(57)【要約】      （修正有）【課題】流路基板を大型化することなく、共通液室を拡大することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】流路が形成された流路基板と、個別流路２００は、外部と連通するノズル２１と、エネルギー発生素子３００により圧力変化が生じる圧力室１２と、を備え、個別流路は、圧力室として第１圧力室１２Ａを有する第１個別流路２００Ａと、圧力室として第２圧力室を有する第２個別流路と、を有し、第１圧力室と第２圧力室とは、ノズルの並設方向Ｘから平面視した際に、互いに重ならない位置に配置されており、第１個別流路の連通路は、ノズルに連通する開口が、第１圧力室に連通する開口よりも第２圧力室側に位置し、第２個別流路の連通路は、ノズルに連通する開口が、第２圧力室に連通する開口よりも第１圧力室側に位置し、共通液室１０１、１０２のノズル側の開口は、圧力室側の開口よりもノズル側に拡幅されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路が形成された流路基板と、前記流路の液体に圧力変化を生じさせるためのエネルギー発生素子と、を備え、
前記流路は、共通液室と前記共通液室に連通する複数の個別流路と、を備え、
前記個別流路は、外部と連通するノズルと、前記エネルギー発生素子により圧力変化が生じる圧力室と、前記ノズルが開口するノズル面の垂線方向に延設されて前記ノズルと前記圧力室とを連通する連通路と、を備え、
前記個別流路は、前記圧力室として第１圧力室を有する第１個別流路と、前記圧力室として第２圧力室を有する第２個別流路と、を有し、
前記第１圧力室と前記第２圧力室とは、前記ノズルの並設方向から平面視した際に、互いに重ならない位置に配置されており、
前記第１個別流路の前記連通路は、前記ノズルに連通する開口が、前記第１圧力室に連通する開口よりも前記第２圧力室側に位置し、
前記第２個別流路の前記連通路は、前記ノズルに連通する開口が、前記第２圧力室に連通する開口よりも前記第１圧力室側に位置し、
前記共通液室の前記ノズル側の開口は、前記圧力室側の開口よりも前記ノズル側に拡幅されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記共通液室は、第１共通液室と第２共通液室とを備え、
前記第１個別流路は、前記共通液室のうち少なくとも前記第１共通液室に連通し、
前記第２個別流路は、前記共通液室のうち少なくとも前記第２共通液室に連通し、
前記並設方向から平面視した際に、前記ノズル面の面内方向における前記第１個別流路の前記連通路の前記ノズル側の開口と前記第１共通液室との間隔は、前記連通路の前記第１圧力室側の開口と前記第１共通液室との間隔以下であり、前記第２個別流路の前記連通路の前記ノズル側の開口と前記第２共通液室との間隔は、前記連通路の前記第２圧力室側の開口と前記第２共通液室との間隔以下であることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記共通液室は、前記ノズル面の垂線方向において前記圧力室側に設けられた幅狭部と、前記ノズル面側に設けられて前記ノズルに向かって前記幅狭部よりも拡幅された幅広部と、を有し、前記共通液室の前記ノズル側の側壁には、前記幅狭部と前記幅広部とによって段差が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記共通液室は、第１共通液室と第２共通液室とを有し、
前記個別流路は、前記第１共通液室と前記第２共通液室との両方に連通して、前記第１共通液室から前記第２共通液室に液体を供給し、
前記第１個別流路は、前記幅狭部と連通し、
前記第２個別流路は、前記幅広部の前記幅狭部側の側面に連通して設けられていることを特徴とする請求項３記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記ノズルがノズルプレートに設けられていると共に、前記ノズルプレートの前記共通液室側の端部は、前記連通路の前記圧力室側の開口の前記共通液室側の縁部よりも前記ノズル側に位置することを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記ノズル面の垂線方向において前記共通液室の拡幅された前記ノズル側の壁面に、液体の圧力を吸収可能なコンプライアンス部が設けられていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を噴射する液体噴射ヘッドとして、被印刷媒体に液体としてインクを吐出して印刷を行うインクジェット式記録ヘッドが知られている。
【０００３】
インクジェット式記録ヘッドは、ノズルに連通する圧力室を有する個別流路と、複数の個別流路に共通して連通する共通液室と、圧力室内のインクに圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーター等のエネルギー発生素子と、を具備し、エネルギー発生素子が圧力室内のインクに圧力変化を生じさせることで、ノズルからインク滴を吐出する。
【０００４】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、多ノズル化やノズルの高密度化などを図るために、１つの流路基板に２列の圧力室を設けた構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−１４３９４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、流路基板を大型化することなく、共通液室を大型化したいという要望があった。
このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、流路基板を大型化することなく、共通液室を拡大することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の態様は、流路が形成された流路基板と、前記流路の液体に圧力変化を生じさせるためのエネルギー発生素子と、を備え、前記流路は、共通液室と前記共通液室に連通する複数の個別流路と、を備え、前記個別流路は、外部と連通するノズルと、前記エネルギー発生素子により圧力変化が生じる圧力室と、前記ノズルが開口するノズル面の垂線方向に延設されて前記ノズルと前記圧力室とを連通する連通路と、を備え、前記個別流路は、前記圧力室として第１圧力室を有する第１個別流路と、前記圧力室として第２圧力室を有する第２個別流路と、を有し、前記第１圧力室と前記第２圧力室とは、前記ノズルの並設方向から平面視した際に、互いに重ならない位置に配置されており、前記第１個別流路の前記連通路は、前記ノズルに連通する開口が、前記第１圧力室に連通する開口よりも前記第２圧力室側に位置し、前記第２個別流路の前記連通路は、前記ノズルに連通する開口が、前記第２圧力室に連通する開口よりも前記第１圧力室側に位置し、前記共通液室の前記ノズル側の開口は、前記圧力室側の開口よりも前記ノズル側に拡幅されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
【０００９】
また、他の態様は、上記態様に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの断面図である。
【図５】本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの断面図である。
【図６】本発明の実施形態２に係る流路を模式的に表した図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る記録ヘッドを示す断面図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る記録ヘッドを示す断面図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る記録ヘッドを示す断面図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る記録ヘッドを示す断面図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００１２】
（実施形態１）
本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドについて図１〜図３を参照して説明する。なお、図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドのノズル面側から見た平面図である。図２は、図１のＡ−Ａ′線断面図である。図３は、図１のＢ−Ｂ′線断面図である。
【００１３】
図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１（以下、単に記録ヘッド１とも言う）は、流路基板として流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０、ケース部材４０及びコンプライアンス基板４９等の複数の部材を備える。
【００１４】
流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなり、その一方の面には振動板５０が形成されている。振動板５０は、二酸化シリコン層や酸化ジルコニウム層から選択される単一層又は積層であってもよい。
【００１５】
流路形成基板１０には、個別流路２００を構成する圧力室１２が、複数の隔壁によって区画されて複数設けられている。複数の圧力室１２は、インクを吐出する複数のノズル２１が並設される方向に沿って所定のピッチで並設されている。以降、この方向を、ノズル２１の並設方向、又は圧力室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。なお、本実施形態では、流路形成基板１０の第１の方向Ｘに並設された圧力室１２の間の部分を隔壁と称する。この隔壁は、第２の方向Ｙに沿って形成されている。すなわち、隔壁は、流路形成基板１０の第２の方向Ｙにおける圧力室１２に重なる部分のことをいう。
【００１６】
また、本実施形態では、２列の圧力室１２において、一方の列の圧力室１２を第１圧力室１２Ａと称し、他方の列の圧力室１２を第２圧力室１２Ｂと称する。第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとは、第１の方向Ｘからの平面視において、互いに重ならない位置に配置されている。また、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとは、第１の方向Ｘにずらした、いわゆる千鳥配置となっている。本実施形態では、第１圧力室１２Ａが第１の方向Ｘに並設された列と、第２圧力室１２Ｂが第１の方向Ｘに並設された列とは、第１の方向Ｘに互いに半ピッチずれた位置に配置されている。なお、第１圧力室１２Ａの一部と第２圧力室１２Ｂの一部とが、第１の方向Ｘからの平面視において、互いに重なる位置に配置されていてもよい。
【００１７】
また、本実施形態では、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの両方に直交する方向を第３の方向Ｚと称し、詳しくは後述するノズルプレート２０に対するケース部材４０側をＺ１側、ケース部材４０に対するノズルプレート２０側をＺ２側と称する。なお、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚは、互いにそれぞれ直交する方向としたが、特にこれに限定されず、直交以外の角度で交差する方向であってもよい。
【００１８】
なお、本実施形態では、流路形成基板１０に圧力室１２のみを設けるようにしたが、圧力室１２に供給されるインクに流路抵抗を付与するように圧力室１２よりも流路を横断する断面積を絞った流路抵抗付与部を設けるようにしてもよい。
【００１９】
このような流路形成基板１０の第３の方向Ｚの一方面側であるＺ１側には、上述のように振動板５０が形成され、この振動板５０上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とが成膜及びリソグラフィー法によって積層されて圧電アクチュエーター３００を構成している。本実施形態では、圧電アクチュエーター３００が、圧力室１２内のインクに圧力変化を生じさせるエネルギー発生素子となっている。ここで、圧電アクチュエーター３００は、圧電素子とも言い、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分を言う。一般的には、圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を圧力室１２毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、振動板５０、第１電極６０が、振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、振動板５０を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００２０】
また、このような各圧電アクチュエーター３００の第２電極８０には、リード電極９０がそれぞれ接続され、このリード電極９０を介して各圧電アクチュエーター３００に選択的に電圧が印加されるようになっている。
【００２１】
また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、保護基板３０が接合されている。
【００２２】
保護基板３０の圧電アクチュエーター３００に対向する領域には、圧電アクチュエーター３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電アクチュエーター保持部３１が設けられている。圧電アクチュエーター保持部３１は、圧電アクチュエーター３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。また、圧電アクチュエーター保持部３１は、本実施形態では、第１の方向Ｘに並設された複数の圧電アクチュエーター３００の列毎にそれぞれ独立して設けられている。すなわち、圧電アクチュエーター保持部３１は、第１の方向Ｘに並設された複数の圧電アクチュエーター３００の列を一体的に覆う大きさで形成されている。もちろん、圧電アクチュエーター保持部３１は、特にこれに限定されず、圧電アクチュエーター３００を個別に覆うものであってもよく、第１の方向Ｘで並設された２以上の圧電アクチュエーター３００で構成される群毎に覆うものであってもよい。
【００２３】
このような保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００２４】
また、保護基板３０には、保護基板３０を第３の方向Ｚに貫通する貫通孔３２が設けられている。そして、各圧電アクチュエーター３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、貫通孔３２内に露出するよう延設されており、貫通孔３２内でフレキシブルケーブル１２０と電気的に接続されている。フレキシブルケーブル１２０は、可撓性を有する配線基板であって、本実施形態では、半導体素子である駆動回路１２１が実装されている。なお、フレキシブルケーブル１２０を介さずに、リード電極９０と駆動回路１２１とを電気的に接続してもよい。また、保護基板３０に流路を設けてもよい。
【００２５】
また、保護基板３０のＺ１側には、ケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、保護基板３０の流路形成基板１０とは反対面側が接合されると共に、後述する連通板１５にも接合して設けられている。
【００２６】
このようなケース部材４０には、第１共通液室１０１の一部を構成する第１液室部４１と、第２共通液室１０２の一部を構成する第２液室部４２とが設けられている。第１液室部４１と第２液室部４２とは、第２の方向Ｙにおいて、２列の圧力室１２を挟んだ両側にそれぞれ設けられている。
【００２７】
第１液室部４１及び第２液室部４２のそれぞれは、ケース部材４０のＺ２側の面に開口する凹形状を有し、第１の方向Ｘに並設された複数の圧力室１２に亘って連続して設けられている。
【００２８】
また、ケース部材４０のＺ１側の面には、第１液室部４１及び第２液室部４２のそれぞれに連通する２つの導入口４３が設けられている。
【００２９】
さらに、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して、フレキシブルケーブル１２０が挿通される接続口４５が設けられている。
【００３０】
一方、流路形成基板１０の保護基板３０とは反対面側であるＺ２側には、連通板１５とノズルプレート２０とコンプライアンス基板４９とが設けられている。
【００３１】
連通板１５は、本実施形態では、第１連通板１５１と第２連通板１５２とが第３の方向Ｚに積層されて構成されている。第１連通板１５１は、流路形成基板１０側、すなわち、第３の方向ＺのＺ１側に設けられており、第２連通板１５２は、ノズルプレート２０側、すなわち、第３の方向ＺのＺ２側に設けられている。
【００３２】
このような連通板１５を構成する第１連通板１５１及び第２連通板１５２は、ステンレス鋼等の金属、ガラス、セラミック材料等によって製造することができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と熱膨張率が略同一の材料を用いるのが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００３３】
連通板１５には、詳しくは後述するが、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のそれぞれの一部を構成する第１連通部１６及び第２連通部１７が設けられている。また、連通板１５には、詳しくは後述するが、第１共通液室１０１と圧力室１２とを連通する流路と、圧力室１２とノズル２１とを連通する流路と、ノズル２１と第２共通液室１０２とを連通する流路と、が設けられている。連通板１５に設けられたこれらの流路は、個別流路２００の一部を構成する。  
【００３４】
ノズルプレート２０には、外部に連通すると共に圧力室１２に連通するノズル２１が複数形成されている。本実施形態では、図１に示すように、複数のノズル２１を第１の方向Ｘに並設した第１ノズル列２２Ａと、複数のノズル２１を第１の方向Ｘに並設した第２ノズル列２２Ｂと、を第２の方向Ｙに並設し、第１ノズル列２２Ａと第２ノズル列２２Ｂとを第２の方向Ｙで同じ位置とならないように第１の方向Ｘにずらした、いわゆる千鳥配置となっている。本実施形態では、第１ノズル列２２Ａのノズル２１を第１ノズル２１Ａと称し、第２ノズル列２２Ｂのノズル２１を第２ノズル２１Ｂと称する。第１ノズル列２２Ａの第１ノズル２１Ａは、第１圧力室１２Ａに連通する。また、第２ノズル列２２Ｂの第２ノズル２１Ｂは、第２圧力室１２Ｂに連通する。なお、第１ノズル列２２Ａと第２ノズル列２２Ｂとが、第１の方向Ｘの一直線上に並んでもよい。
【００３５】
また、連通板１５は、第１共通液室１０１の一部を構成する第１連通部１６と、第２共通液室１０２の一部を構成する第２連通部１７と、を有する。
【００３６】
第１連通部１６は、第３の方向Ｚにおいて、ケース部材４０の第１液室部４１に重なる位置に設けられており、連通板１５のＺ１側及びＺ２側の両面に開口して設けられている。第１連通部１６は、Ｚ１側において第１液室部４１と連通することで第１共通液室１０１を構成する。すなわち、第１共通液室１０１は、ケース部材４０の第１液室部４１と連通板１５の第１連通部１６とによって構成されている。また、第１連通部１６は、Ｚ２側において圧力室１２に第３の方向Ｚで重なる位置まで第２の方向Ｙに延設されている。
【００３７】
また、第１共通液室１０１を構成する第１連通部１６は、第３の方向Ｚにおいて圧力室１２側であるＺ１側に設けられた第１幅狭部１６ａと、ノズル２１側に設けられた第１幅広部１６ｂと、を具備する。
【００３８】
第１幅狭部１６ａは、第１連通板１５１の第２連通板１５２側に開口して設けられており、第１幅広部１６ｂは、第２連通板１５２に第３の方向Ｚに貫通して設けられている。
【００３９】
また、第１幅狭部１６ａと第１幅広部１６ｂとは、第１の方向Ｘにおいて同じ幅で設けられており、第２の方向Ｙにおいて第１幅広部１６ｂの方が第１幅狭部１６ａよりも広い幅で形成されている。また、第１幅広部１６ｂは、第１幅狭部１６ａよりもノズル２１側に拡幅して設けられている。つまり、第１幅広部１６ｂの第２の方向Ｙのノズル２１とは反対側の端部は、第１幅狭部１６ａと同じ位置に設けられており、第１幅広部１６ｂの第２の方向Ｙのノズル２１側の端部は、第１幅狭部１６ａよりも外側に配置されている。これにより、第３の方向Ｚにおいて第１共通液室１０１のノズル２１側の開口である第１幅広部１６ｂの開口は、圧力室１２側の開口である第１幅狭部１６ａの開口よりもノズル２１側に拡幅されている。また、第１連通部１６のノズル２１側の側壁には、第１幅狭部１６ａと第１幅広部１６ｂとによって段差である第１段差１６ｃが設けられている。
【００４０】
第２連通部１７は、第３の方向Ｚにおいて、ケース部材４０の第２液室部４２に重なる位置に設けられており、連通板１５のＺ１側及びＺ２側の両面に開口して設けられている。第２連通部１７は、Ｚ１側において第２液室部４２と連通することで第２共通液室１０２を構成する。すなわち、第２共通液室１０２は、ケース部材４０の第２液室部４２と連通板１５の第２連通部１７とによって構成されている。また、第２連通部１７は、Ｚ２側において圧力室１２に第３の方向Ｚで重なる位置まで第２の方向Ｙに延設されている。
【００４１】
第２共通液室１０２を構成する第２連通部１７は、第３の方向Ｚにおいて圧力室１２側であるＺ１側に設けられた第２幅狭部１７ａと、ノズル２１側に設けられた第２幅広部１７ｂと、を具備する。
【００４２】
第２幅狭部１７ａは、第１連通板１５１の第２連通板１５２側に開口して設けられ、第２幅広部１７ｂは、第２連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。
【００４３】
また、第２幅狭部１７ａと第２幅広部１７ｂとは、第１の方向Ｘにおいて同じ幅で設けられており、第２の方向Ｙにおいて第２幅広部１７ｂの方が第２幅狭部１７ａよりも広い幅で形成されている。また、第２幅広部１７ｂは、第２幅狭部１７ａよりもノズル２１側に拡幅して設けられている。つまり、第２幅広部１７ｂの第２の方向Ｙのノズル２１とは反対側の端部は、第２幅狭部１７ａと同じ位置に設けられており、第２幅広部１７ｂの第２の方向Ｙのノズル２１側の端部は、第２幅狭部１７ａよりも外側に配置されている。これにより、第３の方向Ｚにおいて第２共通液室１０２のノズル２１側の開口である第２幅広部１７ｂの開口は、圧力室１２側の開口である第２幅狭部１７ａの開口よりもノズル２１側に拡幅されている。また、第２連通部１７のノズル２１側の側壁には、第２幅狭部１７ａと第２幅広部１７ｂとによって段差である第２段差１７ｃが設けられている。
【００４４】
連通板１５の第１連通部１６及び第２連通部１７が開口するＺ２側の面には、コンプライアンス部４９４を有するコンプライアンス基板４９が設けられている。このコンプライアンス基板４９が、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のノズル面２０ａ側の開口、すなわち、第１幅広部１６ｂ及び第２幅広部１７ｂを封止している。
【００４５】
このようなコンプライアンス基板４９は、本実施形態では、可撓性を有する薄膜からなる封止膜４９１と、金属等の硬質の材料からなる固定基板４９２と、を具備する。固定基板４９２の第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４９３となっているため、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２の壁面の一部は可撓性を有する封止膜４９１のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９４となっている。本実施形態では、第１共通液室１０１に設けられたコンプライアンス部４９４を第１コンプライアンス部４９４Ａと称し、第２共通液室１０２に設けられたコンプライアンス部４９４を第２コンプライアンス部４９４Ｂと称する。このように第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とのそれぞれの壁面の一部にコンプライアンス部４９４を設けることで、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２内のインクの圧力変動をコンプライアンス部４９４が変形することによって吸収することができる。
【００４６】
また、本実施形態では、第１共通液室１０１を構成する第１連通部１６の第１幅広部１６ｂの開口面積は、第１幅狭部１６ａの開口面積よりも大きい。したがって、第１幅狭部１６ａをノズル２１側に開口させて第１コンプライアンス部４９４Ａを設けた場合に比べて、第１幅広部１６ｂの比較的広い開口面積に対して第１コンプライアンス部４９４Ａを設けることができ、第１コンプライアンス部４９４Ａの面積を大きくすることができる。
【００４７】
同様に、第２共通液室１０２を構成する第２連通部１７の第２幅広部１７ｂの開口面積は、第２幅狭部１７ａの開口面積よりも大きい。したがって、第２幅狭部１７ａをノズル２１側に開口させて第２コンプライアンス部４９４Ｂを設けた場合に比べて、第２幅広部１７ｂの比較的広い開口面積に対して第２コンプライアンス部４９４Ｂを設けることができ、第２コンプライアンス部４９４Ｂの面積を大きくすることができる。
【００４８】
また、本実施形態では、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２をノズル２１が開口するＺ２側に開口するように設けることで、ノズルプレート２０とコンプライアンス部４９４とは、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚにおいて圧力室１２及びノズル２１を有する個別流路２００に対して同じ側であるＺ２側に配置されている。このように、コンプライアンス部４９４を個別流路２００に対してノズル２１と同じ側に配置することで、ノズル２１が設けられていない領域にコンプライアンス部４９４を設けることができ、コンプライアンス部４９４を比較的広い面積で設けることができる。また、コンプライアンス部４９４とノズル２１とを個別流路２００に対して同じ側に配置することで、コンプライアンス部４９４を個別流路２００に近い位置に配置して、個別流路２００内のインクの圧力変動をコンプライアンス部４９４によって効果的に吸収させることができる。
【００４９】
また、本実施形態の２つのコンプライアンス部４９４は、図１に示すように、１つのコンプライアンス基板４９に設けられている。もちろん、コンプライアンス基板４９は、これに限定されず、コンプライアンス部４９４毎に独立したコンプライアンス基板４９を設けるようにしてもよい。
【００５０】
また、流路基板を構成する流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、コンプライアンス基板４９等には、第１共通液室１０１又は第２共通液室１０２に連通する個別流路２００が設けられている。本実施形態では、第１の方向Ｘに並設された複数の個別流路２００は、第１共通液室１０１に連通し、第１ノズル２１Ａ及び第１圧力室１２Ａを有する第１個別流路２００Ａと、第２共通液室１０２に連通し、第２ノズル２１Ｂ及び第２圧力室１２Ｂを有する第２個別流路２００Ｂとを具備する。そして、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとが、第１の方向Ｘに交互に配置されている。
【００５１】
第１個別流路２００Ａは、第１供給路１８Ａと第１圧力室１２Ａと第１連通路１９Ａと第１ノズル２１Ａとを具備する。
【００５２】
第１供給路１８Ａは、第１圧力室１２Ａと第１共通液室１０１とを連通するものであり、Ｚ２側の一端が第１共通液室１０１を構成する第１連通部１６の第１幅狭部１６ａに連通し、Ｚ１側の他端が第１圧力室１２Ａの第２の方向Ｙの一端側に連通するように第３の方向Ｚに沿って設けられている。
【００５３】
第１圧力室１２Ａは、上述のように流路形成基板１０に設けられたものであり、第１圧力室１２ＡのＺ１側の開口は振動板５０によって封止され、第１圧力室１２ＡのＺ２側の開口の一部は連通板１５によって覆われている。
【００５４】
第１連通路１９Ａは、第１圧力室１２Ａと第１ノズル２１Ａとを連通するものであり、Ｚ１側の一端が第１圧力室１２Ａの第２の方向Ｙの他端側に連通し、Ｚ２側の他端がノズルプレート２０に設けられた第１ノズル２１Ａと連通するようにノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延設されている。
【００５５】
第１ノズル２１Ａは、第１連通路１９ＡのＺ２側の他端に連通すると共に、ノズルプレート２０のＺ２側のノズル面２０ａに開口することで外部と連通して設けられている。
【００５６】
また、第１連通路１９Ａは、第１ノズル２１Ａ側の開口が、第１圧力室１２Ａ側の開口よりも第２圧力室１２Ｂ側となるように形成されている。ここで、第１連通路１９Ａの第１ノズル２１Ａ側の開口が、第１圧力室１２Ａ側の開口よりも第２圧力室１２Ｂ側となるように形成されているとは、第３の方向Ｚから平面視した際に、第１連通路１９Ａの第１ノズル２１Ａ側の開口が、第１連通路１９Ａの第１圧力室１２Ａ側の開口よりも第２の方向Ｙにおいて第２圧力室１２Ｂ側にずれた位置に配置されていることを言う。ちなみに、第３の方向Ｚから平面視した際に、第１連通路１９Ａの第１ノズル２１Ａ側の開口と、第１圧力室１２Ａ側の開口との一部が重なっていてもよいが、第１連通路１９Ａの第１ノズル２１Ａ側の開口と第１圧力室１２Ａ側の開口との何れか一方が、他方に完全に重なったものは含まれない。
【００５７】
本実施形態では、第１連通路１９Ａは、一端が第１圧力室１２Ａに連通して第１連通板１５１を第３の方向Ｚに貫通して設けられた第１流路２０１と、第１流路２０１の他端に連通して、第１連通板１５１と第２連通板１５２との間に第２の方向Ｙに沿って延設された第２流路２０２と、第２流路２０２に連通して第２連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通して設けられた第３流路２０３と、を具備する。すなわち、第１連通路１９Ａが、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延設されているとは、第３の方向Ｚに直交する方向、すなわち、ノズル面２０ａの面内方向に沿って設けられた流路である第２流路２０２が途中に設けられているものも含む。
【００５８】
第２流路２０２は、本実施形態では、第２連通板１５２に凹部を形成し、第２連通板１５２の凹部の開口を第１連通板１５１で覆うことで形成されている。もちろん、第２流路２０２は特にこれに限定されず、第１連通板１５１に凹部を形成するようにしてもよく、第１連通板１５１及び第２連通板１５２の両方に凹部を形成するようにしてもよい。
【００５９】
このように第１連通路１９Ａの途中に第２の方向Ｙに延設された第２流路２０２を設けることで、第３流路２０３を第２の方向Ｙにおいて第２圧力室１２Ｂ側に移動させることができる。そして、第３流路２０３を第２圧力室１２Ｂ側に移動することで、第１共通液室１０１を構成する第１連通部１６のノズル２１側を、第２の方向Ｙにおいてノズル２１側に拡幅することができる。すなわち、第１連通路１９Ａを途中で屈曲して設けることで、第１連通部１６のノズル２１側に第２の方向Ｙにおいてノズル２１に向かって拡幅された第１幅広部１６ｂを設けることができる。
【００６０】
ちなみに、第１コンプライアンス部４９４Ａの面積を広くするために、第１共通液室１０１のＺ２側の面の開口を、第２の方向Ｙにおいて第２圧力室１２Ｂとは反対側に拡幅することも考えられるが、第１共通液室１０１を第２圧力室１２Ｂとは反対側に拡幅すると連通板１５が第２の方向Ｙに大型化してしまう。本実施形態では、第１連通路１９Ａの第１ノズル２１Ａ側の開口を、第１圧力室１２Ａ側の開口よりも第２圧力室１２Ｂ側となるように形成することで、第１共通液室１０１のＺ２側の開口を第２圧力室１２Ｂ側に広げることができるため、連通板１５が第２の方向Ｙに大型化するのを抑制して、第１コンプライアンス部４９４Ａの面積を広げることができる。ちなみに、上述したように流路形成基板１０のＺ２側の面において、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとの間には、フレキシブルケーブル１２０と圧電アクチュエーター３００から引き出されたリード電極９０とを実装するためのスペースが必要である。このため、フレキシブルケーブル１２０と圧電アクチュエーター３００とを実装するスペースの下に、本実施形態の第１連通路１９Ａを設けることで、流路形成基板１０及び連通板１５が第２の方向Ｙに大型化するのを抑制することができると共に、第１共通液室１０１を第２の方向Ｙに拡幅して、第１コンプライアンス部４９４Ａを比較的広い面積で設けることができる。
【００６１】
また、第１連通路１９Ａの第１ノズル２１Ａ側の開口を第１圧力室１２Ａ側の開口よりも第２圧力室１２Ｂ側に配置することで、ノズルプレート２０を小型化することができる。すなわち、第１連通路１９Ａを第３の方向Ｚに沿った直線上に設けた場合、ノズルプレート２０は、第１連通路１９Ａの開口を覆う必要があるため、ノズルプレート２０を第１共通液室１０１側に広い面積で設ける必要があるが、本実施形態では、第１連通路１９Ａの開口は、第２圧力室１２Ｂ側に位置するため、ノズルプレート２０は第１連通路１９Ａの開口を覆う面積で設ければよく、ノズルプレート２０を小型化することができる。
【００６２】
なお、ノズルプレート２０の第１共通液室１０１側の端部は、第１連通路１９Ａの第１圧力室１２Ａ側の開口の第１共通液室１０１側の縁部よりもノズル２１側に位置することが好ましい。これにより、さらにノズルプレート２０の小型化を図ることができる。
【００６３】
また、ノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘから平面視した際に、ノズル面２０ａの面内方向である第２の方向Ｙにおける第１個別流路２００Ａの第１連通路１９Ａの第１ノズル２１Ａ側の開口と第１共通液室１０１との間隔ｄ１は、第１連通路１９Ａの第１圧力室１２Ａ側の開口と第１共通液室１０１との間隔ｄ２以下であることが好ましい。すなわち、第２の方向Ｙにおいて第３流路２０３と第１幅広部１６ｂとの間隔ｄ１は、第１流路２０１と第１幅狭部１６ａとの間隔ｄ２以下であることが好ましい。なお、第１流路２０１と第１幅狭部１６ａとの間隔ｄ２は、第１圧力室１２Ａの第２の方向Ｙの長さによって規定されるものであるが、第１連通路１９Ａの途中に第２流路２０２を設けることで、第１圧力室１２Ａの長さに関わらず、第３流路２０３と第１幅広部１６ｂとを近接する位置まで設けることができる。そして、第３流路２０３と第１幅広部１６ｂとは、コンプライアンス基板４９と連通板１５との接着に必要な分だけ残すように近接させることができるため、第２の方向Ｙにおいて第３流路２０３と第１幅広部１６ｂとの間隔ｄ１は、第１流路２０１と第１幅狭部１６ａとの間隔ｄ２以下とすることができ、これにより、第１幅広部１６ｂを比較的大きく拡幅して比較的広い面積の第１コンプライアンス部４９４Ａを設けることができる。
【００６４】
第２個別流路２００Ｂは、第２供給路１８Ｂと第２圧力室１２Ｂと第２連通路１９Ｂと第２ノズル２１Ｂとを具備する。
【００６５】
第２供給路１８Ｂは、第２圧力室１２Ｂと第２共通液室１０２とを連通するものであり、Ｚ２側の一端が第２共通液室１０２を構成する第２連通部１７の第２幅狭部１７ａに連通し、Ｚ１側の他端が第２圧力室１２Ｂの第２の方向Ｙの一端側に連通するように第３の方向Ｚに沿って設けられている。
【００６６】
第２圧力室１２Ｂは、上述のように流路形成基板１０に設けられたものであり、第２圧力室１２ＢのＺ１側の開口は振動板５０によって封止され、第２圧力室１２ＢのＺ２側の開口の一部は連通板１５によって覆われている。
【００６７】
第２連通路１９Ｂは、第２圧力室１２Ｂと第２ノズル２１Ｂとを連通するものであり、Ｚ１側の一端が第２圧力室１２Ｂの第２の方向Ｙの他端側に連通し、Ｚ２側の他端がノズルプレート２０に設けられた第２ノズル２１Ｂと連通するようにノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延設されている。
【００６８】
第２ノズル２１Ｂは、第２連通路１９ＢのＺ２側の他端に連通すると共に、ノズルプレート２０のＺ２側のノズル面２０ａに開口することで外部と連通して設けられている。
【００６９】
また、第２連通路１９Ｂは、第２ノズル２１Ｂ側の開口が、第２圧力室１２Ｂ側の開口よりも第１圧力室１２Ａ側となるように形成されている。ここで、第２連通路１９Ｂの第２ノズル２１Ｂ側の開口が、第２圧力室１２Ｂ側の開口よりも第１圧力室１２Ａ側となるように形成されているとは、第３の方向Ｚから平面視した際に、第２連通路１９Ｂの第２ノズル２１Ｂ側の開口が、第２連通路１９Ｂの第２圧力室１２Ｂ側の開口よりも第２の方向Ｙにおいて第１圧力室１２Ａ側にずれた位置に配置されていることを言う。ちなみに、第３の方向Ｚから平面視した際に、第２連通路１９Ｂの第２ノズル２１Ｂ側の開口と、第２圧力室１２Ｂ側の開口との一部が重なっていてもよいが、第２連通路１９Ｂの第２ノズル２１Ｂ側の開口と第２圧力室１２Ｂ側の開口との何れか一方が、他方に完全に重なったものは含まれない。
【００７０】
本実施形態では、第２連通路１９Ｂは、一端が第２圧力室１２Ｂに連通して第１連通板１５１を第３の方向Ｚに貫通して設けられた第４流路２０４と、第４流路２０４の他端に連通して、第１連通板１５１と第２連通板１５２との間に第２の方向Ｙに沿って延設された第５流路２０５と、第５流路２０５に連通して第２連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通して設けられた第６流路２０６と、を具備する。すなわち、第２連通路１９Ｂが、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延設されているとは、第３の方向Ｚに直交する方向、すなわち、ノズル面２０ａの面内方向に沿って設けられた流路が途中に設けられているものも含む。
【００７１】
第５流路２０５は、本実施形態では、第２連通板１５２に凹部を形成し、第２連通板１５２の凹部の開口を第１連通板１５１で覆うことで形成されている。もちろん、第５流路２０５は特にこれに限定されず、第１連通板１５１に凹部を形成するようにしてもよく、第１連通板１５１及び第２連通板１５２の両方に凹部を形成するようにしてもよい。
【００７２】
このように第２連通路１９Ｂの途中に第２の方向Ｙに延設された第５流路２０５を設けることで、第６流路２０６を第２の方向Ｙにおいて第１圧力室１２Ａ側に移動させることができる。そして、第６流路２０６を第１圧力室１２Ａ側に移動することで、第２共通液室１０２を構成する第２連通部１７のノズル２１側を、第２の方向Ｙにおいてノズル２１側に拡幅することができる。すなわち、第２連通路１９Ｂを途中で屈曲して設けることで、第２連通部１７のノズル２１側に第２の方向Ｙにおいてノズル２１に向かって拡幅された第２幅広部１７ｂを設けることができる。
【００７３】
ちなみに、第２コンプライアンス部４９４Ｂの面積を広くするために、第２共通液室１０２のＺ２側の面の開口を、第２の方向Ｙにおいて第１圧力室１２Ａとは反対側に拡幅することも考えられるが、第２共通液室１０２を第１圧力室１２Ａとは反対側に拡幅すると連通板１５が第２の方向Ｙに大型化してしまう。本実施形態では、第２連通路１９Ｂの第２ノズル２１Ｂ側の開口を、第２圧力室１２Ｂ側の開口よりも第１圧力室１２Ａ側となるように形成することで、第２共通液室１０２のＺ２側の開口を第１圧力室１２Ａ側に広げることができるため、連通板１５が第２の方向Ｙに大型化するのを抑制して、第２コンプライアンス部４９４Ｂの面積を広げることができる。ちなみに、上述したように流路形成基板１０のＺ２側の面において、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとの間には、フレキシブルケーブル１２０と圧電アクチュエーター３００から引き出されたリード電極９０とを実装するためのスペースが必要なため、このフレキシブルケーブル１２０と圧電アクチュエーター３００とを実装するスペースの下に、本実施形態の第２連通路１９Ｂを設けることで、流路形成基板１０及び連通板１５が第２の方向Ｙに大型化するのを抑制することができると共に、第２共通液室１０２を第２の方向Ｙに拡幅して、第２コンプライアンス部４９４Ｂを比較的広い面積で設けることができる。
【００７４】
また、第２連通路１９Ｂの第２ノズル２１Ｂ側の開口を第２圧力室１２Ｂ側の開口よりも第１圧力室１２Ａ側に配置することで、ノズルプレート２０を小型化することができる。すなわち、第２連通路１９Ｂを第３の方向Ｚに沿った直線上に設けた場合、ノズルプレート２０は、第２連通路１９Ｂの開口を覆う必要があるため、ノズルプレート２０を第２共通液室１０２側に広い面積で設ける必要があるが、本実施形態では、第２連通路１９Ｂの開口は、第１圧力室１２Ａ側に位置するため、ノズルプレート２０は第２連通路１９Ｂの開口を覆う面積で設ければよく、ノズルプレート２０を小型化することができる。
【００７５】
また、ノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘから平面視した際に、ノズル面２０ａの面内方向である第２の方向Ｙにおける第２個別流路２００Ｂの第２連通路１９Ｂの第２ノズル２１Ｂ側の開口と第２共通液室１０２との間隔ｄ３は、第２連通路１９Ｂの第２圧力室１２Ｂ側の開口と第２共通液室１０２との間隔ｄ４以下であることが好ましい。すなわち、第２の方向Ｙにおいて第６流路２０６と第２幅広部１７ｂとの間隔ｄ３は、第４流路２０４と第２幅狭部１７ａとの間隔ｄ４以下であることが好ましい。なお、第４流路２０４と第２幅狭部１７ａとの間隔ｄ４は、第２圧力室１２Ｂの第２の方向Ｙの長さによって規定されるものであるが、第２連通路１９Ｂの途中に第５流路２０５を設けることで、第２圧力室１２Ｂの長さに関わらず、第６流路２０６と第２幅広部１７ｂとを近接する位置まで設けることができる。そして、第６流路２０６と第２幅広部１７ｂとは、コンプライアンス基板４９と連通板１５との接着に必要な分だけ残すように近接させることができるため、第２の方向Ｙにおいて第６流路２０６と第２幅広部１７ｂとの間隔ｄ３は、第４流路２０４と第２幅狭部１７ａとの間隔ｄ４以下とすることができ、これにより、第２幅広部１７ｂを比較的大きく拡幅して比較的広い面積の第２コンプライアンス部４９４Ｂを設けることができる。
【００７６】
また、第１連通路１９Ａの第１ノズル２１Ａ側の開口と、第２連通路１９Ｂの第２ノズル２１Ｂ側の開口とを第２の方向Ｙに近接して設けることができるため、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとの第２の方向Ｙの距離を狭めることができる。
【００７７】
なお、ノズルプレート２０の第２共通液室１０２側の端部は、第２連通路１９Ｂの第２圧力室１２Ｂ側の開口の第２共通液室１０２側の縁部よりもノズル２１側に位置することが好ましい。これにより、さらにノズルプレート２０の小型化を図ることができる。
【００７８】
以上説明したように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１では、流路が形成された流路基板と、流路の液体に圧力変化を生じさせるためのエネルギー発生素子である圧電アクチュエーター３００と、を備え、流路は、共通液室である第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２と第１共通液室１０１、第２共通液室１０２に連通する複数の個別流路２００と、を備え、個別流路２００は、外部と連通するノズル２１と、圧電アクチュエーター３００により圧力変化が生じる圧力室１２と、ノズル２１が開口するノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延設されてノズル２１と圧力室１２とを連通する連通路である第１連通路１９Ａ、第２連通路１９Ｂと、を備え、個別流路２００は、圧力室１２として第１圧力室１２Ａを有する第１個別流路２００Ａと、圧力室１２として第２圧力室１２Ｂを有する第２個別流路２００Ｂと、を有し、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとは、ノズル２１の並設方向から平面視した際に、互いに重ならない位置に配置されており、第１個別流路２００Ａの連通路である第１連通路１９Ａは、ノズル２１に連通する開口が、第１圧力室１２Ａに連通する開口よりも第２圧力室１２Ｂ側に位置し、第２個別流路２００Ｂの連通路である第２連通路１９Ｂは、ノズル２１に連通する開口が、第２圧力室１２Ｂに連通する開口よりも第１圧力室１２Ａ側に位置し、第１共通液室１０１、第２共通液室１０２のノズル２１側の開口は、圧力室１２側の開口よりもノズル２１側に拡幅されている。
【００７９】
このように、第１連通路１９Ａの第１ノズル２１Ａ側の開口を第１圧力室１２Ａ側の開口よりも第２圧力室１２Ｂ側に配置すると共に、第２連通路１９Ｂの第２ノズル２１Ｂ側の開口を第２圧力室１２Ｂ側の開口よりも第１圧力室１２Ａ側に配置することで、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のノズル２１側の開口を圧力室１２側の開口よりもノズル２１側、すなわち、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとの間に向かって拡幅することができる。したがって、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２の拡幅によって流路基板が大型化するのを抑制することができる。
【００８０】
また、第１連通路１９Ａの第１ノズル２１Ａ側の開口と、第２連通路１９Ｂ側の第２ノズル２１Ｂ側の開口とを第２の方向Ｙに近接して設けることができるため、ノズルプレート２０を小型化することができ、コストを低減することができると共に、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとの第２の方向Ｙの距離を狭めることができる。
【００８１】
また、本実施形態の記録ヘッド１では、共通液室は、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とを備え、第１個別流路２００Ａは、共通液室のうち少なくとも第１共通液室１０１に連通し、第２個別流路２００Ｂは、共通液室のうち少なくとも第２共通液室１０２に連通し、並設方向である第１の方向Ｘから平面視した際に、ノズル面２０ａの面内方向における第１個別流路２００Ａの連通路である第１連通路１９Ａのノズル２１側の開口と第１共通液室１０１との間隔ｄ１は、第１連通路１９Ａの第１圧力室１２Ａ側の開口と第１共通液室１０１との間隔ｄ２以下であり、第２個別流路２００Ｂの連通路である第２連通路１９Ｂのノズル２１側の開口と第２共通液室１０２との間隔ｄ３は、第２連通路１９Ｂの第２圧力室１２Ｂ側の開口と第２共通液室１０２との間隔ｄ４以下であることが好ましい。これにより、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のノズル２１側をさらに拡幅することができ、比較的広い面積でコンプライアンス部４９４を設けることができる。
【００８２】
また、本実施形態の記録ヘッド１では、共通液室は、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚにおいて圧力室１２側に設けられた幅狭部である第１幅狭部１６ａ、第２幅狭部１７ａと、ノズル面２０ａ側に設けられてノズル２１に向かって第１幅狭部１６ａ、第２幅狭部１７ａよりも拡幅された幅広部である第１幅広部１６ｂ、第２幅広部１７ｂと、を有し、共通液室のノズル２１側の側壁には、第１幅狭部１６ａ、第２幅狭部１７ａと第１幅広部１６ｂ、第２幅広部１７ｂとによって段差である第１段差１６ｃ、第２段差１７ｃが設けられている。
【００８３】
また、本実施形態の記録ヘッド１では、ノズル２１がノズルプレート２０に設けられていると共に、ノズルプレート２０の共通液室側の端部は、連通路の圧力室１２側の開口の共通液室側の縁部よりもノズル２１側に位置することが好ましい。すなわち、ノズルプレート２０の第１共通液室１０１側の端部は、第１連通路１９Ａの第１圧力室１２Ａ側の開口の第１共通液室１０１側の縁部よりも第１ノズル２１Ａ側に位置する。また、ノズルプレート２０の第２共通液室１０２側の端部は、第２連通路１９Ｂの第２圧力室１２Ｂ側の開口の第２共通液室１０２側の縁部よりも第２ノズル２１Ｂ側に位置する。これにより、ノズルプレート２０をさらに小型化してコストを低減することができる。
【００８４】
また、本実施形態の記録ヘッド１では、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚにおいて共通液室の拡幅されたノズル２１側の壁面に、液体であるインクの圧力を吸収可能なコンプライアンス部４９４が設けられている。
【００８５】
このように、コンプライアンス部４９４を個別流路２００に対してノズル２１と同じ側に配置することで、ノズル２１が設けられていない領域にコンプライアンス部４９４を設けることができ、コンプライアンス部４９４を比較的広い面積で設けることができる。また、コンプライアンス部４９４を圧力室１２に比較的近い場所に配置することができ、個別流路２００内のインクの圧力変動をコンプライアンス部４９４によって効果的に吸収させることができる。
【００８６】
なお、本実施形態では、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とを設けたが、これら第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とは、第２の方向Ｙの端部において連通していてもよい。すなわち、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとからは同じインクが吐出されるようにしてもよい。
【００８７】
また、本実施形態では、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを第１の方向Ｘにずらして配置するようにしたが、特にこれに限定されず、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを第１の方向Ｘの位置が同じ位置となるように配置してもよい。
【００８８】
さらに、第１共通液室１０１と第１連通路１９Ａとは、第３の方向Ｚで一部が重なる位置に配置してもよい。同様に、第２共通液室１０２と第２連通路１９Ｂとは第３の方向Ｚで一部が重なる位置に配置してもよい。
【００８９】
（実施形態２）
図４は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図であって、図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図５は、実施形態２の記録ヘッドの断面図であって、図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。また、図６は、実施形態２の流路を模式的に表したブロック図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００９０】
図４及び図５に示すように、流路基板である流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、コンプライアンス基板４９及びケース部材４０には、第１共通液室１０１と、第２共通液室１０２と、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とに連通して第１共通液室１０１のインクを第２共通液室１０２に送る複数の個別流路２００が設けられている。
【００９１】
第１共通液室１０１の第１連通部１６は、上述した実施形態１と同様に第１幅狭部１６ａと第１幅広部１６ｂとを有する。
【００９２】
また、第２共通液室１０２の第２連通部１７は、上述した実施形態１と同様に第２幅狭部１７ａと第２幅広部１７ｂとを有する。
【００９３】
また、ケース部材４０には、第１液室部４１に連通して第１液室部４１にインクを導入する導入口４３と、第２液室部４２に連通して第２液室部４２からのインクを排出する排出口４４とが設けられている。
【００９４】
さらに、本実施形態の個別流路２００は、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とに連通して、ノズル２１毎に設けられたものであり、ノズル２１を含むものである。このようなノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘにおいて隣接する３つの個別流路２００は、それぞれ第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２に連通して設けられている。すなわち、ノズル２１毎に設けられた複数の個別流路２００は、それぞれ第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のみで連通して設けられており、複数の個別流路２００は、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２以外で互いに連通することがない。つまり、本実施形態では、１つのノズル２１及び１つの圧力室１２が設けられた流路を個別流路２００と称し、各個別流路２００同士は、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のみで連通するように設けられている。
【００９５】
また、本実施形態では、個別流路２００のうち、ノズル２１よりも第１共通液室１０１側の流路を上流流路と称し、個別流路２００のノズル２１よりも第２共通液室１０２側の流路を下流流路と称する。
【００９６】
さらに、本実施形態では、第１の方向Ｘに並設された複数の個別流路２００は、第１ノズル２１Ａを有する第１個別流路２００Ａと、第２ノズル２１Ｂを有する第２個別流路２００Ｂとを具備する。そして、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとが、第１の方向Ｘに交互に配置されている。
【００９７】
ここで、第１個別流路２００Ａは、第１供給路１８Ａと第１圧力室１２Ａと第１連通路１９Ａと第１ノズル２１Ａと第７流路２０７と第８流路２０８と第９流路２０９とを具備する。
【００９８】
第１供給路１８Ａ、第１圧力室１２Ａは、上述した実施形態１と同様であるため、重複する説明は省略する。
【００９９】
また、第１連通路１９Ａは、上述した実施形態１と同様に、第１流路２０１と第２流路２０２と第３流路２０３とを有する。
【０１００】
第７流路２０７は、第２連通板１５２とノズルプレート２０との間に、一端が第１連通路１９Ａに連通するようにノズル面２０ａの面内方向において第２の方向Ｙに沿って延設されている。第７流路２０７は、第２連通板１５２に凹部を設け、この凹部の開口をノズルプレート２０で蓋をすることで形成されている。なお、第７流路２０７は特にこれに限定されず、ノズルプレート２０に凹部を設け、凹部を第２連通板１５２によって蓋をするようにしてもよく、第２連通板１５２とノズルプレート２０との両方に凹部を設けるようにしてもよい。
【０１０１】
第８流路２０８は、Ｚ２側の一端が第７流路２０７に連通すると共に、第２連通板１５２を第３の方向に貫通して設けられている。
【０１０２】
第９流路２０９は、第１連通板１５１と第２連通板１５２との間に、一端が第８流路２０８に連通し、他端が第２共通液室１０２に連通するようにノズル面２０ａの面内方向において第２の方向Ｙに沿って延設されている。本実施形態の第９流路２０９は、第２連通板１５２に凹部を設け、凹部を第１連通板１５１によって蓋をすることで形成されている。もちろん、第９流路２０９は、第１連通板１５１に凹部を設け、第２連通板１５２によって蓋をすることで形成してもよく、第１連通板１５１と第２連通板１５２との両方に凹部を設けるようにしてもよい。
【０１０３】
また、第９流路２０９は、第２連通部１７の第２幅広部１７ｂの側面に連通して設けられている。すなわち、第９流路２０９は、第２連通部１７の第２幅広部１７ｂの側面に、第２段差１７ｃに対応する位置に連通して設けられている。
【０１０４】
このように第１個別流路２００Ａは、第１共通液室１０１に連通する上流側から第２共通液室１０２に連通する下流側に向かって順に第１供給路１８Ａ、第１圧力室１２Ａ、第１連通路１９Ａ、第１ノズル２１Ａ、第７流路２０７、第８流路２０８及び第９流路２０９を有する。つまり、本実施形態では、図６に示すように、第１個別流路２００Ａは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、上流側から下流側に向かって圧力室１２と第１ノズル２１Ａとがこの順番に配置されている。
【０１０５】
そして、このような第１個別流路２００Ａでは、第１共通液室１０１から第１個別流路２００Ａを通り第２共通液室１０２にインクが流れる。また、圧電アクチュエーター３００を駆動することによって第１圧力室１２Ａ内のインクに圧力変化を生じさせて、第１ノズル２１Ａ内のインクの圧力を上昇させることで第１ノズル２１Ａから外部にインク滴が吐出される。第１共通液室１０１から第１個別流路２００Ａを通り第２共通液室１０２にインクが流れる時に、圧電アクチュエーター３００を駆動してもよいし、第１共通液室１０１から第１個別流路２００Ａを通り第２共通液室１０２にインクが流れない時に、圧電アクチュエーター３００を駆動してもよい。また、圧電アクチュエーター３００の駆動による圧力変化により、第２共通液室１０２から第１共通液室１０１へのインクの流れが一時的に生じてもよい。
【０１０６】
なお、本実施形態では、第１個別流路２００Ａのうち、第１ノズル２１Ａよりも上流側、すなわち、第１共通液室１０１に連通する第１連通路１９Ａと第１圧力室１２Ａと第１供給路１８Ａとを第１上流流路と称する。また、第１個別流路２００Ａのうち、第１ノズル２１Ａよりも下流側、すなわち第２共通液室１０２に連通する第７流路２０７と第８流路２０８と第９流路２０９とを第１下流流路と称する。
【０１０７】
第２個別流路２００Ｂは、第１０流路２１０と第１１流路２１１と第１２流路２１２と第２ノズル２１Ｂと第２連通路１９Ｂと第２圧力室１２Ｂと第２供給路１８Ｂとを具備する。
【０１０８】
第１０流路２１０は、第１連通板１５１と第２連通板１５２との間に、一端が第１共通液室１０１に連通するようにノズル面２０ａの面内方向において第２の方向Ｙに沿って延設されている。本実施形態の第１０流路２１０は、第２連通板１５２に凹部を設け、凹部を第１連通板１５１によって蓋をすることで形成されている。もちろん、第１０流路２１０は、第１連通板１５１に凹部を設け、第２連通板１５２によって蓋をすることで形成してもよく、第１連通板１５１と第２連通板１５２との両方に凹部を設けるようにしてもよい。
【０１０９】
このような第１０流路２１０と第１個別流路２００Ａの第１圧力室１２Ａとは、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚにおいて異なる位置に配置されている。具体的には、第１圧力室１２Ａは、第１連通板１５１のＺ１側に設けられ、第１０流路２１０は、第１連通板１５１のＺ２側に設けられており、第１圧力室１２Ａと第１０流路２１０とは、第３の方向Ｚに異なる位置に配置されている。このため、第１圧力室１２Ａと第１０流路２１０とを第１の方向Ｘに近接して配置しても、第１圧力室１２Ａを隔てる隔壁の厚さが薄くなるのを抑制して、第１圧力室１２Ａの隔壁が変形することで第１圧力室１２Ａ内のインクの圧力を吸収するのを抑制し、吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。また、第１圧力室１２Ａと第１０流路２１０とを第３の方向Ｚからの平面視において少なくとも一部が重なるように配置したとしても、第１圧力室１２Ａと第１０流路２１０とが第３の方向Ｚに異なる位置に配置されているので、第１圧力室１２Ａと第１０流路２１０とが連通することがない。なお、本実施形態では、第１０流路２１０は、第３の方向Ｚからの平面視において第１圧力室１２Ａと重ならない位置に配置されている。
【０１１０】
また、第１０流路２１０は、第１連通板１５１と第２連通板１５２との間に設けられているため、第１連通部１６の第１幅広部１６ｂの側面に開口して設けられている。すなわち、第１連通部１６の第１幅広部１６ｂの側面に第１段差１６ｃに対応する位置に連通して設けられている。このため、第１段差１６ｃに気泡が滞留したとしても、第１段差１６ｃに滞留した気泡は、第２個別流路２００Ｂを介して第２共通液室１０２側に排出することができる。したがって、第１共通液室１０１内に気泡が滞留するのを抑制して、第１共通液室１０１の気泡が成長し、圧力室１２へのインクの供給不良や、気泡が予期せぬタイミングで圧力室１２に流れ込むことによるインク滴の吐出不良等を抑制することができる。
【０１１１】
第１１流路２１１は、Ｚ１側の一端が第１０流路２１０に連通すると共に、第２連通板１５２を第３の方向に貫通して設けられている。すなわち、第１１流路２１１は、ノズル２１から第１共通液室１０１までの間にノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延びて設けられている。
【０１１２】
第１２流路２１２は、第２連通板１５２とノズルプレート２０との間に、一端が第１１流路２１１に連通するようにノズル面２０ａの面内方向において第２の方向Ｙに沿って延設されている。第１２流路２１２は、第２連通板１５２に凹部を設け、この凹部の開口をノズルプレート２０で蓋をすることで形成されている。なお、第１２流路２１２は特にこれに限定されず、ノズルプレート２０に凹部を設け、凹部を第２連通板１５２によって蓋をするようにしてもよく、第２連通板１５２とノズルプレート２０との両方に凹部を設けるようにしてもよい。
【０１１３】
そして、連通板１５とノズルプレート２０との間には、第７流路２０７と第１２流路２１２とが第１の方向Ｘに交互に配置されている。この第７流路２０７と第１２流路２１２とが第１の方向Ｘに交互に配置された解像度を第２の解像度と称する。そして、第７流路２０７と第１２流路２１２との第２の解像度は、第１圧力室１２Ａ又は第２圧力室１２Ｂの第１の解像度よりも大きい。例えば、第１圧力室１２Ａが３００ｄｐｉ、第２圧力室１２Ｂが３００ｄｐｉの第１の解像度で形成されていると、第７流路２０７と第１２流路２１２とは、６００ｄｐｉの第２の解像度で形成されることになる。したがって、第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂのそれぞれの第１の解像度を、第７流路２０７と第１２流路２１２との第２の解像度よりも小さくして、第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂの第１の方向Ｘの開口幅を広げることができ、圧力室１２の排除体積を増大させることができる。
【０１１４】
第２連通路１９Ｂは、上述した実施形態１と同様に、第４流路２０４と第５流路２０５と第６流路２０６とを有する。
【０１１５】
第２ノズル２１Ｂと第２連通路１９Ｂと第２供給路１８Ｂと第２圧力室１２Ｂとは、上述した実施形態１と同様であるため、重複する説明は省略する。
【０１１６】
このように第２個別流路２００Ｂは、第１共通液室１０１に連通する上流側から第２共通液室１０２に連通する下流側に向かって順に第１０流路２１０、第１１流路２１１、第１２流路２１２、第２ノズル２１Ｂ、第２連通路１９Ｂ、第２圧力室１２Ｂ及び第２供給路１８Ｂを具備する。つまり、本実施形態では、図６に示すように、第２個別流路２００Ｂは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、上流側から下流側に向かって第２ノズル２１Ｂと第２圧力室１２Ｂとがこの順番に配置されている。すなわち、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとでは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して圧力室１２とノズル２１との順番が異なるように配置されている。本実施形態では、各個別流路２００に圧力室１２とノズル２１とが１つずつ設けられているため、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとは、圧力室１２とノズル２１との順番が、逆転して配置されている。
【０１１７】
そして、このような第２個別流路２００Ｂでは、第１共通液室１０１から第２個別流路２００Ｂを通り第２共通液室１０２にインクが流れる。また、圧電アクチュエーター３００を駆動することによって第２圧力室１２Ｂ内のインクに圧力変化を生じさせて、第２ノズル２１Ｂ内の圧力を上昇させることで第２ノズル２１Ｂから外部にインク滴が吐出される。第１共通液室１０１から第２個別流路２００Ｂを通り第２共通液室１０２にインクが流れる時に、圧電アクチュエーター３００を駆動してもよいし、第１共通液室１０１から第２個別流路２００Ｂを通り第２共通液室１０２にインクが流れない時に、圧電アクチュエーター３００を駆動してもよい。また、圧電アクチュエーター３００の駆動による圧力変化により、第２共通液室１０２から第１共通液室１０１へのインクの流れが一時的に生じてもよい。ちなみに、第２ノズル２１Ｂからのインク滴の吐出は、第２ノズル２１Ｂ内のインクの圧力によって決定される。第２ノズル２１Ｂ内のインクの圧力は、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かって流れるインクの圧力、所謂、循環の圧力と、圧電アクチュエーター３００の駆動によって第２圧力室１２Ｂから第２ノズル２１Ｂに向かう圧力とによって決定される。
【０１１８】
例えば、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、第２圧力室１２Ｂ内のインクの圧力変動によって第２圧力室１２Ｂから第２ノズル２１Ｂに向かってインクが逆流して第２ノズル２１Ｂからインク滴が吐出されてもよい。このように、第２圧力室１２Ｂから第２ノズル２１Ｂに向かってインクが逆流するということは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かう循環の圧力が小さいことになるため、循環の圧力を比較的小さくすることで、個別流路２００の圧力損失を小さくすることができる。そして、個別流路２００の圧力損失を小さくすることで、各個別流路２００間での圧力損失の差を減少させることができるため、各ノズル２１から吐出されるインク滴の吐出特性のばらつきを低減することができる。
【０１１９】
また、例えば、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、第２圧力室１２Ｂ内のインクの圧力変動によって第２圧力室１２Ｂから第２ノズル２１Ｂに向かってインクが逆流することなく第２ノズル２１Ｂからインクが吐出されてもよい。この場合、第２圧力室１２Ｂから第２ノズル２１Ｂに向かうインクの流れが発生しないため、第２圧力室１２Ｂから第２ノズル２１Ｂに向かって気泡が逆流し難く、気泡によって第２ノズル２１Ｂからのインク滴の吐出不良が生じ難い。
【０１２０】
なお、本実施形態では、第２個別流路２００Ｂのうち、第２ノズル２１Ｂよりも上流側、すなわち、第１共通液室１０１に連通する第１０流路２１０と第１１流路２１１と第１２流路２１２とを第２上流流路と称する。また、第２個別流路２００Ｂのうち、第２ノズル２１Ｂよりも下流側、すなわち第２共通液室１０２に連通する、第２連通路１９Ｂと第２圧力室１２Ｂと第２供給路１８Ｂとを第２下流流路と称する。
【０１２１】
このような第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとが、図６に示すように、第１の方向Ｘに交互に配設されている。すなわち、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、圧力室１２とノズル２１との位置に関係なく、圧力室１２内の圧力変動によってノズル２１からインク滴を吐出することができる。つまり、第１個別流路２００Ａのように第１圧力室１２Ａが上流、第１ノズル２１Ａが下流に配置されていても、また、第２個別流路２００Ｂのように第２ノズル２１Ｂが上流、第２圧力室１２Ｂが下流に配置されていても、圧力室１２内のインクの圧力変動によって第１ノズル２１Ａ及び第２ノズル２１Ｂの両者から選択的にインク滴を吐出することができる。このため、上述のように第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、圧力室１２とノズル２１との順番が異なる第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとを第１の方向Ｘに交互に配置することで、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとで圧力室１２の位置を変更、すなわち、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとを第２の方向Ｙに異なる位置に配置することができる。したがって、各個別流路２００の圧力室１２を第１の方向Ｘに幅広に形成することや、圧力室１２を第１の方向Ｘに高密度に配置することができる。つまり、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとを第２の方向Ｙに異なる位置に配置することで、第１の方向Ｘに並設された第１圧力室１２Ａの間の隔壁を厚くすることができると共に、第１の方向Ｘに並設された第２圧力室１２Ｂの隔壁を厚くすることができる。したがって、第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂを第１の方向Ｘに幅広に形成しても、隔壁の剛性が低下するのを抑制することができ、排除体積を向上してインク滴の吐出特性、すなわち、インク滴の重量を増大させることができると共に、隔壁の剛性が低下することによるクロストークの発生を抑制することができる。また、第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂのそれぞれを第１の方向Ｘに高密度に配置しても、隔壁の剛性が低下するのを抑制することができ、隔壁の剛性が低下することによるクロストークの発生を抑制することができる。
【０１２２】
ちなみに、例えば、第２個別流路２００Ｂを設けずに、第１個別流路２００Ａのみを第１の方向Ｘに並設した場合、第１の方向Ｘに第１圧力室１２Ａを高密度に配置すると、隣接する第１圧力室１２Ａの間の隔壁の厚さが薄くなり、隔壁の剛性が低下する。このように隔壁の剛性が低下すると、隔壁の変形によるクロストークが発生する。すなわち、インク滴を吐出するノズル２１の両側のノズル２１からインク滴を同時に吐出する場合には、隣接する第１圧力室１２Ａの間の隔壁には両側から同じタイミングで圧力が印加される。この場合には、隔壁の剛性にかかわらず隔壁には両側から圧力が印加されるため、隔壁は変形し難い。これに対して、インク滴を吐出するノズル２１の両側のノズル２１からインク滴を吐出しない場合には、隣接する第１圧力室１２Ａの間の隔壁には片側のみに圧力が印加される。このとき、隔壁の剛性が低いと、隔壁が変形して圧力変動が吸収され、インク滴の吐出特性が低下する。このため、複数のノズル２１の何れかからインク滴を吐出させるかの条件の違いによって、インク滴の吐出特性にばらつきが生じてしまう。したがって、第１圧力室１２Ａのみを設けた場合には、第１圧力室１２Ａを第１の方向Ｘに幅広に形成することができず、また、第１圧力室１２Ａを第１の方向Ｘに高密度に配置することができない。
【０１２３】
本実施形態では、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとは、第２の方向Ｙに異なる位置に配置されているため、第１の方向Ｘで隣接する第１圧力室１２Ａの間の隔壁の厚さを比較的厚くすると共に、第１の方向Ｘで隣接する第２圧力室１２Ｂの間の隔壁の厚さを比較的厚くすることができる。このため第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂをそれぞれ第１の方向Ｘに幅広に形成しても、第１圧力室１２Ａの間の隔壁及び第２圧力室１２Ｂの間の隔壁の剛性が低下するのを抑制することができる。したがって、流路基板が第１の方向Ｘに大型化するのを抑制して、第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂの容積を大きくすることができ、圧電アクチュエーター３００の駆動による排除体積を大きくして、インク滴の吐出特性、特にインク滴の重量を向上することができると共に、隔壁の剛性が低下することによるクロストークの発生を抑制することができる。
【０１２４】
また、第１の方向Ｘにおいて第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとの間隔を短くしても、第１圧力室１２Ａの間の隔壁及び第２圧力室１２Ｂの間の隔壁の剛性が低下するのを抑制することができるため、第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂを第１の方向Ｘに高密度に配置することが可能である。したがって、流路基板の第１の方向Ｘの小型化を図ると共に圧力室１２の排除体積を向上してインク滴吐出特性を向上することや、圧力室１２を第１の方向Ｘに高密度に配置してノズル２１を高密度に配置することができると共に、隔壁の剛性が低下することによるクロストークの発生を抑制することができる。
【０１２５】
また、本実施形態では、第１ノズル２１Ａを、一端が第１圧力室１２Ａに連通する第３の方向Ｚに沿った第１連通路１９Ａの他端に連通する位置に配置している。このため、第１圧力室１２Ａから第１ノズル２１Ａまでの第１連通路１９Ａの横断面積を比較的大きくして、第１連通路１９Ａの流路抵抗を小さくして、第１ノズル２１Ａから吐出されるインク滴の重量を大きくすることができる。
【０１２６】
同様に、本実施形態では、第２ノズル２１Ｂを、一端が第２圧力室１２Ｂに連通する第３の方向Ｚに沿った第２連通路１９Ｂの他端に連通する位置に配置している。このため、第２圧力室１２Ｂから第２ノズル２１Ｂまでの第２連通路１９Ｂの横断面積を比較的大きくして、第２連通路１９Ｂの流路抵抗を小さくして、第２ノズル２１Ｂから吐出されるインク滴の重量を大きくすることができる。
【０１２７】
すなわち、本実施形態では、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとがそれぞれ第１連通路１９Ａ及び第２連通路１９Ｂに直接連通するように、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを第２の方向Ｙで異なる位置に配置し、ノズル２１を第１の方向Ｘに所謂、千鳥配置とすることで、第１ノズル２１Ａ及び第２ノズル２１Ｂから吐出されるインク滴の重量を大きくすることができる。
【０１２８】
もちろん、第１ノズル２１Ａを第７流路２０７の途中に連通するように配置し、第２ノズル２１Ｂを第１２流路２１２の途中に連通するように配置してもよいが、第７流路２０７及び第１２流路２１２は、連通板１５の第３の方向Ｚの厚さによって流路の横断面積、特に第３の方向Ｚの高さを大きくすることに制限があるため、第１連通路１９Ａ及び第２連通路１９Ｂに比べて第７流路２０７及び第１２流路２１２は、流路抵抗が大きくなり易い。したがって、第１ノズル２１Ａ及び第２ノズル２１Ｂから吐出されるインク滴の重量が比較的小さくなる虞がある。
【０１２９】
また、本実施形態では、個別流路２００のノズル２１よりも第１共通液室１０１側の上流流路と、ノズル２１よりも第２共通液室１０２側の下流流路とは、同じ流路抵抗となるように設けられている。
【０１３０】
すなわち、第１個別流路２００Ａの第１上流流路と第１下流流路とは、同じ流路抵抗となっている。つまり、第１上流流路を構成する第１供給路１８Ａ、第１圧力室１２Ａ及び第１連通路１９Ａの合計の流路抵抗と、第１下流流路を構成する第７流路２０７、第８流路２０８及び第９流路２０９の合計の流路抵抗とは、同じ流路抵抗となるように形成されている。ここで、第１上流流路と第１下流流路との流路抵抗とは、流路を横断する断面積、流路長、及び形状によって決定されるものである。
【０１３１】
また、第２個別流路２００Ｂの第２上流流路と第２下流流路とは同じ流路抵抗となっている。すなわち、第２上流流路を構成する第１０流路２１０、第１１流路２１１、第１２流路２１２の合計の流路抵抗と、第２連通路１９Ｂ、第２圧力室１２Ｂ、第２供給路１８Ｂの合計の流路抵抗とは、同じ流路抵抗となるように形成されている。
【０１３２】
そして、本実施形態では、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れる方向に対して互いに反転させた形状となっている。すなわち、第１個別流路２００Ａの第１上流流路と第２個別流路２００Ｂの第２下流流路とは同じ形状で且つ同じ流路抵抗となるように設けられており、第１個別流路２００Ａの第１下流流路と第２個別流路２００Ｂの第２上流流路とは同じ形状で且つ同じ流路抵抗となるように設けられている。
【０１３３】
このように、第１個別流路２００Ａの第１上流流路と第１下流流路とを同じ流路抵抗とし、第２個別流路２００Ｂの第２上流流路と第２下流流路とを同じ流路抵抗とすることで、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとを、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れる方向に対して互いに反転させた形状としても、第１共通液室からノズル２１までの第１上流流路と第２上流流路との流路抵抗を揃えることができる。したがって、第１個別流路２００Ａの第１ノズル２１Ａから吐出されるインク滴と、第２個別流路２００Ｂの第２ノズル２１Ｂから吐出されるインク滴との吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができると共に、流路の構造を簡略化することができる。
【０１３４】
また、第１個別流路２００Ａの第１下流流路と第２個別流路２００Ｂの第２下流流路との流路抵抗を揃えることで、ノズル２１から吐出されるインク滴の吐出特性を揃えることができる。つまり、複数のノズル２１から同時にインク滴を吐出する場合、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２との両方から圧力室１２にインクが供給されるため、第１下流流路と第２下流流路とを同じ流路抵抗とすることで、インクの供給量にばらつきが生じるのを抑制して、インク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。
【０１３５】
ちなみに、例えば、第１個別流路２００Ａの第１上流流路と第１下流流路との流路抵抗が異なる場合、第１個別流路２００Ａを反転させて第２個別流路２００Ｂとした際に、第１個別流路２００Ａの第１下流流路が第２個別流路２００Ｂの第２上流流路となるため、第１共通液室１０１からノズル２１までの第１上流流路と第２上流流路とで異なる流路抵抗になってしまう。このため、第１個別流路２００Ａの第１ノズル２１Ａと第２個別流路２００Ｂの第２ノズル２１Ｂとから吐出されるインク滴の吐出特性にばらつきが生じてしまう。また、第１上流流路と第２上流流路とを同じ流路抵抗にするためには、第２上流流路を第１下流流路とは異なる断面積、流路長、形状等で形成しなくてはならず煩雑である。
【０１３６】
また、第１共通液室１０１から個別流路２００を介して第２共通液室１０２にインクを流した状態で、ノズル２１からインク滴を吐出しない非吐出時において、ノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘで隣接する個別流路２００のノズル２１内の大気圧を基準としたインクの圧力差は、−２％以上、＋２％以上であることが好ましい。例えば、大気圧を１０１３ｈＰａとした場合、ノズル２１内の圧力は約１０００ｈＰａ程度である。したがって、隣接するノズル２１内のインクの圧力差は、最大で約２０ｈＰａ程度である。
【０１３７】
このように非吐出時において、第１の方向Ｘで隣接する第１ノズル２１Ａ内のインクの圧力と、第２ノズル２１Ｂ内のインクの圧力との差を、−２％以上、＋２％以下と比較的小さくすることで、第１ノズル２１Ａから吐出されるインク滴と第２ノズル２１Ｂから吐出されるインク滴との吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。このように、第１ノズル２１Ａ内のインクの圧力と、第２ノズル２１Ｂ内のインクの圧力との差を比較的小さくするには、第１共通液室１０１から第１ノズル２１Ａまでの流路抵抗と、第１共通液室１０１から第２ノズル２１Ｂまでの流路抵抗とを、ノズル２１内のインクの圧力差が−２％以上、＋２％以下となるように揃える必要がある。そして、第１共通液室１０１から第１ノズル２１Ａまでの流路抵抗と、第１共通液室１０１から第２ノズル２１Ｂまでの流路抵抗とをノズル２１内のインクの圧力差が−２％以上、＋２％以下となるように形成する場合、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとを同じ形状で且つインクの流れる方向に対して互いに反転させた形状とすることで、個別流路２００の構造を簡略化して第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂを第２の方向Ｙで異なる位置に配置することができる。
【０１３８】
また、第１上流流路と第１下流流路との流路抵抗、及び、第２上流流路と第２下流流路との流路抵抗や、第１の方向Ｘで隣接する２つのノズル２１内のインクの圧力差は、上述したものに限定されるものではない。例えば、第１上流流路と第１下流流路との流路抵抗、及び、第２上流流路と第２下流流路との流路抵抗のそれぞれが異なる場合や、第１ノズル２１Ａ内のインクの圧力と第２ノズル２１Ｂ内のインクの圧力とが−２％より小さい、又は、＋２％よりも大きくてもよい。このような場合には、ノズル２１の並設方向で隣接する個別流路２００のそれぞれの圧電アクチュエーター３００に印加する電圧を異ならせるようにすればよい。
【０１３９】
例えば、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとが反転した構造の場合において、第１上流流路の流路抵抗が第１下流流路よりも大きい場合には、第１ノズル２１Ａ内のインクの圧力が小さくなり、第１ノズル２１Ａから吐出されるインク滴の重量は小さくなる。これに対して、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとが反転した構造の場合には、第２上流流路の流路抵抗が第２下流流路の流路抵抗よりも小さくなり、第２ノズル２１Ｂ内のインクの圧力は小さくなる。したがって、第２ノズル２１Ｂから吐出されるインク滴の重量は大きくなる。したがって、第１個別流路２００Ａに対応する圧電アクチュエーター３００に印加する電圧を、第２個別流路２００Ｂに対応する圧電アクチュエーター３００に印加する電圧よりも相対的に大きくする。なお、第１個別流路２００Ａに対応する圧電アクチュエーター３００に印加する電圧を、第２個別流路２００Ｂに対応する圧電アクチュエーター３００に印加する電圧よりも相対的に大きくするには、例えば、第１個別流路２００Ａに対応する圧電アクチュエーター３００に印加する電圧を大きくするようにしてもよく、第２個別流路２００Ｂに対応する圧電アクチュエーター３００に印加する電圧を小さくするようにしてもよく、これらの両方を基準となる電圧に対して行うようにしてもよい。これにより、第１ノズル２１Ａ内のインクの圧力と第２ノズル２１Ｂ内のインクの圧力とに比較的大きな差が生じたとしても、圧電アクチュエーター３００に印加する電圧を調整することで、第１ノズル２１Ａ及び第２ノズル２１Ｂから吐出されるインク滴の重量のばらつきを低減して、印刷品質を向上することができる。
【０１４０】
以上説明したように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１では、流路が形成された流路基板と、流路の液体に圧力変化を生じさせるためのエネルギー発生素子である圧電アクチュエーター３００と、を備え、流路は、共通液室である第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２と第１共通液室１０１、第２共通液室１０２に連通する複数の個別流路２００と、を備え、個別流路２００は、外部と連通するノズル２１と、圧電アクチュエーター３００により圧力変化が生じる圧力室１２と、ノズル２１が開口するノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延設されてノズル２１と圧力室１２とを連通する連通路である第１連通路１９Ａ、第２連通路１９Ｂと、を備え、個別流路２００は、圧力室１２として第１圧力室１２Ａを有する第１個別流路２００Ａと、圧力室１２として第２圧力室１２Ｂを有する第２個別流路２００Ｂと、を有し、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとは、ノズル２１の並設方向から平面視した際に、互いに重ならない位置に配置されており、第１個別流路２００Ａの連通路である第１連通路１９Ａは、ノズル２１に連通する開口が、第１圧力室１２Ａに連通する開口よりも第２圧力室１２Ｂ側に位置し、第２個別流路２００Ｂの連通路である第２連通路１９Ｂは、ノズル２１に連通する開口が、第２圧力室１２Ｂに連通する開口よりも第１圧力室１２Ａ側に位置し、第１共通液室１０１、第２共通液室１０２のノズル２１側の開口は、圧力室１２側の開口よりもノズル２１側に拡幅されている。
【０１４１】
このように、第１連通路１９Ａの第１ノズル２１Ａ側の開口を第１圧力室１２Ａ側の開口よりも第２圧力室１２Ｂ側に配置すると共に、第２連通路１９Ｂの第２ノズル２１Ｂ側の開口を第２圧力室１２Ｂ側の開口よりも第１圧力室１２Ａ側に配置することで、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のノズル２１側の開口を圧力室１２側の開口よりもノズル２１側、すなわち、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとの間に向かって拡幅することができる。したがって、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２の拡幅によって流路基板が大型化するのを抑制することができる。
【０１４２】
また、第１連通路１９Ａの第１ノズル２１Ａ側の開口と、第２連通路１９Ｂ側の第２ノズル２１Ｂ側の開口とを第２の方向Ｙに近接して設けることができるため、ノズルプレート２０を小型化することができ、コストを低減することができると共に、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとの第２の方向Ｙの距離を狭めることができる。
【０１４３】
また、本実施形態の記録ヘッド１では、共通液室は、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚにおいて圧力室１２側に設けられた幅狭部である第１幅狭部１６ａ、第２幅狭部１７ａと、ノズル面２０ａ側に設けられてノズル２１に向かって第１幅狭部１６ａ、第２幅狭部１７ａよりも拡幅された幅広部である第１幅広部１６ｂ、第２幅広部１７ｂと、を有し、共通液室のノズル２１側の側壁には、第１幅狭部１６ａ、第２幅狭部１７ａと第１幅広部１６ｂ、第２幅広部１７ｂとによって段差である第１段差１６ｃ、第２段差１７ｃが設けられている。
【０１４４】
そして本実施形態の記録ヘッド１では、共通液室は、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とを有し、個別流路２００は、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２との両方に連通して、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に液体であるインクを供給し、第１個別流路２００Ａは、幅狭部である第１幅狭部１６ａと連通し、第２個別流路２００Ｂは、幅広部である第１幅広部１６ｂの第１幅狭部１６ａ側の側面に連通して設けられている。
【０１４５】
これにより、第１段差１６ｃに滞留した気泡を、第２個別流路２００Ｂを介して第２共通液室１０２に排出することができ、第１共通液室１０１内の気泡が成長し、予期せぬタイミングで圧力室１２内に入り込むのを低減して、インク滴の吐出不良を抑制することができる。
【０１４６】
なお、本実施形態では、ノズルプレート２０とコンプライアンス基板４９とを別体で設けた構成としたが、特にこれに限定されない。例えば、ノズルプレート２０を第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２の開口を覆う大きさで設け、ノズルプレート２０の一部にコンプライアンス部４９４を設けるようにしてもよい。このようなコンプライアンス部４９４が設けられたノズルプレート２０は、ポリイミド等の樹脂フィルムや、ステンレス鋼棟の金属材料で製造することができる。
【０１４７】
このようにノズルプレート２０の一部にコンプライアンス部４９４を設けた場合、ノズルプレート２０が第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２の開口を覆うため、連通板１５のＺ２側の第１共通液室１０１とノズル２１との間、及び、第２共通液室１０２とノズル２１との間は、ノズルプレート２０で覆われている。このため、ノズルプレート２０と連通板１５との接合界面に第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２に連通する個別流路２００の一部である第９流路２０９や第１０流路２１０等を形成することができる。そして、ノズルプレート２０と連通板１５との接合界面に個別流路２００の一部である第９流路２０９や第１０流路２１０などを形成することで、連通板１５を複数の基板を積層して製造する必要がなく、１枚の基板で製造することができる。ただし、ノズルプレート２０と連通板１５との間に個別流路２００の一部である第９流路２０９及び第１０流路２１０を形成すると、第１段差１６ｃに滞留した気泡を、第２個別流路２００Ｂを介して第２共通液室１０２側に排出し難くなる。したがって、ノズルプレート２０にコンプライアンス部４９４を設けた場合であっても、第９流路２０９及び第１０流路２１０を第１連通板１５１と第２連通板１５２との間に設けるのが好ましい。これにより第１段差１６ｃに滞留した気泡を第２個別流路２００Ｂによって第２共通液室１０２側に排出し易くして、第１共通液室１０１内に気泡が滞留することによる不具合を抑制することができる。
【０１４８】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【０１４９】
例えば、上述した各実施形態では、第１共通液室１０１の第１連通部１６に第１幅狭部１６ａと第１幅広部１６ｂを設けることで、第１共通液室１０１のノズル２１側の開口面積を圧力室１２側の開口面積よりも広げるようにしたが、特にこれに限定されない。ここで、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２との変形例を図７及び図８を参照して説明する。なお、図７は、記録ヘッドの変形例を示す断面図であって、図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図８は、記録ヘッドの変形例であって、図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。
【０１５０】
図７及び図８に示すように、第１共通液室１０１の第１連通部１６の第２共通液室１０２側の側面は、第２の方向Ｙにおいてノズル２１側が拡幅するように傾斜して設けられている。
【０１５１】
同様に、第２共通液室１０２の第２連通部１７の第１共通液室１０１側の側面は、第２の方向Ｙにおいてノズル２１側が拡幅するように傾斜して設けられている。
【０１５２】
このような構成であっても、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のノズル２１側であるＺ２側の開口面積を広げて、コンプライアンス部４９４を比較的広い面積で形成することができる。また、第１共通液室１０１の側面に段差を設けることなく、側面を傾斜させることで、段差に気泡が滞留するのを抑制することができる。もちろん、このような傾斜した側面は、第１幅広部１６ｂ及び第２幅広部１７ｂの側面のみに適用してもよい。
【０１５３】
また、上述した実施形態１及び２では、第１連通路１９Ａ及び第２連通路１９Ｂの途中に水平流路である第２流路２０２及び第５流路２０５を設けて屈曲するようにしたが、特にこれに限定されるものではない。ここで、記録ヘッドの変形例を図９及び図１０を参照して説明する。なお、図９は、記録ヘッドの変形例を示す断面図であって図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図１０は、記録ヘッドの変形例を示す断面図であって図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。
【０１５４】
図９に示すように、第１連通路１９Ａは、第３の方向Ｚに対して傾斜して設けられている。具体的には、第１連通路１９Ａは、第１圧力室１２Ａに連通する端部が第１共通液室１０１側であり、第１ノズル２１Ａに連通する端部が第２共通液室１０２側となるように、第２の方向Ｙに傾斜して設けられている。このように、第１連通路１９Ａを傾斜して設けることによっても、第１連通路１９Ａの第１ノズル２１Ａ側の開口を、第１連通路１９Ａの第１圧力室１２Ａ側の開口よりも第２圧力室１２Ｂ側となるように形成することができる。すなわち、第１連通路１９Ａの第１ノズル２１Ａ側の開口が、第１連通路１９Ａの第１圧力室１２Ａ側の開口よりも第２圧力室１２Ｂ側に配置されているとは、上述した各実施形態のように第１連通路１９Ａの途中にノズル面２０ａの面内方向に沿って設けられた第２流路２０２が設けられた構成も、また、図９に示すように、第１連通路１９Ａが第３の方向Ｚに対して傾斜して設けられた構成も含むものである。
【０１５５】
このように、第１連通路１９Ａを第３の方向Ｚに対して傾斜させて設けることで、第１共通液室１０１のノズル２１側であるＺ２側の開口を第２共通液室１０２側に拡幅して、第１コンプライアンス部４９４Ａを比較的広い面積で形成することができる。
【０１５６】
また、図１０に示すように、第２連通路１９Ｂは、第３の方向Ｚに対して傾斜して設けられている。具体的には、第２連通路１９Ｂは、第２圧力室１２Ｂに連通する端部が第２共通液室１０２側であり、第２ノズル２１Ｂに連通する端部が第１共通液室１０１側となるように、第２の方向Ｙに傾斜して設けられている。すなわち、第２連通路１９Ｂの第２ノズル２１Ｂ側の開口が、第２連通路１９Ｂの第２圧力室１２Ｂ側の開口よりも第１圧力室１２Ａ側に配置されているとは、上述した各実施形態のように第２連通路１９Ｂの途中にノズル面２０ａの面内方向に沿って設けられた第５流路２０５が設けられた構成も、また、図１０に示すように、第２連通路１９Ｂが第３の方向Ｚに対して傾斜して設けられた構成も含むものである。
【０１５７】
このように、第２連通路１９Ｂを第３の方向Ｚに対して傾斜させて設けることで、第２共通液室１０２のノズル２１側であるＺ２側の開口を第１共通液室１０１側に拡幅して、第２コンプライアンス部４９４Ｂを比較的広い面積で形成することができる。
【０１５８】
なお、このような図９及び図１０に示す第１連通路１９Ａ及び第２連通路１９Ｂと、図７及び図８に示す第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２とを組み合わせるようにしてもよい。このように図９及び図１０に示す第１連通路１９Ａ及び第２連通路１９Ｂと、図７及び図８に示す第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２を組み合わせる場合、第２流路２０２、第５流路２０５などのノズル面２０ａの面内方向に沿った水平流路や、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２に第１段差１６ｃ、第２段差１７ｃが設けられないため、連通板１５を複数の基板を積層して製造する必要がなく、１枚の基板で製造することが可能となる。
【０１５９】
さらに、図９及び図１０に示す第１連通路１９Ａ及び第２連通路１９Ｂと、図７及び図８に示す第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２とは、上述した実施形態２に適用することも可能である。
【０１６０】
さらに、上述した各実施形態では、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとが、第２の方向Ｙに異なる位置に配置された構成を例示したが、特にこれに限定されず、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとが、第２の方向Ｙで同じ位置となるように、すなわち、ノズル２１が第１の方向Ｘに沿った直線上に配置されるように設けるようにしてもよい。ちなみに、上述した実施形態２において、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを第２の方向Ｙで同じ位置に設けるには、第１ノズル２１Ａを第７流路２０７の途中に連通する位置に設け、第２ノズル２１Ｂを第１２流路２１２の途中に連通する位置に設けるようにすればよい。もちろん、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとが第２の方向Ｙで異なる位置に配置される場合であっても、第１ノズル２１Ａを第７流路２０７の途中に連通する位置に設け、第２ノズル２１Ｂを第１２流路２１２の途中に連通する位置に設けるようにしてもよい。
【０１６１】
このように第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを第２の方向Ｙに比較的近い位置に配置することで、第１ノズル２１Ａ及び第２ノズル２１Ｂのそれぞれから吐出されたインク滴により発生した乱流が互いに影響するのを抑制して、乱流によるインク滴の飛翔方向にずれを抑制することができる。また、複数のノズル２１を第１の方向Ｘに直線上に配置することで、各ノズル２１からインク滴を吐出させるタイミングをずらすように調整する必要がなく、圧電アクチュエーター３００の駆動制御を簡略化することができる。
【０１６２】
また、上述した各実施形態では、第１圧力室１２Ａの列と第２圧力室１２Ｂの列とが１列ずつ、合計２列設けられた構成を例示したが、特にこれに限定されず、第１圧力室１２Ａが２列以上設けられていてもよく、第２圧力室１２Ｂが２列以上設けられていてもよい。
【０１６３】
また、流路形成基板１０の第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとの間で、圧電アクチュエーター３００とフレキシブルケーブル１２０とを接続するようにしたが、特にこれに限定されず、圧電アクチュエーター３００から引き出された配線を保護基板３０上まで延設して、保護基板３０上でフレキシブルケーブル１２０と接続するようにしてもよく、圧電アクチュエーター３００とフレキシブルケーブル１２０とを直接接続するようにしてもよい。
【０１６４】
また、上述した各実施形態では、各個別流路２００にノズル２１と圧力室１２とが１つずつ設けられた構成を例示したが、ノズル２１と圧力室１２との数は特に限定されず、１つの圧力室１２に対して２以上の複数のノズル２１が設けられていてもよく、また、１つのノズル２１に対して２以上の圧力室１２が設けられていてもよい。ただし、１つの個別流路２００に設けられたノズル２１からは、１吐出周期で同時にインク滴が吐出されるものである。つまり、１つの個別流路２００に複数のノズル２１が設けられていても、複数のノズル２１からは同時にインク滴を吐出するか、同時にインク滴を吐出しない非吐出かの何れかのみが行われればよい。すなわち、１つの個別流路２００に複数のノズル２１を設けた構成では、複数のノズル２１からのインク滴の吐出、非吐出が同時に行われればよい。
【０１６５】
また、上述した各実施形態では、流路基板は、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、コンプライアンス基板４９、ケース部材４０等を有するものとしたが、特にこれに限定されるものではなく、流路基板は１枚の基板であっても、また、２枚以上の複数の基板が積層されたものであってもよい。例えば、流路基板は、流路形成基板１０、と、ノズルプレート２０とを含んでいてもよく、連通板１５と、コンプライアンス基板４９と、ケース部材４０とを含んでいなくてもよい。また、複数の流路形成基板１０により１つの圧力室１２を形成してもよいし、流路形成基板１０に圧力室１２と第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とを形成してもよい。
【０１６６】
また、上述した各実施形態では、圧力室１２に圧力変化を生じさせるエネルギー発生素子として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、エネルギー発生素子として、圧力室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルから液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【０１６７】
ここで、本実施形態の液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の一例について図１１を参照して説明する。なお、図１１は、本発明のインクジェット式記録装置の概略構成を示す図である。
【０１６８】
図１１に示すように、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置Ｉでは、複数の記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されている。記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。本実施形態では、キャリッジ３の移動方向が第２の方向Ｙとなっている。
【０１６９】
また、装置本体４には、液体としてインクが貯留された貯留手段であるタンク２が設けられている。タンク２は、チューブ等の供給管２ａを介して記録ヘッド１と接続されており、タンク２からのインクは供給管２ａを介して記録ヘッド１に供給される。
【０１７０】
そして、駆動モーター７の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７ａを介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の被噴射媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラー８に限られずベルトやドラム等であってもよい。本実施形態では、記録シートＳの搬送方向が第１の方向Ｘとなっている。
【０１７１】
なお、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【０１７２】
また、上述した実施形態２のようにタンク２と記録ヘッド１との間でインクを循環させる場合には、タンク２及び記録ヘッド１を接続する排出管を設け、記録ヘッド１からのインクを、排出管を介してタンク２に戻すようにすればよい。
【０１７３】
なお、各実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。
【符号の説明】
【０１７４】
Ｉ…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１…インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、２…タンク、２ａ…供給管、３…キャリッジ、４…装置本体、５…キャリッジ軸、７…駆動モーター、７ａ…タイミングベルト、８…搬送ローラー、１０…流路形成基板、１２…圧力室、１２Ａ…第１圧力室、１２Ｂ…第２圧力室、１５…連通板、１５１…第１連通板、１５２…第２連通板、１６…第１連通部、１６ａ…第１幅狭部、１６ｂ…第１幅広部、１６ｃ…第１段差、１７…第２連通部、１７ａ…第２幅狭部、１７ｂ…第２幅広部、１７ｃ…第２段差、１８Ａ…第１供給路、１８Ｂ…第２供給路、１９Ａ…第１連通路、１９Ｂ…第２連通路、２０…ノズルプレート、２０ａ…ノズル面、２１…ノズル、２１Ａ…第１ノズル、２１Ｂ…第２ノズル、２２Ａ…第１ノズル列、２２Ｂ…第２ノズル列、３０…保護基板、３１…圧電アクチュエーター保持部、３２…貫通孔、４０…ケース部材、４１…第１液室部、４２…第２液室部、４３…導入口、４４…排出口、４５…接続口、４９…コンプライアンス基板、５０…振動板、６０…第１電極、７０…圧電体層、８０…第２電極、９０…リード電極、１０１…第１共通液室、１０２…第２共通液室、１２０…フレキシブルケーブル、１２１…駆動回路、２００…個別流路、２００Ａ…第１個別流路、２００Ｂ…第２個別流路、２０１…第１流路、２０２…第２流路、２０３…第３流路、２０４…第４流路、２０５…第５流路、２０６…第６流路、２０７…第７流路、２０８…第８流路、２０９…第９流路、２１０…第１０流路、２１１…第１１流路、２１２…第１２流路、３００…圧電アクチュエーター（エネルギー発生素子）、４９１…封止膜、４９２…固定基板、４９３…開口部、４９４…コンプライアンス部、４９４Ａ…第１コンプライアンス部、４９４Ｂ…第２コンプライアンス部、Ｓ…記録シート、Ｘ…第１の方向、Ｙ…第２の方向、Ｚ…第３の方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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