(57)【要約】【課題】面状発光装置を用いることなく、光を均一に拡散することができる真空チャックテーブルを提供する。【解決手段】真空チャックテーブル１０は、対象物Ｗを吸着する吸着部材１１と、吸着部材１１を通して対象物Ｗに光を照射するＬＥＤ１２と、吸着部材１１を支持する基台１３とを備えている。吸着部材１１はシリカ多孔体により構成されており、平均粒径及び平均気孔径が異なる第１多孔体部１１Ａと第２多孔体部１１Ｂとを有している。第１多孔体部１１Ａは、第２多孔体部１１Ｂよりも平均粒径及び平均気孔径が大きく、第２多孔体部１１Ｂは、ＬＥＤ１２からの光が直接入射されるように、ＬＥＤ１２に対応して設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリカ多孔体よりなり表面で対象物を吸着する板状の吸着部材と、
この吸着部材を通して対象物に光を照射するＬＥＤと、
前記吸着部材の裏面側に設けられ、前記吸着部材を介して空気を吸引する吸引部とを備え、
前記吸着部材は、平均粒径及び平均気孔径が異なる第１多孔体部と第２多孔体部とを有し、
前記第１多孔体部は、前記第２多孔体部よりも、平均粒径及び平均気孔径が大きく、
前記第２多孔体部は、前記ＬＥＤからの光が直接入射されるように、前記ＬＥＤに対応する位置に設けられ、
前記第２多孔体部に入射された光は、前記第２多孔体部において拡散され、少なくとも一部は前記第１多孔体部を透過する
ことを特徴とする真空チャックテーブル。
【請求項２】
前記第１多孔体部と前記第２多孔体部とは、直接接触していることを特徴とする請求項１記載の真空チャックテーブル。
【請求項３】
前記第１多孔体部を形成するシリカ粒子の平均粒径は５０μｍ以上１００μｍ以下、平均気孔径は１０μｍ以上２０μｍ以下であり、前記第２多孔体部を形成するシリカ粒子の平均粒径は１５μｍ以上５０μｍ未満、平均気孔径は５μｍ以上１０μｍ未満であり、かつ、前記第１多孔体部の平均粒径は、前記第２多孔体部よりも１０μｍ以上大きいことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の真空チャックテーブル。
【請求項４】
前記第２多孔体部の側面には傾斜面が形成されており、前記第１多孔体部には前記第２多孔体部の傾斜面に対応して傾斜面が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１に記載の真空チャックテーブル。
【請求項５】
前記第２多孔体部の一部は、表面に露出されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１に記載の真空チャックテーブル。
【請求項６】
前記第２多孔体部は、円錐台状であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１に記載の真空チャックテーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物を空気の吸引によって吸着部材に吸着させて支持する真空着チャックテーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、対象物を空気の吸引により吸着部材に吸着させ、裏面より光を当てることで対象物の影ができ、その影から対象物の輪郭を確認し、寸法及び不良品の検査を行ったり、加工したりする真空チャックテーブルが知られている。例えば、特許文献１には、多孔質材料からなる吸着部材４と、この吸着部材４の裏面へ平面的な光を供給する面状発光装置２と、これら吸着部材４と面状発光装置２との間に配置された空気通路部材３とを有する面発光チャックテーブル１が記載されている（図３参照）。この面発光チャックテーブル１では、面状発光装置２を用いることにより、対象物に均一な光を照射できるようになっている。面状発光装置２は、凹部１３の底面及び周面に光反射部材１４が設けられたケーシング７と、放射側反射部材８とを有しており、ＬＥＤ１５から放射される指向性の高い光が、ケーシング７の凹部１３の光反射部材１４及び放射側反射部材８で反射を繰り返しながら、放射側反射部材８の開口から上部へ放射されることにより、平面的に均一な光を照射できるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−９７５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の面発光チャックテーブルでは、面状発光装置を用いて吸着部材の裏面へ平面的な光を供給しているので、部品点数が多くなり、重量が重くなると共に、費用が高くなるという問題があった。
【０００５】
本発明は、このような問題に基づきなされたものであり、面状発光装置を用いることなく、光を均一に拡散することができる真空チャックテーブルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の真空チャックテーブルは、シリカ多孔体よりなり表面で対象物を吸着する板状の吸着部材と、この吸着部材を通して対象物に光を照射するＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）と、吸着部材の裏面側に設けられ、吸着部材を介して空気を吸引する吸引部とを備え、吸着部材は、平均粒径及び平均気孔径が異なる第１多孔体部と第２多孔体部とを有し、第１多孔体部は、第２多孔体部よりも、平均粒径及び平均気孔径が大きく、第２多孔体部は、ＬＥＤからの光が直接入射されるように、ＬＥＤに対応する位置に設けられ、第２多孔体部に入射された光は、第２多孔体部において拡散され、少なくとも一部は第１多孔体部を透過するものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の真空チャックテーブルによれば、吸着部材に、平均粒径及び平均気孔径が異なる第１多孔体部と第２多孔体部とを設け、第１多孔体部は、第２多孔体部よりも、平均粒径及び平均気孔径を大きくしたので、第１多孔体部は第２多孔体部に比べて光透過率を高くすることができ、第２多孔体部は第１多孔体部に比べて光拡散性を高くすることができる。また、第２多孔体部は、ＬＥＤからの光が直接入射されるように、ＬＥＤに対応する位置に設けるようにしたので、ＬＥＤからの光が光拡散性の高い第２多孔体部に入射し、第２多孔体部において拡散されて、少なくとも一部は光透過率の高い第１多孔体部を透過することができる。よって、ＬＥＤの光を吸着部材において均一に拡散することができ、対象物に均一な光を照射することができる。多孔体部を支える支柱部上の多孔体部においても対象物に均一な光を照射することも可能である。従って、面状発光装置が不要となり、装置の軽量化、及び、大幅な費用の削減をすることができる。
【０００８】
更に、第１多孔体部と第２多孔体部とを直接接触して配設するようにすれば、より容易に光を拡散させることができる。
【０００９】
加えて、第１多孔体部を形成するシリカ粒子の平均粒径を５０μｍ以上１００μｍ以下、平均気孔径を１０μｍ以上２０μｍ以下とし、第２多孔体部を形成するシリカ粒子の平均粒径を１５μｍ以上５０μｍ未満、平均気孔径は５μｍ以上１０μｍ未満とし、かつ、第１多孔体部の平均粒径を第２多孔体部よりも１０μｍ以上大きくすれば、より高い効果を得ることができる。
【００１０】
更にまた、第２多孔体部の側面に傾斜面を形成し、この第２多孔体部の傾斜面に対応して第１多孔体部に傾斜面を形成すれば、第２多孔体部と第１多孔体部との境界部を傾斜面とすることができる。よって、境界面を境に急に暗くなったり、境界部が光り過ぎたりすることを抑制することができる。また、多孔体部を支える支柱部上の多孔体部においても対象物に均一な光を照射することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（１）は、本発明の第１の実施の形態に係る真空チャックテーブルの構成を表す断面図である。（２）は、（１）に示した真空チャックテーブルの第２多孔体の形状、配置を下から見上げた様子を表す図面である。
【図２】本発明の第２の実施の形態に係る真空チャックテーブルの構成を表す断面図である。
【図３】従来の面発光チャックテーブルの構成を表す分解断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１３】
（第１の実施の形態）
図１（１）は、第１の実施の形態に係る真空チャックテーブル１０の構成を表すものである。この真空チャックテーブル１０は、対象物Ｗを空気の吸引により吸着して支持するものであり、例えば、表面で対象物Ｗを吸着する吸着部材１１と、この吸着部材１１を通して対象物Ｍに光を照射するＬＥＤ１２と、吸着部材１１を支持する基台１３とを備えている。対象物Ｗは、例えば、半導体ウエハである。図１（２）は、第１の実施の形態に対応する第２多孔体を下から見たものである。図１（１）にはＡが対応するが、Ｂ、Ｃのような形状、配置にしても良い。なお、図１（２）では、分かりやすくするために、第２多孔体に梨地を付して示している。
【００１４】
吸着部材１１は、例えば、円盤状等の板状であり、表面は対象物Ｗを吸着する平らな吸着面となっている。吸着部材１１の大きさは、例えば、直径が２５０ｍｍ程度、厚みが１０ｍｍ程度である。吸着部材１１は、通気性及び透光性を有するシリカ多孔体により構成されており、平均粒径及び平均気孔径が異なる第１多孔体部１１Ａと第２多孔体部１１Ｂとを有している。第１多孔体部１１Ａは、第２多孔体部１１Ｂよりも、平均粒径及び平均気孔径が大きくなるように構成されている。これにより、第１多孔体部１１Ａは、第２多孔体部１１Ｂに比べて光透過率が高いという特性を有しており、第２多孔体部１１Ｂは、第１多孔体部１１Ａに比べて光拡散性が高いという特性を有している。
【００１５】
第２多孔体部１１Ｂは、ＬＥＤ１２からの光が直接入射されるように、ＬＥＤ１２に対応する位置に設けられている。ＬＥＤ１２から放射される指向性の高い光を光拡散性の高い第２多孔体部１１Ｂに入射させ、第２多孔体部１１Ｂで拡散し、面方向における光の均一性を高めるためである。また、第２多孔体部１１Ｂ以外のＬＥＤ１２から距離が離れた部分を光透過率の高い第１多孔体部１１Ａで構成することにより、第２多孔体部１１Ｂで拡散された光の一部が第１多孔体部１１Ａを透過しやすくなるので、面方向における光の均一性をより高めることができるようになっている。
【００１６】
第１多孔体部１１Ａを形成するシリカ粒子の平均粒径は５０μｍ以上１００μｍ以下、平均気孔径は１０μｍ以上２０μｍ以下であり、第２多孔体部１１Ｂを形成するシリカ粒子の平均粒径は１５μｍ以上５０μｍ未満、平均気孔径は５μｍ以上１０μｍ未満であり、かつ、第１多孔体部１１Ａの平均粒径は、第２多孔体部１１Ｂよりも１０μｍ以上大きいことが好ましい。この範囲内においてより高い効果を得ることができるからである。なお、平均粒子径とは、レーザ回折・散乱法によって導出される値である。
【００１７】
第１多孔体部１１Ａと第２多孔体部１１Ｂとは、直接接触していることが好ましく、接合されていればより好ましい。第２多孔体部１１Ｂから第１多孔体部１１Ａへの入射が容易となり、より容易に光を拡散させることができるからである。第２多孔体部１１Ｂの側面は、表面及び裏面に対して垂直な面でもよいが、第２多孔体部１１Ｂの側面には、表面及び裏面に対して傾斜された面が形成されていることが好ましい。また、第１多孔体部１１Ａには、第２多孔体部１１Ｂの傾斜面に対応して傾斜した面が形成されていることが好ましい。第２多孔体部１１Ｂと第１多孔体部１１Ａとの境界部を傾斜面とすることにより、境界面を境に急に暗くなったり、境界部が光り過ぎたりすることを抑制することができ、広い範囲で光の均一化をはかることができるからである。
【００１８】
第２多孔体部１１Ｂの一部は、例えば、表面に露出され、吸着面の一部を構成してもよい。第２多孔体部１１Ｂは、例えば、円柱状やドーム状でもよいが、裏面側の面積が広い円錐台状であることが好ましい。
【００１９】
吸着部材１１は、円環状の支持枠１４の内周面に固着されて支持されている。支持枠１４は、撓むことのない材料、例えば、ステンレスやアルミニウムにより構成されている。吸着部材１１の裏面側には、吸着部材１１の撓みを抑制する保持部材１５が配設されていることが好ましい。保持部材１５は、吸着部材１１の裏面に当接して配設されていることが好ましく、透明なガラス又はプラスチック等により構成されることが好ましい。保持部材１５には、例えば、空気を通すための溝状又は孔状の通気口１５Ａが設けられている。
【００２０】
基台１３は、例えば、吸着部材１１の裏面側に設けられており、内部には吸着部材１１を介して空気を吸引するための中空状の吸引部１３Ａが形成されている。基台１３は、例えば、ステンレスやアルミニウムにより構成されている。基台１３は、例えば、円盤状の基板１３Ｂと、円環状の基台枠１３Ｃとを有しており、これらをねじ１３Ｄにより接合することにより、凹状の吸引部１３Ａが形成されている。吸引部１３Ａには、例えば、吸引口１３Ｅを介して図示しない吸引装置に接続されている。吸引部１３Ａの底部には、複数のＬＥＤ１２が配設されており、この各ＬＥＤ１２に対向する位置に複数の第２多孔体部１１Ｂが個別に対応して配置されている。例えば、ＬＥＤの個数は、４から１２個程度が適当である。
【００２１】
吸引部１３Ａの中央部には、吸着部材１１の中央部に対応する位置に、保持部材１５及び吸着部材１１を支持する支柱１６が設けられていることが好ましい。吸着部材１１の撓みを抑制するためである。支柱１６は、例えば、石英ガラス又はアルミニウムにより構成されている。吸着部材１１の支柱１６に対応する部分には、なるべく第１多孔体や第２多孔体の斜面が存在することが好ましい。光透過率を高めることにより、支柱１６を設けることで支柱１６に対応する部分が暗くなってしまうことを抑制するためである。支柱１６は、例えば、ねじ１６Ａにより基板１３Ｂに配設されている。
【００２２】
この真空チャックテーブル１０は、例えば、次のようにして製造することができる。まず、例えば、第１多孔体部１１Ａを形成する球状シリカを目的の平均粒径となるように分級し、結合剤と混合して、目的とする形状の鋳型に鋳込み、１５℃〜５０℃程度の所定の温度で３時間〜１２時間程度放置することによりゲル化させる。次いで、例えば、このゲルを離型し、１３００℃〜１３５０℃程度の所定の温度で１０時間〜１５時間程保持することにより焼成し、第１多孔体部１１Ａを形成する。
【００２３】
続いて、得られた第１多孔体部１１Ａの空間部分に、第２多孔体部１１Ｂを形成する球状シリカを目的の平均粒径となるように分級し、結合剤と混合したスラリーを鋳込み、１２５０℃〜１３００℃程度の所定の温度で１０時間〜１５時間程保持することにより再度焼成する。これにより、所定の位置に第２多孔体部１１Ｂが形成された吸着部材１１が得られる。次に、例えば、支持枠１４及び保持部材１５を用意し、吸着部材１１の裏面に保持部材１５を配設し、支持枠１４の内周面に固着する。
【００２４】
そののち、例えば、基板１３ＢにＬＥＤ１２を配設し、基板１３Ｂの中央部に支柱１６をねじ１６により固定する。また、基板１３Ｂに、基台枠１３Ｃと、吸着部材１１及び保持部材１５を配設した支持枠１４とを順に積層し、ねじ１３Ｄにより固定する。これにより、真空チャックテーブル１０が得られる。
【００２５】
なお、第１多孔体部１１Ａと第２多孔体部１１Ｂとを接合した吸着部材１１の製造実験を次のようにして行った。まず、球状シリカを湿式分級し、平均粒子径が７５μｍとなるように調整して、乾燥させた後、この原料粉と結合剤とを１２：５の質量比で混合し、このスラリー状の混合物を超音波洗浄機を用いて分散させた。なお、結合剤には、オルトケイ酸テトラメチル（ＴＥＯＳ；ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌ  ｏｒｔｈｏｓｉｌｉｃａｔｅ）、超純水、０．１ｍｏｌ／Ｌ塩酸、及び、プロピレングリコールを、ＴＥＯＳ：超純水：０．１ｍｏｌ／Ｌ塩酸：プロピレングリコール＝１２：９：１：３の質量比で、スターラーで２．５時間撹拌した後、０．１ｍｏｌ／ＬアンモニアでｐＨ４．５〜５．０に調整したシリカゾルを用いた。
【００２６】
次いで、作製したスラリーを外径７５ｍｍ、内径２８ｍｍのリング状鋳型に鋳込み、５０℃で３時間放置してゲル化させたのち、このゲルを離型し、１３５０℃で１２時間保持することで焼成し、第１多孔体部１１Ａを得た。続いて、得られた第１多孔体部１１Ａの内側に、平均粒径２０μｍの球状シリカと、結合剤とを第１多孔体部１１Ａと同様にして混合したスラリーを鋳込み、１３００℃で１２時間保持することで再度焼成した。結合剤には、第１多孔体部１１Ａと同一のものを用いた。これにより、第１多孔体部１１Ａの内側に第２多孔体部１１Ｂを配設した吸着部材１１を得た。得られた吸着部材１１は、第１多孔体部１１Ａと第２多孔体部１１Ｂとが接合し、一体化されており、良好な特性が得られた。
【００２７】
この真空チャックテーブル１０は、例えば、次のように作用する。まず、吸引部１３Ａに図示しない吸引装置が接続され、吸着部材１１を介して空気を吸引することにより、対象物Ｗを吸着部材１１の表面に吸着して支持する。また、ＬＥＤ１２により対象物Ｗの裏側から光を照射する。ＬＥＤ１２から照射された光は、保持部材１５を透過し、吸着部材１１の第２多孔体部１１Ｂに入射し、第２多孔体部１１Ｂで拡散される。第２多孔体部１１Ｂで拡散された光の一部は、第１多孔体部１１Ａを透過して対象物Ｗに照射され、他の一部は、第２多孔体部１１Ｂを透過して対象物Ｗに照射される。
【００２８】
このように本実施の形態によれば、吸着部材１１に、均粒径及び平均気孔径が異なる第１多孔体部１１Ａと第２多孔体部１１Ｂとを設け、第１多孔体部１１Ａは、第２多孔体部１１Ｂよりも、平均粒径及び平均気孔径を大きくしたので、第１多孔体部１１Ａは第２多孔体部１１Ｂに比べて光透過率を高くすることができ、第２多孔体部１１Ｂは第１多孔体部１１Ａに比べて光拡散性を高くすることができる。また、第２多孔体部１１Ｂは、ＬＥＤ１２からの光が直接入射されるように、ＬＥＤ１２に対応する位置に設けるようにしたので、ＬＥＤ１２からの光が光拡散性の高い第２多孔体部１１Ｂに入射し、第２多孔体部１１Ｂにおいて拡散されて、一部は光透過率の高い第１多孔体部１１Ａを透過することができる。よって、ＬＥＤ１２の光を吸着部材において均一に拡散することができ、対象物Ｗに均一な光を照射することができる。従って、面状発光装置が不要となり、装置の軽量化、及び、大幅な費用の削減をすることができる。
【００２９】
更に、第１多孔体部１１Ａと第２多孔体部１１Ｂとを直接接触して配設するようにすれば、より容易に光を拡散させることができる。
【００３０】
加えて、第１多孔体部１１Ａを形成するシリカ粒子の平均粒径を５０μｍ以上１００μｍ以下、平均気孔径を１０μｍ以上２０μｍ以下とし、第２多孔体部１１Ｂを形成するシリカ粒子の平均粒径を１５μｍ以上５０μｍ未満、平均気孔径は５μｍ以上１０μｍ未満とし、かつ、第１多孔体部１１Ａの平均粒径を第２多孔体部１１Ｂよりも１０μｍ以上大きくすれば、より高い効果を得ることができる。
【００３１】
更にまた、第２多孔体部１１Ｂの側面に傾斜面を形成し、この第２多孔体部１１Ｂの傾斜面に対応して第１多孔体部１１Ａに傾斜面を形成すれば、第２多孔体部１１Ｂと第１多孔体部１１Ａとの境界部を傾斜面とすることができる。よって、境界面を境に急に暗くなったり、境界部が光り過ぎたりすることを抑制することができる。
【００３２】
なお、第１多孔体１１Ａと第２多孔体１１Ｂは、それぞれ別々に成形し、組み合わせたのち、焼成時に一体化しても良いし、それぞれ別々に焼成し、接着または焼成して一体化しても良い。
【００３３】
（第２の実施の形態）
図２は、第２の実施の形態に係る真空チャックテーブル２０の構成を表すものである。この真空チャックテーブル２０は、第１多孔体部２１Ａ及び第２多孔体部２１Ｂの構造、並びに、ＬＥＤ２２の配設場所が異なることを除き、他は第１の実施の形態に係る真空チャックテーブル１０と同一の構成を有している。よって、同一の構成要素には同一の符号を付すと共に、対応する構成要素には十の位を“２”に変えた符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００３４】
第１の実施の形態では、ＬＥＤ１２を吸引部１３Ａの底部、すなわち、基板１３Ｂの上に配設する場合について説明したが、本実施の形態は、複数のＬＥＤ２２を吸着部材２１の中に埋め込んで配設したものである。例えば、各ＬＥＤ２２は、吸着部材２１の裏面側に埋設されている。第２多孔体部２１Ｂは、例えば、各ＬＥＤ２２を個別に囲むように複数設けられ、具体的には、各ＬＥＤ２２の表面側及び側面を個別に覆っている。また、第１多孔体部２１Ａは、例えば、第２多孔体部２１Ｂの表面側及び側面を覆うように設けられている。各第２多孔体部２１Ｂの側面には、第１の実施の形態と同様に、表面及び裏面に対して傾斜された傾斜面が形成されていることが好ましく、第１多孔体部２１Ａには、第２多孔体部１１Ｂの傾斜面に対応して傾斜した傾斜面が形成されていることが好ましい。他は第一の実施の形態と同様であり、同様にして製造することができる。
【００３５】
この真空チャックテーブルでは、ＬＥＤ２２から照射された光が保持部材１５を透過することなく、吸着部材２１の第２多孔体部２１Ｂに入射し、第２多孔体部２１Ｂで拡散され、第１多孔体部２１Ａを透過して対象物Ｗに照射される。他は、第１の実施の形態と同様に作用する。また、第１の実施の形態と同様の効果を有し、更に、ＬＥＤ２２を吸着部材２１に埋め込むようにしたので、装置の高さを低くすることができ、小型化することができる。また、この実施態様では、ＬＥＤ２２の光が保持部材１５を通らないので、光の減衰が生じにくく、また、支柱１６より上にあるので、支柱１６の影ができないという利点がある。
【００３６】
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変形可能である。例えば、上記実施の形態では、各構成要素について具体的に説明したが、全ての構成要素を備えていなくてもよく、また、他の構成要素を備えていてもよい。
【００３７】
例えば、支持枠１４、基台枠１３Ｃ、支柱１６、基板１３Ｂは、個別の部品である必要はなく、例えば、支持枠１４と基台枠１３Ｃを一体化するなど、他の部品と一体化されていても良い。
【００３８】
例えば、上記第１の実施の形態では、第２多孔体部１１Ｂの一部を表面に露出させて、吸着面の一部を構成するようにしても良いし、第２の実施の形態のように、第２多孔体部１１Ｂを表面に露出させずに、第１多孔体部１１Ａにより表面側を覆うようにしてもよい。また、第２の実施の形態においても、第２多孔体部２１Ｂの一部を表面に露出させ、吸着面の一部を構成するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
半導体ウエハ等の対象物を空気の吸引によって吸着して支持する装置として用いることができる。
【符号の説明】
【００４０】
１０，２０…真空チャックテーブル、１１，２１…吸着部材、１１Ａ，２１Ａ…第１多孔体部、１１Ｂ，２１Ｂ…第２多孔体部、１２，２２…ＬＥＤ、１３…基台、１３Ａ…吸引部、１３Ｂ…基板、１３Ｃ…基台枠、１３Ｄ…ねじ、１３Ｅ…吸引口、１４…支持枠、１５…保持部材、１５Ａ…通気口、１６…支柱、１６Ａ…ねじ、Ｗ…対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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