(57)【要約】【課題】各フィルタの上下方向の全域に亘って目詰まりを十分に防止して、集塵機の集塵効率を高める。【解決手段】フィルタ３４の内側に上下方向に延びたインナーパイプ４４が設けられている。フィルタ３４の内側とインナーパイプ４４の外側との間には上下方向に延びたアウターパイプ４８が設けられている。払い落としユニット４２は、上部側の第１ノズル孔４６ｕと上部側の第２ノズル孔５０ｕのみが整合した状態、又は第１ノズル孔４６ｄと下部側の第２ノズル孔５０ｄのみが整合した状態に切り替わる。【選択図】  図３
2020015000.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
集塵容器内に設けられ、上下方向に延び、粉塵を捕捉する筒状のフィルタと、
前記フィルタを経由させながら前記集塵容器の外側に向かって空気を送風する送風機と、
前記フィルタの内側に設けられ、上下方向に延び、圧縮空気を噴出する複数の第１ノズル孔が上下方向に間隔を置いて形成されたインナーパイプと、
前記フィルタの内側と前記インナーパイプの外側との間に設けられ、上下方向に延び、前記フィルタの内周面に向かって圧縮空気を噴出する複数の第２ノズル孔が上下方向に間隔を置いて形成されたアウターパイプと、
前記インナーパイプを前記アウターパイプに対して相対的に回転させるアクチュエータと、を備え、
前記インナーパイプと前記アウターパイプの相対的な所定角度の回転によって、前記複数の第１ノズル孔のうちの所定の第１ノズル孔と前記複数の第２ノズル孔のうちの所定の第２ノズル孔が選択的に整合した状態に切り替わるように構成されていることを特徴とする集塵機。
【請求項２】
前記インナーパイプは、前記複数の第１ノズル孔からなる第１ノズル孔群を周方向に間隔を置いて複数有し、前記アウターパイプは、前記複数の第２ノズル孔からなる第２ノズル孔群を周方向に間隔を置いて複数有し、
前記インナーパイプの前記第１ノズル孔群と前記アウターパイプの前記第２ノズル孔群のうち、いずれか一方のノズル孔群は、上下方向に沿って直線状に並んで配置されたノズル孔を備え、他方のノズル孔群は、上下方向に沿って直線状に並んで配置されたノズル孔と、少なくとも周方向に所定角度ずらして直線状に並んで配置された別のノズル孔を備え、
前記一方のノズル孔群のノズル孔と前記他方のノズル孔群のノズル孔のみが整合した状態から、前記インナーパイプと前記アウターパイプの相対的な所定角度の回転によって、前記一方のノズル孔群のノズル孔と前記他方のノズル孔群の別のノズル孔のみが整合した状態に切り替わるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の集塵機。
【請求項３】
前記他方のノズル孔群のノズル孔は、前記インナーパイプ又は前記アウターパイプの上部側に配置され、前記他方のノズル孔群の別のノズル孔は、前記インナーパイプ又は前記アウターパイプの下部側に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の集塵機。
【請求項４】
前記他方のノズル孔群のノズル孔は、前記インナーパイプ又は前記アウターパイプの上部側に配置され、前記他方のノズル孔群の別のノズル孔は、前記インナーパイプ又は前記アウターパイプの中間部側及び上部側に配置され、
前記一方のノズル孔群のノズル孔と前記他方のノズル孔群の上部側のノズル孔のみが整合した状態から、前記インナーパイプと前記アウターパイプの相対的な所定角度の回転によって、前記一方のノズル孔群のノズル孔と前記他方のノズル孔群の中間部側のノズル孔のみが整合した状態に切り替わり、更に、前記インナーパイプと前記アウターパイプの相対的な所定角度の回転によって、前記一方のノズル孔群のノズル孔と前記他方のノズル孔群の下部側のノズル孔のみが整合した状態に切り替わるように構成されていることを特徴とする請求項２に記載の集塵機。
【請求項５】
前記アクチュエータは、前記インナーパイプの上端部に一体的に連結された環状の回転子を有した中空モータであることを特徴とする請求項１から請求項４のうちのいずれか１項に記載の集塵機。
【請求項６】
集塵機のフィルタに付着した粉塵を圧縮空気を利用して払い落とす方法において、
前記フィルタを少なくとも上部側と下部側の２つに分けて、前記フィルタの上部側の内周面に向かって圧縮空気を噴出させ、所定時間経過後に前記フィルタの下部側の内周面に向かって噴出させることにより、前記フィルタの上部側から下部側にかけて付着した粉塵を順次払い落とすことを特徴とする粉塵払い落とし方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粉塵を集塵する集塵機、及び集塵機のフィルタに付着した粉塵を圧縮空気を利用して払い落とす粉塵払い落とし方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ加工システムは、ワークに対してレーザ加工を行うレーザ加工機の他に、レーザ加工によって生じた粉塵を集塵する集塵機を具備している。そして、従来の集塵機（特許文献１参照）について簡単に説明すると、次の通りである。
【０００３】
集塵機における集塵容器内には、粉塵を捕捉する筒状のフィルタが設けられており、フィルタは、上下方向に延びている。集塵容器内の上部には、フィルタを経由させながら集塵容器の外側に向かって空気を送風する送風機が設けられている。これにより、レーザ加工機によるレーザ加工中に、送風機を稼動させることにより、粉塵を含む空気を集塵容器内に吸引して、粉塵を集塵すると共に、フィルタにより粉塵を除去した空気を集塵容器の外側に排出することができる。
【０００４】
集塵機内におけるフィルタの上方には、ノズル管が設けられており、ノズル管は、圧縮空気を生成する圧縮空気源に接続されている。ノズル管には、フィルタの内側に向かって圧縮空気を噴出するノズル孔が形成されている。これにより、ノズル孔からフィルタの内側に向かって圧縮空気を噴出させることにより、フィルタに付着した粉塵を払い落として、フィルタの目詰まりを防止することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−３３６６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、フィルタの上下方向の寸法が長くなると、ノズル孔からフィルタの内側に向かって圧縮空気を噴出させても、フィルタの下部側に付着した粉塵を十分に払い落とせないことがある。また、フィルタの上部側に付着した粉塵が圧縮空気によって一旦払い落とされても、集塵容器の外側に向かう空気の流れによってフィルタの下部側に再付着することがある。このような場合には、フィルタの上下方向の全域に亘って目詰まりを十分に防止することができず、送風機による送風量が低下して、集塵機の集塵効率を高めることが困難であるという問題がある。
【０００７】
特に、近年、ファイバレーザ加工機の普及に伴い、レーザ光の集光径の小径化が促進され、加工速度の高速化及び単位時間当たりの粉塵量が増えかつ粉塵の粒子が小さくなっている。そのため、フィルタが目詰まりし易く、前述の問題がより顕著になってきている。
【０００８】
なお、前述の問題は、レーザ加工によって発生する粉塵を集塵する集塵機だけでなく、レーザ加工以外の要因によって発生する粉塵を集塵する集塵機においても、同様に生じる。
【０００９】
そこで、本発明は、フィルタの上部側だけでなく下部側に付着した粉塵を十分に払い落としつつ、フィルタの下部側への粉塵の再付着を抑制できる、新規な構成の集塵機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の実施態様に係る集塵機は、集塵容器内に設けられ、上下方向に延び、粉塵を捕捉する筒状のフィルタと、前記フィルタを経由させながら前記集塵容器の外側に向かって空気を送風する送風機と、前記フィルタの内側に設けられ、上下方向に延び、圧縮空気（高圧空気）を噴出する複数の第１ノズル孔が上下方向に間隔を置いて形成されたインナーパイプと、前記フィルタの内側と前記インナーパイプの外側との間に設けられ、上下方向に延び、前記フィルタの内周面に向かって圧縮空気を噴出する複数の第２ノズル孔が上下方向に間隔を置いて形成されたアウターパイプと、前記インナーパイプを前記アウターパイプに対して相対的に回転させるアクチュエータと、を備えている。そして、前記インナーパイプと前記アウターパイプの相対的な所定角度の回転によって、前記複数の第１ノズル孔のうちの所定の第１ノズル孔と前記複数の第２ノズル孔のうちの所定の第２ノズル孔が選択的に整合した状態に切り替わるように構成されている。
【００１１】
本発明の実施形態では、前記インナーパイプは、前記複数の第１ノズル孔からなる第１ノズル孔群を周方向に間隔を置いて複数有し、前記アウターパイプは、前記複数の第２ノズル孔からなる第２ノズル孔群を周方向に間隔を置いて複数有してもよい。そして、前記インナーパイプの前記第１ノズル孔群と前記アウターパイプの前記第２ノズル孔群のうち、いずれか一方のノズル孔群は、上下方向に沿って直線状に並んで配置されたノズル孔を備え、他方のノズル孔群は、上下方向に沿って直線状に並んで配置されたノズル孔と、少なくとも周方向に所定角度ずらして直線状に並んで配置された別のノズル孔を備え、前記一方のノズル孔群のノズル孔と前記他方のノズル孔群のノズル孔のみが整合した状態から、前記インナーパイプと前記アウターパイプの相対的な所定角度の回転によって、前記一方のノズル孔群のノズル孔と前記他方のノズル孔群の別のノズル孔のみが整合した状態に切り替わるように構成されててもよい。
【００１２】
この場合、前記他方のノズル孔群のノズル孔は、前記インナーパイプ又は前記アウターパイプの上部側に配置され、前記他方のノズル孔群の別のノズル孔は、前記インナーパイプ又は前記アウターパイプの下部側に配置されてもよい。
【００１３】
また、前記他方のノズル孔群のノズル孔は、前記インナーパイプ又は前記アウターパイプの上部側に配置され、前記他方のノズル孔群の別のノズル孔は、前記インナーパイプ又は前記アウターパイプの中間部側及び上部側に配置されてもよい。そして、前記一方のノズル孔群のノズル孔と前記他方のノズル孔群の上部側のノズル孔のみが整合した状態から、前記インナーパイプと前記アウターパイプの相対的な所定角度の回転によって、前記一方のノズル孔群のノズル孔と前記他方のノズル孔群の中間部側のノズル孔のみが整合した状態に切り替わり、更に、前記インナーパイプと前記アウターパイプの相対的な所定角度の回転によって、前記一方のノズル孔群のノズル孔と前記他方のノズル孔群の下部側のノズル孔のみが整合した状態に切り替わるように構成されてもよい。
【００１４】
本発明の実施態様では、前記アクチュエータは、前記インナーパイプの上端部に一体的に連結された環状の回転子を有した中空モータであってもよい。
【００１５】
本発明の実施態様によると、前記インナーパイプと前記アウターパイプの相対的な所定角度の回転によって、前記複数の第１ノズル孔のうちの所定の第１ノズル孔と前記複数の第２ノズル孔のうちの所定の第２ノズル孔が選択的に整合した状態に切り替わる。そのため、前記フィルタを少なくとも上部側と下部側の２つに分けて、それぞれの内周面に向かって圧縮空気を順次噴出させることができる。これにより、前記フィルタの上部側だけでなく下部側に付着した粉塵を十分に払い落としつつ、前記フィルタの下部側への粉塵の再付着を抑制できる。
【００１６】
本発明の他の実施態様に係る粉塵払い落とし方法は、集塵機のフィルタに付着した粉塵を圧縮空気を利用して払い落とす方法において、前記フィルタを少なくとも上部側と下部側の２つに分けて、前記フィルタの上部側の内周面に向かって圧縮空気を噴出させ、所定時間経過後に前記フィルタの下部側の内周面に向かって噴出させることにより、前記フィルタの上部側から下部側にかけて付着した粉塵を順次払い落とす。
【００１７】
本発明の他の実施態様によると、前記フィルタの上部側だけでなく下部側に付着した粉塵を十分に払い落としつつ、前記フィルタの下部側への粉塵の再付着を抑制できる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、前記フィルタの上下方向の全域に亘って目詰まりを十分に防止することができ、前記送風機による送風量を安定的に確保して、前記集塵機の集塵効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係るレーザ加工システムを示す模式的な正面図であり、図１では、ファイバレーザ加工機は一部のみ図示してある。
【図２】図２は、本発明の実施形態に係る集塵機を示す模式的な正断面図である。
【図３】図３は、図２におけるIII部の拡大図であり、図３では、アウターパイプとインナーパイプを上部整合状態として図示している。
【図４】図４（ａ）は、インナーパイプを示す斜視図であり、図４（ｂ）は、アウターパイプを示す斜視図である。
【図５】図５（ａ）は、払い落としユニットの上部整合状態を示すアウターパイプの部分展開図である。図５（ｂ）は、払い落としユニットの中間側整合状態を示すアウターパイプの部分展開図である。図５（ｃ）は、払い落としユニットの下部整合状態を示すアウターパイプの部分展開図である。図５（ａ）（ｂ）（ｃ）には、インナーパイプの第１ノズル孔を図示している。
【図６】図６（ａ）は、払い落としユニットの上部整合状態を示すアウターパイプ及びインナーパイプの上部側の横断面図である。図６（ｂ）は、払い落としユニットの中間側整合状態を示すアウターパイプ及びインナーパイプの中間部側の横断面図である。図６（ｃ）は、払い落としユニットの下部整合状態を示すアウターパイプ及びインナーパイプの下部側の横断面図である。
【図７】図７（ａ）は、変形例に係るインナーパイプを示す斜視図であり、図７（ｂ）は、変形例に係るアウターパイプを示す斜視図である。
【図８】図８（ａ）（ｂ）は、集塵容器の入口側と出口側の差圧が第１閾値を越えた後の経過時間と、集塵容器の入口側と出口側の差圧との関係を示すグラフ図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の実施形態について図１から図８（ａ）（ｂ）を参照して説明する。
【００２１】
なお、本願の明細書及び特許請求の範囲において、「設けられる」とは、直接的に設けられることの他に、別部材を介して間接的に設けられることを含む意である。また、図面中、「ＦＦ」は前方向、「ＦＲ」は後方向、「Ｌ」は左方向、「Ｒ」は右方向、「Ｕ」は上方向、「Ｄ」は下方向をそれぞれ指している。
【００２２】
図１に示すように、本発明の実施形態に係るレーザ加工システム１０は、板状のワーク（板金）Ｗに対してレーザ加工を行うファイバレーザ加工機１２を具備している。ファイバレーザ加工機１２は、レーザ加工によって生じた粉塵を収容する収容ボックス１４を備えている。なお、レーザ加工システム１０は、ファイバレーザ加工機１２に代えて、炭酸ガスレーザ加工機等を用いてもよい。
【００２３】
レーザ加工システム１０は、ファイバレーザ加工機１２の他に、粉塵を集塵する集塵機１６を具備している。そして、本発明の実施形態に係る集塵機１６の具体的な構成は、以下の通りである。
【００２４】
図２及び図３に示すように、集塵機１６は、上下方向に延びた集塵容器（箱型の集塵機本体）１８を備えている。集塵容器１８の側面の下部には、粉塵を含む空気を集塵容器１８内に吸引するための吸引口２０が形成されており、吸引口２０は、集塵ダクト２２を介して収容ボックス１４の内部に連通している。集塵容器１８の頂部には、粉塵を除去した空気を集塵容器１８の外側に排出するための排出口２４が形成されている。また、集塵容器１８内には、清浄室２６と集塵室２８とに上下に仕切る仕切板３０が設けられている。仕切板３０には、９つ（３つのみ図示）の通孔３２が前後方向及び左右方向に間隔を置いて形成されている。
【００２５】
仕切板３０における各通孔３２の周縁部には、粉塵を捕捉する円筒状のフィルタ３４の上端部が固定されており、各フィルタ３４は、上下方向に延びている。清浄室２６は、排出口２４と通孔３２を連通する空間であり、フィルタ３４により粉塵を除去した空気は、清浄室２６を通過する。また、集塵室２８は、吸引口２０とフィルタ３４を介して通孔３２と連通する空間であり、吸引口２０から吸引された粉塵を含む空気は、集塵室２８を通過する。なお、フィルタ３４の数は、９つに限るものでなく、１つ又は９つ以外の複数であってもよい。フィルタ３４の形状は、円筒状に限るものでなく、角筒状であってもよい。
【００２６】
集塵室２８におけるフィルタ３４の下側には、回収ボックス３８に粉塵を集めるホッパ３６が設けられている。回収ボックス３８は、集塵室２８に対して出し入れ可能に構成されている。また、清浄室２６には、フィルタ３４を経由させながら集塵容器１８の外側（排出口２４側）に向かって空気を送風する送風機としてのブロア４０が設けられている。
【００２７】
集塵機１６は、複数のフィルタ３４に付着した粉塵を圧縮空気（高圧空気）を利用して払い落とすための払い落としユニット４２を備えている。そして、本発明の実施形態に係る払い落としユニット４２の具体的な構成は、次の通りである。
【００２８】
図２、図３、及び図４（ａ）（ｂ）に示すように、各フィルタ３４の内側には、上下方向に延びたインナーパイプ４４が設けられている。各インナーパイプ４４は、その周方向に沿って等間隔に複数配置されかつ複数の第１ノズル孔４６からなる第１ノズル孔群Ｇ１を有している。各第１ノズル孔群Ｇ１における複数の第１ノズル孔４６は、上下方向に沿って直線状に並んでおり、各第１ノズル孔４６は、圧縮空気を噴出可能である。図４（ａ）では、周方向の全第１ノズル孔群Ｇ１のうちの一部（５つ）の第１ノズル孔群Ｇ１のみを一点鎖線で囲んで示している。
【００２９】
ここで、各第１ノズル孔群Ｇ１における全第１ノズル孔４６は、上下に３等分され、それぞれ上部と中間と下部に分割される。各第１ノズル孔群Ｇ１における全第１ノズル孔４６は、上部側の複数の第１ノズル孔４６ｕ（図４（ａ）ではその一部のみを図示）と、中間側の複数の第１ノズル孔４６ｍ（図４（ａ）ではその一部のみを図示）と、下部側の複数の第１ノズル孔４６ｄ（図４（ａ）ではその一部のみを図示）とに分けられる。各第１ノズル孔群Ｇ１における上部側の複数の第１ノズル孔４６ｕ、中間側の複数の第１ノズル孔４６ｍ、及び下部側の複数の第１ノズル孔４６ｄは、同じ周方向位置に位置している。換言すれば、各第１ノズル孔群Ｇ１は、上下方向に沿って直線状に並んで配置された複数の第１ノズル孔４６（４６ｕ，４６ｍ，４６ｄ）を備えている。
【００３０】
各フィルタ３４の内側と各インナーパイプ４４の外側との間には、上下方向に延びたアウターパイプ４８が設けられている。インナーパイプ４４とアウターパイプ４８は、全周に亘って互いに近接している。各アウターパイプ４８は、その周方向に沿って等間隔に複数配置されかつ複数の第２ノズル孔５０からなる第２ノズル孔群Ｇ２を有している。各第２ノズル孔群Ｇ２における複数の第２ノズル孔５０は、上下方向に沿って並んでおり、各第２ノズル孔４６は、各フィルタ３４の内周面に向かって圧縮空気を噴出可能である。図４（ｂ）では、周方向の全第２ノズル孔群Ｇ２のうちの一部（５つ）の第２ノズル孔群Ｇ２のみを一点鎖線で囲んで示している。
【００３１】
ここで、第２ノズル孔群Ｇ２の数は、第１ノズル孔群Ｇ１の数と同じである。第２ノズル孔５０の大きさは、第１ノズル孔４６と同じ大きさ又はそれ以上の大きさに設定されている。また、各第２ノズル孔群Ｇ２における全第２ノズル孔５０は、上下に３等分され、それぞれ上部と中間と下部に分割される。各第２ノズル孔群Ｇ２における全第２ノズル孔５０は、上部側の複数の第２ノズル孔５０ｕ（図４（ｂ）ではその一部のみを図示）と、中間側の複数の第２ノズル孔５０ｍ（図４（ｂ）ではその一部のみを図示）と、下部側の複数の第２ノズル孔５０ｄ（図４（ｂ）ではその一部のみを図示）とに分けられる。各第２ノズル孔群Ｇ２における上部側の複数の第２ノズル孔５０ｕ、中間側の複数の第２ノズル孔５０ｍ、及び下部側の複数の第２ノズル孔５０ｄは、周方向位置を所定角度（本発明の実施形態では、例えば５度）ずつずらしている。換言すれば、各第２ノズル孔群Ｇ２は、上下方向に沿って直線状に並んで配置された第２ノズル孔５０（５０ｕ）と、少なくとも周方向に所定角度ずらして直線状に並んで配置された別の第２ノズル孔５０（５０ｍ，５０ｄ）を備えている。更に、各フィルタ３４の内周面と各アウターパイプ４８の外周面との間には、粉塵を除去した空気を流通させるための案内通路５２が形成されている。
【００３２】
図３に示すように、仕切板３０における各通孔３２の周縁部には、各インナーパイプ４４を所定角度ずつ回転させるアクチュエータとして中空モータ５４が一対のブラケット５６を介して設けられている。各中空モータ５４は、仕切板３０における各通孔３２の周縁部に固定された環状の固定子５８と、固定子５８の内側に回転可能に設けられた環状の回転子６０とを有している。また、各中空モータ５４の回転子６０は、各インナーパイプ４４の上端部の一体的に連結されている。アウターパイプ４８の上端部は、仕切板３０に又はブラケット５６を介して仕切板３０に一体的に連結されている。なお、ブラケット５６には、フィルタ３４を経由した空気を清浄室２６に流入させるための隙間が設けられている。
【００３３】
図３から図６（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、払い落としユニット４２（集塵機１６）は、各インナーパイプ４４の所定角度（本発明の実施形態では、例えば５度）ずつの回転によって、上部整合状態、中間部整合状態、又は下部整合状態に切り替わるように構成されている。上部整合状態とは、各第１ノズル孔群Ｇ１における上部側の複数の第１ノズル孔４６ｕと各第２ノズル孔群Ｇ２における上部側の複数の第２ノズル孔５０ｕのみが整合した状態のことをいう（図５（ａ）及び図６（ａ）参照）。中間部整合状態とは、各第１ノズル孔群Ｇ１における中間部側の複数の第１ノズル孔４６ｍと各第２ノズル孔群Ｇ２における中間部側の複数の第２ノズル孔５０ｍのみが整合した状態のことをいう（図５（ｂ）及び図６（ｂ）参照）。下部側整合状態とは、各第１ノズル孔群Ｇ１における下部側の複数の第１ノズル孔４６ｄと各第２ノズル孔群Ｇ２における下部側の複数の第２ノズル孔５０ｄのみが整合した状態のことをいう（図５（ｃ）及び図６（ｃ）参照）。換言すれば、第１ノズル孔４６ｕと第２ノズル孔５０ｕは、インナーパイプ４４の１５度回転毎に整合する。第１ノズル孔４６ｍと第２ノズル孔５０ｍ、第１ノズル孔４６ｄと第２ノズル孔５０ｄも、それぞれ同様に、インナーパイプ４４の１５度回転毎に整合する。つまり、払い落としユニット４２は、各インナーパイプ４４の所定角度（本発明の実施形態では、例えば５度）ずつの回転によって、複数の第１ノズル孔４６のうちの所定の第１ノズル孔４６と複数の第２ノズル孔５０のうちの所定の第２ノズル孔５０が選択的に整合した状態に切り替わるように構成されている。
【００３４】
なお、図７は前述の図４に代えて、インナーパイプ４４とアウターパイプ４８の構成を入れ替えた例を示す。図７（ａ）に示すように、各第１ノズル孔群Ｇ１における上部側の複数の第１ノズル孔４６ｕ（一部のみを図示）、中間側の複数の第１ノズル孔４６ｍ（一部のみを図示）、及び下部側の複数の第１ノズル孔４６ｄ（一部のみを図示）の周方向位置を所定角度（本発明の実施形態では、例えば５度）ずつずらしてもよい。この場合には、図７（ｂ）に示すように、各第２ノズル孔群Ｇ２における上部側の複数の第２ノズル孔５０ｕ（一部のみを図示）、中間側の複数の第２ノズル孔５０ｍ（一部のみを図示）、及び下部側の複数の第２ノズル孔５０ｄ（一部のみを図示）は、同じ周方向位置に位置する。図７（ａ）では、全第１ノズル孔群Ｇ１のうちの一部（５つのみ）の第１ノズル孔群Ｇ１を一点鎖線で囲んで示している。図７（ｂ）では、全第２ノズル孔群Ｇ２のうちの複数の第２ノズル孔群Ｇ２を二点鎖線で囲んで示している。
【００３５】
図２及び図３に示すように、集塵室２８おけるブロア４０の下側には、圧縮空気を収容するエアタンク６２が設けられている。エアタンク６２は、圧縮空気を生成するエアコンプレッサ等の圧縮空気源６４に配管６６を介して接続されている。また、各中空モータ５４の回転子６０には、配管６８の一端部が回転継手７０を介して接続されており、各配管６８の他端部は、エアタンク６２に接続されている。換言すれば、各インナーパイプ４４は、中空モータ５４の回転子６０、回転継手７０、配管６８、及びエアタンク６２等を介して圧縮空気源６４に接続されている。更に、各配管６８の途中には、各配管６８の流路を開閉するバルブ７２が配設されている。
【００３６】
図示は省略するが、集塵機１６は、集塵容器１８の入口側（集塵室２８）の圧力を検出する入口圧力計と、集塵容器１８の出口側（清浄室２６）の圧力を検出する出口圧力計とを備えている。集塵機１６は、入口圧力計及び出口圧力計からの検出結果に基づいて、集塵容器１８の入口側と出口側の差圧、換言すれば、集塵室２８と清浄室２６の差圧を監視する。
【００３７】
続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について、本発明の実施形態に係る粉塵払い落とし方法を含めて説明する。本発明の実施形態に係る粉塵払い落とし方法は、集塵機１６のフィルタ３４に付着した粉塵を圧縮空気を利用して払い落とす方法である。
【００３８】
ファイバレーザ加工機１２によるレーザ加工中に、ブロア４０を稼動させて、フィルタ３４を経由させながら集塵容器１８の外側に向かって空気の送風を続ける。これにより、レーザ加工により発生する粉塵を含む空気を吸引口２０から集塵容器１８内に吸引して、粉塵を集塵すると共に、粉塵を除去した空気を排出口２４から集塵容器１８の外側に排出することができる。
【００３９】
フィルタ３４が粉塵の付着によって目詰まりして、集塵容器１８の入口側と出口側の差圧が第１閾値Ｐ１を越えると、次のように、払い落としユニット４２の払い落とし動作を開始する。第１閾値Ｐ１とは、払い落としユニット４２の払い落とし動作を開始するための基準となる閾値のことであり、例えば１ｋＰａである。
【００４０】
払い落としユニット４２を上部整合状態にした上で、各バルブ７２の開閉動作を実行する。すると、各第２ノズル孔群Ｇ２における上部側の複数の第２ノズル孔５０ｕから各第１ノズル孔群Ｇ１における上部側の複数の第１ノズル孔４６ｕを介して各フィルタ３４の上部側の内周面に向かって圧縮空気を噴出させることができる（図３、図５（ａ）、及び図６（ａ）参照）。すると、フィルタ３４の内部から外部に向かって圧縮空気が噴出され、フィルタに付着した粉塵が払い落とされる。
【００４１】
次に、各中空モータ５４の駆動により各インナーパイプ４４を所定角度（本発明の実施形態においては、例えば５度）だけ回転させて、払い落としユニット４２を中間整合状態に切り替え、各バルブ７２の開閉動作を実行する。すると、各第２ノズル孔群Ｇ２における中間部側の複数の第２ノズル孔５０ｍから各第１ノズル孔群Ｇ１における中間部側の複数の第１ノズル孔４６ｍを介して各フィルタ３４の中間部側の内周面に向かって圧縮空気を噴出させることができる（図３、図５（ｂ）、及び図６（ｂ）参照）。
【００４２】
更に、各中空モータ５４の駆動により各インナーパイプ４４を所定角度（本発明の実施形態においては、例えば５度）だけ回転させて、払い落としユニット４２を下部整合状態に切り替え、各バルブ７２の開閉動作を実行する。すると、各第２ノズル孔群Ｇ２における下部側の複数の第２ノズル孔５０ｄから各第１ノズル孔群Ｇ１における下部側の複数の第１ノズル孔４６ｄを介して各フィルタ３４の下部側の内周面に向かって圧縮空気を噴出させることができる（図３、図５（ｃ）、及び図６（ｃ）参照）。
【００４３】
つまり、各フィルタ３４を上部側と中間部側と下部側の３つに分けて、それぞれの内周面に向かって圧縮空気を順次噴出させることができる。これにより、各フィルタ３４の上部側から下部側にかけて付着した粉塵を十分に払い落としつつ、各フィルタ３４の下部側への粉塵の再付着を抑制できる。換言すれば、フィルタ３４の上部側から一旦払い落とされた粉塵がブロア４０による吸引によりフィルタ３４の中間部側や下部側に再付着した場合であっても、フィルタ３４の中間部側、下部側と順番に払い落としが行われ、粉塵の再付着を確実に防ぐことができる。
【００４４】
ここで、図８（ａ）は、時間の経過に伴う集塵容器１８の入口側と出口側の差圧の変化を示している。各バルブ７２の開閉動作は、集塵容器１８の入口側と出口側の差圧が第１閾値Ｐ１を越えた直後から所定の第１時間間隔（本発明の実施形態にあっては、例えば５０秒間）毎に実行する。各バルブ７２の開閉動作は、集塵容器１８の入口側と出口側の差圧が第１閾値Ｐ１以下になるまで繰り返して実行する。なお、集塵容器１８の入口側と出口側の差圧の変化に代えて、集塵容器１８の入口側又は出口側の空気の流量変化に基づいて各バルブ７２の開閉動作を行ってもよい。
【００４５】
図８（ｂ）は、図８（ａ）と同様に、時間の経過に伴う集塵容器１８の入口側と出口側の差圧の変化を示している。集塵容器１８の入口側と出口側の差圧が第１閾値Ｐ１を越えて払い落としを実行したにも拘わらず、第２閾値Ｐ２を越えると、各バルブ７２の開閉動作の実行間隔を所定の第１時間間隔よりも短い所定の第２時間間隔（本発明の実施形態にあっては、例えば３０秒間）に変更する。図８（ｂ）は、所定の第２時間間隔で払い落とした結果、集塵容器１８の入口側と出口側の差圧が閾値Ｐ１以下に低下したことを示している。第２閾値Ｐ２とは、各バルブ７２の開閉動作の実行間隔を変更するための基準となる閾値のことであり、例えば２ｋＰａである。
【００４６】
以上のように、本発明の実施形態によれば、各フィルタ３４の上下方向の全域に亘って目詰まりを十分に防止することができ、ブロア４０による送風量を安定的に確保して、集塵機１６の集塵効率を高めることができる。
【００４７】
また、各インナーパイプ４４を回転させるアクチュエータとして中空モータ５４を用いているため、インナーパイプ４４をエアタンク６２、換言すれば、圧縮空気源６４に接続する構成の複雑化を抑えることができる。
【００４８】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限るものでなく、例えば、次のように種々の態様で実施可能である。
【００４９】
各フィルタ３４を上部側と中間部側と下部側の３つに分ける代わりに、上部側と下部側の２つ又は４つ以上に分けて、それぞれの内周面に向かって圧縮空気を順次噴出させてもよい。また、各インナーパイプ４４を同一方向に所定角度の回転を繰り返す代わりに、正逆方向の所定角度の回転（正転と逆転）を繰り返してもよい。更に、各インナーパイプ４４を回転させる代わりに、各アウターパイプ４８を回転させることによって各インナーパイプ４４を各アウターパイプ４８に対して相対的に回転させもよい。この場合には、中空モータ５４に代えて、各アウターパイプ４８を回転させる別のアクチュエータ（図示省略）を用いる。更に、
そして、本発明に包含される権利範囲は、レーザ加工によって生じた粉塵を集塵する集塵機１６だけでなく、レーザ加工以外の要因によって生じた粉塵を集塵する集塵機（図示省略）にも及ぶものである。
【符号の説明】
【００５０】
１０    レーザ加工システム
１２    ファイバレーザ加工機（レーザ加工機）
１４    収容ボックス
１６    集塵機
１８    集塵容器
２０    吸引口
２２    集塵ダクト
２４    排出口
２６    清浄室
２８    集塵室
３０    仕切板
３２    通孔
３４    フィルタ
３６    ホッパ
３８    回収ボックス
４０    ブロア（送風機）
４２    払い落としユニット
４４    インナーパイプ
Ｇ１    第１ノズル孔群
４６    第１ノズル孔
４６ｕ  上部側の第１ノズル孔
４６ｍ  中間部側の第１ノズル孔
４６ｄ  下部側の第１ノズル孔
４８    アウターパイプ
Ｇ２    第２ノズル孔群
５０    第２ノズル孔
５０ｕ  上部側の第２ノズル孔
５０ｍ  中間部側の第２ノズル孔
５０ｄ  下部側の第２ノズル孔
５２    案内通路
５４    中空モータ（アクチュエータ）
５６    ブラケット
５８    固定子
６０    回転子
６２    エアタンク
６４    圧縮空気源
６６    配管
６８    配管
７０    回転継手
７２    バルブ
Ｗ    ワーク（板金）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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