(57)【要約】【課題】誘電エラストマー層のうち非駆動部が駆動部の変形を阻害することを低減し、誘電エラストマーアクチュエータの変位を向上させる。【解決手段】誘電エラストマー層３の両面に、誘電エラストマー層３よりも小さい２つの電極１，２が重ねられ、誘電エラストマー層３のうち２つの電極１，２で挟まれた部分が駆動部であり、誘電エラストマー層３のうち２つの電極１，２で挟まれない部分が非駆動部である構造を含み、最外層（例えば保護層４）を有する。最外層のうち駆動部に対応する主領域Ａの少なくとも一部が、弾性部材（例えば弾性接着剤１１）を介して基板１２と接合され、最外層のうち非駆動部に対応する副領域Ｂの少なくとも一部が、基板１２と接合されていない。【選択図】図１
2020162284.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電エラストマー層の両面に、誘電エラストマー層よりも小さい２つの電極が重ねられ、誘電エラストマー層のうち２つの電極で挟まれた部分が駆動部であり、誘電エラストマー層のうち２つの電極で挟まれない部分が非駆動部である構造を含み、最外層を有する誘電エラストマーアクチュエータを、最外層において基板に接合する接合構造において、
最外層のうち駆動部に対応する主領域の少なくとも一部が、弾性部材を介して基板と接合され、
最外層のうち非駆動部に対応する副領域の少なくとも一部が、基板と接合されていないこと
を特徴とする誘電エラストマーアクチュエータの接合構造。
【請求項２】
誘電エラストマー層の両面に、誘電エラストマー層よりも小さい２つの電極が重ねられ、誘電エラストマー層のうち２つの電極で挟まれた部分が駆動部であり、誘電エラストマー層のうち２つの電極で挟まれない部分が非駆動部である構造を含み、最外層を有する誘電エラストマーアクチュエータどうしを、最外層どうしにおいて接合する接合構造において、
最外層のうち駆動部に対応する主領域の少なくとも一部どうしが、弾性部材を介して接合され、
最外層のうち非駆動部に対応する副領域の少なくとも一部どうしが、接合されていないこと
を特徴とする誘電エラストマーアクチュエータの接合構造。
【請求項３】
主領域の少なくとも一部は、主領域の全部である請求項１又は２記載の誘電エラストマーアクチュエータの接合構造。
【請求項４】
主領域の少なくとも一部は、主領域の中心部である請求項１又は２記載の誘電エラストマーアクチュエータの接合構造。
【請求項５】
主領域の少なくとも一部は、主領域に点在している請求項１又は２記載の誘電エラストマーアクチュエータの接合構造。
【請求項６】
副領域の少なくとも一部は、副領域の全部である請求項１〜５のいずれか一項に記載の誘電エラストマーアクチュエータの接合構造。
【請求項７】
副領域は部分的に弾性部材を介して接合されており、副領域の少なくとも一部は残部である請求項１〜５のいずれか一項に記載の誘電エラストマーアクチュエータの接合構造。
【請求項８】
副領域の前記接合されている部分は、副領域に点在している請求項７記載の誘電エラストマーアクチュエータの接合構造。
【請求項９】
弾性部材は、厚さ５０μｍ以上である請求項１〜８のいずれか一項に記載の誘電エラストマーアクチュエータの接合構造。
【請求項１０】
弾性部材は、弾性接着剤である請求項１〜９のいずれか一項に記載の誘電エラストマーアクチュエータの接合構造。
【請求項１１】
弾性部材は、エラストマーである請求項１〜９のいずれか一項に記載の誘電エラストマーアクチュエータの接合構造。
【請求項１２】
弾性部材は、表面がプラズマ処理されたシリコーンエラストマー又は架橋ポリロタキサンである請求項１〜９のいずれか一項に記載の誘電エラストマーアクチュエータの接合構造。
【請求項１３】
最外層は、電極を保護する保護層である請求項１〜１２のいずれか一項に記載の誘電エラストマーアクチュエータの接合構造。
【請求項１４】
保護層は、表面がプラズマ処理されたシリコーンエラストマー又は架橋ポリロタキサンである請求項１３記載の誘電エラストマーアクチュエータの接合構造。
【請求項１５】
２以上の誘電エラストマー層と３以上の電極とが交互に積層され、積層数は誘電エラストマー層の層数で表して２〜１９０である請求項１〜１４のいずれか一項に記載の誘電エラストマーアクチュエータの接合構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘電エラストマーアクチュエータの接合構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
誘電エラストマーアクチュエータは、誘電エラストマー層を２つの電極で挟んだ基本構造を有する駆動装置である（特許文献１，２）。２つの電極間に電圧を印加すると、電極間に発生したクーロン力により、誘電エラストマー層は、電極間方向に収縮変形し、その直角方向に伸長変形するので、これらの変形を駆動用の変位として取り出す駆動装置となる。
【０００３】
誘電エラストマー層と電極とは同じ大きさ（面積）ではなく、誘電エラストマー層の両面に、誘電エラストマー層よりも一回り小さい２つの電極を重ねる。そして、誘電エラストマー層のうち２つの電極で挟まれた部分は駆動部となって前記電圧印加による変形を起こし、誘電エラストマー層のうち２つの電極で挟まれない部分（いずれかの電極からはみ出した部分）は非駆動部となって絶縁保持機能を果たす。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１８−１６９７１２号公報
【特許文献２】特開２０１７−６６３１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
駆動部が、電圧印加により電極間方向に収縮変形し、その直角方向に伸長変形するとき、非駆動部は、電圧印加によっては変形せず、駆動部の前記変形に連れて受動的に変形するだけなので、駆動部の前記変形を阻害し、取り出す変位を減少させる。
【０００６】
特に、誘電エラストマーアクチュエータが基板に接合されている場合、非駆動部は、基板に拘束されて受動的にも変形しにくいため、さらに駆動部の前記変形を阻害し、取り出す変位を減少させる。
【０００７】
また、特に、誘電エラストマーアクチュエータは、前記基本構造を積層して誘電エラストマー層の層数を増やすことにより、取り出す変位を大きくすることができるが（特許文献１）、その積層数が増えるほど、非駆動部が変形を阻害する力も強くなるため、所望の大きい変位を取り出せない。
この現象を詳述すると、積層数の多い駆動部が、電圧印加により電極間方向に収縮変形し、その直角方向に伸長変形するとき、積層数の多い非駆動部は、駆動部の前記変形に連れて受動的に樽形へと丸く撓み変形する。非駆動部は、その撓み変形を戻そうとする弾性力で、駆動部の前記変形に抵抗するため、駆動部の前記変形を大きく阻害するのである。
この現象は、積層された基本構造の相互間で、駆動部と非駆動部の変位の差により生じる積層方向の段差が相互に干渉する、と見ることもできる。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、誘電エラストマー層のうち非駆動部が駆動部の変形を阻害することを低減し、誘電エラストマーアクチュエータの変位を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
［１］誘電エラストマーアクチュエータの基板との接合構造
誘電エラストマー層の両面に、誘電エラストマー層よりも小さい２つの電極が重ねられ、誘電エラストマー層のうち２つの電極で挟まれた部分が駆動部であり、誘電エラストマー層のうち２つの電極で挟まれない部分が非駆動部である構造を含み、最外層を有する誘電エラストマーアクチュエータを、最外層において基板に接合する接合構造において、
最外層のうち駆動部に対応する主領域の少なくとも一部が、弾性部材を介して基板と接合され、
最外層のうち非駆動部に対応する副領域の少なくとも一部が、基板と接合されていないこと
を特徴とする誘電エラストマーアクチュエータの接合構造。
【００１０】
［２］誘電エラストマーアクチュエータどうしの接合構造
誘電エラストマー層の両面に、誘電エラストマー層よりも小さい２つの電極が重ねられ、誘電エラストマー層のうち２つの電極で挟まれた部分が駆動部であり、誘電エラストマー層のうち２つの電極で挟まれない部分が非駆動部である構造を含み、最外層を有する誘電エラストマーアクチュエータどうしを、最外層どうしにおいて接合する接合構造において、
最外層のうち駆動部に対応する主領域の少なくとも一部どうしが、弾性部材を介して接合され、
最外層のうち非駆動部に対応する副領域の少なくとも一部どうしが、接合されていないこと
を特徴とする誘電エラストマーアクチュエータの接合構造。
【００１１】
＜作用＞
最外層のうち駆動部に対応する主領域の少なくとも一部が、基板又は相手側最外層の主領域と接合されているので、駆動部の電圧印加による変形を誘電エラストマーアクチュエータの変位として外部に確実に取り出すことができる。
最外層のうち非駆動部に対応する副領域の少なくとも一部が、基板又は相手側最外層の副領域と接合されていないので、非駆動部の受動的な変形の自由度が増え、駆動部の電圧印加による変形を阻害することが低減する。その結果、誘電エラストマーアクチュエータの変位が向上する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、誘電エラストマー層のうち非駆動部が駆動部の変形を阻害することを低減して、誘電エラストマーアクチュエータの変位を向上させることができるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１（ａ）は実施例１の誘電エラストマーアクチュエータの平面図、（ｂ）は同じく正面図、（ｃ）は同じく拡大断面図である。
【図２】図２（ａ）は実施例２の誘電エラストマーアクチュエータの平面図と正面図、（ｂ）は実施例３の誘電エラストマーアクチュエータの平面図と正面図、（ｃ）は実施例４の誘電エラストマーアクチュエータの平面図と正面図、（ｄ）は比較例１の誘電エラストマーアクチュエータの平面図と正面図である。
【図３】図３（ａ）は実施例７の誘電エラストマーアクチュエータの平面図、（ｂ）は同じく正面図、（ｃ）は比較例２の誘電エラストマーアクチュエータの正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
［１］誘電エラストマー層
誘電エラストマー層は、誘電エラストマーからなり、誘電エラストマー以外の成分を含んでいてもよい。
誘電エラストマーとしては、特に限定されないが、シリコーンエラストマー、スチレン系熱可塑性エラストマー、天然ゴム、ニトリルゴム、アクリルゴム、ウレタンゴム、ウレアゴム、フッ素ゴム、架橋ポリロタキサン等を例示できる。架橋ポリロタキサンとしては、ポリロタキサンと架橋剤とがウレタン結合等で結合されているものを例示できる。
【００１５】
誘電エラストマー層の厚さ（膜厚）は、特に限定されないが、１〜２００μｍを例示できる。誘電エラストマー層は、成形された膜、基材上に塗工された膜、別の基材上に塗工され剥がされてできた膜等を例示できる。
【００１６】
誘電エラストマー層は、変位を大きく取れる点で、２以上の誘電エラストマー層と３以上の電極とを交互に（第１電極／誘電エラストマー層／第２電極／誘電エラストマー層／第１電極・・・）積層したものが好ましい。この場合、２以上の誘電エラストマー層は、互いに同一材料でもよいし異材料でもよい。異材料としては、架橋ポリロタキサンとそれ以外の誘電エラストマーとの併用を例示できる。
積層数は、特に限定されないが、誘電エラストマー層の層数で表すと、２〜１９０が好ましく、１０〜１５０がより好ましい。
【００１７】
上記において、ポリロタキサンは、環状分子に直鎖状分子が相対スライド可能に貫通し、直鎖状分子の両末端に配された封鎖基により環状分子が脱離しない構造の分子集合体であり（例えば国際公開第２００５／０８０４６９号）、スライドリングマテリアルとも称されている。ポリロタキサンは、特定の環状分子、直鎖状分子、封鎖基を有するものに限定されない。
環状分子としては、シクロデキストリン、クラウンエーテル、シクロファン、カリックスアレーン、ククルビットウリル、環状アミド等を例示できる。
直鎖状分子としては、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラヒドロフラン等のポリエーテル類、ポリ乳酸等のポリエステル類、６−ナイロン等のポリアミド類、ポリイソプレン、ポリブタジエン等のジエン系重合体、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリビニルメチルエーテル、ポリイソブチレン等のビニル重合体や、ポリジメチルシロキサン等を例示できる。
封鎖基としては、ジニトロフェニル基類、シクロデキストリン類、アダマンタン基類、トリチル基類、フルオレセイン類、ピレン類、置換ベンゼン類（置換基として、アルキル、アルキルオキシ、ヒドロキシ、ハロゲン、シアノ、スルホニル、カルボキシル、アミノ、フェニルなどを例示できる。）、置換されていてもよい多核芳香族類（置換基として、上記と同じものを例示できる。）、ステロイド類等を例示できる。
現在、最も一般的なポリロタキサンは、環状分子としてシクロデキストリン、直鎖状分子としてポリエチレングリコールを用いたものである。
【００１８】
そして、架橋ポリロタキサンは、隣接するポリロタキサンの環状分子間が架橋剤で架橋されたものであり、誘電率が高いことと、粘弾性等のユニークな力学的特性から、誘電エラストマーアクチュエータの誘電エラストマー層に適している。架橋剤は、特定のものに限定されない。
架橋剤としては、塩化シアヌル、トリメソイルクロリド、テレフタロイルクロリド、エピクロロヒドリン、ジブロモベンゼン、グルタールアルデヒド、脂肪族多官能イソシアネート、芳香族多官能イソシアネート、ジイソシアン酸トリレイン、ヘキサメチレンジイソシアネート、ジビニルスルホン、１，１‘−カルボニルジイミダゾール、アルコキシシラン類、およびそれらの誘導体、両末端にイソシアネートを有する重合体（例えば、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等）、ポリシロキサンを含有するブロック共重合体（ポリカプロラクトン−ポリシロキサンブロック共重合体、ポリアジペート−ポリシロキサンブロック共重合体、ポリエチレングリコール−ポリシロキサンブロック共重合体等）等を例示できる。
【００１９】
［２］第１電極及び第２電極
第１電極及び第２電極は、誘電エラストマー層の変形に追従して変形できるものであり、特に限定されないが、導電性粒子からなる導電性膜、導電性粒子を含む導電性塗膜、導電性粒子を含む導電性エラストマー層等を例示できる。
ここで、導電性粒子としては、特に限定されないが、カーボンブラック、カーボンナノチューブ、白金、金、銀、銅、ニッケル等の粒子等を例示できる。
導電性塗膜の樹脂成分としては、特に限定されないが、フタル酸系、アクリル系、ウレタン系、エポキシ系、ビニル系等の樹脂を例示できる。
導電性エラストマー層のエラストマー成分としては、特に限定されないが、上記［１］で例示した誘電エラストマーを例示できる。
【００２０】
［３］最外層
最外層は、電極間方向の延長上にある最も外側の層であって、誘電エラストマー層の変形に追従して変形できるものであり、特定材料の層に限定されず、最も外側にある電極自体でもよいし、電極を保護するために電極に重ねられた保護層等でもよい。保護層としてはエラストマー層等を例示でき、エラストマー層としては上記［１］で例示した誘電エラストマーを例示でき、特に、表面がプラズマ処理された、シリコーンエラストマー又は架橋ポリロタキサンが好ましい。
【００２１】
［４］最外層のうち主領域の接合部位
最外層のうち駆動部に対応する「主領域の少なくとも一部」の態様（弾性部材を介して基板又は相手側最外層と接合されている部位）としては、次の態様を例示できる。
（ア）主領域の全部
（イ）主領域の中心部
（ウ）主領域に点在している
（接合されている）主領域の一部は、面積比で、主領域の２０％以上が好ましく、３０％以上がより好ましい。
【００２２】
［５］最外層のうち副領域の非接合部位
最外層のうち非駆動部に対応する「副領域の少なくとも一部」の態様（基板又は相手側最外層と接合されていない部位）については、次の態様を例示できる。
（ア）副領域の全部
（イ）副領域の一部：すなわち、副領域は部分的に弾性部材を介して基板又は相手側最外層と接合されており、「副領域の少なくとも一部」は残部である。
副領域の前記接合されている部分は、例えば点在している態様を例示できる。
（接合されていない）副領域の一部は、面積比で、副領域の５０％以上が好ましく、８０％以上がより好ましい。
【００２３】
［６］弾性部材
弾性部材としては、特に限定されないが、弾性接着剤、エラストマー等を例示できる。
弾性接着剤としては、ウレタン系接着剤、シリコーン系接着剤等を例示できる。
エラストマーとしては上記［１］で例示した誘電エラストマーを例示でき、特に、表面がプラズマ処理された、シリコーンエラストマー又は架橋ポリロタキサンが好ましい。
弾性部材の厚さは、特に限定されないが、駆動部の変形をできるだけ拘束しないよう、５０μｍ以上と厚くすることが好ましい。同厚さの上限は、特にないが、敢えていえば５ｍｍである。
【実施例】
【００２４】
以下、本発明を具体化した誘電エラストマーアクチュエータの接合構造の実施例について、次の順に説明する。なお、本発明は本実施例に限定されるものではない。
＜１＞誘電エラストマー層（架橋ポリロタキサン層）の作製
＜２＞電極（導電性エラストマー層）の作製
＜３＞誘電エラストマーアクチュエータ（１０層）の作製
＜４＞駆動試験
＜５＞誘電エラストマーアクチュエータ（１００層＋１００層）の作製
＜６＞駆動試験
【００２５】
＜１＞誘電エラストマー層（架橋ポリロタキサン層）の作製
本出願人が先に提案した、特開２０１７−６６３１８号公報の実施例１と同様のポリロタキサン組成物を作製した。
すなわち、まず、同公報に開示された、ポリロタキサンＡと、ポリシロキサンを含有するブロック共重合体Ｂと、ポリシロキサンを含有しない重合体Ｃとを作製した。
ポリロタキサンＡは、具体的には、環状分子としてシクロデキストリンを含有し、直鎖状分子としてポリエチレングリコールを含有し、直鎖状分子の両末端に封鎖基が配置されたものである。本例のポリロタキサンＡは、さらに溶化性や相溶性を得るため、カプロラクトン基を有するものである。
ポリシロキサンを含有するブロック共重合体Ｂは、ポリシロキサン（シリコーン成分）により耐湿性を向上させるものであり、具体的には、末端ブロックイソシアネート基を有するポリカプロラクトン−ポリジメチルシロキサン−ポリカプロラクトンのブロック共重合体である。同共重合体Ｂの添加は任意である。
ポリシロキサンを含有しない重合体Ｃは、ポリロタキサンとの相溶性が高く、これを含むことで高誘電率と低弾性を実現するものであり、具体的には、末端ブロックイソシアネート基を有するポリプロピレングリコールである。同重合体Ｃの添加は任意である。
これらとその他の成分を、次に示す配合（配合数値は質量部）で加えて攪拌し、よく脱泡して、ポリロタキサン組成物溶液を調製した。
ポリロタキサンＡ                      １０
ポリシロキサンブロック共重合体Ｂ        ４．９
重合体Ｃ                              １０．５
ポリプロピレングリコールジオール        ４．７
メチルセロソルブ                      ２５．９
ジラウリル酸ジブチルスズ                ０．０１４
ＤＢＬ−Ｃ３１（ＧＥＬＥＳＴ社製）      ０．１４
ＩＲＧＡＮＯＸ１７２６（ＢＡＳＦ社製）  ０．４２
【００２６】
上記ポリロタキサン組成物溶液を、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）板の上にスリットダイコータ法により塗布し、厚さ５０μｍのポリロタキサン層（膜）を形成した。続いて、ＰＥＴ板付きのポリロタキサン層を、１３０℃のオーブン内に減圧条件下で５時間おいて架橋・硬化させ、硬化した架橋ポリロタキサン層（誘電エラストマー層）をＰＥＴ板から剥がした。
【００２７】
＜２＞電極（導電性エラストマー層）の作製
シリコーンエラストマーとその他の成分を、次に示す配合（配合数値は質量部）で加えて攪拌し、よく脱泡して、エラストマー組成物溶液を作製した。カーボン粒子は、エラストマー層に導電性を付与するものである。
シリコーンエラストマー                １０
有機溶媒（ヘプタン）                ３００
カーボン粒子（ケッチェンブラック）      １
【００２８】
上記エラストマー組成物溶液を、ＰＥＴ板の上にスリットダイコータ法により塗布し、厚さ１０μｍの導電性エラストマー層（膜）を形成した。続いて、ＰＥＴ板付きの導電性エラストマー層を、１００℃のオーブン内に減圧条件下で２４時間おいて架橋・硬化させ、硬化した導電性エラストマー層をＰＥＴ板から剥がした。
【００２９】
＜３＞誘電エラストマーアクチュエータ（１０層）の作製
上記架橋ポリロタキサン層と導電性エラストマー層を、それぞれ表面プラズマ処理した。
図１（ａ）に示すように、架橋ポリロタキサン層を１４ｍｍ×１５ｍｍの長方形に切断して、誘電エラストマー層３とした。また、導電性エラストマー層を１０ｍｍ×１２．５ｍｍの長方形に切断して、第１電極１及び第２電極２とした。
【００３０】
図１（ｂ）（ｃ）に示すように、１０層の誘電エラストマー層３と、６層の第１電極１と、５層の第２電極２とを交互に（第１電極１／誘電エラストマー層３／第２電極２／誘電エラストマー層３／第１電極１・・・第１電極１）積層した。この１０層の誘電エラストマー層３が電圧印加により変形するものである。さらに、最上層の第１電極１の上と、最下層の第１電極１の下に、それぞれ電極保護のための保護層４を積層した。保護層４には誘電エラストマー層３と同じものを用いた。
【００３１】
第１電極１と第２電極２は、上記１２．５ｍｍの長さ方向に２．５ｍｍずらして配されることにより、図１（ａ）に示すように、平面視で１０ｍｍ×１０ｍｍの正方形領域で誘電エラストマー層３を挟んでいる。また、２．５ｍｍずらした部分にはシリコーンエラストマーからなる厚さ１０μｍの外埋め層５が設けられ、誘電エラストマー層３に段が付かないようになっている。
【００３２】
こうしてできた積層体を真空加熱プレス機にかけ、真空度１００Ｐａ以下、加熱温度１００℃の下で、圧力０．６７ＭＰａで５分圧着して接合した。積層体の一方の側面に銀粒子を含むシリコーンエラストマーを塗布して架橋・硬化させ、すべての第１電極１に導通する第１外部電極６を形成した。また、積層体の他方の側面に銀粒子を含むシリコーンエラストマーを塗布して架橋・硬化させ、すべての第２電極２に導通する第２外部電極７を形成した。第１電極１と第２電極２とは電気的につながっていない。こうして、誘電エラストマーアクチュエータ１０を作製した。
【００３３】
誘電エラストマー層３のうち２つの電極１，２で挟まれた部分が駆動部であり、誘電エラストマー層３のうち２つの電極１，２で挟まれない部分（いずれかの電極からはみ出した部分）が非駆動部である。また、保護層４が最外層である。
【００３４】
さて、実施例１〜６は、保護層４のうち駆動部に対応する主領域Ａ（図１（ａ）で点線ハッチングよりも内側の領域）の少なくとも一部が、弾性部材としての弾性接着剤１１を介して基板１２と接合され、保護層４のうち非駆動部に対応する副領域Ｂ（図１（ａ）で点線ハッチングを付した領域）の少なくとも一部が、基板１２と接合されていないことを特徴としている。弾性接着剤１１には、セメダイン株式会社の商品名「ＵＴ１００Ｂ」が使用された。基板１２には、ガラス繊維強化エポキシ樹脂基板が使用された。
【００３５】
次の表１に示す（さらに図２〜図４では太破線で示す）ように、実施例１（図１）は主領域Ａの１０ｍｍ角の全部が、実施例２（図２（ａ））は主領域Ａの中心部の７ｍｍ角内が、実施例３（図２（ｂ））は主領域Ａの中心部の５ｍｍ角内が、実施例４（図２（ｃ））は主領域Ａの中心部と四隅部の各２ｍｍ角内が、それぞれ弾性接着剤１１を介して基板１２と接合された。
また、比較例１（図２（ｄ））は、主領域Ａの全部と副領域Ｂの大半とにかかる１４ｍｍ角内が、弾性接着剤１１を介して基板１２と接合された。
これら接合後の弾性接着剤１１の厚さは、２００μｍである。
実施例５，６（図示略）は、実施例２と同じく主領域Ａの中心部の７ｍｍ角内が、弾性接着剤１１を介して基板１２と接合された。但し、接合後の弾性接着剤１１の厚さは、実施例５で１００μｍ、実施例６で５０μｍである。
【００３６】
【表１】
2020162284.tif 000003
【００３７】
＜４＞駆動試験
図１（ｃ）に示すように、実施例１〜６及び比較例１の誘電エラストマーアクチュエータ１０の第１外部電極６と第２外部電極７に電圧印加装置２０を接続し、第１電極１と第２電極２との間に１２００Ｖの直流電圧を印加する試験を行った。試験環境は、温度２５℃、湿度４０％以下の大気中である。
【００３８】
第１電極１と第２電極２との間に電圧を印加すると、電極間に溜まった電荷のクーロン力により、図１（ｂ）の右側に示すように、誘電エラストマー層３は、電極間方向に収縮変形し、その直角方向に伸長変形するので、これらの変形を駆動用の変位として取り出す駆動装置となる。積層方向に取り出した変位は、表１に示すように、比較例１では１．７μｍと小さかったが、実施例では５．１μｍ以上と大きくなり、主領域Ａの接着範囲が小さいほど、また、弾性接着剤１１が厚いほど、大きい変位を取り出すことができた。
【００３９】
＜５＞誘電エラストマーアクチュエータ（１００層＋１００層）の作製
次に、上記＜３＞の誘電エラストマーアクチュエータ（１０層）の積層層を、図３（ｂ）に示すように、誘電エラストマー層３の層数で表して１００層に増やした誘電エラストマーアクチュエータ１０を作成した。すなわち、１００層の誘電エラストマー層３と、５１層の第１電極１と、５０層の第２電極２とを交互に積層し、外埋め層（図示略）を設け、最外層として保護層４を積層し、架橋・硬化後、第１外部電極６と第２外部電極７を形成した。各部材１〜４の材料と寸法は上記＜３＞と同様である。
【００４０】
図３（ａ）（ｂ）に示す実施例７は、１００層の誘電エラストマーアクチュエータ１０の２つを接合したものであり、保護層４のうち駆動部に対応する主領域Ａの中心部の直径８ｍｍ内どうしが、弾性部材としての弾性接着剤１１を介して接合され、保護層４のうち非駆動部に対応する副領域Ｂの全部どうしが、接合されていないことを特徴としている。
これに対し、図３（ｃ）に示す比較例２は、上記＜３＞の誘電エラストマーアクチュエータ（１０層）の積層層を、誘電エラストマー層３の層数で表して２００層に増やした誘電エラストマーアクチュエータ５０である。
【００４１】
＜６＞駆動試験
実施例７及び比較例２の誘電エラストマーアクチュエータ１０について、上記＜４＞と同様の駆動試験を行った。
実施例７に電圧を印加すると、図３（ｂ）の右側に示すように、それぞれの誘電エラストマーアクチュエータ１０の非駆動部は、駆動部の変形に連れて受動的に樽形へと丸く撓み変形し、積層方向に取り出した変位は５１５μｍであった。
比較例２に電圧を印加すると、図３（ｃ）の右側に示すように、誘電エラストマーアクチュエータ５０の非駆動部は、駆動部の変形に連れて受動的に樽形へと丸く撓み変形し、積層方向に取り出した変位は４８７μｍであった。
【００４２】
なお、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、例えば次のように、発明の趣旨から逸脱しない範囲で適宜変更して具体化することができる。
（１）実施例７を、実施例１〜６のように、主領域Ａの一部どおしが接合された態様に変更したり、副領域Ｂの一部どうしが接合されていない態様に変更したりすること。
【符号の説明】
【００４３】
１    第１電極
２    第２電極
３    誘電エラストマー層
４    （最外層としての）保護層
５    外埋め層
６    第１外部電極
７    第２外部電極
１０    誘電エラストマーアクチュエータ
１１    （弾性部材としての）弾性接着剤
１２    基板
２０    電圧印加装置
【図１】
2020162284.tif 000004
【図２】
2020162284.tif 000005
【図３】
2020162284.tif 000006