(57)【要約】      （修正有）【課題】小型化が可能であり、かつ外部への漏洩磁場が少なく、磁場強度を調整することが可能な磁気分離装置を提供する。【解決手段】筒体と前記筒体内に配置された磁性体からなるフィルターとで構成された磁気分離カラム１０と、前記磁気分離カラム１０に磁場を印加する２重リング状ハルバッハ磁気回路とを有し、２重リング状ハルバッハ磁気回路は内周側ハルバッハ磁気回路と内周側ハルバッハ磁気回路を取り囲む外周側ハルバッハ磁気回路で構成され、内周側ハルバッハ磁気回路と外周側ハルバッハ磁気回路は相対的に回転可能である。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空部を有する筒体と前記筒体内に配置された磁性体からなるフィルターとで構成された磁気分離カラムと、前記磁気分離カラムに磁場を印加する２重リング状ハルバッハ磁気回路とを有し、前記２重リング状ハルバッハ磁気回路は、内周側ハルバッハ磁気回路と、内周側ハルバッハ磁気回路を取り囲む外周側ハルバッハ磁気回路とで構成され、前記内周側ハルバッハ磁気回路と外周側ハルバッハ磁気回路は相対的に回転可能であることを特徴とする磁気分離装置。
【請求項２】
液体を流す中空部を有する筒体と前記筒体内に配置された磁性体からなるフィルターとで構成された磁気分離カラムと、液体の流れに直交するように前記磁気分離カラムに磁場を印加する２重リング状ハルバッハ磁気回路を有し、前記２重リング状ハルバッハ磁気回路は、内周側ハルバッハ磁気回路と、内周側ハルバッハ磁気回路を取り囲む外周側ハルバッハ磁気回路とで構成され、前記内周側ハルバッハ磁気回路と外周側ハルバッハ磁気回路は相対的に回転可能であることを特徴とする磁気分離装置。
【請求項３】
前記外周側ハルバッハ磁気回路及び前記内周側ハルバッハ磁気回路は、断面視で多角形をしており、断面視で台形状の複数の磁石の上底が多角形の中心を向くように台形状の脚部を合わせ構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気分離装置。
【請求項４】
前記断面視で台形状の磁石は、上底及び下底に垂直な磁化の角度を有する垂直磁化磁石と上底及び下底に平行な磁化の角度を有する平行磁化磁石の２種類であることを特徴とする請求項３に記載の磁気分離装置。
【請求項５】
前記垂直磁化磁石は対向配置されるとともに、前記外周側ハルバッハ磁気回路の垂直磁化磁石は対向する距離を可変可能であることを特徴とする請求項４に記載の磁気分離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型化が可能であり、磁場強度を変えることが可能でありながら、外部への漏洩磁場が少ない磁気分離装置に関する。。
【背景技術】
【０００２】
液体中の磁性体からなる金属不純物を取り除く手段として磁気分離装置がある。例えば、磁性粒子を含んだ液体を流す配管と、配管内に配置した磁性体からなる充填材と配管の外部から充填材に磁場を印加する磁気回路からなる磁気分離装置が知られている。
特許文献１には、磁性体の網を積層した充填材を含むカラムを配管途中に配置し、当該カラムに配管の外側から磁場を印加する磁気分離装置を開示している。特許文献１にはコの字型のヨークの対向面側それぞれに、磁極の異なる磁石を配置し、対向面内にカラムを置くことで、カラム内の磁性体からなる充填材に磁場を印加し、充填材に磁性体の金属不純物を吸着除去する技術を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１８７５３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の磁気分離装置におけるヨークと磁石からなる磁場を印加する手段（磁気回路）を図９に示す。４０は磁石であり、３０はコの字型ヨークである。このような構造の場合には磁石の対向面以外、例えば図９のヨークの開口面（ヨークの上下面及び前面）から磁場が漏洩し、磁気分離装置近傍の他の機器に影響を及ぼす恐れがある。
また磁石を対向させてその中に充填材を含むカラムを配置する構造では、磁場強度を変えようとする場合、対向する磁石の間隔を変える必要がある。磁石の間隔を広げて磁場強度を調整する機構を磁気回路に設けると磁気分離装置が大型化してしまう可能性がある。
【０００５】
また、一般的な磁気分離装置は、内部に金属不純物を吸着する磁性体のフィルターを有している。磁性体フィルターに吸着された金属不純物は一定期間経過後に逆洗浄により除去して再利用している。この際、一旦磁性体フィルターに印加する磁場強度を０にする（以下「磁場を０」あるいは「０磁場」という場合がある）必要がある。特許文献１に記載の磁気分離装置では、コの字型のヨークを一端カラムと分離する必要があり操作が煩雑となる。
【０００６】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、小型化が可能であり、かつ外部への漏洩磁場が少なく、磁場強度を調整することが可能な磁気分離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る磁気分離装置は、中空部を有する筒体と前記筒体内に配置された磁性体からなるフィルターとで構成された磁気分離カラムと、前記磁気分離カラムに磁場を印加する２重リング状ハルバッハ磁気回路とを有し、前記２重リング状ハルバッハ磁気回路は、内周側ハルバッハ磁気回路と，内周側ハルバッハ磁気回路を取り囲む外周側ハルバッハ磁気回路とで構成され、前記内周側ハルバッハ磁気回路と外周側ハルバッハ磁気回路は相対的に回転可能であることを特徴とする磁気分離装置である。
【０００８】
本発明によれば２重リング状のハルバッハ磁気回路を使用しているため小型でかつ磁性体であるフィルターに印加する磁場の強さを調整することが可能であるとともに、外部への漏洩磁場を少なくすることができる。
さらに磁気回路を取り外さずに逆洗浄をすることが可能である。
【０００９】
本発明に係る磁気分離装置は、液体を流す中空部を有する筒体と前記筒体内に配置された磁性体からなるフィルターとで構成された磁気分離カラムと、液体の流れに直交するように前記磁気分離カラムに磁場を印加する２重リング状ハルバッハ磁気回路を有し、前記２重リング状ハルバッハ磁気回路は、内周側ハルバッハ磁気回路と内周側ハルバッハ磁気回路を取り囲む外周側ハルバッハ磁気回路とで構成され、前記内周側ハルバッハ磁気回路と外周側ハルバッハ磁気回路は相対的に回転可能であることを特徴とする磁気分離装置である。
【００１０】
本発明によれば２重リング状のハルバッハ磁気回路を使用しているため小型でかつ磁性体であるフィルターに印加する磁場の強さを調整することが可能である。
さらに磁気回路を取り外さずに逆洗浄をすることが可能である。
【００１１】
本発明における磁気分離装置は、前記外周側ハルバッハ磁気回路及び前記内周側ハルバッハ磁気回路は、断面視で多角形をしており、断面視で台形状の磁石の上底が多角形の中心を向くように台形状の脚部を合わせ構成されていることを特徴とする磁気分離装置である。
【００１２】
本発明によれば、ハルバッハ磁気回路を容易に製作することが可能である。
【００１３】
本発明の磁気分離装置は、前記断面視で台形状の磁石は、上底及び下底に垂直な磁化の角度を有する垂直磁化磁石と上底及び下底に平行な磁化の角度を有する平行磁化磁石の２種類であることを特徴とする磁気分離装置である。
【００１４】
本発明によれば、少ない種類の磁化の角度を有する磁石でハルバッハ磁気回路を構成することができコストダウンにつながる。
【００１５】
本発明の磁気分離装置は、前記垂直磁化磁石は対向配置されるとともに、前記外周側ハルバッハ磁気回路の垂直磁化磁石は対向する距離を可変可能であることを特徴とする磁気分離装置である。
【００１６】
本発明によれば磁性体であるフィルターに印加する磁場の強さを調整できるとともに、磁場の強さを簡便に０磁場とすることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、磁気分離装置の小型化が可能であり、かつフィルターに印加する磁場強度調整することが可能であるとともに、外部への漏洩磁場を少なくすることができる。さらに磁気回路を取り外さずに逆洗浄をすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施の形態である磁気分離装置の磁気回路(２重ハルバッハ  磁気回路)の平面図（Ａ）及びＣ-Ｃ断面図(Ｂ)である。
【図２】本発明の実施の形態である２重リング状ハルバッハ磁気回路を構成する内周側ハルバッハ磁気回路（Ｆ）、外周側ハルバッハ磁気回路（Ｇ）の平面図である。
【図３】本発明の実施の形態である磁気分離装置の２重ハルバッハ磁気回路の平面図である。Ｄは２重リング状ハルバッハ磁気回路の磁場を最大とした場合。Ｅはリング状ハルバッハ磁気回路の磁場を０とした場合。
【図４】本発明の実施の形態である磁気分離装置の磁気分離カラムの平面図（Ｈ）および平面図（Ｈ）のＪ−Ｊ断面図（Ｉ）である。
【図５】本発明の実施の形態である磁気分離装置の平面図（Ｋ）及び平面図（Ｋ）のＭ−Ｍ断面図（Ｌ）である。
【図６】本発明の実施の形態である磁気分離装置を磁気分離を行う液体の流れる配管に装着した軸断面図である。
【図７】本発明の実施の形態である磁気分離装置の逆洗浄の様子を示す軸断面図である。
【図８】本発明の別の実施の形態である磁気分離装置を示す平面図（Ｏ）及び平面図（Ｏ）のＱ−Ｑ断面図（Ｐ）である。
【図９】従来の磁気分離装置における磁気回路を示す斜視図である。
【図１０】本発明のさらに別の実施の形態である磁気分離装置を示す平面図（Ｓ）及び平面図（Ｓ）のＲ−Ｒ断面図（Ｔ）である。
【図１１】本発明のさらに別の実施の形態である磁気分離装置において垂直磁化磁石の距離を変化させる状況を示した平面図である。垂直磁化磁石の距離を近づけた場合（Ｕ）、垂直磁化磁石の距離を話した場合（Ｖ）
【図１２】本発明のさらに別の実施の形態において、垂直磁化磁石の距離を変える機構の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。
【００２０】
図１、図２、図３を用いて本発明の実施の形態である磁気分離装置１００の２重リング状ハルバッハ磁気回路１について説明する。１は磁気分離装置１００の２重リング状ハルバッハ磁気回路である。図２に示す７は内周側ハルバッハ磁気回路、８は外周側ハルバッハ磁気回路である。内周側ハルバッハ磁気回路７は平面視で正多角形をしており断面台形の磁石３の上底を多角形の中心に向くように、それぞれの台形の脚を合わせている。それぞれの磁石の磁化の方向は、内周側ハルバッハ磁気回路７の内側で磁場の方向が一方向にそろうように（図２では右側）設定されている。６は内カバーであり管状で非磁性体であり、例えば磁石３を公知の方法で内カバー６の外周面側に固着する。内カバー６の内側には後述の磁気分離カラムが配置される。
【００２１】
外周側ハルバッハ磁気回路８は平面視で正多角形をしており断面台形の磁石２の上底を多角形の中心に向くように、それぞれの台形の脚を合わせている。それぞれの磁石の磁化の方向は、外周側ハルバッハ磁気回路８の内側で磁場の方向が一方向にそろうように（図２では右側）設定されている。５は中カバーであり管状で非磁性体であり、例えば磁石２を公知の方法で内カバー５外周面側に固着する。４は外カバーであり管状で非磁性体であり、外周側ハルバッハ磁気回路を保護する。外カバー４磁石２は公知の方法で外カバー４の内周面側に固着される。
【００２２】
なお内周側ハルバッハ磁気回路７の磁場強度と、外周側ハルバッハ磁気回路８の磁場強度は同じになるように磁石の諸特性や大きさ、磁化の方向を調整してある。
【００２３】
中カバー５内側には、内周側ハルバッハ磁気回路７が配置される。外周側ハルバッハ磁気回路８は（図１矢印のごとく）内周側ハルバッハ磁気回路７の周りを回転可能に公知の方法で保持されている。
なお内周側ハルバッハ磁気回路７の磁石３の外側に非磁性の管を固着配置し、外周側ハルバッハ磁気回路８を回転させた場合に中カバ−５との間で摺動する構成としても良い。磁石３の角部の摩耗を抑えることが可能となる。
【００２４】
磁石３（３ａ）及び磁石２（２ａ）は（図1（Ｂ）において）軸方向に一体で表記されているが、軸方向に複数の磁石をくみ合わせても良い。また平面視で台形の磁石２と３は複数の磁石で台形となるように構成しても良い。
【００２５】
磁石２及び磁石３の詳細について説明する。磁石２及び磁石３は断面台形状の上底面及び下底面に対する磁化の角度で４つに大別される。磁石２ａは上底面及び下底面に対して垂直方向の磁化を有する。磁石２ｂは磁石２ａの磁化の角度を３０度傾斜させている。磁石２ｃは磁石２ａを６０度傾斜させている。磁石２ｄは磁石２ａを９０度傾斜させている。磁石２ｄは上底面及び下底面に対して平行な磁化方向を有している。磁石３も磁石２と同様に４つの磁化の角度を有している。
本発明の実施の形態においては、外周側ハルバッハ磁気回路８を構成する磁石２及び内周側ハルバッハ磁気回路７を構成する磁石３はそれぞれ４種類の異なる角度を有する磁石となっている。
【００２６】
図３に外周側ハルバッハ磁気回路８を内周側ハルバッハ磁気回路７に対して相対的に回転させて、内カバー６の内側の磁場強度を調整する様子を示した。磁場強度の調整の様子について図２も使用し説明する。図２において内周側ハルバッハ磁気回路７の磁場の向きは矢印のごとく右側になっている。また磁場の強さを１と仮定する。
図２において外周側ハルバッハ磁気回路の磁場の向きは矢印のごとく右側となっている。また磁場の強さは１と仮定する。
【００２７】
図３（Ｄ）は内周側ハルバッハ磁気回路７及び外周側ハルバッハ磁気回路８の磁場の向きを図で右側にそろうようにした場合の磁気分離装置の磁気回路1の磁場の方向を示している。この場合磁気分離装置の磁場強度は内周側ハルバッハ磁気回路７の磁場強度１と外周側ハルバッハ磁気回路８の磁場強度１を合わせた値である２となる。それぞれの磁場強度を合わせたものが磁気分離装置１００の２重リング状ハルバッハ磁気回路１の磁場強度となる。
【００２８】
図３（Ｅ）は内周側ハルバッハ磁気回路７及び外周側ハルバッハ磁気回路８の磁場の向きを反対にした場合の磁気分離装置１００の磁気回路（リング状ハルバッハ磁気回路）1の磁場を表している。この場合磁気分離装置の磁場強度は内周側ハルバッハ磁気回路７の磁場強度１と外周側ハルバッハ磁気回路の磁場強度１は互いに相殺されることから０磁場となる。
【００２９】
外周側ハルバッハ磁気回路８を内周側ハルバッハ磁気回路７に対して相対的に回転させると磁気分離装置の磁場強度は０〜２の範囲で調整可能である。
【００３０】
図４は本発明の実施の形態を構成する磁気分離カラム１０である。磁気分離カラム１０は中空部を有る筒体１４と筒体に配置された磁性体フィルター１２からなる。筒体１４は円筒状であり大径部１１と大径部の両端側の縮径部１３からなる。
大径部１１には磁性体フィルター１２が配置される。
【００３１】
磁性体フィルターは外部から磁場を印加した際に磁性体の不純物を効率的に吸着できる形態であればどのようなものでも使用できる。例えば、グラスウール、磁性体の金網を軸方向に積層したもの、あるいは磁性体の球体を磁気分離カラムに充填しても良い。磁性体フィルターの表面積は大きいほうが望ましい。また磁性体フィルターの筒体への充填度合いは、流す液体の種類や流量等の条件によって適宜設定すればよい。
【００３２】
図５は磁気分離装置１００の（２重リング状ハルバッハ磁気回路１の内周面側に磁気分離カラム１０を挿入配置した）平面図（Ｋ）及びＭ−Ｍ断面図（Ｌ）である。
磁気分離カラム１０に印加される磁場強度が０となっている場合を示した。
【００３３】
図６は磁気分離装置１００を磁性体の不純物を含む液体の流れる配管２０に装着した軸断面図である。内周側ハルバッハ磁気回路７の磁化方向と、外周側ハルバッハ磁気回路８の磁化方向を図面で右方向に一致させ、磁気分離カラム１０内に矢印のごとく磁場を発生させている。液体の流れに直交するように磁場を印加している。
当該磁場により、磁化された磁性体フィルターに磁性体不純物が付着する。結果として磁気分離装置を通過した液体中の磁性体不純物を低減することができる。
【００３４】
本発明の磁気分離装置１００は、外周側ハルバッハ磁気回路８の磁化方向と内周側ハルバッハ磁気回路７の磁化方向を調整することで、磁気分離カラム１０内の磁場強度を連続して変えることができる。例えば内周側ハルバッハ磁気回路７と外周側ハルバッハ磁気回路８の磁化方法を反対向き（角度１８０度）とした場合には、磁気分離装置１内の磁場を実質的に０磁場とすることができる。また内周側ハルバッハ磁気回路７の磁化方向と外周側ハルバッハ磁気回路８の磁化の向きを同じ向き（角度０度）とすると磁気分離装置１内の磁場強度はそれぞれの磁場強度を合わせた(最大値)とすることができる。
【００３５】
また、内周側ハルバッハ磁気回路７と外周側ハルバッハ磁気回路８の磁化の向きを反対向きから同じ向きの間で角度を調整すれば、磁場強度を０磁場から最大値の間で調整することが可能である。
本発明において実質的に０磁場とは、完全に０磁場となることではなく、地磁気の影響や、実際に磁気回路を組み立てた際の個々の磁石の磁化方向のばらつき、漏洩磁場等を含む、微弱な磁場強度の場合も実質的に０磁場と呼んでいる。
【００３６】
図７は磁気分離装置１００において磁性体フィルターの逆洗浄の様子を示す模式図である。外周側ハルバッハ磁気回路８と内周側ハルバッハ磁気回路７の磁化の向きを逆とし、磁気分離カラムに印加する磁場の強さを実質的に０している。この状態で、磁気分離カラムに矢印のように逆方向の洗浄水を流すことで磁気分離カラム１０内の磁性体フィルターに付着した金属不純物を除去することが可能である。なお逆洗場をする際には図示しない別配管により、磁気分離を行う液体が磁気分離時とは逆方向に流れるようにすればよい。
【００３７】
図８に本発明の別の実施の形態である磁気分離装置の平面図（Ｏ）及び平面図（Ｏ）のＱ-Ｑ断面図（Ｐ）を示す。実施の形態との違いは、内周側ハルバッハ磁気回路７及び外周側ハルバッハ磁気回路８を構成する磁石の違いでありその他の構成については同じである。
【００３８】
外周側ハルバッハ磁気回路８は、断面台形の磁石８１で構成されている。磁石８１は台形の上底及び下底に対して垂直な磁化の角度を有する垂直磁化磁石８１ａ、及び平行な磁化の角度を有する平行磁化磁石８１ｂの２種類の磁石である。内周側ハルバッハ磁気回路７を構成する磁石９１は台形の上底及び下底に対して垂直な磁化の角度を有する垂直磁化磁石９１ａ、及び平行な磁化の角度を有する平行磁化磁石９１ｂの２種類の磁石である。
【００３９】
外周側ハルバッハ磁気回路８及び内周側ハルバッハ磁気回路７は、それぞれ上底及び下底に対して、垂直または平行な磁化の角度を有する２種類の磁石だけで構成されている。台形形状において上底及び下底は平行である。磁石の加工において、平行な直線面（台形の上底及び下底）に対して垂直あるいは平行な磁化の角度を有するように磁石の加工をすることは比較的容易である。よって製造工程が簡略化でき、製造コストが抑えられる。
【００４０】
図１０に本発明のさらに別の実施の形態である磁気分離装置の平面図（Ｓ）及び平面図（Ｓ）のＲ−Ｒ断面図である。図１１はさらに別の実施の形態の詳細を示す平面図（Ｕ，Ｖ）である。図８に示す実施の形態と異なる点は、外周側ハルバッハ磁気回路の垂直磁化磁石８１ａ間の距離を可変可能としたことである。可変可能とすることにより、外周側ハルバッハ磁気回路を回転させ、磁性体のフィルターに印加する磁場の強さを調整するのに合わせ、垂直磁化磁石８ａの距離を変えることで、さらに細かく調整することが可能である。磁性体フィルターに印加する磁場を図１０は垂直磁化磁石８１ａが最も近づいた状態であり、移動部材１１０と外カバー１２０間に空隙１３０が存在する。図８と異なっている点についてのみ説明する。
【００４１】
垂直磁化磁石８１ａの下底側には断面矩形の移動部材１１０が配置される。移動部材１１０と垂直磁化磁石８１ａは公知の方法にて接合されている。外カバー１２０の内周面側には移動部材１１０及び垂直磁化磁石８１ａが径方向に移動可能な溝１１５が形成されており、移動部材１１０は溝１１５に沿って公知の方法で移動させることができる。図１１、(Ｕ)は対向する垂直磁化磁石８１ａが最も近づいた場合、図１１、（Ｖ）は対向する垂直磁化磁石８１ａが最も離れた場合である。
【００４２】
磁場の調整は以下の様に行う。図１１の状態では外周側ハルバッハ磁気回路と内周側ハルバッハ磁気回路の向きが逆であり、磁性体フィルターに印加される磁場を実質的に０にすることができる。ただしハルバッハ磁気回路を形成する磁石の磁気特性ばらつき、あるいは磁石の加工寸法ばらつきやハルバッハ磁気回路の組立時のばらつきにより、０にすることが困難な場合がある。その際外周側ハルバッハ磁気回路を構成する垂直磁化磁石８１ａの距離を調整することで、内周側ハルバッハ磁気回路内の磁性体フィルター内の磁場をさらに０に近づけることができる。
【００４３】
図１２は垂直磁化磁石８１ａを移動させる機構の一例を示す断面図である。移動部材１５０にはメネジ１９０が形成されており、外カバー１４０には貫通孔２００を有する。一対のボルト１６０はそれぞれ貫通孔２００を通り、移動部材のメネジ１９０に螺合されている。
外カバー１４０にはメネジ２１０が形成されており、ボルト１７０はメネジ２１０に螺合されている。
【００４４】
一対のボルト１６０は垂直磁化磁石８１ａを対向する垂直磁化磁石８１ａに遠ざける際に使用する。言い換えるとボルト１６０を前進させることで移動部材１５０に接合された垂直磁化磁石８１ａを磁気分離装置の中心軸方向から遠ざけることが可能である。なお、この場合は、ボルト１７０を予め後退（空隙１３０外）させておく。一方、垂直磁化磁石８１ａを磁気分離装置の中心軸方向に近づける場合はボルト１６０を後退させるとともにボルト１７０を前進（空隙１７０内に前進）させれば良い。
なお、図１２の磁極構成においては、外周側ハルバッハ磁気回路８における垂直磁化磁石８１ａと内周側ハルバッハ側の垂直磁化磁石９１ａとは互いに反発しあうため、磁場の調整後は、垂直磁化磁石８１ａの位置を保持するためにボルト１７０を移動部材１５０に当接させておくことが望ましい。
【００４５】
開示された実施の形態は、すべての点で例示であって限定されることは無い。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の範囲の変更はすべて含まれる。
【符号の説明】
【００４６】
１  ２重リング状ハルバッハ磁気回路
２  磁石
３  磁石
４  外カバー
５  中カバー
６  内カバー
７  内周側ハルバッハ磁気回路
８  外周側ハルバッハ磁気回路
１０  磁気分離カラム
１１  大径部
１２  磁性体フィルター
１３  縮径部
１４  筒体
２０  配管
３０  コの字型ヨーク
４０  磁石
８１ａ  垂直磁化磁石
８１ｂ  平行磁化磁石
９１ａ  垂直磁化磁石
９１ｂ  平行磁化磁石
１００  磁気分離装置
１１０  移動部材
１１５  溝
１２０  外カバー
１３０  空隙
１４０  外カバー
１５０  移動部材
１６０  ボルト
１７０  ボルト
１９０  メネジ
２００  貫通孔
２１０  メネジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2020175373.tif 000007
【図６】
2020175373.tif 000008
【図７】
2020175373.tif 000009
【図８】
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【図９】
2020175373.tif 000011
【図１０】
2020175373.tif 000012
【図１１】
2020175373.tif 000013
【図１２】
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