(57)【要約】【課題】観察者の着目位置における複数の信号画像間の違いを、視覚的に明確に、かつ、容易に確認できるようにする。【解決手段】本発明の一側面を反映した走査型電子顕微鏡装置は、電子ビームを照射することにより試料から放出される複数種類の信号を検出する複数の信号検出器と、複数の信号検出器の検出信号に基づいて生成された各信号画像を表示する画像表示部を有する表示装置と、水平画面分割境界線及び垂直画面分割境界線を生成する境界線生成部と、観察者による水平画面分割境界線及び／又は垂直画面分割境界線を移動させる操作に基づいて、水平画面分割境界線及び垂直画面分割境界線により分割される４つの分割画面領域のそれぞれの大きさを変更する領域可変部と、を備える。【選択図】図２
2020087634.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に電子ビームを照射する電子ビーム照射部と、
前記電子ビームを前記試料上で二次元的に走査させる走査制御部と、
前記電子ビームを照射することにより前記試料から放出される複数種類の信号を検出する複数の信号検出器と、
前記複数の信号検出器の検出信号に基づいて生成された各信号画像を表示する画像表示部を有する表示装置と、
観察者からの操作が入力される操作入力部と、
前記画像表示部を水平方向において２つに分割する水平画面分割境界線、及び、前記画像表示部を垂直方向において２つに分割する垂直画面分割境界線を生成する境界線生成部と、
前記操作入力部に入力される前記水平画面分割境界線及び／又は前記垂直画面分割境界線を移動させる操作に基づいて、前記水平画面分割境界線及び前記垂直画面分割境界線により分割される４つの分割画面領域のそれぞれの大きさを変更する領域可変部と、を備える
走査型電子顕微鏡装置。
【請求項２】
前記水平画面分割境界線及び／又は前記垂直画面分割境界線の移動に追従して移動しないマーカーを、前記操作入力部への操作を介して指定された前記画像表示部上の所定の位置に表示させるマーカー表示部、をさらに備える
請求項１に記載の走査型電子顕微鏡装置。
【請求項３】
前記領域可変部は、前記操作入力部から入力される前記水平画面分割境界線及び前記垂直画面分割境界線の交点を移動させる操作に基づいて、前記４つの各分割画面領域の大きさを可変させる
請求項１又は２に記載の走査型電子顕微鏡装置。
【請求項４】
前記画像表示部は４つのレイヤーを有し、
前記４つの各レイヤーに対して前記信号画像を割り当てる信号画像割当部を備え、
前記領域可変部は、前記操作入力部に入力される前記水平画面分割境界線及び／又は前記垂直画面分割境界線を移動させる操作に基づいて、前記４つの各レイヤーにおける各画像表示領域の大きさを変更する
請求項２又は３に記載の走査型電子顕微鏡装置。
【請求項５】
前記複数の信号検出器のうちの一つはＥＤＳ（Energy Dispersive X-ray Spectrometry）検出器であり、
前記ＥＤＳ検出器で検出されたＥＤＳ信号に基づいて生成された信号画像以外の信号画像を、所定の画素数分積算して出力するタイミング制御部をさらに備える
請求項２〜４のいずれか一項に記載の走査型電子顕微鏡装置。
【請求項６】
前記信号画像割当部は、前記４つの分割画面領域のうちの２つ以上の分割画面領域に対して、同一の信号検出器により検出された検出信号に基づいて生成された信号画像を割り当てる
請求項２〜５のいずれか一項に記載の走査型電子顕微鏡装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走査型電子顕微鏡装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、異なる種類の信号を検出する複数の信号検出器を備え、該複数の信号検出器で検出された検出信号に応じた信号画像のそれぞれを、表示装置の画面上の異なる領域に表示する機能を有する走査型電子顕微鏡装置が知られている。例えば、特許文献１には、電子ビームの走査領域中の画像を取り込む領域を単位として試料を仮想的に格子状に区画し、各区画に対して電子ビームの走査が行われるように試料を移動させる走査電子顕微鏡が開示されている。さらに、特許文献１には、各区画を走査することにより得られた画像データを各区画の位置に対応づけて画像メモリに格納することにより合成画像データを作成し、合成画像中の指定された領域に相当する画像データを画像メモリから読み出して部分像として表示手段に表示することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２５０５００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の技術によれば、表示装置の一つの画面上で、複数の信号検出器で得られた複数種類の検出信号に応じた信号画像を、それぞれ見比べることができる。しかしながら、特許文献１に記載の技術では、ある画像において認識できる箇所が他の別の画像においてどのように観察されるかを確認したい場合、異なる信号画像が表示されたそれぞれの領域間で視線を移動させながら、着目したい箇所と思われる箇所の画像を見比べる必要がある。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものである。本発明の目的は、観察者の着目位置における複数種類の信号画像間の違いを、視覚的に明確に、かつ、容易に確認できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明の一側面を反映した走査型電子顕微鏡装置は、電子ビーム照射部と、走査制御部と、複数の信号検出器と、表示装置と、操作入力部と、境界線生成部と、領域可変部と、を備える。電子ビーム照射部は、試料に電子ビームを照射する。走査制御部は、電子ビームを試料上で二次元的に走査させる。複数の信号検出器は、電子ビームを照射することにより試料から放出される複数種類の信号を検出する。表示装置は、複数の信号検出器の検出信号に基づいて生成された各信号画像を表示する画像表示部を有する。操作入力部は、観察者からの操作が入力される。境界線生成部は、画像表示部を水平方向において２つに分割する水平画面分割境界線、及び、画像表示部を垂直方向において２つに分割する垂直画面分割境界線を生成する。領域可変部は、操作入力部に入力される、水平画面分割境界線及び／又は垂直画面分割境界線を移動させる操作に基づいて、水平画面分割境界線及び垂直画面分割境界線により分割される４つの分割画面領域のそれぞれの大きさを変更する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の走査型電子顕微鏡装置によれば、観察者は、水平画面分割境界線及び／又は垂直画面分割境界線を移動させる操作を操作入力部に入力することにより、着目位置における複数種類の信号画像間の違いを、視覚的に明確に、かつ、容易に確認できる。なお、上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態に係る走査型電子顕微鏡装置の構成例を示す概略構成図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る走査型電子顕微鏡装置の制御系の構成例を示すブロック図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る４分割画面表示部の構成例を示す説明図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る領域可変部による領域可変処理の例を示す説明図である。
【図５】本発明の一実施形態の４分割画面表示部における信号画像の表示例１を示す説明図である。
【図６】本発明の一実施形態の表示例１において、水平分割境界線又は交点を垂直方向の下方に移動させた場合における、４分割画面表示部での信号画像の表示例を示す説明図である。
【図７】本発明の一実施形態の４分割画面表示部における信号画像の表示例２を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための形態（以下、「実施形態」と称する）の例について、添付図面を参照しながら説明する。なお、各図において実質的に同一の機能又は構成を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００１０】
＜走査型電子顕微鏡の構成＞
まず、本発明の一実施形態に係る走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope：ＳＥＭ）装置について、図１を参照して説明する。図１は、本発明の走査型電子顕微鏡装置１の構成の一例を示す概略構成図である。なお、図１には、本発明の説明に必要と考える要素又はその関連要素を記載しており、本発明の電子顕微鏡装置は図１に示す例に限定されない。
【００１１】
図１に示すように、走査型電子顕微鏡装置１は、電子ビーム照射部２、電子検出装置３、表示装置４及び操作入力部５を少なくとも備える。電子ビーム照射部２は、試料室６内に設けられた試料７に対して電子ビーム（一次電子線）ＥＢを照射する。試料７に電子ビームＥＢを照射すると、試料７からは、二次電子、反射電子、光、Ｘ線等の様々な種類の電子が放出される。二次電子は、試料７の試料表面の原子を励起することによって放出される電子である。反射電子は、試料７に照射した電子が試料表面で跳ね返ることによって放出される電子である。
【００１２】
電子ビーム照射部２は、電子銃２１、集束レンズ２２、Ｘ方向走査用偏向器２３（走査制御部の一例）、Ｙ方向走査用偏向器２４（走査制御部の一例）及び対物レンズ２５等によって構成される。電子銃２１は、試料に向けて電子ビームＥＢを発生させる。集束レンズ２２は、電子銃２１から発生される電子ビームＥＢを集束させるためのものであり、例えば、磁界型レンズからなる。
【００１３】
Ｘ方向走査用偏向器２３は、試料７に照射する電子ビームＥＢを、図の左右方向であるＸ方向に走査するためのものである。Ｙ方向走査用偏向器２４は、試料７に照射する電子ビームＥＢを、図の上下方向であるＹ方向に走査するためのものである。電子銃２１から発生される電子ビームＥＢは、Ｘ方向走査用偏向器２３及びＹ方向走査用偏向器２４によって二次元的に走査される。対物レンズ２５は、試料７に照射する電子ビームＥＢの最終的な径を決める焦点合わせのためのものであり、例えば、集束レンズ２２と同様に磁界型レンズからなる。
【００１４】
電子検出装置３は、試料７に電子ビームＥＢを照射したときに、試料７から放出される電子を検出する信号検出器３１を有し、信号検出器３１が検出した電子情報を基に、表示装置４に表示する信号画像を生成する処理を行う。なお、図１においては一つの信号検出器３１のみを図示しているが、本実施形態による走査型電子顕微鏡装置１は、複数種類の信号を検出する複数の信号検出器３１を有することを特徴とする。
【００１５】
具体的には、本実施形態に係る信号検出器３１として、二次電子を検出する信号検出器、反射電子を検出する信号検出器、ＥＤＳ（Energy Dispersive X-ray Spectrometry）信号を検出する信号検出器、３次元画像を検出する信号検出器等を設けることができる。また、ＥＢＳＤ（Electron Backscatter Diffration）信号を検出する信号検出器、ＷＤＳ（Wavelength-Dispersive X-ray Spectrometry）信号を検出する信号検出器等も設けることができる。なお、本実施形態に係る信号検出器３１が検出する信号は、電子ビームＥＢを走査して検出される信号であればどのような信号であってもよく、本発明の信号検出器として、上記以外の信号を検出する信号検出器が設けられてもよい。
【００１６】
電子検出装置３は、複数の信号検出器３１の他に、増幅部３２及び信号処理部３３を備える。増幅部３２は、信号検出器３１で検出された検出信号を増幅して信号処理部３３に供給する。信号処理部３３は、増幅部３２で増幅された検出信号に対して各種デジタル信号処理を施し、デジタル信号処理が施された検出信号に基づいて信号画像を生成する。
【００１７】
表示装置４は、液晶表示装置等からなり、信号検出器３１で生成された信号画像を表示する。本実施形態に係る表示装置４は、４つの画像表示領域を有する４分割画面表示部４１（画像表示部の一例：図２参照）を備えることを特徴とする。
【００１８】
操作入力部５は、キーボードやマウス等からなり、観察者により入力される操作の内容に応じた操作信号を生成して、該操作信号を表示装置４内の表示制御部４２（図２参照）に供給する。
【００１９】
＜走査型電子顕微鏡装置の制御系の構成＞
次に、図２を参照して、走査型電子顕微鏡装置１の制御系の構成について説明する。図２は、走査型電子顕微鏡装置１の制御系の構成例を示すブロック図である。
【００２０】
図２に示すように、走査型電子顕微鏡装置１は、複数の信号検出器３１、表示装置４及び操作入力部５を備える。
【００２１】
表示装置４は、４分割画面表示部４１及び表示制御部４２を備える。４分割画面表示部４１は、複数の信号検出器３１で生成された信号画像が表示される画面であり、その画面は、水平画面分割境界線ＢＬｈ及び垂直画面分割境界線ＢＬｖによって仮想的に４つに分割される。水平画面分割境界線ＢＬｈは、４分割画面表示部４１を水平方向において２つに分割する境界線であり、垂直画面分割境界線ＢＬｖは、４分割画面表示部４１を垂直方向において２つに分割する境界線である。また、４分割画面表示部４１には、十字のマーカーＭｋが表示される。なお、図２に示す例では、マーカーＭｋが十字の形状をしている例を挙げるが、本発明はこれに限定されない。マーカーＭｋの形状は、観察者が注視しやすい形状であれば、どのような形状であってもよい。
【００２２】
表示制御部４２は、境界線生成部４２１、領域可変部４２２、マーカー表示部４２３、信号画像選択部４２４、信号画像割当部４２５及びタイミング制御部４２６を備える。
【００２３】
境界線生成部４２１は、水平画面分割境界線ＢＬｈ及び垂直画面分割境界線ＢＬｖを生成して４分割画面表示部４１上に描画する。また、境界線生成部４２１は、観察者によって操作入力部５に入力される操作に基づいて、水平画面分割境界線ＢＬｈの水平方向における位置、及び／又は、垂直画面分割境界線ＢＬｖの垂直方向における位置を変更する。
【００２４】
領域可変部４２２は、観察者によって操作入力部５に入力される、水平画面分割境界線ＢＬｈ及び／又は垂直画面分割境界線ＢＬｖの位置を移動させる操作に基づいて、４つの分割画面領域の大きさを変更する。
【００２５】
マーカー表示部４２３は、操作入力部５を介して観察者によって指定された４分割画面表示部４１上の所定の位置に、マーカーＭｋを表示させる。
【００２６】
信号画像選択部４２４は、観察者によって操作入力部５に入力される操作に基づいて、複数の信号検出器３１で生成された複数の信号画像の中から、４分割画面表示部４１の各分割画面領域に表示させる信号画像を選択する。なお、信号画像選択部４２４によって選択される信号画像は、それぞれ種類の異なる４つの信号画像であってもよく、同一の信号画像を複数個含むものであってもよい。
【００２７】
信号画像割当部４２５は、信号画像選択部４２４によって選択された４つの信号画像を、４つの分割画面領域のそれぞれに割り当てる。
【００２８】
タイミング制御部４２６は、信号画像を４分割画面表示部４１に描画するタイミングを制御する。具体的には、信号画像選択部４２４によって選択された信号画像に、ＥＤＳ信号に応じた信号画像（以下、「ＥＤＳ像」とも称する）が含まれる場合、ＥＤＳ像以外の走査型電子顕微鏡１により得られる検出信号に応じた信号画像（以下、「ＳＥＭ像」とも称する）を、所定の画素数分積算して出力する制御を行う。タイミング制御部４２６によってこのような制御が行われることにより、取得に時間のかかるＥＤＳ像と、それ以外の電子の検出信号に基づき生成されたＳＥＭ像とを、４分割画面表示部４１上に同時に（同じタイミングで）表示させることができる。
【００２９】
なお、上述した表示制御部４２の各機能部については、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、ソフトウェアで実行するコンピュータによって実現することができる。また、これらの機能部の一部または全部を、例えば集積回路で設計する等により、ハードウェアで実現することもできる。
【００３０】
＜４分割画面表示部の構成例＞
次に、図３を参照して、４分割画面表示部４１の構成について説明する。図３は、４分割画面表示部４１の構成例を示す説明図である。
【００３１】
上述したように、４分割画面表示部４１には、水平画面分割境界線ＢＬｈ及び垂直画面分割境界線ＢＬｖが表示される。図３には、水平画面分割境界線ＢＬｈ及び垂直画面分割境界線ＢＬｖによって、４分割画面表示部４１が、分割画面領域Ａｒａ〜Ａｒｄの４つの分割画面領域に分割された例を示す。図３に示す例では、図中の左上に位置する分割画面領域Ａｒａには信号画像Ｓｇａが表示され、右上に位置する分割画面領域Ａｒｂには、信号画像Ｓｇｂが表示されている。また、左下に位置する分割画面領域Ａｒｃには、信号画像Ｓｇｃが表示され、右下に位置する分割画面領域Ａｒｄには、信号画像Ｓｇｄが表示されている。
【００３２】
水平画面分割境界線ＢＬｈの画面の水平方向における位置、及び、垂直画面分割境界線ＢＬｖの画面の垂直方向における位置は、観察者によって操作入力部５に入力される操作に基づいて、境界線生成部４２１（図２参照）によって変更される。
【００３３】
観察者は、水平画面分割境界線ＢＬｈ、垂直画面分割境界線ＢＬｖをそれぞれ移動させることも可能であるが、水平画面分割境界線ＢＬｈ及び垂直画面分割境界線ＢＬｖの交点Ｐの位置を移動させることもできる。観察者によって交点Ｐの位置を移動させる操作が入力された場合、境界線生成部４２１は、交点Ｐの位置の移動に応じて水平画面分割境界線ＢＬｈ及び垂直画面分割境界線ＢＬｖの各位置も変更する。そして、水平画面分割境界線ＢＬｈ及び垂直画面分割境界線ＢＬｖの各位置の変更に応じて、領域可変部４２２が、水平画面分割境界線ＢＬｈ及び垂直画面分割境界線ＢＬｖによって分割される４つの分割画面領域Ａｒａ〜Ａｒｄの大きさを変更する。したがって、観察者は、交点Ｐの位置を移動させる操作を行うことにより、４分割画面表示部４１の４つの分割画面領域Ａｒａ〜Ａｒｄの大きさを同時に（一度の操作により）変更させることができる。
【００３４】
マーカーＭｋは、マーカー表示部４２３によって４分割画面表示部４１上に表示される目印であり、その表示位置は、観察者によって操作入力部５に入力される操作によって指定される。図３には、マーカーＭｋが分割画面領域Ｓｃｃ上に配置された例を示す。マーカーＭｋの表示位置は、観察者によって操作入力部５に入力される操作に基づいて変更されるが、水平画面分割境界線ＢＬｈ及び／又は垂直画面分割境界線ＢＬｖの移動には追従しない。つまり、水平画面分割境界線ＢＬｈ及び／又は垂直画面分割境界線ＢＬｖが移動する場合にも、マーカーＭｋは、観察者により指定された位置に固定表示される。
【００３５】
＜領域可変部による領域可変処理＞
次に、図４を参照して、領域可変部４２２による領域可変処理について説明する。図４は、領域可変部４２２による領域可変処理の例を示す説明図である。図４に示すように、４分割画面表示部４１は、仮想的な４つのレイヤーＬｙ１〜Ｌｙ４を有する。レイヤーＬｙ１〜Ｌｙ４のそれぞれには、信号画像割当部４２５（図２参照）で選択された４つの信号画像が割り当てられる。
【００３６】
図４には、レイヤーＬｙ１には信号画像Ｓｇａが割り当てられ、レイヤーＬｙ２には信号画像Ｓｇｂが割り当てられ、レイヤーＬｙ３には信号画像Ｓｇｃが割り当てられ、レイヤーＬｙ４には信号画像Ｓｇｄが割り当てられた例が示される。レイヤーＬｙ１〜Ｌｙ４の各画面領域は、電子ビームによる走査領域と対応しており、レイヤーＬｙ１〜Ｌｙ４の各画面領域には、走査により得られる信号画像の全体像が割当られる。
【００３７】
領域可変部４２２は、レイヤーＬｙ１においては、水平画面分割境界線ＢＬｈ及び垂直画面分割境界線ＢＬｖの交点Ｐと、画面領域の左上端の位置Ｐａとを結ぶ線を対角線とする矩形の分割画面領域Ａｒａを、透過領域に設定する。これにより、レイヤーＬｙ１においては、信号画像Ｓｇａのうちの矩形の分割画面領域Ａｒａと対応する領域の画像のみが表示される。レイヤーＬｙ２においては、交点Ｐと、画面領域の右上端の位置Ｐｂとを結ぶ線を対角線とする矩形の分割画面領域Ａｒｂを、透過領域に設定する。これにより、レイヤーＬｙ２においては、信号画像Ｓｇｂのうちの矩形の分割画面領域Ａｒｂと対応する領域の画像のみが表示される。
【００３８】
レイヤーＬｙ３においては、交点Ｐと、画面領域の左下端の位置Ｐｃとを結ぶ線を対角線とする矩形の分割画面領域Ａｒｃを、透過領域に設定する。これにより、レイヤーＬｙ３においては、信号画像Ｓｇｃのうちの矩形の分割画面領域Ａｒｃと対応する領域の画像のみが表示される。レイヤーＬｙ４においては、交点Ｐと、画面領域の右下端の位置Ｐｄとを結ぶ線を対角線とする矩形の分割画面領域Ａｒｄを、透過領域に設定する。これにより、レイヤーＬｙ４においては、信号画像Ｓｇｄのうちの矩形の分割画面領域Ａｒｄと対応する領域の画像のみが表示される。
【００３９】
また、領域可変部４２２は、水平画面分割境界線ＢＬｈ及び垂直画面分割境界線ＢＬｖのいずれかの位置や、交点Ｐの位置を移動させる操作が操作入力部５に入力された場合、交点Ｐの位置情報に基づいて、透過領域の大きさを変更する。
【００４０】
＜４分割画面表示部における信号画像の表示例＞
［表示例１］
次に、図５を参照して、４分割画面表示部４１における信号画像の表示例１について説明する。図５は、４分割画面表示部４１における信号画像の表示例１を示す説明図である。図５に示す表示例１では、４分割画面表示部４１の左上の分割画面領域Ａｒａに２次電子像ＳＥＩが表示され、右上の分割画面領域Ａｒｂに反射電子像ＢＥＩ＿ＴＯＰＯが表示され、左下の分割画面領域Ａｒｃに三次元画像３Ｄが表示され、右下の分割画面領域Ａｒｄに組成像ＢＥＩ＿ＣＯＭＰが表示されている。また、左下の分割画面領域Ａｒｃ上の所定の位置には、マーカーＭｋが表示されている。
【００４１】
図６は、図５に示した表示例１において、垂直分割境界線ＢＬｖ又は交点Ｐを垂直方向の下方に移動させた場合における、４分割画面表示部４１での信号画像の表示例を示す説明図である。垂直分割境界線ＢＬｖ又は交点Ｐが垂直方向の下方に移動する操作が、観察者によって操作入力部５（図２参照）に入力された場合、２次電子像ＳＥＩが表示されたの分割画面領域Ａｒａの垂直方向における長さが長くなり、分割画面領域Ａｒａの下に配置されたの分割画面領域Ａｒｃの垂直方向における長さは短くなる。
【００４２】
このとき、観察者によってその位置が指定されたマーカーＭｋは、垂直分割境界線ＢＬｖの移動には追従せず、観察者によって指定された位置に固定表示される。つまり、図４及び図５に示す例では、観察者は、垂直画面分割境界線ＢＬｖ又は交点Ｐを下方に移動させる操作を行うことにより、マーカーＭｋにより示された着目位置における、２次電子像ＳＥＩ及び三次元画像３Ｄの違いを、視覚的に明確に、かつ、容易に確認できる。また、交点Ｐは４分割画面表示部４１内において上下左右方向のみならず、斜め方向にも移動させることが可能である。したがって、観察者は、交点Ｐの位置を移動させることにより、マーカーＭｋが示された位置における各種信号画像の違いを、容易に確認することができる。
【００４３】
［表示例２］
次に、図７を参照して、４分割画面表示部４１における信号画像の表示例２について説明する。図７は、４分割画面表示部４１における信号画像の表示例２を示す説明図である。図７に示す表示例２では、４分割画面表示部４１の左上の分割画面領域Ａｒａと右上の分割画面領域Ａｒｂとの両方の領域において、２次電子像ＳＥＩが表示されている。このように、４分割画面表示部４１を構成する４つの分割画面領域のうちの２つ以上の分割画面領域に対して、同一の種類の信号画像を表示させることも可能である。
【００４４】
＜各種効果＞
上述した実施形態では、走査型電子顕微鏡装置１は、試料７に電子ビームＥＢを照射する電子ビーム照射部２と、電子ビームＥＢを試料７上で二次元的に走査するＸ方向走査用偏向器２３及びＹ方向走査用偏向器２４と、電子ビームＥＢを照射することにより試料７から放出される電子の状態を検出する複数の信号検出器３１と、を備える。また、本実施形態に係る走査型電子顕微鏡装置１は、複数種類の信号を検出する複数の信号検出器３１の検出信号に基づいて生成された各信号画像を表示する４分割画面表示部４１を有する表示装置４と、観察者からの操作が入力される操作入力部５と、を備える。また、本実施形態に係る走査型電子顕微鏡装置１は、４分割画面表示部４１を水平方向において２つに分割する水平画面分割境界線ＢＬｈ、及び、４分割画面表示部４１を垂直方向において２つに分割する垂直画面分割境界線ＢＬｖを生成する境界線生成部４２１と、操作入力部５に入力される、水平画面分割境界線ＢＬｈ及び／又は垂直画面分割境界線ＢＬｖを移動させる操作に基づいて、水平画面分割境界線ＢＬｈ及び垂直画面分割境界線ＢＬｖにより分割される４つの分割画面領域Ａｒａ〜Ａｒｄのそれぞれの大きさを変更する領域可変部４２２を備える。さらに、本実施形態に係る走査型電子顕微鏡装置１は、水平画面分割境界線ＢＬｈ及び／又は垂直画面分割境界線ＢＬｖの移動に追従して移動しないマーカーＭｋを、操作入力部５を介して指定された、４分割画面表示部４１上の所定の位置に表示させるマーカー表示部４２３を備える。したがって、本実施形態によれば、観察者は、水平画面分割境界線ＢＬｈ及び／又は垂直画面分割境界線ＢＬｖを移動させる操作を操作入力部５に入力することにより、マーカーＭｋにより示される着目位置における複数の信号画像間の違いを視覚的に明らかに、かつ、容易に確認することができる。
【００４５】
また、上述した実施形態では、領域可変部４２２は、操作入力部５から入力される、水平画面分割境界線ＢＬｈ及び垂直画面分割境界線ＢＬｖの交点Ｐを移動させる操作に基づいて、４つの各分割画面領域Ａｒａ〜Ａｒｄの大きさを可変させる。したがって、上述した実施形態によれば、観察者は、交点Ｐの位置を移動させる操作を行うことにより、４つの各分割画面領域Ａｒａ〜Ａｒｄの大きさを一度に変更することができる。
【００４６】
また、上述した実施形態では、４分割画面表示部４１は４つのレイヤーＬｙ１〜レイヤーＬｙ４を有する。また、本実施形態に係る走査型電子顕微鏡装置１は、４つの各レイヤーＬｙ１〜Ｌｙ４に対して信号画像を割り当てる信号画像割当部４２５を備える。さらに、領域可変部４２２は、操作入力部５に入力される、水平画面分割境界線ＢＬｈ及び／又は垂直画面分割境界線ＢＬｖを移動させる操作に基づいて、４つの各レイヤーＬｙ１〜Ｌｙ４における各画像表示領域Ａｒａ〜Ａｒｄの大きさを変更する。したがって、本実施形態によれば、４分割画面表示部４１の４つの分割画面領域Ａｒａ〜Ａｒｄに、同一の走査により得られる種類の異なる検出信号に応じた複数種類の信号画像を表示させることができる。
【００４７】
また、上述した実施形態において、複数の信号検出器３１のうちの一つはＥＤＳ検出器（図示略）である。また、本実施形態に係る走査型電子顕微鏡装置１は、ＥＤＳ検出器で検出されたＥＤＳ信号に応じた信号画像以外の信号画像（ＳＥＭ像）を、所定の画素数分積算して出力するタイミング制御部４２６を備える。したがって、本実施形態によれば、取得に時間のかかるＥＤＳ像と、それ以外の電子の検出信号に基づき生成されたＳＥＭ像とを、４分割画面表示部４１上に同時に表示させることができる。
【００４８】
また、上述した実施形態では、信号画像割当部４２５は、４つの分割画面領域Ａｒａ〜Ａｒｄのうちの２つ以上の分割画面領域に対して、同一の信号検出器３１により検出された検出信号に基づいて生成された信号画像を割り当てる。したがって、本実施形態によれば、観察者は、像を確認したい任意の信号画像を、４分割画面表示部４１の任意の複数の領域に割り当てて表示させることができる。
【００４９】
なお、本発明は上述した各実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した本発明の要旨を逸脱しない限りにおいて、その他種々の応用例、変形例を取り得ることは勿論である。
【００５０】
例えば、上述した実施形態では、４分割画面表示部４１が水平画面分割境界線ＢＬｈ及び垂直画面分割境界線ＢＬｖにより４つの分割画面領域Ａｒａ〜Ａｒｄに分割される例を挙げたが、本発明はこれに限定されない。水平画面分割境界線ＢＬｈ及び垂直画面分割境界線ＢＬｖの本数は、それぞれ２本以上であってもよい。
【００５１】
また、上述した実施形態は、本発明を分かりやすく説明するために装置（走査型電子顕微鏡装置）の構成を詳細且つ具体的に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。
【符号の説明】
【００５２】
１…走査型電子顕微鏡装置、２…電子ビーム照射部、３…電子検出装置、４…表示装置、５…操作入力部、６…試料室、７…試料、２１…電子銃、２２…集束レンズ、２３…Ｘ方向走査用偏向器、２４…Ｙ方向走査用偏向器、２５…対物レンズ、３１…信号検出器、３２…増幅部、３３…信号処理部、４１…４分割画面表示部、４２…表示制御部、４２１…境界線生成部、４２２…領域可変部、４２３…マーカー表示部、４２４…信号画像選択部、４２５…信号画像割当部、４２６…タイミング制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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