(57)【要約】【課題】測定対象の１つの電極に接触する２つのプローブの接触抵抗を個別に測定する。【解決手段】処理部７は、接続切替部６を制御してプローブＰＬｃ１が電源部２に、プローブＰＬｐ１が電源部３に、プローブＰＬｐ２が演算増幅器４ｃに接続され、かつプローブＰＬｃ２が未接続となる状態に移行させ、電源部２から電圧Ｖ１を、電源部３から電圧Ｖ２を出力させ、かつ測定対象１１に流れる電流Ｉｉｎがゼロになるように電圧Ｖ２を変更し、このときの電圧Ｖ２から比Ｒ１／Ｒ２を算出し、接続切替部６を制御してプローブＰＬｃ１が電源部２に、プローブＰＬｐ１が演算増幅器４ｃに接続され、かつ各プローブＰＬｃ２，ＰＬｐ２が未接続となる状態に移行させ、電源部２から電圧Ｖ１を出力させてプローブＰＬｐ１に流れる電流Ｉｉｎを測定し、電圧Ｖ１と電流Ｉ１から和Ｒ１＋Ｒ２を算出し、算出した比と和から接触抵抗Ｒ１，Ｒ２を個別に算出する。【選択図】図１
2020106314.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象の一方の電極に接触させられる第１電流供給用プローブおよび第１電圧検出用プローブで構成される第１プローブ群についての当該一方の電極との間の接触抵抗、並びに当該測定対象の他方の電極に接触させられる第２電流供給用プローブおよび第２電圧検出用プローブで構成される第２プローブ群についての当該他方の電極との間の接触抵抗のうちの少なくとも１つのプローブ群についての前記接触抵抗を個別に測定する接触抵抗測定装置であって、
基準電位を基準とする固定電圧を出力する固定電源部と、
前記基準電位を基準として出力する調整電圧を可変可能な可変電源部と、
非反転入力端子が前記基準電位に規定されると共に反転入力端子と出力端子との間に帰還抵抗が接続された演算増幅器を有して構成されて、当該反転入力端子に供給される入力電流を電圧に変換して検出電圧として当該出力端子から出力する電流検出部と、
前記固定電源部、前記可変電源部および前記電流検出部と４つの前記プローブとの間に配設された接続切替部と、
処理部とを備え、
前記処理部は、
前記接続切替部に対する制御を実行して、前記第１プローブ群の一方のプローブが前記固定電源部に接続され、前記第１プローブ群の他方のプローブが前記可変電源部に接続され、前記第２プローブ群の一方のプローブが未接続となり、かつ前記第２プローブ群の他方のプローブが前記演算増幅器の前記反転入力端子に接続される第１接続状態に移行させる第１接続切替処理と、
前記第１接続状態において、前記固定電源部に対して前記固定電圧を前記第１プローブ群の前記一方のプローブへ出力させると共に、前記可変電源部に対して前記調整電圧を前記第１プローブ群の前記他方のプローブへ出力させ、かつ前記測定対象に流れる電流を前記入力電流として前記電流検出部が出力する前記検出電圧に基づいて、当該測定対象に流れる当該電流がゼロになるように前記可変電源部に対する制御を実行して前記調整電圧を変更する第１調整処理と、
前記基準電位と前記固定電圧と前記測定対象に流れる前記電流がゼロのときの前記第１調整処理での前記調整電圧とに基づいて、前記第１プローブ群の前記一方のプローブと前記一方の電極との間の第１接触抵抗と、前記第１プローブ群の前記他方のプローブと前記一方の電極との間の第２接触抵抗との比を算出する第１算出処理と、
前記接続切替部に対する制御を実行して、前記第１プローブ群の前記一方のプローブが前記固定電源部に接続され、前記第１プローブ群の前記他方のプローブが前記演算増幅器の前記反転入力端子に接続され、かつ前記第２プローブ群の各前記プローブが未接続となる第２接続状態に移行させる第２接続切替処理と、
前記第２接続状態において、前記固定電源部に対して前記固定電圧を前記第１プローブ群の前記一方のプローブへ出力させると共に、当該第１プローブ群に流れる電流を前記入力電流として前記電流検出部が出力する前記検出電圧に基づいて、当該第１プローブ群に流れる電流を第１電流として測定する第１電流測定処理と、
前記固定電圧と前記第１電流とに基づいて、前記第１接触抵抗と前記第２接触抵抗の和を算出する第２算出処理と、
前記第１算出処理で算出した前記比および前記第２算出処理で算出した前記和に基づいて、前記第１接触抵抗と前記第２接触抵抗とを個別に算出する第１抵抗算出処理とを実行する接触抵抗測定装置。
【請求項２】
前記処理部は、
前記接続切替部に対する制御を実行して、前記第２プローブ群の前記一方のプローブが前記固定電源部に接続され、前記第２プローブ群の前記他方のプローブが前記可変電源部に接続され、前記第１プローブ群の前記一方のプローブが未接続となり、かつ前記第１プローブ群の前記他方のプローブが前記演算増幅器の前記反転入力端子に接続される第３接続状態に移行させる第３接続切替処理と、
前記第３接続状態において、前記固定電源部に対して前記固定電圧を前記第２プローブ群の前記一方のプローブへ出力させると共に、前記可変電源部に対して前記調整電圧を前記第２プローブ群の前記他方のプローブへ出力させ、かつ前記測定対象に流れる電流を前記入力電流として前記電流検出部が出力する前記検出電圧に基づいて、当該測定対象に流れる当該電流がゼロになるように前記可変電源部に対する制御を実行して前記調整電圧を変更する第２調整処理と、
前記基準電位と前記固定電圧と前記測定対象に流れる前記電流がゼロのときの前記第２調整処理での前記調整電圧とに基づいて、前記第２プローブ群の前記一方のプローブと前記他方の電極との間の第３接触抵抗と、前記第２プローブ群の前記他方のプローブと前記他方の電極との間の第４接触抵抗との比を算出する第３算出処理と、
前記接続切替部に対する制御を実行して、前記第２プローブ群の前記一方のプローブが前記固定電源部に接続され、前記第２プローブ群の前記他方のプローブが前記演算増幅器の前記反転入力端子に接続され、かつ前記第１プローブ群の各前記プローブが未接続となる第４接続状態に移行させる第４接続切替処理と、
前記第４接続状態において、前記固定電源部に対して前記固定電圧を前記第２プローブ群の前記一方のプローブへ出力させると共に、当該第２プローブ群に流れる電流を前記入力電流として前記電流検出部が出力する前記検出電圧に基づいて、当該第２プローブ群に流れる電流を第２電流として測定する第２電流測定処理と、
前記固定電圧と前記第２電流とに基づいて、前記第３接触抵抗と前記第４接触抵抗の和を算出する第４算出処理と、
前記第３算出処理で算出した前記比および前記第４算出処理で算出した前記和に基づいて、前記第３接触抵抗と前記第４接触抵抗とを個別に算出する第２抵抗算出処理とを実行する請求項１記載の接触抵抗測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象の一方の電極に接触させられる一対のプローブ（第１電流供給用プローブおよび第１電圧検出用プローブ）のそれぞれの接触抵抗、および測定対象の他方の電極に接触させられる他の一対のプローブ（第２電流供給用プローブおよび第２電圧検出用プローブ）のそれぞれの接触抵抗を個別に測定する接触抵抗測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の接触抵抗測定装置の一例として、下記の特許文献１に開示された接触抵抗測定方法を実行する接触抵抗測定装置が知られている。この接触抵抗測定装置（測定装置）は、第１〜第４コンタクトピン（４本のプローブ）と、定電流を供給する定電流源と、電圧を計測する直流電圧計と、リレー回路と、制御部とを含んで構成されている。
【０００３】
この場合、第１および第２コンタクトピンは、測定対象の一対のリード端子のうちの一方のリード端子（第１のリード端子）に接触し、第３および第４コンタクトピンは、測定対象の他方のリード端子（第２のリード端子）に接触する。
【０００４】
リレー回路は、第１〜第９リレーを有して構成されて、第１〜第４コンタクトピンと定電流源とを電気的に、導通および遮断すると共に、第１〜第４コンタクトピンと直流電圧計とを電気的に、導通および遮断する。第１リレーは、定電流源の一方の端子と第１コンタクトピンとの間に介在する。第２リレーは、定電流源の一方の端子と第２コンタクトピンとの間に介在する。第３リレーは、定電流源の他方の端子と第３コンタクトピンとの間に介在する。第４リレーは、定電流源の他方の端子と第４コンタクトピンとの間に介在する。第５リレーは、直流電圧計の一方の端子と第１コンタクトピンとの間に介在する。第６リレーは、直流電圧計の一方の端子と第２コンタクトピンとの間に介在する。第７リレーは、直流電圧計の他方の端子と第３コンタクトピンとの間に介在する。第８リレーは、直流電圧計の他方の端子と第４コンタクトピンとの間に介在する。第９リレーは、第２および第６リレーと第２コンタクトピンとの接続点と、第３および第７リレーと第３コンタクトピンとの接続点との間に介在する。制御部は、ＣＰＵによって実現されて、リレー回路を制御すると共に、定電流源を制御する。また、制御部は、直流電圧計の計測値を取得する。
【０００５】
この接触抵抗測定装置では、制御部は、リレー回路を制御することにより、第１コンタクトピンから測定対象を経由して第４コンタクトピンに至る経路に定電流源から定電流Ｉｓ１を供給し、この定電流の供給状態において第１コンタクトピンおよび第４コンタクトピン間に生じる電圧Ｖｍ１を直流電圧計で計測させる。この場合、第１〜第４コンタクトピンについての接触抵抗をそれぞれ、符号ｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４で表し、測定対象の抵抗を符号Ｒで表すと、これらと、定電流Ｉｓ１と、電圧Ｖｍ１との間には、次の式が成り立つ。
ｒ１＋Ｒ＋ｒ４＝Ｖｍ１／Ｉｓ１
【０００６】
同様にして、制御部は、第２コンタクトピンから測定対象を経由して第３コンタクトピンに至る経路に定電流源から定電流Ｉｓ１を供給し、この定電流の供給状態において第２コンタクトピンおよび第３コンタクトピン間に生じる電圧Ｖｍ２を直流電圧計で計測させる。この場合、次の式が成り立つ。
ｒ２＋Ｒ＋ｒ３＝Ｖｍ２／Ｉｓ１
【０００７】
また、制御部は、第２コンタクトピンから測定対象を経由して第４コンタクトピンに至る経路に定電流源から定電流Ｉｓ１を供給し、この定電流の供給状態において第２コンタクトピンおよび第４コンタクトピン間に生じる電圧Ｖｍ３を直流電圧計で計測させる。この場合、次の式が成り立つ。
ｒ２＋Ｒ＋ｒ４＝Ｖｍ３／Ｉｓ１
【０００８】
また、制御部は、第１コンタクトピンから第２コンタクトピンに至る経路に定電流源から定電流Ｉｓ１を供給し、この定電流の供給状態において第１コンタクトピンおよび第２コンタクトピン間に生じる電圧Ｖｍ４を直流電圧計で計測させる。この場合、次の式が成り立つ。
ｒ１＋ｒ２＝Ｖｍ４／Ｉｓ１
【０００９】
また、制御部は、第３コンタクトピンから第４コンタクトピンに至る経路に定電流源から定電流Ｉｓ１を供給し、この定電流の供給状態において第３コンタクトピンおよび第４コンタクトピン間に生じる電圧Ｖｍ５を直流電圧計で計測させる。この場合、次の式が成り立つ。
ｒ３＋ｒ４＝Ｖｍ５／Ｉｓ１
【００１０】
制御部は、上記した５つの式で構成される連立方程式から、第１〜第４コンタクトピンについての４つの接触抵抗ｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４を求める。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００６−３３７２６８号公報（第７−１１頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところが、上記した接触抵抗測定装置には、以下のような解決すべき課題が存在している。すなわち、抵抗Ｒが印加電圧や温度の影響を受けるという特性を測定対象が有していたとしても、接触抵抗測定装置は、本来であれば測定対象の抵抗Ｒについての上記の特性の影響を受けることなく、接触抵抗ｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４を正確に測定すべきである。しかしながら、上記した接触抵抗測定装置には、接触抵抗ｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４を求めるための上記の５つの式に、測定対象の抵抗Ｒを含んで構成される式が含まれているため、測定対象の抵抗Ｒについての上記の特性の影響を受けて、接触抵抗ｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４を正確に測定できないことがあるという課題が存在している。
【００１３】
本発明は、かかる解決すべき課題に鑑みてなされたものであり、測定対象の一対の電極のうちの少なくとも１つの電極に接触させられる２つのプローブの接触抵抗を個別に正確に測定し得る接触抵抗測定装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成すべく請求項１記載の接触抵抗測定装置は、測定対象の一方の電極に接触させられる第１電流供給用プローブおよび第１電圧検出用プローブで構成される第１プローブ群についての当該一方の電極との間の接触抵抗、並びに当該測定対象の他方の電極に接触させられる第２電流供給用プローブおよび第２電圧検出用プローブで構成される第２プローブ群についての当該他方の電極との間の接触抵抗のうちの少なくとも１つのプローブ群についての前記接触抵抗を個別に測定する接触抵抗測定装置であって、基準電位を基準とする固定電圧を出力する固定電源部と、前記基準電位を基準として出力する調整電圧を可変可能な可変電源部と、非反転入力端子が前記基準電位に規定されると共に反転入力端子と出力端子との間に帰還抵抗が接続された演算増幅器を有して構成されて、当該反転入力端子に供給される入力電流を電圧に変換して検出電圧として当該出力端子から出力する電流検出部と、前記固定電源部、前記可変電源部および前記電流検出部と４つの前記プローブとの間に配設された接続切替部と、処理部とを備え、前記処理部は、前記接続切替部に対する制御を実行して、前記第１プローブ群の一方のプローブが前記固定電源部に接続され、前記第１プローブ群の他方のプローブが前記可変電源部に接続され、前記第２プローブ群の一方のプローブが未接続となり、かつ前記第２プローブ群の他方のプローブが前記演算増幅器の前記反転入力端子に接続される第１接続状態に移行させる第１接続切替処理と、前記第１接続状態において、前記固定電源部に対して前記固定電圧を前記第１プローブ群の前記一方のプローブへ出力させると共に、前記可変電源部に対して前記調整電圧を前記第１プローブ群の前記他方のプローブへ出力させ、かつ前記測定対象に流れる電流を前記入力電流として前記電流検出部が出力する前記検出電圧に基づいて、当該測定対象に流れる当該電流がゼロになるように前記可変電源部に対する制御を実行して前記調整電圧を変更する第１調整処理と、前記基準電位と前記固定電圧と前記測定対象に流れる前記電流がゼロのときの前記第１調整処理での前記調整電圧とに基づいて、前記第１プローブ群の前記一方のプローブと前記一方の電極との間の第１接触抵抗と、前記第１プローブ群の前記他方のプローブと前記一方の電極との間の第２接触抵抗との比を算出する第１算出処理と、前記接続切替部に対する制御を実行して、前記第１プローブ群の前記一方のプローブが前記固定電源部に接続され、前記第１プローブ群の前記他方のプローブが前記演算増幅器の前記反転入力端子に接続され、かつ前記第２プローブ群の各前記プローブが未接続となる第２接続状態に移行させる第２接続切替処理と、前記第２接続状態において、前記固定電源部に対して前記固定電圧を前記第１プローブ群の前記一方のプローブへ出力させると共に、当該第１プローブ群に流れる電流を前記入力電流として前記電流検出部が出力する前記検出電圧に基づいて、当該第１プローブ群に流れる電流を第１電流として測定する第１電流測定処理と、前記固定電圧と前記第１電流とに基づいて、前記第１接触抵抗と前記第２接触抵抗の和を算出する第２算出処理と、前記第１算出処理で算出した前記比および前記第２算出処理で算出した前記和に基づいて、前記第１接触抵抗と前記第２接触抵抗とを個別に算出する第１抵抗算出処理とを実行する。
【００１５】
また、請求項２記載の接触抵抗測定装置は、請求項１記載の接触抵抗測定装置において、前記処理部は、前記接続切替部に対する制御を実行して、前記第２プローブ群の前記一方のプローブが前記固定電源部に接続され、前記第２プローブ群の前記他方のプローブが前記可変電源部に接続され、前記第１プローブ群の前記一方のプローブが未接続となり、かつ前記第１プローブ群の前記他方のプローブが前記演算増幅器の前記反転入力端子に接続される第３接続状態に移行させる第３接続切替処理と、前記第３接続状態において、前記固定電源部に対して前記固定電圧を前記第２プローブ群の前記一方のプローブへ出力させると共に、前記可変電源部に対して前記調整電圧を前記第２プローブ群の前記他方のプローブへ出力させ、かつ前記測定対象に流れる電流を前記入力電流として前記電流検出部が出力する前記検出電圧に基づいて、当該測定対象に流れる当該電流がゼロになるように前記可変電源部に対する制御を実行して前記調整電圧を変更する第２調整処理と、前記基準電位と前記固定電圧と前記測定対象に流れる前記電流がゼロのときの前記第２調整処理での前記調整電圧とに基づいて、前記第２プローブ群の前記一方のプローブと前記他方の電極との間の第３接触抵抗と、前記第２プローブ群の前記他方のプローブと前記他方の電極との間の第４接触抵抗との比を算出する第３算出処理と、前記接続切替部に対する制御を実行して、前記第２プローブ群の前記一方のプローブが前記固定電源部に接続され、前記第２プローブ群の前記他方のプローブが前記演算増幅器の前記反転入力端子に接続され、かつ前記第１プローブ群の各前記プローブが未接続となる第４接続状態に移行させる第４接続切替処理と、前記第４接続状態において、前記固定電源部に対して前記固定電圧を前記第２プローブ群の前記一方のプローブへ出力させると共に、当該第２プローブ群に流れる電流を前記入力電流として前記電流検出部が出力する前記検出電圧に基づいて、当該第２プローブ群に流れる電流を第２電流として測定する第２電流測定処理と、前記固定電圧と前記第２電流とに基づいて、前記第３接触抵抗と前記第４接触抵抗の和を算出する第４算出処理と、前記第３算出処理で算出した前記比および前記第４算出処理で算出した前記和に基づいて、前記第３接触抵抗と前記第４接触抵抗とを個別に算出する第２抵抗算出処理とを実行する。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１記載の接触抵抗測定装置によれば、測定対象の一方の電極に接触させられる第１プローブ群を構成する一対のプローブ、および測定対象の他方の電極に接触させられる第２プローブ群を構成する一対のプローブのうちの第１プローブ群を構成する一対のプローブについての第１接触抵抗および第２接触抵抗を、測定対象のインピーダンスの影響を受けることなく個別に正確に測定することができる。
【００１７】
また、請求項２記載の接触抵抗測定装置によれば、さらに、第２プローブ群を構成する一対のプローブについての第３接触抵抗および第４接触抵抗についても、測定対象のインピーダンスの影響を受けることなく個別に正確に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】接触抵抗測定装置１，１Ａの構成を示す構成図である。
【図２】第１接触抵抗測定処理５０（５０Ａ）のフローチャートである。
【図３】第２接触抵抗測定処理６０（６０Ａ）のフローチャートである。
【図４】接触抵抗Ｒ１，Ｒ２の測定動作を説明するための説明図である。
【図５】接触抵抗Ｒ１，Ｒ２の測定動作を説明するための他の説明図である。
【図６】接触抵抗Ｒ３，Ｒ４の測定動作を説明するための説明図である。
【図７】接触抵抗Ｒ３，Ｒ４の測定動作を説明するための他の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、接触抵抗測定装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２０】
まず、接触抵抗測定装置としての接触抵抗測定装置１の構成について、図１を参照して説明する。
【００２１】
接触抵抗測定装置１は、図１に示すように、第１電流供給用プローブＰＬｃ１、第２電流供給用プローブＰＬｃ２、第１電圧検出用プローブＰＬｐ１、第２電圧検出用プローブＰＬｐ２、固定電源部２、可変電源部３、電流検出部４、Ａ／Ｄ変換部５、接続切替部６、処理部７および出力部８を備えている。
【００２２】
また、接触抵抗測定装置１は、測定対象１１の一方の電極（本例では測定対象１１の一方の接続端子）１１ａに接触させられる第１電流供給用プローブＰＬｃ１および第１電圧検出用プローブＰＬｐ１で構成される第１プローブ群についてのこの一方の電極１１ａとの間の接触抵抗、および測定対象１１の他方の電極（本例では測定対象１１の他方の接続端子）１１ｂに接触させられる第２電流供給用プローブＰＬｃ２および第２電圧検出用プローブＰＬｐ２で構成される第２プローブ群についてのこの他方の電極１１ｂとの間の接触抵抗を、第１電流供給用プローブＰＬｃ１、第１電圧検出用プローブＰＬｐ１、第２電流供給用プローブＰＬｃ２および第２電圧検出用プローブＰＬｐ２について個別に測定する。つまり、接触抵抗測定装置１は、第１電流供給用プローブＰＬｃ１と一方の電極１１ａとの間の接触抵抗（第１接触抵抗）Ｒ１、第１電圧検出用プローブＰＬｐ１と一方の電極１１ａとの間の接触抵抗（第２接触抵抗）Ｒ２、第２電流供給用プローブＰＬｃ２と他方の電極１１ｂとの間の接触抵抗（第３接触抵抗）Ｒ３、および第２電圧検出用プローブＰＬｐ２と他方の電極１１ｂとの間の接触抵抗（第４接触抵抗）Ｒ４を個別に測定する。
【００２３】
この接触抵抗測定装置１は、図示はしないが、例えば、測定対象１１のインピーダンスを測定するインピーダンス測定装置に組み込まれて使用される。この場合、第１電流供給用プローブＰＬｃ１は接続切替部６を介して固定電源部２に接続されて、Ｈｉ側のソース端子Ｈｃとして機能し、第２電流供給用プローブＰＬｃ２は接続切替部６を介して電流検出部４に接続されて、Ｌｏ側のソース端子Ｌｃとして機能する。また、第１電圧検出用プローブＰＬｐ１は、接続切替部６を介してインピーダンス測定装置を構成する不図示の電圧検出部の正側検出端子に接続されて、Ｈｉ側のセンス端子Ｈｐとして機能し、第２電圧検出用プローブＰＬｐ２は接続切替部６を介して電圧検出部の負側検出端子に接続されて、Ｌｏ側のセンス端子Ｌｐとして機能する。また、インピーダンス測定装置では、接触抵抗測定装置１で測定された各接触抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４を考慮しつつ、電流検出部４で検出される電流の電流値（測定対象１１に流れる電流の電流値）と、電圧検出部で検出される電圧の電圧値（測定対象１１の電極１１ａ，１１ｂ間に生じる電圧値）とに基づいて、処理部７が上記のインピーダンスを測定する。
【００２４】
まず、第１実施の形態として、抵抗やインダクタなどの直流電流を流すことが可能な測定対象１１のインピーダンス（抵抗値やインダクタンス）を測定するインピーダンス測定装置に組み込まれて使用される接触抵抗測定装置１を例に挙げて、各要素の構成を説明する。
【００２５】
固定電源部２は、基準電位Ｖｒ（既知の電位。本例では一例として、接触抵抗測定装置１の内部グランドＧの電位（ゼロボルト））を基準とする固定電圧Ｖ１（直流電圧であって、その電圧値Ｖ１は一定で、かつ既知）を出力する。本例では、理解の容易のため、固定電圧Ｖ１とその電圧値Ｖ１の双方について同じ符号を使用するものとする。また、固定電源部２は、処理部７によって制御されて、固定電圧Ｖ１の出力、および固定電圧Ｖ１の出力の停止を実行する。
【００２６】
可変電源部３は、基準電位Ｖｒ（内部グランドＧの電位）を基準とする調整電圧（直流電圧）Ｖ２を出力すると共に、この調整電圧Ｖ２の電圧値Ｖ２を可変可能に構成されている。本例では、理解の容易のため、調整電圧Ｖ２とその電圧値Ｖ２の双方について同じ符号を使用するものとする。また、可変電源部３は、処理部７によって制御されて、調整電圧Ｖ２の出力、および調整電圧Ｖ２の出力の停止を実行すると共に、電圧値Ｖ２を変更する（具体的には、処理部７で指示された電圧値に変更する）。
【００２７】
電流検出部４は、一例として、入力部４ａ、出力部４ｂ、演算増幅器４ｃおよび帰還抵抗４ｄ（抵抗値Ｒｆ）を備え、演算増幅器４ｃの反転入力端子が入力部４ａに接続され、演算増幅器４ｃの非反転入力端子が基準電位Ｖｒ（内部グランドＧの電位）に規定され、演算増幅器４ｃの出力端子が出力部４ｂに接続され、かつ演算増幅器４ｃの反転入力端子と出力端子との間に帰還抵抗４ｂが接続されて構成されている。この構成により、電流検出部４は、入力部４ａに供給される（つまり、演算増幅器４ｃの反転入力端子に供給される）入力電流Ｉｉｎを電圧に変換して、演算増幅器４ｃの出力端子（つまり、出力部４ｂ）から検出電圧Ｖｉ（＝−Ｉｉｎ×Ｒｆ）として出力する。
【００２８】
Ａ／Ｄ変換部５は、検出電圧Ｖｉを入力して所定のサンプリング周期でサンプリングすることにより、検出電圧Ｖｉの瞬時値を示す波形データ（電流検出部４に入力される入力電流Ｉｉｎの瞬時値を示す波形データとも言えることから、以下では波形データＤｉと表記する）を出力する。なお、Ａ／Ｄ変換部５は、本例のように処理部７とは別体とする構成に限定されるものではなく、図示はしないが、処理部７内に組み込む構成（処理部７と一体的に形成する構成）とすることもできる。
【００２９】
接続切替部６は、例えば、複数の第１ポート（第１電流供給用プローブＰＬｃ１が接続される第１ポート６１、第１電圧検出用プローブＰＬｐ１が接続される第１ポート６２、第２電流供給用プローブＰＬｃ２が接続される第１ポート６３、および第２電圧検出用プローブＰＬｐ２が接続される第１ポート６４）と、複数の第２ポート（固定電源部２が接続される第２ポート６ａ、可変電源部３が接続される第２ポート６ｂ、電流検出部４が接続される第２ポート６ｃ、および不図示の電圧検出部が接続される第２ポート６ｄ，６ｅ）と、処理部７によって制御されて複数の第１ポートのうちの任意の第１ポートの任意の第２ポートへの一対一での接続、および任意の第１ポートの第２ポートからの切り離しを実行可能な不図示のマトリクススイッチ回路とを備えて構成されている。
【００３０】
処理部７は、ＣＰＵおよびメモリ（いずれも図示せず）を備えて、固定電源部２、可変電源部３および接続切替部６に対する制御を実行する。また、処理部７は、第１プローブ群についての測定対象１１の一方の電極１１ａとの間の接触抵抗Ｒ１，Ｒ２を測定する第１接触抵抗測定処理、および第２プローブ群についての測定対象１１の他方の電極１１ｂとの間の接触抵抗Ｒ３，Ｒ４を測定する第２接触抵抗測定処理を実行する。また、処理部７は、測定した各接触抵抗Ｒ１〜Ｒ４を出力部８に出力させる出力処理を実行する。
【００３１】
出力部８は、一例として、表示装置で構成されて、処理部７から出力される接触抵抗Ｒ１〜Ｒ４を画面上に表示する（出力する）。なお、出力部８は、表示装置に代えて種々のインターフェース回路で構成することもでき、外部インターフェース回路で構成されたときには、外部インターフェース回路を介して伝送路で接続された外部装置にこの算出（測定）した接触抵抗Ｒ１〜Ｒ４を出力し、また媒体用インターフェース回路で構成されたときには、この媒体用インターフェース回路に接続された記憶媒体にこの算出（測定）した接触抵抗Ｒ１〜Ｒ４を記憶させる。
【００３２】
次に、接触抵抗測定装置１の動作について、図面を参照して説明する。なお、図１に示すように、接触抵抗測定装置１の接続切替部６には、第１電流供給用プローブＰＬｃ１、第１電圧検出用プローブＰＬｐ１、第２電流供給用プローブＰＬｃ２および第２電圧検出用プローブＰＬｐ２が接続され、また接触抵抗測定装置１には、これらのプローブＰＬｃ１，ＰＬｐ１，ＰＬｃ２，ＰＬｐ２を介して測定対象１１が接続されているものとする。
【００３３】
この状態において、接触抵抗測定装置１では、処理部７が、図２に示す第１接触抵抗測定処理５０を実行する。この第１接触抵抗測定処理５０では、処理部７は、まず、第１接続切替処理を実行する（ステップ５１）。この第１接続切替処理では、処理部７は、接続切替部６に対する制御を実行して、第１プローブ群の一方のプローブ（本例では、第１電流供給用プローブＰＬｃ１）が固定電源部２に接続され、第１プローブ群の他方のプローブ（本例では、第１電圧検出用プローブＰＬｐ１）が可変電源部３に接続され、第２プローブ群の一方のプローブ（本例では、第２電流供給用プローブＰＬｃ２）が未接続（接続切替部６のいずれの第２ポートにも接続されない状態）となり、かつ第２プローブ群の他方のプローブ（本例では、第２電圧検出用プローブＰＬｐ２）が電流検出部４の入力部４ａ（および演算増幅器４ｃの反転入力端子）に接続される第１接続状態（図４に示す等価回路で表される接続状態）に移行させる。
【００３４】
次いで、処理部７は、第１調整処理を実行する（ステップ５２）。この第１調整処理では、処理部７は、第１接続状態において、固定電源部２に対して固定電圧Ｖ１を接続切替部６を介して第１プローブ群の一方のプローブ（第１電流供給用プローブＰＬｃ１）へ出力させると共に、可変電源部３に対して調整電圧Ｖ２を接続切替部６を介して第１プローブ群の他方のプローブ（第１電圧検出用プローブＰＬｐ１）へ出力させる。
【００３５】
この場合、処理部７が可変電源部３に対する制御を実行して調整電圧Ｖ２の電圧値Ｖ２を変更する前の状態（電圧値Ｖ２が未調整の状態）では、通常、測定対象１１の一方の電極１１ａへの固定電圧Ｖ１等の印加に起因して、一方の電極１１ａから、測定対象１１および他方の電極１１ｂを経由して電流検出部４の入力部４ａに至る経路に入力電流Ｉｉｎが流れる。電流検出部４は、このようにして入力部４ａに入力される入力電流Ｉｉｎを電圧に変換して、出力部４ｂから検出電圧Ｖｉとして出力する。また、Ａ／Ｄ変換部５は、検出電圧Ｖｉを波形データＤｉに変換して処理部７に出力する。処理部７は、この波形データＤｉに基づいて測定対象１１に流れる電流（つまり、入力電流Ｉｉｎ）の電流値を算出しつつ、算出した入力電流Ｉｉｎの電流値がゼロになるように、可変電源部３に対する制御を実行して調整電圧Ｖ２の電圧値Ｖ２を変更（調整）する。また、処理部７は、入力電流Ｉｉｎの電流値がゼロになっているときの調整電圧Ｖ２の電圧値Ｖ２（調整済みの電圧値Ｖ２）を記憶する。これにより、第１調整処理が完了するため、処理部７は、固定電源部２および可変電源部３に対する制御を実行して、固定電圧Ｖ１および調整電圧Ｖ２の出力を停止させる。
【００３６】
続いて、処理部７は、第１算出処理を実行する（ステップ５３）。この第１算出処理では、処理部７は、基準電位Ｖｒ（既知の電位。本例では、内部グランドＧの電位（ゼロボルト））、固定電圧Ｖ１の既知の電圧値Ｖ１、および第１調整処理で記憶した調整電圧Ｖ２についての調整済みの電圧値Ｖ２に基づいて、第１プローブ群の一方のプローブ（第１電流供給用プローブＰＬｃ１）と一方の電極１１ａとの間の接触抵抗Ｒ１と、第１プローブ群の他方のプローブ（第１電圧検出用プローブＰＬｐ１）と一方の電極１１ａとの間の接触抵抗Ｒ２との比Ａ１（Ｒ１／Ｒ２）を算出する。
【００３７】
第１調整処理において入力電流Ｉｉｎの電流値がゼロになっているときの測定対象１１の一方の電極１１ａの電圧をＶ０としたときには、第１プローブ群側の回路において、以下の式（１）が成り立つ。この式（１）は、測定対象１１に流れる入力電流Ｉｉｎがゼロのとき（つまり、測定対象１１に電流が流れないとき）に成り立つ式であるため、測定対象１１のインピーダンスの影響を受けない式である。
Ｒ１／Ｒ２＝（Ｖ１−Ｖ０）／（Ｖ０−Ｖ２）  ・・・（１）
【００３８】
また、入力電流Ｉｉｎの電流値がゼロということは、測定対象１１の一方の電極１１ａは他方の電極１１ｂの電位（つまり、既知の基準電位Ｖｒ（本例では内部グランドＧの電位であるゼロボルト））と同電位となる。つまり、電圧Ｖ０は既知の基準電位Ｖｒ（本例では内部グランドＧの電位であるゼロボルト）となる。したがって、処理部７は、既知の基準電位Ｖｒ（ゼロボルト）となるこの電圧Ｖ０と、既知の電圧値Ｖ１と、上記の調整済みの電圧値Ｖ２とを上記式（１）に代入することで、値（Ｒ１／Ｒ２）を比Ａ１として算出して記憶する。
【００３９】
次いで、処理部７は、第２接続切替処理を実行する（ステップ５４）。この第２接続切替処理では、処理部７は、接続切替部６に対する制御を実行して、第１プローブ群の一方のプローブ（本例では、第１電流供給用プローブＰＬｃ１）が固定電源部２に接続され、第１プローブ群の他方のプローブ（本例では、第１電圧検出用プローブＰＬｐ１）が電流検出部４の入力部４ａ（および演算増幅器４ｃの反転入力端子）に接続され、かつ第２プローブ群の各プローブ（第２電流供給用プローブＰＬｃ２および第２電圧検出用プローブＰＬｐ２）が未接続（接続切替部６のいずれの第２ポートにも接続されない状態）となる第２接続状態（図５に示す等価回路で表される接続状態）に移行させる。
【００４０】
続いて、処理部７は、第１電流測定処理を実行する（ステップ５５）。この第１電流測定処理では、処理部７は、第２接続状態において、固定電源部２に対して固定電圧Ｖ１を第１プローブ群の一方のプローブ（第１電流供給用プローブＰＬｃ１）へ出力させると共に、この一方のプローブ（第１電流供給用プローブＰＬｃ１）および第１プローブ群の他方のプローブ（第１電圧検出用プローブＰＬｐ１）に流れる電流（つまり、第１プローブ群に流れる電流）を入力電流Ｉｉｎとして電流検出部４が出力する検出電圧Ｖｉに基づいて、第１プローブ群に流れる電流（入力電流Ｉｉｎ）を第１電流Ｉ１としてその電流値Ｉ１（＝｜Ｖｉ／Ｒｆ｜）を測定して記憶する。これにより、第１電流測定処理が完了するため、処理部７は、固定電源部２に対する制御を実行して、固定電圧Ｖ１の出力を停止させる。本例では、理解の容易のため、第１電流Ｉ１とその電流値Ｉ１の双方について同じ符号を使用するものとする。
【００４１】
次いで、処理部７は、第２算出処理を実行する（ステップ５６）。この第２算出処理では、処理部７は、固定電圧Ｖ１の既知の電圧値Ｖ１と第１電流測定処理で測定した第１電流Ｉ１の電流値Ｉ１とに基づいて、接触抵抗Ｒ１と接触抵抗Ｒ２の和Ｂ１（Ｒ１＋Ｒ２）を算出する。
【００４２】
この場合、第１電流測定処理において電流値Ｉ１を測定している状態では、第１プローブ群側の回路において、以下の式（２）が成り立つ。この式（２）は、測定対象１１を含まない回路で成り立つ式であるため、測定対象１１のインピーダンスの影響を受けない式である。
Ｒ１＋Ｒ２＝Ｖ１／Ｉ１  ・・・（２）
したがって、処理部７は、既知の電圧値Ｖ１と上記の測定した電流値Ｉ１とを上記式（２）に代入することで、値（Ｒ１＋Ｒ２）を和Ｂ１として算出して記憶する。
【００４３】
続いて、処理部７は、第１抵抗算出処理を実行する（ステップ５７）。この第１抵抗算出処理では、処理部７は、第１算出処理で算出した比Ａ１、および第２算出処理で算出した和Ｂ１に基づいて、接触抵抗Ｒ１と接触抵抗Ｒ２とを個別に算出する。
【００４４】
この場合、比Ａ１については、上記の式（１）に基づいて下記式（３）で表される。また、和Ｂ１については、上記の式（２）に基づいて下記式（４）で表される。また、この各式（３），（４）に基づいて、接触抵抗Ｒ１は下記の式（５）で表され、接触抵抗Ｒ２は下記の式（６）で表される。
Ａ１＝Ｒ１／Ｒ２  ・・・（３）
Ｂ１＝Ｒ１＋Ｒ２  ・・・（４）
Ｒ１＝Ａ１×Ｂ１／（１＋Ａ１）  ・・・（５）
Ｒ２＝Ｂ１／（１＋Ａ１）  ・・・（６）
したがって、処理部７は、算出した比Ａ１および和Ｂ１を上記の式（５），（６）に代入することで、接触抵抗Ｒ１および接触抵抗Ｒ２（第１プローブ群を構成する各プローブＰＬｃ１，ＰＬｐ１についての接触抵抗）を個別に算出して記憶する。これにより、第１接触抵抗測定処理５０が完了する。なお、このようにして算出された各接触抵抗Ｒ１，Ｒ２は、上記したように測定対象１１のインピーダンスの影響を受けない式（１），（２）に基づいて算出されたものであることから、測定対象１１のインピーダンスの影響を受けることなく正確に算出された値である。
【００４５】
次いで、処理部７は、図３に示す第２接触抵抗測定処理６０を実行する。この第２接触抵抗測定処理６０では、処理部７は、第１プローブ群を構成する各プローブＰＬｃ１，ＰＬｐ１に対して実行した上記のステップ５１〜ステップ５７までの各処理（第１接続切替処理、第１調整処理、第１算出処理、第２接続切替処理、第１電流測定処理、第２算出処理および第１抵抗算出処理）と同等の後述するステップ６１〜ステップ６７までの各処理（第３接続切替処理、第２調整処理、第３算出処理、第４接続切替処理、第２電流測定処理、第４算出処理および第２抵抗算出処理）を、第２プローブ群を構成する第２電流供給用プローブＰＬｃ２および第２電圧検出用プローブＰＬｐ２に対して実行して、各プローブＰＬｃ２，ＰＬｐ２についての接触抵抗Ｒ３，Ｒ４を測定する。
【００４６】
具体的には、まず、処理部７は、第１接続切替処理に対応する第３接続切替処理を実行する（ステップ６１）。この第３接続切替処理では、処理部７は、接続切替部６に対する制御を実行して、第２プローブ群の一方のプローブ（本例では、第２電流供給用プローブＰＬｃ２）が固定電源部２に接続され、第２プローブ群の他方のプローブ（本例では、第２電圧検出用プローブＰＬｐ２）が可変電源部３に接続され、第１プローブ群の一方のプローブ（本例では、第１電流供給用プローブＰＬｃ１）が未接続（接続切替部６のいずれの第２ポートにも接続されない状態）となり、かつ第１プローブ群の他方のプローブ（本例では、第１電圧検出用プローブＰＬｐ１）が電流検出部４の入力部４ａ（および演算増幅器４ｃの反転入力端子）に接続される第３接続状態（図６に示す等価回路で表される接続状態）に移行させる。
【００４７】
次いで、処理部７は、第１調整処理に対応する第２調整処理を実行する（ステップ６２）。この第２調整処理では、処理部７は、第３接続状態において、固定電源部２に対して固定電圧Ｖ１を接続切替部６を介して第２プローブ群の一方のプローブ（第２電流供給用プローブＰＬｃ２）へ出力させると共に、可変電源部３に対して調整電圧Ｖ２を接続切替部６を介して第２プローブ群の他方のプローブ（第２電圧検出用プローブＰＬｐ２）へ出力させる。
【００４８】
この場合、第１調整処理のときと同様に、電圧値Ｖ２が未調整の状態では、測定対象１１の他方の電極１１ｂへの固定電圧Ｖ１等の印加に起因して、他方の電極１１ｂから、測定対象１１および一方の電極１１ａを経由して電流検出部４の入力部４ａに至る経路に入力電流Ｉｉｎが流れる。電流検出部４は、この入力電流Ｉｉｎを電圧に変換して、出力部４ｂから検出電圧Ｖｉとして出力する。また、Ａ／Ｄ変換部５は、検出電圧Ｖｉを波形データＤｉに変換して処理部７に出力する。処理部７は、この波形データＤｉに基づいて測定対象１１に流れる電流（つまり、入力電流Ｉｉｎ）の電流値を算出しつつ、算出した入力電流Ｉｉｎの電流値がゼロになるように、可変電源部３に対する制御を実行して調整電圧Ｖ２の電圧値Ｖ２を変更（調整）する。また、処理部７は、入力電流Ｉｉｎの電流値がゼロになっているときの調整電圧Ｖ２の電圧値Ｖ２（調整済みの電圧値Ｖ２）を記憶する。これにより、第２調整処理が完了するため、処理部７は、固定電源部２および可変電源部３に対する制御を実行して、固定電圧Ｖ１および調整電圧Ｖ２の出力を停止させる。
【００４９】
続いて、処理部７は、第１算出処理に対応する第３算出処理を実行する（ステップ６３）。この第３算出処理では、処理部７は、基準電位Ｖｒ（既知の電位。内部グランドＧの電位（ゼロボルト））、固定電圧Ｖ１の既知の電圧値Ｖ１、および第２調整処理で記憶した調整電圧Ｖ２についての調整済みの電圧値Ｖ２に基づいて、第２プローブ群の一方のプローブ（第２電流供給用プローブＰＬｃ２）と他方の電極１１ｂとの間の接触抵抗Ｒ３と、第２プローブ群の他方のプローブ（第２電圧検出用プローブＰＬｐ２）と他方の電極１１ｂとの間の接触抵抗Ｒ４との比Ａ２（Ｒ３／Ｒ４）を算出する。
【００５０】
第３調整処理において入力電流Ｉｉｎの電流値がゼロになっているときの測定対象１１の他方の電極１１ｂの電圧をＶ０としたときには、第２プローブ群側の回路において、以下の式（７）が成り立つ。この式（７）は、測定対象１１に流れる入力電流Ｉｉｎがゼロのとき（つまり、測定対象１１に電流が流れないとき）に成り立つ式であるため、測定対象１１のインピーダンスの影響を受けない式である。
Ｒ３／Ｒ４＝（Ｖ１−Ｖ０）／（Ｖ０−Ｖ２）  ・・・（７）
【００５１】
また、入力電流Ｉｉｎの電流値がゼロということは、測定対象１１の他方の電極１１ｂは一方の電極１１ａの電位（つまり、既知の基準電位Ｖｒ（本例では内部グランドＧの電位であるゼロボルト））と同電位となる。つまり、電圧Ｖ０は既知の基準電位Ｖｒ（本例では内部グランドＧの電位であるゼロボルト）となる。したがって、処理部７は、既知の基準電位Ｖｒ（ゼロボルト）となるこの電圧Ｖ０と、既知の電圧値Ｖ１と、上記の調整済みの電圧値Ｖ２とを上記式（１）に代入することで、値（Ｒ３／Ｒ４）を比Ａ２として算出して記憶する。
【００５２】
次いで、処理部７は、第２接続切替処理に対応する第４接続切替処理を実行する（ステップ６４）。この第４接続切替処理では、処理部７は、接続切替部６に対する制御を実行して、第２プローブ群の一方のプローブ（本例では、第２電流供給用プローブＰＬｃ２）が固定電源部２に接続され、第２プローブ群の他方のプローブ（本例では、第２電圧検出用プローブＰＬｐ２）が電流検出部４の入力部４ａ（および演算増幅器４ｃの反転入力端子）に接続され、かつ第１プローブ群の各プローブ（第１電流供給用プローブＰＬｃ１および第１電圧検出用プローブＰＬｐ１）が未接続（接続切替部６のいずれの第２ポートにも接続されない状態）となる第４接続状態（図７に示す等価回路で表される接続状態）に移行させる。
【００５３】
続いて、処理部７は、第１電流測定処理に対応する第２電流測定処理を実行する（ステップ６５）。この第２電流測定処理では、処理部７は、第４接続状態において、固定電源部２に対して固定電圧Ｖ１を第２プローブ群の一方のプローブ（第２電流供給用プローブＰＬｃ２）へ出力させると共に、この一方のプローブ（第２電流供給用プローブＰＬｃ２）および第２プローブ群の他方のプローブ（第２電圧検出用プローブＰＬｐ２）に流れる電流（つまり、第２プローブ群に流れる電流）を入力電流Ｉｉｎとして電流検出部４が出力する検出電圧Ｖｉに基づいて、第２プローブ群に流れる電流（入力電流Ｉｉｎ）を第２電流Ｉ２）としてその電流値Ｉ２（＝｜Ｖｉ／Ｒｆ｜）を測定して記憶する。これにより、第２電流測定処理が完了するため、処理部７は、固定電源部２に対する制御を実行して、固定電圧Ｖ１の出力を停止させる。
【００５４】
次いで、処理部７は、第２算出処理に対応する第４算出処理を実行する（ステップ６６）。この第４算出処理では、処理部７は、固定電圧Ｖ１の既知の電圧値Ｖ１と第２電流測定処理で測定した第２電流Ｉ２の電流値Ｉ２とに基づいて、接触抵抗Ｒ３と接触抵抗Ｒ４の和Ｂ２（Ｒ３＋Ｒ４）を算出する。
【００５５】
この場合、第２電流測定処理において電流値Ｉ２を測定している状態では、第２プローブ群側の回路において、以下の式（８）が成り立つ。この式（８）は、測定対象１１を含まない回路で成り立つ式であるため、測定対象１１のインピーダンスの影響を受けない式である。
Ｒ３＋Ｒ４＝Ｖ１／Ｉ２  ・・・（８）
したがって、処理部７は、既知の電圧値Ｖ１と上記の測定した電流値Ｉ２とを上記式（８）に代入することで、値（Ｒ３＋Ｒ４）を和Ｂ２として算出して記憶する。
【００５６】
続いて、処理部７は、第１抵抗算出処理に対応する第２抵抗算出処理を実行する（ステップ６７）。この第２抵抗算出処理では、処理部７は、第３算出処理で算出した比Ａ２、および第４算出処理で算出した和Ｂ２に基づいて、接触抵抗Ｒ３と接触抵抗Ｒ４とを個別に算出する。
【００５７】
この場合、比Ａ２については、上記の式（７）に基づいて下記式（９）で表される。また、和Ｂ２については、上記の式（８）に基づいて下記式（１０）で表される。また、この各式（９），（１０）に基づいて、接触抵抗Ｒ４は下記の式（１１）で表され、接触抵抗Ｒ３は下記の式（１２）で表される。
Ａ２＝Ｒ３／Ｒ４  ・・・（９）
Ｂ２＝Ｒ３＋Ｒ４  ・・・（１０）
Ｒ３＝Ａ２×Ｂ２／（１＋Ａ２）  ・・・（１１）
Ｒ４＝Ｂ２／（１＋Ａ２）  ・・・（１２）
【００５８】
したがって、処理部７は、算出した比Ａ２および和Ｂ２を上記の式（１１），（１２）に代入することで、接触抵抗Ｒ３および接触抵抗Ｒ４（第２プローブ群を構成する各プローブＰＬｃ２，ＰＬｐ２についての接触抵抗）を個別に算出して記憶する。これにより、第２接触抵抗測定処理６０が完了する。最後に、処理部７は、出力処理を実行して、測定した各接触抵抗Ｒ１〜Ｒ４を出力部８に出力させる。これにより、各接触抵抗Ｒ１〜Ｒ４の測定が完了する。なお、このようにして算出された各接触抵抗Ｒ３，Ｒ４は、上記したように測定対象１１のインピーダンスの影響を受けない式（７），（８）に基づいて算出されたものであることから、測定対象１１のインピーダンスの影響を受けることなく正確に算出された値である。
【００５９】
このように、この接触抵抗測定装置１によれば、測定対象１１の一方の電極１１ａに接触させられる第１プローブ群を構成する第１電流供給用プローブＰＬｃ１および第１電圧検出用プローブＰＬｐ１についての接触抵抗Ｒ１，Ｒ２を、測定対象１１のインピーダンスの影響を受けることなく個別に正確に測定することができる。また、この接触抵抗測定装置１によれば、測定対象１１の他方の電極１１ｂに接触させられる第２プローブ群を構成する第２電流供給用プローブＰＬｃ２および第２電圧検出用プローブＰＬｐ２についての接触抵抗Ｒ３，Ｒ４についても、測定対象１１のインピーダンスの影響を受けることなく個別に正確に測定することができる。また、この接触抵抗測定装置１が組み込まれたインピーダンス測定装置では、正確に測定された各接触抵抗Ｒ１〜Ｒ４を利用して、測定対象１１のインピーダンスを精度良く測定することが可能となる。
【００６０】
次に、第２実施の形態として、抵抗やインダクタンスなどの直流電流を流すことが可能な測定対象１１に加えて、コンデンサなどの直流電流を流すことができずに交流電流のみを流し得る測定対象１１のインピーダンス（抵抗値、インダクタンス値およびキャパシタンス値のうちの少なくとも１つ）を測定するインピーダンス測定装置に組み込まれて使用される接触抵抗測定装置１Ａについて説明する。なお、上記した接触抵抗測定装置１の構成要素と同一の構成要素については同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００６１】
まず、接触抵抗測定装置としての接触抵抗測定装置１Ａの構成について、図１を参照して説明する。
【００６２】
接触抵抗測定装置１Ａは、図１に示すように、第１電流供給用プローブＰＬｃ１、第２電流供給用プローブＰＬｃ２、第１電圧検出用プローブＰＬｐ１、第２電圧検出用プローブＰＬｐ２、固定電源部２Ａ、可変電源部３Ａ、電流検出部４、Ａ／Ｄ変換部５、接続切替部６、処理部７Ａおよび出力部８を備えている。
【００６３】
固定電源部２Ａは、基準電位Ｖｒ（既知の電位。本例では一例として、接触抵抗測定装置１の内部グランドＧの電位（ゼロボルト））を基準とする固定電圧Ｖ１（振幅および周波数が一定かつ既知の交流電圧（正弦波電圧））を出力する。本例では、理解の容易のため、｜Ｖ１｜は、固定電圧Ｖ１の振幅を表し、ａｒｇ（Ｖ１）は、固定電圧Ｖ１の位相を表すものとする。また、固定電源部２Ａは、処理部７Ａによって制御されて、固定電圧Ｖ１の出力、および固定電圧Ｖ１の出力の停止を実行する。また、固定電源部２Ａは、固定電圧Ｖ１の位相状態を示す信号（例えば、現在の位相ａｒｇ（Ｖ１）を示す信号）を処理部７Ａに出力する。
【００６４】
可変電源部３Ａは、基準電位Ｖｒ（内部グランドＧの電位）を基準とする調整電圧Ｖ２（設定された振幅で、かつ固定電圧Ｖ１と同じ周波数の交流電圧（正弦波電圧））を出力する。本例では、理解の容易のため、｜Ｖ２｜は、調整電圧Ｖ２の振幅を表し、ａｒｇ（Ｖ２）は、調整電圧Ｖ２の位相を表すものとする。また、可変電源部３Ａは、処理部７Ａによって制御されて、調整電圧Ｖ２の出力、および調整電圧Ｖ２の出力の停止を実行すると共に、振幅｜Ｖ２｜および位相ａｒｇ（Ｖ２）を変更する（具体的には、処理部７Ａで指示された振幅｜Ｖ２｜および位相ａｒｇ（Ｖ２）に変更する）。また、可変電源部３Ａは、調整電圧Ｖ２の位相状態を示す信号（例えば、立ち上がりゼロクロス点や立ち下がりゼロクロス点のタイミングを示す信号や、現在の位相ａｒｇ（Ｖ２）を示す信号）を処理部７Ａに出力する。
【００６５】
処理部７Ａは、図２に示す第１接触抵抗測定処理５０Ａ、および図３に示す第２接触抵抗測定処理６０Ａを実行する。
【００６６】
次に、接触抵抗測定装置１Ａの動作について、図面を参照して説明する。なお、図１に示すように、接触抵抗測定装置１Ａの接続切替部６には、第１電流供給用プローブＰＬｃ１、第１電圧検出用プローブＰＬｐ１、第２電流供給用プローブＰＬｃ２および第２電圧検出用プローブＰＬｐ２が接続され、また接触抵抗測定装置１Ａには、これらのプローブＰＬｃ１，ＰＬｐ１，ＰＬｃ２，ＰＬｐ２を介して測定対象１１が接続されているものとする。
【００６７】
この状態において、接触抵抗測定装置１Ａでは、処理部７Ａが、図２に示す第１接触抵抗測定処理５０Ａを実行する。この第１接触抵抗測定処理５０Ａでは、処理部７Ａは、まず、第１接続切替処理を実行する（ステップ５１）。この第１接続切替処理では、処理部７Ａは、上記した第１接触抵抗測定処理５０での第１接続切替処理のときと同様にして、接続切替部６に対する制御を実行することで、第１接続状態（図４に示す等価回路で表される接続状態）に移行させる。
【００６８】
次いで、処理部７Ａは、第１調整処理を実行する（ステップ５２Ａ）。この第１調整処理では、処理部７Ａは、第１接続状態において、まず、固定電源部２Ａに対して固定電圧Ｖ１を接続切替部６を介して第１プローブ群の一方のプローブ（第１電流供給用プローブＰＬｃ１）へ出力させる。また、可変電源部３Ａに対して調整電圧Ｖ２の出力を停止させる（つまり、調整電圧Ｖ２の振幅｜Ｖ２｜をゼロに移行させる）。
【００６９】
この場合、測定対象１１の一方の電極１１ａへの固定電圧Ｖ１の印加に起因して、一方の電極１１ａから、測定対象１１および他方の電極１１ｂを経由して電流検出部４の入力部４ａに至る経路に入力電流（交流電流）Ｉｉｎが流れる。電流検出部４は、このようにして入力部４ａに入力される入力電流Ｉｉｎを電圧に変換して、出力部４ｂから検出電圧Ｖｉとして出力する。また、Ａ／Ｄ変換部５は、検出電圧Ｖｉを波形データＤｉに変換して処理部７Ａに出力する。処理部７Ａは、この波形データＤｉで示される検出電圧Ｖｉの信号波形（入力電流Ｉｉｎの信号波形を示す信号波形でもある）と、固定電圧Ｖ１の既知の振幅｜Ｖ１｜と、固定電源部２Ａから出力される固定電圧Ｖ１の位相状態を示す信号とに基づいて、固定電圧Ｖ１から入力電流Ｉｉｎまでの伝達関数Ｇ１（ゲインを｜Ｇ１｜で表し、その位相変化をａｒｇ（Ｇ１）で表す）を測定して記憶する。
【００７０】
また、処理部７Ａは、この第１調整処理では、第１接続状態において、次に、固定電源部２Ａに対して固定電圧Ｖ１の出力を停止させる（つまり、固定電圧Ｖ１の振幅｜Ｖ１｜をゼロに移行させる）。また、可変電源部３Ａに対して調整電圧Ｖ２の振幅｜Ｖ２｜をゼロでない既知の値に設定すると共に、この調整電圧Ｖ２を接続切替部６を介して第１プローブ群の他方のプローブ（第１電圧検出用プローブＰＬｐ１）へ出力させる。
【００７１】
この場合、測定対象１１の一方の電極１１ａへの調整電圧Ｖ２の印加に起因して、一方の電極１１ａから、測定対象１１および他方の電極１１ｂを経由して電流検出部４の入力部４ａに至る経路に入力電流（交流電流）Ｉｉｎが流れる。電流検出部４は、このようにして入力部４ａに入力される入力電流Ｉｉｎを電圧に変換して、出力部４ｂから検出電圧Ｖｉとして出力する。また、Ａ／Ｄ変換部５は、検出電圧Ｖｉを波形データＤｉに変換して処理部７Ａに出力する。処理部７Ａは、この波形データＤｉで示される検出電圧Ｖｉの信号波形（入力電流Ｉｉｎの信号波形を示す信号波形でもある）と、調整電圧Ｖ２の既知の振幅｜Ｖ２｜と、可変電源部３Ａから出力される調整電圧Ｖ２の位相状態を示す信号とに基づいて、調整電圧Ｖ２Ａから入力電流Ｉｉｎまでの伝達関数Ｇ２（ゲインを｜Ｇ２｜で表し、その位相変化をａｒｇ（Ｇ２）で表す）を測定して記憶する。
【００７２】
また、処理部７Ａは、この第１調整処理では、続いて、図４に示す第１接続状態のときに、固定電源部２Ａからの固定電圧Ｖ１が第１電流供給用プローブＰＬｃ１を介して一方の電極１１ａに印加され、かつ可変電源部３Ａからの調整電圧Ｖ２（設定された振幅｜Ｖ２｜で、かつ設定された位相ａｒｇ（Ｖ２）での調整電圧Ｖ２）が第１電圧検出用プローブＰＬｐ１を介して一方の電極１１ａに印加されている状態において、測定対象１１に流れる入力電流Ｉｉｎをゼロにするための、この可変電源部３Ａに対して設定すべき調整電圧Ｖ２についての振幅｜Ｖ２｜および位相ａｒｇ（Ｖ２）を算出する。
【００７３】
この場合、ゲイン｜Ｇ１｜および位相変化ａｒｇ（Ｇ１）を測定したときの上記の回路構成と、ゲイン｜Ｇ２｜および位相変化ａｒｇ（Ｇ２）を測定したときの上記の回路構成とに重ね合わせの原理を適用すると、複素数で表されるゲインＧ１，Ｇ２、および同じく複素数で表される固定電圧Ｖ１および調整電圧Ｖ２について、以下の式（１３）が成り立つ。
Ｇ１×Ｖ１＋Ｇ２×Ｖ２＝０  ・・・（１３）
また、この式から、振幅｜Ｖ２｜は下記の式（１４）で表され、位相ａｒｇ（Ｖ２）は下記の式（１５）で表される。
｜Ｖ２｜＝｜Ｖ１｜×｜Ｇ１｜／｜Ｇ２｜  ・・・（１４）
ａｒｇ（Ｖ２）＝ａｒｇ（Ｖ１）＋ａｒｇ（Ｇ１）−ａｒｇ（Ｇ２）＋１８０°  ・・・（１５）
【００７４】
したがって、処理部７Ａは、既知の振幅｜Ｖ１｜および固定電源部２Ａから出力された固定電圧Ｖ１の位相状態を示す信号（位相ａｒｇ（Ｖ１））と、測定したゲイン｜Ｇ１｜，｜Ｇ２｜および位相変化ａｒｇ（Ｇ１），ａｒｇ（Ｇ２）とを上記の式（１４），（１５）に代入することにより、固定電圧Ｖ１の印加状態において測定対象１１に流れる入力電流Ｉｉｎをゼロにするために可変電源部３Ａに対して設定すべき調整電圧Ｖ２についての振幅｜Ｖ２｜および位相ａｒｇ（Ｖ２）を算出して記憶する。これにより、第１調整処理が完了するため、処理部７Ａは、固定電源部２Ａおよび可変電源部３Ａに対する制御を実行して、固定電圧Ｖ１および調整電圧Ｖ２の出力を停止させる。
【００７５】
続いて、処理部７Ａは、第１算出処理を実行する（ステップ５３）。上記したように、固定電圧Ｖ１の印加状態において、第１調整処理で算出した振幅｜Ｖ２｜および位相ａｒｇ（Ｖ２）の調整電圧Ｖ２がさらに測定対象１１の一方の電極１１ａに印加された状態では、入力電流Ｉｉｎがゼロになることから、上記した式（１）と同等の式（この式についても式（１）と表記する）が成り立つ。なお、この式（１）では、固定電圧Ｖ１は、振幅｜Ｖ１｜で、かつ位相ａｒｇ（Ｖ１）の交流電圧であり、調整電圧Ｖ２は、振幅｜Ｖ２｜で、かつ位相ａｒｇ（Ｖ２）の交流電圧である。このため、処理部７Ａは、この第１算出処理において、上記した第１接触抵抗測定処理５０での第１算出処理のときと同様にして、固定電圧Ｖ１についてのデータ（既知の振幅｜Ｖ１｜および位相ａｒｇ（Ｖ１））と、調整電圧Ｖ２についてのデータ（振幅｜Ｖ２｜および位相ａｒｇ（Ｖ２））と、既知の基準電位Ｖｒ（ゼロボルト）となるこの電圧Ｖ０とをこの式（１）に代入することで、値（Ｒ１／Ｒ２）を比Ａ１として算出して記憶する。
【００７６】
次いで、処理部７Ａは、第２接続切替処理を実行する（ステップ５４）。この第２接続切替処理では、処理部７Ａは、上記した第１接触抵抗測定処理５０での第２接続切替処理のときと同様にして、接続切替部６に対する制御を実行することで、第２接続状態（図５に示す等価回路で表される接続状態）に移行させる。
【００７７】
続いて、処理部７Ａは、第１電流測定処理を実行する（ステップ５５）。この第１電流測定処理では、処理部７Ａは、上記した第１接触抵抗測定処理５０での第１電流測定処理のときと同様にして、第１プローブ群に流れる電流（入力電流Ｉｉｎ）を第１電流Ｉ１としてその電流値Ｉ１を測定して記憶する。
【００７８】
次いで、処理部７Ａは、第２算出処理を実行する（ステップ５６）。この第２算出処理では、処理部７Ａは、上記した第１接触抵抗測定処理５０での第２算出処理のときと同様にして、上記の式（２）を使用することで、値（Ｒ１＋Ｒ２）を和Ｂ１として算出して記憶する。
【００７９】
続いて、処理部７Ａは、第１抵抗算出処理を実行する（ステップ５７）。この第１抵抗算出処理では、処理部７Ａは、上記した第１接触抵抗測定処理５０での第１抵抗算出処理のときと同様にして、第１算出処理で算出した比Ａ１、第２算出処理で算出した和Ｂ１、および上記の各式（５），（６）に基づいて、接触抵抗Ｒ１と接触抵抗Ｒ２とを個別に算出して記憶する。これにより、第１接触抵抗測定処理５０Ａが完了する。
【００８０】
次いで、処理部７Ａは、図２に示す第２接触抵抗測定処理６０Ａを実行する。この第２接触抵抗測定処理６０Ａでは、処理部７Ａは、まず、第３接続切替処理を実行する（ステップ６１）。この第３接続切替処理では、処理部７Ａは、上記した第２接触抵抗測定処理６０での第３接続切替処理のときと同様にして、接続切替部６に対する制御を実行することで、第３接続状態（図６に示す等価回路で表される接続状態）に移行させる。
【００８１】
次いで、処理部７Ａは、第２調整処理を実行する（ステップ６２Ａ）。この第２調整処理では、処理部７Ａは、第３接続状態において、まず、固定電源部２Ａに対して固定電圧Ｖ１を接続切替部６を介して第２プローブ群の一方のプローブ（第２電流供給用プローブＰＬｃ２）へ出力させる。また、可変電源部３Ａに対して調整電圧Ｖ２の出力を停止させる（つまり、調整電圧Ｖ２の振幅｜Ｖ２｜をゼロに移行させる）。
【００８２】
この場合も、第１接触抵抗測定処理５０Ａでの第１調整処理のときと同様にして、測定対象１１の他方の電極１１ｂへの固定電圧Ｖ１の印加に起因して、他方の電極１１ｂから、測定対象１１および一方の電極１１ａを経由して電流検出部４の入力部４ａに至る経路に入力電流（交流電流）Ｉｉｎが流れる。電流検出部４は、この入力電流Ｉｉｎを電圧に変換して、出力部４ｂから検出電圧Ｖｉとして出力する。また、Ａ／Ｄ変換部５は、検出電圧Ｖｉを波形データＤｉに変換して処理部７Ａに出力する。処理部７Ａは、この波形データＤｉで示される検出電圧Ｖｉの信号波形（入力電流Ｉｉｎの信号波形を示す信号波形でもある）と、固定電圧Ｖ１の既知の振幅｜Ｖ１｜と、固定電源部２Ａから出力される固定電圧Ｖ１の位相状態を示す信号とに基づいて、固定電圧Ｖ１から入力電流Ｉｉｎまでの伝達関数Ｇ３（ゲインを｜Ｇ３｜で表し、その位相変化をａｒｇ（Ｇ３）で表す）を測定して記憶する。
【００８３】
また、処理部７Ａは、この第２調整処理では、第３接続状態において、次に、固定電源部２Ａに対して固定電圧Ｖ１の出力を停止させる（つまり、固定電圧Ｖ１の振幅｜Ｖ１｜をゼロに移行させる）。また、可変電源部３Ａに対して調整電圧Ｖ２の振幅｜Ｖ２｜をゼロでない既知の値に設定すると共に、この調整電圧Ｖ２を接続切替部６を介して第２プローブ群の他方のプローブ（第２電圧検出用プローブＰＬｐ２）へ出力させる。
【００８４】
この場合、測定対象１１の他方の電極１１ｂへの調整電圧Ｖ２の印加に起因して、他方の電極１１ｂから、測定対象１１および一方の電極１１ａを経由して電流検出部４の入力部４ａに至る経路に入力電流（交流電流）Ｉｉｎが流れる。電流検出部４は、このようにして入力部４ａに入力される入力電流Ｉｉｎを電圧に変換して、出力部４ｂから検出電圧Ｖｉとして出力する。また、Ａ／Ｄ変換部５は、検出電圧Ｖｉを波形データＤｉに変換して処理部７Ａに出力する。処理部７Ａは、この波形データＤｉで示される検出電圧Ｖｉの信号波形（入力電流Ｉｉｎの信号波形を示す信号波形でもある）と、調整電圧Ｖ２の既知の振幅｜Ｖ２｜と、可変電源部３Ａから出力される調整電圧Ｖ２の位相状態を示す信号とに基づいて、調整電圧Ｖ２から入力電流Ｉｉｎまでの伝達関数Ｇ４（ゲインを｜Ｇ４｜で表し、その位相変化をａｒｇ（Ｇ４）で表す）を測定して記憶する。
【００８５】
また、処理部７Ａは、この第２調整処理では、続いて、図６に示す第３接続状態のときに、固定電源部２Ａからの固定電圧Ｖ１が第２電流供給用プローブＰＬｃ２を介して他方の電極１１ｂに印加され、かつ可変電源部３Ａからの調整電圧Ｖ２（設定された振幅｜Ｖ２｜で、かつ設定された位相ａｒｇ（Ｖ２）での調整電圧Ｖ２）が第２電圧検出用プローブＰＬｐ２を介して他方の電極１１ｂに印加されている状態において、測定対象１１に流れる入力電流Ｉｉｎをゼロにするための、この可変電源部３Ａに対して設定すべき調整電圧Ｖ２についての振幅｜Ｖ２｜および位相ａｒｇ（Ｖ２）を算出する。
【００８６】
この場合、ゲイン｜Ｇ３｜および位相変化ａｒｇ（Ｇ３）を測定したときの上記の回路構成と、ゲイン｜Ｇ４｜および位相変化ａｒｇ（Ｇ４）を測定したときの上記の回路構成とに重ね合わせの原理を適用すると、複素数で表されるゲインＧ３，Ｇ４、および同じく複素数で表される固定電圧Ｖ１および調整電圧Ｖ２について、以下の式（１６）が成り立つ。
Ｇ３×Ｖ１＋Ｇ４×Ｖ２＝０  ・・・（１６）
また、この式から、振幅｜Ｖ２｜は下記の式（１７）で表され、位相ａｒｇ（Ｖ２）は下記の式（１８）で表される。
｜Ｖ２｜＝｜Ｖ１｜×｜Ｇ３｜／｜Ｇ４｜  ・・・（１７）
ａｒｇ（Ｖ２）＝ａｒｇ（Ｖ１）＋ａｒｇ（Ｇ３）−ａｒｇ（Ｇ４）＋１８０°  ・・・（１８）
【００８７】
したがって、処理部７Ａは、既知の振幅｜Ｖ１｜および固定電源部２Ａから出力された固定電圧Ｖ１の位相状態を示す信号（位相ａｒｇ（Ｖ１））と、測定したゲイン｜Ｇ３｜，｜Ｇ４｜および位相変化ａｒｇ（Ｇ３），ａｒｇ（Ｇ４）とを上記の式（１７），（１８）に代入することにより、固定電圧Ｖ１の印加状態において測定対象１１に流れる入力電流Ｉｉｎをゼロにするために可変電源部３Ａに対して設定すべき調整電圧Ｖ２についての振幅｜Ｖ２｜および位相ａｒｇ（Ｖ２）を算出して記憶する。これにより、第２調整処理が完了するため、処理部７Ａは、固定電源部２Ａおよび可変電源部３Ａに対する制御を実行して、固定電圧Ｖ１および調整電圧Ｖ２の出力を停止させる。
【００８８】
続いて、処理部７Ａは、第３算出処理を実行する（ステップ６３）。上記したように、固定電圧Ｖ１の印加状態において、第２調整処理で算出した振幅｜Ｖ２｜および位相ａｒｇ（Ｖ２）の調整電圧Ｖ２がさらに測定対象１１の他方の電極１１ｂに印加された状態では、入力電流Ｉｉｎがゼロになることから、上記した式（７）が成り立つ。このため、処理部７Ａは、この第３算出処理において、上記した第２接触抵抗測定処理６０での第３算出処理のときと同様にして、固定電圧Ｖ１についてのデータ（既知の振幅｜Ｖ１｜および位相ａｒｇ（Ｖ１））と、調整電圧Ｖ２についてのデータ（振幅｜Ｖ２｜および位相ａｒｇ（Ｖ２））と、既知の基準電位Ｖｒ（ゼロボルト）となるこの電圧Ｖ０とを上記式（７）に代入することで、値（Ｒ３／Ｒ４）を比Ａ２として算出して記憶する。
【００８９】
次いで、処理部７Ａは、第４接続切替処理を実行する（ステップ６４）。この第４接続切替処理では、処理部７Ａは、上記した第２接触抵抗測定処理６０での第４接続切替処理のときと同様にして、接続切替部６に対する制御を実行することで、第４接続状態（図７に示す等価回路で表される接続状態）に移行させる。
【００９０】
続いて、処理部７Ａは、第２電流測定処理を実行する（ステップ６５）。この第２電流測定処理では、処理部７Ａは、上記した第２接触抵抗測定処理６０での第２電流測定処理のときと同様にして、第２プローブ群に流れる電流（入力電流Ｉｉｎ）を第２電流Ｉ２としてその電流値Ｉ２を測定して記憶する。
【００９１】
次いで、処理部７Ａは、第４算出処理を実行する（ステップ６６）。この第４算出処理では、処理部７Ａは、上記した第２接触抵抗測定処理６０での第４算出処理のときと同様にして、上記の式（８）を使用することで、値（Ｒ３＋Ｒ４）を和Ｂ２として算出して記憶する。
【００９２】
続いて、処理部７Ａは、第２抵抗算出処理を実行する（ステップ６７）。この第２抵抗算出処理では、処理部７Ａは、上記した第２接触抵抗測定処理６０での第２抵抗算出処理のときと同様にして、第３算出処理で算出した比Ａ２、第４算出処理で算出した和Ｂ２、および上記の各式（１１），（１２）に基づいて、接触抵抗Ｒ３と接触抵抗Ｒ４とを個別に算出して記憶する。これにより、第２接触抵抗測定処理６０Ａが完了する。最後に、処理部７Ａは、出力処理を実行して、測定した各接触抵抗Ｒ１〜Ｒ４を出力部８に出力させる。これにより、各接触抵抗Ｒ１〜Ｒ４の測定が完了する。
【００９３】
このように、この接触抵抗測定装置１Ａによれば、抵抗やインダクタンスなどの直流電流を流すことが可能な測定対象１１だけでなく、コンデンサなどの直流電流を流すことができずに交流電流のみを流し得る測定対象１１についても、測定対象１１の一方の電極１１ａに接触させられる第１プローブ群を構成する第１電流供給用プローブＰＬｃ１および第１電圧検出用プローブＰＬｐ１についての接触抵抗Ｒ１，Ｒ２を、測定対象１１のインピーダンスの影響を受けることなく個別に正確に測定することができる。また、この接触抵抗測定装置１Ａによれば、測定対象１１の他方の電極１１ｂに接触させられる第２プローブ群を構成する第２電流供給用プローブＰＬｃ２および第２電圧検出用プローブＰＬｐ２についての接触抵抗Ｒ３，Ｒ４についても、測定対象１１のインピーダンスの影響を受けることなく個別に正確に測定することができる。また、この接触抵抗測定装置１Ａが組み込まれたインピーダンス測定装置では、正確に測定された各接触抵抗Ｒ１〜Ｒ４を利用して、測定対象１１のインピーダンスを精度良く測定することが可能となる。
【００９４】
なお、上記の接触抵抗測定装置１，１Ａでは、処理部７（７Ａ）が、第１接触抵抗測定処理５０（５０Ａ）および第２接触抵抗測定処理６０（６０Ａ）の双方を実行して、第１プローブ群についての測定対象１１の一方の電極１１ａとの間の接触抵抗Ｒ１，Ｒ２、および第２プローブ群についての測定対象１１の他方の電極１１ｂとの間の接触抵抗Ｒ３，Ｒ４を測定する構成を採用しているが、第１接触抵抗測定処理５０（５０Ａ）および第２接触抵抗測定処理６０（６０Ａ）のうちのいずれか一方のみを実行して、第１プローブ群および第２プローブ群のうちの一方のプローブ群を構成する一対のプローブについての接触抵抗のみ（接触抵抗Ｒ１，Ｒ２、および接触抵抗Ｒ３，Ｒ４のうちの一方のみ）を測定する構成であってもよい。
【符号の説明】
【００９５】
１，１Ａ  接触抵抗測定装置
２，２Ａ  固定電源部
３，３Ａ  可変電源部
４  電流検出部
６  接続切替部
７，７Ａ  処理部
１１  測定対象
１１ａ  一方の電極
１１ｂ  他方の電極
Ｉｉｎ  入力電流
ＰＬｃ１  第１電流供給用プローブ
ＰＬｃ２  第２電流供給用プローブ
ＰＬｐ１  第１電圧検出用プローブ
ＰＬｐ２  第２電圧検出用プローブ
Ｒ１  第１接触抵抗
Ｒ２  第２接触抵抗
Ｒ３  第３接触抵抗
Ｒ４  第４接触抵抗
Ｖ１  固定電圧
Ｖ２  調整電圧
Ｖｉ  検出電圧
Ｖｒ  基準電位（内部グランドＧの電位）
【図１】
2020106314.tif 000003
【図２】
2020106314.tif 000004
【図３】
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【図４】
2020106314.tif 000006
【図５】
2020106314.tif 000007
【図６】
2020106314.tif 000008
【図７】
2020106314.tif 000009