(57)【要約】【課題】清浄空間が必要なクリーンルームや製造装置等に使用される除塵装置において、除塵装置の上方もしくは下方のメンテナンスエリアを選択可能とすることにより、メンテナンス性に優れた除塵装置を提供することを目的とする。【解決手段】送風ファンと、主筐体と、電装部と、電装部を格納する副筐体と、を備え、副筐体は、天面部と、天面部に対向し電装部が固定される底面部と、天面部と底面部とを接続する側壁部とを備え、底面部は、主筐体に対して上方及び下方の双方に取り外し可能である除塵装置とする。上方のみ、または下方のみでメンテナンスができるため、各々の製造装置の状態に合わせて容易にメンテナンスが可能となる。【選択図】図４
2020106159.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
送風ファンと、
前記送風ファンを格納する主筐体と、
前記送風ファンを制御する電装部と、
前記電装部を格納する副筐体と、を備え、
前記副筐体は、
天面部と、
前記天面部に対向し前記電装部が固定される底面部と、
前記天面部と前記底面部とを接続する側壁部と、を備え、
前記底面部は、
前記主筐体に対して上方及び下方の双方に取り外し可能である除塵装置。
【請求項２】
前記底面部は、
前記主筐体に対して前記側壁部とともに上方に取り外し可能であり、
前記主筐体に対して前記側壁部とは分離して下方に取り外し可能である、請求項１記載の除塵装置。
【請求項３】
前記側壁部は、
外部からの引込み線を接続可能な外部接続端子と、
前記電装部からの引出し線を接続可能な内部接続端子と、
前記外部接続端子と前記内部接続端子とを中継する中継部と、を備え、
前記外部接続端子は、
上方からの接続に対応し、
前記内部接続端子は、
下方からの接続に対応する、請求項１または２に記載の除塵装置。
【請求項４】
前記側壁部は、
上方に面する上面と下方に面する下面とを備えた端子配置板を備え、
前記外部接続端子は、
前記上面に配置され、
前記内部接続端子は、
前記下面に配置される、請求項３に記載の除塵装置。
【請求項５】
前記外部接続端子は、
外部からの引込み線を上下方向に挿抜可能であり、
前記内部接続端子は、
前記電装部からの引出し線を上下方向に挿抜可能な請求項４記載の除塵装置。
【請求項６】
前記主筐体の一面にフィルターを備えた請求項１〜５のいずれかに記載の除塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年においては、製造装置内部の空間を更に高い清浄度とするために、大きなクリーンルームの内部に製造装置を配置するシステムが用いられている。
【０００３】
このような製造装置内を高い清浄度で維持するため、製造装置に除塵装置を取付けている。この除塵装置は、製造装置の外部であって、クリーンルーム内の空気を吸い込んで、除塵フィルターを通して清浄化して製造装置内に供給する。
【０００４】
このようなシステムにおいては、クリーンルーム内の空調負荷、浄化負荷を低減するため、クリーンルームの容積を小さくする必要がある。そのため、製造装置の外側であってクリーンルーム内の空間はできるだけ小さく設計される。
【０００５】
以下に、特許文献１に関する除塵装置の構成について、図９、図１０を参照しながら説明する。
【０００６】
図９に示すように、例えば除塵装置１００は、ロボット等を格納する製造装置１０２の壁面（あるいは天井面）に設けられる。除塵装置１００は、空気調和装置１０３にて例えば温度調整されたクリーンルーム１０１内の空気を吸い込み、塵埃等を除去した後、製造装置１０２内へ清浄空気を供給する。クリーンルーム１０１の容積を小さくするために、製造装置の外側の空間であってクリーンルームの内部の空間は、できるだけ小さく設計される。
【０００７】
この種の除塵装置１００は、図１０に示すように、吸込み口を設けた箱形状の主筐体１０８の内部に、ファン１０５とモーター１０６からなる送風ユニット１１２を収納し、その下流吹出し側に除塵フィルター１０７を配設したフィルター枠１０４を備えて構成される。フィルター枠１０４は、主筐体１０８側に設けた内フランジ１１０と製造装置側に設けた外フランジ１１１とを備え、製造装置１００に直接接触しない構成で、除塵フィルター１０７を主筐体１０８に連設する。これにより、主筐体１０８を製造装置１０２の壁面に設置したまま、製造装置１０２の内側から除塵フィルター１０７や送風ユニット１１２のみを脱着することが可能となる。
【０００８】
なお、上記の従来技術はクリーンルーム１０１内に製造装置１０２を設けた例であるが、空気調和装置１０３に代えてクリーンルーム１０１に除塵装置１００を設けるケースもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１４−１９６８５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、製造装置の内側からメンテナンスを行う為には、製造装置内にあらかじめメンテナンス用のスペースを設ける、もしくは内部部材を一時的に取り外してスペースを確保する必要がある。しかしながら、製造装置の多機能化により内部の機構は多様であり、メンテナンススペースや、取り外しが必要な部材の種類、方法を限定し難い。
【００１１】
そのため、除塵装置を供給する立場では、様々なメンテナンスに対応した複数の除塵装置を揃える必要があった。
【００１２】
そこで本発明は、上記の課題を解決するものであり、各々の製造装置の状態に合わせて容易にメンテナンスが可能な除塵装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
そして、この目的を達成するために、本発明は、送風ファンと、前記送風ファンを格納する主筐体と、前記送風ファンを制御する電装部と、前記電装部を格納する副筐体と、を備え、前記副筐体は、天面部と、前記天面部に対向し前記電装部が固定される底面部と、前記天面部と前記底面部とを接続する側壁部と、を備え、前記底面部は、前記主筐体に対して上方及び下方の双方に取り外し可能である除塵装置とし、これにより所期の目的を達成するものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、各々の製造装置の状態に合わせて容易にメンテナンスを行うことができる除塵装置を提供することを目的とする。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】除塵装置の斜視図
【図２】除塵装置の分解展開図（Ａ−Ａ断面）
【図３】除塵装置の分解展開図（Ｂ−Ｂ断面）
【図４】副筐体の分解斜視図
【図５】副筐体の拡大斜視図Ａ
【図６】副筐体の拡大斜視図Ｂ
【図７】上方メンテナンス時の除塵装置の分解斜視図
【図８】下方メンテナンス時の除塵装置の分解斜視図（フィルターなし）
【図９】従来の除塵装置の設置図
【図１０】従来の除塵装置の断面図
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態について説明し、本発明の理解に供する。なお、以下の実施形態は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。また、全図面を通じて同一の符合を付して２度目以降の説明を省略している。
【００１７】
（実施の形態１）
まず、図１〜図３を用いて、除塵装置１の構成について説明する。なお、図１は、除塵装置の斜視図、図２は、除塵装置のＡ−Ａ断面を示す分解展開図である。図３は、除塵装置のＢ−Ｂ断面を示す分解展開図である。
【００１８】
除塵装置１は、主筐体３と、送風ファン２と、フィルター６と、副筐体５と、電装部４とを備える。
【００１９】
以降、主筐体３の外側、すなわち、除塵装置１が製造装置に搭載された時に、製造装置の外側に向く面（図１における上）を上方と定義する。また、主筐体３の内側、すなわち、除塵装置１が製造装置に搭載された時に、製造装置の内側に向く面（図１における下）を下方と定義するものとする。なお、送風ファン２の風の流れを基準とすると、上方は上流側に該当し、下方は下流側に該当する。
【００２０】
主筐体３は、底面を除く５面で形成される箱形状しており、天面には長手方向の両側に給気口７を備える。主筐体３は、内部天面に送風ファン２を収納し、主筐体３の内側よりねじ等の係止具で送風ファン２を締結するための送風ファン固定部８を備える。主筐体３は、２つの給気口７の間に副筐体５を配置するための副筐体開口１０を備える。主筐体３は、副筐体開口１０の４辺のうち、給気口７が隣接する２辺の外周側に、主筐体３の天面外側からねじ等の係止具で副筐体５を締結するための副筐体固定部１１を備える。主筐体３は、底部開口の縁部から内側に延設される曲げ部１２を備える。曲げ部１２は、フィルター６をフィルター６側からねじ等の係止具で締結する為のフィルター固定部１３を備えている。
【００２１】
給気口７は、副筐体開口１０を挟んで副筐体開口１０の長辺に給気口７の長辺を隣接させて２個設けられる。２つの給気口７は同一形状である。
【００２２】
副筐体開口１０は、副筐体５の底面を上方から挿入配置可能な大きさの矩形の開口である。
【００２３】
送風ファン２は、1個のファンで１つの送風ファン２を構成し、除塵装置１には送風ファン２が4個配置される。送風ファン２は、給気口７とほぼ同一形状であり、主筐体３の内部から、送風ファン２の上流側を給気口７の内面に位置させて設けられる。
【００２４】
フィルター６は、主筐体３の底部開口を覆って設けられ、フィルター６を通過する空気を除塵する。個々の部材は各固定部にねじ等の係止具１４で連結されて一体化される。
【００２５】
続いて、図４を参照しながら副筐体５及び電装部４の構成について説明する。なお図４は、副筐体の分解斜視図である。
【００２６】
副筐体５は、天面部１５と、天面部１５に対向し電装部４が固定される底面部１６と、天面部１５と底面部１６とを接続する側壁部１７とを備える。
【００２７】
側壁部１７は、天面、底面を除いた４つの側壁を環状に連ねた角筒形状であり、底部開口の縁部のうちの２つの長辺から内側に延設される突出部１８を備える。突出部１８は、ねじ等の係止具を貫通させて締付けするための底面部固定部１９を備える。側壁部１７は、天面周縁の長辺の２辺から外側に延設される天部長辺外曲げ部２９を備える。天部長辺外曲げ部２９は、副筐体係止孔３０を備えている。
【００２８】
底面部１６は、上面に電装部４が固定されている。底面部１６は、底面部底部２０の４辺より側壁部１７の方向に立設する短曲げ部２１を備える。底面部底部２０における短曲げ部２１よりも内周には、ねじ等の係止具を貫通させるための開口である壁底面部係止孔２２を備えている。側壁部１７と底面部１６は、下方から底面固定ねじ２３を壁底面部係止孔２２に通し、底面部固定部１９で連結することにより、一体化されるものである。
【００２９】
また、側壁部１７は、天面周縁の２つの短辺から外側に延設される天部短辺外曲げ部２４を備え、天部短辺外曲げ部２４には天面部固定部２５を備えている。
【００３０】
天面部１５は、底部が開口した５面からなる有天角筒形状をしており、天面部１５の底部周縁の２つの短辺から外側に延設される天面曲げ部２６を備える。天面曲げ部２６は、天面係止孔２７を備えている。
【００３１】
前述で一体化した側壁部１７と底面部１６は、天面部１５の上方から、天面部固定ねじ２８を天面係止孔２７に通し、天面部固定部２５で連結することにより、側壁部１７と底面部１６と天面部１５が一体化され副筐体５を構成する。
【００３２】
主筐体３と副筐体５との連結は、まず主筐体３の上方から副筐体開口１０に対して、副筐体５を底面部１６から挿入する。挿入により天部長辺外曲げ部２９及び天部短辺外曲げ部２４の外周側端部が副筐体開口１０の上面に位置した後、天面部１５の外側から、副筐体固定ねじ３２を副筐体係止孔３０に通し、主筐体３に備える副筐体固定部１１で連結する。これにより、副筐体５と主筐体３が一体化され除塵装置１を構成する。
【００３３】
次に、副筐体５の配線接続について図５、図６を参照しながら説明する。なお、図５は、副筐体の拡大斜視図Ａ、図６は副筐体の拡大斜視図Ｂである。
【００３４】
側壁部１７に設けられる天部短辺外曲げ部２４は、端子配置板３３としての機能も兼ねている。端子配置板３３は、図示しない製造装置から供給される電源配線や、信号配線等の引込み線３５が接続可能な外部接続端子３６を備えている。外部接続端子３６を、端子配置板３３の上面側に固定することにより、引込み線３５を端子配置板３３の上方で、上下方向に挿抜することが可能となる。
【００３５】
例えば、外部接続端子３６が端子台の場合、ねじ頭が上方を向き、ねじを回すことでねじが上下方向に可動でき、引込み線３５を脱着できるものである。外部接続端子３６がコネクターの場合、外部からの引込み線３５を上下方向に挿抜可能である。どちらも上方からの接続に対応可能であるため、狭小スペースでも容易に脱着接続作業を行うことができる。
【００３６】
また端子配置板３３は、外部接続端子３６と連通する中継部３９と、中継部３９の外部接続端子３６とは逆側の先端に内部接続端子３８とを備えている。内部接続端子３８は、電気的に端子配置板３３を貫通して設けられており、端子配置板３３の上面で中継部３９と接続されている。底面部１６は、短曲げ部２１に設けられた開口から電装部４に連通する引出し線３７が引き出されている。引出し線３７は、端子配置板３３の下側で内部接続端子３８に接続される。つまり、内部接続端子３８を端子配置板３３の下面側に固定することにより、端子配置板３３の下方で、引出し線３７を上下方向に挿抜することが可能となる。
【００３７】
例えば、内部接続端子３８が端子台の場合、ねじ頭が下方を向き、ねじを回すことでねじが上下方向に可動でき、引出し線３７を下方に脱着できるものである。内部接続端子３８がコネクターの場合、引出し線３７を上下方向に挿抜可能である。どちらも下方からの接続に対応可能である。
【００３８】
上記構成により、製造装置より供給される引込み線３５と電装部４とが接続された状態で、外部接続端子３６と内部接続端子３８を用いて端子配置板３３の上方、下方の双方で配線を着脱できる。このため、狭小スペースにおいても容易に配線の脱着接続作業を行うことができる。
【００３９】
続いて、上方に電装部４を取出す方法について図７を参照しながら説明する。なお図７は、上方メンテナンス時の除塵装置の分解斜視図である。なお、電装部４がメンテナンス対象であり、電装部４を主筐体３より取り外し、修理または交換することが目的である。
【００４０】
上方メンテナンスの際には、上方から天面部固定ねじ２８を外し、副筐体５から天面部１５を上方に取り外す。これにより作業者は、側壁部１７と底面部１６とが一体化された状態で天面が開口している副筐体５の内部に電装部４と、外部接続端子３６とを確認することができる。
【００４１】
この状態で、電装部４に接続されている送風ファン２のモーター接続線４０を副筐体５の内部で取り外す。
【００４２】
次に側壁部１７の端子配置板３３に上方を向いて配置される外部接続端子３６から、製造装置からの引込み線３５を取り外す。これにより、電装部４の配線がすべて解除された状態となる。この状態で、副筐体固定ねじ３２を上方から取外すと、側壁部１７と一体化した状態で、電装部４を固定した底面部１６を除塵装置１の上方に取出すことが可能となる。電装部４をメンテナンスした後の副筐体５の再設置は、逆の手順で行うことができる。これにより、下方から作業することなく、上方からの作業のみでメンテナンスが可能となる。
【００４３】
続いて、下方に電装部４を取出す方法について図８を参照しながら説明する。なお図８は、下方メンテナンス時の除塵装置の分解斜視図である。なお、理解に供するためフィルター６の表示を省略している。
【００４４】
下方メンテナンスの際には、まず下方から、フィルター６を主筐体３に固定しているフィルター固定ねじを外し、主筐体３からフィルター６を下方に取外す。これにより作業者は、主筐体３の内部に収納される副筐体５の底面を確認することができる。
【００４５】
次に側壁部１７の端子配置板３３に下方を向いて配置される内部接続端子３８から、電装部４からの引出し線３７を取り外す。
【００４６】
次に底面部固定ねじ２３を下方から取外すと、主筐体３に側壁部１７を残した状態で、電装部４を備えた底面部１６のみ、固定を解除し下方に移動することができる。下方に移動することで、電装部４を側壁部１７の外に露出させることができるため、電装部４に接続されたモーター接続線４０を取り外す。この際、モーター接続線４０には、電装部４が露出可能な十分な長さにすることで、たるみを持たることができ、引っ張りによる断線等を防止できる。
【００４７】
これにより、電装部４の配線がすべて解除された状態となるため、電装部４を搭載した底面部１６は、主筐体３と完全に分離されることとなる。つまり、通常では上方からの作業が必要となる、引込み線の接続解除を行うことなく、電装部４を下方に取り出すことが可能となる。
【００４８】
電装部４をメンテナンスした後の底面部１６の再設置は、逆の手順で行うことができる。
【００４９】
以上のように、本発明に係る除塵装置は、上方、及び下方の双方から配線を外すことが可能であるため、上方のみ、または下方のみでメンテナンスができる。よって、各々の製造装置の状態に合わせて容易にメンテナンスが可能となる。また、製造装置の状態に合わせて複数種の商品を設計する必要もなく、コストダウンを図ることが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明に係る除塵装置は、半導体製造装置やクリーンブース等、設備内部に搭載される除塵装置として有用である。
【符号の説明】
【００５１】
１    除塵装置
２    送風ファン
３    主筐体
４    電装部
５    副筐体
６    フィルター
７    給気口
８    送風ファン固定部
１０    副筐体開口
１１    副筐体固定部
１２    曲げ部
１３    フィルター固定部
１４    係止具
１５    天面部
１６    底面部
１７    側壁部
１８    突出部
１９    底面部固定部
２０    底面部底部
２１    短曲げ部
２２    壁底面部係止孔
２３    底面部固定ねじ
２４    天部短辺外曲げ部
２５    天面部固定部
２６    天面曲げ部
２７    天面係止孔
２８    天面部固定ねじ
２９    天部長辺外曲げ部
３０    副筐体係止孔
３２    副筐体固定ねじ
３３    端子配置板
３５    引込み線
３６    外部接続端子
３７    引出し線
３８    内部接続端子
３９    中継部
４０    モーター接続線
【図１】
2020106159.tif 000003
【図２】
2020106159.tif 000004
【図３】
2020106159.tif 000005
【図４】
2020106159.tif 000006
【図５】
2020106159.tif 000007
【図６】
2020106159.tif 000008
【図７】
2020106159.tif 000009
【図８】
2020106159.tif 000010
【図９】
2020106159.tif 000011
【図１０】
2020106159.tif 000012