(57)【要約】【課題】特性インピーダンスが回路基板の被測定点の信号電極とグランド電極との間隔に実質的に依存しない測定用プローブを実現する。【解決手段】測定用プローブ１０１は、第１方向（Ｚ軸方向）に延伸する信号プローブＳ１と、第１方向に延伸する複数の接地プローブＧ１，Ｇ２とを備える。整合用接地プローブ（接地プローブＧ１）は、信号プローブＳ１と整合用接地プローブとで構成される線路の特性インピーダンスが所定の値となるように、第１方向に直交する平面方向（＋Ｘ方向）において他の接地プローブＧ２よりも信号プローブＳ１に近接して配置されている。測定用プローブ１０１は、信号プローブＳ１の先端部ＳＴを被検出体（被測定回路基板９０）の信号電極ＳＩＧに当接させ、接地プローブＧ２の先端部ＧＥ２を被検出体のグランド電極ＧＮＤに当接させて使用する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に延伸する信号プローブと、
前記第１方向に延伸する接地プローブと、
整合用導体と、
を備え、
前記整合用導体は、前記信号プローブと前記整合用導体とで構成される線路の特性インピーダンスが所定の値となるように、前記第１方向に直交する平面方向において、前記接地プローブよりも前記信号プローブに近接して配置され、
前記信号プローブの先端部を被検出体の信号電極に当接させ、前記接地プローブの先端部を前記被検出体のグランド電極に当接させて使用する、
測定用プローブ。
【請求項２】
前記接地プローブおよび前記整合用導体は、一体化している、請求項１に記載の測定用プローブ。
【請求項３】
前記整合用導体は、前記第１方向に延伸し、前記信号プローブの前記先端部に近接するように屈曲する形状である、請求項１に記載の測定用プローブ。
【請求項４】
第１方向に延伸する信号プローブと、
前記第１方向に延伸し、整合用接地プローブを含む複数の接地プローブと、
を備え、
前記整合用接地プローブは、前記信号プローブと前記整合用接地プローブとで構成される線路の特性インピーダンスが所定の値となるように、前記第１方向に直交する平面方向において、前記複数の接地プローブのうち他の接地プローブよりも前記信号プローブに近接して配置され、
前記信号プローブの先端部を被検出体の信号電極に当接させ、前記複数の接地プローブのいずれかの先端部を前記被検出体のグランド電極に当接させて使用する、
測定用プローブ。
【請求項５】
前記複数の接地プローブは、互いに接触することにより導通する、請求項４に記載の測定用プローブ。
【請求項６】
前記複数の接地プローブの少なくとも一つは、前記平面方向に延伸する延伸部を有し、
前記複数の接地プローブのうち、前記延伸部を有する接地プローブと他の接地プローブとは、前記延伸部が前記他の接地プローブに接触することにより導通する、請求項５に記載の測定用プローブ。
【請求項７】
前記複数の接地プローブを前記第１方向に移動可能に支持する位置変化機構を備える、請求項４から６のいずれかに記載の測定用プローブ。
【請求項８】
前記位置変化機構は、
前記第１方向に対向する第１端および第２端を有する複数の弾性部材と、
を有し、
前記複数の弾性部材の前記第１端は、前記第１方向において前記複数の接地プローブの前記先端部とは反対側に位置する複数の末端部にそれぞれ接続される、請求項７に記載の測定用プローブ。
【請求項９】
前記位置変化機構は導電性部材を有し、
前記複数の弾性部材の前記第２端は、前記導電性部材にそれぞれ接続され、
前記複数の接地プローブは、前記複数の弾性部材および前記導電性部材を介して導通する、請求項８に記載の測定用プローブ。
【請求項１０】
前記複数の接地プローブの前記第１方向側に配置され、可撓性を有する導電性可撓部材を備え、
前記導電性可撓部材は、前記第１方向から視て、前記複数の接地プローブの前記先端部を覆う、請求項４から９のいずれかに記載の測定用プローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、信号プローブおよび接地プローブを備え、被測定対象である高周波回路の特性の測定に用いられる測定用プローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
回路基板上の被測定点の信号を検出して、回路基板に形成されている高周波回路の特性を測定するための一般的な方法は、測定装置から引き出された、独立した手持ち式のプローブを回路基板の被測定点に当てて、測定装置によって高周波信号を分析する、というものである。しかし、この手持ち式プローブを用いる測定方法では、多数の試験部位が存在する場合に効率が悪く、時間の掛かる作業となる。
【０００３】
これに対して、特許文献１には、プリント配線回路基板を保持する台と、この台の上方で、ｘ、ｙおよびｚ方向に移動可能な二つの試験ヘッドを備え、信号プローブと接地プローブとの間隔を変更できるように構成されたプリント配線回路基板試験装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２８６７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載のプリント配線回路基板試験装置では、信号プローブと接地プローブとの間隔が、回路基板の被測定点の信号電極とグランド電極との間隔によって規定されてしまう。そのため、信号プローブと接地プローブとの間隔が適正に定まらず、プローブの特性インピーダンスが規定値からずれる場合がある。その場合には、インピーダンス不整合が生じて、正しい測定ができない。
【０００６】
信号プローブと接地プローブとを個別に移動可能とせずに、所定の特性インピーダンスのプローブを予め設計しておけば、上記特性インピーダンスの不整合の問題は回避できる。しかし、回路基板の被測定点の箇所に応じて信号プローブと接地プローブとの間隔が変わる場合や、被測定回路基板の品種ごとに、または、同一被測定回路基板上であっても信号電極とグランド電極との間隔が異なる場合がある。このような場合には、それらの測定箇所に応じた専用のプローブを複数種用意しておく必要があり、手間が掛かり、測定工程も複雑化する。
【０００７】
本発明の目的は、特性インピーダンスが回路基板の被測定点の信号電極とグランド電極との間隔に実質的に依存しない高周波測定用プローブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の測定用プローブは、
第１方向に延伸する信号プローブと、
前記第１方向に延伸する接地プローブと、
整合用導体と、
を備え、
前記整合用導体は、前記信号プローブと前記整合用導体とで構成される線路の特性インピーダンスが所定の値となるように、前記第１方向に直交する平面方向において、前記接地プローブよりも前記信号プローブに近接して配置され、
前記信号プローブの先端部を被検出体の信号電極に当接させ、前記接地プローブの先端部を前記被検出体のグランド電極に当接させて使用することを特徴とする。
【０００９】
本発明の測定用プローブは、
第１方向に延伸する信号プローブと、
前記第１方向に延伸し、整合用接地プローブを含む複数の接地プローブと、
を備え、
前記整合用接地プローブは、前記信号プローブと前記整合用接地プローブとで構成される線路の特性インピーダンスが所定の値となるように、前記第１方向に直交する平面方向において、前記複数の接地プローブのうち他の接地プローブよりも前記信号プローブに近接して配置され、
前記信号プローブの先端部を被検出体の信号電極に当接させ、前記複数の接地プローブのいずれかの先端部を前記被検出体のグランド電極に当接させて使用することを特徴とする。
【００１０】
信号プローブと接地プローブとの相対位置を、被検出体の信号電極とグランド電極との間隔に合わせる場合には、測定用プローブの特性インピーダンス（信号プローブと接地プローブとで構成される線路の特性インピーダンス）を所定の値に定めるのが難しい。一方、この構成によれば、整合用接地プローブ（または、整合用導体）が、信号プローブと接地プローブ（または、整合用導体）とで構成される線路の特性インピーダンスが所定の値になるような位置に配置されている。そのため、測定用プローブの特性インピーダンスを所定の値に設定しやすくなる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、特性インピーダンスが回路基板の被測定点の信号電極とグランド電極との間隔に実質的に依存しない測定用プローブを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１（Ａ）は第１の実施形態に係る測定用プローブ１０１の外観斜視図であり、図１（Ｂ）は測定用プローブ１０１の正面図である。
【図２】図２は、測定用プローブ１０１の概念図である。
【図３】図３は、測定用プローブ１０１と被測定回路基板９０の関係を示す正面図である。
【図４】図４（Ａ）は第２の実施形態に係る測定用プローブ１０２Ａの概念図であり、図４（Ｂ）は第２の実施形態に係る別の測定用プローブ１０２Ｂの概念図である。
【図５】図５は、第３の実施形態に係る測定用プローブ１０３の概念図である。
【図６】図６（Ａ）は第４の実施形態に係る測定用プローブ１０４の外観斜視図であり、図６（Ｂ）は測定用プローブ１０４の正面図である。
【図７】図７は測定用プローブ１０４の概念図である。
【図８】図８は、測定用プローブ１０４と被測定回路基板９０の関係を示す正面図である。
【図９】図９（Ａ）は第５の実施形態に係る測定用プローブ１０５Ａの平面図であり、図９（Ｂ）は第５の実施形態に係る別の測定用プローブ１０５Ｂの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以降、図を参照して幾つかの具体的な例を挙げて、本発明を実施するための複数の形態を示す。各図中には同一箇所に同一符号を付している。要点の説明または理解の容易性を考慮して、便宜上実施形態を分けて示すが、異なる実施形態で示した構成の部分的な置換または組み合わせが可能である。第２の実施形態以降では第１の実施形態と共通の事柄についての記述を省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、同様の構成による同様の作用・効果については実施形態毎には逐次言及しない。
【００１４】
《第１の実施形態》
図１（Ａ）は第１の実施形態に係る測定用プローブ１０１の外観斜視図であり、図１（Ｂ）は測定用プローブ１０１の正面図である。図２は、測定用プローブ１０１の概念図である。図２では、構造を分かりやすくするため、筐体１の図示を省略している。また、図２では、整合用接地プローブをハッチングで示している。
【００１５】
測定用プローブ１０１は、信号プローブＳ１、複数の接地プローブＧ１，Ｇ２、位置変化機構２および筐体１等を備える。後に詳述するように、測定用プローブ１０１は、信号プローブおよび接地プローブを被測定回路基板（被検出体）に当接して測定を行う器具である。
【００１６】
信号プローブＳ１および接地プローブＧ１，Ｇ２は、いずれも第１方向（Ｚ軸方向）に延伸する剣形（先端が先細りした形状）の金属薄板である。図２等に示すように、信号プローブＳ１および接地プローブＧ１，Ｇ２は、第１方向に直交する平面方向（＋Ｘ方向）にこの順に配列されている。信号プローブＳ１は、第１方向に対向する先端部ＳＴおよび末端部ＳＥを有する。接地プローブＧ１は、第１方向に対向する先端部ＧＴ１および末端部ＧＥ１を有する。接地プローブＧ２は、第１方向に対向する先端部ＧＴ２および末端部ＧＥ２を有する。
【００１７】
本実施形態では、接地プローブＧ１が本発明の「整合用接地プローブ」に相当する。
【００１８】
位置変化機構２は、信号プローブＳ１および複数の接地プローブＧ１，Ｇ２を第１方向（Ｚ軸方向）に移動可能に支持する機構である。図２に示す例では、位置変化機構２は、信号プローブＳ１および複数の接地プローブＧ１，Ｇ２を個別に移動可能に支持し、複数の弾性部材ＥＭ１，ＥＭ２１，ＥＭ２２および導電性部材ＣＭ１，ＣＭ２等を有する。弾性部材ＥＭ１，ＥＭ２１，ＥＭ２２は、それぞれ第１方向に対向する第１端および第２端を有する。弾性部材ＥＭ１，ＥＭ２１，ＥＭ２２は例えばコイルバネであり、導電性部材ＣＭ１，ＣＭ２は例えば金属製の台座である。このように、弾性部材ＥＭ１，ＥＭ２１，ＥＭ２２が個別のプローブに接続され、弾性部材が被測定回路基板の表面の凹凸形状に応じて変形するため、プローブと被測定回路基板の接触不良を抑制できる。
【００１９】
弾性部材ＥＭ１の第１端（図２における弾性部材ＥＭ１の下端）は、信号プローブＳ１の末端部ＳＥに接続され、弾性部材ＥＭ１の第２端（図２における弾性部材ＥＭ２の上端）は、導電性部材ＣＭ１に接続される。弾性部材ＥＭ２１の第１端（図２における弾性部材ＥＭ２１の下端）は、接地プローブＧ１の末端部ＧＥ１に接続され、弾性部材ＥＭ２２の第１端（図２における弾性部材ＥＭ２２の下端）は、接地プローブＧ２の末端部ＧＥ２に接続される。複数の弾性部材ＥＭ２１，ＥＭ２２の第２端（図２における弾性部材ＥＭ２１，ＥＭ２２の上端）は、それぞれ導電性部材ＣＭ２に接続される。このようにして、信号プローブＳ１および複数の接地プローブは、弾性部材によって付勢され、第１方向に移動可能となる（図２における白抜き矢印参照）。また、複数の接地プローブＧ１，Ｇ２は、複数の弾性部材ＥＭ２１，ＥＭ２２および導電性部材ＣＭ２を介して導通し、導電性部材ＣＭ２はグランドに接続されている。
【００２０】
筐体１は、第１方向に面する一面（図１（Ａ）における上面）に開口を有する直方体である。図１（Ｂ）に示すように、信号プローブＳ１、複数の接地プローブＧ１，Ｇ２および位置変化機構２等は、筐体１の内部に収納されている。また、図１（Ｂ）等に示すように、信号プローブＳ１の先端部ＳＴおよび複数の接地プローブＧ１，Ｇ２の先端部ＧＴ１，ＧＴ２は、筐体１から突出（露出）している。
【００２１】
接地プローブＧ１（整合用接地プローブ）は、平面方向（Ｘ軸方向）において他の接地プローブＧ２よりも信号プローブＳ１に近接して配置されている。接地プローブＧ１と信号プローブＳ１との距離（Ｌ１）は、接地プローブＧ２と信号プローブＳ１との距離（Ｌ２）よりも短い（Ｌ１＜Ｌ２）。換言すれば、接地プローブＧ１は、平面方向において信号プローブＳ１と接地プローブＧ２とで挟まれている。なお、接地プローブＧ１（整合用接地プローブ）は、信号プローブＳ１と接地プローブＧ１とで構成される線路の特性インピーダンスが所定の値（例えば５０Ω）となるような位置に配置されている。
【００２２】
測定用プローブ１０１は例えば次のように用いられる。図３は、測定用プローブ１０１と被測定回路基板９０の関係を示す正面図である。なお、図３では構造を分かりやすくするため、筐体１および位置変化機構２の図示を省略している。被測定回路基板９０は、本発明の「被検出体」の一例である。
【００２３】
被測定回路基板９０の表面には、信号電極ＳＩＧ、グランド電極ＧＮＤおよび保護層１０が形成されている。保護層１０には、信号電極ＳＩＧおよびグランド電極ＧＮＤに応じた位置に開口を有する。そのため、保護層１０が被測定回路基板９０の表面を覆っていたとしても、上記開口により信号電極ＳＩＧおよびグランド電極ＧＮＤが外部に露出する。保護層１０は、例えばカバーレイフィルムやソルダーレジスト膜、またはエポキシ樹脂膜等である。
【００２４】
図３に示すように、測定用プローブ１０１は、信号プローブＳ１の先端部ＳＴを被測定回路基板９０の信号電極ＳＩＧに当接させ、接地プローブＧ２の先端部ＧＴ２をグランド電極ＧＮＤに当接させて使用される。このとき、接地プローブＧ１（整合用接地プローブ）の先端部ＧＴ１はグランド電極ＧＮＤに当接しない。
【００２５】
信号プローブＳ１と接地プローブとの相対位置を、被測定回路基板９０の信号電極ＳＩＧとグランド電極ＧＮＤとの間隔に合わせる場合には、測定用プローブの特性インピーダンス（信号プローブと接地プローブとで構成される線路の特性インピーダンス）を所定の値に定めるのが難しい。一方、測定用プローブ１０１では、被測定回路基板９０の信号電極ＳＩＧに信号プローブＳ１を、被測定回路基板９０のグランド電極ＧＮＤに接地プローブＧ２を当接させることで測定を行うが、測定用プローブ１０１の特性インピーダンスは信号プローブＳ１と接地プローブＧ１とで定められる。すなわち、接地プローブＧ１（整合用接地プローブ）が、信号プローブＳ１と接地プローブＧ１とで構成される線路の特性インピーダンスが所定の値になるような位置に配置されている。そのため、測定用プローブ１０１の特性インピーダンスを所定の値に設定しやすくなる。
【００２６】
また、測定用プローブ１０１では、接地プローブＧ１（整合用接地プローブ）を被測定回路基板９０のグランド電極ＧＮＤに当接させて測定することもできる。この構成によれば、信号電極ＳＩＧとグランド電極ＧＮＤとの間隔が異なる別の被測定回路基板を測定する場合でも、信号電極ＳＩＧとグランド電極ＧＮＤとの間隔に応じたプローブに交換することなく測定できる。そのため、信号電極ＳＩＧとグランド電極ＧＮＤとの間隔が異なる被測定回路基板を測定する場合でも、測定に掛かる手間が省け、測定工程も簡略化できる。
【００２７】
《第２の実施形態》
第２の実施形態では、複数の接地プローブ同士が接触して導通する測定用プローブの例を示す。
【００２８】
図４（Ａ）は第２の実施形態に係る測定用プローブ１０２Ａの概念図であり、図４（Ｂ）は第２の実施形態に係る別の測定用プローブ１０２Ｂの概念図である。なお、図４（Ａ）および図４（Ｂ）では、構造を分かりやすくするため、整合用接地プローブをハッチングで示している。
【００２９】
測定用プローブ１０２Ａは、複数の接地プローブＧ１Ａ，Ｇ１Ｂおよび位置変化機構２Ａを備える点で、第１の実施形態に係る測定用プローブ１０１と異なる。測定用プローブ１０２Ａの他の構成については、測定用プローブ１０１と同じである。
【００３０】
以下、第１の実施形態に係る測定用プローブ１０１と異なる部分について説明する。
【００３１】
接地プローブＧ１Ａ，Ｇ２Ａは、第１の実施形態で説明した接地プローブＧ１，Ｇ２よりも平面方向（Ｘ軸方向）の厚みが厚い。接地プローブＧ１Ａ，Ｇ２Ａの他の構成については、それぞれ上記接地プローブＧ１，Ｇ２と同じである。
【００３２】
位置変化機構２Ａは、導電性部材ＣＭ２１，ＣＭ２２を有する点で、第１の実施形態で説明した位置変化機構２と異なる。位置変化機構２Ａの他の構成については、位置変化機構２と同じである。
【００３３】
弾性部材ＥＭ２１の第１端（図４（Ａ）における弾性部材ＥＭ２１の下端）は、接地プローブＧ１Ａの末端部ＧＥ１に接続され、弾性部材ＥＭ２１の第２端（弾性部材ＥＭ２１の上端）は、導電性部材ＣＭ２１に接続される。弾性部材ＥＭ２２の第１端（図４（Ａ）における弾性部材ＥＭ２２の下端）は、接地プローブＧ２Ａの末端部ＧＥ２に接続され、弾性部材ＥＭ２２の第２端（弾性部材ＥＭ２２の上端）は、導電性部材ＣＭ２２に接続される。図４（Ａ）に示すように、複数の接地プローブＧ１Ａ，Ｇ２Ａは互いに接触することによって導通している。また、導電性部材ＣＭ２２はグランドに接続されている。
【００３４】
測定用プローブ１０２Ｂは、接地プローブＧ１Ｂおよび位置変化機構２Ａを備える点で、第１の実施形態に係る測定用プローブ１０１と異なる。測定用プローブ１０２Ｂの他の構成については、測定用プローブ１０１と同じである。
【００３５】
以下、第１の実施形態に係る測定用プローブ１０１と異なる部分について説明する。
【００３６】
接地プローブＧ１Ｂ（整合用接地プローブ）は、平面方向（＋Ｘ方向）に延伸する延伸部ＳＰ１を有する点で、第１の実施形態で説明した接地プローブＧ１と異なる。接地プローブＧ１Ａの他の構成については、接地プローブＧ１と同じである。
【００３７】
位置変化機構２Ａは、上述したもの（測定用プローブ１０２Ａが備える位置変化機構２Ａ）と同じである。弾性部材ＥＭ２１の第１端（図４（Ｂ）における弾性部材ＥＭ２１の下端）は、接地プローブＧ１Ｂの末端部ＧＥ１に接続され、弾性部材ＥＭ２１の第２端（弾性部材ＥＭ２１の上端）は、導電性部材ＣＭ２１に接続される。弾性部材ＥＭ２２の第１端（図４（Ｂ）における弾性部材ＥＭ２２の下端）は、接地プローブＧ２の末端部ＧＥ２に接続され、弾性部材ＥＭ２２の第２端（弾性部材ＥＭ２２の上端）は、導電性部材ＣＭ２２に接続される。図４（Ｂ）に示すように、接地プローブＧ１Ａ，Ｇ２は、接地プローブＧ１Ａの延伸部ＳＰ１が接地プローブＧ２に接触することにより導通している。また、導電性部材ＣＭ２２はグランドに接続されている。
【００３８】
このような構成でも、測定用プローブ１０２Ａ，１０２Ｂは、第１の実施形態に係る測定用プローブ１０１と同様の作用・効果を奏する。
【００３９】
《第３の実施形態》
第３の実施形態では、接地プローブの数が１つである測定用プローブの例を示す。
【００４０】
図５は、第３の実施形態に係る測定用プローブ１０３の概念図である。図５では構造を分かりやすくするため、整合用導体ＭＣをハッチングで示している。
【００４１】
測定用プローブ１０３は、接地プローブＧ０、整合用導体ＭＣおよび位置変化機構２Ｂを備える点で、第１の実施形態に係る測定用プローブと異なる。測定用プローブ１０３の他の構成については、測定用プローブ１０１と同じである。
【００４２】
以下、第１の実施形態に係る測定用プローブ１０１と異なる部分について説明する。
【００４３】
接地プローブＧ０は、平面方向（−Ｘ方向）に延伸する延伸部ＳＰ２を有する。接地プローブＧ０の延伸部ＳＰ２のうち、平面方向（Ｘ軸方向）において信号プローブＳ１に最も近接する導体部分が、整合用導体ＭＣである。本実施形態では、整合用導体ＭＣと接地プローブＧ０とが一体化している。
【００４４】
整合用導体ＭＣは、信号プローブＳ１に沿って第１方向に延伸する形状である。整合用導体ＭＣは、信号プローブＳ１と整合用導体ＭＣとで構成される線路の特性インピーダンスが所定の値（例えば５０Ω）となるような位置に配置されている。
【００４５】
位置変化機構２Ｂは、信号プローブＳ１および接地プローブＧ０を第１方向（Ｚ軸方向）に移動可能に支持する機構である。図５に示す例では、位置変化機構２Ｂは、信号プローブＳ１および接地プローブＧ０を個別に移動可能に支持し、弾性部材ＥＭ１，ＥＭ２および導電性部材ＣＭ１，ＣＭ２を有する。弾性部材ＥＭ２の第１端（図５における弾性部材ＥＭ２の下端）は、接地プローブＧ０の末端部ＧＥに接続され、弾性部材ＥＭ２の第２端（弾性部材ＥＭ２の上端）は、導電性部材ＣＭ２に接続される。導電性部材ＣＭ２はグランドに接続されている。
【００４６】
このような構成でも、測定用プローブ１０３は、第１の実施形態に係る測定用プローブ１０１と同様の作用・効果を奏する。
【００４７】
なお、本実施形態では、接地プローブＧ０および整合用導体ＭＣが一体化した例を示したが、これに限定されるものではない。接地プローブと整合用導体とが別体であってもよい。なお、接地プローブと別体である整合用導体を、接地プローブの延伸方向（第１方向）に沿って配置できない場合には、第１方向（Ｚ軸方向）に延伸する整合用導体を、信号プローブの先端部に近接するような形状（例えば、屈曲する形状）にして特性インピーダンスを所定の値に設計してもよい。
【００４８】
《第４の実施形態》
第４の実施形態では、導電性可撓部材を備えた測定用プローブの例を示す。
【００４９】
図６（Ａ）は第４の実施形態に係る測定用プローブ１０４の外観斜視図であり、図６（Ｂ）は測定用プローブ１０４の正面図である。図７は測定用プローブ１０４の概念図である。なお、図７では、構造を分かりやすくするため、整合用接地プローブをハッチングで示している。
【００５０】
測定用プローブ１０４は、複数の接地プローブＧ１Ｃ，Ｇ２Ｃ，Ｇ３Ｃ，Ｇ４Ｃ、位置変化機構２Ｃおよび導電性可撓部材３を備える点で、第１の実施形態に係る測定用プローブ１０１と異なる。測定用プローブ１０４の他の構成については、測定用プローブ１０１と同じである。
【００５１】
以下、第１の実施形態に係る測定用プローブ１０１と異なる部分について説明する。
【００５２】
接地プローブＧ１Ｃ，Ｇ２Ｃ，Ｇ３Ｃ，Ｇ４Ｃは、第１の実施形態で説明した接地プローブＧ１，Ｇ２と同じものである。図７等に示すように、信号プローブＳ１および接地プローブＧ１Ｃ，Ｇ２Ｃ，Ｇ３Ｃ，Ｇ４Ｃは、平面方向（＋Ｘ方向）にこの順に配列されている。
【００５３】
位置変化機構２Ｃは、信号プローブＳ１および複数の接地プローブＧ１Ｃ〜Ｇ４Ｃを第１方向に支持する部材である。図７に示すように、位置変化機構２Ｃは、複数の弾性部材ＥＭ１，ＥＭ２１，ＥＭ２２，ＥＭ２３，ＥＭ２４および導電性部材ＣＭ１，ＣＭ２を有する。弾性部材ＥＭ２１〜ＥＭ２４の第１端（図７における弾性部材ＥＭ２１〜ＥＭ２４の下端）は、接地プローブＧ１Ｃ〜Ｇ４Ｃの末端部ＧＥ１〜ＧＥ４にそれぞれ接続され、弾性部材ＥＭ２１〜ＥＭ２４の第２端（図７における弾性部材ＥＭ２１〜ＥＭ２４の上端）は、導電性部材ＣＭ２に接続されている。複数の接地プローブＧ１Ｃ〜Ｇ４Ｃは互いに接触することによって導通している。導電性部材ＣＭ２はグランドに接続されている。
【００５４】
導電性可撓部材３は、可撓性を有する矩形の導電性シートである。導電性可撓部材３は、第１方向（Ｚ軸方向）に変形できるように（図７における矢印を参照）、複数の接地プローブＧ１Ｃ〜Ｇ４Ｃの先端部ＧＴ１〜ＧＴ４側（＋Ｚ方向側）に配置されている。接地プローブＧ１Ｃ〜Ｇ４Ｃの各先端部ＧＴ１〜ＧＴ４は、導電性可撓部材３に接しており、導電性可撓部材３を＋Ｚ方向に押し込んでいる。弾性部材ＥＭ２１〜ＥＭ２４により、接地プローブＧ１Ｃ〜Ｇ４Ｃの各先端部ＧＴ１〜ＧＴ４は、導電性可撓部材３を挟んで被測定回路基板の表面の形状に沿って、第１方向にそれぞれ位置変化する。このように、導電性可撓部材３も被測定回路基板の表面の形状に沿って変形する。図７等に示すように、導電性可撓部材３は、複数の接地プローブＧ１Ｃ〜Ｇ４Ｃの先端部ＧＴ１〜ＧＴ４に接触している。導電性可撓部材３は、接地プローブＧ１Ｃ〜Ｇ４Ｃ、弾性部材ＥＭ２１〜ＥＭ２４および導電性部材ＣＭ２を介してグランドに導通している。また、導電性可撓部材３は、第１方向から視て、複数の接地プローブＧ１Ｃ〜Ｇ４Ｃの先端部ＧＴ１〜ＧＴ４を覆っている。導電性可撓部材３は、例えばカーボンを含んだシートである。
【００５５】
測定用プローブ１０４は例えば次のように用いられる。図８は、測定用プローブ１０４と被測定回路基板９０の関係を示す正面図である。なお、図８では構造分かりやすくするため、筐体１および位置変化機構２Ｃの図示を省略している。
【００５６】
導電性可撓部材３には、第１方向から視て、信号プローブＳ１の先端部ＳＴと重なる位置に貫通孔ＡＰが設けられている。そのため、図８に示すように、信号プローブＳ１の先端部ＳＴは、導電性可撓部材３を介さずに、被測定回路基板９０の信号電極ＳＩＧに当接される。接地プローブＧ４Ｃの先端部ＧＴ４は、導電性可撓部材３を介して、間接的にグランド電極ＧＮＤに当接される。
【００５７】
このような構成でも、測定用プローブ１０４は、第１の実施形態に係る測定用プローブ１０１と同様の作用・効果を奏する。なお、本実施形態に係る測定用プローブ１０４では、導電性可撓部材３が、接地プローブＧ１Ｃ（整合用接地プローブ）よりも信号プローブＳ１に近接している部分もある（例えば、図６（Ａ）の導電性可撓部材３のうち、信号プローブＳ１の先端部ＳＴのＹ軸方向に位置する部分）。しかし、信号プローブＳ１および接地プローブＧ１Ｃはともに第１方向に沿って並行（延伸）しているため、測定用プローブ１０４の特性インピーダンスは、信号プローブＳ１と接地プローブＧ１Ｃとによって定まる特性インピーダンスが支配的となる。
【００５８】
なお、本実施形態では、位置変化機構２Ｃの導電性部材ＣＭ２がグランドに接続された例を示したが、この構成に限定されるものではない。接地プローブＧ１Ｃ〜Ｇ４Ｃ（先端部ＧＴ１〜ＧＴ４）に接触する導電性可撓部材３が、グランドに接続される構成でもよい。導電性可撓部材３がグランドに接続される場合には、接地プローブＧ１Ｃ〜Ｇ４Ｃが接触して導通している必要はない。
【００５９】
《第５の実施形態》
第５の実施形態では、上述した実施形態に係る測定用プローブとは、信号プローブと接地プローブとの相対位置が異なる測定用プローブの例を示す。
【００６０】
図９（Ａ）は第５の実施形態に係る測定用プローブ１０５Ａの平面図であり、図９（Ｂ）は第５の実施形態に係る別の測定用プローブ１０５Ｂの平面図である。なお、図９（Ａ）および図９（Ｂ）では、構造を分かりやすくするため、整合用接地プローブをハッチングで示している。
【００６１】
測定用プローブ１０５Ａは、複数の接地プローブＧ１Ｄ，Ｇ２Ｄ，Ｇ３Ｄ，Ｇ４Ｄを備える点で、第１の実施形態に係る測定用プローブ１０１と異なる。測定用プローブ１０５Ａの他の構成については、測定用プローブ１０１と実質的に同じである。以下、第１の実施形態に係る測定用プローブ１０１と異なる部分について説明する。
【００６２】
接地プローブＧ１Ｄ〜Ｇ４Ｄは、第１の実施形態で説明した接地プローブＧ１，Ｇ２と同じものである。図９（Ａ）に示すように、接地プローブＧ４Ｄ，Ｇ３Ｄ、信号プローブＳ１、接地プローブＧ１Ｄ，Ｇ２Ｄは、平面方向（＋Ｘ方向）にこの順に配列されている。この構成では、信号プローブＳ１がＸ軸方向において接地プローブＧ１Ｄ，Ｇ３Ｄで挟まれている。すなわち、信号プローブＳ１の２つの方向（＋Ｘ方向および−Ｘ方向）に接地プローブが位置するため、信号プローブＳ１からの不要な電磁波の放射を効果的に抑制できる。信号プローブＳ１からの電磁波放射は、複数の測定用プローブで測定する場合にその影響が特に顕著となる。また、この構成によれば、測定用プローブ１０５Ａを、所望の特性インピーダンスに精度良く定めることができるため、測定時のインピーダンス不整合をさらに抑制できる。
【００６３】
測定用プローブ１０５Ａでは、接地プローブＧ１Ｄ，Ｇ３Ｄが本発明の「整合用接地プローブ」に相当する。
【００６４】
測定用プローブ１０５Ｂは、信号プローブＳ１Ｅ、および複数の接地プローブＧ１Ｅ，Ｇ２Ｅ，Ｇ３Ｅ，Ｇ４Ｅ，Ｇ５Ｅを備える点で、第１の実施形態に係る測定用プローブ１０１と異なる。測定用プローブ１０５Ｂの他の構成については、測定用プローブ１０１と実質的に同じである。以下、第１の実施形態に係る測定用プローブ１０１と異なる部分について説明する。
【００６５】
信号プローブＳ１Ｅ、および複数の接地プローブＧ１Ｅ〜Ｇ５Ｅは、いずれも第１方向（Ｚ軸方向）に延伸し、第１方向の一方端が尖った金属円柱である。図９（Ｂ）に示すように、複数の接地プローブＧ１Ｅ〜Ｇ５Ｅは、信号プローブＳ１Ｅの周囲を囲むように配置されている。具体的には、接地プローブＧ３Ｅ、信号プローブＳ１Ｅおよび接地プローブＧ１Ｅ，Ｇ５Ｅは、平面方向（＋Ｘ方向）にこの順に配列されており、接地プローブＧ２Ｅ、信号プローブＳ１Ｅおよび接地プローブＧ４Ｅは平面方向（−Ｙ方向）にこの順に配列されている。この構成では、信号プローブＳ１の周囲が複数の接地プローブＧ１Ｅ，Ｇ２Ｅ，Ｇ３Ｅ，Ｇ４Ｅで囲まれている。具体的には、信号プローブＳ１の多数の方向（＋Ｘ方向、−Ｘ方向、＋Ｙ方向および−Ｙ方向）に接地プローブが位置するため、信号プローブＳ１からの不要な電磁波の放射をさらに抑制できる。信号プローブＳ１からの電磁波放射は、複数の測定用プローブで測定する場合にその影響が特に顕著となる。また、この構成によれば、測定用プローブ１０５Ｂを、所望の特性インピーダンスに精度良く定めることができるため、測定時のインピーダンス不整合をさらに抑制できる。
【００６６】
測定用プローブ１０５Ｂでは、接地プローブＧ１Ｅ〜Ｇ４Ｅが本発明の「整合用接地プローブ」に相当する。
【００６７】
本実施形態に示したように、複数の接地プローブは信号プローブの＋Ｘ方向に配列される構成に限定されるものではなく、本発明の作用・効果を奏する範囲において適宜変更可能である。また、信号プローブおよび接地プローブの形状も剣形の金属薄板に限定されるものではなく、第１方向の一方端が尖った角柱等でもよい。
【００６８】
《その他の実施形態》
以上に示した各実施形態では、１つ、２つ、４つまたは５つの接地プローブを備える測定用プローブを示したが、接地プローブの数はこれに限定されるものではなく、適宜変更可能である。
【００６９】
以上に示した各実施形態では、測定用プローブが備える筐体１が、直方体である例を示したが、この構成に限定されるものではない。筐体の形状・構造は本発明の作用・効果を奏する範囲において適宜変更可能である。
【００７０】
以上に示した各実施形態では、弾性部材がコイルバネである例を示したが、これに限定されるものではない。複数の接地プローブ間、または接地プローブと整合用導体との間を導通させることができるのであれば、例えば絶縁性の樹脂等でもよい。
【００７１】
最後に、上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではない。当業者にとって変形および変更が適宜可能である。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲内と均等の範囲内での実施形態からの変更が含まれる。
【符号の説明】
【００７２】
ＣＭ１，ＣＭ２，ＣＭ２１，ＣＭ２２…導電性部材
ＥＭ１，ＥＭ２，ＥＭ２１，ＥＭ２２，ＥＭ２３，ＥＭ２４…弾性部材
Ｇ０，Ｇ１，Ｇ１Ａ，Ｇ１Ｂ，Ｇ１Ｃ，Ｇ１Ｄ，Ｇ１Ｅ，Ｇ２，Ｇ２Ａ，Ｇ２Ｃ，Ｇ２Ｄ，Ｇ２Ｅ，Ｇ３Ｃ，Ｇ３Ｄ，Ｇ３Ｅ，Ｇ４Ｃ，Ｇ４Ｄ，Ｇ４Ｅ，Ｇ５Ｅ…接地プローブ
ＧＥ，ＧＥ１，ＧＥ…末端部
ＧＴ１，ＧＴ２，ＧＴ３，ＧＴ４…（接地プローブの）先端部
ＧＥ１，ＧＥ２，ＧＥ３，ＧＥ４…（接地プローブの）末端部
ＳＩＧ…信号電極
ＧＮＤ…グランド電極
ＭＣ…整合用導体
Ｓ１，Ｓ１Ｅ…信号プローブ
ＳＴ…（信号プローブの）先端部
ＳＥ…（信号プローブの）末端部
ＳＰ１，ＳＰ２…延伸部
１…筐体
２，２Ａ，２Ｂ，２Ｃ…位置変化機構
３…導電性可撓部材
１０…保護層
９０…被測定回路基板
１０１，１０２Ａ，１０２Ｂ，１０３，１０４，１０５Ａ，１０５Ｂ…測定用プローブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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