(57)【要約】【課題】被検査体に圧力を印加するための部材の高さを容易に切り替えることができるソケットを提供する。【解決手段】ベースと、第１の被押圧面、及び、前記第１の被押圧面よりも前記ベースの近くに位置する第２の被押圧面を有する被検査体押圧部材と、前記ベースに向けて前記被検査体押圧部材を押圧するカムと、を備え、前記カムは、基準姿勢から回転軸周りに第１の角度回転したときに前記第１の被押圧面に接触する第１の押圧面、及び、前記基準姿勢から前記回転軸周りに第２の角度回転したときに前記第２の被押圧面に接触する第２の押圧面を有するソケット。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、
第１の被押圧面、及び、前記第１の被押圧面よりも前記ベースの近くに位置する第２の被押圧面を有する被検査体押圧部材と、
前記ベースに向けて前記被検査体押圧部材を押圧するカムと、を備え、
前記カムは、基準姿勢から回転軸周りに第１の角度回転したときに前記第１の被押圧面に接触する第１の押圧面、及び、前記基準姿勢から前記回転軸周りに第２の角度回転したときに前記第２の被押圧面に接触する第２の押圧面を有する、
ソケット。
【請求項２】
前記回転軸から前記第１の押圧面までの距離と、前記回転軸から前記第２の押圧面までの距離は等しい、
請求項１に記載のソケット。
【請求項３】
前記第２の角度の値は、前記第１の角度の値の負の値である請求項１または２に記載のソケット。
【請求項４】
前記ベースへの前記第１の押圧面の正射影は、前記カムの前記回転軸周りの回転角度に関わらず、前記ベースへの前記第２の押圧面の正射影に重ならない、
請求項１から３のいずれかに記載のソケット。
【請求項５】
前記カムは、前記第２の押圧面に隣接して前記第２の押圧面とともに階段形状を構成する逃げ面を更に有し、
前記第２の押圧面から前記逃げ面までの距離は、前記第１の被押圧面から前記第２の被押圧面までの距離よりも大きい、
請求項１から４のいずれかに記載のソケット。
【請求項６】
前記ベースに固定されるカバーと、
前記カバーに対して相対移動可能なプレッシャープレートと、
前記カバーと前記プレッシャープレートとの間に配置され、前記プレッシャープレートを前記カバーから離れる方向に付勢するばねと、を更に備え、
前記被検査体押圧部材及び前記カムは、前記プレッシャープレートに支持されている、
請求項１から５のいずれかに記載のソケット。
【請求項７】
前記被検査体押圧部材は、前記第２の被押圧面よりも前記ベースの近くに位置する第３の被押圧面を更に有し、
前記カムは、前記回転軸周りに第３の角度回転したときに前記第３の被押圧面に接触する第３の押圧面を更に有する、
請求項１から６のいずれかに記載のソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を検査するためのソケットに関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路(ＩＣ)等の電子部品の製造過程において、電子部品を検査するために種々の検査装置が使用される。これらの検査装置の中には、互いに異なる厚さを有する複数種類の被検査体それぞれに所定の圧力を印加するものがある。例えば、特許文献１には、偏心カムに接続しているハンドル腕を回動することで、被検査体に圧力を印加するための部材の高さを調節する検査装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１５８９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の検査装置を使用して被検査体の検査を行う場合、偏心カムが円形ロール状であるため、ハンドル腕を特定の角度分回動した後、そのハンドル腕をその位置に固定する必要があった。このため、特許文献１の検査装置は、複数の高さに切り替えて検査を行うためには、その都度ハンドル腕を固定する必要があるため、高さを容易に切り替えられるとはいい難かった。
【０００５】
そこで本発明は、被検査体に圧力を印加するための部材の高さを容易に切り替えることができるソケットを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るソケットは、ベースと、第１の被押圧面、及び、前記第１の被押圧面よりも前記ベースの近くに位置する第２の被押圧面を有する被検査体押圧部材と、前記ベースに向けて前記被検査体押圧部材を押圧するカムと、を備え、前記カムは、基準姿勢から回転軸周りに第１の角度回転したときに前記第１の被押圧面に接触する第１の押圧面、及び、前記基準姿勢から前記回転軸周りに第２の角度回転したときに前記第２の被押圧面に接触する第２の押圧面を有する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、被検査体に圧力を印加するための部材の高さを容易に切り替えることができるソケットを提供する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係るソケットの斜視図である。
【図２】図２は、本発明の実施形態に係る被検査体押圧部材の斜視図である。
【図３】図３は、本発明の実施形態に係るカムの正面図である。
【図４】図４は、本発明の実施形態に係るプレッシャープレートの斜視図である。
【図５】図５は、図１に示されるＡ−Ａ断面図の一部を示す図である。
【図６】図６は、図５に示されるＢ−Ｂ断面図である。
【図７】図７は、図５に示されるＣ−Ｃ断面図である。
【図８】図８は、図５に示されるＤ−Ｄ断面図である。
【図９】図９は、本発明の実施形態に係るソケットの縦断面図の一部を示す図である。
【図１０】図１０は、比較的厚い被検査体に圧力を印加する前の状態にある本発明の実施形態に係るソケットの模式図である。
【図１１】図１１は、比較的厚い被検査体に圧力が印加された状態にある本発明の実施形態に係るソケットの模式図である。
【図１２】図１２は、比較的薄い被検査体に圧力を印加する前の状態にある本発明の実施形態に係るソケットの模式図である。
【図１３】図１３は、比較的薄い被検査体に圧力が印加された状態にある本発明の実施形態に係るソケットの模式図である。
【図１４】図１４は、誤操作された状態にある本発明の実施形態に係るソケットの模式図である。
【図１５】図１５は、安全装置が機能した状態にある本発明の実施形態に係るソケットの模式図である。
【図１６】図１６は、本発明の変形例に係るカムの正面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、実施形態の図面を参照して説明する。各図面には、説明の便宜上、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸からなる三次元直交座標系が描かれている。Ｘ軸の正方向を＋Ｘ方向、Ｙ軸の正方向を＋Ｙ方向、Ｚ軸の正方向を＋Ｚ方向（上方向）とそれぞれ定義する。
【００１０】
図１は、本発明の実施形態に係るソケット１の斜視図であり、詳細は後の説明から明らかになるが、被検査体に圧力が印加される加圧状態にあるソケット１を示している。ソケット１は、配線基板１００上に配設されている。
【００１１】
ソケット１は、ベース２、カバー３、ラッチ部４、被検査体押圧部材５（例えば、放熱部材を兼ねるヒートシンク）、カム６、ベイル７、及びプレッシャープレート８等を備える。
【００１２】
ベース２は、ボディ部２１及び載置部２２（図５参照）を有する。ボディ部２１は、カバー３及びラッチ部４を支持している。また、ボディ部２１は、ベース２の本体部分を構成する枠部材である。
【００１３】
載置部２２は、被検査体を載置するための部材であり、ボディ部２１に取り囲まれている（図５参照）。載置部２２には、図示せぬ複数のコンタクトピンが配設されている。そのコンタクトピンは、配線基板１００に配設された図示せぬ接続端子と接触する。
【００１４】
カバー３は、ソケット１に上から覆い被さる部材である。カバー３は、後に説明する第２ばね１３２が収容される収容孔３ａ（図８参照）、及びラッチ部４が係合する被係合部３ｂ（図７参照）を有する。カバー３は、シャフト１１１を介して回動可能にボディ部２１の＋Ｙ方向側に固定されている。ソケット１の操作者は、カバー３をシャフト１１１周りに回動することでカバー３を開閉できる。なお、カバー３はボディ部２１に必ずしも回動可能に固定されていなくてもよい。例えば、カバー３は、ボディ部２１に対して着脱自在に構成されていてもよい。
【００１５】
ラッチ部４は、係合部４ａを有しており、ラッチ軸１１３を介して回動可能にボディ部２１の−Ｙ方向側に固定されている（図７参照）。ソケット１の操作者は、ラッチ部４を回動させて係合部４ａを被係合部３ｂに係合させることにより、カバー３の閉状態を維持させることができる。
【００１６】
被検査体押圧部材５は、検査時に載置部２２上に載置された被検査体に＋Ｚ方向側から圧力を印加するための部材である。被検査体に圧力が印加されると、被検査体に設けられている接続端子と配線基板１００の接続端子とが載置部２２のコンタクトピンを介して電気的に接続される。また、被検査体押圧部材５は、検査中の被検査体から熱を奪うとともに奪った熱を周囲に放出して被検査体を所定の温度に保つための放熱部材として機能する。
【００１７】
被検査体押圧部材５の斜視図である図２に示されるように、被検査体押圧部材５は、ハードストップ部５１、加圧部５２（図５参照）、つば部５３等を有する。ハードストップ部５１は、カム６の回転によりカム６によって押される部位である。ハードストップ部５１については、後に詳細に説明する。加圧部５２は、被検査体に圧力を印加するときに被検査体に接する部位である。
【００１８】
再び図１を参照する。２つのカム６は、被検査体押圧部材５の両側に１つずつ配置されている。カム６は、回転軸Ｏ周りに回転するとともに載置部２２に向けて被検査体押圧部材５を押圧する部材である。カム６の正面図である図３に示されるように、カム６は、第１の押圧面６１、第２の押圧面６２、非押圧面６３、及び逃げ面６４等を有する。
【００１９】
カム６は、回転軸Ｏと平行な複数の側面、つまり、第１の押圧面６１、第２の押圧面６２、非押圧面６３、及び逃げ面６４等を有している。なお、回転軸ＯはＸ軸方向と平行である。
【００２０】
第１の押圧面６１は、カム６の一つの側面であり、回転軸Ｏに対して−Ｙ方向側に位置する。第２の押圧面６２は、回転軸Ｏに対して＋Ｙ方向側で、且つ、第１の押圧面６１よりも−Ｘ方向側に位置する。第１の押圧面６１と第２の押圧面６２とは互いに平行である。
【００２１】
非押圧面６３は、カム６の第１の押圧面６１及び第２の押圧面６２とは別の側面（図３においてカム６の底面）である。非押圧面６３は、第１の押圧面６１及び第２の押圧面６２と垂直である。
【００２２】
曲面６３ａは第１の押圧面６１と非押圧面６３とを接続しており、曲面６３ｂは第２の押圧面６２と非押圧面６３とを接続している。
【００２３】
逃げ面６４は、回転軸Ｏに対して＋Ｙ方向側で、且つ、第２の押圧面６２よりも＋Ｘ方向側に位置するカム６の側面である。図３には示されていないが、カム６は、回転軸Ｏに対して−Ｙ方向側で、且つ、第１の押圧面６１よりも−Ｘ方向側に位置する逃げ面６５（図５参照）を有している。
【００２４】
カム６には、Ｘ軸に沿って軸孔６６が形成されている。軸孔６６は、シャフト１１２（図５）が挿通する穴である。ここで、回転軸Ｏから第１の押圧面６１までの距離ｘ１と、回転軸Ｏから第２の押圧面６２までの距離ｘ２とは互いに等しい。他方、回転軸Ｏから非押圧面６３までの距離ｘ３は、距離ｘ１及び距離ｘ２よりも短い。
【００２５】
後に詳細に説明するとおり、カム６が図３に示される姿勢をとる状態、つまり非押圧面６３が下向きである状態では、カム６は被検査体押圧部材５を押圧しないため、被検査体押圧部材５は被検査体を加圧しない。よって、以下、この状態を非加圧状態と記載する。非加圧状態では、ベイル７は載置部２２に対して直立した状態にある（図１０及び図１２参照）。
【００２６】
再び図１を参照する。ベイル７は、２つのカム６と接続しており、カム６を回転させるときのつまみとして機能する。
【００２７】
プレッシャープレート８は、カバー３に支持されるとともに、被検査体押圧部材５及びカム６を支持する部材である。プレッシャープレート８は、ソケット１の安全装置として機能する部材である。
【００２８】
プレッシャープレート８の斜視図である図４に示すように、プレッシャープレート８は、２つのカム保持部８１、複数の第１ばね配置部８２、及び複数の第２ばね配置部８３等を有する。
【００２９】
各カム保持部８１は、２つの突出部８１ａ、８１ｂを有している。突出部８１ａ、８１ｂは、互いに平行であり、且つ、プレッシャープレート８の上面８ａから＋Ｚ方向に突出している。突出部８１ａ、８１ｂの間には、カム６が挿入される。なお、突出部８１ａ、８１ｂには、シャフト１１２が挿通する軸孔がＸ軸に沿って形成されている。また、カム保持部８１には、ハードストップ部５１が挿通するハードストップ挿通孔８１ｃがＺ軸に沿って形成されている。
【００３０】
第１ばね配置部８２には第１ばね１３１が配置され（図７参照）、第２ばね配置部８３には第２ばね１３２が配置される（図８参照）。また、第１ばね配置部８２及び第２ばね配置部８３には、それぞれガイドピン貫通孔８２ａ（図７参照）、８３ａがＺ軸に沿って形成されている。
【００３１】
図５は、図１に示されるＡ−Ａ断面図の一部を示す図である。また、図６は、図５に示されるＢ−Ｂ断面図である。図５及び図６には、載置部２２に比較的厚い被検査体Ｓ１が載置されるとともに、被検査体Ｓ１に圧力が印加されている状態（加圧状態）が示されている。
【００３２】
ハードストップ部５１は、ハードストップ挿通孔８１ｃに挿通されている。ハードストップ部５１は、第１の被押圧面５１ａ及び第２の被押圧面５１ｂを有する。第２の被押圧面５１ｂは、第１の被押圧面５１ａよりも載置部２２の近くに位置する。言い換えると、第２の被押圧面５１ｂは、第１の被押圧面５１ａよりも−Ｚ方向側に位置する。また、第１の被押圧面５１ａ及び第２の被押圧面５１ｂにより段差形状が形成されており、第１の被押圧面５１ａから第２の被押圧面５１ｂまでの距離はｇ１である。第１の被押圧面５１ａ及び第２の被押圧面５１ｂはいずれも平面である。
【００３３】
カム６は、カム保持部８１の突出部８１ａ、８１ｂの間に配置され、シャフト１１２によりプレッシャープレート８に回転可能に取り付けられている。第１の押圧面６１は、非加圧状態からカム６がシャフト１１２周りに第１の角度回転したときに第１の被押圧面５１ａに接触して被検査体押圧部材５を押圧する。第２の押圧面６２は、非加圧状態からカム６がシャフト１１２周りに第２の角度回転したときに第２の被押圧面５１ｂに接触して被検査体押圧部材５を押圧する。本実施形態では、第２の角度の値は、第１の角度の負の値である。
【００３４】
詳しく説明すると、第２の押圧面６２は、非加圧状態からカム６がシャフト１１２周りに且つ時計回りに９０度回転したときに第２の被押圧面５１ｂに接触して被検査体押圧部材５を押圧する。このときの状態が図５に示されている。また、図９を参照して後に説明するように、第１の押圧面６１は、非加圧状態からカム６がシャフト１１２周りに且つ反時計回りに９０度回転したときに第１の被押圧面５１ａに接触して被検査体押圧部材５を押圧する。このように、図３に示されているカム６の状態を回転角度０度としたとき、第１の角度は反時計回りに９０度であり、第２の角度は時計回りに９０度（反時計回りに−９０度）である。以下、非加圧状態からカム６がシャフト１１２周りに且つ反時計回りに９０度回転した状態を「０度の状態」、非加圧状態におけるカム６の状態を「９０度の状態」と呼ぶ。また、非加圧状態からカム６がシャフト１１２周りに且つ時計回りに９０度回転した状態を「１８０度の状態」と呼ぶ。
【００３５】
逃げ面６４は、第２の押圧面６２に隣接して第２の押圧面６２とともに段差形状を構成する。ここで、第２の押圧面６２から逃げ面６４までの距離は、ｇ１よりも大きい。このため、第２の押圧面６２が、第２の被押圧面５１ｂに接触したときに、逃げ面６４と第２の被押圧面５１ｂとの間に隙間ができる。逃げ面６５は、第１の押圧面６１に隣接して第１の押圧面６１とともに階段形状を構成する。
【００３６】
また、ベース２への第１の押圧面６１の正射影は、図５に示される部分２１ａの上面に位置する。ベース２への第２の押圧面６２の正射影は、図５に示される部分２１ｂの上面に位置する。ここで、第１の押圧面６１と第２の押圧面６２とはカム６のＸ軸方向にずれている。即ち、カム６は、２段構造を有する。したがって、ベース２への第１の押圧面６１の正射影及び第２の押圧面６２の正射影は互いに重ならない。第１の押圧面６１の正射影は、第２の押圧面６２の正射影に対して＋Ｘ方向側に現れる。第１の押圧面６１の正射影及び第２の押圧面６２の正射影が互いに重ならない関係は、回転軸Ｏ周りの回転角度に関係なく維持される。
【００３７】
加圧状態において、第２の押圧面６２は第２の被押圧面５１ｂに接触している。この接触は、平面同士の接触である。このため、ソケット１の操作者は、図５及び図６に示されている加圧状態になるようにベイル７を操作した後、非加圧状態に戻ってしまうことを防ぐために、ベイル７を固定する操作を行う必要はない。また、カム６の回転を防ぐための機構をソケット１に設ける必要もない。
【００３８】
図７は、図５に示されるＣ−Ｃ断面図である。
【００３９】
つば部５３には、ガイドピン１２１が固定されている。ガイドピン１２１は、プレッシャープレート８にＺ軸方向に沿うように形成されたガイドピン貫通孔８２ａを貫通している。第１ばね配置部８２には、ガイドピン１２１を取り巻くように、圧縮ばねである第１ばね１３１が配置されている。第１ばね１３１は、第１ばね配置部８２の上面とガイドピン１２１のヘッド部の下面との間で圧縮された状態で配置されている。よって、第１ばね１３１は、被検査体押圧部材５のつば部５３の上面をプレッシャープレート８の下面に押しつけるように反発力を働かせている。換言すれば、第１ばね１３１及びガイドピン１２１を介してつり上げられるように被検査体押圧部材５はプレッシャープレート８に支持されている。
【００４０】
図８は、図５に示されるＤ−Ｄ断面図である。
【００４１】
カバー３にはガイドピン１２２が固定されている。ガイドピン１２２は、プレッシャープレート８に形成されたガイドピン貫通孔８３ａを貫通している。プレッシャープレート８は、ガイドピン１２２を介してつり上げられるようにカバー３に支持されている。カバー３とプレッシャープレート８との間には圧縮ばねである第２ばね１３２が配置されている。詳しく説明すると、第２ばね配置部８３には、ガイドピン１２２を取り巻くように、且つ収容孔３ａに収容されるように第２ばね１３２が配置されている。第２ばね１３２は、第２ばね配置部８３の上面と収容孔３ａの上面との間で圧縮された状態で配置されている。よって、第２ばね１３２は、プレッシャープレート８をカバー３から離すように反発力を働かせている。言い換えると、第２ばね１３２はプレッシャープレート８をカバー３から離れる方向に付勢している。プレッシャープレート８はカバー３に対してＺ軸方向に相対移動可能である。
【００４２】
図９は、図５及び図６に示される加圧状態とは異なるもう一つの加圧状態における、ソケット１の縦断面図の一部を示す図である。具体的には、図９は、ベイル７が図１に示される状態とは逆側（−Ｙ方向側）に倒れるように操作され、カム６が非加圧状態からシャフト１１２周りに且つ反時計周りに９０度回転した状態（０度の状態）における、図１のＡ−Ａ断面図に相当する断面図の一部である。
【００４３】
図９には、載置部２２に被検査体Ｓ１よりも薄い被検査体Ｓ２が載置されるとともに、被検査体Ｓ２に圧力が印加されている状態（加圧状態）が示されている。図９に示される状態では、第１の被押圧面５１ａと第１の押圧面６１とが接触している。第１の被押圧面５１ａは第２の被押圧面５１ｂよりも載置部２２からｇ１離れている。非加圧状態からシャフト１１２周りに且つ反時計回りにカム６が回転した場合（０度の状態）、非加圧状態からシャフト１１２周りに且つ時計回りにカム６が回転した場合（１８０度の状態）と比べて、被検査体押圧部材５の非加圧状態からの移動距離はｇ１大きい。そのため、ソケット１は、ベイル７が非加圧状態から＋Ｙ方向側に倒された場合、比較的厚い被検査体Ｓ１の検査を行うことができ、ベイル７が非加圧状態から−Ｙ方向側に倒された場合、被検査体Ｓ１よりもｇ１薄い被検査体Ｓ２の検査を行うことができる。
【００４４】
図９に示されている状態、つまり非加圧状態からカム６がシャフト１１２周りに且つ反時計回りに９０度回転した状態（０度の状態）においてもベイル７を固定する操作を行う必要はない。
【００４５】
カム６は、次のような形状である。即ち、Ｘ軸方向の中央を境としたときの＋Ｘ方向側の部位は−Ｘ方向側の部位と同じ形状である。よって、第２の押圧面６２が第１の押圧面６１に対して＋Ｘ方向側に位置するようにカム６が配置されたとしても、カム６は図１及び図５に示される姿勢と全く同じ姿勢になる。したがって、カム６をベイル７に接続する際にカム６の向きに注意を払う必要がなくなるため、ソケット１の製造が容易である。ここで、＋Ｘ方向側の部位と−Ｘ後方側の部位とは必ずしも同じ形状でなくともよく、以下の（１）−（４）を満たせばよい。（１）距離ｘ１が距離ｘ２に等しいこと。（２）ベース２への第１の押圧面６１の正射影及び第２の押圧面６２の正射影が互いに重ならないこと。（３）第１の押圧面６１から逃げ面６５までの距離はｇ１よりも大きいこと。（４）第２の押圧面６２から逃げ面６４までの距離はｇ１よりも大きいこと。
【００４６】
次に、ソケット１の加圧動作について説明する。はじめに、厚さｄ１を有する比較的厚い被検査体Ｓ１に対する加圧動作について図１０及び図１１を用いて説明する。
【００４７】
図１０は、比較的厚い被検査体Ｓ１に圧力を印加する前の状態にある本発明の実施形態に係るソケット１の模式図である。つまり、図１０には、非加圧状態にあるソケット１が示されている。非加圧状態において、ベイル７は載置部２２に対して直立している。
【００４８】
この状態では、カム６の非押圧面６３が第１の被押圧面５１ａに接触している。また、第１ばね１３１は被検査体押圧部材５をカバー３に近づく方向（＋Ｚ方向）に付勢している。また、第２ばね１３２は、プレッシャープレート８をカバー３から離れる方向（−Ｚ方向）に付勢している。そのため、プレッシャープレート８の下面がガイドピン１２２のヘッド部の下面に押し付けられた状態でプレッシャープレート８が位置決めされている。
【００４９】
操作者がベイル７を＋Ｙ方向側に倒すと、カム６がシャフト１１２周りに且つ時計回りに回転する。そして、曲面６３ｂが第２の被押圧面５１ｂに接触するようになる。このとき、プレッシャープレート８は移動しない。また、曲面６３ｂで第２の被押圧面５１ｂが押されて、加圧部５２が−Ｚ方向に移動し、載置部２２に近づいていく。加圧部５２の載置部２２への接近に伴い、第１ばね１３１が縮んでいく。
【００５０】
更にベイル７が＋Ｙ方向側に倒されて非加圧状態からのカム６の回転角度が９０度に達する（カム６が１８０度の状態になる）と、図１１に示すように、第２の押圧面６２が第２の被押圧面５１ｂに接触するようになる。また、被検査体Ｓ１に加圧部５２が接触するようになり、被検査体Ｓ１に圧力が印加されるようになる。よって、被検査体Ｓ１の接続端子と配線基板１００の接続端子とが載置部２２のコンタクトピンを介して電気的に接続され、被検査体Ｓ１の検査を行うことができる。
【００５１】
続いて、被検査体Ｓ１（厚さｄ１）よりもｇ１薄い厚さｄ２（ｄ２＜ｄ１）を有する比較的薄い被検査体Ｓ２に対する加圧動作について図１２及び図１３を用いて説明する。
【００５２】
図１２は、比較的薄い被検査体Ｓ２に圧力を印加する前の状態にある本発明の実施形態に係るソケット１の模式図である。図１０に示されている状態との違いは、載置部２２に被検査体Ｓ２が載置されていることのみであり、カム６、ベイル７、第１ばね１３１及び第２ばね１３２の状態に違いはない。
【００５３】
被検査体Ｓ２に圧力を印加する場合、被検査体Ｓ２は被検査体Ｓ１よりも薄いため加圧部５２をより載置部２２近くまで（−Ｚ方向側に）移動させる必要がある。そこで、操作者は非加圧状態から−Ｙ方向側にベイル７を倒す。
【００５４】
操作者がベイル７を−Ｙ方向側に倒すと、カム６がシャフト１１２周りに且つ反時計回りに回転する。そして、曲面６３ａが第１の被押圧面５１ａに接触するようになる。このとき、プレッシャープレート８は、移動しない。また、曲面６３ａで第１の被押圧面５１ａが押されて、加圧部５２が−Ｚ方向に移動し、載置部２２に近づいていく。加圧部５２の載置部２２への接近に伴い、第１ばね１３１が縮んでいく。
【００５５】
更にベイル７が−Ｙ方向側に倒されて非加圧状態からのカム６の回転角度が９０度に達する（カム６が０度の状態になる）と、図１３に示すように、第１の押圧面６１が第１の被押圧面５１ａに接触するようになる。また、カム６がシャフト１１２周りに且つ反時計回りに９０度回転した（カム６が０度の状態になった）場合、第２の被押圧面５１ｂよりも載置部２２から遠い側に位置する第１の被押圧面５１ａが第１の押圧面６１によって押圧される。このため、被検査体押圧部材５の移動距離は、カム６がシャフト１１２周りに且つ時計回りに９０度回転した（カム６が１８０度の状態になった）ときの被検査体押圧部材５の移動距離よりもｇ１長い。したがって、図１３に示すように、被検査体Ｓ１よりもｇ１薄い被検査体Ｓ２に加圧部５２が接触するようになり、被検査体Ｓ２に圧力が印加されるようになる。よって、被検査体Ｓ２の接続端子と配線基板１００の接続端子とが載置部２２のコンタクトピンを介して電気的に接続され、被検査体Ｓ２の検査を行うことができる。
【００５６】
上述したように、操作者が被検査体Ｓ１の検査をする場合、上述したようにベイル７を＋Ｙ方向側に倒す必要があるが、操作者が誤ってベイル７を−Ｙ方向側に倒した場合、ソケット１は以下のように作動する。
【００５７】
図１０に示すように、被検査体Ｓ１が載置部２２に載置された状態において、非加圧状態から操作者がベイル７を−Ｙ方向側に倒すと、カム６がシャフト１１２周りに且つ反時計回りに回転する。そして、曲面６３ａが第１の被押圧面５１ａに接触するようになる。すると、加圧部５２が−Ｚ方向に移動し、載置部２２に近づいていく。また、加圧部５２の載置部２２への接近に伴い、第１ばね１３１が縮んでいく。
【００５８】
やがて、図１４に示すように、加圧部５２が被検査体Ｓ１に接触する。
【００５９】
更にベイル７が−Ｙ方向側に倒されると、被検査体押圧部材５を押し下げることができないので、カム６自身が＋Ｚ方向に移動し始める。カム６はプレッシャープレート８に取り付けられているため、カム６の移動とともにプレッシャープレート８も＋Ｚ方向に移動する。このとき、プレッシャープレート８とカバー３との間に挟まれている第２ばね１３２は、縮んでいく。ソケット１の各部のこのような動作は、ベイル７が−Ｙ方向側に９０度倒されるまで（図１５に示す状態になるまで）続く。
【００６０】
この間、被検査体押圧部材５は移動しない。また、被検査体Ｓ１に印加される力は、最大でも複数の第２ばね１３２の反発力の合力である。よって、第２ばね１３２の自然長及び弾性係数を適切な値に設定することで、被検査体Ｓ１に過度な力（圧力）が印加されて被検査体Ｓ１が破損してしまうことを防止できる。つまり、プレッシャープレート８及び第２ばね１３２は、安全装置としても機能する。
【００６１】
以上説明したように、本実施形態によれば、複数の押圧面を有するカム６を回転させることで加圧部５２と載置部２２との距離を調節できるため、複数の種類の厚さの被検査体を単一の装置で検査を行うことができる。
【００６２】
カム６の押圧面とハードストップ部５１の被押圧面とはいずれも平面であるため、曲面と平面又は曲面同士の接触に比べて接触状態を安定して維持できる。このため、当該接触状態を維持するためにカム６の回転を固定するための作業を必要としない。
【００６３】
したがって、被検査体に圧力を印加するための部材（被検査体押圧部材５）の載置部２２からの高さを容易に切り替えることができる。
【００６４】
カム６は、第１の押圧面６１と第２の押圧面６２とが互いにＸ軸方向にずれた２段構造を有している。また、距離ｘ１と距離ｘ２とは互いに等しい。更に被検査体押圧部材５のハードストップ部５１は、載置部２２からの距離が互いに異なる第１の被押圧面５１ａ及び第２の被押圧面５１ｂを有している。よって、ハードストップ部５１の第１の被押圧面５１ａ及び第２の被押圧面５１ｂ間の距離は、カム６の回転方向に応じた被検査体押圧部材５の−Ｚ方向への移動距離の差に対応する。したがって、第１の被押圧面５１ａ及び第２の被押圧面５１ｂ間の距離が所定の距離に設定されていれば、カム６を製造する際に、距離ｘ１及び距離ｘ２をそれぞれ異なる被検査体の厚さに応じた長さにしたり、二次加工等を行う必要はない。したがって、カム６の製造が容易であり、二次加工費を削減できる。具体的には、カム６を成形品として製作することができ、製造コストを削減できる。
【００６５】
また、カム６が２段構造であり、カム６を回転させる方向によってカム６の押圧面と接触するハードストップ部５１の被押圧面が切り替わる。したがって、被押圧面の早期摩耗を防止することができる。
【００６６】
更に、カム６を回転させる方向によって、被検査体押圧部材５の移動距離を変えることができるため、操作者は、ベイル７を倒す方向を変えるという単純な操作で厚さが異なる２つの被検査体の検査を単一のソケット１で行うことができる。
【００６７】
また、厚めの被検査体を検査する際に、操作者が誤って薄い被検査体に加圧するための動作を行った場合、被検査体押圧部材５が被検査体に接触した後、カム６及びプレッシャープレート８が載置部２２から離れる方向（＋Ｚ方向）に移動する。このため、被検査体に過度に圧力を印加することによる被検査体やソケット１の破損を防止することができる。
【００６８】
以上、本発明の実施形態に係るソケット１について説明してきたが、ソケット１は以下に説明するように変形させてもよい。
【００６９】
カム６の第１の押圧面６１、第２の押圧面６２、及び非押圧面６３の位置関係は、図３に示す関係になくてもよく、例えば、カム６は図１６に示されるような形状であってもよい。図１６では、第２の押圧面６２は、非押圧面６３と平行である。また、回転軸Ｏよりも＋Ｚ方向側に位置し、逃げ面６４よりも−Ｘ方向側に位置する。他方、第１の押圧面６１は第２の押圧面６２及び非押圧面６３と垂直である。カム６が図１６に示されている形状である場合に、回転軸Ｏ周りに且つ時計回りに回転すると第１の押圧面６１は第１の被押圧面５１ａに接触し、更にカム６が回転軸Ｏ周りに且つ時計回りに回転すると、第２の押圧面６２は第２の押圧面６２に接触する。回転軸Ｏから第１の押圧面６１までの距離ｘ１、回転軸Ｏから第２の押圧面６２までの距離ｘ２、及び回転軸Ｏから非押圧面６３までの距離ｘ３には、ｘ３＜ｘ１＜ｘ２、且つｘ１＋２ｇ１＜ｘ２の関係がある。
【００７０】
この場合、ベイル７を−Ｙ方向側に倒した状態（ここで、カム６は０度の状態である。）が非加圧状態となり、ベイル７を載置部２２に対して直立させた状態が被検査体Ｓ１を検査するための状態となり、ベイル７を＋Ｙ方向側に倒した状態が被検査体Ｓ２を検査するための状態となる。言い換えると、非加圧状態（カム６が０度の状態）からカム６が回転軸Ｏ周りに且つ時計回りに９０度回転した状態（カム６が９０度の状態）が被検査体Ｓ１を検査するための状態である。また、当該状態から更に回転軸Ｏ周りに且つ時計回りに９０度回転した状態（カム６が１８０度の状態）が被検査体Ｓ２を検査するための状態である。このように、カム６を一方向に回転する角度の大きさに応じて、被検査体押圧部材５の移動距離が変わる構成にすることで、操作者がベイル７を倒す方向を間違えるという誤操作をすることはなくなる。
【００７１】
また、カム６において、回転軸Ｏから第１の押圧面６１までの距離ｘ１と、回転軸Ｏから第２の押圧面６２までの距離ｘ２とは、異なる長さであってもよい。第２の押圧面６２から第２の被押圧面５１ｂまでの距離と、第１の被押圧面５１ａから第２の被押圧面５１ｂまでの距離とがｇ１よりも大きければよい。
【００７２】
また、被検査体押圧部材５は３以上の被押圧面を有していてもよく、カム６も３以上の押圧面を有していてもよい。例えば、被検査体押圧部材５は、第２の被押圧面５１ｂよりもベース２の近く（−Ｚ方向）に位置する第３の被押圧面を更に有し、カム６は、回転軸Ｏ周りに所定の角度回転したときに第３の被押圧面に接触する第３の押圧面を更に有していてもよい。このようにすることで、２種類よりも多種の厚さの被検査体を単一のソケット１で検査を行うことができる。
【００７３】
なお、カム６は必ずしも図３、図５及び図１６等に示されている形状でなくてもよく、例えば、カム６は、逃げ面６５を有さなくてもよい。即ち、第１の押圧面６１が、カム６の＋Ｘ方向側の端部の近傍から、カム６の−Ｘ方向側の端部の近傍にかけて形成されていてもよい。
【００７４】
また、ベース２への第１の押圧面６１の正射影及び第２の押圧面６２の正射影が互いに重なり合うように、第１の押圧面６１及び第２の押圧面６２がカム６に形成されていてもよい。例えば、逃げ面６５のＸ軸方向の寸法が、図５及び図１０に示されている逃げ面６５のＸ軸方向の寸法よりも短く、第１の押圧面６１のＸ軸方向の寸法が、図５及び図１０に示されている第１の押圧面６１のＸ軸方向の寸法よりも長くてもよい。言い換えると、カム６のＸ軸方向における中央位置近傍において、＋Ｙ方向側には第２の押圧面６２が位置し、−Ｙ方向側には第１の押圧面６１が位置するようにカム６が構成されていてもよい。この形状のカム６が用いられる場合、図２及び図５に示されているハードストップ部５１を有する被検査体押圧部材５を使用すればよい。
【００７５】
＜注釈＞
その他、上記各実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化の一例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその要旨、またはその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明は、電子部品を検査するためのソケットに好適に利用される。
【符号の説明】
【００７７】
１  ソケット
２  ベース
３  カバー
３ａ  収容孔
３ｂ  被係合部
４  ラッチ部
４ａ  係合部
５  被検査体押圧部材
６  カム
７  ベイル
８  プレッシャープレート
８ａ  上面
２１  ボディ部
２１ａ、２１ｂ  部分
２２  載置部
５１  ハードストップ部
５１ａ  第１の被押圧面
５１ｂ  第２の被押圧面
５２  加圧部
５３  つば部
６１  第１の押圧面
６２  第２の押圧面
６３  非押圧面
６３ａ、６３ｂ  曲面
６４、６５  逃げ面
６６  軸孔
８１  カム保持部
８１ａ、８１ｂ  突出部
８１ｃ  ハードストップ挿通孔
８２  第１ばね配置部
８３  第２ばね配置部
８２ａ、８３ａ  ガイドピン貫通孔
１００  配線基板
１１１、１１２  シャフト
１１３  ラッチ軸
１２１、１２２  ガイドピン
１３１  第１ばね
１３２  第２ばね
Ｓ１、Ｓ２  被検査体
Ｏ  回転軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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