(57)【要約】【課題】蒸着源蒸発装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】蒸着源を収容し、一側に噴射部が具備されたるつぼユニットと、るつぼユニットを加熱し、噴射部を介して蒸着源を蒸発させるヒータと、噴射部側を介した放熱を抑制する放射熱防止板と、を含み、該るつぼユニットと該放射熱防止板とのうちいずれか一つが、炭素ファイバ複合材によって作製された蒸着源蒸発装置である。【選択図】図３
2020139229.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着源を収容し、一側に噴射部が具備されたるつぼユニットと、
前記るつぼユニットを加熱し、前記噴射部を介して前記蒸着源を蒸発させるヒータと、
前記噴射部側を介した放熱を抑制する放射熱防止板と、を含み、
前記るつぼユニットと前記放射熱防止板とのうちいずれか一つの材質は、炭素ファイバ複合材を含む蒸着源蒸発装置。
【請求項２】
前記炭素ファイバ複合材は、炭素ファイバ粒子と第１カーボン系樹脂とを含むことを特徴とする請求項１に記載の蒸着源蒸発装置。
【請求項３】
前記炭素ファイバ粒子は、炭素ファイバの破片と粉末とのうちいずれか一つを含むことを特徴とする請求項２に記載の蒸着源蒸発装置。
【請求項４】
前記炭素ファイバ複合材の内部の空隙が第２カーボン系樹脂で充填されていることを特徴とする請求項２に記載の蒸着源蒸発装置。
【請求項５】
前記放射熱防止板は、単一体であることを特徴とする請求項１に記載の蒸着源蒸発装置。
【請求項６】
前記るつぼユニットは、前記蒸着源を収容する内部るつぼと、前記内部るつぼを収容し前記ヒータによって加熱される外部るつぼと、前記外部るつぼと前記ヒータとを収容するハウジングと、前記ハウジングを収容し冷媒循環部を有したクーリングジャケットと、を含み、
前記内部るつぼ、前記外部るつぼ及び前記ハウジングの材質は、前記炭素ファイバ複合材を含むことを特徴とする請求項１に記載の蒸着源蒸発装置。
【請求項７】
前記内部るつぼは、単一収容空間を有した単一体であることを特徴とする請求項６に記載の蒸着源蒸発装置。
【請求項８】
前記ハウジングの内壁には、前記炭素ファイバ複合材の材質の放熱板が設けられたことを特徴とする請求項６に記載の蒸着源蒸発装置。
【請求項９】
前記ハウジング、前記放熱板及び前記外部るつぼは、一体型であることを特徴とする請求項８に記載の蒸着源蒸発装置。
【請求項１０】
前記噴射部が互いに対称になるように配置された一対の前記るつぼユニットを具備し、
前記ヒータと前記放射熱防止板とは、前記一対のるつぼユニットのそれぞれに対応して設けられたことを特徴とする請求項１に記載の蒸着源蒸発装置。
【請求項１１】
蒸着源を収容し、一側に噴射部が具備されたるつぼユニットを準備し、
前記るつぼユニットにヒータを設け、
前記るつぼユニットの噴射部側に放熱を抑制する放射熱防止板を設けること、を含み、
前記るつぼユニットと前記放射熱防止板とのうちいずれか一つを、炭素ファイバ複合材で作製する蒸着源蒸発装置の製造方法。
【請求項１２】
前記炭素ファイバ複合材は、炭素ファイバ粒子を第１カーボン系樹脂と混合した後、圧縮硬化させて作製することを特徴とする請求項１１に記載の蒸着源蒸発装置の製造方法。
【請求項１３】
前記炭素ファイバ粒子は、炭素ファイバを破片に切り刻む工程と、粉末に粉砕する工程とのうちいずれか一つの工程で作製することを特徴とする請求項１２に記載の蒸着源蒸発装置の製造方法。
【請求項１４】
前記炭素ファイバ複合材を真空処理し、内部の空隙の異物を除去する工程と、前記異物が除去された空隙に、第２カーボン系樹脂を含浸させて充填させて硬化させる工程と、をさらに含むことを特徴とする請求項１２に記載の蒸着源蒸発装置の製造方法。
【請求項１５】
前記放射熱防止板を単一体として作製することを特徴とする請求項１１に記載の蒸着源蒸発装置の製造方法。
【請求項１６】
前記るつぼユニットは、前記蒸着源を収容する内部るつぼと、前記内部るつぼを収容し前記ヒータによって加熱される外部るつぼと、前記外部るつぼと前記ヒータとを収容するハウジングと、前記ハウジングを収容し冷媒循環部を有したクーリングジャケットと、を含み、
前記内部るつぼ、前記外部るつぼ及び前記ハウジングを、前記炭素ファイバ複合材で作製することを特徴とする請求項１１に記載の蒸着源蒸発装置の製造方法。
【請求項１７】
前記内部るつぼを、単一収容空間を有した単一体として作製することを特徴とする請求項１６に記載の蒸着源蒸発装置の製造方法。
【請求項１８】
前記ハウジングの内壁に、前記炭素ファイバ複合材の材質の放熱板をさらに設けることを特徴とする請求項１６に記載の蒸着源蒸発装置の製造方法。
【請求項１９】
前記ハウジング、前記放熱板及び前記外部るつぼを一体型に作製することを特徴とする請求項１８に記載の蒸着源蒸発装置の製造方法。
【請求項２０】
前記噴射部が互いに対称になるように配置された一対の前記るつぼユニットを準備し、
前記一対のるつぼユニットのそれぞれに対応して、前記ヒータ及び前記放射熱防止板をそれぞれ設けること、をさらに含むことを特徴とする請求項１１に記載の蒸着源蒸発装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着作業において蒸着源を蒸発させる装置、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、有機発光ディスプレイ装置の薄膜形成のような薄膜製造工程には、蒸着源を蒸発させて基板表面に付着させる蒸着工程が多用される。すなわち、基板上にマスクをあてがい、蒸着源の蒸気を該マスクの開口に通過させ、所望パターンの薄膜を基板上に形成させる。
【０００３】
ところで、そのような蒸着源の蒸発が進む間には、通常１，１００〜１，３００℃まで温度が上がるために、蒸発装置が高温の熱によって変形されたり破損されたりする可能性が高い。それにより、蒸着品質が低下し、装置の寿命が短くなり、頻繁に部品を交換しなければならないので、作業効率も落ちてしまう。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明が解決しようとする課題は、高温の蒸着作業を長期間無難に耐えられるように改善された蒸着源蒸発装置及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施形態は、蒸着源を収容し、一側に噴射部が具備されたるつぼユニットと、前記るつぼユニットを加熱し、前記噴射部を介して前記蒸着源を蒸発させるヒータと、前記噴射部側を介した放熱を抑制する放射熱防止板と、を含み、前記るつぼユニットと前記放射熱防止板とのうちいずれか一つの材質は、炭素ファイバ複合材を含む蒸着源蒸発装置を提供する。
【０００６】
前記炭素ファイバ複合材は、炭素ファイバ粒子と第１カーボン系樹脂とを含んでもよい。
【０００７】
前記炭素ファイバ粒子は、炭素ファイバの破片と粉末とのうちいずれか一つを含んでもよい。
【０００８】
前記炭素ファイバ複合材の内部の空隙が第２カーボン系樹脂で充填されてもよい。
【０００９】
前記放射熱防止板は、単一体であってもよい。
【００１０】
前記るつぼユニットは、前記蒸着源を収容する内部るつぼと、前記内部るつぼを収容し前記ヒータによって加熱される外部るつぼと、前記外部るつぼと前記ヒータとを収容するハウジングと、前記ハウジングを収容し冷媒循環部を有したクーリングジャケットと、を含み、前記内部るつぼ、前記外部るつぼ及び前記ハウジングの材質は、前記炭素ファイバ複合材を含んでもよい。
【００１１】
前記内部るつぼは、単一収容空間を有した単一体であってもよい。
【００１２】
前記ハウジングの内壁には、前記炭素ファイバ複合材の材質の放熱板が設けられてもよい。
【００１３】
前記ハウジング、前記放熱板及び前記外部るつぼは、一体型であってもよい。
【００１４】
前記噴射部が互いに対称になるように配置された一対の前記るつぼユニットを具備し、
前記ヒータと前記放射熱防止板とは、前記一対のるつぼユニットにそれぞれ対応して設けられてもよい。
【００１５】
また、本発明の実施形態は、蒸着源を収容し、一側に噴射部が具備されたるつぼユニットを準備し、前記るつぼユニットにヒータを設け、前記るつぼユニットの噴射部側に放熱を抑制する放射熱防止板を設けること、を含み、前記るつぼユニットと前記放射熱防止板とのうちいずれか一つを、炭素ファイバ複合材で作製する蒸着源蒸発装置の製造方法を提供する。
【００１６】
前記炭素ファイバ複合材は、炭素ファイバ粒子を第１カーボン系樹脂と混合した後、圧縮硬化させて作製してもよい。
【００１７】
前記炭素ファイバ粒子は、炭素ファイバを破片に切り刻む工程と、粉末に粉砕する工程とのうちいずれか一つの工程で作製してもよい。
【００１８】
前記炭素ファイバ複合材を真空処理し、内部の空隙の異物を除去する工程と、前記異物が除去された空隙に、第２カーボン系樹脂を含浸させて充填させて硬化させる工程と、をさらに含んでもよい。
【００１９】
前記放射熱防止板を単一体として作製してもよい。
【００２０】
前記るつぼユニットは、前記蒸着源を収容する内部るつぼと、前記内部るつぼを収容し前記ヒータによって加熱される外部るつぼと、前記外部るつぼと前記ヒータとを収容するハウジングと、前記ハウジングを収容し冷媒循環部を有したクーリングジャケットと、を含み、前記内部るつぼ、前記外部るつぼ及び前記ハウジングを、前記炭素ファイバ複合材で作製してもよい。
【００２１】
前記内部るつぼを、単一収容空間を有した単一体として作製してもよい。
【００２２】
前記ハウジングの内壁に、前記炭素ファイバ複合材の材質の放熱板をさらに設けてもよい。
【００２３】
前記ハウジング、前記放熱板及び前記外部るつぼを一体型に作製してもよい。
【００２４】
前記噴射部が互いに対称になるように配置された一対の前記るつぼユニット１対を準備し、前記一対のるつぼユニットのそれぞれに対応して、前記ヒータ及び前記放射熱防止板をそれぞれ設けること、をさらに含んでもよい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の蒸着源蒸発装置を利用すれば、長期間の蒸着作業も無難に進めることができ、それにより、部品の寿命が長くなり、作業性と蒸着品質とがいずれも改善される。また、蒸着装置の部材を小さい複数の部分に分けず、一つにまとめて大きくすることができ、装置の作製及び管理も便利になる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施形態による蒸着源蒸発装置を使用する蒸着過程を示した図面である。
【図２】図１に図示された蒸着源蒸発装置の斜視図である。
【図３】図２に図示された蒸着源蒸発装置の分離斜視図である。
【図４】図３に図示された蒸着源蒸発装置の製造過程を示したフローチャートである。
【図５Ａ】図４に図示された製造過程において、真空排気過程を描写した図面である。
【図５Ｂ】図４に図示された製造過程において、含浸過程を描写した図面である。
【図６】本発明の他の実施形態による蒸着源蒸発装置を図示した分離斜視図である。
【図７】本発明のさらに他の実施形態による蒸着源蒸発装置を図示した斜視図である。
【図８】図１に図示された対象基板の細部構造を示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
本発明は、多様な変換を加えることができ、さまざまな実施形態を有することができるが、特定の一実施形態を図面に例示し、詳細な説明によって詳細に説明する。本発明の効果、特徴、及びそれらを達成する方法は、図面と共に詳細に後述する実施形態を参照すれば、明確になるであろう。しかし、本発明は、以下で開示される実施形態に限定されるものではなく、多様な形態で具現される。
【００２８】
以下、添付された図面を参照し、本発明の一実施形態について詳細に説明するが、図面を参照して説明するとき、同一、あるいは対応する構成要素は、同一図面符号を付し、それらに関して重複する説明は、省略する。
【００２９】
以下の一実施形態において、単数の表現は、文脈上明白に取り立てて意味しない限り、複数の表現を含む。
【００３０】
以下の実施形態において、「含む」または「有する」というような用語は、明細書上に記載された特徴または構成要素が存在するということを意味するものであり、１以上の他の特徴または構成要素が付加される可能性をあらかじめ排除するものではない。
【００３１】
図面においては、説明の便宜のために、構成要素は、その大きさが誇張されていたり縮小されていたりする。例えば、図面に示された各構成の大きさ及び厚みは、説明の便宜のために任意に示されているので、本発明は、必ずしも図示されたところに限定されるものではない。
【００３２】
ある実施形態が異なって具現可能な場合、特定の工程順序は、説明される順序と異なるようにも遂行される。例えば、連続して説明される２つの工程が実質的に同時にも遂行され、説明される順序と反対の順序にも進められる。
【００３３】
図１は、本発明の実施形態による蒸着源蒸発装置１００が採用された薄膜蒸着装置の構造を概略的に図示したものである。
【００３４】
図示されているように、薄膜蒸着装置は、対象基板３００上の蒸着領域を制限するマスク２００と、チャンバ４００内において、対象基板３００に向けて蒸着ガスを噴出する蒸着源蒸発装置１００と、を具備している。
【００３５】
従って、チャンバ４００内において、蒸着源蒸発装置１００が噴射部１２１ａを介して蒸着ガスを噴出すると、この蒸着ガスが、マスク１２０の開口を通過し、基板３００に付着しながら、所定パターンの薄膜を形成することになる。
【００３６】
蒸着源蒸発装置１００は、図１及び図２に示されているように、レール４１０に沿ってチャンバ４００内を往復移動しながら、対象基板３００の全体蒸着領域に対し、蒸着ガスを噴射する。なお、この蒸着方式の一例であり、これとは反対に、蒸着源蒸発装置１００が固定された状態で、対象基板３００が往復移動したり回転したりしながら、蒸着を進めるように構成することもできる。すなわち、相対移動のために、いずれかを固定させ、いずれを移動させるかということは、多様な変形が可能である。
【００３７】
さて、蒸着源蒸発装置１００の細部構造について、図２及び図３を参照して説明する。
【００３８】
まず、図２に示されているように、蒸着源蒸発装置１００は、蒸着源を収容し、噴射部１２１ａを介して対象基板３００側に蒸着ガスを噴射するるつぼユニット１２０と、蒸着源が蒸発されるように、るつぼユニット１２０を加熱するヒータ１３０と、るつぼユニット１２０から発生する熱が、基板３００側に放出されないように阻む放射熱防止板１１０と、を具備している。従って、ヒータ１３０がるつぼユニット１２０を加熱すれば、その中に収容された蒸着源が蒸発し、前記噴射部１２１ａを介して噴射されるのである。ヒータ１３０は、３区間（１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃ）に分割された構造によってなり、各区間別に、選択加熱制御（differential heating control）も可能である。
【００３９】
参照符号１１１は、噴射部１２１ａに対応し、放射熱防止板１１０に形成された貫通孔を示す。そして、参照符号１２５は、るつぼユニット１２０において、冷媒循環部１２５ａを有したクーリングジャケットを示し、ヒータ１３０によって周辺が熱くなり過ぎないように適切に冷却する役割を行う。
【００４０】
るつぼユニット１２０について、さらに具体的に説明すると、図３に示されているように、内部るつぼ１２１、外部るつぼ１２２、放熱板１２３、ハウジング１２４及びクーリングジャケット１２５を具備している。
【００４１】
内部るつぼ１２１は、蒸着源を直接内部空間に収容するものであり、収容された蒸着源が全て使い尽くされると、内部るつぼ１２１をるつぼユニット１２０から抜き取り、内部収容空間に蒸着源をさらに充填した後、再装着して使用する。
【００４２】
外部るつぼ１２２は、内部るつぼ１２１を収納し、ヒータ１３０は、この外部るつぼ１２２の外壁に設けられて発熱する。
【００４３】
ハウジング１２４は、外部るつぼ１２２とヒータ１３０とを収納し、底面には、放熱板１２３が配置される。放熱板１２３は、ヒータ１３０の熱によってハウジング１２４が変形しないように保護する役割を有し、本実施形態においては、ハウジング１２４の底面にのみあるように図示されているが、側面にも、設けられてもよい。そして、ハウジング１２４底面に、放熱板１２３を支えるフレーム（図示せず）をさらに設けてもよい。参照符号１３１は、ヒータ１３０がハウジング１２４内壁に直接触れないように間隔を維持する絶縁体を示す。
【００４４】
クーリングジャケット１２５は、ハウジング１２４を収納し、前述のように本体外壁に設けられた冷媒循環部１２５ａで冷媒を循環させながら、ヒータ１３０によって発生した熱を適切に冷却する。
【００４５】
一方、本実施形態においては、放射熱防止板１１０、内部るつぼ１２１、外部るつぼ１２２及びハウジング１２４がいずれも分割体（分割された構造）ではなく、単一体（一体の構造）で作製される。すなわち、放射熱防止板１１０を見れば、本体が多くの部分に分けられるものではなく、全体が一体の単一体で作製され、内部るつぼ１２１も、単一収容空間を有した単一体で作製され、外部るつぼ１２２、放熱板１２３及びハウジング１２４も、同様に単一体で作製される。
【００４６】
以前は、それを単一体にすることができず、多くの部分に分けて作製した後で互いに取り付けて使用したが、その理由は、単一体で大きく作製する場合、熱変形が起きる可能性が高くなるためである。すなわち、放射熱防止板１１０からハウジング１２４までは、蒸着作業時、ヒータ１３０による熱を直接受け、約１，０００℃を超える雰囲気で長期間使用されるために、熱変形の心配が常時あり、特に、部材が大きくて長くなるほど、ねじれるというような変形が発生する可能性が高くなる。従って、従来は、そのような変形の危険性を減らすために、部材を小さく短くした後で互いに取り付けて使用したが、そのような場合、例えば、放射熱防止板１１０の多くの部材が接触する部分に間隙が生じやすくなり、その間隙から外部に高温の熱が放出されるため、対象基板３００や周辺機器が劣化される危険性が高くなる。そして、作業性の側面からみても、部材を分割体にした後、互いに取り付ける組み立ての過程を追加しなければならないので、作製過程が複雑になるというような短所が多かった。
【００４７】
しかし、本実施形態においては、放射熱防止板１１０、内部るつぼ１２１、外部るつぼ１２２及びハウジング１２４をいずれも単一体に作製することにより、そのような放射熱の漏出や、複雑な作製過程の問題をいずれも解消することができる。
【００４８】
前述のように、各部材を単一体として作製することができるのは、その素材を、炭素ファイバ複合材（carbon fiber composite）に改善したためである。すなわち、炭素ファイバ複合材は、耐熱性に非常にすぐれ、１，３００℃を超える温度でも、長期間変形なしに耐えることができる特性を有している。
【００４９】
従って、基本的には、放射熱防止板１１０を、炭素ファイバ複合材素材の単一体で作製し、熱漏出の危険性がある本体中間の間隙が生じないようにし、さまざまな部材を取り付ける必要がない簡素な作製過程を具現する。
【００５０】
それだけではなく、前述の内部るつぼ１２１、外部るつぼ１２２、放熱板１２３、ハウジング１２４、ハウジング１２４内部において、放熱板１２３を支持するフレーム（図示せず）まで、いずれもこの炭素ファイバ複合材を利用して単一体としてして使用することができる。それにより、高温の蒸着作業を長期間持続しても、部材自体の熱変形や、外部への熱漏出のような危険性がほとんどない非常に安定した作業環境を具現することができ、従って、作業性、及び製品の品質がいずれも向上する。
【００５１】
炭素ファイバ複合材を利用した前述の各部材の作製は、図４に図示されたフローチャートに沿って進められるが、その詳細な作製過程については、後述することにし、その前に、まず、この蒸着源蒸発装置１００に蒸着することができる対象基板３００の例を、図８を参照して簡略に紹介する。
【００５２】
蒸着源蒸発装置１００は、各種薄膜蒸着用に使用されるが、例えば、有機発光表示装置の金属電極層や有機膜を形成するのにも使用される。
【００５３】
図８は、本発明の蒸着源蒸発装置１００を利用して薄膜を蒸着することができる対象基板３００の例であり、有機発光表示装置の構造を図示したものである。
【００５４】
図８を参照すると、ベース板３２０上に、バッファ層３３０が形成され、バッファ層３３０の上部に、薄膜トランジスタＴＦＴが具備される。
【００５５】
薄膜トランジスタＴＦＴは、活性層３３１と、活性層３３１を覆うように形成されたゲート絶縁膜３３２と、ゲート絶縁膜３３２上部のゲート電極３３３と、を有する。
【００５６】
ゲート電極３３３を覆うように、層間絶縁膜３３４が形成され、層間絶縁膜３３４の上部に、ソース電極３３５ａ及びドレイン電極３３５ｂが形成される。
【００５７】
ソース電極３３５ａ及びドレイン電極３３５ｂは、ゲート絶縁膜３３２及び層間絶縁膜３３４に形成されたコンタクトホールにより、活性層３３１のソース領域及びドレイン領域にそれぞれ接触される。
【００５８】
そして、ドレイン電極３３５ｂに、有機発光素子ＯＬＥＤの画素電極３２１が連結される。画素電極３２１は、平坦化膜３３７上部に形成されており、該画素電極３２１上に、サブ画素領域を区画する画素定義膜（pixel defining layer）３３８が形成される。そして、画素定義膜３３８の開口部に、有機発光素子ＯＬＥＤの発光層３２６が形成され、それら上部に、対向電極３２７が蒸着される。すなわち、画素定義膜３３８で取り囲まれた開口部が、赤色画素（Ｒ）、緑色画素（Ｇ）及び青色画素（Ｂ）のような１サブ画素の領域になり、その中に、対応する色相の発光層３２６が形成される。対向電極３２７上には、有機膜３３９ａと無機膜３３９ｂとが相互に積層された薄膜封止層３３９が形成される。
【００５９】
従って、例えば、金属層である対向電極３２７や、薄膜封止層３３９の有機膜３３９ａ、無機膜３３９ｂを、前述の炭素ファイバ複合材素材を利用した蒸着源蒸発装置１００で形成することができる。
【００６０】
そのような炭素ファイバ複合材を利用した蒸着源蒸発装置１００部材の作製過程は、図４に図示されたフローチャートのように進められる。
【００６１】
まず、炭素ファイバ粒子と第１カーボン系樹脂とを混合し、素材になる炭素ファイバ複合材を準備する（Ｓ１）。ここで、炭素ファイバ粒子は、炭素ファイバを切り刻んだ（chopping）破片、またはそれを粉砕した粉末であり、それを第１カーボン系樹脂と混合し、ペースト状態の素材を作製する。その後、ペースト状態の素材をプレスで圧縮し（Ｓ２）、加熱して硬化させる（Ｓ３）。それにより、固体状態の素材が作製されるが、この状態においては、素材内部に空隙が多い状態であり、空隙中には、異物が多く入っている状態であるので、部材の成形素材としてそのまま使用すると、強度が弱くなってしまう。
【００６２】
従って、真空排気で異物を除去し（Ｓ４）、第２炭素系樹脂で空隙を充填する段階（Ｓ５）を経る。この真空排気の工程においては、図５Ａに図示されているように、素材１０を作業タンク３０中に入れ、真空排気させることにより、内部の空隙に入っていた異物が真空圧力によって抜け出る。次に、図５Ｂのように、作業タンク３０に、第２炭素系樹脂２０を供給し、素材１０を含浸させる。それにより、異物が除かれた空隙に第２炭素系樹脂２０が染み込みながら、その部分を充填する。第２炭素系樹脂２０は、前述の第１炭素系樹脂と同種の樹脂が使用されてもよいし、また異なる樹脂が使用されてもよい。
【００６３】
この状態において、素材１０をさらに加熱して硬化させると、空隙を充填した第２炭素系樹脂２０が固まりながら、素材１０本体と一体になる。
【００６４】
そのように準備した素材は、前述のように、非常に高い耐熱性と、適正な強度とを有し、従って、それを成形することによって、放射熱防止板１１０、内部るつぼ１２１、外部るつぼ１２２、放熱板１２３、ハウジング１２４を作製すれば（Ｓ７）、高温の蒸着作業を長期間持続しても、部材自体の熱変形や、外部への熱漏出のような危険性がほとんどない非常に安定した作業環境を具現することができる。
【００６５】
一方、クーリングジャケット１２５も、炭素ファイバ複合材で作製することができるが、基本的には、冷媒循環部１２５ａを有し、さらにクーリングジャケット１２５は、るつぼユニット１２０の最外郭保護壁の役割も有するため、耐熱性よりも耐衝撃性がさらに優先視される。従って、クーリングジャケット１２５は、ステンレススチール材質で作製されることが望ましい。ヒータ１３０は、Ｔａ、Ｗなどの素材で作製され、絶縁体１３１は、ＡｌＮとＢＮとが混合された素材で作製される。それらを除いた放射熱防止板１１０、内部るつぼ１２１、外部るつぼ１２２、放熱板１２３、ハウジング１２４は、前述の炭素ファイバ複合材で作製することによって、強力な耐熱性を確保する。
【００６６】
次に、図６は、本発明の変形可能な構成を示したものであり、外部るつぼ１２２−１、ハウジング１２４−１及び放熱板１２３−１を一体に作製したものである。すなわち、前述の実施形態においては、それらが別個の部材によって作製されたが、本実施形態のように、一つに結合された単一体で作製し、部材の個数を減らすようにしてもよい。ここで、この単一体も、炭素ファイバ複合材で作製することによって強力な耐熱性を確保し、熱変形に耐えることができるということは言うまでもない。
【００６７】
そして、放熱板１２３−１は、前述の実施形態と本実施形態とのいずれにおいても単層である場合を例示したが、何枚かを積層した複数の層で構成し、放熱効果をさらに高めることもできる。
【００６８】
次に、図７は、対象基板３００が非常に大きい場合、対応する方式を例示したものであり、前述の実施形態の蒸着源蒸発装置１００一つで耐えることができる範囲を超えた大型基板３００に蒸着を行う場合には、図７のように、それぞれるつぼユニット１２０、放射熱防止板１１０及びヒータ１３０を具備した蒸着源蒸発装置１００の一対を取り付けて使用することもできる。ただし、その場合には、それぞれの蒸着源蒸発装置１００における噴射部１２１ａは、一対の蒸着源蒸発装置１００の間にある幾何学上の面（geometric plane）Ａに対して互いに対称になっていてもよい。一方の蒸着源蒸発装置１００の噴射部１２１ａは、他方の蒸着源蒸発装置１００の噴射部１２１ａの実質的な鏡像であってもよい。すなわち、噴射部１２１ａは、真ん中部分より両端部側の方が高密度に配列されるが、一対の蒸着源蒸発装置１００が取り付けられたときに、全体的にそのような配列で対称になるように、噴射部１２１ａが形成されて使用される。
【００６９】
それにより、そのような構造の蒸着源蒸発装置１００を利用すれば、長期間の蒸着作業も無難に進めることができ、それにより、部品の寿命が長くなり、作業性と蒸着品質とがいずれも改善される。また、蒸着装置の部材を小さい複数の部分に分けず、一つにまとめて大きくすることができ、装置の作製及び管理も便利になる。
【００７０】
そのように、本発明は、図面に示された一実施形態を参照して説明したが、それらは、例示的なものに過ぎず、当該分野で当業者であるならば、それらから多様な変形、及び実施形態の変形が可能であるという点を理解するであろう。従って、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって決められるものである。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
本発明の、蒸着源蒸発装置及びその製造方法は、例えば、薄膜形成関連の技術分野に効果的に適用可能である。
【符号の説明】
【００７２】
１００    蒸着源蒸発装置
１１０    放射熱防止板
１１１    貫通孔
１２０    るつぼユニット
１２１    内部るつぼ
１２２    外部るつぼ
１２３    放熱板
１２４    ハウジング
１２５    クーリングジャケット
１２５ａ    冷媒循環部
１３０    ヒータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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