(57)【要約】      （修正有）【課題】マッサージ効果を得ながら音楽を聴くことができるマッサージ器を提供する。【解決手段】本発明のマッサージ器は、振動板１２と、振動板にとりつけられた圧電素子２２と、を備えたヘッド部Ｈと、可聴域における非離散的な信号を含む供給信号を、前記振動源に供給する回路を備えたコントロール部Ｃとを備える。圧電素子２２は、供給信号に応じて湾曲する。そして圧電素子２２の湾曲に応じて、振動板１２が湾曲するように振動する。振動板１２は、直接にあるいは布等を介して間接に肌をマッサージする。また、このヘッド部Ｈを耳の近辺（耳介や耳珠、あるいは側頭骨の乳突部や頬骨あたり）に当てた場合には、ユーザの軟部組織や骨組織が震えて音楽を聴くこともできる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動板と、振動板にとりつけられた振動源と、を備えたヘッド部と、可聴域における非離散的な信号を含む供給信号を、前記振動源に供給する回路を備えたコントロール部と、を備えたマッサージ器。
【請求項２】
前記振動源は前記振動板を直にあるいは間接的に湾曲させる請求項１に記載のマッサージ器。
【請求項３】
前記振動源が振動するとともに、前記振動板から音声が発生する請求項１に記載のマッサージ器。
【請求項４】
前記供給信号には、超音波帯域の信号が含まれる請求項１に記載のマッサージ器。
【請求項５】
前記供給信号には楽曲信号を含む請求項１に記載のマッサージ器。
【請求項６】
前記供給信号は駆動アンプにより所定の周波数域を増幅した強化信号として前記振動源に供給される請求項１に記載のマッサージ器。
【請求項７】
前記ヘッド部には、パッド部が設けられている請求項１に記載のマッサージ器。
【請求項８】
前記楽曲信号は右用音声信号及び左用音声信号を含み、前記右用音声信号に基づき右用のヘッド部を駆動させ、前記左用音声信号に基づき左用のヘッド部を駆動させ、
前記右用音声信号及び前記左用音声信号を合成して得られた合成信号によりマッサージ用のヘッド部を駆動させる
請求項５に記載のマッサージ器。
【請求項９】
マッサージ器の振動板を振動させて人体を振動させると同時に、前記振動板の振動により人体を振動させて、可聴域における非離散的な音声を発生させるマッサージ器の使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マッサージ器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、マッサージ器は、圧電素子を用いるものが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−３４４０８
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、構造が複雑である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のマッサージ器は、振動板と、振動板にとりつけられた振動源と、を備えたヘッド部と、ヘッド部に対して、可聴域における非離散的な信号を含む供給信号を供給する回路を備えたコントロール部と、を備える。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、新規なマッサージ器を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】第１の構造例を示す断面図である。
【図２】第２の構造例を示す断面図及び平面図である。
【図３】回路構成を示すブロック図である。
【図４】回路構成を示すブロック図である。
【図５】回路構成を示すブロック図である。
【図６】音楽信号用の補正前信号である供給信号と、マッサージ用の補正後信号である供給信号の周波数特性を図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【０００９】
図１〜図２は実施形態に係るマッサージ器の断面図である。マッサージ器は、大きく分けて３つの部材からなっていてもよい。一つ目は振動源を備えたヘッド部Ｈである。２つ目は、操作をする部分、つまりコントロール部を備えたコントロール部Ｃである。３つめはたとえば乾電池の場合は不要であるが、充電可能なバッテリの場合に便利な充電台Ｄである。
【００１０】
以下、図１、２を用いて説明する。なお、把握の容易化のために、各図における縮尺は、適宜、変更している。
【００１１】
図１の構造例１を参照して説明する。ヘッド部Ｈは、パッド部１１、振動板１２、圧電素子２２を備えている。
【００１２】
パッド部１１は、たとえば、厚みが０．１〜２ｍｍ程度のシリコーン樹脂製のパッドである。基本的には人間の肌に密着するパッドであれば、粘着シートやシール部材などでもよく、材料や形状はなんでもよい。なお、パッド部１１は、振動板１２を幅広く覆い、肌に貼りつけばよい。圧電素子２２の両端部は中央に比較して振幅が小さい。そのため、振動板１２の振幅も中央に比較して両端部が小さいからである。なお、パッド部１１は、必須ではない。たとえば靴下やフェイスマスク等、肌を締め付けるものと肌との間にヘッド部Ｈを配置させて保持すればよく、このような場合パッド部１１は必須ではない。
【００１３】
振動板１２は、たとえばアクリルやポリカーボネート等のプラスティック素材、あるいはガラスからなっていてもよい。あるいはアルミニウムやステンレス、ジェラルミン等の金属薄板でもよい。この振動板１２は、一例として、パッド部１１が設けられる面の縦の寸法が１５〜３５ｍｍ、横の寸法が８〜１５ｍｍ、先の面に直交する厚みが、圧電素子２２の厚みを含んで、２〜１０ｍｍであってもよい。
【００１４】
振動板１２の内部には、圧電素子２２が埋め込まれている。なお、振動板１２は、パッド部１１を配置できる板状の部分があればよく、必ずしも全体が板状であるものに限定されない。
【００１５】
圧電素子２２は、板状をなしており、最も大きな面（以下、第１面という）が先のパッド１１側の面に対向して配置されている。そして、第１面の縦の寸法は、穴側の面の縦の寸法（１５〜３５ｍｍ）のおおよそ０．５倍〜０．９倍であってもよい。圧電素子の第１面の横の寸法は、穴側の面の横の寸法（５〜１５ｍｍ）のおおよそ０．５倍〜０．９倍であってもよい。圧電素子の厚みは、おおよそ０．３〜２．０ｍｍ程度であってもよい。
【００１６】
圧電素子２２は、供給信号（電圧）を印加することで、構成材料の電気機械結合係数に従い伸縮または屈曲（湾曲）する素子である。これらの素子は、例えばセラミック製や水晶からなるものが用いられる。圧電素子２２は、ユニモルフ、バイモルフまたは積層型の圧電素子であってよい。積層型の圧電素子には、ユニモルフを積層した（たとえば１６層〜４４層程度積層した）積層型ユニモルフ素子、またはバイモルフを積層した（たとえば１６層〜４４層程度積層した）積層型バイモルフ素子が含まれる。積層型の圧電素子は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）からなる複数の誘電体層と、該複数の誘電体層間に配置された電極層との積層構造体から構成される。圧電素子２２は、まずは、第１面側が先の縦の方向に沿って伸びると同時に、第１面とは逆側の面が先の縦の方向に沿って縮むことにより、厚み方向に湾曲する。次に第１面側が先の縦の方向に沿って縮むと同時に、第１面とは逆側の面が先の縦の方向に沿って伸びることにより、厚み方向に先ほどとは逆側に湾曲する。これを繰り返すことによる振動を発生させる。また、圧電素子２２につながる電極配線３３が接続されている。
【００１７】
圧電素子２２は、後述する供給信号に応じて湾曲する。そして圧電素子２２の湾曲に応じて、振動板１２が湾曲するように振動する。振動板１２は、直接にあるいは布等を介して間接に肌をマッサージする。また、このヘッド部Ｈを耳の近辺（耳介や耳珠、あるいは側頭骨の乳突部や頬骨あたり）に当てた場合には、ユーザの軟部組織や骨組織が震えて音楽を聴くこともできる。つまり、マッサージ効果を得ながら同じヘッド部Ｈで音楽を聴いてもよい。
【００１８】
コントロール部Ｃは、持ち手となる筐体３１、制御系やメモリ等を搭載した基板３２、先の電極配線３３、キャップ部４０、操作部３４、バッテリ３５を含んで構成されてもよい。
【００１９】
コントロール部Ｃは、ユーザが手に持ちながら操作する操作部である。そのため、コントロール部Ｃの筐体３１は、持ちやすいように、たとえば筒状をなしている。筒状であることは必須ではなく、多くのリモートコントローラのように板状でもよい。また、内部に基板３２やバッテリ３５等を収納する筐体としての機能を有している。筐体３１は、振動板１２と同じように、プラスティック等の樹脂材料からなっていてもよい。あるいは筐体３１は、アルミニウムやステンレス等の金属材料や強化ガラスからなっていてもよい。コントロール部Ｃの長さは、たとえば５ｃｍ〜２５ｃｍ程度である。
【００２０】
使用される状態では、基板３２等のある空間は密閉されていてもよい。たとえばキャップ４０側もキャップ自体がパッキン４１と同様に筐体３１を押圧しており、防水構造が実現されている。また、電極配線３３の部位もパッキン４１により防水が施されている。このようにすれば入浴しながらマッサージ器を使用することもできる。なお、防水は必ずしも必須ではない。
【００２１】
基板３２は、防水構造が実現された筒状の内部の空間に収納できる。基板３２には、図３〜図５にあらわされた各機能部や回路構成が搭載される。たとえば、基板３２は、信号生成部３６、駆動アンプ３７、メモリ３８などが搭載される。
【００２２】
電極配線３３等を通じて、圧電素子２２に駆動するための供給信号が供給される。
供給信号はたとえば図６のような周波数特性を持つ。なお図６の例に限られない。
操作部３４は、マッサージ器のＯＮ・ＯＦＦを切り替える電源スイッチ（たとえばボタンスイッチ）と、音量調整する調整スイッチ（たとえば＋ボタン・−ボタン）とを含んでもよい。これらのスイッチは筐体３１の外側の面に配置されている。ユーザが筐体３１の外側から各スイッチを操作可能である。たとえば、筐体３１の外側表面に防水シートを貼付し、その内側にこれらのスイッチが設けられてもよい。
【００２３】
バッテリ３５は、筐体３１の内部に収納されている。そして電極パッド４３から供給される電力を蓄えるともに、ユーザの操作に応じて基板３２へと電力を供給する。バッテリ３５は乾電池でも良い。
【００２４】
キャップ部４０は、コントロール部Ｃの端部に取り付けられる。キャップ部４０は、パッキン４１とともに、バッテリ３５や基板３２が配置されている内部の空間を密閉する。また、キャップ部４０の表面に露出する側の面には、電極パッド４３が設けられている。
【００２５】
電極パッド４３は、充電台Ｄの電極パッド５３からの電力をバッテリへと伝達する電力線回路の一部を構成する。
【００２６】
充電台Ｄは、筐体５１、基板５２、電極パッド５３及びプラグ５４を備える。充電台Ｄの筐体５１は、コントロール部Ｃを搭載可能な平板上の主面を備える。主面には電極パッド５３が配置されており、コントロール部Ｃの電極パッド４３と電気的に接続される。筐体５１の内部には、基板５２が配置されており、プラグ５４からの商用電源からの電力を交流から直流に変換し、また、直流となった電力の変圧機能を備える。
【００２７】
次に図２を参照しながら構造例２を説明する。特に図１との変更点を中心に説明する。図１の構造例１と異なる点は特にヘッド部Ｈの構造である。
【００２８】
構造例２は、パッド部１１、振動板１２、接着部材１３、筐体２１、圧電素子２２、電極配線３３などからなる。圧電素子２２は、振動板１２に接着部材１３を介して接合されている。そして、振動板１２は、圧電素子の支持部材でもあり、また筐体２１の蓋部材にもなっている。圧電素子２２が振動板１２を直に湾曲させる。筐体２１の凹部の深さは、湾曲を干渉しないだけの深さを持つ空間Ｓを構成するように、圧電素子２２の湾曲時の最大振幅、圧電素子２２の厚み、接着部材１３の厚み及び収縮率を計算して設計されている。
【００２９】
次に図３の実施例にて回路構成等の電気的な接続関係を含めて説明する。
充電台Ｄは、たとえば１００ｖ、１．５Ａ、５０／６０Ｈｚの商用電源に接続されるプラグ５４をそなえる。プラグ５４から供給される電力は、基板５２に搭載された整流器及び変圧器等を通して、適切な電圧、たとえば５ｖ〜２０ｖ、１Ａ〜５Ａの直流電流に変換される。
基板５２からの直流電力は、電極パッド５３，４３を介して、バッテリ３５に蓄積される。
【００３０】
コントロール部Ｃは、電極パッド４３、操作部３４、バッテリ３５、メモリ３８、信号生成部３６、駆動アンプ３７、電極配線３３等を含んで構成される。
【００３１】
操作部３４は、マッサージ器のON・OFF切り替えスイッチ回路と、音量等の調整回路とを含んでもよい。さらには、楽曲選択のスイッチ回路を備えていてもよい。
バッテリ３５は、充電回路及び過充電防止回路を備えていてもよい。
【００３２】
メモリ３８は、圧電素子を駆動するための信号を記憶する。具体的には、可聴域において所定の周波数帯域からなる信号、すなわち可聴域の周波数において離散的でない、連続的な広がりを有する信号を含んで記憶する。この非離散的な信号とは、周波数特性を示すグラフにおいて、周波数Ｆ（Ｈｚ）＝１００×Ａ  ：  （Ａは１〜２００の整数）とあらわした時に、暗騒音をのぞいた有意な信号が検出されるＡが３つ以上あるものをいう。この非離散的な信号は、たとえばアナログやデジタルの音声信号である。音声信号には、楽曲信号や人間の会話データ、歌声等が含まれてよい。ただし、音響の分野でいわゆる純音（pure tone）といわれるような単一の周波数だけを提示する信号や、たとえばモータ等に単一の回転数で駆動させるための駆動信号はここでいう非離散的な信号には含まれない。また、上記の式のＡが２つしかない複数の純音だけからなる信号も離散的であるため、含まれない。たとえば２００Ｈｚの純音と１０ｋＨｚの純音だけからなる信号も非離散的な信号には含まれない。それぞれが純音であり離散的だからである。
【００３３】
また、メモリに記憶される信号は、たとえば２０ｋＨｚから１００ｋＨｚまでの周波数に対応する超音波信号をさらに含んでいてもよい。またメモリに記憶された信号は、符号化圧縮がされていてもよい。
【００３４】
これらの信号を記憶するためのメモリ３８は、不揮発性メモリであってもよい。たとえば、キャップ３４を取り外して、内部に取り外し可能なメモリとして、たとえばＳＤメモリカード（ＳＤＨＣ，ＳＤＸＣ、、、、）等でもよい。このＳＤメモリカードの場合、パーソナルコンピュータやスマートフォンにより、楽曲をメモリに書き込むことで、ユーザが好みの楽曲をマッサージ器にて再生することができるようにしてもよい。
【００３５】
信号生成部３６は、メモリ３８に記録された信号を圧電素子２２に供給する供給信号に変換する。なお、特に変換不要な場合もある。そして所定の周波数帯の強化等が行われたのち、駆動アンプ３７、電極配線３３等を経て圧電素子２２へと供給される。なお、圧電素子２２に入力する前に、駆動アンプ３７からゲイン補正部６０、昇圧回路６１、ＬＰＦ（ローパスフィルタ）６２を経る場合もある。昇圧回路６１は、ＬＰＦ（ローパスフィルタ）６２の後ろに配置してもよい。
【００３６】
たとえば信号生成部３６から複合化された供給信号は、ステレオの場合、右用音声信号と左用音声信号とで分岐する。右用音声信号及び左用音声信号はそれぞれの駆動アンプ３７Ｒ，３７Ｌに供給される。駆動アンプ３７Ｒ，３７Ｌは、それぞれの所定の強さに増幅を行い、昇圧回路６１１，６１２、６１３，６１４へと信号を供給する。それぞれの昇圧回路６１，２，３，４にて昇圧された供給信号は、各圧電素子２２１，２，３，４へと供給される。なお、４つの圧電素子に対応する4つのヘッド部Ｈをそれぞれ別の箇所に充ててもよいし、たとえば圧電素子２２１を右耳近傍に、圧電素子２２３を左耳近傍にあてがい、残りの圧電素子２２２，２２４をマッサージ器としてあてがいたい部位にあてがってもよい。なお、耳近傍とは、たとえば耳介、耳珠、対耳珠、側頭骨の乳突部、頬骨突起等が含まれる。また、耳近傍ではないが額や下顎骨等にあててもよい。上記した昇圧回路と圧電素子の組み合わせは４つではなく、さらにふやしてもよい。この場合、駆動アンプ３７から分岐させればよい。
【００３７】
次に、回路構成の別の例を説明する。ここでは、信号生成部３６から複合化された供給信号は、ステレオの場合、右用音声信号と左用音声信号とで分岐するが、さらにマッサージ用の信号（マッサージ用信号）を別途備える例を示す。信号生成部３６は、右用音声信号及び左用音声信号とを合成してマッサージ用信号を得る。その後、右用音声信号及び左用音声信号は、それぞれの駆動アンプ３７Ｒ，３７Ｌに供給される。マッサージ用信号は、駆動アンプ３７Ｍに供給される。
駆動アンプ３７Ｒ，３７Ｌ、３７Ｍは、それぞれの所定の強さに信号を増幅する。その後、右用音声信号及び左用音声信号は、それぞれの昇圧回路６１１，６１２を経て、それぞれの圧電素子２２１，２２２へと供給される。
【００３８】
マッサージ用信号が、補正前信号として、駆動アンプ３７Ｍからゲイン補正部６０に供給される。ゲイン補正部６０は、元の信号よりも１２ｄＢ程度、増幅している。その後、昇圧回路６１３，６１４により所定の電圧値まで昇圧したのち、ＬＰＦ（ローパスフィルタ）６２３、６２４により２００Ｈｚ以下の信号を漸次低減して、図６に示す補正後信号を得る。この信号をマッサージ用の圧電素子２２３，２２４に供給する。なお、昇圧回路６１は、ＬＰＦ（ローパスフィルタ）６２の後ろに配置してもよい。各ＬＰＦ６２３，６２４は、マッサージ用の圧電素子２２３，２２４に余計な音声信号を供給して干渉が生じにくくする役割を果たすが、必ずしもなくともよい。たとえばヘッド部の取り付け位置や圧電素子のパワーにより干渉が生じにくい場合は、不要である。なお、ここではマッサージ用の信号として、２００Ｈｚ以下の低域を使用したい場合の例である。マッサージ器として、超音波信号を印加したい場合は、ＬＰＦはなくともよい。なお、ＬＰＦの設定は３００Ｈｚ以下に設定してもよい。
【００３９】
次に、圧電素子２２に供給する信号の周波数特性について説明する。上述したとおり、圧電素子２２に供給される信号を供給信号とよぶ。たとえば供給信号も、上記のメモリに記録された信号のうち、非離散的な信号と同様に、周波数特性において所定の範囲で連続的な信号、すなわち所定の範囲で非離散的な信号を含むことになる。たとえば図６に示す供給信号のうち、補正前信号は、１０ｋＨｚ超までの非離散的且つ平坦な周波数特性を有する音声用の信号である。この補正前信号は、音声信号として駆動アンプ３７を経て昇圧回路、圧電素子へと供給される。
【００４０】
また、この補正前信号と比較して、低周波数帯、この場合は２００Ｈｚ以下の周波数特性をおおよそ１２ｄＢだけ強化した補正後信号を、圧電素子２２に供給してもよい。この低周波数帯の信号パワーを局所的に上げることにより、マッサージ効果の向上が期待される。なお、この補正後信号は、メモリ３８から出力された補正前信号を、駆動アンプ３７にかける際に、強化したい周波数帯域を図５に示すゲイン補正部６０にて強める補正やＬＰＦ６２にかけて余分な信号をカットする補正を行い、これを圧電素子２２に供給してもよい。もちろん、最初から補正後信号自体をメモリに記憶してもおいてもよい。
【００４１】
なお、音量やマッサージのパワーは、操作部３４の音量の調整スイッチのモードを切り替えることにより、操作されてもよい。モードの切り替えは、たとえば電源スイッチの長押しと短押しとでモードの切り替えを行ってもよい。具体的には、音量調整モードと、マッサージの部分的な強度の調整モードとを備えていてもよい。そして、音量調整モードのときに、調整スイッチが操作されると、楽曲全体のボリュームが上がるように、特定の周波数に関係なく、圧電素子２２に供給するパワーの大小が変更される。この場合、関連する圧電素子は、音量もマッサージの強さも周波数に関係なくアップあるいはダウンする。
【００４２】
一方、マッサージの強度調整モードの場合は、たとえば図６の補正後信号のように、特定の周波数帯に対してだけ、圧電素子２２に供給するパワーの大小が変更される。もちろん、調整方法はこれに限られない。これらをくみあわせてもよい。
【００４３】
図６に示したように、圧電素子２２には、可聴域（１０Ｈｚから２０ｋＨｚまで）の所定の周波数特性の範囲において、デルタ関数的ではなく、且つ離散的ではない、連続的な信号が供給されてよい。これにより、たとえば可聴域の様々な周波数の振動を含む楽曲を供給信号として、音楽を聞かせることもできる。また、曲を変更することで、様々な周波数帯域の振動を得ることもできる。好みの音楽を聴きながらマッサージ器ができてもよい。
【００４４】
さらには、圧電素子２２は、可聴域（１０Ｈｚから２０ｋＨｚまで）に加え、超音波帯（２０ｋＨｚ以上）でも振動させてもよい。たとえば可聴域（１０Ｈｚから２０ｋＨｚまで）の連続的な振動に加え、５０ｋＨｚ付近で振動してもよい。この場合、超音波振動によるマッサージが可能となる。超音波振動を与える信号は純音であってもよいし、また離散的な信号でもよい。もちろん連続的、非離散的な信号でもよい。
【００４５】
次に、ヘッド部Ｈの動作について説明する。
【００４６】
図１の構造例１では、圧電素子２２が振動板１２に埋め込まれているため、圧電素子２２が湾曲すると、振動板１２も湾曲する。この湾曲を上に凸、下に凸と周波数に応じて交互に繰り返すことで振動板１２が振動してマッサージ器として使用されることとなる。同時に周波数に対応する音も発生する。つまり曲や声を聴かせることもできる。圧電素子２２を、振動板１２を構成するアクリル等からなる樹脂材に埋め込んでいる。この構造は単純であるため、圧電素子の周辺の防水構造が容易に実現できるメリットがある。
【００４７】
図２の構造例２では、圧電素子２２は接着部材１３を介して振動板１２に貼り付けられている。このため、圧電素子２２が湾曲すると、振動板１２も湾曲する。この湾曲を上に凸、下に凸と周波数に応じて交互に繰り返すことで振動板１２が振動してマッサージ器として使用できることとなる。同時に対応する音声も発生する。すなわち曲や声を聴かせることもできる。
【００４８】
なお、上述したいくつかの例では平板状の圧電素子２２を用いて振動源としていたが、これに限られない。たとえば一方向に積層されて、各積層された層が遠くなったり近くなったりすることにより前記一方向に伸び縮みをするスタック型と呼ばれる圧電素子を用いてもよい。また、そもそも圧電素子に限られない。たとえば振動源は、コイル型の振動素子でも良い。コイル型の振動素子は、スピーカで使用されるときのようにコーンを上下方向に振動させるのと同様に、振動板１２の下部に取りつけられ、上下方向に沿って振動素子自体が上下移動し、この慣性力をもって、振動板１２を振動させてもよい。これによっても振動と音声とを同時に発現させることができる。
【００４９】
本発明では、コントロール部Ｃではなく、ヘッド部Ｈに圧電素子等の振動源を配置して振動板を湾曲させているために、肌にマッサージ器を当てたときに軟部組織や骨が振動することに起因する音をユーザが聴くことができる。そのため、たとえばマッサージを受けながら同時に音楽を楽しむこともできる。
【００５０】
上記した各実施例においては、ユーザの頭や顔の耳近傍、頬、顎、肩、首筋、腹、背中、脚の太もも、ふくらはぎ、足の裏、腕、指等にあててマッサージ器として使用してもよい。
【符号の説明】
【００５１】
Ｈ・・・ヘッド部
Ｓ・・・空間
Ｃ・・・コントロール部
Ｄ・・・充電台
１１・・・パッド部
１２・・・振動板
１３・・・接着部材
２１・・・筐体
２２・・・圧電素子
３１・・・筐体
３２・・・基板
３３・・・電極配線
３４・・・操作部
３５・・・バッテリ
３６・・・信号生成部
３７・・・駆動アンプ
３８・・・メモリ
４０・・・キャップ部
４３・・・電極パッド
５１・・・筐体
５２・・・基板
５３・・・電極パッド
５４・・・プラグ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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