(57)【要約】【課題】検出信号へのノイズの混入を抑制し、優れた検出精度を有する慣性センサー、電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】慣性センサーは、基板と、前記基板に設けられている第１慣性センサー素子と、前記第１慣性センサー素子を覆うように前記基板に接合されている蓋と、前記蓋の外側に設けられ、前記第１慣性センサー素子に印加する駆動信号用の第１駆動信号端子と、前記蓋の外側に設けられ、前記第１慣性センサー素子が出力する検出信号用の第１検出信号端子と、を有し、前記基板の平面視で、前記第１駆動信号端子と前記第１検出信号端子とは、前記蓋を間に挟んで設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板に設けられている第１慣性センサー素子と、
前記第１慣性センサー素子を覆うように前記基板に接合されている蓋と、
前記蓋の外側に設けられ、前記第１慣性センサー素子に印加する駆動信号用の第１駆動信号端子と、
前記蓋の外側に設けられ、前記第１慣性センサー素子が出力する検出信号用の第１検出信号端子と、を有し、
前記基板の平面視で、前記第１駆動信号端子と前記第１検出信号端子とは、前記蓋を間に挟んで設けられていることを特徴とする慣性センサー。
【請求項２】
前記基板に設けられている第２慣性センサー素子と、
前記蓋の外側に設けられ、前記第２慣性センサー素子に印加する駆動信号用の第２駆動信号端子と、
前記蓋の外側に設けられ、前記第２慣性センサー素子が出力する検出信号用の第２検出信号端子と、を有し、
前記基板の平面視で、前記第２駆動信号端子と前記第２検出信号端子とは、前記蓋を間に挟んで設けられ、
前記第２駆動信号端子は、前記蓋に対して前記第１駆動信号端子と同じ側に位置し、
前記第２検出信号端子は、前記蓋に対して前記第１検出信号端子と同じ側に位置している請求項１に記載の慣性センサー。
【請求項３】
前記第１慣性センサー素子は、角速度を検出するジャイロセンサー素子であって、前記基板に対して振動する駆動可動体を有し、
前記蓋の外側に設けられ、前記第１慣性センサー素子が出力する前記駆動可動体の振動に応じたピックアップ信号用の第１ピックアップ信号端子を有し、
前記第１ピックアップ信号端子は、前記蓋に対して前記第１駆動信号端子と同じ側に位置している請求項１または２に記載の慣性センサー。
【請求項４】
一対の前記第１検出信号端子と、
一方の前記第１検出信号端子と前記第１慣性センサー素子とを電気的に接続している第１検出信号配線と、
他方の前記第１検出信号端子と前記第１慣性センサー素子とを電気的に接続している第２検出信号配線と、を有し、
前記第１検出信号配線と前記第２検出信号配線とは、同じ長さである請求項１ないし３のいずれか１項に記載の慣性センサー。
【請求項５】
前記第１駆動信号端子および前記第１検出信号端子は、それぞれ、前記基板に設けられている金属膜で構成されている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の慣性センサー。
【請求項６】
前記第１駆動信号端子および前記第１検出信号端子は、それぞれ、前記基板に設けられ、前記第１慣性センサー素子と同じ材料で構成されている載置台に設けられている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の慣性センサー。
【請求項７】
前記基板と前記蓋の間に設けられ、前記基板と前記蓋とを接合する接合部材を有し、
前記接合部材は、前記第１駆動信号端子および前記第１検出信号端子と同じ材料を含んでいる請求項１ないし６のいずれか１項に記載の慣性センサー。
【請求項８】
前記第１駆動信号端子および前記第１検出信号端子のそれぞれに接続されており、前記第１駆動信号端子および前記第１検出信号端子と平面視形状が異なる複数の検査用端子を有する請求項１ないし７のいずれか１項に記載の慣性センサー。
【請求項９】
前記複数の検査用端子の平面視形状は、回転対称である請求項８に記載の慣性センサー。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の慣性センサーと、
前記慣性センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御回路と、を有することを特徴とする電子機器。
【請求項１１】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の慣性センサーと、
前記慣性センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御装置と、を有することを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、慣性センサー、電子機器および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載されている慣性センサーは、基板と、基板に設けられ、Ｙ軸方向に並んで配置されている３軸加速度センサー素子および３軸角速度センサー素子と、３軸加速度センサー素子および３軸角速度センサー素子を覆って基板に接合されている蓋と、を有する。また、３軸加速度センサー素子は、Ｘ軸方向の加速度を検出するＸ軸加速度センサー素子と、Ｙ軸方向の加速度を検出するＹ軸加速度センサー素子と、Ｚ軸方向の加速度を検出するＺ軸加速度センサー素子と、を有しており、これら３つのセンサー素子がＸ軸方向に並んで配置されている。同様に、３軸角速度センサー素子は、Ｘ軸まわりの角速度を検出するＸ軸角速度センサー素子と、Ｙ軸まわりの角速度を検出するＹ軸角速度センサー素子と、Ｚ軸まわりの角速度を検出するＺ軸角速度センサー素子と、を有しており、これら３つのセンサー素子がＸ軸方向に並んで配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１７７１５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の慣性センサーでは、Ｘ軸加速度センサー素子と電気的に接続されている複数の端子、Ｙ軸加速度センサー素子と電気的に接続されている複数の端子およびＺ軸加速度センサー素子と電気的に接続されている複数の端子は、それぞれ、蓋に対して同じ側、図示の構成ではＹ軸方向マイナス側に設けられている。また、Ｘ軸角速度センサー素子と電気的に接続されている複数の端子、Ｙ軸角速度センサー素子と電気的に接続されている複数の端子およびＺ軸角速度センサー素子と電気的に接続されている複数の端子は、それぞれ、蓋に対して同じ側、図示の構成ではＹ軸方向プラス側に設けられている。
【０００５】
Ｘ軸加速度センサー素子には、前記複数の端子として、Ｘ軸加速度センサー素子に印加する駆動信号用の駆動信号端子と、Ｘ軸加速度センサー素子が出力する検出信号用の検出信号端子と、が含まれており、これら端子を蓋に対して同じ側に配置してしまうと、これら端子が近接し、駆動信号が検出信号にノイズとして混入し、検出信号のＳ／Ｎ比が低下するおそれがある。他のＹ軸加速度センサー素子、Ｚ軸加速度センサー素子、Ｘ軸角速度センサー素子、Ｙ軸角速度センサー素子およびＺ軸角速度センサー素子についても同様である。
【０００６】
特に検出回路の方式が差動式のチャージアンプを用いる場合、検出信号端子の近くに駆動信号用端子があると、検出すべき電荷に悪影響を及ぼしてしまうことがあった。慣性計測装置などに用いられる高精度なセンサーでは、駆動信号による検出信号のＳ／Ｎ比低下は大きな課題であった。このようなことから、検出信号の信頼性を向上することが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本実施形態に記載の慣性センサーは、基板と、
前記基板に設けられている第１慣性センサー素子と、
前記第１慣性センサー素子を覆うように前記基板に接合されている蓋と、
前記蓋の外側に設けられ、前記第１慣性センサー素子に印加する駆動信号用の第１駆動信号端子と、
前記蓋の外側に設けられ、前記第１慣性センサー素子が出力する検出信号用の第１検出信号端子と、を有し、
前記基板の平面視で、前記第１駆動信号端子と前記第１検出信号端子とは、前記蓋を間に挟んで設けられていることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１実施形態の慣性センサーを示す平面図。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図。
【図３】Ｘ軸方向の加速度を検出するセンサー素子の一例を示す平面図。
【図４】Ｙ軸方向の加速度を検出するセンサー素子の一例を示す平面図。
【図５】Ｚ軸方向の加速度を検出するセンサー素子の一例を示す平面図。
【図６】各センサー素子に印加する駆動電圧の一例を示す図。
【図７】第２実施形態の慣性センサーを示す断面図。
【図８】基板に配置されている載置台を示す断面図。
【図９】基板に配置されている載置台を示す断面図。
【図１０】第３実施形態の慣性センサーを示す部分拡大平面図。
【図１１】第４実施形態の慣性センサーを示す平面図。
【図１２】Ｘ軸まわりの角速度を検出するセンサー素子の一例を示す平面図。
【図１３】Ｙ軸まわりの角速度を検出するセンサー素子の一例を示す平面図。
【図１４】Ｚ軸まわりの角速度を検出するセンサー素子の一例を示す平面図。
【図１５】センサー素子に印加する電圧を示す図。
【図１６】第５実施形態の慣性センサーを示す平面図。
【図１７】センサー素子の一例を示す平面図。
【図１８】第６実施形態の慣性センサーユニットを示す平面図。
【図１９】図１８に示す慣性センサーユニットの断面図。
【図２０】第７実施形態のスマートフォンを示す平面図。
【図２１】第８実施形態の慣性計測装置を示す分解斜視図。
【図２２】図２１に示す慣性計測装置が有する基板の斜視図。
【図２３】第９実施形態の移動体測位装置の全体システムを示すブロック図。
【図２４】図２３に示す移動体測位装置の作用を示す図。
【図２５】第１０実施形態の移動体を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の慣性センサー、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００１０】
＜第１実施形態＞
図１は、第１実施形態の慣性センサーを示す平面図である。図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。図３は、Ｘ軸方向の加速度を検出するセンサー素子の一例を示す平面図である。図４は、Ｙ軸方向の加速度を検出するセンサー素子の一例を示す平面図である。図５は、Ｚ軸方向の加速度を検出するセンサー素子の一例を示す平面図である。図６は、各センサー素子に印加する駆動電圧の一例を示す図である。
【００１１】
図６を除く各図には、互いに直交する３つの軸としてＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が図示されている。また、Ｘ軸に沿う方向すなわちＸ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に沿う方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に沿う方向を「Ｚ軸方向」とも言う。また、各軸の矢印先端側を「プラス側」とも言い、反対側を「マイナス側」とも言う。また、Ｚ軸方向プラス側を「上」とも言い、Ｚ軸方向マイナス側を「下」とも言う。また、本願明細書において「直交」とは、９０°で交わっている場合の他、９０°から若干傾いた角度、例えば、９０°±５°以内の範囲で交わっている場合も含むものである。
【００１２】
図１に示す慣性センサー１は、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の加速度をそれぞれ独立して検出することのできる加速度センサーである。このような慣性センサー１は、基板２と、基板２に配置されている３つのセンサー素子３、４、５と、センサー素子３、４、５を収納して基板２に接合されている蓋６と、を有する。そして、３つのセンサー素子３、４、５のそれぞれの機能は、センサー素子３（第１慣性センサー素子）がＸ軸方向の加速度Ａｘを検出し、センサー素子４（第２慣性センサー素子）がＹ軸方向の加速度Ａｙを検出し、センサー素子５（第３慣性センサー素子）がＺ軸方向の加速度Ａｚを検出する。なお、図１では、説明の便宜上、センサー素子３、４、５は、簡略化して図示している。
【００１３】
慣性センサー１の構成は、上述の構成に限定されず、例えば、センサー素子３、４、５の配置、形状、機能等は、図示の構成と異なっていてもよい。また、例えば、センサー素子３、４、５のうちの１つまたは２つを省略してもよい。また、センサー素子３、４、５に替えて、または、追加して、角速度を検出できるセンサー素子を用いてもよい。
【００１４】
図１に示すように、基板２は、Ｚ軸方向からの平面視で矩形すなわち四角形であり、Ｙ軸方向に延在する一対の辺２ａ、２ｂと、Ｘ軸方向に延在する一対の辺２ｃ、２ｄと、を有する長方形をなしている。ただし、基板２の平面視形状としては、特に限定されず、例えば、四角形以外の多角形、円形、異形等であってもよい。また、基板２は、上面に開放する３つの凹部２３、２４、２５を有する。そして、凹部２３と重なるようにセンサー素子３が配置され、凹部２４と重なるようにセンサー素子４が配置され、凹部２５と重なるようにセンサー素子５が配置されている。これら凹部２３、２４、２５によって、センサー素子３、４、５と基板２との接触が抑制される。
【００１５】
このような基板２としては、例えば、ナトリウムイオン等のアルカリ金属イオンを含むガラス材料、具体的には、テンパックスガラス、パイレックスガラス（いずれも登録商標）のような硼珪酸ガラスで構成されているガラス基板を用いることができる。ただし、基板２の構成材料としては、特に限定されず、シリコン基板、セラミックス基板等を用いてもよい。
【００１６】
図１に示すように、蓋６は、平面視で、矩形であり、Ｙ軸方向に延在する一対の辺６ａ、６ｂと、Ｘ軸方向に延在する一対の辺６ｃ、６ｄと、を有する長方形をなしている。ただし、蓋６の平面視形状としては、特に限定されず、例えば、四角形以外の多角形、円形、異形等であってもよい。また、蓋６は、下面に開放する凹部６１を有する。また、図２に示すように、蓋６は、その内側に形成されている凹部６１にセンサー素子３、４、５を収納して、基板２の上面に接合されている。そして、蓋６および基板２によって、センサー素子３、４、５を気密に収納する収納空間Ｓが形成されている。このように、蓋６を基板２へ直接接合することで気密性の高い収納空間Ｓを形成することができる。また、蓋６には収納空間Ｓの内外を連通する貫通孔６２が設けられており、貫通孔６２を介して収納空間Ｓ内を所望の雰囲気とした後、貫通孔６２を封止材６３によって封止している。
【００１７】
収納空間Ｓは、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されて、使用温度（例えば、−４０℃〜＋８５℃程度）で、ほぼ大気圧であることが好ましい。収納空間Ｓを大気圧とすることにより粘性抵抗が増してダンピング効果が発揮され、各センサー素子３、４、５の振動を速やかに収束させることができる。そのため、慣性センサー１の検出精度が向上する。
【００１８】
このような蓋６としては、例えば、シリコン基板を用いることができる。ただし、蓋６の構成材料としては、特に限定されず、例えば、ガラス基板やセラミックス基板を用いてもよい。また、基板２と蓋６との接合方法としては、特に限定されず、基板２や蓋６の材料によって適宜選択すればよいが、本実施形態では、蓋６の下面全周にわたって形成されている接合部材６９を介して接合されている。接合部材６９としては、例えば、低融点ガラスであるガラスフリット材を用いることができる。
【００１９】
図１に示すように、蓋６は、基板２と同心的に中心を同じくして配置され、辺６ｃ、６ｄが基板２の辺２ｃ、２ｄと一致し、辺６ａは、辺２ａよりＸ軸方向プラス側に位置し、辺６ｂは、辺２ｂよりＸ軸方向マイナス側に位置している。そして、基板２のＸ軸方向マイナス側の端部が蓋６から露出し、基板２のＸ軸方向プラス側の端部が蓋６から露出している。なお、以下では、この露出している部分、具体的には、辺２ａと辺６ａとの間の部分を「露出部２９１」とも言い、辺２ｂと辺６ｂとの間の部分を「露出部２９２」とも言う。
【００２０】
また、基板２は、その上面に開放する溝を有し、この溝には複数の配線７３１、７３２、７３３、７４１、７４２、７４３、７５１、７５２、７５３および端子８３１、８３２、８３３、８４１、８４２、８４３、８５１、８５２、８５３が配置されている。配線７３１、７３２、７３３、７４１、７４２、７４３、７５１、７５２、７５３は、収納空間Ｓの内外に亘って配置されており、これらの内、配線７３１、７３２、７３３は、センサー素子３と電気的に接続され、配線７４１、７４２、７４３は、センサー素子４と電気的に接続され、配線７５１、７５２、７５３は、センサー素子５と電気的に接続されている。
【００２１】
また、端子８３１、８３２、８３３、８４１、８４２、８４３、８５１、８５２、８５３は、露出部２９１、２９２すなわち蓋６の外側に配置されている。そして、端子８３１が配線７３１と電気的に接続され、端子８３２が配線７３２と電気的に接続され、端子８３３が配線７３３と電気的に接続され、端子８４１が配線７４１と電気的に接続され、端子８４２が配線７４２と電気的に接続され、端子８４３が配線７４３と電気的に接続され、端子８５１が配線７５１と電気的に接続され、端子８５２が配線７５２と電気的に接続され、端子８５３が配線７５３と電気的に接続されている。
【００２２】
また、配線７３１、７３２、７３３、７４１、７４２、７４３、７５１、７５２、７５３および端子８３１、８３２、８３３、８４１、８４２、８４３、８５１、８５２、８５３は、それぞれ、金属膜で構成されている。これにより、これらの構成が簡単なものとなる。なお、金属膜の構成材料としては、例えば、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）、Ｔｉ（チタン）、タングステン（Ｗ）等の金属材料、これら金属材料を含む合金が挙げられる。
【００２３】
次に、図３ないし図５に基づいて、センサー素子３、４、５について説明する。センサー素子３、４、５は、例えば、リン（Ｐ）、ボロン（Ｂ）、砒素（Ａｓ）等の不純物がドープされたシリコン基板を基板２の上面に陽極接合し、このシリコン基板を深溝エッチング技術であるボッシュ・プロセスによってパターニングすることにより、一括して形成することができる。ただし、センサー素子３、４、５の形成方法としては、これに限定されない。
【００２４】
センサー素子３は、Ｘ軸方向の加速度Ａｘを検出することができる。このようなセンサー素子３としては、例えば、図３に示すように、凹部２３の底面から突出するマウント２３１に固定されている固定部３１と、固定部３１に対してＸ軸方向に変位可能な可動体３２と、固定部３１と可動体３２とを連結するばね３３、３４と、可動体３２が備えている第１可動電極３５および第２可動電極３６と、凹部２３の底面から突出するマウント２３２に固定され、第１可動電極３５と対向している第１固定電極３８と、凹部２３の底面から突出するマウント２３３に固定され、第２可動電極３６と対向している第２固定電極３９と、を有する。
【００２５】
また、第１、第２可動電極３５、３６が固定部３１において配線７３１と電気的に接続され、第１固定電極３８が配線７３２と電気的に接続され、第２固定電極３９が配線７３３と電気的に接続されている。そして、第１、第２可動電極３５、３６には、端子８３１を介して、例えば、図６に示すような直流電圧と交流電圧とを重畳させた駆動信号Ｖｘが印加される。一方、第１、第２固定電極３８、３９は、固定電圧ＡＧＮＤ（アナロググランド）が印加され、端子８３２、８３３を介してチャージアンプに接続される。そのため、第１可動電極３５と第１固定電極３８との間に静電容量Ｃｘ１が形成され、第２可動電極３６と第２固定電極３９との間に静電容量Ｃｘ２が形成される。駆動電圧Ｖｘと固定電圧ＡＧＮＤとの間に電位差が発生すると、それに応じた電荷が第１可動電極３５と第１固定電極３８との間、第２可動電極３６と第２固定電極３９との間に誘起される。第１可動電極３５と第１固定電極３８との間、第２可動電極３６と第２固定電極３９との間に誘起された電荷量が同じ場合は、チャージアンプに発生する電圧値は０となる。これは、センサー素子３に加わる加速度Ａｘが０（静止状態）であることを表す。
【００２６】
そして、静電容量Ｃｘ１、Ｃｘ２が形成されている状態で、センサー素子３に加速度Ａｘが加わると、可動体３２がＸ軸方向に変位し、それに伴って静電容量Ｃｘ１、Ｃｘ２が互いに逆相で変化する。そのため、これら静電容量Ｃｘ１、Ｃｘ２の変化（差動演算）に基づいて、第１可動電極３５と第１固定電極３８との間、第２可動電極３６と第２固定電極３９との間に誘起される電荷量も変化する。第１可動電極３５と第１固定電極３８との間、第２可動電極３６と第２固定電極３９との間に誘起される電荷量の違いが発生するとチャージアンプの電圧値として出力される。この様にしてセンサー素子３が受けた加速度Ａｘを求めることができる。
【００２７】
センサー素子４は、Ｙ軸方向の加速度Ａｙを検出することができる。このようなセンサー素子４としては、特に限定されないが、例えば、図４に示すように、上述したセンサー素子３をＺ軸まわりに９０°回転させた構成とすることができる。つまり、センサー素子４は、凹部２４の底面から突出するマウント２４１に固定されている固定部４１と、固定部４１に対してＹ軸方向に変位可能な可動体４２と、固定部４１と可動体４２とを連結するばね４３、４４と、可動体４２が備えている第１可動電極４５および第２可動電極４６と、凹部２４の底面から突出するマウント２４２に固定され、第１可動電極４５と対向している第１固定電極４８と、凹部２４の底面から突出するマウント２４３に固定され、第２可動電極４６と対向している第２固定電極４９と、を有する。
【００２８】
また、第１、第２可動電極４５、４６が固定部４１において配線７４１と電気的に接続され、第１固定電極４８が配線７４２と電気的に接続され、第２固定電極４９が配線７４３と電気的に接続されている。そして、第１、第２可動電極４５、４６には、端子８４１を介して、例えば、図６に示すような直流電圧と交流電圧とを重畳させた駆動信号Ｖｙが印加される。一方、第１、第２固定電極４８、４９は、固定電圧ＡＧＮＤ（アナロググランド）が印加され、端子８４２、８４３を介してチャージアンプに接続される。そのため、第１可動電極４５と第１固定電極４８との間に静電容量Ｃｙ１が形成され、第２可動電極４６と第２固定電極４９との間に静電容量Ｃｙ２が形成される。駆動電圧Ｖｙと固定電圧ＡＧＮＤとの間に電位差が発生すると、それに応じた電荷が第１可動電極４５と第１固定電極４８との間、第２可動電極４６と第２固定電極４９との間に誘起される。第１可動電極４５と第１固定電極４８との間、第２可動電極４６と第２固定電極４９との間に誘起された電荷量が同じ場合は、チャージアンプに発生する電圧値は０となる。これは、センサー素子４に加わる加速度Ａｙが０（静止状態）であることを表す。
【００２９】
そして、静電容量Ｃｙ１、Ｃｙ２が形成されている状態で、センサー素子４に加速度Ａｙが加わると、可動体４２がＹ軸方向に変位し、それに伴って静電容量Ｃｙ１、Ｃｙ２が互いに逆相で変化する。そのため、これら静電容量Ｃｙ１、Ｃｙ２の変化（差動演算）に基づいて、第１可動電極４５と第１固定電極４８との間、第２可動電極４６と第２固定電極４９との間に誘起される電荷量も変化する。第１可動電極４５と第１固定電極４８との間、第２可動電極４６と第２固定電極４９との間に誘起される電荷量の違いが発生するとチャージアンプの電圧値として出力される。この様にしてセンサー素子４が受けた加速度Ａｙを求めることができる。
【００３０】
センサー素子５は、Ｚ軸方向の加速度Ａｚを検出することができる。このようなセンサー素子５としては、特に限定されないが、例えば、図５に示すように、凹部２５の底面から突出するマウント２５１に固定されている固定部５１と、固定部５１と梁５３を介して接続され、固定部５１に対してＸ軸に沿う揺動軸Ｊまわりに揺動可能な可動体５２と、を有する。また、可動体５２は、揺動軸Ｊの一方側に位置する第１可動部５２１と他方側に位置する第２可動部５２２とで、揺動軸Ｊまわりの回転モーメントが異なっている。また、センサー素子５は、凹部２５の底面に配置され、第１可動部５２１と対向して配置されている第１固定電極５４と、第２可動部５２２と対向して配置されている第２固定電極５５と、を有する。
【００３１】
また、可動体５２が固定部５１において配線７５１と電気的に接続され、第１固定電極５４が配線７５２と電気的に接続され、第２固定電極５５が配線７５３と電気的に接続されている。そして、可動体５２には、端子８５１を介して、例えば、図６に示すような直流電圧と交流電圧とを重畳させた駆動信号Ｖｚが印加される。一方、第１、第２固定電極５４、５５は、固定電圧ＡＧＮＤ（アナロググランド）が印加され、端子８５２、８５３を介してチャージアンプに接続される。そのため、第１可動部５２１と第１固定電極５４との間に静電容量Ｃｚ１が形成され、第２可動部５２２と第２固定電極５５との間に静電容量Ｃｚ２が形成される。駆動電圧Ｖｚと固定電圧ＡＧＮＤとの間に電位差が発生すると、それに応じた電荷が第１可動電極５５と第１固定電極５８との間、第２可動電極５６と第２固定電極５９との間に誘起される。第１可動電極５５と第１固定電極５８との間、第２可動電極５６と第２固定電極５９との間に誘起された電荷量が同じ場合は、チャージアンプに発生する電圧値は０となる。これは、センサー素子５に加わる加速度Ａｚが０（静止状態）であることを表す。
【００３２】
そして、静電容量Ｃｚ１、Ｃｚ２が形成されている状態で、センサー素子５に加速度Ａｚが加わると、可動体５２が揺動軸Ｊまわりに変位し、それに伴って静電容量Ｃｚ１、Ｃｚ２が互いに逆相で変化する。そのため、これら静電容量Ｃｚ１、Ｃｚ２の変化（差動演算）に基づいて、第１可動電極５５と第１固定電極５８との間、第２可動電極５６と第２固定電極５９との間に誘起される電荷量も変化する。第１可動電極５５と第１固定電極５８との間、第２可動電極５６と第２固定電極５９との間に誘起される電荷量の違いが発生するとチャージアンプの電圧値として出力される。この様にしてセンサー素子５が受けた加速度Ａｚを求めることができる。
【００３３】
以上、センサー素子３、４、５について説明したが、これらセンサー素子３、４、５の構成としては、それぞれ、加速度Ａｘ、Ａｙ、Ａｚを検出することができれば、特に限定されない。
【００３４】
次に、端子８３１、８３２、８３３、８４１、８４２、８４３、８５１、８５２、８５３の配置についてより詳細に説明する。前述したように、これら端子８３１、８３２、８３３、８４１、８４２、８４３、８５１、８５２、８５３は、それぞれ、基板２の露出部２９１、２９２に配置されている。すなわち、端子８３１、８３２、８３３、８４１、８４２、８４３、８５１、８５２、８５３は、蓋６に対してＸ軸方向の一方側と他方側とに分かれて配置されている。
【００３５】
端子８３１、８３２、８３３は、それぞれ、センサー素子３と電気的に接続されている。そして、端子８３１は、センサー素子３に印加する駆動信号Ｖｘを入力するための第１駆動信号端子であり、端子８３２、８３３は、センサー素子３が出力する検出信号すなわち静電容量Ｃｘ１、Ｃｘ２に誘起した電荷を検出するための第１検出信号端子である。以下では、説明の便宜上、端子８３１を「第１駆動信号端子８３１」とも言い、端子８３２、８３３を「第１検出信号端子８３２、８３３」とも言う。
【００３６】
同様に、端子８４１、８４２、８４３は、それぞれ、センサー素子４と電気的に接続されている。そして、端子８４１は、センサー素子４に印加する駆動信号Ｖｙを入力するための第２駆動信号端子であり、端子８４２、８４３は、センサー素子４が出力する検出信号すなわち静電容量Ｃｙ１、Ｃｙ２に誘起した電荷を検出するための第２検出信号端子である。以下では、説明の便宜上、端子８４１を「第２駆動信号端子８４１」とも言い、端子８４２、８４３を「第２検出信号端子８４２、８４３」とも言う。
【００３７】
同様に、端子８５１、８５２、８５３は、それぞれ、センサー素子５と電気的に接続されている。そして、端子８５１は、センサー素子５に印加する駆動信号Ｖｚを入力するための第３駆動信号端子であり、端子８５２、８５３は、センサー素子５が出力する検出信号すなわち静電容量Ｃｚ１、Ｃｚ２に誘起した電荷を検出するための第３検出信号端子である。以下では、説明の便宜上、端子８５１を「第３駆動信号端子８５１」とも言い、端子８５２、８５３を「第３検出信号端子８５２、８５３」とも言う。
【００３８】
このように、端子８３１、８３２、８３３、８４１、８４２、８４３、８５１、８５２、８５３には、入力と出力の２種類の端子、すなわち、駆動信号Ｖｘ、Ｖｙ、Ｖｚの入力端子である第１、第２、第３駆動信号端子８３１、８４１、８５１と、検出信号の検出端子である第１、第２、第３検出信号端子８３２、８３３、８４２、８４３、８５２、８５３と、が含まれる。そして、図１に示すように、入力端子である第１、第２、第３駆動信号端子８３１、８４１、８５１が露出部２９２に設けられ、検出端子である第１、第２、第３検出信号端子８３２、８３３、８４２、８４３、８５２、８５３が露出部２９１に設けられている。すなわち、入力端子である第１、第２、第３駆動信号端子８３１、８４１、８５１と、検出端子である第１、第２、第３検出信号端子８３２、８３３、８４２、８４３、８５２、８５３とが、Ｚ軸方向からの平面視で、蓋６を間に挟んで互いに反対側に設けられている。
【００３９】
端子８３１、８３２、８３３、８４１、８４２、８４３、８５１、８５２、８５３をこのような配置とすることにより、入力端子である第１、第２、第３駆動信号端子８３１、８４１、８５１と、検出端子である第１、第２、第３検出信号端子８３２、８３３、８４２、８４３、８５２、８５３と、を十分に離間して配置することができる。そのため、第１、第２、第３検出信号端子８３２、８３３、８４２、８４３、８５２、８５３から検出される検出信号に、第１、第２、第３駆動信号端子８３１、８４１、８５１から入力される駆動信号Ｖｘ、Ｖｙ、Ｖｚがノイズとして混入し難くなり、検出信号のＳ／Ｎ比の劣化を抑制することができ、検出信号の信頼性が高まる。特に、検出される電荷量は、駆動信号Ｖｘ、Ｖｙ、Ｖｚに対して非常に微弱な電荷量であるため、検出端子である第１、第２、第３検出信号端子８３２、８３３、８４２、８４３、８５２、８５３が、入力端子である第１、第２、第３駆動信号端子８３１、８４１、８５１から十分離間されていると、駆動信号から発せられる電磁波ノイズの影響を抑制することができ、上述の効果は、格別である。したがって、精度の高い検出が可能となる。
【００４０】
なお、本実施形態では、センサー素子３と接続されている端子８３１、８３２、８３３の群が露出部２９１、２９２に分かれて配置され、センサー素子４と接続されている端子８４１、８４２、８４３の群が露出部２９１、２９２に分かれて配置され、センサー素子５と接続されている端子８５１、８５２、８５３の群が露出部２９１、２９２に分かれて配置されているが、これに限定されず、端子８３１、８３２、８３３の群、端子８４１、８４２、８４３の群および端子８５１、８５２、８５３の群の少なくとも１つが露出部２９１、２９２に分かれて配置されていればよい。
【００４１】
また、図１に示すように、露出部２９１に配置されている第１、第２、第３駆動信号端子８３１、８４１、８５１は、それぞれ、Ｙ軸方向に一列に並んで配置されている。これにより、露出部２９１のＸ軸方向の長さを短くでき、慣性センサー１の小型化を図ることができる。ただし、第１、第２、第３駆動信号端子８３１、８４１、８５１の配置は、特に限定されない。
【００４２】
同様に、露出部２９２に配置されている第１、第２、第３検出信号端子８３２、８３３、８４２、８４３、８５２、８５３は、それぞれ、Ｙ軸方向に一列に並んで配置されている。これにより、露出部２９２のＸ軸方向の長さを短くでき、慣性センサー１の小型化を図ることができる。ただし、第１、第２、第３検出信号端子８３２、８３３、８４２、８４３、８５２、８５３の配置は、特に限定されない。
【００４３】
また、センサー素子３と接続されている配線７３１、７３２、７３３の群において、第１検出信号端子８３２と接続されている配線７３２すなわち第１検出信号配線と、第１検出信号端子８３３と接続されている配線７３３すなわち第２検出信号配線とは、互いに同じ長さである。これにより、配線７３２、７３３の寄生容量や寄生抵抗が互いに等しくなり、これらを差動演算により効果的にキャンセルすることができる。そのため、慣性センサー１は、より精度よく加速度Ａｘを検出することができる。
【００４４】
また、センサー素子４と接続されている配線７４１、７４２、７４３の群において、検出信号用の配線７４２、７４３は、互いに同じ長さである。これにより、配線７４２、７４３の寄生容量や寄生抵抗が互いに等しくなり、これらを差動演算により効果的にキャンセルすることができる。そのため、慣性センサー１は、より精度よく加速度Ａｙを検出することができる。
【００４５】
また、センサー素子５と接続されている配線７５１、７５２、７５３の群において、検出信号用の配線７５２、７５３は、互いに同じ長さである。これにより、配線７５２、７５３の寄生容量や寄生抵抗が互いに等しくなり、これらを差動演算により効果的にキャンセルすることができる。そのため、慣性センサー１は、より精度よく加速度Ａｚを検出することができる。
【００４６】
なお、配線７３２、７３３が同じ長さであるとは、配線７３２、７３３の長さが一致する場合の他にも、製造上生じ得る誤差、例えば、±５％以内の誤差を有する場合も含む意味である。また、配線７３２、７３３の構成としては、これに限定されず、例えば、配線７３２、７３３は、互いに異なる長さであってもよい。このことは、配線７４１、７４２、７４３の群および配線７５１、７５２、７５３の群についても同様である。
【００４７】
以上、慣性センサー１について説明した。慣性センサー１は、前述したように、基板２と、基板２に設けられている第１慣性センサー素子としてのセンサー素子３と、センサー素子３を覆うように基板２に接合されている蓋６と、蓋６の外側に設けられ、センサー素子３に印加する駆動信号Ｖｘ用の第１駆動信号端子８３１と、蓋６の外側に設けられ、センサー素子３が出力する検出信号用の第１検出信号端子８３２、８３３と、を有する。そして、基板２の平面視すなわちＺ軸方向からの平面視で、第１駆動信号端子８３１と第１検出信号端子８３２、８３３とは、蓋６を間に挟んで設けられている。本実施形態では、蓋６に対してＸ軸方向プラス側に第１駆動信号端子８３１が設けられ、Ｘ軸方向マイナス側に第１検出信号端子８３２、８３３が設けられている。
【００４８】
このような配置によれば、入力端子である第１駆動信号端子８３１と、出力端子である第１検出信号端子８３２、８３３と、を十分に離間して配置することができる。そのため、第１検出信号端子８３２、８３３から検出される検出信号に、第１駆動信号端子８３１から入力される駆動信号Ｖｘがノイズとして混入し難くなり、検出信号のＳ／Ｎ比の劣化を抑制することができる。したがって、Ｘ軸方向の加速度を精度よく検出することができる。特に、検出信号は、駆動信号Ｖｘに対して非常に微弱な信号であるため、上述の効果は、格別である。
【００４９】
また、前述したように、慣性センサー１は、基板２に設けられている第２慣性センサー素子としてのセンサー素子４と、蓋６の外側に設けられ、センサー素子４に印加する駆動信号Ｖｙ用の第２駆動信号端子８４１と、蓋６の外側に設けられ、センサー素子４が出力する検出信号用の第２検出信号端子８４２、８４３と、を有する。そして、基板２の平面視で、第２駆動信号端子８４１と第２検出信号端子８４２、８４３とは、蓋６を間に挟んで設けられている。
【００５０】
このような配置によれば、入力端子である第１駆動信号端子８４１と、出力端子である第１検出信号端子８４２、８４３と、を十分に離間して配置することができる。そのため、第１検出信号端子８４２、８４３から検出される検出信号に、第１駆動信号端子８４１から入力される駆動信号Ｖｙがノイズとして混入し難くなり、検出信号のＳ／Ｎ比の劣化を抑制することができる。したがって、Ｙ軸方向の加速度を精度よく検出することができる。特に、検出信号は、駆動信号Ｖｙに対して非常に微弱な信号であるため、上述の効果は、格別である。
【００５１】
さらに、第２駆動信号端子８４１は、蓋６に対して第１駆動信号端子８３１と同じ側に位置し、第２検出信号端子８４２、８４３は、蓋６に対して第１検出信号端子８３２、８３３と同じ側に位置している。そのため、第１、第２検出信号端子８３２、８３３、８４２、８４３、から検出される検出信号に、第１、第２駆動信号端子８３１、８４１から入力される駆動信号Ｖｘ、Ｖｙがノイズとして混入し難くなり、各検出信号のＳ／Ｎ比の劣化を抑制することができる。したがって、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の加速度をそれぞれ精度よく検出することができる。
【００５２】
また、前述したように、慣性センサー１は、一対の第１検出信号端子８３２、８３３と、一方の第１検出信号端子８３２とセンサー素子とを電気的に接続している第１検出信号配線としての配線７３２と、他方の第１検出信号端子８３３とセンサー素子３とを電気的に接続している第２検出信号配線としての配線７３３と、を有する。そして、配線７３２と配線７３３とは、同じ長さである。これにより、配線７３２、７３３の寄生容量や寄生抵抗が互いに等しくなり、これらを差動演算により効果的にキャンセルすることができる。そのため、慣性センサー１は、より精度よく加速度Ａｘを検出することができる。
【００５３】
また、前述したように、端子８３１、８３２、８３３は、それぞれ、基板２に設けられている金属膜で構成されている。これにより、端子８３１、８３２、８３３の構成が簡単なものとなる。
【００５４】
＜第２実施形態＞
図７は、第２実施形態の慣性センサーを示す断面図である。図８および図９は、それぞれ、基板に配置されている載置台を示す断面図である。なお、図８は、図１中の仮想線α１に沿った断面に相当し、図９は、図１中の仮想線α２に沿った断面に相当する。
【００５５】
本実施形態は、基板２と蓋６との接合方法および端子８３１、８３２、８３３、８４１、８４２、８４３、８５１、８５２、８５３の配置が異なること以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図７ないし図９において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
【００５６】
図７に示すように、慣性センサー１は、基板２と蓋６との間に配置されている中間部材１０を有する。中間部材１０は、Ｚ軸方向からの平面視で、センサー素子３、４、５を囲む枠状をなしている。また、図８および図９に示すように、慣性センサー１は、基板２の露出部２９１、２９２に配置されている載置台９を有する。このような中間部材１０および載置台９は、それぞれ、センサー素子３、４、５と同じ材料で構成されている。そのため、中間部材１０および載置台９をセンサー素子３、４、５と一括して形成することができる。具体的には、中間部材１０および載置台９は、基板２に陽極接合された導電性のシリコン基板をボッシュ・プロセスによってパターニングすることにより、センサー素子３、４、５と共に、これらと一括して形成することができる。そのため、慣性センサー１の製造が容易となる。
【００５７】
また、図８および図９に示すように、載置台９は、バンプＢ３１を介して配線７３１と電気的に接続されている載置台９３１と、バンプＢ３２を介して配線７３２と電気的に接続されている載置台９３２と、バンプＢ３３を介して配線７３３と電気的に接続されている載置台９３３と、バンプＢ４１を介して配線７４１と電気的に接続されている載置台９４１と、バンプＢ４２を介して配線７４２と電気的に接続されている載置台９４２と、バンプＢ４３を介して配線７４３と電気的に接続されている載置台９４３と、バンプＢ５１を介して配線７５１と電気的に接続されている載置台９５１と、バンプＢ５２を介して配線７５２と電気的に接続されている載置台９５２と、バンプＢ５３を介して配線７５３と電気的に接続されている載置台９５３と、を有する。
【００５８】
そして、載置台９３１の上面に端子８３１が設けられ、載置台９３２の上面に端子８３２が設けられ、載置台９３３の上面に端子８３３が設けられ、載置台９４１の上面に端子８４１が設けられ、載置台９４２の上面に端子８４２が設けられ、載置台９４３の上面に端子８４３が設けられ、載置台９５１の上面に端子８５１が設けられ、載置台９５２の上面に端子８５２が設けられ、載置台９５３の上面に端子８５３が設けられている。そのため、端子８３１は、載置台９３１を介して配線７３１と電気的に接続され、端子８３２は、載置台９３２を介して配線７３２と電気的に接続され、端子８３３は、載置台９３３を介して配線７３３と電気的に接続され、端子８４１は、載置台９４１を介して配線７４１と電気的に接続され、端子８４２は、載置台９４２を介して配線７４２と電気的に接続され、端子８４３は、載置台９４３を介して配線７４３と電気的に接続され、端子８５１は、載置台９５１を介して配線７５１と電気的に接続され、端子８５２は、載置台９５２を介して配線７５２と電気的に接続され、端子８５３は、載置台９５３を介して配線７５３と電気的に接続されている。
【００５９】
このように、端子８３１〜８３３、８４１〜８４３、８５１〜８５３を載置台９３１〜９３３、９４１〜９４３、９５１〜９５３に配置することにより、端子８３１〜８３３、８４１〜８４３、８５１〜８５３を基板２から上側に突出した位置に設けることができる。そのため、例えば、端子８３１〜８３３、８４１〜８４３、８５１〜８５３へのボンディングワイヤーの接続が容易となり、慣性センサー１と外部機器との電気的な接続を容易に行うことができる。
【００６０】
また、図７に示すように、中間部材１０の上面には接合部材６９が設けられており、この接合部材６９によって中間部材１０と蓋６とが接合されている。特に、本実施形態では、接合部材６９が金属材料で構成されており、この接合部材６９と蓋６とが熱圧着されることにより、これらが接合されている。ただし、接合部材６９や中間部材１０と蓋６との接合方法としては、特に限定されない。
【００６１】
また、本実施形態では、端子８３１〜８３３、８４１〜８４３、８５１〜８５３と接合部材６９とが、同じ材料で構成されている。これにより、端子８３１〜８３３、８４１〜８４３、８５１〜８５３と接合部材６９を一括して形成することができ、これらの形成が容易となる。具体的には、センサー素子３、４、５、中間部材１０および載置台９の母材となる導電性のシリコン基板の上面に金属膜を成膜し、この金属膜をパターニングすることにより、端子８３１〜８３３、８４１〜８４３、８５１〜８５３および接合部材６９を一括して形成することができる。
【００６２】
なお、端子８３１〜８３３、８４１〜８４３、８５１〜８５３および接合部材６９の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、アルミニウム（Ａｌ）／ゲルマニウム（Ｇｅ）系の合金を用いることができる。この材料は、密着性に優れているため、より確実に、収納空間Ｓの気密性を確保することができる。
【００６３】
以上のように、本実施形態の慣性センサー１では、複数の端子８３１〜８３３、８４１〜８４３、８５１〜８５３は、基板２に設けられ、センサー素子３、４、５と同じ材料で構成されている載置台９に設けられている。これにより、端子８３１〜８３３、８４１〜８４３、８５１〜８５３を基板２から上側に突出した位置に配置することができる。そのため、例えば、端子８３１〜８３３、８４１〜８４３、８５１〜８５３へのボンディングワイヤーの接続が容易となり、慣性センサー１と外部機器との電気的な接続を容易に行うことができる。また、載置台９をセンサー素子３、４、５と同じ材料で構成することにより、載置台９をセンサー素子３、４、５と一括して形成することができるため、慣性センサー１の製造が容易となる。
【００６４】
また、前述したように、慣性センサー１は、基板２と蓋６の間に設けられ、基板２と蓋６とを接合する接合部材６９を有する。そして、接合部材６９は、複数の端子８３１〜８３３、８４１〜８４３、８５１〜８５３と同じ材料を含んでいる。これにより、接合部材６９と端子８３１〜８３３、８４１〜８４３、８５１〜８５３とを一括して形成することができるため、慣性センサー１の製造が容易となる。
【００６５】
以上のような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００６６】
＜第３実施形態＞
図１０は、第３実施形態の慣性センサーを示す部分拡大平面図である。
【００６７】
本実施形態は、端子８３１〜８３３、８４１〜８４３、８５１〜８５３と電気的に接続されている検査用端子１００を有すること以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１０において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
【００６８】
図１０に示すように、慣性センサー１は、基板２の露出部２９１、２９２に配置され、端子８３１、８３２、８３３、８４１、８４２、８４３、８５１、８５２、８５３と電気的に接続されている検査用端子１００を有する。
【００６９】
また、検査用端子１００は、端子８３１と並んで配置され、端子８３１と電気的に接続されている検査用端子１３１と、端子８３２と並んで配置され、端子８３２と電気的に接続されている検査用端子１３２と、端子８３３と並んで配置され、端子８３３と電気的に接続されている検査用端子１３３と、端子８４１と並んで配置され、端子８４１と電気的に接続されている検査用端子１４１と、端子８４２と並んで配置され、端子８４２と電気的に接続されている検査用端子１４２と、端子８４３と並んで配置され、端子８４３と電気的に接続されている検査用端子１４３と、端子８５１と並んで配置され、端子８５１と電気的に接続されている検査用端子１５１と、端子８５２と並んで配置され、端子８５２と電気的に接続されている検査用端子１５２と、端子８５３と並んで配置され、端子８５３と電気的に接続されている検査用端子１５３と、を有する。
【００７０】
このような検査用端子１３１、１３２、１３３、１４１、１４２、１４３、１５１、１５２、１５３を設けることにより、例えば、検査用のプローブを検査用端子１３１、１３２、１３３、１４１、１４２、１４３、１５１、１５２、１５３に押し付けて慣性センサー１の検査を行うことができるため、端子８３１、８３２、８３３、８４１、８４２、８４３、８５１、８５２、８５３が検査時にダメージを受けることがない。そのため、ボンディングワイヤーと各端子とを良好に接続することができ、信頼性の高い慣性センサー１となる。
【００７１】
本実施形態では、検査用端子１３１、１３２、１３３、１４１、１４２、１４３、１５１、１５２、１５３は、それぞれ、端子８３１、８３２、８３３、８４１、８４２、８４３、８５１、８５２、８５３と異なる平面視形状を有する。また、検査用端子１３１、１３２、１３３、１４１、１４２、１４３、１５１、１５２、１５３は、それぞれ、平面視形状が円形であり、平面視形状が回転対称となっている。このように、検査用端子１３１、１３２、１３３、１４１、１４２、１４３、１５１、１５２、１５３の平面視形状を端子８３１、８３２、８３３、８４１、８４２、８４３、８５１、８５２、８５３と異ならせ、かつ、回転対称とすることにより、例えば、慣性センサー１の検査時に、画像認識技術によって検査用端子１３１、１３２、１３３、１４１、１４２、１４３、１５１、１５２、１５３を認識し易くなる。
【００７２】
ただし、検査用端子１３１、１３２、１３３、１４１、１４２、１４３、１５１、１５２、１５３の形状は、特に限定されず、端子８３１、８３２、８３３、８４１、８４２、８４３、８５１、８５２、８５３と同じ形状であってもよいし、回転対称形状以外の形状であってもよい。
【００７３】
以上のように、本実施形態の慣性センサー１は、複数の端子８３１、８３２、８３３、８４１、８４２、８４３、８５１、８５２、８５３に接続されており、複数の端子８３１、８３２、８３３、８４１、８４２、８４３、８５１、８５２、８５３と平面視形状が異なる複数の検査用端子１３１、１３２、１３３、１４１、１４２、１４３、１５１、１５２、１５３を有する。これにより、検査用端子１３１、１３２、１３３、１４１、１４２、１４３、１５１、１５２、１５３を用いて慣性センサー１の検査を行うことができるため、端子８３１、８３２、８３３、８４１、８４２、８４３、８５１、８５２、８５３が検査時にダメージを受けることがない。そのため、信頼性の高い慣性センサー１となる。また、互いに形状を異ならせることにより、検査用端子１３１、１３２、１３３、１４１、１４２、１４３、１５１、１５２、１５３と、端子８３１、８３２、８３３、８４１、８４２、８４３、８５１、８５２、８５３と、を容易に識別できるようになる。
【００７４】
また、前述したように、複数の検査用端子１３１、１３２、１３３、１４１、１４２、１４３、１５１、１５２、１５３の平面視形状は、回転対称である。これにより、検査用端子１３１、１３２、１３３、１４１、１４２、１４３、１５１、１５２、１５３を画像認識技術によって認識し易くなり、慣性センサー１の検査をよりスムーズに行うことができる。
【００７５】
前述したように、入力用の端子８３１、８４１、８５１と、検出用の端子８３２、８３３、８４２、８４３、８５２、８５３とは、蓋６を間に挟んで互いに反対側に設けられているが、これらに接続されている各検出用端子１００も同様の配置となっている。これにより、慣性センサー１の通常の作動時はもちろんのこと、検査用端子１００を用いた検査時においても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００７６】
＜第４実施形態＞
図１１は、第４実施形態の慣性センサーを示す平面図である。図１２は、Ｘ軸まわりの角速度を検出するセンサー素子の一例を示す平面図である。図１３は、Ｙ軸まわりの角速度を検出するセンサー素子の一例を示す平面図である。図１４は、Ｚ軸まわりの角速度を検出するセンサー素子の一例を示す平面図である。図１５は、センサー素子に印加する電圧を示す図である。なお、図１１では、説明の便宜上、センサー素子３００、４００、５００は、簡略化して図示している。
【００７７】
本実施形態は、センサー素子３、４、５に替えて、センサー素子３００、４００、５００を用いていること以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１１ないし図１５において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
【００７８】
図１１に示す慣性センサー１は、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸まわりの角速度をそれぞれ独立して検出することのできる角速度センサーである。このような慣性センサー１は、基板２と、基板２に配置されている３つのセンサー素子３００、４００、５００と、センサー素子３００、４００、５００を収納して基板２に接合されている蓋６と、を有する。そして、３つのセンサー素子３００、４００、５００のうち、センサー素子３００（第１慣性センサー素子）がＸ軸まわりの角速度ωｘを検出し、センサー素子４００（第２慣性センサー素子）がＹ軸まわりの角速度ωｙを検出し、センサー素子５００（第３慣性センサー素子）がＺ軸まわりの角速度ωｚを検出する。
【００７９】
基板２および蓋６で形成される収納空間Ｓは、減圧状態であることが好ましく、特に真空状態であることが好ましい。収納空間Ｓを減圧状態とすることにより、粘性抵抗が減り、センサー素子３００、４００、５００を効果的に振動させることができる。そのため、慣性センサー１の検出精度が向上する。なお、蓋６を基板２へ直接接合することで気密性の高い収納空間Ｓを形成することができる。
【００８０】
また、基板２は、その上面に開放する溝を有し、この溝には複数の配線７３１０、７３２０、７３３０、７３４０、７３５０、７３６０、７３７０、７４１０、７４２０、７４３０、７４４０、７４５０、７４６０、７４７０、７５１０、７５２０、７５３０、７５４０、７５５０、７５６０、７５７０および端子８３１０、８３２０、８３３０、８３４０、８３５０、８３６０、８３７０、８４１０、８４２０、８４３０、８４４０、８４５０、８４６０、８４７０、８５１０、８５２０、８５３０、８５４０、８５５０、８５６０、８５７０が配置されている。
【００８１】
配線７３１０〜７３７０、７４１０〜７４７０、７５１０〜７５７０は、収納空間Ｓの内外に亘って配置されており、これらの内、配線７３１０〜７３７０は、それぞれ、センサー素子３００と電気的に接続され、配線７４１０〜７４７０は、それぞれ、センサー素子４００と電気的に接続され、配線７５１０〜７５７０は、それぞれ、センサー素子５００と電気的に接続されている。また、端子８３１０〜８３７０、８４１０〜８４７０、８５１０〜８５７０は、蓋６の外側に位置しており、露出部２９１、２９２に分かれて設けられている。そして、端子８３１０〜８３７０が配線７３１０〜７３７０と電気的に接続され、端子８４１０〜８４７０が配線７４１０〜７４７０と電気的に接続され、端子８５１０〜８５７０が配線７５１０〜７５７０と電気的に接続されている。
【００８２】
センサー素子３００、４００、５００は、前述した第１実施形態のセンサー素子３、４、５と同様に、リン（Ｐ）、ボロン（Ｂ）、砒素（Ａｓ）等の不純物がドープされたシリコン基板を基板２の上面に陽極接合し、このシリコン基板を深溝エッチング技術であるボッシュ・プロセスによってパターニングすることにより、一括して形成することができる。ただし、センサー素子３００、４００、５００の形成方法としては、これに限定されない。
【００８３】
センサー素子３００は、Ｘ軸まわりの角速度ωｘを検出することができる。このようなセンサー素子３００としては、例えば、図１２に示すように、枠状の駆動可動体３０１Ａ、３０１Ｂと、駆動可動体３０１Ａ、３０１ＢをＹ軸方向に振動可能に支持する駆動ばね３０２Ａ、３０２Ｂと、駆動可動体３０１Ａ、３０１Ｂに接続されている可動駆動電極３０３Ａ、３０３Ｂと、可動駆動電極３０３Ａを挟んで配置されている第１、第２固定駆動電極３０４Ａ、３０５Ａと、可動駆動電極３０３Ｂを挟んで配置されている第１、第２固定駆動電極３０４Ｂ、３０５Ｂと、駆動可動体３０１Ａ、３０１Ｂの内側に配置されている検出可動体３０６Ａ、３０６Ｂと、検出可動体３０６Ａ、３０６Ｂと駆動可動体３０１Ａ、３０１Ｂとを接続している検出ばね３０７Ａ、３０７Ｂと、駆動可動体３０１Ａ、３０１Ｂに接続されている第１可動モニター電極３０８Ａ、３０８Ｂおよび第２可動モニター電極３０９Ａ、３０９Ｂと、第１可動モニター電極３０８Ａ、３０８Ｂと対向して配置されている第１固定モニター電極３１０Ａ、３１０Ｂと、第２可動モニター電極３０９Ａ、３０９Ｂと対向して配置されている第２固定モニター電極３１１Ａ、３１１Ｂと、を有する。また、凹部２３の底面には、駆動可動体３０１Ａ、３０１Ｂと対向して固定検出電極３１２Ａ、３１２Ｂが配置されている。
【００８４】
また、図示しないが、検出可動体３０６Ａ、３０６Ｂが配線７３１０と電気的に接続され、第１固定駆動電極３０４Ａ、３０４Ｂが配線７３２０と電気的に接続され、第２固定駆動電極３０５Ａ、３０５Ｂが配線７３３０と電気的に接続され、固定検出電極３１２Ａが配線７３４０と電気的に接続され、固定検出電極３１２Ｂが配線７３５０と電気的に接続され、第１固定モニター電極３１０Ａ、３１０Ｂが配線７３６０と電気的に接続され、第２固定モニター電極３１１Ａ、３１１Ｂが配線７３７０と電気的に接続されている。
【００８５】
そして、検出可動体３０６Ａ、３０６Ｂには、端子８３１０を介して、例えば、図１５に示す駆動信号Ｖ１１が印加される。第１固定駆動電極３０４Ａ、３０４Ｂには端子８３２０を介して、図１５に示す駆動信号Ｖ１２が印加され、第２固定駆動電極３０５Ａ、３０５Ｂには端子８３３０を介して、図１５に示す駆動信号Ｖ１３が印加される。固定電圧Ｖ１１は例えば１５Ｖであり、電圧Ｖ１２はアナロググランドＡＧＮＤに対して例えば±０．２Ｖの振幅の電圧であり、電圧Ｖ１３はアナロググランドＡＧＮＤに対して例えば±０．２Ｖの振幅でＶ１２の逆相の電圧である。これにより、駆動可動体３０１Ａ、３０１Ｂが互いに逆相でＹ軸方向に駆動振動する。また、この駆動振動の際、端子８３６０から駆動振動に応じた第１ピックアップ信号が検出され、端子８３７０から駆動振動に応じた第２ピックアップ信号が検出される。これら第１、第２ピックアップ信号を駆動信号すなわち駆動信号Ｖ１２、Ｖ１３にフィードバックすることにより、駆動可動体３０１Ａ、３０１Ｂの駆動振動が安定する。
【００８６】
一方、固定検出電極３１２Ａ、３１２Ｂは、端子８３４０、８３５０を介してチャージアンプに接続される。そのため、検出可動体３０６Ａと固定検出電極３１２Ａとの間に静電容量Ｃｘ１が形成され、検出可動体３０６Ｂと固定検出電極３１２Ｂとの間に静電容量Ｃｘ２が形成される。そして、駆動可動体３０１Ａ、３０１Ｂが駆動振動している状態で、センサー素子３００にＸ軸まわりの角速度ωｘが加わると、コリオリの力によって、検出可動体３０６Ａ、３０６Ｂが互いに逆相でＺ軸方向に変位し、それに伴って静電容量Ｃｘ１、Ｃｘ２が互いに逆相で変化する。そのため、これら静電容量Ｃｘ１、Ｃｘ２の変化に基づいて、検出可動体３０６Ａと固定検出電極３１２Ａとの間、検出可動体３０６Ｂと固定検出電極３１２Ｂとの間に誘起される電荷量も変化する。検出可動体３０６Ａと固定検出電極３１２Ａとの間、検出可動体３０６Ｂと固定検出電極３１２Ｂとの間に誘起される電荷量の違いが発生するとチャージアンプの電圧値として出力される。この様にして、センサー素子３００が受けた角速度ωｘを求めることができる。
【００８７】
センサー素子４００は、Ｙ軸方向の角速度ωｙを検出することができる。このようなセンサー素子４００としては、特に限定されないが、例えば、図１３に示すように、上述したセンサー素子３００をＺ軸まわりに９０°回転させた構成とすることができる。
【００８８】
つまり、センサー素子４００としては、例えば、図１３に示すように、枠状の駆動可動体４０１Ａ、４０１Ｂと、駆動可動体４０１Ａ、４０１ＢをＹ軸方向に振動可能に支持する駆動ばね４０２Ａ、４０２Ｂと、駆動可動体４０１Ａ、４０１Ｂに接続されている可動駆動電極４０３Ａ、４０３Ｂと、可動駆動電極４０３Ａを挟んで配置されている第１、第２固定駆動電極４０４Ａ、４０５Ａと、可動駆動電極４０３Ｂを挟んで配置されている第１、第２固定駆動電極４０４Ｂ、４０５Ｂと、駆動可動体４０１Ａ、４０１Ｂの内側に配置されている検出可動体４０６Ａ、４０６Ｂと、検出可動体４０６Ａ、４０６Ｂと駆動可動体４０１Ａ、４０１Ｂとを接続している検出ばね４０７Ａ、４０７Ｂと、駆動可動体４０１Ａ、４０１Ｂに接続されている第１可動モニター電極４０８Ａ、４０８Ｂおよび第２可動モニター電極４０９Ａ、４０９Ｂと、第１可動モニター電極４０８Ａ、４０８Ｂと対向して配置されている第１固定モニター電極４１０Ａ、４１０Ｂと、第２可動モニター電極４０９Ａ、４０９Ｂと対向して配置されている第２固定モニター電極４１１Ａ、４１１Ｂと、を有する。また、凹部２４の底面には、駆動可動体４０１Ａ、４０１Ｂと対向して固定検出電極４１２Ａ、４１２Ｂが配置されている。
【００８９】
また、図示しないが、検出可動体４０６Ａ、４０６Ｂが配線７４１０と電気的に接続され、第１固定駆動電極４０４Ａ、４０４Ｂが配線７４２０と電気的に接続され、第２固定駆動電極４０５Ａ、４０５Ｂが配線７４３０と電気的に接続され、固定検出電極４１２Ａが配線７４４０と電気的に接続され、固定検出電極４１２Ｂが配線７４５０と電気的に接続され、第１固定モニター電極４１０Ａ、４１０Ｂが配線７４６０と電気的に接続され、第２固定モニター電極４１１Ａ、４１１Ｂが配線７４７０と電気的に接続されている。
【００９０】
そして、検出可動体４０６Ａ、４０６Ｂには、端子８４１０を介して、例えば、図１５に示す駆動信号Ｖ１１が印加される。第１固定駆動電極４０４Ａ、４０４Ｂには端子８４２０を介して、図１５に示す駆動信号Ｖ１２が印加され、第２固定駆動電極４０５Ａ、４０５Ｂには端子８４３０を介して、図１５に示す駆動信号Ｖ１３が印加される。固定電圧Ｖ１１は例えば１５Ｖであり、電圧Ｖ１２はアナロググランドＡＧＮＤに対して例えば±０．２Ｖの振幅の電圧であり、電圧Ｖ１３はアナロググランドＡＧＮＤに対して例えば±０．２Ｖの振幅でＶ１２の逆相の電圧である。これにより、駆動可動体４０１Ａ、４０１Ｂが互いに逆相でＸ軸方向に駆動振動する。また、この駆動振動の際、端子８４６０から駆動振動に応じた第１ピックアップ信号が検出され、端子８４７０から駆動振動に応じた第２ピックアップ信号が検出される。これら第１、第２ピックアップ信号を駆動信号すなわち駆動信号Ｖ１２、Ｖ１３にフィードバックすることにより、駆動可動体４０１Ａ、４０１Ｂの駆動振動が安定する。
【００９１】
一方、固定検出電極４１２Ａ、４１２Ｂは、端子８４４０、８４５０を介してチャージアンプに接続される。そのため、検出可動体４０６Ａと固定検出電極４１２Ａとの間に静電容量Ｃｙ１が形成され、検出可動体４０６Ｂと固定検出電極４１２Ｂとの間に静電容量Ｃｙ２が形成される。そして、駆動可動体４０１Ａ、４０１Ｂが駆動振動している状態で、センサー素子４００にＹ軸まわりの角速度ωｙが加わると、コリオリの力によって、検出可動体４０６Ａ、４０６Ｂが互いに逆相でＺ軸方向に変位し、それに伴って静電容量Ｃｙ１、Ｃｙ２が互いに逆相で変化する。そのため、これら静電容量Ｃｙ１、Ｃｙ２の変化に基づいて、検出可動体４０６Ａと固定検出電極４１２Ａとの間、検出可動体４０６Ｂと固定検出電極４１２Ｂとの間に誘起される電荷量も変化する。検出可動体４０６Ａと固定検出電極４１２Ａとの間、検出可動体４０６Ｂと固定検出電極４１２Ｂとの間に誘起される電荷量の違いが発生するとチャージアンプの電圧値として出力される。この様にして、センサー素子４００が受けた角速度ωｙを求めることができる。
【００９２】
センサー素子５００は、Ｚ軸まわりの角速度ωｚを検出することができる。このようなセンサー素子５００としては、特に限定されないが、例えば、図１４に示すように、枠状の駆動可動体５０１Ａ、５０１Ｂと、駆動可動体５０１Ａ、５０１ＢをＹ軸方向に振動可能に支持する駆動ばね５０２Ａ、５０２Ｂと、駆動可動体５０１Ａ、５０１Ｂに接続されている可動駆動電極５０３Ａ、５０３Ｂと、可動駆動電極５０３Ａを挟んで配置されている第１、第２固定駆動電極５０４Ａ、５０５Ａと、可動駆動電極５０３Ｂを挟んで配置されている第１、第２固定駆動電極５０４Ｂ、５０５Ｂと、駆動可動体５０１Ａ、５０１Ｂの内側に配置されている枠状の検出可動体５０６Ａ、５０６Ｂと、検出可動体５０６Ａ、５０６Ｂと駆動可動体５０１Ａ、５０１Ｂとを接続している検出ばね５０７Ａ、５０７Ｂと、駆動可動体５０１Ａ、５０１Ｂに接続されている第１可動モニター電極５０８Ａ、５０８Ｂおよび第２可動モニター電極５０９Ａ、５０９Ｂと、第１可動モニター電極５０８Ａ、５０８Ｂと対向して配置されている第１固定モニター電極５１０Ａ、５１０Ｂと、第２可動モニター電極５０９Ａ、５０９Ｂと対向して配置されている第２固定モニター電極５１１Ａ、５１１Ｂと、検出可動体５０６Ａ、５０６Ｂに支持されている可動検出電極５１２Ａ、５１２Ｂと、可動検出電極５１２Ａを挟んで配置されている第１、第２固定検出電極５１３Ａ、５１４Ａと、可動検出電極５１２Ｂを挟んで配置されている第１、第２固定検出電極５１３Ｂ、５１４Ｂと、を有する。
【００９３】
また、図示しないが、検出可動体５０６Ａ、５０６Ｂが配線７５１０と電気的に接続され、第１固定駆動電極５０４Ａ、５０４Ｂが配線７５２０と電気的に接続され、第２固定駆動電極５０５Ａ、５０５Ｂが配線７５３０と電気的に接続され、第１固定検出電極５１３Ａ、５１３Ｂが配線７５４０と電気的に接続され、第２固定検出電極５１４Ａ、５１４Ｂが配線７５５０と電気的に接続され、第１固定モニター電極５１０Ａ、５１０Ｂが配線７５６０と電気的に接続され、第２固定モニター電極５１１Ａ、５１１Ｂが配線７５７０と電気的に接続されている。
【００９４】
そして、検出可動体５０６Ａ、５０６Ｂには、端子８５１０を介して、例えば、図１５に示す駆動信号Ｖ１１が印加される。第１固定駆動電極５０４Ａ、５０４Ｂには端子８５２０を介して、図１５に示す駆動信号Ｖ１２が印加され、第２固定駆動電極５０５Ａ、５０５Ｂには端子８５３０を介して、図１５に示す駆動信号Ｖ１３が印加される。固定電圧Ｖ１１は例えば１５Ｖであり、電圧Ｖ１２はアナロググランドＡＧＮＤに対して例えば±０．２Ｖの振幅の電圧であり、電圧Ｖ１３はアナロググランドＡＧＮＤに対して例えば±０．２Ｖの振幅でＶ１２の逆相の電圧である。これにより、駆動可動体５０１Ａ、５０１Ｂが互いに逆相でＹ軸方向に駆動振動する。また、この駆動振動の際、端子８５６０から駆動振動に応じた第１ピックアップ信号が検出され、端子８５７０から駆動振動に応じた第２ピックアップ信号が検出される。これら第１、第２ピックアップ信号を駆動信号すなわち駆動信号Ｖ１２、Ｖ１３にフィードバックすることにより、駆動可動体５０１Ａ、５０１Ｂの駆動振動が安定する。
【００９５】
一方、第１固定検出電極５１３Ａ、５１３Ｂは、端子８５４０を介してチャージアンプに接続され、第２固定検出電極５１４Ａ、５１４Ｂは、端子８５５０を介してチャージアンプに接続される。そのため、可動検出電極５１２Ａ、５１２Ｂと第１固定検出電極５１３Ａ、５１３Ｂとの間に静電容量Ｃｚ１が形成され、可動検出電極５１２Ａ、５１２Ｂと第２固定検出電極５１４Ａ、５１４Ｂとの間に静電容量Ｃｚ２が形成される。そして、駆動可動体５０１Ａ、５０１Ｂが駆動振動している状態で、センサー素子５００にＺ軸まわりの角速度ωｚが加わると、コリオリの力によって、検出可動体５０６Ａ、５０６Ｂが互いに逆相でＸ軸方向に変位し、それに伴って静電容量Ｃｚ１、Ｃｚ２が互いに逆相で変化する。そのため、これら静電容量Ｃｚ１、Ｃｚ２の変化に基づいて、可動検出電極５１２Ａ、５１２Ｂと第１固定検出電極５１３Ａ、５１３Ｂとの間、可動検出電極５１２Ａ、５１２Ｂと第２固定検出電極５１４Ａ、５１４Ｂとの間に誘起される電荷量も変化する。可動検出電極５１２Ａ、５１２Ｂと第１固定検出電極５１３Ａ、５１３Ｂとの間、可動検出電極５１２Ａ、５１２Ｂと第２固定検出電極５１４Ａ、５１４Ｂとの間に誘起される電荷量の違いが発生するとチャージアンプの電圧値として出力される。この様にして、センサー素子５００が受けた角速度ωｚを求めることができる。
【００９６】
以上、センサー素子３００、４００、５００について説明したが。これらセンサー素子３００、４００、５００の構成としては、それぞれ、角速度ωｘ、ωｙ、ωｚを検出することができれば、特に限定されない。
【００９７】
次に、端子８３１０〜８３７０、８４１０〜８４７０、８５１０〜８５７０の配置についてより詳細に説明する。
【００９８】
端子８３１０〜８３７０は、それぞれ、センサー素子３００と電気的に接続されている。そして、端子８３１０、８３２０、８３３０は、センサー素子３００に駆動信号Ｖ１１〜Ｖ１３を入力するための第１駆動信号端子であり、端子８３４０、８３５０は、センサー素子３００が検出する検出信号すなわち静電容量Ｃｘ１、Ｃｘ２に応じた信号を検出するための第１検出信号端子であり、端子８３６０、８３７０は、センサー素子３００が検出する第１、第２ピックアップ信号を検出するための第１ピックアップ信号端子である。以下では、説明の便宜上、端子８３１０、８３２０、８３３０を「第１駆動信号端子８３１０、８３２０、８３３０」とも言い、端子８３４０、８３５０を「第１検出信号端子８３４０、８３５０」とも言い、端子８３６０、８３７０を「第１ピックアップ信号端子８３６０、８３７０」とも言う。
【００９９】
同様に、端子８４１０〜８４７０は、それぞれ、センサー素子４００と電気的に接続されている。そして、端子８４１０、８４２０、８４３０は、センサー素子４００に駆動信号Ｖ１１〜Ｖ１３を入力するための第２駆動信号端子であり、端子８４４０、８４５０は、センサー素子４００が検出する検出信号すなわち静電容量Ｃｙ１、Ｃｙ２に応じた信号を検出するための第２検出信号端子であり、端子８４６０、８４７０は、センサー素子４００が検出する第１、第２ピックアップ信号を検出するための第２ピックアップ信号端子である。以下では、説明の便宜上、端子８４１０、８４２０、８４３０を「第２駆動信号端子８４１０、８４２０、８４３０」とも言い、端子８４４０、８４５０を「第２検出信号端子８４４０、８４５０」とも言い、端子８４６０、８４７０を「第２ピックアップ信号端子８４６０、８４７０」とも言う。
【０１００】
同様に、端子８５１０〜８５７０は、それぞれ、センサー素子５００と電気的に接続されている。そして、端子８５１０、８５２０、８５３０は、センサー素子５００に駆動信号Ｖ１１〜Ｖ１３を入力するための第３駆動信号端子であり、端子８５４０、８５５０は、センサー素子５００が検出する検出信号すなわち静電容量Ｃｚ１、Ｃｚ２に応じた信号を検出するための第３検出信号端子であり、端子８５６０、８５７０は、センサー素子５００が検出する第１、第２ピックアップ信号を検出するための第３ピックアップ信号端子である。以下では、説明の便宜上、端子８５１０、８５２０、８５３０を「第３駆動信号端子８５１０、８５２０、８５３０」とも言い、端子８５４０、８５５０を「第３検出信号端子８５４０、８５５０」とも言い、端子８５６０、８５７０を「第３ピックアップ信号端子８５６０、８５７０」とも言う。
【０１０１】
このように、端子８３１０〜８３７０、８４１０〜８４７０、８５１０〜８５７０には、駆動信号Ｖ１１、Ｖ１２、Ｖ１３の入力端子である第１、第２、第３駆動信号端子８３１０〜８３３０、８４１０〜８４３０、８５１０〜８５３０と、検出信号の検出端子である第１、第２、第３検出信号端子８３４０、８３５０、８４４０、８４５０、８５４０、８５５０と、第１、第２ピックアップ信号の検出端子である第１、第２、第３ピックアップ信号端子８３６０、８３７０、８４６０、８４７０、８５６０、８５７０と、が含まれる。
【０１０２】
そして、図１１に示すように、第１、第２、第３駆動信号端子８３１０〜８３３０、８４１０〜８４３０、８５１０〜８５３０が露出部２９２に設けられ、第１、第２、第３検出信号端子８３４０、８３５０、８４４０、８４５０、８５４０、８５５０が露出部２９１に設けられ、第１、第２、第３ピックアップ信号端子８３６０、８３７０、８４６０、８４７０、８５６０、８５７０が露出部２９２に設けられている。すなわち、第１、第２、第３駆動信号端子８３１０〜８３３０、８４１０〜８４３０、８５１０〜８５３０および第１、第２、第３ピックアップ信号端子８３６０、８３７０、８４６０、８４７０、８５６０、８５７０と、第１、第２、第３検出信号端子８３４０、８３５０、８４４０、８４５０、８５４０、８５５０とが、Ｚ軸方向からの平面視で、蓋３を間に挟んで互いに反対側に設けられている。
【０１０３】
端子８３１０〜８３７０、８４１０〜８４７０、８５１０〜８５７０をこのような配置とすることにより、第１、第２、第３検出信号端子８３４０、８３５０、８４４０、８４５０、８５４０、８５５０を、第１、第２、第３駆動信号端子８３１０〜８３３０、８４１０〜８４３０、８５１０〜８５３０から十分に離間して配置することができる。そのため、第１、第２、第３検出信号端子８３４０、８３５０、８４４０、８４５０、８５４０、８５５０から検出される検出信号に、第１、第２、第３駆動信号端子８３１０〜８３３０、８４１０〜８４３０、８５１０〜８５３０から入力される駆動信号Ｖ１１、Ｖ１２、Ｖ１３がノイズとして混入し難くなり、検出信号のＳ／Ｎ比の劣化を抑制することができる。検出信号は、駆動信号Ｖ１１、Ｖ１２、Ｖ１３に対して非常に微弱な信号であるため、上述の効果は、格別である。
【０１０４】
さらに、第１、第２、第３検出信号端子８３４０、８３５０、８４４０、８４５０、８５４０、８５５０を、第１、第２、第３ピックアップ信号端子８３６０、８３７０、８４６０、８４７０、８５６０、８５７０から十分に離間して配置することができる。そのため、第１、第２、第３検出信号端子８３４０、８３５０、８４４０、８４５０、８５４０、８５５０から検出される検出信号に、第１、第２、第３ピックアップ信号端子８３６０、８３７０、８４６０、８４７０、８５６０、８５７０から検出される第１、第２ピックアップ信号がノイズとして混入し難くなり、検出信号のＳ／Ｎ比の劣化を抑制することができる。
【０１０５】
以上のように、本実施形態の慣性センサー１では、第１慣性センサー素子としてのセンサー素子３００は、角速度を検出するジャイロセンサー素子であって、基板２に対して振動する駆動可動体３０１Ａ、３０１Ｂを有する。また、慣性センサー１は、蓋６の外側に設けられ、センサー素子３００が検出する駆動可動体３０１Ａ、３０１Ｂの振動に応じたピックアップ信号用の第１ピックアップ信号端子８３６０、８３７０を有する。そして、第１ピックアップ信号端子８３６０、８３７０は、蓋６に対して第１駆動信号端子８３１０〜８３３０と同じ側すなわちＸ軸方向プラス側に位置している。これにより、第１検出信号端子８３４０、８３５０を、第１ピックアップ信号端子８３６０、８３７０から十分に離間して配置することができる。そのため、第１検出信号端子８３４０、８３５０から検出される検出信号に、第１ピックアップ信号端子８３６０、８３７０から検出されるピックアップ信号がノイズとして混入し難くなり、検出信号のＳ／Ｎ比の劣化を抑制することができる。
【０１０６】
以上のような第４実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１０７】
＜第５実施形態＞
図１６は、第５実施形態の慣性センサーを示す平面図である。図１７は、センサー素子の一例を示す平面図である。なお、図１６では、説明の便宜上、センサー素子３００、４００、５００は、簡略化して図示している。
【０１０８】
本実施形態は、前述した第４実施形態のセンサー素子３００、４００、５００が一体化されていること以外は、前述した第１および第４実施形態と同様である。なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１６ないし図１７において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
【０１０９】
図１６に示す慣性センサー１では、３つのセンサー素子３００、４００、５００が一体化されている。図１７に示すように、センサー素子３００の可動駆動電極３０３Ａ、３０３Ｂと、第１、第２固定駆動電極３０４Ａ、３０４Ｂ、３０５Ａ、３０５Ｂと、第１、第２可動モニター電極３０８Ａ、３０８Ｂ、３０９Ａ、３０９Ｂと、第１、第２固定モニター電極３１０Ａ、３１０Ｂ、３１１Ａ、３１１Ｂと、がセンサー素子４００、５００の対応する部分を兼ねている。そのため、前述した第４実施形態の構成と比べて、センサー素子４００から、可動駆動電極４０３Ａ、４０３Ｂと、第１、第２固定駆動電極４０４Ａ、４０４Ｂ、４０５Ａ、４０５Ｂと、第１、第２可動モニター電極４０８Ａ、４０８Ｂ、４０９Ａ、４０９Ｂと、第１、第２固定モニター電極４１０Ａ、４１０Ｂ、４１１Ａ、４１１Ｂと、が省略され、センサー素子５００から、可動駆動電極５０３Ａ、５０３Ｂと、第１、第２固定駆動電極５０４Ａ、５０４Ｂ、５０５Ａ、５０５Ｂと、第１、第２可動モニター電極５０８Ａ、５０８Ｂ、５０９Ａ、５０９Ｂと、第１、第２固定モニター電極５１０Ａ、５１０Ｂ、５１１Ａ、５１１Ｂと、が省略されている。
【０１１０】
図１７に示すように、センサー素子３００は、枠状の駆動可動体３０１Ａ、３０１Ｂと、駆動可動体３０１Ａ、３０１ＢをＹ軸方向に振動可能に支持する駆動ばね３０２Ａ、３０２Ｂと、駆動可動体３０１Ａ、３０１Ｂに接続されている可動駆動電極３０３Ａ、３０３Ｂと、可動駆動電極３０３Ａを挟んで配置されている第１、第２固定駆動電極３０４Ａ、３０５Ａと、可動駆動電極３０３Ｂを挟んで配置されている第１、第２固定駆動電極３０４Ｂ、３０５Ｂと、駆動可動体３０１Ａ、３０１Ｂの内側に配置されている検出可動体３０６Ａ、３０６Ｂと、検出可動体３０６Ａ、３０６Ｂと駆動可動体３０１Ａ、３０１Ｂとを接続している検出ばね３０７Ａ、３０７Ｂと、可動駆動電極３０３Ａに設けられている第１可動モニター電極３０８Ａと、可動駆動電極３０３Ｂに設けられている第２可動モニター電極３０９Ｂと、第１可動モニター電極３０８Ａと対向して配置されている第１固定モニター電極３１０Ａと、第２可動モニター電極３０９Ｂと対向して配置されている第２固定モニター電極３１１Ｂと、を有する。また、凹部２３の底面には、駆動可動体３０１Ａ、３０１Ｂと対向して固定検出電極３１２Ａ、３１２Ｂが配置されている。
【０１１１】
また、図示しないが、検出可動体３０６Ａ、３０６Ｂが配線７３１０と電気的に接続され、第１固定駆動電極３０４Ａ、３０４Ｂが配線７３２０と電気的に接続され、第２固定駆動電極３０５Ａ、３０５Ｂが配線７３３０と電気的に接続され、固定検出電極３１２Ａが配線７３４０と電気的に接続され、固定検出電極３１２Ｂが配線７３５０と電気的に接続され、第１固定モニター電極３１０Ａが配線７３６０と電気的に接続され、第２固定モニター電極３１１Ｂが配線７３７０と電気的に接続されている。
【０１１２】
センサー素子４００は、枠状の駆動可動体４０１Ａ、４０１Ｂと、駆動可動体４０１Ａ、４０１ＢをＸ軸方向に振動可能に支持する駆動ばね４０２Ａ、４０２Ｂと、駆動可動体４０１Ａ、４０１Ｂの内側に配置されている検出可動体４０６Ａ、４０６Ｂと、検出可動体４０６Ａ、４０６Ｂと駆動可動体４０１Ａ、４０１Ｂとを接続している検出ばね４０７Ａ、４０７Ｂと、可動駆動電極３０３Ａ、３０３Ｂと駆動可動体４０１Ａ、４０１Ｂとの間に設けられ、可動駆動電極３０３Ａ、３０３ＢのＹ軸方向への振動をＸ軸方向への振動に変換する変換部４１３Ａ、４１３Ｂと、を有する。また、凹部２３の底面には、駆動可動体４０１Ａ、４０１Ｂと対向して固定検出電極４１２Ａ、４１２Ｂが配置されている。
【０１１３】
また、図示しないが、固定検出電極４１２Ａが配線７４４０と電気的に接続され、固定検出電極４１２Ｂが配線７４５０と電気的に接続されている。
【０１１４】
センサー素子５００は、枠状の駆動可動体５０１Ａ、５０１Ｂと、駆動可動体５０１Ａ、５０１ＢをＹ軸方向に振動可能に支持する駆動ばね５０２Ａ、５０２Ｂと、駆動可動体５０１Ａ、５０１Ｂの内側に配置されている枠状の検出可動体５０６Ａ、５０６Ｂと、検出可動体５０６Ａ、５０６Ｂと駆動可動体５０１Ａ、５０１Ｂとを接続している検出ばね５０７Ａ、５０７Ｂと、検出可動体５０６Ａ、５０６Ｂに支持されている可動検出電極５１２Ａ、５１２Ｂと、可動検出電極５１２Ａを挟んで配置されている第１、第２固定検出電極５１３Ａ、５１４Ａと、可動検出電極５１２Ｂを挟んで配置されている第１、第２固定検出電極５１３Ｂ、５１４Ｂと、を有する。
【０１１５】
また、図示しないが、第１固定検出電極５１３Ａ、５１３Ｂが配線７５４０と電気的に接続され、第２固定検出電極５１４Ａ、５１４Ｂが配線７５５０と電気的に接続されている。
【０１１６】
このような構成によれば、センサー素子４００、５００の一部を省略できるため、前述した第４実施形態と比べて、慣性センサー１の小型化を図ることができる。また、図１６に示すように、慣性センサー１の中心Ｏを通り、Ｘ軸方向に延在する中心線Ｌｘに対して、配線７３４０、７３５０を対称的に配置することができ、配線７３４０、７３５０の長さを互いに等しく設計し易くなる。配線７４４０、７４５０についても同様であり、配線７５４０、７５５０についても同様である。
【０１１７】
＜第６実施形態＞
図１８は、第６実施形態の慣性センサーユニットを示す平面図である。図１９は、図１８に示す慣性センサーユニットの断面図である。
【０１１８】
図１８および図１９に示す慣性センサーユニット１０００は、パッケージ１０１０と、パッケージ１０１０に収納されているＩＣチップ１０４０および慣性センサー１と、を有する。ＩＣチップ１０４０には、例えば、慣性センサー１の駆動を制御する駆動制御回路や慣性センサー１からの検出信号に基づいて加速度Ａｘ、Ａｙ、Ａｚを検出する検出回路が含まれている。なお、本実施形態では、慣性センサー１として前述した第１実施形態の構成を用いているが、慣性センサー１としては、特に限定されず、他の実施形態のものでもよい。
【０１１９】
また、パッケージ１０１０は、上面に開口する凹部１０２１を有するベース基板１０２０と、凹部１０２１の開口を塞ぐようにしてベース基板１０２０の上面に接合されているリッド１０３０と、を有する。また、凹部１０２１は、ベース基板１０２０の上面に開口する第１凹部１０２２と、第１凹部１０２２の底面に開口する第２凹部１０２３と、を有する。そして、第２凹部１０２３の底面にＩＣチップ１０４０が搭載されており、このＩＣチップ１０４０上に慣性センサー１が搭載されている。また、慣性センサー１は、その端子８３１〜８３３、８４１〜８４３、８５１〜８５３がボンディングワイヤーＢＷ１を介してＩＣチップ１０４０の対応する端子と電気的に接続されている。慣性センサー１の端子８３１〜８３３、８４１〜８４３、８５１〜８５３が前述したような配置であるため、慣性センサー１から検出される検出信号にノイズが混入し難い。
【０１２０】
また、第１凹部１０２２の底面にはボンディングワイヤーＢＷ２を介してＩＣチップ１０４０と電気的に接続されている複数の内部端子１０５０が配置されている。また、ベース基板１０２０の下面には、ベース基板１０２０内に配置されている図示しない内部配線を介して複数の内部端子１０５０と電気的に接続されている複数の外部端子１０６０が配置されている。
【０１２１】
このような慣性センサーユニット１０００は、慣性センサー１を有する。そのため、前述した慣性センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１２２】
＜第７実施形態＞
図２０は、第７実施形態のスマートフォンを示す平面図である。
【０１２３】
図２０に示すスマートフォン１２００には、慣性センサー１と、慣性センサー１から検出される検出信号に基づいて制御を行う制御回路１２１０と、が内蔵されている。慣性センサー１によって検出された検出データは、制御回路１２１０に送信され、制御回路１２１０は、受信した検出データからスマートフォン１２００の姿勢や挙動を認識して、表示部１２０８に表示されている表示画像を変化させたり、警告音や効果音を鳴らしたり、振動モーターを駆動して本体を振動させることができる。
【０１２４】
このような電子機器としてのスマートフォン１２００は、慣性センサー１と、慣性センサー１から出力された検出信号に基づいて制御を行う制御回路１２１０と、を有する。そのため、前述した慣性センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１２５】
なお、慣性センサー１を内蔵する電子機器としては、特に限定されず、スマートフォン１２００以外にも、例えば、パーソナルコンピューター、デジタルスチールカメラ、タブレット端末、時計、スマートウォッチ、インクジェットプリンタ、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ＨＭＤ（ヘッドマウントディスプレイ）等のウェアラブル端末、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器、魚群探知機、各種測定機器、移動体端末基地局用機器、車両、航空機、船舶等の各種計器類、フライトシミュレーター、ネットワークサーバー等が挙げられる。
【０１２６】
＜第８実施形態＞
図２１は、第８実施形態の慣性計測装置を示す分解斜視図である。図２２は、図２１に示す慣性計測装置が有する基板の斜視図である。
【０１２７】
図２１に示す慣性計測装置２０００（ＩＭＵ：Inertial Measurement Unit）は、自動車や、ロボットなどの被装着装置の姿勢や、挙動を検出する慣性計測装置である。慣性計測装置２０００は、３軸加速度センサーおよび３軸角速度センサーを備えた６軸モーションセンサーとして機能する。
【０１２８】
慣性計測装置２０００は、平面形状が略正方形の直方体である。また、正方形の対角線方向に位置する２ヶ所の頂点近傍に固定部としてのネジ穴２１１０が形成されている。この２ヶ所のネジ穴２１１０に２本のネジを通して、自動車などの被装着体の被装着面に慣性計測装置２０００を固定することができる。なお、部品の選定や設計変更により、例えば、スマートフォンや、デジタルスチールカメラに搭載可能なサイズに小型化することも可能である。
【０１２９】
慣性計測装置２０００は、アウターケース２１００と、接合部材２２００と、センサーモジュール２３００と、を有し、アウターケース２１００の内部に、接合部材２２００を介在させて、センサーモジュール２３００を挿入した構成となっている。アウターケース２１００の外形は、前述した慣性計測装置２０００の全体形状と同様に、平面形状が略正方形の直方体であり、正方形の対角線方向に位置する２ヶ所の頂点近傍に、それぞれネジ穴２１１０が形成されている。また、アウターケース２１００は、箱状であり、その内部にセンサーモジュール２３００が収納されている。
【０１３０】
センサーモジュール２３００は、インナーケース２３１０と、基板２３２０と、を有している。インナーケース２３１０は、基板２３２０を支持する部材であり、アウターケース２１００の内部に収まる形状となっている。また、インナーケース２３１０には、基板２３２０との接触を抑制するための凹部２３１１や後述するコネクター２３３０を露出させるための開口２３１２が形成されている。このようなインナーケース２３１０は、接合部材２２００を介してアウターケース２１００に接合されている。また、インナーケース２３１０の下面には接着剤を介して基板２３２０が接合されている。
【０１３１】
図２１に示すように、基板２３２０の上面には、コネクター２３３０、Ｚ軸まわりの角速度を検出する角速度センサー２３４０ｚ、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸方向の加速度を検出する加速度センサー２３５０などが実装されている。また、基板２３２０の側面には、Ｘ軸まわりの角速度を検出する角速度センサー２３４０ｘおよびＹ軸まわりの角速度を検出する角速度センサー２３４０ｙが実装されている。そして、これら各センサーとして、実施形態に記載の慣性センサーを用いることができる。
【０１３２】
また、基板２３２０の下面には、制御ＩＣ２３６０が実装されている。制御ＩＣ２３６０は、ＭＣＵ（Micro Controller Unit）であり、慣性計測装置２０００の各部を制御する。記憶部には、加速度および角速度を検出するための順序と内容を規定したプログラムや、検出データをデジタル化してパケットデータに組込むプログラム、付随するデータなどが記憶されている。なお、基板２３２０にはその他にも複数の電子部品が実装されている。
【０１３３】
＜第９実施形態＞
図２３は、第９実施形態の移動体測位装置の全体システムを示すブロック図である。図２４は、図２３に示す移動体測位装置の作用を示す図である。
【０１３４】
図２３に示す移動体測位装置３０００は、移動体に装着して用い、当該移動体の測位を行うための装置である。なお、移動体としては、特に限定されず、自転車、自動車、自動二輪車、電車、飛行機、船等のいずれでもよいが、本実施形態では移動体として四輪自動車を用いた場合について説明する。
【０１３５】
移動体測位装置３０００は、慣性計測装置３１００（ＩＭＵ）と、演算処理部３２００と、ＧＰＳ受信部３３００と、受信アンテナ３４００と、位置情報取得部３５００と、位置合成部３６００と、処理部３７００と、通信部３８００と、表示部３９００と、を有している。なお、慣性計測装置３１００としては、例えば、前述した慣性計測装置２０００を用いることができる。
【０１３６】
慣性計測装置３１００は、３軸の加速度センサー３１１０と、３軸の角速度センサー３１２０と、を有している。演算処理部３２００は、加速度センサー３１１０からの加速度データおよび角速度センサー３１２０からの角速度データを受け、これらデータに対して慣性航法演算処理を行い、移動体の加速度および姿勢を含む慣性航法測位データを出力する。
【０１３７】
また、ＧＰＳ受信部３３００は、受信アンテナ３４００を介してＧＰＳ衛星からの信号を受信する。また、位置情報取得部３５００は、ＧＰＳ受信部３３００が受信した信号に基づいて、移動体測位装置３０００の位置（緯度、経度、高度）、速度、方位を表すＧＰＳ測位データを出力する。このＧＰＳ測位データには、受信状態や受信時刻等を示すステータスデータも含まれている。
【０１３８】
位置合成部３６００は、演算処理部３２００から出力された慣性航法測位データおよび位置情報取得部３５００から出力されたＧＰＳ測位データに基づいて、移動体の位置、具体的には移動体が地面のどの位置を走行しているかを算出する。例えば、ＧＰＳ測位データに含まれている移動体の位置が同じであっても、図２４に示すように、地面の傾斜θ等の影響によって移動体の姿勢が異なっていれば、地面の異なる位置を移動体が走行していることになる。そのため、ＧＰＳ測位データだけでは移動体の正確な位置を算出することができない。そこで、位置合成部３６００は、慣性航法測位データを用いて、移動体が地面のどの位置を走行しているのかを算出する。
【０１３９】
位置合成部３６００から出力された位置データは、処理部３７００によって所定の処理が行われ、測位結果として表示部３９００に表示される。また、位置データは、通信部３８００によって外部装置に送信されるようになっていてもよい。
【０１４０】
＜第１０実施形態＞
図２５は、第１０実施形態の移動体を示す斜視図である。
【０１４１】
図２５に示す移動体としての自動車１５００は、エンジンシステム、ブレーキシステムおよびキーレスエントリーシステムの少なくとも何れかのシステム１５１０を含んでいる。また、自動車１５００には、慣性センサー１が内蔵されており、慣性センサー１によって車体の姿勢を検出することができる。慣性センサー１の検出信号は、制御装置１５０２に供給され、制御装置１５０２は、その信号に基づいてシステム１５１０を制御することができる。
【０１４２】
このように、移動体としての自動車１５００は、慣性センサー１と、慣性センサー１から出力された検出信号に基づいて制御を行う制御装置１５０２と、を有する。そのため、前述した慣性センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１４３】
なお、慣性センサー１は、他にも、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。また、移動体としては、自動車１５００に限定されず、例えば、飛行機、ロケット、人工衛星、船舶、ＡＧＶ（無人搬送車）、二足歩行ロボット、ドローン等の無人飛行機等にも適用することができる。
【０１４４】
以上、本発明の慣性センサー、電子機器および移動体を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。
【符号の説明】
【０１４５】
１…慣性センサー、２…基板、２ａ〜２ｄ…辺、３〜５…センサー素子、６…蓋、６ａ〜６ｄ…辺、９…載置台、１０…中間部材、２３〜２５…凹部、３１…固定部、３２…可動体、３３、３４…ばね、３５…第１可動電極、３６…第２可動電極、３８…第１固定電極、３９…第２固定電極、４１…固定部、４２…可動体、４３、４４…ばね、４５…第１可動電極、４６…第２可動電極、４８…第１固定電極、４９…第２固定電極、５１…固定部、５２…可動体、５３…梁、５４…第１固定電極、５５…第２固定電極、６１…凹部、６２…貫通孔、６３…封止材、６９…接合部材、１００…検査用端子、１３１〜１３３、１４１〜１４３、１５１〜１５３…検査用端子、２３１〜２３３、２４１〜２４３、２５１…マウント、２９１、２９２…露出部、３００…センサー素子、３０１Ａ、３０１Ｂ…駆動可動体、３０２Ａ、３０２Ｂ…駆動ばね、３０３Ａ、３０３Ｂ…可動駆動電極、３０４Ａ、３０４Ｂ…第１固定駆動電極、３０５Ａ、３０５Ｂ…第２固定駆動電極、３０６Ａ、３０６Ｂ…検出可動体、３０７Ａ、３０７Ｂ…検出ばね、３０８Ａ、３０８Ｂ…第１可動モニター電極、３０９Ａ、３０９Ｂ…第２可動モニター電極、３１０Ａ、３１０Ｂ…第１固定モニター電極、３１１Ａ、３１１Ｂ…第２固定モニター電極、３１２Ａ、３１２Ｂ…固定検出電極、４００…センサー素子、４０１Ａ、４０１Ｂ…駆動可動体、４０２Ａ、４０２Ｂ…駆動ばね、４０３Ａ、４０３Ｂ…可動駆動電極、４０４Ａ、４０４Ｂ…第１固定駆動電極、４０５Ａ、４０５Ｂ…第２固定駆動電極、４０６Ａ、４０６Ｂ…検出可動体、４０７Ａ、４０７Ｂ…検出ばね、４０８Ａ、４０８Ｂ…第１可動モニター電極、４０９Ａ、４０９Ｂ…第２可動モニター電極、４１０Ａ、４１０Ｂ…第１固定モニター電極、４１１Ａ、４１１Ｂ…第２固定モニター電極、４１２Ａ、４１２Ｂ…固定検出電極、４１３Ａ、４１３Ｂ…変換部、５００…センサー素子、５０１Ａ、５０１Ｂ…駆動可動体、５０２Ａ、５０２Ｂ…駆動ばね、５０３Ａ、５０３Ｂ…可動駆動電極、５０４Ａ、５０４Ｂ…第１固定駆動電極、５０５Ａ、５０５Ｂ…第２固定駆動電極、５０６Ａ、５０６Ｂ…検出可動体、５０７Ａ、５０７Ｂ…検出ばね、５０８Ａ、５０８Ｂ…第１可動モニター電極、５０９Ａ、５０９Ｂ…第２可動モニター電極、５１０Ａ、５１０Ｂ…第１固定モニター電極、５１１Ａ、５１１Ｂ…第２固定モニター電極、５１２Ａ、５１２Ｂ…可動検出電極、５１３Ａ、５１３Ｂ…第１固定検出電極、５１４Ａ、５１４Ｂ…第２固定検出電極、５２１…第１可動部、５２２…第２可動部、７３１〜７３３、７３１０〜７３７０、７４１〜７４３、７４１０〜７４７０、７５１〜７５３、７５１０〜７５７０…配線、８３１〜８３３、８３１０〜８３７０、８４１〜８４３、８４１０〜８４７０、８５１〜８５３、８５１０〜８５７０…端子、９３１〜９３３、９４１〜９４３、９５１〜９５３…載置台、１０００…慣性センサーユニット、１０１０…パッケージ、１０２０…ベース基板、１０２１…凹部、１０２２…第１凹部、１０２３…第２凹部、１０３０…リッド、１０４０…ＩＣチップ、１０５０…内部端子、１０６０…外部端子、１２００…スマートフォン、１２０８…表示部、１２１０…制御回路、１５００…自動車、１５０２…制御装置、１５１０…システム、２０００…慣性計測装置、２１００…アウターケース、２１１０…ネジ穴、２２００…接合部材、２３００…センサーモジュール、２３１０…インナーケース、２３１１…凹部、２３１２…開口、２３２０…基板、２３３０…コネクター、２３４０ｘ、２３４０ｙ、２３４０ｚ…角速度センサー、２３５０…加速度センサー、２３６０…制御ＩＣ、３０００…移動体測位装置、３１００…慣性計測装置、３１１０…加速度センサー、３１２０…角速度センサー、３２００…演算処理部、３３００…ＧＰＳ受信部、３４００…受信アンテナ、３５００…位置情報取得部、３６００…位置合成部、３７００…処理部、３８００…通信部、３９００…表示部、Ａｘ、Ａｙ、Ａｚ…加速度、Ｂ３１〜Ｂ３３、Ｂ４１〜Ｂ４３、Ｂ５１〜Ｂ５３…バンプ、ＢＷ１、ＢＷ２…ボンディングワイヤー、Ｊ…揺動軸、Ｌｘ…中心線、Ｏ…中心、Ｓ…収納空間、Ｖ１１〜Ｖ１３、Ｖｘ、Ｖｙ、Ｖｚ…駆動信号、α１、α２…仮想線、θ…傾斜、ωｘ、ωｙ、ωｚ…角速度
【図１】
2020139879.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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