(57)【要約】      （修正有）【課題】本発明は、それぞれの機能面を備えた真空ポンプ及び受容器を有する、並びに互いに面する機能面で受容器の真空ポンプを、好ましくは真空密閉で、取付けるための取付装置を有する真空システムを提供する。【解決手段】取付装置は、第一に、受容器１３での、即ち嵌合い又は挿入による、真空ポンプ１１の支承、次いで受容器での真空ポンプの固定を可能にするために形成され、取付装置が、受容器に設けられているこの機能面から突出した少なくとも一つの支持部材及び真空ポンプに設けられている少なくとも一つの対応部分を含み、この対応部分は、予備固定位置で真空ポンプを受容器に支承するために、上からの嵌合によって又は側方からの挿入によって、支持部材と噛合可能であり、並びに取付装置は、支持部材と対応部分に加えて受容器に及び真空ポンプに形成されている固定手段１９を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれの機能面（１１ａ，１３ａ）を備えた真空ポンプ（１１）、特にスプリットフローポンプ及び受容器（１３）を有する、並びに互いに面する機能面（１１ａ，１３ａ）で受容器（１３）の真空ポンプ（１１）を、好ましくは真空密閉で、取付けるための取付装置（１５，１７）を有する真空システムであって、
取付装置（１５，１７）は、第一に、受容器（１３）での、即ち嵌合い又は挿入による、真空ポンプ（１１）の支承、次いで受容器での真空ポンプの固定を可能にするために形成され、
取付装置が、受容器（１３）に備わっているこの機能面（１３ａ）から突出した少なくとも一つの支持部材（１７）及び真空ポンプ（１１）に備わっている少なくとも一つの対応部分（１５）を含み、この対応部分は、予備固定位置で真空ポンプ（１１）を受容器（１３）に支承するために、上からの嵌合によって又は側方からの挿入によって、支持部材（１７）と噛合可能であり、並びに
取付装置は、支持部材（１７）と対応部分（１５）に加えて受容器（１３）に及び真空ポンプ（１１）に形成されている固定手段（１９，２１）を含み、それでもって、真空ポンプ（１１）は予備固定位置に直接か又は予備固定位置から最終固定位置への移送後かに受容器（１３）で固定可能である真空システム。
【請求項２】
真空ポンプ（１１）は嵌合い又は挿入によって到達する予備固定位置から旋回運動によって最終固定位置へ移行可能であり、特に旋回運動が旋回軸線（２３）を中心として行われ、この旋回軸線が支承領域を経て延在し、この支承領域は受容器の支持部材（１７）と支持部材（１７）で支承されている真空ポンプ（１１）の対応部分（１５）とによって構成されていること、を特徴とした請求項１に記載の真空システム。
【請求項３】
固定手段（１９，２１）の少なくとも一部分が旋回軸線（２３）から距離をおいて配置されていること、を特徴とする請求項１又は２に記載の真空システム。
【請求項４】
受容器（１３）の支持部材（１７）が、機能面から離間した係止頭部（１７ｂ）を有する機能面から突出したボルト（１７ａ）を含み、真空ポンプ（１１）の対応部分（１５）は、受容器（１３）の機能面と係止頭部（１７ｂ）の間で差込み可能な、ボルト（１７ａ）の為の切り欠きを含むこと、を特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の真空システム。
【請求項５】
受容器（１３）の支持部材（１７）は、サポート面（１７ｃ）と機能面（１３ａ）から離間した係止ウェブ（１７ｄ）を有する少なくとも一つのサポートレールを含み、真空ポンプ（１１）の対応部分（１５）は、サポート受容器（１３）の機能面（１３ａ）と係止ウェブ（１７ｄ）の間の面（１７ｃ）上で可動な挿入ウェブを含むこと、を特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の真空システム。
【請求項６】
受容器（１３）の支持部材（１７）は、機能面（１３ａ）から離間したサポート面（１７ｃ）を有する少なくとも一つのサポートレールを含み、真空ポンプ（１１）の対応部分（１５）は、サポート面（１７ｃ）上で可動な挿入ウェブを含み、とりわけ、サポート面（１７ｃ）は、サポート面（１７ｃ）と機能面（１３ａ）との間の距離が挿入領域を出発点として減少するように機能面（１３ａ）に対して傾斜して延びること、を特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の真空システム。
【請求項７】
意図した通りの向きの場合に機能面（１１ａ，１３ａ）が少なくとも基本的には垂直に延びる側面組立の為に、取付装置（１５，１７）は、片面だけの支承の為に、及び特に予備固定位置から最終固定位置への移送後に固定する為に形成されており、又は
意図した通りの向きの場合に、機能面（１１ａ，１３ａ）が少なくとも基本的に水平に延びるオーバーヘッド取付の為に、取付装置（１５，１７）は、両面支承の為に、及び特に予備固定位置から別の最終固定位置へ移行せず、予備固定位置で直接固定する為に形成されていること、を特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の真空システム。
【請求項８】
真空ポンプ（１１）は、ポンプローターに対して平行に延びる長手方向軸線（２９）及び長手方向軸線に対して横に延びる正面（３１）を有する長手延在部を備え、その正面は特にハウジング部分（２５）に取付けられている下部分（２７）の接続面によって構成されており、及び真空ポンプ（１１）の片側支承だけの為に設けられている対応部分（１５）が、長手方向軸線（２９）に対して平行に延びる機能面（１１ａ）の正面側の末端領域内に配置されていること、を特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の真空システム。
【請求項９】
真空ポンプ（１１）は長手方向軸線（２９）に沿って連続するハウジング部分（２５）及びハウジング部分（２５）と接続する個別の下部分（２７）を含み、真空ポンプ（１１）の対応部分（１５）が下部分（２７）か又はハウジング部分の、長手方向軸線（２９）に対して平行に延びるフランジかに配置されていること、を特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の真空システム。
【請求項１０】
真空ポンプ（１１）及び受容器（１３）の機能面（１１ａ，１３ａ）で、少なくとも一対の互いに割り当てられている機能開口部（１１ｂ，１３ｂ）が形成されており、この機能開口部が受容器（１３）で支承されている真空ポンプ（１１）の場合には、固定する前にすでに互いに位置調整されていること、を特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の真空システム。
【請求項１１】
真空ポンプ（１１）と受容器（１３）の機能面（１１ａ，１３ａ）とは異なる接続面（３１，３３）には、少なくとも一対の互いに割り当てられている接続体（３５，３７）が形成されており、真空ポンプの嵌合い又は挿入によってこれらの接続体の接続が得られること、を特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の真空システム。
【請求項１２】
特に請求項１〜１１のいずれか一項に記載の真空ポンプに関する特徴を有する、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の真空システムのための真空ポンプ（１１）、特にスプリットフローポンプ。
【請求項１３】
一つの機能面（１１ａ）を有し、この機能面には少なくとも一つの機能領域（１１ｂ）、特に一つの吸入開口部又は一つの接続部が配置されている又は形成されており、機能領域（１１ｂ）が少なくとも部分的に隆起体（５１）で囲まれており、この隆起体が機能面（１１ａ）の周囲の面から突き出ている、及びそれを囲んでリング形状の一つの密閉要素（５５）、特にＯリングが敷設されている又は張架されており、特に密閉要素（５５）が隆起体（５１）の反対側で露出すること、を特徴とする特に請求項１〜１１のいずれか一項に記載の真空システムのための真空ポンプ（１１）。
【請求項１４】
機能領域（１１ｂ）から離れた隆起体の外壁（５７）は、少なくとも基本的には機能面（１１ａ）に対して垂直の方向に延び又は刻み目（５９）が設けられており、この刻み目内へ密閉要素（５５）が部分的に突出し、特に刻み目は部分あり溝として形成されていること、を特徴とする請求項１３に記載の真空ポンプ。
【請求項１５】
機能面（１１ａ）は、隆起体（５１）が突き出す平担面（５３）を含み、及び／又は機能面（１１ａ）に対して隆起体（５１）の高い面（６１）が平担面を含み、特にこの平担面は、隆起体（５１）が突き出ている機能面（１１ａ）の平担面（５３）に対して平行に延びること、を特徴とする請求項１３又は１４に記載の真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、それぞれ機能面を備える真空ポンプ（特にスプリットフローポンプ）と、受容器、及び真空ポンプを互いに面する機能面で受容器に取り付ける取付装置を有する真空システムに関する。
【０００２】
更に本発明は、少なくとも一つの機能領域、特に吸入開口部又は接続部に配置されている又は形成されている機能面を有する、特に本発明による真空システムの為の真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００３】
真空ポンプの受容器への取付けには、実際に、頻繁に問題が発生する。この理由として、特に真空ポンプの大きい重量と、取付場所にアクセスしにくくする構造条件である可能性がある。周知の取付補助具は、高価であるか又は別の欠陥に悩まされる。多くの解決策は、きわめて特定の条件下でのみ使用可能であり、多量の力が必要であるか又はポンプを容易に破損することがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】欧州特許出願公開第２２２８５４０号明細書
【特許文献２】米国特許出願公開第２００８／３０９０７１号明細書
【特許文献３】米国特許出願公開第２０１６／１９５０９５号明細書
【特許文献４】中国特許出願公開第１０８９３０６５６号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の課題は、簡単で安価な真空ポンプの取付けの為の可能性を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この課題は請求項１に記載の特徴によって解決する。
【０００７】
本発明によれば、取付装置は、第一に受容器での真空ポンプの支承（即ち嵌合い又は挿入によって）を、次いで受容器での真空ポンプの固定を可能にするために形成されている。その際、受容器の取付装置がこの機能面から突出した少なくとも一つの支持部材を、及び少なくとも一つの対応部分を真空ポンプに含み、この対応部分は、予備固定位置で真空ポンプを受容器で支承するために、上からの嵌合いによって又は側方からの挿入によって、支持部材と噛合可能であり、並びにその際取付装置は、支持部材と対応部分に加えて受容器に及び真空ポンプに形成されている固定手段を含み、それでもって、真空ポンプは予備固定位置に直接か、又は予備固定位置から最終固定位置への移送後かに受容器で固定可能である。
【０００８】
本発明による二段階のコンセプト（最初に支承、その次に固定）は、極めて効率的であり、ほぼすべての取付状況に適しており、そして加えて単純な機械的手段で実施することができるので、極めて安価である。支承により、ポンプはすでに受容器で保持されている。即ち利用者がポンプの全重量を保持する必要はなくなった。嵌合い又は挿入は、ポンプが受容器から離れないように保障されていることで、簡単な方法で実施することができる。それ故にポンプは不用意に支承された予備固定位置から単独で外れ得ない。したがって、予備固定位置で支承されているポンプの場合には、利用者は受容器のポンプの最終的な固定に集中し得る。特に、ここでは、ポンプを片手で保持すること、及び場合によっては予備固定位置とは別の最終固定位置に移行するだけでよい。それからポンプは、それぞれの固定手段で最終的に受容器に固定することができ、それによって真空ポンプと受容器は真空密閉で互いに接続されている。
【０００９】
受容器の支持部材と真空ポンプの対応部分の間との係合は、嵌合い又は挿入によって製造されるが、好ましくは、ポンプが受容器から離れて動かないよう保障されるようにロックするような係合である。これは、支承されている予備固定位置で真空ポンプが、依然としてある程度、受容器に対して相対的に運動可能であることを、除外しない。特に、そのような運動可能性は、ポンプが予備固定位置から最終固定位置へ移行することのために利用し得る。しかし、そのような移行は本発明の必須の特徴ではない。
【００１０】
「機能面」との用語は、それぞれ最終的な組み立ての状態で受容器に面している真空ポンプのその面を意味する。これに応じて、受容器に関して、「機能面」との用語は、それぞれ最終的な組立ての状態で真空ポンプに面している受容器のその面を意味する。したがって、「機能面」との用語は、真空ポンプ又は受容器の該当する面の具体的な実施形態に関して制限しない、つまり、特定の機能部品又は機能領域で制限することを意味しない。真空ポンプの場合、例えば、一つの面が、一つ又は複数の真空開口部又は吸入開口部を備え得、その際、真空ポンプの反対側の面は同様に機能開口部（例えばいわゆるタップ（独語：Ａｎｚａｐｆｕｎｇｅｎ））を設けることができる。更に、本発明は、この向き合った（例えばタップを設ける）面は、本開示の意味で機能面を構成する真空ポンプを受容器に取付ける為に形成することができる。特に、真空ポンプも受容器も、本開示の意味で複数の機能面を備え得る。したがって、「受容器」との用語もまた、広く理解すべきである。それは真空状態にする装置である必要はない。基本的に、どの目的のために真空ポンプを取り付けることになるすべての装置も、本開示の意味において受容器とすることができる。
【００１１】
好ましい一つの実施例によれば、真空ポンプは、嵌合い又は挿入によって到達する予備固定位置から旋回運動を介して、予備固定位置とは別の最終固定位置に移行可能である。特にその際、旋回運動は旋回軸線を中心として行われ、この旋回軸線は受容器の支持部材と支持部材に支承されている対応部分によって構成されている支承領域を経て延在する。したがって、ポンプは、双方の機能面を互いに接触させるために、嵌合わされた状態又は挿入された状態で、補助領域を中心として旋回可能であり得る。それに続いて、最終的な固定は固定要素を用いて行われる。
【００１２】
すでに言及したように、取付装置の具体的な実施形態に依存して、予備固定位置から最終固定位置への真空ポンプのいかなる種類の移送も可能であるが、必須ではない。したがって、双方の機能面の意図した通りの相対位置（この相対位置では真空ポンプの受容器に対する最終的な固定が行われる）は、嵌合い又は挿入によって到達する予備固定位置ですでに与えることができる。
【００１３】
真空ポンプと受容器の機能面は、それぞれ少なくとも一つの機能領域、例えば吸入開口部又は接続部に備え得る。その際、ポンプと受容器の間の真空密閉の接続のために、機能領域が、密閉手段、特に特殊に形成された密閉面及び／又は例えばエラストマー材料から成るＯリングのような個々の密閉要素を設けることができる。すでに予備固定位置においてか最終固定位置においてかの何れかで、真空ポンプ又は受容器の機能面が、したがって、これらの機能領域と密閉要素が正確に相対的に互いに位置調整されている。その結果、真空ポンプの受容器における最終的な固定によって真空密閉の接続を製造し、及び特にＯリングの意図した通りの圧縮に到達する。
【００１４】
一つの別の実施例によれば、固定手段の少なくとも一部分が旋回軸線から距離をおいて配置されており、この旋回軸線を中心として真空ポンプを予備固定位置から最終固定位置へ移行する旋回運動が行われる。したがって、真空ポンプの固定とその支承は、異なった位置で行われる。しかし、これは固定が部分的に支承領域内でも行われ得ることを排除しない。
【００１５】
特に、本発明による嵌合コンセプトの実装の為に、受容器の支持部材が、機能面から離間した係止頭部を有する機能面から突出したボルトを含み、その際、真空ポンプの対応部分は、受容器の機能面と係止頭部の間で差込み可能な、且つボルトの為の切り欠きを有する嵌合部分を含む、ことが企図されている。好ましくは、受容器が互いに距離を置いて配置されている複数の支持部材を有し、これに対して真空ポンプは対応する切り欠きを有するそれぞれ嵌合部分を有する。多くの場合、互いに十分に距離を置いて配置されている二つの支持部材で、十分である。
【００１６】
このような支持部材は、それぞれのねじを介して可能な限り簡単かつ安価な方法で実現することができる。これは、ねじ頭部が機能面からそれぞれ必要な距離にあるように、受容器のねじ開口部にねじ込まれる。この場合、ねじ軸は、真空ポンプの対応部分が切り欠きと噛み合うボルトを構成する。特に、支持部材はフランジを有するねじとすることができ、そのねじは極めて安価で、単純な規格部品（例えばＤＩＮ６９２１のような）として入手可能である。
【００１７】
本発明による挿入コンセプトは、例えば、受容器の支持部材は、サポート面と機能面から離間した係止ウェブとを有する少なくとも一つのサポートレールを含むことによって実装することができる。その際、真空ポンプの対応部分は、受容器の係止ウェブと機能面との間のサポート面上で可動な挿入ウェブを含む。
【００１８】
このようなサポートレール上へ、予備固定位置に到達するまで、真空ポンプをこの挿入ウェブで簡単に押し込むことができる。このために、末端係止部を設けることができる。アクセスのしやすさ（アクセシビリティ）によって、真空ポンプは場合によってはその挿入ウェブでもサポートレールへ嵌合わせることができる。その際、サポートレールの係止ウェブは、更にまた受容器から離れるポンプの運動を防ぎ、そして支承される位置を保障する。したがって、この取付装置は、挿入も嵌合いも可能にし得る。ポンプが嵌合わされる場合、嵌合ウェブとして挿入ウェブが機能する。更にまた、ポンプが旋回によって、挿入された又は嵌合わされた予備固定位置から最終固定位置へ移行することであると企図することができる。
【００１９】
サポートレール及び挿入ウェブを用いたそのような嵌合コンセプトの実装は、片面だけにおける支承が行われる時、可能である。本発明による挿入コンセプトは、互いに平行にかつ距離を置いて配置されている二つのサポートレールがある場合に、両側支承を用いるときにも実現することができる。この場合には、予備固定位置は真空ポンプの挿入によってのみ到達することができる。
【００２０】
サポートレールによる片側支承か又は平行に延びる二つのサポートレールによる両側支承が実現されるかにかかわらず、機能面から離間した係止ウェブを有するサポートレールは、特にいわゆる側面取付の場合に使用される。この場合には、機能面が受容器と真空ポンプとの意図した通りの向きの場合に少なくとも基本的には垂直に延びる。
【００２１】
そのような側面取付の代替として、いわゆるオーバーヘッド取付もまた可能である。この場合には、機能面は、受容器と真空ポンプとの意図した通りの向きで少なくとも基本的には水平に延びる。好ましくは、受容器の機能面が下に向くそのようなオーバーヘッド取付の場合には、本発明による挿入コンセプトを使用する。つまりとりわけ、それぞれのサポート面が機能面から離間して、平行に延びる二つのサポートレールを利用する。
【００２２】
したがって、本発明の一つの実施例によれば、受容器の支持部材が、機能面から離間したサポート面を有する少なくとも一つのサポートレールを含み、その際、真空ポンプの対応部分は、サポート面上に可動の挿入ウェブを含むことを、企図することができる。
【００２３】
サポート面は、機能面に対して平行か、又は代替的な形状ではサポート面と機能面の間の距離が挿入領域を出発点として減少するように機能面に対して傾斜しているかの何れか一方で延び得る。特にオーバーヘッド取付の場合に、このような「押上ランプ」は、ポンプがまず先に下から斜めに挿入することができるので、真空ポンプの挿入をかなり軽減し得る。サポート面の延び具合は、真空ポンプを最終固定位置で旋回するために及び最終的に連結して固定するために、挿入プロセスの終わりでは、機能面の後方領域が受容器の機能面に対して決定された距離にあり、及び真空ポンプは、前方領域だけでわずかに上昇さえすればいいように選択することができる。
【００２４】
更にまた、予備固定位置の到達は末端係止部によって示すことができ、この末端係止部は、挿入深さを、ポンプと受容器からそれぞれの正確な相対位置のための必要な寸法で正確に制限する。
【００２５】
したがって、意図した通りの向きの場合に、少なくとも基本的には垂直に延びる機能箇所を有する側面取付の為に、片面支承だけの為又は両面支承の為の取付装置が形成されていることを、企図することができる。一つの可能な実施形態では、ポンプが片面だけで支承され、及び最終的な固定前で支承されている予備固定位置から最終固定位置へ旋回される。
【００２６】
意図した通りの向きの場合に、少なくとも基本的に水平に延びる機能面を有するオーバーヘッド取付の為に、取付装置は、好ましくは両面支承の為に形成されている。その際、受容器でのポンプの最終的な固定は、予備固定位置から別の最終固定位置への移行後、予備固定位置で直接行われ得る。
【００２７】
一つの実施例によれば、真空ポンプは、ポンプローターに対して平行に延びる長手方向軸線及び長手方向軸線に対して横に延びる正面を有する長手延在部を備える。その際、真空ポンプの片側支承だけの為に設けられている真空ポンプの対応部分が、長手方向軸線に対して平行に延びる機能面の正面側の終端領域内に配置されている。特に正面は、ハウジング部分に取付けられている下部分の接続面によって構成されることができる。
【００２８】
特に、真空ポンプの正面側の終端領域内の対応部分の配置が、垂直取付の場合に、真空ポンプが意図した通りの向きで、垂直に延びる長手方向軸線で受容器に嵌合わされる時に有利である。ここで、嵌合いは、つまり機能面の密閉要素若しくはシール面から比較的遠く離れた位置で行われる。したがって、そのようなポンプの取付けは、本発明によって基本的に簡素化することができる。
【００２９】
真空ポンプは、長手方向軸線に沿って連続して、ハウジング部分と、ハウジング部分と接続する個別の下部分とを含み得る。その際、真空ポンプの対応部分は、下部分か又は長手方向軸線に対して平行に延びるハウジング部分のフランジかに配置されている。
【００３０】
したがって、本発明による取付コンセプトは、このようなポンプの場合も、垂直に延びる長手方向軸線での垂直の取付けの為と同様に、水平に延びる長手方向軸線での水平の取付けの為にも使用することができる。
【００３１】
「下部分」との用語は、真空ポンプのポンプ作用を奏する構成部分を収容するハウジングに取り付けられており、ポンプ作用を奏する構成部分以外の構成要素を含み、及び外部接続体を設けることができる個別の装置が示される。特に、下部分には電子的及び電気的コンポーネントを収容することができる。加えて、下部分は制御部分の接続として利用され得る。
【００３２】
一つの別の実施例によれば、真空ポンプと受容器の機能面とは異なる接続面には、少なくとも一対の互いに割り当てられている接続体が形成されており、真空ポンプの嵌合い又は挿入によってこれら接続体の接続が製造可能である。
【００３３】
この場合、プロセスの有利な方法には、予備固定位置を製造する嵌合い又は挿入の工程を、一つ又は複数の接続部接続を製造するために同時に使用することができる。したがってこの場合、嵌合い又は挿入するために形成されている取付装置が、予備固定位置に到達することで、真空ポンプと受容器の間の正確な相対位置を保障するということが、利用される。
【００３４】
本発明は、本明細書に記載された方式の真空システムの為の真空ポンプにも関する。したがってその際、真空ポンプは機能面と少なくとも一つの対応部分を含み、この対応部分は、本発明による嵌合コンセプトか又は本発明による挿入コンセプトかの何れかの方式で、受容器のそれぞれの支持部材と協働するために形成されている。
【００３５】
特に、真空ポンプはいわゆるスプリットフローポンプである。これは、一つのポンプローターに対して平行に延びる長手方向軸線を持つ長手方向延長部を有する。その際、好ましくはスプリットフローポンプが、機能面の長手方向に距離をおいて配置されている少なくとも二つの吸入開口部を有する。この吸入開口部を介して、スプリットフローポンプが組立ての状態で、真空にする受容器の一つ又は複数の空間と接続している。スプリットフローポンプのこのような吸気開口部は、ポートとも称される。
【００３６】
本発明の別の観点は、特に本明細書に記載された真空システムの為の真空ポンプに関する。この真空ポンプは、機能面を有し、この機能面には少なくとも一つの機能領域、特に一つの吸入開口部又は一つの接続部が、配置されている又は形成されている。その際、機能領域が少なくとも部分的に隆起体で囲まれており、この隆起体が機能面の周囲の面から突き出ている、及びそれを囲んでリング形状の一つの密閉要素が敷設されている又は張架されている。
【００３７】
リング形状の密閉要素は、特に、エラストマー材料から成るＯリングである。
【００３８】
本発明によって、突出した隆起体を囲む密閉要素が敷設され又は張架されることによって、ポンプの機能面に密閉要素の為の収容溝を製造する必要はもはやない。このような溝の製造は比較的長時間を要し、コストがかかるので、これは大きな利点を意味する。特に、これは、通常このような溝がエンドミルによって製造されるからである。このような溝の小さな幅は、典型的には、直径１〜６ｍｍの間にある小さなフライスカッターの使用を必要とする。このような加工は、比較的長時間を溝製造のために必要とする。
【００３９】
本発明は、機能面が、例えば直径２０〜１００ｍｍの間にある比較的大きな工具で加工することができるということが、有利である。これによって、比較的大型のフライスを使用することができ、このフライスはとりわけ効率的なかんな仕上げの加工を可能にする。
【００４０】
加工のこの方法の場合には、機能面の加工時に残った隆起体の側壁に、それぞれ所望の形状を早々に与えることができることが、とりわけ有利である。すると、例えば、隆起体によって構成されている機能面上の段差に、例えば側面の刻み目を設けることができる。そのような刻み目は、対応する工具形状を使用する際、それぞれの加工面の金属切削と同時に導入することができる。
【００４１】
したがって本発明によれば、リング形状の密閉要素が溝に配置されていないことが企図されている。特に、これは密閉要素が隆起体の反対側で露出することを意味する。リング形状の密閉要素の正確で確実な位置決めの為に、溝が必要なく、密閉要素がそれぞれの隆起体を囲んで敷設されている又は張架されているならば十分である、ということが判明した。
【００４２】
隆起体がそれぞれの機能領域を完全に取り囲む、つまりこの隆起体が機能領域周りで閉鎖されていることが好ましいが、必ずしも必要ではない。
【００４３】
すでに言及したように、機能領域から離れ、密閉要素に面する隆起体の外壁は、基本的に任意の延長方向を設けることができる。すると、外壁は、例えば機能面に対して少なくとも基本的に垂直の方向に延び得る。代替的には、外壁は刻み目が設けられ、この刻み目には密閉要素が部分的に突出する。例えば刻み目は、部分あり溝として、特にいわゆる半あり溝として形成することができる。
【００４４】
好ましくは、機能面は、隆起体が突き出す平坦面を含む。
【００４５】
更に、機能面に対して隆起体の高い面が平担面を含む時が好ましい。隆起体の平担面は、隆起体が突き出ている機能面の平坦面に対して平行に延び得る。
【００４６】
好ましくは、面（この面から隆起体が突き出ていて、密閉要素がこの面に当接する）の表面粗さは、最大Ｒａ＝３．６の表面粗さを有する。
【００４７】
本発明での密閉コンセプトはポンプとそれぞれの受容器の間で真空技術的に密な接続を可能にし、特に５×１０−７ｍｂａｒ  ｌ／ｓより少ない漏出率を保障することができる。
【００４８】
例えば、密閉要素の材料として、フッ素ゴム（略称ＦＫＭ）を利用することができる。基本的に、密閉要素は任意のエラストマー材料から製造することができる。
【００４９】
以下に本発明を添付の図面を参照しつつ実施形に基づいて説明する。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】真空ポンプが受容器に嵌合わされるか又は挿入されるかの何れかの場合における、本発明による真空システムの種々の実施形態である。
【図２】真空ポンプが受容器に嵌合わされるか又は挿入されるかの何れかの場合における、本発明による真空システムの種々の実施形態である。
【図３】真空ポンプが受容器に嵌合わされるか又は挿入されるかの何れかの場合における、本発明による真空システムの種々の実施形態である。
【図４】真空ポンプが受容器に嵌合わされるか又は挿入されるかの何れかの場合における、本発明による真空システムの種々の実施形態である。
【図５】真空ポンプが受容器に嵌合わされるか又は挿入されるかの何れかの場合における、本発明による真空システムの種々の実施形態である。
【図６】真空ポンプが受容器に嵌合わされるか又は挿入されるかの何れかの場合における、本発明による真空システムの種々の実施形態である。
【図７】真空ポンプが受容器に嵌合わされるか又は挿入されるかの何れかの場合における、本発明による真空システムの種々の実施形態である。
【図８】真空ポンプが受容器に嵌合わされるか又は挿入されるかの何れかの場合における、本発明による真空システムの種々の実施形態である。
【図９】本発明による密閉コンセプトを有する真空ポンプの一つの実施形である。
【図１０】本発明による密閉コンセプトを有する真空ポンプの一つの実施形である。
【図１１】本発明による密閉コンセプトを有する真空ポンプの一つの実施形である。
【発明を実施するための形態】
【００５１】
図中に記載されているすべての真空ポンプ１１は、それぞれのいわゆるスプリットフロー真空ポンプであり、これを用いて、受容器１３の一つ又は複数の空間内で、高真空又は超高真空を製造することができる。好ましくは、真空ポンプ１１が長手方向軸線２９を定義する少なくとも一つのポンプローターを含み、このポンプローターが一つ又は複数のポンプ部分の回転する部分を担持する。とりわけ、真空ポンプ１１の少なくとも一つのポンプ部分は、ターボ分子ポンプ部分である。
【００５２】
真空ポンプ１１は、長く延びたハウジング部分２５を含み、このハウジング部分の正面には下部分２７が固定されており、この下部分はとりわけ異なる接続体と制御部分とが設けられている。基本的にはスプリットフロー真空ポンプのこの構造は知られているので、これに関して詳しく説明する必要はない。
【００５３】
図１によれば真空システムは、組立ての状態で長手方向軸線２９が少なくとも基本的には垂直に延びる垂直取付の為に形成されている。本発明による取付装置は、受容器１３に互いに距離をおいて配置されている二つの支持部材１７を含み、この支持部材１７は、受容体１３の機能面１３ｂへとねじ止めされた、ボルト１７ａと係止頭部１７ｂを備えるねじによってそれぞれ構成されている。導入部分で言及したように、これらのねじ１７のために簡単で廉価な標準ねじ又はフランジつき基準ねじを利用することができる。これは次に説明する変形例にも適用される。
【００５４】
受容器１３の支持部材１７のための真空ポンプ１１の対応部分は、ポンプ１１の下部分２７の対応フランジ１５ａに形成された切り欠き１５によって構成されている。切り欠き１５は、（図１の左下図が示すように）垂直方向の調整でポンプ１１を組立てることができるように、ポンプ１１の長手方向軸線２９の方向で、下の方が開いている。これはポンプ１１を、切り欠き１５でもって、ねじ１７にかけて上方から嵌合せることによって行われ、その際切り欠き１５はボルト１７ａと係合する。嵌合いの状態では、ポンプ１１はねじ頭部１７ｂによってロックされ、即ち受容器１３から離れる動きに対して保証されている。
【００５５】
この取付装置１５，１７の具体的な実施形態に応じ、この予備固定位置で（ここでポンプ１１がすでに受容器１３で支承されており）双方の機能面１１ａ，１３ａが、平行に互いに延び且つここでは図示されていない密閉面又は密閉要素が互いに当接し得る。代替的（図１の左下図が示すように）には、ポンプ１１を、支承されている予備固定位置から機能面１１ａ，１３ａが互いに平行に延びる最終固定位置へ移動するために、支持部材１７と対応部分１５とから構成されている支承領域周りで矢印によって示されている僅かな旋回運動が行われ得る。
【００５６】
旋回軸線２３は、図１の右下図で破線によって示されている。
【００５７】
ポンプ１１を最終固定位置で受容器１３に最終的に固定する為に、本発明による取付装置は固定手段を有する。これは、長手方向軸線２９に対して平行に延びる二つのフランジ１９によって真空ポンプ１１に構成され、このフランジは、ハウジング部分２５に固定され又はそれと一体に形成され、及び固定ねじ２０のための開口部１９ａが設けられている。受容器１３の機能面１３ａでは、対応するねじ開口部が形成されており、このねじ開口部で固定ねじ２０をねじ止めすることができる。最終的な固定の取付状態を、図１の右下図に示す。
【００５８】
更に図１に示すように、この本発明による取付コンセプトは、真空ポンプ１１と受容器１３の間の連結接続を製造するために、同時に使用することができる。下部分２７の下向きの正面３１には、とりわけ接続部３５が設けられており、この接続部には受容器１３の対応する接続面３３における接続部３７が付設されている。この受容器側の接続部３７は、密閉要素３７ａが設けられている。真空ポンプ１１を受容器１３に嵌合うことによって、ポンプ１１の接続部３５が受容器１３の接続部３７と意図した通りの方法で接続される。図１の左下図では、この接続部コンセプトを具体的に説明するために、両接続面３１，３３の間の間隔が過度に大きく図示されている。
【００５９】
ポンプ１１を受容器１３に嵌合わせる際、ポンプ１１と受容器１３が、嵌合方向（ここでは垂直方向）に対して、すでに最終的な相対位置にある。この状況は、ポンプ１１の固定手段１９，１９ａと、受容器１３の固定手段を構成する（ここでは図示されていない）ねじ開口部とが、嵌合わされている状態で互いに位置調整されているということを、有利に利用することができる。これにより、あらかじめポンプ１１の正確な調整をする必要はなく、ポンプ１１の嵌合い及び旋回後、利用者が最終固定位置へ、固定ねじ２０でねじ止めさえすればいい。
【００６０】
図２は変形例を示す。この変形例の場合にもまた、真空ポンプ１１が受容器１３に嵌合わされる。ただしここでは長手方向軸線２９が水平に延びる。長手方向軸線２９に対して平行に延びるハウジング部分２５の対応フランジ１５ａは、三つの切り欠きが設けられており、その際、外の二つの切り欠き１５は、受容体１３のここでもまたねじとして形成されている支持部材１７のための対応部分を構成する。中央の切り欠きは、予備固定位置でポンプ１１を支承することに使用されず、ポンプ１１が対応フランジ１５ａの領域で受容器１３に固定される固定ねじ２０を収容することに使用される。ポンプ１１の向き合った面には、図１の実施例に類似したここでは図示されていないフランジが設けられており、このフランジは開口部が設けられており、ポンプ１１が嵌合わされ及びこの予備固定位置から最終固定位置へ旋回された後で、この開口部を介してポンプ１１が、上側でも受容器１３にねじ止めすることができる。
【００６１】
図３は別の変形例を示す。この変形例の場合には、これまた同様に、ポンプ１１の長手方向軸線２９が垂直方向に延びる垂直取付が行われる。図１の実施例とは対照的に、ここでは対応部分を構成する切り欠き１５が、ハウジング部分２５の下部分２７の反対側の正面側の端部に形成されている。それ故に、ポンプ１１は、下部分２７が上に向いた状態で垂直に組立てられ及びこのために（図１の実施例のように）受容器１３に嵌合わされ、場合によって旋回され、続いて受容器１３に対する固定ねじ２０によって側面のフランジ１９に固定される。
【００６２】
図４と図５は本発明による挿入コンセプトの可能な実施形態、ここでは受容器１３に取付けるサポートレール１７を介した片面の支承での側面取付の場合を示す。
【００６３】
ここでサポートレール１７は、受容器１３の機能面１３ａへねじ止めされており、機能面１３ａに対して垂直に向いている、長手方向に延びる補助面１７ｃ及び機能面１３ａから離間した、サポート面１７ｃを制限する係止ウェブ１７ｄを含む。
【００６４】
ここで、概略的にだけ図示されている受容器１３は、真空ポンプ１１によって真空にすべき三つのチャンバーを有し、このために、意図した通りの方法でポンプ１１が受容器１３に組立てられている時、機能面１３ａへ通じる機能開口部１３ｂを介して、真空ポンプ１１の機能面１１ａで対応する（ここでは図示されていない）吸入開口部で位置調整されている。
【００６５】
真空ポンプ１１を取付ける為に、それが長手方向軸線２９に対して平行に延びる（ここでは図示されていない）挿入ウェブでサポートレール１７上に押し込まれ、及び押し込んだ予備固定位置の到達後、受容器１３の機能面１３ａに対して旋回された後、ポンプ１１を最終的に受容器１３に固定するために、ハウジング部分２５の上側に設けられている固定ウェブ１９を介して、受容器１３でねじ固定し得る。受容器１３の機能面１３ａに設けられているねじ開口部２１、言及した固定ウェブ１９、その中に形成されている固定開口部１９ａ及び固定ねじ２０は、これらの実施例において本発明による取付装置の固定手段を構成する。
【００６６】
例えば、サポートレール１７の末端には、受容器１３が末端係止部を設けることができ、この末端係止部に真空ポンプ１１が完全に押し込まれている状態で当接し及びこの状態が正確な予備固定位置の到達を利用者に示し、この予備固定位置において受容器１３のねじ開口部２１と真空ポンプ１１の固定フランジ１９の固定開口部１９ａとが位置調整されている。
【００６７】
図６，図７及び図８は、真空ポンプ１１の両側支承を備えたオーバーヘッド取付のための本発明の挿入コンセプトを様々な図で示す。
【００６８】
受容器１３は、その下方に向いている機能面１３ａに二つのサポートレール１７が設けられており、このそれぞれのサポートレールは機能面１３ａから離間した、機能面１３ａに対して斜めに延びるサポート面１７ｃを有する。
【００６９】
これにより、サポート面１７ｃと機能面１３ａの間の間隔、図６中央図の左にある挿入領域から始まるこの間隔は右方向へ減少するように変化する。サポート面１７ｃによって構成されているその押上ランプの末端部には、真空ポンプ１１の為のそれぞれ末端係止部３９が配置されている
【００７０】
図６下図は、真空ポンプ１１の押込みの開始を示し、この真空ポンプがその機能面１１ａに備わっている横に突き出た挿入ウェブが設けられており、ここではその挿入ウェブが、受容器１３のそれぞれのサポートレールによって構成されている、支持部材１７のためのそれぞれの対応部分１５である。
【００７１】
図７は、真空ポンプ１７が完全に挿入され及び末端係止部３９で当接する、予備固定位置を示す。
【００７２】
その予備固定位置では、ポンプ１１及び受容器１３の双方の機能面が、まだ互いに平行に延びていないが、挿入ウェブ１５のそれぞれの終端領域に形成された固定開口部１９ａが、受容器１３の機能面１３のそれぞれのねじ開口部と位置調整されている。その結果ポンプ１１を、単にその支承されている予備固定位置から受容器１３の機能面１３ａに対して旋回し（図７の矢印によって示されてる）、その後固定ねじ２０（図８参照）によって受容器１３にねじ止めすることで、最終的に受容器１３に固定する。
【００７３】
更にまた、傾斜するサポート面１７ｃが設けられているサポートレール１７は、受容器１３の機能面１３ａとねじ固定されている。特に固定ねじ２２は、図８上図で見取ることができる。
【００７４】
上述の説明は、支承（即ち嵌合い又は挿入）のため並びに固定のために必要な部材及び幾何学形状を、可能な限り簡単かつ安価な方法で実現することができることを示す。支持部材（ねじ又はレール）は、説明する実施例において、受容器１３の機能面１３ａにねじ止めされればよい。真空ポンプ１１には、場合によっては切り欠き又は開口部を備える長く延びたフランジ又はウェブが設けられればよい。これらフランジ又はウェブは、すでにポンプ１１の製造時に、例えばハウジング部分２５に又は下部分２７に、形成することができる又は後から追加して取付けることができる。
【００７５】
図９〜図１１によれば、本発明による密閉コンセプトの場合には、真空ポンプ１１の吸入開口部１１ｂを真空密閉でシールする、周回する狭い溝に密閉要素が設けられていない。その代わり、吸入開口部１１ｂがそれぞれの隆起体５１で完全に囲まれており、この隆起体は一つの段差を構成し、この段差が機能面１１ａの周囲の平担面５３から突き出ている。
【００７６】
これにより、吸入開口部１１ｂにはそれぞれ周回する当接領域が存在し、この当接領域が隆起体５１の外壁５７から構成される。この当接領域には、（図１０と図１１が示すように）例えばエラストマーからなるＯリングが当接し、このＯリングが隆起体５１周りに張架されている。
【００７７】
図１０が示すように、隆起体５１が残される、吸入開口部１１ｂを囲む平担面５３の製造時に、同時に外壁５７のそれぞれに所望の造形を与えることができる。この場合、一つの可能な実施形態では、隆起体５１のそれぞれの外壁５７に刻み目５９が設けられている。これにより、隆起体５１の周りにそれぞれ張架されたリング密閉体５５が、確実にそれぞれの隆起体５１に保持される。
【００７８】
更に図１０が示すように、刻み目５９内へ突き出たリング密閉体５５は、受容器にまだ取り付けられていない状態で、周囲の面５３に対して平行に延びる、隆起体５１の高い面６１を超えてはみ出ている。
【００７９】
図１１は、完成した取付状態を示す。この組立て状態では、真空ポンプ１１が受容器１３にねじ止めされており、及び隆起体５１周りを周回するリング密閉体５５が意図した通りの方法で、隆起体５１を囲む平担面５３と受容器１３の対応密閉面の間で押圧されている。
【００８０】
図１〜図９と関連して上述されているように、図１１による組立てた状態は、本発明による取付コンセプトによって得られる。
【符号の説明】
【００８１】
１１      真空ポンプ
１１ａ    真空ポンプ機能面
１１ｂ    真空ポンプ機能領域
１３      受容器
１３ａ    受容器の機能面
１３ｂ    受容器の機能開口部
１５      真空ポンプの対応部分
１５ａ    対応フランジ
１７      受容体の支持部材
１７ａ    ボルト
１７ｂ    係止頭部
１７ｃ    補助面
１７ｄ    係止ウェブ
１９      真空ポンプの固定手段
１９ａ    開口部
２０      固定ねじ
２１      受容器の固定手段
２２      固定ねじ
２３      旋回軸線
２５      ハウジング部分
２７      下部分
２９      長手方向軸線
３１      真空ポンプの正面
３３      受容器の接続面
３５      真空ポンプの接続部
３７      受容器の接続部
３７ａ    密閉要素
３９      末端係止部
５１      隆起体
５３      周囲面
５５      密閉要素
５７      外壁
５９      刻み目
６１      高い面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2020139499.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【外国語明細書】
2020139499000001.pdf