(57)【要約】【課題】装置の大型化を防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。【解決手段】一方の面ＷＦ１に第１接着シートＡＳ１が貼付された被着体ＷＦを支持する支持手段１０と、第２接着シートＡＳ２を供給する供給手段２０と、支持手段１０で支持した被着体ＷＦの他方の面ＷＦ２に、供給手段２０で供給した第２接着シートＡＳ２を貼付する貼付手段３０とを備え、第１接着シートＡＳ１は、所定のエネルギーが付与されることで膨張し、当該第１接着シートＡＳ１の接着力を低下させる膨張性粒子ＳＧが添加されており、支持手段１０は、第１接着シートＡＳ１にエネルギーを付与するエネルギー付与手段１４を備えている。【選択図】図１
2020021914.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面に第１接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、
第２接着シートを供給する供給手段と、
前記支持手段で支持した前記被着体の他方の面に、前記供給手段で供給した前記第２接着シートを貼付する貼付手段とを備え、
前記第１接着シートは、所定のエネルギーが付与されることで膨張し、当該第１接着シートの接着力を低下させる膨張性粒子が添加されており、
前記支持手段は、前記第１接着シートに前記エネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記支持手段は、前記被着体の外部にフレーム部材を支持し、
前記貼付手段は、前記被着体および前記フレーム部材に前記第２接着シートを貼付することを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記被着体から前記第１接着シートを剥離するシート剥離手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
一方の面に第１接着シートが貼付された被着体を支持手段で支持する支持工程と、
第２接着シートを供給する供給工程と、
前記支持手段で支持した前記被着体の他方の面に、前記供給工程で供給した前記第２接着シートを貼付する貼付工程とを実施し、
前記第１接着シートは、所定のエネルギーが付与されることで膨張し、当該第１接着シートの接着力を低下させる膨張性粒子が添加されており、
前記支持工程では、前記支持手段によって前記第１接着シートに前記エネルギーを付与するエネルギー付与工程を実施することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、一方の面に第１接着シートが貼付された被着体の他方の面に第２接着シートを貼付し、第１接着シートの接着力が低下する所定のエネルギーを付与して当該第１接着シートを剥離するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−０６８２９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された従来のウエハ転写装置（シート貼付装置）では、保護テープＰ（第１接着シート）に紫外線（エネルギー）を付与する紫外線照射ユニット３００（エネルギー付与手段）が単独で存在するため、装置が大型化するという不都合を発生する。
【０００５】
本発明の目的は、装置の大型化を防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、支持手段がエネルギー付与手段を備えているので、当該エネルギー付与手段が単独で存在することがなく、装置の大型化を防止することができる。
また、貼付手段が被着体およびフレーム部材に第２接着シートを貼付する構成とすれば、被着体をフレーム部材と一体化することができる。
さらに、シート剥離手段を備えれば、第１接着シートが不要となった場合、当該第１接着シートを被着体から剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の実施形態に係るシート貼付装置の説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、図１（Ａ）に示すＹ軸方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
本発明のシート貼付装置ＥＡは、一方の面ＷＦ１に第１接着シートＡＳ１が貼付された被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦを支持する支持手段１０と、第２接着シートＡＳ２を供給する供給手段２０と、支持手段１０で支持したウエハＷＦの他方の面ＷＦ２に、供給手段２０で供給した第２接着シートＡＳ２を貼付する貼付手段３０と、ウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離するシート剥離手段４０とを備えている。
なお、第１接着シートＡＳ１は、基材シートＢＳ１と接着剤層ＡＬ１とを備え、接着剤層ＡＬ１のみに、所定のエネルギーとしての熱が付与されることで膨張し、当該第１接着シートＡＳ１の接着力を低下させる膨張性粒子ＳＧが添加されたものが採用され、第２接着シートＡＳ２は、基材シートＢＳ２と接着剤層ＡＬ２とで構成されたものが採用されている。
【００１１】
支持手段１０は、上面が保持面１１Ａとされた外側テーブル１１と、外側テーブル１１に形成された凹部１１Ｂ内に支持された駆動機器としての直動モータ１２と、その出力軸１２Ａに支持され上面が保持面１３Ａとされた内側テーブル１３と、内側テーブル１３に内蔵され、第１接着シートＡＳ１に熱を付与するエネルギー付与手段としての加熱手段１４と、保持面１１Ａ、１３Ａに吸着力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）とを備えている。なお、外側テーブル１１の後側縁部には、チャックアーム４１Ｅが入り込む切欠部１１Ｃが形成されている。また、外側テーブル１１は、ウエハＷＦの外部にフレーム部材としてのリングフレームＲＦを支持可能に設けられている。
【００１２】
供給手段２０は、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に第２接着シートＡＳ２が仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、剥離縁２３Ａで剥離シートＲＬを折り曲げて当該剥離シートＲＬから第２接着シートＡＳ２を剥離する剥離手段としての剥離板２３と、駆動機器としての回動モータ２４Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ２４Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ２４と、ピンチローラ２４Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与して当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ２５とを備えている。
【００１３】
貼付手段３０は、そのスライダ３１Ａで外側テーブル１１を支持する駆動機器としてのリニアモータ３１と、ウエハＷＦおよびリングフレームＲＦに第２接着シートＡＳ２を押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ３２とを備え、第２接着シートＡＳ２を介してウエハＷＦとリングフレームＲＦとが一体化された一体物ＷＫを形成する構成となっている。
【００１４】
シート剥離手段４０は、ウエハＷＦを上下反転させるウエハ反転部４１と、ウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離するシート剥離部４２とを備えている。
ウエハ反転部４１は、駆動機器としてのリニアモータ４１Ａのスライダ４１Ｂに支持された駆動機器としての回動モータ４１Ｃと、その出力軸４１Ｄに支持され、一体物ＷＫを把持するチャックアーム４１Ｅを有する駆動機器（保持手段）としてのチェックモータ４１Ｆとを備えている。
シート剥離部４２は、保持手段としての帯状の剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ４２Ａと、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ４２Ｂと、駆動機器としての直動モータ４２Ｃの出力軸４２Ｄに回転可能に支持された剥離ローラ４２Ｅと、駆動機器としての回動モータ４２Ｆの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ４２Ｇとで剥離用テープＰＴを挟み込む駆動ローラ４２Ｈと、ピンチローラ４２Ｇとの間に存在する剥離用テープＰＴに常に所定の張力を付与して当該剥離用テープＰＴを回収する回収手段としての回収ローラ４２Ｊとを備えている。
【００１５】
以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、各部材が図１中実線で示す初期位置で待機しているシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が原反ＲＳおよび剥離用テープＰＴを同図のようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段２０が回動モータ２４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して先頭の第２接着シートＡＳ２の繰出方向先端部が剥離板２３の剥離縁２３Ａで剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、回動モータ２４Ａの駆動を停止する。
【００１６】
次いで、使用者または、駆動機器やコンベア等の図示しない搬送手段が図１（Ａ）に示すように、リングフレームＲＦを保持面１１Ａ上に載置するとともに、第１接着シートＡＳ１を下側にしてウエハＷＦを保持面１３Ａ上に載置すると、支持手段１０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面１１Ａ、１３ＡでのウエハＷＦおよびリングフレームＲＦの吸着保持を開始する。その後、支持手段１０が直動モータ１２を駆動し、図１（Ａ）中符号ＡＡを付した図に示すように、ウエハＷＦの他方の面ＷＦ２がリングフレームＲＦの上面と同一平面内に位置する高さまで内側テーブル１３を上昇させた後、貼付手段３０がリニアモータ３１を駆動し、スライダ３１Ａを左方へ移動させる。次に、リングフレームＲＦが供給手段２０に対する所定の位置に到達すると、当該供給手段２０が回動モータ２４Ａを駆動し、スライダ３１Ａの移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、第２接着シートＡＳ２が剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された第２接着シートＡＳ２は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ３２によってリングフレームＲＦの上面およびウエハＷＦの他方の面ＷＦ２に押圧されて貼付され、一体物ＷＫが形成される。そして、次の第２接着シートＡＳ２の繰出方向先端部が剥離板２３の剥離縁２３Ａで剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、供給手段２０が回動モータ２４Ａの駆動を停止する。
【００１７】
次いで、スライダ３１Ａの左方への移動により、チャックアーム４１Ｅの前方に切欠部１１Ｃが到達すると、貼付手段３０がリニアモータ３１の駆動を停止する。その後、シート剥離手段４０がチェックモータ４１Ｆを駆動し、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、チャックアーム４１Ｅで一体物ＷＫを保持した後、支持手段１０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面１１Ａ、１３Ａでの一体物ＷＫの吸着保持を解除する。次に、シート剥離手段４０がリニアモータ４１Ａおよび回動モータ４１Ｃを駆動し、図３（Ｂ）中二点鎖線で示すように、チャックアーム４１Ｅで保持した一体物ＷＫを所定高さにまで持ち上げた後、当該一体物ＷＫを上下反転させる。そして、支持手段１０が直動モータ１２を駆動し、内側テーブル１３を初期位置に復帰させた後、シート剥離手段４０がリニアモータ４１Ａを駆動し、第２接着シートＡＳ２を下側にして一体物ＷＫを保持面１１Ａ、１３Ａ上に載置する。次いで、支持手段１０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面１１Ａ、１３Ａでの一体物ＷＫの吸着保持を開始すると、シート剥離手段４０がチェックモータ４１Ｆを駆動し、チャックアーム４１Ｅを初期位置に復帰させる。
【００１８】
その後、貼付手段３０がリニアモータ３１を駆動し、スライダ３１Ａを左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、一体物ＷＫにおける第１接着シートＡＳ１の左端部が剥離ローラ４２Ｅの最下端部直下に到達すると、貼付手段３０がリニアモータ３１の駆動を停止する。次に、シート剥離手段４０が直動モータ４２Ｃを駆動し、剥離ローラ４２Ｅを下降させて剥離用テープＰＴを第１接着シートＡＳ１の左端部に貼付すると、貼付手段３０およびシート剥離手段４０がリニアモータ３１および回動モータ４２Ｆを駆動し、図３（Ｃ）に示すように、スライダ３１Ａを左方へ移動させる移動速度に合わせて剥離用テープＰＴを回収ローラ４２Ｊ方向へ送る。これにより、第１接着シートＡＳ１がウエハＷＦから剥離され、当該第１接着シートＡＳ１が除去された一体物ＷＫ（以下、単に「不要シート除去済み一体物ＷＫ」という）が形成されると、シート剥離手段４０が直動モータ４２Ｃを駆動し、剥離ローラ４２Ｅを初期位置に復帰させた後、回動モータ４２Ｆの駆動を停止する。そして、不要シート除去済み一体物ＷＫがシート剥離手段４０の左方所定位置に到達すると、貼付手段３０および支持手段１０がリニアモータ３１および図示しない減圧手段の駆動を停止し、スライダ３１Ａの左方へ移動を停止するとともに、保持面１１Ａ、１３Ａでの不要シート除去済み一体物ＷＫの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が不要シート除去済み一体物ＷＫを次工程に搬送すると、貼付手段３０がリニアモータ３１を駆動し、スライダ３１Ａを初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００１９】
なお、本実施形態の場合、シート貼付装置ＥＡは、保持面１３Ａ上にウエハＷＦが載置されると、支持手段１０が加熱手段１４を駆動し、ウエハＷＦに貼付されている第１接着シートＡＳ１に熱を付与する。すると、図１（Ａ）中符号ＢＢを付した図に示すように、第１接着シートＡＳ１の接着剤層ＡＬ１に添加されている膨張性粒子ＳＧが膨張し、接着剤層ＡＬ１に無数の凸部ＣＶが形成される。接着剤層ＡＬ１に無数の凸部ＣＶが形成されると、当該接着剤層ＡＬ１のウエハＷＦに対する接着面積が減少し、第１接着シートＡＳ１のウエハＷＦに対する接着力が低下して、第１接着シートＡＳ１は、ウエハＷＦから簡単に剥離することができるようになる。
【００２０】
以上のようなシート貼付装置ＥＡによれば、支持手段１０が加熱手段１４を備えているので、当該加熱手段１４が単独で存在することがなく、装置の大型化を防止することができる。
【００２１】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、第２接着シートを供給可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【００２２】
支持手段１０は、内側テーブル１３が昇降せずに外側テーブル１１が昇降したり、内側テーブル１３と外側テーブル１１との両方が昇降したりして、ウエハＷＦの上面がリングフレームＲＦの上面と同一平面内に位置するように構成してもよいし、内側テーブル１３と外側テーブル１１との両方が昇降しない構成でもよいし、内側テーブル１３と外側テーブル１１とに分かれていなくてもよいし、フレーム部材を支持しない構成でもよいし、保持手段が備わっていなくてもよい。
支持手段１０が加熱手段１４を駆動するタイミングは、例えば、保持面１３Ａ上にウエハＷＦが載置された後でもよいし、ウエハＷＦの他方の面ＷＦ２に貼付手段３０で第２接着シートＡＳ２を貼付した後でもよいし、保持面１３Ａ上にウエハＷＦが載置される前でもよく、シート剥離手段４０で第１接着シートＡＳ１をウエハＷＦから剥離する前段であればどのタイミングでもよい。
支持手段１０は、加熱手段１４として、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等を採用してもよいし、エネルギー付与手段として光を発光する発光源が採用された場合、当該発行源として、例えば、ＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何を採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用したりしてもよい。
【００２３】
供給手段２０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が第２接着シートＡＳ２とされた原反ＲＳを繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を第２接着シートＡＳ２としてもよいし、支持ローラ２１やガイドローラ２２等の各ローラの代わりに、板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳや剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、回収手段は、巻回することなく例えばファンフォールド折りにして剥離シートＲＬを回収してもよいし、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して回収してもよい。
【００２４】
貼付手段３０は、支持手段１０を移動させずにまたは移動させつつ、押圧ローラ３２を移動させ、ウエハＷＦの他方の面ＷＦ２に第２接着シートＡＳ２を貼付してもよいし、供給手段２０で供給された第２接着シートＡＳ２を接着面の反対側から保持部材で保持し、保持した第２接着シートＡＳ２をウエハＷＦの他方の面ＷＦ２に貼付する押圧手段としての駆動機器を備えた構成でもよいし、天地反転して配置したり横向きに配置したりして、第２接着シートＡＳ２をウエハＷＦの他方の面ＷＦ２に貼付してもよいし、押圧ローラ３２をウエハＷＦに離間接近させる押圧部材接離手段としての駆動機器を採用し、ウエハＷＦにストレスがかかったり損傷したりすることを防止するようにしてもよいし、他の装置で押圧ローラ３２および支持手段１０の少なくとも一方を移動させ、第２接着シートＡＳ２をウエハＷＦの他方の面ＷＦ２に貼付する場合、押圧ローラ３２のみでもよい。
【００２５】
シート剥離手段４０は、一体物ＷＫにおけるリングフレームＲＦ、第１接着シートＡＳ１、ウエハＷＦおよび、ウエハＷＦに貼付された第２接着シートＡＳ２のうち少なくとも１つを保持する構成としてもよいし、一体物ＷＫを上昇させることなく、外側テーブル１１や内側テーブル１３を移動させておいて当該一体物ＷＫを上下反転させてもよいし、ウエハＷＦの他方の面ＷＦ２に貼付手段３０で第２接着シートＡＳ２を貼付する前に、当該ウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離してもよいし、支持手段１０に支持されている構成としてもよい。
シート剥離手段４０は、ウエハＷＦを上下反転させることなく当該ウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離可能であれば、ウエハ反転部４１がなくてもよい。
シート剥離手段４０は、スライダ３１Ａの移動を停止させることなく、剥離用テープＰＴを第１接着シートＡＳ１の左端部に貼付してもよいし、剥離ローラ４２Ｅが昇降しない構成としてもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で第１接着シートＡＳ１を保持し、当該保持部材で保持した第１接着シートＡＳ１をウエハＷＦから離間させて剥離する構成としてもよいし、支持手段１０に支持されている構成としてもよいし、枚葉の剥離用テープＰＴを第１接着シートＡＳ１に貼付し、当該枚葉の剥離用テープＰＴに張力を付与してウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離する構成としてもよいし、ウエハＷＦを移動させずにまたは移動させつつ、自身が移動してウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離する構成としてもよいし、例えば、赤外線、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の接着力低減エネルギーによって、接着剤層ＡＬ１の接着力が低減するものを採用してもよい。この場合、接着力低減エネルギーを照射する接着力低減エネルギー付与手段を採用し、第１接着シートＡＳ１をウエハＷＦから剥離する前段で、当該第１接着シートＡＳ１に接着力低減エネルギーを照射するようにすればよい。
シート剥離手段４０は、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていなくてもよい。
【００２６】
第１接着シートＡＳ１として、熱湯や熱風等の熱、冷却された気体や液体等の冷却媒体、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等のあらゆる波長の電磁波、振動、薬品、化学物質等を所定のエネルギーとし、当該所定のエネルギーが付与されることで膨張し、当該第１接着シートＡＳ１の接着力を低下させる膨張性粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよく、エネルギー付与手段は、膨張性粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮し、熱、冷却媒体、あらゆる波長の電磁波、振動、薬品、化学物質等を付与して当該膨張性粒子ＳＧを膨張させ、第１接着シートＡＳ１の接着力を低下できればどのような構成のものでもよい。
第１接着シートＡＳ１は、当該第１接着シートＡＳ１を構成する基材シートＢＳ１のみに膨張性粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層ＡＬ１と基材シートＢＳ１との両方に膨張性粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層ＡＬ１と基材シートＢＳ１との中間に１または複数の中間層が存在し、当該中間層、接着剤層ＡＬ１および基材シートＢＳ１のうち少なくとも１つまたは少なくとも２つに膨張性粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、ウエハＷＦにおける回路が形成された面に貼付されていてもよいし、回路が形成されていない面に貼付されていてもよいし、接着剤層ＡＬ１と基材シートＢＳ１との両方に膨張性粒子ＳＧが添加されている場合や、中間層、接着剤層ＡＬ１および基材シートＢＳ１のうち少なくとも２つに膨張性粒子ＳＧが添加されている場合、それら膨張性粒子ＳＧは、同一のものでもよいし、同一でないものでもよい。
ウエハＷＦは、一方の面ＷＦ１および他方の面ＷＦ２のうち少なくとも一方に所定の回路が形成されていてもよいし、それら両方に回路が形成されていなくてもよいし、他方の面ＷＦ２に予めその他の接着シートが貼付されていてもよく、他方の面ＷＦ２に予めその他の接着シートが貼付されている場合、第２接着シートＡＳ２は、当該他の接着シートを介してウエハＷＦに貼付されてもよいし、このような他の接着シートを適宜剥離する公知のシート剥離手段を採用してもよい。
フレーム部材は、環状でもよいし、環状でなくてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに用いられなくてもよく、フレーム部材が用いられない場合、貼付手段３０は、第２接着シートＡＳ２をウエハＷＦのみに貼付すればよい。
【００２７】
膨張性粒子ＳＧは、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱によって容易にガス化して膨張する物質が弾性を有する殻内に内包された微粒子等が例示でき、特願２０１７−７３２３６、特開２０１３−１５９７４３、特開２０１２−１６７１５１、特開２００１−１２３００２等で開示されている熱発泡性微粒子や、特開２０１３−４７３２１、特開２００７−２５４５８０、特開２０１１−２１２５２８、特開２００３−２６１８４２等で開示されている膨張性粒子等、何ら限定されるものではなく、例えば、熱分解して、水、炭酸ガス、窒素を発生させて膨張性粒子と類似の効果を奏する発泡剤を採用してもよいし、特開２０１６−５３１１５、特開平７−２７８３３３で開示されている紫外線により気体を発生するアゾ化合物等の気体発生剤で殻を膨張させるものでもよいし、例えば、加熱によって膨張するゴムや樹脂等でもよいし、その他、重曹、炭酸水素ナトリウム、ベーキングパウダ等でもよい。
【００２８】
本発明における第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２および被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２および被着体は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が採用された場合は、当該第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、例えば、接着剤層ＡＬ１、ＡＬ２だけの単層のもの、基材シートＢＳ１、ＢＳ２と接着剤層ＡＬ１、ＡＬ２との間に中間層を有するもの、基材シートＢＳ１、ＢＳ２の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートＢＳ１、ＢＳ２を接着剤層ＡＬ１、ＡＬ２から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００２９】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【００３０】
ＥＡ…シート貼付装置
１０…支持手段
１４…加熱手段（エネルギー付与手段）
２０…供給手段
３０…貼付手段
４０…シート剥離手段
ＡＳ１…第１接着シート
ＡＳ２…第２接着シート
ＲＦ…リングフレーム（フレーム部材）
ＳＧ…膨張性粒子
ＷＦ…半導体ウエハ（被着体）
ＷＦ１…一方の面
ＷＦ２…他方の面
【図１】
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