(57)【要約】      （修正有）【課題】装置を構成する各部の構成や配置、あるいは材質などが異なる場合であっても、それらを予め考慮することで、ノイズが低減された放射線画像を容易に得ることができる放射線検査装置を提供する。【解決手段】入力部１２は、放射線発生器１と放射線検出器３の各部の位置関係、放射線発生器に加える管電圧及び／または管電流、及び放射線検出器３の特性の少なくとも一つをパラメータとして受け付ける。除去ノイズデータ記憶部は、パラメータの値を、処理前画像に対するノイズ除去レベル及びノイズサイズと対応付けて記憶する。除去ノイズ決定部は、除去ノイズデータ記憶部に記憶されているデータに基づいて、入力部１２から受け付けたパラメータに対応するノイズ除去レベル及びノイズサイズを決定する。画像処理フィルタは、除去ノイズ決定部により決定されたノイズ除去レベル及びノイズサイズに基づいて、処理前画像中に含まれるノイズを除去する。【選択図】図１
2020190531.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線発生器と、被検査物を載置する支持部と、前記被検査物を透過した放射線を受光して可視光に変換する放射線検出器と、
前記放射線発生器と前記放射線検出器の各部の位置関係、前記放射線発生器に加える管電圧及び／または管電流、及び前記放射線検出器の特性の少なくとも一つをパラメータとして受け付ける入力部と、
前記パラメータの値を、前記処理前画像に対するノイズ除去レベル及びノイズサイズと対応付けて記憶する除去ノイズデータ記憶部と、
撮影された放射線画像の処理前画像を保存する処理前画像記憶部と、
前記除去ノイズデータ記憶部に記憶されているデータに基づいて、前記入力部から受け付けたパラメータに対応するノイズ除去レベル及びノイズサイズを決定する除去ノイズ決定部と、
前記除去ノイズ決定部により決定されたノイズ除去レベル及びノイズサイズに基づいて、前記処理前画像中に含まれるノイズを除去する画像処理フィルタと、
前記画像処理部によって得られた処理後画像を保存する処理後画像記憶部と、
を有することを特徴とする放射線検査装置。
【請求項２】
前記入力部は、前記表示部に表示された前記処理前画像の任意の一部を指定する範囲指定部を備え、前記画像処理フィルタは、前記範囲指定部によって指定された前記処理前画像の一部に対して、前記入力部から受け付けたパラメータに対応するノイズ除去レベル及びノイズサイズに基づいてノイズの除去を行う請求項１に記載の放射線検査装置。
【請求項３】
前記画像処理フィルタは、被検査物の撮影時のパラメータにもとづいて決定されたノイズ除去レベル及びノイズサイズを基準値として、その基準値から一定の間隔で設定された複数のノイズサイズと複数のノイズ除去レベルの組み合わせに基づいて前記処理前画像に対してノイズ除去を実施し、
前記表示部は、前記画像処理フィルタによりノイズ除去された複数の前記処理後画像のサムネイルを、マトリックス状に表示する請求項１または請求項２に記載の放射線検査装置。
【請求項４】
前記表示部は、座標表面上においてノイズサイズを横軸にノイズ除去レベルを縦軸にとり、前記横軸及び縦軸の近傍にスライドバーを配置し、前記入力部は前記スライドバーを操作してノイズサイズとノイズ除去レベルを入力する請求項３に記載の放射線検査装置。
【請求項５】
前記除去ノイズデータ記憶部は、前記パラメータの値を、前記処理前画像に対する所定の幅を持ったノイズ除去レベルの値及びノイズサイズの値と対応付けて記憶する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、放射線検査装置で撮影した画像（本明細書及び請求項において、放射線画像と呼ぶ）の画質調整に必要なパラメータ値を、装置の構成に合わせて自動的に設定することのできる放射線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
放射線検査装置で物体を撮影する場合、ノイズが少なく鮮明な画像を得るには、物体を透過する放射線の時間的・空間的な密度が増すように撮像条件を工夫する。しかし、放射線発生源から照射する放射線の強度には被爆その他の理由から一定の限界があり、放射線の粒子または光子の密度が低下すると粒状性のノイズが目立つことがある。
【０００３】
このようなノイズ対策として、従来から、撮影された放射線画像に対して各種のフィルタを用いて画像処理を行い、ノイズを低減したり輪郭を強調する手法が一般的に用いられている。この種の処理を行うフィルタには、ガウシアンフィルタ、バイラテラルフィルタ等が用いられる。これらのフィルタを用いる場合、たとえばバイラテラルフィルタにおいてはカーネルサイズK、フィルタ値S、輝度差Wがパラメータとして必要となる。また、複数のフィルタをかける場合は、各フィルタについて同じパラメータを複数準備する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−２５００４３号公報
【特許文献２】特開２０１０−５４３５６公報
【特許文献３】特開２０１２−２５００４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、ノイズ特性は、RMS粒状度（root mean square）やウィーナースペクトル（WS：Wiener spectrum）で評価することができる。例えば、ウィーナースペクトルは、横軸に空間周波数を、縦軸にウィーナースペクトルを取り、ウィーナースペクトルの値が大きいということは、ノイズのレベルが高い（粒状性が悪い＝ノイズが多い）ことを意味している。ノイズの低減のためには、適切なノイズ除去レベルが必要となる。空間周波数はノイズのサイズと関連するもので、空間周波数が高いと言うことはノイズサイズが大きいことを意味している。画像のシャープなエッジを再現するには、空間周波数の高い成分が必要であり、空間周波数が高い成分、言い換えればサイズの大きなノイズをカットすると、輪郭がぼやけた画像になる。
【０００６】
放射線画像に含まれているノイズを一般的なノイズフィルタを使用して除去する場合、カーネルサイズ、フィルタ値、輝度差などのパラメータ値を個別に複数設定する必要があるが、パラメータ値が実際の放射線画像にどのように反映されるか初心者では把握が難しく、複数のパラメータ値を適切に設定することは困難である。特に、放射線画像の画像処理を行うノイズフィルタについては、パラメータが多いこと、及びパラメータ値を見ただけではそのパラメータ値の変更が画像にどの程度の影響を与えるかを直感的に把握することが難しく、適正なパラメータ値を求める方法が確立していない。例えば、図１１に示すような放射線画像に対してノイズ除去を行う場合に、パラメータの設定方法を誤ると、図１２に示す処理後画像においてノイズとともに必要な画像のエッジ情報が消失してしまう。
【０００７】
一般に、Ｘ線発生器の放射線管に対して管電圧を印加し、ターゲットに電子を衝突させた場合、電子発生時におけるショットノイズやサーマルノイズによって、ターゲットから発生するＸ線粒子数やＸ線粒子の有するエネルギーにばらつきが生じる。同様に、Ｘ線検出器、例えばシンチレータにおけるＸ線粒子から可視光粒子への変換効率も、シンチレータの特性や厚さなどによって異なる。
【０００８】
図１４は、シンチレータ１００に入射したＸ線粒子のエネルギーと、シンチレータ１００内部で発生した可視光粒子の受光素子に対する照射範囲の関係を示す図である。高エネルギーのＸ線粒子は、シンチレータ１００の深くまで進入してから可視光粒子を発光させることから（発光位置ｄ１）、受光素子１０１における受光範囲ｗ１が狭い。低エネルギーのＸ線粒子は、シンチレータ１００の比較的浅い位置で可視光粒子を発光させることから（発光位置ｄ２）、受光範囲ｗ２が広い。また、発光した可視光粒子の強度（ノイズレベルと呼ばれる）は、受光範囲で一様ではなく、受光範囲の周辺に行くと弱くなっている。
【０００９】
このように、Ｘ線粒子が可視光粒子を発生させる場合の反応位置はＸ線のエネルギー、シンチレータの厚み、シンチレータの材質（Ｘ線や可視光に対する減弱係数および結晶構造）により確率的に変動する。そのため、放射線検査装置によって撮影された画像に含まれるノイズも、前記のような特性を有する。しかし、従来のノイズフィルタは、このようなＸ線検出器におけるＸ線強度やシンチレータの変換特性に基づくノイズの態様を考慮したものではない。すなわち、従来技術は、Ｘ線検出器から得られた画像そのものを対象として処理を行うものであるため、適切なフィルタ処理を行うことが難しく、多数のパラメータの設定など複雑な操作が要求されていた。
【００１０】
本発明の実施形態は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものである。本発明の実施形態の目的は、装置を構成する各部の構成や配置、あるいはシンチレータの材質などが異なる場合であっても、それらを予め考慮することで、ノイズが低減された放射線画像を容易に得ることができる放射線検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の実施形態の放射線検査装置は、次のような構成を有する。
（１）放射線発生器と、被検査物を載置する支持部と、前記被検査物を透過した放射線を受光して可視光に変換する放射線検出器。
（２）前記放射線発生器と前記放射線検出器の各部の位置関係、前記放射線発生器に加える管電圧及び／または管電流、及び前記放射線検出器の特性の少なくとも一つをパラメータとして受け付ける入力部。
（３）前記パラメータの値を、前記処理前画像に対するノイズ除去レベル及びノイズサイズと対応付けて記憶する除去ノイズデータ記憶部。
（４）撮影された放射線画像の処理前画像を保存する処理前画像記憶部。
（５）前記除去ノイズデータ記憶部に記憶されているデータに基づいて、前記入力部から受け付けたパラメータに対応するノイズ除去レベル及びノイズサイズを決定する除去ノイズ決定部。
（６）前記除去ノイズ決定部により決定されたノイズ除去レベル及びノイズサイズに基づいて、前記処理前画像中に含まれるノイズを除去する画像処理フィルタ。
（７）前記画像処理部によって得られた処理後画像を保存する処理後画像記憶部。
（８）前記入力部の入力インターフェースと前記処理前画像および／または処理後画像を表示する表示部。
【００１２】
本発明の実施形態において、次のような構成を有することができる。
（１）前記入力部は、前記表示部に表示された前記処理前画像の任意の一部を指定する範囲指定部を備え、前記画像処理フィルタは、前記範囲指定部によって指定された前記処理前画像の一部に対して、前記入力部から受け付けたパラメータに対応するノイズ除去レベル及びノイズサイズに基づいてノイズの除去を行う。
（２）前記画像処理フィルタは、被検査物の撮影時のパラメータにもとづいて決定されたノイズ除去レベル及びノイズサイズを基準値として、その基準値から一定の間隔で設定された複数のノイズサイズと複数のノイズ除去レベルの組み合わせに基づいて前記処理前画像に対してノイズ除去を実施し、
前記表示部は、前記画像処理フィルタによりノイズ除去された複数の前記処理後画像のサムネイルを、マトリックス状に表示する。
（３）前記表示部は、座標表面上においてノイズサイズを横軸にノイズ除去レベルを縦軸にとり、前記横軸及び縦軸の近傍にスライドバーを配置し、前記入力部は前記スライドバーを操作してノイズサイズとノイズ除去レベルを入力する。
（４）前記除去ノイズデータ記憶部は、前記パラメータの値を、前記処理前画像に対する所定の幅を持ったノイズ除去レベルの値及びノイズサイズの値と対応付けて記憶する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１実施形態の放射線検査装置を組み込んだ放射線検査装置の模式図。
【図２】第１実施形態における画像処理部の構成を示すブロック図。
【図３】単色Ｘ線によるノイズ分布を示す概念図。
【図４】単色Ｘ線のノイズを除去する帯域除去フィルタの概念図。
【図５】白色Ｘ線においてノイズが重ね合わさった分布を示す概念図。
【図６】白色Ｘ線のノイズを除去するために、複数の帯域除去フィルタを組み合わせて構成されたノイズ除去フィルタの概念図。
【図７】第１実施形態の入力インターフェースの一例を示す図。
【図８】第２実施形態における画像処理部の構成を示すブロック図。
【図９】本発明の他の実施形態における入力インターフェースの一例を示す図。
【図１０】本発明の他の実施形態における入力インターフェースの他の例を示す図。
【図１１】処理前画像Ａの一例を示す図。
【図１２】不適切なパラメータ設定値によって画像処理された処理後画像Ｂの一例を示す図。
【図１３】この出願の実施形態によって画像処理された処理後画像Ｂの一例を示す図。
【図１４】Ｘ線検出器におけるＸ線粒子のエネルギーに対するノイズレベルとノイズサイズの関係を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
［１．第１実施形態］
本実施形態は、装置を構成する各部の構成や配置、あるいはシンチレータの材質などに応じてノイズ除去のレベルとサイズを自動的に決定すると共に、決定されたノイズ除去のレベルとサイズとは段階的に少しずつ異なるレベルとサイズによって画像処理した処理後画像のサムネイルを表示することにより、ユーザが最適な処理後画像を選択するものである。
［１−１．全体構成］
図１のブロック図に示すように、第１実施形態の画質調整装置を組み込んだ放射線検出装置は、Ｘ線発生器であるＸ線管１と、Ｘ線管１の焦点Ｆから放射されたＸ線ビーム２を受光する検出器３とが、被検体Ｗを挟んで対向して配置される。Ｘ線ビーム２は、Ｘ線光軸Ｌを中心とする角錐状のビームである。検出器３は、被検体Ｗを透過したＸ線ビーム２を２次元の空間分解能をもって検出し、検出器３の出力側に接続された画像処理部１０に対して透過画像データとして出力する。
【００１５】
Ｘ線管１及び検出器３は対向してシフト機構４より支持されている。被検体Ｗは、その支持部である回転テーブル５上に載置される。すなわち、回転テーブル５上にＸＹ駆動機構６が設けられ、そのＸＹ駆動機構６上に被検体Ｗが載置される。被検体Ｗは回転テーブル５上でＸＹ駆動機構６によって水平な２方向に移動される。回転テーブル５は、その下部に配置された回転・昇降機構７により回転軸８を中心として回転すると共に昇降する。Ｘ線管１、検出器３、シフト機構４、ＸＹ駆動機構６及び回転・昇降機構７は、表示部１１及び入力部１２を備えた制御部９に接続される。
【００１６】
制御部９及び画像処理部１０は、ＣＰＵ、メモリ、ハードディスク、キーボードやマウスなどの入力部１２と、液晶ディスプレイなどの表示部１１を備えたコンピュータの一部として構成される。表示部１１には、入力部１２の入力インターフェース、検出器３からの透過画像データに基づいて生成された処理前画像Ａ、処理前画像Ａに対してノイズ除去や輪郭強調を行った処理後画像Ｂが表示される。
【００１７】
入力部１２は、次のような処理を行うように構成されている。
(1) 被検査物Ｗの撮影時に使用される放射線検査装置の各部の構成や配置、あるいはシンチレータの材質などのパラメータと、これらのパラメータに対応するノイズ除去レベル及びノイズサイズを、被検査物Ｗの撮影時よりも前に、除去ノイズデータ記憶部に入力する。
(2) 被検査物Ｗの撮影時に使用される放射線検査装置の各パラメータを入力する。
(3) ユーザがサムネイル生成部１８に表示された複数のサムネイルを参照しながら、希望とするノイズ除去レベル及びノイズサイズを選択する。
【００１８】
前記(1) (2) について、入力部１２は、ユーザからあるいは別途用意されたファイルなどから、Ｘ線管１と放射線検出器３の各部の位置関係、Ｘ線管１に加える管電圧及び／または管電流、放射線検出器３の特性を、制御部９に入力するものである。例えば、ユーザにより入力部１２から制御部９に入力された指令に基づき、回転テーブル５は被検体Ｗと共にシフト機構４によりＸ線管１と検出器３の間をＸ線光軸Ｌに沿って移動され、撮影距離（焦点−回転軸間距離）ＦＣＤが変更される。検出器３はシフト機構４によりＸ線光軸Ｌに沿って移動され、検出距離（焦点−検出器間距離）ＦＤＤが変更される。これにより撮影倍率ＦＤＤ／ＦＣＤが変更される。このように変更されたＦＣＤ、ＦＤＤ、ＦＤＤ／ＦＣＤなどのデータが、Ｘ線管１と放射線検出器３の各部の位置関係のデータとして、入力部１２から制御部９に入力される。
【００１９】
(3) のユーザによるノイズ除去レベル及びノイズサイズの選択は、例えば次のように行う。すなわち、本実施形態では、図７に示すように、一定の間隔で設定された複数のノイズサイズと複数のノイズ除去レベルの組み合わせに基づいて画像処理された複数の処理後画像Ｂのサムネイルを、マトリックス状に表示する。マトリックス状に表示されたサムネイルの近傍には、上下または左右方向のスライドバーを設け、ユーザが希望するサムネイルに向かってスライドバーを操作することにより、そのサムネイルを生成した際に採用されたノイズ除去レベル及びノイズサイズを選択する。
【００２０】
Ｘ線管１に与える管電流及び管電圧は、Ｘ線管１から放射されるＸ線の強度に影響を与えるものであるため、被検査物の材質、肉厚などに応じて適宜調整される。この場合、管電圧及び管電流の両者を調整する場合もあるし、いずれか一方をのみを調整する場合もある。このような調整すべき管電流及び管電圧の値は、入力部１２から制御部９に出力される。
【００２１】
［１−２．画像処理部１０の構成］
画像処理部１０は、図２に示すように、除去ノイズデータ記憶部１３、処理前画像記憶部１５、画像処理フィルタ１６、処理後画像記憶部１７及び処理後画像Ｂのサムネイル生成部１８を備える。
【００２２】
除去ノイズデータ記憶部１３は、入力部１２から入力された各パラメータの組み合わせをノイズ除去レベル及びノイズサイズに対応付けて記憶する。各パラメータとノイズ除去レベル及びノイズサイズを対応付けて記憶する手法としては、例えば次のようなものを用いる。
【００２３】
（ａ）実測する場合
対象の放射線検査装置において、放射線スペクトルと検出器を用いてMTFを測定することで支配的なノイズサイズを求めることができる。
【００２４】
（ｂ）計算的に求める場合
図１４に記載のように、放射線フォトンノイズの大きさは放射線がシンチレータ内でシンチレーション光に変換される深さ方向の位置により変化する。すなわち、表面で変換されればフォトン１個あたりのフォトンノイズサイズは大きくなり、受光面近くで変換されればサイズは小さくなる。この場合、放射線フォトンがシンチレータ内で反応する位置は、放射線のエネルギーＥ、シンチレータの厚みＤ、シンチレータ材質（具体的には、減弱係数および結晶構造）により確率的に変動する。そこで、放射線が単色の場合は、前記を踏まえたモンテカルロシミュレーションを行うことで、例えば、図３に示すようなサイズ分布を得ることができる。
【００２５】
例えば、放射線のエネルギーＥは放射線管電圧Vにより決定され、シンチレータ内での発光位置dが変化するため、受光素子での受光範囲ｗが変化する。電圧Vと発光位置ｄと受光範囲ｗの関係は、シンチレータの構造、材質、厚みにより変化するため、
・テーブルを用いてVとｗの関係を求める
・Vとｗの相関から近似により算出する
等の方法で、管電圧Vから受光範囲ｗを求め、これをノイズサイズとする。ノイズ除去レベルについては、受光範囲ｗに存在する受光素子に対する可視光の入力強度を検出することで、受光範囲の各位置における入力レベルを知ることができる。この場合、管電圧Ｖの代わりに、管電流によっても放射線のエネルギーＥが変化することから、管電流の変化と受光範囲との関係に基づいてノイズサイズを決定することもできる。
【００２６】
放射線検査装置におけるノイズ除去レベルとノイズサイズは、上記のような管電圧や管電流といったパラメータ以外にも、ＦＣＤ、ＦＤＤ、ＦＤＤ／ＦＣＤなどのＸ線管１と放射線検出器３の各部の位置関係に関するパラメータによっても変動する。更には、シンチレータの材質や可視光への変換特性もノイズのレベルとサイズに影響する。本実施形態においては、これらの値についてもパラメータとして選定し、これら各パラメータの変動がノイズのレベルとサイズに与える影響を対応付けて予め除去ノイズデータ記憶部１３に記憶する。
【００２７】
一方、放射線が複数のエネルギー分布を持つ場合は、図５に示すように放射線のエネルギー分布ごとのサイズ分布の重ね合わせがサイズ分布になる。この場合、サイズ分布をテーブルとして取得しておくか、被検査物Ｗの撮影の都度、エネルギー分布を測定したり、計算しても良い。その理由は、放射線画像のノイズは、厳密には被検査物Ｗを透過後のスペクトルによって生じるからである。しかし、ノイズ除去の画像処理行う場合に、被検査物Ｗの透過部分についてはノイズ除去処理を強く行うと、被検査物の画像自身が損なわれることがあるため、被検査物の撮影の前に予め放射線検査装置におけるノイズ除去レベルとサイズを決定しておくことは、実際の放射線画像の撮影時において被検査物Ｗの透過部分以外の余白部分のノイズ除去に大きな効果がある。
【００２８】
処理前画像記憶部１５は、撮影された放射線画像、すなわち、検出器３の透過画像データに基づいて作成された可視光画像を処理前画像Ａとして保存する。処理後画像記憶部１７は、画像処理フィルタ１６による画像処理の結果得られた処理後画像Ｂを決定部１４から受け付けたノイズ除去レベル及びノイズサイズと対応付けて保存する。サムネイル生成部１８は、処理後画像記憶部１７に保存されている処理後画像Ｂのサムネイルを生成して、表示部１１に表示する。
【００２９】
画像処理フィルタ１６としては、次のようなものが使用できる。例えば、図３に示す単色ノイズの場合には、ノイズサイズに応じた画像内のノイズ周波数を算出し、例えば図４に示すノッチフィルタのような帯域除去フィルタを用いて対象ノイズ成分を低減する。一方、複数のノイズが重畳された図５に示す白色ノイズの場合は、図６に示すように、複数の帯域除去フィルタを組み合わせることでノイズ成分を低減する。
【００３０】
サムネイル生成部１８は、次のようにして処理後画像Ｂの複数のサムネイルを生成する。表示部１１は、サムネイル生成部１８によって生成された複数の処理後画像Ｂのサムネイルを、マトリックス状に表示する。
（１）画像処理フィルタ１６は、被検査物Ｗの撮影時のパラメータにもとづいて決定されたノイズ除去レベル及びノイズサイズを基準値として基準処理前画像Ａを生成する。サムネイル生成部１８は、ノイズ決定部１４により決定された除去ノイズレベルとノイズサイズを基準として、それぞれ一定の数値間隔で異なる除去ノイズレベルとノイズサイズを設定する。この場合、選定された除去ノイズレベルとノイズサイズについて、放射線画像の改善に寄与しないことが判明している設定値や、設定値の上限や下限近傍の値については、設定する必要はない。
（２）保存された基準処理前画像Ａに対して、各パラメータの一定の数値間隔で設定されたパラメータ値の１つを選択して、選択されたパラメータ値に基づいて画像処理フィルタ１６により画像処理を行い、処理後画像Ｂを作成する。
（３）選定されたすべての除去ノイズレベルとノイズサイズについて、一定の数値間隔で設定された異なる設定値を用いて繰り返し処理後画像Ｂを作成する。サムネイル生成部１８は、生成された多数の処理後画像Ｂを表示部１１にマトリックス状に配置する。
【００３１】
［１−３．実施形態の作用］
本実施形態において、撮影された放射線画像は処理前画像Ａとして表示部１１に表示されると共に処理前画像記憶部１５に保存される。処理前画像Ａに対してノイズ除去や輪郭協調を行う場合には、(1) 自動処理と(2) 手動処理の2つを選択できる。
【００３２】
(1) 自動処理の場合には、被検査物Ｗの撮影に先立ち、入力部１２から放射線検査装置の各パラメータ、例えば管電圧や措置の各部の位置関係のデータを除去ノイズデータ記憶部１３に入力する。除去ノイズデータ記憶部１３は入力された各パラメータに対応するノイズ除去レベルとノイズサイズを検索して、その結果得られたノイズのレベルとサイズを除去ノイズ決定部１４に出力する。画像処理フィルタ１６は、除去ノイズ決定部１４から取得したノイズ除去レベルとノイズサイズに相当するフィルタ、例えば図４や図６に示すフィルタ帯域フィルタを利用して処理前画像Ａに対して画像処理を行い、ノイズが除去された処理後画像Ｂを得る。
【００３３】
(2) 手動処理の場合には、自動処理によって得られたノイズ除去レベルとノイズサイズを基準として基準処理後画像Ｂを形成すると共に、一定値ずつ異なったノイズ除去レベルとノイズサイズに基づいて複数の処理後画像Ｂを形成する。そしてサムネイル生成部１８により、これらの処理後画像Ｂのサムネイルを生成して表示部１１にマトリックス状に表示する。ユーザは表示部１１に表示されている縦横のスライドバーをポインティングデバイスにより操作して、最適と思われる処理後画像を選択する。
【００３４】
ユーザの選択が入力部１２を介してノイズ決定部１４に伝わると、画像処理フィルタ１６は、ユーザが決定したノイズ除去レベルとノイズサイズに従って処理前画像Ａに対してノイズ除去処理を行い、最終的に得られた処理後画像Ｂを表示部１１に表示すると共に処理後画像記憶部１７に保存する。
【００３５】
ユーザは、表示部１１に表示された処理後画像Ｂが満足するものである場合には処理前画像Ａに対する画像処理を終了する。一方、得られた処理後画像Ｂに不満な場合には、スライドバーを操作して新たなノイズサイズとノイズ除去レベルの値を調整する。このような調整作業を繰り返すことで、複数の処理後画像Ｂを作成して表示部１１に表示すると共に処理後画像記憶部１７に保存する。この場合、得られた複数の処理後画像Ｂを表示部１１に並べて表示することで、ユーザは図１３に示すような最適の処理後画像Ｂを得ることができる。
【００３６】
［１−４．実施形態の効果］
（１）放射線検査装置の様々なスペックや使用態様に合わせて入力部から各種のパラメータを入力するだけで、適切なノイズサイズとノイズ除去レベルを自動的に取得することができるので、処理前画像に対するノイズの除去がきわめて簡単に実施できる。しかも、検査装置そのものの各部の配置や構成を同一のままとして、多数の被検査物を連続して検査するような場合においては、そこで発生するノイズはほぼ均等なものとなることから、撮影された多数の処理前画像に対して同一のノイズ除去処理を自動的に行うことが可能になるので、ノイズ除去作業に対するユーザの負担は格段に軽減される。
（２）ノイズレベルの除去を自動的に行うだけでなく、手動でノイズサイズとノイズ除去レベルを入力することで、自動化によるノイズ除去の結果を修正したり、微調整することが可能となる。手動でノイズサイズとノイズ除去レベルを入力する際に、異なる値によって得られる処理後画像のサムネイルを表示することで、ユーザが予め手動による調整結果を知ることができ、最適な処理後画像を得るためのノイズサイズとノイズ除去テーブルを入力することが可能となる。
【００３７】
（３）図４に示すように、複数の異なるノイズサイズとノイズ除去レベルを用いて、処理前画像Ａに対して複数の画像処理を行い、そのサムネイルを表示部１１にマトリックス配列で表示した場合には、最適な処理後画像Ｂの選定がより迅速に行える。すなわち、ユーザが画像処理の結果を見ながら１つずつノイズサイズとノイズ除去レベルを変更して処理後画像Ｂを生成し、それらを見比べて最適な処理後画像Ｂを選定する場合に比較して、多数のサムネイルの中からスライドバーを操作して希望するサムネイルを選定するだけで良く、ユーザの技量向上が図れる。
【００３８】
（４）図１１に示したように、放射線検査装置において発生するノイズは、ノイズサイズと強度レベルとによって表されるように、周辺に行くほど濃度が低くなった円形の画像として撮像画像中に表示される。そのため、ノイズを除去するためには、そのような特徴を有する円形の画像を撮像画像中から抽出して除去する必要があるが、従来使用されている画像処理ソフトはそのような特徴的なノイズを除去するための専用の手段を持たない。本実施形態においては、ノイズレベルと除去サイズという２つの指標により放射線検査装置に発生する特有のノイズを効果的かつ容易に除去できる。このように、本実施形態では、X線フォトンノイズのサイズを考慮しフィルタ除去時の指標を設定するため、効率的にノイズのみを除去することができる。
【００３９】
［２．第２実施形態］
図４に示す第２実施形態は、処理前画像Ａの所定範囲の画像についてのみ画像処理を実施するものである。第２実施形態の他の構成は、第１実施形態と同様である。第１実施形態と同様な構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【００４０】
第２実施形態は、入力部１２からのユーザの入力に基いて、表示部１１に表示された処理前画像Ａの任意の一部を指定する範囲指定部１８を備える。この範囲指定部１８は、例えば、処理前画像Ａ上の任意の２点を対角とする長方形として、ポインティングデバイスで範囲を指定するものを使用できる。範囲指定部１８として、ポインティングデバイスで指定した多数の点を頂点とする多角形によって範囲を指定したり、円或いは楕円により範囲を指定するものも使用可能である。
【００４１】
画像処理フィルタ１６は、範囲指定部１８によって指定された処理前画像Ａの一部に対して、除去ノイズ決定部１４から受け付けたノイズ除去レベル及びノイズサイズに基づいて画像処理を行う。この場合、状況ノイズ決定部１４が決定したレベルとサイズによって自動的に処理後画像Ｂを生成してもよいし、サムネイル生成部１８で生成されたサムネイルを表示部１１に表示させてその中からユーザが希望する処理後画像を選択してもよいのは第１実施形態と同様である。画像処理フィルタ１６として、範囲指定部１８によって指定された範囲内については、スライドバーによって指定されたノイズ除去レベル及びノイズサイズにより画像処理を行い、他の部分については処理前画像Ａのまま未処理としても良い。指定範囲内と指定範囲外について、それぞれ異なるノイズ除去レベル及びノイズサイズをスライドバーから入力してもよい。
【００４２】
本実施形態によれば、放射線画像に写し出された被検体Ｗの形状や放射線の透過率などを考慮して、範囲指定部１８によって指定された処理前画像Ａの部分ごとに、ノイズ除去レベルや除去するノイズサイズを調整することができる。その結果、ユーザにとって不要な部分については、ノイズ除去レベルを高くする一方、ノイズ除去レベルが高いと必要な情報が欠落する部分については、適切なノイズ除去レベルを設定することで、全体として綺麗でしかも必要な情報が明確に含まれた処理後画像Ｂを得ることができる。本実施形態は、画像の欠落データの限界を把握し、画質補正を行うことで、例えば、基板の配線パターンの撮影を維持しながら改質を改善するなど、実用性に優れる。
【００４３】
［３．他の実施形態］
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。具体的には、次のような他の実施形態も包含する。
【００４４】
（１）図示の実施形態は、処理後画像Ｂのサムネイルを表示して、ユーザが所望の処理後画像Ｂを選択するようにしたが、サムネイルを表示することなく、除去ノイズ決定部１４が決定したノイズ除去レベルとノイズサイズのみによって、画像処理フィルタ１６が処理後画像Ｂを生成しても良い。
【００４５】
（２）除去ノイズ決定部１４による除去ノイズのレベルとサイズの決定については、撮影時における検査装置の構成や管電流などに基づいて１つの値のみを決定しても良いが、ユーザが選択するのに適正と考えられる一定の範囲の値を決定することも可能である。その場合、図９に示すように、表示部１１に表示するグラフやサム適正な値の範囲を着色するなどして表示することで、ユーザがその範囲内から所望の除去ノイズレベルとノイズサイズを簡単に選択することができる。
【００４６】
（３）サムネイルを生成する代わりに、図１０に示すようなグラフを利用して、ユーザがノイズ除去レベルとノイズサイズを選択することも可能である。図１０では、ユーザがグラフ上の点をポインタによって摘まんで移動させることにより、ノイズ除去レベルとノイズサイズを設定することができる。この場合、前記（２）のようにノイズ除去決定部１４によって選択するのに適したノイズ除去レベルとノイズサイズの範囲の決定しておき、グラフ部分にそれを表示することで、ユーザが適正な選択範囲を容易に知ることができる。
【符号の説明】
【００４７】
Ａ…処理前画像
Ｂ…処理後画像
Ｗ…被検体
１…Ｘ線管
２…Ｘ線ビーム
３…検出器
４…シフト機構
５…回転テーブル
６…ＸＹ駆動機構
７…回転・昇降機構
８…回転軸
９…制御部
１０…画像処理部
１１…表示部
１２…入力部
１３…除去ノイズデータ記憶部
１４…除去ノイズ決定部
１５…処理前画像記憶部
１６…画像処理フィルタ
１７…処理後画像記憶部
１８…サムネイル生成部
１９…範囲指定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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