(57)【要約】【課題】軸線方向でステータの両側に配置される２つの部材の配置の自由度を確保しながら、これら２つの部材を位置決めできるステータを提供すること。【解決手段】ステータ９のインシュレータ３４は、径方向Ｙにおける筒部３７の外側で環状部３１の第１方向Ｘ１に重ねられた第１コア覆い部４１および第２方向Ｘ２に重ねられた第２コア覆い部４２を備える。第１コア覆い部４１および第２コア覆い部４２のそれぞれは、軸線方向Ｘから部材が当接可能な第１被当接部４３および第２被当接部４４を備える。軸線方向Ｘにおけるステータコア３３の中心Ｈと第１被当接部４３との間の第１距離Ｄ１は、軸線方向Ｘにおけるステータコア３３の中心Ｈと第２被当接部４４との間の第２距離Ｄ２よりも短い。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
環状部および当該環状部から内周側に突出する突極部を備えるステータコアと、前記突極部が貫通する筒部を備えるインシュレータと、前記筒部に巻き回されたコイルと、を有するステータにおいて、
前記環状部の軸線に沿った方向を軸線方向、前記軸線方向と直交する方向を径方向、前記軸線方向の一方側を第１方向、他方側を第２方向としたときに、
前記インシュレータは、前記径方向における前記筒部の外側にコア覆い部を備え、
前記コア覆い部は、前記軸線方向から部材が当接可能な第１被当接部および第２被当接部を備え、
前記軸線方向における前記ステータコアの中心と前記第１被当接部との間の第１距離は、前記軸線方向における前記ステータコアの中心と前記第２被当接部との間の第２距離よりも短いことを特徴とするステータ。
【請求項２】
前記インシュレータは、前記軸線方向で２つに分割された第１インシュレータ部材および第２インシュレータ部材からなり、
前記第１インシュレータ部材と前記第２インシュレータ部材とは、同一の部材であることを特徴とする請求項１に記載のステータ。
【請求項３】
請求項１または２に記載のステータと、
前記ステータの内周側に配置されたロータと、
磁力によって前記ロータを前記径方向に非接触で支持する第１電磁石、および前記第１電磁石の前記軸線方向に重ねられて前記ロータの前記径方向の変位を検出する第１センサを備える第１磁気軸受ユニットと、
磁力によって前記ロータを前記径方向に非接触で支持する第２電磁石、および前記第２電磁石の前記軸線方向に重ねられて前記ロータの前記径方向の変位を検出する第２センサを備える第２磁気軸受ユニットと、を有し、
前記第１磁気軸受ユニットは、前記ステータの前記第１方向に重ねられて前記コア覆い部の前記第１被当接部または前記第２被当接部に当接し、
前記ステータの前記第２方向に位置する外部の部材は、前記第１磁気軸受ユニットであり、
前記第２磁気軸受ユニットは、前記ステータの前記第２方向に重ねられて前記コア覆い部の前記第１被当接部または前記第２被当接部に当接することを特徴とするモータ。
【請求項４】
請求項１または２に記載のステータと、前記ステータの内周側に配置されたロータと、を備えるモータと、
ポンプケースと、
前記ポンプケースの内部に固定された固定翼と、
前記ロータに取り付けられて前記ポンプケースの内部で回転する回転翼と、を有することを特徴とする真空ポンプ。
【請求項５】
請求項３に記載のモータと、
ポンプケースと、
前記ポンプケースの内部に固定された固定翼と、
前記モータのロータに取り付けられて前記ポンプケースの内部で回転する回転翼と、を有することを特徴とする真空ポンプ。
【請求項６】
環状部および当該環状部から内周側に突出する突極部を備えるステータコアと、前記突極部が貫通する筒部を備えるインシュレータと、前記筒部に巻き回されたコイルと、を有するステータにおいて、
前記環状部の軸線に沿った方向を軸線方向、前記軸線方向と直交する方向を径方向、前記軸線方向の一方側を第１方向、他方側を第２方向としたときに、
前記インシュレータは、前記径方向における前記筒部の外側で前記環状部の前記第１方向に重ねられた第１コア覆い部および前記第２方向に重ねられた第２コア覆い部を備え、
前記第１コア覆い部および前記第２コア覆い部のそれぞれは、前記軸線方向から部材が当接可能な第１被当接部および第２被当接部を備え、
前記軸線方向における前記ステータコアの中心と前記第１被当接部との間の第１距離は、前記軸線方向における前記ステータコアの中心と前記第２被当接部との間の第２距離よりも短く、
前記第１被当接部および前記第２被当接部は、径方向に並んで配置されていることを特徴とするステータ。
【請求項７】
前記第１被当接部は、前記第２被当接部よりも前記径方向の内側に位置することを特徴とする請求項６に記載のステータ。
【請求項８】
前記第１コア覆い部および前記第２コア覆い部のそれぞれは、前記軸線方向に延びる第１壁部と、前記径方向における前記第１壁部の外側で前記軸線方向に延びる第２壁部と、を備え、
前記径方向における前記第１壁部の厚みは、前記径方向における前記第２壁部の厚みと比較して、厚く、
前記第１壁部の前記環状部とは反対側の端部は、前記第１被当接部であり、
前記第２壁部の前記環状部とは反対側の端部は、前記第２被当接部であることを特徴とする請求項７に記載のステータ。
【請求項９】
前記軸線回りを周方向としたときに、
前記周方向における前記第１壁部の第１寸法は、前記周方向における前記コイルの長さ寸法よりも長く、
前記第１壁部は、前記環状部とは反対側の前記端部に内周側から外周側に貫通する溝を備えることを特徴とする請求項８に記載のステータ。
【請求項１０】
前記第１コア覆い部および前記第２コア覆い部のそれぞれは、前記環状部に沿って前記径方向に延びて前記第１壁部と前記第２壁部とを接続する接続部を備え、
前記コイルから引き出されたコイル線は、前記溝を経由して、前記第１壁部、前記第２壁部および前記接続部により区画された第２の溝を引き回されていることを特徴とする請求項９に記載のステータ。
【請求項１１】
前記第２壁部は、前記接続部の側の端部分に前記径方向における厚みが前記接続部に接近するのに伴って前記第１壁部の側に増加する補強部を備えることを特徴とする請求項１０に記載のステータ。
【請求項１２】
前記周方向における前記第２壁部の第２寸法は、前記第１寸法よりも短いことを特徴とする請求項１０または１１に記載のステータ。
【請求項１３】
前記第２壁部は、前記径方向に貫通する切欠き部を備えることを特徴とする請求項９から１２のうちのいずれか一項に記載のステータ。
【請求項１４】
前記インシュレータは、前記軸線方向で２つに分割された第１インシュレータ部材および第２インシュレータ部材からなり、
前記第１インシュレータ部材と前記第２インシュレータ部材とは、同一の部材であることを特徴とする請求項６から１３のうちのいずれか一項に記載のステータ。
【請求項１５】
請求項６から１４のうちのいずれか一項に記載のステータと、
前記ステータの内周側に配置されたロータと、
磁力によって前記ロータを非接触で前記径方向に支持する第１電磁石、および前記第１電磁石の前記軸線方向に重ねられて前記ロータの前記径方向の変位を検出する第１センサを備える第１磁気軸受ユニットと、
磁力によって前記ロータを非接触で前記径方向に支持する第２電磁石、および前記第２電磁石の前記軸線方向に重ねられて前記ロータの前記径方向の変位を検出する第２センサを備える第２磁気軸受ユニットと、を有し、
前記第１磁気軸受ユニットは、前記ステータの前記第１方向に重ねられて前記第１コア覆い部の前記第１被当接部または前記第２被当接部に当接し、
前記ステータの前記第２方向に位置する外部の部材は、前記第１磁気軸受ユニットであり、
前記第２磁気軸受ユニットは、前記ステータの前記第２方向に重ねられて前記第２コア覆い部の前記第１被当接部または前記第２被当接部に当接することを特徴とするモータ。
【請求項１６】
前記第１センサは、前記第１電磁石の前記第１方向に重ねられ、
前記第１電磁石は、前記ステータの前記第１コア覆い部の前記第１被当接部に当接することを特徴とする請求項１５に記載のモータ。
【請求項１７】
前記第１電磁石は、前記軸線を囲んで配置されたコア環状部および当該コア環状部から内周側に突出するコア突極部を有する電磁石コアと、電磁石インシュレータと、前記電磁石インシュレータを介して前記コア突極部に巻き回された電磁石コイルと、を備え、
前記電磁石インシュレータは、前記コア突極部が貫通するインシュレータ筒部と、前記径方向における前記インシュレータ筒部の内側の端から張り出すインシュレータ内側鍔部と、前記径方向における前記インシュレータ筒部の外側の端から張り出すインシュレータ外側鍔部と、を備え、
前記電磁石コイルは、前記インシュレータ内側鍔部と前記インシュレータ外側鍔部との間において前記インシュレータ筒部に巻き回され、
前記インシュレータ外側鍔部の前記第２方向の端部分は、前記軸線方向から前記第１被当接部に当接することを特徴とする請求項１６に記載のモータ。
【請求項１８】
前記第１コア覆い部および前記第２コア覆い部のそれぞれは、前記軸線方向に延びる第１壁部と、前記径方向における前記第１壁部の外側で前記軸線方向に延びる第２壁部と、を備え、
前記第１壁部の前記環状部とは反対側の端部は、前記第１被当接部であり、
前記第２壁部の前記環状部とは反対側の端部は、前記第２被当接部であり、
前記ロータの外周側で、前記ステータ、前記第１磁気軸受ユニットおよび前記第２磁気軸受ユニットを封止する樹脂封止部材、を有し、
前記第１壁部は、前記軸線方向から見た場合に円弧形状をしており、
前記軸線回りを周方向としたときに、
前記外側鍔部は、前記軸線方向から見た場合に前記周方向に直線状に延びているとともに、前記径方向における厚みが前記第１壁部の厚みよりも薄く、前記周方向の一部分が前記第１壁部から外周側に突出していることを特徴とする請求項１７に記載のモータ。
【請求項１９】
前記第１センサは、前記軸線を囲んで配置されたセンサコア環状部および当該センサコア環状部から内周側に突出するセンサコア突極部を有するセンサコアと、前記センサコア突極部に取り付けられたコイルボビンと、前記コイルボビンを介して前記センサコア突極部に巻き回されたセンサコイルと、を有し、
前記電磁石インシュレータは、前記インシュレータ筒部よりも外周側に前記センサコア
環状部に前記第２方向から当接する当接部を備えることを特徴とする請求項１７または１８に記載のモータ。
【請求項２０】
前記センサコアは、前記センサコア環状部の外周縁にセンサコア切欠き部を備え、
前記当接部は、前記センサコア環状部に当接する当接面と、前記当接面から前記第１方向に突出して前記センサコア切欠き部に挿入された突出部と、を備えることを特徴とする請求項１９に記載のモータ。
【請求項２１】
前記第２センサは、前記第２電磁石の前記第１方向に重ねられ、
前記第２センサは、前記ステータの前記第２コア覆い部の前記第２被当接部に当接することを特徴とする請求項１５から請求項２０のうちのいずれか一項に記載のモータ。
【請求項２２】
請求項６から１４のうちのいずれか一項に記載のステータと、前記ステータの内周側に配置されたロータと、を備えるモータと、
ポンプケースと、
前記ポンプケースの内部に固定された固定翼と、
前記ロータに取り付けられて前記ポンプケースの内部で回転する回転翼と、を有することを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２３】
請求項１５から２１のうちのいずれか一項に記載のモータと、
ポンプケースと、
前記ポンプケースの内部に固定された固定翼と、
前記モータのロータに取り付けられて前記ポンプケースの内部で回転する回転翼と、を有することを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２４】
ロータを回転可能に支持する磁気軸受ユニットにおいて、
前記ロータの回転中心軸に沿った方向を軸線方向、回転中心軸と直交する方向を径方向、前記軸線方向の一方側を第１方向、他方側を第２方向としたときに、
磁力によって前記ロータを非接触で前記径方向に支持する電磁石と、
前記電磁石の前記第１方向に重ねられて前記ロータの前記径方向の変位を検出するセンサと、を有し、
前記電磁石は、前記回転中心軸を囲んで配置されたコア環状部および当該コア環状部から内周側に突出するコア突極部を有する電磁石コアと、電磁石インシュレータと、前記電磁石インシュレータを介して前記コア突極部に巻き回された電磁石コイルと、を備え、
前記センサは、前記回転中心軸を囲んで配置されたセンサコア環状部および当該センサコア環状部から内周側に突出するセンサコア突極部を有するセンサコアと、前記センサコア突極部に取り付けられたコイルボビンと、前記コイルボビンを介して前記センサコア突極部に巻き回されたセンサコイルと、を有し、
前記電磁石インシュレータは、前記コア突極部が貫通するインシュレータ筒部と、前記径方向における前記インシュレータ筒部の内側の端から張り出すインシュレータ内側鍔部と、前記径方向における前記インシュレータ筒部の外側の端から張り出すインシュレータ外側鍔部と、前記インシュレータ筒部よりも外周側で前記センサコア環状部に前記第２方向から当接する当接部と、を有することを特徴とする磁気軸受ユニット。
【請求項２５】
前記センサコアは、前記センサコア環状部の外周縁にセンサコア切欠き部を備え、
前記当接部は、前記センサコア環状部に当接する当接面と、前記当接面から前記第１方向に突出して前記センサコア切欠き部に挿入された突出部と、を備えることを特徴とする請求項２４に記載の磁気軸受ユニット。
【請求項２６】
請求項２４または２５に記載の磁気軸受ユニットと、
回転翼が取り付けられたロータと、を有し、
前記ロータは、前記磁気軸受ユニットにより回転可能に支持されていることを特徴とする真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステータに関する。また、モータ、およびモータによって回転翼を回転させる真空ポンプに関する。さらに、ロータを支持する磁気軸受ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
モータによって回転翼を回転させる真空ポンプは特許文献１に記載されている。同文献のモータは、回転翼が接続されるロータと、ロータを回転させるためのステータと、ロータの軸線方向でステータの一方側に配置された第１磁気軸受ユニットと、他方側に配置された第２磁気軸受ユニットを備える。第１磁気軸受ユニットは、磁力によってロータを非接触で径方向に支持する第１電磁石と、第１電磁石の軸線方向に重ねられてロータの径方向の変位を検出する第１センサを備える。第２磁気軸受ユニットは、磁力によってロータを非接触で径方向に支持する第２電磁石と、第２電磁石の軸線方向に重ねられてロータの径方向の変位を検出する第２センサを備える。第１磁気軸受ユニットにおいて、第１センサは軸線方向で第１電磁石の一方側に重ねられている。第２磁気軸受ユニットにおいて、第２センサは軸線方向で第２電磁石の他方側に重ねられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１８−１４５８０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
モータを組み立てる際に、ステータの一方側に位置する第１部材（第１磁気軸受ユニット）とステータとを軸線方向で当接させ、かつ、ステータの他方側に位置する第２部材（第２磁気軸受ユニット）とステータとを軸線方向で当接させれば、軸線方向における第１部材の位置および第２部材の位置を、ステータを基準に規定できる。しかし、一般的に、モータのステータは、軸線と直交する仮想面に対して対称な形状を備える。従って、第１部材とステータとを軸線方向で当接させ、かつ、第２部材とステータとを軸線方向で当接させた場合には、軸線方向におけるステータの中心から第１部材までの距離と、ステータの中心から第２部材までの距離とが、単一の距離に規定されてしまい、第１部材および第２部材の配置の自由度が損なわれるという問題がある。
【０００５】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、軸線方向でステータの隣に配置される部材の配置の自由度を確保しながら、部材を位置決めできるステータを提供することにある。また、かかるステータを備えるモータおよび真空ポンプを提供することにある。さらに、モータのロータを非接触で支持する磁気軸受ユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明は、環状部および当該環状部から内周側に突出する突極部を備えるステータコアと、前記突極部が貫通する筒部を備えるインシュレータと、前記筒部に巻き回されたコイルと、を有するステータにおいて、前記環状部の軸線に沿った方向を軸線方向、前記軸線方向と直交する方向を径方向、前記軸線方向の一方側を第１方向、他方側を第２方向としたときに、前記インシュレータは、前記径方向における前記筒部の外側でコア覆い部を備え、前記コア覆い部は、前記軸線方向から部材が当接可能な第１被当接部および第２被当接部を備え、前記軸線方向における前記ステータコアの中心と前記第１被当接部との間の第１距離は、前記軸線方向における前記ステータコアの中心と前記第２被当接部との間の第２距離よりも短いことを特徴とする。
【０００７】
本発明のステータは、インシュレータに、ステータコアの中心からの距離が互いに相違する第１被当接部と第２被当接部とを備える。従って、軸線方向でステータの隣に配置される部材を、第１被当接部に当接せれば、ステータの中心から部材までの距離を第１距離として、部材を位置決めできる。また、軸線方向でステータの隣に配置される部材を、第２被当接部に当接せれば、ステータの中心から部材までの距離を第２距離として、部材を位置決めできる。従って、本発明によれば、軸線方向でステータの隣に配置される部材の配置の自由度を確保しながら、この部材を位置決めできる。
【０００８】
本発明において、前記インシュレータは、前記軸線方向で２つに分割された樹脂製の第１インシュレータ部材および第２インシュレータ部材からなり、前記第１インシュレータ部材と前記第２インシュレータ部材とは、同一の部材であるものとすることができる。インシュレータを２つのインシュレータ部材に分割すれば、インシュレータの形状が複雑になった場合でも、射出成形によって各インシュレータ部材を容易に成形できる。また、このようにすれば、インシュレータを２つのインシュレータ部材から構成した場合でも、部品点数が増加しない。
【０００９】
次に、本発明のモータは、上記のステータと、前記ステータの内周側に配置されたロータと、磁力によって前記ロータを前記径方向に非接触で支持する第１電磁石、および前記第１電磁石の前記軸線方向に重ねられて前記ロータの前記径方向の変位を検出する第１センサを備える第１磁気軸受ユニットと、磁力によって前記ロータを前記径方向に非接触で支持する第２電磁石、および前記第２電磁石の前記軸線方向に重ねられて前記ロータの前記径方向の変位を検出する第２センサを備える第２磁気軸受ユニットと、を有し、前記第１磁気軸受ユニットは、前記ステータの前記第１方向に重ねられて前記コア覆い部の前記第１被当接部または前記第２被当接部に当接し、前記ステータの前記第２方向に位置する外部の部材は、前記第１磁気軸受ユニットであり、記第２磁気軸受ユニットは、前記ステータの前記第２方向に重ねられて前記コア覆い部の前記第１被当接部または前記第２被当接部に当接することを特徴とする。
【００１０】
本発明のモータは、ステータに、ステータコアの中心からの距離が互いに相違する第１被当接部と第２被当接部とを備える。従って、第１磁気軸受ユニットを第１被当接部に当接させ、第２磁気軸受ユニットを第２被当接部に当接させれば、ステータの中心から第１磁気軸受ユニットまでを第１距離とし、ステータの中心から第２磁気軸受ユニットまでを第２距離とすることができる。また、第１磁気軸受ユニットを第２被当接部に当接させ、第２磁気軸受ユニットを第１被当接部に当接させれば、ステータの中心から第１磁気軸受ユニットまでを第２距離とし、ステータの中心から第２磁気軸受ユニットまでを第１距離とすることができる。従って、軸線方向でステータの両側に配置される第１磁気軸受ユニットと第２磁気軸受ユニットの配置の自由度を確保しながら、これら第１磁気軸受ユニットおよび第２磁気軸受ユニットを位置決めできる。
【００１１】
次に、本発明の真空ポンプは、上記のステータと、前記ステータの内周側に配置されたロータと、を備えるモータと、ポンプケースと、前記ポンプケースの内部に固定された固定翼と、前記ロータに取り付けられて前記ポンプケースの内部で回転する回転翼と、を有することを特徴とする。
【００１２】
本発明の真空ポンプによれば、モータにおいて、軸線方向で積層されるステータ、第１磁気軸受ユニット、および第２磁気軸受ユニットの配置の自由度が確保される。従って、真空ポンプの設計の自由度が向上する。
【００１３】
また、本発明の真空ポンプは、上記のモータと、ポンプケースと、前記ポンプケースの
内部に固定された固定翼と、前記モータのロータに取り付けられて前記ポンプケースの内部で回転する回転翼と、を有することを特徴とする。
【００１４】
本発明の真空ポンプによれば、モータにおいて、軸線方向で積層されるステータ、第１磁気軸受ユニット、および第２磁気軸受ユニットの配置の自由度が確保される。従って、真空ポンプの設計の自由度が向上する。
【００１５】
次に、本発明の別の形態は、環状部および当該環状部から内周側に突出する突極部を備えるステータコアと、前記突極部が貫通する筒部を備えるインシュレータと、前記筒部に巻き回されたコイルと、を有するステータにおいて、前記環状部の軸線に沿った方向を軸線方向、前記軸線方向と直交する方向を径方向、前記軸線方向の一方側を第１方向、他方側を第２方向としたときに、前記インシュレータは、前記径方向における前記筒部の外側で前記環状部の前記第１方向に重ねられた第１コア覆い部および前記第２方向に重ねられた第２コア覆い部を備え、前記第１コア覆い部および前記第２コア覆い部のそれぞれは、前記第１被当接部および前記第２被当接部を備え、前記軸線方向における前記ステータコアの中心と前記第１被当接部との間の第１距離は、前記軸線方向における前記ステータコアの中心と前記第２被当接部との間の第２距離よりも短く、前記第１被当接部および前記第２被当接部は、径方向に並んで配置されていることを特徴とする。
【００１６】
本発明のステータは、インシュレータに、ステータコアの環状部の第１方向に重ねられた第１コア覆い部と第２方向に重ねられた第２コア覆い部とを備える。また、第１コア覆い部および第２コア覆い部のそれぞれは、ステータコアの中心からの距離が異なる第１被当接部および前記第２被当接部を備える。従って、例えば、ステータの第１方向に配置される第１部材を第１コア覆い部の第１被当接部に当接させ、ステータの第２方向に配置される第２部材を第２コア覆い部の第２被当接部に当接させれば、ステータの中心から第１部材までの距離（第１距離）と、ステータの中心から第２部材までの距離（第２距離）とを異なるものとすることができる。また、ステータの第１方向に配置される第１部材を第１コア覆い部の第１被当接部に当接させ、ステータの第２方向に配置される第２部材を第２コア覆い部の第１被当接部に当接させれば、ステータの中心から第１部材までの距離と、ステータの中心から第２部材までの距離とを互いに同一の第１距離とすることができる。さらに、ステータの第１方向に配置される第１部材を第１コア覆い部の第２被当接部に当接させ、ステータの第２方向に配置される第２部材を第２コア覆い部の第２被当接部に当接させれば、ステータの中心から第１部材までの距離と、ステータの中心から第２部材までの距離とを互いに同一の第２距離とすることができる。従って、本発明によれば、軸線方向でステータの両側に配置される２つの部材の配置の自由度を確保しながら、これら２つの部材を位置決めできる。
【００１７】
本発明において、前記第１被当接部は、前記第２被当接部よりも前記径方向の内側に位置するものとすることができる。このようにすれば、ステータの軸線方向に一方側または他方側に配置した外部の部材を第２被当接部に当接させたときに、外部の部材が第１被当接部と干渉することを回避しやすい。
【００１８】
本発明において、前記第１コア覆い部および前記第２コア覆い部のそれぞれは、前記軸線方向に延びる第１壁部と、前記径方向における前記第１壁部の外側で前記軸線方向に延びる第２壁部と、を備え、前記径方向における前記第１壁部の厚みは、前記径方向における前記第２壁部の厚みと比較して、厚く、前記第１壁部の前記環状部とは反対側の端部は、前記第１被当接部であり、前記第２壁部の前記環状部とは反対側の端部は、前記第２被当接部であるものとすることができる。このようにすれば、第１被当接部の径方向の幅を広くすることができる。従って、第１被当接部がステータの内周側に位置していても、外部の部材を第１被当接部に当接させることが容易となる。
【００１９】
本発明において、前記軸線回りを周方向としたときに、前記周方向における前記第１壁部の第１寸法は、前記周方向における前記コイルの長さ寸法よりも長く、前記第１壁部は、前記環状部とは反対側の前記端部に内周側から外周側に貫通する溝を備えるものとすることができる。第１壁部の第１寸法が周方向におけるコイルの長さ寸法よりも長ければ、第１壁部によってコイルを外周側から保護できる。また、第１壁部に溝を備えれば、筒部に巻き回したコイルのコイル線を、溝部を介して、外周側に引き出すことができる。
【００２０】
本発明において、前記第１コア覆い部および前記第２コア覆い部のそれぞれは、前記環状部に沿って前記径方向に延びて前記第１壁部と前記第２壁部とを接続する接続部を備え、前記コイルから引き出されたコイル線は、前記溝を経由して、前記第１壁部、前記第２壁部および前記接続部により区画された第２の溝を引き回されているものとすることができる。このようにすれば、コイルから引き出したコイル線を周方向に引き回す際に、インシュレータの外側を引き回す必要がない。従って、コイル線の断線を防止あるいは抑制できる。また、コイルから引き出したコイル線を周方向に引き回す際に、インシュレータの外側を引き回す必要がないので、ステータが径方向で大きくなることを抑制できる。
【００２１】
本発明において、前記第２壁部は、前記接続部の側の端部分に前記径方向における厚みが前記接続部に接近するのに伴って前記第１壁部の側に増加する補強部を備えるものとすることができる。このような補強部を備えれば、第２の溝内でコイル線を引き回す際などに、第２壁部の先端部分を外周側に撓ませる負荷がかかった場合でも、第２壁部が、接続部に近い部分から折れてしまうことを防止あるいは抑制できる。
【００２２】
本発明において、前記周方向における前記第２壁部の第２寸法は、前記第１寸法よりも短いものとすることができる。周方向で隣り合う２つのインシュレータの間には、一方のインシュレータの第２壁部と他方のインシュレータの第２壁部との間に隙間が設けられる。従って、第２の溝を引き回したコイル線などを、第２壁部の側方の隙間からステータの外部に引き出すことができる。
【００２３】
本発明において、前記第２壁部は、前記径方向に貫通する切欠き部を備えるものとすることができる。このようにすれば、第２の溝を引き回したコイル線などを、第２壁部に設けた切欠き部から、ステータの外部に引き出すことができる。
【００２４】
本発明において、前記インシュレータは、前記軸線方向で２つに分割された樹脂製の第１インシュレータ部材および第２インシュレータ部材からなり、前記第１インシュレータ部材と前記第２インシュレータ部材とは、同一の部材であるものとすることができる。インシュレータを２つのインシュレータ部材に分割すれば、インシュレータの形状が複雑になった場合でも、射出成形によって各インシュレータ部材を容易に成形できる。また、このようにすれば、インシュレータを２つのインシュレータ部材から構成した場合でも、部品点数が増加しない。
【００２５】
本発明の別の形態のモータは、上記のステータと、前記ステータの内周側に配置されたロータと、磁力によって前記ロータを非接触で前記径方向に支持する第１電磁石、および前記第１電磁石の前記軸線方向に重ねられて前記ロータの前記径方向の変位を検出する第１センサを備える第１磁気軸受ユニットと、磁力によって前記ロータを非接触で前記径方向に支持する第２電磁石、および前記第２電磁石の前記軸線方向に重ねられて前記ロータの前記径方向の変位を検出する第２センサを備える第２磁気軸受ユニットと、を有し、前記第１磁気軸受ユニットは、前記ステータの前記第１方向に重ねられて前記第１コア覆い部の前記第１被当接部または前記第２被当接部に当接し、前記ステータの前記第２方向に位置する外部の部材は、前記第１磁気軸受ユニットであり、前記第２磁気軸受ユニットは
、前記ステータの前記第２方向に重ねられて前記第２コア覆い部の前記第１被当接部または前記第２被当接部に当接する。
【００２６】
本発明のモータは、ステータに、ステータコアの中心からの距離が互いに相違する第１被当接部と第２被当接部とを備える。従って、例えば、ステータの第１方向に位置する第１磁気軸受ユニットを第１コア覆い部の第１被当接部に当接させ、ステータの第２方向に位置する第２磁気軸受ユニットを第２コア覆い部の第２被当接部に当接させれば、ステータの中心から第１磁気軸受ユニットまでの距離と、ステータの中心から第２磁気軸受ユニットまでの距離とを異なるものとすることができる。また、第１磁気軸受ユニットを第１コア覆い部の第２被当接部に当接させ、第２磁気軸受ユニットを第２コア覆い部の第１被当接部に当接させれば、ステータの中心から第１磁気軸受ユニットまでの距離と、ステータの中心から第２磁気軸受ユニットまでの距離とを異なるものとすることができる。さらに、第１磁気軸受ユニットを第１コア覆い部の第１被当接部に当接させ、第２磁気軸受ユニットを第２コア覆い部の第１被当接部に当接させれば、ステータの中心から第１磁気軸受ユニットまでの距離と、ステータの中心から第２磁気軸受ユニットまでの距離とを互いに同一の第１距離とすることができる。また、第１磁気軸受ユニットを第１コア覆い部の第２被当接部に当接させ、第２磁気軸受ユニットを第２コア覆い部の第２被当接部に当接させれば、ステータの中心から第１磁気軸受ユニットまでの距離と、ステータの中心から第２磁気軸受ユニットまでの距離とを互いに同一の第２距離とすることができる。従って、軸線方向でステータの両側に配置される第１磁気軸受ユニットと第２磁気軸受ユニットの配置の自由度を確保しながら、これら第１磁気軸受ユニットおよび第２磁気軸受ユニットを位置決めできる。
【００２７】
本発明において、前記第１センサは、前記第１電磁石の前記第１方向に重ねられ、前記第１電磁石は、前記ステータの前記第１コア覆い部の前記第１被当接部に当接するものとすることができる。
【００２８】
本発明において、前記第１電磁石は、前記軸線を囲んで配置されたコア環状部および当該コア環状部から内周側に突出するコア突極部を有する電磁石コアと、電磁石インシュレータと、前記電磁石インシュレータを介して前記コア突極部に巻き回された電磁石コイルと、を備え、前記電磁石インシュレータは、前記コア突極部が貫通するインシュレータ筒部と、前記径方向における前記インシュレータ筒部の内側の端から張り出す内側鍔部と、前記径方向における前記インシュレータ筒部の外側の端から張り出す外側鍔部と、を備え、前記電磁石コイルは、前記内側鍔部と前記外側鍔部との間において前記インシュレータ筒部に巻き回され、前記外側鍔部の前記第２方向の端部分は、前記軸線方向から前記第１被当接部に当接するものとすることができる。すなわち、ステータのインシュレータに設けた第１被当接部には、第１電磁石の電磁石インシュレータの外側鍔部が当接するものとすることができる。
【００２９】
本発明において、前記軸線回りを周方向としたときに、前記ロータの外周側で、前記ステータ、前記第１磁気軸受ユニットおよび前記第２磁気軸受ユニットを封止する樹脂封止部材、を有し、前記第１壁部は、前記軸線方向から見た場合に円弧形状をしており、前記外側鍔部は、前記軸線方向から見た場合に前記周方向に直線状に延びているとともに、前記径方向における厚みが前記第１壁部の厚みよりも薄く、前記周方向の一部分が前記第１壁部から外周側に突出しているものとすることができる。このようにすれば、ステータと第１電磁石との間に隙間が形成されやすい。従って、これらの隙間に、樹脂を浸入させて、樹脂封止部材を設けることが容易である。
【００３０】
本発明において、前記第１センサは、前記軸線を囲んで配置されたセンサコア環状部および当該センサコア環状部から内周側に突出するセンサコア突極部を有するセンサコアと
、前記センサコア突極部に取り付けられたコイルボビンと、前記コイルボビンを介して前記センサコア突極部に巻き回されたセンサコイルと、を有し、前記電磁石インシュレータは、前記インシュレータ筒部よりも外周側に前記センサコア環状部に前記第２方向から当接する当接部を備えることが望ましい。このようにすれば、電磁石インシュレータの当接部とセンサコアとの当接により、第１電磁石を基準として、第１センタを軸線方向で位置決めできる。ここで、電磁石インシュレータはステータの第１被当接部に当接している。従って、電磁石インシュレータとセンサコアとを当接させれば、ステータの中心から第１センサまでの距離を精度よく規定できる。
【００３１】
本発明において、前記センサコアは、前記センサコア環状部の外周縁にセンサコア切欠き部を備え、前記当接部は、前記センサコア環状部に当接する当接面と、前記当接面から前記第１方向に突出して前記センサコア切欠き部に挿入された突出部と、を備えるものとすることができる。このようにすれば、突出部の切欠き部への挿入によって、軸線回りにおけるセンサの位置を規定することが可能となる。
【００３２】
本発明において、前記第２センサは、前記第２電磁石の前記第１方向に重ねられ、前記第２センサは、前記ステータの前記第２コア覆い部の前記第２被当接部に当接するものとすることができる。
【００３３】
次に、本発明の真空ポンプは、上記のステータと、前記ステータの内周側に配置されたロータと、を備えるモータと、ポンプケースと、前記ポンプケースの内部に固定された固定翼と、前記ロータに取り付けられて前記ポンプケースの内部で回転する回転翼と、を有することを特徴とする。
【００３４】
本発明の真空ポンプによれば、モータにおいて、軸線方向で積層されるステータ、第１磁気軸受ユニット、および第２磁気軸受ユニットの配置の自由度が確保される。従って、真空ポンプの設計の自由度が向上する。
【００３５】
また、本発明の真空ポンプは、上記のモータと、ポンプケースと、前記ポンプケースの内部に固定された固定翼と、前記モータのロータに取り付けられて前記ポンプケースの内部で回転する回転翼と、を有することを特徴とする。
【００３６】
本発明の真空ポンプによれば、モータにおいて、軸線方向で積層されるステータ、第１磁気軸受ユニット、および第２磁気軸受ユニットの配置の自由度が確保される。従って、真空ポンプの設計の自由度が向上する。
【００３７】
次に、本発明は、ロータを回転可能に支持する磁気軸受ユニットにおいて、前記ロータの回転中心軸に沿った方向を軸線方向、回転中心軸と直交する方向を径方向、前記軸線方向の一方側を第１方向、他方側を第２方向としたときに、磁力によって前記ロータを非接触で前記径方向に支持する電磁石と、前記電磁石の前記第１方向に重ねられて前記ロータの前記径方向の変位を検出するセンサと、を有し、前記電磁石は、前記回転中心軸を囲んで配置されたコア環状部および当該コア環状部から内周側に突出するコア突極部を有する電磁石コアと、電磁石インシュレータと、前記電磁石インシュレータを介して前記コア突極部に巻き回された電磁石コイルと、を備え、前記センサは、前記回転中心軸を囲んで配置されたセンサコア環状部および当該センサコア環状部から内周側に突出するセンサコア突極部を有するセンサコアと、前記センサコア突極部に取り付けられたコイルボビンと、前記コイルボビンを介して前記センサコア突極部に巻き回されたセンサコイルと、を有し、前記電磁石インシュレータは、前記コア突極部が貫通するインシュレータ筒部と、前記径方向における前記インシュレータ筒部の内側の端から張り出す内側鍔部と、前記径方向における前記インシュレータ筒部の外側の端から張り出す外側鍔部と、前記インシュレー
タ筒部よりも外周側で前記センサコア環状部に前記第２方向から当接する当接部と、を有することを特徴とする。
【００３８】
本発明の磁気軸受ユニットによれば、電磁石の電磁石インシュレータが、センサのセンサコアに軸線方向から当接する当接部備える。従って、電磁石の軸線方向にセンサを重ねることにより、電磁石を基準として、軸線方向におけるセンサの位置を規定できる。
【００３９】
本発明において、前記センサコアは、前記センサコア環状部の外周縁にセンサコア切欠き部を備え、前記当接部は、前記センサコア環状部に当接する当接面と、前記当接面から前記第１方向に突出して前記センサコア切欠き部に挿入された突出部と、を備えるものとすることができる。このようにすれば、突出部のコア側切欠き部への挿入によって、軸線回りにおけるセンサの位置を規定することが可能となる。
【００４０】
次に、本発明の真空ポンプは、上記の磁気軸受ユニットと、回転翼が取り付けられたロータと、を有し、前記ロータは、前記磁気軸受ユニットにより回転可能に支持されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００４１】
本発明によれば、軸線方向でステータの隣に配置される部材の配置の自由度を確保しながら、この部材を位置決めできる。
【００４２】
本発明の磁気軸受ユニットによれば、電磁石に対するセンサの位置決めが容易である。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明を適用した真空ポンプの断面図である。
【図２】ステータユニットの側面図である。
【図３】ステータの斜視図である。
【図４】ステータの平面図である。
【図５】インシュレータの斜視図である。
【図６】インシュレータの平面図である。
【図７】インシュレータの部分拡大図である。
【図８】第１磁気軸受ユニットの斜視図である。
【図９】第１センサの斜視図である。
【図１０】第１電磁石の斜視図である。
【図１１】電磁石インシュレータの斜視図である。
【図１２】第２磁気軸受ユニットの斜視図である。
【図１３】ステータと第１磁気軸受ユニットとの当接状態の説明図である。
【図１４】変形例１のステータユニットの側面図である。
【図１５】変形例２のステータユニットの側面図である。
【図１６】変形例３のステータユニットの説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００４４】
以下、図面を参照して、本発明を適用したステータ、磁気軸受ユニット、モータ、および真空ポンプの実施形態を説明する。図１は、本発明を適用した真空ポンプの断面図である。図２は、ステータユニットの側面図である。以下の説明では、ステータおよびモータの軸線Ｌに沿った方向を軸線方向Ｘ、軸線方向Ｘの一方側を第１方向Ｘ１、他方側を第２方向Ｘ２とする。また、軸線ＬＸと直交する方向を径方向Ｙ、軸線Ｌ回りを周方向とする。なお、軸線Ｌは、ロータの回転中心軸である。また、第１方向Ｘ１は、モータの出力側であり、第２方向Ｘ２は、モータの反出力側である。
【００４５】
（真空ポンプ）
図１に示すように、真空ポンプ１は、ポンプケース２と、ポンプケース２内に配置された固定翼３および回転翼４と、回転翼４を回転させるモータ７と、を備える。
【００４６】
モータ７は、環状のステータ９と、ステータ９の径方向Ｙの中心に配置されるロータ１０を備える。また、モータ７は、ロータ１０を非接触で径方向Ｙに支持する第１磁気軸受ユニット１１および第２磁気軸受ユニット１２と、ロータ１０を非接触で軸線方向Ｘに支持する第３磁気軸受ユニット１３と、を備える。
【００４７】
ステータ９、第１磁気軸受ユニット１１、および第２磁気軸受ユニット１２は、ステータユニット８を構成する。図２に示すように、ステータユニット８は、全体として筒状であり、ロータ１０を外周側から囲む。ステータユニット８において、第１磁気軸受ユニット１１、ステータ９、および第２磁気軸受ユニット１２は、軸線方向Ｘでこの順に配置されている。従って、ステータ９は軸線方向Ｘにおけるロータ１０の中央部分を外周側から囲む。第１磁気軸受ユニット１１はステータ９の第１方向Ｘ１でロータ１０を外周側から囲む。第２磁気軸受ユニット１２はステータ９の第２方向Ｘ２でロータ１０を外周側から囲む。
【００４８】
図１に示すように、第３磁気軸受ユニット１３はロータ１０の第２方向Ｘ２の側に位置する。第３磁気軸受ユニット１３は、ロータ１０の軸線方向Ｘの位置を検出する軸方向センサ１５と、ロータ１０を軸線方向Ｘに浮いた状態で支持する２組の電磁石１６を備える。２組の電磁石１６は、ロータ１０の第２方向Ｘ２の端部に固定される金属板１７を軸線方向Ｘに挟んで配置される。２組の電磁石１６は、軸方向センサ１５の出力に基づいて励磁され、金属板１７を第１方向Ｘ１および第２方向Ｘ２へ吸引する。すなわち、軸方向センサ１５の出力は、図示しない制御装置へ送信される。制御装置は、ロータ１０の軸線方向Ｘの位置に基づいて、２組の電磁石１６に通電する。これにより、第３磁気軸受ユニット１３は、ロータ１０の軸線方向Ｘの位置を調節する。
【００４９】
また、モータ７は、ステータユニット８を収容するステータコラム１９と、ステータコラム１９内でステータユニット８を封止する樹脂封止部材２０と、を備える。ステータコラム１９は筒状であり、ステータユニット８はステータコラム１９の内周面に固定される。樹脂封止部材２０は、ロータ１０の外周側に位置する。なお、樹脂封止部材２０により封止を行う際には、ロータ１０の配置スペースに対応する形状の筒状の部材をステータコラム１９内に配置した後に、ステータユニット８とステータコラム１９との間に樹脂を充填する。
【００５０】
ロータ１０は軸線方向Ｘに延びる。ロータ１０は、ステータコラム１９から第１方向Ｘ１に突出する出力軸２３を備える。回転翼４は、ロータフランジ２４を介して、出力軸２３（ロータ１０）に固定される。
【００５１】
ポンプケース２は、ステータコラム１９に第２方向Ｘ２から固定された環状のベース２６を備える。第３磁気軸受ユニット１３は、ベース２６の中心穴２６ａの内側に位置する。また、ポンプケース２は、ベース２６に固定された筒状ケース２７を備える。筒状ケース２７はベース２６の外周縁部分から第１方向Ｘ１に延びる。筒状ケース２７は、ステータコラム１９を外周側から囲んでいる。筒状ケース２７の内周面には固定翼３が固定されている。回転翼４と固定翼３とは軸線方向Ｘに沿って交互に配置される。
【００５２】
筒状ケース２７の第１方向Ｘ１の端部には吸気口２８が形成されている。筒状ケース２７とベース２６との間には、排気口形成部２９が取り付けられている。ポンプケース２は、排気口形成部２９を貫通する排気口３０を介して図示しない補助ポンプに連通する。
【００５３】
真空ポンプ１は、モータ７によって回転翼４を回転させ、吸気口２８から吸入された気体を第２方向Ｘ２に移送して排気口３０から排出する。
【００５４】
（ステータ）
図３は、ステータ９を第１方向Ｘ１から見た場合の斜視図である。図４は、ステータ９を第１方向Ｘ１から見た場合の平面図である。図５は、インシュレータの斜視図である。図５（ａ）は、インシュレータを内周側から見た場合であり、図５（ｂ）はインシュレータを周方向から見た場合であり、図５（ｃ）は、インシュレータを外周側から見た場合である。図６は、インシュレータを第１方向Ｘ１から見た場合の平面図である。図７は、インシュレータの部分拡大図である。
【００５５】
図３および図４に示すように、ステータ９は、環状部３１および環状部３１から内周側に突出する突極部３２を備えるステータコア３３と、各突極部３２に取り付けられたインシュレータ３４と、インシュレータ３４を介して各突極部３２に巻き回されたコイル３５と、を有する。ステータコア３３は、板状の基材を軸線方向Ｘに重ねた積層コアである。本例において、突極部３２の数は６である。従って、ステータコア３３には６個のインシュレータ３４が取り付けられている。また、ステータコア３３には６個のインシュレータ３４を介して、６つのコイル３５が巻き回されている。ここで、ロータ１０の外周面に設けられた図示しないマグネットの磁極数は４である。なお、コイル３５の数およびロータ１０に設けられるマグネットの磁極数は上記の数に限定されるものではなく、他の数であってもよい。
【００５６】
各インシュレータ３４は、樹脂製である。図５に示すように、各インシュレータ３４は、突極部３２が貫通する筒部３７を備える。また、各インシュレータ３４は、筒部３７の径方向Ｙの内側の端から張り出す内側鍔部３８を備える。内側鍔部３８は軸線方向Ｘおよび周方向に広がる。図４、図６に示すように、内側鍔部３８を軸線方向Ｘから見た場合の形状は、軸線Ｌを中心とする円弧形状である。さらに、各インシュレータ３４は、筒部３７の径方向Ｙの外側の端から張り出す外側鍔部３９を備える。図５に示すように、外側鍔部３９は軸線方向Ｘおよび周方向に広がる。外側鍔部３９を軸線方向Ｘから見た場合の形状は、軸線Ｌを中心とする円弧形状である。図３、図４に示すように、６つのインシュレータ３４は、突極部３２が筒部３７に挿入された状態で、環状に配置されている。周方向で隣り合うインシュレータ３４は互いに周方向で当接する。
【００５７】
図３に示すように、外側鍔部３９は、筒部３７の径方向Ｙの外側でステータコア３３の環状部３１の第１方向Ｘ１に重ねられた第１コア覆い部４１、および、環状部３１の第２方向Ｘ２に重ねられた第２コア覆い部４２を備える。第１コア覆い部４１および第２コア覆い部４２のそれぞれは、軸線方向Ｘから部材が当接可能な第１被当接部４３および第２被当接部４４を備える。第１被当接部４３は、第２被当接部４４よりも径方向Ｙの内側に位置する。図２に示すように、軸線方向Ｘにおけるステータコア３３の中心Ｈと第１被当接部４３との間の第１距離Ｄ１は、軸線方向Ｘにおけるステータコア３３の中心Ｈと第２被当接部４４との間の第２距離Ｄ２よりも短い。なお、ステータコア３３の中心Ｈは、軸線方向Ｘにおけるステータ９の中心である。
【００５８】
より具体的には、図５に示すように、第１コア覆い部４１および第２コア覆い部４２のそれぞれは、軸線方向Ｘに延びる第１壁部４７と、第１壁部４７の径方向Ｙの外側で軸線方向Ｘに延びる第２壁部４８と、ステータコア３３の環状部３１に沿って径方向Ｙに延びて第１壁部４７と第２壁部４８とを接続する接続部４９と、を備える。
【００５９】
図６に示すように、第１壁部４７を軸線方向Ｘから見た場合の形状は、環状部３１に沿
って周方向に湾曲する円弧形状である。周方向における第１壁部４７の第１寸法Ｅ１は、周方向におけるコイル３５の長さ寸法Ｃ１（図４参照）よりも長い。径方向Ｙにおける第１壁部４７の第１厚みＦ１は、径方向Ｙにおける第２壁部４８の第２厚みＦ２と比較して、厚い。軸線方向Ｘにおける第１壁部４７の高さは、軸線方向Ｘにおける第２壁部４８の高さよりも短い。周方向で隣り合うインシュレータ３４同士は、それぞれの第１壁部４７が、互いに当接する。
【００６０】
第１壁部４７の軸線方向Ｘの第１端面４７ａ（第１壁部４７の環状部３１とは反対側の端部）は、第１被当接部４３である。第１端面４７ａには、内周側から外周側に貫通する２本の溝５１が設けられている。各溝５１は、直線状に延びる。２本の溝５１のうちの一方の溝５１は、他方の溝５１よりも軸線方向Ｘに深い。各溝５１は、胴部に巻回されるコイル３５線の巻回開始位置と巻回終了位置の径方向Ｙの外側に位置する。
【００６１】
第２壁部４８を軸線方向Ｘから見た場合の形状は、円弧形状である。第２壁部４８は、第１壁部４７の外周側を環状部３１に沿って周方向に延びる。図６に示すように、周方向における第２壁部４８の第２寸法Ｅ２は、周方向における第１壁部４７の第１寸法Ｅ１よりも短い。従って、図３、図４に示すように、周方向で隣り合う２つのインシュレータ３４の第２壁部４８は互いに当接しておらず、一方の第２壁部４８と他方の第２壁部４８との間には、隙間５０が形成されている。
【００６２】
第２壁部４８の軸線方向Ｘの第２端面（環状部３１とは反対側の端部）は、第２被当接部４４である。第２壁部４８は、第２端面に内周側から外周側に貫通する２本の溝５２を備える。各溝５２は、直線状に延びる。各溝５２は、それぞれが第１壁部４７の各溝５１の延長線上に位置する。２本の溝５２のうちの一方の溝５２は、他方の溝５２よりも軸線方向Ｘに深い。ここで、図５（ｂ）、図６、図７に示すように、第２壁部４８は、接続部４９の側の端部分に、径方向Ｙにおける厚みが接続部４９に接近するのに伴って第１壁部４７の側に増加する補強部５３を備える。また、第２壁部４８は、図５（ｃ）に示すように、周方向の途中位置に、径方向Ｙに貫通する切欠き部５４を備える。
【００６３】
接続部４９は、第１壁部４７の周方向の中央部分と、第２壁部４８の周方向の中央部分とを接続する。従って、第１壁部４７と第２壁部４８との間には、接続部４９の周方向の両側に、軸線方向Ｘに貫通する開口部が設けられている。
【００６４】
ここで、図５（ａ）、図５（ｂ）に示すように、第１コア覆い部４１および第２コア覆い部４２のそれぞれには、第１壁部４７、第２壁部４８および接続部４９により配線引き回し溝５５（第２の溝）が区画されている。図６に示すように、配線引き回し溝５５を軸線方向Ｘから見た場合の平面形状は、環状部３１に沿って湾曲する円弧形状である。図４に例示するように、コイル３５から、第１壁部４７の溝５１を介して外周側に引き出されたコイル線３５ａは、配線引き回し溝５５内を周方向に引き回される。
【００６５】
なお、インシュレータ３４は、図５に示すように、軸線方向Ｘで２つに分割された第１インシュレータ部材５７および第２インシュレータ部材５８からなる。第１インシュレータ部材５７と第２インシュレータ部材５８とは、同一の部材である。すなわち、第１インシュレータ部材５７を軸線方向Ｘで反転させれば、第２インシュレータ部材５８として用いることがでる。また、第２インシュレータ部材５８を軸線方向Ｘで反転させれば、第１インシュレータ部材５７として用いることができる。
【００６６】
ここで、配線引き回し溝５５を引き回されたコイル線３５ａは、図４に示すように、周方向における第２壁部４８の側方の隙間５０からステータ９の外部に引き出される。または、コイル線３５ａは、第２壁部４８に設けた切欠き部５４からステータ９の外部に引き
出される。或いは、コイル線３５ａは、第２壁部４８に設けた溝５２からステータ９の外部に引き出される。コイル線３５ａは、リード線を介して、制御装置に接続される。なお、コイル線３５ａは、配線引き回し溝５５内でリード線に接続されて、ステータ９の外部に引き出される場合もある。
【００６７】
制御装置は、リード線を介して各コイル３５に給電を行うことにより、ロータ１０を軸線Ｌ回りに回転させる。
【００６８】
（第１磁気軸受ユニットおよび第２磁気軸受ユニット）
図８は、第１磁気軸受ユニット１１を第１方向Ｘ１から見た場合の斜視図である。図９は、第１磁気軸受ユニット１１を構成する第１センサを第１方向Ｘ１から見た場合の斜視図である。図１０は、第１磁気軸受ユニット１１を構成する第１電磁石の斜視図である。図１０（ａ）は第１電磁石を第１方向Ｘ１から見た場合であり、図１０（ｂ）は第１電磁石を第２方向Ｘ２から見た場合である。図１１は、電磁石インシュレータの斜視図である。図１２は、第２磁気軸受ユニット１２を第１方向Ｘ１から見た場合の斜視図である。
【００６９】
図８に示すように、第１磁気軸受ユニット１１は、ロータ１０の径方向Ｙの変位を検出する第１センサ６１と、磁力によってロータ１０を非接触で径方向Ｙに支持する第１電磁石６２と、を備える。第１センサ６１は、第１電磁石６２の第１方向Ｘ１に重ねられている。第１電磁石６２は第１センサ６１からの出力に基づいて励磁される。
【００７０】
図９に示すように、第１センサ６１は、センサコア環状部６４およびセンサコア環状部６４から内周側に突出するセンサコア突極部６５を備えるセンサコア６６と、センサ基板６７と、を備える。センサコア突極部６５は、周方向で互いに９０°離間する角度位置に設けられている。従って、センサコア突極部６５は４本である。
【００７１】
センサコア環状部６４は、外周縁に、８つのコア側切欠き部６８（センサコア切欠き部）を備える。８つのコア側切欠き部６８は、各センサコア突極部６５を周方向の両側から挟む２つのコア側切欠き部６８の組を、４つ、備える。各コア側切欠き部６８は軸線方向Ｘに貫通する。
【００７２】
各センサコア突極部６５は、内周側の端部分に、周方向で２つに分岐した一対の分岐部分７０を備える。各分岐部分７０には、それぞれコイルボビン７１が取り付けられている。また、各分岐部分７０には、コイルボビン７１を介してセンサコイル７２が巻き回されている。従って、第１センサ６１は８つのセンサコイル７２を備える。
【００７３】
ここで、８つのセンサコイル７２は、一つのセンサコア突極部６５の各分岐部分７０に巻き増された一対のセンサコイル７２のコイル組７３（１）〜（４）を、４つ備える。４つのコイル組７３（１）〜（４）は、軸線Ｌ回りを９０°の角度間隔で配置されている。４つのコイル組７３（１）〜（４）のうち１８０°の角度間隔で配置された一方の２つのコイル組７３（１）、７３（３）が対向する対向方向と、他方の２つのコイル組７３（２）、７３（４）が対向する対向方向とは、直交する。ここで、第１センサ６１は、センサコイル７２に流れる電流に基づいてロータ１０の位置を検出する。第１センサ６１は、ロータ１０の径方向Ｙの変位を検出する変位センサである。
【００７４】
センサ基板６７は、環状である。センサ基板は、センサコア６６およびセンサコイル７２に対して第１電磁石６２が位置する側に配置されて、コイルボビン７１に固定される。センサ基板６７は、外周縁に、８つの基板側切欠き部７５を備える。８つの基板側切欠き部７５は、軸線方向Ｘから見た場合に、コア側切欠き部６８のそれぞれと重なる。従って、８つの基板側切欠き部７５は、軸線方向Ｘから見た場合に各センサコア突極部６５を周
方向の両側から挟む２つの基板側切欠き部７５の組を、４組、備える。理由は後述するが、基板側切欠き部７５の周方向の幅は、コア側切欠き部６８の周方向の幅よりも広い。
【００７５】
図１０示すように、第１電磁石６２は、コア環状部８１およびコア環状部８１から内周側に突出するコア突極部８２を備える電磁石コア８３と、コア突極部８２に取り付けられた電磁石インシュレータ８４と、電磁石インシュレータ８４を介してコア突極部８２に巻かれた電磁石コイル８５を備える。本例では、電磁石コア８３は、等角度間隔で配置された８本のコア突極部８２を備える。従って、第１電磁石６２は、８個の電磁石インシュレータ８４と、８つの電磁石コイル８５を備える。
【００７６】
図１１に示すように、各電磁石インシュレータ８４は、コア突極部８２が貫通するインシュレータ筒部８７を備える。また、各電磁石インシュレータ８４は、インシュレータ筒部８７の径方向Ｙの内側の端から張り出すインシュレータ内側鍔部８８を備える。インシュレータ内側鍔部８８は軸線方向Ｘおよび周方向に広がる。インシュレータ内側鍔部８８を軸線方向Ｘから見た場合の形状は、直線状である。さらに、各電磁石インシュレータ８４は、インシュレータ筒部８７の径方向Ｙの外側の端から張り出すインシュレータ外側鍔部８９を備える。インシュレータ外側鍔部８９は軸線方向Ｘおよび周方向に広がる。インシュレータ外側鍔部８９を軸線方向Ｘから見た場合の形状は、直線状である。径方向Ｙにおけるインシュレータ外側鍔部８９の厚みは、ステータ９のインシュレータ３４の第１壁部４７よりも薄い。
【００７７】
電磁石インシュレータ８４は、インシュレータ筒部８７の径方向Ｙの外側で電磁石コア８３のコア環状部８１の第１方向Ｘ１に重なるセンサ支持部９１を備える。センサ支持部９１は、インシュレータ外側鍔部８９からコア環状部８１の第１方向Ｘ１の端面に沿って延びる延設部９２と、延設部９２の径方向Ｙの外側の端部分から第１方向Ｘ１に延びる壁部９３（当接部）と、を備える。壁部９３は、延設部９２から第１方向Ｘ１に向かって厚肉部分９４と、径方向Ｙの厚みが厚肉部分９４よりも薄い薄肉部分９５と、を備える。壁部９３の径方向Ｙの外側の面は平面であり、厚肉部分９４は薄肉部分９５から内周側に突出している。厚肉部分９４と薄肉部分９５との間には、第１方向Ｘ１を向く端面９６ａを備える段部９６が設けられている。また、薄肉部分９５は、厚肉部分９４から第１方向Ｘ１に向かって、第１幅部分９７と、第２幅部分９８と、を備える。第１幅部分９７の周方向の幅は厚肉部分９４の周方向の幅と同一である。第２幅部分９８の周方向の幅は第１幅部分９７および厚肉部分９４よりも狭い。第２幅部分９８は、第１幅部分９７の周方向の一方側の端部分から第１方向Ｘ１に延びる。
【００７８】
薄肉部分９５は、周方向の一方側の端縁に基板支持溝９９およびコア支持溝１００を備える。基板支持溝９９は、第１幅部分９７に設けられている。基板支持溝９９は、段部９６の端面９６ａに沿って周方向の他方側に延びる。基板支持溝９９は、軸線方向Ｘで互いに対向する一対の対向内壁面９９ａ、９９ｂと、一対の対向内壁面９９ａ、９９ｂの周方向の他方の端を接続する接続内壁面９９ｃを備える。基板支持溝９９の軸線方向Ｘの幅寸法、すなわち、一対の対向内壁面９９ａ、９９ｂの間の距離は、第１センサ６１のセンサ基板６７の厚み寸法に対応する。接続内壁面９９ｃは軸線方向Ｘに延びる。接続内壁面９９ｃは周方向の一方側を向く。
【００７９】
コア支持溝１００は、基板支持溝９９の第１方向Ｘ１に位置する。コア支持溝１００は第２幅部分９８（突出部）に設けられている。コア支持溝１００は、軸線方向Ｘで互いに対向する一対の対向内壁面１００ａ、１００ｂと、一対の対向内壁面１００ａ、１００ｂの周方向の他方の端を接続する接続内壁面１００ｃを備える。コア支持溝１００の軸線方向Ｘの幅寸法、すなわち、一対の対向内壁面１００ａ、１００ｂの間の距離は、第１センサ６１のセンサコア６６の厚み寸法に対応する。接続内壁面１００ｃは軸線方向Ｘに延び
る。接続内壁面１００ｃは周方向の一方側を向く。
【００８０】
図１０に示すように、各電磁石コイル８５は、インシュレータ内側鍔部８８およびインシュレータ外側鍔部８９の間において、インシュレータ筒部８７の外周側に巻き回されている。電磁石インシュレータ８４を介してコア突極部８２に巻かれた８つの電磁石コイル８５は、周方向で隣り合う２個の電磁石コイル８５のコイル組８６（１）〜（４）を４つ備える。各コイル組８６（１）〜（４）において周方向で隣り合う２個の電磁石コイル８５は、巻線の巻回方向が互いに逆向きであり、異なる極性の磁極が対になっている。４つのコイル組８６（１）〜（４）は、軸線Ｌ回りを９０°の角度間隔で配置されている。４つのコイル組８６（１）〜（４）のうち、１８０°の角度間隔で配置された一方の２つのコイル組８６（１）、８６（３）が対向する対向方向と、他方の２つのコイル組８６（２）、８６（４）が対向する対向方向とは、直交する。
【００８１】
次に、第１センサ６１は、第１電磁石６２の電磁石インシュレータ８４に支持される。
【００８２】
より具体的には、図８に示すように、電磁石インシュレータ８４の各センサ支持部９１の壁部９３は、第２方向Ｘ２からセンサ基板６７の各基板側切欠き部７５およびセンサコア６６の各コア側切欠き部６８に挿入される。そして、センサ基板６７と第１電磁石６２を互いに軸線Ｌ周りの逆方向に回転することで、センサ基板６７における各基板側切欠き部７５の開口縁部分は、周方向の一方側から各センサ支持部９１の基板支持溝９９に挿入され、センサ基板６７は軸線方向Ｘと周方向の所定の位置で支持される。また、センサコア６６と第１電磁石６２を互いに軸線Ｌ周りの逆方向に回転することで、センサコア６６における各コア側切欠き部６８の開口縁部分は、周方向の一方側から各センサ支持部９１のコア支持溝１００に挿入され、センサコア６６は軸線方向Ｘと周方向の所定の位置で支持される。なお、基板側切欠き部７５の周方向の幅が、コア側切欠き部６８の周方向の幅よりも広くなっている理由としては、センサ支持部９１を挿入する際に、ニゲとして必要な周方向寸法が異なる為である。
【００８３】
これにより、センサ基板６７は、センサ支持部９１の段部９６の端面９６ａ、および基板支持溝９９の一対の対向内壁面９９ａ、９９ｂのうち第２方向Ｘ２の側で第１方向Ｘ１を向く対向内壁面９９ｂに支持される。すなわち、基板支持溝９９の第１方向Ｘ１を向く対向内壁面９９ｂは、センサ基板６７に第２方向Ｘ２から当接してセンサ基板６７を支持する基板当接部となる。また、センサコア６６は、コア支持溝１００の一対の対向内壁面９９ａ、９９ｂのうち第２方向Ｘ２の側で第１方向Ｘ１を向く対向内壁面９９ｂに支持される。すなわち、コア支持溝１００の第１方向Ｘ１を向く対向内壁面１００ｂは、センサコア６６に第２方向Ｘ２から当接してセンサコア６６を支持する当接部（当接面）となる。従って、第１センサ６１は、電磁石インシュレータ８４によって軸線方向Ｘで位置決めされた状態で、第１電磁石６２に支持される。
【００８４】
さらに、センサ基板６７における各基板側切欠き部７５の開口縁部分が基板支持溝９９に挿入されたときに、組を構成する２つの基板側切欠き部７５のうち周方向の他方側に位置する基板側切欠き部７５では、当該基板側切欠き部７５の開口縁部分が基板支持溝９９の接続内壁面９９ｃに当接する。また、コア環状部８１における各コア側切欠き部６８の開口縁部分がコア支持溝１００に挿入されたときに、各コア側切欠き部６８では、当該コア側切欠き部６８の開口縁部分がコア支持溝１００の接続内壁面１００ｃに当接する。これにより、第１センサ６１は、電磁石インシュレータ８４によって周方向で位置決めされた状態で、第１電磁石６２に支持される。第１センサ６１が周方向で位置決めされた状態を軸線方向Ｘから見た場合には、第１センサ６１の４つのコイル組７３（１）〜（４）のぞれぞれは、第１電磁石６２の４つのコイル組８６（１）〜（４）のそれぞれと重なる。
【００８５】
なお、一対の対向内壁面９９ａ、９９ｂの間の距離は、第１センサ６１のセンサ基板６７の厚み寸法に対応するとしたが、部品寸法のバラツキなどを考慮して、センサ基板６７の厚みよりも大きく設定しておいても良いし、溝形状ではなく対向内壁面９９ｂのみとした段差構造でも良い。さらに、固定の際には、接着剤を用いても良い。
【００８６】
また、一対の対向内壁面１００ａ、１００ｂの間の距離は、第１センサ６１のセンサコア６６の厚み寸法に対応するとしたが、部品寸法のバラツキなどを考慮して、センサコア６６の厚みよりも大きく設定しておいても良いし、溝形状ではなく対向内壁面１００ｂのみとした段差構造でも良い。さらに、固定の際には、接着剤を用いても良い。
【００８７】
第１センサ６１の出力は、軸方向センサ１５の出力と同様に、図示しない制御装置へ送信される。制御装置は、第１センサ６１の出力に基づいて各電磁石コイル８５に通電して、第１電磁石６２の位置におけるロータ１０の径方向Ｙの位置を調節する。すなわち、第１電磁石６２の４つのコイル組８６（１）〜（４）のうち、１８０°の角度間隔で配置された一方の２つのコイル組８６（１）、８６（３）の各電磁石コイル８５への通電を制御することにより、当該２つのコイル組８６（１）、８６（３）の対向方向におけるロータ１０の位置を調節する。また、他方の２つのコイル組８６（２）、８６（４）の各電磁石コイル８５への通電を制御することにより、当該２つのコイル組８６（２）、８６（４）の対向方向におけるロータ１０の位置を調節する。
【００８８】
図１２に示すように、第２磁気軸受ユニット１２は、ロータ１０の径方向Ｙの変位を検出する第２センサ１０１と、磁力によってロータ１０を非接触で径方向Ｙに支持する第２電磁石１０２と、を備える。第２センサ１０１は、第１電磁石６２の第１方向Ｘ１に重ねられている。第２電磁石１０２は、第２センサ１０１からの出力に基づいて励磁される。ここで、第２磁気軸受ユニット１２は、第２電磁石１０２の軸線方向Ｘのサイズが第１電磁石６２よりも短いことを除き、第１磁気軸受ユニット１１と同一の構成である。従って、第２磁気軸受ユニット１２の説明は省略する。
【００８９】
ここで、第１磁気軸受ユニット１１および第２磁気軸受ユニット１２により、ロータ１０は、ステータ９の第１方向Ｘ１と第２方向Ｘ２の２箇所において非接触で径方向Ｙに支持される。制御装置は、第１センサ６１からの出力により、第１電磁石６２を駆動する。同様に、第２センサ１０１からの出力により、第２電磁石１０２を駆動する。これにより、制御装置は、ロータ１０の軸線方向Ｘと直交する方向の位置を制御して、ロータ１０の傾きを調節する。
【００９０】
（ステータユニット）
図２に示すように、第１磁気軸受ユニット１１は、ステータ９の第１方向Ｘ１に重ねられて、ステータ９の第１被当接部４３に当接する。より詳細には、第１磁気軸受ユニット１１は、第１電磁石６２の電磁石インシュレータ８４のインシュレータ外側鍔部８９が、ステータ９のインシュレータ３４の第１コア覆い部４１の第１壁部４７に軸線方向Ｘから当接する。従って、軸線方向Ｘにおけるステータ９の中心Ｈ（ステータコア３３の中心Ｈ）から第１磁気軸受ユニット１１までの距離は第１距離Ｄ１である。
【００９１】
一方、第２磁気軸受ユニット１２は、図２に示すように、ステータ９の第２方向Ｘ２に重ねられて、ステータ９の第２被当接部４４に当接する。すなわち、図１２に示すとおり、第２磁気軸受ユニット１２は、第２センサ１０１のセンサコア６６の外周縁部分が、ステータ９のインシュレータ３４の第２コア覆い部４２の第２壁部４８に軸線方向Ｘから当接する。従って、軸線方向Ｘにおけるステータ９の中心Ｈ（ステータコア３３の中心Ｈ）から第２磁気軸受ユニット１２までの距離は第２距離Ｄ２である。
【００９２】
図１３は、ステータ９と第１磁気軸受ユニット１１との当接状態の説明図である。図１３に示すとおり、ステータ９のインシュレータ３４の第１壁部４７は、軸線方向Ｘから見た場合に円弧形状をしている。一方、第１壁部４７の第１端面４７ａ（第１被当接部４３）に当接する第１電磁石６２のインシュレータ外側鍔部８９は、軸線方向Ｘから見た場合に直線状に延びる。また、インシュレータ外側鍔部８９は第１壁部４７よりも薄く、第１壁部４７の第１端面４７ａの外周端部分に当接する。さらに、インシュレータ外側鍔部８９は、周方向の一部分が第１壁部４７から外周側に突出する。
【００９３】
ここで、インシュレータ外側鍔部８９は、第１壁部４７の第１端面４７ａの外周端部分に当接する。従って、第１電磁石６２からの荷重により、第１壁部４７には、当該第１壁部４７を外周側に曲げる方向のモーメントが発生する。このようなモーメントに対して、第１壁部４７は、第２壁部４８と比較して、径方向Ｙに厚く設けられている。従って、このようなモーメントが発生した場合でも、第１壁部４７が歪むことはなく、インシュレータ３４が破損することもない。
【００９４】
また、軸線方向Ｘで当接する第１電磁石６２のインシュレータ外側鍔部８９と、ステータ９の第１壁部４７とは、軸線方向Ｘから見た場合の形状および厚みが相違するとともに、インシュレータ外側鍔部８９の周方向の一部分が第１壁部４７から外周側に突出している。これらによって、ステータ９と第１電磁石６２との間には隙間が形成されるので、第１磁気軸受ユニット１１とステータ９との間に樹脂を浸入させて、樹脂封止部材２０を設けることが容易である。
【００９５】
（作用効果）
本例のステータ９は、インシュレータ３４に、ステータコア３３の中心Ｈからの距離が互いに相違する第１被当接部４３と第２被当接部４４とを備える。従って、ステータ９の第１方向Ｘ１に配置される第１磁気軸受ユニット１１を第１被当接部４３に当接させ、ステータ９の第２方向Ｘ２に配置される第２磁気軸受ユニット１２を第２被当接部４４に当接させることにより、ステータ９の中心Ｈから第１磁気軸受ユニット１１までの距離（第１距離Ｄ１）と、ステータ９の中心Ｈから第２磁気軸受ユニット１２までの距離（第２距離Ｄ２）とを異なるものとすることができる。
【００９６】
また、本例では、ステータコア３３の中心Ｈから第１被当接部４３までの距離が短い第１被当接部４３が第２被当接部４４よりも径方向Ｙの内側に位置する。従って、第２磁気軸受ユニット１２を軸線方向Ｘから第２被当接部４４に当接させたときに、第２磁気軸受ユニット１２と第１被当接部４３とが干渉することがない。
【００９７】
さらに、本例では、径方向Ｙにおける第１壁部４７の第１厚みＦ１は、径方向Ｙにおける第２壁部４８の第２厚みＦ２と比較して、厚い。従って、第１被当接部４３（第１壁部４７の第１端面４７ａ）の幅を径方向Ｙで広くすることができる。よって、第１被当接部４３がステータ９の内周側に位置していても、外部の部材を第１被当接部４３に当接させることが容易である。
【００９８】
また、周方向における第１壁部４７の第１寸法Ｅ１は、周方向におけるコイル３５の長さ寸法Ｃ１よりも長い。従って、第１壁部４７によってコイル３５を外周側から保護できる。また、第１壁部４７は、環状部３１とは反対側の端部に内周側から外周側に貫通する溝５１を備える。従って、インシュレータ３４の筒部３７に巻き回したコイル３５のコイル線３５ａを、溝５１部を介して、外周側に引き出すことができる。
【００９９】
さらに、本例では、第１コア覆い部４１および第２コア覆い部４２のそれぞれは、第１壁部４７、第２壁部４８および接続部４９により区画された配線引き回し溝５５を備える
。また、コイル３５から引き出されたコイル線３５ａは、第１壁部４７の溝５１を経由して、配線引き回し溝５５を引き回される。従って、コイル３５から引き出したコイル線３５ａを周方向に引き回す際に、インシュレータ３４の外側を引き回す必要がない。よって、コイル線３５ａの断線を防止あるいは抑制できる。また、コイル３５から引き出したコイル線３５ａを周方向に引き回す際に、インシュレータ３４の外側を引き回す必要がないので、ステータ９が径方向Ｙで大きくなることを抑制できる。
【０１００】
また、本例では、第２壁部４８は、接続部４９の側の端部分に、径方向Ｙにおける厚みが接続部４９に接近するのに伴って増加する補強部５３を備える。従って、配線引き回し溝５５内でコイル線３５ａを引き回す際などに、第２壁部４８の第２幅部分９８分を外周側に撓ませる負荷がかかった場合でも、第２壁部４８が接続部４９に近い基端部分から折れてしまうことを防止あるいは抑制できる。
【０１０１】
さらに、本例では、周方向における第２壁部４８の第２寸法Ｅ２は、第１寸法Ｅ１よりも短い。これにより、隣り合うインシュレータ３４の間には、第２壁部４８の側方の隙間５０が形成される。従って、配線引き回し溝５５を引き回したコイル線３５ａなどを、第２壁部４８の側方の隙間５０からステータ９の外部に引き出すことができる。
【０１０２】
また、本例では、第２壁部４８は、径方向Ｙに貫通する切欠き部５４を備える。従って、配線引き回し溝５５を引き回したコイル線３５ａを、設けた切欠き部５４から、ステータ９の外部に引き出すことができる。
【０１０３】
さらに、本例では、第２壁部４８に、２本の溝５２を備える。また、各溝５２は、第１壁部４７に設けられた各溝５１の延長線上に位置する。従って、コイル３５から各溝５１を介して外周側に引き出したコイル線３５ａを、さらに、各溝５２を介して、ステータ９の外周側に引き出すことができる。
【０１０４】
また、インシュレータ３４は、軸線方向Ｘで２つに分割された第１インシュレータ部材５７および第２インシュレータ部材５８からなり、第１インシュレータ部材５７と第２インシュレータ部材５８とは、同一の部材である。ここで、インシュレータを２つのインシュレータ部材５７、５８に分割すれば、インシュレータ３４の形状が複雑になった場合でも、射出成形によって各インシュレータ部材５７、５８を成形することが容易である。また、第１インシュレータ部材５７と第２インシュレータ部材５８とは、同一の部材なので、インシュレータ３４を２つのインシュレータ部材５７、５８から構成した場合でも、部品点数が増加しない。
【０１０５】
さらに、本例では、第１センサ６１は、電磁石インシュレータ８４のコア支持溝１００の対向内壁面１００ｂ（当接面）と、センサコア６６との当接によって、第１電磁石６２を基準として、軸線方向Ｘで位置決される。また、電磁石インシュレータ８４はステータ９の第１被当接部４３に当接している。従って、電磁石インシュレータ８４とセンサコア６６とを当接させることにより、ステータ９の中心Ｈから第１センサ６１までの距離を精度よく規定できる。
【０１０６】
また、本例では、センサコア６６は、センサコア環状部６４の外周縁にコア側切欠き部６８を備え、電磁石インシュレータ８４は、コア側切欠き部６８に挿入された第２幅部分９８を備える。また、第２幅部分９８に設けられたコア支持溝１００の接続内壁面１００ｃは、周方向の他方側からセンサコア６６におけるコア側切欠き部６８の開口縁部分に当接する。従って、従って軸線Ｌ回りにおける第１センサ６１の位置を規定できる。
【０１０７】
（変形例）
図１４は、変形例１のステータユニットの側面図である。図１５は、変形例２のステータユニットの側面図である。図１６は、変形例３のステータユニットの説明図である。上記の例において、第１磁気軸受ユニット１１は軸線方向Ｘで反転させて配置できる。すなわち、第１磁気軸受ユニット１１は、第１センサ６１の第１方向Ｘ１に第１電磁石６２を重ねた状態とすることができる。同様に、第２磁気軸受ユニット１２は、軸線方向Ｘで反転させて配置できる。すなわち、第２磁気軸受ユニット１２は、第２センサ１０１の第１方向Ｘ１に第２電磁石１０２を重ねた状態とすることができる。
【０１０８】
図１４に示す変形例１のステータユニット８Ａは、上記ステータユニット８において、第２磁気軸受ユニット１２のみを軸線方向Ｘで反転させて配置した場合である。ステータユニット８Ａでは、第２磁気軸受ユニット１２においてステータ９の側に位置する第２電磁石１０２の電磁石インシュレータ８４のインシュレータ外側鍔部８９と、ステータ９の第２コア覆い部４２の第１被当接部４３に当接させて、軸線方向Ｘで第２磁気軸受ユニット１２を位置決めする。本例では、ステータ９の中心Ｈから第１磁気軸受ユニット１１までの距離と、ステータ９の中心Ｈから第２磁気軸受ユニット１２までの距離とを、互いに同一の第１距離Ｄ１とすることができる。
【０１０９】
図１５に示す変形例２のステータユニット８Ｂは、上記のステータユニット８において、第１磁気軸受ユニット１１のみを軸線方向Ｘで反転させて配置した場合である。ステータユニット８Ｂでは、第１磁気軸受ユニット１１においてステータ９の側に位置する第１センサ６１のセンサコア６６をステータ９の第１コア覆い部４１の第２被当接部４４に当接させて、軸線方向Ｘで第１磁気軸受ユニット１１を位置決めする。本例では、ステータ９の中心Ｈから第１磁気軸受ユニット１１までの距離と、ステータ９の中心Ｈから第２磁気軸受ユニット１２までの距離とを、互いに同一の第２距離Ｄ２とすることができる。
【０１１０】
図１６に示す変形例３のステータユニット８Ｃは、上記のステータユニット８において第２磁気軸受ユニット１２の双方を軸線方向Ｘで反転させて配置した場合である。ステータユニット８Ｃは、第１磁気軸受ユニット１１においてステータ９の側に位置する第１センサ６１のセンサコア６６をステータ９の第１コア覆い部４１の第２被当接部４４に当接させて、第１磁気軸受ユニット１１を軸線方向Ｘで位置決めする。また、第２磁気軸受ユニット１２においてステータ９の側に位置する第２電磁石１０２の電磁石インシュレータ８４のインシュレータ外側鍔部８９を、ステータ９の第２コア覆い部４２の第１被当接部４３に当接させて、軸線方向Ｘで第２磁気軸受ユニット１２を位置決めする。この場合には、ステータ９の中心Ｈから第１磁気軸受ユニット１１までの距離は、第２距離Ｄ２となる。一方、ステータ９の中心Ｈから第２磁気軸受ユニット１２までの距離は、第１距離Ｄ１となる。
【０１１１】
従って、本発明のステータ９を備えれば、軸線方向Ｘでステータ９の両側に配置される第１磁気軸受ユニット１１および第２磁気軸受ユニット１２の配置の自由度を確保しながら、これら第１磁気軸受ユニット１１および第２磁気軸受ユニット１２を、軸線方向Ｘで位置決めできる。
【符号の説明】
【０１１２】
１…真空ポンプ、２…ポンプケース、３…固定翼、４…回転翼、７…モータ、８…ステータユニット、９…ステータ、１０…ロータ、１１…第１磁気軸受ユニット、１２…第２磁気軸受ユニット、１３…第３磁気軸受ユニット、１５…軸方向センサ、１６…電磁石、１７…金属板、１９…ステータコラム、２０…樹脂封止部材、２３…出力軸、２４…ロータフランジ、２６…ベース、２６ａ…ベースの中心穴、２７…筒状ケース、２８…吸気口、２９…排気口形成部、３０…排気口、３１…環状部、３２…突極部、３３…ステータコア、３４…インシュレータ、３５…コイル、３５ａ…コイル線、３７…筒部、３８…内側鍔
部、３９…外側鍔部、４１…第１コア覆い部、４２…第２コア覆い部、４３…第１被当接部、４４…第２被当接部、４７…第１壁部、４７ａ…第１端面、４８…第２壁部、４９…接続部、５０…隙間、５１…溝、５２…溝、５３…補強部、５４…切欠き部、５５…配線引き回し溝（第２の溝）、５７…第１インシュレータ部材、５８…第２インシュレータ部材、６１…第１センサ、６２…第１電磁石、６４…センサコア環状部、６５…センサコア突極部、６６…センサコア、６７…センサ基板、６８…コア側切欠き部（センサコア切欠き部）、７０…分岐部分、７１…コイルボビン、７２…センサコイル、７３（１）〜（４）…センサコイルのコイル組、７５…基板側切欠き部、８１…コア環状部、８２…コア突極部、８３…電磁石コア、８４…電磁石インシュレータ、８５…電磁石コイル、８６（１）〜（４）…電磁石コイルのコイル組、８７…インシュレータ筒部、８８…インシュレータ内側鍔部、８９…インシュレータ外側鍔部、９１…センサ支持部、９２…延設部、９３…壁部（当接部）、９４…厚肉部分、９５…薄肉部分、９６…段部、９６ａ…端面（当接面）、９７…第１幅部分、９８…第２幅部分（突出部）、９９…基板支持溝、９９ａ…対向内壁面、９９ｂ…対向内壁面、９９ｃ…接続内壁面、１００…コア支持溝、１００ａ…対向内壁面、１００ｂ…対向内壁面、１００ｃ…接続内壁面、１０１…第２センサ、１０２…第２電磁石、Ｃ１…コイルの周方向の長さ寸法、Ｄ１…ステータコアの中心からの第１距離、Ｄ２…ステータコアの中心からの第２距離、Ｅ１…第１壁部の周方向の第１寸法、Ｅ２…第２壁部の周方向の第２寸法、Ｆ１…第１壁部の径方向の第１厚み、Ｅ２…第２壁部の径方向の第２厚み、Ｘ…軸線方向、Ｙ…径方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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