(57)【要約】【課題】密封環の摺動面における接触圧を安定させ、シール性を高めることができる軸封装置を提供する。【解決手段】フロート４２により支持される密封環４０の摺動面４０ａを相対回転摺動させ、摺動面４０ａの径方向の一方側に存在する被密封流体を密封する軸封装置１であって、密封環４０には、フロート４２よりも被密封流体側に二次シール４３が設けられている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フロートにより支持される密封環の摺動面を相対回転摺動させ、被密封流体を密封する軸封装置であって、
前記密封環には、前記フロートよりも前記被密封流体側に二次シールが設けられていることを特徴とする軸封装置。
【請求項２】
前記フロートは、前記二次シールよりも前記摺動面側に配置されている請求項１に記載の軸封装置。
【請求項３】
前記フロートは、Ｏリングである請求項１または２に記載の軸封装置。
【請求項４】
前記二次シールはＯリングであり、前記フロート用のＯリングと同サイズである請求項３に記載の軸封装置。
【請求項５】
前記二次シールはＯリングであり、前記フロート用のＯリングよりも断面小径である請求項３に記載の軸封装置。
【請求項６】
前記二次シールと前記フロートは、前記密封環に対して同軸上で接触している請求項１ないし５のいずれかに記載の軸封装置。
【請求項７】
前記二次シールは、回転軸の外周に固定されるホルダに形成される凹部に設けられている請求項１ないし６のいずれかに記載の軸封装置。
【請求項８】
前記フロートは、前記密封環の内周と前記ホルダの外周にそれぞれ形成される段部により軸方向に挟持されている請求項７に記載の軸封装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転軸を軸封する軸封装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の軸封装置として、種々の形態のものがあるが、高圧の流体の密封にはメカニカルシールが用いられることが多い。メカニカルシールは、ハウジングに固定される固定密封環の摺動面と、回転軸に固定され回転軸とともに回転する回転密封環の摺動面とを相対回転摺動させることにより、ハウジングと回転軸との間の隙間を軸封している。
【０００３】
このようなメカニカルシールにおいては、ハウジングと固定密封環の間に設けられるスプリングの付勢力により固定密封環の摺動面を回転密封環の摺動面に対して軸方向に押し付けるとともに、回転軸に固定されるホルダに回転密封環の背面側を当接させることにより、摺動面間の接触圧を調整する構成が一般的であるが、ホルダの精度不良やホルダに圧力変形が生じた場合には、回転密封環の摺動面がこれらの影響を受け固定密封環の摺動面との密封性が低下してしまう虞がある。
【０００４】
このようなことから、ホルダの精度不良やホルダの圧力変形への対処も検討されている。例えば、特許文献１のメカニカルシールは、回転密封環をいわゆるフロート支持することによって対処している。具体的には、メカニカルシールは、ハウジングに取り付けられるカバーと、カバーの内周にＯリングを介在させた状態で取り付けられる固定密封環と、回転軸に固定されるホルダと、ホルダの外周にフロート（Ｏリング）を介在させた状態で取り付けられる回転密封環と、固定密封環の摺動面を回転密封環の摺動面に対して軸方向に押し付けるように付勢するスプリングと、から主に構成されており、回転密封環の背面側をホルダから軸方向に離間させ、回転密封環を固定密封環の軸方向移動に追従可能とするとともに、内周に接触するフロートを支点として回転密封環の傾きを許容するように構成されている。
【０００５】
また、特許文献１のメカニカルシールは、カバーにおけるＯリングの接触面の径および回転密封環におけるフロートの接触面の径（いわゆる圧力バランス径）と、固定密封環の摺動面（シール領域）の内外径とのバランス比が所定値に設定されることにより、固定密封環および回転密封環に作用する被密封流体の圧力のバランスが軸方向両側で一定となるバランス形メカニカルシールとして構成されているため、摺動面に過大な接触圧が作用しないようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１６−３５２９４号公報（第５頁、第２図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１にあっては、被密封流体の圧力の変化や回転密封環が固定密封環に追従する動きに伴って発生する傾きによっては、フロートが変形し回転密封環におけるフロートの圧力バランス径が変動して固定密封環および回転密封環に作用する被密封流体の圧力のバランスが崩れる虞があり、摺動面における接触圧が過大となれば摺動面の焼付きや欠損が発生し、摺動面における接触圧が弱まればシール性が低下してしまうという問題があった。
【０００８】
本発明は、このような問題点に着目してなされたもので、密封環の摺動面における接触圧を安定させ、シール性を高めることができる軸封装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するために、本発明の軸封装置は、
フロートにより支持される密封環の摺動面を相対回転摺動させ、被密封流体を密封する軸封装置であって、
前記密封環には、前記フロートよりも前記被密封流体側に二次シールが設けられていることを特徴としている。
この特徴によれば、被密封流体が二次シールによりシールされ、フロート側への被密封流体の侵入が防止されるとともに、密封環がフロートと二次シールにより支持され、被密封流体の圧力の変化や密封環の傾きによるフロートの変形を抑制することにより、密封環に被密封流体の圧力が不均一なバランスで作用することを防止できるため、密封環の摺動面における接触圧を安定させ、シール性を高めることができる。
【００１０】
好適には、前記フロートは、前記二次シールよりも前記摺動面側に配置されている。
これによれば、フロートは軸方向において密封環の摺動面の近傍で密封環に当接するため、密封環を安定して傾動させることができる。
【００１１】
好適には、前記フロートは、Ｏリングである。
これによれば、密封環におけるフロートの接触面を小さくして摩擦を低減することにより、密封環が軸方向移動しやすくなり傾きが抑えられるため、密封環の摺動面における接触圧をより安定させることができる。また、密封環用の二次シールに加えて、フロートも二次シール機能を有するため、回転密封環側の二次シール機能に優れる。
【００１２】
好適には、前記二次シールはＯリングであり、前記フロート用のＯリングと同サイズである。
これによれば、二次シールとフロートの取り付け間違いがなくなるため、密封環の組み付けが容易である。
【００１３】
好適には、前記二次シールはＯリングであり、前記フロート用のＯリングよりも断面小径である。
これによれば、密封環を小さくすることができるため、コンパクト設計、そして低コスト化に対応できる。
【００１４】
好適には、前記二次シールと前記フロートは、前記密封環に対して同軸上で接触している。
これによれば、密封環の軸方向移動時における傾きを抑えることができる。
【００１５】
好適には、前記二次シールは、回転軸の外周に固定されるホルダに形成される凹部に設けられている。
これによれば、密封環における圧力バランス径を一定にすることができる。
【００１６】
好適には、前記フロートは、前記密封環の内周と前記ホルダの外周にそれぞれ形成される段部により軸方向に挟持されている。
これによれば、密封環にフロートからの反力を常に作用させることにより、軸方向への追従性を高めることができるため、密封環の摺動面の接触状態を維持しやすい。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施例１における軸封装置の構造を示す断面図である。
【図２】実施例１における軸封装置の要部拡大断面図である。
【図３】実施例１におけるＯリング（二次シール）が被密封流体の圧力により圧縮された状態を示す拡大断面図である。
【図４】本発明の実施例２における軸封装置の構造を示す拡大断面図である。
【図５】本発明の実施例３における軸封装置の構造を示す拡大断面図である。
【図６】本発明の実施例４における軸封装置の構造を示す拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明に係る軸封装置を実施するための形態を実施例に基づいて以下に説明する。
【実施例１】
【００１９】
実施例１に係る軸封装置につき、図１から図３を参照して説明する。尚、本実施例においては、紙面右側を大気側、紙面左側を機内側として説明する。
【００２０】
図１に示されるように、本実施例の軸封装置１は、摺動面の外周から内周に向かって漏れようとする被密封流体をシールするインサイド形のメカニカルシールであり、ポンプやコンプレッサ等の回転機械の回転軸２と図示しない回転機器のハウジングに固定されるシールカバー３との間に設けられており、シールカバー３に固定された円環状の固定密封環３０と、回転軸２に回動不能に取付けられたホルダ４を介して回転軸２に固定される円環状の回転密封環４０（密封環）と、から主に構成され、コイルスプリング６０によって固定密封環３０が軸方向左方（回転密封環４０側）に付勢されることにより、固定密封環３０の摺動面３０ａと回転密封環４０の摺動面４０ａを互いに密接摺動させ、機内の高圧の被密封流体を軸封できるようになっている。尚、後段にて詳述するが、軸封装置１は、固定密封環３０および回転密封環４０に作用する被密封流体の圧力のバランスが軸方向両側で一定となるバランス形メカニカルシールとして構成されている。
【００２１】
固定密封環３０および回転密封環４０は、代表的にはＳｉＣ（硬質材料）同士またはＳｉＣ（硬質材料）とカーボン（軟質材料）の組み合わせで形成されるが、これに限らず、摺動材料はメカニカルシール用摺動材料として使用されているものであれば適用可能である。尚、ＳｉＣとしては、ボロン、アルミニウム、カーボン等を焼結助剤とした焼結体をはじめ、成分、組成の異なる２種類以上の相からなる材料、例えば、黒鉛粒子の分散したＳｉＣ、ＳｉＣとＳｉからなる反応焼結ＳｉＣ、ＳｉＣ−ＴｉＣ、ＳｉＣ−ＴｉＮ等があり、カーボンとしては、炭素質と黒鉛質の混合したカーボンをはじめ、樹脂成形カーボン、焼結カーボン等が利用できる。また、上記摺動材料以外では、金属材料、樹脂材料、表面改質材料（コーティング材料）、複合材料等も適用可能である。
【００２２】
図２および図３に示されるように、固定密封環３０は、軸方向左端に摺動面３０ａが形成される環状突起３０ｂが形成される第１円筒部３０ｃと、第１円筒部３０ｃの外周側から軸方向右方に延び第１円筒部３０ｃよりも大径の第２円筒部３０ｄと、第２円筒部３０ｄから軸方向右側に延び第２円筒部３０ｄと同外径かつ内径の大きい第３円筒部３０ｋと、を有する略円筒形状に形成されている。また、固定密封環３０は、第３円筒部３０ｋの外周側に切り欠き状の挿入部３０ｅが形成され、この挿入部３０ｅにシールカバー３から軸方向左方に延びる回り止め部材であるノックピン６１が挿入されることにより、シールカバー３に対して回り止めされている。
【００２３】
また、固定密封環３０の内周には、第２円筒部３０ｄの内周側と第３円筒部３０ｋの内周側とにより環状の段部３０ｈが形成されている。詳しくは、第３円筒部３０ｋの内周面３０ｆと、第３円筒部３０ｋの内周面３０ｆの軸方向左端から内径方向に延び第２円筒部３０ｄの内周面の軸方向左端と直交して連なる環状面部３０ｇとにより環状の段部３０ｈが形成されている。尚、環状の段部３０ｈは、固定密封環３０の軸方向右端の内周側から軸方向左方に挿入部３０ｅと略同じ深さ凹むことにより形成されている。
【００２４】
図２および図３に示されるように、シールカバー３は、機内側に延びる小径の第１円筒部３ａと、第１円筒部３ａよりも軸方向右方に延び第１円筒部３ａよりも大径に形成される第２円筒部３ｂと、第２円筒部３ｂよりも軸方向右方に延び第２円筒部３ｂよりも大径に形成される第３円筒部３ｃと、を有する段付き略円筒形状に形成されている。
【００２５】
シールカバー３の外周には、第１円筒部３ａと第２円筒部３ｂとの径寸法差により環状の段部３ｆが形成されている。詳しくは、第１円筒部３ａの外周面３ｄと、第１円筒部３ａの外周面３ｄの軸方向右端から外径方向に延び第２円筒部３ｂの外周面の軸方向左端と直交して連なる環状面部３ｅとにより環状の段部３ｆが形成されている。
【００２６】
図２および図３に示されるように、固定密封環３０は、シールカバー３に対して外嵌された状態において、第３円筒部３ｃの軸方向右端がシールカバー３から軸方向に離間しているとともに、固定密封環３０の内周に形成される段部３０ｈと、シールカバー３の外周に形成される段部３ｆとの間に配置されるフロート３１によりシールカバー３に対して軸方向移動可能に支持されている。尚、フロート３１は、樹脂製のＯリングであり、二次シールの機能を有し、フロート３１により固定密封環３０の段部３０ｈ（第２円筒部３０ｄの軸方向右側の内周面３０ｆ）とシールカバー３の段部３ｆ（第１円筒部３ａの外周面３ｄ）との間における被密封流体の漏れが防止されている。
【００２７】
また、フロート３１は、内周側がシールカバー３の第１円筒部３ａの外周面３ｄに接触しており、シールカバー３におけるフロート３１の内周側の接触面の径が固定密封環３０の圧力バランス径Ｒ３０を構成している。固定密封環３０の圧力バランス径Ｒ３０は、図２に示されるように、固定密封環３０の摺動面３０ａ（シール領域Ｓ）の内外径Ｒ１，Ｒ２に対してＲ１≦Ｒ３０≦Ｒ２、言い換えればバランス比が１以下となるように設定されているため、高圧条件下において良好なシール性を発揮できるようになっている。
【００２８】
図２および図３に示されるように、回転密封環４０は、軸方向右端に摺動面４０ａが形成される第１円筒部４０ｂと、第１円筒部４０ｂの外周側から軸方向左方に延びる第２円筒部４０ｃと、を有する略円筒形状に形成されている。また、回転密封環４０は、第２円筒部４０ｃの外周側に切り欠き状の挿入部４０ｄが形成され、この挿入部４０ｄにホルダ４から軸方向右方に延びる回り止め部材であるドライブピン４１が挿入されることにより、回転軸２と一体的に回転可能となっている。
【００２９】
また、回転密封環４０の内周には、第１円筒部４０ｂの内周側と第２円筒部４０ｃの内周側とにより環状の段部４０ｇが形成されている。詳しくは、第２円筒部４０ｃの内周面４０ｅと、第２円筒部４０ｃの内周面４０ｅの軸方向右端から内径方向に延び第１円筒部４０ｂの内周面の軸方向左端と直交して連なる環状面部４０ｆとにより環状の段部４０ｇが形成されている。尚、環状の段部４０ｇは、回転密封環４０の軸方向左端の内周側から軸方向右方に挿入部４０ｄよりも深く凹むことにより形成されている。
【００３０】
図２および図３に示されるように、ホルダ４は、大気側に延びる小径の第１円筒部４ａと、第１円筒部４ａよりも軸方向左方に延び第１円筒部４ａよりも大径に形成される第２円筒部４ｂと、第２円筒部４ｂよりも軸方向左方に延び第２円筒部４ｂよりも大径に形成される第３円筒部４ｃと、第３円筒部４ｃよりも軸方向左方に延び第３円筒部４ｃよりも大径に形成される第４円筒部４ｄと、を有する段付き略円筒形状に形成されている。
【００３１】
ホルダ４の外周には、第２円筒部４ｂと第３円筒部４ｃとの径寸法差により、環状の段部４ｇが形成されている。詳しくは、第２円筒部４ｂの外周面４ｅと、第２円筒部４ｂの外周面４ｅの軸方向左端から外径方向に延び第３円筒部４ｃの外周面の軸方向右端と直交して連なる環状面部４ｆとにより環状の段部４ｇが形成されている。
【００３２】
図２および図３に示されるように、回転密封環４０は、ホルダ４に対して外嵌された状態において、第２円筒部４０ｃの軸方向左端がホルダ４から軸方向に離間しているとともに、回転密封環４０の内周に形成される段部４０ｇと、ホルダ４の外周に形成される段部４ｇとの間に配置されるフロート４２によりホルダ４に対して軸方向移動可能に支持されている。また、フロート４２は、樹脂製のＯリングであり、回転密封環４０の段部４０ｇ（環状面部４０ｆ）と、ホルダ４の段部４ｇ（環状面部４ｆ）とにより軸方向に挟持された状態で保持されている。これにより、回転密封環４０は、ホルダ４の精度不良やホルダ４の圧力変形の影響を受けず、さらに摺動面４０ａに受ける接触圧の変化に対してフロート４２を弾性変形させることで、固定密封環３０の軸方向移動に対する追従性を高めることができるため、固定密封環３０の摺動面３０ａに対する回転密封環４０の摺動面４０ａの接触状態を維持しやすい。
【００３３】
また、ホルダ４の第３円筒部４ｃの外周には、内径方向に凹む環状凹部４ｈが形成されており、この環状凹部４ｈに装着される樹脂製の二次シールであるＯリング４３により、回転密封環４０の第２円筒部４０ｃの内周面４０ｅとホルダ４（第３円筒部４ｃ）の外周面との間における被密封流体の漏れが防止されている。また、環状凹部４ｈは、Ｏリング４３の径よりも軸方向に長く形成されており、環状凹部４ｈ内において、Ｏリング４３は被密封流体の圧力により軸方向右方に移動して環状凹部４ｈの軸方向右側の内壁に接触している。
【００３４】
また、フロート４２およびＯリング４３は、共に外周側が回転密封環４０の第２円筒部４０ｃの内周面４０ｅに接触しており、言い換えれば回転密封環４０に対して同軸上に接触しており、回転密封環４０におけるＯリング４３の外周側の接触面の径が回転密封環４０の圧力バランス径Ｒ４０を構成している。また、二次シールとして機能するＯリング４３は、ホルダ４の環状凹部４ｈ内に配置されることにより、回転密封環４０の第２円筒部４０ｃの内周面４０ｅに対して常にＯリング４３の外周側が接触面となるため、図３に示されるように、被密封流体の圧力の高まりにより、Ｏリング４３が環状凹部４ｈの軸方向右側の内壁に押し付けられた場合にも、回転密封環４０の圧力バランス径Ｒ４０を一定にすることができる。さらに、回転密封環４０の圧力バランス径Ｒ４０は固定密封環３０の圧力バランス径Ｒ３０と同一径寸法になっているため、回転密封環４０および固定密封環３０に作用する被密封流体の圧力のバランスが軸方向両側で一定となる。すなわち、被密封流体の圧力が高まったとしても常に軸方向両側からの力がバランスしているため、回転密封環４０および固定密封環３０は安定した姿勢を保持することができる。
【００３５】
これによれば、フロート４２により支持される回転密封環４０を有する軸封装置１において、被密封流体が二次シールであるＯリング４３によりシールされ、フロート４２側への被密封流体の侵入が防止されるとともに、回転密封環４０がフロート４２とＯリング４３が同軸上に接触した状態で支持され、被密封流体の圧力の変化や回転密封環４０の傾きによるフロート４２の変形を抑制することにより、回転密封環４０に被密封流体の圧力が不均一なバランスで作用することを防止できるため、回転密封環４０の摺動面４０ａと固定密封環３０の摺動面３０ａとの間における接触圧を安定させ、シール性を高めることができる。
【００３６】
また、フロート４２は、二次シール用のＯリング４３よりも回転密封環４０の摺動面４０ａ側に配置されており、フロート４２は軸方向において回転密封環４０の摺動面４０ａの近傍で回転密封環４０に当接するため、回転密封環４０を安定して傾動させることができる。また、フロート４２は、Ｏリングであるため、回転密封環４０の第２円筒部４０ｃの内周面４０ｅにおけるフロート４２の接触面を小さくして摩擦を低減することにより、回転密封環４０が軸方向移動しやすくなり傾きが抑えられるため、回転密封環４０の摺動面４０ａと固定密封環３０の摺動面３０ａとの間における接触圧をより安定させることができる。さらに、二次シール用のＯリング４３に加えて、フロート４２も二次シール機能を有するため、回転密封環４０側の二次シール機能に優れる。
【００３７】
また、二次シール用のＯリング４３は、フロート４２よりも断面小径であることから、回転密封環４０およびホルダ４を小さくすることができるため、コンパクト設計、そして低コスト化に対応することができる。また、フロート４２よりも二次シール用のＯリング４３のつぶし代が大きくなるため、回転密封環４０のわずかな傾きにも対応することができる。さらに、フロート４２および二次シール用のＯリング４３は、回転密封環４０に対して同軸上に２箇所で接触しているため、回転密封環４０の軸方向移動時における傾きを抑えることができる。また、回転密封環４０の内径を軸方向に平滑にできるため、回転密封環４０を精度よく簡単に加工することができる。
【実施例２】
【００３８】
次に、実施例２に係る軸封装置につき、図４を参照して説明する。尚、前記実施例に示される構成部分と同一構成部分については同一符号を付して重複する説明を省略する。
【００３９】
実施例２における軸封装置２０１について説明する。図４に示されるように、本実施例において、軸封装置２０１は、ホルダ２０４の環状凹部２０４ｈ内に配置される二次シールであるＯリング２４３が、フロート４２と同じ外形、同じ材質、同じ特性の同一のＯリングから構成されている。
【００４０】
これによれば、軸封装置２０１の組み立て時において、二次シールであるＯリング２４３とフロート４２の取り付け間違いがなくなるため、回転密封環４０の組み付けが容易である。
【実施例３】
【００４１】
次に、実施例３に係る軸封装置につき、図５を参照して説明する。尚、前記実施例に示される構成部分と同一構成部分については同一符号を付して重複する説明を省略する。
【００４２】
実施例３における軸封装置３０１について説明する。図５に示されるように、本実施例において、軸封装置３０１は、回転密封環３４０の第２円筒部３４０ｃの内周面３４０ｅに外径方向に凹む環状凹部３４０ｈが形成され、環状凹部３４０ｈ内にＯリング４３が配置され、Ｏリング４３の内周側がホルダ３０４の第３円筒部３０４ｃの外周面に接触している。
【実施例４】
【００４３】
次に、実施例４に係る軸封装置につき、図６を参照して説明する。尚、前記実施例に示される構成部分と同一構成部分については同一符号を付して重複する説明を省略する。
【００４４】
実施例４における軸封装置４０１について説明する。図６に示されるように、本実施例において、軸封装置４０１は、摺動面の内周から外周に向かって漏れようとする被密封流体をシールするアウトサイド形のメカニカルシールであり、ホルダ４０４の第２円筒部４０４ｂに環状凹部４０４ｈが形成されることにより、段部４０４ｇに配置されるフロート４２と環状凹部４０４ｈに配置されるＯリング４３とを軸方向に入れ換えて構成されている。
【００４５】
以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではない。
【００４６】
例えば、実施例４の軸封装置に実施例２，３の構成を適用してもよい。
【００４７】
また、前記実施例では、回転密封環にのみフロートと二次シール用のＯリングが設けられる態様について説明したが、これに限らず、固定密封環にのみフロートと二次シール用のＯリングが設けられてもよいし、回転密封環と固定密封環の両方にフロートと二次シール用のＯリングが設けられてもよい。また、二次シールは、Ｏリング以外のシールから構成されていてもよい。
【００４８】
また、前記実施例では、密封環を支持するフロートにＯリングを用いることにより、フロート構造を簡素に構成しながら二次シール機能を持たせた態様について説明したが、これに限らず、フロート構造を構成できれば、フロートはＯリング以外の部材により構成されていてもよく、二次シール機能を有していなくてもよい。
【００４９】
また、前記実施例では、固定密封環がコイルスプリング６０により回転密封環側に付勢される態様について説明したが、これに限らず、コイルスプリング以外の付勢手段により付勢されていてもよく、付勢手段は回転密封環側に配置されていてもよい。
【００５０】
また、前記実施例では、固定密封環がホルダを介して回転軸２に固定される態様について説明したが、これに限らず、ホルダをなくして、回転密封環を回転軸に直接固定するようにしてもよい。尚、バランス形とする場合には、段付き回転軸とすることが好ましい。
【符号の説明】
【００５１】
１                軸封装置
２                回転軸
３                シールカバー
３ｆ              段部
４                ホルダ
４ｇ              段部
４ｈ              環状凹部（凹部）
３０              固定密封環
３０ａ            摺動面
３０ｈ            段部
３１              フロート
４０              回転密封環（密封環）
４０ａ            摺動面
４０ｇ            段部
４２              フロート
４３              Ｏリング（二次シール）
６０              コイルスプリング
２０４            ホルダ
２０４ｈ          環状凹部（凹部）
２４３            Ｏリング（二次シール）
３０４            ホルダ
３０４ｃ          第３円筒部
３４０            回転密封環（密封環）
３４０ｈ          環状凹部
４０４            ホルダ
４０４ｇ          段部
４０４ｈ          環状凹部（凹部）
Ｓ                シール領域
【図１】
2020029922.tif 000003
【図２】
2020029922.tif 000004
【図３】
2020029922.tif 000005
【図４】
2020029922.tif 000006
【図５】
2020029922.tif 000007
【図６】
2020029922.tif 000008