(57)【要約】      （修正有）【課題】基板の両面にパターンを形成する際に、基板に対するフィルムの貼り付け性向上と、基板面での液垂れ防止とが共に図られた感光性樹脂フィルム、及びこれを用いたパターン形成方法の提供。【解決手段】基板の両面にラミネートして当該両面にパターンを形成するために用いられる感光性樹脂フィルムであって、エポキシ基含有化合物と、カチオン重合開始剤とを含有し、５０℃におけるフィルムの粘度が０．５〜５．３ＭＰａ・ｓである、感光性樹脂フィルム。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の両面にラミネートして当該両面にパターンを形成するために用いられる感光性樹脂フィルムであって、
エポキシ基含有化合物（Ａ）と、カチオン重合開始剤（Ｉ）とを含有し、
５０℃におけるフィルムの粘度が０．５〜５．３ＭＰａ・ｓである、感光性樹脂フィルム。
【請求項２】
前記エポキシ基含有化合物（Ａ）は、２５℃で固形状のエポキシ基含有樹脂と、２５℃で液状のエポキシ基含有モノマーとを含む、請求項１に記載の感光性樹脂フィルム。
【請求項３】
さらに、金属酸化物（Ｍ）を含有する、請求項１又は２に記載の感光性樹脂フィルム。
【請求項４】
前記金属酸化物（Ｍ）の含有量は、前記エポキシ基含有化合物（Ａ）１００質量部に対して５〜５０質量部である、請求項３に記載の感光性樹脂フィルム。
【請求項５】
前記カチオン重合開始剤（Ｉ）の含有量は、前記エポキシ基含有化合物（Ａ）と前記カチオン重合開始剤（Ｉ）と前記金属酸化物（Ｍ）との総量に対して０．２〜１０質量％である、請求項３又は４に記載の感光性樹脂フィルム。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の感光性樹脂フィルムを、基板の両面にラミネートする工程（ｉ）と、
前記基板の両面にラミネートした感光性樹脂フィルムを露光する工程（ｉｉ）と、
前記基板の両面が水平面に対して傾斜した状態又は垂直な状態で、前記露光後の感光性樹脂フィルムをベークする工程（ｉｉｉ）と、
前記ベーク後の感光性樹脂フィルムを現像して、前記基板の両面にネガ型パターンを形成する工程（ｉｖ）と、
を有するパターン形成方法。
【請求項７】
さらに、前記ネガ型パターンをキュアする工程を有する、請求項６に記載のパターン形成方法。
【請求項８】
前記工程（ｉ）で、膜厚５０μｍ以上の感光性樹脂フィルムを、基板の両面にラミネートする、請求項６又は７に記載のパターン形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂フィルム、及びこれを用いて形成されたパターン形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の電子機器の小型化及び高密度化に伴い、ＬＳＩ等の製造に用いられる感光性ドライフィルムへの要求が高まっている。例えば、半導体ウェハ等の表面に感光性ドライフィルムを接着し、該感光性ドライフィルムに対し、光、電子線等の放射線にて選択的露光を行い、現像処理を施してパターンを形成した後、透明基板（例えばガラス基板）等と圧着して用いることにより、当該感光性ドライフィルムを半導体ウェハと透明基板との間のスペーサとして用いることができる。
感光性ドライフィルムの感光性樹脂層には、感光性材料を含んでなるものであって、フォトリソグラフィー法によりパターニングできることに加え、スペーサ等として形状の保持が可能であることが求められる。また、露光・現像後に透明基板と圧着するため、現像性、解像性に加え、パターニング後の密着性に優れることも求められる。
【０００３】
従来、感光性ドライフィルムに用いられるネガ型の感光性組成物としては、ノボラック樹脂からなる基材成分と、ジアゾナフトキノン等の酸発生剤成分と、を含有するものが用いられていた。しかしながら、ジアゾナフトキノン型の光酸発生剤は、露光に用いられる光の波長に対して吸収を示すため、厚膜レジスト膜の上部と下部（基板との界面付近）では露光による光強度が異なり、得られるパターンの形状が矩形等の所望形状にならないという問題がある。
これに対し近年では、厚膜レジスト用や感光性ドライフィルム用のネガ型感光性組成物として、エポキシ基を含有する基材成分と、カチオン重合開始剤と、を含有するものも用いられている。カチオン重合開始剤としては、光に対して高い感度を有するフッ素化アンチモン系のカチオン重合開始剤（例えば、ＳｂＦ６−をアニオン部に有する重合開始剤）が広く用いられている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、光重合性官能基及びウレタン結合を有する化合物を２種以上と、特定の光重合開始剤とを含有し、厚膜の感光層を形成する場合であっても優れたパターン形成性を有する感光性樹脂組成物が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１７−１８１９６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、パターン形成においては、より密度の高い配線の形成など、場合によって、基板の両面にパターンを形成する要求がある。この場合、例えば、露光後のベークから現像の一連の操作が、基板面を水平面に対して略垂直に立てた状態で行われる。しかしながら、その際、従来の感光性樹脂組成物を用いて形成された感光性樹脂フィルムにおいては、基板に対するフィルムの貼り付け不良や、基板面で液垂れが生じてリソグラフィー特性が悪くなる等の問題がある。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、基板の両面にパターンを形成する際に、基板に対するフィルムの貼り付け性向上と、基板面での液垂れ防止とが共に図られた感光性樹脂フィルム、及びこれを用いたパターン形成方法を提供すること、を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、本発明は以下の構成を採用した。
すなわち、本発明の第１の態様は、基板の両面にラミネートして当該両面にパターンを形成するために用いられる感光性樹脂フィルムであって、エポキシ基含有化合物（Ａ）と、カチオン重合開始剤（Ｉ）とを含有し、５０℃におけるフィルムの粘度が０．５〜５．３ＭＰａ・ｓであることを特徴とする、感光性樹脂フィルムである。
【０００９】
本発明の第２の態様は、前記第１の態様に係る感光性樹脂フィルムを、基板の両面にラミネートする工程（ｉ）と、前記基板の両面にラミネートした感光性樹脂フィルムを露光する工程（ｉｉ）と、前記基板の両面が水平面に対して傾斜した状態又は垂直な状態で、前記露光後の感光性樹脂フィルムをベークする工程（ｉｉｉ）と、前記ベーク後の感光性樹脂フィルムを現像して、前記基板の両面にネガ型パターンを形成する工程（ｉｖ）と、を有することを特徴とする、パターン形成方法である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の感光性樹脂フィルムによれば、基板の両面にパターンを形成する際に、基板に対するフィルムの貼り付け性向上と、基板面での液垂れ防止とが共に図られる。
本発明のパターン形成方法によれば、基板の両面に、リソグラフィー特性が良好なパターンを形成することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本明細書及び本特許請求の範囲において、「脂肪族」とは、芳香族に対する相対的な概念であって、芳香族性を持たない基、化合物等を意味するものと定義する。
「アルキル基」は、特に断りがない限り、直鎖状、分岐鎖状及び環状の１価の飽和炭化水素基を包含するものとする。アルコキシ基中のアルキル基も同様である。
「アルキレン基」は、特に断りがない限り、直鎖状、分岐鎖状及び環状の２価の飽和炭化水素基を包含するものとする。
「ハロゲン化アルキル基」は、アルキル基の水素原子の一部又は全部がハロゲン原子で置換された基であり、該ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。
「フッ素化アルキル基」又は「フッ素化アルキレン基」は、アルキル基又はアルキレン基の水素原子の一部又は全部がフッ素原子で置換された基をいう。
「構成単位」とは、高分子化合物（樹脂、重合体、共重合体）を構成するモノマー単位（単量体単位）を意味する。
「置換基を有していてもよい」又は「置換基を有してもよい」と記載する場合、水素原子（−Ｈ）を１価の基で置換する場合と、メチレン基（−ＣＨ２−）を２価の基で置換する場合との両方を含む。
「露光」は、放射線の照射全般を含む概念とする。
【００１２】
本明細書及び本特許請求の範囲において、化学式で表される構造によっては、不斉炭素が存在し、エナンチオ異性体（ｅｎａｎｔｉｏｍｅｒ）やジアステレオ異性体（ｄｉａｓｔｅｒｅｏｍｅｒ）が存在し得るものがある。その場合は一つの化学式でそれら異性体を代表して表す。それらの異性体は単独で用いてもよいし、混合物として用いてもよい。
【００１３】
（感光性樹脂フィルム）
本実施形態の感光性樹脂フィルムは、基板の両面にラミネートして当該両面にパターンを形成するために用いられるものである。
【００１４】
本実施形態の感光性樹脂フィルムは、５０℃におけるフィルムの粘度が０．５〜５．３ＭＰａ・ｓであり、０．９〜５．３ＭＰａ・ｓであることが好ましく、１．０〜５．２ＭＰａ・ｓであることがより好ましい。
かかるフィルムの粘度が、前記範囲の下限値以上であれば、基板面での液垂れ防止が図れる。一方、前記範囲の上限値以下であれば、感光性樹脂フィルムの基板への追従性が保たれて、基板に対するフィルムの貼り付け性向上が図れる。
【００１５】
本明細書及び本特許請求の範囲において、「５０℃におけるフィルムの粘度」は、動的粘弾性装置を用い、周波数１．００Ｈｚ、温度３０℃から７０℃まで２℃／ｍｉｎの昇温速度の条件で、感光性樹脂フィルム面にトルクを昇温しながら接触させ、５０℃時点の測定値を求めることにより決定される。
動的粘弾性装置としては、例えば、レオロジカ社製の動的粘弾性装置ＶＡＲ１００を用いることができる。
【００１６】
本実施形態の感光性樹脂フィルムは、エポキシ基含有化合物（Ａ）（以下「（Ａ）成分」ともいう）と、カチオン重合開始剤（Ｉ）（以下「（Ｉ）成分」ともいう）とを含有する。
【００１７】
＜エポキシ基含有化合物（Ａ）＞
エポキシ基含有化合物（（Ａ）成分）は、特に限定されず、露光によってパターンを形成するのに充分なエポキシ基を１分子中に有する樹脂であればよい。
（Ａ）成分としては、例えば、ノボラック型エポキシ樹脂（Ａｎｖ）、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（Ａｂｐ）、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂、アクリル樹脂（Ａａｃ）が挙げられる。
【００１８】
≪ノボラック型エポキシ樹脂（Ａｎｖ）≫
ノボラック型エポキシ樹脂（Ａｎｖ）としては、下記一般式（Ａ１）で表される樹脂（以下「（Ａ１）成分」ともいう）が好適に挙げられる。
【００１９】
【化１】
2020106695.tif 000002
［式中、Ｒｐ１及びＲｐ２は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜５のアルキル基である。複数のＲｐ１は、互いに同一であってもよく異なっていてもよい。複数のＲｐ２は、互いに同一であってもよく異なっていてもよい。ｎ１は、１〜５の整数である。ＲＥＰは、エポキシ基含有基である。複数のＲＥＰは、互いに同一であってもよく異なっていてもよい。］
【００２０】
前記式（Ａ１）中、Ｒｐ１、Ｒｐ２の炭素数１〜５のアルキル基は、例えば炭素数１〜５の直鎖状、分岐鎖状、又は環状のアルキル基である。直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基等が挙げられ、環状のアルキル基としては、シクロブチル基、シクロペンチル基等が挙げられる。
なかでもＲｐ１、Ｒｐ２としては、水素原子又は直鎖状もしくは分岐鎖状のアルキル基が好ましく、水素原子又は直鎖状のアルキル基がより好ましく、水素原子又はメチル基が特に好ましい。
式（Ａ１）中、複数のＲｐ１は、互いに同一であってもよく異なっていてもよい。複数のＲｐ２は、互いに同一であってもよく異なっていてもよい。
【００２１】
式（Ａ１）中、ｎ１は、１〜５の整数であり、好ましくは２又は３であり、より好ましくは２である。
【００２２】
式（Ａ１）中、ＲＥＰは、エポキシ基含有基である。
ＲＥＰのエポキシ基含有基としては、特に限定されるものではなく、エポキシ基のみからなる基；脂環式エポキシ基のみからなる基；エポキシ基又は脂環式エポキシ基と、２価の連結基とを有する基が挙げられる。
脂環式エポキシ基とは、３員環エーテルであるオキサシクロプロパン構造を有する脂環式基であって、具体的には、脂環式基とオキサシクロプロパン構造とを有する基である。
脂環式エポキシ基の基本骨格となる脂環式基としては、単環であっても多環であってもよい。単環の脂環式基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等が挙げられる。また、多環の脂環式基としては、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、テトラシクロドデシル基等が挙げられる。また、これら脂環式基の水素原子は、アルキル基、アルコキシ基、水酸基等で置換されていてもよい。
エポキシ基又は脂環式エポキシ基と、２価の連結基とを有する基の場合、一般式（Ａ１）中の酸素原子（−Ｏ−）に結合した２価の連結基を介してエポキシ基又は脂環式エポキシ基が結合することが好ましい。
【００２３】
ここで、２価の連結基としては、特に限定されないが、置換基を有していてもよい２価の炭化水素基、ヘテロ原子を含む２価の連結基等が好適なものとして挙げられる。
【００２４】
置換基を有していてもよい２価の炭化水素基について：
かかる２価の炭化水素基は、脂肪族炭化水素基であってもよく、芳香族炭化水素基であってもよい。
２価の炭化水素基における脂肪族炭化水素基は、飽和であってもよく、不飽和であってもよく、通常は飽和であることが好ましい。
該脂肪族炭化水素基として、より具体的には、直鎖状若しくは分岐鎖状の脂肪族炭化水素基、又は構造中に環を含む脂肪族炭化水素基等が挙げられる。
【００２５】
前記直鎖状の脂肪族炭化水素基は、炭素数が１〜１０であることが好ましく、１〜６がより好ましく、１〜４がさらに好ましく、１〜３が最も好ましい。直鎖状の脂肪族炭化水素基としては、直鎖状のアルキレン基が好ましく、具体的には、メチレン基［−ＣＨ２−］、エチレン基［−（ＣＨ２）２−］、トリメチレン基［−（ＣＨ２）３−］、テトラメチレン基［−（ＣＨ２）４−］、ペンタメチレン基［−（ＣＨ２）５−］等が挙げられる。
前記分岐鎖状の脂肪族炭化水素基は、炭素数が２〜１０であることが好ましく、２〜６がより好ましく、２〜４がさらに好ましく、２又は３が最も好ましい。分岐鎖状の脂肪族炭化水素基としては、分岐鎖状のアルキレン基が好ましく、具体的には、−ＣＨ（ＣＨ３）−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）２−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ２ＣＨ３）２−等のアルキルメチレン基；−ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ（ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）２ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ３）ＣＨ２−、−Ｃ（ＣＨ２ＣＨ３）２−ＣＨ２−等のアルキルエチレン基；−ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２−等のアルキルトリメチレン基；−ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２ＣＨ２−等のアルキルテトラメチレン基などのアルキルアルキレン基等が挙げられる。アルキルアルキレン基におけるアルキル基としては、炭素数１〜５の直鎖状のアルキル基が好ましい。
【００２６】
前記構造中に環を含む脂肪族炭化水素基としては、脂環式炭化水素基（脂肪族炭化水素環から水素原子を２個除いた基）、脂環式炭化水素基が直鎖状または分岐鎖状の脂肪族炭化水素基の末端に結合した基、脂環式炭化水素基が直鎖状または分岐鎖状の脂肪族炭化水素基の途中に介在する基などが挙げられる。前記直鎖状または分岐鎖状の脂肪族炭化水素基としては、前記と同様のものが挙げられる。
前記脂環式炭化水素基は、炭素数が３〜２０であることが好ましく、３〜１２であることがより好ましい。
前記脂環式炭化水素基は、多環式基であってもよく、単環式基であってもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、モノシクロアルカンから２個の水素原子を除いた基が好ましい。該モノシクロアルカンとしては、炭素数３〜６のものが好ましく、具体的にはシクロペンタン、シクロヘキサン等が挙げられる。
多環式の脂環式炭化水素基としては、ポリシクロアルカンから２個の水素原子を除いた基が好ましく、該ポリシクロアルカンとしては、炭素数７〜１２のものが好ましく、具体的にはアダマンタン、ノルボルナン、イソボルナン、トリシクロデカン、テトラシクロドデカン等が挙げられる。
【００２７】
２価の炭化水素基における芳香族炭化水素基は、芳香環を少なくとも１つ有する炭化水素基である。この芳香環は、（４ｎ＋２）個のπ電子をもつ環状共役系であれば特に限定されず、単環式でも多環式でもよい。芳香環の炭素数は、５〜３０であることが好ましく、５〜２０がより好ましく、６〜１５がさらに好ましく、６〜１２が特に好ましい。芳香環として具体的には、ベンゼン、ナフタレン、アントラセン、フェナントレン等の芳香族炭化水素環；前記芳香族炭化水素環を構成する炭素原子の一部がヘテロ原子で置換された芳香族複素環等が挙げられる。芳香族複素環におけるヘテロ原子としては、酸素原子、硫黄原子、窒素原子等が挙げられる。芳香族複素環として具体的には、ピリジン環、チオフェン環等が挙げられる。
芳香族炭化水素基として具体的には、前記芳香族炭化水素環または芳香族複素環から水素原子を２つ除いた基（アリーレン基またはヘテロアリーレン基）；２以上の芳香環を含む芳香族化合物（たとえばビフェニル、フルオレン等）から水素原子を２つ除いた基；前記芳香族炭化水素環または芳香族複素環から水素原子を１つ除いた基（アリール基またはヘテロアリール基）の水素原子の１つがアルキレン基で置換された基（たとえば、ベンジル基、フェネチル基、１−ナフチルメチル基、２−ナフチルメチル基、１−ナフチルエチル基、２−ナフチルエチル基等のアリールアルキル基におけるアリール基から水素原子をさらに１つ除いた基）等が挙げられる。前記アリール基またはヘテロアリール基に結合するアルキレン基の炭素数は、１〜４であることが好ましく、１〜２であることがより好ましく、１であることが特に好ましい。
【００２８】
２価の炭化水素基は、置換基を有していてもよい。
２価の炭化水素基としての、直鎖状または分岐鎖状の脂肪族炭化水素基は、置換基を有していてもよく、有していなくてもよい。該置換基としては、フッ素原子、フッ素原子で置換された炭素数１〜５のフッ素化アルキル基、カルボニル基等が挙げられる。
【００２９】
２価の炭化水素基としての、構造中に環を含む脂肪族炭化水素基における脂環式炭化水素基は、置換基を有していてもよいし、有していなくてもよい。該置換基としては、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、水酸基、カルボニル基等が挙げられる。
前記置換基としてのアルキル基としては、炭素数１〜５のアルキル基が好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基、ｎ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基であることが最も好ましい。
前記置換基としてのアルコキシ基としては、炭素数１〜５のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロポキシ基、ｉｓｏ−プロポキシ基、ｎ−ブトキシ基、ｔｅｒｔ−ブトキシ基が好ましく、メトキシ基、エトキシ基が最も好ましい。
前記置換基としてのハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等が挙げられ、フッ素原子が好ましい。
前記置換基としてのハロゲン化アルキル基としては、前記アルキル基の水素原子の一部または全部が前記ハロゲン原子で置換された基が挙げられる。
脂環式炭化水素基は、その環構造を構成する炭素原子の一部がヘテロ原子を含む置換基で置換されてもよい。該ヘテロ原子を含む置換基としては、−Ｏ−、−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−、−Ｓ−、−Ｓ（＝Ｏ）２−、−Ｓ（＝Ｏ）２−Ｏ−が好ましい。
【００３０】
２価の炭化水素基としての、芳香族炭化水素基は、当該芳香族炭化水素基が有する水素原子が置換基で置換されていてもよい。たとえば当該芳香族炭化水素基中の芳香環に結合した水素原子が置換基で置換されていてもよい。該置換基としては、たとえば、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、水酸基等が挙げられる。
前記置換基としてのアルキル基としては、炭素数１〜５のアルキル基が好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基、ｎ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基であることが最も好ましい。
前記置換基としてのアルコキシ基、ハロゲン原子およびハロゲン化アルキル基としては、前記脂環式炭化水素基が有する水素原子を置換する置換基として例示したものが挙げられる。
【００３１】
ヘテロ原子を含む２価の連結基について：
ヘテロ原子を含む２価の連結基におけるヘテロ原子とは、炭素原子および水素原子以外の原子であり、たとえば酸素原子、窒素原子、硫黄原子、ハロゲン原子等が挙げられる。
【００３２】
ヘテロ原子を含む２価の連結基において、該連結基として好ましいものとしては、−Ｏ−、−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−、−Ｃ（＝Ｏ）−、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−；−Ｃ（＝Ｏ）−ＮＨ−、−ＮＨ−、−ＮＨ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−、−ＮＨ−Ｃ（＝ＮＨ）−（Ｈはアルキル基、アシル基等の置換基で置換されていてもよい。）；−Ｓ−、−Ｓ（＝Ｏ）２−、−Ｓ（＝Ｏ）２−Ｏ−、一般式−Ｙ２１−Ｏ−Ｙ２２−、−Ｙ２１−Ｏ−、−Ｙ２１−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−、−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−Ｙ２１、−［Ｙ２１−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ］ｍ”−Ｙ２２−または−Ｙ２１−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｙ２２−で表される基［式中、Ｙ２１およびＹ２２はそれぞれ独立して置換基を有していてもよい２価の炭化水素基であり、Ｏは酸素原子であり、ｍ”は０〜３の整数である。］等が挙げられる。
前記へテロ原子を含む２価の連結基が−Ｃ（＝Ｏ）−ＮＨ−、−ＮＨ−、−ＮＨ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−、−ＮＨ−Ｃ（＝ＮＨ）−の場合、そのＨはアルキル基、アシル等の置換基で置換されていてもよい。該置換基（アルキル基、アシル基等）は、炭素数が１〜１０であることが好ましく、１〜８であることがさらに好ましく、１〜５であることが特に好ましい。
式−Ｙ２１−Ｏ−Ｙ２２−、−Ｙ２１−Ｏ−、−Ｙ２１−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−、−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−Ｙ２１−、−［Ｙ２１−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ］ｍ”−Ｙ２２−または−Ｙ２１−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｙ２２−中、Ｙ２１およびＹ２２は、それぞれ独立して、置換基を有していてもよい２価の炭化水素基である。該２価の炭化水素基としては、上述した２価の連結基としての説明で挙げた「置換基を有していてもよい２価の炭化水素基」と同様のものが挙げられる。
Ｙ２１としては、直鎖状の脂肪族炭化水素基が好ましく、直鎖状のアルキレン基がより好ましく、炭素数１〜５の直鎖状のアルキレン基がさらに好ましく、メチレン基またはエチレン基が特に好ましい。
Ｙ２２としては、直鎖状または分岐鎖状の脂肪族炭化水素基が好ましく、メチレン基、エチレン基またはアルキルメチレン基がより好ましい。該アルキルメチレン基におけるアルキル基は、炭素数１〜５の直鎖状のアルキル基が好ましく、炭素数１〜３の直鎖状のアルキル基がより好ましく、メチル基が最も好ましい。
式−［Ｙ２１−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ］ｍ”−Ｙ２２−で表される基において、ｍ”は０〜３の整数であり、０〜２の整数であることが好ましく、０または１がより好ましく、１が特に好ましい。つまり、式−［Ｙ２１−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ］ｍ”−Ｙ２２−で表される基としては、式−Ｙ２１−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−Ｙ２２−で表される基が特に好ましい。なかでも、式−（ＣＨ２）ａ’−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ’−で表される基が好ましい。該式中、ａ’は、１〜１０の整数であり、１〜８の整数が好ましく、１〜５の整数がより好ましく、１または２がさらに好ましく、１が最も好ましい。ｂ’は、１〜１０の整数であり、１〜８の整数が好ましく、１〜５の整数がより好ましく、１または２がさらに好ましく、１が最も好ましい。
【００３３】
なかでも、ＲＥＰにおけるエポキシ基含有基としては、グリシジル基が好ましい。
【００３４】
また、ノボラック型エポキシ樹脂（Ａｎｖ）としては、下記一般式（ａｎｖ１）で表される構成単位を有する樹脂も好適に挙げられる。
【００３５】
【化２】
2020106695.tif 000003
［式中、ＲＥＰは、エポキシ基含有基であり、Ｒａ２２、Ｒａ２３は、それぞれ独立に水素原子、炭素数１〜５のアルキル基又はハロゲン原子である。］
【００３６】
式（ａｎｖ１）中、Ｒａ２２、Ｒａ２３の炭素数１〜５のアルキル基は、前記式（Ａ１）中のＲｐ１、Ｒｐ２の炭素数１〜５のアルキル基と同様である。Ｒａ２２、Ｒａ２３のハロゲン原子は、塩素原子又は臭素原子であることが好ましい。
式（ａｎｖ１）中、ＲＥＰは、前記式（Ａ１）中のＲＥＰと同様であって、グリシジル基が好ましい。
【００３７】
以下に前記式（ａｎｖ１）で表される構成単位の具体例を示す。
【００３８】
【化３】
2020106695.tif 000004
【００３９】
ノボラック型エポキシ樹脂（Ａｎｖ）は、前記構成単位（ａｎｖ１）のみからなる樹脂であってもよく、構成単位（ａｎｖ１）と他の構成単位とを有する樹脂であってもよい。
他の構成単位としては、例えば、下記一般式（ａｎｖ２）〜（ａｎｖ３）でそれぞれ表される構成単位が挙げられる。
【００４０】
【化４】
2020106695.tif 000005
［式中、Ｒａ２４は、置換基を有していてもよい炭化水素基である。Ｒａ２５〜Ｒａ２６、Ｒａ２８〜Ｒａ３０は、それぞれ独立に水素原子、炭素数１〜５のアルキル基又はハロゲン原子である。Ｒａ２７は、エポキシ基含有基又は置換基を有していてもよい炭化水素基である。］
【００４１】
式（ａｎｖ２）中、Ｒａ２４は、置換基を有していてもよい炭化水素基である。置換基を有していてもよい炭化水素基としては、直鎖状もしくは分岐鎖状のアルキル基、又は環状の炭化水素基が挙げられる。
該直鎖状のアルキル基は、炭素数が１〜５であることが好ましく、１〜４がより好ましく、１または２がさらに好ましい。具体的には、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｎ−ペンチル基等が挙げられる。これらの中でも、メチル基、エチル基またはｎ−ブチル基が好ましく、メチル基またはエチル基がより好ましい。
【００４２】
該分岐鎖状のアルキル基は、炭素数が３〜１０であることが好ましく、３〜５がより好ましい。具体的には、イソプロピル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、１，１−ジエチルプロピル基、２，２−ジメチルブチル基等が挙げられ、イソプロピル基であることが好ましい。
【００４３】
Ｒａ２４が環状の炭化水素基となる場合、該炭化水素基は、脂肪族炭化水素基でも芳香族炭化水素基でもよく、また、多環式基でも単環式基でもよい。
単環式基である脂肪族炭化水素基としては、モノシクロアルカンから１個の水素原子を除いた基が好ましい。該モノシクロアルカンとしては、炭素数３〜６のものが好ましく、具体的にはシクロペンタン、シクロヘキサン等が挙げられる。
多環式基である脂肪族炭化水素基としては、ポリシクロアルカンから１個の水素原子を除いた基が好ましく、該ポリシクロアルカンとしては、炭素数７〜１２のものが好ましく、具体的にはアダマンタン、ノルボルナン、イソボルナン、トリシクロデカン、テトラシクロドデカン等が挙げられる。
【００４４】
Ｒａ２４の環状の炭化水素基が芳香族炭化水素基となる場合、該芳香族炭化水素基は、芳香環を少なくとも１つ有する炭化水素基である。
この芳香環は、４ｎ＋２個のπ電子をもつ環状共役系であれば特に限定されず、単環式でも多環式でもよい。芳香環の炭素数は５〜３０であることが好ましく、５〜２０がより好ましく、６〜１５がさらに好ましく、６〜１２が特に好ましい。芳香環として具体的には、ベンゼン、ナフタレン、アントラセン、フェナントレン等の芳香族炭化水素環；前記芳香族炭化水素環を構成する炭素原子の一部がヘテロ原子で置換された芳香族複素環等が挙げられる。芳香族複素環におけるヘテロ原子としては、酸素原子、硫黄原子、窒素原子等が挙げられる。芳香族複素環として具体的には、ピリジン環、チオフェン環等が挙げられる。
Ｒａ２４における芳香族炭化水素基として具体的には、前記芳香族炭化水素環または芳香族複素環から水素原子を１つ除いた基（アリール基またはヘテロアリール基）；２以上の芳香環を含む芳香族化合物（たとえばビフェニル、フルオレン等）から水素原子を１つ除いた基；前記芳香族炭化水素環または芳香族複素環の水素原子の１つがアルキレン基で置換された基（たとえば、ベンジル基、フェネチル基、１−ナフチルメチル基、２−ナフチルメチル基、１−ナフチルエチル基、２−ナフチルエチル基等のアリールアルキル基など）等が挙げられる。前記芳香族炭化水素環または芳香族複素環に結合するアルキレン基の炭素数は、１〜４であることが好ましく、１〜２であることがより好ましく、１であることが特に好ましい。
【００４５】
式（ａｎｖ２）、（ａｎｖ３）中、Ｒａ２５〜Ｒａ２６、Ｒａ２８〜Ｒａ３０は、それぞれ独立に水素原子、炭素数１〜５のアルキル基又はハロゲン原子であって、炭素数１〜５のアルキル基、ハロゲン原子は、それぞれ前記Ｒａ２２、Ｒａ２３と同様である。
【００４６】
式（ａｎｖ３）中、Ｒａ２７は、エポキシ基含有基又は置換基を有していてもよい炭化水素基である。Ｒａ２７のエポキシ基含有基は、前記式（Ａ１）中のＲＥＰと同様であり、Ｒａ２７の置換基を有していてもよい炭化水素基は、Ｒａ２４と同様である。
【００４７】
以下に前記式（ａｎｖ２）〜（ａｎｖ３）でそれぞれ表される構成単位の具体例を示す。
【００４８】
【化５】
2020106695.tif 000006
【００４９】
ノボラック型エポキシ樹脂（Ａｎｖ）が、構成単位（ａｎｖ１）に加えて他の構成単位を有する場合、樹脂（Ａｎｖ）中の各構成単位の割合は、特に限定されるものではないが、樹脂（Ａｎｖ）を構成する全構成単位の合計に対して、エポキシ基を有する構成単位の合計が１０〜９０モル％が好ましく、２０〜８０モル％がより好ましく、３０〜７０モル％がさらに好ましい。
【００５０】
≪ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（Ａｂｐ）≫
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（Ａｂｐ）としては、下記一般式（ａｂｐ１）で表される構造のエポキシ樹脂が挙げられる。
【００５１】
【化６】
2020106695.tif 000007
［式中、ＲＥＰは、エポキシ基含有基であり、Ｒａ３１、Ｒａ３２はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜５のアルキル基であり、Ｒａ３３は、２価の連結基であり、ｎａ３１は１〜５０の整数である。］
【００５２】
式（ａｂｐ１）中、Ｒａ３１、Ｒａ３２の炭素数１〜５のアルキル基は、前記式（Ａ１）中のＲｐ１、Ｒｐ２の炭素数１〜５のアルキル基と同様である。なかでもＲａ３１、Ｒａ３２としては、水素原子又はメチル基が好ましい。
【００５３】
式（ａｂｐ１）中、Ｒａ３３における２価の連結基は、置換基を有していてもよい２価の炭化水素基、ヘテロ原子を含む２価の連結基が好ましい。
２価の炭化水素基は、脂肪族炭化水素基であってもよく、芳香族炭化水素基であってもよいが、柔軟性付与の点から、鎖状の脂肪族炭化水素基が好ましい。前記鎖状の脂肪族炭化水素基は、炭素数が１〜１０であることが好ましく、１〜６がより好ましく、１〜４がさらに好ましい。
２価の炭化水素基が有していてもよい置換基としては、例えば、炭素数１〜５のアルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、炭素数１〜５のハロゲン化アルキル基、ヒドロキシ基、カルボニル基等が挙げられる。
ヘテロ原子を含む２価の連結基としては、例えば、エステル結合［−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−もしくはエーテル結合（−Ｏ−）と、鎖状のアルキレン基との組合せが好ましい。
【００５４】
式（ａｂｐ１）中、ＲＥＰは、前記式（Ａ１）中のＲＥＰと同様であって、グリシジル基が好ましい。
【００５５】
≪脂肪族エポキシ樹脂、アクリル樹脂（Ａａｃ）≫
脂肪族エポキシ樹脂、アクリル樹脂（Ａａｃ）としては、例えば、下記一般式（ａ１−１）〜（ａ１−２）でそれぞれ表されるエポキシ基含有単位を有する樹脂が挙げられる。
【００５６】
【化７】
2020106695.tif 000008
［式中、Ｒは水素原子、炭素数１〜５のアルキル基又は炭素数１〜５のハロゲン化アルキル基である。Ｖａ４１は、置換基を有していてもよい２価の炭化水素基である。ｎａ４１は０〜２の整数である。Ｒａ４１、Ｒａ４２はエポキシ基含有基である。ｎａ４２は０又は１である。Ｗａ４１は（ｎａ４３＋１）価の脂肪族炭化水素基である。ｎａ４３は１〜３の整数である。］
【００５７】
前記式（ａ１−１）中、Ｒは、水素原子、炭素数１〜５のアルキル基または炭素数１〜５のハロゲン化アルキル基である。
Ｒの炭素数１〜５のアルキル基は、直鎖状または分岐鎖状が好ましく、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基等が挙げられる。
Ｒの炭素数１〜５のハロゲン化アルキル基は、前記炭素数１〜５のアルキル基の水素原子の一部または全部がハロゲン原子で置換された基である。該ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等が挙げられ、特にフッ素原子が好ましい。
Ｒとしては、水素原子、炭素数１〜５のアルキル基又は炭素数１〜５のフッ素化アルキル基が好ましく、工業上の入手の容易さから、水素原子又はメチル基が最も好ましい。
【００５８】
前記式（ａ１−１）中、Ｖａ４１は、置換基を有していてもよい２価の炭化水素基であって、前記式（Ａ１）中のＲＥＰにおいて説明した、置換基を有していてもよい２価の炭化水素基と同様の基が挙げられる。
上記の中でも、Ｖａ４１の炭化水素基は、脂肪族炭化水素基が好ましく、直鎖状または分岐鎖状の脂肪族炭化水素基がより好ましく、直鎖状の脂肪族炭化水素基がさらに好ましく、直鎖状のアルキレン基が特に好ましい。
【００５９】
式（ａ１−１）中、ｎａ４１は、０〜２の整数であり、０又は１が好ましい。
【００６０】
式（ａ１−１）、（ａ１−２）中、Ｒａ４１、Ｒａ４２は、エポキシ基含有基であって、前記式（Ａ１）中のＲＥＰと同様である。
【００６１】
式（ａ１−２）中、Ｗａ４１における（ｎａ４３＋１）価の脂肪族炭化水素基は、芳香族性を持たない炭化水素基を意味し、飽和であってもよく、不飽和であってもよく、通常は飽和であることが好ましい。前記脂肪族炭化水素基としては、直鎖状もしくは分岐鎖状の脂肪族炭化水素基、構造中に環を含む脂肪族炭化水素基、又は、直鎖状もしくは分岐鎖状の脂肪族炭化水素基と構造中に環を含む脂肪族炭化水素基とを組み合わせた基が挙げられる。
【００６２】
式（ａ１−２）中、ｎａ４３は、１〜３の整数であり、１又は２が好ましい。
【００６３】
以下に前記式（ａ１−１）又は（ａ１−２）で表される構成単位の具体例を示す。
【００６４】
【化８】
2020106695.tif 000009
【００６５】
【化９】
2020106695.tif 000010
【００６６】
【化１０】
2020106695.tif 000011
【００６７】
【化１１】
2020106695.tif 000012
【００６８】
上記式中、Ｒαは、水素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基を示す。
Ｒａ５１は、炭素数１〜８の２価の炭化水素基を示す。Ｒａ５２は、炭素数１〜２０の２価の炭化水素基を示す。Ｒａ５３は、水素原子又はメチル基を示す。ｎａ５１は、０〜１０の整数である。
Ｒａ５１、Ｒａ５２、Ｒａ５３は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。
【００６９】
さらに、アクリル樹脂（Ａａｃ）は、物理的、化学的特性を適度にコントロールする目的で他の重合性化合物から誘導される構成単位を有してもよい。このような重合性化合物としては、公知のラジカル重合性化合物や、アニオン重合性化合物が挙げられる。このような重合性化合物としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸等のモノカルボン酸類；マレイン酸、フマル酸、イタコン酸等のジカルボン酸類；２−メタクリロイルオキシエチルコハク酸、２−メタクリロイルオキシエチルマレイン酸、２−メタクリロイルオキシエチルフタル酸、２−メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸等のカルボキシル基及びエステル結合を有するメタクリル酸誘導体類；メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アルキルエステル類；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸ヒドロキシアルキルエステル類；フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アリールエステル類；マレイン酸ジエチル、フマル酸ジブチル等のジカルボン酸ジエステル類；スチレン、α−メチルスチレン、クロロスチレン、クロロメチルスチレン、ビニルトルエン、ヒドロキシスチレン、α−メチルヒドロキシスチレン、α−エチルヒドロキシスチレン等のビニル基含有芳香族化合物類；酢酸ビニル等のビニル基含有脂肪族化合物類；ブタジエン、イソプレン等の共役ジオレフィン類；アクリロニトリル、メタクリロニトリル等のニトリル基含有重合性化合物類；塩化ビニル、塩化ビニリデン等の塩素含有重合性化合物；アクリルアミド、メタクリルアミド等のアミド結合含有重合性化合物類；等が挙げられる。
【００７０】
脂肪族エポキシ樹脂、アクリル樹脂（Ａａｃ）が他の構成単位を有する場合、当該樹脂におけるエポキシ基含有単位の含有比率は、５〜４０モル％であることが好ましく、１０〜３０モル％であることがより好ましく、１５〜２５モル％であることが最も好ましい。
【００７１】
また、脂肪族エポキシ樹脂としては、下記一般式（ｍ１）で表される部分構造を含む化合物（以下「（ｍ１）成分」ともいう）も好適に挙げられる。
【００７２】
【化１２】
2020106695.tif 000013
［式中、ｎ２は、１〜４の整数である。＊は結合手を示す。］
【００７３】
式（ｍ１）中、ｎ２は、１〜４の整数であり、好ましくは１〜３の整数であり、より好ましくは２である。
【００７４】
さらに、脂肪族エポキシ樹脂としては、下記一般式（ｍ２）で表される化合物（以下「（ｍ２）成分」ともいう）を含むものも好適に挙げられる。
【００７５】
【化１３】
2020106695.tif 000014
［式中、ＲＥＰは、エポキシ基含有基である。複数のＲＥＰは、互いに同一であってもよく異なっていてもよい。］
【００７６】
式（ｍ２）中、ＲＥＰは、エポキシ基含有基であって、前記式（Ａ１）中のＲＥＰと同様である。
【００７７】
（Ａ）成分としては、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
（Ａ）成分は、ノボラック型エポキシ樹脂（Ａｎｖ）、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（Ａｂｐ）、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂、及びアクリル樹脂（Ａａｃ）からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂を含むことが好ましい。
これらの中でも、（Ａ）成分は、ノボラック型エポキシ樹脂（Ａｎｖ）、ビスフェノールＡ型樹脂（Ａｂｐ）、脂肪族エポキシ樹脂、及びアクリル樹脂（Ａａｃ）からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂を含むことがより好ましい。
この中でも、（Ａ）成分は、ノボラック型エポキシ樹脂（Ａｎｖ）、ビスフェノールＡ型樹脂（Ａｂｐ）、及び脂肪族エポキシ樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂を含むことがさらに好ましい。
【００７８】
本実施形態における（Ａ）成分としては、２５℃で固形状のエポキシ基含有樹脂と、２５℃で液状のエポキシ基含有モノマーとを含むことが特に好ましい。両者を併用することにより、感光性樹脂フィルムの基板への追従性が高められて、基板に対する感光性樹脂フィルムの貼り付け性がより向上する。
【００７９】
（Ａ）成分として２種以上を併用する場合、（Ａ）成分は、ノボラック型エポキシ樹脂（Ａｎｖ）と脂肪族エポキシ樹脂との組合せを含むことが特に好ましい。
かかる組合せとして具体的には、（Ａ１）成分と、（ｍ１）成分及び（ｍ２）成分からなる群より選ばれる少なくとも１種（以下「（ｍ）成分」という）と、の組合せが挙げられる。中でも、（Ａ１）成分と（ｍ２）成分との組合せが最も好ましい。
（Ａ１）成分と（ｍ）成分との質量比は、基板に対する感光性樹脂フィルムの貼り付け性の点から、（Ａ１）成分／（ｍ）成分＝７５／２５〜９５／５が好ましく、８０／２０〜９５／５がより好ましく、８５／１５〜９０／１０がさらに好ましい。
【００８０】
（Ａ）成分のポリスチレン換算質量平均分子量は、好ましくは１００〜３０００００であり、より好ましくは２００〜２０００００であり、さらに好ましくは３００〜２０００００である。このような質量平均分子量とすることにより、基板との剥離が生じにくくなり、形成される硬化膜の強度が充分に高められる。
【００８１】
また、（Ａ）成分は、分散度が１．０５以上であることが好ましい。このような分散度とすることにより、パターン形成において、リソグラフィー特性がより向上する。
ここでいう分散度とは、質量平均分子量を数平均分子量で除した値をいう。
【００８２】
（Ａ）成分の市販品としては、例えば、ノボラック型エポキシ樹脂（Ａｎｖ）として、ＪＥＲ−１５２、ＪＥＲ−１５４、ＪＥＲ−１５７Ｓ７０、ＪＥＲ−１５７Ｓ６５（以上、三菱化学株式会社製）、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−７４０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−７４０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−７７０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−７７５、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６６０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６６５、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６７０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６７３、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６８０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６９０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６９５、ＥＰＩＣＬＯＮ  ＨＰ５０００、ＥＰＩＣＬＯＮ  ＥＸＡ−４８５０−１５０、ＥＰＩＣＬＯＮ  ＥＸＡ−４８５０−１０００、ＥＰＩＣＬＯＮ  ８５０Ｓ（以上、ＤＩＣ株式会社製）、ＥＯＣＮ−１０２０（以上、日本化薬株式会社製）等が挙げられる。
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（Ａｂｐ）としては、ＪＥＲ−８２７、ＪＥＲ−８２８、ＪＥＲ−８３４、ＪＥＲ−１００１、ＪＥＲ−１００２、ＪＥＲ−１００３、ＪＥＲ−１０５５、ＪＥＲ−１００７、ＪＥＲ−１００９、ＪＥＲ−１０１０（以上、三菱化学株式会社製）、ＥＰＩＣＬＯＮ８６０、ＥＰＩＣＬＯＮ１０５０、ＥＰＩＣＬＯＮ１０５１、ＥＰＩＣＬＯＮ１０５５（以上、ＤＩＣ株式会社製）等が挙げられる。
ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂としては、ＪＥＲ−８０６、ＪＥＲ−８０７、ＪＥＲ−４００４、ＪＥＲ−４００５、ＪＥＲ−４００７、ＪＥＲ−４０１０（以上、三菱化学株式会社製）、ＥＰＩＣＬＯＮ８３０、ＥＰＩＣＬＯＮ８３５（以上、ＤＩＣ株式会社製）、ＬＣＥ−２１、ＲＥ−６０２Ｓ（以上、日本化薬株式会社製）等が挙げられる。
脂肪族エポキシ樹脂としては、ＡＤＥＫＡ  ＲＥＳＩＮ  ＥＰ−４０８０Ｓ、同ＥＰ−４０８５Ｓ、同ＥＰ−４０８８Ｓ（以上、株式会社ＡＤＥＫＡ製）、セロキサイド２０２１Ｐ、セロキサイド２０８１、セロキサイド２０８３、セロキサイド２０８５、セロキサイド８０００、ＥＨＰＥ−３１５０、ＥＰＯＬＥＡＤ  ＰＢ  ３６００、同ＰＢ  ４７００（以上、株式会社ダイセル製）、デナコール  ＥＸ−２１１Ｌ、ＥＸ−２１２Ｌ、ＥＸ−２１４Ｌ、ＥＸ−２１６Ｌ、ＥＸ−３２１Ｌ、ＥＸ−８５０Ｌ（以上、ナガセケムテックス株式会社製）、ＴＥＰＩＣ−ＶＬ、ＴＥＰＩＣ−ＵＣ（日産化学工業株式会社製）等が挙げられる。
【００８３】
本実施形態の感光性樹脂フィルム中の（Ａ）成分の含有量は、形成しようとする感光性樹脂フィルムの膜厚等に応じて調整すればよい。
【００８４】
＜カチオン重合開始剤（Ｉ）＞
カチオン重合開始剤（（Ｉ）成分）としては、たとえば、下記一般式（Ｉ１）で表される化合物（以下「（Ｉ１）成分」という）、及び下記一般式（Ｉ２）で表される化合物（以下「（Ｉ２）成分」という）からなる群より選ばれる１種以上を含むものが用いられる。
（Ｉ１）成分及び（Ｉ２）成分は、いずれも、露光により比較的に強い酸を発生するため、（Ｉ）成分を含有する感光性樹脂フィルムを用いてパターンを形成する場合に、充分な感度が得られて良好なパターンが形成される。
【００８５】
【化１４】
2020106695.tif 000015
［式中、Ｒｂ０１〜Ｒｂ０４は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよいアリール基、又はフッ素原子である。Ｒｂ０５は、置換基を有していてもよいフッ素化アルキル基、又はフッ素原子である。複数のＲｂ０５は、互いに同一であってもよく異なっていてもよい。ｑは１以上の整数であって、Ｑｑ＋は、それぞれ独立に、ｑ価の有機カチオンである。］
【００８６】
前記式（Ｉ１）中、Ｒｂ０１〜Ｒｂ０４は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよいアリール基、又はフッ素原子である。
Ｒｂ０１〜Ｒｂ０４におけるアリール基は、炭素数が５〜３０であることが好ましく、５〜２０がより好ましく、６〜１５がさらに好ましく、６〜１２が特に好ましい。具体的には、ナフチル基、フェニル基、アントラセニル基などが挙げられ、入手が容易であることからフェニル基が好ましい。
Ｒｂ０１〜Ｒｂ０４におけるアリール基は、置換基を有していてもよい。この置換基としては、特に限定されるものではないが、ハロゲン原子、水酸基、アルキル基（直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基が好ましく、炭素数は１〜５が好ましい）、ハロゲン化アルキル基が好ましく、ハロゲン原子又は炭素数１〜５のハロゲン化アルキル基がより好ましく、フッ素原子又は炭素数１〜５のフッ素化アルキル基が特に好ましい。アリール基がフッ素原子を有することにより、アニオン部の極性が高まり好ましい。
中でも、式（Ｉ１）のＲｂ０１〜Ｒｂ０４としては、それぞれ、フッ素化されたフェニル基が好ましく、パーフルオロフェニル基が特に好ましい。
【００８７】
式（Ｉ１）で表される化合物のアニオン部の好ましい具体例としては、テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート（［Ｂ（Ｃ６Ｆ５）４］−）；テトラキス［（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート（［Ｂ（Ｃ６Ｈ４ＣＦ３）４］−）；ジフルオロビス（ペンタフルオロフェニル）ボレート（［（Ｃ６Ｆ５）２ＢＦ２］−）；トリフルオロ（ペンタフルオロフェニル）ボレート（［（Ｃ６Ｆ５）ＢＦ３］−）；テトラキス（ジフルオロフェニル）ボレート（［Ｂ（Ｃ６Ｈ３Ｆ２）４］−）等が挙げられる。
中でも、テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート（［Ｂ（Ｃ６Ｆ５）４］−）が特に好ましい。
【００８８】
前記式（Ｉ２）中、Ｒｂ０５は、置換基を有していてもよいフッ素化アルキル基、又はフッ素原子である。複数のＲｂ０５は、互いに同一であってもよく異なっていてもよい。
Ｒｂ０５におけるフッ素化アルキル基は、炭素数が１〜１０であることが好ましく、１〜８がより好ましく、１〜５がさらに好ましい。具体的には、炭素数１〜５のアルキル基において、水素原子の一部又は全部がフッ素原子で置換された基が挙げられる。
中でも、Ｒｂ０５としては、フッ素原子又は炭素数１〜５のフッ素化アルキル基が好ましく、フッ素原子又は炭素数１〜５のパーフルオロアルキル基がより好ましく、フッ素原子、トリフルオロメチル基又はペンタフルオロエチル基がさらに好ましい。
【００８９】
式（Ｉ２）で表される化合物のアニオン部は、下記一般式（ｂ０−２ａ）で表されるものが好ましい。
【００９０】
【化１５】
2020106695.tif 000016
［式中、Ｒｂｆ０５は、置換基を有していてもよいフッ素化アルキル基である。ｎｂ１は、１〜５の整数である。］
【００９１】
式（ｂ０−２ａ）中、Ｒｂｆ０５における置換基を有していてもよいフッ素化アルキル基としては、前記Ｒｂ０５で挙げた、置換基を有していてもよいフッ素化アルキル基と同様である。
式（ｂ０−２ａ）中、ｎｂ１は、１〜４の整数が好ましく、２〜４の整数がより好ましく、３が最も好ましい。
【００９２】
式（Ｉ１）〜（Ｉ２）中、ｑは１以上の整数であって、Ｑｑ＋は、それぞれ独立に、ｑ価の有機カチオンである。
このＱｑ＋としては、スルホニウムカチオン、ヨードニウムカチオンが好適に挙げられ、下記の一般式（ｃａ−１）〜（ｃａ−５）でそれぞれ表される有機カチオンが特に好ましい。
【００９３】
【化１６】
2020106695.tif 000017
［式中、Ｒ２０１〜Ｒ２０７、およびＲ２１１〜Ｒ２１２は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよいアリール基、置換基を有していてもよいヘテロアリール基、置換基を有していてもよいアルキル基、又は置換基を有していてもよいアルケニル基を表す。Ｒ２０１〜Ｒ２０３、Ｒ２０６〜Ｒ２０７、Ｒ２１１〜Ｒ２１２は、相互に結合して、式中のイオウ原子と共に環を形成してもよい。Ｒ２０８〜Ｒ２０９は、それぞれ独立に、水素原子または炭素数１〜５のアルキル基を表す。Ｒ２１０は、置換基を有していてもよいアリール基、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、又は置換基を有していてもよい−ＳＯ２−含有環式基である。Ｌ２０１は、−Ｃ（＝Ｏ）−または−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−を表す。Ｙ２０１は、それぞれ独立に、アリーレン基、アルキレン基またはアルケニレン基を表す。ｘは、１または２である。Ｗ２０１は、（ｘ＋１）価の連結基を表す。］
【００９４】
Ｒ２０１〜Ｒ２０７、およびＲ２１１〜Ｒ２１２におけるアリール基としては、炭素数６〜２０の置換又は無置換のアリール基が挙げられ、フェニル基、ナフチル基が好ましい。
Ｒ２０１〜Ｒ２０７、およびＲ２１１〜Ｒ２１２におけるヘテロアリール基としては、前記アリール基を構成する炭素原子の一部がヘテロ原子で置換されたものが挙げられる。
ヘテロ原子としては、酸素原子、硫黄原子、窒素原子等が挙げられる。このヘテロアリール基として、９Ｈ−チオキサンテンから水素原子を１つ除いた基；置換ヘテロアリール基として、９Ｈ−チオキサンテン−９−オンから水素原子を１つ除いた基などが挙げられる。
Ｒ２０１〜Ｒ２０７、およびＲ２１１〜Ｒ２１２におけるアルキル基としては、鎖状又は環状のアルキル基であって、炭素数１〜３０のものが好ましい。
Ｒ２０１〜Ｒ２０７、およびＲ２１１〜Ｒ２１２におけるアルケニル基としては、炭素数が２〜１０であることが好ましい。
Ｒ２０１〜Ｒ２０７、およびＲ２１０〜Ｒ２１２が有していてもよい置換基としては、例えば、アルキル基、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、カルボニル基、シアノ基、アミノ基、オキソ基（＝Ｏ）、アリール基、下記式（ｃａ−ｒ−１）〜（ｃａ−ｒ−１０）でそれぞれ表される基が挙げられる。
【００９５】
【化１７】
2020106695.tif 000018
［式中、Ｒ’２０１は、それぞれ独立に、水素原子、置換基を有していてもよい環式基、置換基を有していてもよい鎖状のアルキル基、又は置換基を有していてもよい鎖状のアルケニル基である。］
【００９６】
前記の式（ｃａ−ｒ−１）〜（ｃａ−ｒ−１０）中、Ｒ’２０１は、それぞれ独立に、水素原子、置換基を有していてもよい環式基、置換基を有していてもよい鎖状のアルキル基、又は置換基を有していてもよい鎖状のアルケニル基である。
【００９７】
置換基を有していてもよい環式基：
該環式基は、環状の炭化水素基であることが好ましく、該環状の炭化水素基は、芳香族炭化水素基であってもよく、環状の脂肪族炭化水素基であってもよい。脂肪族炭化水素基は、芳香族性を持たない炭化水素基を意味する。また、脂肪族炭化水素基は、飽和であってもよく、不飽和であってもよく、通常は飽和であることが好ましい。
【００９８】
Ｒ’２０１における芳香族炭化水素基は、芳香環を有する炭化水素基である。該芳香族炭化水素基の炭素数は３〜３０であることが好ましく、５〜３０であることがより好ましく、５〜２０がさらに好ましく、６〜１５が特に好ましく、６〜１０が最も好ましい。ただし、該炭素数には、置換基における炭素数を含まないものとする。
Ｒ’２０１における芳香族炭化水素基が有する芳香環として具体的には、ベンゼン、フルオレン、ナフタレン、アントラセン、フェナントレン、ビフェニル、もしくはこれらの芳香環を構成する炭素原子の一部がヘテロ原子で置換された芳香族複素環、又は、これらの芳香環もしくは芳香族複素環を構成する水素原子の一部がオキソ基などで置換された環が挙げられる。芳香族複素環におけるヘテロ原子としては、酸素原子、硫黄原子、窒素原子等が挙げられる。
Ｒ’２０１における芳香族炭化水素基として具体的には、前記芳香環から水素原子を１つ除いた基（アリール基：たとえば、フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基など）、前記芳香環の水素原子の１つがアルキレン基で置換された基（たとえば、ベンジル基、フェネチル基、１−ナフチルメチル基、２−ナフチルメチル基、１−ナフチルエチル基、２−ナフチルエチル基等のアリールアルキル基など）、前記芳香環を構成する水素原子の一部がオキソ基などで置換された環（たとえばアントラキノン等）から水素原子を１つ除いた基、芳香族複素環（たとえば９Ｈ−チオキサンテン、９Ｈ−チオキサンテン−９−オンなど）から水素原子を１つ除いた基等が挙げられる。前記アルキレン基（アリールアルキル基中のアルキル鎖）の炭素数は、１〜４であることが好ましく、１〜２であることがより好ましく、１であることが特に好ましい。
【００９９】
Ｒ’２０１における環状の脂肪族炭化水素基は、構造中に環を含む脂肪族炭化水素基が挙げられる。
この構造中に環を含む脂肪族炭化水素基としては、脂環式炭化水素基（脂肪族炭化水素環から水素原子を１個除いた基）、脂環式炭化水素基が直鎖状または分岐鎖状の脂肪族炭化水素基の末端に結合した基、脂環式炭化水素基が直鎖状または分岐鎖状の脂肪族炭化水素基の途中に介在する基などが挙げられる。
前記脂環式炭化水素基は、炭素数が３〜２０であることが好ましく、３〜１２であることがより好ましい。
前記脂環式炭化水素基は、多環式基であってもよく、単環式基であってもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、モノシクロアルカンから１個以上の水素原子を除いた基が好ましい。該モノシクロアルカンとしては、炭素数３〜６のものが好ましく、具体的にはシクロペンタン、シクロヘキサン等が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、ポリシクロアルカンから１個以上の水素原子を除いた基が好ましく、該ポリシクロアルカンとしては、炭素数７〜３０のものが好ましい。中でも、該ポリシクロアルカンとしては、アダマンタン、ノルボルナン、イソボルナン、トリシクロデカン、テトラシクロドデカン等の架橋環系の多環式骨格を有するポリシクロアルカン；ステロイド骨格を有する環式基等の縮合環系の多環式骨格を有するポリシクロアルカンがより好ましい。
【０１００】
なかでも、Ｒ’２０１における環状の脂肪族炭化水素基としては、モノシクロアルカンまたはポリシクロアルカンから水素原子を１つ以上除いた基が好ましく、ポリシクロアルカンから水素原子を１つ除いた基がより好ましく、アダマンチル基、ノルボルニル基が特に好ましく、アダマンチル基が最も好ましい。
【０１０１】
脂環式炭化水素基に結合してもよい、直鎖状または分岐鎖状の脂肪族炭化水素基は、炭素数が１〜１０であることが好ましく、１〜６がより好ましく、１〜４がさらに好ましく、１〜３が最も好ましい。
直鎖状の脂肪族炭化水素基としては、直鎖状のアルキレン基が好ましく、具体的には、メチレン基［−ＣＨ２−］、エチレン基［−（ＣＨ２）２−］、トリメチレン基［−（ＣＨ２）３−］、テトラメチレン基［−（ＣＨ２）４−］、ペンタメチレン基［−（ＣＨ２）５−］等が挙げられる。
分岐鎖状の脂肪族炭化水素基としては、分岐鎖状のアルキレン基が好ましく、具体的には、−ＣＨ（ＣＨ３）−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）２−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ２ＣＨ３）２−等のアルキルメチレン基；−ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ（ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）２ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ３）ＣＨ２−、−Ｃ（ＣＨ２ＣＨ３）２−ＣＨ２−等のアルキルエチレン基；−ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２−等のアルキルトリメチレン基；−ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２ＣＨ２−等のアルキルテトラメチレン基などのアルキルアルキレン基等が挙げられる。アルキルアルキレン基におけるアルキル基としては、炭素数１〜５の直鎖状のアルキル基が好ましい。
【０１０２】
置換基を有していてもよい鎖状のアルキル基：
Ｒ’２０１の鎖状のアルキル基としては、直鎖状又は分岐鎖状のいずれでもよい。
直鎖状のアルキル基としては、炭素数が１〜２０であることが好ましく、１〜１５であることがより好ましく、１〜１０が最も好ましい。具体的には、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デカニル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリデシル基、イソトリデシル基、テトラデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、イソヘキサデシル基、ヘプタデシル基、オクタデシル基、ノナデシル基、イコシル基、ヘンイコシル基、ドコシル基等が挙げられる。
分岐鎖状のアルキル基としては、炭素数が３〜２０であることが好ましく、３〜１５であることがより好ましく、３〜１０が最も好ましい。具体的には、例えば、１−メチルエチル基、１−メチルプロピル基、２−メチルプロピル基、１−メチルブチル基、２−メチルブチル基、３−メチルブチル基、１−エチルブチル基、２−エチルブチル基、１−メチルペンチル基、２−メチルペンチル基、３−メチルペンチル基、４−メチルペンチル基などが挙げられる。
【０１０３】
置換基を有していてもよい鎖状のアルケニル基：
Ｒ’２０１の鎖状のアルケニル基としては、直鎖状又は分岐鎖状のいずれでもよく、炭素数が２〜１０であることが好ましく、２〜５がより好ましく、２〜４がさらに好ましく、３が特に好ましい。直鎖状のアルケニル基としては、例えば、ビニル基、プロペニル基（アリル基）、ブチニル基などが挙げられる。分岐鎖状のアルケニル基としては、例えば、１−メチルビニル基、２−メチルビニル基、１−メチルプロペニル基、２−メチルプロペニル基などが挙げられる。
鎖状のアルケニル基としては、上記の中でも、直鎖状のアルケニル基が好ましく、ビニル基、プロペニル基がより好ましく、ビニル基が特に好ましい。
【０１０４】
Ｒ’２０１の環式基、鎖状のアルキル基またはアルケニル基における置換基としては、たとえば、アルコキシ基、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、水酸基、カルボニル基、ニトロ基、アミノ基、オキソ基、上記Ｒ’２０１における環式基、アルキルカルボニル基、チエニルカルボニル基等が挙げられる。
【０１０５】
なかでも、Ｒ’２０１は、置換基を有していてもよい環式基、置換基を有していてもよい鎖状のアルキル基が好ましい。
【０１０６】
Ｒ２０１〜Ｒ２０３、Ｒ２０６〜Ｒ２０７、Ｒ２１１〜Ｒ２１２は、相互に結合して式中のイオウ原子と共に環を形成する場合、硫黄原子、酸素原子、窒素原子等のヘテロ原子や、カルボニル基、−ＳＯ−、−ＳＯ２−、−ＳＯ３−、−ＣＯＯ−、−ＣＯＮＨ−または−Ｎ（ＲＮ）−（該ＲＮは炭素数１〜５のアルキル基である。）等の官能基を介して結合してもよい。形成される環としては、式中のイオウ原子をその環骨格に含む１つの環が、イオウ原子を含めて、３〜１０員環であることが好ましく、５〜７員環であることが特に好ましい。形成される環の具体例としては、たとえばチオフェン環、チアゾール環、ベンゾチオフェン環、チアントレン環、ベンゾチオフェン環、ジベンゾチオフェン環、９Ｈ−チオキサンテン環、チオキサントン環、チアントレン環、フェノキサチイン環、テトラヒドロチオフェニウム環、テトラヒドロチオピラニウム環等が挙げられる。
【０１０７】
前記式（ｃａ−３）中、Ｒ２０８〜Ｒ２０９は、それぞれ独立に、水素原子または炭素数１〜５のアルキル基を表し、水素原子又は炭素数１〜３のアルキル基が好ましく、アルキル基となる場合、相互に結合して環を形成してもよい。
【０１０８】
前記式（ｃａ−３）中、Ｒ２１０は、置換基を有していてもよいアリール基、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、又は置換基を有していてもよい−ＳＯ２−含有環式基である。
Ｒ２１０におけるアリール基としては、炭素数６〜２０の無置換のアリール基が挙げられ、フェニル基、ナフチル基が好ましい。
Ｒ２１０におけるアルキル基としては、鎖状又は環状のアルキル基であって、炭素数１〜３０のものが好ましい。
Ｒ２１０におけるアルケニル基としては、炭素数が２〜１０であることが好ましい。
【０１０９】
前記の式（ｃａ−４）、式（ｃａ−５）中、Ｙ２０１は、それぞれ独立に、アリーレン基、アルキレン基又はアルケニレン基を表す。
Ｙ２０１におけるアリーレン基は、Ｒ’２０１における芳香族炭化水素基として例示したアリール基から水素原子を１つ除いた基が挙げられる。
Ｙ２０１におけるアルキレン基、アルケニレン基は、Ｒ’２０１における鎖状のアルキル基、鎖状のアルケニル基として例示した基から水素原子を１つ除いた基が挙げられる。
【０１１０】
前記の式（ｃａ−４）、式（ｃａ−５）中、ｘは、１または２である。
Ｗ２０１は、（ｘ＋１）価、すなわち２価または３価の連結基である。
Ｗ２０１における２価の連結基としては、置換基を有していてもよい２価の炭化水素基が好ましく、上記式（Ａ１）中のＲＥＰで例示した置換基を有していてもよい２価の炭化水素基と同様の基が好ましい。Ｗ２０１における２価の連結基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれであってもよく、環状であることが好ましい。なかでも、アリーレン基の両端に２個のカルボニル基が組み合わされた基、又はアリーレン基のみからなる基が好ましい。アリーレン基としては、フェニレン基、ナフチレン基等が挙げられ、フェニレン基が特に好ましい。
Ｗ２０１における３価の連結基としては、前記Ｗ２０１における２価の連結基から水素原子を１個除いた基、前記２価の連結基にさらに前記２価の連結基が結合した基などが挙げられる。Ｗ２０１における３価の連結基としては、アリーレン基に２個のカルボニル基が結合した基が好ましい。
【０１１１】
前記式（ｃａ−１）で表される好適なカチオンとして具体的には、下記式（ｃａ−１−１）〜（ｃａ−１−２４）でそれぞれ表されるカチオンが挙げられる。
【０１１２】
【化１８】
2020106695.tif 000019
【０１１３】
【化１９】
2020106695.tif 000020
［式中、Ｒ”２０１は、水素原子又は置換基である。該置換基としては、前記Ｒ２０１〜Ｒ２０７、およびＲ２１０〜Ｒ２１２が有していてもよい置換基として挙げたものと同様である。］
【０１１４】
また、前記式（ｃａ−１）で表されるカチオンとしては、下記一般式（ｃａ−１−２５）〜（ｃａ−１−３５）でそれぞれ表されるカチオンも好ましい。
【０１１５】
【化２０】
2020106695.tif 000021
【０１１６】
【化２１】
2020106695.tif 000022
［式中、Ｒ’２１１はアルキル基である。Ｒｈａｌは、水素原子又はハロゲン原子である。］
【０１１７】
また、前記式（ｃａ−１）で表されるカチオンとしては、下記化学式（ｃａ−１−３６）〜（ｃａ−１−４６）でそれぞれ表されるカチオンも好ましい。
【０１１８】
【化２２】
2020106695.tif 000023
【０１１９】
前記式（ｃａ−２）で表される好適なカチオンとして具体的には、ジフェニルヨードニウムカチオン、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムカチオン等が挙げられる。
【０１２０】
前記式（ｃａ−４）で表される好適なカチオンとして具体的には、下記式（ｃａ−４−１）〜（ｃａ−４−２）でそれぞれ表されるカチオンが挙げられる。
【０１２１】
【化２３】
2020106695.tif 000024
【０１２２】
また、前記式（ｃａ−５）で表されるカチオンとしては、下記一般式（ｃａ−５−１）〜（ｃａ−５−３）でそれぞれ表されるカチオンも好ましい。
【０１２３】
【化２４】
2020106695.tif 000025
［式中、Ｒ’２１２はアルキル基又は水素原子である。Ｒ’２１１はアルキル基である。］
【０１２４】
上記の中でも、カチオン部［（Ｑｑ＋）１／ｑ］は、一般式（ｃａ−１）で表されるカチオンが好ましく、式（ｃａ−１−１）〜（ｃａ−１−４６）でそれぞれ表されるカチオンがより好ましい。
【０１２５】
また、（Ｉ）成分は、樹脂膜の高弾性化、及び、残渣なく微細構造を形成しやすい点から、露光によりｐＫａ（酸解離定数）が−５以下の酸を発生するカチオン重合開始剤であることが好ましい。より好ましくはｐＫａが−６以下、さらに好ましくはｐＫａが−８以下の酸を発生するカチオン重合開始剤を用いることにより、露光に対する高い感度を得ることが可能となる。（Ｉ）成分が発生する酸のｐＫａの下限値は、好ましくは−１５以上である。かかる好適なｐＫａの酸を発生するカチオン重合開始剤を用いることで、高感度化が図られやすくなる。
ここで「ｐＫａ（酸解離定数）」とは、対象物質の酸強度を示す指標として一般的に用いられているものをいう。なお、本明細書におけるｐＫａは、２５℃の温度条件における値である。また、ｐＫａ値は、公知の手法により測定して求めることができる。また、「ＡＣＤ／Ｌａｂｓ」（商品名、Ａｄｖａｎｃｅｄ  Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ  Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ社製）等の公知のソフトウェアを用いた計算値を用いることもできる。
【０１２６】
以下に好適な（Ｉ）成分の具体例を挙げる。
【０１２７】
【化２５】
2020106695.tif 000026
【０１２８】
【化２６】
2020106695.tif 000027
【０１２９】
他のカチオン重合開始剤（Ｉ３）：
本実施形態の感光性樹脂フィルムは、前述したカチオン重合開始剤以外の公知のカチオン重合開始剤（Ｉ３）（以下「（Ｉ３）成分」という）を含有してもよい。
（Ｉ３）成分としては、好ましくはｐＫａが−３以上、より好ましくはｐＫａが０以上、さらに好ましくはｐＫａが１以上である酸を発生するカチオン重合開始剤が挙げられ、中でもオニウム塩であって、そのアニオン部にハロゲン原子を有しない化合物が好ましい。アニオン部にハロゲン原子を有しない（Ｉ３）成分を用いることにより、ガスの発生（脱ガス）がより低減されやすくなる。（Ｉ３）成分が発生する酸のｐＫａの上限値は、好ましくは５以下である。
【０１３０】
（Ｉ３）成分としては、下記一般式（ｂ１−１）で表される化合物（以下「（ｂ１−１）成分」という。）、及び下記一般式（ｂ１−２）で表される化合物（以下「（ｂ１−２）成分」という。）からなる群より選ばれる１種以上の化合物が好ましい。
【０１３１】
【化２７】
2020106695.tif 000028
［式中、Ｒｂ１１〜Ｒｂ１２は、ハロゲン原子以外の置換基を有していてもよい環式基、ハロゲン原子以外の置換基を有していてもよい鎖状のアルキル基、又はハロゲン原子以外の置換基を有していてもよい鎖状のアルケニル基である。ｍは１以上の整数であって、Ｍｍ＋はそれぞれ独立にｍ価の有機カチオンである。］
【０１３２】
｛（ｂ１−１）成分｝
・アニオン部
式（ｂ１−１）中、Ｒｂ１１は、ハロゲン原子以外の置換基を有していてもよい環式基、ハロゲン原子以外の置換基を有していてもよい鎖状のアルキル基、又はハロゲン原子以外の置換基を有していてもよい鎖状のアルケニル基であって、上述したＲ’２０１の説明中の環式基、鎖状のアルキル基、鎖状のアルケニル基のうち、置換基を有しないもの又はハロゲン原子以外の置換基を有するものが挙げられる。
ここでいう「ハロゲン原子以外の置換基を有していてもよい」とは、ハロゲン原子のみからなる置換基を有する場合を排除するのみではなく、ハロゲン原子を１つでも含む置換基を有する場合（例えば、置換基がフッ素化アルキル基である場合等）を排除するものである。
【０１３３】
これらのなかでも、Ｒｂ１１としては、ハロゲン原子以外の置換基を有していてもよい芳香族炭化水素基、ハロゲン原子以外の置換基を有していてもよい脂肪族環式基、又はハロゲン原子以外の置換基を有していてもよい鎖状のアルキル基が好ましい。これらの基が有していてもよい置換基としては、水酸基、オキソ基、アルキル基、アリール基、ラクトン含有環式基、エーテル結合、エステル結合、又はこれらの組合せが挙げられる。
エーテル結合やエステル結合を置換基として含む場合、アルキレン基を介していてもよく、この場合の置換基としては、下記一般式（ｙ−ａｌ−１）〜（ｙ−ａｌ−７）でそれぞれ表される連結基が好ましい。
【０１３４】
【化２８】
2020106695.tif 000029
［式中、Ｖ’１０１は単結合または炭素数１〜５のアルキレン基であり、Ｖ’１０２は炭素数１〜３０の２価の飽和炭化水素基である。］
【０１３５】
Ｖ’１０２における２価の飽和炭化水素基は、炭素数１〜３０のアルキレン基であることが好ましく、炭素数１〜１０のアルキレン基であることがより好ましく、炭素数１〜５のアルキレン基であることがさらに好ましい。
【０１３６】
Ｖ’１０１およびＶ’１０２におけるアルキレン基としては、直鎖状のアルキレン基でもよく分岐鎖状のアルキレン基でもよく、直鎖状のアルキレン基が好ましい。
Ｖ’１０１およびＶ’１０２におけるアルキレン基として、具体的には、メチレン基［−ＣＨ２−］；−ＣＨ（ＣＨ３）−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）２−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ２ＣＨ３）２−等のアルキルメチレン基；エチレン基［−ＣＨ２ＣＨ２−］；−ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ（ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）２ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ３）ＣＨ２−等のアルキルエチレン基；トリメチレン基（ｎ−プロピレン基）［−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−］；−ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２−等のアルキルトリメチレン基；テトラメチレン基［−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−］；−ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２ＣＨ２−等のアルキルテトラメチレン基；ペンタメチレン基［−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−］等が挙げられる。
また、Ｖ’１０１又はＶ’１０２における前記アルキレン基における一部のメチレン基が、炭素数５〜１０の２価の脂肪族環式基で置換されていてもよい。当該脂肪族環式基は、Ｒ’２０１の環状の脂肪族炭化水素基（単環式の脂環式炭化水素基、多環式の脂環式炭化水素基）から水素原子をさらに１つ除いた２価の基が好ましく、シクロへキシレン基、１，５−アダマンチレン基又は２，６−アダマンチレン基がより好ましい。
【０１３７】
前記芳香族炭化水素基としては、フェニル基もしくはナフチル基がより好ましい。
前記脂肪族環式基としては、アダマンタン、ノルボルナン、イソボルナン、トリシクロデカン、テトラシクロドデカン等のポリシクロアルカンから１個以上の水素原子を除いた基であることがより好ましい。
前記鎖状のアルキル基としては、炭素数が１〜１０であることが好ましく、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等の直鎖状のアルキル基；１−メチルエチル基、１−メチルプロピル基、２−メチルプロピル基、１−メチルブチル基、２−メチルブチル基、３−メチルブチル基、１−エチルブチル基、２−エチルブチル基、１−メチルペンチル基、２−メチルペンチル基、３−メチルペンチル基、４−メチルペンチル基等の分岐鎖状のアルキル基が挙げられる。
【０１３８】
Ｒｂ１１としては、ハロゲン原子以外の置換基を有していてもよい環式基が好ましい。
以下に（ｂ１−１）成分のアニオン部の好ましい具体例を示す。
【０１３９】
【化２９】
2020106695.tif 000030
【０１４０】
・カチオン部
式（ｂ１−１）中、Ｍｍ＋は、ｍ価の有機カチオンである。
Ｍｍ＋の有機カチオンとしては、前記一般式（ｃａ−１）〜（ｃａ−５）でそれぞれ表されるカチオンと同様のものが好適に挙げられ、これらの中でも、前記一般式（ｃａ−１）で表されるカチオンがより好ましい。この中でも、前記一般式（ｃａ−１）中のＲ２０１、Ｒ２０２、Ｒ２０３のうちの少なくとも１つが、置換基を有していてもよい炭素数１６以上の有機基（アリール基、ヘテロアリール基、アルキル基またはアルケニル基）であるスルホニウムカチオンが、解像性やラフネス特性が向上することから特に好ましい。
前記の有機基が有していてもよい置換基としては、上記と同様であり、アルキル基、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、カルボニル基、シアノ基、アミノ基、オキソ基（＝Ｏ）、アリール基、上記式（ｃａ−ｒ−１）〜（ｃａ−ｒ−１０）でそれぞれ表される基が挙げられる。
前記の有機基（アリール基、ヘテロアリール基、アルキル基またはアルケニル基）における炭素数は、好ましくは１６〜２５、より好ましくは１６〜２０であり、特に好ましくは１６〜１８であり、かかるＭｍ＋の有機カチオンとしては、例えば、前記式（ｃａ−１−２５）、（ｃａ−１−２６）、（ｃａ−１−２８）〜（ｃａ−１−３６）、（ｃａ−１−３８）、（ｃａ−１−４６）でそれぞれ表されるカチオンが好適に挙げられる。
（ｂ１−１）成分は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【０１４１】
｛（ｂ１−２）成分｝
・アニオン部
式（ｂ１−２）中、Ｒｂ１２は、ハロゲン原子以外の置換基を有していてもよい環式基、ハロゲン原子以外の置換基を有していてもよい鎖状のアルキル基、又はハロゲン原子以外の置換基を有していてもよい鎖状のアルケニル基であって、上述したＲ’２０１の説明中の環式基、鎖状のアルキル基、鎖状のアルケニル基のうち、置換基を有しないもの又はハロゲン原子以外の置換基を有するものが挙げられる。
Ｒｂ１２としては、ハロゲン原子以外の置換基を有していてもよい鎖状のアルキル基、又はハロゲン原子以外の置換基を有していてもよい脂肪族環式基であることが好ましい。
鎖状のアルキル基としては、炭素数１〜１０であることが好ましく、３〜１０であることがより好ましい。脂肪族環式基としては、アダマンタン、ノルボルナン、イソボルナン、トリシクロデカン、テトラシクロドデカン等から１個以上の水素原子を除いた基（ハロゲン原子以外の置換基を有していてもよい）；カンファー等から１個以上の水素原子を除いた基であることがより好ましい。
Ｒｂ１２の炭化水素基はハロゲン原子以外の置換基を有していてもよく、該置換基としては、前記式（ｂ１−１）のＲｂ１１における炭化水素基（芳香族炭化水素基、脂肪族環式基、鎖状のアルキル基）が有していてもよいハロゲン原子以外の置換基と同様のものが挙げられる。
【０１４２】
以下に（ｂ１−２）成分のアニオン部の好ましい具体例を示す。
【０１４３】
【化３０】
2020106695.tif 000031
【０１４４】
・カチオン部
式（ｂ１−２）中、Ｍｍ＋は、ｍ価の有機カチオンであり、前記式（ｂ１−１）中のＭｍ＋と同様である。中でも、かかるＭｍ＋の有機カチオンとしては、例えば、前記式（ｃａ−１−２５）、（ｃａ−１−２６）、（ｃａ−１−２８）〜（ｃａ−１−３６）、（ｃａ−１−３８）、（ｃａ−１−４６）でそれぞれ表されるカチオンが好適に挙げられる。
（ｂ１−２）成分は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【０１４５】
（Ｉ）成分は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
（Ｉ）成分としては、（Ｉ１）成分及び（Ｉ２）成分からなる群より選択される少なくとも一種が好ましく、（Ｉ１）成分と（Ｉ２）成分とを組み合わせて用いることがより好ましい。
（Ｉ）成分の含有量は、（Ａ）成分１００質量部に対して、０．２〜１５質量部であることが好ましく、０．５〜７質量部であることがより好ましく、１〜３質量部であることがさらに好ましい。
（Ｉ）成分の含有量が、前記の好ましい範囲の下限値以上であると、充分な感度が得られて、パターンのリソグラフィー特性がより向上する。加えて、硬化膜の強度がより高められる。一方、前記の好ましい範囲の上限値以下であると、感度が適度に制御され、良好な形状のパターンが得られやすくなる。
【０１４６】
また、（Ｉ）成分の含有量は、（Ａ）成分と後述の（Ｍ）成分との総量１００質量部に対して０．２〜１０質量部であることが好ましく、０．５〜５質量部であることがより好ましく、０．８〜２質量部であることがさらに好ましい。
（Ｉ）成分の含有量が、前記の好ましい範囲内であると、硬化膜の強度がより高められ、良好な形状で高解像のパターンが形成されやすくなる。
【０１４７】
本実施形態の感光性樹脂フィルムにおいて、前記（Ｉ）成分の含有量は、前記の（Ａ）成分と（Ｉ）成分と（Ｍ）成分との総量（１００質量％）に対して０．２〜１０質量％であることが好ましく、０．５〜５質量％であることがより好ましく、０．７〜３質量％であることがさらに好ましい。
かかる（Ｉ）成分の含有量が、前記の好ましい範囲内であると、硬化膜の強度がより高められ、良好な形状で高解像のパターンが形成されやすくなる。
【０１４８】
＜その他成分＞
本実施形態の感光性樹脂フィルムは、前記の（Ａ）成分及び（Ｉ）成分以外に、必要に応じてその他成分を含有してもよい。
実施形態の感光性樹脂フィルムには、所望により、混和性のある添加剤、例えば膜の性能を改良するための付加的樹脂、溶解抑制剤、塩基性化合物、可塑剤、安定剤、着色剤、ハレーション防止剤などを適宜、添加含有させることができる。
【０１４９】
≪金属酸化物（Ｍ）≫
本実施形態の感光性樹脂フィルムは、（Ａ）成分及び（Ｉ）成分に加えて、強度が高められた硬化膜が得られやすいことから、さらに、金属酸化物（Ｍ）（以下「（Ｍ）成分」ともいう）を含有することが好ましい。また、（Ｍ）成分を併有することで、良好な形状で高解像のパターンを形成し得る。
（Ｍ）成分としては、例えば、ケイ素（金属ケイ素）、チタン、ジルコニウム、ハフニウム等の金属の酸化物が挙げられる。これらの中でも、ケイ素の酸化物が好ましく、この中でもシリカを用いることが特に好ましい。
【０１５０】
また、（Ｍ）成分の形状は、粒子状であることが好ましい。
かかる粒子状の（Ｍ）成分としては、体積平均粒子径が５〜４０ｎｍの粒子群からなるものが好ましく、体積平均粒子径が５〜３０ｎｍの粒子群からなるものがより好ましく、体積平均粒子径が１０〜２０ｎｍの粒子群からなるものがさらに好ましい。
（Ｍ）成分の体積平均粒子径が、前記の好ましい範囲の下限値以上であると、硬化膜の強度が高められやすくなる。一方、前記の好ましい範囲の上限値以下であると、パターンの形成において、残渣が生じにくくなり、より高解像のパターンが形成されやすくなる。
加えて、樹脂膜の透明性が高められる。
（Ｍ）成分の粒子径は、露光光源に応じて適宜選択すればよい。一般的に、光の波長に対して、１／１０以下の粒子径を持つ粒子は、光散乱の影響はほぼ考えなくてよいとされている。このため、例えばｉ線（３６５ｎｍ）でのフォトリソグラフィーにより微細構造を形成する場合、（Ｍ）成分としては、１次粒子径（体積平均値）１０〜２０ｎｍの粒子群（特に好ましくはシリカ粒子群）を用いることが好ましい。
【０１５１】
（Ｍ）成分としては、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
（Ｍ）成分を含む場合の含有量は、（Ａ）成分１００質量部に対して、５〜５０質量部であることが好ましく、１０〜４０質量部であることがより好ましい。
（Ｍ）成分の含有量が、前記の好ましい範囲の下限値以上であると、硬化膜の強度がより高められる。一方、前記の好ましい範囲の上限値以下であると、樹脂膜の透明性がより高められる。また、感光性樹脂フィルムの液垂れが抑制されやすくなる。
【０１５２】
≪シランカップリング剤≫
本実施形態の感光性樹脂フィルムは、基板との接着性を向上させるため、さらに接着助剤を含有していてもよい。この接着助剤としては、シランカップリング剤が好ましい。
シランカップリング剤としては、例えばカルボキシ基、メタクリロイル基、イソシアナート基、エポキシ基等の反応性置換基を有するシランカップリング剤が挙げられる。具体例としては、トリメトキシシリル安息香酸、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン等が挙げられる。
シランカップリング剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
シランカップリング剤を含む場合の含有量は、（Ａ）成分１００質量部に対して、２．５〜２０質量部であることが好ましく、３〜１５質量部であることがより好ましく、３〜１０質量部であることがさらに好ましい。
シランカップリング剤の含有量が、前記の好ましい範囲であると、硬化膜の強度がより高められる。加えて、硬化膜と基板との接着性がより強められる。
【０１５３】
≪増感剤成分≫
本実施形態の感光性樹脂フィルムは、さらに、増感剤成分を含有してもよい。
増感剤成分としては、露光によるエネルギーを吸収して、そのエネルギーを他の物質に伝達し得るものであれば特に限定されるものではない。
増感剤成分として具体的には、ベンゾフェノン、ｐ，ｐ’−テトラメチルジアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン系光増感剤、カルバゾール系光増感剤、アセトフェン系光増感剤、１，５−ジヒドロキシナフタレン等のナフタレン系光増感剤、フェノール系光増感剤、９−エトキシアントラセン等のアントラセン系光増感剤、ビアセチル、エオシン、ローズベンガル、ピレン、フェノチアジン、アントロン等の公知の光増感剤を用いることができる。
増感剤成分は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
増感剤成分を含む場合の含有量は、（Ａ）成分１００質量部に対して、０．１〜１５質量部であることが好ましく、０．３〜１０質量部であることがより好ましく、０．５〜５質量部であることがさらに好ましい。
増感剤成分の含有量が前記の好ましい範囲であると、感度及び解像性がより高められる。
【０１５４】
≪溶剤≫
本実施形態の感光性樹脂フィルムは、さらに、溶剤（以下「（Ｓ）成分」ということがある）を含有してもよい。
（Ｓ）成分としては、例えば、γ−ブチロラクトン等のラクトン類；アセトン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、シクロヘキサノン、メチル−ｎ−ペンチルケトン、メチルイソペンチルケトン、２−ヘプタノンなどのケトン類；エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコールなどの多価アルコール類；エチレングリコールモノアセテート、ジエチレングリコールモノアセテート、プロピレングリコールモノアセテート、またはジプロピレングリコールモノアセテート等のエステル結合を有する化合物、前記多価アルコール類または前記エステル結合を有する化合物のモノメチルエーテル、モノエチルエーテル、モノプロピルエーテル、モノブチルエーテル等のモノアルキルエーテルまたはモノフェニルエーテル等のエーテル結合を有する化合物等の多価アルコール類の誘導体［これらの中では、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）が好ましい］；ジオキサンのような環式エーテル類や、乳酸メチル、乳酸エチル（ＥＬ）、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチルなどのエステル類；アニソール、エチルベンジルエーテル、クレジルメチルエーテル、ジフェニルエーテル、ジベンジルエーテル、フェネトール、ブチルフェニルエーテル、エチルベンゼン、ジエチルベンゼン、ペンチルベンゼン、イソプロピルベンゼン、トルエン、キシレン、シメン、メシチレン等の芳香族系有機溶剤、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）等が挙げられる。
（Ｓ）成分は、１種を単独で用いてもよく、２種以上の混合溶剤として用いてもよい。
【０１５５】
（Ｓ）成分を含む場合の使用量は、特に限定されず、感光性樹脂フィルムを基板等に液垂れが無く貼り付け可能な濃度で、塗布膜厚に応じて適宜設定される。
たとえば、固形分濃度が５０質量％以上となるように（Ｓ）成分を使用することができ、６０質量％以上となるように（Ｓ）成分を使用することができ、７０質量％以上となるように（Ｓ）成分を使用することができる。
また、（Ｓ）成分を実質的に含まない態様（すなわち、固形分濃度が１００質量％である態様）も採用できる。
【０１５６】
［感光性樹脂フィルムの製造方法］
本実施形態の感光性樹脂フィルムは、例えば、基材フィルム上に、上述した（Ａ）成分と（Ｉ）成分とその他成分とを含有するネガ型感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥させた後に、基材フィルムを剥離することにより製造できる。
基材フィルム上へのネガ型感光性樹脂組成物の塗布は、ブレードコーター、リップコーター、コンマコーター、フィルムコーター等のアプリケーターによる適宜の方法を用いて行えばよい。
感光性樹脂フィルムの膜厚は、１００μｍ以下が好ましく、より好ましくは５〜５０μｍである。
【０１５７】
基材フィルムには、公知のものを使用でき、例えば熱可塑性樹脂フィルム等が用いられる。この熱可塑性樹脂としては、例えばポリエチレンテレフタレート等のポリエステルが挙げられる。基材フィルムの厚さは、好ましくは２〜１５０μｍである。
【０１５８】
本実施形態の感光性樹脂フィルムは、パターン形成方法において、例えば、該樹脂フィルムの一方の面に基材フィルムを有する積層体として用いることができる。
また、本実施形態の感光性樹脂フィルムは、パターン形成方法において、例えば、該樹脂フィルムの一方の面に基材フィルムを有し、他方の面にカバーフィルムを有する積層体として用いることができる。カバーフィルムには、公知のものを使用でき、例えばポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等が用いられる。カバーフィルムとしては、感光性樹脂フィルムとの接着力が、基材フィルムよりも小さいフィルムが好ましい。カバーフィルムの厚さは、好ましくは２〜１５０μｍ、より好ましくは２〜１００μｍ、さらに好ましくは５〜５０μｍである。
基材フィルムとカバーフィルムとは、同一のフィルム材料であってもよいし、異なるフィルム材料を用いてもよい。
【０１５９】
（パターン形成方法）
本実施形態のパターン形成方法は、上述した実施形態の感光性樹脂フィルムを、基板の両面にラミネートする工程（ｉ）と、前記基板の両面にラミネートした感光性樹脂フィルムを露光する工程（ｉｉ）と、前記基板の両面が水平面に対して傾斜した状態又は垂直な状態で、前記露光後の感光性樹脂フィルムをベークする工程（ｉｉｉ）と、前記ベーク後の感光性樹脂フィルムを現像して、前記基板の両面にネガ型パターンを形成する工程（ｉｖ）と、を有する。
本実施形態のパターン形成方法は、例えば以下のようにして行うことができる。
【０１６０】
［工程（ｉ）］
工程（ｉ）では、上述した実施形態の感光性樹脂フィルムを、基板の両面にラミネートする。
例えば、基板面を水平方向と平行にして基板を搬送しながら、基板の両方の面にそれぞれ、感光性樹脂フィルム面を接触させて、感光性樹脂フィルムを基板の両面に貼付する。感光性樹脂フィルムの基板両面への貼付は、片面ずつ行ってもよいし、両面同時に行ってもよい。かかる貼付の際、ラミネータ等を用いて、基板や感光性樹脂フィルムの加熱、加圧等を行う。
基材フィルムは、感光性樹脂フィルムを基板上に貼付した後、後述する露光工程の前に剥離してもよいし、露光工程の後に剥離してもよいし、露光後のベーク工程の後に剥離してもよい。
【０１６１】
本実施形態では、５０℃におけるフィルムの粘度が０．５〜５．３ＭＰａ・ｓの範囲に制御された、感光性樹脂フィルムが採用されている。このため、感光性樹脂フィルムの基板に対する追従性が良く、基板に対するフィルムの貼り付け性に優れる。
【０１６２】
基板としては、特に限定されず、従来公知のものを用いることができ、例えば、電子部品用の基板や、これに所定の配線パターンが形成されたもの等が挙げられる。より具体的には、シリコンウェーハ、銅、クロム、鉄、アルミニウム等の金属製の基板や、ガラス基板、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン等の樹脂フィルム等が挙げられる。配線パターンの材料としては、例えば銅、アルミニウム、ニッケル、金等が使用可能である。
また、基板としては、上述のような基板上に、無機系及び／又は有機系の膜が設けられていてもよい。無機系の膜としては、無機反射防止膜（無機ＢＡＲＣ）が挙げられる。有機系の膜としては、有機反射防止膜（有機ＢＡＲＣ）や、多層レジスト法における下層有機膜等の有機膜が挙げられる。
【０１６３】
感光性樹脂フィルムにより形成される感光性樹脂層の膜厚は、特に限定されるものではないが、本実施形態は、膜厚５０μｍ以上の場合に特に有用である。上述した実施形態の感光性樹脂フィルムの適用により、厚膜で膜を形成した場合にも良好な特性を得られるものである。
基板の両面に対する厚膜の形成は、１回の感光性樹脂フィルムのラミネートに限らず、所望の膜厚となるまで複数回に渡ってラミネートを行い、感光性樹脂フィルムの積層を繰り返し行ってもよい。
【０１６４】
［工程（ｉｉ）］
工程（ｉｉ）では、前記基板の両面にラミネートした感光性樹脂フィルムを露光する。
前記基板の両面に貼り付けられたそれぞれの感光性樹脂フィルムに対し、公知の露光装置を用いて、所定のパターンが形成されたマスク（マスクパターン）を介した露光、又はマスクパターンを介さない電子線の直接照射による描画等による選択的露光を行う。
感光性樹脂フィルムに対する露光は、基板の片面ごとに行ってもよいし、基板の両面を同時に行ってもよい。
【０１６５】
露光に用いる波長は特に限定されず、放射線、例えば波長が３００〜５００ｎｍの紫外線、ｉ線（波長３６５ｎｍ）又は可視光線を選択的に照射（露光）する。これらの放射線の線源としては、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、アルゴンガスレーザーなどを用いることができる。
ここで放射線とは、紫外線、可視光線、遠紫外線、Ｘ線、電子線などを意味する。放射線照射量は、感光性樹脂フィルム中の各成分の種類、配合量、塗膜の膜厚などによって異なるが、例えば超高圧水銀灯使用の場合、１００〜２０００ｍＪ／ｃｍ２である。
【０１６６】
［工程（ｉｉｉ）］
工程（ｉｉｉ）では、前記基板の両面が水平面に対して傾斜した状態又は垂直な状態で、前記露光後の感光性樹脂フィルムをベークする。
ここでの露光後のベーク（ポストエクスポージャーベーク（ＰＥＢ））は、例えば６０〜１００℃の温度条件にて６０〜３６００秒間、好ましくは３００〜３０００秒間施す。
【０１６７】
工程（ｉｉｉ）におけるベークは、例えば、レジストベークシステムに使用されるメタルカセットに、両面に感光性樹脂フィルムを有する多数の基板が収容された状態で行われる。このとき、基板の両面は、水平面に対して傾斜した状態又は垂直な状態になる（場合によっては、この状態が長時間に渡る）。
本実施形態では、５０℃におけるフィルムの粘度が０．５〜５．３ＭＰａ・ｓの範囲に制御された、感光性樹脂フィルムが採用されている。このため、基板の両面が水平面に対して傾斜した状態又は垂直な状態に置かれても、基板の両面に形成された感光性樹脂フィルムは液垂れを生じにくい。
【０１６８】
［工程（ｉｖ）］
工程（ｉｖ）では、前記露光後のベーク後の感光性樹脂フィルムを現像して、前記基板の両面にネガ型パターンを形成する。現像後、好ましくはリンス処理を行う。
【０１６９】
現像処理に用いる現像液としては、アルカリ水溶液であってもよく、有機溶剤を含有する有機系現像液であってもよい。
アルカリ現像液としては、例えば０．１〜１０質量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）水溶液が挙げられる。
有機系現像液が含有する有機溶剤としては、（Ａ）成分（露光前の（Ａ）成分）を溶解し得るものであればよく、公知の有機溶剤の中から適宜選択できる。具体的には、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、ニトリル系溶剤、アミド系溶剤、エーテル系溶剤等の極性溶剤、炭化水素系溶剤等が挙げられる。
【０１７０】
ケトン系溶剤としては、たとえば、１−オクタノン、２−オクタノン、１−ノナノン、２−ノナノン、アセトン、４−ヘプタノン、１−ヘキサノン、２−ヘキサノン、ジイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン、フェニルアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセチルアセトン、アセトニルアセトン、イオノン、ジアセトニルアルコール、アセチルカービノール、アセトフェノン、メチルナフチルケトン、イソホロン、プロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、メチルアミルケトン（２−ヘプタノン）等が挙げられる。これらの中でも、ケトン系溶剤としては、メチルアミルケトン（２−ヘプタノン）が好ましい。
【０１７１】
エステル系溶剤としては、たとえば、酢酸メチル、酢酸ブチル、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸アミル、酢酸イソアミル、メトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、２−メトキシブチルアセテート、３−メトキシブチルアセテート、４−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、３−エチル−３−メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、２−エトキシブチルアセテート、４−エトキシブチルアセテート、４−プロポキシブチルアセテート、２−メトキシペンチルアセテート、３−メトキシペンチルアセテート、４−メトキシペンチルアセテート、２−メチル−３−メトキシペンチルアセテート、３−メチル−３−メトキシペンチルアセテート、３−メチル−４−メトキシペンチルアセテート、４−メチル−４−メトキシペンチルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、蟻酸メチル、蟻酸エチル、蟻酸ブチル、蟻酸プロピル、乳酸エチル、乳酸ブチル、乳酸プロピル、炭酸エチル、炭酸プロピル、炭酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、ピルビン酸ブチル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、プロピオン酸プロピル、プロピオン酸イソプロピル、２−ヒドロキシプロピオン酸メチル、２−ヒドロキシプロピオン酸エチル、メチル−３−メトキシプロピオネート、エチル−３−メトキシプロピオネート、エチル−３−エトキシプロピオネート、プロピル−３−メトキシプロピオネート等が挙げられる。これらの中でも、エステル系溶剤としては、酢酸ブチル又はＰＧＭＥＡが好ましい。
【０１７２】
ニトリル系溶剤としては、たとえば、アセトニトリル、プロピオ二トリル、バレロニトリル、ブチロ二トリル等が挙げられる。
【０１７３】
有機系現像液には、必要に応じて公知の添加剤を配合できる。該添加剤としては、たとえば界面活性剤が挙げられる。界面活性剤としては、特に限定されないが、たとえばイオン性や非イオン性のフッ素系及び／又はシリコン系界面活性剤等を用いることができる。
界面活性剤としては、非イオン性の界面活性剤が好ましく、非イオン性のフッ素系界面活性剤、又は非イオン性のシリコン系界面活性剤がより好ましい。
界面活性剤を配合する場合、その配合量は、有機系現像液の全量に対して、通常０．００１〜５質量％であり、０．００５〜２質量％が好ましく、０．０１〜０．５質量％がより好ましい。
【０１７４】
現像処理は、公知の現像方法により実施することが可能であり、たとえば現像液中に基板を一定時間浸漬する方法（ディップ法）、基板表面に現像液を表面張力によって盛り上げて一定時間静止する方法（パドル法）、基板表面に現像液を噴霧する方法（スプレー法）、一定速度で回転している基板上に一定速度で現像液塗出ノズルをスキャンしながら現像液を塗出し続ける方法（ダイナミックディスペンス法）等が挙げられる。
【０１７５】
リンス液を用いたリンス処理（洗浄処理）は、公知のリンス方法により実施できる。該リンス処理の方法としては、たとえば一定速度で回転している基板上にリンス液を塗出し続ける方法（回転塗布法）、リンス液中に基板を一定時間浸漬する方法（ディップ法）、基板表面にリンス液を噴霧する方法（スプレー法）等が挙げられる。
リンス処理は、アルカリ現像液の場合は、純水を用いた水リンスが好ましく、有機系現像液の場合は、有機溶剤を含有するリンス液を用いることが好ましい。
【０１７６】
［その他工程］
本実施形態のパターン形成方法は、上述した工程（ｉ）〜（ｉｖ）以外の工程を、必要に応じて有する方法でもよい。
例えば、工程（ｉ）〜（ｉｖ）の後、さらに、前記工程（ｉｖ）で形成されたネガ型パターンをキュアする工程を有していてもよい。キュアする工程を有することで、ネガ型パターンは硬化して強度が高められる。ネガ型パターンのキュアは、例えば、温度１００〜２５０℃、０．５〜２時間の条件で行うことができる。
【０１７７】
以上説明した本実施形態のパターン形成方法においては、上述した特定の感光性樹脂フィルムが用いられているため、基板の両面にパターンを形成する際に、基板に対するフィルムの貼り付け性の向上が図られる。加えて、工程（ｉｉｉ）で、基板の両面が水平面に対して傾斜した状態又は垂直な状態に置かれた場合でも、基板面での液垂れ防止が図られる。そして、最終的に、基板の両面に、リソグラフィー特性が良好なパターンを形成することができる。
【実施例】
【０１７８】
以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの例によって限定されるものではない。
【０１７９】
＜感光性樹脂フィルムの製造＞
まず、感光性樹脂組成物を調製し、これを用いて感光性樹脂フィルムを製造した。
【０１８０】
表１に示す各成分を混合することにより、感光性樹脂組成物をそれぞれ調製した。
【０１８１】
【表１】
2020106695.tif 000032
【０１８２】
表１中、各略号はそれぞれ以下の意味を有する。［  ］内の数値は、各成分の含有量（質量部；固形分換算）である。
（Ａ）−１：下記化学式（Ａ１１）で表されるエポキシ基含有樹脂。商品名「ＪＥＲ１５７ｓ７０」、三菱化学株式会社製。
（Ａ）−２：下記化学式（ｍ１−１）で表される化合物。商品名「セロキサイド２０２１Ｐ」、株式会社ダイセル製。
（Ａ）−３：下記化学式（Ａ２１）で表されるエポキシ基含有樹脂。商品名「ＥＰＩＣＬＯＮ  ＥＸＡ−４８５０−１５０」、ＤＩＣ株式会社製。式（Ａ２１）中、Ｒａ３３は、２価の連結基である。
（Ａ）−４：下記化学式（ｍ２−１）で表される化合物。商品名「ＴＥＰＩＣ−ＵＣ」、日産化学工業株式会社製。
【０１８３】
【化３１】
2020106695.tif 000033
【０１８４】
（Ｉ１）−１：下記化学式（Ｉ１−１）で表されるカチオン重合開始剤。商品名「ＣＰＩ−３１０Ｂ」、サンアプロ株式会社製。
（Ｉ２）−１：下記化学式（Ｉ２−１）で表されるカチオン重合開始剤。商品名「ＣＰＩ−４１０Ｓ」、サンアプロ株式会社製。
【０１８５】
【化３２】
2020106695.tif 000034
【０１８６】
（Ｍ）−１：シリカ成分濃度３５質量％のメチルエチルケトン分散液（商品名「ＭＥＫ−ＥＣ−２１３０Ｙ」、日産化学工業株式会社製）。１次粒子径φ＝１５ｎｍ（体積平均値）。
（Ｓ）−１：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート。
【０１８７】
（実施例１：感光性樹脂フィルムの製造）
厚さ５０μｍのＰＥＴ基材フィルム上に、感光性樹脂組成物として上記組成物（１）を、アプリケーターを用いて塗布し、温度６０℃で１０分間のベーク処理を行うことにより、膜厚５０μｍの感光性樹脂フィルムを形成して、ＰＥＴ基材フィルムと感光性樹脂フィルムとの積層体を得た。
【０１８８】
（実施例２〜９：感光性樹脂フィルムの製造）
感光性樹脂組成物として組成物（１）を、組成物（２）〜（７）、組成物（１０）、組成物（１１）にそれぞれ変更した他は、実施例１と同様にして、実施例２〜７、実施例８、実施例９の感光性樹脂フィルムを形成して、ＰＥＴ基材フィルムと感光性樹脂フィルムとの積層体を得た。
【０１８９】
（比較例１〜２、参考例１：感光性樹脂フィルムの製造）
感光性樹脂組成物として組成物（１）を、組成物（８）、組成物（９）、組成物（１２）にそれぞれ変更した他は、実施例１と同様にして、比較例１、比較例２、参考例１の感光性樹脂フィルムを形成して、ＰＥＴ基材フィルムと感光性樹脂フィルムとの積層体を得た。
【０１９０】
［５０℃におけるフィルムの粘度］
レオロジカ社製の動的粘弾性装置ＶＡＲ１００を用い、該装置のステージ上に、前記積層体を、感光性樹脂フィルムがステージに接するようにして貼り付け、その後、ＰＥＴ基材フィルムを剥離した。
次いで、感光性樹脂フィルム面にトルクを接触させ、加温器で温度３０℃から７０℃まで２℃／ｍｉｎの速度で昇温しながら、周波数１．００Ｈｚにて粘度測定を行った。その結果、得られた５０℃時点の粘度の値を、５０℃におけるフィルムの粘度とした。この結果を表２に示した。
【０１９１】
＜パターン形成方法＞
［工程（ｉ）］
ガラス基板の一方の面に、前記積層体（ＰＥＴ基材フィルムと感光性樹脂フィルムとの積層体）を、感光性樹脂フィルムがガラス基板に接するようにして貼り付け、ＰＥＴ基材フィルムを剥離した。貼り付け操作は、ラミネータを用いて温度６０℃、圧力０．３ＭＰａ、０．５ｍ／ｍｉｎで行った。次いで、感光性樹脂フィルム上に、前記積層体を、感光性樹脂フィルム同士が接するようにして貼り付け、ＰＥＴ基材フィルムを剥離した。これを繰り返すことで、ガラス基板の一方の面に、厚さ２００μｍの感光性樹脂フィルムとＰＥＴ基材フィルムとの積層体を得た。
これと同様にして、ガラス基板の他方の面にも、厚さ２００μｍの感光性樹脂フィルムとＰＥＴ基材フィルムとの積層体を得た。すなわち、ガラス基板の両面に、厚さ２００μｍの感光性樹脂フィルムとＰＥＴ基材フィルムとの積層体をラミネートした。
【０１９２】
［工程（ｉｉ）］
次いで、前記ガラス基板の一方の面にラミネートした積層体のＰＥＴ基材フィルム上に、解像度評価用マスク（ターゲット：コイル形状パターン）を置き、該マスクを介してｇｈｉブロードバンドの露光機により、ｉ線換算で１２００ｍＪ／ｃｍ２の露光を行った。
これと同様にして、前記ガラス基板の他方の面にラミネートした積層体に対しても、露光を行った。
【０１９３】
［工程（ｉｉｉ）］
次いで、前記ガラス基板の両面にそれぞれラミネートした積層体を、前記ガラス基板の両面が水平面に対して略垂直な状態で搬送し、この略垂直な状態のままに温度７０℃で４５分間のベーク処理（ＰＥＢ：Ｐｏｓｔ  ｅｘｐｏｓｕｒｅ  ｂａｋｅ）を、前記ガラス基板の両面に対して行った。
【０１９４】
［工程（ｉｖ）］
次いで、ＰＥＴ基材フィルムを剥離し、前記ベーク処理後の感光性樹脂フィルムを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）に温度２５℃で４５分間浸漬することで現像した。
【０１９５】
かかる現像の結果、
実施例１〜９及び比較例２の感光性樹脂フィルムについては、前記ガラス基板の両面に、ＬＳパターンが形成された。
比較例１及び参考例１の感光性樹脂フィルムについては、ガラス基板に対する貼り付け性が悪く、工程（ｉｉ）以降の操作を行っていない。
【０１９６】
［工程（ｖ）］
次いで、前記現像後にネガ型パターンが形成されていたものに対し、窒素雰囲気下、２００℃で１時間加熱（キュア）して、ネガ型パターンを硬化させた。
【０１９７】
＜フィルム特性の評価＞
各例の感光性樹脂フィルムについて、以下に示す評価方法により、フィルム特性（ラミネート性、液垂れ性、リソグラフィ特性）を評価した。この結果を表２に示した。
【０１９８】
［ラミネート性］
ガラス基板の一方の面に、前記積層体（ＰＥＴ基材フィルムと感光性樹脂フィルムとの積層体）を、感光性樹脂フィルムがガラス基板に接するようにして貼り付け、ＰＥＴ基材フィルムを剥離した。貼り付け操作は、ラミネータを用いて温度６０℃、圧力０．３ＭＰａ、０．５ｍ／ｍｉｎで行った。
ラミネート性は、貼り付け操作の後にＰＥＴ基材フィルムを剥離した際の状態を、下記の評価基準に基づいて評価した。
ラミネート性の評価基準
〇：感光性樹脂フィルム全体がガラス基板に貼り付いていた。
×：感光性樹脂フィルムがＰＥＴ基材フィルムと共にガラス基板から剥がれた。
【０１９９】
［液垂れ性］
液垂れ性は、前記工程（ｉｉｉ）におけるベーク処理（ＰＥＢ）後の状態を、下記の評価基準に基づいて評価した。
液垂れ性の評価基準
◎：液垂れを起こさず、コイル形状パターンも崩れない。
〇：多少の液垂れを起こすが、コイル形状パターンは崩れない。
×：液垂れによりコイル形状パターンが崩れる。
【０２００】
［リソグラフィー特性］
リソグラフィー特性は、前記工程（ｉｖ）における現像後、ターゲットとするコイル形状パターン（ライン幅８μｍ、スペース幅１００μｍのＬＳパターン）が形成されているか、その解像性、倒れ等の状態を、下記の評価基準に基づいて評価した。
リソグラフィー特性の評価基準
◎：解像し、パターンが直立する。
〇：解像するが、パターンが多少傾く。
×：解像しない。
【０２０１】
【表２】
2020106695.tif 000035
【０２０２】
表２に示す結果から、５０℃におけるフィルムの粘度が０．５〜５．３ＭＰａ・ｓである、実施例１〜９の感光性樹脂フィルムを用いた場合には、ラミネート性が良いこと、加えて、液垂れが無く、リソグラフィー特性が良好であることが分かる。
【０２０３】
すなわち、本発明を適用することにより、基板の両面にパターンを形成する際に、基板に対するフィルムの貼り付け性向上と、基板面での液垂れ防止とが共に図られること、が確認された。