(57)【要約】【課題】加工室の側板や天板に、研削加工によって生じる研削屑を付着させないようにすること。【解決手段】側板３７から所定の間隔をあけて側板３７に対して平行になるようにネットＮ１が配設された第１加工室３０ａを備える研削装置１を用いることで、被加工物Ｗの粗研削時に、研削水供給手段８０から研削水路Ｈを通って粗研削砥石２０１ａと被加工物Ｗとの間に供給された研削水が、研削によって生じた研削屑とともに、回転する粗研削砥石２０１ａの遠心力をうけて側板３７の方向に飛散した際に、飛散する研削屑を含んだ研削水をネットＮ１で受け止めて、側板３７に研削屑が付着しないようにする。【選択図】図２
2020082204.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持する保持手段と、
環状に研削砥石を配設した研削ホイールをスピンドルに装着し該研削砥石を回転させ該保持手段が保持した被加工物を研削する研削手段と、
該研削手段を該保持手段に対して垂直な方向に接近及び離間させる研削送り手段と、
該研削砥石に研削水を供給する研削水供給手段と、
該保持手段が保持した被加工物と該研削砥石とを収容する加工室と、を備えた研削装置であって、
該加工室は、該保持手段を下方から囲む底板と、
該底板に対峙し該研削ホイールを上方から囲む天板と、
該保持手段と該研削ホイールとを側方から囲み該底板と該天板とを連結する側板と、
該側板の内面の内側に該側板に対して所定の隙間を開けて配設され該研削砥石の高速回転による遠心力を受けた研削水を受け止めるネットと、を備え、
該研削砥石が被加工物を研削しているときは、研削屑が含まれた状態で飛散する研削水を該ネットで受け止め排水に導き、該研削砥石が被加工物から離間しているときは、該研削砥石に供給され研削屑が含まれない状態で飛散する研削水で該ネットを洗浄する、研削装置。
【請求項２】
該天板の下側に所定の隙間をあけて配設され研削水を受け止める天板ネットを備える、請求項１記載の研削装置。
【請求項３】
該天板の下側に該天板に対して所定の隙間をあけて配設され該研削ホイールを上方から囲む第２の天板を備え、該ネットを該第２の天板から垂下させて該第２の天板で該ネットに研削水を導く、請求項１記載の研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を研削する研削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
研削装置では、研削砥石が環状に配設された研削ホイールをスピンドルに装着し、スピンドルをモータの駆動によって回転させ、回転する研削砥石と被加工物とを当接させることによって被加工物の研削が行われる。研削砥石と被加工物との当接は、研削装置に備えられた加工室の内部で行われる。研削時、研削砥石と被加工物との間に研削水が供給されるが、研削水の供給は、研削時に発生する研削加工熱を除去する目的や、同じく研削時に発生する研削屑を被加工物から除去する目的の下で行なわれている。
【０００３】
研削中に研削砥石と被加工物との間に供給された研削水は、回転する研削砥石の遠心力によって研削屑とともに飛散し、加工室の内部の側板や天板等に付着する。加工室の側板や天板等に付着した研削屑を洗浄するため、研削加工終了後、研削砥石を被加工物から上方へと離間させながら、回転する研削砥石に研削水を供給して、加工室の天板等に付着した研削屑等を洗い流す（特許文献１及び特許文献２参照）。洗い流された研削屑を含んだ研削水は、研削廃液として研削装置の外部へと除去されることとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第６３５３６８４号
【特許文献２】特許第６１２９０２２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
研削屑が付着した加工室の側板や天板等の流水洗浄が不十分であると、時間の経過等により、側板や天板等に付着した加工廃液が乾燥して研削屑が固化する。例えば、研削ホイールの交換等のメンテナンス作業のために加工室の天板を開けた際、天板の振動等により、加工室の天板で固化した研削屑が粉塵となり研削装置の内外へと飛散し、研削装置がクリーンルームを汚染させる汚染源となる。また、天板の隙間や、天板を開閉させる丁番の隙間等に入り込んだ加工廃液が乾燥して固化した研削屑によって天板が開かなくなり、装置の故障や加工作業の効率の低下等を招く。本発明が解決しようとする課題は、研削時に回転する研削砥石の遠心力によって飛散した研削屑を含んだ研削水が、加工室内の側板や天板等に付着しないようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、被加工物を保持する保持手段と、環状に研削砥石が配設された研削ホイールをスピンドルに装着して該研削砥石を回転させることで該保持手段が保持した被加工物を研削する研削手段と、該研削手段を該保持手段に対し垂直な方向に接近及び離間させる研削送り手段と、該研削砥石に研削水を供給する研削水供給手段と、該保持手段が保持した被加工物と該研削砥石とを収容する加工室と、を備えた研削装置であって、該加工室は、該保持手段を下方から囲む底板と、該底板に対峙し該研削ホイールを上方から囲む天板と、該保持手段と該研削手段とを側方から囲み該底板と該天板とを連結する側板と、該側板の内面の内側に該側板に対して所定の隙間を開けて配設され該研削砥石の高速回転による遠心力を受けた研削水を受け止めるネットと、を備え、該研削砥石が被加工物を研削しているときは、研削屑が含まれた状態で飛散する研削水を該ネットで受け止め排水に導き、該研削砥石が被加工物から離間しているときは、該研削砥石に供給され研削屑が含まれない状態で飛散する研削水で該ネットを洗浄する、研削装置である。
【０００７】
上記の研削装置においては、該天板の下側に所定の隙間をあけて配設され研削水を受け止める天板ネットを備えることが望ましい。
【０００８】
上記の研削装置においては、該天板の下側に該天板に対して所定の隙間をあけて配設され該研削手段を囲む第２の天板を備え、該第２の天板から該ネットを垂下させて配設し、該第２の天板で該ネットに研削水を導くことが望ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、飛散した研削水を、加工室の側板の内面の内側に備えたネットで受け止めることによって、研削屑を含んだ研削水が側板等に当たって飛散し加工室内の天板等の壁面に付着するのを防ぐことができる。また、ネットに付着させた研削屑を、研削屑を含まない研削水によって洗い流すことで、側板等に付着した研削屑を洗い流すよりも容易に洗浄することができる。
【００１０】
さらに、加工室の天板の下側に該天板に対して所定の間隔をあけて天板ネットを配設することにより、天板に研削屑が付着するのをより確実に防ぐことができる。
【００１１】
そして、天板の下側に所定の間隔をあけて研削手段を囲む第２の天板を配設し、第２の天板からネットを垂下させて配設することで、第２の天板で研削水を受け止めて天板に研削水が付着するのを防止し、受け止めた研削水をネットに導くことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】研削装置の全体を表す斜視図である。
【図２】研削時の加工室を表す断面図である。
【図３】ネット洗浄時の加工室を表す断面図である。
【図４】加工室の天板の下方に天板ネットを備えた加工室を表す断面図である。
【図５】加工室の天板の下方に第２の天板を備え、第２の天板にネットが配設されている加工室を表す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
１  研削装置の構成
図１に示す研削装置１は、例えば、半導体ウェーハ等の被加工物Ｗを研削する加工装置である。研削装置１は、ベース２とコラム３とを備えており、ベース２は、Ｘ軸方向に延設され、コラム３はベース２の上の−Ｘ側に立設されている。
【００１４】
研削装置１のベース２の上の前方（＋Ｘ側）には搬入出手段４０が配設されている。搬入出手段４０の近傍には、研削加工前の被加工物Ｗが収納されている第１のカセット４１と、研削加工された被加工物Ｗを収納する第２のカセット４６とを備えている。研削加工される前の被加工物Ｗは、搬入出手段４０によって第１のカセット４１から引き出され、また、研削加工された後に洗浄された被加工物Ｗは、搬入出手段４０によって第２のカセット４６へと収納させられることとなる。
【００１５】
搬入出手段４０の近傍には、位置合わせ手段４３が備えられている。位置合わせ手段４３は、被加工物Ｗを載置する仮置き領域４３０と位置合わせピン４３１とを備え、仮置き領域４３０の上に載置された被加工物Ｗは、複数の位置合わせピン４３１によって適切に位置合わせされた後、仮置き領域４３０からローディング手段４４によって保持され、研削加工のための領域へと移動させる。
【００１６】
研削装置１のベース２の上の後方（−Ｘ側）には、略円板形状のターンテーブル１０３を備えており、ターンテーブル１０３は、複数の保持手段１００を回転可能に支持している。ターンテーブル１０３は、Ｚ軸方向の回転軸１０５を軸に自転可能となっており、ターンテーブル１０３が回転することで保持手段１００を公転させ、保持手段を粗研削領域、仕上げ研削領域、搬入出領域に位置づけることができる。
【００１７】
保持手段１００は、吸引部１０１と吸引部１０１を囲繞する枠体１０２とが備わっている。保持手段１００は、吸引部１０１の保持面１０１ａを図示しない吸引源に連通させ保持面１０１ａで被加工物Ｗを吸引保持する。保持手段１００は、図示しない回転手段によってＺ軸方向の回転軸１０４を軸として自転することができる。
【００１８】
研削装置１のベース２の後方（−Ｘ側）には、粗研削のための第１研削手段２０ａが配設されている。第１研削手段２０ａに備えられた研削ホイール２００の下端には、図２に示す粗研削砥石２０１ａが環状に配設されている。さらに第１研削手段２０ａには、モータ２１と、モータ２１の駆動により回転するスピンドル２２と、スピンドル２２に取り付けられたマウント２４とが備えられている。マウント２４に研削ホイール２００を装着しており、モータ２１が駆動されてスピンドル２２が回転することにより、研削ホイール２００を回転させる事ができる。
【００１９】
図１に示すように、研削装置１のベース２の後方（−Ｘ側）には、仕上げ研削のための第２研削手段２０ｂが配設されている。第２研削手段２０ｂが備える研削ホイール２００の下端には、図２に示す略直方体形状の仕上げ研削砥石２０１ｂが固着されている。第２研削手段２０ｂの構成は、研削ホイール２００の下端に備える研削砥石の種類を除いて第１研削手段２０ａと同様であり、同様に構成される部分に関しては共通の符号を付し、その説明を省略する。図１においては、第２研削手段２０ｂは第１研削手段２０ａの左隣に配設されているが、第１研削手段２０ａと第２研削手段２０ｂとは、図１に示されている位置関係に限定されるものではなく、例えば、第１研削手段２０ａと第２研削手段２０ｂとに備えられたそれぞれの研削ホイール２００を入れ替えることで、第１研削手段２０ａと第２研削手段２０ｂとの位置を入れ替えることもできる。
【００２０】
図１に示すように、研削装置１は、二つの研削送り手段６０を備える。二つの研削送り手段６０は、それぞれコラム３の側面に並設されている。研削送り手段６０は、それぞれ、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ６３と、ボールネジ６３と平行に配設された一対のガイドレール６４と、ボールネジ６３の上端に連結されたモータ６１と、ガイドレール６４に摺接するとともに内部のナット構造がボールネジ６３に螺合する昇降板６５と、昇降板６５に連結されたホルダ６６とを備える。二つの研削送り手段６０がそれぞれ備えるホルダ６６は、それぞれ、第１研削手段２０ａと第２研削手段２０ｂとを支持しており、二つの研削送り手段６０は、それぞれ第１研削手段２０ａと第２研削手段２０ｂとを被加工物Ｗに接近及び離間させることができる。
【００２１】
例えば、第１研削手段２０ａを研削送りする研削送り手段６０は、モータ６１がボールネジ６３を回転させることにより、昇降板６５及びホルダ６６がガイドレール６４に案内されて昇降し、そして、昇降板６５及びホルダ６６が昇降することにより、ホルダ６６によって支持された第１研削手段２０ａも昇降することで第１研削手段２０ａが保持手段１００に対して接近及び離反する構成となっている。
【００２２】
なお、第２研削手段２０ｂを研削送りする研削送り手段６０についても同様の構成となっている。
【００２３】
研削装置１のベース２の前方（＋Ｘ側）には、洗浄手段９０が配設されている。研削加工が施された被加工物Ｗは、アンローディング手段４５によって保持されて、保持手段１００の上から洗浄領域９００に移動させられ、洗浄手段９０によって洗浄させられる。
【００２４】
研削装置１は、制御手段７０を備えている。制御手段７０は研削加工の各工程において装置機構を制御する役割を担う。
【００２５】
研削装置１のベース２の後方（−Ｘ側）には、第１加工室３０ａと第２加工室３０ｂとが配設されている。第１加工室３０ａは、粗研削時に第１研削手段２０ａと被加工物Ｗとを当接させて粗研削を行うための領域であり、同様に、第２加工室３０ｂは、仕上げ研削時に第２研削手段２０ｂと被加工物Ｗとを当接させて仕上げ研削を行うための領域である。第１加工室３０ａと第２加工室３０ｂとは、仕切り板３２によって区切られている。仕切り板３２の下方には、ターンテーブル１０３の回転によって、保持手段１００及び保持手段１００に保持された被加工物Ｗを第１加工室３０ａから第２加工室３０ｂへと通過させるための隙間があいている。
【００２６】
図２に示す第１加工室３０ａは、保持手段１０を下方から囲む底板３８を備えている。研削水や粗研削によって生じた研削屑等を含んだ研削廃液は、底板３８に備えられた傾斜によって底板３８から排水口３９まで導かれ、排水口３９から研削装置１の外部へと流れ出ていく。
【００２７】
さらに、第１加工室３０ａは、底板３８に対峙し第１研削手段２０ａを上方から囲む天板３３を備えており、天板３３は開閉部３３０と固定部３３１とを備えている。固定部３３１は、蛇腹３６を介してホルダ６６と接続されており、また、開閉部３３０は、丁番３５によって側板３７と連結されている。側板３７は、保持手段１０や第１研削手段２０ａを側方から囲み底板３８と天板３３とを連結している。
【００２８】
例えば、第１加工室３０ａの内部のメンテナンス等を行う際、例えば、オペレータ等が天板３３の開閉部３３０に取り付けられた取手３３２を握持して引き上げることで、天板３３の開閉部３３０が丁番３５を軸にして回転しながら持ち上がり、第１加工室３０ａの上面を解放できる。
【００２９】
第１加工室３０ａの内部には、側板３７から所定の間隔をあけて、側板３７に対して平行になるようにネットＮ１が配設されている。ネットＮ１は、高速回転する粗研削砥石２０１ａの遠心力を受けて側板３７の方向に飛散した研削水を受け止めることができる。受け止められた研削水は底板３８に流れ落ち、底板３８の傾斜によって排水口３９まで導かれて、排水口３９から研削装置１の外部へと流れ出ていく。
【００３０】
第２加工室３０ｂについても、上記の第１加工室３０ａの構成と同様であるため、共通の符号を付し、その説明を省略する。
【００３１】
研削装置１は、二つの研削水供給手段８０を備える。二つの研削水供給手段８０は、それぞれ第１研削手段２０ａ及び第２研削手段２０ｂに備えられている。マウント２４の内部には、水路Ｈに連通するとともに、下面において開口するマウント水路２４Ｈが形成されている。また、研削ホイール２００には、マウント水路２４Ｈに連通するとともに下部が開口したホイール水路２０Ｈが形成されている。
【００３２】
２  研削装置の動作
（位置合わせ）
上記の構成の研削装置１を用いて被加工物Ｗを研削加工する際の研削装置１の動作について説明する。まず、図１に示した第１のカセット４１に予め収納されている研削加工前の被加工物Ｗを、搬入出手段４０によって搬出し、位置合わせ手段４３の仮置き領域４３０に載置する。そして、複数の位置合わせピン４３１により位置合わせを行う。
【００３３】
（保持）
位置合わせが完了した後、仮置き領域４３０に載置されている被加工物Ｗをローディング手段４４によって保持し、保持手段１００の吸引部１０１の保持面１０１ａの上に載置する。保持面１００ａの上に載置された被加工物Ｗは、例えば、保持手段１００の下方の図示しない吸引手段等によって吸引保持される。
【００３４】
（粗研削）
保持手段１００の吸引部１０１の保持面１０１ａに被加工物Ｗを載置した後、ターンテーブル１０３を、Ｚ軸方向の回転軸１０５を軸として、＋Ｚ方向から見て反時計回りに所定の角度だけ回転させる。これにより、被加工物Ｗを保持している保持手段１００が所定の角度だけ公転させられて第１加工室３０ａの内部へと移動し、第１研削手段２０ａの研削ホイール２００の下方に位置付けられる。
【００３５】
次いで、第１研削手段２０ａのモータ２１の駆動によって、スピンドル２２をＺ軸方向の回転軸２３を軸として回転させる。スピンドル２２の回転に伴い、研削ホイール２００が回転する。さらに、保持手段１００を保持手段１００の下方に配設された図示しない回転手段によってＺ軸方向の回転軸１０４のまわりに回転させることで、被加工物Ｗを回転軸１０４のまわりに回転させる。
【００３６】
図２に示した研削水供給手段８０によって、粗研削砥石２０１ａと被加工物Ｗとの間に研削水を供給しながら、昇降板６５を−Ｚ方向に降下させ、昇降板６５に接続されたホルダ６６に支持されている第１研削手段２０ａの研削ホイール２００を−Ｚ方向に降下させることで、回転する研削ホイール２００の下端に備えられた粗研削砥石２０１ａを、同じく回転する被加工物Ｗに当接させ、被加工物Ｗを粗研削する。
【００３７】
粗研削時、研削水供給手段８０から供給される研削水は、第１研削手段２０ａのモータ２１の上方より第１研削手段２０ａの内部に進入し、第１研削手段２０ａの内部の研削水路Ｈ、マウント水路２４Ｈ及びホイール水路２０Ｈを通って噴出し、粗研削砥石２０１ａと被加工物Ｗとの間に供給される。粗研削砥石２０１ａと被加工物Ｗとの間に供給された研削水は、粗研削によって粗研削砥石２０１ａと被加工物Ｗとの間に生じる研削屑とともに、回転する粗研削砥石２０１ａの遠心力によって、例えば、第１加工室３０ａの側板３７に向けて飛散する。飛散した研削屑を含んだ研削水の水滴Ｌａは、第１加工室３０ａの側板３７の近くに配設されているネットＮ１で受け止められる。その後、ネットＮ１によって受け止められた研削屑を含む研削水は、第１加工室３０ａの底板３８に流れ落ち、底板３８が有する傾斜に従って排水口３９の方へと導かれ、排水口３９から研削装置１の外部へと流れ出る。
【００３８】
（ネット洗浄）
粗研削の終了後、図３に示すように、研削送り手段６０の昇降板６５を＋Ｚ方向に上昇させることによって、回転する粗研削砥石２０１ａを＋Ｚ方向に上昇させ、粗研削砥石２０１ａを保持手段１００に載置された被加工物Ｗから離間させる。粗研削砥石２０１ａが被加工物Ｗから離間する間、研削水供給手段８０から粗研削砥石２０１ａに供給され続けている研削水が、回転する粗研削砥石２０１ａの遠心力によって研削屑を含まずに飛散し、第１加工室３０ａの内部のネットＮ１に付着した研削屑等を洗い流す。粗研削砥石２０１ａが所定の高さ位置まで戻り、研削送り手段６０の上昇移動が停止された後も、ネットＮ１に付着した研削屑が十分に取り除かれるまで、研削水供給手段８０から粗研削砥石２０１ａと被加工物Ｗとの間に研削水を適宜送り続けながら、回転する粗研削砥石２０１ａの遠心力によって研削水の水滴ＬをネットＮ１に向けて飛散させてネットＮ１の流水洗浄を行う。
【００３９】
（仕上げ研削）
ネット洗浄の後、ターンテーブル１０３を回転軸１０５を軸として、＋Ｚ方向から見て反時計回りに所定の角度だけ回転させ、保持手段１００を公転させ、被加工物Ｗが保持された保持手段１００を第２加工室３０ｂの内部へと移動させ、第２研削手段２０ｂの研削ホイール２００の下方に位置付ける。
【００４０】
保持手段１００を第２研削手段２０ｂの研削ホイール２００の下方に位置付けた後、粗研削と同様の研削を行う。ただし、仕上げ研削の際に用いられる砥石は、粗研削時に用いられる粗研削砥石２０１ａよりも砥粒が細かい仕上げ研削砥石２０１ｂである。また、仕上げ研削には、粗研削時に形成された研削面を整形するという目的等があるため、例えば、粗研削のときよりも仕上げ研削のときの方が研削送りの速度（研削砥石の−Ｚ方向への降下速度）が遅いといった特徴がある。
【００４１】
仕上げ研削中に回転する仕上げ研削砥石２０１ｂによって飛散する研削屑を含んだ研削水の水滴Ｌａは、粗研削時と同様に、ネットＮ１によって受け止められる。仕上げ研削の終了後、研削送り手段６０の昇降板６５を＋Ｚ方向に上昇させ、仕上げ研削砥石２０１ｂを被加工物Ｗから離間させる。そして、粗研削後に行った上述のネット洗浄と同様のネット洗浄を行う。
【００４２】
粗研削時や仕上げ研削時、或いは研削実施後のネット洗浄時、回転する研削砥石から飛散する研削水は、側板３７の方向だけでなく、天板３３の方向にも飛散する可能性がある。また、側板３７の方向に飛散したが、ネットＮ１によって受け止められなかった研削水がネットＮ１に当たって天板３３の方向へ飛散する可能性もある。
【００４３】
そこで、例えば図４に示すように、第１加工室３０ａ及び第２加工室３０ｂにおいて、それぞれ天板３３の下側に、天板３３から所定の隙間をあけて天板ネットＮ２を配設してもよい。研削時に飛散する研削屑を含んだ研削水の水滴Ｌａや、ネット洗浄時に飛散される研削屑を含まない研削水の水滴Ｌは、側板３７の方向だけでなく天板３３の方向へと飛散するが、回転する粗研削砥石２０１ａから天板３３の方向へと飛散した研削水を天板ネットＮ２によって受け止めることができるため、飛散した研削水が天板３３に付着するのを、より確実に防ぐことができる。同様に、第２加工室３０ｂの天板３３の下側に所定の間隔をあけて天板ネットＮ２が配設されていれば、第２加工室３０ｂの天板３３に研削水が付着するのを防ぐことができる。
【００４４】
図５に示すように、第１加工室３０ａの天板３３の下側に所定の間隔をあけて第２の天板３４が配設され、さらにネットＮ１が、第２の天板３４から側板３７に対して平行にネットＮ１を垂下させる形で配設されている構成としてもよい。この場合、回転する粗研削砥石２０１ａの遠心力により飛散して第２の天板３４に付着した研削水は、ネットＮ１へと伝わり、ネットＮ１から底板３８まで流れていく。次いで、底板３８に運ばれた研削水は、底板３８の傾斜に導かれ、排水口３９から研削装置１の外部へと流れ出ていく。第２の天板３４を配設することで、研削屑が天板３３や側板３７に付着するのを防ぐことができる。
【００４５】
このとき、第２の天板３４が、ネットＮ１の方向に下がるような傾斜を備えていれば、第２の天板３４に付着した研削水が、より効率良くネットＮ１の方向に流れていく。第２加工室３０ｂの天板３３の下方に、第２の天板３４を配設する場合についても、上記と同様の構成によって天板３３に研削水が付着するのを防ぐことができる。
【００４６】
本発明により、例えば、第１加工室３０ａに関して、第１加工室３０ａの天板３３や側板３７等の壁面に研削屑が固化するのを防ぐことができれば、例えば、オペレータ等による第１加工室３０ａの内部のメンテナンス時に、オペレータ等が加工室３０の天板３３の取手３３２を持ち、開閉部３３０を持ち上げ、第１加工室３０ａの上面を解放させた際、研削屑の粉塵が第１加工室３０ａの内外に飛散するのを防ぐことができる。第２加工室３０ｂについても天板３３や側板３７等の壁面に研削屑が固化するのを防ぐことができる。
【００４７】
また、天板３３に研削屑が固化するのを防ぐことで、天板３３の開閉不良を防ぐこともでき、メンテナンス作業の効率化を図ることができる。
【００４８】
本発明に係る研削装置１は、上述した粗研削と仕上げ研削との二つの研削工程を実施するための、第１研削手段２０ａと第２研削手段２０ｂとを備えるいわゆる二軸機であってもよいし、或いは、例えば、一種類の研削砥石によって仕上げ厚みまで研削加工する一軸機であってもよい。
【００４９】
また、本発明に係る研削装置１は、例えば、ベース２の上に図示しない研磨手段等を備え、研削と研磨とを同じ装置内で続けて行うことができる加工装置であってもよい。
また、飛散する水滴ＬａがネットＮ１を通過することがあった場合、ネットＮ１を通過した水滴Ｌａが側板に当たってさらに飛散し減速され、その飛散し減速した水滴ＬａをネットＮ１が受け止める事ができる。また、ネットＮ１は、隙間をあけて複数枚配設させてもよい。
さらに、天板に隙間をあけて配設する天板ネットＮ２は、天板に平行に配設させなくてもよく、傾斜させ、天板ネットＮ２に付着した研削水Ｌａ、Ｌを自重で天板ネットＮ２から排水されるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００５０】
１：研削装置  ２：ベース  ３：コラム
１０：保持手段  １００：保持手段
１０１：吸引部  １０１ａ：保持面  枠体：１０２  １０３：ターンテーブル
１０４：保持手段の回転軸  １０５：ターンテーブルの回転軸
２０ａ：第１研削手段  ２０ｂ：第２研削手段  ２００：研削ホイール
２０１ａ：粗研削砥石  ２０１ｂ：仕上げ研削砥石
２１：モータ  ２２：スピンドル  ２３：回転軸
３０ａ：第１加工室  ３０ｂ：第２加工室  
３３：天板  ３３０：開閉部  ３３１：固定部  ３３２：取手  ３４：第２の天板
３５：丁番  ３６：蛇腹  ３７：側板  ３８：底板  ３９：排水口
４０：搬入出手段  ４１：第１のカセット
４３：位置合わせ手段  ４３０：仮置き領域  ４３１：位置合わせピン
４４：ローディングアーム  ４５：アンローディングアーム  ４６：第２のカセット
６０：研削送り手段  ６１：モータ  ６３：ボールネジ  ６４：ガイドレール
６５：昇降板  ６６：ホルダ
７０：制御手段  ８０：研削水供給手段  ９０：洗浄手段  ９００：洗浄領域
Ｗ：被加工物  Ｗａ：裏面  Ｗｂ：表面
Ｈ：研削水路  Ｌ：研削屑を含まない研削水  Ｌａ：研削屑を含む研削水  
Ｎ１：ネット  Ｎ２：天板ネット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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