(57)【要約】【課題】円筒状スパッタリングターゲットがシート状緩衝材で梱包されている梱包体の製造方法であって、円筒状スパッタリングターゲットを横たえた状態のままで容易に開梱することが可能な梱包体の製造方法を提供する。【解決手段】円筒状スパッタリングターゲットがシート状緩衝材で梱包されている梱包体の製造方法であって、円筒状スパッタリングターゲットの円筒部を、少なくとも２層のシート状緩衝材で覆い、該円筒状スパッタリングターゲットの円筒部の周方向を含む断面において、シート状緩衝材の両端部を、該円筒部の円周の半分以下の長さで重なり合わせるか、突き合わせることにより梱包する、梱包体の製造方法。【選択図】図１
2020050950.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状スパッタリングターゲットがシート状緩衝材で梱包されている梱包体の製造方法であって、円筒状スパッタリングターゲットの円筒部を、少なくとも２層のシート状緩衝材で覆い、該円筒状スパッタリングターゲットの円筒部の周方向を含む断面において、シート状緩衝材の両端部を、該円筒部の円周の半分以下の長さで重なり合わせるか、突き合わせることにより梱包する、梱包体の製造方法。
【請求項２】
前記シート状緩衝材が、折り畳まれることによって２層またはそれ以上の層を形成している、請求項１に記載の梱包体の製造方法。
【請求項３】
前記シート状緩衝材の両端部が、それらの一方の端部の外側面と他方の端部の内側面とが接触するように重なり合わせる、請求項１または２に記載の梱包体の製造方法。
【請求項４】
前記シート状緩衝材の両端部が、それらの一方の端部の内側面と他方の端部の内側面とが接触するように重なり合わせる、請求項１または２に記載の梱包体の製造方法。
【請求項５】
前記シート状緩衝材の両端部を、前記円筒状スパッタリングターゲットの長さ方向において非連続的に、互いに固定する、請求項１〜４のいずれかに記載の梱包体の製造方法。
【請求項６】
前記シート状緩衝材の両端部を、テープ、接着剤、及び粘着剤からなる群より選択される少なくとも１つにより、互いに固定する、請求項１〜５のいずれかに記載の梱包体の製造方法。
【請求項７】
前記シート状緩衝材が、気泡緩衝材である、請求項１〜６のいずれかに記載の梱包体の製造方法。
【請求項８】
前記円筒状スパッタリングターゲットが、５００ｍｍ以上の長さを有し、２０ｋｇ以上の質量を有する、請求項１〜７のいずれかに記載の梱包体の製造方法。
【請求項９】
前記円筒状スパッタリングターゲットと前記シート状緩衝材との間に保護フィルムを存在させる、請求項１〜８のいずれかに記載の梱包体の製造方法。
【請求項１０】
円筒状スパッタリングターゲットがシート状緩衝材で梱包されている梱包体であって、円筒状スパッタリングターゲットの円筒部が、少なくとも２層のシート状緩衝材で覆われており、該円筒状スパッタリングターゲットの円筒部の周方向を含む断面において、シート状緩衝材の両端部が、該円筒部の円周の半分以下の長さで重なり合っているか、突き合わさっている、梱包体。
【請求項１１】
前記シート状緩衝材が、折り畳まれることによって２層またはそれ以上の層を形成している、請求項１０に記載の梱包体。
【請求項１２】
前記シート状緩衝材の両端部が、それらの一方の端部の外側面と他方の端部の内側面とが接触することによって重なり合っている、請求項１０または１１に記載の梱包体。
【請求項１３】
前記シート状緩衝材の両端部が、それらの一方の端部の内側面と他方の端部の内側面とが接触することによって重なり合っている、請求項１０または１１に記載の梱包体。
【請求項１４】
前記シート状緩衝材の両端部が、前記円筒状スパッタリングターゲットの長さ方向において非連続的に、互いに固定されている、請求項１０〜１３のいずれかに記載の梱包体。
【請求項１５】
前記シート状緩衝材の両端部が、テープ、接着剤、及び粘着剤からなる群より選択される少なくとも１つにより、互いに固定されている、請求項１０〜１４のいずれかに記載の梱包体。
【請求項１６】
前記シート状緩衝材が、気泡緩衝材である、請求項１０〜１５のいずれかに記載の梱包体。
【請求項１７】
前記円筒状スパッタリングターゲットが、５００ｍｍ以上の長さを有し、２０ｋｇ以上の質量を有する、請求項１０〜１６のいずれかに記載の梱包体。
【請求項１８】
前記円筒状スパッタリングターゲットと前記シート状緩衝材との間に保護フィルムが存在する、請求項１０〜１７のいずれかに記載の梱包体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円筒状スパッタリングターゲットの梱包体の製造方法、より詳細には、円筒状スパッタリングターゲットがシート状緩衝材で梱包されている梱包体の製造方法、ならびにかかる梱包体に関する。
【背景技術】
【０００２】
円筒状スパッタリングターゲット（円筒型スパッタリングターゲットまたは回転スパッタリングターゲットとも称される）は、その本体部が円筒状の形状を有する（以下、円筒状の形状を有する本体部を円筒部とも言う）。円筒状スパッタリングターゲットを回転させながら円筒部の表面をスパッタリングすることにより、円筒状スパッタリングターゲットに対向させて搬送される被対象物上に、スパッタされた材料に由来する膜を形成することができる。
【０００３】
円筒状スパッタリングターゲットは、一般的に保護フィルムにより保護され、保護フィルムで保護された円筒状ターゲットはシート状緩衝材で梱包された状態で流通され、かかる状態で運搬・保管等される。円筒状スパッタリングターゲットは、シート状緩衝材で梱包することにより保護され、これにより、衝撃等によりスパッタリングターゲットの表面（特に、スパッタ面である円筒部表面）に傷が生じることが防止され得る。
【０００４】
より詳細には、図６に示すように、従来の円筒状スパッタリングターゲットの梱包体７０においては、円筒状スパッタリングターゲット６１は、１枚のシート状緩衝材６３を周方向Ｒに２周に巻いて（図示する態様では、判別し易いように円筒状スパッタリングターゲット６１とシート状緩衝材６３の間およびシート状緩衝材６３の層間に隙間を示す。かかる隙間は存在しても、しなくてもよい）、シート状緩衝材６３の周方向の外側端部Ｅ（長さ方向Ｌに沿って延在する巻き終わり端部）を、その下のシート状緩衝材６３に、長さ方向Ｌに亘ってテープ６７（片面に接着層を有する）で接着することにより固定して梱包される。なお、円筒状スパッタリングターゲット６１の長さ方向の両端部では、余分なシート状緩衝材６３を適宜折り畳んで固定し（図示せず）、円筒状スパッタリングターゲット６１が梱包される。シート状緩衝材６３としては、気泡緩衝材が使用される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した従来の円筒状スパッタリングターゲットの梱包体では、耐衝撃性（またはクッション性）を高めるために、シート状緩衝材は１周巻ではなく、図６（ｂ）に示すように２周巻にされる。かかる従来の円筒状スパッタリングターゲットの梱包体７０は、シート状緩衝材６３が円筒状スパッタリングターゲット６１に２周に巻かれているために、開梱の際にテープ６７を剥がすだけでは、円筒状スパッタリングターゲット６１をシート状緩衝材６３から直ちに取り出すことができず、よって、２周に巻かれているシート状緩衝材６３を展開して円筒状スパッタリングターゲット６１を取り出す必要がある。長尺の円筒状スパッタリングターゲット６１は、自重により自在に動かすことが困難であるため、円筒状スパッタリングターゲット６１を横たえてシート状緩衝材６３の上で転がすことにより、２周に巻かれているシート状緩衝材６３が展開され得る。しかしながら、このようにして開梱すると、円筒状スパッタリングターゲット６１は、最終的には１枚分の厚さのシート状緩衝材６３の上で転がされることになるため、スパッタ面となるスパッタリングターゲット６１の円筒部表面が傷つけられるおそれがある。かかるおそれは、円筒状スパッタリングターゲット６１が長くなるほど（即ち、重くなるほど）顕著になる。よって、長尺の円筒状スパッタリングターゲットの梱包体は、円筒状スパッタリングターゲット６１を横たえた状態のままで（回転させることなく）、カッターで２周に巻かれているシート状緩衝材６３を一緒に（図６（ｂ）に切断部を点線Ｃにて模式的に示す）切断し、長さ方向Ｌに亘って切り開くことにより開梱される。しかしながら、このようにして開梱すると、カッターでの切断・切り開きの際に、スパッタリングターゲット６１の円筒部表面がカッターで傷つけられるおそれがある。更に、カッターでの切断・切り開きの際に、シート状緩衝材６３に由来する塵が発生し得、例えばクリーンルーム内で開梱（シート状緩衝材６３を切断・切り開き）した場合には、クリーンルーム内の清浄度を低下させるという問題を招き得る。
【０００６】
本発明は、かかる従来の課題に鑑みてなされたものであり、円筒状スパッタリングターゲットがシート状緩衝材で梱包されている梱包体であって、円筒状スパッタリングターゲットを横たえた状態のままで容易に開梱することが可能な梱包体の製造方法ならびに梱包体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、円筒状スパッタリングターゲットがシート状緩衝材で梱包されている梱包体の製造方法であって、円筒状スパッタリングターゲットの円筒部を、少なくとも２層のシート状緩衝材で覆い、該円筒状スパッタリングターゲットの円筒部の周方向を含む断面において、シート状緩衝材の両端部を、該円筒部の円周の半分以下の長さで重なり合わせるか、突き合わせることにより梱包する、梱包体の製造方法が提供される。
【０００８】
また、本発明によれば、円筒状スパッタリングターゲットがシート状緩衝材で梱包されている梱包体であって、円筒状スパッタリングターゲットの円筒部が、少なくとも２層のシート状緩衝材で覆われており、該円筒状スパッタリングターゲットの円筒部の周方向を含む断面において、シート状緩衝材の両端部が、該円筒部の円周の半分以下の長さで重なり合っているか、突き合わさっている、梱包体が提供される。
【０００９】
なお、本発明において用語「梱包」は、「被覆」または「包装」と同様の意味としても理解され得る。また、本発明において用語「突き合わさっている」は、シート状緩衝材の両端部の端面同士が接触（当接）または近接していることを意味する。本発明において用語「周方向」は、円筒状スパッタリングターゲットの円筒部の中心軸に対する円周方向を意味し、図中に記号「Ｒ」で示す。本発明において用語「周方向を含む断面」は、かかる周方向を含む平面にて円筒状スパッタリングターゲットの円筒部を切断したときの断面を意味し、換言すれば、円筒状スパッタリングターゲットの円筒部の中心軸に対して垂直な断面を意味する。
【００１０】
本発明の１つの態様において、前記シート状緩衝材が、折り畳まれることによって２層またはそれ以上の層を形成していてよい。
【００１１】
本発明の１つの態様において、前記シート状緩衝材の両端部が、それらの一方の端部の外側面と他方の端部の内側面とが接触することによって重なり合っていてよい。あるいは、前記シート状緩衝材の両端部が、それらの一方の端部の内側面と他方の端部の内側面とが接触することによって重なり合っていてよい。
【００１２】
本発明の１つの態様において、前記シート状緩衝材の両端部が、前記円筒状スパッタリングターゲットの長さ方向において非連続的に、互いに固定されていてよい。
【００１３】
本発明の１つの態様において、前記シート状緩衝材の両端部が、テープ、接着剤、及び粘着剤からなる群より選択される少なくとも１つにより、互いに固定されていてよい。
【００１４】
本発明の１つの態様において、前記シート状緩衝材が、気泡緩衝材であり得る。
【００１５】
本発明の１つの態様において、前記円筒状スパッタリングターゲットが、５００ｍｍ以上の長さを有し、２０ｋｇ以上の質量を有し得る。
【００１６】
本発明の１つの態様において、前記円筒状スパッタリングターゲットと前記シート状緩衝材との間に保護フィルムが存在し得る。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、円筒状スパッタリングターゲットがシート状緩衝材で梱包されている梱包体の製造方法において、円筒状スパッタリングターゲットの円筒部を、少なくとも２層のシート状緩衝材で覆い、該円筒状スパッタリングターゲットの円筒部の周方向を含む断面において、シート状緩衝材の両端部を、該円筒部の円周の半分以下の長さで重なり合わせるか、突き合わせることにより梱包しており、これにより、円筒状スパッタリングターゲットを横たえた状態のままで容易に開梱することが可能な梱包体の製造方法が提供される。また、本発明によれば、かかる製造方法に対応する構成を有する梱包体も提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の１つの実施形態における円筒状スパッタリングターゲットの梱包体を示す概略図であって、（ａ）は斜視図、（ｂ）は長さ方向Ｌに垂直な断面図（周方向を含む断面における図）である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は、本発明に利用可能な円筒状スパッタリングターゲットの構成の例示的なバリエーションを示す、長さ方向Ｌに沿った概略断面図である。
【図３】本発明のもう１つの実施形態における円筒状スパッタリングターゲットの梱包体を示す概略図であって、図１（ｂ）に対応する断面図である。
【図４】本発明のもう１つの実施形態における円筒状スパッタリングターゲットの梱包体を示す概略図であって、図１（ｂ）に対応する断面図である。
【図５】本発明のもう１つの実施形態における円筒状スパッタリングターゲットの梱包体を示す概略図であって、図１（ｂ）に対応する断面図である。
【図６】従来の円筒状スパッタリングターゲットの梱包体を示す概略図であって、（ａ）は斜視図、（ｂ）は長さ方向Ｌに垂直な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明のいくつかの実施形態について図面を参照しながら以下に詳述するが、本発明はこれら実施形態に限定されるものではない。
【００２０】
（実施形態１）
図１に示すように、本実施形態は、円筒状スパッタリングターゲット１がシート状緩衝材３で梱包されている梱包体１０およびその製造方法であって、円筒状スパッタリングターゲット１の円筒部が、少なくとも２層のシート状緩衝材３で覆われており、円筒状スパッタリングターゲット１の円筒部の周方向を含む断面において、シート状緩衝材３の両端部が、突き合わさっている態様に関する。なお、図示する態様において、判別し易いように円筒状スパッタリングターゲット１とシート状緩衝材３の間およびシート状緩衝材３の層間に隙間を示しているが、かかる隙間は存在しても、しなくてもよい。また、図１に示す態様において、円筒状スパッタリングターゲット１として、その本体部である円筒部のみを図示しているが、図２を参照して後述するように、円筒部の長さ方向の両端部の一方または双方に、アダプター等を有していてよい。
【００２１】
より詳細には、図１（ｂ）では、シート状緩衝材３として、個別に分離された少なくとも２層（層数と同数のシートで層を形成する。例えば、１枚のシートから２層を形成するのではなく、２枚のシートを用いて２層を形成する。図示する態様では内側層３ａおよび外側層３ｂの２層）を使用しており、周方向を含む断面において、内側層３ａが両端部Ａ１、Ａ２を有し、外側層３ｂが両端部Ｂ１、Ｂ２を有する。そして、２層重なったシート状緩衝材３の一方の端部Ａ１、Ｂ１が、他方の端部Ａ２、Ｂ２と突き合わさっている。しかしながら、本発明は図示する態様に限定されず、シート状緩衝材３は、個々に分離された３層以上の層を形成し、シート状緩衝材３は、３層以上重なった状態で、周方向を含む断面における両端部が突き合わさっていてよい。
【００２２】
本発明において、シート状緩衝材の両端部が「突き合わさっている」とは、両端部の端面同士が当接または近接していることを意味し、例えば、後述する固定方法を適用して実現することができる。図１（ｂ）では、シート状緩衝材３の一方の端部Ａ１、Ｂ１の端面と、他方の端部Ａ２、Ｂ２の端面とが当接しているが、円筒状ターゲットが十分に保護可能であれば、シート状緩衝材３の両端部の端面間に隙間を設けて互いに近接させてもよい。両端部の端面同士が当接しているか、近接しているかは、各層で異なっていてもよい（例えば２層の場合、内側層３ａの端面（Ａ１、Ａ２）同士が当接し、かつ外側層３ｂの端面（Ｂ１、Ｂ２）同士が当接しても、内側層３ａの端面同士が当接し、かつ外側層３ｂの端面同士が近接しても、内側層３ａの端面同士が近接し、かつ外側層３ｂの端面同士が当接しても、内側層３ａの端面同士が近接し、かつ外側層３ｂの端面同士が近接してもよい）。複数の層でかかる隙間が存在する場合、各層での端面間の隙間は、実質的に同じであっても異なっていてもよい。端面間の隙間は、連続的に存在しても非連続的に存在してもよく、非連続的に存在する場合、例えば、固定されていない箇所のみに隙間が存在していてもよい。端面間の隙間は、２０ｍｍ以下、好ましくは１５ｍｍ以下、より好ましくは１０ｍｍ以下、さらに好ましくは５ｍｍ以下である。
【００２３】
更に、本実施形態においては、図１（ａ）に示すように、シート状緩衝材３の両端部が（図示する態様では、代表的には、外側層３ｂの端部Ｂ１と端部Ｂ２とが）、円筒状スパッタリングターゲット１の長さ方向Ｌにおいて非連続的に、例えばテープ（通常、片面に接着層を有するが、これに限定されない）５により互いに接着されて固定されている。固定方法は、かかるテープに限定されず、例えばテープ、接着剤、及び粘着剤からなる群より選択される少なくとも１つを適用してよい。固定方法として、これらに比べて好ましさは劣るが、融着を適用することも可能である。
【００２４】
本発明において円筒状スパッタリングターゲットの長さ方向において「非連続的に」固定されるとは、円筒状スパッタリングターゲットの長さ方向において一方の端部から他方の端部に亘って（例えば図６（ａ）に示すテープ６７のように）連続的に固定されていないこと、換言すれば、円筒状スパッタリングターゲットの長さ方向において（例えば図１（ａ）に示すテープ５のように）複数の分散された部分（または箇所もしくは領域）において固定されていることを意味し、例えば、固定されている部分の長さ（長さ方向Ｌに沿った長さ）の合計が、固定されていない部分の長さの合計に対して５０％以下、好ましくは３０％以下、より好ましくは２０％以下、さらに好ましくは１０％以下である。本実施形態を限定するものではないが、より具体的には、円筒状スパッタリングターゲットの長さ方向に３カ所以上が固定され、両端を含めて等間隔に固定されることが好ましい。
【００２５】
シート状緩衝材３としては、気泡緩衝材が使用され得る。気泡緩衝材は、エアキャップとも称され、気泡を封入した複数の袋部を、通常、片方のシート面上に有する緩衝材である。気泡緩衝材は、入手が容易で、カッターやハサミ等の刃物での切断時に塵やくずが発生しにくく、またテープ等の固定手段を剥がしやすいので好ましい。
【００２６】
シート状緩衝材３は、１層あたり、例えば１ｍｍ以上１５ｍｍ以下、好ましくは１ｍｍ以上１０ｍｍ以下、より好ましくは２ｍｍ以上５ｍｍ以下の厚さを有し得る。
シート状緩衝材３の厚さが上記下限値以上であると、円筒状スパッタリングターゲット１の表面（特に、スパッタ面である円筒部表面）に傷が生じることを防止するのに十分な耐衝撃性を有することができる。また、シート状緩衝材３の厚さが上記上限値以下であると、緩衝材が柔軟であるため、円筒状スパッタリングターゲット１の梱包作業が容易となり、特に円筒状スパッタリングターゲット１の直径が小さいときに効果は顕著である。シート状緩衝材３の厚さが一定でない場合（または厚さが局所的に変化する場合、例えば、気泡緩衝材は、気泡を封入した袋部では厚く、それ以外の部分は薄い）、シート状緩衝材３の厚さは、シート面内での厚さが最大となる部分（例えば気泡緩衝材の場合は袋部）の厚さ（空気粒高）を意味する。
【００２７】
シート状緩衝材３の層数は、少なくとも２層であればよく、所望される耐衝撃性（クッション性）および実際に使用するシート状緩衝材の１層あたりの厚さ等に応じて適宜選択され得る。
【００２８】
シート状緩衝材３として気泡緩衝材を用いた場合、少なくとも２層のシート状緩衝材の配置の仕方は特に限定されないが、シート状緩衝材の気泡が封入された袋部（以下、凸部とも称する）同士が接するように重ねることが好ましい。これにより、少なくとも２層のシート状緩衝材間の凹凸が引っ掛かり（絡み合い）、運搬時のシート状緩衝材のズレが防止できる。また、凸部を片方のシート面上にのみ有する気泡緩衝材を凸部同士が接するように重ねると、最外層にはシート状緩衝材による凹凸がなく、埃や塵の堆積を防止できる。
【００２９】
また、凸部を片方のシート面上にのみ有する気泡緩衝材を用いて質量の大きい円筒状スパッタリングターゲットを梱包する場合には、少なくとも２層のシート状緩衝材の凸部を有する面とは反対側の面（つまり、平らな面）同士が接するように、シート状緩衝材を重ねることが好ましい。これにより、緩衝材の厚みを確保しやすく、重量物であっても十分な耐衝撃性を確保しやすい。
【００３０】
円筒状スパッタリングターゲットが後述する保護フィルムで保護されている場合、保護フィルムとシート状緩衝材の平らな面（つまり、凸部を有する面とは反対側の面）が接するように配置することが好ましい。これにより、フィルム同士の接地面積が増え、保護フィルム上でのシート状緩衝材のズレが防止できる。
【００３１】
シート状緩衝材３の長さ（長さ方向Ｌに沿った長さ）は、梱包する円筒状スパッタリングターゲット１の長さや収納される箱の形態により適宜選択され得る。円筒状スパッタリングターゲット１に傷が入ることを防止するためには、円筒部の長さ以上であることが好ましく、円筒状スパッタリングターゲット１の長さより長く、かつ、円筒状スパッタリングターゲット１の長さ方向の両端部をも梱包し得る長さであることがより好ましい。
【００３２】
シート状緩衝材３の１層分の幅（周方向Ｒに沿った長さ）は、梱包する円筒状スパッタリングターゲット１の円筒部の外径に応じて適宜選択され得る。本実施形態において、内側層３ａは外側層３ｂよりも半径方向外側に位置するため、内側層３ａの幅よりも、外側層３ｂの幅のほうが、半径差に起因する分だけ大きくなっていてよい。図示する態様では、シート状緩衝材３の両端部の突き合わせ部が、他の部分と実質的に面一（段差がない状態）になっている（長さ方向に垂直な断面においてシート状緩衝材３の外表面が略円形を成している）が、かかる突き合わせ部が、外側に若干盛り上がって（長さ方向に垂直な断面においてシート状緩衝材３の外表面が略涙形を成して）いてもよい。前者の場合、梱包体１０は、周方向に転がらないように、例えば、箱内に配置されたＵ字型の台座の上、または箱内に敷き詰められたＵ字型の緩衝材の上に配置されて箱詰めされ得る。後者の場合、かかるＵ字型の台座やＵ字型の緩衝材がなくても、盛り上がった部分（以下、盛り上がり部とも称する）を利用して、例えば盛り上がり部を梱包された円筒状スパッタリングターゲットと箱との間を埋めるスペーサー代わりにして固定したり、盛り上がり部を斜め下側に配置することで、梱包体１０が箱の中で周方向に転がることを防止して、箱詰めすることができる。また、後者の場合、箱から取り出し、床や台などの平面上に置いた時の梱包体１０の転がりも防止できる。なお、後者の場合、円筒状スパッタリングターゲット１を梱包しているシート状緩衝材３の外側への盛り上がり部は１か所であることが好ましい。例えば、図１（ｂ）に示す内側層３ａおよび外側層３ｂの２層は、それぞれが分離されていない１枚のシートであることが好ましい。盛り上がり部を１か所のみにすることで、余分なスペースなく箱詰めすることができる。
【００３３】
円筒状スパッタリングターゲット１の長さは、特に限定されないが、本発明は、長尺の円筒状スパッタリングターゲットに対して好適に利用され得る。円筒状スパッタリングターゲット１の長さは、例えば５００ｍｍ以上であり、好ましくは１０００ｍｍ以上、より好ましくは２０００ｍｍ以上、さらに好ましくは２２００ｍｍ以上、特に好ましくは２５００ｍｍである。上限は特に限定されないが、例えば４５００ｍｍ以下、特に４０００ｍｍ以下であり得る。
【００３４】
円筒状スパッタリングターゲット１の円筒部の外径は、特に限定されないが、例えば１２０ｍｍ以上３００ｍｍ以下であり得る。円筒状スパッタリングターゲット１の円筒部の内径は、特に限定されないが、例え７０ｍｍ以上２５０ｍｍ以下であり得る。
【００３５】
円筒状スパッタリングターゲット１の材料は、スパッタリング法による成膜に通常用いられるような材料であれば、特に限定されない。このような材料としては、例えば、Ａｌ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｗ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ａｇ、Ｃｏ、Ｒｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｎｉ及びこれら金属を含む合金、並びにスズドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）、アルミニウムドープ酸化亜鉛（ＡＺＯ）、ガリウムドープ酸化亜鉛（ＧＺＯ）、チタンドープ酸化亜鉛、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系複合酸化物（ＩＧＺＯ）等のセラミックスが挙げられる。これらの中でも、アルミニウム（純度９９．９９％（４Ｎ）以上、好ましくは純度９９．９９９％（５Ｎ）以上の純Ａｌ）、アルミニウム合金（添加元素はＳｉ、Ｃｕ、Ｎｄ、Ｍｇ、Ｆｅ、Ｔｉ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｗ、Ｎｉ、及びＣｏ等が挙げられ、好ましくはＳｉ、及び／又はＣｕを添加元素として含む。また、添加元素を除く母材のＡｌ純度は、９９．９９％以上であり、好ましくは９９．９９９％以上である。）又は銅（純度９９．９９％（４Ｎ）以上）が好ましい。
【００３６】
円筒状スパッタリングターゲット１の質量は、特に限定されないが、本発明の効果をより奏するためには、２０ｋｇ以上、好ましくは３０ｋｇ以上、より好ましくは４０ｋｇ以上、さらに好ましくは５０ｋｇ以上、特に好ましくは６０ｋｇ以上である。上限は特に限定されないが、シート状緩衝材の破損防止の観点から、５００ｋｇ以下、好ましくは３５０ｋｇ以下、より好ましくは３００ｋｇ以下である。本実施形態の円筒状スパッタリングターゲットの梱包体１０によれば、円筒状スパッタリングターゲットの質量が非常に大きいものであっても、横たえた状態のままで容易に開梱することができる。
【００３７】
円筒状スパッタリングターゲット１の構成は特に限定されないが、概略的には、円筒形状に加工されたスパッタリングターゲット材料（円筒部）と、スパッタ装置に取り付けるためのアダプター（継ぎ手）とを含む。本発明に利用可能な円筒状スパッタリングターゲットの構成の例示的なバリエーションを図２（ａ）〜（ｄ）に示す（いずれも長さ方向Ｌに沿った概略断面図である）。円筒形状に加工されたスパッタリングターゲット材料１１は、少なくともその本体部が円筒形状に加工されていればよく、長さ方向に沿った断面における両端部のいずれか一方または双方が適宜加工されていてもよい。アダプター１２は、より詳細には、例えばフランジ２１（図２（ａ）参照）、アダプターリング２３（図２（ｂ）参照）、アダプター部２４（図２（ｃ）参照）、バッキングチューブ２５（図２（ｄ）参照）などの形態であり得、特に限定されない。なお、バッキングチューブ２５（図２（ｄ））は、円筒状のスパッタリングターゲット支持部とその端部に設けられたアダプター部（より詳細にはフランジ部）とを有し得、該支持部が、円筒形状に加工されたスパッタリングターゲット材料１１の中空部に挿入され、該アダプター部が、スパッタ装置への取り付けに利用される。
【００３８】
円筒形状に加工されたスパッタリングターゲット材料１１は、円筒状スパッタリングターゲット１の材料として上述した通りである。アダプター１２の材料は、円筒形状に加工されたスパッタリングターゲット材料１１の材料と異なっていてよく、代表的には、より強度の高い金属（１種の金属または２種以上の合金）が使用され得る。アダプター１２の材料が、円筒形状に加工されたスパッタリングターゲット材料１１の材料と異なる場合、これら材料間は固定部１３で固定され得る（図２（ａ）、（ｂ）、（ｄ）参照）。固定方法は特に限定されず、例えば、タングステン−イナートガス溶接（ＴＩＧ溶接）、電子ビーム溶接（ＥＢ溶接）、メタルイナートガス溶接（ＭＩＧ溶接）、レーザー溶接などの溶接、摩擦撹拌接合、はんだ接合、ろう付けなどが挙げられる。あるいは、アダプター１２の材料は、円筒形状に加工されたスパッタリングターゲット材料１１の材料と同じであってもよく、例えば、円筒形状に加工されたスパッタリングターゲット材料１１の少なくとも一方の端部を加工して得られるアダプター部２４の形態であってもよい（図２（ｃ）参照）。
【００３９】
円筒状スパッタリングターゲット１は、円筒形状に加工されたスパッタリングターゲット材料１１およびアダプター１２に加えて、キャップ２２を更に含んでいてよい。より詳細には、図２（ａ）に示すように、円筒形状に加工されたスパッタリングターゲット材料１１の一方の端部に、アダプター１２としてフランジ２１が固定され、他方の端部にキャップ２２が固定されていてよい。フランジ２１およびキャップ２２の固定方法は特に限定されず、上述したような任意の適切な固定方法を適用することができる。
【００４０】
円筒状スパッタリングターゲット１がフランジ２１（またはフランジ部）を有する場合、円筒状スパッタリングターゲット１を横たえた状態のままで、その梱包体をより一層容易に開梱することができる。フランジ２１（またはフランジ部）は、その根元の筒状部より外側に張り出した凸部（鍔部）を有し、この凸部により、円筒状スパッタリングターゲット１とシート状緩衝材３（図２に示さず）との間に空間ができる。シート状緩衝材３の両端部を固定する際に、かかる空間のある領域に、シート状緩衝材３の両端部が固定されていない部分を設けておくと（本明細書において、シート状緩衝材３の両端部が固定されている部分および固定されていない部分をそれぞれ固定部および非固定部とも言う）、作業者が指を非固定部から挿入して、固定部の固定を解除する（換言すれば、シート状緩衝材３を開封する）ことができ、これにより、円筒状スパッタリングターゲット１の梱包体をより一層容易に開梱することができる。
【００４１】
本実施形態の円筒状スパッタリングターゲットの梱包体１０によれば、まず、円筒状スパッタリングターゲット１は少なくとも２層のシート状緩衝材３で覆われているため、円筒状スパッタリングターゲット１を保護するために十分な耐衝撃性（またはクッション性）を得ることができる。そして、本実施形態の円筒状スパッタリングターゲットの梱包体１０によれば、周方向を含む断面において、シート状緩衝材３の両端部が突き合わさっているので、開梱の際に、シート状緩衝材３の固定を解除するだけで、より詳細には本実施形態ではテープ５を剥がすだけで、円筒状スパッタリングターゲット１をシート状緩衝材３から直ちに取り出すことができる。かかる開梱は、長尺の（またはより大きい）円筒状スパッタリングターゲットの場合にも、容易に実施でき、かつ、円筒状スパッタリングターゲットのスパッタ面である円筒部表面を傷つけるおそれがない。また、かかる開梱は、シート状緩衝材３を切断することなく実施できるので、シート状緩衝材３に由来する塵が発生することがなく、例えばクリーンルーム内で開梱する場合にも、クリーンルーム内の清浄度を低下させるという問題を生じない。
【００４２】
以上、本発明の１つの実施形態について説明したが、本実施形態は種々の改変が可能である。かかる改変例として、以下に本発明の他の実施形態について説明するが、特に説明がない限り、本実施形態と同様の説明が当て嵌まり得る。
【００４３】
（実施形態２）
本実施形態は、円筒状スパッタリングターゲット１がシート状緩衝材３で梱包されている梱包体およびその製造方法であって、円筒状スパッタリングターゲット１の円筒部が、少なくとも２層のシート状緩衝材３で覆われており、円筒状スパッタリングターゲット１の円筒部の周方向を含む断面において、シート状緩衝材３の両端部が、突き合わさっている別の態様に関する。
【００４４】
より詳細には、図３に示すように、シート状緩衝材３は、折り畳まれることによって、少なくとも２層が形成される。このとき、シート状緩衝材３は、折り畳まれて形成された各層の大きさが略均等、好ましくは均等となるように折り畳まれる（例えば、２層の場合、シート状緩衝材３は、折り畳まずに広げた状態で、円筒状スパッタリングターゲット１の円周の略２倍、好ましくは２倍の幅方向寸法を有し、幅方向の略中央部、好ましくは中央部にて折り畳まれる）。つまり、図示する態様ではシート状緩衝材３が折り畳み部Ｆで折り畳まれることにより、内側層３ａおよび外側層３ｂの２層を形成し、周方向を含む断面において、内側層３ａが両端部Ａ１、Ａ２を有し、外側層３ｂが両端部Ｂ１、Ｂ２を有し、内側層３ａの端部Ａ２および外側層３ｂの端部Ｂ２は折り畳み部Ｆ（端部Ａ２、Ｂ２側の端面）を形成する。そして、２層重なったシート状緩衝材３の一方の端部Ａ１、Ｂ１が、他方の端部Ａ２、Ｂ２（つまり、折り畳み部Ｆ）と突き合わさっている。しかしながら、本発明は図示する態様に限定されず、シート状緩衝材３は、更に折り畳まれて、３層以上の層を形成し、シート状緩衝材３は、３層以上に折り畳まれた状態で、周方向を含む断面における両端部が突き合わさっていてよい。あるいは、シート状緩衝材３として、折り畳まれることにより形成された少なくとも２層と、個別に分離された少なくとも１層とを組み合わせて使用して、シート状緩衝材３は、折り畳まれた状態および個別に分離された状態で、周方向を含む断面における両端部が突き合わさっていてよい。
【００４５】
実施形態１にて上述したように、シート状緩衝材の両端部が「突き合わさっている」とは、両端部の端面同士が当接または近接していることを意味し、例えば、実施形態１にて上述した固定方法を適用して実現することができる。図３では、シート状緩衝材３の一方の端部Ａ１、Ｂ１の端面と、他方の端部Ａ２、Ｂ２の端面（折り畳み部Ｆ）とが当接しているが、円筒状ターゲットが十分に保護可能であれば、シート状緩衝材３の両端部の端面間に隙間を設けて互いに近接させてもよい。その他、実施形態１と同様の説明が本実施形態にも当て嵌まる。
【００４６】
本実施形態によれば、実施形態１にて上述した効果に加えて、少なくとも１枚のシート状緩衝材３を少なくとも１回折り畳んで使用するため、シート状緩衝材３の各層のサイズ合わせや梱包時の位置ずれを気にすることなく梱包することができるという効果を奏し得る。また、個別に分離されたシートを複数枚重ねて用いる場合よりも、シート同士が擦れ合う頻度を少なくできることから、静電気の発生を抑制することができ、梱包時に埃や塵を巻き込むリスクも低減できる。
【００４７】
（実施形態３）
本実施形態は、円筒状スパッタリングターゲット１がシート状緩衝材３で梱包されている梱包体およびその製造方法であって、円筒状スパッタリングターゲット１の円筒部が、少なくとも２層のシート状緩衝材３で覆われており、円筒状スパッタリングターゲット１の円筒部の周方向を含む断面において、シート状緩衝材３の両端部が、該円筒部の円周の半分以下の長さで重なり合っている態様に関する。
【００４８】
より詳細には、図４に示すように、シート状緩衝材３は、折り畳まれることによって、少なくとも２層が形成される。つまり、図示する態様ではシート状緩衝材３が折り畳み部Ｆで折り畳まれることにより、内側層３ａおよび外側層３ｂの２層を形成し、周方向を含む断面において、内側層３ａが両端部Ａ１、Ａ２を有し、外側層３ｂが両端部Ｂ１、Ｂ２を有し、内側層３ａの端部Ａ２および外側層３ｂの端部Ｂ２は折り畳み部Ｆを形成する。そして、シート状緩衝材３一方の端部Ａ１、Ｂ１と、他方の端部Ａ２、Ｂ２との周方向を含む断面における各重なり長さが、円筒状スパッタリングターゲット１の円筒部の円周の半分以下の長さにされている。各層の重なり長さが異なる場合、例えば、図示する態様では内側層３ａの端部Ａ１と端部Ａ２との重なり長さｄＡと、外側層３ｂの端部Ｂ１と端部Ｂ２との重なり長さｄＢとが異なっている場合、全ての重なり長さが、円筒状スパッタリングターゲット１の円筒部の円周の半分以下の長さとされる。しかしながら、本発明は図示する態様に限定されず、シート状緩衝材３は、更に折り畳まれて、３層以上の層を形成し、シート状緩衝材３は、３層以上に折り畳まれた状態で、周方向を含む断面における両端部の各重なり長さが、円筒状スパッタリングターゲット１の円筒部の円周の半分以下の長さにされていてよい。
【００４９】
更に、本実施形態においては、図４に示すように、シート状緩衝材３の両端部が、それらの一方の端部（折り畳まれた状態のシート状緩衝材３の一方の端部、より詳細には端部Ａ１、Ｂ１側に位置する端部）の外側面と、他方の端部（折り畳まれた状態のシート状緩衝材３の他方の端部、より詳細には、折り畳み部Ｆを成す端部Ａ２、Ｂ２側に位置する端部）の内側面とが接触することによって重なり合っている。
【００５０】
例えば、シート状緩衝材３のうち、最も外側に位置する層の一方の端部の外側面（図示する態様では、外側層３ｂの端部Ｂ１の外側面）と、最も内側に位置する層の他方の端部の内側面（図示する態様では、内側層３ａの端部Ａ２の内側面）とが接触し得る。しかしながら、本発明はこれに限定されず、シート状緩衝材３のうち、ある層の外側面と、これと同一または異なる層の内側面とが接触する限り、任意の組み合わせで接触していてよい。例えば、シート状緩衝材３の折り畳み部Ｆを反対側の端部の間に挿入し、まず内側層と折り畳み部を固定し、次に固定部が上から覆われるように配置して外側層を固定することで、シート状緩衝材３の緩みを防止できる。
【００５１】
本発明において、円筒状スパッタリングターゲットの円筒部の円周とは、該円筒部の外周を意味する（以下の実施形態も同様）。本実施形態において、上記重なり長さは、円筒状スパッタリングターゲットの円筒部の円周の半分以下であればよいが、例えば１／３以下、好ましくは１／４以下、より好ましくは１／８以下である。上記重なりの長さをこのような範囲とすることにより、横たえた状態のままで容易に開梱できる。
【００５２】
本実施形態によれば、実施形態１にて上述した効果に加えて、シート状緩衝材３による盛り上がり部を形成しやすいという効果を奏し得る。
【００５３】
（実施形態４）
本実施形態は、円筒状スパッタリングターゲット１がシート状緩衝材３で梱包されている梱包体およびその製造方法であって、円筒状スパッタリングターゲット１の円筒部が、少なくとも２層のシート状緩衝材３で覆われており、円筒状スパッタリングターゲット１の円筒部の周方向を含む断面において、シート状緩衝材３の両端部が、該円筒部の円周の半分以下の長さで重なり合っている別の態様に関する。
【００５４】
より詳細には、図５に示すように、シート状緩衝材３は、折り畳まれることによって、少なくとも２層が形成される。つまり、図示する態様ではシート状緩衝材３が折り畳み部Ｆで折り畳まれることにより、内側層３ａおよび外側層３ｂの２層を形成し、周方向を含む断面において、内側層３ａが両端部Ａ１、Ａ２を有し、外側層３ｂが両端部Ｂ１、Ｂ２を有し、内側層３ａの端部Ａ２および外側層３ｂの端部Ｂ２は折り畳み部Ｆを形成する。そして、シート状緩衝材３一方の端部Ａ１、Ｂ１と、他方の端部Ａ２、Ｂ２との周方向を含む断面における各重なり長さが、円筒状スパッタリングターゲット１の円筒部の円周の半分以下の長さにされている。各層の重なり長さが異なる場合、例えば、図示する態様では内側層３ａの端部Ａ１と端部Ａ２との重なり長さｄＡと、外側層３ｂの端部Ｂ１と端部Ｂ２との重なり長さｄＢとが異なっている場合、全ての重なり長さが、円筒状スパッタリングターゲット１の円筒部の円周の半分以下の長さとされる。しかしながら、本発明は図示する態様に限定されず、シート状緩衝材３は、更に折り畳まれて、３層以上の層を形成し、シート状緩衝材３は、３層以上に折り畳まれた状態で、周方向を含む断面における両端部の各重なり長さが、円筒状スパッタリングターゲット１の円筒部の円周の半分以下の長さにされていてよい。
【００５５】
更に、本実施形態においては、図５に示すように、シート状緩衝材３の両端部が、それらの一方の端部（折り畳まれた状態のシート状緩衝材３の一方の端部、より詳細には端部Ａ１、Ｂ１側の端部）の内側面と、他方の端部（折り畳まれた状態のシート状緩衝材３の他方の端部、より詳細には、折り畳み部Ｆを成す端部Ａ２、Ｂ２側の端部）の内側面とが接触することによって重なり合っている。
【００５６】
例えば、シート状緩衝材３のうち、最も内側に位置する層の一方の端部の内側面（図示する態様では、内側層３ａの端部Ａ１の内側面）と、最も内側に位置する層の他方の端部の内側面（図示する態様では、内側層３ａの端部Ａ２の内側面）とが接触し得る。
【００５７】
本実施形態において、上記重なり長さは、円筒状スパッタリングターゲットの円筒部の円周の半分以下であればよいが、例えば１／３以下、好ましくは１／４以下、より好ましくは１／８以下である。上記重なりの長さをこのような範囲とすることにより、横たえた状態のままで容易に開梱できるだけでなく、梱包した円筒状ターゲットを余分なスペースなく箱詰めできる。
【００５８】
本実施形態によれば、実施形態１にて上述した効果に加えて、シート状緩衝材３による盛り上がり部を形成しやすいという効果を奏し得る。また、テープなどの粘着剤による固定方法ではなく、クリップやバッグ・クロージャーなどの留め具を使用することができるため、より容易な開梱が可能となる他、粘着剤の付着がないため、シート状緩衝材３の再利用もしやすくなる。
【００５９】
（その他の実施形態）
実施形態１に対する実施形態２における改変と同様に、実施形態３および４についても、シート状緩衝材３として、個別に分離された少なくとも２層を使用するか、折り畳まれることにより形成された少なくとも２層と、個別に分離された少なくとも１層とを組み合わせて使用して、改変してもよい。特に個別に分離された２層以上のシート状緩衝材３を用いて円筒状スパッタリングターゲットを梱包すると、埃や塵などにより汚染するリスクの高い、一番外側の１層を外してからクリーンルーム内に搬送することができ、クリーンルームの汚染を防止することができる。また、より埃や塵によるクリーンルームの汚染を防止するためには、シート状緩衝材３が帯電防止機能を有していてもよい。
【００６０】
また、本発明の実施形態においては、埃や塵などにより円筒状スパッタリングターゲットが汚染されることを防ぐため、円筒状スパッタリングターゲットとシート状緩衝材との間に保護フィルムを存在させてもよい。これにより、円筒状スパッタリングターゲットの表面、特にスパッタ面やスパッタリング装置に取り付ける面（シール面）に、シート状緩衝材３との擦れによる傷が入ることもより防止できる。保護フィルムは、円筒状スパッタリングターゲットの表面を保護でき、剥離可能なフィルムである限り特に限定されない。保護フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル系樹脂フィルム；ポリエチレン、ポリプロピレンフィルムなどのポリオレフィン系樹脂フィルム、アクリル系樹脂フィルム等が挙げられ、ポリオレフィン系樹脂フィルム、ポリエチレンテレフタレート系樹脂フィルムおよびアクリル系樹脂フィルムからなる群から選択されることが好ましい。
【００６１】
保護フィルムの長さは、円筒状スパッタリングターゲットの長さにより適宜選択され得るが、円筒状スパッタリングターゲットの傷防止の観点から、上記で示したシート状緩衝材３と同様であることが好ましい。保護フィルムの幅は、円筒状スパッタリングターゲットの外周の径により適宜選択され得るが、保護フィルム同士の重なり長さが円筒状スパッタリングターゲットの円筒部の円周の半分以下になる長さであることが好ましく、より好ましくは１／３以下、さらに好ましくは１／４以下、特に好ましくは１／８以下となるように設定する。また、複数の保護フィルムを貼り合わせて、円筒状スパッタリングターゲットの全周を覆うようにしてもよく、例えば２枚の保護フィルムを用いる場合には、円筒部の円周の半周ずつを覆うように保護フィルムを配置する。複数の保護フィルムを使用する場合、保護フィルム同士の重なり長さは、円筒状スパッタリングターゲットの円筒部の円周の半分以下になる長さであることが好ましく、より好ましくは１／３以下、さらに好ましくは１／４以下、特に好ましくは１／８以下となるように設定する。
【００６２】
円筒状スパッタリングターゲットを保護フィルムで保護する場合には、保護フィルムの両端、もしくは一方の端部と保護フィルム外周面との固定位置は、開梱の容易性の観点から、シート状緩衝材３の固定部の位置に近いことが好ましく、それぞれの固定部間の距離が、円筒状スパッタリングターゲットの円筒部の円周の１／３以下、好ましくは１／４以下、より好ましくは１／８以下、さらに好ましくは略同位置であり、同位置にあることが特に好ましい。
【００６３】
さらに、本発明の実施形態において、長期間保管した際の円筒状スパッタリングターゲットの変質（例えば酸化）抑制が求められる場合、シート状緩衝材で梱包する前に、円筒状スパッタリングターゲットを真空包装してもよい。また、真空包装時の傷防止の観点から、上記保護フィルムで保護した円筒状スパッタリングターゲットを包装材で真空包装してもよい。真空包装に用いる包装材は、好ましくは、包装材が酸素及び水を透過しにくい特性を有する。これにより、円筒状スパッタリングターゲットの表面の酸化等の変質を抑制することができる。酸素及び水を透過しにくい特性とは、酸素透過度が１００ｃｃ／ｍ２・ａｔｍ・ｄａｙ以下、好ましくは８０ｃｃ／ｍ２・ａｔｍ・ｄａｙ以下、より好ましくは７０ｃｃ／ｍ２・ａｔｍ・ｄａｙ以下であり、透湿度が２０ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下、好ましくは１５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下、より好ましくは１０ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下である特性を言う。酸素透過度及び透湿度は、ＪＩＳ  Ｋ  ７１２６及びＪＩＳ  Ｋ  ７１２９に準拠した測定方法により測定した値を言う。
【００６４】
例えば、真空包装に用いる包装材の具体的な材料としては、樹脂製フィルムが挙げられる。樹脂としては、例えば、ポリプロピレン、ポリエチレン、ナノコンポジット系コートポリエチレンテレフタレート、アルミニウムを蒸着したポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）又は無延伸ポリプロピレン（ＣＰＰ）、シリカ又はアルミナを蒸着したＰＥＴや二軸延伸ナイロン（ＯＮＹ）、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）、ナイロン、ＰＶＤＣコート二軸延伸ナイロン（ＫＯＮ）又は二軸延伸ポリプロピレン（ＫＯＰ）、ＰＥＴ、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、二軸延伸ポリプロピレン（ＯＰＰ）、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、エチレン・ビニルアルコール共重合樹脂（ＥＶＯＨ）等が挙げられるが、これらに限定されない。また、これらの樹脂の積層フィルム、共押出多層フィルム等であってもよい。真空包装に用いる包装材は、好ましくは、積層又は多層フィルムである。かかるフィルム層の態様とすることによって、防湿性、耐酸素透過性、耐熱性、ヒートシール性、機械的強度や柔軟性といった複数の機能を兼ね備え易い。
【実施例】
【００６５】
（実施例１）
実施例１は、実施形態２にて図３を参照して上述した円筒状スパッタリングターゲットの梱包体およびその製造方法に関する。
長さ２７５０ｍｍ、外径１６５ｍｍ、内径１２６ｍｍであり、高純度（９９．９９９％）アルミニウムからなる円筒部を有し、円筒部の長さ方向両端部にアルミニウム合金製のフランジ部（端部の直径１７５ｍｍ）およびキャップ部をそれぞれ有する、円筒状スパッタリングターゲット（全長２９５０ｍｍ）を用意した。その質量は７３ｋｇであった。
円筒状スパッタリングターゲットの円筒部表面を保護フィルム（「三井マスキングテープ」（登録商標）、三井化学東セロ株式会社製）で保護した。
シート状緩衝材として、長さ３７００ｍｍ、幅１１００ｍｍのポリエチレン製の気泡緩衝材「エアーキャップ」（登録商標）Ｃ−８００（酒井化学工業株式会社製）を幅方向中央部で折り畳んで２層とした。２層に折り畳んだ状態のシート状緩衝材の上側層（内側層に対応する）の上に、上記で円筒部表面を保護した円筒状スパッタリングターゲットを、それらの長さ方向を揃えて配置した。そして、折り畳まれて２層になっているシート状緩衝材を、円筒状スパッタリングターゲットの円筒部表面に沿わせて、周方向を含む断面においてシート状緩衝材の両端部が突き合うように配置し、これら両端部を、円筒状スパッタリングターゲットの長さ方向に対して５００ｍｍ間隔で、テープを用いて固定した。テープにより固定されている部分の長さの合計は、固定されていない部分の長さ（円筒状ターゲットの長さ方向の長さ）の合計に対して４％となるように固定した（図１（ａ）参照）。また、保護フィルムの固定部とシート状緩衝材の固定部は、周方向に対してほぼ同位置となるように配置した。
これにより、円筒状スパッタリングターゲットがシート状緩衝材で梱包されている梱包体を得た。
【００６６】
（比較例１）
比較例１は、図６を参照して上述した従来の円筒状スパッタリングターゲットの梱包体およびその製造方法に関する。
実施例１と同様に、長さ２７５０ｍｍ、外径１６５ｍｍ、内径１２６ｍｍであり、高純度（９９．９９９％）アルミニウムからなる円筒部を有し、円筒部の長さ方向両端部にアルミニウム合金製のフランジ部およびキャップ部をそれぞれ有する、円筒状スパッタリングターゲット（全長２９５０ｍｍ）を用意した。
実施例１と同様に、円筒状スパッタリングターゲットの円筒部表面を保護フィルム（「三井マスキングテープ」（登録商標）、三井化学東セロ株式会社製）で保護した。
シート状緩衝材として、長さ３７００ｍｍ、幅１１００ｍｍのポリエチレン製の気泡緩衝材「エアーキャップ」（登録商標）Ｃ−８００（酒井化学工業株式会社製）の幅方向の一方の端部上に、上記で円筒部表面を保護した円筒状スパッタリングターゲットを、それらの長さ方向を揃えて配置した。そして、円筒状スパッタリングターゲットを持ち上げながら、シート状緩衝材を円筒状スパッタリングターゲットの円筒部表面に沿わせて２周に巻き付けて配置し、巻き終わり端部をテープにより長さ方向に沿って固定した（図６参照）。
これにより、円筒状スパッタリングターゲットがシート状緩衝材で梱包されている梱包体を得た。
【００６７】
実施例１の梱包体は、（例えば箱内でＵ字型の台座またはＵ字型の緩衝材の上に配置された状態のままで）テープを剥がすだけで、円筒状スパッタリングターゲットを周方向に回転させることなく、また、シート状緩衝材を切断することなく、円筒状スパッタリングターゲットをシート状緩衝材から直ちに取り出して開梱することができた。かかる開梱は、長尺で質量の大きい円筒状スパッタリングターゲットの場合にも、容易に実施でき、かつ、円筒状スパッタリングターゲットのスパッタ面である円筒部表面を傷つけるおそれがない。また、かかる開梱は、シート状緩衝材を切断することなく実施できるので、シート状緩衝材に由来する塵が発生して舞い、クリーンルームを汚染するおそれもない。更に、かかる開梱は、作業者が指を非固定部（例えば、テープの横側）から、シート状緩衝材の両端部の間に沿って挿入して、固定部のテープを剥がすことによって容易に実施できる。
比較例１の梱包体は、これを開梱するために、テープを剥がして円筒状スパッタリングターゲットを周方向に回転させるか、シート状緩衝材を切断する必要があった。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明によって得られる円筒状スパッタリングターゲットの梱包体は、円筒状スパッタリングターゲットを横たえた状態のままで容易に開梱することが可能であり、さらに、クリーンルームを汚染するおそれもなく、円筒状スパッタリングターゲットを運搬・保管時に加えられ得る衝撃等から保護するために利用可能である。
【符号の説明】
【００６９】
１  円筒状スパッタリングターゲット
３  シート状緩衝材
３ａ、３ｂ  層
５  テープ
１０  梱包体
１１  円筒形状に加工されたスパッタリングターゲット材料
１２  アダプター
１３  固定部
２１  フランジ
２２  キャップ
２３  アダプターリング
２４  アダプター部
２５  バッキングチューブ
Ｌ  長さ方向
Ｒ  周方向
Ｆ  折り畳み部
Ａ１、Ａ２、Ｂ１、Ｂ２  （周方向を含む断面における）端部
【図１】
2020050950.tif 000003
【図２】
2020050950.tif 000004
【図３】
2020050950.tif 000005
【図４】
2020050950.tif 000006
【図５】
2020050950.tif 000007
【図６】
2020050950.tif 000008