(57)【要約】【課題】簡単な構成で吐出特性の変動を抑制する。【解決手段】液体を吐出する複数のノズル４と、複数のノズル４にそれぞれ通じる複数の圧力室６と、複数の圧力室６にそれぞれ通じる複数の個別供給流路７と、複数の個別供給流路７に通じる共通供給流路１０とを備え、個別供給流路７は、圧力室６よりも流体抵抗が高い第１流路部７Ａ及び第２流路部７Ｂと、第１流路部７Ａと第２流路部７Ｂとの間に配置され、第１流路７Ａ及び第２流路部７Ｂよりも流体抵抗が低い第３流路部７Ｃとを含む。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルにそれぞれ通じる複数の圧力室と、
前記複数の圧力室にそれぞれ通じる複数の個別流路と、
前記複数の個別流路に通じる共通流路と、を備え、
前記個別流路は、
前記圧力室よりも流体抵抗が高い第１流路部及び第２流路部と、
前記第１流路部と前記第２流路部との間に配置され、前記第１流路部及び前記第２流路部よりも流体抵抗が低い第３流路部と、を含む
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第１流路部と前記第２流路部との流体抵抗は、同じ流体抵抗又は異なる流体抵抗である
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第１流路部及び前記第２流路部は、前記圧力室及び前記第３流路部よりも流路幅が狭い
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第１流路部及び前記第２流路部は、前記圧力室及び前記第３流路部よりも流路高さが低い
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記圧力室、前記第１流路部及び第３流路部の一部を形成する板状部材と、
前記第２流路部及び前記第３流路部の残部を形成する板状部材と、を備えている
ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
【請求項７】
前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
ことを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ユニット。
【請求項８】
請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項６若しくは７に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する液体吐出ヘッドにおいては、液体の吐出に伴って生じる残留振動によって吐出特性が変動する。
【０００３】
従来、共通液室の壁面の一部を薄膜部で形成し、薄膜部によって共通液室内の圧力振動を減衰させるものが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−５１０７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、共通液室の一部の壁面に薄膜部を配置する構成にあっては、構成が複雑になるという課題ある。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、簡単な構成で吐出特性の変動を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルにそれぞれ通じる複数の圧力室と、
前記複数の圧力室にそれぞれ通じる複数の個別流路と、
前記複数の個別流路に通じる共通流路と、を備え、
前記個別流路は、
前記圧力室よりも流体抵抗が高い第１流路部及び第２流路部と、
前記第１流路部と前記第２流路部との間に配置され、前記第１流路及び前記第２流路部よりも流体抵抗が低い第３流路部と、を含む
構成とした。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、簡単な構成で吐出特性の変動を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【図２】同じくノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【図３】同じく流路構成の説明に供する平面説明図である。
【図４】同実施形態のヘッドにおける流路の等価回路の説明図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【図６】同じく流路構成の説明に供する平面説明図である。
【図７】本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【図８】同じく流路構成の説明に供する平面説明図である。
【図９】本発明の第４実施形態に係る液体出ヘッドの外観斜視説明図である。
【図１０】同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【図１１】本発明に係る液体を吐出する装置の一例の概略説明図である。
【図１２】同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。
【図１３】液体循環装置の一例のブロック説明図である。
【図１４】本発明に係る液体を吐出する装置の他の例の要部平面説明図である。
【図１５】同装置の要部側面説明図である。
【図１６】本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。
【図１７】本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態について図１及び図２を参照して説明する。図１は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（圧力室長手方向）に沿う断面説明図、図２は同じくノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【００１１】
本実施形態の液体吐出ヘッド１００は、ノズル板１と、個別流路部材である流路板２と、壁面部材としての振動板部材３とを積層接合している。そして、振動板部材３の振動領域（振動板）３０を変位させる圧電アクチュエータ１１と、ヘッドのフレーム部材を兼ねている共通流路部材２０とを備えている。
【００１２】
ノズル板１は、液体を吐出する複数のノズル４を有している。
【００１３】
流路板２は、複数のノズル４に通じる複数の圧力室６と、各圧力室６にそれぞれ通じる個別流路である個別供給流路７と、１又は複数（本実施形態では１つ）の個別供給流路７に通じる液導入部となる中間供給流路８を形成している。
【００１４】
振動板部材３は、流路板２の圧力室６の壁面を形成する変位可能な複数の振動板（振動領域）３０を有する。ここでは、振動板部材３は２層構造（限定されない）とし、流路板２側から薄肉部を形成する第１層３Ａと、厚肉部を形成する第２層３Ｂで構成されている。
【００１５】
そして、薄肉部である第１層３Ａで圧力室６に対応する部分に変形可能な振動領域３０を形成している。振動領域３０内には、第２層３Ｂで圧電アクチュエータ１１と接合する厚肉部である凸部３０ａを形成している。
【００１６】
そして、振動板部材３の圧力室６とは反対側に、振動板部材３の振動領域３０を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１を配置している。
【００１７】
この圧電アクチュエータ１１は、ベース部材１３上に接合した圧電部材にハーフカットダイシングによって溝加工をして、ノズル配列方向において、所要数の柱状の圧電素子１２を所定の間隔で櫛歯状に形成している。そして、圧電素子１２は、振動板部材３の振動領域３０に形成した厚肉部である凸部３０ａに接合している。
【００１８】
この圧電素子１２は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極（端面電極）に接続され、外部電極にフレキシブル配線部材１５が接続されている。
【００１９】
共通流路部材２０は複数の圧力室６に通じる共通供給流路１０を形成している。共通供給流路１０は、振動板部材３に設けた開口部９を介して液導入部となる中間供給流路８に連通し、中間供給流路８を介して個別供給流路７に通じている。
【００２０】
この液体吐出ヘッド１００においては、例えば圧電素子１２に与える電圧を基準電位（中間電位）から下げることによって圧電素子１２が収縮し、振動板部材３の振動領域３０が引かれて圧力室６の容積が膨張することで、圧力室６内に液体が流入する。
【００２１】
その後、圧電素子１２に印加する電圧を上げて圧電素子１２を積層方向に伸長させ、振動板部材３の振動領域３０をノズル４に向かう方向に変形させて圧力室６の容積を収縮させることにより、圧力室６内の液体が加圧され、ノズル４から液体が吐出される。
【００２２】
次に、個別供給流路７の流路構成について図３も参照して説明する。図３は同実施形態における流路構成の説明に供する平面説明図である。
【００２３】
本実施形態では、個別流路である個別供給流路７は、圧力室６よりも流体抵抗が高い２つの第１流路部７Ａ及び第２流路部７Ｂと、第１流路部７Ａと第２流路部７Ｂとの間に配置され、第１流路部７Ａ及び第２流路部７Ｂよりも流体抵抗が低い第３流路部７Ｃとを含む。
【００２４】
第１流路部７Ａは圧力室６に接続されている。第２流路部７Ｂは中間供給流路８（共通供給流路１０側）に接続されている。第３流路部７Ｃは、第１流路部７Ａの上流側及び第２流路部７Ｂの下流側にそれぞれ接続されている。
【００２５】
ここで、第１流路部７Ａの流体抵抗及び第２流路部７Ｂの流体抵抗は、同じでもよいし、異なってもよい。本実施形態では、第１流路部７Ａの流路長さを第２流路部７Ｂの流路長さよりも長くして、第１流路部７Ａの流体抵抗を第２流路部７Ｂの流体抵抗よりも高くしている。
【００２６】
また、第１流路部７Ａ及び第２流路部７Ｂの各流路幅（ノズル配列方向の幅）Ｗ１，Ｗ２を圧力室６の流路幅Ｗ０よりも狭くすることで、圧力室６の流体抵抗よりも第１流路部７Ａ及び第２流路部７Ｂの各流体抵抗を高くしている。
【００２７】
また、第３流路部７Ｃの流路幅Ｗ３を第１流路部７Ａ及び第２流路部７Ｂの各流路幅Ｗ１，Ｗ２よりも広くして、第１流路部７Ａ及び第２流路部７Ｂの各流体抵抗よりも第３流路部７Ｃの流体抵抗を低くしている。
【００２８】
ここで、本実施形態のヘッド１００における流路の等価回路は図４に示すように表わすことができる。
【００２９】
図４に示すように、圧力室６と共通供給流路１０との間に介在する個別供給流路７の第１流路部７Ａは、抵抗成分ＲとインダクタンスＬとの直列回路を構成し、第３流路部７Ｃ及び第２流路部７Ｂは、抵抗成分ＲとインダクタンスＬとの直列回路とコンデンサＣの並列回路とを構成する。
【００３０】
このように構成したので、圧力室６を加圧して液体を吐出させたときに生じる圧力変動は、抵抗成分ＲとインダクタンスＬとの直列回路とコンデンサＣとの並列回路で構成される減衰回路によって減衰され、共通供給流路１０への伝搬が抑制される。
【００３１】
これにより、簡単な構成で、共通流路への圧力変動の伝搬を抑制し、吐出特性の変動を低減することができる。
【００３２】
次に、本発明の第２実施形態について図５及び図６を参照して説明する。図５は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（圧力室長手方向）に沿う断面説明図、図６は同じく流路構成の説明に供する平面説明図である。
【００３３】
本実施形態では、圧力室６、第１流路部７Ａ、第２流路部７Ｂ及び第３流路部７Ｃの各流路幅は同じにしている。
【００３４】
一方、第１流路部７Ａの流路高さＨ１、第２流路部７Ｂの各流路高さＨ２は、圧力室６の流路高さＨ０より低くして、圧力室６の流体抵抗よりも第１流路部７Ａ、第２流路部７Ｂの各流体抵抗を高くしている。
【００３５】
また、第３流路部７Ｃの流路高さＨ３は、第１流路部７Ａの流路高さＨ１、第２流路部７Ｂの各流路高さＨ１、Ｈ２より高くして、第３流路部７Ｃの流体抵抗を第１流路部７Ａ及び第２流路部７Ｂの各流体抵抗よりも低くしている。
【００３６】
このように、流路高さを異ならせて流体抵抗を変えることで、部品形状を単純にすることができる。
【００３７】
次に、本発明の第３実施形態について図７及び図８を参照して説明する。図７は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（圧力室長手方向）に沿う断面説明図、図８は同じく流路構成の説明に供する平面説明図である。
【００３８】
本実施形態では、前記第２実施形態と同様に、流路高さを異ならせて所要の流体抵抗を得ている。
【００３９】
そして、第１流路部７Ａと第２流路部７Ｂとは流路板２の厚み方向において異なる位置に配置している。具体的には、流路板２は、第１流路部７Ａと第３流路部７Ｃの一部とを形成する板状部材２Ａと、第２流路部７Ｂ及び第３流路部７Ｃの残部とを形成する板状部材２Ｂで構成している。
【００４０】
このように、第１流路部７Ａと第２流路部７Ｂとは、流路板２の厚み方向の位置を異ならせることで、個別供給流路７における液体の流れが直線的でなくなり、圧力変動の減衰効果を高めることができる。
【００４１】
次に、本発明の第４実施形態について図９及び図１０を参照して参照して説明する。図９は同実施形態に係る液体出ヘッドの外観斜視説明図、図１０は同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【００４２】
本実施形態の液体吐出ヘッド１００は、循環型液体吐出ヘッドであり、ノズル板１と、流路板２と、壁面部材としての振動板部材３とを積層接合している。そして、振動板部材３の振動領域（振動板）３０を変位させる圧電アクチュエータ１１と、ヘッドのフレーム部材を兼ねている共通流路部材２０とを備えている。
【００４３】
そして、流路板２は、複数のノズル４に各々ノズル連通路５を介して通じる複数の圧力室６と、複数の圧力室６に各々通じる複数の流体抵抗部を兼ねる個別供給流路７と、２以上の個別供給流路７に通じる１又は複数の液導入部となる中間供給流路８などを形成している。
【００４４】
個別供給流路７は、前記実施形態と同様に、個別供給流路７は、圧力室６よりも流体抵抗が高い２つの第１流路部７Ａ及び第２流路部７Ｂと、第１流路部７Ａと第２流路部７Ｂとの間に配置され、第１流路部７Ａ及び第２流路部７Ｂよりも流体抵抗が低い第３流路部７Ｃとを含む。
【００４５】
なお、流路板２は、複数枚の板状部材２Ａ〜２Ｅを積層して構成しているが、これに限るものではない。
【００４６】
また、流路板２は、複数の圧力室６にノズル連通路５を介して各々通じる流路板２の面方向に沿う複数の個別回収流路５７と、２以上の個別回収流路５７に通じる１又は複数の液導出部となる中間回収流路５８を形成している。
【００４７】
個別回収流路５７は、圧力室６よりも流体抵抗が高い２つの第１流路部５７Ａ及び第２流路部５７Ｂと、第１流路部５７Ａと第２流路部５７Ｂとの間に配置され、第１流路部５７Ａ及び第２流路部５７Ｂよりも流体抵抗が低い第３流路部５７Ｃとを含む。個別回収流路５７は、第２流路部５７Ｂよりも循環方向において下流側となる流路部５７Ｄは第３流路部５７Ｃと同じ流路幅にしている。
【００４８】
共通流路部材２０は、共通供給流路１０と共通回収流路５０とを形成している。なお、本実施形態においては、共通供給流路１０は、ノズル配列方向において共通回収流路５０と並ぶ流路部分１０Ａと、共通回収流路５０と並ばない流路部分１０Ｂとで構成している。
【００４９】
共通供給流路１０は、振動板部材３に設けた開口部９を介して液導入部となる中間供給流路８に連通し、中間供給流路８を介して個別供給流路７に通じている。共通回収流路５０は、振動板部材３に設けた開口部５９を介して液導出部となる中間回収流路５８に連通し、中間回収流路５８を介して個別回収流路５７に通じている。
【００５０】
また、共通供給流路１０は供給ポート７１に通じ、共通回収流路５０は回収ポート７２に通じている。
【００５１】
なお、その他の振動板部材３の層構成、圧電アクチュエータ１１の構成などは、前記第１実施形態と同様である。
【００５２】
この液体吐出ヘッド１００においても、前記第１実施形態と同様にして、圧電素子１２を積層方向に伸長させ、振動板部材３の振動領域３０をノズル４に向かう方向に変形させて圧力室６の容積を収縮させることにより、圧力室６内の液体が加圧され、ノズル４から液体が吐出される。
【００５３】
また、ノズル４から吐出されない液体はノズル４を通過して個別回収流路５７から共通回収流路５０に回収され、共通回収流路５０から外部の循環経路を通じて共通供給流路１０に再度供給される。また、ノズル４から液体吐出を行っていないときも、共通供給流路１０から圧力室６を経て共通回収流路５０に液体が循環し、外部の循環経路を通じて共通供給流路１０に再度供給される。
【００５４】
本実施形態においても、簡単な構成で、液体吐出に伴う圧力変動を減衰して、共通供給流路１０、共通回収流路５０に対する伝搬を抑制することができる。
【００５５】
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図１１及び図１２を参照して説明する。図１１は同装置の概略説明図、図１２は同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。
【００５６】
この液体を吐出する装置である印刷装置５００は、連続体５１０を搬入する搬入手段５０１と、搬入手段５０１から搬入された連帳紙、シート材などの連続体５１０を印刷手段５０５に案内搬送する案内搬送手段５０３と、連続体５１０に対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段５０５と、連続体５１０を乾燥する乾燥手段５０７と、連続体５１０を搬出する搬出手段５０９などを備えている。
【００５７】
連続体５１０は搬入手段５０１の元巻きローラ５１１から送り出され、搬入手段５０１、案内搬送手段５０３、乾燥手段５０７、搬出手段５０９の各ローラによって案内、搬送されて、搬出手段５０９の巻取りローラ５９１にて巻き取られる。
【００５８】
この連続体５１０は、印刷手段５０５において、搬送ガイド部材５５９上をヘッドユニット５５０及びヘッドユニット５５５に対向して搬送され、ヘッドユニット５５０から吐出される液体によって画像が形成され、ヘッドユニット５５５から吐出される処理液で後処理が行われる。
【００５９】
ここで、ヘッドユニット５５０には、例えば、搬送方向上流側から、４色分のフルライン型ヘッドアレイ５５１Ａ、５５１Ｂ、５５１Ｃ、５５１Ｄ（以下、色の区別しないときは「ヘッドアレイ５５１」という。）が配置されている。
【００６０】
各ヘッドアレイ５５１は、液体吐出手段であり、それぞれ、搬送される連続体５１０に対してブラックＫ，シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹの液体を吐出する。なお、色の種類及び数はこれに限るものではない。
【００６１】
ヘッドアレイ５５１は、例えば、本発明に係る液体吐出ヘッド（これを、単に「ヘッド」ともいう。）１００をベース部材５５２上に千鳥状に並べて配置したものであるが、これに限らない。
【００６２】
次に、液体循環装置の一例について図１３を参照して説明する。図１３は同循環装置のブロック説明図である。なお、ここでは１つのヘッドのみ図示しているが、複数のヘッドを配列する場合には、マニホールドなどを介して複数のヘッドの供給側、回収側にそれぞれ供給側液体経路、回収側液体経路を接続することになる。
【００６３】
液体循環装置６００は、供給タンク６０１、回収タンク６０２、メインタンク６０３、第１送液ポンプ６０４、第２送液ポンプ６０５、コンプレッサ６１１、レギュレータ６１２、真空ポンプ６２１、レギュレータ６２２、供給側圧力センサ６３１、回収側圧力センサ６３２などで構成されている。
【００６４】
ここで、コンプレッサ６１１及び真空ポンプ６２１は、供給タンク６０１内の圧力と回収タンク６０２内の圧力とに差圧を生じさせる手段を構成している。
【００６５】
供給側圧力センサ６３１は、供給タンク６０１とヘッド１００との間であって、ヘッド１００の供給ポート７１に繋がった供給側液体経路に接続されている。回収側圧力センサ６３２は、ヘッド１と回収タンク６０２との間であって、ヘッド１００の回収ポート７２に繋がった回収側液体経路に接続されている。
【００６６】
回収タンク６０２の一方は、第１送液ポンプ６０４を介して供給タンク６０１と接続されており、回収タンク６０２の他方は第２送液ポンプ６０５を介してメインタンク６０３と接続されている。
【００６７】
これにより、供給タンク６０１から供給ポート７１を通ってヘッド１００内に液体が流入し、回収ポート７２から回収タンク６０２へ回収され、第１送液ポンプ６０４によって回収タンク６０２から供給タンク６０１へ液体が送られることによって、液体が循環する循環経路が構成される。
【００６８】
ここで、供給タンク６０１にはコンプレッサ６１１がつなげられており、供給側圧力センサ６３１で所定の正圧が検知されるように制御される。一方、回収タンク６０２には真空ポンプ６２１がつなげられており、回収側圧力センサ６３２で所定の負圧が検知されるよう制御される。
【００６９】
これにより、ヘッド１００内を通って液体を循環させつつ、メニスカスの負圧を一定に保つことができる。
【００７０】
また、ヘッド１００のノズル４から液体を吐出すると、供給タンク６０１及び回収タンク６０２内の液体量が減少していく。そのため、適宜、第２送液ポンプ６０５を用いて、メインタンク６０３から回収タンク６０２に液体を補充する。
【００７１】
なお、メインタンク６０３から回収タンク６０２への液体補充のタイミングは、回収タンク６０２内の液体の液面高さが所定高さよりも下がったときに液体補充を行うなど、回収タンク６０２内に設けた液面センサなどの検知結果によって制御することができる。
【００７２】
次に、本発明に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の他の例について図１４及び図１５を参照して説明する。図１４は同装置の要部平面説明図、図１５は同装置の要部側面説明図である。
【００７３】
この印刷装置５００は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
【００７４】
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド１００及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド１００は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド１００は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
【００７５】
液体吐出ヘッド１００は、前述した液体循環装置６００と接続されて、所要の色の液体が循環供給される。
【００７６】
この印刷装置５００は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。
【００７７】
搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド１００に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
【００７８】
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
【００７９】
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド１００の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。
【００８０】
維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド１００のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。
【００８１】
主走査移動機構４９３、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
【００８２】
このように構成したこの印刷装置５００においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
【００８３】
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド１００を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。
【００８４】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図１６を参照して説明する。図１６は同ユニットの要部平面説明図である。
【００８５】
この液体吐出ユニット４４０、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド１００で構成されている。
【００８６】
なお、この液体吐出ユニット４４０の例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０を更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。
【００８７】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図１７を参照して説明する。図１７は同ユニットの正面説明図である。
【００８８】
この液体吐出ユニット４４０は、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド１００と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
【００８９】
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド１００と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。
【００９０】
本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
【００９１】
液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。
【００９２】
「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構、液体循環装置の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
【００９３】
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
【００９４】
例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
【００９５】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
【００９６】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
【００９７】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
【００９８】
また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。
【００９９】
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。
【０１００】
「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【０１０１】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【０１０２】
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【０１０３】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【０１０４】
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
【０１０５】
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【０１０６】
また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。
【０１０７】
また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【０１０８】
なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【符号の説明】
【０１０９】
１  ノズル板
４  ノズル
２  流路板
３  振動板部材
６  圧力室
７  個別供給流路
７Ａ  第１流路部
７Ｂ  第２流路部
７Ｃ  第３流路部
１０  共通供給流路
１１  圧電アクチュエータ
２０  共通流路部材
３０  振動領域
５０  共通回収流路
５７  個別回収流路
１００  液体吐出ヘッド
４０３  キャリッジ
４４０  液体吐出ユニット
５００  印刷装置（液体を吐出する装置）
５５０  ヘッドユニット
６００  液体循環装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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