(57)【要約】【課題】  圧電素子アクチュエータ、圧電素子センサおよび制御回路を備える板状部材を制振する装置において、振動周波数が所定値以下の領域で振動の増幅を防止し、フィードバックゲインを大きくし、振動の抑制とそれに伴う騒音低減とを可能にする。【解決手段】  板状部材１１の制振装置は、複数個の圧電素子アクチュエータ１４と、少なくとも１個の圧電素子センサ１５と、板状部材１１の振動を抑制するように、圧電素子センサ１５の出力電圧に基づいて圧電素子アクチュエータ１４の作動をフィードバック制御する制御回路１７とを備える。板状部材１１の振動周波数が所定値以下の領域で、圧電素子センサ１５の出力電圧に反共振が発生するように圧電素子センサ１５および圧電素子アクチュエータ１４のレイアウトを設定したので、当該周波数におけるノイズ発生を防止することができる。これにより制御対象周波数でゲインを上げられるので振動が抑制され騒音を改善することが可能となる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材（１１）の表面に配置された複数個の圧電素子アクチュエータ（１４）と、前記板状部材（１１）の表面の前記複数個の圧電素子アクチュエータ（１４）に挟まれる位置に配置された少なくとも１個の圧電素子センサ（１５）と、前記板状部材（１１）の振動を抑制するように、前記圧電素子センサ（１５）の出力電圧に基づいて前記複数個の圧電素子アクチュエータ（１４）の作動をフィードバック制御する制御回路（１７）とを備える板状部材を制振する装置であって、
前記板状部材（１１）の振動周波数が所定値以下の領域で、前記圧電素子センサ（１５）の出力電圧に反共振が発生するように前記圧電素子センサ（１５）および前記圧電素子アクチュエータ（１４）のレイアウトを設定したことを特徴とする板状部材を制振する装置。
【請求項２】
前記圧電素子アクチュエータ（１４）の個数は２個であり、前記圧電素子センサ（１５）の個数は１個であることを特徴とする、請求項１に記載の板状部材を制振する装置。
【請求項３】
前記圧電素子センサ（１５）の個数は複数個であり、前記複数個の圧電素子センサ（１５）は電気的に直列または並列、あるいは直列および並列の組み合わせで接続されることを特徴とする、請求項１に記載の板状部材を制振する装置。
【請求項４】
前記圧電素子アクチュエータ（１４）を前記板状部材（１１）の一方の表面に固定し、前記圧電素子センサ（１５）を前記板状部材（１１）の他方の表面に固定したことを特徴とする、請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の板状部材を制振する装置。
【請求項５】
前記圧電素子アクチュエータ（１４）の個数は複数個であり、前記複数個の圧電素子アクチュエータ（１４）を前記板状部材（１１）の一方の表面および他方の表面の両方に固定したことを特徴とする、請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の板状部材を制振する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状部材の表面に配置された複数個の圧電素子アクチュエータと、前記板状部材の表面の前記複数個の圧電素子アクチュエータに挟まれる位置に配置された少なくとも１個の圧電素子センサと、前記板状部材の振動を抑制するように、前記圧電素子センサの出力電圧に基づいて前記複数個の圧電素子アクチュエータの作動をフィードバック制御する制御回路とを備える板状部材を制振する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車のサスペンション装置のダンパーの周壁面に圧電素子センサ（検出用ピエゾ素子）と圧電素子アクチュエータ（制振用ピエゾ素子）とを固定し、ダンパーの振動に伴う自身の変形を圧電素子センサが電圧信号として検出し、その電圧信号を増幅回路で増幅して圧電素子アクチュエータを駆動することで、ダンパーを伸縮させて前記振動を抑制するものが、下記特許文献１により公知である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−２０６２５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、板状部材の表面に圧電素子アクチュエータおよび圧電素子センサを固定し、板状部材の膜面振動に応じて板の表面に発生する歪を検出する圧電素子センサが出力する電圧信号に基づいて圧電素子アクチュエータへの入力を回路からフィードバック制御すれば、板状部材の振動を抑制し、振動に伴う騒音を改善することができる。
【０００５】
圧電素子アクチュエータが制振効果を発揮するためにはフィードバックゲインを０ｄＢより大きく設定することが必要であるが、発明を実施するための形態の欄で詳述するように、さらに制振量を得るためにフィードバックゲインを大きく設定すると１００Ｈｚ以下の周波数領域で振動が増幅されてノイズが発生する問題がある。
【０００６】
本発明は前述の事情に鑑みてなされたもので、圧電素子アクチュエータ、圧電素子センサおよび制御回路を備える板状部材を制振する装置において、振動周波数が所定値以下の領域で振動の増幅を防止し、フィードバックゲインを大きくし、振動の抑制とそれに伴う騒音低減とを可能にすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、請求項１に記載された発明によれば、板状部材の表面に配置された複数個の圧電素子アクチュエータと、前記板状部材の表面の前記複数個の圧電素子アクチュエータに挟まれる位置に配置された少なくとも１個の圧電素子センサと、前記板状部材の振動を抑制するように、前記圧電素子センサの出力電圧に基づいて前記複数個の圧電素子アクチュエータの作動をフィードバック制御する制御回路とを備える板状部材を制振する装置であって、前記板状部材の振動周波数が所定値以下の領域で、前記圧電素子センサの出力電圧に反共振が発生するように前記圧電素子センサおよび前記圧電素子アクチュエータのレイアウトを設定したことを特徴とする板状部材を制振する装置が提案される。
【０００８】
また請求項２に記載された発明によれば、請求項１の構成に加えて、前記圧電素子アクチュエータの個数は２個であり、前記圧電素子センサの個数は１個であることを特徴とする板状部材を制振する装置が提案される。
【０００９】
また請求項３に記載された発明によれば、請求項１の構成に加えて、前記圧電素子センサの個数は複数個であり、前記複数個の圧電素子センサは電気的に直列、並列、あるいは直列および並列の組み合わせで接続されることを特徴とする板状部材を制振する装置が提案される。
【００１０】
また請求項４に記載された発明によれば、請求項１〜請求項３の何れか１項の構成に加えて、前記圧電素子アクチュエータを前記板状部材の一方の表面に固定し、前記圧電素子センサを前記板状部材の他方の表面に固定したことを特徴とする板状部材を制振する装置が提案される。
【００１１】
また請求項５に記載された発明によれば、請求項１〜請求項４の何れか１項の構成に加えて、前記圧電素子アクチュエータの個数は複数個であり、前記複数個の圧電素子アクチュエータを前記板状部材の一方の表面および他方の表面の両方に固定したことを特徴とする板状部材を制振する装置が提案される。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１の構成によれば、板状部材を制振する装置が、板状部材に配置された複数個の圧電素子アクチュエータと、板状部材の表面の複数個の圧電素子アクチュエータに挟まれる位置に配置された少なくとも１個の圧電素子センサと、板状部材の振動を抑制するように、圧電素子センサの出力電圧に基づいて複数個の圧電素子アクチュエータの作動をフィードバック制御する制御回路とを備えるので、板状部材の振動の抑制とそれに伴う騒音低減とを可能にすることができる。
【００１３】
板状部材の振動周波数が所定値以下の領域で、圧電素子センサの出力電圧に反共振が発生するように圧電素子センサおよび圧電素子アクチュエータのレイアウトを設定したので、板状部材の振動周波数が所定値以下の領域で反共振を発生させてノイズが発生するのを防止し、フィードバックゲインを大きくすることが可能となり、振動の抑制とそれに伴う騒音低減を更にすることができる。
【００１４】
また請求項２の構成によれば、圧電素子アクチュエータの個数は２個であり、圧電素子センサの個数は１個であるので、圧電素子アクチュエータおよび圧電素子センサの個数を最小個数として部品点数およびコストを削減することができる。
【００１５】
また請求項３の構成によれば、圧電素子センサの個数は複数個であり、複数個の圧電素子センサは電気的に直列、並列、あるいは直列および並列の組み合わせで接続されるので、圧電素子センサの出力電圧を調整する際の設定自由度が増加する。
【００１６】
また請求項４の構成によれば、圧電素子アクチュエータを板状部材の一方の表面に固定し、圧電素子センサを板状部材の他方の表面に固定したので、圧電素子アクチュエータおよび圧電素子センサの干渉が防止されてレイアウトの自由度が増加する。
【００１７】
また請求項５の構成によれば、圧電素子アクチュエータの個数は複数個であり、複数個の圧電素子アクチュエータを板状部材の一方の表面および他方の表面の両方に固定したので、圧電素子アクチュエータによる制振力を増加させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】センサとアクチュエータとを備える板状部材を示す図である。（第１の実施の形態）
【図２】制振装置の全体構成を示す図である。（第１の実施の形態）
【図３】制振装置の制御ブロック線図である。（第１の実施の形態）
【図４】制振装置の制御系の一巡伝達関数のボード線図である。（第１の実施の形態）
【図５】１００Ｈｚ以下の低周波数領域におけるアクチュエータ加振時の板状部材の変形状態を示す、図１のＡ−Ａ線断面図およびＢ−Ｂ線断面図である。（第１の実施の形態）
【図６】圧電素子センサの出力電圧が反転する原理の説明図である。（第１の実施の形態）
【図７】圧電素子アクチュエータおよび圧電素子センサのレイアウトを設定する手法の説明図である。（第１の実施の形態）
【図８】制振装置を備える板状部材を示す図である。（第２の実施の形態）
【発明を実施するための形態】
【第１の実施の形態】
【００１９】
以下、図１〜図７に基づいて本発明の第１の実施の形態を説明する。
【００２０】
図１および図２に示すように、本発明の制振装置が適用される板状部材１１はカーボン繊維強化樹脂製の矩形状パネルからなり、その外周部を金属製フレームよりも十分低い弾性材を介して支持する金属製のフレーム１２が加振装置１３に接続されて種々の周波数で加振される。加振装置１３により振動する板状部材１１を制振する制振装置は、２個の矩形シート状の圧電素子アクチュエータ１４と、１個の矩形シート状の圧電素子センサ１５と、電源１６と、圧電素子センサ１５の出力に基づいて圧電素子アクチュエータ１４の作動を制御する制御回路１７とを備える。
【００２１】
１個の圧電素子センサ１５は板状部材１１の一方の表面（例えば上面）の中央部に接着により固定され、２個の圧電素子アクチュエータ１４は１個の圧電素子センサ１５を両側から挟むように板状部材１１の上面に接着により固定される。
【００２２】
圧電素子センサ１５は加振装置１３により上下方向に膜面振動する板状部材１１の上面に固定されているため、板状部材１１が上方に凸に湾曲したときに圧電素子センサ１５は引き伸ばされてマイナス電圧を出力し、逆に板状部材１１が下方に凸に湾曲したときに圧電素子センサ１５は押し縮められてプラス電圧を出力する。
【００２３】
圧電素子アクチュエータ１４は板状部材１１の上面に固定されているため、板状部材１１が上方に凸に湾曲したときに圧電素子アクチュエータ１４にプラス電圧を印加して面内方向に収縮させれば、板状部材１１の上記湾曲を抑制する制振力が発生し、逆に板状部材１１が下方に凸に湾曲したときに圧電素子アクチュエータ１４にマイナス電圧を印加して面内方向に伸長させれば、板状部材１１の前記湾曲を抑制する制振力が発生する。
【００２４】
従って、板の曲げ振動による板表面の歪を検出する圧電素子センサ１５で検出した板状部材１１の歪みがゼロに収束するように、制御回路１７が圧電素子アクチュエータ１４の伸縮をフィードバック制御することで、板状部材１１の振動を制振することができる。
【００２５】
板状部材１１が特に大きく振動する一次共振モードや三次共振モードでは、板状部材１１の中央部が振動の腹になって振幅が最も大きくなるが、その位置に圧電素子センサ１５を配置することで板状部材１１の歪みを確実に検出し、共振によって増幅された振動を効果的に制振することができる。
【００２６】
図３に示す制御系のブロック線図において、Ｐ（ｓ）［V/V ］は圧電素子アクチュエータ１４に入力される電圧に対する圧電素子センサ１５が出力する電圧の伝達関数、Ｃ（ｓ）［V/V ］は圧電素子センサ１５が出力する電圧に対する圧電素子アクチュエータ１４に入力される電圧の伝達関数、ＳＡ（ｓ）［V/m/s2］は加振装置１３で加振したときのセンサ電圧／加速度伝達関数、ＡＳ（ｓ）［V/m/s2］は圧電素子アクチュエータ１４で加振したときの加速度／センサ電圧伝達関数である。
【００２７】
圧電素子センサ／圧電素子アクチュエータ（ＳＮＳ／ＡＣＴ）伝達関数と表記されるＰ（ｓ）は、圧電素子アクチュエータ１４および圧電素子センサ１５の寸法、形状、位置関係であるレイアウトにより決定される。制御回路１７の伝達関数であるＣ（ｓ）は、制御回路１７の増幅量を規定する。ＳＡ（ｓ）およびＡＳ（ｓ）は概ね逆数の関係にあるため、制御系の制振性能を決定する一巡伝達関数は［Ｃ（ｓ）×Ｐ（ｓ）］で表される。
【００２８】
図４は一巡伝達関数［Ｃ（ｓ）×Ｐ（ｓ）］のボード線図であり、図４（Ａ）は板状部材１１の振動周波数に対するゲイン線図、図４（Ｂ）は板状部材１１の振動周波数に対する位相線図である。破線は特性Ｐ（ｓ）を示し、鎖線は制御回路１７内の増幅装置１８後の特性を示し、実線は１００Ｈｚ以下のノイズ発生防止と制御回路１７による増幅とを行った後の特性を示している。
【００２９】
後述のハイパスフィルタの効果により、１００Ｈｚ以下のノイズ発生防止周波数領域においては一点鎖線の通りゲインの低下と位相の進展が起こる。
【００３０】
圧電素子アクチュエータ１４が有効な制振機能を発揮するには、ゲインが０ｄＢより大きく、かつ位相ずれが−９０°〜９０゜の領域にあることが必要であるが、破線で示す増幅前の特性はゲインが０ｄＢ未満であるため、増幅によりゲインを０ｄＢより大きくして鎖線の状態にする必要がある。しかしながら、振動低減の為にフィードバックゲインを大きくし、ゲインが０ｄＢより大きくなった場合には、振動周波数が１００Ｈｚ以下の周波数領域で位相ずれが−９０°〜９０゜の領域を大きく逸脱して１８０°を超えてしまい、この周波数領域で振動が増幅されノイズが発生する。
【００３１】
位相ずれが１８０°を超えてしまう理由は以下の通りである。圧電素子センサ１５の出力には温度変化や静的な変形の影響で直流成分が含まれることが避けられず、圧電素子センサ１５の出力の振動成分を直流成分が含まれた状態で増幅すると増幅器の増幅限界に至ってしまうため、ハイパスフィルタを用いて直流成分を除去する必要がある。しかしながら、ハイパスフィルタを用いると、ゲインが低下するだけでなく位相が進んでしまうため、２個以上のハイパスフィルタを用いると位相ずれが１８０°を超えてしまう。
【００３２】
本発明は、上述した１００Ｈｚ以下のノイズ発生を、圧電素子アクチュエータ１４および圧電素子センサ１５のレイアウトにより解決するものである。
【００３３】
図５は、周波数が１００Ｈｚ以下の周波数領域において、板状部材１１の表面に貼りつけられた圧電素子アクチュエータ１４により、板状部材１１が上向きに凸に変形した状態を示している。
【００３４】
このとき、図５（Ａ）に示すように、圧電素子アクチュエータ１４にマイナス電圧を加えて面内方向に伸展させた際に、板状部材１１の圧電素子アクチュエータ１４を通る断面（図１のＡ−Ａ断面）では、板状部材１１の中心を挟むように２個の圧電素子アクチュエータ１４が分離して配置されているため、２個の圧電素子アクチュエータ１４に挟まれた板状部材１１の中心部は局部的に下向きに凸に変形する。一方、図５（Ｂ）に示すように、板状部材１１の圧電素子アクチュエータ１４を通らない断面（図１のＢ−Ｂ断面）では、上述した板状部材１１の逆向きの変形は発生せず、板状部材１１は単純に上向きに凸に変形する。
【００３５】
そのため、板状部材１１の中心に固定された圧電素子センサ１５は、全体が単純に引き伸ばされるのではなく、前記逆向きの変形が発生した部分で押し縮められることになり、圧電素子センサ１５には、面内に引き伸ばされてプラス電圧を発生する部分と、面内に押し縮められてマイナス電圧を発生する部分とが混在することになる。本プラス電圧を発生する部分は１次モードのピーク周波数に近づくにつれ優位になるので、低周波領域においてマイナス電圧が優位の状態から、電圧の極性が反転し反共振を発生させることができる。
【００３６】
すなわち、図６（Ａ）は、板状部材１１の２個の圧電素子アクチュエータ１４および圧電素子センサ１５を通る断面を示しており、一次共振周波数以下の周波数において板状部材１１の中央部に固定された圧電素子センサ１５は、その両側部が順曲げ状態（板状部材１１全体の変形方向。本図の場合は上向きに凸）になってプラス電圧を出力し、その中央部は逆曲げ状態（板状部材１１全体の変形方向とは逆向きの方向。本図の場合は下向きに凸）になってマイナス電圧を出力する。このとき、順曲げよりも逆曲げが強くなるために板状部材１１全体としてはマイナス電圧を出力する。
【００３７】
振動周波数が所定周波数（実施の形態では、約１０Ｈｚ）に増加すると、図６（Ｂ）に示すように、圧電素子センサ１５の順曲げおよび逆曲げが拮抗し、板状部材１１の出力電圧はゼロになる。振動周波数が更に増加して一次共振周波数に近付くと、図６（Ｃ）に示すように、圧電素子センサ１５の中央の逆曲げ部分は殆ど消滅し、逆曲げよりも順曲げが強くなるために板状部材１１全体としてはプラス電圧を出力する。
【００３８】
このようにして１００Ｈｚ以下の周波数領域における所定周波数で圧電素子センサ１５の出力電圧が釣り合うと反共振が発生し、図４（Ａ）のゲイン線図において実線で示すようにゲインが極小値をとり、かつ図４（Ｂ）の位相線図において実線で示すように位相ずれの符号が正から負に反転して−９０゜〜９０゜の範囲に収まることで、振動の増幅が抑制される。よって、１００Ｈｚ以下における振動の増幅を防止することができるので、圧電素子センサ１５の出力電圧を充分に増幅して数十Ｈｚ〜１０００Ｈｚの制御対象周波数領域で板状部材１１の振動を効果的に抑制し、それに伴う騒音特性を改善することができる。
【００３９】
板状部材１１の中央部に圧電素子センサ１５を配置し、この圧電素子センサ１５を挟むように２個の圧電素子アクチュエータ１４を配置するだけでは、上述した圧電素子センサ１５の出力電圧の反転が必ず発生するとは限らず、圧電素子センサ１５の出力電圧の反転を発生させるには、圧電素子アクチュエータ１４および圧電素子センサ１５の寸法、形状、位置関係であるレイアウトを調整する必要がある。
【００４０】
図７（Ａ）は、１０ｍｍの間隔を有して縦方向に並置した２個の圧電素子アクチュエータ１４の間に、縦幅が７ｍｍで横幅Ｗが５ｍｍ〜１０ｍｍの圧電素子センサ１５を配置した場合を示している。図７（Ｂ）は振動周波数を変化させたときの圧電素子センサ１５の出力特性を示すもので、圧電素子センサ１５の横幅Ｗを７ｍｍに設定したときに、１００Ｈｚ以下の周波数領域において圧電素子センサ１５の出力電圧ゲインが大幅に低減し、それに伴って圧電素子センサ１５の出力電圧の位相が反転している。
【００４１】
したがって、圧電素子アクチュエータ１４および圧電素子センサ１５のレイアウトを調整することで、１００Ｈｚ以下の周波数領域において圧電素子センサ１５の順曲げ部分および逆曲げ部分の比率を変化させ、圧電素子センサ１５の出力電圧を反転して反共振を発生させることが可能となる。
【００４２】
以上のように、本実施の形態によれば、２個の圧電素子アクチュエータ１４および１個の圧電素子センサ１５を用いることで、圧電素子アクチュエータ１４および圧電素子センサ１５の個数を最小限に抑え、構造の簡素化および軽量化を可能にしてコストを低減することができる。
【００４３】
そして板状部材１１のノイズ発生が起こる周波数領域で圧電素子センサ１５の出力電圧に反共振を発生させることで、当該周波数領域よりも高い周波数領域での制振効果を有効に発揮させて振動を抑制し、それに伴う騒音を改善することができる。
【第２の実施の形態】
【００４４】
次に、図８に基づいて本発明の第２の実施の形態を説明する。
【００４５】
第１の実施の形態の制振装置は２個の圧電素子アクチュエータ１４と１個の圧電素子センサ１５とを備えているが、第２の実施の形態の制振装置は４個の圧電素子アクチュエータ１４と４個の圧電素子センサ１５とを備えている。各々が矩形状に形成された４個の圧電素子アクチュエータ１４に挟まれる位置に、各々が帯状に形成された４個の圧電素子センサ１５が十字状に配置されており、それらの圧電素子センサ１５は電気的に直列または並列、あるいは直列および並列を組み合わせるように（例えば、２本を並列に接続した後に、残りの２本を直列に接続する。）に接続される。そして４個の圧電素子センサ１５の長さは、１００Ｈｚ以下の周波数領域で４個の圧電素子センサ１５全体の出力電圧に反共振が発生するように設定される。
【００４６】
第２の実施の形態によれば、複数個の圧電素子センサ１５を電気的に直列、並列あるいは直列と並列を組み合わせて接続することで、圧電素子センサ１５の個数が１個の場合に比べて、複数個の圧電素子センサ１５全体の出力電圧の設定自由度を高めることができる。例えば、反共振が発生する周波数が高すぎて一次共振周波数（実施の形態では、約８０Ｈｚ）に近付くと、反共振によって一次共振の大きな振動を効果的に制振できなくなる虞があるが、このような場合に複数個の圧電素子センサ１５の接続形態を変更することで、反共振周波数を容易に低下させて所望の値に調整することができる。
【００４７】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々の設計変更を行うことが可能である。
【００４８】
例えば、実施の形態では板状部材１１の同じ側の表面に圧電素子アクチュエータ１４および圧電素子センサ１５を固定しているが、圧電素子アクチュエータ１４を板状部材１１の一方の表面に固定し、圧電素子センサ１５を板状部材１１の他方の表面に固定しても良い。このようにすれば、圧電素子アクチュエータ１４および圧電素子センサ１５の干渉が防止されてレイアウトの自由度が増加する。ただし、圧電素子センサ１５の出力電圧の極性は、それを何れの側の表面に固定するかによって変化するため、圧電素子センサ１５を固定する表面に応じて、圧電素子センサ１５の出力電圧の極性を制御回路１７において処理する必要がある。
【００４９】
なお、圧電素子アクチュエータ１４および圧電素子センサ１５を板状部材１１の何れの表面に固定するかに関わらず、圧電素子アクチュエータ１４および圧電素子センサ１５を異なる位置（板状部材１１の表面に直交する方向に見て重ならない位置）に配置することが望ましい。その理由は、圧電素子アクチュエータ１４および圧電素子センサ１５を同じ位置に配置すると、圧電素子センサ１５が圧電素子アクチュエータ１４による歪みを優先的に検出してしまい、外乱による歪みを検出し難くなって制振性能が低下するからである。
【００５０】
また圧電素子アクチュエータ１４の数および圧電素子センサ１５の数は実施の形態に限定されず、圧電素子アクチュエータ１４の数は複数個であれば良く、圧電素子センサ１５の数は少なくとも１個以上であれば良い。
【００５１】
また複数個の圧電素子アクチュエータ１４を板状部材１１の一方の表面および他方の表面の両方に固定すれば、圧電素子アクチュエータ１４による制振力を増加させて制振性能を一層高めることができる。
【００５２】
また板状部材１１の材質は実施の形態のカーボン繊維強化樹脂板に限定されず、他種の繊維強化樹脂板や、鋼板、アルミニウム板等の任意の金属板であっても良い。
【００５３】
また実施の形態では圧電素子アクチュエータ１４および圧電素子センサ１５を板状部材１１に接着により固定しているが、接着以外の方法で固定することも可能であり、着脱自在に取り付けることも可能である。
【符号の説明】
【００５４】
１１        板状部材
１４        圧電素子アクチュエータ
１５        圧電素子センサ
１７        制御回路
【図１】
2020106080.tif 000003
【図２】
2020106080.tif 000004
【図３】
2020106080.tif 000005
【図４】
2020106080.tif 000006
【図５】
2020106080.tif 000007
【図６】
2020106080.tif 000008
【図７】
2020106080.tif 000009
【図８】
2020106080.tif 000010