(57)【要約】【課題】従来の電磁弁や機械式の弁を用いる場合と比較して、流量調整部の体格を小さくすることができるエジェクタ式冷凍サイクル装置を提供する。【解決手段】エジェクタ式冷凍サイクル装置１０は、圧縮機１２と、放熱器１４と、放熱器１４から流出した冷媒を分岐させる分岐部２０と、分岐部２０で分岐された一方の冷媒が流入するエジェクタ１６と、エジェクタ１６から流出した冷媒を蒸発させる第１蒸発器１８と、分岐部２０で分岐された他方の冷媒の流量を調整するとともに、冷媒を減圧させる流量調整部としての弁装置２２と、弁装置２２から流出した冷媒を蒸発させ、蒸発後の冷媒をエジェクタ１６の吸引部１６ｂに流入させる第２蒸発器２４とを備える。弁装置２２は、弁機構としてのマイクロバルブＸ１を有する。【選択図】図１
2020139682.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エジェクタ式冷凍サイクル装置であって、
冷媒を圧縮して吐出する圧縮機（１２）と、
前記圧縮機から吐出された冷媒を放熱させる放熱器（１４）と、
前記放熱器から流出した冷媒を噴出させるノズル部（１６ａ）、前記ノズル部から噴出された冷媒の流れにより冷媒を吸引する吸引部（１６ｂ）、および前記ノズル部から噴出された冷媒と前記吸引部から吸引された冷媒とを混合して昇圧する昇圧部（１６ｃ）を含むエジェクタ（１６）と、
前記吸引部に流入する冷媒の流量を調整する弁部品（Ｘ１）を含む流量調整部（２２、４０、５０、６８）とを備え、
前記弁部品は、
冷媒が流通する冷媒室（Ｘ１９）、前記冷媒室に連通する第１冷媒孔（Ｘ１６）、および前記冷媒室に連通する第２冷媒孔（Ｘ１７）が形成される基部（Ｘ１１、Ｘ１２１、Ｘ１３）と、
自らの温度が変化すると変位する駆動部（Ｘ１２３、Ｘ１２４、Ｘ１２５）と、
前記駆動部の温度の変化による変位を増幅する増幅部（Ｘ１２６、Ｘ１２７）と、
前記増幅部によって増幅された変位が伝達されて前記冷媒室内で動くことで、前記冷媒室を介した前記第１冷媒孔と前記第２冷媒孔との間の連通、遮断を切り替える可動部（Ｘ１２８）と、を有し、
前記駆動部が温度の変化によって変位したときに、前記駆動部が付勢位置（ＸＰ２）において前記増幅部を付勢することで、前記増幅部がヒンジ（ＸＰ０）を支点として変位するとともに、前記増幅部と前記可動部の接続位置（ＸＰ３）で前記増幅部が前記可動部を付勢し、
前記ヒンジから前記付勢位置までの距離よりも、前記ヒンジから前記接続位置までの距離の方が長い、エジェクタ式冷凍サイクル装置。
【請求項２】
前記エジェクタ式冷凍サイクル装置は、
前記放熱器から流出した冷媒を一方の冷媒と他方の冷媒とに分岐させる分岐部（２０）と、
冷媒を蒸発させる第１蒸発器（１８）と、
冷媒を蒸発させる第２蒸発器（２４）とを備え、
前記一方の冷媒が前記ノズル部、前記昇圧部、前記第１蒸発器の順に流れるように、前記分岐部、前記エジェクタおよび前記第１蒸発器は接続されており、
前記他方の冷媒が前記流量調整部、前記第２蒸発器、前記吸引部の順に流れるように、前記分岐部、前記流量調整部、前記第２蒸発器および前記エジェクタは接続されており、
前記流量調整部（２２、４０、５０）は、前記第２蒸発器に流入する冷媒の流量を調整するとともに、前記第２蒸発器に流入する冷媒を減圧させる、請求項１に記載のエジェクタ式冷凍サイクル装置。
【請求項３】
前記流量調整部（２２）は、固定絞り（２３）を含む冷媒流路（３１）を形成する流路形成部材（３０）を有し、
前記弁部品は、前記冷媒流路を開閉する、請求項２に記載のエジェクタ式冷凍サイクル装置。
【請求項４】
前記流量調整部（４０）は、冷媒流路（４２）を形成する流路形成部材（４１）を有し、
前記弁部品は、前記冷媒流路を開閉するとともに、前記冷媒流路が開状態のときに前記冷媒流路を流れる冷媒を減圧させ、かつ、冷媒を減圧させるときの流路の開度の変更が可能である、請求項２に記載のエジェクタ式冷凍サイクル装置。
【請求項５】
前記流量調整部（５０）は、前記流量調整部の冷媒入口部（５１ａ）から前記流量調整部の冷媒出口部（５１ｂ）に至る冷媒流路を形成する流路形成部品（５１、Ｘ２）と、
前記冷媒流路を開閉する開閉弁（５０ａ）とを有し、
前記冷媒流路は、固定絞り（５０ｂ）と、前記冷媒入口部から流入した冷媒を前記固定絞りを迂回させて前記冷媒出口部に導くための迂回流路（ＸＶ１、ＸＶ２、５５ａ、５５ｂ）とを含み、
前記弁部品は、前記迂回流路を開閉するとともに、前記迂回流路が開状態のときに前記迂回流路を流れる冷媒を減圧させる、請求項２に記載のエジェクタ式冷凍サイクル装置。
【請求項６】
前記エジェクタ式冷凍サイクル装置は、
前記昇圧部から流出した冷媒を気相冷媒と液相冷媒とに分離し、分離した気相冷媒を前記圧縮機に流入させる気液分離器（６０）と、
前記気液分離器で分離された液相冷媒を蒸発させ、蒸発後の冷媒を前記吸引部に流入させる蒸発器（６２）と、
前記放熱器から流出した冷媒を、前記エジェクタおよび前記気液分離器を迂回させて、前記蒸発器に導くバイパス流路（６４）とを備え、
前記流量調整部（６８）は、前記バイパス流路を流れる冷媒の流量を調整するとともに、前記バイパス流路を流れる冷媒を減圧させる、請求項１に記載のエジェクタ式冷凍サイクル装置。
【請求項７】
前記弁部品は、当該弁部品が正常に作動しているか故障しているかを判別するための信号を出力する故障検知部（Ｘ５０）を備えている、請求項１ないし６のいずれか１つに記載のエジェクタ式冷凍サイクル装置。
【請求項８】
前記信号は、前記増幅部の歪み量に応じた信号である請求項７に記載のエジェクタ式冷凍サイクル装置。
【請求項９】
前記駆動部は、通電されることで発熱し、
前記故障検知部は、前記弁部品が故障している場合に前記弁部品に対する通電を停止する装置（Ｘ５５）に、前記信号を出力する、請求項７または８に記載のエジェクタ式冷凍サイクル装置。
【請求項１０】
前記故障検知部は、前記弁部品が故障している場合に、人に報知を行う報知装置（Ｘ５６）を作動させる装置（Ｘ５５）に、前記信号を出力する、請求項７または８に記載のエジェクタ式冷凍サイクル装置。
【請求項１１】
前記弁部品は、半導体チップによって構成されている請求項１ないし１０のいずれか１つに記載のエジェクタ式冷凍サイクル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エジェクタ式冷凍サイクル装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のエジェクタ式冷凍サイクル装置として、エジェクタの吸引部に流入する冷媒の流量を調整する流量調整部を備えるものがある。この流量調整部の弁機構としては、電磁弁や機械的な弁が用いられていた（例えば、特許文献１参照）。電磁弁では、電磁アクチュエータによって弁体が駆動される。機械的な弁では、例えば、感温室の圧力と流れる冷媒の圧力との圧力差およびばねによって弁体が駆動される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−４６０５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の通り、従来の流量調整部では、電磁弁、機械的な弁等が用いられている。このため、流量調整部の体格が大きい。
【０００５】
本発明は上記点に鑑みて、流量調整部の弁機構として、従来の電磁弁や機械式の弁を用いる場合と比較して、流量調整部の体格を小さくすることができるエジェクタ式冷凍サイクル装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明によれば、
エジェクタ式冷凍サイクル装置は、
冷媒を圧縮して吐出する圧縮機（１２）と、
圧縮機から吐出された冷媒を放熱させる放熱器（１４）と、
放熱器から流出した冷媒を噴出させるノズル部（１６ａ）、ノズル部から噴出された冷媒の流れにより冷媒を吸引する吸引部（１６ｂ）、およびノズル部から噴出された冷媒と吸引部から吸引された冷媒とを混合して昇圧する昇圧部（１６ｃ）を含むエジェクタ（１６）と、
吸引部に流入する冷媒の流量を調整する弁部品（Ｘ１）を含む流量調整部（２２、４０、５０、６８）とを備え、
弁部品は、
冷媒が流通する冷媒室（Ｘ１９）、冷媒室に連通する第１冷媒孔（Ｘ１６）、および冷媒室に連通する第２冷媒孔（Ｘ１７）が形成される基部（Ｘ１１、Ｘ１２１、Ｘ１３）と、
自らの温度が変化すると変位する駆動部（Ｘ１２３、Ｘ１２４、Ｘ１２５）と、
駆動部の温度の変化による変位を増幅する増幅部（Ｘ１２６、Ｘ１２７）と、
増幅部によって増幅された変位が伝達されて冷媒室内で動くことで、冷媒室を介した第１冷媒孔と第２冷媒孔との間の連通、遮断を切り替える可動部（Ｘ１２８）と、を有し、
駆動部が温度の変化によって変位したときに、駆動部が付勢位置（ＸＰ２）において増幅部を付勢することで、増幅部がヒンジ（ＸＰ０）を支点として変位するとともに、増幅部と可動部の接続位置（ＸＰ３）で増幅部が可動部を付勢し、
ヒンジから付勢位置までの距離よりも、ヒンジから接続位置までの距離の方が長い。
【０００７】
これによれば、流量調整部の弁機構として、弁部品を用いている。弁部品は、従来の電磁弁や機械式の弁と比べた小型化が可能である。弁部品の増幅部は、梃子として機能するので、駆動部の温度変化に応じた変位量が、梃子によって増幅されて可動部に伝わる。駆動部の変位量が梃子を利用して増幅されることが、そのような梃子を利用しない従来の電磁弁や機械式の弁と比べた小型化に寄与する。よって、流量調整部の弁機構として、従来の電磁弁や機械式の弁を用いる場合と比較して、流量調整部の体格を小さくすることができる。
【０００８】
なお、各構成要素等に付された括弧付きの参照符号は、その構成要素等と後述する実施形態に記載の具体的な構成要素等との対応関係の一例を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施形態の冷凍サイクル装置の構成を示す模式図である。
【図２】第１実施形態の弁装置の断面図である。
【図３】第１実施形態のマイクロバルブの通電、非通電の状態と弁状態との関係を示す図である。
【図４】第１実施形態のマイクロバルブの分解斜視図である。
【図５】第１実施形態のマイクロバルブの側面図である。
【図６】図５のVI−VI断面図である。
【図７】図５、図６のVII−VII断面図である。
【図８】図６に対応する通電時のマイクロバルブの断面図である。
【図９】図８のIX−IX断面図である。
【図１０】比較例１の弁装置の断面図である。
【図１１】第２実施形態の冷凍サイクル装置の構成を示す模式図である。
【図１２】第２実施形態の弁装置の断面図である。
【図１３】第２実施形態のマイクロバルブのDuty比と開度との関係を示す図である。
【図１４】第３実施形態の冷凍サイクル装置の構成を示す模式図である。
【図１５】第３実施形態の弁装置の断面図である。
【図１６】図１５の領域XVIの拡大図である。
【図１７】第３実施形態の弁装置の合計の開度と弁作動状態との関係を示す図である。
【図１８】第４実施形態の冷凍サイクル装置の構成を示す模式図である。
【図１９】第４実施形態の弁装置の合計の開度と弁作動状態との関係を示す図である。
【図２０】第５実施形態の冷凍サイクル装置の構成を示す模式図である。
【図２１】第５実施形態の弁装置の断面図である。
【図２２】第６実施形態のマイクロバルブの断面図であって、図６に対応する図である。
【図２３】図２２中の領域XXIIIの拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。
【００１１】
（第１実施形態）
図１に示す本実施形態の冷凍サイクル装置１０は、車両に搭載されるエジェクタ式冷凍サイクル装置である。冷凍サイクル装置１０は、図示しない車室の冷房と、図示しないクールボックスの冷蔵とを行う。クールボックスは、飲み物等を冷却する車両用冷蔵庫である。クールボックスは、ケースを備えている。ケースは、冷却対象物が収容される庫内の空間を形成するとともに、冷凍サイクル装置１０の構成部品を収容する。
【００１２】
冷凍サイクル装置１０は、圧縮機１２と、放熱器１４と、膨張弁１５と、エジェクタ１６と、第１蒸発器１８と、分岐部２０と、弁装置２２と、第２蒸発器２４とを備える。これらの冷凍サイクル装置１０の構成部品は、蒸気圧縮式の冷凍サイクルを構成するように、互いに接続されている。
【００１３】
圧縮機１２は、吸入した冷媒を圧縮して吐出する。圧縮機１２は、車両のエンジンによって駆動される。放熱器１４は、圧縮機１２で圧縮された冷媒と車室の外部の空気との熱交換により、冷媒を放熱させる。膨張弁１５は、分岐部２０とエジェクタ１６の冷媒流れの上流側との間に設けられている。膨張弁１５は、放熱器１４から流出した冷媒を減圧膨張させる。膨張弁１５は、温度式膨張弁であり、第１蒸発器１８から流出した冷媒の過熱度に応じて、膨張弁１５を通過する冷媒の流量を調整する。
【００１４】
エジェクタ１６は、膨張弁１５から流出した冷媒を減圧させ、第１蒸発器１８に向けて流出させる。エジェクタ１６は、ノズル部１６ａと、吸引部１６ｂと、昇圧部１６ｃとを有する。ノズル部１６ａは、流入した冷媒を噴射し、冷媒を減圧膨張させる。吸引部１６ｂは、ノズル部１６ａから噴出された冷媒の流れにより冷媒を吸引する。昇圧部１６ｃは、ノズル部１６ａから噴出された冷媒と、吸引部１６ｂから吸引された冷媒とを混合して昇圧する。昇圧部１６ｃは、昇圧した冷媒を第１蒸発器１８に向けて流出させる。
【００１５】
第１蒸発器１８は、エジェクタ１６から流出した冷媒と車室の内部へ送られる空気との熱交換により、空気を冷却するとともに、冷媒を蒸発させる。分岐部２０は、放熱器１４の冷媒流れ下流側とエジェクタ１６の冷媒流れ上流側との間に設けられている。分岐部２０は、放熱器１４の冷媒流れ下流側の冷媒を一方と他方とに分岐させる。分岐した一方の冷媒は、エジェクタ１６のノズル部１６ａに向かって流れる。分岐した他方の冷媒は、エジェクタの吸引部１６ｂに向かって流れる。
【００１６】
弁装置２２は、分岐部２０からエジェクタ１６の吸引部１６ｂに向かって冷媒が流れる吸引側流路２１に設けられている。弁装置２２は、第２蒸発器２４に流入する冷媒の流量を調整するとともに、第２蒸発器２４に流入する冷媒を減圧させる流量調整部である。弁装置２２は、直列に接続されたマイクロバルブＸ１と固定絞り２３とを含む。弁装置２２は、マイクロバルブＸ１と固定絞り２３とが一体化されたものである。なお、冷媒の流量を調整することには、流量をゼロにすることが含まれる。吸引側流路２１を流れる冷媒の流量を調整することと、第２蒸発器２４に流入する冷媒の流量を調整することと、吸引部１６ｂに流入する冷媒の流量を調整することとは、同じ意味である。
【００１７】
マイクロバルブＸ１は、吸引側流路２１を開閉する。マイクロバルブＸ１は、吸引側流路２１に冷媒が流れる状態と冷媒が流れない状態とを切り替える切替弁として用いられている。固定絞り２３は、絞り開度が固定されている。すなわち、固定絞り２３は、流路断面積が固定されている。固定絞り２３は、吸引側流路２１に冷媒が流れる状態のときに、冷媒を減圧膨張させる。弁装置２２は、クールボックスのケースの内部に収容されている。弁装置２２の構成については後述する。
【００１８】
第２蒸発器２４は、吸引側流路２１のうち弁装置２２と吸引部１６ｂとの間に設けられている。第２蒸発器２４は、クールボックスのケースの内部に収容されている。第２蒸発器２４は、冷媒とクールボックスの庫内の空気との熱交換により、庫内の空気を冷却し、冷媒を蒸発させる。
【００１９】
次に、冷凍サイクル装置１０の作動について説明する。
【００２０】
クールボックスの使用時では、マイクロバルブＸ１は開弁している。圧縮機１２の作動によって高温高圧の冷媒が圧縮機１２から吐出される。圧縮機１２から吐出された高温高圧の冷媒は、放熱器１４で放熱される。放熱器１４で放熱された冷媒は、分岐部２０で一方の冷媒と他方の冷媒とに分岐される。
【００２１】
分岐された一方の冷媒は、膨張弁１５で減圧膨張された後、エジェクタ１６のノズル部１６ａに流入する。ノズル部１６ａに流入した冷媒は、ノズル部１６ａから噴射されることで、減圧膨張される。ノズル部１６ａから噴射された冷媒は、吸引部１６ｂから流入した冷媒とともに、昇圧部１６ｃに流入する。昇圧部１６ｃに流入した冷媒は、昇圧された後、昇圧部１６ｃから流出する。昇圧部１６ｃから流出した冷媒は、第１蒸発器１８を流れる。第１蒸発器１８で、冷媒が蒸発することで、車室の内部の空気が冷却される。これにより、車室の内部の冷房が行われる。第１蒸発器１８から流出した冷媒は、圧縮機１２に吸入される。
【００２２】
分岐された他方の冷媒は、弁装置２２に流入する。弁装置２２に流入した冷媒は、固定絞り２３で減圧され、弁装置２２から流出する。弁装置２２から流出した冷媒は、第２蒸発器２４に流入する。第２蒸発器２４で、冷媒が蒸発することで、クールボックスの庫内の空気が冷却される。これにより、クールボックスの冷蔵が行われる。第２蒸発器２４から流出した冷媒は、吸引部１６ｂに流入する。
【００２３】
このように、分岐部２０で分岐された一方の冷媒が、ノズル部１６ａ、昇圧部１６ｃ、第１蒸発器１８の順に流れるように、分岐部２０、エジェクタ１６および第１蒸発器１８は接続されている。分岐部２０で分岐された他方の冷媒が、弁装置２２、第２蒸発器２４、吸引部１６ｂの順に流れるように、分岐部２０、弁装置２２、第２蒸発器２４およびエジェクタ１６は接続されている。
【００２４】
クールボックスの非使用時では、マイクロバルブＸ１が閉状態とされる。このため、分岐部２０から吸引部１６ｂの間には、冷媒が流れない。他の冷媒流れは、クールボックスの使用時と同じである。
【００２５】
次に、弁装置２２の構成について説明する。図２に示すように、弁装置２２は、流路形成部材３０と、バルブモジュールＸ０とを有する。
【００２６】
流路形成部材３０は、内部に冷媒流路３１を形成している。冷媒流路３１は、第１流路３２と、第２流路３３と、第３流路３４と、固定絞り２３とを含む。第１流路３２は、流路形成部材３０の冷媒入口部３０ａに連通している。第３流路３４は、流路形成部材３０の冷媒出口部３０ｂに連通している。第１流路３２と第２流路３３とは、直接、連通しておらず、バルブモジュールＸ０の流路を介して、連通している。第２流路３３と第３流路３４とは、固定絞り２３を介して、連通している。固定絞り２３は、第２流路３３と第３流路３４とのそれぞれよりも流路断面積が小さな流路である。流路断面積は、流路の横断面の面積である。流路形成部材３０は、金属製の部材である。
【００２７】
［バルブモジュールＸ０の構成］
バルブモジュールＸ０は、流路形成部材３０に接続されている。バルブモジュールＸ０は、マイクロバルブＸ１、バルブケーシングＸ２、封止部材Ｘ３、２つのＯリングＸ４、Ｘ５、２本の電気配線Ｘ６、Ｘ７を有している。
【００２８】
マイクロバルブＸ１は、板形状の弁部品であり、主として半導体チップによって構成されている。マイクロバルブＸ１は、半導体チップ以外の部品を有していてもいなくてもよい。したがって、マイクロバルブＸ１を小型に構成することができる。マイクロバルブＸ１の厚さ方向の長さは例えば２ｍｍであり、厚さ方向に直交する長手方向の長さは例えば１０ｍｍであり、長手方向にも厚さ方向にも直交する短手方向の長さは例えば５ｍｍであるが、これに限定されない。
【００２９】
上述の通り、マイクロバルブＸ１は、開閉弁として機能する。マイクロバルブＸ１への通電、非通電が切り替わることで、開閉が切り替わる。具体的には、図３に示すように、マイクロバルブＸ１は、通電時に開弁し、非通電時に閉弁する常閉弁である。
【００３０】
電気配線Ｘ６、Ｘ７は、マイクロバルブＸ１の表裏にある２つの板面のうち、バルブケーシングＸ２とは反対側の面から伸びて、封止部材Ｘ３、バルブケーシングＸ２内を通過して、バルブモジュールＸ０の外部にある電源に接続される。これにより、電気配線Ｘ６、Ｘ７を通して、電源からマイクロバルブＸ１に電力が供給される。
【００３１】
バルブケーシングＸ２は、マイクロバルブＸ１を収容する樹脂製のケーシングである。バルブケーシングＸ２は、ポリフェニレンサルファイドを主成分として樹脂成形によって形成されている。バルブケーシングＸ２は、一方側に底壁を有し、他方側が開放された箱体である。バルブケーシングＸ２の底壁は、マイクロバルブＸ１と流路形成部材３０とが直接接しないように、流路形成部材３０とマイクロバルブＸ１の間に介在する。そして、この底壁の一方側の面が流路形成部材３０に接触して固定され、他方側の面がマイクロバルブＸ１の２つの板面のうち一方に接触して固定される。すなわち、マイクロバルブＸ１は、バルブケーシングＸ２を介して、流路形成部材３０に設けられている。このようになっていることで、マイクロバルブＸ１と流路形成部材３０の線膨張係数の違いをバルブケーシングＸ２が吸収できる。これは、バルブケーシングＸ２の線膨張係数が、マイクロバルブＸ１の線膨張係数と流路形成部材３０の線膨張係数の間の値となっているからである。
【００３２】
また、バルブケーシングＸ２の底壁は、マイクロバルブＸ１に対向する板形状のベース部Ｘ２０と、マイクロバルブＸ１から離れる方向に当該ベース部Ｘ２０から突出する柱形状の第１突出部Ｘ２１、第２突出部Ｘ２２を有する。
【００３３】
第１突出部Ｘ２１は、流路形成部材３０に形成された第１開口部３５に嵌め込まれている。第１開口部３５は、第１流路３２につながっている。第１突出部Ｘ２１には、マイクロバルブＸ１側端から第１流路３２側端まで貫通する第１連通孔ＸＶ１が形成されている。第１連通孔ＸＶ１は、第１流路３２に連通している。
【００３４】
第２突出部Ｘ２２は、流路形成部材３０に形成された第２開口部３６に嵌め込まれている。第２開口部３６は、第２流路３３に連通している。第２突出部Ｘ２２には、マイクロバルブＸ１側端から第２流路３３側端まで貫通する第２連通孔ＸＶ２が形成されている。第２連通孔ＸＶ２は、第２流路３３に連通している。
【００３５】
封止部材Ｘ３は、バルブケーシングＸ２の開放された上記他方側を封止するエポキシ樹脂製の部材である。封止部材Ｘ３は、マイクロバルブＸ１の表裏にある２つの板面のうち、バルブケーシングＸ２の底壁側とは反対側の板面を、覆う。また、封止部材Ｘ３は、電気配線Ｘ６、Ｘ７を覆うことで、電気配線Ｘ６、Ｘ７の防水および絶縁を実現する。封止部材Ｘ３は、樹脂ポッティング等によって形成される。
【００３６】
ＯリングＸ４は、第１突出部Ｘ２１の外周に取り付けられ、流路形成部材３０と第１突出部Ｘ２１の間を封止することで、弁装置２２の外部への冷媒の漏出を抑制する。ＯリングＸ５は、第２突出部Ｘ２２の外周に取り付けられ、流路形成部材３０と第２突出部Ｘ２２の間を封止することで、弁装置２２の外部への冷媒の漏出を抑制する。
【００３７】
ここで、マイクロバルブＸ１の構成について更に説明する。マイクロバルブＸ１は、図４、図５に示すように、いずれも半導体である第１外層Ｘ１１、中間層Ｘ１２、第２外層Ｘ１３を備えたＭＥＭＳである。ＭＥＭＳは、Micro Electro Mechanical Systemsの略称である。第１外層Ｘ１１、中間層Ｘ１２、第２外層Ｘ１３は、それぞれが同じ外形を有する長方形の板形状の部材であり、第１外層Ｘ１１、中間層Ｘ１２、第２外層Ｘ１３の順に積層されている。すなわち、中間層Ｘ１２が、第１外層Ｘ１１と第２外層Ｘ１３に両側から挟まれている。第１外層Ｘ１１、中間層Ｘ１２、第２外層Ｘ１３のうち、第２外層Ｘ１３が、バルブケーシングＸ２の底壁に最も近い側に配置される。後述する第１外層Ｘ１１、中間層Ｘ１２、第２外層Ｘ１３の構造は、化学的エッチング等の半導体製造プロセスによって形成される。
【００３８】
第１外層Ｘ１１は、表面に非導電性の酸化膜のある導電性の半導体部材である。第１外層Ｘ１１には、図４に示すように、表裏に貫通する２つの貫通孔Ｘ１４、Ｘ１５が形成されている。この貫通孔Ｘ１４、Ｘ１５に、それぞれ、電気配線Ｘ６、Ｘ７のマイクロバルブＸ１側端が挿入される。
【００３９】
第２外層Ｘ１３は、表面に非導電性の酸化膜のある導電性の半導体部材である。第２外層Ｘ１３には、図４、図６、図７に示すように、表裏に貫通する第１冷媒孔Ｘ１６、第２冷媒孔Ｘ１７が形成されている。図７に示すように、第１冷媒孔Ｘ１６はバルブケーシングＸ２の第１連通孔ＸＶ１に連通し、第２冷媒孔Ｘ１７はバルブケーシングＸ２の第２連通孔ＸＶ２に連通する。第１冷媒孔Ｘ１６、第２冷媒孔Ｘ１７の各々の水力直径は、例えば０．１ｍｍ以上かつ３ｍｍ以下であるが、これに限定されない。
【００４０】
中間層Ｘ１２は、導電性の半導体部材である。中間層Ｘ１２は、第１外層Ｘ１１の酸化膜と第２外層Ｘ１３の酸化膜とに接触するので、第１外層Ｘ１１と第２外層Ｘ１３とも電気的に非導通である。中間層Ｘ１２は、図６に示すように、第１固定部Ｘ１２１、第２固定部Ｘ１２２、複数本の第１リブＸ１２３、複数本の第２リブＸ１２４、スパインＸ１２５、アームＸ１２６、梁Ｘ１２７、可動部Ｘ１２８を有している。
【００４１】
第１固定部Ｘ１２１は、第１外層Ｘ１１、第２外層Ｘ１３に対して固定された部材である。第１固定部Ｘ１２１は、第２固定部Ｘ１２２、第１リブＸ１２３、第２リブＸ１２４、スパインＸ１２５、アームＸ１２６、梁Ｘ１２７、可動部Ｘ１２８を同じ１つの冷媒室Ｘ１９内に囲むように形成されている。冷媒室Ｘ１９は、第１固定部Ｘ１２１、第１外層Ｘ１１、第２外層Ｘ１３によって囲まれた室である。第１固定部Ｘ１２１、第１外層Ｘ１１、第２外層Ｘ１３は、全体として基部に対応する。なお、電気配線Ｘ６、Ｘ７は複数の第１リブＸ１２３および複数の第２リブＸ１２４の温度を変化させて変位させるための電気配線である。
【００４２】
第１固定部Ｘ１２１の第１外層Ｘ１１および第２外層Ｘ１３に対する固定は、冷媒がこの冷媒室Ｘ１９から第１冷媒孔Ｘ１６、第２冷媒孔Ｘ１７以外を通ってマイクロバルブＸ１から漏出することを抑制するような形態で、行われている。
【００４３】
第２固定部Ｘ１２２は、第１外層Ｘ１１、第２外層Ｘ１３に対して固定される。第２固定部Ｘ１２２は、第１固定部Ｘ１２１に取り囲まれると共に、第１固定部Ｘ１２１から離れて配置される。
【００４４】
複数本の第１リブＸ１２３、複数本の第２リブＸ１２４、スパインＸ１２５、アームＸ１２６、梁Ｘ１２７、可動部Ｘ１２８は、第１外層Ｘ１１、第２外層Ｘ１３に対して固定されておらず、第１外層Ｘ１１、第２外層Ｘ１３に対して変位可能である。
【００４５】
スパインＸ１２５は、中間層Ｘ１２の矩形形状の短手方向に伸びる細長い棒形状を有している。スパインＸ１２５の長手方向の一端は、梁Ｘ１２７に接続されている。
【００４６】
複数本の第１リブＸ１２３は、スパインＸ１２５の長手方向に直交する方向におけるスパインＸ１２５の一方側に配置される。そして、複数本の第１リブＸ１２３は、スパインＸ１２５の長手方向に並んでいる。各第１リブＸ１２３は、細長い棒形状を有しており、温度に応じて伸縮可能となっている。
【００４７】
各第１リブＸ１２３は、その長手方向の一端で第１固定部Ｘ１２１に接続され、他端でスパインＸ１２５に接続される。そして、各第１リブＸ１２３は、第１固定部Ｘ１２１側からスパインＸ１２５側に近付くほど、スパインＸ１２５の長手方向の梁Ｘ１２７側に向けてオフセットされるよう、スパインＸ１２５に対して斜行している。そして、複数の第１リブＸ１２３は、互いに対して平行に伸びている。
【００４８】
複数本の第２リブＸ１２４は、スパインＸ１２５の長手方向に直交する方向におけるスパインＸ１２５の他方側に配置される。そして、複数本の第２リブＸ１２４は、スパインＸ１２５の長手方向に並んでいる。各第２リブＸ１２４は、細長い棒形状を有しており、温度に応じて伸縮可能となっている。
【００４９】
各第２リブＸ１２４は、その長手方向の一端で第２固定部Ｘ１２２に接続され、他端でスパインＸ１２５に接続される。そして、各第２リブＸ１２４は、第２固定部Ｘ１２２側からスパインＸ１２５側に近付くほど、スパインＸ１２５の長手方向の梁Ｘ１２７側に向けてオフセットされるよう、スパインＸ１２５に対して斜行している。そして、複数の第２リブＸ１２４は、互いに対して平行に伸びている。
【００５０】
複数本の第１リブＸ１２３、複数本の第２リブＸ１２４、スパインＸ１２５は、全体として、駆動部に対応する。
【００５１】
アームＸ１２６は、スパインＸ１２５と非直交かつ平行に伸びる細長い棒形状を有している。アームＸ１２６の長手方向の一端は梁Ｘ１２７に接続されており、他端は第１固定部Ｘ１２１に接続されている。
【００５２】
梁Ｘ１２７は、スパインＸ１２５およびアームＸ１２６に対して約９０°で交差する方向に伸びる細長い棒形状を有している。梁Ｘ１２７の一端は、可動部Ｘ１２８に接続されている。アームＸ１２６と梁Ｘ１２７は、全体として、増幅部に対応する。
【００５３】
アームＸ１２６と梁Ｘ１２７の接続位置ＸＰ１、スパインＸ１２５と梁Ｘ１２７の接続位置ＸＰ２、梁Ｘ１２７と可動部Ｘ１２８の接続位置ＸＰ３は、梁Ｘ１２７の長手方向に沿って、この順に並んでいる。そして、第１固定部Ｘ１２１とアームＸ１２６との接続点をヒンジＸＰ０とすると、中間層Ｘ１２の板面に平行な面内におけるヒンジＸＰ０から接続位置ＸＰ２までの直線距離よりも、ヒンジＸＰ０から接続位置ＸＰ３までの直線距離の方が、長い。
【００５４】
可動部Ｘ１２８は、その外形が、梁Ｘ１２７の長手方向に対して概ね９０°の方向に伸びる矩形形状を有している。この可動部Ｘ１２８は、冷媒室Ｘ１９内において梁Ｘ１２７と一体に動くことができる。そして、可動部Ｘ１２８は、そのように動くことで、ある位置にいるときには第１冷媒孔Ｘ１６と第２冷媒孔Ｘ１７とを冷媒室Ｘ１９を介して連通させ、また別の位置にいるときには第１冷媒孔Ｘ１６と第２冷媒孔Ｘ１７とを冷媒室Ｘ１９内において遮断する。可動部Ｘ１２８は、中間層Ｘ１２の表裏に貫通する貫通孔Ｘ１２０を囲む枠形状となっている。したがって、貫通孔Ｘ１２０も、可動部Ｘ１２８と一体的に移動する。貫通孔Ｘ１２０は、冷媒室Ｘ１９の一部である。
【００５５】
また、第１固定部Ｘ１２１のうち、複数の第１リブＸ１２３と接続する部分の近傍の第１印加点Ｘ１２９には、図４に示した第１外層Ｘ１１の貫通孔Ｘ１４を通った電気配線Ｘ６のマイクロバルブＸ１側端が接続される。また、第２固定部Ｘ１２２の第２印加点Ｘ１３０には、図４に示した第１外層Ｘ１１の貫通孔Ｘ１５を通った電気配線Ｘ７のマイクロバルブＸ１側端が接続される。
【００５６】
［バルブモジュールＸ０の作動］
ここで、バルブモジュールＸ０の作動について説明する。マイクロバルブＸ１への通電時は、電気配線Ｘ６、Ｘ７から第１印加点Ｘ１２９、第２印加点Ｘ１３０に電圧が印加される。すると、複数の第１リブＸ１２３、複数の第２リブＸ１２４を電流が流れる。この電流によって、複数の第１リブＸ１２３、複数の第２リブＸ１２４が発熱してそれらの温度が上昇する。その結果、複数の第１リブＸ１２３、複数の第２リブＸ１２４の各々が、その長手方向に膨張する。
【００５７】
このような、温度上昇に伴う熱的な膨張の結果、複数の第１リブＸ１２３、複数の第２リブＸ１２４は、スパインＸ１２５を接続位置ＸＰ２側に付勢する。付勢されたスパインＸ１２５は、接続位置ＸＰ２において、梁Ｘ１２７を押す。このように、接続位置ＸＰ２は付勢位置に対応する。その結果、梁Ｘ１２７とアームＸ１２６から成る部材は、ヒンジＸＰ０を支点として、接続位置ＸＰ２を力点として、一体に姿勢を変える。その結果、梁Ｘ１２７のアームＸ１２６とは反対側の端部に接続された可動部Ｘ１２８も、その長手方向の、スパインＸ１２５が梁Ｘ１２７を押す側に、移動する。その移動の結果、可動部Ｘ１２８は、図８、図９に示すように、移動方向の先端が第１固定部Ｘ１２１に当接する位置に到達する。以下、可動部Ｘ１２８のこの位置を通電時位置という。
【００５８】
このように、梁Ｘ１２７およびアームＸ１２６は、ヒンジＸＰ０を支点とし、接続位置ＸＰ２を力点とし、接続位置ＸＰ３を作用点とする梃子として機能する。上述の通り、中間層Ｘ１２の板面に平行な面内におけるヒンジＸＰ０から接続位置ＸＰ２までの直線距離よりも、ヒンジＸＰ０から接続位置ＸＰ３までの直線距離の方が、長い。したがって、力点である接続位置ＸＰ２の移動量よりも、作用点である接続位置ＸＰ３の移動量の方が大きくなる。したがって、熱的な膨張による変位量が、梃子によって増幅されて可動部Ｘ１２８に伝わる。
【００５９】
図８、図９に示すように、可動部Ｘ１２８が通電時位置にある場合、貫通孔Ｘ１２０が中間層Ｘ１２の板面に直交する方向に第１冷媒孔Ｘ１６、第２冷媒孔Ｘ１７と重なる。その場合、第１冷媒孔Ｘ１６と第２冷媒孔Ｘ１７とが冷媒室Ｘ１９の一部である貫通孔Ｘ１２０を介して連通する。この結果、第１連通孔ＸＶ１と第２連通孔ＸＶ２との間で、第１冷媒孔Ｘ１６、貫通孔Ｘ１２０、第２冷媒孔Ｘ１７を介した、冷媒の流通が可能となる。つまり、マイクロバルブＸ１が開弁する。
【００６０】
このときの、マイクロバルブＸ１における冷媒の流路は、Ｕターン構造を有している。具体的には、冷媒は、マイクロバルブＸ１の一方側の面からマイクロバルブＸ１内に流入し、マイクロバルブＸ１内を通って、マイクロバルブＸ１の同じ側の面からマイクロバルブＸ１外に流出する。そして同様にバルブモジュールＸ０における冷媒の流路も、Ｕターン構造を有している。具体的には、冷媒は、バルブモジュールＸ０の一方側の面からバルブモジュールＸ０内に流入し、バルブモジュールＸ０内を通って、バルブモジュールＸ０の同じ側の面からバルブモジュールＸ０外に流出する。なお、中間層Ｘ１２の板面に直交する方向は、第１外層Ｘ１１、中間層Ｘ１２、第２外層Ｘ１３の積層方向である。
【００６１】
また、マイクロバルブＸ１への非通電時は、電気配線Ｘ６、Ｘ７から第１印加点Ｘ１２９、第２印加点Ｘ１３０への電圧印加が停止される。すると、複数の第１リブＸ１２３、複数の第２リブＸ１２４を電流が流れなくなり、複数の第１リブＸ１２３、複数の第２リブＸ１２４の温度が低下する。その結果、複数の第１リブＸ１２３、複数の第２リブＸ１２４の各々が、その長手方向に収縮する。
【００６２】
このような、温度低下に伴う熱的な収縮の結果、複数の第１リブＸ１２３、複数の第２リブＸ１２４は、スパインＸ１２５を接続位置ＸＰ２とは反対側に付勢する。付勢されたスパインＸ１２５は、接続位置ＸＰ２において、梁Ｘ１２７を引っ張る。その結果、梁Ｘ１２７とアームＸ１２６から成る部材は、ヒンジＸＰ０を支点として、接続位置ＸＰ２を力点として、一体に姿勢を変える。その結果、梁Ｘ１２７のアームＸ１２６とは反対側の端部に接続された可動部Ｘ１２８も、その長手方向の、スパインＸ１２５が梁Ｘ１２７を引っ張る側に、移動する。その移動の結果、可動部Ｘ１２８は、図６、図７に示すように、第１固定部Ｘ１２１に当接しない位置に到達する。以下、可動部Ｘ１２８のこの位置を非通電時位置という。
【００６３】
図６、図７に示すように、可動部Ｘ１２８が非通電時位置にある場合、貫通孔Ｘ１２０は、中間層Ｘ１２の板面に直交する方向に第１冷媒孔Ｘ１６と重なるが、当該方向に第２冷媒孔Ｘ１７とは重ならない。第２冷媒孔Ｘ１７は、中間層Ｘ１２の板面に直交する方向に可動部Ｘ１２８と重なる。つまり、第２冷媒孔Ｘ１７は、可動部Ｘ１２８によって塞がれる。この場合、第１冷媒孔Ｘ１６と第２冷媒孔Ｘ１７とが冷媒室Ｘ１９内において遮断される。この結果、第１連通孔ＸＶ１と第２連通孔ＸＶ２との間で、第１冷媒孔Ｘ１６、第２冷媒孔Ｘ１７を介した冷媒の流通は阻害される。つまり、マイクロバルブＸ１が閉弁する。
【００６４】
上述の通り、マイクロバルブＸ１は、非通電時に閉弁し、通電時に開弁する。マイクロバルブＸ１は、固定絞り２３を含む冷媒流路３１を開閉する。これにより、弁装置２２は、吸引側流路２１を流れる冷媒の流量をゼロとそれよりも多い流量との一方に調整することができる。マイクロバルブＸ１の開弁時に、冷媒が固定絞り２３を流れる。これにより、弁装置２２は、吸引側流路２１を流れる冷媒を減圧させることができる。
【００６５】
次に、本実施形態の効果について説明する。
【００６６】
図１０に示す比較例１の弁装置Ｊ２２は、従来の弁装置の一例である。比較例１の弁装置Ｊ２２では、開閉弁としての電磁弁Ｊ２２ａと固定絞りＪ２２ｂとが一体化されている。電磁弁Ｊ２２ａは、電気エネルギーを機械運動に変換するソレノイド部Ｊ１と、流路を開閉する弁部Ｊ２とを有する。ソレノイド部Ｊ１にはコイルＪ３、ピストンＪ４が含まれる。弁部Ｊ２には、弁体Ｊ５および弁座Ｊ６が含まれる。
【００６７】
固定絞りＪ２２ｂおよび弁座Ｊ６は、流路形成部材Ｊ３０に形成されている。流路形成部材Ｊ３０は、内部に冷媒流路Ｊ３１を形成している。冷媒流路Ｊ３１は、第１流路Ｊ３２と、第２流路Ｊ３３と、固定絞りＪ２２ｂとを含む。第１流路Ｊ３２は、流路形成部材Ｊ３０の冷媒入口部Ｊ３０ａに連通している。第２流路Ｊ３３は、流路形成部材Ｊ３０の冷媒出口部Ｊ３０ｂに連通している。第１流路Ｊ３２と第２流路３３とは、弁座Ｊ６の内側に形成された弁座開口部および固定絞りＪ２２ｂを介して、連通している。
【００６８】
コイルＪ３の通電状態に応じて、ピストンＪ４が移動する。ピストンＪ４の移動によって、ピストンＪ４の端部に設けられた弁体Ｊ５が移動する。弁体Ｊ５が弁座Ｊ６に接したり、弁体Ｊ５が弁座Ｊ６から離れたりすることで、冷媒流路Ｊ３１が開閉される。
【００６９】
比較例１の弁装置Ｊ２２は、クールボックスの内部に収容されている。クールボックスは、車室内に設置されるため、クールボックスの全体の大きさは限られている。電磁弁Ｊ０は体格が大きいため、比較例１の弁装置Ｊ２２の体格は大きい。このため、クールボックスの容量は、弁装置Ｊ２２の体積分、小さくなっている。
【００７０】
これに対して、本実施形態によれば、弁装置２２の弁機構として、マイクロバルブＸ１が用いられている。マイクロバルブＸ１は、電磁弁Ｊ０と比べて容易に小型化できる。その理由の１つは、マイクロバルブＸ１が上述の通り半導体チップにより形成されているということである。また、上述の通り、梃子を利用して熱的な膨張による変位量が増幅されることも、そのような梃子を利用しない電磁弁と比べた小型化に寄与する。
【００７１】
このため、比較例１の弁装置Ｊ２２と比較して、弁装置２２の体格を小さくすることができる。すなわち、比較例１の弁装置Ｊ２２と比較して、弁装置２２の体積を減少させることができる。弁装置２２の体積減少分を、クールボックスの容量増大分に充てることができる。よって、クールボックスの容量を増大させることができる。
【００７２】
また、梃子を利用しているので、熱的な膨張による変位量を可動部Ｘ１２８の移動量より抑えることができる。したがって、可動部Ｘ１２８を駆動するための消費電力も低減することができる。マイクロバルブＸ１の消費電力が小さいので、弁装置２２が省電力化される。
【００７３】
また、電磁弁の駆動時における衝撃音を無くすことができるので、騒音を低減することができる。また、マイクロバルブＸ１が軽量であることから、弁装置２２が軽量化される。
【００７４】
（第２実施形態）
図１１に示すように、本実施形態では、冷凍サイクル装置１０は、第１実施形態の弁装置２２に替えて、弁装置４０を備えている。冷凍サイクル装置１０の他の構成は、第１実施形態と同じである。
【００７５】
弁装置４０は、マイクロバルブＸ１を含む。弁装置４０は、第２蒸発器２４に流入する冷媒の流量を調整するとともに、第２蒸発器２４に流入する冷媒を減圧させる流量調整部である。冷媒の流量を調整することには、流量をゼロにすることが含まれる。
【００７６】
図１２に示すように、弁装置４０は、流路形成部材４１と、バルブモジュールＸ０とを有する。
【００７７】
流路形成部材４１は、内部に冷媒流路４２を形成している。冷媒流路４２は、第１流路４３と、第２流路４４とを含む。第１流路４３は、流路形成部材４１の冷媒入口部４１ａに連通している。第２流路４４は、流路形成部材４１の冷媒出口部４１ｂに連通している。第１流路４３と第２流路４４とは、流路形成部材４１の内部で、直接、連通しておらず、バルブモジュールＸ０の流路を介して、連通している。流路形成部材４１は、金属製の部材である。
【００７８】
バルブモジュールＸ０は、流路形成部材４１に接続されている。バルブモジュールＸ０の構成は、第１実施形態のバルブモジュールＸ０と同じである。第１突出部Ｘ２１は、流路形成部材４１に形成された第１開口部４５に嵌め込まれている。第１開口部４５は、第１流路４３に連通している。このため、第１連通孔ＸＶ１は、第１流路４３に連通している。第２突出部Ｘ２２は、流路形成部材４１に形成された第２開口部４６に嵌め込まれている。第２開口部４６は、第２流路４４に連通している。このため、第２連通孔ＸＶ２２は、第２流路４４に連通している。
【００７９】
ただし、本実施形態では、図８中の第１印加点Ｘ１２９、第２印加点Ｘ１３０に印加される電圧がＰＷＭ制御される。ＰＷＭ制御は、通電と非通電とを繰り返し切り替える制御である。このとき、Duty比が大きいほど、供給される電力が大きい。Duty比は、ある期間に占める通電時間の割合である。電力が大きいほど、温度が高くなり、熱膨張量が大きくなる。このため、Duty比が大きいほど、非通電時に対する通電時の移動量が大きくなる。よって、ＰＷＭ制御により、可動部Ｘ１２８の位置を全閉位置から全開位置の間で連続的に変更することができる。
【００８０】
このため、図１３に示すように、マイクロバルブＸ１は、Duty比を０％から１００％までの間で連続的に変更することで、流路の開度を０％から１００％までの間で直線的に変更することができる。流路の開度が０％よりも大きいときの流路断面積は、冷媒を減圧させる大きさである。このように、マイクロバルブＸ１は、冷媒流路を開閉するとともに、冷媒流路が開状態のときに冷媒流路を流れる冷媒を減圧させ、かつ、冷媒を減圧させるときの冷媒流路の流路開度の変更が可能な可変絞りとして用いられている。これにより、弁装置４０は、吸引側流路２１を流れる冷媒の流量を、０から最大値までの範囲内で、任意の大きさに調整することができるとともに、吸引側流路２１を流れる冷媒を減圧させることができる。
【００８１】
本実施形態によれば、マイクロバルブＸ１の流路開度を調整することで、第２蒸発器２４を流れる冷媒の流量を所望の流量に調整することができる。このため、第２蒸発器２４を流れる冷媒の流量の調整によって、第２蒸発器２４の冷却能力を調整することができる。これにより、クールボックスの庫内の温度を目標温度にすることができる。
【００８２】
（第３実施形態）
図１４に示すように、本実施形態では、冷凍サイクル装置１０は、第１実施形態の弁装置２２に替えて、弁装置５０を備えている。弁装置５０は、第２蒸発器２４に流入する冷媒の流量を調整するとともに、第２蒸発器２４に流入する冷媒を減圧させる流量調整部である。冷媒の流量を調整することには、流量をゼロにすることが含まれる。
【００８３】
弁装置５０は、冷媒が流入する冷媒入口部５１ａと、冷媒が流出する冷媒出口部５１ｂとを有する。冷媒入口部５１ａは、分岐部２０の２つの冷媒出口部の一方の冷媒出口部側に接続されている。冷媒出口部５１ｂは、第２蒸発器２４の冷媒入口側に接続されている。
【００８４】
弁装置５０は、１つの電磁弁５０ａと、１つの固定絞り５０ｂと、１つのマイクロバルブＸ１とを含む。電磁弁５０ａは、弁装置５０の冷媒入口部５１ａから弁装置５０の冷媒出口部５１ｂに至る冷媒流路を開閉する開閉弁である。固定絞り５０ｂは、冷媒入口部５１ａから流入した冷媒を減圧膨張させる。マイクロバルブＸ１は、冷媒入口部５１ａから流入した冷媒を固定絞り５０ｂを迂回させて冷媒出口部５１ｂに導く迂回流路を開閉するとともに、迂回流路が開状態のときに迂回流路を流れる冷媒を減圧させる。冷凍サイクル装置１０の他の構成は、第１実施形態と同じである。
【００８５】
弁装置５０の具体的な構成について説明する。図１５に示すように、弁装置５０では、電磁弁５０ａと、固定絞り５０ｂと、マイクロバルブＸ１とが一体として構成されている。具体的には、弁装置５０は、流路形成部材５１と、ソレノイド部５２と、弁体５３と、バルブモジュールＸ０とを有している。
【００８６】
流路形成部材５１は、金属製の部材である。流路形成部材５１は、内部に冷媒が流れる冷媒流路５１１を形成している。冷媒流路５１１は、第１流路５１２と、第２流路５１３と、弁室５１４と、弁座流路５１５と、固定絞り５０ｂとを含む。第１流路５１２と第２流路５１３とは、弁室５１４、弁座流路５１５および固定絞り５０ｂを介して、連通している。
【００８７】
流路形成部材５１には、冷媒入口部５１ａと、冷媒出口部５１ｂとが形成されている。第１流路５１２は、冷媒入口部５１ａに連通している。第２流路５１３は、冷媒出口部５１ｂに連通している。
【００８８】
弁室５１４には、弁体５３が配置されている。弁座流路５１５は、弁座５１６の内側の流路であって、弁体５３によって開閉される流路である。固定絞り５０ｂは、第１流路５１２と第２流路５１３とのそれぞれよりも流路断面積が小さな流路である。
【００８９】
流路形成部材５１は、弁室５１４を形成する弁室形成部５４と、固定絞り５０ｂを形成する固定絞り形成部５５とを有する。固定絞り形成部５５は、弁室５１４の中に位置する。固定絞り形成部５５は、固定絞り５０ｂの他に、弁座流路５１５と、第２流路５１３の一部とを形成している。固定絞り形成部５５の弁座流路５１５側の端部が弁座５１６となっている。
【００９０】
ソレノイド部５２は、電気エネルギーを機械運動に変換する。ソレノイド部５２は、コイル５２１と、ピストン５２２とを含む。コイル５２１の通電状態に応じて、ピストン５２２は移動する。
【００９１】
弁体５３は、ピストン５２２の端部に固定されている。弁体５３は、合成ゴム製である。ピストン５２２の移動によって、弁体５３は、弁座５１６に接したり、弁座５１６から離れたりする。すなわち、弁体５３が弁座流路５１５を開閉する。ソレノイド部５２と、弁体５３と、弁座５１６とは、電磁弁５０ａを構成している。
【００９２】
図１６に示すように、固定絞り形成部５５には、第１貫通孔５５ａと第２貫通孔５５ｂとが形成されている。弁室形成部５４には、第３貫通孔５４ａと第４貫通孔５４ｂとが形成されている。第１貫通孔５５ａと第３貫通孔５４ａとは、同軸上に配置されている。第２貫通孔５５ｂと第４貫通孔５４ｂとは、同軸上に配置されている。
【００９３】
バルブモジュールＸ０は、第１実施形態と同様に、マイクロバルブＸ１、バルブケーシングＸ２、封止部材Ｘ３、２本の電気配線Ｘ６、Ｘ７を有している。バルブモジュールＸ０は、第１実施形態と異なり、４つのＯリングＸ４、Ｘ５、Ｘ８、Ｘ９を有している。
【００９４】
バルブモジュールＸ０は、流路形成部材５１の外側に設けられている。バルブケーシングＸ２の第１突出部Ｘ２１は、第１貫通孔５５ａと第３貫通孔５４ａとに、嵌めこまれている。第１突出部Ｘ２１の先端は、第１貫通孔５５ａの内部に位置する。第１連通孔ＸＶ１は、第１貫通孔５５ａを介して、固定絞り５０ｂの冷媒流れ上流側の弁座流路５１５に連通している。バルブケーシングＸ２の第２突出部Ｘ２２は、第２貫通孔５５ｂと第４貫通孔５４ｂとに、嵌め込まれている。第２突出部Ｘ２２の先端は、第２貫通孔５５ｂの内部に位置する。第２連通孔ＸＶ２は、第２貫通孔５５ｂを介して、固定絞り５０ｂの冷媒流れ上流側の第２流路５１３に連通している。
【００９５】
本実施形態では、流路形成部材５１とバルブケーシングＸ２とが、全体として、冷媒入口部５１ａから冷媒出口部５１ｂに至る冷媒流路を形成する流路形成部品に対応する。第１貫通孔５５ａと、第１連通孔ＸＶ１と、第２連通孔ＸＶ２と、第２貫通孔５５ｂとが、全体として、冷媒入口部５１ａから流入した冷媒を固定絞り５０ｂを迂回させて冷媒出口部５１ｂに導く迂回流路に対応する。冷媒流路５１１と、第１貫通孔５５ａと、第１連通孔ＸＶ１と、第２連通孔ＸＶ２と、第２貫通孔５５ｂとが、全体として、流量調整部の冷媒入口部から流量調整部の冷媒出口部に至る冷媒流路に対応する。
【００９６】
弁体５３が弁座５１６から離れることで、電磁弁５０ａが開弁する。電磁弁５０ａが開弁し、かつ、マイクロバルブＸ１が閉弁しているとき、放熱器１４から流出した冷媒は、分岐部２０で分岐される。分岐された一方の冷媒は、エジェクタ１６、第１蒸発器１８を順に流れる。分岐された他方の冷媒は、弁装置５０の冷媒入口部５１ａに流入する。冷媒入口部５１ａに流入した冷媒は、第１流路５１２、弁座流路５１５、固定絞り５０ｂ、第２流路５１３の順に流れた後、冷媒出口部５１ｂから流出する。冷媒出口部５１ｂから流出した冷媒は、第２蒸発器２４を流れた後、エジェクタ１６の吸引部１６ｂに流入する。
【００９７】
また、電磁弁５０ａが開弁し、かつ、マイクロバルブＸ１が開弁しているとき、上記の冷媒流れに加えて、マイクロバルブＸ１を通過する冷媒流れが形成される。すなわち、弁装置５０の内部には、冷媒入口部５１ａから固定絞り５０ｂを通過して冷媒出口部５１ｂに到達する冷媒流れと、冷媒入口部５１ａから固定絞り５０ｂを迂回して冷媒出口部５１ｂに到達する冷媒流れとが形成される。マイクロバルブＸ１の開弁時の最小流路断面積は、冷媒を減圧膨張させる大きさに設定されている。このため、マイクロバルブＸ１で減圧膨張された冷媒と、固定絞り５０ｂで減圧膨張された冷媒とが合流する。合流した冷媒が、冷媒出口部５１ｂから流出する。冷媒出口部５１ｂから流出した冷媒は、第２蒸発器２４を流れた後、エジェクタ１６の吸引部１６ｂに流入する。
【００９８】
電磁弁５０ａが閉弁しているとき、放熱器１４から流出した冷媒は、分岐部２０で分岐されず、エジェクタ１６、第１蒸発器１８を順に流れる。第２蒸発器２４には、冷媒が流れない。
【００９９】
本実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果が得られる。さらに、本実施形態によれば、下記の効果が得られる。
【０１００】
上記の説明の通り、図１７に示すように、弁装置５０は、流路を開閉するとともに、流路の開度を二段階で変更することができる。電磁弁５０ａとマイクロバルブＸ１との両方が開弁しているときの弁装置５０の流路開度を１００％の開度とする。電磁弁５０ａが閉じているときの弁装置５０の流路開度を０％とする。この場合、電磁弁５０ａが開弁し、マイクロバルブＸ１が閉弁しているときの開度は、０％と１００％との間の中間開度Ａ１である。
【０１０１】
本実施形態では、クールボックスの通常の使用時に、電磁弁５０ａを開弁し、マイクロバルブＸ１を閉弁する。クールボックスの急速冷却時等の第２蒸発器２４の冷却能力を増大させる場合に、電磁弁５０ａを開弁した状態で、マイクロバルブＸ１を開弁する。これにより、マイクロバルブＸ１の閉弁時と比較して、弁装置５０から流出する冷媒の流量を増大させることができ、第２蒸発器２４を流れる冷媒の流量を増大させることができる。このため、第２蒸発器２４の冷却能力を増大させることができる。
【０１０２】
（第４実施形態）
図１８に示すように、本実施形態では、弁装置５０は、１つの電磁弁５０ａと、１つの固定絞り５０ｂと、２つのマイクロバルブＸ１、Ｙ１とを含む。固定絞り５０ｂおよび２つのマイクロバルブＸ１、Ｙ１のそれぞれは、冷媒入口部５１ａと冷媒出口部５１ｂとの間において、互いに並列に接続されている。マイクロバルブＹ１の構成は、マイクロバルブＸ１と同じである。弁装置５０の他の構成は、第３実施形態と同じである。
【０１０３】
図１９に示すように、弁装置５０は、流路を開閉するとともに、流路の開度を三段階で変更することができる。電磁弁５０ａおよびマイクロバルブＸ１、Ｙ１の全部が開弁しているときの弁装置５０の流路開度を１００％の開度とする。電磁弁５０ａが閉じているときの弁装置５０の流路開度を０％とする。この場合、電磁弁５０ａが開弁し、マイクロバルブＸ１およびマイクロバルブＹ１が閉弁しているときの開度は、０％と１００％との間の第１中間開度Ａ２である。電磁弁５０ａが開弁し、マイクロバルブＸ１が開弁し、マイクロバルブＹ１が閉弁しているときの開度は、０％と１００％との間の第２中間開度Ａ３である。第２中間開度Ａ３は、第１中間開度Ａ２よりも大きい。
【０１０４】
本実施形態においても、第１実施形態と同様の効果が得られる。また、本実施形態によれば、マイクロバルブＸ１、Ｙ１のそれぞれを開閉することで、第２蒸発器２４を流れる冷媒の流量を三段階で調整することができる。これにより、第２蒸発器２４の冷却能力を調整することができる。
【０１０５】
なお、固定絞り５０ｂおよび３つ以上の複数のマイクロバルブが、冷媒入口部５１ａと冷媒出口部５１ｂとの間において、互いに並列に接続されていてもよい。これによれば、複数のマイクロバルブのそれぞれの開閉によって、減圧膨張された冷媒の流量を、多段階に調整することができる。
【０１０６】
（第５実施形態）
図２０に示すように、本実施形態の冷凍サイクル装置１０Ａは、車両に搭載されるエジェクタ式冷凍サイクル装置である。冷凍サイクル装置１０Ａは、図示しない車室の内部の冷房を行う。
【０１０７】
冷凍サイクル装置１０Ａは、圧縮機１２と、放熱器１４と、膨張弁１５と、エジェクタ１６と、気液分離器６０と、蒸発器６２と、バイパス流路６４と、逆止弁６６と、弁装置６８とを備える。これらの冷凍サイクル装置１０Ａの構成部品は、蒸気圧縮式の冷凍サイクルを構成している。
【０１０８】
膨張弁１５は、蒸発器６２から流出した冷媒の過熱度に応じて、膨張弁１５を通過する冷媒の流量を調整する。
【０１０９】
気液分離器６０は、エジェクタ１６から流出した冷媒を、気相冷媒と液相冷媒とに分離する。気液分離器６０の気相冷媒の出口側は、圧縮機１２の冷媒吸入側に接続されている。気液分離器６０の液相冷媒の出口側は、蒸発器６２の冷媒入口側に接続されている。これにより、気液分離器６０は、分離された気相冷媒を圧縮機１２に流入させ、分離された液相冷媒を蒸発器６２に流入させる。
【０１１０】
蒸発器６２は、気液分離器６０から流出した液相冷媒と車室の内部へ送られる空気との熱交換により、空気を冷却するとともに、冷媒を蒸発させる。蒸発器６２の冷媒出口側は、エジェクタ１６の吸引部１６ｂに接続されている。これにより、蒸発器６２は、蒸発後の冷媒を吸引部１６ｂに流入させる。
【０１１１】
バイパス流路６４は、放熱器１４から流出した冷媒を、エジェクタ１６および気液分離器６０を迂回させて、蒸発器６２に導く流路である。バイパス流路６４の一端は、冷媒流路のうち放熱器１４と膨張弁１５との間に位置する第１接続部６３に接続されている。バイパス流路６４の他端は、冷媒流路のうち気液分離器６０と蒸発器６２の上流側との間に位置する第２接続部６５に接続されている。本実施形態では、バイパス流路６４と、第２接続部６５から吸引部１６ｂまでの冷媒流路とが、全体として、吸引部１６ｂに向かって冷媒が流れる吸引側流路に対応する。
【０１１２】
逆止弁６６は、気液分離器６０の液相冷媒側と第２接続部６５とをつなぐ冷媒流路の途中に設けられている。逆止弁６６は、気液分離器６０の液相冷媒出口から第２接続部６５に向かう冷媒流れを許容し、第２接続部６５から気液分離器６０の液相冷媒出口に向かう冷媒流れを阻止する。
【０１１３】
弁装置６８は、バイパス流路６４に設けられている。弁装置６８は、マイクロバルブＸ１を含む。弁装置６８は、バイパス流路６４を流れる冷媒の流量を調整するとともに、バイパス流路６４を流れる冷媒を減圧させる流量調整部である。冷媒の流量を調整することには、冷媒の流量を０とすることが含まれる。
【０１１４】
図２１に示すように、弁装置６８は、バルブモジュールＸ０と、ブロック体７０とを有する。バルブモジュールＸ０は、ブロック体７０に接続されている。バルブモジュールＸ０の構成は、第１実施形態と同じである。
【０１１５】
ブロック体７０は、バルブモジュールＸ０と、第１配管７１と、第２配管７２とを接続する接続部材である。第１配管７１は、バイパス流路６４の一部を構成する。第２配管７２は、バイパス流路６４の他の一部を構成する。
【０１１６】
ブロック体７０の内部には、第１流路７３と第２流路７４とが形成されている。ブロック体７０の内部では、第１流路７３と第２流路７４とは連通していない。ブロック体７０には、第１流路７３に連通する第１開口部７３ａと第２開口部７３ｂとが形成されている。ブロック体７０には、第２流路７４に連通する第３開口部７４ａと第４開口部７４ｂとが形成されている。第３開口部７４ａは、第１開口部７３ａの隣りに配置されている。第１開口部７３ａ、第３開口部７４ａのそれぞれに、バルブモジュールＸ０の第１突出部Ｘ２１、第２突出部Ｘ２２が嵌めこまれている。第２開口部７３ｂに、第１配管７１が挿入されている。第４開口部７４ｂに、第２配管７２が挿入されている。これにより、第１配管７１の内部の流路７１ａは、第１流路７３を介して、第１連通孔ＸＶ１と連通している。第２配管７２の内部の流路７２ａは、第２流路７４を介して、第２連通孔ＸＶ２と連通している。
【０１１７】
マイクロバルブＸ１が開弁しているとき、第１連通孔ＸＶ１と第２連通孔ＸＶ２とが連通する。これにより、第１配管７１の内部の流路７１ａと、第２配管７２の内部の流路７２ａとが連通する。マイクロバルブＸ１が閉弁しているとき、第１連通孔ＸＶ１と第２連通孔ＸＶ２とが連通しない。これにより、第１配管７１の内部の流路７１ａと、第２配管７２の内部の流路７２ａとが連通する。このように、マイクロバルブＸ１は、バイパス流路６４を開閉する。
【０１１８】
さらに、マイクロバルブＸ１は、第２実施形態と同様に、バイパス流路６４が開状態のときに冷媒を減圧させ、かつ、冷媒を減圧させるときの流路の開度の変更が可能である。このように、弁装置６８は、バイパス流路６４を流れる冷媒の流量を０から最大値までの間で任意の大きさに調整することができるとともに、バイパス流路６４を流れる冷媒を減圧させることができる。
【０１１９】
次に、冷凍サイクル装置１０Ａの作動について説明する。
【０１２０】
エジェクタ１６のノズル部１６ａに流入する冷媒の流量が所定流量よりも多い場合、マイクロバルブＸ１は閉弁する。エジェクタ１６のノズル部１６ａに流入する冷媒の流量が所定流量よりも多い場合とは、例えば、圧縮機１２の回転数が所定回転数よりも大きい場合である。
【０１２１】
この場合、圧縮機１２の作動によって高温高圧の冷媒が圧縮機１２から吐出される。圧縮機１２から吐出された高温高圧の冷媒は、放熱器１４で放熱される。放熱器１４で放熱された冷媒は、膨張弁１５によって減圧膨張された後、エジェクタ１６のノズル部１６ａに流入する。ノズル部１６ａに流入した冷媒は、ノズル部１６ａから噴射されることで、減圧膨張される。ノズル部１６ａから噴射された冷媒は、吸引部１６ｂから流入した冷媒とともに、昇圧部１６ｃに流入する。昇圧部１６ｃに流入した冷媒は、昇圧された後、昇圧部１６ｃから流出する。昇圧部１６ｃから流出した冷媒は、気液分離器６０に流入する。
【０１２２】
気液分離器６０に流入した冷媒は、気相冷媒と液相冷媒とに分離される。分離された気相冷媒は、圧縮機１２に吸入される。分離された液相冷媒は、蒸発器６２に流入する。蒸発器６２で、冷媒が蒸発することで、車室の内部の空気が冷却される。これにより、車室の内部の冷房が行われる。蒸発器６２から流出した冷媒は、吸引部１６ｂに流入する。
【０１２３】
ここで、蒸発器６２を流れる冷媒の流量は、昇圧部１６ｃでの冷媒の昇圧量に依存している。この昇圧量は、エジェクタ１６を流れる冷媒の流量に依存している。このため、エジェクタ１６を流れる冷媒の流量が少ない条件では、この昇圧量が少なく、蒸発器６２を冷媒が流れない場合がある。具体的には、昇圧量が、配管を流れることによる冷媒の圧力損失量と同じ場合、気液分離器６０から吸引部１６ｂに向かう冷媒流れが生じない。
【０１２４】
そこで、ノズル部１６ａに流入する冷媒の流量が所定流量よりも少ない場合、マイクロバルブＸ１は開弁する。ノズル部１６ａに流入する冷媒の流量が所定流量よりも少ない場合とは、例えば、圧縮機１２の回転数が所定回転数よりも小さい場合である。この所定回転数は、弁装置６８が閉状態のときに蒸発器６２に冷媒が流れないときの圧縮機１２の回転数に基づいて設定される。
【０１２５】
マイクロバルブＸ１が開弁することで、圧縮機１２の作用によって、放熱器１４を流出した冷媒がバイパス流路６４を流れる。このとき、冷媒がマイクロバルブＸ１を通過することで、冷媒が減圧される。減圧された冷媒が、蒸発器６２に流入する。蒸発器６２で蒸発した冷媒は、吸引部１６ｂ、気液分離器６０を介して、圧縮機１２に吸入される。
【０１２６】
このように、サイクルを流れる冷媒の流量が所定流量よりも少ない場合、マイクロバルブＸ１が開弁する。これにより、冷媒の流量が少ない条件時に蒸発器６２に冷媒が流れないことを回避することができる。
【０１２７】
従来では、バイパス流路６４を開閉する弁として、感温室と流れる冷媒との圧力差を利用した機械式の弁が用いられている。これに対して、本実施形態では、弁装置６８の弁機構として、マイクロバルブＸ１が用いられている。マイクロバルブＸ１は、このような従来の機械式の弁と比較して、小型化が容易である。このため、弁装置６８の弁機構として、従来の機械式の弁が用いられる場合と比較して、弁装置６８を小型化することができる。
【０１２８】
さらに、本実施形態では、マイクロバルブＸ１の開度を調整して、蒸発器６２に流れる冷媒の流量を調整することができる。このため、冷房負荷に応じて、蒸発器６２に流れる冷媒の流量を適正な流量に調整することができる。
【０１２９】
換言すると、弁装置６８の流路断面積が固定される場合では、所定の条件のときに、蒸発器６２を流れる冷媒の流量が適正な流量となるように、流路断面積が設定される。これに対して、本実施形態によれば、幅広い条件で、蒸発器６２を流れる冷媒の流量が適正な流量となるように、弁装置６８の流路断面積を変更することができる。
【０１３０】
なお、本実施形態では、マイクロバルブＸ１の流路開度が任意の大きさに変更可能である。しかしながら、マイクロバルブＸ１は、開閉のみを行うようになっていてもよい。
【０１３１】
また、本実施形態では、冷媒の流量が所定流量よりも少ない場合、弁装置６８が開状態とされる。しかしながら、他の条件の場合に、弁装置６８が開状態とされてもよい。
【０１３２】
（第６実施形態）
本実施形態は、第１実施形態のマイクロバルブＸ１が、故障検知機能を有するよう変更されている。具体的には、マイクロバルブＸ１は、第１実施形態と同じ構成に加え、図２２、図２３に示すように、故障検知部Ｘ５０を備えている。
【０１３３】
故障検知部Ｘ５０は、中間層Ｘ１２のアームＸ１２６に形成されたブリッジ回路を含む。ブリッジ回路は、図２３のように接続された４つのゲージ抵抗を含んでいる。つまり、故障検知部Ｘ５０は、ダイヤフラムに相当するアームＸ１２６の歪みに応じて抵抗が変化するブリッジ回路である。つまり、故障検知部Ｘ５０は半導体ピエゾ抵抗式の歪みセンサである。故障検知部Ｘ５０は、電気的絶縁膜を介して、アームＸ１２６と導通しないように、アームＸ１２６に接続されていてもよい。
【０１３４】
このブリッジ回路の対角にある２つの入力端子に配線Ｘ５１、Ｘ５２が接続される。そして、配線Ｘ５１、Ｘ５２から当該入力端子に、定電流発生用の電圧が印加される。この配線Ｘ５１、Ｘ５２は、電気配線Ｘ６、Ｘ７を介してマイクロバルブＸ１に印加される電圧（すなわち、マイクロバルブ駆動電圧）から分岐して上記２つの入力端子まで伸びている。
【０１３５】
また、このブリッジ回路の別の対角にある２つの出力端子に、配線Ｘ５３、Ｘ５４が接続される。そして、アームＸ１２６の歪み量に応じたレベルの電圧信号が配線Ｘ５３、Ｘ５４から出力される。この電圧信号は、後述する通り、マイクロバルブＸ１が正常に作動しているか否かを判別するための情報として使用される。配線Ｘ５３、Ｘ５４から出力される電圧信号は、マイクロバルブＸ１の外部にある制御装置Ｘ５５に入力される。
【０１３６】
この制御装置Ｘ５５は、例えば、車両用空調装置において圧縮機、送風機、エアミックスドア、内外気切替ドア等の作動を制御するエアコンＥＣＵであってもよい。あるいは、この制御装置Ｘ５５は、車両において、車速、燃料残量、電池残量等を表示するメータＥＣＵであってもよい。
【０１３７】
アームＸ１２６の歪み量に応じた電圧信号を制御装置Ｘ５５が配線Ｘ５３、Ｘ５４を介して取得すると、制御装置Ｘ５５は、当該電圧信号に応じて、マイクロバルブＸ１の故障の有無を検知する。検知対象の故障としては、例えば、アームＸ１２６が折れる故障、可動部Ｘ１２８と第１外層Ｘ１１または第２外層Ｘ１３との間に微小な異物が挟まって可動部Ｘ１２８が動かなくなる故障、等がある。
【０１３８】
複数本の第１リブＸ１２３および複数本の第２リブＸ１２４の伸縮に応じて、梁Ｘ１２７および可動部Ｘ１２８が変位する際、アームＸ１２６の歪み量が変化する。したがって、アームＸ１２６の歪み量に応じた電圧信号から、可動部Ｘ１２８の位置を推定できる。一方、マイクロバルブＸ１が正常であれば、電気配線Ｘ６、Ｘ７からマイクロバルブＸ１への通電量と可動部Ｘ１２８の位置との間にも相関関係がある。この通電量は、マイクロバルブＸ１を制御するための制御量である。
【０１３９】
制御装置Ｘ５５は、このことを利用して、マイクロバルブＸ１の故障の有無を検知する。つまり、制御装置Ｘ５５は、配線Ｘ５３、Ｘ５４からの電圧信号から、あらかじめ定められた第１マップに基づいて、可動部Ｘ１２８の位置を算出する。そして、あらかじめ定められた第２マップに基づいて、可動部Ｘ１２８の位置から、正常時において当該位置を実現するために必要な電気配線Ｘ６、Ｘ７からマイクロバルブＸ１への供給電力を算出する。これら第１マップ、第２マップは、制御装置Ｘ５５の不揮発性メモリに記録されている。不揮発性メモリは、非遷移的実体的記憶媒体である。第１マップにおける電圧信号のレベルと位置との対応関係は、あらかじめ実験等によって定められてもよい。また、第２マップにおける位置と供給電力との対応関係も、あらかじめ実験等によって定められてもよい。
【０１４０】
そして、制御装置Ｘ５５は、算出された電力と、実際に電気配線Ｘ６、Ｘ７からマイクロバルブＸ１へ供給されている電力とを比較する。そして、制御装置Ｘ５５は、前者の電力と後者の電力の差の絶対値が許容値を超えていれば、マイクロバルブＸ１が故障していると判定し、許容値を超えていなければ、マイクロバルブＸ１が正常であると判定する。そして、制御装置Ｘ５５は、マイクロバルブＸ１が故障していると判定した場合に、所定の故障報知制御を行う。
【０１４１】
制御装置Ｘ５５は、この故障報知制御においては、車内の人に報知を行う報知装置Ｘ５６を作動させる。例えば、制御装置Ｘ５５は、警告ランプを点灯させてもよい。また、制御装置Ｘ５５は、画像表示装置に、マイクロバルブＸ１に故障が発生したことを示す画像を表示させてもよい。これによって、車両の乗員は、マイクロバルブＸ１の故障に気付くことができる。
【０１４２】
また、制御装置Ｘ５５は、この故障報知制御においては、車両内の記憶装置に、マイクロバルブＸ１に故障が発生したことを示す情報を記録してもよい。この記憶装置は、非遷移的実体的記憶媒体である。これにより、マイクロバルブＸ１の故障を記録に残すことができる。
【０１４３】
また、制御装置Ｘ５５は、マイクロバルブＸ１が故障していると判定した場合は、通電停止制御を行う。通電停止制御では、制御装置Ｘ５５は、電気配線Ｘ６、Ｘ７からマイクロバルブＸ１への通電を停止させる。このように、マイクロバルブＸ１の故障時にマイクロバルブＸ１への通電を停止することで、マイクロバルブＸ１の故障時の安全性を高めることができる。
【０１４４】
以上のように、故障検知部Ｘ５０が、マイクロバルブＸ１が正常に作動しているか否かを判別するための電圧信号を出力することで、制御装置Ｘ５５は、マイクロバルブＸ１の故障の有無を容易に判別することができる。
【０１４５】
また、この電圧信号は、アームＸ１２６の歪み量に応じた信号である。したがって、電気配線Ｘ６、Ｘ７からマイクロバルブＸ１への通電量とこの電圧信号との関係に基づいて、マイクロバルブＸ１の故障の有無を容易に判別することができる。
【０１４６】
なお、本実施形態では、ブリッジ回路を構成する抵抗の変化に基づいてマイクロバルブＸ１が故障しているか否かが判定されている。しかし、他の方法として、静電容量の変化に基づいてマイクロバルブＸ１が故障しているか否かが判定されてもよい。この場合、ブリッジ回路の代わりに容量成分を形成する複数の電極がアームＸ１２６に形成される。アームＸ１２６の歪み量と複数の電極間の静電容量の間は相関関係がある。したがって、制御装置は、この複数の電極間の静電容量の変化に基づいて、マイクロバルブＸ１が故障しているか否かを判定できる。
【０１４７】
（他の実施形態）
（１）第１実施形態では、流路形成部材３０の冷媒流路３１に、固定絞り２３が含まれている。しかし、冷媒流路３１に、固定絞り２３が含まれていなくてもよい。この場合、マイクロバルブＸ１が有する流路、例えば、第１冷媒孔Ｘ１６、第２冷媒孔Ｘ１７が、固定絞りとして機能する。
【０１４８】
（２）第１実施形態等では、電気配線Ｘ６、Ｘ７からマイクロバルブＸ１への通電が停止したとき、マイクロバルブＸ１は閉弁状態となる。しかし、必ずしもこのようになっておらずともよい。例えば、電気配線Ｘ６、Ｘ７からマイクロバルブＸ１への通電が停止したとき、マイクロバルブＸ１は開弁状態となってもよい。
【０１４９】
（３）上記各実施形態では、複数本の第１リブＸ１２３、複数本の第２リブＸ１２４は、半導体材料で構成されている。しかし、これらの部材は、通電されることで発熱し、その発熱によって自らの温度が上昇することで膨張する金属材料等の他の材料から構成されていてもよい。また、これらの部材は、温度が変化すると、変形する形状記憶材料から構成されていてもよい。この場合、駆動部は、その熱的な変形によって変位する。
【０１５０】
（４）上記各実施形態では、冷凍サイクル装置１０、１０Ａは、膨張弁１５を備えている。しかし、冷凍サイクル装置１０、１０Ａは、膨張弁１５を備えていなくてもよい。この場合、エジェクタ１６のノズル部１６ａによって、冷媒が減圧膨張される。
【０１５１】
（５）マイクロバルブＸ１の形状やサイズは、上記実施形態で示したものに限られない。マイクロバルブＸ１は、極微少流量制御可能で、かつ、流路内に存在する微小ゴミを詰まらせないような水力直径の第１冷媒孔Ｘ１６、第２冷媒孔Ｘ１７を有していればよい。
【０１５２】
（６）本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能であり、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の材質、形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の材質、形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その材質、形状、位置関係等に限定されるものではない。
【０１５３】
（まとめ）
上記各実施形態の一部または全部で示された第１の観点によれば、エジェクタ式冷凍サイクル装置は、冷媒を圧縮して吐出する圧縮機と、圧縮機から吐出された冷媒を放熱させる放熱器と、放熱器から流出した冷媒を噴出させるノズル部、ノズル部から噴出された冷媒の流れにより冷媒を吸引する吸引部、およびノズル部から噴出された冷媒と吸引部から吸引された冷媒とを混合して昇圧する昇圧部を含むエジェクタと、吸引部に流入する冷媒の流量を調整する弁部品を含む流量調整部とを備える。
【０１５４】
弁部品は、冷媒が流通する冷媒室、冷媒室に連通する第１冷媒孔、および冷媒室に連通する第２冷媒孔が形成される基部と、自らの温度が変化すると変位する駆動部と、駆動部の温度の変化による変位を増幅する増幅部と、増幅部によって増幅された変位が伝達されて冷媒室内で動くことで、冷媒室を介した第１冷媒孔と第２冷媒孔との間の連通、遮断を切り替える可動部と、を有する。駆動部が温度の変化によって変位したときに、駆動部が付勢位置において増幅部を付勢することで、増幅部がヒンジを支点として変位するとともに、増幅部と可動部の接続位置で増幅部が可動部を付勢する。ヒンジから付勢位置までの距離よりも、ヒンジから接続位置までの距離の方が長い。
【０１５５】
また、第２の観点によれば、エジェクタ式冷凍サイクル装置は、放熱器から流出した冷媒を一方の冷媒と他方の冷媒とに分岐させる分岐部と、冷媒を蒸発させる第１蒸発器と、冷媒を蒸発させる第２蒸発器とを備える。一方の冷媒がノズル部、昇圧部、第１蒸発器の順に流れるように、分岐部、エジェクタおよび第１蒸発器は接続されている。他方の冷媒が流量調整部、第２蒸発器、吸引部の順に流れるように、分岐部、流量調整部、第２蒸発器およびエジェクタは接続されている。流量調整部は、第２蒸発器に流入する冷媒の流量を調整するとともに、第２蒸発器に流入する冷媒を減圧させる。このように、第１の観点の具体的な構成として、第２の観点の構成を採用することができる。
【０１５６】
また、第３の観点によれば、流量調整部は、固定絞りを含む冷媒流路を形成する流路形成部材を有する。弁部品は、冷媒流路を開閉する。このように、第２の観点の具体的な構成として、第３の観点の構成を採用することができる。
【０１５７】
また、第４の観点によれば、流量調整部は、冷媒流路を形成する流路形成部材を有する。弁部品は、冷媒流路を開閉するとともに、冷媒流路が開状態のときに冷媒流路を流れる冷媒を減圧させ、かつ、冷媒を減圧させるときの流路の開度の変更が可能である。
【０１５８】
このように、第２の観点の具体的な構成として、第４の観点の構成を採用することができる。これによれば、弁部品が冷媒を減圧させるときの流路の開度を変更することで、第２蒸発器に流入する冷媒の流量を、０から最大値までの範囲内で、任意の大きさに調整することができる。
【０１５９】
また、第５の観点によれば、流量調整部は、流量調整部の冷媒入口部から流量調整部の冷媒出口部に至る冷媒流路を形成する流路形成部品と、冷媒流路を開閉する開閉弁とを有する。冷媒流路は、固定絞りと、冷媒入口部から流入した冷媒を固定絞りを迂回させて冷媒出口部に導くための迂回流路とを含む。弁部品は、迂回流路を開閉するとともに、迂回流路が開状態のときに迂回流路を流れる冷媒を減圧させる。
【０１６０】
第２の観点の具体的な構成として、第４の観点の構成を採用することができる。これによれば、弁部品が迂回流路を開閉することで、第２蒸発器に流入する冷媒の流量を、０よりも大きい流量で段階的に調整することができる。
【０１６１】
また、第６の観点によれば、エジェクタ式冷凍サイクル装置は、昇圧部から流出した冷媒を気相冷媒と液相冷媒とに分離し、分離した気相冷媒を圧縮機に流入させる気液分離器と、気液分離器で分離された液相冷媒を蒸発させ、蒸発後の冷媒を吸引部に流入させる蒸発器と、放熱器から流出した冷媒を、エジェクタおよび気液分離器を迂回させて、蒸発器に導くバイパス流路とを備える。流量調整部は、バイパス流路を流れる冷媒の流量を調整するとともに、バイパス流路を流れる冷媒を減圧させる。このように、第１の観点の具体的な構成として、第６の観点の構成を採用することができる。
【０１６２】
また、第７の観点によれば、弁部品は、当該弁部品が正常に作動しているか故障しているかを判別するための信号を出力する故障検知部を備えている。弁部品がこのような信号を出力することで、弁部品の故障の有無を容易に判別できる。
【０１６３】
また、第８の観点によれば、前記信号は、増幅部の歪み量に応じた信号である。このようになっていることで、この信号と弁部品を制御するための制御量との関係に基づいて、弁装置の故障の有無を判別することができる。
【０１６４】
また、第９の観点によれば、駆動部は、通電されることで発熱する。故障検知部は、弁部品が故障している場合に弁部品に対する通電を停止する装置に、信号を出力する。このように、弁部品の故障時に通電を停止することで、故障時の安全性を高めることができる。
【０１６５】
また、第１０の観点によれば、故障検知部は、弁部品が故障している場合に、人に報知を行う報知装置を作動させる装置に、信号を出力する。これにより、人は、弁部品の故障を知ることができる。
【０１６６】
また、第１１の観点によれば、弁部品は、半導体チップによって構成されている。したがって、弁部品を小型に構成することができる。
【符号の説明】
【０１６７】
１２    圧縮機
１４    放熱器
１６    エジェクタ
１６ｂ  吸引部
２２    弁装置
４０    弁装置
５０    弁装置
６８    弁装置
Ｘ１    マイクロバルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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