(57)【要約】【課題】高温の熱処理中に必要な帯電防止性及び接着力を維持することができ、熱処理後、被着体から容易に除去することができ、除去後の被着体上の帯電防止剤、接着剤残渣等の汚染物質を低減する又はなくすことができる、帯電防止性積層体及び帯電防止性接着剤を提供する。【解決手段】基材及び接着層を含む帯電防止性積層体であって、接着層が、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーと、エポキシ基及びエポキシ基反応性官能基を有する自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーと、エポキシ基反応性官能基を有するイオン液体とを含み、接着層が、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーを含む海と、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーを含む島とからなる海島構造を有する、帯電防止性積層体。【選択図】図１
2020105268.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材及び接着層を含む帯電防止性積層体であって、
前記接着層が、
（メタ）アクリル系粘着性ポリマーと、
エポキシ基及びエポキシ基反応性官能基を有する自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーと、
エポキシ基反応性官能基を有するイオン液体と
を含み、
前記接着層が、前記（メタ）アクリル系粘着性ポリマーを含む海と、前記自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーを含む島とからなる海島構造を有する、帯電防止性積層体。
【請求項２】
前記（メタ）アクリル系粘着性ポリマーが、重合性成分を基準として、５０〜９８質量％のアルキル（メタ）アクリレート、及び２質量％以上のエポキシ基反応性官能基を有するモノマーを含む組成物の共重合物である、請求項１に記載の積層体。
【請求項３】
前記接着層が、前記（メタ）アクリル系粘着性ポリマーと前記自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーとを９９：１〜５１：４９の質量比で含む、請求項１又は２のいずれかに記載の積層体。
【請求項４】
前記自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーが、重合性成分を基準として、５０〜９８質量％のアルキル（メタ）アクリレート、１質量％以上のエポキシ基含有モノマー、及び１質量％以上のエポキシ基反応性官能基を有するモノマーを含む組成物の共重合物である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の積層体。
【請求項５】
前記接着層が、前記イオン液体を０．５〜５質量％含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載の積層体。
【請求項６】
（メタ）アクリル系粘着性ポリマーと、
エポキシ基及びエポキシ基反応性官能基を有する自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーと、
エポキシ基反応性官能基を有するイオン液体と
を含み、
基材上で固化又は乾燥したときに、前記（メタ）アクリル系粘着性ポリマーを含む海と、前記自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーを含む島とからなる海島構造を形成する、帯電防止性接着剤。
【請求項７】
前記（メタ）アクリル系粘着性ポリマーが、重合性成分を基準として、５０〜９８質量％のアルキル（メタ）アクリレート、及び２質量％以上のエポキシ基反応性官能基を有するモノマーを含む組成物の共重合物である、請求項６に記載の接着剤。
【請求項８】
前記（メタ）アクリル系粘着性ポリマーと前記自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーとを９９：１〜５１：４９の質量比で含む、請求項６又は７のいずれかに記載の接着剤。
【請求項９】
前記自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーが、重合性成分を基準として、５０〜９８質量％のアルキル（メタ）アクリレート、１質量％以上のエポキシ基含有モノマー、及び１質量％以上のエポキシ基反応性官能基を有するモノマーを含む組成物の共重合物である、請求項６〜８のいずれか一項に記載の接着剤。
【請求項１０】
前記イオン液体を０．５〜５質量％含む、請求項６〜９のいずれか一項に記載の接着剤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は帯電防止性積層体及び帯電防止性接着剤に関する。
【背景技術】
【０００２】
様々な種類の電子部品の製造において熱処理工程は一般的であり、材料の硬化及びエージングのために数回にわたって１００℃以上の熱処理が行われる場合もある。電子部品に含まれるエポキシ樹脂封止シリコンウェハ、プラスチック樹脂積層銅板などの被処理物を、熱処理中に装置内で作業表面に固定する、及び必要に応じて熱処理後に搬送する目的で、プロセステープとも呼ばれる耐熱性を有する接着テープが使用されている。プロセステープは熱処理が完了した後、被処理物から除去される。
【０００３】
静電気放電（ＥＳＤ）は、機能性センサーチップに重大な障害をもたらす場合がある。特に、弾性表面波バンドフィルタ（ＳＡＷフィルタ）はＥＳＤに非常に敏感である。プロセステープは、一般にポリエチレンテレフタレート、ポリイミドなどの樹脂フィルム、及びアクリル系、シリコーン系などの接着層を含み、これらはいずれも絶縁性の有機材料であることから、熱処理中に比較的大量のＥＳＤを生じさせるおそれがある。そのため、ＥＳＤに敏感なデバイスに使用されるプロセステープに帯電防止性を付与する試みがなされている。
【０００４】
特許文献１（特開２０１３−０７６０８１号公報）は、「非ポリマーの窒素オニウムカチオンと、弱配位性含フッ素有機アニオンとからなる少なくとも１種類のイオン塩であって、前記アニオンの共役酸が超酸であるイオン塩（ａ）と、少なくとも１種類の熱可塑性ポリマー（ｂ）との溶融ブレンドを含む帯電防止組成物」を記載している。
【０００５】
特許文献２（特開２０１２−００１７３７号公報）は、「イオン性液体、およびベースポリマーとしてガラス転移温度（Ｔｇ）が０℃以下であり、かつ炭素数１〜１４のアルキル基を有する（メタ）アクリレートの１種以上を主成分とする（メタ）アクリル系ポリマーを含有してなる粘着剤組成物であり、前記イオン性液体のアニオン成分がスルホン酸アニオンまたは硫酸エステルアニオンからなることを特徴とする粘着剤組成物」を記載している。
【０００６】
特許文献３（特開２００７−０７０４００号公報）は、「イオン性液体、およびベースポリマーとしてガラス転移温度（Ｔｇ）が０℃以下のポリマーを含有してなる粘着剤組成物であり、前記イオン性液体のアニオン成分がスルホン酸アニオンまたは硫酸エステルアニオンからなることを特徴とする粘着剤組成物」を記載している。
【０００７】
特許文献４（特開２００７−０９２０５７号公報）は、「イオン性液体、および単量体単位として炭素数３〜１２のヒドロキシアルキル基を有する（メタ）アクリル酸エステルを０．１〜１０重量％有するポリマーを含有してなることを特徴とする粘着剤組成物」を記載している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１３−０７６０８１号公報
【特許文献２】特開２０１２−００１７３７号公報
【特許文献３】特開２００７−０７０４００号公報
【特許文献４】特開２００７−０９２０５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来のプロセステープの帯電防止性は、２００℃を越える高温の熱処理工程中に帯電防止剤が滲み出す（ブリード）ことにより、接着層から帯電防止剤が失われて、低下する場合がある。また、熱処理中に帯電防止剤が接着層表面に滲み出すことにより、熱処理後、プロセステープを被処理物から除去したときに、帯電防止剤が被処理物表面に付着してその表面を汚染する場合がある。さらに、高温でも被着体を作業表面に安定的に固定し、かつ熱処理後に容易に除去することができるプロセステープが望まれている。
【００１０】
本開示は、高温の熱処理中に必要な帯電防止性及び接着力を維持することができ、熱処理後、被着体から容易に除去することができ、除去後の被着体上の帯電防止剤、接着剤残渣等の汚染物質を低減する又はなくすことができる、帯電防止性積層体及び帯電防止性接着剤を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
一実施態様によれば、基材及び接着層を含む帯電防止性積層体であって、前記接着層が、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーと、エポキシ基及びエポキシ基反応性官能基を有する自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーと、エポキシ基反応性官能基を有するイオン液体とを含み、前記接着層が、前記（メタ）アクリル系粘着性ポリマーを含む海と、前記自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーを含む島とからなる海島構造を有する、帯電防止性積層体が提供される。
【００１２】
別の実施態様によれば、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーと、エポキシ基及びエポキシ基反応性官能基を有する自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーと、エポキシ基反応性官能基を有するイオン液体とを含み、基材上で固化又は乾燥したときに、前記（メタ）アクリル系粘着性ポリマーを含む海と、前記自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーを含む島とからなる海島構造を形成する、帯電防止性接着剤が提供される。
【発明の効果】
【００１３】
本開示の帯電防止性積層体及び帯電防止性接着剤は、高温の熱処理中に必要な帯電防止性及び接着力を維持することができ、熱処理後、被着体から容易に除去することができ、除去後の被着体上の帯電防止剤、接着剤残渣等の汚染物質を低減する又はなくすことができる。
【００１４】
上述の記載は、本発明の全ての実施態様及び本発明に関する全ての利点を開示したものとみなしてはならない。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】一実施態様の帯電防止性積層体の概略断面図である。
【図２】別の実施態様の帯電防止性積層体の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の代表的な実施態様を例示する目的で、図面を参照しながらより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施態様に限定されない。
【００１７】
本開示において「フィルム」には「シート」と呼ばれる物品も包含される。
【００１８】
本開示において「感圧接着」とは、使用温度範囲で、例えば０℃以上、５０℃以下の範囲で恒久的に粘着性であり、軽い圧力で様々な表面に接着し、相変化（液体から固体へ）を呈さない材料又は組成物の特性を意味する。
【００１９】
本開示において「（メタ）アクリル」とはアクリル又はメタクリルを意味し、「（メタ）アクリレート」とはアクリレート又はメタクリレートを意味する。
【００２０】
一実施態様の帯電防止性積層体は、基材及び接着層を含む。接着層は、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーと、エポキシ基及びエポキシ基反応性官能基を有する自己架橋性（メタ）アクリルコポリマー（本開示において、単に「自己架橋性（メタ）アクリルコポリマー」ともいう。）と、エポキシ基反応性官能基を有するイオン液体とを含み、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーを含む海と、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーを含む島とからなる海島構造を有する。
【００２１】
イオン液体のエポキシ基反応性官能基は、熱処理時に、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーのエポキシ基と反応して、イオン液体と自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーとの間に化学結合が形成される。これにより、接着層からのイオン液体の滲み出しを抑制して、高温環境中でも帯電防止性を維持することができる。また、イオン液体の滲み出しに伴う接着剤残渣の発生を抑制して、熱処理後、被着体を接着層から剥離するときに、被着体上の接着剤残渣を効果的に低減する又はなくすことができる。
【００２２】
図１に、一実施態様の帯電防止性積層体の概略断面図を示す。帯電防止性積層体１０は、基材１２及び接着層１４を有する。接着層１４はエポキシ基反応性官能基を有するイオン液体１４２を含む。接着層１４は、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーを含む海１４４と、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーを含む島１４６とからなる海島構造を有する。図１ではエポキシ基反応性官能基を有するイオン液体１４２が分子として黒丸で示されているが、イオン液体１４２は接着層１４に溶解又は分散している。イオン液体１４２は、熱処理時に自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーとの間に化学結合を形成して、接着層に固定される。基材１２は接着層１４が配置された表面とは反対側の表面に任意の第２接着層１６を有してもよく、図１では帯電防止性積層体１０は両面接着積層体として示されている。
【００２３】
基材として、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリウレタン、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルスルホン、ポリエチレンスルフィド、ポリフェニレンエーテル、ポリメチルメタクリレート等のアクリル系樹脂、若しくはポリフッ化ビニリデン、ポリ四フッ化エチレン、ポリ塩化三フッ化エチレン等のフッ素樹脂を含むフィルム、又はこれらの積層フィルム；クラフト紙、和紙等の紙；ポリエステル繊維、ポリアミド繊維、カーボン繊維等を含む織布又は不織布；天然ゴム、ブチルゴム等を含むゴムシート；ポリウレタン、ポリクロロプレンゴム等を含む発泡シート；アルミニウム箔、銅箔等の金属箔；又はこれらの複合材料を使用することができる。
【００２４】
基材は、約１００℃以上、約１１０℃以上、又は約１２０℃以上のガラス転移温度を有することが望ましい。基材のガラス転移温度が約１００℃以上であることにより、熱処理時の基材の変形を抑制して、被着体を安定的に固定することができる。一実施態様では、基材のガラス転移温度は、約３００℃以下、約２５０℃以下、又は約２００℃以下である。
【００２５】
基材は、耐熱性、入手容易性、及び取り扱い性の観点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリイミド、ポリエーテルスルホン、又はポリフェニレンスルフィドのフィルムであることが望ましく、より高い耐熱性が要求される用途ではポリイミドフィルムであることがより望ましい。
【００２６】
基材は、透明、半透明、又は不透明のいずれであってもよい。
【００２７】
基材の片面又は両面に、接着層又は第２接着層との密着性を向上させる目的で、コロナ放電処理、プラズマ処理、クロム酸処理、火炎処理、オゾン処理、サンドブラストなどの表面処理を施してもよく、プライマー層を形成してもよい。
【００２８】
基材の片面又は両面に導電層が配置されてもよい。導電層の存在により、帯電防止性積層体の帯電防止性をより高めることができ、放電緩和を促進することもできる。導電層を基材と接着層の間に配置することが望ましく、これにより、静電荷の接着層から導電層への移動をより促進することができる。導電層は、例えば、アルミニウム、チタン、銅、パラジウム、銀、金などの金属若しくは金属酸化物、又はイオン伝導性物質を含む。導電層は、基材に金属箔を積層する、基材表面にスパッタ、蒸着などにより金属薄膜を堆積させる、上記金属、金属酸化物、又はイオン伝導性物質の分散液又は溶液を基材表面に塗布及び乾燥してコーティング層を形成するなどの方法により形成することができる。これらの金属、金属酸化物、及びイオン導電性物質は、その他の有機バインダー、接着層、又はガラス体などを介して基材表面に固定化されていてもよい。
【００２９】
図２に、この実施態様の帯電防止性積層体の概略断面図を示す。帯電防止性積層体１０は、基材１２、接着層１４及び導電層１８を有し、導電層１８は、基材１２と接着層１４の間に配置されている。
【００３０】
一実施態様では、導電層の厚みは、約１０ｎｍ以上、約２０ｎｍ以上、又は約１００ｎｍ以上、約１０μｍ以下、約３μｍ以下、又は約１μｍ以下である。
【００３１】
一実施態様では、導電層の表面抵抗は、２３℃、相対湿度５５％の条件で測定したときに、約０．０１ｋΩ／□以上、約０．１ｋΩ／□以上、又は約１ｋΩ／□以上、約１０００ｋΩ／□以下、約５００ｋΩ／□以下、又は約１００ｋΩ／□以下である。
【００３２】
基材は剥離処理を有してもよい。この実施態様では、基材は剥離ライナーとして機能し、帯電防止性積層体の接着層の一方の表面を被着体、又は被着体が固定される表面に貼り付けた後、基材を除去し、接着層の露出した他方の表面を被着体が固定される表面、又は被着体に貼り付けることで、接着層を介して被着体と被着体が固定される表面を接着することができる。剥離処理は、基材にシリコーン、長鎖アルキル化合物、フッ素化合物などを含む剥離剤を塗布又は含浸することにより行うことができる。
【００３３】
基材の厚みは、一般に約５μｍ以上、約１０μｍ以上、又は約２０μｍ以上、約１ｍｍ以下、約５００μｍ以下、又は約２５０μｍ以下とすることができる。
【００３４】
接着層は、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーと、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーと、エポキシ基反応性官能基を有するイオン液体と、必要に応じて架橋剤、添加剤、溶媒等を含む帯電防止性接着剤を、ナイフコート、バーコート、ブレードコート、ドクターコート、ロールコート、キャストコート、溶融押出などにより基材に塗布し、固化又は乾燥することにより形成することができる。帯電防止性接着剤は、溶剤型、無溶剤型、又はホットメルト型であってよい。基材上で帯電防止性接着剤を固化又は乾燥したときに、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーを含む海と、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーを含む島とからなる海島構造が形成される。固化には、加熱、紫外線照射などによる帯電防止性接着剤の硬化、及びホットメルト帯電防止性接着剤を冷却することによる凝固が含まれる。乾燥には溶媒の揮発が含まれる。
【００３５】
接着層は、感圧接着層であることが作業性の点で有利である。
【００３６】
（メタ）アクリル系粘着性ポリマーは、海島構造の海を主に構成する。（メタ）アクリル系粘着性ポリマーは海島構造の島に含まれてもよい。（メタ）アクリル系粘着性ポリマーは、被着体の接着層への適用時、熱処理時、及び冷却後、被着体の保持に必要なベースとなる接着力を提供する。
【００３７】
（メタ）アクリル系粘着性ポリマーは、（メタ）アクリル系モノマー及び必要に応じてその他のモノエチレン性不飽和基を有するモノマーを含む組成物を重合又は共重合することにより得ることができる。本開示において（メタ）アクリル系モノマー及びその他のモノエチレン性不飽和基を有するモノマーを合わせて重合性成分という。粘着性ポリマーとは、使用温度（例えば０℃以上、５０℃以下）で、接着剤に感圧接着性を付与することができるポリマーを意味する。（メタ）アクリル系モノマー及びその他のモノエチレン性不飽和基を有するモノマーはそれぞれ１種でもよく、２種以上を併用してもよい。
【００３８】
（メタ）アクリル系モノマーは、一般に、アルキル（メタ）アクリレートを含む。アルキル（メタ）アクリレートのアルキル基の炭素原子数は１〜１２であってよい。アルキル（メタ）アクリレートとして、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、イソアミル（メタ）アクリレート、ｎ−ヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ−オクチル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、イソノニル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、ドデシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、４−ｔ−ブチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、及びイソボルニル（メタ）アクリレートが挙げられる。一実施態様では、アルキル（メタ）アクリレートとして、ｎ−ブチルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、イソオクチルアクリレート、ドデシルアクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、又はそれらの混合物が使用される。これらのモノマーは接着層に初期粘着力を付与することができる。
【００３９】
（メタ）アクリル系モノマー又はその他のモノエチレン性不飽和基を有するモノマーは、アルキル（メタ）アクリレートと共重合可能な極性モノマーを含んでもよい。極性モノマーとして、例えば、（メタ）アクリル酸、フタル酸モノヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、β−カルボキシエチル（メタ）アクリレート、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルコハク酸、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、クロトン酸、イタコン酸、フマル酸、シトラコン酸、マレイン酸などのカルボキシ基含有モノマー；アミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ブチルアミノエチル（メタ）アクリレートなどのアミノ基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタムなどのアミド基含有モノマー；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートなどの水酸基含有モノマー；及び（メタ）アクリロニトリルなどの不飽和ニトリルが挙げられる。これらの極性モノマーは接着層の凝集力を高めて接着力を向上させることができる。
【００４０】
一実施態様では、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーは、重合性成分を基準として、約２質量％以上、約５質量％以上、又は約８質量％以上、約５０質量％以下、約４０質量％以下、約３０質量％以下の極性モノマーを含む組成物の共重合物である。
【００４１】
（メタ）アクリル系モノマー又はその他のモノエチレン性不飽和基を有するモノマーは、エポキシ基含有モノマーを含んでもよい。エポキシ基含有モノマーとして、例えば、グリシジル（メタ）アクリレートが挙げられる。
【００４２】
その他のモノエチレン性不飽和基を有するモノマーとして、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエンなどの芳香族ビニルモノマー；及び酢酸ビニルなどのビニルエステルが挙げられる。
【００４３】
（メタ）アクリル系粘着性ポリマーは、カルボキシ基、水酸基及びアミノ基から選択される少なくとも一種のエポキシ基反応性官能基を有してもよい。（メタ）アクリル系粘着性ポリマーのエポキシ基反応性官能基は、熱処理時に、海島構造の島部分に存在する、又は海島構造の海部分に存在してもよい、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーのエポキシ基と反応して、海島構造の海と島の界面又は海部分の凝集力を高めることができる。その結果、接着層全体の耐熱性をより高めることができる。エポキシ基反応性官能基は、エポキシ基反応性官能基を有するモノマーである、カルボキシ基含有モノマー、水酸基含有モノマー、又はアミノエチル（メタ）アクリレート、ブチルアミノエチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミドなどの窒素原子上に活性水素を有するアミノ基含有モノマー若しくはアミド基含有モノマーを、アルキル（メタ）アクリレートと共重合させることにより、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーに導入することができる。
【００４４】
一実施態様では、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーは、重合性成分を基準として、約５０質量％以上、約９８質量％以下のアルキル（メタ）アクリレート、及び約２質量％以上のエポキシ基反応性官能基を有するモノマーを含む組成物の共重合物である。組成物中、重合性成分を基準として、アルキル（メタ）アクリレートは、約６０質量％以上、又は約７０質量％以上、約９５質量％以下、又は約９２質量％以下であってよく、エポキシ基反応性官能基を有するモノマーは、約５質量％以上、又は約８質量％以上、約５０質量％以下、約４０質量％以下、又は約３０質量％以下であってよい。
【００４５】
一実施態様では、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーの酸価は、約３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、約３５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、又は約４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、約１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下、約９０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下、又は約８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である。（メタ）アクリル系粘着性ポリマーの酸価を約３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上とすることにより、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーの、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーのエポキシ基との反応性を高めることができる。（メタ）アクリル系粘着性ポリマーの酸価を約１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下とすることにより、接着層の凝集力を適切な範囲とし、酸性基の存在による接着層の劣化、特に高温環境中における劣化を抑制することができる。（メタ）アクリル系粘着性ポリマーの酸価は、０．１Ｍアルコール性水酸化カリウムを滴定試薬として電位差滴定法により決定することができる。
【００４６】
（メタ）アクリル系粘着性ポリマーの重量平均分子量は、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーと相分離して海島構造を形成するのに十分高いことが望ましい。一実施態様では、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーの重量平均分子量は、約３０万以上、好ましくは約６０万以上、より好ましくは約１００万以上である。このような高分子量の（メタ）アクリル系粘着性ポリマーは、接着性の耐熱性も有利に高めることができる。一実施態様では、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーの重量平均分子量は、約５００万以下、約４００万以下、又は約３００万以下である。本開示において「重量平均分子量」とはゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）法により標準ポリスチレンで換算した分子量を意味する。
【００４７】
一実施態様では、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーはエポキシ基を有さない。これにより、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーの自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーとの相溶性を低めて、海島構造の形成をより促進することができる。
【００４８】
一実施態様において、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）は、約−３０℃以上、約−１０℃以上、又は約０℃以上、約５０℃以下、又は約２５℃以下である。Ｔｇが上記範囲であることにより、耐熱性積層体の使用温度範囲において、接着層に十分な凝集力と接着性を付与することができる。
【００４９】
（メタ）アクリル系粘着性ポリマーのガラス転移温度Ｔｇ（℃）は、ポリマーがｎ種類のモノマーから共重合されているとして、以下のＦＯＸの式
【数１】
2020105268.tif 000003
より求めることができる。式中、Ｔｇｉは成分ｉのホモポリマーのガラス転移温度（℃）、Ｘｉは重合の際に添加した成分ｉのモノマーの質量分率をそれぞれ示し、ｉは１〜ｎの自然数であり、
【数２】
2020105268.tif 000004
である。
【００５０】
（メタ）アクリル系粘着性ポリマーの重合又は共重合は、ラジカル重合により行なうことができ、溶液重合、懸濁重合、乳化重合、塊状重合などの公知の重合方法を用いることができる。高分子量のポリマーを容易に合成することができる溶液重合を用いることが有利である。重合開始剤として、例えば、過酸化ベンゾイル、ラウロイルペルオキシド、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルシクロヘキシル）ペルオキシジカーボネートなどの有機過酸化物；又は２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）、ジメチル−２，２−アゾビス（２−メチルプロピオネート）、４，４’−アゾビス（４−シアノバレリアン酸）、２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオン酸）ジメチル、アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）（ＡＶＮ）などのアゾ系重合開始剤を用いることができる。重合開始剤の使用量は、重合性成分１００質量部に対して、一般に約０．０１質量部以上、又は約０．０５質量部以上、約５質量部以下、又は約３質量部以下である。
【００５１】
エポキシ基及びエポキシ基反応性官能基を有する自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーは、海島構造の島を主に構成する。自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーは、海島構造の海に含まれてもよい。
【００５２】
自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーは、例えば、熱処理などの高温環境に置かれたときに、エポキシ基とエポキシ基反応性官能基とが反応して、同一の自己架橋性（メタ）アクリルコポリマー分子又は自己架橋性（メタ）アクリルコポリマー分子間に架橋構造（自己架橋）を形成することができる。自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーは、帯電防止性積層体の熱処理前に、架橋していなくてもよく、部分的に架橋していてもよい。高温環境中で自己架橋の形成が進行すると島の凝集力が高まり、その結果、接着層全体の耐熱性をより高めることができる。また、自己架橋により凝集力が高まった島の存在により、熱処理のピーク温度よりも低い温度領域（例えば約１２０℃以下）において接着層の接着力が低下し、被着体を接着層から容易に剥離することができ、除去後の被着体上の接着剤残渣を低減する又はなくすことができる。
【００５３】
（メタ）アクリル系粘着性ポリマーがエポキシ基反応性官能基を有する場合、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーのエポキシ基は、熱処理時に、海島構造の海部分に存在する、又は海島構造の島部分に存在してもよい、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーのエポキシ基反応性官能基と反応して、海島構造の島と海の界面又は島部分の凝集力を高めることができる。その結果、接着層全体の耐熱性をより高めることができる。
【００５４】
自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーは、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーと同様に、（メタ）アクリル系モノマー及び必要に応じてその他のモノエチレン性不飽和基を有するモノマーを含む組成物を共重合することにより得ることができる。（メタ）アクリル系モノマー及びその他のモノエチレン性不飽和基を有するモノマーはそれぞれ１種でもよく、２種以上を併用してもよい。
【００５５】
（メタ）アクリル系モノマーは、一般に、アルキル（メタ）アクリレートを含む。アルキル（メタ）アクリレートのアルキル基の炭素原子数は１〜１２であってよい。アルキル（メタ）アクリレートとして、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、イソアミル（メタ）アクリレート、ｎ−ヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ−オクチル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、イソノニル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、ドデシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、４−ｔ−ブチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、及びイソボルニル（メタ）アクリレートが挙げられる。一実施態様では、アルキル（メタ）アクリレートとして、エチルアクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、４−ｔ−ブチルシクロヘキシルアクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、又はそれらの混合物が使用される。これらのモノマーは海島構造の形成を促進することができ、接着層に初期粘着力を付与することもできる。
【００５６】
（メタ）アクリル系モノマー又はその他のモノエチレン性不飽和基を有するモノマーは、エポキシ基含有モノマーを含み、これにより自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーにエポキシ基が導入される。エポキシ基含有モノマーとして、例えば、グリシジル（メタ）アクリレートが挙げられる。
【００５７】
（メタ）アクリル系モノマー又はその他のモノエチレン性不飽和基を有するモノマーは、エポキシ基反応性官能基を有するモノマーを含み、これにより自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーにエポキシ基反応性官能基が導入される。エポキシ基反応性官能基として、カルボキシ基、水酸基及びアミノ基が挙げられる。
【００５８】
エポキシ基反応性官能基を有するモノマーとして、例えば、（メタ）アクリル酸、フタル酸モノヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、β−カルボキシエチル（メタ）アクリレート、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルコハク酸、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、クロトン酸、イタコン酸、フマル酸、シトラコン酸、マレイン酸などのカルボキシ基含有モノマー；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートなどのヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートなどの水酸基含有モノマー；及びアミノエチル（メタ）アクリレート、ブチルアミノエチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミドなどの窒素原子上に活性水素を有するアミノ基含有モノマー又はアミド基含有モノマーが挙げられる。エポキシ基との反応性の制御、基材に対する高接着力、高い凝集力という観点から、（メタ）アクリル酸を用いることが有利である。
【００５９】
エポキシ基自体もエポキシ基反応性官能基として機能することができる。
【００６０】
（メタ）アクリル系モノマー又はその他のモノエチレン性不飽和基を有するモノマーは、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレートなどのジアルキルアミノ基含有モノマー；Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタムなどのＮ置換アミド基含有モノマー；（メタ）アクリロニトリルなどの不飽和ニトリル；スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエンなどの芳香族ビニルモノマー；又は酢酸ビニルなどのビニルエステルを含んでもよい。
【００６１】
一実施態様では、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーは、重合性成分を基準として、約５０質量％以上、約９８質量％以下のアルキル（メタ）アクリレート、約１質量％以上のエポキシ基含有モノマー、及び約１質量％以上のエポキシ基反応性官能基を有するモノマーを含む組成物の共重合物である。但し、エポキシ基反応性官能基を有するモノマーの含有量にはエポキシ基含有モノマーは含まれない。組成物中、重合性成分を基準として、アルキル（メタ）アクリレートは、約６０質量％以上、又は約７０質量％以上、約９５質量％以下、又は約９２質量％以下であってよく、エポキシ基含有モノマーは、約２質量％以上、又は約４質量％以上、約２５質量％以下、約２０質量％以下、又は約１５質量％以下であってよく、エポキシ基反応性官能基を有するモノマーは、約２質量％以上、又は約４質量％以上、約２５質量％以下、約２０質量％以下、又は約１５質量％以下であってよい。
【００６２】
自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーの重量平均分子量は、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーと相分離して海島構造を形成するのに十分高いことが望ましい。一実施態様では、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーの重量平均分子量は、約１０万以上、好ましくは約３０万以上、より好ましくは約５０万以上である。このような高分子量の自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーは、接着性の耐熱性も有利に高めることができる。一実施態様では、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーの重量平均分子量は、約２００万以下、約１８０万以下、又は約１５０万以下である。
【００６３】
一実施態様において、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）は、約−３０℃以上、約−１０℃以上、又は約０℃以上、約１００℃以下、約５０℃以下、又は約２５℃以下である。Ｔｇが上記範囲であることにより、帯電防止性積層体の使用温度範囲において、接着層に十分な凝集力と接着性を付与することができる。自己架橋性(メタ)アクリルコポリマーのＴｇが約１００℃を超える場合は、Ｔｇが約２５℃以下である（メタ）アクリル系粘着性ポリマーと混合して相分離させることで、接着層に十分な凝集力と接着性を付与することができる。自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーのガラス転移温度Ｔｇ（℃）は、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーと同様にＦＯＸの式を用いて求めることができる。
【００６４】
自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーの共重合は、ラジカル重合により行なうことができ、溶液重合、懸濁重合、乳化重合、塊状重合などの公知の重合方法を用いることができる。高分子量のポリマーを容易に合成することができる溶液重合を用いることが有利である。重合開始剤の種類及び使用量は、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーについて説明したものと同様である。
【００６５】
（メタ）アクリル系粘着性ポリマーと自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーの相溶性は、海島構造の形成に適した程度に低くなるように、それらの組成、重量平均分子量、配合比等を調整することができる。海は、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーに溶解する範囲で自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーを含んでもよく、含まなくてもよい。島は、島が形成される範囲で（メタ）アクリル系粘着性ポリマーを含んでもよく、含まなくてもよい。
【００６６】
一実施態様では、（メタ）アクリル系粘着性ポリマーと自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーとの質量比は、９９：１〜５１：４９、好ましくは９０：１０〜５１：４９、より好ましくは８５：１５〜５５：４５である。（メタ）アクリル系粘着性ポリマーと自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーとの質量比を上記範囲とすることで、海島構造の形成を促進することができる。
【００６７】
（メタ）アクリル粘着性ポリマー、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマー又はそれら両方は架橋剤で架橋されていてもよい。架橋剤を用いてこれらのポリマーを架橋することにより、接着層の凝集力を高めて、接着層の耐熱性を高め、高温時の接着力を維持することができる。架橋剤として、例えば、１，１’−イソフタロイルビス（２−メチルアジリジン）などのビスアミド系架橋剤；ケミタイト（商標）ＰＺ３３（株式会社日本触媒、日本国大阪府大阪市）などのアジリジン系架橋剤；カルボジライト（商標）Ｖ−０３、Ｖ−０５及びＶ−０７（いずれも日清紡ケミカル株式会社、日本国東京都中央区）などのカルボジイミド系架橋剤；Ｅ−ＡＸ、Ｅ−５ＸＭ、Ｅ５Ｃ（いずれも綜研化学株式会社、日本国東京都豊島区）、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジル−１，３−ベンゼンジ（メタンアミン）などのエポキシ系架橋剤；及びコロネート（商標）Ｌ、コロネート（商標）ＨＫ（いずれも東ソー株式会社、日本国東京都港区）などのイソシアネート系架橋剤が挙げられる。
【００６８】
架橋剤の使用量は、（メタ）アクリル系粘着性ポリマー、及び自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーの合計１００質量部に対して、約０．０１質量部以上、約０．０２質量部以上、又は約０．０５質量部以上、約２質量部以下、約１．５質量部以下、又は約１質量部以下とすることができる。架橋剤の使用量を上記範囲とすることで、接着層の凝集力を効果的に高めることができる。
【００６９】
（メタ）アクリル粘着性ポリマー、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマー又はそれら両方は、架橋性モノマーとの共重合により架橋されてもよい。架橋により、接着層の凝集力を高めて、接着層の耐熱性を高め、高温時の接着力を維持することができる。架橋性モノマーとして、例えば、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１２−ドデカンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリトリトールテトラ（メタ）アクリレート、１，２−エチレングリコールジ（メタ）アクリレートなどの多官能（メタ）アクリレートが挙げられる。架橋性モノマーとの共重合は、熱重合開始剤又は光重合開始剤を用いて行うことができる。架橋性モノマーとの共重合は、（メタ）アクリル粘着性ポリマー又は自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーの調製中に行ってもよく、（メタ）アクリル粘着性ポリマー又は自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーを調製した後、これらのポリマーに残存するエチレン性不飽和基を利用して行ってもよい。
【００７０】
架橋性モノマーの使用量は、（メタ）アクリル系粘着性ポリマー、及び自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーの合計１００質量部に対して、約０．０５質量部以上、約０．１質量部以上、又は約０．２質量部以上、約１質量部以下、約０．８質量部以下、又は約０．５質量部以下となる量とすることができる。架橋性モノマーの使用量を上記範囲とすることで、接着層の凝集力を効果的に高めることができる。
【００７１】
エポキシ基反応性官能基を有するイオン液体（本開示において、単に「イオン液体」ともいう。）は、帯電防止剤として機能し、接着層に帯電防止性を付与することができる。また、エポキシ基反応性官能基を有するイオン液体は、熱処理時に自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーと化学結合を形成することにより、接着層からのイオン液体の滲み出しを抑制して、高温環境中でも帯電防止性を維持することができる。また、イオン液体の滲み出しに伴う接着剤残渣の発生を抑制して、熱処理後、被着体を接着層から剥離するときに、被着体上の接着剤残渣を効果的に低減する又はなくすことができる。
【００７２】
イオン液体として、非ポリマー性のオニウムカチオンと、弱配位性有機アニオンとからなるものを使用することができる。イオン液体のエポキシ基反応性官能基は、オニウムカチオンに含まれてもよく、弱配位性有機アニオンに含まれてもよく、両方に含まれてもよい。一実施態様では、エポキシ基反応性官能基はオニウムカチオンに含まれる。
【００７３】
オニウムカチオンとして、環式又は非環式の窒素含有オニウムカチオン、スルホニウムカチオン、ホスホニウムカチオンなどが挙げられる。一実施態様では、オニウムカチオンは、エポキシ基反応性官能基、例えばヒドロキシアルキル基を有するアンモニウムカチオンである。
【００７４】
弱配位性有機アニオンの共役酸のハメット酸度関数Ｈ０は、一般に約−７以下、約−１０以下、又は約−１２以下である。弱配位性有機アニオンは、一般にフッ素含有有機アニオンであり、少なくとも１つのパーフルオロアルカンスルホニル基又は部分フルオロアルカンスルホニル基を有することが有利である。弱配位性有機アニオンとして、例えば、パーフルオロアルカンスルホネート、シアノパーフルオロアルカンスルホニルアミド、ビス（シアノ）パーフルオロアルカンスルホニルメチド、ビス（パーフルオロアルカンスルホニル）イミド、ビス（パーフルオロアルカンスルホニル）メチド、及びトリス（パーフルオロアルカンスルホニル）メチドが挙げられる。弱配位性有機アニオンは、パーフルオロアルカンスルホネート、ビス（パーフルオロアルカンスルホニル）イミド、又はトリス（パーフルオロアルカンスルホニル）メチドであることが望ましく、ビス（パーフルオロアルカンスルホニル）イミド、又はトリス（パーフルオロアルカンスルホニル）メチドであることがより望ましく、ビス（パーフルオロアルカンスルホニル）イミドであることが特に望ましい。
【００７５】
イオン液体のエポキシ基反応性官能基は、カルボキシ基、水酸基、アミノ基、及びエポキシ基から選択される少なくとも一種であってよい。一実施態様では、イオン液体の合成及び入手が容易であることから、イオン液体のエポキシ基反応性官能基は水酸基である。
【００７６】
イオン液体として、例えば、
オクチルジメチル−２−ヒドロキシエチルアンモニウムビス（トリフルオロメチルスルホニル）イミド：［Ｃ８Ｈ１７Ｎ＋（ＣＨ３）２ＣＨ２ＣＨ２ＯＨ  −Ｎ（ＳＯ２ＣＦ３）２］、
オクチルジメチル−２−ヒドロキシエチルアンモニウムパーフルオロブタンスルホネート：［Ｃ８Ｈ１７Ｎ＋（ＣＨ３）２ＣＨ２ＣＨ２ＯＨ  −ＯＳＯ２Ｃ４Ｆ９］、
オクチルジメチル−２−ヒドロキシエチルアンモニウムトリフルオロメタンスルホネート：［Ｃ８Ｈ１７Ｎ＋（ＣＨ３）２ＣＨ２ＣＨ２ＯＨ  −ＯＳＯ２ＣＦ３］、
オクチルジメチル−２−ヒドロキシエチルアンモニウムトリス（トリフルオロメタンスルホニル）メチド：［Ｃ８Ｈ１７Ｎ＋（ＣＨ３）２ＣＨ２ＣＨ２ＯＨ  −Ｃ（ＳＯ２ＣＦ３）３］、
トリメチル−２−ヒドロキシエチルアンモニウムビス（パーフルオロブタンスルホニル）イミド：［（ＣＨ３）３Ｎ＋ＣＨ２ＣＨ２ＯＨ  −Ｎ（ＳＯ２Ｃ４Ｆ９）２］、
オクチルジメチル−２−ヒドロキシエチルアンモニウムトリフルオロメタンスルホニルパーフルオロブタンスルホニルイミド：［Ｃ８Ｈ１７Ｎ＋（ＣＨ３）２ＣＨ２ＣＨ２ＯＨ  −Ｎ（ＳＯ２ＣＦ３）（ＳＯ２Ｃ４Ｆ９）］、
トリメチル−２−ヒドロキシエチルアンモニウムトリフルオロメタンスルホニルパーフルオロブタンスルホニルイミド：［（ＣＨ３）３Ｎ＋ＣＨ２ＣＨ２ＯＨ  −Ｎ（ＳＯ２ＣＦ３）（ＳＯ２Ｃ４Ｆ９）］、及び
オクチルジメチル−２−ヒドロキシエチルアンモニウムビス（シアノ）トリフルオロメタンスルホニルメチド：［Ｃ８Ｈ１７Ｎ＋（ＣＨ３）２ＣＨ２ＣＨ２ＯＨ  −Ｃ（ＣＮ）２（ＳＯ２ＣＦ３）］
が挙げられる。
【００７７】
イオン液体は、使用条件下で液体であり、例えば、約１５０℃以下、約５０℃以下、又は約２５℃以下の融点を有する。イオン液体は、約３２５℃以上、又は約３５０℃以上の温度で安定である、すなわちその温度まで分解が生じないことが望ましい。
【００７８】
イオン液体の使用量は、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマー、及び任意の（メタ）アクリル系粘着性ポリマーの合計１００質量部に対して、約０．１質量部以上、約０．２質量部以上、又は約０．５質量部以上、約１０質量部以下、約５質量部以下、又は約３質量部以下とすることができる。イオン液体の使用量を、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマー、及び任意の（メタ）アクリル系粘着性ポリマーの合計１００質量部に対して、約０．１質量部以上とすることで、接着層の帯電防止性を効果的に高めることができる。イオン液体の使用量を、自己架橋性（メタ）アクリルコポリマー、及び任意の（メタ）アクリル系粘着性ポリマーの合計１００質量部に対して、約１０質量部以下とすることで、熱処理後に自己架橋性（メタ）アクリルコポリマーと化学結合を形成しないで残存するイオン液体の量を低減して、被着体上のイオン液体、接着剤残渣等の汚染物質をより効果的に低減する又はなくすことができる。
【００７９】
接着層は、タルク、カオリン、炭酸カルシウム、アルミニウムフレーク、フュームドシリカ、アルミナ、ナノ粒子などの充填材、酸化防止剤、粘着付与剤などの添加剤を含んでもよい。
【００８０】
接着層の海島構造の存在及び寸法は、原子間力顕微鏡を用いて測定することができる。一実施態様では、島の最大径は、約２０ｎｍ以上、約１００ｎｍ以上、又は約２００ｎｍ以上、約２０μｍ以下、約１０μｍ以下、又は約１μｍ以下である。本開示における「最大径」とはＫｒｕｍｂｅｉｎ径（定方向最大径）を意味する。
【００８１】
接着層の厚みは、用途に応じて様々であってよく、例えば、約１μｍ以上、約５μｍ以上、又は約２５μｍ以上、約２５０μｍ以下、約１００μｍ以下、又は約５０μｍ以下とすることができる。
【００８２】
一実施態様では、接着層の表面抵抗は、２３℃、相対湿度５５％の条件で測定したときに、約１×１０３Ω／□以上、約１×１０５Ω／□以上、又は約１×１０６Ω／□以上、約１×１０１２Ω／□以下、約１×１０１０Ω／□以下、又は約１×１０９Ω／□以下である。
【００８３】
一実施態様では、帯電防止性積層体の初期接着力は、銅板に接着して温度２３℃、１８０度剥離、剥離速度３００ｍｍ／分の条件で測定したときに、約０．３Ｎ／ｃｍ以上であり、好ましくは約０．５Ｎ／ｃｍ以上、より好ましくは約１．０Ｎ／ｃｍ以上である。上記条件で測定される帯電防止性積層体の初期接着力が約０．３Ｎ／ｃｍ以上であることにより、被着体をＳＵＳ、石英ガラス等の作業表面に十分に固定することができる。一実施態様では、帯電防止性積層体の初期接着力は、上記条件で測定したときに、約４Ｎ／ｃｍ以下、約３Ｎ／ｃｍ以下、又は約２Ｎ／ｃｍ以下である。
【００８４】
一実施態様では、帯電防止性積層体の熱処理後剥離力は、銅板に接着して２７０℃で５分間、その後２００℃で１時間置いた後に、温度２３℃、１８０度剥離、剥離速度３００ｍｍ／分の条件で測定したときに、約０．１Ｎ／ｃｍ以上であり、好ましくは約１Ｎ／ｃｍ以上、より好ましくは約１．５Ｎ／ｃｍ以上である。上記条件で測定される帯電防止性積層体の熱処理後剥離力が約０．１Ｎ／ｃｍ以上であることにより、熱処理中に被着体を作業表面に固定するために十分な接着力を得ることができる。一実施態様では、帯電防止性積層体の熱処理後剥離力は、上記条件で測定したときに、約３．０Ｎ／ｃｍ以下、約２Ｎ／ｃｍ以下、又は約１．８Ｎ／ｃｍ以下である。上記条件で測定される帯電防止性積層体の熱処理後剥離力が約３．０Ｎ／ｃｍ以下であることにより、被着体を接着層から容易に剥離することができ、除去後の被着体上の接着剤残渣を低減する又はなくすことができる。
【００８５】
一実施態様では、帯電防止性積層体の初期接着力と熱処理後剥離力の差は、約１．０Ｎ／ｃｍ以下、約０．９Ｎ／ｃｍ以下、又は約０．５Ｎ／ｃｍ以下である。
【００８６】
一実施態様では、帯電防止性積層体の質量損失は、２００℃、１時間の熱処理後に、約１０質量％以下、約８質量％以下、又は約５質量％以下である。
【００８７】
帯電防止性積層体は、上記接着層が配置された基材表面とは反対側の基材表面に第２接着層を有してもよい。第２接着層は上記接着層と同じであってもよく、一般に使用される（メタ）アクリル系、ポリオレフィン系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ゴム系などの、溶剤型、エマルジョン型、感圧型、感熱型、熱硬化型又は紫外線硬化型の接着剤を用いて形成してもよい。第２接着層の厚みは、一般に、約５μｍ以上、約１０μｍ以上、又は約２０μｍ以上、約２００μｍ以下、約１００μｍ以下、又は約８０μｍ以下とすることができる。
【００８８】
上記接着層、第２接着層、又はそれらの両方の上に剥離ライナーを配置してもよい。剥離ライナーとして、例えば、紙（例えば、クラフト紙）又はポリマー材料（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、エチレンビニルアセテート、ポリウレタン、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステルなど）のシート又はフィルムが挙げられる。剥離ライナーは、シリコーン、長鎖アルキル化合物、フッ素化合物などを含む剥離剤で剥離処理されていてもよい。剥離ライナーの厚みは、一般に、約５μｍ以上、約１５μｍ以上又は約２５μｍ以上、約３００μｍ以下、約２００μｍ以下又は約１５０μｍ以下とすることができる。
【００８９】
一実施態様では、帯電防止性積層体又はその接着層は１００℃以上の高温環境下で使用される。例えば半田リフロー工程では、１００℃〜２７０℃の温度で５分〜１０分、エポキシモールディングコンパウンドの硬化工程では、２００℃の温度で３０分〜２時間、熱処理が行われる。帯電防止性積層体又はその接着層は、このような高温の熱処理工程に好適に使用することができる。
【００９０】
帯電防止性積層体は、電子部品等の製造工程における一時的接着用のプロセステープとして好適に使用することができる。帯電防止性積層体は非シロキサン材料から形成することができるため、熱処理中に電子部品等の上に揮発性の低分子シロキサンが付着することにより生じる接点障害などの問題を回避することができる。
【実施例】
【００９１】
以下の実施例において、本開示の具体的な実施態様を例示するが、本発明はこれに限定されない。部及びパーセントは全て、特に明記しない限り質量による。
【００９２】
本実施例において使用した試薬及び材料を表１に示す。
【表１】
2020105268.tif 000005
【００９３】
感圧接着剤溶液Ａ−０の調製
５９ｇのアクリル系粘着性コポリマー、２５．１ｇの自己架橋性アクリルコポリマー、３．４ｇの架橋剤１，１’−イソフタロイルビス（２−メチルアジリジン）（ＩＰＢＭＡ）、及び０．１ｇの酸化防止剤Ｉｒｇａｎｏｘ（商標）１０１０をガラス瓶中で混合した。混合物をメチルエチルケトン（ＭＥＫ）で希釈して、固形分１８％の感圧接着剤溶液Ａ−０を調製した。
【００９４】
感圧接着剤溶液Ａ−１〜Ａ−３の調製
感圧接着剤溶液Ａ−０に、アクリル系粘着性コポリマー及び自己架橋性アクリルコポリマーの合計１００質量部に対して表２に示すイオン液体を２．５質量部又は２．０質量部添加し、再度混合して透明な感圧接着剤溶液Ａ−１〜Ａ−３を調製した。
【００９５】
感圧接着剤溶液Ｂの調製
１００ｇの自己架橋性アクリルコポリマー、及び２．５ｇのイオン液体ＦＣ−５０００をガラス瓶中で混合して感圧接着剤溶液Ｂを調製した。
【００９６】
金属化ポリイミドフィルム基材
２５μｍ厚のポリイミド（ＰＩ）フィルム（カプトン（商標）１００Ｈ、東レ・デュポン株式会社（日本国東京都中央区））の表面を、Ａｌ又はＴｉターゲット材料を用いてスパッタすることにより金属化ポリイミドフィルム基材を作製した。金属化表面の表面抵抗は、室温（２３℃）、相対湿度５５％の条件下で測定したときに、０．０４１〜１５ｋΩ／□であった。
【００９７】
例１〜５、比較例１〜４
感圧接着層を有する帯電防止性積層体を以下の手順で作製した。金属化した又は金属化していない２５μｍ厚のポリイミド（ＰＩ）フィルム（カプトン（商標）１００Ｈ、東レ・デュポン株式会社（日本国東京都中央区））を帯電防止性積層体のフィルム基材として使用した。感圧接着剤溶液をフィルム基材の表面にキャストし、オーブン中、６５℃で２分、１１０℃で２分乾燥した。感圧接着層の乾燥厚みが１７μｍとなるようにキャスト量を調整した。３８μｍ厚のシリコーン被覆ＰＥＴフィルム（セラピール（商標）ＢＫＥ、東レフィルム加工株式会社（日本国東京都中央区））を感圧接着層の上に剥離ライナーとして積層し、積層体を９０℃のオーブン中に３日間置いた。このようにして、感圧接着層の上に剥離ライナーを有する帯電防止性積層体を作製した。
【００９８】
帯電防止性積層体を以下の項目について評価した。
【００９９】
初期接着力
帯電防止性積層体の剥離ライナーを剥がしてから、帯電防止性積層体を銅板（Ｃ１１００Ｐ、長さ１００ｍｍ×幅５０ｍｍ×厚み１ｍｍ）に室温（２３℃）で接着した。帯電防止性積層体の上で２ｋｇのゴムローラを２往復させて、帯電防止性積層体を銅板に圧着し、２３℃で２０分間置いた。室温（２３℃）、３００ｍｍ／分の条件で引張試験機を用いて１８０度接着力を測定して初期接着力とした。
【０１００】
熱処理後剥離力
帯電防止性積層体の剥離ライナーを除去して、帯電防止性積層体を銅板（Ｃ１１００Ｐ、長さ１００ｍｍ×幅５０ｍｍ×厚み１ｍｍ）に室温（２３℃）で接着した。帯電防止性積層体の上で２ｋｇのゴムローラを２往復させて、帯電防止性積層体を銅板に圧着し、２７０℃で５分間置き、その後２００℃で１時間エージングした。室温（２３℃）まで冷却した後、室温（２３℃）、３００ｍｍ／分の条件で引張試験機を用いて１８０度接着力を測定して熱処理後剥離力とした。また、剥離後の銅板表面上の感圧接着剤残渣の有無を２０倍のマイクロスコープで観察した。残渣が観察されなかったものを「良好」、残渣が観察されたものを「不良」とした。
【０１０１】
静電気放電（ＥＳＤ）測定Ａ
金属板から帯電防止性積層体の感圧接着層を剥がすことによる初期静電荷を以下の手順で測定した。
（１）帯電防止性積層体を２５ｍｍ×５０ｍｍの長方形に切断し、剥離ライナーを除去して測定用サンプルを作製した。
（２）サンプルを３Ｍ（登録商標）チャージプレートモニター３Ｍ７１１（スリーエムジャパン株式会社（日本国東京都品川区））の金属ステージの上に貼り付けた。
（３）サンプルの貼り付け後３０秒間蓄電し、モニターテーブルが０Ｖとなるように接地した。
（４）金属ステージからサンプルを３０ｍ／分の速度で剥離して帯電させ、電荷量を測定した。
（５）同じサンプルについて３回測定して得られた値の平均値を静電荷とした。
【０１０２】
静電気放電（ＥＳＤ）測定Ｂ
感圧接着層の端部を接地することによる放電緩和を以下の手順で測定した。
（１）帯電防止性積層体を２５ｍｍ×４５ｍｍの長方形に切断し、ポリイミドフィルム基材面を３Ｍ（登録商標）導電性テープＸ７００１（スリーエムジャパン株式会社（日本国東京都品川区））に貼り付けた。
（２）Ｘ７００１を３Ｍ（登録商標）チャージプレートモニター３Ｍ７１１（スリーエムジャパン株式会社（日本国東京都品川区））の金属ステージの上に貼り付けた。
（３）帯電防止性積層体の感圧接着層に接触するように金属クリップを帯電防止性積層体の端部に固定し、モニターテーブルが０Ｖとなるように接地した。
（４）帯電防止性積層体の感圧接着層から剥離ライナーを３０ｍ／分の速度で剥離して帯電させ、６０秒間にわたって電荷量を測定した。
（５）同じサンプルについて２回測定して得られた値の平均値を放電緩和とした。
【０１０３】
評価結果
基材の金属化の有無及び表面抵抗、感圧接着剤溶液の配合、及び静電気放電（ＥＳＤ）測定Ｂを除く評価結果を表２に示す。静電気放電（ＥＳＤ）測定Ｂの評価結果を表３に示す。
【０１０４】
【表２】
2020105268.tif 000006
【０１０５】
【表３】
2020105268.tif 000007
【０１０６】
本発明の様々な改良及び変更が本発明の範囲及び趣旨から逸脱することなく可能であることは当業者にとって自明である。
【符号の説明】
【０１０７】
１０    帯電防止性積層体
１２    基材
１４    接着層
１４２    エポキシ基反応性官能基を有するイオン液体
１４４    海
１４６    島
１６    第２接着層
１８    導電層
【図１】
2020105268.tif 000008
【図２】
2020105268.tif 000009