(57)【要約】【課題】容器の搬送時の、容器内での異物の発生による清浄度の低下を防止する。【解決手段】基板搬送方法が、基板を収納する容器を吊り下げて揺動可能かつ上下動緩衝可能に支持することを含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板搬送方法が、
基板を収納する容器を吊り下げて揺動可能かつ上下動緩衝可能に支持することを含む。
【請求項２】
基板搬送装置が、
基板を収納する容器を吊り下げて揺動可能に支持する揺動支持部と、
前記基板を収納する容器を上下動緩衝可能に支持する上下動緩衝支持部と、
を具える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線板の製造等の際の使用に適した基板の搬送方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のプリント配線板は、電子機器の小型化および部品の高密度実装化に伴って回路パターンのファインピッチ化が進んでおり、このようなファインピッチパターンの回路層を持つプリント配線板を製造する際には、異物の混入を防止して良品の歩留まりを高めるために製造装置の周囲の環境の清浄化が重要となる。
【０００３】
特許文献１は、半導体製造工場で用いられるクリーンルーム装置を開示しており、このクリーンルーム装置は半導体製造工場を、主製造エリアと、その主製造エリアの上方のプレナムチャンバと、その主製造エリアの下方の床下空間とに区画して、プレナムチャンバのフィルタ付きファンユニットで清浄化された空気をそれらの区画の間で循環させるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２２７７８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、このようなクリーンルーム装置に対するプリント配線板やその材料となるガラス板等の基板の供給および排出のために基板を搬送する際には通常、ＦＯＵＰ（前面開放型高清浄度密閉ポッド）等の容器を用い、基板をその容器の複数段の棚受け上に載置して容器内に収納し、その容器をＡＧＶ（自動案内台車）等の台車の緩衝装置上に搭載して移動させる。
【０００６】
しかしながらこの方法では、緩衝装置が容器を倒立振り子として下から支持することから、容器の安定性確保上、緩衝装置での容器の可動距離が短くなるので、台車の移動の際の容器の水平方向加速度を充分に緩めることができず、その水平方向加速度に対する基板の慣性力によって基板が容器内で移動し、容器の棚受けに対する基板の摺動や容器の壁面への基板の端面の衝突で異物が発生して清浄度が低下する可能性があるという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の基板搬送方法は、
基板を収納する容器を吊り下げて揺動可能かつ上下動緩衝可能に支持することを含む。
【０００８】
また、本発明の基板搬送装置は、基板を収納する容器を吊り下げて揺動可能に支持する揺動支持部と、
前記基板を収納する容器を上下動緩衝可能に支持する上下動緩衝支持部と、
を具える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の実施形態の基板搬送方法によれば、基板を収納する容器を吊り下げて揺動可能かつ上下動緩衝可能に支持することから、容器の移動の際に容器に水平方向加速度が加わってもその加速度で容器が反対方向に比較的長い距離に亘り振り子のように揺動してその加速度を重力により緩めるので、容器内で基板が殆どもしくは全く移動せず、その後の容器の往復揺動に伴う上下動も容器の上下動緩衝により減衰するので、容器の棚受けに対する基板の摺動や容器の壁面への基板の端面の衝突に起因する容器内での異物の発生による清浄度の低下を防止できる。
【００１０】
また、本発明の実施形態の基板搬送装置によれば、基板を収納する容器を、揺動支持部が吊り下げて揺動可能に支持するとともに上下動緩衝支持部が上下動緩衝可能に支持することから、容器の移動の際に容器に水平方向加速度が加わっても揺動支持部が吊り下げ支持する容器がその加速度で反対方向に比較的長い距離に亘り振り子のように揺動してその加速度を重力により緩めるので、容器内で基板が殆どもしくは全く移動せず、その後の容器の往復揺動に伴う上下動も上下動緩衝支持部の緩衝により減衰するので、容器の棚受けに対する基板の摺動や容器の壁面への基板の端面の衝突に起因する容器内での異物の発生による清浄度の低下を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態の基板搬送方法に用いられる、本発明の一実施形態の基板搬送装置を、基板を収納する容器とともに模式的に示す側面図である。
【図２】上記実施形態の基板搬送装置の、基板を収納する容器を搬送する際の作動状態を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態の基板搬送方法および本発明の一実施形態の基板搬送装置について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１３】
図１は、本発明の一実施形態の基板搬送方法に用いられる、本発明の一実施形態の基板搬送装置を、基板を収納する容器とともに模式的に示す側面図である。図１に示すようにこの実施形態の基板搬送装置１は、例えばＡＧＶ（自動案内台車）等で構成される台車２上に搭載されており、その台車２は、あらかじめ与えられた経路に沿った自動走行により、例えばＦＯＵＰ（前面開放型高清浄度密閉ポッド）で構成される容器３を、例えば半導体製造工程を具えるクリーンルームのロードポートと容器収納棚あるいは他の処理装置との間等で搬送することができる。
【００１４】
容器３の左右内壁および正面内壁には複数段の棚受け３ａが高さを揃えて設けられており、プリント配線板やその材料となるガラス板、樹脂板等の基板４をそれらの棚受け３ａ上に載置することで、容器３は複数枚の基板４を収納して搬送することができる。そして容器３の前面の開口部には図示されない気密式のドアが開閉可能に設けられていて、容器３内に対する基板４の出し入れの際以外、容器３内は高清浄度で密閉される。
【００１５】
本発明の一実施形態の基板搬送装置１は、容器３を側方から出し入れ可能に搭載する筐体５と、その筐体５を吊り下げ支持する支持ロッド６と、その支持ロッド６が昇降可能に貫通する溝底部７ａを有する例えばハット形断面形状の揺動支持部材７と、その揺動支持部材７の溝底部７ａを囲む溝壁部７ｂの内側に側面で摺接して上下動緩衝作用を生じさせるとともに中央部で支持ロッド６の上端部を支持する昇降部材８と、その昇降部材８と揺動支持部材７の溝底部７ａとの間に配置されて昇降部材８を弾性的に支持する、例えば弾性体あるいはバネからなる第１の弾性部材９と、を具えている。揺動支持部材７と昇降部材８と第１の弾性部材９とは、容器３を上下動緩衝可能に支持する上下動緩衝支持部を構成する。
【００１６】
第１の弾性部材９は、例えば支持ロッド６の上部を囲む筒状をなしていても良い。第１の弾性部材９は、昇降部材８に代わってあるいは加えてそれ自身が上下動緩衝作用を生じさせる、例えば衝撃吸収ゲルや合成ゴム等の弾性材料あるいはオリフィスを内蔵する空気バネ等からなるものでも良い。
【００１７】
基板搬送装置１はまた、台車２上に立設されるとともに上端面１０ａの中央部に開口１０ｂが設けられた例えば門形のフレーム１０と、そのフレーム１０の上端面１０ａとその上端面１０ａの上方に配置された揺動支持部材７の、フレーム１０の開口１０ｂ内に遊貫されている溝壁部７ｂの上端から両外方に延びる２箇所のフランジ部７ｃとの間にそれぞれ配置されて揺動支持部材７を弾性的に支持する、例えば弾性体あるいはバネからなる第２の弾性部材１１と、を具えている。揺動支持部材７と第２の弾性部材１１とは、容器３を吊り下げて揺動可能に支持する揺動支持部を構成する。
【００１８】
第２の弾性部材１１は、例えば揺動支持部材７の溝壁部７ｂを囲む筒状をなしていても良い。第２の弾性部材１１は、それ自身が上下動緩衝作用を生じさせる、例えば衝撃吸収ゲルや合成ゴム等の弾性材料あるいはオリフィスを内蔵する空気バネ等からなるものでも良い。
【００１９】
図２は、上記実施形態の基板搬送装置１の、基板を収納する容器３を搬送する際の作動状態を示す説明図である。この実施形態の基板搬送装置１を用いた、本発明の実施形態の基板搬送方法では、図１に示すように、基板４を例えば複数枚収納する容器３を、揺動支持部材７と第２の弾性部材１１とが吊り下げて揺動可能に支持するとともに、揺動支持部材７と昇降部材８と第１の弾性部材９とが上下動緩衝可能に支持する。
【００２０】
これにより、例えば図２中に右矢印で示すような台車２の走行による容器３の移動の際に、容器３に慣性力による水平方向加速度が矢印と逆方向に加わっても、揺動支持部材７が吊り下げ支持する容器３がその加速度で、矢印方向側の第２の弾性部材１１の圧縮弾性変形および矢印と反対の方向側の第２の弾性部材１１の伸長弾性変形を伴って図示の如く矢印方向と反対の方向に振り子のように揺動して、その加速度の上向き成分を重力により減少させるので、容器３内で基板４が殆どもしくは全く移動せず、その後の容器３の往復揺動に伴う上下動も、第１の弾性部材９の伸長および圧縮弾性変形による緩衝を伴う、揺動支持部材７と昇降部材８との摺動での緩衝により減衰するので、容器３の棚受け３ａに対する基板４の摺動や容器３の壁面への基板４の端面の衝突に起因する容器３内での異物の発生による清浄度の低下を有効に防止することができる。
【００２１】
なお、本発明は上述の実施形態に限られるものでなく、特許請求の範囲の記載範囲内で適宜変更することができ、例えば、上記実施形態の基板搬送装置１では第２の弾性部材１１が揺動支持部材７を揺動可能に支持しているが、これに代えて、フレーム１０の上端面１０ａに当接させたピボット状の支持部で揺動支持部材７を揺動可能に支持し、第２の弾性部材１１でその揺動を減衰させるようにしても良い。また、上記実施形態の基板搬送装置１では揺動支持部材７がハット形断面形状を有しているが、これに代えて揺動支持部材７がフランジ部付きカップ形断面形状を有していても良い。
【符号の説明】
【００２２】
１  基板搬送装置
２  台車
３  容器
３ａ  棚受け
４  基板
５  筐体
６  支持ロッド
７  揺動支持部材
７ａ  溝底部
７ｂ  溝壁部
７ｃ  フランジ部
８  昇降部材
９  第１の弾性部材
１０  フレーム
１０ａ  上端面
１０ｂ  開口
１１  第２の弾性部材
【図１】
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【図２】
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