(57)【要約】【課題】コギング推力を低減できる同期リニアモータおよび同期リニアモータの製造方法を提供する。【解決手段】基部３１と、複数の突極３２とを有する固定子３と、第一半分割コア４ａと、第二半分割コア４ｂとからる複数の分割コア４と、第一半分割コア４ａと第二半分割コア４ｂとの間にそれぞれ挟まれた永久磁石５と、ティース４２に巻回されたコイル６とを有する可動子４０とを備え、第一半分割コア４ａと第二半分割コア４ｂとは、永久磁石５を対称軸として非対称であり、隣り合う二つの分割コア４の、隣接する第一半分割コア４ａと第二半分割コア４とは、基部３１に平行な相互に当接する当接面４１ａｔ，４１ｂｔを有する。【選択図】図１
2020178443.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、前記基部の上面から上方に、前記基部の長手方向に等間隔に突出する、磁性体から成る複数の突極とを有する固定子と、
第一半分割コアバックと、前記第一半分割コアバックから前記固定子側に突出する第一半分割ティースとを有する第一半分割コアと、第二半分割コアバックと、前記第二半分割コアバックから前記固定子側に突出する第二半分割ティースとを有する第二半分割コアとからなり、前記長手方向に結合された複数の分割コアと、
前記第一半分割コアと前記第二半分割コアとの間にそれぞれ挟まれた永久磁石と、
前記第一半分割ティースと前記第二半分割ティースとからなるそれぞれのティースに巻回されたコイルとを有する可動子を備え、
前記第一半分割コアと前記第二半分割コアは、前記永久磁石を対称軸として非対称であり、
隣り合う二つの前記分割コアの、隣接する前記第一半分割コアと前記第二半分割コアとは、前記基部に平行な、相互に当接する当接面を有する同期リニアモータ。
【請求項２】
前記永久磁石の上下方向の長さは、前記分割コアの上下方向の長さと異なる請求項１に記載の同期リニアモータ。
【請求項３】
前記永久磁石の上下方向の長さは、前記分割コアの上下方向の長さよりも短い請求項２に記載の同期リニアモータ。
【請求項４】
前記永久磁石の上下方向の長さは、前記分割コアの上下方向の長さよりも長い請求項２に記載の同期リニアモータ。
【請求項５】
前記ティースの下端部は、前記永久磁石の下端部よりも下方に突出している請求項３に記載の同期リニアモータ。
【請求項６】
前記第一半分割コアバックと前記第二半分割コアバックとからなるコアバックの上端部は、前記永久磁石の上端部よりも上方に突出している請求項３に記載の同期リニアモータ。
【請求項７】
前記永久磁石の下端部は、前記ティースの下端部よりも下方に突出している請求項４に記載の同期リニアモータ。
【請求項８】
前記永久磁石の上端部は、前記第一半分割コアバックと前記第二半分割コアバックとからなるコアバックよりも上方に突出している請求項４に記載の同期リニアモータ。
【請求項９】
隣り合う前記分割コアの一方の前記第一半分割コアバックは、前記長手方向の一方向に突出し、上下方向に延びる第一凸部を有し、隣り合う前記分割コアの他方向の前記第二半分割コアバックは、前記長手方向の一方に凹み、上下方向に延び、前記第一凸部と係合する第一凹部を有する請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の同期リニアモータ。
【請求項１０】
隣り合う前記分割コアの一方の前記第一半分割コアバックは、前記長手方向の一方向に突出し、前記分割コアの積層方向に延びる第二凸部を有し、隣り合う前記分割コアの他方向の前記第二半分割コアバックは、前記長手方向の一方に凹み、前記積層方向に延び、前記第二凸部と係合する第二凹部を有する請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の同期リニアモータ。
【請求項１１】
請求項１に記載の同期リニアモータの製造方法であって
前記永久磁石の磁極ピッチを前記長手方向に等間隔に調整しながら複数の前記分割コアを長手方向に結合する結合工程を有する同期リニアモータの製造方法。
【請求項１２】
請求項３又は請求項５又は請求項６に記載の同期リニアモータの製造方法であって、
前記永久磁石の磁極ピッチを前記長手方向に等間隔に調整しながら複数の前記分割コアを長手方向に結合する結合工程を有し、
板状の可動子位置決治具の一面には、製造する前記可動子の磁極ピッチと同じ間隔で、等間隔に複数の第三凸部が設けられ、
前記結合工程の前に、
前記第一半分割コアと、前記第二半分割コアとの間に形成された第三凹部の前記長手方向の一方向の面を、前記第三凸部の前記長手方向の他方向の面に当接させて、複数の前記分割コアを長手方向に位置決めする分割コア配置工程を有する同期リニアモータの製造方法。
【請求項１３】
請求項４又は請求項７又は請求項８に記載の同期リニアモータの製造方法であって、
前記永久磁石の磁極ピッチを前記長手方向に等間隔に調整しながら複数の前記分割コアを長手方向に結合する結合工程を有し、
板状の可動子位置決治具の一面には、製造する前記可動子の磁極ピッチと同じ間隔で、等間隔に複数の第三凸部が設けられ、
前記結合工程の前に、
前記第三凸部の前記長手方向の一方向の面を、各永久磁石の前記長手方向の他方向の面に当接させて、複数の前記分割コアを長手方向に位置決めする分割コア配置工程を有する同期リニアモータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、同期リニアモータおよび同期リニアモータの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、工作機械のテーブル送り装置および、半導体製造装置における搬送機器に用いられるアクチュエータに対して、高速化および高精度位置決め機能などの要求が高まっている。このため、工作機械および半導体製造装置などには、リニアモータが用いられる例が多い。
【０００３】
リニアモータは、変速機を介さずに、装置を直接駆動する。よって、回転型サーボモータとボールネジとを組み合わせ、回転機構を直線運動に変換する駆動方式に比べて、ボールネジのバックラッシュによる剛性の低下がない。このため、リニアモータは、上記組み合わせに対して高応答性、高速性、高加速度性を有し、さらに高精度な位置決めが可能である。
【０００４】
従来のリニアモータは、固定子と、この固定子に一定の空隙を保って対向し、固定子に対して相対的に移動する可動子とを備えている。可動子は、磁性体からなるコアの各ティースにコイルを巻回して構成されている。そして、固定子は、磁性体からなる鉄心と、空隙方向に着磁された永久磁石とを有し、永久磁石は、可動子の移動方向に沿って一定の距離を保って配置されている。
【０００５】
また、隣り合う永久磁石の着磁方向は、互いに異なっている。前述したリニアモータを有する搬送機器は、可動子の移動距離が長くなるにつれて永久磁石の数が増加するため、高コストとなる傾向がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−１９５１０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に開示されるリニアモータでは、分割コアにコイルを巻回して構成された可動子と、突極を有する鉄心で構成された固定子とを備えている。そして、コストの増加を抑制するため、従来、固定子に配置されていた永久磁石を可動子の分割コアのティースに配置している。また、永久磁石が配置されコイルが巻回されていない補助分割コアが、可動子の移動方向の両端側に配置されている。
【０００８】
さらに、補助分割コアに配置された永久磁石の形状と、コイルが巻かれている分割コアに配置された永久磁石の形状とが異なっている。また、補助分割コアと固定子との間の空隙の長さと、コイルが巻かれている分割コアと固定子との間の空隙の長さとが異なっている。これらの構成によって、永久磁石と可動子のコアとの間に発生するコギング推力が低減されている。
【０００９】
しかしながら、可動子を構成する分割コアの寸法精度、および組立精度に起因して生じる磁極ピッチのばらつきにより、依然としてコギング推力が発生するという課題があった。
【００１０】
本願は、上記のような課題を解決するための技術を開示するものであり、コアの寸法精度、および組立精度に起因して生じるコギング推力を低減できる同期リニアモータ、および同期リニアモータの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本願に開示される同期リニアモータは、
基部と、前記基部の上面から上方に、前記基部の長手方向に等間隔に突出する、磁性体から成る複数の突極とを有する固定子と、
第一半分割コアバックと、前記第一半分割コアバックから前記固定子側に突出する第一半分割ティースとを有する第一半分割コアと、第二半分割コアバックと、前記第二半分割コアバックから前記固定子側に突出する第二半分割ティースとを有する第二半分割コアとからなり、前記長手方向に結合された複数の分割コアと、
前記第一半分割コアと前記第二半分割コアとの間にそれぞれ挟まれた永久磁石と、
前記第一半分割ティースと前記第二半分割ティースとからなるそれぞれのティースに巻回されたコイルとを有する可動子を備え、
前記第一半分割コアと前記第二半分割コアは、前記永久磁石を対称軸として非対称であり、
隣り合う二つの前記分割コアの、隣接する前記第一半分割コアと前記第二半分割コアとは、前記基部に平行な、相互に当接する当接面を有するものである。
【００１２】
また、本願に開示される同期リニアモータの製造方法は、
前記永久磁石の磁極ピッチを前記長手方向に等間隔に調整しながら複数の前記分割コアを長手方向に結合する結合工程を有するものである。
【発明の効果】
【００１３】
本願に開示される同期リニアモータおよび同期リニアモータの製造方法によれば、隣接する分割コア同士の当接面が当接する範囲内で磁極ピッチを調整して可動子を組立できるため、磁極ピッチのばらつきに起因するコギング推力を低減した同期リニアモータを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施の形態１に係る同期リニアモータの斜視図である。
【図２】実施の形態１に係る同期リニアモータの積層方向に垂直な断面図である。
【図３】実施の形態１に係る可動子の製造フローを示す図である。
【図４】実施の形態１に係る製造途中の可動子の側面図である。
【図５】実施の形態２に係る同期リニアモータの可動子の積層方向に垂直な断面図である。
【図６】実施の形態２に係る可動子の製造フローを示す図である。
【図７】実施の形態２に係る製造途中の可動子の側面図である。
【図８】実施の形態３に係る同期リニアモータの可動子の積層方向に垂直な断面図である。
【図９】実施の形態３に係る可動子の製造フローを示す図である。
【図１０】実施の形態３に係る製造途中の可動子の側面図である。
【図１１】実施の形態４に係る同期リニアモータの可動子の積層方向に垂直な断面図である。
【図１２】実施の形態４に可動子の製造フローを示す図である。
【図１３】実施の形態４に係る製造途中の可動子の側面図である。
【図１４】実施の形態５に係る同期リニアモータの可動子の斜視図である。
【図１５】実施の形態６に係る同期リニアモータの可動子の積層方向に垂直な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
実施の形態１．
以下、本実施の形態に係る同期リニアモータおよび同期リニアモータの製造方法について図に基づいて説明する。
図１は、実施の形態１に係る同期リニアモータ１００の斜視図である。
図２は、同期リニアモータ１００の積層方向Ｂに垂直な断面図である。
同期リニアモータ１００は、可動子４０と固定子３とを備える。同期リニアモータ１００は、巻線であるコイル６と永久磁石５との両方が可動子４０に配置された巻線磁石可動子型同期リニアモータである。
図１において、長手方向Ａは、可動子４０及び固定子３の長手方向である。積層方向Ｂは、可動子４０を構成する複数の電磁鋼板の積層方向を示し、上述の長手方向Ａに垂直な方向である。また、上下方向Ｃは、使用時の可動子４０の上下の方向である。長手方向Ａ、積層方向Ｂ、上下方向Ｃは、それぞれ互いに、垂直な方向である。
【００１６】
同期リニアモータ１００の可動子４０は、図示しないスライダ等で支持されている。このため、図２に示すように可動子４０は、空隙ｇを介して固定子３上を、長手方向Ａに移動可能となっている。
【００１７】
可動子４０は、長手方向Ａに並んで結合された６個の分割コア４と、６個の永久磁石５と、６個のコイル６とからなる。また、分割コア４は、更に、長手方向Ａに並んだ第一半分割コア４ａと第二半分割コア４ｂとからなる。第一半分割コア４ａは、第一半分割コアバック４１ａと、第一半分割コアバック４１ａから固定子３側に突出する第一半分割ティース４２ａとを有する。同様に、第二半分割コア４ｂは、第二半分割コアバック４１ｂと、第二半分割コアバック４１ｂから固定子３側に突出する第二半分割ティース４２ｂとを有する。第一半分割コアバック４１ａと第二半分割コアバック４１ｂとを合わせたものが、コアバック４１であり、第一半分割ティース４２ａと第二半分割ティース４２ｂとを合わせたものが、ティース４２である。
【００１８】
第一半分割コア４ａと第二半分割コア４ｂとの間に永久磁石５が挟まれている。第一半分割コア４ａ及び第二半分割コア４ｂは、それぞれ、複数の電磁鋼板が積層方向Ｂに積層されている。
【００１９】
第一半分割コアバック４１ａと第二半分割コアバック４１ｂとは、永久磁石５を対称軸として非対称な形状を有している。一方、第一半分割ティース４２ａと第二半分割ティース４２ｂとは、永久磁石５を対称軸として対称な形状を有している。
【００２０】
永久磁石５の上下方向Ｃの長さは、分割コア４の上下方向Ｃの長さよりも短かく、ティース４２の下端部４２ｄは、永久磁石５の下端部５ｄよりも、下方に突出している。一方、コアバック４１の上端部４１ｕと永久磁石５の上端部５ｕとは面一となっている。６個の永久磁石５の着磁方向１２は、長手方向Ａに沿っている。そして、隣り合う分割コア４間に配置された永久磁石５の、互いに対向する磁極同士の極性が同じ極性となるように着磁されている。すなわち、永久磁石５の磁極は、永久磁石５における、長手方向Ａの両端面に形成され、長手方向Ａの一端面の磁極は、Ｎ極の極性を有し、反対側の他端面の磁極は、Ｓ極の極性を有している。
【００２１】
そして、分割コア４のティース４２の周囲には、図示しない絶縁部材を介してコイル６が集中的に巻回されている。分割コア４を構成する電磁鋼板の隣り合う積層間は、接着剤、あるいは金型内でのプレスによるカシメで保持・結合されている。６個の分割コア４は、長手方向Ａに沿って並べられて、全体として磁性体からなる可動子コアを構成している。
【００２２】
隣接する二つの分割コア４の、一方の分割コア４の第一半分割コアバック４１ａと、他方の分割コア４の第二半分割コアバック４１ｂとは、長手方向Ａに沿って互いに当接する当接面４１ａｔ、４１ｂｔを有している。隣接する分割コア４同士は、当接面４１ａｔ、４１ｂｔが互いに当接する範囲内において、その当接面４１ａｔ、４１ｂｔが溶接などの結合手段により互いに固定されて一体となっている。
【００２３】
固定子３は、複数の電磁鋼板が積層方向Ｂに積層されている。固定子３は、可動子４０の長手方向Ａに沿って、その用途に応じて必要な長さを有している。図２に示すように長手方向Ａに沿って複数個の固定子ブロック３０が連結して配置されていてもよい。固定子３を構成する電磁鋼板の隣り合う積層間は、接着剤、あるいは金型内でのプレスによるカシメ、あるいはリベット、ボルトなどの締結部材による締結で保持、結合されている。ただし、第一半分割コア４ａ、第二半分割コア４ｂ、固定子３の構造は、積層鉄心に限定するものではなく、磁性体の鋼材による一体型の構造、或いは磁性体の鋼材による組立型の構造でもよい。
【００２４】
上述のように、固定子３は、台座となる基部３１と、この基部３１から上方に向かって突出する磁性体からなる複数の突極３２とを備える。複数の突極３２は、可動子４０の長手方向Ａに沿って互いに予め定められた間隔をおいて離間して配置されている。
【００２５】
図２に示すように、可動子４０のティース４２の下端部４２ｄは、空隙ｇを介して突極３２に対向して配置されている。ここで、空隙ｇは、可動子４０と固定子３との最短距離を表す。
【００２６】
第一半分割コア４ａ、第二半分割コア４ｂ、および永久磁石５は、それぞれの境界面において接着剤、両面テープなどの結合手段により結合されている。あるいは、それぞれの境界面で結合されることなく、第一半分割コア４ａ、第二半分割コア４ｂ、および永久磁石５を治具などで位置決め、保持しながらコイル６を巻回し、巻回されたコイル６の張力により相互に保持、固定されていてもよい。
【００２７】
次に、同期リニアモータ１００の可動子４０の製造方法を説明する。
図３は、可動子４０の製造フローを示す図である。
図４は、製造途中の可動子４０の側面図である。
以下、ステップ毎に製造方法を説明する。
まず、図示省略した金型、および図示省略したプレス装置により第一半分割コア４ａ、および第二半分割コア４ｂをプレス加工により成形する（ステップＳ００１：第一、第二半分割コア製造工程）。
【００２８】
次に、図示省略した分割コア組立治具を用いて、永久磁石５、第一半分割コア４ａ、および第二半分割コア４ｂをコアバック面側で位置決めしながら永久磁石５、第一半分割コア４ａ、第二半分割コア４ｂを接着剤等により結合し、分割コア４を組立てる（ステップＳ００２：分割コア組み立て工程）。
【００２９】
次に、図示省略した巻き線機により、分割コア４のティース４２にコイル６を巻回する（ステップＳ００３：コイル巻回工程）。
【００３０】
次に、図４に示すように、コイル６を巻回した複数の分割コア４は、板状の可動子位置決治具１３を用いて位置決めされる。板状の可動子位置決治具１３の一面には、製造する可動子の磁極ピッチと同じ間隔で、等間隔に複数の凸部１３ｐ（特許請求の範囲における第三凸部）が設けられている。上述のように、ティース４２の下端部４２ｄは、永久磁石５の下端部５ｄよりも、下方に突出しているので、ティース４２の下端面には、永久磁石５の下端部５ｄの下に凹部４２ｒ（特許請求の範囲における第三凹部）が形成されている。
【００３１】
ここで、各分割コア４のそれぞれの凹部４２ｒの長手方向Ａの一方向の面４２ｒ１が、各凸部１３ｐの、長手方向Ａの他方向の面に当接するように、各分割コア４を、長手方向Ａに沿って、可動子位置決治具１３の上に位置決めして並べる。これにより、各永久磁石５を磁極ピッチが等間隔となるように配置できる。また、ティース４２の上下方向Ｃの位置決めは、可動子位置決治具１３の上面１３ｕにティース４２の下端部４２ｄを当接させることによって行われる。位置決めできたら、固定治具１５により、それぞれの分割コア４が動かないように固定する（ステップＳ００４：分割コア配置工程）。
【００３２】
次に、溶接等の結合手段によりコイル６が巻回された分割コア４同士を結合して可動子４０を組立てる（ステップＳ００５：結合工程）。図４では、〇印Ｙを付した部分を溶接して結合している。
次に、図示しない着磁装置により永久磁石５を上面、あるいは底面、あるいは双方向から着磁する（ステップＳ００６：着磁工程）。
【００３３】
なお、予め先に着磁された永久磁石５を用いて分割コア４を組み立ててもよく、その場合はステップＳ００６の着磁工程をステップＳ００２の前に行うこととなる。
【００３４】
実施の形態１に係る同期リニアモータおよび同期リニアモータの製造方法によれば、隣接する分割コア同士の当接面が当接する範囲内で磁極ピッチを調整して可動子を組立できる。そのため、第一半分割コア４ａ、第二半分割コア４ｂ、永久磁石５の寸法精度、および分割コア４の組立精度の影響を受けることなく、分割コア４に設けられた永久磁石５を長手方向Ａに沿って等ピッチで配置することができるので、磁極ピッチのばらつきに起因するコギング推力を低減した同期リニアモータ１００を提供できる。また、各分割コア４のそれぞれの凹部４２ｒの長手方向Ａの一方向の面が、各凸部１３ｐの、長手方向Ａの他方向の面に当接するように、各分割コアを、長手方向Ａに沿って、可動子位置決治具１３の上に位置決めできるので、各分割コア４の位置決めを容易にできる。
【００３５】
実施の形態２．
以下、実施の形態２に係る同期リニアモータおよび同期リニアモータの製造方法について図に基づいて、実施の形態１と異なる部分を中心に説明する。
図５は、同期リニアモータの可動子２４０の断面図であり、各分割コア４の電磁鋼板の積層方向Ｂに垂直な断面図である。
【００３６】
実施の形態１で説明した可動子４０と、本実施の形態に係る可動子２４０との違いは、可動子４０の端面に設けた、凹部の位置関係である。実施の形態１では、ティース４２の下端部４２ｄは、永久磁石５の下端部５ｄよりも、下方に突出しているので、ティース４２の下端面、かつ、永久磁石５の下端部５ｄの下に凹部４２ｒが形成されていた。本実施の形態では、永久磁石５の上下方向Ｃの長さは、分割コア４の上下方向Ｃの長さよりも短く、コアバック４１の上端部４１ｕが、永久磁石５の上端部５ｕよりも、上方に突出している。したがって、コアバック４１の上端部４１ｕに凹部２４１ｒ（特許請求の範囲における第三凹部）が形成されている。
【００３７】
次に、可動子２４０の製造方法を説明する。
図６は、可動子２４０の製造フローを示す図である。
図７は、製造途中の可動子２４０の側面図である。
以下、ステップ毎に製造方法を説明する。
まず、図示省略した金型、および図示省略したプレス装置により第一半分割コア４ａ、および第二半分割コア４ｂをプレス加工により成形する（ステップＳ００１：第一、第二半分割コア製造工程）。
【００３８】
次に、図示省略した分割コア組立治具を用いて、永久磁石５、第一半分割コア４ａ、および第二半分割コア４ｂをコアバック面側で位置決めしながら永久磁石５、第一半分割コア４ａ、第二半分割コア４ｂを接着剤等により結合し、分割コア４を組立てる（ステップＳ００２：分割コア組み立て工程）。
【００３９】
次に、図示省略した巻き線機により、分割コア４のティース４２にコイル６を巻回する（ステップＳ００３：コイル巻回工程）。
【００４０】
次に、図７に示すように、コイル６を巻回した複数の分割コア４を平板状の固定治具１５の上に、ティース４２の先端を下に向けて一列に並べる。その後、実施の形態１で用いた板状の可動子位置決治具１３の天地を反転させて、複数の凸部１３ｐを、それぞれの凹部２４1ｒに挿入し、可動子位置決治具１３を長手方向Ａの一方向に移動させる。これにより、各分割コア４のそれぞれの凹部２４１ｒの長手方向Ａの一方向の面が、各凸部１３ｐの、長手方向Ａの他方向の面に当接し、各永久磁石５を磁極ピッチが等間隔となるように配置できる（ステップＳ２０４：分割コア配置工程）。
【００４１】
次に、溶接等の結合手段によりコイル６が巻回された分割コア４同士を結合して可動子２４０を組立てる（ステップＳ００５：結合工程）。次に、図示しない着磁装置により永久磁石５を上面、あるいは底面、あるいは双方向から着磁する（ステップＳ００６：着磁工程）。
【００４２】
実施の形態２に係る同期リニアモータおよび同期リニアモータの製造方法によれば、実施の形態１と同様の効果を奏する。
【００４３】
実施の形態３．
以下、実施の形態３に係る同期リニアモータおよび同期リニアモータの製造方法について図に基づいて、実施の形態１、２と異なる部分を中心に説明する。
図８は、同期リニアモータの可動子３４０の断面図であり、各分割コア４の電磁鋼板の積層方向Ｂに垂直な断面図である。
【００４４】
実施の形態１、２で説明した可動子４０、２４０では、永久磁石５の上下方向Ｃの長さを、分割コア４の上下方向Ｃの長さよりも短くし、分割コア４の端面に凹部４２ｒ、２４１ｒを設けて、これらの凹部を用いて各分割コア４を位置決めしていた。本実施の形態３では、永久磁石３０５の上下方向Ｃの長さを、分割コア４の上下方向Ｃの長さよりも長くし、永久磁石３０５の下端部３０５ｄをティース４２の下端部４２ｄよりも下方に突出させている。永久磁石３０５の下端部３０５ｄの長手方向Ａの一方向の面３０５ｄ１を、可動子位置決治具１３の上面に等間隔に設けた複数の凸部１３ｐの、長手方向Ａの他方向の面に当接させることにより永久磁石３０５の位置を等間隔に位置決めする。
【００４５】
次に、可動子３４０の製造方法を説明する。
図９は、可動子３４０の製造フローを示す図である。
図１０は、製造途中の可動子３４０の側面図である。
以下、ステップ毎に製造方法を説明する。
まず、図示省略した金型、および図示省略したプレス装置により第一半分割コア４ａ、および第二半分割コア４ｂをプレス加工により成形する（ステップＳ００１：第一、第二半分割コア製造工程）。
【００４６】
次に、図示省略した分割コア組立治具を用いて、永久磁石３０５、第一半分割コア４ａ、および第二半分割コア４ｂをコアバック面側で位置決めしながら永久磁石３０５、第一半分割コア４ａ、第二半分割コア４ｂを接着剤等により結合し、分割コア４を組立てる（ステップＳ００２：分割コア組み立て工程）。このとき、永久磁石３０５の下端部３０５ｄは、ティース４２の下端部４２ｄよりも下方に突出している。
【００４７】
次に、図示省略した巻き線機により、分割コア４のティース４２にコイル６を巻回する（ステップＳ００３：コイル巻回工程）。
【００４８】
次に、図１０に示すように、コイル６を巻回した複数の分割コア４は、可動子位置決治具１３を用いて位置決めされる。板状の可動子位置決治具１３の上面には、等間隔に複数の凸部１３ｐが設けられている。凸部１３ｐの突出長は、永久磁石３０５の下端部３０５ｄが、ティース４２から突出する突出長よりも大きい。
【００４９】
ここで、永久磁石３０５の下端部３０５ｄのそれぞれの長手方向Ａの一方向の面３０５ｄ１が、各凸部１３ｐの、長手方向Ａの他方向の面に当接するように、各分割コア４を、長手方向Ａに沿って位置決めして並べる。これにより、各永久磁石３０５を磁極ピッチが等間隔となるように配置できる。また、ティース４２の上下方向Ｃの位置決めは、凸部１３ｐの上面１３ｐｕにティース４２の下端部４２ｄを当接させることによって行われる。位置決めできたら、固定治具１５により、それぞれの分割コア４が動かないように固定する（ステップＳ３０４：分割コア配置工程）。
【００５０】
次に、溶接等の結合手段によりコイルが巻回された分割コア４同士を結合して可動子３４０を組立てる（ステップＳ００５：結合工程）。次に、図示しない着磁装置により永久磁石３０５を上面、あるいは底面、あるいは双方向から着磁する（ステップＳ００６：着磁工程）。
【００５１】
なお、実施の形態１、２と同様に予め先に着磁された永久磁石を用いて分割コア４を組み立ててもよい。
【００５２】
実施の形態３に係る同期リニアモータおよび同期リニアモータの製造方法によれば、実施の形態１、２と同様の効果を奏する。
【００５３】
実施の形態４．
以下、実施の形態４に係る同期リニアモータおよび同期リニアモータの製造方法について図に基づいて、実施の形態３と異なる部分を中心に説明する。
図１１は、同期リニアモータの可動子４４０の断面図であり、各分割コア４の電磁鋼板の積層方向Ｂに垂直な断面図である。
【００５４】
実施の形態３では永久磁石３０５の上下方向Ｃの長さを、分割コア４の上下方向Ｃの長さよりも長くし、永久磁石３０５の下端部３０５ｄをティース４２の下端部４２ｄよりも下方に突出させていたが、本実施の形態では、永久磁石３０５の上下方向Ｃの長さを、分割コア４の上下方向Ｃの長さよりも長くし、永久磁石３０５の上端部３０５ｕをコアバック４１の上端部４１ｕよりも上方に突出させている。
【００５５】
次に、可動子４４０の製造方法を説明する。
図１２は、可動子４４０の製造フローを示す図である。
図１３は、製造途中の可動子４４０の側面図である。
以下、ステップ毎に製造方法を説明する。
まず、図示省略した金型、および図示省略したプレス装置により第一半分割コア４ａ、および第二半分割コア４ｂをプレス加工により成形する（ステップＳ００１：第一、第二半分割コア製造工程）。
【００５６】
次に、図示省略した分割コア組立治具を用いて、永久磁石３０５、第一半分割コア４ａ、および第二半分割コア４ｂをコアバック面側で位置決めしながら永久磁石３０５、第一半分割コア４ａ、第二半分割コア４ｂを接着剤等により結合し、分割コア４を組立てる（ステップＳ００２：分割コア組み立て工程）。
【００５７】
次に、図示省略した巻き線機により、分割コア４のティース４２にコイル６を巻回する（ステップＳ００３：コイル巻回工程）。
【００５８】
次に、図１３に示すように、コイル６を巻回した複数の分割コア４を平板状の固定治具１５の上に、ティース４２の先端を下に向けて一列に仮配置する。次に、実施の形態３で用いた板状の可動子位置決治具１３の天地を反転させて、一列に並べた複数の分割コア４の上に置く。このとき、永久磁石３０５の上端部３０５ｕのそれぞれの長手方向Ａの一方向の面が、各凸部１３ｐの、長手方向Ａの他方向の面に当接するように、各分割コア４を、長手方向Ａに沿って位置決めして並べる。これにより、各永久磁石３０５を磁極ピッチが等間隔となるように配置できる。また、ティース４２の上下方向Ｃの位置決めは、固定治具１５の上面にティース４２の下端部４２ｄを当接させることによって行われる。位置決めできたら、可動子位置決治具１３と固定治具１５とにより、それぞれの分割コア４が動かないように固定する（ステップＳ４０４：分割コア配置工程）。
【００５９】
次に、溶接等の結合手段によりコイル６が巻回された分割コア４同士を結合して可動子４０を組立てる（ステップＳ００５：結合工程）。次に、図示しない着磁装置により永久磁石３０５を上面、あるいは底面、あるいは双方向から着磁する（ステップＳ００６：着磁工程）。
【００６０】
実施の形態４に係る同期リニアモータおよび同期リニアモータの製造方法によれば、実施の形態１〜３と同様の効果を奏する。
【００６１】
実施の形態５．
以下、実施の形態５に係る同期リニアモータおよび同期リニアモータの製造方法について図に基づいて、実施の形態１〜３と異なる部分を中心に説明する。
図１４は、可動子５４０の斜視図である。
実施の形態１〜４では、長手方向Ａ、上下方向Ｃについて、別途、治具を用いて位置決めする方法について説明した。本実施の形態では、分割コアの構成により積層方向Ｂについて位置決めする構成を説明する。
【００６２】
隣り合う分割コア５０４の一方の第一半分割コアバック５４１ａは、長手方向Ａの一方向に突出し、上下方向に延びる凸部５４１ａｐ（特許請求の範囲における第一凸部）を有する。また、他方の分割コア５０４の第二半分割コアバック５４１ｂは、長手方向Ａの一方向に凹み、上下方向Ｃに延び、上述の凸部５４１ａｐと係合する凹部５４１ｂｒ（特許請求の範囲における第一凹部）を有する。積層方向Ｂを位置決めする凸部、凹部は、図１４の例に限定されるものではなく、複数個所設けられていてもよい。その他の構成は実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。
【００６３】
実施の形態５に係る同期リニアモータおよび同期リニアモータの製造方法によれば、隣り合う分割コア５０４同士を凸部５４１ａｐと凹部５４１ｂｒとにより係合し、長手方向Ａにスライドさせながら長手方向Ａの磁極ピッチを調整して可動子を組み立てることができる。そのため、隣り合う分割コア５０４同士が積層方向Ｂに位置ずれすることがなく、実施の形態１〜３に対してより組立作業性に優れた同期リニアモータを提供できる。
【００６４】
実施の形態６．
以下、実施の形態６に係る同期リニアモータおよび同期リニアモータの製造方法について図に基づいて、実施の形態５と異なる部分を中心に説明する。
図１５は、同期リニアモータの可動子６４０の断面図であり、各分割コア６０４の電磁鋼板の積層方向Ｂに垂直な断面図である。
【００６５】
実施の形態５では、分割コア５０４の構成により隣り合う分割コア５０４同士を積層方向Ｂについて位置決めする構成について説明した。本実施の形態では、分割コアの構成により上下方向Ｃについて位置決めする構成を説明する。
【００６６】
隣り合う分割コア６０４の一方の第一半分割コアバック６４１ａは、長手方向Ａの一方向に凹み、積層方向Ｂに延びる凹部６４１ａｒ（特許請求の範囲における第二凹部）を有する。また、他方の分割コア６０４の第二半分割コアバック６４１ｂは、長手方向Ａの一方向に突出し、上述の凹部６４１ａｒと係合する積層方向に延びる凸部６４１ｂｐ（特許請求の範囲における第二凸部）を有する。その他の構成は実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。上下方向Ｃを位置決めする凸部、凹部は、図１５の例に限定されるものではなく、複数個所設けられていてもよい。
【００６７】
実施の形態６に係る同期リニアモータおよび同期リニアモータの製造方法によれば、隣り合う分割コア６０４同士を凸部６４１ｂｐと凹部６４１ａｒにより係合し、長手方向Ａにスライドさせながら長手方向Ａの磁極ピッチを調整して可動子を組み立てることができる。そのため、分割コア６０４が上下方向Ｃに位置ずれすることがなく、実施の形態１〜４に対してより組立作業性に優れた同期リニアモータを提供できる。
【００６８】
本願は、様々な例示的な実施の形態及び実施例が記載されているが、１つ、または複数の実施の形態に記載された様々な特徴、態様、及び機能は特定の実施の形態の適用に限られるのではなく、単独で、または様々な組み合わせで実施の形態に適用可能である。
従って、例示されていない無数の変形例が、本願に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも１つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくとも１つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。
【符号の説明】
【００６９】
１００  同期リニアモータ、３  固定子、３１  基部、３２  突極、
４，５０４，６０４  分割コア、４ａ  第一半分割コア、４ｂ  第二半分割コア、
４０，２４０，３４０，４４０，５４０，６４０  可動子、４１  コアバック、
４１ａ，５４１ａ，６４１ａ  第一半分割コアバック、
４１ｂ，５４１ｂ，６４１ｂ  第二半分割コアバック、
４１ａｔ，４１ｂt  当接面、４１ｕ  上端部、４２  ティース、
４２ａ  第一半分割ティース、４２ｂ  第二半分割ティース、４２ｄ  下端部、
４２ｒ，２４１ｒ，５４１ｂｒ，６４１ａｒ  凹部、５４１ａｐ，６４１ｂｐ  凸部、
５，３０５  永久磁石、５ｄ，３０５ｄ  下端部、５ｕ，３０５ｕ  上端部、
６  コイル、１２  着磁方向、１３  可動子位置決治具、１３ｐ  凸部、
１３ｐｕ，１３ｕ  上面、１５  固定治具、Ａ  長手方向、Ｂ  積層方向、
Ｃ  上下方向、Ｙ  〇印、ｇ  空隙。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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