(57)【要約】【課題】ワークの外周形状をより精密に識別することを可能にしたワークの製造方法、ワークの検査方法、及びワークの検査装置を提供する。【解決手段】ワークの製造方法は、板状の母材ワークを割断線に沿って折り割ることで、表裏の関係にある第１主面と第２主面とを有する板状のワークを形成するワーク形成工程（ステップＳ１１）と、ワークの画像を取得する画像取得工程（ステップＳ１２）と、ワークの画像に基づきワークの形状を識別する形状識別工程（ステップＳ１３）とを備える。ステップＳ１２の画像取得工程では、ワークの第１主面側から第１の光を照射した状態で、第１主面側からワークを撮像した第１の画像と、ワークの第２主面側から第２の光を照射した状態で、第１主面側からワークを撮像した第２の画像とを取得する。ステップＳ１３の形状識別工程では、第１の画像と第２の画像とに基づいてワークの外周形状を識別する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の母材ワークを割断線に沿って折り割ることで、表裏の関係にある第１主面と第２主面とを有する板状のワークを形成するワーク形成工程と、前記ワークの画像を取得する画像取得工程と、前記ワークの画像に基づき前記ワークの形状を識別する形状識別工程と、を備えるワークの製造方法であって、
前記画像取得工程において、前記ワークの前記第１主面側から第１の光を照射した状態で、前記第１主面側から前記ワークを撮像した第１の画像と、
前記ワークの前記第２主面側から第２の光を照射した状態で、前記第１主面側から前記ワークを撮像した第２の画像と、を取得し、
前記形状識別工程において、前記第１の画像と前記第２の画像とに基づいて前記ワークの外周形状を識別することを特徴とするワークの製造方法。
【請求項２】
前記形状識別工程において、前記第１の画像と前記第２の画像とから作成した差分画像に基づいて前記ワークの外周形状を識別することを特徴とする請求項１に記載のワークの製造方法。
【請求項３】
前記ワークの前記第１主面は、前記母材ワークにおいて前記割断線を有する主面に対応し、
前記形状識別工程において、前記ワークの平面視で前記割断線よりも外方に突出する突出部のうち、前記ワークの前記第１主面に連続する表面を有する表面突出部を識別することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のワークの製造方法。
【請求項４】
前記形状識別工程の識別結果に基づいて前記ワークの前記表面突出部を除去する除去工程をさらに備えることを特徴とする請求項３に記載のワークの製造方法。
【請求項５】
前記ワークは、励起波長領域を有する波長変換部材であることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のワークの製造方法。
【請求項６】
前記画像取得工程の前記第２の光として、前記波長変換部材の前記励起波長領域とは異なる波長領域の光を用いることを特徴とする請求項５に記載のワークの製造方法。
【請求項７】
前記画像取得工程において、前記ワークの外形よりも大きい外形を有する光透過性支持部材に前記ワークの前記第２主面を支持させた状態とし、
前記第１の画像は、前記ワークを取り囲む背景として前記光透過性支持部材の像を含み、
前記第２の画像は、前記光透過性支持部材に前記第２の光を透過させて得られることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のワークの製造方法。
【請求項８】
表裏の関係にある第１主面と第２主面とを有する板状のワークを検査するワークの検査方法であって、
前記ワークの画像を取得する画像取得工程と、前記ワークの画像に基づき前記ワークの形状を識別する形状識別工程と、を備え、
前記画像取得工程において、前記ワークの前記第１主面側から第１の光を照射した状態で、前記第１主面側から前記ワークを撮像した第１の画像と、
前記ワークに前記第２主面側から第２の光を照射した状態で、前記第１主面側から前記ワークを撮像した第２の画像と、を取得し、
前記形状識別工程において、前記第１の画像と前記第２の画像とに基づいて前記ワークの外周形状を識別することを特徴とするワークの検査方法。
【請求項９】
表裏の関係にある第１主面と第２主面とを有する板状のワークを検査するワークの検査装置であって、
前記ワークを撮像し、前記ワークの画像を取得する画像取得部と、
前記ワークの画像に基づいて前記ワークの形状を識別する形状識別部と、を備え、
前記画像取得部は、前記ワークの前記第１主面側から第１の光を照射した状態で、前記第１主面側から前記ワークを撮像した第１の画像と、
前記ワークの前記第２主面側から第２の光を照射した状態で、前記第１主面側から前記ワークを撮像した第２の画像と、を取得し、
前記形状識別部は、前記第１の画像と前記第２の画像とに基づいて前記ワークの外周形状を識別することを特徴とするワークの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの製造方法、ワークの検査方法、及びワークの検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、蛍光体含有するガラス部材に特定の光を照射してガラス部材を撮像した画像を取得し、この画像に基づいてガラス部材の欠陥を検査する検査方法が知られている（特許文献１）。特許文献１には、ガラス部材に光を照射するための照明部として、同軸落射照明部、背面照明部等が開示されている。同軸落射照明部は、ガラス部材に対して撮像部の光軸と同軸方向から光を照射する。背面照明部は、ガラス部材に対して撮像部と反対側の背面側から光を照射する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１６４３７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
板状のワークを例えばＬＥＤデバイスに組み付ける際に、ワークの外周部を樹脂に埋め込む場合がある。この場合、ワークの外周に不要な突起が形成されていると、突起部分が樹脂に埋め込まれず、当該箇所から光漏れが発生し、所望の光学特性が得られ難くなるおそれがあった。上記のガラス部材等の板状のワークにおいて、外周形状を精密に識別することで、このような課題を解決し得るが、上記従来の方法では、板状のワークの外周形状を精密に識別するという観点では精度が不十分であった。
【０００５】
本発明の目的は、ワークの外周形状をより精密に識別することを可能にしたワークの製造方法、ワークの検査方法、及びワークの検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するワークの製造方法は、板状の母材ワークを割断線に沿って折り割ることで、表裏の関係にある第１主面と第２主面とを有する板状のワークを形成するワーク形成工程と、前記ワークの画像を取得する画像取得工程と、前記ワークの画像に基づき前記ワークの形状を識別する形状識別工程と、を備えるワークの製造方法であって、前記画像取得工程において、前記ワークの前記第１主面側から第１の光を照射した状態で、前記第１主面側から前記ワークを撮像した第１の画像と、前記ワークの前記第２主面側から第２の光を照射した状態で、前記第１主面側から前記ワークを撮像した第２の画像と、を取得し、前記形状識別工程において、前記第１の画像と前記第２の画像とに基づいて前記ワークの外周形状を識別する。
【０００７】
ここで、上記ワーク形成工程によって得られるワークには、例えばワークの平面視で割断線よりも外方に突出する突出部が形成される場合がある。上記形状識別工程では、画像取得工程で得られた第１の画像と第２の画像とに基づいてワークの形状を識別することにより、上記の突出部を含むワークの外周形状について、異なる複数の視点から識別した識別結果を得ることができる。
【０００８】
上記ワークの製造方法の前記形状識別工程において、前記第１の画像と前記第２の画像とから作成した差分画像に基づいて前記ワークの外周形状を識別することが好ましい。
この方法によれば、差分画像を用いることで、例えば、ワークの平面視で割断線よりも外方に突出する突出部のうち、ワークの厚さ方向で異なる位置の突出部を容易に識別することが可能となる。
【０００９】
上記ワークの製造方法において、前記ワークの前記第１主面は、前記母材ワークにおいて前記割断線を有する主面に対応し、前記形状識別工程において、前記ワークの平面視で前記割断線よりも外方に突出する突出部のうち、前記ワークの前記第１主面に連続する表面を有する表面突出部を識別することが好ましい。
【００１０】
ここで、ワークの両主面のうち、母材ワークにおいて割断線を有する主面に対応する第１の主面側には、上述した表面突出部が形成される場合があり、この表面突出部は、ワークの欠陥となり得る。このような表面突出部を有するワークを識別するために、上記形状識別工程を好適に用いることができる。
【００１１】
上記ワークの製造方法は、前記形状識別工程の識別結果に基づいて前記ワークの前記表面突出部を除去する除去工程をさらに備えることが好ましい。
この方法によれば、ワークの表面突出部がワークの欠陥となる場合、表面突出部を除去工程で除去することで、良品のワークを得ることができる。
【００１２】
上記ワークの製造方法において、前記ワークは、励起波長領域を有する波長変換部材であってもよい。
上記ワークの製造方法において、前記画像取得工程の前記第２の光として、前記波長変換部材の前記励起波長領域とは異なる波長領域の光を用いることが好ましい。
【００１３】
この方法によれば、波長変換部材から出射する波長変換光を抑止することで、第２の画像中のワークの輪郭をより鮮明にすることができる。
上記ワークの製造方法の前記画像取得工程において、前記ワークの外形よりも大きい外形を有する光透過性支持部材に前記ワークの前記第２主面を支持させた状態とし、前記第１の画像は、前記ワークを取り囲む背景として前記光透過性支持部材の像を含み、前記第２の画像は、前記光透過性支持部材に前記第２の光を透過させて得られることが好ましい。
【００１４】
この方法によれば、第１の画像及び第２の画像を撮像する条件を容易に一定にすることができるため、ワークの外周形状について信頼性の高い識別結果を容易に得ることができる。
【００１５】
上記課題を解決するワークの検査方法は、表裏の関係にある第１主面と第２主面とを有する板状のワークを検査するワークの検査方法であって、前記ワークの画像を取得する画像取得工程と、前記ワークの画像に基づき前記ワークの形状を識別する形状識別工程と、を備え、前記画像取得工程において、前記ワークの前記第１主面側から第１の光を照射した状態で、前記第１主面側から前記ワークを撮像した第１の画像と、前記ワークに前記第２主面側から第２の光を照射した状態で、前記第１主面側から前記ワークを撮像した第２の画像と、を取得し、前記形状識別工程において、前記第１の画像と前記第２の画像とに基づいて前記ワークの外周形状を識別する。
【００１６】
上記課題を解決するワークの検査装置は、表裏の関係にある第１主面と第２主面とを有する板状のワークを検査するワークの検査装置であって、前記ワークを撮像し、前記ワークの画像を取得する画像取得部と、前記ワークの画像に基づいて前記ワークの形状を識別する形状識別部と、を備え、前記画像取得部は、前記ワークの前記第１主面側から第１の光を照射した状態で、前記第１主面側から前記ワークを撮像した第１の画像と、前記ワークの前記第２主面側から第２の光を照射した状態で、前記第１主面側から前記ワークを撮像した第２の画像と、を取得し、前記形状識別部は、前記第１の画像と前記第２の画像とに基づいて前記ワークの外周形状を識別する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、ワークの外周形状をより精密に識別することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施形態におけるワークの検査装置を示す概略図である。
【図２】（ａ）は、第１の画像の取得を説明する概略図であり、（ｂ）及び（ｃ）は、第１の画像である。
【図３】（ａ）は、第２の画像の取得を説明する概略図であり、（ｂ）及び（ｃ）は、第２の画像である。
【図４】（ａ）は、形状識別部の概略を示すブロック図であり、（ｂ）及び（ｃ）は、差分画像である。
【図５】ワークの形成工程を説明する概略斜視図である。
【図６】ワークの製造方法を示すフロー図である。
【図７】（ａ）は、他のワークを示す概略斜視図であり、（ｂ）は、第１の画像であり、（ｃ）は、第２の画像であり、（ｄ）は、差分画像である。
【図８】画像取得工程の変更例を示す概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、ワークの製造方法、ワークの検査方法、及びワークの検査装置の実施形態について図面を参照して説明する。なお、図面では、説明の便宜上、構成の一部を誇張又は簡略化して示す場合がある。また、各部分の寸法比率についても、実際と異なる場合がある。
【００２０】
＜ワークの検査装置＞
図１に示すように、ワークの検査装置１１は、板状のワークＷを検査する装置である。板状のワークＷは、表裏の関係にある第１主面Ｗ１と第２主面Ｗ２とを有している。ワークＷは、例えば一辺が０．５〜２５０ｍｍ、厚み０．０５〜０．５ｍｍの寸法の矩形板状部材である。ワークＷの好ましい１辺の寸法は、０．５〜６ｍｍである。
【００２１】
ワークの検査装置１１は、ワークＷを撮像し、ワークＷの画像を取得する画像取得部１２と、ワークＷの画像に基づいてワークＷの形状を識別する形状識別部１３とを備えている。画像取得部１２及び形状識別部１３は、ＣＰＵとメモリとを備えた制御部により制御することができる。
【００２２】
画像取得部１２は、カメラ１２ａと、カメラ１２ａの光軸と同軸となる方向から第１の光を照射する同軸落射照明部１２ｂと、ワークＷの第２の主面（背面）側から第２の光を照射する背面照明部１２ｃと、ワークＷの第２主面Ｗ２を支持するワーク支持部１２ｄとを備えている。
【００２３】
画像取得部１２のカメラ１２ａとしては、例えば、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等の撮像素子を備えたカメラ（例えば、エリアカメラ）を用いることができる。画像取得部１２の同軸落射照明部１２ｂは、カメラ１２ａの光軸と直交方向から光を出射する光源と、光学系とを備えている。同軸落射照明部１２ｂの光学系は、光源から出射された光をカメラ１２ａの光軸と同軸方向の光に変換するためのハーフミラーと、ワークＷに反射した反射光（正反射光）をカメラ１２ａに入光させるテレセントリックレンズとを備えている。画像取得部１２の背面照明部１２ｃとしては、例えば、拡散板を備えるＬＥＤ照明装置、いわゆる面光源の照明装置を用いることができる。なお、背面照明部１２ｃの発光面の面積はワークＷより大きく設定し、厚み方向から見た場合にワークＷの輪郭を包含するよう配置することが好ましい。このような寸法及び配置とすることで突出部をより精度良く検出可能である。
【００２４】
同軸落射照明部１２ｂから照射される第１の光、及び背面照明部１２ｃから照射される第２の光としては、例えば、可視光や近赤外光を用いることができる。
画像取得部１２のワーク支持部１２ｄは、光透過性支持部材を備えている。光透過性支持部材は、ワークＷを粘着可能な粘着面を有することが好ましい。粘着面を有する光透過性支持部材は、例えば、紫外線の照射により粘着力が低下するＵＶテープと、ＵＶテープを載置する載置板（例えば、アクリル板等の樹脂板やガラス板）とを備える。光透過性支持部材は、ワークＷの外形よりも大きい外形を有することが好ましい。
【００２５】
図２（ａ）〜図２（ｃ）に示すように、ワークの検査装置１１の画像取得部１２は、ワークＷの第１主面Ｗ１側から第１の光Ｌ１を同軸落射照明部１２ｂによって照射した状態で、第１主面Ｗ１側からワークＷを撮像した第１の画像Ｄ１を取得する。このとき、上述した画像取得部１２のワーク支持部１２ｄは、ワークＷの外形よりも大きい外形を有する光透過性支持部材を有し、画像取得部１２で取得する第１の画像Ｄ１は、ワークＷを取り囲む背景として光透過性支持部材の像を含むことが好ましい。
【００２６】
図３（ａ）〜図３（ｃ）に示すように、ワークの検査装置１１の画像取得部１２は、ワークＷの第２主面Ｗ２側から第２の光Ｌ２を背面照明部１２ｃによって照射した状態で、第１主面Ｗ１側からワークＷを撮像した第２の画像Ｄ２を取得する。このとき、上述した画像取得部１２のワーク支持部１２ｄは、ワークＷの外形よりも大きい外形を有する光透過性支持部材を有し、第２の画像Ｄ２は、光透過性支持部材に第２の光Ｌ２を透過させて得られることが好ましい。
【００２７】
図４（ａ）に示すように、本実施形態のワークの検査装置１１の形状識別部１３は、第１の画像Ｄ１と第２の画像Ｄ２とから差分画像Ｄ３を作成し、この差分画像Ｄ３に基づきワークＷの外周形状を識別する。差分画像Ｄ３は、第１の画像Ｄ１の輝度値と第２の画像Ｄ２の輝度値の差分から作成することができる。
【００２８】
図４（ｂ）及び図４（ｃ）の差分画像Ｄ３は、図２（ｂ）に示す第１の画像Ｄ１の輝度値から図３（ｂ）に示す第２の画像Ｄ２の輝度値を減算して作成したものである。差分画像Ｄ３は、必要に応じて、二値化処理や輝度の補正処理等の画像処理を行ったものを用いてもよい。形状識別部１３で識別するワークＷの外周形状の詳細については、後述するワークの製造方法とともに説明する。
【００２９】
ワークの検査装置１１は、ワークＷの外周形状に基づいて、ワークＷの良否を判定する良否判定部を備えていてもよい。良否判定部は、例えば、予め記憶させた正常なワークの差分画像と、検査対象のワークの差分画像Ｄ３との対比結果や、予め規定した閾値等に基づきワークＷの良否を判定するように構成することができる。なお、例えば、差分画像Ｄ３等の画像をディスプレイに表示させて目視で良否判定を行うこともできる。
【００３０】
ワークＷの材料としては、例えば、ガラス、セラミックス、金属、樹脂等が挙げられる。ワークＷは、複数の異なる材料を複合した複合材料から構成することもできる。ワークＷの中でも、励起波長領域を有する波長変換部材は、より精密な外周形状の検査を必要とする場合があるため、本実施形態のワークの検査装置１１は、波長変換部材の検査に好適に用いることができる。波長変換部材としては、例えば、ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系ガラス粉末、ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−ＲＯ系ガラス粉末（Ｒは、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａからなる群から選択される少なくとも一種）、ＳｉＯ２−ＴｉＯ２−Ｎｂ２Ｏ５−Ｒ’２Ｏ系ガラス粉末（Ｒ’は、Ｌｉ、Ｎａ及びＫからなる群から選択される少なくとも一種）及びＳｎＯ−Ｐ２Ｏ５系等のガラス粉末と、ＹＡＧ蛍光体粉末等の無機蛍光体粉末とを混合し、所定形状に加圧成型し、焼成して得られるものや、光透過性の基板と蛍光体膜との積層構造を有するもの、多結晶ＹＡＧセラミックス、蛍光体含有セラミックス、蛍光体含有樹脂、ガラス板と蛍光体含有層（例えば、蛍光体含有樹脂層）との複合部材などが挙げられる。
【００３１】
ワークＷの第１主面Ｗ１は、４００ｎｍ以上、２５００ｎｍ以下の波長領域の垂直入射光において、１％以上の平均反射率を有することが好ましい。光透過性支持部材の支持面（上面）は、４００ｎｍ以上、２５００ｎｍ以下の波長領域の垂直入射光において、１％以上の平均反射率を有することが好ましい。ワークＷの第１主面Ｗ１は、可視光波長領域の垂直入射光において、３％以上の平均反射率を有し、光透過性支持部材の支持面（上面）は、可視光波長領域の垂直入射光において、３％以上の平均反射率を有することがより好ましい。
【００３２】
ここで、上述したように第１の画像Ｄ１のワークＷを取り囲む背景として光透過性支持部材の像を含む場合、ワークＷの第１主面Ｗ１の反射率と、光透過性支持部材の支持面の反射率とが近いほど、第１の画像Ｄ１中のワークＷの輪郭が不鮮明になり易い。この点、本実施形態のワークの検査装置１１では、ワークＷの輪郭について第１の画像Ｄ１で不鮮明であっても、第２の画像Ｄ２から把握することができる。このため、ワークＷの第１主面Ｗ１の反射率に比較的近い反射率を有する光透過性支持部材を用いることもできる。例えば、４００ｎｍ以上、２５００ｎｍ以下の波長領域の垂直入射光において、ワークＷの第１主面Ｗ１における平均反射率を１００とした場合、光透過性支持部材の平均反射率が９０以上、１１０以下の範囲であってもよい。
【００３３】
ワークＷは、４００ｎｍ以上、２５００ｎｍ以下の波長領域において、０％以上、８０％以下の平均透過率を有することが好ましい。光透過性支持部材は、４００ｎｍ以上、２５００ｎｍ以下の波長領域において、２０％以上の平均透過率を有することが好ましい。ワークＷは、可視光波長領域において、０％以上、７０％以下の平均透過率を有することがより好ましい。また、光透過性支持部材は、可視光波長領域において、３０％以上の平均透過率を有することがより好ましい。ワークＷは、４９５ｎｍ以上の可視光波長領域において、０％以上、６０％以下の平均透過率を有することがさらに好ましい。
【００３４】
ワークＷが波長変換部材である場合、波長変換部材から出射する波長変換光を抑止し、より鮮明な第２の画像Ｄ２を得るという観点から、第２の光Ｌ２として、波長変換部材の励起波長領域とは異なる波長領域の光を用いることが好ましい。なお、第２の光Ｌ２において、波長変換部材の励起波長領域の光を完全に排除することが困難な場合、波長変換部材の励起波長領域の光がピーク強度の１／１０程度の強度で微量に含まれることは許容され得る。第２の光Ｌ２としては、４９５〜２５００ｎｍの波長域に強度ピークを有する光を用いることができる。また、第１の光Ｌ１としては、４００〜２５００ｎｍの波長域に強度ピークを有する光を用いることができる。
【００３５】
＜ワークの製造方法＞
次に、ワークの製造方法について説明する。
図５及び図６に示すように、ワークの製造方法は、板状の母材ワークＢＷを割断線ＳＬ（スクライブライン）に沿って折り割ることで、上述したワークＷを形成するワーク形成工程（ステップＳ１１）を備えている。ステップＳ１１のワークの形成工程において、母材ワークＢＷの割断線ＳＬは、例えば、刃体やレーザー光を用いて形成することができる。ステップＳ１１のワークの形成工程は、割断線ＳＬを有する母材ワークＢＷに対して、例えば、母材ワークＢＷの割断線ＳＬが形成されている主面とは反対側となる主面側から外力を加えることで、母材ガラスを折り割ることができる。
【００３６】
図６に示すように、ワークの製造方法は、ワークＷの画像を取得する画像取得工程（ステップＳ１２）と、ワークＷの画像に基づきワークＷの形状を識別する形状識別工程（ステップＳ１３）とを備えている。ステップＳ１２の画像取得工程において、第１の画像Ｄ１と第２の画像Ｄ２とを取得する。ステップＳ１３の形状識別工程において、第１の画像Ｄ１と第２の画像Ｄ２とに基づいてワークＷの外周形状を識別する。
【００３７】
次に、ワークの製造方法のステップＳ１３の形状識別工程において識別するワークＷの外周形状の詳細について説明する。
図５に示すように、ステップＳ１１のワーク形成工程で得られたワークＷの第１主面Ｗ１は、母材ワークＢＷにおいて割断線ＳＬを有する主面に対応している。ステップＳ１１のワーク形成工程で得られたワークＷには、平面視で割断線ＳＬよりも外方に突出する突出部が形成される場合がある。図５に示すワークＷは、第１主面Ｗ１に連続する表面を有する表面突出部Ｐ１を備えている。なお、図面では、突出部の大きさを誇張して示している。突出部は、例えば、５μｍ以上の突出長さを有する。
【００３８】
図２（ｂ）及び図２（ｃ）に示す第１の画像Ｄ１において、破線で囲まれる部分には、ワークＷの表面突出部Ｐ１が含まれている。この第１の画像Ｄ１では、背景と突出部と境界が視認され難く、突出部を含む外周形状を有するワークであることを識別することが困難である。
【００３９】
図３（ｂ）及び図３（ｃ）に示す第２の画像Ｄ２において、破線で囲まれる部分には、ワークＷの表面突出部Ｐ１が含まれている。この第２の画像Ｄ２では、突出部を含む外周形状を有するワークであることを識別できるものの、表面突出部Ｐ１を含む外周形状を有するワークＷであることについては識別できない。
【００４０】
図４（ｂ）及び図４（ｃ）に示す差分画像Ｄ３において、破線で囲まれる部分には、ワークＷの表面突出部Ｐ１が含まれている。この差分画像Ｄ３中において、表面突出部Ｐ１は、ワークＷの第１主面Ｗ１と同等の輝度の像となっている。
【００４１】
ここで、図７（ａ）に示すように、ステップＳ１１のワーク形成工程で得られたワークＷは、平面視で割断線ＳＬよりも外方に突出する突出部として、第１主面Ｗ１に連続する表面を有しない非表面突出部Ｐ２を備える場合もある。
【００４２】
図７（ｂ）に示す第１の画像Ｄ１において、破線で囲まれる部分は、ワークＷの非表面突出部Ｐ２が含まれている。この第１の画像Ｄ１では、背景と突出部との境界が視認され難く、突出部を有するワークＷであることを識別することが困難である。
【００４３】
図７（ｃ）に示す第２の画像Ｄ２において、破線で囲まれる部分には、ワークＷの非表面突出部Ｐ２が含まれている。この第２の画像Ｄ２では、突出部を有するワークＷであることを識別できるものの、非表面突出部Ｐ２を含む外周形状を有するワークＷであることについては識別できない。
【００４４】
図７（ｄ）に示す差分画像Ｄ３において、破線で囲まれる部分には、ワークＷの非表面突出部Ｐ２が含まれている。この差分画像Ｄ３中において、非表面突出部Ｐ２は、ワークＷの背景と同等の輝度となる。
【００４５】
以上のことから、第２の画像Ｄ２から突出部を有するワークＷであることを識別することができる。また、第２の画像Ｄ２中で突出部が位置する部分の明暗から突出部が表面突出部Ｐ１及び非表面突出部Ｐ２のいずれであるかについて識別することができる。このとき、第１の画像Ｄ１と第２の画像Ｄ２との差分画像Ｄ３を用いることで、突出部が表面突出部Ｐ１及び非表面突出部Ｐ２のいずれであるか容易に識別することができる。
【００４６】
また、突出部のうち、表面突出部Ｐ１のみが欠陥となる場合、表面突出部Ｐ１を含む外周形状を有するワークＷと、非表面突出部Ｐ２を含む外周形状又は突出部を含まない外周形状を有するワークＷとを識別すればよい。この場合、差分画像Ｄ３のみから良否判定を行うこともできる。すなわち、図４（ｃ）に示すように、差分画像Ｄ３を用いて、突出部を含む外周形状を有するワークＷとして識別し、その識別結果に基づいて不良品として判定することができる。
【００４７】
なお、図７（ｄ）に示すように、差分画像Ｄ３を用いて、突出部を含まない外周形状を有するワークＷとして識別し、その識別結果に基づいて良品として判定することもできる。この良品とする判定は、非表面突出部Ｐ２を含む外周形状を有するワークＷも良品として含めた判定となる。
【００４８】
図６に示すように、ワークの製造方法は、ステップＳ１３の形状識別工程の識別結果に基づいてワークＷの表面突出部Ｐ１を除去する除去工程（ステップＳ１４）をさらに備えていてもよい。ワークＷの表面突出部Ｐ１がワークＷの欠陥となる場合、ステップＳ１４の除去工程において、ワークＷの表面突出部Ｐ１を研削、研磨、エッチング等により除去することで、良品のワークＷを得ることができる。
【００４９】
なお、上述したステップＳ１２の画像取得工程と、ステップＳ１３の形状識別工程は、予め準備したワークＷを検査する検査方法として適用することもできる。
次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。
【００５０】
（１）ワークの製造方法は、ステップＳ１１のワーク形成工程と、ステップＳ１２の画像取得工程と、ステップＳ１３の形状識別工程とを備えている。ステップＳ１２の画像取得工程において、ワークＷの第１主面Ｗ１側から第１の光Ｌ１を照射した状態で、第１主面Ｗ１側からワークＷを撮像した第１の画像Ｄ１と、ワークＷの第２主面Ｗ２側から第２の光Ｌ２を照射した状態で、第１主面Ｗ１側からワークＷを撮像した第２の画像Ｄ２とを取得している。ステップＳ１３の形状識別工程において、第１の画像Ｄ１と第２の画像Ｄ２とに基づいてワークＷの外周形状を識別している。
【００５１】
ここで、ステップＳ１１のワーク形成工程によって得られるワークＷには、例えばワークＷの平面視で割断線ＳＬよりも外方に突出する突出部が形成される場合がある。ステップＳ１３の形状識別工程では、ステップＳ１２の画像取得工程で得られた第１の画像Ｄ１と第２の画像Ｄ２とに基づいてワークＷの形状を識別することにより、上記の突出部を含むワークＷの外周形状について、異なる複数の視点から識別した識別結果を得ることができる。従って、ワークＷの外周形状をより精密に識別することが可能となる。
【００５２】
（２）ワークの製造方法のステップＳ１３の形状識別工程において、第１の画像Ｄ１と第２の画像Ｄ２とから作成した差分画像Ｄ３に基づいてワークＷの外周形状を識別することが好ましい。
【００５３】
この場合、差分画像Ｄ３を用いることで、例えば、ワークＷの平面視で割断線ＳＬよりも外方に突出する突出部のうち、ワークＷの厚さ方向で異なる位置の表面突出部Ｐ１と非表面突出部Ｐ２とを容易に識別することが可能となる。
【００５４】
（３）ワークの製造方法において、ワークＷの第１主面Ｗ１は、母材ワークＢＷにおいて割断線ＳＬを有する主面に対応している。ワークの製造方法のステップＳ１３の形状識別工程において、ワークＷの平面視で割断線ＳＬよりも外方に突出する突出部のうち、ワークＷの第１主面Ｗ１に連続する表面を有する表面突出部Ｐ１を識別することが好ましい。
【００５５】
ここで、ワークＷの両主面のうち、母材ワークＢＷにおいて割断線ＳＬを有する主面に対応する第１の主面側には、上述した表面突出部Ｐ１が形成される場合があり、この表面突出部Ｐ１は、ワークＷの欠陥となり得る。このような表面突出部Ｐ１を有するワークＷを識別するために、ステップＳ１３の形状識別工程を好適に用いることができる。
【００５６】
（４）ワークの製造方法は、ステップＳ１３の形状識別工程の識別結果に基づいてワークＷの表面突出部Ｐ１を除去する除去工程をさらに備えることが好ましい。
この方法によれば、ワークＷの表面突出部Ｐ１がワークＷの欠陥となる場合、表面突出部Ｐ１をステップＳ１４の除去工程で除去することで、良品のワークＷを得ることができる。
【００５７】
（５）ワークＷが励起波長領域を有する波長変換部材である場合、ワークの製造方法では、ステップＳ１２の画像取得工程の第２の光Ｌ２として、励起波長領域とは異なる波長領域の光を用いることが好ましい。
【００５８】
この場合、波長変換部材から出射する波長変換光を抑止することで、第２の画像Ｄ２中のワークＷの輪郭をより鮮明にすることができる。
（６）ワークの製造方法のステップＳ１２の画像取得工程において、ワークＷの外形よりも大きい外形を有する光透過性支持部材にワークＷの第２主面Ｗ２を支持させた状態とすることが好ましい。このとき、第１の画像Ｄ１は、ワークＷを取り囲む背景として光透過性支持部材の像を含み、第２の画像Ｄ２は、光透過性支持部材に第２の光Ｌ２を透過させて得られることが好ましい。
【００５９】
この場合、第１の画像Ｄ１及び第２の画像Ｄ２を撮像する条件を容易に一定にすることができるため、ワークＷの外周形状について信頼性の高い識別結果を容易に得ることができる。
【００６０】
（変更例）
本実施形態は、以下のように変更して実施することができる。本実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
【００６１】
・ワークの製造方法において、ステップＳ１３の形状識別工程は、ワークＷの外周全体を対象とせずに、例えば、平面視四角形状のワークＷの四辺のうち、一辺のみの形状を識別する等、ワークＷの外周の一部を対象としてもよい。
【００６２】
・ワークの製造方法において、ステップＳ１２の画像取得工程で取得する第１の画像Ｄ１の背景は、光透過性を有しない支持部材であってもよい。
・ワークの製造方法のステップＳ１２の画像取得工程において、クランプ等の保持部材を用いてワークＷを吊り下げた状態で第１の画像Ｄ１及び第２の画像Ｄ２を取得してもよい。
【００６３】
・ワークの製造方法において、ステップＳ１４の除去工程を省略してもよい。ワークの製造方法は、ステップＳ１４の除去工程の代わりに、例えば、ステップＳ１３の形状識別工程の識別結果に基づいてワークＷを分別する分別工程を備えていてもよい。
【００６４】
・ワークＷの非表面突出部Ｐ２が欠陥となる場合、ワークの製造方法において、ステップＳ１４の除去工程をワークＷの非表面突出部Ｐ２を除去する除去工程に変更することができる。
【００６５】
・ワークの製造方法において、ステップＳ１３の形状識別工程は、表面突出部Ｐ１と非表面突出部Ｐ２とを識別する工程に限定されず、例えば、非表面突出部Ｐ２のうち、ワークＷの厚さ方向で異なる位置の非表面突出部Ｐ２を識別する工程に変更することもできる。
【００６６】
・ワークの製造方法のステップＳ１２の画像取得工程では、ワークＷの第１主面Ｗ１を母材ワークＢＷにおいて割断線ＳＬを有する主面とは反対側の主面に対応させて画像を取得してもよい。
【００６７】
・ワークの製造方法において、ステップＳ１２の画像取得工程で用いる第１の光Ｌ１は、カメラ１２ａの光軸と同軸となる方向から照射する光に限定されず、カメラ１２ａの光軸と交差する方向から照射する光であってもよい。
【００６８】
・ワークの製造方法のステップＳ１２の画像取得工程において、第１の画像Ｄ１を取得した後に、第２の画像Ｄ２を取得してもよいし、第２の画像Ｄ２を取得した後に、第１の画像Ｄ１を取得してもよい。
【００６９】
・上記ワークＷは、平板状であるが、例えば、曲板状であってもよい。
・ワークの検査方法及びワークの検査装置１１で検査するワークＷは、ステップＳ１１のワーク形成工程で得られるワークＷに限定されず、他の工程で得られるワークであってもよい。
【００７０】
・ステップＳ１２の画像取得工程では、複数のワークＷの画像を取得してもよい。例えば、図８に示すように、複数のワークＷを配列した状態で同一のワーク支持部１２ｄに支持することで、複数のワークＷを同時に効率よく検査することが可能である。なお、ワーク支持部１２ｄが撓んでいると、隣り合うワークＷ間の距離がばらつく、ワークＷが傾いて場所により正反射光の輝度がばらつく等して、ワークＷ毎の検査精度が低下するおそれがある。このようなおそれがある場合には、ワーク支持部１２ｄに張力を付与させた状態で検査することが好ましい。例えば、ワーク支持部１２ｄの縁部等を厚み方向に押圧することでワーク支持部１２ｄに張力を発生させることができる。
【符号の説明】
【００７１】
１１…ワークの検査装置、１２…画像取得部、１３…形状識別部、ＢＷ…母材ワーク、Ｄ１…第１の画像、Ｄ２…第２の画像、Ｄ３…差分画像、Ｌ１…第１の光、Ｌ２…第２の光、Ｐ１…表面突出部、Ｐ２…非表面突出部、ＳＬ…割断線、Ｗ…ワーク、Ｗ１…第１主面、Ｗ２…第２主面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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