(57)【要約】【課題】電極配線の腐食を抑制し、吐出安定性に優れたインクジェット記録ヘッドおよび該インクジェット記録ヘッド備えるインクジェット記録装置を提供すること。【解決手段】対向する二辺がそれぞれ配線に接続され、通電に応じて発熱によりインクを吐出可能な電気熱変換素子と、前記電気熱変換素子を覆う保護層と、インク流路を形成する流路形成材と、を有する発熱素子基板を含むインクジェット記録ヘッドであって、前記流路形成材は、前記保護層の前記電気熱変換素子の前記二辺の両端部に相当する部分を被覆し、かつ前記電気熱変換素子の外周の少なくとも一部を被覆せずに前記保護層を露出するように形成された開口部を含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。【選択図】図４
2020082471.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する二辺がそれぞれ配線に接続され、通電に応じて発熱によりインクを吐出可能な電気熱変換素子と、
前記電気熱変換素子を覆う保護層と、
インク流路を形成する流路形成材と、を有する発熱素子基板を含むインクジェット記録ヘッドであって、
前記流路形成材は、前記保護層の前記電気熱変換素子の前記二辺の両端部に相当する部分を被覆し、かつ前記電気熱変換素子の外周の少なくとも一部を被覆せずに前記保護層を露出するように形成された開口部を含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記電気熱変換素子の前記二辺の少なくとも一部は前記流路形成材で被覆されていないことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記流路形成材は、前記開口部を有する第一の流路形成材と、流路壁を有する第二の流路形成材とを含むことを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記第一の流路形成材が感光性エポキシ系樹脂であることを特徴とする請求項３に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記第一の流路形成材と前記第二の流路形成材が同じ材料からなることを特徴とする請求項３に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記第一の流路形成材と前記第二の流路形成材が異なる材料からなることを特徴とする請求項３に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記保護層がタンタルであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記電気熱変換素子と前記保護層とからなる要素が前記基板上に並置され、前記要素は前記流路形成材により区画されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェット記録装置においては、発熱素子基板（ヒーター基板）を備えたインクジェット記録ヘッドを有し、この記録ヘッドが発熱素子の発生する熱エネルギーを利用してインクを吐出することにより記録媒体に記録を行うものが知られている。このような記録ヘッドのヒーター基板は、熱エネルギー変換素子（ヒーター）と、それを駆動回路に接続するための電極配線などから構成される。
【０００３】
このようなインクジェット記録ヘッドの一例として、例えば、特許文献１には、ヒーター上に保護膜と、その保護膜を物理的衝撃から守るための耐キャビテーション膜が部分的に形成され、その上面に感光性材料からなる流路壁が形成された記録ヘッドが開示されている。またヒーターには、それに通電するための電極配線が接続されており、その電極配線上面にも耐キャビテーション膜が部分的に形成されている。
【特許文献１】特開２０１５−２１７５８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来技術のような部分的にしか耐キャビテーション膜が形成されていないインクジェット記録ヘッドでは、製造上のばらつきによって耐キャビテーション膜と流路壁とのわずかな隙間が生じることがある。そしてこの隙間からインクが侵入し、下層の保護膜がヒーターに向かって浸食されることでヒーターが酸化腐食して断線する場合がある。インクによる保護層の浸食は、保護層の成膜過程で生じる段差が大きいほど進行しやすい。ヒーターに接続されている電極配線部分は、その電極配線の高さ分だけ保護層の段差が大きくなる。したがって、ヒーター横の保護膜よりも電極配線横の保護膜がより浸食を受けやすく、ヒーターの腐食よりも早く電極配線の腐食が生じることがある。これによって記録ヘッドが短寿命となってしまうことがある。
【０００５】
これを抑制するために電極配線部全域を流路形成材で被覆してインクの侵入を抑制することができるが、ヒーター前後に接続している電極配線上に流路形成材が存在するため、インクの発泡および泡の成長を阻害して吐出安定性に劣る。
【０００６】
したがって本発明は上記の課題に鑑み、電極配線の腐食を抑制し、吐出安定性に優れたインクジェット記録ヘッドおよび該インクジェット記録ヘッド備えるインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、
対向する二辺がそれぞれ配線に接続され、通電に応じて発熱によりインクを吐出可能な電気熱変換素子と、
前記電気熱変換素子を覆う保護層と、
インク流路を形成する流路形成材と、を有する発熱素子基板を含み、
前記流路形成材は、前記保護層の前記電気熱変換素子の前記二辺の両端部に相当する部分を被覆し、かつ前記電気熱変換素子の外周の少なくとも一部を被覆せずに前記保護層を露出するように形成された開口部を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、電極配線の腐食を抑制し、吐出安定性に優れたインクジェット記録ヘッドおよび該インクジェット記録ヘッド備えるインクジェット記録装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明を適用した実施形態の一態様のインクジェット記録装置の概略構成図である。
【図２】本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを模式的に示した図である。
【図３】本発明の実施形態に係るインク吐出部材の天板を一部破断して示す斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係るヒーター基板のヒーター周辺の平面図である。
【図５】本発明の実施形態に係るヒーター基板のヒーター周辺の断面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る流路形成方法を模式的に示した平面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る流路形成方法を模式的に示した断面図である。
【図８】本発明の実施形態に係るヒーター基板のヒーター周辺の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明に好適な実施形態を詳しく説明する。
【００１１】
＜インクジェット記録装置＞
図１は、本発明を適用した実施形態の一態様のインクジェット記録装置（以下、単に記録装置ともいう）１００の概略構成図である。
【００１２】
記録装置１００は、ホストＰＣ１０２と接続されている。そして記録装置１００は、ホストＰＣ１０２から送信される記録情報に基づき４つのインクジェット記録ヘッド（以下、単に、記録ヘッドともいう）２２Ｋ、２２Ｃ、２２Ｍ、２２Ｙから記録媒体Ｐにインクを吐出することによって記録を行う。４つの記録ヘッド２２Ｋ、２２Ｃ、２２Ｍ、２２Ｙは、記録媒体（本実施形態においてはロール紙とし、以下ではロール紙ともいう）Ｐの搬送方向である図中の矢印Ａの方向に沿って順に、かつ、互いに平行に配置されている。記録ヘッド２２Ｋ、２２Ｃ、２２Ｍ、２２Ｙからは、それぞれブラック、シアン、マゼンタ、イエローの各色のインクが吐出される。これらの記録ヘッド２２Ｋ、２２Ｃ、２２Ｍ、２２Ｙは、所謂ラインヘッドであり、記録媒体Ｐの搬送方向と交差する方向（図に示すように、本実施形態では直交する方向）に沿ってノズルを所定の密度で配置したものとなっている。そして、その交差する方向における各記録ヘッドの長さは、記録装置１００での記録に使用可能な最も大きいサイズの記録媒体の幅をカバーするために、その記録媒体において記録が可能な最大幅よりもやや長めの寸法とされている。これら４つの記録ヘッド２２Ｋ、２２Ｃ、２２Ｍ、２２Ｙは、記録動作における画像の形成中は動かないように固定される。記録動作においては、各記録ヘッドに設けられたヒーターがそれぞれ駆動されることによって各記録ヘッドのノズルからインクが吐出される。
【００１３】
また、記録装置１００には、４つの記録ヘッド２２Ｋ、２２Ｃ、２２Ｍ、２２Ｙのインク吐出状態を良好に維持し、これら記録ヘッドに安定してインク吐出を行わせるための回復ユニット３０が備えられている。この回復ユニット３０には、ブレード、ブレード保持部材、回復キャップ（以下、単に、キャップともいう）等の回復用部材が含まれている。なお、図１には回復用部材としてキャップ５０のみが示されている。ブレードは、回復動作の際に、各記録ヘッド２２Ｋ、２２Ｃ、２２Ｍ、２２Ｙのノズルの開口部であるインク吐出口が形成された吐出口形成面２２Ｋｓ、２２Ｃｓ、２２Ｍｓ、２２Ｙｓに付着した不要な異物（塵埃など）やインク滴等を除去するために用いられる。またキャップ５０は、回復動作の１つであるクリーニング動作の際に用いられる。なおクリーニング動作は、各記録ヘッド２２Ｋ、２２Ｃ、２２Ｍ、２２Ｙのノズル内に残留した、微細な気泡や異物（塵埃など）、乾燥により増粘したインクを除去し、ノズル内をフレッシュなインクで満たす動作である。キャップ５０を含む回復用部材は、記録ヘッド２２Ｋ、２２Ｃ、２２Ｍ、２２Ｙ毎に独立して設けられている。
【００１４】
また、記録装置１００には、記録媒体Ｐを収容するためのロール紙供給ユニット２４が設けられるとともに、このロール紙供給ユニット２４から供給されるロ−ル紙Ｐを搬送するための搬送機構２６が備えられている。搬送機構２６は、ロ−ル紙Ｐを載置して搬送する搬送ベルト２６ａ、この搬送ベルト２６ａを回転させるための搬送モータ２６ｂ、搬送ベルト２６ａに張力を与えるローラ２６ｃなどから構成されている。記録を行う際には、搬送中のロール紙Ｐの記録開始位置がブラック用の記録ヘッド２２Ｋの下に到達した後に、ホストＰＣ１０２からの記録情報に基づいてこの記録ヘッド２２Ｋからブラックのインクが選択的に吐出される。同様に、記録情報に基づいて、シアン用の記録ヘッド２２Ｃ、マゼンタ用の記録ヘッド２２Ｍ、イエロー用の記録ヘッド２２Ｙの順に、各色のインクが選択的に吐出されることによってロ−ル紙Ｐにカラー画像が形成される。
【００１５】
また、記録装置１００には、記録ヘッド２２Ｋ、２２Ｃ、２２Ｍ、２２Ｙに供給される各インクを貯留するインクタンク２８Ｋ、２８Ｃ、２８Ｍ、２８Ｙが備えられている。インクタンク２８Ｋ、２８Ｃ、２８Ｍ、２８Ｙは、記録装置１００に対してそれぞれ着脱が自在となるように構成されている。
【００１６】
＜インクジェット記録ヘッド＞
次に、本実施形態のインクジェット記録装置１００にインクジェット記録ヘッド２２Ｋ、２２Ｃ、２２Ｍ、２２Ｙとして搭載される本発明を適用した実施形態の一例としてのインクジェット記録ヘッドの構造について、図２を用いて説明する。
【００１７】
図２は、本発明を適用した実施形態の一例としてのインクジェット記録ヘッドを模式的に示した図である。図２（ａ）は、インクジェット記録ヘッドの正面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＩＩｂ−ＩＩｂ線での断面図であり、図２（ｃ）は、図２（ａ）のＩＩｃ−ＩＩｃ線での断面図である。説明の便宜上、図２（ａ）および図２（ｃ）においては、図２（ｂ）に示したインク供給ケースカバー１１７を省略している。なお、図２（ｃ）の断面図については、図２（ｂ）のようにベースプレート１１０が底部となるように仮想的に時計回りに９０度回転させたものとして説明を行う。
【００１８】
図のとおり、インクジェット記録ヘッドは、ラインヘッドのノズル列を形成する複数のノズルと連通する共通液室１１２と、この共通液室１１２と連通するインク供給口１２７と、そのインク供給口１２７と連通するメインインク供給室１２６と、を備えている。さらにインクジェット記録ヘッドは、そのメインインク供給室１２６と連通する液体供給路１３７と、この液体供給路１３７と連通する液体供給室（第一液体供給室１３４、第二液体供給室１３５）と、を備えている。さらにインクジェット記録ヘッドは、その液体供給室に配設される供給フィルター１１８と、メインインク供給室１２６の一部に設けられた気液分離部１２０と、この気液分離部１２０と連通する空気室１４１と、を備えている。
【００１９】
セラミック製のベースプレート１１０は、シリコンウエハを用いて形成されるヒーター基板１１１を支持している。ヒーター基板１１１には、インクの吐出エネルギー発生素子としての複数の熱エネルギー変換素子（ヒーター）と、これらのヒーターに対応するノズルを構成するための複数の流路とが形成されている。またヒーター基板１１１には、各ノズルに連通する共通液室１１２（本発明のインク室に相当）を囲む液室枠も形成されている。そしてヒーター基板１１１に形成されたノズルの側壁および液室枠の上には、シリコンウエハに共通液室１１２が形成された天板１１３が接合され、これによりインクジェット記録ヘッドの底面側にノズルのインク吐出口１３９が開口する吐出口形成面が形成される。この吐出口形成面（以下、フェイス面ともいう）は、上記での各記録ヘッド２２Ｋ、２２Ｃ、２２Ｍ、２２Ｙの吐出口形成面２２Ｋｓ、２２Ｃｓ、２２Ｍｓ、２２Ｙｓに対応するものである。以下、これらを総じて吐出口形成面（またはフェイス面）２２ｓと称する。このように、インク吐出部材６０の構成要素であるヒーター基板１１１と天板１１３とは、互いに一体化した状態でベースプレート１１０に積層接着されている。これらの積層接着は、発生した熱エネルギーを逃がしやすい銀ペーストなどの熱伝導率の高い接着剤によって行うことが好ましい。また、ベースプレート１１０におけるヒーター基板１１１の後方には、実装済みの電気配線基板（ＰＣＢ）１１４が接着部材（図示せず）によって支持されている。
【００２０】
インク吐出部材６０の天板１１３の上面にはインク供給部材１１５が接合されている。ここでインク供給部材１１５は、インク供給ケース１１６とインク供給ケースカバー１１７とによって構成されており、インク供給ケースカバー１１７がインク供給ケース１１６の上面を塞ぐことにより、後述する液室や流路（インク供給路など）等が形成される。
【００２１】
ここで、インク供給部材１１５のインク供給ケース１１６とインク供給ケースカバー１１７との２つの部品の嵌合により形成される液室や流路等の構成について説明する。インク供給ケース１１６と天板１１３との接合面には、ノズルの配列方向と略平行かつノズル列の幅に亘って矩形状の開口部であるインク供給口１２７が形成されており、インク供給口１２７の延長上には貯留室状のメインインク供給室１２６が形成されている。即ち、メインインク供給室１２６（本発明のインク供給部に相当）はノズル列と略平行かつノズル列の幅に亘って形成されている。これにより、インク供給部材１１５のインク供給ケース１１６に形成されたメインインク供給室１２６とインク吐出部材６０の天板１１３に形成された共通液室１１２とが、これらの接合面に形成された開口部であるインク供給口１２７を介して接続される。
【００２２】
＜インク吐出部材＞
次に、図３を用いてインク吐出部材６０についてさらに詳細に説明する。図３は、インク吐出部材６０の天板１１３をインク供給口１２７付近で一部破断して示す斜視図である。図３において、インク吐出部材６０は、主として、ヒーター基板１１１と、このヒーター基板１１１の一側面に対向する天板１１３と、ヒーター基板１１１と天板１１３との間に設けた複数の第二の流路形成材６１および第一の流路形成材６４（図示せず）とを有する。このヒーター基板１１１、天板１１３、第二の流路形成材６１および第一の流路形成材６４を備えることにより、インク吐出部材６０には、インクタンク２８からインク供給部材１１５を経てインクが供給される共通液室１１２と、共通液室１１２に一端部が連通するインク流路６２が複数形成されている。各インク流路６２は、天板１１３の側面と、隣接する２つの第二の流路形成材６１の各々の側面と、ヒーター基板１１１の側面に形成された第一の流路形成材６４とにより管状に画成されている。また、各インク流路６２の他端部は、インク流路内の液体を吐出する吐出口１３９となっており、インク吐出部材６０のフェイス面２２ｓにおいて一定の間隔で配列されている。
【００２３】
複数のインク流路６２のそれぞれには、内部に供給されたインクを吐出口１３９から吐出させるための吐出エネルギーを発する熱エネルギー発生素子としての複数の後述するヒーター６３が、ヒーター基板１１１の側面に形成されている。  ヒーター６３の両端部には、ヒーターを通電させるためのアルミニウム等からなる一対の電極配線（図示せず）が接続されている。また、一方の電極配線には、ヒーターへの通電を制御するためのスイッチングトランジスタ（図示せず）などを含む駆動回路（図示せず）が接続されている。スイッチングトランジスタは、ゲート素子等を含む回路からなる制御用ＩＣ（図示せず）によって駆動制御され、記録装置１００からの信号に応じてヒーター６３を制御する。
【００２４】
＜ヒーター基板＞
次に、本実施形態のインクジェット記録ヘッドにおけるヒーター基板１１１の構造および製造方法について図４〜図７を用いて詳細に説明する。
【００２５】
図４はヒーター基板１１１のヒーター周辺の平面図である。本実施形態のインクジェット記録ヘッドのヒーター６３は、対応する二辺がそれぞれ配線に接続され、通電に応じて発熱する電気熱変換素子である。図４に記載の実施形態において、ヒーター６３は矩形を有しており、配線部に接続する二辺の両端部に相当する部分がすべて第一の流路形成材６４により被覆されている。これにより、後述する第二の電極配線１６ｂとの段差部分は第一の流路形成材６４により被覆されるため、インクの浸食による電極の腐食を防止できる。
【００２６】
また、ヒーター６３の外周部の少なくとも一部は、第一の流路形成材６４で被覆されていない。好ましくは、配線に接続される二辺の少なくとも一部が第一の流路形成材６４で被覆されない。これにより、インクの発泡および泡の成長を阻害することなく、吐出安定性に優れる。
【００２７】
ヒーター６３としては、熱エネルギー発生源に窒化タンタルシリコン等の抵抗体が用いられ、その厚さは０．０１〜０．５μｍであり、シート抵抗は単位正方形当たり１０〜３５０Ωである。ヒーター６３の発熱抵抗体は、窒化タンタルシリコン以外の材料、例えばホウ化ハフニウムなどで形成されたものでもよく、その厚さやシート抵抗は特に限定されるものではない。
【００２８】
図５は図４のＶ−Ｖ線での断面図である。図５に示すように本実施形態のインクジェット記録ヘッドのヒーター基板１１１は、シリコン基板１１上に、蓄熱層１２、第一の電極配線１３の下層（配線部）１３ａ、第一の電極配線１３の上層（バリアメタル）１３ｂ、および発熱抵抗層１６ａを形成した積層構造となっている。蓄熱層１２は熱酸化膜からなる。下層１３ａはアルミニウム、アルミニウム−シリコン、アルミニウム−銅などからなり、上層１３ｂはタンタル、タングステン、クロム、チタン、モリブデンなど高融点金属からなる。絶縁層１５は一酸化ケイ素膜または窒化シリコン膜からなる。発熱抵抗層１６ａは窒化タンタルシリコン膜などからなり、その一部はヒーター６３を形成する。また、ヒーター６３に対応する領域以外の発熱抵抗層１６ａの部分には、アルミニウム、アルミニウム−シリコン、アルミニウム−銅などからなる第二の電極配線の上層１６ｂが積層されており、発熱抵抗層１６ａと併せて第二の電極配線１６を形成している。
【００２９】
さらに、発熱抵抗層１６ａおよび第二の電極配線１６上に、一酸化ケイ素膜または窒化シリコン膜などからなる保護膜１７が形成される。保護膜１７上には、ヒーター６３の発熱に伴う化学的および物理的衝撃から保護膜１７を守るための耐キャビテーション膜１８が部分的に形成されている。耐キャビテーション膜１８は、好ましくはタンタルからなる。
【００３０】
次にヒーター基板１１１の製造方法の一例を示す。まず、単結晶シリコンからなるシリコン基板１１に、熱酸化膜法、ＣＶＤ法などによって、１．１２μｍの熱酸化膜からなる蓄熱層１２を形成する。次に、その蓄熱層１２の上に、スパッタリング法によって厚さ１μｍのアルミニウム−シリコンからなる下層１３ａを形成する。その後、チタンからなる高融点金属を上層１３ｂとして積層する。次に、プラズマＣＶＤ法などによって、一酸化ケイ素などからなる膜厚０．９μｍの絶縁層１５を形成し、この絶縁層１５に、エッチングによりスルーホール１９を形成する。
【００３１】
次に、タンタル−シリコン合金ターゲットに窒素ガスを用いた反応性スパッタリング法によって、窒化タンタルシリコンからなる発熱抵抗層１６ａを形成する。さらに、その発熱抵抗層１６ａの上に、膜厚０．４μｍのアルミニウム−銅膜１６ｂをスパッタリング法により形成し、フォトリソグラフィ法およびエッチングを用いて第二の電極配線１６を形成する。
【００３２】
形成された電極配線１６（１６ａ、１６ｂ）のうち、ヒーター６３に相当する部分のアルミニウム−銅膜１６ｂだけをエッチングすることにより、ヒーター６３を形成する。次に、プラズマＣＶＤ法によって、窒化シリコンからなる膜厚０．５μｍの保護膜１７を形成し、さらにスパッタリング法によって、膜厚０．２３μｍのタンタル膜による耐キャビテーション膜１８を形成する。
【００３３】
＜流路形成工程＞
このように構成されたヒーター基板１１１の表面、すなわち耐キャビテーション膜１８と保護膜１７の上面には、第一の流路形成材６４および第二の流路形成材６１が配設される。第一の流路形成材６４は、第二の電極配線１６に基づき生じる保護膜１７の段差部分を完全に被覆するが、ヒーター６３の配線部に隣接する二辺に相当する耐キャビテーション膜１８の少なくとも一部は被覆されない。さらに、第二の流路形成材６１の上面には天板１１３が設けられ、これにより複数の流路６２が高密度に隣接して形成される。それぞれの流路６２に対しては、１つまたは複数のヒーター６３が形成される。本例においては、それぞれの流路６２に対して１つのヒーター６３が形成されている。好ましくは、図５で示されるように、ヒーター６３およびその上層に形成された耐キャビテーション膜１８は、第１の流路形成材６４により区画される。
【００３４】
次に、本実施形態のインクジェット記録ヘッドのヒーター基板１１１における流路形成の工程について説明する。図６はヒーター基板１１１の流路形成工程を示したヒーター周辺の平面図であり、図７（ａ）〜（ｅ）は図６（ａ）〜（ｅ）の各ＶＩＩ−ＶＩＩ線での断面図である。
【００３５】
図５に示したようなシリコン基板上に発熱抵抗層１６ａや電極配線１６ｂなどが積層されたヒーター基板１１１上に、流路を形成する前に、ヒーター基板１１１と流路形成材との密着性を向上させるための表面処理をヒーター基板１１１に施してもよい。例えば、紫外線−オゾン等による表面改質やシランカップリング剤による表面改質を行うことができる。
【００３６】
次に、ヒーター基板１１１上に第一の流路形成材６４を塗布する（図６（ｂ）および図７（ｂ）参照）。第一の流路形成材６４の塗布は、当分野で一般的な方法を用いることができる。例えば、スピンコーティング法、ドクターブレード法、ディスペンサー、印刷法等を用いることができる。
【００３７】
次いで第一の流路形成材６４にフォトマスクを介して紫外線を照射し、パターンを形成する（図６（ｃ）および図７（ｃ）参照）。当該パターンは、ヒーター６３の配線部に隣接する二辺の両端部に該当する部分がすべて第一の流路形成材６４で被覆され、かつヒーター６３の外周に該当する部分の少なくとも一部が第一の流路形成材６４で被覆されないように形成された開口部を含む。その後、第一の流路形成材６４を現像し、第一の流路形成材６４の未露光部分を除去することにより、ヒーター基板１１１上に所望のパターンを有する第一の流路形成材６４が形成される。図６に記載された実施態様では第一の流路形成材６４は楕円状の開口部を有するが、開口部の形状はこれに限定されない。上述のようにヒーター６３を被覆する形状であれば、開口部の形状は任意の形状であってもよい。本発明の他の実施態様ではひし形の開口部を有する（図８（ａ）参照）。また、本発明の他の実施態様では六角形の開口部を有する（図８（ｂ）参照）。
【００３８】
第一の流路形成材６４に用いられる材料は、硬化後に保護膜１７および耐キャビテーション膜１８と密着性の高い光硬化性材料が好ましく、例えば感光性エポキシ系樹脂を用いることができる。
【００３９】
第一の流路形成材６４のパターンが形成されたヒーター基板１１１上に第二の流路形成材料６１を塗布する（図６（ｄ）および図７（ｄ）参照）。第二の流路形成材６１の塗布は、第一の流路形成材６４と同様、当分野で一般的な方法を用いることができる。
【００４０】
次いで、第二の流路形成材６１にフォトマスクを介して紫外線を照射し、流路壁となるパターンを形成する。当該パターンは、第一の流路形成材６４の開口部を開放し、かつ流路６２を形成するように形成される。次に、第二の流路形成材６１の未露光部分を除去することにより、第一の流路形成材６４上に所望の形状の第二の流路形成材６１による流路壁が形成される（図６（ｅ）および図７（ｅ）参照）。
【００４１】
第二の流路形成材６１は、流路壁を形成するのに十分な形状再現性および解像限界を有する光硬化性材料であればよい。本発明の一実施態様において、第一の流路形成材６４と第二の流路形成材６１は同一の材料であることが好ましく、感光性エポキシ系樹脂であることが好ましい。また、他の実施態様では、第一の流路形成材６４と第二の流路形成材６１は他の材料であってもよい。
【００４２】
次に、第二の流路形成材６１の上に、天板接着層をスプレーコートした天板１１３を溶着する。このとき、２００℃程度のキュアを要する。天板接着層は、好ましくは第二の流路形成材６１と同一または類似の材料である。以上の工程を経てインク吐出部材が完成する。
【００４３】
従って、本実施形態のインクジェット記録ヘッドによれば、電極配線の腐食を抑制し、吐出安定性に優れたインクジェット記録ヘッドおよび該インクジェット記録ヘッドを備えるインクジェット記録装置を提供することができる。
【００４４】
なお、上記実施形態のインクジェット記録装置１００は、記録用紙Ｐの記録領域の幅方向の全域に亘って延在する長尺のインクジェット記録ヘッドを用いた記録装置に本発明を適用した例である。しかし、本発明は、インクジェット記録ヘッドの主走査方向の記録走査と、その主走査方向と交差する副走査方向における記録用紙の所定量の搬送と、を繰り返すシリアルスキャン方式のインクジェット記録装置にも適用することができる。
【符号の説明】
【００４５】
１１      基板
１２      蓄熱層
１３      第一の電極配線
１３ａ    下層（配線部）
１３ｂ    上層（バリアメタル）
１５      絶縁層
１６      第二の電極配線
１６ａ    発熱抵抗層
１６ｂ    上層
１７      保護膜
１８      耐キャビテーション膜
２２ｓ    吐出口形成面（フェイス面）
２２Ｋ、２２Ｃ、２２Ｍ、２２Ｙ  インクジェット記録ヘッド（記録ヘッド）
６０      インク吐出部材
６１      第二の流路形成材（流路壁）
６３      ヒーター
６４      第一の流路形成材
１００    インクジェット記録装置（記録装置）
１１１    ヒーター基板
１１２    共通液室
１１３    天板
１１５    インク供給部材
１１６    インク供給ケース
１１７    インク供給ケースカバー
１２６    メインインク供給室
１２７    インク供給口
１３９    インク吐出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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