(57)【要約】【課題】物体検出の感度がエアーなどの流体の吹き出し口の先端部と物体との距離に依存することがないようにして、物体が流体の吹き出し口の先端部と接触する恐れを排除するとともに、厚さの異なる種々の物体の有無をそれぞれ正確に検出したり、流体の吹き出し口の先端部と対向する面に凹凸形状がある物体の有無を正確に検出することができるようにする。【解決手段】第１の吹き出し口から流体を吹き出す第１の配管と、第１の吹き出し口と対向して同軸上に配置された第２の吹き出し口から流体を吹き出す第２の配管と、第１の配管内の流体の圧力と２の配管内の流体の圧力との少なくともいずれか一方の圧力を検出する圧力検出手段とを有し、圧力検出手段が検出した圧力の変化に基づいて、第１の吹き出し口と第２の吹き出し口との間における物体の有無を検出する。【選択図】        図１
2020190470.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の吹き出し口から流体を吹き出す第１の配管と、
前記第１の吹き出し口と対向して同軸上に配置された第２の吹き出し口から流体を吹き出す第２の配管と、
前記第１の配管内の流体の圧力と前記２の配管内の流体の圧力との少なくともいずれか一方の圧力を検出する圧力検出手段と
を有し、
前記圧力検出手段が検出した圧力の変化に基づいて、前記第１の吹き出し口と前記第２の吹き出し口との間における物体の有無を検出する
ことを特徴とする物体検出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の物体検出装置において、
前記第１の吹き出し口から吹き出す流体の圧力は、前記第２の吹き出し口から吹き出す流体の圧力よりも低く、
前記圧力検出手段は、前記第１の配管内の流体の圧力を検出する
ことを特徴とする物体検出装置。
【請求項３】
請求項２に記載の物体検出装置において、
前記第２の吹き出し口は、前記第１の吹き出し口より鉛直方向下方側に位置する
ことを特徴とする物体検出装置。
【請求項４】
請求項３に記載の物体検出装置において、
前記第２の吹き出し口の先端部は、鉛直方向上方側に凸な曲面形状に形成された
ことを特徴とする物体検出装置。
【請求項５】
一対の配管におけるそれぞれの流体の吹き出し口の先端部を同軸上に対向して配置するとともに、前記対向して配置した前記先端部の間を検出領域として物体が移動するようにして、前記一対の配管内の少なくともいずれか一方の流体の圧力の変化を計測し、前記計測した圧力の変化に基づいて、前記検出領域における前記物体の有無を検出する
ことを特徴とする物体検出方法。
【請求項６】
請求項５に記載の物体検出方法において、
前記一対の配管のいずれか一方の配管の吹き出し口から吹き出す流体の圧力は、前記一対の配管のいずれか他方の配管の吹き出し口から吹き出す流体の圧力よりも低く、
前記一方の配管の圧力の変化を計測する
ことを特徴とする物体検出方法。
【請求項７】
請求項６に記載の物体検出方法において、
前記他方の配管の吹き出し口は、前記一方の配管の吹き出し口より鉛直方向下方側に位置する
ことを特徴とする物体検出装置。
【請求項８】
請求項７に記載の物体検出方法において、
前記他方の配管の吹き出し口の先端部は、鉛直方向上方側に凸な曲面形状に形成された
ことを特徴とする物体検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物体検出装置および物体検出方法に関する。さらに詳細には、本発明は、例えば、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）製造工程などのような各種の作業工程において、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板などのような各種の物体が存在する位置を検出する際などに用いて好適な物体検出装置および物体検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Ｌｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ：Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）あるいは低温ポリシリコン薄膜トランジスタ（ＬＴＰＳ−ＴＦＴ：Ｌｏｗ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｐｏｌｙ  Ｓｉｌｉｃｏｎ−Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）などを含むフラットパネルディスプレイ製造工程の分野においては、各作業工程においてフラットパネルディスプレイ用のガラス基板が存在する位置を検出するために、ガラス基板の有無を検出する物体検出装置が用いられている。
【０００３】
こうした物体検出装置としては、例えば、エアーの圧力の変化を計測してガラス基板などの物体の有無を検出する手法を用いた物体検出装置が知られており、例えば、特許文献１として提示する特開２０００−１８６９７２号公報などに開示された構成を備えたものがある。
【０００４】
ここで、上記した特開２０００−１８６９７２号公報に開示されたエアーの圧力の変化を計測して物体の有無を検出する従来の物体検出装置は、検出領域に向けてエアーを吐出する１本の配管と、当該配管内の圧力を計測する圧力センサとを有して構成されている。
【０００５】
この物体検出装置を用いて物体の検出を行うには、１本の配管から検出領域に向けてエアーを吐出しながら、当該配管内のエアーの圧力を圧力センサで計測する。この際に、上記した検出領域にガラス基板などの物体が存在するときは、圧力センサで計測するエアーの圧力が上昇するので、こうした圧力の変化に基づいて上記した検出領域における物体の有無を検出することができる。
【０００６】
従って、上記した特開２０００−１８６９７２号公報に開示されたエアーの圧力の変化を利用した従来の物体検出装置によれば、物体に非接触で当該物体の有無を検出することができるので当該物体を汚染や破損する恐れがなく、また、物体の表面にレーザー光を照射して当該物体の有無を検出するものではないため、当該物体の表面状態が検出結果に影響を及ぼす恐れがないものであった。
【０００７】
しかしながら、上記において説明したエアーの圧力の変化を利用した従来の物体検出装置によれば、以下のような種々の問題点があった。
【０００８】
（１）第１の問題点
エアーの圧力の変化を利用した従来の物体検出装置においては、配管におけるエアーの吹き出し口の先端部から物体までの距離によって物体の有無による圧力の変化の大きさが異なり、物体検出装置における物体検出の感度が異なることとなっていた。即ち、エアーの吹き出し口の先端部と物体との距離が近いと圧力の変化が大きく、一方、エアーの吹き出し口の先端部と物体との距離が遠いと圧力の変化が小さくなるため、物体検出装置における物体検出の感度がエアーの吹き出し口の先端部と物体との距離に依存することとなっていた。このため、配管におけるエアーの吹き出し口の先端部から物体までの距離によっては、微少な圧力変化を検出することのできる高感度の高性能な圧力センサを用いる必要があり、コスト上昇を招来せざるを得ないという問題点があった。
【０００９】
（２）第２の問題点
上記した第１の問題点に鑑みて、エアーの圧力の変化を利用した従来の物体検出装置において感度の低い圧力センサを用いる場合には、配管におけるエアーの吹き出し口の先端部と物体とを接近して配置する必要があるため、物体が配管におけるエアーの吹き出し口の先端部に向けて移動する際に、当該物体が当該吹き出し口の先端部に接触する恐れがあるという問題点があった。
【００１０】
（３）第３の問題点
上記した第１の問題点として説明したように、エアーの圧力の変化を利用した従来の物体検出装置においては、物体検出の感度がエアーの吹き出し口の先端部と物体との距離に依存するため、厚さの異なる種々の物体の有無をそれぞれ正確に検出したり、配管におけるエアーの吹き出し口の先端部と対向する面に凹凸形状がある物体の有無を正確に検出したりすることができないという問題点があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２０００−１８６９７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、上記したような従来の技術の有する種々の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、物体検出の感度がエアーなどの流体の吹き出し口の先端部と物体との距離に依存することがないようにして、物体が流体の吹き出し口の先端部と接触する恐れを排除するとともに、厚さの異なる種々の物体の有無をそれぞれ正確に検出したり、流体の吹き出し口の先端部と対向する面に凹凸形状がある物体の有無を正確に検出することができるようにした物体検出装置および物体検出方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明は、一対の配管におけるそれぞれのエアーなどの流体の吹き出し口の先端部を同軸上に対向して配置するとともに、当該対向して配置した流体の吹き出し口の先端部の間を検出領域として物体が移動するようにして、一対の配管内の少なくともいずれか一方の流体の圧力の変化を計測した結果に基づいて、検出領域における当該物体の有無を検出するようにしたものである。
【００１４】
従って、本発明によれば、一対の配管におけるそれぞれのエアーなどの流体の吹き出し口の先端部が同軸上に対向して配置されているので、当該対向して配置された流体の吹き出し口の先端部の間の検出領域に物体が無い場合には、一対の配管内の流体の圧力は互いに対向して配置した流体の吹き出し口から吹き出される流体の圧力の影響を受けているため、検出領域において流体の吹き出し口の先端部から物体までの距離に変化があっても、検出領域における物体の有無に応じた圧力の変化の大きさが異なることはなく、このため物体検出の感度が異なることはない。
【００１５】
即ち、本発明は、物体検出の感度がエアーなどの流体の吹き出し口の先端部と物体との距離に依存することがないので、厚さの異なる種々の物体の有無をそれぞれ正確に検出したり、配管における流体の吹き出し口の先端部と対向する面に凹凸形状がある物体の有無を正確に検出したりすることができるようになる。
【００１６】
即ち、本発明による物体検出装置は、第１の吹き出し口から流体を吹き出す第１の配管と、上記第１の吹き出し口と対向して同軸上に配置された第２の吹き出し口から流体を吹き出す第２の配管と、上記第１の配管内の流体の圧力と上記２の配管内の流体の圧力との少なくともいずれか一方の圧力を検出する圧力検出手段とを有し、上記圧力検出手段が検出した圧力の変化に基づいて、上記第１の吹き出し口と上記第２の吹き出し口との間における物体の有無を検出するようにしたものである。
【００１７】
また、本発明による物体検出装置は、上記した本発明による物体検出装置において、上記第１の吹き出し口から吹き出す流体の圧力は、上記第２の吹き出し口から吹き出す流体の圧力よりも低く、上記圧力検出手段は、上記第１の配管内の流体の圧力を検出するようにしたものである。
【００１８】
また、本発明による物体検出装置は、上記した本発明による物体検出装置において、上記第２の吹き出し口は、上記第１の吹き出し口より鉛直方向下方側に位置するようにしたものである。
【００１９】
また、本発明による物体検出装置は、上記した本発明による物体検出装置において、上記第２の吹き出し口の先端部を、鉛直方向上方側に凸な曲面形状に形成するようにしたものである。
【００２０】
また、本発明による物体検出方法は、一対の配管におけるそれぞれの流体の吹き出し口の先端部を同軸上に対向して配置するとともに、上記対向して配置した上記先端部の間を検出領域として物体が移動するようにして、上記一対の配管内の少なくともいずれか一方の流体の圧力の変化を計測し、上記計測した圧力の変化に基づいて、上記検出領域における上記物体の有無を検出するようにしたものである。
【００２１】
また、本発明による物体検出方法は、上記した本発明による物体検出方法において、上記一対の配管のいずれか一方の配管の吹き出し口から吹き出す流体の圧力は、上記一対の配管のいずれか他方の配管の吹き出し口から吹き出す流体の圧力よりも低く、上記一方の配管の圧力の変化を計測するようにしたものである。
【００２２】
また、本発明による物体検出方法は、上記した本発明による物体検出方法において、上記他方の配管の吹き出し口は、上記一方の配管の吹き出し口より鉛直方向下方側に位置するようにしたものである。
【００２３】
また、本発明による物体検出方法は、上記した本発明による物体検出方法において、上記他方の配管の吹き出し口の先端部を、鉛直方向上方側に凸な曲面形状に形成するようにしたものである。
【発明の効果】
【００２４】
本発明は、以上説明したように構成されているので、物体検出の感度がエアーなどの流体の吹き出し口の先端部と物体との距離に依存することがないため、物体が流体の吹き出し口の先端部と接触する恐れを排除することができるとともに、厚さの異なる種々の物体の有無をそれぞれ正確に検出したり、流体の吹き出し口の先端部と対向する面に凹凸形状がある物体の有無を正確に検出することができるようになるという優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１（ａ）（ｂ）は、本発明の実施の形態の一例による物体検出装置の概略構成を模式的に示す一部断面構成説明図である。なお、図１（ａ）は物体を検出していない状態を示し、また、図１（ｂ）は物体を検出する際の状態を示す。
【図２】図２は、本発明者による実験の際の条件を示す一部断面拡大要部説明図である。
【図３】図３は、本発明者による他の実験を説明するための一部断面拡大要部説明図である。
【図４】図４は、本発明者による他の実験を説明するための一部断面拡大要部説明図である。
【図５】図５（ａ）（ｂ）は、本発明者による物体検出装置における下側エアー吹き出し口を示す一部断面拡大要部説明図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態の他の例による物体検出装置の概略構成を模式的に示す断面構成説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明による物体検出装置および物体検出方法の実施の形態の一例を詳細に説明するものとする。
【００２７】
なお、以下の説明においては、各図において同一または相当する構成については、それぞれ同一の符号を付して示すことにより、その詳細な構成ならびに作用の説明は適宜に省略する。
【００２８】
図１（ａ）（ｂ）には、本発明の実施の形態の一例による物体検出装置の概略構成を模式的に示す一部断面構成説明図があらわされている。なお、図１（ａ）は物体を検出していない状態を示し、また、図１（ｂ）は物体を検出する際の状態を示している。
【００２９】
この図１（ａ）（ｂ）に示す本発明の実施の形態の一例による物体検出装置１０は、物体１００へ向けて流体としてエアー（空気）を吐出するエアー吐出手段２０と、エアー吐出手段２０を構成する上側配管２２内のエアーの圧力を検知する圧力センサ（図示せず。）を備えた圧力検出手段としての圧力計４０と、物体１００を搬送する物体搬送手段としてのローラーコンベア５０とを有して構成されている。
【００３０】
ここで、エアー吐出手段２０は、上方側から鉛直方向（高さ方向）下方側に向けてエアーを吐出する上側エアー吹き出し口２２ａを備えた上側配管２２と、下方側から鉛直方向（高さ方向）上方側に向けてエアーを吐出する下側エアー吹き出し口２４ａを備えた下側配管２４とを備えている。
【００３１】
上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとは、上側エアー吹き出し口２２ａの先端部たる上側先端部２２ｂと下側エアー吹き出し口２４ａの先端部たる下側先端部２４ｂとが予め設定された間隔Ｇを開けるようにして、上側エアー吹き出し口２２ａと下側先端部２４ｂとの管軸が鉛直方向に沿って同軸上に対向して配置されている。
【００３２】
ここで、間隔Ｇは物体１００が通過可能なであり、かつ、上側配管２２内のエアーの圧力が下側エアー吹き出し口２４ａから吹き出されるエアーの圧力により影響を受ける範囲の距離である。
【００３３】
物体検出装置１０においては、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとの間の領域が、物体１００の検出領域となる。
【００３４】
また、エアー吐出手段２０は、上側配管２２内ならびに下側配管２４内へのエアーの供給源となるコンプレッサー２６と、コンプレッサー２６から上側配管２２内へ供給されるエアーの圧力を物体１００の検出に好適な圧力に調整する圧力調整手段としての上側配管用レギュレーター２８と、コンプレッサー２６から下側配管２４内へ供給されるエアーの圧力を物体１００の検出に好適な圧力に調整する圧力調整手段としての下側配管用レギュレーター３０とを備えている。
【００３５】
ここで、上側配管２２内と下側配管２４内とへそれぞれ供給されるエアーの圧力は、上側配管用レギュレーター２８と下側配管用レギュレーター３０とによって、下側エアー吹き出し口２４ａから吹き出されるエアーの圧力の方が、上側エアー吹き出し口２２ａから吹き出されるエアーの圧力よりも高くなるように設定されている。
【００３６】
これにより、上側配管２２内のエアーの圧力は、下側エアー吹き出し口２４ａから吹き出されるエアーの圧力により影響を受けることになる。
【００３７】
圧力計４０は、上側配管２２に連接された圧力検出用配管４２に接続されており、上側配管２２内のエアーの圧力を計測する。
【００３８】
後述する実験結果に示すように、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとの間の検出領域における物体１００の有無により、上側配管２２内のエアーの圧力が変動するので、圧力計４０により上側配管２２内のエアーの圧力の変化を計測することによって、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとの間の検出領域における物体１００の有無を検出することができる。
【００３９】
ローラーコンベア５０は、従来より公知の構成のものを用いることができ、物体１００はローラーコンベア５０上を水平方向において左方側から右方側に移動して、物体検出装置１０へ向けて搬送される。
【００４０】
以上の構成において、物体検出装置１０により物体の有無を検出する物体検出方法について説明すると、図１（ａ）に示すように、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとからエアーを吹き出している状態において、ローラーコンベア５０を矢印Ａ方向に回転し、物体を１００を矢印Ｂ方向、即ち、水平方向において左方側から右方側に移動して、物体を１００を物体検出装置１０へ向けて搬送する。
【００４１】
ここで、物体１００が上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとの間の検出領域に到達していない場合、即ち、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとの間の検出領域に物体１００が存在しない場合には、上側配管２２内のエアーの圧力は、下側エアー吹き出し口２４ａから吹き出されるエアーの圧力の影響を受けて高められることになり、圧力計４０で計測される圧力値は、上側配管用レギュレーター２８により設定された圧力値よりも高くなる。
【００４２】
ここで、ローラーコンベア５０により物体１００が矢印Ｂ方向に徐々に移動されて、図１（ｂ）に示すように、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとの間の検出領域に物体１００が移動してきた場合には、下側エアー吹き出し口２４ａから吹き出されるエアーは物体１００により遮蔽されて、下側エアー吹き出し口２４ａから吹き出されるエアーが上側配管２２内のエアーの圧力に影響を及ぼすことはない。
【００４３】
従って、上側配管２２内のエアーの圧力は、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとの間の検出領域に物体１００が存在しないときよりも低くなり、圧力計４０で計測される圧力値は、上側配管用レギュレーター２８により設定された圧力値と同程度となり、この圧力値の変化により物体１００の有無を検出することができる。
【００４４】
また、物体検出装置１０においては、上側配管２２内のエアーの圧力が下側エアー吹き出し口２４ａから吹き出されるエアーの影響を受けるのであれば、上側エアー吹き出し口２２ａから吹き出すエアーの圧力は低くても物体１００の検出が可能であるので、上側エアー吹き出し口２２ａから吹き出すエアーによる物体１００に対する損傷などの影響を極力排除することができる。
【００４５】
ここで、図２には、本発明者による実験の際の条件を示す一部断面拡大要部説明図があらわされている。
【００４６】
図２に示すように、上側エアー吹き出し口２２ａの開口径Ｄ１と下側エアー吹き出し口２４ａの開口径Ｄ２とをそれぞれを３ｍｍとし、間隔Ｇを１５ｍｍとし、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとの間の検出領域に物体１００が侵入した際における上側エアー吹き出し口２２ａから物体１００までの距離をＬ１と下側エアー吹き出し口２２ａから物体１００までの距離をＬ２とをそれぞれ１ｍｍ以上とし、上側配管用レギュレーター２８により上側配管２２内の圧力を０．１ｋＰａに設定し、下側配管用レギュレーター３０により下側配管２４内の圧力を０．６ｋＰａに設定した。
【００４７】
上記した条件において、図１（ａ）に示すように、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとの間における検出領域に物体１００が存在しない場合には、圧力計４０は上側配管２２内の圧力値として０．５５ｋＰａを示した。
【００４８】
即ち、上側配管２２内のエアーの圧力は、下側エアー吹き出し口２４ａから吹き出されるエアーの圧力の影響を受けて高められることになり、圧力計４０で計測される圧力値は、上側配管用レギュレーター２８により設定された圧力値である０．１ｋＰａよりも高くなった。
【００４９】
なお、図１（ａ）に示すように上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとの間における検出領域に物体１００が存在しない場合における、下側配管２４内の圧力値を計測したところ、圧力値は０．６ｋＰａであり、下側配管用レギュレーター３０により設定された圧力値である０．６ｋＰａと一致した。
【００５０】
次に、図１（ｂ）に示すように、ローラーコンベア５０により物体１００が移動されて、下側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとの間における検出領域に物体１００が移動してきた場合には、圧力計４０は上側配管２２内の圧力値として０．１ｋＰａを示した。
【００５１】
即ち、上側配管２２内のエアーの圧力は、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとの間における検出領域に物体１００が存在しないときよりも低くなり、圧力計４０で計測される圧力値は、上側配管用レギュレーター２８により設定された圧力値である０．１ｋＰａと同一の値となり、この圧力値の変化により物体１００の有無を検出することができることになる。
【００５２】
なお、図１（ｂ）に示すように上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとの間における検出領域に物体１００が存在する場合における、下側配管２４内の圧力値を計測したところ、圧力値は０．６ｋＰａであり、下側配管用レギュレーター３０により設定された圧力値である０．６ｋＰａからの変化はなかった。
【００５３】
また、上記した実験結果に示されているように、物体検出装置１０においては、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとの間の検出領域における物体１００の有無により、下側配管２４内の圧力値は変化することがないので、洗浄液などの液体を使用する環境下において物体検出装置１０を使用する場合でも、下側エアー吹き出し口２４ａから下側配管２４内への液体の浸入を抑止することができる。
【００５４】
次に、図３には、本発明者による他の実験を説明するための一部断面拡大要部説明図があらわされている。
【００５５】
この図３に示す実験は、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとの間の検出領域における高さ位置の略中央位置付近において、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとから吹き出されるエアーによるエアー流へ、物体１００を左方側から右方側に移動するよう搬送して近づけていき、物体１００によるエアー流の遮蔽に伴い圧力計４０により計測される計測値（圧力値）の変化（圧力変動）を観察するようにしたものである。
【００５６】
なお、この図３に示す実験においてその他の実験条件は、図２において説明した条件と同様である。
【００５７】
この実験の結果によれば、上側エアー吹き出し口２２ａの開口部と下側エアー吹き出し口２４ａの開口部とを結ぶ吹き出しエアー流域Ｃよりも左方側の領域αに物体１００が位置する場合には、圧力計４０が計測する圧力値に変化はなかった。
【００５８】
物体１００を左方側から右方側に移動して、物体１００の先端部１００ａが吹き出しエアー流域Ｃの左方側の境界Ｃ１に差し掛かると、圧力計４０が計測する圧力値が下がりだした。
【００５９】
さらに、物体１００を左方側から右方側へ移動していき、物体１００の先端部１００ａが吹き出しエアー流域Ｃの境界Ｃ２を超えて、吹き出しエアー流域Ｃよりも右側の領域βに入ると、圧力計４０が計測する圧力値は下がったまま安定して変動しなくなった。
【００６０】
こうした圧力値の変動の傾向は、間隔Ｇを１５ｍｍと２０ｍｍとして実験した場合においても同様であり、また、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとの間の検出領域において物体１００を移動する鉛直方向における位置（高さ位置）を変更しても同様であった。
【００６１】
こうした実験結果より、物体検出装置１０においては、物体１００における当該物体１００の有無を検出するための検出位置を、物体１００の端面１００ａよりある程度入り込んだ位置に設定しておくことにより、物体検出装置１０における検出領域や物体１００における検出位置の位置精度や、物体１００を移動する際の位置精度などが多少荒くても、検出精度への影響はない。
【００６２】
次に、図４には、本発明者による他の実験を説明するための一部断面拡大要部説明図があらわされている。
【００６３】
この図４に示す実験は、上側エアー吹き出し口２２ａの先端部２２ｂと物体１００との間の距離Ｌ３〜Ｌ６の変化と、物体１００によるエアー流の遮蔽に伴い圧力計４０により計測される計測値（圧力値）の変化（圧力変動）との関係を観察するようにしたものである。
【００６４】
この実験においては、物体１００として、図４に示すように、ガラス基板２００の上面２００ａにスペーサー２０２、２０４、２０６を順次積層したものを用いた。
【００６５】
ガラス基板２００の上面２００ａにスペーサー２０２、２０４、２０６を全て載置した際における上側エアー吹き出し口２２ａの先端部２２ｂと物体１００との間の距離がＬ３であり、ガラス基板２００の上面２００ａにスペーサー２０２、２０４を載置した際における上側エアー吹き出し口２２ａの先端部２２ｂと物体１００との間の距離がＬ４であり、ガラス基板２００の上面２００ａにスペーサー２０２を載置した際における上側エアー吹き出し口２２ａの先端部２２ｂと物体１００との間の距離がＬ５であり、ガラス基板２００の上面２００ａからスペーサー２０２、２０４を全て除去してガラス基板２００のみとした際における上側エアー吹き出し口２２ａの先端部２２ｂと物体１００との間の距離がＬ６である。なお、距離Ｌ３の実測値は１ｍｍであり、また、距離Ｌ６の実測値は１０ｍｍであった。
【００６６】
実験においては、上側エアー吹き出し口２２ａと物体１００との間の距離をＬ３→Ｌ４→Ｌ５→Ｌ６の順番で変化させながら、圧力計４０が計測する圧力値の変動（圧力変動）を観察した。
【００６７】
なお、この図４に示す実験においてその他の実験条件は、図２において説明した条件と同様である。
【００６８】
この実験結果によれば、上側エアー吹き出し口２２ａの先端部２２ｂと物体１００との間の距離がＬ３、Ｌ４、Ｌ５またはＬ６のいずれであっても、圧力計４０が計測する圧力値に変化はなく、圧力計４０が計測する圧力値は、上側エアー吹き出し口２２ａの先端部２２ｂと物体１００との間の距離に影響されるものではなかった。
【００６９】
従って、上側エアー吹き出し口２２ａの先端部２２ｂと物体１００との間の距離は、上側エアー吹き出し口２２ａの先端部２２ｂと物体１００とが接触しないような位置であれば、物体１００に対する物体検出装置１０の設置位置の位置精度が多少荒くても検出精度への影響はなく、また、このため高さ方向の厚さの異なる種々の物体１００の有無をそれぞれ正確に検出したり、上側エアー吹き出し口２２ａの先端部２２ｂと対向する面に凹凸形状がある物体１００の有無を正確に検出したりすることができる。
【００７０】
以上において説明したように、上記した物体検出装置１０によれば、物体１００を検出する感度が、上側エアー吹き出し口２２ａの先端部２２と物体１００との距離に依存することがない。
【００７１】
このため、物体１００と上側エアー吹き出し口２２ａの先端部２２ｂとの接触を確実に防止することができるような位置関係に、物体１００と上側エアー吹き出し口２２ａの先端２２ｂとを配置することができるとともに、厚さの異なる種々の物体１００の有無をそれぞれ正確に検出したり、上側エアー吹き出し口２２ａの先端部２２ｂと対向する面に凹凸形状がある物体１００の有無を正確に検出することができるようになる。
【００７２】
なお、当然のことながら、物体検出装置１０は、非接触で物体１００の有無を検出するので、物体１００を汚染したり損傷したりする恐れがない。
【００７３】
また、物体検出装置１０は、物体１００の表面にレーザー光を照射して物体１００の有無を検出するものではないため、物体１００の状態、例えば、物体１００の表面の色や、物体１００が透明であるか否かや、物体１００に凹凸があるか否かや、物体１００の反射率や、物体１００の材質や、物体１００の状態がドライであるかウェットであるかなどの相違によって、検出結果に影響を受ける恐れもない。
【００７４】
従って、物体検出装置１０は、液体を使用しないドライ処理による物体１００の洗浄工程や液体を使用する物体１００の洗浄工程、あるいは、高ミストの環境において用いることができ、その際に洗浄工程の種類に応じた洗剤の種類や温度などの影響を受けることはない。
【００７５】
また、物体検出装置１０は、機械的な動作部を備えていないので、当該動作部の摩耗の恐れがなく寿命が長い。
【００７６】
なお、上記において説明した実施の形態は例示に過ぎないものであり、本発明は他の種々の形態で実施することができる。即ち、本発明は、上記において説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。
【００７７】
例えば、上記において説明した実施の形態は、以下の（１）乃至（９）に示すように変形するようにしてもよい。
【００７８】
（１）上記において説明した実施の形態においては、物体検出装置１０に対して物体１００を水平方向に沿って左方側から右方側に移動する場合について説明したが、これに限られるものではないことは勿論である。即ち、物体検出装置１０に対して物体１００を水平方向に沿って右方側から左側に移動してもよく、物体検出装置１０は、物体１００の搬送方向に関わらず、物体１００の有無を検出することができる。
【００７９】
（２）上記において説明した実施の形態においては説明を省略したが、物体検出装置１０を洗浄工程などのウェットの環境下で使用する場合には、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとのそれぞれにおけるエアーの圧力は、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとのそれぞれの開口径に対して液体が浸入できない圧力以上で設定することが好ましい。
【００８０】
（３）上記において説明した実施の形態においては説明を省略したが、物体検出装置１０を洗浄工程などのウェットの環境下で使用する場合には、上側エアー吹き出し口２２ａの先端部２２ｂや下側エアー吹き出し口２４ａの先端部２４ｂに液滴が付着すると検出結果に悪影響を及ぼす恐れがあるので、先端部２２ｂや先端部２４ｂは液滴が付着し難い形状とすることが好ましい。特に、下側エアー吹き出し口２４ａは上方から落下する液体やミストにより先端部２４ｂに液滴が付着し易いので、先端部２４ｂを液滴が付着し難い形状に形成することが望ましい。
【００８１】
例えば、図５（ａ）に示すように、下側エアー吹き出し口２４ａの先端部２４ｂを水平方向に沿って平らな平坦面として形成すると、当該平坦面に液滴３００が付着しやすくなる。
【００８２】
しかしながら、図５（ｂ）に示すように、下側エアー吹き出し口２４ａの先端部２４ｂを鉛直方向上方側に突出した半球面形状にしたり、あるいは、鉛直方向上方側に向けて先端部を先鋭化した先細りの円錐形状などのような、鉛直方向上方側に凸な曲面形状とすれば、下側エアー吹き出し口２４ａの先端部２４ｂに液滴３００が付着し難くなる。
【００８３】
（４）上記において説明した実施の形態においては説明を省略したが、物体検出装置１０をドライの環境下で使用する場合には、上側配管２２に係る各構成と下側配管２４に係る各構成とを上下転置して配置するようにしてもよい。即ち、ドライの環境下では上側エアー吹き出し口２２ａや下側エアー吹き出し口２４ａに液体が浸入する恐れがないので、上側配管２２に係る各構成を鉛直方向下方側に配置し、下側配管２４に係る各構成を鉛直方向上方側に配置するようにしてもよい。
【００８４】
（５）上記において説明した実施の形態においては説明を省略したが、上側配管２２や下側配管２４に目詰まりが起きないようなドライでクリーンな環境で物体検出装置１０を使用する場合には、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとの間に物体１００が存在しないときにおける圧力計４０が計測する圧力値が０Ｐａであるように設定してもよい。
【００８５】
（６）上記において説明した実施の形態においては、物体検出装置１０に対して物体１００を水平方向に沿って左方側から右方側へ移動するようにして、物体検出装置１０により物体１００の有無を検出するようにしたが、これに限られるものではないことは勿論である。
【００８６】
例えば、物体検出装置１０に対して物体１００を鉛直方向に沿って上方側から下方側へ、あるいは、下方側から上方側へ移動するように搬送して、物体検出装置１０により物体１００の有無を検出するようにしてもよい。この場合には、物体検出装置１０の上側配管２２に係る構成を水平方向における左方側または右方側のどちらか一方に配置し、一方、物体検出装置１０の下側配管２２に係る構成を水平方向における左方側または右方側のどちらか他方に配置すればよい。
【００８７】
具体的には、例えば、図６に示すように、物体検出装置１０の上側配管２２に係る構成を水平方向における右方側に配置し、物体検出装置１０の下側配管２４に係る構成を水平方向における左方側に配置し、物体検出装置１０に対して物体１００を鉛直方向に沿って上方側から下方側へ移動するように搬送する。ここで、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとは、上側エアー吹き出し口２２ａの先端部たる上側先端部２２ｂと下側エアー吹き出し口２４ａの先端部たる下側先端部２４ｂとが予め設定された間隔Ｇを開けるようにして、上側エアー吹き出し口２２ａと下側先端部２４ｂとの管軸が水平方向に沿って同軸上に対向して配置する。
【００８８】
さらには、物体検出装置１０に対する物体１００の移動方向は、水平方向や鉛直方向に限られるものではなく、任意の方向へ移動するように設定してもよい。この場合には、物体検出装置１０は、任意の方向へ移動する物体１００に対してエアーを吐出することができるように、上側エアー吹き出し口２２ａと下側エアー吹き出し口２４ａとを配置する。
【００８９】
（７）上記において説明した実施の形態においては、下側エアー吹き出し口２４ａから吹き出されるエアーの圧力が、上側エアー吹き出し口２２ａから吹き出されるエアーの圧力よりも高くなるように設定しておき、圧力計４０により上側配管２２内のエアーの圧力の変動を計測するようにしたが、これに限られるものではないことは勿論である。例えば、下側エアー吹き出し口２４ａから吹き出されるエアーの圧力と上側エアー吹き出し口２２ａから吹き出されるエアーの圧力とを同一に設定するとともに、下側配管２４内のエアーの圧力の変動を計測する圧力計を設けるようにして、上側配管２２内のエアーの圧力の変動を計測する圧力計４０の計測値と下側配管２４内のエアーの圧力の変動を計測する圧力計の計測値との両者に基づいて、物体１００の有無を検出するようにしてもよい。この場合には、間隙Ｇに物体１００が存在しない場合よりも、間隙Ｇに物体１００が存在する場合の方が計測値が示す圧力は低くなる。
【００９０】
（８）上記した実施の形態においては、流体としてエアーを用いた場合について説明したが、これに限られるものではないことは勿論である。流体としては、例えば、窒素やアルゴンなどのような不活性ガスなどの他の気体を用いるしてもよいし、あるいは、純水や各種の処理液などのような液体を用いるようにしてもよい。
【００９１】
（９）上記した各実施の形態ならびに上記した（１）乃至（８）に示す各実施の形態や変形例は、適宜に組み合わせるようにしてもよいことは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【００９２】
本発明は、フラットパネルディスプレイ製造工程などのような各種の作業工程において、各種の物体が存在する位置を検出する際などの処理に利用することができる。
【符号の説明】
【００９３】
１０      物体検出装置
２０      エアー吐出手段
２２      上側配管
２２ａ    上側エアー吹き出し口
２２ｂ    上側先端部
２４      下側配管
２４ａ    下側エアー吹き出し口
２４ｂ    下側先端部
２６      コンプレッサー
２８      上側配管用レギュレーター
３０      下側配管用レギュレーター
４０      圧力計
４２      圧力検出用配管
５０      ローラーコンベア
１００      物体
１００ａ    先端部
２００      ガラス基板
２００ａ    上面
２０２      スペーサー
２０４      スペーサー
２０６      スペーサー
３００      液滴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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