(57)【要約】【課題】設計の自由度が低下することを防止することができるピックアップ装置を提供すること。【解決手段】接着シートＡＳの接着力を低下させる接着力低下手段１０と、接着シートＡＳに貼付されている被着体ＣＰを保持する被着体保持手段２０と、被着体ＣＰを保持した被着体保持手段２０と接着シートＡＳとを相対移動させ、当該被着体ＣＰを接着シートＡＳから取り外す取外し手段３０とを備え、接着シートＡＳには、所定のエネルギーが付与されることで膨張し、当該接着シートＡＳの接着力を低下させる膨張性粒子ＳＧが添加されており、接着力低下手段１０は、被着体ＣＰが貼付されている接着シートＡＳの被着体貼付領域ＳＡに、当該被着体ＣＰの他方の面ＣＰ２側からエネルギーを付与する第１のエネルギー付与手段１１を備えている。【選択図】図１
2020021915.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体の一方の面が接着シートの接着面側に貼付された一体物から当該被着体を取り外すピックアップ装置において、
前記接着シートの接着力を低下させる接着力低下手段と、
前記接着シートに貼付されている被着体を保持する被着体保持手段と、
前記被着体を保持した被着体保持手段と前記接着シートとを相対移動させ、当該被着体を前記接着シートから取り外す取外し手段とを備え、
前記接着シートには、所定のエネルギーが付与されることで膨張し、当該接着シートの接着力を低下させる膨張性粒子が添加されており、
前記接着力低下手段は、前記被着体が貼付されている前記接着シートの被着体貼付領域に、当該被着体の他方の面側から前記エネルギーを付与する第１のエネルギー付与手段を備えていることを特徴とするピックアップ装置。
【請求項２】
前記接着シートは、前記被着体を他のものに接着可能な転着用接着剤層を有し、当該転着用接着剤層を介して前記被着体が貼付され、前記エネルギーが付与されることで、前記転着用接着剤層との接着力が低下し、
前記取外し手段は、前記転着用接着剤層が貼付された前記被着体を前記接着シートから取り外すことを特徴とする請求項１に記載のピックアップ装置。
【請求項３】
前記第１のエネルギー付与手段は、前記被着体保持手段に内蔵されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のピックアップ装置。
【請求項４】
前記接着力低下手段は、前記被着体貼付領域に、前記接着シートにおける接着面の反対側の反接着面側から前記エネルギーを付与する第２のエネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載のピックアップ装置。
【請求項５】
前記反接着面側から前記被着体を突き上げる突上手段を備え、前記第２のエネルギー付与手段は、前記突上手段に内蔵されていることを特徴とする請求項４に記載のピックアップ装置。
【請求項６】
被着体の一方の面が接着シートの接着面側に貼付された一体物から当該被着体を取り外すピックアップ方法において、
前記接着シートの接着力を低下させる接着力低下工程と、
前記接着シートに貼付されている被着体を被着体保持手段で保持する被着体保持工程と、
前記被着体を保持した被着体保持手段と前記接着シートとを相対移動させ、当該被着体を前記接着シートから取り外す取外し工程とを実施し、
前記接着シートには、所定のエネルギーが付与されることで膨張し、当該接着シートの接着力を低下させる膨張性粒子が添加されており、
前記接着力低下工程では、前記被着体が貼付されている前記接着シートの被着体貼付領域に、当該被着体の他方の面側から前記エネルギーを付与する第１のエネルギー付与工程を実施することを特徴とするピックアップ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ピックアップ装置およびピックアップ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被着体が貼付された接着シートの接着力を低下させ、当該接着シートから被着体を取り外すピックアップ装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−６５７５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された従来のピックアップ装置１０（ピックアップ装置）は、粘着シート２（接着シート）における接着面の反対側の反接着面側から、当該接着シートの接着力が低下する紫外線ＵＶ（所定のエネルギー）を付与する構成なので、接着シートの反接着面側に配置する構成物が制約され、設計の自由度が低下するという不都合を発生する。
【０００５】
本発明の目的は、設計の自由度が低下することを防止することができるピックアップ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、一方の面側が接着シートに貼付された被着体の他方の面側から、当該接着シートの接着力が低下するエネルギーを付与し、当該被着体が貼付されている被着体貼付領域の接着力を低下させるので、接着シートの反接着面側に配置する構成物が制約されることはなく、設計の自由度が低下することを防止することができる。
また、取外し手段が、転着用接着剤層が貼付された被着体を接着シートから取り外す構成とすれば、取外し手段で取り外した被着体を即座に他のものに接着することができる。
さらに、第１のエネルギー付与手段が被着体保持手段に内蔵されていれば、装置を簡素化することができる。
また、第２のエネルギー付与手段を備えれば、接着シートの接着力をより効率的に低下させることができる。
さらに、第２のエネルギー付与手段が被着体を突き上げる突上手段に内蔵されていれば、装置を簡素化することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施形態に係るピックアップ装置の説明図。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）は本発明の変形例に係るピックアップ装置の説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
本発明のピックアップ装置ＥＡは、被着体としての半導体チップ（以下、単に「チップ」ともいう）ＣＰの一方の面ＣＰ１が接着シートＡＳの接着面ＡＳ１側に貼付された一体物ＷＫから当該チップＣＰを取り外す装置であって、接着シートＡＳの接着力を低下させる接着力低下手段１０と、接着シートＡＳに貼付されているチップＣＰを保持する被着体保持手段２０と、チップＣＰを保持した被着体保持手段２０と接着シートＡＳとを相対移動させ、当該チップＣＰを接着シートＡＳから取り外す取外し手段３０とを備え、一体物ＷＫを支持する一体物支持手段４０と、チップＣＰが貼付されるリードフレームや基板等の支持体ＳＢを支持する支持体支持手段５０との近傍に配置されている。
【００１１】
なお、接着シートＡＳには、図１中符号ＡＡを付した図に示すように、所定のエネルギーとしての熱が付与されることで膨張し、当該接着シートＡＳの接着力を低下させる膨張性粒子ＳＧが添加されている。
また、本実施形態の接着シートＡＳは、基材シートＢＳと、接着剤層ＡＬと、チップＣＰを他のものとしての支持体ＳＢに接着可能な転着用接着剤層ＡＤとを有し、転着用接着剤層ＡＤを介してチップＣＰが貼付され、熱が付与されることで、転着用接着剤層ＡＤとの接着力が低下する。
さらに、本実施形態の接着シートＡＳは、接着剤層ＡＬのみに膨張性粒子ＳＧが添加されたものが採用され、その外縁部にフレーム部材としてのリングフレームＲＦが貼付されて一体物ＷＫを形成している。
【００１２】
接着力低下手段１０は、チップＣＰが貼付されている接着シートＡＳの被着体貼付領域ＳＡに、当該チップＣＰの他方の面ＣＰ２側から熱を付与するコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の第１のエネルギー付与手段１１を備えている。
【００１３】
被着体保持手段２０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持面２１Ａを有する保持部材２１を備えている。なお、本実施形態の場合、第１のエネルギー付与手段１１は、保持部材２１に内蔵されている。
【００１４】
取外し手段３０は、左右方向に移動可能なスライダ３１Ａを備えた駆動機器としてのリニアモータ３１と、スライダ３１Ａに支持され、前後方向に移動可能なスライダ３２Ａを備えた駆動機器としてのリニアモータ３２と、スライダ３２Ａに支持され、上下方向に移動可能かつ延出方向（上下方向）を中心に回転可能な出力軸３３Ａを備えた駆動機器としての直動回転モータ３３と、ブラケット３４Ａを介して直動回転モータ３３に支持されたカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の位置検知機器３４とを備え、直動回転モータ３３の出力軸３３Ａで保持部材２１を支持している。
【００１５】
一体物支持手段４０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持面４１Ａを有する支持テーブル４１を備えている。
【００１６】
支持体支持手段５０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持面５１Ａを有する支持テーブル５１を備えている。
【００１７】
以上のピックアップ装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、各部材が図１中実線で示す初期位置で待機しているピックアップ装置ＥＡに対し、当該ピックアップ装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が、接着シートＡＳにおける接着面ＡＳ１の反対側の反接着面ＡＳ２が保持面４１Ａ側となるようにして一体物ＷＫを一体物支持手段４０上に載置するとともに、支持体ＳＢを支持体支持手段５０上に載置すると、ピックアップ装置ＥＡが以下のピックアップ動作を行う。すなわち、一体物支持手段４０および支持体支持手段５０がそれぞれ図示しない減圧手段を駆動し、保持面４１Ａおよび５１Ａでの一体物ＷＫおよび支持体ＳＢの吸着保持を開始する。次いで、取外し手段３０がリニアモータ３１、３２、直動回転モータ３３および位置検知機器３４を駆動し、位置検知機器３４の検知結果を基にして、チップＣＰが所定の位置および所定の方向で保持部材２１に保持されるように当該保持部材２１を移動させ、図１中二点鎖線で示すように、保持面２１ＡをチップＣＰの他方の面ＣＰ２に接触させる。この際、取外し手段３０は、ロードセルや圧力センサ等の図示しない押圧力検知機器の検知結果を基にして、保持部材２１を介してチップＣＰに付与する押圧力が所定の押圧力となるように、リニアモータ３１、３２および直動回転モータ３３を駆動する。
【００１８】
その後、接着力低下手段１０が第１のエネルギー付与手段１１を駆動し、チップＣＰの他方の面ＣＰ２側から被着体貼付領域ＳＡに熱を付与すると、図１中符号ＢＢを付した図に示すように、当該被着体貼付領域ＳＡに位置する接着剤層ＡＬに添加されている膨張性粒子ＳＧが膨張し、当該被着体貼付領域ＳＡに無数の凸部ＣＶが形成される。被着体貼付領域ＳＡに無数の凸部ＣＶが形成されると、当該被着体貼付領域ＳＡの転着用接着剤層ＡＤに対する接着面積が減少し、接着シートＡＳの転着用接着剤層ＡＤに対する接着力が低下する。次に、取外し手段３０が、転着用接着剤層ＡＤが貼付されたチップＣＰ（以下、「接着剤付きチップＣＰ」という）を接着シートＡＳから取り外す。すなわち、被着体保持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面２１ＡでのチップＣＰの吸着保持を開始した後、取外し手段３０が直動回転モータ３３を駆動し、チップＣＰを吸着保持した保持部材２１を接着シートＡＳから離間させる。この際、被着体貼付領域ＳＡの転着用接着剤層ＡＤに対する接着力が低下しているので、取外し手段３０は、接着剤付きチップＣＰを容易に接着シートＡＳから取り外すことができる。
【００１９】
そして、取外し手段３０がリニアモータ３１、３２、直動回転モータ３３および位置検知機器３４を駆動し、位置検知機器３４の検知結果を基にして、保持部材２１で保持した接着剤付きチップＣＰが所定の位置および所定の方向で支持体ＳＢに接着するように当該保持部材２１を移動させ、図１中二点鎖線で示すように、転着用接着剤層ＡＤを支持体ＳＢの上面に接触させる。この際、取外し手段３０は、図示しない押圧力検知機器の検知結果を基にして、保持部材２１を介して接着剤付きチップＣＰに付与する押圧力が所定の押圧力となるように、リニアモータ３１、３２および直動回転モータ３３を駆動する。チップＣＰが転着用接着剤層ＡＤを介して支持体ＳＢの上面に貼付されると、被着体保持手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面２１ＡでのチップＣＰの吸着保持を解除する。次いで、取外し手段３０がリニアモータ３１、３２および直動回転モータ３３を駆動し、保持部材２１を初期位置に復帰させると、支持体支持手段５０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面５１Ａでの支持体ＳＢの吸着保持を解除してピックアップ動作が完了する。
【００２０】
その後、使用者または図示しない搬送手段が、チップＣＰが取り付けられた支持体ＳＢを別の工程に搬送した後、新たな支持体ＳＢを支持体支持手段５０上に載置する支持体入換動作を行い、ピックアップ装置ＥＡによるピックアップ動作と支持体入換動作とが繰り返される。次に、全てのチップＣＰまたは所定数のチップＣＰが接着シートＡＳから取外された後、ピックアップ動作が完了すると、一体物支持手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面４１Ａでの一体物ＷＫの吸着保持を解除する。そして、使用者または図示しない搬送手段が、チップＣＰが取り付けられた支持体ＳＢを別の工程に搬送するとともに、一体物ＷＫからチップＣＰが取り外されたものを保持面４１Ａ上から取り去り、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２１】
以上のような実施形態によれば、一方の面ＣＰ１側が接着シートＡＳに貼付されたチップＣＰの他方の面ＣＰ２側から、当該接着シートＡＳの接着力が低下する熱を付与し、当該チップＣＰが貼付されている被着体貼付領域ＳＡの接着力を低下させるので、接着シートＡＳの反接着面ＡＳ２側に配置する構成物が制約されることはなく、設計の自由度が低下することを防止することができる。
【００２２】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、被着体保持手段は、接着シートが貼付されている被着体を保持可能であれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【００２３】
本発明のピックアップ装置ＥＡは、図２（Ａ）に示すように、接着力低下手段１０が、被着体貼付領域ＳＡに、接着シートＡＳにおける反接着面ＡＳ２側から熱を付与するコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の第２のエネルギー付与手段１２を備えていてもよい。
このような第２のエネルギー付与手段１２は、例えば、支持テーブル４１に内蔵され、保持部材２１でチップＣＰを保持する前段で、被着体貼付領域ＳＡに熱を付与し、前記実施形態と同様の原理で、接着シートＡＳ全体または、接着シートＡＳの一部の転着用接着剤層ＡＤに対する接着力を低下させることができる。
【００２４】
また、本発明のピックアップ装置ＥＡは、図２（Ｂ）に示すように、反接着面ＡＳ２側からチップＣＰを突き上げる突上手段６０を採用し、第２のエネルギー付与手段１２が突上手段６０に内蔵されていてもよい。
このような突上手段６０は、図２（Ｂ−１）に示すように、左右方向に移動可能なスライダ６１Ａを備えた駆動機器としてのリニアモータ６１と、スライダ６１Ａに支持され、前後方向に移動可能なスライダ６２Ａを備えた駆動機器としてのリニアモータ６２と、スライダ６２Ａに支持され、上下方向に移動可能な出力軸６３Ａを備えた駆動機器としての直動モータ６３と、ブラケット６４Ａを介して直動モータ６３に支持されたカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の位置検知機器６４と、直動モータ６３の出力軸６３Ａに支持された突上げ部材６５とを備え、当該突上げ部材６５に第２のエネルギー付与手段１２が内蔵されていている。
この場合、保持部材２１でチップＣＰを保持する前段で、突上手段６０がリニアモータ６１、６２、直動モータ６３および位置検知機器６４を駆動し、図２（Ｂ−２）に示すように、位置検知機器６４の検知結果を基にして、突上げ部材６５でチップＣＰを突き上げる。次いで、接着力低下手段１０が第２のエネルギー付与手段１２を駆動し、被着体貼付領域ＳＡに熱を付与し、前記実施形態と同様の原理で接着シートＡＳの転着用接着剤層ＡＤに対する接着力を低下させる。その後は、前記実施形態と同様の動作が行われ、図２（Ｂ−２）中二点鎖線で示すように、保持面２１ＡをチップＣＰの他方の面ＣＰ２に接触させた後、第１のエネルギー付与手段１１で被着体貼付領域ＳＡに熱を付与し、チップＣＰを接着シートＡＳから取り外す。
以上のように、本発明のピックアップ装置ＥＡは、接着シートＡＳの反接着面ＡＳ２側に配置する構成物が制約されることがないので、図２（Ａ）、（Ｂ）のような構成物の他、必要に応じて他の構成物を自由に接着シートＡＳの反接着面ＡＳ２側に配置することができ、設計の自由度が低下することを防止することができる。
【００２５】
接着力低下手段１０は、保持部材２１の外部に第１のエネルギー付与手段１１が設けられていたり、突上げ部材６５の外部に第２のエネルギー付与手段１２が設けられていたりしてもよく、例えば、保持部材２１や突上げ部材６５にブラケットを介して第１のエネルギー付与手段１１や第２のエネルギー付与手段１２が支持されていてもよいし、第１のエネルギー付与手段１１が駆動機器によって保持部材２１と入れ替わるように構成し、チップＣＰの他方の面ＣＰ２側に当該第１のエネルギー付与手段１１が配置されるようにしてもよいし、第１のエネルギー付与手段１１と第２のエネルギー付与手段１２とを同種のもので構成してもよいし、異なるもので構成してもよいし、第１、第２のエネルギー付与手段１１、１２として、１つのチップＣＰに対応した被着体貼付領域ＳＡ毎に熱を付与するものを採用したり、複数のチップＣＰに対応した被着体貼付領域ＳＡに熱を付与するものを採用したり、被着体貼付領域ＳＡに対して部分的に熱を付与する第１のエネルギー付与手段と一体物ＷＫとを相対移動させ、被着体貼付領域ＳＡ全体に熱を付与したりしてもよいし、膨張性粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して、被着体貼付領域ＳＡに熱を付与する時間を任意に決定することができるし、第１、第２のエネルギー付与手段１１、１２として、赤外線ヒータ、温水給湯器、ＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等を採用し、接着シートＡＳの接着力を低下させてもよいし、以上に例示したものや、各種のエネルギーを出力可能な公知のエネルギー出力手段を適宜に組み合わせた第１、第２のエネルギー付与手段１１、１２を採用してもよいし、被着体貼付領域ＳＡの一端から他端に向けて徐々にエネルギーを付与してもよいし、被着体貼付領域ＳＡの中央部から外縁部に向けて徐々にエネルギーを付与してもよいし、被着体貼付領域ＳＡの外縁部から中央部に向けて徐々にエネルギーを付与してもよい。
【００２６】
被着体保持手段２０は、チップＣＰを１つだけ保持可能な構成でもよいし、複数保持可能な構成でもよく、１つまたは複数保持したチップＣＰを取外し手段３０で接着シートＡＳから取り外してもよいし、接着シートＡＳから取り外した１つまたは複数のチップＣＰを取外し手段３０で支持体ＳＢに貼付してもよい。
【００２７】
取外し手段３０は、チップＣＰを保持した被着体保持手段２０と接着シートＡＳとの一方の移動を規制した状態で他方を移動させたり、それら両方を移動させたりすることで、チップＣＰを接着シートＡＳから取り外してもよいし、チップＣＰを保持した被着体保持手段２０と支持体ＳＢとの一方の移動を規制した状態で他方を移動させたり、それら両方を移動させたりすることで、チップＣＰを支持体ＳＢに貼付してもよいし、位置検知機器３４を備えていなくてもよいし、接着シートＡＳから取り外したチップＣＰを他のものに貼付しなくてもよい。
【００２８】
一体物支持手段４０は、一体物ＷＫを保持する保持手段を備えていなくてもよいし、本発明のピックアップ装置ＥＡに備わっていてもよいし、ピックアップ装置ＥＡに備わっていなくてもよく、一体物支持手段４０がピックアップ装置ＥＡに備わっていていない場合、当該ピックアップ装置ＥＡは、前記実施形態で例示したピックアップ動作において、保持面４１Ａで一体物ＷＫを吸着保持する工程等を実施しなくてもよい。
【００２９】
支持体支持手段５０は、支持体ＳＢを保持する保持手段を備えていていなくてもよいし、本発明のピックアップ装置ＥＡに備わっていてもよいし、本発明のピックアップ装置ＥＡに備わっていなくてもよく、支持体支持手段５０がピックアップ装置ＥＡに備わっていていない場合、当該ピックアップ装置ＥＡは、前記実施形態で例示したピックアップ動作において、保持面５１Ａで支持体ＳＢを吸着保持する工程や、保持部材２１で保持した接着剤付きチップＣＰを支持体ＳＢの上面に貼付する工程等を実施しなくてもよい。
【００３０】
突上手段６０は、第２のエネルギー付与手段１２を内蔵していない突上げ部材６５でチップＣＰを突き上げてもよいし、位置検知機器６４を備えていなくてもよいし、本発明のピックアップ装置ＥＡに備わっていなくてもよい。
【００３１】
接着シートＡＳは、熱湯や熱風等の熱、冷却された気体や液体等の冷却媒体、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等のあらゆる波長の電磁波、振動、薬品、化学物質等を所定のエネルギーとし、当該所定のエネルギーが付与されることで膨張し、当該接着シートＡＳの接着力を低下させる膨張性粒子ＳＧが添加されたものが採用されてもよく、第１、第２のエネルギー付与手段１１、１２は、膨張性粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮し、熱、冷却媒体、あらゆる波長の電磁波、振動、薬品、化学物質等を付与して当該膨張性粒子ＳＧを膨張させ、接着シートＡＳの接着力を低下できればどのような構成のものでもよい。
接着シートＡＳは、当該接着シートＡＳを構成する基材シートＢＳのみに膨張性粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層ＡＬと基材シートＢＳとの両方に膨張性粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層ＡＬと基材シートＢＳとの中間に１または複数の中間層が存在し、当該中間層、接着剤層ＡＬおよび基材シートＢＳのうち少なくとも１つまたは少なくとも２つに膨張性粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、チップＣＰにおける回路が形成された面に貼付されていてもよいし、回路が形成されていない面に貼付されていてもよいし、接着剤層ＡＬと基材シートＢＳとの両方に膨張性粒子ＳＧが添加されている場合や、中間層、接着剤層ＡＬおよび基材シートＢＳのうち少なくとも２つに膨張性粒子ＳＧが添加されている場合、それら膨張性粒子ＳＧは、同一のものでもよいし、同一でないものでもよい。
チップＣＰは、一方の面および他方の面のうち少なくとも一方に所定の回路が形成されていてもよいし、それら両方に回路が形成されていなくてもよい。
接着シートＡＳは、転着用接着剤層ＡＤを有しておらず、接着剤層ＡＬに直接チップＣＰが貼付されていてもよい。この場合、接着力低下手段１０が第１のエネルギー付与手段１１を駆動し、チップＣＰの他方の面ＣＰ２側から被着体貼付領域ＳＡに熱を付与すると、接着シートＡＳは、チップＣＰとの接着力が低下するようになる。そして、取外し手段３０が各駆動機器を駆動し、当該チップＣＰのみを接着シートＡＳから取り外す。なお、接着シートＡＳから取り外したチップＣＰを他のものに接着させる場合には、例えば、取外し手段３０で搬送中のチップＣＰに接着剤や粘着テープ等の接着手段を積層すればよい。
被着体は、例えば、半導体ウエハや硝子板等の母材に、外力が付与されることで割断される改質部や溝等の割断容易部が形成され、当該割断容易部によって区分された領域でもよい。この場合、割断容易部によって区分された領域を被着体保持手段２０で保持し、取外し手段３０で接着シートＡＳから取り外す力を外力として被着体を取り外してもよい。なお、このような割断容易部は、レーザ光線、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等を付与し、母材の特性、特質、性質、材質、組成、構成、寸法等を変更することで、当該母材を脆弱化、粉砕化、液化または空洞化して形成してもよく、割断容易部は、例えば、Ｘ軸と平行な１本でもよいし、Ｙ軸と平行な１本でもよいし、Ｘ軸やＹ軸と平行でない１本または複数でもよいし、相互に不等間隔な複数でもよいし、相互に平行または平行でない複数でもよいし、相互に交差しない複数でもよいし、相互に直交または斜交する複数でもよいし、曲線状または折線状の１本または複数でもよく、そのような割断容易部によって形成される被着体の形状は、円形、楕円形、三角形または四角形以上の多角形等、どのような形状でもよい。
一体物ＷＫは、接着シートＡＳに貼付されたチップＣＰが１つでもよいし、２つ以上でもよいし、チップＣＰが接着シートＡＳを介してフレーム部材とは異なるもの一体化されたものでもよいし、環状または環状でないフレーム部材が貼付されていてもよいし、フレーム部材が貼付されていなくてもよい。
【００３２】
膨張性粒子ＳＧは、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱によって容易にガス化して膨張する物質が弾性を有する殻内に内包された微粒子等が例示でき、特願２０１７−７３２３６、特開２０１３−１５９７４３、特開２０１２−１６７１５１、特開２００１−１２３００２等で開示されている熱発泡性微粒子や、特開２０１３−４７３２１、特開２００７−２５４５８０、特開２０１１−２１２５２８、特開２００３−２６１８４２等で開示されている膨張性粒子等、何ら限定されるものではなく、例えば、熱分解して、水、炭酸ガス、窒素を発生させて膨張性粒子と類似の効果を奏する発泡剤を採用してもよいし、特開２０１６−５３１１５、特開平７−２７８３３３で開示されている紫外線により気体を発生するアゾ化合物等の気体発生剤で殻を膨張させるものでもよいし、例えば、加熱によって膨張するゴムや樹脂等でもよいし、その他、重曹、炭酸水素ナトリウム、ベーキングパウダ等でもよい。
【００３３】
本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳおよび被着体は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層ＡＬだけの単層のもの、基材シートＢＳと接着剤層ＡＬとの間に中間層を有するもの、基材シートＢＳの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートＢＳを接着剤層ＡＬから剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００３４】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。
【符号の説明】
【００３５】
ＥＡ…ピックアップ装置
１０…接着力低下手段
１１…第１のエネルギー付与手段
１２…第２のエネルギー付与手段
２０…被着体保持手段
３０…取外し手段
６０…突上手段
ＡＤ…転着用接着剤層
ＡＳ…接着シート
ＡＳ１…接着面
ＡＳ２…反接着面
ＣＰ…半導体チップ（被着体）
ＣＰ１…一方の面
ＣＰ２…他方の面
ＳＡ…被着体貼付領域
ＳＢ…支持体（他のもの）
ＳＧ…膨張性粒子
ＷＫ…一体物
【図１】
2020021915.tif 000003
【図２】
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