(57)【要約】【課題】被測定物の高周波特性をより高精度で且つより高速に測定することができるフライングプローブ用ヘッドを提供する。【解決手段】本発明に係るフライングプローバ用ヘッドは、ヘッド本体部と、グランド導体と信号導体とを備える被測定物の高周波特性を測定するための複数の高周波プローブと、高周波プローブから出力された測定信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換部と、を備え、複数の高周波プローブは、グランド導体に接触可能なグランド端子と、信号導体に接触可能な信号端子とをそれぞれ異なる端子配置で備え、複数の高周波プローブとＡ／Ｄ変換部とは、相対位置が固定されるようにヘッド本体部に取り付けられている。【選択図】図２
2020106365.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッド本体部と、
グランド導体と信号導体とを備える被測定物の高周波特性を測定するための複数の高周波プローブと、
前記高周波プローブから出力された測定信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換部と、
を備え、
前記複数の高周波プローブは、前記グランド導体に接触可能なグランド端子と、前記信号導体に接触可能な信号端子とをそれぞれ異なる端子配置で備え、
前記複数の高周波プローブと前記Ａ／Ｄ変換部とは、相対位置が固定されるように前記ヘッド本体部に取り付けられている、フライングプローバ用ヘッド。
【請求項２】
前記Ａ／Ｄ変換部は、高周波スイッチを介して前記複数の高周波プローブのいずれかに選択的に接続される、請求項１に記載のフライングプローバ用ヘッド。
【請求項３】
前記Ａ／Ｄ変換部は、前記複数の高周波プローブに対応するように複数設けられている、請求項１に記載のフライングプローバ用ヘッド。
【請求項４】
前記被測定物に接触する高周波プローブを変更するように前記ヘッド本体部を移動させる駆動部を更に備える、請求項１〜３のいずれか１つに記載のフライングプローバ用ヘッド。
【請求項５】
前記駆動部は、前記ヘッド本体部を軸回りに回転させるように構成され、
前記複数の高周波プローブは、前記ヘッド本体部の外周面に前記ヘッド本体部の回転方向に間隔を空けて取り付けられている、請求項４に記載のフライングプローバ用ヘッド。
【請求項６】
前記複数の高周波プローブ及び前記Ａ／Ｄ変換部に対して相対位置が固定されるように前記ヘッド本体部に取り付けられ、前記Ａ／Ｄ変換部で変換されたデジタル信号のデータ量を減らす処理を行う第１信号処理部と、
前記第１信号処理部から出力されたデジタル信号が入力されるフレキシブルケーブルと、
を更に備える、請求項１〜５のいずれか１つに記載のフライングプローバ用ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１つに記載の複数のフライングプローバ用ヘッドと、
前記複数のフライングプローバ用ヘッドから出力されたデジタル信号が入力される第２信号処理部と、
を備えるフライングプローバ。
【請求項８】
前記複数のフライングプローバ用ヘッドのそれぞれに基準信号を出力する基準信号源を更に備える、請求項７に記載のフライングプローバ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線基板などの被測定物の電気的特性を測定するフライングプローバに関し、特にフライングプローバが備えるヘッドの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のフライングプローバとして、例えば、特許文献１に記載の装置が知られている。特許文献１には、測定信号をＡ／Ｄ変換部でデジタル信号に変換した後、当該デジタル信号をケーブルを介して測定器本体に伝送するように構成された装置が記載されている。この装置によれば、ケーブルにはデジタル信号が伝送されるようにしているので、ケーブルが変形した場合でも、信号の干渉等を抑えて、信号波形の劣化を抑えることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平４−９０９６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
被測定物の高周波特性をより高精度に測定するには、被測定物の信号導体に接触可能な信号端子と被測定物のグランド導体に接触可能なグランド端子とを備える高周波プローブを用いることが有効である。
【０００５】
しかしながら、被測定物の信号導体とグランド導体との配置（例えば、間隔）は様々である。このため、被測定物の信号導体とグランド導体との配置に適合する端子配置を備える高周波プローブを選択して使用する必要がある。すなわち、従来のフライングプローバでは、被測定物の信号導体とグランド導体との配置が異なる毎に、プローブを交換する必要がある。
【０００６】
従って、従来のフライングプローバは、被測定物の高周波特性をより高精度で且つより高速に測定するという観点において、未だ改善の余地がある。
【０００７】
本発明の目的は、前記課題を解決することにあって、被測定物の高周波特性をより高精度で且つより高速に測定することができるフライングプローバ用ヘッド及びフライングプローバを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
本発明の一態様に係るフライングプローバ用ヘッドは、ヘッド本体部と、
グランド導体と信号導体とを備える被測定物の高周波特性を測定するための複数の高周波プローブと、
前記高周波プローブから出力された測定信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換部と、
を備え、
前記複数の高周波プローブは、前記グランド導体に接触可能なグランド端子と、前記信号導体に接触可能な信号端子とをそれぞれ異なる端子配置で備え、
前記複数の高周波プローブと前記Ａ／Ｄ変換部とは、相対位置が固定されるように前記ヘッド本体部に取り付けられている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係るフライングプローバ用ヘッドによれば、被測定物の高周波特性をより高精度で且つより高速に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態に係るフライングプローバの概略構成に示す平面図である。
【図２】図１のフライングプローバに用いられるヘッドの概略構成を示す斜視図である。
【図３Ａ】高周波プローブの先端部の概略構成例を示す側面図である。
【図３Ｂ】高周波プローブの先端部の概略構成例を示す側面図である。
【図３Ｃ】高周波プローブの先端部の概略構成例を示す側面図である。
【図３Ｄ】高周波プローブの先端部の概略構成例を示す側面図である。
【図４】図２のヘッドのブロック図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係るフライングプローバの概略構成を示す側面図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係るフライングプローバの概略構成を示す側面図である。
【図７】本発明の第４実施形態に係るフライングプローバの概略構成を示すブロック図である。
【図８】本発明の第５実施形態に係るフライングプローバの概略構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の一態様に係るフライングプローバ用ヘッドは、ヘッド本体部と、
グランド導体と信号導体とを備える被測定物の高周波特性を測定するための複数の高周波プローブと、
前記高周波プローブから出力された測定信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換部と、
を備え、
前記複数の高周波プローブは、前記グランド導体に接触可能なグランド端子と、前記信号導体に接触可能な信号端子とをそれぞれ異なる端子配置で備え、
前記複数の高周波プローブと前記Ａ／Ｄ変換部とは、相対位置が固定されるように前記ヘッド本体部に取り付けられている。
【００１２】
この構成によれば、グランド端子と信号端子との端子配置が異なる複数の高周波プローブをヘッド本体部が備えているので、被測定物の信号導体とグランド導体との配置に適合する端子配置を備える高周波プローブに、より高速に変更することができる。これにより、被測定物の高周波特性をより高速に測定することができる。
【００１３】
また、従来のフライングプローバでは、プローブを取り替える度に、プローブの特性をキャリブレーションする必要がある。これに対して、前記構成によれば、複数の高周波プローブとＡ／Ｄ変換部との相対位置が固定されているので、最初に各高周波プローブに対してキャリブレーションするだけでよく、再度キャリブレーションする必要性を無くすことができる。また、前記構成によれば、複数の高周波プローブとＡ／Ｄ変換部との間の変形が抑えられるので、信号波形の劣化を一層抑えることができる。従って、被測定物の高周波特性をより高精度に測定することができる。
【００１４】
なお、前記Ａ／Ｄ変換部は、高周波スイッチを介して前記複数の高周波プローブのいずれかに選択的に接続されてもよい。この構成によれば、被測定物の高周波特性の測定をより少ない部品点数で実現することができる。
【００１５】
また、前記Ａ／Ｄ変換部は、前記複数の高周波プローブに対応するように複数設けられてもよい。この構成によれば、Ａ／Ｄ変換部を高周波スイッチを介して複数の高周波プローブのいずれかに選択的に接続する構成に比べて、被測定物の高周波特性をより高精度に測定することができる。
【００１６】
また、前記被測定物に接触する高周波プローブを変更するように前記ヘッド本体部を移動させる駆動部を更に備えてもよい。なお、当該駆動部は、フライングプローバ用ヘッドとは別に設けられてもよい。
【００１７】
また、前記駆動部は、前記ヘッド本体部を軸回りに回転させるように構成され、前記複数の高周波プローブは、前記ヘッド本体部の外周面に前記ヘッド本体部の回転方向に間隔を空けて取り付けられてもよい。この構成によれば、ヘッド本体部の移動スペースをより小さくすることができる。
【００１８】
また、前記複数の高周波プローブ及び前記Ａ／Ｄ変換部に対して相対位置が固定されるように前記ヘッド本体部に取り付けられ、前記Ａ／Ｄ変換部で変換されたデジタル信号のデータ量を減らす処理を行う第１信号処理部と、前記第１信号処理部から出力されたデジタル信号が入力されるフレキシブルケーブルと、を更に備えてもよい。この構成によれば、外部信号処理部によってフレキシブルケーブルを伝送されるデジタル信号のデータ量を減らすことで、フレキシブルケーブルの構成をより簡素化することができる。
【００１９】
本発明の一態様に係るフライングプローバは、前記いずれか１つに記載の複数のフライングプローバ用ヘッドと、前記複数のフライングプローバ用ヘッドから出力されたデジタル信号が入力される第２信号処理部と、を備える。この構成によれば、被測定物の高周波特性をより高精度で且つより高速に測定することができる。
【００２０】
また、前記複数のフライングプローバ用ヘッドのそれぞれに基準信号を出力する基準信号源を更に備えてもよい。この構成によれば、複数のフライングプローバ用ヘッドの動作を基準信号に基づいて同期させることができ、被測定物の高周波特性をより高精度で測定することができる。
【００２１】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。
【００２２】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係るフライングプローバの概略構成を示す側面図である。
【００２３】
本第１実施形態に係るフライングプローバ１は、被測定物１００の高周波特性を測定し、評価するものである。被測定物１００は、例えば、集積回路、電子部品、プリント配線基板などである。本第１実施形態において、「高周波」とは、１００ＭＨｚ以上の周波数をいう。
【００２４】
図１に示すように、フライングプローバ１は、一対のヘッド（フライングプローバ用ヘッドともいう）２と、第２信号処理部の一例である外部信号処理部３とを備えている。
【００２５】
ヘッド２は、被測定物１００の高周波特性を測定し、測定データをデジタル信号として外部信号処理部３に出力するものである。本第１実施形態において、ヘッド２は、フレキシブルケーブル４を通じて前記デジタル信号を外部信号処理部３に出力するように構成されている。また、ヘッド２は、駆動部５に保持されている。駆動部５は、被測定物１００の主面に沿ったＸ方向及びＹ方向、並びに、被測定物１００の厚さ方向であるＺ方向にヘッド２を移動させるように構成されている。Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向は、互いに直交している。
【００２６】
外部信号処理部３には、ヘッド２から出力されたデジタル信号が入力される。また、外部信号処理部３には、自身が出力した高周波信号の反射特性や通過特性をデジタル変換した信号が入力される。外部信号処理部３は、入力されたデジタル信号に基づいて、被測定物１００の高周波特性の良否等の判定を行う。本第１実施形態において、外部信号処理部３は、ヘッド２及び駆動部５の駆動を制御する制御部（図示せず）を備えてもよい。
【００２７】
図２は、ヘッド２の概略構成を示す斜視図である。
【００２８】
図２に示すように、ヘッド２は、ヘッド本体部２１と、複数の高周波プローブ２２〜２５とを備えている。本第１実施形態において、ヘッド２は、１つのヘッド本体部２１と、４つの高周波プローブ２２〜２５とを備えている。
【００２９】
高周波プローブ２２〜２５は、ヘッド本体部２１にそれぞれ取り付けられている。本第１実施形態において、ヘッド本体部２１は、回転軸Ａ１を中心として回転可能に構成された円柱状の回転体２１Ａを備えている。４つの高周波プローブ２２〜２５は、回転体２１Ａの外周面に回転体２１Ａの回転方向に間隔を空けて（例えば、等間隔で）取り付けられている。図１に示すように、ヘッド本体部２１の回転体２１Ａは、被測定物１００の主面に対して回転軸Ａ１が傾斜するように駆動部５に保持されている。
【００３０】
駆動部５は、被測定物１００に接触する高周波プローブを変更するようにヘッド本体部２１を移動させるよう構成されている。本第１実施形態において、駆動部５は、ヘッド本体部２１の回転体２１Ａを、回転軸Ａ１を中心として軸回りに回転させるように構成されている。ヘッド本体部２１の回転体２１Ａが軸回りに回転することで、被測定物１００に接触する高周波プローブが変更される。本第１実施形態において、回転体２１Ａの回転動作は、外部信号処理部３の制御部（図示せず）によって制御される。当該制御部は、例えば、予め記憶されたシーケンスに基づいて、ヘッド２及び駆動部５の駆動、回転体２１Ａの回転動作を制御する。
【００３１】
高周波プローブ２２〜２５は、被測定物１００に接触して被測定物１００の高周波特性を測定するものである。高周波プローブ２２〜２５は、被測定物１００が備えるグランド導体（図示せず）に接触可能なグランド端子Ｇと、被測定物１００が備える信号導体（図示せず）に接触可能な信号端子Ｓとをそれぞれ異なる端子配置で備えている。「端子配置」とは、例えば、端子間のピッチ、３以上の端子の配列（順序）等を意味する。
【００３２】
図３Ａ〜図３Ｄは、高周波プローブ２２〜２５の先端部の概略構成例を示す側面図である。
【００３３】
図３Ａに示すように、高周波プローブ２２は、１つのグランド端子Ｇと１つの信号端子Ｓとを、ピッチＰ１の間隔で備えている。また、図３Ｂに示すように、高周波プローブ２３は、１つのグランド端子Ｇと１つの信号端子Ｓとを、ピッチＰ１とは異なるピッチＰ２の間隔で備えている。ピッチＰ１，Ｐ２は、高周波特性をより高精度に測定するため、５．０ｍｍ以下に設計されている。ピッチＰ１は、例えば、０．５ｍｍである。ピッチＰ２は、例えば、０．３ｍｍである。
【００３４】
また、図３Ｃに示すように、高周波プローブ２４は、２つの信号端子Ｓと、当該信号端子Ｓを挟んで対向する位置に２つのグランド端子Ｇとを備えている。２つの信号端子Ｓは、例えば、差動線路を構成している。また、図３Ｄに示すように、高周波プローブ２５は、１つの信号端子Ｓと、当該信号端子Ｓを挟んで対向する位置に２つのグランド端子Ｇとを備えている。
【００３５】
図４は、ヘッド２のブロック図である。
【００３６】
図４に示すように、ヘッド２は、高周波プローブ２２〜２５に接続される高周波スイッチ２６と、高周波スイッチ２６に接続されるＡ／Ｄ変換部２７と、Ａ／Ｄ変換部２７に接続される第１信号処理部の一例である内部信号処理部２８とを備えている。
【００３７】
高周波スイッチ２６は、Ａ／Ｄ変換部２７を高周波プローブ２２〜２５のいずれかに選択的に接続するものである。すなわち、Ａ／Ｄ変換部２７は、高周波スイッチ２６を介して高周波プローブ２２〜２５のいずれかに選択的に接続される。高周波スイッチ２６の切り替え動作は、外部信号処理部３の制御部（図示せず）によって制御される。本第１実施形態において、高周波スイッチ２６は、外部信号処理部３の制御部からの制御信号を内部信号処理部２８を介して受信し、当該制御信号に基づいて切り替え動作を行う。
【００３８】
Ａ／Ｄ変換部２７は、高周波プローブ２２〜２５の少なくとも１つから出力された測定信号をデジタル信号に変換する。高周波プローブ２２〜２５とＡ／Ｄ変換部２７とは、相対位置が固定されるようにヘッド本体部２１に取り付けられている。本第１実施形態において、Ａ／Ｄ変換部２７は、ヘッド本体部２１に内蔵されている。
【００３９】
内部信号処理部２８は、Ａ／Ｄ変換部２７で変換されたデジタル信号のデータ量を減らす処理を行うものである。内部信号処理部２８は、例えば、ＦＰＧＡ（フィールド・プログラマブル・ゲート・アレイ）、ＩＣ（集積回路）、ＣＰＵ（中央演算処理装置）、ＤＳＰ（デジタル・シグナル・プロセッサ）などである。内部信号処理部２８は、高周波プローブ２２〜２５及びＡ／Ｄ変換部２７に対して相対位置が固定されるようにヘッド本体部２１に取り付けられている。本第１実施形態において、内部信号処理部２８は、ヘッド本体部２１に内蔵されている。内部信号処理部２８から出力されたデジタル信号は、フレキシブルケーブル４に入力され、当該フレキシブルケーブル４を通じて外部信号処理部３に伝送される。なお、内部信号処理部２８は、外部信号処理部３の機能を有してもよい。
【００４０】
また、本第１実施形態において、フレキシブルケーブル４の内部は、外部信号処理部３からヘッド２に電力を供給するための電源線（図示せず）が配線されている。
【００４１】
本第１実施形態によれば、グランド端子Ｇと信号端子Ｓとの端子配置が異なる複数の高周波プローブ２２〜２５をヘッド本体部２１が備えている。この構成によれば、被測定物１００の信号導体とグランド導体との配置に適合する端子配置を備える高周波プローブに、より高速に変更することができる。従って、被測定物１００の高周波特性をより高速に測定することができる。
【００４２】
また、本第１実施形態によれば、高周波プローブ２２〜２５とＡ／Ｄ変換部２７との相対位置が固定されているので、最初に各高周波プローブに対してキャリブレーションすることで、再度キャリブレーションする必要性を無くすことができる。また、高周波プローブ２２〜２５とＡ／Ｄ変換部２７との間の変形が抑えられるので、信号波形の劣化を一層抑えることができる。従って、被測定物１００の高周波特性をより高精度に測定することができる。
【００４３】
また、本第１実施形態によれば、Ａ／Ｄ変換部２７は、高周波スイッチ２６を介して高周波プローブ２２〜２５のいずれかに選択的に接続されているので、被測定物１００の高周波特性の測定をより少ない部品点数で実現することができる。
【００４４】
また、本第１実施形態によれば、駆動部５は、ヘッド本体部２１を軸回りに回転させるように構成されている。また、高周波プローブ２２〜２５は、ヘッド本体部２１の外周面にヘッド本体部２１の回転方向に間隔を空けて取り付けられている。この構成によれば、ヘッド本体部２１の移動スペースをより小さくすることができる。
【００４５】
また、本第１実施形態によれば、内部信号処理部２８は、高周波プローブ２２〜２５及びＡ／Ｄ変換部２７に対して相対位置が固定されるようにヘッド本体部２１に取り付けられている。また、内部信号処理部２８は、Ａ／Ｄ変換部２７で変換されたデジタル信号のデータ量を減らす処理を行う。この構成によれば、内部信号処理部２８によってフレキシブルケーブル４を伝送されるデジタル信号のデータ量を減らすことで、フレキシブルケーブル４の構成をより簡素化することができる。
【００４６】
＜第２実施形態＞
図５は、本発明の第２実施形態に係るフライングプローバの概略構成を示す側面図である。
【００４７】
本第２実施形態に係るフライングプローバ１Ａが第１実施形態に係るフライングプローバ１と異なる点は、外部信号処理部３が基準信号源３１を備え、基準信号源３１から出力される基準信号が一対のヘッド２に伝送されるように構成されている点である。
【００４８】
本第２実施形態において、基準信号源３１は、フレキシブルケーブル４１を介して一対のヘッド２のそれぞれに接続されている。基準信号源３１は、一対のヘッド２の動作を同期させる基準信号を生成し、フレキシブルケーブル４１を介して一対のヘッド２のそれぞれに伝送する。
【００４９】
本第２実施形態によれば、一対のヘッド２の動作を基準信号に基づいて同期させることができるので、被測定物１００の高周波特性をより高精度で測定することができる。
【００５０】
＜第３実施形態＞
図６は、本発明の第３実施形態に係るフライングプローバの概略構成を示す側面図である。
【００５１】
本第３実施形態に係るフライングプローバ１Ｂが第１実施形態に係るフライングプローバ１と異なる点は、ヘッド本体部２１を円弧状又は球面状に移動させるように駆動部５が構成されている点である。なお、図６においては、他のヘッド２及び高周波プローブ２５の図示を省略している。
【００５２】
本第３実施形態においては、駆動部５がヘッド本体部２１を円弧状又は球面状に移動させることで、被測定物１００の主面に対する高周波プローブ２２〜２５の高さ位置を変えることができる。その結果、被測定物１００に接触する高周波プローブを変更することができる。また、この構成によれば、被測定物１００の主面に対して高周波プローブ２２〜２５を垂直方向から接触させることができる。
【００５３】
＜第４実施形態＞
図７は、本発明の第４実施形態に係るフライングプローバの概略構成を示すブロック図である。
【００５４】
本第４実施形態に係るフライングプローバ１Ｃが第１実施形態に係るフライングプローバ１と異なる点は、高周波スイッチ２６に代えて、高周波プローブ２２〜２５に対応するように４つのＡ／Ｄ変換部２７が設けられている点である。
【００５５】
本第４実施形態によれば、Ａ／Ｄ変換部２７を高周波スイッチ２６を介して高周波プローブ２２〜２５のいずれかに選択的に接続する構成に比べて、被測定物１００の高周波特性をより高精度に測定することができる。
【００５６】
＜第５実施形態＞
図８は、本発明の第５実施形態に係るフライングプローバの概略構成を示すブロック図である。
【００５７】
本第５実施形態に係るフライングプローバ１Ｄが第１実施形態に係るフライングプローバ１と異なる点は、Ａ／Ｄ変換部２７に代えてＡＤ／ＤＡ変換部２９を備え、高周波スイッチ２６とＡＤ／ＤＡ変換部２９の間に周波数変換部３０を設けている点である。
【００５８】
ＡＤ／ＤＡ変換部２９は、Ａ／Ｄ変換部２７とＤ／Ａ変換部の両方の機能を有するものである。すなわち、ＡＤ／ＤＡ変換部２９は、高周波プローブ２２〜２５の少なくとも１つから出力された測定信号をデジタル信号に変換するとともに、外部信号処理部３から出力されたデジタル信号をアナログ信号に変換するものである。
【００５９】
周波数変換部３０は、ＡＤ／ＤＡ変換部２９のサンプリングレートに適合するように、ＡＤ／ＤＡ変換部２９に対する入出力信号の周波数を変換するものである。より具体的には、周波数変換部３０は、ＡＤ／ＤＡ変換部２９に入力されるアナログ信号をダウンコンバートするとともに、ＡＤ／ＤＡ変換部２９から出力されるアナログ信号をアップコンバートするものである。
【００６０】
本第５実施形態によれば、ＡＤ／ＤＡ変換部２９を備えることにより、外部信号処理部３から出力される信号をデジタル信号にすることができるので、フレキシブルケーブル４にはデジタル信号のみが伝送されるようにすることができる。これにより、フレキシブルケーブル４が変形した場合でも、信号の干渉等をより確実に抑えて、信号波形の劣化を抑えることができるので、被測定物１００の高周波特性をより高精度に測定することができる。
【００６１】
本第５実施形態によれば、周波数変換部３０を備えることにより、ＡＤ／ＤＡ変換部２９としてサンプリングレートの低いものを使用することができる。また、被測定物１００のより高い周波数特性を測定することができる。
【００６２】
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、前記では、フライングプローバ１が一対のヘッド２を備えるものとしたが、本発明はこれに限定されない。フライングプローバ１は、複数のヘッド２を備えていればよく、二対以上のヘッド２を備えていてもよい。
【００６３】
また、前記では、ヘッド２が４つの高周波プローブ２２〜２５を備えるものとしたが、本発明はこれに限定されない。ヘッド２は、複数の高周波プローブを備えていればよく、２つ、３つ、又は５つ以上の高周波プローブを備えていてもよい。
【００６４】
また、前記では、高周波プローブ２２〜２５を取り付ける回転体２１Ａの形状が円柱状であるものとしたが、本発明はこれに限定されない。回転体２１Ａの形状は、例えば、多角柱状であってもよい。
【００６５】
また、前記では、被測定物１００に接触する高周波プローブを変更するようにヘッド本体部２１を移動させる駆動部５を、ヘッド２とは別に設けるものとしたが、本発明はこれに限定されない。例えば、駆動部５は、ヘッド２が備えてもよい。
【００６６】
また、前記では、フレキシブルケーブル４にはデジタル信号が伝送されるものとしたが、本発明はこれに限定されない。例えば、デジタル信号は、ヘッド２と外部信号処理部３との間で無線通信されてもよい。
【００６７】
なお、前記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【００６８】
本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施の形態に関連して充分に記載されているが、この技術に熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。
【符号の説明】
【００６９】
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ  フライングプローバ
２      ヘッド（フライングプローバ用ヘッド）
３      外部信号処理部
４，４１  フレキシブルケーブル
５      駆動部
２１      ヘッド本体部
２１Ａ    回転体
２２，２３，２４，２５  高周波プローブ
２６      高周波スイッチ
２７      Ａ／Ｄ変換部
２８      内部信号処理部
２９      ＡＤ／ＤＡ変換部
３０      周波数変換部
３１      基準信号源
１００      被測定物
Ａ１  回転軸
Ｇ      グランド端子
Ｓ      信号端子
【図１】
2020106365.tif 000003
【図２】
2020106365.tif 000004
【図３Ａ】
2020106365.tif 000005
【図３Ｂ】
2020106365.tif 000006
【図３Ｃ】
2020106365.tif 000007
【図３Ｄ】
2020106365.tif 000008
【図４】
2020106365.tif 000009
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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