(57)【要約】【課題】シート状のコア材を移動させながらコア材に樹脂シート及び金属箔を重ねて積層物を作製し、この積層物を移動させながら加熱するにあたり、コア材に変形が生じにくい積層板の製造方法を提供する。【解決手段】シート状のコア材３を移動させながらコア材３に樹脂シート４及び金属箔５を重ねて積層物２を作製し、積層物２を移動させながら加熱する。コア材３を、張力をかけながら移動させ、コア材３にかかる張力を調整してから、積層物２を作製する。【選択図】図１
2020053534.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状のコア材を移動させながら前記コア材に樹脂シート及び金属箔を重ねて積層物を作製し、前記積層物を移動させながら加熱することを含み、
前記コア材を、張力をかけながら移動させ、前記コア材にかかる張力を調整してから、前記積層物を作製する、
積層板の製造方法。
【請求項２】
前記コア材は、絶縁層と、前記絶縁層に重なる導体配線とを備える、
請求項１に記載の積層板の製造方法。
【請求項３】
前記樹脂シートはプリプレグである、
請求項１又は２に記載の積層板の製造方法。
【請求項４】
前記コア材にロールを接触させることで、前記コア材にかかる張力を調整する、
請求項１から３のいずれか一項に記載の積層板の製造方法。
【請求項５】
前記ロールは、回転駆動する、
請求項４に記載の積層板の製造方法。
【請求項６】
前記ロールは、前記ロールにおける前記コア材と接する部位が、前記コア材の移動する向きと同じ向きに移動するように、回転駆動する、
請求項５に記載の積層板の製造方法。
【請求項７】
前記コア材を、前記ロールである第一ロールと、第二ロールとで挟みながら、前記第一ロールと前記第二ロールとの間を通過させることで、前記コア材にかかる張力を調整する、
請求項４から６のいずれか一項に記載の積層板の製造方法。
【請求項８】
前記第二ロールは、回転駆動する、
請求項７に記載の積層板の製造方法。
【請求項９】
前記第二ロールは、前記第二ロールにおける前記コア材と接する部位が、前記コア材の移動する向きと同じ向きに移動するように、回転駆動する、
請求項８に記載の積層板の製造方法。
【請求項１０】
前記金属箔を予熱してから、前記コア材に前記樹脂シート及び前記金属箔をこの順に重ねて前記積層物を作製する、
請求項１から９のいずれか一項に記載の積層板の製造方法。
【請求項１１】
前記積層物をダブルベルトプレス方式で加熱する、
請求項１から１０のいずれか一項に記載の積層板の製造方法。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれか一項に記載の積層板の製造方法で積層板を作製し、
前記積層板の最外層に導体配線を設けることを含む、
プリント配線板の製造方法。
【請求項１３】
シート状のコア材を、前記コア材に張力をかけながら移動させる搬送機構と、
前記コア材と樹脂シートと金属箔とが供給され、前記コア材と前記樹脂シートと前記金属箔とをこの順に重ねた積層物を移動させながら加熱する加熱装置と、
前記加熱装置に供給される前の前記コア材にかかる張力を調整する張力調整機とを備える、
積層板製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層板の製造方法、プリント配線板の製造方法及び積層板製造装置に関し、詳しくは、シート状のコア材、プレプレグ及び金属箔から積層板を製造する製造方法、この積層板の製造方法を含むプリント配線板の製造方法、及びこの積層板の製造方法を実現できる積層板製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、長尺な介在シートと、長尺な第一金属箔又は長尺な第一コア材と、長尺なプリプレグと、長尺な第二金属箔又は長尺な第二コア材とを連続的に搬送しながら、介在シートの両側にそれぞれ第一金属箔又は第一コア材と、プリプレグと、第二金属箔又は第二コア材とをこの順に重ねた状態で熱圧成形することによって、介在シートの両側に金属張積層板を製造する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１２８９７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の開示のように、コア材を移動させながら、プリプレグと金属箔とを重ねて加熱する場合は、コア材を位置ずれ無く円滑に移動させるなどのため、張力をかけながらコア材を移動させる。
【０００５】
コア材内の張力を均一に維持しながらコア材を移動させることは難しく、特にコア材の移動距離が長くなると張力を均一にすることは非常に難しくなる。コア材における張力に不均衡が生じていると、コア材が変形してしまうことがある。コア材が変形すると、積層板中のコア材も変形してしまうため、積層板の不良を招いてしまう。特にコア材が導体配線を備える場合に、コア材が変形すると、コア材中の導体配線が歪んでしまい、そのため積層板内の、コア材に由来する導体配線が歪んでしまう。
【０００６】
本発明の課題は、シート状のコア材を移動させながらコア材に樹脂シート及び金属箔を重ねて積層物を作製し、この積層物を移動させながら加熱するにあたり、コア材に変形が生じにくい積層板の製造方法、この積層板の製造方法を含むプリント配線板の製造方法、及びこの積層板の製造方法を実現できる積層板製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様にかかる積層板の製造方法は、シート状のコア材を移動させながら前記コア材に樹脂シート及び金属箔を重ねて積層物を作製し、前記積層物を移動させながら加熱することを含む。前記コア材を、張力をかけながら移動させ、前記コア材にかかる張力を調整してから、前記積層物を作製する。
【０００８】
本発明の一態様にかかるプリント配線板の製造方法は、前記積層板の製造方法で積層板を作製し、前記積層板の最外層に導体配線を設けることを含む。
【０００９】
本発明の一態様にかかる積層板製造装置は、シート状のコア材を、前記コア材に張力をかけながら移動させる搬送機構と、前記コア材と樹脂シートと金属箔とが供給され、前記コア材と前記樹脂シートと前記金属箔とをこの順に重ねた積層物を移動させながら加熱する加熱装置と、前記加熱装置に供給される前の前記コア材にかかる張力を調整する張力調整機とを備える。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一態様によれば、シート状のコア材を移動させながらコア材に樹脂シート及び金属箔を重ねて積層物を作製し、この積層物を移動させながら加熱するにあたり、コア材に、コア材にかけられる張力に起因する変形が生じにくくなる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は本発明の一実施形態における積層板製造装置を示す概略図である。
【図２】図２Ａは本発明の一実施形態におけるコア材の一例を示す断面図であり、図２Ｂは本発明の一実施形態における積層板の一例を示す断面図であり、図２Ｃは本発明の一実施形態におけるプリント配線板の一例を示す断面図である。
【図３】図３は、コア材に生じる変形の様子を示す概略図である。
【図４】図４Ａは同上の積層板製造装置における張力調整機を示す斜視図である。図４Ｂは、同上の積層板製造装置における張力調整機の変形例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態について説明する。
【００１３】
本実施形態に係る積層板１の製造方法は、シート状のコア材３を移動させながらコア材３に樹脂シート４及び金属箔５を重ねて積層物２を作製し、積層物２を移動させながら加熱することを含む。この製造方法においては、コア材３を、張力をかけながら移動させ、コア材３にかかる張力を調整してから、積層物２を作製する（図１参照）。すなわち、コア材３にかかる張力が調整された状態で積層物２を作製する。
【００１４】
このため、コア材３にかけられる張力に起因する、積層物２中のコア材３の変形が生じにくくなり、積層板１中のコア材３にも変形が生じにくくなる。
【００１５】
本実施形態について、更に詳しく説明する。
【００１６】
コア材３、樹脂シート４、及び金属箔５について説明する。
【００１７】
コア材３は、長尺なシート状の部材であればよい。コア材３は、例えば絶縁層３１と、絶縁層３１に重なる導体配線３２とを備える。コア材３は複数の導体配線を備えてもよい。図２Ａに示すコア材３の一例では、コア材３は、絶縁層３１と、絶縁層３１の一方の面に重なる導体配線３２と、絶縁層の他方の面に重なる導体配線３３とを備えている。なお、コア材３は、絶縁層３１と、絶縁層３１の一方の面に重なる導体配線と、他方の面に重なる金属箔とを備えてもよい。コア材３は、絶縁層と、絶縁層の一方の面に重なる導体配線とのみを備えてもよい。コア材３は、複数の絶縁層を備えてもよい。例えばコア材３は二つの絶縁層と、二つの絶縁層の間にある導体配線とを備えてもよい。コア材３は、複数の絶縁層と複数の導体配線とを備えてもよい。例えばコア材３は複数の絶縁層と複数の導体配線とを備え、複数の絶縁層と複数の導体配線とが交互に並んで積層していてもよい。
【００１８】
コア材３は適宜の方法で作製される。例えば長尺な樹脂シートに長尺な金属箔を重ねて加熱することで、長尺な金属張積層板を作製し、更に金属張積層板にアディティブ法、サブトラクティブ法などの方法で導体配線３２、３３を設けることで、コア材３が得られる。
【００１９】
樹脂シート４は、例えば熱硬化性樹脂と熱可塑性樹脂とのうち少なくとも一方を含むシートである。
【００２０】
樹脂シート４は、例えばプリプレグである。樹脂シート４がプリプレグである場合、樹脂シート４は、例えば長尺なシート状の基材と、基材に含浸している熱硬化性樹脂組成物の乾燥物又は半硬化物とを備える。基材は、例えば有機織布、有機不織布、無機織布又は無機不織布であり、より具体的には例えばガラスクロス又はガラスペーパーである。熱硬化性樹脂組成物は熱硬化性樹脂を含む。熱硬化性樹脂は例えばエポキシ樹脂、フェノール樹脂、シアネート樹脂、メラミン樹脂及びイミド樹脂からなる群から選択される少なくとも一種の樹脂を含む。熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂を含む場合、エポキシ樹脂は、例えば多官能エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂及びビフェニル型エポキシ樹脂からなる群から選択される少なくとも一種の樹脂を含む。熱硬化性樹脂組成物は、フィラー、硬化剤及び硬化促進剤からなる群から選択される少なくとも一種の成分を更に含有してもよい。フィラーは、例えば、シリカ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、タルク及びアルミナからなる群から選択される少なくとも一種を含有する。硬化剤は、例えば、フェノール系硬化剤及びジシアンジアミド硬化剤のうち少なくとも一方を含有する。硬化促進剤は、例えば、イミダゾール類、フェノール化合物、アミン類、及び有機ホスフィン類からなる群から選択される少なくとも一種を含有する。
【００２１】
樹脂シート４がプリプレグである場合、樹脂シート４は適宜の方法で作製される。例えば基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸させてから、熱硬化性樹脂組成物を加熱することで乾燥させ又は半硬化させることで、樹脂シート４が得られる。
【００２２】
樹脂シート４は、熱可塑性樹脂のシートでもよい。この場合の熱可塑性樹脂は、例えばポリイミド、液晶ポリマー、ポリエチレンテレフタレート及びポリエチレンナフタレートからなる群から選択される少なくとも一種の樹脂を含有する。
【００２３】
金属箔５は、いかなる金属の箔でもよい。金属箔５は、例えば銅箔又はニッケル箔である。金属箔５の厚みは、例えば５μｍ以上７０μｍ以下である。
【００２４】
積層物２において、コア材３、樹脂シート４及び金属箔５は、この順に重ねられている。積層物２は、コア材３、樹脂シート４及び金属箔５以外の部材を含んでもよい。本実施形態では、積層物２において、コア材３の一つの面上に樹脂シート４である第一樹脂シート４１及び金属箔５である第一金属箔５１がこの順に重なっている。さらに、コア材３の反対側の面上には、第一樹脂シート４１とは異なる第二樹脂シート４２及び第一金属箔５１とは異なる第二金属箔５２が、この順に重なっている。すなわち、本実施形態では、積層物２は、第一金属箔５１、第一樹脂シート４１、コア材３、第二樹脂シート４２及び第二金属箔５２を備え、これらがこの順番に積層している。
【００２５】
なお、積層物２は、例えば第一金属箔５１、第一樹脂シート４１及びコア材３のみを含んでもよいし、上記以外の部材を更に含んでもよい。
【００２６】
積層板１は、積層物２の構成に応じた構造を有する。すなわち、積層板１は、コア材３と、コア材３上に重なる樹脂シート４から作製された絶縁層９と、絶縁層９に重なる金属箔５とを備える。本実施形態のように積層物２が第一金属箔５１、第一樹脂シート４１、コア材３、第二樹脂シート４２及び第二金属箔５２を備える場合、積層板１は、図２Ｂに示すように、第一金属箔５１、第一樹脂シート４１から作製された第一絶縁層９１、コア材３、第二樹脂シート４２から作製された第二絶縁層９２、及び第二金属箔５２を備え、これらがこの順番に積層している。コア材３が絶縁層３１と導体配線３２、３３を備える場合、積層板１はコア材３の導体配線３２、３３に由来する内層の導体配線（以下、内層配線３２１、３３１という）を備えることができる。
【００２７】
本実施形態では、長尺な二つの保護シート１２、１３が用いられる。保護シート１２、１３は、例えば金属からなる表面を有するシートである。保護シート１２、１３は、例えば金属箔である。保護シート１２、１３は、金属製の二つの表層と、二つの表層の間にある内層とを備えてもよい。内層は、例えば表層とは異なる種類の金属製である。内層は、非金属製であってもよく、例えば内層はポリイミドフィルムでもよい。
【００２８】
図１に積層板製造装置（以下、製造装置という）の一例を示す。製造装置は、搬送機構と、加熱装置７と、張力調整機８とを備える。搬送機構は、シート状のコア材３を、このコア材３に張力をかけながら移動させる。加熱装置７は、コア材３と樹脂シート４と金属箔５とが供給され、コア材３と樹脂シート４と金属箔５とをこの順に重ねた積層物２を移動させながら加熱する。張力調整機８は、加熱装置７へ供給される前のコア材３にかかる張力を調整する。
【００２９】
製造装置の、より具体的な構成について説明する。
【００３０】
製造装置は、コア材３を繰り出す繰出機１１１、第一樹脂シート４１を繰り出す繰出機１１２、第二樹脂シート４２を繰り出す繰出機１１３、第一金属箔５１を繰り出す繰出機１１４、第二金属箔５２を繰り出す繰出機１１５、及び二つの保護シート１２、１３をそれぞれ繰り出す二つの繰出機１１６、１１７を備える。製造装置は、加熱装置７も備える。製造装置は、積層板１を巻き取る巻取機１１８も備える。コア材３の繰出機１１１と巻取機１１８が、搬送機構を構成する。
【００３１】
繰出機１１１は、コア材３をコイル状に巻かれた状態で保持し、かつコア材３を繰り出して加熱装置７へ向けて送る。繰出機１１２は、第一樹脂シート４１をコイル状に巻かれた状態で保持し、かつ第一樹脂シート４１を繰り出して加熱装置７へ送る。繰出機１１３は、第二樹脂シート４２をコイル状に巻かれた状態で保持し、かつ第二樹脂シート４２を繰り出して加熱装置７へ送る。繰出機１１４は、第一金属箔５１をコイル状に巻かれた状態で保持し、かつ第一金属箔５１を繰り出して加熱装置７へ送る。繰出機１１５は、第二金属箔５２をコイル状に巻かれた状態で保持し、かつ第二金属箔５２を繰り出して加熱装置７へ送る。二つの繰出機１１６、１１７は、それぞれ保護シート１２、１３をコイル状に巻かれた状態で保持し、かつ保護シート１２、１３を繰り出して加熱装置へ送る。
【００３２】
製造装置は、コア材３、第一樹脂シート４１、第二樹脂シート４２、第一金属箔５１、第二金属箔５２及び保護シートをそれぞれガイドするガイドロール１１９を備える。ガイドロール１１９は、第一金属箔５１、第一樹脂シート４１、コア材３、第二樹脂シート４２及び第二金属箔５２が、前記の順に重なって積層物２を構成した状態で加熱装置７へ送られるように、ガイドする。また、ガイドロール１１９は、二つの保護シート１２、１３を、それぞれ積層物２の第一金属箔５１及び第二金属箔５２と重なった状態で加熱装置７へ送られるようにガイドする。
【００３３】
加熱装置７は、積層物２を移動させながら加熱できるのであれば、いかなる構造を有してもよく、いかなる方式で加熱する装置でもよい。
【００３４】
加熱装置７は、積層物２を移動させながら熱プレスする熱プレス装置であることが好ましい。熱プレス装置は、例えば積層物をダブルベルトプレス方式で加熱する装置（ダブルベルトプレス装置）又は熱ロールプレス方式で加熱する装置（熱ロールプレス装置）である。熱ロールプレス装置は、加熱された二つのロールの間に積層物２を通過させることで積層物２を熱プレスする装置である。ダブルベルトプレス装置は、加熱された二つのエンドレスベルト７１の間に積層物２を通過させることで、エンドレスベルト７１で積層物２を熱プレスする装置である。図１に示す加熱装置７は、ダブルベルトプレス装置である。
【００３５】
加熱装置７がダブルベルトプレス装置であること、すなわち積層物２をダブルベルトプレス方式で加熱することが、好ましい。この場合、積層物２への押圧力の付与及び加熱を、熱ロールプレスに比べて段階的に行うことが可能である。そのため、コア材３、樹脂シート４及び金属箔５のように異なる線膨張係数の材料で構成される積層物２を加圧及び加熱によって積層板１に変化させる工程において、硬化処理前に各材料を熱膨張させるステップと、熱硬化等とのステップとに分けることや、さらに詳細に加圧及び加熱の工程を分けることが可能となるため、当該加熱によって生じる各材料間のズレを低減できる。
【００３６】
ダブルベルトプレス装置である加熱装置７は、向かい合う二つのエンドレスベルト７１、７１と、各エンドレスベルト７１、７１に設けられた熱圧装置７２とを備える。エンドレスベルト７１、７１は、例えばステンレスから作製される。エンドレスベルト７１、７１の各々は、二つのドラム７３、７３の間に掛け渡されており、ドラム７３、７３が回転することにより周回移動する。二つのエンドレスベルト７１、７１の間を、積層物２が通過することができる。積層物２がこのエンドレスベルト７１、７１の間を通過する間、二つのエンドレスベルト７１、７１は、積層物２の一つの面とその反対側の面にそれぞれ面接触しながら、積層物２をプレスできる。エンドレスベルト７１で囲まれた内側には熱圧装置７２が設けられており、この熱圧装置７２が、エンドレスベルト７１を介して積層物２をプレスしながら加熱できる。熱圧装置７２は、例えば加熱された液体媒体の液圧によってエンドレスベルト７１を介して積層物２を熱プレスするように構成された液圧プレートである。なお、二つのドラム７３、７３の間に複数の加圧ローラを設置し、このドラム７３と加圧ローラとで、熱圧装置７２を構成してもよい。この場合、加圧ローラとドラム７３とを誘電加熱等により加熱することでエンドレスベルト７１を加熱することで積層物２を加熱し、かつ加圧ローラによってエンドレスベルト７１を介して積層物２をプレスできる。
【００３７】
第一金属箔５１は、繰出機１１４と加熱装置７との間を移動して加熱装置７へ供給されるにあたり、一方のエンドレスベルト７１に沿って移動してから二つのエンドレスベルト７１、７１の間に供給されるように、ガイドロール１１９にガイドされる。このとき、保護シート１２は、エンドレスベルト７１と第一金属箔５１との間に供給されるように、ガイドロール１１９によってガイドされる。このため、第一金属箔５１は、積層物２が構成される前にエンドレスベルト７１によって予熱される。第二金属箔５２も、繰出機１１５と加熱装置７との間を移動して加熱装置７へ供給されるにあたり、もう一方のエンドレスベルト７１に沿って移動してから二つのエンドレスベルト７１、７１の間に供給されるように、ガイドロール１１９にガイドされる。このとき、保護シート１３は、エンドレスベルト７１と第二金属箔５２との間に供給されるように、ガイドロール１１９によってガイドされる。このため、第二金属箔５２も、積層物２が構成される前にエンドレスベルト７１によって予熱される。
【００３８】
巻取機１１８は、加熱装置７に対して、繰出機１１１〜１１７とは反対側の位置にある。巻取機１１８は、加熱装置７から送られてくる積層物２を、コイル状に巻き取る。加熱装置７と巻取機１１８との間には、積層物２の移動をガイドするガイドロール１１９がある。製造装置は、加熱装置７から送られてくる保護シート１２、１３をそれぞれ巻き取る巻取機１２０、１２１も備える。
【００３９】
繰出機１１１と加熱装置７との間のコア材３の径路に、張力調整機８がある。張力調整機８は、加熱装置７に供給される前のコア材３にかかる張力を調整する。すなわち、張力調整機８は、張力調整機８と加熱装置７との間におけるコア材３の張力を調整する。コア材３にかかる張力とは、コア材３の移動する向きに沿った方向の張力である。コア材３にかかる張力を調整するとは、コア材３にかかる張力の値を部分的に又は全体的に変化させることである。すなわち、張力調整機８によって調整される前のコア材３にかかる張力の値に対して、張力調整機８によって調整された後のコア材３にかかる張力の値は、部分的に又は全体的に変化している。張力調整機８は、張力によって生じるコア材３の変形の程度が小さくなるように張力を調整することが好ましい。コア材３にかかる、コア材３の移動する向きの張力とコア材３の移動する向きとは反対向きの張力とは、全体としてはほぼ釣り合っている。しかし、コア材３内には、部分的には、コア材３の移動する向きの張力（以下順向張力という）がより強い箇所と、反対向きの張力（以下、逆向張力という）がより強い箇所とが生じる。この張力の不均衡によって、コア材３が変形しうる。
【００４０】
図３は、張力の不均衡によりコア材３が変形する様子の一例を示す。図中の符号３５はコア材３に形成されたスルーホールであり、符号３６はコア材３が変形していない場合のスルーホール３５の位置である。符号３７はコア材３における導体配線の位置等を確認するための基準孔である。矢印は、製造装置におけるコア材３の移動する向きを示す。このコア材３においては、中央部が順向張力がより強い箇所であり、二つの外側部が中央部に比べて逆向張力がより強い箇所である。外側部とは、コア材３における、コア材３の移動する向きと、コア材３の厚み方向との両方と直交する方向の側部のことである。このコア材３は、張力の不均衡によって、中央部が二つの外側部に対して、コア材３の移動する向きにシフトするように、変形している。コア材３が変形したまま積層板１が製造されると、コア材３に重なる樹脂シート４が硬化するため、積層板１内でコア材３の変形が維持されてしまう。
【００４１】
張力調整機８は、このような張力の不均衡を低減するように張力を調整することが好ましい。具体的には、張力調整機８は、順向張力がより強い箇所における順向張力の値を小さくする動作と、逆向張力がより強い箇所における逆向張力の値を小さくする動作と、順向張力がより強い箇所における逆向張力の値を大きくする動作と、逆向張力がより強い箇所における順向張力の値を大きくする動作とのうち、少なくとも一つの動作を行うことが好ましい。
【００４２】
そのため、例えば張力調整機８は、コア材３にかかる張力の値が全体的に小さくなるように、張力を調整する。この場合、順向張力がより強い箇所における順向張力の値と、逆向張力がより強い箇所における逆向張力の値とが、両方とも小さくなる。
【００４３】
張力調整機８は、例えばコア材３に接触するロール６を備える。すなわち、張力調整機８は、例えばコア材３にロール６を接触させることで、コア材３にかかる張力を調整する。この場合、ロール６からコア材３へコア材３の移動を阻害する負荷をかけることでロール６からエンドレスベルト７１までを移動するコア材３にかかる張力を増大させることができ、またロール６でコア材３の移動を促進して、ロール６からエンドレスベルト７１までを移動するコア材３にかかる張力を低減することもできる。このため、ロール６でコア材３にかかる張力を調整できる。ロール６が回転駆動することも好ましい。ロール６が回転駆動すると、ロール６の回転によって、コア材３の移動を効果的に阻害し、又は促進することができる。
【００４４】
本実施形態では、張力調整機８は、図１及び図４Ａに示すように、ロール６である第一ロール６１と、第一ロール６１とは異なる第二ロール６２とを備える。張力調整機８は、コア材３を、第一ロール６１と第二ロール６２とで挟みながら、第一ロール６１と第二ロール６２との間を通過させることで、コア材３にかかる張力を調整する。この場合、コア材３を第一ロール６１と第二ロール６２とで挟むことで、張力調整機８に供給される前にコア材３にかけられていた張力をキャンセルできる。第一ロール６１は、第一ロール６１におけるコア材３と接する部位が、コア材３の移動する向きと同じ向きに移動するように、回転駆動する。第二ロール６２も回転駆動することが好ましい。第二ロール６２は、第二ロール６２におけるコア材３と接する部位が、コア材３の移動する向きと同じ向きに移動するように、回転駆動することが好ましい。第一ロール６１及び第二ロール６２の回転速度（周速度）は、ドラム７３の周速度と同じであることが好ましい。本実施形態においては、ドラム７３の周速度に対して、第一ロール６１及び第二ロール６２の周速度が±５％以下、好ましくは±３％以下、より好ましくは±１％以下、さらに好ましくは±０．５％以下である。このため、張力調整機８は、第一ロール６１及び第二ロール６２でコア材３の移動を促進してコア材３にかかる張力を低減できる。
【００４５】
ロール６は、コア材３に部分的に接してもよい。すなわち、本実施形態ではロール６はコア材３の全体に接するが、ロール６はコア材３に部分的に接してもよい。例えばロール６が、コア材３における逆向張力がより強い箇所に接してもよい。この場合、ロール６が回転駆動して逆向張力がより強い箇所の移動が促進されることで、この箇所の逆向張力を小さくでき、これにより張力を調整できる。また、ロール６が、コア材３における順向張力がより強い箇所に接して抵抗を与える等することで、コア材３の順向張力が強い箇所の移動が抑制されることで、この箇所の順向張力を小さくでき、これにより張力を調整することもできる。
【００４６】
図４Ｂは、張力調整機８の変形例を示す。この張力調整機８における第一ロール６１及び第二ロール６２は、コア材３における二つの外側部が逆向張力がより強い箇所である場合に使用できる。第一ロール６１及び第二ロール６２の各々は、二つの分体ロール６３、６３に分割されており、二つの分体ロール６３、６３の間には間隔があいている。この場合、第一ロール６１の二つの分体ロール６３、６３がそれぞれコア材３における二つの外側部に接し、かつ第二ロール６２の二つの分体ロール６３、６３もそれぞれコア材３における二つの外側部に接した状態で、第一ロール６１及び第二ロール６２が回転駆動する。そうすると、外側部の移動が促進されることで、外側部の逆向張力を小さくできる。
【００４７】
張力調整機８の構成は上記に限られない。例えばロール６がコア材３に部分的に接する場合、ロール６が、コア材３における順向張力がより強い箇所に接して、この箇所の逆向張力の値を大きくしてもよい。第一ロール６１及び第二ロール６２がコア材３に部分的に接する場合、第一ロール６１及び第二ロール６２が、コア材３における順向張力がより強い箇所に接し、この箇所の逆向張力の値を大きくしてもよい。そのためには、例えば第一ロール６１及び第二ロール６２は、コア材３と接する部位が、コア材３の移動する向きとは逆向きに移動するように、回転駆動することで、第一ロール６１及び第二ロール６２と接する箇所の移動を阻害してもよい。また、第一ロール６１及び第二ロール６２は、回転駆動することなく、抵抗トルクによって第一ロール６１及び第二ロール６２と接する箇所の移動を阻害してもよい。
【００４８】
本実施形態における製造装置を用いる積層板１の製造方法について説明する。まず、繰出機１１１〜１１７が、それぞれコア材３、第一樹脂シート４１、第二樹脂シート４２、第一金属箔５１、第二金属箔５２、及び保護シート１２、１３を繰り出す。
【００４９】
上記のとおり繰出機１１１及び巻取機１１８は搬送機構を構成し、コア材３が繰出機１１１から繰り出され、かつ積層板１が巻取機１１８によって巻き取られることで、コア材３は繰出機から加熱装置７へ移動する。移動中のコア材３には、繰出機１１１と巻取機１１８とによって張力がかけられている。これにより、コア材３には移動中に位置ズレが生じにくい。コア材３は、加熱装置７に到達する前に張力調整機８を通過する。これにより、上記で説明したように、コア材３の張力が調整される。
【００５０】
コア材３の張力が調整された後、コア材３は加熱装置７へ供給され、第一金属箔５１、第一樹脂シート４１、第二樹脂シート４２、及び第二金属箔５２も加熱装置７へ供給される。第一金属箔５１、第一樹脂シート４１、コア材３、第二樹脂シート４２、及び第二金属箔５２は、この順に重なって積層物２を構成した状態で加熱装置７へ供給される。これにより、コア材３にかかる張力を調整してから、積層物２を作製し、この積層物２を加熱装置７で加熱できる。なお、上記で説明したとおり、第一金属箔５１は、積層物２が構成される前にエンドレスベルト７１によって予熱され、第二金属箔５２も、積層物２が構成される前にエンドレスベルト７１によって予熱される。すなわち、本実施形態では、金属箔５を予熱してから、コア材３に樹脂シート４及び金属箔５をこの順に重ねて積層物２を作製する。そのため、金属箔５を予熱することによって、コア材３及び樹脂シート４に比べて線膨張係数の大きい金属箔５を予め膨張させることができ、積層物２として加熱装置７に送り込まれた後の、各材料間の膨張の差を小さくすることができるため、当該加熱装置７による加熱によって生じる各材料間のズレを低減できる。なお、金属箔５を予熱する方法は、エンドレスベルト７１を利用する方法には限らず、加熱装置７における加熱方式などに応じ、適宜の方法で予熱すればよい。
【００５１】
積層物２の第一金属箔５１及び第二金属箔５２には、それぞれ保護シート１２、１３が重ねられる。このため、積層物２は保護シート１２、１３で保護された状態で加熱装置７へ供給される。
【００５２】
加熱装置７は、積層物２を移動させながら加熱する。この場合の加熱温度及び加熱時間は、樹脂シート４中の組成などの条件に応じて適宜設定される。積層物２が加熱されると、第一樹脂シート４１から第一絶縁層９１が作製され、第二樹脂シート４２から第二絶縁層９２が作製される。すなわち、第一樹脂シート４１及び第二樹脂シート４２が熱硬化性樹脂を含む場合、例えば第一樹脂シート４１及び第二樹脂シート４２がプリプレグである場合は、第一樹脂シート４１の硬化物である第一絶縁層９１と、第二樹脂シート４２の硬化物である第二絶縁層９２が作製される。第一樹脂シート４１及び第二樹脂シート４２が熱可塑性樹脂を含む場合、例えば第一樹脂シート４１及び第二樹脂シート４２がポリイミドフィルムである場合は、第一樹脂シート４１及び第二樹脂シート４２が軟化してから硬化（固化）することで、第一絶縁層９１及び第二絶縁層９２が作製される。これにより、第一金属箔５１、第一絶縁層９１、コア材３、第二絶縁層９２、及び第二金属箔５２を備え、これらがこの順番に積層している積層板１が、製造される。コア材３が絶縁層３１と導体配線３２、３３を備える場合、積層板１はコア材３の導体配線３２、３３からなる内層の導体配線（以下、内層配線３２１、３３１という）を備えることができる。
【００５３】
このように製造された長尺な積層板１は、巻取機１１８によってコイル状に巻き取られる。二つの保護シート１２、１３は、それぞれ積層板１から引き剥がされて、巻取機１２０、１２１で巻き取られる。
【００５４】
積層板１からプリント配線板１０を製造する方法について説明する。
【００５５】
プリント配線板１０は、例えばコア材３と、コア材３に重なる絶縁層９と、絶縁層９に重なる導体配線である外層配線５１１とを備える。図２Ｃに示すプリント配線板１０は、外層配線５１１、絶縁層９である第一絶縁層９１、コア材３、第二絶縁層９２及び外層配線５２１を備え、これらがこの順番に積層している。
【００５６】
上記の製造方法で作製した積層板１の最外層に導体配線である外層配線５１１を設けることで、プリント配線板１０を製造することができる。
【００５７】
より詳しくは、例えばまず上記の製造方法で作製した長尺な積層板１を切断することで、より小さい積層板１（以下、個片板という）を作製する。この個片板の最外層に、アディティブ法、サブトラクティブ法などの方法で外層配線５１１、５２１を設けることで、プリント配線板１０を製造できる。また、上記の製造方法で作製した長尺な積層板１を切断せずに、長尺な積層板１の最外層に、アディティブ法、サブトラクティブ法などの方法で外層配線５１１、５２１を設けてから、積層板１を切断することで、プリント配線板１０を製造してもよい。
【００５８】
プリント配線板１０に更に絶縁層及び導体配線を追加して、更に多層のプリント配線板１０を製造してもよい。
【００５９】
本実施形態では、上記のとおり積層物２を作製する前にコア材３にかかる張力を調整しているため、積層物２中においてはコア材３に変形が生じにくい。このため、積層物２を加熱することで得られる積層板１中においてもコア材３に変形が生じにくい。また、積層板１がコア材３に由来する内層配線３２１、３３１を備える場合には、内層配線３２１、３３１に歪みが生じにくい。そのため、例えば積層板１からプリント配線板１０を製造する場合、プリント配線板１０において、外層配線５１１、５２１とコア材３との間の位置ずれが生じにくく、内層配線３２１、３３１が存在する場合には外層配線５１１、５２１と内層配線３２１、３３１との間の位置ずれが生じにくい。また、そのため、例えばビアなどで内層配線３２１、３３１と外層配線５１１、５２１とを電気的に接続する場合に接続不良が生じにくい。
【符号の説明】
【００６０】
１    積層板
２    積層物
３    コア材
４    樹脂シート
５    金属箔
６    ロール
６１  第一ロール
６２  第二ロール
７    加熱装置
８    張力調整機
１０  プリント配線板
３１  絶縁層
３２  導体配線
３３  導体配線
９１  第一絶縁層
９２  第二絶縁層
５１１  導体配線（外層配線）
【図１】
2020053534.tif 000003
【図２】
2020053534.tif 000004
【図３】
2020053534.tif 000005
【図４】
2020053534.tif 000006