(57)【要約】【課題】１台の検査装置でＥＬ検査とＩＲ検査との両方を実施することができる。【解決手段】検査装置は、バイパスダイオードが接続された太陽電池に対し、太陽電池が発生する電流と同じ順方向に電流を流し、順方向に電流を流したときの太陽電池の発光状態を示す第１撮像画像を撮像し、第１撮像画像を解析し、順方向に対する逆方向に、太陽電池に対し電流を流し、逆方向に電流を流したときの太陽電池の温度を示す第２撮像画像を撮像し、第２撮像画像を解析する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
バイパスダイオードが接続された太陽電池に対し、前記太陽電池が発生する電流と同じ順方向に電流を流す第１電源部と、
前記順方向に電流を流したときの前記太陽電池の発光状態を示す第１撮像画像を撮像する第１撮像部と、
前記第１撮像画像を解析する第１解析部と、
前記順方向に対する逆方向に、前記太陽電池に対し電流を流す第２電源部と、
前記逆方向に電流を流したときの前記太陽電池の温度を示す第２撮像画像を撮像する第２撮像部と、
前記第２撮像画像を解析する第２解析部と、
を備える検査装置。
【請求項２】
前記太陽電池を設置する金属板を備え、
前記第１電源部及び前記第２電源部は、前記金属板を介して前記太陽電池と電気的に接続する
請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記金属板に設置された前記太陽電池のコネクタと自動的に接触するプローブを備え、
前記第１電源部及び前記第２電源部は、前記プローブを介して前記太陽電池と電気的に接続する
請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記第１解析部は、前記第１撮像画像において前記太陽電池の発光部分が全体に対し所定割合以上である場合に太陽電池の通電性が正常であると判定し、発光部分が全体に対し所定割合未満である場合に太陽電池の通電性が異常であると判定する
請求項１から請求項３の何れか一項に記載の検査装置。
【請求項５】
前記第２解析部は、前記第２撮像画像において前記太陽電池全体として温度が所定の閾値以下である場合に前記バイパスダイオードが正常に機能していると判定する
請求項１から請求項４の何れか一項に記載の検査装置。
【請求項６】
前記第１解析部は、前記第１撮像画像に基づいて前記太陽電池におけるクラックの有無を判定する
請求項１から請求項５の何れか一項に記載の検査装置。
【請求項７】
バイパスダイオードが接続された太陽電池に対し、前記太陽電池が発生する電流と同じ順方向に電流を流し、
前記順方向に電流を流したときの前記太陽電池の発光状態を示す第１撮像画像を撮像し、
前記第１撮像画像を解析し、
前記順方向に対する逆方向に、前記太陽電池に対し電流を流し、
前記逆方向に電流を流したときの前記太陽電池の温度を示す第２撮像画像を撮像し、
前記第２撮像画像を解析する
検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置、及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池から電流を取り出すために、太陽電池にコネクタを接続する必要があるが、人口衛星用の太陽電池においては、信頼性の確保のために、太陽電池とコネクタとを抵抗溶接にて接続している。また太陽電池の保護のために、太陽電池にバイパスダイオードも接続している。人工衛星においてはその試用期間が長いこと、また一度宇宙空間に出てしまうと、修理が不可能であるため、太陽電池の信頼性が重要となっている。そこでコネクタ溶接後の太陽電池の性能に問題が無いかを確認する必要がある。
【０００３】
特許文献１には、ＥＬ（electroluminescence）発光法による検査とサーモグラフによる検査とを用いて太陽電池セルの欠陥の検査をする技術が記載されている。また特許文献２には、太陽電池を構成する太陽電池素子を加熱し、加熱によって太陽電池素子から生じる光の発光特性を検出して、太陽電池の性能評価を行う技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２００７／１２９５８５号
【特許文献２】特開２０１３−０９８４１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した関連する技術では、ＥＬ検査とＩＲ（infrared）検査とを別々の検査装置で実施する必要があるため、作業に時間がかかる。また、それぞれ専用の検査装置を使用することにより、検査装置のスペースが大きくなり、高額な設備となってしまうことが課題であった。
【０００６】
そこでこの発明は、上述の課題を解決することのできる検査装置、及び検査方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様によれば、検査装置は、バイパスダイオードが接続された太陽電池に対し、前記太陽電池が発生する電流と同じ順方向に電流を流す第１電源部と、前記順方向に電流を流したときの前記太陽電池の発光状態を示す第１撮像画像を撮像する第１撮像部と、前記第１撮像画像を解析する第１解析部と、前記順方向に対する逆方向に、前記太陽電池に対し電流を流す第２電源部と、前記逆方向に電流を流したときの前記太陽電池の温度を示す第２撮像画像を撮像する第２撮像部と、前記第２撮像画像を解析する第２解析部と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明の第２の態様によれば、検査方法は、バイパスダイオードが接続された太陽電池に対し、前記太陽電池が発生する電流と同じ順方向に電流を流し、前記順方向に電流を流したときの前記太陽電池の発光状態を示す第１撮像画像を撮像し、前記第１撮像画像を解析し、前記順方向に対する逆方向に、前記太陽電池に対し電流を流し、前記逆方向に電流を流したときの前記太陽電池の温度を示す第２撮像画像を撮像し、前記第２撮像画像を解析することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば１台の検査装置でＥＬ検査とＩＲ検査との両方を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態による検査装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態による解析装置のハードウェア構成を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態による解析装置の機能ブロック図である。
【図４】本発明の一実施形態による検査装置の処理フローを示す図である。
【図５】本発明の一実施形態による検査の第１工程における検査装置の状態を示す図である。
【図６】本発明の一実施形態による検査の第２工程における検査装置の状態を示す図である。
【図７】本発明の一実施形態による検査の第３工程における検査装置の状態を示す図である。
【図８】本発明の一実施形態による検査の第４工程における検査装置の状態を示す図である。
【図９】本発明の一実施形態による検査の第５工程における検査装置の状態を示す図である。
【図１０】本発明の一実施形態による検査の第６工程における検査装置の状態を示す図である。
【図１１】本発明の一実施形態による検査の第７工程における検査装置の状態を示す図である。
【図１２】本発明の一実施形態による検査装置の最小構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の一実施形態による検査装置、及び検査方法を、図面を参照して説明する。
図１は本実施形態による検査装置の構成を示す図である。
検査装置１は太陽電池２０を検査する装置である。太陽電池２０には、太陽電池２０から電流を取り出すためのコネクタ２１が接続されている。また太陽電池２０には、太陽電池２０に電流の逆流が生じて故障が発生することを防ぐために、バイパスダイオードが接続されている。バイパスダイオードは太陽電池２０の逆流方向に生じた電流を流すための回路である。つまり太陽電池２０とバイパスダイオードとはアノードとカソード（正極と負極）の方向が逆になるように接続されている。コネクタ２１はパラレルギャップ方式の溶接方法により太陽電池２０及びバイパスダイオードに接続されている。
【００１２】
検査装置１は、バイパスダイオードが接続された太陽電池２０にコネクタ２１を溶接した後、カバーガラスを貼った組立品に対し検査を実施する。検査装置１はＥＬ検査により太陽電池２０の通電性（すなわち太陽電池２０とコネクタ２１との接続の良否）を判定する。また検査装置１はＩＲ検査によりバイパスダイオードが正常に機能するか（すなわち太陽電池２０とバイパスダイオードの接続の良否）を判定する。
【００１３】
検査装置１は、Ｙ軸１３、金属板１４、Ｘ軸１５、Ｚ軸１６、測定ユニット１８、電源１９、軸制御コントローラ２２、ＰＬＣ２３（ＰＬＣ：Programmable Logic Controller）、解析装置２４、スイッチ２５等により構成される。
【００１４】
図示するように、検査装置１は、それぞれ互いに直交するＹ軸１３、Ｘ軸１５、及びＺ軸１６を備える。Ｙ軸１３上には、Ｙ軸１３に沿って移動可能な金属板１４が設置されている。金属板１４は検査対象となる太陽電池２０を設置するステージである。金属板１４は表面処理を施していない金属性である。金属板１４は配線を通して電源１９に接続されている。金属板１４は太陽電池２０を通電させるためのコンタクトとして機能する。なお、金属板１４とコネクタ２１とが通電しないように、金属板１４とコネクタ２１の間には、樹脂等の絶縁体が設けられる。
【００１５】
Ｘ軸１５及びＺ軸１６は金属板１４の上方に設置されている。Ｚ軸１６には、ＣＣＤカメラ１１（ＣＣＤ：Charge-Coupled Device）、ＩＲカメラ１２（ＩＲ：InfraRed）、及びプローブ１７を備える測定ユニット１８が設置されている。測定ユニット１８はＸ軸１５及びＺ軸１６に沿って移動可能である。
【００１６】
プローブ１７は金属性の探針である。プローブ１７は配線を通して電源１９に接続されている。プローブ１７は太陽電池２０を通電させるためのコンタクトとして機能する。検査の際にプローブ１７が金属板１４に設置された太陽電池２０のコネクタ２１と自動的に接触することにより、プローブ１７とコネクタ２１と太陽電池２０と金属板１４とが電気的に接続される。
【００１７】
電源１９は第１電源部１９−１と第２電源部１９−２とを備える。第１電源部１９−１及び第２電源部１９−２は、金属板１４及びプローブ１７を介して、金属板１４に設置された太陽電池２０と電気的に接続する。第１電源部１９−１はＥＬ検査のための電源である。第１電源部１９−１は、太陽電池２０が発生する電流と同じ方向（以下「順方向」とする。）に組立品を通電させるように金属板１４及びプローブ１７と接続されている。すなわち第１電源部１９−１は太陽電池２０を通電させる方向に電流を流す。第２電源部１９−２はＩＲ検査のための電源である。第２電源部１９−２は、太陽電池２０が発生する電流と逆の方向（以下「逆方向」とする。）に組立品を通電させるように金属板１４及びプローブ１７と接続されている。すなわち第２電源部１９−２は太陽電池２０に接続されているバイパスダイオードを通電させる方向に電流を流す。
【００１８】
ＣＣＤカメラ１１及びＩＲカメラ１２は、金属板１４を上面から撮像する。ＣＣＤカメラ１１は、順方向に電流を流したときの太陽電池２０の発光状態を示す第１撮像画像を撮像する第１撮像部である。ＩＲカメラ１２は、逆方向に電流を流したときの太陽電池２０の温度を示す第２撮像画像を撮像する第２撮像部である。第２撮像画像は温度を明度や色相で示すサーモグラフィ画像である。
【００１９】
スイッチ２５は検査装置１をオンまたはオフにするスイッチである。軸制御コントローラ２２は金属板１４及び測定ユニット１８の移動を制御する。ＰＬＣ２３は検査装置１を統括して制御する制御装置である。ＰＬＣ２３には、ＣＣＤカメラ１１、ＩＲカメラ１２、電源１９、軸制御コントローラ２２及び解析装置２４が接続されている。ＰＬＣ２３は、軸制御コントローラ２２、電源１９、ＣＣＤカメラ１１、及びＩＲカメラ１２をそれぞれ制御する。また、ＰＬＣ２３はＣＣＤカメラ１１が撮像した第１撮像画像及びＩＲカメラ１２が撮像した第２撮像画像を解析装置２４に送信する。解析装置２４はパーソナルコンピュータ等の情報処理装置である。解析装置２４はＰＬＣ２３から受信した第１撮像画像及び第２撮像画像を解析して太陽電池２０の良否判定を行う。
【００２０】
図２は解析装置のハードウェア構成を示す図である。
この図が示すように解析装置２４はＣＰＵ１０１（ＣＰＵ：Central Processing Unit）、ＲＯＭ１０２（ＲＯＭ：Read Only Memory）、ＲＡＭ１０３（ＲＡＭ：Random Access Memory）、容量記憶装置１０４、通信モジュール１０５等の各ハードウェアを備えたコンピュータである。
【００２１】
ＲＯＭ１０２には、プログラムが記憶されている。ＣＰＵ１０１は、プログラムをＲＯＭ１０２から読み出してＲＡＭ１０３に展開し、当該プログラムに従って処理を実行する。また、ＣＰＵ１０１は、プログラムに従って所定の記憶領域をＲＡＭ１０３に確保する。
【００２２】
プログラムは、解析装置２４に発揮させる機能の一部を実現するためのものであってもよい。例えば、プログラムは、ストレージに既に記憶されている他のプログラムとの組み合わせ、または他の装置に実装された他のプログラムとの組み合わせによって機能を発揮させるものであってもよい。なお、他の実施形態においては、解析装置２４は、図２に示す構成に加えて、または上記構成に代えてＰＬＤ（Programmable Logic Device）などのカスタムＬＳＩ（Large Scale Integrated Circuit）を備えてもよい。ＰＬＤの例としては、ＰＡＬ(Programmable Array Logic)、ＧＡＬ(Generic Array Logic)、ＣＰＬＤ(Complex Programmable Logic Device)、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）が挙げられる。この場合、ＣＰＵ１０１によって実現される機能の一部または全部が当該集積回路によって実現されてよい。このような集積回路も、プロセッサの一例に含まれる。
【００２３】
また、当該プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよい。さらに、当該プログラムは、前述した機能をＲＯＭ１０２に既に記憶されている他のプログラムとの組み合わせで実現するもの、いわゆる差分ファイル（差分プログラム）であってもよい。
【００２４】
図３は解析装置の機能ブロック図である。
解析装置２４は電源が投入されると起動し、ＣＰＵ１０１がＲＯＭ１０２に記憶された解析プログラムを実行する。これにより解析装置２４には、第１画像取得部２４１、第１解析部２４２、第２画像取得部２４３、第２解析部２４４、記憶部２４５、出力部２４６が少なくとも備わる。
第１画像取得部２４１はＣＣＤカメラ１１が撮像した第１撮像画像をＰＬＣ２３から受信して取得する。第１画像取得部２４１は、取得した第１撮像画像を第１解析部２４２に出力する。
【００２５】
第１解析部２４２は第１撮像画像を解析する。すなわち第１解析部２４２は第１撮像画像に基づいてＥＬ検査の解析処理を実行する。例えば第１解析部２４２は第１撮像画像に基づいて太陽電池２０の通電性を判定する。具体的には第１解析部２４２は、通電前後の第１撮像画像を比較し、その色の差に基づいて発光している発光部分を特定する。そして第１解析部２４２は、発光部分が全体に対し所定割合以上である場合に太陽電池２０の通電性が正常と判定し、発光部分が全体に対し所定割合未満である場合に太陽電池２０の通電性が異常と判定する。また第１解析部２４２は、第１撮像画像に対しエッジ検出等の画像処理を行うことにより太陽電池２０におけるクラックの有無も判定する。第１解析部２４２は第１撮像画像と当該第１撮像画像に基づく判定結果（以下、「ＥＬ検査結果」とする。）とを対応付けて記憶部２４５に書き込む。また第１解析部２４２は第１撮像画像と当該第１撮像画像に基づくＥＬ検査結果とを出力部２４６に出力する。
【００２６】
第２画像取得部２４３はＩＲカメラ１２が撮像した第２撮像画像をＰＬＣ２３から受信して取得する。第２画像取得部２４３は、取得した第２撮像画像を第２解析部２４４に出力する。
【００２７】
第２解析部２４４は第２撮像画像を解析する。すなわち第２解析部２４４は第２撮像画像に基づいてＩＲ検査の解析処理を実行する。例えば第２解析部２４４は第２撮像画像に基づいてバイパスダイオードが正常に機能するか否かを判定する。第２解析部２４４は第２撮像画像における太陽電池２０の明度や色相からその部分の温度を特定する。そして第２解析部２４４は温度が所定の閾値を超える場合に、その部分またはその近傍に異常があると判定する。また第２解析部２４４は太陽電池２０全体として温度が閾値以下である場合にバイパスダイオードが正常に機能していると判定する。第２解析部２４４は第２撮像画像と当該第２撮像画像に基づく判定結果（以下、「ＩＲ検査結果」とする。）とを対応付けて記憶部２４５に書き込む。また第２解析部２４４は第２撮像画像と当該第２撮像画像に基づくＩＲ検査結果とを出力部２４６に出力する。
【００２８】
記憶部２４５は第１撮像画像と当該第１撮像画像に基づくＥＬ検査結果とを対応付けて記憶する。また記憶部２４５は第２撮像画像と当該第２撮像画像に基づくＩＲ検査結果とを対応付けて記憶する。
出力部２４６は第１撮像画像と当該第１撮像画像に基づくＥＬ検査結果とをディスプレイ等に表示する。また出力部２４６は第２撮像画像と当該第２撮像画像に基づくＩＲ検査結果とをディスプレイ等に表示する。或いは出力部２４６は第１撮像画像と当該第１撮像画像に基づくＥＬ検査結果、または第２撮像画像と当該第２撮像画像に基づくＩＲ検査結果を他の機器に送信してもよい。
【００２９】
図４は検査装置の処理フローを示す図である。
続いて、検査装置１による検査方法を説明する。以下、検査における第１工程から第７工程までの各工程における検査装置１の動作を説明する。
【００３０】
図５は検査の第１工程における検査装置の状態を示す図である。
まず、第１工程において、検査を行う作業者が金属板１４の指定の位置に組立品（バイパスダイオード及びコネクタ２１が接続されている太陽電池２０）を設置する。
【００３１】
図６は検査の第２工程における検査装置の状態を示す図である。
続いて、第２工程において、作業者は軸制御コントローラ２２にあるスイッチ２５を押す。検査装置１はスイッチ２５が入力を受け付けると起動する。
【００３２】
図７は検査の第３工程における検査装置の状態を示す図である。
第３工程において、軸制御コントローラ２２はＹ軸１３上にある金属板１４をＹ軸に沿って移動させ、測定ユニット１８をＸ軸１５に沿って移動させることにより、ステージである金属板１４の位置合わせを行う（ステップＳ１０１）。軸制御コントローラ２２はプローブ１７がコネクタ２１の真上にくるよう金属板１４及び測定ユニット１８を移動させる。
【００３３】
図８は検査の第４工程における検査装置の状態を示す図である。
第４工程において、軸制御コントローラ２２は測定ユニット１８をＺ軸１６に沿って下降（下方向ＡＲ１８に移動）させ、プローブ１７をコネクタ２１に接触させる（ステップＳ１０２）。
【００３４】
図９は検査の第５工程における検査装置の状態を示す図である。
第５工程において、ＰＬＣ２３は第１電源部１９−１をＯＮにして作動させる（ステップＳ１０３）。これにより太陽電池２０に対して順方向に電流が印加され、太陽電池２０が通電する。太陽電池２０は通電すると発光する。続いてＰＬＣ２３はＣＣＤカメラ１１を制御して太陽電池２０を撮像させる（ステップＳ１０４）。ＰＬＣ２３はＣＣＤカメラ１１が撮像した第１撮像画像を解析装置２４に送信する。
【００３５】
解析装置２４は第１撮像画像に基づいてＥＬ検査の解析処理を実行する（ステップＳ１０５）。第１撮像画像の撮像時には、太陽電池２０に対して順方向に電流を流しているため、太陽電池２０の通電性が正常である場合には、太陽電池２０の正孔に電子が入り、太陽電池２０が発光する。そのため、解析装置２４の第１解析部２４２は、第１撮像画像から発光している部分を特定し、発光している部分が全体に対し所定割合以上である場合に太陽電池２０の通電性が正常と判定する。また第１解析部２４２は、発光している部分が全体に対し所定割合未満である場合に太陽電池２０の通電性が異常と判定する。また太陽電池２０にクラックがある場合には、当該クラックの部分が黒い線で第１撮像画像に表れる。そのため第１解析部２４２は、第１撮像画像に対してエッジ検出等を行うことにより太陽電池２０のクラックの有無も判定する。出力部２４６は第１撮像画像及びＥＬ検査結果をディスプレイ等に表示する。
【００３６】
図１０は検査の第６工程における検査装置の状態を示す図である。
第６工程において、ＰＬＣ２３は第１電源部１９−１をＯＦＦにして動作を停止させる（ステップＳ１０６）。そしてＰＬＣ２３は第２電源部１９−２をＯＮにして作動させる（ステップＳ１０７）。これにより太陽電池２０に対して逆方向に電流が印加され、バイパスダイオードが通電する。続いてＰＬＣ２３はＩＲカメラ１２を制御して太陽電池２０を撮像させる（ステップＳ１０８）。ＰＬＣ２３はＩＲカメラ１２が撮像した第２撮像画像を解析装置２４に送信する。
【００３７】
解析装置２４は第２撮像画像に基づいてＩＲ検査の解析処理を実行する（ステップＳ１０９）。第２撮像画像の撮像時には、太陽電池２０に対して逆方向に電流を流しているが、バイパスダイオードが正常に機能している場合には、太陽電池２０に対する逆流の電流をバイパスダイオードが迂回させるため、太陽電池２０の発熱を抑えることができる。一方、バイパスダイオードに故障等がある場合や太陽電池２０と適切に接続されていない場合には、バイパスダイオードまたはその近傍の太陽電池２０に負荷がかかり、発熱が生じる。そのため、解析装置２４の第２解析部２４４は、第２撮像画像から太陽電池２０の温度を特定し、温度が所定の閾値を超える場合にその部分またはその近傍に異常があると判定する。また第２解析部２４４は、太陽電池２０全体として温度が閾値以下である場合にバイパスダイオードが正常に機能していると判定する。出力部２４６は第２撮像画像及びＩＲ検査結果をディスプレイ等に表示する。その後、ＰＬＣ２３は第２電源部１９−２をＯＦＦにして動作を停止させる（ステップＳ１１０）。
【００３８】
図１１は検査の第７工程における検査装置の状態を示す図である。
第７工程において、検査が終了すると、軸制御コントローラ２２は金属板１４及び測定ユニット１８を指定の位置（例えば初期位置）に移動させる（ステップＳ１１１）。その後、検査装置１は処理を終了する。これにより組立品であるバイパスダイオード及びコネクタ２１が接続された太陽電池２０の検査が終了する。作業者は検査終了後に組立品を検査装置１から回収する。上述した処理に示す検査方法により、組立品の検査を効率よく実施することができる。
【００３９】
このように、本実施形態によれば、検査装置１は、バイパスダイオードとコネクタ２１とが接続された太陽電池２０に対し、太陽電池２０が発生する電流と同じ順方向に、コネクタ２１を介して電流を流す第１電源部１９−１と、順方向に電流を流したときの太陽電池２０の発光状態を示す第１撮像画像を撮像するＣＣＤカメラ１１と、第１撮像画像を解析する第１解析部２４２と、順方向に対する逆方向に、コネクタ２１を介して太陽電池２０に対し電流を流す第２電源部１９−２と、逆方向に電流を流したときの太陽電池２０の温度を示す第２撮像画像を撮像するＩＲカメラ１２と、第２撮像画像を解析する第２解析部２４４と、を備える。これにより、１台の検査装置１でＥＬ検査とＩＲ検査との両方を実施することができる。よって、設備の省スペース化及び低コスト化を実現することができる。
【００４０】
また、検査装置１は、太陽電池２０を設置する金属板１４を備え、第１電源部１９−１及び第２電源部１９−２は、金属板１４を介して太陽電池２０と電気的に接続する。これにより、ステージである金属板１４の一つの箇所でＥＬ検査とＩＲ検査とを同時に実施することができる。よって、検査対象である太陽電池２０を移動させることなくＥＬ検査とＩＲ検査とを実施することができるため、太陽電池２０の検査を効率良く実施することができる。
【００４１】
また、検査装置１は、金属板１４に設置された太陽電池２０のコネクタ２１と自動的に接触するプローブ１７を備え、第１電源部１９−１及び第２電源部１９−２は、プローブ１７を介して太陽電池２０と電気的に接続する。これにより、作業者が金属板１４の指定位置に太陽電池２０を設置するだけで、検査装置１がＥＬ検査及びＩＲ検査を全て自動で実施するため、検査工程のリードタイムを短縮させることができる。またハンドリング作業の削減により工程歩留りを向上させることもできる。
【００４２】
また、第１解析部２４２は、第１撮像画像において太陽電池２０の発光部分が全体に対し所定割合以上である場合に太陽電池２０の通電性が正常であると判定し、発光部分が全体に対し所定割合未満である場合に太陽電池２０の通電性が異常であると判定する。これにより、太陽電池２０の通電性、すなわち太陽電池２０とコネクタ２１との接続の良否を検査することができる。
【００４３】
また、第２解析部２４４は、第２撮像画像において太陽電池２０全体として温度が所定の閾値以下である場合にバイパスダイオードが正常に機能していると判定する。これにより、バイパスダイオードが正常に機能しているか、すなわち太陽電池２０とバイパスダイオードとの接続の良否を検査することができる。
【００４４】
また、第１解析部２４２は、第１撮像画像に基づいて太陽電池２０におけるクラックの有無を判定する。これにより、太陽電池２０におけるクラックの有無を検査することができる。
【００４５】
図１２は検査装置の最小構成を示す図である。
検査装置１は少なくとも上述の第１電源部１９−１、ＣＣＤカメラ１１、第１解析部２４２、第２電源部１９−２、ＩＲカメラ１２、及び第２解析部２４４の機能を備えればよい。
第１電源部１９−１は、バイパスダイオードが接続された太陽電池２０に対し、太陽電池２０が発生する電流と同じ順方向に電流を流す。
ＣＣＤカメラ１１は、順方向に電流を流したときの太陽電池２０の発光状態を示す第１撮像画像を撮像する。
第１解析部２４２は、第１撮像画像を解析する。
第２電源部１９−２は、順方向に対する逆方向に、太陽電池２０に対し電流を流す。
ＩＲカメラ１２は、逆方向に電流を流したときの太陽電池２０の温度を示す第２撮像画像を撮像する。
第２解析部２４４は、第２撮像画像を解析する。
【００４６】
以上本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００４７】
例えば、上述した実施形態では、検査装置１はＥＬ検査の後にＩＲ検査を実施しているが、これに限らず、ＩＲ検査の後にＥＬ検査を実施してもよい。
【００４８】
また、本発明の各実施形態は、ＥＬ検査とＩＲ検査との組み合わせに限らず、２種類のカメラを同時に使用し撮像画像を解析する検査であれば他の検査装置及び検査方法にも適用可能である。
【００４９】
上述の解析装置２４及びＰＬＣ２３は内部に、コンピュータシステムを有している。そして、上述した各処理の過程は、プログラムの形式でコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶されており、このプログラムをコンピュータが読み出して実行することによって、上記処理が行われる。ここでコンピュータ読み取り可能な記録媒体とは、磁気ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、半導体メモリ等をいう。また、このコンピュータプログラムを通信回線によってコンピュータに配信し、この配信を受けたコンピュータが当該プログラムを実行するようにしても良い。
【００５０】
また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良い。さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル（差分プログラム）であっても良い。
【符号の説明】
【００５１】
１  検査装置
１１  ＣＣＤカメラ
１２  ＩＲカメラ
１３  Ｙ軸
１４  金属板
１５  Ｘ軸
１６  Ｚ軸
１７  プローブ
１８  測定ユニット
１９  電源
１９−１  第１電源部
１９−２  第２電源部
２０  太陽電池
２１  コネクタ
２２  軸制御コントローラ
２３  ＰＬＣ
２４  解析装置
２４１  第１画像取得部
２４２  第１解析部
２４３  第２画像取得部
２４４  第２解析部
２４５  記憶部
２４６  出力部
２５  スイッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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