(57)【要約】【課題】各々が処理対象としての被処理流体を流通させながら当該被処理流体に所定の処理を行う複数の流体流路装置と、複数の流体流路装置の各々に対する被処理流体の流入量を調整する複数の流量制御弁とを備える流体処理システムであって、当該流体処理システムにおいて必要な流量制御弁の数を少なくしつつ、複数の流体流路装置の各々に対する被処理流体の流入量を適当に調整することができる流体処理システムを提供する。【解決手段】直列に配置された複数の流体流路装置よりも上流側に設けられ、複数の流体流路装置の各々に対する被処理流体の流入量を調整する流量制御弁と、異常が発生した流体流路装置を被処理流体が迂回して流れるのを許容するバイパス流路と、バイパス流路における被処理流体の流通を許容する状態と遮断する状態とに切り替えられる複数のバイパス切替弁と、を含む。【選択図】図１
2020018955.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体処理システムであって、
互いに並列に配置され、各々が処理対象としての被処理流体を流通させながら当該被処理流体に所定の処理を行うことで目的とする目標流体を生成する複数の流体処理モジュールを備え、
上記複数の流体処理モジュールは、それぞれ、
直列に配置され、各々が上記被処理流体を流通させながら当該被処理流体に上記所定の処理を行う複数の流体流路装置と、
上記被処理流体が上記複数の流体流路装置の全てを流れるように、上記複数の流体流路装置の各々がその途中に設けられた通常流路と、
上記通常流路の途中であって且つ上記被処理流体が流れる方向において上記複数の流体流路装置よりも上流側に設けられ、上記複数の流体流路装置の各々に対する上記被処理流体の流入量を調整する流量制御弁と、
上記複数の流体流路装置の各々に対応して設けられ、各々が上記複数の流体流路装置のうち対応する流体流路装置を迂回するように上記被処理流体が流れるのを許容する複数のバイパス流路と、
上記複数のバイパス流路の各々に対応して設けられ、各々が上記複数のバイパス流路のうち対応するバイパス流路において上記被処理流体が流れることを許容する状態と遮断する状態とに切り替えられる複数のバイパス切替弁と、を含む、流体処理システム。
【請求項２】
請求項１記載の流体処理システムであって、上記通常流路と上記バイパス流路とが接続される位置またはそれよりも上記バイパス流路に対応する上記流体流路装置に近い位置にそれぞれ設けられ、上記通常流路における上記被処理流体の流通を許容する状態と阻止する状態とに切り替えられる複数の流通切替弁を、さらに備える、流体処理システム。
【請求項３】
請求項２に記載の流体処理システムであって、
上記複数の流体流路装置の各々に対応して設けられ、各々が上記複数の流体流路装置のうち対応する流体流路装置に対して当該流体流路装置を洗浄する洗浄流体が当該流体流路装置を上記被処理流体が流れる方向とは反対の方向に流れることを許容する複数の洗浄流路をさらに備え、
上記複数の洗浄流路のそれぞれは、
当該洗浄流路に対応する流体流路装置の上流側または下流側における上記流通切替弁と上記流体流路装置との間の洗浄流体導入位置において上記通常流路に接続され、上記流体流路装置に上記洗浄流体導入位置から上記通常流路を通じて洗浄流体が供給されることを許容する洗浄流体供給流路と、
上記流体流路装置を挟んで上記洗浄流体導入位置と反対側に位置する上記流通切替弁と上記流体流通装置との間の位置である洗浄流体排出位置において上記通常流路に接続され、上記流体流路装置を流れた上記洗浄流体が上記洗浄流体排出位置を通って排出されることを許容する洗浄流体排出流路と、を含む、流体処理システム。
【請求項４】
請求項３記載の流体処理システムであって、
上記複数の洗浄流路は、洗浄流体供給ポンプに接続可能な共通の上流端につながっており、
上記流体処理システムは、上記複数の洗浄流路のそれぞれに設けられて当該洗浄流路における洗浄流体の流通を許容する状態と遮断する状態とに個別に切り替えられる複数の洗浄切替弁をさらに備える、流体処理システム。
【請求項５】
請求項１または２に記載の流体処理システムであって、
上記複数の流体流路装置の各々に対応して設けられ、当該流体流路装置を流れる上記被処理流体についての情報であって当該流体流路装置が上記所定の処理を行うことができない異常な状態であるか否かを判断するために用いられる流体情報を取得する複数の流体情報取得装置と、
上記複数の流体情報取得装置の各々によって取得された上記流体情報に基づいて、上記複数の流体処理モジュールの各々において行われる上記所定の処理を制御する制御装置をさらに備え、
上記制御装置は、
上記複数の流体処理モジュールのそれぞれについて、上記複数の流体情報取得装置の各々によって取得された上記流体情報に基づいて上記複数の流体流路装置のうち上記異常な状態である流体流路装置を特定する異常特定部と、
上記複数のバイパス流路のうち上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置を迂回するバイパス流路に上記被処理流体が流れるように上記複数のバイパス切替弁の状態を切り替えるバイパス流路制御部と、
上記複数の流体流路装置のうち上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置以外の流体流路装置である正常な流体流路装置に対する上記被処理流体の流入量が当該正常な流体流路装置において予め設定された上記所定の処理を行うための能力を示す処理可能容量を超えないように当該正常な流体流路装置の数及び当該正常な流体流路装置に設定された上記処理可能容量に応じて上記流量制御弁を制御し、当該正常な流体流路装置にて上記所定の処理が行われるようにする流量制御部と、を含む、流体処理システム。
【請求項６】
請求項５に記載の流体処理システムであって、
上記制御装置は、
上記複数のバイパス流路のうち上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置を迂回するバイパス流路に上記被処理流体が流れるようにする代わりに、上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置を含む上記複数の流体流路装置の各々によって上記所定の処理が行われるように、上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置において上記所定の処理を行うための能力を示す処理容量であって上記異常な状態になったことで上記処理可能容量よりも低下した低下処理容量に応じて上記流量制御弁を制御する継続使用制御部をさらに含む、流体処理システム。
【請求項７】
請求項５または６に記載の流体処理システムであって、
上記複数の流体流路装置の各々に対応して設けられ、各々が上記複数の流体流路装置のうち対応する流体流路装置に対して当該流体流路装置を洗浄する洗浄流体が当該流体流路装置を上記被処理流体が流れる方向とは反対の方向に流れることを許容する複数の洗浄流路をさらに備え、
上記複数の洗浄流路のそれぞれは、
当該洗浄流路に対応する流体流路装置の上流側または下流側における上記流通切替弁と上記流体流路装置との間の洗浄流体導入位置において上記通常流路に接続され、上記流体流路装置に上記洗浄流体導入位置から上記通常流路を通じて洗浄流体が供給されることを許容する洗浄流体供給流路と、
上記流体流路装置を挟んで上記洗浄流体導入位置と反対側に位置する上記流通切替弁と上記流体流通装置との間の位置である洗浄流体排出位置において上記通常流路に接続され、上記流体流路装置を流れた上記洗浄流体が上記洗浄流体排出位置を通って排出されることを許容する洗浄流体排出流路と、を有し、
上記複数の洗浄流路は、洗浄流体供給ポンプに接続可能な共通の上流端につながっており、
上記流体処理システムは、上記複数の洗浄流路のそれぞれに設けられて当該洗浄流路における洗浄流体の流通を許容する状態と遮断する状態とに個別に切り替えられる複数の洗浄切替弁をさらに備え、
上記制御装置は、上記複数の洗浄流路のうち上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置に対応する洗浄流路についてのみ上記洗浄流体の流通を許容するように上記複数の洗浄切替弁を操作する洗浄制御部をさらに含む、流体処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理対象としての被処理流体を流動させながら処理することで目的とする目標流体を生成する流体処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、処理対象としての被処理流体を流動させながら処理することで目的とする目標流体を生成する流体処理システムが知られている。このような流体処理システムとして、複数種類の被処理流体を混合して化学反応させることで目標流体を生成するものがある。その一例が、下記特許文献１に開示されている。
【０００３】
下記特許文献１に記載の化学合成装置は、流体流路装置としてのマイクロリアクタを含む流路を有する。マイクロリアクタ内では、複数種類の原料溶液が混合される。これにより、目的とする生成溶液が生産される。
【０００４】
下記特許文献１に記載の化学合成装置においては、マイクロリアクタに設置された温度センサにより、マイクロリアクタの流路温度をリアルタイムで測定する。制御システムは、温度センサによって測定された流路温度に応じて、マイクロリアクタの入口側及び出口側にそれぞれ配置された電磁弁の開閉や、マイクロリアクタに原料溶液を送り込むポンプの流量制御を行う。
【０００５】
なお、下記特許文献１に記載の化学合成装置では、複数のマイクロリアクタが並列に配置されているとともに、複数のマイクロリアクタの各々の入口側及び出口側に開閉式の電磁弁が設けられている。また、単一のポンプから複数のマイクロリアクタの各々に原料溶液を送り込んでいる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−８０３０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載の化学合成装置では、複数のマイクロリアクタの各々の入口側及び出口側に電磁弁が設けられているので、異常が発生したマイクロリアクタの入口側に配置された電磁弁を閉じて当該異常が発生したマイクロリアクタに原料溶液を送り込むのを中止することはできるが、単一のポンプから複数のマイクロリアクタの各々に原料溶液を送り込んでいるので、複数のマイクロリアクタの各々に送り込まれる原料溶液の量を適当に調整することが難しいという問題がある。
【０００８】
なお、複数のマイクロリアクタの各々に送り込まれる原料溶液の量を適当に調整するために、複数のマイクロリアクタの各々の入口側に当該マイクロリアクタに流入する原料溶液の量を調整する流量制御弁を設けることが考えられるが、流量制御弁は高価であるため、全てのマイクロリアクタの上流側に流量制御弁を設けることは現実的ではない。
【０００９】
本発明の目的は、各々が処理対象としての被処理流体を流通させながら当該被処理流体に所定の処理を行う複数の流体流路装置と、複数の流体流路装置の各々に対する被処理流体の流入量を調整する複数の流量制御弁とを備える流体処理システムであって、当該流体処理システムにおいて必要な流量制御弁の数を少なくしつつ、複数の流体流路装置の各々に対する被処理流体の流入量を適当に調整することができ、且つ、複数の流体流路装置の何れかに異常が発生したときの流体処理システム全体での被処理流体に対する処理量の低下を抑制することができる流体処理システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するために、本願の発明者等は、複数の流体流路装置の配置に着目して検討を進めた。そして、複数の流体流路装置を並列に配置するだけでなく直列にも配置し且つ直列に配置された幾つかの流体流路装置よりも上流側に流量制御弁を設けることで、当該直列に配置された幾つかの流体流路装置に対する被処理流体の流入量を共通の流量制御弁により調整することに想到した。
【００１１】
ここで、直列に配置された幾つかの流体流路装置よりも上流側に流量制御弁を設けた場合、当該直列に配置された幾つかの流体流路装置の何れかに異常が発生すると、異常が発生していない他の流体流路装置による処理の継続が困難になるが、直列に配置された幾つかの流体流路装置の何れかに異常が発生した場合に当該異常が発生した流体流路装置を被処理流体が迂回して流れるのを許容するバイパス流路を設けることにより、複数の流体流路を並列に配置する場合と同様に残りの流体流路装置による処理を継続することができるという知見を得るに至った。本発明は、このような知見に基づいて完成されたものである。
【００１２】
本発明により提供されるのは、流体処理システムであって、互いに並列に配置され、各々が処理対象としての被処理流体を流通させながら当該被処理流体に所定の処理を行うことで目的とする目標流体を生成する複数の流体処理モジュールを備え、上記複数の流体処理モジュールは、それぞれ、直列に配置され、各々が上記被処理流体を流通させながら当該被処理流体に上記所定の処理を行う複数の流体流路装置と、上記被処理流体が上記複数の流体流路装置の全てを流れるように、上記複数の流体流路装置の各々がその途中に設けられた通常流路と、上記通常流路の途中であって且つ上記被処理流体が流れる方向において上記複数の流体流路装置よりも上流側に設けられ、上記複数の流体流路装置の各々に対する上記被処理流体の流入量を調整する流量制御弁と、上記複数の流体流路装置の各々に対応して設けられ、各々が上記複数の流体流路装置のうち対応する流体流路装置を迂回するように上記被処理流体が流れるのを許容する複数のバイパス流路と、上記複数のバイパス流路の各々に対応して設けられ、各々が上記複数のバイパス流路のうち対応するバイパス流路において上記被処理流体が流れることを許容する状態と阻止する状態とに切り替えられる複数のバイパス切替弁と、を含む。
【００１３】
上記流体処理システムにおいては、複数の流体処理モジュールの各々において直列に配置された複数の流体処理装置よりも上流側に流量制御弁が設けられているので、当該流量制御弁によって複数の流体流路装置の各々に対する被処理流体の流入量を纏めて調整することができる。そのため、流体処理システムにおいて必要な流量制御弁の数を少なくしつつ、複数の流体処理モジュールがそれぞれ有する複数の流体流路装置に対する被処理流体の流入量を適当に調整することができる。
【００１４】
また、上記流体処理システムにおいては、直列に配置された複数の流体流路装置の全てが正常な状態である場合にはバイパス流路に被処理流体が流れるのを回避して直列に配置された複数の流体処理装置の各々を被処理流体が流れるようにしつつ、直列に配置された複数の流体流路装置の何れかが異常な状態になった場合には当該異常な状態になった流体流路装置に対応して設けられたバイパス切替弁を制御することで当該異常な状態の流体流路装置を迂回するバイパス流路を被処理流体が流れるようにすることができる。そのため、異常な状態になった流体流路装置以外の流体流路装置（つまり、正常な流体流路装置）を用いて被処理流体に対する処理を継続することができる。その結果、異常な状態の流体流路装置を含む流体処理モジュールにおいて被処理流体に対する所定の処理が行われなくなる事態を回避することができる。
【００１５】
加えて、上記流体処理システムにおいては、異常な状態である流体流路装置を被処理流体が流れないようにすることができるので、正常な流体流路装置にて所定の処理を行いながら、異常な状態である流体流路装置を正常な流体流路装置に置き換えることができる。
【００１６】
上記流体処理システムは、上記通常流路と上記バイパス流路とが接続される位置またはそれよりも上記バイパス流路に対応する上記流体流路装置に近い位置にそれぞれ設けられ、上記通常流路における上記被処理流体の流通を許容する状態と遮断する状態とに切り替えられる複数の流通切替弁を、さらに備える。
【００１７】
この態様では、いずれかのバイパス流路の流通が許容されるときに上記複数の流通切替弁のうち当該バイパス流路に対応する流通切替弁が被処理流体の流通を遮断する状態に切り替えられることにより、異常が発生している流体流路に対する被処理流体の無駄な供給を防ぐことができる。
【００１８】
この態様において、上記流体処理システムは、さらに、上記複数の流体流路装置の各々に対応して設けられ、各々が上記複数の流体流路装置のうち対応する流体流路装置に対して当該流体流路装置を洗浄する洗浄流体が当該流体流路装置を流れることを許容する複数の洗浄流路と、をさらに備え、上記複数の洗浄流路のそれぞれは、当該洗浄流路に対応する流体流路装置の上流側または下流側における上記流通切替弁と上記流体流路装置との間の洗浄流体導入位置において上記通常流路に接続され、上記流体流路装置に上記洗浄流体導入位置から上記通常流路を通じて洗浄流体が供給されることを許容する洗浄流体供給流路と、上記流体流路装置を挟んで上記洗浄流体導入位置と反対側に位置する上記流通切替弁と上記流体流通装置との間の位置である洗浄流体排出位置において上記通常流路に接続され、上記流体流路装置を流れた上記洗浄流体が上記洗浄流体排出位置を通って排出されることを許容する洗浄流体排出流路とを含むことが、好ましい。
【００１９】
このような態様においては、異常な状態になった流体流路装置に対応して設けられた開閉弁を制御して当該異常な状態になった流体流路装置に被処理流体が流入するのを回避した状態で、当該異常な状態になった流体流路装置に対応して設けられた洗浄流路を洗浄流体が流れるようにして当該異常な状態になった流体流路装置を洗浄することができる。そのため、複数の流体流通装置のうち異常な状態である流体流路装置以外の流体流路装置（つまり、正常な流体流路装置）にて所定の処理を行いながら、異常な状態である流体流路装置を洗浄することができる。
【００２０】
この態様において、上記複数の洗浄流路は洗浄流体供給ポンプに接続可能な共通の上流端につながっており、上記流体処理システムは、上記複数の洗浄流路のそれぞれに設けられて当該洗浄流路における洗浄流体の流通を許容する状態と遮断する状態とに個別に切り替えられる複数の洗浄切替弁をさらに備えることが、好ましい。
【００２１】
この態様によれば、複数の洗浄流路について共通の洗浄流体供給ポンプを使用することが可能である。しかも、上記複数の洗浄切替弁のそれぞれの状態を個別に切替えることにより、洗浄を要する流体流路装置に対してのみ当該流体流路装置につながる洗浄流路を通じて上記洗浄流体供給ポンプから洗浄流体を供給することが可能である。
【００２２】
上記流体処理システムは、好ましくは、上記複数の流体流路装置の各々に対応して設けられ、当該流体流路装置を流れる上記被処理流体についての情報であって当該流体流路装置が上記所定の処理を行うことができない異常な状態であるか否かを判断するために用いられる流体情報を取得する複数の流体情報取得装置と、上記複数の流体情報取得装置の各々によって取得された上記流体情報に基づいて、上記複数の流体処理モジュールの各々において行われる上記所定の処理を制御する制御装置をさらに備え、上記制御装置は、上記複数の流体処理モジュールのそれぞれについて、上記複数の流体情報取得装置の各々によって取得された上記流体情報に基づいて上記複数の流体流路装置のうち上記異常な状態である流体流路装置を特定する異常特定部と、上記複数のバイパス流路のうち上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置を迂回するバイパス流路に上記被処理流体が流れるようにするバイパス流路制御部と、上記複数の流体流路装置のうち上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置以外の流体流路装置である正常な流体流路装置に対する上記被処理流体の流入量が当該正常な流体流路装置において予め設定された上記所定の処理を行うための能力を示す処理可能容量を超えないように当該正常な流体流路装置の数及び当該正常な流体流路装置に設定された上記処理可能容量に応じて上記流量制御弁を制御し、当該正常な流体流路装置にて上記所定の処理が行われるようにする流量制御部とを含む。
【００２３】
このような態様においては、複数の流体流路装置の何れかに異常が発生した場合に、当該異常が発生した流体流路装置以外の流体流路装置（つまり、正常な流体流路装置）にて所定の処理を行うことが自動的に行われるようにすることができる。
【００２４】
また、正常な流体流路装置に対する被処理流体の流入量が予め設定された処理可能容量を超えないように自動的に調整されるので、正常な流体流路装置に対する被処理流体の流入量を適当に調整することが容易にできる。
【００２５】
また、上記制御装置は、好ましくは、上記複数のバイパス流路のうち上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置を迂回するバイパス流路に上記被処理流体が流れるようにする代わりに、上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置を含む上記複数の流体流路装置の各々によって上記所定の処理が行われるように、上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置において上記所定の処理を行うための能力を示す処理容量であって上記異常な状態になったことで上記処理可能容量よりも低下した低下処理容量に応じて上記流量制御弁を制御する継続使用制御部をさらに含む。
【００２６】
このような態様においては、異常な状態である流体流路装置に対する被処理流体の流入量を当該異常な状態である流体流路装置にて上記所定の処理を行うことができる範囲内に制限することができるので、異常な状態である流体流路装置であってもその使用を継続することができる。
【００２７】
また、上記流体処理システムが上記複数の洗浄流路及び上記複数の洗浄切替弁を備える態様においては、上記制御装置は、上記複数の洗浄流路のうち上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置に対応する洗浄流路についてのみ上記洗浄流体の流通を許容するように上記複数の洗浄切替弁を操作する洗浄制御部をさらに含むのが、好ましい。
【００２８】
この態様においては、異常な状態にあって洗浄を要する流体流路装置に対してのみ自動的に洗浄流体を供給することが可能である。
【発明の効果】
【００２９】
本発明の流体処理システムによれば、必要な流量制御弁の数を少なくしつつ、複数の流体流路装置に対する被処理流体の流入量を適当に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施の形態による流体処理システムの概略構成を示す流路図である。
【図２】本発明の実施の形態による流体処理システムが備えるバイパス流路であって上流側の流体流路装置を回避するように設定されたバイパス流路を示す流路図である。
【図３】本発明の実施の形態による流体処理システムが備えるバイパス流路であって下流側の流体流路装置を回避するように設定されたバイパス流路を示す流路図である。
【図４】本発明の実施の形態による流体処理システムが備える制御装置の概略構成を示す機能ブロック図である。
【図５】本発明の実施の形態による流体処理システムが備える制御装置によって実行される流体処理システムの監視処理を示すフローチャートである。
【図６】本発明の実施の形態による流体処理システムにおいて上流側の流体流路装置に異常が発生している場合に設定されるバイパス流路を示す流路図である。
【図７】本発明の実施の形態の変形例に係る流体処理システムが備える制御装置の概略構成を示すブロック図である。
【図８】本発明の実施の形態の変形例に係る流体処理システムが備える制御装置によって実行される流体処理システムの監視処理を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳述する。
【００３２】
図１を参照しながら、本発明の実施の形態による流体処理システム１０について説明する。図１は、流体処理システム１０の概略構成を示す流路図である。
【００３３】
流体処理システム１０は、処理対象としての被処理流体を流通させながら当該被処理流体に所定の処理を行うことで目的とする目標流体を生成する。
【００３４】
ここで、被処理流体は、例えば、複数種類の原料溶液を混合したものである。複数種類の原料溶液は、最初から混合していてもよいし、途中から混合してもよい。複数種類の原料溶液は溶媒に溶け込んでいてもよい。
【００３５】
また、所定の処理は、例えば、複数種類の原料溶液を混合して反応させる際の反応温度を調整することである。
【００３６】
流体処理システム１０は、複数の流体処理モジュール２０と、複数の流体処理モジュール２０の各々に供給する被処理流体が流れる共通供給流路３０と、共通供給流路３０に被処理流体を流す被処理流体供給ポンプ４０と、複数の流体処理モジュール２０の各々にて生成された目標流体が流れる共通排出流路５０と、第１洗浄流路形成部６０Ａと、第２洗浄流路形成部６０Ｂと、洗浄流体供給ポンプ７０と、複数の流体処理モジュール２０の各々にて行われる所定の処理を制御する制御装置８０とを備える。
【００３７】
上記複数の流体処理モジュール２０は、各々が被処理流体を流通させながら当該被処理流体に所定の処理を行うことで目的とする目標流体を生成する。複数の流体処理モジュール２０は、互いに並列に配置されている。
【００３８】
上記複数の流体処理モジュール２０のそれぞれは、複数（本実施の形態では、２つ）の流体流路装置２１１、２１２と、通常流路２２と、流量制御弁２３と、複数（本実施の形態では、２つ）のバイパス流路２４と、複数（本実施の形態では、３つ）の流路切替弁２５１、２５２、２５３と、複数（本実施の形態では、２つ）の流体情報取得装置２６１、２６２とを含む。以下、これらについて説明する。
【００３９】
各流体処理モジュール２０における流体流路装置２１１、２１２のそれぞれは、被処理流体を流通させながら当該被処理流体に所定の処理を行う。各流体処理モジュール２０において流体流路装置２１１、２１２は、その順に直列に配置されている。流体流路装置２１１、２１２の各々は、例えば、微小流路が内部に形成されたマイクロチャネルリアクタである。微小流路は、例えば、互いに平行な状態で延びるように複数形成されている。
【００４０】
通常流路２２は、被処理流体が各流体処理モジュール２０において流体流路装置２１１、２１２を順に流れるのを許容するように設けられた流路である。具体的に、通常流路２２は、供給流路２２１と、中間流路２２２と、排出流路２２３とを含む。
【００４１】
供給流路２２１には、複数の流体処理装置２１１、２１２のうち被処理流体が流れる方向において最も上流側に位置する流体処理装置（図１に示す例では、流体流路装置２１１）に供給される被処理流体が流れる。供給流路２２１の上流端は、共通供給流路３０に接続されている。供給流路２２１の下流端は、流体流路装置２１１に接続されている。これにより、共通供給流路３０を流れてきた被処理流体が、供給流路２２１を流れた後、流体流路装置２１１に供給される。
【００４２】
中間流路２２２は、複数の流体流路装置２１１，２１２のうち被処理流体が流れる方向において隣り合う２つの流体流路装置（図１に示す例では、流体流路装置２１１と流体流路装置２１２）を接続する。図１に示す例では、中間流路２２２には、流体流路装置２１１から排出されてきた流体（つまり、流体流路装置２１１にて処理された被処理流体）が流れる。
【００４３】
排出流路２２３には、複数の流体処理装置２１１、２１２のうち被処理流体が流れる方向において最も下流側に位置する流体処理装置（図１に示す例では、流体流路装置２１２）から排出される被処理流体が流れる。別の表現をすれば、排出流路２２３には、複数の流体処理装置２１１、２１２の各々によって所定の処理が行われることで生成された目標流体が流れる。排出流路２２３の上流端は、流体流路装置２１２に接続されている。排出流路２２３の下流端は、共通排出流路５０に接続されている。これにより、流体流路装置２１２から排出されてきた流体（目標流体）が、排出流路２２３を流れた後、共通排出流路５０を流れる。
【００４４】
流量制御弁２３は、複数の流体流路装置２１１、２１２の各々に対する被処理流体の流入量を調整する。流量制御弁２３は、供給流路２２１に設けられている。つまり、流量制御弁２３は、通常流路２２の途中であって且つ被処理流体が流れる方向において複数の流体流路装置２１１、２１２よりも上流側に設けられている。
【００４５】
複数のバイパス流路２４１、２４２は、複数の流体流路装置２１１、２１２の各々に対応して設けられ、各々が複数の流体流路装置２１１、２１２のうち対応する流体流路装置を迂回するように被処理流体が流れるのを許容する。
【００４６】
具体的には、バイパス流路２４１は、図２に示すように、流体流路装置２１１をバイパスして流体流路装置２１１の上流側の流路である供給流路２２１と流体流路装置２１１の下流側の流路である中間流路２２２とを接続しており、流体（被処理流体）が流体流路装置２１１を経由せずに供給流路２２１から中間流路２２２に直接流れるのを許容する。また、バイパス流路２４２は、図３に示すように、流体流路装置２１２をバイパスして流体流路装置２１２の上流側の流路である中間流路２２２と流体流路装置２１２の下流側の流路である排出流路２２３とを接続しており、流体（流体流路装置２１１を通過した被処理流体）が流体流路装置２１２を経由せずに中間流路２２２から排出流路２２３に直接流れるのを許容する。
【００４７】
ここで、図１に示す例では、複数のバイパス流路２４１、２４２は、共通流路２４Ａと、共通流路２４Ａに接続された複数（本実施の形態では、３つ）の接続流路２４Ｂ、２４Ｃ、２４Ｄとによって実現されている。具体的には、バイパス流路２４１は、接続流路２４Ｂと、共通流路２４Ａのうち２つの接続流路２４Ｂ、２４Ｃの間に位置する部分と、接続流路２４Ｃとによって実現されている。また、バイパス流路２４２は、接続流路２４Ｃと、共通流路２４Ａのうち２つの接続流路２４Ｃ、２４Ｄの間に位置する部分と、接続流路２４Ｄとによって実現されている。つまり、複数のバイパス流路２４１、２４２は、接続流路２４Ｃを共有している。
【００４８】
なお、図１に示す例では、複数のバイパス流路２４１、２４２は中間流路２２２に接続される部分を共通の流路（接続流路２４Ｃ）によって実現しているが、複数のバイパス流路２４１、２４２は中間流路２２２に接続される部分を別々の流路によって実現してもよい。
【００４９】
複数の流体流路装置２１１、２１２の何れにも異常が発生していない場合には、複数のバイパス流路２４１、２４２の何れにも被処理流体が流れない。流体流路装置２１１に異常が発生している場合には、バイパス流路２４１に被処理流体が流れる。流体流路装置２１２に異常が発生している場合には、バイパス流路２４２に被処理流体が流れる。
【００５０】
この実施の形態に係る上記複数の流路切替弁２５１、２５２、２５３のそれぞれは、三方切替弁により構成され、被処理流体が流れる流路を切り替える。複数の流路切替弁２５１、２５２、２５３は、それぞれ、通常流路２２の途中に設けられている。
【００５１】
複数の流路切替弁２５１、２５２、２５３は、通常流路２２を構成する複数の流路（つまり、供給流路２２１、中間流路２２２及び排出流路２２３）に１つずつ設けられている。具体的には、流路切替弁２５１が供給流路２２１に設けられており、流路切替弁２５２が中間流路２２２に設けられており、流路切替弁２５３が排出流路２２３に設けられている。なお、流路切替弁２５１は、流量制御弁２３よりも下流側に位置している。
【００５２】
流路切替弁２５１は、バイパス流路２４１の上流端部を構成する接続流路２４Ｂに接続されている。流路切替弁２５２は、バイパス流路２４１の下流端部であって且つバイパス流路２４２の上流端部を構成する接続流路２４Ｃに接続されている。流路切替弁２５３は、バイパス流路２４２の下流端部を構成する接続流路２４Ｄに接続されている。
【００５３】
ここで、流路切替弁２５１は、流体流路装置２１１及び当該流体流路装置２１１を迂回するバイパス流路２４１に対応して設けられており、流体流路装置２１１よりも上流側に位置している。流路切替弁２５１は、上記供給流路２２１を開通して被処理流体が当該供給流路２２１を流れることを許容するとともに当該供給流路２２１から上記バイパス流路２４１を遮断する通常状態と、上記供給流路２２１を遮断して当該供給流路２２１のうち当該流路切替弁２５１の上流側に位置する流路を上記バイパス流路２４１に接続するバイパス状態と、に切り替わることが可能である。つまり、当該流路切替弁２５１は、当該流体流路装置２１１と当該流体流路装置２２１を迂回する当該バイパス流路２４１との何れかを被処理流体が流れることを許容する。換言すれば、流路切替弁２５１は、流体流路装置２１１に対する被処理流体の流入を許容又は遮断する。
【００５４】
また、流路切替弁２５２は、流体流路装置２１２及び当該流体流路装置２１２を迂回するバイパス流路２４２に対応して設けられており、流体流路装置２１２よりも上流側に位置している。流路切替弁２５２は、上記中間流路２２２を開通して被処理流体が当該中間流路２２２を流れることを許容するとともに当該中間流路２２２から上記バイパス流路２４２を遮断する通常状態と、上記中間流路２２２を遮断して当該中間流路２２２のうち当該流路切替弁２５２の下流側に位置する流路を上記バイパス流路２４２に接続する第１バイパス状態と、上記中間流路２２２を遮断して当該中間流路２２２のうち当該流路切替弁２５２の上流側に位置する流路を上記バイパス流路２４２に接続する第２バイパス状態と、に切り替わることが可能である。つまり、当該流路切替弁２５２は、流体流路装置２１１を通過した被処理流体が流体流路装置２１２と流体流路装置２１２を迂回するバイパス流路２４２との何れかを流れることを許容する。また、流路切替弁２５２は、バイパス流路２４１を流れてきた被処理流体又は流体流路装置２１１を通過してきた被処理流体のいずれかが流体流路装置２１２を流れることを許容する。つまり、流路切替弁２５２は、流体流路装置２１２に対する被処理流体の流入を許容又は遮断する。
【００５５】
また、流路切替弁２５３は、流体流路装置２１２よりも下流側に位置している。流路切替弁２５３は、上記排出流路２２３を開通して被処理流体が当該排出流路２２３を流れることを許容するとともに当該排出流路２２３から上記バイパス流路２４２を遮断する通常状態と、上記排出流路２２３を遮断して当該排出流路２２３のうち当該流路切替弁２５３の下流側に位置する流路を上記バイパス流路２４２に接続するバイパス状態と、に切り替わることが可能である。つまり、当該流路切替弁２５２は、流体流路装置２１２を通過してきた目標流体と流体流路装置２１２を迂回するバイパス流路２４２を流れてきた流体（流体流路装置２１１を通過してきた目標流体）との何れかが共通排出流路５０を流れることを許容する。つまり、流路切替弁２５３は、共通排出流路５０に対する被処理流体の流入を許容又は遮断する。
【００５６】
従って、上記複数の流路切替弁２５１〜２５３は、上記複数のバイパス流路２４１、２４２の各々に対応して設けられ、各々が当該複数のバイパス流路２４１、２４２のうち対応するバイパス流路における被処理流体の流通を許容する状態と遮断する状態とに切り替わる複数のバイパス切替弁として機能する。同時に、上記流路切替弁２５１〜２５３は、上記複数の流体流路装置２１１、２１２の各々に対応して設けられ、各々が複数の流体流路装置２１１、２１２のうち対応する流体流路装置の上流側及び下流側の位置のそれぞれにおいて上記通常流路２２における被処理流体の流通を許容する状態と遮断する状態とに切り替えられる複数の流通切替弁としても機能する。
【００５７】
なお、流路切替弁２５３の下流側には、逆止弁が設けられている。これにより、目標流体が逆流するのを防止している。
【００５８】
３つの流路切替弁２５１、２５２、２５３を切り替えることにより、流体が流れる流路を切り替えることができる。具体的には、流路切替弁２５１がバイパス流路２４１に流体が流れることを許容する状態に当該流路切替弁２５１を切り替え、且つ流路切替弁２５２がバイパス流路２４１を流れてきた流体（被処理流体）が流体流路装置２１２を流れることを許容する状態に当該流路切替弁２５２を切り替えることにより、流体流路装置２１１を迂回して供給流路２２１から中間流路２２２に流体（被処理流体）が流れるのを許容するバイパス流路２４１（図２参照）を含む流路が実現される。また、流路切替弁２５２がバイパス流路２４２に流体が流れることを許容する状態に当該流路切替弁２５２を切り替え、且つ流路切替弁２５３がバイパス流路２４２を流れてきた流体（流体流路装置２１１を通過した被処理流体）が共通排出流路５０を流れることを許容する状態に当該流路切替弁２５３を切り替えることにより、流体流路装置２１２を迂回して中間流路２２２から排出流路２２３に流体（流体流路装置２１１を通過した被処理流体）が流れるのを許容するバイパス流路２４２（図３参照）を含む流路が実現される。また、流路切替弁２５１が流体流路装置２１１に流体（被処理流体）が流れることを許容する状態に当該流路切替弁２５１を切り替え、流路切替弁２５２が流体流路装置２１２に流体（流体流路装置２１１を通過した被処理流体）が流れることを許容する状態に当該流路切替弁２５２を切り替え、流路切替弁２５３が流体流路装置２１２を流れてきた流体（流体流路装置２１２を通過した被処理流体）が共通排出流路５０を流れることを許容する状態に当該流路切替弁２５３を切り替えることにより、通常流路２２を含む流路が実現される。
【００５９】
複数の流体情報取得装置２６１、２６２は、複数の流体流路装置２１１、２１２の各々に対応して設けられ、当該流体流路装置を流れる被処理流体についての情報であって当該流体流路装置が異常な状態であるか否かを判断するために用いられる流体情報を取得する。また、複数の流体情報取得装置２６１、２６２は、それぞれ、取得した流体情報を制御装置８０に入力する。
【００６０】
図１に示す例では、流体情報取得装置２６１は、流体流路装置２１１に対応して設けられており、流体流路装置２１１の下流側に設けられた中間流路２２２を流れる流体についての流体情報を取得する。つまり、流体情報取得装置２６１は、流体流路装置２１１を通過した流体に関する情報を所得する。
【００６１】
図１に示す例では、流体情報取得装置２６２は、流体流路装置２１２に対応して設けられており、流体流路装置２１２の下流側に設けられた排出流路２２３を流れる流体についての流体情報を取得する。つまり、流体情報取得装置２６２は、流体流路装置２１２を通過した流体に関する情報を所得する。
【００６２】
ここで、流体情報は、流体の状態を示す情報であればよく、例えば、流体流路装置を通過する前の流体の状態を示す情報であってもよいし、流体流路装置を通過した後の流体の状態を示す情報であってもよい。流体の状態を示す情報は、例えば、流体の圧力、流体の温度、流体の粘度等である。本実施の形態では、複数の流体情報取得装置２６１、２６２は、何れも、流体情報として対応する流体流路装置を通過した流体の温度を取得する。
【００６３】
上記第１洗浄流路形成部６０Ａは、複数（この実施の形態では３つ）の上記流体流路装置２１１の各々について設けられる複数（この実施の形態では３つ）の洗浄流路を形成する。それぞれの洗浄流路は、対応する流体流路装置２１１に対して当該流体流路装置２１１を洗浄するための洗浄流体が当該流体流路装置２１１を被処理流体が流れる方向と反対の方向に流れることを許容する。同様に、上記第２洗浄流路形成部６０Ｂは、複数（この実施の形態では３つ）の上記流体流路装置２１２の各々について設けられる複数（この実施の形態では３つ）の洗浄流路を形成する。それぞれの洗浄流路は、対応する流体流路装置２１２に対して当該流体流路装置２１２を洗浄するための洗浄流体が当該流体流路装置２１２を被処理流体が流れる方向と反対の方向に流れることを許容する。
【００６４】
上記第１洗浄流路形成部６０Ａは、第１洗浄流体供給流路形成部６１Ａを含み、当該第１洗浄流体供給流路形成部６１Ａは、複数の流体処理モジュール２０がそれぞれ有する上記流体流路装置２１１のそれぞれについて設けられる複数（この実施の形態では３つ）の洗浄流体供給流路を形成する。同様に、上記第２洗浄流路形成部６０Ｂは、第２洗浄流体供給流路形成部６１Ｂを含み、当該第２洗浄流体供給流路形成部６１Ｂは、複数の流体処理モジュール２０がそれぞれ有する複数（この実施の形態では３つ）の流体流路装置２１２のそれぞれについて設けられる複数（この実施の形態では３つ）の洗浄流体供給流路を形成する。上記第２洗浄流体供給流路形成部６１Ｂの上流端は、第１洗浄流体供給流路形成部６１Ａに接続されている。従って、上記複数の洗浄流路は共通の上流端、つまり上記第１洗浄流体流路形成部６０Ａの上流端、につながっている。
【００６５】
この第１洗浄流体供給流路形成部６１Ａの上流端に上記洗浄流体供給ポンプ７０が接続されている。洗浄流体供給ポンプ７０は、第１洗浄流体供給流路形成部６１Ａのうち第２洗浄流体供給流路形成部６１Ｂが接続されている位置よりも上流側に設けられて、第１洗浄流体供給流路形成部６１Ａと第２洗浄流体流路形成部６１Ｂの各々に洗浄流体を流す。
【００６６】
上記第１洗浄流体供給流路形成部６１Ａは、共通流路６１１と、複数の接続流路６１２とを含む。以下、これらについて説明する。
【００６７】
共通流路６１１の上流端に上記洗浄流体供給ポンプ７０が接続されている。共通流路６１１には、洗浄流体供給ポンプ７０から送り出される洗浄流体が流れる。
【００６８】
複数の接続流路６１２は、それぞれ、共通流路６１１から分岐している。複数の接続流路６１２の各々には、共通流路６１１を流れてきた洗浄流体が流れる。
【００６９】
図１に示す例では、複数の接続流路６１２は、複数の流体処理モジュール２０がそれぞれ有する中間流路２２２に対して１つずつ接続されている。具体的には、接続流路６１２は、対応する流体流路装置２１１の下流側に位置する流路切替弁２５２と当該流体流路装置２１１との間の洗浄流体導入位置において通常流路２２の中間流路２２２に接続されている。これにより、上記第１洗浄流体供給流路形成部６１Ａを通じて洗浄流体を流体流路装置２１１の出口側から当該流体流路装置２１１に流入させることができる。すなわち、当該第１洗浄流体供給流路形成部６１Ａは、３つの流体流路装置２１１にそれぞれ対応する３つの洗浄流体供給流路を形成し、各洗浄流体供給流路は、上記洗浄流体が上記洗浄流体導入位置から上記流体流路装置２１１に供給されることを許容する。
【００７０】
上記流体処理システム１０は、複数の開閉弁６５１及び複数の逆止弁６６１をさらに備え、これらは上記複数の洗浄流体供給流路にそれぞれ設けられている。上記複数の開閉弁６５１のそれぞれは、上記共通流路６１１から上記中間流路２２２に洗浄流体が流れるのを許容する状態と遮断する状態とに切り替えられる。つまり、当該複数の開閉弁６５１は、上記洗浄流体供給ポンプ７０からそれぞれの洗浄流体供給流路への洗浄流体の流通を許容する状態と遮断する状態とに個別に切り替えられる複数の洗浄切替弁に相当する。上記複数の逆止弁６６１のそれぞれは、開閉弁６５１よりも中間流路２２２の近くに設けられて、中間流路２２２から共通流路６１１に洗浄流体が流れ込むのを阻止する。
【００７１】
いずれかの流体流路装置２１１を洗浄する場合には、その流体流路装置２１１に対応する接続流路６１２に設けられた開閉弁６５１を開いて流体流路装置２１１に洗浄流体が流入するのを許容することが行われる。一方、洗浄を要しない流体流路装置２１１に対応する接続流路６１２に設けられた開閉弁６５１は閉じられ、当該流体流路装置２１１に洗浄流体が流入するのを阻止する。
【００７２】
上記第２洗浄流体供給流路形成部６１Ｂは、共通流路６１３と、複数の接続流路６１４とを含む。以下、これらについて説明する。
【００７３】
共通流路６１３の上流端は、第１洗浄流体供給流路形成部６１Ａにおける共通流路６１１に接続されている。共通流路６１３には、洗浄流体供給ポンプ７０から送り出される洗浄流体が流れる。
【００７４】
複数の接続流路６１４は、それぞれ、共通流路６１３から分岐している。複数の接続流路６１４の各々には、共通流路６１３を流れてきた洗浄流体が流れる。
【００７５】
図１に示す例では、複数の接続流路６１４は、複数の流体処理モジュール２０がそれぞれ有する排出流路２２３に対して１つずつ接続されている。具体的には、接続流路６１４は、対応する流体流路装置２１２の下流側に位置する流路切替弁２５３と当該流体流路装置２１２との間の洗浄流体排出位置において通常流路２２の排出流路２２３に接続されている。これにより、上記第２洗浄流体供給流路形成部６１Ｂを通じて上記洗浄流体を流体流路装置２１２の出口側から当該流体流路装置２１２に流入させることができる。すなわち、当該第２洗浄流体供給流路形成部６１Ｂは、３つの流体流路装置２１２にそれぞれ対応する３つの洗浄流体供給流路を形成し、各洗浄流体供給流路は、上記洗浄流体が上記洗浄流体導入位置から上記流体流路装置２１２に供給されることを許容する。
【００７６】
上記流体処理システム１０は、複数の開閉弁６５２及び複数の逆止弁６６２をさらに備え、これらは上記複数の洗浄流体供給流路にそれぞれ設けられている。上記複数の開閉弁６５２のそれぞれは、上記共通流路６１１から上記排出流路２２３に洗浄流体が流れるのを許容する状態と遮断する状態とに切り替えられる。つまり、当該複数の開閉弁６５２は、上記洗浄流体供給ポンプ７０からそれぞれの洗浄流体供給流路への洗浄流体の流通を許容する状態と遮断する状態とに個別に切り替えられる複数の洗浄切替弁に相当する。上記複数の逆止弁６６２のそれぞれは、開閉弁６５２よりも排出流路２２３の近くに設けられて、排出流路２２３から共通流路６１１に洗浄流体が流れ込むのを阻止する。
【００７７】
いずれかの流体流路装置２１２を洗浄する場合には、その流体流路装置２１２に対応する接続流路６１４に設けられた開閉弁６５２を開いて流体流路装置２１２に洗浄流体が流入するのを許容することが行われる。一方、洗浄を要しない流体流路装置２１２に対応する接続流路６１２に設けられた開閉弁６５１は閉じられ、当該流体流路装置２１２に洗浄流体が流入するのを阻止する。
【００７８】
上記第１洗浄流路形成部６０Ａは、第１洗浄流体排出流路形成部６２Ａをさらに含み、当該第１洗浄流体排出流路形成部６２Ａは、複数の流体処理モジュール２０がそれぞれ有する上記流体流路装置２１１のそれぞれについて設けられる複数（この実施の形態では３つ）の洗浄流体排出流路を形成する。同様に、上記第２洗浄流路形成部６０Ｂは、第２洗浄流体排出流路形成部６２Ｂを含み、当該第２洗浄流体排出流路形成部６２Ｂは、複数の流体処理モジュール２０がそれぞれ有する複数（この実施の形態では３つ）の流体流路装置２１２のそれぞれについて設けられる複数（この実施の形態では３つ）の洗浄流体排出流路を形成する。上記第２洗浄流体排出流路形成部６２Ｂの下流端は、上記第１洗浄流体排出流路形成部６１Ａに接続されている。従って、上記複数の洗浄流路は共通の下流端、つまり上記第１洗浄流体流路形成部６０Ａの下流端、につながっている。
【００７９】
上記第１洗浄流体排出流路形成部６２Ａは、共通流路６２１と、複数の接続流路６２２とを含む。以下、これらについて説明する。
【００８０】
複数の接続流路６２２は、それぞれ、共通流路６２１に合流するように当該共通流路６２１に接続されている。これにより、共通流路６２１には、複数の接続流路６２２を流れてきた使用済の洗浄流体が流れる。
【００８１】
図１に示す例では、複数の接続流路６２２は、複数の流体処理モジュール２０がそれぞれ有する供給流路２２１に対して１つずつ接続されている。具体的には、接続流路６２２は、対応する流体流路装置２１１の上流側に位置する流路切替弁２５１と当該流体流路装置２１１との間の洗浄流体排出位置において通常流路２２の供給流路２２１に接続されている。これにより、洗浄流体を流体流路装置２１１の入口側から上記第１洗浄流体排出流路形成部６２Ａを通じて系外に排出することができる。すなわち、当該第１洗浄流体排出流路形成部６２Ａは、３つの流体流路装置２１１にそれぞれ対応する３つの洗浄流体排出流路を形成し、各洗浄流体排出流路は、上記流体流路装置２１１を流れた上記洗浄流体が上記洗浄流体排出位置を通って排出されることを許容する。
【００８２】
上記流体処理システム１０は、複数の開閉弁６５３及び複数の逆止弁６６３をさらに備え、これらは上記複数の洗浄流体排出流路にそれぞれ設けられている。上記複数の開閉弁６５３は、上記供給流路２２１から上記共通流路６２１に洗浄流体が流れるのを許容する状態と遮断する状態とに切り替えられる。つまり、当該複数の開閉弁６５３は、上記流体流路装置２１１からの洗浄流体の排出を許容する状態と遮断する状態とに個別に切り替えられる複数の洗浄切替弁に相当する。上記複数の逆止弁６６３のそれぞれは、開閉弁６５３よりも供給流路２２１の近くに設けられて、共通流路６２１から供給流路２２１に洗浄流体が流れ込むのを阻止する。
【００８３】
いずれかの流体流路装置２１１を洗浄する場合には、当該流体流路装置２１１に対応する接続流路６２２に設けられた開閉弁６５３を開いて当該流体流路装置２１１を通過した洗浄流体が接続流路６２２に排出されるのを許容することが行われる。
【００８４】
上記第２洗浄流体排出流路形成部６２Ｂは、共通流路６２３と、複数の接続流路６２４とを含む。以下、これらについて説明する。
【００８５】
複数の接続流路６２４は、それぞれ、共通流路６２３に合流するように当該共通流路６２３に接続されている。これにより、共通流路６２３には、複数の接続流路６２４を流れてきた使用済の洗浄流体が流れる。
【００８６】
図１に示す例では、複数の接続流路６２４は、複数の流体処理モジュール２０がそれぞれ有する中間流路２２２に対して１つずつ接続されている。具体的には、接続流路６２４は、対応する流体流路装置２１２の上流側に位置する流路切替弁２５１と当該流体流路装置２１２との間の洗浄流体排出位置において通常流路２２の中間流路２２２に接続されている。これにより、洗浄流体を流体流路装置２１２の入口側から上記第２洗浄流体排出流路形成部６２Ｂを通じて系外に排出することができる。すなわち、当該第２洗浄流体排出流路形成部６２Ｂは、３つの流体流路装置２１２にそれぞれ対応する３つの洗浄流体排出流路を形成し、各洗浄流体排出流路は、上記流体流路装置２１２を流れた上記洗浄流体が上記洗浄流体排出位置を通って排出されることを許容する。
【００８７】
上記流体処理システム１０は、複数の開閉弁６５４及び複数の逆止弁６６４をさらに備え、これらは上記複数の洗浄流体排出流路にそれぞれ設けられている。上記複数の開閉弁６５４は、上記中間流路２２２から上記共通流路６２３に洗浄流体が流れるのを許容する状態と遮断する状態とに切り替えられる。つまり、当該複数の開閉弁６５４は、上記流体流路装置２１２からの洗浄流体の排出を許容する状態と遮断する状態とに個別に切り替えられる複数の洗浄切替弁に相当する。上記複数の逆止弁６６４のそれぞれは、開閉弁６５４よりも中間流路２２２の近くに設けられて、共通流路６２３から中間流路２２２に洗浄流体が流れ込むのを阻止する。
【００８８】
いずれかの流体流路装置２１２を洗浄する場合には、当該流体流路装置２１２に対応する接続流路６２４に設けられた開閉弁６５４を開いて当該流体流路装置２１２を通過した洗浄流体が接続流路６２４に排出されるのを許容することが行われる。
【００８９】
制御装置８０は、複数の流体情報取得装置２６１、２６２の各々によって取得された流体情報に基づいて、複数の流体処理モジュール２０の各々において行われる所定の処理を制御する。
【００９０】
続いて、図４を参照しながら、制御装置８０について説明する。図４は、制御装置８０の概略構成を示す機能ブロック図である。
【００９１】
制御装置８０は、異常特定部８０１と、バイパス流路制御部８０２と、流量制御部８０３と、洗浄制御部８０４とを含む。以下、これらについて説明する。
【００９２】
異常特定部８０１は、複数の流体処理モジュール２０のそれぞれについて、複数の流体情報取得装置２６１、２６２の各々によって取得された流体情報（本実施の形態では、温度情報）に基づいて複数の流体流路装置２１１、２１２のうち異常な状態である流体流路装置を特定する。
【００９３】
バイパス流路制御部８０２は、複数のバイパス流路２４１、２４２のうち異常特定部８０１によって特定された異常な状態である流体流路装置を迂回するバイパス流路に被処理流体が流れるようにする。
【００９４】
流量制御部８０３は、複数の流体流路装置２１１、２１２のうち異常特定部８０１によって特定された異常な状態である流体流路装置以外の流体流路装置である正常な流体流路装置に対する被処理流体の流入量が当該正常な流体流路装置において予め設定された所定の処理を行うための能力を示す処理可能容量を超えないように当該正常な流体流路装置の数及び当該正常な流体流路装置に設定された処理可能容量に応じて流量制御弁２３を制御し、当該正常な流体流路装置にて所定の処理が行われるようにする。
【００９５】
洗浄制御部８０４は、上記第１及び第２洗浄流路形成部６０Ａ、６０Ｂにより形成される複数（この実施の形態では６つ）の洗浄流路のうち異常特定部８０１によって特定された異常な状態である流体流路装置に対応する洗浄流路にのみ洗浄流体が流れるように上記洗浄切替弁である上記開閉弁６５１〜６５４を開閉操作する。
【００９６】
続いて、図５を参照しながら、制御装置８０によって実行される流体処理システム１０の監視処理について説明する。図５は、制御装置８０によって実行される流体処理システム１０の監視処理を示すフローチャートである。
【００９７】
先ず、制御装置８０は、ステップＳ１１において、流体情報を取得する流体情報取得処理を実行する。この処理は、例えば、流体情報取得装置２６１、２６２から入力される流体情報を図示しない記憶装置に記憶することによって実施される。
【００９８】
続いて、制御装置８０は、ステップＳ１２において、ステップＳ１１にて取得した流体情報が複数の流体流路装置２１１，２１２のいずれかに異常が発生していることを示すものであるか否かを判定する。
【００９９】
取得した流体情報が異常の発生を示すものである場合（ステップＳ１２でＹＥＳ）、制御装置８０は、ステップＳ１３において、異常が発生している流体流路装置２１を特定する異常特定処理を実行する。この処理は、例えば、異常が発生していることを示す流体情報を入力した流体情報取得装置２６とその異常が発生した流体流路装置とを特定することによって実行される。
【０１００】
続いて、制御装置８０は、ステップＳ１４において、複数のバイパス流路２４１，２４２のうち異常が発生している流体流路装置を迂回するバイパス流路を開通させるバイパス流路設定処理を実行する。例えば、図６に示すように、流体流路装置２１１に異常が発生している場合には、流路切替弁２５１がバイパス流路２４に流体が流れることを許容し且つ流路切替弁２５２がバイパス流路２４を流れてきた流体（被処理流体）が流体流路装置２１２を流れることを許容するように当該流路切替弁２５１，２５２の状態を切り替えることで、流体流路装置２１１を迂回して供給流路２２１から中間流路２２２に流体（被処理流体）が流れるのを許容するバイパス流路２４１が開通される。
【０１０１】
続いて、制御装置８０は、ステップＳ１５において、複数の流体流路装置２１１、２１２のうち正常な流体流路装置に対する被処理流体の流入量を調整する流量調整処理を実行する。
【０１０２】
続いて、制御装置８０は、ステップＳ１５において、異常が発生している流体流路装置２１を洗浄する洗浄処理を実行する。例えば、図６に示すように、流体流路装置２１１に異常が発生している場合には、当該流体流路装置２１１を迂回するバイパス流路２４１を被処理流体が流れるようにしつつ、当該流体流路装置２１を洗浄する。具体的に、当該制御装置８０は、流通切替弁である流路切替弁２５１，２５２をそれぞれが供給流路２２１及び中間流路２２２における流体の流通を遮断する状態に切り替えるとともに、複数の開閉弁６５１，６５３のうち洗浄されるべき流体流路装置に対応するものを開く。これにより、開かれた開閉弁に対応する洗浄流体供給流路、洗浄流体供給位置及び中間流路２２２を順に通って洗浄流体が上記流体流路装置２１１に供給されることが許容されるとともに、当該流体流路装置２１１から排出される洗浄流体が供給流路２２１、洗浄流体排出位置及び洗浄流体排出流路を通じて系外に排出されることが許容される。
【０１０３】
その後、制御装置８０は、流体処理システム１０の監視処理を終了する。
【０１０４】
なお、取得した流体情報が異常を示すものではない場合（ステップＳ１２：ＮＯ）、制御装置８０は、複数の流体処理モジュール２０を用いて被処理流体に所定の処理を行う。その後、制御装置８０は、流体処理システム１０の監視処理を終了する。
【０１０５】
このような流体処理システム１０においては、複数の流体処理モジュール２０の各々において直列に配置された複数の流体処理装置２１１、２１２よりも上流側に流量制御弁２３が設けられているので、当該流量制御弁２３によって複数の流体流路装置２１１、２１２の各々に対する被処理流体の流入量を纏めて調整することができる。そのため、流体処理システム１０において必要な流量制御弁２３の数を少なくしつつ、複数の流体処理モジュール２０がそれぞれ有する複数の流体流路装置２１１、２１２に対する被処理流体の流入量を適当に調整することができる。
【０１０６】
また、流体処理システム１０においては、直列に配置された複数の流体流路装置２１１、２１２の何れかが異常な状態になったとしても、複数のバイパス流路２４１，２４２のうち当該異常な状態の流体流路装置を迂回するバイパス流路を被処理流体が流れる。そのため、異常な状態になった流体流路装置以外の流体流路装置（つまり、正常な流体流路装置）を用いて被処理流体に対する処理を継続することができる。その結果、異常な状態の流体流路装置を含む流体処理モジュール２０において被処理流体に対する所定の処理が不能となる事態を回避することができる。
【０１０７】
また、流体処理システム１０においては、異常な状態になった流体流路装置に被処理流体が流入するのを回避した状態で、異常な状態になった流体流路装置に洗浄流路をその出口側から入口側に流すことができる。そのため、複数の流体流通装置２１１、２１２のうち異常な状態である流体流路装置以外の流体流路装置（つまり、正常な流体流路装置）にて所定の処理を行いながら、異常な状態である流体流路装置を洗浄することができる。
【０１０８】
また、流体処理システム１０においては、制御装置８０による管理処理が行われるので、複数の流体流路装置２１１、２１２の何れかに異常が発生した場合に、当該異常が発生した流体流路装置以外の流体流路装置（つまり、正常な流体流路装置）にて所定の処理を行うことが自動的に行われるようにすることができる。
【０１０９】
また、流体処理システム１０においては、正常な流体流路装置に対する被処理流体の流入量が予め設定された処理可能容量を超えないように自動的に調整されるので、正常な流体流路装置に対する被処理流体の流入量を適当に調整することが容易にできる。
【０１１０】
また、流体処理システム１０においては、バイパス流路２４が迂回するように設定された流体流路装置（つまり、異常が発生した流体流路装置）を自動的に洗浄することができる。
【０１１１】
［実施の形態の変形例］
図７を参照しながら、本発明の実施の形態の変形例に係る流体処理システムについて説明する。図７は、本発明の実施の形態の変形例に係る流体処理システムが備える制御装置８０Ａの概略構成を示す機能ブロック図である。
【０１１２】
制御装置８０Ａは、制御装置８０と比べて、継続使用制御部８０５を備える点で異なる。継続使用制御部８０５は、複数のバイパス流路２４１、２４２のうち異常特定部８０１によって特定された異常な状態である流体流路装置を迂回するバイパス流路に被処理流体が流れるようにする代わりに、複数の流体流路装置２１１，２１２のうち異常特定部８０１によって特定された異常な状態である流体流路装置を含む複数の流体流路装置の各々によって所定の処理が行われるように、異常特定部８０１によって特定された異常な状態である流体流路装置２１において上記所定の処理を行うための能力を示す処理容量であって上記異常な状態になったことで上記処理可能容量よりも低下した低下処理容量に応じて流量制御弁２３を制御する。
【０１１３】
続いて、図８を参照しながら、制御装置８０Ａによって実行される流体処理システムの監視処理について説明する。図８は、制御装置８０Ａによって実行される流体処理システムの監視処理を示すフローチャートである。
【０１１４】
制御装置８０Ａによって実行される流体処理システムの監視処理は、制御装置８０によって実行される流体処理システムの監視処理と比べて、バイパス流路設定処理（図５におけるステップＳ１４）と流量調整処理（図５におけるステップＳ１５）と洗浄処理（図５におけるステップＳ１６）の代わりに、継続使用処理（ステップＳ１７）が行われる点で異なる。
【０１１５】
継続使用処理は、異常な状態である流体流路装置が処理可能な範囲内で所定の処理を行えるように、流量制御弁２３を制御する。例えば、流体流路装置２１１に異常が発生し、本来設定された処理可能容量の５０％に低下した処理容量（低下処理容量）にて流体流路装置２１１が処理可能である場合には、流体流路装置２１１が処理可能な範囲（つまり、本来設定された処理可能容量の５０％の処理容量）内で所定の処理が行われるようにする。
【０１１６】
このような流体処理システムにおいては、異常な状態である流体流路装置に対する被処理流体の流入量を当該異常な状態である流体流路装置にて所定の処理を行うことができる範囲内に制限することができるので、異常な状態である流体流路装置であってもその使用を継続することができる。
【０１１７】
以上、本発明の実施の形態について詳述してきたが、これらはあくまでも例示であって、本発明は、上述の実施の形態の記載によって、何等、限定的に解釈されるものではない。
【０１１８】
上記実施の形態では、流体流路装置２１１を迂回するバイパス流路２４１と流体流路２１２を迂回するバイパス流路２４２とが相互につながっているが、当該バイパス流路２４１，２４２は互いに独立したものであってもよい。
【０１１９】
上記実施の形態では、上記流路切替弁２５１，２５２，２５３のそれぞれがバイパス切替弁と流通切替弁とを兼ねることが可能な三方切替弁により構成されているが、当該バイパス切替弁と当該流通切替弁が互いに独立した弁でそれぞれ構成されてもよい。ただし、複数のバイパス切替弁のうちの少なくとも一部のバイパス切替弁が上記流通切替弁を兼ねることは、システム全体における弁の総数の削減を可能にする。
【０１２０】
さらに、上記流通切替弁は、必ずしも要しない。例えば、いずれかの流体流路装置に異常が生じた場合に、当該流体流路装置への被処理流体の流入を許容したままこれに対応するバイパス流路を開くことによっても、その異常が生じた流体流路装置の下流側の流体流路装置に被処理流体が供給されることを上記バイパス流路によって許容することが可能である。ただし、上記流通切替弁の装備は、異常が生じた流体流路装置に対する被処理流体の無駄な供給を防ぐことを可能にする。
【０１２１】
上記実施の形態では、通常流路２２において被処理流体が流れる方向について、上記流体流路装置２１１，２１２のそれぞれの下流側における流通切替弁である流路切替弁２５２，２５３と当該流体流路装置２１１，２１２との間にそれぞれ洗浄流体供給位置が設定され、上記流体流路装置２１１，２１２のそれぞれの上流側における流通切替弁である流路切替弁２５１，２５２と当該流体流路装置２１１，２１２との間にそれぞれ洗浄流体排出位置が設定されることにより、洗浄流体が各流体流路装置２１１，２１２をその出口側から入口側に向かって流れることが許容されるが、逆に、上記流体流路装置２１１，２１２のそれぞれの上流側における流通切替弁である流路切替弁２５１，２５２と当該流体流路装置２１１，２１２との間にそれぞれ洗浄流体供給位置が設定され、上記流体流路装置２１１，２１２のそれぞれの下流側における流通切替弁である流路切替弁２５２，２５３と当該流体流路装置２１１，２１２との間にそれぞれ洗浄流体排出位置が設定されることにより、洗浄流体が各流体流路装置２１１，２１２をその入口側から出口側に向かって流れることが許容されてもよい。換言すれば、図１に示される流体処理システムにおける上記第１洗浄流体排出流路形成部６２Ａの下流端を逆に複数の洗浄流路の共通の上流端としてこれに上記洗浄流体供給ポンプ７０が接続され、上記第１洗浄流体供給流路形成部６１Ａの上流端を逆に下流端としてここから洗浄流体が系外に排出されるようにしてもよい。
【０１２２】
さらに、洗浄流路は省略されることも可能である。例えば、いずれかの流体流路装置に異常が発生した場合、その流体流路装置を洗浄することなく直ちに正常な流体流路装置に交換してもよい。
【符号の説明】
【０１２３】
１０  流体処理システム
２０  流体処理モジュール
２１１，２１２  流体流路装置
２２  通常流路
２３  流量制御弁
２４  バイパス流路
２５１〜２５４  流路切替弁
２６  流体情報取得装置
３０  共通供給流路
４０  被処理流体供給ポンプ
５０  共通排出流路
６０Ａ  第１洗浄流路形成部
６０Ｂ  第２洗浄流路形成部
６１Ａ  第１洗浄流体供給流路形成部
６１Ｂ  第２洗浄流体供給流路形成部
６２Ａ  第１洗浄流体排出流路形成部
６２Ｂ  第２洗浄流体排出流路形成部
７０  洗浄流体供給ポンプ
８０  制御装置
【図１】
2020018955.tif 000003
【図２】
2020018955.tif 000004
【図３】
2020018955.tif 000005
【図４】
2020018955.tif 000006
【図５】
2020018955.tif 000007
【図６】
2020018955.tif 000008
【図７】
2020018955.tif 000009
【図８】
2020018955.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】令和1年7月2日(2019.7.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
この態様において、上記流体処理システムは、さらに、上記複数の流体流路装置の各々に対応して設けられ、各々が上記複数の流体流路装置のうち対応する流体流路装置に対して当該流体流路装置を洗浄する洗浄流体が当該流体流路装置を流れることを許容する複数の洗浄流路と、をさらに備え、上記複数の洗浄流路のそれぞれは、当該洗浄流路に対応する流体流路装置の上流側または下流側における上記流通切替弁と上記流体流路装置との間の洗浄流体導入位置において上記通常流路に接続され、上記流体流路装置に上記洗浄流体導入位置から上記通常流路を通じて洗浄流体が供給されることを許容する洗浄流体供給流路と、上記流体流路装置を挟んで上記洗浄流体導入位置と反対側に位置する上記流通切替弁と上記流体流路装置との間の位置である洗浄流体排出位置において上記通常流路に接続され、上記流体流路装置を流れた上記洗浄流体が上記洗浄流体排出位置を通って排出されることを許容する洗浄流体排出流路とを含むことが、好ましい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
このような態様においては、異常な状態になった流体流路装置に対応して設けられた開閉弁を制御して当該異常な状態になった流体流路装置に被処理流体が流入するのを回避した状態で、当該異常な状態になった流体流路装置に対応して設けられた洗浄流路を洗浄流体が流れるようにして当該異常な状態になった流体流路装置を洗浄することができる。そのため、複数の流体流路装置のうち異常な状態である流体流路装置以外の流体流路装置（つまり、正常な流体流路装置）にて所定の処理を行いながら、異常な状態である流体流路装置を洗浄することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０７】
また、流体処理システム１０においては、異常な状態になった流体流路装置に被処理流体が流入するのを回避した状態で、異常な状態になった流体流路装置に洗浄流路をその出口側から入口側に流すことができる。そのため、複数の流体流路装置２１１、２１２のうち異常な状態である流体流路装置以外の流体流路装置（つまり、正常な流体流路装置）にて所定の処理を行いながら、異常な状態である流体流路装置を洗浄することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体処理システムであって、
互いに並列に配置され、各々が処理対象としての被処理流体を流通させながら当該被処理流体に所定の処理を行うことで目的とする目標流体を生成する複数の流体処理モジュールを備え、
上記複数の流体処理モジュールは、それぞれ、
直列に配置され、各々が上記被処理流体を流通させながら当該被処理流体に上記所定の処理を行う複数の流体流路装置と、
上記被処理流体が上記複数の流体流路装置の全てを流れるように、上記複数の流体流路装置の各々がその途中に設けられた通常流路と、
上記通常流路の途中であって且つ上記被処理流体が流れる方向において上記複数の流体流路装置よりも上流側に設けられ、上記複数の流体流路装置の各々に対する上記被処理流体の流入量を調整する流量制御弁と、
上記複数の流体流路装置の各々に対応して設けられ、各々が上記複数の流体流路装置のうち対応する流体流路装置を迂回するように上記被処理流体が流れるのを許容する複数のバイパス流路と、
上記複数のバイパス流路の各々に対応して設けられ、各々が上記複数のバイパス流路のうち対応するバイパス流路において上記被処理流体が流れることを許容する状態と遮断する状態とに切り替えられる複数のバイパス切替弁と、を含む、流体処理システム。
【請求項２】
請求項１記載の流体処理システムであって、上記通常流路と上記バイパス流路とが接続される位置またはそれよりも上記バイパス流路に対応する上記流体流路装置に近い位置にそれぞれ設けられ、上記通常流路における上記被処理流体の流通を許容する状態と阻止する状態とに切り替えられる複数の流通切替弁を、さらに備える、流体処理システム。
【請求項３】
請求項２に記載の流体処理システムであって、
上記複数の流体流路装置の各々に対応して設けられ、各々が上記複数の流体流路装置のうち対応する流体流路装置に対して当該流体流路装置を洗浄する洗浄流体が当該流体流路装置を上記被処理流体が流れる方向とは反対の方向に流れることを許容する複数の洗浄流路をさらに備え、
上記複数の洗浄流路のそれぞれは、
当該洗浄流路に対応する流体流路装置の上流側または下流側における上記流通切替弁と上記流体流路装置との間の洗浄流体導入位置において上記通常流路に接続され、上記流体流路装置に上記洗浄流体導入位置から上記通常流路を通じて洗浄流体が供給されることを許容する洗浄流体供給流路と、
上記流体流路装置を挟んで上記洗浄流体導入位置と反対側に位置する上記流通切替弁と上記流体流路装置との間の位置である洗浄流体排出位置において上記通常流路に接続され、上記流体流路装置を流れた上記洗浄流体が上記洗浄流体排出位置を通って排出されることを許容する洗浄流体排出流路と、を含む、流体処理システム。
【請求項４】
請求項３記載の流体処理システムであって、
上記複数の洗浄流路は、洗浄流体供給ポンプに接続可能な共通の上流端につながっており、
上記流体処理システムは、上記複数の洗浄流路のそれぞれに設けられて当該洗浄流路における洗浄流体の流通を許容する状態と遮断する状態とに個別に切り替えられる複数の洗浄切替弁をさらに備える、流体処理システム。
【請求項５】
請求項１記載の流体処理システムであって、
上記複数の流体流路装置の各々に対応して設けられ、当該流体流路装置を流れる上記被
処理流体についての情報であって当該流体流路装置が上記所定の処理を行うことができない異常な状態であるか否かを判断するために用いられる流体情報を取得する複数の流体情報取得装置と、
上記複数の流体情報取得装置の各々によって取得された上記流体情報に基づいて、上記複数の流体処理モジュールの各々において行われる上記所定の処理を制御する制御装置をさらに備え、
上記制御装置は、
上記複数の流体処理モジュールのそれぞれについて、上記複数の流体情報取得装置の各々によって取得された上記流体情報に基づいて上記複数の流体流路装置のうち上記異常な状態である流体流路装置を特定する異常特定部と、
上記複数のバイパス流路のうち上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置を迂回するバイパス流路に上記被処理流体が流れるように上記複数のバイパス切替弁の状態を切り替えるバイパス流路制御部と、
上記複数の流体流路装置のうち上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置以外の流体流路装置である正常な流体流路装置に対する上記被処理流体の流入量が当該正常な流体流路装置において予め設定された上記所定の処理を行うための能力を示す処理可能容量を超えないように当該正常な流体流路装置の数及び当該正常な流体流路装置に設定された上記処理可能容量に応じて上記流量制御弁を制御し、当該正常な流体流路装置にて上記所定の処理が行われるようにする流量制御部と、を含む、流体処理システム。
【請求項６】
請求項５に記載の流体処理システムであって、
上記制御装置は、
上記複数のバイパス流路のうち上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置を迂回するバイパス流路に上記被処理流体が流れるようにする代わりに、上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置を含む上記複数の流体流路装置の各々によって上記所定の処理が行われるように、上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置において上記所定の処理を行うための能力を示す処理容量であって上記異常な状態になったことで上記処理可能容量よりも低下した低下処理容量に応じて上記流量制御弁を制御する継続使用制御部をさらに含む、流体処理システム。
【請求項７】
請求項５または６に記載の流体処理システムであって、
上記通常流路と上記バイパス流路とが接続される位置またはそれよりも上記バイパス流路に対応する上記流体流路装置に近い位置にそれぞれ設けられ、上記通常流路における上記被処理流体の流通を許容する状態と阻止する状態とに切り替えられる複数の流通切替弁と、上記複数の流体流路装置の各々に対応して設けられ、各々が上記複数の流体流路装置のうち対応する流体流路装置に対して当該流体流路装置を洗浄する洗浄流体が当該流体流路装置を上記被処理流体が流れる方向とは反対の方向に流れることを許容する複数の洗浄流路と、をさらに備え、
上記複数の洗浄流路のそれぞれは、
当該洗浄流路に対応する流体流路装置の上流側または下流側における上記流通切替弁と上記流体流路装置との間の洗浄流体導入位置において上記通常流路に接続され、上記流体流路装置に上記洗浄流体導入位置から上記通常流路を通じて洗浄流体が供給されることを許容する洗浄流体供給流路と、
上記流体流路装置を挟んで上記洗浄流体導入位置と反対側に位置する上記流通切替弁と上記流体流路装置との間の位置である洗浄流体排出位置において上記通常流路に接続され、上記流体流路装置を流れた上記洗浄流体が上記洗浄流体排出位置を通って排出されることを許容する洗浄流体排出流路と、を有し、
上記複数の洗浄流路は、洗浄流体供給ポンプに接続可能な共通の上流端につながっており、
上記流体処理システムは、上記複数の洗浄流路のそれぞれに設けられて当該洗浄流路における洗浄流体の流通を許容する状態と遮断する状態とに個別に切り替えられる複数の洗
浄切替弁をさらに備え、
上記制御装置は、上記複数の洗浄流路のうち上記異常特定部によって特定された上記異常な状態である流体流路装置に対応する洗浄流路についてのみ上記洗浄流体の流通を許容するように上記複数の洗浄切替弁を操作する洗浄制御部をさらに含む、流体処理システム。