(57)【要約】【課題】洗浄液などの液体の使用量の低減を図ることができるようにするとともに、ボールコンベアの内部に位置するボール受け部材の凹部に配置されたサブボールなどを十分に洗浄することができるようにし、かつ、ボールコンベアの周囲に洗浄液などの液体が飛散することのないようにする。【解決手段】略半球状の凹部を形成したボール受け部材と、ボール受け部材の凹部上に回転自在に複数配置されたサブボールと、サブボール上に回転自在に１個配置されたメインボールと、ボール受け部材に形成され、凹部と外部とを連通する貫通穴と、貫通穴内に予め設定された圧力で液体を供給する液体供給手段とを有する。【選択図】        図３
2020189725.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
略半球状の凹部を形成したボール受け部材と、
前記ボール受け部材の前記凹部上に回転自在に複数配置されたサブボールと、
前記サブボール上に回転自在に１個配置されたメインボールと、
前記ボール受け部材に形成され、前記凹部と外部とを連通する貫通穴と、
前記貫通穴内に予め設定された圧力で液体を供給する液体供給手段と
を有することを特徴とするボールコンベア。
【請求項２】
請求項１に記載のボールコンベアにおいて、
前記貫通穴は、前記凹部の底部において開口する
ことを特徴とするボールコンベア。
【請求項３】
請求項１または２のいずれか１項に記載のボールコンベアにおいて、
前記サブボールと前記メインボールとは、ゴムにより形成された
ことを特徴とするボールコンベア。
【請求項４】
請求項１、２または３のいずれか１項に記載のボールコンベアにおいて、
前記ボールコンベアを複数備え、
前記液体供給手段は、前記複数のボールコンベアに対して同一または異なる種類の液体を供給する
ことを特徴とするボールコンベア。
【請求項５】
請求項１、２、３または４のいずれか１項に記載のボールコンベアにおいて、
前記液体は、洗浄液である
ことを特徴とするボールコンベア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ボールコンベアに関する。さらに詳細には、本発明は、例えば、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）製造工程などのような各種の作業工程において、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板などのような各種の物体を搬送したり姿勢変更したりする際などに用いて好適なボールコンベアに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Ｌｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ：Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）あるいは低温ポリシリコン薄膜トランジスタ（ＬＴＰＳ−ＴＦＴ：Ｌｏｗ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｐｏｌｙ  Ｓｉｌｉｃｏｎ−Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）などを含むフラットパネルディスプレイ製造工程の分野においては、各作業工程においてフラットパネルディスプレイ用のガラス基板を搬送したり姿勢変更したりするための装置として、所謂、ボールコンベアが用いられている。
【０００３】
こうしたボールコンベアとしては、例えば、特許文献１として提示する特開平３−７９５０６号公報などに開示された構成を備えたものが知られている。
【０００４】
ここで、図１には、上記した特開平３−７９５０６号公報などに開示された従来のボールコンベアの一例が示されている。
【０００５】
図１に示すように、従来のボールコンベア１００は、上面部に略半球状の凹部１０２ａを形成したボール受け部材１０２と、ボール受け部材１０２の凹部１０２ａ上に回転自在に整列して複数配置された小径の略球状体であるサブボール１０４と、サブボール１０４上に回転自在に１個配置された大径の略球状体であるメインボール１０６とを有して構成されている。
【０００６】
即ち、ボールコンベア１００のボール受け部材１０２は、凹部１０２に回転自在に配置したサブボール１０４を介して、メインボール１０６を回転自在に支持している。
【０００７】
なお、物体を搬送したり姿勢変更したりする際には、上記において説明したボールコンベア１００を１個または複数個連結して使用する。
【０００８】
ところで、上記において説明した従来のボールコンベア１００の汚れを除去する手法としては、ボールコンベア１００に向けて洗浄液を吐出するシャワー装置を別途に設けて、当該シャワー装置によりボールコンベア１００に向けて洗浄液を吐出して、ボールコンベア１００の汚れを除去していた。
【０００９】
具体的には、メインボール１０６上に搬送や姿勢変更する物体が存在しない場合には、図２（ａ）に示すように、ボールコンベア１００の上方に配置されたシャワー装置２００により、ボールコンベア１００に向けて洗浄液を吐出する。
【００１０】
一方、メインボール１０６上に搬送や姿勢変更するガラス基板などの物体３００が存在する場合には、図２（ｂ）に示すように、ボールコンベア１００の側方に配置されたシャワー装置２０２により、ボールコンベア１００に向けて洗浄液を吐出する。
【００１１】
このように、シャワー装置２００、２０２からボールコンベア１００に向けて洗浄液を吐出することにより、ボールコンベア１００の汚れを除去することができる。
【００１２】
しかしながら、上記において説明したシャワー装置を用いてボールコンベアの汚れを除去する従来の手法によれば、外部のシャワー装置から洗浄液を吐出して行う洗浄であるため、洗浄液の使用量が比較的多くならざるを得ないとともに、ボールコンベアの内部に位置するボール受け部材の凹部に配置されたサブボールなどを十分には洗浄することができないという問題点があった。
【００１３】
また、上記において説明したシャワー装置を用いてボールコンベアの汚れを除去する従来の手法によれば、外部のシャワー装置から吐出された洗浄液がボールコンベアにぶつかって跳ね返ることにより、ボールコンベアの周囲に洗浄液が飛散してしまうという問題点があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開平３−７９５０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、上記したような従来の技術の有する種々の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、洗浄液などの液体の使用量の低減を図ることができるようにするとともに、ボールコンベアの内部に位置するボール受け部材の凹部に配置されたサブボールなどを十分に洗浄することができるようにし、かつ、ボールコンベアの周囲に洗浄液などの液体が飛散することのないようにしたボールコンベアを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するために、本発明は、凹部に回転自在に配置したサブボールを介してメインボールを回転自在に支持するボール受け部材に、凹部とボール受け部材の外部とを連通する貫通穴を形成し、この貫通穴に外部から予め設定された圧力で洗浄液などの液体を供給するようにしたものである。
【００１７】
従って、本発明によれば、洗浄液などの液体がボール受け部材の貫通穴を通過して、サブボールが回転自在に配置された凹部まで供給されるため、洗浄液などの液体の使用量の低減を図りながら、メインボール上でのガラス基板などの物体の移動に伴う当該メインボールとサブボールとの相互の回転により、ボールコンベアの内部に位置するボール受け部材の凹部に配置されたサブボールならびにメインボールなどを十分に洗浄することができるようになる。
【００１８】
また、本発明によれば、洗浄液などの液体が、ボールコンベア内部のボール受け部材に形成された貫通穴を通過して凹部まで供給されるので、洗浄液などの液体がボールコンベアの周囲に飛散することがない。
【００１９】
即ち、本発明によるボールコンベアは、略半球状の凹部を形成したボール受け部材と、上記ボール受け部材の上記凹部上に回転自在に複数配置されたサブボールと、上記サブボール上に回転自在に１個配置されたメインボールと、上記ボール受け部材に形成され、上記凹部と外部とを連通する貫通穴と、上記貫通穴内に予め設定された圧力で液体を供給する液体供給手段とを有するようにしたものである。
【００２０】
また、本発明によるボールコンベアは、上記した本発明によるボールコンベアにおいて、上記貫通穴は、上記凹部の底部において開口するようにしたものである。
【００２１】
また、本発明によるボールコンベアは、上記した本発明によるボールコンベアにおいて、上記サブボールと上記メインボールとは、ゴムにより形成されるようにしたものである。
【００２２】
また、本発明によるボールコンベアは、上記した本発明によるボールコンベアにおいて、上記ボールコンベアを複数備え、上記液体供給手段は、上記複数のボールコンベアに対して同一または異なる種類の液体を供給するようにしたものである。
【００２３】
また、本発明によるボールコンベアは、上記した本発明によるボールコンベアにおいて、上記液体は、洗浄液であるようにしたものである。
【発明の効果】
【００２４】
本発明は、以上説明したように構成されているので、洗浄液などの液体の使用量の低減を図ることができるようになるとともに、ボールコンベアの内部に位置するボール受け部材の凹部に配置されたサブボールなどを十分に洗浄することができるようになり、かつ、ボールコンベアの周囲に洗浄液などの液体が飛散することがないという優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１は、従来のボールコンベアの概略構成を模式的に示す断面構成説明図である。
【図２】図２（ａ）（ｂ）は、従来のボールコンベアの洗浄の手法を模式的に示す一部断面構成説明図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態の一例によるボールコンベアの概略構成を模式的に示す一部断面構成説明図である。
【図４】図４は、図３に示すボールコンベアのメインボール上を物体が移動している状態を模式的に示す一部断面構成説明図である。
【図５】図５（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本発明の実施の形態の他の例によるボールコンベアの概略構成を模式的に示す構成説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明によるボールコンベアの実施の形態の一例を詳細に説明するものとする。
【００２７】
なお、以下の説明においては、上記において図１を参照しながら説明した従来のボールコンベア同一または相当する構成については、それぞれ同一の符号を付して示すことにより、その詳細な構成ならびに作用の説明は適宜に省略する。
【００２８】
図３には、本発明の実施の形態の一例によるボールコンベアの概略構成を模式的に示す一部断面構成説明図があらわされている。
【００２９】
この図３に示すボールコンベア１０は、上面部に略半球状の凹部１０２ａを形成したボール受け部材１０２と、ボール受け部材１０２の凹部１０２ａ上に回転自在に整列して複数配置された小径の略球状体であるサブボール１０４と、サブボール１０４上に回転自在に１個配置された大径の略球状体であるメインボール１０６とを有している。
【００３０】
ここで、ボール受け部材１０２には、凹部１０２ａの底部に形成された上方開口部１０２ａａとボール受け部材１０２の底部１０２ｂに形成された下方開口部１０２ｂｂとを連通する貫通穴１２が形成されている。
【００３１】
従って、この貫通穴１２により、ボール受け部材１０２の凹部１０２ａとボール受け部材１０２の外部との連通が図られている。
【００３２】
また、貫通穴１２には、一方の端部１４ａを液体供給装置１６に接続された配管１４の他方の端部１４ｂが接続されている。
【００３３】
液体供給装置１６は、配管１４内に予め設定された圧力で液体として洗浄液を供給する液体供給手段であって、液体として洗浄液を貯留するタンク（図示せず。）と、このタンクに貯留された洗浄液を予め設定された圧力で配管１４内に送出するポンプ（図示せず。）とを有して構成されている。
【００３４】
なお、液体供給装置１６を構成するタンクならびにポンプについては、従来より公知の技術を用いればよいので、その詳細な説明は省略する。
【００３５】
以上の構成において、ボールコンベア１０においては、液体供給装置１６によって予め設定された圧力で端部１４ａから配管１４内に洗浄液が送出されると、洗浄液は配管１４内を端部１４ｂへ向けて移動し、端部１４ｂから下方開口部１０２ｂｂを通過して貫通穴１２内に送出される。
【００３６】
貫通穴１２内に送出された洗浄液は、貫通穴１２内を上方開口部１０２ａａへ向けて進み、洗浄液がボール受け部１２の貫通穴１２を通過して上方開口部１０２ａａから凹部１０２内へ供給され、これによりサブボール１０４が配置されている領域まで洗浄液が到達する。
【００３７】
ここで、上方開口部１０２ａａが凹部１０２ａの底部に形成されているため、上方開口部１０２ａａへ到達した洗浄液は、凹部１０２の上方側へ向けて平均的に供給されことになり、洗浄液が凹部１０２の全周面に効率よく供給される。
【００３８】
即ち、ボールコンベア１０においては、液体供給装置１６によりボールコンベア１０の外部から内部へ直接的に洗浄液が供給されることなるので、ボールコンベア１０の洗浄の際に使用する洗浄液の使用量を低減することができるとともに、ボールコンベア１０の周囲に洗浄液が飛散することがない。
【００３９】
ここで、図４に示すように、メインボール１０６上で物体３００が矢印Ａ方向へ移動すると、物体３００のメインボール１０６上での矢印Ａ方向への移動に伴うメインボール１０６とサブボール１０４との相互の回転により、メインボール１０６は矢印Ｂ方向へ回転し、サブボール１０４は矢印Ｃ方向へ回転する。
【００４０】
これにより、メインボール１０６とサブボール１０４との全周面に洗浄液が行き渡り、ボールコンベア１０の内部に位置するボール受け部材１０２の凹部１０２ａに配置されたサブボール１０４ならびにメインボール１０６および凹部１０２ａ自体の全周面を十分に洗浄することができる。
【００４１】
また、サブボール１０４ならびにメインボール１０６の全周面に洗浄液を供給することができるので、サブボール１０４ならびにメインボール１０６の全周面が洗浄液に覆われて被覆され、サブボール１０４とメインボール１０６との接触部やメインボール１０６と物体３００との接触部における損傷が防止されるとともに、液潤滑効果によりサブボール１０４とメインボール１０６との回転抵抗が減少して回転性が向上する。
【００４２】
さらにまた、物体３００の上面３００ａに洗浄液が付着することがないので、物体３００の上面３００ａへ付着した洗浄液を除去する作業を行う必要がない。
【００４３】
以上において説明したように、上記したボールコンベア１０によれば、洗浄液の使用量の低減を図ることができるようになるとともに、ボールコンベア１０の内部に位置するボール受け部材１０２の凹部１０２ａに配置されたサブボール１０４などの全周面を十分に洗浄することができるようになり、かつ、ボールコンベア１０の周囲に洗浄液が飛散することがない。
【００４４】
なお、上記において説明した実施の形態は例示に過ぎないものであり、本発明は他の種々の形態で実施することができる。即ち、本発明は、上記において説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。
【００４５】
例えば、上記において説明した実施の形態は、以下の（１）乃至（５）に示すように変形するようにしてもよい。
【００４６】
（１）上記において説明した実施の形態においては、液体供給装置１６による洗浄液の供給のタイミングについての説明は省略したが、液体供給装置１６は、常時洗浄液を供給するようにしてもよいし、あるいは、必要に応じた適時のタイミングでその都度洗浄液を供給するようにしてもよい。また、液体供給装置１６は、一度に大量の洗浄液を供給するようにして、ボール受け部材１０２の凹部１０２ａに洗浄液を満たすようにしてもよい。このようにすると、液体供給装置１６による洗浄液の供給のタイミングの管理の手間を低減することができる。
【００４７】
（２）上記において説明した実施の形態においては説明を省略したが、複数個のボールコンベア１０を連結して使用する場合には、それぞれのボールコンベア１０に同じ種類の洗浄液を供給するようにしてもよいし、あるいは、それぞれのボールコンベア１０に異なる種類の洗浄液を供給するようにしてもよいし、あるいは、複数個のボールコンベア１０をグループに分けて各グループ毎に異なる種類の洗浄液を供給するようにしてもよい。
【００４８】
例えば、３個のボールコンベア１０を連結して使用する場合に、図５（ａ）に示すように、３個のボールコンベア１０に同じ種類の洗浄液αを供給するようにしてもよい。あるいは、図５（ｂ）に示すように、３個のボールコンベア１０にそれぞれ異なる種類の洗浄液α、洗浄液β、洗浄液γをそれぞれ供給するようにしてもよい。あるいは、図５（ｃ）に示すように、３個のボールコンベア１０を２個のグループと１個のグループとに分けて、２個のグループのボールコンベア１０に同じ種類の洗浄液αを供給するようにするとともに、１個のグループのボールコンベア１０に洗浄液βを供給するようにしてもよい。
【００４９】
（３）上記において説明した実施の形態においては、サブボール１０４やメインボール１０６を形成する材料に関する説明は省略したが、サブボール１０４やメインボール１０６を形成する際には、使用条件などに応じて金属、樹脂、セラミックあるいはゴムなどの種々の材料を選択して用いればよい。例えば、サブボール１０４とメインボール１０６とをゴムにより形成した場合には、サブボール１０４とメインボール１０６との相互回転に伴う互いの損傷を抑止することができるとともに、メインボール１０６と物体３００との当接に伴う当該物体３００の損傷を抑止することができる。
【００５０】
（４）上記において説明した実施の形態においては、ボールベアリング１０へ液体供給装置１６から液体として洗浄液を供給するようにしたが、これに限られるものではないことは勿論である。液体供給装置１６からボールベアリング１０へ供給する液体としては、例えば、サブボール１０４やメインボール１０６などを潤滑する潤滑油を用いるようにしてもよい。
【００５１】
（５）上記した各実施の形態ならびに上記した（１）乃至（４）に示す各実施の形態や変形例は、適宜に組み合わせるようにしてもよいことは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、フラットパネルディスプレイ製造工程などのような各種の作業工程において、各種の物体を搬送したり姿勢変更したりする際などに利用することができる。
【符号の説明】
【００５３】
１０      ボールコンベア
１２      貫通穴
１４      配管
１４ａ    端部
１４ｂ    端部
１６      液体供給装置
１００      ボールコンベア
１０２      ボール受け部材
１０２ａ    凹部
１０２ａａ  上方開口部
１０２ｂ    底部
１０２ｂｂ  下部開口部
１０４      サブボール
１０６      メインボール
２００      シャワー装置
２０２      シャワー装置
３００      物体
３００ａ    上面
【図１】
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【図２】
2020189725.tif 000004
【図３】
2020189725.tif 000005
【図４】
2020189725.tif 000006
【図５】
2020189725.tif 000007