(57)【要約】【課題】検査装置に対する接触方向とは異なる方向から検査対象物に接触可能なプローブピンを提供すること。【解決手段】プローブピンが、第１方向に沿って弾性変形可能な第１弾性部と、第１弾性部の第１方向の一端に設けられ、第１弾性部に対して第２方向に移動可能な第１接触部と、第１弾性部の第１方向の他端に設けられた第２接触部とを備える。第１接触部が、第１弾性部の一端から第１方向に沿って延びていると共に第２方向に接点部を有する第１腕部と、第１腕部から第２方向に沿って延びていると共に第１腕部に対して接点部と同じ側に配置された第２腕部とを有し、第２腕部に外力を加えることにより、第１腕部が第１弾性部との接続部分を支点として回転して弾性部に対して第２方向に移動する。【選択図】図４
2020076664.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に沿って弾性変形可能な第１弾性部と、
前記第１弾性部の前記第１方向の一端に設けられ、前記第１弾性部に対して前記第１方向に交差する第２方向に移動可能な第１接触部と、
前記第１弾性部の前記第１方向の他端に設けられた第２接触部と
を備え、
前記第１接触部が、
前記第１弾性部の前記一端から前記第１方向に沿って延びていると共に、前記第２方向から接触可能な接点部を有する第１腕部と、
前記第１腕部から前記第２方向に延びていると共に、前記第１腕部に対して前記接点部と同じ側に配置された第２腕部と
を有し、
前記第２腕部に外力を加えることにより、前記第１腕部が、前記第１弾性部との接続部分を支点として回転して前記第１弾性部に対して前記第２方向に移動する、プローブピン。
【請求項２】
前記第１腕部が、前記第２腕部の接続部分に設けられて前記第２方向に弾性変形可能な第２弾性部を有する、請求項１のプローブピン。
【請求項３】
前記第１弾性部が、
第２方向に延びると共に第１方向に間隔を空けて配置された複数の直線帯部と、隣接する前記直線帯部に接続された少なくとも１つの湾曲帯部とで構成された蛇行形状を有し、
前記第１接触部に接続された前記直線帯部と、前記第２接触部に接続された前記直線帯部とが、前記第１腕部に対して前記第２腕部と同じ側に配置されている、請求項１または２のプローブピン。
【請求項４】
前記第１弾性部が、
第２方向に延びる複数の直線帯部と、隣接する前記直線帯部に接続された少なくとも１つの湾曲帯部とが、第１方向に沿って交互に接続された蛇行形状を有し、
前記第１接触部に接続された前記直線帯部と、前記第２接触部に接続された前記直線帯部とが、前記第１腕部に対して前記第２腕部と異なる側に配置されている、請求項１または２のプローブピン。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１つのプローブピンと、
前記第２腕部に外力を加えたときに前記第１腕部が前記第２方向に移動して前記第１腕部の前記接点部が外部に露出するように、前記プローブピンが内部に収容されたハウジングと
を備える、検査治具。
【請求項６】
前記第２腕部が、
前記第１腕部から前記第２方向に延びている本体部と、
前記本体部から前記第１方向でかつ前記第１弾性部から離れる方向に突出していると共に、前記第１方向でかつ前記第１弾性部から遠い方の先端が前記ハウジングの外部に配置されている突出部と
を有している、請求項５の検査治具。
【請求項７】
一対の請求項６の検査治具を備え、
前記検査治具の各々が、
前記接点部が相互に対向しかつ前記第２方向に隙間を空けて配置されていると共に、前記突出部が前記隙間にそれぞれ配置されている、検査ユニット。
【請求項８】
請求項７の検査ユニットを少なくとも１つ備える、検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、プローブピン、検査治具、検査ユニットおよび検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンを用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板に接続するための端子と、検査装置の端子とを接続することにより行われる。
【０００３】
このようなプローブピンとしては、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対してそれぞれ接触可能な一対のコンタクトと、一対のコンタクト間に介在して一対のコンタクトを接続する蛇行部とを備えている。前記プローブピンでは、一対のコンタクトを結んだ配列方向に沿って蛇行部が伸縮し、各コンタクトがこの配列方向に沿って往復移動することにより、各コンタクトが電磁部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対して配列方向で接触するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１３４２０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、前記プローブピンのような、各コンタクトが同一方向に沿って往復移動する、いわゆる直線型のプローブピンでは、近年の検査装置および検査対象物の多様化に対応することが困難な場合が増えている。
【０００６】
例えば、検査対象物の端子が、検査装置の端子に対する接触方向に対して直交する方向からのみ接触可能である場合、前記プローブピンでは、検査装置と検査対象物とを接続することができない場合がある。
【０００７】
本開示は、検査装置に対する接触方向とは異なる方向から検査対象物に接触可能なプローブピン、このプローブピンを備えた検査治具、この検査治具を備えた検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の一例のプローブピンは、
第１方向に沿って弾性変形可能な第１弾性部と、
前記第１弾性部の前記第１方向の一端に設けられ、前記第１弾性部に対して前記第１方向に交差する第２方向に移動可能な第１接触部と、
前記第１弾性部の前記第１方向の他端に設けられた第２接触部と
を備え、
前記第１接触部が、
前記第１弾性部の前記一端から前記第１方向に沿って延びていると共に、前記第２方向に接点部を有する第１腕部と、
前記第１腕部から前記第２方向に沿って延びていると共に、前記第１腕部に対して前記接点部と同じ側に配置された第２腕部と
を有し、
前記第２腕部に外力を加えることにより、前記第１腕部が、前記第１弾性部との接続部分を支点として回転して前記弾性部に対して前記第２方向に移動する。
【０００９】
また、本開示の一例の検査治具は、
前記プローブピンと、
前記第２腕部に外力を加えたときに前記第１腕部の前記接点部が外部に露出するように前記プローブピンが内部に収容されたハウジングと
を備える。
【００１０】
また、本開示の一例の検査ユニットは、
一対の前記検査治具を備え、
前記検査治具の各々が、
前記接点部が相互に対向しかつ前記第２方向に隙間を空けて配置されていると共に、前記突出部が前記隙間にそれぞれ配置されている。
【００１１】
また、本開示の一例の検査装置は、
前記検査ユニットを少なくとも１つ備える。
【発明の効果】
【００１２】
前記プローブピンによれば、第１方向に沿って弾性変形可能な第１弾性部と、第１弾性部の第１方向の両端にそれぞれ設けられた第１接触部および第２接触部を備えている。そして、第１接触部が、第１方向に延びていると共に第２方向から接触可能な接点部を有する第１腕部と、第１腕部から第２方向に延びていると共に第１腕部に対して接点部と同じ側に配置された第２腕部とを有し、第２腕部に外力を加えることにより、第１腕部が、第１弾性部との接続部分を支点として回転して第１弾性部に対して第２方向に移動する。このような構成により、検査装置に対する接触方向とは異なる方向から検査対象物に接触可能なプローブピンを実現できる。
【００１３】
前記検査治具によれば、前記プローブピンにより、例えば、検査対象物が、検査装置の接続端子に対する接触方向に対して異なる方向から接触可能な接続端子のみを有する場合であっても、検査対象物の接続端子と検査装置の接続端子とを接続可能な検査治具を実現できる。
【００１４】
前記検査ユニットによれば、前記検査治具により、例えば、検査対象物が、検査装置の接続端子に対する接触方向に対して異なる方向から接触可能な接続端子のみを有する場合であっても、検査対象物の接続端子と検査装置の接続端子とを接続可能な検査ユニットを実現できる。
【００１５】
前記検査装置によれば、前記検査ユニットにより、検査装置の接続端子に対する接触方向に対して異なる方向から接触可能な接続端子のみを有する検査対象物であっても検査可能な検査装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本開示の一実施形態の検査ユニットの斜視図。
【図２】図１のII-II線に沿った断面図。
【図３】本開示の一実施形態のプローブピンの斜視図。
【図４】図３のプローブピンの平面図。
【図５】図１の検査ユニットの動作を説明するための第１の断面図。
【図６】図１の検査ユニットの動作を説明するための第２の断面図。
【図７】図１の検査ユニットの変形例を示す斜視図。
【図８】図３のプローブピンの第１の変形例を示す斜視図。
【図９】図３のプローブピンの第２の変形例を示す斜視図。
【図１０】図３のプローブピンの第３の変形例を示す斜視図。
【図１１】図３のプローブピンの第４の変形例を示す斜視図。
【図１２】図３のプローブピンの第５の変形例を示す斜視図。
【図１３】図３のプローブピンの第６の変形例を示す斜視図。
【図１４】図３のプローブピンの第７の変形例を示す斜視図。
【図１５】図３のプローブピンの第８の変形例を示す斜視図。
【図１６】図３のプローブピンの第９の変形例を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。
【００１８】
本開示の一実施形態のプローブピン１０は、例えば、図１および図２に示すように、ハウジング５０に収容された状態で使用され、ハウジング５０と共に検査治具２を構成する。この検査治具２には、一例として、細長い薄板状の導電性のプローブピン１０が複数収容されている。
【００１９】
また、検査治具２は、検査ユニット１の一部を構成している。この実施形態では、検査ユニット１は、一対の検査治具２を有している。各検査治具２は、後述するプローブピン１０の第１接点部３３が相互に対向するように隙間３を空けて配置されている。この隙間３に検査対象物１００が配置されて、導通検査および動作特性検査等が行われる。なお、検査対象物１００は、図１に示すように、略直方体状で、各検査治具２に対向する側面１０１に接続端子１１０を有している。
【００２０】
各ハウジング５０は、図１に示すように、略直方体状を有している。このハウジング５０は、図２に示すように、それぞれに１つのプローブピン１０を収容可能な複数の収容部５１が設けられている。各収容部５１は、スリット状を有し、各プローブピン１０を相互に電気的に独立して収容可能かつ保持可能であると共に、各検査治具２が対向する方向（すなわち、Ｘ方向）から見た場合のハウジング５０の長手方向（すなわち、Ｙ方向）に沿って一列に並んでかつ等間隔に配置されている。
【００２１】
図２に示すように、各収容部５１におけるＸ方向およびＹ方向に直交するＺ方向の両端部は、それぞれ第１開口部５２および第２開口部５３に接続されている。第１開口部５２は、各ハウジング５０の底面の一部（すなわち、各ハウジング５０の図２のＺ方向下側の面の一部）に設けられている。また、第２開口部５３は、各ハウジング５０の相互に対向する側面の上面側の一部から、上面の一部に亘って（すなわち、各ハウジング５０の図２のＸ方向の一方の側面のＺ方向上側の一部から、Ｚ方向上側の面の一部に亘って）設けられている。第１開口部５２からは、後述するプローブピン１０の第２接点部４１がＺ方向の下向きに突出して、図示しない検査装置の接続端子に接触可能に配置されている。また、第２開口部５３からは、後述するプローブピン１０の突出部３２２がＺ方向の上向きに突出して、接続端子１１０が設けられている各側面１０１に交差する検査対象物１００の底面１０２に接触可能に配置されている。
【００２２】
各プローブピン１０は、図３に示すように、板状で、Ｚ方向（第１方向の一例）に沿って弾性変形可能な第１弾性部２０と、この第１弾性部２０のＺ方向の両端にそれぞれ設けられた第１接触部３０および第２接触部４０とを備えている。各プローブピンは、例えば、電鋳法で形成され、第１弾性部２０、第１接触部３０および第２接触部４０が、Ｚ方向に沿って直列的に配置されかつ一体に構成されている。
【００２３】
第１弾性部２０は、図４に示すように、一例として、相互に隙間２３を空けて配置された複数の帯状弾性片（この実施形態では、２つの帯状弾性片）２１、２２で構成されている。各帯状弾性片２１、２２は、Ｘ方向（第２方向の一例）に延びる複数の直線帯部２４（この実施形態では、６つの直線帯部２４）と、直線帯部２４に接続された少なくとも１つの湾曲帯部２５（この実施形態では、５つの湾曲帯部２５）とが、Ｚ向に沿って交互に接続された蛇行形状を有している。各帯状弾性片２１、２２におけるＺ方向の両端の直線帯部２４が、第１接触部３０および第２接触部４０にそれぞれ接続されている。
【００２４】
なお、この実施形態のプローブピン１０は、第１接触部３０に接続された直線帯部２４と、第２接触部４０に接続された直線帯部２４とが、後述する第１腕部３１に対して第２腕部３２と異なる側に配置されているが、これに限らない。第１接触部３０に接続された直線帯部２４と、第２接触部４０に接続された直線帯部２４とが、第１腕部３１に対して第２腕部３２と同じ側に配置されていてもよい（図５および図６参照）。
【００２５】
第１接触部３０は、図４に示すように、第１弾性部２０のＺ方向の一端に設けられ、第１弾性部２０に対してＸ方向に移動可能に構成されている。詳しくは、第１接触部３０は、図４に示すように、第１弾性部２０の一端からＺ方向に沿って延びている第１腕部３１と、第１腕部３１からＸ方向に延びている第２腕部３２とを有している。
【００２６】
第１腕部３１は、Ｘ方向から接触可能な第１接点部３３と、その延在方向における第２腕部３２の接続部分に設けられて第２方向Ｘに弾性変形可能な第２弾性部３４とを有している。第１腕部３１のＺ方向における第１弾性部２０から遠い方の先端部には、Ｘ方向において第１弾性部２０のＺ方向の中心線ＣＬから離れる方向に突出する湾曲部３５が設けられ、この湾曲部３５の頂点近傍に第１接点部３３が配置されている。また、第２弾性部３４は、相互に隙間３４３を空けて配置された２つの帯状弾性片３４１、３４２で構成されている。
【００２７】
第２腕部３２は、第１腕部３１に対して第１接点部３３と同じ側に配置され、第１腕部３１からＸ方向に延びる本体部３２１と、この本体部３２１からＸ方向でかつ第１弾性部２０から離れる方向に突出している突出部３２２とを有している。この突出部３２２は、図２に示すように、そのＺ方向でかつ第１弾性部２０から遠い方の先端３２３がハウジング５０の外部に位置している。突出部３２２の先端３２３の第１腕部３１に対向する面には、Ｚ方向において第１弾性部２０から離れるに従って第１弾性部２０から離れるように傾斜する傾斜面３２４が設けられている。
【００２８】
第１接触部３０は、第２腕部３２の突出部３２２にＺ方向下向き外力Ｆを加えることで、第１腕部３１が、第１弾性部２０との接続部分３６を支点として回転して、第１弾性部２０に対してＸ方向（図４では、Ｘ方向の左側）に移動する。
【００２９】
第２接触部４０は、図４に示すように、第１弾性部２０のＺ方向の一端に設けられている。この第２接触部４０は、第１弾性部２０からＺ方向（図４では、Ｚ方向の下向き）に延びており、その延在方向の第１弾性部２０から遠い方の先端部に第２接点部４１が設けられている。第２接触部４０には、第２接触部４０をＹ方向（すなわち、図４の紙面貫通方向）に貫通する貫通孔４２が設けられており、Ｚ方向に弾性変形可能に構成されている。
【００３０】
次に、図５および図６を参照して、検査ユニット１に検査対象物１００を接続するときの動作について説明する。なお、図５および図６に示す検査ユニット１では、第１接触部３０に接続された直線帯部２４と第２接触部４０に接続された直線帯部２４とが、第１腕部３１に対して第２腕部３２と同じ側に配置されたプローブピン１０を用いている。
【００３１】
図５に示すように、各検査治具２は、各プローブピン１０の第１接点部３３が相互に対向するように隙間３を空けて配置されている。第１接点部３３は、ハウジング５０の内部に位置している。また、この隙間３に、ハウジング５０からＺ方向上向きに突出する突出部３２２が配置されている。すなわち、検査対象物１００を一対の検査治具２間の隙間３にＺ方向の上側から挿入していくと、最初に、検査対象物１００の底面１０２が各突出部３２２に接触する。
【００３２】
検査対象物１００をＺ方向の上側から隙間３に挿入してくと、検査対象物１００によって各突出部３２２にＺ方向下向きの外力が加えられる。これにより、各プローブピン１０の第１弾性部２０がＺ方向に弾性変形して縮みつつ、第１接触部３０の第１腕部３１がＸ方向でかつ対向する検査治具２に接近する方向に移動して、図６に示すように、第１腕部３１の第１接点部３３が検査対象物１００の接続端子１１０に接触する。
【００３３】
このように、プローブピン１０によれば、Ｚ方向に沿って弾性変形可能な第１弾性部２０と、第１弾性部２０のＺ方向の両端にそれぞれ設けられた第１接触部３０および第２接触部４０を備えている。そして、第１接触部３０が、Ｚ方向に延びていると共にＸ方向から接触可能な第１接点部３３を有する第１腕部３１と、第１腕部３１からＸ方向に延びていると共に第１腕部３１に対して第１接点部３３と同じ側に配置された第２腕部３２とを有し、第２腕部３２に外力を加えることにより、第１腕部３１が、第１弾性部２０との接続部分３６を支点として回転して第１弾性部２０に対してＸ方向に移動する。このような構成により、検査装置に対する接触方向とは異なる方向から検査対象物１００に接触可能なプローブピン１０を実現できる。
【００３４】
また、第１腕部３１が、第２腕部３２の接続部分に設けられてＸ方向に弾性変形可能な第２弾性部３４を有している。この第２弾性部３４により、例えば、第１腕部３１の移動により第１接点部３３が検査対象物１００の接続端子１１０に接触するときの接圧を調整することができる。
【００３５】
また、第１弾性部２０が、直線帯部２４および湾曲帯部２５で構成された蛇行形状を有し、第１接触部３０に接続された直線帯部２４と、第２接触部４０に接続された直線帯部２４とが、第１腕部３１に対して第２腕部３２と同じ側あるいは異なる側に配置されている。例えば、第１接触部３０に接続された直線帯部２４と第２接触部４０に接続された直線帯部２４とが第１腕部３１に対して第２腕部３２と異なる側に配置されたプローブピン１０（図２参照）を用いることで、Ｘ方向における検査治具２間の隙間３を大きくすることができる。また、第１接触部３０に接続された直線帯部２４と第２接触部４０に接続された直線帯部２４とが第１腕部３１に対して第２腕部３２と同じ側に配置されているプローブピン１０（図５および図６参照）を用いることができ、各検査治具２のＸ方向外側まわりを省スペース化することができる。すなわち、このような構成により、プローブピン１０、ひいては、プローブピン１０を備えた検査治具２および検査ユニット１の設計の自由度を高めることができる。
【００３６】
また、検査治具２によれば、プローブピン１０により、例えば、検査対象物１００が、検査装置の接続端子に対する接触方向（例えば、Ｚ方向）に対して異なる方向（例えば、Ｘ方向）から接触可能な接続端子１１０のみを有する場合であっても、検査対象物１００の接続端子１１０と検査装置の接続端子とを接続可能な検査治具２を実現できる。
【００３７】
また、検査治具２によれば、第２腕部３２が、第１腕部３１からＸ方向に延びている本体部３２１と、本体部３２１からＺ方向でかつ第１弾性部２０から離れる方向に突出していると共に、Ｚ方向でかつ第１弾性部２０から遠い方の先端３２３がハウジング５０の外部に配置されている突出部３２２とを有している。このような構成により、第２腕部３２に外力をより確実に加えることができる。
【００３８】
また、検査ユニット１によれば、検査治具２により、例えば、検査対象物１００が、検査装置の接続端子に対する接触方向（例えば、Ｚ方向）に対して異なる方向（例えば、Ｘ方向）から接触可能な接続端子１１０のみを有する場合であっても、検査対象物１００の接続端子１１０と検査装置の接続端子とを接続可能な検査ユニット１を実現できる。
【００３９】
また、少なくとも１つの検査ユニット１を備えた検査装置は、検査装置の接続端子に対する接触方向（例えば、Ｚ方向）に対して異なる方向（例えば、Ｘ方向）から接触可能な接続端子１１０のみを有する検査対象物１００であっても検査することができる。
【００４０】
なお、検査ユニット１は、Ｘ方向に隙間３を空けて配置された一対の検査治具２を備えている場合に限らない。例えば、図７に示すように、Ｚ方向に延びる４つの側面の全てにそれぞれ接続端子１１０を有する検査対象物１００を検査する場合、検査ユニット１は、検査対象物１００の各側面１０１に対して対向するようにそれぞれ配置された二対の検査治具２を備えてもよい。また、検査ユニット１は、図示してないが、検査対象物１００の隣接する側面１０１に対向するように、一方がＸ方向沿いに配置された他方がＹ方向沿いに配置された一対の検査治具２を備えてもよい。
【００４１】
プローブピン１０は、第１方向に沿って弾性変形可能な第１弾性部と、第１弾性部の第１方向の両端にそれぞれ設けられた第１接触部および第２接触部を備え、第１接触部が、第１方向に延びていると共に第２方向から接触可能な接点部を有する第１腕部と、第１腕部から第２方向に延びていると共に第１腕部に対して接点部と同じ側に配置された第２腕部とを有し、第２腕部に外力を加えることにより、第１腕部が、第１弾性部との接続部分を支点として回転して第１弾性部に対して第２方向に移動するように構成されていればよい。
【００４２】
例えば、第１接触部３０は、図８〜図１４に示すように構成することができる。図８のプローブピン１０では、第１腕部３１が、Ｚ方向沿いに延びる直線部３１１と、この直線部３１１からＺ方向に交差する方向でかつ直線部３１１から離れるに従って第２腕部３２の突出部３２２に接近する方向に延びる傾斜部３１２とで構成されている。また、傾斜部３１２の直線部３１１に接続されている端部とは反対の端部に第１接点部３３が設けられている。
【００４３】
図９のプローブピン１０では、第１腕部３１が、Ｚ方向沿いに延びる直線部３１１と、直線部３１１の第１弾性部２０から遠い方の端部にＺ方向でかつ第１弾性部２０から離れる方向に突出する湾曲部３１３とで構成されている。この湾曲部３１３の直線部３１１に接続されている端部とは反対の端部に第１接点部３３が設けられている。また、第２腕部３２の本体部３２１および突出部３２２が一体化されて、第２腕部３２全体として、Ｚ方向でかつ第１弾性部２０に接近する方向に突出する湾曲状を有している。
【００４４】
図１０のプローブピン１０では、第１腕部３１が、Ｚ方向沿いの直線的に延びている。図１１のプローブピン１０では、第２腕部３２の本体部３２１および突出部３２２が一体化されて、第２腕部３２全体として、Ｚ方向でかつ第１弾性部２０に接近する方向に突出する湾曲状を有している。
【００４５】
図１２のプローブピン１０では、第１腕部３１のＺ方向の中間部に蛇行部３１４が設けられている。蛇行部３１４は、一例として、Ｘ方向に延びる４つの直線帯部３１５と、隣接する直線帯部３１５に接続され３つの湾曲帯部３１６とが、Ｚ向に沿って交互に接続された蛇行形状を有している。
【００４６】
図１３のプローブピン１０では、第１腕部３１が、Ｚ方向沿いに延びる直線部３１１と、この直線部３１１からＺ方向に交差する方向に延びかつ直線部３１１から離れるに従って第２腕部３２の突出部３２２から離れる方向に延びる傾斜部３１７とで構成されている。
【００４７】
図１４のプローブピン１０では、第１接点部３３が複数の突起３３１で構成されている。
【００４８】
また、例えば、第１弾性部２０は、図１５および図１６に示すように構成することができる。図１５のプローブピン１０では、第１弾性部２０は、Ｘ方向の第１腕部３１に対して第２腕部３２と異なる側に突出する湾曲状を有している。また、図１６のプローブピン１０では、第１弾性部２０は、Ｘ方向の第１腕部３１に対して第２腕部３２と異なる側に突出する湾曲状の２つの湾曲部２０１、２０２を有し、これらの湾曲部２０１、２０２が、Ｚ方向に並んで配置されている。各湾曲部２０１は、相互に隙間２０５を空けて配置された２つの帯状弾性片２０３、２０４で構成されている。
【００４９】
なお、第１腕部３１の第２弾性部３４は、省略することができる。
【００５０】
以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。
【００５１】
本開示の第１態様のプローブピン１０は、
第１方向に沿って弾性変形可能な第１弾性部２０と、
前記第１弾性部２０の前記第１方向の一端に設けられ、前記第１弾性部２０に対して前記第１方向に交差する第２方向に移動可能な第１接触部３０と、
前記第１弾性部２０の前記第１方向の他端に設けられた第２接触部４０と
を備え、
前記第１接触部３０が、
前記第１弾性部２０の前記一端から前記第１方向に沿って延びていると共に、前記第２方向から接触可能な接点部３３を有する第１腕部３１と、
前記第１腕部３１から前記第２方向に延びていると共に、前記第１腕部３１に対して前記接点部３３と同じ側に配置された第２腕部３２と
を有し、
前記第２腕部３２に外力を加えることにより、前記第１腕部３１が、前記第１弾性部２０との接続部分３６を支点として回転して前記第１弾性部２０に対して前記第２方向に移動する。
【００５２】
第１態様のプローブピン１０によれば、第１方向に沿って弾性変形可能な第１弾性部２０と、第１弾性部２０の第１方向の両端にそれぞれ設けられた第１接触部３０および第２接触部４０を備えている。そして、第１接触部３０が、第１方向に延びていると共に第２方向から接触可能な接点部３３を有する第１腕部３１と、第１腕部３１から第２方向に延びていると共に第１腕部３１に対して接点部３３と同じ側に配置された第２腕部３２とを有し、第２腕部３２に外力を加えることにより、第１腕部３１が、第１弾性部２０との接続部分３６を支点として回転して第１弾性部２０に対して第２方向に移動する。このような構成により、検査装置に対する接触方向とは異なる方向から検査対象物１００に接触可能なプローブピン１０を実現できる。
【００５３】
本開示の第２態様のプローブピン１０は、
前記第１腕部３１が、前記第２腕部３２の接続部分に設けられて前記第２方向に弾性変形可能な第２弾性部３４を有する。
【００５４】
第２態様のプローブピン１０によれば、第２弾性部３４により、例えば、第１腕部３１の移動により第１接点部３３が検査対象物１００の接続端子１１０に接触するときの接圧を調整することができる。
【００５５】
本開示の第３態様のプローブピン１０は、
前記第１弾性部２０が、
第２方向に延びると共に第１方向に間隔を空けて配置された複数の直線帯部２４と、隣接する前記直線帯部２４に接続された少なくとも１つの湾曲帯部２５とで構成された蛇行形状を有し、
前記第１接触部３０に接続された前記直線帯部２４と、前記第２接触部４０に接続された前記直線帯部２４とが、前記第１腕部３１に対して前記第２腕部３２と同じ側に配置されている。
【００５６】
第３態様のプローブピン１０によれば、プローブピン１０、ひいては、プローブピン１０を備えた検査治具２および検査ユニット１の設計の自由度を高めることができる。
【００５７】
本開示の第４態様のプローブピン１０は、
前記第１弾性部２０が、
第２方向に延びる複数の直線帯部２４と、隣接する前記直線帯部２４に接続された少なくとも１つの湾曲帯部２５とが、第１方向に沿って交互に接続された蛇行形状を有し、
前記第１接触部３０に接続された前記直線帯部２４と、前記第２接触部４０に接続された前記直線帯部２４とが、前記第１腕部３１に対して前記第２腕部３２と異なる側に配置されている。
【００５８】
第４態様のプローブピン１０によれば、プローブピン１０、ひいては、プローブピン１０を備えた検査治具２および検査ユニット１の設計の自由度を高めることができる。
【００５９】
本開示の第５態様の検査治具２は、
前記態様のプローブピン１０と、
前記第２腕部３２に外力を加えたときに前記第１腕部３１が前記第２方向に移動して前記第１腕部３１の前記接点部３３が外部に露出するように、前記プローブピン１０が内部に収容されたハウジング５０と
を備える。
【００６０】
第５態様の検査治具２によれば、プローブピン１０により、例えば、検査対象物１００が、検査装置の接続端子に対する接触方向に対して異なる方向から接触可能な接続端子１１０のみを有する場合であっても、検査対象物１００の接続端子１１０と検査装置の接続端子とを接続可能な検査治具２を実現できる。
【００６１】
本開示の第６態様の検査治具２は、
前記第２腕部３２が、
前記第１腕部３１から前記第２方向に延びている本体部３２１と、
前記本体部３２１から前記第１方向でかつ前記第１弾性部２０から離れる方向に突出していると共に、前記第１方向でかつ前記第１弾性部２０から遠い方の先端が前記ハウジング５０の外部に配置されている突出部３２２と
を有している。
【００６２】
第６態様の検査治具２によれば、第２腕部３２に外力をより確実に加えることができる。
【００６３】
本開示の第７態様の検査ユニット１は、
一対の前記態様の検査治具２を備え、
前記検査治具２の各々が、
前記接点部３３が相互に対向しかつ前記第２方向に隙間３を空けて配置されていると共に、前記突出部３２２が前記隙間３にそれぞれ配置されている。
【００６４】
第７態様の検査ユニット１によれば、検査治具２により、例えば、検査対象物１００が、検査装置の接続端子に対する接触方向に対して異なる方向から接触可能な接続端子１１０のみを有する場合であっても、検査対象物１００の接続端子１１０と検査装置の接続端子とを接続可能な検査ユニット１を実現できる。
【００６５】
本開示の第８態様の検査装置は、
請求項７の検査ユニット１を少なくとも１つ備える。
【００６６】
第８態様の検査装置によれば、検査ユニット１により、検査装置の接続端子に対する接触方向に対して異なる方向から接触可能な接続端子１１０のみを有する検査対象物１００であっても検査可能な検査装置を実現できる。
【００６７】
なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本開示のプローブピンは、例えば、カメラデバイス、ＵＳＢデバイス、あるいは、ＱＦＮデバイスおよびＳＯＮデバイスなどの半導体の検査に用いる検査治具に適用できる。
【００６９】
本開示の検査治具は、例えば、カメラデバイス、ＵＳＢデバイス、あるいは、ＱＦＮデバイスおよびＳＯＮデバイスなどの半導体の検査に用いる検査ユニットに適用できる。
【００７０】
本開示の検査ユニットは、例えば、例えば、カメラデバイス、ＵＳＢデバイス、あるいは、ＱＦＮデバイスおよびＳＯＮデバイスなどの半導体の検査に用いる検査装置に適用できる。
【００７１】
本開示の検査装置は、例えば、カメラデバイス、ＵＳＢデバイス、あるいは、ＱＦＮデバイスおよびＳＯＮデバイスなどの半導体の検査に用いることができる。
【符号の説明】
【００７２】
１  検査ユニット
２  検査治具
３  隙間
１０  プローブピン
２０  第１弾性部
２０１、２０２  湾曲部
２０３、２０４  帯状弾性片
２０５  隙間
２１、２２  帯状弾性片
２３  隙間
２４  直線帯部
２５  湾曲帯部
３０  第１接触部
３１  第１腕部
３１１  直線部
３１２  傾斜部
３１３  湾曲部
３１４  蛇行部
３１５  直線帯部
３１６  湾曲帯部
３１７  傾斜部
３２  第２腕部
３２１  本体部
３２２  突出部
３２３  先端
３２４  傾斜面
３３  第１接点部
３３１  突起
３４  第２弾性部
３４１、３４２  帯状弾性片
３４３  隙間
３５  湾曲部
３６  接続部分
４０  第２接触部
４１  第２接点部
４２  貫通孔
５０  ハウジング
５１  収容部
５２  第１開口部
５３  第２開口部
１００  検査対象物
１０１  側面
１０２  底面
１１０  接続端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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