(57)【要約】【課題】本願発明によれば、ノズル面へ液体が付着することによる吐出不良を従来よりも良好に抑制できる液体吐出装置を提供する。【解決手段】液体を吐出する液体吐出ヘッド１１１と気流を発生させる気流発生装置とを有する液体吐出装置であって、液体吐出ヘッド１１１における先端にノズル面１３１Ａを備えたヘッド部１３１の周囲にノズル面側からノズル面とは反対側への気流を生じさせるように構成するとともに、周囲に流れる気流Ｒ１〜Ｒ３の量を規制する規制部材１４０を設けた。【選択図】図６
2020152028.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する液体吐出ヘッドと、気流を発生させる気流発生装置と、を有する液体吐出装置であって、前記液体吐出ヘッドは、前記液体吐出ヘッドの先端に前記液体を吐出するノズル面を備え、前記気流発生装置は、すくなくともヘッド部の周囲において前記ノズル面側から前記ノズル面とは反対側への気流を発生させることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
前記ノズル面側から前記ノズル面とは反対側へ流れる気流を通過させつつ、前記気流内のミストを規制する規制部材を設けたことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記規制部材は、ヘッドの任意側面に密着可能なことを特徴とする請求項２記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記規制部材は、薄いフィルム材であることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記規制部材は、少なくとも、ヘッド付近がミスト吸収材料で構成されていることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記ミスト吸収材料は、スポンジで構成されていることを特徴とする請求項５記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記液体吐出ヘッドは、ノズル面を有するヘッド部と駆動用電子基板とが直接的あるいは間接的にヘッドフレームに取り付けられているとともに、駆動用電子基板を収容するカバー部材の、前記ノズル面側と前記ノズル面とは反対側とが開口していることを特徴とする請求項１乃至６の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項８】
液体を吐出する液体吐出ヘッドであって、ヘッド形状よりもわずかに大きいノズル面露出用の孔を有する、液体吐出装置本体のヘッド支持体への取り付け用部材と、前記取り付け用部材のノズル面露出用の孔よりも小さく、かつヘッド形状よりも大きな孔が開いている規制部材とを備えた液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記液体吐出ヘッドは、前記取り付け用部材に二以上の液体吐出ヘッドが保持されたものであり、前記二以上の液体吐出ヘッドそれぞれについて、前記ノズル面露出用の孔、および、前記規制部材の孔が形成されていることを特徴とする請求項８記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
請求項８又は９の液体吐出ヘッドに液体収容タンクが一体に設けられたことを特徴とする液体吐出ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置、液体吐出ヘッドおよび液体吐出ユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体を吐出する液体吐出ヘッドと、気流を生じさせる気流発生装置とを有する液体吐出装置が知られている。例えば、特許文献１には、この種の液体吐出装置であって、液体吐出ヘッドが隙間を介して取り付けられる取付開口部を有し、液体吐出ヘッドを保持する函体のヘッドホルダと、用紙の搬送方向における上流側から下流側へ流れる冷却風をヘッドホルダ３２内に発生さるファンと、ヘッドホルダと用紙との間の空間に用紙搬送方向に気流を流すファンとを備えたライン型の液体吐出装置としてのシンクジェット印刷装置が開示されている。ヘッドホルダ内の冷却風の一部が取付開口と液体吐出ヘッドとの隙間を通して下方の用紙との間の空間に漏れ入り、この空間を流れている気流に合流する。そして、液体吐出ヘッドからの液体の吐出で発生したミストが上記空間の気流によって下流側に配置されている回収部に回収されるとされている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、従来の液体吐出装置ではノズル面にミストが付着して吐出不良が発生する虞がのこっていた。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本願発明は、上記課題を解決するために、液体を吐出する液体吐出ヘッドと、気流を生じさせる気流発生装置とを有する液体吐出装置であって、前記液体吐出ヘッドは、前記液体吐出ヘッドの先端に前記液体を吐出するノズル面を備え、前記気流発生装置は、すくなくともヘッド部の周囲において前記ノズル面側から前記ノズル面とは反対側への気流を発生させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００５】
本願発明によれば、ノズル面へ液体が付着することによる吐出不良を従来よりも良好に抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】同装置の概略説明図。
【図２】画像記録装置の内部における気流の説明図。
【図３】ヘッド周辺の説明図。
【図４】ヘッドの具体例を示す図面。
【図５】気流規制部材の概要を示す斜視図。
【図６】同気流規制部材を備えたヘッド周辺の説明図。
【図７】気流規制部材をヘッドのエレキ基板側に寄せて取り付けた場合のヘッド部拡大図。
【図８】変形例に係る気流形性部材の概要を示す斜視図。
【図９】図８の気流規制部材を装着した時のヘッド部拡大図。
【図１０】ヘッドの変形例の説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
本発明を液体吐出装置である印刷装置に適用した実施形態について説明する。図１は同装置の概略説明図である。
【０００８】
この印刷装置は、インクジェット記録装置であり、搬送される部材（被乾燥物）としてのシート材である用紙１１０に対して所要の色の液体であるインクを吐出付与して画像を形成する画像記録装置１０１を有している。
【０００９】
画像記録装置１０１は、例えば、用紙１１０の搬送方向上流側から、４色分のフルライン型の液体吐出ヘッド（以下、単にヘッドということがある。）１１１Ａ，１１１Ｂ，１１１Ｃ，１１１Ｄ（以下、各色共通の事項の説明では単に１１１と記す。）が配置されている。各ヘッド１１１Ａ，１１１Ｂ，１１１Ｃ，１１１Ｄは、それぞれ、用紙１１０に対してブラックＫ，シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹの液体状のインクを付与する。なお、色の種類及び数はこれに限るものではない。
【００１０】
用紙１１０は、元巻きローラ１０２から繰り出され画像記録装置１０１に進入し、画像記録装置１０１の搬送ローラ１１２によって、ヘッド１１１に対向して配置された搬送ガイド部材１１３上に送り出され、搬送ガイド部材１１３で案内されて搬送される。
【００１１】
画像記録装置１０１によって液体が付与されて画像が記録された用紙１１０は、乾燥装置１０４を経て、排出ローラ１１４によって送られて、巻取りローラ１０５に巻き取られる。
【００１２】
図２は画像記録装置１０１の内部における気流の説明図である。この画像記録装置１０１はヘッド１１１における先端にノズル面を備えたヘッド部の周囲にノズル面側からノズル面とは反対側への気流（矢印Ａ）を生じさせるように構成している。具体的には、装置筐体１１０Ａの天井部に気流発生装置としての排気用ファン１２０を設けている。これにより、先端を下に向けてヘッド支持体としてのヘッド固定板１２１に固定支持されているヘッド１１１の下方から上方に向けての気流を生じさせる。
【００１３】
下方からの気流は用紙１１０上面とヘッド固定板１２１下面との間の空間に周囲から流入したものである。特に用紙搬送中は主にその搬送方向に沿って搬送方向上流側からヘッドとの対後部に進入してくる。そして、その一部がヘッド固定板１２１に形成されたヘッド露出用孔（ヘッド断面形状（ヘッド形状）よりもわずかに大きな孔）１２１Ａとヘッド周面との隙間を通ってヘッド固定板１２１の上方に至り、更に上昇する。これにより、ヘッド部の周囲にノズル面側（下方）からノズル面とは反対側（上方）への気流を生じさせる。
【００１４】
図３（ａ）はヘッド周辺の拡大図であり、図３（ｂ）はそのヘッドフレーム近傍の拡大図である。
ヘッド１１１は、液室、ノズル、および、液滴吐出用の圧電素子等を備えたヘッドフレーム１３１と、液室に液滴を供給するための液体をためておく液体タンク１３２（液体収容タンク）と、圧電素子駆動用のエレキ基板（駆動用電子基板）１３３と、エレキ基板１３３からの駆動電圧を圧電素子に供給するためのエレキハーネス１３４と、カバー部材であるエレキ基板を覆う基板カバー１３５からなっている。
【００１５】
基板カバー１３５は中空になっており、下部及び上部が外部と通じている（ノズル面側とその反対側とが開口）。ヘッド１１１は、ヘッドフレーム１３１の外側でヘッド支持体であるヘッド固定板１３６に固定されている。このヘッド固定板１３６には、ヘッドフレーム１３１の断面形状よりもわずかに大きなノズル面露出用の孔１３６Ａが開いている。ヘッド１１１のノズル面１３１Ａのノズルから吐出された液滴は、ヘッド下方に配置されている用紙１１０に着弾してドットを形成する。これにより印字が行われる。
【００１６】
ヘッド１１１の上方に配置した排気用ファン１２０による気流は、ヘッド周辺で次のように流れる。ヘッド下方、→ヘッドフレーム１３１の外周とヘッド固定板１３６の孔１３６Ａ内周面との間の隙間Ｇ→ヘッドの基板カバー１３５の内部Ｒ２、およびヘッド外周Ｒ１、Ｒ３→ヘッド上方。このような気流により、ヘッド１１１からの液滴の着弾などにより、ノズル面１３１Ａと用紙１１０との間の空間でミストが発生しても、これをこの空間から持ち去ることができる。また、ヘッド１１１の上部にあるエレキ基板１３３を冷却することもできる。しかし、吐出された液滴からのミストＭは、基板カバー１３５内への気流に乗り、エレキ基板１３３などの電気あるいは電子部品に付着してヘッド１１１を故障させるおそれがある。
【００１７】
図４（ａ）はヘッド１１１の具体例の左側面図、図４（ｂ）はその正面図、図４（ｃ）はその底面図である。図４（ｃ）の底面図は他の図よりも拡大して示している。この具体例では、液体タンク１３２の二本のチューブ１３２Ａが接続されている。各チューブ１３２Ａの先端には、画像記録装置１０１の筐体内あるいは筐体外に配置した大型のインクタンク側との接続に使用するジョイント１３２Ｂが設けられている。基板カバー１３５内の上部にはエレキ基板１３３を画像記録装置１０１の制御部と電気接続するためのコネクタ１３７が設けられている。このようなヘッド１１１を図１や図２の紙面に垂直な方向に実現したい解像度に応じた数だけ並べて配置する。
【００１８】
図４（ｃ）に示すように、ヘッド１１１を下方からみると、基板カバー１３５の下方が開口して内周面１３５Ａが見え、さらに、エレキ基板１３３や、エレキハーネス１３４が見え、基板カバー１３５が中空なのがわかる。なお、図４（ａ）乃至（ｃ）に示すネジ１３８はヘッド固定板１３６に対する固定用のネジである。また、ノズル面１３１Ａに二点差線で示すのがノズル列１３１Ｂであり、この具体例では２列形成されている。
【００１９】
実機での気流は複雑なため、設計段階からこのヘッド固定板１３６とヘッドフレーム１３１の隙間Ｇ１を正確に設計することは難しい。このため、実機構築後にこの隙間を容易に変更させる手段が必要になる。そこで、本実施形態では、ヘッドフレーム１３１の周囲に流れる気流の量を規制する規制部材として気流規制部材を設けた。
【００２０】
図５は気流規制部材１４０の概要を示す斜視図である。気流規制部材１４０は、ＰＥＴ等の薄いフィルムで構築されており。ヘッドフレーム（破線）１３１よりわずかに大きい孔１４０Ａが開いた形状となっている。
【００２１】
図６（ａ）は気流規制部材１４０をヘッド下部に取り付けた本実施形態のヘッド部拡大図、図６（ｂ）はそのヘッドフレーム近傍の拡大図である。気流規制部材１４０は、ヘッドフレーム１３１の形状よりもわずかに大きい孔１４０Ａが開いた形状をしているが、ヘッドフレーム１３１の外周との間に隙間Ｇ２は完全には塞いでいない。このためヘッド下方から上方への気流Ｒ１乃至Ｒ３は確保され、ノズル面１３１Ａと用紙との間の空間で発生したミストを気流に乗せてヘッド下方から気流規制部材１４０へ導くことができる。そしてミストのほとんどはこの気流規制部材１４０で規制しヘッド上方に到達させない。これにより、ヘッド１１１をミストから守ることが可能となる。図６（ａ）中に四角で示す領域Ｘはミストの密度が高くなる領域である。ここからミストの上昇を気流規制部材１４０で規制する。基板カバー１３５内に進入してしまったミストをなくすことはできないが、そこへの進入を大幅に低減できる。
【００２２】
［気流規制部材の配置の変形例］
図７は気流規制部材１４０をヘッド１１１のエレキ基板１３３側に寄せて取り付けた場合のヘッド部拡大図である。図６の場合よりも、エレキ基板１３３は、気流規制部材１４０により保護され、ミストがほとんど到達できないことがわかる。ここで逆側は、気流Ｒ３に乗りミストが上昇してしまうが、ヘッド１１１の外側面（液体タンクの外側面）のため、ミストが付着してもヘッド１１１を故障させる恐れはなく、画像品質に影響は与えない。
水系インクによるミストは約５μｍであるため、完全にミストを遮断するには、隙間Ｇ２は、５μｍ以下が望ましい。ただし、隙間Ｇ２小さいと気流が規制されすぎて上昇気流も規制されミストが滞留する虞がある。したがって、５０〜１５０μｍ程度であれば、ミスト付着による基板の不具合が生じない程度の量のみが通過しつつ、ノズル面付近で滞留が生じない程度の上昇気流が通過することも可能となる。
【００２３】
［気流規制部材の変形例］
図８は変形例に係る気流規制部材１４０の概要を示す斜視図である。この例の気流規制部材１４０は孔１４０Ａの内周部をミスト吸収材１４０Ｂ、例えばスポンジで構築した例である。
図９は図８の気流規制部材を装着した時のヘッド部拡大図である。スポンジは伸縮性があるため、ヘッドフレームの大きさよりわずかに小さい大きさの孔１４０Ａをあけることで、装着時にヘッドフレーム１３１の外周との隙間を全くなくすことが可能である。また、通気性があるため、気流は確保できる。
【００２４】
［ヘッドの変形例］
図１０はヘッドの変形例の説明図である。図１０（ａ）は分解斜視図、図１０（ｂ）はノズル面側からの分解斜視図、図１０（ｃ）はヘッドフレーム近傍の拡大断面図である。このヘッド１１１は複数のヘッド１１１、たとえば２つのヘッド１１１を共通の取り付け用部材としての取り付けプレート１５０を用いて画像記録装置１０１本体（液体吐出装置本体）のヘッド固定板１３６に固定するようにしたものである。取り付けプレート１５０には２つのヘッド１１１分の孔１５０Ａが形成されている。この孔はヘッド固定板１３６の孔１３６Ａと対応した大ききでよい。
【００２５】
そして、この取り付けプレート１５０のノズル面側に気流規制部材１４０を設ける。この気流規制部材１４０も２つのヘッド分の孔１４０Ａが形成されている。この孔１４０Ａは、取り付けプレート１５０やヘッド固定板１３６の孔１５０Ａ、１３６Ａよりも小さく、かつ、ヘッドフレーム１３１よりは大きい。図１０（ａ）に示すネジ１５１はヘッド固定板１３６に対する固定用のネジである。
【００２６】
この変形例に係るヘッドでは、気流規制部材１４０を取り付けようプレート１５０に例えば接着などによって取り付けた状態で、全体をヘッド固定板１３６に固定するという組み付け手順を採用できる。これによれば、ヘッド１１１に対する気流規制部材の取り付け位置精度を出すための組み付け作業性が良くなる。なお、この観点から、単一のヘッド１１１についても取り付けようプレートを用いることができる。
【００２７】
以上、本実施形態によれば、ヘッド１１１のヘッド部の周囲にノズル面側（下方）からノズル面とは反対側（上方）に流れる気流を形成するので、特許文献１のように、ヘッドのヘッド部のノズル面とは反対側からノズル面側に流れる気流を形成する場合に比して、ノズル面へのミストの付着を抑制することができ、ノズル面へのミスト付着による吐出不良を軽減できる。
また、ヘッド１１１の下方から上方に気流を作成する構成において、気流規制部材を用いて、インクミストの不具合は軽減でき、しかもヘッドの下方から上方への気流を完全にふさいでいないので気流は維持する。よって、ヘッド下方で発生したミストがヘッド部品に付着することを低減．防止してインクミストがヘッドを汚すことを防止できる。しかも、ヘッドのエレキ部品の冷却機能は保持できる。
【００２８】
また、気流規制部材がヘッドよりもわずかに大きい孔を有する形状であるため、ヘッド組付け後に取り付けることができ、容易に構築できる。例えば、ヘッドにおけるノズル面が備えた先端部が、液体吐出対象側に突出する状態でヘッド支持体に組み付けた後、ヘッド支持体よりも液体吐出側から、突出しているヘッドの先端部部分を孔に通しながら規制部材を取り付けることができる。
【００２９】
また、気流規制部材の取り付け位置設定により、ヘッドの任意側面に密着可能であるので、ヘッド下方から上方への気流の通り道を、任意のヘッド側面に選択できる。よつて、ヘッド部の保護したい側面を選択して気流（すなわちミスト）から防止することができ、より大きな効果が得られる。
また、気流規制部材を、薄いフィルム材で構築すれば、安価に構築可能である。
また、気流規制部材のヘッド付近をミスト吸収材で構築すれば、より効果的にミストの影響を防止できる。この場合、ミスト吸収材料をスポンジで構築することで、安価に構築できる。
【００３０】
なお、本明細書において、「液体を吐出する装置」（液体吐出装置）は、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出させる装置である。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【００３１】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【００３２】
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。パターニング加工にあたってパターニング用の液体レジストを吐出する装置もある。
【００３３】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【００３４】
前記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
【００３５】
前記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス、壁紙や床材などの建材、衣料用のテキスタイルなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【００３６】
また、「液体」は、液体吐出ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０［ｍＰａ・ｓ］以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどである。これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。具体的には、「液体」は、インク、処理液、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、結着剤、造形液、又は、アミノ酸、たんぱく質、カルシウムを含む溶液及び分散液なども含まれる。
【００３７】
また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。
【００３８】
また、「液体を吐出する装置」としては他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液をノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【００３９】
「液体吐出ユニット」とは、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体である。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
【００４０】
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
【００４１】
例えば、液体吐出ユニットとして、上述の実施形態に示すように、液体吐出ヘッド１１１が液体タンク（ヘッドタンク）１３２を一体化して備える液体吐出ユニット４４０がある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
【００４２】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
【００４３】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドと走査用のキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
【００４４】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
【００４５】
また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。
【００４６】
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものとする。
【００４７】
また、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【符号の説明】
【００４８】
１０１    ：画像記録装置
１１０    ：用紙
１１０Ａ  ：装置筐体
１１１    ：液体吐出ヘッド
１２０    ：排気用ファン
１２１    ：ヘッド固定板
１３１    ：ヘッドフレーム
１３１Ａ  ：ノズル面
１３２    ：液体タンク
１３３    ：エレキ基板
１３４    ：エレキハーネス
１３５    ：基板カバー
１３５Ａ  ：内周面
１３６    ：ヘッド固定板
１３６Ａ  ：孔
１３７    ：コネクタ
１３８    ：ネジ
１４０    ：気流規制部材
１４０Ａ  ：孔
１４０Ｂ  ：ミスト吸収材
１５０    ：取り付けプレート
１５０Ａ  ：孔
１５１    ：ネジ
４４０    ：液体吐出ユニット
Ｇ        ：隙間
Ｇ１      ：隙間
Ｇ２      ：隙間
Ｍ        ：ミスト
Ｒ１      ：気流
Ｒ２      ：気流
Ｒ３      ：気流
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４９】
【特許文献１】特開２０１６−１３７６７２号公報
【図１】
2020152028.tif 000003
【図２】
2020152028.tif 000004
【図３】
2020152028.tif 000005
【図４】
2020152028.tif 000006
【図５】
2020152028.tif 000007
【図６】
2020152028.tif 000008
【図７】
2020152028.tif 000009
【図８】
2020152028.tif 000010
【図９】
2020152028.tif 000011
【図１０】
2020152028.tif 000012