(57)【要約】【課題】圧力センサを用いて流体の通過状態を検知する検知システム及びこの検知システムに用いられる圧力センサを提供する。【解決手段】検知システムは、圧力センサ１と、検知部２と、を備える。圧力センサ１は、流量制限部５が配置された流路４を流れる流体６の流量制限部５の上流側における圧力及び下流側における圧力を検知する。検知部２は、圧力センサ１により検知された流量制限部５の上流側における圧力及び下流側における圧力を基に、流体６の流量制限部５における通過状態を検知する。【選択図】図１
2020139884.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力センサと、
検知部と、を備え、
前記圧力センサは、流量制限部が配置された流路を流れる流体の前記流量制限部の上流側における圧力及び下流側における圧力を検知し、
前記検知部は、前記圧力センサにより検知された前記流量制限部の上流側における圧力及び下流側における圧力を基に、前記流体の前記流量制限部における通過状態を検知する
検知システム。
【請求項２】
前記通過状態は、前記流量制限部の異常を含む
請求項１記載の検知システム。
【請求項３】
前記流量制限部は、メッシュ部を有する
請求項１又は２記載の検知システム。
【請求項４】
前記圧力センサは、一つである
請求項１〜３のいずれか一項に記載の検知システム。
【請求項５】
前記圧力センサは、差動式である
請求項４記載の検知システム。
【請求項６】
前記圧力センサは、ダイヤフラムを有する
請求項１〜５のいずれか一項に記載の検知システム。
【請求項７】
前記圧力センサと前記流路との間に、圧力伝達部が位置している
請求項１〜６のいずれか一項に記載の検知システム。
【請求項８】
前記圧力伝達部は、オイル又はゲル状物質を含む
請求項７に記載の検知システム。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の検知システムに用いられる
圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、検知システム及び圧力センサに関し、更に詳しくは、流体の流量制限部における通過状態を検知する検知システム及び圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フローセンサが知られている（例えば特許文献１参照）。特許文献１に開示されているフローセンサは、発熱体と、発熱体の両側にそれぞれ配置された測温体としての第１測温体及び第２測温体とが表面に形成された基板を備えている。フローセンサは、流体である気体が流れる流路において、下流側に第１測温体、上流側に第２測温体を配置するように設けられる。
【０００３】
フローセンサの発熱体の電極間に電力が供給されると、発熱体の抵抗体が電気抵抗によって加熱され、発熱体の周囲の気体の温度が高くなる。周囲の気体に流れがない場合、発熱体の周囲の温度分布は対称となるので、第１測温体及び第２測温体の温度は等しくなる。
【０００４】
一方、周囲の気体に流れが生じた場合、発熱体の周囲の温度分布は対称とならず、一方が高くなる。上流側から下流側へ気体が流れている場合、第２測温体の温度が低下すると共に、第１測温体の温度が上昇する。フローセンサは、第１測温体と第２測温体の抵抗値の差をブリッジ回路で検出することにより、流量に応じた電気出力を得ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１７−９６９１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に開示されるフローセンサは、発熱体を有するため、例えばエアコンのような温度を調節する機器に用いられるのは好ましくない。このため、流体の通過状態を検知するにあたり、発熱体を要さず、圧力センサを用いる検知システムが望まれていた。
【０００７】
本開示は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、圧力センサを用いて流体の通過状態を検知する検知システム及びこの検知システムに用いられる圧力センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本開示の一形態に係る検知システムは、圧力センサと、検知部と、を備える。前記圧力センサは、流量制限部が配置された流路を流れる流体の前記流量制限部の上流側における圧力及び下流側における圧力を検知する。前記検知部は、前記圧力センサにより検知された前記流量制限部の上流側における圧力及び下流側における圧力を基に、前記流体の前記流量制限部における通過状態を検知する。
【０００９】
本開示の一形態に係る圧力センサは、前記検知システムに用いられる圧力センサである。
【発明の効果】
【００１０】
本開示に係る検知システムにあっては、発熱体を要することなく、圧力センサを用いて流体の通過状態を検知することができる。
【００１１】
本開示に係る圧力センサにあっては、発熱体を要することなく流体の通過状態を検知する検知システムに用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１Ａは、本開示の一実施形態に係る検知システムを備えた流路の要部の流れ方向に沿った断面における断面図である。図１Ｂは、同上の検知システムを備えた流路の要部の流れ方向に直交する断面における断面図である。
【図２】図２Ａは、同上の検知システムに用いられる圧力センサの上面（流体導入口側の面）図である。図２Ｂは、同上の圧力センサの一側面図である。図２Ｃは、同上の圧力センサの他の側面図である。図２Ｄは、同上の圧力センサの下面図（大気導入口側の面）である。図２Ｅは、同上の圧力センサのダイヤフラム及びピエゾ抵抗の部分を示す一部拡大断面図である。
【図３】図３Ａは、変形例１の検知システムを備えた流路の要部の流れ方向に沿った断面における断面図である。図３Ｂは、同上の検知システムを備えた流路の要部の流れ方向に直交する断面における断面図である。
【図４】図４Ａは、同上の検知システムに用いられる圧力センサの上面（流体導入口側の面）図である。図４Ｂは、同上の圧力センサの断面図である。
【図５】図５Ａは、変形例３の検知システムを備えた流路の要部の流れ方向に沿った断面における断面図である。図５Ｂは、同上の検知システムを備えた流路の要部の流れ方向に直交する断面における断面図である。
【図６】図６は、変形例４の検知システムに用いられる圧力センサの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本開示に係る検知システム及び圧力センサについて、実施形態に基づいて説明する。なお、本開示に係る検知システム及び圧力センサの実施形態は、下記実施形態に限定されるものではなく、本開示に係る技術的思想を逸脱しない範囲において、種々の変更が可能である。
【００１４】
（実施形態）
（１）概要
本実施形態に係る検知システム及び圧力センサについて、図１Ａ〜図２Ｄに基づいて説明する。
【００１５】
検知システムは、圧力センサ１と、検知部２と、を備える。
【００１６】
圧力センサ１は、流量制限部５が配置された流路４を流れる流体６の流量制限部５の上流側における圧力及び下流側における圧力を検知する。
【００１７】
検知部２は、圧力センサ１により検知された流量制限部５の上流側における圧力及び下流側における圧力を基に、流体６の流量制限部５における通過状態を検知する。
【００１８】
本実施形態に係る検知システムにあっては、発熱体を要することなく、圧力センサ１を用いて流体６の通過状態を検知することができる。また、本実施形態に係る圧力センサ１にあっては、発熱体を要することなく流体６の通過状態を検知する検知システムに用いることができる。
【００１９】
（２）詳細
図１Ａに示すように、検知システムは、空気調和機に配置されて、空気調和機の流路を流れる空気の通過状態を検知する。
【００２０】
（２．１）構成
（２．１．１）流路
空気調和機は、少なくとも、室外の空気を吸入するための流路、室内の空気を吸入するための流路、室外に空気を吐出するための流路及び室内に空気を吐出するための流路を有する。空気調和機は、これら以外の流路を有してもよい。検知システムが配置される流路４は、空気調和機が有する流路のうちの一つ又は複数の流路である。
【００２１】
検知システムが配置される流路４には、流量制限部５が配置される。流路４の流量制限部５における断面積（流体６の流れに直交する断面における面積）は、流路４の流量制限部５のすぐ上流側の部分における断面積よりも小さい。更に、流路４の流量制限部５における断面積は、流路４の流量制限部５のすぐ下流側の部分における断面積よりも小さい。
【００２２】
具体的には、流量制限部５は、オリフィスにより構成される。本実施形態では、流路４は、流量制限部５以外の部分において、断面（流体６の流れに直交する断面）が直径Ｄの円形状をしている。また、図１Ｂに示すように、流路４に、直径ｄの円形状の孔５０を有するオリフィス板５１が配置されて、流量制限部５が構成されている。オリフィス板５１の孔５０の直径ｄは、流路４の流量制限部５以外の部分における直径Ｄよりも小さい。
【００２３】
図１Ａに示すように、流路４には、圧力導入部３が接続される。圧力導入部３は、流路４に通じる内部空間を有する。圧力導入部３が有する内部空間は、流路４に通じる流路側開口３０１および圧力センサ１の受圧部に通じる圧力センサ側開口３０２を除き、密閉される。流路側開口３０１の向きは、流路４を流れる空気の流れの向きに直交する。
【００２４】
圧力導入部３として、上流側の圧力導入部３１と下流側の圧力導入部３２の計二つの圧力導入部３が設けられる。上流側の圧力導入部３１の流路側開口３０１は、流路４の流量制限部５の上流側に通じ、下流側の圧力導入部３２の流路側開口３０１は、流路４の流量制限部５の下流側に通じる。本実施形態では、圧力導入部３には、空気以外の流体６は充填されず、固体も挿入されていない。圧力導入部３には、空気が充満している。
【００２５】
（２．１．２）圧力センサ
圧力センサ１は、流量制限部５が配置された流路４を流れる流体６の流量制限部５の上流側における圧力及び下流側における圧力を検知する。
【００２６】
本実施形態では、圧力センサ１として、流体６の流量制限部５の上流側の位置における圧力を検知する上流側の圧力センサ１１と、流体６の流量制限部５の下流側の位置における圧力を検知する下流側の圧力センサ１２の計二つの圧力センサ１が設けられる。
【００２７】
圧力センサ１としては、既存の様々な圧力センサが適宜利用可能であるが、本実施形態では、ゲージ圧（大気圧を基準とした圧力）を検知するゲージ圧用圧力センサが用いられる。ゲージ圧用圧力センサは、図２Ａ〜図２Ｄに示すように、圧力検知対象となる流体６を導入する流体導入口１３（図２Ａ参照）と、大気を導入する大気導入口１４（図２Ｄ参照）と、を有する。流体導入口１３は、流体導入管１３０の先端部に形成されている。
【００２８】
ゲージ圧用圧力センサは、流体導入口１３から導入された流体６の圧力（絶対圧で、これを流体圧という）と大気導入口１４から導入された大気圧（絶対圧）との差圧より、流体６のゲージ圧を検知する。ゲージ圧用圧力センサは、半導体式圧力センサである。半導体式圧力センサは、図２Ｅに示すように、ダイヤフラム１５と、ダイヤフラム１５に設けられるピエゾ抵抗１６と、を有する。ゲージ圧用圧力センサ内のダイヤフラム１５の一方側の空間１５１に流体導入口１３からの流体６を導入し、ダイヤフラム１５の他方側の空間１５２に大気導入口１４からの大気を導入する。ダイヤフラム１５は、圧力センサ１内の空間を、流体導入口１３から流体６が導入される一方側の空間１５１と、大気導入口１４から大気が導入される他方側の空間１５２と、に仕切っている。この時のダイヤフラム１５のたわみに応じて、ピエゾ抵抗１６から出力信号が出力される。
【００２９】
このようなゲージ圧用圧力センサの受圧部は、流体導入口１３から導入された流体６に押されるダイヤフラム１５の一方側の空間１５１の面であるといえるが、ゲージ圧用圧力センサの外郭における受圧部を考える場合、流体導入口１３であるともいえる。本実施形態では、圧力センサ１の受圧部は、流体導入口１３であるとする。
【００３０】
図１Ａに示すように、上流側の圧力センサ１１の流体導入口１３が、上流側の圧力導入部３１の圧力センサ側開口３０２に通じるように、上流側の圧力センサ１１が配置される。下流側の圧力センサ１２の流体導入口１３が、下流側の圧力導入部３２の圧力センサ側開口３０２に通じるように、下流側の圧力センサ１２が配置される。
【００３１】
（２．１．３）検知部
検知部２は、流体６（空気）の流量制限部５における通過状態を検知する。通過状態は、圧力センサ１により検知された流量制限部５の上流側における圧力及び下流側における圧力を基にして、検知部２により検知される。
【００３２】
検知部２は、圧力センサ１の出力信号を増幅して調整する信号処理部（信号処理回路）を有する。検知部２は、例えばＩＣ（Integrated Circuit）チップからなるが、特にＩＣチップに限定されない。検知部２は、ボンディングワイヤ２０を介して圧力センサ１と電気的に接続される。
【００３３】
具体的には、圧力センサ１の出力信号（圧力センサ１のダイヤフラム１５に設けられたピエゾ抵抗１６等の出力信号）から、ダイヤフラム１５のたわみが分かる。また、ダイヤフラム１５のたわみから、流体圧と大気圧との差圧（ゲージ圧）が分かる。検知部２では、上流側の圧力センサ１１の出力信号から、流体６の流量制限部５の上流側における圧力Ｐ１（ゲージ圧）が求められ、下流側の圧力センサ１２の出力信号から、流体６の流量制限部５の下流側における圧力Ｐ２（ゲージ圧）が求められる。
【００３４】
検知部２では、流量制限部５の上流側における圧力Ｐ１及び下流側における圧力Ｐ２を基にして、流体６の流量制限部５における通過状態が検知される。本実施形態では、流体６の流量制限部５における通過状態とは、流体６の流量制限部５における流量Ｑである。検知部２は、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２を基に流量Ｑ（通過状態）を検知する通過状態検知部を有する。流量Ｑは、流量制限部５の流量係数をα、流体６の膨張係数をε、絞り直径比（ｄ／Ｄ）をβ、圧力差（Ｐ１−Ｐ２）をΔｐ、流体６の密度をρとすると、数１で表される。
【００３５】
【数１】
2020139884.tif 000003
（２．２）動作
流体６としての空気が流路４を流れる。空気が流量制限部５を通過すると、流量制限部５の上流側において圧力Ｐ１、下流側において圧力Ｐ２となる空気の圧力が発生する。上流側の圧力センサ１１においては圧力Ｐ１に応じた出力信号が出力され、下流側の圧力センサ１２においては圧力Ｐ２に応じた出力信号が出力され、これらの出力信号は検知部２に入力される。
【００３６】
検知部２の信号処理部により、上流側の圧力センサ１１及び下流側の圧力センサ１２からの出力信号から、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２のデータが生成される。検知部２の通過状態検知部により、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２のデータから、流量Ｑのデータが生成される。
【００３７】
検知部２で生成された流量Ｑのデータは、検知部２で検知された通過状態のデータとして、ワイヤ等の適宜の手段を介して外部に出力される。
【００３８】
本実施形態の検知システムにあっては、従来例のように発熱体を要することなく、圧力センサ１を用いて流体の通過状態を検知することができる。
【００３９】
（３）変形例
上記実施形態は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。上記実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。
【００４０】
以下、上記の実施形態の変形例を列挙する。以下に説明する変形例は、適宜組み合わせて適用可能である。なお、以下の説明では、上記実施形態を「基本例」と称する。
【００４１】
（３．１）変形例１
変形例１について、図３Ａ〜図４Ｂに基いて説明する。基本例では、圧力センサ１として、流体６の流量制限部５の上流側の位置における圧力を検知する上流側の圧力センサ１１と、流体６の流量制限部５の下流側の位置における圧力を検知する下流側の圧力センサ１２の計二つの圧力センサ１が設けられていた。これに対し、変形例１では、設けられる圧力センサ１は一つである点で、基本例と異なる。なお、その他の部分については基本例と同様であるので、基本例と同様である部分については説明を省略し、基本例と異なる部分について説明する。
【００４２】
圧力センサ１は、差動式である。図４Ａ及び図４Ｂに示すように、圧力センサ１は、筐体１７と、筐体１７内に設けられるダイヤフラム１７１と、ダイヤフラム１７１に設けられるピエゾ抵抗１７２と、を有する。筐体１７の内面に、ＩＣチップからなる検知部２が設けられ、圧力センサ１と検知部２とはボンディングワイヤ２０を介して電気的に接続されている。
【００４３】
圧力センサ１内のダイヤフラム１７１の一方側の空間１７３に、上流側の圧力導入部３１を介して流量制限部５の上流側の位置の流体６を導入する。また、ダイヤフラム１７１の他方側の空間１７４に、下流側の圧力導入部３２を介して流量制限部５の下流側の位置の流体６を導入する。ダイヤフラム１７１は、圧力センサ１内の空間を、一方側の空間１７３と他方側の空間１７４とに仕切っている。筐体１７は、上流側の圧力導入部３１及び下流側の圧力導入部３２を有している。
【００４４】
この圧力センサ１では、流体６の流量制限部５の上流側における圧力Ｐ１と流量制限部５の下流側における圧力Ｐ２の差圧に応じて、ダイヤフラム１７１がたわみ、たわみに応じた出力信号がピエゾ抵抗１７２から出力される。検知部２では、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２とが別個に分からなくても、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２の差圧が分かれば、数１より流量Ｑ（通過状態）を検知することができる。
【００４５】
変形例１では、検知システムが有する圧力センサ１が一つですむため、検知システムのコスト削減及び小型化が図りやすい。
【００４６】
（３．２）変形例２
変形例２について説明する。変形例２では、圧力センサ１と流路４との間に、圧力伝達部が位置している点で、変形例１と異なる。なお、その他の部分については変形例１と同様であるので、変形例１と同様である部分については説明を省略し、変形例１と異なる部分について説明する。
【００４７】
圧力伝達部は、圧力導入部３（図３Ａ参照）を構成する空間内に配置される。圧力伝達部は、オイル又はゲル状物質を含む。圧力伝達部は、オイルのみにより構成されてもよいし、ゲル状物質のみに構成されてもよい。更に説明すると、圧力伝達部は、上流側の圧力導入部３１と下流側の圧力導入部３２とにそれぞれ充填される。
【００４８】
上流側の圧力伝達部は、流体６より受けた圧力を、圧力センサ１のダイヤフラム１７１の一方側の面に伝達する。下流側の圧力伝達部は、流体６より受けた圧力を、圧力センサ１のダイヤフラム１７１の他方側の面に伝達する。
【００４９】
変形例２では、圧力センサ１と流路４との間に圧力伝達部が位置しているため、流路４を流れる流体６が圧力センサ１と流路４との間に位置せずにすみ、流れを構成する流体６の量が実質的に減少してしまうのを抑制する。
【００５０】
また、圧力伝達部がオイル又はゲル状物質であれば、流体６が特に気体の場合に、圧力伝達部を構成する物質と流体６とが混合されにくい。
【００５１】
（３．３）変形例３
変形例３について、図５Ａ及び図５Ｂに基いて説明する。変形例３では、流量制限部５がメッシュ部５２を有する点と、通過状態が流量制限部５の異常を含む点とで、変形例１と異なる。なお、その他の部分については変形例１と同様であるので、変形例１と同様である部分については説明を省略し、変形例１と異なる部分について説明する。
【００５２】
メッシュ部５２は、オリフィス板５１が有する孔５０に配置される。例えば、流路４が空気調和機の流路である場合、メッシュ部５２は流路に設けられるフィルターである。検知部２が検知する通過状態とは、メッシュ部５２における目詰まりである。目詰まりが発生すると、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２の差圧は、目詰まりが発生していない場合の圧力Ｐ１と圧力Ｐ２の差圧よりも大きくなる。検知部２は、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２の差圧が所定の閾値よりも大きいことを検知すると、目詰まりが発生していると判定し、流量制限部５において目詰まりが発生し、通過状態が異常である旨のデータを出力する。
【００５３】
変形例１では、流量制限部５が例えばフィルター等のメッシュ部５２を有する場合でも、検知システムは通過状態を検知することができる。また、検知システムは、通過状態として目詰まり等の異常を検知することができる。
【００５４】
（３．４）変形例４
変形例４について、図６に基いて説明する。変形例４では、変形例１において、圧力センサ１を基本例の圧力センサ１（図２参照）に置き換えた点で変形例１と異なる。なお、その他の部分については変形例１と同様であるので、変形例１と同様である部分については説明を省略し、変形例１と異なる部分について説明する。
【００５５】
変形例４では、検知システムは、筐体１８と、圧力センサ１が実装される基板１８０と、基板１８０に実装されるコネクタ１８１と、を有する。基板１８０は、プリント配線基板であり、圧力センサ１及びコネクタ１８１が実装される。基板１８０は、筐体１８の開口を閉塞するように、基板１８０に取り付けられる。筐体１８と基板１８０とにより、内部に圧力センサ１が配置される空間が形成される。コネクタ１８１は、基板１８０における圧力センサ１が実装される面と反対側の面に実装されており、筐体１８外に露出している。
【００５６】
圧力センサ１の流体導入口１３は、下流側の圧力導入部３２に通じている。圧力センサ１の大気導入口１４は、筐体１８内の空間を介して上流側の圧力導入部３１に通じている。基本例では、流体導入口１３から導入された流体６の圧力と大気導入口１４から導入された大気圧との差圧（流体６のゲージ圧）を検知していたが、変形例４では、検知部２は、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２との差圧を検知することにより、通過状態を検知する。検知部２は、検知した通過状態のデータを、コネクタ１８１に電気的に接続された配線等を介して出力する。
【００５７】
（３．５）その他の変形例  
検知システムが配置される機器（流路４を有する機器）は、空気調和機に限定されない。また、検知システムは、流路４単体に配置されてもよい。また、検知システムが通過状態を検知する流体６は、空気に限定されず、空気以外の気体であってもよいし、液体であってもよい。
【００５８】
流路４の流量制限部５のすぐ上流側の部分における断面積と、流路４の流量制限部５のすぐ下流側の部分における断面積とは、同じでなくてもよい。流量制限部５は、オリフィスにより構成されなくてもよく、例えばベンチュリにより構成されてもよく、限定されない。
【００５９】
ゲージ圧用圧力センサは半導体式圧力センサに限定されない。検知部２と圧力センサ１とは、ボンディングワイヤ２０により接続されなくてもよく、適宜の手段により電気的に接続されればよい。検知部２は、信号処理部を有しなくてもよい。すなわち、検知部２の信号処理部が有する機能は、圧力センサ１が有してもよいし、圧力センサ１及び検知部２とは別の部材が有してもよい。
【００６０】
流体６の流量制限部５における通過状態は、流量と目詰まりに限定されず、流量制限部５の上流側における圧力及び下流側における圧力を基に検知し得る何らかの状態をいう。
【００６１】
圧力伝達部は、変形例２のみならず、基本例、変形例３及び変形例４等において設けられてもよい。圧力伝達部を構成する物質は、オイル又はゲル状物質を含まなくてもよい。
【００６２】
差動式の圧力センサ１は、半導体式に限定されない。例えば、上流側の圧力導入部３１及び下流側の圧力導入部３２にそれぞれピストンが挿入され、この二つのピストンが中央を回転中心とするアームの両端部に連結されてもよい。アームは、流体の流れと平行となる角度を基準として、基準に対する回転角が大きくなるほど大きな復元力が働くように構成する。これにより、ダイヤフラム及びピエゾ抵抗を用いなくても、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２の差圧を検知することができる。
【００６３】
（まとめ）
以上、述べた実施形態及び変形例から明らかなように、第１の態様の検知システムは、圧力センサ（１）と、検知部（２）と、を備える。圧力センサ（１）は、流量制限部（５）が配置された流路（４）を流れる流体（６）の流量制限部（５）の上流側における圧力及び下流側における圧力を検知する。検知部（２）は、圧力センサ（１）により検知された流量制限部（５）の上流側における圧力及び下流側における圧力を基に、流体（６）の流量制限部（５）における通過状態を検知する。
【００６４】
第１の態様によれば、発熱体を要することなく、圧力センサ（１）を用いて流体の通過状態を検知することができる。
【００６５】
第２の態様では、第１の態様との組み合わせにより実現され得る。第２の態様では、通過状態は、流量制限部（５）の異常を含む。
【００６６】
第２の態様によれば、検知システムは、通過状態として目詰まり等の異常を検知することができる。
【００６７】
第３の態様では、第１又は第２の態様との組み合わせにより実現され得る。第３の態様では、流量制限部（５）は、メッシュ部（５２）を有する。
【００６８】
第３の態様によれば、流量制限部（５）がメッシュ部（５２）を有する場合でも、通過状態を検知することができる。
【００６９】
第４の態様では、第１〜第３のいずれかの態様との組み合わせにより実現され得る。第４の態様では、圧力センサ（１）は、一つである。
【００７０】
第４の態様によれば、圧力センサ（１）が一つですむため、検知システムのコスト削減及び小型化が図りやすい。
【００７１】
第５の態様では、第４の態様との組み合わせにより実現され得る。第５の態様では、圧力センサ（１）は、差動式である。
【００７２】
第５の態様によれば、流体（６）の流量制限部（５）の上流側における圧力と流量制限部（５）の下流側における圧力の差圧を容易に一つの圧力センサ（１）で検知することができる。
【００７３】
第６の態様では、第１〜第５のいずれかの態様との組み合わせにより実現され得る。第６の態様では、圧力センサ（１）は、ダイヤフラム（１５，１７１）を有する。
【００７４】
第６の態様によれば、簡単な構成で圧力センサ（１）を形成しやすい。
【００７５】
第７の態様では、第１〜第６のいずれかの態様との組み合わせにより実現され得る。第７の態様では、圧力センサ（１）と流路（４）との間に、圧力伝達部が位置している。
【００７６】
第７の態様によれば、流路（４）を流れる流体（６）が圧力センサ（１）と流路（４）との間に位置せずにすみ、流れを構成する流体（６）の量が実質的に減少してしまうのを抑制する。
【００７７】
第８の態様では、第７の態様との組み合わせにより実現され得る。第８の態様では、圧力伝達部は、オイル又はゲル状物質を含む。
【００７８】
第８の態様によれば、流体（６）が特に気体の場合に、圧力伝達部を構成する物質と流体（６）とが混合されにくい。
【００７９】
第９の態様では、第１〜第８のいずれかの態様との組み合わせにより実現され得る。第９の態様では、第１〜第８のいずれかの態様の検知システムに用いられる圧力センサ（１）である。
【００８０】
第９の態様によれば、この圧力センサ（１）を用いて検知システムを構成することができる。
【符号の説明】
【００８１】
１  圧力センサ
１５  ダイヤフラム
１７１  ダイヤフラム
２  検知部
４  流路
５  流量制限部
５２  メッシュ部
６  流体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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