(57)【要約】【課題】ボイドの発生を抑えるための解決策を提供すること。【解決手段】真空スキージ機構１は、スクリーン４又はフイルムの表面の一部領域を外部と遮断する空間を形成する真空室壁５ａ、５ｂと、真空壁により形成された空間を仕切るための仕切壁１２、１３、１４と、ラビリンスシール３ａ、３ｂと、スキージ８ａ、８ｂ、８ｃと、真空室１ａ、１ｂおよび充填室３２、３３とから構成される。充填室３２、３３には印刷部材７ａ、７ｂが充填されている。真空室１ａ、１ｂ内はバルブ６ａ、６ｂの接続切り替えにより、減圧および大気圧あるいはそれ以上の圧力に切り替えられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被印刷基板を載置する印刷テーブルと、前記被印刷基板の表面に当接されたスクリーン又はフイルムの表面を摺動するスキージと、前記スキージを前記印刷テーブルと相対運動させるための駆動機構と、を備え、
前記スキージを用いて前記スクリーン又はフイルムに形成された開口部に印刷部材を充填することにより印刷を行うスクリーン印刷機において、
前記スクリーン又はフイルムの表面の一部領域を外部と遮断する空間を形成する真空壁と、
前記真空壁により形成された空間を仕切るための仕切壁と、
前記真空壁の端面に具備されると共に前記スクリーン又はフイルムの表面に近接もしくは接するシール機構と、
前記仕切壁の端面に具備されると共に前記スクリーン又はフイルムの表面に接する前記スキージと、
前記真空壁と前記仕切壁とにより形成された真空室および充填室と、から構成される真空スキージ機構を具備し、
前記充填室には前記印刷部材が充填され、前記真空室内の気体は減圧排気されていることを特徴とするスクリーン印刷機
【請求項２】
前記真空スキージ機構は前記印刷テーブルに対して平行と垂直方向に運動可能な駆動機能であって、
前記真空壁内には前記平行運動の進行方向側とその反対側とに独立した真空室が形成されると共に前記進行方向側真空室と前記反進行方向側真空室との間に前記充填室が配置され、
前記進行方向側真空室と反進行方向側真空室には各々真空排気装置と大気もしくは大気圧以上に加圧できる加圧装置とに切り換え接続可能なバルブが接続されていることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機
【請求項３】
前記バルブは、前記進行方向側真空室には前記真空排気装置と接続されると同時に前記反進行方向側真空室には大気もしくは大気圧以上に加圧できる加圧装置とに接続切り替え可能な切換バルブであることを特徴とする請求項２に記載のスクリーン印刷機
【請求項４】
前記充填室には前記印刷部材を攪拌するペースト撹拌機を有することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のスクリーン印刷機
【請求項５】
前記充填室には外部から前記印刷部材を補充するための印刷部材供給口を有することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載のスクリーン印刷機
【請求項６】
前記充填室には前記印刷部材に圧力を加えることができるピストンが内蔵されていることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のスクリーン印刷機
【請求項７】
前記充填室は前記仕切壁により複数形成され、複数の前記充填室間の前記仕切壁には前記ピストンにより前記充填室の圧力が変化した場合に前記印刷部材が移動できる通路が形成されていることを特徴とする請求項６に記載のスクリーン印刷機
【請求項８】
前記スキージは金属又はゴム又は樹脂又はそれらの複合構成からなることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載のスクリーン印刷機
【請求項９】
前記シール機構はラビリンスシールであることを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載のスクリーン印刷機
【請求項１０】
前記シール機構はローラもしくは舟形ブレードであることを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載のスクリーン印刷機
【請求項１１】
前記シール機構と近接もしくは接することが可能な回収プレートを前記スクリーンの上部に具備し、前記真空室内の気体を減圧排気することにより前記回収プレートを前記真空シール機構に吸着させ、前記真空スキージ機構と前記回収プレートを共に前記スクリーンに対して垂直方向に移動させることが可能なことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機
【請求項１２】
被印刷基板を載置する印刷テーブルと、前記被印刷基板の表面に当接されたスクリーン又はフイルムの表面を摺動するスキージと、前記スキージを前記印刷テーブルと相対運動させるための駆動機構と、を備え、
前記スキージを用いて前記スクリーン又はフイルムに形成された開口部に印刷部材を充填することにより印刷を行うスクリーン印刷機において、
前記スクリーン又はフイルムの表面の一部領域を外部と遮断する空間を形成する真空壁と、
前記真空壁により形成された空間を仕切るための仕切壁と、
前記真空壁の端面に具備されると共に前記スクリーン又はフイルムの表面に近接もしくは接するシール機構と、
前記仕切壁の端面に具備されると共に前記スクリーン又はフイルムの表面に接する前記スキージと、
前記真空壁と前記仕切壁とにより形成された真空室および充填室と、から構成される真空スキージ機構を具備し、
前記充填室には前記印刷部材が充填され、前記真空室内の気体は減圧排気、又は加圧され、前記真空スキージ機構が前記印刷テーブルに対して平行移動することにより、前記被印刷基板に印刷することを特徴とする印刷方法
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は鋼板に穴を開けたスクリーン、高分子糸で形成されたスクリーン又はフイルムに開口部を設けたスクリーンなどを使用し印刷した印刷部材内に残留する空気の除去に関する。
【背景技術】
【０００２】  電子部品の製造、バンプ形成、基板に電子部品の実装等の分野でスクリーン印刷機を使用して、インキ、ソルダペースト、樹脂モールド等の印刷物を印刷する工法がある。【０００３】  図６に従来の印刷部材を印刷するスクリーン印刷工法の一例を示す。図６（Ａ）はスキージ上昇後の空気とじ込みを示す。スキージ２０ａが矢印Ｃの方向に移動することにより基板１８とスクリーン４の開口部への印刷部材の充填を終え、スクリーン４からスキージ２０ａが矢印Ｏの方向に上昇する過程で印刷部材であるソルダペースト１５がスクリーン４とスキージ２０ａの間で分離する。スクリーン４側のソルダペースト１５の先端はスクリーン４上に倒れ込む時に空気Ｌをソルダペースト１５内に巻き込む。【０００４】  図６（Ｂ）はスキージ２０ｂの下降後を示す。新たな基板１８にソルダペースト１５を印刷するとき、スキージ２０ｂが矢印Ｐの方向に下降し、スクリーン４面に接したら矢印Ｑの方向に移動を開始する。移動に伴いソルダペースト１５は矢印Ｎの方向に回転するとき空気Ｌ１を巻込みながら移動し、スクリーン４の開口部Ｅと基板１８の開口部Ｆにソルダペースト１５を充填する。【０００５】  図６（Ｃ）はスキージ２０ｂの移動によるソルダペースト１５の印刷を示す。スキージ２０ｂはクリーン４の開口部Ｅと基板１８の開口部内にある空気の一部を包み込んで印刷するため、クリーン４の開口部Ｅと基板１８の開口部内には空気Ｍと前記スキージ２０ｂの移動時に巻き込んだ空気Ｌ１が原因となって空気Ｌ２として基板開口部Ｆ内に残留する。その結果、バンプ形成などでスクリーンの開口径又はフイルムの開口径の微小化が進むと開口部内の先に説明した空気により印刷部材の正確な定量印刷が困難になる。【０００６】  図６（Ｄ）はスキージ２０ｂの移動後の基板開口部Ｆ内のソルダペースト１５内に空気ＭとＬ２が残留していることを示し、図６（Ｅ）は印刷後に示すスクリーン４と基板１８とを分離した後でも空気ＭとＬ２が空気溜として開口部Ｆに残留していることを示す。【０００７】  インキ、ソルダペースト、流動樹脂類の印刷に使用されているスクリーン印刷機の主要構成の一部を図７に示す。このスクリーン印刷機の主要機器はチャンバ２５に収容されている。スクリーン４にはフイルムを使用した印刷方式も含み、ヘッド２９にはスキージ２０ｂと２０ａが取り付けられている。矢印ｄａとｄｂ方向に移動させる垂直駆動部２８ａと２８ｂが具備されている。一方、ヘッド２９の矢印Ｃ又はＢ方向への移動は水平駆動部３０によってなされる。基板１８を固定する印刷テーブル２３と印刷テーブル昇降部３１で印刷部２４が構成されている。【０００８】  図７のスキージ２０ａは矢印Ｃ方向に移動するとき、印刷部材１５を回転（図６（Ｂ）参照）させながら移動しスクリーン４の開口部（図６のＥとＦ参照）に印刷する。前記の空気によるボイド発生の影響を少なくする印刷方法として、図７に示すように印刷部２４をチャンバ２５で囲い、チャンバ２５内の空気を真空ポンプ２７で減圧して印刷する方法が紹介されている（例えば文特許献１参照）。
チャンバ２５内を減圧し、その後印刷バルブ２６を開放しチャンバ２５内を大気圧に戻して印刷部材１５を押し込んでいる。【０００９】  しかし、チャンバ２５内を減圧すると印刷部材１５内に揮散が押えられない沸点を持つ溶剤が含まれている場合、印刷部材の特性の安定性維持が困難となる。また、チャンバ２５内を減圧下で印刷し、印刷終了後バルブ２６を開放して大気で印刷部材１５を押込むことは、減圧下環境から大気圧環境に戻す時間が数十秒かかることから印刷部材１５の粘度が時間経過と共に変化するチキソトロピー性により印刷部材１５を押込むことは期待できない。そのため、減圧下で印刷するためのソルダペーストも開発されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００４−１６７７０９号公報
【特許文献２】特開２０１４−２１０２９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】  スクリーン印刷において、インキ、ソルダペースト、流動樹脂類等の印刷部材を印刷する場合、スクリーン又はフイルム上面に樹脂、又はゴム又は金属のスキージを使用して印刷する。基板の開口部と一致する位置にスクリーン又はフイルムに開口部が形成されている。印刷部材を基板の開口部の底部まで均一に充填することは、開口部の側面抵抗や開口部内の空気および印刷部材に巻き込まれた空気により完全なる充填は困難となる。基板開口部に印刷部材を印刷する場合、印刷機に具備されている２本のスキージで基板毎に交互に印刷する時、２本の各々のスキージは印刷する基板毎に昇降動作を行うが、この時、スキージはスクリーン面又はフイルム面より離れるため空気のとじ込みの発生もしくは印刷過程で空気の巻込みなどが発生するため、印刷部材の内部、スクリーン又はフイルム開口壁面部、開口底部などに空気溜、所謂ボイドが発生してしまう。このボイドが基板電極形成時において、電子部品電極体積のバラツキ要因になる。また、バンプ形成等においては均一なバンプ高さの形成が出来ない要因になる。本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、このボイドの発生を抑えるための解決策を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】  ボイドの抑制は空気の少ない減圧下で前記印刷部材を印刷することが好ましいが、印刷部材に減圧下で揮散が押えられない沸点を持つ溶剤が含まれていると印刷部材の特性の維持が困難となる。印刷部材は大気圧もしくは大気圧以上に保持した状態で、スクリーン又はフイルムと基板の開口部のみ減圧下にすることと、印刷する基板毎のスキージの昇降動作を無くす印刷方式で解決が出来る。【００１３】  上記目的を達成するために本発明のスクリーン印刷機は、被印刷基板を載置する印刷テーブルと、前記被印刷基板の表面に当接されたスクリーン又はフイルムの表面を摺動するスキージと、前記スキージを前記印刷テーブルと相対運動させるための駆動機構とを備え、前記スキージを用いて前記スクリーン又はフイルムに形成された開口部に印刷部材を充填することにより印刷を行うスクリーン印刷機において、前記スクリーン又はフイルムの表面の一部領域を外部と遮断する空間を形成する真空壁と、前記真空壁により形成された空間を仕切るための仕切壁と、前記真空壁の端面に具備されると共に前記スクリーン又はフイルムの表面に近接もしくは接するシール機構と、前記仕切壁の端面に具備されると共に前記スクリーン又はフイルムの表面に接する前記スキージと、前記真空壁と前記仕切壁とにより形成された真空室および充填室とから構成される真空スキージ機構を具備し、前記充填室には前記印刷部材が充填され、前記真空室内の気体は減圧排気されている。【００１４】  また、上記構成のスクリーン印刷機において、前記真空スキージ機構は前記印刷テーブルに対して平行と垂直方向に運動可能な駆動機能であって、前記真空壁内には前記平行運動の進行方向側とその反対側とに独立した真空室が形成されると共に前記進行方向側真空室と前記反進行方向側真空室との間に前記充填室が配置され、前記進行方向側真空室と反進行方向側真空室には各々真空排気装置と大気もしくは大気圧以上に加圧できる加圧装置とに切り換え接続可能なバルブを接続することができる。【００１５】  また、上記構成のスクリーン印刷機において、前記バルブは前記進行方向側真空室には前記真空排気装置と接続されると同時に前記反進行方向側真空室には大気もしくは大気圧以上に加圧できる加圧装置とに接続切り替え可能な切換バルブとすることができる。【００１６】  また、上記構成のスクリーン印刷機において、前記充填室には前記印刷部材を攪拌するペースト撹拌機を付加することができる。【００１７】  また、上記構成のスクリーン印刷機において、前記充填室には外部から前記印刷部材を補充するための印刷部材供給口を付加することができる。【００１８】  また、上記構成のスクリーン印刷機において、前記充填室には前記印刷部材に圧力を加えることができるピストンを内蔵させることができる。【００１９】  また、上記構成のスクリーン印刷機において、前記充填室は前記仕切壁により複数形成され、複数の前記充填室間の前記仕切壁には前記ピストンにより前記充填室の圧力が変化した場合に前記印刷部材が移動できる通路を形成することができる。【００２０】  また、上記構成のスクリーン印刷機において、前記スキージは金属又はゴム又は樹脂又はそれらの複合構成とすることができる。【００２１】  また、上記構成のスクリーン印刷機において、前記シール機構はラビリンスシールとすることができる。【００２２】  また、上記構成のスクリーン印刷機において、前記シール機構はローラもしくは舟形ブレードとすることができる。【００２３】  また、上記構成のスクリーン印刷機において、前記シール機構と近接もしくは接することが可能な回収プレートを前記スクリーンの上部に具備し、前記真空室内の気体を減圧排気することにより前記回収プレートを前記真空シール機構に吸着させ、前記真空スキージ機構と前記回収プレートを共に前記スクリーンに対して垂直方向に移動させることができる。【００２４】  また、本発明の印刷方法は、被印刷基板を載置する印刷テーブルと、前記被印刷基板の表面に当接されたスクリーン又はフイルムの表面を摺動するスキージと、前記スキージを前記印刷テーブルと相対運動させるための駆動機構とを備え、前記スキージを用いて前記スクリーン又はフイルムに形成された開口部に印刷部材を充填することにより印刷を行うスクリーン印刷機において、前記スクリーン又はフイルムの表面の一部領域を外部と遮断する空間を形成する真空壁と、前記真空壁により形成された空間を仕切るための仕切壁と、前記真空壁の端面に具備されると共に前記スクリーン又はフイルムの表面に近接もしくは接するシール機構と、前記仕切壁の端面に具備されると共に前記スクリーン又はフイルムの表面に接する前記スキージと、前記真空壁と前記仕切壁とにより形成された真空室および充填室とから構成される真空スキージ機構を具備し、前記充填室には前記印刷部材が充填され、前記真空室内の気体は減圧排気、又は、加圧され、前記真空スキージ機構が前記印刷テーブルに対して平行移動することにより、前記被印刷基板に印刷する方法である。
【発明の効果】
【００２５】  本発明はスクリーン印刷における印刷部材内に閉じ込められる空気の除去と空気の混入を防止できボイド改善の効果が大きい。開口部の減圧、印刷部材の充填、加圧を連続的に行う機能によりアスペクト比の大きな開口や微細開口へ印刷部材を空気の混入を抑え充填することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明による真空スキージ機構の構成の一実施例を示す図である。
【図２】本発明による真空スキージ機構の構成で真空室の両側をローラで構成する他の実施例を示す図である。
【図３】本発明による真空スキージ機構の構成で真空室の両側をブレードで構成する他の実施例を示す図である。
【図４】本発明による真空スキージ機構の構成で真空室の両側をブレードで構成する他の実施例を示す図である。
【図５】本発明によるスクリーン交換方法を示す図である。
【図６】従来における印刷による空気のとじ込みと過程と空気の残留状態を示す。
【図７】従来における減圧下での印刷機の模式図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２７】  以下、本発明の実施例について、図１から図５に基づいて説明する。
【実施例】
【００２８】  図１は本発明による実施の例を示す構成図で、真空スキージ機構１およびその周辺機器を示している。印刷部材７ａと７ｂは仕切壁１２、１３、１４で仕切られた空間に充填されている。仕切壁１２と１４の外側には真空室１ａと１ｂが形成され、真空室１ａと１ｂは真空壁５ａと５ｂで外部と遮断されている。仕切壁１２、１３、１４には金属又はゴム又は樹脂性のスキージ８ａ、８ｂ、８ｃが具備され、真空壁５ａと５ｂには空気の流入抵抗となるラビリンスシール３ａと３ｂが設けられている。仕切壁１２と１３および仕切壁１３と１４の間には各々に印刷部材７ａと７ｂが充填されており、各々にピストン駆動機１０ａと１０ｂで駆動されるピストン９ａと９ｂを具備し、印刷部材７ａと７ｂに圧力変化を加えることができる。【００２９】  また、印刷部材７ａと７ｂを攪拌する機能であるソルダペースト攪拌１１ａと１１ｂを具備している。仕切壁１３に設けた通路Ｄを通して印刷部材７ａと７ｂを混ぜ合わせることができる。更に、印刷によって印刷部材７ａと７ｂが消費した場合、仕切壁１２と１３、仕切壁１３と１４の間に設けた印刷部材供給口ＲａとＲｂから印刷部材７ａと７ｂを供給することができる。また、真空室１ａおよび１ｂ内はバルブ６ａおよび６ｂの接続切り替えにより、減圧および大気圧あるいはそれ以上の圧力に切り替えることができる。【００３０】  図１の真空スキージ機構１を用いることによりスクリーン４又はフイルム面に印刷部材７ａと７ｂを良好に印刷することができる。次にその動作について説明する。真空スキージ機構１がスクリーン４又はフイルム面と接触して矢印Ｃ方向に移動するとき、真空室１ａはバルブ６ａにより真空ポンプ（図示せず）に接続され、真空室１ａ内とこれに接続する開口部ＥおよびＦ内は減圧維持された状態で印刷部材７ａと７ｂは印刷される。さらに、印刷部材７ａと７ｂはピストン９ａと９ｂで圧力を加えながら印刷可能となっている。一方、真空室１ｂはバルブ６ｂによりブロアー（図示せず）に接続され、圧縮空気で開口部Ｅ、Ｆに充填された印刷部材７ａと７ｂをその圧力で押込むことが可能となっている。ここで、真空室１ｂはバルブ６ｂによりブロアー（図示せず）に接続されるとされたが、ブロアーではなく大気に接続してもかまわない。【００３１】  また、矢印Ｂ方向の印刷においては、真空室１ａと１ｂの減圧と加圧を変えることで矢印Ｃ方向と同様の印刷が可能となっている。この真空スキージ機構１は前記のとおり、減圧、印刷、加圧を連続して印刷するため、図５の空気溜り所謂ボイドの低減が図れる事と前記スクリーン４又はフイルム開口部Ｅ、基板の開口部Ｆに印刷した印刷部材７ａと７ｂを大気又は圧縮空気で押込むことで、印刷部材７ａと７ｂのチキソトロピー性の影響はなくなる。【００３２】  図２は真空スキージ機構２１を示す。これは、図１で示した真空スキージ機構１の仕切壁１３を外して一つの空間と一つのシリンダおよびピストンとなった構造をしている。印刷法も真空スキージ機構１と同様で、真空スキージ２１の進行方向が矢印Ｇ方向に移動するとき、真空室１ａはバルブ６ａにより真空ポンプ（図示せず）に接続され、真空室１ａ内とこれに接続する開口部ＥおよびＦ内は減��された状態で印刷部材７は印刷される。さらに、印刷部材７はピストン９で圧力を加えながら印刷可能となっている。一方、真空室１ｂはバルブ６ｂによりブロアー（図示せず）に接続され、圧縮空気で開口部Ｅ、Ｆに充填された印刷部材７をその圧力で押込むことが可能となっている。矢印Ｇの逆方向の印刷においては、真空室５ａと５ｂの減圧と加圧を変えることで同様の印刷が可能となっている。【００３３】  また、図２の真空スキージ２１は図１に示したラビリンス３ａと３ｂの代わりにローラ１６ａと１６ｂを用いてスクリーン４を押えながら印刷することができる。ローラ１６ａと１６ｂは鋼板に穴を開けたスクリーンもしくは高分子糸で形成されたスクリーンにも良好に対応することができる。【００３４】  図３は、図２に示したローラ１６ａと１６ｂの代わりに舟形ブレード１７ａと１７ｂを用いてスクリーン４を押えながら印刷することができる。多様なスクリーンにも良好に対応することができる。【００３５】  図４はフイルム１９のみを使用して印刷する場合で、基板１８にフイルム１９を貼り開口部Ｆが形成されていている状態を示しており、開口部Ｆのアスペクト比（開口深さＫ／開口径Ｊ）が比較的大きい状態を表している。図４の印刷部材７ａと７ｂを充填する場合、ボイドの改善が大きく図れた印刷が出来る。【００３６】  図５は回収プレート２２を用いてスクリーン４を交換する方法を示している。図５（Ａ）は印刷途中を示している。また、回収プレート２２を図示のごとくスクリーン４にマグネット等（図示せず）で固定して固定している。【００３７】  図５（Ｂ）は印刷を終了してプレート４の交換前の状態を示している。真空スキージ機構２１は回収プレート２２の上で停止している。真空スキージ機構２１の充填室３２と３３には印刷部材７ａと７ｂが充填されている。また、スキージ８ａ、８ｂ、８ｃには印刷部材７ａと７ｂが付着している。【００３８】  図５（Ｃ）はスクリーン４を交換するために真空スキージ機構２１が回収プレート２２と共に矢印Ｏ方向に移動している。図示されているように二つの真空室１ａ、１ｂは真空ポンプに接続されている。このため、回収プレート２２は大気圧に押されて真空スキージ機構２１と共に矢印方向Ｏの方向に移動することができ、印刷部材７Ａａ、７ｂが落下することを防止することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】  本発明の真空スキージを具備した印刷機は、ＳＭＴ用印刷機、フイルム法バンプ形成印刷機、樹脂モールド用印刷機、電子部品のモールドアンダフィル印刷機等電子部品の製造用、微細隙間への充填印刷等に適用される。
【符号の説明】
【００４０】１・・・・真空スキージ機構
２・・・・真空スキージ機構
１ａ・・・真空室
１ｂ・・・真空室
２ａ・・・膨張室
２ｂ・・・膨張室
３ａ・・・ラビリンスシール
３ｂ・・・ラビリンスシール
４・・・・スクリーン
５ａ・・・真空室壁
５ｂ・・・真空室壁
６ａ・・・バルブ
６ｂ・・・バルブ
７・・・・印刷部材
７ａ・・・印刷部材
７ｂ・・・印刷部材
８ａ・・・スキージ
８ｂ・・・スキージ
８ｃ・・・スキージ
９ａ・・・ピストン
９ｂ・・・ピストン
１０ａ・・ピストン駆動機
１０ｂ・・ピストン駆動機
１１ａ・・ソルダペースト攪拌
１１ｂ・・ソルダペースト攪拌
１２・・・仕切壁
１３・・・仕切壁
１４・・・仕切壁
１５・・・印刷部材
１６ａ・・ローラ
１６ｂ・・ローラ
１７ａ・・舟形ブレード
１７ｂ・・舟形ブレード
１８・・・基板
１９・・・フイルム
２０ａ・・スキージ
２０ｂ・・スキージ
２１・・・真空スキージ機構
２２・・・回収プレート
２３・・・印刷テーブル
２４・・・印刷部
２５・・・チャンバ
２６・・・バルブ
２７・・・真空ポンプ
２８ａ・・垂直駆動部
２８ｂ・・垂直駆動部
２９・・・ヘッド
３０・・・水平駆動部
３１・・・印刷テーブル昇降部
３２・・・充填室
３３・・・充填室
３４・・・充填室
Ａ・・・・隙間
Ｂ・・・矢印（方向）
Ｃ・・・矢印（方向）
Ｄ・・・通路
ｄａ・・矢印（方向）
ｄｂ・・矢印（方向）
Ｅ・・・開口部
Ｆ・・・開口部
Ｇ・・・矢印（方向）
Ｊ・・・開口径
Ｋ・・・開口深さ
Ｌ・・・空気
Ｌ１・・空気
Ｌ２・・空気
Ｍ・・・空気
Ｎ・・・矢印（方向）
Ｏ・・・矢印（方向）
Ｐ・・・矢印（方向）
Ｑ・・・矢印（方向）
Ｒａ・・印刷部材供給口
Ｒｂ・・印刷部材供給口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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