(57)【要約】【課題】センタリング部材を備える基板ホルダを提供する。【解決手段】本願は、一実施形態として、第１保持部材と、第２保持部材と、センタリング部材と、を備える、基板ホルダであって、センタリング部材は、内側板バネと、外側板バネと、を有し、基板ホルダは基板が第１保持部材と第２保持部材の間に挟み込まれる際に外側板バネが内側板バネを介して基板を押すことにより基板をセンタリングするよう構成されている、基板ホルダを開示する。【選択図】図３
2020105576.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１保持部材と、
前記第１保持部材との間に基板を挟みこむための第２保持部材と、
前記基板の位置決めのためのセンタリング部材と、
を備える、基板ホルダであって、
前記センタリング部材は、
前記第１保持部材に固定されており、基板が位置するであろう平面を超えて突出し、保持されるであろう基板の中心に向かって弾性変形可能に構成された内側板バネと、
前記第２保持部材に固定されている外側板バネであって、前記外側板バネは、基板が位置するであろう平面と垂直な面に対して傾斜した傾斜部を有し、前記外側板バネの先端は基板のエッジ部分の想定位置よりも内側に張り出している、外側板バネと、
を有し、
基板が前記第１保持部材と前記第２保持部材の間に挟み込まれる際に前記外側板バネが前記内側板バネを介して基板を押すことにより基板をセンタリングするよう構成された、基板ホルダ。
【請求項２】
前記第１保持部材および／または前記第２保持部材は、基板の少なくとも一方の面を露出するための開口部を備え、
前記内側板バネは前記開口部の中心に向かって弾性変形可能である、
請求項１に記載の基板ホルダ。
【請求項３】
前記第１保持部材は、面状の基板乗せ部を有し、
前記センタリング部材は、前記外側板バネを前記第２保持部材に固定するための外側ベースを備え、
前記外側ベースは、
前記外側板バネを介して前記内側板バネを前記基板乗せ部に向かう方向に押すよう傾斜している第１の面と、
前記第１の面と連続した第２の面であって、前記第１の面より前記第１保持部材から離れて位置付けられており、前記基板乗せ部の位置する平面とほぼ垂直に延びる第２の面と、
を備え、
前記外側板バネは、前記第１の面に沿ってかつ前記第２の面との間に空隙が形成されるように前記外側ベースに取り付けられている、
請求項１または２に記載の基板ホルダ。
【請求項４】
前記第１保持部材は、前記基板乗せ部が形成された可動ベースであって、前記基板乗せ部の位置する平面と垂直な方向に移動可能な可動ベースを備え、
前記内側板バネは前記可動ベースに固定されている、
請求項３に記載の基板ホルダ。
【請求項５】
前記外側ベースは、前記外側ベースが前記基板乗せ部に近づく方向および前記基板乗せ部から離れる方向に弾性的に変形することを可能にするスリットを有する、請求項３または４に記載の基板ホルダ。
【請求項６】
前記外側ベースは前記第２保持部材から別個独立した部材である、請求項３から５のいずれか一項に記載の基板ホルダ。
【請求項７】
基板が前記第１保持部材と前記第２保持部材との間に挟み込まれた場合に、当該基板と前記外側ベースの前記第２の面との間に、前記内側板バネおよび／または前記外側板バネ
がほぼ隙間なく挟み込まれるよう構成されている、請求項３から６の何れか一項に記載の基板ホルダ。
【請求項８】
前記第２保持部材は、
前記基板の一方の面を露出するための開口部と、
基板シールと、
ホルダシールと、
前記基板シールおよびホルダシールによってシールされる領域内に配置される接点であって、前記基板の露出した面に電流を供給するための接点と、
を備える、請求項１から７のいずれか一項に記載の基板ホルダ。
【請求項９】
前記センタリング部材は前記シールされる領域内に配置されている、請求項８に記載の基板ホルダ。
【請求項１０】
前記接点は、前記内側板バネおよび前記外側板バネから別個独立した部材である、請求項８または９に記載の基板ホルダ。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれか一項に記載の基板ホルダと、
少なくとも１つのめっき槽を有するめっき処理部と、
を備える、めっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板ホルダおよびめっき装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、基板をめっきするためのめっき装置が知られている。一般的に、基板は基板ホルダによって保持される。特許文献１（特開２００４−５２０５９号公報）には基板ホルダと基板の位置合わせ（センタリング）を行うためのセンタリング機構を備える基板ホルダが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−５２０５９号公報
【特許文献２】特開２００４−７６０２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本願は、センタリング機構を備える基板ホルダを提供することを一つの目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願は、一実施形態として、第１保持部材と、第２保持部材と、センタリング部材と、を備える、基板ホルダであって、センタリング部材は、内側板バネと、外側板バネと、を有し、基板ホルダは基板が第１保持部材と第２保持部材の間に挟み込まれる際に外側板バネが内側板バネを介して基板を押すことにより基板をセンタリングするよう構成されている、基板ホルダを開示する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１Ａ】めっき装置の上面図である。
【図１Ｂ】めっき装置の側面図である。
【図２】基板ホルダの斜視図である。
【図３】基板ホルダの基板乗せ部の位置における断面図である。
【図４】外側板バネが取り付けられていない外側ベースの斜視図である。
【図５】外側板バネの斜視図である。
【図６】外側板バネが取り付けられた外側ベースの斜視図である。
【図７】内側板バネが取り付けられた内側ベースの斜視図である。
【図８】内側板バネが取り付けられていない内側ベースの斜視図である。
【図９】内側板バネの斜視図である。
【図１０】第２保持部材が閉じられた場合の基板ホルダの断面図である。
【図１１】内側板バネが取り付けられた、他の例にかかる内側ベースの斜視図である。
【図１２】両面ホルダの正面図である。
【図１３】図１２の両面ホルダの断面図である。
【図１４】図１２のホルダの、センタリング部材の周囲の断面図である。
【図１５】図１４のフック本体がクローに引っ掛けられた場合の図である。
【図１６】基板ベースを説明するための、両面ホルダの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
＜めっき装置について＞
図１は一実施形態にかかるめっき装置１００の模式図である。図１Ａはめっき装置１０
０の上面図である。図１Ｂはめっき装置１００の側面図である。一実施形態にかかるめっき装置１００は、ロードポート１１０と、基板搬送ロボット１２０と、ドライヤ１３０と、基板着脱装置１４０と、めっき処理部１５０と、トランスポータ１６０と、ストッカ１７０と、を備える。めっき装置１００はさらに、めっき装置１００の各部を制御するための制御部１８０を備えてよい。
【０００８】
ロードポート１１０はめっき装置１００に基板をロードするため、および、めっき装置１００から基板をアンロードするために設けられている。ロードポート１１０はＦＯＵＰ等の機構を置くことができるように、または、ＦＯＵＰ等の機構との間で基板を搬送可能であるように構成されていてよい。
【０００９】
ロードポート１１０によりロードされた基板は基板搬送ロボット１２０により搬送される。基板搬送ロボット１２０は、ロードポート１１０、ドライヤ１３０および基板着脱装置１４０の間で基板を搬送可能に構成されている。ただし、基板搬送ロボット１２０以外の搬送機構が用いられてもよい。本明細書における「ロードポート１１０に基板を搬送すること」は「ロードポート１１０に置かれたＦＯＵＰ等の機構に基板を搬送すること」を含む。ドライヤ１３０は基板を乾燥させるための部材である。
【００１０】
基板着脱装置１４０は、基板ホルダに基板を取り付けるため、および／または、基板ホルダから基板を取り外すための装置である。基板着脱装置１４０には基板および基板ホルダの双方が搬入される必要がある。そこで、基板着脱装置１４０は、基板搬送ロボット１２０およびトランスポータ１６０の双方がアクセス可能な位置に位置付けられる。
【００１１】
めっき処理部１５０は基板に対してめっき処理（めっき加工）を行うために設けられている。めっき処理部１５０は１つまたは複数の処理槽を備える。１つまたは複数の処理槽のうち少なくとも１つはめっき槽である。一例として、図１のめっき処理部１５０は８つの処理槽、すなわち前水洗槽１５１、前処理槽１５２、第１のリンス槽１５３、第１のめっき槽１５４、第２のリンス槽１５５、第２のめっき槽１５６、第３のリンス槽１５７およびブロー槽１５８を備える。めっき装置１００は、各処理槽にて所定の処理を順番に行うことができる。
【００１２】
トランスポータ１６０は基板着脱装置１４０、めっき処理部１５０およびストッカ１７０との間で基板ホルダを搬送するよう構成されている。さらに、トランスポータ１６０は各処理槽（前水洗槽１５１〜ブロー槽１５８）の間で基板ホルダを搬送するように構成されている。トランスポータ１６０は、基板ホルダを懸架するためのトランスポータアーム１６１と、トランスポータアーム１６１を上下動させるためのアーム上下動機構１６２と、アーム上下動機構１６２を処理槽の並びに沿って水平移動させるための水平移動機構１６３と、を備える。水平移動機構１６３はトランスポータアーム１６１を水平移動させるための機構と表現されてもよい。トランスポータ１６０の構成は例示に過ぎないことに留意されたい。
【００１３】
ストッカ１７０は基板ホルダを少なくとも１枚、好ましくは複数枚保管可能に構成されている。好ましくは、基板を保持していない基板ホルダがストッカ１７０に保管される。一方で、基板を保持している基板ホルダがストッカ１７０に保管されてもよい。ストッカ１７０への基板ホルダの搬入およびストッカ１７０からの基板ホルダの搬出はトランスポータ１６０によって行われてよい。
【００１４】
＜基板ホルダの概観について＞
図２は一実施形態にかかる基板ホルダ２００の斜視図である。基板ホルダ２００は、おおよそ平板状の第１保持部材２１０と、第２保持部材２２０と、を有している。図２の基
板ホルダ２００は円形の基板を保持するためのホルダである。しかし、基板の形状は円形に限らず、たとえば矩形であってもよい。円形以外の基板が用いられる場合、基板ホルダ２００の部材の形状は適宜変更されてよい。
【００１５】
＜第１保持部材について＞
第１保持部材２１０の略中央部には、基板を乗せるための基板乗せ部２１２が設けられている。基板乗せ部２１２は面状である。ここにいう「基板乗せ部２１２が面状であること」とは、平らな基板と基板乗せ部が事実上面接触することを意味する。したがって、基板乗せ部２１２はたとえば円環状または角環状であってもよい。他の例として、基板乗せ部２１２に凹部、たとえば穴が存在してもよい。基板乗せ部２１２の外周には複数のクランパ２１３が設けられている。クランパ２１３は基板乗せ部２１２の周囲に沿っておよそ等間隔に並べられている。クランパ２１３は内方に突出する逆Ｌ字状である。
【００１６】
第１保持部材２１０の端部には一対のハンド２１４が設けられている。ハンド２１４はたとえばトランスポータアーム１６１に引っ掛けられる。ハンド２１４はたとえば前水洗槽１５１〜ブロー槽１５８の各槽およびストッカ１７０の一部、一つの例では槽の側壁、他の例ではハンド受け（図示せず）、などにも引っ掛けられ得る。
【００１７】
ハンド２１４は電極（図示せず）を備えてよい。ハンド２１４の電極は、後述する接点３１０および中継接点３１１などを介して基板と電気的に接続される。めっき加工に必要な電流は、基板ホルダ２００の外部から（たとえばめっき装置１００から）供給される。
【００１８】
＜第２保持部材について＞
第２保持部材２２０は、基板乗せ部２１２と第２保持部材２２０との間に基板を挟み込むための部材である。図２の第２保持部材２２０は第１保持部材２１０に開閉可能に取付けられている。具体的には、図２の第２保持部材２２０は、ヒンジ２１１を中心に枢動するよう構成されている。これに代え、第１保持部材２１０に対して単に取り付けられることおよび第１保持部材２１０から単に取り外されることが可能な第２保持部材２２０を用いることもできる。ヒンジ２１１などの有無に関わらず、本明細書における「第２保持部材２２０を閉じること」は、「第２保持部材２２０を第１保持部材２１０に向かって移動させて、第２保持部材２２０と基板乗せ部２１２との間に基板ＷＦを挟み込むこと」または「基板ＷＦを挟み込もうとする動作」であると理解されたい。同様に、本明細書における「第２保持部材２２０を開くこと」は、「第２保持部材２２０を第１保持部材２１０から離れるように移動させて、基板ＷＦの保持を解除すること」または「基板ＷＦの保持を解除しようとする動作」であると理解されたい。
【００１９】
第２保持部材２２０は、基板の被めっき面を露出するための開口部２２０ＯＰを有している。図２の第２保持部材２２０は全体としておおよそ円環状の部材である。第２保持部材２２０は、ヒンジ２１１に固定された基部２２１と、基部２２１に固定されたリング状のシールホルダ２２２とを備えている。シールホルダ２２２は給電経路（後述する接点３１０、中継接点３１１など）をシールするためのシール部材（図３参照）を備える。シールホルダ２２２は、シールホルダ２２２を第１保持部材２１０に固定するための押さえリング２２３を備える。押さえリング２２３は、その外周部において外方に突出する複数の突条部２２３ａを有している。突条部２２３ａの位置及び個数はクランパ２１３の位置及び個数に応じて決定されてよい。突条部２２３ａがクランパ２１３に引っ掛けられることで、第２保持部材２２０が開くことが制限される。
【００２０】
＜基板の取り付けおよび取り外しについて＞
基板が基板ホルダ２００に取り付けられる場合は、まず、第１保持部材２１０の基板乗せ部２１２に基板が乗せられる。次に、第２保持部材２２０が閉じられる。これにより、
基板乗せ部２１２と第２保持部材２２０との間に基板が挟み込まれる。第２保持部材２２０を閉じることは基板着脱装置１４０によって実行されてよく、他の装置またはユーザによって実行されてもよい。第２保持部材２２０を閉じる際には、突条部２２３ａはクランパ２１３と衝突しないように位置付けられている。シール部材（図３参照）に十分なシール圧が印加されるよう、第２保持部材２２０は適切な強さで基板乗せ部２１２に向かって押し付けられる。
【００２１】
続いて、突条部２２３ａがクランパ２１３に引っ掛けられるように押さえリング２２３が回転させられる。これにより、第２保持部材２２０が開くことが制限される。基板ホルダ２００に保持された基板の一方の面は開口部２２０ＯＰを介して外部に露出される。めっき装置１００によるめっき加工は、基板の外部に露出した面になされる。
【００２２】
基板を基板ホルダ２００から取り外す場合は、突条部２２３ａがクランパ２１３から外れるように押さえリング２２３が回転させられる。その後、第２保持部材２２０が開けられる。
【００２３】
＜基板ホルダの断面について＞
図３は基板ホルダ２００の基板乗せ部２１２の位置における断面図である。図３には基板ＷＦが想像線で示されている。図３では、第２保持部材２２０は完全に閉じられてはいない。図３は断面図であるが、各部品へのハッチングは省略されている。
【００２４】
図３に示されるように、第１保持部材２１０は可動ベース３３０を有してよい。可動ベース３３０が設けられている場合、基板乗せ部２１２は可動ベース３３０に形成される。可動ベース３３０は基板乗せ部２１２の位置する平面と垂直な方向、すなわち基板ＷＦの被めっき面に垂直な方向に移動可能である。可動ベース３３０は図示しないスプリングなどによって保持されている。スプリングは可動ベース３３０を弾性的に保持する。スプリングの弾性力により、基板シール３００およびホルダシール３０１（それぞれ後述）への十分なシール圧の印加が容易になる。可動ベース３３０が第１保持部材２１０に弾性的に取り付けられていることによって、基板ＷＦの様々な厚さの基板ＷＦに対して十分なシール圧の印加が可能になる。
【００２５】
＜シールホルダについて＞
シールホルダ２２２は基板シール３００およびホルダシール３０１を備える。基板シール３００は第２保持部材２２０が閉じられた場合に基板ＷＦと接触する。より具体的には、基板シール３００は基板ＷＦの被めっき面の縁部に接触する。基板シール３００は基板ＷＦとシールホルダ２２２との間の隙間をシールする。ホルダシール３０１は第２保持部材２２０が閉じられた場合に第１保持部材２１０と接触する。ホルダシール３０１は第１保持部材２１０とシールホルダ２２２との間の隙間をシールする。図３の例では、シールホルダ２２２は、基板シール３００およびホルダシール３０１を固定するためのインナリング３４０を有する。ただし、インナリング３４０以外の部材または手法によって基板シール３００およびホルダシール３０１が固定されてもよい。
【００２６】
シールホルダ２２２はさらに接点３１０を備える。接点３１０はシールされる領域（シールされるべき領域）内に位置付けられている。接点３１０の一端は第２保持部材２２０が閉じられた場合に基板ＷＦの被めっき面に電気的に接触する。接点３１０の他端は第２保持部材２２０が閉じられた場合に中継接点３１１に接触する。中継接点３１１は第１保持部材２１０に設けられた接点である。中継接点３１１は前述のハンド２１４の電極と電気的に接続されている。したがって、電流は基板ホルダ２００の外部から中継接点３１１および接点３１０を介して基板ＷＦに供給される。接点３１０はステンレス材などからなる板ばねであることが好ましい。弾性を有する接点３１０は電気的な接触を確実にする。
また、弾性を有する接点３１０は、多様な厚みを有する基板ＷＦを受け入れることを可能にする。図３では、第２保持部材２２０が開かれている場合の接点３１０の形状が実線で（符号「３１０ａ」）示されている。第２保持部材２２０が閉じられた状態の接点３１０の形状が想像線で（符号「３１０」）示されている。
【００２７】
＜センタリング部材について＞
基板ＷＦと基板シール３００との位置関係、基板ＷＦと接点３１０との位置関係または基板ＷＦとめっき槽との位置関係にずれがあると、めっき装置１００の性能に影響を及ぼす可能性がある。したがって、基板ＷＦは基板ホルダ２００に対して位置決め（センタリング）されることが好ましい。一実施例にかかる基板ホルダ２００は、基板ＷＦをセンタリングするためのセンタリング部材３２０を有する。図３には１つのセンタリング部材３２０のみが示されているが、センタリング部材３２０は基板ＷＦの外周に沿って少なくとも２つ、好ましくは３つ以上設けられている。基板ホルダ２００が複数のセンタリング部材３２０を有する場合、センタリング部材３２０のそれぞれは等間隔で（等角度で）配列されていることが好ましい。ただし、不等間隔（不等角度）でセンタリング部材３２０を配列することは排除されない。センタリング部材３２０の少なくとも一部、好ましくは全部はシールされた領域の内部に配置されている。センタリング部材３２０は、外側板バネ３２１と、内側板バネ３２２と、を有する。外側板バネ３２１および内側板バネ３２２は、基板載せ部２１２に向かう方向／から離れる方向に弾性的に変形可能である。換言すれば、外側板バネ３２１および内側板バネ３２２は、基板ＷＦのエッジ部分に近づく／から離れる方向に変形可能である。
【００２８】
図３および図１０（後述）は断面図であるので、図３および図１０を一見すると接点３１０と外側板バネ３２１および内側板バネ３２２とが接触、干渉し得るようにも思える。しかし、実際には、接点３１０と外側板バネ３２１、内側板バネ３２２は、基板周上のずれた角度位置に設置されることが望ましい。
【００２９】
＜外側板バネについて＞
外側板バネ３２１は外側ベース３２３を介して第２保持部材２２０に固定されている。図３の例では、外側板バネ３２１は外側ベース３２３に取り付けられている。外側ベース３２３はインナリング３４０に取り付けられている。そして、インナリング３４０は第２保持部材２２０の一部であるシールホルダ２２２に取り付けられている。ただし、外側ベース３２３はインナリング３４０ではなくシールホルダ２２２または第２保持部材２２０の他の部品に直接取り付けられていてもよい。外側ベース３２３はインナリング３４０、シールホルダ２２２および第２保持部材２２０のいずれかの一部であってもよい。外側板バネ３２１は、インナリング３４０、シールホルダ２２２および第２保持部材２２０のいずれか１つに取り付けられていても良い。
【００３０】
図４は外側板バネ３２１が取りつけられていない外側ベース３２３の斜視図である。図５は外側板バネ３２１の斜視図である。図６は外側板バネ３２１が取り付けられた外側ベース３２３の斜視図である。外側ベース３２３は、第１の面４００と、第２の面４０１と、を有する。第１の面４００は、第２保持部材２２０が閉じられている最中に、外側板バネ３２１を介して内側板バネ３２２を基板乗せ部２１２に向かって押すよう傾斜している。端的に言えば、第１の面４００は、基板ＷＦのエッジ部分に対向し得る面であって、図３の上部に向かうほど基板ＷＦの中央に近づくよう傾斜している。ただし、第２保持部材２２０が閉じられる動作の初期において、外側板バネ３２１ではなく外側ベース３２３、インナリング３４０または第２保持部材２２０の一部が内側板バネ３２２を押すよう基板ホルダ２００が構成されていてもよい。外側ベース３２３は、第１の面４００が内側板バネ３２２を押すことが可能になるように位置付けられる。たとえば図３では、内側板バネ３２２の先端が第１の面４００の下部に位置するように外側ベース３２３がインナリング
３４０に取り付けられている。
【００３１】
第２の面４０１は第１の面４００と連続した面であって、第１の面４００より第１保持部材２１０から離れて位置付けられている。端的に言えば、第２の面４０１は第１の面４００より「上部に」位置する面である。ただし、ここにいう「上」とは図３を基準にした方向であり、鉛直上方向と一致するとは限らない。第２の面４０１は、第２保持部材２２０が完全に閉じられた場合かつ基板ＷＦが基板乗せ部２１２に乗せられている場合に基板ＷＦのエッジ部分に対向する。ただし、本明細書において「ＡはＢに対向する」と説明された場合、ＡとＢの間に他の部品または部分が存在してもよい。第２の面４０１は基板乗せ部２１２の位置する平面と垂直に延びている。代替として、第２の面４０１は基板載せ部２１２の位置する平面に対して傾斜していてもよい。第２の面４０１は、図３の上部に向かうほど基板ＷＦの中央から離れるよう傾斜していてもよい。好ましくは、第１の面４００同様に、第２の面４０１もまた図３の上部に向かうほど基板ＷＦの中央に近づくよう傾斜している。最も好ましくは、第２の面４０１の傾斜角は０度またはほぼ０度である（ただし、第２の面４０１が基板乗せ部２１２の位置する平面と垂直に延びている場合の傾斜角を０度とする）。第２の面４０１の傾斜角の範囲は、第２保持部材２２０が閉じられた場合（後述の図１０参照）に基板ホルダ２００が基板ＷＦを保持することが可能であるように定められる。各種部品の材質、大きさ、剛性、摩擦係数、位置関係など種々の要因にもよるが、一つの例では第２の面４０１の傾斜角は０度以上であり、第１の面４００の傾斜角より小さい。さらなる他の例では、第２の面４０１の傾斜角は０度以上５度以下の範囲である。
【００３２】
外側板バネ３２１は第１の面４００に沿って外側ベース３２３に取り付けられている。外側板バネ３２１の一端は第１の面４００を超えて延びており、外側板バネ３２１と第２の面４０１との間には空隙が形成されている。したがって、外側板バネ３２１の一部は、基板ＷＦの端面と第２の面４０１との間で弾性的に変形可能である。
【００３３】
外側板バネ３２１の先端は、第２保持部材２２０が開かれた状態では、基板乗せ部２１２の位置する平面と垂直な面に対して傾斜した角度を有している。また、外側板バネ３２１の先端は、基板乗せ部２１２に載置される基板のエッジ部分が位置するであろう位置（想定位置）よりも基板の中心側に突出している。
【００３４】
たとえば図３において所定の径の基板ＷＦが所定の位置より右側にあった場合に、第２保持部材２２０が閉じられると、外側板バネ３２１と基板ＷＦのエッジ部分が接触する。ここにいう「外側板バネ３２１と基板ＷＦとの接触」は、内側板バネ３２２を介した間接的な接触である。そして、第１の面４００が外側板バネ３２１および内側板バネ３２２を介して基板ＷＦを（この例では左側に）押す。このことは「外側板バネ３２１が内側板バネ３２２を介して基板ＷＦを押す」と表現されてもよい。
【００３５】
第２保持部材２２０が完全にまたはほぼ完全に閉じられると、外側板バネ３２１および内側板バネ３２２を介して、第２の面４０１が基板ＷＦを押す。これにより、四者（基板ＷＦ（のエッジ部分）、内側板バネ３２２、外側板バネ３２１および外側ベース３２３（の第２の面４０１））の間にある隙間が実質的に無くなるまたは極小化されることが望ましい。外側板バネ３２１の端部付近は第２の面４０１に向かって弾性変形しようとする。一方で、基板ＷＦは外側板バネ３２１から図３の左側に向かって力を受ける。弾性のある部材を用いることで、基板ＷＦの径に誤差があった場合または基板ＷＦが反っている場合（基板の反りについては後述）であっても基板ＷＦをセンタリングすることが容易になる。また、弾性体と基板ＷＦとの接触はソフトな接触になるので、センタリング部材３２０が基板ＷＦへ与え得るダメージは小さくなり得る。
【００３６】
なお、図３において基板ＷＦが所定の位置より左側にあった場合は、図３のセンタリング部材３２０とは反対側に位置する別のセンタリング部材３２０（図示せず）が基板ＷＦを押す。
【００３７】
何らかの物体を弾性保持する場合または何らかの物体を弾性体によって押す場合、弾性体の変形量が多ければ多いほど、物体を保持する位置または物体の移動量の誤差が大きくなると考えられる。本実施形態にかかるセンタリング部材３２０では、外側板バネ３２１は途中まで第１の面４００によって支えられている。そして、外側板バネ３２１の変形量の最大値は第２の面４０１によって制限される。したがって、本実施形態における外側板バネ３２１の変形量は一定の範囲に制限されている。よって、本実施形態にかかるセンタリング部材３２０は基板ＷＦを精度良くセンタリングすることができる。
【００３８】
基板ＷＦと第２の面４０１との間の距離が短ければ短いほど外側板バネ３２１の変形量は制限されると考えられる。たとえば、第２保持部材２２０が完全にまたはほぼ完全に閉じられた状態においては、基板ＷＦ（のエッジ部分）と外側ベース３２３（の第２の面４０１）との間に内側板バネ３２２と外側板バネ３２１が挟まれていてよい。この場合において、四者（基板ＷＦ（のエッジ部分）、内側板バネ３２２、外側板バネ３２１および外側ベース３２３（の第２の面４０１））の間の隙間はほとんどないことが望ましい。一つの実施形態では、第２保持部材２２０が完全にまたはほぼ完全に閉じられた状態における、基板ＷＦと第２の面４０１との間の距離は１ｍｍ以下であってよい。ただし、ここにいう「距離」とは、まったく誤差のない基板ホルダ２００に所定の径の基板がまったく誤差なく置かれた場合の距離、すなわち設計上の距離（estimatedまたはdesigned length）を指す。なお、外側板バネ３２１および内側板バネ３２２の厚みは、たとえばそれぞれ０．０５ｍｍ以上０．５ｍｍ以下である。
【００３９】
一方で、基板ＷＦの径が所定の径より大きい場合、基板ＷＦのエッジ部分が第１の面４００または第２の面４０１と干渉し得る。そこで、さらなる弾性を得るために、外側ベース３２３は、外側ベース３２３が基板乗せ部２１２に近づく／端面から離れる方向に弾性変形することを可能にするスリット３２４を有してもよい。スリット３２４の具体的な形状、位置などは適宜決定されてよい。外側ベース３２３自体が変形することで、大径の基板ＷＦを保持することが容易になる。
【００４０】
＜内側板バネについて＞
内側板バネ３２２は可動ベース３３０に固定されている。具体的には、内側板バネ３２２は内側ベース３２５に取り付けられている。内側ベース３２５は可動ベース３３０の外縁部に取り付けられている。内側板バネ３２２は、図３の下部から上方に向かって延びている。図７は内側板バネ３２２が取り付けられた内側ベース３２５の一つの例の斜視図である。図８は図７の内側ベース３２５単独の斜視図である。図９は図７の内側板バネ３２２単独の斜視図である。
【００４１】
内側ベース３２５は側壁７００を有してよい。側壁７００は、第２保持部材２２０が閉められた場合に外側ベース３２３の一部を受けて、外側ベース３２３を位置決めするように構成される。外側ベース３２３はシールホルダ２２２の一部である。シールホルダ２２２は第２保持部材２２０の一部である。したがって、外側ベース３２３を位置決めすることは、シールホルダ２２２および第２保持部材２２０を位置決めすることであるといえる。側壁７００は、外側ベース３２３に代えてシールホルダ２２２または第２保持部材２２０を直接受けるように構成されていてもよい。図７および図８では側壁７００は内側板バネ３２２の近傍に設けられている。しかし、外側ベース３２３、シールホルダ２２２および／または第２保持部材２２０の位置決めに資する限り、側壁７００の位置に限定はない。同様に、側壁７００の形状に限定はなく、壁状以外の形状の部材（部分）が用いられて
もよい。
【００４２】
内側板バネ３２２は、所定の径の基板ＷＦのエッジ部分が位置すべき位置より外側において基板乗せ部２１２の位置する平面を超えて突出する。第２保持部材２２０が閉じられると、内側板バネ３２２は第１の面４００により基板乗せ部２１２に近づく方向に押される。「内側板バネ３２２は外側板バネ３２１により押される」と表現されてもよい。好ましい実施形態では、可動ベース３３０が移動した場合であっても、内側板バネ３２２と基板ＷＦの上下方向の位置関係は変化しない。したがって、好ましい実施形態では、第２保持部材２２０が開け閉めされる際の基板ＷＦとセンタリング部材３２０との擦れあいが防止される。
【００４３】
内側板バネ３２２が基板乗せ部２１２の位置する平面を超えて突出していることによって、基板ＷＦの位置が制限される。したがって、内側板バネ３２２は基板乗せ部２１２に基板ＷＦを乗せるためのガイドとしても働き得る。
【００４４】
基板シール３００は基板ＷＦに押し付けられた状態でめっき液に浸漬される。したがって、基板シール３００は基板ＷＦにくっつく（スティッキングする）可能性がある。内側板バネ３２２が存在しない場合、外側板バネ３２１は基板ＷＦの端面を弾性保持したまま第２保持部材２２０とともに上下動し得る。したがって、内側板バネ３２２が存在しない場合、第２保持部材２２０とともに基板ＷＦも持ち上げられてしまう可能性がある。ただし、ここにいう「上下」とは図３を基準にした方向であって、鉛直上下方向と一致しているとは限らない。一実施形態にかかるセンタリング部材３２０では、内側板バネ３２２は可動ベース３３０に固定されており、内側板バネ３２２と基板ＷＦの上下方向の位置関係は変化しない。また、第２保持部材２２０が開け閉めされる際、内側板バネ３２２が外側板バネ３２１によって基板乗せ部２１２に向かって押される。これにより、内側板バネ３２２の上部先端が基板ＷＦの中心部に向かって変形する。結果として、内側板バネ３２２が基板ＷＦ（のエッジ部）を一時的に保持し得る。したがって、一実施形態にかかるセンタリング部材３２０は、第２保持部材２２０とともに基板ＷＦが持ち上げられてしまうことを防止し得る。さらなる一実施形態として、内側板バネの先端をわずかに内側に向けて曲げておき、持ち上がろうとする基板をより積極的に下向きに押さえてもよい。
【００４５】
＜センタリング部材の具体的な動作について＞
第２保持部材２２０が閉じられた場合の基板ホルダ２００の断面を図１０に示す。第２保持部材２２０が閉じられることによって、内側板バネ３２２の先端が第１の面４００または外側板バネ３２１によって押され、基板乗せ部２１２に向かって変形してゆく。結果、内側板バネ３２２が基板ＷＦを押す。
【００４６】
接点３１０と基板シール３００が基板ＷＦと順次接触し、ホルダシール３０１が第１保持部材２１０と接触する。その結果、接点３１０などが存在する領域がシールされる。接点３１０と基板シール３００が基板ＷＦを押すので、可動ベース３３０も下降する。スプリング（図示せず）などが可動ベース３３０を上方に押すので、基板シール３００およびホルダシール３０１のシール圧が確保される。ただし、ここでいう「上方」および「下方」という言葉は図１０を基準にして定められた方向であり、鉛直上下方向と一致しているとは限らない。
【００４７】
一見すると、可動ベース３３０と第１保持部材２１０の間の空隙（図１０の左端参照：符号「３３０」と符号「２１０」の間の空隙）がシールされていないようにも思える。しかし、基板シール３００およびホルダシール３０１のそれぞれは、基板ＷＦの全周および第１保持部材２１０の可動ベース３３０を設置する部分の周辺のそれぞれにわたって配置されているので、そのような問題は生じない。
【００４８】
接点３１０の一端が基板ＷＦに接触し、弾性変形する（図３の符号「３１０ａ」の箇所から変形する）。接点３１０の他端は中継接点３１１に接触する。その結果、ハンド２１４の電極から基板ＷＦまでの導電路が形成される。
【００４９】
基板シール３００と接点３１０の接触よりも先に、外側板バネと基板の接触（反りの矯正：反りについては後述）または内側板バネと基板の接触（センタリング）が先に開始されることが望ましい。基板シール３００あるいは接点３１０から基板に対して強い押付力が加えられた状態では、摩擦により基板をセンタリングする（基板を水平方向に動かす）ことは難しくなる可能性がある。よって、基板のセンタリングが行われてから基板シール３００と接点３１０の接触がなされることが望ましい。
【００５０】
一実施形態では、第２保持部材２２０が開いているとき接点３１０は基板シール３００より基板乗せ部２１２の近くに位置する（図３の符号「３１０ａ」参照）。したがって、基板ホルダ２００が閉じられる際には、まず接点３１０が基板ＷＦに接触し、次に基板シール３００が基板ＷＦに接触する。その後、十分なシール圧力が得られるまで第２保持部材２２０は閉じられる。
【００５１】
一実施形態にかかる基板ホルダ２００においては、外側板バネ３２１と内側板バネ３２２により基板ＷＦのエッジ部分をガイドするためのガイド面が形成されている。より具体的には、ガイド面は、外側板バネ３２１の先端から、外側板バネ３２１と内側板バネ３２２の接触部を経て、内側板バネの基板乗せ部２１２と同一の高さの部分まで延びている。外側板バネ３２１と内側板バネ３２２により形成されるガイド面は、基板ＷＦのセンタリングおよび／または後述する基板ＷＦの反りの矯正の際に基板ＷＦ（のエッジ部分）をガイドする。
【００５２】
＜基板の反りについて＞
前述のように、内側板バネ３２２は基板乗せ部２１２を超えて突出する。しかし、内側板バネ３２２の突出量があまりに大きいとシールホルダ２２２の大きさが巨大になり得る。したがって、実用上は、内側板バネ３２２の基板乗せ部２１２が位置する平面からの最大突出量は、想定される基板ＷＦの厚みと同程度かそれより多少長い程度である。複数の基板ＷＦが用いられる場合は、最も厚い基板ＷＦが基準にされてもよい。たとえば基板ＷＦの厚みが１ｍｍである場合、内側板バネ３２２の最大突出量は２ｍｍ以下であってよい。
【００５３】
一つの例では、基板ＷＦの厚みは約０．２ｍｍから約２ｍｍ程度であり、基板ＷＦの直径は約２００ｍｍから約５００ｍｍ程度である。したがって、基板ＷＦは反り、撓み、捻れ（以下では「反り」と総称する）などを有し得る。図３において基板が凹状（Ｖ字状またはＵ字状）に反っている場合、基板ＷＦのエッジ部分が基板乗せ部２１２から高く位置付けられ得る。一方で、前述のとおり、内側板バネ３２２の最大突出量には限界があり得る。その結果、基板ＷＦと内側板バネ３２２が接触しなくなる可能性がある。よって、外側板バネ３２１を有さないセンタリング機構を用いて大きな反りを有する基板ＷＦをセンタリングすることは困難であった。なお、内側板バネ３２２が基板ＷＦのエッジ部分の想定位置より中心寄りに張り出せる（内側板バネが内側に向いて傾斜している）ならば内側板バネ３２２によって基板ＷＦの反りを修正し得る。しかし、内側板バネ３２２をそのように構成すると基板乗せ部２１２に基板ＷＦを乗せることが不可能または困難となる。そこで、一実施形態にかかる基板ホルダ２００は、外側板バネ３２１によって基板ＷＦの反りを修正する。
【００５４】
図３からわかるように、外側板バネ３２１は基板ＷＦのエッジ部分の想定位置より中心
寄りに張り出している。したがって、外側板バネ３２１は反りを有する基板ＷＦとも接触し得る。第２保持部材２２０が閉じられるにつれ、基板ＷＦの反りは第２保持部材２２０により矯正される。基板ＷＦの反りが矯正されると、基板ＷＦと内側板バネ３２２が接触し得るようになり得る。よって、一実施形態にかかる基板ホルダ２００は、大きな反りを有する基板ＷＦのセンタリングを可能にし得る。なお、外側板バネ３２１および内側板バネ３２２は弾性体であり、かつ、外側板バネ３２１および内側板バネ３２２の板厚は一般的に薄い（たとえば０．０５ｍｍ以上０．５ｍｍ以下）ので、外側板バネ３２１および内側板バネ３２２の間に生じる段差は問題とならない。
【００５５】
一実施形態にかかるセンタリング部材３２０は弾性体によって基板ＷＦをセンタリングする。したがって、剛体のみによって基板ＷＦをセンタリングする部材または剛体のみによって基板ＷＦの反りを強制する部材と比較して、一実施形態にかかるセンタリング部材３２０は基板ＷＦとソフトに接触する。したがって、一実施形態にかかるセンタリング部材３２０は、基板ＷＦへ与え得るダメージを小さくすることができる。
【００５６】
＜他の例にかかるセンタリング部材について＞
上述のセンタリング部材３２０は一例に過ぎない。センタリング部材３２０の各部材の形状、配置などは適宜決定されてよい。図１１は他の例にかかる内側ベース３２５を示す斜視図である。図７および図８の内側ベース３２５は側壁７００を有するが、図１１の内側ベース３２５は側壁７００を有しない点で異なる。
【００５７】
さらなる変形例として、接点３１０の機能を有するセンタリング部材３２０が用いられてもよい。具体的には、外側板バネ３２１および／または内側板バネ３２２が中継接点３１１と基板ＷＦとを電気的に接続するようセンタリング部材３２０が構成されていてよい。外側板バネ３２１および／または内側板バネ３２２は、基板ＷＦのエッジ部分、ベベル部分、被めっき面のうちエッジに近接した部分などに接触していてよい。センタリング部材３２０が接点３１０として働く場合、基板ホルダ２００はセンタリング部材３２０と独立した他の接点３１０を有してもよく、有さなくてもよい。
【００５８】
＜両面ホルダについて＞
上述の基板ホルダ２００では、基板ＷＦの片面のみが露出されている。以下では、基板ＷＦの両面を露出して保持するための基板ホルダ２００について説明する。図１２は一実施形態にかかる基板ホルダ２００の正面図である。図１３は図１２の基板ホルダ２００の断面図である。図１２の基板ホルダ２００は角型の基板ＷＦのためのホルダである。基板ホルダ２００は円形の基板ＷＦを保持するように構成されていてもよい。
【００５９】
図１２の基板ホルダ２００は、第１保持部材２１０と、第２保持部材２２０と、を備える。第１保持部材２１０は「フロントフレーム」と呼ばれてもよく、第２保持部材２２０は「リアフレーム」と呼ばれてもよい。ただし、「フロントフレーム」および「リアフレーム」という名称は区別のために用いられているものに過ぎない。すなわち、フロントフレームとリアフレームのどちらが正面を向いていてもよい。本明細書で両面ホルダについて説明する際には、「内側板バネが取り付けられている保持部材」を「第１保持部材」とし、「外側板バネが取り付けられている保持部材」を「第２保持部材」とする。基板ＷＦは、第１保持部材２１０と第２保持部材２２０との間に挟まれて保持される（図１３参照）。第１保持部材２１０および第２保持部材２２０のそれぞれは開口部２２０ＯＰを有する。基板ＷＦのそれぞれの面は、開口部２２０ＯＰのそれぞれを介して露出する。第１保持部材２１０および／または第２保持部材２２０は電極２８０を有してもよい。電極２８０は、基板ホルダ２００内部の導電経路（図示せず）と電気的に接続されていてよい。
【００６０】
図１２および図１３のクランパ２１３は、フック部２５０と、クロー２７１を有するプ
レート２７０と、を備える。なお、クランパ２１３の数、配置、大きさ等は例示に過ぎない。フック部２５０はフックベース２５１と、フック本体２５２と、を備える。フック本体２５２はシャフト２５３を介してフックベース２５１に枢動可能に取り付けられている。フック本体２５２の枢動のため、フック部２５０はレバー２５４をさらに備えてもよい。フック本体２５２がクロー２７１に引っ掛けられることで、第１保持部材２１０と第２保持部材２２０との位置関係が固定される。図１２および図１３では、第１保持部材２１０がフック部２５０を備え、第２保持部材２２０がプレート２７０を備える。しかし、第２保持部材２２０がフック部２５０を備え、第１保持部材２１０がプレート２７０を備えていてもよい。第１保持部材２１０および第２保持部材２２０にフック部２５０およびプレート２７０の双方が取り付けられていてもよい。
【００６１】
図１４は、図１２の基板ホルダ２００の、センタリング部材３２０の周囲の断面図である。図１４ではクランパ２１３が簡略化されて図示されている。たとえば、図１４ではシャフト２５３が図示されていない。
【００６２】
第１保持部材２１０は基板シール３００、内側板バネ３２２および内側ベース３２５を備える。第２保持部材２２０は基板シール３００、ホルダシール３０１、外側ベース３２３および外側板バネ３２１を備える。追加または代替として、第１保持部材２１０がホルダシール３０１を備えてもよい。基板シール３００は「インナシール」と呼ばれてもよく、ホルダシール３０１は「アウタシール」と呼ばれてもよい。基板ＷＦは基板シール３００の上に置かれる。したがって、「図１４の基板シール３００は基板乗せ部２１２となり得る」と説明されてよい。
【００６３】
図１５に示されるようにフック本体２５２がクロー２７１に引っ掛けられると、基板シール３００およびホルダシール３０１が圧縮され、基板シール３００およびホルダシール３０１により区画される空間がシールされる。「フック本体２５２がクロー２７１に引っ掛けられる」ことは、「第２保持部材２２０が第１保持部材２１０に取り付けられる」、「第１保持部材２１０が第２保持部材２２０に取り付けられる」、「第２保持部材２２０／第１保持部材２１０／基板ホルダ２００が閉じられる」、「第２保持部材２２０／第１保持部材２１０／基板ホルダ２００が固定（フィキシング）される」などと表現されてもよい。なお、図示の便宜上、図１５ではいくつかの符号は省略されていることに留意されたい（図１４を参照のこと）。片面ホルダの場合と同様、内側板バネ３２２は外側板バネ３２１と接触し、内側板バネ３２２は外側板バネ３２１によって押される。結果として、基板ＷＦのセンタリングが実現される。
【００６４】
図１６に示されるように、第１保持部材２１０は基板ベース１６００を有してもよい。基板ベース１６００は基板シール３００とホルダシール３０１によりシールされるべき領域の内部であって、基板ＷＦのエッジ部分またはエッジ部分の近傍を支持できる位置に配置される。基板ベース１６００は基板シール３００に代え、または基板シール３００とともに基板乗せ部２１２として機能し得る。基板ベース１６００は局所的に配置され得る。たとえば、基板ホルダ２００は１個、４個、６個、８個、１２個、などの基板ベース１６００を有してよい。追加または代替として、第２保持部材２２０が基板ベース１６００を有してもよい。基板シール３００によるシールと基板ベース１６００による支持を両立することを容易にするため、好ましくは、基板ベース１６００は図示しないバネなどにより昇降可能に構成されている。
【００６５】
以上、いくつかの本発明の実施形態について説明してきた。しかし、上記の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることは勿論である。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、
または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。
【００６６】
本願は、一実施形態として、第１保持部材と、第１保持部材との間に基板を挟みこむための第２保持部材と、基板の位置決めのためのセンタリング部材と、を備える、基板ホルダであって、センタリング部材は、第１保持部材に固定されており、基板が位置するであろう平面を超えて突出し、保持されるであろう基板の中心に向かって弾性変形可能に構成された内側板バネと、第２保持部材に固定されている外側板バネであって、外側板バネは、基板が位置するであろう平面と垂直な面に対して傾斜した傾斜部を有し、外側板バネの先端は基板のエッジ部分の想定位置よりも内側に張り出している、外側板バネと、を有し、基板が第１保持部材と第２保持部材の間に挟み込まれる際に外側板バネが内側板バネを介して基板を押すことにより基板をセンタリングするよう構成された、基板ホルダを開示する。
【００６７】
この基板ホルダは、基板を精度よくセンタリングし得るという効果を一例として奏する。この基板ホルダは、さらに、センタリング部材と基板の端面の擦れあいを防止し得るという効果を一例として奏する。この基板ホルダは、さらに、基板のスティッキングを防止し得るという効果を一例として奏する。この基板ホルダは、さらに、大きな反りを有する基板のセンタリングを可能にし得るという効果を一例として奏する。
【００６８】
さらに本願は、一実施形態として、第１保持部材および／または第２保持部材は、基板の少なくとも一方の面を露出するための開口部を備え、内側板バネは開口部の中心に向かって弾性変形可能である、基板ホルダを開示する。
【００６９】
さらに本願は、一実施形態として、第１保持部材は、面状の基板乗せ部を有し、センタリング部材は、外側板バネを第２保持部材に固定するための外側ベースを備え、外側ベースは、外側板バネを介して内側板バネを基板乗せ部に向かう方向に押すよう傾斜している第１の面と、第１の面と連続した第２の面であって、第１の面より第１保持部材から離れて位置付けられており、基板乗せ部の位置する平面とほぼ垂直に延びる第２の面と、を備え、外側板バネは、第１の面に沿ってかつ第２の面との間に空隙が形成されるように外側ベースに取り付けられている、基板ホルダを開示する。
【００７０】
さらに本願は、一実施形態として、第１保持部材は、基板乗せ部が形成された可動ベースであって、基板乗せ部の位置する平面と垂直な方向に移動可能な可動ベースを備え、内側板バネは可動ベースに固定されている、基板ホルダを開示する。
【００７１】
さらに本願は、一実施形態として、外側ベースは、外側ベースが基板乗せ部に近づく方向および基板乗せ部から離れる方向に弾性的に変形することを可能にするスリットを有する、基板ホルダを開示する。
【００７２】
さらに本願は、一実施形態として、外側ベースは第２保持部材から別個独立した部材である、基板ホルダを開示する。
【００７３】
さらに本願は、一実施形態として、基板が第１保持部材と第２保持部材との間に挟み込まれた場合に、当該基板と外側ベースの第２の面との間に、内側板バネおよび／または外側板バネがほぼ隙間なく挟み込まれるよう構成されている、基板ホルダを開示する。
【００７４】
さらに本願は、一実施形態として、第２保持部材は、基板の一方の面を露出するための開口部と、基板シールと、ホルダシールと、基板シールおよびホルダシールによってシールされる領域内に配置される接点であって、基板の露出した面に電流を供給するための接
点と、を備える、基板ホルダを開示する。
【００７５】
さらに本願は、一実施形態として、センタリング部材はシールされる領域内に配置されている、基板ホルダを開示する。
【００７６】
さらに本願は、一実施形態として、接点は、内側板バネおよび外側板バネから別個独立した部材である、基板ホルダを開示する。
【００７７】
さらに本願は、一実施形態として、いずれかの実施形態にかかる基板ホルダと、少なくとも１つのめっき槽を有するめっき処理部と、を備える、めっき装置を開示する。
【符号の説明】
【００７８】
１００…めっき装置
１１０…ロードポート
１２０…基板搬送ロボット
１３０…ドライヤ
１４０…基板着脱装置
１５０…めっき処理部
１５１…前水洗槽
１５２…前処理槽
１５３…第１のリンス槽
１５４…第１のめっき槽
１５５…第２のリンス槽
１５６…第２のめっき槽
１５７…第３のリンス槽
１５８…ブロー槽
１６０…トランスポータ
１６１…トランスポータアーム
１６２…アーム上下動機構
１６３…水平移動機構
１７０…ストッカ
１８０…制御部
２００…基板ホルダ
２１０…第１保持部材
２１１…ヒンジ
２１２…基板乗せ部
２１３…クランパ
２１４…ハンド
２２０…第２保持部材
２２０ＯＰ…開口部
２２１…基部
２２２…シールホルダ
２２３…押さえリング
２２３ａ…突条部
３００…基板シール
３０１…ホルダシール
３１０…接点
３１１…中継接点
３２０…センタリング部材
３２１…外側板バネ
３２２…内側板バネ
３２３…外側ベース
３２４…スリット
３２５…内側ベース
３３０…可動ベース
３４０…インナリング
４００…第１の面
４０１…第２の面
７００…側壁
１６００…基板ベース
ＷＦ…基板
【図１Ａ】
2020105576.tif 000003
【図１Ｂ】
2020105576.tif 000004
【図２】
2020105576.tif 000005
【図３】
2020105576.tif 000006
【図４】
2020105576.tif 000007
【図５】
2020105576.tif 000008
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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