(57)【要約】      （修正有）【課題】色収差をはじめとした諸収差が良好に補正された光学系を提供する。【解決手段】光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３との実質的に３個のレンズ群からなり、合焦に際し、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２の間隔が変化し、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３の間隔が変化し、無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、第２レンズ群Ｇ２が光軸に沿って移動し、第１レンズ群Ｇ１は少なくとも１つの接合レンズを有し、以下の条件式を満足する。１．００＜ｆ／（−ｆ２）＜２．４０、０．８０＜ｆ１／（−ｆ２）＜１．４５、１．４０＜ＴＬ／ｆ１＜２．０５、ただし、ｆ：光学系の無限遠合焦時の焦点距離、ｆ２：第２レンズ群Ｇ２の焦点距離、ｆ１：第１レンズ群Ｇ１の焦点距離、ＴＬ：光学系の全長。【選択図】図１
2020021093.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群との実質的に３個のレンズ群からなり、
合焦に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の間隔が変化し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群の間隔が変化し、
無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、
前記第１レンズ群は少なくとも１つの接合レンズを有し、
以下の条件式を満足する光学系。
１．００＜ｆ／（−ｆ２）＜２．４０
０．８０＜ｆ１／（−ｆ２）＜１．４５
１．４０＜ＴＬ／ｆ１＜２．０５
ただし、
ｆ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ＴＬ：前記光学系の全長
【請求項２】
光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群との実質的に３個のレンズ群からなり、
合焦に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の間隔が変化し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群の間隔が変化し、
無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、
前記第３レンズ群は、最も物体側から順に正レンズと負レンズとを有し、
以下の条件式を満足する光学系。
１．００＜ｆ／（−ｆ２）＜２．４０
０．８０＜ｆ１／（−ｆ２）＜１．４５
１．１１＜ｆ１／ｆ３＜１．４０
ただし、
ｆ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離
【請求項３】
光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群との実質的に３個のレンズ群からなり、
合焦に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の間隔が変化し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群の間隔が変化し、
無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、
開口絞りを有し、前記開口絞りの物体側に隣り合うレンズ面は物体側に凸の形状をしたレンズ面であり、前記開口絞りの像側に隣り合うレンズ面は像側に凸の形状をしたレンズ面であり、
以下の条件式を満足する光学系。
１．００＜ｆ／（−ｆ２）＜２．４０
７０．００＜νｐ
ただし、
ｆ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
νｐ：前記第１レンズ群に含まれる全ての正レンズのアッベ数の平均値
【請求項４】
以下の条件式を満足する請求項１から請求項３の何れか一項に記載の光学系。
０．８０＜ｆ／ｆ１＜１．６０
ただし、
ｆ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【請求項５】
光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群との実質的に３個のレンズ群からなり、
合焦に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の間隔が変化し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群の間隔が変化し、
無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、
前記第１レンズ群は少なくとも１つの接合レンズを有し、
以下の条件式を満足する光学系。
０．８０＜ｆ／ｆ１＜１．６０
０．８０＜ｆ１／（−ｆ２）＜１．４５
１．４０＜ＴＬ／ｆ＜２．０５
ただし、
ｆ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
ＴＬ：前記光学系の全長
【請求項６】
光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群との実質的に３個のレンズ群からなり、
合焦に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の間隔が変化し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群の間隔が変化し、
無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、
前記第３レンズ群は、最も物体側から順に正レンズと負レンズとを有し、
以下の条件式を満足する光学系。
０．８０＜ｆ／ｆ１＜１．６０
０．８０＜ｆ１／（−ｆ２）＜１．４５
１．１１＜ｆ１／ｆ３＜１．４０
ただし、
ｆ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離
【請求項７】
光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群との実質的に３個のレンズ群からなり、
合焦に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の間隔が変化し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群の間隔が変化し、
無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、
開口絞りを有し、前記開口絞りの物体側に隣り合うレンズ面は物体側に凸の形状をしたレンズ面であり、前記開口絞りの像側に隣り合うレンズ面は像側に凸の形状をしたレンズ面であり、
以下の条件式を満足する光学系。
０．８０＜ｆ／ｆ１＜１．６０
７０．００＜νｐ
ただし、
ｆ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
νｐ：前記第１レンズ群に含まれる全ての正レンズのアッベ数の平均値
【請求項８】
以下の条件式を満足する請求項１、２、５、６のいずれか一項に記載の光学系。
６３．００＜νｐ
ただし、
νｐ：前記第１レンズ群に含まれる全ての正レンズのアッベ数の平均値
【請求項９】
開口絞りを有し、前記開口絞りの物体側に隣り合うレンズ面は物体側に凸の形状をしたレンズ面であり、前記開口絞りの像側に隣り合うレンズ面は像側に凸の形状をしたレンズ面である請求項１、２、５、６のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項１０】
前記第１レンズ群は、接合レンズを有し、前記接合レンズは、物体側から順に、正レンズと負レンズとからなる請求項２、３、６、７のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項１１】
前記第３レンズ群は、最も物体側から順に隣り合って配置された正レンズと負レンズとを有する請求項１、３、５、７のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項１２】
以下の条件式を満足する請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載の光学系。
０．７０＜（−ｆ２）／ｆ３＜１．５０
ただし、
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離
【請求項１３】
以下の条件式を満足する請求項１から請求項１２のいずれか一項に記載の光学系。
１．５０＜ＴＬ／（−ｆ２）＜３．１０
ただし、
ＴＬ：前記光学系の全長
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
【請求項１４】
無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第１レンズ群は、固定である請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項１５】
無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第３レンズ群は、固定である請求項１から請求項１４のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項１６】
前記第３レンズ群中に開口絞りを有する請求項１から請求項１５のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項１７】
前記第２レンズ群は、接合レンズを有し、前記接合レンズは、物体側から順に、正レンズと負レンズからなり、前記第２レンズ群は、前記接合レンズで構成されている、又は、物体側から順に、負レンズと前記接合レンズとで構成されている請求項１から請求項１６のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項１８】
前記第３レンズ群は、少なくとも一つの非球面を有する請求項１から請求項１７のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項１９】
前記第３レンズ群の少なくとも一部が光軸と直交する方向の成分を含むように移動する請求項１から請求項１８のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項２０】
前記第１レンズ群から前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含む請求項１から請求項１９の何れか一項に記載の光学系。
【請求項２１】
前記ウェットプロセスを用いて形成された層のｄ線（波長λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄが１．３０以下である請求項２０に記載の光学系。
【請求項２２】
請求項１から請求項２１のいずれか一項に記載の光学系を備えた光学機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学系及びこの光学系を有する光学機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、写真用カメラ、電子スチルカメラ、ビデオカメラ等に適した光学系が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−０３３１７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年の撮像素子の高画素化に伴い、色収差をはじめとした諸収差が良好に補正された光学系が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明においては、
光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群との実質的に３個のレンズ群からなり、
合焦に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の間隔が変化し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群の間隔が変化し、
無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、
前記第１レンズ群は少なくとも１つの接合レンズを有し、
以下の条件式を満足する光学系とした。
１．００＜ｆ／（−ｆ２）＜２．４０
０．８０＜ｆ１／（−ｆ２）＜１．４５
１．４０＜ＴＬ／ｆ１＜２．０５
ただし、
ｆ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ＴＬ：前記光学系の全長
【０００６】
また、本発明においては、
光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群との実質的に３個のレンズ群からなり、
合焦に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の間隔が変化し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群の間隔が変化し、
無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、
前記第３レンズ群は、最も物体側から順に正レンズと負レンズとを有し、
以下の条件式を満足する光学系とした。
１．００＜ｆ／（−ｆ２）＜２．４０
０．８０＜ｆ１／（−ｆ２）＜１．４５
１．１１＜ｆ１／ｆ３＜１．４０
ただし、
ｆ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離
【０００７】
また、本発明においては、
光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群との実質的に３個のレンズ群からなり、
合焦に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の間隔が変化し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群の間隔が変化し、
無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、
開口絞りを有し、前記開口絞りの物体側に隣り合うレンズ面は物体側に凸の形状をしたレンズ面であり、前記開口絞りの像側に隣り合うレンズ面は像側に凸の形状をしたレンズ面であり、
以下の条件式を満足する光学系とした。
１．００＜ｆ／（−ｆ２）＜２．４０
７０．００＜νｐ
ただし、
ｆ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
νｐ：前記第１レンズ群に含まれる全ての正レンズのアッベ数の平均値
【０００８】
また、本発明においては、
光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群との実質的に３個のレンズ群からなり、
合焦に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の間隔が変化し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群の間隔が変化し、
無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、
前記第１レンズ群は少なくとも１つの接合レンズを有し、
以下の条件式を満足する光学系とした。
０．８０＜ｆ／ｆ１＜１．６０
０．８０＜ｆ１／（−ｆ２）＜１．４５
１．４０＜ＴＬ／ｆ＜２．０５
ただし、
ｆ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
ＴＬ：前記光学系の全長
また、本発明においては、
光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群との実質的に３個のレンズ群からなり、
合焦に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の間隔が変化し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群の間隔が変化し、
無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、
前記第３レンズ群は、最も物体側から順に正レンズと負レンズとを有し、
以下の条件式を満足する光学系。
０．８０＜ｆ／ｆ１＜１．６０
０．８０＜ｆ１／（−ｆ２）＜１．４５
１．１１＜ｆ１／ｆ３＜１．４０
ただし、
ｆ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離
また、本発明においては、
光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群との実質的に３個のレンズ群からなり、
合焦に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の間隔が変化し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群の間隔が変化し、
無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動し、
開口絞りを有し、前記開口絞りの物体側に隣り合うレンズ面は物体側に凸の形状をしたレンズ面であり、前記開口絞りの像側に隣り合うレンズ面は像側に凸の形状をしたレンズ面であり、
以下の条件式を満足する光学系とした。
０．８０＜ｆ／ｆ１＜１．６０
７０．００＜νｐ
ただし、
ｆ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
νｐ：前記第１レンズ群に含まれる全ての正レンズのアッベ数の平均値
【０００９】
また、本発明においては、上記光学系を備えた光学機器とした。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本願の第１実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図２】本願の第１実施例に係る光学系の無限遠合焦状態における諸収差図である。
【図３】本願の第１実施例に係る光学系の至近撮影距離状態における諸収差図である。
【図４】本願の第２実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図５】本願の第２実施例に係る光学系の無限遠合焦状態における諸収差図である。
【図６】本願の第２実施例に係る光学系の至近撮影距離状態における諸収差図である。
【図７】本願の第３実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図８】本願の第３実施例に係る光学系の無限遠合焦状態における諸収差図である。
【図９】本願の第３実施例に係る光学系の至近撮影距離状態における諸収差図である。
【図１０】本願の光学系を搭載した一眼レフカメラの断面図である。
【図１１】本願の光学系の製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図１２】本願の光学系の他の製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図１３】反射防止膜の層構造の一例を示す説明図である。
【図１４】反射防止膜の分光特性を示すグラフである。
【図１５】変形例に係る反射防止膜の分光特性を示すグラフである。
【図１６】変形例に係る反射防止膜の分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。
【図１７】従来技術で作成した反射防止膜の分光特性を示すグラフである。
【図１８】従来技術で作成した反射防止膜の分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本願の実施形態に係る光学系、光学機器、光学系の製造方法について説明する。本実施形態の光学系は光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動する。
【００１２】
上述のように本実施形態の光学系は、第２レンズ群を合焦レンズ群として光軸方向へ移動させて無限遠物体から近距離物体への合焦を行うことにより、合焦時の収差変動を小さくすることができる。また、合焦レンズ群の軽量化を図ることができ、これによって高速な合焦を行うことが可能となる。  
【００１３】
本実施形態の光学系は、以下の条件式（１）を満足することが望ましい。
１．００＜ｆ／（−ｆ２）＜２．４０    （１）
但し、
ｆ  ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
【００１４】
上記条件式（１）は、本実施形態の光学系の無限遠合焦時の焦点距離と、第２レンズ群の焦点距離を規定するものである。本実施形態の光学系は、条件式（１）を満足することにより、球面収差や像面湾曲を良好に補正し、光学系の全長が大きくなるのを防止することができる。
【００１５】
条件式（１）の下限を下回ると、第２レンズ群の屈折力が小さくなるため、球面収差が補正不足になり、像面湾曲も十分に補正することが困難になり好ましくない。また、合焦レンズ群である第２レンズ群の合焦の際の移動量が大きくなり、光学系の全長が大きくなってしまうため好ましくない。なお、条件式（１）の下限値を１．１５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（１）の下限値を１．３０に設定することで、本願の効果を更に確実なものとすることができる。
【００１６】
一方、条件式（１）の上限を上回ると、第２レンズ群の屈折力が大きくなるため、球面収差が補正過剰になり、像面湾曲も補正することが困難になってしまい好ましくない。なお、条件式（１）の上限値を２．２０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（１）の上限値を２．００に設定することで、本実施形態の効果を更に確実なものとすることができる。
【００１７】
以上の構成により、比較的焦点距離が長くＦナンバーの小さい光学系において、無限遠から近距離物点まで優れた光学性能を実現することができる。
【００１８】
また、本実施形態の光学系は、以下の条件式（２）を満足することが望ましい。
０．８０＜ｆ／ｆ１＜１．６０    （２）
但し、
ｆ  ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【００１９】
上記条件式（２）は、本実施形態の光学系全体の焦点距離と第１レンズ群の焦点距離を規定するものである。本実施形態の光学系は、条件式（２）を満足することにより、光学系の全長が大きくなることを防止し、像面湾曲やコマ収差を良好に補正することができる。
【００２０】
条件式（２）の下限を下回ると、第１レンズ群の屈折力が小さくなるため、光学系の全長が増大し、さらに、周辺光量を確保することが困難になってしまい好ましくない。また、光学系の全長を短縮するために第３レンズ群の屈折力を大きくすれば、球面収差や像面湾曲を補正することが困難になってしまうため好ましくない。なお、条件式（２）の下限値を０．９０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（２）の下限値を１．００に設定することで、本実施形態の効果を更に確実なものとすることができる。
【００２１】
一方、条件式（２）の上限を上回ると、第１レンズ群の屈折力が大きくなるため、球面収差やコマ収差や像面湾曲を補正することが困難になってしまい好ましくない。なお、条件式（２）の上限値を１．５０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（２）の上限値を１．３５に設定することで、本願の効果を更に確実なものとすることができる。
【００２２】
また、本実施形態の光学系は、以下の条件式（３）を満足することが望ましい。
０．８０＜ｆ１／（−ｆ２）＜１．４５    （３）
但し、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
【００２３】
上記条件式（３）は、本実施形態の第１レンズ群の焦点距離と第２レンズ群の焦点距離を規定するものである。本実施形態の光学系は、条件式（３）を満足することにより、球面収差や像面湾曲を良好に補正し、光学系の全長が大きくなるのを防止することができる。
【００２４】
条件式（３）の下限を下回ると、第２レンズ群の屈折力が小さくなるため、球面収差が補正不足になり、像面湾曲も十分に補正することが困難となってしまい好ましくない。また、合焦レンズ群である第２レンズ群の合焦時の移動量が大きくなり、光学系の全長が大きくなってしまうため好ましくない。なお、条件式（３）の下限値を０．９０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（３）の下限値を１．００に設定することで、本実施形態の効果を更に確実なものとすることができる。
【００２５】
一方、条件式（３）の上限を上回ると、第２レンズ群の屈折力が大きくなるため、球面収差が補正過剰になり、像面湾曲も補正することが困難になってしまい好ましくない。なお、条件式（３）の上限値を１．４４に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（３）の上限値を１．４２に設定することで、本実施形態の効果を更に確実なものとすることができる。
【００２６】
また、本実施形態の光学系は、以下の条件式（４）を満足することが望ましい。
１．１１＜ｆ１／ｆ３＜１．５０    （４）
但し、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離
【００２７】
上記条件式（４）は、本実施形態の第１レンズ群の焦点距離と第３レンズ群の焦点距離を規定するものである。本実施形態の光学系は、条件式（４）を満足することにより、光学系の全長が大きくなるのを防止し、像面湾曲やコマ収差を良好に補正することができる。
【００２８】
条件式（４）の上限を上回ると、第１レンズ群の屈折力が小さくなるため、光学系の全長が増大し、さらに周辺光量を確保することが困難になってしまい好ましくない。また、光学系の全長を短縮するために第３レンズ群の屈折力を大きくすれば、球面収差や像面湾曲を補正することが困難になってしまうため好ましくない。なお、条件式（４）の上限値を１．４０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（４）の上限値を１．３０に設定することで、本実施形態の効果を更に確実なものとすることができる。
【００２９】
条件式（４）の下限を下回ると、第１レンズ群の屈折力が大きくなるため、球面収差やコマ収差や像面湾曲を補正することが困難になってしまい好ましくない。なお、条件式（４）の下限値を１．１１５に設定することで、本願の効果をより確実なものとすることができる。
【００３０】
また、本実施形態の光学系は、以下の条件式（５）を満足することが望ましい。
０．７０＜（−ｆ２）／ｆ３＜１．５０    （５）
但し、
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離
【００３１】
上記条件式（５）は、本願の第２レンズ群の焦点距離と第３レンズ群の焦点距離を規定するものである。本実施形態の光学系は、条件式（５）を満足することにより、球面収差や像面湾曲を良好に補正し、光学系の全長が大きくなることを防止することができる。
【００３２】
条件式（５）の上限を上回ると、第２レンズ群の屈折力が小さくなるため、球面収差が補正不足になり、像面湾曲も十分に補正することが困難となってしまい好ましくない。また、合焦レンズ群である第２レンズ群の合焦時の移動量が大きくなり、光学系の全長が大きくなってしまうため好ましくない。なお、条件式（５）の上限値を１．３５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（５）の上限値を１．２０に設定することで、本実施形態の効果を更に確実なものとすることができる。
【００３３】
一方、条件式（５）の下限を下回ると、第２レンズ群の屈折力が大きくなるため、球面収差が補正過剰になり、像面湾曲も補正することが困難になってしまい好ましくない。なお、条件式（５）の下限値を０．７５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（５）の下限値を０．８０に設定することで、本実施形態の効果を更に確実なものとすることができる。
【００３４】
また、本実施形態の光学系は、以下の条件式（６）を満足することが望ましい。
１．２０＜ＴＬ／ｆ１＜２．０５    （６）
但し、
ＴＬ：前記光学系の全長
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【００３５】
上記条件式（６）は、本実施形態の光学系の全長と第１レンズ群の焦点距離を規定するものである。本実施形態の光学系は、条件式（６）を満足することにより、光学系の全長が大きくなることを防止し、像面湾曲やコマ収差を良好に補正することができる。
【００３６】
条件式（６）の下限を下回ると、第１レンズ群の屈折力が小さくなるため、光学系の全長が増大し、さらに、周辺光量を確保することが困難になってしまい好ましくない。また、光学系の全長を短縮するために第３レンズ群の屈折力を大きくすれば、球面収差や像面湾曲を補正することが困難になってしまうため好ましくない。なお、条件式（６）の下限値を１．４０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（６）の下限値を１．６０に設定することで、本実施形態の効果を更に確実なものとすることができる。
【００３７】
一方、条件式（６）の上限を上回ると、第１レンズ群の屈折力が大きくなるため、球面収差やコマ収差や像面湾曲を補正することが困難になってしまい好ましくない。なお、条件式（６）の上限値を２．０３に設定することで、本願の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（６）の上限値を２．００に設定することで、本願の効果を更に確実なものとすることができる。
【００３８】
また、本実施形態の光学系は、以下の条件式（７）を満足することが望ましい。
１．５０＜ＴＬ／（−ｆ２）＜３．１０    （７）
但し、
ＴＬ：前記光学系の全長
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
【００３９】
上記条件式（７）は、本実施形態の光学系の全長と第２レンズ群の焦点距離を規定するものである。本実施形態の光学系は、条件式（７）を満足することにより、光学系の全長が大きくなることを防止し、像面湾曲やコマ収差を良好に補正することができる。
【００４０】
条件式（７）の下限を下回ると、第２レンズ群の屈折力が小さくなるため、光学系の全長が増大し、さらに、周辺光量を確保することが困難になってしまうため好ましくない。また、光学系の全長を短縮するために第３レンズ群の屈折力を大きくすれば、球面収差や像面湾曲を補正することが困難になってしまうため好ましくない。なお、条件式（７）の下限値を１．７０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（７）の下限値を１．９０に設定することで、本願の効果を更に確実なものとすることができる。
【００４１】
一方、条件式（７）の上限を上回ると、第２レンズ群の屈折力が大きくなるため、球面収差やコマ収差や像面湾曲を補正することが困難になってしまい好ましくない。なお、条件式（７）の上限値を３．００に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（７）の上限値を２．９０に設定することで、本実施形態の効果を更に確実なものとすることができる。
【００４２】
また、本実施形態の光学系は、以下の条件式（８）を満足することが望ましい。
６３．００＜νｐ    （８）
但し、
νｐ：前記第１レンズ群に含まれる全ての正レンズのアッベ数の平均値
【００４３】
上記条件式（８）は、本実施形態の第１レンズ群に含まれる全ての正レンズのアッベ数の平均値を規定するものである。本実施形態の光学系は、条件式（８）を満足することにより、軸上色収差を良好に補正することができる。
【００４４】
条件式（８）の下限を下回ると、軸上色収差を良好に補正することが困難となってしまうため好ましくない。なお、条件式（８）の下限値を６５．００に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（８）の下限値を７０．０に設定することで、本実施形態の効果を更に確実なものとすることができる。
【００４５】
また、本実施形態の光学系は、無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第１レンズ群が、固定であることが望ましい。この構成により、第１レンズ群と第２レンズ群の両方が移動する場合と比べて合焦レンズ群の小型化が図れ、また、多くの合焦レンズ群が移動する際の誤差によって生じるコマ収差等の諸収差の発生を少なくすることができる。
【００４６】
また、本実施形態の光学系は、無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第３レンズ群が、固定であることが望ましい。この構成により、第２レンズ群と第３レンズ群の両方が移動する場合と比べて合焦レンズ群の小型化が図れ、また、多くの合焦レンズ群が移動する際の誤差によって生じるコマ収差等の諸収差の発生を少なくすることができる。
【００４７】
また、本実施形態の光学系は、前記第１レンズ群が、接合レンズを有し、前記接合レンズが、物体側から順に、正レンズと負レンズからなることが望ましい。この構成により、球面収差並びに軸上色収差を良好に補正することができる。
【００４８】
また、本実施形態の光学系は、前記第３レンズ群中に開口絞りを有することが望ましい。この構成により、像面湾曲や非点収差を良好に補正することができる。
【００４９】
また、本実施形態の光学系は、開口絞りを有し、前記開口絞りの物体側に隣り合うレンズ面は物体側に凸の形状をしたレンズ面であり、前記開口絞りの像側に隣り合うレンズ面は像側に凸の形状をしたレンズ面であることが望ましい。この構成により、球面収差や像面湾曲や非点収差を良好に補正することができる。
【００５０】
また、本実施形態の光学系は、前記第３レンズ群が、最も物体側から順に隣り合って配置された正レンズと負レンズとを有することが望ましい。この構成により、球面収差を良好に補正することができる。
【００５１】
また、本実施形態の光学系は、前記第２レンズ群が、接合レンズを有し、前記接合レンズは、物体側から順に、正レンズと負レンズからなり、前記第２レンズ群は、前記接合レンズで構成されている、又は、物体側から順に、負レンズと前記接合レンズとで構成されていることが望ましい。この構成により、小型で軸上色収差を良好に補正した光学系を実現することができる。また、この構成により、合焦時の球面収差の変動を小さくすることができる。
【００５２】
また、本実施形態の光学系は、前記第３レンズ群が、少なくとも一つの非球面を有することが望ましい。この構成により、コマ収差を良好に補正することができる。
【００５３】
また、本実施形態の光学系は、前記第３レンズ群の少なくとも一部が光軸と直交する方向の成分を含むように移動することが望ましい。この構成により、手ぶれ等によって生じる像ぶれの補正（防振）を行うことができる。そして、像ぶれ補正時の収差変動を小さくすることができる。
【００５４】
また、本実施形態の光学系は、前記第１レンズ群から前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことが望ましい。この構成により、本実施形態の光学系は、物体からの光が光学面で反射されることによって生じるゴーストやフレアをより低減させることができ、高い結像性能を達成することができる。
【００５５】
また、本実施形態の光学系は、前記ウェットプロセスを用いて形成された層のｄ線（波長λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄが１．３０以下であることが望ましい。この構成により、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。
【００５６】
なお、本実施形態の光学系における反射防止膜は、ウェットプロセスに限られず、ドライプロセス等によって形成してもよい。この場合、反射防止膜は屈折率が１．３０以下となる層を少なくとも１層含むようにすることが好ましい。この構成により、反射防止膜をドライプロセス等によって形成した場合でも、反射防止膜をウェットプロセスによって形成した場合と同様の効果を得ることができる。なお、屈折率が１．３０以下となる層は、多層膜を構成する層のうちの最も表面側の層であることが好ましい。
【００５７】
本実施形態の光学機器は、上述した構成の光学系を備えている。これにより、ゴーストやフレアをより低減させ、像ぶれ補正時の収差変動を良好に抑えた光学機器を実現することができる。
【００５８】
本実施形態の光学系の製造方法は、光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有する光学系の製造方法であって、
無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動するようにし、
以下の条件式（１）を満足するようにする。
１．００＜ｆ／（−ｆ２）＜２．４０    （１）
但し、
ｆ  ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
【００５９】
斯かる本実施形態の光学系の製造方法により、無限遠物点から近距離物点まで優れた光学性能を有する光学系を製造することができる。
【００６０】
また、本願の別の実施形態の光学系の製造方法は、光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有する光学系の製造方法であって、
無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動するようにし、
以下の条件式（２）を満足するようにする。
０．８０＜ｆ／ｆ１＜１．６０    （２）
但し、
ｆ  ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【００６１】
斯かる本実施形態の光学系の製造方法により、無限遠物点から近距離物点まで優れた光学性能を有する光学系を製造することができる。
【００６２】
以下、本願の数値実施例に係る光学系を添付図面に基づいて説明する。
【００６３】
（第１実施例)
図１は、本願の第１実施例に係る光学系のレンズ構成を示す図である。
【００６４】
本実施例に係る光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３から構成される。
【００６５】
正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ１１と、両凸形状の正レンズＬ１２と、両凸形状の正レンズＬ１３と両凹形状の負レンズＬ１４とを接合してなる接合レンズからなる。
【００６６】
負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２１と両凹形状の負レンズＬ２２とを接合してなる接合レンズからなる。
【００６７】
正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３１と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３２と、開口絞りＳと、両凹形状の負レンズＬ３３と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３４との接合レンズと、両凸形状の正レンズＬ３５と両凹形状の負レンズＬ３６と両凸形状の正レンズＬ３７とを接合してなる接合レンズとからなる。
【００６８】
本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３の最も像側面（面番号２２）が非球面である。
【００６９】
本実施例に係る光学系では、第１レンズ群Ｇ１および第３レンズ群Ｇ３が像面に対して固定され、第２レンズ群Ｇ２全体が光軸に沿って像側へ移動し、これによって無限遠物体から近距離物体への合焦が行われる。
【００７０】
本実施例に係る光学系では、負レンズＬ３３と正メニスカスレンズＬ３４からなり、開口絞りＳの像側に隣り合って配置された接合レンズが、防振レンズ群として光軸と直交する方向の成分を含む様に移動し、これによって像ぶれの補正を行うことができる。
【００７１】
本実施例に係る光学系では、正レンズＬ３５と負レンズＬ３６と正レンズＬ３７とからなり最も像側に配置された接合レンズのうち最も物体側レンズ面（面番号１９）にウエットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成された反射防止膜が形成されている。
【００７２】
下記の表１に、本第１実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。
【００７３】
この表１の[全体諸元]において、「ｆ」は焦点距離、「ＦＮＯ」はＦナンバー、「２ω」は画角（単位：「°」）、「Ｙ」は像高、「ＴＬ」は光学系の全長、「Ｂｆ」はバックフォーカスを表している。なお、全長ＴＬは、この光学系の最も物体側のレンズ面（第１面）から像面までの光軸上の距離を示し、バックフォーカスＢｆは、この光学系の最も像側のレンズ面（第２２面）から像面までの光軸上の距離を表している。
【００７４】
また、[面データ]において、「面番号」は光軸に沿った物体側から数えた光学面の順序、「ｒ」は各光学面の曲率半径、「ｄ」は面間隔（第n面（nは整数）と第n+1面との間隔）、「ｎｄ」はｄ線に対する屈折率、「νｄ」はｄ線（波長λ＝５８７．６ｎｍ）に対するアッべ数を示している。また、「物面」は物体面、「（絞りＳ）」は開口絞りＳ、「可変」は可変の面間隔を示している。曲率半径ｒ＝∞は平面を示し、空気の屈折率ｎｄ＝1.00000は省略してある。非球面には面番号の右側に「*」を付している。
【００７５】
また、[レンズ群焦点距離]には、各レンズ群のうち最も物体側の面の面番号（始面）および各レンズ群の焦点距離を示している。
【００７６】
[非球面データ]には、[面データ]に示した非球面について、その形状を次式で表した場合の円錐定数と非球面係数を示す。なお、「Ｅ−ｎ」は「×１０−ｎ」を示し、例えば、「１．２３４Ｅ−０５」は、「１．２３４×１０−5」を示す。２次の非球面係数Ａ２は０である。
Ｘ（ｙ）＝（ｙ２／ｒ）／[１＋[１−κ（ｙ２／ｒ２）]１／２] 
＋Ａ４×ｙ４＋Ａ６×ｙ６＋Ａ８×ｙ８＋Ａ１０×ｙ１０
ここで、光軸に垂直な方向の高さを「ｙ」とし、高さｙにおける各非球面の頂点の接平面から各非球面までの光軸に沿った距離（サグ量）を「Ｓ（ｙ）」とし、基準球面の曲率半径（近軸曲率半径）を「ｒ」とし、円錐定数を「κ」とし、ｎ次の非球面係数を「Ａｎ」とする。
【００７７】
[可変間隔データ]において、「ｆ」は全系の焦点距離を、「β」は物体と像間の結像倍率を、「Di」（但し、iは整数）は、第i面の可変の面間隔を示している。また、「無限遠」は無限遠合焦状態を、「至近」は至近撮影距離状態を示している。なお、D0は物体から第１面までの距離を示している。
【００７８】
ここで、以下の全ての諸元値において掲載されている焦点距離ｆ、曲率半径ｒ、面間隔ｄ、その他長さの単位は一般に「ｍｍ」が使われるが、光学系は、比例拡大または比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、これに限られるものではない。また、これらの符号の説明及び諸元表の説明は以降の実施例においても同様である。
【００７９】
（表１）
［全体諸元］
ｆ    ＝ 102.128
ＦＮＯ＝   1.449 
２ω  ＝  23.891
Ｙ    ＝  21.60
ＴＬ  ＝ 146.818
Ｂｆ  ＝  41.301  
［面データ］
面番号      ｒ         ｄ      ｎｄ     νｄ
物面          ∞       ∞   
1      176.41170    7.081   1.59349   67.00 
2     -997.05190    0.100
3       96.85690    9.766   1.49782   82.57
4    -2499.53100    0.100
5       64.16290   13.758   1.49782   82.57    
6     -222.06850    3.500   1.73800   32.26    
7      171.04680     可変 
8     -136.08080    4.000   1.80809   22.74    
9      -85.91600    2.500   1.48749   70.32    
10      40.41360     可変 
11     121.43430    5.687   1.72916   54.61    
12    -106.55980    0.100 
13      97.96380    1.800   1.61505   35.73   
14      33.61330    6.326 
15(絞りＳ)    ∞    6.526 
16     -52.40880    1.600   1.59238   35.86   
17      71.14860    3.733   1.72916   54.61   
18     478.61380    0.100 
19      80.79100    8.330   1.75596   49.76   
20     -33.83920    1.600   1.58128   37.40    
21      61.41580    4.724   1.89799   34.84   
22*    -225.35840      BF 
像面         ∞
［レンズ群焦点距離］
群    始面    焦点距離
1      1      81.118
2      8     -69.336
3     11      72.558
[非球面データ]
κ     A4          A6        A8          A10
第22面   1  9.931E-07 -1.978E-09  8.134E-12  -1.116E-14
［可変間隔データ] 
無限遠       至近
f又はβ  102.128    -0.136倍
D7         8.522    18.522 
D10       15.664     5.664 
[条件式対応値]
（１）  ｆ／（−ｆ２）＝１．４７
（２）  ｆ／ｆ１＝１．２６
（３）  ｆ１／（−ｆ２）＝１．１７
（４）  ｆ１／ｆ３＝１．１２
（５）  （−ｆ２）／ｆ３＝０．９６
（６）  ＴＬ／ｆ１＝１．８１
（７）  ＴＬ／（−ｆ２）＝２．１２
（８）  νＰ＝７７．３８
【００８０】
このように、第１実施例に係る光学系は、上記条件式（１）〜（８）を全て満足している。
【００８１】
図２に、第１実施例に係る光学系の無限遠合焦状態における球面収差、非点収差、歪曲収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。また、図３に、撮影倍率β＝−０．１３６で近距離合焦した状態における球面収差、非点収差、歪曲収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。各収差図において、「ＦＮＯ」はＦナンバーを、「Ｙ」は像高を、それぞれ示している。また、各収差図において、「ｄ」はｄ線（波長λ＝５８７．６ｎｍ）、及び、「ｇ」はｇ線（波長λ＝４３５．８ｎｍ）に対する収差を表している。また、非点収差図において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリジオナル像面を示している。なお、この収差図の説明は以降の実施例においても同様である。
【００８２】
この図２、図３に示す各収差図から明らかなように、第１実施例に係る光学系では諸収差が良好に補正されており、高い光学性能を有していることが分かる。
【００８３】
（第２実施例）
図４は、本願の第２実施例に係る光学系のレンズ構成を示す図である。
【００８４】
本実施例に係る光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３から構成される。
【００８５】
正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ１１と、両凸形状の正レンズＬ１２と、両凸形状の正レンズＬ１３と両凹形状の負レンズＬ１４とを接合してなる接合レンズからなる。
【００８６】
負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２１と両凹形状の負レンズＬ２２とを接合してなる接合レンズからなる。
【００８７】
正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３１と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３２と、開口絞りＳと、両凹形状の負レンズＬ３３と両凸形状の正レンズＬ３４とを接合してなる接合レンズと、両凸形状の正レンズＬ３５と両凹形状の負レンズとを接合してなる接合レンズと、両凸形状の正レンズＬ３７からなる。
【００８８】
本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３の最も像側面（面番号２３）が非球面である。
【００８９】
本実施例に係る光学系では、第１レンズ群Ｇ１および第３レンズ群Ｇ３が像面に対して固定され、第２レンズ群Ｇ２全体が光軸に沿って像側へ移動し、これによって無限遠物体から近距離物体への合焦が行われる。
【００９０】
本実施例に係る光学系では、負レンズＬ３３と正レンズＬ３４からなり、開口絞りＳの像側に隣り合って配置された接合レンズが、防振レンズ群として光軸と直交する方向の成分を含む様に移動し、これによって像ぶれの補正を行うことができる。
【００９１】
本実施例に係る光学系では、最も像側の正レンズＬ３７の物体側レンズ面（面番号２２）と正レンズＬ３７の物体側に隣り合って配置された負レンズＬ３６の像側レンズ面（面番号２１）とにウエットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成された反射防止膜が形成されている。
【００９２】
以下の表２に、本第２実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。
【００９３】
（表２）
［全体諸元］
ｆ    ＝ 102.643
ＦＮＯ＝   1.441
２ω  ＝  23.836
Ｙ    ＝  21.60
ＴＬ  ＝ 156.819
Ｂｆ  ＝  44.626
［面データ］
面番号       r          d        ｎd       νｄ      
物面         ∞         ∞
1      232.74460     5.460    1.59349    67.00     
2     -941.72040     0.100 
3       99.95980     9.402    1.49782    82.57     
4     -635.59410     0.100 
5       67.81170    13.106    1.49782    82.57     
6     -170.83160     3.500    1.64769    33.72     
7      136.65740     可変
8     -132.42720     4.400    1.80809    22.74     
9      -82.87930     2.500    1.48749    70.32    
10      43.90050      可変
11      76.67630     6.700    1.74397    44.85    
12    -145.75050     0.100 
13     365.29930     1.800    1.51742    52.20    
14      35.15610     7.500 
15(絞りＳ)    ∞     5.022 
16     -52.41160     1.800    1.60482    34.33    
17      48.32170     8.500    1.76457    48.44       
18     -99.22310     0.100 
19     302.91470     7.000    1.72916    54.61    
20     -46.57540     1.800    1.61532    33.18    
21      63.20750     2.000 
22      63.50280     6.000    1.90265    35.72    
23*    -264.53160      BF
像面         ∞
[レンズ群焦点距離]
群    始面    焦点距離
1      1       87.792
2      8      -74.149
3     11       72.509
[非球面データ]
κ     A4          A6           A8        A10
第23面   1   2.199E-07 -4.073E-11  -2.713E-13  4.702E-16
[可変間隔データ] 
無限遠     至近
f又はβ   102.643   -0.141倍
D7          8.654   20.317 
D10        16.649    4.986 
[条件式対応値]
（１）  ｆ／（−ｆ２）＝１．３８
（２）  ｆ／ｆ１＝１．１７
（３）  ｆ１／（−ｆ２）＝１．１８
（４）  ｆ１／ｆ３＝１．２１
（５）  （−ｆ２）／ｆ３＝１．０２
（６）  ＴＬ／ｆ１＝１．７９
（７）  ＴＬ／（−ｆ２）＝２．１１
（８）  νＰ＝７７．３８
【００９４】
このように、第２実施例に係る光学系は、上記条件式（１）〜（８）を全て満足している。
【００９５】
図５に、第２実施例に係る光学系の無限遠合焦状態における球面収差、非点収差、歪曲収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。また、図６に、撮影倍率β＝−０．１４１で近距離合焦した状態における球面収差、非点収差、歪曲収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。この図５、図６に示す各収差図から明らかなように、この第２実施例に係る光学系では、諸収差が良好に補正されており、高い光学性能を有していることが分かる。
【００９６】
（第３実施例）
図７は、本願の第３実施例に係る光学系のレンズ構成を示す図である。
【００９７】
本実施例に係る光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３から構成される。
【００９８】
正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ１１と、両凸形状の正レンズＬ１２と両凹形状の負レンズＬ１３とを接合してなる接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１４からなる。
【００９９】
負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２２と両凹形状の負レンズＬ２３とを接合してなる接合レンズからなる。
【０１００】
正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３１と両凹形状の負レンズＬ３２とを接合してなる接合レンズと、開口絞りＳと、両凹形状の負レンズＬ３３と両凸形状の正レンズＬ３４とを接合してなる接合レンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３５と両凸形状の正レンズＬ３６とを接合してなる接合レンズからなる。
【０１０１】
本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３の最も像側面（面番号２２）が非球面である。
【０１０２】
本実施例に係る光学系では、第１レンズ群Ｇ１および第３レンズ群Ｇ３が像面に対して固定され、第２レンズ群Ｇ２全体が光軸に沿って像側へ移動し、これによって無限遠物体から近距離物体への合焦が行われる。
【０１０３】
本実施例に係る光学系では、負レンズＬ３３と正レンズＬ３４からなり、開口絞りＳの像側に隣り合って配置された接合レンズが防振レンズ群として光軸と直交する方向の成分を含む様に移動し、これによって像ぶれの補正を行うことができる。
【０１０４】
本実施例に係る光学系では、負レンズＬ３５と正レンズＬ３６とからなり最も像側に配置された接合レンズの最も物体側レンズ面（面番号２０）にウエットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成された反射防止膜が形成されている。
【０１０５】
以下の表３に、本第３実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。
（表３）
[全体諸元]
ｆ    ＝ 102.618
ＦＮＯ＝   1.440
２ω  ＝  23.596
Ｙ    ＝  21.60
ＴＬ  ＝ 164.819
Ｂｆ  ＝  47.774
［面データ］
面番号      r          d        ｎd       νｄ      
物面        ∞         ∞
1      198.29690    7.671    1.59349    67.00     
2     -268.67610    0.100 
3       91.70170   13.288    1.49782    82.57     
4     -128.83920    3.500    1.64769    33.72    
5      203.55460    0.100 
6       79.79810    8.164    1.49782    82.57     
7     1937.33200    可変                    
8     -194.71540    2.500    1.71999    50.27    
9      117.67630    3.032 
10   -1433.39560    5.200    1.80809    22.74    
11     -76.31750    2.500    1.51742    52.20    
12      53.75550    可変     
13      49.94100   11.096    1.88462    36.82    
14     -83.51650    1.800    1.63199    34.05    
15      37.73780    7.500 
16(絞りＳ)    ∞    7.600
17     -40.81280    1.800    1.69044    27.44    
18      99.54650    8.500    1.72916    54.61    
19     -55.04360    0.100 
20     285.10750    1.800    1.55390    42.19    
21      41.90420    8.500    1.80733    43.13    
22*    -158.99830     BF
像面           ∞
[レンズ群焦点距離]
群    始面    焦点距離
1      1       83.797
2      8      -59.773
3     11       69.892
[非球面データ]
κ     A4          A6          A8        A10
第22面   1   9.463E-07  3.760E-10  -7.363E-13  1.038E-15
[可変間隔データ] 
無限遠      至近
f又はβ  102.643     -0.144倍
D7         7.857     17.857 
D12       14.437      4.437 
[条件式対応値]
（１）  ｆ／（−ｆ２）＝１．７２
（２）  ｆ／ｆ１＝１．２２
（３）  ｆ１／（−ｆ２）＝１．４０
（４）  ｆ１／ｆ３＝１．２０
（５）  （−ｆ２）／ｆ３＝０．８６
（６）  ＴＬ／ｆ１＝１．９７
（７）  ＴＬ／（−ｆ２）＝２．７６
（８）  νＰ＝７７．３８
【０１０６】
このように、第３実施例に係る光学系は、上記条件式（１）〜（８）を全て満たしている。
【０１０７】
図８に、第３実施例に係る光学系の無限遠合焦状態における球面収差、非点収差、歪曲収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。また、図９に、撮影倍率β＝−０．１４４で近距離合焦した状態における球面収差、非点収差、歪曲収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。この図８、図９に示す各収差図から明らかなように、この第３実施例に係る光学系では、諸収差が良好に補正されており、高い光学性能を有していることが分かる。
【０１０８】
以上に示した第１実施例から第３実施例までの各実施例の条件式対応値を、参照のため、以下の表４に示す。
【０１０９】
（表４）
条件式            第１実施例        第２実施例        第３実施例
（１）ｆ／（−ｆ２）       １．４７          １．３８          １．７２        
（２）ｆ／ｆ１             １．２６          １．１７          １．２２
（３）ｆ１／（−ｆ２）     １．１７          １．１８          １．４０
（４）ｆ１／ｆ３           １．１２          １．２１          １．２０
（５）（−ｆ２）／ｆ３     ０．９６          １．０２          ０．８６
（６）ＴＬ／ｆ１           １．８１          １．７９          １．９７
（７）ＴＬ／（−ｆ２）     ２．１２          ２．１１          ２．７６
（８）νＰ               ７７．３８        ７７．３８        ７７．３８
【０１１０】
ここで、本願の実施形態に係る光学系に用いられる反射防止膜（多層広帯域反射防止膜とも言う）について説明する。図１３は、反射防止膜の膜構成の一例を示す図である。この反射防止膜１０１は７層からなり、レンズ等の光学部材１０２の光学面に形成される。第１層１０１ａは真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムで形成されている。また、この第１層１０１ａの上に更に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第２層１０１ｂが形成される。さらに、この第２層１０１ｂの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第３層１０１ｃが形成され、この第３層１０１ｃの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第４層１０１ｄが形成される。またさらに、この第４層１０１ｄの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第５層１０１ｅが形成され、この第５層１０１ｅの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第６層１０１ｆが形成される。
【０１１１】
そして、このようにして形成された第６層１０１ｆの上に、ウェットプロセスによりフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる第７層１０１ｇが形成されて本実施形態の反射防止膜１０１が形成される。第７層１０１ｇの形成には、ウェットプロセスの一種であるゾル−ゲル法を用いている。ゾル−ゲル法とは、原料を混合することにより得られたゾルを、加水分解・重縮合反応などにより流動性のないゲルとし、このゲルを加熱・分解して生成物を得る方法であり、光学薄膜の作製においては、光学部材の光学面上に光学薄膜材料ゾルを塗布し、乾燥固化によりゲル膜とすることで膜を生成することができる。なお、ウェットプロセスとして、ゾル−ゲル法に限らず、ゲル状態を経ないで固体膜を得る方法を用いるようにしてもよい。
【０１１２】
このように、この反射防止膜１０１の第１層１０１ａ〜第６層１０１ｆまではドライプロセスである電子ビーム蒸着により形成され、最上層である第７層１０１ｇは、フッ酸／酢酸マグネシウム法で調製したゾル液を用いるウェットプロセスにより以下の手順で形成されている。まず、予めレンズ成膜面（上述の光学部材１０２の光学面）に真空蒸着装置を用いて第１層１０１ａとなる酸化アルミニウム層、第２層１０１ｂとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第３層１０１ｃとなる酸化アルミニウム層、第４層１０１ｄとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第５層１０１ｅとなる酸化アルミニウム層、第６層１０１ｆとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層を順に形成する。そして、蒸着装置より光学部材１０２を取り出した後、フッ酸／酢酸マグネシウム法により調製したゾル液にシリコンアルコキシドを加えたものをスピンコート法により塗布することにより、第７層１０１ｇとなるフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる層を形成する。フッ酸／酢酸マグネシウム法によって調製される際の反応式を以下の式（ｂ）に示す。
２ＨＦ＋Ｍｇ（ＣＨ３ＣＯＯ）２→ＭｇＦ２＋２ＣＨ３ＣＯＯＨ    （ｂ）
この成膜に用いたゾル液は、原料混合後、オートクレーブで１４０℃、２４時間高温加圧熟成処理を施した後、成膜に用いられる。この光学部材１０２は、第７層１０１ｇの成膜終了後、大気中で１６０℃、１時間加熱処理して完成される。このようなゾル−ゲル法を用いることにより、大きさが数ｎｍから数十ｎｍの粒子が空隙を残して堆積することにより第７層１０１ｇが形成される。
【０１１３】
このようにして形成された反射防止膜１０１を有する光学部材の光学的性能について図１４に示す分光特性を用いて説明する。
【０１１４】
本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材（レンズ）は、以下の表５に示す条件で形成されている。ここで表５は、基準波長をλとし、基板（光学部材）の屈折率が１．６２、１．７４及び１．８５について反射防止膜１０１の各層１０１ａ（第１層）〜１０１ｇ（第７層）の光学膜厚をそれぞれ求めたものである。なお、表５では、酸化アルミニウムをAl2O3、酸化チタンと酸化ジルコニウム混合物をZrO2＋TiO2、フッ化マグネシウムとシリカの混合物をMgF2＋SiO2とそれぞれ表している。
【０１１５】
（表５）
物質      屈折率  光学膜厚  光学膜厚  光学膜厚  
媒質    空気        1
第７層  MgF2＋SiO2  1.26  0.268λ    0.271λ    0.269λ
第６層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.057λ    0.054λ    0.059λ
第５層  Al2O3       1.65  0.171λ    0.178λ    0.162λ
第４層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.127λ    0.13λ     0.158λ
第３層  Al2O3       1.65  0.122λ    0.107λ    0.08λ
第２層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.059λ    0.075λ    0.105λ
第１層  Al2O3       1.65  0.257λ    0.03λ     0.03λ
基板の屈折率              1.62       1.74       1.85
【０１１６】
図１４は、表５において基準波長λを５５０ｎｍとして反射防止膜１０１の各層の光学膜厚を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を表している。
【０１１７】
図１４から、基準波長λを５５０ｎｍで設計した反射防止膜１０１を有する光学部材は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率を０．２％以下に抑えられることが判る。また、表５において基準波長λをｄ線（波長５８７．６ｎｍ）として各光学膜厚を設計した反射防止膜１０１を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図１４に示す基準波長λが５５０ｎｍの場合とほぼ同等の分光特性を有する。
【０１１８】
次に、本反射防止膜の変形例について説明する。この反射防止膜は５層からなり、表５と同様、以下の表６で示される条件で基準波長λに対する各層の光学膜厚が設計される。本変形例では、第５層の形成に前述のゾル−ゲル法を用いている。
【０１１９】
（表６）
物質      屈折率  光学膜厚  光学膜厚
媒質    空気        1
第５層  MgF2＋SiO2  1.26  0.275λ  0.269λ    
第４層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.045λ  0.043λ    
第３層  Al2O3       1.65  0. 212λ  0.217λ    
第２層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.077λ  0.066λ    
第１層  Al2O3       1.65  0.288λ  0.290λ    
基板の屈折率              1.46     1.52       
【０１２０】
図１５は、表６において、基板の屈折率が１．５２及び基準波長λを５５０ｎｍとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示している。図１５から本変形例の反射防止膜は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率が０．２％以下に抑えられることがわかる。なお、表６において基準波長λをｄ線（波長５８７．６ｎｍ）として各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図１５に示す分光特性とほぼ同等の特性を有する。
【０１２１】
図１６は、図１５に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。なお、図１５、図１６には表６に示す基板の屈折率が１．４６の反射防止膜を有する光学部材の分光特性が図示されていないが、基板の屈折率が１．５２とほぼ同等の分光特性を有していることは言うまでもない。
【０１２２】
また比較のため、図１７に、従来の真空蒸着法などのドライプロセスのみで成膜した反射防止膜の一例を示す。図１７は、表６と同じ基板の屈折率１．５２に以下の表７で示される条件で構成される反射防止膜を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示す。また、図１８は、図１７に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。
【０１２３】
（表７）
物質      屈折率  光学膜厚
媒質    空気        1
第７層  MgF2        1.39  0.243λ    
第６層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.119λ    
第５層  Al2O3       1.65  0.057λ    
第４層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.220λ    
第３層  Al2O3       1.65  0.064λ    
第２層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.057λ    
第１層  Al2O3       1.65  0.193λ    
基板の屈折率              1.52       
【０１２４】
図１４〜図１６で示される本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材の分光特性を、図１７および図１８で示される従来例の分光特性と比較すると、本実施形態に係る反射防止膜はいずれの入射角においてもより低い反射率を有し、しかもより広い帯域で低い反射率を有することが良くわかる。
【０１２５】
次に、本願の第１実施例から第３実施例に、上記表５および表６に示す反射防止膜を適用した例について説明する。
【０１２６】
本第１実施例の光学系において、第３レンズ群Ｇ３の正レンズＬ３５の屈折率は、表１に示すように、ｎｄ＝１．７５５９６であるため、正レンズＬ３５における物体側のレンズ面に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表５参照）を用いることでレンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１２７】
本第２実施例の光学系において、第３レンズ群Ｇ３の負レンズＬ３６の屈折率は、表１に示すように、ｎｄ＝１．６１５３２であり、第３レンズ群Ｇ３の正レンズＬ３７の屈折率は、ｎｄ＝１．９０２６５あるため、負レンズＬ３６における像面側のレンズ面に基板の屈折率が１．６２に対応する反射防止膜１０１（表５参照）を用い、正レンズＬ３７における物体側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表５参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１２８】
本第３実施例の光学系において、第３レンズ群Ｇ３の負メニスカスレンズＬ３５の屈折率は、表７に示すように、ｎｄ＝１．５５３９０であるため、負メニスカスレンズＬ３５における物体側のレンズ面に基板の屈折率が１．５２に対応する反射防止膜（表６参照）を用いることでレンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１２９】
なお、以下に記載の内容は、光学性能を損なわない範囲で適宜採用可能である。
【０１３０】
実施例では、３群構成の光学系を示したが、４群等の他の群構成にも適用可能である。また、最も物体側にレンズまたはレンズ群を追加した構成や、最も像側にレンズまたはレンズ群を追加した構成でも構わない。また、レンズ群とは、合焦時に変化する空気間隔で分離された、少なくとも１枚のレンズを有する部分を示す。
【０１３１】
単独又は複数のレンズ群、または部分レンズ群を光軸方向に移動させて、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う合焦レンズ群としても良い。前記合焦レンズ群は、オートフォーカスにも適用でき、オートフォーカス用の（超音波モータ等を用いた）モータ駆動にも適している。特に第２レンズ群を合焦レンズ群とするのが好ましい。
【０１３２】
開口絞りは第３レンズ群中に配置されるのが好ましいが、開口絞りとしての部材を設けずに、レンズの枠でその役割を代用しても良い。
【０１３３】
レンズ群または部分レンズ群を光軸に垂直な方向の成分を持つように移動させ、または、光軸を含む面内方向に回転移動（揺動）させて、手ぶれによって生じる像ぶれを補正する防振レンズ群としても良い。特に、第３レンズ群の少なくとも一部を防振レンズ群とするのが好ましい。更に、開口絞りの像側に隣り合って配置されるレンズ成分を防振レンズ群とするのが好ましい。
【０１３４】
レンズ面は、球面または平面としても、非球面で形成されても構わない。レンズ面が球面または平面の場合、レンズ加工及び組立調整が容易になり、加工及び組立調整の誤差による光学性能の劣化を防げるので好ましい。また、像面がずれた場合でも描写性能の劣化が少ないので好ましい。レンズ面が非球面の場合、非球面は、研削加工による非球面、ガラスを型で非球面形状に形成したガラスモ−ルド非球面、又はガラスの表面に設けた樹脂を非球面形状に形成した複合型非球面でも構わない。また、レンズ面は回折面としても良く、レンズを屈折率分布型レンズ（ＧＲＩＮレンズ）あるいはプラスチックレンズとしても良い。
【０１３５】
各レンズ面には、フレアやゴーストを軽減しコントラストの高い光学性能を達成するために、広い波長域で高い透過率を有する反射防止膜を施しても良い。
【０１３６】
図１０に、上述の光学系を備える光学機器の一例として、一眼レフカメラ１（以後、単にカメラと記す）の略断面図を示す。このカメラ１において、不図示の物体（被写体）からの光は、撮影レンズ２（光学系）で集光されて、クイックリターンミラー３を介して焦点板４に結像される。そして、焦点板４に結像された光は、ペンタプリズム５中で複数回反射されて接眼レンズ６へと導かれる。これにより、撮影者は、物体（被写体）像を、接眼レンズ６を介して正立像として観察することができる。
【０１３７】
また、撮影者によって不図示のレリーズボタンが押されると、クイックリターンミラー３が光路外へ退避し、撮影レンズ２で集光された不図示の物体（被写体）の光は撮像素子７上に被写体像を形成する。これにより、物体（被写体）からの光は、当該撮像素子７により撮像され、物体（被写体）画像として不図示のメモリに記録される。このようにして、撮影者は本カメラ１による物体（被写体）の撮影を行うことができる。なお、図１０に記載のカメラ１は、撮影レンズ２を着脱可能に保持するものでも良く、撮影レンズ２と一体に成形されるものでも良い。また、カメラ１は、いわゆる一眼レフカメラでも良く、クイックリターンミラー等を有さないコンパクトカメラ若しくはミラーレスの一眼レフカメラでも良い。
【０１３８】
ここで、本カメラ１の撮影レンズ２として上述した光学系は、その特徴的なレンズ構成によって、ゴーストやフレアをより低減させ、像ぶれ補正時の収差変動を良好に抑えている。これにより本カメラ１は、ゴーストやフレアをより低減させ、像ぶれ補正時の収差変動を良好に抑えた撮影を実現している。
【０１３９】
以下、本実施形態の光学系の製造方法の概略を、図１１を参照して説明する。この光学系の製造方法は、光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有する光学系の製造方法であって、以下のステップＳ１とＳ２を含むものである。
【０１４０】
無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動するようにする（ステップＳ１）。
【０１４１】
以下の条件式（１）を満足するようにする（ステップＳ２）。
１．００＜ｆ／（−ｆ２）＜２．４０    （１）
但し、
ｆ  ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離
【０１４２】
以上の製造方法によれば、無限遠物点から近距離物点まで優れた光学性能を有する光学系を製造することができる。
【０１４３】
以下、本実施形態に係る光学系の他の製造方法の概略を、図１２を参照して説明する。この光学系の製造方法は、光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有する光学系の製造方法であって、以下のステップＳ１とＳ２を含むものである。
【０１４４】
無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、前記第２レンズ群が光軸に沿って移動するようにする（ステップＳ１）。
【０１４５】
以下の条件式（２）を満足するようにする（ステップＳ２）。
０．８０＜ｆ／ｆ１＜１．６０    （２）
但し、
ｆ  ：前記光学系の無限遠合焦時の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【０１４６】
以上の製造方法によれば、無限遠から近距離物点まで優れた光学性能を有する光学系を製造することができる。
【符号の説明】
【０１４７】
Ｇ１  第１レンズ群
Ｇ２  第２レンズ群
Ｇ３  第３レンズ群
Ｓ    開口絞り
Ｉ    像面
１    一眼レフカメラ
２    撮影レンズ
３    クイックリターンミラー
４    焦点板
５    ペンタプリズム
６    接眼レンズ
７    撮像素子
【図１】
2020021093.tif 000003
【図２】
2020021093.tif 000004
【図３】
2020021093.tif 000005
【図４】
2020021093.tif 000006
【図５】
2020021093.tif 000007
【図６】
2020021093.tif 000008
【図７】
2020021093.tif 000009
【図８】
2020021093.tif 000010
【図９】
2020021093.tif 000011
【図１０】
2020021093.tif 000012
【図１１】
2020021093.tif 000013
【図１２】
2020021093.tif 000014
【図１３】
2020021093.tif 000015
【図１４】
2020021093.tif 000016
【図１５】
2020021093.tif 000017
【図１６】
2020021093.tif 000018
【図１７】
2020021093.tif 000019
【図１８】
2020021093.tif 000020