(57)【要約】【課題】容易に、撮影位置および分析位置を把握することができる走査電子顕微鏡を提供する。【解決手段】走査電子顕微鏡１００は、電子を検出する第１検出器と、Ｘ線を検出する第２検出器と、試料の全体像６０２上に、撮影位置を示す第１マーカー６０４および分析位置を示す第２マーカー６０６を配置して、表示部に表示させる画像処理部と、を含み、画像処理部は、表示部に表示された全体像６０２の倍率を変更する指示に基づいて、全体像６０２の倍率を変更し、倍率が変更された全体像６０２上に、倍率が変更される前の全体像６０２上に配置された第１マーカー６０４と同じ大きさの第１マーカー６０４を配置し、倍率が変更された全体像６０２上に、倍率が変更される前の全体像６０２上に配置された第２マーカー６０６と同じ大きさの第２マーカー６０６を配置する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に電子線を照射する光学系と、
前記試料に電子線が照射されることで放出される二次電子または反射電子を検出する第１検出器と、
前記試料に電子線が照射されることで放出されるＸ線またはオージェ電子を検出する第２検出器と、
前記第１検出器の出力信号に基づいて、走査電子顕微鏡像を生成する走査電子顕微鏡像生成部と、
前記第２検出器の出力信号に基づいて、元素分析を行う分析部と、
前記光学系、前記第１検出器、および前記第２検出器を制御する制御部と、
前記試料の全体像上に、撮影位置を示す第１マーカーおよび分析位置を示す第２マーカーを配置して、表示部に表示させる画像処理部と、
を含み、
前記画像処理部は、
前記表示部に表示された前記全体像の倍率を変更する指示に基づいて、前記全体像の倍率を変更し、
倍率が変更された前記全体像上に、倍率が変更される前の前記全体像上に配置された前記第１マーカーと同じ大きさの前記第１マーカーを配置し、
倍率が変更された前記全体像上に、倍率が変更される前の前記全体像上に配置された前記第２マーカーと同じ大きさの前記第２マーカーを配置する、走査電子顕微鏡。
【請求項２】
請求項１において、
前記画像処理部は、前記制御部から撮影の状態を示す第１制御情報を取得し、前記第１制御情報に基づいて、前記第１マーカーの色を変化させる、走査電子顕微鏡。
【請求項３】
請求項２において、
前記画像処理部は、前記第１制御情報に基づいて、前記第１マーカーを点滅させる、走査電子顕微鏡。
【請求項４】
請求項２または３において、
前記第１制御情報は、撮影中、または撮影済みであることを示す情報である、走査電子顕微鏡。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項において、
前記画像処理部は、前記制御部から元素分析の状態を示す第２制御情報を取得し、前記第２制御情報に基づいて、前記第２マーカーの色を変化させる、走査電子顕微鏡。
【請求項６】
請求項５において、
前記画像処理部は、前記第２制御情報に基づいて、前記第２マーカーを点滅させる、走査電子顕微鏡。
【請求項７】
請求項５または６において、
前記第２制御情報は、分析前、分析中、または分析済みであることを示す情報である、走査電子顕微鏡。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか１項において、
前記全体像上には、複数の前記第２マーカーが配置され、
前記画像処理部は、複数の前記第２マーカーに分析の順序を示す記号を付して前記表示部に表示させる、走査電子顕微鏡。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか１項において、
前記試料を光学的に撮影する光学撮像装置を含み、
前記全体像は、前記光学撮像装置で撮影された前記試料の像である、走査電子顕微鏡。
【請求項１０】
請求項１ないし８のいずれか１項において、
前記全体像は、コンピューターグラフィックスである、走査電子顕微鏡。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれか１項において、
前記画像処理部は、前記全体像上に配置された前記第１マーカーが選択された場合に、選択された前記第１マーカーが示す前記撮影位置における撮影結果を前記表示部に表示させる、走査電子顕微鏡。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれか１項において、
前記画像処理部は、前記全体像上に配置された前記第２マーカーが選択された場合に、選択された前記第２マーカーが示す前記分析位置における分析結果を前記表示部に表示させる、走査電子顕微鏡。
【請求項１３】
請求項１ないし１２のいずれか１項において、
前記制御部は、前記第２マーカーが示す前記分析位置で分析が行われるように前記光学系および前記第２検出器を制御する、走査電子顕微鏡。
【請求項１４】
試料に電子線を照射する光学系と、
前記試料に電子線が照射されることで放出される二次電子または反射電子を検出する検出器と、
前記検出器の出力信号に基づいて、走査電子顕微鏡像を生成する走査電子顕微鏡像生成部と、
前記光学系および前記検出器を制御する制御部と、
前記試料の全体像上に、撮影位置を示すマーカーを配置して、表示部に表示させる画像処理部と、
を含み、
前記画像処理部は、
前記表示部に表示された前記全体像の倍率を変更する指示に基づいて、前記全体像の倍率を変更し、
倍率が変更された前記全体像上に、倍率が変更される前の前記全体像上に配置された前記マーカーと同じ大きさの前記マーカーを配置する、走査電子顕微鏡。
【請求項１５】
試料に電子線を照射するための光学系と、
前記試料に電子線が照射されることで放出される二次電子または反射電子を検出する第１検出器と、
前記試料に電子線が照射されることで放出されるＸ線またはオージェ電子を検出する第２検出器と、
前記第１検出器の出力信号に基づいて、走査電子顕微鏡像を生成する走査電子顕微鏡像生成部と、
前記第２検出器の出力信号に基づいて、元素分析を行う分析部と、
前記光学系、前記第１検出器、および前記第２検出器を制御する制御部と、
を含む走査電子顕微鏡における画像処理方法であって、
前記試料の全体像上に、撮影位置を示す第１マーカーおよび分析位置を示す第２マーカーを配置して、表示部に表示させる工程と、
前記表示部に表示された前記全体像の倍率を変更する指示に基づいて、前記全体像の倍
率を変更する工程と、
倍率が変更された前記全体像上に、倍率が変更される前の前記全体像上に配置された前記第１マーカーと同じ大きさの前記第１マーカーを配置する工程と、
倍率が変更された前記全体像上に、倍率が変更される前の前記全体像上に配置された前記第２マーカーと同じ大きさの前記第２マーカーを配置する工程と、
を含む、画像処理方法。
【請求項１６】
試料に電子線を照射するための光学系と、
前記試料に電子線が照射されることで放出される二次電子または反射電子を検出する検出器と、
前記検出器の出力信号に基づいて、走査電子顕微鏡像を生成する走査電子顕微鏡像生成部と、
前記光学系および前記検出器を制御する制御部と、
を含む走査電子顕微鏡における画像処理方法であって、
前記試料の全体像上に、撮影位置を示すマーカーを配置して、表示部に表示させる工程と、
前記表示部に表示された前記全体像の倍率を変更する指示に基づいて、前記全体像の倍率を変更する工程と、
倍率が変更された前記全体像上に、倍率が変更される前の前記全体像上に配置された前記マーカーと同じ大きさの前記マーカーを配置する工程と、
を含む、画像処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走査電子顕微鏡および画像処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
エネルギー分散型Ｘ線分析装置が搭載された走査電子顕微鏡では、試料の組成情報を得るための元素分析を行うことができる。
【０００３】
このような走査電子顕微鏡では、試料の全体像を得るために光学的な撮影が可能な光学撮像装置が搭載されている場合がある。例えば、特許文献１には、光学像を取得するための光学顕微鏡が搭載された走査電子顕微鏡が開示されている。特許文献１の走査電子顕微鏡では、光学顕微鏡が分析位置を確認するために用いられている。
【０００４】
また、特許文献１の走査電子顕微鏡では、光学顕微鏡で撮影された光学像上に、走査電子顕微鏡像（以下「ＳＥＭ像」ともいう）の視野範囲に対応したマーカーを表示させることができる。これにより、光学像上でＳＥＭ像が撮影された位置を把握することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６３−１１６３４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、走査電子顕微鏡では、１０，０００倍以上の高い倍率で観察が可能である。そのため、特許文献１の走査電子顕微鏡では、光学像の倍率が高い場合にはマーカーを確認できたとしても、光学像の倍率が低い倍率に変更された場合にはマーカーが小さくなってしまい、マーカーを確認できなくなってしまうことがある。このように、光学像上に視野範囲に対応したマーカーを表示させる場合、光学像の倍率によっては、撮影位置を把握できなくなってしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る走査電子顕微鏡の一態様は、
試料に電子線を照射するための光学系と、
前記試料に電子線が照射されることで放出される二次電子または反射電子を検出する第１検出器と、
前記試料に電子線が照射されることで放出されるＸ線またはオージェ電子を検出する第２検出器と、
前記第１検出器の出力信号に基づいて、走査電子顕微鏡像を生成する走査電子顕微鏡像生成部と、
前記第２検出器の出力信号に基づいて、元素分析を行う分析部と、
前記光学系、前記第１検出器、および前記第２検出器を制御する制御部と、
前記試料の全体像上に、撮影位置を示す第１マーカーおよび分析位置を示す第２マーカーを配置して、表示部に表示させる画像処理部と、
を含み、
前記画像処理部は、
前記表示部に表示された前記全体像の倍率を変更する指示に基づいて、前記全体像の倍率を変更し、
倍率が変更された前記全体像上に、倍率が変更される前の前記全体像上に配置された前記第１マーカーと同じ大きさの前記第１マーカーを配置し、
倍率が変更された前記全体像上に、倍率が変更される前の前記全体像上に配置された前記第２マーカーと同じ大きさの前記第２マーカーを配置する。
【０００８】
このような走査電子顕微鏡では、全体像の倍率が変更されても第１マーカーおよび第２マーカーの大きさは一定であるため、全体像の倍率に依存することなく、撮影位置および分析位置を把握することができる。
【０００９】
本発明に係る走査電子顕微鏡の一態様は、
試料に電子線を照射する光学系と、
前記試料に電子線が照射されることで放出される二次電子または反射電子を検出する検出器と、
前記検出器の出力信号に基づいて、走査電子顕微鏡像を生成する走査電子顕微鏡像生成部と、
前記光学系および前記検出器を制御する制御部と、
前記試料の全体像上に、撮影位置を示すマーカーを配置して、表示部に表示させる画像処理部と、
を含み、
前記画像処理部は、
前記表示部に表示された前記全体像の倍率を変更する指示に基づいて、前記全体像の倍率を変更し、
倍率が変更された前記全体像上に、倍率が変更される前の前記全体像上に配置された前記マーカーと同じ大きさの前記マーカーを配置する。
【００１０】
このような走査電子顕微鏡では、全体像の倍率が変更されてもマーカーの大きさは一定であるため、全体像の倍率に依存することなく、撮影位置を把握することができる。
【００１１】
本発明に係る画像処理方法の一態様は、
試料に電子線を照射するための光学系と、
前記試料に電子線が照射されることで放出される二次電子または反射電子を検出する第１検出器と、
前記試料に電子線が照射されることで放出されるＸ線またはオージェ電子を検出する第２検出器と、
前記第１検出器の出力信号に基づいて、走査電子顕微鏡像を生成する走査電子顕微鏡像生成部と、
前記第２検出器の出力信号に基づいて、元素分析を行う分析部と、
前記光学系、前記第１検出器、および前記第２検出器を制御する制御部と、
を含む走査電子顕微鏡における画像処理方法であって、
前記試料の全体像上に、撮影位置を示す第１マーカーおよび分析位置を示す第２マーカーを配置して、表示部に表示させる工程と、
前記表示部に表示された前記全体像の倍率を変更する指示に基づいて、前記全体像の倍率を変更する工程と、
倍率が変更された前記全体像上に、倍率が変更される前の前記全体像上に配置された前記第１マーカーと同じ大きさの前記第１マーカーを配置する工程と、
倍率が変更された前記全体像上に、倍率が変更される前の前記全体像上に配置された前記第２マーカーと同じ大きさの前記第２マーカーを配置する工程と、
を含む。
【００１２】
このような画像処理方法では、全体像の倍率が変更されても第１マーカーおよび第２マ
ーカーの大きさは一定であるため、全体像の倍率に依存することなく、撮影位置および分析位置を把握することができる。
【００１３】
本発明に係る画像処理方法の一態様は、
試料に電子線を照射するための光学系と、
前記試料に電子線が照射されることで放出される二次電子または反射電子を検出する検出器と、
前記検出器の出力信号に基づいて、走査電子顕微鏡像を生成する走査電子顕微鏡像生成部と、
前記光学系および前記検出器を制御する制御部と、
を含む走査電子顕微鏡における画像処理方法であって、
前記試料の全体像上に、撮影位置を示すマーカーを配置して、表示部に表示させる工程と、
前記表示部に表示された前記全体像の倍率を変更する指示に基づいて、前記全体像の倍率を変更する工程と、
倍率が変更された前記全体像上に、倍率が変更される前の前記全体像上に配置された前記マーカーと同じ大きさの前記マーカーを配置する工程と、
を含む。
【００１４】
このような画像処理方法では、全体像の倍率が変更されてもマーカーの大きさは一定であるため、全体像の倍率に依存することなく、撮影位置を把握することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施形態に係る走査電子顕微鏡の構成を示す図。
【図２】表示部に表示されたＧＵＩ画面の一例を示す図。
【図３】表示部に表示されたＧＵＩ画面の一例を示す図。
【図４】ＧＵＩ画面を説明するための図。
【図５】ＧＵＩ画面を説明するための図。
【図６】ＧＵＩ画面を説明するための図。
【図７】ＧＵＩ画面を説明するための図。
【図８】ＧＵＩ画面を説明するための図。
【図９】ＧＵＩ画面を説明するための図。
【図１０】ＧＵＩ画面を用いた操作を説明するための図。
【図１１】第１変形例に係る走査電子顕微鏡の構成を示す図。
【図１２】表示部に表示されたＧＵＩ画面の一例を示す図。
【図１３】表示部に表示されたＧＵＩ画面の一例を示す図。
【図１４】表示部に表示されたＧＵＩ画面の一例を示す図。
【図１５】表示部に表示されたＧＵＩ画面の一例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００１７】
１．  走査電子顕微鏡
まず、本実施形態に係る走査電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係る走査電子顕微鏡１００の構成を示す図である。
【００１８】
走査電子顕微鏡１００は、図１に示すように、電子源１０と、光学系２０と、試料ステージ３０と、電子検出器４０（第１検出器の一例）と、Ｘ線検出器５０（第２検出器の一
例）と、光学撮像装置６０と、制御装置７０（制御コンピューター）と、処理部８０と、操作部９０と、表示部９２と、記憶部９４と、を含む。
【００１９】
電子源１０は、電子を発生させる。電子源１０は、例えば、陰極から放出された電子を陽極で加速し電子線ＥＢを放出する電子銃である。
【００２０】
光学系２０は、電子源１０から放出された電子線ＥＢを試料Ｓに照射する。光学系２０は、コンデンサーレンズ２２と、対物レンズ２４と、偏向器２６と、を含む。
【００２１】
コンデンサーレンズ２２は、電子源１０から放出された電子線ＥＢを集束させる。コンデンサーレンズ２２によって、例えば、電子線ＥＢの径および電子線ＥＢの電流量を制御することができる。
【００２２】
対物レンズ２４は、試料Ｓの直前に配置されている。対物レンズ２４は、電子線ＥＢを集束させる。対物レンズ２４は、例えば、コイルと、ヨークと、を含んで構成されている。対物レンズ２４では、コイルで作られた磁力線を、鉄などの透磁率の高い材料で作られたヨークに閉じ込め、ヨークの一部に切欠き（レンズギャップ）を作ることで、高密度に分布した磁力線を光軸上に漏洩させる。
【００２３】
偏向器２６は、電子線ＥＢを二次元的に偏向させる。偏向器２６によって、電子線ＥＢで試料Ｓ上を走査することができる。
【００２４】
試料ステージ３０には、試料Ｓが載置される。試料ステージ３０は、試料Ｓを保持することができる。試料Ｓは、例えば、図示しない試料ホルダーに保持されて試料ステージ３０に載置される。試料ステージ３０は、試料Ｓを移動させるための移動機構を含んで構成されている。試料ステージ３０で試料Ｓを移動させることにより、試料Ｓ上での電子線ＥＢが照射される位置を移動させることができる。
【００２５】
電子検出器４０は、例えば、電子線ＥＢが試料Ｓに照射されることにより試料Ｓから放出された二次電子を検出する二次電子検出器である。電子検出器４０の出力信号は、制御装置７０に送られる。制御装置７０において、電子検出器４０の出力信号は、走査信号により特定される電子線ＥＢの照射位置の情報と関連づけられる。これにより、二次電子像（ＳＥＭ像の一例）を生成するための画像データを得ることができる。なお、電子検出器４０は、試料Ｓから放出された反射電子を検出する反射電子検出器であってもよい。この場合、反射電子像（ＳＥＭ像の一例）を生成するための画像データを得ることができる。
【００２６】
Ｘ線検出器５０は、電子線ＥＢが試料Ｓに照射されることにより試料Ｓから放出されるＸ線を検出する。Ｘ線検出器５０は、例えば、エネルギー分散Ｘ線検出器である。なお、Ｘ線検出器５０は、波長分散Ｘ線検出器であってもよい。Ｘ線検出器５０の出力信号は、制御装置７０に送られる。
【００２７】
光学撮像装置６０は、試料Ｓの光学像を撮影する。光学撮像装置６０は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ、ＣＭＯＳ（Complementary metal-oxide-semiconductor）カメラなどのデジタルカメラである。光学撮像装置６０は、例えば、デジタルカメラを備えた光学顕微鏡である。光学撮像装置６０は、撮影された光学像（画像データ）を、制御装置７０に送る。
【００２８】
制御装置７０は、制御部８２からの制御情報に基づいて、走査電子顕微鏡１００の各部（例えば、試料ステージ３０、電子検出器４０、Ｘ線検出器５０、および光学撮像装置６０）を制御するための制御信号（レンズ電流や、走査信号等）を供給する。
【００２９】
例えば、制御部８２からＳＥＭ像を撮影するための制御情報が出力された場合には、制御装置７０は、制御情報で指定された撮影位置で電子線ＥＢが走査されるように偏向器２６に走査信号を供給する。これにより、電子線ＥＢが、試料Ｓの指定された撮影位置で走査され、試料Ｓから放出された二次電子または反射電子を電子検出器４０で検出して、ＳＥＭ像を撮影できる。
【００３０】
また、制御部８２から点分析を行うための制御情報が出力された場合には、制御装置７０は、制御情報で指定された分析位置に電子線ＥＢが照射されるように偏向器２６を制御する。これにより、電子線ＥＢが、試料Ｓの指定された分析位置に照射され、試料Ｓから放出されたＸ線をＸ線検出器５０で検出して、分析結果としてのＥＤＳスペクトルを取得できる。
【００３１】
また、制御装置７０は、電子検出器４０の出力信号を、処理部８０で読み取り可能な信号（画像データ）とする処理を行う。また、制御装置７０は、Ｘ線検出器５０の出力信号を、処理部８０で読み取り可能な信号とする処理を行う。また、制御装置７０は、光学撮像装置６０からの光学像（画像データ）を、処理部８０に送る処理を行う。
【００３２】
操作部９０は、ユーザーからの指示を操作信号に変換して処理部８０に送る処理を行う。操作部９０は、例えば、ボタン、キー、タッチパネルディスプレイ、マイクなどの入力機器により実現できる。操作部９０は、例えば、試料Ｓの全体像の倍率を変更する指示の入力を受け付けることができる。また、操作部９０は、例えば、ＳＥＭ像の撮影位置および元素分析の分析位置の入力を受け付けることができる。
【００３３】
表示部９２は、処理部８０で生成された画像を出力する。表示部９２は、例えば、ＬＣＤ（liquid crystal display）などのディスプレイにより実現できる。
【００３４】
記憶部９４は、処理部８０が各種計算処理や各種制御処理を行うためのプログラムやデータを記憶している。また、記憶部９４は、処理部８０のワーク領域としても用いられる。記憶部９４は、例えば、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、およびハードディスクなどにより実現できる。
【００３５】
処理部８０は、走査電子顕微鏡１００の各部を制御する処理、ＳＥＭ像を生成する処理、元素分析を行う処理、撮影位置や分析位置を示す画像を生成する処理などの処理を行う。処理部８０の機能は、各種プロセッサー（ＣＰＵ（Central Processing Unit）など）でプログラムを実行することにより実現できる。処理部８０は、制御部８２と、ＳＥＭ像生成部８４と、分析部８６と、画像処理部８８と、を含む。
【００３６】
制御部８２は、走査電子顕微鏡１００の各部を制御する。制御部８２は、例えば、操作部９０の操作信号に基づいて、走査電子顕微鏡１００の各部を制御するための制御情報を生成する。例えば、ユーザーが、操作部９０を介して、全体像６０２の倍率を指定する指示を入力すると、制御部８２は、当該指示に応じて制御情報を生成する。また、例えば、ユーザーが、操作部９０を介して、撮影位置または分析位置を指定する指示を入力すると、当該指示に応じた制御情報を生成する。制御部８２は、ユーザーが操作部９０を介してその他の指示を入力した場合も、同様に、当該指示に応じて制御情報を生成する。
【００３７】
ＳＥＭ像生成部８４は、電子検出器４０の出力信号（画像データ）に基づいて、ＳＥＭ像を生成する。
【００３８】
分析部８６は、Ｘ線検出器５０の出力信号に基づいて、元素分析を行う。例えば、分析
部８６は、点分析が行われた場合には、ＥＤＳスペクトルを生成する。また、分析部８６は、線分析が行われた場合には、ラインプロファイルを生成する。また、分析部８６は、面分析が行われた場合には、元素マップを生成する。
【００３９】
画像処理部８８は、試料Ｓの全体像上に、撮影位置を示す第１マーカーおよび分析位置を示す第２マーカーを配置して表示部９２に表示させる。
【００４０】
画像処理部８８は、表示部９２に表示された試料Ｓの全体像の倍率を変更する指示が入力された場合、当該指示に基づいて、全体像の倍率を変更し、倍率が変更された全体像上に、倍率が変更される前の全体像上に配置された第１マーカーと同じ大きさの第１マーカーを配置する。同様に、画像処理部８８は、倍率が変更された全体像上に、倍率が変更される前の全体像上に配置された第２マーカーと同じ大きさの第２マーカーを配置する。
【００４１】
また、画像処理部８８は、制御部８２から撮影の状態を示す第１制御情報を取得し、当該第１制御情報に基づいて、第１マーカーの色を変化させる。また、画像処理部８８は、制御部８２から元素分析の状態を示す第２制御情報を取得し、当該第２制御情報に基づいて、第２マーカーの色を変化させる。
【００４２】
２．  手法
次に、本実施形態の手法を、図面を用いて説明する。図２は、表示部９２に表示されたＧＵＩ画面２の一例を示す図である。
【００４３】
ＧＵＩ画面２は、図２に示すように、観察ウィンドウ４と、表示ウィンドウ６と、操作ウィンドウ８と、を含む。
【００４４】
観察ウィンドウ４には、走査電子顕微鏡１００で撮影されたＳＥＭ像６１２が表示される。表示ウィンドウ６には、試料Ｓの全体像６０２が表示される。試料Ｓの全体像上には、ＳＥＭ像６１２の撮影位置や、Ｘ線検出器５０を用いた元素分析の分析位置が表示される。
【００４５】
試料Ｓの全体像６０２は、例えば、光学撮像装置６０で撮影された試料Ｓの光学像である。試料Ｓの全体像６０２は、例えば、試料Ｓの全部を含む像である。なお、試料Ｓの全体像６０２は、試料Ｓの一部であって、撮影や元素分析が行われる領域の全部を含む像であってもよい。
【００４６】
試料Ｓの全体像６０２上には、第１マーカー６０４、第２マーカー６０６、第３マーカー６０８、および第４マーカー６１０が表示されている。第１マーカー６０４、第２マーカー６０６、第３マーカー６０８、および第４マーカー６１０は、試料Ｓの全体像６０２上に重ねて表示されている。
【００４７】
第１マーカー６０４は、ＳＥＭ像６１２の撮影位置を示している。図示の例では、第１マーカー６０４は、旗の形状を有しているが、第１マーカー６０４の形状は撮影位置を示すことができれば特に限定されない。
【００４８】
撮影位置を示す第１マーカー６０４は、撮影の状態に応じて色が変化する。例えば、第１マーカー６０４は、撮影中には青色、撮影終了後（撮影済み）には赤色で表示される。撮影の状態に応じた第１マーカー６０４の色は、ユーザーが任意に設定可能であってもよい。なお、第１マーカー６０４は、撮影の状態に応じて点滅してもよい。例えば、撮影中には、第１マーカー６０４が点滅してもよい。
【００４９】
第２マーカー６０６、第３マーカー６０８、および第４マーカー６１０は、分析位置を示している。第２マーカー６０６は、点分析の位置を示している。第３マーカー６０８は、線分析の位置を示している。第４マーカー６１０は、面分析の位置を示している。図示の例では、第２マーカー６０６が矢印の形状、第３マーカー６０８が長方形、第４マーカー６１０が星の形状を有しているが、これらのマーカーの形状は分析位置を表すことができれば特に限定されない。第２マーカー６０６、第３マーカー６０８、および第４マーカー６１０は、互いに形状が異なる。そのため、視覚的に、分析の手法を把握することができる。
【００５０】
分析位置を示す第２マーカー６０６は、分析の状態に応じて色が変化する。例えば、第２マーカー６０６は、分析前には青色、分析中には黄色、分析終了後（分析済み）には赤で表示される。分析の状態に応じた第２マーカー６０６の色は、ユーザーが任意に設定可能であってもよい。なお、第２マーカー６０６は、分析の状態に応じて点滅してもよい。例えば、分析中には、第２マーカー６０６が点滅してもよい。第３マーカー６０８および第４マーカー６１０についても、第２マーカー６０６と同様に、分析の状態に応じて色が変化したり、分析の状態に応じて点滅したりする。
【００５１】
試料Ｓの全体像６０２上には、例えば、撮影されたＳＥＭ像６１２が表示される。ＳＥＭ像６１２は、試料Ｓの全体像６０２上の撮影位置に、撮影倍率に応じた大きさで表示される。
【００５２】
ここで、全体像６０２の倍率に比べて、ＳＥＭ像６１２の撮影倍率が高い場合、ＳＥＭ像６１２は全体像６０２上で確認が困難な程度に小さくなってしまう。したがって、走査電子顕微鏡１００では、ＳＥＭ像６１２の撮影倍率に依存することなく撮影位置が確認できるように、第１マーカー６０４を用いて撮影位置を表している。
【００５３】
図３は、表示部９２に表示されたＧＵＩ画面２の一例を示す図である。図３では、試料Ｓの全体像６０２が、図２に示す状態から、拡大された状態を示している。
【００５４】
ユーザーが、操作部９０を介して、全体像６０２の倍率を変更する指示を入力した場合、当該指示に基づいて、全体像６０２の倍率が変更される。図３に示す例では、全体像６０２の倍率を高くする指示が入力されており、全体像６０２が拡大されている。全体像６０２の倍率の変更は、例えば、デジタルズームにより行われる。
【００５５】
ここで、全体像６０２の倍率が変更された場合であっても、第１マーカー６０４および第２マーカー６０６の大きさは、倍率を変更する前の大きさと同じである。すなわち、全体像６０２の倍率が変更されても、第１マーカー６０４および第２マーカー６０６の大きさは変わらない。なお、図示はしないが、第３マーカー６０８および第４マーカー６１０についても、同様に、全体像６０２の倍率が変更されても、その大きさは変わらない。
【００５６】
試料Ｓの全体像６０２の座標系と試料ステージ３０の座標系とは、関連付けられている。すなわち、試料Ｓの全体像６０２上で任意の位置の座標から、対応する試料ステージ３０の座標を一義的に決定できる。同様に、試料ステージ３０の任意の位置の座標から、対応する試料Ｓの全体像６０２上の座標を一義的に決定できる。
【００５７】
操作ウィンドウ８には、走査電子顕微鏡１００の操作を行うためのＧＵＩ要素（ボタン、アイコン等）が表示される。操作ウィンドウ８には、撮影ボタン８０２と、点分析ボタン８０４と、線分析ボタン８０６と、面分析ボタン８０８と、開始ボタン８１０と、が表示されている。なお、操作ウィンドウ８には、走査電子顕微鏡１００の操作を行うためのその他のＧＵＩ要素が表示されていてもよい。
【００５８】
撮影ボタン８０２は、ＳＥＭ像６１２を撮影するためのボタンである。試料ステージ３０を移動させて視野を探し、試料Ｓ上の所望の位置において撮影ボタン８０２を押すことで、ＳＥＭ像６１２を撮影することができる。
【００５９】
点分析ボタン８０４は、点分析を行うためのボタンである。点分析ボタン８０４が選択された状態で、試料Ｓの全体像６０２上の位置を指定することで、点分析を行う分析位置を指定することができる。
【００６０】
線分析ボタン８０６は、線分析を行うためのボタンである。線分析ボタン８０６が選択された状態で、試料Ｓの全体像６０２上の位置を指定することで、線分析を行う分析位置を指定することができる。
【００６１】
面分析ボタン８０８は、線分析を行うためのボタンである。面分析ボタン８０８が選択された状態で、試料Ｓの全体像６０２上の位置（領域）を指定することで、面分析を行う分析位置を指定することができる。
【００６２】
開始ボタン８１０は、分析を開始するためのボタンである。例えば、点分析を行う分析位置が指定された状態で、開始ボタン８１０が押されると、指定された分析位置で点分析が開始される。
【００６３】
図４〜図１０は、ＧＵＩ画面２を説明するための図である。
【００６４】
（１）試料の全体像の撮影
ユーザーが、操作部９０を介して、試料Ｓの全体像６０２を撮影するための指示を入力すると、光学撮像装置６０によって試料Ｓの全体像６０２が撮影される。撮影された試料Ｓの全体像６０２は、図４に示すように、表示ウィンドウ６に表示される。ユーザーは、例えば、表示ウィンドウ６に表示された試料Ｓの全体像６０２を見て撮影位置や分析位置を決定することができる。
【００６５】
（２）ＳＥＭ像の撮影
ユーザーが、撮影位置を決定し、操作部９０を介してＳＥＭ像６１２の撮影を行うための指示を入力すると、ＳＥＭ像６１２が撮影される。撮影されたＳＥＭ像６１２は、記憶部９４に記録される。図５に示すように、表示ウィンドウ６に表示された全体像６０２上には、撮影位置を示す第１マーカー６０４が表示される。第１マーカー６０４は、例えば、撮影中には青色で表示され、撮影が終了すると赤色で表示される。
【００６６】
（３）分析位置の指定
ユーザーは、表示ウィンドウ６に表示された全体像６０２上で分析したい位置を探すことができる。図６に示すように、全体像６０２は、拡大することもできる。第１マーカー６０４が示す観察位置が視野内に含まれるように全体像６０２を拡大することで、全体像６０２上にＳＥＭ像６１２が拡大されて表示される。
【００６７】
ここで、図６に示すように、試料Ｓの全体像６０２は、図５に示す試料Ｓの全体像６０２と比べて拡大されているが、図６に示す第１マーカー６０４と図５に示す第１マーカー６０４とは、大きさが同じである。
【００６８】
ユーザーが、操作部９０を介して、撮影されたＳＥＭ像６１２で分析位置を指定する指示を入力すると、図６に示すように、ＳＥＭ像６１２上には、分析位置を示す第２マーカー６０６が表示される。図６に示す例では、３つの分析位置が指定されて３つの第２マー
カー６０６が表示されている。第２マーカー６０６は、例えば、分析前には青色で表示され、分析中には黄色で表示され、分析が終了すると赤色で表示される。
【００６９】
（４）分析
ユーザーが、操作部９０を介して、分析開始の指示を入力すると、第２マーカー６０６が示す分析位置で点分析が行われる。これにより、ＥＤＳスペクトル６１４（図８参照）が得られる。得られたＥＤＳスペクトル６１４は、記憶部９４に記録される。
【００７０】
上記のようにして、ＳＥＭ像６１２の撮影および点分析が行われ、表示ウィンドウ６に表示された試料Ｓの全体像６０２上には、第１マーカー６０４、第２マーカー６０６、およびＳＥＭ像６１２等が表示される。したがって、表示ウィンドウ６を見れば、撮影位置および分析位置を確認することができる。なお、線分析および面分析を行う場合も点分析と同様であるため、その説明を省略する。
【００７１】
（５）撮影結果および分析結果の表示
図７に示すように、ユーザーが、操作部９０を介して、撮影位置を示す第１マーカー６０４を選択すると、選択された第１マーカー６０４の近傍に結果表示ウィンドウ９が表示される。撮影位置の選択は、例えば、マウスカーソルで第１マーカー６０４をクリックしたり、タッチパネルで第１マーカー６０４をタップしたりすることで行われる。結果表示ウィンドウ９には、選択された第１マーカー６０４が示す撮影位置で撮影されたＳＥＭ像６１２が表示される。なお、図示はしないが、結果表示ウィンドウ９には、さらに、撮影条件などが表示されてもよい。
【００７２】
図８に示すように、ユーザーが、操作部９０を介して、分析位置を示す第２マーカー６０６を選択すると、選択された第２マーカー６０６の近傍に結果表示ウィンドウ９が表示される。分析位置の選択は、撮影位置の選択と同様に行われる。結果表示ウィンドウ９には、選択された第２マーカー６０６が示す分析位置での分析結果が表示される。図８に示す例では、選択された第２マーカー６０６が示す分析位置で点分析を行った結果であるＥＤＳスペクトル６１４が表示されている。なお、図示はしないが、結果表示ウィンドウ９には、さらに、分析条件、分析位置のＳＥＭ像などが表示されてもよい。
【００７３】
複数の撮影および複数の分析が同じ位置で行われたときに、当該位置に配置されたマーカーが選択されると、図９に示すように、結果表示ウィンドウ９には、複数のＳＥＭ像６１２および複数のＥＤＳスペクトル６１４が表示される。１つの結果表示ウィンドウ９に表示された複数の撮影結果および複数の分析結果のうちの１つを選択すると、図１０に示すように、分析結果の詳細を示すための詳細表示ウィンドウ９０２が表示される。詳細表示ウィンドウ９０２において、測長やスペクトルの解析、元素マップの編集などが可能である。
【００７４】
３．  処理
次に、処理部８０の処理について説明する。
【００７５】
（１）試料の全体像の表示
光学撮像装置６０を用いて試料Ｓの全体像６０２が撮影されると、画像処理部８８は、図４に示すように、試料Ｓの全体像６０２を表示ウィンドウ６に表示させる。
【００７６】
（２）ＳＥＭ像の撮影
制御部８２は、操作部９０の操作信号に基づいて、ＳＥＭ像６１２の撮影が行われるように光学系２０および電子検出器４０を制御する。具体的には、制御部８２は、電子線ＥＢで試料Ｓが走査されるように偏向器２６を制御する。これにより、試料Ｓから放出され
た二次電子または反射電子が電子検出器４０で検出される。このようにして、ＳＥＭ像６１２を撮影することができる。
【００７７】
画像処理部８８は、制御部８２から撮影位置の情報を取得し、撮影位置の情報に基づいて、撮影位置に対応する試料Ｓの全体像６０２上に第１マーカー６０４を配置して、表示させる（図５参照）。このとき、画像処理部８８は、制御部８２から撮影中であることを示す制御情報を取得し、当該制御情報に基づいて、第１マーカー６０４の色を、撮影中を示す色とする。
【００７８】
ＳＥＭ像６１２の撮影が終了すると、ＳＥＭ像６１２は記憶部９４に記録される。画像処理部８８は、ＳＥＭ像６１２の撮影が終了したことを示す制御情報に基づいて、全体像６０２上に配置された第１マーカー６０４の色を、撮影済みを示す色とする。
【００７９】
（３）分析位置の表示
ユーザーが、操作部９０を介して、分析位置を指定する指示を入力すると、画像処理部８８は、入力された分析位置の情報に基づいて、分析位置に対応する試料Ｓの全体像６０２上に第２マーカー６０６を配置して、表示させる（図６参照）。このとき、画像処理部８８は、制御部８２から分析前であることを示す制御情報を取得し、当該制御情報に基づいて、第２マーカー６０６の色を、分析前を示す色とする。
【００８０】
（４）分析
制御部８２は、第２マーカー６０６が示す分析位置で元素分析が行われるように光学系２０およびＸ線検出器５０を制御する。具体的には、制御部８２は、第２マーカー６０６が示す分析位置に電子線ＥＢが照射されるように偏向器２６を制御する。これにより、試料Ｓから放出されたＸ線がＸ線検出器５０で検出される。このようにして、ＥＤＳスペクトル６１４を取得することができる。
【００８１】
分析位置での分析（点分析）が開始されると、画像処理部８８は、制御部８２から分析が開始されたことを示す制御情報を取得し、当該制御情報に基づいて、全体像６０２上に配置された第２マーカー６０６の色を、分析中を示す色とする。
【００８２】
分析位置での分析が終了すると、ＥＤＳスペクトル６１４が記憶部９４に記録される。画像処理部８８は、制御部８２から分析が終了したことを示す制御情報を取得し、当該制御情報に基づいて、全体像６０２上に配置された第２マーカー６０６の色を、分析済みを示す色とする。
【００８３】
（５）撮影結果および分析結果の表示
ユーザーが、操作部９０を介して、撮影位置を示す第１マーカー６０４を選択すると、画像処理部８８は、操作部９０の操作信号に基づいて、選択された第１マーカー６０４の近傍に結果表示ウィンドウ９を表示させる（図７参照）。画像処理部８８は、結果表示ウィンドウ９に、選択された第１マーカー６０４が示す撮影位置で撮影されたＳＥＭ像６１２を表示させる。
【００８４】
ユーザーが、操作部９０を介して、分析位置を示す第２マーカー６０６を選択すると、画像処理部８８は、操作部９０の操作信号に基づいて、選択された第２マーカー６０６の近傍に結果表示ウィンドウ９を表示させる（図８参照）。画像処理部８８は、結果表示ウィンドウ９に、選択された第２マーカー６０６が示す分析位置での分析結果（ＥＤＳスペクトル６１４）を表示させる。
【００８５】
複数の撮影および複数の分析が同じ位置で行われたときに、当該位置に配置されたマー
カーが選択されると、画像処理部８８は、操作部９０の操作信号に基づいて、選択されたマーカーの近傍に結果表示ウィンドウ９を表示させる。このとき、画像処理部８８は、結果表示ウィンドウ９に、複数のＳＥＭ像６１２および複数のＥＤＳスペクトル６１４を表示させる（図９参照）。また、１つの結果表示ウィンドウ９に表示された複数の撮影結果および複数の分析結果のうちの１つが選択されると、画像処理部８８は、操作部９０の操作信号に基づいて、分析結果の詳細を示すための詳細表示ウィンドウ９０２を表示させる。
【００８６】
４．  特徴
走査電子顕微鏡１００は、例えば、以下の特徴を有する。
【００８７】
走査電子顕微鏡１００では、画像処理部８８は、表示部９２に表示された試料Ｓの全体像６０２の倍率を変更する指示に基づいて、全体像６０２の倍率を変更し、倍率が変更された全体像６０２上に、倍率が変更される前の全体像６０２上に配置された第１マーカー６０４と同じ大きさの第１マーカー６０４を配置する。そのため、走査電子顕微鏡１００では、全体像６０２の倍率が変更されても第１マーカー６０４の大きさは一定であるため、全体像６０２の倍率に依存することなく、撮影位置を把握することができる。
【００８８】
さらに、走査電子顕微鏡１００では、画像処理部８８は、表示部９２に表示された試料Ｓの全体像６０２の倍率を変更する指示に基づいて、全体像６０２の倍率を変更し、倍率が変更された全体像６０２上に、倍率が変更される前の全体像６０２上に配置された第２マーカー６０６と同じ大きさの第２マーカー６０６を配置する。そのため、走査電子顕微鏡１００では、全体像６０２の倍率が変更されても第２マーカー６０６の大きさは一定であるため、全体像６０２の倍率に依存することなく、分析位置を把握することができる。
【００８９】
走査電子顕微鏡１００では、画像処理部８８は、制御部８２から撮影の状態を示す第１制御情報を取得し、前記第１制御情報に基づいて、第１マーカー６０４の色を変化させる。そのため、走査電子顕微鏡１００では、撮影の状態を容易に把握することができる。
【００９０】
走査電子顕微鏡１００では、画像処理部８８は、第１制御情報に基づいて、第１マーカー６０４を点滅させる。そのため、走査電子顕微鏡１００では、撮影の状態を容易に把握することができる。
【００９１】
走査電子顕微鏡１００では、第１制御情報は、撮影中、または撮影済みであることを示す情報である。そのため、走査電子顕微鏡１００では、第１マーカー６０４で示される撮影位置が、撮影中、または撮影済みであるのかを把握することができる。
【００９２】
走査電子顕微鏡１００では、画像処理部８８は、制御部８２から元素分析の状態を示す第２制御情報を取得し、当該第２制御情報に基づいて、第２マーカー６０６の色を変化させる。そのため、走査電子顕微鏡１００では、元素分析の状態を容易に把握することができる。
【００９３】
走査電子顕微鏡１００では、画像処理部８８は、第２制御情報に基づいて、第２マーカー６０６を点滅させる。そのため、走査電子顕微鏡１００では、元素分析の状態を容易に把握することができる。
【００９４】
走査電子顕微鏡１００では、第２制御情報は、分析前、分析中、または分析済みであることを示す情報である。そのため、走査電子顕微鏡１００では、第２マーカー６０６で示される撮影位置が、分析前、分析中、分析済みのうちのどの状態であるのかを把握することができる。
【００９５】
走査電子顕微鏡１００は、試料Ｓを光学的に撮影する光学撮像装置６０を含み、試料Ｓの全体像６０２は、光学撮像装置６０で撮影された試料Ｓの像である。そのため、走査電子顕微鏡１００では、試料Ｓの光学像上において、撮影位置および分析位置を示すことができる。
【００９６】
走査電子顕微鏡１００では、画像処理部８８は、試料Ｓの全体像６０２上に配置された第１マーカー６０４が選択された場合に、第１マーカー６０４が示す撮影位置における撮影結果を表示部９２に表示させる。そのため、走査電子顕微鏡１００では、撮影位置と、その撮影位置で撮影されたＳＥＭ像６１２と、の対応をとることができる。
【００９７】
走査電子顕微鏡１００では、画像処理部８８は、試料Ｓの全体像６０２上に配置された第２マーカー６０６が選択された場合に、第２マーカー６０６が示す分析位置における分析結果を表示部９２に表示させる。そのため、走査電子顕微鏡１００では、分析位置と、その分析位置での分析結果と、の対応をとることができる。
【００９８】
本実施形態に係る画像処理方法は、試料Ｓの全体像６０２上に、撮影位置を示す第１マーカー６０４および分析位置を示す第２マーカー６０６を配置して、表示部９２に表示させる工程と、表示部９２に表示された全体像６０２の倍率を変更する指示に基づいて、全体像６０２の倍率を変更する工程と、倍率が変更された全体像６０２上に、倍率が変更される前の全体像６０２上に配置された第１マーカー６０４と同じ大きさの第１マーカー６０４を配置する工程と、を含む。さらに、本実施形態に係る画像処理方法は、倍率が変更された全体像６０２上に、倍率が変更される前の全体像６０２上に配置された第２マーカー６０６と同じ大きさの第２マーカー６０６を配置する工程を含む。
【００９９】
そのため、本実施形態に係る画像処理方法では、全体像６０２の倍率が変更されても第１マーカー６０４および第２マーカー６０６の大きさは一定であるため、全体像６０２の倍率に依存することなく、撮影位置および分析位置を把握することができる。
【０１００】
５．  変形例
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。以下では、上述した走査電子顕微鏡１００の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
【０１０１】
５．１．  第１変形例
図１１は、第１変形例に係る走査電子顕微鏡２００の構成を示す図である。以下、第１変形例に係る走査電子顕微鏡２００において、上述した走査電子顕微鏡１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１０２】
上述した走査電子顕微鏡１００は、図１に示すように、光学撮像装置６０を有しており、試料Ｓの全体像６０２は、光学撮像装置６０で撮影された試料Ｓの光学像であった。
【０１０３】
これに対して、走査電子顕微鏡２００は、図１１に示すように、光学撮像装置を有しておらず、試料Ｓの全体像６０２は、コンピューターグラフィックスである。
【０１０４】
記憶部９４には、試料ステージ３０に装着可能な複数の試料ホルダーに対応して、試料Ｓの全体像６０２のコンピューターグラフィックスが複数記憶されている。このコンピューターグラフィックスは、試料ホルダーの画像であり、試料ホルダーの画像が試料Ｓの全体像６０２を表している。ユーザーは、使用している試料ホルダーに対応するコンピューターグラフィックスを選択して、試料Ｓの全体像６０２として用いることができる。
【０１０５】
５．２．  第２変形例
図１２は、表示部９２に表示されたＧＵＩ画面２の一例を示す図である。
【０１０６】
上述した走査電子顕微鏡１００では、図３に示すように、ＳＥＭ像６１２上で分析位置を指定したが、図１２に示すように、試料Ｓの全体像６０２上で、直接、分析位置を指定することができる。すなわち、ＳＥＭ像６１２が撮影されていない領域内で、分析位置を指定することができる。
【０１０７】
例えば、ユーザーは、操作部９０を介して、試料Ｓの全体像６０２上で、分析位置を指定することができる。これにより、ＳＥＭ像６１２の撮影を行うことなく、分析位置を指定して、元素分析を行うことができる。
【０１０８】
５．３．  第３変形例
図１３は、表示部９２に表示されたＧＵＩ画面２の一例を示す図である。
【０１０９】
図１３に示すように、試料Ｓの全体像６０２上に、複数の第２マーカー６０６が配置されている場合に、画像処理部８８は、複数の第２マーカー６０６に、分析の順序を示す記号６０７を付して表示部９２に表示させてもよい。
【０１１０】
ユーザーが、操作部９０を介して、分析の順序を入力すると、画像処理部８８は、ユーザーの分析の順序の指定に基づいて、複数の第２マーカー６０６に分析の順序を示す記号６０７を付して表示部９２に表示する。図１３に示す例では、記号６０７として、５つの第２マーカー６０６に対して、それぞれ分析の順序を示す「１」、「２」、「３」、「４」、「５」の番号が付されている。なお、記号６０７は、分析の順序を把握することができれば、図１３に示す例に限定されない。
【０１１１】
第３変形例では、画像処理部８８は、複数の第２マーカー６０６に、分析の順序を示す記号を付して表示部９２に表示させるため、容易に、分析の順序を把握することができる。
【０１１２】
５．４．  第４変形例
図１４は、表示部９２に表示されたＧＵＩ画面２の一例を示す図である。
【０１１３】
例えば、試料Ｓ上の同じ位置で観察と分析の両方が行われたり、試料Ｓ上の同じ位置で複数の分析が行われたりする場合がある。第４変形例では、このような観察や分析の組み合わせに応じて、試料Ｓの全体像６０２上に配置されるマーカーの形状を変化させる。
【０１１４】
例えば、図１４に示す例では、同じ位置で観察および点分析が行われた場合には、三角形状のマーカー６０１ａが配置される。また、同じ位置で観察および線分析が行われた場合には、五角形状のマーカー６０１ｂが配置される。また、同じ位置で、観察、点分析、および面分析が行われた場合には、八角形状のマーカー６０１ｃが配置される。
【０１１５】
第４変形例では、画像処理部８８は、観察と分析の組み合わせに応じて、マーカーの形状を変化させるため、容易に、観察と分析の組み合わせを把握することができる。なお、画像処理部８８は、観察と分析の組み合わせに応じて、マーカーの色を変化させてもよい。この場合も、同様の作用効果を奏することができる。
【０１１６】
５．５．  第５変形例
図１５は、表示部９２に表示されたＧＵＩ画面２の一例を示す図である。
【０１１７】
図１５に示すように、ＧＵＩ画面２は、観察および分析の履歴を表示する履歴表示ウィンドウ７を有していてもよい。履歴表示ウィンドウ７には、撮影されたＳＥＭ像および分析結果が時系列に表示される。
【０１１８】
第５変形例では、画像処理部８８は、撮影（ＳＥＭ観察）および元素分析の履歴を表示部９２に表示させるため、撮影および元素分析の履歴を容易に把握することができる。
【０１１９】
５．６．  第６変形例
上述した図１に示す走査電子顕微鏡１００は、元素分析を行うためのＸ線検出器５０を有していたが、元素分析を行うための検出器は、これに限定されない。例えば、本発明に係る走査電子顕微鏡は、元素分析を行うための検出器として、試料Ｓから放出されるオージェ電子を検出するためのオージェ電子分光検出器を有していてもよい。この場合であっても、上述した図１に示す走査電子顕微鏡１００と同様の作用効果を奏することができる。
【０１２０】
なお、上述した実施形態及び変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが可能である。
【０１２１】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０１２２】
２…ＧＵＩ画面、４…観察ウィンドウ、６…表示ウィンドウ、７…履歴表示ウィンドウ、８…操作ウィンドウ、９…結果表示ウィンドウ、１０…電子源、２０…光学系、２２…コンデンサーレンズ、２４…対物レンズ、２６…偏向器、３０…試料ステージ、４０…電子検出器、５０…Ｘ線検出器、６０…光学撮像装置、７０…制御装置、８０…処理部、８２…制御部、８４…ＳＥＭ像生成部、８６…分析部、８８…画像処理部、９０…操作部、９２…表示部、９４…記憶部、１００…走査電子顕微鏡、２００…走査電子顕微鏡、６０１ａ…マーカー、６０１ｂ…マーカー、６０１ｃ…マーカー、６０２…全体像、６０４…第１マーカー、６０６…第２マーカー、６０８…第３マーカー、６１０…第４マーカー、６１２…ＳＥＭ像、６１４…ＥＤＳスペクトル、８０２…撮影ボタン、８０４…点分析ボタン、８０６…線分析ボタン、８０８…面分析ボタン、８１０…開始ボタン、９０２…詳細表示ウィンドウ
【図１】
2020087513.tif 000003
【図２】
2020087513.tif 000004
【図３】
2020087513.tif 000005
【図４】
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【図５】
2020087513.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2020087513.tif 000013
【図１２】
2020087513.tif 000014
【図１３】
2020087513.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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