(57)【要約】【課題】  ターゲット面とＸ線透過窓との相対的な位置ずれを抑制することが可能なＸ線管を提供する。【解決手段】  Ｘ線管１は、真空外囲器１０と、陰極３０と、焦点Ｆが形成されるターゲット面４３を有する陽極４０と、Ｘ線透過アセンブリ２０と、を備える。Ｘ線透過アセンブリ２０は、第１接続部材２１と、窓枠２２と、ベリリウムで形成されたＸ線透過窓２３と、第２接続部材２４と、を有する。第２接続部材２４は、第１接続部材２１と窓枠２２とを接続し、第１接続部材２１と窓枠２２との間の隙間を気密に閉塞し、第１接続部材２１及び窓枠２２の各々より高い可とう性を有する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有した真空外囲器と、
前記真空外囲器に収容され電子を放出する陰極と、
前記真空外囲器に収容され前記陰極から放出される電子が衝突することによりＸ線を放出する焦点が形成されるターゲット面を有する陽極と、
前記真空外囲器に取り付けられ前記開口を気密に閉塞したＸ線透過アセンブリと、を備え、
前記Ｘ線透過アセンブリは、
前記開口に対向し前記真空外囲器に気密に取り付けられた第１接続部材と、
前記第１接続部材に対向した窓枠と、
前記窓枠に気密に取付けられベリリウムで形成されＸ線を透過させるＸ線透過窓と、
前記第１接続部材と前記窓枠とを接続し前記第１接続部材と前記窓枠との間の隙間を気密に閉塞し前記第１接続部材及び前記窓枠の各々より可とう性が高い第２接続部材と、を有する、
Ｘ線管。
【請求項２】
前記第２接続部材は、
円筒状の形状と、
前記第１接続部材及び前記窓枠の各々の厚みより小さい厚みと、を有する、
請求項１に記載のＸ線管。
【請求項３】
複数のねじをさらに備え、
前記第１接続部材は、それぞれ雌ねじが形成された複数の孔部を有し、
各々の前記ねじは、雄ねじが形成され、対応する前記孔部に螺嵌され、前記孔部を通り、前記窓枠に当接している、
請求項１に記載のＸ線管。
【請求項４】
Ｘ線管軸と、前記Ｘ線透過窓の中心を通り前記Ｘ線透過窓に直交する直線と、を含む仮想の平面を基準面、
前記基準面に直交する仮想の軸を基準軸、とすると、
前記複数のねじの一以上のねじは、前記第２接続部材を変形させ、前記基準軸に沿った方向において前記ターゲット面に対する前記窓枠及び前記Ｘ線透過窓の相対的な位置を調整する機能を有している、
請求項３に記載のＸ線管。
【請求項５】
前記第１接続部材の前記複数の孔部のうち２個の孔部は、前記基準軸に沿った方向に対向し、
前記２個の孔部に対応する２個のねじは、前記基準軸に沿った方向に前記窓枠を押圧している、
請求項４に記載のＸ線管。
【請求項６】
前記第２接続部材は、銅又は鉄で形成されている、
請求項１に記載のＸ線管。
【請求項７】
前記第２接続部材は、ろう付けにより、前記第１接続部材と前記窓枠とに固定されている、
請求項１に記載のＸ線管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、Ｘ線管に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、Ｘ線管は、医療診断システムや工業診断システム等に用いられている。上記Ｘ線管は、例えば、工業用分野等で行うＸ線異物検査やＸ線分析に使用される。Ｘ線分析とは、各種材料の成分分析や製品の組成分析である。Ｘ線分析に使用されるＸ線管は、陽極と、陰極と、真空外囲器と、を備えている。また、Ｘ線管は、Ｘ線透過窓としてＢｅ（ベリリウム）窓を有している。Ｂｅ窓は、真空外囲器の一部を構成し、利用Ｘ線束を透過させる（外部に取り出す）。Ｂｅ窓は、ガラス窓と比較してＸ線の減衰量を小さくすることができる。例えば、Ｂｅ窓は、軟Ｘ線のカットを抑えることができるため、エネルギの小さいＸ線で軽元素の被写体を撮影することが可能となる。
【０００３】
陰極は、電子を放出するフィラメントを有している。フィラメントから放出される電子は、陽極のターゲット面に衝突する。そして、ターゲット面に電子が衝突することでターゲット面にＸ線が放射する焦点が形成される。上記Ｘ線のうち利用Ｘ線束は、Ｘ線透過窓を透過し、外部に取り出される。焦点から放射されるＸ線は、ターゲット面の法線方向に最も強く、ターゲット面に沿った方向で強度ゼロになるような分布となる。上記Ｘ線のうちＸ線透過窓を透過したものが利用Ｘ線束であるため、Ｘ線透過窓の形状や、焦点とＸ線透過窓との位置関係により利用Ｘ線束の形状が変わる。
【０００４】
すなわち、Ｘ線透過窓（Ｂｅ）の透過領域が大きいほど利用Ｘ線束の照射角は大きくなり、また焦点からＸ線透過窓までの距離が小さいほど、利用Ｘ線束の照射角は大きくなる。Ｘ線管を搭載する装置にとって利用Ｘ線束の照射角が大きいほど有利である。
【０００５】
但し、利用Ｘ線束の照射角を大きくしようとすると、Ｘ線放射窓の大型化を招くことになる。また、焦点からＸ線透過窓までの距離を小さくすることには物理的な制限がある。そのため、上記距離を小さくすることにより利用Ｘ線束の照射角を大きくすることには限界がある。  
その他、利用Ｘ線束の照射方向を容易に調整できる方が望ましい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−２２８６９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本実施形態は、ターゲット面とＸ線透過窓との相対的な位置ずれを抑制することが可能なＸ線管を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
一実施形態に係るＸ線管は、
開口を有した真空外囲器と、前記真空外囲器に収容され電子を放出する陰極と、前記真空外囲器に収容され前記陰極から放出される電子が衝突することによりＸ線を放出する焦点が形成されるターゲット面を有する陽極と、前記真空外囲器に取り付けられ前記開口を気密に閉塞したＸ線透過アセンブリと、を備え、前記Ｘ線透過アセンブリは、前記開口に対向し前記真空外囲器に気密に取り付けられた第１接続部材と、前記第１接続部材に対向した窓枠と、前記窓枠に気密に取付けられベリリウムで形成されＸ線を透過させるＸ線透過窓と、前記第１接続部材と前記窓枠とを接続し前記第１接続部材と前記窓枠との間の隙間を気密に閉塞し前記第１接続部材及び前記窓枠の各々より可とう性が高い第２接続部材と、を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、一実施形態に係るＸ線管を示す断面図である。
【図２】図２は、図１のＸ線管を線ＩＩ−ＩＩに沿って示す断面図である。
【図３】図３は、比較例に係るＸ線管を示す断面図である。
【図４】図４は、図３のＸ線管を線ＩＶ−ＩＶに沿って示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（一実施形態）  
以下に、本発明の一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。
【００１１】
まず、本実施形態に係るＸ線管１について説明する。図１は、一実施形態に係るＸ線管１を示す断面図である。  
図１に示すように、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙは互いに直交している。第３方向Ｚは、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙにそれぞれ直交している。なお、本実施形態と異なり、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙは、９０°以外の角度で交差していてもよい。Ｘ線管１は、固定陽極型のＸ線管である。Ｘ線管１は、真空外囲器１０と、Ｘ線透過アセンブリ２０と、陰極３０と、陽極４０と、を備えている。
【００１２】
真空外囲器１０は、ガラス及び金属で形成されている。本実施形態において、真空外囲器１０は、第１金属容器１１、第２金属容器１２、及びガラス容器１３で形成されている。ガラス容器１３は、例えば硼珪酸ガラスを利用して形成されている。ガラス容器１３は、例えば複数のガラス部材を溶接により気密に接合し形成することができる。ガラス容器１３は、一端部が閉塞された円筒状に形成されている。ガラス容器１３は、円筒部１３ａを有している。円筒部１３ａは、後述する収容部３４、ターゲット４２などを囲んでいる。円筒部１３ａ（ガラス容器１３）は、開口１３ｗを有している。この実施形態において、開口１３ｗは円形である。開口１３ｗは、後述するターゲット面４３付近に位置している。開口１３ｗを形成することにより、ガラス容器１３による利用Ｘ線束の線量の減衰を防止することができる。
【００１３】
第１金属容器１１は、ガラス容器１３の外側に位置し、開口１３ｗを取囲むように設けられている。第１金属容器１１は、例えば、コバールを利用して環状に形成されている。第１金属容器１１は、ガラス容器１３に融着により気密に接続されている。第１金属容器１１には、Ｘ線透過アセンブリ２０と結合するための鍔部が形成されている。この実施形態において、第１金属容器１１（鍔部）は円形枠状に形成されている。
【００１４】
第２金属容器１２は、ガラス容器１３の他端部と後述する陽極本体４１とに気密に接続されている。第２金属容器１２は、例えば、コバールを利用して環状に形成されている。第２金属容器１２は、ガラス容器１３に融着により気密に接続されている。  
真空外囲器１０は、陰極３０、陽極４０などを収容し、陽極４０の一部が露出するように形成されている。  
Ｘ線透過アセンブリ２０は、第１金属容器１１（真空外囲器１０）に取り付けられ、開口１３ｗを気密に閉塞している。これにより、真空外囲器１０は、密閉されている。真空外囲器１０の内部の真空状態は維持されている。
【００１５】
陰極３０は、真空外囲器１０に収容されている。陰極３０は、Ｘ線管軸Ａに沿った第３方向Ｚに、陽極４０に間隔を置いて配置されている。陰極３０は、電子放出源としてのフィラメント３１、フィラメント端子３２ａ，３２ｂ、カソードピン３３ａ，３３ｂ，３３ｃ、収容部３４、絶縁部材３５ａ，３５ｂ、及び支持部材３６を有している。
【００１６】
フィラメント３１は、陽極４０に照射する電子を放出する。本実施形態において、フィラメント３１は、フィラメントコイルを有している。フィラメント端子３２ａは、フィラメント３１の一方の延出部を支持し、フィラメント３１に電気的に接続されている。フィラメント端子３２ｂは、フィラメント３１の他方の延出部を支持し、フィラメント３１に電気的に接続されている。
【００１７】
カソードピン３３ａ，３３ｂ，３３ｃは、導電性を有している。本実施形態において、カソードピン３３ａ，３３ｂ，３３ｃは、金属を利用し、棒状に形成されている。カソードピン３３ａ，３３ｂ，３３ｃは、ガラス容器１３に取り付けられている。カソードピン３３ａ，３３ｂ，３３ｃは、融着によりガラス容器１３に気密に接続されている。カソードピン３３ａ，３３ｂ，３３ｃは、それぞれ真空外囲器１０の外側に位置する一端部を有している。カソードピン３３ａはフィラメント端子３２ａに電気的に接続され、カソードピン３３ｂはフィラメント端子３２ｂに電気的に接続され、カソードピン３３ｃは収容部３４に電気的に接続されている。
【００１８】
収容部３４は、円柱状に形成されている。収容部３４は、集束溝３４ａと、収容溝３４ｂと、を有している。集束溝３４ａは、陽極４０側に開口し、電子を集束させる機能を有している。収容溝３４ｂは、集束溝３４ａの底面に形成され、陽極４０側に開口し、フィラメント３１を収容している。  
また、収容部３４は、フィラメント端子３２ａを通すための貫通孔３４ｃと、フィラメント端子３２ｂを通すための貫通孔３４ｄと、を有している。
【００１９】
絶縁部材３５ａは、貫通孔３４ｃに設けられ、収容部３４に固定されている。絶縁部材３５ａは、筒状に形成され、内部にフィラメント端子３２ａが挿入されている。フィラメント端子３２ａは、絶縁部材３５ａに固定された接続部品（スリーブ）５１ａに接触されている。  
絶縁部材３５ｂは、貫通孔３４ｄに設けられ、収容部３４に固定されている。絶縁部材３５ｂは、筒状に形成され、内部にフィラメント端子３２ｂが挿入されている。フィラメント端子３２ｂは、絶縁部材３５ｂに固定された接続部品（スリーブ）５１ｂに接触されている。  
上記のことから、フィラメント３１は、収容部３４に対して電気的に絶縁されている。
【００２０】
支持部材３６は、真空外囲器１０に固定され、収容部３４を支持している。このため、収容部３４は、真空外囲器１０に固定されている。支持部材３６は、ガラス封着金属で形成されている。支持部材３６は、ガラス融着によりガラス容器１３に固定されている。本実施形態において、支持部材３６はコバールで形成されている。
【００２１】
陽極４０は、真空外囲器１０に収容されている。陽極４０は、陽極本体４１と、陽極本体４１のうち陰極３０側の端面の位置に設けられたターゲット４２と、を有している。陽極本体４１は、円柱状に形成されている。陽極本体４１は、銅、銅合金等の高熱伝導性の金属で形成されている。
【００２２】
ターゲット４２は、円板状に形成されている。ターゲット４２の融点は、少なくとも陽極本体４１の融点以上である。ターゲット４２は、タングステン（Ｗ）、タングステン合金等の高融点金属等で形成されている。本実施形態において、ターゲット４２の融点は、陽極本体４１の融点より高い。ターゲット４２は、陰極３０と対向する側にターゲット面４３を有している。ターゲット面４３には、フィラメント３１から放出される電子が衝突することによりＸ線を放出する焦点Ｆが形成される。  
なお、上記第２金属容器１２は、陽極本体４１に気密に固定されている。ここでは、第２金属容器１２は、陽極本体４１にろう付けにより気密に接続されている。
【００２３】
次に、上記Ｘ線透過アセンブリ２０について説明する。図２は、図１のＸ線管１を線ＩＩ−ＩＩに沿って示す断面図である。図２において、陽極４０に関しては断面図ではなく、上面図として示している。  
図１及び図２に示すように、Ｘ線透過アセンブリ２０は、第１接続部材２１と、窓枠２２と、Ｘ線透過窓２３と、第２接続部材２４と、ねじ２５と、鍔部２６と、を有している。
【００２４】
第１接続部材２１は、開口１３ｗに対向している。第１接続部材２１は、本体２１ａと、鍔部２１ｃとを有している。本体２１ａは、円錐形枠状に形成されている。鍔部２１ｃは、本体２１ａと一体に形成されている。第１接続部材２１は、鉄、ステンレス鋼、コバールなどの金属で形成されている。この実施形態において、鍔部２１ｃと第１金属容器１１の鍔部とが溶接されることにより、第１接続部材２１（鍔部２１ｃ）は、第１金属容器１１（真空外囲器１０）に気密に取り付けられている。
【００２５】
窓枠２２は、第１接続部材２１及び開口１３ｗに対向している。この実施形態において、窓枠２２は円錐形枠状に形成されている。窓枠２２は、銅、鉄などの金属で形成されている。
【００２６】
窓枠２２は、貫通孔２２ｈと、取付け面２２ｓと、を有している。この実施形態において、貫通孔２２ｈは円形状であり、取付け面２２ｓは円形枠状である。取付け面２２ｓは平坦である。貫通孔２２ｈを形成することにより、窓枠２２による利用Ｘ線束の線量の減衰や遮蔽を防止することができる。取付け面２２ｓは、貫通孔２２ｈの周りに形成されている。
【００２７】
Ｘ線透過窓２３は、Ｘ線を透過させ、真空外囲器１０の内部の気密性を保持するものである。Ｘ線透過窓２３は、Ｘ線透過性を示し、かつ機械的強度の高い材料を利用して形成することができる。この実施形態において、Ｘ線透過窓２３はＢｅ板（ベリリウム薄板：ベリリウムを利用した薄板）で形成されている。
【００２８】
Ｘ線透過窓２３は平板状に形成されている。この実施形態において、Ｘ線透過窓２３は円板状に形成されている。Ｘ線透過窓２３は、取付け面２２ｓに対向し窓枠２２に取付けられる取付け領域と、貫通孔２２ｈに対向したＸ線透過領域と、を有している。Ｘ線透過窓２３は、Ｘ線のうち少なくとも利用Ｘ線束を透過させる。
【００２９】
Ｘ線透過窓２３の取付け領域は、取付け面２２ｓに気密に取り付けられている。例えば、Ｘ線透過窓２３は、図示しないろう材を利用して取付け面２２ｓにろう付けすることにより、窓枠２２に取付けられている。これにより、Ｘ線透過窓２３は、窓枠２２に収められ、窓枠２２とともに真空外囲器１０の内部の気密状態を保持することができる。
【００３０】
第２接続部材２４は、第１接続部材２１と窓枠２２とを接続し、第１接続部材２１と窓枠２２との間の隙間を気密に閉塞している。本実施形態において、第２接続部材２４は、図示しないろう材を利用して第１接続部材２１にろう付けすることにより、第１接続部材２１に気密に取付けられている。一方、第２接続部材２４は、図示しないろう材を利用して窓枠２２にろう付けすることにより、窓枠２２に気密に取付けられている。第２接続部材２４は、ろう付けにより、第１接続部材２１と窓枠２２とに固定されている。
【００３１】
第２接続部材２４は、第１接続部材２１及び窓枠２２の各々より可とう性が高くなるように構成されている。第２接続部材２４は、比較的やわらかい金属材料で形成されている。第２接続部材２４は、例えば、銅又は鉄で形成されている。第２接続部材２４は、円筒状の形状を有している。第２接続部材２４は、第１接続部材２１及び窓枠２２の各々の厚みより小さい厚みを有している。
【００３２】
Ｘ線管取付け部としての鍔部２６は、開口１３ｗに対向している。この実施形態において、鍔部２６は円形枠状に形成されている。鍔部２６は、窓枠２２に対して第１金属容器１１の反対側に位置し、窓枠２２に真空気密に取り付けられている。鍔部２６は、金属として例えばステンレス鋼で形成されている。この実施形態において、鍔部２６と窓枠２２とがろう接されることにより、鍔部２６は窓枠２２に取り付けられている。
【００３３】
鍔部２６は、利用Ｘ線束を通過させる通過口２６ｈを有している。通過口２６ｈを形成することにより、鍔部２６によるＸ線の減衰や遮蔽を防止することができる。上記のことから、Ｘ線透過窓２３を透過する利用Ｘ線束の出射路上に、第１金属容器１１、ガラス容器１３、第１接続部材２１、窓枠２２、第２接続部材２４、及び鍔部２６は、存在していない。鍔部２６は、Ｘ線透過窓２３を透過したＸ線のうち、利用Ｘ線束を通過させ、利用Ｘ線束以外のＸ線を遮蔽する。
【００３４】
また、鍔部２６は、ねじ穴２６ａ及び環状の収容溝２６ｂを有している。例えば、Ｘ線管１を図示しないハウジングの内部に収容し、Ｘ線管１を上記ハウジングに固定する際、ねじ穴２６ａを利用してＸ線管１を上記ハウジングにねじ止めすることができる。収容溝２６ｂに図示しないＯリングを収容することで、上記Ｏリングは鍔部２６と上記ハウジングとの隙間を封止することができる。例えば、上記ハウジングとＸ線管１との間の空間に冷却液が存在する場合、上記Ｏリングは、上記冷却液の漏洩を抑制することができる。その他に、上記冷却液が漏洩する恐れのある個所は、適宜、封止されていればよい。例えば、第１接続部材２１はさらに第１金属容器１１に液密に取り付けられている。第２接続部材２４は、第１接続部材２１と窓枠２２との間の隙間を液密に閉塞している。鍔部２６は窓枠２２に液密に取り付けられている。
【００３５】
次に、ターゲット面４３とＸ線透過窓２３との相対的な位置を調整するための手段及び手法について説明する。  
図１及び図２に示すように、第１接続部材２１は、本体２１ａに形成された複数の孔部２７を有している。各々の孔部２７には、雌ねじが形成されている。各々のねじ２５には、雄ねじが形成されている。各々のねじ２５は、対応する孔部２７に螺嵌され、孔部２７を通り、窓枠２２に当接している。
【００３６】
ここで、Ｘ線管軸Ａと、仮想の直線Ｌと、を含む仮想の平面を基準面Ｓとする。上記直線Ｌは、Ｘ線透過窓２３の中心を通りＸ線透過窓２３に直交している。
また、基準面Ｓに直交する仮想の軸を基準軸ＲＡとする。
【００３７】
複数のねじ２５の一以上のねじ２５は、第２接続部材２４を変形させている。上記ねじ２５は、基準軸ＲＡに沿った方向においてターゲット面４３に対する窓枠２２及びＸ線透過窓２３の相対的な位置を調整する機能を有している。
【００３８】
本実施形態において、第１接続部材２１の複数の孔部２７のうち２個の孔部２７ａは、基準軸ＲＡに沿った方向（第１方向Ｘ）に対向している。２個の孔部２７ａに対応する２個のねじ２５ａは、基準軸ＲＡに沿った方向に窓枠２２を押圧している。  
また、第１接続部材２１の複数の孔部２７のうち２個の孔部２７ｂは、Ｘ線管軸Ａに沿った方向（第３方向Ｚ）に対向している。２個の孔部２７ｂ対応する２個のねじ２５ｂは、Ｘ線管軸Ａに沿った方向に窓枠２２を押圧している。
【００３９】
上記のことから、ねじ２５にて窓枠２２を押圧することにより、第２接続部材２４を塑性変形又は弾性変形させることができる。これにより、ターゲット面４３に対する窓枠２２及びＸ線透過窓２３の相対的な位置を調整することができる。調整した後、ねじ２５は、第１接続部材２１に溶接され、固定さている。  
例えば、ねじ２５ａにより、基準軸ＲＡに沿った方向における窓枠２２及びＸ線透過窓２３の相対的な位置を細かく調整することができる。そのため、直線Ｌは、焦点Ｆを通っている。そのため、図２において、直線Ｌを、Ｘ線透過窓２３を透過する利用Ｘ線束の照射角θの二等分線に一致させることができる。
【００４０】
上記のように構成された一実施形態に係るＸ線管１によれば、Ｘ線管１は、真空外囲器１０と、Ｘ線透過アセンブリ２０と、陰極３０と、陽極４０と、を備えている。Ｘ線透過アセンブリ２０は、第１接続部材２１、窓枠２２、Ｘ線透過窓２３、第２接続部材２４、ねじ２５、及び鍔部２６を有している。可とう性が高い第２接続部材２４により、窓枠２２、Ｘ線透過窓２３、及び鍔部２６の相対的な位置を最適にすることができる。そのため、製造時において、ガラス容器１３を加工するスキルに頼ることなく、Ｘ線透過窓２３と焦点Ｆとの位置ずれを補正することで、照射角θの左右のバランスを良くすることができる。
【００４１】
例えば、ベルトコンベアにのせて搬送される被測定物に連続したＸ線撮影が可能なラインセンサに利用するＸ線管１において、Ｘ線の照射角θの大きさだけでなく、直線Ｌに対する照射角θの左右のバランスが良いことが重要である。例えば、図２において、利用Ｘ線束のうち、直線Ｌより左側の照射角が大きく、直線Ｌより右側の照射角が相対的に小さくなった場合、直線Ｌより右側の領域においてＸ線撮影ができなくなるためである。
【００４２】
なお、ターゲット４２はＸ線を遮蔽する機能を有している。そのため、焦点Ｆから発生したＸ線を図１でみた場合、Ｘ線は、ターゲット面４３に沿った方向に放射されない。図１において、直線Ｌより陽極４０側のＸ線の照射角は、直線Ｌより陰極３０側のＸ線の照射角に比べて原理的に小さくなる。Ｘ線を図１でみた場合、Ｘ線管軸Ａに沿った方向のＸ線のバランスが良くないため利用し難いものである。上記のことからも、図２の照射角θのバランスを最適化している。  
上記のことから、ターゲット面４３とＸ線透過窓２３との相対的な位置ずれを抑制することが可能なＸ線管１を得ることができる。簡便な手段及び手法にてＸ線管１を製造することができる。ガラス容器１３を高い精度で加工しなくともよいため、製造時間の短縮を図ることができる。
【００４３】
（比較例）  
次に、比較例に係るＸ線管１について説明する。図３は、本比較例に係るＸ線管１を示す断面図である。図４は、図３のＸ線管１を線ＩＶ−ＩＶに沿って示す断面図である。図４において、陽極４０に関しては断面図ではなく、上面図として示している。
【００４４】
図３及び図４に示すように、比較例のＸ線管１は、Ｘ線透過アセンブリ２０を除き、上記実施形態のＸ線管１と同様に構成されている。Ｘ線透過アセンブリ２０は、上記実施形態と比較し、第１接続部材２１、第２接続部材２４、及びねじ２５無しに構成され、窓枠鍔部２８を付加して構成されている。
【００４５】
窓枠２２には、第１金属容器１１と結合するための窓枠鍔部２８が気密に取り付けられている。窓枠鍔部２８は金属として例えば鉄で形成されている。比較例において、窓枠２２と窓枠鍔部２８はろう付けにより固定されている。この比較例において、窓枠鍔部２８と第１金属容器１１の鍔部とが溶接されることにより、窓枠鍔部２８は、第１金属容器１１と窓枠２２との間の隙間を気密に閉塞している。
【００４６】
ところで、本比較例において、ターゲット面４３に対する窓枠２２及びＸ線透過窓２３の相対的な位置として、ガラス容器１３を加工するスキルに頼ることになる。そのため、本比較例では、ターゲット面４３とＸ線透過窓２３との相対的な位置ずれを抑制することは困難である。図４において、直線Ｌは、焦点Ｆ及びＸ線管軸Ａを通っていない。そして、直線Ｌは、照射角θの二等分線と一致していない。また、ガラス容器１３を高い精度で加工する必要があるため、製造時間の短縮を図ることが困難である。
【００４７】
本発明の実施形態を説明したが、上記の実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上記の新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。上記の実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【００４８】
例えば、第１接続部材２１に形成される孔部２７の数及びねじ２５の個数は、上記実施形態ではそれぞれ４個であったが、それに限定されるものではなく、２個、３個、又は５個以上であってもよい。何れにおいても、基準軸ＲＡに沿った方向における窓枠２２及びＸ線透過窓２３の相対的な位置を調整することができればよい。
【符号の説明】
【００４９】
１…Ｘ線管、１０…真空外囲器、１３ｗ…開口、２０…Ｘ線透過アセンブリ、
２１…第１接続部材、２２…窓枠、２３…Ｘ線透過窓、２４…第２接続部材、
ねじ…２５，２５ａ，２５ｂ、２６…鍔部、２７，２７ａ，２７ｂ…孔部、
３０…陰極、３１…フィラメント、４０…陽極、４２…ターゲット、
４３…ターゲット面、Ａ…Ｘ線管軸、Ｆ…焦点、Ｌ…直線、Ｓ…基準面、ＲＡ…基準軸、
θ…照射角。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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