(57)【要約】      （修正有）【課題】分岐配線において循環電流の発生に起因する電流損失を低減でき、透磁性に優れる磁性配線回路基板を提供する。【解決手段】磁性配線回路基板１は、磁性層２と、磁性層２に埋設され、磁性層２の厚み方向に対して直交する第１方向に延びる配線３とを備える。配線３は、幹配線５から分岐した複数の分岐配線４を備える。分岐配線４は、厚み方向および第１方向に対して直交する第２方向に並列され、並列領域と、並列領域の間に介在する交差領域７とを備える。交差領域７は、第１方向の一方に隣り合う第１並列領域において第１端部と、第２端部とを電気的に接続する交差配線を備える。但し、交差配線は、第２分岐配線、第３分岐配線、第４分岐配線と接触することなく交差する。【選択図】図１
2020178053.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性層と、
前記磁性層に埋設され、前記磁性層の厚み方向に対して直交する直交方向に含まれる第１方向に延びる配線とを備え、
前記配線は、前記配線の前記第１方向両端部から分岐して互いに間隔を隔てられる複数の分岐配線を備え、
前記分岐配線は、
前記分岐配線が、前記厚み方向および前記第１方向に対して直交する第２方向に並列され、前記第１方向において互いに間隔を隔てられる並列領域と、
前記並列領域の間に介在する交差領域とを備え、
前記交差領域は、前記交差領域の前記第１方向の一方に隣り合う並列領域において前記第２方向最一方側に配置される一の前記分岐配線の第１方向他端部である第１端部と、前記交差領域の前記第１方向の他方に隣り合う並列領域において前記第２方向最他方側に配置される一の前記分岐配線の前記第１方向一端部である第２端部とを電気的に接続し、かつ、他の前記分岐配線と接触することなく交差する交差配線を備えることを特徴とする、磁性配線回路基板。
【請求項２】
前記交差領域が、前記第１方向において間隔を隔てて複数配置されていること特徴とする、請求項１に記載の磁性配線回路基板。
【請求項３】
前記交差領域の数が、前記分岐配線の数の整数倍であること特徴とする、請求項２に記載の磁性配線回路基板。
【請求項４】
前記分岐配線は、前記厚み方向に見て巻回状のパターンを有し、
前記交差領域は、前記分岐配線の巻回方向に直交する方向において並列されていること特徴とする、請求項２または３に記載の磁性配線回路基板。
【請求項５】
前記交差領域は、前記パターンの１周において、前記第１方向において間隔を隔てて複数配置されていること特徴とする、請求項４に記載の磁性配線回路基板。
【請求項６】
前記パターンにおける１周当たりの前記交差領域の数が、前記分岐配線の数の整数倍であること特徴とする、請求項５に記載の磁性配線回路基板。
【請求項７】
前記磁性層は、第１磁性層と、前記第１磁性層の前記厚み方向一方面に配置される第２磁性層とを備え、
前記並列領域においては、
前記分岐配線が、前記第１磁性層の前記厚み方向一方面に、前記第２磁性層に埋設されるように配置され、
前記交差領域においては、
前記他の分岐配線が、前記第１磁性層の前記厚み方向一方面に、前記第２磁性層に埋設されるように配置され、
前記交差配線が、
前記第１磁性層に埋設されており、前記厚み方向に見て、他の前記分岐配線を横断する横断部と、
前記第１磁性層を前記厚み方向に貫通するように、前記横断部の両端部のそれぞれと、前記第１端部および前記第２端部のそれぞれとを電気的に接続する導通部と
を含むこと特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載の磁性配線回路基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁性配線回路基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、コイルパターンを有する空芯コイル装置であって、コイルパターンには、電流の流れる方向に沿って伸びるスリットがコイルパターンの幅方向にきざむ形態で形成された
空芯コイル装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
特許文献１に記載の空芯コイル装置では、高周波の回路駆動がなされても、断面視において、コイルパターンの周囲に生じる渦電流がスリットによって分断されるため、コイルパターンの電流分布が均一となり、その結果、導通損失を低減している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−２０３７３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載の空芯コイル装置では、スリットにおいて電流の流れる方向の両端部が連結されていることから、コイルパターンを厚み方向に見たときに、スリットの周囲に沿う循環電流を発生させる。そのため、循環電流の発生に起因して、コイルパターンの抵抗が増大し、電流損失が増大するという不具合がある。
【０００６】
さらに、このような空芯コイル装置には、優れた透磁性が求められる。
【０００７】
本発明は、分岐配線において循環電流の発生に起因する電流損失を低減でき、透磁性に優れる磁性配線回路基板を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明（１）は、磁性層と、前記磁性層に埋設され、前記磁性層の厚み方向に対して直交する直交方向に含まれる第１方向に延びる配線とを備え、前記配線は、前記配線の前記第１方向両端部から分岐して互いに間隔を隔てられる複数の分岐配線を備え、前記分岐配線は、前記分岐配線が、前記厚み方向および前記第１方向に対して直交する第２方向に並列され、前記第１方向において互いに間隔を隔てられる並列領域と、前記並列領域の間に介在する交差領域とを備え、前記交差領域は、前記交差領域の前記第１方向の一方に隣り合う並列領域において前記第２方向最一方側に配置される一の前記分岐配線の第１方向他端部である第１端部と、前記交差領域の前記第１方向の他方に隣り合う並列領域において前記第２方向最他方側に配置される一の前記分岐配線の前記第１方向一端部である第２端部とを電気的に接続し、かつ、他の前記分岐配線と接触することなく交差する交差配線を備える、磁性配線回路基板を含む。
【０００９】
しかるに、交差領域の第１方向の一方に隣り合う並列領域においては、交差領域の第２方向最一方側に配置される一の分岐配線と、他の配線とに沿って、一の循環電流が発生してしまう。また、交差領域の第１方向の他方に隣り合う並列領域においては、交差領域の第２方向最他方側に配置される一の分岐配線と、他の配線とに沿って、他の循環電流が発生してしまう。
【００１０】
しかし、この磁性配線回路基板では、交差領域の第１方向の一方に隣り合う並列領域において一の分岐配線が他の配線に対する向きと、交差領域の第１方向の他方に隣り合う並列領域において一の分岐配線が他の配線に対する向きとは、交差領域の第２方向において逆（反対）となる。そのため、交差領域において、第１端部を通過する一の循環電流と、第２端部を通過する他の循環電流とが、互いに逆向きとなり、そのため、これらを相殺することができる。その結果、電流損失を低減することができる。
【００１１】
また、配線が、磁性層に埋設されているので、透磁率が高い。
【００１２】
その結果、この磁性配線回路基板は、高周波の回路駆動がなされても、透磁性に優れながら、電流損失を低減できるので、エネルギー効率に優れる。
【００１３】
本発明（２）は、前記交差領域が、前記第１方向において間隔を隔てて複数配置されている、（１）に記載の磁性配線回路基板を含む。
【００１４】
この磁性配線回路基板では、交差領域が、第１方向において間隔を隔てて複数配置されているので、上記した循環電流をより確実に相殺することができる。
【００１５】
本発明（３）は、前記交差領域の数が、前記分岐配線の数の整数倍である、（２）に記載の磁性配線回路基板を含む。
【００１６】
この磁性配線回路基板では、交差領域の数が、分岐配線の数の整数倍であるので、交流抵抗を効果的に抑制することができる。
【００１７】
本発明（４）は、前記分岐配線は、前記厚み方向に見て巻回状のパターンを有し、前記交差領域は、前記分岐配線の巻回方向に直交する方向において並列されている、（２）または（３）に記載の磁性配線回路基板を含む。
【００１８】
この磁性配線回路基板では、交差領域が、分岐配線の巻回方向に直交する方向において並列されているので、複数の第１端部を分岐配線の巻回方向に直交する方向に並列し、複数の第２端部を分岐配線の巻回方向に直交する方向に並列することができる。
【００１９】
そのため、複数の第１端部を通過する一の循環電流と、複数の第２端部を通過する他の循環電流とを、確実に相殺することができる。
【００２０】
本発明（５）は、前記交差領域は、前記パターンの１周において、前記第１方向において間隔を隔てて複数配置されている、（４）に記載の磁性配線回路基板を含む。
【００２１】
交差領域は、パターンの１周において、第１方向において間隔を隔てて複数配置されているので、上記した循環電流をより確実に相殺することができる。
【００２２】
本発明（６）は、前記パターンにおける１周当たりの前記交差領域の数が、前記分岐配線の数の整数倍である、（５）に記載の磁性配線回路基板を含む。
【００２３】
この磁性配線回路基板では、パターンにおける１周当たりの交差領域の数が、分岐配線の数の整数倍であるので、交流抵抗を効果的に抑制することができる。
【００２４】
本発明（７）は、前記磁性層は、第１磁性層と、前記第１磁性層の前記厚み方向一方面に配置される第２磁性層とを備え、前記並列領域においては、前記分岐配線が、前記第１磁性層の前記厚み方向一方面に、前記第２磁性層に埋設されるように配置され、前記交差領域においては、前記他の分岐配線が、前記第１磁性層の前記厚み方向一方面に、前記第２磁性層に埋設されるように配置され、前記交差配線が、前記第１磁性層に埋設されており、前記厚み方向に見て、他の前記分岐配線を横断する横断部と、前記第１磁性層を前記厚み方向に貫通するように、前記横断部の両端部のそれぞれと、前記第１端部および前記第２端部のそれぞれとを電気的に接続する導通部とを含む、（１）〜（６）のいずれか一項に記載の磁性配線回路基板を含む。
【００２５】
この磁性配線回路基板では、分岐配線が、第２磁性層に埋設されているので、各分岐配線に起因する渦電流が隣接する分岐配線に影響を与えることを第２磁性層によって、抑制することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の磁性配線回路基板は、エネルギー効率に優れる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、本発明の磁性配線回路基板の一実施形態の平面図を示す。
【図２】図２は、図１に示す磁性配線回路基板の平面図であって、分岐配線において、第１周目の周回部分を明瞭に示し、第２〜第４周目の周回部分を破線で示す。
【図３】図３Ａ〜図３Ｃは、図１に示す磁性配線回路基板の平面図であって、図３Ａが、分岐配線において、第２周目の周回部分を明瞭に示し、図３Ｂが、分岐配線において、第３周目の周回部分を明瞭に示し、図３Ｃが、分岐配線において、第４周目の周回部分を明瞭に示す。
【図４】図４Ａ〜図４Ｂは、図１に示す磁性配線回路基板の平面図であり、図４Ａが、分岐配線を示し図４Ｂが、交差配線を示す。
【図５】図５は、図１の磁性配線回路基板の交差領域の拡大平面図を示す。
【図６】図６Ａ〜図６Ｂは、図５の交差領域の断面図であり、図６Ａが、図５のＡ−Ａ線で示す断面図、図６Ｂが、図５のＢ−Ｂ線で示す断面図を示す。
【図７】図７Ａ〜図７Ｂは、図５の交差領域の断面図であり、図７Ａが、図５のＣ−Ｃ線で示す断面図、図７Ｂが、図５のＤ−Ｄ線で示す断面図を示す。
【図８】図８は、図１に示す磁性配線回路基板の変形例の平面図を示す。
【図９】図９は、図６Ａに示す交差領域の変形例の断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
本発明の磁性配線回路基板の一実施形態を、図１〜図７Ｂを参照して、説明する。
【００２９】
なお、図１〜図５において、配線３（後述）の形状および配置を明瞭に示すために、第２磁性層９（後述）を省略している。
【００３０】
また、図２〜図３Ｃでは、第１〜第４周目の周回部分２５〜２８（後述）のそれぞれを明瞭に示すために、図２では、第２〜第４周目の周回部分２６、２７および２８を破線で示し、図３Ａでは、第１、第３および第４周目の周回部分２５、２７および２８を破線で示し、図３Ｂでは、第１、第２および第４周目の周回部分２５、２６および２８を破線で示し、図３Ｃでは、第２、第３および第４周目の周回部分２６、２７および２８を破線で示す。つまり、図２Ａでは、第１周目の巻回で形成される周回部分２５を描画し、図３Ａ〜図３Ｃのそれぞれでは、第２周目、第３周目および第４周目の巻回で形成される周回部分２６、２７および２８のそれぞれを示す。
【００３１】
図６Ａ〜図７Ｂに示すように、この磁性配線回路基板１は、厚み方向に互いに対向する一方面および他方面を有する。図１に示すように、磁性配線回路基板１は、面方向（厚み方向に直交する方向）に延びる略板（シート）形状を有する。磁性配線回路基板１は、磁性層２と、配線３とを備える。
【００３２】
磁性層２は、電気が配線３に流れるときに、配線３の透磁率を高める層である。磁性層２は、磁性配線回路基板１と同一の外形形状を有する。なお、磁性層２の材料および層構成等については、後で詳説する。
【００３３】
配線３は、配線３に電気が流れることにより磁束を発生させて、この磁性配線回路基板１における所定の透磁率を確保する層である。配線３は、磁性層２に埋設されている。また、配線３は、平面視（厚み方向に見たとき、以下同義）において、略矩形枠（窓枠）形状を有する。具体的には、配線３は、磁性層２の略中央部を中心Ｃとする略矩形枠（窓枠）形状に沿うパターンを有する。
【００３４】
この配線３は、２つの幹配線５と、２つの幹配線５から分岐する分岐配線４とを一体的に備える。
【００３５】
２つの幹配線５は、面方向に間隔を隔てて対向配置されている。２つの幹配線５は、いずれも、磁性層２の一辺の外端縁から面方向に内側に向かって延びる平面視略直線形状を有する。また、２つの幹配線５の外端縁は、平面視において磁性層２の外端縁と合致している。また、２つの幹配線５のそれぞれの内端部は、磁性層２における中心Ｃから面方向に間隔を隔てて配置されている。２つの幹配線５のそれぞれの内端部は、次に説明する分岐配線４の２つの端部のそれぞれを束ねる。なお、図４Ａ〜図４Ｂに示すように、幹配線５は、分岐配線４が形成される第２面１９（図６Ａ参照）に形成される第２部２４と、第２面１９より厚み方向他方側に位置する第１面１８（図６Ａ参照）に形成される第１部２３と、それらを厚み方向に接続（連結）するビア（図示せず）とを一体的に備える。
【００３６】
図１に示すように、分岐配線４は、平面視において巻回状のパターンを有する。具体的には、分岐配線４は、磁性層２の中心Ｃから複数周（図１〜図２Ｄでは、４周）（あるいは複数回、複数巻き）巻回されたコイルパターンを有する。
【００３７】
また、分岐配線４は、一の幹配線５の内端部から複数（例えば、４つ）に分岐し、さらに、上記した中心Ｃから複数周（例えば、４周）巻回した後、他の幹配線５の内端部に束ねられている。
【００３８】
分岐配線４は、互いに間隔を隔てて複数（例えば、４つ）配置されている。換言すれば、複数（４つ）の分岐配線４は、それらが延びる第１方向両端部に連結される２つの幹配線５から分岐している。
【００３９】
分岐配線４では、複数周巻回された複数の周回部分が、第２方向外側に向かって、順に配置（配列）されている。
【００４０】
次に、図１および図２Ａを参照して、第１周目の周回部分２５を説明する。なお、第２周目〜第４周目の周回部分２６、２７および２８は、第１周目の周回部分２５と構成が実質的に同様であるのでその詳細な説明を省略する。
【００４１】
第１周目の周回部分２５において、分岐配線４は、並列領域６と、交差領域７とを備える。
【００４２】
並列領域６では、複数の分岐配線４が、分岐配線４が延びる第１方向（面方向に含まれる方向の一例）、および、厚み方向に対して直交する第２方向に互いに間隔を隔てて配置（並列）されている。並列領域６は、第１方向に間隔を隔てて複数設けられている。具体的には、並列領域６は、分岐配線４の矩形枠を形成する４つの辺の中間部に位置する。
【００４３】
なお、上記した第１方向は、分岐配線４がパターンを成す矩形枠に沿う方向である。また、第２方向は、分岐配線４の幅方向である。
【００４４】
詳しくは、上記した上記した矩形枠において、一の幹配線５が区画される辺では、一の幹配線５から分岐する並列領域と、第２周目の周回部分２６に連続する並列領域とが、区画される。つまり、一の幹配線５が区画される１つの辺には、２つの並列領域６が区画されている。
【００４５】
一方、パターンの矩形枠において、１つの幹配線５が設けられる辺に対向する対向辺と、その対向辺の両端に連続する２つの連続辺とには、並列領域６が１つずつ区画される。つまり、上記した３辺には、３つの並列領域６が区画されている。換言すれば、３辺のそれぞれには、３つの並列領域６のそれぞれが区画されている。
【００４６】
従って、この第１周目の周回部分２５においては、合計５つ（＝２＋３）の並列領域６が、第１方向に間隔を隔てて順に配置されている。
【００４７】
交差領域７は、第１方向に隣接する並列領域６の間に介在する。周回部分２５において、並列領域６が５つ設けられていることから、交差領域７は、４つ設けられている。第１周目の周回部分２５では、第１方向において、並列領域６および交差領域７が交互に配置され、最後に、並列領域６が配置される。
【００４８】
次に、隣接する２つの並列領域６の間に介在する１つの交差領域７および交差配線１４を、図５〜図７Ｂを参照して詳説する。
【００４９】
図５に示すように、交差領域７を介在する２つの並列領域６のうち、交差領域７の第１方向一方側（第１方向の一方の一例）に隣り合う並列領域６を第１並列領域６Ａとし、交差領域７の第１方向他方側（第１方向の他方の一例）に隣り合う並列領域６を第２並列領域６Ｂとする。また、４つの分岐配線４は、第１分岐配線４Ａ、第２分岐配線４Ｂ、第３分岐配線４Ｃ、第４分岐配線４Ｄを含む。
【００５０】
そして、第２並列領域６Ｂでは、第１分岐配線４Ａ、第２分岐配線４Ｂ、第３分岐配線４Ｃ、第４分岐配線４Ｄが、第２方向一方側に向かって順に配置されている。そのため、第２並列領域６Ｂでは、第１分岐配線４Ａが、４本の分岐配線４のうち、第２方向最他方側に配置されている。
【００５１】
また、第１並列領域６Ａでは、第２分岐配線４Ｂ、第３分岐配線４Ｃ、第４分岐配線４Ｄ、第１分岐配線４Ａが、第２方向一方側に向かって順に配置されている。そのため、第１並列領域６Ａでは、第１分岐配線４Ａが、４本の分岐配線４のうち、第２方向最一方側に配置されている。
【００５２】
第２分岐配線４Ｂ、第３分岐配線４Ｃ、第４分岐配線４Ｄは、それぞれ、第１並列領域６Ａ、交差領域７、第２並列領域６Ｂにわたって、連続している。なお、第２分岐配線４Ｂ、第３分岐配線４Ｃ、第４分岐配線４Ｄは、それぞれ、交差領域７において、第１方向他方側に向かう従って、第２方向一方側に傾斜する平面視略斜線形状を有する。詳しくは、交差領域７における第２分岐配線４Ｂは、第１並列領域６Ａおよび第２並列領域６Ｂのそれぞれにおける第２分岐配線４Ｂに対して、傾斜している。第３分岐配線４Ｃおよび第４分岐配線４Ｄの形状は、上記した第２分岐配線４Ｂと同様の形状を有する。
【００５３】
一方、第１分岐配線４Ａは、交差領域７において、断続している。具体的には、第１分岐配線４Ａは、第２並列領域６Ｂにおいて、第１方向一端部である第２端部１７を有する。また、第１分岐配線４Ａは、第１並列領域６Ａにおいて、第１方向他端部である第１端部１６を有する。第２端部１７および第１端部１６は、交差領域７を挟んで間隔を隔てて配置されている。
【００５４】
他方、第２端部１７および第１端部１６は、交差領域７に設けられる交差配線１４（破線）によって電気的に接続されている。換言すれば、交差領域７は、第２端部１７および第１端部１６を電気的に接続する交差配線１４を備える。
【００５５】
交差配線１４は、厚み方向に投影したときに、第２分岐配線４Ｂ、第３分岐配線４Ｃ、および、第４分岐配線４Ｄを交差して延びる直線形状を有する。但し、交差配線１４は、第２分岐配線４Ｂ、第３分岐配線４Ｃ、および、第４分岐配線４Ｄと接触することなく、厚み方向に投影したときに交差している。具体的には、交差配線１４は、分岐配線４が形成される第２面１９より厚み方向他方側に位置する第１面１８に形成され、厚み方向に投影したときに第２端部１７および第１端部１６にわたって延びる横断部２０と、横断部２０の両端部のそれぞれと、第２端部１７および第１端部１６のそれぞれとを厚み方向に電気的に接続する導通部２１とを含む。
【００５６】
横断部２０は、第１方向一方側に向かう従って、第２方向一方側に傾斜する平面視略斜線形状を有する。詳しくは、横断部２０は、第１並列領域６Ａおよび第２並列領域６Ｂのそれぞれにおける第１分岐配線４Ａに対して、傾斜している。
【００５７】
導通部２１は、厚み方向に延びる形状を有しており、それらの厚み方向他方面は、横断部２０の厚み方向一方面に接触している。導通部２１の厚み方向一方面は、第２端部１７および第１端部１６に連続している。第２端部１７に対応する導通部２１は、平面視において、第２端部１７に包含される。第１端部１６に対応する導通部２１は、平面視において、第１端部１６に包含される。
【００５８】
そして、交差配線１４は、第２端部１７および第１端部１６を電気的に接続することから、第１並列領域６Ａにおいて第２方向最一方側に配置される第１分岐配線４Ａと、第２並列領域６Ｂにおいて第２方向最他方側に配置される第１分岐配線４Ａとを、電気的に接続する。
【００５９】
交差配線１４による第２端部１７および第１端部１６の電気的な接続によって、２つ並列領域６における第１分岐配線４Ａの第２方向位置が入れ替わる（ずれる）（転位（さらに詳しくは、レーベル転位））。
【００６０】
この第１周目の周回部分２５では、他の３つの交差領域７のそれぞれにおいても、交差領域７の第１方向一方側に隣り合う並列領域６において第２方向最一方側に配置される分岐配線４と、交差領域７の第１方向他方側に隣り合う並列領域６において第２方向最他方側に配置される分岐配線４とが、交差配線１４によって電気的に接続される。つまり、第１周目の周回部分２５では、２つ目の交差領域７では、第２分岐配線４Ｂが転位し、３つ目の交差領域７では、第３分岐配線４Ｃが転位し、４つ目の交差領域７では、第４分岐配線４Ｄが転位する。
【００６１】
そのため、この第１周目の周回部分２５では、４つの交差領域７の交差配線１４によって、４回転位されている。なお、第１周目の周回部分２５における転位の数は、交差領域７の数によって決定されるが、この交差領域７の数は、分岐配線４の数（詳しくは、分岐数）（具体的には、４）と同数である。
【００６２】
図３Ａ〜図３Ｃに示すように、第２周目〜第４周目の周回部分２６、２７および２８のそれぞれにおいても、４つの交差配線１４によって、４回転位される。
【００６３】
図１に示すように、従って、この分岐配線４では、合計１６回（＝４×４回）転位されている。つまり、分岐配線４の分岐数である４に、周回数である４を乗じた数だけ、転位されている。
【００６４】
また、第１周目〜第４周目の周回部分２５、２６、２７および２８のそれぞれには、４つの分岐配線４に対応する４つ交差領域７のそれぞれが設けられている。
【００６５】
第１周目〜第４周目の周回部分２５、２６、２７および２８のそれぞれの１つの隅部に位置する交差領域７は、中心Ｃから遠ざかる方向（すなわち、分岐配線４の巻回方向の一例）において並列されている。また、第２周目〜第４周目の周回部分２６、２７および２８のそれぞれの３つの隅部に位置する交差領域７についても、上記と同様に、中心Ｃから遠ざかる方向に並列配置されている。
【００６６】
次に、この磁性配線回路基板１の層構成、材料、寸法等を説明する。
【００６７】
図６Ａ〜図７Ｂに示すように、この磁性配線回路基板１は、支持層１３と、横断部２０と、第１磁性層８と、導通部２１と、分岐配線４と、第２磁性層９とを備える。
【００６８】
支持層１３は、磁性層２（具体的には、次に説明する第１磁性層８）を支持する支持材である。支持層１３は、面方向に延びる略板（シート）形状を有する。支持層１３は、磁性配線回路基板１と同一の外形形状を有する。また、支持層１３は、厚み方向一方面である第１面１８を有する。支持層１３としては、特に限定されず、例えば、金属材料、例えば、樹脂材料、例えば、磁性材料が挙げられる。支持層１３の厚みは、特に限定されない。
【００６９】
横断部２０は、支持層１３の第１面１８に、上記したパターンに形成されている。横断部２０の材料としては、例えば、銅、ニッケル、金、はんだなどの金属やそれら金属の合金などの導体が挙げられる。横断部２０の幅は、例えば、２０μｍ以上、好ましくは、５０μｍ以上、また、例えば、２０００μｍ以下、好ましくは、１０００μｍ以下である。
【００７０】
横断部２０の厚みは、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、３０μｍ以上であり、また、例えば、５００μｍ以下、好ましくは、２５０μｍ以下である。横断部２０の長さは、例えば、１００μｍ以上、好ましくは、１５０μｍ以上であり、また、例えば、１００００μｍ以下、好ましくは、５０００μｍ以下である
第１磁性層８は、支持層１３の第１面１８に、横断部２０の厚み方向一方面と、側面とを被覆するように、形成されている。つまり、第１磁性層８は、横断部２０を埋設している。第１磁性層８は、厚み方向一方面である第２面１９を有する。また、第１磁性層８は、２つの導通部２１に対応する開口部１５を有する。２つの開口部１５のそれぞれは、第１磁性層８を厚み方向に貫通する貫通孔である。
【００７１】
第１磁性層８の材料としては、例えば、磁性成分および樹脂成分を含有する磁性組成物などが挙げられる。磁性成分としては、例えば、磁性粒子が挙げられる。磁性粒子の種類、形状、配合割合などは、用途および目的に応じて、適宜設定される。樹脂成分としては、例えば、熱硬化性樹脂が挙げられる。熱可塑性樹脂の種類および配合割合などは、用途および目的に応じて、適宜設定される。第１磁性層８の厚みは、例えば、１５μｍ以上、好ましくは、２５μｍ以上であり、また、例えば、５００μｍ以下、好ましくは、４００μｍ以下である。
【００７２】
導通部２１は、開口部１５内に充填されている。導通部２１の側面は、第１磁性層８に被覆されている。導通部２１は、横断部２０とともに、交差配線１４を形成する。導通部２１の材料は、横断部２０の材料と同様である。導通部２１の厚みは、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、３０μｍ以上であり、また、例えば、５００μｍ以下、好ましくは、２５０μｍ以下である。
【００７３】
分岐配線４は、第１磁性層８の第２面１９に、上記したパターンに形成されている。なお、第２面１９においては、分岐配線４に含まれる第２端部１７および第１端部１６は、断続しているが、それらの厚み方向他方面は、導通部２１の厚み方向一方面に接触（連続）している。分岐配線４の材料は、横断部２０の材料と同様である。分岐配線４の厚みは、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、３０μｍ以上であり、また、例えば、５００μｍ以下、好ましくは、２５０μｍ以下である。分岐配線４の幅は、例えば、２０μｍ以上、好ましくは、５０μｍ以上、また、例えば、２０００μｍ以下、好ましくは、１０００μｍ以下である。
【００７４】
第２磁性層９は、第１磁性層８の第２面１９に、分岐配線４の厚み方向一方面および側面を被覆するように、形成されている。第２磁性層９は、並列領域６における４つの分岐配線４と、交差領域７において横断部２０と交差する３つの分岐配線４とを埋設する。また、第２磁性層９は、隣接する分岐配線４間に充填されている。第２磁性層９は、第１磁性層８とともに、磁性層２を形成する。つまり、磁性層２は、第１磁性層８と、第１磁性層８の第１面１８に配置される第２磁性層９とを備える。第２磁性層９の材料は、第１磁性層８の材料と同様である。第２磁性層９の厚みは、例えば、１５μｍ以上、好ましくは、２５μｍ以上であり、また、例えば、５００μｍ以下、好ましくは、４００μｍ以下である。なお、磁性層２の厚みは、第１磁性層８および第２磁性層９の合計厚みであり、例えば、３０μｍ以上、好ましくは、５０μｍ以上であり、また、例えば、１０００μｍ以下、好ましくは、８００μｍ以下である。
【００７５】
この磁性配線回路基板１を製造するには、まず、支持層１３を準備し、次いで、横断部２０および第１部２３を支持層１３の第１面１８に形成し、次いで、第１磁性層８を、支持層１３の第１面１８に、横断部２０を被覆し、かつ、開口部１５を有するように形成する。その後、導通部２１を、開口部１５内に充填し、分岐配線４および第２部２４を第１磁性層８の第２面１９に形成する。これにより、交差配線１４が形成される。その後、第２磁性層９を、第１磁性層８の第２面１９に、分岐配線４を被覆するように、形成する。
【００７６】
これにより、磁性配線回路基板１を得る。
【００７７】
その後、幹配線５に電子素子（図示せず）が電気的に接続される。電子素子としては、例えば、磁性配線回路基板１を高周波回路として作動できる高周波用パワーデバイスなどが挙げられる。ここでいう高周波は、例えば、その周波数が、例えば、１ＭＨｚ以上、好ましくは、２ＭＨｚ以上、より好ましくは、３ＭＨｚ以上、さらに好ましくは、５ＭＨｚ以上であり、また、例えば、１００ＭＨｚ以下である。
【００７８】
しかるに、第１並列領域６Ａにおいては、第１分岐配線４Ａと、第２分岐配線４Ｂ、第３分岐配線４Ｃ、および、第４分岐配線４Ｄとに沿って、一の循環電流が発生してしまう。また、第２分岐配線４Ｂにおいては、第１分岐配線４Ａと、第２分岐配線４Ｂ、第３分岐配線４Ｃ、および、第４分岐配線４Ｄとに沿って、他の循環電流が発生してしまう。
【００７９】
しかし、この磁性配線回路基板１では、第１並列領域６Ａにおいて第１分岐配線４Ａが、第２分岐配線４Ｂ、第３分岐配線４Ｃ、および、第４分岐配線４Ｄに対する向きである第２方向他方側と、第２並列領域６Ｂにおいて第１分岐配線４Ａが、第２分岐配線４Ｂ、第３分岐配線４Ｃ、および、第４分岐配線４Ｄに対する向きである第２方向一方側とは、交差領域７において逆（反対）となる。そのため、交差領域７において、第１端部１６を通過する一の循環電流と、第２端部１７を通過する他の循環電流とが、互いに逆向きとなり、そのため、これらを相殺することができる。その結果、電流損失を低減することができる。
【００８０】
また、配線３が、磁性層２に埋設されているので、透磁率が高い。
【００８１】
その結果、この磁性配線回路基板１は、高周波用パワーデバイスを実装されて、高周波の回路駆動がなされても、透磁性に優れながら、電流損失を低減できるので、エネルギー効率に優れる。
【００８２】
また、この磁性配線回路基板１では、交差領域７が、第１方向において間隔を隔てて複数配置されているので、上記した循環電流をより確実に相殺することができる。
【００８３】
この磁性配線回路基板１では、交差領域７の数が、分岐配線４の数の整数倍、具体的には、４の４倍である１６であるため、交流抵抗を効果的に抑制することができる。
【００８４】
また、１つの隅部に対応し、第１〜第４周目の周回部分２５〜２８における交差領域７のそれぞれが、中心Ｃから遠ざかる方向において並列されているので、複数の第１端部１６を中心Ｃから遠ざかる方向に並列し、複数の第２端部１７を中心Ｃから遠ざかる方向に並列することができる。
【００８５】
そのため、複数の第１端部１６を通過する一の循環電流と、複数の第２端部１７を通過する他の循環電流とを、確実に相殺することができる。
【００８６】
また、この磁性配線回路基板１では、分岐配線４のパターンにおける１周当たりの交差領域７の数が、分岐配線４の数である４の整数倍、具体的には、１倍であるので、交流抵抗を効果的に抑制することができる。
【００８７】
また、この磁性配線回路基板１では、分岐配線４が、第２磁性層９に埋設されているので、各分岐配線４に起因する渦電流が隣接する分岐配線４に影響を与えることを第２磁性層９によって、抑制することができる。
【００８８】
＜変形例＞
以下の各変形例において、上記した一実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、各変形例は、特記する以外、一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。さらに、一実施形態およびその変形例を適宜組み合わせることができる。
【００８９】
一実施形態では、図１および図２に示すように、分岐配線４において、交差領域７が第１方向に間隔を隔てて複数（１６個）配置されている。しかし、図示しないが、例えば、交差領域７が第１方向に１つ配置されていてもよい。
【００９０】
一実施形態では、図１および図２に示すように、交差領域７の数が、分岐配線４の数の整数倍、具体的には、４の４倍である１６であるが、例えば、図示しないが、分岐配線４の数の分数倍、例えば、１／２倍である８や、１／４倍である４であってもよい。
【００９１】
一実施形態では、図１および図２に示すように、分岐配線４は、複数周巻回した巻回状のパターンを有するが、例えば、図示しないが、巻回せず、第１周目の周回部分２５のみからなる略枠状であってもよい。
【００９２】
一実施形態では、図１および図２に示すように、第１周目の周回部分２５において、交差領域７が第１方向に間隔を隔てて複数（４つ）配置されている。しかし、図８に示すように、第１周目の周回部分２５において、交差領域７が第１方向に１つ配置されていてもよい。
【００９３】
一実施形態では、図６Ａに示すように、配線３（分岐配線４および交差配線１４）の側面を磁性層２で被覆している。
【００９４】
しかし、例えば、図９に示すように、磁性層２の側面を、磁性を有しない非磁性絶縁層２２で被覆することもできる。非磁性絶縁層２２は、第１非磁性絶縁層２３と、第２非磁性絶縁層２４とを有する。
【００９５】
第１非磁性絶縁層２３は、支持層１３の第１面１８において、横断部２０の側面を被覆するように、形成されている。なお、第１非磁性絶縁層２３の厚み方向一方面は、横断部２０の厚み方向一方面と面一である。
【００９６】
第２非磁性絶縁層２４は、第１磁性層８の第２面１９において、隣接する分岐配線４間を充填して、分岐配線４の側面を被覆するように、形成されている。第２非磁性絶縁層２４の厚み方向一方面は、分岐配線４の厚み方向一方面と面一である。
【００９７】
非磁性絶縁層２２の材料としては、上記した磁性成分（具体的には、磁性粒子）を含有せず、樹脂成分を含有する非磁性樹脂組成物などが挙げられる。
【００９８】
また、一実施形態では、図１に示すように、配線３は、略矩形枠形状であるが、例えば、略リング形状であってもよい。
【符号の説明】
【００９９】
１     磁性配線回路基板
２     磁性層
３     配線
４     分岐配線
４Ａ   第１分岐配線
４Ｂ   第２分岐配線
４Ｃ   第３分岐配線
４Ｄ   第４分岐配線
６     並列領域
６Ａ   第１並列領域
６Ｂ   第２並列領域
８     第１磁性層
９     第２磁性層
１４   交差配線
１６   第１端部
１７   第２端部
２０   横断部
２１   導通部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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