(57)【要約】【課題】基板からの剥離の際のカーボンナノチューブアレイの変形を抑制する。【解決手段】第１剥離機構は、カーボンナノチューブアレイ９１に対して第１切断刃を相対的に移動させることにより、カーボンナノチューブアレイ９１の一部である剥離領域９３を、基板９２から剥離させる。第２剥離機構２７は、カーボンナノチューブアレイ９１のうち、基板９２から剥離されていない領域である未剥離領域９４に対して、第２切断刃２４を相対的に移動させることにより、未剥離領域９４を基板９２から剥離させる。第２切断刃２４の未剥離領域９４に対する相対的な移動方向は、未剥離領域９４と剥離領域９３との境界線９５が延びる第１方向に垂直な方向と交差する第２方向である。これにより、基板９２からの剥離の際のカーボンナノチューブアレイ９１の変形を抑制するができる。【選択図】図４
2020152608.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に立設したカーボンナノチューブの集合であるカーボンナノチューブアレイを前記基板から剥離する剥離装置であって、
カーボンナノチューブアレイが主面上に立設している基板を支持する基板支持部と、
前記カーボンナノチューブアレイに対して第１切断刃を相対的に移動させることにより、前記カーボンナノチューブアレイの一部である剥離領域を前記基板から剥離させる第１剥離機構と、
前記カーボンナノチューブアレイのうち前記基板から剥離されていない領域である未剥離領域に対して、前記未剥離領域と前記剥離領域との境界線が延びる第１方向に垂直な方向と交差する第２方向に第２切断刃を相対的に移動させることにより、前記未剥離領域を前記基板から剥離させる第２剥離機構と、
を備えることを特徴とする剥離装置。
【請求項２】
請求項１に記載の剥離装置であって、
前記カーボンナノチューブアレイの平面視における形状は矩形であり、
前記境界線は、前記カーボンナノチューブアレイの一の辺に平行に延びる直線であることを特徴とする剥離装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の剥離装置であって、
前記第２方向は、前記第１方向に平行であることを特徴とする剥離装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１つに記載の剥離装置であって、
前記第１剥離機構は、前記カーボンナノチューブアレイに対してもう１つの第１切断刃を相対的に移動させることにより、前記未剥離領域を挟んで前記剥離領域の反対側に位置するもう１つの剥離領域も、前記基板から剥離させることを特徴とする剥離装置。
【請求項５】
請求項４に記載の剥離装置であって、
前記第１剥離機構および前記第２剥離機構は、前記基板を所定の搬送経路に沿って搬送する基板搬送機構を共有し、
前記第１剥離機構の前記第１切断刃および前記もう１つの第１切断刃は、前記搬送経路の幅方向両側にて前記基板の前記主面に接触または近接する位置に固定され、前記基板が前記基板搬送機構により搬送される際に、前記カーボンナノチューブアレイの前記幅方向両側に位置する前記剥離領域および前記もう１つの剥離領域を剥離し、
前記第２剥離機構の前記第２切断刃は、前記第１剥離機構の前記第１切断刃および前記もう１つの第１切断刃よりも前記移動経路の下流側にて前記基板の前記主面に接触または近接する位置に固定され、前記基板が前記基板搬送機構により搬送される際に、前記幅方向において前記剥離領域と前記もう１つの剥離領域との間に位置する前記未剥離領域を剥離することを特徴とする剥離装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１つに記載の剥離装置であって、
前記基板の前記主面は、重力方向に対して垂直かつ下向きであり、
前記第２切断刃の下方に、前記基板から剥離された前記カーボンナノチューブアレイを受け取る受け取り部が設けられることを特徴とする剥離装置。
【請求項７】
基板上に立設したカーボンナノチューブの集合であるカーボンナノチューブアレイを前記基板から剥離する剥離方法であって、
ａ）カーボンナノチューブアレイが主面上に立設している基板を準備する工程と、
ｂ）前記カーボンナノチューブアレイに対して第１切断刃を相対的に移動させることにより、前記カーボンナノチューブアレイの一部である剥離領域を前記基板から剥離させる工程と、
ｃ）前記カーボンナノチューブアレイのうち前記基板から剥離されていない領域である未剥離領域に対して、前記未剥離領域と前記剥離領域との境界線が延びる第１方向に垂直な方向と交差する第２方向に第２切断刃を相対的に移動させることにより、前記未剥離領域を前記基板から剥離させる工程と、
を備えることを特徴とする剥離方法。
【請求項８】
請求項７に記載の剥離方法であって、
前記カーボンナノチューブアレイの平面視における形状は矩形であり、
前記境界線は、前記カーボンナノチューブアレイの一の辺に平行に延びる直線であることを特徴とする剥離方法。
【請求項９】
請求項７または８に記載の剥離方法であって、
前記第２方向は、前記第１方向に平行であることを特徴とする剥離方法。
【請求項１０】
請求項７ないし９のいずれか１つに記載の剥離方法であって、
前記ｃ）工程よりも前に、前記カーボンナノチューブアレイに対してもう１つの第１切断刃を相対的に移動させることにより、前記未剥離領域を挟んで前記剥離領域の反対側に位置するもう１つの剥離領域も、前記基板から剥離されることを特徴とする剥離方法。
【請求項１１】
請求項７ないし１０のいずれか１つに記載の剥離方法であって、
前記基板の前記主面は、重力方向に対して垂直かつ下向きであり、
前記剥離方法は、前記ｃ）工程よりも後に、前記基板から剥離された前記カーボンナノチューブアレイを前記第２切断刃の下方にて受け取る工程をさらに備えることを特徴とする剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に立設したカーボンナノチューブの集合であるカーボンナノチューブアレイを当該基板から剥離する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、カーボンナノチューブを熱伝導シートやセンサ等の様々な製品に利用することが提案されている。例えば、特許文献１では、複数の多層カーボンナノチューブが銅（Ｃｕ）製の放熱板に固定された放熱部品が開示されている。当該複数の多層カーボンナノチューブは、ＣＶＤ法により基板上にて成長した後、基板から剥離される。そして、複数の多層カーボンナノチューブは治具に収容され、治具と共に超高温黒鉛炉にて熱処理される。超高温黒鉛炉では、多層カーボンナノチューブに対する熱処理の温度が２２００℃以上とされることにより、多層カーボンナノチューブの熱伝導性が向上される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−４１４８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１のような放熱部品の製造では、基板から剥離されたカーボンナノチューブアレイを治具に収容する際に、カーボンナノチューブアレイが破れたり穴があくおそれがある。また、カッター等の剥離具を所定の剥離方向へと移動してカーボンナノチューブアレイを基板から剥離する際に、シート状のカーボンナノチューブアレイが剥離方向に反り返って筒状に丸まるおそれがある。カーボンナノチューブアレイに上記のような変形が生じると、放熱部品等の製造に支障をきたす。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、カーボンナノチューブアレイを基板から剥離させる際に、カーボンナノチューブアレイの変形を抑制することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の発明は、基板上に立設したカーボンナノチューブの集合であるカーボンナノチューブアレイを前記基板から剥離する剥離装置であって、カーボンナノチューブアレイが主面上に立設している基板を支持する基板支持部と、前記カーボンナノチューブアレイに対して第１切断刃を相対的に移動させることにより、前記カーボンナノチューブアレイの一部である剥離領域を前記基板から剥離させる第１剥離機構と、前記カーボンナノチューブアレイのうち前記基板から剥離されていない領域である未剥離領域に対して、前記未剥離領域と前記剥離領域との境界線が延びる第１方向に垂直な方向と交差する第２方向に第２切断刃を相対的に移動させることにより、前記未剥離領域を前記基板から剥離させる第２剥離機構とを備える。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の剥離装置であって、前記カーボンナノチューブアレイの平面視における形状は矩形であり、前記境界線は、前記カーボンナノチューブアレイの一の辺に平行に延びる直線である。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の剥離装置であって、前記第２方向は、前記第１方向に平行である。
【０００９】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれか１つに記載の剥離装置であって、前記第１剥離機構は、前記カーボンナノチューブアレイに対してもう１つの第１切断刃を相対的に移動させることにより、前記未剥離領域を挟んで前記剥離領域の反対側に位置するもう１つの剥離領域も、前記基板から剥離させる。
【００１０】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の剥離装置であって、前記第１剥離機構および前記第２剥離機構は、前記基板を所定の搬送経路に沿って搬送する基板搬送機構を共有し、前記第１剥離機構の前記第１切断刃および前記もう１つの第１切断刃は、前記搬送経路の幅方向両側にて前記基板の前記主面に接触または近接する位置に固定され、前記基板が前記基板搬送機構により搬送される際に、前記カーボンナノチューブアレイの前記幅方向両側に位置する前記剥離領域および前記もう１つの剥離領域を剥離し、前記第２剥離機構の前記第２切断刃は、前記第１剥離機構の前記第１切断刃および前記もう１つの第１切断刃よりも前記移動経路の下流側にて前記基板の前記主面に接触または近接する位置に固定され、前記基板が前記基板搬送機構により搬送される際に、前記幅方向において前記剥離領域と前記もう１つの剥離領域との間に位置する前記未剥離領域を剥離する。
【００１１】
請求項６に記載の発明は、請求項１ないし５のいずれか１つに記載の剥離装置であって、前記基板の前記主面は、重力方向に対して垂直かつ下向きであり、前記第２切断刃の下方に、前記基板から剥離された前記カーボンナノチューブアレイを受け取る受け取り部が設けられる。
【００１２】
請求項７に記載の発明は、基板上に立設したカーボンナノチューブの集合であるカーボンナノチューブアレイを前記基板から剥離する剥離方法であって、ａ）カーボンナノチューブアレイが主面上に立設している基板を準備する工程と、ｂ）前記カーボンナノチューブアレイに対して第１切断刃を相対的に移動させることにより、前記カーボンナノチューブアレイの一部である剥離領域を前記基板から剥離させる工程と、ｃ）前記カーボンナノチューブアレイのうち前記基板から剥離されていない領域である未剥離領域に対して、前記未剥離領域と前記剥離領域との境界線が延びる第１方向に垂直な方向と交差する第２方向に第２切断刃を相対的に移動させることにより、前記未剥離領域を前記基板から剥離させる工程とを備える。
【００１３】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の剥離方法であって、前記カーボンナノチューブアレイの平面視における形状は矩形であり、前記境界線は、前記カーボンナノチューブアレイの一の辺に平行に延びる直線である。
【００１４】
請求項９に記載の発明は、請求項７または８に記載の剥離方法であって、前記第２方向は、前記第１方向に平行である。
【００１５】
請求項１０に記載の発明は、請求項７ないし９のいずれか１つに記載の剥離方法であって、前記ｃ）工程よりも前に、前記カーボンナノチューブアレイに対してもう１つの第１切断刃を相対的に移動させることにより、前記未剥離領域を挟んで前記剥離領域の反対側に位置するもう１つの剥離領域も、前記基板から剥離される。
【００１６】
請求項１１に記載の発明は、請求項７ないし１０のいずれか１つに記載の剥離方法であって、前記基板の前記主面は、重力方向に対して垂直かつ下向きであり、前記剥離方法は、前記ｃ）工程よりも後に、前記基板から剥離された前記カーボンナノチューブアレイを前記第２切断刃の下方にて受け取る工程をさらに備える。
【発明の効果】
【００１７】
本発明では、基板からの剥離の際のカーボンナノチューブアレイの変形を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１の実施の形態に係る剥離装置を示す側面図である。
【図２】剥離装置の一部を示す底面図である。
【図３】カーボンナノチューブアレイの剥離の流れを示す図である。
【図４】基板の底面図である。
【図５】カーボンナノチューブアレイの斜視図である。
【図６】第２の実施の形態に係る剥離装置を示す側面図である。
【図７】剥離装置の一部を示す底面図である。
【図８】カーボンナノチューブアレイの剥離の流れを示す図である。
【図９】剥離装置の一部を示す底面図である。
【図１０】剥離装置の一部を示す底面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るカーボンナノチューブアレイの剥離装置１を示す側面図である。図２は、剥離装置１の一部を示す底面図である。図１および図２に示す例では、剥離装置１は、多数のカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）の集合であるカーボンナノチューブアレイ９１が立設した基板９２から、当該カーボンナノチューブアレイ９１を剥離する装置である。以下の説明では、図１中における上側および下側を、単に「上側」および「下側」と呼ぶ。
【００２０】
剥離装置１は、基板支持部２１と、基板搬送機構２２と、一対の第１切断刃２３と、第２切断刃２４と、受け取り部２５とを備える。基板搬送機構２２は、基板巻き取りロール２２２と、回転機構２２３とを備える。基板巻き取りロール２２２は、略円柱状または略円筒状の部材である。回転機構２２３は、図１において紙面に垂直な方向に延びる回転軸Ｊ２を中心として、基板巻き取りロール２２２を回転させる。回転機構２２３は、例えば電動モータである。回転機構２２３は、電動モータ以外の機構であってもよい。回転軸Ｊ２は、剥離装置１の図示省略のフレーム等に固定されている。
【００２１】
基板搬送機構２２は、基板９２を保持するとともに、図１中の左側から右側に向かって略水平に搬送する。以下の説明では、図１中の左右方向を「搬送方向」とも呼ぶ。基板９２は、例えば、可撓性を有する長尺の薄板状部材である。基板９２は、例えば、シリコン基板、または、表面に二酸化ケイ素膜等が設けられたステンレス鋼製の基板である。基板９２の図１中の右側の部位は、基板巻き取りロール２２２に巻回されて保持される。
【００２２】
基板搬送機構２２では、回転機構２２３により基板巻き取りロール２２２が図１中の反時計回りに回転されることにより、図示省略の基板送り出し部から、長尺状の基板９２が搬送方向に送り出され、基板巻き取りロール２２２により巻き取られる。基板搬送機構２２による基板９２の搬送速度は、例えば５ｍｍ／ｓ〜３０ｍｍ／ｓであり、本実施の形態では１０ｍｍ／ｓである。
【００２３】
基板支持部２１は、基板巻き取りロール２２２の左側に配置され、搬送方向に搬送される基板９２を上側から支持する。基板支持部２１は、例えば、略平面状の下面を有する板状のステージである。基板支持部２１は、例えば、基板９２の上側の主面を吸引して吸着するバキューム機構、または、当該主面を磁力で吸着する電磁石等を有していてもよい。基板支持部２１の下方にて基板９２が搬送される経路を、以下、「搬送経路」とも呼ぶ。
【００２４】
基板９２の下側の主面９２１（以下、「下面９２１」とも呼ぶ。）には、多数のカーボンナノチューブの集合であるカーボンナノチューブアレイ９１が下向きに立設している。基板９２の下面９２１は、重力方向に対して略垂直かつ下向きの面である。図１および図２に示す例では、複数のカーボンナノチューブアレイ９１が、基板９２の下面９２１において、搬送方向に沿って１列に配列される。各カーボンナノチューブアレイ９１の平面視における形状は、略矩形（例えば、略正方形）である。各カーボンナノチューブアレイ９１の一対の辺は、搬送方向に略平行であり、他の一対の辺は、水平方向において搬送方向に略垂直な方向（以下、「幅方向」とも呼ぶ。）に略平行である。カーボンナノチューブアレイ９１の平面視における大きさは、例えば、２０ｍｍ×２０ｍｍまたは２０ｍｍ×４０ｍｍである。
【００２５】
カーボンナノチューブアレイ９１は、例えば、化学気相成長法（すなわち、ＣＶＤ法）により、基板９２の下面９２１に対して略垂直に配向する多数のカーボンナノチューブを基板９２上に成長させることにより形成される。カーボンナノチューブアレイ９１の形成は、他の様々な方法により行われてもよい。なお、カーボンナノチューブアレイ９１の生成の際には、基板９２の下面９２１（すなわち、カーボンナノチューブアレイ９１が生成される主面）は、重力方向の下側を向く必要はなく、例えば、重力方向上側を向いていてもよい。
【００２６】
カーボンナノチューブアレイ９１の厚さ（すなわち、カーボンナノチューブアレイ９１に含まれるカーボンナノチューブの上下方向における長さ）は、例えば、５０μｍ〜１０００μｍである。本実施の形態では、カーボンナノチューブアレイ９１の厚さは、５０μｍ〜５００μｍである。カーボンナノチューブアレイ９１の厚さは、例えば、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）（日本電子株式会社製）または非接触膜厚計（株式会社キーエンス製）により測定される。図１では、図の理解を容易にするために、カーボンナノチューブアレイ９１の厚さを、実際よりも厚く描いている。
【００２７】
カーボンナノチューブアレイ９１では、例えば、１ｃｍ２当たりに１０９本〜１０１１本のカーボンナノチューブが存在する。隣接するカーボンナノチューブ間の距離は、例えば、１００ｎｍ〜２００ｎｍである。各カーボンナノチューブの外径は、例えば、１０ｎｍ〜３０ｎｍである。各カーボンナノチューブは、例えば、５層〜１０層の多層カーボンナノチューブである。各カーボンナノチューブは、４層以下または１１層以上の多層カーボンナノチューブであってもよく、単層カーボンナノチューブであってもよい。
【００２８】
カーボンナノチューブアレイ９１の嵩密度は、例えば、１０ｍｇ／ｃｍ３〜６０ｍｇ／ｃｍ３である。好ましくは、カーボンナノチューブアレイ９１の嵩密度は、２０ｍｇ／ｃｍ３〜５０ｍｇ／ｃｍ３である。カーボンナノチューブアレイ９１の嵩密度は、単位面積当たりのカーボンナノチューブアレイ９１の質量（すなわち、目付量）を、カーボンナノチューブアレイ９１の厚さで除算することにより求められる。
【００２９】
一対の第１切断刃２３は、基板支持部２１および基板９２の下側において、互いに離間して幅方向に並ぶ。換言すれば、一対の第１切断刃２３は、搬送方向の略同じ位置において幅方向に離間して配置される。一対の第１切断刃２３は、基板９２の搬送経路の幅方向両側にて、基板９２の下面９２１に接触または近接する位置に固定される。一対の第１切断刃２３は、例えば、上述のフレームに固定されている。一対の第１切断刃２３は、基板９２上のカーボンナノチューブアレイ９１の幅方向両端部と、搬送方向において重なる。
【００３０】
各第１切断刃２３は、例えば、幅方向および搬送方向に対して傾斜する方向に延びる薄刃状の剃刀である。第１切断刃２３は、下側から上側へと向かうに従って図１中の左側に延びる。換言すれば、第１切断刃２３は、基板９２に近づくに従って、搬送方向の上流側へと延びる。第１切断刃２３は、例えば、フェザー安全剃刀株式会社製の厚さ約１００μｍの剃刀である。図１に示す例では、第１切断刃２３のエッジ（すなわち、上端縁）は、基板９２の下面９２１に押し付けられており、第１切断刃２３は、図１中の右側（すなわち、搬送方向の下流側）に凸となるように湾曲している。側面視において、第１切断刃２３のエッジ近傍の部位と基板９２の下面９２１との成す角度は、例えば、０°〜４５°であり、本実施の形態では約１５°である。
【００３１】
なお、第１切断刃２３は、薄刃状の剃刀には限定されず、例えば、エッジを搬送方向の上流側に向けて配置される略くさび状の部材であってもよい。あるいは、第１切断刃２３は、幅方向に略平行に延びる細線であってもよい。当該細線として、好ましくは、直径３０μｍ以下の炭素繊維、カーボンナノチューブ撚糸または金属線が利用可能である。
【００３２】
一対の第１切断刃２３は、基板搬送機構２２により基板９２が搬送方向に搬送される際に、カーボンナノチューブアレイ９１の幅方向両端部において、カーボンナノチューブアレイ９１と基板９２との接合部（すなわち、基板９２の下面９２１に立設しているカーボンナノチューブアレイ９１の上端部）に当接して当該接合を解除する。カーボンナノチューブアレイ９１の幅方向両端部は、基板９２の移動に伴い、搬送方向の下流側から上流側に向かって剥離される。
【００３３】
剥離装置１では、一対の第１切断刃２３および基板搬送機構２２により、カーボンナノチューブアレイ９１を部分的に基板９２から剥離させる第１剥離機構２６が構成される。換言すれば、第１剥離機構２６は、一対の第１切断刃２３と、基板搬送機構２２とを備える。第１剥離機構２６は、カーボンナノチューブアレイ９１に対して一対の第１切断刃２３を相対的に移動させることにより、基板９２からのカーボンナノチューブアレイ９１の部分的剥離を実現する。
【００３４】
第２切断刃２４は、基板支持部２１および基板９２の下側において、基板９２を幅方向に横断して配置される。第２切断刃２４は、一対の第１切断刃２３の図１中の右側（すなわち、搬送方向の下流側）において、基板９２の下面９２１に接触または近接する位置に固定される。第２切断刃２４は、例えば、上述のフレームに固定されている。第２切断刃２４は、必ずしも、基板９２を横断する必要はなく、第２切断刃２４の幅は、基板９２の幅よりも小さくてもよい。ただし、第２切断刃２４の幅は、一対の第１切断刃２３の間の間隙の幅よりも大きく、一対の第１切断刃２３の幅方向内側の端部は、第２切断刃２４と搬送方向において重なる。
【００３５】
第２切断刃２４は、例えば、幅方向に略平行に延びる薄刃状の剃刀である。第２切断刃２４は、下側から上側へと向かうに従って図１中の左側に延びる。換言すれば、第２切断刃２４は、基板９２に近づくに従って、搬送方向の上流側へと延びる。第２切断刃２４は、例えば、フェザー安全剃刀株式会社製の厚さ約１００μｍの剃刀である。図１に示す例では、第２切断刃２４のエッジ（すなわち、上端縁）は、基板９２の下面９２１に押し付けられており、第２切断刃２４は、図１中の右側（すなわち、搬送方向の下流側）に凸となるように湾曲している。側面視において、第２切断刃２４のエッジ近傍の部位と基板９２の下面９２１との成す角度は、例えば、０°〜４５°であり、本実施の形態では約１５°である。
【００３６】
なお、第２切断刃２４は、薄刃状の剃刀には限定されず、例えば、エッジを搬送方向の上流側に向けて配置される略くさび状の部材であってもよい。あるいは、第２切断刃２４は、幅方向に略平行に延びる細線であってもよい。当該細線として、好ましくは、直径３０μｍ以下の炭素繊維、カーボンナノチューブ撚糸または金属線が利用可能である。
【００３７】
第２切断刃２４は、基板搬送機構２２により基板９２が搬送方向に搬送される際に、カーボンナノチューブアレイ９１の幅方向中央部において、カーボンナノチューブアレイ９１と基板９２との接合部に当接して当該接合を解除する。カーボンナノチューブアレイ９１の幅方向中央部は、基板９２の移動に伴い、搬送方向の下流側から上流側に向かって剥離される。これにより、カーボンナノチューブアレイ９１が基板９２から剥離され、下方へと落下する。
【００３８】
剥離装置１では、第２切断刃２４および基板搬送機構２２により、カーボンナノチューブアレイ９１を基板９２から剥離させる第２剥離機構２７が構成される。換言すれば、第２剥離機構２７は、第２切断刃２４と、基板搬送機構２２とを備える。基板搬送機構２２は、第１剥離機構２６および第２剥離機構２７により共有される。第２剥離機構２７は、カーボンナノチューブアレイ９１に対して第２切断刃２４を相対的に移動させることにより、基板９２からのカーボンナノチューブアレイ９１の剥離を実現する。
【００３９】
受け取り部２５は、搬送方向における第２切断刃２４と略同じ位置にて、第２切断刃２４の下方に離間して配置される。受け取り部２５は、基板９２から剥離されたカーボンナノチューブアレイ９１を治具８１により受け取る。受け取り部２５は、治具載置部２５１と、払い出し部２５２と、治具搬送機構２５３とを備える。
【００４０】
治具載置部２５１は、ステージ２５４と、昇降機構２５５とを備える。ステージ２５４は、略平板状の部材である。ステージ２５４の上面上には、複数の治具８１が上下方向に積層された状態で載置される。各治具８１は、例えば、上端が開口した略直方体状（すなわち、無蓋箱状）の容器である。例えば、治具８１の平面視における大きさは１００ｍｍ×１００ｍｍであり、治具８１の深さは１ｍｍである。
【００４１】
昇降機構２５５は、ステージ２５４を上下方向に移動する。昇降機構２５５は、例えば、電動リニアモータまたはエアシリンダである。治具搬送機構２５３は、最上段の治具８１よりも下側において、治具載置部２５１の側方に配置される。図１に示す例では、治具搬送機構２５３は、治具載置部２５１の図中の右側に配置される。治具搬送機構２５３は、例えば、電動ベルトコンベアである。
【００４２】
払い出し部２５２は、可動部２５６と、スライド機構２５７とを備える。可動部２５６は、ステージ２５４上に載置された複数の治具８１のうち、最上段の治具８１の側方に配置される。可動部２５６は、例えば、幅方向に延びる棒状の部材である。図１に示す例では、可動部２５６は、最上段の治具８１の左側に配置され、スライド機構２５７により、図中の左側から右側へと移動する。これにより、最上段の治具８１はステージ２５４上から治具搬送機構２５３上へと払い出される。治具搬送機構２５３は、払い出された当該治具８１を、図中の左側から右側へと搬送し、剥離装置１から搬出する。
【００４３】
次に、図３を参照しつつ、剥離装置１によるカーボンナノチューブアレイ９１の剥離の流れについて説明する。剥離装置１では、まず、基板搬送機構２２により基板９２が保持されることにより、カーボンナノチューブアレイ９１が下面９２１上に立設している基板９２が準備される（ステップＳ１１）。続いて、基板搬送機構２２により、基板９２が搬送方向の上流側から下流側へと搬送される。これにより、一対の第１切断刃２３が、カーボンナノチューブアレイ９１に対して、搬送方向の下流側から上流側に向かって搬送方向に略平行に相対的に移動し、カーボンナノチューブアレイ９１の幅方向両端部が、基板９２から剥離される（ステップＳ１２）。
【００４４】
図４は、基板９２の底面図である。図４では、カーボンナノチューブアレイ９１のうち、一対の第１切断刃２３により基板９２から剥離された一対の領域９３と、当該一対の領域９３の幅方向の間に位置する領域９４（すなわち、基板９２から剥離されていない領域）とに、異なる平行斜線を付す。以下の説明では、領域９３を「剥離領域９３」と呼び、領域９４を「未剥離領域９４」と呼ぶ。一対の剥離領域９３のうち一方の剥離領域９３は、未剥離領域９４を挟んで他方の剥離領域９３の幅方向の反対側に位置する。一対の剥離領域９３、および、未剥離領域９４はそれぞれ、カーボンナノチューブアレイ９１の一部である。
【００４５】
図４に示す例では、各剥離領域９３および未剥離領域９４の平面視における形状は、略矩形（例えば、搬送方向に延びる略長方形）である。各剥離領域９３の一対の辺は、搬送方向に略平行であり、他の一対の辺は幅方向に略平行である。未剥離領域９４の一対の辺も、搬送方向に略平行であり、他の一対の辺は幅方向に略平行である。各剥離領域９３と未剥離領域９４との境界線９５は、搬送方向に略平行に（すなわち、カーボンナノチューブアレイ９１の一対の辺に略平行に）延びる略直線である。２つの剥離領域９３の幅は、例えば略同じである。各剥離領域９３の幅は、カーボンナノチューブアレイ９１の幅の１％〜２０％であることが好ましく、より好ましくは５％〜１０％である。また、各剥離領域９３の幅は、好ましくは２ｍｍ〜２０ｍｍであり、より好ましくは５ｍｍ〜１０ｍｍである。各剥離領域９３の幅は、未剥離領域９４の幅よりも小さいことが好ましい。
【００４６】
図５は、一対の剥離領域９３が基板９２から剥離されたカーボンナノチューブアレイ９１を示す斜視図である。剥離領域９３は、未剥離領域９４から幅方向の外側へと離れるに従って、基板９２（図示省略）から下方へと僅かに離れる。換言すれば、剥離領域９３は、幅方向において境界線９５から離れるに従って、基板９２から離れる方向に僅かに反る。
【００４７】
一対の剥離領域９３が形成されたカーボンナノチューブアレイ９１は、基板搬送機構２２により、搬送方向の上流側から下流側へとさらに搬送される。これにより、第２切断刃２４が、カーボンナノチューブアレイ９１の未剥離領域９４に対して、搬送方向の下流側から上流側に向かって搬送方向に略平行に相対的に移動し、カーボンナノチューブアレイ９１の未剥離領域９４が、基板９２から剥離される（ステップＳ１３）。
【００４８】
剥離装置１において、上述の境界線９５の延びる方向を「第１方向」と呼び、カーボンナノチューブアレイ９１に対する第２切断刃２４の相対移動方向を「第２方向」と呼ぶと、図２に示す例では、第２方向は、第１方向に略平行である。換言すれば、第２方向は、第１方向に垂直な方向と略直角に交差する。
【００４９】
図５に示すように、一対の剥離領域９３が剥離されたカーボンナノチューブアレイ９１では、剥離領域９３が未剥離領域９４から僅かに下方に反っていることにより、当該剥離領域９３が、境界線９５に沿って延びる（すなわち、搬送方向に延びる）リブのような強度部材として働く。このため、第２切断刃２４により未剥離領域９４を剥離する際に、未剥離領域９４の基板９２から剥離された部位が、搬送方向に反り返って丸まることを防止することができる。このように、基板９２からの剥離の際のカーボンナノチューブアレイ９１の変形を抑制することにより、基板９２から離れても略平坦なシート状の形状を維持しているカーボンナノチューブアレイ９１を得ることができる。
【００５０】
未剥離領域９４全体が基板９２から剥離されると、シート状のカーボンナノチューブアレイ９１は、基板９２の下面９２１から離れて下方へと落下する。カーボンナノチューブアレイ９１は、受け取り部２５の治具８１により受け取られ、略平坦な形状を維持した状態で治具８１内に収容される（ステップＳ１４）。カーボンナノチューブアレイ９１が収容された治具８１は、剥離装置１から搬出され、例えば、蓋をされた上で熱処理が施される。当該熱処理の温度は、例えば約２６００℃である。当該熱処理により、カーボンナノチューブアレイ９１の嵩密度が増大し、カーボンナノチューブの結晶性も向上する。剥離装置１では、基板９２上に配列された複数のカーボンナノチューブアレイ９１に対して、上述のステップＳ１１〜Ｓ１４が順次行われる。
【００５１】
剥離装置１では、基板９２上のカーボンナノチューブアレイ９１の厚さおよび嵩密度を様々に変更して、カーボンナノチューブアレイ９１の基板９２からの剥離を行った。具体的には、カーボンナノチューブアレイ９１の厚さを５０μｍ、１００μｍ、２００μｍまたは３００μｍとし、カーボンナノチューブアレイ９１の嵩密度を３０ｍｇ／ｃｍ３、４０ｍｇ／ｃｍ３または５０ｍｇ／ｃｍ３として、当該厚さと嵩密度との各組み合わせについて、剥離装置１にてカーボンナノチューブアレイ９１の剥離を行った。その結果、カーボンナノチューブアレイ９１の厚さと嵩密度とのいずれの組み合わせにおいても、基板９２からの剥離の際のカーボンナノチューブアレイ９１の変形を抑制し、略平坦な形状を維持したカーボンナノチューブアレイ９１を得ることができた。
【００５２】
カーボンナノチューブアレイ９１の基板９２からの剥離時における変形を抑制するという観点からは、剥離装置１は、必ずしも一対の第１切断刃２３を備える必要はなく、一対の第１切断刃２３のうち１つの第１切断刃２３が設けられていれば、もう１つの第１切断刃２３は省略されてもよい。この場合であっても、当該１つの第１切断刃２３により剥離された１つの剥離領域９３が、境界線９５に沿って延びる強度部材として働くことにより、カーボンナノチューブアレイ９１が搬送方向に反ることを抑制することができる。
【００５３】
以上に説明したように、剥離装置１は、基板支持部２１と、第１剥離機構２６と、第２剥離機構２７とを備える。基板支持部２１は、カーボンナノチューブアレイ９１が主面（図１に示す例では、下面９２１）に立設している基板９２を支持する。第１剥離機構２６は、カーボンナノチューブアレイ９１に対して第１切断刃２３を相対的に移動させることにより、カーボンナノチューブアレイ９１の一部である剥離領域９３を、基板９２から剥離させる。第２剥離機構２７は、カーボンナノチューブアレイ９１のうち、基板９２から剥離されていない領域である未剥離領域９４に対して、第２切断刃２４を相対的に移動させることにより、未剥離領域９４を基板９２から剥離させる。第２切断刃２４の未剥離領域９４に対する相対的な移動方向は、未剥離領域９４と剥離領域９３との境界線９５が延びる第１方向に垂直な方向と交差する第２方向である。
【００５４】
このように、剥離装置１では、カーボンナノチューブアレイ９１の未剥離領域９４を基板９２から剥離させるよりも前に、境界線９５に沿って延びる（すなわち、搬送方向に延びる）剥離領域９３が形成される。剥離領域９３は、上述のように、未剥離領域９４から僅かに下方に反っており、未剥離領域９４との境界線９５に沿って延びる強度部材として働く。これにより、第２切断刃２４によって未剥離領域９４を剥離する際に、未剥離領域９４の基板９２から剥離された部位が、搬送方向に反り返って丸まることを防止することができる。その結果、基板９２からの剥離の際のカーボンナノチューブアレイ９１の変形を抑制するができ、基板９２から離れても略平坦なシート状の形状を維持しているカーボンナノチューブアレイ９１を得ることができる。
【００５５】
上述のように、カーボンナノチューブアレイ９１の平面視における形状は矩形であり、境界線９５は、カーボンナノチューブアレイ９１の一の辺に平行に延びる直線であることが好ましい。この場合、剥離領域９３が未剥離領域９４との境界線９５に沿って延びる強度部材として、より好適に働く。このため、基板９２からの剥離の際のカーボンナノチューブアレイ９１の変形を、さらに抑制するができる。
【００５６】
好ましくは、上述の第２方向は、第１方向に平行である。これにより、剥離領域９３が未剥離領域９４との境界線９５に沿って延びる強度部材として、より好適に働く。その結果、基板９２からの剥離の際のカーボンナノチューブアレイ９１の変形を、さらに抑制するができる。
【００５７】
上述のように、好ましくは、第１剥離機構２６は、カーボンナノチューブアレイ９１に対してもう１つの第１切断刃２３を相対的に移動させることにより、未剥離領域９４を挟んで上記剥離領域９３の反対側に位置するもう１つの剥離領域９３も、基板９２から剥離させる。このように、未剥離領域９４の両側に、強度部材として働く剥離領域９３を配置することにより、基板９２からの剥離の際のカーボンナノチューブアレイ９１の変形を、より一層抑制するができる。
【００５８】
上述のように、より好ましくは、第１剥離機構２６および第２剥離機構２７は、基板９２を所定の搬送経路に沿って搬送する基板搬送機構２２を共有する。第１剥離機構２６の第１切断刃２３およびもう１つの第１切断刃２３（すなわち、一対の第１切断刃２３）は、当該搬送経路の幅方向両側にて基板９２の上記主面（図１に示す例では、下面９２１）に接触または近接する位置に固定される。そして、一対の第１切断刃２３は、基板９２が基板搬送機構２２により搬送される際に、カーボンナノチューブアレイ９１の幅方向両側に位置する剥離領域９３およびもう１つの剥離領域９３（すなわち、一対の剥離領域９３）を剥離する。第２剥離機構２７の第２切断刃２４は、第１剥離機構２６の第１切断刃２３およびもう１つの第１切断刃２３（すなわち、一対の第１切断刃２３）よりも、移動経路の下流側にて基板９２の上記主面に接触または近接する位置に固定される。そして、第２切断刃２４は、基板９２が基板搬送機構２２により搬送される際に、幅方向において剥離領域９３ともう１つの剥離領域９３との間に位置する未剥離領域９４を剥離する。
【００５９】
これにより、一対の第１切断刃２３および第２切断刃２４を移動させることなく、基板９２を搬送することにより、カーボンナノチューブアレイ９１を基板９２から容易に剥離することができる。その結果、剥離装置１の構造を簡素化することができる。また、剥離装置１では、長尺状の基板９２の主面において、複数のカーボンナノチューブアレイ９１を搬送方向に配列することにより、複数のカーボンナノチューブアレイ９１の基板９２からの剥離を、連続的に効率良く行うことができる。なお、剥離装置１は、主面上に１つのカーボンナノチューブアレイ９１のみが形成された略平板状の基板９２から、当該カーボンナノチューブアレイ９１を剥離する際に利用されてもよい。
【００６０】
上述のように、好ましくは、基板９２の上記主面は、重力方向に対して垂直かつ下向きであり、第２切断刃２４の下方に、基板９２から剥離されたカーボンナノチューブアレイ９１を受け取る受け取り部２５が設けられる。これにより、基板９２から剥離されたカーボンナノチューブアレイ９１を、基板９２上から受け取り部２５へと容易に移動することができる。その結果、受け取り部２５への移動時におけるカーボンナノチューブアレイ９１の損傷を防止または抑制することができる。
【００６１】
上述のカーボンナノチューブアレイ９１の剥離方法は、カーボンナノチューブアレイ９１が主面上に立設している基板９２を準備する工程（ステップＳ１１）と、カーボンナノチューブアレイ９１に対して第１切断刃２３を相対的に移動させることにより、カーボンナノチューブアレイ９１の一部である剥離領域９３を基板９２から剥離させる工程（ステップＳ１２）と、カーボンナノチューブアレイ９１のうち基板９２から剥離されていない領域である未剥離領域９４に対して、未剥離領域９４と剥離領域９３との境界線９５が延びる第１方向に垂直な方向と交差する第２方向に第２切断刃２４を相対的に移動させることにより、未剥離領域９４を基板９２から剥離させる工程（ステップＳ１３）とを備える。これにより、上述のように、基板９２からの剥離の際のカーボンナノチューブアレイ９１の変形を抑制するができる。
【００６２】
上述のように、ステップＳ１２では、カーボンナノチューブアレイ９１に対してもう１つの第１切断刃２３を相対的に移動させることにより、未剥離領域９４を挟んで剥離領域９３の反対側に位置するもう１つの剥離領域９３も、基板９２から剥離されることが好ましい。これにより、基板９２からの剥離の際のカーボンナノチューブアレイ９１の変形を、より一層抑制するができる。なお、一対の剥離領域９３の基板９２からの剥離は、必ずしも並行して行われる必要はない。例えば、一対の第１切断刃２３が、搬送経路の幅方向両側にて搬送方向の異なる位置に配置されることにより、１つの剥離領域９３が基板９２から剥離された後、もう１つの剥離領域９３が基板９２から剥離されてもよい。換言すれば、もう１つの剥離領域９３の基板９２からの剥離は、ステップＳ１３よりも前に行われていればよい。
【００６３】
上記剥離方法は、ステップＳ１３よりも後に、基板９２から剥離されたカーボンナノチューブアレイ９１を第２切断刃２４の下方にて受け取る工程（ステップＳ１４）をさらに備えることが好ましい。これにより、基板９２から剥離されたカーボンナノチューブアレイ９１を、基板９２上から容易に移動することができる。これにより、移動時におけるカーボンナノチューブアレイ９１の損傷を防止または抑制することができる。
【００６４】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る剥離装置１ａについて説明する。図６は、剥離装置１ａを示す側面図であり、図７は、剥離装置１ａの一部を示す底面図である。剥離装置１ａでは、下面９２１上に１つのカーボンナノチューブアレイ９１のみが形成された略矩形の略平板状の基板９２から、当該カーボンナノチューブアレイ９１を剥離する。
【００６５】
剥離装置１ａは、基板支持部２１ａと、一対の切断刃２８と、一対の進退機構２８１と、基板回転機構２９とを備える。を備える。基板支持部２１ａは、基板９２の上側の主面に接触して基板９２を上側から支持するステージである。当該ステージの内部には、例えば、基板９２の上側の主面を吸引して吸着保持するバキューム機構、または、当該主面を磁力で吸着保持する電磁石を備える。基板回転機構２９は、基板支持部２１ａの上面に接続され、上下方向を向く回転軸Ｊ３を中心として基板支持部２１ａを回転する。基板回転機構２９は、例えば電動モータである。
【００６６】
一対の切断刃２８、および、一対の進退機構２８１は、基板９２およびカーボンナノチューブアレイ９１を間に挟んで、図６および図７中の左右方向（以下、「進退方向」と呼ぶ。）に対向して配置される。カーボンナノチューブアレイ９１の平面視における形状は、略矩形（例えば、略正方形）である。カーボンナノチューブアレイ９１の一対の辺は進退方向に略平行であり、他の一対の辺は、図７中の上下方向（以下、「幅方向」と呼ぶ。）に略平行である。
【００６７】
各切断刃２８は、例えば、幅方向に略平行に延びる薄刃状の剃刀である。切断刃２８は、図６中の下側から上側へと向かうに従って基板９２に近づく。切断刃２８は、例えば、フェザー安全剃刀株式会社製の厚さ約１００μｍの剃刀である。図６に示す例では、切断刃２８のエッジ（すなわち、上端縁）は、基板９２の下面９２１に押し付けられており、切断刃２８は、基板９２から離れる方向に凸となるように湾曲している。側面視において、切断刃２８のエッジ近傍の部位と基板９２の下面９２１との成す角度は、例えば、０°〜４５°であり、本実施の形態では約１５°である。
【００６８】
なお、切断刃２８は、薄刃状の剃刀には限定されず、例えば、エッジをカーボンナノチューブアレイ９１に向けて配置される略くさび状の部材であってもよい。あるいは、切断刃２８は、幅方向に略平行に延びる細線であってもよい。当該細線として、例えば、直径３０μｍ以下の炭素繊維、カーボンナノチューブ撚糸または金属線が利用可能である。
【００６９】
各進退機構２８１は、各切断刃２８を進退方向に移動させる。換言すれば、一対の進退機構２８１は、一対の切断刃２８を互いに対して進退させる。一対の切断刃２８は、例えば、互いに対して近づく方向に同期して移動され、また、互いに離間する方向に同期して移動される。なお、各切断刃２８は、独立して進退方向に移動されてもよい。進退機構２８１は、例えば、電動リニアモータまたはエアシリンダである。
【００７０】
次に、図８を参照しつつ、剥離装置１ａによるカーボンナノチューブアレイ９１の剥離の流れについて説明する。剥離装置１ａでは、まず、基板支持部２１ａにより基板９２が保持されることにより、カーボンナノチューブアレイ９１が下面９２１上に立設している基板９２が準備される（ステップＳ２１）。続いて、一対の進退機構２８１により一対の切断刃２８がカーボンナノチューブアレイ９１に向けて移動されることにより、カーボンナノチューブアレイ９１の進退方向の両端部が、図９に示すように、基板９２から剥離されて一対の剥離領域９３となる（ステップＳ２２）。一対の切断刃２８は、一対の進退機構２８１により、図７に示す待機位置へと戻される。
【００７１】
次に、基板回転機構２９により、基板支持部２１ａが回転軸Ｊ３を中心として９０°回転される（ステップＳ２３）。これにより、一対の剥離領域９３は、図１０に示すように、カーボンナノチューブアレイ９１の幅方向両端部に位置する。各剥離領域９３と未剥離領域９４との境界線９５は、進退方向およびカーボンナノチューブアレイ９１の一対の辺に略平行に延びる。その後、一対の進退機構２８１により一対の切断刃２８がカーボンナノチューブアレイ９１に向けて移動されることにより、カーボンナノチューブアレイ９１の未剥離領域９４が基板９２から剥離される（ステップＳ２４）。基板９２から剥離されたカーボンナノチューブアレイ９１は、図６に示す基板支持部２１ａおよび一対の切断刃２８の下方に設けられた受け取り部２５により受け取られ、治具８１に収容されて剥離装置１ａから搬出される（ステップＳ２５）。
【００７２】
剥離装置１ａでは、一対の切断刃２８および一対の進退機構２８１により、カーボンナノチューブアレイ９１を部分的に基板９２から剥離させる第１剥離機構２６ａが構成される。換言すれば、第１剥離機構２６ａは、一対の切断刃２８と、一対の進退機構２８１とを備える。さらに換言すれば、切断刃２８は、第１剥離機構２６ａに設けられた第１切断刃である。第１剥離機構２６ａは、カーボンナノチューブアレイ９１に対して一対の切断刃２８を相対的に移動させることにより、基板９２からのカーボンナノチューブアレイ９１の部分的剥離を実現する。なお、剥離装置１ａでは、一対の切断刃２８のうち一方の切断刃２８のみにより、剥離領域９３の形成が行われてもよい。
【００７３】
また、剥離装置１ａでは、一対の切断刃２８、一対の進退機構２８１および基板回転機構２９により、カーボンナノチューブアレイ９１を基板９２から剥離させる第２剥離機構２７ａが構成される。換言すれば、第２剥離機構２７ａは、一対の切断刃２８と、一対の進退機構２８１と、基板回転機構２９とを備える。さらに換言すれば、切断刃２８は、第２剥離機構２７ａに設けられた第２切断刃である。一対の切断刃２８および一対の進退機構２８１は、第１剥離機構２６ａおよび第２剥離機構２７ａにより共有される。第２剥離機構２７ａは、カーボンナノチューブアレイ９１に対して一対の切断刃２８を相対的に移動させることにより、基板９２からのカーボンナノチューブアレイ９１の剥離を実現する。なお、剥離装置１ａでは、未剥離領域９４の基板９２からの剥離は、一対の切断刃２８のうち、一方の切断刃２８のみにより行われてもよい。
【００７４】
以上に説明したように、剥離装置１ａは、基板支持部２１ａと、第１剥離機構２６ａと、第２剥離機構２７ａとを備える。基板支持部２１ａは、カーボンナノチューブアレイ９１が主面（図６に示す例では、下面９２１）に立設している基板９２を支持する。第１剥離機構２６ａは、カーボンナノチューブアレイ９１に対して第１切断刃（すなわち、切断刃２８）を相対的に移動させることにより、カーボンナノチューブアレイ９１の一部である剥離領域９３を、基板９２から剥離させる。第２剥離機構２７ａは、カーボンナノチューブアレイ９１のうち、基板９２から剥離されていない領域である未剥離領域９４に対して、第２切断刃（すなわち、切断刃２８）を相対的に移動させることにより、未剥離領域９４を基板９２から剥離させる。第２切断刃の未剥離領域９４に対する相対的な移動方向は、未剥離領域９４と剥離領域９３との境界線９５が延びる第１方向に垂直な方向と交差する第２方向である。これにより、第１の実施の形態と同様に、僅かに反った剥離領域９３が境界線９５に沿って延びる強度部材として働くため、基板９２からの剥離の際のカーボンナノチューブアレイ９１の変形を抑制するができる。
【００７５】
上述のように、カーボンナノチューブアレイ９１の平面視における形状は矩形であり、境界線９５は、カーボンナノチューブアレイ９１の一の辺に平行に延びる直線であることが好ましい。この場合、剥離領域９３が未剥離領域９４との境界線９５に沿って延びる強度部材として、より好適に働く。このため、基板９２からの剥離の際のカーボンナノチューブアレイ９１の変形を、さらに抑制するができる。
【００７６】
上述のように、好ましくは、第１剥離機構２６ａは、カーボンナノチューブアレイ９１に対してもう１つの切断刃２８を相対的に移動させることにより、未剥離領域９４を挟んで上記剥離領域９３の反対側に位置するもう１つの剥離領域９３も、基板９２から剥離させる。このように、未剥離領域９４の両側に、強度部材として働く剥離領域９３を配置することにより、基板９２からの剥離の際のカーボンナノチューブアレイ９１の変形を、より一層抑制するができる。
【００７７】
上述のように、好ましくは、基板９２の上記主面は、重力方向に対して垂直かつ下向きであり、切断刃２８の下方に、基板９２から剥離されたカーボンナノチューブアレイ９１を受け取る受け取り部２５が設けられることが好ましい。これにより、基板９２から剥離されたカーボンナノチューブアレイ９１を、基板９２上から受け取り部２５へと容易に移動することができる。その結果、受け取り部２５への移動時におけるカーボンナノチューブアレイ９１の損傷を防止または抑制することができる。
【００７８】
好ましくは、上述の第２方向は、第１方向に平行である。換言すれば、第２方向は、第１方向に垂直な方向と直角に交差する。これにより、剥離領域９３が、未剥離領域９４との境界線９５に沿って延びる強度部材として、より好適に働く。その結果、基板９２からの剥離の際のカーボンナノチューブアレイ９１の変形を、さらに抑制するができる。
【００７９】
なお、剥離装置１ａでは、第２方向は、第１方向に垂直な方向と交差するのであれば、必ずしも直角に交差する必要はない。例えば、ステップＳ２３において、基板支持部２１ａが約４５°回転された場合、第２方向と第１方向との成す角度（鋭角）は約４５°である。この場合であっても、剥離領域９３が強度部材として働くことにより、基板９２からの剥離の際のカーボンナノチューブアレイ９１の変形を抑制するができる。また、この場合、未剥離領域９４の剥離開始時において、切断刃２８と未剥離領域９４との幅方向（すなわち、切断刃２８の延びる方向）における接触長が漸次増大する。これにより、切断刃２８から未剥離領域９４に加わる力が徐々に大きくなるため、未剥離領域９４を基板９２から安定して剥離させることができる。
【００８０】
上述の剥離装置１，１ａおよび剥離方法では、様々な変更が可能である。
【００８１】
例えば、剥離装置１の受け取り部２５では、基板９２から剥離されたカーボンナノチューブアレイ９１は、必ずしも治具８１により受け取られる必要はない。基板９２から剥離されたカーボンナノチューブアレイ９１は、例えば、ベルトコンベアにより受け取られて剥離装置１から搬出されてもよい。受け取り部２５におけるカーボンナノチューブアレイ９１の受け取りの態様は、様々に変更されてよい。剥離装置１ａにおいても同様である。
【００８２】
剥離装置１では、受け取り部２５が省略されてもよい。また、剥離装置１では、基板９２の上側の主面（すなわち、上面）に立設するカーボンナノチューブアレイ９１が、基板９２から剥離されてもよい。あるいは、剥離装置１では、基板９２の上面および下面９２１に立設するカーボンナノチューブアレイ９１が、基板９２から剥離されてもよい。この場合、基板支持部２１は、基板９２の側縁近傍の部位を支持する。剥離装置１ａにおいても同様である。
【００８３】
剥離装置１，１ａでは、基板支持部２１，２１ａ、基板搬送機構２２および進退機構２８１等の構造は、上述の例には限定されず、様々に変更されてよい。
【００８４】
剥離装置１ａでは、基板回転機構２９に代えて、一対の切断刃２８とは略９０°異なる向きに配置される他の一対の切断刃が設けられ、当該他の一対の切断刃により、カーボンナノチューブアレイ９１の未剥離領域９４が基板９２から剥離されてもよい。また、当該他の一対の切断刃のうち一方の切断刃のみにより、未剥離領域９４が基板９２から剥離されてもよい。
【００８５】
剥離領域９３と未剥離領域９４との境界線９５は、必ずしも略直線状である必要はなく、例えば、略円弧状に湾曲する曲線であってもよい。この場合、上述の第１方向は、当該境界線９５の長手方向中央における接線方向である。また、境界線９５は、例えば、ジグザグに折れ曲がりながら延びる折れ線であってもよい。この場合、上述の第１方向は、当該境界線９５を最小二乗法により近似した直線に平行な方向である。
【００８６】
カーボンナノチューブアレイ９１の平面視における形状は、必ずしも矩形には限定されず、略円形、略長円形、三角形または五角形以上の多角形等、様々に変更されてよい。
【００８７】
剥離装置１ａでは、基板回転機構２９により連続的に基板９２が回転されるとともに、１つの切断刃２８が回転軸Ｊ３に向かって径方向内方へと移動され、回転中の基板９２上のカーボンナノチューブアレイ９１が、当該切断刃２８により外周部から中心部へと螺旋状に剥離されてもよい。例えば、基板９２が回転軸Ｊ３を中心として１回転する間に、カーボンナノチューブアレイ９１が外周部から中心部まで剥離される。この場合、カーボンナノチューブアレイ９１の中心部を剥離させる際の切断刃２８の相対移動方向である第２方向は、カーボンナノチューブアレイ９１から剥離された外周部（すなわち、剥離領域９３）と中心部（すなわち、未剥離領域９４）との境界線９５が延びる第１方向に垂直な方向と交差する。また、カーボンナノチューブアレイ９１の外周部を剥離させる際の切断刃２８は上述の第１切断刃に相当し、カーボンナノチューブアレイ９１の中心部を剥離させる際の切断刃２８は上述の第２切断刃に相当する。これにより、基板９２からの剥離の際のカーボンナノチューブアレイ９１の変形を抑制するができる。
【００８８】
上記実施の形態および各変形例における構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わされてよい。
【符号の説明】
【００８９】
１，１ａ    剥離装置
２１，２１ａ    基板支持部
２２    基板搬送機構
２３    第１切断刃
２４    第２切断刃
２５    受け取り部
２６，２６ａ    第１剥離機構
２７，２７ａ    第２剥離機構
２８    切断刃
９１    カーボンナノチューブアレイ
９２    基板
９３    剥離領域
９４    未剥離領域
９５    境界線
９２１    下面
Ｓ１１〜Ｓ１４，Ｓ２１〜Ｓ２５    ステップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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