(57)【要約】      （修正有）【課題】基板の上面を押さえ部に誤って押さえさせることを抑制するための技術を提供する。【解決手段】基板処理装置１０は、基板を処理可能な基板処理部と、基板処理部が基板を処理する場合に、基板の下面を支持する支持部７０と、支持部によって支持された基板の上面を押さえることが可能な押さえ部８０と、基板処理部が基板を処理する場合に、基板に関係する基板情報を利用して、基板の上面を押さえるべきと判断するときに、基板の上面を押さえ部に押さえさせ、基板の上面を押さえるべきでない判断するときに、基板の上面を押さえ部に押さえさせない、制御部と、を備えてもよい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理可能な基板処理部と、
前記基板処理部が前記基板を処理する場合に、前記基板の下面を支持する支持部と、
前記支持部によって支持された前記基板の上面を押さえることが可能な押さえ部と、
前記基板処理部が前記基板を処理する場合に、前記基板に関係する基板情報を利用して、前記基板の前記上面を押さえるべきと判断するときに、前記基板の前記上面を前記押さえ部に押さえさせ、前記基板の前記上面を押さえるべきでない判断するときに、前記基板の前記上面を前記押さえ部に押さえさせない、制御部と、
を備える、基板処理装置。
【請求項２】
前記支持部は、前記基板の前記下面に吸着する吸着部を備え、
前記制御部は、
前記基板の前記上面を押さえるべきでないと判断するときに、前記吸着部を動作させて、前記基板を前記吸着部に吸着させる、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記押さえ部は、前記基板の前記上面に当接可能な当接位置と前記基板の前記上面に当接不可能な非当接位置とのいずれかに位置し、
前記制御部は、
前記基板の前記上面を押さえるべきと判断するときに、前記押さえ部を前記当接位置に移動させ、
前記基板の前記上面を押さえるべきでないと判断するときに、前記押さえ部を前記非当接位置に移動させる、請求項１又は２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記基板は、前記基板情報を記憶する記憶部を備え、
前記制御部は、前記基板処理部によって前記基板を処理する前に前記基板の前記記憶部から前記基板情報を取得する、請求項１から３のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記基板情報は、前記基板を識別するための識別情報を含み、
前記識別情報は、前記基板の前記上面を押さえるべきか否かを示す判断情報と関連付けてメモリに記憶されており、
前記制御部は、
取得された前記基板情報に含まれる前記識別情報を利用して、前記メモリから前記識別情報に関連付けられている前記判断情報を取得し、
取得済みの前記判断情報が前記基板の前記上面を押さえるべきことを示すときに、前記基板の前記上面を前記押さえ部に押さえさせ、
取得済みの前記判断情報が前記基板の前記上面を押さえるべきでないことを示すときに、前記基板の前記上面を前記押さえ部に押さえさせない、請求項１から４のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書に開示する技術は、基板を処理可能な基板処理装置のための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
引用文献１には、基板を処理する場合に、基板の下面を支持する支持ピンと、基板の上面を押さえる基板押さえ板と、を備える基板処理装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平４−２９３３００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
基板には、様々な種類が存在する。その様々な基板の中には、許容荷重が基板押さえ板によって加えられる荷重よりも低い特定の基板（例えば、薄板の基板）が存在する。
【０００５】
例えば、基板処理装置の管理者は、特定の基板を処理すべき場合に、基板押さえ板を利用しない設定を入力する。これにより、特定の基板に許容荷重以上の荷重が加わることが回避される。しかし、管理者が当該設定を入力し忘れると、特定の基板に対して許容荷重以上の荷重が加わり問題となる。
【０００６】
本明細書は、基板の上面を押さえ部に誤って押さえさせることを抑制するための技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本明細書が開示する基板処理装置は、基板を処理可能な基板処理部と、前記基板処理部が前記基板を処理する場合に、前記基板の下面を支持する支持部と、前記支持部によって支持された前記基板の上面を押さえることが可能な押さえ部と、前記基板処理部が前記基板を処理する場合に、前記基板に関係する基板情報を利用して、前記基板の前記上面を押さえるべきと判断するときに、前記基板の前記上面を前記押さえ部に押さえさせ、前記基板の前記上面を押さえるべきでない判断するときに、前記基板の前記上面を前記押さえ部に押さえさせない、制御部と、を備えてもよい。
【０００８】
このような構成によれば、基板処理装置は、基板処理部が基板を処理する場合に、基板に関係する基板情報を利用して、基板の上面を押さえるべきでないと判断したときは、基板の上面を押さえ部に押さえさせない。基板情報を利用して判断することによって、人によって判断する構成と比較して、基板の上面を押さえ部に誤って押さえさせることを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施例に係る基板処理装置の断面図を示す。
【図２】第１実施例に係る基板処理装置のブロック図を示す。
【図３】支持ピンの拡大図を示す。
【図４】判断処理のフローチャート図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に説明する実施例の主要な特徴を列記しておく。なお、以下に記載する技術要素は、それぞれ独立した技術要素であって、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組合せに限定されるものではない。
【００１１】
（特徴１）  支持部は、基板の下面に吸着する吸着部を備え、制御部は、基板の上面を押さえるべきでないと判断するときに、吸着部を動作させて、基板を吸着部に吸着させてもよい。このような構成によれば、基板の上面を押さえるべきでないと判断する場合に、吸着部によって基板を所定の位置に固定することができる。
【００１２】
（特徴２）  押さえ部は、基板の上面に当接可能な当接位置と基板の上面に当接不可能な非当接位置とのいずれかに位置し、制御部は、基板の上面を押さえるべきと判断するときに、押さえ部を当接位置に移動させ、基板の上面を押さえるべきでないと判断するときに、押さえ部を非当接位置に移動させてもよい。このような構成によれば、基板の上面を押さえるべきでない判断される場合に押さえ部を非当接位置に移動させ、基板の上面が押さえられない状態に自動的に移行することができる。
【００１３】
（特徴３）  基板は、基板情報を記憶する記憶部を備え、制御部は、基板処理部によって基板を処理する前に基板の記憶部から基板情報を取得してもよい。このような構成によれば、複数個の基板を処理する場合に、各基板を処理する前に各基板から各基板に対応する基板情報を取得して、各基板の上面を押さえるべきか否かの判断を実行することができる。
【００１４】
（特徴４）  基板情報は、基板を識別するための識別情報を含み、識別情報は、基板の上面を押さえるべきか否かを示す判断情報と関連付けてメモリに記憶されており、制御部は、取得された基板情報に含まれる識別情報を利用して、メモリから識別情報に関連付けられている判断情報を取得し、取得済みの判断情報が基板の上面を押さえるべきことを示すときに、基板の上面を押さえ部に押さえさせ、取得済みの判断情報が基板の上面を押さえるべきでないことを示すときに、基板の上面を押さえ部に押さえさせなくてもよい。このような構成によれば、基板の上面を押さえるべきか否かを示す判断情報をメモリ上で管理することができる。
【実施例】
【００１５】
（基板処理装置１０の構成；図１）
図１は、実施例の基板処理装置１０の内部を示し、図２は、基板処理装置１０のブロック図を示す。基板処理装置１０は、基板２００に電子部品２１０を実装する部品実装装置である。なお、図１では、基板処理装置１０を簡略化して描いている。また、図中には、ＸＹＺ座標が定義されている。
【００１６】
図１に示すように、基板処理装置１０は、移動機構２０と、実装ユニット２４と、部品フィーダ３０と、コンベア４０と、表示部５０と、制御部５４と、支持部７０と、負圧発生装置７８と、押さえ部８０と、を備える。図１に示すように、各部２０、２４、４０、７０、７８、８０は、筐体１２に収容されている。
【００１７】
移動機構２０は、移動ベース２２をＸ方向及びＹ方向（即ち水平方向）に移動させるロボットである。移動機構２０は、移動ベース２２を案内するガイドレールや、移動ベース２２をガイドレールに沿って移動させるアクチュエータ等によって構成される。移動機構２０は、部品フィーダ３０及びコンベア４０の上方に配置されている。
【００１８】
実装ユニット２４は、電子部品２１０を吸着する吸着ノズル２４ａと、吸着ノズル２４ａを支持するノズル支持部２４ｂと、を備えている。ノズル支持部２４ｂは、移動ベース２２に固定されている。ノズル支持部２４ｂは、吸着ノズル２４ａを上下方向（即ちＺ軸方向）に移動させるためのアクチュエータ（図示省略）を備えている。基板２００の所定の位置に電子部品２１０を実装するには、まず、移動ベース２２を移動させて、実装ユニット２４を部品フィーダ３０の上方まで移動させる。次に、吸着ノズル２４ａの下面（吸着面）が部品フィーダ３０内の電子部品２１０に当接するまで、吸着ノズル２４ａを下方に移動させる。次に、吸着ノズル２４ａに電子部品２１０を吸着させ、吸着ノズル２４ａを上方に移動させる。次に、移動ベース２２を移動させて、実装ユニット２４を基板２００の上方まで移動させる。次に、実装ユニット２４の位置を上記の所定の位置に位置決めして、吸着ノズル２４ａを基板２００に向かって下降させる。これにより、基板２００に電子部品２１０が実装される。
【００１９】
部品フィーダ３０は、複数の電子部品２１０を収容している。部品フィーダ３０は、実装ユニット２４へ電子部品２１０を供給する。部品フィーダ３０の具体的な構成は特に限定されない。部品フィーダ３０は、例えば、巻テープ状に複数の電子部品２１０を収容するテープ式フィーダ、トレイ上に複数の電子部品２１０を収容するトレイ式フィーダ、または、容器内に複数の電子部品２１０をランダムに収容するバルク式フィーダのいずれであってもよい。
【００２０】
コンベア４０は、治具７４と基板２００の基板処理装置１０内への搬入、基板２００の治具７４上への配置、及び、治具７４と基板２００の基板処理装置１０外への搬出を実行する。本実施例のコンベア４０は、例えば、一対のベルトコンベアと、ベルトコンベアに取付けられると共に治具７４と基板２００を下方から支持する支持装置（図示省略）と、ベルトコンベアを駆動するアクチュエータ（図示省略）によって構成される。治具７４と基板２００は、Ｘ軸方向に搬送される。
【００２１】
支持部７０は、基板２００の下面を支持するための機構である。具体的には、支持部７０は、筐体１２の底面に固定されている支持台７２と、支持台７２の上端に支持される治具７４と、治具７４の上面に配置される複数個の支持ピン７６と、を備える。支持台７２は、アクチュエータ（図示省略）によって上下方向（即ちＺ軸方向）の高さを調整可能である。治具７４は、支持台７２の高さが調整されることによって、上下に移動可能である。支持ピン７６は、基板２００の下面に当接し、基板２００の下面を支持する。
【００２２】
負圧発生装置７８は、支持ピン７６の上端に設けられている後述する吸着部７６ｂ（図３参照）を基板２００の下面に吸着させるための負圧を発生させる装置である。負圧発生装置７８は、チューブ７８ａを介して、支持台７２に接続されている。吸着部７６ｂを含める支持ピン７６の詳細は、後述する。
【００２３】
押さえ部８０は、基板２００の上面の端部を押さえるためのブロックである。押さえ部８０は、アクチュエータ８２によって、押さえ部８０の位置を当接位置と非当接位置のいずれかに移動可能である。当接位置は、基板２００の上面に当接可能な位置（即ち上方から見たときに基板２００に重なる位置）であり、非当接位置は、基板２００の上面に当接不可能な位置（即ち上方から見たときに基板２００に重ならない位置）である。
【００２４】
押さえ部８０を利用して基板２００を治具７４上に固定するには、まず、コンベア４０を駆動して、基板２００を支持部７０の上方まで移動させる。そして、アクチュエータ８２を駆動して押さえ部８０を当接位置に移動させる。次に、支持台７２の高さを高くして、支持ピン７６の先端を基板２００の下面に当接させる。次に、支持台７２の高さをさらに高くして、基板２００の下面がコンベア４０から離れるように、基板２００を上方に移動させ、基板２００の上面を押さえ部８０に当接させる。これにより、基板２００が支持ピン７６と押さえ部８０に挟まれて、基板２００が治具７４に対して固定される。
【００２５】
表示部５０は、様々な情報を表示するためのディスプレイである。表示部５０は、ユーザの指示を受け付けるための操作装置（いわゆるタッチパネル）として機能してもよい。また、表示部５０のほかにキーボードなどの操作装置を備えていてもよい。
【００２６】
図２に示すように、基板処理装置１０は、さらに、バーコードリーダ２６と、通信インターフェース５２と、を備える。バーコードリーダ２６は、基板２００の上面に貼り付けられたバーコード２０２から情報を読み出すための装置である。バーコード２０２は、基板２００を識別するための識別情報をコード化した画像である。バーコードリーダ２６は、基板処理装置１０内に基板２００が搬送される搬入口に設けられている。バーコードリーダ２６は、搬入口から基板２００が搬入され、基板２００が治具７４上に固定される前に、基板２００のバーコード２０２から識別情報を読み出す。
【００２７】
通信インターフェース５２は、基板処理装置１０とは別に設置されているサーバ１００とＬＡＮ（Local Area Network）を介して通信するためのインターフェースである。なお、ＬＡＮは、有線ＬＡＮであってもよいし、無線ＬＡＮであってもよい。なお、以下では、インターフェースのことを「Ｉ／Ｆ」と記載する。
【００２８】
サーバ１００は、情報テーブル１０２を記憶する。情報テーブル１０２は、複数個の基板のそれぞれについて、当該基板を識別するための識別情報（例えば「ｓ０１」）と、押さえ部８０を利用して基板２００の上面を押さえるべきか否かを示す判断情報と、を対応付けて記憶する。判断情報は、基板２００の上面を押さえるべきことを示す「ＯＫ」と、基板２００の上面を押さえるべきでないことを示す「ＮＧ」と、のうちのいずれかの値に設定される。例えば、識別情報「ｓ０１」によって識別される基板が、押さえ部８０によって基板に加えられる荷重に耐えられるだけの強度を有している場合、識別情報「ｓ０１」に対応付けて判断情報「ＯＫ」が基板処理装置１０の管理者によって設定される。また、例えば、識別情報「ｓ０２」によって識別される基板が、押さえ部８０によって基板に加えられる荷重に耐えられるだけの強度を有していない場合、識別情報「ｓ０２」に対応付けて判断情報「ＮＧ」が管理者によって設定される。
【００２９】
制御部５４は、基板処理装置１０内の各部を制御する装置である。制御部５４は、ＣＰＵとメモリによって構成される。図２に示すように、制御部５４は、移動機構２０、実装ユニット２４、バーコードリーダ２６、部品フィーダ３０、コンベア４０、表示部５０、通信Ｉ／Ｆ５２、支持部７０、負圧発生装置７８、及び、アクチュエータ８２と通信可能に接続されている。制御部５４は、各部（２０、２４、３０、４０、５０、５２、７０、７８、８０）を制御して、電子部品２１０の基板２００への実装、治具７４及び基板２００の搬送、各種情報の表示等を実行する。
【００３０】
制御部５４は、さらに、駆動フラグ５４ａを記憶する。駆動フラグ５４ａは、負圧発生装置７８を駆動させることを示す「ＯＮ」と、負圧発生装置７８を駆動させないことを示す「ＯＦＦ」と、のうちのいずれかの値に設定される。駆動フラグ５４ａは、後述する判断処理によって設定される。
【００３１】
（支持ピン７６；図３）
図３に示すように、支持ピン７６は、支持ピン本体７６ａと、吸着部７６ｂと、を備える。吸着部７６ｂは、ゴム製のカップ形状の部品である。吸着部７６ｂは、上方に開口しており、当該開口が吸着部７６ｂ内及び支持ピン本体７６ａ内を通過する通路７６ｃと連通している。通路７６ｃは、治具７４内の通路７４ａ及び支持台内の通路（図示省略）を介して、負圧発生装置７８から延びているチューブ７８ａと連通している。負圧発生装置７８を駆動させることにより、吸着部７６ｂの開口内の空気が、通路７６ｃ、７４ａ、及び、チューブ７８ａを介して、負圧発生装置７８に吸引される。この結果、吸着部７６ｂが基板２００に当接している場合に、基板２００と吸着部７６ｂとの間の空間が負圧となり、吸着部７６ｂが基板２００に吸着する。
【００３２】
吸着部７６ｂを利用して基板２００を治具７４上に固定するには、まず、コンベア４０を駆動して、基板２００を支持部７０の上方まで移動させる。そして、アクチュエータ８２を駆動して押さえ部８０を非当接位置に移動させる。次に、支持台７２の高さを高くして、支持ピン７６の吸着部７６ｂを基板２００の下面に当接させる。ここで、吸着部７６ｂが基板２００に当接した後に支持台７２の高さが所定の高さ以上となり、かつ、駆動フラグが「ＯＮ」を示す場合に、負圧発生装置７８が駆動する。負圧発生装置７８が駆動することにより、吸着部７６ｂが基板２００に吸着する。これにより、基板２００が支持ピン７６に対して固定され、基板２００が治具７４に対して固定される。
【００３３】
（判断処理；図４）
図４を参照して、押さえ部８０を利用して基板２００を固定すべきか否かを判断する判断処理を説明する。
【００３４】
Ｓ１０では、制御部５４は、バーコードリーダ２６から基板２００の識別情報を取得することを監視する。制御部５４は、バーコードリーダ２６から識別情報が取得される場合（Ｓ１０でＹＥＳ）に、Ｓ１２に進む。
【００３５】
Ｓ１２では、制御部５４は、通信Ｉ／Ｆ５２を介して、判断情報を要求するための情報要求をサーバ１００に供給する。情報要求は、取得済みの識別情報を含む。サーバ１００は、制御部５４から情報要求を取得すると、情報テーブル１０２から情報要求内の識別情報に対応付けられている判断情報を特定する。そして、サーバ１００は、特定済みの判断情報を制御部５４に供給する。
【００３６】
Ｓ１４では、制御部５４は、通信Ｉ／Ｆ５２を介して、サーバ１００から情報要求に対する応答として判断情報を取得する。
【００３７】
Ｓ１６では、制御部５４は、取得済みの判断情報を利用して、押さえ部８０を利用して基板２００の上面を押さえるべきか否かを判断する。制御部５４は、取得済みの判断情報が「ＯＫ」を示す場合に、基板２００の上面を押さえるべきと判断して（Ｓ１６でＹＥＳ）、Ｓ１８に進む。
【００３８】
Ｓ１８では、制御部５４は、アクチュエータ８２を駆動して押さえ部８０の位置を当接位置に移動させる。Ｓ２０では、制御部５４は、駆動フラグ５４ａを「ＯＦＦ」に設定する。これにより、押さえ部８０を利用して基板２００を治具７４上に固定することができる。Ｓ２０が終了すると、Ｓ１０に戻る。
【００３９】
また、制御部５４は、取得済みの判断情報が「ＮＧ」を示す場合に、基板２００の上面を押さえるべきでないと判断して（Ｓ１６でＮＯ）、Ｓ２２に進む。
【００４０】
Ｓ２２では、制御部５４は、アクチュエータ８２を駆動して押さえ部８０の位置を非当接位置に移動させる。Ｓ２４では、制御部５４は、駆動フラグ５４ａを「ＯＮ」に設定する。これにより、吸着部７６ｂを利用して基板２００を治具７４上に固定することができる。Ｓ１８が終了すると、Ｓ１０に戻る。
【００４１】
（本実施例の効果）
以上、実施例の基板処理装置１０について説明した。上記の説明から明らかなように、基板処理装置１０は、基板２００から取得した識別情報を利用して、基板２００に対応する判断情報を取得する（図４のＳ１４）。そして、基板処理装置１０は、取得済みの判断情報を利用して、押さえ部８０を利用して基板２００の上面を押さえるべきでないと判断する場合（Ｓ１６でＮＯ）に、押さえ部８０の位置を非当接位置に移動させる（Ｓ２２）。これにより、基板２００の上面を押さえ部８０に誤って押さえさせることを抑制することができる。
【００４２】
また、例えば、押さえ部８０を利用して基板２００の上面を押さえるべきでないと判断する場合（Ｓ１６でＮＯ）に、表示部５０に警告メッセージを表示する比較例が想定される。この比較例でも、基板２００の上面を押さえ部８０に誤って押さえさせることを抑制することができる。しかし、この比較例では、管理者は、警告メッセージを見て、押さえ部８０の位置を非当接位置に移動する必要がある。これに対して、本実施例では、基板処理装置１０は、基板２００の上面を押さえるべきでないと判断する場合（Ｓ１６でＮＯ）に、押さえ部８０の位置を非当接位置に自動的に移動させる（Ｓ２２）。管理者の操作を排除して、管理者の利便性を向上させることができる。なお、変形例では、上記の比較例の構成を採用してもよい。
【００４３】
また、上記の比較例では、管理者は、さらに、警告メッセージを見て、負圧発生装置７８を駆動する必要がある。これに対して、本実施例では、基板処理装置１０は、基板２００の上面を押さえるべきでないと判断する場合（Ｓ１６でＮＯ）に、駆動フラグ５４ａを「ＯＮ」に設定し（Ｓ２４）、負圧発生装置７８を自動的に駆動させる。管理者の操作を排除して、管理者の利便性を向上させることができる。
【００４４】
また、上記の実施例では、基板処理装置１０は、バーコードリーダ２６を利用して、基板２００のバーコード２０２から識別情報を取得する。このような構成によれば、複数個の基板を処理する場合に、各基板から各基板を識別する識別情報を取得し、取得済みの識別情報を利用して、各基板の上面を押さえるべきか否かを判断することができる。
【００４５】
また、上記の実施例では、識別情報をコード化したバーコード２０２が基板２００に貼り付けられ、判断情報が、識別情報と対応付けてサーバ１００に記憶される。このような構成によれば、管理者は、サーバ１００にアクセスして、判断情報を管理することができる。例えば、管理者は、サーバ１００にアクセスすれば、複数個の基板についての判断情報を一括で設定することができる。
【００４６】
（対応関係）
実装ユニット２４、支持部７０、押さえ部８０、制御部５４が、それぞれ、「基板処理部」、「支持部」、「押さえ部」、「制御部」の一例である。識別情報が、「基板情報」の一例である。吸着部７６ｂが、「吸着部」の一例である。バーコード２０２が、「記憶部」の一例である。サーバ１００が、「メモリ」の一例である。
【００４７】
実施例で説明した基板処理装置に関する留意点を述べる。制御部５４は、図４のＳ２２、Ｓ２４の処理に代えて、所定の警告（例えば、警告メッセージ、警告音）を通知してもよい。
【００４８】
また、「吸着部」は、負圧発生装置７８によって発生する負圧によって基板２００に吸着する吸着部７６ｂに限らず、例えば、支持ピン７６の先端に取り付けられた吸盤であってもよい。
【００４９】
また、上記の実施例では、基板２００には、識別情報をコード化したバーコード２０２が貼り付けられる。これに代えて、基板２００には、識別情報をコード化したＱＲコード（登録商標）、識別情報が記憶されたＩＣタグが貼り付けられてもよい。本変形例では、ＱＲコード、ＩＣタグが「記憶部」の一例である。また、基板２００には、識別情報を示す文字列が貼り付けられてもよい。この場合、基板処理装置１０は、カメラを利用して、当該文字列を撮影し、ＯＣＲを利用して、識別情報を取得してもよい。一般的に言えば、「基板情報」は、基板から取得される。
【００５０】
また、上記の実施例では、バーコード２０２は、識別情報をコード化した画像である。これに代えて、バーコード２０２は、判断情報をコード化した画像であってもよい。本変形例では、判断情報が、「基板情報」の一例である。
【００５１】
また、上記の実施例では、基板処理装置１０は、基板２００から識別情報を取得する。これに代えて、基板処理装置１０は、基板２００以外の装置（例えばサーバ）から識別情報（即ち基板情報）を取得してもよい。
【００５２】
また、「メモリ」は、サーバ１００に限らず、例えば、基板処理装置１０内のメモリであってもよい。
【００５３】
また、「基板処理装置」は、部品実装装置に限らず、基板にはんだを塗布する印刷機、部品が実装された基板を検査する検査機であってもよい。
【００５４】
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００５５】
１０：基板処理装置、１２：筐体、２０：移動機構、２２：移動ベース、２４：実装ユニット、２４ａ：吸着ノズル、２４ｂ：ノズル支持部、２６：バーコードリーダ、３０：部品フィーダ、４０：コンベア、５０：表示部、５２：通信Ｉ／Ｆ、５４：制御部、５４ａ：駆動フラグ、７０：支持部、７２：支持台、７４：治具、７４ａ：通路、７６：支持ピン、７６ａ：支持ピン本体、７６ｂ：吸着部、７６ｃ：通路、７８：負圧発生装置、７８ａ：チューブ、８０：押さえ部、８２：アクチュエータ、１００：サーバ、１０２：情報テーブル、２００：基板、２０２：バーコード、２１０：電子部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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