(57)【要約】【課題】被加工物の加工の進行状況を把握することができる加工装置を提供すること。【解決手段】加工装置は、チャックテーブルと、切削ユニットと、被加工物が仮置きされるレールと、洗浄ユニットと、表示画面１１１と、表示画面１１１に表示する進行状況表示画面１１２を設定する表示情報設定部とを備える。進行状況表示画面１１２は、レールとチャックテーブルと洗浄ユニットと対応し所定の色３０１，３０３，３０４が表示される対応領域１２１，１２３，１２４を有する装置内マップ１２０と、被加工物の現在位置を装置内マップ１２０に重ねて表示する被加工物マークと、カセットの収容棚を示す複数のマス目１３１とが設定されている。マス目１３１には、マス目１３１が示すカセットの収容棚に収容されていた被加工物の現在位置に対応する対応領域１２１，１２３，１２４の色３０１，３０３，３０４が表示される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、該被加工物を収容する段を複数備えるカセットが載置されるカセット載置領域と、該被加工物を洗浄する洗浄領域と、該カセットと該チャックテーブルと該洗浄領域との間で被加工物を搬送する搬送ユニットと、該被加工物の加工の進行状況が表示される表示画面と、該表示画面に表示する情報を設定する表示情報設定部と、を備える加工装置であって、
該表示情報設定部には、
該チャックテーブルと該洗浄領域とを有し、各領域は所定の色または所定の識別マークが表示される装置内マップと、
該カセットから搬出された被加工物の現在位置を該装置内マップに重ねて表示する被加工物マークと、
該カセットの該段を示す複数のマス目と、が表示情報として設定され、
該マス目には、該マス目が示す該カセットの該段に収容されていた該被加工物の現在位置に対応する該領域の該色又は所定の識別マークが表示されていることを特徴とする加工装置。
【請求項２】
該装置内マップは、該被加工物を搬送する搬送ユニットを含む請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
該カセットから搬出された後再度該カセットに戻された被加工物が収容された段を示す該マス目には、搬入済を示す色又は識別マークが表示される請求項１又は請求項２に記載の加工装置。
【請求項４】
該加工装置は、該カセット載置領域に載置された該カセットから搬出した被加工物が仮置きされる仮置き領域をさらに備え、該搬送ユニットは該カセットと該仮置き領域と該チャックテーブルと該洗浄領域との間で被加工物を搬送し、該装置内マップは該仮置き領域を含む請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状の被加工物をチャックテーブルに保持し、切削ブレードで切削したり、研削砥石で薄化したり、レーザー光線で加工したりする各種加工装置が知られている。これらの加工装置では、１枚の被加工物を各段が支持し、段が複数形成されているカセットから被加工物を取り出し、チャックテーブルで被加工物を加工し、洗浄テーブルで洗浄し、再度カセットに戻すという全自動タイプの加工装置が多く利用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１等に示された加工装置は、被加工物に異物が付着したりすることを防いだり、オペレータが想わぬ怪我をしたりするのを防ぐ目的で、カセット以外の領域が外装カバーで覆われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−１５０４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１等に示された加工装置は、カセット以外の領域が外装カバーで覆われているために、一見して被加工物が装置内のどこに位置付けられているのかは解らない。さらに、特許文献１等に示された加工装置は、カセットに収容した被加工物のうち、どこまで加工が進んだのか、数字では表示されているが、一目で理解するのは難しく、離れた場所から表示装置の画面をみて進み具合を理解する、というのは難しい。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、被加工物の加工の進行状況を把握することができる加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、該被加工物を収容する段を複数備えるカセットが載置されるカセット載置領域と、該被加工物を洗浄する洗浄領域と、該カセットと該チャックテーブルと該洗浄領域との間で被加工物を搬送する搬送ユニットと、該被加工物の加工の進行状況が表示される表示画面と、該表示画面に表示する情報を設定する表示情報設定部と、を備える加工装置であって、該表示情報設定部には、該チャックテーブルと該洗浄領域とを有し、各領域は所定の色または所定の識別マークが表示される装置内マップと、該カセットから搬出された被加工物の現在位置を該装置内マップに重ねて表示する被加工物マークと、該カセットの該段を示す複数のマス目と、が表示情報として設定され、該マス目には、該マス目が示す該カセットの該段に収容されていた該被加工物の現在位置に対応する該領域の該色又は所定の識別マークが表示されていることを特徴とする。
【０００８】
前記加工装置において、該装置内マップは、該被加工物を搬送する搬送ユニットを含んでも良い。
【０００９】
前記加工装置において、該カセットから搬出された後再度該カセットに戻された被加工物が収容された段を示す該マス目には、搬入済を示す色又は識別マークが表示されても良い。
【００１０】
前記加工装置は、該カセット載置領域に載置された該カセットから搬出した被加工物が仮置きされる仮置き領域をさらに備え、該搬送ユニットは該カセットと該仮置き領域と該チャックテーブルと該洗浄領域との間で被加工物を搬送し、該装置内マップは該仮置き領域を含んでも良い。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、被加工物の加工の進行状況を把握することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１に示された加工装置のカセットを示す斜視図である。
【図３】図３は、図１に示された加工装置の表示ユニットの表示画面に表示される進行状況表示画面を示す図である。
【図４】図４は、図１に示された加工装置の表示ユニットの表示画面に表示される被加工物マークの一例を示す図である。
【図５】図５は、図１に示された加工装置の表示ユニットの表示画面に表示される被加工物マークの他の例を示す図である。
【図６】図６は、図１に示された加工装置のカセットの一番下の収容棚に収容されていた被加工物がレール上に仮置きされた際の進行状況表示画面を示す図である。
【図７】図７は、図１に示された加工装置のカセットの一番下の収容棚に収容されていた被加工物が第１搬送ユニットに搬送される際の進行状況表示画面を示す図である。
【図８】図８は、図１に示された加工装置のカセットの下から二番目の収容棚に収容されていた被加工物がレール上に仮置きされた際の進行状況表示画面を示す図である。
【図９】図９は、図１に示された加工装置のカセットの一番下の収容棚に収容されていた被加工物がチャックテーブルに保持され下から二番目の収容棚に収容されていた被加工物が第１搬送ユニットに搬送される際の進行状況表示画面を示す図である。
【図１０】図１０は、図１に示された加工装置のカセットの一番下の収容棚に収容されていた被加工物が第２搬送ユニットに搬送され下から二番目の収容棚に収容されていた被加工物がチャックテーブルに保持されカセットの下から三番目の収容棚に収容されていた被加工物がレール上に仮置きされた際の進行状況表示画面を示す図である。
【図１１】図１１は、図１に示された加工装置のカセットの一番下の収容棚に収容されていた被加工物がスピンナーテーブルに保持され下からカセットの下から三番目の収容棚に収容されていた被加工物が第１搬送ユニットに搬送される際の進行状況表示画面を示す図である。
【図１２】図１２は、図１に示された加工装置のカセットの一番下の収容棚に収容されていた被加工物が第１搬送ユニットに搬送され下から二番目の収容棚に収容されていた被加工物が第２搬送ユニットに搬送されカセットの下から三番目の収容棚に収容されていた被加工物がチャックテーブルに保持された際の進行状況表示画面を示す図である。
【図１３】図１３は、図１に示された加工装置のカセットの一番下の収容棚に収容されていた被加工物がレール上に仮置きされ下から二番目の収容棚に収容されていた被加工物がスピンナーテーブルに保持された際の進行状況表示画面を示す図である。
【図１４】図１４は、図１に示された加工装置のカセットの一番下の収容棚に収容されていた被加工物がカセット内に搬入され下から四番目の収容棚に収容されていた被加工物がレール上に仮置きされた際の進行状況表示画面を示す図である。
【図１５】図１５は、図１に示された加工装置のカセットの一番上の収容棚に収容されていた被加工物が切削加工後にレール上に仮置きされた際の進行状況表示画面を示す図である。
【図１６】図１６は、実施形態１の変形例１に係る加工装置の表示ユニットの表示画面に表示される進行状況表示画面を示す図である。
【図１７】図１７は、実施形態１の変形例２に係る加工装置の表示ユニットの表示画面に表示される進行状況表示画面を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１４】
〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る加工装置を図面に基いて説明する。図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された加工装置のカセットを示す斜視図である。図３は、図１に示された加工装置の表示ユニットの表示画面に表示される進行状況表示画面を示す図である。図４は、図１に示された加工装置の表示ユニットの表示画面に表示される被加工物マークの一例を示す図である。図５は、図１に示された加工装置の表示ユニットの表示画面に表示される被加工物マークの他の例を示す図である。
【００１５】
実施形態１に係る加工装置１は、図１に示す被加工物２００を切削（加工に相当する）する加工装置１である。実施形態１では、被加工物２００は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０２によって格子状に区画された領域にデバイス２０３が形成されている。
【００１６】
また、本発明の被加工物２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス基板、フェライト基板、又はニッケル及び鉄の少なくとも一方を含む基板等でも良い。実施形態１において、被加工物２００は、裏面２０４が外周縁に環状フレーム２０５が装着された粘着テープ２０６に貼着されて、環状フレーム２０５に支持されている。
【００１７】
図１に示された加工装置１は、被加工物２００をチャックテーブル１０で保持し分割予定ライン２０２に沿って切削ブレード２１で切削する装置である。加工装置１は、図１に示すように、被加工物２００を保持面１１で吸引保持するチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削ブレード２１で切削する加工ユニットである切削ユニット２０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影する撮像ユニット３０と、制御ユニット１００とを備える。
【００１８】
また、加工装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０を水平方向と平行なＸ軸方向に加工送りする図示しないＸ軸移動ユニットと、切削ユニット２０を水平方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りする図示しないＹ軸移動ユニットと、切削ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸移動ユニット４０とを少なくとも備える。加工装置１は、図１に示すように、切削ユニット２０を２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの加工装置１である。
【００１９】
チャックテーブル１０は、円盤形状であり、被加工物２００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動ユニットにより切削ユニット２０の下方の加工領域と、切削ユニット２０の下方から離間して被加工物２００が搬入出される搬入出領域とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転駆動源によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。チャックテーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、保持面１１に載置された被加工物２００を吸引、保持する。実施形態１では、チャックテーブル１０は、粘着テープ２０６を介して被加工物２００の裏面２０４側を吸引、保持する。また、チャックテーブル１０の周囲には、図１に示すように、環状フレーム２０５をクランプするクランプ部１２が複数設けられている。
【００２０】
切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ブレード２１を着脱自在に装着した切削手段である。切削ユニット２０は、それぞれ、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００に対して、Ｙ軸移動ユニットによりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット４０によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。
【００２１】
一方の切削ユニット２０は、図１に示すように、Ｙ軸移動ユニット、Ｚ軸移動ユニット４０などを介して、装置本体２から立設した門型の支持フレーム３の一方の柱部４に設けられている。他方の切削ユニット２０は、図１に示すように、Ｙ軸移動ユニット、Ｚ軸移動ユニット４０などを介して、支持フレーム３の他方の柱部５に設けられている。なお、支持フレーム３は、柱部４，５の上端同士を水平梁６により連結している。
【００２２】
切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニット４０により、チャックテーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニット４０によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング２２と、スピンドルハウジング２２に軸心回りに回転自在に設けられかつモータにより回転されるとともに先端に切削ブレード２１が装着される図示しないスピンドルとを備える。
【００２３】
撮像ユニット３０は、切削ユニット２０と一体的に移動するように、切削ユニット２０に固定されている。撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０に保持された切削前の被加工物２００の分割すべき領域を撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled  Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary  MOS）撮像素子である。撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影して、被加工物２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット１００に出力する。
【００２４】
Ｘ軸移動ユニットは、チャックテーブル１０を加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。Ｙ軸移動ユニットは、切削ユニット２０を割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。Ｚ軸移動ユニット４０は、切削ユニット２０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。
【００２５】
Ｘ軸移動ユニット、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニット４０は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ及びチャックテーブル１０又は切削ユニット２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。
【００２６】
また、加工装置１は、チャックテーブル１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、モータのパルスで切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、チャックテーブル１０のＸ軸方向、切削ユニット２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御ユニット１００に出力する。なお、実施形態１では、加工装置１の各構成要素のＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の位置は、予め定められた図示しない基準位置を基準とした位置で定められる。
【００２７】
また、加工装置１は、切削前後の被加工物２００を収容するカセット６０が上面に載置されかつカセット６０をＺ軸方向に昇降移動させるカセット載置領域であるカセットエレベータ５０と、切削後の被加工物２００を洗浄する洗浄領域である洗浄ユニット７０と、カセット６０に被加工物２００を出し入れする仮置きユニット８０と、被加工物２００を搬送する搬送ユニット９０とを備える。
【００２８】
カセット６０は、図２に示すように、カセットエレベータ５０上に載置される底板６１と、底板６１とＺ軸方向に間隔をあけて対向する天板６２と、底板６１と天板６２のＸ軸方向の端同士を連結する一対の側板６３とを備える。一対の側板６３は、Ｘ軸方向に間隔をあけて対向する。一対の側板６３は、それぞれ、互いに近付く方向に突出した段である収容棚６４を備えている。カセット６０は、収容棚６４を各側板６３にＺ軸方向に等間隔に複数備え、実施形態１では、各側板６３に１０個備えている。一対の側板６３に配設されかつ互いにＸ軸方向に対向する収容棚６４は、上面が同一平面上に配置されている。各収容棚６４は、上面に被加工物２００が載置されて、被加工物２００をカセット６０内に収容する。実施形態１では、各収容棚６４は、上面に環状フレーム２０５が載置される。
【００２９】
なお、本明細書は、各収容棚６４同士を区別する際には、下の物から順に符号６４に−１,−２,−３・・・−１０と１より順に大きな自然数を付して説明し、収容棚６４同士を区別しない場合には、単に符号６４を付して説明する。また、本明細書は、各収容棚６４に収容された被加工物２００同士を区別する際には、下の収容棚６４に収容された被加工物２００から順に符号２００に−１,−２,−３・・・−１０と１より順に大きな自然数を付して説明し、収容棚６４に収容された被加工物２００同士を区別しない場合には、単に符号２００を付して説明する。
【００３０】
カセットエレベータ５０は、実施形態１では、上面にカセット６０が載置され、図示しないモータによりカセット６０をＺ軸方向に昇降させる。
【００３１】
洗浄ユニット７０は、円盤形状であり、被加工物２００を保持する保持面７１がポーラスセラミック等から形成されたスピンナーテーブル７２と、スピンナーテーブル７２の保持面７１に保持された被加工物２００に純水等の洗浄液を供給する図示しない洗浄液供給ノズルとを備えている。
【００３２】
スピンナーテーブル７２は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、保持面７１に載置された被加工物２００を吸引、保持する。また、スピンナーテーブル７２は、図示しないモータ等によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。洗浄ユニット７０は、実施形態１では、粘着テープ２０６を介して被加工物２００の裏面２０４側を吸引保持したスピンナーテーブル７２が軸心回りに回転されながら洗浄液供給ノズルから被加工物２００に洗浄液を供給して、保持面７１に保持した被加工物２００を洗浄する。
【００３３】
仮置きユニット８０は、カセットエレベータ５０に載置されたカセット６０から切削前の被加工物２００を一枚搬出するとともに、切削後の被加工物２００をカセット６０内に搬入するものである。仮置きユニット８０は、切削前の被加工物２００をカセット６０から搬出するとともに切削後の被加工物２００をカセット６０内に搬入する搬出入ユニット８３と、カセットエレベータ５０に載置されたカセット６０から搬出した切削前の被加工物２００が一時的に仮置きされるとともに切削後の被加工物２００が一時的に仮置きされる仮置き領域である一対のレール８１とを含んで構成されている。また、仮置きユニット８０は、レール８１上に仮置きされた被加工物２００を検出する検出センサ８２を備えている。検出センサ８２は、検出結果を制御ユニット１００に出力する。
【００３４】
搬送ユニット９０は、カセット６０と仮置きユニット８０のレール８１とチャックテーブル１０と洗浄ユニット７０のスピンナーテーブル７２との間で被加工物２００を搬送するものである。搬送ユニット９０は、第１搬送ユニット９１と、第２搬送ユニット９２とを備える。第１搬送ユニット９１は、仮置きユニット８０のレール８１上に仮置きされた切削前の被加工物２００をチャックテーブル１０に搬送し、洗浄ユニット７０のスピンナーテーブル７２上の洗浄後の被加工物２００を仮置きユニット８０のレール８１上に搬送するものである。第２搬送ユニット９２は、チャックテーブル１０上の切削後の被加工物２００を洗浄ユニット７０のスピンナーテーブル７２に搬送するものである。
【００３５】
本明細書は、第１搬送ユニット９１と第２搬送ユニット９２とは、構成が同様の部分があるので、以下、第１搬送ユニット９１を代表して説明し、第２搬送ユニット９２の第１搬送ユニット９１の同一部分に同一符号を付して説明を省略する。第１搬送ユニット９１は、装置本体２から立設しかつ支持フレーム３よりも搬入出領域寄りに配置された第２支持フレーム７にＹ軸方向に移動自在に設けられ、Ｚ軸方向に昇降自在に設けられたユニット本体９４と、ユニット本体９４に取り付けられかつ図示しない真空吸引源に接続されかつ被加工物２００を支持する環状フレーム２０５を吸引保持する吸引部材９３とを備えている。第１搬送ユニット９１は、吸引部材９３に環状フレーム２０５を吸引保持し、ユニット本体９４をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させて被加工物２００を搬送する。
【００３６】
制御ユニット１００は、加工装置１の上述した各ユニットをそれぞれ制御して、被加工物２００に対する加工動作を加工装置１に実施させるものでもある。具体的には、制御ユニット１００は、仮置きユニット８０に切削加工前の被加工物２００を搬出させてレール８１上に仮置きさせ、第１搬送ユニット９１にレール８１上に仮置きされた被加工物２００をチャックテーブル１０に搬送させる。制御ユニット１００は、チャックテーブル１０に被加工物２００を吸引保持しクランプ部１２に環状フレーム２０５をクランプさせた後、Ｘ軸移動ユニットにチャックテーブル１０を移動させて、撮像ユニット３０にチャックテーブル１０上の被加工物２００を撮像させる。制御ユニット１００は、被加工物２００と切削ブレード２１との位置合わせを行うアライメントを遂行し、チャックテーブル１０と切削ユニット２０の切削ブレード２１とを分割予定ライン２０２に沿って相対的に移動させながら分割予定ライン２０２に切削ブレード２１を切り込ませる。
【００３７】
制御ユニット１００は、切削ブレード２１が全ての分割予定ライン２０２に切り込んだ後、チャックテーブル１０の吸引保持及びクランプ部１２のクランプを解除し、第２搬送ユニット９２にチャックテーブル１０上の被加工物２００をスピンナーテーブル７２上に搬送させる。制御ユニット１００は、スピンナーテーブル７２に被加工物２００を吸引保持させ、洗浄ユニット７０に被加工物２００を洗浄させた後、スピンナーテーブル７２の吸引保持を解除し、第１搬送ユニット９１にスピンナーテーブル７２上の被加工物２００をレール８１上に搬送させる。制御ユニット１００は、カセットエレベータ５０にレール８１上の被加工物２００を支持する環状フレーム２０５の下面と搬出前と同じ収容棚６４の上面とを同一平面上に位置付けた後、仮置きユニット８０にレール８１上の被加工物２００をカセット６０内に搬入される。
【００３８】
なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central  processing  unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read  only  memory）又はＲＡＭ（random  access  memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して加工装置１の上述した各ユニットに出力する。
【００３９】
制御ユニット１００は、検出センサ８２の検出結果に基づいて、レール８１上に被加工物２００が仮置きされているか否かを判定する。制御ユニット１００は、チャックテーブル１０に接続した真空吸引源の負圧等に基づいて、チャックテーブル１０が保持面１１に被加工物２００を吸引保持しているか否かを判定する。制御ユニット１００は、スピンナーテーブル７２に接続した真空吸引源の負圧等に基づいて、スピンナーテーブル７２が保持面７１に被加工物２００を吸引保持しているか否かを判定する。制御ユニット１００は、各搬送ユニット９１，９２の吸引部材９３に接続した真空吸引源の負圧等に基づいて、各搬送ユニット９１，９２が吸引部材９３に被加工物２００を吸引保持しているか否かを判定する。
【００４０】
加工装置１は、制御ユニット１００に接続されかつ加工動作の状態や画像などを表示する表示画面１１１を有する表示ユニット１１０（図１に示す）と、制御ユニット１００に接続されかつオペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットとを備えている。表示ユニット１１０は、液晶表示装置などにより構成される。入力ユニットは、表示ユニット１１０の表示画面１１１に設けられたタッチパネル又はキーボード等の外部入力装置等により構成される。
【００４１】
表示ユニット１１０は、制御ユニット１００により制御されることにより、加工装置１の加工動作中に図３に示す表示情報である進行状況表示画面１１２が表示画面１１１に表示される。進行状況表示画面１１２は、加工装置１の被加工物２００の切削加工の進行状況を示すものである。
【００４２】
進行状況表示画面１１２は、図３に示すように、加工装置１の切削加工の開始、及び停止を入力するためのスタートストップ入力領域１１３と、撮像ユニット３０が撮像して画像を表示する撮像画像表示領域１１４と、装置内マップ１２０と、カセット内マップ１３０とを備えている。
【００４３】
装置内マップ１２０は、仮置きユニットのレール８１に対応する仮置き対応領域１２１と、第１搬送ユニット９１に対応する第１搬送ユニット対応領域１２２と、チャックテーブル１０に対応するチャックテーブル対応領域１２３と、洗浄ユニット７０のスピンナーテーブル７２に対応する洗浄対応領域１２４と、第２搬送ユニット９２に対応する第２搬送ユニット対応領域１２５と、を有する。各対応領域１２１，１２２，１２３，１２４，１２５は、所定の色または所定の識別マークが表示される。実施形態１では、各対応領域１２１，１２２，１２３，１２４，１２５は、互いに異なる色３０１，３０２，３０３，３０４，３０５が表示される。また、実施形態１では、装置内マップ１２０は、加工装置１の各ユニットのいずれにも対応していないブランク領域１２６を有している。ブランク領域１２６は、加工装置１の他のユニット又は加工装置１に追加されるユニットに対応するために用いられても良い。
【００４４】
カセット内マップ１３０は、収容棚６４と対応した複数のマス目１３１を備えている、実施形態１では、マス目１３１は、収容棚６４と１対１で対応しており、表示画面１１１の上下方向に１０個並べられて、下から上に向かって順にカセット６０の複数の収容棚６４のうち下側の収容棚６４から上側の収容棚６４に対応している。なお、本明細書は、マス目１３１同士を区別する際には、下の物から順に符号１３１に−１,−２,−３・・・−１０と１より順に大きな自然数を付して説明し、マス目１３１同士を区別しない場合には、単に符号１３１を付して説明する。
【００４５】
また、制御ユニット１００は、図１などに示すように、表示画面１１１に表示する情報を設定する表示情報設定部１０１を備えている。表示情報設定部１０１には、前述した装置内マップ１２０及びカセット内マップ１３０を表示画面１１１に表示されるために、装置内マップ１２０及びカセット内マップ１３０が表示情報として設定されている。即ち、表示情報設定部１０１は、装置内マップ１２０及びカセット内マップ１３０を示す情報と、装置内マップ１２０及びカセット内マップ１３０を表示画面１１１に表示させるためのプログラム等を記憶している。
【００４６】
また、表示情報設定部１０１は、カセット６０から搬出された被加工物２００の現在位置を示すために、表示画面１１１の装置内マップ１２０に重ねて表示する図４及び図５に示す被加工物マーク１４０，１４１が表示情報として設定されている。実施形態１では、図４及び図５に示す被加工物マーク１４０，１４１は、被加工物２００及び環状フレーム２０５の平面形状を模式的に示している。なお、本明細書は、被加工物マーク１４０，１４１が示す被加工物２００が切削加工前に収容されていた収容棚６４同士を区別する際には、符号１４０，１４１に下の収容棚６４に収容されていた被加工物２００を示すものから順に−１,−２,−３・・・−１０と１より順に大きな自然数を付して説明し、被加工物マーク１４０，１４１が示す被加工物２００が切削加工前に収容されていた収容棚６４同士を区別しない場合には、単に符号１４０，１４１を付して説明する。
【００４７】
表示情報設定部１０１は、被加工物マーク１４０，１４１を被加工物２００の加工装置１内の現在位置に対応する各対応領域１２１，１２２，１２３，１２４，１２５に重ねて表示する。実施形態１では、図４に示す被加工物マーク１４０は、カセット６０から搬出されてチャックテーブル１０に保持される前で用いられ、図５に示す被加工物マーク１４１は、チャックテーブル１０に保持された後からカセット６０に搬入されるまで用いられる。即ち、表示情報設定部１０１は、被加工物マーク１４０，１４１を示す情報と、被加工物マーク１４０，１４１を表示画面１１１の対応領域１２１，１２２，１２３，１２４，１２５に重ねて表示させるためのプログラム等を記憶している。
【００４８】
また、表示情報設定部１０１は、マス目表示プログラム１５０を記憶し、加工装置１の切削加工中にマス目表示プログラム１５０を実行する。マス目表示プログラム１５０は、マス目１３１には、マス目１３１が示すカセット６０の収容棚６４に収容されていた被加工物２００の現在位置に対応する各対応領域１２１，１２２，１２３，１２４，１２５の色３０１，３０２，３０３，３０４，３０５または所定の識別マークを表示するためのプログラムである。実施形態１では、マス目表示プログラム１５０は、各マス目１３１が対応する収容棚６４に切削加工前に収容されていた被加工物２００の加工装置１内の現在位置に対応する各対応領域１２１，１２２，１２３，１２４，１２５と対応した色（実施形態１では、各対応領域１２１，１２２，１２３，１２４，１２５と同じ色３０１，３０２，３０３，３０４，３０５）を各マス目１３１に表示する。
【００４９】
また、マス目表示プログラム１５０は、カセット６０から搬出された後、再度カセット６０に戻された被加工物２００が収容された収容棚６４を示すマス目１３１には、搬入済みを示す色３０６又は識別マークを表示するためのプログラムである。マス目表示プログラム１５０は、カセット６０から搬出された後、再度カセット６０に戻された被加工物２００が収容された収容棚６４に対応したマス目１３１に、搬入済みを示す色３０６（例えば、グレーであり、図３中に密な平行斜線で示す）を表示する。
【００５０】
表示情報設定部１０１の機能は、制御ユニット１００の記憶装置が装置内マップ１２０を示す情報、カセット内マップ１３０を示す情報、被加工物マーク１４０，１４１を示す情報、マス目表示プログラム１５０を記憶し、演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施することにより実現される。
【００５１】
また、加工装置１は、装置本体２上のカセット６０以外が図示しない外装カバーで覆われているとともに、表示ユニット１１０が外装カバーに取り付けられている。
【００５２】
次に、本明細書は、前述した構成の加工装置１の加工動作を説明する。図６は、図１に示された加工装置のカセットの一番下の収容棚に収容されていた被加工物がレール上に仮置きされた際の進行状況表示画面を示す図である。図７は、図１に示された加工装置のカセットの一番下の収容棚に収容されていた被加工物が第１搬送ユニットに搬送される際の進行状況表示画面を示す図である。図８は、図１に示された加工装置のカセットの下から二番目の収容棚に収容されていた被加工物がレール上に仮置きされた際の進行状況表示画面を示す図である。図９は、図１に示された加工装置のカセットの一番下の収容棚に収容されていた被加工物がチャックテーブルに保持され下から二番目の収容棚に収容されていた被加工物が第１搬送ユニットに搬送される際の進行状況表示画面を示す図である。図１０は、図１に示された加工装置のカセットの一番下の収容棚に収容されていた被加工物が第２搬送ユニットに搬送され下から二番目の収容棚に収容されていた被加工物がチャックテーブルに保持されカセットの下から三番目の収容棚に収容されていた被加工物がレール上に仮置きされた際の進行状況表示画面を示す図である。図１１は、図１に示された加工装置のカセットの一番下の収容棚に収容されていた被加工物がスピンナーテーブルに保持され下からカセットの下から三番目の収容棚に収容されていた被加工物が第１搬送ユニットに搬送される際の進行状況表示画面を示す図である。図１２は、図１に示された加工装置のカセットの一番下の収容棚に収容されていた被加工物が第１搬送ユニットに搬送され下から二番目の収容棚に収容されていた被加工物が第２搬送ユニットに搬送されカセットの下から三番目の収容棚に収容されていた被加工物がチャックテーブルに保持された際の進行状況表示画面を示す図である。図１３は、図１に示された加工装置のカセットの一番下の収容棚に収容されていた被加工物がレール上に仮置きされ下から二番目の収容棚に収容されていた被加工物がスピンナーテーブルに保持された際の進行状況表示画面を示す図である。図１４は、図１に示された加工装置のカセットの一番下の収容棚に収容されていた被加工物がカセット内に搬入され下から四番目の収容棚に収容されていた被加工物がレール上に仮置きされた際の進行状況表示画面を示す図である。図１５は、図１に示された加工装置のカセットの一番上の収容棚に収容されていた被加工物が切削加工後にレール上に仮置きされた際の進行状況表示画面を示す図である。
【００５３】
まず、加工動作では、オペレータが、加工内容情報を制御ユニット１００に登録し、切削加工前の被加工物２００をカセット６０に収容して、カセット６０をカセットエレベータ５０の上面に設置する。その後、加工装置１は、オペレータからの加工動作の開始指示を受け付けると加工動作を開始する。実施形態１では、加工装置１の制御ユニット１００は、表示ユニット１１０の表示画面１１１に進行状況表示画面１１２を表示し、スタートストップ入力領域１１３に対するオペレータの操作を受け付けると、加工装置１の加工動作を開始する。実施形態１では、加工動作では、加工装置１は、カセット６０の複数の収容棚６４に収容された被加工物２００のうち下側の収容棚６４に収容された被加工物２００から上側の収容棚６４に収容された被加工物２００に順に切削加工を実施するが、本発明では、加工装置１がカセット６０内の被加工物２００を切削加工する順番は、実施形態１に示す順番に限定されない。
【００５４】
加工装置１は、加工動作を開始すると、カセットエレベータ５０に一番下の収容棚６４−１に収容された被加工物２００−１を支持した環状フレーム２０５の下面がレール８１の上面と同一平面上となる位置にカセット６０を位置付けさせる。制御ユニット１００は、仮置きユニット８０の搬出入ユニット８３にカセット６０から一番下の収容棚６４−１に収容された被加工物２００−１を搬出させ、搬出した被加工物２００−１をレール８１上に仮置きさせる。制御ユニット１００は、検出センサ８２がレール８１上に仮置きされた被加工物２００−１を検出すると、図６に示すように、進行状況表示画面１１２の仮置き対応領域１２１に一番下の収容棚６４−１に収容されていた被加工物２００−１を示す被加工物マーク１４０−１を重ねて表示する。また、制御ユニット１００は、複数のマス目１３１のうち一番下の収容棚６４−１に対応するマス目１３１−１に仮置き対応領域１２１と同じ色３０１を表示する。
【００５５】
制御ユニット１００は、仮置きユニット８０のレール８１上に仮置きされた被加工物２００−１を支持する環状フレーム２０５を第１搬送ユニット９１に吸引保持させて、Ｘ軸移動ユニット等に第１搬送ユニット９１とチャックテーブル１０とを相対的に移動させて、第１搬送ユニット９１をチャックテーブル１０の上方に向かって移動させる。制御ユニット１００は、第１搬送ユニット９１の吸引部材９３に接続した真空吸引源の負圧等に基づいて、第１搬送ユニット９１が環状フレーム２０５を吸引保持したことを検出すると、図７に示すように、進行状況表示画面１１２の第１搬送ユニット対応領域１２２に一番下の収容棚６４−１に収容されていた被加工物２００−１を示す被加工物マーク４０１−１を重ねて表示する。また、制御ユニット１００は、複数のマス目１３１のうち一番下の収容棚６４−１に対応するマス目１３１−１に第１搬送ユニット対応領域１２２と同じ色３０２を表示する。
【００５６】
制御ユニット１００は、カセットエレベータ５０に下から二番の収容棚６４−２に収容された被加工物２００−２を支持した環状フレーム２０５の下面がレール８１の上面と同一平面となる位置にカセット６０を位置付けさせる。制御ユニット１００は、仮置きユニット８０の搬出入ユニット８３にカセット６０から下から二番目の収容棚６４−２に収容された被加工物２００−２を搬出させ、搬出した被加工物２００−２をレール８１上に仮置きさせる。制御ユニット１００は、検出センサ８２がレール８１上に仮置きされた被加工物２００−２を検出すると、図８に示すように、進行状況表示画面１１２の仮置き対応領域１２１に下から二番目の収容棚６４−２に収容されていた被加工物２００−２を示す被加工物マーク１４０−２を重ねて表示する。また、制御ユニット１００は、複数のマス目１３１のうち下から二番目の収容棚６４−２に対応するマス目１３１−２に仮置き対応領域１２１と同じ色３０１を表示する。
【００５７】
制御ユニット１００は、第１搬送ユニット９１に被加工物２００−１をチャックテーブル１０の保持面１１に載置させ、チャックテーブル１０に被加工物２００−１を吸引保持させるとともに、クランプ部１２に環状フレーム２０５をクランプさせる。制御ユニット１００は、チャックテーブル１０に接続した真空吸引源の負圧等に基づいて、チャックテーブル１０が被加工物２００−１を吸引保持したことを検出すると、図９に示すように、進行状況表示画面１１２のチャックテーブル対応領域１２３に一番下の収容棚６４−１に収容されていた被加工物２００−１を示す被加工物マーク１４１−１を重ねて表示する。また、制御ユニット１００は、複数のマス目１３１のうち一番下の収容棚６４−１に対応するマス目１３１−１にチャックテーブル対応領域１２３と同じ色３０３を表示する。
【００５８】
制御ユニット１００は、Ｘ軸移動ユニットにチャックテーブル１０を加工領域に向かって移動させて、撮像ユニット３０に被加工物２００−１を撮影させて、撮像ユニット３０が撮影して得た画像に基づいて、アライメントを遂行する。このとき、制御ユニット１００は、進行状況表示画面１１２の撮像画像表示領域１１４に撮像ユニット３０が撮像して得た画像を表示する。
【００５９】
制御ユニット１００は、分割予定ライン２０２に沿って被加工物２００−１と切削ユニット２０とを相対的に移動させながら、切削ブレード２１を各分割予定ライン２０２に切り込ませて被加工物２００−１を個々のデバイス２０３に分割する。制御ユニット１００は、チャックテーブル１０に吸引保持した被加工物２００−１の全ての分割予定ライン２０２に切削ブレード２１を切り込ませると、チャックテーブル１０の吸引保持及びクランプ部１２のクランプを解除する。
【００６０】
また、制御ユニット１００は、仮置きユニット８０のレール８１上に仮置きされた被加工物２００−２を支持する環状フレーム２０５を第１搬送ユニット９１に吸引保持させて、Ｘ軸移動ユニット等に第１搬送ユニット９１とチャックテーブル１０とを相対的に移動させて、第１搬送ユニット９１をチャックテーブル１０の上方に向かって移動させる。制御ユニット１００は、第１搬送ユニット９１の吸引部材９３に接続した真空吸引源の負圧等に基づいて、第１搬送ユニット９１が環状フレーム２０５を吸引保持したことを検出すると、図９に示すように、進行状況表示画面１１２の第１搬送ユニット対応領域１２２に下から二番目の収容棚６４−２に収容されていた被加工物２００−２を示す被加工物マーク１４０−２を重ねて表示する。また、制御ユニット１００は、複数のマス目１３１のうち下から二番目の収容棚６４−２に対応するマス目１３１−２に第１搬送ユニット対応領域１２２と同じ色３０２を表示する。
【００６１】
制御ユニット１００は、チャックテーブル１０の保持面１１に載置された被加工物２００−１を支持する環状フレーム２０５を第２搬送ユニット９２に吸引保持させて、第２搬送ユニット９２をスピンナーテーブル７２の上方に向かって移動させる。制御ユニット１００は、第２搬送ユニット９２の吸引部材９３に接続した真空吸引源の負圧等に基づいて、第２搬送ユニット９２が環状フレーム２０５を吸引保持したことを検出すると、図１０に示すように、進行状況表示画面１１２の第２搬送ユニット対応領域１２５に一番下の収容棚６４−１に収容されていた被加工物２００−１を示す被加工物マーク１４１−１を重ねて表示する。また、制御ユニット１００は、複数のマス目１３１のうち一番下の収容棚６４−１に対応するマス目１３１−１に第２搬送ユニット対応領域１２５と同じ色３０５を表示する。
【００６２】
制御ユニット１００は、第１搬送ユニット９１に被加工物２００−２をチャックテーブル１０の保持面１１に載置させ、チャックテーブル１０に被加工物２００−２を吸引保持させるとともに、クランプ部１２に環状フレーム２０５をクランプさせる。制御ユニット１００は、チャックテーブル１０に接続した真空吸引源の負圧等に基づいて、チャックテーブル１０が被加工物２００−２を吸引保持したことを検出すると、図１０に示すように、進行状況表示画面１１２のチャックテーブル対応領域１２３に下から２番目の収容棚６４−２に収容されていた被加工物２００−２を示す被加工物マーク１４１−２を重ねて表示する。また、制御ユニット１００は、複数のマス目１３１のうち下から２番目の収容棚６４−２に対応するマス目１３１−２にチャックテーブル対応領域１２３と同じ色３０３を表示する。制御ユニット１００は、被加工物２００−１と同様に、被加工物２００−２を個々のデバイス２０３に分割する。制御ユニット１００は、チャックテーブル１０に吸引保持した被加工物２００−２の全ての分割予定ライン２０２に切削ブレード２１を切り込ませると、チャックテーブル１０の吸引保持及びクランプ部１２のクランプを解除する。
【００６３】
また、制御ユニット１００は、カセットエレベータ５０に下から三番の収容棚６４−３に収容された被加工物２００−３を支持した環状フレーム２０５の下面がレール８１の上面と同一平面となる位置にカセット６０を位置付けさせる。制御ユニット１００は、仮置きユニット８０の搬出入ユニット８３にカセット６０から下から三番目の収容棚６４−３に収容された被加工物２００−３を搬出させ、搬出した被加工物２００−３をレール８１上に仮置きさせる。制御ユニット１００は、検出センサ８２がレール８１上に仮置きされた被加工物２００−３を検出すると、図１０に示すように、進行状況表示画面１１２の仮置き対応領域１２１に下から三番目の収容棚６４−３に収容されていた被加工物２００−３を示す被加工物マーク１４０−３を重ねて表示する。また、制御ユニット１００は、複数のマス目１３１のうち下から三番目の収容棚６４−３に対応するマス目１３１−３に仮置き対応領域１２１と同じ色３０１を表示する。
【００６４】
制御ユニット１００は、第２搬送ユニット９２に被加工物２００−１をスピンナーテーブル７２の保持面７１に載置させ、スピンナーテーブル７２に被加工物２００−１を吸引保持させる。制御ユニット１００は、スピンナーテーブル７２に接続した真空吸引源の負圧等に基づいて、スピンナーテーブル７２が被加工物２００−１を吸引保持したことを検出すると、図１１に示すように、進行状況表示画面１１２の洗浄対応領域１２４に一番下の収容棚６４−１に収容されていた被加工物２００−１を示す被加工物マーク１４１−１を重ねて表示する。また、制御ユニット１００は、複数のマス目１３１のうち一番下の収容棚６４−１に対応するマス目１３１−１に洗浄対応領域１２４と同じ色３０４を表示する。制御ユニット１００は、洗浄ユニット７０にスピンナーテーブル７２を軸心回りに回転させながら洗浄液供給ノズルから洗浄液を供給して、被加工物２００−１を洗浄させる。制御ユニット１００は、洗浄ユニット７０に被加工物２００−１を所定時間洗浄させた後、スピンナーテーブル７２の回転及び洗浄液の供給を停止させて、スピンナーテーブル７２の吸引保持を解除する。
【００６５】
また、制御ユニット１００は、仮置きユニット８０のレール８１上に仮置きされた被加工物２００−３を支持する環状フレーム２０５を第１搬送ユニット９１に吸引保持させて、Ｘ軸移動ユニット等に第１搬送ユニット９１とチャックテーブル１０とを相対的に移動させて、第１搬送ユニット９１をチャックテーブル１０の上方に向かって移動させる。制御ユニット１００は、第１搬送ユニット９１の吸引部材９３に接続した真空吸引源の負圧等に基づいて、第１搬送ユニット９１が環状フレーム２０５を吸引保持したことを検出すると、図１１に示すように、進行状況表示画面１１２の第１搬送ユニット対応領域１２２に下から三番目の収容棚６４−３に収容されていた被加工物２００−３を示す被加工物マーク１４０−３を重ねて表示する。また、制御ユニット１００は、複数のマス目１３１のうち下から三番目の収容棚６４−３に対応するマス目１３１−３に第１搬送ユニット対応領域１２２と同じ色３０２を表示する。
【００６６】
制御ユニット１００は、チャックテーブル１０の保持面１１に載置された被加工物２００−２を支持する環状フレーム２０５を第２搬送ユニット９２に吸引保持させて、第２搬送ユニット９２をスピンナーテーブル７２の上方に向かって移動させる。制御ユニット１００は、第２搬送ユニット９２の吸引部材９３に接続した真空吸引源の負圧等に基づいて、第２搬送ユニット９２が環状フレーム２０５を吸引保持したことを検出すると、図１２に示すように、進行状況表示画面１１２の第２搬送ユニット対応領域１２５に下から二番目の収容棚６４−２に収容されていた被加工物２００−２を示す被加工物マーク１４１−２を重ねて表示する。また、制御ユニット１００は、複数のマス目１３１のうち下から二番目の収容棚６４−２に対応するマス目１３１−２に第２搬送ユニット対応領域１２５と同じ色３０５を表示する。
【００６７】
制御ユニット１００は、第１搬送ユニット９１に被加工物２００−３をチャックテーブル１０の保持面１１に載置させ、チャックテーブル１０に被加工物２００−３を吸引保持させるとともに、クランプ部１２に環状フレーム２０５をクランプさせる。制御ユニット１００は、チャックテーブル１０に接続した真空吸引源の負圧等に基づいて、チャックテーブル１０が被加工物２００−３を吸引保持したことを検出すると、図１２に示すように、進行状況表示画面１１２のチャックテーブル対応領域１２３に下から三番目の収容棚６４−２に収容されていた被加工物２００−３を示す被加工物マーク１４１−３を重ねて表示する。また、制御ユニット１００は、複数のマス目１３１のうち下から３番目の収容棚６４−３に対応するマス目１３１−３にチャックテーブル対応領域１２３と同じ色３０３を表示する。制御ユニット１００は、被加工物２００−１，２００−２と同様に、被加工物２００−３を個々のデバイス２０３に分割する。制御ユニット１００は、チャックテーブル１０に吸引保持した被加工物２００−３を個々のデバイス２０３に分割すると、チャックテーブル１０の吸引保持及びクランプ部１２のクランプを解除する。
【００６８】
また、制御ユニット１００は、スピンナーテーブル７２上に載置された被加工物２００−１を支持する環状フレーム２０５を第１搬送ユニット９１に吸引保持させて、第１搬送ユニット９１を仮置きユニット８０のレール８１の上方に向かって移動させる。制御ユニット１００は、第１搬送ユニット９１の吸引部材９３に接続した真空吸引源の負圧等に基づいて、第１搬送ユニット９１が環状フレーム２０５を吸引保持したことを検出すると、図１２に示すように、進行状況表示画面１１２の第１搬送ユニット対応領域１２２に一番下の収容棚６４−１に収容されていた被加工物２００−１を示す被加工物マーク１４１−１を重ねて表示する。また、制御ユニット１００は、複数のマス目１３１のうち一番下の収容棚６４−１に対応するマス目１３１−１に第１搬送ユニット対応領域１２２と同じ色３０２を表示する。
【００６９】
制御ユニット１００は、第２搬送ユニット９２に被加工物２００−２をスピンナーテーブル７２の保持面７１に載置させ、スピンナーテーブル７２に被加工物２００−２を吸引保持させる。制御ユニット１００は、スピンナーテーブル７２に接続した真空吸引源の負圧等に基づいて、スピンナーテーブル７２が被加工物２００−２を吸引保持したことを検出すると、図１３に示すように、進行状況表示画面１１２の洗浄対応領域１２４に下から二番目の収容棚６４−２に収容されていた被加工物２００−２を示す被加工物マーク１４１−２を重ねて表示する。また、制御ユニット１００は、複数のマス目１３１のうち下から二番目の収容棚６４−２に対応するマス目１３１−２に洗浄対応領域１２４と同じ色３０４を表示する。制御ユニット１００は、被加工物２００−１と同様に、洗浄ユニット７０に被加工物２００−２を洗浄させて、洗浄が終了すると、スピンナーテーブル７２の吸引保持を解除する。
【００７０】
また、制御ユニット１００は、第１搬送ユニット９１に被加工物２００−１を仮置きユニット８０のレール８１上に載置させ、検出センサ８２がレール８１上に仮置きされた被加工物２００−１を検出すると、図１３に示すように、進行状況表示画面１１２の仮置き対応領域１２１に一番下の収容棚６４−１に収容されていた被加工物２００−１を示す被加工物マーク１４１−１を重ねて表示する。また、制御ユニット１００は、複数のマス目１３１のうち一番下の収容棚６４−１に対応するマス目１３１−１に仮置き対応領域１２１と同じ色３０１を表示する。
【００７１】
制御ユニット１００は、カセットエレベータ５０にレール８１上に載置された被加工物２００−１を収容する一番下の収容棚６４−１の上面がレール８１の上面と同一平面上となる位置にカセット６０を位置付けさせる。制御ユニット１００は、仮置きユニット８０の搬出入ユニット８３にレール８１上の被加工物２００−１を一番下の収容棚６４−１に搬入させる。制御ユニット１００は、検出センサ８２がレール８１上に仮置きされた被加工物２００−１を検出しなくなると、図１４に示すように、複数のマス目１３１のうち一番下の収容棚６４−１に対応するマス目１３１−１に搬入済みを示す色３０６を表示する。
【００７２】
制御ユニット１００は、カセットエレベータ５０に下から四番目の収容棚６４−４に収容された被加工物２００−４を支持した環状フレーム２０５の下面がレール８１の上面と同一平面となる位置にカセット６０を位置付けさせる。制御ユニット１００は、仮置きユニット８０の搬出入ユニット８３にカセット６０から下から四番目の収容棚６４−４に収容された被加工物２００−４を搬出させ、搬出した被加工物２００−４をレール８１上に仮置きさせる。制御ユニット１００は、検出センサ８２がレール８１上に仮置きされた被加工物２００−４を検出すると、図１４に示すように、進行状況表示画面１１２の仮置き対応領域１２１に下から四番目の収容棚６４−４に収容されていた被加工物２００−４を示す被加工物マーク１４０−４を重ねて表示する。また、制御ユニット１００は、複数のマス目１３１のうち下から四番目の収容棚６４−４に対応するマス目１３１−４に仮置き対応領域１２１と同じ色３０１を表示する。
【００７３】
こうして、加工装置１は、表示ユニット１１０の表示画面１１１上の進行状況表示画面１１２のカセット内マップ１３０の各マス目１３１には、マス目１３１が示すカセット６０の収容棚６４に収容されていた被加工物２００の現在位置に対応する対応領域１２１，１２２，１２３，１２４，１２５の色３０１，３０２，３０３，３０４，３０５が表示されている。また、加工装置１は、カセット６０から搬出された後再度カセット６０に戻された被加工物２００が収容された収容棚６４を示すマス目１３１には、搬入済みを示す色３０６が表示される。
【００７４】
また、加工装置１は、被加工物２００をカセット６０から仮置きユニット８０のレール８１上、第１搬送ユニット９１、チャックテーブル１０、第２搬送ユニット９２、スピンナーテーブル７２、第１搬送ユニット９１、仮置きユニット８０のレール８１上、カセット６０に順に搬送して、切削加工する。実施形態１では、制御ユニット１００は、カセット６０内下から順に被加工物２００を切削加工して、検出センサ８２がレール８１上に仮置きされた下から十番目の収容棚６４−１０に収容されていた切削加工済みの被加工物２００−１０を検出すると、図１５に示すように、進行状況表示画面１１２の仮置き対応領域１２１に下から十番目の収容棚６４−１０に収容されていた被加工物２００−１０を示す被加工物マーク１４１−１０を重ねて表示する。また、制御ユニット１００は、複数のマス目１３１のうち下から十番目の収容棚６４−１０に対応するマス目１３１−１０に仮置き対応領域１２１と同じ色３０１を表示する。このとき、制御ユニット１００は、図１５に示すように、複数のマス目１３１のうち一番下の収容棚６４−１に対応するマス目１３１−１から下から九番目の収容棚６４−９に対応するマス目１３１−９に搬入済みを示す色３０６を表示する。制御ユニット１００は、カセットエレベータ５０にレール８１上に載置された被加工物２００−１０を収容する一番上の収容棚６４−１０の上面がレール８１の上面と同一平面上となる位置にカセット６０を位置付けさせる。制御ユニット１００は、仮置きユニット８０の搬出入ユニット８３にレール８１上の被加工物２００−１０を一番上の収容棚６４−１０に搬入させる。こうして、加工装置１の制御ユニット１００は、カセット６０内の全ての被加工物２００の切削加工が完了すると加工動作を終了する。
【００７５】
実施形態１に係る加工装置１は、表示ユニット１１０の表示画面１１１に表示される進行状況表示画面１１２に装置内マップ１２０と、カセット内マップ１３０を設定している。加工装置１は、装置内マップ１２０の各対応領域１２１，１２２，１２３，１２４，１２５に互いに異なる色３０１，３０２，３０３，３０４，３０５を設定しておき、カセット内マップ１３０には、カセット６０内の被加工物２００に対応するマス目１３１を設定している。加工装置１は、各マス目１３１に、マス目１３１が対応するカセット６０の収容棚６４に収容されていた被加工物２００の現在位置に対応する対応領域１２１，１２２，１２３，１２４，１２５の色３０１，３０２，３０３，３０４，３０５を表示する。このために、加工装置１は、カセット６０の各収容棚６４から搬出された被加工物２００が装置内マップのどこにあるのかがマス目１３１の色３０１，３０２，３０３，３０４，３０５により一目でオペレータに認識させることができる。その結果、加工装置１は、被加工物２００の加工の進行状況を把握することを可能とすることができるという効果を奏する。
【００７６】
また、加工装置１は、各対応領域１２１，１２２，１２３，１２４，１２５に被加工物マーク１４０，１４１を重ねて表示するので、対応領域１２１，１２２，１２３，１２４，１２５を確認することで、各被加工物２００の現在位置も一目でオペレータに認識させることができる。
【００７７】
また、加工装置１は、搬送ユニット９１，９２に対応する搬送ユニット対応領域１２２，１２５を進行状況表示画面１１２に設定している。その結果、加工装置１は、マス目１３１の色３０１，３０２，３０３，３０４，３０５等を確認することで、加工装置１内で搬送中の被加工物２００の状況も一目でオペレータに認識させることができる。
【００７８】
また、加工装置１は、カセット６０から搬出され、切削加工が施されたカセット６０内に搬入された被加工物２００を収容する収容棚６４に対応するマス目１３１に搬入済みを示す色３０６を表示するので、カセット内マップ１３０を確認することで、加工済みの被加工物２００を一目でオペレータに認識させることができる。
【００７９】
〔変形例１〕
本発明の実施形態１の変形例１に係る加工装置を図面に基いて説明する。図１６は、実施形態１の変形例１に係る加工装置の表示ユニットの表示画面に表示される進行状況表示画面を示す図である。なお、図１６は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【００８０】
実施形態１の変形例１に係る加工装置１は、カセットエレベータ５０が、複数（変形例１では、２つ）のカセット６０をＺ軸方向に重ねて支持する。変形例１に係る加工装置１の進行状況表示画面１１２は、図１６に示すように、カセット内マップ１３０が、２つのカセット６０のうち下方のカセット６０に対応する第１カセット内マップ１３０−１と、上方のカセット６０に対応する第２カセット内マップ１３０−２とを備えていること以外、実施形態１の進行状況表示画面１１２と構成が同じである。変形例１に係る加工装置１の進行状況表示画面１１２の各カセット内マップ１３０−１，１３０−２は、実施形態１のカセット内マップ１３０と構成が同等である。
【００８１】
変形例１に係る加工装置１は、実施形態１と同様に、進行状況表示画面１１２に装置内マップ１２０とカセット内マップ１３０−１，１３０−２を設定し、カセット内マップ１３０−１，１３０−２の各マス目１３１に、マス目１３１が対応するカセット６０の収容棚６４に収容されていた被加工物２００の現在位置に対応する対応領域１２１，１２２，１２３，１２４，１２５の色３０１，３０２，３０３，３０４，３０５を表示する。このために、変形例１に係る加工装置１は、カセット６０の各収容棚６４から搬出された被加工物２００が装置内マップのどこにあるのかがマス目１３１の色３０１，３０２，３０３，３０４，３０５により一目でオペレータに認識させることができ、被加工物２００の加工の進行状況を把握することを可能とすることができるという効果を奏する。
【００８２】
〔変形例２〕
本発明の実施形態１の変形例２に係る加工装置を図面に基いて説明する。図１７は、実施形態１の変形例２に係る加工装置の表示ユニットの表示画面に表示される進行状況表示画面を示す図である。なお、図１７は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【００８３】
実施形態１の変形例２に係る加工装置１は、カセットエレベータ５０が、複数（変形例１では、２つ）のカセット６０をＺ軸方向に重ねて支持する。変形例２に係る加工装置１の進行状況表示画面１１２は、図１７に示すように、２つのカセット６０のうち下方のカセット６０に対応する第１カセット内マップ１３０−１と、上方のカセット６０に対応する第２カセット内マップ１３０−２とのうち一方を表示するとともに、表示する第１カセット内マップ１３０−１と第２カセット内マップ１３０−２とを切換え可能であること以外、実施形態１の進行状況表示画面１１２と構成が同じである。変形例２に係る加工装置１の進行状況表示画面１１２の各カセット内マップ１３０−１，１３０−２は、実施形態１のカセット内マップ１３０の構成に加え、表示中のカセット６０を示すカセット識別領域１３２が設定されている。変形例２では、加工装置１の表示情報設定部１０１は、カセット識別領域１３２に対するオペレータの操作を受け付けると、進行状況表示画面１１２に表示するカセット内マップ１３０−１，１３０−２を切換えるが、本発明では、進行状況表示画面１１２に表示するカセット内マップ１３０−１，１３０−２を切換える方法は、この方法に限定されない。
【００８４】
変形例２に係る加工装置１は、実施形態１と同様に、進行状況表示画面１１２に装置内マップ１２０とカセット内マップ１３０−１，１３０−２を設定し、カセット内マップ１３０−１，１３０−２の各マス目１３１に、マス目１３１が対応するカセット６０の収容棚６４に収容されていた被加工物２００の現在位置に対応する対応領域１２１，１２２，１２３，１２４，１２５の色３０１，３０２，３０３，３０４，３０５を表示する。このために、変形例２に係る加工装置１は、カセット６０の各収容棚６４から搬出された被加工物２００が装置内マップのどこにあるのかがマス目１３１の色３０１，３０２，３０３，３０４，３０５により一目でオペレータに認識させることができ、被加工物２００の加工の進行状況を把握することを可能とすることができるという効果を奏する。
【００８５】
なお、本発明は、上記実施形態及び変形例に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。前述した実施形態１等では、進行状況表示画面１１２の各対応領域１２１，１２２，１２３，１２４，１２５に互いに異なる色３０１，３０２，３０３，３０４，３０５を表示し、各マス目１３１に被加工物２００の現在位置に対応する対応領域１２１，１２２，１２３，１２４，１２５の色３０１，３０２，３０３，３０４，３０５を表示している。しかしながら、本発明では、進行状況表示画面１１２の各対応領域１２１，１２２，１２３，１２４，１２５に互いに異なる識別マークを表示し、各マス目１３１に被加工物２００の現在位置に対応する対応領域１２１，１２２，１２３，１２４，１２５の識別マークを表示しても良い。また、実施形態１等では、加工装置１が切削装置である例を示しているが、本発明は、加工装置１が切削装置に限定されずに、研削装置、レーザー加工装置、サーフェーサープレーナ等種々の加工を被加工物２００に施す装置であっても良い。
【符号の説明】
【００８６】
１  加工装置
１０  チャックテーブル
２０  切削ユニット（加工ユニット）
５０  カセットエレベータ（カセット載置領域）
６０  カセット
６４  収容棚（段）
７０  洗浄ユニット（洗浄領域）
８１  レール（仮置き領域）
９０  搬送ユニット
１００  制御ユニット
１０１  表示情報設定部
１１１  表示画面
１１２  進行状況表示画面（表示情報）
１２０  装置内マップ
１２１  仮置き対応領域
１２２  第１搬送ユニット対応領域
１２３  チャックテーブル対応領域
１２４  洗浄対応領域
１２５  第２搬送ユニット対応領域
１３１  マス目
１４０，１４１  被加工物マーク
２００  被加工物
３０１，３０２，３０３，３０４，３０５  色（所定の色）
３０６  搬入済みを示す色
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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