(57)【要約】【課題】  単色光、例えば低圧ナトリウムランプの輝線スペクトルに近い単色光を発光させることが可能な光源装置を提供する。【解決手段】  水銀を含む放電管から成る光源１２と、光源の前方に順次に配置された第一の光学フィルタ１３及び第二の光学フィルタ１４と、光拡散板とから構成されており、第一の光学フィルタ１３が、光源から発生する光の一つのピーク波長より短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えていて、第二の光学フィルタ１４が、光源から発生する光のピーク波長より長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備え、第一の光学フィルタ１３及び第二の光学フィルタ１４を透過した光を光拡散板によって拡散させる、光源装置１０を構成する。【選択図】図１
2020016552.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水銀を含む放電管から成る光源と、前記光源の前方に順次に配置された第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタと、光拡散板から構成されており、
前記第一の光学フィルタまたは第二の光学フィルタが、前記光源から発生する光の一つのピーク波長より短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えていて、
前記第二の光学フィルタまたは第一の光学フィルタが、前記光源から発生する光の前記ピーク波長より長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備え、
前記第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタを透過した光を前記光拡散板によって拡散させる、
ことを特徴とする、光源装置。
【請求項２】
前記光源が、５６０ｎｍ付近にピーク波長を有する光を発生する水銀を含む放電管であることを特徴とする、請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記第一の光学フィルタまたは第二の光学フィルタが、前記光源から発生する光のうち、５５０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を遮断する光学特性を備えていることを特徴とする、請求項２に記載の光源装置。
【請求項４】
前記第二の光学フィルタまたは第一の光学フィルタが、前記光源から発生する光のうち、５７０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を遮断する光学特性を備えていることを特徴とする、請求項２または３に記載の光源装置。
【請求項５】
水銀を含む放電管から成る光源と、前記光源の前方に配置された第三の光学フィルタと、から構成されており、
前記第三の光学フィルタが、前記光源から発生する光の一つのピーク波長より短い波長域のスペクトル成分を遮断し且つ前記ピーク波長より長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えている
ことを特徴とする、光源装置。
【請求項６】
前記光源が、５６０ｎｍ付近にピーク波長を有する光を発生する水銀を含む放電管であって、
前記第三の光学フィルタが、前記光源から発生する光のうち、５５０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分を遮断し且つ５７０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えていることを特徴とする、請求項５に記載の光源装置。
【請求項７】
前記第一の光学フィルタ及び前記第二の光学フィルタまたは前記第三の光学フィルタの前方に乳白色のプラスチック製の光拡散板が配置されていることを特徴とする、請求項１から６の何れかに記載の光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば単色光を対象物に照射して、干渉縞の発生により製品の検査を行なうための単色光に近い光を発生させる光源装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば液晶ディスプレイ装置等の製造工程において、貼り合わせた液晶パネル等の目視検査を行なう場合、対象物に対して単色光を照射して、干渉縞の発生状況により、セルギャップや表面の傷，ごみ，歪み，平坦性等の目視検査を行なうようにしている。
このような製品検査で単色光を照射するための光源としては、従来ナトリウムランプ、特に低圧ナトリウムランプが広く使用されている。
【０００３】
ナトリウムランプは、ナトリウム蒸気中のアーク放電により、光を発生させるもので、ナトリウム原子の輝線スペクトル（Ｄ線、Ｄ１：５８９．６ｎｍとＤ２：５８９．０ｎｍ）のみのオレンジに近い単色光を発生させる熱陰極管放電ランプである。
このような単色光を製品検査の際に製品表面に照射することにより、製品表面に干渉縞が発生し、干渉縞の形状を観察することにより、製品表面の加工状態を視認することができる。
【０００４】
また、特許文献１に記載の発明においてもナトリウムランプを使用して干渉縞を観察するための検査方法及び検査装置が記載されている。具体的には、バックライトユニットと、この出射面に配置される第１の偏光板と、この前方に離間して配置され、液晶表示パネルを保持する基板受けステージと、この基板受けステージ及び液晶表示パネルのさらに前方に離間して可動に保持される第２の偏光板と、反射照明用のランプとを用いる検査方法であって、基板受けステージの傾斜角度を変化させつつ、反射照明用のランプからの照明を行い、液晶表示パネルから反射されて出てくる反射光に基づき欠陥についての検査を行う第１検査工程と、この後、バックライトユニットから液晶表示パネル及び第１及び第２の偏光板を経て前方へと出て来る透過光に基づき欠陥についての検査を行う第２検査工程とからなる液晶表示パネルの検査方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−７５７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したナトリウムランプは、その製造をほぼ海外メーカーに依存しており、近年、当該海外メーカーが低圧ナトリウムランプの製造を中止したため、現在販売しているナトリウムランプは、在庫品に限られてしまっている。
このため、前述したナトリウムランプの照射による干渉縞の発生状態による製品検査は、今後継続的に行なうことが困難になりつつある。
【０００７】
本発明は、以上の点に鑑み、簡単な構成により、単色光、例えば低圧ナトリウムランプの輝線スペクトルに近い単色光を発光させることが可能な光源装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的は、本発明の第一の構成によれば、水銀を含む放電管から成る光源と、光源の前方に順次に配置された第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタと、から構成されており、第一の光学フィルタまたは第二の光学フィルタが、光源から発生する光の一つのピーク波長より短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えていて、第二の光学フィルタまたは第一の光学フィルタが、光源から発生する光のピーク波長より長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備え、前記第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタを透過した光を前記光拡散板によって拡散させる、ことを特徴とする光源装置により、達成される。
【０００９】
上記第一の構成によれば、光源としての水銀を含む放電管に外部の電源から給電することにより点灯させ、光源から発生する光を、ハイカットフィルタとしての第一の光学フィルタ及びローカットフィルタとしての第二の光学フィルタを順次に透過させることにより、一つのピーク波長付近の波長帯域の光のみを取り出して、この一つのピーク波長付近の波長帯域のみのほぼ単色光を得ることができる。
【００１０】
従って、例えば低圧ナトリウムランプ等の特殊な単色光ランプを使用することなく、一般的なランプ、即ち低価格のランプを使用して、実質的に単色光を得ることが可能である。
これにより、従来の単色光ランプに替えて、本発明による光源装置を使用することにより、同様の効果が得られることとなる。
【００１１】
本発明による光源装置は、好ましくは、光源が、５６０ｎｍ付近にピーク波長を有する光を発生する水銀を含む放電管であることを特徴とする。
この構成によれば、光源として広く普及している比較的安価な水銀を含む放電管を使用することにより、低コストでほぼ単色光の光源装置が構成され得る。
【００１２】
本発明による光源装置は、好ましくは、第一の光学フィルタまたは第二の光学フィルタが、光源から発生する光のうち、５５０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を遮断する光学特性を備えていることを特徴とする。
【００１３】
本発明による光源装置は、好ましくは、第二の光学フィルタまたは第一の光学フィルタが、光源から発生する光のうち、５７０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を遮断する光学特性を備えていることを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、ハイカットフィルタとしての第一の光学フィルタとローカットフィルタとしての第二の光学フィルタを重ねて光源の前方に配置して、５５０ｎｍから５７０ｎｍの波長帯域の光を透過させることによって、水銀を含む放電管の一つのピーク波長付近の光のみを取り出すことができるので、この波長帯域の光、即ちほぼ単色光の光を得ることができる。
【００１５】
上記目的は、本発明の第二の構成によれば、水銀を含む放電管から成る光源と、光源の前方に配置された第三の光学フィルタと、から構成されており、第三の光学フィルタが、光源から発生する光の一つのピーク波長より短い波長域のスペクトル成分を遮断し且つ前記ピーク波長より長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えていることを特徴とする、光源装置により達成される。
【００１６】
上記第二の構成によれば、光源としての水銀を含む放電管に外部の電源から給電することにより点灯させ、光源から発生する光を、バンドパスフィルタとしての第三の光学フィルタを透過させることにより、上述した第一の構成と同様にして、一つのピーク波長付近の波長帯域の光のみを取り出すことにより、この一つのピーク波長付近の波長帯域のみのほぼ単色光を得ることができる。
【００１７】
本発明による光源装置は、好ましくは、光源が、５６０ｎｍ付近にピーク波長を有する光を発生する水銀を含む放電管であって、第三の光学フィルタが、光源から発生する光のうち、５５０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分を遮断し且つ５７０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えていることを特徴とする。
この構成によれば、一枚のバンドパスフィルタを光源の前方に配置して、５５０ｎｍから５７０ｎｍの波長帯域の光を透過させることによって、水銀を含む放電管の一つのピーク波長付近の光のみを取り出すことができるので、この波長帯域の光、即ちほぼ単色光の光を得ることができる。
【００１８】
本発明による光源装置は、好ましくは、第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタまたは第三の光学フィルタの前方に乳白色のプラスチック製の光拡散板が配置されていることを特徴とする。
この構成によれば、各光学フィルタを透過した光を、光拡散板によって拡散させることにより、ほぼ均一な照射光とすることができる。
【００１９】
従って、上述した第一の構成及び第二の構成によれば、従来の低圧ナトリウムランプとほぼ同じ単色光の光が得られることになり、例えば対象物に照射することにより、その表面に発生する干渉縞を観察し且つ視認することにより、当該対象物の表面に関して、セルギャップや表面の傷，ごみ，歪み，平坦性等の目視検査を行なうことができる。
【００２０】
従って、現在製造中止となり、近い将来に供給がストップする低圧ナトリウムランプの代替として、本発明による光源装置を利用することにより、低圧ナトリウムランプの場合と同様の干渉縞の観察によって、対象物の目視検査を行なうことが可能である。
【発明の効果】
【００２１】
このようにして、本発明によれば、簡単な構成により、単色光、例えば低圧ナトリウムランプの輝線スペクトルに近い単色光を発光させることが可能な極めて優れた光源装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明による光源装置の一実施形態の外観を示す概略斜視図である。
【図２】図１の光源装置を示す（Ａ）正面図，（Ｂ）右側面図及び（Ｃ）平面図である。
【図３】図１の光源装置の内部構成を示すブロック図である。
【図４】図１の光源装置の要部を示す概略図である。
【図５】図１の光源装置で使用される光源としてのガス放電管からの光の波長分布を示すスペクトル図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面に示した実施形態に基づいて本発明を詳細に説明する。
図１及び図２は、本発明による光源装置の一実施形態の全体構成を示している。
図１及び図２において、光源装置１０は、ケース１１に内蔵されている。
ケース１１は、その前面に光照射面１１ａを備えていると共に、内部の光源（後述）で発生する熱を外部に放出するための排気用ファン１１ｂと、側面に設けられた吸気口１１ｃと、移動のための把手１１ｄと、を備えている。
【００２４】
ケース１１の光照射面１１ａには、光拡散板１１ｅが備えられており、ケース１１内から出射する光は、必ず光拡散板１１ｅを透過するように構成されている。
ここで、光拡散板１１ｅは、例えば乳白色のアクリル板から構成されている。
【００２５】
また、光源装置１０は、図３及び図４に示すように、光源１２と、二枚の光学フィルタ１３及び１４と、電源装置１５と、を備えている。
【００２６】
光源１２は、公知の構成であって、市販の水銀を含む放電管を使用している。
この水銀を含む放電管は、例えば図５のスペクトル図に示すような光学特性であって、２５０ｎｍ付近から立ち上がり、３７０ｎｍ付近の紫外線域に一つのピーク波長を、また可視光域では、５６０ｎｍ付近にピーク波長を有している。
本実施形態においては、５６０ｎｍ付近のピーク波長を取り出して、ほぼ単色光の照射光として利用する。
【００２７】
二枚の光学フィルタ１３及び１４は、それぞれ光源１２とケース１１の光照射面１１ａとの間で光源１２側から順次に配置されている。
【００２８】
第一の光学フィルタ１３は、５５０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えたハイカットフィルタとして構成されている。
これにより、前述した光源１２からの光のうち、５６０ｎｍ付近のピーク波長より短い波長帯域の光が遮断されることになる。
【００２９】
第二の光学フィルタ１４は、５７０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えたローカットフィルタとして構成されている。
これにより、前述した光源１２からの光のうち、５６０ｎｍ付近のピーク波長より長い波長帯域の光が遮断されることになる。
【００３０】
電源装置１５は、公知の構成であって、光源１１を駆動点灯するための電源であり，市販の電源装置を利用することができる。
さらに、図示の場合、電源装置１５は、排気用ファン１１ｂに給電するようになっている。
【００３１】
本発明による光源装置１０は、以上のように構成されており、電源装置１５により、光源１１に対して給電することにより、図４に示すように、光源１１が発光し、光Ｌが照射される。
これにより、光源１１から出射した光Ｌは、その前方（図４にて右方）に配置された二枚の光学フィルタ１３，１４を順次に通過し、さらに光拡散板１１ｅを通って外部に出射する。
【００３２】
まず、光Ｌは、第一の光学フィルタ１３を透過する。
その際、第一の光学フィルタ１３により、５５０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分が遮断されることによって、光Ｌは、図５に示すように、５５０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分のみの光Ｌ１となる。
【００３３】
続いて、光Ｌ１は、第二の光学フィルタ１４を透過する。
その際、第二の光学フィルタ１４により、５７０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分が遮断されることによって、光Ｌ１は、図５に示すように、５７０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分のみの光Ｌ２となる。
【００３４】
かくして、光Ｌ２は、５５０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分及び５７０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分が遮断されることにより、５５０ｎｍから５７０ｎｍの波長域のほぼ単色光となる。
【００３５】
その後、光Ｌ２は、ケース１１の光照射面１１ａに設けられた光拡散板１１ｅを通って、外部に出射する。その際、光Ｌ２は、光拡散板１１ｅにより拡散されることにより、光拡散板１１ｅを透過した光は、均一な照射光となる。
【００３６】
このような構成の光源装置１０を使用して、５６０ｎｍ付近の波長を有するほぼ単色光である光Ｌ２を対象物に照射することにより、従来のナトリウムランプからの５９０ｎｍ付近の光を照射する場合と同様にして、対象物の干渉縞の発生状況により、セルギャップや表面の傷，ごみ，歪み，平坦性等の目視検査を行なうことができる。
【００３７】
ここで、上述した光源装置１０においては、光源１１からの光Ｌをほぼ単色光である光Ｌ２にするために、二枚の光学フィルタ１３，１４を使用しているが、二枚の光学フィルタ１３，１４の代わりに、例えば５５０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分を遮断し且つ５７０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えた一枚の光学フィルタ、所謂バンドパスフィルタを使用することによっても、同様のほぼ単色光である光Ｌ２を得ることができる。
【００３８】
本発明はその趣旨を逸脱しない範囲において様々な形態で実施することができる。
例えば、上述した実施形態においては、ケース１１内に電源装置１５が内蔵されているが、これに限らず、電源装置１５が別体に構成されていてもよく、また市販の電源装置を使用することにより、光源装置１０自体には電源装置１５が設けられていなくてもよい。
【００３９】
上述した実施形態においては、光源１２からの光は、ハイカットフィルタである第一の光学フィルタ１３及びローカットフィルタである第二の光学フィルタ１４を順次に透過するようになっているが、これに限らず、第一の光学フィルタ１３が５７０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えたローカットフィルタとして構成され、第二の光学フィルタ１４が５５０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えたハイカットフィルタとして構成されていてもよい。
【００４０】
また、上述した実施形態においては、水銀を含む放電管の５６０ｎｍのピーク波長付近の光のみを取り出すようにしているが、異なる波長のピーク波長付近の光のみを取り出すようにしてもよい。
さらに、上述した実施形態においては、光源１２として水銀を含む放電管を使用しているが、これに限らず、他のガス放電管を使用してもよい。
【符号の説明】
【００４１】
１０    光源装置
１１    ケース
１２    光源（水銀を含む放電管）
１３    第一の光学フィルタ
１４    第二の光学フィルタ
１５    電源装置
【図１】
2020016552.tif 000003
【図２】
2020016552.tif 000004
【図３】
2020016552.tif 000005
【図４】
2020016552.tif 000006
【図５】
2020016552.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成30年12月5日(2018.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物に照射することにより干渉縞を視認可能にして検査を行う干渉縞の検査装置であって、
水銀を含む放電管から成る光源と、前記光源の前方に順次に配置された第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタと、光拡散板とを備えて構成されており、
前記第一の光学フィルタまたは第二の光学フィルタが、前記光源から発生する光のうち、５５０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えていて、
前記第二の光学フィルタまたは第一の光学フィルタが、前記光源から発生する光のうち、５７０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備え、
前記第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタを透過した光を前記光拡散板によって拡散させる、
ことを特徴とする、干渉縞の検査装置。
【請求項２】
前記光源が、５６０ｎｍ付近にピーク波長を有する光を発生する水銀を含む放電管であることを特徴とする、請求項１に記載の干渉縞の検査装置。
【請求項３】
対象物に照射することにより干渉縞を視認可能にして検査を行う干渉縞の検査装置であって、
水銀を含む放電管から成る光源と、前記光源の前方に配置された第三の光学フィルタと、を備えて構成されており、
前記第三の光学フィルタが、前記光源から発生する光のうち、５５０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分を遮断し且つ５７０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えている
ことを特徴とする、干渉縞の検査装置。
【請求項４】
前記光源が、５６０ｎｍ付近にピーク波長を有する光を発生する水銀を含む放電管であることを特徴とする、請求項３に記載の干渉縞の検査装置。
【請求項５】
前記第一の光学フィルタ及び前記第二の光学フィルタまたは前記第三の光学フィルタの前方に乳白色のプラスチック製の光拡散板が配置されていることを特徴とする、請求項１から４の何れかに記載の干渉縞の検査装置。
【請求項６】
水銀を含む放電管から成る光源が発光し、光学フィルタを透過することにより５５０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分及び５７０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分が遮断されて出射した光を、光拡散板を通して外部に出射し、対象物に照射することにより、干渉縞を視認可能にして検査を行うことを特徴とする、干渉縞の検査方法。
【請求項７】
請求項６に記載の干渉縞の検査方法により前記対象物の干渉縞を視認可能とすることで、前記対象物のギャップ、傷，ごみ，歪み，平坦性を検査することを特徴とする干渉縞を用いた検査方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、例えば単色光を対象物に照射して、干渉縞の発生により製品の検査を行なうための単色光に近い光を発生させる光源装置を用いた干渉縞の検査装置と、干渉縞の検査方法、及び干渉縞を用いた検査方法とに関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、以上の点に鑑み、簡単な構成により、単色光、例えば低圧ナトリウムランプの輝線スペクトルに近い単色光を発光させることが可能な光源装置を用いた干渉縞の検査装置と、干渉縞の検査方法、及び干渉縞を用いた検査方法とを提供することを目的としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的は、本発明の第一の構成によれば、対象物に照射することにより干渉縞を視認可能にして検査を行う干渉縞の検査装置であって、水銀を含む放電管から成る光源と、前記光源の前方に順次に配置された第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタと、光拡散板とを備えて構成されており、前記第一の光学フィルタまたは第二の光学フィルタが、前記光源から発生する光のうち、５５０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えていて、前記第二の光学フィルタまたは第一の光学フィルタが、前記光源から発生する光のうち、５７０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備え、前記第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタを透過した光を前記光拡散板によって拡散させる、ことを特徴とする干渉縞の検査装置により、達成される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記第一の構成によれば、光源としての水銀を含む放電管に外部の電源から給電することにより点灯させ、光源から発生する光を、ハイカットフィルタとしての第一の光学フィルタ及びローカットフィルタとしての第二の光学フィルタを順次に透過させることにより、一つのピーク波長付近の波長帯域の光のみを取り出して、この一つのピーク波長付近の波長帯域のみのほぼ単色光を得ることができる光源装置を使用することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明による干渉縞の検査装置は、好ましくは、光源が、５６０ｎｍ付近にピーク波長を有する光を発生する水銀を含む放電管であることを特徴とする。
この構成によれば、光源として広く普及している比較的安価な水銀を含む放電管を使用することにより、低コストでほぼ単色光の光源装置が構成され得る。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、この構成によれば、ハイカットフィルタとしての第一の光学フィルタとローカットフィルタとしての第二の光学フィルタを重ねて光源の前方に配置して、５５０ｎｍから５７０ｎｍの波長帯域の光を透過させることによって、水銀を含む放電管の一つのピーク波長付近の光のみを取り出すことができるので、この波長帯域の光、即ちほぼ単色光の光を得ることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
上記目的は、本発明の第二の構成によれば、対象物に照射することにより干渉縞を視認可能にして検査を行う干渉縞の検査装置であって、水銀を含む放電管から成る光源と、前記光源の前方に配置された第三の光学フィルタと、から構成されており、前記第三の光学フィルタが、前記光源から発生する光のうち、５５０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分を遮断し且つ５７０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えていることを特徴とする、干渉縞の検査装置により達成される。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明による干渉縞の検査装置は、好ましくは、光源が、５６０ｎｍ付近にピーク波長を有する光を発生する水銀を含む放電管である。
この構成によれば、一枚のバンドパスフィルタを光源の前方に配置して、５５０ｎｍから５７０ｎｍの波長帯域の光を透過させることによって、水銀を含む放電管の一つのピーク波長付近の光のみを取り出すことができるので、この波長帯域の光、即ちほぼ単色光の光を得ることができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明による干渉縞の検査装置は、好ましくは、第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタまたは第三の光学フィルタの前方に乳白色のプラスチック製の光拡散板が配置されていることを特徴とする。
この構成によれば、各光学フィルタを透過した光を、光拡散板によって拡散させることにより、ほぼ均一な照射光とすることができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
従って、現在製造中止となり、近い将来に供給がストップする低圧ナトリウムランプの代替として、本発明による光源装置を利用することにより、低圧ナトリウムランプの場合と同様の干渉縞の観察によって、対象物の目視検査を行なうことが可能である。
その場合、干渉縞の検査方法としては、水銀を含む放電管から成る光源が発光し、光学フィルタを透過することにより５５０ｎｍより短い波長域のスペクトル成分及び５７０ｎｍより長い波長域のスペクトル成分が遮断されて出射した光を、光拡散板を通して外部に出射し、対象物に照射することにより、干渉縞を視認可能にして検査を行うことを特徴とする干渉縞の検査方法とすることができる。
また、この干渉縞の検査方法により前記対象物の干渉縞を視認可能にすることで、前記対象物のギャップ、傷，ごみ，歪み，平坦性を検査することを特徴とする干渉縞を用いた検査方法とすることもできる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
このようにして、本発明によれば、簡単な構成により、単色光、例えば低圧ナトリウムランプの輝線スペクトルに近い単色光を発光させることが可能な極めて優れた光源装置を用いた干渉縞の検査装置と、干渉縞の検査方法と、干渉縞を用いた検査方法とを提供することができる。