソース端子と当該Ｈｉ側のセンス端子との間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第３検出電圧として出力する第３検出部と、
前記Ｈｉ側と前記Ｌｏ側の各センス端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｈｉ側と当該Ｌｏ側の各センス端子間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第４検出電圧として出力する第４検出部と、
前記Ｈｉ側と前記Ｌｏ側の各センス端子に接続されて、前記交流検査電流に基づいて当該Ｈｉ側と当該Ｌｏ側の各センス端子間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第５検出電圧として出力する第５検出部と、
前記第１検出電圧、前記第２検出電圧、前記第３検出電圧、前記第４検出電圧、前記第５検出電圧、前記交流測定電流および前記交流検査電流に基づいて、前記Ｈｉ側のソース端子、前記Ｌｏ側のソース端子、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のそれぞれと前記測定対象との間の各接触抵抗、並びに前記インピーダンスを算出する処理部とを備えているインピーダンス測定装置。
【請求項４】
前記交流測定電流の周波数と前記交流検査電流の周波数とは、互いに異なる値に規定されている請求項１から３のいずれかに記載のインピーダンス測定装置。
【請求項５】
Ｈｉ側とＬｏ側の各ソース端子間に接続される測定対象に交流測定電流を供給する測定用信号源と、前記交流測定電流により前記測定対象に生じる交流電圧をＨｉ側とＬｏ側の信号検出用の各センス端子を介して測定すると共に当該測定した交流電圧と前記交流測定電流とに基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定する測定部とを備えているインピーダンス測定装置であって、
前記測定用信号源の電源系における第１グランドと前記測定部の電源系における第２グランドとは電気的に分離され、
前記測定部は、
前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｈｉ側のセンス端子との間に第１交流検査電流を供給する第１検査用信号源と、
前記Ｌｏ側のソース端子と前記Ｌｏ側のセンス端子との間に第２交流検査電流を供給する第２検査用信号源と、
前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｈｉ側のセンス端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｈｉ側のソース端子と当該Ｈｉ側のセンス端子との間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第１検出電圧として出力する第１検出部と、
前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｈｉ側のセンス端子に接続されて、前記第１交流検査電流に基づいて当該Ｈｉ側のソース端子と当該Ｈｉ側のセンス端子との間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第２検出電圧として出力する第２検出部と、
前記Ｌｏ側のソース端子と前記Ｌｏ側のセンス端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｌｏ側のソース端子と当該Ｌｏ側のセンス端子との間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第３検出電圧として出力する第３検出部と、
前記Ｌｏ側のソース端子と前記Ｌｏ側のセンス端子に接続されて、前記第２交流検査電流に基づいて当該Ｌｏ側のソース端子と当該Ｌｏ側のセンス端子との間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第４検出電圧として出力する第４検出部と、
前記Ｈｉ側と前記Ｌｏ側の各センス端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｈｉ側と当該Ｌｏ側の各センス端子間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第５検出電圧として出力する第５検出部と、
前記第１検出電圧、前記第２検出電圧、前記第３検出電圧、前記第４検出電圧、前記第５検出電圧、前記交流測定電流、前記第１交流検査電流および前記第２交流検査電流に基づいて、前記Ｈｉ側のソース端子、前記Ｌｏ側のソース端子、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のそれぞれと前記測定対象との間の各接触抵抗、並びに前記インピーダンスを算出する処理部とを備えているインピーダンス測定装置。
【請求項６】
前記交流測定電流の周波数と、前記第１交流検査電流の周波数および前記第２交流検査電流の周波数とは、互いに異なる値に規定されている請求項５記載のインピーダンス測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象に接続される一対のソース端子（電流供給端子）と一対のセンス端子（電圧検出端子）とを有する４線式の（インピーダンスを４端子法で測定する）インピーダンス測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、この種のインピーダンス測定装置として下記の特許文献１に開示された種々のインピーダンス測定装置が知られている。このインピーダンス測定装置のうちの１つのインピーダンス測定装置は、Ｈｉ側とＬｏ側の信号供給用の各ソース端子を介して測定対象（被測定試料）に交流の測定信号を供給する測定用信号源と、この測定信号により測定対象に生じる電圧をＨｉ側とＬｏ側の信号検出用の各センス端子を介して測定する測定部と、測定対象に対するＨｉ側のソース端子およびＨｉ側のセンス端子の接続状態を検出する第１断線検出手段と、測定対象に対するＬｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子の接続状態を検出する第２断線検出手段とを備えている。また、第１断線検出手段は、Ｈｉ側のソース端子およびＨｉ側のセンス端子を含むＨｉ側電流路に直流定電流を供給する第１直流定電流源と、第１直流定電流源の振幅と所定の第１基準電圧とを比較して判定信号を出力する第１比較器とを備えている。また、第２断線検出手段は、Ｌｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子を含むＬｏ側電流路に直流定電流を供給する第２直流定電流源と、第２直流定電流源の振幅と所定の第２基準電圧とを比較して判定信号を出力する第２比較器とを備えている。
【０００３】
また、他のインピーダンス測定装置は、Ｈｉ側とＬｏ側の信号供給用の各ソース端子を介して測定対象（被測定試料）に交流の測定信号を供給する測定用信号源と、この測定信号により測定対象に生じる電圧をＨｉ側とＬｏ側の信号検出用の各センス端子を介して測定する測定部とを備えている。また、インピーダンス測定装置では、測定用信号源と測定部は、グランドが電気的に分離されている電源系を別々に有し、測定部は、Ｈｉ側のセンス端子とＬｏ側のセンス端子との間に断線検出用の交流定電流を供給する断線検出用交流定電流源と、断線検出用の交流定電流により各センス端子に生じる電圧を検出する電圧検出手段とを備えている。
【０００４】
これらのインピーダンス測定装置のうちの前者のインピーダンス測定装置によれば、上記の構成の第１断線検出手段および第２断線検出手段を備えたことにより、測定中においても、各端子の断線検出（測定対象に対するＨｉ側のソース端子およびＨｉ側のセンス端子の接続状態の検出と、測定対象に対するＬｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子の接続状態の検出）を行うことが可能となっている。また、前者のインピーダンス測定装置によれば、上記の構成の断線検出用交流定電流源および電圧検出手段を備えたことにより、測定中においても、各端子の断線状態（測定対象に対するＨｉ側のセンス端子およびＬｏ側のセンス端子の接続状態の検出）を行うことが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−３２２８２１号公報（第７−９頁、第１，４図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、上記した２つのインピーダンス測定装置では、測定対象に対する一対の端子全体としての接続状態の検出は可能なものの、２つのインピーダンス測定装置には、測定対象に対するこの一対の端子個々の接続状態の検出はできないという改善すべき課題が存在している。
【０００７】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、測定対象に対するＨｉ側のソース端子、Ｈｉ側のセンス端子、Ｌｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子のそれぞれの接続状態を示す接触抵抗を個別に測定（検出）し得るインピーダンス測定装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成すべく請求項１記載のインピーダンス測定装置は、Ｈｉ側とＬｏ側の各ソース端子間に接続される測定対象に交流測定電流を供給する測定用信号源と、前記交流測定電流により前記測定対象に生じる交流電圧をＨｉ側とＬｏ側の信号検出用の各センス端子を介して測定すると共に当該測定した交流電圧と前記交流測定電流とに基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定する測定部とを備えているインピーダンス測定装置であって、前記測定用信号源の電源系における第１グランドと前記測定部の電源系における第２グランドとは電気的に分離され、前記測定部は、前記Ｈｉ側のセンス端子と前記第２グランドに接続された前記Ｌｏ側のセンス端子との間に接続される前記測定対象に交流検査電流を供給する検査用信号源と、前記Ｈｉ側のソース端子に接続されて、当該Ｈｉ側のソース端子から前記Ｌｏ側のソース端子を介して前記第１グランドに至る経路に流れる前記交流測定電流に基づいて当該Ｈｉ側のソース端子に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第１検出電圧として出力する第１検出部と、前記Ｌｏ側のソース端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｌｏ側のソース端子に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第２検出電圧として出力する第２検出部と、前記Ｌｏ側のソース端子に接続されて、前記交流検査電流に基づいて当該Ｌｏ側のソース端子に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第３検出電圧として出力する第３検出部と、前記Ｈｉ側のセンス端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｈｉ側のセンス端子に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第４検出電圧として出力する第４検出部と、前記Ｈｉ側のセンス端子に接続されて、前記交流検査電流に基づいて当該Ｈｉ側のセンス端子に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第５検出電圧として出力する第５検出部と、前記第１検出電圧、前記第２検出電圧、前記第３検出電圧、前記第４検出電圧、前記第５検出電圧、前記交流測定電流および前記交流検査電流に基づいて、前記Ｈｉ側のソース端子、前記Ｌｏ側のソース端子、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のそれぞれと前記測定対象との間の各接触抵抗、並びに前記インピーダンスを算出する処理部とを備えている。
【０００９】
また、請求項２記載のインピーダンス測定装置は、Ｈｉ側とＬｏ側の各ソース端子間に接続される測定対象に交流測定電流を供給する測定用信号源と、前記交流測定電流により前記測定対象に生じる交流電圧をＨｉ側とＬｏ側の信号検出用の各センス端子を介して測定すると共に当該測定した交流電圧と前記交流測定電流とに基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定する測定部とを備えているインピーダンス測定装置であって、前記測定用信号源の電源系における第１グランドと前記測定部の電源系における第２グランドとは電気的に分離され、前記測定部は、前記Ｈｉ側のセンス端子と前記Ｌｏ側のセンス端子との間に接続される前記測定対象に交流検査電流を供給する検査用信号源と、前記Ｈｉ側と前記Ｌｏ側の各ソース端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｈｉ側と当該Ｌｏ側の各ソース端子間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第１検出電圧として出力する第１検出部と、前記Ｌｏ側のソース端子と前記Ｌｏ側のセンス端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｌｏ側のソース端子と当該Ｌｏ側のセンス端子との間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第２検出電圧として出力する第２検出部と、前記Ｌｏ側のソース端子と前記Ｌｏ側のセンス端子に接続されて、前記交流検査電流に基づいて当該Ｌｏ側のソース端子と当該Ｌｏ側のセンス端子との間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第３検出電圧として出力する第３検出部と、前記Ｈｉ側と前記Ｌｏ側の各センス端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｈｉ側と当該Ｌｏ側の各センス端子間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第４検出電圧として出力する第４検出部と、前記Ｈｉ側と前記Ｌｏ側の各センス端子に接続されて、前記交流検査電流に基づいて当該Ｈｉ側と当該Ｌｏ側の各センス端子間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第５検出電圧として出力する第５検出部と、前記第１検出電圧、前記第２検出電圧、前記第３検出電圧、前記第４検出電圧、前記第５検出電圧、前記交流測定電流および前記交流検査電流に基づいて、前記Ｈｉ側のソース端子、前記Ｌｏ側のソース端子、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のそれぞれと前記測定対象との間の各接触抵抗、並びに前記インピーダンスを算出する処理部とを備えている。
【００１０】
また、請求項３記載のインピーダンス測定装置は、Ｈｉ側とＬｏ側の各ソース端子間に接続される測定対象に交流測定電流を供給する測定用信号源と、前記交流測定電流により前記測定対象に生じる交流電圧をＨｉ側とＬｏ側の信号検出用の各センス端子を介して測定すると共に当該測定した交流電圧と前記交流測定電流とに基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定する測定部とを備えているインピーダンス測定装置であって、前記測定用信号源の電源系における第１グランドと前記測定部の電源系における第２グランドとは電気的に分離され、前記測定部は、前記Ｈｉ側のセンス端子と前記Ｌｏ側のセンス端子との間に接続される前記測定対象に交流検査電流を供給する検査用信号源と、前記Ｈｉ側と前記Ｌｏ側の各ソース端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｈｉ側と当該Ｌｏ側の各ソース端子間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第１検出電圧として出力する第１検出部と、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｈｉ側のセンス端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｈｉ側のソース端子と当該Ｈｉ側のセンス端子との間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第２検出電圧として出力する第２検出部と、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｈｉ側のセンス端子に接続されて、前記交流検査電流に基づいて当該Ｈｉ側のソース端子と当該Ｈｉ側のセンス端子との間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第３検出電圧として出力する第３検出部と、前記Ｈｉ側と前記Ｌｏ側の各センス端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｈｉ側と当該Ｌｏ側の各センス端子間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第４検出電圧として出力する第４検出部と、前記Ｈｉ側と前記Ｌｏ側の各センス端子に接続されて、前記交流検査電流に基づいて当該Ｈｉ側と当該Ｌｏ側の各センス端子間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第５検出電圧として出力する第５検出部と、前記第１検出電圧、前記第２検出電圧、前記第３検出電圧、前記第４検出電圧、前記第５検出電圧、前記交流測定電流および前記交流検査電流に基づいて、前記Ｈｉ側のソース端子、前記Ｌｏ側のソース端子、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のそれぞれと前記測定対象との間の各接触抵抗、並びに前記インピーダンスを算出する処理部とを備えている。
【００１１】
また、請求項４記載のインピーダンス測定装置は、請求項１から３のいずれかに記載のインピーダンス測定装置において、前記交流測定電流の周波数と前記交流検査電流の周波数とは、互いに異なる値に規定されている。
【００１２】
また、請求項５記載のインピーダンス測定装置は、Ｈｉ側とＬｏ側の各ソース端子間に接続される測定対象に交流測定電流を供給する測定用信号源と、前記交流測定電流により前記測定対象に生じる交流電圧をＨｉ側とＬｏ側の信号検出用の各センス端子を介して測定すると共に当該測定した交流電圧と前記交流測定電流とに基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定する測定部とを備えているインピーダンス測定装置であって、前記測定用信号源の電源系における第１グランドと前記測定部の電源系における第２グランドとは電気的に分離され、前記測定部は、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｈｉ側のセンス端子との間に第１交流検査電流を供給する第１検査用信号源と、前記Ｌｏ側のソース端子と前記Ｌｏ側のセンス端子との間に第２交流検査電流を供給する第２検査用信号源と、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｈｉ側のセンス端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｈｉ側のソース端子と当該Ｈｉ側のセンス端子との間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第１検出電圧として出力する第１検出部と、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｈｉ側のセンス端子に接続されて、前記第１交流検査電流に基づいて当該Ｈｉ側のソース端子と当該Ｈｉ側のセンス端子との間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第２検出電圧として出力する第２検出部と、前記Ｌｏ側のソース端子と前記Ｌｏ側のセンス端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｌｏ側のソース端子と当該Ｌｏ側のセンス端子との間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第３検出電圧として出力する第３検出部と、前記Ｌｏ側のソース端子と前記Ｌｏ側のセンス端子に接続されて、前記第２交流検査電流に基づいて当該Ｌｏ側のソース端子と当該Ｌｏ側のセンス端子との間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第４検出電圧として出力する第４検出部と、前記Ｈｉ側と前記Ｌｏ側の各センス端子に接続されて、前記交流測定電流に基づいて当該Ｈｉ側と当該Ｌｏ側の各センス端子間に生じる電圧を、前記第２グランドを基準として検出して第５検出電圧として出力する第５検出部と、前記第１検出電圧、前記第２検出電圧、前記第３検出電圧、前記第４検出電圧、前記第５検出電圧、前記交流測定電流、前記第１交流検査電流および前記第２交流検査電流に基づいて、前記Ｈｉ側のソース端子、前記Ｌｏ側のソース端子、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のそれぞれと前記測定対象との間の各接触抵抗、並びに前記インピーダンスを算出する処理部とを備えている。
【００１３】
また、請求項６記載のインピーダンス測定装置は、請求項５記載のインピーダンス測定装置において、前記交流測定電流の周波数と、前記第１交流検査電流の周波数および前記第２交流検査電流の周波数とは、互いに異なる値に規定されている。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１，２，３記載のインピーダンス測定装置によれば、測定用信号源用の第１グランドと測定部用の第２グランドとが電気的に分離されると共に、測定対象のインピーダンスを検出（測定）するための検出部に加えて、各接触抵抗を検出（測定）するための検査用信号源および検出部を備えたことにより、Ｈｉ側とＬｏ側の信号供給用の各ソース端子、およびＨｉ側とＬｏ側の信号検出用の各センス端子と測定対象における対応する電極との間の接触抵抗を個別に測定することができる。
【００１５】
また、請求項４記載のインピーダンス測定装置によれば、交流測定電流の周波数と交流検査電流の周波数とを互いに異なる値に規定したことにより、測定用信号源から測定対象への交流測定電流の供給と、検査用信号源から測定対象への交流検査電流の供給とを同時に実行して、測定対象のインピーダンスおよび各接触抵抗を測定することができるため、測定時間を短縮することができる。
【００１６】
請求項５記載のインピーダンス測定装置によれば、測定用信号源用の第１グランドと測定部用の第２グランドとが電気的に分離されると共に、測定対象のインピーダンスを検出（測定）するための検出部に加えて、各接触抵抗を検出（測定）するための第１検査用信号源、第２検査用信号源および検出部を備えたことにより、Ｈｉ側とＬｏ側の信号供給用の各ソース端子、およびＨｉ側とＬｏ側の信号検出用の各センス端子と測定対象における対応する電極との間の接触抵抗を個別に測定することができる。
【００１７】
また、請求項６記載のインピーダンス測定装置によれば、交流測定電流の周波数と、第１交流検査電流の周波数と、第２交流検査電流の周波数とを互いに異なる値に規定したことにより、測定用信号源から測定対象への交流測定電流の供給と、２つの検査用信号源から測定対象への交流検査電流の供給とを同時に実行して、測定対象のインピーダンスおよび各接触抵抗を測定することができるため、測定時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】インピーダンス測定装置１Ａの構成を示す構成図である。
【図２】インピーダンス測定装置１Ｂの構成を示す構成図である。
【図３】インピーダンス測定装置１Ｃの構成を示す構成図である。
【図４】インピーダンス測定装置１Ｄの構成を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、インピーダンス測定装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２０】
最初に、インピーダンス測定装置としてのインピーダンス測定装置１Ａの構成について、図１を参照して説明する。
【００２１】
インピーダンス測定装置１Ａは、Ｈｉ側のソース端子Ｈｃ（測定信号供給用のソース端子）、Ｌｏ側のソース端子Ｌｃ（測定信号供給用のソース端子）、Ｈｉ側のセンス端子Ｈｐ（信号検出用のセンス端子）、Ｌｏ側のセンス端子Ｌｐ（信号検出用のセンス端子）、測定用信号源２、および測定部３Ａを備えて、測定対象ＤＵＴの一方の電極にＨｉ側のソース端子ＨｃおよびＨｉ側のセンス端子Ｈｐが接続され（例えば、不図示の測定ケーブルを介して接続され）、測定対象ＤＵＴの他方の電極にＬｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐが接続された（例えば、不図示の測定ケーブルを介して接続された）状態において、測定対象ＤＵＴのインピーダンスを測定可能に構成されている。本例では一例として、インピーダンス測定装置１Ａは、バッテリを測定対象ＤＵＴとして、Ｈｉ側のソース端子ＨｃおよびＨｉ側のセンス端子Ｈｐが測定対象ＤＵＴとしてのバッテリの正極に接続され、かつＬｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐがバッテリの負極に接続された状態において、インピーダンスとしてのバッテリの内部抵抗Ｒｘを測定するものとする。
【００２２】
測定用信号源２は、Ｈｉ側とＬｏ側の各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃ間に接続される測定対象ＤＵＴに交流測定電流Ｉｍ（周波数ｆ１）を供給する。一例として、測定用信号源２は、交流信号源１１、演算増幅器１２、帰還抵抗１３、接地抵抗１４およびカップリングコンデンサ１５を備えている。また、測定用信号源２は、測定用信号源２用の不図示の電源系（以下では、第１電源系ともいう）から供給される直流電圧（第１グランドＧ１の電位を基準とする直流電圧（直流正電圧および直流負電圧））に基づいて動作する。
【００２３】
交流信号源１１は、一定の振幅（既知）で、かつ一定の周波数ｆ１の交流信号Ｖ１（正弦波電圧信号）を出力する。また、交流信号源１１は、交流信号Ｖ１に同期した周波数ｆ１の同期信号ＳＳＹ１を出力する。演算増幅器１２は、出力端子と反転入力端子との間に帰還抵抗１３が接続されると共に、反転入力端子が接地抵抗１４を介して第１グランドＧ１に接続されて、非反転入力端子に入力された交流信号Ｖ１を増幅して出力する。また、演算増幅器１２は、出力端子がカップリングコンデンサ１５を介してソース端子Ｈｃに接続され、かつ反転入力端子がソース端子Ｌｃに接続されている。この構成により、演算増幅器１２は、交流信号Ｖ１の電圧値を接地抵抗１４の抵抗値で除算して得られる既知の電流値の交流定電流を交流測定電流Ｉｍとして、ソース端子Ｈｃ，Ｌｃ間に接続される測定対象ＤＵＴに供給可能となっている。また、測定用信号源２用の上記の直流電圧（作動用の直流正電圧および直流負電圧）の基準となる第１グランドＧ１は、後述するように、測定部３Ａ用の直流電圧（作動用の直流正電圧および直流負電圧）の基準となる第２グランドＧ２とは電気的に分離されていることから、交流測定電流Ｉｍは、図１に示すように、演算増幅器１２の出力端子から、カップリングコンデンサ１５、ソース端子Ｈｃ、測定対象ＤＵＴ、ソース端子Ｌｃおよび接地抵抗１４を介して第１グランドＧ１に至る経路にのみ流れる。なお、本例の測定対象ＤＵＴは、直流起電力を発生させるバッテリであることから、この直流起電力が演算増幅器１２の出力端子に印加される事態を回避するために、カップリングコンデンサ１５が設けられている。したがって、測定対象ＤＵＴが直流起電力を発生させないものであるときには、カップリングコンデンサ１５を設けることなく、演算増幅器１２の出力端子をソース端子Ｈｃに直接接続する構成を採用することもできる。
【００２４】
測定部３Ａは、検査用信号源２１、第１検出部２２Ａ、第２検出部２３Ａ、第３検出部２４Ａ、第４検出部２５Ａ、第５検出部２６Ａ、処理部２７および出力部２８を備えて、測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘと共に、Ｈｉ側のソース端子Ｈｃと測定対象ＤＵＴの正極との間の接触抵抗ＲＨＣ、Ｌｏ側のソース端子Ｌｃと測定対象ＤＵＴの負極との間の接触抵抗ＲＬＣ、Ｈｉ側のセンス端子Ｈｐと測定対象ＤＵＴの正極との間の接触抵抗ＲＨＰ、およびＬｏ側のセンス端子Ｌｐと測定対象ＤＵＴの負極との間の接触抵抗ＲＬＰを測定する。なお、各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰは、接触抵抗自体であってもよいし、接触抵抗に加えて、端子Ｈｃ，Ｌｃ，Ｈｐ，Ｌｐのうちの対応する端子から、測定対象ＤＵＴの正極および負極のうちの対応する電極までの間の配線抵抗（測定ケーブルの抵抗）を含む概念であってもよい。また、測定部３Ａは、測定部３Ａ用の不図示の電源系（上記の第１電源系とは電気的に分離された別の電源系。以下では、第２電源系ともいう）から供給される直流電圧（第１グランドＧ１とは電気的に分離された第２グランドＧ２の電位を基準とする直流電圧（直流正電圧および直流負電圧））に基づいて動作する。
【００２５】
検査用信号源２１は、交流信号源２１ａおよびカップリングコンデンサ２１ｂを備えている。交流信号源２１ａは、センス端子Ｈｐ、および第２グランドＧ２に接続されたセンス端子Ｌｐ間に、カップリングコンデンサ２１ｂと直列接続された状態で接続されて、一定の電流値（既知）で、かつ一定の周波数ｆ２（周波数ｆ１とは異なる周波数）の正弦波定電流を交流検査電流Ｉｄとして、測定対象ＤＵＴに供給する。また、上記のように測定部３Ａ用の直流電圧の基準となる第２グランドＧ２は、測定用信号源２用の直流電圧の基準となる第１グランドＧ１と電気的に分離されていることから、交流検査電流Ｉｄは、図１に示すように、交流信号源２１ａから、カップリングコンデンサ２１ｂ、センス端子Ｈｐ、測定対象ＤＵＴおよびセンス端子Ｌｐを介して交流信号源２１ａに戻る経路にのみ流れる。また、交流信号源２１ａは、交流検査電流Ｉｄに同期した周波数ｆ２の同期信号ＳＳＹ２を出力する。なお、本例では、測定対象ＤＵＴから出力される直流起電力が交流信号源２１ａの出力端子間に印加される事態を回避するために、カップリングコンデンサ２１ｂが設けられている。したがって、測定対象ＤＵＴが直流起電力を発生させないものであるときには、カップリングコンデンサ２１ｂを設けることなく、交流信号源２１ａをセンス端子Ｈｐ，Ｌｐ間に直接接続する構成を採用することもできる。
【００２６】
第１検出部２２Ａは、Ｈｉ側のソース端子Ｈｃに接続されて、ソース端子ＨｃからＬｏ側のソース端子Ｌｃを介して第１グランドＧ１に至る経路に流れる交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｈｃに生じる電圧（正弦波電圧信号）ＶＨＣ１を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨＣ１の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流電圧である第１検出電圧Ｖｄｖ１を出力する。
【００２７】
一例として、第１検出部２２Ａは、カップリングコンデンサ３１、第１増幅器３２、第１フィルタ（図１では、第１ＦＬと表記する）３３、検波回路３４および第２フィルタ（図１では、第２ＦＬと表記する）３５を備えて構成されている。
【００２８】
カップリングコンデンサ３１は、一端がソース端子Ｈｃに接続されている。このカップリングコンデンサ３１は、測定対象ＤＵＴの直流起電力が第１増幅器３２を構成する後述の演算増幅器３２ａにおける非反転入力端子に印加される事態を回避するために設けられている。したがって、測定対象ＤＵＴが直流起電力を発生させないものであるときには、カップリングコンデンサ３１を設けることなく、演算増幅器３２ａの非反転入力端子をソース端子Ｈｃに直接接続する構成を採用することもできる。
【００２９】
第１増幅器３２は、非反転入力端子がカップリングコンデンサ３１の他端に接続され、反転入力端子が入力抵抗３２ｂを介して第２グランドＧ２に接続され、かつ出力端子と反転入力端子との間に帰還抵抗３２ｃが接続されて、非反転増幅器として機能する演算増幅器３２ａで構成されている。この構成により、第１増幅器３２は、ソース端子Ｈｃに生じる交流電圧ＶＨＣ（電圧成分として電圧ＶＨＣ１を含む電圧）をカップリングコンデンサ３１を介して入力すると共に、規定の増幅率で増幅して、増幅信号として出力する。
【００３０】
第１フィルタ３３は、交流測定電流Ｉｍの周波数ｆ１（交流信号Ｖ１の周波数でもある）と同じ周波数の信号成分を主として通過させる狭帯域通過型フィルタとして構成されている。この構成により、第１フィルタ３３は、第１増幅器３２から出力される増幅信号を入力すると共に、この増幅信号に含まれている通過帯域外の周波数成分（ノイズ成分）を除去して出力する。
【００３１】
検波回路３４は、一例として乗算器を用いて構成されて、第１フィルタ３３から出力される信号と交流信号源１１から出力される同期信号ＳＳＹ１とを乗算することにより（言い換えれば、第１フィルタ３３から出力される信号をこの同期信号ＳＳＹ１で同期検波することにより）、電圧ＶＨＣを構成する電圧成分のうちの交流測定電流Ｉｍに基づく電圧成分（電圧ＶＨＣ１）の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。第２フィルタ３５は、低域通過型フィルタとして構成されて、検波回路３４から出力される直流信号を入力して、交流成分を除去して平滑化することにより、第１検出電圧Ｖｄｖ１を出力する。
【００３２】
この場合、第１検出電圧Ｖｄｖ１は、交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｈｃに生じる電圧ＶＨＣ１を、第２グランドＧ２を基準として検出して得られる電圧であることから、その電圧値は、内部抵抗Ｒｘと接触抵抗ＲＨＣの直列合成抵抗（Ｒｘ＋ＲＨＣ）に比例する値（∝Ｒｘ＋ＲＨＣ）となっている。このため、第１検出電圧Ｖｄｖ１の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算することにより、直列合成抵抗（Ｒｘ＋ＲＨＣ）が算出される。
【００３３】
第２検出部２３Ａは、Ｌｏ側のソース端子Ｌｃに接続されて、交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｌｃに生じる電圧（正弦波電圧信号）ＶＬＣ１を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＬＣ１の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流電圧である第２検出電圧Ｖｄｖ２を出力する。
【００３４】
一例として、第２検出部２３Ａは、カップリングコンデンサ４１、第２増幅器４２、第３フィルタ（図１では、第３ＦＬと表記する）４３、検波回路４４および第４フィルタ（図１では、第４ＦＬと表記する）４５を備えて構成されている。
【００３５】
カップリングコンデンサ４１は、一端がソース端子Ｌｃに接続されている。このカップリングコンデンサ４１は、測定対象ＤＵＴの直流起電力が第２増幅器４２を構成する後述の演算増幅器４２ａにおける非反転入力端子に印加される事態を回避するために設けられている。したがって、測定対象ＤＵＴが直流起電力を発生させないものであるときには、カップリングコンデンサ４１を設けることなく、演算増幅器４２ａの非反転入力端子をソース端子Ｌｃに直接接続する構成を採用することもできる。
【００３６】
第２増幅器４２は、非反転入力端子がカップリングコンデンサ４１の他端に接続され、反転入力端子が入力抵抗４２ｂを介して第２グランドＧ２に接続され、かつ出力端子と反転入力端子との間に帰還抵抗４２ｃが接続されて、非反転増幅器として機能する演算増幅器４２ａで構成されている。この構成により、第２増幅器４２は、ソース端子Ｌｃに生じる交流電圧ＶＬＣ（電圧成分として電圧ＶＬＣ１および後述する電圧ＶＬＣ２を含む電圧）をカップリングコンデンサ４１を介して入力すると共に、規定の増幅率で増幅して、増幅信号として出力する。
【００３７】
第３フィルタ４３は、交流測定電流Ｉｍの周波数ｆ１および交流検査電流Ｉｄの周波数ｆ２を含む周波数帯域の信号成分を主として通過させる狭帯域通過型フィルタとして構成されている。この構成により、第３フィルタ４３は、第２増幅器４２から出力される増幅信号を入力すると共に、この増幅信号に含まれている通過帯域外の周波数成分（ノイズ成分）を除去して出力する。
【００３８】
検波回路４４は、一例として乗算器を用いて構成されて、第３フィルタ４３から出力される信号と同期信号ＳＳＹ１とを乗算することにより（言い換えれば、第３フィルタ４３から出力される信号をこの同期信号ＳＳＹ１で同期検波することにより）、電圧ＶＬＣを構成する電圧成分のうちの交流測定電流Ｉｍに基づく電圧成分（電圧ＶＬＣ１）の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。第４フィルタ４５は、低域通過型フィルタとして構成されて、検波回路４４から出力される直流信号を入力して、交流成分を除去して平滑化することにより、第２検出電圧Ｖｄｖ２を出力する。
【００３９】
この場合、第２検出電圧Ｖｄｖ２は、交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｌｃに生じる電圧ＶＬＣ１を、第２グランドＧ２を基準として検出して得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲＬＣに比例する値（∝ＲＬＣ）となっている。このため、第２検出電圧Ｖｄｖ２の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲＬＣが算出される。
【００４０】
第３検出部２４Ａは、Ｌｏ側のソース端子Ｌｃに接続されて、交流検査電流Ｉｄに基づいてソース端子Ｌｃに生じる電圧（正弦波電圧信号）ＶＬＣ２を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＬＣ２の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流電圧であるＶｄｖ３を出力する。
【００４１】
一例として、第３検出部２４Ａは、カップリングコンデンサ４１、第２増幅器４２、第３フィルタ４３、検波回路５４および第５フィルタ（図１では、第５ＦＬと表記する）５５を備えて構成されている。本例の第３検出部２４Ａでは、一例として、カップリングコンデンサ４１、第２増幅器４２および第３フィルタ４３については、第２検出部２３Ａと共有する構成を採用して、インピーダンス測定装置１Ａを構成する部品点数の削減を図っているが、この構成に限定されるものではない。例えば、図示はしないが、カップリングコンデンサ４１、第２増幅器４２および第３フィルタ４３に相当する第３検出部２４Ａ専用の構成要素を設けてもよいし、カップリングコンデンサ４１については共有として、第２増幅器４２および第３フィルタ４３に相当する第３検出部２４Ａ専用の構成要素を設けてもよいし、カップリングコンデンサ４１および第２増幅器４２については共有として、第３フィルタ４３に相当する第３検出部２４Ａ専用の構成要素を設けてもよい。
【００４２】
検波回路５４は、一例として乗算器を用いて構成されて、第３フィルタ４３から出力される信号と交流信号源２１ａから出力される同期信号ＳＳＹ２とを乗算することにより（言い換えれば、第３フィルタ４３から出力される信号をこの同期信号ＳＳＹ２で同期検波することにより）、電圧ＶＬＣを構成する電圧成分のうちの交流検査電流Ｉｄに基づく電圧成分（電圧ＶＬＣ２）の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。第５フィルタ５５は、低域通過型フィルタとして構成されて、検波回路５４から出力される直流信号を入力して、交流成分を除去して平滑化することにより、第３検出電圧Ｖｄｖ３を出力する。
【００４３】
この場合、第３検出電圧Ｖｄｖ３は、交流検査電流Ｉｄに基づいてソース端子Ｌｃに生じる電圧ＶＬＣ２を、第２グランドＧ２を基準として検出して得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲＬｐに比例する値（∝ＲＬｐ）となっている。このため、第３検出電圧Ｖｄｖ３の電圧値を交流検査電流Ｉｄの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲＬＰが算出される。
【００４４】
第４検出部２５Ａは、Ｈｉ側のセンス端子Ｈｐに接続されて、交流測定電流Ｉｍに基づいてセンス端子Ｈｐに生じる電圧ＶＨＰ１を、第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨＰ１の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流電圧である第４検出電圧Ｖｄｖ４を出力する。
【００４５】
一例として、第４検出部２５Ａは、カップリングコンデンサ６１、第３増幅器６２、第６フィルタ（図１では、第６ＦＬと表記する）６３、検波回路６４および第７フィルタ（図１では、第７ＦＬと表記する）６５を備えて構成されている。
【００４６】
カップリングコンデンサ６１は、一端がセンス端子Ｈｐに接続されている。第３増幅器６２は、非反転入力端子がカップリングコンデンサ６１の他端に接続され、反転入力端子が入力抵抗６２ｂを介して第２グランドＧ２に接続され、かつ出力端子と反転入力端子との間に帰還抵抗６２ｃが接続されて、非反転増幅器として機能する演算増幅器６２ａで構成されている。この構成により、第３増幅器６２は、センス端子Ｈｐに生じる交流電圧ＶＨＰ（電圧成分として電圧ＶＨＰ１および後述する電圧ＶＨＰ２を含む電圧）をカップリングコンデンサ６１を介して入力すると共に、規定の増幅率で増幅して、増幅信号として出力する。なお、本例では、測定対象ＤＵＴから出力される直流起電力が第３増幅器６２の入力端子に印加される事態を回避するために、カップリングコンデンサ６１が設けられている。したがって、測定対象ＤＵＴが直流起電力を発生させないものであるときには、カップリングコンデンサ６１を設けることなく、第３増幅器６２を構成する演算増幅器６２ａの非反転入力端子をセンス端子Ｈｐに直接接続する構成を採用することもできる。
【００４７】
第６フィルタ６３は、交流測定電流Ｉｍの周波数ｆ１および交流検査電流Ｉｄの周波数ｆ２を含む周波数帯域の信号成分を主として通過させる狭帯域通過型フィルタとして構成されている。この構成により、第６フィルタ６３は、第３増幅器６２から出力される増幅信号を入力すると共に、この増幅信号に含まれている通過帯域外の周波数成分（ノイズ成分）を除去して出力する。
【００４８】
検波回路６４は、一例として乗算器を用いて構成されて、第６フィルタ６３から出力される信号と同期信号ＳＳＹ１とを乗算することにより（言い換えれば、第６フィルタ６３から出力される信号をこの同期信号ＳＳＹ１で同期検波することにより）、電圧ＶＨＰを構成する電圧成分のうちの交流測定電流Ｉｍに基づく電圧成分（電圧ＶＨＰ１）の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。第７フィルタ６５は、低域通過型フィルタとして構成されて、検波回路６４から出力される直流信号を入力して、交流成分を除去して平滑化することにより、第４検出電圧Ｖｄｖ４を出力する。
【００４９】
この場合、第４検出電圧Ｖｄｖ４は、交流測定電流Ｉｍに基づいてセンス端子Ｈｐに生じる電圧ＶＨＰ１を、第２グランドＧ２を基準として検出して得られる電圧であることから、その電圧値は、内部抵抗Ｒｘに比例する値（∝Ｒｘ）となっている。このため、第４検出電圧Ｖｄｖ４の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算することにより、内部抵抗Ｒｘが算出される。
【００５０】
第５検出部２６Ａは、センス端子Ｈｐに接続されて、交流検査電流Ｉｄに基づいてセンス端子Ｈｐに生じる電圧（正弦波電圧信号）ＶＨＰ２を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨＰ２の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流電圧である第５検出電圧Ｖｄｖ５を出力する。
【００５１】
一例として、第５検出部２６Ａは、カップリングコンデンサ６１、第３増幅器６２、第６フィルタ６３、検波回路７４および第８フィルタ（図１では、第８ＦＬと表記する）７５を備えて構成されている。本例の第５検出部２６Ａでは、一例として、カップリングコンデンサ６１、第３増幅器６２および第６フィルタ６３については、第４検出部２５Ａと共有する構成を採用して、インピーダンス測定装置１Ａを構成する部品点数の削減を図っているが、この構成に限定されるものではない。例えば、図示はしないが、カップリングコンデンサ６１、第３増幅器６２および第６フィルタ６３に相当する第５検出部２６Ａ専用の構成要素を設けてもよいし、カップリングコンデンサ６１については共有として、第３増幅器６２および第６フィルタ６３に相当する第５検出部２６Ａ専用の構成要素を設けてもよいし、カップリングコンデンサ６１および第３増幅器６２については共有として、第６フィルタ６３に相当する第５検出部２６Ａ専用の構成要素を設けてもよい。
【００５２】
検波回路７４は、一例として乗算器を用いて構成されて、第６フィルタ６３から出力される信号と交流信号源２１ａから出力される同期信号ＳＳＹ２とを乗算することにより（言い換えれば、第６フィルタ６３から出力される信号をこの同期信号ＳＳＹ２で同期検波することにより）、電圧ＶＨＰを構成する電圧成分のうちの交流検査電流Ｉｄに基づく電圧成分（電圧ＶＨＰ２）の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。第８フィルタ７５は、低域通過型フィルタとして構成されて、検波回路７４から出力される直流信号を入力して、交流成分を除去して平滑化することにより、第５検出電圧Ｖｄｖ５を出力する。
【００５３】
この場合、第５検出電圧Ｖｄｖ５は、交流検査電流Ｉｄに基づいてセンス端子Ｈｐに生じる電圧ＶＨＰ２を、第２グランドＧ２を基準として検出して得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲＨＰと内部抵抗Ｒｘと接触抵抗ＲＬＰの直列合成抵抗（ＲＨＰ＋Ｒｘ＋ＲＬＰ）に比例する値（∝ＲＨＰ＋Ｒｘ＋ＲＬＰ）となっている。このため、第５検出電圧Ｖｄｖ５の電圧値を交流検査電流Ｉｄの既知の電流値で除算することにより、直列合成抵抗（ＲＨＰ＋Ｒｘ＋ＲＬＰ）が算出される。
【００５４】
処理部２７は、一例として、Ａ／Ｄ変換器、ＣＰＵおよびメモリ（いずれも図示せず）を有して構成されて、インピーダンス測定処理を実行する。このインピーダンス測定処理では、処理部２７は、第１検出電圧Ｖｄｖ１、第２検出電圧Ｖｄｖ２、第３検出電圧Ｖｄｖ３、第４検出電圧Ｖｄｖ４および第５検出電圧Ｖｄｖ５を入力してこれらの電圧値を算出すると共に、これらの電圧値と、交流測定電流Ｉｍおよび交流検査電流Ｉｄの既知の各電流値とに基づいて、内部抵抗Ｒｘおよび各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを算出（測定）する。また、処理部２７は、算出した内部抵抗Ｒｘおよび各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを出力部２８に出力させる出力処理を実行する。
【００５５】
出力部２８は、一例として、表示装置で構成されて、処理部２７から出力される内部抵抗Ｒｘおよび各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを画面上に表示する（出力する）。なお、出力部２８は、表示装置に代えて種々のインターフェース回路で構成することもでき、外部インターフェース回路で構成されたときには、外部インターフェース回路を介して伝送路で接続された外部装置に内部抵抗Ｒｘおよび各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを出力し、また媒体用インターフェース回路で構成されたときには、この媒体用インターフェース回路に接続された記憶媒体に内部抵抗Ｒｘおよび各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを記憶させる。
【００５６】
次に、インピーダンス測定装置１Ａの動作について、図面を参照して説明する。なお、インピーダンス測定装置１Ａは、不図示の４本の測定ケーブルを介して測定対象ＤＵＴ（バッテリ）に接続されているものとする。
【００５７】
インピーダンス測定装置１Ａでは、測定用信号源２が、ソース端子Ｈｃおよびセンス端子Ｈｐと、ソース端子Ｌｃおよびセンス端子Ｌｐとの間に接続されている測定対象ＤＵＴに交流測定電流Ｉｍ（周波数ｆ１）を供給し、測定部３Ａの検査用信号源２１が、この測定対象ＤＵＴに交流検査電流Ｉｄ（周波数ｆ２）を供給する。
【００５８】
この状態において、測定部３Ａでは、第１検出部２２Ａが、ソース端子Ｈｃに生じる交流電圧ＶＨＣに含まれる電圧ＶＨＣ１を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨＣ１の電圧値に応じて電圧値が変化する第１検出電圧Ｖｄｖ１を出力する。また、第２検出部２３Ａが、ソース端子Ｌｃに生じる交流電圧ＶＬＣに含まれる電圧ＶＬＣ１を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＬＣ１の電圧値に応じて電圧値が変化する第２検出電圧Ｖｄｖ２を出力する。また、第３検出部２４Ａが、ソース端子Ｌｃに生じる交流電圧ＶＬＣに含まれる電圧ＶＬＣ２を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＬＣ２の電圧値に応じて電圧値が変化する第３検出電圧Ｖｄｖ３を出力する。また、第４検出部２５Ａが、センス端子Ｈｐに生じる交流電圧ＶＨＰに含まれる電圧ＶＨＰ１を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨＰ１の電圧値に応じて電圧値が変化する第４検出電圧Ｖｄｖ４を出力する。また、第５検出部２６Ａが、センス端子Ｈｐに生じる交流電圧ＶＨＰに含まれる電圧ＶＨＰ２を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨＰ２の電圧値に応じて電圧値が変化する第５検出電圧Ｖｄｖ５を出力する。
【００５９】
処理部２７は、各検出部２２Ａ，２３Ａ，２４Ａ，２５Ａ，２６Ａから出力される各検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５に基づき、インピーダンス測定処理を実行する。このインピーダンス測定処理では、処理部２７は、まず、各検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５をＡ／Ｄ変換することにより、各検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５の電圧値を示す電圧データに変換する。次いで、処理部２７は、各検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５についてのこの電圧データに基づき、各検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５の電圧値を検出する。
【００６０】
この場合、上記したように、交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｈｃに生じる電圧ＶＨＣ１についての第１検出電圧Ｖｄｖ１の電圧値は、内部抵抗Ｒｘと接触抵抗ＲＨＣの直列合成抵抗（Ｒｘ＋ＲＨＣ）に比例する値となっている。また、交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｌｃに生じる電圧ＶＬＣ１についての第２検出電圧Ｖｄｖ２の電圧値は、接触抵抗ＲＬＣに比例する値となっている。また、交流検査電流Ｉｄに基づいてソース端子Ｌｃに生じる電圧ＶＬＣ２についての第３検出電圧Ｖｄｖ３の電圧値は、接触抵抗ＲＬｐに比例する値となっている。また、交流測定電流Ｉｍに基づいてセンス端子Ｈｐに生じる電圧ＶＨＰ１についての第４検出電圧Ｖｄｖ４の電圧値は、内部抵抗Ｒｘに比例する値となっている。また、交流検査電流Ｉｄに基づいてセンス端子Ｈｐに生じる電圧ＶＨＰ２についての第５検出電圧Ｖｄｖ５の電圧値は、接触抵抗ＲＨＰと内部抵抗Ｒｘと接触抵抗ＲＬＰの直列合成抵抗（ＲＨＰ＋Ｒｘ＋ＲＬＰ）に比例する値となっている。
【００６１】
次いで、処理部２７は、第１検出電圧Ｖｄｖ１の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算して直列合成抵抗（Ｒｘ＋ＲＨＣ）を算出し、第２検出電圧Ｖｄｖ２の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算して接触抵抗ＲＬＣを算出し、第３検出電圧Ｖｄｖ３の電圧値を交流検査電流Ｉｄの既知の電流値で除算して接触抵抗ＲＬＰを算出し、第４検出電圧Ｖｄｖ４の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算して内部抵抗Ｒｘを算出し、第５検出電圧Ｖｄｖ５の電圧値を交流検査電流Ｉｄの既知の電流値で除算して直列合成抵抗（ＲＨＰ＋Ｒｘ＋ＲＬＰ）を算出する。
【００６２】
続いて、処理部２７は、算出した直列合成抵抗（Ｒｘ＋ＲＨＣ）から算出した内部抵抗Ｒｘを減算することで、接触抵抗ＲＨＣを算出する。また、処理部２７は、算出した直列合成抵抗（ＲＨＰ＋Ｒｘ＋ＲＬＰ）から算出した内部抵抗Ｒｘおよび接触抵抗ＲＬＰを減算することで、接触抵抗ＲＨＰを算出する。これにより、４つの接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰがすべて算出される。また、処理部２７は、算出した内部抵抗Ｒｘと、算出した各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを記憶する。
【００６３】
最後に、処理部２７は、出力処理を実行して、算出した内部抵抗Ｒｘと各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを出力部２８に表示させる。これにより、インピーダンス測定装置１Ａによる内部抵抗Ｒｘと各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰの測定が完了する。
【００６４】
このように、このインピーダンス測定装置１Ａによれば、測定用信号源２用の第１グランドＧ１と測定部３Ａ用の第２グランドＧ２とが電気的に分離されると共に、内部抵抗Ｒｘを検出（測定）するための第４検出部２５Ａに加えて、各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを検出（測定）するための検査用信号源２１、第１検出部２２Ａ、第２検出部２３Ａ、第３検出部２４Ａおよび第５検出部２６Ａを備えたことにより、ソース端子Ｈｃ、ソース端子Ｌｃ、センス端子Ｈｐおよびセンス端子Ｌｐと測定対象ＤＵＴにおける対応する電極との間の接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを個別に測定することができる。このため、このインピーダンス測定装置１Ａによれば、この測定された個別の接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰに基づいて、ソース端子Ｈｃ、ソース端子Ｌｃ、センス端子Ｈｐおよびセンス端子Ｌｐと測定対象ＤＵＴにおける対応する電極との間の接触状態を個別に検出することができる。したがって、このインピーダンス測定装置１Ａによれば、ソース端子Ｈｃ、ソース端子Ｌｃ、センス端子Ｈｐおよびセンス端子Ｌｐと測定対象ＤＵＴにおける対応する電極とを接続する測定ケーブルの断線の有無や、測定対象ＤＵＴと接触する測定ケーブルの先端部（コンタクト部）の摩耗の進行状態などを、測定ケーブル個別に確認することができる。
【００６５】
次に、他のインピーダンス測定装置としてのインピーダンス測定装置１Ｂについて、図２を参照して説明する。なお、インピーダンス測定装置１Ａと同一の構成については同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００６６】
インピーダンス測定装置１Ｂは、各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃ、各センス端子Ｈｐ，Ｌｐ、測定用信号源２、および測定部３Ｂを備えて、測定対象ＤＵＴの一方の電極にＨｉ側のソース端子ＨｃおよびＨｉ側のセンス端子Ｈｐが接続され、測定対象ＤＵＴの他方の電極にＬｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐが接続された状態において、測定対象ＤＵＴのインピーダンスを測定可能に構成されている。検査用信号源２１の交流信号源２１ａは、カップリングコンデンサ２１ｂと直列接続された状態で、センス端子Ｈｐとセンス端子Ｌｐとの間に接続されている。
【００６７】
測定部３Ｂは、検査用信号源２１、第１検出部２２Ｂ、第２検出部２３Ｂ、第３検出部２４Ｂ、第４検出部２５Ｂ、第５検出部２６Ｂ、処理部２７および出力部２８を備えて、測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘと共に、各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを測定する。また、測定部３Ｂは、測定部３Ｂ用の不図示の電源系（上記の第１電源系とは電気的に分離された別の電源系。以下では、第２電源系ともいう）から供給される直流電圧（第１グランドＧ１とは電気的に分離された第２グランドＧ２の電位を基準とする直流電圧（直流正電圧および直流負電圧））に基づいて動作する。
【００６８】
第１検出部２２Ｂは、各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃに接続されて、交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｈｃ，Ｌｃ間に生じる電圧（正弦波電圧信号）ＶＨＣ１を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨＣ１の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流電圧である第１検出電圧Ｖｄｖ１を出力する。
【００６９】
一例として、第１検出部２２Ｂは、２つのカップリングコンデンサ３１ａ，３１ｂ、第１増幅器３２、第１フィルタ３３、検波回路３４および第２フィルタ３５を備えて構成されている。第１増幅器３２は、非反転入力端子がカップリングコンデンサ３１ａを介してソース端子Ｈｃに接続され、反転入力端子がカップリングコンデンサ３１ｂを介してソース端子Ｌｃに接続され、かつ同じ抵抗値の２つの入力抵抗３２ｄ，３２ｅが直列接続された状態で非反転入力端子および反転入力端子間に接続された計装アンプ３２ｆで構成されている。また、入力抵抗３２ｄ，３２ｅの接続点は、第２グランドＧ２に接続されている。この構成により、第１検出部２２Ｂの第１増幅器３２は、ソース端子Ｈｃ，Ｌｃ間に生じる交流電圧ＶＨＣ（電圧成分として電圧ＶＨＣ１を含む電圧）をカップリングコンデンサ３１ａ，３１ｂを介して入力すると共に、規定の増幅率で増幅して、増幅信号として出力する。なお、本例では、測定対象ＤＵＴから出力される直流起電力が第１増幅器３２の入力端子に印加される事態を回避するために、カップリングコンデンサ３１ａ，３１ｂが設けられている。したがって、測定対象ＤＵＴが直流起電力を発生させないものであるときには、カップリングコンデンサ３１ａ，３１ｂを設けることなく、第１増幅器３２を構成する計装アンプ３２ｆの非反転入力端子をソース端子Ｈｃに、また反転入力端子をソース端子Ｌｃにそれぞれ直接接続する構成を採用することもできる。
【００７０】
第１フィルタ３３は、第１増幅器３２から出力される増幅信号に含まれている通過帯域外の周波数成分（ノイズ成分）を除去して出力し、検波回路３４は、第１フィルタ３３から出力される信号を同期信号ＳＳＹ１で同期検波して、電圧ＶＨＣを構成する電圧成分のうちの交流測定電流Ｉｍに基づく電圧成分（電圧ＶＨＣ１）の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力し、第２フィルタ３５は、検波回路３４から出力される直流信号を入力して、交流成分を除去して平滑化することにより、第１検出電圧Ｖｄｖ１を出力する。
【００７１】
この場合、第１検出電圧Ｖｄｖ１は、交流測定電流Ｉｍに基づいて各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃ間に生じる電圧ＶＨＣ１を、第２グランドＧ２を基準として検出して得られる電圧であることから、その電圧値は、内部抵抗Ｒｘと接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣの直列合成抵抗（ＲＨＣ＋Ｒｘ＋ＲＬＣ）に比例する値（∝ＲＨＣ＋Ｒｘ＋ＲＬＣ）となっている。このため、第１検出電圧Ｖｄｖ１の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算することにより、直列合成抵抗（ＲＨＣ＋Ｒｘ＋ＲＬＣ）が算出される。
【００７２】
第２検出部２３Ｂは、ソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐに接続されて、交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐとの間に生じる電圧（正弦波電圧信号）ＶＬ１を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＬ１の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流電圧である第２検出電圧Ｖｄｖ２を出力する。
【００７３】
一例として、第２検出部２３Ｂは、カップリングコンデンサ４１ａ，４１ｂ、第２増幅器４２、第３フィルタ４３、検波回路４４および第４フィルタ４５を備えて構成されている。第２増幅器４２は、非反転入力端子がカップリングコンデンサ４１ａを介してセンス端子Ｌｐに接続され、反転入力端子がカップリングコンデンサ４１ｂを介してソース端子Ｌｃに接続され、かつ同じ抵抗値の２つの入力抵抗４２ｄ，４２ｅが直列接続された状態で非反転入力端子および反転入力端子間に接続された計装アンプ４２ｆで構成されている。また、入力抵抗４２ｄ，４２ｅの接続点は、第２グランドＧ２に接続されている。この構成により、第２検出部２３Ｂの第２増幅器４２は、ソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐとの間に生じる交流電圧ＶＬ（電圧成分として電圧ＶＬ１および後述する電圧ＶＬ２を含む電圧）をカップリングコンデンサ４１ａ，４１ｂを介して入力すると共に、規定の増幅率で増幅して、増幅信号として出力する。なお、本例では、測定対象ＤＵＴから出力される直流起電力が第２増幅器４２の入力端子に印加される事態を回避するために、カップリングコンデンサ４１ａ，４１ｂが設けられている。したがって、測定対象ＤＵＴが直流起電力を発生させないものであるときには、カップリングコンデンサ４１ａ，４１ｂを設けることなく、第２増幅器４２を構成する計装アンプ４２ｆの非反転入力端子をセンス端子Ｌｐに、また反転入力端子をソース端子Ｌｃにそれぞれ直接接続する構成を採用することもできる。
【００７４】
第３フィルタ４３は、第２増幅器４２から出力される増幅信号に含まれている通過帯域（周波数ｆ１，ｆ２を含む周波数帯域）外の周波数成分（ノイズ成分）を除去して出力し、検波回路４４は、第３フィルタ３３から出力される信号を同期信号ＳＳＹ１で同期検波して、電圧ＶＬを構成する電圧成分のうちの交流測定電流Ｉｍに基づく電圧成分（電圧ＶＬ１）の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力し、第４フィルタ４５は、検波回路４４から出力される直流信号を入力して、交流成分を除去して平滑化することにより、第２検出電圧Ｖｄｖ２を出力する。
【００７５】
この場合、第２検出電圧Ｖｄｖ２は、交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐとの間に生じる電圧ＶＬ１を、第２グランドＧ２を基準として検出して得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲＬＣに比例する値（∝ＲＬＣ）となっている。このため、第２検出電圧Ｖｄｖ２の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲＬＣが算出される。
【００７６】
第３検出部２４Ｂは、ソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐに接続されて、交流検査電流Ｉｄに基づいてソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐとの間に生じる電圧（正弦波電圧信号）ＶＬ２を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＬ２の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流電圧である第３検出電圧Ｖｄｖ３を出力する。
【００７７】
一例として、第３検出部２４Ｂは、カップリングコンデンサ４１ａ，４１ｂ、第２増幅器４２、第３フィルタ４３、検波回路５４および第５フィルタ５５を備えて構成されている。本例の第３検出部２４Ｂでは、一例として、カップリングコンデンサ４１ａ，４１ｂ、第２増幅器４２および第３フィルタ４３については、第２検出部２３Ｂと共有する構成を採用しているが、この構成に限定されるものではなく、上記したインピーダンス測定装置１Ａと同様にして、カップリングコンデンサ４１ａ，４１ｂ、第２増幅器４２および第３フィルタ４３に相当する第３検出部２４Ｂ専用の構成要素を設けてもよい等、種々変更することができる。
【００７８】
第３検出部２４Ｂでは、検波回路５４は、第３フィルタ３３から出力される信号を同期信号ＳＳＹ２で同期検波して、電圧ＶＬを構成する電圧成分のうちの交流検査電流Ｉｄに基づく電圧成分（電圧ＶＬ２）の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力し、第５フィルタ５５は、検波回路５４から出力される直流信号を入力して、交流成分を除去して平滑化することにより、第３検出電圧Ｖｄｖ３を出力する。
【００７９】
この場合、第３検出電圧Ｖｄｖ３は、交流検査電流Ｉｄに基づいてソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐとの間に生じる電圧ＶＬ２を、第２グランドＧ２を基準として検出して得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲＬｐに比例する値（∝ＲＬｐ）となっている。このため、第３検出電圧Ｖｄｖ３の電圧値を交流検査電流Ｉｄの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲＬＰが算出される。
【００８０】
第４検出部２５Ｂは、各センス端子Ｈｐ，Ｌｐに接続されて、交流測定電流Ｉｍに基づいてセンス端子Ｈｐ，Ｌｐ間に生じる電圧ＶＨＰ１を、第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨＰ１の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流電圧である第４検出電圧Ｖｄｖ４を出力する。
【００８１】
一例として、第４検出部２５Ｂは、カップリングコンデンサ６１ａ，６１ｂ、第３増幅器６２、第６フィルタ６３、検波回路６４および第７フィルタ６５を備えて構成されている。第３増幅器６２は、非反転入力端子がカップリングコンデンサ６１ａを介してセンス端子Ｈｐに接続され、反転入力端子がカップリングコンデンサ６１ｂを介してセンス端子Ｌｐに接続され、かつ同じ抵抗値の２つの入力抵抗６２ｄ，６２ｅが直列接続された状態で非反転入力端子および反転入力端子間に接続された計装アンプ６２ｆで構成されている。また、入力抵抗６２ｄ，６２ｅの接続点は、第２グランドＧ２に接続されている。この構成により、第４検出部２５Ｂの第３増幅器６２は、各センス端子Ｈｐ，Ｌｐ間に生じる交流電圧ＶＨＰ（電圧成分として電圧ＶＨＰ１および後述する電圧ＶＨＰ２を含む電圧）をカップリングコンデンサ６１ａ，６１ｂを介して入力すると共に、規定の増幅率で増幅して、増幅信号として出力する。なお、本例では、測定対象ＤＵＴから出力される直流起電力が第３増幅器６２の入力端子に印加される事態を回避するために、カップリングコンデンサ６１ａ，６１ｂが設けられている。したがって、測定対象ＤＵＴが直流起電力を発生させないものであるときには、カップリングコンデンサ６１ａ，６１ｂを設けることなく、第３増幅器６２を構成する計装アンプ６２ｆの非反転入力端子をセンス端子Ｈｐに、また反転入力端子をセンス端子Ｌｐにそれぞれ直接接続する構成を採用することもできる。
【００８２】
第６フィルタ６３は、第３増幅器６２から出力される増幅信号に含まれている通過帯域（周波数ｆ１，ｆ２を含む周波数帯域）外の周波数成分（ノイズ成分）を除去して出力し、検波回路６４は、第６フィルタ６３から出力される信号を同期信号ＳＳＹ１で同期検波して、電圧ＶＨＰを構成する電圧成分のうちの交流測定電流Ｉｍに基づく電圧成分（電圧ＶＨＰ１）の電圧値に応じて電圧値が変化する直流信号を出力し、第７フィルタ６５は、検波回路６４から出力される直流信号を入力して、交流成分を除去して平滑化することにより、第４検出電圧Ｖｄｖ４を出力する。
【００８３】
この場合、第４検出電圧Ｖｄｖ４は、交流測定電流Ｉｍに基づいてセンス端子Ｈｐ，Ｌｐ間に生じる電圧ＶＨＰ１を、第２グランドＧ２を基準として検出して得られる電圧であることから、その電圧値は、内部抵抗Ｒｘに比例する値（∝Ｒｘ）となっている。このため、第４検出電圧Ｖｄｖ４の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算することにより、内部抵抗Ｒｘが算出される。
【００８４】
第５検出部２６Ｂは、各センス端子Ｈｐ，Ｌｐに接続されて、交流検査電流Ｉｄに基づいてセンス端子Ｈｐ，Ｌｐ間に生じる電圧ＶＨＰ２を、第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨＰ２の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流電圧である第５検出電圧Ｖｄｖ５を出力する。
【００８５】
一例として、第５検出部２６Ｂは、カップリングコンデンサ６１ａ，６１ｂ、第３増幅器６２、第６フィルタ６３、検波回路７４および第８フィルタ７５を備えて構成されている。本例の第５検出部２６Ｂでは、一例として、カップリングコンデンサ６１ａ，６１ｂ、第３増幅器６２および第６フィルタ６３については、第４検出部２５Ｂと共有する構成を採用しているが、この構成に限定されるものではなく、上記したインピーダンス測定装置１Ａと同様にして、カップリングコンデンサ６１ａ，６１ｂ、第３増幅器６２および第６フィルタ６３に相当する第５検出部２６Ｂ専用の構成要素を設けてもよい等、種々変更することができる。
【００８６】
第５検出部２６Ｂでは、検波回路７４は、第６フィルタ６３から出力される信号を同期信号ＳＳＹ２で同期検波して、電圧ＶＨＰを構成する電圧成分のうちの交流検査電流Ｉｄに基づく電圧成分（電圧ＶＨＰ２）の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力し、第８フィルタ７５は、検波回路７４から出力される直流信号を入力して、交流成分を除去して平滑化することにより、第５検出電圧Ｖｄｖ５を出力する。
【００８７】
この場合、第５検出電圧Ｖｄｖ５は、交流検査電流Ｉｄに基づいてセンス端子Ｈｐ，Ｌｐ間に生じる電圧ＶＨＰ２を、第２グランドＧ２を基準として検出して得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲＨＰと内部抵抗Ｒｘと接触抵抗ＲＬＰの直列合成抵抗（ＲＨＰ＋Ｒｘ＋ＲＬＰ）に比例する値（∝ＲＨＰ＋Ｒｘ＋ＲＬＰ）となっている。このため、第５検出電圧Ｖｄｖ５の電圧値を交流検査電流Ｉｄの既知の電流値で除算することにより、直列合成抵抗（ＲＨＰ＋Ｒｘ＋ＲＬＰ）が算出される。
【００８８】
次に、インピーダンス測定装置１Ｂの動作について、図面を参照して説明する。
【００８９】
このインピーダンス測定装置１Ｂでは、測定用信号源２が交流測定電流Ｉｍを、測定部３Ｂの検査用信号源２１が交流検査電流Ｉｄを測定対象ＤＵＴに供給している状態において、測定部３Ｂでは、第１検出部２２Ｂが、各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃ間に生じる交流電圧ＶＨＣに含まれる電圧ＶＨＣ１を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨＣ１の電圧値に応じて電圧値が変化する第１検出電圧Ｖｄｖ１を出力する。また、第２検出部２３Ｂが、ソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐとの間に生じる交流電圧ＶＬに含まれる電圧ＶＬ１を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＬ１の電圧値に応じて電圧値が変化する第２検出電圧Ｖｄｖ２を出力する。また、第３検出部２４Ｂが、ソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐとの間に生じる交流電圧ＶＬに含まれる電圧ＶＬ２を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＬ２の電圧値に応じて電圧値が変化する第３検出電圧Ｖｄｖ３を出力する。また、第４検出部２５Ｂが、センス端子Ｈｐ，Ｌｐ間に生じる交流電圧ＶＨＰに含まれる電圧ＶＨＰ１を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨＰ１の電圧値に応じて電圧値が変化する第４検出電圧Ｖｄｖ４を出力する。また、第５検出部２６Ｂが、センス端子Ｈｐ，Ｌｐ間に生じる交流電圧ＶＨＰに含まれる電圧ＶＨＰ２を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨＰ２の電圧値に応じて電圧値が変化する第５検出電圧Ｖｄｖ５を出力する。
【００９０】
処理部２７は、各検出部２２Ｂ，２３Ｂ，２４Ｂ，２５Ｂ，２６Ｂから出力される各検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５に基づき、インピーダンス測定処理を実行する。このインピーダンス測定処理では、処理部２７は、まず、各検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５をＡ／Ｄ変換することにより、各検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５の電圧値を示す電圧データに変換する。次いで、処理部２７は、各検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５についてのこの電圧データに基づき、各検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５の電圧値を検出する。
【００９１】
この場合、上記したように、交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｈｃ，Ｌｃ間に生じる電圧ＶＨＣ１についての第１検出電圧Ｖｄｖ１の電圧値は、接触抵抗ＲＨＣと内部抵抗Ｒｘと接触抵抗ＲＬＣの直列合成抵抗（ＲＨＣ＋Ｒｘ＋ＲＬＣ）に比例する値となっている。また、交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｌｃおよびセンス端子Ｌｐ間に生じる電圧ＶＬ１についての第２検出電圧Ｖｄｖ２の電圧値は、接触抵抗ＲＬＣに比例する値となっている。また、交流検査電流Ｉｄに基づいてソース端子Ｌｃおよびセンス端子Ｌｐ間に生じる電圧ＶＬ２についての第３検出電圧Ｖｄｖ３の電圧値は、接触抵抗ＲＬｐに比例する値となっている。また、交流測定電流Ｉｍに基づいてセンス端子Ｈｐ，Ｌｐ間に生じる電圧ＶＨＰ１についての第４検出電圧Ｖｄｖ４の電圧値は、内部抵抗Ｒｘに比例する値となっている。また、交流検査電流Ｉｄに基づいてセンス端子Ｈｐ，Ｌｐに生じる電圧ＶＨＰ２についての第５検出電圧Ｖｄｖ５の電圧値は、接触抵抗ＲＨＰと内部抵抗Ｒｘと接触抵抗ＲＬＰの直列合成抵抗（ＲＨＰ＋Ｒｘ＋ＲＬＰ）に比例する値となっている。
【００９２】
次いで、処理部２７は、第１検出電圧Ｖｄｖ１の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算して直列合成抵抗（ＲＨＣ＋Ｒｘ＋ＲＬＣ）を算出し、第２検出電圧Ｖｄｖ２の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算して接触抵抗ＲＬＣを算出し、第３検出電圧Ｖｄｖ３の電圧値を交流検査電流Ｉｄの既知の電流値で除算して接触抵抗ＲＬＰを算出し、第４検出電圧Ｖｄｖ４の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算して内部抵抗Ｒｘを算出し、第５検出電圧Ｖｄｖ５の電圧値を交流検査電流Ｉｄの既知の電流値で除算して直列合成抵抗（ＲＨＰ＋Ｒｘ＋ＲＬＰ）を算出する。
【００９３】
続いて、処理部２７は、算出した直列合成抵抗（ＲＨＣ＋Ｒｘ＋ＲＬＣ）から算出した内部抵抗Ｒｘおよび接触抵抗ＲＬＣを減算することで、接触抵抗ＲＨＣを算出する。また、処理部２７は、算出した直列合成抵抗（ＲＨＰ＋Ｒｘ＋ＲＬＰ）から算出した内部抵抗Ｒｘおよび接触抵抗ＲＬＰを減算することで、接触抵抗ＲＨＰを算出する。これにより、４つの接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰがすべて算出される。また、処理部２７は、算出した内部抵抗Ｒｘと、算出した各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを記憶する。
【００９４】
最後に、処理部２７は、出力処理を実行して、算出した内部抵抗Ｒｘと各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを出力部２８に表示させる。これにより、インピーダンス測定装置１Ｂによる内部抵抗Ｒｘと各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰの測定が完了する。
【００９５】
このように、このインピーダンス測定装置１Ｂにおいても、測定用信号源２用の第１グランドＧ１と測定部３Ｂ用の第２グランドＧ２とが電気的に分離されると共に、内部抵抗Ｒｘを検出（測定）するための第４検出部２５Ｂに加えて、各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを検出（測定）するための検査用信号源２１および各検出部２２Ｂ，２３Ｂ，２４Ｂ，２６Ｂを備えたことにより、ソース端子Ｈｃ、ソース端子Ｌｃ、センス端子Ｈｐおよびセンス端子Ｌｐと測定対象ＤＵＴにおける対応する電極との間の接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを個別に測定することができる。このため、このインピーダンス測定装置１Ｂによれば、この測定された個別の接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰに基づいて、ソース端子Ｈｃ、ソース端子Ｌｃ、センス端子Ｈｐおよびセンス端子Ｌｐと測定対象ＤＵＴにおける対応する電極との間の接触状態を個別に検出することができる。したがって、このインピーダンス測定装置１Ｂによっても、ソース端子Ｈｃ、ソース端子Ｌｃ、センス端子Ｈｐおよびセンス端子Ｌｐと測定対象ＤＵＴにおける対応する電極とを接続する測定ケーブルの断線の有無や、測定対象ＤＵＴと接触する測定ケーブルの先端部（コンタクト部）の摩耗の進行状態などを、測定ケーブル個別に確認することができる。
【００９６】
続いて、他のインピーダンス測定装置としてのインピーダンス測定装置１Ｃについて、図３を参照して説明する。なお、インピーダンス測定装置１Ｂと同一の構成については同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００９７】
インピーダンス測定装置１Ｃは、各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃ、各センス端子Ｈｐ，Ｌｐ、測定用信号源２、および測定部３Ｃを備えて、測定対象ＤＵＴの一方の電極にＨｉ側のソース端子ＨｃおよびＨｉ側のセンス端子Ｈｐが接続され、測定対象ＤＵＴの他方の電極にＬｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐが接続された状態において、測定対象ＤＵＴのインピーダンスを測定可能に構成されている。
【００９８】
測定部３Ｃは、測定部３Ｂと同じ構成要素（検査用信号源２１、第１検出部２２Ｂ、第２検出部２３Ｂ、第３検出部２４Ｂ、第４検出部２５Ｂ、第５検出部２６Ｂ、処理部２７および出力部２８）を備えているが、第２検出部２３Ｂおよび第３検出部２４Ｂがソース端子Ｈｃとセンス端子Ｈｐとの間に接続される構成においてのみ、測定部３Ｂと相違している。
【００９９】
測定部３Ｃでは、第２検出部２３Ｂおよび第３検出部２４Ｂがこのようにソース端子Ｈｃとセンス端子Ｈｐとの間に接続される構成のため、第２検出部２３Ｂは、ソース端子Ｈｃとセンス端子Ｈｐとの間に生じる交流電圧ＶＨのうちの交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｈｃとセンス端子Ｈｐとの間に生じる電圧（正弦波電圧信号）ＶＨ１を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨ１の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流電圧である第２検出電圧Ｖｄｖ２を出力する。また、第３検出部２４Ｂは、交流電圧ＶＨのうちの交流検査電流Ｉｄに基づいてソース端子Ｈｃとセンス端子Ｈｐとの間に生じる電圧（正弦波電圧信号）ＶＨ２を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨ２の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流電圧である第３検出電圧Ｖｄｖ３を出力する。
【０１００】
この場合、第２検出電圧Ｖｄｖ２の電圧値は、接触抵抗ＲＨＣに比例する値（∝ＲＨＣ）となることから、第２検出電圧Ｖｄｖ２の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲＨＣが算出される。また、第３検出電圧Ｖｄｖ３の電圧値は、接触抵抗ＲＨＰに比例する値（∝ＲＨＰ）となることから、第３検出電圧Ｖｄｖ３の電圧値を交流検査電流Ｉｄの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲＨＰが算出される。
【０１０１】
このインピーダンス測定装置１Ｃの動作について説明する。なお、インピーダンス測定装置１Ｂと相違する動作についてのみ説明し、同じ動作については説明を省略する。
【０１０２】
処理部２７は、インピーダンス測定処理において、各検出部２２Ｂ，２３Ｂ，２４Ｂ，２５Ｂ，２６Ｂから出力される各検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５に基づき、各検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５の電圧値を検出する。
【０１０３】
この場合、上記したように、交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｈｃ，Ｌｃ間に生じる電圧ＶＨＣ１についての第１検出電圧Ｖｄｖ１の電圧値は、接触抵抗ＲＨＣと内部抵抗Ｒｘと接触抵抗ＲＬＣの直列合成抵抗（ＲＨＣ＋Ｒｘ＋ＲＬＣ）に比例する値となっている。また、交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｈｃおよびセンス端子Ｈｐ間に生じる電圧ＶＨ１についての第２検出電圧Ｖｄｖ２の電圧値は、接触抵抗ＲＨＣに比例する値となっている。また、交流検査電流Ｉｄに基づいてソース端子Ｈｃおよびセンス端子Ｈｐ間に生じる電圧ＶＨ２についての第３検出電圧Ｖｄｖ３の電圧値は、接触抵抗ＲＨＰに比例する値となっている。また、交流測定電流Ｉｍに基づいてセンス端子Ｈｐ，Ｌｐ間に生じる電圧ＶＨＰ１についての第４検出電圧Ｖｄｖ４の電圧値は、内部抵抗Ｒｘに比例する値となっている。また、交流検査電流Ｉｄに基づいてセンス端子Ｈｐ，Ｌｐに生じる電圧ＶＨＰ２についての第５検出電圧Ｖｄｖ５の電圧値は、接触抵抗ＲＨＰと内部抵抗Ｒｘと接触抵抗ＲＬＰの直列合成抵抗（ＲＨＰ＋Ｒｘ＋ＲＬＰ）に比例する値となっている。
【０１０４】
次いで、処理部２７は、第１検出電圧Ｖｄｖ１の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算して直列合成抵抗（ＲＨＣ＋Ｒｘ＋ＲＬＣ）を算出し、第２検出電圧Ｖｄｖ２の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算して接触抵抗ＲＨＣを算出し、第３検出電圧Ｖｄｖ３の電圧値を交流検査電流Ｉｄの既知の電流値で除算して接触抵抗ＲＨＰを算出し、第４検出電圧Ｖｄｖ４の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算して内部抵抗Ｒｘを算出し、第５検出電圧Ｖｄｖ５の電圧値を交流検査電流Ｉｄの既知の電流値で除算して直列合成抵抗（ＲＨＰ＋Ｒｘ＋ＲＬＰ）を算出する。
【０１０５】
続いて、処理部２７は、算出した直列合成抵抗（ＲＨＣ＋Ｒｘ＋ＲＬＣ）から算出した内部抵抗Ｒｘおよび接触抵抗ＲＨＣを減算することで、接触抵抗ＲＬＣを算出する。また、処理部２７は、算出した直列合成抵抗（ＲＨＰ＋Ｒｘ＋ＲＬＰ）から算出した内部抵抗Ｒｘおよび接触抵抗ＲＨＰを減算することで、接触抵抗ＲＬＰを算出する。これにより、４つの接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰがすべて算出される。また、処理部２７は、算出した内部抵抗Ｒｘと、算出した各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを記憶する。
【０１０６】
最後に、処理部２７は、出力処理を実行して、算出した内部抵抗Ｒｘと各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを出力部２８に表示させる。これにより、インピーダンス測定装置１Ｂによる内部抵抗Ｒｘと各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰの測定が完了する。
【０１０７】
このように、このインピーダンス測定装置１Ｃにおいても、測定用信号源２用の第１グランドＧ１と測定部３Ｃ用の第２グランドＧ２とが電気的に分離されると共に、内部抵抗Ｒｘを検出（測定）するための第４検出部２５Ｂに加えて、各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを検出（測定）するための検査用信号源２１および各検出部２２Ｂ，２３Ｂ，２４Ｂ，２６Ｂを備えたことにより、ソース端子Ｈｃ、ソース端子Ｌｃ、センス端子Ｈｐおよびセンス端子Ｌｐと測定対象ＤＵＴにおける対応する電極との間の接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを個別に測定することができる。このため、このインピーダンス測定装置１Ｃによれば、この測定された個別の接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰに基づいて、ソース端子Ｈｃ、ソース端子Ｌｃ、センス端子Ｈｐおよびセンス端子Ｌｐと測定対象ＤＵＴにおける対応する電極との間の接触状態を個別に検出することができる。したがって、このインピーダンス測定装置１Ｃによっても、ソース端子Ｈｃ、ソース端子Ｌｃ、センス端子Ｈｐおよびセンス端子Ｌｐと測定対象ＤＵＴにおける対応する電極とを接続する測定ケーブルの断線の有無や、測定対象ＤＵＴと接触する測定ケーブルの先端部（コンタクト部）の摩耗の進行状態などを、測定ケーブル個別に確認することができる。
【０１０８】
次いで、他のインピーダンス測定装置としてのインピーダンス測定装置１Ｄについて、図４を参照して説明する。なお、インピーダンス測定装置１Ａ，１Ｂと同一の構成については同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【０１０９】
インピーダンス測定装置１Ｄは、各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃ、各センス端子Ｈｐ，Ｌｐ、測定用信号源２、および測定部３Ｄを備えて、測定対象ＤＵＴの一方の電極にＨｉ側のソース端子ＨｃおよびＨｉ側のセンス端子Ｈｐが接続され、測定対象ＤＵＴの他方の電極にＬｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐが接続された状態において、測定対象ＤＵＴのインピーダンスを測定可能に構成されている。
【０１１０】
測定部３Ｄは、第１検査用信号源２１１、第２検査用信号源２１２、第１検出部２２Ｄ、第２検出部２３Ｄ、第３検出部２４Ｄ、第４検出部２５Ｄ、第５検出部２６Ｄ、処理部２７および出力部２８を備えて、測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘと共に、各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを測定する。また、測定部３Ｄは、測定部３Ｄ用の不図示の電源系（上記の第１電源系とは電気的に分離された別の電源系。以下では、第２電源系ともいう）から供給される直流電圧（第１グランドＧ１とは電気的に分離された第２グランドＧ２の電位を基準とする直流電圧（直流正電圧および直流負電圧））に基づいて動作する。
【０１１１】
第１検査用信号源２１１は、交流信号源２１ａおよびカップリングコンデンサ２１ｂを備えて、検査用信号源２１と同一に構成されている。交流信号源２１ａは、カップリングコンデンサ２１ｂと直列接続された状態でソース端子Ｈｃおよびセンス端子Ｈｐ間に接続されて、一定の電流値（既知）で、かつ一定の周波数ｆ２の正弦波定電流を第１交流検査電流Ｉｄ１として、ソース端子Ｈｃおよびセンス端子Ｈｐ間に供給する。また、交流信号源２１ａは、第１交流検査電流Ｉｄ１に同期した周波数ｆ２の同期信号ＳＳＹ２を出力する。
【０１１２】
第２検査用信号源２１２は、交流信号源２１２ａおよびカップリングコンデンサ２１２ｂを備えている。交流信号源２１２ａは、カップリングコンデンサ２１２ｂと直列接続された状態でソース端子Ｌｃおよびセンス端子Ｌｐ間に接続されて、一定の電流値（既知）で、かつ一定の周波数ｆ３（周波数ｆ１，ｆ２とは異なる周波数）の正弦波定電流を第２交流検査電流Ｉｄ２として、ソース端子Ｌｃおよびセンス端子Ｌｐ間に供給する。また、交流信号源２１２ａは、第２交流検査電流Ｉｄ２に同期した周波数ｆ３の同期信号ＳＳＹ３を出力する。
【０１１３】
第１検出部２２Ｄは、ソース端子Ｈｃとセンス端子Ｈｐに接続されて、交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｈｃとセンス端子Ｈｐとの間に生じる電圧（正弦波電圧信号）ＶＨ１を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨ１の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流電圧である第１検出電圧Ｖｄｖ１を出力する。
【０１１４】
一例として、第１検出部２２Ｄは、カップリングコンデンサ４１ａ，４１ｂ、第２増幅器４２、第３フィルタ４３、検波回路４４および第４フィルタ４５を備えて、上記の第２検出部２３Ｂと同一に構成されている。なお、カップリングコンデンサ４１ａは、計装アンプ４２ｆの非反転入力端子とソース端子Ｈｃとの間に接続され、カップリングコンデンサ４１ｂは、計装アンプ４２ｆの反転入力端子とセンス端子Ｈｐとの間に接続されている。
【０１１５】
この場合、第４フィルタ４５から出力される第１検出電圧Ｖｄｖ１は、交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｈｃとセンス端子Ｈｐとの間に生じる電圧ＶＨ１を、第２グランドＧ２を基準として検出して得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲＨＣに比例する値（∝ＲＨＣ）となっている。このため、第１検出電圧Ｖｄｖ１の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲＨＣが算出される。
【０１１６】
第２検出部２３Ｄは、ソース端子Ｈｃとセンス端子Ｈｐに接続されて、第１交流検査電流Ｉｄ１に基づいてソース端子Ｈｃとセンス端子Ｈｐとの間に生じる電圧（正弦波電圧信号）ＶＨ２を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨ２の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流電圧である第２検出電圧Ｖｄｖ２を出力する。
【０１１７】
一例として、第２検出部２３Ｄは、カップリングコンデンサ４１ａ，４１ｂ、第２増幅器４２、第３フィルタ４３、検波回路５４および第５フィルタ５５を備えて、上記の第３検出部２４Ｂと同一に構成されている。本例の第２検出部２３Ｄでは、一例として、カップリングコンデンサ４１ａ，４１ｂ、第２増幅器４２および第３フィルタ４３については、第１検出部２２Ｄと共有する構成を採用しているが、この構成に限定されるものではなく、上記したインピーダンス測定装置１Ｂと同様にして、カップリングコンデンサ４１ａ，４１ｂ、第２増幅器４２および第３フィルタ４３に相当する第３検出部２４Ｂ専用の構成要素を設けてもよい等、種々変更することができる。
【０１１８】
この場合、第５フィルタ５５から出力される第２検出電圧Ｖｄｖ２は、第１交流検査電流Ｉｄ１に基づいてソース端子Ｈｃとセンス端子Ｈｐとの間に生じる電圧ＶＨ２を、第２グランドＧ２を基準として検出して得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲＨＣと接触抵抗ＲＨＰの直列合成抵抗（ＲＨＣ＋ＲＨＰ）に比例する値（∝ＲＨＣ＋ＲＨＰ）となっている。このため、第２検出電圧Ｖｄｖ２の電圧値を第１交流検査電流Ｉｄ１の既知の電流値で除算することにより、直列合成抵抗（ＲＨＣ＋ＲＨＰ）が算出される。
【０１１９】
第３検出部２４Ｄは、ソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐに接続されて、交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐとの間に生じる電圧（正弦波電圧信号）ＶＬ１を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＬ１の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流電圧である第３検出電圧Ｖｄｖ３を出力する。
【０１２０】
一例として、第３検出部２４Ｄは、カップリングコンデンサ８１ａ，８１ｂ、第４増幅器８２、第９フィルタ（図４では、第９ＦＬと表記する）８３、検波回路８４および第１０フィルタ（図４では、第１０ＦＬと表記する）８５を備えている。第４増幅器８２は、非反転入力端子がカップリングコンデンサ８１ａを介してセンス端子Ｌｐに接続され、反転入力端子がカップリングコンデンサ８１ｂを介してソース端子Ｌｃに接続され、かつ同じ抵抗値の２つの入力抵抗８２ｄ，８２ｅが直列接続された状態で非反転入力端子および反転入力端子間に接続された計装アンプ８２ｆで構成されている。また、入力抵抗８２ｄ，８２ｅの接続点は、第２グランドＧ２に接続されている。この構成により、第３検出部２４Ｄの第４増幅器８２は、ソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐとの間に生じる交流電圧ＶＬ（電圧成分として電圧ＶＬ１および後述する電圧ＶＬ２を含む電圧）をカップリングコンデンサ８１ａ，８１ｂを介して入力すると共に、規定の増幅率で増幅して、増幅信号として出力する。なお、本例では、測定対象ＤＵＴから出力される直流起電力が第４増幅器８２の入力端子に印加される事態を回避するために、カップリングコンデンサ８１ａ，８１ｂが設けられている。したがって、測定対象ＤＵＴが直流起電力を発生させないものであるときには、カップリングコンデンサ８１ａ，８１ｂを設けることなく、第４増幅器８２を構成する計装アンプ８２ｆの非反転入力端子をセンス端子Ｌｐに、また反転入力端子をソース端子Ｌｃにそれぞれ直接接続する構成を採用することもできる。
【０１２１】
第９フィルタ８３は、第４増幅器８２から出力される増幅信号に含まれている通過帯域（周波数ｆ１，ｆ３を含む周波数帯域）外の周波数成分（ノイズ成分）を除去して出力し、検波回路８４は、第９フィルタ８３から出力される信号を同期信号ＳＳＹ１で同期検波して、電圧ＶＬを構成する電圧成分のうちの交流測定電流Ｉｍに基づく電圧成分（電圧ＶＬ１）の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力し、第１０フィルタ８５は、検波回路８４から出力される直流信号を入力して、交流成分を除去して平滑化することにより、第３検出電圧Ｖｄｖ３を出力する。
【０１２２】
この場合、第３検出電圧Ｖｄｖ３は、交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐとの間に生じる電圧ＶＬ１を、第２グランドＧ２を基準として検出して得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲＬＣに比例する値（∝ＲＬＣ）となっている。このため、第３検出電圧Ｖｄｖ３の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲＬＣが算出される。
【０１２３】
第４検出部２５Ｄは、ソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐに接続されて、第２交流検査電流Ｉｄ２に基づいてソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐとの間に生じる電圧（正弦波電圧信号）ＶＬ２を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＬ２の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流電圧である第４検出電圧Ｖｄｖ４を出力する。
【０１２４】
一例として、第４検出部２５Ｄは、カップリングコンデンサ８１ａ，８１ｂ、第４増幅器８２、第９フィルタ８３、検波回路９４および第１１フィルタ（図４では、第１１ＦＬと表記する）９５を備えて構成されている。本例の第４検出部２５Ｄでは、一例として、カップリングコンデンサ８１ａ，８１ｂ、第４増幅器８２および第９フィルタ８３については、第３検出部２４Ｄと共有する構成を採用しているが、この構成に限定されるものではなく、上記したインピーダンス測定装置１Ａと同様にして、カップリングコンデンサ８１ａ，８１ｂ、第４増幅器８２および第９フィルタ８３に相当する第４検出部２５Ｄ専用の構成要素を設けてもよい等、種々変更することができる。
【０１２５】
第４検出部２５Ｄでは、検波回路９４は、第９フィルタ８３から出力される信号を同期信号ＳＳＹ３で同期検波して、電圧ＶＬを構成する電圧成分のうちの第２交流検査電流Ｉｄ２に基づく電圧成分（電圧ＶＬ２）の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力し、第１１フィルタ９５は、検波回路９４から出力される直流信号を入力して、交流成分を除去して平滑化することにより、第４検出電圧Ｖｄｖ４を出力する。
【０１２６】
この場合、第４検出電圧Ｖｄｖ４は、第２交流検査電流Ｉｄ２に基づいてソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐとの間に生じる電圧ＶＬ２を、第２グランドＧ２を基準として検出して得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲＬＣと接触抵抗ＲＬＰの直列合成抵抗（ＲＬＣ＋ＲＬＰ）に比例する値（∝ＲＬＣ＋ＲＬＰ）となっている。このため、第４検出電圧Ｖｄｖ４の電圧値を第２交流検査電流Ｉｄ２の既知の電流値で除算することにより、直列合成抵抗（ＲＬＣ＋ＲＬＰ）が算出される。
【０１２７】
第５検出部２６Ｄは、各センス端子Ｈｐ，Ｌｐに接続されて、交流測定電流Ｉｍに基づいてセンス端子Ｈｐ，Ｌｐ間に生じる電圧（正弦波電圧信号）ＶＨＰ１を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨＰ１の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流電圧である第５検出電圧Ｖｄｖ５を出力する。
【０１２８】
一例として、第５検出部２６Ｄは、２つのカップリングコンデンサ３１ａ，３１ｂ、第１増幅器３２、第１フィルタ３３、検波回路３４および第２フィルタ３５を備えて、上記の第１検出部２２Ｂと同一に構成されている。なお、カップリングコンデンサ３１ａは、計装アンプ３２ｆの非反転入力端子とセンス端子Ｈｐとの間に接続され、カップリングコンデンサ３１ｂは、計装アンプ３２ｆの反転入力端子とセンス端子Ｌｐとの間に接続されている。
【０１２９】
この場合、第２フィルタ３５から出力される第５検出電圧Ｖｄｖ５は、交流測定電流Ｉｍに基づいてセンス端子Ｈｐ，Ｌｐ間に生じる電圧ＶＨＰ１を、第２グランドＧ２を基準として検出して得られる電圧であることから、その電圧値は、内部抵抗Ｒｘに比例する値（∝Ｒｘ）となっている。このため、第５検出電圧Ｖｄｖ５の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算することにより、内部抵抗Ｒｘが算出される。
【０１３０】
次に、インピーダンス測定装置１Ｄの動作について、図面を参照して説明する。
【０１３１】
このインピーダンス測定装置１Ｄでは、測定用信号源２が交流測定電流Ｉｍを測定対象ＤＵＴに供給し、測定部３Ｄの第１検査用信号源２１１が第１交流検査電流Ｉｄ１をソース端子Ｈｃとセンス端子Ｈｐとの間に供給し、かつ第２検査用信号源２１２が第２交流検査電流Ｉｄ２をソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐとの間に供給している状態において、測定部３Ｄでは、第１検出部２２Ｄが、ソース端子Ｈｃとセンス端子Ｈｐとの間に生じる交流電圧ＶＨに含まれる電圧ＶＨ１を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨ１の電圧値に応じて電圧値が変化する第１検出電圧Ｖｄｖ１を出力する。また、第２検出部２３Ｄが、ソース端子Ｈｃとセンス端子Ｈｐとの間に生じる交流電圧ＶＨに含まれる電圧ＶＨ２を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨ２の電圧値に応じて電圧値が変化する第２検出電圧Ｖｄｖ２を出力する。また、第３検出部２４Ｄが、ソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐとの間に生じる交流電圧ＶＬに含まれる電圧ＶＬ１を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＬ１の電圧値に応じて電圧値が変化する第３検出電圧Ｖｄｖ３を出力する。また、第４検出部２５Ｄが、ソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐとの間に生じる交流電圧ＶＬに含まれる電圧ＶＬ２を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＬ２の電圧値に応じて電圧値が変化する第４検出電圧Ｖｄｖ４を出力する。また、第５検出部２６Ｄが、センス端子Ｈｐ，Ｌｐ間に生じる交流電圧ＶＨＰ１を第２グランドＧ２を基準として検出して、電圧ＶＨＰ１の電圧値に応じて電圧値が変化する第５検出電圧Ｖｄｖ５を出力する。
【０１３２】
処理部２７は、各検出部２２Ｄ，２３Ｄ，２４Ｄ，２５Ｄ，２６Ｄから出力される各検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５に基づき、インピーダンス測定処理を実行する。このインピーダンス測定処理では、処理部２７は、まず、各検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５をＡ／Ｄ変換することにより、各検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５の電圧値を示す電圧データに変換する。次いで、処理部２７は、各検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５についてのこの電圧データに基づき、各検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５の電圧値を検出する。
【０１３３】
この場合、上記したように、交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｈｃおよびセンス端子Ｈｐ間に生じる電圧ＶＨ１についての第１検出電圧Ｖｄｖ１の電圧値は、接触抵抗ＲＨＣに比例する値となっている。また、第１交流検査電流Ｉｄ１に基づいてソース端子Ｈｃおよびセンス端子Ｈｐ間に生じる電圧ＶＨ２についての第２検出電圧Ｖｄｖ２の電圧値は、接触抵抗ＲＨＣと接触抵抗ＲＨＰの直列合成抵抗（ＲＨＣ＋ＲＨＰ）に比例する値となっている。また、交流測定電流Ｉｍに基づいてソース端子Ｌｃおよびセンス端子Ｌｐ間に生じる電圧ＶＬ１についての第３検出電圧Ｖｄｖ３の電圧値は、接触抵抗ＲＬＣに比例する値となっている。また、第２交流検査電流Ｉｄ２に基づいてソース端子Ｌｃおよびセンス端子Ｌｐ間に生じる電圧ＶＬ２についての第４検出電圧Ｖｄｖ４の電圧値は、接触抵抗ＲＬＣと接触抵抗ＲＬＰの直列合成抵抗（ＲＬＣ＋ＲＬＰ）に比例する値となっている。また、交流測定電流Ｉｍに基づいてセンス端子Ｈｐ，Ｌｐ間に生じる電圧ＶＨＰ１についての第５検出電圧Ｖｄｖ５の電圧値は、内部抵抗Ｒｘに比例する値となっている。
【０１３４】
次いで、処理部２７は、第１検出電圧Ｖｄｖ１の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算して接触抵抗ＲＨＣを算出し、第２検出電圧Ｖｄｖ２の電圧値を第１交流検査電流Ｉｄの既知の電流値で除算して直列合成抵抗（ＲＨＣ＋ＲＨＰ）を算出し、第３検出電圧Ｖｄｖ３の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算して接触抵抗ＲＬＣを算出し、第４検出電圧Ｖｄｖ４の電圧値を第２交流検査電流Ｉｄ２の既知の電流値で除算して直列合成抵抗（ＲＬＣ＋ＲＬＰ）を算出し、第５検出電圧Ｖｄｖ５の電圧値を交流測定電流Ｉｍの既知の電流値で除算して内部抵抗Ｒｘを算出する。
【０１３５】
続いて、処理部２７は、算出した直列合成抵抗（ＲＨＣ＋ＲＨＰ）から算出した接触抵抗ＲＨＣを減算することで、接触抵抗ＲＨＰを算出する。また、処理部２７は、算出した直列合成抵抗（ＲＬＣ＋ＲＬＰ）から算出した接触抵抗ＲＬＣを減算することで、接触抵抗ＲＬＰを算出する。これにより、４つの接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰがすべて算出される。また、処理部２７は、算出した内部抵抗Ｒｘと、算出した各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを記憶する。
【０１３６】
最後に、処理部２７は、出力処理を実行して、算出した内部抵抗Ｒｘと各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを出力部２８に表示させる。これにより、インピーダンス測定装置１Ｄによる内部抵抗Ｒｘと各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰの測定が完了する。
【０１３７】
このように、このインピーダンス測定装置１Ｄにおいても、測定用信号源２用の第１グランドＧ１と測定部３Ｄ用の第２グランドＧ２とが電気的に分離されると共に、内部抵抗Ｒｘを検出（測定）するための第５検出部２６Ｄに加えて、各接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを検出（測定）するための各検査用信号源２１１，２１２および各検出部２２Ｄ，２３Ｄ，２４Ｄ，２５Ｄを備えたことにより、ソース端子Ｈｃ、ソース端子Ｌｃ、センス端子Ｈｐおよびセンス端子Ｌｐと測定対象ＤＵＴにおける対応する電極との間の接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰを個別に測定することができる。このため、このインピーダンス測定装置１Ｄによれば、この測定された個別の接触抵抗ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰに基づいて、ソース端子Ｈｃ、ソース端子Ｌｃ、センス端子Ｈｐおよびセンス端子Ｌｐと測定対象ＤＵＴにおける対応する電極との間の接触状態を個別に検出することができる。したがって、このインピーダンス測定装置１Ｄによっても、ソース端子Ｈｃ、ソース端子Ｌｃ、センス端子Ｈｐおよびセンス端子Ｌｐと測定対象ＤＵＴにおける対応する電極とを接続する測定ケーブルの断線の有無や、測定対象ＤＵＴと接触する測定ケーブルの先端部（コンタクト部）の摩耗の進行状態などを、測定ケーブル個別に確認することができる。
【０１３８】
なお、上記のインピーダンス測定装置１Ａ，１Ｂ，１Ｃでは、測定用信号源２から測定対象ＤＵＴへの交流測定電流Ｉｍの供給と、検査用信号源２１から測定対象ＤＵＴへの交流検査電流Ｉｄの供給とを同時に実行して、第１検出部２２Ａ（２２Ｂ）、第２検出部２３Ａ（２３Ｂ）、第３検出部２４Ａ（２４Ｂ）、第４検出部２５Ａ（２５Ｂ）および第５検出部２６Ａ（２６Ｂ）が、対応する検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５を同時に出力し得るように（その結果として、測定時間を短縮し得るように）、交流測定電流Ｉｍの周波数ｆ１と交流検査電流Ｉｄの周波数ｆ２とを異なる周波数に規定する構成を採用したり、インピーダンス測定装置１Ｄでは、測定用信号源２から測定対象ＤＵＴへの交流測定電流Ｉｍの供給と、第１検査用信号源２１１からソース端子Ｈｃおよびセンス端子Ｈｐ間への第１交流検査電流Ｉｄ１の供給と、第２検査用信号源２１２からソース端子Ｌｃおよびセンス端子Ｌｐ間への第２交流検査電流Ｉｄ２の供給とを同時に実行して、第１検出部２２Ｄ、第２検出部２３Ｄ、第３検出部２４Ｄ、第４検出部２５Ｄおよび第５検出部２６Ｄが、対応する検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ４，Ｖｄｖ５を同時に出力し得るように（その結果として、測定時間を短縮し得るように）、交流測定電流Ｉｍの周波数ｆ１および２つの交流検査電流Ｉｄ１，Ｉｄ２の各周波数ｆ２，ｆ３とを互いに異なる周波数に規定する構成を採用しているが、この構成に限定されるものではない。
【０１３９】
例えば、インピーダンス測定装置１Ａ，１Ｂ，１Ｃにおいて、検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ４の出力タイミング（処理部２７での取得タイミング）と、検出電圧Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ５の出力タイミング（処理部２７での取得タイミング）とをずらすことで、交流測定電流Ｉｍの周波数ｆ１と交流検査電流Ｉｄの周波数ｆ２とを同じ周波数に規定する構成とすることもできる。
【０１４０】
また、インピーダンス測定装置１Ｄにおいては、各交流検査電流Ｉｄ１，Ｉｄ２の電流ループが重ならないことから、交流検査電流Ｉｄ１，Ｉｄ２の各周波数ｆ２，ｆ３を同じ周波数に規定する構成とすることもできる。また、インピーダンス測定装置１Ｄにおいて、検出電圧Ｖｄｖ１，Ｖｄｖ３，Ｖｄｖ５の出力タイミング（処理部２７での取得タイミング）と、検出電圧Ｖｄｖ２，Ｖｄｖ４の出力タイミング（処理部２７での取得タイミング）とをずらすことで、交流測定電流Ｉｍの周波数ｆ１と、交流検査電流Ｉｄ１，Ｉｄ２の各周波数ｆ２，ｆ３とを同じ周波数に規定する構成とすることもできる。
【符号の説明】
【０１４１】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ  インピーダンス測定装置
２  測定用信号源
３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ  測定部
２１，２１１，２１２  検査用信号源
２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｄ  第１検出部
２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｄ  第２検出部
２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｄ  第３検出部
２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｄ  第４検出部
２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｄ  第５検出部
２７  処理部
ＤＵＴ  測定対象
Ｇ１  第１グランド
Ｇ２  第２グランド
Ｈｃ，Ｌｃ  ソース端子
Ｈｐ，Ｌｐ  センス端子
Ｉｄ，Ｉｄ１，Ｉｄ２  交流検査電流
Ｉｍ  交流測定電流
ＲＨＣ，ＲＬＣ，ＲＨＰ，ＲＬＰ  接触抵抗
Ｒｘ  内部抵抗
Ｖｄｖ１  第１検出電圧
Ｖｄｖ２  第２検出電圧
Ｖｄｖ３  第３検出電圧
Ｖｄｖ４  第４検出電圧
Ｖｄｖ５  第５検出電圧
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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