(57)【要約】【課題】測定装置の測定精度を向上させる。【解決手段】測定装置１００は、シグナル線１２，第一グランド線１３，第二グランド線１４を含む高周波伝送線路が設けられ、柔軟性を有する伝送基板１０と、シグナル線１２，第一グランド線１３，第二グランド線１４上にそれぞれ設けられ、測定対象Ｔに押し付けられる第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３と、第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３及び伝送基板１０が取り付けられる本体部２０と、を備え、本体部２０は、ベース部３０と、第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３及び伝送基板１０を保持する保持部４０と、ベース部３０に取り付けられ保持部４０を支持する支持部５０と、を有し、支持部５０は、測定対象Ｔへの第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３の押し付けに伴って弾性変形する。【選択図】図１
2020016627.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定装置であって、
それぞれ測定対象に押し付けられる複数の接触子と、
シグナル線及びグランド線を含む高周波伝送線路が設けられ、柔軟性を有する伝送基板と、
前記複数の接触子及び前記伝送基板が取り付けられる本体部と、を備え、
前記複数の接触子は、それぞれ対応する前記シグナル線及び前記グランド線に一体的に設けられ、
前記本体部は、
ベース部と、
前記複数の接触子及び前記伝送基板を保持する保持部と、
前記ベース部に取り付けられ前記保持部を支持する支持部と、を有し、
前記支持部は、前記測定対象への前記複数の接触子の押し付けに伴って弾性変形する、
測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の測定装置であって、
前記保持部に設けられると共に前記複数の接触子が取り付けられ、前記測定対象への押し付けに伴う前記複数の接触子同士の独立した移動を許容する移動許容部をさらに備える、
測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の測定装置であって、
前記移動許容部は、弾性を有する弾性部材であり、
前記複数の接触子は、前記弾性部材の伸縮により互いに独立して移動可能に構成される、
測定装置。
【請求項４】
請求項２に記載の測定装置であって、
前記移動許容部は、
前記保持部に接続される基部と、
前記基部を支点として互いに独立して弾性変形する複数の変形部と、を有し、
前記複数の接触子は、それぞれ対応する前記複数の変形部に取り付けられ、前記基部を支点として前記複数の変形部が撓み変形することにより、互いに独立して移動可能に構成される、
測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、所定の硬度を有し、曲げに対して不可逆性を有するセミリジッド型の同軸ケーブルと、同軸ケーブルの先端に取り付けられたプローブ先端部材としてのプリント配線基板と、を備えるコンタクトプローブが開示されている。プリント配線基板には、測定対象との接触部であるコンタクト電極が、微細コプレーナストリップ線路として配線形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２２３１７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
高周波特性を測定する測定装置では、接触子と測定対象との良好な接触状態を得るために、プローブを所定の押し付け力により測定対象に押し付けることが望ましい。
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の測定装置では、コンタクト電極が設けられるプリント配線基板が、不可逆性を有するセミリジッド型の同軸ケーブルの先端に取り付けられる。よって、プリント配線基板を測定対象に所定の押し付け力で押し付けると、同軸ケーブルが変形するため、同軸ケーブルにおける特性インピーダンスが変化する。これにより、同軸ケーブルによる伝送損失が増加し、測定装置による高周波特性の測定精度が低下するおそれがある。
【０００６】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、測定装置の測定精度を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のある態様によれば、測定装置は、それぞれ測定対象に押し付けられる複数の接触子と、シグナル線及びグランド線を含む高周波伝送線路が設けられ、柔軟性を有する伝送基板と、複数の接触子及び伝送基板が取り付けられる本体部と、を備える。複数の接触子は、それぞれ対応するシグナル線及びグランド線一体的に設けられる。本体部は、ベース部と、接触子及び伝送基板を保持する保持部と、ベース部に取り付けられ保持部を支持する支持部と、を有し、支持部は、測定対象への接触子の押し付けに伴って弾性変形する。
【発明の効果】
【０００８】
この態様によれば、接触子を測定対象に押し付ける際には、本体部の支持部が弾性変形することにより所定の押し付け力で接触子を接触させることができる。また、高周波伝送線路は、柔軟性を有する伝送基板に設けられるため、測定対象に接触子を押し付けるのに伴い伝送基板が変形しても、伝送損失を抑制することができる。このように、所定の押し付け力で接触子を測定対象に押し付け、所定の押し付け力を確保しつつ押し付けに伴う伝送損失を抑制できるため、測定精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る測定装置を上方から示す斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る測定装置を示す側面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る測定装置を下方から示す斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る測定装置の伝送基板の平面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る測定装置の本体部を示す斜視図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る測定装置を下方から示す斜視図である。
【図７】本発明の第２実施形態の変形例に係る測定装置の本体部を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（第１実施形態）
以下、図１から図４を参照して、本発明の第１実施形態に係る測定装置１００について説明する。
【００１１】
測定装置１００は、例えば回路基板を電気的に検査する検査装置（図示省略）に用いられる。測定装置１００は、回路基板に含まれる測定対象Ｔ（図２参照）として、配線パターンがプリントされた半導体ウェハや電子回路基板、半導体ウェハや電子回路基板が実装された電子回路実装基板などにおいて発生する電磁波の高周波特性を測定する。
【００１２】
図１から図３に示すように、測定装置１００は、それぞれ測定対象Ｔに押し付けられる複数の接触子としての第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３と、高周波伝送線路が設けられ、柔軟性を有する伝送基板１０と、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３が取り付けられる本体部２０と、を備える。
【００１３】
第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３は、それぞれ測定対象Ｔに押し付けられて測定対象Ｔから高周波信号が入力される電極である。第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３は、図３及び図４に示すように、互いに同一の円柱形状に形成され、伝送基板１０の長手方向の一端部に設けられる。
【００１４】
伝送基板１０は、柔軟性を有する帯状のフレキシブルプリント基板であり、外力により変形が可能である。
【００１５】
伝送基板１０には、図３及び図４に示すように、高周波伝送線路としてコプレーナ線路が設けられる。具体的には、伝送基板１０では、柔軟性を有する絶縁層である基材１１の下面（測定対象Ｔに対向する面）に、導体層である単一のシグナル線１２と、導体層である２つのグランド線と、が設けられる。以下では、二つのグランド線の一方を「第一グランド線１３」、他方を「第二グランド線１４」と称する。
【００１６】
シグナル線１２は、図４に示すように、所定の幅（図４中左右方向の長さ）を有し、伝送基板１０の長手方向（図４中上下方向）に沿って延びる。第一グランド線１３及び第二グランド線１４は、それぞれ所定の幅を有し、伝送基板１０の長手方向に沿って延びる。シグナル線１２、第一グランド線１３、及び第二グランド線１４の幅は、それぞれ長手方向に均一である。このように、シグナル線１２、第一グランド線１３、及び第二グランド線１４は、互いに平行に延びて設けられる。
【００１７】
シグナル線１２は、第一グランド線１３と第二グランド線１４との間に、第一グランド線１３と第二グランド線１４のそれぞれに対して所定の間隔を空けて設けられる。シグナル線１２、第一グランド線１３、及び第二グランド線１４のそれぞれの幅と互いの間隔は、高周波伝送線路の特性インピーダンスが、測定対象Ｔの特性インピーダンスと整合するように設定される。
【００１８】
シグナル線１２には、第一接触子１が電気的に接続される。第一接触子１は、シグナル線１２の表面に施されるめっき（例えばニッケルめっき）が積層されることで、シグナル線１２上に形成される。よって、第一接触子１は、シグナル線１２と一体に成形される。言い換えれば、シグナル線１２の一部が第一接触子１として機能する。
【００１９】
第一グランド線１３には、第二接触子２が電気的に接続される。第一接触子１と同様に、第二接触子２は、第一グランド線１３に施されるめっきが積層されることで、第一グランド線１３上に形成される。
【００２０】
第二グランド線１４には、第三接触子３が電気的に接続される。第一接触子１及び第二接触子２と同様に、第三接触子３は、第二グランド線１４に施されるめっきが積層されることで、第二グランド線１４上に形成される。
【００２１】
以上のように、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３は、それぞれ対応するシグナル線１２、第一グランド線１３、第二グランド線１４と一体的に設けられるため、各接触子１，２，３と伝送基板１０の高周波伝送線路との間における伝送損失が抑制される。これにより、高周波伝送線路における伝送特性が向上する。
【００２２】
第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３は、伝送基板１０の長手方向に対して垂直な直線上に並んで設けられる。つまり、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３は、互いに平行に延びるシグナル線１２、第一グランド線１３、及び第二グランド線１４に直交する仮想の直線上に設けられる。第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３は、測定対象Ｔの接触面Ｔｓ（図２参照）に垂直な方向から測定対象Ｔに押し付けられる。
【００２３】
伝送基板１０の図示しない他端部は、図示しない制御装置（コントローラ）に電気的に接続される。第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３から入力される高周波信号は、伝送基板１０の高周波伝送線路によって伝送され、制御装置に入力される。
【００２４】
図１から３に示すように、本体部２０は、ベース部３０と、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３を保持する保持部４０と、ベース部３０に取り付けられ保持部４０を支持する支持部５０と、を有する。ベース部３０、保持部４０、及び支持部５０は、樹脂によって互いに一体成形される。保持部４０、支持部５０、ベース部３０は、伝送基板１０の長手方向に並んで構成される。
【００２５】
ベース部３０は、直方体形状に形成され、検査装置の昇降装置（図示省略）によって鉛直上下方向（測定対象Ｔの接触面Ｔｓに垂直な方向）に移動される。ベース部３０が上下に移動することで、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３が測定対象Ｔに対して接触・離間する。ベース部３０の下面（測定対象Ｔに対向する面）には、図２に示すように、伝送基板１０において一端部から長手方向に離間した中間部分が取り付けられる。伝送基板１０は、張力が作用しないようにベース部３０に取り付けられる。
【００２６】
保持部４０は、直方体形状に形成され、一部がベース部３０の下面から測定対象Ｔに向けて突出する。ベース部３０から突出する保持部４０の下面（測定対象Ｔに対向する面）には、測定対象Ｔへの押し付けに伴う第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３同士の独立した移動を許容する移動許容部としての弾性部材６０が設けられる。
【００２７】
弾性部材６０は、例えばゴムなどで形成され、外力によって伸縮可能である。弾性部材６０は、接着剤により保持部４０の下面に接着される。弾性部材６０には、図２及び３に示すように、伝送基板１０の一端部が接着され、伝送基板１０を介して第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３が取り付けられる。第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３は、伝送基板１０を挟んで、弾性部材６０に対向する。つまり、保持部４０は、弾性部材６０を介して、伝送基板１０と当該伝送基板１０に設けられる第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３とを保持する。
【００２８】
弾性部材６０は、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３よりも弾性変形しやすい材質であることが望ましい。また、弾性部材６０は、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３を測定対象Ｔに押し付けた際、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３に対して優先して変形することが望ましい。
【００２９】
支持部５０は、主に図２に示すように、一対のリンク部５１，５５を有するリンク機構により構成される。一対のリンク部５１，５５は、それぞれ測定対象Ｔの接触面Ｔｓに対して平行に延び、接触面Ｔｓに垂直な方向に並んで設けられる。
【００３０】
一方のリンク部５１は、矩形断面を有するロッド部５２と、ロッド部５２の一端と保持部４０とを接続するジョイント部５３と、ロッド部５２の他端とベース部３０とを接続するジョイント部５４と、を有する。同様に、他方のリンク部５５は、矩形断面を有するロッド部５６と、ロッド部５６の一端と保持部４０とを接続するジョイント部５７と、ロッド部５６の他端とベース部３０とを接続するジョイント部５８と、を有する。
【００３１】
ロッド部５２，５６とベース部３０及び保持部４０との間には、半円状の切り欠きが形成される。各切り欠きは、測定対象Ｔの接触面Ｔｓに平行でロッド部５２，５６の長手方向（図２中左右方向）に対して垂直に延びる。これにより、ロッド部５２，５６とベース部３０及び保持部４０との間にジョイント部５３，５４，５７，５８が設けられる。各ジョイント部５３，５４，５７，５８は、ロッド部５２，５６の長手方向に直交する断面積がロッド部５２，５６よりも小さく、ロッド部５２，５６と比較して弾性変形しやすく構成される。
【００３２】
ベース部３０を鉛直方向下方に移動させて第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３が測定対象Ｔに押し付けられると、その反力（以下、「押し付け反力」とも称する。）によってリンク部５１のジョイント部５３，５４、及びリンク部５５のジョイント部５７，５８が弾性変形し、各ロッド部５２，５６が保持部４０及びベース部３０に対して傾動（相対回転）する。
【００３３】
一方のリンク部５１を例に説明すると、一方のジョイント部５３を中心としてロッド部５２が保持部４０に対して相対回転し、他方のジョイント部５４を中心としてロッド部５２がベース部３０に対して相対回転する。このように、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３を測定対象Ｔに押し付ける際、支持部５０が弾性変形することにより、鉛直方向に沿ったベース部３０と保持部４０との相対移動が許容される。また、支持部５０は、リンク機構により構成されるため、ベース部３０と保持部４０とは、鉛直方向において略直線的に相対移動することができる。
【００３４】
次に、測定装置１００の作用について説明する。
【００３５】
測定対象Ｔの高周波特性を測定するには、測定対象Ｔに対して垂直に（本実施形態では鉛直方向に）ベース部３０を移動させ、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３を測定対象Ｔの接触面Ｔｓに接触させる。この状態からベース部３０をさらに下方へ移動させることで、所定の押し付け力により第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３を測定対象Ｔに押し付けて電気的に接続させる。測定対象Ｔに接触した状態から第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３をさらに押し付けるのに伴い、支持部５０が弾性変形する。支持部５０の弾性変形によって生じる弾性力により、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３を測定対象Ｔに押し付ける押し付け力が確保される。
【００３６】
伝送基板１０は、柔軟性を有するフレキシブルプリント基板であるため、支持部５０の弾性変形（ベース部３０と保持部４０が鉛直方向に相対移動）によって撓む。具体的には、伝送基板１０は、ベース部３０に取り付けられる中間部に対して、保持部４０に取り付けられる一端部が上下（図２中上下方向）に移動するように変形する。このような伝送基板１０の変形においては、シグナル線１２、第一グランド線１３、及び第二グランド線１４の相対的な位置関係（間隔）は変化しない。よって、支持部５０の変形に伴って伝送基板１０が変形しても、伝送基板１０における特性インピーダンスは変化せず、伝送基板１０における伝送損失も抑制される。したがって、測定装置１００の測定精度を向上させることができる。
【００３７】
また、一般に、測定対象では、測定面に高低差（凹凸）が生じることがある。特に、測定対象が電子回路基板である場合には、半導体ウェハなどと比べて大きな凹凸が生じやすい。測定対象に高低差がある場合、高さが相対的に高い部位に対してある接触子が先に接触してしまい、高さが相対的に低い部位には他の接触子が充分に接触しないおそれがある。このように、測定対象に高低差（凹凸）が生じる場合には、接触子と測定対象との接触状態が不均一になり、良好な接触状態を得られないおそれがある。
【００３８】
これに対し、測定装置１００では、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３は、弾性部材６０を介して保持部４０に取り付けられる。また、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３は、柔軟性を有する伝送基板１０上に設けられる。このため、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３が測定対象Ｔに接触すると、当該接触子に対向する弾性部材６０が圧縮されると共に、伝送基板１０が変形する。よって、ある接触子が測定対象Ｔに先に接触しても、弾性部材６０と伝送基板１０の変形によって他の接触子と共に保持部４０を測定対象Ｔに向けてさらに移動させることができる。
【００３９】
このように、測定装置１００では、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３は、測定対象Ｔの高さの差を許容するように、互いに異なる移動量で独立して移動（言い換えれば相対移動）することができる。このため、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３と測定対象Ｔとの接触状態を均一にすることができる。これにより、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３のそれぞれを所定の押し付け力により測定対象Ｔに押し付けて、良好な接触状態を得ることができる。
【００４０】
（第２実施形態）
次に、図５及び図６を参照して、本発明の第２実施形態について、説明する。以下では、上記第１実施形態と異なる点を中心に説明し、上記第１実施形態と同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。
【００４１】
上記第１実施形態では、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３を互いに独立して移動させる移動許容部は、保持部４０に設けられる弾性部材６０である。上記第１実施形態では、弾性部材６０が拡縮することで、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３が、互いに独立して移動する。
【００４２】
これに対し、第２実施形態に係る測定装置２００では、移動許容部は、保持部４０と一体に形成される弾性構造部１６０である。
【００４３】
弾性構造部１６０は、保持部４０に接続される基部１６１と、基部１６１を支点として互いに独立して撓み変形（弾性変形）する複数の変形部と、を有する。
【００４４】
図５及び図６に示すように、変形部は、接触子に対応した数（本実施形態では、３つ）だけ設けられ、それぞれ伝送基板１０を介して第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３が取り付けられる。以下では、第一接触子１が取り付けられる変形部を「第一変形部１６５」、第二接触子２が取り付けられる変形部を「第二変形部１６６」、第三接触子３が取り付けられる変形部を「第三変形部１６７」とも称する。第一変形部１６５、第二変形部１６６、及び第三変形部１６７は、それぞれ基端側が基部１６１から折れ曲がって形成され、基端側から測定対象Ｔに対して平行に延びる。第一変形部１６５、第二変形部１６６、及び第三変形部１６７の先端側は、自由端として構成される。
【００４５】
第一変形部１６５、第二変形部１６６、及び第三変形部１６７と保持部４０との間には、主に図５に示すように、隙間１６０ａが形成される。隙間１６０ａが設けられることで、第一変形部１６５、第二変形部１６６、及び第三変形部１６７と保持部４０との干渉が防止される。
【００４６】
また、第一変形部１６５、第二変形部１６６、及び第三変形部１６７の間には、互いを隔てるスリット１６０ｂ，１６０ｃが形成される。基部１６１、第一変形部１６５、第二変形部１６６、及び第三変形部１６７は、保持部４０と共に樹脂により一体成形される。
【００４７】
伝送基板１０には、図６に示すように、シグナル線１２と第一グランド線１３の間、及び、シグナル線１２と第二グランド線１４の間において、長手方向に延びるスリット１０ａ，１０ｂが形成される。第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３は、スリット１０ａ，１０ｂによって互いに隔てられるため、独立して移動しやすくなる。
【００４８】
第一変形部１６５、第二変形部１６６、及び第三変形部１６７は、それぞれ基部１６１を支点として自由端が鉛直方向上下に移動するように、曲げ変形が可能である。言い換えれば、第一変形部１６５、第二変形部１６６、及び第三変形部１６７は、基部１６１を支点として撓み変形が可能である。また、第一変形部１６５、第二変形部１６６、及び第三変形部１６７は、スリット１６０ｂ，１６０ｃによって隔てられており、互いに独立して変形可能である。よって、第一変形部１６５、第二変形部１６６、及び第三変形部１６７に取り付けられる第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３も互いに独立して移動可能である。このような第２実施形態においても、上記第１実施形態と同様に、測定対象Ｔの高低差を許容して、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３と測定対象Ｔとの接触状態を均一にすることができる。よって、測定対象Ｔに高低差があっても、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３と測定対象Ｔとの接触状態を良好にすることができる。
【００４９】
なお、上記第１実施形態と同様、測定装置２００では、伝送基板１０にスリット１０ａ，１０ｂを設けない構成としてもよい。この場合には、スリット１６０ｂ，１６０ｃを設けて複数の変形部を設ける構成（図５の構成）とせずに、図７に示すように、単一の変形部１６８が基部１６１に接続され、変形部１６８に第一接触子１、第二接触子２、第三接触子３を取り付けるように構成してもよい。
【００５０】
反対に、上記第１実施形態において、第２実施形態のように、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３を隔てるスリット１０ａ，１０ｂを伝送基板１０に設けてもよい。伝送基板１０にスリット１０ａ，１０ｂを設ける場合には、上述のように、第一接触子１、第二接触子２、及び第三接触子３を独立して移動させやすい。一方、伝送基板１０にスリット１０ａ，１０ｂを設けない場合には、スリット１０ａ，１０ｂにより生じる空気層が、シグナル線１２と第一グランド線１３、及び、シグナル線１２と第二グランド線１４との間に形成されることがない。このため、伝送基板１０にスリット１０ａ，１０ｂを設けない場合には、高周波伝送線路の特性インピーダンスを測定対象Ｔの特性インピーダンスに整合させやすい。伝送基板１０にスリット１０ａ，１０ｂを設けるか否かは、高周波伝送線路の特性インピーダンスを考慮して、決定すればよい。
【００５１】
以上のように、移動許容部である弾性構造部１６０が基部１６１を支点として複数の変形部が互いに独立して撓み変形する第２実施形態においても、第１実施形態と同様の作用効果を奏する。つまり、移動許容部は、上記第１実施形態のように、自身の圧縮（伸縮）により接触子の独立した移動を許容するものでもよいし、上記第２実施形態のように、基部１６１を支点とした複数の変形部（第一変形部１６５、第二変形部１６６、及び第三変形部１６７）の撓み変形により接触子の独立した移動を許容するものでもよい。
【００５２】
次に、上記実施形態の作用効果についてまとめて説明する。
【００５３】
第１及び第２実施形態では、測定装置１００，２００は、測定対象Ｔに押し付けられる複数の接触子（第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３）と、シグナル線１２及びグランド線（第一グランド線１３，第二グランド線１４）を含む高周波伝送線路が設けられ、柔軟性を有する伝送基板１０と、接触子（第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３）及び伝送基板１０が取り付けられる本体部２０と、を備え、複数の接触子（第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３）は、それぞれ対応するシグナル線１２及びグランド線（第一グランド線１３，第二グランド線１４）に一体的に設けられ、本体部２０は、ベース部３０と、接触子（第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３）及び伝送基板１０を保持する保持部４０と、ベース部３０に取り付けられ保持部４０を支持する支持部５０と、を有し、支持部５０は、測定対象Ｔへの接触子（第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３）の押し付けに伴って弾性変形する。
【００５４】
このような第１及び第２実施形態によれば、接触子（第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３）を測定対象Ｔに押し付ける際には、本体部２０の支持部５０が弾性変形することにより所定の押し付け力で接触子（第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３）を接触させることができる。また、高周波伝送線路は、柔軟性を有する伝送基板１０に設けられるため、測定対象Ｔに接触子（第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３）を押し付けるのに伴い伝送基板１０が変形しても、伝送損失を抑制することができる。したがって、所定の押し付け力で接触子（第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３）を測定対象Ｔに押し付け、伝送損失を抑制できるため、測定装置１００の測定精度を向上させることができる。
【００５５】
また、第１及び第２実施形態に係る測定装置１００，２００は、保持部４０に設けられ、測定対象Ｔへの押し付けに伴う複数の接触子（第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３）同士の独立した移動を許容する移動許容部（弾性部材６０、弾性構造部１６０）をさらに備える。
【００５６】
また、第１実施形態に係る測定装置１００では、移動許容部（弾性構造部１６０）は、弾性を有する弾性部材６０であり、複数の接触子（第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３）は、弾性部材６０の弾性変形により互いに独立して移動可能に構成される。
【００５７】
また、第２実施形態に係る測定装置２００では、移動許容部は、保持部４０に接続される基部１６１と、基部１６１を支点として互いに独立して弾性変形する複数の変形部（第一変形部１６５，第二変形部１６６，第三変形部１６７）と、を有し、複数の接触子（第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３）は、それぞれ対応する複数の変形部（第一変形部１６５，第二変形部１６６，第三変形部１６７）に取り付けられ、変形部（第一変形部１６５，第二変形部１６６，第三変形部１６７）が基部１６１を支点として弾性変形することにより、互いに独立して移動可能に構成される。
【００５８】
このような第１及び第２実施形態によれば、複数の接触子（第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３）が互いに独立して移動することができるため、測定対象Ｔにおいて高低差が生じる場合であっても、各接触子（第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３）を測定対象Ｔに均一に接触させることができる。したがって、各接触子（第一接触子１，第二接触子２，第三接触子３）と測定対象Ｔとの接触状態を良好にすることができ、測定装置１００，２００の測定精度が向上する。
【００５９】
次に、各実施形態の変形例について説明する。以下のような変形例も本発明の範囲内であり、以下の変形例と上記実施形態の各構成とを組み合わせたり、以下の変形例同士を組み合わせたりすることも可能である。また、上記実施形態の説明において記載された変形例についても同様に、他の変形例と任意に組み合わせることが可能である。
【００６０】
上記各実施形態では、高周波伝送線路は、コプレーナ線路である。これに対し、高周波伝送線路は、ストリップ線路やマイクロストリップ線路など、その他のものであってもよい。
【００６１】
また、上記各実施形態では、伝送基板１０は、柔軟性を有するフレキシブルプリント基板である。これに対し、伝送基板１０は、柔軟性を有する部位と有していない部位とを含むフレックスリジット基板であってもよい。特許請求の範囲における「柔軟性を有する伝送基板」とは、全体が柔軟性を有するフレキシブルプリント基板に限らず、一部が柔軟性を有するフレックスリジット基板も含む意味である。
【００６２】
また、上記各実施形態では、支持部５０におけるリンク部５１，５５のロッド部５２，５６は、互いに同じ長さを有する。これに対し、ロッド部５２，５６は、長さが互いに異なるように構成されてもよい。
【００６３】
また、上記各実施形態では、支持部５０とは、一対のリンク部５１，５５を有するリンク機構により構成される。これに対し、支持部５０は、測定対象Ｔへの第一接触子１，第二接触子２，及び第三接触子３の押し付けに伴い変形するように構成される限りは、リンク機構に限らず、任意の構成とすることができる。
【００６４】
また、上記各実施形態では、第一接触子１、第二接触子２、第三接触子３は、円柱形状に形成される。これに限らず、第一接触子１、第二接触子２、第三接触子３は、任意の形状に形成することができる。第一接触子１、第二接触子２、第三接触子３は、例えば、角柱、角錐、円錐、角錐台、円錐台などの形状で形成してもよい。
【００６５】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。
【符号の説明】
【００６６】
１        第一接触子（接触子）
２        第二接触子（接触子）
３        第三接触子（接触子）
１０      伝送基板
１２      シグナル線
１３      第一グランド線（グランド線）
１４      第二グランド線（グランド線）
２０      本体部
３０      ベース部
４０      保持部
５０      支持部
６０      弾性部材（移動許容部）
１００    測定装置
１６０    弾性構造部（移動許容部）
１６１    基部
１６５    第一変形部（変形部）
１６６    第二変形部（変形部）
１６７    第三変形部（変形部）
２００    測定装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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