(57)【要約】【課題】蓋体の下面に容器を密閉するための環状の部材などが設けられる場合、容器の上面にＯリング等が設けられる場合、及び、容器（固定体）側と蓋体（移動体）側が入り組んだ構造で隙間が狭い場合など、蓋体（移動体）を一定の直線方向に移動させたい場合でも、蓋体を鉛直方向に脱離することが可能な処理装置を提供する。【解決手段】この処理装置１００では、着脱機構３０は、平行リンク部３１と、平行リンク部３１の第１端部３１ａ側を水平方向に沿うようにスライド移動させるスライド機構部４０と、平行リンク部３１によって鉛直方向に移動する略水平方向への蓋体２０の移動を規制する移動規制部７０とを含む。そして、移動規制部７０が蓋体２０の移動を規制した状態における平行リンク部３１の回動により、蓋体２０は鉛直方向に移動する。【選択図】図１
2020106135.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理するチャンバ本体と、
前記チャンバ本体を覆うように設けられる蓋体と、
前記蓋体を前記チャンバ本体から着脱する着脱機構とを備え、
前記着脱機構は、
第１端部側が前記チャンバ本体側に取り付けられ、第２端部側が前記蓋体側に取り付けられる平行リンク部と、
前記平行リンク部の前記第１端部側および前記第２端部側のうちの一方を水平方向に沿うようにスライド移動させるスライド機構部と、
前記平行リンク部によって鉛直方向に移動する前記蓋体の略水平方向への移動を規制する第１移動規制部とを含み、
前記第１移動規制部が前記蓋体の移動を規制した状態における前記平行リンク部の回動により、前記蓋体は鉛直方向に移動する、処理装置。
【請求項２】
前記第１移動規制部による前記蓋体の移動の規制が解除された状態における前記平行リンク部の回動により、前記蓋体は、前記チャンバ本体の上方から前記水平方向の第１方向側に退避されるように構成されている、請求項１に記載の処理装置。
【請求項３】
前記第１移動規制部は、鉛直方向に沿って延びる第１部分を含み、
前記蓋体の前記第１移動規制部が配置される側に設けられる回転体をさらに備え、
前記第１移動規制部の前記第１部分の表面上を前記回転体が回転しながら移動することにより、前記蓋体が鉛直方向に移動するように構成されている、請求項１または２に記載の処理装置。
【請求項４】
前記回転体は、前記蓋体に取り付けられるローラ部を含み、
前記第１移動規制部は、前記第１部分に接続され、鉛直方向に交差する方向でかつ前記蓋体から離間する方向に延びる第２部分をさらに含み、
前記ローラ部が前記第２部分を通り越すことにより、前記蓋体は、前記チャンバ本体の上方から前記水平方向の第１方向側に退避されるように構成されている、請求項３に記載の処理装置。
【請求項５】
前記スライド機構部は、前記水平方向に沿うように配置されるガイド部と、前記平行リンク部の前記第１端部側および前記第２端部側のうちの一方に設けられ、前記平行リンク部の前記第１端部側および前記第２端部側のうちの一方を互いに連結する連結部を兼ねるとともに、前記ガイド部に沿って移動する移動台座部とを含む、請求項１〜４のいずれか１項に記載の処理装置。
【請求項６】
前記スライド機構部は、前記ガイド部の前記水平方向の第２方向側に設けられ、前記移動台座部が前記第２方向側に移動するのを規制する第２移動規制部をさらに含む、請求項５に記載の処理装置。
【請求項７】
前記平行リンク部の一対のリンクに接続され、前記一対のリンクの回動に伴って伸縮するばね性を有する伸縮部をさらに備える、請求項１〜６のいずれか１項に記載の処理装置。
【請求項８】
容器本体を覆うように設けられる蓋体を前記容器本体から着脱する着脱機構であって、
第１端部側が前記容器本体側に取り付けられ、第２端部側が前記蓋体側に取り付けられる平行リンク部と、
前記平行リンク部の前記第１端部側および前記第２端部側のうちの一方を水平方向に沿うようにスライド移動させるスライド機構部と、
前記平行リンク部によって鉛直方向に移動する前記蓋体の略水平方向への移動を規制する移動規制部とを含み、
前記移動規制部が前記蓋体の移動を規制した状態における前記平行リンク部の回動により、前記蓋体は鉛直方向に移動する、着脱機構。
【請求項９】
固定体を覆うように設けられる移動体を前記固定体から着脱するリンク機構であって、
前記移動体の移動方向と、前記移動体が前記固定体に対して着脱される面とは略直交しており、
第１端部側が前記固定体側に取り付けられ、第２端部側が前記移動体側に取り付けられる平行リンク部と、
前記平行リンク部の前記第１端部側および前記第２端部側のうちの一方を、前記移動体の移動方向に垂直な方向に沿うようにスライド移動させるスライド機構部と、
前記平行リンク部によって、前記移動方向に、前記スライド機構部に対して相対的に移動する前記移動体の、前記移動方向に略垂直な方向への移動を規制する移動規制部とを含み、
前記移動規制部が前記移動体の移動を規制した状態における前記平行リンク部の回動により、前記移動体は前記移動方向に移動する、リンク機構。
【請求項１０】
前記移動規制部による前記移動体の規制が解除された状態における前記平行リンク部の回動により、前記移動体は、前記固定体から前記スライド機構部のスライド移動方向とは反対側に退避されるように構成されている、請求項９に記載のリンク機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、処理装置、着脱機構およびリンク機構に関し、特に、蓋体（移動体）が着脱される処理装置、着脱機構およびリンク機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、蓋体を着脱する容器の開閉蓋装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、上端が開口した容器の開口を閉鎖する蓋体を備える容器の開閉蓋装置が開示されている。この開閉蓋装置では、蓋体は、板形状を有する。また、板形状の蓋体の表面に沿うように、蓋体の内部を貫通する前側軸と、後ろ側軸とが設けられている。また、前側軸には、Ｌ字形状を有する前側搖動腕が接続されている。なお、前側軸は、Ｌ字形状を有する前側搖動腕の折れ曲がった部分よりも一方端側に取り付けられている。また、Ｌ字形状を有する前側搖動腕の折れ曲がった部分よりも他方端側には、回転可能な前側支持輪（ローラ）が取り付けられている。また、Ｌ字形状を有する前側搖動腕は、ユーザが把持可能なハンドルレバーとして機能する。また、後ろ側軸には、直線形状（長方形の板形状）を有する後ろ搖動腕の一方端が接続されている。また、後ろ搖動腕の他方端には、回転可能な後ろ側支持輪（ローラ）が取り付けられている。また、前側搖動腕と後ろ搖動腕とによって一対のリンク部が構成されている。
【０００４】
次に、上記特許文献１における蓋体の開閉動作について説明する。まず、容器の開口を閉鎖するように容器の開口上に蓋体が配置されているとする。この状態で、ユーザが前側搖動腕（ハンドルレバー）を下方に押し下げる。前側搖動腕がＬ字形状を有しているので、Ｌ字形状の前側搖動腕の折れ曲がった部分（角部）が、容器の上面に接触するとともに、回動（たとえば、反時計回りに回動）する。同様に、後ろ側搖動腕も回動（たとえば、反時計回りに回動）する。これにより、蓋体が円弧状に移動して、蓋体が容器の開口を覆った状態が解除（蓋体が上昇）される。また、前側搖動腕の他方端には前側支持輪が設けられ、後ろ側搖動腕の他方端には後ろ側支持輪が設けられている。そして、蓋体が上昇された後、ユーザが前側搖動腕（ハンドルレバー）を水平方向に押圧することにより、蓋体が水平方向に移動されて、蓋体が容器の開口の上方から退避される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実開平６−７８６６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、蓋体の下面に容器を密閉するための環状の部材などが設けられる場合がある。この場合、上記特許文献１に記載の容器の開閉蓋装置のように、蓋体を円弧状に移動させて蓋体が容器の開口を覆った状態が解除（蓋体が上昇）されると、環状の部材が容器内の空間を囲む壁面に当接する。このため、蓋体を円弧状に移動させると、蓋体が鉛直方向に脱離できないという問題点がある。また、容器の上面に容器と蓋体を密閉するためのＯリングや、パッキンが設けられる場合がある。このとき、蓋体が、垂直ではなく、円弧状（斜め）に移動されると、Ｏリングの捻れや部分的な負荷により、密閉性低下や短寿命化し易いという問題点がある。更に、容器側と蓋体側が入り組んだ構造で隙間が狭い場合、蓋体が一定の直線方向に移動されず、円弧状に移動させると互いに干渉するという問題点がある。
【０００７】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、蓋体（移動体）の下面に容器（チャンバ本体、固定体）を密閉するための環状の部材が設けられる場合、容器の上面にＯリング等が設けられる場合、及び、容器（固定体）側と蓋体（移動体）側が入り組んだ構造で隙間が狭い場合など、蓋体（移動体）を一定の直線方向に移動させたい場合に、蓋体（移動体）を鉛直方向（移動方向）に脱離することが可能な処理装置、着脱機構およびリンク機構を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、この発明の第１の局面による処理装置は、基板を処理するチャンバ本体と、チャンバ本体を覆うように設けられる蓋体と、蓋体をチャンバ本体から着脱する着脱機構とを備え、着脱機構は、第１端部側がチャンバ本体側に取り付けられ、第２端部側が蓋体側に取り付けられる平行リンク部と、平行リンク部の第１端部側および第２端部側のうちの一方を水平方向に沿うようにスライド移動させるスライド機構部と、平行リンク部によって鉛直方向に移動する蓋体の略水平方向への移動を規制する第１移動規制部とを含み、第１移動規制部が蓋体の移動を規制した状態における平行リンク部の回動により、蓋体は鉛直方向に移動する。なお、「水平方向に沿うようにスライド移動」とは、水平方向に対して、若干（たとえば、１０度程度）傾斜した方向にスライド移動することも含む概念である。ただし、この概念は、平行リンク部が構成する平行四辺形が、思案点（平行リンク部の一対のリンクと、一対のリンクを接続する部分とが一直線となる状態）となる状態は含まれない。また、「蓋体の略水平方向への移動」とは、蓋体が水平方向に沿って直線移動することと、蓋体が円弧状に移動することとを含む概念である。
【０００９】
この発明の第１の局面による処理装置では、上記のように、第１移動規制部が蓋体の移動を規制した状態における平行リンク部の回動により、蓋体は鉛直方向に移動する。これにより、蓋体が鉛直方向に移動されるので、蓋体の下面にチャンバ本体を密閉するための環状の部材が設けられている場合、容器の上面にＯリング等が設けられる場合、及び、容器側と蓋体側が入り組んだ構造で隙間が狭い場合など、蓋体を一定の直線方向に移動させたい場合でも、蓋体を鉛直方向に脱離することができる。
【００１０】
上記第１の局面による処理装置において、好ましくは、第１移動規制部による蓋体の移動の規制が解除された状態における平行リンク部の回動により、蓋体は、チャンバ本体の上方から水平方向の第１方向側に退避されるように構成されている。このように構成すれば、蓋体がチャンバ本体から脱離されているので、蓋体を容易に、水平方向の第１方向側に移動させることができる。
【００１１】
上記第１の局面による処理装置において、好ましくは、第１移動規制部は、鉛直方向に沿って延びる第１部分を含み、蓋体の第１移動規制部が配置される側に設けられる回転体をさらに備え、第１移動規制部の第１部分の表面上を回転体が回転しながら移動することにより、蓋体が鉛直方向に移動するように構成されている。このように構成すれば、回転体の回転によって蓋体と第１移動規制部との摩擦力が低減されるので、容易に、蓋体を鉛直方向に移動させることができる。
【００１２】
この場合、好ましくは、回転体は、蓋体に取り付けられるローラ部を含み、第１移動規制部は、第１部分に接続され、鉛直方向に交差する方向でかつ蓋体から離間する方向に延びる第２部分をさらに含み、ローラ部が第２部分を通り越すことにより、蓋体は、チャンバ本体の上方から水平方向の第１方向側に退避されるように構成されている。このように構成すれば、蓋体をチャンバ本体の上方から退避させた位置から、再び蓋体を第２方向側へ移動させて蓋体をチャンバ本体に取り付ける際に、第１方向側へ移動する蓋体を第２部分によって案内することができる。
【００１３】
上記第１の局面による処理装置において、好ましくは、スライド機構部は、水平方向に沿うように配置されるガイド部と、平行リンク部の第１端部側および第２端部側のうちの一方に設けられ、平行リンク部の第１端部側および第２端部側のうちの一方を互いに連結する連結部を兼ねるとともに、ガイド部に沿って移動する移動台座部とを含む。このように構成すれば、容易に、移動台座部をガイド部に沿って移動させることができる。
【００１４】
この場合、好ましくは、スライド機構部は、ガイド部の第２方向側に設けられ、移動台座部が第２方向側に移動するのを規制する第２移動規制部をさらに含む。このように構成すれば、平行リンク部の第２方向側への移動が第２移動規制部に規制されるので、平行リンク部の回動により蓋体を鉛直方向に移動させることができる。
【００１５】
上記第１の局面による処理装置において、好ましくは、平行リンク部の一対のリンクに接続され、一対のリンクの回動に伴って伸縮するばね性を有する伸縮部をさらに備える。このように構成すれば、たとえば、伸縮部が伸長する方向に付勢力が働くように伸縮部を構成することによって、伸縮部の付勢力が平行リンク部を回動させるための補助力となる。これにより、蓋体を移動させる際のユーザの負担を軽減することができる。
【００１６】
この発明の第２の局面による着脱機構は、容器本体を覆うように設けられる蓋体を容器本体から着脱する着脱機構であって、第１端部側が容器本体側に取り付けられ、第２端部側が蓋体側に取り付けられる平行リンク部と、平行リンク部の第１端部側および第２端部側のうちの一方を水平方向に沿うようにスライド移動させるスライド機構部と、平行リンク部によって鉛直方向に移動する蓋体の略水平方向への移動を規制する移動規制部とを含み、移動規制部が蓋体の移動を規制した状態における平行リンク部の回動により、蓋体は鉛直方向に移動する。なお、「水平方向に沿うようにスライド移動」とは、水平方向に対して、若干（たとえば、１０度程度）傾斜した方向にスライド移動することも含む概念である。ただし、この概念は、平行リンク部が構成する平行四辺形が、思案点（平行リンク部の一対のリンクと、一対のリンクを接続する部分とが一直線となる状態）となる状態は含まれない。また、「蓋体の略水平方向への移動」とは、蓋体が水平方向に沿って直線移動することと、蓋体が円弧状に移動することとを含む概念である。
【００１７】
この発明の第２の局面による着脱機構では、上記のように、移動規制部が蓋体の移動を規制した状態における平行リンク部の回動により、蓋体は鉛直方向に移動する。これにより、蓋体が鉛直方向に移動されるので、蓋体の下面にチャンバ本体を密閉するための環状の部材が設けられている場合、容器の上面にＯリング等が設けられる場合、及び、容器側と蓋体側が入り組んだ構造で隙間が狭い場合など、蓋体を一定の直線方向に移動させたい場合でも、蓋体を鉛直方向に脱離することができる。
【００１８】
この発明の第３の局面によるリンク機構は、固定体を覆うように設けられる移動体を固定体から着脱するリンク機構であって、移動体の移動方向と、移動体が固定体に対して着脱される面とは略直交しており、第１端部側が固定体側に取り付けられ、第２端部側が移動体側に取り付けられる平行リンク部と、平行リンク部の第１端部側および第２端部側のうちの一方を、移動体の移動方向に垂直な方向に沿うようにスライド移動させるスライド機構部と、平行リンク部によって、移動方向に、スライド機構部に対して相対的に移動する移動体の、移動方向に略垂直な方向への移動を規制する移動規制部とを含み、移動規制部が移動体の移動を規制した状態における平行リンク部の回動により、移動体は移動方向に移動する。なお、「移動体の移動方向に垂直な方向に沿うようにスライド移動」とは、移動体の移動方向に垂直な方向に対して、若干（たとえば、１０度程度）傾斜した方向にスライド移動することも含む概念である。ただし、この概念は、平行リンク部が構成する平行四辺形が、思案点（平行リンク部の一対のリンクと、一対のリンクを接続する部分とが一直線となる状態）となる状態は含まれない。また、「移動体の、移動方向に略垂直な方向への移動」とは、移動が移動方向に略垂直な方向に沿って直線移動することと、移動が円弧状に移動することとを含む概念である。
【００１９】
この発明の第３の局面によるリンク機構では、上記のように、移動規制部が移動体の移動を規制した状態における平行リンク部の回動により、移動体は移動方向に移動する。これにより、固定体側と移動体側が入り組んだ構造で隙間が狭い場合など、移動体を一定の直線方向に移動させたい場合でも、移動体を移動方向に脱離することができる。
【００２０】
上記第３の局面によるリンク機構において、好ましくは、移動規制部による移動体の規制が解除された状態における平行リンク部の回動により、移動体は、固定体からスライド機構部のスライド移動方向とは反対側に退避されるように構成されている。このように構成すれば、このように構成すれば、移動体が固定体から脱離されているので、移動体を容易に移動させることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、上記のように、蓋体（移動体）の下面に容器（チャンバ本体、固定体）を密閉するための環状の部材が設けられている場合、容器の上面にＯリング等が設けられる場合、及び、容器（固定体）側と蓋体（移動体）側が入り組んだ構造で隙間が狭い場合など、蓋体（移動体）を一定の直線方向に移動させたい場合でも、移動体を移動方向に脱離することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】第１実施形態による処理装置の模式図（Ｙ方向から見た図）である。
【図２】第１実施形態による処理装置の模式図（上面図）である。
【図３】第１実施形態による処理装置の模式図（Ｘ方向から見た図）である。
【図４】第１実施形態による処理装置の動作を説明するための図（１）である。
【図５】第１実施形態による処理装置の動作を説明するための図（２）である。
【図６】第２実施形態による処理装置を説明するための図である。
【図７】第２実施形態による処理装置の動作を説明するための図（１）である。
【図８】第２実施形態による処理装置の動作を説明するための図（２）である。
【図９】変形例による処理装置を説明するための図である。
【図１０】変形例による処理装置のスライド機構部を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２４】
［第１実施形態］
（処理装置の構成）
【００２５】
図１〜図５を参照して、第１実施形態による処理装置１００の構成について説明する。なお、処理装置１００は、基板（図示せず）を搬送する搬送装置２００に隣り合うように設けられている。また、処理装置１００は、搬送装置２００により搬送された基板を処理するように構成されている。なお、図１、図２、図４および図５では、プレート部材５０を省略している。
【００２６】
図１に示すように、処理装置１００は、チャンバ本体１０を備えている。チャンバ本体１０は、内部に略円筒状の空間１１が形成されている。チャンバ本体１０は、内部の空間１１において、基板を処理するように構成されている。また、チャンバ本体１０の外形は、略直方体形状を有する。なお、チャンバ本体１０は、特許請求の範囲の「容器本体」の一例である。
【００２７】
また、処理装置１００は、蓋体２０を備えている。蓋体２０は、チャンバ本体１０を覆うように設けられている。具体的には、蓋体２０は、チャンバ本体１０の内部の空間１１を密閉するように構成されている。また、蓋体２０は、略円筒形状を有する。
【００２８】
また、処理装置１００は、着脱機構３０を備えている。着脱機構３０は、蓋体２０をチャンバ本体１０から着脱するように構成されている。以下、着脱機構３０の詳細な構成について説明する。
【００２９】
（着脱機構の詳細な構成）
【００３０】
図１に示すように、着脱機構３０は、平行リンク部３１を備えている。平行リンク部３１は、第１端部３１ａ側がチャンバ本体１０側に取り付けられ、第２端部３１ｂ側が蓋体２０側に取り付けられている。なお、平行リンク部３１は、チャンバ本体１０のＹ１方向側の側面１０ａおよびＹ２方向側の側面１０ａにそれぞれ設けられている。また、平行リンク部３１は、一対のリンク３２を含む。リンク３２は、長方形の板形状を有する。また、一対のリンク３２は、互いに略平行に配置されている。また、平行リンク部３１は、たとえば金属などにより構成されている。
【００３１】
一対のリンク３２の第２端部３１ｂ側は、連結部３３により互いに連結されている。また、平行リンク部３１は、連結部３３とともに、蓋体２０側に取付けられている。また、連結部３３は、平板状の金属などからなる。また、一対のリンク３２は、それぞれ、蓋体２０に対して、Ｙ方向に沿った軸Ｃ１および軸Ｃ２を中心に回動可能に構成されている。また、一対のリンク３２は、それぞれ、スライド機構部４０に対して、Ｙ方向に沿った軸Ｃ３および軸Ｃ４を中心に回動可能に構成されている。なお、図１に示すように、蓋体２０がチャンバ本体１０を覆っている状態で、軸Ｃ１は、軸Ｃ３のＸ２方向側に位置している。また、軸Ｃ２は、軸Ｃ４のＸ２方向側に位置している。
【００３２】
また、着脱機構３０は、スライド機構部４０を備えている。スライド機構部４０は、平行リンク部３１の第１端部３１ａ側を水平方向に沿うようにスライド移動させるように構成されている。なお、図２に示すように、スライド機構部４０は、チャンバ本体１０のＹ１方向側とＹ２方向側とにそれぞれ設けられている。
【００３３】
具体的には、第１実施形態では、図１に示すように、スライド機構部４０は、水平方向（Ｘ方向）に沿うように、並列して配置され複数のローラ部４１を含む。複数のローラ部４１は、それぞれ、Ｙ方向に沿った軸Ｃ５を中心に回転可能に構成されている。また、図３に示すように、複数のローラ部４１は、それぞれ、チャンバ本体１０の側面１０ａから離間するように設けられたプレート部材５０に固定されている。また、プレート部材５０には、チャンバ本体１０に対するプレート部材５０の高さ位置を調整するための複数の孔部５１が設けられている。そして、複数の孔部５１のうちの２つの孔部５１に、チャンバ本体１０側に延びるボルト部材５２が挿入されることにより、チャンバ本体１０に対してプレート部材５０が固定されている。なお、ボルト部材５２は、たとえば、リーマボルトから構成されている。また、ローラ部４１は、特許請求の範囲の「ガイド部」の一例である。
【００３４】
また、第１実施形態では、図１に示すように、スライド機構部４０は、移動台座部４２を含む。移動台座部４２は、平行リンク部３１の第１端部３１ａ側に設けられ、平行リンク部３１の第１端部３１ａ側を連結する連結部を兼ねるとともに、複数のローラ部４１に沿って移動するように構成されている。具体的には、図３に示すように、移動台座部４２の断面は、略Ｃ字形状を有する。また、移動台座部４２は、板金などにより構成されている。そして、略Ｃ字形状の移動台座部４２の上側の内側面４２ａが、ローラ部４１の上部に当接する。これにより、移動台座部４２の内側面４２ａが、ローラ部４１に沿って摺動するように移動する。
【００３５】
また、図１に示すように、平行リンク部３１の一対のリンク３２が移動台座部４２に接続されている。図３に示すように、一対のリンク３２は、移動台座部４２に対してボルト部材５４により取り付けられている。また、ボルト部材５４の周囲にはベアリング５５が設けられている。これにより、リンク３２は、移動台座部４２に対して回動可能に構成されている。
【００３６】
また、図１に示すように、チャンバ本体１０のＸ１方向側には、ローラ部６０が設けられている。ローラ部６０は、Ｙ方向に沿った軸Ｃ６を中心として回転可能に構成されている。なお、ローラ部６０は、特許請求の範囲の「回転体」の一例である。
【００３７】
ここで、第１実施形態では、図４に示すように、着脱機構３０は、移動規制部７０を含む。移動規制部７０は、平行リンク部３１によって鉛直方向に移動する蓋体２０の略水平方向（Ｘ１方向側およびＸ２方向側の両方）への移動を規制するように構成されている。具体的には、スライド機構部４０が、Ｘ２方向側（紙面の左側）に移動する場合、移動規制部７０による規制がなければ、蓋体２０も左側に移動する。そこで、移動規制部７０は、蓋体２０の左側への移動を規制して、蓋体２０の移動方向を上方向に変える。たとえば、移動規制部７０に鉛直方向にはローラ部６０が移動可能である一方、略水平方向へのローラ部６０の移動を規制する溝部を設けることにより、略水平方向に移動する蓋体２０の移動を規制している。また、図４では、移動規制部７０は、蓋体２０のＸ１方向側に配置されている一方、移動規制部７０の配置されている方向は、蓋体２０のＸ１方向側に限られず、Ｘ１方向側以外の方向側に配置されていてもよい。また、図４の状態において、軸Ｃ１は、軸Ｃ３のＸ２方向側に位置している。また、軸Ｃ２は、軸Ｃ４のＸ２方向側に位置している。なお、Ｘ方向において、図４の状態のＣ１軸とＣ３軸との間の距離Ｌ１２は、図１の状態のＣ１軸とＣ３軸との間の距離Ｌ１１よりも小さい。なお、Ｘ１方向およびＸ２方向は、それぞれ、特許請求の範囲の「第１方向」および「第２方向」の一例である。また、移動規制部７０は、特許請求の範囲の「第１移動規制部」の一例である。
【００３８】
移動規制部７０は、たとえば、角板形状を有する。そして、第１実施形態では、移動規制部７０は、鉛直方向に沿って延びる第１部分７１を含む。第１部分７１の表面７１ａは、蓋体２０に対向するように配置されている。
【００３９】
また、第１実施形態では、移動規制部７０は、第１部分７１に接続され、鉛直方向に交差する方向でかつ蓋体２０から離間する方向（Ｘ１方向側）に延びる第２部分７２を含む。第１部分７１の表面７１ａと第２部分７２の表面７２ａとは連続している。また、第２部分７２の長さＬ２は、第１部分７１の長さＬ１よりも小さい。また、第１部分７１と第２部分７２との境界の高さ位置、および、第２部分７２の長さＬ２は、Ｘ１方向側に移動する蓋体２０が、第２部分７２の上方を通り越すことが可能になるように設定されている。
【００４０】
また、第１実施形態では、図１に示すように、スライド機構部４０は、移動規制部８０を含む。移動規制部８０は、複数のローラ部４１のＸ２方向側に設けられ、移動台座部４２がＸ２方向側に移動するのを規制するように構成されている。たとえば、移動規制部８０は、板状の部材により構成されている。そして、Ｘ２方向側に移動する移動台座部４２の端部が移動規制部８０に当接することにより、移動台座部４２の移動が規制される。具体的には、図３に示すように、移動台座部４２の下側の内側面４２ｂ側近傍には、ボールプランジャ５３が挿入されている。ボールプランジャ５３の先端は、プレート部材５０の表面に沿うように設けられた当て面部材５３ａに当接している。そして、ボールプランジャ５３の付勢力によって、移動が規制された状態の移動台座部４２がロックされる。また、移動規制部８０は、プレート部材５０（図３参照）に取り付けられている。また、移動規制部８０は、特許請求の範囲の「第２移動規制部」の一例である。
【００４１】
また、第１実施形態では、処理装置１００は、ばね性を有するダンパー部９０を備えている。ダンパー部９０は、平行リンク部３１の一対のリンク３２に接続され、一対のリンク３２の回動に伴って、ダンパー部９０が伸長する方向に付勢力が働くように構成されている。また、ダンパー部９０が収縮する方向に反力し、一対のリンク３２の間の間隔を大きくする方向に付勢力が働く。つまり、ダンパー部９０は、蓋体２０を持ち上げる方向に付勢する。なお、ダンパー部９０は、特許請求の範囲の「伸縮部」の一例である。
【００４２】
（処理装置の動作）
次に、処理装置１００の動作（蓋体２０の開閉動作）について説明する。第１実施形態では、移動規制部７０が蓋体２０の移動を規制した状態における平行リンク部３１の回動により、蓋体２０は鉛直方向に移動する。また、移動規制部７０による蓋体２０の移動の規制が解除された状態における平行リンク部３１の回動により、蓋体２０は、Ｘ１方向側に移動する。以下、具体的に説明する。
【００４３】
図１に示すように、蓋体２０がチャンバ本体１０を覆っている状態で、平行リンク部３１は、Ｘ２方向側に傾斜した状態（倒れた状態）となっている。この時、スライド機構部４０（連結部）は、Ｘ１方向側に配置され、連結部３３は、Ｘ２方向側に配置されている。また、ローラ部６０は、移動規制部７０の第１部分７１の表面７１ａに当接している。
【００４４】
次に、図４に示すように、ユーザが蓋体２０を上方に持ち上げるか、または、スライド機構部４０をＸ２方向に押圧するこれにより、平行リンク部３１が回動する。具体的には、平行リンク部３１の第１端部３１ａ側がＸ２方向側に移動し、平行リンク部３１の第２端部３１ｂ側が鉛直上方向に移動する。また、平行リンク部３１の回動とともに、移動規制部７０の第１部分７１の表面７１ａ上をローラ部６０が回転しながら移動することにより、蓋体２０が鉛直方向（上方）に移動（直線状に移動）する。そして、スライド機構部４０が移動規制部８０に当接することにより、蓋体２０の鉛直上方向への移動が完了する。なお、この際、図示しない定荷重ばねなどにより蓋体２０を鉛直上方向に持ち上げる力をアシストすることにより、ユーザの蓋体２０を移動させるための負担を軽減することが可能になる。なお、ユーザによる蓋体２０の鉛直上方向への持ち上げ、または、スライド機構部４０の押圧の代わりに、モータ駆動、空圧駆動、油圧駆動などによって、蓋体２０の持ち上げ、または、スライド機構部４０の押圧を行ってもよい。
【００４５】
なお、蓋体２０の下面には、チャンバ本体１０を密閉するための環状の部材１２（図１参照）が設けられる場合がある。この場合、環状の部材１２がチャンバ本体１０の内部の空間１１を囲む壁面１３に当接するので、蓋体２０を円弧状に移動させても、チャンバ本体１０から蓋体２０を脱離することができない。そこで、第１実施形態の着脱機構３０は、蓋体２０を上方に移動可能に構成されている。
【００４６】
さらに、ユーザによる蓋体２０の上方への持ち上げ、または、スライド機構部４０のＸ２方向側への押圧を継続する。これにより、ローラ部６０は、移動規制部７０の第１部分７１の表面７１ａを通り越した後、ローラ部６０が第２部分７２を通り越す。これにより、図５に示すように、平行リンク部３１が、鉛直方向に対して、Ｘ１方向側に傾く。なお、図５では、移動規制部７０は省略されている。そして、蓋体２０は、Ｘ１方向側に移動する。これにより、蓋体２０がチャンバ本体１０の上方からＸ１方向側（蓋体２０が上方に持ち上げられる際にスライド機構部４０がスライドするＸ２方向側とは反対側）に退避される。また、蓋体２０がＸ１方向側に移動する際には、回動するように（円弧状に）移動する。また、上方から見て、蓋体２０がチャンバ本体１０にオーバラップしない位置まで（または、蓋体２０の端部がチャンバ本体１０の端部に僅かにオーバラップしている位置まで）、蓋体２０がＸ１方向側に移動される。これにより、ユーザは、チャンバ本体１０の内部をメンテナンスすることが可能になる。上記のように、ユーザが蓋体２０を押圧するだけで蓋体２０がチャンバ本体１０の上方から退避されるので、ユーザの手間が多くなるのを抑制しながら、蓋体２０を退避させることができる。なお、図５の状態において、軸Ｃ１は、軸Ｃ３のＸ１方向側に位置している。また、軸Ｃ２は、軸Ｃ４のＸ１方向側に位置している。
【００４７】
また、図５に示される蓋体２０がＸ１方向側に移動した状態において、ユーザが蓋体２０をＸ２方向側へ移動させる。これにより、図４に示すように、ローラ部６０は、移動規制部７０の第１部分７１の表面７１ａ上を回転しながら鉛直下方向に移動する。なお、第２部分７２がＸ１方向側に傾斜しているので、第２部分７２は、蓋体２０がＸ２方向側に移動される際のローラ部６０のガイドとして機能する。そして、ローラ部６０が第２部分７２の表面７２ａにガイドされている際には、蓋体２０が回動するように（円弧状に）移動し、ローラ部６０が第１部分７１の表面７１ａ上を移動している際には、蓋体２０が鉛直方向（下方）に移動する。すなわち、蓋体２０が鉛直下方向に直線状に移動する。これにより、図１に示すように、蓋体２０は、チャンバ本体１０を覆うように（チャンバ本体１０の内部の空間１１を密閉するように）、チャンバ本体１０の上方に配置される。
【００４８】
（第１実施形態の効果）
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００４９】
第１実施形態では、上記のように、移動規制部７０が蓋体２０の移動を規制した状態における平行リンク部３１の回動により、蓋体２０は鉛直方向に移動する。これにより、蓋体２０が鉛直方向に移動されるので、蓋体２０の下面にチャンバ本体１０を密閉するための環状の部材１２が設けられている場合、容器（チャンバ本体１０）の上面にＯリング等が設けられる場合、及び、容器（固定体）側と蓋体２０（移動体）側が入り組んだ構造で隙間が狭い場合など、蓋体２０（移動体）を一定の直線方向に移動させたい場合でも、蓋体２０を鉛直方向に脱離することができる。
【００５０】
また、第１実施形態では、上記のように、移動規制部７０による蓋体２０の移動の規制が解除された状態における平行リンク部３１の回動により、蓋体２０は、チャンバ本体１０の上方からＸ１方向側に退避される。これにより、蓋体２０がチャンバ本体１０から脱離されているので、蓋体２０を容易に、Ｘ１方向側に移動させることができる。
【００５１】
また、第１実施形態では、上記のように、移動規制部７０の第１部分７１の表面７１ａ上をローラ部６０が回転しながら移動することにより、蓋体２０が鉛直方向に移動するように構成されている。これにより、ローラ部６０の回転によって蓋体２０と移動規制部７０との摩擦力が低減されるので、容易に、蓋体２０を鉛直方向に移動させることができる。
【００５２】
また、第１実施形態では、上記のように、ローラ部６０が第２部分７２を通り越すことにより、蓋体２０は、チャンバ本体１０の上方から退避されるように構成されている。これにより、蓋体２０をチャンバ本体１０の上方から退避させた位置から、再び蓋体２０をＸ２方向側へ移動させて蓋体２０をチャンバ本体１０に取り付ける際に、Ｘ２方向側へ移動する蓋体２０を第２部分７２によって案内することができる。
【００５３】
また、第１実施形態では、上記のように、スライド機構部４０は、水平方向に並列して配置される複数のローラ部４１と、平行リンク部３１の第１端部３１ａ側に設けられ、平行リンク部３１の第１端部３１ａ側を互いに連結する連結部を兼ねるとともに、複数のローラ部４１に沿って移動する移動台座部４２とを含む。これにより、移動台座部４２と複数のローラ部４１との間の摩擦力が比較的小さくなるので、容易に、複数のローラ部４１に沿って移動台座部４２を移動させることができる。
【００５４】
また、第１実施形態では、上記のように、スライド機構部４０は、複数のローラ部４１の水平方向におけるＸ２方向側に設けられ、移動台座部４２が水平方向におけるＸ２方向側に移動するのを規制する移動規制部８０を含む。これにより、平行リンク部３１のＸ２方向側への移動が移動規制部８０に規制されるので、平行リンク部３１の回動により蓋体２０を鉛直方向に移動させることができる。
【００５５】
また、第１実施形態では、上記のように、平行リンク部３１の一対のリンク３２に接続され、一対のリンク３２の回動に伴って伸縮するばね性を有するダンパー部９０を設ける。これにより、ダンパー部９０が伸長する方向に付勢力が働くようにダンパー部９０を構成することによって、ダンパー部９０の付勢力が平行リンク部３１を回動させるための補助力となる。これにより、蓋体２０を移動させる際のユーザの負担を軽減することができる。
【００５６】
［第２実施形態］
（処理装置の構成）
図６〜図８を参照して、第２実施形態による処理装置３００の構成について説明する。
【００５７】
図６に示すように、処理装置３００は、着脱機構２３０を備えている。着脱機構２３０は、平行リンク部２３１を含む。平行リンク部２３１は、チャンバ本体１０側と、蓋体２０側とに取り付けられている。また、また、平行リンク部２３１のチャンバ本体１０側には、ローラ部からなるスライド機構部２４０が設けられている。
【００５８】
また、着脱機構２３０は、リンク状の移動規制部２７０を含む。移動規制部２７０は、チャンバ本体１０側と、蓋体２０側とに取り付けられている。また、移動規制部２７０の蓋体２０側には、ローラ部２７１が設けられている。また、移動規制部２７０には、移動規制部２７０を伸縮させるためのシリンダ２７２が設けられている。なお、移動規制部２７０を伸縮させるため部材であれば、シリンダ２７２以外の部材を移動規制部２７０に設けてもよい。なお、移動規制部２７０は、特許請求の範囲の「第１移動規制部」の一例である。また、シリンダ２７２は、特許請求の範囲の「伸縮部」の一例である。
【００５９】
処理装置３００（着脱機構２３０）の動作について説明する。
【００６０】
まず、図７に示すように、平行リンク部２３１の下方に設けられたローラ部からなるスライド機構部２４０がＸ２方向側に移動する。また、移動規制部２７０のローラ部２７１もＸ２方向側に移動する。なお、スライド機構部２４０のＸ２方向側への移動にともなって、蓋体２０もＸ２方向側に移動しようとする。一方、移動規制部２７０の全長が一定である（変化しない）ので、移動規制部２７０によって蓋体２０のＸ２方向側への移動が規制される。これにより、蓋体２０は鉛直方向（上方向）に移動する。
【００６１】
さらに、図８に示すように、シリンダ２７２によって、移動規制部２７０の長さが伸長される。つまり、移動規制部２７０による蓋体２０の移動の規制が解除される。なお、ローラ部からなるスライド機構部２４０は、移動しない。このとき、平行リンク部２３１がローラ部からなるスライド機構部２４０を中心として、Ｘ１方向側に回動する。これにより、蓋体２０は、円弧状に移動して、チャンバ本体１０の上方から退避される。
【００６２】
［変形例］
なお、今回開示された実施形態および実施例は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態および実施例の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
【００６３】
たとえば、上記第１実施形態では、スライド機構部４０が、平行リンク部３１の第１端部３１ａ側（チャンバ本体１０側）に取り付けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、スライド機構部４０が、平行リンク部３１の蓋体２０側に取り付けられていてもよい。第２実施形態でも同様に、スライド機構部２４０が、平行リンク部２３１の蓋体２０側に取り付けられていてもよい。
【００６４】
また、上記第１および第２実施形態では、スライド機構部４０（スライド機構部２４０）が、ローラ部４１を含む例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図９および図１０に示す変形例のように、スライド機構部３４０が、一対のレール部３４１と、一対のレール部３４１が挿通されるとともにレール部３４１を摺動する摺動部材３４２とによって構成されていてもよい。なお、スライド機構部３４０は、処理装置４００のプレート部材３５０に取り付けられている。また、スライド機構部３４０は、蓋体２０のＹ１方向側とＹ２方向側との両方に設けられている。また、摺動部材３４２のＸ方向側の面３４２ａが、移動規制部８０（図１参照）に当接する。また、レール部３４１と摺動部材３４２とを覆うようにカバー部材３４３が設けられている。カバー部材３４３は、摺動部材３４２とともに移動する。また、カバー部材３４３には、平行リンク部３１が回動可能に取り付けられている。なお、レール部３４１は、特許請求の範囲の「ガイド部」の一例である。また、摺動部材３４２は、特許請求の範囲の「移動台座部」の一例である。
【００６５】
また、上記第１実施形態では、移動規制部７０が角板形状を有する例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、移動規制部７０が平板形状、円柱形状などを有していてもよい。
【００６６】
また、上記第１実施形態では、移動規制部７０が第１部分７１と第２部分７２とを含む例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、移動規制部７０が第１部分７１のみを含んでいてもよい。
【００６７】
また、上記第１実施形態では、移動台座部４２が平行リンク部３１（一対のリンク３２）を連結する連結部を兼ねている例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、移動台座部４２と連結部とを別個に設けてもよい。
【００６８】
また、上記第１実施形態では、移動規制部８０が板状の部材により構成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、移動規制部８０が円柱状などの部材により構成されていてもよい。
【００６９】
また、上記第１実施形態では、一対のリンク３２の回動に伴って伸縮するダンパー部９０が設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明は、ダンパー部９０を設けない構成にも適用可能である。また、ダンパー部９０以外のシリンダなどを設けてもよい。
【００７０】
また、上記第１および第２実施形態では、基板を処理するチャンバ本体から蓋体を着脱する着脱機構に本発明を適用する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明は、チャンバ本体以外の容器本体から蓋体を着脱する着脱機構に適用することも可能である。また、本発明は、チャンバ本体や容器以外の固定体から、固定体を覆う移動体を移動させるリンク機構にも適用することが可能である。
【００７１】
また、上記実施形態では、チャンバ本体１０のＸ１方向側にローラ部６０が設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、チャンバ本体１０のＸ１方向側に内部にベアリング（回転体）が含まれるリニアガイドを設けて、リニアガイドとともにチャンバ本体１０を鉛直方向に移動させてもよい。
【符号の説明】
【００７２】
１０  チャンバ本体（容器本体）
２０  蓋体
３０  着脱機構
３１、２３１  平行リンク部
３１ａ  第１端部
３１ｂ  第２端部
３２  リンク
４０、２４０、３４０  スライド機構部
４１、３４１  ローラ部（ガイド部）
４２、３４２  移動台座部
６０  ローラ部（回転体）
７０、２７０  移動規制部（第１移動規制部）
７１  第１部分
７１ａ  表面
７２  第２部分
７２ａ  表面
８０  移動規制部（第２移動規制部）
９０  ダンパー部（伸縮部）
１００、３００、４００  処理装置
２７２  シリンダ（伸縮部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2020106135.tif 000008
【図７】
2020106135.tif 000009
【図８】
2020106135.tif 000010
【図９】
2020106135.tif 000011
【図１０】
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