(57)【要約】【課題】ウエハ上の複数の被検査デバイスの電気的特性の検査を、全部または一部の被検査デバイスに対して同時に行う際に、消費電流の最大値を抑制することができる検査装置および検査方法を提供する。【解決手段】ウエハに形成された複数の被検査デバイスの全部または一部に対して同時に電気的特性の検査を行う検査装置は、テスタと、複数のプローブを有するプローブカードとを有し、テスタは、電源から電力が供給されて、複数の被検査デバイスに電気的測定のための特定の電流波形を与える測定部と、被検査デバイスの複数のグループごとに電気的測定の開始タイミングを変更可能なタイムシフトコントローラと、測定部を制御するとともに、タイムシフトコントローラに、グループごとに測定部による測定開始タイミングを変更する指令を与え、複数のグループにおいて電流波形のピークが時間的に重ならないように制御する制御部とを有する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハに形成された複数の被検査デバイスの全部または一部に対して同時に電気的特性の検査を行う検査装置であって、
前記複数の被検査デバイスに電気的信号を与えて検査するテスタと、
前記テスタの端子を前記被検査デバイスの電極に接続するための複数のプローブを有するプローブカードと、
を有し、
前記テスタは、
電源から電力が供給されて、前記複数の被検査デバイスに電気的測定のための特定の電流波形を与える測定部と、
前記被検査デバイスの複数のグループごとに前記電気的測定の開始タイミングを変更可能なタイムシフトコントローラと、
前記測定部を制御するとともに、前記タイムシフトコントローラに、前記グループごとに前記測定部による測定開始タイミングを変更する指令を与え、前記複数のグループにおいて前記電流波形のピークが時間的に重ならないように制御する制御部と、
を有する、検査装置。
【請求項２】
前記グループは１または複数の被検査デバイスを含む、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記測定部は、１または複数の被検査デバイスに前記電流波形を与える複数の測定機能部を有する、請求項１または請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記グループは、前記複数の測定機能部にそれぞれ対応している、請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記タイムシフトコントローラは、前記グループにそれぞれ対応して複数有する、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記複数のグループのトータルピーク電流が、前記グループそれぞれのピーク電流の和より小さくなるように、前記グループごとに測定開始タイミングを変更する、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記ウエハに形成された前記複数の被検査デバイスのグループ分けを行う、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項８】
ウエハに形成された複数の被検査デバイスの全部または一部に対して同時に電気的特性の検査を行う検査方法であって、
プローブカードの複数のプローブを前記被検査デバイスの全部または一部に対して同時に接触させる工程と、
テスタにより、前記プローブを接触させた前記被検査デバイスに電気的信号を与えて検査する工程と、
を有し、
前記検査する工程は、前記テスタにおいて、電源から電力が供給されて、前記複数の被検査デバイスに電気的測定のための特定の電気波形を与える際に、前記被検査デバイスの複数のグループごとに測定開始タイミングを変更し、前記複数のグループにおいて前記電流波形のピークが時間的に重ならないようにする、検査方法。
【請求項９】
事前に少量の被検査デバイスの測定を実施し、検査全体の消費電流の傾向を取得する工程と、取得した電流値から同時に測定する被検査デバイスの消費電流予想する工程とをさらに有し、予想された電流値に基づいて、前記検査する工程を実施する、請求項８に記載の検査方法。
【請求項１０】
前記検査する工程は、前記予想された電流値に基づいて、前記複数のグループのトータルピーク電流が、前記グループそれぞれのピーク電流の和より小さくなるように、前記グループごとに測定開始タイミングを変更する、請求項９に記載の検査方法。
【請求項１１】
前記予想された電流値に基づいて、前記検査する工程を実施する際に、前記ウエハに形成された前記複数の被検査デバイスのグループ分けを行う、請求項９または請求項１０に記載の検査方法。
【請求項１２】
前記テスタによる電気的検査のうち、相対的に消費電力が大きい項目のみ、前記検査する工程を適用する、請求項８から請求項１１のいずれか１項に記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、検査装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造プロセスにおいては、半導体ウエハ（以下単にウエハと記す）における全てのプロセスが終了した段階で、ウエハに形成されている複数のデバイス（ＩＣチップ）の電気的検査が行われる。このような電気的検査を行う検査装置は、一般的に、ウエハステージ、ウエハの位置合わせ機構、およびウエハ搬送系を有するとともに、ウエハに形成されたデバイスに接触するプローブを有するプローブカードが装着されるプローバと、プローブカードを介してデバイスに電気的信号を与え、デバイスの種々の電気特性を検査するためのテスタとを有している。
【０００３】
このような検査装置としては、ウエハに設けられた全デバイスの全電極に対して、プローブカードの全プローブを一度に接触させて電気的特性検査を行う一括接触型の検査装置が知られている（例えば特許文献１）。また、複数のデバイスに対してプローブを一度に接触させて電気的特性検査を行うことが行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−２９９１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本開示は、ウエハ上の複数の被検査デバイスの電気的特性の検査を、全部または一部の被検査デバイスに対して同時に行う際に、消費電流の最大値を抑制することができる検査装置および検査方法を提供する。
【０００６】
本開示の一態様に係る検査装置は、ウエハに形成された複数の被検査デバイスの全部または一部に対して同時に電気的特性の検査を行う検査装置であって、前記複数の被検査デバイスに電気的信号を与えて検査するテスタと、前記テスタの端子を前記被検査デバイスの電極に接続するための複数のプローブを有するプローブカードと、を有し、前記テスタは、電源から電力が供給されて、前記複数の被検査デバイスに電気的測定のための特定の電流波形を与える測定部と、前記被検査デバイスの複数のグループごとに前記電気的測定の開始タイミングを変更可能なタイムシフトコントローラと、前記測定部を制御するとともに、前記タイムシフトコントローラに、前記グループごとに前記測定部による測定開始タイミングを変更する指令を与え、前記複数のグループにおいて前記電流波形のピークが時間的に重ならないように制御する制御部と、を有する。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、ウエハ上の複数の被検査デバイスの電気的特性の検査を、全部または一部の被検査デバイスに対して同時に行う際に、消費電流の最大値を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】一実施形態に係る検査装置を複数搭載した検査システムの一例を概略的に示す斜視図である。
【図２】図１の検査システムの平面図である。
【図３】図２のIII−III′線による断面図である。
【図４】一実施形態に係る検査装置を示す概略構成図である。
【図５】一実施形態に係る検査装置におけるテスタの回路構成の一例を示すブロック図である。
【図６】テスタ制御部のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。
【図７】従来の検査装置におけるテスタの回路構成の一例を示すブロック図である。
【図８】従来の検査装置におけるＧｒ１〜ＧｒｎのＤＵＴの経過時間による消費電流の変化の例を示す図である。
【図９】一実施形態に係る検査装置におけるＧｒ１〜Ｇｒ３のＤＵＴの経過時間による消費電流の変化の例を示す図である。
【図１０】他の実施形態に係る検査装置を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
【００１０】
図１は、一実施形態に係る検査装置を複数搭載した検査システムの一例を概略的に示す斜視図、図２は検査システムの平面図、図３は図２のIII−III′線による断面図である。本実施形態の検査システム１０は、被検査体である半導体ウエハ（ウエハ）に形成された複数の被検査デバイス（Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ（以下「ＤＵＴ」と記す）の電気的特性を検査するものである。
【００１１】
検査システム１０は、筐体１１を有し、全体形状が直方体をなしており、筐体１１内には、複数の検査室(セル)１５を有する検査部１２と、各検査室１５に対してウエハＷの搬出入を行うローダ部１３と、検査部１２とローダ部１３との間に設けられた搬送部１４とを有している。
【００１２】
なお、図１〜３において、検査室１５の奥行方向がＸ方向、検査室１５の配列方向がＹ方向、高さ方向がＺ方向である。
【００１３】
検査部１２は、検査室１５が水平方向に４つ配列されてセル列をなし、セル列が上下方向に３段配置されている。各検査室１５には、ＤＵＴの検査を行うテスタ３０を有する検査装置２０が配置されている。
【００１４】
そして、セル列の段ごとに、Ｙ方向に移動可能に１台のアライナー（ステージ）２２が検査装置２０の下方に設けられている。また、検査部１２の各段に、検査装置２０よりも搬送部１４側の部分をＹ方向に沿って移動可能に１台のアライメント用の上カメラ２４が設けられている。
【００１５】
ローダ部１３は複数のポートに区画され、複数のウエハＷを収容する容器であるＦＯＵＰ１７を収容する複数のウエハ搬入出ポート１６ａ、搬送するウエハの位置合わせを行うプリアライメント部１６ｂ、プローブカードが搬入されかつ搬出されるプローブカードローダ１６ｃ、検査システム１０の動作を制御するシステム制御部１８が収納された制御ポート１６ｄを有する。
【００１６】
搬送部１４には複数の搬送アームを有する搬送機構１９が配置される。搬送機構１９の本体はＹ方向、Ｚ方向およびθ方向に移動可能であり、搬送アームは前後方向（Ｘ方向）に移動可能であることから、搬送機構１９は、ウエハＷをＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、θ方向に移動自在となっている。搬送機構１９は、全ての段の検査室１５にアクセス可能となっており、ローダ部１３のウエハ搬入出ポート１６ａからウエハＷを受け取って、検査装置２０のチャックトップ（ウエハステージ）へ搬送する。そして、デバイスの電気的特性の検査が終了したウエハＷを、対応する検査装置２０のチャックトップから受け取ってウエハ搬入出ポート１６ａへ搬送する。このときのチャックトップに対するウエハＷの授受は、アライナー２２を用いて行われ、アライナー２２と搬送機構１９がウエハ搬送手段を構成する。
【００１７】
また、搬送機構１９は各検査室１５からメンテナンスを必要とするプローブカードをプローブカードローダ１６ｃへ搬送し、また、新規やメンテナンス済みのプローブカードを各検査室１５へ搬送する。
【００１８】
図４は、検査室１５内に設けられた検査装置２０を示す概略構成図である。検査装置２０は、テスタ３０と、中間接続部材４０と、プローブカード５０とを有している。検査装置２０においては、ウエハＷに形成されているＤＵＴの電気特性の検査を、プローブカード５０を介してテスタ３０により行う。
【００１９】
テスタ３０は、ウエハＷに形成されたＤＵＴに対して電気的信号を与えて検査を行うものであり、テスタマザーボード３１と、テスタマザーボード３１のスロットに装着された複数の検査回路ボード３２と、全てのテスタ３０に共通のテスタ制御部１００を有している。検査回路ボード３２は筐体３３に収容されている。テスタマザーボード３１は、底部に複数の端子（図示せず）が設けられており、中間接続部材４０を介してプローブカード５０に接続される。検査回路ボード３２は、テスタマザーボード３１に接続され、種々のテスト項目に応じてウエハＷのＤＵＴに電気的信号を与えて検査するものである。
【００２０】
プローブカード５０は、上面に複数の端子（図示せず）を有する板状の基部５１と、基部５１の下面に設けられた複数のプローブ５２とを有している。複数のプローブ５２は、ウエハＷに形成されている全てのＤＵＴの全ての電極に一括して接触されるようになっている。ウエハＷはチャックトップ（ステージ）６０に吸着された状態でアライナー２２により位置決めされ、複数のＤＵＴのそれぞれに、対応するプローブが接触する。
【００２１】
中間接続部材４０は、テスタ３０とプローブカード５０とを電気的に接続するためのものであり、ポゴフレーム４１と、ポゴブロック４２とを有する。
【００２２】
ポゴブロック４２は、テスタ３０におけるテスタマザーボード３１の端子と、プローブカード５０における基部５１の端子とを接続する。
【００２３】
テスタマザーボード３１とポゴフレーム４１との間にはシール部材７１が設けられ、ポゴフレーム４１とプローブカード５０との間にはシール部材７２が設けられている。そして、テスタマザーボード３１と中間接続部材４０との間の空間が真空引されることにより、シール部材７１を介して中間接続部材４０がテスタマザーボード３１に吸着される。また、中間接続部材４０とプローブカード５０との間の空間が真空引きされることにより、シール部材７２を介してプローブカード５０が中間接続部材４０（ポゴフレーム４１）に吸着される。また、チャックトップ６０の上面にはウエハＷを囲繞するようにシール部材７３が設けられている。ウエハＷに形成されているＤＵＴの電気特性の検査の際には、各段に設けられたアライナー２２によりチャックトップ６０を上昇させて、プローブカード５０のプローブ５２をウエハＷに形成されたＤＵＴの電極に接触させる。それとともに、シール部材７３を中間接続部材４０のポゴフレーム４１に当接させて、シール部材７３で囲繞された空間を真空引きすることにより、チャックトップ６０が吸着される。
【００２４】
テスタ３０の検査回路ボード３２には、測定部を構成する複数の測定機能部（ＭＦＰ）３４と、各測定機能部３４に対応して設けられた複数のタイムシフトコントローラ（ＴＳＣ）３５が搭載されている（図５参照）。１つの測定機能部３４は１つまたは複数のＤＵＴに電気的信号を与えるようになっている。
【００２５】
図５はテスタ３０の回路構成の一例を示すブロック図である。この図に示すように、テスタ制御部１００には、タイムシフトコントローラ３５を経由して複数の測定機能部３４が接続されている。上述したように、測定機能部３４には、テスタマザーボード３１、中間接続部材４０、プローブカード５０を介して、１または複数のＤＵＴ７０が接続されている。ＤＵＴ７０は複数の測定機能部３４にそれぞれ対応して、複数のグループ（Ｇｒ１、Ｇｒ２、・・・、Ｇｒｎ）に分かれている。そして、複数の検査回路ボード３２に搭載された測定機能部３４のそれぞれが、対応するグループのＤＵＴ７０に電気的信号を与えることにより、ウエハＷに形成された全てのＤＵＴ７０に電気的信号を与えることができるようになっている。
【００２６】
テスタ制御部１００は、テスタ３０の全体の制御を行うものであり、図６に示すように、主制御部１０１と、入力装置１０２と、出力装置１０３と、表示装置１０４と、記憶装置１０５と、外部インターフェイス１０６と、これらを互いに接続するバス１０７とを備えている。主制御部１０１は、ＣＰＵ１１１、ＲＡＭ１１２およびＲＯＭ１１３を有している。記憶装置１０５は、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体に対する情報の記録および読み取りを行うようになっている。記憶媒体としては、例えばハードディスク、光ディスク、フラッシュメモリのような半導体メモリ等を挙げることができる。記憶媒体には、プローバにおける処理レシピ等が記憶されている。テスタ制御部１００では、ＣＰＵ１１１が、ＲＡＭ１１２を作業領域として用いて、ＲＯＭ１１３または記憶装置１０５の記憶媒体に格納されたプログラムを実行することにより制御を実行する。例えば、テスタ制御部１００は、ユーザーのテスト（検査）内容に従い、測定機能部３４へ測定命令を発する。また、テスタ制御部１００は、ＤＵＴ７０のグループごとに測定開始タイミングを変更する指令をタイムシフトコントローラ３５に与える。本例では、複数の測定機能部３４に対応して、ＤＵＴ７０のグループ分けがなされている。
【００２７】
測定機能部３４は、１または複数のＤＵＴに対して所定の電流波形を与えてＤＵＴを測定するための任意波形発生機能、波形判定機能、電源電圧印加、電流測定機能等を有する。測定機能部３４には、電源（図示せず）から電力が供給される。
【００２８】
タイムシフトコントローラ３５は、テスタ制御部１００の指令に基づいて、ＤＵＴ７０の複数のグループの測定タイミングを変更する機能を有する。
【００２９】
ＤＵＴの電気的測定においては、時間の経過とともに消費電流が変化する電流波形が与えられ、一部の期間でピーク電流となる。全てのＤＵＴに対して同時に測定を開始すると、ピーク電流が重なり最大電流が大きくなる。このため、ＤＵＴ７０のグループ分けを行い、テスタ制御部１００がタイムシフトコントローラ３５に指令を与え、グループごとに測定開始タイミングをずらして、ＤＵＴ７０のグループの消費電流のピークが時間的に重ならないようにする。
【００３０】
測定開始タイミングをシフトさせる際のＤＵＴのグループ分けは、テスタ制御部１００で行うこともできる。図５では、測定機能部３４ごとにグループ分けしているが、テスタ制御部１００により、例えば、測定機能部３４に対応するＤＵＴをさらに複数のグループに分けることも、２つ以上の測定機能部３４に対応するＤＵＴを一つのグループにすることもできる。
【００３１】
このように構成される検査システム１０においては、各検査装置２０において、中間接続部材４０とテスタマザーボード３１を位置合わせし、シール部材７１を介してこれらを真空吸着させる。また、プローブカード５０の基部５１と中間接続部材４０を位置合わせし、シール部材７２を介してこれらを真空吸着させる。
【００３２】
この状態で、搬送部１４内の搬送機構１９によりローダ部１３のウエハＷを取り出し、検査を行う検査装置２０に位置したアライナー２２上のチャックトップ６０に受け渡す。そして、アライナー２２によりウエハＷのＸＹθ方向の位置合わせを行った後、アライナー２２を上昇させて、プローブカード５０の複数のプローブ５２をウエハＷに形成されたＤＵＴの電極に一括して接触させる。それとともに、シール部材７３を中間接続部材４０のポゴフレーム４１に当接させて、シール部材７３で囲繞された空間を真空引きすることにより、チャックトップ６０を吸着させる。この状態で、テスタ３０により、ウエハＷに形成されたＤＵＴの電気的特性を検査する。
【００３３】
テスタ３０において、テスタ制御部１００は、ユーザーのテスト内容に従い、測定機能部３４へ測定命令を発し、測定機能部３４はＤＵＴに対し所定波形の電気的信号を与える。
【００３４】
従来は、例えば図７に示すように、テスタ制御部１００には、複数の測定機能部３４が直接接続されており、テスタ制御部１００は、これら複数の測定機能部３４に対して測定命令を発し、複数の測定機能部３４に対応する、複数のグループ（Ｇｒ１、Ｇｒ２、・・・、Ｇｒｎ）のＤＵＴに対して同じ測定を同時に行っていた。すなわち、ウエハＷに形成された全てのＤＵＴに対し、同じ波形の電気信号が同時に与えられていた。
【００３５】
このとき、ＤＵＴに流す消費電流は、測定内容によって異なるが、時間の経過とともに変化し、一部の期間で最大となる（以下、この時の電流をピーク電流と記す）。そのときのＧｒ１〜ＧｒｎのＤＵＴの経過時間による消費電流、およびそれらの総和の変化の例を図８に示す。ピーク電流は通常時の平均電流に対し数倍となり、図８に示すように、Ｇｒ１〜ＧｒｎのＤＵＴに流す消費電流の総和は、ピーク電流×ｎ倍のピーク（最大値）を持つことになる（以下、消費電流の総和が最大となる時の電流をトータルピーク電流と記す）。
【００３６】
このように、全てのＤＵＴのピーク電流が重なると、ウエハＷの発熱が大きくなり、ウエハＷが載置されたチャックトップ（ステージ）の吸熱能力を超えてしまう場合が生じる。また、テスタ３０の電源として、トータルピーク電流を考慮した大きな電源が必要となり、テスタ３０のコストおよびサイズへ影響を与える。
【００３７】
そこで、本実施形態では、図５に示すように、タイムシフトコントローラ３５を設け、テスタ制御部１００からの指令により、ＤＵＴグループごとに（本例では、測定機能部３４に対応するＤＵＴごとに）測定開始タイミングを変更させて、複数のＤＵＴグループに流す消費電流のピークが時間的に重ならないようにする。
【００３８】
このとき、テスタ制御部１００は、事前に少量のＤＵＴの測定を実施し、テスト全体の消費電流の傾向を取得する。そして、テスタ制御部１００にて、取得した電流値から被検査デバイスを全て同時に測定したときの消費電流予想を行う。これに基づいて、テスタ制御部１００は、グループ分けされたＤＵＴ７０に対して、トータルの最大電流が各グループのピーク電流の和より小さくなるように、グループごとに測定開始タイミングを変更する指令をタイムシフトコントローラ３５に与える。このとき、テスタ制御部１００は、上記消費電流予想に基づいて、測定開始タイミングをシフトさせる際のＤＵＴのグループ分け自体を行うこともできる。例えば、測定機能部３４に対応するＤＵＴをさらに複数のグループに分ける、または、２つ以上の測定機能部３４に対応するＤＵＴを一つのグループにする等である。
【００３９】
図９は、グループごとに測定開始タイミングを変更して複数のＤＵＴグループに流す消費電流のピークをずらす例を示す図である。図９の例では、３つのグループＧｒ１、Ｇｒ２、Ｇｒ３のＤＵＴにＩ１，Ｉ２、Ｉ３の３段階の電流値を有する電流波形（Ｉ２＝Ｉ１×２、Ｉ３＝Ｉ１×３）を、タイムシフトコントローラ３５により開始タイミングをシフトさせて与える場合を示している。ピーク電流はＩ３である。Ｇｒ１、Ｇｒ２、Ｇｒ３のＤＵＴに対し、同じ波形の電気信号を同時に与える場合には、トータルピーク電流はＩ３×３となる。これに対して、本例では、Ｇｒ１、Ｇｒ２、Ｇｒ３のＤＵＴの測定タイミングを適切にずらすことにより、ピーク電流が時間的に重ならないようにすることができ、トータルピーク電流をＩ２×３まで減少させることができる。この値は、Ｇｒ１、Ｇｒ２、Ｇｒ３のＤＵＴに対し、同じ波形の電気信号を同時に与える場合のトータルピーク電流の３分の２である。
【００４０】
このように、本実施形態によれば、ＤＵＴを複数のグループに分割し、グループごとに測定開始タイミングを変更し、グループごとに消費電流のピークが時間的に重ならないようにする。これにより、ウエハの最大消費電力を低減させることができ、ウエハの発熱を抑制することができる。また、このようなトータルピーク電流値の低減により、テスタに搭載する電源を小さくすることができ、装置コストおよび装置サイズの低減が可能である。
【００４１】
また、ＤＵＴのグループ分けを細分化することにより、細かな消費電力の制御が可能であり、発熱抑制効果をより高めることができ、かつ電源をより小さくすることができる。
【００４２】
本実施形態のように、ＤＵＴのグループ分けを行い、グループごとに測定開始タイミングを変更すると、トータルの測定時間が長くなる。これに対しては、相対的に消費電力が大きい測定項目のみ測定タイミングの調整を行い、他の測定は全ＤＵＴを同時に測定する通常の測定を行うという手法をとることで、測定時間の延長時間を減らすことができる。
【００４３】
以上、実施形態について説明したが、今回開示された実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の特許請求の範囲およびその主旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
【００４４】
例えば、上記実施形態では、複数の検査装置を有する検査システム内の検査装置について説明したが、これに限らず、単体の検査装置であってもよい。
【００４５】
図１０に、単体の検査装置の例を示す。図１０に示すように、検査装置２００は、ウエハＷを搬送する搬送領域を形成するローダ室２０１と、ウエハＷに形成されたＤＵＴの電気的特性の検査を行う検査室２０２と、検査室２０２の上方に設けられたテスタ２２０とを有する。検査室２０２内には、アライナー２０４と、ステージ２０６、ポゴフレーム２０９、アライメント機構２１０が設けられ、ポゴフレーム２０９にはプローブカード２０８が装着される。ステージ２０６は、ローダ室２０１から搬入されたウエハを載置する。ポゴフレーム２０９は、ステージ２０６の上方に設けられている。アライナー２０４は、ステージ２０６をＸ、Ｙ、Ｚ、θ方向に位置調整し、アライメント機構２１０は、アライナー２０４と協働してプローブカード２０８の複数のプローブとウエハＷに形成された複数のＤＵＴの電極との相対位置を合わせる。テスタ２２０は、上記実施形態のテスタ３０と同様に構成され、種々のテスト項目に応じて、ポゴフレーム２０９、プローブカード２０８を経由してウエハＷのＤＵＴに電気信号を与える。
【００４６】
このように構成された検査装置２００においても、ウエハＷに形成された全てのＤＵＴに対して一括してプローブをコンタクトする際に、ＤＵＴをグループ分けし、グループごとに測定開始のタイミングをずらすことが可能である。また、検査装置２００は、ウエハに形成された全てのＤＵＴに対してプローブを一括コンタクトして検査するのみならず、一部のＤＵＴのみにコンタクトして検査することができ、このような検査を繰り返して、全てのＤＵＴの検査を行うこともできる。このような場合でも、一度に複数のＤＵＴの検査を行う場合には、ＤＵＴをグループ分けし、グループごとに測定開始のタイミングをずらすことが可能である。
【００４７】
また、上記実施形態では、複数の測定機能部３４に対応して複数のタイムシフトコントローラ３５を設けた場合について説明したが、タイムシフトコントローラ３５は、測定開始タイミングを調整するＤＵＴのグループごとに設けても、一つのタイミングシフトコントローラで全てのＤＵＴのグループの測定開始タイミングを調整してもよい。
【符号の説明】
【００４８】
１０；検査システム
１１；筐体
１２；検査部
１３；ローダ部
１４；搬送部
１５；検査室（セル）
２０；検査装置
３０，２２０；テスタ
３４；測定機能部
３５；タイムシフトコントローラ
４０；中間接続部材
５０；プローブカード
５２；プローブ
６０；チャックトップ（ステージ）
１００；テスタ制御部
Ｗ；ウエハ（被検査体）
【図１】
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【図２】
2020106388.tif 000004
【図３】
2020106388.tif 000005
【図４】
2020106388.tif 000006
【図５】
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【図６】
2020106388.tif 000008
【図７】
2020106388.tif 000009
【図８】
2020106388.tif 000010
【図９】
2020106388.tif 000011
【図１０】
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