(57)【要約】【課題】凝縮システムを提供する。【解決手段】凝縮層を検出対象物の表面に生成するための凝縮システムにおいて、検出対象物の表面の温度よりも高い露点温度を有する凝縮空気流を発生させるための空気流生成装置と、それぞれ少なくとも１つの第１の穴を有する少なくとも１つの均流板を含み、空気流生成装置に近く、凝縮空気流を受けるように配置される均流モジュールを含み、空気流生成装置に連通される流路装置と、を備え、凝縮空気流が空気流生成装置から流路装置に流れる凝縮システム。【選択図】図１Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
凝縮層を検出対象物の表面に生成するための凝縮システムにおいて、
環境空気流が入るように配置される吸気口と、前記吸気口に連通され、前記環境空気流を昇温させて、第１の空気流を発生させるように配置されるヒーターと、前記ヒーターに連通され、前記第１の空気流を加湿して、第２の空気流を発生させるように配置される加湿器と、前記加湿器に連通され、前記検出対象物の前記表面の温度によって前記第２の空気流の温度及び湿度を制御して、凝縮空気流を発生させるように配置される温湿度制御装置と、排気口と、前記吸気口又は前記排気口に設けられ、前記凝縮空気流を強制して伝送するように配置されるファンと、を含み、前記検出対象物の前記表面の前記温度よりも高い露点温度を有する前記凝縮空気流を発生させるための空気流生成装置と、
それぞれ少なくとも１つの第１の穴を有する少なくとも１つの均流板を含み、前記空気流生成装置に近く、前記凝縮空気流を受けるように配置される均流モジュールを含有し、前記空気流生成装置に連通され、前記温湿度制御装置との間に前記排気口が連通される流路装置と、
を備え、
前記凝縮空気流が前記空気流生成装置から前記流路装置に流れる凝縮システム。
【請求項２】
前記均流モジュールは、前記均流板のうちの１つの前記空気流生成装置から離れる一側に設けられ、且つ前記均流板のうちの前記１つへの投影が部分的に前記少なくとも１つの第１の穴を覆うバリア部材を更に含む請求項１に記載の凝縮システム。
【請求項３】
前記流路装置は、
少なくとも１つの第２の穴を有し且つ厚さが前記少なくとも１つの均流板の何れか１つの厚さよりも大きい整流板を含み、前記均流モジュールの前記空気流生成装置から離れる一側に位置し、前記均流モジュールを通る前記凝縮空気流を受けるように配置される整流モジュールを更に含む請求項１又は２の何れか１項に記載の凝縮システム。
【請求項４】
前記均流板は、複数であり、前記空気流生成装置から離れるほど前記第１の穴の数が多くなる請求項１〜３の何れか１項に記載の凝縮システム。
【請求項５】
前記均流板は、複数であり、前記空気流生成装置から離れるほど前記第１の穴の孔径が小さくなる請求項１〜４の何れか１項に記載の凝縮システム。
【請求項６】
前記均流板は、複数であり、前記空気流生成装置から離れるほど前記第１の穴の合計面積が大きくなる請求項１〜５の何れか１項に記載の凝縮システム。
【請求項７】
凝縮層を検出対象物の表面に生成するための凝縮システムにおいて、
環境空気流が入るように配置される吸気口と、前記吸気口に連通され、前記環境空気流を昇温させて、第１の空気流を発生させるように配置されるヒーターと、前記ヒーターに連通され、前記第１の空気流を加湿して、第２の空気流を発生させるように配置される加湿器と、前記加湿器に連通され、前記検出対象物の前記表面の温度によって前記第２の空気流の温度及び湿度を制御して、凝縮空気流を発生させるように配置される温湿度制御装置と、排気口と、前記吸気口又は前記排気口に設けられ、前記凝縮空気流を強制して伝送するように配置されるファンと、を含み、前記検出対象物の前記表面の前記温度よりも高い露点温度を有する前記凝縮空気流を発生させるための空気流生成装置と、
前記空気流生成装置に連通され、前記温湿度制御装置との間に前記排気口が連通される流路本体と、少なくとも１つの第１の穴を有し、前記流路本体中に平行して設けられ、前記凝縮空気流を受けるように配置される少なくとも１つの均流板と、を含む流路装置と、
を備える凝縮システム。
【請求項８】
前記均流板のうちの１つは前記空気流生成装置から離れる一側に設けられ、且つ前記均流板のうちの前記１つへの投影が部分的に前記少なくとも１つの第１の穴を覆うバリア部材を更に含む請求項７に記載の凝縮システム。
【請求項９】
前記流路装置は、
少なくとも１つの第２の穴を有し且つ厚さが前記少なくとも１つの均流板の何れか１つの厚さよりも大きく、前記流路本体の前記空気流生成装置から離れる一側に設けられ、前記均流板を通る前記凝縮空気流を受けるように配置される整流板を更に含む請求項７又は８の何れか１項に記載の凝縮システム。
【請求項１０】
前記均流板は、複数であり、前記空気流生成装置から離れるほど前記第１の穴の数が多くなる請求項７〜９の何れか１項に記載の凝縮システム。
【請求項１１】
前記均流板は、複数であり、前記空気流生成装置から離れるほど前記第１の穴の孔径が小さくなる請求項７〜１０の何れか１項に記載の凝縮システム。
【請求項１２】
前記均流板は、複数であり、前記空気流生成装置から離れるほど前記第１の穴の合計面積が大きくなる請求項７〜１１の何れか１項に記載の凝縮システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、凝縮システムに関し、特に、検出対象物の表面に凝縮層を形成するための凝縮システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
物体の表面に凝縮層を発生させるために、物体を低温で密閉されたキャビティに配置して降温させなければならない。次に、降温された物体を取り出して、高湿度の気体に置く。高湿度の気体の温度が下がると、気体に含まれる蒸気が物体の表面に凝縮して、凝縮層が形成される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記方法は、物体が密閉されたキャビティに出入りしなければならなく、自動化が困難であるという欠点がある。且つ、密閉されたキャビティの製造コストが高く、キャビティ内の低温環境にも時間がかかる。従って、物体の表面に凝縮層を簡単、迅速、低コストで発生させる方法を如何に見つけるかは、当業界の重要な問題の１つとなる。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本開示のいくつかの実施形態によれば、凝縮層を検出対象物の表面に生成するための凝縮システムにおいて、検出対象物の表面の温度よりも高い露点温度を有する凝縮空気流を発生させるための空気流生成装置と、それぞれ少なくとも１つの第１の穴を有する少なくとも１つの均流板を含み、空気流生成装置に近く、凝縮空気流を受けるように配置される均流モジュールを含有し、空気流生成装置に連通される流路装置と、を備え、凝縮空気流が空気流生成装置から流路装置に流れる凝縮システムを提供する。
【０００５】
本開示のいくつかの実施形態によれば、凝縮層を検出対象物の表面に生成するための凝縮システムにおいて、検出対象物の表面の温度よりも高い露点温度を有する凝縮空気流を発生させるための空気流生成装置と、流路本体と、それぞれ少なくとも１つの第１の穴を有し、流路本体中に平行して設けられ、凝縮空気流を受けるように配置される少なくとも１つの均流板と、を含む流路装置と、を備える凝縮システムを提供する。
【０００６】
いくつかの実施形態において、均流モジュールは、均流板のうちの１つの空気流生成装置から離れる一側に設けられ、且つその均流板のうちの前記１つへの投影が部分的に第１の穴を覆うバリア部材を更に含む。
【０００７】
いくつかの実施形態において、流路装置は、少なくとも１つの第２の穴を有し且つ厚さが均流板の何れか１つの厚さよりも大きい整流板を含み、均流モジュールの空気流生成装置から離れる一側に位置し、均流モジュールを通る凝縮空気流を受けるように配置される整流モジュールを更に含む。
【０００８】
いくつかの実施形態において、空気流生成装置は、環境空気流が入るように配置される吸気口と、吸気口に連通され、環境空気流を昇温させて、第１の空気流を発生させるように配置されるヒーターと、ヒーターに連通され、第１の空気流を加湿して、第２の空気流を発生させるように配置される加湿器と、加湿器に連通され、検出対象物の表面の温度によって第２の空気流の温度及び湿度を制御して、凝縮空気流を発生させるように配置される温湿度制御装置と、温湿度制御装置と流路装置との間に連通される排気口と、吸気口又は排気口に設けられ、凝縮空気流を強制して伝送するように配置されるファンと、を更に含む。
【０００９】
いくつかの実施形態において、均流板は、複数であり、且つ空気流生成装置から離れるほど第１の穴の数が多くなる。
【００１０】
いくつかの実施形態において、均流板は、複数であり、且つ空気流生成装置から離れるほど第１の穴の孔径が小さくなる。
【００１１】
いくつかの実施形態において、均流板は、複数であり、且つ空気流生成装置から離れるほど第１の穴の合計面積が大きくなる。
【００１２】
以上をまとめると、本開示の提出する凝縮システムは、凝縮空気流の様々な特性を制御して、検出対象物の表面への良質の凝縮層の形成を促進することができる。例として、凝縮システムは、空気流生成装置によって凝縮空気流の温度及び湿度を制御し（更に凝縮空気流の露点温度を決定し）、流路装置によって凝縮空気流の流速、空気流分布の均一性及び方向性を制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１Ａ】本開示の一実施形態による凝縮システムを示す斜視図である。
【図１Ｂ】図１Ａの線分１−１に沿う断面図を示す。
【図２Ａ】本開示の別の実施形態による凝縮システムを示す斜視図である。
【図２Ｂ】図２Ａの線分２−２に沿う断面図を示す。
【図３Ａ】本開示の別の実施形態による凝縮システムを示す斜視図である。
【図３Ｂ】図３Ａの線分３−３に沿う断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に、図面で本発明の複数の実施形態を説明するが、明らかに説明するために、数多くの実際の細部を以下の説明で併せて説明する。しかしながら、理解すべきなのは、これらの実際の細部が、本発明を制限するためのものではない。つまり、本発明の実施形態の一部において、これらの実際の細部は、必要ないものである。また、図面を簡略化するために、ある従来慣用の構造及び素子は、図面において簡単で模式的に示される。別に定義されない限り、異なる図面における同じ参照符号は対応する素子と見なされてよい。これらの図面は、各素子の実際の寸法で描かれたものではなく、これらの実施形態における各素子間の接続関係を明らかに説明するために描かれる。
【００１５】
本開示の一実施形態による凝縮システム１００を示す斜視図である図１Ａを参照されたい。図１Ａに示すように、凝縮システム１００は、検出対象物２００の表面２１０に凝縮層２２０を形成することに用いられる。凝縮システム１００は、空気流生成装置１１０と、流路装置１２０と、を備える。
【００１６】
空気流生成装置１１０は、露点温度が検出対象物２００の表面２１０の温度よりも高い凝縮空気流５０を発生させることに用いられる。流路装置１２０は、空気流生成装置１１０に連通されて、凝縮空気流５０を空気流生成装置１１０から流路装置１２０に流れさせる。
【００１７】
流路装置１２０は、空気流生成装置１１０に近く且つ凝縮空気流５０を受けるように配置される均流モジュール１２１を含む。均流モジュール１２１は、穴１２１１ａを含む均流板１２１１と、バリア部材１２１２と、穴１２１３ａを含む均流板１２１３と、を含む。一実施例において、流路装置１２０は、均流モジュール１２１の空気流生成装置１１０から離れる一側に位置し且つ均流モジュール１２１を通る均一な凝縮空気流６０を受けるように配置される整流モジュール１２２を更に含む。整流モジュール１２２は、複数の穴１２２１ａを有する整流板１２２１を含む。
【００１８】
図１Ａに示すように、空気流生成装置１１０は、吸気口１１０ａ及び排気口１１０ｂを有する。吸気口１１０ａは、環境空気流２０を空気流生成装置１１０に入り込ませるように配置される。空気流生成装置１１０は、環境空気流２０の温度及び湿度を変えるように配置される。つまり、環境空気流２０は、空気流生成装置１１０によって凝縮空気流５０に変えられる。最後、凝縮空気流５０は、空気流生成装置１１０の排気口１１０ｂを介して空気流生成装置１１０から離れる。
【００１９】
図１Ａに示すように、空気流生成装置１１０には、更に、ファン１１４が内蔵される。本実施形態において、ファン１１４は、排気口１１０ｂに近い一端に設けられる。他の実施形態において、ファン１１４は、吸気口１１０ａに近い一端に設けられてもよい。ファン１１４は、気圧差を提供して、環境空気流２０を強制して空気流生成装置１１０に入らせ、凝縮空気流５０を強制して空気流生成装置１１０から流路装置１２０へ伝送するように配置される。つまり、ファン１１４は、空気流生成装置１１０が外部環境から環境空気流２０を持続的に吸入して凝縮空気流５０を伝送することを確保するように配置される。
【００２０】
図１Ａに示すように、空気流生成装置１１０には、環境空気流２０の温度及び湿度を変える様々な素子が内蔵されてよい。例として、本実施形態において、空気流生成装置１１０には、ヒーター１１１、加湿器１１２及び温湿度制御装置１１３が内蔵される。
【００２１】
本実施形態において、環境空気流２０は、空気流生成装置１１０の内部に入った後で、順次にヒーター１１１、加湿器１１２及び温湿度制御装置１１３を通る。しかしながら、他の実施形態において、ヒーター１１１、加湿器１１２及び温湿度制御装置１１３の順序は、入れ替わってもよく、図１Ａは、そのうちの１つの実施形態だけを挙げるが、本開示はこれに限定されない。
【００２２】
図１Ａに示すように、ヒーター１１１は、吸気口１１０ａに連通され、環境空気流２０を昇温させるように配置される。環境空気流２０は、ヒーター１１１を通った後で第１の空気流３０に変えられる。第１の空気流３０の温度は環境空気流２０の温度よりも高い。
【００２３】
図１Ａに示すように、加湿器１１２は、ヒーター１１１に連通され、第１の空気流３０を加湿するように配置される。第１の空気流３０は、加湿器１１２を通った後で第２の空気流４０に変えられる。第２の空気流４０の湿度は第１の空気流３０の湿度よりも高い。
【００２４】
図１Ａに示すように、温湿度制御装置１１３は、加湿器１１２に連通され、第２の空気流４０の温度及び湿度を調整するように配置される。第２の空気流４０は、温湿度制御装置１１３を通った後で凝縮空気流５０に変えられる。温湿度制御装置１１３は、凝縮空気流５０の最終の温度及び湿度を決める。本実施形態において、温湿度制御装置１１３は、凝縮空気流５０の温度が第２の空気流４０の温度より僅かに低くなるように、第２の空気流４０の温度を僅かに低下させるができる。
【００２５】
いくつかの実施形態において、検出対象物２００の表面２１０の温度によって凝縮空気流５０の温度及び湿度を決めてよい。例として、検出対象物２００の表面２１０に凝縮層２２０を形成するために、凝縮空気流５０の温度及び湿度を調整して、凝縮空気流５０の露点温度が検出対象物２００の表面２１０の温度よりも高いようにする。凝縮空気流５０は、検出対象物２００の表面２１０に接触すると、冷却されて凝縮層２２０を発生させる。
【００２６】
いくつかの実施形態において、ヒーター１１１と加湿器１１２と温湿度制御装置１１３との組合せによって、空気流生成装置１１０の発生した凝縮空気流５０の露点温度を正確に制御することができる。例として、使用者は、まず、目標温度及び目標湿度を決め、ヒーター１１１によって環境空気流２０を前記目標温度に近い温度を有する第１の空気流３０に変え、次に、加湿器１１２によって第１の空気流３０を前記目標湿度に近い湿度を有する第２の空気流４０に変え、最後、温湿度制御装置１１３によって第２の空気流４０を微調整して、第２の空気流４０を前記目標温度及び前記目標湿度の有する凝縮空気流５０に変えてよい。
【００２７】
具体的に、１つの実施形態における環境空気流２０、第１の空気流３０、第２の空気流４０及び凝縮空気流５０の温度及び湿度の比較表を示す下記表１を参照されたい。
【表１】
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【００２８】
表１に示すように、第１の空気流３０の温度が環境空気流２０の温度より高く、第２の空気流４０の湿度が第１の空気流３０の湿度よりも高いが、凝縮空気流５０の温度が第２の空気流４０の温度より僅かに低い。
【００２９】
次に、図１Ａに戻して、空気流生成装置１１０の発生した凝縮空気流５０が流路装置１２０に伝送される。本実施形態において、空気流生成装置１１０と流路装置１２０とがダクト１３０によって連通されて、凝縮空気流５０が空気流生成装置１１０から離れた後でダクト１３０を介して流路装置１２０に流れる。
【００３０】
図１Ａに示すように、流路装置１２０は、入口端１２３ａ及び出口端１２３ｂを有する流路本体１２３を有する。入口端１２３ａは、空気流生成装置１１０の発生した凝縮空気流５０を受ける。凝縮空気流５０は、流路装置１２０に入った後で順次にその内の均流モジュール１２１及び整流モジュール１２２を通る。均流モジュール１２１は、凝縮空気流５０を受けて均一な凝縮空気流６０に転換する。整流モジュール１２２は、均一な凝縮空気流６０を受けて、指向性凝縮空気流７０に転換する。指向性凝縮空気流７０は、出口端１２３ｂを介して流路装置１２０から離れて検出対象物２００の表面２１０に噴射される。
【００３１】
ここで図１Ａの線分１−１に沿う断面図を示す図１Ｂを併せて参照されたい。図１Ａ及び図１Ｂに示すように、流路装置１２０の入口端１２３ａは孔径Ｒｉを有し、均流板１２１１の穴１２１１ａは孔径Ｒ１を有し、均流板１２１３の穴１２１３ａは孔径Ｒ２を有し、整流板１２２１の穴１２２１ａは孔径Ｒｆを有する。
【００３２】
本実施形態において、空気流生成装置１１０に近い均流板１２１１の穴１２１１ａの数は１つであり、空気流生成装置１１０から離れる均流板１２１３の穴１２１３ａの数は５つである。つまり、整流モジュール１２２に近い均流板ほど、穴の数は多い。また、空気流生成装置１１０に近い均流板１２１１の穴１２１１ａの孔径Ｒ１は、空気流生成装置１１０から離れる均流板１２１３の穴１２１３ａの孔径Ｒ２よりも大きい。上記の設置によって、凝縮空気流５０が均流モジュール１２１を通った後で均一な凝縮空気流６０に転換され、その原理は以下で説明される。
【００３３】
図１Ａ及び図１Ｂに示すように、凝縮空気流５０は、均流板１２１１を通った後で、流速及び空気流分布が変えられ、ここで空気流６０ａとして標示される。空気流６０ａは、孔径Ｒ１によって小さい範囲に限定されるため、流速が速いが、空気流分布が中央に集中する。
【００３４】
次に、空気流６０ａは、バリア部材１２１２に到達し、且つ流速及び空気流分布が更に変えられ、ここで空気流６０ｂとして標示される。バリア部材１２１２の均流板１２１１への投影が穴１２１１ａの一部の範囲を覆うため、空気流６０ａは、バリア部材１２１２に衝突して方向が変えられる。つまり、空気流６０ａと比べると、空気流６０ｂの流速が遅くなり、空気流分布が広くなる。本実施形態において、バリア部材１２１２は十字形であるが、本開示はこれに限定されない。
【００３５】
次に、空気流６０ｂは、均流板１２１３を通り、その流速及び空気流分布が均一な凝縮空気流６０となるように変えられる。具体的に、穴１２１３ａが均流板１２１３に均一的に分布されるので、均一な凝縮空気流６０が均流板１２１３の穴１２１３ａの各々から平均的に流れ、且つ均一な凝縮空気流６０の各々の流速もほぼ一致である。
【００３６】
本実施形態において、均流板１２１１における穴１２１１ａの面積は、均流板１２１３における全ての穴１２１３ａの合計面積より小さい。つまり、空気流生成装置１１０から離れる均流板１２１３の開放面積（合計開口面積）はより大きく、ベルヌーイ（Ｂｅｒｎｏｕｌｌｉ）の法則によれば、均流板１２１１を通る空気流６０ａと比べると、均流板１２１３を通る均一な凝縮空気流６０の流速が遅く且つ均一である。遅く且つ均一的な空気流特性は、凝縮システム１００が検出対象物２００に均一で平坦な凝縮層２２０を形成することに有利である。
【００３７】
図１Ａ及び図１Ｂに示すように、検出対象物２００に接触する前に、均一な凝縮空気流６０は、また整流モジュール１２２を通り、方向性が更に改善されて、指向性凝縮空気流７０になる。
【００３８】
本実施形態において、整流モジュール１２２の整流板１２２１の厚さｔが均流板１２１１、バリア部材１２１２及び均流板１２１３のそれぞれの厚さより大きい。つまり、整流板１２２１における穴１２２１ａをそれぞれ独立したパイプと見なしてよい。均一な凝縮空気流６０は、穴１２２１ａに入った後で進行方向が制限されて、穴１２２１ａから離れた後で方向が一致である指向性凝縮空気流７０となる。
【００３９】
本実施形態において、均流板１２１１とバリア部材１２１２との間の間隔、バリア部材１２１２と均流板１２１３との間の間隔及び均流板１２１３と整流板１２２１との間の間隔が互いに等しく見えるが、実際に、これに限定されない。つまり、上記の間隔は互いに異なってもよい。
【００４０】
理解すべきなのは、図１Ａ及び図１Ｂに示す流路装置１２０は例示だけであり、当業者であれば、前記のような設計原理によって変更することができる。例として、本実施形態の流路装置１２０において、２つの均流板（１２１１、１２１３）を含むが、他の実施形態において、３つ、４つ又はそれ以上のより多くの均流板を含んでもよい。
【００４１】
具体的に、図２Ａ及び図２Ｂを参照されたい。図２Ａは、本開示の別の実施形態による凝縮システム３００を示す斜視図である。図２Ｂは、図２Ａの線分２−２に沿う断面図を示す。凝縮システム３００は、流路装置１２０が３つの均流板１２１１、１２１３、１２１４を含むことに、凝縮システム１００と異なっている。つまり、凝縮システム３００の流路装置１２０は、１３個の穴１２１４ａを有する均流板１２１４を更に含む。
【００４２】
つまり、均流板１２１１及び均流板１２１３に比べると、均流板１２１４の穴１２１４ａの数が多く、穴１２１４ａの孔径Ｒ３が小さく且つ全ての穴１２１４ａの合計面積が大きい。流路装置１２０に均流板１２１４を設けることで、実際の要求に応じて、均流板１２１４を通る空気流（図１Ｂ参照）の流速を更に低下させ空気流分布の均一性を高めることができる。
【００４３】
次に図３Ａ及び図３Ｂを参照されたい。図３Ａは、本開示の別の実施形態による凝縮システム４００を示す斜視図である。図３Ｂは、図３Ａの線分３−３に沿う断面図を示す。凝縮システム４００は、流路装置１２０が４つの均流板１２１１、１２１３、１２１４、１２１５を含むことに、凝縮システム３００と異なっている。つまり、凝縮システム４００の流路装置１２０は、複数（例として、１６９個）の穴１２１５ａを有する均流板１２１５を更に含む。
【００４４】
つまり、均流板１２１１、均流板１２１３及び均流板１２１４に比べると、均流板１２１５の穴１２１５ａの数が多く、穴１２１５ａの孔径Ｒ４が小さく且つ全ての穴１２１５ａの合計面積が大きい。流路装置１２０に均流板１２１５を設けることで、実際の要求に応じて、均流板１２１５を通る空気流（図１Ｂを参照することができる）の流速を更に低下させ空気流分布の均一性を高めることができる。
【００４５】
以上をまとめると、本開示の提出する凝縮システムは、凝縮空気流の様々な特性を制御して、検出対象物の表面への良質の凝縮層の形成を促進することができる。例として、凝縮システムは、空気流生成装置によって凝縮空気流の温度及び湿度を制御し（更に凝縮空気流の露点温度を決定し）、流路装置によって凝縮空気流の流速、空気流分布の均一性及び方向性を制御することができる。
【００４６】
本開示を、範例及び上記の実施形態によって説明したが、本発明は開示された実施形態に限定されないことは理解すべきである。すなわち、本発明は、（当業者には明らかなように）様々な変更や近似した配置を含むことを意図している。従って、添付の請求項は、最も広く解釈されるように、全ての変更や近似した配置を含むべきである。
【符号の説明】
【００４７】
１−１、２−２、３−３：線分
２０：環境空気流
３０：第１の空気流
４０：第２の空気流
５０：凝縮空気流
６０：均一な凝縮空気流
６０ａ、６０ｂ：空気流
７０：指向性凝縮空気流
１００、３００、４００：凝縮システム
１１０：空気流生成装置
１１０ａ：吸気口
１１０ｂ：排気口
１１１：ヒーター
１１２：加湿器
１１３：温湿度制御装置
１１４：ファン
１２０：流路装置
１２１：均流モジュール
１２１１、１２１３、１２１４、１２１５：均流板
１２１２：バリア部材
１２１１ａ、１２１３ａ、１２１４ａ、１２１５ａ、１２２１ａ：穴
１２２：整流モジュール
１２２１：整流板
１２３：流路本体
１２３ａ：入口端
１２３ｂ：出口端
１３０：ダクト
２００：検出対象物
２１０：表面
２２０：凝縮層
Ｒｉ、Ｒｆ、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４：孔径
ｔ：厚さ
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
2020082076.tif 000005
【図２Ａ】
2020082076.tif 000006
【図２Ｂ】
2020082076.tif 000007
【図３Ａ】
2020082076.tif 000008
【図３Ｂ】
2020082076.tif 000009