(57)【要約】【課題】  ガラス板を製造する過程でガラス板の表裏面を洗浄するに際し、表裏面における傷の発生を回避しつつ汚れの十分な除去を可能とすること。【解決手段】  ガラス板Ｇの上面Ｇａに接触させた第一洗浄部材１０ａと下面Ｇｂに接触させた第二洗浄部材１１ａとにより、ガラス板Ｇを厚み方向に挟んだ状態で上下面Ｇａ，Ｇｂを擦って洗浄する洗浄工程を備えたガラス板の製造方法において、第一洗浄部材１０ａの硬度を第二洗浄部材１０ｂの硬度よりも高くした。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板の表面に接触させた第一洗浄部材と裏面に接触させた第二洗浄部材とにより、前記ガラス板を厚み方向に挟んだ状態で表裏面を擦って洗浄する洗浄工程を備えたガラス板の製造方法であって、
前記第一洗浄部材の硬度を前記第二洗浄部材の硬度よりも高くしたことを特徴とするガラス板の製造方法。
【請求項２】
前記第一洗浄部材および前記第二洗浄部材として、それぞれ前記ガラス板の厚み方向に延びる回転軸を中心として回転するディスク状部材を用いることを特徴とする請求項１に記載のガラス板の製造方法。
【請求項３】
前記第一洗浄部材を不織布で構成すると共に、前記第二洗浄部材をスポンジで構成することを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス板の製造方法。
【請求項４】
前記第一洗浄部材の硬度がアスカーＡ硬度で１０〜９０であると共に、
前記第二洗浄部材の硬度がアスカーＣ硬度で８〜１００であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
【請求項５】
前記洗浄工程では、前記表面を上面とする平置き姿勢の前記ガラス板を洗浄し、
前記表面が保証面であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
【請求項６】
ガラス板の表面に接触する第一洗浄部材と裏面に接触する第二洗浄部材とを備え、両洗浄部材により前記ガラス板を厚み方向に挟んだ状態で表裏面を擦って洗浄するガラス板の洗浄装置であって、
前記第一洗浄部材の硬度が前記第二洗浄部材の硬度よりも高いことを特徴とするガラス板の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板の製造方法およびガラス板の洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）は高精細化が推進されている。これに伴って、ＦＰＤ用の基板として用いられるガラス板に対しては、ＦＰＤの製造工程にて緻密な電気回路が形成される。従って、この種のガラス板には塵や汚れの付着のない高い清浄性が要求される。
【０００３】
そこで、この種のガラス板の製造工程では、例えば、大面積のガラス板から小面積の製品サイズのガラス板を切り出すと共に、切り出したガラス板に対して端面加工（研削および研磨加工）を施した後、その表裏面を洗浄する。ここで、ガラス板の表裏面を洗浄する手法の一例が、特許文献１に開示されている。同手法では、ガラス板の表裏面のそれぞれに回転するディスク状の洗浄部材を接触させ、両洗浄部材によりガラス板を厚み方向に挟んだ状態で表裏面を擦って洗浄する。この場合、通常、両洗浄部材は、いずれも同じ材質で構成されることから、硬度が同じである
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１７−１４０６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の手法には下記のような解決すべき問題があった。
【０００６】
すなわち、上記の手法では、両洗浄部材の硬度を高くすると、ガラス板の表裏面を満足に擦ることによって汚れを十分に除去することができるが、洗浄部材とガラス板との間に挟まった異物（例えばガラス粉）によりガラス板の表裏面に傷を生じやすくなる。その結果、ガラス板が破損に至るおそれもある。一方、両洗浄部材の硬度を低くすると、傷の発生を回避できるが、ガラス板の表裏面を満足に擦ることができず、汚れを十分に除去することが困難になる。
【０００７】
上記の事情に鑑みなされた本発明は、ガラス板を製造する過程でガラス板の表裏面を洗浄するに際し、表裏面における傷の発生を回避しつつ汚れの十分な除去を可能とすることを技術的な課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために創案された本発明は、ガラス板の表面に接触させた第一洗浄部材と裏面に接触させた第二洗浄部材とにより、ガラス板を厚み方向に挟んだ状態で表裏面を擦って洗浄する洗浄工程を備えたガラス板の製造方法であって、第一洗浄部材の硬度を第二洗浄部材の硬度よりも高くしたことに特徴付けられる。
【０００９】
本方法では、第一洗浄部材の硬度を第二洗浄部材の硬度よりも高くしている。このように両洗浄部材の硬度に差があることで、相対的に硬度の低い第二洗浄部材が、ガラス板を挟んで対向する相対的に硬度の高い第一洗浄部材に対し、クッションの役割を果たすようになる。これにより、第一洗浄部材とガラス板、及び／又は、第二洗浄部材とガラス板との間に異物が挟まった場合であっても、第二洗浄部材のクッション性によりガラス板の表裏面における傷の発生を回避でき、ガラス板の破損も防止できる。また、本方法では、第二洗浄部材に対する第一洗浄部材の硬度の高さを利用して、両洗浄部材をガラス板の表裏面に対して十分に押し付けることができ、表裏面を好適に擦ることが可能となる。従って、ガラス板の表裏面の汚れを十分に除去できる。以上のことから、本方法によれば、ガラス板を製造する過程でガラス板の表裏面を洗浄するに際し、表裏面における傷の発生を回避しつつ汚れの十分な除去が可能となる。
【００１０】
上記の方法において、第一洗浄部材および第二洗浄部材として、それぞれガラス板の厚み方向に延びる回転軸を中心として回転するディスク状部材を用いることが好ましい。
【００１１】
このようにすれば、両洗浄部材によりガラス板の表裏面を一層好適に擦ることができるため、表裏面の汚れを除去する上で一層有利となる。
【００１２】
上記の方法において、第一洗浄部材を不織布で構成すると共に、第二洗浄部材をスポンジで構成することが好ましい。
【００１３】
このようにすれば、第一洗浄部材による洗浄能力が良好となると共に、第二洗浄部材によるクッション性が良好となる。このため、表裏面における傷の発生を確実に回避しつつ汚れを十分かつ効率的に除去することが可能となる。
【００１４】
上記の方法において、第一洗浄部材の硬度がアスカーＡ硬度で１０〜９０であると共に、第二洗浄部材の硬度がアスカーＣ硬度で８〜１００であることが好ましい。
【００１５】
このようにすれば、第一洗浄部材による洗浄能力が良好となると共に、第二洗浄部材によるクッション性が良好となる。このため、表裏面における傷の発生を確実に回避しつつ汚れを十分かつ効率的に除去することが可能となる。
【００１６】
上記の方法において、洗浄工程では、表面を上面とする平置き姿勢のガラス板を洗浄し、表面が保証面であることが好ましい。
【００１７】
このようにすれば、第一洗浄部材と第二洗浄部材との比較において、相対的に硬度が高くて洗浄能力の高い第一洗浄部材により、保証面を洗浄することが可能となる。そのため、本方法により製造されるガラス板の品質を向上させる上で有利となる。なお、本発明において、平置き姿勢は、水平姿勢と傾斜姿勢とを含むものとする。水平姿勢とは、ガラス板の表面が水平である姿勢であり、傾斜姿勢とは、ガラス板の表面が水平面に対して傾斜する姿勢である。
【００１８】
また、上記の課題を解決するために創案された本発明は、ガラス板の表面に接触する第一洗浄部材と裏面に接触する第二洗浄部材とを備え、両洗浄部材によりガラス板を厚み方向に挟んだ状態で表裏面を擦って洗浄するガラス板の洗浄装置であって、第一洗浄部材の硬度が第二洗浄部材の硬度よりも高いことに特徴付けられる。
【００１９】
本装置によれば、上記のガラス板の製造方法に係る説明で既に述べた作用・効果と同一の作用・効果が得られる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、ガラス板を製造する過程でガラス板の表裏面を洗浄するに際し、表裏面における傷の発生を回避しつつ汚れの十分な除去が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施形態に係るガラス板の洗浄装置を示す側面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るガラス板の洗浄装置に備わった洗浄列に含まれる洗浄具の配列状態を示す平面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るガラス板の洗浄装置に備わった洗浄機構を示す断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るガラス板の洗浄装置に備わったスピンドルケースの下端部（先端部）側を拡大して示す断面図である。
【図５】本発明の実施形態に係るガラス板の洗浄装置に備わったスピンドルケースの上端部（基端部）側を拡大して示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態に係るガラス板の洗浄装置、及び、当該装置を用いたガラス板の製造方法について、添付の図面を参照しながら説明する。なお、図中のＸＹＺは直交座標系である。Ｘ方向及びＹ方向は水平方向であり、Ｚ方向は鉛直方向である。Ｙ方向はガラス板の搬送方向であり、Ｘ方向及びＺ方向を含むＸＺ平面はガラス板の搬送方向と直交する平面である。
【００２３】
図１に示すように、本実施形態に係るガラス板の洗浄装置１（以下、洗浄装置１と表記）は、ガラス板Ｇを洗浄するための洗浄エリアＷと、洗浄後のガラス板Ｇを乾燥させるための乾燥エリアＤとを備えている。この洗浄装置１は、ガラス板ＧをＹ方向に平置き姿勢（本実施形態ではＸ方向に沿っては傾斜姿勢）で搬送しながら、保証面（表面）である上面Ｇａ、及び、非保証面（裏面）である下面Ｇｂを同時に洗浄するものである。ここで言う「保証面」とは、ガラス板Ｇの表裏面のうち、ＦＰＤの製造工程で透明導電膜等の成膜処理が施される側の面を意味する。
【００２４】
洗浄エリアＷおよび乾燥エリアＤでは、ガラス板Ｇは、搬送方向Ｙと直交するガラス板Ｇの幅方向（図３でＸ方向と角度θをなす方向）において、一端側が他端側よりも低位に位置するように、傾斜した姿勢で搬送される。これにより、ガラス板Ｇの上面Ｇａに付着した余分な液体が自重でガラス板Ｇの上面Ｇａから流れ落ち、ガラス板Ｇの上面Ｇａに汚れの原因となる液体溜りが形成されるのを防止している。なお、洗浄エリアＷ、及び／又は、乾燥エリアＤにおいて、ガラス板Ｇを水平姿勢で搬送してもよい。
【００２５】
洗浄装置１は、洗浄エリアＷにおいて、ガラス板Ｇの上面Ｇａおよび下面Ｇｂに付着した液体を除去する絞りローラ２，３と、ガラス板Ｇの上面Ｇａを洗浄する上側洗浄機構４と、ガラス板Ｇの下面Ｇｂを洗浄する下側洗浄機構５とを備えている。洗浄エリアＷには、その上流側に配置された搬送ローラ等の任意の機構によりガラス板Ｇが供給される。
【００２６】
絞りローラ２，３は、ガラス板Ｇを上下に挟んで搬送する、上側ローラ２ａ，３ａと下側ローラ２ｂ，３ｂとを備えた上下ローラ対により構成されている。すなわち、絞りローラ２，３は、搬送機構としても機能する。本実施形態では、絞りローラ２，３は、洗浄機構４，５の上流側および下流側にそれぞれ配置されている。
【００２７】
絞りローラ２，３は、液体を吸収可能な材質（例えば軟質スポンジ）からなるローラにより構成されるが、これに限定されるものではない。
【００２８】
上側洗浄機構４は、搬送方向Ｙに間隔を置いて三列設けられた洗浄列６ａ〜６ｃと、各洗浄列６ａ〜６ｃに洗浄液Ｃを供給するために、内部空間に洗浄液Ｃが貯留された筐体７とを備えている。
【００２９】
下側洗浄機構５は、上側洗浄機構４の洗浄列６ａ〜６ｃとガラス板Ｇを挟んで対向するように、搬送方向Ｙに間隔を置いて三列設けられた洗浄列８ａ〜８ｃと、各洗浄列８ａ〜８ｃに洗浄液Ｃを供給するために、内部空間に洗浄液Ｃが貯留された筐体９とを備えている。
【００３０】
洗浄液Ｃとしては、例えば、洗浄液（例えば液体洗剤）や、すすぎ液（例えば水）といった液体を使用することができる。
【００３１】
ここで、下側洗浄機構５は、上側洗浄機構４を上下反転させたような構成であり、上側洗浄機構４と略同一の構成を有する。従って、以下の説明においては、上側洗浄機構４の構成を例に挙げて説明し、下側洗浄機構５の構成については詳細な説明を省略し、主として上側洗浄機構４との相違点について説明する。
【００３２】
図２に示すように、上側洗浄機構４の各洗浄列６ａ〜６ｃは、搬送方向Ｙと直交するガラス板Ｇの幅方向において、隙間Ｓを空けて一列に並べられた複数の第一洗浄具１０を備えている。各第一洗浄具１０は、ガラス板Ｇの上面Ｇａを擦って洗浄可能なディスク状の回転体である。なお、下側洗浄機構５の洗浄列８ａ〜８ｃに含まれる各第二洗浄具１１は、上側洗浄機構４の洗浄列６ａ〜６ｃに含まれる各第一洗浄具１０とガラス板Ｇを挟んで対をなす。対をなす第一洗浄具１０と第二洗浄具１１とは、互いに同方向に回転するようになっている。
【００３３】
三列の洗浄列６ａ〜６ｃは、隙間Ｓの幅方向における位置（隙間Ｓの範囲）が互いに重複しないように、相互に第一洗浄具１０が幅方向にずれた状態で配置されている。つまり、三列の洗浄列６ａ〜６ｃは、隙間Ｓの幅方向における位置が互いに重複しない三種の洗浄列から構成されている。従って、搬送方向Ｙに沿う方向から視た場合に、洗浄列６ａ〜６ｃ中の任意の一列に含まれる全ての隙間Ｓは、残り二列の洗浄列に含まれる第一洗浄具１０と重なる。このように本実施形態の上側洗浄機構４は、三列（三種）の洗浄列６ａ〜６ｃを備えるが、上側洗浄機構４及び下側洗浄機構５は、二列（二種）以上の洗浄列を備えればよい。
【００３４】
本実施形態のように三列（三種）の洗浄列を備えれば、ガラス板Ｇの上面Ｇａにおいて、三列の洗浄列６ａ〜６ｃ中の任意の一列の隙間Ｓを通過する領域は、残り二列の洗浄列に含まれる第一洗浄具１０と二回に亘って必ず接触するため、洗浄時間を十分に確保することができる。また、三列の洗浄列６ａ〜６ｃ中のいずれか一列の洗浄列（又は、いずれか一列に含まれる第一洗浄具１０）が故障等により使用できなくとも、残り二列の洗浄列でガラス板Ｇの上面Ｇａの全幅を隙間なく洗浄できる。従って、幅方向におけるガラス板Ｇの洗浄ムラを確実に低減することが可能となる。したがって、上側洗浄機構４及び下側洗浄機構５は、三列（三種）以上の洗浄列を備えることが好ましい。
【００３５】
更に、本実施形態では、ガラス板Ｇと第一洗浄具１０との総接触時間が幅方向でばらつくのを抑制するために、三列（三種）の洗浄列６ａ〜６ｃのそれぞれの隙間Ｓが、幅方向に一定の間隔ΔＬを空けて等間隔に位置している。これにより、幅方向におけるガラス板Ｇの洗浄ムラをより確実に低減できる。なお、三列（三種）の洗浄列６ａ〜６ｃのそれぞれの隙間Ｓは、幅方向に不等間隔で位置してもよい。
【００３６】
第一洗浄具１０の直径は、例えば５０〜２００ｍｍであることが好ましく、隙間Ｓの幅は、例えば２〜１０ｍｍであることが好ましい。隙間Ｓの相互間の間隔ΔＬは、第一洗浄具１０の直径や洗浄列の種類に応じて適宜設定することができる。
【００３７】
図３に示すように、上側洗浄機構４は、三列の洗浄列６ａ〜６ｃの各第一洗浄具１０に、筐体７に貯留された洗浄液Ｃを供給するための構成を備えている。本実施形態では、三列の洗浄列６ａ〜６ｃの各第一洗浄具１０に対して、一つの筐体７から洗浄液Ｃを供給するようになっている（図１を参照）。なお、例えば三列の洗浄列６ａ〜６ｃ毎に専用の筐体を設けるなどして、複数の筐体から洗浄液Ｃを供給するようにしてもよい。
【００３８】
上側洗浄機構４は、ガラス板Ｇの上面Ｇａの傾斜に倣って筐体７が傾斜している。この筐体７の傾斜により、各洗浄列６ａ〜６ｃの各第一洗浄具１０が、ガラス板Ｇの上面Ｇａに倣って傾斜している。ガラス板Ｇの上面Ｇａの水平面に対する傾斜角度θは、例えば２〜１０°であることが好ましい。
【００３９】
上側洗浄機構４は、各第一洗浄具１０に対応する位置において、筐体７に固定された筒状のスピンドルケース１２と、スピンドルケース１２の内側で回転可能に保持されたスピンドル１３とを備えている。第一洗浄具１０は、筐体７及びスピンドルケース１２の外側でスピンドル１３の下端部に装着されている。
【００４０】
スピンドルケース１２の下端部には、筒状の滑り軸受（ブッシング）１４が圧入固定されており、スピンドルケース１２の上端部には、筒状の滑り軸受（ブッシング）１５が圧入固定されている。スピンドル１３の外周面は、滑り軸受１４，１５の軸受面（内周面）によって回転可能に保持されている。滑り軸受１４，１５は、例えば金属製であってもよいが、本実施形態では樹脂製（例えばエンジニアリングプラスチック製）である。
【００４１】
第一洗浄具１０は、スピンドル１３に対してスペーサ１６を介して取り付けられている。第一洗浄具１０及びスペーサ１６は、スピンドル１３に対して着脱可能である。
【００４２】
第一洗浄具１０は、ガラス板Ｇの上面Ｇａに接触した状態で上面Ｇａを擦って洗浄する第一洗浄部材１０ａと、第一洗浄部材１０ａが取り付けられた支持部１０ｂとを備えている。第一洗浄部材１０ａは、ガラス板Ｇの厚み方向に延びる回転軸（ここでは、スピンドル１３の回転軸に等しい）を中心として回転するディスク状部材である。
【００４３】
ここで、第一洗浄部材１０ａは、第二洗浄具１１に備わった第二洗浄部材１１ａとガラス板Ｇを厚み方向に挟んで対となっている。この第二洗浄部材１１ａは、ガラス板Ｇの下面Ｇｂを擦って洗浄すると共に、第一洗浄部材１０ａと同様のディスク状部材である。
【００４４】
両洗浄部材１０ａ，１１ａは、ガラス板Ｇの非洗浄時（ガラス板Ｇの供給前）には、両者が相互に接触するように位置している。つまり、ガラス板Ｇの洗浄時（ガラス板Ｇの供給時）には、両洗浄部材１０ａ，１１ａを押し分けるようにして、両洗浄部材１０ａ，１１ａの相互間にガラス板Ｇが進入していく。なお、本実施形態とは異なり、ガラス板Ｇの非洗浄時に、両洗浄部材１０ａ，１１ａの相互間に隙間が形成されるように、両洗浄部材１０ａ，１１ａを位置させてもよい。
【００４５】
第一洗浄部材１０ａの硬度は、第二洗浄部材１１ａの硬度よりも高くなっている。なお、本実施形態とは異なり、ガラス板Ｇの上面Ｇａではなく下面Ｇｂが保証面である場合には、ガラス板Ｇの下面Ｇｂ側に硬度の高い第一洗浄部材１０ａを配置し、上面Ｇａ側に硬度の低い第二洗浄部材１１ａを配置することが好ましい。
【００４６】
第一洗浄部材１０ａは不織布で構成されており、その硬度はアスカーＡ硬度で１０〜９０の範囲内となっている。ここで、不織布としては、例えば、ニードルパンチ法によって繊維を絡み合わせた不織布を用いることができる。不織布の繊維には、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプチレンテレフタレート、ポリエステルエラストマ等のポリエステル系、ナイロン６やナイロン６６、ポリアミドエラストマ等のポリアミド系、ポリウレタン系、ポリオレフイン系、アクリルニトリル系、レーヨン等のセルロース系の繊維を用いることができる。
【００４７】
第二洗浄部材１１ａはスポンジで構成されており、その硬度はアスカーＣ硬度で８〜１００の範囲内となっている。ここで、スポンジとしては、例えば、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）やポリウレタン、フッ素ゴム、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、エチレンゴム、シリコーンゴム等からなるスポンジを用いることができる。
【００４８】
ここで、本実施形態では、第一洗浄部材１０ａおよび第二洗浄部材１１ａとしてディスク状部材を用いているが、これに代えてローラ状部材を用いてもよい。また、第一洗浄部材１０ａは、第二洗浄部材１１ａよりも硬度の高いブラシで構成されていてもよい。さらに、第二洗浄部材１１ａは、第一洗浄部材１０ａよりも硬度の低いブラシで構成されていてもよい。なお、「ブラシの硬度」とは、ブラシに備わった毛の硬度（硬さ）を意味する。
【００４９】
ガラス板Ｇに対する第一洗浄部材１０ａの接触圧は、ガラス板Ｇに対する上側ローラ２ａ，３ａの接触圧よりも小さく設定されることが好ましい。これにより、ガラス板Ｇの搬送方向Ｙにおける直進安定性が向上する。なお、ガラス板Ｇに対する第一洗浄部材１０ａの接触圧は、例えば、ガラス板Ｇに対して上側洗浄機構４の位置を調整すること、スペーサ１６の厚みを変更すること（スペーサ１６を取り付けない場合も含む）などにより調整できる。
【００５０】
筐体７には、筐体７の内部空間に外部から洗浄液Ｃを供給するための供給路Ｒ１が設けられている。これにより、筐体７の外部に配置されたタンク（不図示）に貯留された洗浄液Ｃが、矢印ａで示すように供給路Ｒ１を通じて筐体７の内部空間にポンプ（不図示）等によって圧送されるようになっている。この洗浄液Ｃの圧送により、筐体７の内部空間に供給された洗浄液Ｃの圧力が高い状態に維持される。なお、供給路Ｒ１は、筐体７に一つ又は複数設けられる。
【００５１】
スピンドルケース１２には、筐体７の内部空間とスピンドルケース１２の内部空間とを連通する連通路Ｒ２が設けられている。これにより、筐体７の内部空間の洗浄液Ｃが、矢印ｂで示すように連通路Ｒ２を通じてスピンドルケース１２の内部空間に供給されるようになっている。
【００５２】
スピンドル１３及びスペーサ１６には、スピンドルケース１２の内部空間と第一洗浄具１０とを連通する連通路Ｒ３が設けられている。これにより、スピンドルケース１２の内部空間の洗浄液Ｃが、矢印ｃで示すように連通路Ｒ３を通じて第一洗浄具１０に供給されるようになっている。なお、連通路Ｒ３は、スピンドル１３に設けられた貫通孔と、スペーサ１６に設けられた貫通孔とから構成されている。
【００５３】
第一洗浄具１０には、連通路Ｒ３に連通する貫通孔Ｒ４が設けられている。これにより、連通路Ｒ３によって供給された洗浄液Ｃが、矢印ｄで示すように貫通孔Ｒ４を通じてガラス板Ｇに供給されるようになっている。貫通孔Ｒ４は、第一洗浄具１０が洗浄液Ｃを透過可能な材質（例えば多孔質体等）で形成される場合には省略してもよい。
【００５４】
このようにすれば、供給路Ｒ１、連通路Ｒ２、連通路Ｒ３及び貫通孔Ｒ４により、洗浄液Ｃが、筐体７の内部空間→スピンドルケース１２の内部空間→第一洗浄具１０→ガラス板Ｇの順に供給される。従って、筐体７の内部空間に供給された洗浄液Ｃが、連通路Ｒ２と連通路Ｒ３を介して各第一洗浄具１０に直接供給されるため、洗浄液供給用の複雑な配管が必要なくなると共に洗浄液Ｃの無駄も少なくなる。
【００５５】
更に、スピンドルケース１２及びスピンドル１３の大部分は、筐体７の内部空間に貯留された洗浄液Ｃに浸漬された状態となるため、スピンドルケース１２及びスピンドル１３が洗浄液Ｃによって冷却されるという効果も期待できる。従って、スピンドル１３を回転させてガラス板Ｇを洗浄している間も、スピンドルケース１２及びスピンドル１３の熱膨張を低減し、スピンドル１３の回転動作を良好に維持できると考えられる。なお、本実施形態では、各洗浄列６ａ〜６ｃの各第一洗浄具１０に対応する、複数のスピンドルケース１２及び複数のスピンドル１３が一つの筐体７内の洗浄液Ｃに浸漬されている。
【００５６】
ここで、本実施形態では、筐体７の傾斜によって、筐体７内において各洗浄列６ａ〜６ｃに含まれる各第一洗浄具１０に対応する位置で高低差が生じている。このため、この高低差による圧力差によって、各洗浄列６ａ〜６ｃに含まれる各第一洗浄具１０に供給される洗浄液Ｃの量にばらつきが生じる場合がある。従って、図示は省略するが、高低差による洗浄液Ｃの供給量のばらつきを低減する観点からは、各洗浄列６ａ〜６ｃにおいて、低位に位置する連通路Ｒ３が、高位に位置する連通路Ｒ３よりも開口面積の小さい部分を有することが好ましい。具体的には、例えば、低位に位置するスペーサ１６の貫通孔の開口面積を高位に位置するスペーサ１６の貫通孔の開口面積よりも小さくしたり、低位に位置するスピンドル１３の貫通孔の開口面積を高位に位置するスピンドル１３の貫通孔の開口面積よりも小さくしたりすることが好ましい。あるいは、スピンドル１３の貫通孔の一部にオリフィスを設けて、開口面積を変化させてもよい。
【００５７】
上側洗浄機構４は、洗浄列６ａ〜６ｃ毎に、スピンドル１３を回転駆動する回転駆動機構１７を備えている。回転駆動機構１７は、筐体７及びスピンドルケース１２の外側でスピンドル１３の上端部に回転駆動力を付与するようになっている。
【００５８】
回転駆動機構１７は、ギア機構１８と、駆動部１９とを備えている。ギア機構１８は、各スピンドル１３の上端部に取り付けられた複数のギア１８ａを備え、Ｘ方向に隣接するギア１８ａ同士が噛み合っている。駆動部１９は、モータ１９ａと、モータ１９ａに取り付けられたギア１９ｂとを備え、ギア１９ｂがギア機構１８のＸ方向の一端側でギア１８ａと噛み合っている。従って、モータ１９ａの駆動によりギア１９ｂを回転させると、その動力がギア機構１８に伝達され、各スピンドル１３が回転するようになっている。
【００５９】
ギア１８ａ，１９ｂは、例えば金属製（例えばステンレス製）であってもよいが、本実施形態では樹脂製（例えばエンジニアリングプラスチック製）である。なお、ギア１８ａ，１９ｂには、金属製のものと樹脂製のものを組み合わせて用いてもよい。
【００６０】
なお、各洗浄列６ａ〜６ｃにおいて、Ｘ方向に隣接するギア１８ａ同士が直接噛み合っている。そのため、Ｘ方向に隣接するスピンドル１３及び第一洗浄具１０は、互いに反対向きに回転するようになっているが（図２を参照）、ギアを増やす等して互いに同じ向きに回転するようにしてもよい。また、動力伝達部は、ギア機構１８に限定されるものではなく、例えばベルト等の他の手段であってもよい。更に、各スピンドル１３に対して個別に駆動部を取り付けてもよい。
【００６１】
図４及び図５に示すように、滑り軸受１４の軸受面とスピンドル１３の下端部の外周面との間、及び、滑り軸受１５の軸受面とスピンドル１３の上端部の外周面との間には、それぞれ液層Ｃ１，Ｃ２が形成されている。液層Ｃ１，Ｃ２は、スピンドルケース１２の内部空間に供給された洗浄液Ｃが液層Ｃ１，Ｃ２に対応する部分から滲み出すことによって形成される。従って、液層Ｃ１，Ｃ２は、洗浄液Ｃに由来する潤滑機能を有するため、滑り軸受１４，１５、及び／又は、スピンドル１３の摩耗を防止することができる。
【００６２】
液層Ｃ１，Ｃ２を形成する洗浄液Ｃの滲み出しは、筐体７の内部空間の洗浄液Ｃの圧力を高めることによって生じやすくなる。筐体７の内部空間の洗浄液Ｃの圧力は、例えば、筐体７の内部空間への洗浄液Ｃの単位時間当たりの供給量を変更することで調整できる。
【００６３】
図１に示すように、洗浄装置１は、乾燥エリアＤにおいて、エアナイフ２０ａ，２０ｂと、搬送ローラ２１とを備えている。エアナイフ２０ａは搬送ローラ２１よりも上方に配置され、エアナイフ２０ｂは搬送ローラ２１よりも下方に配置される。
【００６４】
乾燥エリアＤでは、搬送ローラ２１によってガラス板Ｇを搬送しつつ、エアナイフ２０ａ，２０ｂから高圧の気体をガラス板Ｇの上面Ｇａおよび下面Ｇｂに噴射することで、これらの両面Ｇａ，Ｇｂに付着している水分を除去する。なお、乾燥エリアＤでは、エアナイフ２０ａ，２０ｂ以外の他の公知の乾燥手段によりガラス板Ｇを乾燥させてもよい。また、乾燥エリアＤは省略してもよい。
【００６５】
次に、本実施形態に係るガラス板の製造方法を説明する。本製造方法は、上述の洗浄装置１を用いた洗浄工程を含む。
【００６６】
詳細には、ガラス板の製造方法は、例えば、成形工程と、徐冷工程と、採板工程と、切断工程と、洗浄工程（乾燥工程を含む）と、検査工程と、梱包工程とを備えている。なお、採板工程の後に熱処理工程を備えてもよい。また、切断工程の後に端面加工工程を備えてもよい。
【００６７】
成形工程では、オーバーフローダウンドロー法やフロート法等の公知の成形方法により、溶融ガラスからガラスリボンを成形する。
【００６８】
徐冷工程では、成形されたガラスリボンの反り及び内部歪を低減するために、成形されたガラスリボンを徐冷する。
【００６９】
採板工程では、徐冷されたガラスリボンを所定の長さごとに切断し、複数枚の元ガラス板を得る。
【００７０】
熱処理工程では、例えば熱処理炉において、元ガラス板に対して熱処理を行う。
【００７１】
切断工程では、元ガラス板を所定サイズに切断し、一枚又は複数枚のガラス板Ｇを得る。元ガラス板の切断方法としては、例えば、切断予定線に沿って形成されたスクライブ線を曲げ応力によって厚み方向に進展させる曲げ応力割断や、切断予定線の一部に形成された初期クラックをレーザー照射と急冷により生じた熱応力で切断予定線に沿って進展させるレーザー割断や、レーザー照射によりガラスを溶融させながら切断予定線に沿って切断するレーザー溶断等を利用することができる。なお、ガラス板Ｇは矩形状であることが好ましい。ガラス板Ｇの一辺の大きさは１０００ｍｍ〜３０００ｍｍであることが好ましく、板厚は０．０５ｍｍ〜１０ｍｍであることが好ましく、０．２ｍｍ〜０．７ｍｍであることがより好ましい。
【００７２】
端面加工工程では、ガラス板Ｇに対して端面の研削・研磨加工、及び、コーナーカットを含む端面加工を行う。
【００７３】
洗浄工程では、上述の洗浄装置１を用いて、ガラス板Ｇを傾斜姿勢で搬送しながら洗浄した後に乾燥させる。
【００７４】
検査工程では、洗浄されたガラス板Ｇに対して表面に傷、塵、汚れ等がないか、及び／又は、気泡、異物等の内部欠陥がないかを検査する。検査は、カメラ等の光学検査装置を用いて行う。
【００７５】
梱包工程では、検査の結果、所望の品質を満たすガラス板Ｇを梱包する。梱包は、所定のパレットに対して、複数枚のガラス板Ｇを平置きで積層したり、縦置きで積層したりすることによって行う。この場合、ガラス板Ｇの積層方向の相互間には、合紙や発泡樹脂等からなる保護シートを介在させることが好ましい。
【００７６】
以下、上記の製造方法による主たる作用・効果について説明する。
【００７７】
上記の製造方法においては、第一洗浄部材１０ａと第二洗浄部材１１ａとの硬度の差により、硬度の低い第二洗浄部材１１ａが、ガラス板Ｇを挟んで対向する硬度の高い第一洗浄部材１０ａに対し、クッションの役割を果たす。これにより、第一洗浄部材１０ａとガラス板Ｇ、及び／又は、第二洗浄部材１１ａとガラス板Ｇとの間に異物が挟まった場合でも、第二洗浄部材１１ａのクッション性によりガラス板Ｇの上下面Ｇａ，Ｇｂにおける傷の発生を回避でき、ガラス板Ｇの破損も防止できる。また、本方法では、第二洗浄部材１１ａに対する第一洗浄部材１０ａの硬度の高さにより、両洗浄部材１０ａ，１１ａをガラス板Ｇの上下面Ｇａ，Ｇｂに対して十分に押し付けることができ、上下面Ｇａ，Ｇｂを好適に擦ることが可能となる。従って、ガラス板Ｇの上下面Ｇａ，Ｇｂの汚れを十分に除去できる。
【００７８】
ここで、本発明は上記の実施形態で説明した態様や構成に限定されるものではなく、上記の作用・効果に限定されるものでもない。本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更が可能である。
【００７９】
上記の実施形態では、洗浄液が貯留された筐体を用いて洗浄液を供給する場合を説明したが、洗浄液の供給方法はこれに限定されない。例えば、シャワーノズル等を用いて洗浄液を洗浄部材及び／又はガラス板に対して噴射供給してもよい。
【００８０】
上記の実施形態において、絞りローラを省略してもよい。また、絞りローラを、液体を吸着しない上下ローラ対からなる搬送ローラに代えてもよい。この場合、搬送ローラは、ガラス板の幅方向の両端部のみを挟んで搬送する構成、つまり、ガラス板の幅方向の中央部には接触しない構成としてもよい。
【００８１】
上記の実施形態では、洗浄装置において、一つの洗浄エリアを設ける場合を説明したが、複数の洗浄エリアを設けてもよい。この場合、各洗浄エリアの下流側に乾燥エリアを設けてもよいし、最下流の洗浄エリアの下流側にのみ乾燥エリアを設けてもよい。
【００８２】
上記の実施形態の洗浄工程では、第一洗浄部材をガラス板の上面（表面）に接触せると共に、第二洗浄部材をガラス板の下面（裏面）に接触させるが、この洗浄工程（第一洗浄工程）に加えて第二洗浄工程を実施し、第二洗浄工程では、第二洗浄部材をガラス板の上面（表面）に接触せると共に、第一洗浄部材をガラス板の下面（裏面）に接触させてもよい。これにより、表裏面における傷の発生を回避しつつ、表面のみならず裏面の品質を向上させることができる。
【００８３】
上記の実施形態では、平置き姿勢のガラス板を洗浄するが、縦姿勢のガラス板を洗浄してもよい。
【符号の説明】
【００８４】
１          洗浄装置
１０ａ      第一洗浄部材
１１ａ      第二洗浄部材
Ｇ          ガラス板
Ｇａ        上面
Ｇｂ        下面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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