(57)【要約】【課題】  被験体へのスラリーの投射と、スラリーの投射による摩耗痕の計測を一台の粒子投射装置で行うことができるようにする。【解決手段】  摩耗痕計測機能付き粒子投射装置は、スラリーを圧縮エアーと共に高速で被験体に投射して当該被験体を摩耗させる噴射ガンと、摩耗痕の深さ、形状を計測可能な計測部を備えている。計測部は摩耗痕に接触して計測する接触式または接触せずに計測する非接触式である。接触式の場合は接触子を昇降させる駆動部を備えている。接触子は噴射ガンの粒子投射軸上に配置され、配置箇所に固定又は昇降可能である。非接触式の場合は計測光源と、それからの計測光を伝送する光伝送路を備える。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スラリーを圧縮エアーと共に高速で被験体に投射して当該被験体を摩耗させる噴射ガンを備えた粒子投射装置において、
前記粒子投射装置が、少なくとも摩耗痕の深さ又は／及び形状を計測可能な計測部を備えた、
ことを特徴とする摩耗痕計測機能付き粒子投射装置。
【請求項２】
請求項１記載の摩耗痕計測機能付き粒子投射装置おいて、
計測部が摩耗痕に接触可能な接触子と、接触子を摩耗痕に接触・離間可能に往復移動させる駆動部を備え、
前記接触子は噴射ガンの粒子投射軸上に配置され、
前記駆動部は、噴射ガンのノズルからのスラリー投射時に、接触子をノズルのスラリー投射軸から退避させ、被験体の少なくとも摩耗痕深さ計測時に、接触子を噴射ガンの噴射口から外に突出させて摩耗痕に接触させることができる、
ことを特徴とする摩耗痕計測機能付き粒子投射装置。
【請求項３】
請求項１記載の摩耗痕計測機能付き粒子投射装置において、
計測部が、光源と、光源からの測定光を伝送して摩耗痕に非接触で照射する光伝送路と、光伝送路から照射されて摩耗痕から反射する反射光を受信する受光器又は／及び３Ｄ計測器を備え、
光伝送路はノズルのスラリー投射軸上に配置され、その配置箇所に固定又は昇降可能である、
ことを特徴とする摩耗痕計測機能付き粒子投射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミックス、金属、プラスチック、ゴム等の各種材料（被験体）への摩耗痕の形成と、形成された摩耗痕の深さ、表面形状、断面形状、粗さ等の計測を一台で行うことのできる摩耗痕計測機能付き粒子投射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
本件出願の発明者は、先に、砥粒と液体とが混合された噴射粒子（スラリー）を、圧搾空気と共に高速で被験体に衝突させて、被験体を表面側からエロージョン（摩耗）させる粒子投射機と、エロージョンさせた摩耗痕の深さを計測して被験体の摩耗強度その他の機械的特性を評価する被験体計測評価装置を開発した（特許文献１〜４）。この被験体計測評価装置はＭＳＥ評価装置（ＭＳＥは本件出願人の登録商標）と呼ばれて世の中に普及し始めている。
【０００３】
前記粒子投射機と被験体計測評価装置は別々であるため、粒子投射機による摩耗作業と、被験体計測評価装置による摩耗痕計測作業を別々に行わなければならなかった。この場合、被験体を、摩耗時には粒子投射機に、計測時には被験体計測評価装置にセットし直さなければならないため、セットに多くの工程を必要とし、その為に時間がかかり、セット時の位置決め精度の不安もあった。また、粒子投射機と被験体計測評価装置の双方の機器が必要であることから、設備が大型化し、設置に広いスペースが必要となるという難点もあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１８３２７９号公報
【特許文献２】特開２００６−１８４１８８号公報
【特許文献３】特開２０１０−２３７０７３号公報
【特許文献４】特開２０１３−０５０３７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の解決課題は、被験体へのスラリーの投射と、スラリーの投射による摩耗痕の計測を一台の機械（粒子投射機）で行うことができる摩耗痕計測機能付き粒子投射装置を提供にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の摩耗痕計測機能付き粒子投射装置（以下、単に「粒子投射装置」という。）は、被験体にスラリーを圧縮エアーで投射して被験体を摩耗させることのできる噴射ガンに計測部を備えたものである。計測部は摩耗痕の深さ、表面形状、断面形状、粗さ、その他を計測することができる。計測部は摩耗痕に接触する接触子を備えた機械式（接触式）でも、摩耗痕に非接触の光学式（非接触式）でもよい。
【０００７】
機械式の計測部は、粒子投射機内に接触子を備え、接触子が噴射ガンのスラリー投射軸上に配置されており、接触子は被験体へのスラリー投射時には噴射ガンのノズルから退避し、計測時にはノズル先端から突出して噴射ガンのスラリー投射軸上で摩耗痕に接触できるようにしてある。
【０００８】
光学式の計測部は、噴射ガン内のスラリー投射軸上に光伝送路が配置され、その光伝送路で測定光を伝送して摩耗痕に照射し、摩耗痕からの反射光を受けて受光器に伝送するものである。この場合、光源にはレーザ光源、白色光源、その他の光源を使用することができる。レーザ光源の場合は光伝送路として光ファイバーを使用し、その光ファイバーでレーザ光を送受信することができる。白色光源の場合は光伝送路として光ファイバー或いは光導波ロッドを使用し、それらで白色光を送受信することができる。測定光がレーザ光の場合は受光器として、摩耗痕からの反射光の光強度に基づいて摩耗痕の深さを計測可能なもの、例えば、汎用の光受光器を使用することができる。測定光が白色光の場合は受光器として摩耗痕の三次元形状を測定可能な三次元形状測定機、例えば、共焦点顕微鏡型や走査型白色干渉顕微鏡を使用することができる。
【０００９】
機械式で計測された摩耗痕の深さ、光学式で検知された摩耗の表面形状や断面形状等は処理部で演算処理して、被験体の機械的特性を評価することができる。処理部は計測部に内蔵されたものでも、計測部に外付けされたものでもよい。
【００１０】
本発明の粒子投射装置は、噴射ガンに既存のものを使用し、それに計測部を組み込んだものでも、新規の噴射ガンに計測部を組み込んだものでもよい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の粒子投射装置は次の効果がある。
（１）一台で、被験体（試料）を摩耗しながら、摩耗痕の計測が可能であるため、摩耗途中で摩耗を一時停止させて摩耗痕を計測し、それを繰り返すことにより、オーバーシュート（摩耗し過ぎ）及び惰性削りを可及的に減らすことができる。この場合、随時、摩耗途中の計測データも得られるため被験体の評価精度も向上する。
（２）一台で、被験体の摩耗と計測が可能であるため、摩耗時と計測時に被験体を別々の機械にセットし直す必要がなく、迅速（高速）な計測が可能となる。
（３）一台で、スラリーの投射と計測とを同軸上で（同じ位置で）行うことができるので、高精度の計測が可能となる。
（４）一台で、被験体の摩耗と摩耗痕の計測を間欠的に繰り返し行うことができるので、材料の表面側から内部までの摩耗分布の精密な取得と、計測精度の向上と高速化が可能になる。
（５）一台で、被験体の摩耗と摩耗痕の計測が可能であるため、粒子投射機と計測機を別々に用意する必要がなく、コンパクトに小型化でき、設置スペースも狭くてすむ。
（６）計測部の接触子が、スラリー投射時に移動して投射軸上から退避するので、スラリーの投射に接触子が邪魔になることがない。また、投射されるスラリーが接触子に当たって接触子が損傷することもない。
（７）計測部が光学式であって、光ファイバーを固定式にした場合は、光ファイバーをノズル内で移動させる（退避させる）必要がないため、移動機構が不要となり、構成が簡潔になる。
（８）計測部に三次元形状測定機を使用した場合は、摩耗痕の深さだけでなく、摩耗痕の表面形状や断面形状等の測定（三次元測定）も可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の粒子投射装置の一例であり、計測機能に接触子を使用し、接触子を退避させた場合の説明図。
【図２】図１の粒子投射装置の接触子を摩耗痕に接触させた場合の説明図。
【図３】図１の粒子投射装置による粒子投射時の説明図。
【図４】図１の粒子投射装置による摩耗痕深さ計測時の説明図。
【図５】試験データの一例を示す説明図。
【図６】（ａ）は図１の粒子投射装置を二軸移動可能とした粒子投射装置の説明図、（ｂ）は（ａ）の摩耗痕の断面形状説明図。
【図７】本発明の粒子投射装置であって、計測部に光ファイバーを配置固定にした場合の説明図。
【図８】本発明の粒子投射装置であって、計測部に光導波ロッドを昇降可能に配置した場合の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の粒子投射装置の各種実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１４】
（実施形態１）
本発明の粒子投射装置の実施形態１を図１に示す。図１の粒子投射装置は、一台の粒子投射機（噴射ガン）１に計測部２を備えたものである。
【００１５】
図１の噴射ガン１の下部にはノズル３があり、ノズル３の中心部に噴射孔（スラリー噴射孔）４が貫通している。噴射ガン１の外周にはスラリー供給口５と圧縮エアー供給口６があり、両供給口５、６は共にノズル３の噴射孔４に開口して連通しており、スラリー供給口５から供給されるスラリーが、圧縮エアー供給口６から供給される圧縮エアーと共にノズル３から高圧噴射して、セラミックス板やプラスチック板などの被験体７に衝突させて、被験体７を表面側から摩耗させて、摩耗痕２０を形成できるようにしてある。
【００１６】
スラリー供給口５にはスラリーを供給又は停止させるスラリーバルブ（図示しない）が付いており、圧縮エアー供給口６には圧縮エアーを供給又は停止させる圧縮エアーバルブ（図示しない）がついている。これらバルブの開閉操作は図示しない制御部（コントローラ）で自動的に制御されるようにしてある。
【００１７】
計測部２は噴射ガン１の上方にある。計測部２はベルト式の回転体９とモータＭを備えた駆動部１０、触針用針金１１、触針用針金１１に固定された計測用コマ１２、計測器１３を備えている。触針用針金１１の先端部は摩耗痕２０に接触する接触子１１ａとなっている。
【００１８】
駆動部１０はケース１４内にベルト式の回転体９が回転可能に収容されており、その回転体９がモータＭの回転により上下移動するようにしてある。回転体９には連結具１５が取付けられており、その連結具１５に触針用針金１１の上端部と計測用コマ１２が固定されて、回転体９の上下移動により連結具１５が上下移動すると、触針用針金１１と計測用コマ１２が共に上下移動するようにしてある。
【００１９】
触針用針金１１は金属、セラミック等の非伸縮性材製であり、ノズル３を貫通して連結具１５に達する長さにしてあり、連結具１５の上昇に伴って図１のようにノズル３の噴射孔４の上まで上昇して噴射孔４の上方に退避し、連結具１５の降下に伴って図２のように噴射孔４の出口４ａから下方に突出して摩耗痕２０に接触するようにしてある。触針用針金１１の材質は剛性であれば、金属またはセラミック以外の材質であってもよく、ノズル３の噴射孔４内を昇降できる太さの細長であれば針金以外のものであってもよい。
【００２０】
計測器１３には長さ測定器を使用してある。触針用針金１１の先端部（接触子）１１ａが、図２のようにノズル３の下方まで突出して被験体７の摩耗痕２０に接触したとき、その降下長（接触位置：摩耗痕の深さ）を計測できるようにしてある。
【００２１】
図１の粒子投射装置の駆動部１０は、エアーリンダとか油圧シリンダ、或いはピニオン・ラック等の駆動機構とすることもできる。これら駆動機構の場合は、駆動部１０に触針用針金１１を連結して、触針用針金１１が駆動部１０の上下動と共に昇降するようにし、触針用針金１１の昇降位置を計測器１３で計測し、その昇降距離、または初回計測との差分から摩耗痕の深さを計測できるようにする。
【００２２】
（実施形態２）
粒子投射装置の実施形態２を図６に示す。この粒子投射装置は基本的には図１の粒子投射装置と同じものであり、異なるのは、被験体７をセットするセット台２１を横方向（Ｘ方向）と前後方向（Ｙ方向）に移動（２軸移動）可能な移動台２２の上に固定し、移動台２２を駆動装置、例えば油圧式或いはエアー式のシリンダ２３で横移動（Ｘ方向への移動）及び前後移動（Ｙ方向への移動）を可能としたものである。
【００２３】
（実施形態３）
粒子投射装置の実施形態３を図７に示す。この粒子投射装置は基本的には図１の粒子投射装置と同じであり、異なるのは図１の触針用針金１１を光ファイバー３１に代え、光ファイバー３１を噴射ガン１のノズル３の噴射孔４の軸線上に配置固定し、計測部２を光学式にしたことにある。図７の粒子投射装置ではスラリー投射軸上でスラリーを被験体７に噴射して摩耗痕２０を形成でき、レーザ光源及び演算ユニット３２のレーザ光源３２ａから出射されるレーザ光を、投・受光ユニット３３の投光器３３ａから光ファイバー３１を通して伝送し、光ファイバー３１の端部からレーザ光を摩耗痕２０に照射する。摩耗痕２０からの反射光を投・受光ユニット３３の受光器３３ｂで受光して、レーザ光源及び演算ユニット３２の演算処理部３２ｂに送ることができるようにしてある。受光器３３ｂで受光された反射光データは、レーザ光源及び演算ユニット３２の演算処理部３２ｂに送られて演算処理される。この場合、投・受光ユニット３３の受光器３３ｂに反射光強度を検知可能なものを使用すれば、その反射光強度に基づいて摩耗痕２０の深さを計測することができ、三次元計測器を使用すれば、摩耗痕の形状（表面形状、断面形状）を計測することができる。レーザ光源３２ａと演算処理部３２ｂはユニットではなく別体であってもよい。投光器３３ａと受光器３３ｂもユニットではなく別体であってもよい。
【００２４】
（実施形態４）
粒子投射装置の実施形態４を図８に示す。この実施例は計測部２が光学式ではあるが、光源及び演算ユニット３４の光源に白色光源３４ａを使用し、光伝送路に光導波ロッド３５を使用し、光導波ロッド３５をノズル３のスラリー投射軸上に配置し、その光導波ロッド３５を駆動部１０で昇降可能としてある。また、光導波ロッド３５の上方に投・受光ユニット３６を連結して、白色光源３４ａからの白色光が投・受光ユニット３６の投光器３６ａから光導波ロッド３５を通して摩耗痕２０に投射でき、摩耗痕２０からの反射光が光導波ロッド３５を通して投・受光ユニット３６の受光器３６ｂに受光されるようにしてある。受光器３６ｂの反射光データは光源及び演算ユニット３４の演算処理部３４ｂに送られて演算処理される。この場合、受光器３６ｂに三次元計測器を使用することにより、摩耗痕２０の形状（平面形状、断面形状）の計測が可能となる。白色光源３４ａと演算処理部３４ｂはユニットではなく別体であってもよい。投光器３６ａと受光器３６ｂもユニットではなく別体であってもよい。
【００２５】
図８の駆動部１０は図１の駆動部１０と同じものであり、ベルト式の回転体９とモータＭを備えている。回転体９には連結具３７が連結され、連結具３７に計測用コマ３８が連結され、連結具３７に光導波ロッド３５が連結固定されている。計測用コマ３８には定位置ストッパー３９が連結されている。
【００２６】
図８では、回転体９が矢印Ａ方向（上方）に回転すると連結具３７が上昇し、その上昇に伴って光導波ロッド３５が図８のノズル３の噴射孔４の上まで上昇して、噴射孔４から退避する。この場合、上昇が定位置ストッパー３９で検知されて、光導波ロッド３５が噴射孔４からのスラリー噴射の邪魔にならない位置に自動的に停止する。回転体９が図８の矢印Ｂ方向（下方）に回転して連結具３７が降下すると、光導波ロッド３５が図８のように噴射孔４の出射端（下端）から下方に突出する。光導波ロッド３５の下端が摩耗痕２０の直上まで到達すると、定位置ストッパー３９によりその位置が検出されて、自動的に停止して、それ以上降下しないようにしてある。
【００２７】
図８の投・受光ユニット３６には３次元の形状測定が可能な機器（３Ｄ測定器）を使用して、摩耗痕２０の表面形状や断面形状を３次元計測可能とすることができる。３Ｄ測定器には共焦点型顕微鏡、走査型白色干渉顕微鏡、３次元測定可能なその他の機器を使用することができる。この場合、使用する３Ｄ測定器に合わせて光学系の構成を選択可能である。
【００２８】
［実施形態１（図１）の粒子投射装置の動作説明］
図１の粒子投射装置を使用して被験体７をエロージョンし、それにより得られる摩耗痕２０（の深さ）を計測するには、次のようにして行うことができる。
【００２９】
図２のように、被験体７を粒子投射装置にセットして、被験体７の表面と噴射孔４の出口４ａの距離を固定する。この固定状態で、モータＭの回転により、回転体９を回転させて、触針用針金１１をノズル３の噴射孔４の上方まで上昇させて、噴射孔４から退避させる。
【００３０】
前記退避状態で、スラリー供給口５からスラリーを供給し、圧縮エアー供給口６から圧縮（高圧）エアーを供給して、スラリーとエアーをノズル３の噴射孔４内で合流させ、混合させて噴射孔４の出口４ａから噴射させる（図３）。この噴射で、被験体７を表面側から摩耗する。スラリーの砥粒の形状、サイズ、種類、液体との混合比等は、この種の摩耗で使用されているスラリーと同様のものを使用することができる。
【００３１】
前記噴射は連続噴射でも間欠噴射でもよいが、図３は間欠噴射の例である。間欠噴射の場合は一回の噴射量、噴射強度といった噴射条件を一定にし、投射を繰り返して摩耗痕を得る。一回の投射での摩耗痕の深さは評価目的、被験体７の材質、厚さ等に応じて設定することができるが、例えば数ナノメートル〜数マイクロメートルである。
【００３２】
摩耗痕の深さを計測するときは、スラリー供給口５からのスラリーの供給を停止し、圧縮エアー供給口６から圧縮エアーのみを供給して、ノズル３の噴射孔４内のスラリーを除去する。
【００３３】
前記のように、圧縮エアーを供給している状態で、又は圧縮エアーの供給も停止させてから、モータＭを逆回転させて回転体９を下方に回転させて、触針用針金１１をノズル３の噴射孔４内を降下させて、噴射孔４の出口から下方に突出させ、被験体７の摩耗痕（中心部）に接触させる（図４）。
【００３４】
前記接触状態での接触子１１ａの降下位置に基づいて、計測器１３により摩耗痕の深さを計測する（図４の計測１）。具体的には、触針用針金１１と共に降下して計測器１３に接触した計測用コマ１２の位置を計測器１３で計測する。このとき計測された計測用コマ１２の位置（被験体の摩耗痕の位置）と、その摩耗開始前の初期深さ又は摩耗前に計測器１３で計測された計測用コマ１２の位置（被験体の摩耗痕の位置）との差から、計測用コマ１２の降下長、即ち、触針用針金１１の降下長を計測し、摩耗痕の深さを計測する。
【００３５】
前記計測は、スラリーの間欠噴射を再開して被験体を摩耗し、噴射が一時停止する度に、噴射孔４内のスラリーを除去し、触針用針金１１を降下させて接触子１１ａを接触摩耗痕に接触させ（図４）、計測器１３による摩耗痕の計測を繰り返し行って計測データを得る。前記摩耗、摩耗痕の計測を繰り返して、各回の摩耗痕の深さを求める（図５）。この場合、計測１の摩耗痕深さと計測２の摩耗痕深さとの差から二回目の摩耗の摩耗痕の深さを求める。この動作を、被験体７の表面と噴射孔４の出口４ａの距離（同じ位置関係）で繰り返すことで、スラリー累積投射量と摩耗深さの関係を得ることもできる。
【００３６】
前記のようにして摩耗痕の深さを計測したときは、その計測値（図５）に基づいて被験体の機械的強度を評価する。このとき、被験体の厚さ方向の機械的強度分布の評価を行うことができる。
【００３７】
前記の繰り返し計測によって取得できる試験データ例を図５に示す。材料（被験体）がポリカーボネート樹脂の場合であり、材料そのままの計測が被験体Ｂで、表面から紫外線照射し表面劣化処理を施した材料の計測が被験体Ａで示されている。被験体Ｂは投射粒子量と摩耗深さがほぼ直線的な関係で増加することから、表面から内部まで一定の強さが分布していることが判る。被験体Ａは投射粒子量と摩耗深さの関係が表面から加速的に摩耗する曲線で示され、ある深さからは被験体Ｂと同じ傾きで摩耗が進行していることがわかる。このような比較から本材料（ポリカーボネート樹脂）の場合は、紫外線照射によって表面部が早く摩耗する、すなわち弱くなっている（劣化する）ことが応用判定できる。
【００３８】
［実施形態２（図６）の粒子投射装置の動作説明］
図６の粒子投射装置では、図１の場合と同様にして摩耗痕２０を形成する。その後に、触針用針金１１を降下させて摩耗痕２０に接触させて摩耗痕２０の深さを測定する。この場合、触針用針金１１を少し上昇させて被験体７から浮かし、その状態でセット台２１を横方向（Ｘ方向）と前後方向（Ｙ方向）に移動させて、所定位置で停止させる。停止時に触針用針金１１を降下させて摩耗痕２０に接触させて、接触箇所の摩耗痕２０の深さを計測する。この繰り返しにより、摩耗痕２０の略全域の深さを計測して、摩耗痕２０の断面形状、または３Ｄ形状を計測することができる。
【００３９】
［実施形態３（図７）の粒子投射装置の動作説明］
図７の粒子投射装置で摩耗痕２０を形成するには図１の粒子投射装置と場合と同様にして行う。
【００４０】
図７の粒子投射装置で摩耗痕２０を計測するには次のようにする。
レーザ光源及び演算ユニット３２のレーザ光源３２ａからのレーザ光を光ファイバー３１に入射し、光ファイバー３１の出射端から出射されるレーザ光を投・受光ユニット３３の投光器３３ａから光ファイバー３１を通して摩耗痕２０に照射する。摩耗痕２０からの反射光を投・受光ユニット３３の受光器（３Ｄ測定器）３３ｂで受光し、その反射光を演算ユニット３２の演算処理部３２ｂで演算処理して、摩耗痕２０の断面形状、または３Ｄ形状を計測する。
【００４１】
［実施形態４（図８）の粒子投射装置の動作説明］
図８の粒子投射装置で摩耗痕２０を形成するには光導波ロッド３５を上昇させて噴射孔４から退避させる。その退避状態で、図１の粒子投射装置と場合と同様に、粒子投射装置のスラリー供給口５からスラリーを供給し、圧縮エアー供給口６から圧縮（高圧）エアーを供給して、スラリーとエアーをノズル３の噴射孔４内で合流させ、混合させて噴射孔４の出口４ａから噴射させる。この噴射で、被験体７を表面側から摩耗する。スラリーの砥粒の形状、サイズ、種類、液体との混合比等は、この種の摩耗で使用されているスラリーと同様のものを使用することができる。
【００４２】
前記噴射も、連続噴射、間欠噴射のいずれでもよいが、間欠噴射の場合は一回の噴射量、噴射強度といった噴射条件を一定にし、投射を繰り返して摩耗痕を得る。一回の投射での摩耗痕の深さは評価目的、被験体７の材質、厚さ等に応じて設定することができる。この場合の摩耗痕の深さも数ナノメートル〜数マイクロメートル程度である。
【００４３】
間欠噴射の場合は。エロ―ジョンを行うたびに摩耗痕２０の深さを計測する。この場合も、スラリー供給口５からのスラリーの供給を停止し、圧縮エアー供給口６から圧縮エアーのみを供給して、ノズル３の噴射孔４内のスラリーを除去する。
【００４４】
前記のようにして形成された摩耗痕２０の断面形状を計測するには、前記のように圧縮エアーを供給している状態で、又は圧縮エアーの供給も停止させてから、光導波ロッド３５を降下させ、所定位置に停止させる。この停止状態で、白色光源３４ａから光導波ロッド３５に白色光を入射して、光導波ロッド３５の出射端から出射される白色光を摩耗痕２０に向けて照射する。摩耗痕２０からの反射光を３Ｄ形状測定器で受光し、その反射光を演算処理部で演算処理して摩耗痕２０の３Ｄ形状を計測する。
【００４５】
前記計測値に基づいて被験体の機械的強度を評価する。被験体７の表面と噴射孔４の出口４ａの距離（同じ位置関係）で前記エロ―ジョンを繰り返すことで、被験体の厚さ方向の機械的強度分布の評価を行うことができる。スラリー累積投射量と摩耗深さの関係を得ることもできる。
【００４６】
［被験体の評価、利用］
本発明の粒子投射装置を使用して得られた摩耗痕のデータは演算処理部で演算処理して、被験体（材料）の評価、被験体として用いた材料の加工条件の設定等に利用することができる。この場合、摩耗痕２０の形状を図形化したり、摩耗痕の変化をグラフ化、数値化したりしてモニタ画面に表示することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
前記実施形態はあくまでも本発明の一例である。本発明はその課題を解決可能であれば、他の材料や機器等を使用することができ、他の構成、サイズ等とすることもできる。また、摩耗痕２０の測定手順等も任意に設定可能である。
【符号の説明】
【００４８】
１      粒子投射機（噴射ガン）
２      計測部
３      ノズル
４      噴射孔（スラリー噴射孔）
４ａ    （噴射孔の）出口
５      スラリー供給口
６      圧縮エアー供給口
７      被験体
９      回転体
１０    駆動部
１１    触針用針金
１１ａ  触針用針金の先端部（接触子）
１２    計測用コマ
１３    計測器
１４    ケース
１５    連結具
２０    摩耗痕
２１    セット台
２２    移動台
２３    シリンダ
３１    光ファイバー
３２    レーザ光源及び演算ユニット
３２ａ  レーザ光源
３２ｂ  演算処理部
３３    投・受光ユニット
３３ａ  投光器
３３ｂ  受光器
３４    光源及び演算ユニット
３４ａ  白色光源
３４ｂ  演算処理部
３５    光導波ロッド
３６    投・受光ユニット
３６ａ  投光器
３６ｂ  受光器
３７    連結具
３８    計測用コマ
３９    定位置ストッパー
Ｍ      モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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