(57)【要約】【課題】計測装置の精度を維持しつつ計測を実行する。【解決手段】入射部３１と、受光部３２と、入射部３１と受光部３２に接続された光ファイバ３３と、を備える受光プローブ１１と、赤外光を反射する反射ミラー４１を有する反射プローブ１２と、を備え、受光プローブ１１は、受光プローブ導光部３４と、光ファイバ３３と受光プローブ導光部３４とを固定する受光側固定部材３５，３６と、を有し、反射プローブ１２は、反射プローブ導光部４２と、反射ミラー４１と反射プローブ導光部４２を固定する反射側固定部材４３と、を有し、受光側固定部材３６は受光プローブキー３６ｄを有し、反射側固定部材４３は反射プローブキー４３ｂを有し、エンジンの壁部のキー溝に受光プローブキー３６ｄを合わせることで受光プローブ１１の位置決めを行い、エンジンの壁部のキー溝に反射プローブキー４３ｂを合わせることで反射プローブ１２の位置決めを行う。【選択図】図１
2020076579.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エンジンに設置し、赤外光をエンジン筒内で通過させてガス温度を計測する計測装置であって、
前記計測装置は、
赤外光を入射する入射部と、
前記赤外光を受光する受光部と、
前記入射部と前記受光部のそれぞれに光学的に接続された光ファイバと、を備える受光プローブと、
前記赤外光の反射を行う反射ミラーを有する反射プローブと、を備え、
前記受光プローブは、
前記光ファイバと、前記反射プローブとの間で前記赤外光を導光する受光プローブ導光部と、
前記光ファイバと前記受光プローブ導光部と、を相対的に固定する受光側固定部材と、を有し、
前記反射プローブは、
前記反射ミラーと、前記受光プローブとの間で前記赤外光の導光を行う反射プローブ導光部と、
前記反射ミラーと前記反射プローブ導光部と、を相対的に固定する反射側固定部材と、を有し、
前記受光側固定部材は、外周面から外側に突出して形成された受光プローブキーを有し、
前記反射側固定部材は、外周面から外側に突出して形成された反射プローブキーを有し、
前記受光プローブを前記エンジンに設置する際には、前記エンジンの壁部に設けられたキー溝に対して前記受光プローブキーを合わせることで、前記受光プローブの位置決めを行い、
前記反射プローブを前記エンジンに設置する際には、前記エンジンの壁部に設けられたキー溝に対して前記反射プローブキーを合わせることで、前記反射プローブの位置決めを行う
計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンジン筒内のガス温度を計測する計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
エンジン筒内のガス温度計測を行う方法として、エンジン筒内に光を入射し、受光することによって温度計測を行う赤外線吸収法が知られている。
【０００３】
従来、このような分野の技術として、特開２００４−１２５７４０号公報がある。ここで、エンジンのシリンダ内に設けられる光学部品は、燃焼により発生する煤により汚れるため、交換や洗浄を必要とする。この公報に記載された温度センサは、煤で汚れた光学窓およびミラーの交換、洗浄が可能とした状態で、シリンダ内の温度を計測することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１２５７４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前述した従来の温度センサでは、光ファイバや光を反射、転送する部品の位置がずれることにより計測不可あるいは精度の低下が発生する。例えば、赤外線吸収法によりエンジン内のガス温度計測を行う場合、直径が数μｍの極細の光ファイバに投受光を行いエンジン筒内付近まで光を伝送する必要があるため、光路調整が難しく計測精度に影響がでやすい。さらに、エンジン筒内は燃焼ガスにさらされるために光ファイバをそのまま入れることはできず、別途導光部品が必要となる。このような導光部品の清掃や交換の際にも光ファイバと導光部品の相対位置のずれが発生し、精度不良や、計測不可となることがある。
本発明は、精度を維持しつつ計測を行うことができる計測装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明にかかる計測装置は、エンジンに設置し、赤外光をエンジン筒内で通過させてガス温度を計測する計測装置であって、前記計測装置は、赤外光を入射する入射部と、前記赤外光を受光する受光部と、前記入射部と前記受光部のそれぞれに光学的に接続された光ファイバと、を備える受光プローブと、前記赤外光の反射を行う反射ミラーを有する反射プローブと、を備え、前記受光プローブは、前記光ファイバと、前記反射プローブとの間で前記赤外光を導光する受光プローブ導光部と、前記光ファイバと前記受光プローブ導光部と、を相対的に固定する受光側固定部材と、を有し、前記反射プローブは、前記反射ミラーと、前記受光プローブとの間で前記赤外光の導光を行う反射プローブ導光部と、前記反射ミラーと前記反射プローブ導光部と、を相対的に固定する反射側固定部材と、を有し、前記受光側固定部材は、外周面から外側に突出して形成された受光プローブキーを有し、前記反射側固定部材は、外周面から外側に突出して形成された反射プローブキーを有し、前記受光プローブを前記エンジンに設置する際には、前記エンジンの壁部に設けられたキー溝に対して前記受光プローブキーを合わせることで、前記受光プローブの位置決めを行い、前記反射プローブを前記エンジンに設置する際には、前記エンジンの壁部に設けられたキー溝に対して前記反射プローブキーを合わせることで、前記反射プローブの位置決めを行う。
これにより、計測装置の構成物品の清掃や交換を行う場合であっても、構成物品間の相対位置のずれを抑制することができる。
【発明の効果】
【０００７】
これにより、精度を維持しつつ計測を行うことができる計測装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】計測装置とエンジンに挿入した状態の断面図である。
【図２】計測装置をエンジンに挿入していない状態の断面図である。
【図３】受光プローブキーとキー溝を模式的に示した図である。
【図４】計測装置を用いた計測フローを示した図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２に示すように、計測装置１は、受光プローブ１１と、受光プローブ１１から発せられた光を反射して受光プローブ１１に返す反射プローブ１２と、を備える。
【００１０】
それぞれがエンジン２１には受光プローブ用孔２２、反射プローブ用孔２３が設けられている。受光プローブ１１及び反射プローブ１２は、エンジン２１内温度を測定する際に、受光プローブ用孔２２、反射プローブ用孔２３に挿入される。なお以下では、受光プローブ１１及び反射プローブ１２は、エンジン２１の上部からエンジン２１内に挿入されるように配置されるものとして説明する。ここで、図１はエンジン２１の壁部に対して受光プローブ１１及び反射プローブ１２が挿入された状態であり、図２は受光プローブ１１及び反射プローブ１２が挿入されていない状態を示している。
【００１１】
図１及び図２に示すように、受光プローブ１１は、赤外線を入射する入射部３１と、赤外線を受光する受光部３２と、入射部３１及び受光部３２と光学的に接続された光ファイバ３３と、少なくとも一部がエンジン２１の内部に突出するように配置されるサファイアガラス（受光プローブ導光部）３４と、略筒状であって光ファイバ３３を内側面で固定する第１の受光側固定部材３５と、略筒状であってサファイアガラス３４を内側面で固定する第２の受光側固定部材３６と、第１の受光側固定部材３５をエンジンの壁面に固定する第３の受光側固定部材３７と、を備える。以下では、受光プローブ１１は、上下方向に延在するように配置されており、エンジン２１の壁面に設けられた受光プローブ用孔２２に挿入され、下方側の先端がエンジン２１内に配置されたものとして説明する。
【００１２】
反射プローブ１２は、反射ミラー４１と、サファイアガラス（反射プローブ導光部）４２と、反射ミラー４１を固定する第１の反射側固定部材４３と、第１の反射側固定部材４３をエンジン２１の壁部に固定する第２の反射側固定部材４４と、を備える。以下では、反射プローブ１２は、上下方向に延在するように配置されており、エンジン２１の壁面に設けられた反射プローブ用孔２３に挿入され、下方側の先端がエンジン２１内に配置されたものとして説明する。
【００１３】
図２に示すように、受光プローブ用孔２２は、エンジン２１の壁部における内側近傍が短径で形成された孔である。具体的には、受光プローブ１１を受光プローブ用孔２２にセットした場合に、第２の受光側固定部材３６の先端に配置されるサファイアガラス３４がエンジン２１内側の空洞部に突出するとともに、第２の受光側固定部材３６はエンジン２１の内側の空洞部まで突出しないように、短径で形成されている。
【００１４】
より具体的には、受光プローブ用孔２２は、エンジン２１の内側から外側方向への順に、サファイアガラス３４が挿入される第１の径部２２ａ第１の径部２２ａより径が大きく、第２の受光側固定部材３６の外径部が当接する第２の径部２２ｂ、第２の径部２２ｂより径が大きく、第３の受光側固定部材３７の外径部が当接する第３の径部２２ｃと、を備える。なお例えば、第１の径部２２ａと、第２の径部２２ｂと、第３の径部２２ｃはそれぞれ同軸となるように形成されている。また、第１の径部２２ａと第２の径部２２ｂとの境界に設けられた段差を第１の段差２２ｄ、第２の径部２２ｂと第３の径部２２ｃとの境界に設けられた段差を第２の段差２２ｅとする。なお、第３の径部２２ｃの壁面には、第３の受光側固定部材３７の外径部に設けられたネジ溝３７ａと噛み合うようにネジ溝が設けられている。
【００１５】
ここで図３に示すように、第２の径部２２ｂには、壁面側に凹み、上下方向に延在するキー溝２２ｆが設けられている。後述するように、キー溝２２ｆには、第２の受光側固定部材３６に設けられた受光プローブキー３６ｄが挿入される。図３は、受光プローブ１１及び受光プローブ用孔２２において、第２の受光側固定部材３６と第２の径部２２ｂの箇所のみを示した図である。
【００１６】
反射プローブ用孔２３は、エンジン２１の壁部における内側近傍において短径で形成された第１の径部２３ａと、第１の径部２３ａの上方であって、第１の径部２３ａに比べて径が長く、上下方向に長く形成された第２の径部２３ｂと、第１の径部２３ａ及び第２の径部２３ｂより径が大きく、エンジン２１外側近傍に形成された第３の径部２３ｃと、を有する孔である。なお、第１の径部２３ａと第２の径部２３ｂの間の段差を段差２３ｄとする。第３の径部２３ｃの壁面にはネジ溝が設けられている。
【００１７】
具体的には、反射プローブ１２を反射プローブ用孔２３にセットした場合に、第１の反射側固定部材４３の先端に配置されるサファイアガラス４２が、第１の径部２３ａを通り抜けてエンジン２１内側の空洞部に突出する。また、第１の反射側固定部材４３の第１の径部２３ａである下端は、段差２３ｄの上面に当接するように形成されている。これにより第１の反射側固定部材４３が、エンジン２１の内側の空洞部まで突出しないように形成されている。
【００１８】
さらに第２の径部２３ｂには、壁面側に凹み、かつ、上下方向に延在するキー溝２３ｆが形成されている。
【００１９】
ここで、受光プローブ１１の各部について説明する。入射部３１は、光ファイバ３３への赤外線の入射を行う。例えば入射部３１は、受光プローブ１１の上部近傍であって、エンジン２１の壁面より外側に配置されている。
【００２０】
図１及び図２に示すように、受光部３２は、受光プローブ１１から照射し、反射プローブ１２で反射した赤外光を受光する。受光部３２では、後述するようにエンジン２１内の空洞部を通過した赤外光を受光し、その光の強度等の状態を測定することができる。これにより受光部３２では、エンジン２１内温度を算出することができる。なお例えば、受光部３２は、受光プローブ１１の上部近傍であって、エンジン２１の壁面より外側に配置されている。
【００２１】
光ファイバ３３の上端は、エンジン２１の外側、すなわち第３の径部２２ｃより上方に配置されている。また、光ファイバ３３の下端は、例えば第３の径部２２ｃ近傍に配置される。なお、光ファイバ３３の位置はこれらに限られない。また、光ファイバ３３の外周面は、略筒状の第１の受光側固定部材３５の内部に固定されている。
【００２２】
ここで、入射部３１から光ファイバ３３に入射した赤外光は、上方から下方に導光され、光ファイバ３３の下端から第１の受光側固定部材３５の内部を介して、サファイアガラス３４に照射される。また逆に、反射プローブ１２側からサファイアガラス３４に照射された赤外光は、受光プローブ内を介して光ファイバ３３の下端部に照射され、光ファイバ３３において下方から情報に導光されて、受光部３２に到達する。
【００２３】
サファイアガラス３４は、第１の受光側固定部材３５の下端３５ｂが当接して配置されるプリズムある。サファイアガラス３４は、第１の受光側固定部材３５側から赤外光が入射した際に、赤外光を反射プローブ１２のサファイアガラス４２に向けて出射するように、赤外光を導光する。また、サファイアガラス３４は、反射プローブ１２のサファイアガラス４２側から赤外光が入射した場合に、第１の受光側固定部材３５の内部を介して光ファイバ３３に向けて出射するように、赤外光を導光する。
【００２４】
なお後述するように、受光プローブ１１に配置されたサファイアガラス３４と、反射プローブ１２に配置されたサファイアガラス４２は、上下方向の位置が揃った状態であり、言い換えると、同一のＸＹ平面上に配置されているものとする。
【００２５】
また、サファイアガラス３４は、第２の受光側固定部材３６に対して固定されている。より具体的には、サファイアガラス３４の上端部がフランジ状となっており、フランジの下側が第２の受光側固定部材３６の下端に設けられた、後述する第１の径部３６ａに当接して固定されており、フランジの上側が第１の受光側固定部材３５の下端３５ｂと当接している。これにより、サファイアガラス３４の上端のフランジは、第１の受光側固定部材３５と第２の受光側固定部材３６とに挟まれて固定されている。
【００２６】
第１の受光側固定部材３５は、上下方向に延在する略筒状であって、エンジン２１の壁部の厚みより長く形成されている。第１の受光側固定部材３５の内側の上部において、光ファイバ３３が固定されている。ここで、第１の受光側固定部材３５の下端３５ｂから、光ファイバ３３が固定されている上部の箇所までを、空間部３５ａとする。なお例えば、空間部３５ａにはコリメートレンズが配置されており、通過する赤外光を平行状態に調整したコリメート光にすることができる。
【００２７】
また、第１の受光側固定部材３５の下端近傍の外周面３５ｃは、第２の受光側固定部材３６と当接している。ここで、外周面３５ｃは、後述する第２の受光側固定部材３６の内周面に設けられたネジ溝の形状に合致して固定可能であるように、ネジ溝が形成されている。
【００２８】
第２の受光側固定部材３６は、第１の受光側固定部材３５より短く形成された略筒状である。第２の受光側固定部材３６の下端に形成された第１の径部３６ａは、第１の段差２２ｄの上面に当接して配置される。また、第２の受光側固定部材３６の上端において、外周方向にフランジ状に形成された第３の径部３６ｃのフランジ下面は、第２の段差２２ｅの上面に当接している。
【００２９】
また、第２の受光側固定部材３６において第１の径部３６ａと第３の径部３６ｃの間には、上下方向に長く形成された第２の径部３６ｂが形成されている。また、第２の径部３６ｂの内周側には、第１の受光側固定部材３５を固定するためのネジ溝が形成されている。これにより、第２の径部３６ｂの内周と、第１の受光側固定部材３５の下部の外周が固定される。
【００３０】
さらに、第２の受光側固定部材３６の第２の径部３６ｂの外周側には、外側方向に突出し、上下方向に所定の長さで延在する受光プローブキー３６ｄが形成されている。受光プローブ１１は、受光プローブキー３６ｄがエンジン２１のキー溝２２ｆに挿入されるようにして、受光プローブ用孔２２内に配置される。これにより例えば、受光プローブ１１を再設置する場合であっても、サファイアガラス３４の配置を、所定の位置かつ所定の向きとすることができる。
【００３１】
第３の受光側固定部材３７は、略円筒状のネジである。第３の受光側固定部材３７の筒内を、第１の受光側固定部材３５が貫通するように配置されている。例えば、第３の受光側固定部材３７の内周面は、第１の受光側固定部材３５の上下方向における中央部から上部のいずれかの箇所における外周面と対向し、当接している。
【００３２】
第３の受光側固定部材３７の外周面にはネジ溝３７ａが設けられている。このネジ溝３７ａは、エンジン２１の第３の径部２２ｃのネジ溝が合致して固定された状態となることで、第１の受光側固定部材３５はエンジン２１の壁部と固定される。
【００３３】
次に、反射プローブ１２の各部について説明する。反射ミラー４１は、第１の反射側固定部材４３の上部側に固定されているミラーである。反射ミラー４１は、受光プローブ１１側から出射され、サファイアガラス４２に入射された赤外光を反射する。
【００３４】
サファイアガラス４２は、第１の反射側固定部材４３の下端に配置されている。サファイアガラス４２は、受光プローブ１１のサファイアガラス３４から出射された赤外光の進行方向を変更することで、反射ミラー４１に向けて出射する。また、サファイアガラス４２は、反射ミラー４１が反射した赤外光の進行方向を変更するように導光することで、赤外光はエンジン内を通り、受光プローブ１１のサファイアガラス３４に入射する。
【００３５】
第１の反射側固定部材４３は、略筒状の固定部材である。第１の反射側固定部材４３には、上部に反射ミラー４１が配置され、下部にサファイアガラス４２が配置されているとともに、反射ミラー４１とサファイアガラス４２の間であって、円筒内の空洞であって赤外光が導光される空間部４３ａが形成されている。すなわち、第１の反射側固定部材４３の内周に、空間部４３ａが形成されている。
【００３６】
また、略筒状の第１の反射側固定部材４３の外周面には、外側方向に突出し、上下方向に所定の長さで延在する反射プローブキー４３ｂが設けられている。反射プローブ１２は、反射プローブキー４３ｂがキー溝２３ｆに挿入されるようにした状態で、反射プローブ用孔２３内に配置される。これにより例えば、反射プローブ１２を再設置する場合であっても、サファイアガラス４２の配置を、所定の位置かつ所定の向きとすることができる。
【００３７】
第２の反射側固定部材４４は、略円筒状のネジである。第２の反射側固定部材４４の筒内を、第１の反射側固定部材４３が貫通するように配置されている。第２の反射側固定部材４４の外周面にはネジ溝４４ａが設けられている。このネジ溝４４ａは、反射プローブ用孔２３の第３の径部２３ｃのネジ溝と合致して固定された状態となる。これにより、第１の反射側固定部材４３はエンジン２１の壁部と固定される。
【００３８】
次に図４を参照し、計測装置１において受光プローブ１１と反射プローブ１２をセットして、エンジン２１内の温度計測を行う手順について説明する。
【００３９】
受光プローブ１１を受光プローブ用孔２２に挿入し、反射プローブ１２を反射プローブ用孔２３に挿入する（ステップＳ１）。ここで受光プローブ１１は、図３に示すように、受光プローブキー３６ｄがエンジン２１のキー溝２２ｆと合うように挿入される。同様に反射プローブ１２は、反射プローブキー４３ｂがキー溝２３ｆと合うように挿入される。
【００４０】
受光プローブ１１において、入射部３１から、光ファイバ３３への赤外線の入射を行う（ステップＳ２）。
【００４１】
光ファイバ３３は、赤外光を上部から下部に導光する（ステップＳ３）。光ファイバ３３の下端から出射された赤外光は、空間部３５ａを介して、サファイアガラス３４に入射する（ステップＳ４）。
【００４２】
サファイアガラス３４は、入射された赤外光を、反射プローブ１２のサファイアガラス４２に向けて射出するように導光する（ステップＳ５）。このとき、サファイアガラス３４とサファイアガラス４２の間では、エンジン２１内におけるガス温度の計測箇所であるガス温度計測箇所を通過する。このとき、エンジン２１の筒内のガス温度に基づいて赤外光が吸収される。
【００４３】
サファイアガラス４２は、入射した赤外光を、空間部４３ａを介して、反射ミラー４１に向けて出射するように導光する（ステップＳ６）。
【００４４】
反射ミラー４１は、赤外光を反射する。反射された赤外光は、空間部４３ａを介して、サファイアガラス４２に入射する（ステップＳ７）。
【００４５】
サファイアガラス４２は、入射された赤外光を、受光プローブ１１のサファイアガラス３４に向けて射出するように導光する（ステップＳ８）。このとき、サファイアガラス４２とサファイアガラス３４の間では、ガス温度計測の対象であるガス温度計測箇所を通過する。このとき、エンジン２１の筒内のガス温度に基づいて赤外光が吸収される。
【００４６】
サファイアガラス３４は、入射された赤外光を、空間部３５ａを介して、光ファイバ３３の下端に入射するように導光する（ステップＳ９）。
【００４７】
光ファイバ３３の下端から入射された赤外光は、光ファイバ３３内を通り、受光部３２に入射する（ステップＳ１０）。
【００４８】
受光部３２では、受光した赤外光の強度を検知し、エンジン２１内において吸収された赤外光の量を算出する（ステップＳ１１）。ここで、エンジン２１内において、ガスの温度により吸収される赤外光の量は変化するので、受光した赤外光の強度に基づき、エンジン２１内のガス温度の算出を行うことができる。
【００４９】
このようにして、受光プローブ１１では受光プローブキー３６ｄがエンジン２１のキー溝２２ｆと合致し、反射プローブ１２では反射プローブキー４３ｂがキー溝２３ｆと合致するように挿入することができる。これにより、サファイアガラス３４，４２の向きや位置の調整を実行することができる。すなわち計測装置１では、光軸調整を容易に実行できる。
【００５０】
また、受光プローブ１１では、光ファイバ３３を固定する第１の受光側固定部材３５と、サファイアガラス３４を固定する第２の受光側固定部材３６と、を固定している。したがって、光ファイバ３３とサファイアガラス３４は相対位置を変えることなく、受光プローブ１１を受光プローブ用孔２２にセットされる。
【００５１】
また反射プローブ１２では、反射ミラー４１とサファイアガラス４２が第１の反射側固定部材４３により固定されているため、これらの相対位置を変えることなく、反射プローブ用孔２３にセットされる。
【００５２】
以上のことから、計測装置１の構成物品の清掃や交換を行う場合であっても、光ファイバ３３、サファイアガラス３４、サファイアガラス４２、反射ミラー４１の各構成物品間の相対位置のずれを抑制することができるため、計測装置１の計測精度を維持しつつ、計測を実行することができる。
【００５３】
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、第１の受光側固定部材３５と第２の受光側固定部材３６を、それぞれに設けたネジ溝により固定するものとして説明したが、これらが固定可能であれば、ネジ溝であることに限られない。
【００５４】
また上記では、反射プローブ１２において、反射用固定部材は２つの部材であるものとして説明したが、受光プローブ１１と同様に３つの固定部材を組み合わせて、エンジン２１の壁部に固定するものであっても良い。
【００５５】
例えば、反射ミラー４１を固定する第１の反射側固定部材と、サファイアガラス４２を固定する略円筒状の第２の反射側固定部材と、を用い、第１の反射側固定部材と第２の反射側固定部材とを固定し、第１の反射側固定部材とエンジン２１の壁部との間に第３の反射側固定部材を挿入することで、第１の反射側固定部材とエンジン２１とを固定しても良い。この場合、第２の反射側固定部材の外周面において、上下方向に延在するように設けた反射プローブキーが、エンジン壁面のキー溝２３ｆに挿入されるようにして配置されることで反射プローブ１２の向きを調整できることから、反射ミラー４１とサファイアガラス４２の光軸調整を行うことができる。
【符号の説明】
【００５６】
１            計測装置
１１            受光プローブ
１２            反射プローブ
２１            エンジン
２２            受光プローブ用孔
２２ａ            第１の径部
２２ｂ            第２の径部
２２ｃ            第３の径部
２２ｄ            第１の段差
２２ｅ            第２の段差
２２ｆ            キー溝
２３            反射プローブ用孔
２３ａ            第１の径部
２３ｂ            第２の径部
２３ｃ            第３の径部
２３ｄ            段差
２３ｆ            キー溝
３１            入射部
３２            受光部
３３            光ファイバ
３４            サファイアガラス（受光プローブ導光部）
３５            第１の受光側固定部材
３５ａ            空間部
３５ｂ            下端
３５ｃ            外周面
３６            第２の受光側固定部材
３６ａ            第１の径部
３６ｂ            第２の径部
３６ｃ            第３の径部
３６ｄ            受光プローブキー
３７            第３の受光側固定部材
３７ａ            ネジ溝
４１            反射ミラー
４２            サファイアガラス（反射プローブ導光部）
４３            第１の反射側固定部材
４３ａ            空間部
４３ｂ            反射プローブキー
４４            第２の反射側固定部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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