(57)【要約】【課題】トレイステージに対するトレイの搬送を行う第１搬送ロボットと、トレイステージに載置されたトレイに対する表示パネルの搬送を行う第２搬送ロボットとを備える搬送システムにおいて、第１搬送ロボットと第２搬送ロボットとが干渉する干渉エリアを狭めることが可能な搬送システムを提供する。【解決手段】搬送システム１では、トレイステージ６上のトレイ３に対して表示パネル２を搬送するロボット９のパネル把持部１９は、トレイステージ６に上側から接近する。段積み状態のトレイ３が配置されるトレイ配置部４とトレイステージ６との間でトレイ３を搬送するロボット８は、トレイ３を把持するトレイ把持部２３と、トレイ把持部２３を保持するアーム２４と、アーム２４を回動可能に保持する昇降部材２５と、昇降部材２５を昇降可能に保持する柱状部材２６と、柱状部材２６の下端部を水平方向に移動可能に保持するベース部材２７とを備えている。【選択図】図１
2020021794.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数段に積み重なるとともに表示パネルを収容可能なトレイが配置されるトレイ配置部と、前記トレイが載置されるトレイステージと、前記トレイ配置部と前記トレイステージとの間で前記トレイを搬送する第１搬送ロボットと、前記トレイステージに載置された前記トレイからの前記表示パネルの搬出および前記トレイステージに載置された前記トレイへの前記表示パネルの搬入の少なくともいずれか一方を行う第２搬送ロボットとを備え、
前記第２搬送ロボットは、前記表示パネルを把持するパネル把持部を備えるとともに、前記トレイステージよりも上側に配置され、
前記パネル把持部は、前記トレイステージに載置された前記トレイに上側から接近し、
前記第１搬送ロボットは、前記トレイを把持するトレイ把持部と、前記トレイ把持部を先端側で保持するアームと、前記アームの基端側を回動可能に保持する昇降部材と、前記昇降部材を昇降可能に保持する柱状の柱状部材と、前記柱状部材の下端部を水平方向に移動可能に保持するベース部材と、上下方向を回動の軸方向として前記昇降部材に対して前記アームを回動させる回動機構と、前記柱状部材に対して前記昇降部材を昇降させる昇降機構と、前記ベース部材に対して前記柱状部材を水平移動させる水平移動機構とを備えることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記トレイ配置部は、複数段に積み重なった前記トレイを水平方向へ直線的に移動させるコンベヤであり、
前記柱状部材は、前記ベース部材に対して、前記コンベヤによる前記トレイの搬送方向に直交する方向に移動可能となっていることを特徴とする請求項１記載の搬送システム。
【請求項３】
前記第１搬送ロボットは、前記アームの内部の基端側に配置される第１プーリと、前記アームの内部の先端側に配置される第２プーリと、前記第１プーリと前記第２プーリとに架け渡されるタイミングベルトとを備え、
前記第１プーリのピッチ円直径と前記第２プーリのピッチ円直径とは、等しくなっており、
前記第１プーリは、前記昇降部材に固定され、
前記第２プーリは、前記トレイ把持部に固定され、
前記トレイ把持部および前記第２プーリは、前記アームに回動可能に保持されていることを特徴とする請求項１または２記載の搬送システム。
【請求項４】
前記トレイ把持部は、前記アームに固定されていることを特徴とする請求項１または２記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の表示パネルを搬送する搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、小型の液晶パネルを搬送する搬送システムが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の搬送システムは、液晶パネルを収容可能なトレイを搬送するコンベヤと、トレイが載置されるトレイステージと、コンベヤとトレイステージとの間でトレイを搬送する第１搬送ロボットと、トレイステージに載置されたトレイから液晶パネルを搬出する第２搬送ロボットとを備えている。
【０００３】
特許文献１に記載の搬送システムでは、第１搬送ロボットは、いわゆる３軸直交ロボットである。第１搬送ロボットは、門型に形成される本体フレームと、左右方向へのスライドが可能となるように本体フレームに保持される第１可動フレームと、前後方向へのスライドが可能となるように第１可動フレームに保持される第２可動フレームと、上下方向へのスライドが可能となるように第２可動フレームに保持される第３可動フレームと、第３可動フレームに取り付けられるトレイ把持部とを備えている。本体フレームは、コンベヤの後端部およびトレイステージの前端部を跨ぐように設置されている。第１可動フレームは、本体フレームの上面側に取り付けられている。トレイ把持部は、コンベヤおよびトレイステージに上側から接近する。
【０００４】
また、特許文献１に記載の搬送システムでは、第２搬送ロボットは、いわゆるパラレルリンクロボットである。第２搬送ロボットは、本体部と、本体部に連結される３本のレバーと、３本のレバーのそれぞれに連結される３個のアーム部と、３個のアーム部に連結されるヘッドユニットと、ヘッドユニットに取り付けられるパネル把持部とを備えている。本体部は、略門型に形成される搬送システムの本体フレームの上面部に固定されており、第２搬送ロボットは、この上面部にぶら下がっている。また、第２搬送ロボットの本体部は、第１搬送ロボットの本体フレームよりも後ろ側に配置されている。パネル把持部は、トレイステージに載置されたトレイに上側から接近する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１８−６５１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の搬送システムでは、第１搬送ロボットは、３軸直交ロボットであり、第１搬送ロボットでは、トレイステージの前端部を跨ぐように設置される門型の本体フレームの上面側に、左右方向にスライドする第１可動フレームが取り付けられている。また、特許文献１に記載の搬送システムでは、第２搬送ロボットは、トレイステージに載置されたトレイにパネル把持部が上側から接近するように設置されている。そのため、この搬送システムでは、第２搬送ロボットと第１搬送ロボットとが干渉する干渉エリアが広くなる。
【０００７】
したがって、特許文献１に記載の搬送システムでは、第１搬送ロボットの動作および第２搬送ロボットの動作が制限されやすくなり、その結果、搬送システムの制御が複雑になる。また、この搬送システムでは、第１搬送ロボットの動作および第２搬送ロボットの動作が制限されやすくなるため、搬送システムのサイクルタイムが長くなる。
【０００８】
そこで、本発明の課題は、トレイステージに対するトレイの搬送を行う第１搬送ロボットと、トレイステージに載置されたトレイに対する表示パネルの搬送を行う第２搬送ロボットとを備える搬送システムにおいて、第１搬送ロボットと第２搬送ロボットとが干渉する干渉エリアを狭めることが可能な搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するため、本発明の搬送システムは、複数段に積み重なるとともに表示パネルを収容可能なトレイが配置されるトレイ配置部と、トレイが載置されるトレイステージと、トレイ配置部とトレイステージとの間でトレイを搬送する第１搬送ロボットと、トレイステージに載置されたトレイからの表示パネルの搬出およびトレイステージに載置されたトレイへの表示パネルの搬入の少なくともいずれか一方を行う第２搬送ロボットとを備え、第２搬送ロボットは、表示パネルを把持するパネル把持部を備えるとともに、トレイステージよりも上側に配置され、パネル把持部は、トレイステージに載置されたトレイに上側から接近し、第１搬送ロボットは、トレイを把持するトレイ把持部と、トレイ把持部を先端側で保持するアームと、アームの基端側を回動可能に保持する昇降部材と、昇降部材を昇降可能に保持する柱状の柱状部材と、柱状部材の下端部を水平方向に移動可能に保持するベース部材と、上下方向を回動の軸方向として昇降部材に対してアームを回動させる回動機構と、柱状部材に対して昇降部材を昇降させる昇降機構と、ベース部材に対して柱状部材を水平移動させる水平移動機構とを備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明の搬送システムでは、第１搬送ロボットは、トレイ把持部を先端側で保持するアームと、アームの基端側を回動可能に保持する昇降部材と、昇降部材を昇降可能に保持する柱状部材と、柱状部材の下端部を水平方向に移動可能に保持するベース部材と、上下方向を回動の軸方向として昇降部材に対してアームを回動させる回動機構と、柱状部材に対して昇降部材を昇降させる昇降機構と、ベース部材に対して柱状部材を水平移動させる水平移動機構とを備えており、これらの構成によって、トレイ配置部とトレイステージとの間でトレイを搬送することが可能になっている。
【００１１】
そのため、本発明では、特許文献１に記載の第１搬送ロボットが有する門型の本体フレーム（すなわち、トレイステージの前端部を跨ぐように設置される門型の本体フレーム）が不要になる。したがって、本発明では、トレイステージに載置されたトレイにパネル把持部が上側から接近するように設置される第２搬送ロボットと第１搬送ロボットとが干渉する干渉エリアを狭めることが可能になる。
【００１２】
本発明において、たとえば、トレイ配置部は、複数段に積み重なったトレイを水平方向へ直線的に移動させるコンベヤであり、柱状部材は、ベース部材に対して、コンベヤによるトレイの搬送方向に直交する方向に移動可能となっている。この場合には、コンベヤによるトレイの搬送方向に直交する方向で、複数のコンベヤが隣接配置されていても、第１搬送ロボットによって、複数のコンベヤに対するトレイの搬送を行うことが可能になる。
【００１３】
本発明において、第１搬送ロボットは、アームの内部の基端側に配置される第１プーリと、アームの内部の先端側に配置される第２プーリと、第１プーリと第２プーリとに架け渡されるタイミングベルトとを備え、第１プーリのピッチ円直径と第２プーリのピッチ円直径とは、等しくなっており、第１プーリは、昇降部材に固定され、第２プーリは、トレイ把持部に固定され、トレイ把持部および第２プーリは、アームに回動可能に保持されていることが好ましい。このように構成すると、昇降部材に対してアームが回動しても、トレイ把持部に把持されるトレイの向きは変わらない。したがって、トレイ把持部に把持されるトレイを一定方向に向けた状態で第１搬送ロボットによって搬送することが可能になる。
【００１４】
本発明において、トレイ把持部は、アームに固定されていても良い。この場合には、昇降部材に対するアームの回動に伴ってトレイ把持部に把持されるトレイの向きを変えることが可能になる。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明では、トレイステージに対するトレイの搬送を行う第１搬送ロボットと、トレイステージに載置されたトレイに対する表示パネルの搬送を行う第２搬送ロボットとを備える搬送システムにおいて、第１搬送ロボットと第２搬送ロボットとが干渉する干渉エリアを狭めることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態にかかる搬送システムの側面図である。
【図２】図１に示す搬送システムの構成を説明するための平面図である。
【図３】図１に示す搬送システムの一部の正面図である。
【図４】図３に示す第１搬送ロボットの上端部の構成を説明するための正面図である。
【図５】図４に示すアームの内部の構成等を説明するための平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００１８】
（搬送システムの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる搬送システム１の側面図である。図２は、図１に示す搬送システム１の構成を説明するための平面図である。図３は、図１に示す搬送システム１の一部の正面図である。
【００１９】
本形態の搬送システム１は、携帯機器等で使用される比較的小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれて使用される。搬送システム１は、表示パネルである液晶パネル２（図１参照）を搬送する。たとえば、搬送システム１は、液晶パネル２に対して所定の処理を行う処理装置１２（図２参照）から排出される液晶パネル２を搬送する。液晶パネル２は、長方形の平板状に形成されている。
【００２０】
搬送システム１は、液晶パネル２を収容可能なトレイ３を搬送する２個のコンベヤ４、５を備えている。コンベヤ４、５は、複数段に積み重なったトレイ３（段積みされたトレイ３）を水平方向へ直線的に搬送する。本形態のコンベヤ４、５は、複数段に積み重なるトレイ３が配置されるトレイ配置部である。なお、図１、図３では、段積みされたトレイ３がコンベヤ４、５に載置されている。
【００２１】
以下の説明では、コンベヤ４、５によるトレイ３の搬送方向（図１等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向（鉛直方向）と前後方向とに直交する方向（図１等のＹ方向）を「左右方向」とする。また、前後方向の一方側（図１等のＸ１方向側）を「前」側とし、その反対側（図１等のＸ２方向側）を「後（後ろ）側」とし、左右方向の一方側（図２等のＹ１方向側）を「右」側とし、その反対側（図２等のＹ２方向側）を「左」側とする。本形態では、搬送システム１の後ろ側に処理装置１２が配置されている。
【００２２】
また、搬送システム１は、トレイ３が載置される２個のトレイステージ６、７と、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７との間でトレイ３を搬送するロボット８と、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３に液晶パネル２を搬入するロボット９とを備えている。また、搬送システム１は、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７とロボット８、９とが設置される本体フレーム１０を備えている。本形態のロボット８は、第１搬送ロボットであり、ロボット９は、第２搬送ロボットである。
【００２３】
コンベヤ４、５は、たとえば、ベルトコンベヤである。コンベヤ４とコンベヤ５とは、左右方向で隣接配置されている。コンベヤ４は、段積みされたトレイ３を後ろ側へ向かって搬送し、コンベヤ５は、段積みされたトレイ３を前側に向かって搬送する。コンベヤ５で搬送されるトレイ３には、処理装置１２から排出された複数枚の液晶パネル２が収容されている。一方、コンベヤ４で搬送されるトレイ３には、液晶パネル２は収容されておらず、コンベヤ４で搬送されるトレイ３は空トレイとなっている。なお、コンベヤ４、５は、ローラコンベヤ等であっても良い。
【００２４】
コンベヤ４の前端側には、空トレイ用の棚（図示省略）から作業者によって運ばれてきた段積み状態のトレイ３が載置される。コンベヤ４の前端側に載置された段積み状態のトレイ３は、後ろ側へ搬送され、コンベヤ４の後端側まで搬送された段積み状態のトレイ３は、後述のようにロボット８によって段ばらしされる。また、コンベヤ５の後端側には、後述のようにロボット８によってトレイ３が段積みされる。所定の段数までトレイ３が段積みされると、段積み状態のトレイ３は、前側に搬送される。コンベヤ５の前端側まで搬送された段積み状態のトレイ３は、作業者によって仮置き用の棚まで運ばれる。
【００２５】
トレイステージ６、７は、コンベヤ４、５よりも後ろ側に配置されている。また、トレイステージ６とトレイステージ７とは、左右方向において所定の間隔をあけた状態で配置されている。トレイステージ６は、左右方向においてコンベヤ４と略同じ位置に配置され、トレイステージ７は、左右方向においてコンベヤ５と略同じ位置に配置されている。トレイステージ６、７の上面は、上下方向に直交する平面となっている。トレイステージ６、７の上面は、コンベヤ４、５の上面よりも上側に配置されている。トレイステージ６、７には、１個のトレイ３が載置される。
【００２６】
ロボット９は、いわゆるパラレルリンクロボットである。ロボット９は、本体部１５と、本体部１５に連結される３本のレバー１６と、３本のレバー１６のそれぞれに連結される３個のアーム部１７と、３個のアーム部１７に連結されるヘッドユニット１８と、ヘッドユニット１８に取り付けられるパネル把持部１９とを備えている。ロボット９は、本体フレーム１０の上面部にぶら下がるように設置されており、コンベヤ４、５およびトレイステージ６、７よりも上側に配置されている。また、本体部１５は、トレイステージ６、７の上方に配置されている。
【００２７】
３本のレバー１６は、本体部１５の外周側へ略等角度ピッチで略放射状に伸びるように本体部１５に連結されている。すなわち、３本のレバー１６は、本体部１５の外周側へ略１２０°ピッチで略放射状に伸びるように本体部１５に連結されている。また、３本のレバー１６の基端側は、本体部１５に回動可能に連結されている。本体部１５とレバー１６との連結部には、レバー１６を回動させるモータ２０が配置されている。本形態のロボット９は、３本のレバー１６のそれぞれを回動させる３個のモータ２０を備えている。
【００２８】
アーム部１７の基端側は、レバー１６の先端側に回動可能に連結されている。具体的には、アーム部１７は、互いに平行な直線状の２本のアームによって構成されており、２本のアームのそれぞれの基端側がレバー１６の先端側に回動可能に連結されている。ヘッドユニット１８は、３個のアーム部１７の先端側に回動可能に連結されている。
【００２９】
パネル把持部１９は、ヘッドユニット１８の下端に取り付けられている。パネル把持部１９は、液晶パネル２を真空吸着する複数の吸着パッドを備えており、この吸着パッドによって液晶パネル２の上面を吸着することで液晶パネル２を把持する。また、パネル把持部１９は、１枚の液晶パネル２を把持する。ヘッドユニット１８は、上下方向を回転の軸方向としてパネル把持部１９を回転させるモータを備えている。
【００３０】
ロボット９では、３個のモータ２０を個別に駆動することで、所定のエリア内において、上下方向、左右方向および前後方向の任意の位置へ、かつ、ヘッドユニット１８が一定の姿勢を保ったままの状態で（具体的には、パネル把持部１９が下側を向いたままの状態で）、ヘッドユニット１８を移動させることが可能になっている。
【００３１】
ロボット９は、トレイステージ６またはトレイステージ７に載置されたトレイ３に液晶パネル２を１枚ずつ搬入する。また、ロボット９は、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３に所定枚数の液晶パネル２が収容されるまで、処理装置１２から液晶パネル２を搬送する。トレイステージ６、７に載置されたトレイ３にロボット９が液晶パネル２を搬入するときには、パネル把持部１９は、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３に上側から接近する。
【００３２】
（第１搬送ロボットの構成）
図４は、図３に示すロボット８の上端部の構成を説明するための正面図である。図５は、図４に示すアーム２４の内部の構成等を説明するための平面図である。
【００３３】
ロボット８は、トレイ３を把持するトレイ把持部２３と、トレイ把持部２３を先端側で保持するアーム２４と、アーム２４の基端側を回動可能に保持する昇降部材２５と、昇降部材２５を昇降可能に保持する柱状の柱状部材２６と、柱状部材２６の下端部を水平方向に移動可能に保持するベース部材２７とを備えている。また、ロボット８は、上下方向を回動の軸方向として昇降部材２５に対してアーム２４を回動させる回動機構２８と、柱状部材２６に対して昇降部材２５を昇降させる昇降機構２９と、ベース部材２７に対して柱状部材２６を水平移動させる水平移動機構３０とを備えている。なお、図２、図５では、トレイ把持部２３の図示を省略している。
【００３４】
ベース部材２７は、左右方向を長手方向とする細長い直方体状に形成されている。ベース部材２７は、本体フレーム１０の下端部に固定されており、コンベヤ４、５およびトレイステージ６、７よりも下側に配置されている。ベース部材２７は、前後方向において、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７との間に配置されている。また、ベース部材２７は、ロボット９の本体部１５よりも前側に配置されている。
【００３５】
柱状部材２６は、ベース部材２７から上側に向かって立ち上がっている。柱状部材２６の上端は、コンベヤ４、５に載置される段積み状態のトレイ３の中の最上段のトレイ３よりも上側に配置されている。また、柱状部材２６の上端は、トレイステージ６、７の上面よりも上側に配置されている。また、柱状部材２６の上端部は、ロボット９のパネル把持部１９の可動領域の中に配置されている。柱状部材２６は、ベース部材２７に対して左右方向に移動可能となっている。すなわち、ベース部材２７は、左右方向への移動が可能となるように柱状部材２６の下端部を保持している。
【００３６】
昇降部材２５は、柱状部材２６の左側面に昇降可能に取り付けられている。アーム２４は、上下方向の厚さが薄い扁平な略直方体状に形成されており、昇降部材２５から水平方向に伸びている。柱状部材２６に対して昇降部材２５が上限位置まで移動した状態では、昇降部材２５の上端側は、柱状部材２６の上端よりも上側に配置されている。また、柱状部材２６に対して昇降部材２５が上限位置まで移動した状態では、昇降部材２５は、ロボット９のパネル把持部１９の可動領域の中に配置されている。
【００３７】
水平移動機構３０は、ベース部材２７に対して柱状部材２６を左右方向へ移動させる。水平移動機構３０は、たとえば、ベース部材２７に回転可能に保持されるネジ軸と柱状部材２６に取り付けられるナットとを有するボールネジと、ボールネジのネジ軸を回転させるモータとを備えている。昇降機構２９は、たとえば、柱状部材２６に回転可能に保持されるネジ軸と昇降部材２５に取り付けられるナットとを有するボールネジと、ボールネジのネジ軸を回転させるモータ３１とを備えている。
【００３８】
トレイ把持部２３は、アーム２４の先端側に回動可能に保持されている。トレイ把持部２３は、アーム２４の先端部の下側に配置されている。柱状部材２６に対して昇降部材２５が上限位置まで移動した状態では、トレイ把持部２３は、コンベヤ４、５に載置される段積み状態のトレイ３の中の最上段のトレイ３よりも上側に配置されるとともに、トレイステージ６、７の上面よりも上側に配置されている。トレイ把持部２３は、トレイ３を吸着して把持する複数の吸着部３４（図４参照）を備えている。吸着部３４は、ロボット８がトレイ３を搬送するときにトレイ３の上面に接触してトレイ３を真空吸着する。
【００３９】
図４に示すように、回動機構２８は、昇降部材２５に固定されるモータ３６と、モータ３６の出力軸に固定されるプーリ３７と、アーム２４の基端側に固定されるとともに昇降部材２５に回動可能に保持される回動軸３８と、回動軸３８に固定されるプーリ３９と、プーリ３７とプーリ３９とに架け渡されるタイミングベルト４０とを備えている。回動軸３８は、アーム２４の基端部の下面側に固定されている。アーム２４は、回動軸３８を介して昇降部材２５に回動可能に保持されている。モータ３６が起動すると、回動軸３８およびプーリ３９が回動して、アーム２４が昇降部材２５に対して回動する。
【００４０】
アーム２４は、中空状に形成されている。アーム２４の内部の基端側には、第１プーリとしてのプーリ４２が配置されている。アーム２４の内部の先端側には、第２プーリとしてのプーリ４３が配置されている。また、アーム２４の内部には、プーリ４２とプーリ４３とに架け渡されるタイミングベルト４４と、タイミングベルト４４の張力を調整する張力調整機構４５とが配置されている。なお、図４では、張力調整機構４５の図示を省略している。
【００４１】
プーリ４２、４３は、たとえば、外周面に複数の歯が一定ピッチで形成された歯付きプーリである。また、タイミングベルト４４は、たとえば、プーリ４２、４３の複数の歯と噛み合う複数の歯が一定ピッチで形成された歯付きベルトである。プーリ４２のピッチ円直径とプーリ４３のピッチ円直径とは、等しくなっている。プーリ４２は、昇降部材２５に固定されている。プーリ４３は、トレイ把持部２３に固定されており、プーリ４３は、アーム２４に回動可能に保持されている。
【００４２】
ロボット８は、コンベヤ４からトレイステージ６、７へのトレイ３の搬送と、トレイステージ６、７からコンベヤ５へのトレイ３の搬送とを行う。具体的には、ロボット８は、コンベヤ４の後端側まで搬送された段積み状態の空のトレイ３をトレイステージ６またはトレイステージ７に１個ずつ搬送して、コンベヤ４上の段積み状態のトレイ３を段ばらしする。また、ロボット８は、所定枚数の液晶パネル２が収容された１個のトレイ３をトレイステージ６またはトレイステージ７からコンベヤ５の後端側に搬送して、コンベヤ５にトレイ３を段積みする。
【００４３】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ロボット８は、トレイ把持部２３を先端側で保持するアーム２４と、アーム２４の基端側を回動可能に保持する昇降部材２５と、昇降部材２５を昇降可能に保持する柱状部材２６と、柱状部材２６の下端部を水平方向に移動可能に保持するベース部材２７と、昇降部材２５に対してアーム２４を回動させる回動機構２８と、柱状部材２６に対して昇降部材２５を昇降させる昇降機構２９と、ベース部材２７に対して柱状部材２６を水平移動させる水平移動機構３０とを備えており、これらの構成によって、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７との間でトレイ３を搬送することが可能になっている。
【００４４】
そのため、本形態では、特許文献１に記載の第１搬送ロボットが有する門型の本体フレーム（トレイステージ６、７の前端部を跨ぐように設置される門型の本体フレーム）が不要になる。したがって、本形態では、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３にパネル把持部１９が上側から接近するように設置されるロボット９と、ロボット８とが干渉する干渉エリアを狭めることが可能になる。
【００４５】
本形態では、プーリ４２のピッチ円直径とプーリ４３のピッチ円直径とは、等しくなっている。また、本形態では、プーリ４２は、昇降部材２５に固定され、プーリ４３は、トレイ把持部２３に固定されるとともにアーム２４に回動可能に保持されている。そのため、本形態では、昇降部材２５に対してアーム２４が回動しても、トレイ把持部２３は常に一定の方向を向いている。すなわち、本形態では、昇降部材２５に対してアーム２４が回動しても、トレイ把持部２３に把持されるトレイ３の向きは変わらない。したがって、本形態では、トレイ把持部２３に把持されるトレイ３を一定方向に向けた状態でロボット８によって搬送することが可能になる。
【００４６】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００４７】
上述した形態において、トレイ把持部２３は、アーム２４に固定されていても良い。この場合には、昇降部材２５に対するアーム２４の回動に伴ってトレイ把持部２３に把持されるトレイ３の向きを変えることが可能になる。また、この場合には、プーリ４２、４３、タイミングベルト４４および張力調整機構４５が不要になる。また、上述した形態において、搬送システム１が備えるコンベヤの数は、１個であっても良いし、３個以上であっても良い。また、上述した形態において、搬送システム１が備えるトレイステージの数は、１個であっても良いし、３個以上であっても良い。
【００４８】
上述した形態において、搬送システム１は、液晶パネル２を搬送して処理装置１２に液晶パネル２を供給しても良い。この場合には、コンベヤ４で搬送されるトレイ３には、処理装置１２に供給される複数枚の液晶パネル２が収容され、コンベヤ５で搬送されるトレイ３は空トレイとなっている。また、この場合には、ロボット９は、トレイステージ６またはトレイステージ７に載置されたトレイ３から液晶パネル２を搬出して、処理装置１２に搬入する。
【００４９】
また、上述した形態において、搬送システム１は、液晶パネル２を搬送して処理装置１２に液晶パネル２を供給するとともに、処理装置１２から排出される液晶パネル２を搬送しても良い。この場合には、ロボット９は、トレイステージ６またはトレイステージ７に載置されたトレイ３から液晶パネル２を搬出して処理装置１２に搬入するとともに、処理装置１２から液晶パネル２を搬出して、トレイステージ６またはトレイステージ７に載置されたトレイ３にパネル２を搬入する。
【００５０】
上述した形態では、上限位置まで移動した昇降部材２５および柱状部材２６の上端部は、ロボット９のパネル把持部１９の可動領域の中に入っているが、上限位置まで移動した昇降部材２５および柱状部材２６の上端部がパネル把持部１９の可動領域から外れるように、ロボット８の高さが設定されていても良い。
【００５１】
上述した形態では、トレイ３の搬送機能を有するコンベヤ４、５が、複数段に積み重なるトレイ３が配置されるトレイ配置部となっているが、トレイ３の搬送機能を備えていない載置台が、複数段に積み重なるトレイ３が配置されるトレイ配置部となっていても良い。また、上述した形態において、パネル把持部１９は、複数枚の液晶パネル２を把持しても良い。また、上述した形態において、トレイステージ６、７に、複数のトレイ３が互いに重ならないように載置されても良い。
【００５２】
上述した形態では、ロボット９は、パラレルリンクロボットであるが、ロボット９は、水平多関節ロボットであっても良い。また、上述した形態では、搬送システム１で搬送される表示パネルは、液晶パネル２であるが、搬送システム１で搬送される表示パネルは、液晶パネル２以外の表示パネルであっても良い。たとえば、搬送システム１で搬送される表示パネルは、有機ＥＬパネルであっても良い。
【符号の説明】
【００５３】
１  搬送システム
２  液晶パネル（表示パネル）
３  トレイ
４、５  コンベヤ（トレイ配置部）
６、７  トレイステージ
８  ロボット（第１搬送ロボット）
９  ロボット（第２搬送ロボット）
１９  パネル把持部
２３  トレイ把持部
２４  アーム
２５  昇降部材
２６  柱状部材
２７  ベース部材
２８  回動機構
２９  昇降機構
３０  水平移動機構
４２  プーリ（第１プーリ）
４３  プーリ（第２プーリ）
４４  タイミングベルト
Ｘ  コンベヤによるトレイの搬送方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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