(57)【要約】【課題】高い熱伝導性、高い強度、及び高い発光効率を有する窒化アルミニウム基板を提供すること。【解決手段】発光装置１は、発光素子５を収容する窒化アルミニウム基板３を備える、この窒化アルミニウム基板３は、窒化アルミニムの結晶を主相とする基板である。この窒化アルミニウム基板３は、熱伝導率が１７０Ｗ／ｍＫ以上、且つ、折損強度が４５０Ｍｐａ以上であり、Ｘ線回折にて検出可能なＹＡＭ結晶相とＧｄＡｌＯ３結晶相とを有する。このＹＡＭ結晶相とＧｄＡｌＯ３結晶相とは、窒化アルミニムの結晶の粒子が３つ以上隣接して形成される空間に存在する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
窒化アルミニムの結晶を主相とする窒化アルミニウム基板において、
熱伝導率が１７０Ｗ／ｍＫ以上、且つ、折損強度が４５０Ｍｐａ以上であり、
Ｘ線回折にて検出可能なＹＡＭ結晶相とＧｄＡｌＯ３結晶相とを有する、
窒化アルミニウム基板。
【請求項２】
前記ＹＡＭ結晶相と前記ＧｄＡｌＯ３結晶相とは、窒化アルミニムの結晶の粒子が３つ以上隣接して形成される空間に存在する、
請求項１に記載の窒化アルミニウム基板。
【請求項３】
３５０ｎｍの波長の光が入射した場合に、前記光の波長を変換して、６２０ｎｍの波長の光を出力する、
請求項１又は請求項２に記載の窒化アルミニウム基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、発光ダイオード等の発光素子を搭載可能であり、放熱性や機械的強度が優れた窒化アルミニウム基板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、発光ダイオード（例えばＬＥＤ）等の発光素子を、セラミックス製のサブマウント上に搭載した発光装置が知られている。また、サブマウントの材料として、所定の構成を有する窒化アルミニウム（ＡｌＮ）基板が提案されている（特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１には、熱伝導率が５０Ｗ／ｍＫ以上である窒化物焼結体であって、３５０ｎｍ〜８００ｎｍの波長領域の光に対する反射率が５０％以上であるとともに、７００ｎｍの波長の光に対する反射率が７０％以上の窒化物焼結体（例えば窒化アルミミウム）が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２００５／１２３６２７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した従来の窒化アルミニウム基板は、高い熱伝導性（従って熱伝導率）を有しているが、一般的に強度が低く、機械的強度に関する信頼性試験を行うとクラックが発生することがある。そのため、高い信頼性が必要な分野では、熱伝導性に劣るが、高強度である窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）基板が用いられていた。
【０００６】
また、窒化アルミニウム基板には透光性があるので、発光素子からの光が窒化アルミニウム基板から漏れることがある。そのような場合には、発光装置から出力される光の波長が、必要とされる波長とは異なることがある。
【０００７】
この透光性の問題を解決するために、窒化アルミニウム基板に添加剤を含有させて基板の黒色化することが考えられるが、その場合には、光の吸収が起こってしまい、発光効率が低下するという問題がある。また、窒化アルミニウム基板に例えばＡｌ２Ｏ３を添加し、白色化して反射率を向上させることも考えられるが、この場合には、Ａｌ２Ｏ３の影響により、熱伝導性が低下してしまう。
【０００８】
つまり、従来技術では、高い熱伝導性、高い強度、及び高い発光効率を有する窒化アルミニウム基板を実現することは容易ではなかった。
本開示は、前記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、高い熱伝導性、高い強度、及び高い発光効率を有する窒化アルミニウム基板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）本開示の第１局面は、窒化アルミニムの結晶を主相とする窒化アルミニウム基板に関するものである。
この窒化アルミニウム基板は、熱伝導率が１７０Ｗ／ｍＫ以上、且つ、折損強度が４５０Ｍｐａ以上であり、Ｘ線回折にて検出可能なＹＡＭ結晶相とＧｄＡｌＯ３結晶相とを有する。
【００１０】
本第１局面は、上述した構成を有することにより、高い熱伝導性、高い強度、及び高い発光効率を有する窒化アルミニウム基板を実現できる。以下、詳細に説明する。
窒化アルミニウム基板の原料として、窒化アルミニウムにＹ２Ｏ３のみを添加した場合、ＹＡＰ相（即ちＹＡＰ結晶相）が形成されるが、Ｇｄ２Ｏ３を加えて添加することによりＹＡＭ相（即ちＹＡＭ結晶相）が形成される。
【００１１】
つまり、強度的には、ＹＡＭ結晶相＞ＹＡＰ結晶相であるので、ＹＡＭ結晶相が形成されることによって基板強度が向上し、折損強度が４５０Ｍｐａ以上となる。
また、Ｇｄ２Ｏ３を添加することにより、ＹＡＭ−ＧｄＡｌＯ３（即ちＹＡＭ結晶相とＧｄＡｌＯ３結晶相）が形成されるので、これにより、励起光波長３５０ｎｍにて窒化アルミニウム基板自身から波長６２０ｎｍの発光が起こる。
【００１２】
これにより、窒化アルミニウムの高い熱伝導性（従って熱伝導率）を維持したまま、高い強度を実現でき、しかも、窒化アルミニウム基板自身が発光することで、長波長の光の発光効率を高めることができ、長波長の光を補助することも可能である。
【００１３】
また、この窒化アルミニウム基板は、ＷやＭｏ等の導体と同時に焼成可能である。つまり、窒化アルミニウム基板の内部や表面に、前記導体からなる層を形成し、同時焼成することによって配線層を容易に形成することができる。
【００１４】
（２）本開示の第２局面では、ＹＡＭ結晶相とＧｄＡｌＯ３結晶相とは、窒化アルミニムの結晶の粒子が３つ以上隣接して形成される空間に存在してもよい。
ＹＡＭ結晶相とＧｄＡｌＯ３結晶相とが上記空間に存在して空間の一部又は全部を埋めることで、窒化アルミニム基板の機械的強度を高くすることができる。さらに、窒化アルミニウム基板の熱伝導率が低下することを抑制することができる。
【００１５】
（３）本開示の第３局面では、３５０ｎｍの波長の光が入射した場合に、光の波長を変換して、６２０ｎｍの波長の光を出力してもよい。
これにより、窒化アルミニウム基板自身が発光することで、長波長の光の発光効率を高めることができ、長波長の光を補助することも可能である。
【００１６】
＜以下に、本開示の各構成について説明する＞
・主相とは、最も割合（例えば体積％）の多い相（即ち結晶相）である。  
・熱伝導率の測定方法としては、ＪＩＳ  Ｒ１６１１（２０１０）を採用できる。
【００１７】
・折損強度の測定方法としては、ＪＩＳ  Ｒ１６０１（２００８）を採用できる。
・Ｘ線回折とは、周知のX‐ray diffraction（ＸＲＤ）を示している。
・ＹＡＰ相とは、ＹＡＰ（Ｙ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３）の組成を有するペロブスカイト型結晶相のことである。
【００１８】
・ＹＡＭ相とは、ＹＡＭ（２Ｙ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３）の組成を有するペロブスカイト型結晶相のことである。
・窒化アルミニウム基板のうち、主相を構成する窒化アルミニウの含有率としては、例えば９０〜９９体積％を採用できる。なお、窒化アルミニウム基板に対するＹＡＭ結晶相の割合としては、例えば０．２〜２体積％を採用でき、ＧｄＡｌＯ３結晶相の割合としては、例えば０．５〜８体積％を採用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施形態の窒化アルミニウム基板を備えた発光装置を厚み方向に破断して示す断面図である。
【図２】実施形態の窒化アルミニウム基板を備えた発光装置の製造方法の一部を示す説明図である。
【図３】実施形態の窒化アルミニウム基板を備えた発光装置の製造方法の一部を示す説明図である。
【図４】他の発光装置の変形例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
次に、本開示の窒化アルミニウム基板の実施形態について説明する。
［１．実施形態］
ここでは、発光装置に用いられる窒化アルミニウム基板を例に挙げて説明する。
［１−１．発光装置の構成］
まず、実施形態の窒化アルミニウム基板を備えた発光装置について説明する。
【００２１】
図１に示す様に、発光装置１は、箱状の窒化アルミニウム基板３と、窒化アルミニウム基板３に収容された発光素子５と、発光素子５の周囲に充填された樹脂層７と、を備えている。以下、各構成について説明する。
【００２２】
窒化アルミニウム基板３は、平面視（図１の上方から見た場合）が矩形状で、図１の上方が開口した凹部（即ち収容室）９を有する容器であり、平板形状の底部１１と、底部１１の上面１１ａの外縁部に沿って四角枠状に配置された側壁部１３と、を備えている。
【００２３】
なお、底部１１と側壁部１３とは、それぞれ複数の窒化アルミニウム層１５が積層されて一体化したものである。
底部１１の内部には、厚み方向（図１の上下方向）と垂直の平面に沿って広がる内部配線層１７を備えている。また、底部１１の厚み方向の一方の表面（図１の上方）である上面１１ａに、表側配線層１９を備えるとともに、他方の表面（図１の下方）である下面１１ｂに、裏側配線層２１を備えている。さらに、底部１１の内部には、各窒化アルミニウム層１５を厚み方向に貫いて、内部配線層１７と表側配線層１９又は裏側配線層２１とを電気的に接続するビア２３が設けられている。
【００２４】
内部配線層１７及びビア２３は、例えばタングステン・モリブデン等を主成分とする材料から構成されている。表側配線層１９及び裏側配線層２１は、それぞれ、例えばタングステン・モリブデン等を主成分とする材料から構成された内側層１９ａ、２１ａと、例えばＮｉ及びＡｕからなるメッキ層１９ｂ、２１ｂとの２層構造となっている。
【００２５】
なお、図１では、窒化アルミニウム基板３に設けられた、内部配線層１７、表側配線層１９、裏側配線層２１、ビア２３のような配線部Ｈの一部のみを示している。また、窒化アルミニウム基板３（従って窒化アルミニウム層１５）のうち、配線部Ｈを除いたセラミック部分を、窒化アルミニウム部ＴＡと称する。
【００２６】
特に、本実施形態では、窒化アルミニウム基板３（詳しくは、窒化アルミニウム基板３を構成する窒化アルミニウム部ＴＡ）は、窒化アルミニム（ＡｌＮ）の結晶を主相とし、Ｘ線回折にて検出可能なＹＡＭ結晶相とＧｄＡｌＯ３結晶相とを有している。
【００２７】
そして、このＹＡＭ結晶相とＧｄＡｌＯ３結晶相とは、窒化アルミニムの結晶の粒子が３つ以上隣接して形成された空間に存在し、この空間の一部又は全部を埋めている。このように窒化アルミニムの結晶の粒子が３つ隣接して空間を形成している場合、この空間を粒子同士の３重点ともいう。
【００２８】
また、窒化アルミニウム基板３は、熱伝導率が１７０Ｗ／ｍＫ以上２１０Ｗ／ｍＫ以下
の範囲であり、且つ、折損強度が４５０ＭＰａ以上６５０ＭＰａ以下の範囲である。
さらに、窒化アルミニウム基板３は、外部からの光によって蛍光を発する蛍光特性を有しており、３５０ｎｍの波長の光が入射した場合に、その光の波長を変換して、６２０ｎｍの波長の光を出力する性質を有する。
【００２９】
発光素子５は、外部からの電力の供給を受けて発光する例えばＬＥＤからなる素子である。この発光素子５は、窒化アルミニウム基板３の収容室９に配置されて、図１の上方に向けて光を発生する。つまり、発光素子５は、表側配線層１９の表面に配置されており、表側配線層１９から電力の供給を受けて発光する。なお、図１では、表側配線層１９の配置の一部を模式的に示している。
【００３０】
樹脂層７は、透光性を有する例えばシリコーンからなる樹脂によって構成されており、窒化アルミニウム基板３の収容室９内において、発光素子５の上部等の周囲を覆うように配置されている。なお、この樹脂層７は、発光素子５から発光する光の波長を変換する光波長変換粒子を含有していてもよい。
［１−２．発光装置の製造方法］
次に、発光装置１の製造方法について説明する。
【００３１】
＜グリーンシートの作製工程＞
窒化アルミニウム層１５の原料（即ち原料粉末）として、ＡｌＮを１００重量部として、Ｙ２Ｏ３を２重量部、ＣａＯを０．２重量部、Ｇｄ２Ｏ３を３重量部の割合の原料を用意した。
【００３２】
また、後述する混練に際に添加する添加剤として、有機溶媒を４０体積部、アクリル樹脂を１２．５体積部、可塑剤を８体積部の割合の添加剤を用意した。
そして、ポットミルに、上述した原料粉末を所定量投入するとともに、混練に十分な量の前記添加剤を添加し、３０時間混合してスラリーを作製した。
【００３３】
次に、前記スラリーを、＃８０〜３００メッシュの篩に通し、グリーンシート用のスラリーを作製した。
次に、図２Ａに示すように、得られたスラリーを用いて、ドクターブレード法により、所定の厚みのグリーンシート３１を作製した。
【００３４】
このグリーンシート３１として、底部１１を構成するための複数（例えば２枚）のグリーンシート３１と、側壁部１３を構成する複数（例えば２枚）のグリーンシート３１とを作製した。なお、各グリーンシート３１は、形成する部材の形状に合わせて、それぞれ所定形状にカットした。例えば、側壁部１３を構成するグリーンシート３１は、四角枠状にカットした。
【００３５】
次に、図２Ｂに示すように、各グリーンシート３１のビア２３を形成する箇所にビア用の貫通孔３３を形成した。
次に、図２Ｃに示すように、ビア用の貫通孔３３に導体ペーストを充填してビア充填部３５を形成した。この導体ペーストは、例えばタングステン・モリブデン等を主成分とする粉末に、アクリル樹脂を溶剤に溶解させたビヒクルを加えて混練したものである。
【００３６】
次に、図２Ｄに示すように、各グリーンシート３１の内部配線層１７や表側配線層１９や裏側配線層２１を形成する箇所に、各導体ペーストを用いてスクリーン印刷を行って、導体パターン３７を形成した。
【００３７】
なお、導体ペーストは、内部配線層１７、表側配線層１９及び裏側配線層２１の各内側
層１９ａ、２１ａの各導電材料を含むペーストである。このような導体ペーストは、上述のビア充填部３５を形成した導体ペーストと同様なものを採用してもよく、上述の導体ペーストと異なる金属粉末を含むペーストとしてもよい。
【００３８】
＜窒化アルミニウム基板の作製工程＞
次に、図２Ｅに示すように、底部１１及び側壁部１３の配置となるように、底部１１と側壁部１３とに対応した各グリーンシート３１を積層し、積層体３９を作製した。
【００３９】
次に、図３Ａに示すように、前記積層体３９を脱脂した後に、その脱脂後の積層体３９を筐体（図示せず）に入れて、窒素雰囲気下で、１７００℃〜１８００℃の温度範囲で、２〜８時間焼成して、焼結体４０を得た。
【００４０】
つまり、ビア２３、内部配線層１７、表側配線層１９の内側層１９ａ、裏側配線層２１の内側層２１ａを有する焼結体４０を得た。
次に、図３Ｂに示すように、焼結体４０の各内側層１９ａ、２１ａの表面に、メッキによってそれぞれメッキ層１９ｂ、２１ｂを形成した。
【００４１】
これによって、底部１１の内部にビア２３や内部配線層１７を備えるとともに、底部１１の両側に表側配線層１９と裏側配線層２１とを備えた窒化アルミニウム基板３が完成した。
【００４２】
なお、各メッキ層１９ｂ、２１ｂは、例えば無電解メッキによって、各内側層１９ａ、２１ａの上にそれぞれＮｉメッキ層（図示せず）を形成し、電解メッキによって、各Ｎｉメッキ層の上にそれぞれＡｕメッキ層（図示せず）を形成することによって形成することができる。
【００４３】
＜発光装置の作製工程＞
次に、図３Ｃに示すように、周知のように、表側配線層１９の表面に発光素子５を実装する。なお、表側配線層１９は、発光素子５に電力を供給するように構成されているので、図示しないが、発光素子５の表面の一対の電極が表側配線層１９の一対の導電部に接合されている。
【００４４】
その後、窒化アルミニウム基板３の収容室９に、透光性を有する樹脂を充填して乾燥させることによって、樹脂層７（図１参照）を形成した。
これによって、窒化アルミニウム基板３に発光素子５を収容した前記図１に示す発光装置１が完成した。
【００４５】
［１−３．効果］
本実施形態の窒化アルミニウム基板３は、窒化アルミニムの結晶を主相とし、Ｘ線回折にて検出可能なＹＡＭ結晶相とＧｄＡｌＯ３結晶相とを有する。しかも、熱伝導率が１７０Ｗ／ｍＫ以上、且つ、折損強度が４５０Ｍｐａ以上である。
【００４６】
このような構成を有することにより、窒化アルミニウムの高い熱伝導性（即ち熱伝導率）を維持したまま、高い強度を実現でき、しかも、窒化アルミニウム基板３自身が発光することで、長波長の光の発光効率を高めることができ、長波長の光を補助することも可能である。
【００４７】
また、この窒化アルミニウム基板３は、ＷやＭｏ等の導体と同時に焼成可能である。つまり、積層体３９の内部や表面に、前記導体を含む導体パターン３７を形成し、同時焼成することによって、ビア２３、内部配線層１７、表側配線層１９の内側層１９ａ、裏側配
線層２１の内側層２１ａを容易に形成することができる。
【００４８】
［２．実験例］
次に、本開示の効果を確認するために行った実験例について説明する。
本実験例では、下記表１に示すように、組成の異なる窒化アルミニウム基板の試料（No.１〜９）を作製し、折損強度、熱伝導率、発光の有無を調べるとともに、ＸＲＤによって結晶の組成を調べたものである。なお、No.５、６が、本開示の試料であり、No.１〜４、７〜９が、本開示の範囲外の比較例の試料である。
【００４９】
以下、詳細に説明する。
＜試料の作製方法＞
窒化アルミニウム基板の各試料の材料（固体成分）として、下記に示す材料を用意した。そして、各試料の材料を用いて、前記実施形態と同様にして、グリーンシートを作製し、脱脂後焼成して、試料の窒化アルミニウム基板を作製した。
【００５０】
試料の製造方法については、下記及び表１に記載の内容以外は、前記実施形態と同様である。なお、試料の窒化アルミニウム基板は、直径１０ｍｍ×厚み３ｍｍの円板とした。
以下、各試料毎に具体的に説明する。
【００５１】
（No.１）：固体成分の原料として、ＡｌＮ粉末１００重量％に対して、外重量％で、Ｙ２Ｏ３を４重量％、ＣａＯを０．２重量％含む粉末を用いた。焼成温度は、１７５０  ℃である。
【００５２】
（No.２）：No.１の試料の原料のうち、Ｙ２Ｏ３の一部（即ち、ＡｌＮ粉末に対して添加する原料の一部）をＬａ２Ｏ３に置き換えた粉末を用いた。焼成温度は、１７００℃である。
【００５３】
（No.３）：No.２の試料の原料から、ＣａＯを除いた粉末を用いた。焼成温度は、１７００℃である。
（No.４）：No.１の試料の原料のうち、Ｙ２Ｏ３の一部（即ち、ＡｌＮ粉末に対して添加する原料の一部）をＣｅＯに置き換えた粉末を用いた。焼成温度は、１７００℃である。
【００５４】
（No.５）：No.１の試料の原料のうち、Ｙ２Ｏ３の一部（即ち、ＡｌＮ粉末に対して添加する原料の一部）をＧｄ２Ｏ３に置き換えた粉末であって、ＡｌＮ粉末１００重量％に対して、外重量％で、Ｇｄ２Ｏ３を３重量％含む粉末を用いた。焼成温度は、１７５０℃である。
【００５５】
（No.６）：No.１の試料の原料のうち、Ｙ２Ｏ３の一部（即ち、ＡｌＮ粉末に対して添加する原料の一部）をＧｄ２Ｏ３に置き換えた粉末であって、ＡｌＮ粉末１００重量％に対して、外重量％で、Ｇｄ２Ｏ３を４．５重量％含む粉末を用いた。焼成温度は、１７５０℃である。
【００５６】
（No.７）：No.１の試料の原料のうち、Ｙ２Ｏ３の一部（即ち、ＡｌＮ粉末に対して添加する原料の一部）をＹｂ２Ｏ３に置き換えた粉末を用いた。焼成温度は、１７００℃である。
【００５７】
（No.８）：No.７の試料の原料から、ＣａＯを除いた粉末を用いた。焼成温度は、１７００℃である。
（No.９）：No.１の試料の原料のうち、Ｙ２Ｏ３の一部（即ち、ＡｌＮ粉末に対して添
加する原料の一部）をＺｒＮに置き換えた粉末を用いた。焼成温度は、１７００℃である。
【００５８】
＜実験方法＞
（１）折損強度は、ＪＩＳ  Ｒ１６０１（２００８）により調べた。その結果を下記表１に記す。
【００５９】
（２）熱伝導率は、ＪＩＳ  Ｒ１６１１（２０１０）により調べた。その結果を下記表１に記す。
（３）発光は、波長３５０ｎｍの励起光を各試料に照射した場合に、波長６２０ｎｍの発光が観察された場合に、下記表１に発光有りと記載した。なお、波長の測定は、分光蛍光光度計を用いて行うことができる。
【００６０】
（４）ＸＲＤについては、各試料において、ＸＲＤによって、ＹＡＭ（即ちＹＡＭ結晶相）、ＧｄＡｌＯ３（ＧｄＡｌＯ３結晶相）の有無を調べた。その結果を下記表１に記す。
【００６１】
【表１】
2020083696.tif 000003
この表１から明らかなように、本開示の試料（No.５、６）については、ＹＡＭ結晶相及びＧｄＡｌＯ３結晶相を有しており、折損強度が４５０ＭＰａ以上であり、熱伝導率が１７０Ｗ／ｍＫ以上であり、しかも、発光があり、好適であった。
【００６２】
それに対して、比較例の試料（No.１〜４、７〜８）では、折損強度または熱伝導率が本開示例より劣り、しかも、発光が無く、好ましくない。
＜その他の実験内容＞
また、本開示例の試料については、ＹＡＭ結晶相やＧｄＡｌＯ３結晶相が、結晶の構造においてどの部分あるかも調べた。
【００６３】
具体的には、ＳＥＭ−ＥＤＸ（エネルギー分散型Ｘ線分光法）を用いて、各試料の断面のＳＥＭ画像を用いた元素マッピングによって、窒化アルミニウム基板の内部の構成のどの部分に、ＹＡＭ結晶相やＧｄＡｌＯ３結晶相があるかを調べた。
【００６４】
その結果、ＹＡＭ結晶相とＧｄＡｌＯ３結晶相とは、窒化アルミニムの結晶の粒子が３つ隣接して形成された空間（３重点）に存在していることが確認できた。
さらに、本開示例の試料については、３５０ｎｍの波長の光を入射させたところ、６２０ｎｍの波長の光が出力されることが確認できた。
【００６５】
［３．その他の実施形態］
以上、本開示の実施形態について説明したが、本開示は上記実施形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において、様々な態様にて実施することが可能である。
【００６６】
（１）例えば、窒化アルミニウム基板の組成については、本開示の範囲を逸脱しない範囲において、各種の組成を採用できる。
（２）窒化アルミニウム基板における導電部分の構成、例えばビア、内部配線層、表側配線層、裏側配線層の材料や配置等については、本開示の範囲を逸脱しない範囲において、各種の組成を採用できる。
【００６７】
（３）窒化アルミニウム基板の構成については、箱形状ではなく、平板形状を採用してもよい。
（４）窒化アルミニウム基板を作製する際に用いるグリーンシートは、複数積層する場合に限らず、１層のグリーンシートから窒化アルミニウム基板を作製してもよい。
【００６８】
（５）窒化アルミニウム基板が用いられる発光装置の構成については、本開示の範囲を逸脱しない範囲において、各種の構成を採用できる。
例えば図４Ａに示すように、箱状の窒化アルミニウム基板４１に複数のビア４３や導電部４５を設け、その導電部４５と発光素子４７の電極（図示せず）とを電気的に接続してもよい。
【００６９】
例えば図４Ｂに示すように、箱状の窒化アルミニウム基板５１に複数のビア５３や導電部５５を設け、その導電部５５と発光素子５７の電極（図示せず）とを、例えばワイヤボンディグ等によって電気的に接続してもよい。なお、発光素子５７の周囲を透光性の樹脂からなる樹脂層５９で覆ってもよい。
【００７０】
例えば図４Ｃに示すように、箱状の窒化アルミニウム基板６１に複数のビア６３や導電部６５を設け、その導電部６５と発光素子６７の電極（図示せず）とを、例えばワイヤボンディグ等によって電気的に接続してもよい。なお、発光素子６７の発光側に光の波長を変換する部材（光波長変換部材）６９を配置して、発光素子６７から出力される光の波長を変換してもよい。
【００７１】
（６）なお、上記実施形態における１つの構成要素が有する機能を複数の構成要素に分担させたり、複数の構成要素が有する機能を１つの構成要素に発揮させたりしてもよい。また、上記各実施形態の構成の一部を、省略してもよい。また、上記実施形態の構成の少なくとも一部を、他の実施形態の構成に対して付加、置換等してもよい。なお、特許請求の範囲に記載の文言から特定される技術思想に含まれるあらゆる態様が本開示の実施形態である。
【符号の説明】
【００７２】
１…発光装置
３、４１、５１、６１…窒化アルミニウム基板
５、４７、５７、６７…発光素子
【図１】
2020083696.tif 000004
【図２】
2020083696.tif 000005
【図３】
2020083696.tif 000006
【図４】
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