(57)【要約】      （修正有）【課題】装置構成を複雑にすることなく、無機炭素（ＩＣ）測定を正確に行なう全有機体炭素測定装置を提供する。【解決手段】燃焼管、試料移動機構、検出器及びキャリアガス供給機構を備える。燃焼管は、試料を第１の温度で加熱して試料中のＩＣ成分を二酸化炭素に変換する第１加熱部、及び第１加熱部の内部の空間と流体連通し、試料を第１の温度よりも高い第２の温度で加熱して全炭素（ＴＣ）成分を二酸化炭素に変換する第２加熱部を有する。試料移動機構は、試料を燃焼管の第１加熱部の内部、第２加熱部内部又は燃焼管の外側のいずれかの位置へ移動させる。キャリアガス供給機構は、キャリアガスを燃焼管内の第２加熱部から第１加熱部へ流通させ、燃焼管を経たキャリアガスを検出器へ導くＩＣ測定用状態、及びキャリアガスを燃焼管内の第１加熱部から第２加熱部へ流通させ、燃焼管を経たキャリアガスを検出器へ導くＴＣ測定用状態に選択的に切り替える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに流体連通しかつ互いに異なる温度に加熱される第１空間及び第２空間を内部に形成する燃焼管内の前記第１空間において試料を第１の温度で加熱し、前記試料中の無機炭素成分を二酸化炭素に変換して前記燃焼管内で生成された二酸化炭素を検出器により検出する無機炭素検出ステップと、
前記燃焼管内の前記第２空間において、試料を前記第１の温度よりも高い第２の温度で加熱し、前記試料中の全炭素成分を二酸化炭素に変換して前記燃焼管内で生成された二酸化炭素を前記検出器により検出する全炭素検出ステップと、を含み、
前記無機炭素検出ステップは、酸溶液の滴下された試料を前記第１空間に配置するステップ、及びキャリアガスを前記燃焼管内において前記第２空間から前記第１空間へ向かって流通させ、前記燃焼管を経た前記キャリアガスを前記検出器へ導くステップを含み、
前記全炭素検出ステップは、試料を前記第２空間に配置するステップ、及びキャリアガスを前記燃焼管内において前記第１空間から前記第２空間へ向かって流通させ、前記燃焼管を経た前記キャリアガスを前記検出器へ導くステップを含む、炭素測定方法。
【請求項２】
前記第１空間が前記燃焼管の一端側に形成され、前記第２空間が前記第１空間よりも前記燃焼管の他端側に形成され、
前記無機炭素検出ステップでは、キャリアガスを前記燃焼管の前記一端へ供給して前記燃焼管の前記他端から流出した前記キャリアガスを前記検出器へ導き、
前記全炭素検出ステップでは、キャリアガスを前記燃焼管の前記他端へ供給して前記燃焼管の前記一端から流出した前記キャリアガスを前記検出器へ導く、請求項１に記載の炭素測定方法。
【請求項３】
内部に配置された試料を第１の温度で加熱して試料中の無機炭素成分を二酸化炭素に変換するための第１加熱部、及び内部の空間が前記第１加熱部の内部の空間と流体連通し、内部に配置された試料を前記第１の温度よりも高い第２の温度で加熱して試料中の全炭素成分を二酸化炭素に変換するための第２加熱部を有する燃焼管と、
試料を前記燃焼管の前記第１加熱部の内部、前記第２加熱部の内部又は前記燃焼管の外側のいずれかの位置へ移動させるための試料移動機構と、
前記燃焼管内において生成された二酸化炭素を検出するための検出器と、
キャリアガスを前記燃焼管内において前記第２加熱部から前記第１加熱部へ向かって流通させ、前記燃焼管を経た前記キャリアガスを前記検出器へ導くＩＣ測定用状態、及び前記キャリアガス源からのキャリアガスを前記燃焼管内において前記第１加熱部から前記第２加熱部へ向かって流通させ、前記燃焼管を経た前記キャリアガスを前記検出器へ導くＴＣ測定用状態に選択的に切り替えられるように構成されたキャリアガス供給機構と、を備えている全有機体炭素測定装置。
【請求項４】
前記キャリアガス供給機構は流路の接続状態を切り替えるための切替バルブを備え、前記切替バルブは、前記ＩＣ測定用状態において、キャリアガス源を前記燃焼管の前記第１加熱部側の一端へ接続するとともに前記燃焼管の他端を前記検出器へ接続し、前記ＴＣ測定用状態において、前記キャリアガス源を前記燃焼管の前記他端へ接続するとともに前記燃焼管の前記一端を前記検出器へ接続する、請求項３に記載の全有機炭素測定装置。
【請求項５】
前記試料移動機構を自動的に動作させるための移動機構駆動部と、
前記移動機構駆動部及び前記キャリアガス供給機構の動作を制御するための制御部であって、試料中の無機炭素を測定する際は試料を前記燃焼管の前記第１加熱部の内部に配置するとともに前記キャリアガス供給機構を前記ＩＣ測定用状態にし、試料中の全炭素を測定する際は試料を前記燃焼管の前記第２加熱部の内部に配置するとともに前記キャリアガス供給機構を前記ＴＣ測定用状態にするように構成された制御部と、を備えている請求項３又は４に記載の全有機体炭素測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、炭素測定方法及び全有機体炭素測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
全有機体炭素（以下、ＴＯＣ）測定装置は、試料に含まれる全炭素（ＴＣ）成分を酸化分解して二酸化炭素を生成するためのＴＣ酸化部と、試料に含まれる無機炭素（ＩＣ）成分を酸化炭素に変換するためのＩＣ反応部とを備えている。ＴＣ酸化部は、試料を９００℃程度に加熱するようになっており、ＴＣ酸化部内には試料中のＴＣの酸化分解を促進させる酸化触媒が配置されている。ＩＣ反応部は、試料を２００℃程度に加熱するようになっている。
【０００３】
ＴＣ測定では、ＴＣ酸化部内に試料を配置し、試料を９００℃程度に加熱することによって試料中のＴＣ成分を酸化分解して二酸化炭素に変換し、その二酸化炭素量をキャリアガスによって赤外線式二酸化炭素検出器（ＮＤＩＲ）などの検出器へ導いて測定する。一方、ＩＣ測定では、ＩＣ反応部内に試料を配置し、酸溶液が滴下されて酸性化した試料を２００℃程度に加熱することによって試料中のＩＣ成分を二酸化炭素に変換し、その二酸化炭素量をキャリアガスによって検出器へ導いて測定する。ＴＣ測定で測定された二酸化炭素量からＩＣ測定で測定された二酸化炭素量を差し引くことにより、試料中のＴＯＣ成分に相当する二酸化炭素量が得られる。
【０００４】
従来の全有機体炭素測定装置では、ＴＣ酸化部とＩＣ反応部が別々の燃焼管及び加熱炉によって構成されていることが一般的である。そのため、燃焼管や加熱炉のほか燃焼管内外において試料を移動させるための試料操作機構がそれぞれ２系統必要となり、装置構成が複雑になってコストも高くなり、装置が大型化するといった問題があった。
【０００５】
そこで、１つの燃焼管内に互いに加熱温度の異なる第１の位置及び第２の位置を設け、第１の位置をＩＣ反応部として用い、第２の位置をＴＣ酸化部として用いることが提案されている（特許文献１参照。）。これにより、燃焼管、加熱炉及び試料操作機構を１系統のみとすることができ、装置構成を簡略化してコストの低減や小型化を図ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１８−０５４３３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
一般に、ＴＣ酸化部には試料中の炭素成分の酸化分解を促進させるための酸化触媒が設けられる。そのため、１つの燃焼管内にＩＣ反応部とＴＣ酸化部を設ける場合、燃焼管の試料挿入口が設けられている一端側にＩＣ反応部が設けられ、それよりも他端側にＴＣ酸化部を設けることになる。キャリアガスは燃焼管の一端から他端へ向かって流れるように供給される。
【０００８】
試料に揮発性有機物（ＴＯＣの一種）が含まれている場合、ＩＣ成分の測定を行なう際に試料から揮発性有機物が抽出される。試料から抽出された揮発性有機物は、ＩＣ反応部においては二酸化炭素に変換されることはないが、ＴＣ酸化部（特に、酸化触媒）を通過する際に二酸化炭素に変換され、揮発性有機物由来の二酸化炭素がＩＣ成分由来の二酸化炭素とともに検出器により検出され、ＩＣ成分由来の二酸化炭素量のみを正確に測定することが難しい。
【０００９】
そこで、本発明は、装置構成を複雑にすることなく、ＩＣ成分の測定を正確に行なうことができるようにすることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る炭素測定方法は、互いに流体連通しかつ互いに異なる温度に加熱される第１空間及び第２空間を内部に形成する燃焼管内の前記第１空間において試料を第１の温度で加熱し、前記試料中の無機炭素成分を二酸化炭素に変換して前記燃焼管内で生成された二酸化炭素を検出器により検出する無機炭素検出ステップと、前記燃焼管内の前記第２空間において、試料を前記第１の温度よりも高い第２の温度で加熱し、前記試料中の全炭素成分を二酸化炭素に変換して前記燃焼管内で生成された二酸化炭素を検出器により検出する全炭素検出ステップと、を含むものである。前記無機炭素検出ステップは、酸溶液の滴下された試料を前記第１空間に配置するステップ、及びキャリアガスを前記燃焼管内において前記第２空間から前記第１空間へ向かって流通させ、前記燃焼管を経た前記キャリアガスを前記検出器へ導くステップを含んでいる。前記全炭素検出ステップは、試料を前記第２空間に配置するステップ、及びキャリアガスを前記燃焼管内において前記第１空間から前記第２空間へ向かって流通させ、前記燃焼管を経た前記キャリアガスを前記検出器へ導くステップを含んでいる。
【００１１】
すなわち、本発明に係る炭素測定方法は、１つの燃焼管の内部に、互いに異なる温度に加熱される第１空間及び第２空間を設け、試料中の無機炭素（ＩＣ）成分を第１空間において二酸化炭素に変換してその二酸化炭素を検出器により検出するＩＣ測定の際に、キャリアガスを第２空間から第１空間へ向かって流す。ＩＣ測定の際に、燃焼管内においてキャリアガスを第２空間から第１空間へ向かって流通させることで、試料から抽出された揮発性有機物を二酸化炭素に変換することなく検出器に導くことができる。二酸化炭素に変換されることなく検出器に導かれた揮発性有機物は検出器によって検出されないので、ＩＣ成分由来の二酸化炭素量を正確に測定することができる。
【００１２】
本発明に係る炭素測定装置の好ましい実施形態では、前記第１空間は前記燃焼管の一端側に形成され、前記第２空間が前記第１空間よりも前記燃焼管の他端側に形成され、前記無機炭素検出ステップでは、キャリアガスを前記燃焼管の前記一端へ供給して前記燃焼管の前記他端から流出した前記キャリアガスを前記検出器へ導き、前記全炭素検出ステップでは、キャリアガスを前記燃焼管の前記他端へ供給して前記燃焼管の前記一端から流出した前記キャリアガスを前記検出器へ導く。
【００１３】
本発明に係る全有機体炭素測定装置は、燃焼管、試料移動機構、検出器及びキャリアガス供給機構を備えている。前記燃焼管は、内部に配置された試料を第１の温度で加熱して試料中の無機炭素（ＩＣ）成分を二酸化炭素に変換するための第１加熱部、及び内部の空間が前記第１加熱部の内部の空間と流体連通し、内部に配置された試料を前記第１の温度よりも高い第２の温度で加熱して試料中の全炭素（ＴＣ）成分を二酸化炭素に変換するための第２加熱部を有する。前記試料移動機構は、試料を前記燃焼管の前記第１加熱部の内部、前記第２加熱部の内部又は前記燃焼管の外側のいずれかの位置へ移動させるためのものである。前記検出器は、前記燃焼管内において生成された二酸化炭素を検出するためのものである。前記キャリアガス供給機構は、キャリアガスを前記燃焼管内において前記第２加熱部から前記第１加熱部へ向かって流通させ、前記燃焼管を経た前記キャリアガスを前記検出器へ導くＩＣ測定用状態、及び前記キャリアガス源からのキャリアガスを前記燃焼管内において前記第１加熱部から前記第２加熱部へ向かって流通させ、前記燃焼管を経た前記キャリアガスを前記検出器へ導くＴＣ測定用状態に選択的に切り替えられるように構成されたものである。
【００１４】
すなわち、本発明に係る全有機体炭素測定装置は、１つの燃焼管に第１加熱部及び第２加熱部を設け、燃焼管内におけるキャリアガスの流通方向を、第１加熱部から第２加熱部へ向かって流れる方向と第２加熱部から第１加熱部へ向かって流れる方向の２方向間で切り替えられるように構成されている。これにより、ＴＣ測定時とＩＣ測定時で燃焼管内におけるキャリアガスの流通方向を変えることができる。ＩＣ測定の際、試料から抽出された揮発性有機物が第２加熱部の内部を通過すると揮発性有機物が二酸化炭素に変換されてＩＣ由来の二酸化炭素とともに検出器により検出されてしまう。そこで、ＩＣ測定の際に、燃焼管内においてキャリアガスを第２加熱部から第１加熱部へ向かって流通させることで、試料から抽出された揮発性有機物を二酸化炭素に変換することなく検出器に導くことができる。二酸化炭素に変換されることなく検出器に導かれた揮発性有機物は検出器によって検出されないので、ＩＣ成分由来の二酸化炭素量を正確に測定することが可能になる。
【００１５】
本発明に係る全有機炭素測定装置の好ましい実施形態では、前記キャリアガス供給機構は流路の接続状態を切り替えるための切替バルブを備えている。当該切替バルブは、前記ＩＣ測定用状態において、キャリアガス源を前記燃焼管の前記第１加熱部側の一端へ接続するとともに前記燃焼管の他端を前記検出器へ接続し、前記ＴＣ測定用状態において、前記キャリアガス源を前記燃焼管の前記他端へ接続するとともに前記燃焼管の前記一端を前記検出器へ接続するように構成されている。
【００１６】
また、本発明に係る全有機炭素測定装置は、前記試料移動機構を自動的に動作させるための移動機構駆動部と、前記移動機構駆動部及び前記キャリアガス供給機構の動作を制御するための制御部であって、試料中の無機炭素を測定する際は試料を前記燃焼管の前記第１加熱部の内部に配置するとともに前記キャリアガス供給機構を前記ＩＣ測定用状態にし、試料中の全炭素を測定する際は試料を前記燃焼管の前記第２加熱部の内部に配置するとともに前記キャリアガス供給機構を前記ＴＣ測定用状態にするように構成された制御部と、を備えていてもよい。そうすれば、試料のＩＣ測定及びＴＣ測定を自動的に実行させることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る炭素測定方法では、試料中の無機炭素を測定する際に、酸溶液の滴下された試料を前記燃焼管の前記第１空間に配置するとともに、燃焼管内においてキャリアガスを第２空間から第１空間へ向かう方向へ流し、燃焼管を経たキャリアガスを検出器へ導いて燃焼管内で生成された二酸化炭素を検出するので、試料から抽出された揮発性有機物を二酸化炭素に変換することなく検出器に導くことができ、ＩＣ成分由来の二酸化炭素量を正確に測定することができる。
【００１８】
本発明に係る全有機体炭素測定装置では、１つの燃焼管に第１加熱部及び第２加熱部を設け、燃焼管内におけるキャリアガスの流れ方向を、第１加熱部から第２加熱部へ向かって流れる方向と第２加熱部から第１加熱部へ向かって流れる方向の２方向間で切り替えられるように構成されているので、ＴＣ測定時とＩＣ測定時で燃焼管内におけるキャリアガスの流通方向を変えることができる。ＩＣ測定の際に、燃焼管内においてキャリアガスを第２加熱部から第１加熱部へ向かって流通させるようにすれば、試料から抽出された揮発性有機物を二酸化炭素に変換することなく検出器に導くことができ、ＩＣ成分由来の二酸化炭素量を正確に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】全有機体炭素測定装置の一実施例を示す概略構成図である。
【図２】同実施例のＩＣ測定時の状態を示す概略構成図である。
【図３】同実施例のＴＣ測定時の状態を示す概略構成図である。
【図４】ＩＣ測定及びＴＣ測定の動作を自動的に実行するための構成を有する全有機体炭素測定装置の実施例を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照しながら全有機体炭素測定装置及び全有機体炭素測定方法の一実施例について説明する。
【００２１】
この実施例の全有機体炭素測定装置の構成を図１に示す。
【００２２】
全有機体炭素測定装置は、主として、試料設置部２、燃焼管４、加熱炉６、試料移動機構８、キャリアガス供給機構１０及び検出器１２を備えている。試料設置部２は分析対象の試料を設置するための空間２ａを内部に有し、空間２ａの上面が開閉カバー１８によって開閉可能である。試料設置部２の一方の側面（図において右側面）に燃焼管４の基端が連結されており、試料設置部２内の空間２ａと燃焼管４の内部空間とが連続している。
【００２３】
試料移動機構８は、試料を保持して試料設置部２と燃焼管４の内部において移動させるための機構であり、試料ボート１４及び試料ボート移動棒１６を備えている。試料ボート移動棒１６は試料設置部２の他方の側面（図において左側面）から気密を保って略水平に挿入されている。試料ボート１４は試料設置部２内に挿入された試料ボート移動棒１６の先端で保持されている。試料設置部２内の空間２ａに試料を設置する際、試料ボート１４は空間２ａ内に配置され、試料ボート１４上に試料が載置される。試料ボート１４上に試料が設置された状態で試料ボート移動棒１６を燃焼管４側へ移動させることにより、試料を燃焼管４内に配置することができる。
【００２４】
燃焼管４は先端から加熱炉６内に挿入されている。加熱炉６は、燃焼管４の先端側の第２加熱部４ｂをヒータ６ａによって高温（例えば９００℃程度）に加熱し、第２加熱部４ｂよりも基端側の第１加熱部４ａをヒータ６ａからの熱伝導を利用して第２加熱部４ｂよりも低い温度（例えば２００℃程度）に加熱するように構成されている。すなわち、燃焼管４は、内部の空間（第１空間）に配置された試料を第１の温度（２００℃程度）で加熱する第１加熱部４ａと、第１加熱部と連続し、内部の空間（第２空間）に配置された試料を第１の温度よりも高い第２の温度（９００℃程度）で加熱する第２加熱部４ｂと、を備えている。第２加熱部４ｂ内には酸化触媒２０が設けられている。燃焼管４の第１加熱部４ａは、試料中のＩＣ成分を二酸化炭素に変換するためのＩＣ反応部として利用することができ、第２加熱部４ｂは、試料中のＴＣ成分を二酸化炭素に変換するためのＴＣ酸化部として利用することができる。
【００２５】
キャリアガス供給機構１０は、キャリアガス供給流路２６、第１流路２８、第２流路３０及び切替バルブ２４を備えている。切替バルブ２４は４ポート２ポジションバルブであり、切替バルブ２４の各ポートにそれぞれ、キャリアガス供給流路２６、第１流路２８、第２流路３０及び検出流路３２が接続されている。
【００２６】
キャリアガス供給流路２６はキャリアガス源２２に通じる流路である。キャリアガス供給流路２６上には、キャリアガス源２２からのキャリアガス供給流量を調節するための流量調節部２３が設けられている。第１流路２８は、試料設置部２内の空間２ａに通じる流路である。第２流路３０は、燃焼管４の先端に通じる流路である。検出流路３２は、検出器１２に通じる流路である。検出流路３２上には、試料ガスを冷却するための冷却器３４、冷却器３４において発生した水分を試料ガスから除去するためのドレンセパレータ３６が設けられている。検出器１２は検出流路３２を通じて導入される試料ガス中の二酸化炭素量を検出するＮＤＩＲなどの検出器である。
【００２７】
切替バルブ２４は、キャリアガス供給機構１０をＩＣ測定用状態とＴＣ測定用状態のいずれかの状態に選択的に切り替えるためのものである。ＩＣ測定用状態とは、キャリアガス供給流路２６−第２流路３０間、及び第１流路２８−検出流路３２間が接続された状態（図２の状態）であり、ＴＣ測定用状態とは、キャリアガス供給流路２６−第１流路２８間、及び第２流路３０−検出流路３２間が接続されたＴＣ状態（図３の状態）である。
【００２８】
試料中のＩＣ成分の測定（ＩＣ測定）の際は、酸溶液（例えばリン酸水溶液）を滴下された試料を搭載した試料ボート４ａを燃焼管４の第１加熱部４ａの内部に配置し、キャリアガス供給機構１０をＩＣ測定用状態にする。キャリアガス供給機構１０をＩＣ測定用状態にすることにより、キャリアガス源２２からのキャリアガスがキャリアガス供給流路２６、切替バルブ２４及び第２流路３０を通じて燃焼管４に供給される。燃焼管４に供給されたキャリアガスは、燃焼管４内を第２加熱部４ｂから第１加熱部４ａへ向かって流れ、試料設置部２、第１流路２８、切替バルブ２４及び検出流路３２を通じて検出器１２に導入される。
【００２９】
第１加熱部４ａの内部では、試料中のＩＣ成分に由来する二酸化炭素が生成され、燃焼管４の先端から燃焼管４内に導入されたキャリアガスによって検出器へ導かれて検出される。キャリアガスが燃焼管４の先端から導入されるため、第１加熱部４ａで発生した成分はすべて第２加熱部４ｂを通過することなく検出器１２へ導かれることになる。したがって、試料に揮発性有機物が含まれている場合でも、試料から抽出された揮発性有機物が二酸化炭素に変換されることなく検出器１２へ導かれるため、検出器１２によって揮発性有機物由来の二酸化炭素が検出されることがなく、試料のＩＣ成分に由来する二酸化炭素量を正確に測定することができる。
【００３０】
他方、試料中のＴＣ成分の測定（ＴＣ測定）の際は、試料を搭載した試料ボート４ａを燃焼管４の第２加熱部４ｂの内部に配置し、キャリアガス供給機構１０をＴＣ測定用状態にする。キャリアガス供給機構１０をＴＣ測定用状態にすることにより、キャリアガス源２２からのキャリアガスがキャリアガス供給流路２６、切替バルブ２４、第１流路２８及び試料設置部２を通じて燃焼管４内に供給される。燃焼管４内に供給されたキャリアガスは、燃焼管４内を第１加熱部４ａから第２加熱部４ｂへ向かって流れ、第２流路３０、切替バルブ２４及び検出流路３２を通じて検出器１２に導入される。
【００３１】
第２加熱部４ｂの内部では、試料中のＴＣ成分が酸化分解されてＴＣ成分に由来する二酸化炭素が生成され、燃焼管４の基端から導入されたキャリアガスによって検出器１２へ導かれて検出される。
【００３２】
上記のＩＣ測定で得られたＩＣ成分に由来する二酸化炭素量をＴＣ測定で得られたＴＣ成分に由来する二酸化炭素量から差し引くことにより、試料中のＴＯＣ成分に由来する二酸化炭素量を求めることができる。
【００３３】
なお、上記実施例の試料移動機構８の試料ボート移動棒１６はユーザが手動で動作させてもよいし、機械的に動作させてもよい。試料ボート移動棒１６を機械的に動作させる場合には、試料のＩＣ測定とＴＣ測定を自動的に実行するように装置を構成することができる。
【００３４】
図４は試料のＩＣ測定とＴＣ測定を自動的に実行させるための構成の一例を示している。
【００３５】
試料移動機構８の試料ボート移動棒１６を駆動するための移動機構駆動部３８の動作は制御部４０によって制御される。制御部４０はＣＰＵなどを搭載した電子回路においてプログラムが実行されることにより得られる機能である。制御部４０は、移動機構駆動部３８のほかに流量調節部２３や切替バルブ２４の動作も制御するように構成されている。
【００３６】
制御部４０は、ＩＣ測定時には、試料ボート４ａを燃焼管４の第１加熱部４ａの内部に配置するとともにキャリアガス供給機構１０をＩＣ測定用状態にし、ＴＣ測定時には、試料ボート４ａを燃焼管４の第２加熱部４ｂの内部に配置するとともにキャリアガス供給機構１０をＴＣ測定用状態にするように構成されている。
【００３７】
また、上記実施例では示されていないが、試料設置部２内の空間２ａに設置された試料に対して酸溶液を滴下するためのノズルが開閉カバー１８に設けられていてもよい。その場合、ＩＣ測定の際に、試料設置部２内の試料に対してノズルから酸溶液が自動的に滴下されるように構成されていてもよい。
【符号の説明】
【００３８】
２      試料設置部
２ａ      試料設置部内の空間
４      燃焼管
４ａ      第１加熱部
４ｂ      第２加熱部
６      加熱炉
６ａ      ヒータ
８      試料移動機構
１０      キャリアガス供給機構
１２      検出器
１４      試料ボート
１６      試料ボート移動棒
１８      開閉カバー
２０      酸化触媒
２２      キャリアガス源
２３      流量調節部
２４      切替バルブ
２６      キャリアガス供給流路
２８      第１流路
３０      第２流路
３２      検出流路
３４      冷却部
３６      ドレンセパレータ
３８      移動機構駆動部
４０      制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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