(57)【要約】【課題】複数の回路の物理量を迅速かつ適切に計測することができる計測方法、計測装置および計測用プログラムを提供する。【解決手段】複数の回路のうちの物理量が計測される対象回路の計測された物理量の変化に基づいて、対象回路を現在の対象回路から複数の回路のうちの他の回路に切り替えるか否かを判定する工程と、対象回路を他の回路に切り替える場合に、複数の記憶部のうちの対象回路の計測された物理量を記憶させる対象記憶部を、現在の対象記憶部から複数の記憶部のうちの他の記憶部に切り替える工程と、を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の回路のうちの物理量が計測される対象回路の計測された物理量の変化に基づいて、前記対象回路を現在の対象回路から前記複数の回路のうちの他の回路に切り替えるか否かを判定する工程と、
前記対象回路を前記他の回路に切り替える場合に、複数の記憶部のうちの前記対象回路の計測された物理量を記憶させる対象記憶部を、現在の対象記憶部から前記複数の記憶部のうちの他の記憶部に切り替える工程と、を備える計測方法。
【請求項２】
前記判定する工程は、
前記物理量の状態が、前記物理量の最大値と最小値との差が所定範囲内であって前記物理量の平均値が第１閾値より大きい第１状態から、前記物理量の最大値が前記第１閾値より小さい第２閾値以下である第２状態へと変化した場合に、前記対象回路を切り替えると判定することを含む、請求項１に記載の計測方法。
【請求項３】
前記物理量は、電圧値である、請求項２に記載の計測方法。
【請求項４】
前記判定する工程は、
前記物理量の状態が、前記物理量の最大値と最小値との差が所定範囲内であって前記物理量の平均値が第３閾値より小さい第１状態から、前記物理量の最大値が前記第３閾値より大きい第４閾値以上である第２状態へと変化した場合に、前記対象回路を切り替えると判定することを含む、請求項１に記載の計測方法。
【請求項５】
前記物理量は、抵抗値である、請求項４に記載の計測方法。
【請求項６】
前記物理量の平均値を前記対象記憶部に記憶させる工程を更に備える、請求項２〜５のいずれか１項に記載の計測方法。
【請求項７】
前記対象回路の物理量を所定のサンプリング周期で計測する工程と、
前記計測されたサンプリング周期毎の物理量を、ｎ個の前記サンプリング周期毎の物理量を記憶可能な先入先出メモリに順次記憶させる工程と、を更に備え、
前記判定する工程は、
前記先入先出メモリに記憶された前記サンプリング周期毎の物理量のうち、最新の物理量から数えてａ番目（ただし、ａ＜ｎ）までの物理量を除いたｎ−ａ個の物理量に基づいて、前記物理量の状態が前記第１状態であるか否かを判定し、
前記最新の物理量から数えてｂ番目（ただし、ｂ＜ａ）までの物理量に基づいて、前記物理量の状態が前記第２状態であるか否かを判定することを含む、請求項２〜６のいずれか１項に記載の計測方法。
【請求項８】
前記判定する工程は、
前記物理量の過渡特性に応じて、前記ａ番目の物理量を変更することを含む、請求項７に記載の計測方法。
【請求項９】
前記対象回路の切り替えを促す音声を出力する工程を更に備える、請求項１〜８のいずれか１項に記載の計測方法。
【請求項１０】
前記音声を出力する工程は、
現在の対象回路の物理量の計測の終了を促す第１音声を出力し、
前記第１音声を出力した後に次の対象回路の物理量の計測の開始を促す第２音声を出力することを含む、請求項９に記載の計測方法。
【請求項１１】
複数の回路のうちの物理量が計測される対象回路の計測された物理量の変化に基づいて、前記対象回路を現在の対象回路から前記複数の回路のうちの他の回路に切り替えるか否かを判定する判定部と、
前記対象回路を前記他の回路に切り替える場合に、複数の記憶部のうちの前記対象回路の計測された物理量を記憶させる対象記憶部を、現在の対象記憶部から前記複数の記憶部のうちの他の記憶部に切り替える切替部と、を備える計測装置。
【請求項１２】
コンピュータを、
複数の回路のうちの物理量が計測される対象回路の計測された物理量の変化に基づいて、前記対象回路を現在の対象回路から前記複数の回路のうちの他の回路に切り替えるか否かを判定する手段、および、
前記対象回路を前記他の回路に切り替える場合に、複数の記憶部のうちの前記対象回路の計測された物理量を記憶させる対象記憶部を、現在の対象記憶部から前記複数の記憶部のうちの他の記憶部に切り替える手段、として機能させる、計測用プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明による実施形態は、計測方法、計測装置および計測用プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、太陽電池パネル用の回路等の複数の回路の電圧値の計測には、デジタルマルチメータ等を備えた計測装置が用いられていた。図１２は、このような従来の計測装置１０の一例を示す図である。図１２の計測装置１０は、複数の回路＃１〜＃ｍのそれぞれとＡ／Ｄコンバータ３との間に接続されたリレーやブレーカ等のスイッチ２を選択的にオンすることで、回路＃１〜＃ｍのうちの電圧値が計測される対象回路が切り替わるように構成されている。Ａ／Ｄコンバータ３には、オン状態のスイッチ２を介して対象回路の計測された電圧値（アナログ値）が入力される。Ａ／Ｄコンバータ３は、入力された電圧値をＡ／Ｄ変換して出力する。また、計測装置１０は、Ａ／Ｄコンバータ３の出力を複数のメモリ＃１〜＃ｍのうちの対象回路に対応する対応メモリに接続することで、Ａ／Ｄコンバータ３から出力された対象回路の電圧値（デジタル値）を対応メモリに記録するように構成されている。
【０００３】
計測装置１０による回路＃１〜＃ｍの電圧値の計測は、例えば、図１３に示すタイムチャートにしたがって行われていた。Ａ／Ｄコンバータ３の入力フィルタの遅れによる影響や計測された対象回路の電圧値のチャタリングを避けるため、図１３に示すように、スイッチ２をオンすることによる回路＃１〜＃ｍの電圧値の計測開始（ＯＮ）からメモリ＃１〜＃ｍへの電圧値の記録開始（ＯＮ）までの間には、電圧値が安定するのを待つための待ち時間ｔ１が設けられていた。また、スイッチ２をオフすることによる回路＃１〜＃ｍの電圧値の計測終了（ＯＦＦ）から次の回路＃１〜＃ｍの電圧値の計測開始（ＯＮ）までの間には、電圧値が０になるのを待つための待ち時間ｔ２が設けられていた。つまり、対象メモリの切り替えには、待ち時間ｔ２＋ｔ１が必要であった。
【０００４】
しかしながら、従来の計測装置１０においては、対象メモリの切り替えのための待ち時間ｔ２＋ｔ１が長く、また、入力フィルタの遅れによる影響や電圧値のチャタリングを避けつつ待ち時間ｔ２＋ｔ１を短縮するための有効な技術が提案されていなかったため、複数の回路の電圧値を迅速かつ適切に計測することが困難であるといった課題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−２１５２１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上述した課題を解決するためになされたものであり、複数の回路の物理量を迅速かつ適切に計測することができる計測方法、計測装置および計測用プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本実施形態による計測方法は、複数の回路のうちの物理量が計測される対象回路の計測された物理量の変化に基づいて、対象回路を現在の対象回路から複数の回路のうちの他の回路に切り替えるか否かを判定する工程と、対象回路を他の回路に切り替える場合に、複数の記憶部のうちの対象回路の計測された物理量を記憶させる対象記憶部を、現在の対象記憶部から複数の記憶部のうちの他の記憶部に切り替える工程と、を備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、複数の回路の物理量を迅速かつ適切に計測することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施形態による計測装置を示す図である。
【図２】本実施形態による計測装置に含まれる切替制御部の詳細を示す図である。
【図３】本実施形態による計測装置の動作例を示すフローチャートである。
【図４】本実施形態による計測装置の動作例において、判定閾値を示す図である。
【図５】本実施形態による計測装置の動作例を示すタイムチャートである。
【図６】本実施形態の第１の変形例による計測装置に含まれる切替制御部の詳細を示す図である。
【図７】本実施形態の第１の変形例による計測装置の動作例を示すフローチャートである。
【図８】本実施形態の第１変形例による計測装置の動作例を示すタイムチャートである。
【図９】本実施形態の第２の変形例による計測装置に含まれる切替制御部の詳細を示す図である。
【図１０】本実施形態の第２の変形例による計測装置の動作例を示すフローチャートである。
【図１１】本実施形態の第２の変形例による計測装置の動作例において、判定閾値を示す図である。
【図１２】従来の計測装置の一例を示す図である。
【図１３】従来の計測装置の動作例を示すタイムチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明による実施形態を説明する。実施形態は、本発明を限定するものではない。
【００１１】
先ず、図１および図２を参照して、本実施形態による計測装置１０について説明する。図１は、本実施形態による計測装置１０を示す図である。図２は、本実施形態による計測装置１０に含まれる切替制御部５の詳細を示す図である。
【００１２】
計測装置１０は、例えば、複数の回路の物理量として、太陽電池パネル等の複数の回路＃１〜＃ｍの電圧値を選択的に計測するために用いることができる。これ以外にも、計測装置１０は、例えば、配電盤の電圧値の計測等に用いることもできる。
【００１３】
図１に示すように、計測装置１０は、複数の回路＃１〜＃ｍのそれぞれに対応する複数のスイッチ２を備えた計測回路２０と、Ａ／Ｄコンバータ３と、切替制御部５と、複数の回路＃１〜＃ｍのそれぞれに対応する複数のメモリ＃１〜＃ｍとを備える。
【００１４】
複数のスイッチ２は、一端が対応する回路＃１〜＃ｍの出力に接続され、他端がＡ／Ｄコンバータ３の入力に接続されている。複数のスイッチ２は、計測回路２０によって予め決められた順序にしたがって選択的にオンされることで、Ａ／Ｄコンバータ３の入力に選択的に接続される。スイッチ２がオンされることで、スイッチ２に対応する回路＃１〜＃ｍが対象回路として選択され、計測回路２０は、所定のサンプリング周期にしたがって対象回路の電圧値をアナログ値として計測する。
【００１５】
Ａ／Ｄコンバータ３は、複数のスイッチ２の出力と切替制御部５の入力との間に接続されている。Ａ／Ｄコンバータ３には、オン状態のスイッチ２を介して対象回路の計測されたサンプリング周期毎の電圧値が入力される。Ａ／Ｄコンバータ３は、入力された電圧値をＡ／Ｄ変換によってデジタル値に変換し、デジタル値に変換された電圧値を出力する。
【００１６】
切替制御部５は、Ａ／Ｄコンバータ３の出力とメモリ＃１〜＃ｍとの間に接続されている。切替制御部５には、Ａ／Ｄコンバータ３から出力されたサンプリング周期毎の対象回路の電圧値（デジタル値）が入力される。切替制御部５は、対象回路の選択の順序にしたがった予め決められた順序にしたがってＡ／Ｄコンバータ３の出力とメモリ＃１〜＃ｍとの接続を切り替えることで、対象回路の電圧値を対象メモリに記録する。
【００１７】
図２は、本実施形態による計測装置１０に含まれる切替制御部５の詳細を示す図である。図２に示すように、切替制御部５は、ＦＩＦＯメモリ５１と、最大値検出部５２と、最小値検出部５３と、平均値算出部５４と、零判定部５５と、安定判定部５６と、有意判定部５７と、カウンタ５８と、論理積部５９と、数値保持部５１０と、切替部５１１と、を有する。
【００１８】
ＦＩＦＯメモリ５１は、Ａ／Ｄコンバータ３から出力されたサンプリング周期毎の対象回路の電圧値を順次記憶する。図２の例において、ＦＩＦＯメモリ５１は、ｎ個のサンプリング周期毎の対象回路の電圧値を記憶可能なサイズｎのメモリである。ＦＩＦＯメモリ５１に記憶された電圧値は、古い順に対象メモリの切り替えの判定に用いられてＦＩＦＯメモリ５１から消去される。
【００１９】
最大値検出部５２は、ＦＩＦＯメモリ５１に記憶されたサンプリング周期毎の対象回路の電圧値のうち最新の電圧値から数えてａ番目（ただし、ａ＜ｎ、以下同様）までの電圧値を除いたｎ−ａ個の電圧値の最大値を検出する。すなわち、最大値検出部５２は、最新の電圧値から数えてａ＋１番目からｎ番目までの電圧値の最大値を検出する。最大値検出部５２は、検出された最大値を安定判定部５６に出力する。以下、ａ＋１番目からｎ番目までの電圧値（すなわち、ｎ−ａ個の電圧値）のことを、安定／有意判定用電圧値とも呼ぶ。
【００２０】
最小値検出部５３は、ＦＩＦＯメモリ５１に記憶されたサンプリング周期毎の対象回路の電圧値のうち安定／有意判定用電圧値の最小値を検出する。最小値検出部５３は、検出された最小値を安定判定部５６に出力する。
【００２１】
平均値算出部５４は、ＦＩＦＯメモリ５１に記憶されたサンプリング周期毎の対象回路の電圧値のうち安定／有意判定用電圧値の平均値を算出する。平均値算出部５４は、算出された平均値を有意判定部５７および数値保持部５１０に出力する。
【００２２】
安定判定部５６は、最大値検出部５２で検出された安定／有意判定用電圧値の最大値と、最小値検出部５３で検出された安定／有意判定用電圧値の最小値との差を算出する。そして、安定判定部５６は、算出された最大値と最小値との差が、所定範囲の一例である安定範囲内であるか否かを判定する。最大値と最小値との差が安定範囲内である場合、安定判定部５６の判定結果は真（すなわち、ハイレベル）となる。一方、最大値と最小値との差が安定範囲外である場合、安定判定部５６の判定結果は偽（すなわち、ローレベル）となる。安定判定部５６は、判定結果を論理積部５９に出力する。
【００２３】
有意判定部５７は、平均値算出部５４で算出された安定／有意判定用電圧値の平均値が、第１閾値の一例である有意判定閾値より大きいか否かを判定する。平均値が有意判定閾値より大きい場合、有意判定部５７の判定結果は真となる。一方、平均値が有意判定閾値以下である場合、有意判定部５７の判定結果は偽となる。有意判定部５７は、判定結果を論理積部５９に出力する。
【００２４】
零判定部５５は、ＦＩＦＯメモリ５１に記憶されたサンプリング周期毎の対象回路の電圧値のうち最新の電圧値から数えてｂ番目（ただし、ｂ＜ａ、以下同様）までの電圧値（以下、零判定用電圧値とも呼ぶ）の最大値が、第２閾値の一例である零判定閾値以下であるか否かを判定する。なお、零判定閾値は、有意判定閾値よりも小さい。零判定部５５は、判定結果をカウンタ５８に出力する。
【００２５】
論理積部５９は、安定判定部５６の判定結果と有意判定部５７の判定結果との論理積を算出することで、安定／有意判定用電圧値が有意かつ安定した電圧であるか否かを判定する。安定判定部５６および有意判定部５７の双方の判定結果が真である場合、論理積部５９の判定結果は真（すなわち、安定／有意判定用電圧値が有意かつ安定した電圧である）となる。一方、安定判定部５６および有意判定部５７のいずれかの判定結果が偽である場合、論理積部５９の判定結果は偽（すなわち、安定／有意判定用電圧値が有意かつ安定した電圧でない）となる。論理積部５９は、判定結果を数値保持部５１０に出力する。
【００２６】
数値保持部５１０は、論理積部３１２の判定結果が真である場合に、平均値算出部５４から入力された安定／有意判定用電圧値の平均値を保持（ホールド）する。一方、数値保持部５１０は、論理積部３１２の判定結果が偽である場合に、平均値算出部５４から入力された安定／有意判定用電圧値の平均値を保持しない。
【００２７】
カウンタ５８は、零判定用電圧値の最大値が零判定閾値より大きい状態から零判定閾値以下の状態に変化したときに、カウント値をインクリメント（＋１）する。カウンタ５８は、カウント値を切替部５１１に出力する。
【００２８】
切替部５１１は、数値保持部５１０を複数のメモリ＃１〜＃ｍのうちのカウンタ５８のカウント値に応じた対象メモリに接続することで、数値保持部５１０に保持された安定／有意判定用電圧値の平均値を対象メモリに記録する。切替部５１１は、例えばデマルチプレクサで構成してもよいが、これに限定されない。
【００２９】
以上のように構成された計測装置１０によれば、判定部としての安定判定部５６、有意判定部５７、論理積部５９および零判定部５５により、複数の回路＃１〜＃ｍのうちの電圧値が計測される対象回路の電圧値の変化に基づいて、対象回路を現在の対象回路から複数の回路＃１〜＃ｍのうちの他の回路に切り替えるか否かを判定することができる。そして、対象回路を他の回路に切り替える場合に、切替部５１１により、複数のメモリ＃１〜＃ｍ（記憶部）のうちの対象回路の電圧値を記憶させる対象メモリ（対象記憶部）を、現在の対象メモリから複数のメモリ＃１〜＃ｍのうちの他のメモリ＃１〜＃ｍに切り替えることができる。
【００３０】
より詳しくは、安定判定部５６、有意判定部５７、論理積部５９および零判定部５５により、電圧値の状態が、安定／有意判定用電圧値の最大値と最小値との差が安定範囲内であって安定／有意判定用電圧値の平均値が安定判定閾値より大きい第１状態から、零判定用電圧値の最大値が安定判定閾値より小さい零判定閾値以下である第２状態へと変化した場合に、対象回路を切り替えると判定することができる。
【００３１】
さらに詳しくは、計測回路２０によって対象回路の電圧値を所定のサンプリング周期で計測し、計測されたサンプリング周期毎の電圧値を、サイズｎのＦＩＦＯメモリ５１で順次記憶することができる。そして、安定判定部５６および有意判定部５７は、ＦＩＦＯメモリ５１に記憶されたサンプリング周期毎の電圧値のうちの安定／有意判定用電圧値に基づいて、電圧値の状態が第１状態であるか否かを判定することができる。また、零判定部５５は、ＦＩＦＯメモリ５１に記憶されたサンプリング周期毎の電圧値のうちの零判定用電圧値に基づいて、電圧値の状態が第２状態であるか否かを判定することができる。
【００３２】
また、切替部５１１により、安定／有意判定用電圧値の平均値を対象メモリに記憶させることができる。
【００３３】
なお、電圧値の過渡特性に応じて、安定／有意判定用電圧値を規定するａ番目の電圧値を変更してもよい。
【００３４】
（動作例）
次に、以上のように構成された計測回路２０の動作例について説明する。図３は、本実施形態による計測装置１０の動作例を示すフローチャートである。図３のフローチャートは、例えば、全ての回路＃１〜＃ｍの電圧値の計測が完了するまで繰り返される。
【００３５】
なお、図３の初期状態においては、計測回路２０によって複数のスイッチ２のうちの１つのスイッチ２がオンされていることで、対象回路が選択されているものとする。また、初期状態においては、切替部５１１によって複数のメモリ＃１〜＃ｍのうちの対象メモリがＡ／Ｄコンバータ３の出力に接続されているものとする。例えば、対象回路は、回路＃１から回路＃ｍに向かう順番で切り替えられ、対象メモリは、メモリ＃１からメモリ＃ｍに向かう順番で切り替えられる。
【００３６】
そして、初期状態から、先ず、図３に示すように、計測回路２０は、所定のサンプリング周期で対象回路の電圧値を計測する（ステップＳ１）。計測された電圧値は、Ａ／Ｄコンバータ３によってＡ／Ｄ変換された後に切替制御部５のＦＩＦＯメモリ５１に順次記憶される。そして、最大値検出部５２は、ＦＩＦＯメモリ５１に記憶された電圧値のうちの安定／有意判定用電圧値の最大値ＭＡＸを検出する。また、最小値検出部５３は、安定／有意判定用電圧値の最小値ＭＩＮを検出する。
【００３７】
次いで、安定判定部５６は、最大値ＭＡＸと最小値ＭＩＮとの差ＭＡＸ−ＭＩＮを算出する（ステップＳ２）。
【００３８】
次いで、平均値算出部５４は、安定／有意判定用電圧値の平均値ＡＶＥを算出する（ステップＳ３）。
【００３９】
図４は、本実施形態による計測装置１０の動作例において、判定閾値を示す図である。図４には、有意判定閾値および零判定閾値が示されている。
【００４０】
最大値ＭＡＸと最小値ＭＩＮとの差ＭＡＸ−ＭＩＮを算出した後、安定判定部５６は、算出された差ＭＡＸ−ＭＩＮが予め決められた安定範囲内であるか否かを判定する（ステップＳ４）。
【００４１】
差ＭＡＸ−ＭＩＮが安定範囲内である場合（ステップＳ４：Ｙｅｓ）、有意判定部５７は、算出された平均値ＡＶＥが図４に示される有意判定閾値より大きいか否かを判定する（ステップＳ５）。
【００４２】
平均値ＡＶＥが有意判定閾値より大きい場合（ステップＳ５：Ｙｅｓ）、数値保持部５１０は、平均値算出部５４で算出された平均値ＡＶＥを保持することで、対象メモリに平均値ＡＶＥを記録する（ステップＳ６）。
【００４３】
対象メモリに平均値ＡＶＥが記録された後、計測回路２０は、対象回路のスイッチ２をオフする。対象回路のスイッチ２がオフされた後は、対象回路の電圧値の計測を繰り返す（ステップＳ１）。対象回路のスイッチ２がオフされることで、対象回路の計測された電圧値は減少し、当該電圧値の減少にともなって、差ＭＡＸ−ＭＩＮが安定範囲外に変化し（ステップＳ４：Ｎｏ）、または、平均値ＡＶＥが有意判定閾値以下に変化する（ステップＳ５：Ｎｏ）。
【００４４】
このようにして対象回路のスイッチ２のオフ後に差ＭＡＸ−ＭＩＮが安定範囲外となった場合（ステップＳ４：Ｎｏ）、または、平均値ＡＶＥが有意判定閾値以下となった場合（ステップＳ５：Ｎｏ）、零判定部５５は、零判定用電圧値の最大値が図４に示される零判定閾値以下であるか否かを判定する（ステップＳ７）。
【００４５】
零判定用電圧値の最大値が零判定閾値以下である場合（ステップＳ７：Ｙｅｓ）、零判定部５５は、対象回路を切り替えると判定して、切替部５１１に対象メモリを切り替えさせる（ステップＳ８）。具体的には、零判定部５５は、零判定用電圧値の最大値が零判定閾値以下である旨の判定結果（すなわち“真”）をカウンタ５８に出力してカウンタ５８にカウント値をインクリメントさせることで、切替部５１１に対象メモリを切り替えさせる。
【００４６】
このとき、計測回路２０は、零判定部５５の判定結果が真であることに応じて次の対象回路のスイッチ２をオンすることで、対象回路の切り替えを完了させる。
【００４７】
一方、零判定用電圧値の最大値が零判定閾値以下でない場合（ステップＳ７：Ｎｏ）、対象回路の電圧値の計測を繰り返す（ステップＳ１）。
【００４８】
図５は、本実施形態による計測装置１０の動作例を示すタイムチャートである。本実施形態によれば、安定判定部５６、有意判定部５７および論理積部５９によって電圧値が計測値として有意かつ安定的であると判定された期間の安定／有意判定用電圧値の平均値を対象メモリに記録することで、Ａ／Ｄコンバータ３のフィルタ特性の影響やチャタリングのない適切な電圧値の計測結果を取得することができる。また、電圧値を対象メモリに記録した後は、零判定部５５によって電圧値が零判定閾値以下となったことを迅速に検知することができるので、対象メモリを迅速に切り替えることができる。これにより、対象回路の電圧値を正確に計測しつつ、対象メモリの切り替えの待ち時間ｔ２＋ｔ１を短縮することができる。
【００４９】
以上述べたように、本実施形態によれば、複数の回路＃１〜＃ｍのうちの電圧値が計測される対象回路の電圧値の変化に基づいて、対象回路を現在の対象回路から複数の回路＃１〜＃ｍのうちの他の回路に切り替えるか否かを判定することができる。そして、対象回路を他の回路に切り替える場合に、複数のメモリ＃１〜＃ｍのうちの対象回路の電圧値を記憶させる対象メモリを、現在の対象メモリから複数のメモリ＃１〜＃ｍのうちの他のメモリ＃１〜＃ｍに切り替えることができる。これにより、複数の回路＃１〜＃ｍの電圧値を迅速かつ適切に計測することができる。
【００５０】
また、本実施形態によれば、電圧値の状態が、安定／有意判定用電圧値の最大値と最小値との差が安定範囲内であって安定／有意判定用電圧値の平均値が安定判定閾値より大きい第１状態から、零判定用電圧値の最大値が安定判定閾値より小さい零判定閾値以下である第２状態へと変化した場合に、対象回路を切り替えると判定する。これにより、対象回路の切り替えを迅速に判定することができ、複数の回路＃１〜＃ｍの電圧値をより迅速に計測することができる。
【００５１】
また、本実施形態によれば、対象回路の電圧値を所定のサンプリング周期で計測し、計測されたサンプリング周期毎の電圧値を、サイズｎのＦＩＦＯメモリ５１に順次記憶させる。そして、ＦＩＦＯメモリ５１に記憶されたサンプリング周期毎の電圧値のうちの安定／有意判定用電圧値に基づいて、電圧値の状態が第１状態であるか否かを判定する。また、ＦＩＦＯメモリ５１に記憶されたサンプリング周期毎の電圧値のうちの零判定用電圧値に基づいて、電圧値の状態が第２状態であるか否かを判定する。これにより、簡易な手法によって、対象回路の切り替えを迅速かつ適切に判定することができる。
【００５２】
また、本実施形態によれば、安定／有意判定用電圧値の平均値を対象メモリに記憶させる。これにより、より正確な電圧値の計測結果を取得することができる。
【００５３】
また、電圧値の過渡特性に応じて、安定／有意判定用電圧値を規定するａ番目の電圧値を変更することで、複数の回路＃１〜＃ｍの電圧値を更に迅速かつ適切に測定することができる。
【００５４】
（第１の変形例）
次に、対象回路を手動で切り替える第１の変形例について、図１〜図５の構成との相違点を中心に説明する。図６は、本実施形態の第１の変形例による計測装置１０に含まれる切替制御部５の詳細を示す図である。図７は、本実施形態の第１の変形例による計測装置１０の動作例を示すフローチャートである。図８は、本実施形態の第１変形例による計測装置１０の動作例を示すタイムチャートである。
【００５５】
図１〜図５では、計測回路２０がスイッチ２を切り替えることで、対象回路を自動で切り替える例について説明した。これに対して、第１の変形例における計測装置１０は、対象回路を手動で切り替えるように構成されている。具体的には、図６に示すように、第１の変形例による計測装置１０は、図２の構成に加えて、更に、現対象回路ＯＦＦ指示ブザー６と、次対象回路ＯＮ指示ブザー７とを備える。
【００５６】
図７および図８に示すように、現対象回路ＯＦＦ指示ブザー６は、対象メモリへの安定／有意判定用電圧値の平均値ＡＶＥの記録が開始された後（ステップＳ６）に、現在の対象回路の電圧値計測の終了（すなわち、現在の対象回路のスイッチ２のオフ）を促す第１音声の出力を開始する（ステップＳ９）。第１音声が出力されることで、作業者は、現在の対象回路のスイッチ２をオフする。図８に示すように、現対象回路ＯＦＦ指示ブザー６は、現在の対象回路のスイッチ２がオフされたときに、第１音声の出力を終了する。
【００５７】
また、図７および図８に示すように、次対象回路ＯＮ指示ブザー７は、零判定部５５によって零判定用電圧値の最大値が零判定閾値以下であると判定された場合に（ステップＳ７：Ｙｅｓ）、次の対象回路の電圧値計測の開始を促す第２音声の出力を開始する（ステップＳ１０）。第２音声が出力されることで、作業者は、次の対象回路のスイッチ２をオンする。図８に示すように、次対象回路ＯＮ指示ブザー７は、次の対象回路のスイッチ２がオンされたときに、第２音声の出力を終了する。第２音声は、第１音声と同じ音声であってもよいし、または、第１音声と異なる音声であってもよい。
【００５８】
第１の変形例によれば、対象回路を手動で切り替える場合であっても、音声出力によって対象回路の切り替えをすみやかに促すことで、複数の回路＃１〜＃ｍの電圧値を迅速かつ適切に計測することができる。
【００５９】
（第２の変形例）
次に、複数の回路＃１〜＃ｍの物理量として回路＃１〜＃ｍの抵抗値を計測する例について、図１〜図５との相違点を中心に説明する。図８は、本実施形態の第２の変形例による計測装置１０に含まれる切替制御部５の詳細を示す図である。図９は、本実施形態の第２の変形例による計測装置１０の動作例を示すフローチャートである。図９のフローチャートは、例えば、全ての回路＃１〜＃ｍの抵抗値の計測が完了するまで繰り返される。図１０は、本実施形態の第２の変形例による計測装置１０の動作例において、判定閾値を示す図である。
【００６０】
図１〜図５では、複数の回路＃１〜＃ｍの電圧値を選択的に計測する例について説明した。これに対して、第２の変形例による計測装置１０は、複数の回路＃１〜＃ｍの抵抗値を選択的に計測するように構成されている。具体的には、図８に示すように、第２の変形例による計測装置１０は、図２に示した零判定部５５に替えて、無限大判定部５５ａを有する。
【００６１】
図１０に示すように、回路＃１〜＃ｍの抵抗値は、電圧値とは反転した特性を有し、計測期間では、無限大から計測値まで抵抗値が低下する。
【００６２】
このような抵抗値の計測は、図９のフローチャートにしがって行われる。なお、図９の初期状態においては、計測回路２０によって複数のスイッチ２のうちの１つのスイッチ２がオンされていることで、対象回路が選択されているものとする。また、初期状態においては、切替部５１１によって複数のメモリ＃１〜＃ｍのうちの対象メモリがＡ／Ｄコンバータ３の出力に接続されているものとする。例えば、対象回路は、回路＃１から回路＃ｍに向かう順番で切り替えられ、対象メモリは、メモリ＃１からメモリ＃ｍに向かう順番で切り替えられる。
【００６３】
そして、初期状態から、先ず、図９に示すように、計測回路２０は、所定のサンプリング周期で対象回路の抵抗値を計測する（ステップＳ１ａ）。計測された抵抗値は、Ａ／Ｄコンバータ３によってＡ／Ｄ変換された後に切替制御部５のＦＩＦＯメモリ５１に順次記憶される。そして、最大値検出部５２は、ＦＩＦＯメモリ５１に記憶された抵抗値のうちの最新の抵抗値から数えてａ番目までの抵抗値を除いたｎ−ａ個の抵抗値（以下、安定／有意判定用抵抗値とも呼ぶ）の最大値ＭＡＸを検出する。また、最小値検出部５３は、安定／有意判定用抵抗値の最小値ＭＩＮを検出する。
【００６４】
次いで、安定判定部５６は、最大値ＭＡＸと最小値ＭＩＮとの差ＭＡＸ−ＭＩＮを算出する（ステップＳ２ａ）。
【００６５】
次いで、平均値算出部５４は、安定／有意判定用抵抗値の平均値ＡＶＥを算出する（ステップＳ３ａ）。
【００６６】
最大値ＭＡＸと最小値ＭＩＮとの差ＭＡＸ−ＭＩＮを算出した後、安定判定部５６は、算出された差ＭＡＸ−ＭＩＮが予め決められた安定範囲内であるか否かを判定する（ステップＳ４ａ）。
【００６７】
差ＭＡＸ−ＭＩＮが安定範囲内である場合（ステップＳ４ａ：Ｙｅｓ）、有意判定部５７は、算出された平均値ＡＶＥが第３閾値の一例である図１０に示される有意判定閾値より小さいか否かを判定する（ステップＳ５ａ）。
【００６８】
平均値ＡＶＥが有意判定閾値より小さい場合（ステップＳ５ａ：Ｙｅｓ）、数値保持部５１０は、平均値算出部５４で算出された平均値ＡＶＥを保持することで、対象メモリに平均値ＡＶＥを記録する（ステップＳ６ａ）。
【００６９】
対象メモリに平均値ＡＶＥが記録された後、計測回路２０は、対象回路のスイッチ２をオフする。対象回路のスイッチ２がオフされた後は、対象回路の抵抗値の計測を繰り返す（ステップＳ１ａ）。対象回路のスイッチ２がオフされることで、対象回路の計側された抵抗値は増加し、当該抵抗値の増加にともなって、差ＭＡＸ−ＭＩＮが安定範囲外に変化し（ステップＳ４ａ：Ｎｏ）、または、平均値ＡＶＥが有意判定閾値以上に変化する（ステップＳ５ａ：Ｎｏ）。
【００７０】
このようにして対象回路のスイッチ２のオフ後に差ＭＡＸ−ＭＩＮが安定範囲外となった場合（ステップＳ４ａ：Ｎｏ）、または、平均値ＡＶＥが有意判定閾値以上となった場合（ステップＳ５ａ：Ｎｏ）、無限大判定部５５ａは、ＦＩＦＯメモリ５１に記憶されたサンプリング周期毎の対象回路の抵抗値のうち最新の抵抗値から数えてｂ番目までの抵抗値（以下、無限大判定用抵抗値とも呼ぶ）の最大値が第４閾値の一例である図１０に示される無限大判定閾値以上であるか否かを判定する（ステップＳ７ａ）。
【００７１】
無限大判定用抵抗値の最大値が無限大判定閾値以上である場合（ステップＳ７ａ：Ｙｅｓ）、無限大判定部５５ａは、対象回路を切り替えると判定して、切替部５１１に対象メモリを切り替えさせる（ステップＳ８ａ）。具体的には、無限大判定部５５ａは、無限大判定用抵抗値の最大値が無限大判定閾値以上である旨の判定結果（すなわち“真”）をカウンタ５８に出力してカウンタ５８にカウント値をインクリメントさせることで、切替部５１１に対象メモリを切り替えさせる。
【００７２】
このとき、計測回路２０は、無限大判定部５５ａの判定結果が真であることに応じて次の対象回路のスイッチ２をオンすることで、対象回路の切り替えを完了させる。
【００７３】
一方、無限大判定用抵抗値の最大値が無限大判定閾値以上でない場合（ステップＳ７ａ：Ｎｏ）、対象回路の抵抗値の計測を繰り返す（ステップＳ１ａ）。
【００７４】
第２の変形例によれば、複数の回路＃１〜＃ｍのうちの抵抗値が計測される対象回路の抵抗値の変化に基づいて、対象回路を現在の対象回路から複数の回路＃１〜＃ｍのうちの他の回路に切り替えるか否かを判定することができる。そして、対象回路を他の回路に切り替える場合に、複数のメモリ＃１〜＃ｍのうちの対象回路の抵抗値を記憶させる対象メモリを、現在の対象メモリから複数のメモリ＃１〜＃ｍのうちの他のメモリ＃１〜＃ｍに切り替えることができる。これにより、複数の回路＃１〜＃ｍの抵抗値を迅速かつ適切に計測することができる。
【００７５】
本実施形態による計測装置１０の少なくとも一部は、ハードウェアで構成してもよいし、ソフトウェアで構成してもよい。ソフトウェアで構成する場合には、計測装置１０の少なくとも一部の機能を実現するプログラムをフレキシブルディスクやＣＤ−ＲＯＭ等の記録媒体に収納し、コンピュータに読み込ませて実行させてもよい。記録媒体は、磁気ディスクや光ディスク等の着脱可能なものに限定されず、ハードディスク装置やメモリなどの固定型の記録媒体でもよい。また、半導体検査システムの少なくとも一部の機能を実現するプログラムを、インターネット等の通信回線を介して頒布してもよい。さらに、同プログラムを暗号化したり、変調をかけたり、圧縮した状態で、インターネット等の有線回線や無線回線を介して、あるいは記録媒体に収納して頒布してもよい。
【００７６】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００７７】
１０  計測装置
５１  ＦＩＦＯメモリ
５５  零判定部
５６  安定判定部
５７  有意判定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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