(57)【要約】【課題】水平方向に用いられても、保持された部品や軸部材の重量、およびセンターボス等の自重による位置ずれが生じ難いフローティングユニットを提供する。【解決手段】底部ブロック４に配置され、所定の圧力を有する気体が供給される第１の空間Ｓ１を有し、第１の空間に所定の圧力を有する気体が供給されることにより、天板をセンターロックする向きに力を加える天板センターロック部３と、本体ブロック４に配置され、所定の圧力を有する気体が供給される第２の空間Ｓ２を有し、第２の空間に所定の圧力を有する気体が供給されることにより、センターボス３６を周囲から保持する向きに力を加えるエアークッション部５とを含む、フローティングユニット。【選択図】図２Ａ
2020124795.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
底面を有する底部ブロックと、
前記底部ブロックの上に配置される、内部に空間を有する本体ブロックと、
前記本体ブロックの内部に配置される軸体と、
前記底部ブロックの反対側において前記本体ブロックの端部と間隔を隔てて前記本体ブロックの端部を覆うようにして前記軸体に取り付けられる天板と、
前記本体ブロックの内部に配置され、前記軸体を前記底部ブロックに対して移動可能に支持するための複数のボールと、
前記本体ブロックの内部に配置され、前記ボールを所定の位置関係に配置するために前記軸体の周囲に配置される、リング状のボールリテーナと、
前記底部ブロックに配置され、所定の圧力を有する気体が供給される第１の空間を有し、前記第１の空間に所定の圧力を有する気体が供給されることにより、前記天板をセンターロックする向きに力を加える、天板センターロック部と、
前記本体ブロックに配置され、所定の圧力を有する気体が供給される第２の空間を有し、前記第２の空間に所定の圧力を有する気体が供給されることにより、前記軸体を周囲から保持する向きに力を加える、エアークッション部とを含む、フローティングユニット。
【請求項２】
底面を有する底部ブロックと、
前記底部ブロックの上に配置される、内部に空間を有する本体ブロックと、
前記本体ブロックの内部に配置されるセンターボスと、
前記底部ブロックの反対側において前記本体ブロックの端部と間隔を隔てて前記本体ブロックの端部を覆うようにして前記センターボスに取り付けられる天板と、
前記本体ブロックの内部に配置され、前記センターボスを前記底部ブロックに対して移動可能に支持するための複数の第１のボールおよび第２のボールおよび第３のボールと、
前記本体ブロックの内部に配置され、前記第１のボールを所定の位置関係に配置するために前記センターボスの周囲に配置されるリング状のボールリテーナと、
前記本体ブロックの内部に配置され、前記第２のボールを所定の位置関係に配置するために前記センターボスの周囲に配置されるリング状の第１のスライドリテーナと、
前記本体ブロックの内部に配置され、前記第３のボールを所定の位置関係に配置するために前記センターボスの周囲に配置されるリング状の第２のスライドリテーナと、
前記本体ブロックの内部に配置され、前記第２のボールを一方向に移動させるために前記センターボスの周囲に配置されるリング状の第１のボールスライダと、
前記本体ブロックの内部に配置され、前記第２のボールを前記一方向に移動させると共に前記第３のボールを前記一方向と直交する他方向に移動させるために前記センターボスの周囲に配置されるリング状の第２のボールスライダと、
前記本体ブロックの内部に配置され、前記第３のボールを前記他方向に移動させるために前記センターボスの周囲に配置されるリング状の第３のボールスライダと、
前記底部ブロックに配置され、所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給される第１の空間を有し、前記第１の空間に所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給されることにより、前記天板をセンターロックする向きに力を加える、天板センターロック部と、
前記本体ブロックに配置され、所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給される第２の空間を有し、前記第２の空間に所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給されることにより、前記センターボスを周囲から保持する向きに力を加える、エアークッション部とを含み、
フローティングユニットは、前記天板が中心軸ＣＬに直交する方向に移動することができるように構成されている、フローティングユニット。
【請求項３】
底面を有する底部ブロックと、
前記底部ブロックの上に配置される、内部に空間を有する本体ブロックと、
前記本体ブロックの内部に配置されるホルダと、
前記ホルダの下面に配設された第２のボール当て板および位置決めピンおよびピンホルダと、
前記底部ブロックの反対側において前記本体ブロックの端部と間隔を隔てて前記本体ブロックの端部を覆うようにして前記ホルダに取り付けられる天板と、
前記本体ブロックの内部に配置され、前記ホルダを前記底部ブロックに対して回転可能に支持するための複数の第１のボールと、
前記本体ブロックの内部に配置され、前記第１のボールを支持するために前記ホルダの周囲に配置されるリング状の第１のボール当て板および第３のボール当て板と、
前記本体ブロックの内部に配置され、前記第１のボールを所定の位置関係に配置するために前記ホルダの周囲に配置される、リング状の第１のボールリテーナおよび第２のボールリテーナと、
前記底部ブロックに配置され、所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給される第１の空間を有し、前記第１の空間に所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給されることにより、前記天板をセンターロックする向きに力を加える、天板センターロック部と、
前記本体ブロックに配置され、所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給される第２の空間を有し、前記第２の空間に所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給されることにより、前記ホルダを周囲から保持する向きに力を加える、エアークッション部とを含み、フローティングユニットは、前記天板が中心軸ＣＬを中心にして回転することができるように構成されている、フローティングユニット。
【請求項４】
前記天板センターロック部は、
外部から所定の圧力を有する気体が供給される、前記第１の空間に連通する天板センターロック用給気口と、
前記天板センターロック用給気口を有し、前記底面を形成するロックシリンダと、
前記ロックシリンダの上に配置され、バネ部材で付勢されて、ロックシリンダと天板とに向かって往復可能であるロックピストンと、
ロックピストンの内部に嵌め込まれたロックガイドと、
ロックピストンの上に配置され、ロックピストンに摺接するピストンガイドとを含み、
前記第１の空間は、前記ロックシリンダの上面と前記ロックピストンの下面との間に形成されている、請求項１〜請求項３のいずれかに記載のフローティングユニット。
【請求項５】
前記エアークッション部は、
外部から所定の圧力を有する気体が供給される、前記第２の空間に連通するエアークッション用給気口と、
相互に連通した前記エアークッション用給気口とエアークッション用給気溝とガイドピン用凹部とを有する本体と、
前記本体のガイドピン用凹部に収容されたガイドピンと、
前記本体の上部を覆う本体カバーとを含み、
前記第２の空間は、前記本体の外周面と前記本体カバーの内周面との間に配置された前記エアークッション用給気溝およびガイドピン用凹部に形成されている、請求項１〜請求項４のいずれかに記載のフローティングユニット。
【請求項６】
請求項１〜請求項５のいずれか１つに記載のフローティングユニットと、
前記フローティングユニットの前記底面に取り付けられた、前記フローティングユニットをその軸方向に往復移動可能にする往復駆動ブロックとを含む、フローティングユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フローティングユニットに関し、特に例えば、穴が形成された部品の穴に軸部材などを挿入する場合などにおいて、確実に部品の穴に軸部材を挿入するために、部品の穴の中心軸と軸部材の中心軸とのずれを補正することができる、フローティングユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、産業用ロボットなどのハンドとチャックとの間に取り付けられ、部品の穴に軸部材を確実に挿入するためのフローティングユニットとして、特許文献１に記載のものが提案されている。
【０００３】
特許文献１に記載のフローティングユニットは、底板部を有する筒状の本体を含む。本体の内部には、センターボスが配設される。さらに、センターボスを本体の底板部に対して移動可能に支持するためのボールを含み、ボールを所定の位置関係に配設するために、センターボスの周囲に円環状のリテーナが配設される。そして、センターボスをリテーナの中央部において保持する向きに力を加える第１のバネ部材としてのセンターバネ、およびセンターボスを本体の底板部の中央部において保持する向きに力を加える第２のバネ部材としての皿バネを含む。
【０００４】
特許文献１に記載のフローティングユニットは、水平方向に部品を挿入する際にも用いられる。その際にも、第１のバネ部材および第２のバネ部材の作用によって、センターボスは、フローティングユニットの中央付近の位置を維持しようとする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１６−２０３２７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載のフローティングユニットは、センターボスの位置を維持する機能が、第１のバネ部材および第２のバネ部材の弾性力に依存するものであり、フローティングユニットが軸体を水平方向に向けて使用される際には、フローティングユニットによって保持された部品や軸部材の重量とセンターボス等の自重とにより、若干の位置ずれが生じることを免れなかった。
【０００７】
特に、精密な部品の挿入の際には、ロボットハンドによる位置決めの誤差にフローティングユニットによる位置ずれが加わると、部品の穴と軸部材との位置ずれが、フローティングユニットによる補正の範囲を超えてしまうことにもなりかねない。
【０００８】
それゆえに、本発明の主たる目的は、軸を水平方向にして用いられても、保持された部品や軸部材の重量、およびセンターボス等の自重による位置ずれが生じ難いフローティングユニットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るフローティングユニットは、
底面を有する底部ブロックと、
底部ブロックの上に配置される、内部に空間を有する本体ブロックと、
本体ブロックの内部に配置される軸体と、
底部ブロックの反対側において本体ブロックの端部と間隔を隔てて本体ブロックの端部を覆うようにして軸体に取り付けられる天板と、
本体ブロックの内部に配置され、軸体を底部ブロックに対して移動可能に支持するための複数のボールと、
本体ブロックの内部に配置され、ボールを所定の位置関係に配置するために軸体の周囲に配置される、リング状のボールリテーナと、
底部ブロックに配置され、所定の圧力を有する気体が供給される第１の空間を有し、第１の空間に所定の圧力を有する気体が供給されることにより、天板をセンターロックする向きに力を加える、天板センターロック部と、
本体ブロックに配置され、所定の圧力を有する気体が供給される第２の空間を有し、第２の空間に所定の圧力を有する気体が供給されることにより、軸体を周囲から保持する向きに力を加える、エアークッション部とを含む、フローティングユニットである。
【００１０】
また、本発明に係るフローティングユニットは、
底面を有する底部ブロックと、
底部ブロックの上に配置される、内部に空間を有する本体ブロックと、
本体ブロックの内部に配置されるセンターボスと、
底部ブロックの反対側において本体ブロックの端部と間隔を隔てて本体ブロックの端部を覆うようにしてセンターボスに取り付けられる天板と、
本体ブロックの内部に配置され、センターボスを底部ブロックに対して移動可能に支持するための複数の第１のボールおよび第２のボールおよび第３のボールと、
本体ブロックの内部に配置され、第１のボールを所定の位置関係に配置するためにセンターボスの周囲に配置されるリング状のボールリテーナと、
本体ブロックの内部に配置され、第２のボールを所定の位置関係に配置するためにセンターボスの周囲に配置されるリング状の第１のスライドリテーナと、
本体ブロックの内部に配置され、第３のボールを所定の位置関係に配置するためにセンターボスの周囲に配置されるリング状の第２のスライドリテーナと、
本体ブロックの内部に配置され、第２のボールを一方向に移動させるためにセンターボスの周囲に配置されるリング状の第１のボールスライダと、
本体ブロックの内部に配置され、第２のボールを一方向に移動させると共に第３のボールを一方向と直交する他方向に移動させるためにセンターボスの周囲に配置されるリング状の第２のボールスライダと、
本体ブロックの内部に配置され、第３のボールを他方向に移動させるためにセンターボスの周囲に配置されるリング状の第３のボールスライダと、
底部ブロックに配置され、所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給される第１の空間を有し、第１の空間に所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給されることにより、天板をセンターロックする向きに力を加える、天板センターロック部と、
本体ブロックに配置され、所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給される第２の空間を有し、第２の空間に所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給されることにより、センターボスを周囲から保持する向きに力を加える、エアークッション部とを含み、
フローティングユニットは、天板が中心軸ＣＬに直交する方向に移動することができるように構成されている、フローティングユニットである。
【００１１】
また、本発明に係るフローティングユニットは、
底面を有する底部ブロックと、
底部ブロックの上に配置される、内部に空間を有する本体ブロックと、
本体ブロックの内部に配置されるホルダと、
ホルダの下面に配設された第２のボール当て板および位置決めピンおよびピンホルダと、
底部ブロックの反対側において本体ブロックの端部と間隔を隔てて本体ブロックの端部を覆うようにしてホルダに取り付けられる天板と、
本体ブロックの内部に配置され、ホルダを底部ブロックに対して回転可能に支持するための複数の第１のボールと、
本体ブロックの内部に配置され、第１のボールを支持するためにホルダの周囲に配置されるリング状の第１のボール当て板および第３のボール当て板と、
本体ブロックの内部に配置され、第１のボールを所定の位置関係に配置するためにホルダの周囲に配置される、リング状の第１のボールリテーナおよび第２のボールリテーナと、
底部ブロックに配置され、所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給される第１の空間を有し、第１の空間に所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給されることにより、天板をセンターロックする向きに力を加える、天板センターロック部と、
本体ブロックに配置され、所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給される第２の空間を有し、第２の空間に所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給されることにより、ホルダを周囲から保持する向きに力を加える、エアークッション部とを含み、フローティングユニットは、天板が中心軸ＣＬを中心にして回転することができるように構成されている、フローティングユニットである。
【００１２】
また、本発明に係るフローティングユニットは、
天板センターロック部は、
外部から所定の圧力を有する気体が供給される、第１の空間に連通する天板センターロック用給気口と、
天板センターロック用給気口を有し、底面を形成するロックシリンダと、
ロックシリンダの上に配置されるロックピストンと、
ロックピストンの内部に嵌め込まれたロックガイドと、
ロックピストンの上にバネ部材で付勢されて、ロックピストンに摺接しながらロックシリンダと天板とに向かって往復可能であるピストンガイドとを含み、
第１の空間は、ロックシリンダの上面とロックピストンの下面との間に形成されていることが好ましい。
【００１３】
また、本発明に係るフローティングユニットは、
エアークッション部は、
外部から所定の圧力を有する気体が供給される、第２の空間に連通するエアークッション用給気口と、
相互に連通したエアークッション用給気口とエアークッション用給気溝とガイドピン用凹部とを有する本体と、
本体のガイドピン用凹部に収容されたガイドピンと、
本体の上部を覆う本体カバーとを含み、
第２の空間は、本体の外周面と本体カバーの内周面との間に配置されたエアークッション用給気溝およびガイドピン用凹部に形成されていることが好ましい。
【００１４】
また、本発明に係るフローティングユニットは、
前述のいずれか１つに記載のフローティングユニットと、
フローティングユニットの底面に取り付けられた、フローティングユニットをその軸方向に往復移動可能にする往復駆動ブロックとを含むことが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
この発明によれば、軸を水平方向にして用いられても、保持された部品や軸部材の重量、およびセンターボス等の自重による位置ずれが生じ難いフローティングユニットが得られる。
【００１６】
本発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための形態の説明から一層明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１（ａ）は本発明の第１の実施の形態に係るフローティングユニットを示す正面図であり、図１（ｂ）はその平面図であり、図１（ｃ）はその底面図である。
【図２Ａ】図２Ａは図１に示すフローティングユニットの内部構造を示す断面図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは図２Ａの分解断面図である。
【図３】図３は図１に示すフローティングユニットの内部構造を示す断面図である。
【図４】図４は図１に示すフローティングユニットの内部構造を示す断面図である。
【図５】図５（ａ）はロックシリンダを下側から見た平面図であり、図５（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図であり、図５（ｃ）はＢ−Ｂ断面図であり、図５（ｄ）はＣ−Ｃ断面図である。
【図６】図６（ａ）はロックピストンを上側から見た平面図であり、図６（ｂ）はその断面図である。
【図７】図７（ａ）はロックガイドを上側から見た平面図であり、図７（ｂ）はその断面図である。
【図８】図８（ａ）はピストンガイドを下側から見た平面図であり、図８（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図であり、図８（ｃ）はＢ−Ｂ断面図である。
【図９】図９（ａ）は本体を下側から見た平面図であり、図９（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図であり、図９（ｃ）はＢ−Ｂ断面図であり、図９（ｄ）はＣ−Ｃ断面図である。
【図１０】図１０は本体を上側から見た平面図である。
【図１１】図１１（ａ）はガイドピンの正面図であり、図１１（ｂ）はガイドピンを本体に装着した状態を説明するための上側から見た平面透視図である。
【図１２】図１２はボール当て板の断面図である。
【図１３】図１３（ａ）はセンターボスを上側から見た平面図であり、図１３（ｂ）はその断面図である。
【図１４】図１４（ａ）はセンターカラーの断面図であり、図１４（ｂ）は上側から見た平面図である。
【図１５】図１５（ａ）はボールリテーナを下側から見た平面図であり、図１５（ｂ）はその断面図である。
【図１６】図１６（ａ）は第１のボールスライダを下側から見た平面図であり、図１６（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図であり、図１６（ｃ）はＢ−Ｂ断面図である。
【図１７】図１７（ａ）は第１のスライドリテーナの断面図であり、図１７（ｂ）は下側から見た平面図であり、図１７（ｃ）は第１のスライドリテーナと第２（中間）のボールスライダの下面との位置関係を説明するための下側から見た平面透視図である。
【図１８】図１８（ａ）は第２（中間）のボールスライダを下側から見た平面図であり、図１８（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図であり、図１８（ｃ）はＢ−Ｂ断面図である。
【図１９】図１９（ａ）は第２のスライドリテーナの断面図であり、図１９（ｂ）は下側から見た平面図であり、図１９（ｃ）は第２のスライドリテーナと第２（中間）のボールスライダの上面との位置関係を説明するための下側から見た平面透視図である。
【図２０Ａ】図２０Ａ（ａ）は第３のボールスライダの断面図であり、図２０Ａ（ｂ）は下側から見た平面図である。
【図２０Ｂ】図２０Ｂは、第１のボールスライダおよび第２（中間）ボールスライダおよび第３のボールスライダおよび第２のボールおよび第３のボールの関係を示す説明図である。
【図２１】図２１（ａ）は本体カバーを上側から見た平面図であり、図２１（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図であり、図２１（ｃ）はＢ−Ｂ断面図である。
【図２２】図２２（ａ）は天板を上側から見た平面図であり、図２２（ｂ）はその断面図であり、図２２（ｃ）は天板を下側から見た平面図である。
【図２３】図２３は図１に示すフローティングユニットの天板が偏芯したときの内部構造を示す断面図である。
【図２４】図２４は図１に示すフローティングユニットがセンターロックしたときの内部構造を示す断面図である。
【図２５】図２５は本発明の第２の実施の形態に係るフローティングユニットを示す正面図である。
【図２６】図２６は図２５に示す往復駆動ブロックの内部構造を示す断面図である。
【図２７】図２７（ａ）はフランジを下側から見た平面図であり、図２７（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図であり、図２７（ｃ）はＢ−Ｂ断面図である。
【図２８】図２８（ａ）はＺ軸シリンダを下側から見た平面図であり、図２８（ｂ）はその断面図である。
【図２９】図２９（ａ）はＺ軸ピストンを上側から見た平面図であり、図２９（ｂ）はその断面図である。
【図３０】図３０はリニアブッシュの断面図である。
【図３１】図３１はリニアシャフトの断面図である。
【図３２】図３２は間座の断面図である。
【図３３】図３３は接続フランジを下側から見た平面図である。
【図３４】図３４は往復駆動ブロックが駆動したときの内部構造を示す断面図である。
【図３５】図３５（ａ）は本発明の第３の実施の形態に係るフローティングユニットを示す正面図であり、図３５（ｂ）は上側から見た平面図であり、図３５（ｃ）は下側から見た平面図である。
【図３６Ａ】図３６Ａは図３５に示すフローティングユニットの内部構造を示す断面図である。
【図３６Ｂ】図３６Ｂは図３６Ａの分解断面図である。
【図３６Ｃ】図３６Ｃは図３５に示すフローティングユニットの天板が偏芯したときの内部構造を示す断面図である。
【図３７】図３７は図３５に示すフローティングユニットの内部構造を示す断面図である。
【図３８】図３８は図３５に示すフローティングユニットの内部構造を示す断面図である。
【図３９】図３９（ａ）はピストンガイドを上側から見た平面図であり、図３９（ｂ）はその断面図であり、図３９（ｃ）は下側から見た平面図である。
【図４０】図４０はガイドピンを本体に装着した状態を説明するための上側から見た平面透視図である。
【図４１】図４１（ａ）はホルダを上側から見た平面図であり、図４１（ｂ）はその正面図である。
【図４２】図４２（ａ）は第２のボール当て板の断面図であり、図４２（ｂ）は下側から見た平面図である。
【図４３】図４３は位置決めピンの正面図である。
【図４４】図４４（ａ）はピンホルダの断面図であり、図４４（ｂ）は下側から見た平面図である。
【図４５】図４５（ａ）はボールリテーナの断面図であり、図４５（ｂ）は下側から見た平面図である。
【図４６】図４６は第３のボール当て板の断面図である。
【図４７】図４７は本発明の第４の実施の形態に係るフローティングユニットを示す正面図である。
【図４８】図４８（ａ）は図４７に示すＺ方向押し出し機構付き天板の内部構造を下側から見た平面図であり、図４８（ｂ）はＺ方向押し出し機構の押し出し用給気口を含む方向の断面図であり、図４８（ｃ）はＺ方向押し出し機構のエアークッション用給気口を含む方向の断面図である。
【図４９】図４９（ａ）はフランジを下側から見た平面図であり、図４９（ｂ）は押し出し用給気口を含む方向の断面図であり、図４９（ｃ）はエアークッション用給気口を含む方向の断面図である。
【図５０】図５０（ａ）はシリンダを下側から見た平面図であり、図５０（ｂ）はその断面図である。
【図５１】図５１（ａ）はガイドを下側から見た平面図であり、図５１（ｂ）はその断面図である。
【図５２】図５２（ａ）はピストンを下側から見た平面図であり、図５２（ｂ）はその断面図である。
【図５３】図５３（ａ）は天板を下側から見た平面図であり、図５３（ｂ）はその断面図である。
【図５４】図５４はＺ方向押し出し機構の動作を説明するための図であり、図５４（ａ）は押し出し用給気口を含む方向の断面図であり、図５４（ｂ）はエアークッション用給気口を含む方向の断面図である。
【図５５】図５５は本発明の第５の実施の形態に係るフローティングユニットを示す正面図である。
【図５６】図５６（ａ）は図５５に示す天板水平保持クッション機構付き天板の内部構造を上側から見た平面図であり、図５６（ｂ）は天板水平保持クッション機構のエアークッション用給気口を含む方向の断面図であり、図５６（ｃ）は別の方向の断面図である。
【図５７】図５７（ａ）はフランジを上側から見た平面図であり、図５７（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図であり、図５７（ｃ）はＢ−Ｂ断面図であり、図５７（ｄ）はフランジを下側から見た平面図である。
【図５８】図５８（ａ）は本体を上側から見た平面図であり、図５８（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図であり、図５８（ｃ）はＢ−Ｂ断面図である。
【図５９】図５９はピストンの正面図である。
【図６０】図６０（ａ）は回転球受けを上側から見た平面図であり、図６０（ｂ）はその断面図である。
【図６１】図６１（ａ）は回転球を上側から見た平面図であり、図６１（ｂ）はその断面図である。
【図６２】図６２（ａ）は蓋を上側から見た平面図であり、図６２（ｂ）はその断面図である。
【図６３】図６３（ａ）は天板を上側から見た平面図であり、図６３（ｂ）はその断面図であり、図６３（ｃ）は天板を下側から見た平面図である。
【図６４】図６４（ａ）はピストン受けを下側から見た平面図であり、図６４（ｂ）はその断面図である。
【図６５】図６５は天板水平保持クッション機構の動作を説明するための図であり、図６５（ａ）は水平方向に向けられた際の天板水平保持クッション機構付き天板の正面図であり、図６５（ｂ）はその断面図である。
【図６６】図６６は本発明の第６の実施の形態に係るフローティングユニットを示す右側面図である。
【図６７】図６７は図６６に示すフローティングユニットのＺ方向の内部構造を示す断面図である。
【図６８】図６８は図６６に示すフローティングユニットのＺ方向の内部構造を示す断面図である。
【図６９】図６９は図６６に示すフローティングユニットのＸ−Ｙ方向の内部構造を示す断面図である。
【図７０】図７０（ａ）は本体を下側から見た平面図であり、図７０（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図であり、図７０（ｃ）はＢ−Ｂ断面図である。
【図７１】図７１（ａ）は回転盤を上側から見た平面図であり、図７１（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図であり、図７１（ｃ）は右側面図である。
【図７２】図７２（ａ）は軸受けピンホルダの正面図であり、図７２（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図である。
【図７３】図７３は軸受けピンの断面図である。
【図７４】図７４（ａ）は回転ウエイトの下側から見た平面図であり、図７４（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図である。
【図７５】図７５（ａ）はベアリング当て板の平面図であり、図７５（ｂ）はその右側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
１．第１の実施の形態
この発明の第１の実施の形態に係るフローティングユニットについて説明する。図１（ａ）は第１の実施の形態に係るフローティングユニットを示す正面図であり、図１（ｂ）はその平面図であり、図１（ｃ）はその底面図である。図２Ａおよび図３および図４は、それぞれ、図１に示すフローティングユニットの内部構造を示す断面図であり、図２Ｂは図２Ａの分解断面図である。
【００１９】
フローティングユニット１０は、ロックシリンダ２０およびピストンガイド２６等を含む底部ブロック２と、本体３０および本体カバー６０等を含む本体ブロック４と、天板７０とを含む。フローティングユニット１０は、ロックシリンダ２０側（下側とも称する）がロボットハンドに連結し、天板７０側（上側とも称する）がチャックに連結する。
【００２０】
この発明の説明において、図１（ａ）の左右方向をＸ方向とし、Ｘ方向に直交する表裏方向をＹ方向とする。Ｘ方向およびＹ方向に直交するロックシリンダ２０と天板９０とが相対する方向を軸方向（Ｚ方向とも称する）とする。フローティングユニット１０の中心を通る線ＣＬを、中心線や軸ともいう。
【００２１】
フローティングユニット１０は、図１〜図４に示すように、底面を有する底部ブロック２と、底部ブロック２の上に配置される、内部に空間を有する本体ブロック４と、本体ブロック４の内部に配置されるセンターボス（軸体とも称する）３６と、底部ブロック２の反対側において本体ブロック４の端部と間隔を隔てて本体ブロック４の端部を覆うようにしてセンターボス３６に取り付けられる天板７０と、本体ブロック４の内部に配置され、センターボス３６を底部ブロック２に対して移動可能に支持するための複数の第１のボール４３および第２のボール４７および第３のボール５１と、本体ブロック４の内部に配置され、第１のボール４３を所定の位置関係に配置するためにセンターボス３６の周囲に配置されるリング状のボールリテーナ４２と、第２のボール４７を所定の位置関係に配置するためにセンターボス３６の周囲に配置されるリング状の第１のスライドリテーナ４６と、第３のボール５１を所定の位置関係に配置するためにセンターボス３６の周囲に配置されるリング状の第２のスライドリテーナ５０と、第２のボール４７をＹ方向に移動させるためにセンターボス３６の周囲に配置されるリング状の第１のボールスライダ４４と、第２のボール４７をＹ方向に移動させると共に第３のボール５１をＸ方向に移動させるためにセンターボス３６の周囲に配置されるリング状の第２（中間）のボールスライダ４８と、第３のボール５１をＸ方向に移動させるためにセンターボス３６の周囲に配置されるリング状の第３のボールスライダ５２と、底部ブロック２に配置され、所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給される第１の空間Ｓ１を有し、第１の空間Ｓ１に所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給されることにより、天板７０をセンターロックする向きに力を加える、天板センターロック部３と、本体ブロック４に配置され、所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給される第２の空間Ｓ２を有し、第２の空間Ｓ２に所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給されることにより、センターボス３６を周囲から保持する向きに力を加える、エアークッション部５とを含み、フローティングユニット１０は、天板７０が中心軸ＣＬに直交する方向に移動することができるように構成されている。
【００２２】
底部ブロック２は、底面を形成するロックシリンダ２０と、ロックシリンダ２０の上に配置され、バネ部材２２９で付勢されて、ロックシリンダ２０と天板７０とに向かって往復可能であるロックピストン２２と、ロックピストン２２の内部に嵌め込まれたロックガイド２４と、ロックピストン２２の上に配置され、ロックピストン２２に摺接するピストンガイド２６とを含む。
【００２３】
底部ブロック２に配設された天板センターロック部３は、外部から所定の圧力（代表値は０．５ＭＰａで、推力で言い換えると５．８ｋｇｆ）を有する空気が供給される、第１の空間Ｓ１に連通する天板センターロック用給気口２０６と、天板センターロック用給気口２０６を有し、底面を形成するロックシリンダ２０と、ロックシリンダ２０の上に配置され、バネ部材２２９で付勢されて、ロックシリンダ２０と天板７０とに向かって往復可能であるロックピストン２２と、ロックピストン２２の内部に嵌め込まれたロックガイド２４と、ロックピストン２２の上に配置され、ロックピストン２２に摺接するピストンガイド２６とを含み、第１の空間Ｓ１は、ロックシリンダ２０の上面とロックピストン２２の下面との間に形成されている。
【００２４】
天板センターロック部３に供給される空気の「所定の圧力」とは、バネ部材２２９の弾性力に抗してロックピストン２２を天板７０に向けて移動させることができる推力を有する空気圧を意味する。
【００２５】
本体ブロック４は、本体３０と、本体３０に収容されたガイドピン３２と、本体３０の上部を覆う本体カバー６０とを含む。
【００２６】
本体ブロック４に配設されたエアークッション部５は、外部から所定の圧力（代表圧力範囲は、０．３ＭＰａ〜０．６ＭＰａで、推力で言い換えると３．５ｋｇｆ〜７．０ｋｇｆ）を有する空気が供給される、第２の空間Ｓ２に連通するエアークッション用給気口６０８と、相互に連通したエアークッション用給気口６０８とエアークッション用給気溝３１８とガイドピン用凹部３１４とを有する本体３０と、本体３０のガイドピン用凹部３１４に収容されたガイドピン３２と、本体３０の上部を覆う本体カバー６０とを含み、第２の空間Ｓ２は、本体３０のエアークッション用給気溝３１８およびガイドピン用凹部３１４と本体カバー６０の内周面との間に形成されている。
【００２７】
エアークッション部５に供給される空気の「所定の圧力」とは、保持された部品や軸部材の重量、およびセンターボス３６等の自重に抗して位置ずれを発生させない推力を有する空気圧を意味する。
【００２８】
底部ブロック２は、図２Ａ〜図４に示すように、ロックシリンダ２０とロックピストン２２とロックガイド２４とピストンガイド２６とを含む。
本体ブロック４は、本体３０と本体カバー６０とガイドピン３２とを含む。
【００２９】
さらに、底部ブロック２に配置された天板センターロック部３は、所定の圧力を有する気体が供給される第１の空間Ｓ１を有し、第１の空間Ｓ１に所定の圧力を有する気体が供給されることにより、天板７０をセンターロックする向きに力を加えるものである。
天板センターロック部３は、第１の空間Ｓ１と天板センターロック用給気口２０６とロックシリンダ２０とロックピストン２２とロックガイド２４とバネ部材２２９とピストンガイド２６とを含む。
【００３０】
本体ブロック４に配置されたエアークッション部５は、所定の圧力を有する気体が供給される第２の空間Ｓ２を有し、第２の空間Ｓ２に所定の圧力を有する気体が供給されることにより、センターボス３６を周囲から保持する向きに力を加えるものである。
エアークッション部５は、第２の空間Ｓ２とエアークッション用給気口６０８と本体３０とガイドピン３２と本体カバー６０とを含む。
【００３１】
以下、より詳細に説明する。底部ブロック２の最も下部の基盤を構成するロックシリンダ２０は、その中央に形成された平面視円形の凹み部の内側にロックピストン２２が配設されている。
ロックシリンダ２０の最頂部分には、ピストンガイド２６が、ロックシリンダ２０の凹部の中央領域を残して凹部を覆うように、配置されている。
ロックピストン２２は、その中央領域に、ロックガイド２４を配置するための凹部が形成され、ロックガイド２６の凹部には、ロックガイド２４が配置される。
ロックピストン２２の板状態の主要部とピストンガイド２６の板状態の主要部との間には空間が形成されている。
ロックピストン２２の主要部分の周辺領域とピストンガイド２６の主要部分との間に、バネ部材２２９が架設されている。
【００３２】
ロックシリンダ２０の平板状の主要部分の上の面とロックピストン２２の平板状の主要部分の下の面との間に、第１の空間Ｓ１が形成されている。
【００３３】
ピストンガイド２６の平板状の主要部分の周辺領域の上の面に、本体３０の下部が載置されて、本体３０がピストンガイド２６に取り付けられている。
【００３４】
本体３０は、その中央領域に設けられた中空部内に、中心線ＣＬに沿ってその下部から上方に向けて伸びるように、センターボス３６が貫挿されている。
センターボス３６は、以下に述べる第１のボールスライダ４４により支持されている。
【００３５】
ピストンガイド２６の上に本体３０が取り付けられたとき、本体３０側に取り付けられているセンターボス３６の下端に形成された半球状凸部（係合凸部３６６）が、ロックガイド２４の凹み部（傾斜面２４ｂ）に対設している。
【００３６】
本体３０は、ハウジングを構成しており、その内側の空洞内に、下から順に、ボール当て板４０、ボールリテーナ４２、第１のボールスライダ４４、第１のスライドリテーナ４６、第２（中間）ボールスライダ４８、第２のスライドリテーナ５０が、配設されている。
【００３７】
本体３０は、その中空部内の下部分においてに、ボール当て板４０が嵌装されている。
ボール当て板４０は、前記ピストンガイド２６の上に載置して固定されている。
ボール当て板４０の上面には、ボールリテーナ４２が移動自在に載置されている。
ボールリテーナ４２は、貫通穴４２２に第１のボール４３が嵌め込まれ、第１のボール４３は、ボールリテーナ４２の上下に露出する。
【００３８】
ボールリテーナ４２は、中心線ＣＬに直交する方向（Ｘ−Ｙ方向）にスライド移動する。
【００３９】
ボールリテーナ４２及び第１のボール４３の上には、第１のボールスライダ４４が配置されている。
第１のボールスライダ４４は、平板状であり、その中央の貫通穴内に、センターボス３６が取り付けられ、更に、貫通穴の周辺部において、センターカラー３８が上方に向けて伸びるように取り付けられている。
センターカラー３８は、センターボス３６の外周面に取り付けられている。
【００４０】
第１のボールスライダ４４は、平板状であり、その上の面には第１のスライドリテーナ４６が取り付けられている。
第１のスライドリテーナ４６は、平板状であり、上の面から下の面に至る貫通穴４６２に第２のボール４７が嵌め込まれている。
第１のスライドリテーナ４６及び第２のボール４７の上に、第２（中間）のボールスライダ４８が配置されている。
第２（中間）ボールスライダ４８の上の面には、第２のスライドリテーナ５０が配置されている。
第２（中間）ボールスライダ４８の上で、第２のスライドリテーナ５０に保持された第２のボール４７の上には、第３のボールスライダ５２が配置されている。
第３のボールスライダ５２は、本体３０に取り付けられている。
第２（中間）ボールスライダ４８は、正面側と裏面側とを結ぶ方向（Ｙ方向）にスライド移動する。
【００４１】
第３のボールスライダ５２と本体３０とは、第３のボールスライダ５２のボルト穴５２ａと本体３０のボルト穴３０ｂとが軸方向に連通しており、ボルト１０２を螺着することにより、一体化される。そして、ボルト１０２の先端は、第２のスライドリテーナ５０の上面を押圧している。
【００４２】
本体３０の小径筒状部３０２は、その外周面側より内部側(センターボス３６側)に向けて貫通した、断面倒れ凸の字型の貫通穴が穿ち設けられている。
断面倒れ凸の字型貫通穴は、ガイドピン３２の先端部が内部に連通した部分に嵌め込まれ、かつガイドピン３２の基部側が嵌め込まれ、ガイドピン３２の基部の底面と本体３０の小径筒状部との間には、空洞が形成される。ガイドピン３２は、第１のガイドピン３２ａおよび第２のガイドピン３２ｂおよび第３のガイドピン３２ｃおよび第４のガイドピン３２ｄの４つが含まれる。第１のガイドピン３２ａおよび第２のガイドピン３２ｂおよび第３のガイドピン３２ｃおよび第４のガイドピン３２ｄは、配置された位置によって移動する方向が異なる。
【００４３】
本体３０の小径筒状部３０２は、前記断面倒れ凸の字形の貫通穴を塞ぐように、本体カバー６２により覆われている。
【００４４】
本体カバー６０は、ボルト穴６０ｂに螺着されたボルト１０４を用いて本体３０の上面に取り付けられている。これにより、本体３０に収容された４つの第１のガイドピン３２ａおよび第２のガイドピン３２ｂおよび第３のガイドピン３２ｃおよび第４のガイドピン３２ｄの本体軸部３２２と本体カバー６０の筒状部６０４の内周面との間に、それぞれ第２の空間Ｓ２が形成される。
第２の空間Ｓ２は、前記断面倒れ凸の字形の貫通穴の一部において形成される。
【００４５】
断面Ｌ字型の本体カバー６０は、本体３０の上端面を覆うように、重ねられ固定されている。
本体３０の内部側の端面と本体３０の内部側の端面とは連続しており、円筒状となるように形成されている。
【００４６】
センターボス３６の上端には、天板７０が取り付けられている。
【００４７】
ロックシリンダ２０とロックピストン２２との間において、第１の空間Ｓ１の圧縮空気が漏出しないように第１のＯリングＯＲ１が、接し合う面において形成された溝（底板部２２２の外周面に形成されたＯリング溝２３０）に嵌合されている。
【００４８】
本体部３０とガイドピン３２とが接し合う面において、第４のＯリングＯＲ４が配置されている。
ガイドピン３２の基部に形成されたＯリング溝３２６に第４のＯリングＯＲ４が嵌合されている。
また、本体３０と接し合って第２の空間Ｓ２の機密性を高めるための第２のＯリングＯＲ２及び第３のＯリングＯＲ３が、本体３０と本体カバー６０との接し合う面に配置されている。第２のＯリングＯＲ２及び第３のＯリングＯＲ３は、本体３０の断面凸の字型の貫通穴の近傍において形成されたＯリング溝３１６及びＯリング溝３１７に嵌合されている。
【００４９】
第１のボールスライダ４４は、前後方向（Ｙ方向）及び左右方向（Ｘ方向）に、第１のボール４３の転動により、第１のボール当て板４０の上において移動する。
第２（中間）のボールスライダ４８及び第２のスライドリテーナ５０は、前後方向（Ｙ方向）にしか移動しないように規制されている。
第１のガイドピン３２ａおよび第２のガイドピン３２ｂおよび第３のガイドピン３２ｃおよび第４のガイドピン３２ｄは、それぞれ独立して前後方向（Ｙ方向）及び左右方向（Ｘ方向）に、移動可能である。
【００５０】
本体カバー６０の凹部６０６と天板７０の凹部７０４には、センター復帰のためのマグネットが取り付けられる。
【００５１】
ロックシリンダ２０は、図５（ａ）から図５（ｄ）に示すように、円板状の底板部２０２と円筒状の筒状部２０４とを含む。
筒状部２０４は、底板部２０２の上側において、底板部２０２に直交する方向（軸方向）に延びるように形成されている。筒状部２０４は、底板部２０２の外周縁部に形成されている。
【００５２】
ロックシリンダ２０は、筒状部２０４の位置において、その円周に沿って等間隔で、下面から上面まで軸方向に貫通する４つのボルト穴２０ａが形成されている。
ロックシリンダ２０は、底板部２０２の底面２０２ｂの外周縁部の位置において、その円周に沿って等間隔で、軸方向に平行に筒状部２０４にまで延びる４つの雌ネジ穴２０ｂが、ボルト穴２０ａの近傍に形成されている。
さらに、底板部２０２の底面２０２ｂの外周縁部には、１８０度離れて対向するように、２つの位置決めピン穴２０ｃがボルト穴２０ａを間にして雌ネジ穴２０ｂとは反対側の近傍に形成されている。
筒状部２０４の上側端面には、軸方向において位置決めピン穴２０ｃに対応する位置に２つの位置決めピン穴２０ｄが形成されている。平面視において、ボルト穴２０ａと雌ネジ穴２０ｂと位置決めピン穴２０ｃおよび２０ｄとは、同心円上に配置されている。
【００５３】
ロックシリンダ２０は、その外周面から中心に向かって、例えば圧縮空気を供給するための天板センターロック用給気口２０６が形成されている。天板センターロック用給気口２０６は、後述するように、第１の空間Ｓ１に圧縮空気を供給するためのものであり、例えば空気ポンプ（図示しない）とフローティングユニット１０とを繋ぐ接続口である。天板センターロック用給気口２０６は、筒状部２０４の外周面から内周面に至るまで、筒状部２０４の平面視における中心に向かって、かつ、底板部２０２の底面に平行に配設されている。天板センターロック用給気口２０６は、底板部２０２の上面２０２ａより上側に配置される。
【００５４】
ロックシリンダ２０の内側底面には、ロックピストン２２が配置されている。ロックピストン２２は、ロックシリンダ２０の上に配置され、バネ部材２２９で付勢されて、ロックシリンダ２０と天板７０とに向かって往復可能である。
ロックピストン２２は、図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、円板状の底板部２２２と円筒状の筒状部２２４とを含む。
底板部２２２は、その外径がロックシリンダ２０の筒状部２０４の内径に対応して筒状部２０４の内側に嵌まり込むように形成される。
筒状部２２４は、底板部２２２の上側において、底板部２２２に直交する方向（軸方向）に延びるように形成されている。筒状部２２４は、底板部２２２の外周縁部２２６の内側に形成されている。
筒状部２２４の外周面の外側に配置された底板部２２２の外周縁部２２６には、その円周に沿って等間隔で、軸方向に平行に延びる複数のバネ部材用凹部２２８が形成されている。
底板部２２２の下面においては、その外周部に、円形の線状の円形突起２２５が形成されている。この円形突起２２５がロックシリンダ２０の内側底面に載置されることにより、底板部２２２の下面とロックシリンダ２０の内側底面（上面）との間に隙間が確保されて、第１の空間Ｓ１が形成される。
【００５５】
底板部２２２の外周面には、外から内に向かって、かつ、外周面の全周に亘って、断面視凹状で平面視円環状のＯリング溝２３０が形成されている。Ｏリング溝２３０は、第１の空間Ｓ１の圧縮空気が漏出しないように気密性を高めるための第１のＯリングＯＲ１を嵌合するための溝である。
【００５６】
ロックピストン２２の筒状部２２４の内側の底板部２２２の上面２２２ａには、ロックガイド２４が配置される。
ロックガイド２４は、図７（ａ）および図７（ｂ）に示すように、厚みのある平板状で、その外径がロックピストン２２の筒状部２２４の内径に対応して筒状部２２４の内側に嵌まり込むように形成され、その内径が後述のセンターボス３６の係合凸部３６６の半球面の直径より大きいリング状に形成されている。
ロックガイド２４は、上面２４ａ側を大きく開口し、上面２４ａ側から下に向かって開口径を小さくするすり鉢の傾斜面２４ｂを形成している。
その傾斜面２４ｂは、センターボス３６の係合凸部３６６に摺動可能に当接して、センターボス３６の係合凸部３６６を中心軸線上に向かって押圧し、偏心したセンターボス３６を、基本位置に復帰するように直接的に作用する部分である。
【００５７】
ロックシリンダ２０の上、並びに、ロックピストン２２のバネ部材用凹部２２８に収容されたバネ部材２２９の上に、ピストンガイド２６が配置される。
ピストンガイド２６は、ロックシリンダ２０の内側で、バネ部材２２９で付勢されて、ロックピストン２２をＺ方向（軸方向）にスライド可能に保持するための部材である。ピストンガイド２６は、バネ部材２２９で付勢されて、ロックピストン２２に摺接する。
ピストンガイド２６は、図８（ａ）〜図８（ｃ）に示すように、リング状の鍔状部２６２と、鍔状部２６２の内側でその上側において、鍔状部２６２に直交する方向（軸方向）に突出する円筒の筒状部２６４とを含む。
【００５８】
筒状部２６４は、図２等に示すように、ロックピストン２２の筒状部２２４が軸方向にスライド可能であるように、筒状部２２４を内側に収容し、筒状部２２４を外周面から支持するためのものである。
筒状部２６４は、その内径がロックピストン２２の筒状部２２４の外径に一致するように形成されている。
筒状部２６４は、その高さがロックピストン２２の筒状部２２４の高さより低いように形成されている。これにより、ロックピストン２２が最上点に位置するときでも、ロックピストン２２の筒状部２２４の上面は、ロックシリンダ２０の筒状部２６４の上面よりも上側に位置することとなる。
筒状部２６４は、その外径が、後述するボール当て板４０の内径に一致するように形成される。ロックシリンダ２０の筒状部２６４は、その上面がボール当て板４０の上面より下側に位置するように形成されている。また、ロックシリンダ２０の筒状部２６４は、その上面が、センターボス３６の凸部（半球面）の最下点よりも上側に位置するように形成されている。
【００５９】
鍔状部２６２には、外周縁部の位置において、その円周に沿って等間隔で、下面から上面まで軸方向に貫通する４つのボルト穴２６ａが形成されている。さらに、鍔状部２６２の外周縁部には、１８０度離れて対向するように、下面から上面まで軸方向に貫通する２つの位置決め穴２６ｂが形成されている。平面視において、ボルト穴２６ａと位置決め穴２０ｂとは、同心円上に配設されている。
【００６０】
ピストンガイド２６の上に本体３０が配置されている。
本体３０は、その内側で、後述するセンターボス３６を水平方向（Ｘ方向およびＹ方向を含む面に平行な方向）にスライド可能に保持するための部材である。
本体３０は、図９（ａ）〜図９（ｄ）および図１０に示すように、その内部に空間を有する略円筒状に形成されており、正面視において、軸方向に円筒外周面が延びるように形成されている。
本体３０は、軸方向に延びる円筒状に形成された小径筒状部３０２と、小径筒状部３０２よりも外径が大きくて軸方向に延びる円筒状に形成された大径筒状部３０４とにより構成されている。
小径筒状部３０２は、大径筒状部３０４の上部に、中心を共有して積み重なっている。
【００６１】
小径筒状部３０２は、図２Ａ〜図４に示すように、センターボス３６が水平方向にもスライド可能であるように、センターボス３６の軸部の上側の略半分を内側に収容し、センターボス３６の軸部を外側から支持する。
小径筒状部３０２の内周面には、上側の開口側にその内径が小さい小内径部３０６と、小内径部３０６の内径より大きい内径を有する中内径部３０８とを形成している。
小内径部３０６の内径は、センターカラー３８を装着したセンターボス３６の軸部の外径より大きく、センターカラー３８の外周面と小内径部３０６の内周面との間には、所定の寸法の隙間が確保されている。
中内径部３０８の内径は、後述する第３のボールスライダ５２の外径に一致するように形成されている。
【００６２】
小径筒状部３０２の外周面には、軸方向において、上側および下側およびそれらの中間の位置に、それぞれ、外から内に向かって、かつ、外周面の全周に亘って断面視凹状で平面視円環状のＯリング溝３１６およびＯリング溝３１７およびエアークッション用給気溝３１８が形成されている。
Ｏリング溝３１６およびＯリング溝３１７は、後述する第２の空間Ｓ２の圧縮空気が漏出しないように気密性を高めるための第２のＯリングＯＲ２および第３のＯリングＯＲ３を嵌合するための溝である。エアークッション用給気溝３１８は、第２の空間Ｓ２に圧縮空気を供給するための溝である。
【００６３】
小径筒状部３０２の外周面には、その円周に沿って等間隔で、外周面から内周面に向かって小内径部３０６に連通し、かつ、後述するガイドピン３２を収容するための４つのガイドピン用凹部３１４が形成されている。
ガイドピン用凹部３１４は、外周面側の開口径が大きくて内周面側の開口径が小さい段差を有する構造である。
ガイドピン用凹部３１４は、小径筒状部３０２のエアークッション用給気溝３１８を含む外周面から内周面に至るまで、小径筒状部３０２の平面視における中心に向かって、かつ、軸方向に直交する方向に配設されている。
【００６４】
小径筒状部３０２の上側端面には、その円周に沿って等間隔で、上側端面から中内径部３０８まで軸方向に貫通する４つのボルト穴３０ｂが形成されている。
ボルト穴３０ｂは、平面視において、ガイドピン用凹部３１４の間に配設されている。
【００６５】
大径筒状部３０４の内周面には、中内径部３０８の内径より大きい内径を有する大内径部３１０を形成している。大内径部３１０の内周面には、下面から軸方向で上側に所定の寸法だけ雌ネジ部３１２が形成されている。
大径筒状部３０４の内径は、第３のボールスライダ５２の外径より大きく形成される。
【００６６】
大径筒状部３０４の下側端面には、その円周に沿って等間隔で、軸方向に下側端面から上側に大径筒状部３０４の中間位置まで軸方向に延びる４つのボルト穴３０ａが形成されている。さらに、大径筒状部３０４の下側端面には、１８０度離れて対向するように、軸方向に下側端面から上側に大径筒状部３０４の所定の位置まで軸方向に延びる２つの位置決めピン穴３０ｃが形成されている。平面視において、ボルト穴３０ａと位置決めピン穴３０ｃとは、同心円上に配設されている。
このボルト穴３０ａと、ロックシリンダ２０のボルト穴２０ａと、ピストンガイド２６のボルト穴２６ａとは、軸方向に連通し、ボルト１００を螺着することにより、本体３０とロックシリンダ２０とピストンガイド２６とが一体化される。
さらに、ボルトが螺着されるとき、位置決めピン穴３０ｃと、ロックシリンダ２０の位置決めピン穴２０ｄと、ピストンガイド２６の位置決めピン穴２６ｂに挿入された位置決めピン１０８を利用して位置決めされる。
【００６７】
ガイドピン３２は、図１１（ａ）に示すように、円柱状の本体軸部３２２と、本体軸部３２２の外径より内側の位置に形成された略半球状の先端部３２４とを含む。
先端部３２４は、本体軸部３２２の一方面側において、本体軸部３２２が延びる方向に形成されている。
本体軸部３２２の外周面には、外から内に向かって、かつ、外周面の全周に亘って断面視凹状で平面視円環状の第４のＯリング溝３２６が形成されている。
Ｏリング溝３２６は、第２の空間Ｓ２の圧縮空気が漏出しないように気密性を高めるための第４のＯリングＯＲ４を嵌合するための溝である。
【００６８】
ガイドピン３２は、第１のガイドピン３２ａおよび第２のガイドピン３２ｂおよび第３のガイドピン３２ｃおよび第４のガイドピン３２ｄの４つが含まれる。第１のガイドピン３２ａおよび第２のガイドピン３２ｂおよび第３のガイドピン３２ｃおよび第４のガイドピン３２ｄは、図１１（ｂ）に示すように、先端部３２４から、本体３０のガイドピン用凹部３１４に挿入され、ガイドピン用凹部３１４に形成されている段差と係合して位置決めされる。これにより、センターカラー３８を装着したセンターボス３６が、第１のガイドピン３２ａおよび第２のガイドピン３２ｂおよび第３のガイドピン３２ｃおよび第４のガイドピン３２ｄのそれぞれの先端部３２４によって四方から均等に支持される。ただし、ガイドピン３２の数は、４つに限定されるものではなく、保持された部品の重量を保持するに十分な数であればよく、少なく１つ以上あればよい。
【００６９】
本体３０の下部には、平板状でリング状のボール当て板４０が配置される。
ボール当て板４０は、図１２に示すように、その外周面に雄ネジ部４０２が形成されている。ボール当て板４０は、図２等に示すように、その外径が本体３０の大径筒状部３０４の大内径部３１０の内径に対応して大内径部３１０の内側に嵌まり込むように形成されている。雄ネジ部４０２は、大内径部３１０の雌ネジ部３１２に螺着することができる。これにより、ボール当て板４０は、その上で後述するボールリテーナに保持されるボールを転動可能に下側から支持することができる。
ボール当て板４０は、その内径がロックピストン２２の筒状部２２４の外形と一致するように形成されている。
【００７０】
本体３０の中心軸の位置には、軸体であるセンターボス３６が配設される。
センターボス３６は、図１３（ａ）および図１３（ｂ）に示すように、軸方向に延びる円柱状の本体軸部３６２と、本体軸部３６２の下部の外周面から径方向外側に向かって延びるように略円環状に形成された鍔状部３６４と、本体軸部３６２の下面の中心部から下向きに凸の形状であって半球状に形成された係合凸部３６６とを含む。
【００７１】
本体軸部３６２の上面には、中央部の位置において、上面から下方向に向かって軸方向に平行に延びる１つのボルト穴３６ａが形成されている。
ボルト穴３６ａを中心にしてその周囲には等間隔で、上面から下方向に向かって軸方向に平行に延びる４つの位置決めピン穴３６ｂが形成されている。
【００７２】
本体軸部３６２は、図２Ａ〜図４に示すように、図１４（ａ）および図１４（ｂ）に示す円筒状のセンターカラー３８を外装着している。
センターカラー３８の内径は、本体軸部３６２の外径に一致している。本体軸部３６２の上面はセンターカラー３８の上面と同一平面を形成して、天板７０に接続している。センターカラー３８の下面は第１のボールスライダ４４の上面に接している。本体軸部３６２は、その外径が第１のボールスライダ４４の内径と一致するように形成されている。
【００７３】
係合凸部３６６は、ロックガイド２４の上面２４ａと所定の間隔を隔てて対向するように形成されている。係合凸部３６６は、ロックガイド２４の上面２４ａの傾斜面２４ｂに係合され、センターボス３６の移動を制止するものである。係合凸部３６６は、その半球状の最下点が、ロックガイド２４の上面２４ａよりも下側に位置するように形成されている。係合凸部３６６は、その半球状の径が本体軸部３６２の外径よりも小さい径であるように形成されている。
【００７４】
鍔状部３６４は、Ｘ方向およびＹ方向を含む面に平行に移動可能にすると共に、Ｚ方向には移動しないように支持されるものである。鍔状部３６４は、その外径が第１のボールスライダ４４の内径よりも大きい径であるように形成されている。鍔状部３６４は、１８０度離れて対向する位置の外周縁部が切り欠かれて、２つ直線部３６４ａが形成されている。この直線部３６４ａは、第１のボールスライダ４４に形成された回転規制突起４４４に係止する。
【００７５】
ボール当て板４０の上には、ボールリテーナ４２が配置される。ボールリテーナ４２は、図１５（ａ）および図１５（ｂ）に示すように、略平板状でかつリング状に形成されている。ボールリテーナ４２は、その平面を貫通するようにして周方向に等間隔で並ぶ複数の貫通穴４２２が形成されている。ボールリテーナ４２の外径は本体３０の大内径部３１０の内径より小さく形成され、ボールリテーナ４２の内径はセンターボス３６の最大外径より大きく形成される。
【００７６】
そして、図２Ａ〜図４に示すように複数の貫通穴４２２に第１のボール４３が嵌め込まれる。このとき、第１のボール４３の上下端は、ボールリテーナ４２の上下に露出する。これにより、ボールリテーナ４２および第１のボール４３は、ボール当て板４０の上でＸ方向およびＹ方向を含む面（以下、Ｘ−Ｙ平面ともいう）に平行に移動可能に配置される。
【００７７】
ボールリテーナ４２および第１のボール４３の上には、第１のボールスライダ４４が配置される。
第１のボールスライダ４４は、図１６（ａ）および図１６（ｂ）に示すように、板状でかつリング状に形成されている。
第１のボールスライダ４４の外径は、本体３０の大内径部３１０の内径より小さく形成され、第１のボールスライダ４４の内径は、センターボス３６の本体軸部３６２の外径に対応する大きさに形成されている。
第１のボールスライダ４４の上面には、リングの対向する両端部近傍およびその両者の中間部において、Ｙ方向に走る相互に平行な４つの溝４４２が形成されている。
第１のボールスライダ４４の下面には、第１のボールスライダ４４の中央部の貫通穴を間にして平面視が円弧状の２つの回転規制突起４４４が、直線部を貫通穴に面して平行に形成されている。
これにより、第１のボールスライダ４４が、センターボス３６を中心にしてその周囲を回転することを防止することができる。
【００７８】
第１のボールスライダ４４の上には、第１のスライドリテーナ４６が配置される。
第１のスライドリテーナ４６は、図１７（ａ）および図１７（ｂ）に示すように、平板状でかつリング状に形成されている。第１のスライドリテーナ４６の中央部に形成されている貫通穴は、平面視において円形である。
第１のスライドリテーナ４６には、リングの中心部を間にして互いに対向する位置に、それぞれ３つの貫通穴４６２が形成されている。それぞれの位置において、３つの貫通穴４６２が直線状にＹ方向に並べて形成されている。
さらに、３つの貫通穴４６２の両者の中間部にも、互いにＹ方向に対向する２つの貫通穴４６２が形成されている。それぞれの位置に形成された貫通穴４６２の間隔は、図１７（ｃ）に示すように、後述の第２（中間）のボールスライダ４８の下面の４つのＹ方向に走る溝４４２の間隔に対応して等しく形成されている。
第１のスライドリテーナ４６の外周において、互いに対向する２つの円弧状突起４６４が形成されている。円弧状突起４６４は、第１のスライドリテーナ４６の外周面と本体３０の大内径部３１０の内周面との摩擦抵抗を減少させることができるように形成されている。
【００７９】
第１のスライドリテーナ４６は、直線状に配列された貫通穴４６２が第１のボールスライダ４４の溝４４２に対応した位置に配置され、貫通穴４６２に第２のボール４７が嵌め込まれる。従って、第１のスライドリテーナ４６および第２のボール４７は、溝４４２に沿ってＹ方向に直線状に変位することができる。
【００８０】
第１のスライドリテーナ４６および第２のボール４７の上には、第２（中間）のボールスライダ４８が配置されている。
第２（中間）ボールスライダ４８は、図１８（ａ）〜図１８（ｃ）に示すように、板状でかつリング状に形成されている。第２（中間）ボールスライダ４８の外径は、本体３０の大内径部３１０の内径より小さく形成され、第２（中間）ボールスライダ４８の内径は、センターボス３６の本体軸部３６２に装着したセンターカラー３８の外径より大きく形成されている。
第２（中間）ボールスライダ４８の下面には、リングの対向する両端部近傍およびその両者の中間部において、Ｙ方向に走る相互に平行な４つの溝４８２が形成されている。４つの溝４８２は、第１のスライドリテーナ４６の貫通穴４６２に沿って直線状に形成される。
従って、第１のスライドリテーナ４６に保持された第２のボール４７は、第２（中間）ボールスライダ４８の下面の溝４８２に配置されることにより、第１のボールスライダ４４の溝４４２に平行に変位することができる。
【００８１】
さらに、第２（中間）ボールスライダ４８の上面には、下面に形成された溝４８２に直交する向き（Ｘ方向）に延びる４つの溝４８４が形成されている。
これらの溝４８４は、リングの対向する両端部近傍およびその両者の中間部において、Ｘ方向に走る相互に平行になるように配置されている。４つの溝４８４の間隔は、下面の溝４８２の間隔と同じになるように形成されている。
【００８２】
第２（中間）ボールスライダ４８の上面の溝４８４の上には、第２のスライドリテーナ５０が配置されている。
第２のスライドリテーナ５０は、図１９（ａ）および図１９（ｂ）に示すように、平板状でかつリング状に形成されている。第２のスライドリテーナ５０の中央部に形成されている貫通穴は、平面視において略正方形である。第２のスライドリテーナ５０には、リングの中心部を間にして互いに対向する位置に、それぞれ３つの貫通穴５０２が形成されている。それぞれの位置において、３つの貫通穴５０２が直線状にＸ方向に並べて形成されている。
さらに、３つの貫通穴５０２の両者の中間部にも、互いにＸ方向に対向する２つの貫通穴５０２が形成されている。それぞれの位置に形成された貫通穴５０２の間隔は、図１９（ｃ）に示すように、第２（中間）ボールスライダ４８の上面のＸ方向に走る４つの溝４８４の間隔に対応して等しく形成される。
第２のスライドリテーナ５０の貫通穴５０２は、第２（中間）ボールスライダ４８の上面の溝４８４に平行に配置され、貫通穴５０２には第３のボール５１が嵌め込まれる。
従って、第２（中間）ボールスライダ４８の上下面において、第２のボール４７および第３のボール５１は相互に直交する向きに変位する。
【００８３】
第２（中間）ボールスライダ４８の上で、第２のスライドリテーナ５０に保持された第２のボール４７の上には、第３のボールスライダ５２が配置されている。
第３のボールスライダ５２は、図２０Ａ（ａ）および図２０Ａ（ｂ）に示すように、板状でかつリング状に形成されている。第３のボールスライダ５２の外径は、本体３０の中内径部３０８の内径に対応する大きさに形成され、第３のボールスライダ５２の内径は、センターカラー３８を装着したセンターボス３６の本体軸部３６２の外径より大きくなるように形成されている。
第３のボールスライダ５２の下面には、リングの対向する両端部近傍およびその両者の中間部において、Ｘ方向に走る相互に平行な４つの溝５２２が形成されている。４つの溝５２２は、第２のスライドリテーナ５０の貫通穴５０２に沿って直線状にＸ方向に形成される。
【００８４】
さらに、第３のボールスライダ５２は、外周縁部の位置において、その円周に沿って等間隔で、下面から上面まで軸方向に貫通する４つのボルト穴５２ａが形成されている。
このボルト穴５２ａと本体３０のボルト穴３０ｂとは軸方向に連通し、ボルト１０２を螺着することにより、本体３０と第３のボールスライダ５２とが一体化されると共に、ボルト１０２の先端で第２のスライドリテーナ５０の上面を押圧する。
【００８５】
図２０Ｂは、第１のボールスライダ４４および第２（中間）ボールスライダ４８および第３のボールスライダ５２および第２のボール４７および第３のボール５１の関係を示す説明図である。第１のボールスライダ４４と第２（中間）ボールスライダ４８と第３のボールスライダ５２とは、中心軸ＣＬを中心にしてこの順に積み重ねられている。但し、簡略化のため第１のスライドリテーナ４６および第２のスライドリテーナ５０は図示していない。
【００８６】
第１のボールスライダ４４および第２（中間）ボールスライダ４８は、第１のボールスライダ４４の上面に形成されたＹ方向に延びる４つの溝４４２が、複数の第２のボール４７を間に挟んで、第２（中間）ボールスライダ４８の下面に形成されたＹ方向に延びる４つの溝４８２に向き合っている。従って、第１のボールスライダ４４と第２（中間）ボールスライダ４８とは、第２のボール４７が動転することにより、相互にＹ方向に移動することができる。しかし、第１のボールスライダ４４と第２（中間）ボールスライダ４８とは、第２のボール４７がＸ方向に動転することができないため、相互にＸ方向には移動することができない。
【００８７】
第２（中間）ボールスライダ４８および第３のボールスライダ５２は、第２（中間）ボールスライダ４８の上面に形成されたＸ方向に延びる４つの溝４８４が、複数の第３のボール５１を挟んで、第３のボールスライダ５２の下面に形成されたＸ方向に延びる４つの溝５２２に向き合っている。従って、第２（中間）ボールスライダ４８と第３のボールスライダ５２とは、第３のボール５１が動転することにより、相互にＸ方向に移動することができる。しかし、第２（中間）ボールスライダ４８と第３のボールスライダ５２とは、第３のボール５１がＹ方向に動転することができないため、相互にＹ方向には移動することができない。
【００８８】
本体３０の小径筒状部３０２は、本体カバー６０により覆われている。
本体カバー６０は、図２１（ａ）〜図２１（ｃ）に示すように、円板状の上蓋部６０２と円筒状の筒状部６０４とを含む。
筒状部６０４は、上蓋部６０２の下側において、上蓋部６０２に直交する方向（軸方向）に延び、本体３０の大径筒状部３０４の段差に当接するように形成されている。
筒状部６０４は、上蓋部６０２の外周縁部に形成されている。
【００８９】
本体カバー６０の上蓋部６０２には、中央部にセンターボス３６を挿通するための穴６０ａが形成されている。
穴６０ａの周囲には上面から下面まで軸方向に貫通する４つのボルト穴６０ｂが形成されている。
上蓋部６０２の上面には、１８０度離れて対向するように、２つの凹部６０６が穴６０ａを間にして形成されている。
【００９０】
本体カバー６０は、その外周面から中心に向かって、例えば圧縮空気を供給するためのエアークッション用給気口２０８が形成されている。
エアークッション用給気口２０８は、後述するように、第２の空間Ｓ２に圧縮空気を供給するためのものである。
エアークッション用給気口２０８は、筒状部６０４の外周面から内周面にまで、筒状部６０４の平面視における中心に向かって、かつ、上蓋部６０２に平行に配設されている。
エアークッション用給気口２０８は、本体３０の小径筒状部３０２のエアークッション用給気溝３１８に連通するように配設される。
【００９１】
本体カバー６０は、ボルト穴６０ｂに螺着されたボルト１０４を用いて本体３０の上面に取り付けられている。これにより、本体３０に収容された４つのガイドピン３２の本体軸部３２２と本体カバー６０の筒状部６０４の内周面との間に、それぞれ第２の空間Ｓ２が形成される。
そして、これらの第２の空間Ｓ２に連通したエアークッション用給気溝３１８を通して、エアークッション用給気口２０８が、それぞれの第２の空間Ｓ２に均等に圧縮空気を供給することができる。
【００９２】
センターボス３６の上には、天板７０が取り付けられる。
天板７０は、図２２（ａ）〜図２２（ｃ）に示すように円形の平板状である。
天板７０の中央部には、センターボス３６を取り付けるためのボルト穴７０ａが形成されている。
天板７０には、その円周に沿って等間隔で、上面から下面まで軸方向に貫通する４つの貫通穴７０ｂが形成されている。天板７０の上面には、１８０度離れて対向するように、２つの凹部７０２がボルト穴７０ａを間にして形成されている。
天板７０の下面のボルト穴７０ａの周囲には４つの位置決めピン穴７０ｃが形成されている。さらに、天板７０の下面には、１８０度離れて対向するように、２つの凹部７０４がボルト穴７０ａを間にして形成されている。
天板７０は、ボルト１０６を用いてセンターボス３６の上面に取り付けられる。このとき、天板７０に凹部７０４が形成されると共に、本体カバー６０の上面に凹部６０６が形成されていることにより、本体カバー６０の上蓋部６０２と天板７０の下面との間に隙間が確保される。
さらに、天板７０がセンターボス３６の上面に取り付けられるとき、センターボス３６の位置決めピン穴３６ｂおよび天板７０の位置決めピン穴７０ｃに挿入された位置決めピン１１０を利用して位置決めされる。
【００９３】
このフローティングユニット１０は、図１１（ｂ）に示すように、第２の空間Ｓ２内の圧縮空気により押圧支持された４つのガイドピン３２が、センターカラー３８を装着したセンターボス３６を四方から均等に支持している。第２の空間Ｓ２内の圧縮空気の圧力は、保持された部品や軸部材の重量とセンターボス等の自重とにより最適の値に設定される。このような構成を採用することにより、天板７０の中心位置と本体３０の中心位置とが一致した状態、即ち基本位置の維持力を大きくすることができる。
そのため、フローティングユニット１０が水平方向に取り付けられても、天板７０が基本位置からずれにくい。従って、水平方向に取り付けられたフローティングユニットによって保持された部品や軸部材を用いて、部品の穴に軸部材を挿入する場合でも、部品や軸部材が基本位置から落下することが無く、部品の穴の中心軸と軸部材の中心軸とを一致させることができる。
【００９４】
以上の構成からなるフローティングユニット１０は、軸を水平方向にして用いられても、保持された部品や軸部材の重量、およびセンターボス等の自重による位置ずれを補正するために、予め第２の空間Ｓ２に圧縮空気を供給しておくことにより、圧縮空気によって後端面が押圧された４つの第１のガイドピン３２ａおよび第２のガイドピン３２ｂおよび第３のガイドピン３２ｃおよび第４のガイドピン３２ｄによって、センターカラー３８を装着したセンターボス３６が、ガイドピン３２の先端部３２４によって四方からそれぞれ独立して均等に支持される。これにより、部品や軸部材の重量、およびセンターボス等の自重が生じても、センターボス３６の中心位置をフローティングユニット１０の中心軸に合わせることができる。この結果、軸を水平方向にして用いても、保持された部品や軸部材の重量、およびセンターボス等の自重による位置ずれが生じ難い、図２〜図４に示す状態の基本位置の状態を強く維持できるフローティングユニット１０が得られる。
【００９５】
そして、エアークッション構造を有するエアークッション部５の採用は、精密レギュレータなどを用いて圧縮空気の圧力を変更することが可能になり、第１のガイドピン３２ａおよび第２のガイドピン３２ｂおよび第３のガイドピン３２ｃおよび第４のガイドピン３２ｄが、センターボス３６を押圧する力を変えることができる。この結果、保持された部品や軸部材の重量、およびセンターボス等の自重に抗する最適な押圧力を発揮することができるように調整することができるフローティングユニット１０が得られる。例えば、保持された部品の重量が３ｋｇの場合、５ｋｇｆの推力を発揮する圧縮空気で保持すると、保持力が強過ぎて倣いがスムーズに行われないという問題が生じる。そこで、保持された部品の重量が３ｋｇの場合は、３ｋｇｆの推力を発揮する圧縮空気で保持し、保持された部品の重量が５ｋｇの場合は、５ｋｇｆの推力を発揮する圧縮空気で保持することが、精密レギュレータなどを用いて容易に変更できる。
【００９６】
次に、このフローティングユニット１０を用いて、部品の穴に軸部材を挿入するとき、部品の穴の中心軸と軸部材の中心軸とが、例えば２ｍｍだけＸ方向にずれていると、天板７０が図２〜図４に示す状態の基本位置から２ｍｍだけＸ方向にずれることになる。天板７０のずれに伴って、天板７０に接続されているセンターボス３６もＸ方向にずれる。
【００９７】
すると、Ｘ方向に向かい合う第１のガイドピン３２ａおよび第２のガイドピン３２ｂのうち、第２のガイドピン３２ｂがＸ方向に後退し、第２のガイドピン３２ｂの第２の空間Ｓ２が圧縮される。
【００９８】
さらに、センターボス３６の先端側に固定された第１のボールスライダ４４が、ボールリテーナ４２に保持された第１のボール４３の回転移動を利用してＸ方向に動く。そして、第１のボールスライダ４４の上に第２のボール４７（第１のスライドリテーナ４６に保持された状態のもの）を介して配置されている第２（中間）のボールスライダ４８も、その下面に形成されたＹ方向に向いた溝４８２に接する第２のボール４７がＸ方向には回転して移動しないため、第１のボールスライダ４４に固定された状態でＸ方向に動く。
【００９９】
そして、第２（中間）のボールスライダ４８のＸ方向への移動に伴って、第２（中間）のボールスライダ４８の上面に形成されたＸ方向に向いた溝４８４に接する、第２のスライドリテーナ５０に保持された第３のボール５１がＸ方向に回転移動することになる。従って、図２３に示すように、センターボス３６の中心位置が偏芯し、部品の穴の中心軸と軸部材の中心軸とが合わせられる。この状態で軸部材を部品の穴に挿入することにより、軸部材が曲がったりすることなく、軸部材を部品の穴に挿入することができる。
【０１００】
そして、部品の穴に軸部材を挿入する作業が終了して、フローティングユニット１０が、次の部品または軸部材を保持するまでの間に、第１の空間Ｓ１に圧縮空気が供給される。これにより、図２４に示すように、バネ部材２２９の弾性力に抗してロックピストン２２が上方向に移動して、ロックガイド２４に形成された傾斜面２４ｂが、センターボス３６の係合凸部３６６の半球面に摺動可能に当接して、センターボス３６の係合凸部３６６を中心軸線上に向かって押圧する。
【０１０１】
すると、センターボス３６の先端側に固定された第１のボールスライダ４４が、ボールリテーナ４２に保持された第１のボール４３の回転移動を利用して、元のＸ方向の位置に向かって（部品の穴に軸部材を挿入するときとは反対のＸ方向に）動く。そして、第１のボールスライダ４４の上に第２のボール４７（第１のスライドリテーナ４６に保持された状態のもの）を介して配置されている第２（中間）のボールスライダ４８も、その下面に形成されたＹ方向に向いた溝４８２に接する第２のボール４７がＸ方向には回転して移動しないため、第１のボールスライダ４４に固定された状態で元のＸ方向の位置に向かって動く。
【０１０２】
そして、第２（中間）のボールスライダ４８の元のＸ方向の位置に向かう移動に伴って、第２（中間）のボールスライダ４８の上面に形成されたＸ方向に向いた溝４８４に接する、第２のスライドリテーナ５０に保持された第３のボール５１が元のＸ方向の位置に向かって回転移動することになる。こうして、偏芯したセンターボス３６をセンターロックすることができる。
【０１０３】
その後、第１の空間Ｓ１への圧縮空気の供給が停止されると、ロックピストン２２がバネ部材２２９の弾性力を利用して下方向にロックシリンダ２０の上面２０２ａに当たるまで移動して、フローティングユニット１０は図２Ａおよび図３および図４に示す状態の基本位置に復帰される。
【０１０４】
また、部品の穴に軸部材を挿入するとき、天板７０に荷重がかかる場合、天板７０の下面が本体カバー６０の上面に当たり、天板７０の変位が本体カバー６０で受け止められる。そのため、小型のフローティングユニット１０であっても、大きい耐荷重性を得ることができる。
【０１０５】
なお、このフローティングユニット１０は、第２（中間）のボールスライダ４８の上下面において、互いに直交する向きに第２のボール４７と第３のボール５１が移動する構成を採用することにより、天板７０が回転しない構成とすることができる。従って、天板７０が無回転の状態で部品の穴に軸部材を挿入する場合に適している。
【０１０６】
２．第２の実施の形態
次に、本発明の第２の実施の形態に係るフローティングユニットについて説明する。図２５は第２の実施の形態に係るフローティングユニットを示す正面図である。第２の実施の形態に係るフローティングユニット１３０は、前述の第１の実施の形態に係るフローティングユニット１０の底面に往復駆動ブロック１２０を取り付けたものである。従って、フローティングユニット１０の部分については、その詳細な説明は省略する。
【０１０７】
図２６は、図２５に示すフローティングユニット１３０の往復駆動ブロック１２０の内部構造を示す断面図である。往復駆動ブロック１２０は、フランジ７５とＺ軸シリンダ８５と接続フランジ９５とを含む。
【０１０８】
フランジ７５は、図２７（ａ）〜図２７（ｃ）に示すように、略円板状に形成されている。フランジ７５の上面７５０ａの中央部には、後述するＺ軸シリンダ８５のＺ軸ピストン７７を挿入するためのＺ軸ピストン用凹部７５２が形成されている。Ｚ軸ピストン用凹部７５２の内径はＺ軸ピストン７７の外径に対応しており、Ｚ軸ピストン７７は、Ｚ軸ピストン穴８５２の内周面に摺接しながら移動可能である。フランジ７５は、その円周に沿って等間隔で、下面７５０ｂから上面７５０ａまでＺ方向に貫通する４つのボルト穴７５ａが形成されている。フランジ７５は、その円周に沿って等間隔で、Ｚ方向に平行に延びる４つの貫通穴７５ｂが、ボルト穴７５ａの近傍に形成されている。さらに、フランジ７５は、その円周に沿って等間隔で、４つの雌ネジ穴７５ｃが貫通穴７５ｂを間にしてボルト穴７５ａとは反対側の近傍に形成されている。フランジ７５の下面７５０ｂの外周縁部には、１８０度離れて対向するように、２つのピン穴７５ｄがボルト穴７５ａと雌ネジ穴７５ｃとの間に形成されている。平面視において、ボルト穴７５ａおよび雌ネジ穴７５ｃは同心円上に配設され、貫通穴７５ｂおよびピン穴７５ｄは、別の同心円上に配設されている。
【０１０９】
フランジ７５は、その外周面から中心に向かって、例えば圧縮空気を供給するためのＺ方向エアーエアークッション用給気口７５４が形成されている。Ｚ方向エアーエアークッション用給気口７５４は、後述するように、第３の空間Ｓ３に圧縮空気（例えば０．３ＭＰａ〜０．６ＭＰａ）を供給するためのものである。Ｚ方向エアーエアークッション用給気口７５４は、フランジ７５の外周面からＺ軸ピストン用凹部７５２の近傍にまで、フランジ７５の平面視における中心に向かって、かつ、フランジ７５に平行に延びてからＺ方向の上方に９０度曲がってフランジ７５の上面７５０ａに開口するように配置されている。この開口は、後述するＺ軸シリンダ８５の大内径部８５２ｃに連通している。
【０１１０】
フランジ７５の上には、Ｚ軸シリンダ８５が配置されている。Ｚ軸シリンダ８５は、図２８（ａ）および図２８（ｂ）に示すように、略円板状に形成されている。Ｚ軸シリンダ８５の中央部には、下面８５０ｂから上面８５０ａまでＺ方向に貫通するＺ軸ピストン７７を挿入するための断面が円形のＺ軸ピストン穴８５２が形成されている。Ｚ軸ピストン穴８５２の内周面には、上側の開口側にその内径が小さい小内径部８５２ａと、小内径部８５２ａの内径より大きい内径を有する中内径部８５２ｂと、中内径部８５２ｂの内径より大きい内径を有する大内径部８５２ｃとを形成している。Ｚ軸シリンダ８５は、その円周に沿って等間隔で、Ｚ方向に平行に延びる４つのリニアシャフト穴８５４が形成されている。リニアシャフト穴８５４の内周面には、上側の開口側にその内径が小さい小内径部８５４ａと、小内径部８５４ａの内径より大きい内径を有する大内径部８５４ｂとを形成している。Ｚ軸シリンダ８５は、その円周に沿って等間隔で、Ｚ方向に平行に延びる４つの雌ネジ穴８５ａが、リニアシャフト穴８５４の近傍に形成されている。さらに、Ｚ軸シリンダ８５は、その円周に沿って等間隔で、４つの貫通穴８５ｂが雌ネジ穴８５ａを間にしてリニアシャフト穴８５４とは反対側の近傍に形成されている。Ｚ軸シリンダ８５の下面８５０ｂには、Ｚ軸ピストン穴８５２から離れた位置の全周に亘って断面視凹状で平面視円環状のＯリング溝８５６が形成されている。Ｏリング溝８５６は、後述する第３の空間Ｓ３の圧縮空気が漏出しないように気密性を高めるための第５のＯリングＯＲ５を嵌合するための溝である。
【０１１１】
Ｚ軸シリンダ８５のＺ軸ピストン穴８５２の内部には、Ｚ軸ピストン７７が収容される。Ｚ軸ピストン７７は、図２９（ａ）および図２９（ｂ）に示すように、略円柱状に形成されている。Ｚ軸ピストン７７の上面には、Ｚ方向に平行に延びる４つのボルト穴７７ａが形成されている。Ｚ軸ピストン７７の外径は、Ｚ軸シリンダ８５の小内径部８５２ａの内径に対応しており、Ｚ軸ピストン７７は、Ｚ軸ピストン穴８５２の内周面に摺接しながら移動可能である。Ｚ軸ピストン７７の外周面には、Ｚ方向の中間の位置に、一対の環状突起７７２ａおよび７７２ｂの間に形成された、外周面の全周に亘って断面視凹状で平面視円環状のＯリング溝７７４が形成されている。さらに、Ｚ軸ピストン７７の外周面には、Ｚ方向の下部の位置に、外から内に向かって、かつ、外周面の全周に亘って断面視凹状で平面視円環状のＯリング溝７７６が形成されている。Ｏリング溝７７４およびＯリング溝７７６は、第３の空間Ｓ３の圧縮空気が漏出しないように気密性を高めるための第６のＯリングＯＲ６および第７のＯリングＯＲ７を嵌合するための溝である。
【０１１２】
Ｚ軸シリンダ８５のリニアシャフト穴８５４の内部には、図３０に示す円筒状のリニアブッシュ７９が外挿されたリニアシャフト８１が収容される。リニアシャフト８１は、図３１に示すように、円柱状に形成されている。リニアシャフト８１の上面には、Ｚ方向に平行に延びる１つのボルト穴８１ａが形成されている。リニアシャフト８１の外径は、リニアシャフト穴８５４の小内径部８５４ａの内径に対応しており、リニアシャフト８１は、リニアシャフト穴８５４の内周面およびリニアブッシュ７９の内周面に摺接しながら移動可能である。リニアブッシュ７９が外挿されたリニアシャフト８１は、図３２に示す間座８３に通され、そうした状態で直接フランジ７５の上に配設される。
【０１１３】
Ｚ軸シリンダ８５の上には、接続フランジ９５が配置されている。接続フランジ９５は、図３３に示すように、略円板状に形成されている。接続フランジ９５の下面の中央部には、平面視が円形のＺ軸ピストン用凹部９５２が形成されている。Ｚ軸ピストン用凹部９５２の内径は、Ｚ軸ピストン７７の外径に一致する。Ｚ軸ピストン用凹部９５２の位置には、その円周に沿って等間隔で、上面から下面までＺ方向に貫通する４つのボルト穴９５ａが形成されている。このボルト穴９５ａは、Ｚ軸ピストン７７のボルト穴７７ａに連通する位置に形成されている。従って、ボルト１３２が、ボルト穴９５ａおよびボルト穴７７ａに螺着することによって、Ｚ軸シリンダ８５と接続フランジ９５とが連結される。さらに、接続フランジ９５の円周に沿って等間隔に螺着されたボルト１３４をリニアシャフト８１のボルト穴８１ａに螺着することによって、接続フランジ９５を安定して移動させることができる。また、接続フランジ９５の外周縁部には、その円周に沿って等間隔で、下面から上面までＺ方向に貫通する４つのボルト穴９５ｂが形成されている。このボルト穴９５ｂに螺着されたボルト１３６を利用して、往復駆動ブロック１２０がフローティングユニット１０の底面に連結される。
【０１１４】
以上の構成からなる往復駆動ブロック１２０は、第３の空間Ｓ３が、フランジ７５の上面７５０ａのＺ軸ピストン用凹部７５２の周辺部分、および、Ｚ軸ピストン７７の外周面のＯリング溝７７４とＯリング溝７７６との間の部分、および、Ｚ軸シリンダ８５の中内径部８５２ｂと大内径部８５２ｃとの段差部分に囲まれた領域に形成される。第３の空間Ｓ３に圧縮空気（例えば０．３ＭＰａ〜０．６ＭＰａ）が供給されると、図３４に示すように、Ｚ軸ピストン７７が上方向に移動する。Ｚ軸ピストン７７の移動は、Ｚ軸ピストン７７の環状突起７７２ａが、Ｚ軸シリンダ８５の小内径部８５２ａと中内径部８５２ｂとの段差に当接して停止するまで行われる。これにより、Ｚ軸ピストン７７に接続された接続フランジ９５およびフローティングユニット１０が、Ｚ方向の上側方向に移動される。
【０１１５】
３．第３の実施の形態
次に、本発明の第３の実施の形態に係るフローティングユニットについて説明する。図３５（ａ）は第３の実施の形態に係るフローティングユニットを示す正面図であり、図３５（ｂ）はその平面図であり、図３５（ｃ）はその底面図である。図３６Ａおよび図３７および図３８は、それぞれ、図３５に示すフローティングユニットの内部構造を示す断面図であり、図３６Ｂは図３６Ａの分解断面図である。図３６Ｃは図３５に示すフローティングユニットの天板が偏芯したときの内部構造を示す断面図である。第３の実施の形態に係るフローティングユニット１４０は、天板７１が回転するものである。なお、前述の第１の実施の形態で用いられた部品および部分と同様のものは、その詳細な説明を省略する。
【０１１６】
フローティングユニット１４０は、図３５〜図３８に示すように、底面を有する底部ブロック１２と、底部ブロック１２の上に配置される、内部に空間を有する本体ブロック１４と、本体ブロック１４の内部に配置されるホルダ６１と、ホルダ６１の下面に配設された第２のボール当て板６２および位置決めピン６３およびピンホルダ６４と、底部ブロック１２の反対側において本体ブロック１４の端部と間隔を隔てて本体ブロック１４の端部を覆うようにしてホルダ６１に取り付けられる天板７１と、本体ブロック１４の内部に配置され、ホルダ６１を底部ブロック１２に対して回転可能に支持するための複数の第１のボール４３と、本体ブロック１４の内部に配置され、第１のボール４３を支持するためにホルダ６１の周囲に配置されるリング状の第１のボール当て板４０および第３のボール当て板４８と、本体ブロック１４の内部に配置され、第１のボール４３を所定の位置関係に配置するためにホルダ６１の周囲に配置される、リング状の第１のボールリテーナ６６および第２のボールリテーナ６７と、底部ブロック１２に配置され、所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給される第１の空間Ｓ１を有し、第１の空間Ｓ１に所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給されることにより、前記天板７１をセンターロックする向きに力を加える、天板センターロック部１３と、本体ブロック１４に配置され、所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給される第２の空間Ｓ２を有し、第２の空間Ｓ２に所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給されることにより、ホルダ６１を周囲から保持する向きに力を加える、エアークッション部１５とを含み、フローティングユニット１４０は、天板７１が中心軸ＣＬを中心にして回転することができるように構成されている。
【０１１７】
底部ブロック１２は、底面を形成するロックシリンダ２１と、ロックシリンダ２１の上に配置され、バネ部材２２９で付勢されて、ロックシリンダ２１と天板７１とに向かって往復可能であるロックピストン２３と、ロックピストン２３の上に配置され、ロックピストン２３に摺接するピストンガイド２６とを含む。
【０１１８】
底部ブロック１２に配設された天板センターロック部１３は、外部から所定の圧力（代表値は０．５ＭＰａで、推力で言い換えると５．８ｋｇｆ）を有する気体が供給される、第１の空間Ｓ１に連通する天板センターロック用給気口２０６と、天板センターロック用給気口２０６を有し、底面を形成するロックシリンダ２１と、ロックシリンダ２１の上に配置され、バネ部材２２９で付勢されて、ロックシリンダ２１と天板７１とに向かって往復可能であるロックピストン２３と、ロックピストン２３の上に配置され、ロックピストン２３に摺接するピストンガイド２６とを含み、第１の空間Ｓ１は、ロックシリンダ２１の上面とロックピストン２３の下面との間に形成されている。
【０１１９】
天板センターロック部１３に供給される空気の「所定の圧力」とは、バネ部材２２９の弾性力に抗してロックピストン２３を天板７１に向けて移動させることができる推力を有する空気圧を意味する。
【０１２０】
本体ブロック１４は、本体３０と、本体３０に収容されたガイドピン３２と、本体３０の上部を覆う本体カバー６０とを含む。
本体ブロック１４に配設されたエアークッション部１５は、外部から所定の圧力（代表圧力範囲は、０．３ＭＰａ〜０．６ＭＰａで、推力で言い換えると３．５ｋｇｆ〜７．０ｋｇｆ）を有する空気が供給される、第２の空間Ｓ２に連通するエアークッション用給気口６０８と、相互に連通したエアークッション用給気口６０８とエアークッション用給気溝３１８とガイドピン用凹部３１４とを有する本体３０と、本体３０のガイドピン用凹部３１４に収容されたガイドピン３２と、本体３０の上部を覆う本体カバー６０とを含み、第２の空間Ｓ２は、本体３０のエアークッション用給気溝３１８およびガイドピン用凹部３１４と本体カバー６０の内周面との間に形成されている。
【０１２１】
エアークッション部５に供給される空気の「所定の圧力」とは、保持された部品や軸部材の重量、およびホルダ６１等の自重に抗して位置ずれを発生させない推力を有する空気圧を意味する。
【０１２２】
以下、より詳細に説明する。底部ブロック２の最も下部の基盤を構成するロックシリンダ２０は、その中央に形成された平面視円形の凹み部の内側にロックピストン２２が配設されている。
ロックシリンダ２０の最頂部分には、ピストンガイド２６が、ロックシリンダ２０の凹部の中央領域を残して凹部を覆うように、配置されている。
ロックピストン２２は、その中央領域に、ロックガイド２４を配置するための凹部が形成され、ロックガイド２６の凹部には、ロックガイド２４が配置される。
ロックピストン２２の板状態の主要部とピストンガイド２６の板状態の主要部との間には空間が形成されている。
ロックピストン２２の主要部分の周辺領域とピストンガイド２６の主要部分との間に、バネ部材２２９が架設されている。
【０１２３】
ロックシリンダ２０の平板状の主要部分の上の面とロックピストン２２の平板状の主要部分の下の面との間に、第１の空間Ｓ１が形成されている。
【０１２４】
ピストンガイド２６の平板状の主要部分の周辺領域の上の面に、本体３０の下部が載置されて、本体３０がピストンガイド２６に取り付けられている。
【０１２５】
本体３０は、その中央領域に設けられた中空部内に、中心線ＣＬに沿ってその下部から上方に向けて伸びるように、ホルダ６１及びピンホルダ６４が貫挿されている。
ホルダ６１及びピンホルダ６４は、以下に述べる第１の第２（中間）のボール当て板６２により支持されている。
【０１２６】
ピストンガイド２６の上に本体30が取り付けられたとき、本体３０側に取り付けられているホルダ６１の下端に形成された位置決めピン６３が、ロックピストン２３の凹み部（傾斜面２３３）に対設している。
【０１２７】
本体３０は、ハウジングを構成しており、その内側の空洞内に、下から順に、ボール当て板４０、第１のボールリテーナ６６、第２（中間）のボール当て板６２、第２のボールリテーナ６７、第３のボール当て板６８が、配設されている。
【０１２８】
本体３０は、その中空部内の下部分においてに、ボール当て板４０が嵌装されている。
ボール当て板４０は、前記ピストンガイド２６の上に載置して固定されている。
ボール当て板４０の上面には、第１のボールリテーナ６６が移動自在に載置されている。
第１のボールリテーナ６６は、貫通穴に第１のボール４３が嵌め込まれ、第１のボール４３は、第１のボールリテーナ６６の上下に露出する。
【０１２９】
第１のボールリテーナ６６は、中心線ＣＬに直交する方向（Ｙ方向）にスライド移動する。
【０１３０】
ボールリテーナ４２及び第１のボール４３の上には、第２（中間）のボール当て板６２が配置されている。
第２（中間）のボール当て板６２は、平板状であり、その中央の貫通穴内に、位置決めピン６３が取り付けられている。
【０１３１】
第２（中間）のボール当て板６２は、平板状であり、その上の面には第２のボールリテーナ６７が取り付けられている。
第２のボールリテーナ６７は、平板状であり、上の面から下の面に至る貫通穴に第１のボール４３が嵌め込まれている。
第２のボールリテーナ６７及び第１のボール４３の上に、第３のボール当て板６８が配置されている。
第３のボール当て板６８は、本体３０に取り付けられている。
第２（中間）のボール当て板６２は、正面側と裏面側とを結ぶ方向（Ｘ方向）にスライド移動する。
【０１３２】
第３のボールスライダ５２と本体３０とは、第３のボールスライダ５２のボルト穴５２ａと本体３０のボルト穴３０ｂとが軸方向に連通しており、ボルト１０２を螺着することにより、一体化される。そして、ボルト１０２の先端は、第２のスライドリテーナ５０の上面を押圧している。
【０１３３】
本体３０の小径筒状部３０２は、その外周面側より内部側(センターボス３６側)に向けて貫通した、断面倒れ凸の字型の貫通穴が穿ち設けられている。
断面倒れ凸の字型貫通穴は、ガイドピン３２の先端部が内部に連通した部分に嵌め込まれ、かつガイドピン３２の基部側が嵌め込まれ、ガイドピン３２の基部の底面と本体３０の小径筒状部との間には、空洞が形成される。ガイドピン３２は、第１のガイドピン３２ａおよび第２のガイドピン３２ｂおよび第３のガイドピン３２ｃおよび第４のガイドピン３２ｄの４つが含まれる。第１のガイドピン３２ａおよび第２のガイドピン３２ｂおよび第３のガイドピン３２ｃおよび第４のガイドピン３２ｄは、配置された位置によって移動する方向が異なる。
【０１３４】
本体３０の小径筒状部３０２は、前記断面倒れ凸の字形の貫通穴を塞ぐように、本体カバー６２により覆われている。
【０１３５】
本体カバー６０は、ボルト穴６０ｂに螺着されたボルト１０４を用いて本体３０の上面に取り付けられている。これにより、本体３０に収容された４つの第１のガイドピン３２ａおよび第２のガイドピン３２ｂおよび第３のガイドピン３２ｃおよび第４のガイドピン３２ｄの本体軸部３２２と本体カバー６０の筒状部６０４の内周面との間に、それぞれ第２の空間Ｓ２が形成される。
第２の空間Ｓ２は、前記断面倒れ凸の字形の貫通穴の一部において、形成される。
【０１３６】
断面Ｌ字型の本体カバー６０は、本体３０の上端面を覆うように、重ねられ固定されている。
本体３０の内部側の端面と本体３０の内部側の端面とは連続しており、円筒状となるように形成されている。
【０１３７】
センターボス３６の上端には、天板７０が取り付けられている。
【０１３８】
ロックシリンダ２１とロックピストン２２との間において、第１の空間Ｓ１の圧縮空気が漏出しないように第１のＯリングＯＲ１が、接し合う面において形成された溝（底板部２２２の外周面に形成されたＯリング溝２４０）に嵌合されている。
【０１３９】
本体部３０とガイドピン３２とが接し合う面において、第４のＯリングＯＲ４が配置されている。
ガイドピン３２の基部に形成されたＯリング溝３２６に第４のＯリングＯＲ４が嵌合されている。
また、本体３０と接し合って第２の空間Ｓ２の機密性を高めるための第２のＯリングＯＲ２及び第３のＯリングＯＲ３が、本体３０と本体カバー６０との接し合う面に配置されている。
第２のＯリングＯＲ２及び第３のＯリングＯＲ３は、本体３０の断面凸の字型の貫通穴の近傍において形成されたＯリング溝３１６及びＯリング溝３１７に嵌合されている。
【０１４０】
第１のガイドピン３２ａおよび第２のガイドピン３２ｂおよび第３のガイドピン３２ｃおよび第４のガイドピン３２ｄは、それぞれ独立して前後方向（Ｙ方向）及び左右方向（Ｘ方向）に、移動可能である。
【０１４１】
本体カバー６０の凹部６０６と天板７１の凹部７０４には、センター復帰のためのマグネットが取り付けられる。
【０１４２】
ロックシリンダ２１は、前記第１の実施の形態で説明したロックシリンダ２０と略同様の形状を有している。すなわち、ロックシリンダ２１は、図５（ａ）から図５（ｄ）に示したロックシリンダ２０のように、円板状の底板部２０２と円筒状の筒状部２０４とを含む。筒状部２０４は、底板部２０２の上側において、底板部２０２に直交する方向（Ｚ方向）に延びるように形成されている。筒状部２０４は、底板部２０２の外周縁部に形成されている。ただし、図３６Ａ〜図３８に示すように、底板部２０２の上面には、後述するロックピストン２３の位置決め凸部２３５を挿入するための位置決め凹部２１２が形成されている。天板センターロック用給気口２０６は、筒状部２０４の外周面から位置決め凹部２１２の内周面にまで、筒状部２０４の平面視における中心に向かって、かつ、底板部２０２に平行に配設されている。天板センターロック用給気口２０６は、位置決め凹部２１２の上面より上側に配設されている。
【０１４３】
ロックシリンダ２１の内側底面には、ロックピストン２３が配設されている。第３の実施の形態のロックピストン２３は、第１の実施の形態のロックピストン２２とロックガイド２４とを組み合わせたものに相当する。すなわち、ロックピストン２３は、図３９（ａ）〜図３９（ｃ）に示すように、円板状の底板部２３２と円柱状部２３４とを含む。底板部２３２は、その外径がロックシリンダ２１の筒状部２０４の内径に対応して筒状部２０４の内側に嵌まり込むように形成される。円柱状部２３４は、底板部２３２の上側において、底板部２３２に直交する方向（Ｚ方向）に延びるように形成されている。円柱状部２３４は、底板部２３２の外周縁部２３６の内側に形成されている。
円柱状部２３４の上面には、３つのロックガイド穴２３ａが同心円状に形成されている。ロックガイド穴２３ａの外径は、後述の位置決めピン６３の係合凸部６３６の半球面の直径より大きく形成されている。ロックガイド穴２３ａは、上面側を大きく開口し、上面側から下に向かって開口径を小さくするすり鉢の傾斜面２３３を形成している。傾斜面２３３の中央部には、小さい直径を有する穴２３３ａが形成されている。傾斜面２３３は、位置決めピン６３の係合凸部６３６に摺動可能に当接して、位置決めピン６３の係合凸部６３６を中心軸線上に向かって押圧し、偏心した位置決めピン６３を、基本位置に復帰するように直接的に作用する部分である。
【０１４４】
円柱状部２３４の外周面の外側に配設された底板部２３２の外周縁部２３６には、その円周に沿って等間隔で、Ｚ方向に平行に延びる複数のバネ部材用凹部２３８が形成されている。底板部２３２の下面においては、その中央部に直径方向に延びる矩形状の位置決め凸部２３５が形成されている。この位置決め凸部２３５が、ロックシリンダ２１の位置決め凹部２１２に挿入されることにより、位置決め凸部２３５の端面２３５ａと位置決め凹部２１２の内周面との間に隙間が確保されて、第１の空間Ｓ１が形成されると共に、位置決め凸部２３５の側面２３５ｂと位置決め凹部２１２の内周面とがＺ方向に往復可能に摺接する。第１の空間Ｓ１に圧縮空気（代表値：０．５ＭＰａ）が供給されると、ロックシリンダ２１の上面とロックピストン２３の下面との間にも圧縮空気が流入して、第１の空間Ｓ１が拡大される。
【０１４５】
底板部２３２の外周面には、外から内に向かって、かつ、外周面の全周に亘って断面視凹状で平面視円環状のＯリング溝２４０が形成されている。Ｏリング溝２４０は、第１の空間Ｓ１の圧縮空気が漏出しないように気密性を高めるための第１のＯリングＯＲ１を嵌合するための溝である。
【０１４６】
ロックシリンダ２１の上、並びに、ロックピストン２３のバネ部材用凹部２３８に収容されたバネ部材２２９の上に、ピストンガイド２６が配置される。ピストンガイド２６は、第１の実施の形態で説明した図８（ａ）〜図８（ｃ）に示すものと同様のものであるため、その詳細な説明は省略する。ピストンガイド２６は、ロックシリンダ２１の内側で、バネ部材２２９で付勢されて、ロックピストン２３をＺ方向に摺接しながら往復移動可能に保持するための部材である。
【０１４７】
ピストンガイド２６の上に本体３０が配置されている。本体３０の構造は、第１の実施の形態で説明した図９（ａ）〜図９（ｄ）および図１０に示すものと同様のものであるため、その詳細な説明は省略する。本体３０は、略円筒状であるように形成されており、正面視において、Ｚ方向に円筒外周面が延びるように形成されている。本体３０は、その内側で、後述するホルダ６１および第２のボール当て板６２および位置決めピン６３およびピンホルダ６４を水平方向（Ｘ−Ｙ方向を含む面に平行な方向）に移動可能に保持するための部材である。
【０１４８】
ガイドピン３２は、第１の実施の形態で説明した図１１（ａ）に示すものと同様のものであるため、その詳細な説明は省略する。ガイドピン３２は、図４０に示すように、先端部３２４から、本体３０のガイドピン用凹部３１４に挿入され、ガイドピン用凹部３１４に形成されている段差で位置決めされる。これにより、ホルダ６１が、ガイドピン３２の先端部３２４によって四方から均等に支持される。ただし、ガイドピン３２の数は、４つに限定されるものではなく、保持された部品の重量を保持するに十分な数であればよく、少なくとも１つ以上あればよい。
【０１４９】
本体３０の下部には、平板状でリング状の第１のボール当て板４０が配設される。第１のボール当て板４０は、第１の実施の形態で説明した図１２に示すものと同様のものであるため、その詳細な説明は省略する。第１のボール当て板４０は、図３６Ａ〜図３８に示すように、その外径が本体３０の大径筒状部３０４の大内径部３１０の内径に対応して大内径部３１０の内側に嵌まり込むように形成されている。第１のボール当て板４０の外周面には、雄ネジ部４０２が形成されている。雄ネジ部４０２は、大内径部３１０の雌ネジ部３１２に螺着することができる。これにより、第１のボール当て板４０は、後述するボールリテーナ６６に保持される第１のボール４３を転動可能に下側から支持することができる。
【０１５０】
本体３０の中心軸の位置には、ホルダ６１が配設される。ホルダ６１は、後述する第２のボール当て板６２および位置決めピン６３およびピンホルダ６４と共に軸体（第１の実施の形態のセンターボス３６に相当するもの）を形成する。ホルダ６１は、図４１（ａ）および図４１（ｂ）に示すように、Ｚ方向に延びる円柱状に形成されている。ホルダ６１の上面６１１ａには、外周部の位置において等間隔で配設された、上面６１１ａから下方向に向かってＺ方向に平行に延びる３つのボルト穴６１ａが同心円状に形成されている。ホルダ６１のＺ方向の中央部において、外周面の周りに凹部６１２が等間隔に形成されている。この凹部６１２には、ガイドピン３２が当接している。このホルダ６１は、その中心軸が天板７１の中心軸と同一線上になるように、天板７１の下面に接続されている。
【０１５１】
ホルダ６１の下面６１１ｂには、第２（中間）のボール当て板６２が配設されている。第２（中間）のボール当て板６２は、図４２（ａ）および図４２（ｂ）に示すように、円板状に形成されている。第２（中間）のボール当て板６２の外径は、本体３０の大径筒状部３０４の大内径部３１０の内径より小さい。第２（中間）のボール当て板６２の上面６２２ａの中央部には、平面視が円形のホルダ用凹部６２６が形成されている。ホルダ用凹部６２６の内径は、ホルダ６１の外径に一致する。第２（中間）のボール当て板６２の下面６２２ｂの中央部には、平面視が円形のピンホルダ用凹部６２８が形成されている。ピンホルダ用凹部６２８の内径は、後述するピンホルダ６４の外径に一致する。ホルダ用凹部６２６の位置には、その円周に沿って等間隔で、上面６２２ａから下面６２２ｂまでＺ方向に貫通する３つのボルト穴６２ａおよび３つの位置決めピン穴６２ｂが交互に形成されている。ボルト穴６２ａは、ホルダ６１のボルト穴６１ａに連通する位置に形成されている。
【０１５２】
さらに、ホルダ６１の下面６１１ｂには、位置決めピン６３が配設されている。位置決めピン６３は、図４４に示すように、大径部６３２と、大径部６３２より外径が小さいＺ方向に延びる円柱状の軸部６３４と、軸部６３４の下面から下向きに凸の形状であって半球状に形成された係合凸部６３６とを含む。位置決めピン６３は、Ｚ方向において係合凸部６３６が下向きになるように、大径部６３２が第２のボール当て板６２の位置決めピン穴６２ｂに嵌め込まれている。
【０１５３】
係合凸部６３６は、ロックピストン２３の上面のロックガイド穴２３ａと所定の間隔を隔てて対向するように形成されている。係合凸部３６６は、ロックガイド穴２３ａの傾斜面２３３に係合され、ホルダ６１の移動を制止するものである。係合凸部６３６は、その半球状の最下点が、ロックピストン２３の上面よりも下側に位置するように形成されている。
【０１５４】
第２のボール当て板６２の下面６２２ｂには、ピンホルダ６４が配設されている。ピンホルダ６４は、図４４（ａ）および図４４（ｂ）に示すように、円板状に形成されている。ピンホルダ６４には、その円周に沿って等間隔で、上面６４２ａから下面６４２ｂまでＺ方向に貫通する３つのボルト穴６４ａおよび３つの位置決めピン穴６４ｂが交互に形成されている。ボルト穴６４ａは、第２（中間）のボール当て板６２のボルト穴６２ａに連通する位置に形成されている。
【０１５５】
ボール当て板４０の上には、第１のボールリテーナ６６が配置されている。第１のボールリテーナ６６は、図４５（ａ）および図４５（ｂ）に示すように、平板状でかつリング状に形成されている。第１のボールリテーナ６６は、その平面を貫通するようにして周方向に等間隔で並ぶ複数の貫通穴６６２が形成されている。第１のボールリテーナ６６の外径は本体３０の大内径部３１０の内径より小さく形成され、第１のボールリテーナ６６の内径はピンホルダ６４の外径より大きく形成される。
【０１５６】
そして、図３６Ａ〜図３８に示すように複数の貫通穴６６２に第１のボール４３が嵌め込まれる。このとき、第１のボール４３の上下端は、第１のボールリテーナ６６の上下に露出する。これにより、第１のボールリテーナ６６および第１のボール４３は、ボール当て板４０の上でＸ方向およびＹ方向を含む面に平行に移動可能に配設される。
【０１５７】
さらに、図３６〜図３８に示すように、第２のボールリテーナ６７が、第２（中間）のボール当て板６２をＺ方向に間に挟んで、第１のボールリテーナ６６とは反対側に配置されている。第２のボールリテーナ６７は、平板状でかつリング状に形成されている。第２のボールリテーナ６７は、図４５に示した第１のボールリテーナ６６と同様のものであり、その平面を貫通するようにして周方向に等間隔で並ぶ複数の貫通穴６６２が形成されている。第２のボールリテーナ６７の外径は本体３０の大内径部３１０の内径より小さく形成され、第２のボールリテーナ６７の内径はホルダ６１の外径より大きく形成される。そして、複数の貫通穴６６２に第１のボール４３が嵌め込まれる。このとき、第１のボール４３の上下端は、第２のボールリテーナ６７の上下に露出する。これにより、第２のボールリテーナ６７および第１のボール４３は、第２（中間）のボール当て板６２の上でＸ方向およびＹ方向を含む面に平行に移動可能に配設される。
【０１５８】
第２のボールリテーナ６７に保持された第３のボール５１の上には、第３のボール当て板６８が配置されている。第３のボール当て板６８は、図４６に示すように、板状でかつリング状に形成されている。第３のボール当て板６８の外径は、本体３０の中内径部３０８の内径に対応する大きさに形成され、第３のボール当て板６８の内径は、ホルダ６１の外径より大きくなるように形成されている。
【０１５９】
本体３０の小径筒状部３０２は、本体カバー６０により覆われている。本体カバー６０の構造は、第１の実施の形態で説明した図２１（ａ）〜図２１（ｃ）に示すものと略同様のものであるため、その詳細な説明は省略する。本体カバー６０の上蓋部６０２には、中央部にホルダ６１を挿通するための穴６０ａが形成されている。本体カバー６０は、その外周面から中心に向かって、例えば圧縮空気を供給するためのエアークッション用給気口６０８が形成されている。エアークッション用給気口６０８は、第２の空間Ｓ２に圧縮空気を供給するためのものである。エアークッション用給気口６０８は、本体３０の小径筒状部３０２のエアークッション用給気溝３１８に連通するように配設される。
【０１６０】
本体カバー６０は、ボルト１０４を用いて本体３０の上面に取り付けられている。これにより、本体３０に収容された４つのガイドピン３２の本体軸部３２２と本体カバー６０の筒状部６０４の内周面との間に、それぞれ第２の空間Ｓ２が形成される。そして、これらの第２の空間Ｓ２に連通したエアークッション用給気溝３１８を通して、エアークッション用給気口６０８が、それぞれの第２の空間Ｓ２に均等に圧縮空気を供給することができる。
【０１６１】
ホルダ６１の上には、図３６Ａ〜図３８に示すように、天板７１が取り付けられる。天板７１は円形の平板状であり、その外径は本体カバー６０の外径より小さく形成されている。天板７０の中央部には、ホルダ６１を取り付けるための３つボルト１１２を螺着するためのボルト穴７０ａが形成されている。天板７１には、その円周に沿って等間隔で、上面から下面までＺ方向に貫通する４つの貫通穴７０ｂが形成されている。天板７１の上面には、１８０度離れて対向するように、２つの凹部７０２がボルト穴７０ａを間にして形成されている。さらに、天板７１の下面には、１８０度離れて対向するように、２つの凹部７０４がボルト穴７０ａを間にして形成されている。天板７１は、ボルト１１２を用いてホルダ６１の上面に取り付けられるけれども、このとき、天板７１に凹部７０４が形成されると共に、本体カバー６０の上面に凹部６０６が形成されていることにより、本体カバー６０の上蓋部６０２と天板７１の下面との間に隙間が確保される。天板７１は、本体３０の中心軸を中心にして回転可能である。
【０１６２】
以上の構成からなるフローティングユニット１４０は、図４０に示すように、第２の空間Ｓ２内の圧縮空気により押圧支持された４つの第１のガイドピン３２ａおよび第２のガイドピン３２ｂおよび第３のガイドピン３２ｃおよび第４のガイドピン３２ｄが、ホルダ６１を四方からそれぞれ独立して均等に支持している。第２の空間Ｓ２内の圧縮空気の圧力は、保持された部品や軸部材の重量とセンターボス等の自重とにより最適の値（推奨圧力範囲：０．２ＭＰａ〜０．７ＭＰａ）に設定される。このような構成を採用することにより、天板７１の中心位置と本体３０の中心位置とが一致した状態、即ち基本位置の維持力を大きくすることができる。そのため、フローティングユニット１４０が水平方向に取り付けられても、天板７１が基本位置からずれにくい。従って、水平方向に取り付けられたフローティングユニット１４０によって保持された部品や軸部材を用いて、部品の穴に軸部材を挿入する場合でも、部品や軸部材が基本位置から落下することが無く、部品の穴の中心軸と軸部材の中心軸とを一致させることができる。
【０１６３】
このフローティングユニット１４０を使用して、例えば、部品の穴に軸部材を挿入するとき、部品の穴の中心軸と軸部材の中心軸とがずれていると、ボールリテーナ６６および６７と、ボールリテーナ６６および６７に保持された第１の第１のボール４３が回転することにより、図３６Ｃに示すように、ホルダ６１の中心位置（言い換えると、天板７１の中心位置）が偏芯し、部品の穴の中心軸と軸部材の中心軸とが合わせられる。この状態で軸部材を部品の穴に挿入することにより、軸部材が曲がったりすることなく、軸部材を部品の穴に挿入することができる。
【０１６４】
そして、部品の穴に軸部材を挿入する作業が終了して、フローティングユニット１４０が、次の部品または軸部材を保持するまでの間に、第１の空間Ｓ１に圧縮空気（代表値：０．５ＭＰａ）が供給される。これにより、バネ部材２２９の弾性力に抗してロックピストン２３が上方向に移動して、ロックピストン２３に形成された傾斜面２３ａが、位置決めピン６３の係合凸部６３６の半球面に摺動可能に当接して、位置決めピン６３の係合凸部６３６を中心軸線上に向かって押圧し、偏芯したホルダ６１をセンターロックする。その後、第１の空間Ｓ１への圧縮空気の供給が停止され、フローティングユニット１４０は、バネ部材２２９の弾性力を利用して図３６Ａおよび図３７および図３８に示す状態の基本位置に復帰される。
【０１６５】
また、このフローティングユニット１４０は、第１の実施の形態の第２（中間）のボールスライダ４８上下面において、互いに直交する向きに第２のボール４７と第３のボール５１が移動する構成を採用していないため、天板７１が回転することができる。
【０１６６】
４．第４の実施の形態
次に、本発明の第４の実施の形態に係るフローティングユニットについて説明する。図４７は第４の実施の形態に係るフローティングユニットを示す正面図である。第４の実施の形態に係るフローティングユニット１５０は、前述の第１の実施の形態に係るフローティングユニット１０の上面にＺ方向押し出し機構１００５付き天板１０７０を取り付けたものである。従って、フローティングユニット１０の部分については、その詳細な説明は省略する。
【０１６７】
図４８（ａ）は図４７に示すＺ方向押し出し機構１００５付き天板１０７０の内部構造を下側から見た平面図であり、図４８（ｂ）はＺ方向押し出し機構１００５付き天板１０７０のロック用給気口を含む方向の断面図であり、図４８（ｃ）はＺ方向押し出し機構１００５付き天板１０７０のエアークッション用給気口を含む方向の断面図である。Ｚ方向押し出し機構１００５は、フランジ１０１０とシリンダ１０２０とを含む。
【０１６８】
フランジ１０１０は、図４９（ａ）〜図４９（ｃ）に示すように、略円板状に形成されている。フランジ１０１０は、その外周面から中心に向かって、例えば圧縮空気を供給するためのＺ方向エアークッション用給気口１１１４が形成されている。Ｚ方向エアークッション用給気口１１１４は、後述するように、第４の空間Ｓ４に圧縮空気（例えば０．３ＭＰａ〜０．６ＭＰａ）を供給するためのものである。Ｚ方向エアークッション用給気口１１１４は、フランジ１０１０の平面視でフランジ１０１０の外周面から中央部にまで向かって、かつ、フランジ１０１０に平行に延びてからＺ方向の上方に９０度曲がってフランジ１０１０の上面１１１０ａに開口するように配置されている。この開口部にはＯリング溝１１１４ａが形成されている。開口は、後述するガイド１０３０の円筒部１１３２の穴１０３０ａに連通している。
【０１６９】
さらに、フランジ１０１０は、平面視でＺ方向エアークッション用給気口１１１４に対して９０度の角度を有して、外周面から中心に向かって、圧縮空気を供給するためのロック用給気口１１１６が形成されている。ロック用給気口１１１６は、後述するように、第５の空間Ｓ５に圧縮空気（例えば０．３ＭＰａ〜０．６ＭＰａ）を供給するためのものである。ロック用給気口１１１６は、平面視でフランジ１０１０の外周面から中心部に位置するＺ方向エアークッション用給気口１１１４の開口の近傍にまで向かって、かつ、フランジ１０１０に平行に延びてからＺ方向の上方に９０度曲がってフランジ１０１０の上面１１１０ａに開口するように配置されている。この開口は、後述するシリンダ１０２０の大内径部１１２２ｂに連通している。
【０１７０】
フランジ１０１０は、その円周に沿って等間隔で、下面１１１０ｂから上面１１１０ａまでＺ方向に貫通する４つのボルト穴１０１０ａが形成されている。フランジ１０１０の上面１１１０ａには、その円周に沿って等間隔で、後述するシャフト１０６０を挿入するためのシャフト用凹部１０１０ｂが形成されている。シャフト用凹部１０１０ｂの内径はシャフト１０６０の外径に対応しており、シャフト１０６０は、シャフト用凹部１０１０ｂの内周面に摺接しながら移動可能である。フランジ１０１０は、その円周に沿って等間隔で、４つの雌ネジ穴１０１０ｄがボルト穴１０１０ａとシャフト用凹部１０１０ｂとの間に形成されている。さらに、フランジ１０１０は、上面１１１０ａの中央部に位置するＺ方向エアークッション用給気口１１１４の開口の円周に沿って等間隔で、Ｚ方向に平行に延びる４つのボルト穴１０１０ｃが、Ｚ方向エアークッション用給気口１１１４ａの開口の近傍に形成されている。平面視において、ボルト穴１０１０ａおよびシャフト用凹部１０１０ｂおよび雌ネジ穴１０１０ｄは同心円上に配設され、ボルト穴１０１０ｃは別の同心円上に配設されている。
【０１７１】
フランジ１０１０の上には、シリンダ１０２０が配置されている。シリンダ１０２０は、図５０（ａ）および図５０（ｂ）に示すように、略円板状に形成されている。シリンダ１０２０の中央部には、下面１１２０ｂから上面１１２０ａまでＺ方向に貫通する後述のピストン１０４０を挿入するための断面が円形のピストン穴１１２２が形成されている。ピストン穴１１２２の内周面には、上側の開口側に位置するその内径が小さい小内径部１１２２ａと、小内径部１１２２ａの内径より大きい内径を有する大内径部１１２２ｂとを形成している。大内径部１１２２ｂの下側の開口の内周面には、全周に亘って断面視凹状で平面視円環状のＯリング溝１１２４が形成されている。Ｏリング溝１１２４は、第５の空間Ｓ５の圧縮空気が漏出しないように気密性を高めるための第１０のＯリングＯＲ１０を嵌合するための溝である。
【０１７２】
シリンダ１０２０は、その円周に沿って等間隔で、Ｚ方向に平行に延びる４つのシャフト用穴１１２６が、シャフト用穴１１２６の近傍に形成されている。シャフト用穴１１２６の内周面には、上側の開口側にその内径が小さい小内径部１１２６ａを形成すると共に、下側の開口側に向かって延びる小内径部１１２６ａの内径より大きい内径を有する大内径部１１２６ｂを形成している。この大内径部１１２６ｂには、円筒状のブッシュ１０５２が嵌め込まれた後、円環状のカラー１０５０によってブッシュ１０５２の抜け落ちが防止される（図４８（ｂ）参照）。カラー１０５０およびブッシュ１０５２の内径は、シャフト用穴１１２６の小内径部１１２６ａの内径と等しい。
【０１７３】
シリンダ１０２０は、その円周に沿って等間隔で、Ｚ方向に平行に延びる４つのボルト穴１０２０ａが、シャフト用穴１１２６を間にして形成されている。平面視において、シャフト用穴１１２６およびボルト穴１０２０ａは同心円上に配設されている。このボルト穴１０２０ａは、フランジ１０１０のボルト穴１０１０ａに連通する位置に形成されている。従って、ボルト１０１２が、ボルト穴１０２０ａおよびボルト穴１０１０ａに螺着することによって、シリンダ１０２０とフランジ１０１０とが連結される。
【０１７４】
さらに、フランジ１０１０の上には、その中央部にガイド１０３０が配置されている。ガイド１０３０は、図５１（ａ）および図５１（ｂ）に示すように、円筒部１１３２と円形鍔部１１３４とを有している。円筒部１１３２には、下面１１３０ｂから上面１１３０ａまでＺ方向に貫通する断面が円形の穴１０３０ａが形成されている。穴１０３０ａの下面１１３０ｂ側は、フランジ１０１０のＺ方向エアークッション用給気口１１１４に連通し、上面１１３０ａ側は、第４の空間Ｓ４に連通する。円筒部１１３２の上部の外周面には、全周に亘って断面視凹状で平面視円環状のＯリング溝１１３６が形成されている。Ｏリング溝１１３６は、第４の空間Ｓ４の圧縮空気が漏出しないように気密性を高めるための第９のＯリングＯＲ９を嵌合するための溝である。ガイド１０３０の下面１１３０ｂ側には、円形鍔部１１３４が設けられている。円形鍔部１１３４は、その円周に沿って等間隔で、Ｚ方向に平行に延びる４つのボルト穴１０３０ｂが形成されている。このボルト穴１０３０ｂは、フランジ１０１０のボルト穴１０１０ｃに連通する位置に形成されている。従って、ボルト１０１４が、ボルト穴１０３０ｂおよびボルト穴１０１０ｃに螺着することによって、ガイド１０３０とフランジ１０１０とが連結される。
【０１７５】
シリンダ１０２０のピストン穴１１２２の内部には、ピストン１０４０が収容される。ピストン１０４０は、図５２（ａ）および図５２（ｂ）に示すように、略円柱状に形成されている。ピストン１０４０の上面１１４０ａには、Ｚ方向に平行に延びる４つのボルト穴１０４０ａが形成されている。ピストン１０４０の外径は、Ｚ方向の略上側半分がシリンダ１０２０の小内径部１１２２ａの内径に対応し、略下側半分がシリンダ１０２０の大内径部１１２２ｂの内径に対応しており、ピストン１０４０はピストン穴１１２２の内周面に摺接しながらＺ方向に移動可能である。ピストン１０４０の外周面の下側の位置には、一対の環状突起１１４４ａおよび１１４４ｂの間に形成された、外周面の全周に亘って断面視凹状で平面視円環状のＯリング溝１１４６が形成されている。Ｏリング溝１１４６は、第５の空間Ｓ５の圧縮空気が漏出しないように気密性を高めるための第１１のＯリングＯＲ１１を嵌合するための溝である。
【０１７６】
ピストン１０４０の下面１１４０ｂには、ガイド１０３０を収容できる凹部１１４２が形成されている。凹部１１４２は、ガイド１０３０の円形鍔部１１３４を収容する大内径部１１４２ａと、ガイド１０３０の円筒部１１３２を収容する小内径部１１４２ｂとを有している。大内径部１１４２ａの内径は、ガイド１０３０の円形鍔部１１３４の外径より大きく設定されている。一方、小内径部１１４２ｂの内径は、ガイド１０３０の円筒部１１３２の外径に対応しており、ガイド１０３０の円筒部１１３２は小内径部１１４２ｂの内周面に摺接しながらＺ方向に移動可能である。
【０１７７】
ピストン１０４０の上には、天板１０７０が配置されている。天板１０７０は、図５３（ａ）および図５３（ｂ）に示すように、略円板状に形成されている。天板１０７０の下面１１７０ｂの中央部には、平面視が円形のピストン用凹部１０７２が形成されている。ピストン用凹部１０７２の内径は、ピストン１０４０の上面１１４０ａの外径に一致する。ピストン用凹部１０７２の位置には、その円周に沿って等間隔で、上面から下面までＺ方向に貫通する４つのボルト穴１０７０ａが形成されている。このボルト穴１０７０ａは、ピストン１０４０のボルト穴１０４０ａに連通する位置に形成されている。従って、ボルト１０１６が、ボルト穴１０７０ａおよびボルト穴１０４０ａに螺着することによって、ピストン１０４０と天板１０７０とが連結される。
【０１７８】
さらに、ピストン用凹部１０７２の外側の位置には、その円周に沿って等間隔で、上面から下面までＺ方向に貫通する４つのボルト穴１０７０ｂが形成されている。このボルト穴１０７０ｂに螺着されたボルト１０１８を、円柱状シャフト１０６０のボルト穴１０６０ａに螺着することによって、天板１０７０の下面に、Ｚ方向に延びる４つの円柱状シャフト１０６０が取り付けられる（図４８（ｂ）参照）。４つの円柱状シャフト１０６０は、それぞれシリンダ１０２０のシャフト用穴１１２６に収容される。円柱状シャフト１０６０の外径は、シャフト用穴１１２６の小内径部１１２６ａの内径に対応しており、円柱状シャフト１０６０は、シャフト用穴１１２６の小内径部１１２６ａの内周面およびブッシュ１０５２の内周面およびカラー１０５０の内周面およびフランジ１０１０のシャフト用凹部１０１０ｂの内周面に摺接しながら移動可能である。４つの円柱状シャフト１０６０は、天板１０７０を安定して移動させることができる。また、天板１０７０の外周縁部には、その円周に沿って等間隔で、下面から上面までＺ方向に貫通する６つの貫通穴１０７０ｃが形成されている。
【０１７９】
Ｚ方向押し出し機構１００５付き天板１０７０は、フランジ１０１０の雌ネジ穴１０１０ｄを利用して、フローティングユニット１０の天板７０の上面に連結される。
【０１８０】
以上の構成からなるＺ方向押し出し機構１００５付き天板１０７０は、第４の空間Ｓ４が、ガイド１０３０の上面１１３０ａとピストン１０４０の小内径部１１４２ｂとに囲まれた領域に形成される。また、第５の空間Ｓ５が、フランジ１０１０の上面１１１０ａ、および、ガイド１０３０の円筒部１１３２と円形鍔部１１３４、および、シリンダ１０２０の大内径部１１２２ｂ、および、ピストン１０４０の下面１１４０ｂと大内径部１１４２ａに囲まれた領域に形成される。第４の空間Ｓ４は、圧縮空気（例えば０．３ＭＰａ〜０．６ＭＰａ）が供給されると、主にピストン１０４０にＺ方向の弾性力を付与する機能を有する。第５の空間Ｓ５は、圧縮空気（例えば０．３ＭＰａ〜０．６ＭＰａ）が供給されると、主にピストン１０４０のストローク位置をＺ方向に移動させる機能を有する（例えば、第４の実施の形態の場合、Ｚ方向のストローク量は５ｍｍ）。ピストン１０４０の移動は、ピストン１０４０の環状突起１１４４ａが、シリンダ１０２０の小内径部１１２２ａと大内径部１１２２ｂとの段差に当接して停止するまで行われる。第４の空間Ｓ４および第５の空間Ｓ５への圧縮空気の供給を停止すると、図５４に示すように、ピストン１０４０がロックされた状態となる。その結果、第４の空間Ｓ４および第５の空間Ｓ５へのそれぞれの圧縮空気のエアー圧を調整することによって、構造を変更することなく、ピストン１０４０に接続された天板１０７０に適切なＺ方向の弾性力を付与することができる。これに対して、金属バネを用いた場合は、適切な弾性力を得るために金属バネの長さや素材厚みを変更する必要があり、構造を変更しなければならないなどの不具合がある。
【０１８１】
５．第５の実施の形態
次に、本発明の第５の実施の形態に係るフローティングユニットについて説明する。図５５は第５の実施の形態に係るフローティングユニットを示す正面図である。第５の実施の形態に係るフローティングユニット１６０は、前述の第１の実施の形態に係るフローティングユニット１０の上面に天板水平保持クッション機構１２０５付き天板１２７０を取り付けたものである。従って、フローティングユニット１０の部分については、その詳細な説明は省略する。
【０１８２】
図５６（ａ）は図５５に示す天板水平保持クッション機構１２０５付き天板１２７０の内部構造を上側から見た平面図であり、図５６（ｂ）は天板水平保持クッション機構１２０５のエアークッション用給気口１２１４を含む方向の断面図であり、図５６（ｃ）は別の方向の断面図である。天板水平保持クッション機構１２０５は、フランジ１２１０と本体１２２０とを含む。
【０１８３】
フランジ１２１０は、図５７（ａ）〜図５７（ｄ）に示すように、円板状の底板部１２１２と、底板部１２１２の上面１２１２ａの中央部に設けた円形凸部１２１３とを含む。底板部１２１２は、その外周面から中心に向かって、例えば圧縮空気を供給するためのエアークッション用給気口１２１４が形成されている。エアークッション用給気口１２１４は、後述するように、第６の空間Ｓ６に圧縮空気（例えば０．２ＭＰａ〜０．７ＭＰａ）を供給するためのものである。エアークッション用給気口１２１４は、底板部１２１２の平面視で底板部１２１２の外周面から中央に向かって、かつ、底板部１２１２に平行に延びてからＺ方向の上方に９０度曲がって底板部１２１２の上面１２１２ａに開口するように配置されている。この開口は、底板部１２１２の上面１２１２ａに形成されている円環凹部１２１５に連通している。
【０１８４】
円環凹部１２１５は、円形凸部１２１３の外側で、かつ、底板部１２１２の外周縁部に、円形凸部１２１３の円周に沿って形成されている。この円環凹部１２１５が、後述のピストン１２５０の下面と底板部１２１２の上面１２１２ａとの間に隙間を確保して、第６の空間Ｓ６を形成する。円環凹部１２１５の内側および外側には、円環凹部１２１５の全周に亘って、断面視凹状で平面視円環状のＯリング溝１２１６およびＯリング溝１２１７が、円環凹部１２１５から離れてそれぞれ形成されている。Ｏリング溝１２１６およびＯリング溝１２１７は、それぞれ第６の空間Ｓ６の圧縮空気が漏出しないように気密性を高めるための第１２のＯリングＯＲ１２および第１３のＯリングＯＲ１３を嵌合するための溝である。円環凹部１２１５には、Ｚ方向に延びる４つのボルト穴１２１０ａが等間隔で形成されている。
【０１８５】
円形凸部１２１３は、底板部１２１２の上側において、底板部１２１２に直交する方向（Ｚ方向）に延びるように形成されている。円形凸部１２１３には、断面視凹状で平面視円形の回転球用凹部１２１９が形成されている。回転球用凹部１２１９は、円形凸部１２１３の上面からＺ方向に底板部１２１２の下部にまで延びている。回転球用凹部１２１９の底面１２１９ａの中心部には、加工の際に残った加工跡を除去するための孔１２１８が形成されている。孔１２１８は、底面１２１９ａから底板部１２１２の下面１２１２ｂまでＺ方向に貫通している。
底板部１２１２の下面１２１２ｂには、外周縁部に等間隔で雌ネジ穴１２１０ｂが形成されている。
【０１８６】
フランジ１２１０の上には、本体１２２０が配置されている。本体１２２０は、図５８（ａ）〜図５８（ｃ）に示すように、略円板状に形成されている。本体１２２０の中央部には、下面１３２０ｂから上面１３２０ａまでＺ方向に貫通する後述の回転球１２４０を挿入するための断面が円形の回転球穴１２２２が形成されている。回転球穴１２２２の内周面１３２２の上側半分には、雌ネジ部１３２４が形成されている。本体１２２０の上面１３２０ａの外周縁部には、外側に向かって下がる傾斜面１３２６が形成されている。第５の実施の形態の場合は、傾斜面１３２６の傾斜角度が例えば１５°に設定されている。
【０１８７】
本体１２２０は、その円周に沿って等間隔で、Ｚ方向に平行に延びる８個のピストン用穴１２２４が、回転球穴１２２２の近傍に形成されている。ピストン用穴１２２４の内周面には、上側の開口側にその内径が小さい小内径部１２２４ａを形成すると共に、下側の開口側に向かって延びる小内径部１２２４ａの内径より大きい内径を有する大内径部１２２４ｂを形成している。この大内径部１２２４ｂには、ピストン１２５０がその先端部を上にした状態で嵌め込まれる。
【０１８８】
８個のピストン１２５０は、図５９に示すように、それぞれ円柱状軸部１２５２と円盤状基部１２５４とを有している。円盤状基部１２５４の外周面には、全周に亘って断面視凹状で平面視円環状のＯリング溝１２５６が形成されている。Ｏリング溝１２５６は、第６の空間Ｓ６の圧縮空気が漏出しないように気密性を高めるための第１４のＯリングＯＲ１４を嵌合するための溝である。ピストン１２５０は、円盤状基部１２５４が本体１２２０の大内径部１２２４ｂに嵌合している。第１４のＯリングＯＲ１４は、本体１２２０とピストン１２５０とが接し合う面において配置される。
【０１８９】
さらに、本体１２２０は、その円周に沿って等間隔で、Ｚ方向に平行に延びる４つのボルト穴１２２０ａが、ピストン用穴１２２４を間にして形成されている。平面視において、ピストン用穴１２２４およびボルト穴１２２０ａは同心円上に配設されている。このボルト穴１２２０ａは、フランジ１２１０のボルト穴１２１０ａに連通する位置に形成されている。従って、ボルト１２９０が、ボルト穴１２２０ａおよびボルト穴１２１０ａに螺着することによって、本体１２２０とフランジ１０１０とが連結される。このとき、第６の空間Ｓ６の圧縮空気が漏出しないように気密性を高めるための第１５のＯリングＯＲ１５は、ボルト１２９０の頭部と本体１２２０とが接し合う段差面において配置される。
【０１９０】
フランジ１２１０の回転球用凹部１２１９の底面１２１９ａには、回転球受け１２３０が配置される。回転球受け１２３０は、図６０（ａ）および図６０（ｂ）に示すように、すり鉢状で、その外径がフランジ１２１０の回転球用凹部１２１９の内径に対応して回転球用凹部１２１９の内側に嵌まり込むように形成されている。回転球受け１２３０は、上面１３３０ａ側を大きく開口し、上面１３３０ａ側から下に向かって開口径を小さくするすり鉢の傾斜面１２３２を形成している。その傾斜面１２３２は、回転球１２４０に摺動可能に当接する。傾斜面１２３２の中心部には、加工の際に残った加工跡を除去するための孔１２３４が形成されている。孔１２３４は、傾斜面１２３２から回転球受け１２３０の下面１３３０ｂまでＺ方向に貫通している。
【０１９１】
回転球受け１２３０の傾斜面１２３２の上には、回転球１２４０が配置されている。回転球１２４０は、図６１（ａ）および図６１（ｂ）に示すように、球本体部１２４２と円盤状基部１２４４とを有している。球本体部１２４２は、上側の円盤状基部１２４４に接する部分を除いて球状であり、その曲率半径は回転球受け１２３０の傾斜面１２３２の曲率半径と等しい。従って、球本体部１２４２は、回転球受け１２３０の傾斜面１２３２に摺動可能に当接する。円盤状基部１２４４の上面には、その円周に沿って等間隔で、Ｚ方向に平行に延びる４つのボルト穴１２４０ａが形成されている。
【０１９２】
蓋１２６０は、回転球１２４０が回転球受け１２３０に載置された状態で、本体１２２０に螺着されることにより、回転球１２４０の球本体部１２４２の上部に圧接して回転球１２４０を回転球受け１２３０側に抑えることによって、本体１２２０の回転球用凹部１２１９の内側に回転球１２４０を確実に位置決めする。
回転球１２４０の円盤状基部１２４４は、本体１２２０の上面１３２０ａより上方に所定の長さだけ突出している。これにより、本体１２２０の上面１３２０ａと天板１２７０の下面１３７０ｂとが、Ｚ方向に適切な距離だけ離れた状態を確保することができる。円盤状基部１２４４の前記「所定の長さ」とは、フローティングユニット１６０が水平方向に配置されて天板１２７０が傾いた際に、天板１２７０の下面１３７０ｂが本体１２２０の傾斜面１３２６に面接触できる長さを意味する。
【０１９３】
蓋１２６０は、図６２（ａ）および図６２（ｂ）に示すように、平面視円環状で、外周面には雄ネジ部１２６２が形成されている。雄ネジ部１２６２は、本体１２２０の回転球穴１２２２の雌ネジ部１３２４に螺着される。蓋１２６０は、その外径が本体１２２０の回転球穴１２２２の内周面１３２２の内径に対応して、回転球用凹部１２１９の内側に嵌まり込むように形成されている。蓋１２６０の内周面は、内側に突出する断面三角状であり、その内径は回転球１２４０の球本体部１２４２の径より小さくなるように形成されている。
【０１９４】
回転球１２４０の上には、天板１２７０が配置されている。天板１２７０は、図６３（ａ）〜図６３（ｃ）に示すように、略円板状に形成されている。天板１０７０の上面１３７０ａの中央部には、等間隔で上面から下面までＺ方向に貫通する４つのボルト穴１２７０ａが形成されている。このボルト穴１２７０ａは、回転球１２４０のボルト穴１２４０ａに連通する位置に形成されている。従って、ボルト１２９２が、ボルト穴１２７０ａおよびボルト穴１２４０ａに螺着することによって、回転球１２４０と天板１０７０とが連結される。
ボルト穴１２７０ａの外側の位置には、等間隔で上面から下面までＺ方向に貫通する４つの貫通穴１２７０ｂが形成されている。
【０１９５】
天板１０７０の下面１３７０ｂの中央部には、平面視が円形の台座部１２７４が下面１３７０ｂから突出して形成されている。台座部１２７４の外周縁部には、貫通穴１２７０ｂが等間隔で位置している。台座部１２７４の中央部には、回転球用凹部１２７６が形成されている。回転球用凹部１２７６の内径は、回転球１２４０の円盤状基部１２４４の上面の外径に一致する。回転球用凹部１２７６の位置には、その円周に沿ってボルト穴１２７０ａが等間隔で位置している。
【０１９６】
さらに、天板１２７０の下面１３７０ｂの台座部１２７４と外周との間には、８個の平面視円形のピストン受け用凹部１２７２が外周に沿って等間隔で形成されている。ピストン受け用凹部１２７２には、ピストン受け１２８０が配置される。ピストン受け１２８０は、図６４（ａ）および図６４（ｂ）に示すように、すり鉢状で、その外径がピストン受け用凹部１２７２の内径に対応してピストン受け用凹部１２７２の内側に嵌まり込むように形成されている。ピストン受け１２８０は、下面１３８０ｂ側を大きく開口し、下面１３８０ｂ側から上に向かって開口径を小さくするすり鉢の傾斜面１２８２を形成している。傾斜面１２８２の中心部には、ピストン１２５０の先端部が当たる。
【０１９７】
天板水平保持クッション機構１２０５付き天板１２７０は、フランジ１２１０の下面１２１２ｂの雌ネジ穴１２１０ｂを利用して、フローティングユニット１０の天板７０の上面に連結される。
【０１９８】
以上の構成からなる天板水平保持クッション機構１２０５付き天板１２７０は、第６の空間Ｓ６が、フランジ１２１０の底板部１２１２の上面１２１２ａとピストン１２５０の底面と本体１２２０のピストン用穴１２２４の大内径部１２２４ｂとに囲まれた領域に形成される。第６の空間Ｓ６は、圧縮空気（例えば０．２ＭＰａ〜０．７ＭＰａ）が供給されると、ピストン１２５０を本体１２２０のピストン用穴１２２４に沿ってＺ方向に押し出す機能を有する。ピストン１２５０の移動は、ピストン１２５０の円盤状基部１２５４が、本体１２２０の小内径部１２４ａと大内径部１２４４ｂとの段差に当接して停止するまで行われる。
【０１９９】
そして、第６の空間Ｓ６への圧縮空気の供給を停止した状態で、図６５（ａ）および図６５（ｂ）に示すように、部品を挿入するためにフローティングユニット１６０が水平方向に配置されると、天板１２７０はその自重によって傾斜すると共に、回転球１２４０の球本体部１２４２は回転球受け１２３０の傾斜面１２３２を摺動する。このとき、天板１２７０は一部のピストン１２５０を本体１２２０のピストン用穴１２２４に沿ってＺ方向に押し込めながら傾く。その傾斜は、天板１２７０の下面１３７０ｂが本体１２２０の傾斜面１３２６に当接して停止する傾斜角度（第５の実施の形態の場合は±１５°）まで行われる。そこで、第６の空間Ｓ６へ圧縮空気を供給することによって、天板１２７０を水平（Ｚ方向に対して垂直）に戻すことができる。
なお、天板１２７０は、天板水平保持クッション機構１２０５によって回転が停止される。
【０２００】
６．第６の実施の形態
次に、本発明の第６の実施の形態に係るフローティングユニットについて説明する。図６６は第６の実施の形態に係るフローティングユニットを示す右側面図である。図６７および図６８は、それぞれ、図６６に示すフローティングユニットのＺ方向の内部構造を示す断面図である。図６９は図６６に示すフローティングユニットのＸ−Ｙ方向の内部構造を示す断面図である。なお、前述の第１の実施の形態で用いられた部品および部分と同様のものは、その詳細な説明を省略する。
【０２０１】
フローティングユニット１７０は、図６６〜図６９に示すように、底面を有する底部ブロック２と、底部ブロック２の上に配置される、内部に空間を有する本体ブロック１４０４と、本体ブロック１４０４の内部に配置されるセンターボス（軸体とも称する）３６と、底部ブロック２の反対側において本体ブロック１４０４の端部と間隔を隔てて本体ブロック１４０４の端部を覆うようにしてセンターボス３６に取り付けられる天板７０と、本体ブロック１４０４の本体１４３０の内部に配置され、センターボス３６を底部ブロック２に対して移動可能に支持するための複数の第１のボール４３および第２のボール４７および第３のボール５１と、本体ブロック１４０４の内部に配置され、第１のボール４３を所定の位置関係に配置するためにセンターボス３６の周囲に配置されるリング状のボールリテーナ４２と、第２のボール４７を所定の位置関係に配置するためにセンターボス３６の周囲に配置されるリング状の第１のスライドリテーナ４６と、第３のボール５１を所定の位置関係に配置するためにセンターボス３６の周囲に配置されるリング状の第２のスライドリテーナ５０と、第２のボール４７をＹ方向に移動させるためにセンターボス３６の周囲に配置されるリング状の第１のボールスライダ４４と、第２のボール４７をＹ方向に移動させると共に第３のボール５１をＸ方向に移動させるためにセンターボス３６の周囲に配置されるリング状の第２（中間）のボールスライダ４８と、第３のボール５１をＸ方向に移動させるためにセンターボス３６の周囲に配置されるリング状の第３のボールスライダ５２と、底部ブロック２に配置され、所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給される第１の空間Ｓ１を有し、第１の空間Ｓ１に所定の圧力を有する気体である圧縮空気が供給されることにより、天板７０をセンターロックする向きに力を加える、天板センターロック部３と、本体ブロック１４０４の回転盤１４５０に配置され、バネ部材１５３２の弾性力によって所定の圧力が付与される軸受けピン１４７０を有し、軸受けピン１４７０にバネ部材１５３２によって所定の圧力を付与されることにより、センターボス３６を一方向から保持する向きに力を加える、バネ部材クッション部１４０５とを含み、フローティングユニット１７０は、天板７０が中心軸ＣＬに直交する方向に移動することができ、かつ、回転盤１４５０が中心軸ＣＬを中心にして回転できるように構成されている。
【０２０２】
底部ブロック２は、第１の実施の形態で説明した図１〜図８に示すものと同様のものであるため、その詳細な説明は省略する。
【０２０３】
本体ブロック１４０４は、本体１４３０と、本体１４３０の上部を覆う回転盤１４５０と、本体１４３０と回転盤１４５０との間に配置されたニードルベアリング１５２０と、
回転盤１４５０に取り付けられた軸受けピン１４７０とを含む。ニードルベアリング１５２０は、ボールが円周上に入っていて、回転盤１４５０の回転を円滑にする。
【０２０４】
回転盤１４５０に配設されたバネ部材クッション部１４０５は、軸受けピン用穴１４５２を有する回転盤１４５０と、回転盤１４５０の軸受けピン用穴１４５２を挿通する軸受けピン１４７０と、軸受けピン１４７０に弾性力によって所定の圧力を付与するバネ部材１５３２と、回転盤１４５０に取り付けられて軸受けピン１４７０を保持する軸受けピンホルダ１４６０と、軸受けピンホルダ１４６０に取り付けられた回転ウエイト１４８０とを含む。
【０２０５】
バネ部材クッション部１４０５のバネ部材１５３２の弾性力による「所定の圧力」とは、保持された部品や軸部材の重量、およびセンターボス３６等の自重に抗して位置ずれを発生させない推力を有する弾性圧を意味する。
【０２０６】
以下、より詳細に説明する。
ピストンガイド２６の平板状の主要部の周辺領域の上面に、本体１４３０の下部が載置されて、本体１４３０がピストンガイド２６に取り付けられている。本体１４３０は、その内側で、第１の実施の形態で説明した図１３に示すセンターボス３６を水平方向（Ｘ方向およびＹ方向を含む面に平行な方向）にスライド可能に保持するための部材である。
【０２０７】
本体１４３０および回転盤１４５０は、それぞれ、その中央領域に設けられた中空部内に、中心線ＣＬに沿ってその下部から上方に向けて伸びるように、センターボス３６が貫挿されている。センターボス３６の上端には、第１の実施の形態で説明した図２２に示す天板７０が取り付けられている。
【０２０８】
ピストンガイド２６の上に本体１４３０が取り付けられたとき、本体１４３０側に取り付けられているセンターボス３６の下端に形成された半球状凸部（係合凸部３６６）が、ロックガイド２４の凹み部（傾斜面２４ｂ）に対設している。
【０２０９】
本体１４３０は、ハウジングを構成しており、その内側の空洞内に、第１の実施の形態で説明した図２Ａ〜図４および図１５〜図２０Ｂに示すボール当て板４０およびボールリテーナ４２および第１のボールスライダ４４および第１のスライドリテーナ４６および第２（中間）ボールスライダ４８および第２のスライドリテーナ５０の積み上げ構成体が、配設されている。
【０２１０】
本体１４３０は、図７０（ａ）〜図７０（ｃ）に示すように、その内部に空間を有する略円筒状に形成されており、正面視において、Ｚ方向に円筒外周面が延びるように形成されている。
本体１４３０は、Ｚ方向に延びる円筒状に形成された小径筒状部１４３２と、小径筒状部１４３２よりも外径が大きくてＺ方向に延びる円筒状に形成された中径筒状部１４３４と、中径筒状部１４３４よりも外径が大きくてＺ方向に延びる円筒状に形成された大径筒状部１４３６とにより構成されている。
大径筒状部１４３６と中径筒状部１４３４と小径筒状部１４３２とは、この順にＺ方向の下側から上側に向かって中心軸を共有して積み重なっている。
【０２１１】
小径筒状部１４３２は、図６７および図６８に示すように、センターボス３６が水平方向にもスライド可能であるように、センターボス３６の軸部の中央部を内側に収容する。
小径筒状部１４３２の小内径部１４３８は、その内径がセンターカラー３８を装着したセンターボス３６の軸部の外径より大きく、センターカラー３８の外周面と小内径部１４３８の内周面との間には、所定の寸法の隙間が確保されている。
【０２１２】
小径筒状部１４３２の外周面には、Ｚ方向において下側の位置に、外方向に向かって延び、かつ、外周面の全周に亘って断面視矩形で平面視円環状のベアリング受け部１４３３が形成されている。ベアリング受け部１４３３の上面には、小径筒状部１４３２の外周面に接する凸部１５００が、外周面の全周に亘って平面視円環状に形成されている。
凸部１５００は、ニードルベアリング１５２０を保持するためのものである。
【０２１３】
小径筒状部１４３２の上側端面には、その円周に沿って等間隔で、小径筒状部１４３２をＺ方向に貫通する４つのボルト穴１４３０ｂが形成されている。このボルト穴１４３０ｂと第３のボールスライダ５２とは、Ｚ方向に連通し、ボルト１０２を螺着することにより、本体１４３０と第３のボールスライダ５２とが一体化されると共に、ボルト１０２の先端で第２のスライドリテーナ５０の上面を押圧する。
【０２１４】
中径筒状部１４３４の内周面には、上側の開口側にその内径が小径筒状部１４３２の小内径部１４３８の内径より大きい内径を有する中内径部１４４０と、その下に中内径部１４４０の内径より大きい内径を有する大内径部１４４２とを形成している。中内径部１４４０の内径は、第３のボールスライダ５２の外径に一致するように形成されている。
【０２１５】
大径筒状部１４３６の内周面は、中径筒状部１４３４の大内径部１４４２がＺ方向に延びて形成されている。大内径部１４４２の内周面には、大径筒状部１４３６の下側端面からＺ方向で上側に所定の寸法だけ雌ネジ部１４４４が形成されている。
大径筒状部１４３６の内径は、第３のボールスライダ５２の外径より大きく形成される。
【０２１６】
大径筒状部１４３６の下側端面には、その円周に沿って等間隔で、大径筒状部１４３６をＺ方向に貫通する４つのボルト穴１４３０ａが形成されている。さらに、大径筒状部１４３６の下側端面には、１８０度離れて対向するように、Ｚ方向に下側端面から上側に大径筒状部１４３６の所定の位置まで延びる２つの位置決めピン穴１４３０ｃが形成されている。平面視において、ボルト穴１４３０ａと位置決めピン穴１４３０ｃとは、同心円上に配設されている。
このボルト穴１４３０ａと、ロックシリンダ２０のボルト穴２０ａと、ピストンガイド２６のボルト穴２６ａとは、Ｚ方向に連通し、ボルト１００を螺着することにより、本体３０とロックシリンダ２０とピストンガイド２６とが一体化される。
さらに、ボルト１００が螺着されるとき、位置決めピン穴１４３０ｃと、ロックシリンダ２０の位置決めピン穴２０ｄと、ピストンガイド２６の位置決めピン穴２６ｂに挿入された位置決めピン１０８を利用して位置決めされる。
【０２１７】
本体１４３０の上側に配置された回転盤１４５０は、その中央領域に設けられた中空部内の上半分に、中心線ＣＬに沿ってセンターボス３６が貫挿され、中空部内の下半分に、中心線ＣＬに沿って本体１４３０の小径筒状部１４３２が収容されている。
【０２１８】
回転盤１４５０は、図７１（ａ）〜図７１（ｃ）に示すように、その内部に空間を有する略円筒状に形成されており、正面視において、Ｚ方向に円筒外周面が延びるように形成されている。円筒外周面の上側半分の一部は、切り欠かれて軸受けピンホルダ１４６０を取り付けるための取付け面１４４８が形成されている。取付け面１４４８の中央部には、取付け面１４４８から内部側（センターボス３６側）に向けて貫通した、軸受けピン１４７０が挿通する軸受けピン用貫通穴１４５０ａが設けられている。取付け面１４４８のＸ−Ｙ方向の両側部には、取付け面１４４８から内部側（センターボス３６側）に向けて延びるボルト穴１４５０ｂがそれぞれ設けられている。
【０２１９】
回転盤１４５０は、円筒内周面に上面１５５０ａから下面１５５０ｂに向かって、第１の内径部１４５４と、内径が第１の内径部１４５４より大きい第２の内径部１４５５と、内径が第２の内径部１４５５より大きい第３の内径部１４５６と、内径が第３の内径部１４５６より大きい第４の内径部１４５７とが形成されている。
第１の内径部１４５４は、その内径がセンターカラー３８を装着したセンターボス３６の軸部の外径より大きく、センターカラー３８の外周面と第１の内径部１４５４の内周面との間には、所定の寸法の隙間が確保されている。
第２の内径部１４５５は、その内径が本体１４３０の小径筒状部１４３２の外径より大きく、小径筒状部１４３２の外周面と第２の内径部１４５５の内周面との間には、ニードルベアリング１５２０が配置されている。
第３の内径部１４５６は、その内径が本体１４３０のベアリング受け部１４３３の外径より大きく、ベアリング受け部１４３３の外周面と第３の内径部１４５６の内周面との間には、所定の寸法の隙間が確保されている。
第４の内径部１４５７は、その内径が以下に述べるベアリング当て板１５１０の外径と等しい。第４の内径部１４５７には、その内周面の全周に亘って断面視矩形で平面視円環状のＯリング溝１４５９が形成されている。Ｏリング溝１４５９は、ベアリング当て板１５１０を回転盤１４５０に固定するための第１６のＯリングＯＲ１６を嵌合するための溝である。
【０２２０】
第１の内径部１４５４と第２の内径部１４５５との間の段差面１５５１には、Ｚ方向において下側に突出した、第３の内径部１４５６の外周面に接する凸部１５０２が、外周面の全周に亘って平面視円環状に形成されている。
凸部１５０２は、ニードルベアリング１５２０を保持するためのものである。
【０２２１】
回転盤１４５０の取付け面１４４８には、軸受けピンホルダ１４６０が取り付けられている。軸受けピンホルダ１４６０は、図７２（ａ）および図７２（ｂ）に示すように、その中央部に断面倒れ凸の字型の軸受けピン用穴１４６２が形成されている。軸受けピン用穴１４６２は、取付け面１５６０ａ側に設けた軸受けピン収容部１４６２ａと、開放面１５６０ｂ側に設けたネジ部１４６２ｂとを有する。この軸受けピン用穴１４６２と、回転盤１４５０の軸受けピン用貫通穴１４５０ａとは、Ｚ方向に連通している。
開放面１５６０ｂのＸ−Ｙ方向の両側部には、開放面１５６０ｂ側から取付け面１５６０ａ側（センターボス３６側）に向けて貫通するボルト用貫通穴１４６０ａがそれぞれ設けられている。このボルト用貫通穴１４６０ａと、回転盤１４５０のボルト穴１４５０ｂとは、Ｚ方向に連通し、ボルト１５２４を螺着することにより、回転盤１４５０と軸受けピンホルダ１４６０とが一体化される。
さらに、軸受けピンホルダ１４６０の下面１５６１には、下面１５６１からボルト用貫通穴１４６０ａにまでＺ方向に延びるボルト穴１４６０ｂが形成されている。
【０２２２】
軸受けピン用穴１４６２の軸受けピン収容部１４６２ａには、図６７に示すように、軸受けピン１４７０の頭部１４７２が軸受けピン収容部１４６２ａの内周面に摺接しながら移動可能に収容される。軸受けピン１４７０は、図７３に示すように、凹部１４７６を設けた頭部１４７２と、頭部１４７２と同一軸上の軸部１４７４とを有する。凹部１４７６には、バネ部材１５３２が収容されている。
バネ部材１５３２は、軸受けピンホルダ１４６０の軸受けピン用穴１４６２のネジ部１４６２ｂおよびナット１５２６に螺着されたボルト１５２２によって押圧されることによって、軸受けピン１４７０に適切な弾性力（保持された部品や軸部材の重量、およびセンターボス３６等の自重に抗して位置ずれを発生させない推力を有する弾性力）を付与する。
軸受けピン１４７０は、軸部１４７４が回転盤１４５０の軸受けピン用貫通穴１４５０ａに挿通され、軸部１４７４の先端面がセンターカラー３８の外周面に接触可能である。
【０２２３】
軸受けピンホルダ１４６０の下面１５６１には、回転ウエイト１４８０が取り付けられている。回転ウエイト１４８０は、図７４（ａ）および図７４（ｂ）に示すように、回転ウエイト１４８０の下面１５８０ｂの両側に、下面１５８０ｂから上面１５８０ａに向かって貫通するボルト用貫通穴１４８０ａがそれぞれ設けられている。
回転ウエイト１４８０の内側面の上側は、回転盤１４５０の外周面の曲率半径と等しい曲率半径を有する曲面１４８２である。この曲面１４８２は、回転盤１４５０の外周面に面接触して回転ウエイト１４８０の固定を安定させることができる。
回転ウエイト１４８０の内側面の下側は、本体１４３０の大径筒状部１４３６の外周面の曲率半径より大きい曲率半径を有する曲面１４８４である。この曲面１４８４は、本体１４３０の外周面に接触しないため、回転盤１４５０の回転を円滑にさせることができる。
【０２２４】
回転盤１４５０は、ニードルベアリング１５２０およびベアリング当て板１５１０およびボール１５２２を介して、本体１４３０の上部に取り付けられる。
【０２２５】
ニードルベアリング１５２０は、図６７に示すように円環形状をしており、円環状の内側当て材１５２０ａと、内径が内側当て材１５２０ａの外径より大きい円環状の外側当て材１５２０ｂと、内側当て材１５２０ａの外周面と外側当て材１５２０ｂの内周面との間に配設された複数のボール１５２０ｃとを有している。
【０２２６】
円環状の内側当て材１５２０ａの下側端面は、本体１４３０の小径筒状部１４３２の凸部１５００の上面に圧接して載置され、内側当て材１５２０ａの内周面は、本体１４３０の小径筒状部１４３２の外周面に圧接している。これにより、本体１４３０のベアリング受け部１４３３の上面と、第２の内径部１４５５と第３の内径部１４５６との間の段差面および外側当て材１５２０ｂの下側端面との間に、所定の寸法の隙間が確保される。
一方、円環状の外側当て材１５２０ｂの上側端面は、回転盤１４５０の段差面１５１１の凸部１５０２の下面に圧接され、外側当て材１５２０ｂの外周面は、回転盤１４５０の第２の内径部１４５５の内周面に圧接している。これにより、本体１４３０の小径筒状部１４３２の上面および内側当て材１５２０ａの上側端面と、回転盤１４５０の段差面１５１１との間に、所定の寸法の隙間が確保される。
この結果、回転盤１４５０は、本体１４３０に接触することなく円滑に回転することができる。
【０２２７】
ベアリング当て板１５１０は、図７５に示す半円形状のベアリング当て板１５１０を２つ突き合わせて円形にしたものである。ベアリング当て板１５１０の内周面１５１０ａの内径は、本体１４３０の中径筒状部１４３４の外径より大きい。ベアリング当て板１５１０の外周面１５１０ｂの外径は、回転盤１４５０の第４の内径部１４５７の内径と等しい。
【０２２８】
ベアリング当て板１５１０は、ベアリング受け部１４３３の下面との間に、複数のボール１５２２を挟んで、回転盤１４５０の第４の内径部１４５７の内周面にベアリング当て板１５１０の外周面１５１０ｂが当接するように配置されている。ベアリング当て板１５１０の内周面１５１０ａは、本体１４３０の中径筒状部１４３４の外周面との間に所定の寸法の隙間が確保されている。
そして、第１６のＯリングＯＲ１６がＯリング溝１４５９に嵌め込まれることにより、ベアリング当て板１５１０が回転盤１４５０に固定されると共に、本体１４３０と回転盤１４５０との間に大きな係止力が発生する。ベアリング当て板１５１０およびベアリング当て板１５１０およびボール１５２２は、ベアリング構造を形成する。
【０２２９】
以上の構成からなるフローティングユニット１７０は、予め軸受けピンホルダ１４６０に螺着されたボルト１５２２を調整して、回転盤１４５０の回転を妨げることなく、軸受けピン１４７０の先端面がセンターカラー３８の外周面に接触するように、または、僅かの隙間で近接するようにしておく。さらに、第１の空間Ｓ１に圧縮空気を供給して、センターボス３６をセンターロックしておく。
【０２３０】
この状態のフローティングユニット１７０が軸を水平方向にして用いられると、センターカラー３８を装着したセンターボス３６の天板７０側が、保持された部品や軸部材の重量、およびセンターボス３６等の自重によって位置ずれを生じる。一方、回転盤１４５０は、回転ウエイト１４８０等の自重によって、軸受けピンホルダ１４６０が下側になるように回転する。これにより、軸受けピン１４７０の軸方向とセンターボス３６の天板７０側の位置ずれ方向とが一致する。これにより、位置ずれしたセンターボス３６が、軸受けピン１４７０の先端面を押して軸受けピン１４７０を後退させるように働く。しかし、軸受けピン１４７０は、バネ部材１５３２によって所定の弾性力（保持された部品や軸部材の重量、およびセンターボス３６等の自重に抗して位置ずれを発生させない推力を有する弾性力）を付与されているため、位置ずれによるセンターボス３６の押力に抗してセンターボス３６を一方向から保持することができる。この結果、軸を水平方向にして用いても、保持された部品や軸部材の重量、およびセンターボス３６等の自重による位置ずれが生じ難い、図６７および図６８に示す状態の基本位置の状態を強く維持できるフローティングユニット１７０が得られる。
【０２３１】
なお、このフローティングユニット１７０は、天板７０が回転しない構造であり、天板７０が無回転の状態で部品の穴に軸部材を挿入する場合に適している。
【０２３２】
以上のように、本発明の実施の形態は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施の形態に対し、機序、形状、材質、数量、位置又は配置等に関して、様々の変更を加えることができるものであり、それらは、本発明に含まれるものである。
【符号の説明】
【０２３３】
２，１２  底部ブロック
３，１３  天板センターロック部
４，１４  本体ブロック
５，１５  エアークッション部
１０，１３０，１４０，１５０，１６０，１７０  フローティングユニット
２０  ロックシリンダ
２０ａ  ボルト穴
２０ｂ  雌ネジ穴
２０ｃ  ピン穴
２０ｄ  ピン穴
２１  ロックシリンダ
２２，２３  ロックピストン
２４  ロックガイド
２４ａ  上面
２４ｂ  傾斜面
２６  ピストンガイド
２６ａ  ボルト穴
２６ｂ  ピン穴
３０  本体
３０ａ，３０ｂ  ボルト穴
３０ｃ，３６ｂ  ピン穴
３２  ガイドピン
３２ａ  第１のガイドピン
３２ｂ  第２のガイドピン
３２ｃ  第３のガイドピン
３２ｄ  第４のガイドピン
３６  センターボス
３６ａ  ボルト穴
３７  ホルダ
３８  センターカラー
４０  （第１の）ボール当て板
４２  ボールリテーナ
４３  第１のボール
４４  第１のボールスライダ
４６  第１のスライドリテーナ
４７  第２のボール
４８  第２（中間）のボールスライダ
５０  第２のスライドリテーナ
５１  第３のボール
５２  第３のボールスライダ
５２ａ  ボルト穴
６０  本体カバー
６０ａ  穴
６０ｂ  ボルト穴
６１  ホルダ
６１ａ  ボルト穴
６２  第２（中間）のボール当て板
６２ａ  ボルト穴
６２ｂ  位置決めピン穴
６３  位置決めピン
６４  ピンホルダ
６４ａ  ボルト穴
６４ｂ  位置決めピン穴
６６  第１のボールリテーナ
６７  第２のボールリテーナ
６８  第３のボール当て板
７０，７１  天板
７０ａ  ボルト穴
７０ｂ  貫通穴
７０ｃ  ピン穴
７５  フランジ
７５ａ  ボルト穴
７５ｂ  貫通穴
７５ｃ  雌ネジ穴
７５ｄ  ピン穴
７７  Ｚ軸ピストン
７７ａ  ボルト穴
７９  リニアブッシュ
８１  リニアシャフト
８１ａ  ボルト穴
８３  間座
８５  Ｚ軸シリンダ
８５ａ  雌ネジ穴
８５ｂ  貫通穴
９５  接続フランジ
９５ａ  ボルト穴
９５ｂ  ボルト穴
１００，１０２，１０４，１０６，１１２，１３２，１３６  ボルト
１０８，１１０  ピン
２０２  底板部
２０２ａ  上面
２０２ｂ  底面
２０４  筒状部
２０６  天板センターロック用給気口
２１２  位置決め凹部
２２２  底板部
２２２ａ  上面
２２４  筒状部
２２５  円形突起
２２６  外周縁部
２２８  バネ部材用凹部
２２９  バネ部材
２３０  Ｏリング溝
２３３  傾斜面
２３３ａ  穴
２３５  位置決め凸部
２３５ａ  端面
２３５ｂ  側面
２３８  バネ部材用凹部
２４０  Ｏリング溝
２６２  鍔状部
２６４  筒状部
３０２  小径筒状部
３０４  大径筒状部
３０６  小内径部
３０８  中内径部
３１０  大内径部
３１２  雌ネジ部
３１４  ガイドピン用凹部
３１６  Ｏリング溝
３１７  Ｏリング溝
３１８  エアークッション用給気溝
３２２  本体軸部
３２４  先端部
３２６  第４のＯリング溝
３６２  本体軸部
３６４  鍔状部
３６４ａ  直線部
３６６  係合凸部
４０２  雄ネジ部
４２２  貫通穴
４４４  回転規制突起
４６２  貫通穴
４６４  円弧状突起
４８２，４８４  溝
５０２  貫通穴
６０２  上蓋部
６０４  筒状部
６０６  凹部
６０８  エアークッション用給気口
６１１ａ  上面
６１１ｂ  下面
６１２  凹部
６２２ａ  上面
６２２ｂ  下面
６２６  ホルダ用凹部
６２８  ピンホルダ用凹部
６３２  大径部
６３４  軸部
６３６  係合凸部
６４２ａ  上面
６４２ｂ  下面
６６２  貫通穴
７０２，７０４  凹部
７５０ａ  上面
７５０ｂ  下面
７５２  Ｚ軸ピストン用凹部
７５４  Ｚ方向エアーエアークッション用給気口
７７２ａ，７７２ｂ  環状突起
７７４  Ｏリング溝
７７６  Ｏリング溝
８５０ａ  上面
８５０ｂ  下面
８５２  Ｚ軸ピストン穴
８５２ａ  小内径部
８５２ｂ  中内径部
８５２ｃ  大内径部
８５４  リニアシャフト穴
８５４ａ  小内径部
８５４ｂ  大内径部
８５６  Ｏリング溝
９５２  Ｚ軸ピストン用凹部
１００５  Ｚ方向押し出し機構
１０１０  フランジ
１０１０ａ，１０１０ｃ  ボルト穴
１０１０ｂ  シャフト用凹部
１０１０ｄ  雌ネジ穴
１０１２，１０１４，１０１６，１０１８  ボルト
１０２０  シリンダ
１０２０ａ  ボルト穴
１０３０  ガイド
１０３０ｂ  ボルト穴
１０４０  ピストン
１０４０ａ  ボルト穴
１０５０  カラー
１０５２  ブッシュ
１０６０  円柱状シャフト
１０７０  天板
１０７０ａ，１０７０ｂ  ボルト穴
１０７０ｃ  貫通穴
１０７２  ピストン用凹部
１１１０ａ  上面
１１１０ｂ  下面
１１１４  Ｚ方向エアークッション用給気口
１１１４ａ  Ｏリング溝
１１１６  ロック用給気口
１１２０ａ  上面
１１２０ｂ  下面
１１２２  ピストン穴
１１２２ａ  小内径部
１１２２ｂ  大内径部
１１２４  Ｏリング溝
１１２６  シャフト用穴
１１２６ａ  小内径部
１１２６ｂ  大内径部
１１３０ａ  上面
１１３０ｂ  下面
１１３２  円筒部
１１３４  円形鍔部
１１３６，１１４６  Ｏリング溝
１１４０ａ  上面
１１４０ｂ  下面
１１４２  凹部
１１４２ａ  大内径部
１１４２ｂ  小内径部
１１４４ａ，１１４４ｂ  環状突起
１１７０ａ  上面
１１７０ｂ  下面
１２０５  天板水平保持クッション機構
１２１０  フランジ
１２１０ａ  ボルト穴
１２１０ｂ  雌ネジ穴
１２１２  底板部
１２１２ａ  上面
１２１２ｂ  下面
１２１３  円形凸部
１２１４  エアークッション用給気口
１２１５  円環凹部
１２１６，１２１７  Ｏリング溝
１２１８，１２３４  孔
１２１９  回転球用凹部
１２１９ａ  底面
１２２０  本体
１２２０ａ，１２４０ａ  ボルト穴
１２２２  回転球穴
１２２４  ピストン用穴
１２３０  回転球受け
１２３２，１３２６  傾斜面
１２４０  回転球
１２４２  球本体部
１２４４  円盤状基部
１２５０  ピストン
１２５２  円柱状軸部
１２５４  円盤状基部
１２５６  Ｏリング溝
１２６０  蓋
１２６２  雄ネジ部
１２７０  天板
１２７０ａ  ボルト穴
１２７０ｂ  貫通穴
１２７２  ピストン受け用凹部
１２７４  台座部
１２７６  回転球用凹部
１２８０  ピストン受け
１２８２  傾斜面
１２９０，１２９２  ボルト
１３２０ａ，１３３０ａ，１３７０ａ  上面
１３２０ｂ，１３３０ｂ，１３７０ｂ  下面
１３２２  内周面
１３２４  雌ネジ部
１４０４  本体ブロック
１４０５  バネ部材クッション部
１４３０  本体
１４３０ａ，１４３０ｂ  ボルト穴
１４３０ｃ  位置決めピン穴
１４３２  小径筒状部
１４３３  ベアリング受け部
１４３４  中径筒状部
１４３６  大径筒状部
１４３８  小内径部
１４４０  中内径部
１４４２  大内径部
１４４４  雌ネジ部
１４４８  取付け面
１４５０  回転盤
１４５０ａ  軸受けピン用貫通穴
１４５０ｂ  ボルト穴
１４５２  軸受けピン用穴
１４５４  第１の内径部
１４５５  第２の内径部
１４５６  第３の内径部
１４５７  第４の内径部
１４５９  Ｏリング溝
１４６０  軸受けピンホルダ
１４６０ａ  ボルト用貫通穴
１４６０ｂ  ボルト穴
１４６２  軸受けピン用穴
１４６２ａ  軸受けピン収容部
１４６２ｂ  ネジ部
１４７０  軸受けピン
１４７２  頭部
１４７４  軸部
１４７６  凹部
１４８０  回転ウエイト
１４８０ａ  ボルト用貫通穴
１４８２，１４８４  曲面
１５００，１５０２  凸部
１５１０  ベアリング当て板
１５１０ａ  内周面
１５１０ｂ  外周面
１５１１  段差面
１５１２  ボール
１５２０  ニードルベアリング
１５２０ａ  内側当て材
１５２０ｂ  外側当て材
１５２０ｃ  ボール
１５２２  ボルト
１５２６  ナット
１５３２  バネ部材
１５５０ａ，１５８０ａ  上面
１５５０ｂ，１５８０ｂ  下面
１５５１  段差面
１５６０ａ  取付け面
１５６０ｂ  開放面
１５６１  下面
Ｓ１  第１の空間
Ｓ２  第２の空間
Ｓ３  第３の空間
Ｓ４  第４の空間
Ｓ５  第５の空間
Ｓ６  第６の空間
ＯＲ１  第１のＯリング
ＯＲ２  第２のＯリング
ＯＲ３  第３のＯリング
ＯＲ４  第４のＯリング
ＯＲ５  第５のＯリング
ＯＲ６  第６のＯリング
ＯＲ７  第７のＯリング
ＯＲ９  第９のＯリング
ＯＲ１０  第１０のＯリング
ＯＲ１１  第１１のＯリング
ＯＲ１２  第１２のＯリング
ＯＲ１３  第１３のＯリング
ＯＲ１４  第１４のＯリング
ＯＲ１５  第１５のＯリング
ＯＲ１６  第１６のＯリング
【図１】
2020124795.tif 000003
【図２Ａ】
2020124795.tif 000004
【図２Ｂ】
2020124795.tif 000005
【図３】
2020124795.tif 000006
【図４】
2020124795.tif 000007
【図５】
2020124795.tif 000008
【図６】
2020124795.tif 000009
【図７】
2020124795.tif 000010
【図８】
2020124795.tif 000011
【図９】
2020124795.tif 000012
【図１０】
2020124795.tif 000013
【図１１】
2020124795.tif 000014
【図１２】
2020124795.tif 000015
【図１３】
2020124795.tif 000016
【図１４】
2020124795.tif 000017
【図１５】
2020124795.tif 000018
【図１６】
2020124795.tif 000019
【図１７】
2020124795.tif 000020
【図１８】
2020124795.tif 000021
【図１９】
2020124795.tif 000022
【図２０Ａ】
2020124795.tif 000023
【図２０Ｂ】
2020124795.tif 000024
【図２１】
2020124795.tif 000025
【図２２】
2020124795.tif 000026
【図２３】
2020124795.tif 000027
【図２４】
2020124795.tif 000028
【図２５】
2020124795.tif 000029
【図２６】
2020124795.tif 000030
【図２７】
2020124795.tif 000031
【図２８】
2020124795.tif 000032
【図２９】
2020124795.tif 000033
【図３０】
2020124795.tif 000034
【図３１】
2020124795.tif 000035
【図３２】
2020124795.tif 000036
【図３３】
2020124795.tif 000037
【図３４】
2020124795.tif 000038
【図３５】
2020124795.tif 000039
【図３６Ａ】
2020124795.tif 000040
【図３６Ｂ】
2020124795.tif 000041
【図３６Ｃ】
2020124795.tif 000042
【図３７】
2020124795.tif 000043
【図３８】
2020124795.tif 000044
【図３９】
2020124795.tif 000045
【図４０】
2020124795.tif 000046
【図４１】
2020124795.tif 000047
【図４２】
2020124795.tif 000048
【図４３】
2020124795.tif 000049
【図４４】
2020124795.tif 000050
【図４５】
2020124795.tif 000051
【図４６】
2020124795.tif 000052
【図４７】
2020124795.tif 000053
【図４８】
2020124795.tif 000054
【図４９】
2020124795.tif 000055
【図５０】
2020124795.tif 000056
【図５１】
2020124795.tif 000057
【図５２】
2020124795.tif 000058
【図５３】
2020124795.tif 000059
【図５４】
2020124795.tif 000060
【図５５】
2020124795.tif 000061
【図５６】
2020124795.tif 000062
【図５７】
2020124795.tif 000063
【図５８】
2020124795.tif 000064
【図５９】
2020124795.tif 000065
【図６０】
2020124795.tif 000066
【図６１】
2020124795.tif 000067
【図６２】
2020124795.tif 000068
【図６３】
2020124795.tif 000069
【図６４】
2020124795.tif 000070
【図６５】
2020124795.tif 000071
【図６６】
2020124795.tif 000072
【図６７】
2020124795.tif 000073
【図６８】
2020124795.tif 000074
【図６９】
2020124795.tif 000075
【図７０】
2020124795.tif 000076
【図７１】
2020124795.tif 000077
【図７２】
2020124795.tif 000078
【図７３】
2020124795.tif 000079
【図７４】
2020124795.tif 000080
【図７５】
2020124795.tif 000081