(57)【要約】【課題】線状のワークの切断を妨げることなくワークを作業台に確実に固定することができるワークの固定用治具を提供する。【解決手段】ワーク収容溝５６及びクランプ部材収容溝５８を有するベース部材５０と、クランプ部材収容溝５８に抜け止めされて収容されるとともにガタを有して嵌合されて第２方向に沿って移動可能なクランプ部材５２と、クランプ部材５２をワーク収容溝５６に向けて押し込む皿ネジ５４とを備える。クランプ部材５２は第１移動部材６２と第２移動部材６４とを有し、第１移動部材６２の第２移動部材６４側の端面は、第２移動部材６４に向かって底面５８Ｃ側とは反対側を向いた第１傾斜面６２Ｂを有する。第２移動部材６４の第１移動部材６２側の端面は、第１移動部材６２に向かって底面５８Ｃ側を向いた第２傾斜面６４Ｂを有する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に沿って形成されたワーク収容溝と、前記ワーク収容溝に連通し且つ前記第１方向に直交する第２方向に沿って形成されたクランプ部材収容溝と、を有するベース部材と、
前記クランプ部材収容溝に抜け止めされて収容されるとともにガタを有して嵌合されて前記第２方向に沿って移動可能なクランプ部材と、
前記ベース部材に取り付けられて前記クランプ部材を前記ワーク収容溝に向けて押し込む駆動部材と、
を備え、
前記クランプ部材は、前記駆動部材側に配置された第１移動部材と、前記ワーク収容溝側に配置された第２移動部材とから構成され、
前記第１移動部材の前記第２移動部材側の端面は、前記第２移動部材に向かって前記クランプ部材収容溝の底面側とは反対側を向いた第１傾斜面を有し、
前記第２移動部材の前記第１移動部材側の端面は、前記第１移動部材に向かって前記クランプ部材収容溝の底面側を向いた第２傾斜面を有し、
前記第２移動部材の前記ワーク収容溝側の端面は、前記ワーク収容溝に収容されたワークに当接する当接面を有する、
ワークの固定用治具。
【請求項２】
前記第２傾斜面は、前記第１方向からみたときに前記第１傾斜面よりも急峻な傾斜面に形成される、
請求項１に記載のワークの固定用治具。
【請求項３】
前記第１移動部材の前記駆動部材側の端面は、前記駆動部材に向かって前記クランプ部材収容溝の底面側とは反対側を向いた第３傾斜面を有し、
前記駆動部材は、前記ベース部材に螺合可能に取り付けられた皿ネジであって、頭部の傾斜した座面が、前記第３傾斜面に接触される、
請求項１又は２に記載のワークの固定用治具。
【請求項４】
前記クランプ部材収容溝がアリ溝である、
請求項１から３のいずれか１項に記載のワークの固定用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの固定用治具に係り、特にファイバーケーブル等の線状のワークを切断装置の作業台に固定するためのワークの固定用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
ファイバーケーブルは、主に基板と基板との間で信号を伝達するケーブルとして使用される。また、ファイバーケーブルは、その端部を基板のコネクタに挿入して使用するものなので、端部を高精度に切断加工する必要がある。
【０００３】
特許文献１には、ファイバーケーブル切断装置の一例が開示されている。この切断装置は、ファイバーケーブルを送り出す搬送手段と、ファイバーケーブルを切断する切断刃と、を備えており、搬送手段によってファイバーケーブルを送りつつ、切断刃によってファイバーケーブルの端部を切断する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１６０２０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一方、特許文献１に開示されたファイバーケーブル切断装置とは別に、例えば、半導体ウェーハ等のワークを切削加工する切削加工装置をケーブル切断装置に適用することが考えられる。
【０００６】
ここで、上記の切削加工装置は、一般的に、ワークに対して相対的にＹ軸方向にインデックス送りとＺ軸方向に切り込み送りとがされるブレードと、バキュームによりワークを吸着保持してブレードに対し相対的にＸ軸方向の切削送りがされるテーブル（作業台に相当）とを有している。
【０００７】
しかしながら、このような構成の切削加工装置をケーブル切断装置として適用しようとすると、加工対象物が板状のワークから、ファイバーケーブル等の線状のワークに変更されることに伴い、以下のような課題が存在する。
【０００８】
例えば、１本のファイバーケーブルを切断する場合、ファイバーケーブルの表面積が小さいため、ファイバーケーブルをバキュームによってテーブルに吸着しても十分な保持力を得ることができず切断時にファイバーケーブルが位置ずれするという問題がある。この問題は、ワックスを使用してファイバーケーブルをテーブルに接着させることで解消できるが、このような接着方法は、ファイバーケーブルにワックスを塗布する作業、及びワックスをファイバーケーブルから剥離する作業をその都度行う必要があるので作業性が悪い。
【０００９】
そこで、上記の作業性を改善するために、クランプ部材を使用してファイバーケーブルをテーブルに機械的に固定する方法がある。この固定方法は、バキュームの場合の保持力の方向と同様に、ファイバーケーブルの上からファイバーケーブルをクランプ部材によってテーブルに押さえ付けるものである。このため、クランプ部材は、必然的にファイバーケーブルからブレードの側に向けて突出して配置されることになる。
【００１０】
しかしながら、上記の位置にクランプ部材が配置されると、ファイバーケーブルの切断加工時に切削加工装置の構成部材がクランプ部材に干渉する場合があり、このような場合にはファイバーケーブルの切断を妨げてしまうという虞がある。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、線状のワークの切断を妨げることなくワークを作業台に確実に固定することができるワークの固定用治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のワークの固定用治具は、本発明の目的を達成するために、第１方向に沿って形成されたワーク収容溝と、ワーク収容溝に連通し且つ第１方向に直交する第２方向に沿って形成されたクランプ部材収容溝と、を有するベース部材と、クランプ部材収容溝に抜け止めされて収容されるとともにガタを有して嵌合されて第２方向に沿って移動可能なクランプ部材と、ベース部材に取り付けられてクランプ部材をワーク収容溝に向けて押し込む駆動部材と、を備え、クランプ部材は、駆動部材側に配置された第１移動部材と、ワーク収容溝側に配置された第２移動部材とから構成され、第１移動部材の第２移動部材側の端面は、第２移動部材に向かってクランプ部材収容溝の底面側とは反対側を向いた第１傾斜面を有し、第２移動部材の第１移動部材側の端面は、第１移動部材に向かってクランプ部材収容溝の底面側を向いた第２傾斜面を有し、  第２移動部材のワーク収容溝側の端面は、ワーク収容溝に収容されたワークに当接する当接面を有する。
【００１３】
本発明の一形態は、第２傾斜面は、第１方向からみたときに第１傾斜面よりも急峻な傾斜面に形成されることが好ましい。
【００１４】
本発明の一形態は、  第１移動部材の駆動部材側の端面は、駆動部材に向かってクランプ部材収容溝の底面側とは反対側を向いた第３傾斜面を有し、駆動部材は、ベース部材に螺合可能に取り付けられた皿ネジであって、頭部の傾斜した座面が、第３傾斜面に接触されることが好ましい。
【００１５】
本発明の一形態は、クランプ部材収容溝がアリ溝であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、線状のワークの切断を妨げることなくワークを作業台に確実に固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態のワークの固定用治具が適用されたファイバーケーブル切断装置の正面図
【図２】図１に示したファイバーケーブル切断装置の左側面図
【図３】図１に示したファイバーケーブル切断装置の全体斜視図
【図４】実実施形態の固定用治具の全体斜視図
【図５】図４に示した固定用治具のＶ−Ｖ線に沿う断面図
【図６】図４に示した固定用治具のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図
【図７】固定用治具の要部拡大断面図
【図８】固定用治具の要部拡大断面図
【図９】固定用治具の要部拡大断面図
【図１０】８度傾斜切断を行うファイバーケーブル切断装置の説明図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付図面に従って本発明に係るワークの固定用治具の好ましい実施形態について詳説する。
【００１９】
図１は、本発明の実施形態のワークの固定用治具１０が適用されたファイバーケーブル切断装置１２の正面図、図２は、図１に示したファイバーケーブル切断装置１２の左側面図、図３は、ファイバーケーブル切断装置１２の全体斜視図である。
【００２０】
なお、本明細書では、３軸方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向）の三次元直交座標系を用いて説明する。図１から図３に示すＸ軸方向は水平方向であって、後述するテーブル１６の切削送り方向を指している。また、Ｙ軸方向は、水平方向のうちＸ軸方向に直交する方向を指している。更に、Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する鉛直方向であって、後述するブレード１８の切り込み送り方向を指している。
【００２１】
本実施形態においては、１本のファイバーケーブル１４を固定する固定用治具１０について説明するが、多数本（例えば２本以上）のファイバーケーブル１４が結束された結束ケーブル（不図示）を固定する場合でも実施形態の固定用治具１０を用いることができる。
【００２２】
また、以下の説明では、ファイバーケーブル切断装置１２として、半導体ウェーハ等のワークを切削加工するダイシング装置を適用し、ダイシング装置に実施形態の固定用治具１０を適用した場合における利点について説明する。ダイシング装置が適用されたファイバーケーブル切断装置１２は、固定用治具１０を介してファイバーケーブル１４を固定するテーブル１６と、テーブル１６に固定されたファイバーケーブル１４を切断するブレード１８と、を有している。
【００２３】
テーブル１６は、一例として円盤状に構成されており、その上面には水平方向に平坦な固定面２０を備え、この固定面２０に固定用治具１０がプレート２２を介して固定されている。実施形態では、固定面２０に対する固定用治具１０の固定方式として、固定面２０を真空吸着可能な吸引口を備えた吸着面として構成し、この固定面２０にプレート２２を真空吸着し、このプレート２２に固定用治具１０を接着剤又はネジ等の固定手段により固定する方式を例示する。なお、この固定方式に限定されるものではなく、固定面２０に固定用治具１０を固定可能な方式であれば採用可能である。
【００２４】
テーブル１６は、その下部に、テーブル１６をＸ軸方向に沿って往復移動させるＸ移動機構部２４を備えている。Ｘ移動機構部２４は、Ｘ軸方向に沿って配設された一対のガイドレール２６、２６と、一対のガイドレール２６、２６の間に配置されたボールネジ装置２８とを備えている。このＸ移動機構部２４によれば、ボールネジ装置２８を正転又は反転駆動することにより、テーブル１６を一対のガイドレール２６、２６に沿ってＸ（＋）方向又はＸ（−）方向に移動させることができる。Ｘ移動機構部２４として、上記のボールネジ装置２８を使用することにより、端面研磨に要求される低速で高精細な送り速度（例えば、０．０２〜０．０３ｍｍ／ｓ）を実現することが可能となるので好ましい。
【００２５】
ここで、図２及び図３の実線で示すテーブル１６の位置が切断開始位置であることを示しており、図２の二点鎖線で示すテーブル１６の位置が切断終了位置であることが示されている。したがって、上記のＸ移動機構部２４によりテーブル１６を切断開始位置から切断終了位置に向けて矢印Ａで示すＸ（−）方向に移動させることにより、ファイバーケーブル１４の被切断部１４Ａ（図１及び図３参照）を回転するブレード１８によって切断することができる。また、切断終了位置からテーブル１６を矢印Ｂで示すＸ（＋）方向に移動させることにより切断開始位置にテーブル１６を戻すことができる。
【００２６】
ブレード１８は、一例として、ダイヤモンド砥粒又はＣＢＮ（cubic boron nitride）砥粒をニッケルで電着した電着ブレードを例示することができる。また、電着ブレードの他、金属粉末を混入した樹脂で結合したメタルレジンボンドのブレードも使用することができる。このよう構成されたブレード１８は、図１に示すように、Ｙ軸方向に沿って配置された高周波モータ内蔵型のスピンドル３０に連結されており、このスピンドル３０によって、例えば、６０００ｒｐｍ〜８００００ｒｐｍで高速回転される。また、スピンドル３０は、Ｚ移動機構部３２に取り付けられており、Ｚ移動機構部３２はＹ移動機構部３４に取り付けられている。このような構成によりブレード１８は、Ｚ移動機構部３２によってＺ軸方向における切り込み量の調整と、Ｙ移動機構部３４によってＹ軸方向における切断位置の調整と、がなされる。なお、Ｚ移動機構部３２及びＹ移動機構部３４においても、Ｘ移動機構部２４と同様の構造（ガイドレールとボールネジ装置とを有する構造）を適用することができる。
【００２７】
また、図３に示すように、スピンドル３０には、二点鎖線で示すフランジカバー３６が固定されている。フランジカバー３６は、ブレード１８がファイバーケーブル１４の被切断部１４Ａと接触する加工点Ｐ（図１参照。以下、ブレード１８の最下点とも言う。）及びブレード１８の前面側（ブレード１８の面のうち、Ｙ（−）側に向いた面）を除いたブレード１８の外周部を覆うようにして配置されている。
【００２８】
フランジカバー３６には、冷却水供給部３８と不図示の切削水供給部とが取り付けられている。
【００２９】
冷却水供給部３８は、一対のノズル部４０、４０と、一対のノズル部４０、４０に冷却水を供給する冷却水供給装置（不図示）とを備えている。一対のノズル部４０、４０は、ブレード１８の下部を挟むようにしてブレード１８の前面側と後面側（ブレード１８の面のうち、Ｙ（＋）側に向いた面）の両側にＸ方向に沿って延設されている。これらのノズル部４０、４０には、ブレード１８に向けて冷却水を噴射する複数の噴射孔４２、４２…が備えられている。よって、上記の冷却水供給装置から一対のノズル部４０、４０に供給された冷却水は、複数の噴射孔４２、４２…からブレード１８に向けて噴射される。これにより、加工点Ｐにて切断加工を行うブレード１８と被切断部１４Ａとが冷却水によって冷却される。なお、噴射孔４２、４２…は、ブレード１８及び被切断部１４Ａを冷却水で効率よく冷却するために、ブレード１８の最下点に対し、例えば数ミリほど離間させた位置に備えられている。
【００３０】
一方、上記の切削水供給部は、切削水供給装置（不図示）と切削水ノズル（不図示）を有する周知のものであり、切削水供給装置から切削水ノズルに供給された切削水を切削水ノズルの噴射口から加工点Ｐに向けて噴出するように構成されている。なお、切削水ノズルの噴射口においても、加工点Ｐに切削水を効率よく噴射する観点から、ブレード１８の最下点に対し、例えば数ミリほど離間させた位置に備えられている。
【００３１】
以上がファイバーケーブル切断装置１２の概略構成である。このような構成のファイバーケーブル切断装置１２において、ファイバーケーブル１４をブレード１８によって切断する場合、ブレード１８の最下点の近傍に配置された一対のノズル部４０、４０が、ファイバーケーブル１４の固定用治具１０に干渉しないことが要求される。以下、このような要求を満足しつつ、ファイバーケーブル１４を確実に固定可能な実施形態の固定用治具１０について説明する。
【００３２】
図４は、固定用治具１０を上面視したときの固定用治具１０の全体斜視図である。図５は、図４のＶ−Ｖ線に沿う固定用治具１０の断面図である。図６は、図４のＶＩ−ＶＩ線に沿う固定用治具１０の断面図である。
【００３３】
図４及び図５に示すように、固定用治具１０は、ベース部材５０と、クランプ部材５２と、皿ネジ５４とを備えている。
【００３４】
図４に示すように、ベース部材５０は、長辺５０Ａ、５０Ａと短辺５０Ｂ、５０Ｂとを有し、全体として矩形の平板状に構成されている。また、ベース部材５０には、ワーク収容溝５６とクランプ部材収容溝５８（図５参照）とが備えられている。
【００３５】
ワーク収容溝５６は、長手軸１４Ｂ（図４参照）を有するファイバーケーブル１４を長手軸１４Ｂに沿った第１方向に沿って収容する溝である。このワーク収容溝５６は、互いに対向する壁面５６Ａ、５６Ｂと底面５６Ｃとから構成され、第１方向と平行な短辺５０Ｂに沿って形成されている。
【００３６】
図５に示すように、クランプ部材収容溝５８は、クランプ部材５２を収容する溝であり、第１方向に直交する第２方向に沿って形成されている。
【００３７】
固定用治具１０は、テーブル１６（図３参照）に対して第１方向がＹ軸方向となり、第２方向がＸ軸方向となるように配置されて固定される。したがって、固定用治具１０にファイバーケーブル１４を固定した場合、ファイバーケーブル１４はその軸方向である長手軸１４ＢがＹ軸方向に配置される。これにより、テーブル１６のＸ軸方向の移動により、ファイバーケーブル１４の被切断部１４Ａがブレード１８によって切断される。以下、説明の便宜上、第１方向をＹ軸方向と称したり、第２方向をＸ軸方向と称したりして説明する場合がある。
【００３８】
図６に示すように、クランプ部材収容溝５８は、互いに対向する壁面５８Ａ、５８Ｂと底面５８Ｃとから構成され、Ｘ軸方向と平行な長辺５０Ａに沿って形成される。また、クランプ部材収容溝５８は、図４に示すように、一端５８Ｄがワーク収容溝５６に連通され、他端５８Ｅが後述するネジ孔６０（図５参照）に臨んで開口されている。このようなクランプ部材収容溝５８は、一例として断面がアリ溝形状に構成されている。なお、アリ溝形状とは、溝の開口縁の溝幅よりも溝の底面の溝幅が広い形状を指す。
【００３９】
図４及び図５に示すように、クランプ部材５２は、クランプ部材収容溝５８に収容されるとともに、クランプ部材収容溝５８に沿って移動自在に嵌合されている。すなわち、クランプ部材５２は、図６に示すように、アリ溝形状のクランプ部材収容溝５８に嵌合される周知な台形の断面形状を有し、クランプ部材収容溝５８からＺ（＋）方向に対して抜け止めされている。また、クランプ部材５２は、クランプ部材収容溝５８に対し、少なくともＺ軸方向に形成された隙間Ｇをもってクランプ部材収容溝５８に嵌合されている。これにより、クランプ部材５２は、クランプ部材収容溝５８に対し、クランプ部材収容溝５８からの抜けが防止されつつ、隙間Ｇ分のＺ方向のガタを有して嵌合されている。クランプ部材５２の詳細な構成については後述する。
【００４０】
図４に示すように、皿ネジ５４は、ベース部材５０にＺ軸方向に形成されたネジ孔６０（図５参照）に螺合可能に取り付けられる。皿ネジ５４は、周知の構成であり、図５の如く、上面５５Ａが平らで座面５５Ｂが円錐形の頭部５５を有している。この皿ネジ５４は、本発明の駆動部材の一例である。
【００４１】
以下、クランプ部材５２の詳細な構成について説明する。
【００４２】
図５に示すように、クランプ部材５２は、皿ネジ５４側に配置された第１移動部材６２と、ワーク収容溝５６側に配置された第２移動部材６４とから構成されている。
【００４３】
第１移動部材６２は、長手軸６２Ａを有する矩形の板状に構成される。また、図７に示す固定用治具１０の要部拡大断面図の如く、第１移動部材６２の第２移動部材６４側の端面は、第２移動部材６４に向かってクランプ部材収容溝５８の底面５８Ｃ側とは反対側を向いた第１傾斜面６２Ｂを有している。ここで、図７に示したＮＢ（Normal Vector）１は、第１傾斜面６２Ｂの法線ベクトルである。この法線ベクトルＮＢ１は、Ｚ（＋）方向の成分とＸ（＋）方向の成分とを含んでいる。
【００４４】
図５に示すように、第２移動部材６４は、長手軸６４Ａを有する矩形の板状に構成される。また、図７に示すように、第２移動部材６４の第１移動部材６２側の端面は、第１移動部材６２に向かってクランプ部材収容溝５８の底面５８Ｃ側を向いた第２傾斜面６４Ｂを有している。ここで、図７に示したＮＢ２は、第２傾斜面６４Ｂの法線ベクトルである。この法線ベクトルＮＢ２は、Ｚ（−）方向の成分とＸ（−）方向の成分とを含んでいる。
【００４５】
また、第２傾斜面６４Ｂは、Ｙ軸方向からみたときに、第１傾斜面６２Ｂよりも急峻な傾斜面に形成されている。すなわち、Ｚ軸に対する第２傾斜面６４Ｂの傾斜角度ａが、第１傾斜面６２Ｂの傾斜角度ｂよりも小さく設定されている。具体的な傾斜角度ａは３０°であり、傾斜角度ｂは４５°である。なお、この傾斜角度ａ、ｂは一例である。
【００４６】
なお、第１傾斜面６２Ｂと第２傾斜面６４Ｂの傾斜角度は、必ずしも実施形態の構成に限らず、例えば同じ傾斜角度でもよいし、Ｚ軸に対する第２傾斜面６４Ｂの傾斜角度が、第１傾斜面６２Ｂの傾斜角度よりも大きく設定されていてもよい。但し、実施形態の構成によれば、第２傾斜面６４Ｂは、Ｙ軸方向からみたときに、第１傾斜面６２Ｂよりも急峻な傾斜面に形成されているので、後述するように、第２移動部材６４からチップ６６に対し、チップ６６を底面５６Ｃに押し付ける力を効果的に付与することができる、という効果が得られる。
【００４７】
また、図８に示す固定用治具１０の要部拡大断面図の如く、第２移動部材６４のワーク収容溝５６の側の端面は、ワーク収容溝５６に収容されたファイバーケーブル１４に当接する当接面６４Ｃを有している。この当接面６４Ｃは、Ｙ軸方向からみたときに、Ｚ軸に沿った垂直面として形成される。ここで、図８に示したＮＢ３は、当接面６４Ｃの法線ベクトルであり、Ｘ（＋）方向の成分を含んでいる。
【００４８】
なお、ファイバーケーブル１４の端部１４Ｃ（図４参照）を固定用治具１０に容易に固定するために、図４、図５及び図８に示すように、ファイバーケーブル１４の端部１４Ｃには矩形状のセラッミクス製のチップ６６が固着され、このチップ６６を介してファイバーケーブル１４の端部１４Ｃがワーク収容溝５６に収容される。よって、図８に示した当接面６４Ｃは、ファイバーケーブル１４に直接当接されておらず、チップ６６に当接されることで、ファイバーケーブル１４に間接的に当接されている。
【００４９】
一方、図９に示す固定用治具１０の要部拡大断面図の如く、第１移動部材６２の皿ネジ５４の側の端面は、皿ネジ５４に向かってクランプ部材収容溝５８の底面５８Ｃ側とは反対側を向いた第３傾斜面６２Ｃを有している。ここで、図９に示したＮＢ４は、第３傾斜面６２Ｃの法線ベクトルである。この法線ベクトルＮＢ４は、Ｚ（＋）方向の成分とＸ（−）方向の成分とを含んでいる。
【００５０】
図９に示すように、第３傾斜面６２Ｃに、皿ネジ５４の頭部５５の傾斜した座面５５Ｂが接触されている。実施形態では、Ｚ軸に対する第３傾斜面６２Ｃの傾斜角度ｃと座面５５Ｂの傾斜角度ｄとがそれぞれ４５°に設定されている。なお、上記の傾斜角度ｃ、ｄは一例である。
【００５１】
実施形態の固定用治具１０では、図５の断面図に示すように、ベース部材５０の上面５０Ｃに対して、第１移動部材６２の上面６２Ｄ、及び第２移動部材６４の上面６４Ｄが同一面上に位置されている。なお、この構成は一例である。例えば、上面６２Ｄ、６４Ｄは、ベース部材５０の上面５０Ｃに対してＺ（−）方向側に位置にしていてもよく、また、図１に示したノズル部４０、４０に干渉しない程度に、ベース部材５０の上面５０Ｃに対してＺ（＋）方向側に位置していてもよい。また、ワーク収容溝５６のＺ（−）方向の深さは、ワーク収容溝５６にチップ６６が収容されたとき、チップ６６の上面６６Ａがベース部材５０の上面５０Ｃから突出しない程度の深さ、又はノズル部４０、４０に干渉しない程度に突出した深さとすることが好ましい。
【００５２】
次に、上記の如く構成された固定用治具１０の作用について説明する。
【００５３】
図５に示すように、皿ネジ５４をネジ孔６０に螺入していくと、皿ネジ５４の座面５５Ｂが、第１移動部材６２の第３傾斜面６２Ｃ（図９参照）に当接する。この状態から更に皿ネジ５４を螺入すると、座面５５Ｂが第３傾斜面６２Ｃに図５の矢印ｅ方向に押し付けられることから、矢印ｅ方向の水平成分ｆの力により第１移動部材６２がクランプ部材収容溝５８に沿って第２移動部材６４に向けて押し込まれる。そして、第１移動部材６２の第１傾斜面６２Ｂが、第２移動部材６４の第２傾斜面６４Ｂに図５の矢印ｇ方向に押し付けられることから、矢印ｇ方向の水平成分ｈの力により第２移動部材６４がクランプ部材収容溝５８に沿ってチップ６６に向けて押し込まれる。その後、第２移動部材６４の当接面６４Ｃ（図８参照）がチップ６６に当接される。
【００５４】
この状態から皿ネジ５４を更にネジ孔６０に螺入していくと、第１移動部材６２の第１傾斜面６２Ｂが、第２移動部材６４の第２傾斜面６４ＢのＺ（−）側に潜り込む。この潜り込みの作用によって、第２移動部材６４は、図５の当接面６４Ｃを支点として、図６に示した隙間Ｇの間で矢印ｇ方向に持ち上げられていく。そうすると、第２移動部材６４の当接面６４Ｃからチップ６６には、矢印ｊ方向に示すＺ（−）側に向いた力が作用するので、チップ６６がワーク収容溝５６の底面５６Ｃと壁面５６Ａとに押し付けられる。これにより、ファイバーケーブル１４の端部１４Ｃが固定用治具１０に確実に固定される。
【００５５】
以上の如く、実施形態の固定用治具１０によれば、第１方向に沿って形成されたワーク収容溝５６及び第２方向に沿って形成されたクランプ部材収容溝５８を有するベース部材５０と、クランプ部材収容溝５８に抜け止めされて収容されるとともにガタを有して嵌合されて第２方向に沿って移動可能なクランプ部材５２と、クランプ部材５２をワーク収容溝５６に向けて押し込む皿ネジ５４と、を備え、クランプ部材５２を第１移動部材６２と第２移動部材６４とから構成し、第１移動部材６２の第２移動部材６４側の端面は、第２移動部材６４に向かって底面５８Ｃ側とは反対側を向いた第１傾斜面６２Ｂを有し、第２移動部材６４の第１移動部材６２側の端面は、第１移動部材６２に向かって底面５８Ｃ側を向いた第２傾斜面６４Ｂを有し、第２移動部材６４のワーク収容溝５６側の端面は、ワーク収容溝５６に収容されたチップ６６に当接する当接面６４Ｃを有するので、皿ネジ５４によってクランプ部材５２をＸ（＋）方向に押し込むだけで、ファイバーケーブル１４を固定用治具１０に確実に固定することができる。
【００５６】
そして、上記の固定用治具１０を、ダイシング装置が適用されたファイバーケーブル切断装置１２に適用することにより、以下の有利な効果を得ることができる。
【００５７】
すなわち、ファイバーケーブル切断装置１２は、ブレード１８による加工点に冷却水を効率よく噴射するために、加工点に対し、例えば数ミリほど離間した位置にノズル部４０、４０（図３参照）が配置されている。このため、ファイバーケーブル１４の上にクランプ部材を配置し、このクランプ部材によってファイバーケーブルをテーブル１６に押さえ付ける固定用治具を採用した場合、ブレード１８によるファイバーケーブル１４の切断加工中に、ノズル部４０、４０が上記のクランプ部材に干渉してファイバーケーブル１４の切断を妨げるという虞がある。
【００５８】
これに対し、実施形態の固定用治具１０は、図５に示したように、クランプ部材５２をＸ軸に沿って押し込むことでファイバーケーブル１４をテーブル１６にＺ軸に沿って押さえ付ける構成を採用したので、ファイバーケーブル１４のＺ（＋）側にはノズル部４０、４０（図３参照）と干渉する部材は存在しない。したがって、実施形態の固定用治具１０によれば、ブレード１８によるファイバーケーブル１４の切断を妨げることなくファイバーケーブル１４をテーブル１６に確実に固定することができる。
【００５９】
また、実施形態の固定用治具１０によれば、図７に示したように、第１傾斜面６２Ｂよりも第２傾斜面６４Ｂを急峻な傾斜面とする構成を採用したので、第１傾斜面６２Ｂを第２傾斜面６４ＢのＺ（−）側に容易に潜り込ませることができる。これにより、第２移動部材６４からチップ６６に対し、チップ６６を底面５６Ｃに押し付ける力を効果的に付与することができる。
【００６０】
また、実施形態の固定用治具１０によれば、図９に示したように、第１移動部材６２の皿ネジ５４の側の端面を、皿ネジ５４に向かってクランプ部材収容溝５８の底面５８Ｃ側とは反対側を向いた第３傾斜面６２Ｃに形成し、この第３傾斜面６２Ｃに皿ネジ５４の座面５５Ｂを接触させる構成を採用したので、皿ネジ５４をネジ孔６０に螺入していくだけで、クランプ部材５２をＸ軸に沿って押し込むことができる。
【００６１】
なお、実施形態では、本発明の固定用治具の構成要素である駆動部材として皿ネジ５４を例示したが、駆動部材は、皿ネジに限定されるものではなく、クランプ部材５２をワーク収容溝５６に向けて押し込み可能な駆動部材であれば適用することができる。他の駆動部材の一例としてバネを適用した場合、バネの付勢力によってクランプ部材５２をワーク収容溝５６に向けて押し込むことができる。
【００６２】
また、実施形態の固定用治具１０は、クランプ部材収容溝５８をアリ溝とし、クランプ部材５２の断面形状を台形にしたので、ベース部材５０の上面５０Ｃからのクランプ部材５２の浮き上がりを抑制することができる。これにより、クランプ部材５２にノズル部４０（図２参照）が干渉することを確実に防止することができる。
【００６３】
また、上記の実施形態では、ファイバーケーブル切断装置１２としてダイシング装置を適用したので、特許文献１のようなファイバーケーブル切断装置と比較して、以下の効果を有する。
【００６４】
すなわち、特許文献１のファイバーケーブル切断装置は、ファイバーケーブルを切断する切断工程のみを行う装置なので、その後、切断したファイバーケーブルの端面を研磨するには別途研磨工程が必要となる。これに対して、ダイシング装置が適用されたファイバーケーブル切断装置１２のブレード１８は、一般的に砥粒の小さい砥石が使用され、その回転速度も速く、また、加工速度も低速度に制御可能なので高精細にワークを加工可能である。よって、ファイバーケーブル切断装置１２としてダイシング装置を適用することにより、ファイバーケーブルの切断工程と切断した端面の研磨工程とをブレード１８によって同時に実施することが可能となるので、特許文献１のファイバーケーブル切断装置と比較してスループットを向上させることができる。
【００６５】
図１０は、ファイバーケーブル１４の切断面をコネクタとして利用するためのファイバーケーブル切断装置７０の要部が示されている。ファイバーケーブル１４の切断面をコネクタとして利用する際には、切断面の反射防止のために切断面を８度傾斜させて研磨することが知られている。図１０に示すファイバーケーブル切断装置７０は、それを実現する装置である。なお、上記の８度とは、ファイバーケーブル１４の長手軸１４Ｂに直交する面に対する角度である。ファイバーケーブル切断装置７０を説明するにあたり、図１に示したファイバーケーブル切断装置１２と同一若しくは類似の部材については同一の符号を付してその説明は省略する。
【００６６】
図１０に示すファイバーケーブル切断装置７０によれば、プレート２２の下面２２Ａは、Ｘ軸とＹ軸とで画定される水平面に対し傾斜角度が０°であり、この下面２２Ａに対して上面２２Ｂが８度傾斜した傾斜面として構成されている。そして、この上面２２Ｂに固定治具１０を固定した後、ブレード１８によってファイバーケーブル１４の被切断部１４Ａを切断する。これにより、ファイバーケーブル１４の切断面は８度傾斜した切断面となるので、ファイバーケーブル１４の切断面をコネクタとして利用することができる。
【００６７】
また、図１０に示すファイバーケーブル切断装置７０のように、傾斜した上面２２Ｂに固定治具１０を固定しても、ノズル部４０、４０（図３参照）に干渉する部材は存在しないので、ファイバーケーブル１４の切断を問題なく実施することができる。
【００６８】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
【符号の説明】
【００６９】
１０…固定用治具、１２…ファイバーケーブル切断装置、１４…ファイバーケーブル、１６…テーブル、１８…ブレード、２０…固定面、２２…プレート、２４…Ｘ移動機構部、２６…ガイドレール、２８…ボールネジ装置、３０…スピンドル、３２…Ｚ移動機構部、３４…Ｙ移動機構部、３６…フランジカバー、３８…冷却水供給部、４０…ノズル部、４２…噴射孔、５０…ベース部材、５２…クランプ部材、５４…皿ネジ、５６…ワーク収容溝、５８…クランプ部材収容溝、６０…ネジ孔、６２…第１移動部材、６４…第２移動部材、６６…チップ、７０…ファイバーケーブル切断装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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