(57)【要約】【課題】パワー半導体及びリードフレームと銅電極とを容易に接合する。【解決手段】パワー半導体６と、前記パワー半導体６と接続される銅電極５と、前記銅電極５と接続するリードフレーム１１と、前記銅電極５と前記パワー半導体６とを接合する銀焼結材７と、前記銅電極５の表面にメッキ処理により設けられるニッケルメッキ層８とを備えるパワーモジュールであって、前記ニッケルメッキ層８は、その少なくとも一部に前記銅電極５を露出させる露出部８ａを有し、前記銅電極５において前記露出部８ａにより露出される部位と前記パワー半導体６とは、前記銀焼結材７にて接合され、前記ニッケルメッキ層８と前記リードフレーム１１とは、はんだ層９にて接合される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パワー半導体と、前記パワー半導体と接続される銅電極と、前記銅電極と接続するリードフレームと、前記銅電極と前記パワー半導体とを接合する銀焼結材と、前記銅電極の表面にメッキ処理により設けられるニッケルメッキ層とを備えるパワーモジュールであって、
前記ニッケルメッキ層は、その少なくとも一部に前記銅電極を露出させる露出部を有し、
前記銅電極において前記露出部により露出される部位と前記パワー半導体とは、前記銀焼結材にて接合され、
前記ニッケルメッキ層と前記リードフレームとは、はんだにて接合される
ことを特徴とするパワーモジュール。
【請求項２】
前記銅電極は、前記露出部より露出される部位に凹部が形成されることを特徴とする請求項１記載のパワーモジュール。
【請求項３】
前記露出部は、前記銀焼結材と前記ニッケルメッキ層とが接触しない大きさであることを特徴とする請求項１または２記載のパワーモジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パワーモジュールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
パワーモジュールにおいては、パワー半導体と電極とを電気的に接続すると共に、電極と出力端子（リードフレーム）とを電気的に接続する必要がある。例えば、特許文献１においては、ＩＧＢＴ素子（パワー半導体）を導体板にはんだ付けし、さらに第１出力端子及び正極接続端子を導体板にはんだ付けしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−８６０９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近年ではシリコンカーバイド（ＳｉＣ）を用いたパワー半導体を用いることが検討されている。シリコンカーバイドを用いたパワー半導体は、高温で動作するため、発熱量が大きく、従来のようにはんだにより接合した場合、はんだが再溶融する可能性がある。したがって、パワー半導体を銀焼結材等の相対的に高温で溶融する部材により接合する必要がある。
【０００５】
また、パワーモジュールにおいて、はんだ付け時の接合性を高める等の目的で銅電極をニッケルによりメッキ処理することが一般的に行われている。しかしながら、銀焼結材によりパワー半導体を接合する場合、ニッケルと銀焼結材との接合強度が低く、接合することが困難となる。また、メッキ処理を行わない場合、銅電極とはんだとの接合強度が低く、リードフレームと銅電極とを接合することが困難となる。
【０００６】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、パワー半導体及びリードフレームと銅電極とを容易に接合することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明では、パワー半導体と、前記パワー半導体と接続される銅電極と、前記銅電極と接続するリードフレームと、前記銅電極と前記パワー半導体とを接合する銀焼結材と、前記銅電極の表面にメッキ処理により設けられるニッケルメッキ層とを備えるパワーモジュールであって、前記ニッケルメッキ層は、その少なくとも一部に前記銅電極を露出させる露出部を有し、前記銅電極において前記露出部により露出される部位と前記パワー半導体とは、前記銀焼結材にて接合され、前記ニッケルメッキ層と前記リードフレームとは、はんだにて接合される、という構成を採用する。
【０００８】
第２の手段として、上記第１の手段において、前記銅電極は、前記露出部より露出される部位に凹部が形成される、という構成を採用する。
【０００９】
第３の手段として、上記第１または２の手段において、前記露出部は、前記銀焼結材と前記ニッケルメッキ層とが接触しない大きさである、という構成を採用する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、銅電極に形成されたニッケルメッキ層に対して露出部を形成する。これにより、銅電極は、一部が露出した状態となり、銀焼結材と直接接合することが容易となる。また、銅電極がメッキ処理されているため、リードフレームをニッケルメッキ層に対してはんだ付けすることが容易となり、したがって、パワー半導体及びリードフレームと銅電極とを容易に接合することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るパワーモジュールの模式的な上面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るパワーモジュールの模式断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るパワーモジュールの変形例を示す図であり、（ａ）は模式断面図であり、（ｂ）はパワーモジュールが備える電極を含む模式的な上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して、本発明に係るパワーモジュールの一実施形態について説明する。
【００１３】
［第１実施形態］
パワーモジュール１は、図１及び図２に示すように、ケーシング２と、冷却器３と、絶縁基板４と、電極５と、複数のパワー半導体チップ６と、銀焼結材接合層７と、ニッケルメッキ層８と、はんだ層９と、第１リードフレーム１０と、第２リードフレーム１１とを備えている。
【００１４】
ケーシング２は、図１に示すように、電極５と、複数のパワー半導体チップ６と、はんだ層９とを収容する樹脂製部材である。ケーシング２は、冷却器３に絶縁基板４が設けられ、さらに絶縁基板４上に電極５及びパワー半導体チップ６が設置された状態で、パワー半導体チップ６を露出させてモールドすることにより形成される。
【００１５】
冷却器３は、ケーシング２の下部に配置され、電極５と接触した状態で設けられている。冷却器３は、例えば水冷式とされ、内部に冷却水が流通することにより、電極５及びパワー半導体チップ６を冷却する。
【００１６】
絶縁基板４は、図２に示すように、パワー半導体チップ６が搭載される板部材である。なお、絶縁基板４は、パワー半導体チップ６が設けられる第１面と、第１面の裏面となる第２面との間が絶縁されている。
【００１７】
電極５は、絶縁基板４に設けられる銅（Ｃｕ）製の電極である。電極５は、電子回路の一部とされ、パワー半導体チップ６に電気的に接続されると共に、他の電子部品（不図示）と電気的に接続されている。また、電極５は、ニッケルメッキ層８に後述する露出部８ａが形成されていることにより、銀焼結材接合層７と直接接触した状態とされている。
【００１８】
パワー半導体チップ６は、例えば、ＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor）やシリコンカーバイド（ＳｉＣ）であり、電極５に対して銀焼結材接合層７により接合されている。また、パワー半導体チップ６は、絶縁基板４上において、複数設けられている。このようなパワー半導体チップ６は、直流を交流に変換、または電圧及び周波数の変換を目的として実装されている。
【００１９】
銀焼結材接合層７は、銀焼結材により構成され、銀の微粒粉を約３００℃で焼成することにより部材同士を接合する。銀焼結材接合層７は、電極５とパワー半導体チップ６との間及びパワー半導体チップ６と第１リードフレーム１０との間を接合している。
【００２０】
ニッケルメッキ層８は、電極５の表面全体を覆うようにメッキ処理されることにより形成されたニッケルメッキの層である。ニッケルメッキ層８には、銀焼結材接合層７と重なる位置において、露出部８ａが形成されている。露出部８ａは、銀焼結材接合層７よりも大きく、ニッケルメッキ層８が銀焼結材接合層７と接触しないように設けられている。なお、露出部８ａは、電極５における露出部８ａに対応する部位をマスキングした状態でメッキ処理を行うことにより形成される。
【００２１】
はんだ層９は、電極５と第２リードフレーム１１とを電気的に接続するため、電極５と第２リードフレーム１１との間に設けられている。
【００２２】
第１リードフレーム１０は、パワー半導体チップ６と接続され、パワー半導体チップ６と外部端子とを電気的に接続させるための端子として機能する導電部材である。
第２リードフレーム１１は、電極５と接続され、電極５と外部端子とを電気的に接続させるための端子として機能する導電部材である。
【００２３】
このような本実施形態におけるパワーモジュール１の製造時において、ニッケルメッキ層８に露出部８ａが形成されていることにより、電極５が露出した状態となる。これにより、電極５と接合強度の高い銀焼結材接合層７を用いて、電極５とパワー半導体チップ６とを直接接合することが可能である。第２リードフレーム１１については、耐用温度が比較的低いため、はんだ付けにより電極５と接合する必要がある。これについて、第２リードフレーム１１が接合される部位は、はんだ層９と接合強度の高いニッケルメッキ層８が形成された状態となる。このため、第２リードフレーム１１をニッケルメッキ層８に対してはんだ付けすることができる。したがって、パワー半導体チップ６と第２リードフレーム１１とのいずれについても接合強度の高い材料により電極５と接合することができ、接合が容易となる。
【００２４】
また、本実施形態においては、パワーモジュール１の銀焼結材接合層７が、ニッケルメッキ層８と接触しないように露出部８ａが形成されている。これにより、銀焼結材接合層７の接合性を最も好適な状態とすることが可能である。
【００２５】
さらに、第２リードフレーム１１をニッケルメッキ層８に対してはんだ付けすることにより、コストの高い銀焼結材接合層７の全体使用量を抑えることができ、コストを抑えることが可能である。
【００２６】
［第２実施形態］
続いて、上記第１実施形態の変形例を第２実施形態として、図３を参照して説明する。なお、以下の説明において、第１実施形態と同一の構成については符号を同一とし、説明を省略する。
【００２７】
本実施形態に係るパワーモジュール１は、電極５における露出部８ａから露出した部位に、溝部５ａ（凹部）が形成されている。溝部５ａは、図３（ａ）に示すように、断面が略半円形とされ、上記露出した部位に複数形成されている。また、複数の溝部５ａは、図３（ｂ）に示すように、互いに平行に、一方向に向けて形成されている。
溝部５ａは、電極５に対して全体をメッキ加工することによりニッケルメッキ層８を形成し、さらに、ニッケルメッキ層８及び電極５の表面を切削することにより、露出部８ａと共に形成される。
【００２８】
このような溝部５ａを形成することにより、銀焼結材接合層７は、溝部５ａを埋めるように形成される。したがって、銀焼結材接合層７と電極５との接触面積が増加し、接合強度がより向上する。
【００２９】
また、ニッケルメッキ層８と電極５とを切削することで露出部８ａと溝部５ａとを同時に形成できることから、メッキ処理時にエッチングやマスキングを行う必要がなく、加工が容易である。
【００３０】
以上、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の趣旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００３１】
上記実施形態においては、ニッケルメッキ層８をマスキングまたは切削加工することにより露出部８ａを形成するものとしたが、本発明はこれに限定されない。ニッケルメッキ層８は、エッチング等の手法により形成するものとしてもよい。
【００３２】
また、上記第２実施形態においては、ニッケルメッキ層８と電極５とを同時に加工することにより、露出部８ａ及び溝部５ａを形成するものとしたが、本発明はこれに限定されない。エッチングやマスキングによりニッケルメッキ層８に露出部８ａを形成するものとしてもよい。
【００３３】
また、上記第２実施形態において、溝部５ａは、断面が略半円状の溝を形成するものとしたが、本発明はこれに限定されない。溝部５ａの断面形状は、矩形または台形としてもよい。さらに、電極５は、溝部５ａに代えて複数の円形または矩形等の凹部が形成されるものとしてもよい。
【００３４】
また、上記実施形態においては、ニッケルメッキ層８と銀焼結材接合層７とは接触しないように設けられるものとしたが、本発明はこれに限定されない。ニッケルメッキ層８と銀焼結材接合層７とが一部において重なるように設けられるものとしてもよい。この場合、パワー半導体チップ６が接合された状態で、ニッケルメッキ層８の露出部８ａが露出しないため、ニッケルメッキ層８の強度を高めることが可能である。
【符号の説明】
【００３５】
１……パワーモジュール
５……電極
５ａ……溝部
６……パワー半導体チップ
７……銀焼結材接合層
８……ニッケルメッキ層
８ａ……露出部
９……はんだ層
１１……第２リードフレーム
【図１】
2020053503.tif 000003
【図２】
2020053503.tif 000004
【図３】
2020053503.tif 000005