(57)【要約】【課題】  筐体の二重構造をなくして小型化を図ることができるアクチュエータを提供すること。【解決手段】  駆動部が収容されたベースと、上記ベースの上面開口部を閉塞する上面カバと、上記ベースの前面開口部を閉塞する前面カバと、上記ベースの背面開口部を閉塞する背面カバと、上記ベースと上記上面カバの間、上記ベースと上記前面カバの間、及び、上記ベースと上記背面カバの間に介挿されるシール部材と、を具備し、上記駆動部は上記前面カバを貫通するようにされたロッドを進退自在に駆動するものであり、上記シール部材は上記前面カバに配置される前面カバ側上面カバ設置部と上記ベースに跨って及び上記背面カバに配置される背面カバ側上面カバ設置部と上記ベースに跨って設けられているもの。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動部が収容されたベースと、
上記ベースの上面開口部を閉塞する上面カバと、
上記ベースの前面開口部を閉塞する前面カバと、
上記ベースの背面開口部を閉塞する背面カバと、
上記ベースと上記上面カバの間、上記ベースと上記前面カバの間、及び、上記ベースと上記背面カバの間に介挿されるシール部材と、
を具備し、
上記駆動部は上記前面カバを貫通するようにされたロッドを進退自在に駆動するものであり、
上記シール部材は上記前面カバに配置される前面カバ側上面カバ設置部と上記ベースに跨って及び上記背面カバに配置される背面カバ側上面カバ設置部と上記ベースに跨って設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載のアクチュエータにおいて、
上記シール部材は上記ベースと上記前面カバの間に介挿される前面シール部材と、
上記ベースと上記背面カバの間に介挿される背面シール部材と、を含み、
上記前面シール部材の一部が上記前面カバと上記上面カバの間及び上記ベースと上記上面カバの間に突出し、上記背面シール部材の一部が上記背面カバと上記ベースの間及び上記ベースと上記上面カバの間に突出していることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
請求項２記載のアクチュエータにおいて、
上記前面シール部材の一部には上記前面カバ側上面カバ設置部に設置される張出平面部が設けられていて、
上記背面シール部材の一部にも上記背面カバ側上面カバ設置部に設置される張出平面部が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
請求項２又は請求項３記載のアクチュエータにおいて、
上記前面シール部材から上記ベースと上記上面カバの間に突出した上記前面シール部材の一部と上記背面シール部材から上記上面カバの間に突出した上記背面カバの一部が上記ベースと上記上面カバの間で重なるように配置されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
請求項２又は請求項３記載のアクチュエータにおいて、
上記シール部材は上記ベースと上記上面カバの間に介挿される上面シール部材を含み、
上記前面シール部材から上記ベースと上記上面カバの間に突出した上記前面シール部材の一部が上記上面シール部材の一部と重なるように配置されており、
上記背面シール部材から上記ベースと上記上面カバの間に突出した上記背面シール部材の一部が上記上面シール部材の一部と重なるように配置されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１記載のアクチュエータにおいて、
上記シール部材は上記ベースと上記上面カバの間に介挿された上面シール部材と、
上記ベースと上記前面カバの間に介挿される前面シール部材と、
上記ベースと上記背面カバの間に介挿される背面シール部材と、を含み、
上記上面シール部材は上記ベースと上記前面カバ側上面カバ設置部と上記背面カバ側上面カバ設置部に跨るように設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項７】
請求項６記載のアクチュエータにおいて、
上記上面シール部材が上記前面シール部材及び上記背面シール部材と交差するように配置されていて、
その交差部において上記前面シール部材及び上記背面シール部材が上記上面シール部材と接触するように構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項８】
請求項７記載のアクチュエータにおいて、
上記前面カバには上記前面シール部材が収容される溝部が形成されていて、上記溝部には上記交差部において上記前面シール部材を上記上面シール部材側に押し付ける凸部が設けられていて、
上記背面カバには上記背面シール部材が収容される溝部が形成されていて、上記溝部には上記交差部において上記背面シール部材を上記上面シール部材側に押し付ける凸部が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項９】
請求項７記載のアクチュエータにおいて、
上記前面シール部材の上記交差部には上記上面シール部材が収容される上面シール部材用溝部が形成されていて、
上記背面シール部材の上記交差部には上記上面シール部材が収容される上面シール部材用溝部が形成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１０】
請求項９記載のアクチュエータにおいて、
上記前面シール部材の一部が上記前面カバと上記上面カバの間に突出し、上記前面カバ側設置部に設置される張出平面部が設けられ、
上記背面シール部材の一部が上記背面カバと上記上面カバの間に突出し、上記背面カバ側設置部に設置される張出平面部が設けられていることを特徴とするアクチュエータ
【請求項１１】
請求項１０記載のアクチュエータにおいて、
上記張出平面部に上記上面シール部材用溝部が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１２】
請求項６〜請求項１１の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記上面シール部材は端部を有するシール部材要素で構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１３】
請求項２〜請求項１２の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記前面シール部材及び上記背面シール部材は同一の構成の部材からなることを特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、ロッドタイプのアクチュエータに係り、特に、防塵・防水性能を高めつつ筐体の二重構造をなくして小型化を図ることができるように工夫したものに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のアクチュエータを開示するものとして、例えば、特許文献１等がある。特許文献１に記載されたアクチュエータは概略次のような構成になっている。まず、ハウジングがあり、このハウジングは、両端にフロント開口部とリア開口部が備えられた筒状のハウジング本体と、上記フロント開口部を閉塞するフロントカバと、上記リア開口部を閉塞するリアカバと、から構成されている。
【０００３】
上記ハウジング内にはアクチュエータ本体が設置されている。まず、略Ｕ字型の横断面形状をなすベースがあり、このベースの両内側面にはガイドレールが設置されていて、これらガイドレールにはそれぞれガイド用凹部が形成されている。
上記ベースにはモータが設置されていて、このモータの回転軸にはボールねじ軸が連結されている。上記ボールねじ軸にはボールナットが螺合・配置されている。このボールナットにはロッド接続部材を介してロッドが取り付けられている。上記ロッドの先端側は上記フロントカバに形成された貫通孔を介して外部に突出されている。
【０００４】
上記ロッド接続部材には被ガイド部材が取り付けられていて、この被ガイド部材には上記ガイドレールのガイド用凹部に対向するガイド用凹部が形成されている。これら両ガイド用凹部間及びリターン路及び無負荷循環路内を複数個のボールが循環する。
そして、上記モータを回転駆動することによりボールねじ軸を回転させ、それによって、ボールナット、ロッド接続部材、ロッドが、上記被ガイド部材及び上記ガイドレールにガイドされながら進退される。
【０００５】
ところで、上記フロントカバ及び上記リアカバと上記ハウジング本体の両端面の間にはシール部材が介挿されている。また、上記ロッドによって貫通される上記フロントカバの貫通孔の内周面にも上記ロッドの外周面に摺接されるシール部材が設置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第５９６８７３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記従来の構成によると、アクチュエータが大型化してしまうという問題があった。これは、アクチュエータ本体にベースが備えられているにもかかわらず、そのアクチュエータ本体をそのまま筒状のハウジング内に内装して、上記ハウジングのフロント開口部、及びリア開口部をフロントカバ、及びリアカバで閉塞し、上記ハウジングと上記フロントカバ、上記リアカバの間にシール部材を介挿することで防塵・防水性能を高めているからであり、それによって、筐体が二重構造化しているからである。
【０００８】
本発明は、このような点に基づいてなされたもので、その目的とするところは、防塵・防水性能を高めつつ筐体の二重構造をなくして小型化を図ることができるアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するべく本願発明の請求項１によるアクチュエータは、駆動部が収容されたベースと、上記ベースの上面開口部を閉塞する上面カバと、上記ベースの前面開口部を閉塞する前面カバと、上記ベースの背面開口部を閉塞する背面カバと、上記ベースと上記上面カバの間、上記ベースと上記前面カバの間、及び、上記ベースと上記背面カバの間に介挿されるシール部材と、を具備し、上記駆動部は上記前面カバを貫通するようにされたロッドを進退自在に駆動するものであり、上記シール部材は上記前面カバに配置される前面カバ側上面カバ設置部と上記ベースに跨って及び上記背面カバに配置される背面カバ側上面カバ設置部と上記ベースに跨って設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項２によるアクチュエータは、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記シール部材は上記ベースと上記前面カバの間に介挿される前面シール部材と、上記ベースと上記背面カバの間に介挿される背面シール部材と、を含み、上記前面シール部材の一部が上記前面カバと上記上面カバの間及び上記ベースと上記上面カバの間に突出し、上記背面シール部材の一部が上記背面カバと上記ベースの間及び上記ベースと上記上面カバの間に突出していることを特徴とするものである。
また、請求項３によるアクチュエータは、請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材の一部には上記前面カバ側上面カバ設置部に設置される張出平面部が設けられていて、上記背面シール部材の一部にも上記背面カバ側上面カバ設置部に設置される張出平面部が設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項４によるアクチュエータは、請求項２又は請求項３記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材から上記ベースと上記上面カバの間に突出した上記前面シール部材の一部と上記背面シール部材から上記上面カバの間に突出した上記背面カバの一部が上記ベースと上記上面カバの間で重なるように配置されていることを特徴とするものである。
また、請求項５によるアクチュエータは、請求項２又は請求項３記載のアクチュエータにおいて、上記シール部材は上記ベースと上記上面カバの間に介挿される上面シール部材を含み、上記前面シール部材から上記ベースと上記上面カバの間に突出した上記前面シール部材の一部が上記上面シール部材の一部と重なるように配置されており、上記背面シール部材から上記ベースと上記上面カバの間に突出した上記背面シール部材の一部が上記上面シール部材の一部と重なるように配置されていることを特徴とするものである。
また、請求項６によるアクチュエータは、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記シール部材は上記ベースと上記上面カバの間に介挿された上面シール部材と、上記ベースと上記前面カバの間に介挿される前面シール部材と、上記ベースと上記背面カバの間に介挿される背面シール部材と、を含み、上記上面シール部材は上記ベースと上記前面カバ側上面カバ設置部と上記背面カバ側上面カバ設置部に跨るように設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項７によるアクチュエータは、請求項６記載のアクチュエータにおいて、上記上面シール部材が上記前面シール部材及び上記背面シール部材と交差するように配置されていて、その交差部において上記前面シール部材及び上記背面シール部材が上記上面シール部材と接触するように構成されていることを特徴とするものである。
また、請求項８によるアクチュエータは、請求項７記載のアクチュエータにおいて、上記前面カバには上記前面シール部材が収容される溝部が形成されていて、上記溝部には上記交差部において上記前面シール部材を上記上面シール部材側に押し付ける凸部が設けられていて、上記背面カバには上記背面シール部材が収容される溝部が形成されていて、上記溝部には上記交差部において上記背面シール部材を上記上面シール部材側に押し付ける凸部が設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項９によるアクチュエータは、請求項７記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材の上記交差部には上記上面シール部材が収容される上面シール部材用溝部が形成されていて、上記背面シール部材の上記交差部には上記上面シール部材が収容される上面シール部材用溝部が形成されていることを特徴とするものである。
また、請求項１０によるアクチュエータは、請求項９記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材の一部が上記前面カバと上記上面カバの間に突出し、上記前面カバ側設置部に設置される張出平面部が設けられ、上記背面シール部材の一部が上記背面カバと上記上面カバの間に突出し、上記背面カバ側設置部に設置される張出平面部が設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項１１によるアクチュエータは、請求項１０記載のアクチュエータにおいて、上記張出平面部に上記上面シール部材用溝部が設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項１２によるアクチュエータは、請求項６〜請求項１１の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記上面シール部材は端部を有するシール部材要素で構成されていることを特徴とするものである。
また、請求項１３によるアクチュエータは、請求項２〜請求項１２の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材及び上記背面シール部材は同一の構成の部材からなることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
以上述べたように、本願発明の請求項１によるアクチュエータによると、駆動部が収容されたベースと、上記ベースの上面開口部を閉塞する上面カバと、上記ベースの前面開口部を閉塞する前面カバと、上記ベースの背面開口部を閉塞する背面カバと、上記ベースと上記上面カバの間、上記ベースと上記前面カバの間、及び、上記ベースと上記背面カバの間に介挿されるシール部材と、を具備し、上記駆動部は上記前面カバを貫通するようにされたロッドを進退自在に駆動するものであり、上記シール部材は上記前面カバに配置される前面カバ側上面カバ設置部と上記ベースに跨って及び上記背面カバに配置される背面カバ側上面カバ設置部と上記ベースに跨って設けられているので、上記ベースと前面カバ、背面カバ、及び、上面カバによってハウジングとしての機能が担保され、別途ハウジングを設ける必要がなく、防塵・防水性能を高めつつアクチュエータを小型化することができる。
また、請求項２によるアクチュエータによると、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記シール部材は上記ベースと上記前面カバの間に介挿される前面シール部材と、上記ベースと上記背面カバの間に介挿される背面シール部材と、を含み、上記前面シール部材の一部が上記前面カバと上記上面カバの間及び上記ベースと上記上面カバの間に突出し、上記背面シール部材の一部が上記背面カバと上記ベースの間及び上記ベースと上記上面カバの間に突出しているので、シール性能を高めることができる。
また、請求項３によるアクチュエータによると、請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材の一部には上記前面カバ側上面カバ設置部に設置される張出平面部が設けられていて、上記背面シール部材の一部にも上記背面カバ側上面カバ設置部に設置される張出平面部が設けられているので、上面カバを前面カバ、背面カバ上に設置して固定する際、上記前面シール部材や上記背面シール部材が不用意に動いてしまうことを防止できる。
また、請求項４によるアクチュエータによると、請求項２又は請求項３記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材から上記ベースと上記上面カバの間に突出した上記前面シール部材の一部と上記背面シール部材から上記上面カバの間に突出した上記背面カバの一部が上記ベースと上記上面カバの間で重なるように配置されているので、シール性能を高めることができる。
また、請求項５によるアクチュエータによると、請求項２又は請求項３記載のアクチュエータにおいて、上記シール部材は上記ベースと上記上面カバの間に介挿される上面シール部材を含み、上記前面シール部材から上記ベースと上記上面カバの間に突出した上記前面シール部材の一部が上記上面シール部材の一部と重なるように配置されており、上記背面シール部材から上記ベースと上記上面カバの間に突出した上記背面シール部材の一部が上記上面シール部材の一部と重なるように配置されているので、シール性能を高めることができる。
また、請求項６によるアクチュエータによると、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記シール部材は上記ベースと上記上面カバの間に介挿された上面シール部材と、上記ベースと上記前面カバの間に介挿される前面シール部材と、上記ベースと上記背面カバの間に介挿される背面シール部材と、を含み、上記上面シール部材は上記ベースと上記前面カバ側上面カバ設置部と上記背面カバ側上面カバ設置部に跨るように設けられているので、シール性能を高めることができる。
また、請求項７によるアクチュエータによると、請求項６記載のアクチュエータにおいて、上記上面シール部材が上記前面シール部材及び上記背面シール部材と交差するように配置されていて、その交差部において上記前面シール部材及び上記背面シール部材が上記上面シール部材と接触するように構成されているので、シール性能を高めることができる。
また、請求項８によるアクチュエータによると、請求項７記載のアクチュエータにおいて、上記前面カバには上記前面シール部材が収容される溝部が形成されていて、上記溝部には上記交差部において上記前面シール部材を上記上面シール部材側に押し付ける凸部が設けられていて、上記背面カバには上記背面シール部材が収容される溝部が形成されていて、上記溝部には上記交差部において上記背面シール部材を上記上面シール部材側に押し付ける凸部が設けられているので、シール性能を高めることができる。
また、請求項９によるアクチュエータによると、請求項７記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材の上記交差部には上記上面シール部材が収容される上面シール部材用溝部が形成されていて、上記背面シール部材の上記交差部には上記上面シール部材が収容される上面シール部材用溝部が形成されているので、シール性能を高めることができる。
また、請求項１０によるアクチュエータによると、請求項９記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材の一部が上記前面カバと上記上面カバの間に突出し、上記前面カバ側設置部に設置される張出平面部が設けられ、上記背面シール部材の一部が上記背面カバと上記上面カバの間に突出し、上記背面カバ側設置部に設置される張出平面部が設けられているので、上面カバを前面カバ、背面カバ上に設置して固定する際、上記前面シール部材や上記背面シール部材が不用意に動いてしまうことを防止できる。
また、請求項１１によるアクチュエータによると、請求項１０記載のアクチュエータにおいて、上記張出平面部に上記上面シール部材用溝部が設けられているので、シール性能を高めることができる。
また、請求項１２によるアクチュエータによると、請求項６〜請求項１１の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記上面シール部材は端部を有するシール部材要素で構成されているので、アクチュエータの長さを変更する場合等には上記上面シール部材の長さを変えればよく、設計変更を容易なものとすることができる。
また、請求項１３によるアクチュエータによると、請求項２〜請求項１２の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記前面シール部材及び上記背面シール部材は同一の構成の部材からなるので、簡易な構成とすることができ、部品点数を減らして管理を容易なものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２のＩＩ−ＩＩ断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの分解斜視図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態を示す図で、シール部材の斜視図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態を示す図で、シール部材が設置された状態を上面カバを除去して示す平面図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態を示す図で、前面カバを後方側から視た斜視図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態を示す図で、背面カバを前方側から視た斜視図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態を示す図で、シール部材の分解斜視図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態を示す図で、シール部材が設置された状態を上面カバを除去して示す平面図である。
【図１０】本発明の第３の実施の形態を示す図で、シール部材の分解斜視図である。
【図１１】本発明の第３の実施の形態を示す図で、前面カバにシール部材の前面シール部材を設置した状態を背面側から視た図である。
【図１２】本発明の第４の実施の形態を示す図で、シール部材の斜視図である。
【図１３】本発明の第４の実施の形態を示す図で、シール部材が設置された状態を上面カバを除去して示す平面図である。
【図１４】本発明の第４の実施の形態を示す図で、前面カバにシール部材の前面シール部材を設置した状態を背面側から視た図である。
【図１５】本発明の第５の実施の形態を示す図で、シール部材の分解斜視図である。
【図１６】本発明の第５の実施の形態を示す図で、シール部材が設置された状態を上面カバを除去して示す平面図である。
【図１７】本発明の第６の実施の形態を示す図で、シール部材の分解斜視図である。
【図１８】本発明の第６の実施の形態を示す図で、シール部材が設置された状態を上面カバを除去して示す斜視図である。
【図１９】本発明の第６の実施の形態を示す図で、前面カバと前面シール部材の分解斜視図である。
【図２０】本発明の第６の実施の形態を示す図で、前面カバに前面シール部材を設置した状態を背面側から視た図である。
【図２１】本発明の第７の実施の形態を示す図で、前面カバに前面シール部材を設置した状態を背面側から視た図である。
【図２２】本発明の第８の実施の形態を示す図で、前面カバにシール部材の前面シール部材を設置した状態を背面側から視た図である。
【図２３】本発明の第９の実施の形態を示す図で、図２３（ａ）は前面カバに前面シール部材を設置した状態を背面側から視た図、図２３（ｂ）は図２３（ａ）のＸＸＩＩＩｂ部分の拡大図である。
【図２４】本発明の第１０の実施の形態を示す図で、シール部材の分解斜視図である。
【図２５】本発明の第１１の実施の形態を示す図で、ガイドレール、ボールねじナットホルダ、ボールねじナット、ボールねじ軸、モータ、及び、モータカバを除去したアクチュエータの分解斜視図である。
【図２６】本発明の第１１の実施の形態を示す図で、前面カバにシール部材の前面シール部材を設置した状態を背面側から視た図である。
【図２７】本発明の第１１の実施の形態を示す図で、シール部材の斜視図である。
【図２８】本発明の第１１の実施の形態を示す図で、シール部材が設置された状態を上面カバを除去して示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図１乃至図７を参照して、本発明の第１の実施の形態について説明する。図１は本実施の形態によるアクチュエータ１の全体の構成を示す斜視図、図２は図１のＩＩ−ＩＩ断面図、図３はアクチュエータ１の分解斜視図、である。まず、略Ｕ字型の横断面形状をなすベース５があり、このベース５の上面開口部６は上面カバ１１によって閉塞されている。また、ベース５の前面側開口部８は前面カバ７により閉塞されており、また、上記ベース５の背面側開口部１０は背面カバ９により閉塞されている。
【００１３】
例えば、図３に示すように、上記ベース５の両内側面のそれぞれの上端側（図３中上側）には、ガイドレール用溝１３、１３が形成されている。これらガイドレール用溝１３、１３内には、それぞれ、ガイドレール１５、１５が設置されている。上記ベース５内には、ボールねじナットホルダ２１が上記ガイドレール１５、１５にガイドされて移動可能に設置されている。上記ボールねじナットホルダ２１の前後両端（図２中左右両端）にはそれぞれ図示しないリターン路が形成されたガイド用エンドキャップ２３、２３が設置されている。また、上記ボールねじナットホルダ２１内には図示しないガイド用無負荷循環路が形成されて、上記ボールねじナットホルダ２１の幅方向（図２中紙面垂直方向）両側には図示しないガイド用凹部が形成されている。上記ガイドレール１５に形成された凹部と上記図示しないガイド用凹部との間の空間、上記ガイド用無負荷循環路、及び、上記エンドキャップ２３、２３の図示しないリターン路内には、図示しない複数の鋼球が転動・循環されている。
【００１４】
また、図２に示すように、上記ボールねじナットホルダ２１内には、ボールねじナット２５が設置されている。上記ホールねじナット２５は、ボールねじナット本体２７と、上記ボールねじナット本体２７の前後両端に設置されたボールねじナット用エンドキャップ２９、２９とから構成されている。上記ボールねじナット本体２７は略円筒形の部材で、内周面には螺旋溝３１が形成されている。また、上記ボールねじナット本体２７内には図示しないボールねじナット用無負荷循環路が形成されている。上記ボールねじナット用エンドキャップ２９、２９には、上記螺旋溝３１と上記図示しないボールねじナット用無負荷循環路を連絡する図示しないリターン路が形成されている。
また、上記ボールねじナット本体２７の内部には、給油経路３０ａが形成されていている。また、上記給油経路３０ａの開口部３０ｂには給油ニップル３０ｃが設置されている。
【００１５】
また、図２に示すように、上記ボールねじナットホルダ２１にはロッド３３が固着されている。上記ロッド３３は上記前面カバ７を貫通して上記アクチュエータ１の前方（図２中左側）に突出されている。上記前面カバ７の上記ロッド３３によって貫通される部分には、ロッド用シール部材３５、３５´が設置されている。
【００１６】
また、図２に示すように、上記ベース５内には、ボールねじ軸３７が設置されている。上記背面カバ９には軸受保持部３９が設けられていて、この軸受け保持部３９には軸受４１、４１が保持されている。上記ボールねじ軸３７は、上記軸受４１、４１によって軸支されている。
また、上記ボールねじ軸３７は上記ボールねじナット２５と上記ボールねじナットホルダ２１を貫通している。上記ボールねじ軸３７には螺旋溝４３が形成されていて、上記ボールねじナット本体２７の螺旋溝３１と上記ボールねじ軸３７の螺旋溝４３との間の空間、上記ボールねじナット用エンドキャップ２９、２９の図示しないリターン路、及び、上記ボールねじナット本体２７の図示しないボールねじナット用無負荷循環路内には、複数の鋼球４５が転動・循環されている。
【００１７】
上記背面カバ９の後端側（図２中右側）には、モータ５１が設置されている。上記モータ５１は、モータハウジング５３内に設置されたステータ５５と、このステータ５５の内側に回転可能に設置されたロータ５７と、このロータ５７に固着され上記モータハウジング５３の外側に突出された出力軸５９と、から構成されている。上記出力軸５９の先端（図２中左端）側は、上記背面カバ９の貫通孔６１内に設置されたカップリング機構６３によって、上記ボールねじ軸３７の基端側（図２中右端）に連結されている。上記カップリング機構６３は、上記ボールねじ軸３７の基端側に固着されたボールねじ軸側ハブ６５と、上記モータ５１の出力軸５９の先端側に固着されたモータ側ハブ６７と、上記ボールねじ軸側ハブ６５と上記モータ側ハブ６７に係合される中間ディスク６９とから構成される。
また、上記モータ５１の後端側（図２中右側）にはエンコーダ７１が設置される。このエンコーダ７１によって、上記モータ５１の出力軸５９の回転角度が検出される。
【００１８】
また、上記背面カバ９の後端側（図２中右側）には、モータカバ７３が設置されている。上記モータカバ７３は、両端が開口されたモータカバ本体７５と、このモータカバ本体７５の後端側（図２中右側）の開口部を閉塞するモータカバ端部キャップ７７とから構成されている。
上記モータカバ７３内にはアクチュエータを駆動制御する基板７９が設置されている。
上記背面カバ９の後端面（図２中右側端面）には環状凹部８１が形成されていて、この環状凹部８１内に係合された状態で上記モータカバ本体７５と上記背面カバ９の間には環状のシール部材８３が介挿されている。また、上記モータカバ端部キャップ７７の前端面（図２中左側端面）には環状凹部８５が形成されていて、この環状凹部８５内に係合された状態で上記モータカバ本体７５と上記モータカバ端部キャップ７７の間に環状のシール部材８７が介挿されている。
【００１９】
上記ベース５、上面カバ１１、前面カバ７、背面カバ９の間にはシール部材９１が設置されている。このシール部材９１は、図４に示すように、上面シール部材９３、９３と、前面シール部材９５と、背面シール部材９５′と、から構成されている。
上記上面シール部材９３は、横断面形状が四角形をなす直線状の部材である。図３、図５に示すように、ベース５の上端面の幅方向（図５中上下方向）の両側には、シール部材用溝部９７、９７が形成されていて、上記シール部材用溝部９７、９７に上記上面シール部材９３、９３が収容・配置されている。上記シール部材用溝部９７の両端側には幅広部９９、９９が形成されている。
【００２０】
上記前面シール部材９５は略環状の部材であるが、図４に示すように、上端部（図４中上側）の一方（図４中右上から左下に向かう方向）には幅方向（図４中左上から右下に向かう方向）の全体にわたって張出平面部１０１が突出・形成されていて、上端部（図４中上側）の他方（図４中左下から右上に向かう方向）には幅方向（図４中左上から右下に向かう方向）両端からそれぞれ接触部１０３、１０３が突出・形成されている。上記背面シール部材９５′も上記前面シール部材９５と同様の構成であり、図中同一部分には同一符号を付して示す。
図６に示すように、上記前面カバ７のベース５側の面（図６中手前側の面）にはシール部材用溝部１０５が形成されている。このシール部材用溝部１０５に上記前面シール部材９５が収容・配置されている。上記前面カバ７のベース５側の上側の端部（図６中手前側の上端）が切り欠かれていて、上面カバ設置部１０７が形成されている。上記シール部材用溝部１０５の上側は上記上面カバ設置部１０７に開口されていて、上記上面カバ設置部１０７には張出平面部収容凹部１０９が形成されている。この張出平面部収容凹部１０９に上記張出平面部１０１が収容配置されている。
また、図５に示すように、上記前面シール部材９５の接触部１０３、１０３は上記シール部材用溝部９７の一方側（図５中左側）の幅広部９９、９９内に収容・配置されている。このとき、上記接触部１０３、１０３は上記上面シール部材９３、９３の端部で幅方向（図５中上下方向）に重なっている。
このように、上記張出平面部１０１と上記接触部１０３、１０３によって、上記前面シール部材９５は上記前面カバ７の上面部と上記ベース５の上端面とに跨って配置されている。 
【００２１】
また、図７に示すように上記背面カバ９にも、ベース５側の面（図７中手前側の面）にシール部材用溝部１１１が形成されている。このシール部材用溝部１１１に上記背面シール部材９５′が収容・配置されている。上記背面カバ９のベース５側の上側の端部（図７中手前側の上端）が切り欠かれていて、上面カバ設置部１１３が形成されている。上記シール部材用溝部１１１の上側は上記上面カバ設置部１１３に開口されていて、上記上面カバ設置部１１３には張出平面部収容凹部１１５が形成されている。この張出平面部収容凹部１１５に上記背面シール部材９５′の張出平面部１０１が収容配置されている。
また、図５に示すように、上記背面シール部材９５′の接触部１０３、１０３は上記シール部材用溝部９７の他方側（図５中右側）の幅広部９９、９９内に収容・配置されている。このとき、上記接触部１０３、１０３は上記上面シール部材９３、９３の端部で幅方向（図５中上下方向）に重なっている。
このように、上記背面シール部材９５′は上記背面カバ９の上面部と上記ベース５の上端面とに跨って配置されている。
【００２２】
上記上面カバ１１を、上記ベース５の上端面、上記前面カバ７の上面カバ設置部１０７、上記背面カバ９の上面カバ設置部１１３に設置し、図３に示すように、ボルト１１７、１１７を上記上面カバ１１を通して上記前面カバ７に螺合させ、ボルト１１９、１１９を上記上面カバ１１を通して上記背面カバ９に螺合させ、ボルト１２０、１２０、１２０、１２０、１２０、１２０、１２０、１２０を上記上面カバ１１を通して上記ベース５に螺合させることで、上記上面カバ１１を上記ベース５、上記前面カバ７、及び、上記背面カバ９に固定させる。このとき、上記ベース５と上記前面カバ７の間に上記前面シール部材９５が介挿され、上記ベース５と上記背面カバ９の間に上記背面シール部材９５′が介挿され、上記前面カバ７と上記上面カバ１１の間に前面シール部材９５の張出平面部１０１が介挿され、上記背面カバ９と上記上面カバ１１の間に背面シール部材９５´の張出平面部１０１が介挿され、上記上面カバ１１と上記ベース５との間に上記前面シール部材９５の接触部１０３、１０３、上記背面シール部材９５´の接触部１０３、１０３、及び、上記上面シール部材９３、９３が介挿される。
【００２３】
次に、この第１の実施の形態による作用を説明する。
モータ５１の出力軸５９を回転・駆動させ、ボールねじ軸３７を回転させると、ボールねじナット２５、ひいては、ロッド３３がガイドレール１５、１５にガイドされて前後に進退（図２中左右方向に移動）される。このとき、前面カバ７に設置されたロッド用シール部材３５、３５′によって、上記前面カバ７と上記ロッド３３との間からのアクチュエータ１内への異物の侵入が防止される。
【００２４】
また、上記アクチュエータ１にはシール部材９１が設置されていて、ベース５、前面カバ７、背面カバ９、及び、上面カバ１１の間からの上記アクチュエータ１内への異物の侵入が防止される。また、背面カバ９とモータカバ本体７５との間に設定されたシール部材８３とモータカバ本体７５とモータカバ端部キャップ７７との間に設置されたシール部材８７によってモータカバ７３内への異物の侵入が防止される。
【００２５】
次に、この第１の実施の形態による効果について説明する。
まず、アクチュエータ１の小型化を図ることができる。これは、ボールねじナットホルダ２１を移動可能にガイドするレール１５、１５をベース５の内側面に加工を必要とする場合でも、ベース５、上面カバ１１、前面カバ７、背面カバ９がそのままハウジングとして機能するように構成されていて、防塵・防水性能を高める場合に別途ハウジングを設ける必要はなく、従来のような筐体の二重構造が解消されているからである。
【００２６】
また、シール機能に関してはシール部材９１によって担保されており、ベース５、上面カバ１１、前面カバ７、背面カバ９の間からの上記アクチュエータ１内への異物の侵入を防止することができる。
また、上記前面シール部材９５や上記背面シール部材９５′の接触部１０３、１０３は上記上面シール部材９３、９３の端部で幅方向（図５中上下方向）に重なるように配置されているので、上面シール部材９３、９３と上記前面シール部材９５や上記背面シール部材９５′との境界部においても確実にシールすることができる。
また、設計変更によりアクチュエータ１の長さを変更する場合には、上面シール部材９３、９３の長さを変更するだけで対応することができる。
また、上記前面シール部材９５や上記背面シール部材９５′には張出平面部１０１、１０１が設けられているので、上面カバ１１を前面カバ７、背面カバ９上に設置して固定する際、上記前面シール部材９５や上記背面シール部材９５′が不用意に動いてしまうことを防止することができる。また、上面カバ１１と前面カバ７との間、及び上面カバ１１と背面カバ９の間からの異物の侵入を防止することができる。また、前面シール部材９５、背面シール部材９５′は環状の部材に接触部１０３及び張出平面部１０１を一体に備えることで、ベース５と上面カバ１１の間の面、ベース５と前面カバ７の間の面、上面カバ１１と前面カバ７の間の面の三面、及びベース５と上面カバ１１の間の面、ベース５と背面カバ９の間の面、上面カバ１１と背面カバ９の間の面の三面が交差する箇所を確実にシールすることができる。また、前面シール部材９５と背面シール部材９５′は前後の向きを変えただけで同一部品であり、部品の種類を少なくすることができる。
【００２７】
次に、図８と図９を参照しながら、本発明の第２の実施の形態について説明する。
前記第１の実施の形態の場合には、片側１本ずつの上面シール部材を使用したが、この第２の実施の形態のシール部材１２１の場合には片側２本ずつの上面シール部材を使用している。すなわち、図８、図９に示すように、上面シール部材９３が幅方向（図８中左上から右下に向かう方向）の両側に２つずつ設置されている。また、図９に示すように、シール部材用溝部９７、９７の中央にも幅広部１２３、１２３が形成されていて、上記幅広部１２３、１２３において上記上面シール部材９３同士の端部が幅方向（図９中上下方向）に重なっている。
【００２８】
この第２の実施の形態の場合も、前記第１の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができるとともに、上面シール部材９３を適宜本数使用することにより、アクチュエータ1のストロークの変更に対応することができるので、長さが異なる複数種類の上面シール部材９３を用意する必要がなく部品管理の容易化を図ることができる。
なお、第１の実施の形態と第２の実施の形態で共通する構成には同一符号を付して示しその説明を省略した。
【００２９】
次に、図１０及びと図１１を参照して、本発明の第３の実施の形態について説明する。前記第１の実施の形態においては、前面シール部材と背面シール部材とを環状で一体物として説明したが、この第３の実施の形態のシール部材１３１の場合には、前面シール部材と背面シール部材を上下に二分割した構成になっている。以下、説明する。
まず、前面シール部材１３３は、シール部材要素１３５とシール部材要素１３７とから構成されている。
【００３０】
また、図１１に示すように、前面カバ７のシール部材用溝部１０５には、幅広部１３９、１３９が設けられていて、上記シール部材要素１３５の下端側と上記シール部材要素１３７の上端側は上記幅広部１３９、１３９において幅方向（図１１中左右方向）に重なるように配置されている。
また、背面シール部材１３３′も前面シール部材１３３と同じ構成になっている。
【００３１】
この第３の実施の形態の場合も、前記した第１、第２の実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏することができる。
尚、第１の実施の形態〜第３の実施の形態に共通する構成には同一符号を付して示しその説明を省略した。
【００３２】
次に、図１２乃至図１４を参照して本発明の第４の実施の形態について説明する。前記第３の実施の形態の場合には、前面シール部材と背面シール部材を上下に二分割した例を説明したが、この第４の実施の形態のシール部材１４１の場合には前面シール部材と背面シール部材を左右に二分割した例を説明するものである。以下、説明する。
前面シール部材１４３は、幅方向（図１２中左上から右下に向かう方向）に分割されていて、シール部材要素１４５、１４７から構成されている。
【００３３】
上記シール部材要素１４５には張出平面部要素１４９が設けられているとともに、上記シール部材要素１４７にも張出平面部要素１５１が設けられている。上記シール部材要素１４５、１４７を組み合わせて上記前面シール部材１４３を構成すると、上記張出平面部要素１４９、１５１によって張出平面部１０１が構成される。また、図１２及び図１３に示すように、上記張出平面部要素１４９、１５１の先端側は互い違いの形状に形成されていて、前後方向（図１３中左右方向）に重なるように構成されている。
また、図１４に示すように、上記前面カバ７のシール部材用溝部１０５に幅広部１５３が設けられていて、上記シール部材要素１４５、１４７の下端側も、上記幅広部１５３において図１４中上下方向に重なるように構成されている。
また、上記背面シール部材１４３′も上記前面シール部材１４３と同様の構成である。
【００３４】
この第４の実施の形態の場合も、前記第１乃至第３の実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏する。また、図１２及び図１３に示すように、上記張出平面部要素１４９、１５１の先端側は互い違いの形状に形成されていて、前後方向（図１３中左右方向）に重なるように構成されていて、図１４に示すように、上記シール部材要素１４５、１４７の下端側も、図１４中上下方向に重なるように構成されているので、シール部材要素１４５、１４７が一体のシール部材で形成されている場合と同様のシール性能を確保することができる。またシール部材を、シール部材要素１４５、１４７に分割することで金型形状を簡素化することができる。
なお、第１の実施の形態〜第４の実施の形態について、共通する構成要素には同じ符号を付し、その説明を省略した。
【００３５】
次に、図１５と図１６を参照しながら、本発明の第５の実施の形態について説明する。前記第１乃至第４の実施の形態の場合には、上面シール部材、前面シール部材、背面シール部材、をそれぞれ別個に設けるようにしたが、この第５の実施の形態のシール部材１５５の場合には、上面シール部材の一部を前面シール部材に一体化させ、上面シール部材の残部を背面シール部材に一体化させた例を示すものである。以下、説明する。
まず、前面シール部材１５７の張出平面部１０１の突出方向と反対 側（図１５中右側）には幅方向（図１５中左上から右下に向かう方向）両端からそれぞれ上面シール部１５９、１５９が突出・形成されている。また、上記背面シール部材１５７´は上記前面シール部材１５７と同様の構成である。
【００３６】
図１６に示すように、シール部材用溝部９７、９７の図１６中中央に幅広部１５８、１５８が形成されていて、上記幅広部１５８、１５８において上記前面シール部材１５７の上面シール部１５９、１５９の先端側と上記背面シール部材１５７´の上面シール部１５９、１５９の先端側が幅方向（図１６中上下方向）に重なるように配置されている。
【００３７】
この第５の実施の形態の場合も、前記した第１の実施の形態〜第４の実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏する。また、図１６に示すように、上記上面シール部１５９同士の端部が幅方向（図１６中上下方向）に重なり合うように構成されているので、第１、第３、第４の実施形態のように上面シール部材が一体となっている場合と同様のシール性能を確保することができる。
また、シール部材１５５は同じ構成の前面シール部材１５７と背面シール部材１５７´から構成されるので、簡易な構成とすることができるとともに、部品点数を減らし管理を容易なものとすることができる。
なお、第１の実施の形態〜第５の実施の形態について、共通する構成要素には同じ符号を付し、その説明を省略した。
【００３８】
次に、図１７〜図２０を参照しながら、本発明の第６の実施の形態について説明する。
この第６の実施の形態の場合は、図１７に示すようなシール部材１６１が用いられている。このシール部材１６１は、環状の前面シール部材１６３と背面シール部材１６３´と、環状の部材の一か所を切断した形状の上面シール部材１６５とから構成されている。
【００３９】
図１８に示すように、ベース５の上端面には直線状の上面シール部材用凹部１６７、１６７が形成されていて、前面カバ７の図１８中上側の面には略Ｕ字型の上面シール部材用溝部１６９が形成されていて、背面カバ９の図１８中上側の面には略Ｕ字型の上面シール部材用溝部１７１が形成されている。上記上面シール部材１６５は上記上面シール部材用溝部１６７、１６７、１６９、１７１に収容・配置され、上面カバ１１を設置することで、上記上面カバ１１とベース５の間、上記上面カバ１１と前面カバ７との間、及び、上記上面カバ１１と背面カバ９との間に介挿されている。このように、上記上面シール部材１６５は上記前面カバ７の上面部と上記ベース５の上端面と上記背面カバ９の上面部とに跨って配置されている。上記前面カバ７の上面シール部材用溝凹部１６９の中央は幅広部１７３となっていて、上記上面シール部材１６５の両端側はこの幅広部１７３内に収容されている。また、上記上面シール部材１６５両端側は、図１８に示すように上記幅広部１７３内において前後方向（図１８中左下から右上に向かう方向）に重なり合っている。
【００４０】
また、図１９及び図２０に示すように、上記前面カバ７の端面（図２０中手前側の面）にはシール部材用溝部１７５が形成されている。上記前面シール部材１６３は上記シール部材用溝部１７５内に収容・配置される。このように、上記上面シール部材１６５は上記前面シール部材１６３と交差する位置に配置されている。
また、上記シール部材用溝部１７５の図２０中上側には、シール部材押圧用凸部１７７、１７７が形成されていて、この部分において、上記前面シール部材１６３の一部を上記上面シール部材用溝部１６９側に押し上げている。これにより、上記前面シール部材１６３と交差するように配置されている上記上面シール部材１６５を交差する部分で密着させシール性能を高めている。
上記背面カバ９側についても、同様に、上記背面シール部材１６３´が設置されている。
【００４１】
この第６の実施の形態の場合も、前記した第１の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。また、上記上面シール部材１６５の両端側は、図１８に示すように、前後方向（図１８中左下から右上に向かう方向）に重なり合っているので、上面シール部材が環状となっている場合と同様のシール性能を確保することができる。また、上記上面シール部材１６５が収容される凹部１６７、１６７、１６９，１７１の長さに応じた端部を有するワイヤ状のシール部材を用意すればよく、特別な金型を必要としない。そのため、アクチュエータの長さを変更する場合にも、上面シール部材１６７の長さを変更するだけで対応することができる。また、上記シール部材用溝部１７５の図２０中上側には、シール部材押圧用凸部１７７、１７７が形成されていて、この部分において、上記前面シール部材１６３や背面シール部材１６３´の一部を上記上面シール部材用溝部１６９側や上面シール部材用溝部１７１側に押し上げているので、上記前面シール部材１６３及び背面シール部材１６３´が交差するように配置されている上記上面シール部材１６５に密着され、シール性能を高めることができる。これにより、ベース５と上面カバ１１の間の面、ベース５と前面カバ７の間の面、上面カバ１１と前面カバ７の間の面の三面が交差する箇所を確実にシールすることができる
また、環状の前面シール部材１６３と背面シール部材１６３´を用いているので、簡易な構成とすることができる。
また、上記ベース５の凹部１６７、１６７は、前記した第１の実施の形態のような幅広部９９や前記した第５の実施の形態のような幅広部１５８が設けられず幅が一定となっているので、後加工は行わず押出成形のみにより上記ベース５を容易に製造することができる。
【００４２】
次に、図２１を参照しながら、本発明の第７の実施の形態について説明する。
この第７の実施の形態の場合は、前記した第６の実施の形態の場合とほぼ同様であるが、図２１に示すような前面シール部材１８１が用いられている。上記前面シール部材１８１は、環状の部材の一か所を切断した形状をなしている。上記前面シール部材１８１は、図２１に示すように前面カバ７に設置される。上記前面カバ７のシール部材用溝部１７５の図２１中左側には幅広部１８３が設けられていて、この幅広部において、上記端部用シール部材１８３の先端側が幅方向（図２１中左右方向）に重なり合っている。
また、背面カバ９についても、上記前面シール部材１８１と同様の構成の図示しない背面シール部材が設置されている。
【００４３】
この第７の実施の形態の場合も、前記した第６の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。また、上記前面シール部材１８１の両端側は、図２１に示すように、左右方向（図２１中の左右方向）に重なり合っているので、上記前面シールが環状となっている場合と同様のシール性能を確保することができる。また、上記前面シール部材１８１は端部を有するワイヤ状のシール部材であり、特別な金型を必要としない。また、上記背面シール部材についても上記上面シール部材１８１と同様の効果を有している。
【００４４】
次に、図２２を参照しながら、本発明の第８の実施の形態について説明する。
この第８の実施の形態の場合は、前記した第６の実施の形態の場合とほぼ同様であるが、図２２に示すような前面シール部材１９１が用いられている。この前面シール部材１９１は、２本のシール部材要素１９３、１９３から構成されていて、上記前面シール部材１９１は、図２２に示すように前面カバ７に設置される。上記前面カバ７のシール部材用溝部１７５の図２２中左右方向両側には幅広部１９５、１９５が設けられていて、この幅広部において、上記シール部材要素１９３、１９３の先端側同士が幅方向（図２２中左右方向）に重なり合っている。
また、背面カバ９についても、同様に上記前面シール部材１９１と同様の構成の図示しない背面シール部材が設置されている。
【００４５】
この第８の実施の形態の場合も、前記した第６、第７の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。
【００４６】
次に、図２３を参照しながら、本発明の第９の実施の形態について説明する。
この第９の実施の形態の場合は、前記した第６の実施の形態の場合とほぼ同様であるが、図２３に示すような前面シール部材２０１が用いられている。この前面シール部材２０１は環状の部材であり、図２３（ａ）中上側であって左右両端側には、上面シール部材係合用凸部２０３、２０３、２０３、２０３が形成されている。上記上面シール部材係合用凸部２０３は、図２３（ａ）中左右両端側にそれぞれ２つずつ形成されていて、図２３（ｂ）に示すように２つの上記上面シール部材係合用凸部２０３、２０３によって上面シール部材１６５を挟みこむように構成されている。このように構成することで、上記シール部材１６５と上記前面シール部材２０１の隙間を少なくし、シール性能を高めている。
なお、この第９の実施の形態の場合には、前記した第６〜第８の実施の形態のような、シール部材押圧用凸部１７７、１７７は設けられていない。
また、背面カバ９についても、上記前面シール部材２０１と同様の構成の図示しない上記背面シール部材が設置されている。
【００４７】
この第９の実施の形態の場合も、前記した第６の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。また、図２３（ｂ）に示すように２つの上面シール部材係合用凸部２０３、２０３によって上面シール部材１６５を挟みこむように構成されているので、上記シール部材１６５と上記前面シール部材２０１の隙間を少なくし、シール性能を高めることができる。
【００４８】
次に、図２４を参照しながら、本発明の第１０の実施の形態について説明する。
この第１０の実施の形態のシール部材２０５は、図２４に示すように、前面シール部材２０６と背面シール部材２０６′、上面シール部材２０７、２０７とから構成されている。
【００４９】
上記前面シール部材２０６は略環状の部材であるが、図２４に示すように、上端部（図２４中上側）の一方（図２４中右上から左下に向かう方向）には幅方向（図２４中左上から右下に向かう方向）の全体にわたって張出平面部２０９が突出・形成されていて、この張出平面部２０９には上端部（図２４中上側）の他方（図２４中左下から右上に向かう方向）と上面側に開口された上面シール部材用溝部２１０、２１０が形成されている。
また、上記背面シール部材２０６′も上記前面シール部材２０６と同様の構成であり、図中同一部分には同一符号を付して示す。
上記上面シール部材２０７は、横断面形状が四角形をなす直線状の部材である。上記上面シール部材２０７の両端側は上記前面シール部材２０６及び上記背面シール部材２０６′の上面シール部材用溝部２１０に係合される。
【００５０】
この第１０の実施の形態の場合も、前記第１の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができる。
【００５１】
次に、図２５乃至図２８を参照しながら、本発明の第１１の実施の形態について説明する。
この第１１の実施の形態によるアクチュエータの場合は、図２５に示すようなベース２１１、上面カバ２１３、前面カバ２１５、背面カバ２１７が用いられ、上記ベース２１１、上記上面カバ２１３、上記前面カバ２１５、及び、上記背面カバ２１７の間にはシール部材２１９が設置されている。
【００５２】
上記ベース２１１は、前記した第１の実施の形態のベース５と略同様の構成であるが、高さ（図２５中上下方向大きさ）は上記ベース５と比べて低く、浅い略Ｕ字型の横断面形状を成している。
上記上面カバ２１３は略逆Ｕ字型の横断面形状を成しており、上記ベース５の上側のみに配置されていて、前記した第１の実施の形態の上面カバ１１のように上記ベース５と上記前面カバ２１５及び上記背面カバ２１７に跨って配置された構成にはなっていない。そのため、図２５及び図２６に示すように、上記前面カバ２１５の図２６中手前側の面の上側部分が上面カバ設置部２１４となっていて、上記背面カバ２１７の図２５中の左側の面の上側部分が上面カバ設置部２１６となっている。
【００５３】
上記前面カバ２１５には、図２６に示すようにベース２１１側の面（図２６中手前側の面）にシール部材用溝部２１８が形成されている。
上記背面カバ２１７は、図２５に示すように上記前面カバ２１５と略同様の構成であり、シール部材用溝部２２０が形成されている。
【００５４】
上記シール部材２１９は、図２７に示すように、上面シール部材２２１、２２１、前面シール部材２２３、及び、背面シール部材２２５とから構成されている、
上記上面シール部材２２１は、前記した第１の実施の形態の上面シール部材９３と同様に横断面形状が四角形をなす直線状の部材であり、図２８に示すように、上記シール部材用溝部９７、９７に収容・配置されている。
【００５５】
上記前面シール部材２２３は略環状の部材であるが、図２７に示すように、図２７中上下方向の略中央部の幅方向（図２７中左上から右下に向かう方向）両端からそれぞれ接触部２２７、２２７が突出・形成されている。上記背面シール部材２２５も上記前面シール部材２２３と同様の構成であり、図中同一部分には同一符号を付して示す。
図２６に示すように、上記前面シール部材２２３は上記前面カバ２１５のシール部材用溝部２１８に収容・配置されている。よって、上記前面シール部材２２３は、上記前面カバ２１５と上記ベース２１１との間、及び、上記前面カバ２１５の上面カバ設置部２１４と上記上面カバ２１３との間に介挿されている。
また、上記背面シール部材２２５も同様に上記背面カバ２１７のシール部材用溝部２２０に収容・配置されている。よって、上記背面シール部材２２５は、上記背面カバ２１７と上記ベース２１１との間、及び、上記背面カバ２１７の上面カバ設置部２１６と上記上面カバ２１３との間に介挿されている。
上記前面シール部材２２３及び上記背面シール部材２２５の接触部２２７、２２７は、図２８に示すように、シール部材用溝部９７、９７の幅広部９９、９９内に収容・配置されていて、上記接触部２２７、２２７は上記上面シール部材２２１、２２１の端部と幅方向（図２８中上下方向）に重なっている。このように、上記前面シール部材２２３は上記前面カバ２１５の上記上面カバ設置部２１４と上記ベースの上端面とに跨って配置され、上記背面シール部材２２５は上記背面カバ２１７の上記上面カバ設置部２１６と上記ベースの上端面とに跨って配置されている。
【００５６】
この第１１の実施の形態の場合も、前記した第１の実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏する。
【００５７】
なお、本発明は前記第１〜第１１の実施の形態に限定されない。
例えば、第４の実施の形態、第５の実施の形態、及び、第１１の実施の形態において、第２の実施の形態のような上面シール部材を用いる場合や、上面シール部材を用いず、第３の実施の形態のように接触部を延長して前面シール部材と背面シール部材のみを用いる場合が考えられる。
また、第６の実施の形態において、上面シール部材を２つのシール部材要素から構成する場合や、切れ目のない環状の部材とすることが考えられる。
また、前面シール部材や背面シール部材の上面シール部材と接触する部分を厚くすることで、上記上面シール部材と上記前面シール部材及び上記背面シール部材を密着させシール性能を高めるようにしてもよい。
また、シール部材は、ニトリルゴム、フッ素ゴム等、アクチュエータの使用環境に応じた様々な材料の使用が考えられる。
その他、図示した構成は一例であり、様々な場合が考えられる。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明は、例えば、ロッドタイプのアクチュエータに係り、特に、小型化できるように工夫したものに関し、例えば、食品や薬品の製造装置に好適である。
【符号の説明】
【００５９】
１  アクチュエータ
５  ベース
７  前面カバ
９  背面カバ
１１  上面カバ
９３  上面シール部材
９５  前面シール部材
９５´  背面シール部材
１０１  張出平面部
１０７  上面カバ設置部（前面カバ側上面カバ設置部）
１１３  上面カバ設置部（背面カバ側上面カバ設置部）
１３３  前面シール部材
１３３´  背面シール部材
１４３  前面シール部材
１４３´  背面シール部材
１５７  前面シール部材
１５７´  背面シール部材
１６３  前面シール部材
１６３´  背面シール部材
１６５  上面シール部材
１７７  シール部材押圧用凸部
１８１  前面シール部材
１８１´  背面シール部材
１９１  前面シール部材
２０１  前面シール部材
２０３  上面シール部材係合用凸部
２０６  前面シール部材
２０６′  背面シール部材
２０７  上面シール部材
２１０  上面シール部材用溝部
２１３  上面カバ
２１５  前面カバ
２１７  背面カバ
２２１  上面シール部材
２２３  前面シール部材
２２５  背面シール部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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