(57)【要約】【課題】所定の間隔内で接着シート基材の弛みが発生したとしても、所望形状の接着シートを形成することができるシート支持装置およびシート支持方法を提供すること。【解決手段】支持した接着シート基材ＡＢをシート切断手段６０で切断して所定形状の接着シートＡＳを形成する際、当該接着シート基材ＡＢを支持するシート支持装置ＥＡにおいて、接着シート基材ＡＢを支持する第１支持面１１Ａを有する第１支持手段１０と、第１支持面１１Ａに対して所定の間隔ＤＴをおき、当該第１支持面１１Ａからはみ出した接着シート基材ＡＢのはみ出し部ＡＢ１を支持する第２支持面２１Ａを有する第２支持手段２０とを備え、シート切断手段６０は、接着シートＡＳを形成する際、接着シート基材ＡＢを切断する切断部材６２を所定の間隔ＤＴに沿って移動させる構成とされ、所定の間隔ＤＴを覆っている接着シート基材ＡＢの一部である被覆シート部ＡＢ２に所定の張力を付与する張力付与手段３０をさらに備えている。【選択図】図１
2020178103.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シート基材をシート切断手段で切断して所定形状の接着シートを形成する際、当該接着シート基材を支持するシート支持装置において、
前記接着シート基材を支持する第１支持面を有する第１支持手段と、
前記第１支持面に対して所定の間隔をおき、当該第１支持面からはみ出した前記接着シート基材のはみ出し部を支持する第２支持面を有する第２支持手段とを備え、
前記シート切断手段は、前記接着シートを形成する際、前記接着シート基材を切断する切断部材を前記所定の間隔に沿って移動させる構成とされ、
前記所定の間隔を覆っている前記接着シート基材の一部である被覆シート部に所定の張力を付与する張力付与手段をさらに備えていることを特徴とするシート支持装置。
【請求項２】
前記張力付与手段は、前記第１支持手段と前記第２支持手段とを相対移動させて前記被覆シート部に所定の張力を付与することを特徴とする請求項１に記載のシート支持装置。
【請求項３】
前記被覆シート部の張力を検知する張力検知手段をさらに備え、前記張力付与手段は、当該張力検知手段の検知結果を基に、前記被覆シート部に所定の張力を付与することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート支持装置。
【請求項４】
接着シート基材をシート切断工程で切断して所定形状の接着シートを形成する際、当該接着シート基材を支持するシート支持方法において、
前記接着シート基材を第１支持面で支持する第１支持工程と、
前記第１支持面に対して所定の間隔をき、当該第１支持面からはみ出した前記接着シート基材のはみ出し部を第２支持面で支持する第２支持工程とを実施し、
前記シート切断工程では、前記接着シートを形成する際、前記接着シート基材を切断する切断部材を前記所定の間隔に沿って移動させる切断部材移動動作が行われ、
前記切断部材移動動作の開始時点で、前記所定の間隔を覆っている前記接着シート基材の一部である被覆シート部に所定の張力を付与する張力付与工程の実施が行われていることを特徴とするシート支持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート支持装置およびシート支持方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、接着シート基材をシート切断手段で切断して所定形状の接着シートを形成する際、当該接着シート基材を支持するシート支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１３４４３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された従来のウェーハ載置テーブル（２１）（シート支持装置）では、例えば、貼付けロール（２６）として弾性変形するものが採用されると、温調テーブル（３６）（第１支持手段）と、テープサポートテーブル（３７）（外側テーブル）との間の環状の間隔（３９）（所定の間隔）に、貼付けロール（２６）が入り込み、ダイボンドテープ（３）（接着シート基材）が伸ばされて当該所定の間隔内で接着シート基材の弛みが発生する。この弛みが発生した状態のまま、カッター（３４）（切断部材）を所定の間隔に沿って移動させて接着シート基材を切断すると、本願の図１（Ｅ）に示すように、弛みが寄せ集められて、うねりＳＷが形成された状態で切断が行われるようになり、半導体ウェーハ（１）に貼り付けられたダイボンドテープ（接着シート）を所望形状に形成することができなくなるという不都合を発生する。なお、混同を防止するため、特許文献１の付番には、(  )を付記している。
【０００５】
本発明の目的は、所定の間隔内で接着シート基材の弛みが発生したとしても、所望形状の接着シートを形成することができるシート支持装置およびシート支持方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、所定の間隔を覆っている被覆シート部に所定の張力を付与するので、当該所定の間隔内で接着シート基材の弛みが発生したとしても、所望形状の接着シートを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明のシート支持装置の説明図。（Ｅ）は、従来のシート支持装置の不具合の説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
本発明のシート支持装置ＥＡは、接着シート基材ＡＢをシート切断手段６０で切断して所定形状の接着シートＡＳを形成する際、当該接着シート基材ＡＢを支持する装置であって、接着シート基材ＡＢを支持する第１支持面１１Ａを有する第１支持手段１０と、第１支持面１１Ａに対して所定の間隔ＤＴをおき、当該第１支持面１１Ａからはみ出した接着シート基材ＡＢのはみ出し部ＡＢ１を支持する第２支持面２１Ａを有する第２支持手段２０と、所定の間隔ＤＴを覆っている接着シート基材ＡＢの一部である被覆シート部ＡＢ２に所定の張力を付与する張力付与手段３０と、被覆シート部ＡＢ２の張力を検知するロードセルや圧力センサ等の張力検知手段４０とを備え、第１支持手段１０で支持した被着体ＷＫおよび第２支持面２１Ａに接着シート基材ＡＢを貼付するシート貼付手段５０と、接着シートＡＳを形成する際、接着シート基材ＡＢを切断する切断部材としての切断刃６２を所定の間隔ＤＴに沿って移動させるシート切断手段６０とでシート貼付装置ＥＡ１を構成している。
本実施形態の場合、第１支持手段は被着体ＷＫを介して第１支持面１１Ａで接着シート基材ＡＢを支持する構成となっている。
【００１１】
第１支持手段１０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な第１支持面１１Ａを有する内側テーブル１１を備えている。
【００１２】
第２支持手段２０は、上面が第２支持面２１Ａとされた外側テーブル２１を備えている。
【００１３】
張力付与手段３０は、外側テーブル２１に形成された凹部２１Ｂ内に配置され、張力検知手段４０を介してその出力軸３１Ａで内側テーブル１１を支持する駆動機器としての直動モータ３１を備え、第１支持手段１０と第２支持手段２０とを相対移動させて被覆部ＡＢ２に所定の張力を付与する構成になっている。本実施形態の場合、張力付与手段３０は、張力検知手段４０の検知結果を基に、被覆シート部ＡＢ２に所定の張力を付与する構成となっている。
【００１４】
シート貼付手段５０は、駆動機器としての回動モータ５１Ａの図示しない出力軸に支持され、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に帯状の接着シート基材ＡＢが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ５１と、原反ＲＳを案内する原反ガイドローラ５２と、原反ＲＳが掛け回され、接着シート基材ＡＢに付与される張力を検知可能な基材張力検知手段としてのロードセル５３Ａと、ロードセル５３Ａの検知軸５３Ｂに回転自在に支持された張力検知ローラ５３と、剥離縁５４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シート基材ＡＢを剥離する剥離手段としての剥離板５４と、被着体ＷＫおよび第２支持面２１Ａに接着シート基材ＡＢを押圧して貼付する押圧手段５５と、駆動機器としての回動モータ５６Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ５６Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ５６と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡ１の自動運転が行われている間、ピンチローラ５６Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ５７と、上記の各部材５１〜５７を直接的または間接的に支持する貼付フレーム５８と、接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢを第２支持面２１Ａから剥離するシート基材剥離手段５９とを備えている。
押圧手段５５は、駆動機器としてのリニアモータ５５Ａと、その第１スライダ５５Ｂに支持された駆動機器としてのリニアモータ５５Ｃと、そのスライダ５５Ｄに回転自在に支持された押圧ローラ５５Ｅとを備えている。
シート基材剥離手段５９は、駆動機器としてのリニアモータ５９Ａのスライダ５９Ｂに回転自在に支持された剥離位置規制ローラ５９Ｃと、接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢを案内するガイドローラ５９Ｄと、駆動機器としての回動モータ５９Ｅの図示しない出力軸に支持された張力付与ローラ５９Ｆと、図示しない付勢手段によって張力付与ローラ５９Ｆ方向に付勢され、接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢを回収するシート回収手段としての回収ローラ５９Ｇと、押圧手段５５と共有するリニアモータ５５Ａの第２スライダ５５Ｆに支持され、上記の各部材５９Ａ〜５９Ｇを直接的または間接的に支持する剥離フレーム５９Ｈとを備えている。
【００１５】
シート切断手段６０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム６１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット６１と、ブラケット６２Ａを介して先端アーム６１Ａに支持された切断刃６２とを備えている。
【００１６】
以上のシート支持装置ＥＡが採用されたシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、支持ローラ５１に支持された接着シート基材ＡＢが繰り出されないように、シート貼付手段５０が回動モータ５１Ａをロック状態とした後、回動モータ５９Ｅを駆動し、支持ローラ５１と張力付与ローラ５９Ｆとの間に位置する貼付前の接着シート基材ＡＢが弛まない程度に張力を付与する。次いで、回収ローラ５９Ｇから接着シート基材ＡＢ（接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢ）が繰り出されないように、シート貼付手段５０が回動モータ５９Ｅをロック状態とする。
【００１７】
その後、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない運搬手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体ＷＫを内側テーブル１１上に載置すると、第１支持手段１０が図示しない減圧手段を駆動し、第１支持面１１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。次に、シート貼付手段５０がリニアモータ５５Ｃ、５９Ａを駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ５５Ｅおよび剥離位置規制ローラ５９Ｃを下降させ、当該押圧ローラ５５Ｅおよび剥離位置規制ローラ５９Ｃで第２支持面２１Ａに接着シート基材ＡＢを所定の押圧力で押圧する。そして、シート貼付手段５０がリニアモータ５５Ａを駆動し、押圧ローラ５５Ｅを右方へ移動させ、被着体ＷＫの上面および第２支持面２１Ａに接着シート基材ＡＢを所定の押圧力で押圧して貼付する。この際、シート貼付手段５０が回動モータ５１Ａ、５６Ａを駆動し、ロードセル５３Ａの検知結果を基に、接着シート基材ＡＢを繰り出したり巻き取ったりして、支持ローラ５１と押圧ローラ５５Ｅとの間に位置する貼付前の接着シート基材ＡＢに所定の張力を付与する。
【００１８】
次いで、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ５５Ｅが外側テーブル２１の右方所定位置に到達すると、シート貼付手段５０がリニアモータ５５Ａの駆動を停止する。この際、押圧ローラ５５Ｅとして弾性変形するものが採用されると、図１（Ｂ）に示すように、所定の間隔ＤＴに押圧ローラ５５Ｅが入り込み、接着シート基材ＡＢが伸ばされて当該所定の間隔ＤＴ内で接着シート基材ＡＢの弛みＡＢＳが発生する。その後、張力付与手段３０が直動モータ３１を駆動し、図１（Ｃ）に示すように、内側テーブル１１を上昇させて張力検知手段４０の検知結果を基に、被覆シート部ＡＢ２に所定の張力を付与した後、内側テーブル１１が移動しないように直動モータ３１をロック状態とする。次に、シート切断手段６０が多関節ロボット６１を駆動し、図１（Ｃ）に示すように、切断刃６２を接着シート基材ＡＢに突き刺す。そして、シート切断手段６０が多関節ロボット６１を駆動し、切断刃６２を所定の間隔ＤＴに沿って移動させる切断部材移動動作を開始し、当該切断刃６２を内側テーブル１１周りに１周させた後、切断刃６２を初期位置に復帰させる。これにより、接着シート基材ＡＢから被着体ＷＫに貼付された所定形状の接着シートＡＳが形成され、被着体ＷＫに接着シートＡＳが貼付された一体物ＵＰが形成される。次いで、第１支持手段１０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、第１支持面１１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除すると、使用者または、図示しない運搬手段が一体物ＵＰを内側テーブル１１から取り去り、当該一体物ＵＰを次工程に搬送する。
【００１９】
その後、張力付与手段３０が直動モータ３１を駆動し、内側テーブル１１を初期位置に復帰させた後、シート貼付手段５０がリニアモータ５５Ａおよび回動モータ５９Ｅを駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、剥離フレーム５９Ｈを右方へ移動させ、接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢを第２支持面２１Ａから剥離する。次に、図１（Ｄ）に示すように、接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢが第２支持面２１Ａから剥離されると、シート貼付手段５０がリニアモータ５５Ａおよび回動モータ５９Ｅの駆動を停止した後、シート貼付手段５０がリニアモータ５５Ｃ、５９Ａを駆動し、同図中二点鎖線で示すように、押圧ローラ５５Ｅおよび剥離位置規制ローラ５９Ｃを上昇させる。そして、接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢが回収ローラ５９Ｇから繰り出されないように、シート貼付手段５０が回動モータ５９Ｅをロック状態とした後、リニアモータ５５Ａを駆動し、押圧ローラ５５Ｅおよび剥離フレーム５９Ｈを初期位置に復帰させる。また、リニアモータ５５Ａの駆動開始と同時に、シート貼付手段５０が回動モータ５１Ａ、５６Ａを駆動し、支持ローラ５１から原反ＲＳを繰り出して新たな接着シート基材ＡＢを第１支持面１１Ａおよび第２支持面２１Ａに対向配置させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２０】
以上のような実施形態によれば、所定の間隔ＤＴを覆っている被覆シート部ＡＢ２に所定の張力を付与するので、当該所定の間隔ＤＴ内で接着シート基材ＡＢの弛みＡＢＳが発生したとしても、所望形状の接着シートＡＳを形成することができる。
【００２１】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第１支持手段は、接着シート基材を支持する第１支持面を有するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【００２２】
第１支持手段１０は、被着体ＷＫを支持することなく、接着シート基材ＡＢのみを支持するものでもよいし、吸着保持が不能な第１支持面１１Ａを有していてもよいし、第１支持面１１Ａの外形形状が被着体ＷＫの外形形状と同じでもよいし、異なっていてもよいし、第１支持面１１Ａの外形形状が円形、楕円形、三角形や四角形以上の多角形等、どのような形状でもよいし、第１支持面１１Ａの大きさが被着体ＷＫよりも大きくてもよいし、小さくてもよい。
【００２３】
第２支持手段２０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な第２支持面２１Ａを有していてもよいし、吸着保持が不能な第２支持面２１Ａを有していてもよいし、第２支持面２１Ａの外形形状が円形、楕円形、三角形や四角形以上の多角形等、どのような形状でもよいし、有底の凹部２１Ｂを備えた外側テーブル２１が採用されてもよいし、底なしの凹部２１Ｂを備えた外側テーブル２１が採用されてもよい。
【００２４】
張力付与手段３０は、内側テーブル１１を下降させて被覆シート部ＡＢ２に所定の張力を付与してもよいし、空気やガス等の気体を被覆シート部ＡＢ２に吹き付けて被覆シート部ＡＢ２に所定の張力を付与してもよいし、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段で吸引を行って被覆シート部ＡＢ２に所定の張力を付与してもよいし、シャフトや筒等の当接部材を被覆シート部ＡＢ２に押し当てて被覆シート部ＡＢ２に所定の張力を付与してもよいし、第１支持面１１Ａ内で第１支持手段１０と第２支持手段２０とを相対回転させて被覆シート部ＡＢ２に所定の張力を付与してもよいし、被覆シート部ＡＢ２に付与する所定の張力は、本発明のシート支持装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に予め設定されていてもよいし使用者が任意に決定してもよいし、図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように、被覆シート部ＡＢ２に所定の張力を付与した際、第２支持面２１Ａから接着シート基材ＡＢが剥れないように、当該第２支持面２１Ａとで接着シート基材ＡＢを挟み込む外側挟込手段３２を採用してもよいし、図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように、被覆シート部ＡＢ２に所定の張力を付与した際、第１支持面１１Ａ（被着体ＷＫ）から接着シート基材ＡＢが剥れないように、当該第１支持面１１Ａ（被着体ＷＫ）とで接着シート基材ＡＢを挟み込む内側挟込手段３３を採用してもよいし、シート切断手段６０による切断部材移動動作よりも前の段階で、被覆シート部ＡＢ２に所定の張力を付与してもよいし、シート切断手段６０による切断部材移動動作の開始と同時に、被覆シート部ＡＢ２に所定の張力を付与してもよく、シート切断手段６０による切断部材移動動作の開始時点で、所定の間隔ＤＴを覆っている被覆シート部ＡＢ２に所定の張力を付与されていれば、どのようなタイミングで被覆シート部ＡＢ２に所定の張力を付与してもよい。
【００２５】
張力検知手段４０は、凹部２１Ｂの底面と直動モータ３１との間に配置されていてもよいし、被覆シート部ＡＢ２に直接または間接的に接触して当該被覆シート部ＡＢ２の張力を検知してもよいし、光学センサやエコーセンサ等によって非接触で被覆シート部ＡＢ２の張力を検知してもよいし、本発明のシート支持装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし備わっていなくてもよい。
【００２６】
シート貼付手段５０は、支持ローラ５１や原反ガイドローラ５２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、基材張力検知手段として圧力センサや光学センサ等を採用してもよいし、基材張力検知手段がなくてもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートＲＬを回収してもよいし、剥離シートＲＬを回収しなくてもよいし、押圧ローラ５５Ｅや剥離位置規制ローラ５９Ｃを昇降させない構成としてもよいし、押圧ローラ５５Ｅとして弾性変形しないものが採用されてもよいし、押圧ローラ５５Ｅを移動させずにまたは移動させつつ、接着シート基材ＡＢ、第１支持手段１０および第２支持手段２０を移動させ、被着体ＷＫおよび第２支持面２１Ａに接着シート基材ＡＢを押圧して貼付してもよいし、剥離位置規制ローラ５９Ｃがなくてもよいし、張力付与ローラ５９Ｆ方向に付勢されることなく、接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢを回収可能なシート回収手段が採用されてもよいし、接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収するシート回収手段が採用されてもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢを回収するシート回収手段が採用されてもよいし、シート回収手段が備わっていなくてもよいし、押圧手段５５と共有することのない駆動機器で剥離フレーム５９Ｈを左右方向に移動させてもよいし、剥離フレーム５９Ｈを移動させずにまたは移動させつつ、接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢ、第１支持手段１０および第２支持手段２０を移動させ、第２支持面２１Ａから接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢを剥離してもよいし、例えば、チャックシリンダ等の駆動機器で接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢを把持し、当該駆動機器と第１支持手段１０および第２支持手段２０とを相対移動させ、第２支持面２１Ａから接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢを剥離してもよいし、剥離フレーム５９Ｈを移動させずにまたは移動させつつ、貼付フレーム５８を移動させ、新たな接着シート基材ＡＢを第１支持面１１Ａおよび第２支持面２１Ａに対向配置させてもよいし、例えば、チャックシリンダ等の駆動機器で接着シート基材ＡＢを把持し、当該駆動機器と貼付フレーム５８を移動させ、新たな接着シート基材ＡＢを第１支持面１１Ａおよび第２支持面２１Ａに対向配置させてもよいし、本発明のシート支持装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし備わっていなくてもよい。
【００２７】
シート切断手段６０は、切断部材として接着シート基材ＡＢを切断可能なものであればどのようなものが採用されてもよく、例えば、切断刃６２の延出方向（図１（Ａ）の状態におけるＺ軸方向）に対し、峰が平行で刃先が傾斜した切断刃６２が採用されてもよいし、切断刃６２の延出方向に対し、刃先が平行で峰が傾斜した切断刃６２が採用されてもよいし、切断刃６２の延出方向に対し、刃先および峰の両方が傾斜した切断刃６２が採用されてもよいし、本来峰となる側にも刃が存在する所謂両刃を備えた切断刃６２が採用されてもよいし、丸刃や鋸刃等のその他の形状の切断刃６２が採用されてもよいし、ニクロム線や金属線等の電熱線や、ワイヤやベルト等の線状刃物等が採用されてもよいし、ブラケット６２Ａに支持されていなくてもよい。
シート切断手段６０は、切断刃６２を移動させずにまたは移動させつつ、第１支持手段１０および第２支持手段２０を移動させて接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、図１（Ｃ）に示すように、切断刃６２における切っ先側が被着体ＷＫから遠ざかる方向に当該切断刃６２を傾斜させて接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、同切っ先側が被着体ＷＫに接近する方向に当該切断刃６２を傾斜させて接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、同切っ先側が被着体ＷＫから遠ざかる方向にも接近する方向にも傾斜させることなく接着シートＡＳを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁と同形状となるように接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁よりも被着体ＷＫから離れた位置で接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁の形状とは関係なく接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、接着シート基材ＡＢのみを切断してもよいし、接着シート基材ＡＢおよび被着体ＷＫの両方を切断してもよいし、切断刃６２を着脱可能または着脱不能な構成でもよいし、切断刃６２の着脱を自動で行ったり、人手で行ったり、他の装置で行ったりしてもよいし、本発明のシート支持装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし備わっていなくてもよい。
【００２８】
シート支持装置ＥＡは、シート貼付装置ＥＡ１以外に、例えば、接着シートＡＳを積層するシート積層装置や接着シートＡＳに印字や塗布を行う印刷装置等の他の装置に用いられてもよいし、シート貼付装置ＥＡ１や他の装置等に用いられることなく、単独で用いられてもよい。
所定の間隔および第２支持面は、上方から見下ろした平面視において環状でなくてもよく、例えば、第１支持手段１０に対する上方、下方、左方、右方、前方、後方または、それら成分を含む方向に第２支持手段２０が配置されることで、第１支持面１１Ａに対して平面視環状でない所定の間隔ＤＴをおき、平面視環状でない第２支持面２１Ａが配置されていてもよい。なお、第２支持手段は、平面視環状であってもよいし、平面視環状でなくてもよい。
所定の間隔ＤＴ内で接着シート基材ＡＢに弛みＡＢＳが発生するメカニズムは、弾性変形する押圧ローラ５５Ｅによるものに限らず、例えば、所定の間隔ＤＴ内で弛みＡＢＳが発生することなく、第１支持手段１０と第２支持手段２０とで接着シート基材ＡＢを支持した後、当該接着シート基材ＡＢの雰囲気温度が変化（温度上昇または温度低下）し、当該所定の間隔ＤＴ内で接着シート基材ＡＢに弛みＡＢＳが発生する場合や、接着シート基材ＡＢを第１支持手段１０および第２支持手段２０に貼付する際、当該接着シート基材ＡＢに付与する張力が欠如することで、所定の間隔ＤＴ内で接着シート基材ＡＢに弛みＡＢＳが発生する場合等、どのようなメカニズムであってもよい。
接着シート基材ＡＢは、剥離シートＲＬが仮着されていなくてもよい。
【００２９】
本発明における接着シート基材ＡＢ、接着シートＡＳおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００３０】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂等で構成してもよい。
【符号の説明】
【００３１】
ＥＡ…シート支持装置
１０…第１支持手段
１１Ａ…第１支持面
２０…第２支持手段
２１Ａ…第２支持面
３０…張力付与手段
４０…張力検知手段
６０…シート切断手段
６２…切断刃（切断部材）
ＡＢ…接着シート基材
ＡＢ１…はみ出し部
ＡＢ２…被覆シート部
ＡＳ…接着シート
ＤＴ…所定の間隔
【図１】
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