(57)【要約】【課題】素子が反った場合でも素子の機能部が保持具に接触することを抑制する。【解決手段】保持具は、一方向に延び上面に機能部を有する素子における該一方向とは交差する幅方向に沿う２つの稜線に突き当たる一対の第一面と、該一対の第一面間の気体を吸引する吸引部と、該一対の第一面が該２つの稜線に突き当たり、該吸引部が該気体を吸引した状態で、該気体の吸引方向に反った該素子における該一方向に沿う他の２つの稜線に突き当たる一対の第二面と、を有する。【選択図】図１７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に延び上面に機能部を有する素子における該一方向とは交差する幅方向に沿う２つの稜線に突き当たる一対の第一面と、
該一対の第一面間の気体を吸引する吸引部と、
該一対の第一面が該２つの稜線に突き当たり、該吸引部が該気体を吸引した状態で、該気体の吸引方向に反った該素子における該一方向に沿う他の２つの稜線に突き当たる一対の第二面と、
を有する保持具。
【請求項２】
一方向に延び上面に機能部を有する素子における該一方向とは交差する幅方向に沿う２つの稜線に突き当たる一対の第一面と、
該一対の第一面間の気体を吸引する吸引部と、
該一対の第一面よりも上方に配置され、該一方向に沿う他の２つの稜線に突き当たり得る一対の第二面と、
を有する保持具。
【請求項３】
底が平面である凹溝が形成され、
該凹溝の周縁部に、前記一対の第一面及び前記一対の第二面が形成された
請求項１又は２に記載の保持具。
【請求項４】
前記底が鏡面加工されている
請求項３に記載の保持具。
【請求項５】
前記吸引部が吸引を開始する前に、前記上面に気体を供給する供給部
を備える請求項１〜４のいずれか１項に記載の保持具。
【請求項６】
前記吸引部は、前記一対の第一面の間に配置された吸引孔を通じて、前記一対の第一面間の気体を吸引し、
前記供給部は、前記吸引孔を通じて、前記上面に気体を供給する
請求項５に記載の保持具。
【請求項７】
粘着材上に配置された前記素子を保持する請求項１〜６のいずれか１項に記載の保持具と、
前記素子及び前記粘着材が前記吸引部の吸引方向に反るように、前記素子の下面を前記粘着材ごと突き上げる突上部と、
を備える保持装置。
【請求項８】
前記保持具の吸引部が、前記突上部によって前記吸引方向に反った素子を吸引により反った状態に維持したまま、前記保持具が上昇する
請求項７に記載の保持装置。
【請求項９】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の保持具を準備する準備工程と、
前記２つの稜線に前記保持具の一対の第一面を突き当てる第一突当工程と、
前記第一突当工程の後に、前記保持具の吸引部が前記一対の第一面間の気体を吸引する吸引工程と、
前記吸引工程における吸引の開始後に、前記他の２つの稜線に前記保持具の一対の第二面を突き当てる第二突当工程と、
を有する素子の保持方法。
【請求項１０】
前記準備工程は、請求項５又は６に記載の保持具を準備し、
前記保持具の供給部が、少なくとも前記吸引工程の前に、前記上面に気体を供給する供給工程
を有する請求項９に記載の素子の保持方法。
【請求項１１】
前記準備工程は、請求項７又は８に記載の保持装置を準備し、
前記第二突当工程は、前記吸引工程における吸引の開始後に、前記素子が前記吸引方向に反るように、前記突上部が前記素子の下面を前記粘着材ごと突き上げることで、前記一対の第二面に前記他の２つの稜線を突き当てる
請求項９又は１０に記載の素子の保持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持具、保持装置及び保持方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、平面視にて矩形状をした半導体チップの４つの稜線に、面取部を突き当てて吸引保持する角錐コレットが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３５１８４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、一方向に延び且つ上面に機能部を有する素子における該一方向とは交差する幅方向に沿う２つの稜線に、一対の面を突き当てた状態で、吸引により該素子を保持する保持具では、吸引等により素子が上方へ反ると、素子の機能部が保持具に接触する場合がある。
【０００５】
本発明は、素子の幅方向に沿う２つの稜線に突き当たる一対の面のみを有する構成に比べ、素子が反った場合でも素子の機能部が保持具に接触することを抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１態様の保持具は、一方向に延び上面に機能部を有する素子における該一方向とは交差する幅方向に沿う２つの稜線に突き当たる一対の第一面と、該一対の第一面間の気体を吸引する吸引部と、該一対の第一面が該２つの稜線に突き当たり、該吸引部が該気体を吸引した状態で、該気体の吸引方向に反った該素子における該一方向に沿う他の２つの稜線に突き当たる一対の第二面と、を有する。
【０００７】
第２態様の保持具は、一方向に延び上面に機能部を有する素子における該一方向とは交差する幅方向に沿う２つの稜線に突き当たる一対の第一面と、該一対の第一面間の気体を吸引する吸引部と、該一対の第一面よりも上方に配置され、該一方向に沿う他の２つの稜線に突き当たり得る一対の第二面と、を有する。
【０００８】
第３態様の保持具では、底が平面である凹溝が形成され、該凹溝の周縁部に、前記一対の第一面及び前記一対の第二面が形成されている。
【０００９】
第４態様の保持具では、前記底が鏡面加工されている。
【００１０】
第５態様の保持具は、前記吸引部が吸引を開始する前に、前記上面に気体を供給する供給部を備える。
【００１１】
第６態様の保持具では、前記吸引部は、前記一対の第一面の間に配置された吸引孔を通じて、前記一対の第一面間の気体を吸引し、前記供給部は、前記吸引孔を通じて、前記上面に気体を供給する。
【００１２】
第７態様の保持装置は、粘着材上に配置された前記素子を保持する第１〜６態様のいずれかの保持具と、前記素子及び前記粘着材が前記吸引部の吸引方向に反るように、前記素子の下面を前記粘着材ごと突き上げる突上部と、を備える。
【００１３】
第８態様の保持装置は、前記保持具の吸引部が、前記突上部によって前記吸引方向に反った素子を吸引により反った状態に維持したまま、前記保持具が上昇する。
【００１４】
第９態様の保持方法は、第１〜６態様のいずれかの保持具を準備する準備工程と、前記２つの稜線に前記保持具の一対の第一面を突き当てる第一突当工程と、前記第一突当工程の後に、前記保持具の吸引部が前記一対の第一面間の気体を吸引する吸引工程と、前記吸引工程における吸引の開始後に、前記他の２つの稜線に前記保持具の一対の第二面を突き当てる第二突当工程と、を有する。
【００１５】
第１０態様の保持方法は、前記準備工程は、第５態様又は第６態様の保持具を準備し、前記保持具の供給部が、少なくとも前記吸引工程の前に、前記上面に気体を供給する供給工程を有する請求項９に記載の素子の保持方法。
【００１６】
第１１態様の保持方法は、前記準備工程は、第７態様又は第８態様の保持装置を準備し、前記第二突当工程は、前記吸引工程における吸引の開始後に、前記素子が前記吸引方向に反るように、前記突上部が前記素子の下面を前記粘着材ごと突き上げることで、前記一対の第二面に前記他の２つの稜線を突き当てる。
【発明の効果】
【００１７】
第１態様の構成によれば、素子の幅方向に沿う２つの稜線に突き当たる一対の第一面のみを有する構成に比べ、機能部への保持具の接触が抑制される。
【００１８】
第２態様の構成によれば、素子の幅方向に沿う２つの稜線に突き当たる一対の第一面のみを有する構成に比べ、機能部への保持具の接触が抑制される。
【００１９】
第３態様の構成によれば、底が湾曲した面である構成に比べ、保持具を下側から撮像して素子の保持を認識する場合における誤認識が抑制される。
【００２０】
第４態様の構成によれば、底が粗面である構成に比べ、保持具を下側から撮像して素子の保持を認識する場合における誤認識が抑制される。
【００２１】
第５態様の構成によれば、気体の吸引のみを行う構成に比べ、素子の上面に載った異物による機能部の損傷が抑制される。
【００２２】
第６態様の構成によれば、供給部が吸引孔とは別の孔を通じて気体を供給する構成に比べ、保持具に形成される孔の数が低減される。
【００２３】
第７態様の構成によれば、突上部が、素子が吸引方向に反らないように素子の下面を粘着材ごと突き上げる構成に比べ、粘着材上からの素子の剥離不良が抑制される。
【００２４】
第８態様の構成によれば、素子が吸引方向に反っていない状態で、保持具が上昇する構成に比べ、粘着材上からの素子の剥離不良が抑制される。
【００２５】
第９態様の方法によれば、素子の幅方向に沿う２つの稜線に突き当たる一対の第一面のみを有する場合に比べ、機能部への保持具の接触が抑制される。
【００２６】
第１０態様の方法によれば、気体の吸引のみを行う場合に比べ、素子の上面に載った異物による機能部の損傷が抑制される。
【００２７】
第１１態様の方法によれば、突上部が、素子が吸引方向に反らないように素子の下面を粘着材ごと突き上げる場合に比べ、粘着材上からの素子の剥離不良が抑制される。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本実施形態に係る受光素子が配置された受光基板の平面図である。
【図２】本実施形態に係る受光素子の斜視図である。
【図３】本実施形態に係る素子製造装置を示す斜視図である。
【図４】本実施形態に係る突上機構を示す側断面図である。
【図５】本実施形態に係る保持部を示す側断面図である。
【図６】本実施形態に係る保持部を示す正断面図である。
【図７】本実施形態に係る、ピックアップ位置からピックオフ位置へ移動する保持部を撮像するカメラを示す概略図である。
【図８】図７に示すカメラで撮像した、一部が白く光った撮像画像を示す図である。
【図９】図７に示すカメラで撮像した、全体が暗化した撮像画像を示す図である。
【図１０】ウエハから受光素子を形成する形成工程における最初の工程を示す平面図である。
【図１１】形成工程における図１０に示す工程の次の工程を示す平面図である。
【図１２】形成工程における図１０に示す工程の次の工程を示す斜視図である。
【図１３】形成工程における図１１及び図１２に示す工程の次の工程を示す平面図である。
【図１４】供給工程を示す側断面図である。
【図１５】第一突当工程を示す側断面図である。
【図１６】吸引工程を示す側断面図である。
【図１７】第二突当工程を示す側断面図である。
【図１８】第二突当工程を示す正断面図である。
【図１９】剥離工程を示す側断面図である。
【図２０】剥離工程を示す側断面図である。
【図２１】本実施形態に係る保持部を示す正断面図である。
【図２２】比較例に係る保持部を示す正断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
本発明に係る実施形態の一例を図面に基づき説明する。以下では、まず、受光素子２００について説明する。次いで、受光素子２００を製造する素子製造装置３００、受光素子２００を製造する製造方法、及び本実施形態の作用について説明する。
【００３０】
なお、下記の説明で用いる＋Ｘ方向、−Ｘ方向、＋Ｙ方向、−Ｙ方向、＋Ｚ方向（上方）及び−Ｚ方向（下方）は、図中に示す矢印方向である。また、下記の説明では、＋−を付さない「Ｘ方向」を、「＋Ｘ方向及び−Ｘ方向の両方向」又は「＋Ｘ方向及び−Ｘ方向のいずれか一方向」という意味で用いる場合がある。＋−を付さない「Ｙ方向」を、「＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の両方向」又は「＋Ｙ方向及び−Ｙ方向のいずれか一方向」という意味で用いる場合がある。＋−を付さない「Ｚ方向」を、「＋Ｚ方向及び−Ｚ方向の両方向」又は「＋Ｚ方向及び−Ｚ方向のいずれか一方向」という意味で用いる場合がある。さらに、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向は、互いに交差する方向（具体的には、直交する方向）である。
【００３１】
また、図中の「○」の中に「×」が記載された記号は、紙面の手前から奥へ向かう矢印を意味する。また、図中の「○」の中に「・」が記載された記号は、紙面の奥から手前へ向かう矢印を意味する。また、各図に示す各部材における各部分同士のＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の寸法比や、各部材同士のＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の寸法比は、実際の寸法比と異なる場合がある。
【００３２】
《受光素子２００》
まず、受光素子２００について説明する。図１及び図２には、受光素子２００の構成が示されている。なお、受光素子２００は、「素子」の一例である。
【００３３】
受光素子２００は、図１及び図２に示されるように、Ｘ方向に延びている。具体的には、受光素子は、図２に示されるように、Ｘ方向に長くされた直方体形状に形成されている。したがって、Ｘ方向は、受光素子２００の長手方向といえる。また、Ｙ方向は、受光素子２００の短手方向であり、受光素子２００の幅方向である。なお、Ｘ方向は、「一方向」の一例である。
【００３４】
この受光素子２００は、長手方向（Ｘ方向）と交差する端面２０２の形状が矩形状にされている。換言すれば、受光素子２００は、Ｘ方向視にて、矩形状に形成されている。なお、受光素子２００は、Ｘ方向に断面視した場合でも矩形状に形成されている。
【００３５】
受光素子２００は、図１に示されるように、上面２０３に受光部２１８を有している。受光部２１８は、受光素子２００が受光する機能を発揮するための部分であり、「機能部」の一例である。機能部は、素子の機能を発揮する部分である。換言すれば、機能部が破損すると、素子の機能を発揮できないようになる部分が機能部である。なお、図２では、受光部２１８の図示を省略している。
【００３６】
受光素子２００は、図２に示されるように、長手方向（Ｘ方向）とは交差する幅方向（Ｙ方向）に沿う２つの稜線２７５を有している。この２つの稜線２７５は、上面２０３の長手方向（Ｘ方向）の両端に配置されている。さらに、受光素子２００は、長手方向（Ｘ方向）に沿う２つの稜線２９５を有している。この２つの稜線２９５は、上面２０３の幅方向（Ｙ方向）の両端に配置されている。この２つの稜線２９５及び２つの稜線２７５は、下面２０５からのＺ方向の距離が同じとされている。換言すれば、２つの稜線２９５と２つの稜線２７５とは、同じ高さに配置されている。なお、２つの稜線２７５は、「２つの稜線」の一例であり、２つの稜線２９５は、「他の２つの稜線」の一例である。
【００３７】
受光素子２００の寸法は、一例として、長さ（Ｘ方向長さ）１８ｍｍ、高さ（Ｚ方向長さ）０．２ｍｍ、幅（Ｙ方向長さ）０．２４ｍｍとされている。なお、受光素子２００の寸法は、上記の寸法に限られるものではない。
【００３８】
受光素子２００の材料として、例えば、シリコン（Ｓｉ）が用いられている。シリコンは、半導体材料として用いられるヒ化ガリウム等に比べ、Ｚ方向へ凸状に曲げ変形しやすい性質を有している。換言すれば、受光素子２００は、Ｚ方向へ凸状に変形可能な材料で構成されている。
【００３９】
受光素子２００は、図１に示されるように、例えば、プリント基板１０２の長手方向（Ｘ方向）に沿って、一列に複数配置されることで、受光基板１００を構成する。なお、受光基板１００としては、受光素子２００が、プリント基板１０２の長手方向（Ｘ方向）に沿って、千鳥状に配置される構成であってもよい。
【００４０】
《受光素子２００の変形例》
受光素子２００は、端面２０２（Ｘ方向視）及びＸ方向の断面視が矩形状に形成されていたが、これに限られない。例えば、受光素子２００としては、端面２０２（Ｘ方向視）及びＸ方向の断面視が、例えば、Ｔ字状やＬ字状（逆Ｌ字状含む）に形成されたものであってもよい。
【００４１】
《素子製造装置３００》
次に、受光素子２００を製造する素子製造装置３００について説明する。図３には、素子製造装置３００の構成が示されている。
【００４２】
素子製造装置３００は、図３に示されるように、保持装置３０２と、トレイ４０１、４０２と、台３０４と、移動機構３０６と、を備えている。
【００４３】
〈トレイ４０１、４０２、台３０４及び移動機構３０６〉
図３に示されるように、台３０４は、トレイ４０１、４０２が載せられる台である。トレイ４０１、４０２は、上下方向を厚み方向とする板状（扁平状）であって、平面視にて略四角形状をしている。このトレイ４０１、４０２は、ウエハ１４から切り出された複数の受光素子２００が載せられる載せ部として機能する。トレイ４０１、４０２には、複数の受光素子２００のそれぞれが載せられる凹部４０６が複数形成されている。なお、載せ部としては、トレイ４０１、４０２に限られず、箱状のケースなどであってもよい。
【００４４】
移動機構３０６は、台３０４をＸ方向及びＹ方向へ移動させる機構である。この移動機構３０６は、台３０４をＸ方向及びＹ方向へ移動させることで、トレイ４０１、４０２の複数の凹部４０６のうち、受光素子２００を載せる対象となる凹部４０６を、予め定められたピックオフ位置に位置させる。
【００４５】
〈保持装置３０２〉
保持装置３０２は、受光素子２００を保持する装置である。具体的には、保持装置３０２は、ウエハ１４から切り出された複数の受光素子２００を１つずつ保持して、トレイ４０１、４０２におけるピックオフ位置に位置する凹部４０６に搬送する。なお、複数の受光素子２００は、後述するように、ウエハ１４から切り出された状態において、粘着シート２９０（図４及び図１２参照）の粘着面２９０Ａに貼り付けられている。なお、粘着シート２９０は、「粘着材」の一例である。
【００４６】
さらに具体的には、保持装置３０２は、図３に示されるように、支持部３４２と、移動機構３４４と、突上機構３２０と、保持機構３１０と、カメラ３５０と、カメラ３５３と、制御部３５９と、を有している。
【００４７】
〈支持部３４２及び移動機構３４４〉
図３に示されるように、支持部３４２は、ウエハ１４を支持する機能を有する部分である。移動機構３４４は、支持部３４２をＸ方向及びＹ方向へ移動させる機構である。この移動機構３４４は、支持部３４２をＸ方向及びＹ方向へ移動させることで、ピックアップ位置を含む、予め定められたピックアップ領域（以下、単に「ピックアップ領域」という場合がある）に、受光素子２００を移動させる。
【００４８】
なお、ピックアップ領域に移動された受光素子２００は、後述するように、カメラ３５０を用いて、ピックアップ位置へ位置決めされる。換言すれば、移動機構３４４は、精密にピックアップ位置に受光素子２００を移動させる機構ではなく、ピックアップ位置を含むピックアップ領域に受光素子２００を移動させる機構である。移動機構３４４は、例えば、予め設定された移動量で、受光素子２００を移動させることで、受光素子２００をピックアップ領域に移動させる。
【００４９】
ピックアップ位置は、保持対象の受光素子２００が保持機構３１０によって保持される保持位置である。また、ピックアップ位置は、保持対象の受光素子２００がカメラ３５０で撮像される撮像位置でもある。なお、図４において、符号ＰＴで示す位置がピックアップ位置であり、符号２００Ｐで示す受光素子がピックアップ位置に位置する受光素子である。
【００５０】
〈突上機構３２０〉
突上機構３２０は、受光素子２００を突き上げる機構であり、「突上部」の一例である。具体的には、突上機構３２０は、図４に示されるように、筒部３３０と、突上部材としてのニードル３２２と、吸引部３２４と、駆動部３２６（図３参照）と、を有している。
【００５１】
筒部３３０の上壁には、ニードル３２２が突き出される貫通孔３３２が形成されている。筒部３３０の内部には、貫通孔３３２と通じる空洞部３３６が形成されている。空洞部３３６は、筒部３３０の側壁に形成された通路３３８を介して吸引部３２４と接続されている。
【００５２】
ニードル３２２は、図３に示される保持機構３１０の後述の保持部３７０が受光素子２００を保持する際に、図１７に示されるように、ピックアップ位置に位置する受光素子２００を粘着シート２９０ごと突き上げる部材である。具体的には、ニードル３２２は、２つの稜線２７５が後述の保持部３７０の一対の第一突当面３７５に突き当たった状態で（図５、図１５参照）、受光素子２００を粘着シート２９０ごと突き上げる。さらに具体的には、ニードル３２２は、２つの稜線２７５が一対の第一突当面３７５に突き当たり、且つ、吸引機構３１８（図３参照）が受光素子２００を吸引した状態で（図１６参照）、受光素子２００を粘着シート２９０ごと突き上げる（図１７参照）。これにより、受光素子２００及び粘着シート２９０が＋Ｚ方向（上方）に反る。換言すれば、ニードル３２２は、受光素子２００及び粘着シート２９０が＋Ｚ方向（上方）に反るように、受光素子２００を粘着シート２９０ごと突き上げる。なお、受光素子２００が＋Ｚ方向（上方）に反るとは、受光素子２００の長手方向中央部が、＋Ｚ方向（上方）へ凸状に変形するように反る状態をいう。
【００５３】
ニードル３２２は、上端部が先細りとなる円柱状に形成されている。また、ニードル３２２の直径Ｄ（図４参照）は、例えば、数百μｍとされ、ニードル３２２の上端の直径は、数十μｍとされている。なお、貫通孔３３２及びニードル３２２は、図１７に示されるように、ピックアップ位置に位置する受光素子２００の長手方向（Ｘ方向）に沿って複数（例えば３つ）配置されている。
【００５４】
駆動部３２６（図３参照）は、貫通孔３３２を通じて筒部３３０から上方へ突出する突出位置と、筒部３３０の空洞部３３６に収納される収納位置との間で、ニードル３２２を移動させる。なお、前述では、突上機構３２０を「突上部」の一例として説明したが、ニードル３２２自体を「突上部」の一例と把握してもよい。
【００５５】
〈保持機構３１０〉
保持機構３１０は、受光素子２００を保持する機構である。具体的には、保持機構３１０は、図３に示されるように、筐体３１１と、アーム３１２と、駆動部３６０と、保持具３４０と、を有している。
【００５６】
｛筐体３１１と、アーム３１２と、駆動部３６０｝
筐体３１１は、上部の−Ｙ方向側の側面に開口３１３を有する箱状に形成されている。アーム３１２は、筐体３１１の開口３１３から−Ｙ方向側へ突出している。
【００５７】
アーム３１２の基端部は、駆動部３６０に水平方向（Ｘ方向）に移動可能に支持されている。アーム３１２の先端部には、上下方向に伸縮する伸縮部３１５を介して、後述の保持部３７０が取り付けられている。この伸縮部３１５が伸長することで、保持部３７０が降下する。伸縮部３１５が縮むことで、保持部３７０が上昇する。
【００５８】
｛保持具３４０｝
図３に示される保持具３４０は、受光素子２００を保持する具である。具とは、手段を意味する。したがって、保持具３４０は、受光素子２００を保持する保持手段ともいえる。保持具３４０は、具体的には、保持部３７０と、吸引機構３１８と、を有している。
【００５９】
保持部３７０は、保持具３４０において、受光素子２００を保持する機能を有する部分である。具体的には、保持部３７０は、粘着シート２９０上の受光素子２００を保持する機能を有している。さらに具体的には、保持部３７０は、ニードル３２２によって突き上げられる受光素子２００を保持する機能を有している（図１７及び図１８参照）。
【００６０】
保持部３７０は、図５に示されるように、本体３７２と、形成部材３７１と、を有している。本体３７２及び形成部材３７１は、Ｘ方向に沿って長さを有している。本体３７２の長手方向両端部（Ｘ方向両端部）には、−Ｚ方向（下方）に突出する一対の突当部３７４が形成されている。一対の突当部３７４は、受光素子２００の２つの稜線２７５に突き当たる一対の第一突当面３７５を有している。一対の第一突当面３７５は、互いが対向する対向方向（−Ｘ、＋Ｘ方向）及び−Ｚ方向（下方）を向く傾斜面で構成されている。一対の第一突当面３７５の上端のＸ方向の距離３７５Ｌは、受光素子２００の長さ（Ｘ方向長さ）よりも短くなっている。
【００６１】
保持具３４０では、ピックアップ位置に位置する受光素子２００の上方に保持部３７０が位置する状態（図１４参照）において、伸縮部３１５の伸長により、保持部３７０を降下させることで（図１５参照）、受光素子２００の２つの稜線２７５に一対の第一突当面３７５が突き当る。なお、一対の第一突当面３７５は、「一対の第一面」の一例である。
【００６２】
図６に示されるように、本体３７２の短手方向両端部（Ｙ方向両端部）には、−Ｚ方向（下方）に突出する一対の突当部３９４が形成されている。一対の突当部３９４は、受光素子２００の２つの稜線２９５に突き当たる一対の第二突当面３９５を有している。一対の第二突当面３９５は、互いが対向する対向方向（−Ｙ、＋Ｙ方向）及び−Ｚ方向（下方）を向く傾斜面で構成されている。一対の第二突当面３９５の上端のＹ方向の距離３９５Ｌは、受光素子２００の幅（Ｙ方向長さ）よりも短くなっている。なお、一対の第二突当面３９５は、「一対の第二面」の一例である。
【００６３】
一対の第二突当面３９５は、一対の第一突当面３７５よりも＋Ｚ方向（上方）に配置されている。換言すれば、保持部３７０が受光素子２００に対して＋Ｚ方向側（上方側）から接近した場合に、一対の第二突当面３９５が２つの稜線２９５に突き当たる前に、一対の第一突当面３７５が２つの稜線２７５に突き当たる構成とされている。また、２つの稜線２７５が一対の第一突当面３７５に突き当たった受光素子２００が、＋Ｚ方向（上方）に反った場合に、一対の第二突当面３９５が当該受光素子２００の２つの稜線２９５に突き当たる構成とされているともいえる。
【００６４】
ここで、図１５における受光素子２００及び保持部３７０の拡大図とも言える図５を用いて、２つの稜線２７５に一対の第一突出面３７５が突き当たったときの受光素子２００と保持部３７０の位置関係について説明する。このとき、保持部３７０の一対の突当部３７４の下端３７４Ａは、受光素子２００の上面２０３よりも下方に位置している。また、保持部３７０の一対の突当部３９４の下端３９４Ａは、受光素子２００の上面２０３よりも上方に位置している。つまり、保持部３７０の一対の突当部３９４の下端３９４Ａと、受光素子２００の上面２０３は離間しているため、これらの間で隙間が形成されている。この隙間により、保持部３７０の一対の突当部３７４及び一対の突当部３９４、並びに受光素子２００の上面２０３で囲まれる空間は、外部と通じている。
【００６５】
本体３７２は、図５及び図６に示されるように、一対の突当部３７４の間、及び一対の突当部３９４の間に、−Ｚ方向（下方）に開口する凹溝３９２が形成されている。換言すれば、本体３７２の下端部に凹溝３９２が形成されることで、一対の突当部３７４と一対の突当部３９４とが形成されている。そして、凹溝３９２の周縁部に、一対の第一突当面３７５及び一対の第二突当面３９５が形成されている。凹溝３９２の周縁部とは、具体的には、凹溝３９２の−Ｙ方向側、＋Ｙ方向側、−Ｘ方向側、及び＋Ｘ方向側の縁部である。
【００６６】
また、凹溝３９２は、底が平面とされている。換言すれば、凹溝３９２は、平面状の底面３９３を有している。底面３９３は、−Ｚ方向（下方）側を向く面である。さらに、底面３９３は、鏡面加工されている。鏡面加工は、例えば、研磨により行われる。したがって、底面３９３は、例えば、本体３７２の他の部分よりも表面粗さが小さい。なお、凹溝３９２の底とは、凹溝３９２における開口に対する奥側の部分を意味し、底面３９３は、凹溝３９２の奥側の面を意味する。したがって、凹溝３９２の底とは、必ずしも、凹溝３９２の−Ｚ方向（下方）側の部分を意味するものではない。
【００６７】
本体３７２には、図５に示されるように、Ｚ方向に貫通する複数の吸引孔３７８が形成されている。複数の吸引孔３７８は、Ｘ方向に沿って配置されている。各吸引孔３７８の下端部は、底面３９３で開口している。各吸引孔３７８の上端部は、本体３７２の上面で開口している。
【００６８】
形成部材３７１は、本体３７２との間に空洞３７７を形成する部材である。この形成部材３７１は、本体３７２の＋Ｚ方向側（上方側）に設けられており、本体３７２の上面との間に空洞３７７を形成している。空洞３７７の下部は、複数の吸引孔３７８と通じている。空洞３７７の上部は、吸引管３９９を介して吸引機構３１８（図３参照）と接続されている。
【００６９】
吸引機構３１８は、吸引管３９９、空洞３７７及び複数の吸引孔３７８を通じて、凹溝３９２内の空気を吸引する機能を有している。換言すれば、吸引機構３１８は、吸引管３９９、空洞３７７及び複数の吸引孔３７８を通じて、一対の第一突当面３７５の間であって、且つ一対の第二突当面３９５の間の空気を吸引する機能を有している。これにより、受光素子２００が＋Ｚ方向（上方）へ吸引される。すなわち、吸引機構３１８は、受光素子２００を＋Ｚ方向（上方）へ吸引する機能を有しているといえる。なお、空気は、「気体」の一例である。気体の一例としては、窒素などであってもよい。また、＋Ｚ方向（上方）は、「吸引方向」の一例である。
【００７０】
本実施形態では、一対の第一突当面３７５が受光素子２００の２つの稜線２７５に突き当たった状態で、突上機構３２０による受光素子２００の突き上げと、吸引機構３１８による受光素子２００の上方への吸引とによって、受光素子２００が、＋Ｚ方向（上方）に反る（図１７参照）。そして、＋Ｚ方向（上方）に反った受光素子２００の２つの稜線２９５に、一対の第二突当面３９５が突き当る（図１８参照）。さらに、吸引機構３１８による受光素子２００の上方への吸引によって、一対の第一突当面３７５が２つの稜線２７５に突き当たり且つ一対の第二突当面３９５が２つの稜線２９５に突き当った状態が維持される。換言すれば、吸引機構３１８による受光素子２００の上方への吸引によって、受光素子２００が、＋Ｚ方向（上方）に反った状態が維持される。
【００７１】
このように、吸引機構３１８の吸引により、一対の第一突当面３７５が２つの稜線２７５に突き当たり且つ一対の第二突当面３９５が２つの稜線２９５に突き当った状態を維持することで、保持部３７０は、粘着シート２９０上に配置された受光素子２００を１つ保持する。
【００７２】
さらに、保持部３７０が受光素子２００を保持した状態で、伸縮部３１５を縮めて保持部３７０を上昇させることで、受光素子２００が粘着シート２９０から剥離される（図２０参照）。換言すれば、吸引機構３１８の吸引により、受光素子２００が＋Ｚ方向（上方）に反った状態が維持されたまま、保持部３７０が上昇して受光素子２００が粘着シート２９０から剥離される。なお、保持機構３１０の具体的な動作については、後述する。
【００７３】
本実施形態では、さらに、吸引機構３１８は、吸引管３９９、空洞３７７及び複数の吸引孔３７８を通じて、凹溝３９２内へ空気を供給する機能を有している。換言すれば、吸引機構３１８は、吸引管３９９、空洞３７７及び複数の吸引孔３７８を通じて、一対の第一突当面３７５の間であって、且つ一対の第二突当面３９５の間へ空気を供給する機能を有している。具体的には、ピックアップ位置に位置する受光素子２００の上方に保持部３７０が位置する状態において、保持部３７０が降下して保持部３７０が受光素子２００に接近する際に、吸引機構３１８は、凹溝３９２内へ空気を供給することで、受光素子２００の上面２０３に空気を供給する（図１４参照）。換言すれば、保持部３７０が受光素子２００を保持する前において、吸引機構３１８は、受光素子２００の上面２０３に空気を供給する。さらに言えば、吸引機構３１８が吸引を開始する前に、受光素子２００の上面２０３に空気を供給する。なお、吸引機構３１８は、「吸引部」の一例であり、「供給部」の一例でもある。
【００７４】
吸引機構３１８としては、例えば、吸引ポンプ等の吸引装置（図示省略）と、供給ポンプ等の供給装置（図示省略）と、を有し、吸引管３９９との接続が、当該吸引装置と当該供給装置とに切り替えられる機構とされる。なお、吸引機構３１８としては、単一のポンプを有し、当該ポンプの駆動を切り替えることで、空気の吸引と、空気の供給とを切り替える構成であってもよい。
【００７５】
〈制御部３５９、カメラ３５０及びカメラ３５３〉
図３に示される制御部３５９は、保持装置３０２の各部の動作を制御する機能を有している。カメラ３５０は、粘着シート２９０の粘着面２９０Ａ上の受光素子２００を撮像する撮像部である。具体的には、カメラ３５０は、ピックアップ領域に移動された受光素子２００をピックアップ位置へ位置決めするために、当該受光素子２００を認識する機能を有している。
【００７６】
カメラ３５０は、図４に示されるように、ピックアップ位置の＋Ｚ方向（上方）に配置されている。このカメラ３５０は、移動機構３４４によってピックアップ領域に移動された受光素子２００がカメラ３５０の撮像範囲に入るように、−Ｚ方向（下方）を向いている。換言すれば、前述のピックアップ領域がカメラ３５０の撮像範囲に入るように、カメラ３５０の撮像範囲が設定されている。なお、カメラ３５０は、その周囲に、−Ｚ方向（下方）を照明する環状光源を備えている。
【００７７】
そして、カメラ３５０は、粘着シート２９０の粘着面２９０Ａ上の複数の受光素子２００のうち、ピックアップ領域に移動された受光素子２００を撮像する。これにより、受光素子２００の長手方向（Ｘ方向）一端部に設けられた位置決め用マーク（図示省略）が撮像される。
【００７８】
カメラ３５０は、制御部３５９と接続されており、ピックアップ領域に位置する受光素子２００が認識できたか否かの情報がカメラ３５０から制御部３５９へ送られる。具体的には、カメラ３５０が受光素子２００を認識できた場合には、位置決め用マーク（図示省略）を含む受光素子２００が撮像された撮像画像（情報）が制御部３５９へ送られる。
【００７９】
そして、制御部３５９は、予め定められた基準位置に対する位置決め用マークの位置に基づき、受光素子２００をピックアップ位置に位置決めする。すなわち、当該基準位置から位置決め用マークの位置がずれている場合には、制御部３５９は、そのずれ量分、移動機構３４４の駆動制御により、保持対象の受光素子２００をＸ方向及びＹ方向へ移動させる。
【００８０】
ここで、受光素子２００が粘着シート２９０の粘着面２９０Ａ上で傾いている（倒れている）場合には、傾いていない場合と比較して、カメラ３５０の環状光源が発した光が受光素子２００に反射した反射光は、減少してカメラ３５０に入る。このため、カメラ３５０は、画像が暗化（濃化）して、受光素子２００が認識（撮像）できなくなる場合がある。換言すると、カメラ３５０は、ピックアップ位置に受光素子２００が位置する（存在する）にも拘わらず、受光素子２００を認識できなくなる場合がある。すなわち、カメラ３５０が受光素子２００を認識できなかった場合には、受光素子２００が認識できない暗化した撮像画像（情報）が制御部３５９へ送られる。
【００８１】
一方、カメラ３５３は、保持機構３１０の保持部３７０が保持する受光素子２００を撮像する撮像部である。具体的には、カメラ３５３は、図７に示されるように、ピックアップ位置からピックオフ位置へ受光素子２００を搬送する保持部３７０の移動経路中に配置されている。このカメラ３５３は、受光素子２００を保持する保持部３７０がカメラ３５３の撮像範囲に入るように、上方を向いている。そして、カメラ３５３は、ピックアップ位置からピックオフ位置へ移動する保持部３７０を撮像する。
【００８２】
カメラ３５３は、制御部３５９と接続されており、保持部３７０が、受光素子２００を保持しているか否かの情報が制御部３５９に送られる。具体的には、保持部３７０が、粘着シート２９０から剥離した受光素子２００を保持している場合には、保持部３７０及び受光素子２００が撮像された画像が制御部３５９に送られる。保持部３７０が、粘着シート２９０から受光素子２００を剥離できず、受光素子２００を保持していない場合には、保持部３７０のみが撮像された撮像画像が制御部３５９に送られる。
【００８３】
保持部３７０及び受光素子２００が撮像された撮像画像は、例えば、受光素子２００で光が乱反射することで、図８に示されるように、受光素子２００の下面２０５の部分ＷＡで白く光った撮像画像ＧＡである。保持部３７０のみが撮像された撮像画像は、例えば、光が乱反射せずに、図９に示されるように、全体が暗化した撮像画像ＧＢである。
【００８４】
そして、制御部３５９は、保持部３７０及び受光素子２００が撮像された撮像画像ＧＡを取得した場合に、保持部３７０のピックオフ位置への移動を継続し、受光素子２００をトレイ４０１、４０２におけるピックオフ位置に位置する凹部４０６に載せる。制御部３５９が、保持部３７０のみが撮像された撮像画像ＧＢを取得した場合には、後述する再搬送動作を実行する構成とされている。なお、カメラ３５３が保持部３７０により保持された受光素子２００を撮像するとき、受光素子２００は、上方に反った状態を維持している。しかし、受光素子２００の反り量は小さいため、保持部３７０及び受光素子２００が撮像された撮像画像は、図８に示されるように、受光素子２００の下面２０５の部分ＷＡで白く光った撮像画像ＧＡとなる。
【００８５】
《受光素子２００の製造方法》
本実施形態に係る受光素子２００の製造方法は、準備工程と、形成工程と、位置決め工程と、保持工程と、剥離工程と、搬送工程と、を有している。保持工程における保持動作は、保持方法の一例を実行する動作に相当する。
【００８６】
〈準備工程〉
準備工程では、保持具３４０を有する前述の素子製造装置３００を準備する。
【００８７】
〈形成工程〉
形成工程は、半導体基板としてのウエハ１４から受光素子２００を切り出すことで受光素子２００を形成する工程である。形成工程では、例えば、以下のように、受光素子２００を切り出す。
【００８８】
すなわち、形成工程では、まず、図１０に示されるように、シリコンで形成されたウエハ１４の表面に複数の受光部２１８を形成する。なお、ウエハ１４の表面には、位置決め用マーク（図示省略）も形成される。次に、ウエハ１４の下面（裏面）に粘着シート２９０を貼り付ける。
【００８９】
次に、図１１及び図１２に示されるように、ダイシングブレード等の切削部材によって、ウエハ１４の上面（表面）からウエハ１４を切削して、ウエハ１４を分割することで、Ｘ方向に長さを有する受光素子２００を形成する。受光素子２００は、図１１及び図１２に示されるように、Ｘ方向及びＹ方向に複数配置された二次元状にウエハ１４から切り出される。受光素子２００は、Ｘ方向に長さを有しているため、Ｘ方向に配置された数よりも、Ｙ方向に配置された数が多くなっている。したがって、ウエハ１４を切削する切削数は、Ｘ方向における数よりも、Ｙ方向における数が多くなっている。
【００９０】
次に、図１３に示されるように、粘着シート２９０をＸ方向及びＹ方向に拡張する。具体的には、粘着シート２９０は、ウエハ１４の外側に位置する粘着シート２９０の部分が把持されて、外側に向けて略均等な力で引っ張られる。換言すると、ウエハ１４は、その略中心から放射状に拡張される。これにより、複数の受光素子２００の各々の間には、Ｙ方向に隙間ＳＹが形成され、Ｘ方向に隙間ＳＸが形成される。前述のように、ウエハ１４の切削数は、Ｘ方向における数よりも、Ｙ方向における数が多くなっているため、隙間ＳＹの数が隙間ＳＸの数が多くなり、且つ、各隙間ＳＹのＹ方向幅は、各隙間ＳＸのＸ方向幅よりも狭くなる。各隙間ＳＹのＹ方向幅は、例えば２１μｍとされている。各隙間ＳＸのＸ方向幅は、例えば、２５０μｍとされている。なお、粘着シート２９０をＸ方向及びＹ方向に拡張することで、ウエハ１４は、Ｙ方向に長い楕円形状になる。
【００９１】
〈位置決め工程〉
位置決め工程は、受光素子２００をピックアップ位置に位置決めする工程である。なお、位置決め工程では、後述のように、カメラ３５０が受光素子２００を撮像するため、撮像工程ともいえる。
【００９２】
位置決め工程では、まず、図３に示される移動機構３４４が、ウエハ１４を支持した支持部３４２をＸ方向及びＹ方向へ移動させることで、保持対象の受光素子２００を、ピックアップ位置を含むピックアップ領域に移動させる（図４参照）。
【００９３】
次に、カメラ３５０が、粘着シート２９０の粘着面２９０Ａ上の複数の受光素子２００のうち、ピックアップ領域に移動された受光素子２００を撮像する。
【００９４】
そして、カメラ３５０が受光素子２００を認識できた場合には、位置決め用マーク（図示省略）を含む受光素子２００が撮像された撮像画像（情報）が、制御部３５９へ送られる。制御部３５９は、予め定められた基準位置に対する位置決め用マークの位置に基づき、受光素子２００をピックアップ位置に位置決めする位置決め動作を実行する。すなわち、当該基準位置から位置決め用マークの位置がずれている場合には、制御部３５９は、そのずれ量分、移動機構３４４の駆動制御により、保持対象の受光素子２００をＸ方向及びＹ方向へ移動させる。これにより、受光素子２００がピックアップ位置に位置決めされる。そして、後述の保持工程が実行される。
【００９５】
カメラ３５０が受光素子２００を認識できなかった場合には、受光素子２００が認識できない暗化した撮像画像（情報）が制御部３５９へ送られる。この場合では、当該受光素子２００を、再度、撮像する。換言すれば、カメラ３５０が、ピックアップ領域に移動された受光素子２００を撮像した結果、受光素子２００を認識できなかった場合には、その撮像から予め定められた時間経過後に、再度、当該受光素子２００を撮像する。
【００９６】
この結果、カメラ３５０が受光素子２００を認識できた場合には、前述の位置決め動作を実行する。再度、カメラ３５０が受光素子２００を認識できなかった場合には、後述の廃棄動作を実行する。また、カメラ３５０が受光素子２００を認識できなかった場合には、例えば、予め設定された突上高さの設定値を低く変更する。これにより、次に、突上機構３２０が受光素子２００の下面を粘着シート２９０ごと突き上げる際に、低い値に変更された突上高さで受光素子２００が突き上げられる。突上機構３２０の突上高さを低くすると、粘着シート２９０が変形しにくく、突き上げられた受光素子２００に隣接する、次に保持される受光素子２００が傾きにくくなる。このため、カメラ３５０が受光素子２００を認識しやすくなる。
【００９７】
なお、前述では、受光素子２００の長手方向一端部の位置決め用マークを認識していたが、これに限られない。例えば、受光素子２００の長手方向の両端部に位置決め用マーク（図示省略）を設け、カメラ３５０を一対設けて、一対のカメラ３５０のそれぞれで、受光素子２００の長手方向の一端部及び他端部の位置決め用マーク（図示省略）を認識する構成であってもよい。
【００９８】
〈保持工程〉
保持工程は、保持具３４０で受光素子２００を保持する工程である。この保持工程は、位置決め工程において位置決め動作が実行された後に実行される。具体的には、保持工程は、供給工程と、第一突当工程と、吸引工程と、第二突当工程と、を有している。
【００９９】
｛供給工程｝
供給工程は、受光素子２００の上面２０３に空気を供給する工程である。供給工程では、伸縮部３１５（図３参照）の伸長により、保持部３７０を−Ｚ方向（下方）へ移動させることで、図１４に示されるように、ピックアップ位置に位置決めされた受光素子２００に保持部３７０を接近させる（矢印ＤＯ参照）。吸引機構３１８は、保持部３７０の受光素子２００に対する接近動作中に、吸引管３９９、空洞３７７及び複数の吸引孔３７８を通じて、凹溝３９２内へ空気を供給する（図１４の矢印ＥＫ参照）。
【０１００】
このように、当該受光素子２００に保持部３７０を接近させながら凹溝３９２内へ空気を供給することで、受光素子２００の上面２０３に空気を供給する。これにより、受光素子２００の上面２０３に載った異物が吹き飛ばされる。異物としては、例えば、ウエハ１４や受光素子２００の欠片などがある。受光素子２００の欠片は、例えば、前述の形成工程におけるウエハ１４の切削の際に形成されたひび割れ（クラック）が、保持工程、剥離工程及び搬送工程を経ることで大きくなって発生する。受光素子２００の欠片は、例えば、剥離工程及び搬送工程の際に、次工程以降に保持される受光素子２００の上面２０３に載る。
【０１０１】
凹溝３９２内への空気の供給は、受光素子２００の２つの稜線２７５に保持部３７０の一対の第一突当面３７５を突き当てる（第一突当工程）と停止される。すなわち、本実施形態では、供給工程は、第一突当工程の完了前に実行される。なお、供給工程は、第一突当工程の完了後に実行されてもよい。具体的には、例えば、ピックアップ位置に位置決めされた受光素子２００の２つの稜線２７５を、保持部３７０の一対の第一突当面３７５に突き当てた状態で、受光素子２００の上面２０３に空気を供給してもよい。このとき、Ｙ方向視で、受光素子２００の上面２０３と、保持部３７０の突当部３９４の下端３９４Ａとの間には隙間があるため（図５、図１５参照）、この隙間から受光素子２００の上面２０３に載った異物を、保持部３７０の一対の突当部３７４及び一対の突当部３９４、並びに受光素子２００の上面２０３で囲まれる空間の外部に吹き飛ばすことができる。なお、供給工程は、少なくとも吸引工程における吸引開始前に実行されればよい。
【０１０２】
｛第一突当工程｝
第一突当工程は、図１５に示されるように、受光素子２００の２つの稜線２７５に保持部３７０の一対の第一突当面３７５を突き当てる工程である。第一突当工程では、伸縮部３１５の伸長により、保持部３７０をさらに−Ｚ方向（下方）へ移動させることで、ピックアップ位置に位置決めされた受光素子２００の２つの稜線２７５に、保持部３７０の一対の第一突当面３７５を突き当てる。当該２つの稜線２７５に一対の第一突当面３７５に突き当てた状態は、第一突当工程の後の工程において維持される。
【０１０３】
｛吸引工程｝
吸引工程は、保持具３４０の吸引機構３１８が一対の第一突当面３７５の間の空気を吸引する工程である。吸引工程では、図１６に示されるように、具体的には、吸引機構３１８（図３参照）が、吸引管３９９、空洞３７７及び複数の吸引孔３７８を通じて、凹溝３９２内の空気を吸引する。これにより、吸引機構３１８は、一対の第一突当面３７５の間且つ、一対の第二突当面３９５の間の空気を吸引する。
【０１０４】
吸引工程は、供給工程の後であって、第一突当工程の後に実行される。すなわち、吸引工程では、ピックアップ位置に位置決めされた受光素子２００の２つの稜線２７５に、保持部３７０の一対の第一突当面３７５を突き当てた状態で、凹溝３９２内の空気を吸引する。
【０１０５】
また、吸引工程では、突上機構３２０の吸引部３２４が、筒部３３０の貫通孔３３２を通じて、粘着シート２９０を吸引する。これにより、粘着シート２９０が筒部３３０の上面に吸着される。なお、突上機構３２０の吸引部３２４の吸引開始は、吸引機構３１８による吸引開始と同時であってもよいし、吸引機構３１８による吸引開始よりも早くても、遅くてもよい。
【０１０６】
｛第二突当工程｝
第二突当工程は、受光素子２００の２つの稜線２９５に保持部３７０の一対の第二突当面３９５を突き当てる工程である。第二突当工程は、吸引工程における吸引開始後に実行される工程である。なお、第二突当工程では、後述のように、受光素子２００をニードル３２２で突き上げるため、第二突当工程は、受光素子２００を突き上げる突上工程ともいえる。
【０１０７】
第二突当工程では、前述の吸引工程における吸引の開始後に、図１７に示されるように、受光素子２００が＋Ｚ方向（上方）に反るように、突上機構３２０が受光素子２００の下面を粘着シート２９０ごと突き上げることで、図１８に示されるように、２つの稜線２９５に一対の第二突当面３９５を突き当てる。
【０１０８】
具体的には、第二突当工程では、ニードル３２２を駆動部３２６（図３参照）により駆動して、ニードル３２２を予め設定された突上高さに上昇させる。これにより、受光素子２００の下面を予め設定された設定値（基準値）の突上高さにて粘着シート２９０ごとニードル３２２が突き上げる。これにより、受光素子２００の長手方向中央部が＋Ｚ方向に凸状になるように、受光素子２００が反り、２つの稜線２９５に一対の第二突当面３９５が突き当たる。
【０１０９】
この第二突当工程では、受光素子２００の稜線２７５に保持部３７０の第一突当面３７５を突き当て、且つ受光素子２００の稜線２９５に保持部３７０の第二突当面３９５に突き当てた状態で、吸引機構３１８による受光素子２００の吸引を維持することで、保持部３７０が受光素子２００を保持した状態が維持される。
【０１１０】
以上のように、保持工程では、供給工程と、第一突当工程と、吸引工程と、第二突当工程とを実行することで、保持部３７０が受光素子２００を保持する。
【０１１１】
〈剥離工程〉
剥離工程は、受光素子２００を粘着シート２９０の粘着面２９０Ａ上から剥離する工程である。この剥離工程では、保持部３７０が、受光素子２００の上方に反った状態での保持を維持したまま、伸縮部３１５を縮めることで、図１９及び図２０に示されるように、保持部３７０を上昇させて、受光素子２００を粘着シート２９０から剥離する。
【０１１２】
〈搬送工程〉
搬送工程は、剥離工程にて粘着シート２９０から剥離された受光素子２００をピックオフ位置へ搬送する工程である。なお、搬送工程では、剥離工程にて受光素子２００が剥離されたか否かを検知するため、検知工程ともいえる。
【０１１３】
搬送工程では、まず、剥離工程にて粘着シート２９０の粘着面２９０Ａ上から剥離された受光素子２００を保持した保持部３７０のアーム３１２をＸ方向に移動させることで、ピックアップ位置からピックオフ位置へ向けて受光素子２００を搬送する（図７参照）。
【０１１４】
次に、ピックアップ位置からピックオフ位置へ移動する保持部３７０の移動経路中において、カメラ３５３が保持部３７０を撮像する。
【０１１５】
次に、保持部３７０が、粘着シート２９０から剥離した受光素子２００を保持している場合には、保持部３７０及び受光素子２００が撮像された撮像画像ＧＡ（情報）が制御部３５９に送られる。保持部３７０が、粘着シート２９０から受光素子２００を剥離できず、受光素子２００を保持していない場合には、保持部３７０のみが撮像された撮像画像ＧＢ（情報）が制御部３５９に送られる。換言すれば、保持部３７０が、受光素子２００を保持しているか否かの情報が制御部３５９に送られる。さらに言えば、受光素子２００が粘着シート２９０から剥離されたか否かの情報が制御部３５９に送られる。
【０１１６】
制御部３５９は、保持部３７０及び受光素子２００が撮像された撮像画像ＧＡ（図８参照）を取得した場合に、保持部３７０のピックオフ位置への移動を継続し、伸縮部３１５を伸長させ且つ吸引機構３１８による吸引を停止することで、受光素子２００をトレイ４０１、４０２におけるピックオフ位置に位置する凹部４０６に載せる。
【０１１７】
制御部３５９が、保持部３７０のみが撮像された撮像画像ＧＢ（図９参照）を取得した場合には、再搬送動作を実行する。再搬送動作では、まず、前述の位置決め工程を実行する。当該位置決め工程において、カメラ３５０が受光素子２００を認識できた場合には、受光素子２００がピックアップ位置に位置決めされ、前述の保持工程、前述の剥離工程、及び本搬送工程が実行される。本搬送工程において、再度、保持部３７０のみが撮像された撮像画像ＧＢを取得した場合には、後述の廃棄動作を実行する。なお、再度、保持部３７０のみが撮像された撮像画像ＧＢを取得した場合において、保持部３７０及び受光素子２００が撮像された撮像画像ＧＡを取得するまで、予め設定された複数回、再搬送動作を繰り返してもよい。
【０１１８】
また、再搬送動作における位置決め工程において、カメラ３５０が受光素子２００を認識できなかった場合にも、後述の廃棄動作を実行する。この場合では、例えば、予め設定された突上高さの設定値を高く変更する。これにより、次に、突上機構３２０が受光素子２００の下面を粘着シート２９０ごと突き上げる際に、高い値に変更された突上高さで受光素子２００が突き上げられる。突上機構３２０の突上高さを高くすると、粘着シート２９０が上側へ凸状に変形するため、受光素子２００が粘着シート２９０から剥離されやすくなる。
【０１１９】
〈廃棄動作〉
廃棄動作では、受光素子２００がピックアップ位置に存在するものとして、保持工程を実行し、且つ、保持部３７０を廃棄位置へ移動させて、吸引機構３１８による吸引を停止する。これにより、ピックアップ位置に受光素子２００が存在する場合に、受光素子２００が廃棄位置において、収容部としての廃棄トレイ（図示省略）に廃棄される。
【０１２０】
このように、受光素子２００を廃棄することで、当該受光素子２００が粘着シート２９０に残ることが抑制される。この結果、次の保持工程で、２つの受光素子２００を保持部３７０で保持すること（２個取り不具合）が抑制される。
【０１２１】
〈素子製造工程の補足〉
素子製造工程では、形成工程後に、位置決め工程、突上工程、剥離工程及び検知工程が繰り返されることで、ウエハ１４（粘着シート２９０）の一端から他端に向けて受光素子２００の幅方向（Ｙ方向）に順番に並んでいる各列の受光素子２００を、トレイ４０１、４０２の凹部４０６に載せる。
【０１２２】
以上のように、ウエハ１４から切り出された受光素子２００をトレイ４０１、４０２の凹部４０６に載せることで、受光素子２００がプリント基板１０２に実装できる状態となり、受光素子２００が製造される。
【０１２３】
《本実施形態の作用》
本実施形態では、供給工程において、受光素子２００に保持部３７０を接近させながら凹溝３９２内へ空気を供給することで、受光素子２００の上面２０３に空気を供給する。これにより、受光素子２００の上面２０３に載った異物が吹き飛ばされる。このため、空気の供給を行わず、空気の吸引のみを行う場合に比べ、受光素子２００の上面２０３に載った異物による受光部２１８の損傷が抑制される。なお、受光素子２００に保持部３７０を接近させながら凹溝３９２内へ空気を供給するため、受光素子２００の上面２０３に当たる空気の量は、変化する（保持部３７０が受光素子２００に近づくに連れ、上面２０３に当たる空気の量が増える）。このため、保持部３７０と受光素子２００の上面２０３との間隔を一定にして凹溝３９２内へ空気を供給する場合に比べ、受光素子２００の上面２０３に載った異物が吹き飛ばしやすい。
【０１２４】
また、本実施形態では、吸引機構３１８は、保持部３７０の受光素子２００に対する接近動作中に、吸引管３９９、空洞３７７及び複数の吸引孔３７８を通じて、凹溝３９２内へ空気を供給する。すなわち、吸引機構３１８は、空気を吸引する際に用いる吸引孔３７８を通じて空気を供給する。したがって、吸引機構３１８が、吸引孔３７８とは別の孔を通じて空気を供給する場合に比べ、保持部３７０に形成される孔の数が低減される。さらに言えば、吸引機構３１８は、吸引管３９９、空洞３７７を含めた経路において、空気を吸引する場合と同じ経路にて、空気を供給する。このため、吸引機構３１８が、空気を吸引する際の経路と異なる経路にて空気を供給する場合に比べ、当該経路の数が低減される。
【０１２５】
また、本実施形態では、第一突当工程において、受光素子２００の２つの稜線２７５に保持具３７０の一対の第一突当面３７５を突き当てたとき、保持部３７０の一対の突当部３９４の下端３９４Ａは、受光素子２００の上面２０３よりも上方に位置している。ここで、保持部３７０の一対の突当部３９４の下端３９４Ａが、受光素子２００の上面２０３と同じ位置、又は上面２０３よりも下方に位置していている構成（第六比較例）では、当該受光素子２００の短手方向（幅方向）の隣に位置する他の受光素子２００に一対の突当部３９４の下端３９４Ａが接触する場合が発生し得る。これは、粘着シート２９０を拡張した後の受光素子２００同士の隙間ＳＹの短手方向幅が狭い（例えば２１μｍ）からである（図１３参照）。これに対し、受光素子２００同士の隙間ＳＸの長手方向幅は広い（例えば２５０μｍ）。このため、第一突当工程において、受光素子２００の２つの稜線２７５に保持具３７０の一対の第一突当面３７５を突き当てたとき、保持部３７０の一対の突当部３７４は、当該受光素子２００の長手方向の隣に位置する他の受光素子２００に接触することはない。換言すると、保持部３７０の一対の突当部３７４の下端３７４Ａは、受光素子２００の上面２０３よりも下方に位置させることができる。
【０１２６】
本実施形態では、第二突当工程において、受光素子２００の長手方向中央部が＋Ｚ方向に凸状になるように受光素子２００が反り、２つの稜線２９５に一対の第二突当面３９５が突き当たる。
【０１２７】
ここで、保持部３７０が、一対の第二突当面３９５を有せず、一対の第一突当面３７５のみを有する構成（第一比較例）では、受光素子２００が上方へ反った場合に、受光部２１８が保持部３７０の底面３９３に接触する場合がある。これに対して、本実施形態では、上方へ沿った受光素子２００の２つの稜線２９５に一対の第二突当面３９５が突き当たるので、受光部２１８への保持部３７０の接触が抑制される。この結果、受光部２１８の損傷が抑制される。
【０１２８】
また、本実施形態では、第二突当工程において、突上機構３２０が、受光素子２００が上方に反るように、受光素子２００の下面を粘着シート２９０ごと突き上げる。これにより、突上機構３２０が、受光素子２００が反らないように受光素子２００の下面を粘着シート２９０ごと突き上げる場合（第四比較例）に比べ、受光素子２００及び粘着シート２９０の変形より受光素子２００と粘着シート２９０との間でＸ方向にずれが生じやすく、受光素子２００が剥離されやすい。このため、第四比較例に比べ、粘着シート２９０上からの受光素子２００の剥離の不良が抑制される。
【０１２９】
また、本実施形態では、剥離工程において、保持部３７０が、受光素子２００が上方に反った状態に維持したまま、図１９及び図２０に示されるように、保持部３７０を上昇させて、受光素子２００を粘着シート２９０から剥離する。
【０１３０】
これにより、突上機構３２０が、受光素子２００が反っていない状態で保持部３７０を上昇させて、受光素子２００を粘着シート２９０から剥離する場合（第五比較例）に比べ、受光素子２００及び粘着シート２９０の変形より受光素子２００と粘着シート２９０との間でＸ方向にずれが生じやすく、受光素子２００が剥離されやすい。このため、第五比較例に比べ、粘着シート２９０上からの受光素子２００の剥離の不良が抑制される。
【０１３１】
また、本実施形態では、図２１に示されるように、凹溝３９２は、底面３９３が平面状に形成されている。ここで、図２２に示されるように、底面３９３が湾曲した面で形成されている構成（第二比較例）では、底面３９３において、光が乱反射しやすく、乱反射した反射光がカメラ３５３に入射すると考えられる。このため、底面３９３の部分（ＷＡに相当）で白く光った撮像画像ＧＡ（図８参照）となる場合がある。これにより、保持部３７０が受光素子２００を保持していないにもかかわらず、受光素子２００を保持していると誤認識するおそれがある。
【０１３２】
これに対して、本実施形態では、図２１に示されるように、凹溝３９２は、底面３９３が平面状に形成されているので、第二比較例に比べ、底面３９３で光が乱反射しにくく、保持部３７０が受光素子２００を保持していない場合には、全体が暗化した撮像画像ＧＢ（図９参照）となる。このため、第二比較例に比べ、保持部３７０を下側から撮像して受光素子２００の保持を認識する場合における誤認識が抑制される。
【０１３３】
また、本実施形態では、底面３９３は、鏡面加工されている。このため、底面３９３が粗面（仕上げ加工を施していない面）である構成（第三比較例）に比べ、底面３９３で光が乱反射しにくく、保持部３７０が受光素子２００を保持していない場合には、全体が暗化した撮像画像ＧＢ（図９参照）となる。このため、第三比較例に比べ、保持部３７０を下側から撮像して受光素子２００の保持を認識する場合における誤認識が抑制される。
【０１３４】
《変形例》
なお、本実施形態では、素子の一例として受光素子２００を用いたが、これに限られない。素子の一例としては、例えば、発光素子であってもよい。発光素子の場合は、機能部が、発光部となる。
【０１３５】
また、本実施形態では、一対の第一突当面３７５が２つの稜線２７５に突き当たり且つ一対の第二突当面３９５が２つの稜線２９５に突き当った状態で、保持部３７０が受光素子２００を保持する構成とされていたが、これに限られない。例えば、一対の第二突当面３９５が当該受光素子２００の２つの稜線２９５に対して隙間を有した状態で、受光素子２００が保持される構成であってもよい。この構成では、例えば、一対の第二突当面３９５は、想定（具体的には例えばニードル３２２のストローク）を超えて受光素子２００が＋Ｚ方向（上方）に反った場合において、一対の第二突当面３９５が２つの稜線２９５に突き当てるようなっている。換言すれば、本変形例は、一対の第二突当面３９５が、底面３９３に突き当たる前に受光素子２００の２つの稜線２９５に突き当たり得る構成となっている。
【０１３６】
本実施形態では、供給工程において、受光素子２００に保持部３７０を接近させながら凹溝３９２内へ空気を供給することで、受光素子２００の上面２０３に空気を供給していたが、これに限られない。受光素子２００の上面２０３に空気を供給せずに、受光素子２００に保持部３７０を接近させる構成であってもよい。
【０１３７】
また、本実施形態では、吸引機構３１８は、空気を吸引する際に用いる吸引孔３７８を通じて空気を供給していたが、これに限られない。たとえば、吸引機構３１８が、吸引孔３７８とは別の孔を通じて空気を供給する構成であってもよい。また、吸引機構３１８は、吸引管３９９、空洞３７７を含めた経路において、空気を吸引する場合と同じ経路にて、空気を供給していたが、これに限られない。例えば、吸引機構３１８が、空気を吸引する際の経路と異なる経路にて空気を供給する構成であってもよい。
【０１３８】
本実施形態では、第二突当工程において、突上機構３２０が、受光素子２００が上方に反るように、受光素子２００の下面を粘着シート２９０ごと突き上げていたが、これに限られない。例えば、吸引機構３１８の吸引力のみで、受光素子２００が上方に反るように構成してもよい。
【０１３９】
また、本実施形態では、図２１に示されるように、凹溝３９２は、底面３９３が平面状に形成されていたが、これに限られない。例えば、図２２に示されるように、底面３９３が湾曲した面で形成されている構成であってもよい。
【０１４０】
また、本実施形態では、底面３９３が鏡面加工されていたが、これに限られない。例えば、底面３９３が粗面（表面加工を施していない面）である構成であってもよい。
【０１４１】
本発明は、上記の実施形態に限るものではなく、その主旨を逸脱しない範囲内において種々の変形、変更、改良が可能である。例えば、上記に示した変形例は、適宜、複数を組み合わせて構成してもよい。
【符号の説明】
【０１４２】
２００ 受光素子（素子の一例）
３１８ 吸引機構（吸引部の一例、供給部の一例）
３２０ 突上機構（突上部の一例）
３４０ 保持具
３７５ 第一突当面（第一面の一例）
３７８ 吸引孔
３９２ 凹溝
３９５ 第二突当面（第二面の一例）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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