(57)【要約】【課題】装置の小形化および共振周波数を特定する作業の作業効率の向上を実現する。【解決手段】駆動用の交流信号Ｓ１の供給によってミラーを回動させて反射光の振れ角を変化させるＭＥＭＳミラー素子１００における振れ角が最大となるときの交流信号Ｓ１の周波数としての共振周波数ｆｍを特定可能に構成され、周波数を変更させつつ交流信号Ｓ１を出力可能な信号出力部１１と、交流信号Ｓ１がＭＥＭＳミラー素子１００に供給されている状態においてＭＥＭＳミラー素子１００から出力される出力信号Ｓ２に基づいて抵抗値Ｒを測定する測定部１２と、周波数の変更に伴って変化する抵抗値Ｒが極値となったときの周波数に基づいて共振周波数ｆｍを特定する特定処理を実行する処理部１６とを備えている。【選択図】図１
2020091200.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動用の交流信号の供給によってミラーを回動させて反射光の振れ角を変化させるＭＥＭＳミラー素子における当該振れ角が最大となるときの当該交流信号の周波数としての共振周波数を特定可能に構成された共振周波数特定装置であって、
前記周波数を変更させつつ前記交流信号を出力可能な信号出力部と、
前記交流信号が前記ＭＥＭＳミラー素子に供給されている状態において当該ＭＥＭＳミラー素子から出力される出力信号に基づいて予め決められた物理量を測定する測定部と、
前記周波数の変更に伴って変化する前記物理量が極値となったときの当該周波数に基づいて前記共振周波数を特定する特定処理を実行する処理部とを備えている共振周波数特定装置。
【請求項２】
前記ＭＥＭＳミラー素子における前記振れ角の実測値が最大となったときの前記周波数と前記物理量が極値となったときの前記周波数とに基づいて予め規定された補正値を記憶する記憶部を備え、
前記処理部は、前記特定処理において、前記物理量が極値となったときの前記周波数を前記補正値で補正し、当該補正後の周波数を前記共振周波数として特定する請求項１記載の共振周波数特定装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の共振周波数特定装置と、当該共振周波数特定装置によって特定された前記共振周波数に基づいて前記ＭＥＭＳミラー素子の良否を検査する検査部とを備えている検査装置。
【請求項４】
駆動用の交流信号の供給によってミラーを回動させて反射光の振れ角を変化させるＭＥＭＳミラー素子における当該振れ角が最大となるときの当該交流信号の周波数としての共振周波数を特定する共振周波数特定方法であって、
前記周波数を変更させつつ前記交流信号を前記ＭＥＭＳミラー素子に供給している状態において当該ＭＥＭＳミラー素子から出力される出力信号に基づいて予め決められた物理量を測定し、前記周波数の変更に伴って変化する前記物理量が極値となったときの当該周波数に基づいて前記共振周波数を特定する特定処理を実行する共振周波数特定方法。
【請求項５】
前記特定処理において、前記ＭＥＭＳミラー素子における前記振れ角の実測値が最大となったときの前記周波数と前記物理量が極値となったときの前記周波数とに基づいて予め規定された補正値で当該物理量が極値となったときの当該周波数を補正し、当該補正後の周波数を前記共振周波数として特定する請求項４記載の共振周波数特定方法。
【請求項６】
請求項４または５記載の共振周波数特定方法によって特定した前記共振周波数に基づいて前記ＭＥＭＳミラー素子の良否を検査する検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＭＥＭＳミラー素子における反射光の振れ角が最大となるときの駆動用の交流信号の周波数としての共振周波数を特定する共振周波数特定装置および共振周波数特定方法、並びに共振周波数に基づいてＭＥＭＳミラー素子を検査する検査装置および検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
駆動用の交流信号の供給により、交流信号の周波数でミラーを回動させて反射光の振れ角を変化させる素子として、ＭＥＭＳミラー素子が知られている。このＭＥＭＳミラー素子では、ミラーやミラーを駆動する駆動系の質量、弾性係数および粘性係数等によって決まるＭＥＭＳミラー素子固有の共振周波数（機械的共振周波数）の外力が加わったときにミラーおよび駆動系が共振する。このため、このＭＥＭＳミラー素子では、交流信号の周波数が共振周波数のときにミラーの回動量（すなわち、反射光の振れ角）が最大となる。
【０００３】
一方、検査対象のＭＥＭＳミラー素子の共振周波数は、その共振周波数が基準範囲内であるか否かによってＭＥＭＳミラー素子の良否を検査する際に用いられたり、共振周波数以外の周波数の交流信号で駆動するリニアモードと共振周波数の周波数の交流信号で駆動するノンリニアモードとを切り替えてＭＥＭＳミラー素子を駆動させるときに交流信号の周波数を制御する際に用いられたりする。このＭＥＭＳミラー素子の共振周波数を測定する方法として、下記特許文献１に開示された測定方法が知られている。この測定方法では、ＭＥＭＳミラー素子に入射させたレーザビームの反射光の振れ角の範囲内に複数の受光素子を配置し、交流信号の周波数をある値に設定してＭＥＭＳミラー素子に供給してＭＥＭＳミラー素子を駆動させ、この際に反射光を各受光素子が検出する時間に基づいてその周波数における反射光の振れ角を計算する。次いで、この処理を、交流信号の周波数を変化させつつ繰り返して実行し、反射光の振れ角が最大となったときの交流信号の周波数を、そのＭＥＭＳミラー素子の共振周波数（機械的共振周波数）として特定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５０２７６１７号公報（第５−１４頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記した従来の測定方法には、改善すべき以下の課題がある。具体的には、従来の測定方法では、ＭＥＭＳミラー素子に入射させるレーザビームを出射するための光学系や、レーザビームの反射光を検出する受光素子が必要なことに加えて、これらをＭＥＭＳミラー素子から離れた位置に配置する必要があるため、測定装置が大型化するという課題が存在する。また、従来の測定方法では、レーザビームの出力を安定させるために長い待機時間が必要なため、共振周波数を特定する作業の作業効率が悪いという課題も存在する。
【０００６】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、装置の小形化および共振周波数を特定する作業の作業効率の向上を実現し得る共振周波数特定装置、検査装置、共振周波数特定方法および検査方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成すべく請求項１記載の共振周波数特定装置は、駆動用の交流信号の供給によってミラーを回動させて反射光の振れ角を変化させるＭＥＭＳミラー素子における当該振れ角が最大となるときの当該交流信号の周波数としての共振周波数を特定可能に構成された共振周波数特定装置であって、前記周波数を変更させつつ前記交流信号を出力可能な信号出力部と、前記交流信号が前記ＭＥＭＳミラー素子に供給されている状態において当該ＭＥＭＳミラー素子から出力される出力信号に基づいて予め決められた物理量を測定する測定部と、前記周波数の変更に伴って変化する前記物理量が極値となったときの当該周波数に基づいて前記共振周波数を特定する特定処理を実行する処理部とを備えている。
【０００８】
また、請求項２記載の共振周波数特定装置は、請求項１記載の共振周波数特定装置において、前記ＭＥＭＳミラー素子における前記振れ角の実測値が最大となったときの前記周波数と前記物理量が極値となったときの前記周波数とに基づいて予め規定された補正値を記憶する記憶部を備え、前記処理部は、前記特定処理において、前記物理量が極値となったときの前記周波数を前記補正値で補正し、当該補正後の周波数を前記共振周波数として特定する。
【０００９】
また、請求項３記載の検査装置は、請求項１または２記載の共振周波数特定装置と、当該共振周波数特定装置によって特定された前記共振周波数に基づいて前記ＭＥＭＳミラー素子の良否を検査する検査部とを備えている。
【００１０】
また、請求項４記載の共振周波数特定方法は、駆動用の交流信号の供給によってミラーを回動させて反射光の振れ角を変化させるＭＥＭＳミラー素子における当該振れ角が最大となるときの当該交流信号の周波数としての共振周波数を特定する共振周波数特定方法であって、前記周波数を変更させつつ前記交流信号を前記ＭＥＭＳミラー素子に供給している状態において当該ＭＥＭＳミラー素子から出力される出力信号に基づいて予め決められた物理量を測定し、前記周波数の変更に伴って変化する前記物理量が極値となったときの当該周波数に基づいて前記共振周波数を特定する特定処理を実行する。
【００１１】
また、請求項５記載の共振周波数特定方法は、請求項４記載の共振周波数特定方法において、前記特定処理では、前記ＭＥＭＳミラー素子における前記振れ角の実測値が最大となったときの前記周波数と前記物理量が極値となったときの前記周波数とに基づいて予め規定された補正値で当該物理量が極値となったときの当該周波数を補正し、当該補正後の周波数を前記共振周波数として特定する。
【００１２】
また、請求項６記載の検査方法は、請求項４または５記載の共振周波数特定方法によって特定した前記共振周波数に基づいて前記ＭＥＭＳミラー素子の良否を検査する。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１記載の共振周波数特定装置、請求項３記載の検査装置、請求項４記載の共振周波数特定方法、および請求項６記載の検査方法では、周波数を変更させつつ交流信号をＭＥＭＳミラー素子に供給している状態においてＭＥＭＳミラー素子から出力される出力信号に基づいて予め決められた物理量を測定し、周波数の変更に伴って変化する物理量が極値となったときの周波数に基づいて共振周波数を特定する特定処理を実行する。このため、この共振周波数特定装置、検査装置、共振周波数特定方法および検査方法によれば、入射光を出力する光源や反射光を検出する検出部を備えた大型の装置を用いて反射光の振れ角を実測する煩雑な作業を行うことなく、交流信号を供給した状態でＭＥＭＳミラー素子から出力される出力信号に基づいて抵抗値を測定する簡易な構成で電気的な共振周波数を特定し、その電気的な共振周波数に基づいて機械的な共振周波数を容易に特定することができる。また、この共振周波数特定装置、検査装置、共振周波数特定方法および検査方法では、光源を用いないため、光源からの入射光の出力を安定させるために待機する必要がない分、共振周波数を特定する処理時間を十分に短縮することができる。したがって、この共振周波数特定装置、検査装置、共振周波数特定方法および検査方法によれば、装置の小形化および共振周波数を特定する作業の作業効率の向上を確実に実現することができる。
【００１４】
また、請求項２記載の共振周波数特定装置、請求項３記載の検査装置、請求項５記載の共振周波数特定方法、および請求項６記載の検査方法によれば、特定処理において、ＭＥＭＳミラー素子における振れ角の実測値が最大となったときの周波数（機械的な共振周波数）と抵抗値が極値となったときの周波数（電気的な共振周波数）とに基づいて予め規定された補正値で抵抗値が極値となったときの周波数を補正し、補正後の周波数を共振周波数として特定することにより、より正確な共振周波数を特定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】ＭＥＭＳミラー素子１００の構成および動作を説明する説明図である。
【図３】交流信号Ｓ１の周波数ｆと抵抗値Ｒとの関係を示す第１の関係図である。
【図４】特定処理５０のフローチャートである。
【図５】交流信号Ｓ１の周波数ｆと抵抗値Ｒとの関係を示す第２の関係図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、共振周波数特定装置、検査装置、共振周波数特定方法および検査方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１７】
最初に、検査装置の一例としての図１に示す検査装置１の構成について説明する。検査装置１は、ＭＥＭＳミラー素子（例えば、図１，２に示すＭＥＭＳミラー素子１００）の良否を検査可能に構成されている。
【００１８】
ここで、ＭＥＭＳミラー素子１００は、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）素子の一形態であって、図２に示すように、ミラー１０１、ミラーを駆動するアクチュエータ１０２、およびアクチュエータを制御する図外の制御回路等を、微細加工技術によって基板１０３上に配設して形成されている。この場合、ＭＥＭＳミラー素子１００は、同図に概念的に示すように、駆動用の交流信号（後述する信号出力部１１から出力される交流信号Ｓ１）の供給によってミラー１０１を回動させて入射した入射光Ｌ１（例えば、レーザー光）の反射光Ｌ２の振れ角θを変化させる機能を有し、例えば、反射光Ｌ２をスクリーン等に照射させて画像をスクリーン上に表示する表示装置等に用いられる。
【００１９】
一方、検査装置１は、図１に示すように、信号出力部１１、測定部１２、操作部１３、記憶部１４、表示部１５および処理部１６を備えて構成されている。この場合、信号出力部１１、測定部１２、および処理部１６における後述する検査処理を実行する機能を除く部分によって共振周波数特定装置が構成され、この共振周波数特定装置によってＭＥＭＳミラー素子１００における振れ角θが最大となるときの交流信号Ｓ１の周波数ｆとしての共振周波数（後述する機械的な共振周波数ｆｍ）が特定される。
【００２０】
信号出力部１１は、処理部１６の制御に従って駆動用の交流信号Ｓ１（例えば、交流定電流）を出力する。この場合、信号出力部１１は、交流信号Ｓ１の周波数ｆ（図３参照）を変更しつつ出力可能に構成されている。
【００２１】
測定部１２は、信号出力部１１から出力された交流信号Ｓ１がＭＥＭＳミラー素子１００に供給されている状態においてＭＥＭＳミラー素子１００から出力される出力信号Ｓ２（交流電圧）の電圧値Ｖ（電圧実効値）を検出し、交流信号Ｓ１の電流値Ｉ（電流実効値）、電圧値Ｖ、および交流信号Ｓ１と出力信号Ｓ２との位相差に基づいてインピーダンスを求め、次いで、求めたインピーダンスの絶対値から抵抗値Ｒ（予め決められた物理量の一例）を求める（測定する）。この場合、測定部１２は、信号出力部１１から出力される交流信号Ｓ１の周波数ｆが変更される度に抵抗値Ｒを測定する（図３参照）。なお、この検査装置１では、図１に示すように、信号出力部１１に接続されたプローブ２１ａ，２１ｂ、および測定部１２に接続されたプローブ２２ａ，２２ｂをＭＥＭＳミラー素子１００の２つの端子に接触させて、四端子法で抵抗値Ｒを測定する。
【００２２】
操作部１３は、各種のボタンやキーを備え、これらが操作されたときに操作信号を出力する。
【００２３】
記憶部１４は、処理部１６によって実行される特定処理５０において用いられる補正値ｆｃを記憶する。ここで、補正値ｆｃは、良品のＭＥＭＳミラー素子１００に供給している交流信号Ｓ１の周波数ｆを変更させつつ実測した反射光Ｌ２の振れ角θの実測値が最大となったときの周波数ｆ（機械的な共振周波数であって、以下、この周波数ｆを「共振周波数ｆｍ」ともいう）と抵抗値Ｒが極値（極小値または極大値）となったときの周波数ｆ（電気的な共振周波数であって以下、この周波数ｆを「共振周波数ｆｅ」ともいう）とに基づいて予め規定されている。この場合、この例では、共振周波数ｆｍと共振周波数ｆｅとの差分値が補正値ｆｃとして規定されている。また、記憶部１４は、特定処理５０において特定される共振周波数ｆｍを記憶する。また、記憶部１４は、処理部１６によって実行される検査処理において用いられる基準範囲ｆａを記憶する。
【００２４】
表示部１５は、処理部１６の制御に従い、処理部１６によって実行される特定処理５０において特定される共振周波数ｆｍや、処理部１６によって実行される検査処理の結果を表示する。
【００２５】
処理部１６は、操作部１３から出力される操作信号に従って信号出力部１１、測定部１２、記憶部１４および表示部１５を制御すると共に、各種の処理を実行する。具体的には、処理部１６は、ＭＥＭＳミラー素子１００のミラー１０１に入射した入射光Ｌ１の反射光Ｌ２の振れ角θが最大となるときの交流信号Ｓ１の周波数ｆとしての共振周波数ｆｍを測定部１２によって測定された抵抗値Ｒに基づいて特定する特定処理５０（図４参照）を実行する。この場合、処理部１６は、特定処理５０において、ＭＥＭＳミラー素子１００に供給している交流信号Ｓ１の周波数ｆの変更に伴って変化する抵抗値Ｒが極値（極小値または極大値）となったときの周波数ｆに基づいて共振周波数ｆｍを特定する。また、処理部１６は、検査部として機能し、特定処理５０によって特定した共振周波数ｆｍに基づいてＭＥＭＳミラー素子１００の良否を検査する検査処理を実行する。
【００２６】
次に、検査装置１を用いてＭＥＭＳミラー素子１００の共振周波数ｆｍを特定する共振周波数特定方法、および特定した共振周波数ｆｍに基づいてＭＥＭＳミラー素子１００の良否を検査する検査方法について図面を参照して説明する。
【００２７】
まず、検査装置１を用いて検査対象のＭＥＭＳミラー素子１００の共振周波数ｆｍ（機械的な共振周波数）を特定する。具体的には、図１に示すように、ＭＥＭＳミラー素子１００の２つの端子に信号出力部１１に接続されたプローブ２１ａ，２１ｂ、および測定部１２に接続されたプローブ２２ａ，２２ｂを接触させる。続いて、操作部１３を操作して特定処理の実行を指示する。
【００２８】
次いで、処理部１６が、操作部１３から出力された操作信号に従い、図４に示す特定処理５０を実行する。この特定処理５０では、処理部１６は、信号出力部１１に対して交流信号Ｓ１の出力開始を指示すると共に、測定部１２に対して抵抗値Ｒの測定開始を指示する（ステップ５１）。これに応じて、信号出力部１１が交流信号Ｓ１の出力を開始する。この場合、信号出力部１１は、交流信号Ｓ１の周波数ｆを予め決められた初期値に設定して、交流信号Ｓ１の出力を開始すると共に、周波数ｆを予め決められた時間間隔で予め決められた値ずつ変更（例えば、上昇）させつつ交流信号Ｓ１の出力を継続する。
【００２９】
また、処理部１６の指示に応じて、測定部１２が抵抗値Ｒの測定を開始する。この場合、測定部１２は、ＭＥＭＳミラー素子１００に対する交流信号Ｓ１（交流定電流）の供給に伴ってＭＥＭＳミラー素子１００から出力される出力信号Ｓ２（交流電圧）の電圧値Ｖ（電圧実効値）を検出し、交流信号Ｓ１の電流値Ｉ（電流実効値）、電圧値Ｖ、および交流信号Ｓ１と出力信号Ｓ２との位相差に基づいてインピーダンスを求め、次いで、求めたインピーダンスの絶対値から抵抗値Ｒを測定する処理を、信号出力部１１による交流信号Ｓ１の周波数ｆの変更に連動して（信号出力部１１が周波数ｆを変更する時間間隔で）繰り返して実行する。
【００３０】
続いて、処理部１６は、測定部１２によって測定された抵抗値Ｒを周波数ｆと関連付けて記憶部１４に記憶させる（ステップ５２）。次いで、処理部１６は、予め決められた交流信号Ｓ１の周波数ｆが予め決められた周波数に達した時点で、信号出力部１１に対して交流信号Ｓ１の出力停止を指示すると共に、測定部１２に対して抵抗値Ｒの測定終了を指示する（ステップ５３）。これに応じて、信号出力部１１が交流信号Ｓ１の出力を停止し、測定部１２が抵抗値Ｒの測定を終了する。
【００３１】
続いて、処理部１６は、測定部１２によって測定された周波数ｆ毎の抵抗値Ｒを記憶部１４から読み出し、次いで、周波数ｆの変化に対する抵抗値Ｒの変化から、抵抗値Ｒの極値（極大値または極小値）となったときの周波数ｆを特定する（ステップ５４）。
【００３２】
この場合、ＭＥＭＳミラー素子１００を構成するアクチュエータ１０２および制御回路等によってＲＬＣ直列共振回路が構成されるときには、図３に示すように、ＭＥＭＳミラー素子１００に供給される交流信号Ｓ１の周波数ｆが共振周波数（電気的な共振周波数ｆｅ）のときに抵抗値Ｒが極小値となる。したがって、この場合には、抵抗値Ｒが極小値となったときの周波数ｆをＭＥＭＳミラー素子１００の電気的な共振周波数ｆｅとして特定することができる。また、ＭＥＭＳミラー素子１００を構成するアクチュエータ１０２および制御回路等によってＲＬＣ並列共振回路が構成されるときには、図５に示すように、ＭＥＭＳミラー素子１００に供給される交流信号Ｓ１の周波数ｆが共振周波数（電気的な共振周波数ｆｅ）のときに抵抗値Ｒが極大値となる。したがって、この場合には、抵抗値Ｒが極大値となったときの周波数ｆをＭＥＭＳミラー素子１００の電気的な共振周波数ｆｅとして特定することができる。
【００３３】
続いて、処理部１６は、記憶部１４から補正値ｆｃを読み出す（ステップ５５）。この例では、補正値ｆｃは、良品のＭＥＭＳミラー素子１００に供給している交流信号Ｓ１の周波数ｆを変更させつつ実測した反射光Ｌ２の振れ角θの実測値が最大となったときの周波数ｆである機械的な共振周波数ｆｍと、抵抗値Ｒが極値（極小値または極大値）となったときの周波数ｆである電気的な共振周波数ｆｅとの差分値（例えば、ｆｅ−ｆｍ）が補正値ｆｃとして規定されている。
【００３４】
次いで、処理部１６は、共振周波数ｆｅから補正値ｆｃを差し引いて補正した周波数ｆ（ｆｅ−ｆｃ）を共振周波数ｆｍとして特定する（ステップ５６）。続いて、処理部１６は、特定した共振周波数ｆｍを記憶部１４に記憶させると共に表示部１５に表示させて（ステップ５７）、特定処理５０を終了する。以上により、共振周波数ｆｍの特定が終了する。
【００３５】
ここで、発明者らは、ＭＥＭＳミラー素子１００に供給している交流信号Ｓ１の周波数ｆを変更させつつ反射光Ｌ２の振れ角θを実測して、反射光Ｌ２の振れ角θが最大となったときの周波数ｆである共振周波数ｆｍ（機械的な共振周波数）を特定すると共に、ＭＥＭＳミラー素子１００に供給している交流信号Ｓ１の周波数ｆを変更させつつＭＥＭＳミラー素子１００の抵抗値Ｒを測定して、抵抗値Ｒが極値となったときの周波数ｆである共振周波数ｆｅ（電気的な共振周波数）を特定し、共振周波数ｆｍと共振周波数ｆｅとを比較する検証試験を行った結果、共振周波数ｆｍと共振周波数ｆｅとがほぼ一致することを見いだした。このため、発明者らは、このことに直目して、電気的な共振周波数ｆｅに基づいて（共振周波数ｆｅをそのまま、または共振周波数ｆｅを補正して）共振周波数ｆｍを特定するこの共振周波数特定装置および共振周波数特定方法を開発した。
【００３６】
この場合、この共振周波数特定装置および共振周波数特定方法では、入射光Ｌ１を出力する光源や反射光Ｌ２を検出する検出部を備えた大型の装置を用いて反射光Ｌ２の振れ角θを実測する煩雑な作業を行うことなく、交流信号Ｓ１を供給した状態でＭＥＭＳミラー素子１００から出力される出力信号Ｓ２に基づいて抵抗値Ｒを測定する簡易な構成で電気的な共振周波数ｆｅを特定し、その共振周波数ｆｅに基づいて機械的な共振周波数ｆｍを容易に特定することが可能となっている。また、この共振周波数特定装置および共振周波数特定方法では、光源を用いないため、光源からの入射光Ｌ１の出力を安定させるために待機する必要がない分、共振周波数ｆｍを特定する処理時間を十分に短縮することが可能となっている。
【００３７】
また、この共振周波数特定装置および共振周波数特定方法では、振れ角θを実測して得た機械的な共振周波数ｆｍとＭＥＭＳミラー素子１００の抵抗値Ｒを測定して得た電気的な共振周波数ｆｅとに基づいて予め規定した補正値ｆｃで共振周波数ｆｅを補正することで、より正確な共振周波数ｆｍを特定することが可能となっている。
【００３８】
次いで、操作部１３を操作して、検査の実行を指示する。これに応じて、処理部１６は、検査処理を実行する。この検査処理では、処理部１６は、特定処理５０において特定した検査対象のＭＥＭＳミラー素子１００についての共振周波数ｆｍを記憶部１４から読み出すと共に、ＭＥＭＳミラー素子１００の良否を判定するための基準範囲ｆａを記憶部１４から読み出す。続いて、処理部１６は、共振周波数ｆｍが基準範囲ｆａ内であるか否かを判別する。この場合、共振周波数ｆｍが基準範囲ｆａ内であるときには、ＭＥＭＳミラー素子１００が良品であると判定し、共振周波数ｆｍが基準範囲ｆａ外であるときには、ＭＥＭＳミラー素子１００が不良品であると判定する。
【００３９】
なお、特定した共振周波数ｆｍは、上記したＭＥＭＳミラー素子１００の検査以外の用途にも用いられる。具体的には、ＭＥＭＳミラー素子１００は、共振周波数ｆｍ以外の周波数ｆの交流信号Ｓ１で駆動するリニアモード、および共振周波数ｆｍで駆動するノンリニアモードで使用される。このため、特定した共振周波数ｆｍは、この２つのモードを切り替えてＭＥＭＳミラー素子１００を駆動させるときに交流信号Ｓ１の周波数ｆを制御する際にも用いられる。
【００４０】
このように、この共振周波数特定装置、検査装置１、共振周波数特定方法および検査方法では、周波数ｆを変更させつつ交流信号Ｓ１をＭＥＭＳミラー素子１００に供給している状態においてＭＥＭＳミラー素子１００から出力される出力信号Ｓ２に基づいて抵抗値Ｒを測定し、周波数ｆの変更に伴って変化する抵抗値Ｒが極値となったときの周波数ｆに基づいて共振周波数ｆｍを特定する特定処理を実行する。このため、この共振周波数特定装置、検査装置１、共振周波数特定方法および検査方法によれば、入射光Ｌ１を出力する光源や反射光Ｌ２を検出する検出部を備えた大型の装置を用いて反射光Ｌ２の振れ角θを実測する煩雑な作業を行うことなく、交流信号Ｓ１を供給した状態でＭＥＭＳミラー素子１００から出力される出力信号Ｓ２に基づいて抵抗値Ｒを測定する簡易な構成で電気的な共振周波数ｆｅを特定し、その共振周波数ｆｅに基づいて機械的な共振周波数ｆｍを容易に特定することができる。また、この共振周波数特定装置、検査装置１、共振周波数特定方法および検査方法では、光源を用いないため、光源からの入射光Ｌ１の出力を安定させるために待機する必要がない分、共振周波数ｆｍを特定する処理時間を十分に短縮することができる。したがって、この共振周波数特定装置、検査装置１、共振周波数特定方法および検査方法によれば、装置の小形化および共振周波数ｆｍを特定する作業の作業効率の向上を確実に実現することができる。
【００４１】
また、この共振周波数特定装置、検査装置１、共振周波数特定方法および検査方法によれば、特定処理において、ＭＥＭＳミラー素子１００における振れ角θの実測値が最大となったときの周波数ｆ（機械的な共振周波数ｆｍ）と抵抗値Ｒが極値となったときの周波数ｆ（電気的な共振周波数ｆｅ）とに基づいて予め規定された補正値ｆｃで抵抗値Ｒが極値となったときの周波数ｆを補正し、補正後の周波数ｆを共振周波数ｆｍとして特定することにより、より正確な共振周波数ｆｍを特定することができる。
【００４２】
なお、共振周波数特定装置、検査装置、共振周波数特定方法および検査方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、予め決められた物理量として抵抗値Ｒを用いる例について上記したが、測定部１２によって検出された出力信号Ｓ２の電圧値Ｖを予め決められた物理量として用いて、周波数ｆの変更に伴って変化する電圧値Ｖが極値となったときの周波数ｆに基づいて共振周波数ｆｍを特定する構成および方法を採用することもできる。
【００４３】
また、交流信号Ｓ１としての交流定電流を出力可能に信号出力部１１を構成した例について上記したが、交流信号Ｓ１としての交流電流（交流定電流ではなく通常の交流電流）を出力する電流出力部と、この交流電流の電流値Ｉを測定する電流測定部とを備えて信号出力部１１を構成してもよい。
【００４４】
また、良品のＭＥＭＳミラー素子１００についての共振周波数ｆｍと共振周波数ｆｅとの差分値（ｆｅ−ｆｍ）を補正値ｆｃとして規定し、共振周波数ｆｅから補正値ｆｃを差し引いて補正した周波数ｆ（ｆｅ−ｆｃ）を共振周波数ｆｍとして特定する例について上記したが、共振周波数ｆｍと共振周波数ｆｅとの比率（ｆｍ／ｆｅ）を補正値ｆｃとして規定し、共振周波数ｆｅに補正値ｆｃを乗算して補正した周波数ｆ（ｆｅ×ｆｃ）を共振周波数ｆｍとして特定する構成および方法を採用することもできる。
【００４５】
また、補正値ｆｃで共振周波数ｆｅを補正して、補正後の周波数ｆを共振周波数ｆｍとして特定する構成および方法について上記したが、共振周波数ｆｍと共振周波数ｆｅとの差が僅かであることが予め知られているＭＥＭＳミラー素子１００についての共振周波数ｆｍを特定するときには、補正する処理を省略して、共振周波数ｆｅをそのまま共振周波数ｆｍとして特定する構成および方法を採用することもできる。
【符号の説明】
【００４６】
１  検査装置
１１  信号出力部
１２  測定部
１４  記憶部
１６  処理部
１００  ＭＥＭＳミラー素子
１０１  ミラー
ｆ  周波数
ｆｃ  補正値
ｆｅ  共振周波数
ｆｍ  共振周波数
Ｌ２  反射光
Ｒ  抵抗値
Ｓ１  交流信号
Ｓ２  出力信号
Ｖ  電圧値
θ  振れ角
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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