(57)【要約】【課題】高温環境下で使用され続ける場合でも液晶ディスプレイの白濁化を生じにくくし、寿命を長くすることができる流体制御装置を提供する。【解決手段】流路Ｃを流れる流体の流量又は圧力を測定する流体センサ３と、流体の流量又は圧力を制御する流体制御バルブ２と、バックライト５３、及び、液晶パネル５１を具備する液晶ディスプレイ５と、を備えた流体制御装置１００であって、前記流体制御装置１００の温度を測定する温度センサ７と、前記液晶ディスプレイ５に印加される電圧を制御する液晶制御部９と、を備え、前記液晶制御部９が、前記温度センサ７で測定される温度が予め定められた停止閾値温度Ｔｃ以上の場合に前記液晶パネル５１への電圧の印加を停止するようにした。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路を流れる流体の流量又は圧力を測定する流体センサと、流体の流量又は圧力を制御する流体制御バルブと、バックライト、及び、液晶パネルを具備する液晶ディスプレイと、を備えた流体制御装置であって、
前記流体制御装置の温度を測定する温度センサと、
前記液晶ディスプレイに印加される電圧を制御する液晶制御部と、を備え、
前記液晶制御部が、前記温度センサで測定される温度が予め定められた停止閾値温度以上の場合に前記液晶パネルへの電圧の印加を停止することを特徴とする流体制御装置。
【請求項２】
前記液晶制御部が、前記温度センサで測定される温度が前記停止閾値温度以上の状態が予め定められた停止閾値時間以上継続した場合に前記液晶パネルへの電圧の印加を停止する請求項１記載の流体制御装置。
【請求項３】
前記液晶制御部が、前記液晶パネルに電圧が印加されていない状態において前記温度センサで測定される温度が予め定められた開始閾値温度以下の場合に前記液晶パネルへの電圧の印加を開始する請求項１又は２記載の流体制御装置。
【請求項４】
前記液晶制御部が、前記液晶パネルに電圧が印加されていない状態において前記温度センサで測定される温度が前記開始閾値温度以下の状態が予め定められた開始閾値時間以上継続した場合に前記液晶パネルへの電圧の印加を開始する請求項３記載の流体制御装置。
【請求項５】
ユーザからの入力を受け付ける操作ボタンをさらに備え、
前記液晶制御部が、前記液晶パネルに電圧が印加されていない状態において前記操作ボタンに対して入力があった場合に、前記液晶パネルへの電圧の印加を開始する請求項１乃至４いずれかに記載の流体制御装置。
【請求項６】
内部に流路が形成され、前記流体センサ、及び、前記流体制御バルブが取り付けられるボディと、
前記流体センサ、及び、前記流体制御バルブが内部に収容されるように前記ボディに取り付けられる筐体と、をさらに備え、
前記液晶ディスプレイが、前記筐体の外表面に露出するように設けられている請求項１乃至５いずれかに記載の流体制御装置。
【請求項７】
流路を流れる流体の流量又は圧力を測定する流体センサと、流体の流量又は圧力を制御する流体制御バルブと、バックライト、及び、液晶パネルを具備する液晶ディスプレイと、を備えた流体制御装置に用いられる制御方法であって、
温度センサで前記流体制御装置の温度を測定することと、
前記温度センサで測定される温度が予め定められた停止閾値温度以上の場合に前記液晶パネルへの電圧の印加を停止することを特徴とする流体制御装置用制御方法。
【請求項８】
流路を流れる流体の流量又は圧力を測定する流体センサと、流体の流量又は圧力を制御する流体制御バルブと、バックライト、及び、液晶パネルを具備する液晶ディスプレイと、を備えた流体制御装置であって、前記流体制御装置の温度を測定する温度センサ、をさらに備えた流体制御装置に用いられるプログラムであって、
前記温度センサで測定される温度が予め定められた停止閾値温度以上の場合に前記液晶パネルへの電圧の印加を停止する液晶制御部としての機能をコンピュータに発揮させることを特徴とする流体制御装置用プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体の流量又は圧力を制御するために用いられる流体制御装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程ではチャンバ内に供給される各種ガスの流量を制御するために流体制御装置であるマスフローコントローラが用いられる。
【０００３】
具体的にはマスフローコントローラは、内部に流路が形成されたボディに対して流量センサと、流体制御バルブが取り付けられており、これらを覆うようにカバーが取り付けられる。このカバーの内部には各機器の出力信号に基づく演算機能や制御機能が実装された制御ボードが収容されており、流量の測定、制御等に関する機能がモジュール化されている。
【０００４】
また、このようなマスフローコントローラは特許文献１に示すように流量センサで現在測定されている流量や制御パラメータの設定情報等を外部表示するために、液晶ディスプレイがカバーの外側に露出するように設けられている。
【０００５】
ところで、近年マスフローコントローラに流されるガスの温度が従来よりも高温であったり、複数種類のガスを混合して使用するために複数のマスフローコントローラを密集させたりすることがある。このような使用環境では、マスフローコントローラ自体、あるいは、その近傍の環境温度は非常に高い温度になりやすい。
【０００６】
液晶ディスプレイは、高温環境にさらされ続けながら使用されることは通常想定されていないので、例えば流量センサや流体制御バルブの製品寿命と比較して、液晶ディスプレイが早期に白濁等による寿命を迎えてしまう虞がある。
【０００７】
また、液晶ディスプレイに測定されている流量が表示されないと、実際に流れている流量に誤差等が発生していなかったとしても、ユーザとしては本当に問題がないかどうか不安になり、マスフローコントローラとしての信頼性が損なわれてしまう。
【０００８】
しかしながら、高温環境下に長期間さらされても従来と同じ製品寿命を保つことができるように液晶ディスプレイ自体を構成することは液晶の構造自体の制約から難しい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１２−２０２８５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は上述したような問題に鑑みてなされたものであり、高温環境下で使用され続ける場合でも液晶ディスプレイの白濁化を生じにくくし、寿命を長くすることができる流体制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
すなわち、本発明に係る流体制御装置は、流路を流れる流体の流量又は圧力を測定する流体センサと、流体の流量又は圧力を制御する流体制御バルブと、バックライト、及び、液晶パネルを具備する液晶ディスプレイと、を備えた流体制御装置であって、前記流体制御装置の温度を測定する温度センサと、前記液晶ディスプレイに印加される電圧を制御する液晶制御部と、を備え、前記液晶制御部が、前記温度センサで測定される温度が予め定められた停止閾値温度以上の場合に前記液晶パネルへの電圧の印加を停止することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明に係る流体制御装置用制御方法は、流路を流れる流体の流量又は圧力を測定する流体センサと、流体の流量又は圧力を制御する流体制御バルブと、バックライト、及び、液晶パネルを具備する液晶ディスプレイと、を備えた流体制御装置に用いられる制御方法であって、温度センサで前記流体制御装置の温度を測定することと、前記温度センサで測定される温度が予め定められた停止閾値温度以上の場合に前記液晶パネルへの電圧の印加を停止することを特徴とする。
【００１３】
ここで、前記流体制御装置の温度とは、当該流体制御装置全体又はその一部の温度、あるいは、流体制御装置の周囲の環境温度等を含む概念である。
【００１４】
このようなものであれば、前記液晶ディスプレイが前記流体センサや前記流体制御バルブとともに高温環境下にさらされて、前記液晶パネル内の極性イオンの可動範囲が非常に大きくなるような温度域では前記液晶パネルに電圧が印加されないようにできる。このため、前記液晶パネル内において極性イオンの偏りが生じることによる画面の焼き付きを防止することができる。
【００１５】
また、前記停止閾値温度の近くで前記液晶パネルを動作させていた際に生じた極性イオンの偏りについても、前記液晶パネルへの電圧の印加が停止されることである程度、元の状態に戻すことができる。
【００１６】
これらのことから、高温環境下で長期間使用されるような流体制御装置であっても前記液晶ディスプレイの寿命を従来よりも長く保つことが可能となる。したがって、前記流体センサや前記流体制御バルブよりも先に前記液晶ディスプレイに白濁化等といった不具合が生じ、制御機能に問題がなかったとしてもユーザの信頼性を損ねてしまうといった事態を防ぐことができる。
【００１７】
前記液晶ディスプレイが短時間だけ高温にさらされただけで前記液晶ディスプレイに何も表示されなくなってしまわないようにするには、前記液晶制御部が、前記温度センサで測定される温度が前記停止閾値温度以上の状態が予め定められた停止閾値時間以上継続した場合に前記液晶パネルへの電圧の印加を停止するものであればよい。
【００１８】
前記液晶ディスプレイが表示されなくなってから、前記液晶パネルを動作させてもそれほど製品寿命が短くならない温度となった場合には自動的に表示が再開されるようにして利便性をよくするには、前記液晶制御部が、前記液晶パネルに電圧が印加されていない状態において前記温度センサで測定される温度が予め定められた開始閾値温度以下の場合に前記液晶パネルへの電圧の印加を開始するものであればよい。
【００１９】
前記液晶パネルを動作させても問題の生じない温度で安定したときに前記液晶ディスプレイの表示を自動的に再開でき、短期間のうちに前記液晶ディスプレイにおいて表示のオンオフが繰り返されるのを防ぐには、前記液晶制御部が、前記液晶パネルに電圧が印加されていない状態において前記温度センサで測定される温度が前記開始閾値温度以下の状態が予め定められた開始閾値時間以上継続した場合に前記液晶パネルへの電圧の印加を開始するものであればよい。
【００２０】
前記停止閾値温度以上の高温環境下にあるために前記液晶ディスプレイによる表示がされていない状態でも、前記流体制御装置の状態をすぐに確認できるようにするには、ユーザからの入力を受け付ける操作ボタンをさらに備え、前記液晶制御部が、前記液晶パネルに電圧が印加されていない状態において前記操作ボタンに対して入力があった場合に、前記液晶パネルへの電圧の印加を開始するものであればよい。
【００２１】
流体制御に必要なセンサや機器をモジュール化することができ、それらの状態等を簡単に確認できるようにするは、内部に流路が形成され、前記流体センサ、及び、前記流体制御バルブが取り付けられるボディと、前記流体センサ、及び、前記流体制御バルブが内部に収容されるように前記ボディに取り付けられる筐体と、をさらに備え、前記液晶ディスプレイが、前記筐体の外表面に露出するように設けられているものが挙げられる。
【００２２】
既存の流体制御装置についてもプログラムを更新するだけで、本発明と同様の効果を享受できるようにするには、流路を流れる流体の流量又は圧力を測定する流体センサと、流体の流量又は圧力を制御する流体制御バルブと、バックライト、及び、液晶パネルを具備し、前記流体センサに設けられた液晶ディスプレイ、を備えた流体制御装置であって、前記流体制御装置の温度を測定する温度センサをさらに備えた流体制御装置に用いられるプログラムであって、前記温度センサで測定される温度が予め定められた停止閾値温度以上の場合に前記液晶パネルへの電圧の印加を停止する液晶制御部としての機能をコンピュータに発揮させることを特徴とする流体制御装置用プログラムを用いればよい。
【００２３】
なお、流体制御装置用プログラムは電子的に配信されるものであってもよいし、ＣＤ、ＤＶＤ、フラッシュメモリ等のプログラム記録媒体に記録されているものを用いてもよい。
【発明の効果】
【００２４】
このように本発明に係る流体制御装置によれば、高温環境下で使用される場合でも停止閾値温度以上の場合に前記液晶パネルへの電圧印加が停止されるので、高温時に可動域の大きくなった極性イオンに電圧が印加されて、偏りが生じ、画面の焼き付きが生じるのを防ぐことができる。また、仮に前記液晶パネル内に極性イオンの偏りがわずかに生じていたとしても、電圧の印加を停止することにより偏りを解消することができる。これらのことから、高温環境下で継続的に使用される流体制御装置の液晶ディスプレイであっても従来よりも製品寿命を長くすることができ、液晶ディスプレイの故障によって測定値や制御に関する信頼性を損なわないようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施形態における流体制御装置の使用例を示す模式的斜視図。
【図２】同実施形態における流体制御装置の構成を示す模式図。
【図３】同実施形態における流体制御装置の機能ブロック図。
【図４】同実施形態における流体制御装置の液晶パネルへの電圧印加停止時の動作を示すフローチャート。
【図５】同実施形態における流体制御装置の液晶パネルへの電圧印加再開時の動作を示すフローチャート。
【図６】同実施形態における流体制御装置の手動操作による液晶パネルへの電圧印加再開時の動作を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本発明の一実施形態における流体制御装置１００について図１乃至図６を参照しながら説明する。
【００２７】
本実施形態の流体制御装置１００はいわゆるマスフローコントローラであって、例えばチャンバに供給されるガスの流量を制御するために用いられるものである。なお、流体制御装置１００はガスだけでなく、液体を制御するものであってもよい。
【００２８】
図１に示すようにこの流体制御装置１００は、概略扁平直方体形状をなすものであり、複数種類のガスの流量をそれぞれ制御して、混合した上でチャンバに供給するために用いられる。このため、複数の流体制御装置１００を幅方向に並べて密集させて流体制御システム２００が構成される。このような流体制御システム２００は例えばガスボックス内等に収容される。また、流体制御装置１００内に流されるガスの温度も従来と比較して高温のガスであるため、ガスボックス内の温度は例えば５０℃を超える場合もある。
【００２９】
次に流体制御装置１００のハードウェア構成について説明する。図２に示すように流体制御装置１００は、内部流路Ｃが形成されたボディ１と、流量を測定するための流体センサである流量センサ３と、流体制御バルブ２と、制御等を司る制御ボードＢと、を備えたものである。流量センサ３と流体制御バルブ２はボディ１の上面に対して取り付けられ、制御ボードＢ等がボディ１の上面に被せられる概略直方体状のカバー４内に収容されている。カバー４の上面には流体制御装置１００内に設定されている情報やモニタリングしている情報等を表示するための液晶ディスプレイ５が外部に露出するように設けられている。また、カバー４の上面には液晶ディスプレイ５に隣接して、流体制御装置１００に対する手動操作を行うための複数の操作ボタン６が設けられている。加えて、外部からの電源入力や信号出力を行うための入出力端子ＴＭがカバー４の前面に突出させてある。
【００３０】
このようにマスフローコントローラとして構成された流体制御装置１００は、流量制御に必要なセンサ、制御器、アクチュエータと、表示器といった機器が１つにモジュール化されている。
【００３１】
各部について詳述する。
【００３２】
流体制御バルブ２は、例えばピエゾバルブであって印加される電圧によって、弁座と弁体との間の隙間の大きさである開度が制御される。
【００３３】
流量センサ３は、圧力式の流量センサであり、内部流路Ｃに設けられた層流素子３２、及び、層流素子３２の上流側と下流側のそれぞれに設けられた上流側圧力センサ３３及び下流側圧力センサ３４からなる流量検出機構３１と、各圧力センサで測定される層流素子３２の上流側と下流側の圧力に基づいて内部流路Ｃを流れる流体の流量を算出する流量算出部と、を備えている。具体的には、流量算出部は各圧力センサ３３、３４から上流側圧力、下流側圧力を示す信号をそれぞれ受付、それらの信号の示す各圧力値から既知の演算式に基づいて内部流路Ｃに流れている流量値を算出する。
【００３４】
液晶ディスプレイ５（ＬＣＤ）は、液晶パネル５１と、液晶パネル５１に電圧を印加するドライバ５２と、液晶パネル５１に対して光を照射するバックライト５３を備えたものである。液晶パネル５１は、対向電極が形成された一対のガラス基板の間に液晶が封入されており、一対のガラス基板の各外側面には水平方向と垂直方向の偏光フィルタがそれぞれ設けられている。ドライバ５２によって液晶パネル５１に印加される電圧を変化させることによって液晶分子の配列が変化し、バックライト５３から射出された光の透過率を変化させる。本実施形態では例えばモノクロの液晶ディスプレイを用いているが、カラーの液晶ディスプレイであっても構わない。
【００３５】
制御ボードＢは、ＣＰＵ、メモリ、Ａ／Ｄコンバータ、Ｄ／Ａコンバータ、各種入出力手段を備えたいわゆるコンピュータである。加えて、この制御ボードＢには流体制御装置１００周辺の環境温度を測定するための温度センサ７としてサーミスタが設けられている。すなわち、温度センサ７は流体制御装置１００の一部である流量センサ３、及び、流体制御バルブ２の近傍の温度を測定するように構成されている。ここで、流量センサ３、及び、流体制御バルブ２の近傍とは、例えば流体制御装置１００自体の発熱影響や内部流路Ｃを流れるガスの熱影響を受ける程度の距離内のことをいう。
【００３６】
また、制御ボードＢは、メモリに格納されている流体制御装置用プログラムが実行され、各種機器と協業することによって制御器としての機能が実現される。すなわち、制御ボードＢは、図３の機能ブロック図に示すように少なくとも前述した流量算出部と、バルブ制御部８１と、状態データ記憶部８２と、液晶制御部９としての機能を発揮する。
【００３７】
バルブ制御部８１は、外部から入力される指令流量と、流量センサ３で測定される測定流量とに基づいて流体制御バルブ２の開度を制御する。より具体的にはバルブ制御部８１は、指令流量と測定流量の偏差が小さくなるように流体制御バルブ２の開度を制御する。すなわち、指令流量と測定流量の偏差に対してＰＩＤ演算を行い、その結果に応じた電圧を流体制御バルブ２に対して印加する。
【００３８】
状態データ記憶部８２は、流体制御装置１００に設定されている指令流量、バルブ制御部８１に設定されているゲイン等の制御パラメータ、流体制御装置１００に流されているガス種、流量センサ３で測定されている流量の測定値等の情報を含む状態データを記憶するものである。これらの情報については液晶ディスプレイ５において表示するために用いられる。
【００３９】
液晶制御部９は、ドライバ５２を制御するコントローラとしての機能を発揮するものであり、液晶ディスプレイ５の表示内容の制御、及び、表示のオンオフを制御するものである。特に表示のオンオフの制御について液晶制御部９は温度センサ７で検出される温度に基づいて自動的に切り替えるように構成されている。すなわち、液晶制御部９は液晶パネル５１を動作させると製品寿命が短くなってしまう高温環境下では液晶パネル５１への電圧の印加を停止し、動作させても問題のない温度環境下では液晶パネル５１への電圧の印加を行うように動作する。
【００４０】
具体的には、液晶制御部９は、液晶ディスプレイ５に表示される表示内容を制御する表示制御部９１と、ドライバ５２が液晶パネル５１に対して印加する電圧を制御する電圧制御部９２と、ドライバ５２による液晶パネル５１への電圧印加をさせるかどうについて温度センサ７の検出温度Ｔと予め定められた条件に基づき判定し、その判定結果に基づいて電圧制御部９２を動作させる温度条件判定部９３と、を備えている。
【００４１】
表示制御部９１は、例えばユーザからの各操作ボタン６への入力に基づいて状態データ記憶部８２から表示させるデータを読み出し、表示する文字や数字等のキャラクターを決定する。表示制御部９１は、決定されたキャラクターに応じて液晶パネル５１の各画素の輝度を決定し、その輝度情報を含むデータを電圧制御部９２に対して出力する。
【００４２】
電圧制御部９２は、温度条件判定部９３から液晶パネル５１に電圧を印加することを許可する許可信号が入力されている場合には、表示制御部９１から入力されているデータに基づき、液晶パネル５１に対して電圧を印加するようにドライバ５２に対して電圧指令信号を入力する。この電圧指令信号に基づき、ドライバ５２は液晶パネル５１に電圧を印加し、各画素の透過率を変化させて、その輝度を制御する。
【００４３】
温度条件判定部９３は、温度センサ７から液晶パネル５１近傍の温度を示す温度信号が入力され、その温度信号と予め定められた温度条件に基づいて、電圧制御部９２に液晶パネル５１への電圧の印加を許可するかどうかを判定する。
【００４４】
以下では図４乃至６を参照しながら、温度条件判定部９３の構成及び動作について詳述する。
【００４５】
まず、液晶パネル５１に対してドライバ５２から電圧が印加されており、液晶ディスプレイ５に何らかの表示がされている場合について図４を参照しながら説明する。
【００４６】
温度条件判定部９３は、まず温度センサ７から出力される検出温度Ｔが予め定めた停止閾値温度Ｔｃ以上であるかどうかを判定する（ステップＳ１）。なお、停止閾値温度Ｔｃの具体例としては例えば４０℃が挙げられる。
【００４７】
検出温度Ｔが停止閾値温度Ｔｃ以上の場合には、温度条件判定部９３はこれまでの継続時間を示す停止カウントｔを加算する（ステップＳ２）。
【００４８】
さらに温度条件判定部９３は、停止カウントｔが予め定められた停止閾値時間ｔｃ以上の値となったかどうかについても判定する（ステップＳ３）。
【００４９】
停止カウントｔが停止閾値時間ｔｃ以上となった場合には、温度条件判定部９３は、電圧制御部９２に対して出力していた液晶パネル５１への電圧印加を許可する許可信号を停止し、液晶パネル５１への電圧印加を停止させる（ステップＳ４）。
【００５０】
停止カウントｔが停止閾値時間ｔｃよりも短い間は、ステップＳ１へと戻り、動作が繰り返される。また、ステップＳ１での判定で検出温度Ｔが停止閾値温度Ｔｃよりも低いと判定された場合には、温度条件判定部９３は停止カウントｔをゼロにリセットして、ステップＳ１へと戻り動作が繰り返される（ステップＳ５）。
【００５１】
このように温度条件判定部９３は検出温度Ｔが停止閾値温度Ｔｃ以上の状態が所定時間継続された場合には、電圧制御部９２に対する許可信号の出力を自動的に停止し、液晶パネル５１へ電圧が印加されないようにする。
【００５２】
次に、液晶パネル５１に対してドライバ５２から電圧が印加されておらず、液晶ディスプレイ５に表示がされていない場合について図５を参照しながら説明する。
【００５３】
温度条件判定部９３は、まず温度センサ７から出力される検出温度Ｔが予め定めた開始閾値温度Ｔｓ以下であるかどうかを判定する（ステップＳ１１）。なお、開始閾値温度Ｔｓは前述した停止閾値温度Ｔｃと同じ温度にしてもよいし、それよりも低い温度に設定してもよい。
【００５４】
検出温度Ｔが開始閾値温度Ｔｓ以下の場合には、温度条件判定部９３はこれまでの継続時間を示す開始カウントｔを加算する（ステップＳ１２）。
【００５５】
さらに温度条件判定部９３は、開始カウントｔが予め定められた開始閾値時間ｔｓ以上の値となったかどうかについても判定する（ステップＳ１３）。
【００５６】
開始カウントｔが開始閾値時間ｔｓ以上となった場合には、温度条件判定部９３は、電圧制御部９２に対して液晶パネル５１への電圧印加を許可する許可信号を出力し、液晶パネル５１への電圧印加を開始させる（ステップＳ１４）。
【００５７】
開始カウントｔが開始閾値時間ｔｓよりも短い間は、ステップＳ１１へと戻り、動作が繰り返される。また、ステップＳ１１での判定で検出温度Ｔが開始閾値温度Ｔｓよりも高いと判定された場合には、温度条件判定部９３は開始カウントｔをゼロにリセットして、ステップＳ１１へと戻り、動作が繰り返される（ステップＳ１５）。
【００５８】
このように温度条件判定部９３は検出温度Ｔが開始閾値温度Ｔｓ以下の状態が所定時間継続された場合には、電圧制御部９２に対する許可信号の出力を自動的に開始し、液晶パネル５１へ電圧が印加され、表示が復帰される。
【００５９】
最後に液晶パネル５１への電圧印加がされていない状態においてユーザから操作ボタン６への入力があった場合の動作について図６を参照しながら説明する。
【００６０】
ユーザから操作ボタン６への入力があった場合には（ステップＳ２１）、温度条件判定部９３は液晶パネル５１が停止中かどうかを判定する（ステップＳ２２）。液晶パネル５１に電圧が印加されておらず、停止中の場合には温度条件判定部９３は、現在温度センサ７で検出されている検出温度Ｔの値にかかわらず、液晶パネル５１への電圧印加を許可する許可信号を電圧制御部９２に対して出力する（ステップＳ２３）。なお、このようにして液晶ディスプレイ５が起動された場合には図４で示した動作を温度条件判定部９３は行い、検出温度Ｔが停止閾値温度Ｔｃよりも高い状態が所定時間継続した場合には再び液晶パネル５１への電圧印加を停止させる。
【００６１】
一方、ステップＳ２２において液晶パネル５１に対して電圧が印加されており、液晶ディスプレイ５での表示が行われている場合には、温度条件判定部９３は操作ボタン６に本来割り当てられている指令を示す信号を表示制御部９１に対して出力し、例えば表示内容を変更させるといった操作ボタン６に本来設定されている動作を行う（ステップＳ２４）。
【００６２】
このように本実施形態の流体制御装置１００によれば、流体制御装置１００が高温環境下に長期間さらされている場合には、自動的に液晶パネル５１への電圧の印加が停止され、液晶ディスプレイ５の表示がオフとされる。
【００６３】
したがって、高温環境下において液晶内の極性イオンの動作範囲が大きくなっている状態では、液晶パネル５１への電圧印加がされないようにでき、極性イオンの偏りが発生して画面の焼き付きといった不具合が発生するのを未然に防ぐことができる。
【００６４】
また、液晶パネル５１内において極性イオンの偏りが一部発生していたとしても、液晶パネル５１への電圧印加が停止されることによって、その偏りを戻すことができる。
【００６５】
これらのことから、例えば半導体製造工程において高温のガスを使用するようなものや、複数の流体制御装置１００を密集させるために熱がこもって高温になりやすい場合でも、液晶ディスプレイ５が流量センサ３や流体制御バルブ２よりも先に白濁化等による製品寿命を迎えてしまうのを防ぐことができる。
【００６６】
したがって、測定値や制御に不具合が生じていないにもかかわらず、液晶ディスプレイ５の表示がされないがために流体制御装置１００としての信頼性が損なわれないようにすることができる。
【００６７】
さらに、流体制御装置１００が高温環境下になく、液晶ディスプレイ５を動作させても製品寿命が大幅に縮まらない状態では自動的に液晶パネル５１への電圧印加が開始され、従来と同じ使用感を保つことができる。
【００６８】
その他の実施形態について説明する。
【００６９】
前記実施形態では流体制御装置の一例として圧力式のマスフローコントローラについて説明したが、本発明はこれに限られるものではない。本発明は、例えば流体センサとして熱式の流量センサを備えた熱式のマスフローコントローラであっても構わない。また、流体制御装置は流量を制御するものではなく、流体の圧力を制御するものであってもよい。このような場合には流体センサとして圧力センサだけを備え、バルブ制御部が、指令圧力と圧力センサで測定される測定圧力に基づいて流体制御バルブの開度を制御するものであればよい。加えて、本発明の構成は流体制御バルブを備えておらず、流体センサだけを備えたものにも適用できる。例えば流量センサとその測定値を表示するための液晶ディスプレイを備えたフローメータに温度センサを設けておき、温度センサで測定される温度が停止閾値温度以上の場合に液晶ディスプレイへの電圧の印加を停止するようにしてもよい。
【００７０】
温度センサは制御ボードに設けられたサーミスタに限られるものではない。例えば熱電対等の温度センサをボディ内において内部流路の近傍に埋め込んだものであってもよい。あるいは、温度センサは、流体センサや制御ボード内のダイオードの温度に対する特性変化に基づいて温度を測定するように構成してもよい。また、温度センサは、流体センサから得られる情報に基づいて温度を測定するものであってもよい。例えば熱式の流量センサ、圧力式の流量センサのいずれであっても既知の方法で内部の出力情報に基づき温度を推定することができる。加えて、液晶パネルを構成する素子自体から液晶ディスプレイ自体の温度を直接測定するようにしてもよい。言い換えると、温度センサは、流体制御装置全体の温度、又は、一部の温度を測定するものであってもよいし、流体制御装置の周囲の環境温度を測定するものであってもよい。
【００７１】
前記実施形態では、液晶ディスプレイにおいて液晶パネルだけの電圧の印加のオンオフを検出温度に応じて切り替えていたが、合わせてバックライトのオンオフについても検出温度に応じて切り替えても良い。このようにすれば、液晶パネルが動作しておらず、何も表示されない状態での消費電力を抑えることができる。また、流体制御装置は液晶ディスプレイの代わりに有機ＥＬディスプレイ等のその他の動作原理を用いたディスプレイを用いても構わない。このようなものであっても、温度センサで測定される温度が停止閾値温度となった場合には電圧の印加を停止するようにしてもよい。
【００７２】
液晶ディスプレイが設けられている位置は前記実施形態に示したものに限られない。例えば、流体センサや流体制御バルブの近傍にあって、制御される流体の熱や他の流体制御装置が発生する熱の影響を受ける位置に設けられているものであればよい。
【００７３】
操作ボタンについても前記実施形態で説明したものに限られない。すなわち、複数の操作ボタンを設けるのではなく、１つの操作ボタンを設けてもよい。また、操作ボタンについてはハードウェアとして構成するのではなく、タッチパネルディスプレイを用いてソフトウェアとして実現しても構わない。
【００７４】
その他、本発明の趣旨に反しない限りにおいて様々な変形や、種々の実施形態の一部同士を組み合わせたりしても構わない。
【符号の説明】
【００７５】
２００・・・流体制御システム
１００・・・流体制御装置（マスフローコントローラ）
１    ・・・ボディ
２    ・・・流体制御バルブ
３    ・・・流体センサ（圧力式の流量センサ）
４    ・・・カバー
５    ・・・液晶ディスプレイ
５１  ・・・液晶パネル
５２  ・・・ドライバ
５３  ・・・バックライト
６    ・・・操作ボタン
７    ・・・温度センサ
８１  ・・・バルブ制御部
８２  ・・・状態データ記憶部
９    ・・・液晶制御部
９１  ・・・表示制御部
９２  ・・・電圧制御部
９３  ・・・温度条件判定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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