(57)【要約】【課題】テーブル保持面とマウント装着面との間隔を測定する治具において、雌ねじに研削屑が固着していても治具のマウントへの装着を可能にする。【解決手段】テーブル３０の保持面と、被加工物を研削する砥石７４０を環状に配設したホイール７４を装着するマウント７３の装着面との間隔を砥石７４０の軌跡に沿って測定する治具９であり、マウント７３は、装着面に雌ねじ７３５が形成され、測定治具９は、雌ねじ７３５に螺合させる雄ねじ９００を立設させる基台９０と、基台９０からマウント７３の径方向に延在するアーム９１と、アーム９１に装着し砥石７４０の軌跡に対応する保持面の変位を測定する測定子９２２を有するゲージ９２と、を備え、雄ねじ９００は、雄ねじ９００の立設方向にねじ山９００ａを横断する溝９００ｂを備え、雌ねじ７３５に螺合させる際、ねじ山９００ａと溝９００ｂとの角で雌ねじ７３５に付着した付着物を剥ぎ取りマウント７３に装着する測定治具９。【選択図】図２
2020124753.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルの保持面と、該保持面に保持された被加工物を研削する研削砥石を環状に配設した研削ホイールを装着するホイールマウントの装着面と、の間隔を該研削砥石の軌跡に沿って測定する測定治具であって、
該ホイールマウントは、該装着面側に雌ねじが形成されていて、
該測定治具は、該雌ねじに螺合させる雄ねじを上端面から立設させる基台と、該基台から該ホイールマウントの径方向に延在するアームと、該アームに装着し該研削砥石の軌跡に対応する該保持面の変位を測定する測定子を有するゲージと、を備え、
該雄ねじには、該雄ねじの立設方向にねじ山を横断するように形成された溝を備え、
該雄ねじを該雌ねじに螺合させる際に、該ねじ山と該溝との角で、該雌ねじに付着した付着物を剥ぎ取り該ホイールマウントに装着する測定治具。
【請求項２】
前記雄ねじを囲繞して前記基台の上端面に形成された環状凹部を備え、
該雄ねじを前記雌ねじに螺合させる際に、該雌ねじから剥ぎ取った付着物を該環状凹部で回収することを特徴とする請求項１に記載の測定治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャックテーブルの保持面とホイールマウントの装着面との間隔を測定する測定治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハを研削し所望の厚みまで薄化する研削装置は、研削ホイールの研削砥石の研削面（下端面）とチャックテーブルのウェーハを保持する保持面とを平行にしてウェーハを均一な厚みに研削している。
そのため、特許文献１に開示されているように、研削手段のスピンドルの軸心とチャックテーブルの軸心との傾き関係、換言すれば、チャックテーブルの保持面と研削ホイールが装着されるホイールマウントの装着面との間隔を、測定治具を用いて測定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１４１７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
該スピンドルの下端には研削ホイールを装着するホイールマウントが連結され、ホイールマウントの中心に雌ねじが形成されている。そして、該雌ねじに測定治具の雄ねじを螺合させて測定治具をホイールマウントに固定し、さらに、測定治具が備えるゲージの測定子が研削砥石の直下になるように位置づける。この状態でスピンドルを回転させることで、測定子がチャックテーブルの保持面上を走査して、研削砥石の軌跡に沿ってホイールマウントの装着面とチャックテーブルの保持面との間隔を測定し、該測定結果からチャックテーブルの保持面に対するスピンドルの軸心の傾きを測定している。そして、研削手段のスピンドルの軸心とチャックテーブルの軸心との傾き関係を適切な状態へと変更する。
【０００５】
研削加工では、研削水をウェーハに供給しながら研削しており、研削加工が実施される加工室内には研削屑を含んだ研削水の噴霧が舞っている。その研削屑を含んだ噴霧がホイールマウントの下面に付着し、研削水が乾燥するとホイールマウントの中心の雌ねじに研削屑が固着される。そのため、測定治具をホイールマウントに螺合できなくなるという問題がある。
また、研削屑が雌ねじに固着していたら、作業者が雌ねじを清掃していた。そして、雌ねじを清掃する際に、雌ねじから除去した研削屑がチャックテーブルの保持面に落下して保持面を汚すという問題がある。
【０００６】
よって、チャックテーブルの保持面とホイールマウントの装着面との間隔を測定する測定治具においては、雌ねじに研削屑が固着していても測定治具のホイールマウントへの装着を可能にするという課題がある。また、雌ねじに固着した研削屑を除去する際に、研削屑でチャックテーブルの保持面を汚さないようにするという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルの保持面と、該保持面に保持された被加工物を研削する研削砥石を環状に配設した研削ホイールを装着するホイールマウントの装着面と、の間隔を該研削砥石の軌跡に沿って測定する測定治具であって、該ホイールマウントは、該装着面側に雌ねじが形成されていて、該測定治具は、該雌ねじに螺合させる雄ねじを上端面から立設させる基台と、該基台から該ホイールマウントの径方向に延在するアームと、該アームに装着し該研削砥石の軌跡に対応する該保持面の変位を測定する測定子を有するゲージと、を備え、該雄ねじには、該雄ねじの立設方向にねじ山を横断するように形成された溝を備え、該雄ねじを該雌ねじに螺合させる際に、該ねじ山と該溝との角で、該雌ねじに付着した付着物を剥ぎ取り該ホイールマウントに装着する測定治具である。
【０００８】
本発明に係る測定治具は、前記雄ねじを囲繞して前記基台の上端面に形成された環状凹部を備え、該雄ねじを前記雌ねじに螺合させる際に、該雌ねじから剥ぎ取った付着物を該環状凹部で回収すると好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
被加工物を保持するチャックテーブルの保持面と、保持面に保持された被加工物を研削する研削砥石を環状に配設した研削ホイールを装着するホイールマウントの装着面と、の間隔を研削砥石の軌跡に沿って測定する本発明に係る測定治具は、ホイールマウントは、ホイールマウントの装着面側に雌ねじが形成されていて、測定治具は、雌ねじに螺合させる雄ねじを上端面から立設させる基台と、基台からホイールマウントの径方向に延在するアームと、アームに装着し研削砥石の軌跡に対応する保持面の変位を測定する測定子を有するゲージと、を備え、雄ねじには、雄ねじの立設方向にねじ山を横断するように形成された溝を備えているため、雌ねじに研削屑が付着していても、雄ねじを雌ねじに螺合させる際に、ねじ山と溝との角で、雌ねじに付着した付着物を剥ぎ取ることで、測定治具のホイールマウントへの装着を可能にする。即ち、別途の雌ねじの清掃作業が不要となる。
【００１０】
また、本発明に係る測定治具は、雄ねじを囲繞して基台の上端面に形成された環状凹部を備えることで、雄ねじを雌ねじに螺合させる際に、雌ねじから剥ぎ取った付着物を環状凹部で回収することができ、研削屑等の付着物でチャックテーブルの保持面を汚さないようにすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】研削装置の一例を示す斜視図である。
【図２】ホイールマウントと研削砥石と測定治具との一例を示す斜視図である。
【図３】ホイールマウントに測定治具を取り付けた状態の一例を示す断面図である。
【図４】ホイールマウントに測定治具を取り付けた状態の別例を示す断面図である。
【図５】ホイールマウントに取り付けた測定治具でチャックテーブルの保持面とホイールマウントの装着面との間隔を測定している状態を説明する斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に示す本発明に係る研削装置１は、チャックテーブル３０上に保持された被加工物Ｗを研削手段７によって研削する装置である。研削装置１のベース１０上の前方（−Ｙ方向側）は、チャックテーブル３０に対して被加工物Ｗの着脱が行われる領域（着脱領域）であり、ベース１０上の後方（＋Ｙ方向側）は、研削手段７によってチャックテーブル３０上に保持された被加工物Ｗの研削が行われる領域（研削領域）である。
【００１３】
被加工物Ｗは、例えば、シリコン母材等からなる円形の半導体ウェーハであり、図１において下方を向いている被加工物Ｗの表面Ｗａは、複数のデバイスが形成されており、図示しない保護テープが貼着されて保護されている。被加工物Ｗの裏面Ｗｂは、研削加工が施される被加工面となる。なお、被加工物Ｗはシリコン以外にガリウムヒ素、サファイア、窒化ガリウム、セラミックス、樹脂又はシリコンカーバイド等で構成されていてもよいし、パッケージ基板等であってもよい。
【００１４】
被加工物Ｗを保持するチャックテーブル３０は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなり被加工物Ｗを吸着する吸着部３００と、吸着部３００を支持する枠体３０１とを備える。吸着部３００は図示しない吸引源に連通し、吸着部３００の露出面である保持面３００ａ上で被加工物Ｗを吸引保持する。保持面３００ａは、チャックテーブル３０の回転中心を頂点とする極めて緩やか傾斜を備える円錐面に形成されている。
【００１５】
チャックテーブル３０は、カバー３９によって囲繞されていると共に、その下方に配設されたモータなどからなる回転手段３２によりＺ軸方向の軸心周りに回転可能である。また、チャックテーブル３０は、カバー３９及びカバー３９に連結された蛇腹カバー３９ａの下方に配設された図示しない移動手段によってＹ軸方向に往復移動可能となっている。さらに、チャックテーブル３０の下方には、傾き調節機構３１が連結されており、傾き調節機構３１は、チャックテーブル３０の保持面３００ａの研削砥石７４０の研削面（下面）に対する傾きを調節することができる。
【００１６】
研削領域には、コラム１１が立設されており、コラム１１の−Ｙ方向側の前面には研削手段７をチャックテーブル３０に対して離間又は接近するＺ軸方向（鉛直方向）に研削送りする研削送り手段５が配設されている。研削送り手段５は、鉛直方向の軸心を有するボールネジ５０と、ボールネジ５０と平行に配設された一対のガイドレール５１と、ボールネジ５０の上端に連結しボールネジ５０を回動させるモータ５２と、内部のナットがボールネジ５０に螺合し側部がガイドレール５１に摺接する昇降板５３とを備えており、モータ５２がボールネジ５０を回動させると、これに伴い昇降板５３がガイドレール５１にガイドされてＺ軸方向に往復移動し、昇降板５３に固定された研削手段７がＺ軸方向に研削送りされる。
【００１７】
チャックテーブル３０に保持された被加工物Ｗを研削する研削手段７は、軸方向がＺ軸方向であるスピンドル７０と、スピンドル７０を回転可能に支持するハウジング７１と、スピンドル７０を回転駆動するモータ７２と、スピンドル７０の下端に接続された円環状のホイールマウント７３と、ホイールマウント７３の下面である装着面７３ａ（図２参照）に着脱可能に装着された研削ホイール７４と、ハウジング７１を支持し研削送り手段５の昇降板５３にその側面が固定されたホルダ７５とを備える。
【００１８】
図２に示すように、ホイールマウント７３の外周側の領域には、周方向に一定の間隔をおいて複数（例えば６０度間隔で６つ）ボルト挿通穴７３０が厚み方向（Ｚ軸方向）に向かって貫通形成されている。例えば、ホイールマウント７３の装着面７３ａは、中央領域に形成され研削ホイール７４の円形の開口７４２に嵌合する凸部７３１の下面となる中央装着面７３１ａと、中央装着面７３１ａを囲繞し中央装着面７３１ａより一段高い環状装着面７３０ｂとから構成されている。中央装着面７３１ａ及び環状装着面７３０ｂは、それぞれ平坦面となっている。なお、ホイールマウント７３の装着面７３ａは、段差の無い面一の平坦面であってもよい。
【００１９】
ホイールマウント７３は、装着面７３ａ側の中心、即ち、本実施形態においては中央装着面７３１ａの中心に雌ねじ７３５が形成されている。
なお、雌ねじ７３５は、装着面７３ａの中心に形成されてなくてもよい。また、雌ねじ７３５は、複数形成されており、研削砥石７４０の直径に合わせて測定治具９を装着する雌ねじ７３５を変えて、測定治具９のゲージ９２の径方向位置を変えられるようにしてもよい。
【００２０】
研削ホイール７４は、ホイール基台７４１と、ホイール基台７４１の略平坦な環状底面に環状に配置された略直方体形状の複数の研削砥石７４０とを備える。研削砥石７４０は、適宜のバインダーでダイヤモンド砥粒等が結合されて直方体状に成形されており、主にその下面が研削面となる。ホイール基台７４１の上面には、周方向に一定の間隔をおいて複数（例えば６０度間隔で６つ）の螺合穴７４１ａ（図３参照）が厚み方向に向かって形成されている。各螺合穴７４１ａは、ホイールマウント７３に設けられた各ボルト挿通穴７３０にそれぞれ対応する。
スピンドル７０の軸心線上には研削ホイール７４の回転中心が位置しており、スピンドル７０が回転することで、研削ホイール７４は研削ホイール７４の中心を軸にしてＺ軸方向の軸心周りに回転する。
【００２１】
スピンドル７０の内部には、図示しない研削水供給源に連通し研削水の通り道となる流路７０ａ（図３参照）が、スピンドル７０の軸方向（Ｚ軸方向）に貫通して設けられており、流路７０ａは、さらにホイールマウント７３を通り分岐しつつ、ホイール基台７４１の内側面において研削砥石７４０に向かって研削水を噴出できるように開口する複数の研削水噴出口７４１ｂと連通する。なお、研削水は、研削ホイール７４の外側に位置する研削水ノズルから研削ホイール７４に向かって研削水を噴射させて供給するものであってもよい。
【００２２】
図２に示す研削ホイール７４の開口７４２をホイールマウント７３の凸部７３１に挿嵌し、ホイールマウント７３に形成された複数のボルト挿通穴７３０とホイール基台７４１に設けられた複数の螺合穴７４１ａとを重なるように位置合わせする。そして、ホイールマウント７３に形成された複数のボルト挿通穴７３０から図３に示す締結ボルト７９０を挿入しホイール基台７４１に設けられた複数の螺合穴７４１ａに螺合することにより、ホイールマウント７３の装着面７３ａに研削ホイール７４を取り付けることができる。また、流路７０ａと複数の研削水噴出口７４１ｂとが連通した状態になる。
【００２３】
図２に示す本発明に係る測定治具９は、図３に示すチャックテーブル３０の保持面３００ａと研削ホイール７４を装着するホイールマウント７３の装着面７３ａ（本実施形態においては、装着面７３ａ中の環状装着面７３０ｂ）との間隔を研削砥石７４０の円弧状の軌跡に沿って測定することができる治具である。
【００２４】
図２、３に示すように、測定治具９は、ホイールマウント７３の雌ねじ７３５に螺合させる雄ねじ９００を上端面から立設させる基台９０と、基台９０からホイールマウント７３の径方向に延在するアーム９１と、アーム９１に装着し研削砥石７４０の回転軌跡に対応するチャックテーブル３０の保持面３００ａの変位を測定する測定子９２２を有するゲージ９２と、を備えている。
【００２５】
図２に示すように、基台９０は、本実施形態においては円柱状に形成されているが、角柱状に形成されていてもよい。基台９０の上端面中央には、雄ねじ９００が立設されている。そして、雄ねじ９００には、雄ねじ９００の外周面に形成されたねじ山９００ａを雄ねじ９００の立設方向（Ｚ軸方向）に例えば平行に横断するように例えば３本の溝９００ｂが形成されている。本実施形態において、溝９００ｂは横断面形状が略半円凹状になっているが、これに限定されるものではなく、横断面形状が凹状となっていてもよい。また、溝９００ｂの本数も３本に限定されるものではない。なお、溝９００ｂは雄ねじ９００の立設方向から少しだけ傾くようにねじ山９００ａを横断していてもよい。
本実施形態においては、基台９０の上端面の外周側には所定の高さの環状壁９０２が立設されており、環状壁９０２の内側の領域は雄ねじ９００を囲繞する環状凹部９０３となっている。
【００２６】
基台９０からホイールマウント７３の径方向に延在するアーム９１は、例えば、装着面７３ａと略平行に延在しており、その先端側に例えば図示しない挿入孔が形成されており、後述するゲージ９２の接続部９２１が該挿入孔に挿入されてから図示しない固定ネジ等によって固定されることで、ゲージ９２を着脱可能に装着することができる。
【００２７】
図２、３に示すゲージ９２は、例えばてこ式ダイヤルゲージであり、ゲージ本体部９２０と、ゲージ本体部９２０に一端が固定されもう一端がアーム９１に取り付けられる棒状の接続部９２１と、ゲージ本体部９２０から下方に延出され先端に測定子９２２を備えるスピンドル９２３とを備えている。ゲージ９２は、てこの一部を形成するスピンドル９２３に接続された測定子９２２の保持面３００ａの高さ位置の変化（変位）による微小な上下運動を、機械的に回転運動として変換してゲージ本体部９２０内部の図示しない歯車に伝え、この歯車が測定子９２２の上限運動量を拡大して円形の目盛り板９２０ａに指針によって表示する。
【００２８】
例えば、作業者は、目盛り板９２０ａの表示を基に、測定子９２２の高さ方向における変位を測定して、その測定値から保持面３００ａとホイールマウント７３の装着面７３ａ（本実施形態においては、装着面７３ａ中の環状装着面７３０ｂ）との間隔を研削砥石７４０の軌跡に沿って測定できる。なお、ゲージ９２から測定情報がＣＰＵ等からなる図示しない算出手段に送信されるものとして、該算出手段が送られてくる測定情報を基に保持面３００ａとホイールマウント７３の装着面７３ａ中の環状装着面７３０ｂとの間隔を研削砥石７４０の回転軌跡に沿って測定してもよい。また測定された該間隔についてのデータは、適宜ディスプレイ（不図示）等を介して表示されたり、図示しない算出手段のメモリに記憶されたりしてもよい。
【００２９】
例えば、アーム９１は径方向に伸縮可能であり、それによってゲージ９２の径方向位置を変えることができる。又は、アーム９１の先端側に形成され接続部９２１が挿入される図示しない挿入孔を長穴として、アーム９１における接続部９２１の径方向おける位置（ゲージ９２の径方向位置）を可変としてもよい。
【００３０】
なお、測定治具９は、図２、３に示すゲージ９２に代えて、図４に示すゲージ９６を備えるものであってもよい。
ゲージ９６は、アーム９１の先端側に図示しない固定ネジ等によって着脱可能に装着されている。ゲージ９６は、例えば、Ｚ軸方向（鉛直方向）に測定子９６０が直動する直動式のゲージであり、測定子９６０を下端に備えた直動式のシャフト９６１と、シャフト９６１の側面を囲繞して支持するケーシング９６３とを備えている。
【００３１】
シャフト９６１は、例えば、外形が円柱状に形成されており、その下端側に測定子９６０が取り外し可能に連結されている。例えば、測定子９６０は、その下端が、ダイヤモンド等からなり丸みを帯びた球面状に形成されている。
ケーシング９６３は、例えばベアリング機構を内部に備えており、シャフト９６１を上下動可能に支持している。
【００３２】
例えば、シャフト９６１の上端側にはシャフト９６１のＺ軸方向における変位を目盛りで示す図示しないスケール部が形成されており、該スケール部の目盛りはケーシング９６３に装着されスケール部の目盛りの反射光を読み取る光学式の読み取り部９６２によって読み取られる。そして、読み取り部９６２は、読み取ったシャフト９６１の変位に基づく信号をＣＰＵ等からなる算出手段９６４に無線又は有線の通信経路９６５を介して送信する。算出手段９６４は、送られてくる信号を基に保持面３００ａとホイールマウント７３の装着面７３ａ中の環状装着面７３０ｂとの間隔を研削砥石７４０の軌跡に沿って測定する。また測定された該間隔についてのデータは、適宜ディスプレイ（不図示）等を介して表示されたり、算出手段９６４のメモリに記憶されたりしてもよい。
【００３３】
以下に、上記図２，３に示す測定治具９を用いて、チャックテーブル３０の保持面３００ａとホイールマウント７３の装着面７３ａ（本実施形態においては、装着面７３ａ中の環状装着面７３０ｂ）との間隔を研削砥石７４０の回転軌跡に沿って測定する場合の、測定治具９の動作について説明する。
【００３４】
例えば、まず、図１に示す被加工物Ｗを保持していないチャックテーブル３０が、研削手段７の下まで＋Ｙ方向へ移動し、研削手段７の研削砥石７４０の回転中心がチャックテーブル３０の回転中心に対して所定距離だけ水平方向にずれ、研削砥石７４０の回転軌跡がチャックテーブル３０の回転中心を通るようにチャックテーブル３０が位置付けられる。
【００３５】
次に、作業者が、ホイールマウント７３の図２に示す雌ねじ７３５に測定治具９の雄ねじ９００を螺合させて、測定治具９をホイールマウント７３に取り付ける。ここで、雌ねじ７３５内に以前に行った研削加工由来の研削屑等の付着物が付着していても、雄ねじ９００のねじ山９００ａと３本の溝９００ｂとの角が鉋のような役割を果して、雌ねじ７３５に付着した付着物を剥ぎ取っていくため、測定治具９をホイールマウント７３に取り付けることが可能となる。即ち、作業者による別途の雌ねじ７３５の清掃作業が不要となる。
【００３６】
また、本実施形態の測定治具９は、雄ねじ９００を囲繞して基台９０の上端面に形成された環状凹部９０３を備えることで、上記のように雄ねじ９００を雌ねじ７３５に螺合させる際に、雌ねじ７３５から剥ぎ取った付着物が環状凹部９０３に落下して付着物を環状凹部９０３で回収することができ、研削屑等の付着物でチャックテーブル３０の保持面３００ａを汚さないようにすることが可能となる。
なお、測定治具９が環状凹部９０３を備えない場合には、測定治具９のホイールマウント７３への装着は、チャックテーブル３０が研削手段７の下方に位置していない状態で行うと好ましい。
【００３７】
例えば、雄ねじ９００を雌ねじ７３５に螺合させていき、測定治具９の環状壁９０２の上端面を中央装着面７３１ａに当接させることで、環状凹部９０３を密閉して回収した付着物が環状凹部９０３外に飛び散らないようにする。
次に、アーム９１を径方向に伸縮させる、又は、アーム９１における接続部９２１の径方向おける位置を変えることで、図３に示すように、研削ホイール７４の径方向おける研削砥石７４０の刃幅の略中点位置の直下に測定子９２２の先端を位置付けた状態にする。これによって、研削手段７のスピンドル７０が回転駆動されることで測定子９２２は研削砥石７４０の回転軌跡と同様の回転軌跡下を移動することができる。
【００３８】
次いで、図１に示す研削送り手段５により例えば研削加工時と同じ条件でホイールマウント７３がチャックテーブル３０に接近されると、測定子９２２はチャックテーブル３０の保持面３００ａに接触する。この状態で、スピンドル７０を回転駆動させてホイールマウント７３を回転させると、図５に示すように測定子９２２は研削加工時の研削砥石７４０の軌跡に沿って円弧状に保持面３００ａ上を移動する。このとき、ゲージ９２により保持面３００ａと環状装着面７３０ｂ（図３参照）との間隔が測定される。なお、図５においては、振り回し測定治具９の構成を簡略化して示しており、また、ホイールマウント７３に取り付けられている研削ホイール７４を省略して示している。
【００３９】
そして、測定されたチャックテーブル３０の保持面３００ａとホイールマウント７３の環状装着面７３０ｂとの間隔に基づき、保持面３００ａと研削砥石７４０の研削面（下面）との平行度が高くなるように調節される。これは、被加工物Ｗを均一な厚みに仕上げるために研削加工開始前に予め行うものである。即ち、研削砥石７４０の研削面はホイールマウント７３の環状装着面７３０ｂと平行であるため、環状装着面７３０ｂと保持面３００ａとの距離が一定になるように調節することで、保持面３００ａと研削砥石７４０の研削面との距離を一定にすることができる。
【００４０】
保持面３００ａと環状装着面７３０ｂとの間隔が一定であった場合は、保持面３００ａと研削砥石７４０の研削面とは平行であると判断される。一方、保持面３００ａと環状装着面７３０ｂとの間隔が変化していた場合は、保持面３００ａと該研削面とは平行でないと判断される。このとき、図５に示す傾き調節機構３１によって、チャックテーブル３０の傾きが保持面３００ａと環状装着面７３０ｂとの間隔が一定になるように調節される。なお、チャックテーブル３０側ではなく、研削手段７のスピンドル７０の傾きが調節されるものとしてもよい。
【００４１】
その後、測定治具９がホイールマウント７３から取り外されて、研削手段７が被加工物Ｗを研削できる状態になる。雌ねじ７３５内から削り取られた付着物は、環状凹部９０３内に収容されているので、チャックテーブル３０上に落下することはない。また、チャックテーブル３０が、−Ｙ方向へ送られ、着脱領域において被加工物Ｗが着脱可能な状態になる。
【００４２】
次に、チャックテーブル３０で被加工物Ｗを吸引保持して、図１に示す研削手段７で被加工物Ｗの裏面Ｗｂを研削する場合について説明する。保持面３００ａによって被加工物Ｗが裏面Ｗｂが上側を向いた状態で吸引保持される。被加工物Ｗの中心は、チャックテーブル３０の回転中心と略合致した状態になる。次いで、被加工物Ｗを保持したチャックテーブル３０が、研削手段７の下まで＋Ｙ方向へ移動し、研削手段７の研削砥石７４０の回転中心が被加工物Ｗの回転中心に対して所定距離だけ水平方向にずれ、研削砥石７４０の回転軌跡が被加工物Ｗの回転中心を通るようにチャックテーブル３０が位置付けられる。
【００４３】
研削手段７が研削送り手段５により−Ｚ方向へと送られ、スピンドル７０の回転に伴って回転する研削砥石７４０が被加工物Ｗの裏面Ｗｂに当接することで研削が行われる。研削中は、チャックテーブル３０が回転するのに伴って、保持面３００ａ上に保持された被加工物Ｗも回転するので、研削砥石７４０が被加工物Ｗの裏面Ｗｂの全面の研削加工を行う。また、研削水が研削砥石７４０と被加工物Ｗとの接触部位に対して供給され、接触部位が冷却・洗浄される。研削装置１は、チャックテーブル３０の保持面３００ａと研削砥石７４０の研削面との距離が一定になるように既に調節されているため、均一な所望の厚みに被加工物Ｗを研削することができる。
【００４４】
なお、本発明に係る測定治具９は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている研削装置１の構成等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。
【符号の説明】
【００４５】
Ｗ：被加工物  Ｗｂ：被加工物の裏面  Ｗａ：被加工物の表面
１：研削装置  １０：ベース  １１：コラム
３０：チャックテーブル  ３００：吸着部  ３００ａ：保持面  ３０１：枠体
３９：カバー  ３９ａ：蛇腹カバー  ３２：回転手段  ３１：傾き調節機構
５：研削送り手段  ５０：ボールネジ  ５１：ガイドレール  ５２：モータ  ５３：昇降板
７：研削手段  ７０：スピンドル  ７１：ハウジング  ７２：モータ  ７０ａ：流路
７３：ホイールマウント  ７３０：ボルト挿通穴  ７３ａ：装着面  ７３１：凸部  ７３１ａ：中央装着面  ７３０ｂ：環状装着面  ７３５：雌ねじ
７４：研削ホイール  ７４０：研削砥石  ７４２：開口
７４１：ホイール基台  ７４１ａ：螺合穴  ７４１ｂ：研削水噴出口
７９０：締結ボルト
９：測定治具
９０：基台  ９００：雄ねじ  ９００ａ：ねじ山  ９００ｂ：溝
９０２：環状壁  ９０３：環状凹部
９１：アーム
９２：ゲージ  ９２０：ゲージ本体部  ９２０ａ：目盛り板  ９２１：接続部  ９２２：測定子  ９２３：スピンドル
９６：ゲージ  ９６０：測定子  ９６１：シャフト  ９６２：読み取り部  ９６３：ケーシング  ９６４：算出手段  ９６５：通信経路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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