(57)【要約】【課題】高速通信用の高周波信号と撮像素子駆動用の大電流の双方を安定的に流すことができると共に、アクチュエータに取り付けられる撮像素子の位置決め性能を向上することができ、更には煩雑な組立工程が不要で大量生産にも対応可能なフレキシブル配線体を提供する。【解決手段】駆動システム７は、互いに直交する３方向の並進及び３方向の軸回りの回転のうちの少なくとも１つの動きをするアクチュエータ７１Ａと、アクチュエータ７１Ａに伴って移動する半導体素子６と該半導体素子６の外方に位置する枠体７２とを接続するフレキシブル配線体７３Ａとを備える。フレキシブル配線体７３Ａは、半導体素子６が載置され、半導体素子６と電気的に接続される主部７３１Ａと、主部７３１Ａから枠体７２に向かって延出し、三次元的に曲げられた複数の腕部７３２Ａとを有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに直交する３方向の並進及び前記３方向の軸回りの回転のうちの少なくとも１つの動きをするアクチュエータに伴って移動する半導体素子と、該半導体素子の外方に位置する枠体とを接続するフレキシブル配線体であって、
前記半導体素子が載置され、前記半導体素子と電気的に接続される主部と、
前記主部から前記枠体に向かって延出し、三次元的に曲げられた複数の腕部と、
を有する、フレキシブル配線体。
【請求項２】
前記腕部は、前記主部の主面と交わる主面を有するように曲げられ、更に折り返して曲げられており、
前記腕部の変形によって前記半導体素子の横方向、縦方向及び前記半導体素子の主面に対して垂直な方向の軸回りの回転に自由度を与える、請求項１に記載のフレキシブル配線体。
【請求項３】
前記複数の腕部は、４つ以上である、請求項１又は２に記載のフレキシブル配線体。
【請求項４】
前記主部の平面視において、前記複数の腕部が前記主部を基準として対称に配置され、
前記複数の腕部が折り返して曲げられていることによって弾性変形による力が釣り合った状態が維持されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載のフレキシブル配線体。
【請求項５】
前記腕部は、
前記主部の主面に対して実質的に垂直な主面を有する第一部位と、
前記第一部位の一端に設けられ、折り返して湾曲した第二部位と、
前記第一部位と対向配置される第三部位と、
前記第三部位の一端に設けられ、前記主部の主面と実質的に平行な主面を有する第四部位と、
を有し、
前記第一部位、前記第二部位及び前記第三部位は、前記主部の主面に対して実質的に垂直に配置されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載のフレキシブル配線体。
【請求項６】
前記腕部は、樹脂層と、前記樹脂層上に並べて形成され、互いに絶縁された線状の複数の導電層とで構成されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載のフレキシブル配線体。
【請求項７】
前記複数の腕部が、全体で２０線以上の前記導電層を有する、請求項６に記載のフレキシブル配線体。
【請求項８】
互いに直交する３方向の並進及び前記３方向の軸回りの回転のうちの少なくとも１つの動きをするアクチュエータと、請求項１〜７のいずれか１項に記載のフレキシブル配線体と、を備え、
前記アクチュエータは、
基板に固定される基部と、
前記フレキシブル配線体の前記主部及び前記半導体素子が取り付けられる可動部と、
前記基部と前記可動部とを連結する複数のばね部と、
を有する、駆動システム。
【請求項９】
前記可動部及び前記複数のばね部のうちの少なくとも１つの変位を測定する、少なくとも１つの変位センサを更に備える、請求項８に記載の駆動システム。
【請求項１０】
前記アクチュエータが、ＭＥＭＳによって形成されている、請求項８に記載の駆動システム。
【請求項１１】
前記アクチュエータが、静電アクチュエータである、請求項８〜１０のいずれか１項に記載の駆動システム。
【請求項１２】
前記アクチュエータが、電磁アクチュエータである、請求項８〜１０のいずれか１項に記載の駆動システム。
【請求項１３】
前記アクチュエータが、基板に取り付けられたＭＥＭＳと、前記基板内に設けられ、外部回路に電気的に接続された少なくとも１つのコイルを有し、
前記ＭＥＭＳが、基板に支持された基部と、前記フレキシブル配線体の前記主部及び前記半導体素子に固定される可動部と、前記基部と前記可動部とを連結する複数のばね部と、前記可動部に取り付けられた少なくとも１つの磁性体とを有する、請求項１２に記載の駆動システム。
【請求項１４】
前記磁性体が、磁性粉体又はめっき体を用いて形成されており、前記可動部に埋め込まれている、請求項１３に記載の駆動システム。
【請求項１５】
前記磁性粉体が、成膜体又は樹脂バインダーによって互いに接合されている、請求項１４に記載の駆動システム。
【請求項１６】
前記半導体素子が、撮像素子である、請求項８〜１３のいずれか１項に記載の駆動システム。
【請求項１７】
請求項１６に記載の駆動システムを備え、
前記駆動システムが、前記撮像素子を駆動することによって手振れ補正及び焦点調整のうちの一方又は双方を行う、撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレキシブル配線体、駆動システムおよび撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
スマートフォン等のカメラには、機械的な手振れ補正（ＯＩＳ：Optical Image Stabilization）機能、および機械的な焦点合わせ機能を有するものがある。これは、レンズをボイスコイルモータ（VCM）で並進させることによって実現されている。
【０００３】
一方、レンズを動かさずに撮像素子（ＣＭＯＳイメージャ等）を動かすＯＩＳシステムもある。レンズは軸周りに回転させても効果はないが、撮像素子を動かすことで回転方向の手ぶれを補正できることが，このＯＩＳシステムの特長である。このようなＯＩＳシステムは、スマートフォンには大き過ぎ、高価であるため、一眼レフでのみ採用されている。
【０００４】
しかし近年、撮像素子移動型のＯＩＳシステムをスマートフォンに採用したいという要望が高まっている。これをスマートフォンに搭載するためには，ＯＩＳシステムを十分小型に、しかも安価に作製する必要があることから、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術の利用が検討されている。
【０００５】
ＭＥＭＳ技術を用いて、並進かつ回転するアクチュエータを、撮像素子と同程度のフットプリントで実現することはできるが、数十μｍ以上の大きな変位を、しかも多軸で発生させるように設計すると、アクチュエータの発生力が小さくなる。一方、撮像素子からは数十本もの配線を外部に取り出さなくてはならず、しかもその配線の一部は高速通信を行う高周波配線であり、また他の一部は消費電力の大きい撮像素子に電流を供給するための電源配線である。撮像素子を動かすには、このような配線を一緒に（引きずって）動かさなくてはならず、その抵抗は小型アクチュエータにとって大きな負荷になる。したがって、撮像素子移動型の小型ＯＩＳシステムを実現するためには、アクチュエータの発生力を高めるとともに、撮像素子からどのように配線を取り出すかが鍵の１つになる。
【０００６】
従来、３軸運動するように構成されたＭＥＭＳアクチュエータを備える多軸ＭＥＭＳアセンブリがある。例えば、一端がＭＥＭＳアクチュエータコアに、他端が外側フレームに取り付けられた導電性屈曲部を有し、該導電性屈曲部が電気信号をＭＥＭＳアクチュエータコアの光電変換素子から外側フレームに供給するＭＥＭＳアクチュエータが開示されている（特許文献１）。また、周囲から外側フレームを押圧し、外側フレームを構成するバー同士をラッチ構造で固定することで、外側フレームと内側フレームに接続されたＵ字形の薄膜配線を上に立ち上げる構造を有するＭＥＭＳアクチュエータが開示されている（特許文献２）。このＭＥＭＳアクチュエータでは、撮像素子の移動に伴ってＵ字形薄膜配線が倒れたり起き上がったりするように変形し、これにより多数の配線の機械的負荷（機械的抵抗）が小さくなるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】米国特許出願公開第２０１９／０２２７２６６号明細書
【特許文献２】米国特許出願公開第２０１５／０３４１５３４号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記特許文献１の技術では、導電性屈曲部が高速通信用の高周波信号と撮像素子駆動用の大電流の双方を流せるか否かについての開示は無く、改善の余地がある。また、上記特許文献２の技術では、外側フレームの構造が複雑であると共にＭＥＭＳアクチュエータの組立工程が煩雑であり、また、ＭＥＭＳアクチュエータに取り付けられる撮像素子の位置決め性能が懸念される。
【０００９】
本発明の目的は、高速通信用の高周波信号と撮像素子駆動用の大電流の双方を安定的に流すことができると共に、アクチュエータに取り付けられる撮像素子の位置決め性能を向上することができ、更には煩雑な組立工程が不要で大量生産にも対応可能なフレキシブル配線体、駆動システムおよび撮像装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するべく、本発明は、以下の手段を提供する。
［１］互いに直交する３方向の並進及び前記３方向の軸回りの回転のうちの少なくとも１つの動きをするアクチュエータに伴って移動する半導体素子と、該半導体素子の外方に位置する枠体とを接続するフレキシブル配線体であって、
前記半導体素子が載置され、前記半導体素子と電気的に接続される主部と、
前記主部から前記枠体に向かって延出し、三次元的に曲げられた複数の腕部と、
を有する、フレキシブル配線体。
【００１１】
［２］前記腕部は、前記主部の主面と交わる主面を有するように曲げられ、更に折り返して曲げられており、
前記腕部の変形によって前記半導体素子の横方向、縦方向及び前記半導体素子の主面に対して垂直な方向の軸回りの回転に自由度を与える、上記［１］に記載のフレキシブル配線体。
【００１２】
［３］前記複数の腕部は、４つ以上である、上記［１］又は［２］に記載のフレキシブル配線体。
【００１３】
［４］前記主部の平面視において、前記複数の腕部が前記主部を基準として対称に配置され、
前記複数の腕部が折り返して曲げられていることによって弾性変形による力が釣り合った状態が維持されている、上記［１］〜［３］のいずれかに記載のフレキシブル配線体。
【００１４】
［５］前記腕部は、
前記主部の主面に対して実質的に垂直な主面を有する第一部位と、
前記第一部位の一端に設けられ、折り返して湾曲した第二部位と、
前記第一部位と対向配置される第三部位と、
前記第三部位の一端に設けられ、前記主部の主面と実質的に平行な主面を有する第四部位と、
を有し、
前記第一部位、前記第二部位及び前記第三部位は、前記主部の主面に対して実質的に垂直に配置されている、上記［１］〜［４］のいずれかに記載のフレキシブル配線体。
【００１５】
［６］前記腕部は、樹脂層と、前記樹脂層上に並べて形成され、互いに絶縁された線状の複数の導電層とで構成されている、上記［１］〜［５］のいずれかに記載のフレキシブル配線体。
【００１６】
［７］前記複数の腕部が、全体で２０線以上の前記導電層を有する、上記［６］に記載のフレキシブル配線体。
【００１７】
［８］互いに直交する３方向の並進及び前記３方向の軸回りの回転のうちの少なくとも１つの動きをするアクチュエータと、上記［１］〜［７］のいずれかに記載のフレキシブル配線体と、を備え、
前記アクチュエータは、
基板に固定される基部と、
前記フレキシブル配線体の前記主部及び前記半導体素子が取り付けられる可動部と、
前記基部と前記可動部とを連結する複数のばね部と、
を有する、駆動システム。
【００１８】
［９］前記可動部及び前記複数のばね部のうちの少なくとも１つの変位を測定する、少なくとも１つの変位センサを更に備える、上記［８］に記載の駆動システム。
【００１９】
［１０］前記アクチュエータが、ＭＥＭＳによって形成されている、上記［８］に記載の駆動システム。
【００２０】
［１１］前記アクチュエータが、静電アクチュエータである、上記［８］〜［１０］のいずれかに記載の駆動システム。
【００２１】
［１２］前記アクチュエータが、電磁アクチュエータである、上記［８］〜［１０］のいずれかに記載の駆動システム。
【００２２】
［１３］前記アクチュエータが、基板に取り付けられたＭＥＭＳと、前記基板内に設けられ、外部回路に電気的に接続された少なくとも１つのコイルを有し、
前記ＭＥＭＳが、基板に支持された基部と、前記フレキシブル配線体の前記主部及び前記半導体素子に固定される可動部と、前記基部と前記可動部とを連結する複数のばね部と、前記可動部に取り付けられた少なくとも１つの磁性体とを有する、上記［１２］に記載の駆動システム。
【００２３】
［１４］前記磁性体が、磁性粉体又はめっき体を用いて形成されており、前記可動部に埋め込まれている、上記［１３］に記載の駆動システム。
【００２４】
［１５］前記磁性粉体が、成膜体又は樹脂バインダーによって互いに接合されている、上記［１４］に記載の駆動システム。
【００２５】
［１６］前記半導体素子が、撮像素子である、上記［８］〜［１３］のいずれかに記載の駆動システム。
【００２６】
［１７］上記［１６］に記載の駆動システムを備え、
前記駆動システムが、前記撮像素子を駆動することによって手振れ補正及び焦点調整のうちの一方又は双方を行う、撮像装置。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、高速通信用の高周波信号と撮像素子駆動用の大電流の双方を安定的に流すことができると共に、アクチュエータに取り付けられる撮像素子の位置決め性能を向上することができ、更には煩雑な組立工程が不要で大量生産にも対応可能なフレキシブル配線体、駆動システムおよび撮像装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係る撮像装置の構成を概略的に示す分解斜視図である。
【図２】図２（ａ）は、図１における駆動システムの構成を概略的に示す平面図、図２（ｂ）は、図１（ａ）の線Ｉ−Ｉ’に沿う断面図である。
【図３】図３は、図２（ｂ）の部分拡大断面図である。
【図４】図４は、図２（ａ）におけるフレキシブル配線体の展開図である。
【図５】図５（ａ）は、図２（ｂ）におけるアクチュエータの構成を概略的に示す底面図であり、図５（ｂ）は、図５（ｂ）は、図５（ａ）の線ＩＩ−ＩＩ’に沿う概略断面図、図５（ｃ）は、図５（ｂ）における絶縁部の拡大断面図である。
【図６】図６（ａ）は、図２（ａ）における駆動システムの変形例を示す平面図、図６（ｂ）は、図６（ａ）の線ＩＩＩ−ＩＩＩ’に沿う断面図である。
【図７】図７は、図６（ｂ）の部分拡大断面図である。
【図８】図８は、図６（ａ）におけるフレキシブル配線体の展開図である。
【図９】図９は、図４におけるフレキシブル配線体の他の変形例を示す平面図である。
【図１０】図１０（ａ）は、図９のフレキシブル配線体をアクチュエータに搭載した状態を示す部分平面図であり、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）の部分断面図である。
【図１１】図１１は、図４におけるフレキシブル配線体の他の変形例を示す平面図である。
【図１２】図１２（ａ）は、図１１のフレキシブル配線体をアクチュエータに搭載した状態を示す部分平面図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）の部分断面図である。
【図１３】図１３は、図５のアクチュエータの変形例を示す底面図である。
【図１４】図１４は、図５のアクチュエータの他の変形例を示す底面図である。
【図１５】図１５は、図２（ｂ）におけるアクチュエータの変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合がある。このため、各構成要素の寸法比率などは、実際とは異なっている場合がある。
【００３０】
図１は、本発明の実施形態に係る撮像装置の構成を概略的に示す分解斜視図である。
図１に示すように、撮像装置１は、レンズ２、ＡＦユニット３、ガラス部材４、カバー部材５、半導体素子６及び駆動システム７を備える。撮像装置１は、特に制限されないが、例えばスマートフォンなどのモバイル機器に搭載されるカメラである。半導体素子６は、例えば撮像素子である。本実施形態では、駆動システム７が、撮像素子としての半導体素子６を駆動することによって手振れ補正及び焦点調整のうちの一方又は双方を行う。
【００３１】
図２（ａ）は、図１における駆動システム７の構成を概略的に示す平面図、図２（ｂ）は、図１（ａ）の線Ｉ−Ｉ’に沿う断面図であり、図３は、図２（ｂ）の部分拡大断面図である。
駆動システム７は、互いに直交する３方向（例えば、ＸＹＺ方向）の並進及び３方向の軸回りの回転のうちの少なくとも１つの動きをするアクチュエータ７１Ａと、アクチュエータ７１Ａに伴って移動する半導体素子６と該半導体素子６の外方に位置する枠体７２とを接続するフレキシブル配線体７３Ａとを備える。本実施形態では、アクチュエータ７１Ａは、互いに直交するＸＹＺ方向のうちのＸ方向及びＹ方向への並進、並びにＺ方向の軸回りの回転（θｚ方向）の動きを行う。
【００３２】
フレキシブル配線体７３Ａは、半導体素子６が載置され、半導体素子６と電気的に接続される主部７３１Ａと、主部７３１Ａから枠体７２に向かって延出し、三次元的に曲げられた複数の腕部７３２Ａとを有する。本実施形態では、フレキシブル配線体７３Ａは、４つの腕部７３２Ａを有しており、４つの腕部７３２Ａは、例えば、平面視で主部７３１Ａの中心を通ってＹ方向に沿う線を基準として線対称に配置されている。
【００３３】
腕部７３２Ａは、主部７３１Ａの主面７３１ａと交わる主面７３２ａを有するように曲げられ（図２（ｂ））、更に折り返して曲げられており（図２（ａ））、腕部７３２Ａの変形によって半導体素子６の横方向（Ｘ方向）、縦方向（Ｙ方向）及び半導体素子６の主面に対して垂直な方向（Ｚ方向）の軸回りの回転に自由度を与える。
【００３４】
フレキシブル配線体７３Ａは、４つの腕部７３２Ａを有しているが、これに限らず、４つ以上の腕部７３２Ａを有していてもよい。また、主部７３１Ａの平面視において、複数の腕部７３２Ａが主部７３１Ａを基準として対称に配置され、複数の腕部７３２Ａが折り返して曲げられていることによって弾性変形による力が釣り合った状態が維持されているのが好ましい。但し、必ずしも弾性変形による力が釣り合った状態である必要は無い。複数の腕部７３２Ａが主部７３１Ａを基準として対称に配置され、複数の腕部７３２Ａが折り返して曲げられており、且つ、複数の腕部７３２Ａのいずれにも弾性変形による力が生じていない状態が維持されていてもよい。これにより、アクチュエータ７１Ａの駆動電力を小さくすることができ、省電力化を図ることができる。
【００３５】
腕部７３２Ａは、具体的には、主部７３１Ａの主面７３１ａに対して実質的に垂直な主面７３２ａを有する第一部位７３２Ａａと、第一部位７３２Ａａの一端に設けられ、折り返して湾曲した第二部位７３２Ａｂと、第一部位７３２Ａａと対向配置される第三部位７３２Ａｃと、第三部位７３２Ａｃの一端に設けられ、主部７３１Ａの主面７３１ａと実質的に平行な主面７３２ｂを有する第四部位７３２Ａｄとを有する。第一部位７３２Ａａ、第二部位７３２Ａｂ及び第三部位７３２Ａｃは、主部７３１Ａの主面７３１ａに対して実質的に垂直に配置されている。
【００３６】
主部７３１Ａは、接着層７４Ａを介してステージ部７１１Ａの上面７１１ａに固定されている。また、腕部７３２Ａの第一部位７３２Ａａは、接着層７５Ａを介してステージ部７１１Ａの側面７１１ｂに固定され、腕部７３２Ａの第四部位７３２Ａｄは、接着層７６Ａを介して枠体７２の上面７２ａに固定されている（図３）。主部７３１Ａは、ステージ部７１１ＡのＸ方向、Ｙ方向及び／又はθｚ方向への移動に伴って移動し、腕部７３２Ａの第二部位７３２Ａｂ及び第三部位７３２Ａｃが、主部７３１Ａの移動に伴って変形する。
【００３７】
図４は、図２（ａ）におけるフレキシブル配線体７３Ａの展開図である。本実施形態では、図４中の線Ｌ１，Ｌ１でフレキシブル配線体７３Ａを山折りとし、更に４つの腕部７３２Ａのそれぞれの中間部を折り返して曲げることにより、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すような三次元構造が形成される。
【００３８】
フレキシブル配線体７３Ａは、樹脂層７３３Ａと、樹脂層７３３Ａ上に並べて形成され、互いに絶縁された線状の複数の導電層７３４Ａとで構成されている。すなわち、主部７３１Ａ及び腕部７３２Ａは、樹脂層７３３Ａと、樹脂層７３３Ａ上に並べて形成され、互いに絶縁された線状の複数の導電層７３４Ａとで構成されている。樹脂層７３３Ａは、単層で構成されてもよいし、異なる材料からなる複数層で構成されてもよい。複数の導電層７３４Ａも、単層で構成されてもよいし、異なる材料からなる複数層で構成されてもよい。導電層７３４Ａの一端部７３４Ａａは、金属で構成されるボンディングワイヤなどのワイヤ部７７を介して半導体素子６に電気的に接続され、他端部７３４Ａｂは、不図示のコネクタ端子に電気的に接続される（図３）。樹脂層７３３Ａの厚みは、例えば１０μｍ〜３０μｍであり、導電層７３４Ａの厚みは、例えば５μｍ〜１５μｍである。樹脂層７３３Ａは、例えばポリイミド（ＰＩ）で構成され、導電層７３４Ａは、例えば銅（Ｃｕ）で構成される。この図では、導電層は１層になっているが、より複雑な配線を行うため多層になっていてもよい。また、導電層の上に絶縁保護膜が形成されていてもよい。さらに、この図では、半導体素子６だけがフレキシブル配線体７３Ａに搭載されているが、他の素子が搭載されていてもよい。
【００３９】
複数の腕部７３２Ａは、全体で２０線以上の導電層７３４Ａを有するのが好ましい。本実施形態では、腕部７３２Ａに５つの導電層７３４Ａが設けられており、複数の腕部７３２Ａが、全体で２０線の導電層７３４Ａを有している。但し、全体で２０線以上の導電層７３４Ａが設けられていれば、腕部の数及び各腕部の導電層の線数又は層数に制限は無く、仕様に応じて適宜変更することができる。これにより、半導体素子６の高機能化等に伴う配線の増大に十分に対応することができる。また、本実施形態では、平面視で２０線の導電層７３４Ａの線幅が同じであるが、これに限られず、２０線の導電層７３４Ａの線幅が異なっていてもよい。例えば、複数の導電層７３４Ａが、通信用の幅狭な導電層と電力用の幅広な導電層とを含んでいてもよい。これにより、複数の導電層７３４Ａにおいて、高速通信用の高周波信号を流す導電層と、撮像素子駆動用の大電流を流す導電層とを設けることができ、フレキシブル配線体７３Ａに高速通信用の高周波信号と撮像素子駆動用の大電流との双方を流すことが可能となる。
【００４０】
フレキシブル配線体７３Ａの形成方法は、特に制限されず、銅積層板の銅箔をエッチングして回路形成を行うサブトラクティブ法や、導電層を有する絶縁基材に電界銅めっきで回路を形成するセミアディティブ法などの方法を用いて形成することができる。
【００４１】
図５（ａ）は、図２（ｂ）におけるアクチュエータ７１Ａの構成を概略的に示す底面図であり、図５（ｂ）は、図５（ｂ）は、図５（ａ）の線ＩＩ−ＩＩ’に沿う概略断面図、図５（ｃ）は、図５（ｂ）における絶縁部の拡大断面図である。本実施形態では、アクチュエータ７１Ａは、静電アクチュエータである。
【００４２】
アクチュエータ７１Ａは、基板８に固定される複数の基部７１２Ａと、フレキシブル配線体７３Ａの主部７３１Ａ及び半導体素子６がステージ部７１１Ａを介して取り付けられる可動部７１３Ａと、基部７１２Ａと可動部７１３Ａとを連結する複数のばね部７１４Ａとを有する。アクチュエータ７１Ａは、基部７１２Ａ、可動部７１３Ａ及び複数のばね部７１４Ａを有していればその形態に制限は無いが、小型化や製造容易性の観点から、例えばＭＥＭＳによって形成されている。
【００４３】
具体的には、複数の基部７１２Ａは、Ｘ方向に関してアクチュエータ７１Ａの一端側に配置された固定部位Ｘ１１，Ｘ１２，ＧＮＤ１４，ＧＮＤ１５，ＧＮＤ１４，θ１２と、Ｘ方向に関してアクチュエータ７１Ａの他端側に配置された固定部位Ｘ２１，Ｘ２２，θ２２，ＧＮＤ２３，ＧＮＤ２５，ＧＮＤ２３とを有する。固定部位の符号「Ｘ」は、可動部７１３ＡをＸ方向に並進させる際に電圧が付与される部位であることを示し、符号「ＧＮＤ」は接地される部位、符号「θ」はθｚ方向に回転させる際に電圧が付与される部位であることを示す。固定部位Ｘ１１，Ｘ１２は、取出電極７９Ａを介して基板８に接続されている。他の固定部位も同様の構成であるので、その説明を省略する。
【００４４】
２つの固定部位Ｘ１１，Ｘ１２には、櫛歯電極の一方の櫛歯が形成されており、他方の櫛歯が後述の第一可動部７１３ＡＡに形成されている。４つの固定部位ＧＮＤ１４，ＧＮＤ１４，ＧＮＤ１５，θ１２は、それぞれ第一ばね部７１４ＡＡを介して後述の第一可動部７１３ＡＡに接続されている。また、２つの固定部位Ｘ２１，Ｘ２２には、それぞれ櫛歯電極の一方の櫛歯が形成されており、他方の櫛歯が後述の第一可動部７１３ＡＢに形成されている。４つの固定部位θ２２，ＧＮＤ２３，ＧＮＤ２５，ＧＮＤ２３は、それぞれ第一ばね部７１４ＡＡを介して後述の第一可動部７１３ＡＢに接続されている。
【００４５】
また、複数の基部７１２Ａは、Ｙ方向に関してアクチュエータ７１Ａの一端側に配置された固定部位Ｙ１１，Ｙ１２，ＧＮＤ３１，ＧＮＤ３５，ＧＮＤ３１，θ３１を有し、且つＹ方向に関してアクチュエータ７１Ａの他端側に配置された固定部位Ｙ２１，Ｙ２２，θ４１，ＧＮＤ４２，ＧＮＤ４５，ＧＮＤ４２を有する。固定部位の符号「Ｙ」は、可動部７１３ＡをＹ方向に移動させる際に電圧が付与される部位、符号「ＧＮＤ」は接地される部位、符号「θ」はθｚ方向に回転させる際に電圧が付与される部位であることを示す。
【００４６】
２つの固定部位Ｙ１１，Ｙ１２には、櫛歯電極の一方の櫛歯が形成されており、他方の櫛歯が後述の第一可動部７１３ＡＣに形成されている。４つの固定部位ＧＮＤ３１，ＧＮＤ３５，ＧＮＤ３１，θ３１は、それぞれ第一ばね部７１４ＡＡを介して後述の第一可動部７１３ＡＣに接続されている。また、２つの固定部位Ｙ２１，Ｙ２２には、それぞれ櫛歯電極の一方の櫛歯が形成されており、他方の櫛歯が後述の第一可動部７１３ＡＤに形成されている。４つの固定部位θ２２，ＧＮＤ２３，ＧＮＤ２５，ＧＮＤ２３は、それぞれ第一ばね部７１４ＡＡを介して後述の第一可動部７１３ＡＤに接続されている。
【００４７】
可動部７１３Ａは、後述する第二可動部の四方（ＸＹ方向）に配置された４つの第一可動部７１３ＡＡ，７１３ＡＢ，７１３ＡＣ，７１３ＡＤと、４つの第一可動部７１３ＡＡ〜７１３ＡＤの中央部に配置され、４つの第一可動部７１３ＡＡ〜７１３ＡＤと複数の第二ばね部７１４ＡＢを介して連結され、平面視で略十字形の第二可動部７１３ＡＥと、第二可動部７１３ＡＥの中央部に配置され、第二可動部７１３ＡＥと複数の第三ばね部７１４ＡＣを介して連結された、平面視で略Ｘ字形の第三可動部７１３ＡＦとを有する。
【００４８】
第一可動部７１３ＡＡ，７１３ＡＢ，７１３ＡＣ，７１３ＡＤは、例えば平面視で略井桁状の枠体である。第一可動部７１３ＡＡのＹ方向両側方には固定部位ＧＮＤ１４，ＧＮＤ１５，ＧＮＤ１４，θ１２が配置され、第一可動部７１３ＡＡの内側には固定部位Ｘ１１，Ｘ１２が配置されている。また、第一可動部７１３ＡＢのＹ方向両側方には固定部位θ２２，ＧＮＤ２３，ＧＮＤ２５，ＧＮＤ２３が配置され、第一可動部７１３ＡＢの内側には固定部位Ｘ２１，Ｘ２２が配置されている。同様にして、第一可動部７１３ＡＣのＸ方向両側方には固定部位ＧＮＤ３１，ＧＮＤ３５，ＧＮＤ３１，θ３１が配置され、第一可動部７１３ＡＣの内側には固定部位Ｙ１１，Ｙ１２が配置されている。また、第一可動部７１３ＡＤのＸ方向両側方には固定部位θ４１，ＧＮＤ４２，ＧＮＤ４５，ＧＮＤ４２が配置され、第一可動部７１３ＡＤの内側には固定部位Ｙ２１，Ｙ２２が配置されている。
【００４９】
固定部位ＧＮＤ１４，ＧＮＤ１５，ＧＮＤ１４，θ１２は、それぞれ第一ばね部７１４ＡＡを介して第一可動部７１３ＡＡに連結されている。固定部位θ２２，ＧＮＤ２３，ＧＮＤ２５，ＧＮＤ２３は、それぞれ第一ばね部７１４ＡＡを介して第一可動部７１３ＡＢに連結されている。固定部位ＧＮＤ３１，ＧＮＤ３５，ＧＮＤ３１，θ３１は、それぞれ第一ばね部７１４ＡＡを介して第一可動部７１３ＡＣに連結されている。固定部位θ４１，ＧＮＤ４２，ＧＮＤ４５，ＧＮＤ４２は、それぞれ第一ばね部７１４ＡＡを介して第一可動部７１３ＡＤに連結されている。また、複数の第一ばね部７１４ＡＡは、機械的な接続部としての機能に加えて、電気的な接続部としても機能する。
【００５０】
第一可動部７１３ＡＡには、固定部位ＧＮＤ１４と固定部位θ１２，ＧＮＤ１５とを絶縁するための絶縁部７１５ＡＡ，７１５ＡＢが設けられている。第一可動部７１３ＡＢには、固定部位ＧＮＤ２３と固定部位θ２２，ＧＮＤ２５とを絶縁するための絶縁部７１５ＡＣ，７１５ＡＤが設けられている。第一可動部７１３ＡＣには、固定部位ＧＮＤ３１と固定部位θ３１，ＧＮＤ３５とを絶縁するための絶縁部７１５ＡＥ，７１５ＡＦが設けられている。第一可動部７１３ＡＤには、固定部位ＧＮＤ４２と固定部位θ４１，ＧＮＤ４５とを絶縁するための絶縁部７１５ＡＧ，７１５ＡＨが設けられている。上記絶縁部は、例えば、窒化ケイ素（ＳｉＮ）、ポリシリコン（ｐ−Ｓｉ）等の材料からなる１層又は複数層で構成され、トレンチアイソレーション等によって形成される。
【００５１】
本実施形態において、固定部位Ｘ１１は固定部位Ｘ２１と同電位であり、固定部位Ｘ１２は固定部位Ｘ２２と同電位である。固定部位Ｙ１１は固定部位Ｙ２１と同電位、固定部位Ｙ１２は固定部位Ｙ２２と同電位である。固定部位Ｘ１１，Ｘ２１に電圧を印加すると、第一可動部７１３ＡＡ，７１３ＡＢがＸ方向の一方（例えば＋Ｘ方向）に移動し、固定部位Ｘ１２，Ｘ２２に電圧を印加すると、第一可動部７１３ＡＡ，７１３ＡＢがＸ方向の他方（例えば−Ｘ方向）に移動する。一方、固定部位Ｙ１１，Ｙ２１に電圧を印加すると、第一可動部７１３ＡＣ，７１３ＡＤがＹ方向の一方（例えば＋Ｙ方向）に移動し、固定部位Ｙ１２，Ｙ２２に電圧を印加すると、第一可動部７１３ＡＣ，７１３ＡＤがＹ方向の他方（例えば−Ｘ方向）に移動する。
【００５２】
第二可動部７１３ＡＥは、例えば平面視で略十字形の外郭を有する枠状体であり、８つの第二ばね部７１４ＡＢを介して４つの第一可動部７１３ＡＡ，７１３ＡＢ，７１３ＡＣ，７１３ＡＤに連結されている。第二可動部７１３ＡＥのＸ方向一端側には２つの第二ばね部７１４ＡＢが配置され、その他端側にも２つの第二ばね部７１４ＡＢが配置されている。また、第二可動部７１３ＡＥのＹ方向一端側に２つの第二ばね部７１４ＡＢが配置され、その他端側にも２つの第二ばね部７１４ＡＢが配置されている。第二ばね部７１４ＡＢは、各第二可動部が一方向のみに移動するように設計される。
【００５３】
第二可動部７１３ＡＥには、複数の櫛歯電極を構成する一方の櫛歯の複数が形成されており、複数の櫛歯電極を構成する他方の櫛歯の複数が第三可動部７１３ＡＦに形成されている。本実施形態では、４つの櫛歯電極が、第二可動部７１３ＡＥと第三可動部７１３ＡＦとの間であって第三可動部７１３ＡＦの中心を基準として１８０°回転対称となるように配置されている。
【００５４】
また、第二可動部７１３ＡＥは、第三可動部７１３ＡＦを囲繞するように設けられた６つの移動部位θ５１，θ５２，ＧＮＤ５５，θ６１，θ６２，ＧＮＤ６５を有する。移動部位θ５１，θ５２，ＧＮＤ５５，θ６１，θ６２，ＧＮＤ６５は、第三可動部７１３ＡＦの中心を基準として１８０°回転対称となるように配置されている。移動部位の符号「ＧＮＤ」は接地された部位、符号「θ」はθｚ方向に回転させる際に電圧が付与される部位であることを示す。
【００５５】
移動部位θ５１は、第二ばね部７１４ＡＢと第一ばね部７１４ＡＡを介して固定部位θ３１と連結されている。移動部位θ５２は、第二ばね部７１４ＡＢと第一ばね部７１４ＡＡを介して固定部位θ２２と連結されている。移動部位ＧＮＤ５５は、第二ばね部７１４ＡＢと第一ばね部７１４ＡＡを介して固定部位ＧＮＤ１５，ＧＮＤ３５にそれぞれ連結されている。移動部位θ６１は、第二ばね部７１４ＡＢと第一ばね部７１４ＡＡを介して固定部位θ４１と連結されている。移動部位θ６２は、第二ばね部７１４ＡＢと第一ばね部７１４ＡＡを介して固定部位θ１２と連結されている。移動部位ＧＮＤ６５は、第二ばね部７１４ＡＢと第一ばね部７１４ＡＡを介して固定部位ＧＮＤ２５，ＧＮＤ４５にそれぞれ連結されている。また、複数の第二ばね部７１４ＡＢと第一ばね部７１４ＡＡは、機械的な接続部としての機能に加えて、電気的な接続部としても機能する。
【００５６】
また、６つの移動部位θ５１，θ５２，ＧＮＤ５５，θ６１，θ６２，ＧＮＤ６５のうちの隣接する移動部位間には、絶縁部７１６ＡＡ，７１６ＡＢ，７１６ＡＣ，７１６ＡＤ，７１６ＡＥ，７１６ＡＦが設けられている。上記絶縁部は、例えば、ＳｉＮ、ｐ−Ｓｉ等の材料からなる１層又は複数層で構成され、トレンチアイソレーション等によって形成される。本実施形態では、図５（ｃ）に示すように、絶縁部７１６ＡＢは、ＳｉＮからなる第一層７１６ＡＢａと、ｐ−Ｓｉからなる第二層７１６ＡＢｂとを有する。絶縁部７１６ＡＡ，７１６ＡＣ〜７１６ＡＦも同様の構成であるので、その説明を省略する。
【００５７】
第三可動部７１３ＡＦは、例えば平面視で略Ｘ字形の枠状体であり、複数の第三ばね部７１４ＡＣを介して第二可動部７１３ＡＥに連結されている。複数の第三ばね部７１４ＡＣは、機械的な接続部としての機能に加えて、電気的な接続部としても機能する。第三可動部７１３ＡＦのＸ方向一端側には第三ばね部７１４ＡＣが配置され、その他端側にも第三ばね部７１４ＡＣが配置されている。また、第三可動部７１３ＡＦのＹ方向一端側に第三ばね部７１４ＡＣが配置され、その他端側にも第三ばね部７１４ＡＣが配置されている。第三可動部７１３ＡＦは、接着層７８Ａを介してステージ部７１１Ａに固定されている（図２（ｂ））。
【００５８】
本実施形態において、移動部位θ５１は固定部位θ３１と同電位であり、移動部位θ５２は固定部位θ２２と同電位である。移動部位θ６１は固定部位θ４１と同電位、移動部位θ６２は固定部位θ１２と同電位である。また、移動部位ＧＮＤ５５，ＧＮＤ６５は、固定部位ＧＮＤ３５，ＧＮＤ４５と同電位である。そして、移動部位θ５１，θ６１に同電圧を印加すると、第三可動部７１３ＡＦがθｚ方向の一方（例えば時計回り）に移動し、移動部位θ５２，θ６２に同電圧を印加すると、第三可動部７１３ＡＦがθｚ方向の他方（例えば反時計回り）に移動する。
【００５９】
上記のように所定の固定部位及び／又は移動部位に電圧を印加することにより、第一可動部７１３ＡＡ〜７１３ＡＤ及び第二可動部７１３ＡＥは、Ｘ方向及び／又はＹ方向に並進し、第三可動部７１３ＡＦは、θｚ方向に回転する。したがって、第三可動部７１３ＡＦは、Ｘ方向、Ｙ方向及び／又はθｚ方向に移動する。ステージ部７１１Ａは、第三可動部７１３ＡＦの移動に伴ってＸ方向、Ｙ方向及び／又はθｚ方向に移動し、ステージ部７１１Ａの移動に伴ってフレキシブル配線体７３Ａの主部７３１ＡがＸｄ方向、Ｙ方向及び／又はθｚ方向に移動する。フレキシブル配線体７３Ａの複数の腕部７３２Ａは、主部７３１Ａの移動に伴って容易に変形し、追従する。
【００６０】
アクチュエータ７１Ａの形成方法は、特に制限されず、例えば、酸化膜の両面にシリコン単結晶が形成されたＳＯＩ等の基板を用い、ハンドル層及び活性層にＤＲＩＥ（深堀り反応性エッチング）などのエッチング加工を施すことによって形成することができる。また、アクチュエータ７１Ａ内の上記絶縁部は、ＤＲＩＥ、ＬＰＣＶＤ、研磨などを組み合わせて形成することができる。
【００６１】
駆動システム７は、上記可動部及び上記複数のばね部のうちの少なくとも１つの変位を測定する、少なくとも１つの変位センサを備えていてもよい。例えば、駆動システム７は、第三可動部７１３ＡＦの変位を測定するのに、駆動用櫛歯電極を用いてもよいし、別の変位センサを更に備えていてもよい。変位センサからの信号を不図示の制御部に入力し、該信号に基づいてアクチュエータ７１Ａの駆動を制御することにより、半導体素子６のより高精度な位置制御を実現することができる。
【００６２】
上述したように、本実施形態によれば、フレキシブル配線体７３Ａが、半導体素子６が載置され、半導体素子６と電気的に接続される主部７３１Ａと、主部７３１Ａから枠体７２に向かって延出し、三次元的に曲げられた複数の腕部７３２Ａとを有するので、主部７３１Ａと一体成形された複数の腕部７３２Ａの主面７３２ａが主部７３１Ａの主面７３１ａに対して非平行となり、複数の腕部７３２Ａが、ステージ部７１１Ａに固定された主部７３１Ａの並進（Ｘ方向及び／又はＹ方向）や回転（θｚ方向）に対して面外方向に容易且つ十分に屈曲し、アクチュエータ７１Ａの移動が阻害され難く、その結果、主部７３１Ａ上に載置された半導体素子６の位置決め性能を向上することができる。また、腕部７３２Ａに通信用の導電層と電力用の導電層とを設けることで、高速通信用の高周波信号と撮像素子駆動用の大電流の双方を安定的に流すことができる。また、フレキシブル配線体７３Ａは、フレキシブル配線体７３Ａの展開体に簡単な曲げ加工を施すことで形成できるので、煩雑な組立工程が不要で大量生産にも対応することができる。
【００６３】
また、主部７３１Ａの平面視において、複数の腕部７３２Ａが主部７３１Ａを基準として対称に配置され、複数の腕部７３２Ａが折り返して曲げられていることによって弾性変形による力が釣り合った状態が維持されているので、アクチュエータ７１ＡがＭＥＭＳ等で形成されていて発生力が小さい場合であっても、フレキシブル配線体７３Ａの剛性に因る抵抗力が小さくなるため、アクチュエータ７１Ａの移動が阻害され難く、半導体素子６の高精度の移動を実現することができる。
【００６４】
更に、腕部７３２Ａは、主部７３１Ａの主面７３１ａに対して実質的に垂直な主面７３２ａを有する第一部位７３２Ａａと、第一部位７３２Ａａの一端に設けられ、折り返して湾曲した第二部位７３２Ａｂと、第一部位７３２Ａａと対向配置される第三部位７３２Ａｃとが、主部７３１Ａの主面７３１ａに対して実質的に垂直に配置されるので、複数の腕部７３２Ａが、ステージ部７１１Ａに固定された主部７３１Ａの並進（Ｘ方向及び／又はＹ方向）や回転（θｚ方向）に対して確実に追従することができ、主部７３１Ａ上に載置された半導体素子６の位置決め性能を更に向上できると共に、接続信頼性を向上することができる。
【００６５】
また、本実施形態によれば、アクチュエータ７１Ａに複数の絶縁部７１５ＡＡ〜７１５ＡＦ，７１６ＡＡ〜７１６ＡＦが形成されており、Ｘ方向への並進を行う駆動機構及び回路、Ｙ方向への並進を行う駆動機構及び回路、並びにθｚ方向の回転を行うための駆動機構及び回路がそれぞれ電気的に独立して設けられるため、Ｘ方向、Ｙ方向及び／又はθｚ方向への任意の移動を実現することができる。また、アクチュエータ７１Ａの駆動回路が基板８の不図示の回路に接続されるので、アクチュエータ７１Ａの配線と半導体素子６の配線（フレキシブル配線体７３Ａの導電層）とを、ステージ部７１１Ａを基準として上下に分けて形成することができ、これらの配線の物理的な干渉を確実に防止することができる。また、アクチュエータ７１Ａにおける複数の基部７１２Ａを基板８にフリップチップ接続することにより、アクチュエータ７１Ａの可動部７１３Ａの微細部分を保護することができる。
【００６６】
図６（ａ）は、図２（ａ）における駆動システム７の変形例を示す平面図、図６（ｂ）は、図６（ａ）の線ＩＩＩ−ＩＩＩ’に沿う断面図であり、図７は、図６（ｂ）の部分拡大断面図である。図６（ａ）における駆動システムは、主にステージ部７１１Ａを有さず、アクチュエータ７１Ａが接着層８０Ａを介してフレキシブル配線体７３Ａに直接接続されている点で、図２（ａ）における駆動システム７の構成と異なる。図２（ａ）における駆動システム７と同一の構成については、同一の符号を付してその説明を省略する。
【００６７】
図６（ａ）のフレキシブル配線体７３Ａは、展開体の状態で図２（ａ）のフレキシブル配線体７３Ａと同一の構成を有し、加工により三次元構造を形成した状態では図２（ａ）のフレキシブル配線体７３Ａと異なる構成を有している。フレキシブル配線体７３Ａは、図６（ｂ）に示すように、主部７３１Ａと腕部７３２Ａで画定され、半導体素子６が収容される収容部８１Ａを有している。主部７３１Ａは、図７に示すように、接着層８２Ａを介して半導体素子６の下面６ａに固定されている。腕部７３２Ａの第一部位７３２Ａａは、接着層８３Ａを介して半導体素子６の側面６ｂに固定されている（図７）。また、導電層７３４Ａの一端部７３４Ａａは、超音波接続、熱圧着、導電性接着材を用いた接続等により形成された接合部８４Ａを介して半導体素子６に電気的に接続され、他端部７３４Ａｂは、不図示のコネクタ端子に電気的に接続される。
【００６８】
図８は、図６（ａ）におけるフレキシブル配線体７３Ａの展開図である。本変形例では、図８中の線Ｌ２，Ｌ２でフレキシブル配線体７３Ａを山折りとし、更に４つの腕部７３２Ａのそれぞれの中間部を折り返して曲げることにより、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すような三次元構造が形成される。
【００６９】
このように、本変形例によれば、ステージ部７１１Ａを有さない駆動システム７にもフレキシブル配線体７３Ａを適用することができる。すなわち、フレキシブル配線体７３Ａが、半導体素子６が載置され、半導体素子６と電気的に接続される主部７３１Ａと、主部７３１Ａから枠体７２に向かって延出し、三次元的に曲げられた複数の腕部７３２Ａとを有するので、主部７３１Ａと一体成形された複数の腕部７３２Ａの主面７３２ａが主部７３１Ａの主面７３１ａに対して非平行となり、複数の腕部７３２Ａが、ステージ部７１１Ａに固定された主部７３１Ａの並進（Ｘ方向及び／又はＹ方向）や回転（θｚ方向）に対して面外方向に容易且つ十分に屈曲し、アクチュエータ７１Ａの移動が阻害され難く、その結果、主部７３１Ａ上に載置された半導体素子６の位置決め性能を向上することができる。また、ワイヤ部を設けずに接合部８４Ａを設けて半導体素子６とフレキシブル配線体７３Ａとを電気的に接続するので、半導体素子６及び駆動システム７を合わせた構成の低背化に寄与することができる。
【００７０】
図９は、図４におけるフレキシブル配線体の他の変形例を示す平面図である。図１０（ａ）は、図９のフレキシブル配線体をアクチュエータに搭載した状態を示す部分平面図であり、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）の部分断面図である。図９のフレキシブル配線体では、腕部の形状が異なる点で、図４のフレキシブル配線体の構成と異なる。
【００７１】
図９に示すように、フレキシブル配線体７３Ｂは、半導体素子６が載置され、半導体素子６と電気的に接続される主部７３１Ｂと、主部７３１Ｂから枠体７２（図２（ａ）及び図２（ｂ）参照）に向かって延出し、三次元的に曲げられた複数の腕部７３２Ｂとを有する。
【００７２】
腕部７３２Ｂは、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示すように、主部７３１Ｂの主面７３１ｂに対して実質的に垂直な主面７３２ｃを有する第一部位７３２Ｂａと、第一部位７３２Ｂａの一端に設けられ、折り返して湾曲した第二部位７３２Ｂｂと、第一部位７３２Ｂａと対向配置される第三部位７３２Ｂｃと、第三部位７３２Ｂｃの一端に設けられ、主部７３１Ｂの主面７３１ｂと実質的に平行な主面７３２ｄを有する第四部位７３２Ａｄとを有する。第一部位７３２Ｂａ、第二部位７３２Ｂｂ及び第三部位７３２Ｂｃは、主部７３１Ｂの主面７３１ｂに対して実質的に垂直に配置されている（図１０（ｂ））。
【００７３】
第四部位７３２Ｂｄは、第三部位７３２Ｂｃに対して垂直に配置された延出部７３２Ｂｄａと、延出部７３２Ｂｄａに対して垂直に配置された延出部７３２Ｂｄｂとを有する（図９）。フレキシブル配線体７３Ｂをアクチュエータ７１Ａに搭載した状態では（図１０（ａ））、延出部７３２Ｂｄａは、平面視で主部７３１Ｂから離れる方向（Ｘ方向）に延出しており、延出部７３２Ｂｄｂは、延出部７３２Ｂｄａから横方向（Ｙ方向）に延出している。隣接する２つの腕部７３２Ｂに設けられた２つの延出部７３２Ｂｄｂは、横方向（Ｙ方向）延出すると共に、互いに離れる方向に延出している。また、本変形例では、第四部位７３２Ｂｄは、主部７３１Ｂと異なる平面上に設けられており、主部７３１Ｂの下方に配置されている。
【００７４】
本変形例では、延出部７３２Ｂｄｂに導電層７３４Ｂの他端部７３４Ｂｂが設けられており、導電層７３４Ｂの一端部７３４Ｂａが半導体素子６に電気的に接続され、他端部７３４Ｂｂが、不図示のコネクタ端子に電気的に接続される。また、フレキシブル配線体７３Ｂが三次元的に曲げられた状態において、導電層７３４Ｂの他端部７３４Ｂｂは、Ｚ方向に関して樹脂層７３３Ｂの下側（裏側）に配置される（図１０（ｂ））。
【００７５】
腕部７３２Ｂは、主部７３１Ｂと第一部位７３２Ｂａとの間に、折り曲げの際にマージン部となる第五部位７３２Ｂｅを有していてもよい。また、第五部位７３２Ｂｅの幅方向（Ｙ方向）寸法が、主部７３１Ｂの幅方向寸法よりも小さいことが好ましい。これにより、曲げ加工によって第一部位７３２Ｂａを形成し易くなり、また、折り曲げられた部分での導電層７３４Ｂの座屈を抑制することができ、導電層７３４Ｂの電気的な接続信頼性を更に向上することができる。
【００７６】
本変形例によれば、第四部位７３２Ｂｄが、第三部位７３２Ｂｃに対して垂直に配置された延出部７３２Ｂｄａと、延出部７３２Ｂｄａに対して垂直に配置された延出部７３２Ｂｄｂとを有するので、コネクタ端子に挿入される第四部位７３２Ｂｄの設計の自由度を向上することができる。
【００７７】
図１１は、図４におけるフレキシブル配線体の他の変形例を示す平面図である。図１２（ａ）は、図１１のフレキシブル配線体をアクチュエータに搭載した状態を示す部分平面図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）の部分断面図である。
【００７８】
図１１に示すように、フレキシブル配線体７３Ｃは、半導体素子６が載置され、半導体素子６と電気的に接続される主部７３１Ｃと、主部７３１Ｃから枠体７２（図２（ａ）及び図２（ｂ）参照）に向かって延出し、三次元的に曲げられた複数の腕部７３２Ｃとを有する。
【００７９】
腕部７３２Ｃは、図１２（ａ）及び図１２（ｂ）に示すように、主部７３１Ｃの主面７３１ｃに対して実質的に垂直な主面７３２ｅを有する第一部位７３２Ｃａと、第一部位７３２Ｃａの一端に設けられ、折り返して湾曲した第二部位７３２Ｃｂと、第一部位７３２Ｃａと対向配置される第三部位７３２Ｃｃと、第三部位７３２Ｃｃの一端に設けられ、主部７３１Ｃの主面７３１ｃと実質的に平行な主面７３２ｆを有する第四部位７３２Ｃｄとを有する。第一部位７３２Ｃａ、第二部位７３２Ｃｂ及び第三部位７３２Ｃｃは、主部７３１Ｃの主面７３１ｃに対して実質的に垂直に配置されている。（図１０（ｂ））。
【００８０】
第四部位７３２Ｃｄは、第三部位７３２Ｃｃに対して垂直に配置された延出部７３２Ｃｄａと、延出部７３２Ｃｄａに対して垂直に配置された延出部７３２Ｃｄｂとを有する（図１１）。フレキシブル配線体７３Ｃをアクチュエータ７１Ａに搭載した状態では（図１２（ａ））、延出部７３２Ｃｄａは、平面視で主部７３１Ｃから離れる方向（Ｘ方向）に延出しており、延出部７３２Ｃｄｂは、延出部７３２Ｃｄａから横方向（Ｙ方向）に延出している。隣接する２つの腕部７３２Ｃに設けられた２つの延出部７３２Ｃｄｂは、横方向（Ｙ方向）延出すると共に、互いに離れる方向に延出している。また、本変形例では、第四部位７３２Ｃｄは、主部７３１Ｃと同一の平面上に設けられている。
【００８１】
また、本変形例では、延出部７３２Ｃｄｂに導電層７３４Ｃの他端部７３４Ｃｂが設けられており、導電層７３４Ｃの一端部７３４Ｃａが半導体素子６に電気的に接続され、他端部７３４Ｂｂが、不図示のコネクタ端子に電気的に接続される。また、フレキシブル配線体７３Ｃが三次元的に曲げられた状態において、導電層７３４Ｃの他端部７３４Ｃｂは、Ｚ方向に関して樹脂層７３３Ｃの上側（表側）に配置される（図１２（ｂ））。
【００８２】
本変形例によれば、第四部位７３２Ｃｄが、第三部位７３２Ｃｃに対して垂直に配置された延出部７３２Ｃｄａと、延出部７３２Ｃｄａに対して垂直に配置された延出部７３２Ｃｄｂとを有するので、フレキシブル配線体７３Ｂの第四部位７３２Ｂｄと同様、コネクタ端子に挿入される第四部位７３２Ｃｄの設計の自由度を向上することができる。
【００８３】
図１３は、図５のアクチュエータ７１Ａの変形例を示す底面図である。
図１３に示すように、アクチュエータ７１Ｂは、基板８（図２（ｂ）参照）に固定される複数の基部７１２Ｂと、フレキシブル配線体７３Ａの主部７３１Ａ及び半導体素子６が取り付けられる可動部７１３Ｂと、基部７１２Ｂと可動部７１３Ｂとを連結する複数のばね部７１４Ｂとを有する。アクチュエータ７１Ｂは、アクチュエータ７１Ａと同様、例えばＭＥＭＳによって形成されている。
【００８４】
複数の基部７１２Ｂは、Ｘ方向に関してアクチュエータ７１Ｂの一端側に配置された固定部位Ｘ３１，Ｘ３２，ＧＮＤ５１，ＧＮＤ５１と、Ｘ方向に関してアクチュエータ７１Ｂの他端側に配置された固定部位Ｘ４１，Ｘ４２，ＧＮＤ５１，ＧＮＤ５１とを有する。固定部位Ｘ３１，Ｘ３２は、不図示の取出電極を介して基板８に接続されている（図５（ｂ）参照）。他の固定部位も同様の構成であるので、その説明を省略する。
【００８５】
２つの固定部位Ｘ３１，Ｘ３２には、櫛歯電極の一方の櫛歯が形成されており、他方の櫛歯が後述の第一可動部７１３ＢＡに形成されている。２つの固定部位ＧＮＤ５１，ＧＮＤ５１は、それぞれ第一ばね部７１４ＢＡを介して後述の第一可動部７１３ＢＡに接続されている。また、２つの固定部位Ｘ４１，Ｘ４２には、それぞれ櫛歯電極の一方の櫛歯が形成されており、他方の櫛歯が後述の第一可動部７１３ＢＢに形成されている。２つの固定部位ＧＮＤ５１，ＧＮＤ５１は、それぞれ第一ばね部７１４ＢＡを介して後述の第一可動部７１３ＢＢに接続されている。
【００８６】
また、複数の基部７１２Ｂは、Ｙ方向に関してアクチュエータ７１Ｂの一端側に配置された固定部位Ｙ３１，Ｙ３２，ＧＮＤ５１，ＧＮＤ５１を有し、且つＹ方向に関してアクチュエータ７１Ｂの他端側に配置された固定部位Ｙ４１，Ｙ４２，ＧＮＤ５１，ＧＮＤ５１を有する。
【００８７】
２つの固定部位Ｙ３１，Ｙ３２には、櫛歯電極の一方の櫛歯が形成されており、他方の櫛歯が後述の第一可動部７１３ＢＣに形成されている。２つの固定部位ＧＮＤ５１，ＧＮＤ５１は、それぞれ第一ばね部７１４ＢＡを介して後述の第一可動部７１３ＢＣに接続されている。また、２つの固定部位Ｙ４１，Ｙ４２には、それぞれ櫛歯電極の一方の櫛歯が形成されており、他方の櫛歯が後述の第一可動部７１３ＢＤに形成されている。２つの固定部位ＧＮＤ５１，ＧＮＤ５１は、それぞれ第一ばね部７１４ＢＡを介して後述の第一可動部７１３ＢＤに接続されている。
【００８８】
可動部７１３Ｂは、後述する第二可動部の四方（ＸＹ方向）に配置された４つの第一可動部７１３ＢＡ，７１３ＢＢ，７１３ＢＣ，７１３ＢＤと、４つの第一可動部７１３ＢＡ〜７１３ＢＤの中央部に配置され、４つの第一可動部７１３ＢＡ〜７１３ＢＤと複数の第二ばね部７１４ＢＢを介して連結され、平面視で略風車形の第二可動部７１３ＢＥとを有する。
【００８９】
第一可動部７１３ＢＡ，７１３ＢＢ，７１３ＢＣ，７１３ＢＤは、例えば平面視で略井桁状の枠体である。第一可動部７１３ＢＡのＹ方向両側方には固定部位ＧＮＤ５１，ＧＮＤ５１が配置され、第一可動部７１３ＢＡの内側には固定部位Ｘ３１，Ｘ３２が配置されている。同様にして、第一可動部７１３ＢＢのＹ方向両側方には固定部位ＧＮＤ５１，ＧＮＤ５１が配置され、第一可動部７１３ＢＢの内側には固定部位Ｘ４１，Ｘ４２が配置されている。
また、第一可動部７１３ＢＣのＸ方向両側方には固定部位ＧＮＤ５１，ＧＮＤ５１が配置され、第一可動部７１３ＢＣの内側には固定部位Ｙ３１，Ｙ３２が配置されている。また、第一可動部７１３ＢＤのＸ方向両側方には固定部位ＧＮＤ５１，ＧＮＤ５１が配置され、第一可動部７１３ＢＤの内側には固定部位Ｙ４１，Ｙ４２が配置されている。
【００９０】
複数の固定部位ＧＮＤ５１は、それぞれ第一ばね部７１４ＢＡを介して第一可動部７１３ＢＡ〜７１３ＢＤに連結されている。また、複数の第一ばね部７１４ＢＡは、機械的な接続部としての機能に加えて、電気的な接続部としても機能する。
【００９１】
本変形例において、固定部位Ｘ３１，Ｘ３２、Ｘ４１，Ｘ４２，Ｙ３１，Ｙ３２，Ｙ４１，Ｙ４２に任意の電圧を与えることによって、第一可動部７１３ＢＡ，７１３ＢＢ，７１３ＢＣ，７１３ＢＤが独立に移動し，第二可動部７１３ＢＥがＸ，Ｙ，θｚ方向に移動する。例えば、固定部位Ｘ３２とＸ４１に同電圧を与えれば、第一可動部７１３ＢＡと７１３ＢＢは等しくＸ方向（右向き）に移動し、第二可動部７１３ＢＥは＋Ｘ方向（右向き）に移動する。また、固定部位Ｘ３２，Ｘ４２，Ｙ３２，Ｙ４２に同電圧を与えれば、第一可動部７１３ＢＡ，７１３ＢＢ，７１３ＢＣ，７１３ＢＤは等しく中心方向に移動し、第二可動部７１３ＢＥはθｚ方向（時計回り）に回転する。
【００９２】
第二可動部７１３ＢＥは、８つの第二ばね部７１４ＢＢを介して４つの第一可動部７１３ＢＡ，７１３ＢＢ，７１３ＢＣ，７１３ＢＤに連結されている。第二可動部７１３ＢＥのＸ方向一端側には２つの第二ばね部７１４ＢＢが配置され、その他端側にも２つの第二ばね部７１４ＢＢが配置されている。また、第二可動部７１３ＢＥのＹ方向一端側に２つの第二ばね部７１４ＢＢが配置され、その他端側にも２つの第二ばね部７１４ＢＢが配置されている。第二ばね部７１４ＢＢを適切に設計することによって、第一可動部７１３ＢＡと７１３ＢＢはＸ方向のみに、第一可動部７１３ＢＣと７１３ＢＤはＹ方向のみに移動することができる。第二可動部７１３ＢＥは、接着層７８Ａを介してステージ部７１１Ａに固定される（図２（ｂ）参照）。
【００９３】
本変形例によれば、Ｘ方向への並進を行う駆動機構及び回路、並びにＹ方向への並進を行う駆動機構及び回路がそれぞれ独立して設けられ、また、Ｘ方向への上記並進とＹ方向への上記並進とを制御してθｚ方向の回転も行うため、Ｘ方向、Ｙ方向及び／又はθｚ方向への移動を実現することができる。
【００９４】
図１４は、図５のアクチュエータ７１Ａの他の変形例を示す底面図である。
図１４に示すように、アクチュエータ７１Ｃは、基板８（図２（ｂ）参照）に固定される複数の基部７１２Ｃと、フレキシブル配線体７３Ａの主部７３１Ａ及び半導体素子６が取り付けられる可動部７１３Ｃと、基部７１２Ｃと可動部７１３Ｃとを連結する複数のばね部７１４Ｃとを有する。アクチュエータ７１Ｃは、アクチュエータ７１Ａと同様、例えばＭＥＭＳによって形成されている。
【００９５】
複数の基部７１２Ｃは、Ｘ方向に関してアクチュエータ７１Ｃの一端側に配置された固定部位Ｘ５１，Ｘ５２，ＧＮＤ６１，Ｘ６１，Ｘ６２，ＧＮＤ６１と、Ｘ方向に関してアクチュエータ７１Ｃの他端側に配置された固定部位Ｘ７１，Ｘ７２，ＧＮＤ６１，Ｘ８１，Ｘ８２，ＧＮＤ６１とを有する。固定部位Ｘ５１，Ｘ５２は、不図示の取出電極を介して基板８に接続されている（図５（ｂ）参照）。他の固定部位も同様の構成であるので、その説明を省略する。
【００９６】
２つの固定部位Ｘ５１，Ｘ５２には、櫛歯電極の一方の櫛歯が形成されており、他方の櫛歯が後述の第一可動部７１３ＣＡＡに形成されている。同様にして、２つの固定部位Ｘ６１，Ｘ６２には、櫛歯電極の一方の櫛歯が形成されており、他方の櫛歯が後述の第一可動部７１３ＣＡＢに形成されている。２つの固定部位ＧＮＤ６１，ＧＮＤ６１は、それぞれ２つの第一ばね部７１４ＣＡを介して後述の第一可動部７１３ＣＡＡ，第一可動部７１３ＣＡＢに接続されている。
また、２つの固定部位Ｘ７１，Ｘ７２には、櫛歯電極の一方の櫛歯が形成されており、他方の櫛歯が後述の第一可動部７１３ＣＢＡに形成されている。同様にして、２つの固定部位Ｘ８１，Ｘ８２には、櫛歯電極の一方の櫛歯が形成されており、他方の櫛歯が後述の第一可動部７１３ＣＢＢに形成されている。２つの固定部位ＧＮＤ６１，ＧＮＤ６１は、それぞれ２つの第一ばね部７１４ＣＡを介して後述の第一可動部７１３ＣＢＡ，第一可動部７１３ＣＢＢに接続されている。
【００９７】
また、複数の基部７１２Ｃは、Ｙ方向に関してアクチュエータ７１Ｃの一端側に配置された固定部位Ｙ５１，Ｙ５２，ＧＮＤ６１，Ｙ６１，Ｙ６２，ＧＮＤ６１と、Ｙ方向に関してアクチュエータ７１Ｃの他端側に配置された固定部位Ｙ７１，Ｙ７２，ＧＮＤ６１，Ｙ８１，Ｙ８２，ＧＮＤ６１を有する。
【００９８】
２つの固定部位Ｙ５１，Ｙ５２には、櫛歯電極の一方の櫛歯が形成されており、他方の櫛歯が後述の第一可動部７１３ＣＣＡに形成されている。同様にして、２つの固定部位Ｙ６１，Ｙ６２には、櫛歯電極の一方の櫛歯が形成されており、他方の櫛歯が後述の第一可動部７１３ＣＣＢに形成されている。２つの固定部位ＧＮＤ６１，ＧＮＤ６１は、それぞれ２つの第一ばね部７１４ＣＡを介して後述の第一可動部７１３ＣＣＡ，第一可動部７１３ＣＣＢに接続されている。
また、２つの固定部位Ｙ７１，Ｙ７２には、櫛歯電極の一方の櫛歯が形成されており、他方の櫛歯が後述の第一可動部７１３ＣＤＡに形成されている。同様にして、２つの固定部位Ｙ８１，Ｙ８２には、櫛歯電極の一方の櫛歯が形成されており、他方の櫛歯が後述の第一可動部７１３ＣＤＢに形成されている。２つの固定部位ＧＮＤ６１，ＧＮＤ６１は、それぞれ２つの第一ばね部７１４ＣＡを介して後述の第一可動部７１３ＣＤＡ，第一可動部７１３ＣＤＢに接続されている。
【００９９】
可動部７１３Ｃは、後述する第二可動部の四方（ＸＹ方向）に配置された８つの第一可動部７１３ＣＡＡ，７１３ＣＡＢ，７１３ＣＢＡ，７１３ＣＢＢ，７１３ＣＣＡ，７１３ＣＣＢ，７１３ＣＤＡ，７１３ＣＤＢと、８つの第一可動部７１３ＣＡＡ〜７１３ＣＤＢの中央部に配置され、８つの第一可動部７１３ＣＡＡ〜７１３ＣＤＢと複数の第二ばね部７１４ＣＢを介して連結され、平面視で略矩形の第二可動部７１３ＣＥとを有する。
【０１００】
第一可動部７１３ＣＡＡ，７１３ＣＡＢ，７１３ＣＢＡ，７１３ＣＢＢ，７１３ＣＣＡ，７１３ＣＣＢ，７１３ＣＤＡ，７１３ＣＤＢは、例えば平面視で略矩形の枠体である。Ｘ方向に関して第一可動部７１３ＣＡＡの第二可動部７１３ＣＥとは反対側には固定部位Ｘ５１が配置され、第一可動部７１３ＣＡＡの内側には固定部位Ｘ５２，ＧＮＤ６１が配置されている。また、Ｘ方向に関して第一可動部７１３ＣＡＢの第二可動部７１３ＣＥとは反対側には固定部位Ｘ６１が配置され、第一可動部７１３ＣＡＢの内側には固定部位Ｘ５２，ＧＮＤ６１が配置されている。
更に、Ｘ方向に関して第一可動部７１３ＣＢＡの第二可動部７１３ＣＥとは反対側には固定部位Ｘ７１が配置され、第一可動部７１３ＣＢＡの内側には固定部位Ｘ７２，ＧＮＤ６１が配置されている。また、Ｘ方向に関して第一可動部７１３ＣＢＢの第二可動部７１３ＣＥとは反対側には固定部位Ｘ８１が配置され、第一可動部７１３ＣＢＢの内側には固定部位Ｘ８２，ＧＮＤ６１が配置されている。
【０１０１】
同様にして、Ｙ方向に関して第一可動部７１３ＣＣＡの第二可動部７１３ＣＥとは反対側には固定部位Ｙ５２が配置され、第一可動部７１３ＣＣＡの内側には固定部位Ｙ５１，ＧＮＤ６１が配置されている。また、Ｙ方向に関して第一可動部７１３ＣＣＢの第二可動部７１３ＣＥとは反対側には固定部位Ｘ６２が配置され、第一可動部７１３ＣＣＢの内側には固定部位Ｙ６１，ＧＮＤ６１が配置されている。
更に、Ｙ方向に関して第一可動部７１３ＣＤＡの第二可動部７１３ＣＥとは反対側には固定部位Ｙ７２が配置され、第一可動部７１３ＣＤＡの内側には固定部位Ｙ７１，ＧＮＤ６１が配置されている。また、Ｙ方向に関して第一可動部７１３ＣＤＢの第二可動部７１３ＣＥとは反対側には固定部位Ｙ８２が配置され、第一可動部７１３ＣＤＢの内側には固定部位Ｙ８１，ＧＮＤ６１が配置されている。
【０１０２】
複数の固定部位ＧＮＤ６１は、それぞれ第一ばね部７１４ＣＡを介して第一可動部７１３ＣＡＡ〜７１３ＣＤＢに連結されている。また、複数の第一ばね部７１４ＣＡは、機械的な接続部としての機能に加えて、電気的な接続部としても機能する。
【０１０３】
本変形例において、固定部位Ｘ５２，Ｘ６２，Ｘ７１，Ｘ８１に電圧を印加すると、第一可動部７１３ＣＡＡ，７１３ＣＡＢ，７１３ＣＢＡ，７１３ＣＢＢがＸ方向の一方（例えば＋Ｘ方向）に移動し、固定部位Ｘ５１，Ｘ６１，Ｘ７２，Ｘ８２に電圧を印加すると、第一可動部７１３ＣＡＡ，７１３ＣＡＢ，７１３ＣＢＡ，７１３ＣＢＢがＸ方向の他方（例えば−Ｘ方向）に移動する。一方、固定部位Ｙ５２，Ｙ６２，Ｙ７１，Ｙ８１に電圧を印加すると、第一可動部７１３ＢＣ，７１３ＢＤがＹ方向の一方（例えば＋Ｙ方向）に移動し、固定部位Ｙ５１，Ｙ６１，Ｙ７２，Ｙ８２に電圧を印加すると、第一可動部７１３ＢＣ，７１３ＢＤがＹ方向の他方（例えば−Ｙ方向）に移動する。
【０１０４】
第二可動部７１３ＣＥは、８つの第二ばね部７１４ＣＢを介して８つの第一可動部７１３ＣＡＡ，７１３ＣＡＢ，７１３ＣＢＡ，７１３ＣＢＢ，７１３ＣＣＡ，７１３ＣＣＢ，７１３ＣＤＡ，７１３ＣＤＢに連結されている。第二可動部７１３ＣＥのＸ方向一端側には２つの第二ばね部７１４ＣＢが配置され、その他端側にも２つの第二ばね部７１４ＣＢが配置されている。また、第二可動部７１３ＢＥのＹ方向一端側に２つの第二ばね部７１４ＣＢが配置され、その他端側にも２つの第二ばね部７１４ＣＢが配置されている。第二可動部７１３ＣＥは、接着層７８Ａを介してステージ部７１１Ａに固定される（図２（ｂ）参照）。
【０１０５】
本変形例において、第二可動部７１３ＣＥは、固定部位ＧＮＤ６１と同電位である。例えば、固定部位Ｘ５２，Ｘ６２，Ｘ７１，Ｘ８１及び固定部位Ｘ５１，Ｘ６１，Ｘ７２，Ｘ８２の一方と、固定部位Ｙ５２，Ｙ６２，Ｙ７１，Ｙ８１及び固定部位Ｙ５１，Ｙ６１，Ｙ７２，Ｙ８２の一方とに電圧を印加すると、第一可動部７１３ＣＡＡ，７１３ＣＡＢ，７１３ＣＢＡ，７１３ＣＢＢがＸ方向の一方（例えば＋Ｘ方向）に移動すると共に、第一可動部７１３ＣＣＡ，７１３ＣＣＢ，７１３ＣＤＡ，７１３ＣＤＢがＹ方向の一方（例えば＋Ｙ方向）に移動する。そして、第一可動部７１３ＣＡＡ〜７１３ＣＤＢの移動に伴って、第二可動部７１３ＣＥがＸ，Ｙ，θｚ方向に移動する。例えば、固定部位Ｘ５２，Ｘ６２，Ｘ７１，Ｘ８１に同電圧を与えれば、第一可動部７１３ＣＡＡ，７１３ＣＡＢ，７１３ＣＢＡ，７１３ＣＢＢが＋Ｘ方向（右向き）に等しく移動し、第二可動部７１３ＣＥが＋Ｘ方向（右向き）に移動する。また、固定部位Ｘ５２，Ｘ６１，Ｘ７１，Ｘ８２，Ｙ５２，Ｙ６１，Ｙ７１，Ｙ８２に同電圧を与えれば、第一可動部７１３ＣＡＡと７１３ＣＢＡは＋Ｘ方向に、第一可動部７１３ＣＡＢと７１３ＣＢＢは−Ｘ方向に、第一可動部７１３ＣＣＡと７１３ＣＤＡは＋Ｙ方向（上向き）に、第一可動部７１３ＣＢＢと７１３ＣＤＢは−Ｙ方向に移動し、第二可動部７１３ＣＥがθｚ方向（時計回り）に移動する。
【０１０６】
上記のように所定の固定部位に選択的に電圧を印加することにより、第一可動部７１３ＣＡＡ〜７１３ＣＤＢは、Ｘ方向及び／又はＹ方向に並進すると共に、第二可動部７１３ＢＥは、Ｘ，Ｙ，θｚ方向に移動する。
【０１０７】
本変形例によれば、Ｘ方向への並進を行う駆動機構及び回路、並びにＹ方向への並進を行う駆動機構及び回路がそれぞれ独立して設けられ、また、Ｘ方向への上記並進とＹ方向への上記並進とを制御してθｚ方向の回転を行うため、Ｘ方向、Ｙ方向及び／又はθｚ方向への移動を実現することができる。
【０１０８】
図１５は、図２（ｂ）のアクチュエータ７１Ａの変形例を示す断面図である。本変形例では、アクチュエータが電磁アクチュエータである点で、アクチュエータ７１Ａと異なる。
【０１０９】
図１５に示すように、アクチュエータ７１Ｄは、基板８に取り付けられたＭＥＭＳ７１１Ｄと、基板８内に設けられ、不図示の外部回路に電気的に接続された複数のコイル７１２Ｄとを有する。ＭＥＭＳ７１１Ｄは、基板８に支持された基部７１１ＤＡと、フレキシブル配線体７３Ａの主部７３１Ａ及び半導体素子６に固定される可動部７１１ＤＢと、基部７１１ＤＡと可動部７１１ＤＢとを連結する複数のばね部７１１ＤＣと、可動部７１１ＤＢに取り付けられた複数の磁性体７１１ＤＤとを有する。
【０１１０】
複数のコイル７１２Ｄは、ＭＥＭＳ７１１Ｄの直下であって複数の磁性体７１１ＤＤに対応する位置に配置され、例えばプリント基板やセラミック基板などの基板８に埋め込まれている。ＭＥＭＳ７１１Ｄの基部７１１ＤＡ、可動部７１１ＤＢ及び複数のばね部７１１ＤＣの構成は、上述したアクチュエータの基部、可動部及び複数のばね部の構成と基本的に同じであるので、その説明を省略する。
【０１１１】
磁性体７１１ＤＤは、例えばネオジウム磁石などの磁性粉体を用いて形成されており、可動部７１１ＤＢに埋め込まれている。磁性体７１１ＤＤは、例えばＳＯＩ等の基板にＤＲＩＥで穴を形成し、穴の内部に磁性粉体を入れた状態で成膜にて当該磁性粉体を穴に固定することで得られる。磁性粉体は、成膜体によって互いに接合されており、成膜体は、例えばアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）で構成されており、ＡＬＤで形成される。あるいは、磁性粉体は、樹脂バインダーによって互いに接合される。さらに、磁性粉体を埋め込む代わりに、めっきによって前記穴に磁性体（例えばＣｏＰｔ）を形成してもよい。これらにより、ＳＯＩ等の基板の厚みに対する磁性体７１１ＤＤの厚みを大きくすることができ、可動部７１１ＤＢに高磁力の磁性体７１１ＤＤを形成することができる。
【０１１２】
アクチュエータ７１Ｄは、可動部７１１ＤＢ及び複数のばね部７１１ＤＣのうちの少なくとも１つの変位を測定する、少なくとも１つの変位センサを有していてもよい。例えば、ＭＥＭＳ７１１Ｄに変位センサ及びその回路を形成することができる。
【０１１３】
本変形例によれば、電磁アクチュエータであるアクチュエータ７１Ｄを用いて可動部７１１ＤＢをＸ方向、Ｙ方向及び／又はθｚ方向に移動することができ、静電アクチュエータと同様、半導体素子６の高精度の移動を実現することができる。
【０１１４】
以上、本発明の実施形態について詳述したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【０１１５】
例えば、本実施形態では、アクチュエータ７１Ａは、互いに直交するＸＹＺ方向のうちのＸ方向及びＹ方向への並進、及びＺ方向の軸回りの回転（θｚ方向）の動きを行うが、これに限らず、互いに直交するＸＹＺ方向のうちのＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向への並進、並びにＸ方向の軸回りの回転（θｘ方向）、Ｙ方向の軸回りの回転（θｙ方向）及びＺ方向の軸回りの回転（θｚ方向）の動きのうちの少なくとも１つの動きを行ってもよい。このようなアクチュエータに上記と同様の構成を有するフレキシブル配線体を用いた場合でも、複数の腕部が、互いに直交する３方向の並進及び該３方向の軸回りの回転のうちの少なくとも１つの動きに対して追従することができ、主部上に載置された半導体素子の位置決め性能を向上することができ、また、高速通信用の高周波信号と撮像素子駆動用の大電流の双方を安定的に流すことができる。
【符号の説明】
【０１１６】
１  撮像装置
２  レンズ
３  ＡＦユニット
４  ガラス部材
５  カバー部材
６  半導体素子
６ａ  下面
６ｂ  側面
７  駆動システム
８  基板
７１Ａ  アクチュエータ
７１Ｂ  アクチュエータ
７１Ｃ  アクチュエータ
７１Ｄ  アクチュエータ
７２  枠体
７２ａ  上面
７３Ａ  フレキシブル配線体
７３Ｂ  フレキシブル配線体
７３Ｃ  フレキシブル配線体
７４Ａ  接着層
７５Ａ  接着層
７６Ａ  接着層
７７  ワイヤ部
７８Ａ  接着層
７９Ａ  取出電極
８０Ａ  接着層
８１Ａ  収容部
８２Ａ  接着層
８３Ａ  接着層
８４Ａ  接合部
７１１ａ  上面
７１１Ａ  ステージ部
７１１ｂ  側面
７１１ＤＡ  基部
７１１ＤＢ  可動部
７１１ＤＣ  複数のばね部
７１１ＤＤ  磁性体
７１２Ａ  基部
７１２Ｂ  基部
７１２Ｃ  基部
７１２Ｄ  コイル
７１３Ａ  可動部
７１３ＡＡ  第一可動部
７１３ＡＢ  第一可動部
７１３ＡＣ  第一可動部
７１３ＡＤ  第一可動部
７１３ＡＥ  第二可動部
７１３ＡＦ  第三可動部
７１３Ｂ  可動部
７１３ＢＡ  第一可動部
７１３ＢＢ  第一可動部
７１３ＢＣ  第一可動部
７１３ＢＤ  第一可動部
７１３ＢＥ  第二可動部
７１３Ｃ  可動部
７１３ＣＡＡ  第一可動部
７１３ＣＡＢ  第一可動部
７１３ＣＢＡ  第一可動部
７１３ＣＢＢ  第一可動部
７１３ＣＣＡ  第一可動部
７１３ＣＣＢ  第一可動部
７１３ＣＤＡ  第一可動部
７１３ＣＤＢ  第一可動部
７１３ＣＥ  第二可動部
７１４Ａ  複数のばね部
７１４ＡＡ  第一ばね部
７１４ＡＢ  第二ばね部
７１４ＡＣ  第三ばね部
７１４Ｂ  複数のばね部
７１４ＢＡ  第一ばね部
７１４ＢＢ  第二ばね部
７１４Ｃ  複数のばね部
７１４ＣＡ  第一ばね部
７１４ＣＢ  第二ばね部
７１５ＡＡ  絶縁部
７１５ＡＢ  絶縁部
７１５ＡＣ  絶縁部
７１５ＡＤ  絶縁部
７１５ＡＥ  絶縁部
７１５ＡＦ  絶縁部
７１５ＡＧ  絶縁部
７１５ＡＨ  絶縁部
７１６ＡＡ  絶縁部
７１６ＡＢ  絶縁部
７１６ＡＢａ  第一層
７１６ＡＢｂ  第二層
７１６ＡＣ  絶縁部
７１６ＡＤ  絶縁部
７１６ＡＥ  絶縁部
７１６ＡＦ  絶縁部
７３１ａ  主面
７３１Ａ  主部
７３１ｂ  主面
７３１Ｂ  主部
７３１Ｃ  主部
７３１ｃ  主面
７３２ａ  主面
７３２Ａ  腕部
７３２Ａａ  第一部位
７３２Ａｂ  第二部位
７３２Ａｃ  第三部位
７３２Ａｄ  第四部位
７３２ｂ  主面
７３２Ｂ  腕部
７３２Ｂａ  第一部位
７３２Ｂｂ  第二部位
７３２Ｂｃ  第三部位
７３２Ｂｄ  第四部位
７３２Ｂｄａ  延出部
７３２Ｂｄｂ  延出部
７３２Ｂｅ  第五部位
７３２ｃ  主面
７３２Ｃ  腕部
７３２Ｃａ  第一部位
７３２Ｃｂ  第二部位
７３２Ｃｃ  第三部位
７３２Ｃｄ  第四部位
７３２Ｃｄａ  延出部
７３２Ｃｄｂ  延出部
７３２ｄ  主面
７３２ｅ  主面
７３２ｆ  主面
７３３Ａ  樹脂層
７３３Ｂ  樹脂層
７３３Ｃ  樹脂層
７３４Ａ  導電層
７３４Ａａ  一端部
７３４Ａｂ  他端部
７３４Ｂ  導電層
７３４Ｂａ  一端部
７３４Ｂｂ  他端部
７３４Ｃ  導電層
７３４Ｃａ  一端部
７３４Ｃｂ  他端部
Ｘ１１，Ｘ１２，ＧＮＤ１４，ＧＮＤ１５，θ１２  固定部位
Ｘ２１，Ｘ２２，θ２２，ＧＮＤ２３，ＧＮＤ２５  固定部位
Ｙ１１，Ｙ１２，ＧＮＤ３１，ＧＮＤ３５，θ３１  固定部位
Ｙ２１，Ｙ２２，θ４１，ＧＮＤ４２，ＧＮＤ４５  固定部位
Ｘ３１，Ｘ３２，ＧＮＤ５１  固定部位
Ｘ４１，Ｘ４２，ＧＮＤ５１  固定部位
Ｙ３１，Ｙ３２，ＧＮＤ５１  固定部位
Ｙ４１，Ｙ４２，ＧＮＤ５１  固定部位
Ｘ５１，Ｘ５２，ＧＮＤ６１，Ｘ６１，Ｘ６２  固定部位
Ｘ７１，Ｘ７２，ＧＮＤ６１，Ｘ８１，Ｘ８２  固定部位
Ｙ５１，Ｙ５２，ＧＮＤ６１，Ｙ６１，Ｙ６２  固定部位
Ｙ７１，Ｙ７２，ＧＮＤ６１，Ｙ８１，Ｙ８２  固定部位
θ５１，θ５２，ＧＮＤ５５，θ６１，θ６２，ＧＮＤ６５  移動部位
【図１】
2020106845.tif 000003
【図２】
2020106845.tif 000004
【図３】
2020106845.tif 000005
【図４】
2020106845.tif 000006
【図５】
2020106845.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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