(57)【要約】【課題】ウェハの傾きに関し、傾きの有無より詳細な情報を特定する。【解決手段】センサシステム（１）は、光電センサ（６）が、検出対象のウェハ（１０）を検出している期間の光量の変化に基づき、ウェハ（１０）の傾きの方向、及びウェハ（１０）の傾きの大きさを特定するＰＬＣ（２）を備える。【選択図】図１
2020053416.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハカセットに収納されたウェハの傾きを検出するセンサシステムであって、
３つ以上の光電センサと、
前記３つ以上の光電センサを、前記３つ以上の光電センサを含む平面が正常に収納されている前記ウェハの平面に平行な状態で、前記正常に収納されている前記ウェハの平面に垂直な方向に移動させる移動制御装置と、
前記光電センサの移動中に、前記光電センサが受光した光量を取得する取得装置と、
前記光電センサが、検出対象のウェハを検出している期間の前記光量の変化に基づき、前記ウェハの傾きの方向、及び前記ウェハの傾きの大きさを特定する特定装置と、
を備える、
センサシステム。
【請求項２】
前記３つ以上の光電センサのうち２つは、ウェハの外周を形成する円弧上の２点を検出光が通過するように設けられた１対の透過型センサである、請求項１に記載のセンサシステム。
【請求項３】
前記３つ以上の光電センサは、更に、前記ウェハの外周を形成する円弧上において、前記２点以外の位置が検出領域となるように設けられた１又は複数の反射型センサを含む、請求項２に記載のセンサシステム。
【請求項４】
前記１又は複数の反射型センサは、前記２点以外の前記ウェハの外周を形成する円弧上の位置であって、前記２点を結ぶ直線の中心点と前記ウェハの中心点とを通る直線に対して対称な位置が検出領域となるように設けられた２個の反射型センサを含む、請求項３に記載のセンサシステム。
【請求項５】
前記センサシステムは、前記ウェハを搬送する搬送装置であって、前記ウェハを前記ウェハカセットから取り出すためのチャックを備えた搬送装置をさらに備え、
前記特定装置は、特定した前記ウェハの傾きおよび角度に応じて、前記チャックの傾きを制御する、
請求項１から４のいずれか１項に記載のセンサシステム。
【請求項６】
ウェハカセットに収納されたウェハの傾きを検出するセンサシステムを用いた傾き検出方法であって、
前記センサシステムは、３つ以上の光電センサを備え、
前記３つ以上の光電センサを、前記３つ以上の光電センサを含む平面が正常に収納されている前記ウェハの平面に平行な状態で、前記正常に収納されている前記ウェハの平面に垂直な方向に移動させる移動ステップと、
前記移動ステップ中に、前記光電センサが受光した光量を取得する取得ステップと、
前記光電センサが、検出対象のウェハを検出している期間の前記光量の変化に基づき、前記ウェハの傾きの方向、及び前記ウェハの傾きの大きさを特定する特定ステップと、を含む、傾き検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光電センサを用いて、ウェハカセットに収納されたウェハの傾きを検出するセンサシステムなどに関する。
【背景技術】
【０００２】
光電センサを移動させながらウェハに検出光を投光し、受光した検出光の光量に基づいて、ウェハカセットに収納されたウェハの傾きを検出する技術が従来技術として知られている。下記特許文献１には、ウェハカセットにおけるウェハ収納部の近傍の範囲外に、所定の閾値を超える受光量のピークがあるか否かを判断し、該ピークがあると判断した場合、ウェハの斜め挿入などの異常が生じていると判断する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１５０６２４号公報（２０００年５月３０日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示された技術では、ウェハが傾いているか否かを判断することしかできない。換言すれば、該技術では、傾きの詳細な情報をユーザが知ることができない。
【０００５】
上記の課題を鑑み、本発明の一態様は、ウェハの傾きに関し、傾きの有無より詳細な情報を特定するセンサシステムなどを実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係るセンサシステムは、ウェハカセットに収納されたウェハの傾きを検出するセンサシステムであって、３つ以上の光電センサと、前記３つ以上の光電センサを、前記３つ以上の光電センサを含む平面が正常に収納されている前記ウェハの平面に平行な状態で、前記正常に収納されている前記ウェハの平面に垂直な方向に移動させる移動制御装置と、前記光電センサの移動中に、前記光電センサが受光した光量を取得する取得装置と、前記光電センサが、検出対象のウェハを検出している期間の前記光量の変化に基づき、前記ウェハの傾きの方向及び前記ウェハの傾きの大きさを特定する特定装置と、を備える。
【０００７】
上記の構成によれば、光電センサが検出対象のウェハを検出している期間に、前記３つ以上の光電センサが受光した光量の変化に基づき、ウェハの上下方向の変位量、左右方向における傾きの大きさ、前後方向における傾きの大きさなどウェハの傾きに関するより詳細な情報を取得することができる。これにより、上記センサシステムは、傾きの有無より詳細な情報を特定することができる。
【０００８】
なお、「傾きの方向」としては、ウェハの外周を形成する各点のうち、水平面を基準として最も上にある点から最も下にある点への方向を特定すればよい。なお、本明細書中で「上下方向」とは正常に収納されているウェハの平面に直行する方向であり（つまり鉛直方向）であり、ウェハの「左右方向」とは正常に収納されているウェハの平面に平行であって、ウェハが搬送チャックなどで把持される２点を結ぶ方向である。ウェハの「前後方向」とは、正常に収納されているウェハの平面に平行であって、「左右方向」と直交する方向をいう。上記一態様に係るセンサシステムにおいて、前記３つ以上の光電センサのうち二つは、ウェハの外周を形成する円弧上の２点を検出光が通過するように設けられた１対の透過型センサであってもよい。
【０００９】
上記の構成によれば、１対の透過センサにより、ウェハの傾きに関し、さらに詳細な情報を特定することができる。なお、本明細書においては、投光部および受光部を備えた１対の透過センサを２個の光電センサと数える。
【００１０】
上記一態様に係るセンサシステムにおいて、前記３つ以上の光電センサは、更に、前記ウェハの外周を形成する円弧上において、前記２点以外の位置が検出領域となるように設けられた１又は複数の反射型センサを含んでもよい。
【００１１】
上記の構成によれば、１対の透過型センサと反射型センサを組み合わせることにより、ウェハの傾きに関し、さらに精度高く詳細な情報を特定することができる。
【００１２】
上記一態様に係るセンサシステムにおいて、前記１又は複数の反射型センサは、前記２点以外の前記ウェハの外周を形成する円弧上の位置であって、前記２点を結ぶ直線の中心点と前記ウェハの中心点とを通る直線に対して対称な位置が検出領域となるように設けられた２個の反射型センサを含んでもよい。
【００１３】
上記の構成によれば、１対の透過型センサと２個以上の反射型センサを組み合わせることにより、ウェハの傾きに関し、さらに精度高く詳細な情報を特定することができる。
【００１４】
上記一態様に係るセンサシステムにおいて、前記ウェハを搬送する搬送装置であって、前記ウェハを前記ウェハカセットから取り出すためのチャックを備えた搬送装置をさらに備え、前記特定装置は、特定した前記ウェハの傾きおよび角度に応じて、前記チャックの傾きを制御してもよい。
【００１５】
上記の構成によれば、特定装置が特定したウェハの傾き、角度およびz軸方向における変位に応じて、チャックの傾きを制御するので、ウェハが傾いていたとしても、ウェハを傷つけることなくウェハカセットから取り出すことができる。よって、ウェハが傾いていた場合であっても、搬送を継続することができる。
【００１６】
また、上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る傾き検出方法は、ウェハカセットに収納されたウェハの傾きを検出するセンサシステムを用いた傾き検出方法であって、前記センサシステムは、３つ以上の光電センサを備え、前記３つ以上の光電センサを、前記３つ以上の光電センサを含む平面が正常に収納されている前記ウェハの平面に平行な状態で、前記正常に収納されている前記ウェハの平面に垂直な方向に移動させる移動ステップと、前記移動ステップ中に、前記受光部が受光した光量を取得する取得ステップと、前記光電センサが、検出対象のウェハを検出している期間の前記光量の変化に基づき、前記ウェハの傾きの方向及び前記ウェハの傾きの大きさを特定する特定ステップと、を含んでもよい。
【００１７】
上記の構成によれば、本発明の一態様に係るセンサシステムと同様の作用効果を奏する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の一態様によれば、ウェハの傾きに関し、ウェハの上下方向の変位量、左右方向における傾きの大きさ、前後方向における傾きの大きさなど、傾きの有無より詳細な情報を特定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係るセンサシステムに含まれる各装置のハードウェア構成の一例を模式的に例示する図である。
【図２】図１に示す搬送ロボットによる、ウェハカセットからウェハを取り出す動作の一例を示す図である。
【図３】ウェハの傾き検出における、ウェハと、図１および図２に示すセンサハンドとの位置関係の一例を示す図である。
【図４】（ａ）は、ＸＹＺ座標を用いて示したウェハと各センサとの位置関係を示す図であり、（ｂ）は、透過センサ及び反射センサにおける検出光の光量の経時変化の一例を示す図である。
【図５】（ａ）は、２個の反射型センサによる左右傾きの測定原理を説明するための模式図であり、ウェハが右に傾いている状態を示しており、（ｂ）は、２個の反射型センサによる検出光の光量の経時変化を示す図である。
【図６】ウェハに傾きがある場合と傾きがない場合との、透過センサによる検出光の光量の経時変化の比較を示す図である。
【図７】２個の反射型センサによる左右傾きの測定原理を説明するための模式図であり、ウェハが傾いていない状態を示す。
【図８】透過センサおよび反射センサによる検出光の光量の経時変化を示す図である。
【図９】図１に示すＰＬＣの機能構成の一例を模式的に示す図である。
【図１０】図１に示すＰＬＣが実行する処理の手順の一例を示すフローチャートである。
【図１１】本発明の一変形例に係るセンサシステムに含まれる各装置のハードウェア構成の一例を模式的に例示する図である。
【図１２】実施例２のセンサハンドにおけるセンサの搭載位置を示す図である。
【図１３】２個の反射型センサ６７および６８による検出光の光量の経時変化を示す図である。
【図１４】２個の反射型センサ６７（または６８）および６９による検出光の光量の経時変化を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
＜実施形態１＞
以下、本発明の一側面に係る実施の形態（以下、「本実施形態」とも表記する）を、図面に基づいて説明する。
【００２１】
§１  適用例
まず、図１を用いて、本発明が適用される場面の一例について説明する。図１は、本実施形態に係るセンサシステム１に含まれる各装置のハードウェア構成の一例を模式的に例示する図である。センサシステム１は、ウェハカセットに収納されたウェハの傾きを検出するセンサシステムである。
【００２２】
図１に示されるとおり、センサシステム１は、ＰＬＣ（programmable logic controller）２、センサユニット３、搬送ロボット４、センサハンド５、および光電センサ６を含んでいる。搬送ロボット４は、ウェハをウェハカセットから取り出すためのチャック７を備える。ＰＬＣ２、センサユニット３、搬送ロボット４、およびセンサハンド５の詳細は後述する。光電センサ６は、図１に示されるとおり、透過センサ６１および反射センサ６２、６３を含む。透過センサ６１は、さらに投光部６１ａおよび受光部６１ｂを備え、一例としてファイバセンサで実現される。投光部６１ａは検出光を投光し、受光部６１ｂは該検出光を受光する。反射型センサ６２、６３は、ウェハの外周に向かって検出光を投光し、ウェハから反射される検出光を受光する。
【００２３】
図３に、センサハンド５と光電センサの位置関係を示している。透過センサ６１の投光部６１ａおよび受光部６１ｂはセンサハンド５の先端部であって、ウェハの外周を形成する円弧上の２点を投光部６１ａが投光する検出光が通過するように設けられる。反射センサ６２および６３は、投光部６１ａおよび受光部６１ｂの中点とウェハの中心点を結ぶ直線ｌに対して対称な位置に設けられる。また、反射センサ６２および６３は、前記２点以外の前記ウェハの外周を形成する円弧上の位置であって、前記２点を結ぶ直線の中心点と前記ウェハの中心点とを通る直線ｌに対して対称な位置が検出領域となるように設けられている。
【００２４】
なお、図面においては、透過センサ６１からの検出光６０の進行方向に平行な方向をｙ軸方向、正常に載置されたウェハ１０の平面１０１に平行でｙ軸と直交する方向をｘ軸方向、およびx軸、y軸に直行する方向をz軸とする。
【００２５】
本発明のセンサシステム１では、透過センサまたは反射センサを含む３個以上の光電センサを用いて、これらのセンサで受光される検出光の光量の経時変化のデータを取得し、これらのデータを比較する。これにより、ウェハのｚ軸方向の変位量、左右方向の傾き（x軸周りの傾き）、及び前後方向の傾き（ｙ軸周りの傾き）などウェハの傾きに関する詳細な情報を得ることができる。
【００２６】
センサシステム１では、移動制御装置（搬送ロボット４のアクチュエータ８）が、透過センサ６１（投光部６１a、受光部６１ｂ）、反射センサ６２、および反射センサ６３を含む平面（すなわちセンサハンド５の上面）が正常に収納されているウェハの平面に平行な状態で、正常に収納されているウェハの平面に垂直な方向（すなわちz軸）下向きに一定の速度で移動させる。この間に、センサユニット３が光電センサからの検出光をウェハ１０にスキャンし、センサユニット３が光電センサで受光した検出光の光量を取得する。そして、傾き検出部２１１が、光電センサが検出対象のウェハ１０を検出している期間の光量の経時変化に基づき、ウェハ１０の傾きの方向、及び、ウェハ１０の傾きの大きさを特定する。
【００２７】
上記において、透過センサ６１がウェハ１０を検知している期間は、受光する検出光の光量が最小値となる。また、反射センサ６２および６３がウェハ１０を検知している期間は、受光する検出光の光量が最大値となる。
【００２８】
３個以上の光電センサを、ウェハの外周を形成する円弧上の異なる位置が検出光の照射領域となるように配置することにより、それぞれの透過センサにおいて受光される検出光の光量が最小値となるタイミングの差、またはそれぞれの反射センサにおいて受光される検出光の光量が最大値となるタイミングの差を利用することにより、ウェハの左右方向の傾き、および前後方向の傾きを特定することができる。
【００２９】
また、予め、取得装置が、ｚ軸方向の変位がなく傾きもない正常な状態のウェハに対して、透過センサまたは反射センサで受光される検出光の光量の経時変化のデータを取得し、ＰＬＣ２がこれを基準データ２２１として、記憶部２２に格納させる。そして、ＰＬＣ２が、格納された基準データ２２１と検出用ウェハの光量の経時変化のデータとを比較する。これにより、ＰＬＣ２が、ウェハのｚ軸方向の変位量を特定する。
【００３０】
§２  構成例
［ハードウェア構成］
＜ＰＬＣ＞
次に、図１を用いて、本実施形態に係るＰＬＣ２のハードウェア構成の一例について説明する。ＰＬＣ２は、センサシステム１に含まれるセンサユニット３および搬送ロボット４を制御する制御装置である。
【００３１】
図１の例では、ＰＬＣ２は、制御部２１、記憶部２２、および通信インタフェース２３を備える。ＰＬＣ２が備えるこれらの構成は、通信バスによって互いに電気的に接続される。本実施形態に係るＰＬＣ２は、本発明の「特定装置」に相当する。
【００３２】
制御部２１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）などを含み、情報処理に応じて各構成要素の制御を行う。記憶部２２は、例えば、ハードディスクドライブ、ソリッドステートドライブなどの補助記憶装置である。
【００３３】
通信インタフェース２３は、例えば、有線ＬＡＮ（Local Area Network）モジュール、無線ＬＡＮモジュール等であり、ネットワークを介した有線又は無線通信を行うためのインタフェースである。
【００３４】
なお、ＰＬＣ２の具体的なハードウェア構成に関して、実施形態に応じて、構成要素の省略、置換および追加が可能である。例えば、制御部２１は、複数のプロセッサを含んでいてもよい。
【００３５】
＜搬送ロボット＞
次に、図１および図２を用いて、本実施形態に係る搬送ロボット４のハードウェア構成の一例について説明する。図２は、搬送ロボット４によるウェハカセット２０からウェハ１０を取り出す動作の一例を示す図である。
【００３６】
図１の例では、搬送ロボット４は、ウェハ１０を搬送する搬送装置であって、ウェハ１０をウェハカセット２０から取り出すためのチャック７を備えている。チャック７は、一例として、図２に示されるとおりＵ字型（あるいは、Ｙ字型）の部材である。図２に示される通り、チャック７の根元側は、搬送ロボット４のアクチュエータ８と接続されている。制御部２１によって搬送ロボット４が制御されることにより、チャック７は、図２に示されるとおり、ウェハカセット２０に収納されたウェハ１０の下側に挿入され、ウェハ１０を持ち上げる。これにより、ウェハ１０は、ウェハカセット２０に載置された状態から、チャック７に載置された状態となり、ウェハカセット２０から取り出される。搬送ロボット４は、制御部２１により制御され、チャック７に載置したウェハ１０を搬送する。本実施形態に係る搬送ロボット４は、本発明の「搬送装置」に相当する。
【００３７】
また、図２の例では、搬送ロボット４のアクチュエータ８を介してチャック７と反対側には、センサハンド５が連結されている。このセンサハンド５には、３つ以上の光電センサが備えられている。センサハンド５も、搬送ロボット４によって移動される。搬送ロボット４は、ウェハカセット２０からウェハを取り出す際に、まずセンサハンド５をウェハカセット２０側に向け、ウェハカセット２０に収納されたウェハ１０をスキャンしてウェハ１０の傾きおよび角度を特定する。その後、搬送ロボット４は１８０度回転して、チャック７をウェハカセット２０側に向け、チャック７にウェハカセット２０からウェハ１０を取り出す動作を行わせる。このとき、搬送ロボット４は、上記で特定したウェハ１０の傾きおよび角度に応じて、チャック７の傾きを制御する。これにより、ウェハ１０がチャック７によって傷つくのを防ぐことができる。
【００３８】
また、図１および図２の例では、このセンサハンド５は、透過センサ６１、反射センサ６２、および反射センサ６３を備えている。透過センサ６１は、投光部６１ａおよび受光部６１ｂを備えている。一例として、投光部６１ａおよび受光部６１ｂは、図３に示されるとおり、センサハンド５の先端部であって、ウェハの外周を形成する円弧上の２点を検出光が通過するように設けられている。反射センサ６２および反射センサ６３は、前記２点以外の前記ウェハの外周を形成する円弧上の位置であって、前記２点を結ぶ直線の中心点と前記ウェハの中心点とを通る直線ｌに対して対称な位置が検出領域となるように設けられている。このため、本実施形態では、搬送ロボット４によるセンサハンド５の移動により、透過センサ６１、反射センサ６２、および反射センサ６３の移動が行われる。つまり、搬送ロボット４は、センサハンド５をも移動させる。したがって、本実施形態に係る搬送ロボット４は、本発明の「移動制御装置」にも相当する。
【００３９】
なお、以降、センサハンド５において、投光部６１ａおよび受光部６１ｂが設けられた部分を、「手」とも表記する。図３の例では、センサハンド５の一方の手に投光部６１ａが設けられ、他方の手に受光部６１ｂが設けられている。また、反射センサ６２および反射センサ６３がセンサハンド５から延びる突出部６５および突出部６６にそれぞれ設けられている。なお、本明細書では、透過センサ６１の投光部６１aおよび受光部６１ｂは、それぞれ一つの光電センサとして数える。したがって、センサハンド５には光電センサ６が４つ（投光部６１ａ、受光部６１ｂ、反射センサ６２、反射センサ６３）が設けられている。
【００４０】
図３に示される例のように、ウェハ１０の直径が２００ｍｍの場合、一例として、投光部６１ａおよび受光部６１ｂは、ウェハ面１０１の中心から７０ｍｍの位置に検出光６０が照射される、チャック５の位置に設けられる。また、反射センサ６２，６３は互いの間の距離が１４２ｍｍほどとなるように、かつ反射センサ６２，６３から投光される検出光がウェハの中心に向かって、直線ｌに対し４５度以下の角度でウェハの外周を形成する円弧部分を照射するように取り付けられる。
【００４１】
なお、投光部６１ａおよび受光部６１ｂは、ウェハ１０に検出光が照射される、センサハンド５の位置に設けられていればよく、該位置は、図３に示す位置に限定されない。
【００４２】
また、本実施形態では、図３におけるセンサハンド５の左側の手の先端部に投光部６１aを設け、右側の手の先端部に受光部６１ｂを設ける例を説明する。ただし、左側の手の先端部に受光部６１ｂ、右側の手の先端部に投光部６１aを設けてもよい。
【００４３】
＜センサユニット３＞
センサユニット３は、制御部２１により制御され、光電センサ６１，６２，および６３を制御する。具体的には、センサユニット３は、検出光の投光の開始および停止を制御する。より具体的には、センサユニット３は、光電センサ６１，６２，６３の移動中に、検出光を投光し続ける。つまり、また、センサユニット３は、光電センサ６１，６２，および６３の移動中に、光電センサ６１，６２，６３が受光した検出光の光量を取得しＡ／Ｄ変換により光量データに変換した後にＰＬＣ２へ送信する。本実施形態に係るセンサユニット３は、本発明の「取得装置」に相当する。  
【００４４】
［ＰＬＣの機能構成］
次に、図９を用いて、本実施形態に係るＰＬＣ２の機能構成の一例を説明する。図９は、本実施形態に係るＰＬＣ２の機能構成の一例を模式的に例示する図である。
【００４５】
本実施形態に係るＰＬＣ２の制御部２１は、機能構成として、傾き検出部２１１およびロボット制御部２１２を備える。また、記憶部２２は、一例として、基準データ２２１を少なくとも記憶している。
【００４６】
傾き検出部２１１は、センサユニット３から検出光の光量データを取得し、光電センサ６１，６２，および６３が検出対象のウェハ１０を検出している期間の光量の変化（経時変化）に基づき、ウェハ１０の傾きを特定する。より具体的には、ｚ軸方向におけるウェハの変位量、左右方向すなわちx軸周りのウェハの傾きの方向と大きさ、および前後方向すなわちy軸方向まわりのウェハの傾きの方向と大きさを特定する。
【００４７】
なお、「検出対象のウェハ１０を検出している期間」とは、検出光６０がウェハ１０に照射されている期間（光電センサ６１，６２，および６３が外周面１０２を横切っている期間）である。ロボット制御部２１２は、搬送ロボット４およびセンサハンド５を制御する。具体的には、ロボット制御部２１２は、傾き検出部２１１が特定したウェハの傾きに応じて、チャック７の傾きを制御する。
【００４８】
また、制御部２１は、センサハンド５をｚ軸方向に沿って一定速度で移動させ、その際の各光電センサで受光される検出光の光量の値を検出する。したがって、「光量の経時変化」とは、センサハンド５のｚ軸に沿った移動距離に応じた、光量の変化のことである。
【００４９】
基準データ２２１は、傾き検出部２１１がウェハ１０の傾きを特定するときに使用する、ウェハ１０の傾きの基準となるデータである。基準データ２２１は、一例として、ウェハ１０が傾いていない、かつz軸方向の変位もない場合の、透過センサ６１、反射センサ６２，および６３のそれぞれで受光される検出光の光量の経時変化であってもよい。例えば、基準データ２２１は、図４（ｂ）に示す光量の経時変化を含んでいてもよい。
【００５０】
一例として、制御部２１が、適切なプログラムを実行することにより、傾き検出部２１１およびロボット制御部２１２として、上記の処理を実行してもよい。該プログラムは、一例として、ＲＯＭに記憶されていてもよい。この例の場合、制御部２１は、ＲＯＭに記憶されたプログラムをＲＡＭに展開する。そして、制御部２１は、ＲＡＭに展開されたプログラムをＣＰＵにより解釈および実行して、ＰＬＣ２の各構成要素を制御する。
【００５１】
なお、上記プログラムを記憶している記録媒体は、一時的でない有形の媒体であればよく、ＲＯＭの他、テープ、ディスク、カード、半導体メモリ、プログラマブルな論理回路などを用いることができる。また、上記プログラムは、該プログラムを伝送可能な任意の伝送媒体（通信ネットワークや放送波等）を介してＰＬＣ２に供給されてもよい。なお、本発明の一態様は、上記プログラムが電子的な伝送によって具現化された、搬送波に埋め込まれたデータ信号の形態でも実現され得る。
【００５２】
なお、傾き検出部２１１およびロボット制御部２１２が実行する処理の詳細については、後述する動作例で説明する。また、本実施形態では、傾き検出部２１１およびロボット制御部２１２が、いずれも汎用のＣＰＵによって実現されるものとして説明している。しかしながら、これらが１または複数の専用のプロセッサにより実現されてもよい。また、ＰＬＣ２の機能構成に関して、実施形態に応じて、適宜構成の省略、置換および追加が行われてもよい。
【００５３】
§３  動作例
次に、図１０を用いて、ＰＬＣ２の動作例を説明する。図１０は、ＰＬＣ２の処理手順の一例を示すフローチャートである。なお、以下で説明する処理手順は一例であり、本実施形態に係るＰＬＣ２の処理手順をこの例に限定する意図はない。また、以下で説明する処理手順について、実施の形態に応じて、適宜、ステップの省略、置換および追加が可能である。
【００５４】
ロボット制御部２１２は、センサハンド５を、これに搭載されている３つ以上の光電センサを含む平面が正常に収納されている前記ウェハの平面に平行な状態で、正常に収納されているウェハの平面に垂直な方向（z軸方向）に移動させる（ステップＳ１、移動ステップ）。ステップＳ１の処理は、ロボット制御部２１２が、通信インタフェース２３を介して搬送ロボット４へ制御命令を送信することにより実現される。また、ロボット制御部２１２は、センサハンド５の移動を開始させると、その旨を傾き検出部２１１へ通知する。続いて、傾き検出部２１１は、ロボット制御部２１２からの通知を受けると、センサユニット３を制御して、各光電センサ６１、６２、および６３から検出光のウェハ１０への投光を開始させる（ステップＳ２、取得ステップ）。ステップＳ２の処理は、傾き検出部２１１が、通信インタフェース２３を介してセンサユニット３へ制御命令を送信することにより実現される。  
【００５５】
続いて、センサユニット３は、各光電センサ６１、６２、および６３が受光した検出光の光量を取得する（ステップＳ３、取得ステップ）。センサユニット３は、取得した光量を光量データに変換し、各光電センサ６１、６２、および６３を識別する受光部識別情報と対応付けて一時的に保存する。そして、センサユニット３は、ＰＬＣ２から、光量データの送信指示を受領したとき、その時点で取得していたすべての光量データを、受光部識別情報が対応付けられた状態でＰＬＣ２へ送信する。  
【００５６】
続いて、ＰＬＣ２の傾き検出部２１１は、受信した光量データを用いて生成される、光量の経時変化と基準データ２２１とを比較する（ステップＳ４）。そして、傾き検出部２１１は、比較結果に基づいてウェハ１０がx軸周り、y軸周りに傾いているか否か、および、ｚ軸方向の変位があるか否か、を判定する（ステップＳ５）。
【００５７】
以下では、図３に示すような透過センサ１対および２個の反射センサを備えるセンサシステムにおける、ウェハ１０のz軸方向変位量、ｙ軸周りのウェハの傾きの大きさ、ｘ軸周りのウェハの傾きの大きさの特定方法について説明する。
【００５８】
（ウェハ１０の傾きの特定）
まず、ウェハ１０のz軸方向の変位量の特定について説明する。
【００５９】
図４（ａ）は、ウェハ１０とウェハ１０の傾きの検出のための、ウェハ１０への検出光の照射の一例を示す図であり、（ｂ）は、透過センサ、反射センサにおける検出光の光量の経時変化の一例を示す図である。図４（ａ）に示されるウェハ１０は、円柱形状を有している。具体的には、ウェハ１０は、図４（ａ）に示すとおり、ウェハ面１０１（ウェハ１０の平面）および外周面１０２を有している。また、図４（ａ）に示すとおり、センサシステム１は、３つ以上の光電センサを備える。３つ以上の光電センサのうち２つは、ウェハの外周を形成する円弧上の２点を検出光が通過するように設けられた１対の透過型センサ（透過センサ６１の投光部６１aおよび受光部６１ｂ）である。３つ以上の光電センサは、更に、前記ウェハの外周を形成する円弧上において、前記２点以外の位置が検出領域となるように設けられた二つの反射型センサ（反射センサ６２および６３）を含む。２つの反射型センサ（反射センサ６２および６３）は、前記２点以外の前記ウェハ１０の外周を形成する円弧上の位置であって、前記２点を結ぶ直線の中心点と前記ウェハの中心点とを通る直線に対して対称な位置が検出領域となるように設けられている。
【００６０】
センサシステム１は、３つの光電センサ（透過センサ６１、反射センサ６２、および反射センサ６３）を含む平面（すなわちセンサハンド５）が正常に収納されている前記ウェハの平面に平行な状態で、３つの光電センサを、正常に収納されている前記ウェハの平面に垂直な方向に、つまりz軸方向に一定速度で移動させる。なお、図示の例では、図４（ａ）のｚ軸負方向へ向かって光電センサ６を移動させているが、移動方向は図４（ａ）に示される例とは逆に、ｚ軸の正方向へ向かって移動させてもよい。また、センサシステム１は、透過センサ６１を制御して、透過センサ６１の移動中に、投光部６１aに検出光６０を継続して投光させ、受光部６１ｂに該検出光６０を受光させる。なお、以降、透過センサ６１を一定速度で移動させながら検出光６０の投光および受光を行うことを、「スキャン」とも表記する。
【００６１】
受光部６１ｂが受光した検出光６０の光量の経時変化は、例えば、図４（ｂ）中のＡ１に示されるグラフとなる。検出光６０がウェハ面１０１に到達する前は、検出光６０がウェハ１０により遮光されないため、受光部６１ｂが受光した検出光６０の光量は最大となっている。なお、より厳密に言えば、グラフＡ１において減少し始める直前で受光量が最大値を上回っている。これは、ウェハ面１０１への反射光が加わる事で透過センサ６１へはより大きな入光となるためである。その後、検出光６０が図４（ａ）における上側のウェハ面１０１に到達することにより、検出光６０はウェハ１０によって遮光される。このため、上記光量は減少し、やがて最小値となる。検出光６０が図４（ａ）における下側のウェハ面１０１に到達することにより、該光量は再び増加し、やがて最大値に戻る。
【００６２】
図４（ａ）に示すように、水平面に対してウェハ面１０１が平行、すなわち、ウェハ１０が傾いていない場合、検出光６０の光量の経時変化は、図４（ｂ）中のＡ１に示すグラフとなる。一方、水平面に対してウェハ面１０１が平行でない、すなわち、ウェハ１０が傾いている場合には、透過センサ６１から投光された検出光が遮蔽されている期間が、ウェハ１０が傾いていない場合のグラフと比べて長くなり、図６のＡ２に示すように、受光量が一定量以下となる場合の幅Ｌ２が正常な状態に載置されたウェハの場合のＬ１と比べて長くなる。上記グラフは、図４（ｂ）および図６中のＡ１に示すグラフと異なる。該異なるグラフの詳細については後述する。
【００６３】
また、反射センサ６２及び反射センサ６３がスキャン中に受光する検出光の経時変化は、例えば、それぞれ、図４（ｂ）中のＢ１及びＢ２に示されるグラフとなる。図４（ｂ）中のＢ１またはＢ２において、検出光がウェハ面１０１の外周面１０２に到達する前においては、検出光がウェハ１０の外周面１０２おいて反射されないため、反射センサ６２または６３が受光する検出光の光量は最小値となっている。その後、検出光が図４（ａ）における上側のウェハ面１０１に到達することにより、検出光はウェハ１０の外周面１０２によって反射される。このため、上記光量は増加し、やがて最大値となる。その後、検出光が図４（ａ）における下側のウェハ面１０１に到達すると、検出光がウェハ１０の外周面１０２で反射されることがないため、受光される検出光の光量は増加し、やがて最小値に戻る。
【００６４】
センサシステム１では、ＰＬＣ２の傾き検出部２１１が、上述したような光量の経時変化に基づき、ウェハ１０が傾いているか否か、および、傾いている場合は傾きの方向および大きさ（角度）を特定する。これにより、センサシステム１は、ウェハ１０の傾きについて、傾きの有無より詳細な情報を特定することができる。
【００６５】
なお、傾きの方向としては、例えば、ウェハ面１０１の外周を形成する各点のうち、水平面を基準として最も上にある点から最も下にある点への方向を特定すればよい。また、傾きの角度としては、例えば、水平面に対するウェハ面１０１の角度を規定すればよい。
【００６６】
（ウェハのｚ軸方向における変位量の測定方法）
ウェハ１０のｚ軸方向の変位量の測定について説明する。まず、図４に示すような、z軸方向の変位がなく、傾きもない正常な状態のウェハ１０について透過センサ６１の受光部６１ｂで受光する光量の経時変化を測定しておき、測定結果のデータを記憶部２２に格納しておく。検出光６０の光量が最小値となるタイミングがz軸方向０の位置に相当する。これと検出用ウェハについて検出光６０の経時変化のデータと比較する。光量が最小値となるポイントを基準データにおける光量が最小値となるタイミングと比較することにより、このウェハ１０のｚ軸方向における変位量を算出することができる。換言すれば、センサハンド５はz軸方向に一定の速度で移動しているから、検出光が最小値となるタイミングを比較することにより、z軸方向の変位量および方向を特定することができる。
【００６７】
検出用ウェハについての検出光の経時変化のデータにおいて光量が最小値となるタイミングが基準データのそれよりも早い場合には、傾き検出部２１１はウェハがｚ軸方向において上に変位したと判断することができる。逆に、検出用ウェハについて検出光の経時変化のデータにおいて光量が最小値となるタイミングが基準データのそれよりも後である場合には、傾き検出部２１１はウェハがz軸方向において下に変位したと判断することができる。また、制御部２１は、検出用ウェハに対する透過光の光量が最小値となるタイミングと基準データにおける透過光の光量が最小値となるタイミングの差により、検出用ウェハのz軸方向における変位量を特定することができる。
【００６８】
あるいは、ＰＬＣ２は、反射センサ６２、および反射センサ６３を用いても、ｚ軸方向におけるウェハの変位量を算出することができる。制御部２１が、ｚ軸方向の変位もなく、傾きもない正常な状態のウェハについて反射センサ６２または反射センサ６３のスキャン中の光量変化を測定し、基準データと記憶部２２に格納しておく。そして、制御部２１が、検出用ウェハに対して、二つの反射センサ６２および反射センサ６３の検出光の経時変化を測定し、受光量が最大値となる点の中央点に相当するタイミングを特定する。このタイミングと基準データにおける反射センサで受光する検出光の光量が最大値となるタイミングを比較することにより、ウェハのz軸方向における変位量を算出することもできる。
【００６９】
（x軸周りの傾き方向および傾き量の特定)
図５（a）に示すようにセンサユニット３をｚ軸方向下向きに移動させながら、反射センサ６２および反射センサ６３の光量の経時変化を測定すると、図５（ｂ）に示す測定結果が得られる。ここでは、左側に位置する反射センサ６２が受光する光量が最大値となるタイミングが、右側に位置する反射センサ６３が受光する光量が最大値となるタイミングよりも早い。反射センサからの検出光がウェハを通過するときに、反射センサで受光する検出光の光量は最大となる。したがって、反射センサ６２および反射センサ６３のうちどちらが先に受光量が最大値に達するかによって、ｘ軸周りどちらにウェハ１０が傾いているかを特定することができる。図５（ｂ)のように反射センサ６２が反射センサ６３よりも先に受光量が最大値となる場合には、ｘ軸周りで左上がり、つまりウェハが右に傾いていることが特定できる。これとは反対に、右側に配置された反射センサ６３が左側に配置された反射センサ６２よりも先に受光量が最大値となる場合は、ｘ軸周りで右上がり、つまりウェハが左に傾いていると特定することができる。
【００７０】
また、制御部２１は、ｘ軸周りのウェハの傾きの大きさも、図５（ｂ）に示した反射センサ６２および反射センサ６３で受光する光量の経時変化から算出することができる。図５（ｂ）において、ウェハがｘ軸周りに傾いていなければ、２個の反射センサ６２および反射センサ６３が示す検出光量の経時変化のグラフは重なる。そして、ウェハのｘ軸周りの傾きが大きいほど、２個の反射センサが示す検出光量の経時変化のグラフは互いに離れていく。したがって、図５（ｂ）で示した反射センサ２個の最大値となる点の間の幅Ｌは、ｘ軸周りのウェハの傾きの大きさに比例する。よって、この最大値となる点の間の幅Ｌを測定することにより、ウェハのｘ軸周りの傾きを特定することができる。
【００７１】
あるいは、図６に示すように、ＰＬＣ２が透過センサ６１の受光部６１aで受光される光量の経時変化を分析することによっても、ｘ軸周りのウェハの傾きの大きさを特定することができる。予め、ＰＬＣ２がｘ軸周りの傾きが０であるウェハについて透過センサ６１で受光する光の経時変化の基準データＡ１を取り、記憶部２２に格納しておく。そして、ＰＬＣ２は、この基準データＡ１と検出用ウェハについての透過センサ６１からの受光量の経時変化データＡ２とを比較する。透過光がウェハを通過する時点で受光量が最小値となる。透過センサ６１がウェハを検出している間、受光される検出光の光量は最小値となる。ウェハのｘ軸周りの傾きが大きいほど、光量が最小値となる部分の幅が広くなる。したがって、ＰＬＣ２が基準データＡ１において検出光の光量が所定値以下となる部分の幅Ｌ１と、検出用データＡ２において受光量が所定値以下となる部分の幅Ｌ２とを比較することにより、ｘ軸周りにおけるウェハの傾きの大きさを特定することができる。
【００７２】
なお、ＰＬＣ２は、上記反射センサを用いて算出したウェハの傾きの大きさと、透過センサを用いて算出したウェハの傾きの大きさが異なる場合には、これらの平均値をウェハの傾きの大きさとして特定してもよい。
【００７３】
（ｙ軸周りの傾き方向及び傾きの大きさの測定方法）
次に、ｙ軸周りのウェハの傾きおよび傾きの大きさを特定する方法について説明する。      
【００７４】
搬送ロボット４が、センサハンド５をz軸下向きに一定の速度で移動させ、このときＰＬＣ２が透過センサ６１、反射センサ６２、および反射センサ６３における検出光の受光量の経時変化を比較する。これにより、ｙ軸周りのウェハの傾き方向および傾きの大きさを特定することができる。図８は、透過センサ６１による検出光の光量の経時変化（Ａ１）および反射センサ６２および６３による検出光の光量の経時変化（Ｂ１およびＢ２）を示す図である。図８に示すように、透過センサ６１が受光する検出光の光量が最小値となるタイミングｔ１と、反射センサ６２または６３が受光する反射光量が最大値となるタイミングｔ２またはｔ３の前後によってウェハがｙ軸周りのどちらに傾いているか特定することができる。本実施例においては、２個の反射センサ６２および反射センサ６３は、透過センサ６１よりもｘ軸方向前側に配置されている。したがって、図８に示すように、反射センサ６２、６３における受光量が最大値となるタイミングt２またはｔ３が、透過センサが受光する検出光が最小値となるタイミングｔ１よりも先である場合には、制御部２１はウェハが前上がり、つまり後ろに傾いていると特定することができる。逆に、反射センサ６２または６３で受光する検出光が最大値となる時点t２またはｔ３が、透過センサで受光する検出光が最小値となる時点ｔ１よりも後である場合には、制御部２１はウェハが前下がり、つまり前に傾いていると特定することができる。さらに、制御部２１はたとえば、反射センサ６２が受光する検出光の光量が最大値となる時点ｔ２と、透過センサ６１が受光する検出光の量が最小値となる時点ｔ１の差により、ｙ軸周りにおけるウェハの傾きの大きさを特定することができる。  
【００７５】
再び図１０を参照し、動作例の説明に戻る。傾き検出部２１１は、特定したウェハ１０の傾きの方向、角度、およびz軸方向の変位量を、ロボット制御部２１２へ出力する。ロボット制御部２１２は、取得したウェハ１０の傾きの方向、角度（傾きの大きさ）およびz軸方向の変位量に応じて、チャック７の傾きを制御する（ステップＳ８）。具体的には、ロボット制御部２１２は、取得したウェハ１０の傾きの方向、角度およびz軸方向の変位量に応じて、チャック７の傾きの方向、角度およびz軸方向の位置を決定する。そして、ロボット制御部２１２は、決定したチャック７の傾きの方向、角度およびz軸方向の位置を含む制御命令を、通信インタフェース２３を介して搬送ロボット４へ送信する。これにより、搬送ロボット４は、チャック７の傾きの方向および角度を、ウェハ１０の傾きの方向、角度およびz軸方向の変位量に応じて調整することができる。
【００７６】
最後に、搬送ロボット４は、ウェハカセット２０からウェハ１０を取り出し（ステップＳ９）、搬送する。ステップＳ９の処理は、ロボット制御部２１２が、通信インタフェース２３を介して搬送ロボット４へ制御命令を送信することにより実現される。該制御命令は、ステップＳ８で送信される制御命令とともに搬送ロボット４へ送信されてもよいし、ステップＳ８で送信される制御命令の後に送信されてもよい。
【００７７】
なお、傾き検出部２１１が、ウェハ１０が傾いていない、かつz軸方向の変位もないと判定した場合（ステップＳ５でＮＯ）、ステップＳ６〜Ｓ８は省略される。すなわち、ＰＬＣ２は、ウェハ１０が正常な状態に載置されているため、チャック７の傾きの方向、角度およびz軸方向の位置を調整することなく、搬送ロボット４にウェハ１０の取り出しを行わせる（ステップＳ９）。
【００７８】
［作用・効果］
以上のように、本実施形態では、上記ステップＳ６およびステップＳ７において、ＰＬＣ２がウェハ１０の傾きの方向、角度およびz軸方向の変位量を特定する。つまり、ＰＬＣ２は、ウェハ１０の傾きについて、傾きの有無より詳細な情報を特定することができる。
【００７９】
一例として、ＰＬＣ２は、上記ステップＳ８において、特定したウェハ１０の傾きの方向および角度に基づいて、チャック７の傾きの方向、角度およびz軸方向の位置を調整することができる。これにより、ウェハ１０が傾いている場合であっても、ウェハ１０を傷付けることなくウェハカセット２０から取り出すことができる。よって、ウェハ１０が傾いている場合であっても、搬送ロボット４によるウェハ１０の搬送を継続することができる。なお、ウェハ１０が傾いている場合とは、ウェハ１０が傾いてウェハカセット２０に収納されている場合や、ウェハカセット２０自体が傾いている場合を含む。
【００８０】
＜実施形態２＞
本発明の第２の実施形態について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、上記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
【００８１】
以下では、図１２を参照して本実施形態におけるウェハ１０の傾きを特定する方法について説明する。
【００８２】
本実施形態では、反射センサ６７，６８，６９の３個を使ってウェハ１０の傾きを特定する。
【００８３】
本実施形態では、図１２に示すように、センサハンド５は、透過センサを備えていない一方で、反射センサを３つ備えている。一例として、本実施形態に係るセンサハンド５は、図１２に示すように、実施形態１における、反射センサ６２および反射センサ６３の位置に、反射センサ６７および反射センサ６８をそれぞれ備え、正面の位置、すなわち二つの反射センサ６７，６８を結ぶ直線とウェハの中心点を結ぶ直線ｌの延長線上であって、反射センサ６７、６８よりもセンサハンド５側（すなわち前方）に反射センサ６９を備えている。なお、反射センサ６７および６８は、実施形態１における透過センサ６１の投光部６１aおよび受光部６１ｂの位置にそれぞれ備えてもよい。
【００８４】
それ以外の構成は、実施形態１と同様である。本実施形態におけるウェハの傾き、すなわち、ｚ軸方向の変位量、ｘ軸周りの傾き方向と大きさ、ｙ軸周りの傾き方向と大きさの特定方法について以下に説明する。
【００８５】
（z軸方向の変位量の測定方法）
予め、搬送ロボット４がセンサハンド５をz軸下向きに一定の速度で移動させながら、センサユニット３が、傾きのない正常な状態のウェハについて反射センサ６７、６８、または６９で受光される検出光の経時変化を取得する。ＰＬＣ２がこれを基準データとして記憶部２２に格納させる。同様に、搬送ロボット４がセンサハンド５をz軸下向きに一定の速度で移動させながら、センサユニット３が検出用ウェハについて２個の反射センサ６５および６６で受光される検出光の経時変化のデータを取得する。ＰＬＣ２が検出光の光量が最大値となる点の中央点に相当するタイミングを特定し、予め測定しておいた基準データにおいて検出光の光量が最大値となるタイミングと比較する。検出用ウェハにおける光量の経時変化が最大値となるタイミングが、基準データにおいて最大値となるタイミングよりも先である場合には、ＰＬＣ２は、ウェハがz軸方向上に変位したと判断する。逆に、検出用ウェハにおける光量の経時変化が最大値となるタイミングが、基準データにおいて最大値となるタイミングよりも後である場合には、ＰＬＣ２は、ウェハがz軸方向下に変位したと判断する。また、ＰＬＣ２は、検出用ウェハにおける光量の経時変化が最大値となるタイミングと基準データにおいて光量が最大値となるタイミングの差により、ウェハのz軸方向における変位量を特定することができる。
【００８６】
（ｘ軸周りの傾き方向および大きさの特定）
次に、ウェハのｘ軸周りの傾きの特定方法について説明する。搬送ロボット４がセンサハンド５をz軸下向きに一定の速度で移動させ、その間にセンサユニット３が検出用ウェハについて２個の反射センサ６７および６８で受光される検出光の経時変化のデータを取得する。ＰＬＣ２は左右２個の反射センサ、つまり反射センサ６７，６８で受光される検出光の光量の経時変化のデータを比較して、ウェハのｘ軸周りの傾き方向および大きさを特定する。具体的には、図１３に示すように、受光される検出光の光量が最大値となるタイミングが左側の反射センサ６７のほうが右側の反射センサ６８より先だった場合には、ＰＬＣ２は、ウェハは左上がり、つまり右に傾いていると特定する。逆に、光量がピークとなる時点が反射センサ６６のほうが先だった場合には、ＰＬＣ２は、左上がり、つまりウェハが右に傾いていると特定する。
【００８７】
また、反射センサ６７，６８で受光される検出光の光量が最大値となるタイミングの差Ｌはウェハの傾きの大きさと比例する。したがって、ＰＬＣ２は、反射センサ６７，６８で光量が最大値となるタイミングの差Ｌを測定することにより、ウェハのｘ軸周りにおける傾きの大きさを特定する。
【００８８】
（ｙ軸周りの傾きの方向および大きさの特定）
次に、ウェハのｙ軸周りの傾きの方向および大きさの特定方法について説明する。（正面の反射センサ６９は、左右の反射センサ６７および６８よりもｘ軸方向前側に備えられている）。搬送ロボット４がセンサハンド５をz軸下向きに一定の速度で移動させ、その間にセンサユニット３が検出用ウェハについて反射センサ６７（または６８）と反射センサ６９で受光される検出光の経時変化のデータを取得する。ＰＬＣ２は、取得された反射センサ６７（または６８）と反射センサ６８とで受光される検出光の光量の経時変化のデータを比較して、ウェハのｙ軸周りの傾き方向および大きさを特定する。正面の反射センサ６９は、左右の反射センサ６７および６８よりもｘ軸方向前側に備えられている。したがって、図１４に示すように、検出光の光量が最大値となるタイミングが反射センサ６７（または６８）のほうが反射センサ６９よりも先だった場合には、ＰＬＣ２は、ウェハが前下がり、つまりウェハが前方に傾いていると特定する。逆に、検出光の光量が最大値となるタイミングが正面の反射センサ６９のほうが反射センサ６７（または６８）よりも後だった場合には、ＰＬＣ２は、ウェハが前上がり、つまりウェハが後方に傾いていると特定する。
【００８９】
また、ＰＬＣ２は、反射センサ６７（６８）と反射センサ６９で、検出光の光量が最大値となるタイミングの差の大きさＬを特定することにより、ｙ軸周りにおけるウェハの傾きの大きさを特定する。
【００９０】
（その他の実施例）
本明細書で掲示した技術は、上記記載のセンサ構成に限られない。例えば、透過センサ２対、反射センサ１個をセンサハンドが備えることが考えられる。センサハンドは、透過センサ２対が透過光が平行となるようにウェハのｘ軸方向に並べて備える。この構成により、より精度高くウェハの傾きを特定することができる。
【００９１】
§４  変形例
（変形例１）
上記実施形態では、図９に示されるとおり、ＰＬＣ２の制御部２１が、機能構成として傾き検出部２１１を備える例を説明した。この構成に代えて、センサユニット３の制御部（不図示）が、機能構成として傾き検出部２１１を備えてもよい。
【００９２】
（変形例２）
上記実施形態では、図１に示されるとおり、センサシステム１が、センサユニット３、搬送ロボット４、チャック５、および光電センサ６の組み合わせを１つのみ有する例を説明した。しかしながら、センサシステム１は、該組み合わせを複数有していてもよい。
【００９３】
（変形例３）
上記実施形態では、図４に示されるとおり、センサシステム１が、１枚のウェハ１０をスキャンし、該ウェハ１０の傾きの方向および角度を特定する例を説明した。この構成に代えて、センサシステム１は、複数枚のウェハ１０（例えば、ウェハカセット２０に格納されているすべてのウェハ１０）をまとめてスキャンし、ウェハ１０それぞれの傾きの方向および角度を特定してもよい。
【００９４】
（変形例４）
上記実施形態では、図１０などに示されるとおり、センサシステム１が、ウェハ１０の傾きの方向および角度を特定する例を説明した。しかしながら、センサシステム１がウェハ１０の傾きの角度を特定する構成は必須ではない。換言すれば、センサシステム１は、ウェハ１０の傾きの方向のみを特定してもよい。
【００９５】
（変形例５）
上記実施形態では、センサシステム１が、特定したウェハ１０の傾きの方向、角度およびz軸方向の変位量に応じて、チャック７の傾きの方向、角度およびz軸方向の位置を制御する例を説明した。この構成に代えて、あるいは、この構成に加え、センサシステム１は、特定したウェハ１０の傾きの角度が一定以上である場合、その旨をセンサシステム１のユーザに報知する構成を備えていてもよい。
【００９６】
図１１は、変形例６に係るセンサシステム１ａに含まれる各装置のハードウェア構成の一例を模式的に例示する図である。センサシステム１ａがセンサシステム１と異なる点は、図１１に示されるとおり、ＰＬＣ２に代えてＰＬＣ２ａを含んでいる点、および、報知装置７を新たに含んでいる点である。
【００９７】
報知装置７は、センサシステム１のユーザに対する報知を行う装置であり、一例として、表示装置（ディスプレイ）であってもよい。この例の場合、報知装置７は、ウェハ１０の傾きの角度が一定以上であることをユーザに報知、換言すれば、ウェハ１０をウェハカセット２０から取り出す際に、ウェハ１０が傷つく可能性があることを警告する画面を表示する。
【００９８】
ＰＬＣ２ａがＰＬＣ２と異なる点は、新たに出力インタフェース２４を備えている点である。出力インタフェース２４は、ＰＬＣ２ａがデータを出力するためのインタフェースである。本変形例では、ＰＬＣ２ａは、出力インタフェース２４を介して、報知装置７に、ユーザに対する報知を行うための情報（例えば、上記画面を表示させるための表示情報）を出力する。
【００９９】
また、本変形例に係る制御部２１は、機能構成として、表示制御部（不図示）を備える。本変形例に係る傾き検出部２１１は、特定した、ウェハ１０の傾きの角度が一定以上であるか否かを判定し、一定以上であった場合、上記表示情報の生成指示を表示制御部に出力する。表示制御部は、上記生成指示を受け、表示情報を生成し、出力インタフェース２４を介して報知装置７へ出力する。
【０１００】
これにより、センサシステム１ａは、ウェハ１０が傷つく可能性があることを、センサシステム１ａのユーザ（例えば、オペレータ）に報知することができる。
【０１０１】
本発明は上述した実施形態および変形例に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【符号の説明】
【０１０２】
１、１ａ  センサシステム
２、２ａ  ＰＬＣ（特定装置）
３  センサユニット（取得装置）
４  搬送ロボット（搬送装置、移動制御装置）
５  センサハンド
６  光電センサ
７  搬送チャック
８  アクチュエータ
９  報知装置
１０  ウェハ
２０  ウェハカセット
６０  検出光
６１a  投光部
６１b  受光部    
６２、６３ 反射センサ
６５、６６  突出部
６７，６８，６９  反射型センサ
１０１  ウェハ面（ウェハの平面）
Ｓ１  移動ステップ
Ｓ２、Ｓ３  取得ステップ
Ｓ６  特定ステップ
【図１】
2020053416.tif 000003
【図２】
2020053416.tif 000004
【図３】
2020053416.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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