(57)【要約】【課題】ノーマルホイールを用いて、基板に良好なスクライブラインを形成することが可能なスクライブ方法を提供することを目的とする。【解決手段】ノーマルホイール４０を基板１５に押し付けながら走行させることにより基板１５にスクライブラインを形成するスクライブ方法であって、基板１５の端よりも内側の開始位置にノーマルホイール４０を降下させ（Ｓ１１）、開始位置から所定位置までの第１の区間において、第１の荷重でノーマルホイール４０を基板１５に押し付けて、スクライブ動作を実行し（Ｓ１２）、第１の区間に続く第２の区間において、基板１５に対するノーマルホイール４０の荷重を第１の荷重よりも高い第２の荷重で（Ｓ１３）、スクライブ動作を実行する（Ｓ１４）。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノーマルホイールを基板に押し付けながら転動させることにより前記基板にスクライブラインを形成するスクライブ方法であって、
前記基板の端よりも内側の開始位置に前記ノーマルホイールを降下させ、
前記開始位置から所定位置までの第１の区間において、第１の荷重で前記ノーマルホイールを前記基板に押し付けて、スクライブ動作を実行し、
前記第１の区間に続く第２の区間において、前記第１の荷重よりも高い第２の荷重で、前記スクライブ動作を実行する、ことを特徴とするスクライブ方法。
【請求項２】
請求項１に記載のスクライブ方法であって、
前記第２の区間は、前記第１の区間の後方部分に前方部分が重なり合った状態で前記第１の区間に連続しており、前記第１の区間の終点で前記ノーマルホイールを上昇させて、前記第２の区間の始点よりも前記第１の区間の始点側に位置する所定の位置に移送させた後、前記第１の区間に続く前記第２の区間において、前記第２の荷重で、前記ノーマルホイールを走行させる、ことを特徴とするスクライブ方法。
【請求項３】
請求項１に記載のスクライブ方法であって、
前記第２の区間は、前記第１の区間の後方部分に前方部分が重なり合った状態で前記第１の区間に連続しており、前記第１の区間の終点で前記ノーマルホイールを上昇させて、前記第２の区間の始点に移送させた後、前記ノーマルホイールを前記第２の区間の前記始点に位置付けた状態で、前記荷重を前記第２の荷重に切り替える、ことを特徴とするスクライブ方法。
【請求項４】
請求項１に記載のスクライブ方法であって、
前記第２の区間は、前記第１の区間の後方部分に前方部分が重なり合った状態で前記第１の区間に連続しており、前記第１の区間の終点で前記ノーマルホイールを上昇させ、前記ノーマルホイールを前記第２の区間の始点の上方に位置付けた状態で前記荷重を前記第２の荷重に切り替えた後、前記ノーマルホイールを前記第２の区間の前記始点に降下させる、ことを特徴とするスクライブ方法。
【請求項５】
請求項１に記載のスクライブ方法であって、
前記第２の区間は、前記第１の区間の後方部分に前方部分が重なり合った状態で前記第１の区間に連続しており、前記第１の区間の終点から始点に向かって前記第１の荷重で前記ノーマルホイールを逆走させた後、前記第１の区間の前記始点に到達した前記ノーマルホイールの走行方向を前記第２の区間の始点に向かう方向に切り替え、前記第１の区間に続く第２の区間において、前記第２の荷重で、前記ノーマルホイールを走行させる、ことを特徴とするスクライブ方法。
【請求項６】
請求項１に記載のスクライブ方法であって、
前記第１の区間が前記第２の区間に前方部分が含まれた状態で前記第２の区間に連続しており、前記第１の区間に続く前記第２の区間において、前記第２の荷重で、前記ノーマルホイールを前記第１の区間の終点から始点に向かって逆走させ、前記ノーマルホイールが前記第１の区間の前記始点を通過した後、前記第２の荷重で前記第２の区間の始点まで前記ノーマルホイールの逆送を継続させ、前記第２の区間の前記始点で前記ノーマルホイールの走行方向を前記第２の区間の終点に向かう方向に切り替えて、前記第２の区間の前記終点まで前記ノーマルホイールを走行させる、ことを特徴とするスクライブ方法。
【請求項７】
請求項１に記載のスクライブ方法であって、
前記第２の区間は、前方部分が前記第１の区間の後方部分に重なり合った状態で前記第１の区間に連続しており、前記第１の区間の始点から終点まで前記第１の荷重で前記ノーマルホイールを走行させた後、前記ノーマルホイールの走行方向を逆の方向に切り替え、前記第１の区間に続く前記第２の区間において、前記荷重を前記第２の荷重に切り替えて、前記ノーマルホイールを逆走させ、前記第２の区間の前記始点において前記ノーマルホイールの走行方向を、前記第２の区間の終点に向かう方向に切り替えて、前記第２の区間の前記終点まで前記ノーマルホイールを走行させる、ことを特徴とするスクライブ方法。
【請求項８】
請求項１に記載のスクライブ方法であって、
前記第１の区間が重なり合った状態で前記第２の区間に連続しており、前記ノーマルホイールに前記第１の区間を往復させた後、前記ノーマルホイールを前記第２の区間の始点に向かう方向に走行させ、前記第２の区間の前記始点から終点まで、前記第２の荷重で前記ノーマルホイールを走行させる、ことを特徴とするスクライブ方法。
【請求項９】
請求項１に記載のスクライブ方法であって、
前記第２の区間は、前記第１の区間に連続しており、前記荷重を、前記ノーマルホイールに前記第１の区間を走行させながら前記第２の荷重に向かって高める、ことを特徴とするスクライブ方法。
【請求項１０】
請求項１ないし９の何れか一項に記載のスクライブ方法であって、
前記第１の区間において前記基板に付与される前記第１の荷重は、前記基板にリブマークが形成されるために必要な荷重の最低値よりも低く設定される、ことを特徴とするスクライブ方法。
【請求項１１】
請求項１ないし１０の何れか一項に記載のスクライブ方法であって、
前記第２の区間において前記基板に付与される前記第２の荷重は、少なくとも前記基板にリブマークが形成されるために必要な荷重の最低値よりも高く設定される、ことを特徴とするスクライブ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクライビングホイールを用いて基板の表面にスクライブラインを形成するためのスクライブ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス基板等の脆性材料基板の分断は、基板の表面にスクライブラインを形成するスクライブ工程と、形成されたスクライブラインに沿って基板の表面に所定の力を付加するブレイク工程とによって行われる。スクライブ工程において、刃先が基板の表面に押し付けられながら、スクライビングホイールが所定のラインに沿って転動する。このとき、基板に塑性変形が生じ、基板の厚み方向にクラックが形成される。このようなクラックが基板に形成されることにより、ブレイク工程で基板は分断される。
【０００３】
以下の特許文献１には、外周部に沿って、互いに交わる２つの斜面によるＶ字形状の刃先稜線を有するカッターホイールが記載されている。このカッターホイールには、刃先稜線の全域に所定のピッチで溝が加工されており、溝と溝ではない部分とが交互に形成されている。スクライブ動作が開始されると、刃先稜線のエッジが基板に食い込むことにより、基板に深いリブマークが形成されるとともに、高浸透の垂直クラックが形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１８−１０８６６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１のカッターホイールのように稜線に溝が設けられた場合、刃先が基板に食い込むことで刃先の溝と稜線による凹凸の形状が基板に転写されるため、分断後の基板の端面強度が低下することがある。とくに、近年基板の端面強度に対する要求はますます厳しくなっており、また、薄型の基板に対しては刃先の形状による衝撃の影響が大きい。そのため、薄型の基板には、刃先に凸部や溝等の加工が施されていないスクライビングホイールを用いてスクライブ工程を行うことが理想的である。これ以降、刃先に凸部や溝が形成されていないスクライビングホイールを、ノーマルホイールと称する。しかし、ノーマルホイールでは、基板にクラックの形成のきっかけとなる衝撃を与え難いため、単にノーマルホイールを基板表面に降下させてスクライブ動作を行うだけでは、基板にクラックを形成することが困難である。
【０００６】
かかる課題に鑑み、本発明は、ノーマルホイールを用いて、基板に良好なスクライブラインを形成することが可能なスクライブ方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の主たる態様は、外周に沿って刃先が形成され、前記刃先に凸部や溝が設けられていないノーマルホイールを用いて、基板にスクライブラインを形成するスクライブ方法に関する。この態様に係るスクライブ方法は、前記基板の端よりも内側の開始位置に前記ノーマルホイールを降下させ、前記開始位置から所定位置までの第１の区間において、第１の荷重で前記ノーマルホイールを前記基板に押し付けて、スクライブ動作を実行し、前記第１の区間に続く第２の区間において、前記第１の荷重よりも高い第２の荷重で、前記スクライブ動作を実行する。
【０００８】
本態様に係るスクライブ方法によれば、第１の区間に続く第２の区間において、ノーマルホイールから基板に付与される荷重が高められる。これにより、第１の区間に形成されたスクライブラインの痕跡を契機として、第２の区間にリブマークを伴うスクライブラインが形成される。よって、基板に良好なスクライブラインを形成することができる。
【０００９】
本態様に係るスクライブ方法において、前記第２の区間は、前記第１の区間の後方部分に前方部分が重なり合った状態で前記第１の区間に連続しており、前記第１の区間の終点で前記ノーマルホイールを上昇させて、前記第２の区間の始点よりも前記第１の区間の始点側に位置する所定の位置に移送させた後、前記第１の区間に続く前記第２の区間において前記第２の荷重で、前記ノーマルホイールを走行させるよう構成され得る。
【００１０】
この構成によれば、ノーマルホイールが第２の区間の前方部分を第１の荷重で走行した後、再度、ノーマルホイールが第２の区間の前方部分を第２の荷重で走行する。これにより、第２の区間の始点から確実にリブマークを生じさせることができる。
【００１１】
本態様に係るスクライブ方法において、前記第２の区間は、前記第１の区間の後方部分に前方部分が重なり合った状態で前記第１の区間に連続しており、前記第１の区間の終点で前記ノーマルホイールを上昇させて、前記第２の区間の始点に移送させた後、前記ノーマルホイールを前記第２の区間の前記始点に位置付けた状態で、前記荷重を前記第２の荷重に切り替えるよう構成され得る。
【００１２】
この構成によっても、上記と同様に、第２の区間の前方部分は、ノーマルホイールによって２回走行される。そのため、第２の区間の始点から、確実に、リブマークを生じさせることができる。
【００１３】
本態様に係るスクライブ方法において、前記第２の区間は、前記第１の区間の後方部分に前方部分が重なり合った状態で前記第１の区間に連続しており、前記第１の区間の終点で前記ノーマルホイールを上昇させ、前記ノーマルホイールを前記第２の区間の始点の上方に位置付けた状態で前記荷重を前記第２の荷重に切り替えた後、前記ノーマルホイールを前記第２の区間の前記始点に降下させるよう構成され得る。
【００１４】
この構成によっても、上記と同様に、第２の区間の前方部分は、ノーマルホイールによって２回走行される。そのため、第２の区間の始点から、確実に、リブマークを生じさせることができる。
【００１５】
本態様に係るスクライブ方法において、前記第２の区間は、前記第１の区間の後方部分に前方部分が重なり合った状態で前記第１の区間に連続しており、前記第１の区間の終点から始点に向かって前記第１の荷重で前記ノーマルホイールを逆走させた後、前記第１の区間の前記始点に到達した前記ノーマルホイールの走行方向を前記第２の区間の始点に向かう方向に切り替え、前記第１の区間に続く第２の区間において、前記第２の荷重で、前記ノーマルホイールを走行させるよう構成され得る。
【００１６】
この構成によっても、上記と同様に、第２の区間の前方部分は、ノーマルホイールによって２回走行される。よって、第２の区間の始点から、確実に、リブマークを生じさせることができる。また、スクライブ動作中に、ノーマルホイールが基板から離間することがない。よって、ノーマルホイールに対して精密な位置制御を行うことなく、第１の区間および第２の区間に沿って、ノーマルホイールを走行させることができる。
【００１７】
本態様に係るスクライブ方法において、前記第１の区間が前記第２の区間に前方部分が含まれた状態で前記第２の区間に連続しており、前記第１の区間に続く前記第２の区間において、前記第２の荷重で、前記ノーマルホイールを前記第１の区間の終点から始点に向かって逆走させ、前記ノーマルホイールが前記第１の区間の前記始点を通過した後、前記第２の荷重で前記第２の区間の始点まで前記ノーマルホイールの逆送を継続させ、前記第２の区間の前記始点で前記ノーマルホイールの走行方向を前記第２の区間の終点に向かう方向に切り替えて、前記第２の区間の前記終点まで前記ノーマルホイールを走行させるよう構成され得る。
【００１８】
この構成によれば、スクライブ動作中、ノーマルホイールは基板から離間することがないため、スクライブ動作を円滑に行うことができる。
【００１９】
本態様に係るスクライブ方法において、前記第２の区間は、前方部分が前記第１の区間の後方部分に重なり合った状態で前記第１の区間に連続しており、前記第１の区間の始点から終点まで前記第１の荷重で前記ノーマルホイールを走行させた後、前記ノーマルホイールの走行方向を逆の方向に切り替え、前記第１の区間に続く前記第２の区間において、前記荷重を前記第２の荷重に切り替えて、前記ノーマルホイールを逆走させ、前記第２の区間の前記始点において前記ノーマルホイールの走行方向を、前記第２の区間の終点に向かう方向に切り替えて、前記第２の区間の前記終点まで前記ノーマルホイールを走行させるよう構成され得る。
【００２０】
この構成によっても、上記と同様に、第２の区間の前方部分は、ノーマルホイールによって２回走行される。そのため、第２の区間の始点から、確実にリブマークを生じさせることができる。また、スクライブ動作中、ノーマルホイールは基板から離間することがないため、ノーマルホイールに対して精密な位置制御を行うことなく、第１の区間および第２の区間に沿って、ノーマルホイールを走行させることができる。
【００２１】
本態様に係るスクライブ方法において、前記第１の区間が重なり合った状態で前記第２の区間に連続しており、前記ノーマルホイールに前記第１の区間を往復させた後、前記ノーマルホイールを前記第２の区間の始点に向かう方向に走行させ、前記第２の区間の前記始点から終点まで、前記第２の荷重で前記ノーマルホイールを走行させるよう構成され得る。
【００２２】
この構成によっても、上記と同様に、第２の区間の前方部分は、ノーマルホイールによって２回走行される。そのため、第２の区間の始点から、確実にリブマークを生じさせることができる。また、スクライブ動作中、ノーマルホイールは基板から離間することがないため、ノーマルホイールに対して精密な位置制御を行うことなく、第１の区間および第２の区間に沿って、ノーマルホイールを走行させることができる。
【００２３】
本態様に係るスクライブ方法において、前記第２の区間は、前記第１の区間に連続しており、前記荷重を、前記ノーマルホイールに前記第１の区間を走行させながら前記第２の荷重に向かって高めるよう構成され得る。
【００２４】
この構成であれば、たとえば、ノーマルホイールの走行方向を切り替えたり、ノーマルホイールの走行を一旦停止させて荷重を高めたりする等の工程が不要である。よって、スクライブ工程を簡素化できる。また、第１の区間において荷重が徐々に高められるため、第２の区間においてより確実にリブマークを発生させることができる。
【００２５】
本態様に係るスクライブ方法において、前記第１の区間において前記基板に付与される前記第１の荷重は、前記基板にリブマークが形成されるために必要な荷重の最低値よりも低く設定されるよう構成され得る。
【００２６】
これにより、基板の第１の区間にリブマークは形成されないものの、基板の表面にはノーマルホイールの走行の痕跡が必ず残る。この第１の区間に形成された走行の痕跡が契機として、第２の区間にリブマークを伴うスクライブラインが形成される。よって、基板に良好なスクライブラインを形成することができる。
【００２７】
また、前記第２の区間において前記基板に付与される前記第２の荷重は、少なくとも前記基板にリブマークが形成されるために必要な荷重の最低値よりも高く設定されるよう構成され得る。
【００２８】
これにより、確実に、第２の区間にリブマークを形成することができる。
【発明の効果】
【００２９】
以上のとおり、本発明によれば、ノーマルホイールを用いて、基板に良好なスクライブラインを形成することが可能なスクライブ方法を提供することができる。
【００３０】
本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の１つの例示であって、本発明は、以下の実施形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】図１（ａ）は、実施形態に係るノーマルホイールを用いて基板にスクライブラインを形成するためのスクライブ装置の構成を模式的に示す図である。図１（ｂ）、は、実施形態に係るノーマルホイールの正面図である。
【図２】図２は、実施形態に係るスクライブ装置の構成を示すブロック図である。
【図３】図３は、実施形態に係るスクライブ動作の制御を示すフローチャートである。
【図４】図４（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ、実施形態に係るスクライブ動作を模式的に示す図である。
【図５】図５（ａ）〜（ｂ）は、実施形態に係るノーマルホイールを用いて基板に形成されたスクライブラインの写真と、基板の断面の写真である。
【図６】図６は、変形例１に係るスクライブ動作の制御を示すフローチャートである。
【図７】図７（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、変形例１に係るスクライブ動作を模式的に示す図である。
【図８】図８（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、変形例１に係るスクライブ動作を模式的に示す図である。
【図９】図９は、変形例２に係るスクライブ動作の制御を示すフローチャートである。
【図１０】図１０（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、変形例２に係るスクライブ動作を模式的に示す図である。
【図１１】図１１（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、変形例２に係るスクライブ動作を模式的に示す図である。
【図１２】図１２は、変形例３に係るスクライブ動作の制御を示すフローチャートである。
【図１３】図１３は、変形例４に係るスクライブ動作の制御を示すフローチャートである。
【図１４】図１４（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、変形例４に係るスクライブ動作を模式的に示す図である。
【図１５】図１５は、変形例５に係るスクライブ動作の制御を示すフローチャートである。
【図１６】図１６（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、変形例５に係るスクライブ動作を模式的に示す図である。
【図１７】図１７（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、変形例５に係るスクライブ動作を模式的に示す図である。
【図１８】図１８は、変形例６に係るスクライブ動作の制御を示すフローチャートである。
【図１９】図１９（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、変形例６に係るスクライブ動作を模式的に示す図である。
【図２０】図２０（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、変形例６に係るスクライブ動作を模式的に示す図である。
【図２１】図２１は、変形例７に係るスクライブ動作の制御を示すフローチャートである。
【図２２】図２２（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、変形例７に係るスクライブ動作を模式的に示す図である。
【図２３】図２３（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、変形例７に係るスクライブ動作を模式的に示す図である。
【図２４】図２４は、変形例８に係るスクライブ動作の制御を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が付記されている。Ｘ−Ｙ平面は水平面に平行で、Ｚ軸方向は鉛直方向である。
【００３３】
＜実施形態＞
図１（ａ）は、実施形態に係るノーマルホイールを用いて基板にスクライブラインを形成するためのスクライブ装置１の構成を模式的に示す図である。
【００３４】
スクライブ装置１は、移動台１０を備えている。移動台１０は、ボールネジ１１と螺合されている。移動台１０は、一対の案内レール１２によってＹ軸方向に移動可能に支持されている。モータの駆動によりボールネジ１１が回転することで、移動台１０が、一対の案内レール１２に沿ってＹ軸方向に移動する。移動台１０の上面には、モータ１３が設置されている。モータ１３は、上部に位置するテーブル１４をＸ−Ｙ平面において回転させて所定角度に位置決めする。
【００３５】
テーブル１４は、基板１５を支持するためのものである。後述のように、テーブル１４の表面には、多数の孔（図示せず）が設けられている。図示しない空圧源によって孔に陰圧が付与されることにより、基板１５が吸着されてテーブル１４に固定される。
【００３６】
基板１５は、たとえば、ガラス基板、低温焼成セラミックスや高温焼成セラミックスからなるセラミック基板、シリコン基板、化合物半導体基板、サファイア基板、石英基板等である。また、基板は、基板の表面または内部に脆性材料に該当しない薄膜あるいは半導体材料を付着させたり、含ませたりしたものであってもよい。基板１５の厚みは、０．３〜０．７ｍｍ程度が好ましい。
【００３７】
スクライブ装置１は、テーブル１４に載置された基板１５の上方に、この基板１５に形成されたアライメントマークを撮像する二台のカメラ１６を備えている。また、移動台１０とその上部のテーブル１４とを跨ぐように、ブリッジ１７が支柱１８ａ、１８ｂに架設されている。
【００３８】
ブリッジ１７には、ガイド１９が取り付けられている。スクライブヘッド２０は、このガイド１９に案内されてＸ軸方向に移動するように設置されている。スクライブヘッド２０は、下端にホルダジョイント２１を備えている。このホルダジョイント２１に、ホルダユニット３０が装着され、このホルダユニット３０にノーマルホイール４０が保持されている。スクライブヘッド２０は、ホルダジョイント２１とともにノーマルホイール４０に荷重を与える加圧機構（図示せず）を備えている。加圧機構は、たとえば、カム機構やエアシリンダ等を備える。
【００３９】
スクライブ装置１を用いて基板１５にスクライブラインを形成する場合、スクライブ装置１は、一対のカメラ１６によって基板１５の位置決めを行う。そして、スクライブ装置１は、基板１５の表面にスクライブラインを形成する。スクライブラインの形成については、追って詳述する。
【００４０】
図１（ｂ）に示すように、ノーマルホイール４０は、稜線を形成する刃先４１が外周に沿って形成されている。刃先は、正面視において外周部に互いに異なる方向に傾斜した２つの傾斜面４２が形成されており、Ｖ字状の形状である。
【００４１】
また、ノーマルホイール４０は、貫通孔４３が形成されている。ノーマルホイール４０の貫通孔４３にピン軸を通して、このピン軸がホルダユニット３０の下端部に接続する。このように、ピン軸を介してノーマルホイール４０は、回転可能となるようにホルダユニット３０に保持される。
【００４２】
ノーマルホイール４０は、たとえば、厚さが０．４〜１．２ｍｍ程度、貫通孔４３の径が０．４〜１．０ｍｍ、外径が１．０〜５．０ｍｍ程度、２つの傾斜面４２のなす角αは、９０〜１５０°程度が好ましい。
【００４３】
このように、本実施形態のノーマルホイール４０は、外周に沿って溝や凸部は設けられておらず、刃先４１が形成されているのみである。
【００４４】
図２（ａ）は、スクライブ装置１の構成を示すブロック図である。
【００４５】
図２（ａ）に示すように、スクライブ装置１は、制御部１０１と、ヘッド移送部１０２と、ヘッド駆動部１０３と、テーブル駆動部１０４と、圧力付与部１０５と、検出部１０６と、入出力部１０７と、を備えている。
【００４６】
制御部１０１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の演算処理回路と、ＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）等の記憶媒体とを備える。制御部１０１は、記憶媒体に記憶されたプログラムに従って各部を制御する。
【００４７】
ヘッド移送部１０２は、スクライブヘッド２０をＸ軸方向に移動させるためのものである。ヘッド移送部１０２は、図１（ａ）に示すブリッジ１７およびガイド１９や、ガイド１９に沿ってスクライブヘッド２０を移動させるためのモータ等を含む。ヘッド駆動部１０３は、スクライブヘッド２０に装着されたノーマルホイール４０をＺ軸方向に昇降させる機構を含む。テーブル駆動部１０４は、テーブル１４を回転させるためのモータ１３や、テーブル１４をＹ軸方向に移送させるためのボールネジ１１等を含む。
【００４８】
圧力付与部１０５は、テーブル１４に載置された基板１５の裏面に圧力を付与するためのものである。テーブル１４の下部には、図示しない空圧源が設置されており、この空圧源がテーブル１４に設けられている図示しない複数の微小な孔を通じて、基板１５に負圧を付与する。
【００４９】
検出部１０６は、図１（ａ）に示すカメラ１６や、スクライブ動作時に各部の位置を検出するための各種センサを含む。入出力部１０７は、タッチパネルやマウス、キーボード等の入力手段と、モニタやスピーカ等の出力手段とを含む。入出力部１０７は、たとえば、基板１５のサイズやスクライブラインの形成位置等を設定するために用いられる。
【００５０】
図３は、本実施形態に係るスクライブ方法を示すフローチャートである。図４（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ、スクライブ動作時のノーマルホイール４０の動作を模式的に示す図である。なお、図４（ａ）〜（ｄ）の動作は、図３のステップＳ１０〜Ｓ１７によって行われる。
【００５１】
また、本実施形態では、図４（ａ）〜（ｄ）に示すように、基板１５に、スクライブラインが形成される区間として、第１の区間および第２の区間を連続するように設定する。図４（ａ）〜（ｄ）中の、位置Ａは、ノーマルホイール４０によるスクライブ動作の開始位置であるとともに第１の区間の始点である。位置Ｂは、第１の区間の終点であるとともに第２の区間の始点である。位置Ｃは、スクライブ動作の終了位置であるとともに第２の区間に終点である。
【００５２】
また、本実施形態では、図４（ａ）に示すように、スクライブ動作の開始位置（位置Ａ）および終了位置（位置Ｃ）は、基板１５の端よりも内側に位置付けられる。これは、基板１５の表面Ｈにおける端縁部よりも内側の領域内に位置Ａが設けられるという意味である。したがって、本実施形態では、ノーマルホイール４０を用いて、いわゆる「内切り」によって基板１５に対してスクライブ工程が行われる。
【００５３】
また、本実施形態では、第１の区間における第１の荷重（スクライブ荷重）は、第２の区間における第２の荷重よりも低く設定する。第１の荷重は、基板１５の表面Ｈにリブマークを形成することはできないが、基板１５の表面Ｈにノーマルホイール４０の走行の痕跡を形成することができるような大きさの荷重である。また、第２の荷重は、基板１５の表面Ｈにリブマークを形成し得る荷重でありながら、基板１５の表面Ｈに欠け等の破損が生じないような大きさの荷重である。
【００５４】
さらに、本実施形態では、ノーマルホイール４０が第１の区間を走行する速度は、第２の区間を走行する場合よりも、低速である。たとえば、ノーマルホイール４０が第１の区間を走行する場合の第１の速度は、１〜５ｍｍ／秒が好ましい。第２の区間を走行する場合の第２の速度は、基板１５が、たとえば、ＬＣＤ基板（液晶パネル用基板）であれば、１００〜３００ｍｍ／秒であり、素板ガラスであれば、５００〜２０００ｍｍ／秒である。
【００５５】
まず、テーブル１４に基板１５が載置された後、一対のカメラ１６によって基板１５の位置決めが行われると、制御部１０１は、基板１５をテーブル１４に吸着させる圧力を圧力付与部１０５に付与させる（Ｓ１０）。これにより、基板１５が、テーブル１４の上面に固定される。
【００５６】
次に、制御部１０１は、図４（ａ）に示すように、ヘッド駆動部１０３にスクライブヘッド２０を降下させ、ノーマルホイール４０の刃先４１を位置Ａに位置付けさせる（Ｓ１１）。
【００５７】
その後、制御部１０１は、ヘッド移送部１０２により、スクライブヘッド２０を移送させる。これに伴い、図４（ｂ）に示すように、ノーマルホイール４０は、基板１５の表面Ｈに押しつけられながら、第１の区間である位置Ａから位置Ｂまで走行する。また、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、基板１５に付与される荷重（スクライブ荷重）を、第１の荷重に設定する（Ｓ１２）。これにより、位置Ａから位置Ｂまでの区間すなわち第１の区間に、ノーマルホイール４０の走行の痕跡によるスクライブラインが形成される。本実施形態におけるスクライブラインの意義については、追って説明する。
【００５８】
ステップＳ１２において、図４（ｂ）に示すように、ノーマルホイール４０が第１の区間の終点である位置Ｂに到達したことを検出部１０６が検出すると、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、基板１５に対するノーマルホイール４０の荷重を、第１の荷重より高い第２の荷重に切り替える（Ｓ１３）。なお、ステップＳ１３で、第１の荷重が第２の荷重に切り替えられるとき、制御部１０１は、ヘッド移送部１０２によるスクライブヘッド２０の移送を停止させない。つまり、本実施形態では、第１の区間から第２の区間へ移行しながら、第２の区間の始点である位置Ｂ（第１の区間の終点）で、ノーマルホイール４０の荷重が第２の荷重に切り替えられる。従って、第１の荷重から第２の荷重に切り替わる間は、荷重が変化しながらノーマルホイール４０が走行することとなる。
【００５９】
制御部１０１は、第２の荷重を維持した状態で、ヘッド移送部１０２にスクライブヘッド２０をスクライブ動作の終了位置である位置Ｃへ移送させる。これに伴い、図４（ｃ）に示すように、ノーマルホイール４０は、位置Ｂから位置Ｃへ走行する（Ｓ１４）。ステップＳ１４において、基板１５にリブマークが形成される。これにより、位置Ｂから位置Ｃまでの区間すなわち第２の区間に、スクライブラインが形成される。
【００６０】
制御部１０１は、検出部１０６が、ノーマルホイール４０の刃先４１が位置Ｃに位置付けられたことを検出すると、ヘッド移送部１０２にスクライブヘッド２０の移送を停止させる。これにより、ノーマルホイール４０の走行が停止する。そして、制御部１０１は、引き続き、スクライブ動作を行うか判定する（Ｓ１５）。なお、「引き続き、スクライブ動作を行う」とは、ステップＳ１０でテーブル１４に載置された基板１５に対して、新たなスクライブラインを形成する作業のことを意味する。引き続きスクライブ動作を行う場合（Ｓ１５；ＹＥＳ）、図４（ｄ）に示すように、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３にスクライブヘッド２０を上昇させ、ヘッド移送部１０２にスクライブヘッド２０をＸ軸負方向へ移送させる（Ｓ１６）。そして、制御部１０１は、上記のステップＳ１０〜１５の処理を繰り返し実行する。
【００６１】
スクライブ動作を終了する場合（Ｓ１５；ＮＯ）、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３にスクライブヘッド２０を上昇させ、ヘッド移送部１０２にスクライブヘッド２０を基板１５から退避させる（Ｓ１７）。
【００６２】
以上のようにして、基板１５に対するスクライブ工程が終了する。スクライブ工程後、基板１５はブレイク工程に移る。このようなスクライブ方法により、基板１５の表面Ｈにスクライブラインが形成される。
【００６３】
＜検証＞
上記実施形態のスクライブ方法では、ノーマルホイール４０を第１の荷重で第１の区間を走行させた後、第１の区間に連続している第２の区間を、第１の荷重より大きい第２の荷重で走行させる。これにより、第２の区間にリブマークが形成され、基板１５つまり第１の区間と第２の区間とにスクライブラインが形成される。
【００６４】
ここで、本発明者は、本実施形態のように、第１の区間と第２の区間とで荷重を異ならせた場合、ノーマルホイールはどのようなリブマークを基板に形成するか、検証を行った。
【００６５】
下記条件および手順にてガラス基板の表面にノーマルホイールを走行させた。
［条件］
・ガラス基板  …  厚み０．４ｍｍ
・ノーマルホイール  …  外径２．５ｍｍ、最大厚み０．６５ｍｍ、
貫通孔の径０．８ｍｍ、刃先の角１１５度
・スクライブ速度  …  １ｍｍ／ｓｅｃ（スクライブ動作開始時）
・スクライブ速度  …  １００ｍｍ／ｓｅｃ
・スクライブ荷重  …  １．８Ｎ（検証開始時）
【００６６】
［手順］
（１）ガラス基板の表面の端縁より内側のスクライブ動作の開始位置にノーマルホイールの刃先を接地させて、スクライブ動作を開始した。このとき、ノーマルホイールのガラス基板に対するスクライブ荷重は１．８Ｎ、スクライブ速度は１ｍｍ／ｓｅｃに設定した。そして、ノーマルホイールを開始位置から５ｍｍ走行させた。
（２）ノーマルホイールを開始位置から５ｍｍ走行させた時点で、ガラス基板に対するスクライブ荷重を１．８Ｎから６．０Ｎに切り替えるとともに、スクライブ速度を１００ｍｍ／ｓｅｃに切り替えた。
（３）スクライブ荷重を６．０Ｎに設定した状態で、ノーマルホイールをスクライブ動作の開始位置から５ｍｍの地点より、さらに所定距離走行させた後、スクライブ動作を終了した。
また、手順（１）〜（３）において、ガラス基板の表面に形成されたスクライブラインおよび分断後のガラス基板の端面におけるリブマークを撮像した。
【００６７】
［検証の結果］
検証結果を図５に示す。図５（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、ガラス基板に形成されたスクライブラインおよび基板の断面を撮像した写真である。図５（ａ）は、スクライブ動作開始時におけるスクライブラインを撮像した写真である。図５（ｂ）は、スクライブ荷重を１．８Ｎから６．０に切り替えたときのスクライブラインを撮像した写真である。ガラス基板の断面の写真中に表示している領域Ｒは、荷重を１．８Ｎから６．０に切り替えた箇所を含む領域である。図５（ｃ）は、荷重を６．０Ｎにしてからノーマルホイールを所定距離走行させたときのスクライブラインを撮像した写真である。
【００６８】
図５（ａ）に示すように、スクライブ動作開始時は、ガラス基板の表面に、薄く細い線が形成されていた。また、ガラス基板の断面の写真から、ノーマルホイールによる痕跡が形成されており、ある程度の負荷がガラス基板に加わっていることが確認された。しかしながら、ブレイク工程に供することができるようなリブマークは形成されていなかった。
【００６９】
図５（ｂ）に示すように、領域Ｒでは、走行の痕跡が徐々に深くなっており、領域Ｒの中程以降、きれいに整列したリブマークが確認された。また、スクライブラインの幅は、ガラス基板の断面において領域Ｒに相当する領域から徐々に広がっていることが確認された。
【００７０】
図５（ｃ）に示すように、ノーマルホイールのスクライブ荷重を６．０Ｎに設定した状態でスクライブ動作を行うと、図５（ｂ）と同様に、引き続き、きれいに整列したリブマークが形成されていることが確認された。また、スクライブ動作開始時の図５（ａ）と比べて、目視で、スクライブラインの幅が広がったことが分かる。図５（ｃ）におけるスクライブラインの幅は、約８μｍであった。
【００７１】
以上の検証結果より、本実施形態のスクライブ方法により、ノーマルホイールでガラス基板を内切りにした場合、きれいなリブマークが形成されることが分かった。したがって、本実施形態のスクライブ方法により、ガラス基板の表面にスクライブラインを形成できることが確認された。
【００７２】
［検証の考察］
「背景技術」の箇所で説明したように、ノーマルホイールでガラス基板をスクライブする、とくに、内切りを行う場合、リブマークを伴うスクライブラインが形成され難い。
【００７３】
しかし、上記の検証結果の図５（ａ）〜（ｃ）より、ノーマルホイールを用いてガラス基板を内切りする際、荷重を低荷重から高荷重へ変化させることによって、リブマークを伴うスクライブラインを形成できることが確認された。この理由として、以下のことが推察される。
【００７４】
スクライブ動作開始時の荷重は、１．８Ｎであった。これは、外切りの場合にガラス基板にリブマークが形成されるために必要なスクライブ荷重の下限値（以降、単に「下限値」と称する。）である２．３Ｎよりも低い荷重である。このような低い荷重であるため、図５（ａ）に示すように、内切りの場合にもガラス基板にリブマークは形成されない。
【００７５】
しかし、ノーマルホイールの荷重を１．８Ｎから６．０Ｎの高い荷重に切り替えて、引き続きガラス基板を走行させた結果、図５（ｂ）の領域Ｒに示すようにリブマークの形成が開始され、図５（ｃ）に示すように、きれいに整列したリブマークが確認できた。これは、ノーマルホイールの荷重を低い荷重から高い荷重に変化させると、図５（ａ）に示すようなスクライブ動作開始時にガラス基板に形成されたノーマルホイールの走行の痕跡が契機となって、高い荷重への変化に伴いガラス基板にクラックが生じリブマークが形成されたと推察される。
【００７６】
このように、第２の区間に形成されるスクライブラインはリブマークを伴うため、このスクライブラインに沿って、基板を分断することができる。また、スクライブ動作開始時に形成されたノーマルホイールの走行の痕跡は、本来は、基板を分断できるようなラインではない。しかし、第１の区間は第２の区間に比べて短く、且つ、第１の区間は第２の区間のリブマークを伴うスクライブラインに連続しているため、第２の区間のスクライブラインに沿った分断に伴い、第１の区間の痕跡に沿って基板が分断される。したがって、本実施形態では、ノーマルホイールが基板に形成した走行の痕跡も含めて、スクライブラインとして扱うことができる。
【００７７】
また、上記の検証で設定した６．０Ｎの荷重は、ガラス基板の表面にリブマークを形成し得る荷重でありながら、ガラス基板の表面Ｈに欠け等の破損が生じないような大きさの荷重である。そのため、図５（ｃ）に示すように、一定の幅が維持されたきれいなスクライブラインがガラス基板に形成されたと考えられる。
【００７８】
また、上記の検証の結果から、ノーマルホイールの荷重が低荷重に設定された状態でガラス基板を走行する距離は、短い方が好ましいと考えらえる。上記した考察より、ノーマルホイールによって基板に生じる走行の痕跡は、この走行の痕跡に連続してリブマークが形成される契機となり得る。そのため、第１の区間は、痕跡がリブマーク生成の契機となり得る長さであれば十分であり、第１の区間が長過ぎると、相対的に、高い荷重の状態で走行したときに基板に生じるリブマークが短くなってしまい、かえって、ガラス基板を分断し難くなると考えられる。したがって、ノーマルホイールの荷重が低荷重に設定される区間、すなわち第１の区間は、なるべく短い方が好ましいと言える。
【００７９】
以上のように、本実施形態のスクライブ方法であれば、ノーマルホイールを用いてガラス基板に内切りによりスクライブラインを形成することができる。
【００８０】
＜実施形態の効果＞
図５（ａ）〜（ｃ）より、スクライブ動作開始位置から所定距離（第１の区間）は、リブマークが形成されるために必要な荷重の最低値よりも低い荷重（第１の荷重）の状態に設定されたノーマルホイールを走行させる。そして、第１の区間に連続するように、第１の荷重より高い荷重（第２の荷重）に切り替えて（第２の区間）、目的の位置までノーマルホイールを走行させれば、第２の区間に、リブマークを伴うスクライブラインが形成される。これにより、第１の区間および第２の区間に、基板を分断し得るスクライブラインか形成される。
【００８１】
また、この場合、第２の荷重は、リブマークを形成することができ、且つ、基板に形成されたスクライブラインに欠け等を生じさせない荷重の上限よりも低い荷重である。これにより、基板に過剰な負荷を与えることなく、スクライブラインを形成することができる。よって、基板の表面に形成されたスクライブラインに欠け等の破損が生じない。その結果、高品質のスクライブラインを形成することができる。
【００８２】
また、本実施形態のスクライブ方法は、ノーマルホイール４０を用いてガラス基板にスクライブラインを形成することができる。上記のとおり、ノーマルホイール４０は、外周部に溝等が設けられていない。そのため、基板１５に過度な衝撃を与えることがなく、また基板表面に転写される形状に凹凸が少ない。よって、基板１５に形成されたスクライブラインに沿って、基板１５を分断した場合、基板１５の切断面がきれいであり、また、分断された基板１５の端面強度が高められる。このように、ノーマルホイール４０であれば、より薄い基板に対しても高品質のスクライブラインを形成することができる。
【００８３】
＜変形例＞
上記実施形態は、第１の区間の終点と第２の区間の始点とが同じであり、第１および第２の区間は互いに重なり合わない状態で連続していた。
【００８４】
上記実施形態に係る変形例では、第２の区間が第１の区間の後方部分に第２の区間の前方部分が重なり合った状態で第１の区間に連続する場合のスクライブ方法である。このように第１および第２の区間が連続している場合でも、上記実施形態と同様に、基板１５の表面Ｈにスクライブラインが形成される。以下、各変形例のスクライブ方法について説明する。
【００８５】
なお、各変形例において、第１の区間の始点および終点は、上記実施形態と同様に、位置Ａおよび位置Ｂであり、第２の区間の終点（スクライブ動作の終了位置）は、位置Ｃである。また、第２の区間の始点を位置Ｅとして設ける。また、ノーマルホイール４０のスクライブ動作開始時の走行方向は、Ｘ軸正方向、つまり、第１の区間の始点から終点に向かう方向である。但し、変形例４、５では、ノーマルホイール４０のスクライブ動作開始時の走行方向は、Ｘ軸負方向、つまり、第１の区間の終点から始点に向かう方向である。また、変形例１において、位置Ｄは、特許請求の範囲に記載されている「第１の区間の始点側に位置する第１の位置」に相当する。
【００８６】
［変形例１］
図６は、変形例１に係るスクライブ方法を示すフローチャートである。図７（ａ）〜（ｃ）、および図８（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、スクライブ動作時のノーマルホイール４０の動作を模式的に示す図である。なお、図７（ａ）〜（ｃ）、および図８（ａ）〜（ｃ）では、この動作は、図６のステップＳ２０〜Ｓ３０によって行われる。
【００８７】
ステップＳ２０〜Ｓ２２は、上記実施形態における図３のステップＳ１０〜Ｓ１２に対応するため、説明を省略する。なお、ステップＳ２０〜Ｓ２２におけるノーマルホイール４０の動作は、図７（ａ）、（ｂ）に示されており、上記実施形態における図４（ａ）、（ｂ）にそれぞれ対応する。
【００８８】
ステップＳ２２において、図７（ｂ）に示すように、ノーマルホイール４０が位置Ｂに到達したことを検出部１０６が検出すると、図７（ｃ）に示すように、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、ノーマルホイール４０を上昇させ、ヘッド移送部１０２を制御して、位置Ｄの上方に移送させる（Ｓ２３）。そして、図８（ａ）に示すように、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、ノーマルホイール４０を降下させてノーマルホイールの刃先４１を位置Ｄに位置付ける（Ｓ２４）。このとき、ノーマルホイール４０の荷重は、第１の荷重に設定された状態が維持されている。
【００８９】
ステップＳ２４において、ノーマルホイール４０が位置Ｄに到達したことを検出部１０６が検出すると、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、ノーマルホイール４０を第２の区間の始点である位置Ｅに移送させる。これに伴い、図８（ｂ）に示すように、ノーマルホイール４０は、第１の荷重で位置Ｄから位置Ｅへ走行する（Ｓ２５）。
【００９０】
ステップＳ２５において、図８（ｂ）に示すように、ノーマルホイールが位置Ｅに到達したことを検出部１０６が検出すると、ステップＳ１３と同様に、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、基板１５に対するノーマルホイール４０の荷重を、第１の荷重より高い第２の荷重に切り替える（Ｓ２６）。なお、ステップＳ２６もステップＳ１３と同様に、第１の荷重が第２の荷重に切り替えられるとき、制御部１０１は、ヘッド移送部１０２によるスクライブヘッド２０の移送を停止させない。
【００９１】
制御部１０１は、ヘッド移送部１０２により、スクライブヘッド２０を移送させる。これに伴い、図８（ｃ）に示すように、ノーマルホイール４０は、第２の荷重を維持した状態でスクライブ動作の終了位置の位置Ｃまで走行する（Ｓ２７）。ステップＳ２７において、位置Ｅから位置Ｃの区間、すなわち第２の区間にリブマークを伴うスクライブラインが形成される。
【００９２】
ステップＳ２８〜Ｓ３０は、上記実施形態における図３のステップＳ１５〜Ｓ１７に対応するため、説明を省略する。なお、ステップＳ２８〜Ｓ３０におけるノーマルホイール４０の動作は、図８（ｃ）に示されており、これは、上記実施形態における図４（ｄ）に対応する。
【００９３】
以上のようにして、変形例１に係るスクライブ方法による基板１５に対するスクライブ工程が終了する。
【００９４】
変形例１のスクライブ方法により、上記実施形態と同様に、基板１５にスクライブラインが形成される。
【００９５】
上記の変形例１のスクライブ方法では、第２の区間の一部である位置Ｅから位置Ｂの区間が第１の区間に含まれており、上記実施形態と同様に、ノーマルホイール４０が低荷重の状態で走行した第１の区間に、高荷重の状態で走行した第２の区間が連続している。よって、上記実施形態と同様、第１の区間に形成されたノーマルホイール４０の走行の痕跡が契機となって、第２の区間にリブマークが形成され得る。
【００９６】
また、変形例１のスクライブ方法では、第１の区間内の位置Ｄから位置Ｂの区間を２回、第１の荷重でノーマルホイール４０に走行させている。これにより、第１の区間に形成されるノーマルホイール４０の走行の痕跡が契機となり、より確実に、第２の区間にリブマークを生じさせることができる。
【００９７】
［変形例２］
図９は、変形例２に係るスクライブ方法を示すフローチャートである。図１０（ａ）〜（ｃ）、および図１１（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、スクライブ動作時のノーマルホイール４０の動作を模式的に示す図である。なお、図１０（ａ）〜（ｃ）、および図１１（ａ）〜（ｃ）では、この動作は、図９のステップＳ４０〜Ｓ４９によって行われる。
【００９８】
ステップＳ４０〜Ｓ４２は、上記実施形態における図３のステップＳ１０〜１２と対応するため、説明を省略する。なお、ステップＳ４０〜Ｓ４２におけるノーマルホイール４０の動作は、図１０（ａ）、（ｂ）に示されており、これは、上記実施形態における図４（ａ）、（ｂ）にそれぞれ対応する。
【００９９】
ステップＳ４２において、図１０（ｂ）に示すように、ノーマルホイール４０が位置Ｂに到達したことを検出部１０６が検出すると、制御部１０１は、ヘッド移送部１０２を制御する。図１０（ｃ）に示すように、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、ノーマルホイール４０を上昇させ、位置Ｅの上方に移送させる（Ｓ４３）。そして、図１１（ａ）に示すように、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、ノーマルホイール４０を降下させ、ノーマルホイール４０の刃先４１を位置Ｅに位置付ける（Ｓ４４）。
【０１００】
ステップＳ４４において、図１０（ａ）に示すように、ノーマルホイール４０が第２の区間の始点である位置Ｅに到達したことを検出部１０６が検出すると、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、ノーマルホイール４０の荷重を、第２の荷重に切り替える（Ｓ４５）。
【０１０１】
制御部１０１は、第２の荷重を維持した状態で、ヘッド移送部１０２に、スクライブヘッド２０をスクライブ動作の終了位置である位置Ｃへ移送させる。これに伴い、図１１（ｃ）に示すように、ノーマルホイール４０は、位置Ｅから位置Ｃの区間すなわち第２の区間を走行する（Ｓ４６）。ステップＳ４６において、位置Ｅから位置Ｃの区間に、リブマークを伴うスクライブラインが形成される。
【０１０２】
ステップＳ４７〜Ｓ４９は、上記実施形態における図３のステップＳ１５〜１７に対応するため、説明を省略する。なお、ステップＳ４７〜Ｓ４９におけるノーマルホイール４０の動作は、図１１（ｃ）に示されており、これは、上記実施形態における図４（ｄ）に対応する。
【０１０３】
以上のようにして、変形例２に係るスクライブ方法による基板１５に対するスクライブ工程が終了する。
【０１０４】
変形例２のスクライブ方法により、上記実施形態と同様に、基板１５にスクライブラインが形成される。
【０１０５】
変形例２のスクライブ方法も、変形例１と同様に、第２の区間の一部である位置Ｅから位置Ｂの区間が第１の区間に含まれており、上記実施形態と同様に、ノーマルホイール４０が低荷重の状態で走行した第１の区間に、高荷重の状態で走行した第２の区間が連続している。よって、第１の区間に形成されたノーマルホイール４０の走行の痕跡が契機となって、第２の区間にリブマークが形成され得る。
【０１０６】
また、変形例２のスクライブ方法では、位置Ｅから位置Ｂの区間をノーマルホイール４０は、１回目は第１の荷重（Ｓ４２）、２回目は第２の荷重（Ｓ４６）で走行している。これにより、第１の区間に形成されるノーマルホイール４０の走行の痕跡が契機となり、より確実に、第２の区間にリブマークを生じさせることができる。
【０１０７】
［変形例３］
図１２は、変形例３に係るスクライブ方法を示すフローチャートである。変形例３のスクライブ方法は、上記変形例２のステップＳ４４、Ｓ４５の処理と相違すること以外は、変形例２のスクライブ方法と同様である。変形例３では、変形例２の説明で参照した図１０（ａ）〜（ｃ）、および図１１（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。
【０１０８】
ステップＳ５０〜Ｓ５３は、上記変形例２における図９のステップＳ４０〜４３に対応するため、説明を省略する。なお、ステップＳ５０〜Ｓ５３におけるノーマルホイール４０の動作は、図１０（ａ）〜（ｃ）に示されている。
【０１０９】
ステップＳ５４において、図１０（ｃ）に示すように、ノーマルホイール４０が位置Ｅの上方に到達したことを検出部１０６が検出すると、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、ノーマルホイール４０の荷重を、第２の荷重に切り替える。そして、制御部１０１は、第２の荷重を維持した状態で、ヘッド移送部１０２を制御して、ノーマルホイール４０を降下させ、ノーマルホイール４０の刃先４１を位置Ｅ位置付ける（Ｓ５５）。
【０１１０】
ステップＳ５６〜Ｓ５９は、上記変形例２における図９のステップＳ４６〜Ｓ４９に対応するため、説明を省略する。なお、ステップＳ５６〜Ｓ５９におけるノーマルホイール４０の動作は、図１１（ａ）〜（ｃ）に示されている。
【０１１１】
変形例３のスクライブ方法により、上記実施形態と同様に、基板１５にスクライブラインが形成される。
【０１１２】
変形例３のスクライブ方法も、変形例１、２と同様に、第２の区間の一部である位置Ｅから位置Ｂの区間が第１の区間に含まれており、上記実施形態と同様に、ノーマルホイール４０が低荷重の状態で走行した第１の区間に、高荷重の状態で走行した第２の区間が連続している。よって、第１の区間に形成されたノーマルホイール４０の走行の痕跡が契機となって、第２の区間にリブマークが形成され得る。
【０１１３】
また、変形例３のスクライブ方法では、位置Ｅから位置Ｂの区間をノーマルホイール４０が、１回目は第１の荷重（Ｓ５２）、２回目は第２の荷重（Ｓ５６）で走行させている。これにより、第１の区間に形成されるノーマルホイール４０の走行の痕跡が契機となり、より確実に、第２の区間にリブマークを生じさせることができる。
【０１１４】
［変形例４］
図１３は、変形例４に係るスクライブ方法を示すフローチャートである。図１４（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、スクライブ動作時のノーマルホイール４０の動作を模式的に示す図である。なお、図１４（ａ）〜（ｃ）では、この動作は、図１３のステップＳ６０〜Ｓ６９によって行われる。なお、上記したとおり、変形例４は、スクライブ動作開始時のノーマルホイール４０の走行方向は、Ｘ軸負側であり、第１の区間の終点（位置Ｂ）から始点（位置Ａ）に向かって逆走させる。
【０１１５】
ステップＳ６０は、上記実施形態における図３のステップＳ１０と対応するため、説明を省略する。
【０１１６】
次に、制御部１０１は、図１４（ａ）に示すように、ヘッド駆動部１０３にスクライブヘッド２０を降下させ、ノーマルホイール４０の刃先４１を、第１の区間の終点である位置Ｂに位置付けさせる（Ｓ６１）。
【０１１７】
その後、制御部１０１は、ヘッド移送部１０２により、スクライブヘッド２０を移送させる。また、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、基板１５に付与される荷重を、第１の荷重に設定する。これに伴い、図１４（ｂ）に示すように、ノーマルホイール４０は、第１の荷重で基板１５の表面Ｈに押しつけられながら、位置Ｂから第１の区間の始点である位置Ａまでの区間を逆走する（Ｓ６２）。
【０１１８】
ステップＳ６２において、図１４（ｂ）に示すように、ノーマルホイール４０が位置Ａに到達したことを検出部１０６が検出すると、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、ノーマルホイール４０の走行方向を位置Ａから位置Ｂへ向かう方向に切り替えさせる（Ｓ６３）。
【０１１９】
ステップＳ６３において、ノーマルホイール４０の走行方向が切り替えられると、図１４（ｂ）に示すように、制御部１０１は、ヘッド移送部１０２を制御して、スクライブヘッド２０を移送させる。これに伴い、ノーマルホイール４０が第２の区間の始点である位置Ｅまで走行する（Ｓ６４）。
【０１２０】
ステップＳ６４において、図１４（ｂ）に示すように、ノーマルホイール４０が位置Ｅに到達したことを検出部１０６が検出すると、ステップＳ１３と同様に、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、基板１５に対するノーマルホイール４０の荷重を、第１の荷重より高い第２の荷重に切り替える（Ｓ６５）。なお、ステップＳ６５もステップＳ１３と同様に、第１の荷重が第２の荷重に切り替えられるとき、制御部１０１は、ヘッド移送部１０２によるスクライブヘッド２０の移送を停止させない。
【０１２１】
制御部１０１は、ヘッド移送部１０２により、スクライブヘッド２０を移送させる。これに伴い、図１４（ｃ）に示すように、ノーマルホイール４０は、第２の荷重を維持した状態でスクライブ動作の終了位置の位置Ｃまで走行する（Ｓ６６）。ステップＳ６６において、位置Ｅから位置Ｃの区間、すなわち第２の区間にリブマークを伴うスクライブラインが形成される。
【０１２２】
ステップＳ６７〜Ｓ６９は、上記実施形態における図３のステップＳ１５〜Ｓ１７に対応するため、説明を省略する。なお、ステップＳ６７〜Ｓ６９におけるノーマルホイール４０の動作は、図１４（ｃ）に示されており、これは、上記実施形態における図４（ｄ）に対応する。
【０１２３】
以上のようにして、変形例４に係るスクライブ方法による基板１５に対するスクライブ工程が終了する。
【０１２４】
上記の変形例４のスクライブ方法により、上記実施形態と同様に、基板１５にスクライブラインが形成される。
【０１２５】
変形例４のスクライブ方法も、変形例１〜３と同様に、第２の区間の一部である位置Ｅから位置Ｂの区間が第１の区間に含まれており、上記実施形態と同様に、ノーマルホイール４０が低荷重の状態で走行した第１の区間に、高荷重の状態で走行した第２の区間が連続している。よって、第１の区間に形成されたノーマルホイール４０の走行の痕跡が契機となって、第２の区間にリブマークが形成され得る。
【０１２６】
また、変形例４のスクライブ方法では、ノーマルホイール４０は、第１の区間を１回目は逆走し（Ｓ６２）、２回目は、始点（位置Ａ）から第２の区間の始点（位置）まで走行している（Ｓ６４）。これにより、第１の区間に形成されるノーマルホイール４０の走行の痕跡が契機となり、より確実に、第２の区間にリブマークを生じさせることができる。
【０１２７】
また、変形例４のスクライブ方法は、変形例１〜３のように、ノーマルホイール４０の昇降動作が含まれていない。たとえば、基板１５の表面Ｈにノーマルホイール４０を再度降下させる際、刃先４１をスクライブライン上の目的の位置に位置付けるため、スクライブヘッド２０の動作に高い位置再現性が要求される。この点、変形例４のスクライブ方法であれば、ノーマルホイール４０が基板１５から離間することはないので、上記のような位置制御は不要である。
【０１２８】
［変形例５］
図１５は、変形例５に係るスクライブ方法を示すフローチャートである。図１６（ａ）〜（ｃ）および図１７（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、スクライブ動作時のノーマルホイール４０の動作を模式的に示す図である。なお、図１６（ａ）〜（ｃ）および図１７（ａ）、（ｂ）では、この動作は、図１５のステップＳ７０〜Ｓ７９によって行われる。なお、上記したとおり、変形例５は、変形例４と同様に、スクライブ動作開始時のノーマルホイール４０の走行方向は、Ｘ軸負側であり、第１の区間の終点（位置Ｂ）から始点（位置Ａ）に向かって逆走させる。
【０１２９】
ステップＳ７０は、上記実施形態における図３のステップＳ１０と対応するため、説明を省略する。
【０１３０】
次に、制御部１０１は、図１６（ａ）に示すように、ヘッド駆動部１０３にスクライブヘッド２０を降下させ、ノーマルホイール４０の刃先４１を、第１の区間の終点である位置Ｂに位置付けさせる（Ｓ７１）。
【０１３１】
その後、制御部１０１は、ヘッド移送部１０２により、スクライブヘッド２０を移送させる。これに伴い、図１６（ｂ）に示すように、ノーマルホイール４０は、基板１５の表面Ｈに押しつけられながら、位置Ｂから第１の区間の始点である位置Ａまでの区間を第１の荷重で逆走する（Ｓ７２）。
【０１３２】
ステップＳ７３において、図１６（ｂ）に示すように、ノーマルホイール４０が位置Ａに到達したことを検出部１０６が検出すると、ステップＳ１３と同様に、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、基板１５に対するノーマルホイール４０の荷重を、第１の荷重より高い第２の荷重に切り替える。なお、ステップＳ７３もステップＳ１３と同様に、第１の荷重が第２の荷重に切り替えられるとき、制御部１０１は、ヘッド移送部１０２によるスクライブヘッド２０の移送を停止させない。
【０１３３】
制御部１０１は、ヘッド移送部１０２により、スクライブヘッド２０を移送させる。これに伴い、図１６（ｂ）に示すように、ノーマルホイール４０は第２の区間の始点である位置Ｅまで逆走する（Ｓ７４）。
【０１３４】
ステップＳ７４において、図１６（ｃ）に示すように、ノーマルホイール４０が位置Ｅに到達したことを検出部１０６が検出すると、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、ノーマルホイール４０の走行方向を、位置Ｅから位置Ｃへ向かう方向に切り替えさせる（Ｓ７５）。
【０１３５】
ステップＳ７４において、ノーマルホイール４０の走行方向が切り替えられると、図１７（ａ）に示すように、制御部１０１は、ヘッド移送部１０２を制御して、スクライブヘッド２０を移送させる。これに伴い、ノーマルホイール４０は第２の区間の終点である位置Ｃまで走行する（Ｓ７６）。
【０１３６】
ステップＳ７７〜Ｓ７９は、上記実施形態における図３のステップＳ１５〜１７に対応するため、説明を省略する。なお、ステップＳ７７〜Ｓ７９におけるノーマルホイール４０の動作は、図１７（ｂ）に示されており、これは、上記実施形態における図４（ｄ）に対応する。
【０１３７】
以上のようにして、変形例５に係るスクライブ方法による基板１５に対するスクライブ工程が終了する。
【０１３８】
上記の変形例５のスクライブ方法により、上記実施形態と同様に、基板１５にスクライブラインが形成される。
【０１３９】
変形例５のスクライブ方法は、第１の区間が第２の区間に含まれた状態で第２の区間に連続している。よって、第１の区間に形成されたノーマルホイール４０の走行の痕跡が契機となって、第２の区間にリブマークが形成され得る。
【０１４０】
また、変形例５のスクライブ方法では、ノーマルホイール４０は、第１の荷重で位置Ｂから位置Ａまで第１の区間を逆走し（Ｓ７２）、第２の荷重で位置Ａから位置Ｅまで逆走する（Ｓ７４）。そして、位置Ｅから位置Ｃまで第２の荷重で走行する（Ｓ７６）。これにより、第１の区間に形成されるノーマルホイール４０の走行の痕跡が契機となり、より確実に、第２の区間にリブマークを生じさせることができる。
【０１４１】
さらに、スクライブ動作中、ノーマルホイール４０は基板１５から離間することがないため、スクライブ動作を円滑に行うことができる。
【０１４２】
［変形例６］
図１８は、変形例６に係るスクライブ方法を示すフローチャートである。図１９（ａ）〜（ｃ）および図２０（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、スクライブ動作時のノーマルホイール４０の動作を模式的に示す図である。なお、図１９（ａ）〜（ｃ）および図２０（ａ）、（ｂ）の動作は、図１８のステップＳ８０〜Ｓ９１によって行われる。
【０１４３】
ステップＳ８０〜Ｓ８２は、上記実施形態における図３のステップＳ１０〜Ｓ１２に対応するため、説明を省略する。ステップＳ８０〜Ｓ８２におけるノーマルホイール４０の動作は、図１９（ａ）、（ｂ）に示されており、これは、上記実施形態における図４（ａ）、（ｂ）に対応する。
【０１４４】
ステップＳ８２において、図１９（ｂ）に示すように、ノーマルホイール４０が位置Ｂに到達したことを検出部１０６が検出すると、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、ノーマルホイール４０の走行方向を切り替えさせる（Ｓ８３）。そして、制御部１０１は、ヘッド移送部１０２を制御して、ノーマルホイール４０を移送させる。これに伴い、ノーマルホイール４０は、位置Ｂから第２の区間の始点である位置Ｅまで第１の荷重で走行する（Ｓ８４）。
【０１４５】
ステップＳ８５において、図１９（ｃ）に示すように、ノーマルホイール４０が位置Ｅに到達したことを検出部１０６が検出すると、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、ノーマルホイール４０の走行方向を切り替えさせる（Ｓ８５）。そして、ステップＳ１３と同様に、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、基板１５に対するノーマルホイール４０の荷重を、第１の荷重より高い第２の荷重に切り替える（Ｓ８６）。
【０１４６】
ステップＳ８７〜Ｓ９１は、上記実施形態における図３のステップＳ１４〜１７に対応するため、説明を省略する。なお、ステップＳ８７〜Ｓ９１におけるノーマルホイール４０の動作は、図２０（ａ）、（ｂ）に示されており、これは、上記実施形態における図４（ｃ）、（ｄ）に対応する。
【０１４７】
以上のようにして、変形例６に係るスクライブ方法による基板１５に対するスクライブ工程が終了する。
【０１４８】
変形例６のスクライブ方法により、上記実施形態と同様に、基板１５にスクライブラインが形成される。
【０１４９】
変形例６のスクライブ方法も、変形例１〜４と同様に、第２の区間の一部である位置Ｅから位置Ｂの区間が第１の区間に含まれており、上記実施形態と同様に、ノーマルホイール４０が低荷重の状態で走行した第１の区間に、高荷重の状態で走行した第２の区間が連続している。よって、第１の区間に形成されたノーマルホイール４０の走行の痕跡が契機となって、第２の区間にリブマークが形成されたと考えられる。
【０１５０】
また、変形例６のスクライブ方法では、位置Ｅから位置Ｂの区間をノーマルホイール４０が、１回目は第１の荷重（Ｓ８２）で走行し、２回目は第１の荷重（Ｓ８４）で逆走している。これにより、第１の区間に形成されるノーマルホイール４０の走行の痕跡が契機となり、より確実に、第２の区間にリブマークを生じさせることができる。
【０１５１】
また、スクライブ動作中、ノーマルホイール４０は基板１５から離間することがないため、スクライブ動作を円滑に行うことができる。
【０１５２】
［変形例７］
図２１は、変形例７に係るスクライブ方法を示すフローチャートである。図２２（ａ）〜（ｃ）および図２３（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、スクライブ動作時のノーマルホイール４０の動作を模式的に示す図である。なお、図２２（ａ）〜（ｃ）および図２３（ａ）、（ｂ）では、この動作は、図２１のステップＳ１００〜Ｓ１０９によって行われる。
【０１５３】
ステップＳ１００〜１０１は、上記実施形態における図３のステップＳ１０〜１１と対応するため、説明を省略する。なお、ステップＳ１００〜１０１におけるノーマルホイール４０の動作は、図２２（ａ）に示されており、これは、上記実施形態における図４（ａ）に対応する。
【０１５４】
ステップＳ１０１において、図２２（ｂ）に示すように、ノーマルホイール４０が位置Ａに到達したことを検出部１０６が検出すると、制御部１０１は、ヘッド移送部１０２を制御して、スクライブヘッド２０を移送させる。これに伴い、ノーマルホイール４０は位置Ｂまで走行する（Ｓ１０２）。また、ステップＳ１０２では、ノーマルホイール４０が位置Ｂに到達したことを検出部１０６が検出すると、図２２（ｃ）に示すように、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、ノーマルホイール４０の走行方向を切り替えさせる。制御部１０１は、ヘッド移送部１０２を制御して、スクライブヘッド２０を移送させる。これに伴い、ノーマルホイール４０は、再び、位置Ｂから位置Ａへ走行する。つまり、ステップＳ１０２では、ノーマルホイール４０は、第１の区間を往復移動する。
【０１５５】
ノーマルホイール４０が位置Ａに再び到達したことを検出部１０６が検出すると、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、ノーマルホイール４０の走行方向を切り替えさせる（Ｓ１０３）。そして、制御部１０１は、ヘッド移送部１０２を制御して、スクライブヘッド２０を移送させる。これに伴い、ノーマルホイール４０が位置Ｅまで走行する（Ｓ１０４）。
【０１５６】
ステップＳ１０５において、ノーマルホイール４０が位置Ｅに到達したことを検出部１０６が検出すると、ステップＳ１３と同様に、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、基板１５に対するノーマルホイール４０の荷重を、第１の荷重より高い第２の荷重に切り替える。なお、ステップＳ１０５もステップＳ１３と同様に、第１の荷重が第２の荷重に切り替えられるとき、制御部１０１は、ヘッド移送部１０２によるスクライブヘッド２０の移送を停止させない。
【０１５７】
そして、制御部１０１は、ヘッド移送部１０２により、スクライブヘッド２０を移送させる。これに伴い、図２３（ａ）に示すように、ノーマルホイール４０は、第２の荷重を維持した状態でスクライブ動作の終了位置の位置Ｃまで走行する（Ｓ１０６）
ステップＳ１０７〜Ｓ１０９は、上記実施形態における図３のステップＳ１５〜１７に対応するため、説明を省略する。なお、ステップＳ１１７〜Ｓ１１９におけるノーマルホイール４０の動作は、図２３（ｂ）に示されており、これは、上記実施形態における図４（ｄ）に対応する。
【０１５８】
以上のようにして、変形例７に係るスクライブ方法による基板１５に対するスクライブ工程が終了する。
【０１５９】
変形例７のスクライブ方法により、上記実施形態と同様に、基板１５にスクライブラインが形成される。
【０１６０】
変形例７のスクライブ方法も、変形例１〜４、６と同様に、第２の区間の一部である位置Ｅから位置Ｂの区間が第１の区間に含まれており、上記実施形態と同様に、ノーマルホイール４０が低荷重の状態で走行した第１の区間に、高荷重の状態で走行した第２の区間が連続している。よって、第１の区間に形成されたノーマルホイール４０の走行の痕跡が契機となって、第２の区間にリブマークが形成され得る。
【０１６１】
また、変形例７のスクライブ方法では、第１の区間を往復走行している（Ｓ１０２）。これにより、第１の区間に形成されるノーマルホイール４０の走行の痕跡が契機となり、より確実に、第２の区間にリブマークを生じさせることができる。
また、スクライブ動作中、ノーマルホイール４０は基板１５から離間することがないため、スクライブ動作を円滑に行うことができる。
【０１６２】
［変形例８］
変形例８は、上記実施形態と同様に、第１の区間の終点と第２の区間の始点とが同じであり、第１および第２の区間は互いに重なり合わない状態で連続している。図２４は、変形例８に係るスクライブ方法を示すフローチャートである。変形例８に係るスクライブ動作は、上記実施形態の説明で参照した図４（ａ）〜（ｄ）を参照して説明する。
【０１６３】
ステップＳ１１０〜１１１は、上記実施形態における図３のステップＳ１０〜１１と対応するため、説明を省略する。なお、ステップＳ１２０〜１２１におけるノーマルホイール４０の動作は、図４（ａ）に対応する。ただし、変形例８では、ステップＳ１１１において、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、ノーマルホイール４０の荷重を０に設定する。
【０１６４】
図４（ｂ）に示すように、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、ノーマルホイール４０を基板１５で走行させる（Ｓ１１２）。ステップＳ１１２では、制御部１０１は、ヘッド駆動部１０３を制御して、ノーマルホイール４０の荷重を０から高める。
【０１６５】
ステップＳ１１２で、制御部１０１がヘッド駆動部１０３を制御して、ノーマルホイール４０の荷重を高めていき、荷重が第２の荷重に達した場合（Ｓ１１３；ＹＥＳ）、制御部１０１は、ヘッド移送部１０２により、スクライブヘッド２０を移送させる。これに伴い、図４（ｃ）に示すように、ノーマルホイール４０は、位置Ｃまで走行する（Ｓ１１４）。
【０１６６】
ノーマルホイール４０の荷重が第２の荷重に達していない場合（Ｓ１１３；ＮＯ）、ノーマルホイール４０は、位置Ｃに向かって走行しつつ、荷重が第２の荷重に向かって高められる（Ｓ６４）。
【０１６７】
すなわち、変形例８では、ノーマルホイール４０の荷重が第１の荷重から第２の荷重に向かって高められ、第２の荷重に達したときに、ノーマルホイール４０が到達している地点が、第１の区間の終点且つ第２の始点の位置Ｂとなる。
【０１６８】
ステップＳ１０５〜Ｓ１０７は、上記実施形態における図３のステップＳ１５〜１７に対応するため、説明を省略する。なお、ステップＳ１０５〜Ｓ１０７におけるノーマルホイール４０の動作は、上記実施形態における図４（ｄ）に対応する。
【０１６９】
以上のようにして、変形例８に係るスクライブ方法による基板１５に対するスクライブ工程が終了する。
【０１７０】
変形例８のスクライブ方法により、上記実施形態と同様に、基板１５にスクライブラインが形成され得る。また、第１の区間において荷重が徐々に高められるため、第２の区間においてより確実にリブマークを発生させることができる。
【０１７１】
本発明の実施形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。例えば、変形例１、４、５、７のようにスクライブヘッドの移動中に第１の荷重から第２の荷重へ荷重が切り替えられる場合、変形例８のように第１の区間の始点または任意の位置から徐々に荷重が高められるようにしてもよい。
【符号の説明】
【０１７２】
１  …スクライブ装置
１５  …基板
２０  …  スクライブヘッド
４０  …  ノーマルホイール
Ｈ  …  基板の表面
【図１】
2020050570.tif 000003
【図２】
2020050570.tif 000004
【図３】
2020050570.tif 000005
【図４】
2020050570.tif 000006
【図５】
2020050570.tif 000007
【図６】
2020050570.tif 000008
【図７】
2020050570.tif 000009
【図８】
2020050570.tif 000010
【図９】
2020050570.tif 000011
【図１０】
2020050570.tif 000012
【図１１】
2020050570.tif 000013
【図１２】
2020050570.tif 000014
【図１３】
2020050570.tif 000015
【図１４】
2020050570.tif 000016
【図１５】
2020050570.tif 000017
【図１６】
2020050570.tif 000018
【図１７】
2020050570.tif 000019
【図１８】
2020050570.tif 000020
【図１９】
2020050570.tif 000021
【図２０】
2020050570.tif 000022
【図２１】
2020050570.tif 000023
【図２２】
2020050570.tif 000024
【図２３】
2020050570.tif 000025
【図２４】
2020050570.tif 000026