(57)【要約】      （修正有）【課題】広い面積の基材上に所望の形状の粘弾性部材からなる膜を容易に形成することができる粘弾性膜の形成方法を提供する。【解決手段】マスク板を使用してベース材３上に粘弾性部材を含む塗布材を転写する際、マスク板の孔部に充填された塗布材に風圧を与えて、マスク板を分離し、ベース材上に所望の形状の塗布材を形成する。また、基材１１上に所望の形状の塗布材あるいは固化した粘弾性膜を転写する際、ベース材に予め形成した貫通孔４から塗布材等に風圧を与えて、ベース材を分離し、基材上に所望の形状の塗布材等を形成する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に、所望の形状の粘弾性部材からなる膜を形成する粘弾性膜の形成方法において、
貫通孔を複数備えたベース材を用意する工程と、
該ベース材上に所望の形状の粘弾性部材からなるパターン膜を形成する工程と、
前記パターン膜表面を前記基材に貼り付け、前記ベース材の前記貫通孔から前記パターン膜に風圧を与えて前記パターン膜を前記基材に貼り付けた状態で前記ベース材のみを分離し、前記基材上に前記パターン膜を形成する工程と、を含むことを特徴とする粘弾性膜の形成方法。
【請求項２】
請求項１記載の粘弾性膜の形成方法において、
前記ベース材上に前記パターン膜を形成する工程は、
前記所望の形状に開口する孔部を複数有するマスク板を用意する工程と、
前記孔部内に該孔部より小さい前記貫通孔が配置するように前記ベース材上に前記マスク板を接触配置し、粘弾性部材を含む塗布材を前記孔部内にそれぞれ充填する工程と、
該孔部内に充填された前記塗布材に風圧を与えて前記所望の形状の塗布材を前記ベース材に貼り付けた状態で前記マスク板のみを分離し、前記ベース材上に前記パターン膜を形成する工程と、からなることを特徴とする粘弾性膜の形成方法。
【請求項３】
請求項１記載の粘弾性膜の形成方法において、
前記ベース材上に前記パターン膜を形成する工程は、
前記ベース材上にシート状の粘弾性部材からなる膜を形成する工程と、
前記シート状の粘弾性部材からなる膜に金型を押圧し、前記貫通孔上に前記パターン膜が配置するように前記シート状の粘弾性部材からなる膜から前記パターン膜を分離し、該パターン膜に風圧を与えて前記パターン膜を前記ベース材に貼り付けた状態でそれ以外の粘弾性部材からなる膜あるいは前記金型を除去し、前記ベース材上に前記パターン膜を形成する工程と、からなることを特徴とする粘弾性膜の形成方法。
【請求項４】
請求項１乃至３いずれか記載の粘弾性膜の形成方法において、
前記ベース材上に前記パターン膜を形成する工程は、前記粘弾性部材からなる膜を加熱し、前記ベース材上に硬化したパターン膜を形成する工程を含むことを特徴とする粘弾性膜の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘弾性部材からなる膜を比較的広い面積にわたって簡便に形成することが可能な粘弾性膜の形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
放熱材や電波吸収体として粘弾性部材が使用されている。一般的にこれらの粘弾性部材は、シート状の部材を所望の形状に切り抜き、所望の場所に一枚ずつ貼り付けて使用している。
【０００３】
また粘弾性部材からなる膜は、液状の粘弾性部材をディスペンサを用いて塗布し、その後加熱することで固化、形成することもできる（例えば、特許文献１）。ディスペンサを用いて塗布する代わりにスクリーン印刷やステンシル印刷による形成も可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】再表２０１３−０１８２５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
粘弾性部材からなる所望の形状の膜を比較的広い面積（例えば１辺が５０ｃｍ程度）の基材全面に形成するためスクリーン印刷、あるいはステンシル印刷を行う場合、粘弾性部材の粘度が高くなると所望の形状に開口した孔部に粘弾性部材が貼り付き、基材上に所望の形状の粘弾性膜が形成できないという問題があった。そのため、スクリーン印刷やステンシル印刷が可能な粘弾性部材の種類は限られていた。また特に開口面積が狭かったり、幅の狭い孔部に貼り付きやすく、所望の形状の粘弾性膜を形成できないという問題があった。本発明はこのような問題を解消し、広い面積の基材上に所望の形状の粘弾性部材からなる膜を容易に形成することができる粘弾性膜の形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本願請求項１に係る発明は、基材上に、所望の形状の粘弾性部材からなる膜を形成する粘弾性膜の形成方法において、貫通孔を複数備えたベース材を用意する工程と、該ベース材上に所望の形状の粘弾性部材からなるパターン膜を形成する工程と、前記パターン膜表面を前記基材に貼り付け、前記ベース材の前記貫通孔から前記パターン膜に風圧を与えて前記パターン膜を前記基材に貼り付けた状態で前記ベース材のみを分離し、前記基材上に前記パターン膜を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
【０００７】
本願請求項２に係る発明は、請求項１記載の粘弾性膜の形成方法において、前記ベース材上に前記パターン膜を形成する工程は、前記所望の形状に開口する孔部を複数有するマスク板を用意する工程と、前記孔部内に該孔部より小さい前記貫通孔が配置するように前記ベース材上に前記マスク板を接触配置し、粘弾性部材を含む塗布材を前記孔部内にそれぞれ充填する工程と、該孔部内に充填された前記塗布材に風圧を与えて前記所望の形状の塗布材を前記ベース材に貼り付けた状態で前記マスク板のみを分離し、前記ベース材上に前記パターン膜を形成する工程と、からなることを特徴とする。
【０００８】
本願請求項３に係る発明は、請求項１記載の粘弾性膜の形成方法において、前記ベース材上に前記パターン膜を形成する工程は、前記ベース材上にシート状の粘弾性部材からなる膜を形成する工程と、前記シート状の粘弾性部材からなる膜に金型を押圧し、前記貫通孔上に前記パターン膜が配置するように前記シート状の粘弾性部材からなる膜から前記パターン膜を分離し、該パターン膜に風圧を与えて前記パターン膜を前記ベース材に貼り付けた状態でそれ以外の粘弾性部材からなる膜あるいは前記金型を除去し、前記ベース材上に前記パターン膜を形成する工程と、からなることを特徴とする。
【０００９】
本願請求項４に係る発明は、請求項１乃至３いずれか記載の粘弾性膜の形成方法において、前記ベース材上に前記パターン膜を形成する工程は、前記粘弾性部材からなる膜を加熱し、前記ベース材上に硬化したパターン膜を形成する工程を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の粘弾性膜の形成方法は、所望の形状の粘弾性部材（パターン膜）をベース材に形成し、このベース材上のパターン膜を基材に貼り付ける際、予めベース材に小さい貫通孔を形成しておくことで、この貫通孔を通してパターン膜等にガスを吹き付け風圧を与えながらベース材を離すことで、基材上に簡便に所望の形状の粘弾性部材等を形成することができる。ガスを吹き付け風圧を与えるための手段は、空気あるいは窒素等のガスを噴出させるブローガンを用いることができ、通常の電子部品の製造工程で使用している装置を利用する簡便な方法である。
【００１１】
またベース材上にパターン膜を形成する際には、風圧を与えてパターン膜をベース材上に押し付けながらマスク板等を分離するため、マスク板等と接着力が大きい粘弾性部材を使用することができ、あるいは厚い粘弾性膜を形成することができるため、放熱効果や電波吸収効果の向上が期待できる最適材料を選択することが可能となる。また、マスク板の孔部等の開口面積が狭かったり、開口幅が狭い形状を形成する場合でも、マスク板の孔部等に充填された粘弾性部材を確実にベース材に転写することができるため、比較的微細な形状のパターン膜を形成することが可能となる。
【００１２】
本発明は、広い面積に一括転写が可能であり、また比較的微細な形状でもベース材上に形成することができるため、シート状の粘弾性膜を所望の形状に切り抜き、基材上の所望の場所に１枚ずつ貼り付ける方法と比較して、作業性が向上するという利点がある。
【００１３】
さらにパターン膜は固化しない状態で、あるいは固化した状態で用意しておくことができる。これは、例えば基材上にディスペンサを用いて所望の形状の膜を形成し、その後固化する方法と比較して、作業時間が大幅に短縮できるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１の実施例の製造工程の説明図である。
【図２】本発明の第１の実施例の製造工程の説明図である。
【図３】本発明に用いるベース材の平面図である。
【図４】本発明に用いるマスク板の平面図である。
【図５】本発明のベース材の貫通孔とマスク板の孔部との位置関係を説明する図である。
【図６】本発明の第３の実施例の製造工程の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の粘弾性膜の形成方法は、基材上にパターン膜を転写する際、ベース材に予め形成した貫通孔からパターン膜に風圧を与えて、ベース材を分離し、基材上にパターン膜を形成する構成としている。さらにまた、ベース材上にパターン膜を転写する際、パターン膜に風圧を与えてマスク板等を分離し、ベース材上に所望の形状のパターン膜を形成する構成としている。以下、本発明の実施例について詳細に説明する。
【実施例１】
【００１６】
本発明の第１の実施例について説明する。図１および図２は、本実施例の粘弾性膜の形成方法の説明図である。台座１に形成された位置決め用ピン２に合わせて台座１上にベース材３をセットする。図３にベース材３の平面図を示す。図３に示すようにベース材３は後述するようにその表面に粘弾性部材を含む塗布材を所望の形状に形成し、その後その塗布材（パターン膜）を基材上に転写するために用いるもので、パターン膜に風圧を与えるための貫通孔４と位置決め用貫通孔４ａが形成されている。図１（ａ）に示すように、位置決め用貫通孔４ａに台座１の位置決め用ピン２を貫入させ、台座１上にベース材３をセットする。
【００１７】
別にマスク板５を用意する。図４にマスク板５の平面図を示す。このマスク板５は粘弾性部材を所望の形状にパターニングするために用いられ、マスク部６と所望の形状に開口する孔部７とを備えている。図１（ａ）に示す例では、マスク板５の表面はスクリーンメッシュで覆われている。このマスク板５にも位置決め用貫通孔４ｂが形成されており、この位置決め用貫通孔４ｂに台座１上の位置決め用ピン２を貫入させ、ベース材３上にセットすることで、ベース材３とマスク板５の位置決めを行うことができる。なお、孔部７の配置や形状等は、図４に示すような対称性を有する形状等に限定されるものではなく、幅の狭い開口を有する等種々変更可能である。同様に貫通孔４の配置や形状等も、図３に示す形状等に限定されるものではない。
【００１８】
しかしながら本発明では、後述するようにベース材３上に形成されたパターン膜８ａを基材１１に転写する際、ベース材３に形成した貫通孔４を通してパターン膜８ａに風圧を与えてベース材３を分離する必要がある。図５はベース材３上にマスク板５を重ね合せ、マスク板５の孔部７内にベース材３が露出している状態を示している。図５に示すようにマスク板５の孔部７がベース材３の貫通孔４の形成された領域に重なるように形成することで、貫通孔４を通して風圧をパターン膜８ａに与えることが可能となり、この風圧によりパターン膜８ａが基材１１に貼り付けられ、ベース材３のみを分離することが可能となっている。
【００１９】
ベース材３とマスク板５を位置決めしてセットした後、粘弾性部材を含む塗布材８をマスク板５上に滴下し、スキージ９を図１（ｂ）に示す矢印方向に移動させる。その結果、マスク板５表面のスクリーンメッシュを透過した塗布材８が孔部７に充填される（図１ｃ）。
【００２０】
ここで、通常のスクリーン印刷に使用されるインクでは、マスク板５を除去すればベース材３上に塗布材８が転写される。しかしながら、粘弾性部材はマスク板５との接着性が高く、この状態でマスク板５を取り外すとマスク板５の孔部７内に塗布材８が残ったままとなり、ベース材３上に転写することができない場合がある。特に厚く塗布材８を形成する場合にそのような不具合が発生しやすくなる。あるいは孔部７の面積が小さい場合や開口幅が狭い場合に、このような不具合が発生しやすくなる。
【００２１】
そこで本実施例では図１（ｄ）に示すように、マスク板５を分離する際、ノズル１０から空気、窒素等のガスを吹き付け、その風圧により塗布材８をベース材３に押し付けながらマスク板５を分離することで、所望の形状の塗布材８（パターン膜８ａ）を確実にベース材３上に転写するように構成している。ノズル１０からガスを吹き付ける位置は、図１（ｄ）に示すようにマスク板５が上方に持ち上がる領域とすると、マスク板５の孔部７に接着して持ちあがった塗布材８を風圧により孔部７から分離し、ベース材３に接着させることができ好ましい。なお塗布材８の形状によって風圧の印加が必要な形状と不要な形状が存在する場合もあり、選択的に風圧を印加しても良い。
【００２２】
図２（ａ）はベース材３上にパターン膜８ａを転写し、パターン膜８ａの表面を下側に向けた状態を示している。ここで、パターン膜８ａの表面にダスト等が付着することを防ぐため、パターン膜８ａの表面を保護膜で被覆しておいても良い。
【００２３】
位置決め用貫通孔が形成されている基材１１を用意し、この位置決め用貫通孔に台座１の位置決め用ピン２を貫入させ、粘弾性膜を形成する表面を上側に向けて台座１上に基材１１をセットする。基材１１の表面に図２（ａ）に示すベース材３を、位置決め用貫通孔４ａに位置決め用ピン２を貫入させて接着させる（図２ｂ）。パターン膜８ａの表面を保護膜で被覆している場合は、保護膜を取り除き基材１１上に位置決めし、接着させれば良い。
【００２４】
次にベース材３を除去する。このときパターン膜８ａと基材１１との接着力が、パターン膜８ａとベース材３との接着力より十分大きい場合、ベース材３はパターン膜８ａを基材１１上に残し分離される。しかしながら粘弾性部材は、ベース材３との接着性が強く基材１１から剥離してしまう場合がある。そこで本発明では、図２（ｃ）に示すようにベース材３を分離する際、ノズル１０から空気、窒素等のガスを吹き付け、その風圧によりパターン膜８ａを基材１１に押し付けながらベース材３を分離することで、パターン膜８ａを基材１１上に転写するように構成している。ノズル１０から印加される風圧は、ベース材３に形成されている貫通孔４を通してパターン膜８ａに印加される。ノズル１０からガスを吹き付ける位置は、図２（ｃ）に示すようにベース材３が上方に持ち上がる領域とすると、ベース材３に接着して持ち上がったパターン膜８ａが貫通孔４から与えられる風圧によりベース材３から分離し、基材１１に接着させることができ好ましい。
【００２５】
基材１１上に転写されたパターン膜８ａは、所望の加熱処理を行うことで固化し、粘弾性膜を形成することができる。以下、粘弾性膜上に所望の電子部品を載置することで粘弾性膜を放熱材として、あるいは別の部材と密閉封止するためのガスケットとして、あるいは電波吸収体等として機能させることが可能となる。
【００２６】
このように本実施例では、図２（ａ）に示すパターン膜８ａを備えたベース材３を用意しておけば、スクリーン印刷等同様、簡便にパターン膜８ａを形成することが可能となり、非常に作業性が良い製造方法である。
【実施例２】
【００２７】
次に第２の実施例について説明する。上記第１の実施例では、基材１１上にパターン膜８ａを形成した後、このパターン膜８ａを固化していたが、この固化工程を変更することが可能である。具体的には、図２（ａ）に示すベース材３上にパターン膜８ａを形成した後、ベース材３上でパターン膜８ａを加熱し固化し、パターン膜８ａを粘弾性膜とすることが可能である。
【００２８】
この場合、第１の実施例で説明した基材１１上へのパターン膜８ａの貼り付け（図２ｂ）は、硬化後の粘弾性膜の貼り付けとなり、基材１１上へパターン膜８ａの転写（図２ｃ）は、粘弾性膜の転写となる。
【００２９】
ベース材３上に形成される粘弾性膜が位置ずれしないように、ベース材３は固化のための加熱処理によって収縮等しない材料、あるいは加熱条件を選択するのが好ましい。
【実施例３】
【００３０】
次に第３の実施例について説明する。上記第１の実施例では、スクリーン印刷によりベース材３上にパターン膜８ａを形成していたが、抜き金型を用いてパターン膜８ａを形成することもできる。
【００３１】
まずベース材３を用意する。このベース材３は、上述の第１の実施例で説明したように貫通孔４と位置決め用貫通孔４ａが形成されている。ベース材３の表面に粘弾性部材を含む塗布材８をシート状に形成する。図６（ａ）は、塗布材８を所望の形状に形成するために使用する抜き金型１２の配置位置を模式的に示している。
【００３２】
塗布材８に抜き金型１２を押圧し、塗布材８を粘弾性部材として使用する領域（パターン膜８ａとなる領域）とその他の領域とを切断分離する。その後、パターン膜８ａとなる領域以外の領域の塗布膜８を除去する。ここで、粘弾性部材は抜き金型１２との接着性が高く、図６（ｂ）に示す状態で抜き金型１２を取り外すと抜き金型１２に接着したパターン膜８ａがベース材３から剥離してしまう。そこで例えば、抜き金型１２を残した状態で不要な部分の塗布材８を分離し、その後、抜き金型１２を分離する際、ノズル１０から空気、窒素等のガスを吹き付け、その風圧により塗布材８をベース材３に押し付けながら抜き金型１２を分離する。このようにすると、所望の形状の塗布材８（パターン膜８ａ）を確実にベース材３上に転写することができる。パターン膜８ａを形成した後、パターン膜８ａの表面を保護膜で被覆しても良い。
【００３３】
以下、上述の第１の実施例同様、位置決め用貫通孔が形成されている基材１１を用意し、この位置決め用貫通孔に台座１の位置決め用ピン２を貫通させ、粘弾性膜を形成する上面を上側に向けて台座１上に基材１１をセットする。基材１１の表面に、パターン膜８ａを転写したベース材３を、位置決め用貫通孔４ａに位置決め用ピン２を貫入させて接着させる（図６ｄ）。
【００３４】
次にベース材３を除去する。ベース材３を分離する際、ノズル１０から空気、窒素等のガスを吹き付け、その風圧によりパターン膜８ａを基材１１に押し付けながらベース材３を分離することでパターン膜８ａを基材１１上に転写する。ノズル１０から印加される風圧は、ベース材３に形成されている貫通孔４を通して印加される。ノズル１０からガスを吹き付ける位置は、図６（ｅ）に示すようにベース材３が上方に持ち上がる領域とすると、ベース材３に接着して持ち上がったパターン膜８ａが貫通孔４から与えられる風圧によりベース材３から分離し、基材１１に接着させることができ好ましい。
【００３５】
基材１１上に転写されたパターン膜８ａは、所望の加熱処理を行うことで固化し、粘弾性膜を形成することができる。以下、粘弾性膜上の所望の電子部品を載置することで粘弾性膜を放熱材として、あるいは別の部材と密閉封止するためのガスケットとして、あるいは電波吸収体等として機能させることが可能となる。
【００３６】
このように本実施例においても、パターン膜８ａを備えたベース材３を用意しておけば、スクリーン印刷等同様、簡便にパターン膜８ａを形成することが可能となる。
【実施例４】
【００３７】
次に第４の実施例について説明する。上記第３の実施例では、基材１１上に所望の形状の塗布材８を形成した後、パターン膜８ａを固化していたが、この固化工程を変更することが可能である。具体的には、ベース材３上にパターン膜８ａを形成した後、ベース材３上でパターン膜８ａを加熱固化し、パターン膜８ａを粘弾性膜とすることが可能である。
【００３８】
この場合、第３の実施例で説明した基材１１上へのパターン膜８ａの貼り付け（図６ｄ）は、硬化後の粘弾性膜の貼り付けとなり、基材１１上へパターン膜８ａの転写（図６ｅ）は、粘弾性膜の転写となる。
【００３９】
ベース材３上に形成される粘弾性膜が位置ずれしないように、ベース材３は固化のための加熱処理によって収縮等しない材料、あるいは加熱条件を選択するのが好ましい。
【００４０】
以上本発明の実施例について説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、例えばベース材上に所望の形状の粘弾性部材からなるパターン膜を形成する方法は、スクリーン印刷の代わりにステンシル印刷であっても良いし、公知の手法により形成することが可能である。またベース材３とマスク板５との位置決め方法や、ベース材３と基材１１との位置決め方法は、位置決め用ピン２を用いる方法に限定されるものでもない。
【符号の説明】
【００４１】
１： 台座、２：位置決め用ピン、３：ベース材、４：貫通孔、４ａ、４ｂ：位置決め用貫通孔、５：マスク板、６：マスク部、７：孔部、８：塗布材、８ａ：パターン膜、９：スキージ、１０：ノズル、１１：基材、１２：抜き金型
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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