(57)【要約】【課題】内歯のピッチが変動するベルトと複数の従動プーリを有する回転伝達機構において、各従動プーリの回転量の予定回転量からのずれを抑える。【解決手段】駆動源によって回転駆動される駆動プーリと、互いに独立した回転軸を有する複数の従動プーリと、を有し、前記従動プーリ毎に、当該従動プーリと前記駆動プーリとの間に架け渡されたベルトを有し、さらに、前記ベルトを所定方向に回転させる際、当該ベルトにおいて前記駆動プーリから送り出される部分を往側部、前記駆動プーリへ戻る部分を戻側部としたときに、前記ベルトそれぞれの往側部と前記ベルトそれぞれの戻側部とのいずれか一方の内周面と当接するアイドラプーリを有し、前記駆動プーリ、前記従動プーリ及び前記アイドラプーリには外歯が形成され、前記ベルトには、前記外歯と噛合う内歯が形成され、前記内歯は、歯間のピッチが周期的に変動する特性を有し、前記ベルトはそれぞれ、前記内歯の周期的な前記特性における所定の位相分、互いにずらして架け渡される、回転伝達機構である。【選択図】図９
2020143691.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動源によって回転駆動される駆動プーリと、
互いに独立した回転軸を有する複数の従動プーリと、を有し、
前記従動プーリ毎に、当該従動プーリと前記駆動プーリとの間に架け渡されたベルトを有し、
さらに、前記ベルトを所定方向に回転させる際、当該ベルトにおいて前記駆動プーリから送り出される部分を往側部、前記駆動プーリへ戻る部分を戻側部としたときに、前記ベルトそれぞれの往側部と前記ベルトそれぞれの戻側部とのいずれか一方の内周面と当接するアイドラプーリを有し、
前記駆動プーリ、前記従動プーリ及び前記アイドラプーリには外歯が形成され、
前記ベルトには、前記外歯と噛合う内歯が形成され、
前記内歯は、歯間のピッチが周期的に変動する特性を有し、
前記ベルトはそれぞれ、前記内歯の周期的な前記特性における所定の位相分、互いにずらして架け渡される、回転伝達機構。
【請求項２】
前記従動プーリ及び前記ベルトの数は２つであり、
一の前記ベルトと他の前記ベルトは互いに前記内歯の周期的な前記特性における位相が１８０°ずれるように架け渡される、請求項１に記載の回転伝達機構。
【請求項３】
前記アイドラプーリは、前記駆動プーリと前記従動プーリとの間における、前記従動プーリ寄りの位置に設けられている、請求項１または２に記載の回転伝達機構。
【請求項４】
前記ベルトは、平面視において折り返し部分が形成されるように架け渡され、
前記アイドラプーリは、前記ベルトの前記折り返し部分の内周面に当接するよう設けられている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の回転伝達機構。
【請求項５】
前記ベルトの内歯は、当該ベルト一周分を周期として歯間のピッチが周期的に変動する特性を有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の回転伝達機構。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の回転伝達機構と、
基板が載置される載置台と、を有し、
前記載置台は、前記従動プーリに固定され、当該従動プーリの回転に応じて回転する、基板位置合わせ装置。
【請求項７】
前記アイドラプーリは、当該アイドラプーリから前記従動プーリの回転軸までの距離が前記基板の半径より大きくなるよう配設される、請求項６に記載の基板位置合わせ装置。
【請求項８】
平面視において前記駆動プーリと前記従動プーリとを結ぶ方向と直交する方向を前後方向としたときに、前記アイドラプーリは、前記載置台に載置された基板の前後方向における端部より内側となる領域内に設けられている、請求項６または７に記載の基板位置合わせ装置。
【請求項９】
回転伝達機構に用いられるベルトを架け渡す方法であって、
前記回転伝達機構は、
駆動源によって回転駆動される駆動プーリと、
前記駆動プーリの回転によって回転すると共に、互いに独立した回転軸を有する複数の従動プーリと、を有し、
前記従動プーリ毎に、当該従動プーリと前記駆動プーリとの間に架け渡されたベルトを有し、
さらに、前記ベルトを所定方向に回転させる際、当該ベルトにおいて前記駆動プーリから送り出される部分を往側部、前記駆動プーリへ戻る部分を戻側部としたときに、前記ベルトそれぞれの往側部と前記ベルトそれぞれの戻側部とのいずれか一方の内周面と当接するアイドラプーリを有し、
前記駆動プーリ、前記従動プーリ及び前記アイドラプーリには外歯が形成され、
前記ベルトには、前記外歯と係合する内歯が形成され、
前記内歯は、歯間のピッチが周期的に変動する特性を有し、
当該方法は、前記ベルトそれぞれを、前記内歯の周期的な前記特性における所定の位相分、互いにずらして架け渡す、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、回転伝達機構、基板位置合わせ装置及びベルトの架け渡し方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、半導体ウェハの位置を調整するプリアライナーの駆動機構が開示されている。この駆動機構は、駆動モータと、駆動モータの回転軸に固定された駆動プーリと、回転可能に支持されたシャフトとを有する。シャフトの下端には、駆動プーリを介して伝達された駆動モータの回転力により回転する従動プーリが設けられ、シャフトの上端には、半導体ウェハを搭載するためのウェハステージが設けられている。また、この駆動機構では、駆動モータの回転力を駆動プーリから従動プーリに伝達するタイミングベルトが設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２７０４７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示にかかる技術は、内歯のピッチが変動するベルトと複数の従動プーリを有する回転伝達機構において、各従動プーリの回転量の予定回転量からのずれを抑える。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様は、駆動源によって回転駆動される駆動プーリと、互いに独立した回転軸を有する複数の従動プーリと、を有し、前記従動プーリ毎に、当該従動プーリと前記駆動プーリとの間に架け渡されたベルトを有し、さらに、前記ベルトを所定方向に回転させる際、当該ベルトにおいて前記駆動プーリから送り出される部分を往側部、前記駆動プーリへ戻る部分を戻側部としたときに、前記ベルトそれぞれの往側部と前記ベルトそれぞれの戻側部とのいずれか一方の内周面と当接するアイドラプーリを有し、前記駆動プーリ、前記従動プーリ及び前記アイドラプーリには外歯が形成され、前記ベルトには、前記外歯と噛合う内歯が形成され、前記内歯は、歯間のピッチが周期的に変動する特性を有し、前記ベルトはそれぞれ、前記内歯の周期的な前記特性における所定の位相分、互いにずらして架け渡される、回転伝達機構である。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、内歯のピッチが変動するベルトと複数の従動プーリとを有する回転伝達機構において、各従動プーリの回転量の予定回転量からのずれを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本実施形態にかかる基板位置合わせ装置を有する大気圧搬送モジュールの構成の概略を示す平面図である。
【図２】アライナの斜視図である。
【図３】アライナの構成の概略を示す側面図である。
【図４】大気圧搬送モジュールによるウェハＷの搬送処理の一例における、各工程時の大気圧搬送モジュール内の状態を示す図である。
【図５】大気圧搬送モジュールによるウェハＷの搬送処理の一例における、各工程時の大気圧搬送モジュール内の状態を示す図である。
【図６】大気圧搬送モジュールによるウェハＷの搬送処理の一例における、各工程時の大気圧搬送モジュール内の状態を示す図である。
【図７】大気圧搬送モジュールによるウェハＷの搬送処理の一例における、各工程時の大気圧搬送モジュール内の状態を示す図である。
【図８】大気圧搬送モジュールによるウェハＷの搬送処理の一例における、各工程時の大気圧搬送モジュール内の状態を示す図である。
【図９】回転伝達機構の平面図である。
【図１０】ベルトの内歯が有する、ピッチの変動特性を示す図である。
【図１１】本実施形態にかかる回転伝達機構の効果を説明するための図である。
【図１２】回転伝達機構の他の例を説明するための平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
半導体製造装置には、搬送アームによって半導体ウェハ（以下、「ウェハ」という。）を精度良く搬送すること等を目的として、基板位置合わせ装置を備えるものがある。基板位置合わせ装置では、ウェハの向きを揃えたり、ウェハの中心を決定したりする。
この種の基板位置合わせ装置には回転伝達機構が設けられている（特許文献１参照）。
【０００９】
基板位置合わせ装置に用いられる回転伝達機構は、例えば、駆動モータの回転軸に固定された駆動プーリと、一端にウェハの載置台が設けられたシャフトの他端に固定され駆動モータの回転力により回転する従動プーリと、を有する。そして、この回転伝達機構は、駆動モータの回転力を駆動プーリから従動プーリに伝達するベルトを有する。
また、基板位置合わせ装置用の回転伝達機構には、一般的に、上記ベルトとして、駆動プーリ及び従動プーリに形成された外歯と噛合う内歯が形成されたゴム製で無端環状のベルトが用いられる。
【００１０】
しかし、上述のゴム製の無端環状のベルトは、成形精度等に起因して、内歯のピッチが均一とならない場合がある。内歯のピッチが均一でないベルトを回転伝達機構に用いた場合、従動プーリの回転量に、予定回転量からのずれが生じる。なお、予定回転量とは、駆動プーリの回転量により定まる理想的な回転量であり、従動プーリと駆動プーリの直径が等しい場合は、従動プーリの予定回転量は駆動プーリの回転量と等しくなる。
特許文献１は、上述のように内歯のピッチが均一でないベルトを用いた場合の課題について、何ら開示するものではない。
【００１１】
また、近年、ウェハの載置台が複数設けられた基板位置合わせ装置の開発等が進められている。このように載置台が複数設けられた基板位置合わせ装置に用いられる回転伝達機構には、載置台毎に従動プーリが設けられ、つまり、複数の従動プーリが設けられる。
前述したゴム製の無端環状のベルトの成形精度に起因する、従動プーリの回転量における予定回転量からのずれ（以下、「従動プーリの回転量のずれ」と省略することがある。）は、複数の従動プーリを有する回転伝達機構においても課題となる。
【００１２】
そこで、本開示にかかる技術は、内歯のピッチが変動するベルトと複数の従動プーリとを有する回転伝達機構において、各従動プーリの回転量のずれを抑える。
【００１３】
以下、本実施形態にかかる回転伝達機構及び基板位置合わせ装置の構成について、図面を参照しながら説明する。なお、本明細書において、実質的に同一の機能構成を有する要素においては、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００１４】
図１は、本実施形態にかかる基板位置合わせ装置を有する大気圧搬送モジュールの構成の概略を示す平面図である。
図１の大気圧搬送モジュール１は、大気圧（常圧）雰囲気下でキャリアＣからウェハＷを取り出し外部のモジュールに搬送するモジュールである。この大気圧搬送モジュール１は、例えば、不図示の複数の処理モジュール、真空搬送モジュール及びロードロックモジュールと組み合わされ、基板処理システムとして構成される。上記処理モジュールは、真空雰囲気中でウェハＷに対し所定の処理を行うモジュールであり、上記真空搬送モジュールは、真空雰囲気中で処理モジュールとロードロックモジュールとの間でウェハＷを搬送するモジュールである。また、上記ロードロックモジュールは、大気圧搬送モジュール１と上記真空搬送モジュールとの間でウェハＷを受け渡すために、ウェハＷが置かれる雰囲気を大気圧雰囲気と真空雰囲気との間で切り替えるモジュールである。
【００１５】
大気圧搬送モジュール１は、筐体１０を有する。
筐体１０の外側には、ウェハＷを格納するキャリアＣを載置する載置台１１が複数（図の例では４つ）設けられている。
【００１６】
筐体１０の内部は、窒素ガス等が供給されることにより大気圧雰囲気とされている。
また、筐体１０内には、ウェハＷを搬送するウェハ搬送装置１２が設けられている。ウェハ搬送装置１２は、多関節アームからなる搬送アーム１３を有する。搬送アーム１３の先端部をなすウェハＷの保持部１３ａは、平面視において互いに位置が揃うように上下方向（鉛直方向）に間隔を空けて２つ設けられている。したがって、ウェハ搬送装置１２は、２枚のウェハＷを同時に搬送することができる。
このウェハ搬送装置１２は、載置台１１上のキャリアＣと後述のアライナ１４との間、載置台１１上のキャリアＣと外部のモジュール（例えば前述のロードロックモジュール）との間、上記外部のモジュールとアライナ１４との間でウェハＷを搬送する。
この搬送を可能とするため、筐体１０の載置台１１側の側壁における当該載置台１１に対応する位置に開口（図示せず）が設けられ、筐体１０の上記外部のモジュール側（図の左側）に開口１０ａが設けられている。
【００１７】
さらに、筐体１０の内部には、基板位置合わせ装置としてのアライナ１４が設けられている。ウェハ搬送装置１２のウェハＷの保持部が上下方向に間隔を空けて２つ設けられていることに対応して、アライナ１４も上下方向に間隔を空けて２つ設けられている。
【００１８】
続いて、アライナ１４について、図２及び図３を用いて説明する。図２は、アライナ１４の斜視図である。図３は、後述のアライナ１４Ａの構成の概略を示す側面図である。
【００１９】
図２に示すように、アライナ１４は、前述の通り、上下方向に間隔を空けて２つ設けられており、以下では、下側のアライナ１４をアライナ１４Ａ、上側のアライナ１４をアライナ１４Ｂとして説明する。また、アライナ１４Ａとアライナ１４Ｂは同様な構成を有するため、以下ではアライナ１４Ａについて説明し、アライナ１４Ｂの説明は省略する。
【００２０】
アライナ１４Ａは、図２及び図３に示すように、２つの載置台２０、２１と、１つの駆動源としてのモータ３０と、１つの光検出機構４０と、回転伝達機構５０と、筐体６０とを有する。
【００２１】
載置台２０、２１は、ウェハＷが載置されるものであり、例えば上面が水平な円板状の部材から構成される。載置台２０と載置台２１とは、上下方向に間隔が空き、平面視において互いに位置が揃うように設けられている。載置台２０、２１は、シャフト２０ａ、２１ａを介して回転伝達機構５０の後述の従動プーリ５２に固定され、当該従動プーリ５２の回転に応じて回転する。
アライナ１４Ａでは、後述するように載置台２０、２１は交互に順番に用いられる。
【００２２】
モータ３０は、載置台２０、２１を回転させるものであり、回転軸３１を有し、当該回転軸３１を回転させる。
光検出機構４０は、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）等からなる投光部４１を上部に有し、ＰＤ（Photodiode）等からなる受光部４２を下部に有する。この光検出機構４０は、載置台２０、２１それぞれに載置されたウェハＷの周縁部を投光部４１と受光部４２との間で挟みうるように設けられている。
【００２３】
載置台２０、２１上のウェハＷの回転中に、投光部４１から受光部４２に向けた光照射が行われ、受光部４２での受光結果が当該受光部４２から制御部（図示せず）に送信される。上述の制御部では、上記受光結果に基づいて、ウェハＷの周縁部に形成されたノッチの位置が検出される。ノッチの位置の検出後、モータ３０及び回転伝達機構５０により載置台２０、２１が回転されることにより、ノッチ位置検出済みのウェハＷは、所定の向きとされる。また、上記制御部では、上記受光結果に基づいて、ウェハＷの側端部の位置の検出をすることもできる。このウェハＷの側端部の位置の検出結果は、搬送アーム１３の保持部１３ａ上の所定の位置にウェハを載置させるために用いられる。なお、説明のため、以下では、ノッチの位置の検出や、ウェハＷの側端部の位置の検出をまとめて、「位置検出」という。
【００２４】
回転伝達機構５０は、１つのモータ３０で２つの載置台２０、２１を回転させるための機構である。この回転伝達機構５０を用いることにより、２つの載置台２０、２１それぞれにモータを設ける必要がないため、２つの載置台２０、２１を有するアライナ１４Ａの大型化を防ぐことができる。
回転伝達機構５０の詳細については後述する。
【００２５】
筐体６０は、回転伝達機構５０を覆うものである。
【００２６】
次に、大気圧搬送モジュール１によるウェハＷの搬送処理の一例について図４〜図８を用いて説明する。なお、この説明では、大気圧搬送モジュールは、前述のロードロックモジュールと処理モジュールと組み合わされ、基板処理システムとして構成されているものとする。
なお、図４〜図８では、アライナ１４Ａ、１４Ｂにより位置検出済みであるウェハＷについてはドットを付している。また、位置未検出のウェハＷについてはドットを付していない。
【００２７】
（工程１）
大気圧搬送モジュール１におけるウェハＷの搬送処理では、まず、例えば、ウェハ搬送装置１２によりキャリアＣから２枚のウェハＷ（以下、ウェハＷ１、Ｗ２という。）が同時に搬出される。なお、このとき、図４に示すように、アライナ１４Ａ、１４Ｂの両方において、載置台２０、２１のうち、載置台２０のみに位置検出済みのウェハＷ（以下、ウェハＷ３という）が載置されているものとする。
【００２８】
（工程２）
次いで、図５に示すように、ウェハＷ１が、ウェハ搬送装置１２の保持部１３ａからアライナ１４Ａの載置台２１に受け渡され、当該保持部１３ａが空き状態（ウェハＷを未保持の状態）となる。このとき、アライナ１４Ｂでは、ウェハＷ４の位置検出が行われる。
そして、図６に示すように、アライナ１４Ａにおいて位置検出済みの、載置台２０上のウェハＷ３が、上記空き状態の保持部１３ａに保持される。
【００２９】
（工程３）
続いて、図７に示すように、ウェハＷ２が、ウェハ搬送装置１２の保持部１３ａからアライナ１４Ｂの載置台２１に受け渡され、当該保持部１３ａが空き状態となる。このとき、アライナ１４Ａでは、ウェハＷ１の位置検出が行われる。
そして、図８に示すように、アライナ１４Ｂにおいて位置検出済の、載置台２０上のウェハＷ４が、上記空き状態の保持部１３ａに保持される。
【００３０】
（工程４）
次に、２つのウェハＷ３、Ｗ４が、ウェハ搬送装置１２により、ロードロックモジュールに受け渡され、２つの保持部１３ａが両方とも空き状態となる。また、この受け渡しの間、アライナ１４ＢではウェハＷ２の位置検出が行われる。
【００３１】
（工程５）
続いて、別のロードロックモジュールに収納された、処理モジュールで処理済みの４枚のウェハＷのうちの２枚が、ウェハ搬送装置１２によりキャリアＣへ搬送される。
【００３２】
続く工程６、７、８、９、１０ではそれぞれ、工程１、２、３、４、５と同様な処理が行われる。ただし、工程７においては、工程２と異なり、ウェハＷの受け渡し先の載置台が載置台２０であり、受け渡し元の載置台が載置台２１である。また、工程８においては、工程３と異なり、ウェハＷの受け渡し先の載置台が載置台２０であり、受け渡し元の載置台が載置台２１である。工程１０では、工程５でロードロックモジュール内に残った２枚のウェハＷが、キャリアＣへ搬送される。
【００３３】
以上のように、大気圧搬送モジュール１のアライナ１４Ａ、１４Ｂでは、載置台２０、２１に対し、交互にウェハＷが搬送され、当該載置台２０、２１から交互にウェハＷがロードロックモジュールへと搬出されている。
また、上述のような搬送形態とすることにより、ウェハ搬送装置１２で２枚のウェハＷを一括してキャリアＣから取り出しアライナ１４Ａ、１４Ｂへと搬送することができる。したがって、ウェハ搬送装置１２がキャリアＣにアクセスする回数を抑えることができるため、大気圧搬送モジュール１を含む基板処理システムにおけるスループットを向上させることができる。
【００３４】
続いて、図３を参照し、図９を用いて、回転伝達機構５０について説明する。図９は回転伝達機構５０の平面図である。
回転伝達機構５０は、図３に示すように、１つの駆動プーリ５１を有し、従動プーリ５２を上下方向に間隔を空けて２つ有する。以下では、下側の従動プーリ５２を第１の従動プーリ５２Ａ、上側の従動プーリ５２を第２の従動プーリ５２Ｂとして説明する。
また、回転伝達機構５０は、従動プーリ５２毎にベルト５３を有する。以下では、第１の従動プーリ５２Ａに対して設けられたベルト５３を第１のベルト５３Ａ、第２の従動プーリ５２Ｂに対して設けられたベルト５３を第２のベルト５３Ｂとして説明する。
さらに、回転伝達機構５０は、１つのアイドラプーリ５４を有する。
【００３５】
駆動プーリ５１は、モータ３０の回転軸３１に固定されている。そして、駆動プーリ５１は、モータ３０によって回転駆動される
【００３６】
第１及び第２の従動プーリ５２Ａ、５２Ｂは共に、駆動プーリ５１の回転に伴って回転するものである。ただし、第１及び第２の従動プーリ５２Ａ、５２Ｂは互いに独立した回転軸Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂを有する。これら第１及び第２の従動プーリ５２Ａ、５２Ｂは、回転軸Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂが鉛直方向に延び且つ平面視において一致するように設けられる。また、第１の従動プーリ５２Ａの上面にはシャフト２０ａを介して載置台２０が固定され、第２の従動プーリ５２Ｂの上面にはシャフト２１ａを介して載置台２１が固定されている。
【００３７】
上述の駆動プーリ５１と従動プーリ５２それぞれには、図９に示すように、回転方向に沿って所定のピッチで外歯７０、７１が形成されている。なお、本例では、駆動プーリ５１の直径と従動プーリ５２の直径とは略同一である。
【００３８】
ベルト５３は、ゴム等の弾性材料で形成された無端環状の部材である。ベルト５３は、上記弾性材料で形成された帯状部材の長軸方向両端同士を接合することにより無端環状とされている。第１のベルト５３Ａと第２のベルト５３Ｂの寸法は略同一である。
第１のベルト５３Ａは、駆動プーリ５１の下部と第１の従動プーリ５２Ａとの間に架け渡されている。第１のベルト５３Ａにより駆動プーリ５１の回転が第１の従動プーリ５２Ａに伝達され当該第１の従動プーリ５２Ａが従動回転することで載置台２０が回転する。
第２のベルト５３Ｂは、駆動プーリ５１の上部と第２の従動プーリ５２Ｂとの間に架け渡されている。第２のベルト５３Ｂにより駆動プーリ５１の回転が第２の従動プーリ５２Ｂに伝達され当該第２の従動プーリ５２Ｂが従動回転することで載置台２１が回転する。
【００３９】
これら第１及び第２のベルト５３Ａ、５３Ｂは、平面視において互いに位置が揃うように架け渡されている。
また、第１及び第２のベルト５３Ａ、５３Ｂそれぞれには、移動方向に沿って、駆動プーリ５１と従動プーリ５２の外歯７０、７１と噛合う内歯８０が形成されている。内歯８０のピッチは、外歯７０、７１のピッチと一致し均一であることが理想的である。しかし、内歯８０は、成形精度等に起因してピッチが周期的に変動する特性を有する。この点に関する詳細は後述する。
【００４０】
アイドラプーリ５４は、駆動プーリ５１や従動プーリ５２より小径であり、第１及び第２のベルト５３Ａ、５３Ｂの前側（図９の上側）部と後側（図９の下側）部のうち、上記前側部のみの内周面と当接する。ただし、アイドラプーリ５４は、第１及び第２のベルト５３Ａ、５３Ｂの上記後側部のみの内周面と当接してもよい。言い換えると、アイドラプーリ５４は、ベルト５３それぞれの後述の往側部とベルト５３それぞれの後述の戻側部とのいずれか一方のみの内周面と当接する。なお、「往側部」とは、ベルト５３を所定方向（例えば平面視における時計回り方向）に回転させたときに、当該ベルト５３において駆動プーリ５１から従動プーリ５２に向けて送り出される部分をいう。また、「戻側部」とは、ベルト５３を上記所定方向に回転させたときに、当該ベルト５３において従動プーリ５２から駆動プーリ５１へ戻る部分をいう。
【００４１】
このアイドラプーリ５４も、鉛直方向に延びる回転軸Ｐ２を有し、駆動プーリ５１の回転に伴って回転軸Ｐ２を中心に回転する。
また、アイドラプーリ５４は、駆動プーリ５１等の外歯７０、７１と同じピッチで、ベルト５３の内歯８０と互いに噛合う外歯７２を有する。
このアイドラプーリ５４の存在により、従動プーリ５２の回転量は、アイドラプーリ５４の回転量に応じたものとなっている。
【００４２】
上述の各部材を有する回転伝達機構５０では、ベルト５３の内歯８０が、成形精度等に起因して周期的にピッチが変動する特性を有する。図１０は、ベルト５３の内歯が有する、ピッチの変動特性を示す図である。図１０の横軸は、ベルト５３の回転方向（すなわち移動方向）に係る位置を示し、縦軸は、当該位置における内歯８０のピッチの平均値からの変動量を示している。
例えば、図１０に示すように、内歯８０のピッチは、ベルト５３の一周分を１周期として変動する。
このように内歯８０のピッチが変動した場合、従来の方法では、従動プーリ５２の回転量に、予定回転量からのずれが生じる。
なお、ベルト５３は、前述のように、帯状部材の長軸方向両端同士を接合することにより無端環状とされている。第１及び第２のベルト５３Ａ、５３Ｂは、上記帯状部材として同じロットのものが用いられているため、第１及び第２のベルト５３Ａ、５３Ｂの内歯８０のピッチの変動特性は略同じである。
【００４３】
上述の、内歯８０のピッチの変動特性に起因する従動プーリ５２の回転量のずれを抑えるため、回転伝達機構５０では、上述のアイドラプーリ５４が設けられると共に、ベルト５３が以下のように架け渡される。すなわち、ベルト５３はそれぞれ、内歯８０のピッチの周期的な変動特性における所定の位相分、互いにずらして架け渡される。より具体的には、第１のベルト５３Ａと第２のベルト５３Ｂは、内歯８０のピッチの周期的な変動特性における位相が互いに１８０°ずれるように架け渡される。
そのため、第１のベルト５３Ａの内歯８０のピッチの周期的な変動特性に起因したアイドラプーリ５４の回転量のずれと、第２のベルト５３Ｂの内歯８０のピッチの周期的な変動特性に起因したアイドラプーリ５４の回転量のずれと、が互いに打ち消し合う。したがって、アイドラプーリ５４の回転量は、駆動プーリ５１の回転量によってのみ変化し、内歯８０のピッチの変動にはよらず、予定回転量からのズレが生じない。
【００４４】
そして、本実施形態においては、ベルト５３の内歯８０が有するピッチの変動特性の周期はベルト１周分であるため、駆動プーリ５１の位置と従動プーリ５２の位置では、内歯８０のピッチの変動特性における位相が１８０°ずれている。それに対し、アイドラプーリ５４の位置と従動プーリ５２の位置では、上記位相のずれは１８０°未満である。そのため、図１１に示すように、アイドラプーリ５４の位置での内歯８０のピッチと従動プーリ５２の位置での上記ピッチとの差の変動Ｃ１は、駆動プーリ５１の位置での上記ピッチと従動プーリ５２の位置での上記ピッチとの差の変動Ｃ２より小さい。
【００４５】
このように、本実施形態では、
（Ａ）アイドラプーリ５４の存在により、従動プーリ５２の回転量は、アイドラプーリ５４の回転量に応じたものとなっている。
（Ｂ）また、アイドラプーリ５４の回転量は、駆動プーリ５１の回転量によってのみ変化し、内歯８０のピッチの変動にはよらず、予定回転量からのズレが生じない。
（Ｃ）そして、アイドラプーリ５４の位置での内歯８０のピッチと従動プーリ５２の位置での上記ピッチとの差の変動Ｃ１は、駆動プーリ５１の位置での上記ピッチと従動プーリ５２の位置での上記ピッチとの差の変動Ｃ２より小さい。
したがって、従動プーリ５２の回転量の予測回転量からのずれを抑えることができる。
また、回転伝達機構５０を有するアライナ１４では、ウェハＷの向きを正確に所定の向きにすることができる。
【００４６】
また、本実施形態では、各従動プーリ５２に設けられるベルト５３の数は１つである。本実施形態と異なり、各従動プーリ５２に複数本のベルト５３を用いる場合、載置台２０、２１間の距離が大きくなり、ウェハ搬送装置１２の高さ方向の移動距離が大きくなるため、スループットが低下してしまう。しかし、本実施形態では、上述のように各従動プーリ５２に設けられるベルト５３の数は１つであるため、スループットの低下させずに、従動プーリ５２の回転量のずれを抑えることができる。
【００４７】
本実施形態のように、ベルト５３の内歯８０が有するピッチの変動特性の周期がベルト１周分であり、ベルト５３の往側部と戻側部とが互いに対向するように設けられる場合（図９参照）、アイドラプーリ５４の位置は以下のようにすることが好ましい。すなわち、アイドラプーリ５４の位置は、駆動プーリ５１と従動プーリ５２との間における、従動プーリ５２寄りの位置とすることが好ましい。言い換えれば、ベルト５３における、アイドラプーリ５４に対する当接中心から従動プーリ５２に対する当接中心までの距離が、ピッチの周期的な変動特性の１／４周期分以下とすることが好ましい。これにより、アイドラプーリ５４の位置での内歯８０のピッチと従動プーリ５２の位置での上記ピッチとの差の変動Ｃ１をより小さくすることができ、その結果、従動プーリ５２の回転量のずれをより抑えることができる。
【００４８】
ただし、アイドラプーリ５４は、従動プーリ５２に近すぎると、載置台２０に搭載されたウェハＷと干渉してしまう。この干渉を避けるため、アイドラプーリ５４（の側端部）から従動プーリ５２の回転軸Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂまでの距離がウェハＷの半径より大きくなるよう、アイドラプーリ５４は配設される。
【００４９】
ここで、平面視において駆動プーリ５１と従動プーリ５２とを結ぶ方向と直交する方向を前後方向（図９の上下方向）とする。アイドラプーリ５４は、載置台２０、２１に載置されたウェハＷの前後方向における側端部より内側となる領域内に設けられていることが好ましい。これにより、アライナ１４の大型化を回避することができる。
【００５０】
図１２は、回転伝達機構５０の他の例を説明するための平面図である。なお、図１２では、外歯７０〜７２及び内歯８０の図示は省略している。
図１２の例では、ベルト５３は、平面視において折り返し部分Ｒが形成されるように架け渡されている。この場合、アイドラプーリ５４は、ベルト５３の折り返し部分Ｒの内周面に当接するように設けられていることが好ましい。これにより、アイドラプーリ５４とベルト５３との当接面の面積が大きくなり、同時に噛合う外歯７２と内歯８０の数が多くなる。そのため、第１のベルト５３Ａの内歯８０のピッチの周期的な変動特性に起因したアイドラプーリ５４の回転量のずれと、第２のベルト５３Ｂの上記周期的な変動特性に起因したアイドラプーリ５４の回転量のずれとを、より確実に打ち消し合わせることができる。
【００５１】
なお、図１２の回転伝達機構５０には、上記折り返し部分Ｒの形成のために、鉛直方向に延びる回転軸を有するテンショナ９０が設けられている。テンショナ９０は、ベルト５３の外周面と当接する。
【００５２】
以上の例では、アイドラプーリ５４の数は１つであったが、複数であってもよい。
また、以上の例では、従動プーリ５２の数は２つであったが、３以上であってもよい。なお、従動プーリ５２の数が３以上の場合も、ベルト５３は従動プーリ５２毎に１つ設けられる。
【００５３】
本実施形態にかかる回転伝達機構は、搬送アーム１３等の回転運動する部材を有するウェハ搬送装置１２に用いることもできる。例えば、モータ等の駆動源の回転を搬送アーム１３に伝達することにより当該搬送アーム１３が回転するウェハ搬送装置１２における回転伝達機構、より具体的には、駆動源の回転を、搬送アーム１３が軸支される従動プーリへ、タイミングベルトを介して伝達する回転伝達機構に用いることができる。
【００５４】
今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
【００５５】
なお、以下のような構成も本開示の技術的範囲に属する。
（１）駆動源によって回転駆動される駆動プーリと、
互いに独立した回転軸を有する複数の従動プーリと、を有し、
前記従動プーリ毎に、当該従動プーリと前記駆動プーリとの間に架け渡されたベルトを有し、
さらに、前記ベルトを所定方向に回転させる際、当該ベルトにおいて前記駆動プーリから送り出される部分を往側部、前記駆動プーリへ戻る部分を戻側部としたときに、前記ベルトそれぞれの往側部と前記ベルトそれぞれの戻側部とのいずれか一方の内周面と当接するアイドラプーリを有し、
前記駆動プーリ、前記従動プーリ及び前記アイドラプーリには外歯が形成され、
前記ベルトには、前記外歯と噛合う内歯が形成され、
前記内歯は、歯間のピッチが周期的に変動する特性を有し、
前記ベルトはそれぞれ、前記内歯の周期的な前記特性における所定の位相分、互いにずらして架け渡される、回転伝達機構。
前記（１）によれば、歯間のピッチが周期的に変動する特性を有する内歯が形成されたベルトを従動プーリ毎に有し、さらに、全ベルトの内周面の往側部（または戻側部）と当接するアイドラプーリを有する。そのため、各従動プーリの回転量はアイドラプーリの回転量に応じたものとなる。そして、ベルトはそれぞれ内歯の周期的な上記特性における所定の位相分、互いにずらして架け渡されている。そのため、アイドラプーリでは、各ベルトに起因した予測回転量からのずれが打ち消される。したがって、アイドラプーリの回転量は、駆動プーリの回転量によってのみ変化し、内歯のピッチの変動にはよらないものとなる。そして、アイドラプーリの位置の内歯のピッチと従動プーリの位置での上記ピッチとの差の変動は、駆動プーリの位置の上記ピッチと従動プーリの位置での上記ピッチとの差の変動より小さい。したがって、従動プーリの回転量の予測回転量からのずれを抑えることができる。
【００５６】
（２）前記従動プーリ及び前記ベルトの数は２つであり、
一の前記ベルトと他の前記ベルトは互いに前記内歯の周期的な前記特性における位相が１８０°ずれるように架け渡される、前記（１）に記載の回転伝達機構。
【００５７】
（３）前記アイドラプーリは、前記駆動プーリと前記従動プーリとの間における、前記従動プーリ寄りの位置に設けられている、上記（１）または（２）に記載の回転伝達機構。
前記（３）によれば、従動プーリの回転量の予測回転量からのずれをより抑えることができる。
【００５８】
（４）前記ベルトは、平面視において折り返し部分が形成されるように架け渡され、
前記アイドラプーリは、前記ベルトの前記折り返し部分の内周面に当接するよう設けられている、前記（１）〜（３）のいずれか１に記載の回転伝達機構。
前記（４）によれば、アイドラプーリにおいて、各ベルトに起因した予測回転量からのずれがより確実に打ち消すことができる。
【００５９】
（５）前記ベルトの内歯は、当該ベルト一周分を周期として歯間のピッチが周期的に変動する特性を有する、前記（１）〜（４）のいずれか１に記載の回転伝達機構。
【００６０】
（６）前記（１）〜（５）のいずれか１に記載の回転伝達機構と、
基板が載置される載置台と、を有し、
前記載置台は、前記従動プーリに固定され、当該従動プーリの回転に応じて回転する、基板位置合わせ装置。
前記（６）によれば、基板の位置合わせとしての基板の向きの調整を正確に行うことができる。
【００６１】
（７）前記アイドラプーリは、当該アイドラプーリから前記従動プーリの回転軸までの距離が前記基板の半径より大きくなるよう配設される、前記（６）に記載の基板位置合わせ装置。
前記（７）によれば、アイドラプーリと載置台に載置された基板との干渉を防ぐことができる。
【００６２】
（８）平面視において前記駆動プーリと前記従動プーリとを結ぶ方向と直交する方向を前後方向としたときに、前記アイドラプーリは、前記載置台に載置された基板の前後方向における端部より内側となる領域内に設けられている、前記（６）または（７）に記載の基板位置合わせ装置。
前記（８）によれば、基板位置合わせ機構の大型化を防ぐことができる。
【００６３】
（９）回転伝達機構に用いられるベルトを架け渡す方法であって、
前記回転伝達機構は、
駆動源によって回転駆動される駆動プーリと、
前記駆動プーリの回転によって回転すると共に、互いに独立した回転軸を有する複数の従動プーリと、を有し、
前記従動プーリ毎に、当該従動プーリと前記駆動プーリとの間に架け渡されたベルトを有し、
さらに、前記ベルトを所定方向に回転させる際、当該ベルトにおいて前記駆動プーリから送り出される部分を往側部、前記駆動プーリへ戻る部分を戻側部としたときに、前記ベルトそれぞれの往側部と前記ベルトそれぞれの戻側部とのいずれか一方の内周面と当接するアイドラプーリを有し、
前記駆動プーリ、前記従動プーリ及び前記アイドラプーリには外歯が形成され、
前記ベルトには、前記外歯と係合する内歯が形成され、
前記内歯は、歯間のピッチが周期的に変動する特性を有し、
当該方法は、前記ベルトそれぞれを、前記内歯の周期的な前記特性における所定の位相分、互いにずらして架け渡す、方法。
【符号の説明】
【００６４】
３０            モータ
５０            回転伝達機構
５１            駆動プーリ
５２            従動プーリ
５２Ａ          第１の従動プーリ
５２Ｂ          第２の従動プーリ
５３            ベルト
５３Ａ          第１のベルト
５３Ｂ          第２のベルト
５４            アイドラプーリ
７０〜７２      外歯
８０            内歯
Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂ  回転軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2020143691.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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