(57)【要約】      （修正有）【課題】加工装置の近くに行かなくても、稼働状況などの加工装置の状態を把握することが可能な通信システムを提供する。【解決手段】通信システム１は、通信端末５の端末制御部５５が、加工装置３の状態に関する質問を加工装置に送信し、加工装置では装置制御部がその質問に応じた回答を通信端末に送信している。そして、通信端末では、端末制御部が、受信した回答をタッチパネル５３に文字表示している。したがって、加工装置のオペレータは、通信端末を用いることにより、加工装置から離れたところにいても、加工装置の状態を把握することができる。これにより、オペレータは、加工装置の状態を把握するために、作業を中断して加工装置に近づく必要がない。このため、オペレータは、作業を継続すること、および、加工装置の状態に応じて、次の加工のための準備を実施することができる。その結果、生産性を高めることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を加工する加工装置と、該加工装置と通信することにより該加工装置の状態を把握する通信端末とを備えた通信システムであって、
該通信端末に備えられ、予め設定されている質問群から選択された質問を該加工装置に送信し、該加工装置からの回答を表示画面に文字表示する端末制御部と、
該加工装置に備えられ、該質問群における個々の質問に対する回答を得るための回答リストに基づいて、該通信端末からの質問に対する回答を取得して、該通信端末に送信する装置制御部と、
を含む通信システム。
【請求項２】
該加工装置からの回答が、該加工装置における所定の動作の停止を示している場合、該端末制御部は、該加工装置に停止された動作を再実施させるリトライ信号を送信する、
請求項１記載の通信システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、通信システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示のように、加工装置に発生したトラブルをオペレータに通知するための発明がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２２４１２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、トラブル以外の加工装置の稼働状況については、オペレータは、加工装置の近くに行って、加工装置の本体あるいは加工装置のシグナルタワーの表示を目視することによって把握している。
【０００５】
つまり、オペレータは、加工装置の近くに行かなければ、その稼働状況を把握することが困難である。そのため、オペレータは、加工装置から離れたところで作業をしている場合には、稼働状況を把握する際に作業を中断している。また、複数の加工装置の稼働状況を把握する場合には、オペレータは、加工装置のそれぞれに、個別に足を運んでいる。
【０００６】
本発明の目的は、加工装置の近くに行かなくても、稼働状況などの加工装置の状態を把握することを可能とすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の通信システム（本通信システム）は、被加工物を加工する加工装置と、該加工装置と通信することにより、該加工装置の状態を把握する通信端末とを備えた通信システムであって、該通信端末に備えられ、予め設定されている質問群から選択された質問を該加工装置に送信し、該加工装置からの回答を表示画面に文字表示する端末制御部と、該加工装置に備えられ、該質問群における個々の質問に対する回答を得るための回答リストに基づいて、該通信端末からの質問に対する回答を取得して、該通信端末に送信する装置制御部と、を含む。
【０００８】
本通信システムでは、該加工装置からの回答が、該加工装置における所定の動作の停止を示している場合、該端末制御部は、該加工装置に停止された動作を再実施させるリトライ信号を送信してもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本通信システムでは、通信端末を用いて、加工装置の状態（仕様あるいは稼働状況など）に関する質問を加工装置に送ること、および、質問に応じた回答を加工装置から受信して文字表示することができる。
【００１０】
したがって、本通信システムでは、加工装置のオペレータは、通信端末を用いることにより、加工装置から離れたところにいても、加工装置の状態を把握することができる。これにより、オペレータは、加工装置の状態を把握するために、作業を中断して加工装置に近づく必要がない。このため、オペレータは、作業を継続すること、および、加工装置の状態に応じて、次の加工のための準備を実施することができる。その結果、生産性を高めることができる。
【００１１】
また、本通信システムに複数の加工装置が含まれている場合、オペレータは、各加工装置の状態を、各加工装置のそれぞれに足を運ぶことなく、把握することができる。これにより、加工装置の状態把握に関する効率を、大幅に高めることができる。
【００１２】
また、本通信システムでは、上述したリトライ信号を用いることにより、軽微なトラブルにより停止された再実施可能な動作を、加工装置に再実施させることができる。これにより、加工装置による加工を継続できるので、生産性をさらに高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態にかかる通信システムに関する加工装置および通信端末を示す説明図である。
【図２】通信端末の通信に関連する部材を示すブロック図である。
【図３】加工装置の通信に関連する部材を示すブロック図である。
【図４】装置制御部のメモリに格納されている回答リストの例を示す説明図である。
【図５】通信端末のタッチパネルにおける表示例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１に示すように、本実施形態にかかる通信システム１は、被加工物であるウェーハＷを加工する加工装置３、および、加工装置３と通信することにより加工装置３の状態を把握する通信端末５を備えている。通信システム１では、加工装置３と通信端末５との間の通信が実現される。
なお、図１には１台の加工装置３が示されているけれども、通信システム１は、複数台の加工装置３を含むことが可能であり、この場合、通信端末５は、複数の加工装置３と通信する。
【００１５】
加工対象となるウェーハＷは、概略円形状を有し、表面に格子状の分割予定ラインＬが形成されている。分割予定ラインＬによって区画された各領域には、各種デバイス（図示せず）が形成されている。
【００１６】
ウェーハＷの裏面には、ダイシングテープＴが貼着されている。ダイシングテープＴの外周には、リングフレームＦが貼着されている。このように、ウェーハＷは、ダイシングテープＴを介してリングフレームＦに支持されたワークセットＷ１の状態で、加工装置３において加工される。また、ワークセットＷ１は、図示しないカセットに収容されて、加工装置３に搬入される。
【００１７】
以下に、加工装置３および通信端末５の構成について説明する。
加工装置３は、支持台１０、支持台１０に立設された直方体状の筐体１２、筐体１２に内蔵され、加工装置３の各部材を制御する装置制御部１４、および、筐体１２の前面に備えられたアンテナ１５を有している。アンテナ１５は、加工装置３と通信端末５などの外部装置との通信に使用される。
【００１８】
支持台１０の一端側には、複数のワークセットＷ１を保持するカセット（図示せず）が載置されるカセットステージ１６が設けられている。
【００１９】
カセットステージ１６と保持テーブル２０との間には、ワークセットＷ１を搬送するプッシュプル手段１７が設けられている。また、保持テーブル２０の筐体１２側には、ワークセットＷ１を仮置きする仮置き手段１８が設けられている。プッシュプル手段１７は、カセットステージ１６上のカセットから仮置き手段１８に、加工前のワークセットＷ１を搬送および載置する。仮置き手段１８は、ワークセットＷ１のＸ軸方向の位置決めを実施する。
【００２０】
仮置き手段１８上のワークセットＷ１は、図示しない搬送手段によって、保持テーブル２０に搬送および載置される。
保持テーブル２０は、移動板２１上に固定されている。移動板２１は、蛇腹状の防水カバーＣとともに、支持台１０の上面中央の開口を覆っている。移動板２１および防水カバーＣの下方には、移動板２１および保持テーブル２０をＸ軸方向に移動させる、たとえばボールねじ式の切削送り機構（図示せず）が設けられている。
【００２１】
保持テーブル２０は、ポーラスセラミック材からなる保持面を有している。この保持面に生じる負圧によって、ワークセットＷ１のウェーハＷが吸引保持される。保持テーブル２０の周囲には、４つのクランプ２２が設けられている。各クランプ２２によって、ワークセットＷ１のリングフレームＦが、四方から挟持固定される。
【００２２】
保持テーブル２０の上方における筐体１２の前面には、保持テーブル２０に保持されているワークセットＷ１のウェーハＷを切削加工する切削機構３０が備えられている。切削機構３０は、互いに同様の構造を有する第１切削装置３１および第２切削装置３３、ならびに、第１切削装置３１および第２切削装置３３をＹ軸方向に沿って移動させるためのＹ軸方向移動手段３５を備えている。
【００２３】
第１切削装置３１および第２切削装置３３は、それぞれの下端に、切削ブレードを有する切削部３７を備えており、切削部３７をＺ軸方向に沿って移動させることが可能である。
【００２４】
このような構成を有する切削機構３０では、第１切削装置３１、第２切削装置３３およびＹ軸方向移動手段３５によって、切削部３７のＹＺ面内での位置が調整される。そして、切削部３７の切削ブレードによって、Ｘ軸方向に切削送りされる保持テーブル２０に保持されたワークセットＷ１におけるウェーハＷが、分割予定ラインＬに沿って切削加工される。
【００２５】
切削加工後、ワークセットＷ１は、図示しない搬送手段によって、保持テーブル２０から、保持テーブル２０の奥側の洗浄手段２４に送られる。洗浄手段２４は、高速回転されたワークセットＷ１に向けて洗浄水を噴射してワークセットＷ１を洗浄した後、乾燥エアを噴射してワークセットＷ１を乾燥させる。
【００２６】
また、筐体１２の側面には、タッチパネル４０が設置されている。タッチパネル４０には、加工装置３に関する加工条件等の各種情報が表示される。また、タッチパネル４０は、加工条件等の各種情報を設定するためにも用いられる。このように、タッチパネル４０は、情報を入力するための入力手段として機能するとともに、入力された情報を表示するための表示手段としても機能する。
【００２７】
装置制御部１４は、各種の処理を実行し、加工装置３の各構成要素を統括制御する。たとえば、装置制御部１４には、各種検出器（図示せず）からの検出結果が入力される。また、装置制御部１４は、切削送り機構、第１切削装置３１、第２切削装置３３およびＹ軸方向移動手段３５を制御して、ワークセットＷ１のウェーハＷに対する切削部３７による切削加工を実施する。
また、装置制御部１４は、通信端末５と通信するための通信制御部としても機能する。
【００２８】
通信端末５は、たとえばスマートフォンあるいはタブレットなどの携帯可能な端末装置であり、加工装置３のオペレータに携帯される。図１に示すように、通信端末５は、筐体５１、タッチパネル５３、および、筐体５１に内蔵され、通信端末５の各部材を制御する端末制御部５５を備えている。
【００２９】
通信端末５のタッチパネル５３は、加工装置３のタッチパネル４０と同様に、オペレータに情報を表示する表示手段として、および、オペレータによる情報の入力のための入力手段として機能する。
端末制御部５５は、各種の処理を実行し、通信端末５の各構成要素を統括制御する。
【００３０】
次に、加工装置３と通信端末５との間の通信のための構成およびその動作について説明する。
図２に示すように、通信端末５の端末制御部５５は、それぞれタッチパネル５３に接続された、端末送信部６１、質問表示部６２および端末受信部６３を備えている。
【００３１】
質問表示部６２は、予め設定されている質問群を記憶しており、質問群の一部あるいは全部を、タッチパネル５３に表示する。
端末送信部６１は、タッチパネル５３を介してオペレータに選択された質問に対応する文字データである質問データを生成する。そして、端末送信部６１は、質問データを、通信端末５の筐体５１に内蔵されたアンテナ５７を介して、加工装置３に送信する。なお、通信システム１が複数の加工装置３を含んでいる場合、端末送信部６１は、全てのあるいは一部の加工装置３に、質問データを送信する。
【００３２】
端末受信部６３は、加工装置３から送信された、質問に対する回答を示す文字データである回答データを、アンテナ５７を介して受信する。そして、端末受信部６３は、回答をタッチパネル５３に文字表示する。
【００３３】
また、図３に示すように、加工装置３の装置制御部１４は、装置受信部４１、装置受信部４１に接続された選出部４２、回答リスト４４を格納しているメモリ４３、選出部４２に接続された回答変換部４５、および、回答変換部４５に接続された装置送信部４６を備えている。
【００３４】
装置受信部４１は、通信端末５から送信された質問データを受信し、質問データを処理することによって質問を抽出する。選出部４２は、抽出された質問に応じた回答を取得する。
すなわち、メモリ４３には、たとえば図４に示すような、質問とその回答項目とが対となって記載されている回答リスト４４を格納している。選出部４２は、この回答リスト４４に基づいて、抽出された質問に応じた回答項目を選出する。
【００３５】
ここで、回答項目の内容は、図４に示すように具体的な回答を得るための指針（何を回答とすべきかを示す事項）であってもよいし、具体的な回答自体であってもよい。前者の場合、選出部４２は、選出した回答項目に基づいて、メモリ４３等に予め記録されている加工装置３の仕様データ、あるいは、加工装置３の稼働状況等を確認し、具体的な回答を取得する。
【００３６】
回答変換部４５は、取得された回答を示すデータを変換して、文字データとしての回答データを作成する。装置送信部４６は、作成された回答データを、アンテナ５７を介して通信端末５に送信する。
【００３７】
ここで、通信端末５から送信される質問は、図４に示すように、主に、加工装置３の状態としての、加工装置３の仕様あるいは稼働状況を問うものである。そして、回答は、質問に対応する加工装置３の状態を示すものである。
これらの質問およびその回答は、上記のように、通信端末５のタッチパネル５３に表示される。その表示例を図５に示す。
【００３８】
図５に示す例では、端末制御部５５の質問表示部６２（図２参照）により、タッチパネル５３の下方に、質問群ＱＧが表示されている。
この例では、質問群ＱＧは、”Blade”，”Blade Height”，”Error Details”および”Fullauto Details”という４つの質問を含んでいる。各質問は、個別のボタンとしてタッチパネル５３に表示されている。オペレータは、質問を示すボタンに触れることにより、質問を選択すること、すなわち、質問を加工装置３に送信することができる。
【００３９】
また、図５に示す例では、２台の加工装置３（DICER-1, DICER-2）と通信端末５とが通信しており、質問と回答とが、タイムライン表示されている。この例では、オペレータは、まず、質問”Blade”を選択している。この質問は、各加工装置３に使用されている切削部３７の切削ブレードの型式を問うものである。これに応じて、２台の加工装置３は、それぞれ、”27HEFF”および ”27HEGG”という切削ブレードの型式名を回答しており、それがタッチパネル５３に表示されている。
【００４０】
また、オペレータは、質問”Fullauto Details”も選択している。この質問は、「フルオート加工で、どの作業工程を、どのワークセットＷ１に対して実施しているのか」を問うものである。これに応じて、１台の加工装置３（DICER-1）は、「５枚目のワークセットＷ１のウェーハＷを切削（カット）していること、および、４枚目のワークセットＷ１のウェーハＷを洗浄していること」を回答している。
また、別の１台の加工装置３（DICER-2）は、「待機中であること」、すなわち、ワークセットＷ１に対する加工を実施していない旨を回答している。
【００４１】
なお、質問群ＱＧにおける”Blade Height”は、切削部３７の切削ブレードの高さ、たとえば、切削ブレードの回転軸の高さを問うものである。また、”Error Details”は、たとえば、「加工装置３の動作中にエラーが発生しているか否か」および「発生しているエラーの内容」を問うものである。
【００４２】
以上のように、通信システム１では、通信端末５の端末制御部５５が、加工装置３の状態（仕様あるいは稼働状況など）に関する質問を、加工装置３に送信している。そして、加工装置３では、装置制御部１４が、その質問に応じた回答を通信端末５に送信している。さらに、通信端末５では、端末制御部５５が、受信した回答を、表示画面であるタッチパネル５３に文字表示している。
【００４３】
このように、通信システム１では、加工装置３のオペレータは、通信端末５を用いることにより、加工装置３から離れたところにいても、加工装置３の状態を把握することができる。これにより、オペレータは、加工装置３の状態を把握するために、作業を中断して加工装置３に近づく必要がない。このため、オペレータは、作業を継続すること、および、加工装置３の状態に応じて、次の加工のための準備を実施することができる。その結果、生産性を高めることができる。
【００４４】
また、通信システム１に複数の加工装置３が含まれている場合、オペレータは、各加工装置３の状態を、各加工装置３のそれぞれに足を運ぶことなく、把握することができる。これにより、加工装置３の状態把握に関する効率を、大幅に高めることができる。
【００４５】
なお、端末制御部５５では、装置受信部４１が、加工装置３における所定の動作の停止を示す回答（停止回答）を受信した場合、質問表示部６２が、停止された動作を再実施（リトライ）させるリトライ信号を送信するためのリトライボタンを、タッチパネル５３に表示してもよい。そして、オペレータによってリトライボタンがタッチされた場合に、端末受信部６３が、停止回答を送信した加工装置３に対して、リトライ信号を送信してもよい。
【００４６】
この場合、リトライ信号の送信対象となる所定の動作（リトライ可能な動作）は、予め定められており、質問表示部６２に記憶されている。質問表示部６２は、受信した停止回答に関する動作が再実施可能な動作である場合に限り、タッチパネル５３にリトライボタンを表示する。
【００４７】
再実施可能な動作は、主に、軽微なトラブルにより停止された動作であり、たとえば、ワークセットＷ１の搬送ミスにより停止された、ワークセットＷ１の搬送動作である。また、再実施すべきでない動作としては、たとえば、切削ブレードの破損によって停止された切削動作を挙げられる。
【００４８】
この構成では、軽微なトラブルにより停止された再実施可能な動作を、加工装置３に再実施させることができる。これにより、加工装置３による加工を継続できるので、生産性をさらに高めることができる。
【００４９】
また、本実施形態では、端末制御部５５の端末送信部６１が、選択された質問に関する文字データである質問データを作成し、さらに、装置制御部１４の回答変換部４５が、文字データとしての回答データを作成している。そして、文字データとしての質問データおよび回答データが、加工装置３と通信端末５との間で送受信されている。しかしながら、加工装置３と通信端末５との間で送受信されるデータは、文字データに限られない。
【００５０】
たとえば、装置送信部４６は、選出部４２によって取得された回答に応じた、文字データ以外のデータ（以下、通信データとする）を作成して、アンテナ１５を介して通信端末５に送信してもよい。そして、端末制御部５５の端末受信部６３が、通信データを変換して文字データを作成し、回答をタッチパネル５３に文字表示してもよい。
この構成では、装置制御部１４の回答変換部４５は不要となる。
【００５１】
また、端末送信部６１は、質問に対応する通信データを作成して加工装置３に送信してもよい。この場合、装置制御部１４の装置受信部４１が、通信データを処理して質問を抽出してもよい。
【００５２】
また、本実施形態では、質問表示部６２が、質問群ＱＧを示すボタンをタッチパネル５３に表示し、オペレータがボタンにタッチすることにより、質問が選択されて加工装置３に送信されている。しかしながら、これに限らず、質問表示部６２は、タッチパネル５３に文字入力可能な文字入力部（キーボードなど）を表示してもよい。さらに、オペレータは、この文字入力部を用いて、予め設定されている質問の１つを文字入力することにより、質問を選択してもよい。この場合、端末送信部６１は、文字入力された質問に対応する質問データを生成し、加工装置３に送信する。
【００５３】
また、本実施形態では、通信端末５は、オペレータによって携帯可能な端末装置である。これに代えて、通信端末５は、デスクトップ型のコンピュータなどの、オペレータの作業場所に据え置かれた端末装置であってもよい。
【００５４】
また、本実施形態では、加工装置３の装置制御部１４と通信端末５の端末制御部５５とが、アンテナ１５およびアンテナ５７を介した無線通信を実施している。これに代えて、加工装置３の装置制御部１４と通信端末５の端末制御部５５とが、有線通信を実施してもよい。
【００５５】
また、加工装置３と通信端末５とは、無線あるいは有線によって直接的に通信してもよいし、インターネットあるいはイントラネットなどのネットワークを介して通信してもよい。この場合、オペレータは、加工装置３の設置場所とは別の施設などの遠隔地にいる場合でも、加工装置３および通信端末５をネットワークに接続することにより、加工装置３の状態を把握することができる。
【符号の説明】
【００５６】
１：通信システム、
３：加工装置、支持台１０、筐体１２、１５：アンテナ、
１４：装置制御部、４１：装置受信部、４２：選出部、
４３：メモリ、４４：回答リスト、４５：回答変換部、４６：装置送信部、
５：通信端末、５１：筐体、５３：タッチパネル、５７：アンテナ、
５５：端末制御部、６１：端末送信部、６２：質問表示部、６３：端末受信部、
ＱＧ：質問群、
Ｗ１：ワークセット、Ｗ：ウェーハ、Ｌ：分割予定ライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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