(57)【要約】【課題】検査用ガスの充填速度を高めてガスリークの検査時間を短縮することである。【解決手段】燃料電池単セル（１０）用のガスリーク検査装置（３０）は、燃料電池単セルの第１のセパレータ（１２）の山部（１６ａ）に当接して谷部（１６ｂ）との間に第１の検査空間（Ｓ１）を形成する第１の治具（４０）と、燃料電池単セルの第２のセパレータ（１３）の山部（１７ａ）に当接して谷部（１７ｂ）との間に第２の検査空間（Ｓ２）を形成する第２の治具（６０）と、第１、第２の検査空間に検査用ガスを充填するガス充填部とを備えている。各セパレータに対する各治具の対向面には当該対向面と第１のセパレータの断面波型部の山部との当接箇所を横切るように溝部が形成され、第１の治具には第１の検査空間及び第２の検査空間を挟んだ二箇所に検査用ガスの供給口が形成されると共に二箇所の供給口を繋ぐ治具内通路が形成されている。【選択図】図３
2020076588.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス拡散層で電極を覆った電極アッセンブリと、前記電極アッセンブリの一方の主面に接合され、山部と谷部を交互に形成した断面波型部を有する第１のセパレータと、前記電極アッセンブリの他方の主面に接合され、山部と谷部を交互に形成した断面波型部を有する第２のセパレータとを備えた燃料電池単セルのガスリークを検査するガスリーク検査装置であって、
前記第１のセパレータの断面波型部の山部に当接して当該断面波型部の谷部との間に第１の検査空間を形成する第１の治具と、
前記第２のセパレータの断面波型部の山部に当接して当該断面波型部の谷部との間に第２の検査空間を形成する第２の治具と、
前記第１の検査空間及び前記第２の検査空間に検査用ガスを充填するガス充填部とを備え、
前記第１のセパレータに対する前記第１の治具の対向面には、当該対向面と前記第１のセパレータの断面波型部の山部との当接箇所を横切るように溝部が形成され、
前記第２のセパレータに対する前記第２の治具の対向面には、当該対向面と前記第２のセパレータの断面波型部の山部との当接箇所を横切るように溝部が形成され、
前記第１の治具及び前記第２の治具の少なくとも一方には、前記第１の検査空間及び前記第２の検査空間を挟んだ二箇所に検査用ガスの供給口が形成されると共に、前記二箇所の供給口を繋ぐ治具内通路が形成されたことを特徴とするガスリーク検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスリーク検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、燃料電池単セルのガスリーク検査装置として、燃料電池単セル内に充填したガス圧の変化からガスリークの有無を検査するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のガスリーク検査装置は、燃料電池単セルの周囲がシール材でシールされた状態で、上治具と下治具が燃料電池単セルの断面波型形状の上下のセパレータに突き当てられる。上治具と上側セパレータの谷部の間の検査空間、下治具と下側セパレータの谷部の間の検査空間にそれぞれ検査用ガスが充填され、所定時間経過後の検査用ガスの圧力変化が測定される。そして、検査用ガスの圧力変化が所定の範囲内か否かに応じて燃料電池単セルのガスリークの有無が検査される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１６４８２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、断面波型形状の上下のセパレータの山部が上治具及び下治具に強く当接していると、検査空間内のガスの流動がセパレータの山部と治具の当接箇所で阻害されて検査用ガスの充填時間が長くなる。また、上治具と上側セパレータの谷部の間の空間、下治具と下側セパレータの谷部の間の空間をそれぞれ広げて、上治具及び下治具とセパレータ等との当接を避ける構成も考えられるが、空間が広げられた分だけ検査用ガスの充填時間が長くなる。
【０００５】
本発明では、検査用ガスの充填速度を高めてガスリークの検査時間を短縮することができるガスリーク検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明に係るガスリーク検査装置は、ガス拡散層で電極を覆った電極アッセンブリと、前記電極アッセンブリの一方の主面に接合され、山部と谷部を交互に形成した断面波型部を有する第１のセパレータと、前記電極アッセンブリの他方の主面に接合され、山部と谷部を交互に形成した断面波型部を有する第２のセパレータとを備えた燃料電池単セルのガスリークを検査するガスリーク検査装置であって、前記第１のセパレータの断面波型部の山部に当接して当該断面波型部の谷部との間に第１の検査空間を形成する第１の治具と、前記第２のセパレータの断面波型部の山部に当接して当該断面波型部の谷部との間に第２の検査空間を形成する第２の治具と、前記第１の検査空間及び前記第２の検査空間に検査用ガスを充填するガス充填部とを備え、前記第１のセパレータに対する前記第１の治具の対向面には、当該対向面と前記第１のセパレータの断面波型部の山部との当接箇所を横切るように溝部が形成され、前記第２のセパレータに対する前記第２の治具の対向面には、当該対向面と前記第２のセパレータの断面波型部の山部との当接箇所を横切るように溝部が形成され、前記第１の治具及び前記第２の治具の少なくとも一方には、前記第１の検査空間及び前記第２の検査空間を挟んだ二箇所に検査用ガスの供給口が形成されると共に、前記二箇所の供給口を繋ぐ治具内通路が形成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ガスリーク検査時に治具内に検査用ガスが導入されると、治具内通路を検査用ガスが流れることで、第１、第２の検査空間を挟んだ二箇所の供給口から各検査空間に検査用ガスが流れ込む。また、第１のセパレータに対する第１の治具の対向面及び第２のセパレータに対する第２の治具の対向面に形成された溝部を検査用ガスが通過することで、当該対向面と各セパレータの山部が強く当接していても当接箇所によって検査用ガスの流れが妨げられ難くなっている。よって、検査用ガスの充填速度を高めてガスリークの検査時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本実施形態に係る燃料電池単セルの分解斜視図である。
【図２】比較例に係る検査用ガスの流れを示す図である。
【図３】本実施形態に係るガスリーク検査装置の模式図である。
【図４】本実施形態に係る第１の治具の下面図である。
【図５】本実施形態に係る第２の治具の上面図である。
【図６】本実施形態に係る検査用ガスの流れを示す図である。
【図７】本実施形態に係る第１の治具の変形例を示す要部拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付の図面を参照して、本実施形態の燃料電池単セルのガスリーク検査装置について説明する。先ず、検査対象である燃料電池単セルについて説明する。図１は、本実施形態の燃料電池単セルの分解斜視図である。
【００１０】
図１に示す燃料電池単セル１０は、燃料電池スタックの一単位を構成しており、重ねられることで燃料電池スタックを形成するものである。燃料電池単セル１０は、電極アッセンブリ１１と、電極アッセンブリ１１の両主面に接合された第１、第２のセパレータ１２、１３とによって平面視矩形状に形成されている。電極アッセンブリ１１は、シート状の膜電極接合体１４を矩形枠状の樹脂フレーム１５の内側で支持している。膜電極接合体１４は、いわゆるＭＥＧＡ（Membrane  Electrode  &  Gas  diffusion  layer  Assembly）であり、高分子電解質膜の一方の面のアノード電極及び高分子電解質膜の他方の面のカソード電極を一対のガス拡散層で覆っている。
【００１１】
膜電極接合体１４の高分子電解質膜は、固体高分子材料で形成されたプロトン伝導性のイオン交換膜で形成されている。アノード電極及びカソード電極は、例えば、白金等の触媒を担持した多孔質のカーボン素材によって形成されている。一対のガス拡散層は、例えば、カーボン多孔質体、金属多孔質体のようにガス透過性を有する導電性部材によって形成されている。また、一対のガス拡散層には、カーボン多孔質体として、例えばカーボンペーパ、カーボンクロスが使用され、金属多孔質体として、例えば金属メッシュ、発砲金属が使用されている。
【００１２】
樹脂フレーム１５は、ポリプロピレン、ポリエチレン等の熱可塑性樹脂で形成されている。樹脂フレーム１５には、燃料ガス（例えば水素ガス）用の開口２１ａ、２１ｂと、酸化剤ガス（例えば空気）用の開口２２ａ、２２ｂと、冷却媒体（例えば冷却水）用の開口２３ａ、２３ｂとが形成されている。燃料ガス用の開口２１ａ、２１ｂは膜電極接合体１４を挟んで樹脂フレーム１５の対角位置に形成されている。酸化剤ガス用の開口２２ａ、２２ｂは膜電極接合体１４を挟んで、樹脂フレーム１５に燃料ガス用の開口２１ａ、２１ｂとは逆の対角位置に形成されている。冷却媒体用の開口２３ａ、２３ｂは膜電極接合体１４を挟んで樹脂フレーム１５の対向位置に形成されている。
【００１３】
開口２１ａ−２３ａは発電領域である膜電極接合体１４に流体を送り込むための開口であり、開口２１ｂ−２３ｂは膜電極接合体１４を通過した流体を送り出すための開口である。また、燃料ガス用の開口２１ａ、２１ｂは、酸化剤ガス用の開口２２ａ、２２ｂと比べて小さく形成されている。これは、例えば、開口２１ａ、２１ｂからは燃料ガスとして高純度の水素ガスが膜電極接合体１４に送り込まれ、開口２２ａ、２２ｂからは酸化剤ガスとして低純度の酸素を含む空気が膜電極接合体１４に送り込まれるからである。
【００１４】
第１、第２のセパレータ１２、１３は、チタン、チタン合金又はステンレス鋼等の金属板材をプレス成形することによって形成されている。第１のセパレータ１２の外縁形状は、電極アッセンブリ１１と略同一形状に形成されており、樹脂フレーム１５と同様に燃料ガス、酸化剤ガス、冷却媒体用の開口２４ａ−２６ａ、２４ｂ−２６ｂが形成されている。同様に、第２のセパレータ１３の外縁形状も、電極アッセンブリ１１と略同一形状に形成されており、樹脂フレーム１５と同様に燃料ガス、酸化剤ガス、冷却媒体用の開口２７ａ−２９ａ、２７ｂ−２９ｂが形成されている。
【００１５】
第１、第２のセパレータ１２、１３の中央領域は、山部１６ａ、１７ａと谷部１６ｂ、１７ｂが交互に形成された断面波型部１６、１７（図６参照）が形成されている。第１のセパレータ１２の山部１６ａと膜電極接合体１４の間の空間は燃料ガス用の流路になっており、第２のセパレータ１３の山部１７ａと膜電極接合体１４の間の空間は酸化剤ガス用の流路になっている。複数の燃料電池単セル１０がスタックされた状態で、隣り合う燃料電池単セル１０の第１、第２のセパレータ１２、１３の谷部１６ｂ、１７ｂの間の空間は冷却媒体用の流路になっている。このように、膜電極接合体１４のアノード側には燃料ガスと冷却媒体の流路が交互に形成され、膜電極接合体１４のカソード側には酸化剤ガスと冷却媒体の流路が交互に形成されている。
【００１６】
燃料電池単セル１０では、第１のセパレータ１２と膜電極接合体１４に区画された流路に燃料ガスが供給され、第２のセパレータ１３と膜電極接合体１４に区画された流路に酸化剤ガスが供給される。燃料ガスと酸化剤ガスによって膜電極接合体１４で電気化学反応が起きて発電される。このとき、隣り合う燃料電池単セル１０の第１、第２のセパレータ１２、１３に区画された流路に冷却媒体が供給される。冷却媒体によって各燃料電池単セル１０が冷却されることで、反応熱による温度上昇が抑えられて発電性能が向上されている。
【００１７】
このような燃料電池単セル１０は、燃料ガス、酸化剤ガス、冷却媒体の各流路に対してガスリーク検査が実施されている。一般的なガスリーク検査では、検査用の一対の金属製の治具で燃料電池単セル１０を挟み込んで、検査対象となる流路に検査用ガスが充填される。そして、検査用ガスを封止した状態で流路内のガス圧が測定されて、所定時間経過後のガス圧変化から流路のガスリークが検査される。燃料ガス及び酸化剤ガスのガスリーク検査は極短時間で検査用ガスを充填できるが、冷却媒体のガスリーク検査は検査用ガスの充填時間が長くなる。
【００１８】
より詳細には、図２に示すように、冷却媒体の流路は、第１、第２の治具７１、７２と第１、第２のセパレータ１２、１３の谷部１６ｂ、１７ｂの間の空間Ｓ１、Ｓ２である。第１、第２のセパレータ１２、１３の山部１６ａ、１７ａは平坦に形成されており、第１、第２の治具７１、７２が第１、第２のセパレータ１２、１３の山部１６ａ、１７ａに広い範囲でメタルタッチ、すなわち隙間なく当接して、当接箇所で検査用ガスの流れが妨げられている。さらに、燃料電池単セル１０（第１のセパレータ１２）の開口周辺に設けたシール材１９（図７参照）によって、開口から入り込んだ検査用ガスの流れが部分的に妨げられている。
【００１９】
このように、一般的なガスリーク検査では、冷却媒体の流路には検査用ガスの流れを妨げる箇所が多く、検査用ガスの充填速度が遅くなって検査時間が長くなる。そこで、本実施形態のガスリーク検査装置３０では、当接箇所で検査用ガスの流れが妨げられないように、第１、第２のセパレータ１２、１３の断面波型部１６、１７に対する第１、第２の治具４０、６０の対向面４３、６３に溝部４４、６４が形成されている（図４及び図５参照）。また、第１の治具４０の入口４５側及び出口４６側の供給口５４、５５の二箇所から検査用ガスが充填可能なように治具内通路４７が形成されている（図４参照）。
【００２０】
以下、図３から図５を参照して、本実施形態のガスリーク検査装置の詳細について説明する。図３は、本実施形態のガスリーク検査装置の模式図である。図４は、本実施形態の第１の治具の下面図である。図５は、本実施形態の第２の治具の上面図である。なお、検査用ガスとしては、例えば窒素ガスが使用される。
【００２１】
図３に示すように、ガスリーク検査装置３０には、第１のセパレータ１２の山部１６ａに当接して谷部１６ｂとの間に第１の検査空間Ｓ１を形成する金属製の第１の治具４０と、第２のセパレータ１３の山部１７ａに当接して谷部１７ｂとの間に第２の検査空間Ｓ２を形成する金属製の第２の治具６０とが設けられている。第１の治具４０には、検査用ガスを充填するための入口４５と、ガスリーク検査後に排気するための出口４６が形成されている。検査用ガスの入口４５には配管を通じてガス充填部３１が接続され、検査用ガスの出口４６には配管を通じて排気設備（不図示）が接続されている。入口４５側の配管の途中には圧力センサ３２及びバルブ３３が設けられ、出口４６側の配管の途中にはバルブ３４が設けられている。
【００２２】
ガスリーク検査装置３０のガスリーク検査では、第１の治具４０の出口４６が封止された状態で、第１、第２の検査空間Ｓ１、Ｓ２のガス圧が所定圧になるまで、ガス充填部３１から第１、第２の検査空間Ｓ１、Ｓ２に検査用ガスが充填される。そして、所定時間経過後のガス圧の変化が圧力センサ３２によって測定されて、ガス圧の変化量が許容範囲か否かに応じてガスリークの有無が検査される。このとき、第１、第２の治具４０、６０によって第１、第２の検査空間Ｓ１、Ｓ２に対する検査用ガスの充填速度が高められてガスリークの検査時間が短縮されている。
【００２３】
図４に示す第１の治具４０の下面は第１のセパレータ１２に対向する対向面４３になっている。対向面４３の外周領域は燃料電池単セル１０のシール材１９（図７参照）に当接され、対向面４３の内側領域は第１のセパレータ１２に当接される。対向面４３の内側領域には、第１のセパレータ１２の山部１６ａ（図６参照）との接触を避ける複数の溝部４４が形成されている。複数の溝部４４は、斜交する斜め溝と逆斜め溝から成り、第１のセパレータ１２で形成される流路方向に非平行に延在している。すなわち、複数の溝部４４は、対向面４３と第１のセパレータ１２の山部１６ａとの当接箇所を横切るように形成されている。この複数の溝部４４によって対向面４３と第１のセパレータ１２の山部１６ａの当接箇所を検査用ガスが通過する流路が形成される。
【００２４】
第１の治具４０の長手方向の一側面４１にはガス充填用の入口４５が形成され、第１の治具４０の長手方向の他側面４２にはガス排気用の出口４６が形成されている。第１の治具４０には、入口４５と出口４６を連ねる治具内通路４７が形成されている。治具内通路４７は、入口４５から内側に向かう横穴５１と出口４６から内側に向かう横穴５２とを縦穴５３で連ねて形成されている。また、第１の治具４０の短手方向の一側面４８には縦穴５３の入口４９が形成されているが、縦穴５３を通じて治具内通路４７が外部に連ならないように縦穴の入口４９は栓（不図示）で封止されている。
【００２５】
第１の治具４０の入口４５付近には治具内通路４７から下面に貫通する一対の供給口５４が形成され、第１の治具４０の出口４６付近には治具内通路４７から下面に貫通する一対の供給口５５が形成されている。一対の供給口５４は燃料電池単セル１０の開口２６ａ（図１参照）に対応した位置に形成され、一対の供給口５５は燃料電池単セル１０の開口２６ｂ（図１参照）に対応した位置に形成されている。このように、入口４５側の一対の供給口５４からだけでなく、治具内通路４７を通じて出口４６側の一対の供給口５５からも第１、第２の検査空間Ｓ１、Ｓ２（図３参照）に検査用ガスが充填される。
【００２６】
図５に示す第２の治具６０の上面は第２のセパレータ１３に対向する対向面６３になっている。対向面６３の外周領域は燃料電池単セル１０に当接するシール材６５が設けられ、対向面６３の内側領域は第２のセパレータ１３に当接される。対向面６３の内側領域には、第２のセパレータ１３の山部１７ａ（図６参照）との接触を避ける複数の溝部６４が形成されている。複数の溝部６４は、直交する縦溝と横溝から成り、第２のセパレータ１３で形成される流路方向と非平行に延びている。すなわち、複数の溝部６４は、対向面６３と第２のセパレータ１３の山部１７ａとの当接箇所を横切るように形成されている。この複数の溝部６４によって対向面６３と第２のセパレータ１３の山部１７ａの当接箇所を検査用ガスが通過する流路が形成されている。
【００２７】
図６を参照して、第１、第２の治具及び燃料電池単セル内の検査用ガスの流れについて説明する。図６は、本実施形態に係る検査用ガスの流れを示す図である。
【００２８】
図６に示すように、第１の治具４０の入口４５側から検査用ガスが充填されると、入口４５付近の一対の供給口５４から一部の検査用ガスが燃料電池単セル１０の一端側に流れ込む。一対の供給口５４を通過した検査用ガスは、第１の治具４０と第１のセパレータ１２の谷部１６ｂとの間の第１の検査空間Ｓ１に流れ込むと共に、燃料電池単セル１０の開口を通じて第２の治具６０と第２のセパレータ１３の谷部１７ｂとの間の第２の検査空間Ｓ２に流れ込む。これにより、治具内通路４７の手前の一対の供給口５４を通じて、燃料電池単セル１０の一端側から第１、第２の検査空間Ｓ１、Ｓ２に検査用ガスが充填される。
【００２９】
一方で、一対の供給口５４を素通りした検査用ガスは治具内通路４７を出口４６側に向かって流れ、出口４６付近の一対の供給口５５から一部の検査用ガスが燃料電池単セル１０の他端側に流れ込む。一対の供給口５５を通過した検査用ガスは、第１の治具４０と第１のセパレータ１２の谷部１６ｂとの間の第１の検査空間Ｓ１に流れ込むと共に、燃料電池単セル１０の開口を通じて第２の治具６０と第２のセパレータ１３の谷部１７ｂとの間の第２の検査空間Ｓ２に流れ込む。これにより、治具内通路４７の奥側の一対の供給口５５を通じて、燃料電池単セル１０の他端側から第１、第２の検査空間Ｓ１、Ｓ２に検査用ガスが充填される。
【００３０】
また、第１の治具４０の対向面４３が第１のセパレータ１２の山部１６ａに強く当接しているが、対向面４３に形成された溝部４４を検査用ガスが通過することで、当接箇所で検査用ガスの流れが強く妨げられることがない。このように、第１の治具４０の入口４５側及び出口４６側から第１の検査空間Ｓ１に検査用ガスが流れ込むと共に、対向面４３の溝部４４を介して当接箇所を検査用ガスが通過することで、第１の検査空間Ｓ１に検査用ガスが素早く広げられる。よって、第１の検査空間Ｓ１に対する検査用ガスの充填時間を短縮することができる。
【００３１】
同様に、第２の治具６０の対向面６３が第２のセパレータ１３の山部１７ａに強く当接しているが、対向面６３に形成された溝部６４を検査用ガスが通過することで、当接箇所で検査用ガスの流れが強く妨げられることがない。このように、第１の治具４０の入口４５側及び出口４６側から第２の検査空間Ｓ２に検査用ガスが流れ込むと共に、対向面６３の溝部６４を介して当接箇所を検査用ガスが通過することで、第２の検査空間Ｓ２に検査用ガスが素早く広げられる。よって、第２の検査空間Ｓ２に対する検査用ガスの充填時間も短縮することができる。
【００３２】
なお、本実施の形態では、図７の点線に示す第１の治具４０の入口４５側の一対の供給口５４が燃料電池単セル１０の開口に対応した位置に形成されている。このため、燃料電池単セル１０の開口の周辺のシール材１９によって、一対の供給口５４から入り込んだ検査用ガスの流れが部分的に妨げられている。この場合、一対の供給口５４に加えて、燃料電池単セル１０の開口から外れた位置に供給口５７が形成されてもよい。これにより、供給口５７から入り込んだ検査用ガスの流れがシール材１９によって妨げられることがない。同様に、第１の治具４０の出口４６側にも燃料電池単セル１０の開口から外れた位置に供給口（不図示）が形成されてもよい。
【００３３】
以上のように、本実施形態のガスリーク検査装置３０では、ガスリーク検査時に治具内に検査用ガスが導入されると、治具内通路４７を検査用ガスが流れることで、第１、第２の検査空間Ｓ１、Ｓ２を挟んだ二箇所の供給口５４、５５から各検査空間Ｓ１、Ｓ２に検査用ガスが流れ込む。また、第１のセパレータ１２に対する第１の治具４０の対向面４３及び第２のセパレータ１３に対する第２の治具６０の対向面６３に形成された溝部４４、６４を検査用ガスが通過する。このため、当該対向面４３、６３と各セパレータ１２、１３の山部１６ａ、１７ａが強く当接していても当接箇所によって検査用ガスの流れが妨げられ難くなっている。よって、検査用ガスの充填速度を高めてガスリークの検査時間を短縮することができる。
【００３４】
また、本実施形態では、第１の治具４０に入口４５と出口４６が形成されたが、第２の治具６０に入口４５と出口４６が形成されていてもよいし、第１、第２の治具４０、６０の両方に入口４５と出口４６が形成されていてもよい。したがって、第２の治具６０に治具内通路４７が形成されていてもよいし、第１、第２の治具４０、６０の両方に治具内通路４７が形成されていてもよい。
【００３５】
また、本実施形態では、入口付近に供給口５４、出口付近に供給口５５が形成され、供給口５４、５５を繋ぐように治具内通路４７が形成されたが、この構成に限定されない。供給口５４、５５は第１、第２の検査空間Ｓ１、Ｓ２を挟んだ二箇所に形成され、この二箇所の供給口５４、５５を繋ぐように治具内通路４７が形成されていればよい。
【００３６】
また、本実施形態について説明したが、他の実施形態として実施形態および変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。さらに、本開示の技術は本実施形態に限定されるものではなく、技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩または派生する別技術によって、技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。
【符号の説明】
【００３７】
１０：燃料電池単セル、１１：電極アッセンブリ、１２：第１のセパレータ、１３：第２のセパレータ、１４：膜電極接合体、３０：ガスリーク検査装置、３１：ガス充填部、４０：第１の治具、４３：対向面、４４：溝部、４７：治具内通路、５４：供給口、５５：供給口、５７：供給口、６０：第２の治具、６３：対向面、６４：溝部、Ｓ１：第１の検査空間、Ｓ２：第２の検査空間
【図１】
2020076588.tif 000003
【図２】
2020076588.tif 000004
【図３】
2020076588.tif 000005
【図４】
2020076588.tif 000006
【図５】
2020076588.tif 000007
【図６】
2020076588.tif 000008
【図７】
2020076588.tif 000009