(57)【要約】【課題】接続端子を有するブロック部材の脱着を、接続端子を汚染することなく短時間で実行できる技術を提供する。【解決手段】本開示の一態様による挿抜機構は、複数の第１端子を有する第１部材と複数の第２端子を有する第２部材との間に設けられ、前記第１端子と前記第２端子とを電気的に接続する中間接続部材を構成するフレーム材に対して、前記第１端子と前記第２端子とを電気的に接続する複数の接続端子を有する一又は複数のブロック部材を挿抜する挿抜機構であって、前記ブロック部材の第１の被係合部に係合可能であり、少なくとも前記第１の被係合部と係合する位置と係合しない位置との間で移動可能な第１の係合部と、前記ブロック部材の第２の被係合部に係合可能であり、少なくとも前記第２の被係合部と係合する位置と係合しない位置との間で移動可能な第２の係合部と、を有し、前記第１の係合部及び前記第２の係合部がそれぞれ前記第１の被係合部及び第２の被係合部に係合することで前記ブロック部材を保持する。【選択図】図９
2020087943.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の第１端子を有する第１部材と複数の第２端子を有する第２部材との間に設けられ、前記第１端子と前記第２端子とを電気的に接続する中間接続部材を構成するフレーム材に対して、前記第１端子と前記第２端子とを電気的に接続する複数の接続端子を有する一又は複数のブロック部材を挿抜する挿抜機構であって、
前記ブロック部材の第１の被係合部に係合可能であり、少なくとも前記第１の被係合部と係合する位置と係合しない位置との間で移動可能な第１の係合部と、
前記ブロック部材の第２の被係合部に係合可能であり、少なくとも前記第２の被係合部と係合する位置と係合しない位置との間で移動可能な第２の係合部と、
を有し、
前記第１の係合部及び前記第２の係合部がそれぞれ前記第１の被係合部及び第２の被係合部に係合することで前記ブロック部材を保持する、
挿抜機構。
【請求項２】
前記第１の係合部及び前記第２の係合部は、互いに平行に直動する、
請求項１に記載の挿抜機構。
【請求項３】
前記第１の係合部及び前記第２の係合部を水平方向に直動可能に支持する筐体を有する、
請求項１又は２に記載の挿抜機構。
【請求項４】
前記第１の係合部は、前記第１の被係合部に係合可能な第１の係合ピンと、前記第１の係合ピンを前記筐体に対して直動させる第１のスライド部材と、前記第１のスライド部材を直動可能に支持する第１の支持部材と、を有し、
前記第２の係合部は、前記第２の被係合部に係合可能な第２の係合ピンと、前記第２の係合ピンを前記筐体に対して直動させる第２のスライド部材と、前記第２のスライド部材を直動可能に支持する第２の支持部材と、を有する、
請求項３に記載の挿抜機構。
【請求項５】
前記第１の係合ピン及び前記第２の係合ピンは、それぞれ前記第１のスライド部材及び前記第２のスライド部材の下方へ延びて下端が前記第１の係合部及び前記第２の係合部の移動方向に屈曲する、
請求項４に記載の挿抜機構。
【請求項６】
前記第１の係合ピン及び前記第２の係合ピンの下端は、前記筐体の下端よりも上方に位置する、
請求項５に記載の挿抜機構。
【請求項７】
前記第１の係合ピン及び前記第２の係合ピンは、それぞれ第１のスライド部材及び第２のスライド部材に固定されている、
請求項４乃至６のいずれか一項に記載の挿抜機構。
【請求項８】
前記第１の係合ピン及び前記第２の係合ピンは、それぞれ前記第１のスライド部材及び前記第２のスライド部材に対して水平方向に直動可能である、
請求項４乃至６のいずれか一項に記載の挿抜機構。
【請求項９】
前記筐体は、前記フレーム材に設けられた位置決め穴に挿嵌可能な位置決めピンを有する、
請求項３乃至８のいずれか一項に記載の挿抜機構。
【請求項１０】
複数の第１端子を有する第１部材と複数の第２端子を有する第２部材との間に設けられ、前記第１端子と前記第２端子とを電気的に接続する中間接続部材を構成するフレーム材に対して、前記第１端子と前記第２端子とを電気的に接続する複数の接続端子を有するブロック部材を交換する方法であって、
前記ブロック部材の第１の被係合部に係合可能な第１の係合部を、前記第１の被係合部と係合しない位置から係合する位置に移動させる工程と、
前記ブロック部材の第２の被係合部に係合可能な第２の係合部を、前記第２の被係合部と係合しない位置から係合する位置に移動させる工程と、
前記第１の被係合部及び前記第２の被係合部にそれぞれ前記第１の係合部及び前記第２の係合部を係合させた状態で、前記ブロック部材を搬送する工程と、
を有するブロック部材の交換方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、挿抜機構及びブロック部材の交換方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造プロセスにおいては、検査装置を用いて基板上に形成された複数のデバイスの電気的検査が行われる。検査装置は、基板上に形成されたデバイスに接触するプローブを有するプローブカードが装着されるプローバ、プローブカードを介してデバイスに電気信号を与えてデバイスの種々の電気特性を検査するためのテスタ等を備える。
【０００３】
このような検査装置においては、テスタとプローブカードの電気的導通をとるために中間接続部材が設けられる。中間接続部材としては、多数のポゴピンが配列されて形成される複数のポゴブロックと、ポゴブロックを挿嵌する複数の挿嵌穴を有するポゴフレームとを有する構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−６１０２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本開示は、接続端子を有するブロック部材の脱着を、接続端子を汚染することなく短時間で実行できる技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様による挿抜機構は、複数の第１端子を有する第１部材と複数の第２端子を有する第２部材との間に設けられ、前記第１端子と前記第２端子とを電気的に接続する中間接続部材を構成するフレーム材に対して、前記第１端子と前記第２端子とを電気的に接続する複数の接続端子を有する一又は複数のブロック部材を挿抜する挿抜機構であって、前記ブロック部材の第１の被係合部に係合可能であり、少なくとも前記第１の被係合部と係合する位置と係合しない位置との間で移動可能な第１の係合部と、前記ブロック部材の第２の被係合部に係合可能であり、少なくとも前記第２の被係合部と係合する位置と係合しない位置との間で移動可能な第２の係合部と、を有し、前記第１の係合部及び前記第２の係合部がそれぞれ前記第１の被係合部及び第２の被係合部に係合することで前記ブロック部材を保持する。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、接続端子を有するブロック部材の脱着を、接続端子を汚染することなく短時間で実行できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】検査装置を複数搭載した検査システムの構成例を示す斜視図
【図２】図１の検査システムに設けられた検査装置を示す断面図
【図３】図２の検査装置における中間接続部材のポゴフレームを示す平面図
【図４】ポゴブロックの一例を示す斜視図
【図５】図４のポゴブロックをポゴフレームに挿嵌した状態を示す断面図
【図６】図４のポゴブロックをポゴフレームの挿嵌穴に挿入する途中の状態を示す図
【図７】挿抜機構の一例を示す平面図
【図８】図７の挿抜機構の断面図
【図９】図７の挿抜機構の動作を説明するための図
【図１０】ポゴブロックの交換方法の一例を説明するための図
【図１１】ポゴブロックの別の例を示す断面図
【図１２】挿抜機構の別の例を示す平面図
【図１３】図１２の挿抜機構の断面図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付の図面を参照しながら、本開示の限定的でない例示の実施形態について説明する。添付の全図面中、同一又は対応する部材又は部品については、同一又は対応する参照符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１０】
（検査システム）
図１は、検査装置を複数搭載した検査システムの構成例を示す斜視図である。検査システム１０は、被検査体である半導体ウエハ（以下「ウエハ」という。）に形成された複数の被検査デバイス（ＤＵＴ：Device Under Test）に電気信号を与えてデバイスの種々の電気特性を検査するシステムである。
【００１１】
検査システム１０は、全体形状が直方体をなしており、複数の検査室１１を有する検査部１２と、各検査室１１に対してウエハＷの搬出入を行うローダ部１３とを備えている。検査部１２は、検査室１１が水平方向に４つ配列されて列をなし、列が上下方向に３段配置されている。検査部１２とローダ部１３との間には搬送部１４が設けられており、搬送部１４内にはローダ部１３と各検査室１１との間でウエハＷの受け渡しを行う搬送機構（図示せず）が設けられている。各検査室１１内には、後述する検査装置が設けられている。検査部１２の前面からは、各検査室１１の内部へ検査装置の一部をなすテスタ３０が挿入される。なお、図１において、検査室１１の奥行方向がＸ方向、検査室１１の配列方向がＹ方向、高さ方向がＺ方向である。
【００１２】
図２は、図１の検査システム１０に設けられた検査装置を示す断面図である。検査装置２０は、テスタ３０と、中間接続部材４０と、プローブカード５０と、を有する。検査装置２０においては、ウエハＷに形成されているＤＵＴの電気特性の検査を、プローブカード５０を介してテスタ３０により行う。
【００１３】
テスタ３０は、水平に設けられたテスタマザーボード３１と、テスタマザーボード３１のスロットに立設状態で装着された複数の検査回路ボード３２と、検査回路ボード３２を収容する筐体３３と、を有する。テスタマザーボード３１の底部には、複数の端子（図示せず）が設けられている。
【００１４】
プローブカード５０は、上面に複数の端子（図示せず）を有する板状の基部５１と、基部５１の下面に設けられた複数のプローブ５２と、を有する。複数のプローブ５２は、ウエハＷに形成されたＤＵＴに接触されるようになっている。ウエハＷはステージ６０に吸着された状態でアライナ（図示せず）により位置決めされ、複数のＤＵＴのそれぞれに、対応するプローブが接触する。
【００１５】
中間接続部材４０は、テスタ３０とプローブカード５０とを電気的に接続するための部材であり、ポゴフレーム４１と、ポゴブロック４２と、を有する。
【００１６】
ポゴフレーム４１は高強度で剛性が高く、熱膨張係数が小さい材料、例えばＮｉＦｅ合金で構成されている。ポゴフレーム４１は、例えば図３に示されるように、矩形状を有し、厚さ方向（Ｚ方向）に貫通する複数の長方形の挿嵌穴４３を有する。挿嵌穴４３内には、ポゴブロック４２が挿嵌される。ポゴフレーム４１の上面には、位置決め穴４４が設けられている。位置決め穴４４は、後述する挿抜機構１００の位置決めピン１１３と対応する位置に設けられ、位置決め穴４４には位置決めピン１１３が挿嵌される。図３では、位置決め穴４４は、ポゴフレーム４１の上面における、挿嵌穴４３が設けられている領域を挟んだ対角位置に設けられている。なお、図３は、図２の検査装置２０における中間接続部材４０のポゴフレーム４１を示す平面図である。
【００１７】
ポゴブロック４２は、ポゴフレーム４１に対して位置決めされ、テスタ３０におけるテスタマザーボード３１の端子と、プローブカード５０における基部５１の端子とを接続する。ポゴブロック４２の詳細については後述する。
【００１８】
テスタマザーボード３１とポゴフレーム４１との間にはシール部材７１が設けられており、テスタマザーボード３１と中間接続部材４０との間の空間が真空引されることにより、シール部材７１を介して中間接続部材４０がテスタマザーボード３１に吸着される。ポゴフレーム４１とプローブカード５０との間にはシール部材７２が設けられており、中間接続部材４０とプローブカード５０との間の空間が真空引きされることにより、シール部材７２を介してプローブカード５０が中間接続部材４０に吸着される。
【００１９】
ステージ６０の上面には、ウエハＷを囲むようにシール部材７３が設けられている。各段に設けられたアライナ（図示せず）によりステージ６０を上昇させて、プローブカード５０のプローブ５２をウエハＷに形成されたＤＵＴの電極に接触させる。また、シール部材７３をポゴフレーム４１に当接させて、シール部材７３で囲まれた空間を真空引きすることにより、ステージ６０が中間接続部材４０に吸着される。
【００２０】
次に、中間接続部材４０、特にポゴブロック４２について詳細に説明する。図４は、ポゴブロック４２の一例を示す斜視図である。図５は、図４のポゴブロック４２をポゴフレーム４１に挿嵌した状態を示す断面図である。
【００２１】
ポゴブロック４２は、ガイド部材４２１と、接続端子４２２と、フランジ４２３と、ピン係止部４２４と、を有する。
【００２２】
ガイド部材４２１は、全体形状が略直方体形状をなし、平面視において長辺と短辺を有する。長辺と平行な方向がＸ方向、短辺と平行な方向がＹ方向である。長辺の長さは、例えば５０ｍｍ以上であり、短辺の長さは、例えば２０ｍｍ以上である。ガイド部材４２１の上端には、その外縁に沿ってフレーム４２１ａが形成されており、フレーム４２１ａで囲まれた空間に複数の接続端子４２２が配置されている。また、ガイド部材４２１の下端には、その外縁に沿ってフレーム４２１ｂが形成されており、フレーム４２１ｂで囲まれた空間に複数の接続端子４２２が配置されている。フレーム４２１ａで囲まれた空間に配置された複数の接続端子４２２及びフレーム４２１ｂで囲まれた空間に配置された複数の接続端子４２２は、それぞれガイド部材４２１内に設けられた接続ピン（図示せず）の一端及び他端に接続されている。
【００２３】
テスタマザーボード３１と中間接続部材４０、中間接続部材４０とプローブカード５０の基部５１とが真空吸着されることにより、テスタマザーボード３１の端子、基部５１の端子と接続端子４２２とが接続される。このとき、テスタマザーボード３１はフレーム４２１ａに当接した状態、基部５１はフレーム４２１ｂに当接した状態とされる。
【００２４】
フランジ４２３は、樹脂製であり、ガイド部材４２１の一対の長辺の外側に突出するように設けられている。
【００２５】
ピン係止部４２４は、フランジ４２３の上面側に形成されている。ピン係止部４２４には、後述する挿抜機構１００の第１の係合ピン１２１，２２１及び第２の係合ピン１３１，２３１が係止される。ピン係止部４２４は、各フランジ４２３に３つずつ形成されている。
【００２６】
図６はポゴブロック４２をポゴフレーム４１の挿嵌穴４３に挿入する途中を示す図である。図６に示されるように、ポゴブロック４２は、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３の上方から挿入され、フランジ４２３がポゴフレーム４１の上面に係止されるようになっている。一方のフランジ４２３の下面には位置決めピン４２５が下方に突出するように設けられている。つまり、位置決めピン４２５は、ポゴブロック４２の接続ピン配置エリアとは別のエリアに設けられている。位置決めピン４２５は、ポゴフレーム４１の上面の位置決めピン４２５に対応する位置に設けられた位置決め穴４１１に挿嵌される。これにより、ポゴフレーム４１に対してポゴブロック４２が位置決めされる。
【００２７】
（挿抜機構）
次に、前述の中間接続部材４０を構成するポゴフレーム４１に対してポゴブロック４２を挿抜する挿抜機構の一例について説明する。図７は、挿抜機構の一例を示す平面図である。図８は、図７の挿抜機構の断面図であり、図７における一点鎖線VIII−VIIIにおいて切断した断面図である。図９は、図７の挿抜機構の動作を説明するための図である。
【００２８】
図７及び図８に示されるように、挿抜機構１００は、筐体１１０と、第１の係合部１２０と、第２の係合部１３０と、を有する。
【００２９】
筐体１１０は、第１の係合部１２０及び第２の係合部１３０を水平方向に直動可能に支持する。筐体１１０は、例えば下方に開口する略箱状を有し、ポゴフレーム４１の上面における挿嵌穴４３が設けられている領域を囲むことが可能な大きさを有する。筐体１１０は、側壁部１１１と、天井部１１２と、位置決めピン１１３と、を有する。なお、図７では、説明の便宜上、筐体１１０の天井部１１２の図示を省略している。
【００３０】
側壁部１１１は、第１の係合部１２０及び第２の係合部１３０を水平方向、例えば互いに平行な方向（図７及び図８のＸ方向）に直動可能に支持する。
【００３１】
天井部１１２は、後述の第１の係合ピン１２１及び第２の係合ピン１３１を覆うように、側壁部１１１の上端に設けられている。
【００３２】
位置決めピン１１３は、側壁部１１１の下端における、ポゴフレーム４１の位置決め穴４４と対応する位置に設けられており、筐体１１０をポゴフレーム４１上に設置する際に位置決め穴４４に挿嵌される。これにより、ポゴフレーム４１に対して挿抜機構１００（筐体１１０）が位置決めされる。
【００３３】
第１の係合部１２０は、ポゴブロック４２のピン係止部４２４に係合可能である。第１の係合部１２０は、第１の係合ピン１２１と、第１のスライド部材１２２と、第１の支持部材１２３と、を有する。
【００３４】
第１の係合ピン１２１は、第１のスライド部材１２２の下方へ延びて下端が第１の係合ピン１２１の移動方向に屈曲するＬ字形状を有する。第１の係合ピン１２１は、ポゴブロック４２のピン係止部４２４に係合可能であり、図９に示されるように、少なくともピン係止部４２４と係合する位置と係合しない位置との間で移動する。なお、図９においては、ピン係止部４２４と係合する位置を実線で示し、ピン係止部４２４と係合しない位置を二点鎖線で示している。第１の係合ピン１２１の下端は、筐体１１０の側壁部１１１の下端よりも上方に位置する。これにより、ポゴフレーム４１上に挿抜機構１００を設置したときに第１の係合ピン１２１がポゴブロック４２の上面に接触して接続端子４２２等が汚染されることを防止できる。第１の係合ピン１２１は、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３の数、言い換えると、ポゴフレーム４１に挿嵌されるポゴブロック４２の数に応じて複数設けられる。
【００３５】
第１のスライド部材１２２は、矩形板状を有し、筐体１１０に対して水平方向、例えば第１の係合ピン１２１の下端が屈曲した方向に直動可能に支持されている。第１のスライド部材１２２は、１又は複数の第１の係合ピン１２１を保持する。図８では、第１のスライド部材１２２に４つの第１の係合ピン１２１が保持されている場合を示す。
【００３６】
第１の支持部材１２３は、第１のスライド部材１２２の長辺と直交する方向を長辺とする矩形板状を有する。第１の支持部材１２３は、１又は複数の第１のスライド部材１２２を水平方向、例えば筐体１１０に対して第１のスライド部材１２２が移動する方向に直動可能に支持する。第１の支持部材１２３が複数の第１のスライド部材１２２を支持する場合、複数の第１のスライド部材１２２の各々は第１の支持部材１２３に対して独立して直動可能であることが好ましい。これにより、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３に挿嵌されたポゴブロック４２を列ごとに選択して取り外すことができる。例えば、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３に挿嵌された複数のポゴブロック４２のうちの１列分のポゴブロック４２を取り外す場合、全てのポゴブロック４２を取り外すことなく、１列分のポゴブロック４２のみを選択して取り外すことができる。
【００３７】
第２の係合部１３０は、ポゴブロック４２のピン係止部４２４に係合可能である。第２の係合部１３０は、第２の係合ピン１３１と、第２のスライド部材１３２と、第２の支持部材１３３と、を有する。
【００３８】
第２の係合ピン１３１は、第２のスライド部材１３２の下方へ延びて下端が第２の係合ピン１３１の移動方向に屈曲するＬ字形状を有する。第２の係合ピン１３１は、ポゴブロック４２のピン係止部４２４に係合可能であり、図９に示されるように、少なくともピン係止部４２４と係合する位置と係合しない位置との間で移動する。なお、図９においては、ピン係止部４２４と係合する位置を実線で示し、ピン係止部４２４と係合しない位置を二点鎖線で示している。第２の係合ピン１３１の下端は、筐体１１０の側壁部１１１の下端よりも上方に位置する。これにより、ポゴフレーム４１上に挿抜機構１００を設置したときに第２の係合ピン１３１がポゴブロック４２の上面に接触して接続端子４２２等が汚染されることを防止できる。第２の係合ピン１３１は、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３の数、言い換えると、ポゴフレーム４１に挿嵌されるポゴブロック４２の数に応じて複数設けられる。
【００３９】
第２のスライド部材１３２は、矩形板状を有し、筐体１１０に対して水平方向、例えば第２の係合ピン１３１の下端が屈曲した方向に直動可能に支持されている。第２のスライド部材１３２は、筐体１１０の側壁部１１１における第１のスライド部材１２２が設けられている側と対向する側に設けられている。第２のスライド部材１３２は、１又は複数の第２の係合ピン１３１を保持する。図８では、第２のスライド部材１３２に４つの第２の係合ピン１３１が保持されている場合を示す。
【００４０】
第２の支持部材１３３は、第２のスライド部材１３２の長辺と直交する方向を長辺とする矩形板状を有する。第２の支持部材１３３は、１又は複数の第２のスライド部材１３２を水平方向、例えば筐体１１０に対して第２のスライド部材１３２が移動する方向に直動可能に支持する。第２の支持部材１３３が複数の第２のスライド部材１３２を支持する場合、複数の第２のスライド部材１３２は第２の支持部材１３３に対して独立して直動可能であることが好ましい。これにより、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３に挿嵌されたポゴブロック４２を列ごとに選択して取り外すことができる。例えば、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３に挿嵌された複数のポゴブロック４２のうちの１列分のポゴブロック４２のみを取り外す場合、全てのポゴブロック４２を取り外すことなく、１列分のポゴブロック４２のみを選択して取り外すことができる。
【００４１】
以上に説明した挿抜機構１００を用いて、ポゴフレーム４１に対してポゴブロック４２を挿抜してポゴブロック４２を交換する方法について、図９及び図１０を参照して説明する。以下では、一例として、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３に挿嵌された全てのポゴブロック４２を交換する場合を説明する。図１０は、ポゴブロック４２の交換方法の一例を説明するための図である。
【００４２】
最初に、第１の係合ピン１２１及び第２の係合ピン１３１をピン係止部４２４に係合しない位置（図９の二点鎖線で示す位置）に移動させた挿抜機構１００を検査装置２０における中間接続部材４０のポゴフレーム４１上に設置する。このとき、挿抜機構１００の位置決めピン１１３がポゴフレーム４１の位置決め穴４４に挿嵌されるように挿抜機構１００をポゴフレーム４１上に設置する。これにより、挿抜機構１００の第１の係合部１２０及び第２の係合部１３０とポゴブロック４２のピン係止部４２４とが位置決めされる。また、第１の係合ピン１２１及び第２の係合ピン１３１の下端は、筐体１１０の側壁部１１１の下端よりも上方に位置する。そのため、ポゴフレーム４１上に挿抜機構１００を設置したときに第１の係合ピン１２１及び第２の係合ピン１３１がポゴブロック４２の上面に接触して接続端子４２２等が汚染されることを防止できる。
【００４３】
続いて、筐体１１０に対して少なくとも第１のスライド部材１２２及び第１の支持部材１２３のいずれかを移動させることにより、第１の係合ピン１２１をピン係止部４２４に係合する位置（図９の実線で示す位置）に移動させる。これにより、第１の係合ピン１２１がピン係止部４２４に係合する。また、筐体１１０に対して少なくとも第２のスライド部材１３２及び第２の支持部材１３３のいずれかを移動させることにより、第２の係合ピン１３１をピン係止部４２４に係合する位置（図９の実線で示す位置）に移動させる。これにより、第２の係合ピン１３１がピン係止部４２４に係合する。
【００４４】
続いて、挿抜機構１００を上方に移動させてポゴフレーム４１上から離間させる。このとき、第１の係合ピン１２１及び第２の係合ピン１３１がピン係止部４２４に係合しているので、ポゴブロック４２が挿抜機構１００によって保持されてポゴフレーム４１の挿嵌穴４３から取り外される。
【００４５】
続いて、ポゴブロック４２を保持した挿抜機構１００をポゴブロック保管トレイ３００上に設置する。ポゴブロック保管トレイ３００は、例えばポゴフレーム４１と同様の構成を有し、ポゴフレーム４１と同様に配列された挿嵌穴（図示せず）を有する。
【００４６】
続いて、筐体１１０に対して少なくとも第１のスライド部材１２２及び第１の支持部材１２３のいずれかを移動させることにより、第１の係合ピン１２１をピン係止部４２４に係合しない位置に移動させる。また、筐体１１０に対して少なくとも第２のスライド部材１３２及び第２の支持部材１３３のいずれかを移動させることにより、第２の係合ピン１３１をピン係止部４２４に係合しない位置に移動させる。これにより、ポゴブロック保管トレイ３００の挿嵌穴にポゴブロック４２が取り付けられる。
【００４７】
続いて、挿抜機構１００を上方に移動させてポゴブロック保管トレイ３００上から離間させる。このとき、第１の係合ピン１２１及び第２の係合ピン１３１がピン係止部４２４に係合していないので、ポゴブロック４２が挿抜機構１００によって保持されない。
【００４８】
以上により、ポゴフレーム４１からのポゴブロック４２の取り外しが完了する。
【００４９】
続いて、ポゴフレーム４１に新たに取り付けるポゴブロック４２が保管されたポゴブロック保管トレイ３００上に挿抜機構１００を設置する。
【００５０】
続いて、挿抜機構１００をポゴフレーム４１からポゴブロック４２を取り外すときと同様に動作させて、ポゴブロック保管トレイ３００からポゴブロック４２を取り外し、挿抜機構１００によりポゴブロック４２を保持する。
【００５１】
続いて、ポゴブロック４２を保持した挿抜機構１００をポゴブロック４２が取り外されたポゴフレーム４１上に設置する。
【００５２】
続いて、挿抜機構１００をポゴブロック保管トレイ３００にポゴブロック４２を取り付けるときと同様に動作させて、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３にポゴブロック４２を取り付ける。
【００５３】
以上により、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３に挿嵌された全てのポゴブロック４２が新たなポゴブロック４２に交換される。
【００５４】
なお、一部のポゴブロック４２を交換する場合には、第１の係合ピン１２１及び第２の係合ピン１３１をピン係止部４２４に係合させる際に、該ポゴブロック４２と対応する位置の第１のスライド部材１２２及び第２のスライド部材１３２を移動させればよい。
【００５５】
以上に説明したように、挿抜機構１００によれば、ピン係止部４２４と係合する位置と係合しない位置との間で移動可能な第１の係合部１２０及び第２の係合部１３０を有する。そして、第１の係合部１２０及び第２の係合部１３０がそれぞれピン係止部４２４に係合することでポゴブロック４２を保持する。これにより、ポゴブロックの脱着を、接続端子４２２を汚染することなく短時間で実行できる。
【００５６】
なお、上記の例では、ポゴブロック４２が第１の係合ピン１２１及び第２の係合ピン１３１と係合するピン係止部４２４を有する場合を説明したが、これに限定されない。例えば、図１１に示されるように、ポゴブロック４２は、ピン係止部４２４に代えて、ピン係合穴４２４ａを有していてもよい。
【００５７】
次に、前述の中間接続部材４０を構成するポゴフレーム４１に対してポゴブロック４２を挿抜する挿抜機構の別の例について説明する。図１２は、挿抜機構の別の例を示す平面図であり、複数列のうちの１列分の第１のスライド部材１２２及び第２のスライド部材１３２に相当する部分を示す。図１３は、図１２の挿抜機構の断面図であり、図１２における一点鎖線XIII−XIIIにおいて切断した断面図である。なお、図１２及び図１３においては、全ての第１の係合ピン２２１及び第２の係合ピン２３１がピン係止部４２４に係合しない位置にあるときの状態を示す。
【００５８】
図１２及び図１３に示される挿抜機構２００は、筐体２１０と、第１の係合部２２０と、第２の係合部２３０と、を有する。
【００５９】
筐体２１０は、第１の係合部２２０及び第２の係合部２３０を水平方向に直動可能に支持する。筐体２１０は、例えば下方に開口する略箱状を有し、ポゴフレーム４１の上面における挿嵌穴４３が設けられている領域を囲むことが可能な大きさを有する。筐体２１０は、側壁部２１１と、天井部２１２と、位置決めピン２１３と、を有する。
【００６０】
側壁部２１１は、第１の係合部２２０及び第２の係合部２３０を水平方向、例えば互いに平行な方向（図１２及び図１３のＸ方向）に直動可能に支持する。
【００６１】
天井部２１２は、後述の第１の係合ピン２２１及び第２の係合ピン２３１を覆うように、側壁部２１１の上端に設けられている。天井部２１２には、後述の第１の係合ピン２２１及び第２の係合ピン２３１をガイドするガイド穴２１２ａが形成されている。
【００６２】
位置決めピン２１３は、側壁部２１１の下端における、ポゴフレーム４１の位置決め穴４４と対応する位置に設けられており、筐体２１０をポゴフレーム４１上に設置する際に位置決め穴４４に挿嵌される。これにより、ポゴフレーム４１に対して挿抜機構２００（筐体２１０）が位置決めされる。
【００６３】
第１の係合部２２０は、ポゴブロック４２のピン係止部４２４に係合可能である。第１の係合部２２０は、第１の係合ピン２２１と、第１のスライド部材２２２と、第１の支持部材２２３と、を有する。
【００６４】
第１の係合ピン２２１は、筐体２１０の天井部２１２の上方からガイド穴２１２ａを通って第１のスライド部材２２２の下方へ延びて下端が第１の係合ピン２２１の移動方向に屈曲するＬ字形状を有する。第１の係合ピン２２１は、ポゴブロック４２のピン係止部４２４に係合可能であり、ガイド穴２１２ａにガイドされながら少なくともピン係止部４２４と係合する位置と係合しない位置との間で移動する。また、第１の係合ピン２２１がピン係止部４２４と係合する位置及び係合しない位置に配置されている場合、ロック機構（図示せず）により第１の係合ピン２２１が移動しないように固定可能であることが好ましい。第１の係合ピン２２１の下端は、筐体２１０の側壁部２１１の下端よりも上方に位置する。これにより、ポゴフレーム４１上に挿抜機構２００を設置したときに第１の係合ピン２２１がポゴブロック４２の上面に接触して接続端子４２２等が汚染されることを防止できる。
【００６５】
また、第１の係合ピン２２１は、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３の数、言い換えると、ポゴフレーム４１に挿嵌されるポゴブロック４２の数に応じて複数設けられる。第１の係合ピン２２１が複数設けられる場合、複数の第１の係合ピン２２１の各々はガイド穴２１２ａにガイドされながら独立して移動可能であることが好ましい。これにより、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３に挿嵌されたポゴブロック４２を１つずつ選択して取り外すことができる。例えば、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３に挿嵌された複数のポゴブロック４２のうちの１つのポゴブロック４２を取り外す場合、全てのポゴブロック４２を取り外すことなく、１つのポゴブロック４２のみを選択して取り外すことができる。
【００６６】
第１のスライド部材２２２は、矩形板状を有し、筐体２１０に対して水平方向、例えば第１の係合ピン２２１の下端が屈曲した方向に直動可能に支持されている。第１のスライド部材２２２は、同じ列に配置された複数の第１の係合ピン２２１に接触して同時に移動させる。
【００６７】
第１の支持部材２２３は、第１のスライド部材２２２の長辺と直交する方向を長辺とする矩形板状を有する。第１の支持部材２２３は、１又は複数の第１のスライド部材２２２を水平方向、例えば筐体２１０に対して第１のスライド部材２２２が移動する方向に直動可能に支持する。第１の支持部材２２３が複数の第１のスライド部材２２２を支持する場合、複数の第１のスライド部材２２２の各々は第１の支持部材２２３に対して独立して直動可能であることが好ましい。これにより、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３に挿嵌されたポゴブロック４２を列ごとに選択して取り外すことができる。例えば、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３に挿嵌された複数のポゴブロック４２のうちの１列分のポゴブロック４２を取り外す場合、全てのポゴブロック４２を取り外すことなく、１列分のポゴブロック４２のみを選択して取り外すことができる。
【００６８】
第２の係合部２３０は、ポゴブロック４２のピン係止部４２４に係合可能である。第２の係合部２３０は、第２の係合ピン２３１と、第２のスライド部材２３２と、第２の支持部材２３３と、を有する。
【００６９】
第２の係合ピン２３１は、筐体２１０の天井部２１２の上方からガイド穴２１２ａを通って第１のスライド部材２２２の下方へ延びて下端が第２の係合ピン２３１の移動方向に屈曲するＬ字形状を有する。第２の係合ピン２３１は、ポゴブロック４２のピン係止部４２４に係合可能であり、ガイド穴２１２ａにガイドされながら少なくともピン係止部４２４と係合する位置と係合しない位置との間で移動する。また、第２の係合ピン２３１がピン係止部４２４と係合する位置及び係合しない位置に配置されている場合、ロック機構（図示せず）により第２の係合ピン２３１が移動しないように固定可能であることが好ましい。第２の係合ピン２３１の下端は、筐体２１０の側壁部２１１の下端よりも上方に位置する。これにより、ポゴフレーム４１上に挿抜機構２００を設置したときに第２の係合ピン２３１がポゴブロック４２の上面に接触して接続端子４２２等が汚染されることを防止できる。
【００７０】
また、第２の係合ピン２３１は、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３の数、言い換えると、ポゴフレーム４１に挿嵌されるポゴブロック４２の数に応じて複数設けられる。第２の係合ピン２３１が複数設けられる場合、複数の第２の係合ピン２３１の各々はガイド穴２１２ａにガイドされながら独立して移動可能であることが好ましい。これにより、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３に挿嵌されたポゴブロック４２を１つずつ選択して取り外すことができる。例えば、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３に挿嵌された複数のポゴブロック４２のうちの１つのポゴブロック４２を取り外す場合、全てのポゴブロック４２を取り外すことなく、１つのポゴブロック４２のみを選択して取り外すことができる。
【００７１】
第２のスライド部材２３２は、矩形板状を有し、筐体２１０に対して水平方向、例えば第２の係合ピン２３１の下端が屈曲した方向に直動可能に支持されている。第２のスライド部材２３２は、同じ列に配置された複数の第２の係合ピン２３１に接触して同時に移動させる。
【００７２】
第２の支持部材２３３は、第２のスライド部材２３２の長辺と直交する方向を長辺とする矩形板状を有する。第２の支持部材２３３は、１又は複数の第２のスライド部材２３２を水平方向、例えば筐体２１０に対して第２のスライド部材２３２が移動する方向に直動可能に支持する。第２の支持部材２３３が複数の第２のスライド部材２３２を支持する場合、複数の第２のスライド部材２３２の各々は第２の支持部材２３３に対して独立して直動可能であることが好ましい。これにより、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３に挿嵌されたポゴブロック４２を列ごとに選択して取り外すことができる。例えば、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３に挿嵌された複数のポゴブロック４２のうちの１列分のポゴブロック４２を取り外す場合、全てのポゴブロック４２を取り外すことなく、１列分のポゴブロック４２のみを選択して取り外すことができる。
【００７３】
以上に説明したように、挿抜機構２００によれば、複数の第１の係合ピン２２１及び複数の第２の係合ピン２３１を列ごとに直動可能であると共に１つずつ直動可能である。これにより、ポゴフレーム４１の挿嵌穴４３に挿嵌されたポゴブロック４２を列ごと又は１つずつ選択して取り外すことができる。
【００７４】
なお、上記の実施形態において、テスタマザーボード３１は第１部材の一例であり、テスタマザーボード３１の端子は第１端子の一例である。また、プローブカード５０は第２部材の一例であり、基部５１の端子は第２端子の一例である。また、ポゴフレーム４１はフレーム材の一例であり、ポゴブロック４２はブロック部材の一例である。また、ピン係止部４２４及びピン係合穴４２４ａはいずれも第１の被係合部及び第２の被係合部の一例である。
【００７５】
今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその趣旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
【００７６】
上記の実施形態では、複数の検査室１１を有する検査システム１０内の検査装置２０を例に挙げて説明したが、これに限定されず、単体の検査装置であってもよい。
【符号の説明】
【００７７】
３０    テスタ
３１    テスタマザーボード
４０    中間接続部材
４１    ポゴフレーム
４２    ポゴブロック
４２２  接続端子
４２４  ピン係止部
５０    プローブカード
５１    基部
１００，２００  挿抜機構
１１０，２１０  筐体
１２０，２２０  第１の係合部
１２１，２２１  第１の係合ピン
１３０，２３０  第２の係合部
１３１，２３１  第２の係合ピン
【図１】
2020087943.tif 000003
【図２】
2020087943.tif 000004
【図３】
2020087943.tif 000005
【図４】
2020087943.tif 000006
【図５】
2020087943.tif 000007
【図６】
2020087943.tif 000008
【図７】
2020087943.tif 000009
【図８】
2020087943.tif 000010
【図９】
2020087943.tif 000011
【図１０】
2020087943.tif 000012
【図１１】
2020087943.tif 000013
【図１２】
2020087943.tif 000014
【図１３】
2020087943.tif 000015