(57)【要約】      （修正有）【課題】長尺フィルムへの薄膜形成前に、フィルム表面処理を改質効果の高いロール状電極で行う際、真空装置内部へのロール状電極の設置位置の自由度が高く、プラズマ状態が安定で、フィルム端部の熱的ダメージの少ない、長尺フィルム表面処理装置の提供。【解決手段】真空槽内の長尺フィルムの繰出部、巻取部および長尺フィルムの走行に追従して回転する処理ロール８とからなり、処理ロールの内部には処理ロールの回転に追従せず、処理ロールの表面にレーストラック状のマグネトロン磁場を形成する一群の磁石１２が配置され、処理ロールの少なくとも一方の回転軸９は大気と配管により連通した耐圧容器１５に回転導入機構１７を介して穿通されており、耐圧容器内で処理ロールの回転軸に高周波電圧を印加し、処理ロール上の長尺フィルム表面上にマグネトロン磁場に応じたプラズマを発生させ、フィルム表面を改質する、長尺フィルムの表面処理装置。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽と、真空槽内に配設された長尺フィルムの繰出部、巻取部および長尺フィルムの走行に追従して回転する非磁性体金属からなる処理ロールとからなり、処理ロールの内部には、処理ロールの回転に追従せず、処理ロールの表面にレーストラック状のマグネトロン磁場を形成する一群の磁石が配置され、処理ロールの少なくとも一方の回転軸は大気と配管により連通した耐圧容器に回転導入機構を介して穿通されており、耐圧容器内で処理ロールの回転軸に高周波電圧を印加し、処理ロール上の長尺フィルム表面上にマグネトロン磁場に応じたプラズマを発生させ、長尺フィルムの表面を改質する、長尺フィルムの表面処理装置。
【請求項２】
前記処理ロールの内部に冷媒の流路を形成し、前記耐圧容器内において前記処理ロールの回転軸の端部から冷媒の供給と回収を行う請求項１に記載の長尺フィルムの表面処理装置。
【請求項３】
前記処理ロールの表面が誘電体で被覆されており、前記処理ロール内部に配置した一群の磁石と対向するよう真空槽内に対向電極を設け、対向電極は真空槽とは電気的に絶縁され、処理ロールと対向電極間に高周波電圧を印可する請求項１または２に記載の長尺フィルムの表面処理装置。
【請求項４】
前記処理ロールおよび前記対向ロールの周囲に真空槽と同電位の隔壁を設けた請求項１〜３のいずれかに記載の長尺フィルムの表面処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、長尺フィルムの表面処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
長尺のプラスチックフィルム基材の表面にアルミニウムなどの金属や酸化アルミニウムなどの化合物の薄膜を真空中で形成した蒸着フィルムは、食品や日用品、医薬品をはじめとする各種製品の包装材料として幅広く用いられている。蒸着フィルムに要求される特性としてはガスバリア性、保香性、遮光性や光線透過性、印刷適性など多岐にわたるが、プラスチックフィルム基材と表面に形成した薄膜との密着性も重要な特性の一つである。  密着性が悪いと後工程や製品化後に基材と薄膜が剥離してしまうおそれがあるため、従来から種々の方法によりプラスチックフィルム表面の改質処理が実施されている。プラスチックフィルムの表面改質処理の方法としては、大気中で行うコロナ放電処理やフレーム処理、大気圧プラズマ処理などもあるが、処理後の時間経過とともに改質効果が低下することがあるため、真空蒸着の前処理として蒸着工程と同じ真空槽内において蒸着の直前にプラズマやイオンビームを照射する方法を用いることが多い。
【０００３】
例えば特許文献１では、連続的に走行する基材フィルムに対してプレーナーマグネトロン方式のプラズマ処理電極によってプラズマ処理を行う方法が提案されている。
【０００４】
また、特許文献２にはバリアフィルム作成の際にプラスチックフィルムが通るロール電極を陰極として、周波数１０ｋＨｚから１ＭＨｚの交流電圧を印加してフィルム表面をプラズマにより処理する方法が提案されている。特許文献３には金属の搬送ロールに対向させた電極を設けて両者の間に電力を供給してプラズマを発生させる方法について提案されている。特許文献２では磁石を用いていないが、特許文献３では搬送ロールに対向させた電極に磁石を設置して磁場によるプラズマ閉じ込め効果を活用しているためより強いプラズマを発生させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−１４２１６１号公報
【特許文献２】特開２０１２−１９６９１８号公報
【特許文献３】特開２０１３−２０４１２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１のような被処理フィルムに対向して設置した磁石を内蔵する平板電極を用いる場合、磁石により高密度化させたプラズマによるスパッタリング作用で電極表面が消耗して、周囲に付着した電極材質により異常放電が発生したり、頻繁な電極交換作業が必要になったりするという問題がある。また、処理されたプラスチックフィルムから放出される低分子量の有機成分によって電極表面の汚れが時間と共に増えていく影響で放電が不安定になってしまうという問題もある。
【０００７】
特許文献２、特許文献３の方法によれば、フィルム表面近傍に効率よくプラズマを発生させることができるとともに、搬送ロールとプラズマとの間に必ずフィルムが介在するため、搬送ロール表面についてはプラズマにより消耗したり電極表面が汚れてしまったりすることは低減される。これにより放電が不安定となるリスクが軽減され、電極消耗によるメンテナンス作業の頻度も低減されるため都合が良い。しかし、搬送ロールを表面処理の電極として利用しようとするときには次のような問題点があった。まず、真空中で回転するロールへ電力を供給する際に、真空中では液体金属を用いたロータリーコネクターは使用できず、また真空中でスリップリング等の接触式端子を用いるとその部分での異常放電が発生したり、摺動部から発塵したりするリスクが高いといった問題がある。そのため、回転軸の一部を大気側に取り出して大気側から電力を供給する必要がある。しかし、電極として用いるための搬送ロールは真空槽内における長尺フィルムの繰り出し部から蒸着部までの間に設置する必要があり、新規装置をロール配置から設計する場合は設置場所を考慮して配置することも可能であるが、既存の装置に新たに組み入れる場合は、真空槽の必要な位置に回転軸を取り出す穴をあけることができないなどの制約で設置不可能な場合があった。
【０００８】
また、金属からなる搬送ロールに電力を供給して放電を発生させてフィルムの全幅にわたり処理しようとする場合、搬送ロールのフィルムがかかっていない部分の放電が強くなってしまうためフィルム端部が熱的ダメージを受けてしまうという問題もあった。フィルム端部がダメージを受けると搬送中の長尺フィルムが切断してしまうリスクが高まったり、加工後に巻き上げたロールのエッジが高くなり後工程に支障をきたしたりといった問題が発生するおそれがある。さらに、搬送ロールを用いてプラズマを発生させると放電が真空槽全体に広がってしまい、プラズマが不安定になったり真空槽内の測定機器等にノイズによる誤動作を引き起こしたりといった問題が発生することもあった。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、長尺フィルムへの真空蒸着による薄膜形成の前に、フィルム表面処理を改質効果の高いロール状電極で行う際、真空槽内部へのロール状電極の設置位置の自由度が高く、かつ安定したプラズマ状態を実現し、さらにフィルム端部における熱的ダメージの少ない、長尺フィルムの表面処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために本発明は、真空槽と、真空槽内に配設された長尺フィルムの繰出部、巻取部および長尺フィルムの走行に追従して回転する非磁性体金属からなる処理ロールとからなり、処理ロールの内部には、処理ロールの回転に追従せず、処理ロールの表面にレーストラック状のマグネトロン磁場を形成する一群の磁石が配置され、処理ロールの少なくとも一方の回転軸は大気と配管により連通した耐圧容器に回転導入機構を介して穿通されており、耐圧容器内で処理ロールの回転軸に高周波電圧を印加し、処理ロール上の長尺フィルム表面上にマグネトロン磁場に応じたプラズマを発生させ、長尺フィルムの表面を改質する、長尺フィルムの表面処理装置を提供する。
【００１１】
また、本発明の好ましい態様によれば、処理ロールの内部に冷媒の流路を形成し、耐圧容器内において処理ロールの回転軸の端部から冷媒の供給と回収を行う上記の長尺フィルムの表面処理装置を提供する。
【００１２】
また、本発明の好ましい形態によれば、処理ロールの表面が誘電体で被覆されており、処理ロール内部に配置した一群の磁石と対向するよう真空槽内に対向電極を設け、該対向電極は真空槽とは電気的に絶縁され、処理ロールと対向電極間に高周波電圧を印可する上記の長尺フィルムの表面処理装置を提供する。
【００１３】
また、本発明の好ましい形態によれば、処理ロールおよび対向ロールの周囲に真空槽と同電位の隔壁を設けた上記の長尺フィルムの表面処理装置を提供する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、真空蒸着装置内への設置の自由度が高く、安定したプラズマによるフィルムへの表面処理が実施可能で、かつフィルムへの熱的ダメージを抑制しつつ強力な表面改質効果を得ることができる、長尺フィルムの表面処理装置を得る。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明における長尺フィルムの表面処理装置を備える真空蒸着装置の一例を示す概略図である。
【図２】本発明における長尺フィルムの表面処理装置の一例を示す処理ロールの軸方向を切断面とする概略断面図である。
【図３】磁石ホルダーの一例を示す概略上面図である。
【図４】本発明における長尺フィルムの表面処理装置の一例を示す処理ロールの輪切り方向を切断面とする概略断面図である。
【図５】本発明における長尺フィルムの表面処理装置の別の一例を示す処理ロールの軸方向を切断面とする概略断面図である。
【図６】本発明における長尺フィルムの表面処理装置の別の一例を示す処理ロールの輪切り方向を切断面とする概略断面図である。
【図７】処理ロールの斜視図である。
【図８】本発明における長尺フィルムの表面処理装置の別の一例を示す処理ロールの輪切り方向を切断面とする概略断面図である。
【図９】本発明によらない長尺フィルムの表面処理装置の例を示す処理ロールの軸方向を切断面とする概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態の例を長尺フィルム用真空蒸着装置に適用した場合を例にとって、図面を参照しながら説明する。
【００１７】
図１は、本発明における長尺フィルムの表面処理装置を備える真空蒸着装置の一例を示す概略図である。真空槽１の内部において、繰出部２から送り出された長尺フィルム３は搬送ロール４を経由して成膜ロール５の表面に沿って搬送され、蒸発源６から供給される蒸着材料によりフィルム表面に薄膜が形成される。その後長尺フィルム３は搬送ロール４を経由して巻取部７にて巻き取られる。本発明では、繰出部２から送り出された長尺フィルム３が成膜ロール５に到達するまでの途中に、長尺フィルム３が成膜ロール５の表面に接触する面が処理ロール８にも接触するように、表面処理装置の構成要素である処理ロール８を配置する。
【００１８】
長尺フィルム３の材質としてはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリアミド、ポリスチレン、ポリカーボネートなど任意のものを選択することができる。またこれらのものは延伸されたものでも、未延伸のものでも構わない。蒸発源６としては抵抗加熱蒸発源、誘導加熱蒸発源、電子ビーム蒸発源など任意のものを選択できる。
【００１９】
図２は、本発明における長尺フィルムの表面処理装置の一例を示す概略断面図であり、処理ロール８の軸方向を切断面とするものである。処理ロール８は非磁性体金属からなる回転可能な円筒形状であり、その内部は中空である。処理ロール８の回転軸は二重構造になっており、処理ロール８と共に回転する回転軸９と、その回転軸の内部にベアリング１０により支持され、処理ロール８の回転には追従しない固定軸１１を備える。固定軸１１には一群の磁石１２を取り付けた磁石ホルダー１３が固定され、一群の磁石１２の位置を固定したまま処理ロール８を回転させることができる。処理ロール８の材質が磁性体金属であると一群の磁石１２により形成される磁界が処理ロール８の表面に出にくくなる。また処理ロール８にはプラズマを発生させるための電圧を印加する必要があるため、材質としてはアルミニウムなどの非磁性体金属を用いる。
【００２０】
処理ロール８の少なくとも一方の回転軸は、真空槽１が真空状態であってもその内部を大気圧に維持可能であり真空槽の壁面１４とは空間を隔てて配置された耐圧容器１５が接続される。耐圧容器１５を真空槽の壁面１４とは分離して独立して配置する構造とすることにより、真空槽内での処理ロール８の設置位置設定の自由度が向上する。耐圧容器１５は図２のように処理ロール８の回転軸の両端に設置しても良いが、片側のみに設置しても構わない。
【００２１】
本発明において、耐圧容器１５は、真空槽１の外側と配管１６により大気と連通させて、その内部を大気圧に維持する。この配管１６を通じて処理ロール８へ電力配線や冷媒配管の導入を行うことで、真空内での配線からの異常放電や配管からのリークを発生させないようにすることができる。処理ロールの回転軸９は、回転導入機構１７を介して耐圧容器１５に穿通される。回転導入機構１７としては真空シールが可能なものが必要であり、磁性流体シール、オイルシールなどを用いることで実現できる。これらの回転導入機構１７は耐圧容器１５に絶縁体を介して接続されることで耐圧容器１５と回転軸９は電気的に絶縁される。
【００２２】
前述のように固定軸を回転しないように耐圧容器１５と固定軸１１を結合することが必要であるが、固定軸１１を介して回転軸９と耐圧容器１５とが短絡しないようにする。具体的には前記ベアリング１０の個所で回転軸９と固定軸１１を絶縁するか、固定軸１１そのものを絶縁体とするか、固定軸１１を耐圧容器１５と結合する部分で絶縁を取ることが必要である。図２では、右側の耐圧容器内で固定軸１１を固定する部分で絶縁する場合を示す。耐圧容器１５の内部には回転軸９に高周波電力を連続供給するための電力供給部１８を設ける。耐圧容器１５の内部は大気圧に維持されているため、電力供給部１８としては給電ブラシやロータリーコネクターなど任意のものを選択しても構わない。真空中で給電ブラシを用いて大電力を供給するとブラシ部分での異常放電が頻発することがあり、またロータリーコネクターは液体金属を使用するため真空中で使用できないといった問題があるが、本発明の構造であればそのような問題を回避できる。高周波電力は大気側に設置した図示しない高周波電源からのケーブルを配管１６の内部を経由して電力供給部１８に接続して供給する。真空槽内に酸素、窒素、アルゴンなどの任意の処理ガスを導入し、高周波電力の供給を開始すれば、処理ロール８の表面にプラズマを発生させることができる。
【００２３】
図３は磁石ホルダー１３の一例を示す概略上面図である。図３に示すように、一群の磁石１２を外側磁石列が長方形の４辺、内側磁石列が外側磁石列の内部に一直線に並びかつ外側磁石列の極性と逆になるように磁石１２を配置し、磁性体からなる磁石ホルダー１３の表面に設置する磁石ホルダーを磁性体金属で形成すれば磁石が吸着されて固定が容易になるとともに処理ロール８の外側表面に出てくる磁力が強まるため好ましい。図３では外側磁石列がＮ極、内側磁石列がＳ極となるように配置しているが、極性が反対でも構わない。図３のように磁石を配置することで、処理ロール８の外側表面にレーストラック状のマグネトロン磁場を形成してプラズマをその近傍に局在化させることが可能となり、高電力投入時においても安定して強いプラズマを維持することができる。処理ロール８の軸方向における磁石列の長さについては、処理を行う長尺フィルム３の幅よりも長く配列して全幅において処理されるようにしておくことが好ましい。なお、図３のような磁石列１個によりレーストラック状のプラズマが１個生成されるが、磁石列を複数個用意してレーストラック状のプラズマが複数個生成されるようにしても構わない。
【００２４】
図４は本発明における長尺フィルムの表面処理装置の一例を示す概略断面図であり、処理ロール８の輪切り方向を切断面とする断面図である。たとえば図４のように処理ロール８の表面に添って長尺フィルム３が搬送される場合、磁石ホルダー１３の位置を図４のように長尺フィルム３が確実に処理ロール８の表面に接触している範囲に固定しておくと、処理ロール８の表面にフィルムが接触していない部分がたとえ金属がむき出しであってもそこでの放電は抑制されるため、投入した電力は磁石の前面空間部分に集中して効率の良い表面処理が実現できる。
【００２５】
図５は本発明における長尺フィルムの表面処理装置の別の一例を示す処理ロールの軸方向を切断面とする概略断面図である。非磁性体金属からなる中空円筒形状の処理ロール８の内部に冷媒流路１９が形成されている。また、耐圧容器１５の内部で回転軸９の端部にはロータリージョイント２０が接続され、大気側にある図示しない冷媒供給源からの冷媒管を配管１６の内部を経由してロータリージョイント２０に接続する。処理ロール８の内部に冷媒の供給と回収を行うことでその表面を冷却し、処理ロール８に密着して搬送されている長尺フィルムを冷却しながらプラズマによる処理が行えるため、熱に弱いプラスチックフィルムであっても熱ダメージを抑制しつつ強い処理が実施できるようになるため好適である。またロータリージョイント２０を内部が大気圧の耐圧容器１５に収納することにより、回転シール部を持つロータリージョイント２０を真空雰囲気内に直接設置しなくても良いため、ロータリージョイントから真空雰囲気への液漏れ等のトラブルを防げるとともに一般的な大気雰囲気用のロータリージョイントを使用することができ経済的である。
【００２６】
図６は本発明における長尺フィルムの表面処理装置の別の一例を示す概略断面図であり、処理ロール８の輪切り方向を切断面とする断面図である。本発明では、処理ロール８の表面を誘電体２１で被覆することが好ましい。図７は処理ロール８の斜視図であるが、処理ロール８において長尺フィルムがかかっていない両端部２２が金属表面である場合、この部分のレーストラック状のプラズマ２７の強度が長尺フィルム３のかかっている中央部と比較して強くなる傾向があるため長尺フィルム３の両端部がダメージを受けることがある。長尺フィルム３の幅よりも狭く磁石１２を配置すればそのような両端部のダメージを避けることができるが、長尺フィルム３の両端部の未処理部分がロスとなってしまい、また長尺フィルム３の幅が変更されたときに磁石配置の変更が必要となるなどの問題も生じる。そこで、長尺フィルム３の幅よりも磁石１２を幅広く配置した上で、処理ロール８の表面を誘電体２１で被覆すれば両端部２２のプラズマが強くならないため好ましい。誘電体２１としては、耐熱性や電気絶縁性に優れた高分子材料を用いることが好ましいが、プラズマにさらされる部分でもあるためポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）やポリイミド（ＰＩ）を用いることがさらに好ましい。また誘電体２１としてアルミナやジルコニアなどのセラミックスを溶射した被膜なども耐久性の観点から好ましく、適用することができる。誘電体２１の厚さとしては、薄すぎると被覆の耐久性が劣り、また厚すぎるとプラズマが弱くなったりフィルムの冷却効率が低下したりするため、０．０２５ｍｍ以上５ｍｍ以下が好ましく、０．５ｍｍ以上３ｍｍ以下がさらに好ましい。誘電体２１による被覆の方法としては、処理ロール８の表面にテープ状のものを巻き付けたりチューブ状のものをはめ込んだりプラズマ溶射にて形成したりするなど、任意の方法を用いて構わない。
【００２７】
また、本発明では処理ロール８の内部に配置した一群の磁石１２と長尺フィルム３を挟んで対向する真空槽内の空間に金属からなる対向電極２３を設けることが好ましい。処理ロール８の表面を誘電体２１で被覆すると若干ではあるがプラズマの強さが弱くなるが、対向電極２３を設けるとプラズマが発生する空間の電界が強まりプラズマによる処理強度が向上するため好ましい。この対向電極２３はプラズマにより加熱されるとプラスチックフィルムへの輻射熱による影響が懸念されるため、対向電極２３には冷却水経路を形成するなどして冷却機能を備えることが好ましい。処理される長尺フィルム３の表面と対向電極２３との距離は、狭すぎるとプラズマが安定的に発生しないことがあり遠すぎるとプラズマの増強効果が発揮されないため、１０ｍｍ以上５０ｍｍ以下であることが好ましく、１５ｍｍ以上３５ｍｍ以下がより好ましい。
【００２８】
図８は本発明における長尺フィルムの表面処理装置のさらに別の一例を示す概略断面図であり、処理ロール８の輪切り方向を切断面とする断面図である。本発明では、処理ロール８および対向電極２３の周囲に真空槽と同電位の隔壁２４を設ける。隔壁２４はアルミニウムやステンレスなどの金属で構成することが好ましい。このとき隔壁２４は処理ロール８および対向電極２３とは電気的に絶縁し、かつ真空槽の壁面とは電気的に接続されるように設置する。さらに、高周波の周波数として１０ｋＨ以上１００ｋＨｚ以下を選択し、フローティング出力が可能な高周波電源を用いてその出力を処理ロール８と対向電極２３との間に接続することがなお好ましい。このような構成を用いることで、処理ロール８の表面に発生させたプラズマは隔壁２４の内部で安定的に形成されてカバー外部で放電が発生することを防止できる。カバー２４にはフィルムを通過させるためのスリット２５を設けることが好ましい。隔壁２４の内部にはプラズマを発生させるためのガスを供給するガスノズル２６を設けて酸素、窒素、アルゴンなどのガスを供給するが、スリット２５の隙間をできる限り狭く設定することにより供給したガスが隔壁２４に閉じ込められてプラズマの均一な生成がより容易に可能になる。スリット２５の間隙としては、狭すぎると長尺フィルム３のバタツキが発生したときにすり傷が生じるリスクがあり、また広すぎると隔壁２４内部へのガスの閉じ込めが不十分となってしまったりプラズマが隔壁２４の外へ漏れ出したりする恐れがあるため、３ｍｍ以上１２ｍｍ以下が好ましく、５ｍｍ以上１０ｍｍ以下がより好ましい。
【実施例】
【００２９】
次の実施例に基づき、本発明の実施形態を説明する。
【００３０】
（実施例１）
図２の表面処理装置を備える図１の真空蒸着装置を用いて、蒸着フィルムを製造した。内部に図３のように一群の磁石１２を配置した磁石ホルダー１３を備える、外径１８０ｍｍ長さ１３００ｍｍの処理ロール８を使用した。電力供給部１８としてカーボン製のブラシを回転軸９に接触させ、周波数５０ｋＨｚ出力５ｋＷの高周波を処理ロール８に供給した。処理ロール８の近傍に設置したガスノズルから酸素ガスを供給し、処理ロール表面に酸素プラズマを発生させた。長尺フィルム３として厚さ１２μｍ、幅１０００ｍｍのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム（東レ（株）製“ルミラー（登録商標）”Ｐ６０）を使用し、速度２４０ｍ／ｍｉｎで走行させて蒸着の前処理を実施した。蒸発源６としては電子ビーム蒸発源を用いて、アルミニウムを電子ビームにより溶解して蒸発させ、成膜ロール５に搬送されてきた長尺フィルム３の表面に膜厚５０ｎｍのアルミニウム薄膜を形成した。１００００ｍの連続加工を実施してアルミニウム蒸着フィルムを製造したが、全長にわたり表面処理装置の放電は安定していた。
【００３１】
（実施例２）
図５の表面処理装置を備える図１の真空蒸着装置を用いて、蒸着フィルムを製造した。冷媒として２０℃の冷却水を１０Ｌ／ｍｉｎで供給し、処理ロール８に供給する電力を１５ｋＷとしたこと以外は実施例１と同様の条件にて加工してアルミニウム蒸着フィルムを加工した。１００００ｍの連続加工を実施したが、全長にわたり表面処理装置の放電は安定しており、また表面処理部におけるフィルムへの熱的ダメージも許容範囲であり良好であった。
【００３２】
（実施例３）
図６の表面処理装置を備える図１の真空蒸着装置を用いて、蒸着フィルムを製造した。誘電体２１としては、厚さ０．１ｍｍのＰＴＦＥテープ（（株）バルカー製“バルフロン（登録商標）”切削テープ）を使用し、処理ロール８に隙間なく巻き付けた。対向電極２３として幅１００ｍｍ長さ１２００ｍｍの銅板を設置し、長尺フィルム３の表面と対向電極２３との距離は、最も近い場所において２５ｍｍとなるように対向電極２３を設けた。高周波電源としてフローティング出力が可能である周波数５０ｋＨｚの電源を用い、出力ケーブルを処理ロール８への電力供給部１８と対向電極２３とにそれぞれ接続した。その他は実施例２と同様の条件にて加工してアルミニウム蒸着フィルムを加工した。１００００ｍの連続加工を実施したが、全長にわたり表面処理装置の放電は安定しており、また表面処理部におけるフィルムへの熱的ダメージもフィルム幅方向端部を含めた全幅で確認されず非常に良好であった。
【００３３】
（実施例４）
図８の表面処理装置を備える図１の真空蒸着機を用いて、蒸着フィルムを製造した。隔壁２４としては、厚さ１．５ｍｍのステンレス板を用いて縦２００ｍｍ、横２００ｍｍ、長さ１５００ｍｍの直方体形状の箱を形成して、その内部に処理ロール８を収容した。隔壁２４は処理ロール８および対向電極２３とは電気的に絶縁されていることをテスターにより確認した。また隔壁２４は真空槽の壁面１４と電気的に接続されるように設置した。隔壁２４の壁面にはフィルムを通過させるためのスリットを２カ所設け、スリット間隙は５ｍｍに設定した。ガスノズル２６から酸素ガスを流量０．５Ｌ／ｍｉｎで導入し、処理ロール８に供給する電力を２０ｋＷとしたこと以外は実施例３と同様の条件にて加工してアルミニウム蒸着フィルムを加工した。１００００ｍの連続加工を実施したが、全長にわたり表面処理装置の放電は安定しており、また表面処理部におけるフィルムへの熱的ダメージもフィルム幅方向端部を含めた全幅で確認されず非常に良好であった。なお、実施例３のセッティングにて電力を２０ｋＷとしたときはプラズマが処理ロール８から離れたところでも発生して真空計の動作が不安定になる不具合が発生したが、実施例４のセッティングでは同じ電力２０ｋＷでもカバー２４の外へのプラズマの漏洩は見られずそのような不具合は発生しなかった。
【００３４】
（比較例）
図９の表面処理装置を備える図１の真空蒸着装置を用いて、蒸着フィルムを製造した。大気圧を維持可能な耐圧容器を備えないこと以外は実施例１と同様の状態で、アルミニウム蒸着フィルムの製造を開始したが、電力供給部１８の周辺で強い異常放電が定常的に発生して処理ロール８の近傍に安定したプラズマを発生させることができなかった。またそのまま運転を続けるとロータリージョイントからの微少な冷媒のリークにより真空度が不安定となり、最終的にはプラズマが維持できなくなった。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明は、長尺フィルム用の真空蒸着装置に限らず、スパッタリング装置やＣＶＤ装置などにも応用することができるが、その応用範囲が、これらに限られるものではない。
【符号の説明】
【００３６】
１    真空槽
２    繰出部
３    長尺フィルム
４    搬送ロール
５    成膜ロール
６    蒸発源
７    巻取部
８    処理ロール
９    回転軸
１０  ベアリング
１１  固定軸
１２  一群の磁石
１３  磁石ホルダー
１４  真空槽の壁面
１５  耐圧容器
１６  配管
１７  回転導入機構
１８  電力供給部
１９  冷媒流路
２０  ロータリージョイント
２１  誘電体
２２  処理ロール両端部
２３  対向電極
２４  隔壁
２５  スリット
２６  ガスノズル
２７  レーストラック状プラズマ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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