(57)【要約】【課題】表示パネルの処理を行う処理装置に表示パネルを搬送する搬送システムにおいて、処理装置に搬入される表示パネルの除電を効果的に行うことが可能な搬送システムを提供する。【解決手段】表示パネル２の処理を行う処理装置３と、処理装置３で処理される前の表示パネル２が配置されるパネル配置部４との間で表示パネル２を搬送する搬送システム１は、少なくとも処理装置３に表示パネル２を搬入するロボット８と、パネル配置部４から搬出された表示パネル２であって処理装置３に搬入される前の表示パネル２が載置される仮置きステージ７と、仮置きステージ７に載置された表示パネル２を除電するためのイオナイザー１１とを備えている。【選択図】図１
2020021793.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルの処理を行う処理装置と、前記処理装置で処理される前の前記表示パネルが配置されるパネル配置部との間で前記表示パネルを搬送する搬送システムであって、
少なくとも前記処理装置に前記表示パネルを搬入するロボットと、前記パネル配置部から搬出された前記表示パネルであって前記処理装置に搬入される前の前記表示パネルが載置される仮置きステージと、前記仮置きステージに載置された前記表示パネルを除電するためのイオナイザーとを備えることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記ロボットは、前記仮置きステージに載置された状態で所定時間経過した後の前記表示パネルを前記処理装置に搬入することを特徴とする請求項１記載の搬送システム。
【請求項３】
前記イオナイザーは、前記仮置きステージに載置される前記表示パネルよりも下側に配置され、前記仮置きステージに載置される前記表示パネルの下面側にイオンを供給することを特徴とする請求項１または２記載の搬送システム。
【請求項４】
前記イオナイザーは、前記仮置きステージに載置される前記表示パネルの斜め下側に配置され、前記仮置きステージに載置される前記表示パネルの下面に向かって斜め上側にイオンを供給することを特徴とする請求項３記載の搬送システム。
【請求項５】
前記仮置きステージは、前記仮置きステージに載置される前記表示パネルの下面が接触する載置部材を備え、
前記載置部材は、硬質材料で形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の搬送システム。
【請求項６】
前記載置部材は、ポリエーテルエーテルケトンで形成されていることを特徴とする請求項５記載の搬送システム。
【請求項７】
前記パネル配置部から前記仮置きステージに前記表示パネルが搬送される途中で前記表示パネルを除電するための第２のイオナイザーを備え、
前記表示パネルは、前記パネル配置部から前記仮置きステージに搬送される途中に、前記第２のイオナイザーがイオンを供給するイオン供給位置で所定時間停止することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の搬送システム。
【請求項８】
前記パネル配置部から前記仮置きステージに前記表示パネルを搬送する第２のロボットを備え、
前記ロボットは、前記仮置きステージから前記処理装置に前記表示パネルを搬送することを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の搬送システム。
【請求項９】
前記処理装置は、前記表示パネルを点灯検査する点灯検査装置であることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の表示パネルを搬送する搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネルを点灯検査するための検査装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の検査装置は、液晶ディスプレイの製造システムの途中に組み込まれている。この検査装置は、液晶パネルの点灯検査を行うプローバと、検査前の液晶パネルをプローバに向かって搬送する搬入側コンベヤと、搬入側コンベヤで搬送された液晶パネルをプローバに搬入する搬入機構とを備えている。搬入機構は、液晶パネルの表面を吸着して把持する吸着部と、先端に吸着部が取り付けられる搬送アームと、搬送アームを水平方向に移動させる移動機構とを備えている。吸着部は、真空ポンプが接続される吸盤によって構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１０７９７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の検査装置では、搬入機構の吸着部に液晶パネルが吸着されて把持されるときの摩擦帯電や、搬入機構の吸着部に把持されていた液晶パネルが吸着部から離れるときの剥離帯電によって、液晶パネルが帯電する。摩擦帯電や剥離帯電によって、吸着部に液晶パネルが把持されるときや吸着部から液晶パネルが離れるときに液晶パネルが帯電しても、この程度の静電気の影響で液晶パネルの品質が損なわれる可能性は低い。
【０００５】
しかしながら、摩擦帯電や剥離帯電によって、吸着部に液晶パネルが把持されるときや吸着部から液晶パネルが離れるときに帯電した液晶パネルの点灯検査を行うと、点灯検査の検査精度によっては、本来良品である液晶パネルが静電気の影響で不良品と判断されてしまうおそれがあることが本願発明者の検討によって明らかになった。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、表示パネルの処理を行う処理装置に表示パネルを搬送する搬送システムにおいて、処理装置に搬入される表示パネルの除電を効果的に行うことが可能な搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の搬送システムは、表示パネルの処理を行う処理装置と、処理装置で処理される前の表示パネルが配置されるパネル配置部との間で表示パネルを搬送する搬送システムであって、少なくとも処理装置に表示パネルを搬入するロボットと、パネル配置部から搬出された表示パネルであって処理装置に搬入される前の表示パネルが載置される仮置きステージと、仮置きステージに載置された表示パネルを除電するためのイオナイザーとを備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明において、ロボットは、たとえば、仮置きステージに載置された状態で所定時間経過した後の表示パネルを処理装置に搬入する。
【０００９】
本発明の搬送システムは、処理装置で処理される前の表示パネルが配置されるパネル配置部から搬出された表示パネルであって処理装置に搬入される前の表示パネルが載置される仮置きステージと、仮置きステージに載置された表示パネルを除電するためのイオナイザーとを備えている。そのため、本発明では、仮置きステージに載置された状態で所定時間、イオナイザーによって除電処理された後の表示パネルを処理装置に搬入することが可能になる。したがって、本発明では、処理装置に搬入される表示パネルの除電を効果的に行うことが可能になる。
【００１０】
本発明において、イオナイザーは、仮置きステージに載置される表示パネルよりも下側に配置され、仮置きステージに載置される表示パネルの下面側にイオンを供給することが好ましい。仮置きステージに表示パネルが載置されるときには、仮置きステージに接触する表示パネルの下面が摩擦帯電によって帯電するが、このように構成すると、仮置きステージに載置される表示パネルの下面を効果的に除電することが可能になる。また、下面が吸着された状態の表示パネルが仮置きステージに搬送される場合には、仮置きステージに表示パネルが載置されるときに表示パネルの下面が剥離帯電によって帯電するが、このように構成すると、仮置きステージに載置される表示パネルの下面を効果的に除電することが可能になる。
【００１１】
本発明において、イオナイザーは、仮置きステージに載置される表示パネルの斜め下側に配置され、仮置きステージに載置される表示パネルの下面に向かって斜め上側にイオンを供給することが好ましい。このように構成すると、イオナイザーが表示パネルの真下に配置されている場合と比較して、表示パネルの下面の全体を均等に除電しやすくなる。また、このように構成すると、仮置きステージを支持する部材とイオナイザーとの干渉を防止しやすくなる。また、イオナイザーから表示パネルに向かってイオンが噴射される場合、イオナイザーが表示パネルの真下に配置されていると、真下から表示パネルに向かって噴射されるイオンの影響で表示パネルが仮置きステージから浮きやすくなるが、このように構成すると、斜め下側から表示パネルに向かってイオンが噴射されるため、表示パネルが仮置きステージから浮きにくくなる。
【００１２】
本発明において、仮置きステージは、仮置きステージに載置される表示パネルの下面が接触する載置部材を備え、載置部材は、硬質材料で形成されていることが好ましい。このように構成すると、仮置きステージに表示パネルが載置されるときの載置部材の変形を防止することが可能になる。したがって、仮置きステージに表示パネルが載置されるときの摩擦帯電による表示パネルの帯電を抑制することが可能になる。また、この場合には、載置部材は、たとえば、ポリエーテルエーテルケトンで形成されている。
【００１３】
本発明において、搬送システムは、パネル配置部から仮置きステージに表示パネルが搬送される途中で表示パネルを除電するための第２のイオナイザーを備え、表示パネルは、パネル配置部から仮置きステージに搬送される途中に、第２のイオナイザーがイオンを供給するイオン供給位置で所定時間停止することが好ましい。このように構成すると、処理装置に搬入される表示パネルの除電をより効果的に行うことが可能になる。
【００１４】
本発明において、搬送システムは、パネル配置部から仮置きステージに表示パネルを搬送する第２のロボットを備え、ロボットは、仮置きステージから処理装置に表示パネルを搬送することが好ましい。このように構成すると、パネル配置部から仮置きステージへの表示パネルの搬送と、仮置きステージから処理装置への表示パネルの搬送とを同時に行うことが可能になる。したがって、搬送システムのサイクルタイムを短縮することが可能になる。
【００１５】
本発明において、処理装置は、たとえば、表示パネルを点灯検査する点灯検査装置である。この場合には、点灯検査装置に搬入される表示パネルの除電を効果的に行うことが可能になる。したがって、本来良品である表示パネルが静電気の影響で、点灯検査装置において不良品と判断されてしまうのを防止することが可能になる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明では、表示パネルの処理を行う処理装置に表示パネルを搬送する搬送システムにおいて、処理装置に搬入される表示パネルの除電を効果的に行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態にかかる搬送システムおよび処理装置の斜視図である。
【図２】図１に示す搬送システムの構成を説明するための側面図である。
【図３】図１に示す搬送システムの構成を説明するための平面図である。
【図４】図１のＥ部の構成を説明するための拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００１９】
（搬送システムの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる搬送システム１および処理装置３の斜視図である。図２は、図１に示す搬送システム１の構成を説明するための側面図である。図３は、図１に示す搬送システム１の構成を説明するための平面図である。図４は、図１のＥ部の構成を説明するための拡大図である。
【００２０】
本形態の搬送システム１は、携帯機器等で使用される比較的小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれて使用される。この搬送システム１は、表示パネルである液晶パネル２を搬送する。具体的には、搬送システム１は、液晶パネル２の処理を行う処理装置３と、処理装置３で処理される前の液晶パネル２が配置されるパネル配置部４との間で液晶パネル２を搬送する。液晶パネル２は、長方形の平板状に形成されている。
【００２１】
以下の説明では、上下方向（鉛直方向）に直交する左右方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「右」側とし、その反対側である図１等のＸ２方向側を「左」側とし、上下方向と左右方向とに直交する前後方向の一方側である図１等のＹ１方向側を「前」側とし、その反対側である図１等のＹ２方向側を「後ろ」側とする。
【００２２】
本形態の処理装置３は、液晶パネル２を点灯検査する点灯検査装置である。したがって、以下では、処理装置３を「検査装置３」とする。また、本形態では、カセット５に収容された複数枚の液晶パネル２がパネル配置部４に配置されている。カセット５の中では、液晶パネル２は、液晶パネル２の厚さ方向と上下方向とが略一致するように配置されている。また、カセット５の中では、複数枚の液晶パネル２が上下方向に所定の間隔をあけた状態で配置されている。カセット５に収容される液晶パネル２は、後ろ側に向かって搬出される。なお、トレイに収容された複数枚の液晶パネル２がパネル配置部４に配置されていても良い。
【００２３】
搬送システム１は、パネル配置部４から搬出された液晶パネル２であって検査装置３に搬入される前の液晶パネル２が載置される仮置きステージ７と、仮置きステージ７から検査装置３に液晶パネル２を搬送する（すなわち、検査装置３に液晶パネル２を搬入する）ロボット８と、パネル配置部４から仮置きステージ７に液晶パネル２を搬送する（すなわち、カセット５から液晶パネル２を搬出する）ロボット９とを備えている。本形態のロボット９は、第２のロボットである。
【００２４】
また、搬送システム１は、仮置きステージ７に載置された液晶パネル２を除電するためのイオナイザー１１と、パネル配置部４から仮置きステージ７に液晶パネル２が搬送される途中で液晶パネル２を除電するためのイオナイザー１２と、パネル配置部４から搬出される（すなわち、カセット６から搬出される）液晶パネル２を除電するためのイオナイザー１３とを備えている。イオナイザー１１〜１３は、たとえば、コロナ放電式の除電器である。また、イオナイザー１１〜１３は、いわゆるバータイプの除電器であり、棒状に形成される細長いヘッドユニットを備えている。本形態のイオナイザー１２は、第２のイオナイザーである。
【００２５】
ロボット８とロボット９とは、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。本形態では、ロボット８が右側に配置され、ロボット９が左側に配置されている。仮置きステージ７は、左右方向においてロボット８とロボット９との間に配置されている。検査装置３は、ロボット８の後ろ側に配置されている。パネル配置部４は、ロボット９の前側に配置されている。
【００２６】
検査装置３の内部には、液晶パネル２の点灯検査を行うためのバックライトやカメラ等が設置されている。検査装置３では、たとえば、液晶パネル２が２枚ずつ点灯検査される。検査装置３は、検査装置３に投入される液晶パネル２を除電するためのイオナイザーを備えている。このイオナイザーは、液晶パネル２の投入口に設置されている。パネル配置部４は、カセット５を保持するカセット保持部を備えている。カセット保持部は、左右方向を回動の軸方向としてかつカセット保持部の下端部を回動中心にして回動可能となっている。カセット保持部には、作業員が手作業でカセット５をセットする。
【００２７】
ロボット８、９は、６軸の垂直多関節ロボットである。図２に示すように、ロボット８、９は、ロボット８、９の下端部を構成する支持部材１６と、支持部材１６に相対回動可能に連結される関節部１７と、関節部１７と相対回動可能に連結される関節部１８と、関節部１８に基端が固定される直線状のアーム１９と、アーム１９の先端に固定される関節部２０と、関節部２０に相対回動可能に連結される関節部２１と、関節部２１に基端が相対回動可能に連結される直線状のアーム２２と、アーム２２の先端が固定される関節部２３と、関節部２３に相対可動可能に連結される関節部２４とを備えている。
【００２８】
また、ロボット８、９は、関節部２４に回動可能に連結されるとともに液晶パネル２を保持するパネル保持機構２５を備えている。パネル保持機構２５は、液晶パネル２を吸引して保持するパネル保持部２５ａを備えている。パネル保持部２５ａは、複数のゴム製の吸着パッドを備えている。吸着パッドの内周側には吸引穴が形成されており、吸引穴には、所定の配管を介して真空ポンプ等の空気の吸引機構が接続されている。パネル保持部２５ａは、１枚の液晶パネル２を保持する。
【００２９】
仮置きステージ７には、２枚の液晶パネル２が載置可能になっている。具体的には、仮置きステージ７には、２枚の液晶パネル２を、前後方向に所定の間隔をあけた状態で載置することが可能になっている。仮置きステージ７は、略長方形の平板状に形成されるステージ本体２８と、ステージ本体２８の上面に固定されるとともに液晶パネル２が載置される載置部材２９とを備えている。なお、図３では、載置部材２９の図示を省略している。
【００３０】
ステージ本体２８の上面は、上下方向に直交する平面となっている。ステージ本体２８には、ロボット９のパネル保持部２５ａが上下方向に通過する切欠き部２８ａが形成されている。切欠き部２８ａは、仮置きステージ７の左端から右側に向かって形成されている。また、切欠き部２８ａは、上下方向で仮置きステージ７を貫通している。切欠き部２８ａは、液晶パネル２の載置位置に対応する２箇所に形成されている。
【００３１】
載置部材２９は、硬質材料で形成されている。本形態の載置部材２９は、硬質の樹脂材料であるポリエーテルエーテルケトンで形成されている。より具体的には、載置部材２９は、非導電性のポリエーテルエーテルケトンで形成されている。載置部材２９には、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２が接触する。具体的には、載置部材２９には、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２の下面が接触する。載置部材２９の、液晶パネル２が接触する接触面は、上下方向に直交する平面となっている。本形態では、４個の載置部材２９が２個の切欠き部２８ａのそれぞれを囲むようにステージ本体２８に固定されており、１枚の液晶パネル２は、４個の載置部材２９に載置される。すなわち、ステージ本体２８には、８個の載置部材２９が固定されている。
【００３２】
イオナイザー１１は、仮置きステージ７よりも下側に配置されており、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２よりも下側に配置されている。また、イオナイザー１１は、前後方向において仮置きステージ７と同じ位置に配置されている。また、イオナイザー１１は、仮置きステージ７の右斜め下側に配置されており、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２の斜め下側に配置されている。
【００３３】
イオナイザー１１は、棒状に形成されるイオナイザー１１のヘッドユニットの長手方向と前後方向とが一致するように配置されている。イオナイザー１１は、左斜め上側に向かってイオンを噴射する。すなわち、イオナイザー１１は、仮置きステージ７に載置される２枚の液晶パネル２の下面に向かってイオンを噴射して、液晶パネル２の下面側にイオンを供給する。すなわち、イオナイザー１１は、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２の下面に向かって斜め上側にイオンを供給する。このように、本形態の仮置きステージ７は、液晶パネル２を除電するための除電用のステージとなっている。
【００３４】
イオナイザー１２は、左右方向において仮置きステージ７とロボット９との間に配置されている。また、イオナイザー１２は、ロボット９よりも上側に配置されている。さらに、イオナイザー１２は、前後方向においてロボット９と同じ位置に配置されている。イオナイザー１２は、棒状に形成されるイオナイザー１２のヘッドユニットの長手方向と前後方向とが一致するように配置されている。なお、イオナイザー１２は、図示を省略する搬送システム１のフレームに固定されている。
【００３５】
イオナイザー１２は、下側に向かってイオンを噴射する。また、イオナイザー１２は、ロボット９の動作経路（具体的には、ロボット９のパネル保持部２５ａの動作経路、すなわち、ロボット９による液晶パネル２の搬送経路）に配置されている。イオナイザー１２は、後述のように、ロボット９のパネル保持部２５ａに保持されるとともにイオナイザー１２の下側で所定時間停止する液晶パネル２の上面に向かってイオンを噴射して、液晶パネル２の上面側にイオンを供給する。
【００３６】
イオナイザー１３は、左右方向においてカセット５と略同じ位置（すなわち、パネル配置部４と略同じ位置）に配置されている。また、イオナイザー１３は、カセット５よりも上側に配置されている。さらに、イオナイザー１３は、カセット５よりもわずかに後ろ側に配置されている。イオナイザー１３は、棒状に形成されるイオナイザー１３のヘッドユニットの長手方向と左右方向とが一致するように配置されている。イオナイザー１３は、下側に向かってイオンを噴射する。なお、イオナイザー１３は、イオナイザー１２と同様に、図示を省略する搬送システム１のフレームに固定されている。
【００３７】
（搬送システムでの液晶パネルの搬送動作）
搬送システム１では、ロボット９が、パネル配置部４（具体的には、カセット５）から仮置きステージ７に液晶パネル２を搬送する。カセット５に収容される液晶パネル２を、ロボット９のパネル保持部２５ａ（具体的には、パネル保持部２５ａの吸着パッド）が吸着してパネル配置部４から搬出するときには、イオナイザー１３は、下側に向かってイオンを噴射している。また、ロボット９がパネル配置部４から仮置きステージ７に液晶パネル２を搬送するときには、ロボット９のパネル保持部２５ａは、液晶パネル２の下面を吸引して保持している。
【００３８】
液晶パネル２を保持しているロボット９のパネル保持部２５ａは、パネル配置部４から仮置きステージ７に液晶パネル２を搬送する途中に、下側に向かってイオンを噴射するイオナイザー１２の下側で所定時間停止する。すなわち、液晶パネル２は、パネル配置部４から仮置きステージ７に搬送される途中に、イオナイザー１２がイオンを供給するイオン供給位置ＳＰで所定時間停止する。
【００３９】
具体的には、液晶パネル２は、パネル配置部４から仮置きステージ７に搬送される途中に、イオン供給位置ＳＰで数秒程度（たとえば、２〜５秒程度）停止する。イオン供給位置ＳＰでの液晶パネル２の停止時間は、ロボット９の制御プログラム上で設定されている。イオナイザー１２は、ロボット９のパネル保持部２５ａに保持されるとともにイオナイザー１２の下側で所定時間停止する液晶パネル２の上面に向かってイオンを噴射して、液晶パネル２の上面側にイオンを供給する。
【００４０】
イオン供給位置ＳＰで所定時間停止した後、ロボット９によって仮置きステージ７まで搬送された液晶パネル２は、ロボット９のパネル保持部２５ａに保持されていた液晶パネル２の下面が載置部材２９に接触するように、仮置きステージ７に載置される。イオナイザー１１は、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２の下面に向かってイオンを噴射して、液晶パネル２の下面側にイオンを供給する。
【００４１】
ロボット８は、仮置きステージ７に載置された液晶パネル２を仮置きステージ７から検査装置３に搬送する。本形態では、ロボット８は、仮置きステージ７に載置された状態で所定時間経過した後の液晶パネル２を検査装置３に搬入する。具体的には、ロボット８は、ロボット９に搬送されて仮置きステージ７に載置された後、少なくとも数秒程度（たとえば、５秒程度）経過した後の液晶パネル２のみを検査装置３に搬入する。
【００４２】
液晶パネル２の、仮置きステージ７への載置時間は、搬送システム１の制御プログラム上で設定されており、ロボット８は、この制御プログラムにしたがって動作する。なお、イオナイザー１１は、液晶パネル２が仮置きステージ７に載置された後、検査装置３へ搬送されるまでの間、仮置きステージ７に載置された液晶パネル２に対して連続的にイオンを供給する。
【００４３】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態の搬送システム１は、パネル配置部４から搬出された液晶パネル２であって検査装置３に搬入される前の液晶パネル２が載置される仮置きステージ７と、仮置きステージ７に載置された液晶パネル２を除電するためのイオナイザー１１とを備えており、ロボット８は、仮置きステージ７に載置された状態で所定時間経過した後の液晶パネル２を検査装置３に搬入している。
【００４４】
そのため、本形態では、仮置きステージ７に載置された状態で所定時間、イオナイザー１１によって除電処理された後の液晶パネル２を検査装置３に搬入することが可能になる。したがって、本形態では、検査装置３に搬入される液晶パネル２の除電を効果的に行うことが可能になり、その結果、本来良品である液晶パネル２が静電気の影響で、検査装置３において不良品と判断されてしまうのを防止することが可能になる。
【００４５】
また、本形態では、液晶パネル２は、パネル配置部４から仮置きステージ７に搬送される途中に、イオナイザー１２がイオンを供給するイオン供給位置ＳＰで所定時間停止している。そのため、本形態では、検査装置３に搬入される液晶パネル２の除電をより効果的に行うことが可能になる。したがって、本形態では、本来良品である液晶パネル２が静電気の影響で、検査装置３において不良品と判断されてしまうのを効果的に防止することが可能になる。
【００４６】
本形態では、仮置きステージ７に液晶パネル２が載置されるときに、仮置きステージ７の載置部材２９に接触する液晶パネル２の下面が摩擦帯電によって帯電するが、イオナイザー１１は、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２よりも下側に配置されており、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２の下面に向かってイオンを噴射して、液晶パネル２の下面側にイオンを供給している。そのため、本形態では、仮置きステージ７に液晶パネル２が載置されるときに、液晶パネル２の下面が摩擦帯電によって帯電しても、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２の下面を効果的に除電することが可能になる。
【００４７】
また、本形態では、ロボット９がパネル配置部４から仮置きステージ７に液晶パネル２を搬送するときに、ロボット９のパネル保持部２５ａの吸着パッドが液晶パネル２の下面を吸引して保持しており、仮置きステージ７に液晶パネル２が載置されるときに液晶パネル２の下面が剥離帯電によって帯電するが、イオナイザー１１が、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２の下面に向かってイオンを噴射して、液晶パネル２の下面側にイオンを供給している。そのため、本形態では、液晶パネル２の下面が剥離帯電によって帯電しても、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２の下面を効果的に除電することが可能になる。
【００４８】
本形態では、イオナイザー１１は、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２の斜め下側に配置されており、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２の下面に向かって斜め上側にイオンを供給している。そのため、本形態では、イオナイザー１１が液晶パネル２の真下に配置されている場合と比較して、液晶パネル２の下面の全体を均等に除電しやすくなる。また、本形態では、仮置きステージ７を支持する部材とイオナイザー１１との干渉を防止しやすくなる。また、イオナイザー１１が液晶パネル２の真下に配置されていると、真下から噴射されるイオンの影響で液晶パネル２が仮置きステージ７から浮きやすくなるが、本形態では、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２の下面に向かって斜め上側にイオンが噴射されるため、液晶パネル２が仮置きステージ７から浮きにくくなる。
【００４９】
本形態では、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２が接触する載置部材２９は、硬質材料で形成されている。そのため、本形態では、仮置きステージ７に液晶パネル２が載置されるときの載置部材２９の変形を防止することが可能になる。したがって、本形態では、仮置きステージ７に液晶パネル２が載置されるときの摩擦帯電による液晶パネル２の帯電を抑制することが可能になる。
【００５０】
本形態では、ロボット８は、仮置きステージ７から検査装置３に液晶パネル２を搬送し、ロボット９は、パネル配置部４から仮置きステージ７に液晶パネル２を搬送している。そのため、本形態では、パネル配置部４から仮置きステージ７への液晶パネル２の搬送と、仮置きステージ７から検査装置３への液晶パネル２の搬送とを同時に行うことが可能になる。したがって、本形態では、搬送システム１のサイクルタイムを短縮することが可能になる。
【００５１】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００５２】
上述した形態において、イオナイザー１１は、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２の真下に配置されていても良い。また、上述した形態において、イオナイザー１１は、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２の斜め上側に配置されていても良いし、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２の真上に配置されていても良い。この場合には、イオナイザー１１は、仮置きステージ７に載置される液晶パネル２の上面側にイオンを供給する。
【００５３】
上述した形態において、ロボット８のパネル保持部２５ａの動作経路（すなわち、ロボット８による液晶パネル２の搬送経路）に、下側に向かってイオンを噴射するイオナイザーが配置されていても良い。この場合には、液晶パネル２を保持しているロボット８のパネル保持部２５ａは、たとえば、仮置きステージ７から検査装置３に液晶パネル２を搬送する途中に、このイオナイザーの下側で所定時間停止する。
【００５４】
上述した形態において、載置部材２９は、導電性を有するポリエーテルエーテルケトンで形成されるとともに、接地されていても良い。この場合には、液晶パネル２が載置部材２９に載置されるときの摩擦帯電による液晶パネル２の帯電を防止することが可能になる。また、上述した形態において、載置部材２９は、金属製の硬質材料で形成されていても良い。この場合には、載置部材２９は、接地されていることが好ましい。なお、載置部材２９は、ゴム等の軟質材料で形成されていても良い。
【００５５】
上述した形態において、ロボット９がパネル配置部４から仮置きステージ７に液晶パネル２を搬送するときに、ロボット９のパネル保持部２５ａは、液晶パネル２の上面を吸引して保持しても良い。この場合には、たとえば、イオナイザー１２は、上側に向かってイオンを噴射するように配置されており、液晶パネル２を保持しているロボット９のパネル保持部２５ａは、パネル配置部４から仮置きステージ７に液晶パネル２を搬送する途中に、上側に向かってイオンを噴射しているイオナイザー１２の上側で所定時間停止する。
【００５６】
上述した形態において、液晶パネル２を保持しているロボット９のパネル保持部２５ａは、パネル配置部４から仮置きステージ７に液晶パネル２を搬送する途中に、イオナイザー１２の下側で所定時間停止することなく、イオナイザー１２の下側を通過しても良い。また、上述した形態において、搬送システム１は、イオナイザー１２およびイオナイザー１３の少なくともいずれか一方を備えていなくても良い。
【００５７】
上述した形態において、１台のロボットが、パネル配置部４から仮置きステージ７への液晶パネル２の搬送と、仮置きステージ７から検査装置３への液晶パネル２の搬送とを行っても良い。たとえば、ロボット８が、パネル配置部４から液晶パネル２を搬出して、仮置きステージ７まで搬送するとともに、仮置きステージ７に載置された液晶パネル２を検査装置３に搬入しても良い。
【００５８】
上述した形態において、パネル保持機構２５は、２個のパネル保持部２５ａを備えていても良い。すなわち、パネル保持機構２５は、２枚の液晶パネル２を保持しても良い。また、上述した形態では、処理装置３は、液晶パネル２を点灯検査する点灯検査装置であるが、処理装置３は、点灯検査装置以外の、液晶パネル２に対して所定の処理を行う装置であっても良い。
【００５９】
上述した形態において、ロボット８およびロボット９の少なくともいずれか一方は、６軸以外の垂直多関節ロボットであっても良いし、水平多関節ロボットであっても良いし、いわゆるパラレルリンクロボットであっても良い。また、上述した形態では、搬送システム１で搬送される表示パネルは、液晶パネル２であるが、搬送システム１で搬送される表示パネルは、液晶パネル２以外の表示パネルであっても良い。たとえば、搬送システム１で搬送される表示パネルは、有機ＥＬパネルであっても良い。
【符号の説明】
【００６０】
１  搬送システム
２  液晶パネル（表示パネル）
３  検査装置（点灯検査装置、処理装置）
４  パネル配置部
７  仮置きステージ
８  ロボット
９  ロボット（第２のロボット）
１１  イオナイザー
１２  イオナイザー（第２のイオナイザー）
２９  載置部材
ＳＰ  イオン供給位置
【図１】
2020021793.tif 000003
【図２】
2020021793.tif 000004
【図３】
2020021793.tif 000005
【図４】
2020021793.tif 000006