(57)【要約】【課題】半導体ウエハ等の搬送対象物が載置される複数のハンドが上下方向で隙間を介して重なっている産業用ロボットの調整方法において、複数のハンドの上下方向のピッチの調整作業を簡素化することが可能となる産業用ロボットの調整方法を提供する。【解決手段】この産業用ロボットの調整方法では、錘載置工程において、ハンド５に向かって突出するピン２２が取り付けられた錘２１をハンド４に載置するとともに、ハンド４側を向く平面が形成された錘２３を、ハンド５の端面よりもハンド５の外側に配置される錘２３の一部分とピン２２とが上下方向で重なるようにハンド５に載置し、その後、隙間測定工程において、ハンド４側を向く錘２３の平面とピン２２の先端との隙間を隙間ゲージ２４で測定し、その後、ピッチ調整工程において、隙間測定工程での測定結果に基づいてハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整している。【選択図】図６
2020189390.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送対象物が載置されるとともに上下方向で隙間を介して重なる複数のハンドと、複数の前記ハンドの上下方向のピッチを調整するためのピッチ調整機構とを備える産業用ロボットの調整方法であって、
上下方向で隣り合う２個の前記ハンドのうちの一方の前記ハンドを第１ハンドとし、他方の前記ハンドを第２ハンドとすると、
前記第２ハンドに向かって突出するピンが取り付けられた第１の錘を、前記ピンが前記第１ハンドの端面よりも前記第１ハンドの外側に配置されるように前記第１ハンドに載置するとともに、前記第１ハンド側を向く平面が形成された第２の錘を、前記第２の錘の一部分が前記第２ハンドの端面よりも前記第２ハンドの外側に配置されるように、かつ、前記第２ハンドの端面よりも前記第２ハンドの外側に配置される前記第２の錘の一部分と前記ピンとが上下方向で重なるように前記第２ハンドに載置する錘載置工程と、
前記第１ハンド側を向く前記第２の錘の平面と前記ピンの先端との隙間を隙間ゲージで測定する隙間測定工程と、
前記隙間測定工程での測定結果に基づいて、前記ピッチ調整機構によって前記第１ハンドと前記第２ハンドとの上下方向のピッチを調整するピッチ調整工程とを備えることを特徴とする産業用ロボットの調整方法。
【請求項２】
前記錘載置工程では、複数箇所に前記第１の錘および前記第２の錘を載置することを特徴とする請求項１記載の産業用ロボットの調整方法。
【請求項３】
前記錘載置工程では、少なくとも３箇所に前記第１の錘および前記第２の錘を載置することを特徴する請求項２記載の産業用ロボットの調整方法。
【請求項４】
前記第１ハンドに載置される複数の前記第１の錘および前記ピンの重さの合計、および、前記第２ハンドに載置される複数の前記第２の錘の重さの合計は、前記搬送対象物の重さと等しくなっていることを特徴とする請求項２または３記載の産業用ロボットの調整方法。
【請求項５】
前記産業用ロボットは、２個の前記ハンドを備え、
前記ハンドは、前記搬送対象物の複数箇所を下側から支持する複数の支持部材を備え、
前記錘載置工程では、前記第１の錘および前記第２の錘を、複数の前記支持部材のそれぞれの近傍に載置することを特徴とする請求項４記載の産業用ロボットの調整方法。
【請求項６】
搬送対象物が載置されるとともに上下方向で隙間を介して重なる複数のハンドの上下方向のピッチを調整するときに使用される測定用器具であって、
上下方向で隣り合う２個の前記ハンドのうちの一方の前記ハンドを第１ハンドとし、他方の前記ハンドを第２ハンドとすると、
前記第１ハンドに載置される第１の錘と、前記第１の錘に取り付けられ前記第２ハンドに向かって突出するとともに前記第１ハンドの端面よりも前記第１ハンドの外側に配置されるピンと、前記第１ハンド側を向く平面が形成されるとともに一部分が前記第２ハンドの端面よりも前記第２ハンドの外側に配置されるように、かつ、前記第２ハンドの端面よりも前記第２ハンドの外側に配置される一部分と前記ピンとが上下方向で重なるように前記第２ハンドに載置される第２の錘と、前記第１ハンド側を向く前記第２の錘の平面と前記ピンの先端との隙間を測定するための隙間ゲージとを備えることを特徴とする測定用器具。
【請求項７】
前記ピンの先端は、半球状に形成されていることを特徴とする請求項６記載の測定用器具。
【請求項８】
前記第１の錘に対する前記ピンの取付位置は、前記ピンの突出方向において調整可能となっていることを特徴とする請求項６または７記載の測定用器具。
【請求項９】
前記第１の錘には、前記ピンが挿通される貫通穴が形成され、
前記貫通穴は、前記第１の錘の中心から外れた位置に形成されていることを特徴とする請求項６から８のいずれかに記載の測定用器具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットの調整方法に関する。また、本発明は、半導体ウエハ等の搬送対象物が載置される複数のハンドの上下方向のピッチを調整するときに使用される測定用器具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハを搬送する水平多関節型の産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、半導体製造システムに組み込まれて使用されており、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）と半導体ウエハ処理装置との間でウエハを搬送する。この産業用ロボットは、半導体ウエハが載置される２個のハンドと、２個のハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。２個のハンドは、所定の隙間を介して上下方向で重なっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−３５７７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の産業用ロボットでは、一般に、２個のハンドの上下方向のピッチが調整されるため、この産業用ロボットは、２個のハンドの上下方向のピッチを調整するためのピッチ調整機構を備えている。また、この産業用ロボットにおいて、２個のハンドの上下方向のピッチを調整するときには、たとえば、まず、ピックテスタと、ピックテスタが取り付けられるハイトゲージとを使用して、２個のハンドのそれぞれの高さを測定する。２個のハンドのそれぞれの高さを測定するときには、たとえば、ハイトゲージが載置される架台の載置面を基準面にして２個のハンドのそれぞれの高さを測定する。また、測定された２個のハンドのそれぞれの高さに基づいて、ピッチ調整機構によって２個のハンドの上下方向のピッチを調整する。
【０００５】
しかしながら、ピックテスタとハイトゲージとを使用して２個のハンドのそれぞれの高さを測定する場合には、ハイトゲージが載置されるとともに高さの基準面が形成される架台も必要になるため、２個のハンドの上下方向のピッチを調整する際に使用される測定用の器具（測定用器具）が大掛かりになる。測定用器具が大掛かりになると、測定用器具を設置するとき等の測定用器具の取り扱いが煩雑になるため、２個のハンドの上下方向のピッチの調整作業が煩雑になる。また、測定用器具が大掛かりになると、測定用器具の運搬が大変になるとともに、産業用ロボットの設置スペースが狭い場合に、測定用器具を設置することができなくなるおそれがある。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、半導体ウエハ等の搬送対象物が載置される複数のハンドが上下方向で隙間を介して重なっている産業用ロボットの調整方法において、複数のハンドの上下方向のピッチの調整作業を簡素化することが可能となる産業用ロボットの調整方法を提供することにある。また、本発明の課題は、半導体ウエハ等の搬送対象物が載置される複数のハンドの上下方向のピッチを調整するときに使用される測定用器具において、構成を簡素化して小型化することが可能な測定用器具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットの調整方法は、搬送対象物が載置されるとともに上下方向で隙間を介して重なる複数のハンドと、複数のハンドの上下方向のピッチを調整するためのピッチ調整機構とを備える産業用ロボットの調整方法であって、上下方向で隣り合う２個のハンドのうちの一方のハンドを第１ハンドとし、他方のハンドを第２ハンドとすると、第２ハンドに向かって突出するピンが取り付けられた第１の錘を、ピンが第１ハンドの端面よりも第１ハンドの外側に配置されるように第１ハンドに載置するとともに、第１ハンド側を向く平面が形成された第２の錘を、第２の錘の一部分が第２ハンドの端面よりも第２ハンドの外側に配置されるように、かつ、第２ハンドの端面よりも第２ハンドの外側に配置される第２の錘の一部分とピンとが上下方向で重なるように第２ハンドに載置する錘載置工程と、第１ハンド側を向く第２の錘の平面とピンの先端との隙間を隙間ゲージで測定する隙間測定工程と、隙間測定工程での測定結果に基づいて、ピッチ調整機構によって第１ハンドと第２ハンドとの上下方向のピッチを調整するピッチ調整工程とを備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明の産業用ロボットの調整方法では、錘載置工程において、第２ハンドに向かって突出するピンが取り付けられた第１の錘を第１ハンドに載置するとともに、第１ハンド側を向く平面が形成された第２の錘を、第２ハンドの端面よりも第２ハンドの外側に配置される第２の錘の一部分とピンとが上下方向で重なるように第２ハンドに載置し、隙間測定工程において、第１ハンド側を向く第２の錘の平面とピンの先端との隙間を隙間ゲージで測定している。また、本発明では、ピッチ調整工程において、隙間測定工程での測定結果に基づいて第１ハンドと第２ハンドとの上下方向のピッチを調整している。
【０００９】
すなわち、本発明では、ピンが取り付けられた第１の錘と第２の錘と隙間ゲージとを用いて測定された第２の錘の平面とピンの先端との隙間に基づいて、第１ハンドと第２ハンドとの上下方向のピッチを調整しており、複数のハンドの上下方向のピッチを調整するときに大掛かりな測定用器具を使用する必要がない。そのため、本発明の産業用ロボットの調整方法で産業用ロボットを調整すれば、複数のハンドの上下方向のピッチの調整作業を簡素化することが可能になる。
【００１０】
本発明において、錘載置工程では、たとえば、複数箇所に第１の錘および第２の錘を載置する。この場合には、錘載置工程において、少なくとも３箇所に第１の錘および第２の錘を載置することが好ましい。このように構成すると、隙間測定工程での測定結果に基づいて、第１ハンドに対する第２ハンドの傾きを特定することが可能になるため、ピッチ調整工程において第１ハンドと第２ハンドとの上下方向のピッチを精度良く調整することが可能になる。すなわち、複数のハンドの上下方向のピッチを精度良く調整することが可能になる。
【００１１】
本発明において、第１ハンドに載置される複数の第１の錘およびピンの重さの合計、および、第２ハンドに載置される複数の第２の錘の重さの合計は、搬送対象物の重さと等しくなっていることが好ましい。このように構成すると、第１ハンドおよび第２ハンドに搬送対象物が実際に載置されている状態と近い条件で、第１ハンドと第２ハンドとの上下方向のピッチを調整することが可能になる。したがって、搬送対象物を搬送するときの、複数のハンドの上下方向のピッチを精度良く調整することが可能になる。
【００１２】
本発明において、産業用ロボットは、２個のハンドを備え、ハンドは、搬送対象物の複数箇所を下側から支持する複数の支持部材を備え、錘載置工程では、第１の錘および第２の錘を、複数の支持部材のそれぞれの近傍に載置することが好ましい。このように構成すると、第１ハンドおよび第２ハンドに搬送対象物が実際に載置されている状態とほぼ同じ条件で、第１ハンドと第２ハンドとの上下方向のピッチを調整することが可能になる。したがって、搬送対象物を搬送するときの、複数のハンドの上下方向のピッチをより精度良く調整することが可能になる。
【００１３】
また、上記の課題を解決するため、本発明の測定用器具は、搬送対象物が載置されるとともに上下方向で隙間を介して重なる複数のハンドの上下方向のピッチを調整するときに使用される測定用器具であって、上下方向で隣り合う２個のハンドのうちの一方のハンドを第１ハンドとし、他方のハンドを第２ハンドとすると、第１ハンドに載置される第１の錘と、第１の錘に取り付けられ第２ハンドに向かって突出するとともに第１ハンドの端面よりも第１ハンドの外側に配置されるピンと、第１ハンド側を向く平面が形成されるとともに一部分が第２ハンドの端面よりも第２ハンドの外側に配置されるように、かつ、第２ハンドの端面よりも第２ハンドの外側に配置される一部分とピンとが上下方向で重なるように第２ハンドに載置される第２の錘と、第１ハンド側を向く第２の錘の平面とピンの先端との隙間を測定するための隙間ゲージとを備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明の測定用器具は、第１の錘とピンと第２の錘と隙間ゲージとによって構成されている。そのため、本発明では、複数のハンドの上下方向のピッチを調整するときに使用される測定用器具の構成を簡素化して測定用器具を小型化することが可能になる。
【００１５】
本発明において、ピンの先端は、半球状に形成されていることが好ましい。このように構成すると、第１ハンド側を向く第２の錘の平面とピンの先端との隙間を隙間ゲージによって精度良く測定することが可能になる。
【００１６】
本発明において、第１の錘に対するピンの取付位置は、ピンの突出方向において調整可能となっていることが好ましい。このように構成すると、第１の錘に対するピンの取付位置を変更することで、複数のハンドの上下方向のピッチが異なる様々な産業用ロボットの調整を行う際に共通の測定用器具を使用することが可能になる。したがって、測定用器具の汎用性を高めることが可能になる。
【００１７】
本発明において、第１の錘には、ピンが挿通される貫通穴が形成され、貫通穴は、第１の錘の中心から外れた位置に形成されていることが好ましい。すなわち、本発明において、ピンは、第１の錘の中心から外れた位置に配置されていることが好ましい。このように構成すると、ピンが第１ハンドの端面よりも第１ハンドの外側に配置されるように、第１の錘を第１ハンドに載置しやすくなる。
【発明の効果】
【００１８】
以上のように、本発明では、半導体ウエハ等の搬送対象物が載置される複数のハンドが上下方向で隙間を介して重なっている産業用ロボットの調整方法において、複数のハンドの上下方向のピッチの調整作業を簡素化することが可能になる。また、本発明では、半導体ウエハ等の搬送対象物が載置される複数のハンドの上下方向のピッチを調整するときに使用される測定用器具において、測定用器具の構成を簡素化して測定用器具を小型化することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの調整方法で調整が行われる産業用ロボットの斜視図である。
【図２】（Ａ）は、図１に示す第１ハンド、第２ハンドの側面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＥ部の拡大図である。
【図３】（Ａ）は、図１に示す第１ハンドの平面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＦ部の拡大図である。
【図４】（Ａ）は、図１に示す第２ハンドの平面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＧ部の拡大図である。
【図５】図１に示す第１ハンドと第２ハンドとの上下方向のピッチの調整手順を説明するための平面図である。
【図６】（Ａ）は、図１に示す第１ハンドと第２ハンドとの上下方向のピッチの調整手順を説明するための側面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＨ部の拡大図であり、（Ｃ）は、（Ａ）のＪ部の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００２１】
（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの調整方法で調整が行われる産業用ロボット１の斜視図である。図２（Ａ）は、図１に示すハンド４、５の側面図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）のＥ部の拡大図である。図３（Ａ）は、図１に示すハンド４の平面図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）のＦ部の拡大図である。図４（Ａ）は、図１に示すハンド５の平面図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＧ部の拡大図である。
【００２２】
本形態の産業用ロボットの調整方法で調整が行われる産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送体対象物である半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を搬送するための水平多関節ロボットである。ロボット１は、半導体製造システムに組み込まれて使用される。ロボット１は、ウエハ２が載置される２個のハンド４、５と、ハンド４、５が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に動作するアーム６と、アーム６の基端側が回動可能に連結される本体部７とを備えている。
【００２３】
アーム６は、基端側が本体部７に回動可能に連結される第１アーム部９と、第１アーム部９の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部１０と、第２アーム部１０の先端側に基端側が回動可能に連結される第３アーム部１１とから構成されている。本体部７と第１アーム部９と第２アーム部１０と第３アーム部１１とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。本体部７は、アーム６の基端側が上面側に回動可能に連結される昇降体と、昇降体を昇降可能に保持する筺体と、筺体に対して昇降体を昇降させる昇降機構とを備えている。
【００２４】
ハンド４、５は、上下方向から見たときの形状が略Ｙ形状となるように形成されている。ハンド４、５の基端部は、第３アーム部１１の先端側に回動可能に連結されている。ハンド４とハンド５とは、上下方向で重なるように配置されている。また、ハンド４とハンド５とは、上下方向において隙間を介して重なっている。本形態では、ハンド４が上側に配置され、ハンド５が下側に配置されている。また、ハンド４、５は、第３アーム部１１よりも上側に配置されている。本形態のハンド４は、上下方向で隣り合う２個のハンド４、５のうちの一方のハンドである第１ハンドとなっており、ハンド５は、他方のハンドである第２ハンドとなっている。
【００２５】
ハンド４、５の先端側部分は、ウエハ２が載置される平板状のウエハ載置部４ａ、５ａとなっている。ウエハ載置部４ａ、５ａの上面には、ウエハ２の複数箇所を下側から支持する支持部材１３、１４が取り付けられている。すなわち、ハンド４、５は、ウエハ２の複数箇所を下側から支持する複数の支持部材１３、１４を備えている。具体的には、ハンド４は、ウエハ２の４箇所を下側から支持する２個の支持部材１３および２個の支持部材１４を備えている。同様に、ハンド５は、ウエハ２の４箇所を下側から支持する２個の支持部材１３および２個の支持部材１４を備えている。
【００２６】
支持部材１３は、ウエハ載置部４ａ、５ａの先端部の２箇所に配置されている。支持部材１４は、ウエハ載置部４ａ、５ａの基端部の２箇所に配置されている。支持部材１３には、ウエハ２が載置される載置面１３ａと、水平方向へのウエハ２のずれを防止するガイド部１３ｂとが形成されている。同様に、支持部材１４には、ウエハ２が載置される載置面１４ａと、水平方向へのウエハ２のずれを防止するガイド部１４ｂとが形成されている。ハンド４、５に載置されるウエハ２は、２個の載置面１３ａと２個の載置面１４ａとに載置されており、ウエハ２の下面は、２個の載置面１３ａと２個の載置面１４ａとに接触している。
【００２７】
また、ロボット１は、第１アーム部９および第２アーム部１０を回動させて第１アーム部９と第２アーム部１０とからなるアーム６の一部を伸縮させるアーム部駆動機構と、第３アーム部１１を回動させる第３アーム部駆動機構とを備えている。また、ロボット１は、ハンド４を回動させるハンド駆動機構と、ハンド５を回動させるハンド駆動機構とを備えている。すなわち、ハンド４とハンド５とは個別に回動可能となっている。さらに、ロボット１は、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整するためのピッチ調整機構１２を備えている。
【００２８】
ピッチ調整機構１２は、ハンド４の上下方向の位置およびハンド４の傾きを調整するための複数の調整用ネジ１５と、ハンド５の上下方向の位置およびハンド５の傾きを調整するための複数の調整用ネジ１６とを備えている。本形態のピッチ調整機構１２は、３個の調整用ネジ１５と、３個の調整用ネジ１６とを備えている。３個の調整用ネジ１５は、ハンド４の基端部に配置され、３個の調整用ネジ１６は、ハンド５の基端部に配置されている。また、３個の調整用ネジ１５は、第３アーム部１１に対するハンド４の回動中心を中心にして略等角度ピッチで配置され、３個の調整用ネジ１６は、第３アーム部１１に対するハンド５の回動中心を中心にして略等角度ピッチで配置されている。
【００２９】
図２（Ｂ）に示すように、ハンド４の基端部には、調整用ネジ１５が螺合するネジ穴４ｂが形成され、ハンド５の基端部には、調整用ネジ１６が螺合するネジ穴５ｂが形成されている。ハンド４の上下方向の位置および傾きは、ネジ穴４ｂの下端からの３個の調整用ネジ１５の突出量によって調整される。ハンド５の上下方向の位置および傾きは、ネジ穴５ｂの下端からの３個の調整用ネジ１６の突出量によって調整される。また、ハンド４、５の上下方向の位置および傾きを調整することで、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチが調整される。なお、調整後のハンド４、５は、固定用ネジ１７によって固定される。
【００３０】
（ハンドの上下方向のピッチの調整手順）
図５は、図１に示すハンド４とハンド５との上下方向のピッチの調整手順を説明するための平面図である。図６（Ａ）は、図１に示すハンド４とハンド５との上下方向のピッチの調整手順を説明するための側面図であり、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）のＨ部の拡大図であり、図６（Ｃ）は、図６（Ａ）のＪ部の拡大図である。
【００３１】
ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整するときには、測定用器具２０が使用される。測定用器具２０は、ハンド４に載置される第１の錘としての錘２１と、錘２１に取り付けられるピン２２と、ハンド５に載置される第２の錘としての錘２３とを備えている。本形態の測定用器具２０は、４個の錘２１と４本のピン２２と４個の錘２３とを備えている。また。測定用器具２０は、隙間ゲージ（シックネスゲージ）２４を備えている。
【００３２】
錘２１は、円板状に形成されている。ピン２２は、細長い円柱状に形成されている。錘２１には、ピン２２が挿通される貫通穴２１ａが形成されている。貫通穴２１ａは、円板状に形成される錘２１の厚さ方向で錘２１を貫通している。貫通穴２１ａは、錘２１の中心から外れた位置に形成されている。貫通穴２１ａに挿通されたピン２２は、ピン２２の両端部が錘２１の端面から突出するように錘２１に固定されている。ピン２２の一端は、半球状に形成されている。ピン２２の他端は、平面状に形成されている。以下では、半球状に形成されるピン２２の一端をピン２２の先端とする。
【００３３】
また、錘２１には、貫通穴２１ａに通じるネジ穴２１ｂが形成されている（図６（Ｂ）参照）。ネジ穴２１ｂは、円板状に形成される錘２１の径方向で錘２１を貫通している。ネジ穴２１ｂには、貫通穴２１ａに挿通されたピン２２を固定するためのネジ（図示省略）が螺合している。このネジは、たとえば、六角穴付止めネジである。本形態では、ネジ穴２１ｂに螺合するネジを緩めることで、ピン２２の先端側の錘２１から突出量を調整することが可能になっている。すなわち、錘２１に対するピン２２の取付位置は、ピン２２の突出方向において調整可能となっている。なお、図６（Ｃ）では、ネジ穴２１ｂの図示を省略している。
【００３４】
錘２３は、円板状に形成されている。錘２３の外径は、錘２１の外径と等しくなっており、錘２３の厚さは、錘２１の厚さと等しくなっている。錘２３には、貫通穴２１ａに相当する貫通穴、および、ネジ穴２１ｂに相当するネジ穴は形成されていない。後述の錘載置工程では、ピン２２が取り付けられた４個の錘２１がハンド４に載置され、４個の錘２３がハンド５に載置される。本形態では、ハンド４に載置される４個の錘２１および４本のピン２２の重さ（重量）の合計と、ハンド５に載置される４個の錘２３の重さ（重量）の合計とが等しくなっている。また、ハンド４に載置される４個の錘２１および４本のピン２２の重さの合計、および、ハンド５に載置される４個の錘２３の重さの合計は、ウエハ２の重さ（重量）と等しくなっている。
【００３５】
ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整するときには、まず、ハンド４に向かって突出するピン２２が取り付けられた錘２１をハンド４に載置するとともに、錘２３をハンド５に載置する（錘載置工程）。錘載置工程では、錘２１の厚さ方向と上下方向とが一致するように、かつ、ピン２２の先端が下側を向くように錘２１をウエハ載置部４ａに載置する。また、錘載置工程では、錘２３の厚さ方向と上下方向とが一致するように錘２３をウエハ載置部５ａに載置する。なお、錘載置工程では、錘２１をハンド４に載置した後に錘２３をハンド５に載置しても良いし、錘２３をハンド５に載置した後に錘２１をハンド４に載置しても良い。
【００３６】
また、錘載置工程では、図５（Ａ）に示すように、ピン２２がハンド４の端面（具体的には、ウエハ載置部４ａの端面）よりもハンド４の外側に配置されるように錘２１をウエハ載置部４ａに載置する。さらに、錘載置工程では、ハンド４の４箇所に錘２１を載置する。具体的には、錘載置工程では、４個の支持部材１３、１４のそれぞれの近傍に錘２１を載置する。すなわち、２個の支持部材１３のそれぞれの近傍に錘２１を載置するとともに、２個の支持部材１４のそれぞれの近傍に錘２１を載置する。
【００３７】
また、錘載置工程では、錘２３の一部分がハンド５の端面（具体的には、ウエハ載置部５ａの端面）よりもハンド５の外側に配置されるように、錘２３をウエハ載置部５ａに載置する（図５（Ｂ）参照）。また、錘載置工程では、ハンド５の端面よりもハンド５の外側に配置される錘２３の一部分とピン２２とが上下方向で重なるように、錘２３をウエハ載置部５ａに載置する（図６参照）。ウエハ載置部５ａに載置された錘２３の上面は、平面となっており、ハンド４側を向いている。さらに、錘載置工程では、ハンド５の４箇所に錘２３を載置する。具体的には、錘載置工程では、４個の支持部材１３、１４のそれぞれの近傍に錘２３を載置する。
【００３８】
その後、ハンド４側を向く錘２３の上面とピン２２の先端との隙間を隙間ゲージ２４で測定する（隙間測定工程、図６（Ｂ）、（Ｃ）参照）。すなわち、隙間ゲージ２４は、錘２３の上面とピン２２の先端との隙間を測定するために使用される。本形態では、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチが適切なピッチになったときに、錘２３の上面とピン２２の先端との間に所定の隙間が形成されるように、錘２１からのピン２２の先端側の突出量が調整されている。なお、錘２１からのピン２２の先端側の突出量は、ブロックゲージ等の所定の治具を用いて調整される。
【００３９】
その後、隙間測定工程での測定結果に基づいて、ピッチ調整機構１２によってハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整する（ピッチ調整工程）。具体的には、ピッチ調整工程では、隙間測定工程での測定結果に基づいて、ネジ穴４ｂの下端からの３個の調整用ネジ１５の突出量や、ネジ穴５ｂの下端からの３個の調整用ネジ１６の突出量を調整して、ハンド４、５の上下方向の位置および傾きを調整することで、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整する。また、ピッチ調整工程では、ハンド４とハンド５とが平行になるように、ハンド４、５の傾きを調整する。
【００４０】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態の測定用器具２０は、錘２１とピン２２と錘２３と隙間ゲージ２４とによって構成されている。そのため、本形態では、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整するときに使用される測定用器具２０の構成を簡素化して測定用器具２０を小型化することが可能になる。
【００４１】
また、本形態では、ピン２２が取り付けられた錘２１と錘２３と隙間ゲージ２４とを用いて測定された錘２３の上面とピン２２の先端との隙間に基づいて、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整しており、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整するときに大掛かりな測定用器具を使用する必要はない。そのため、本形態の調整方法でロボット１を調整すれば、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチの調整作業を簡素化することが可能になる。
【００４２】
本形態では、錘載置工程において、４箇所に錘２１、２３を載置している。そのため、本形態では、隙間測定工程での測定結果に基づいて、ハンド４に対するハンド５の傾きを特定することが可能になる。したがって、本形態では、ピッチ調整工程においてハンド４とハンド５との上下方向のピッチを精度良く調整することが可能になる。
【００４３】
本形態では、ハンド４に載置される４個の錘２１および４本のピン２２の重さの合計、および、ハンド５に載置される４個の錘２３の重さの合計は、ウエハ２の重さと等しくなっている。そのため、本形態では、ハンド４、５にウエハ２が実際に載置されている状態と近い条件で、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整することが可能になる。したがって、本形態では、ハンド４、５によってウエハ２を搬送するときの、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを精度良く調整することが可能になる。
【００４４】
特に本形態では、錘載置工程において、錘２１、２３を４個の支持部材１３、１４のそれぞれの近傍に載置しているため、ハンド４、５にウエハ２が実際に載置されている状態とほぼ同じ条件で、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整することが可能になる。したがって、本形態では、ハンド４、５によってウエハ２を搬送するときの、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチをより精度良く調整することが可能になる。
【００４５】
本形態では、錘２１に対するピン２２の取付位置は、ピン２２の突出方向において調整可能となっている。そのため、本形態では、錘２１に対するピン２２の取付位置を変更することで、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチが異なる様々なロボット１の調整を行う際に共通の測定用器具２０を使用することが可能になる。したがって、本形態では、測定用器具２０の汎用性を高めることが可能になる。
【００４６】
本形態では、ピン２２の先端は、半球状に形成されている。そのため、本形態では、錘２３の上面とピン２２の先端との隙間を隙間ゲージ２４によって精度良く測定することが可能になる。また、本形態では、ピン２２が挿通される貫通穴２１ａが錘２１の中心から外れた位置に形成されており、錘２１の中心から外れた位置にピン２２が配置されている。そのため、本形態では、ピン２２がハンド４の端面よりもハンド４の外側に配置されるように、錘２１をハンド４に載置しやすくなる。
【００４７】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００４８】
上述した形態において、支持部材１３、１４から離れた位置に錘２１、２３を載置しても良い。また、上述した形態において、ハンド４に載置される４個の錘２１および４本のピン２２の重さの合計とウエハ２の重さとが異なっていても良いし、ハンド５に載置される４個の錘２３の重さの合計とウエハ２の重さとが異なっていても良い。さらに、上述した形態において、ハンド４、５の３箇所または５箇所以上に錘２１、２３を載置しても良いし、ハンド４、５の１箇所または２箇所に錘２１、２３を載置しても良い。
【００４９】
上述した形態において、錘２１、２３は、円板状以外の形状に形成されていても良い。たとえば、錘２１、２３は、四角板状等の多角板状に形成されていても良い。また、上述した形態において、ピン２２の先端の形状は、半球状以外の形状であっても良い。さらに、上述した形態において、錘２１に対するピン２２の取付位置は調整可能となっていなくても良い。
【００５０】
上述した形態において、ピン２２が取り付けられた錘２１をハンド５に載置し、錘２３をハンド４に載置しても良い。この場合には、ピン２２の先端が上側を向くように錘２１をハンド５に載置する。また、この場合には、ハンド５側を向く錘２３の下面とピン２２の先端との隙間を隙間ゲージ２４で測定する。この場合には、ハンド５が第１ハンドとなり、ハンド４が第２ハンドとなる。
【００５１】
上述した形態では、ハンド４とハンド５とが個別に回動可能となっているが、ハンド４、５の回動方向においてハンド４とハンド５とが互いに固定されていてハンド４とハンド５とが一緒に回動しても良い。また、上述した形態では、共通のアーム６にハンド４、５が連結されているが、ハンド４が連結されるアームとハンド５が連結されるアームとが個別に設けられていても良い。さらに、上述した形態において、ロボット１は、上下方向で隙間を介して重なる３個以上のハンドを備えていても良い。
【００５２】
上述した形態において、アーム６は、２個のアーム部によって構成されても良いし、４個以上のアーム部によって構成されても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、ウエハ２を搬送するためのロボットであるが、ロボット１は、液晶用のガラス基板等の他の搬送対象物を搬送するロボットであっても良い。
【符号の説明】
【００５３】
１  ロボット（産業用ロボット）
２  ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
４  ハンド（第１ハンド）
５  ハンド（第２ハンド）
１２  ピッチ調整機構
１３、１４  支持部材
２０  測定用器具
２１  錘（第１の錘）
２１ａ  貫通穴
２２  ピン
２３  錘（第２の錘）
２４  隙間ゲージ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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