(57)【要約】【課題】駆動ユニットと回転ユニットを別個に構成することにより、簡単な構成でもステージの傾斜角度を容易に調節することができるとともに、回転ユニットに加わる負荷を著しく減らすことができ、装置の安全性と基板の分断品質を高めることができるステージ傾斜調節装置を提供する。【解決手段】支持部(100)、支持部(100)の上面に設置され、基板(20)を固定するステージ(200)及び支持部(100)の一側に設置され、駆動ユニット(330)と回転ユニット(320)をそれぞれ備える傾斜調節部(300)を含み、駆動ユニット(330)の作動によって回転ユニット(320)が回転してステージ(200)の傾斜角度を調節する。【選択図】図１
2020175655.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部；
前記支持部の上面に設置され、基板を固定するステージ；及び
前記支持部の一側に設置され、駆動ユニットと回転ユニットをそれぞれ備える傾斜調節部を含み、
前記駆動ユニットの作動によって前記回転ユニットが回転し、前記ステージの傾斜角度を調節する、ステージ傾斜調節装置。
【請求項２】
前記傾斜調節部は、
前記駆動ユニットと前記回転ユニットがそれぞれ設置される第１の固定プレート；
前記支持部と前記回転ユニットとの間に設置される第２の固定プレート；及び
前記第２の固定プレートの一側に設置され、前記駆動ユニットと当接する傾斜面を有する傾斜ブロックを含む、請求項１に記載のステージ傾斜調節装置。
【請求項３】
前記回転ユニットは、
前記第１の固定プレートの上面に設置される一対の固定ブラケット；
前記固定ブラケットに挿入される回転軸；及び
前記第２の固定プレートの下面に設置され、前記一対の固定ブラケットの間に挿入され、前記回転軸に回転可能に支持される回転ブラケットを含む、請求項２に記載のステージ傾斜調節装置。
【請求項４】
前記駆動ユニットは、
モータ；
一側が前記モータとつながるボールスクリュー；
前記第１の固定プレートの上面に設置され、前記ボールスクリューが挿入されるボールスクリューハウジング；
前記ボールスクリューハウジングの上面に設置され、前記傾斜ブロックの傾斜面と当接するローラー；
前記ボールスクリューハウジングの下面に設置される移動レール；
前記第１の固定プレートの上面に設置され、前記移動レールが挟まれる固定レール；及び
前記ボールスクリューハウジングから所定距離離隔され、前記第１の固定プレートの上面に設置されるストッパを含み、
前記ローラーの移動によって前記回転ユニットが回転する、請求項２に記載のステージ傾斜調節装置。
【請求項５】
前記基板を移送するための移送レール、及び
前記移送レールの下面を支持する補強支柱を備える移送部をさらに含む、請求項１に記載のステージ傾斜調節装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載のステージ傾斜調節装置を用いる基板分断装置であって、
前記ステージ傾斜調節装置の位置を第１の方向に調節する第１の位置調節部、及び
前記第１の位置調節部の一側に設置され、前記ステージ傾斜調節装置の位置を第２の方向に調節する第２の位置調節部を含む、基板分断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステージ傾斜調節装置及びこれを用いる基板分断装置に関し、より詳細には、回転ユニットと駆動ユニットを含む傾斜調節部を備えることにより、ステージの傾斜角度を簡単かつ安定的に調節して、基板の分断品質を向上させることができるステージ傾斜調節装置及びこれを用いる基板分断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、ディスプレイとは、電子器機と人間とのインターフェースであって、各種電子器機から出力される電気的情報信号を光情報信号に変換して、人間が視覚を通じて認識できるようにする情報表示装置である。
【０００３】
最近には、半導体産業のうち電子ディスプレイ産業が急速に発展しつつ平面ディスプレイが登場し始め、その種類としては、LCD(Liquid Crystal Display、液晶ディスプレイ)、PDP(Plasma Display Panel、プラズマディスプレイパネル)、FED(Field Emission Display、電界放出表示装置)、OLED(Organic Light Emitting Diode、有機LED)などがある。
【０００４】
これらの平面ディスプレイのパネルとして用いられるPDP、LCD、FED、OLED などは、ガラスのような脆性のマザー基板(mother substrate)を所定の大きさに分断することにより得られるので、基板の製造工程は、大きい面積のマザー基板を数ないし数十個の単位基板に分断する分断工程を伴うことになる。
【０００５】
マザー基板の分断工程は、マザー基板よりも硬度の高いダイヤモンドなどからなる工具(スクライブホイール)を用いて、マザー基板の表面にスクライブラインを形成するスクライブ工程と、マザー基板の表面に形成されたスクライブラインを加圧して曲げモーメントを加えるか、スクライブラインのクラック周囲を加熱または冷却させて分断するブレーキ工程とを含む。
【０００６】
ブレーキ工程では、スクライブ工程を経てスクライブラインが形成されているマザー基板を複数の単位基板に分断するが、ブレーキ工程の収率は最終的な基板製造費用に大きく影響するので、ブレーキ工程を適合に処理して基板の収率を高める必要がある。
【０００７】
図7と図8を参照して、ブレーキ工程に用いられる従来の基板分断装置について説明する。
【０００８】
図7は、従来の基板分断装置の主要構成を概略的に示す斜視図であり、図7に示した基板分断装置は、韓国登録特許公報第10-0660796号に従来技術として開示されている基板分断装置である。
【０００９】
図7に示した基板分断装置は、基板(3)がローディングされるテーブル(2)と、テーブル(2)の上にローディングされた基板(3)上にスクライブラインを形成するスクライバー(4)と、スクライバー(4)から所定距離離隔されてテーブル(2)上に設置され、スクライブラインが形成された基板(3)を分断するブレーカー(5)から構成されている。
【００１０】
前記のような従来の基板分断装置において、ブレーカー(5)は、基板の幅方向に基板(3)よりも長く形成されたブレーキバー(5a)を含んでおり、ブレーキバー(5a)は、基板(3)と接触する部分がゴムのような弾性素材を用いて楔状で形成されている。 また、ブレーカー(5)は、エアシリンダーなどのようなアクチュエーター(5b)でブレーキバー(5a)を昇降させ、基板(3)上のスクライブラインを打撃することにより、基板(3)を分断する。
【００１１】
図8は、従来の他の基板分断装置の主要構成を概略的に示す側面図であり、当該基板分断装置は、フレーム(6)と、フレーム(6)上に設置され、基板(9)を固定するステージ(7)と、フレーム(6)の一側に設置される回転軸(8)から構成されている。前記基板分断装置は、図7に示した基板分断装置のように基板を直接的に打撃して分断する方式ではなく、基板(9)をステージ(7)上に固定した状態で回転軸(8)を回転させてステージ(7)の傾斜角度を調節することにより、その一部が図示しない固定ステージ上に固定されている基板(9)を、スクライブラインを中心に分断する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】韓国登録特許公報第10-0660796号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、図7に示した基板分断装置の場合、ブレーキバー(5a)の先端部がゴムのような弾性素材からなっているとしても、ブレーキバー(5a)が基板(3)を打撃して分断する構造であるため、基板(3)に加わる衝撃が問題となり得、場合によっては基板(3)自体に損傷が発生し得る。また、このようなバー状のブレーカー(5)を用いて基板(3)を分断する際には、ブレーキバー(5a)の先端部全体が基板(3)に同時に接触されてこそ基板(3)がスクライブラインに沿ってまともに分断されるが、ブレーキバー(5a)の先端部全体を同時に基板(3)に当たるようにすることは、現実的に難しい。したがって、ブレーキバー(5a)の先端部の一部が基板(3)と先に接触し、加圧力が不均一に基板(3)へ伝達されることにより、基板(3)の分断面が不均一となる問題点がある。
【００１４】
また、図8に示した他の形態の基板分断装置の場合、回転軸(8)自体が、ステージ(7)の傾斜を調節するための駆動部となる。したがって、基板(9)を分断するのに必要な所定の傾斜角度を確保するために、回転軸(8)は、ステージ(7)の一端側に形成されるしかなく、これにより、基板(9)を分断する過程で発生する揺れなど構造的な不安定性が不可避に伴う。
【００１５】
また、前記基板分断装置では、前記した構造的な不安定性を低減するために、高容量のモータが必要となり、費用が上昇するだけでなく、このような高容量のモータを使用するとしても、ステージ(7)の傾斜を調節する動作で発生する震えを完全に抑制することができないので、分断された基板(9)の品質に問題が発生するようになる。
【００１６】
そこで、本発明は、前記したような問題点を解決するために提案されたものであって、その目的は、回転ユニットと駆動ユニットを含む傾斜調節部を備えることにより、ステージの傾斜角度を簡単かつ安定的に調節して、基板の分断品質を向上させることができるステージ傾斜調節装置及びこれを用いる基板分断装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
前記本発明の目的を果たすために、本発明の一実施形態に係るステージ傾斜調節装置は、支持部、前記支持部の上面に設置され、基板を固定するステージ及び前記支持部の一側に設置され、駆動ユニットと回転ユニットをそれぞれ備える傾斜調節部を含み、前記駆動ユニットの作動によって前記回転ユニットが回転し、前記ステージの傾斜角度を調節する。
【００１８】
また、本発明に係るステージ傾斜調節装置において、前記傾斜調節部は、前記駆動ユニットと前記回転ユニットがそれぞれ設置される第1の固定プレート、前記支持部と前記回転ユニットとの間に設置される第2の固定プレート及び前記第2の固定プレートの一側に設置され、前記駆動ユニットと当接する傾斜面を有する傾斜ブロックを含むことができる。
【００１９】
また、本発明に係るステージ傾斜調節装置において、前記回転ユニットは、前記第1の固定プレートの上面に設置される一対の固定ブラケット、前記固定ブラケットに挿入される回転軸及び前記第2の固定プレートの下面に設置され、前記一対の固定ブラケットの間に挿入され、前記回転軸に回転可能に支持される回転ブラケットを含むことができる。
【００２０】
また、本発明に係るステージ傾斜調節装置において、前記駆動ユニットは、モータ、一側が前記モータとつながるボールスクリュー、前記第1の固定プレートの上面に設置され、前記ボールスクリューが挿入されるボールスクリューハウジング、前記ボールスクリューハウジングの上面に設置され、前記傾斜ブロックの傾斜面と当接するローラー、前記ボールスクリューハウジングの下面に設置される移動レール、前記第1の固定プレートの上面に設置され、前記移動レールが挟まれる固定レール及び前記ボールスクリューハウジングから所定距離離隔され、前記第1の固定プレートの上面に設置されるストッパを含み、前記ローラーの移動によって前記回転ユニットが回転することができる。
【００２１】
また、本発明に係るステージ傾斜調節装置において、前記基板を移送するための移送レール及び前記移送レールの下面を支持する補強支柱を備える移送部をさらに含むことができる。
【００２２】
また、本発明の一実施形態に係る基板分断装置は、前記ステージ傾斜調節装置の位置を第1の方向に調節する第1の位置調節部及び前記第1の位置調節部の一側    に設置され、前記ステージ傾斜調節装置の位置を第2の方向に調節する第2の位置調節部を含むことができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によると、駆動ユニットと回転ユニットを別個に構成することにより、簡単な構成でもステージの傾斜角度を容易に調節することができる。また、回転ユニットに加わる負荷を著しく減らすことができ、装置の安全性と基板の分断品質を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態に係るステージ傾斜調節装置の主要構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るステージ傾斜調節装置の主要構成を示す側面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るステージ傾斜調節装置の傾斜調節部の主要構成を示す斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るステージ傾斜調節装置の作動状態を概略的に示す図である。図4(a)は、基板がステージ上にローディングされた状態を示す図である。図4(b)は、ボールスクリュー及びボールスクリューハウジングが前方に移動した状態を示す図である。図4(c)は、ボールスクリュー及びボールスクリューハウジングが後方に移動した状態を示す図である。
【図５】本発明の他の実施形態に係るステージ傾斜調節装置の主要構成を示す斜視図である。
【図６】本発明のまた他の実施形態に係る端材除去装置の主要構成を示す図である。
【図７】従来の基板分断装置の主要構成を概略的に示す斜視図である。
【図８】従来の他の基板分断装置の主要構成を概略的に示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施例について、関連図面を参照して詳細に説明することにする。参考までに、本明細書において、基板(20)の長さ方向と、基板(20)の幅方向と、基板(20)の厚さ方向は、前後方向と、左右方向と、上下方向にそれぞれ対応される。
【００２６】
図1は、本発明の一実施形態に係るステージ傾斜調節装置の主要構成を示す斜視図である。
【００２７】
ステージ傾斜調節装置(10)は、支持部(100)と、ステージ(200)と、傾斜調節部(300)を含む。
【００２８】
支持部(100)は、ステージ傾斜調節装置(10)の骨格をなす部材であって、基板(20)と後述するステージ(200)を支持する。
【００２９】
ステージ(200)は、支持部(100)の上面に設置され、スクライブ装置(未図示)によってスクライブラインが形成された基板(20)の一部がステージ(200)の上面に固定される。本実施形態でのステージ(200)は、基板加工装置に用いられる一般的な吸着テーブルであって、金属板に多数の吸着用の貫通孔を形成して吸着面にしたタイプのテーブルや、セラミックスなどの多孔質板を吸着面にしたタイプのテーブルなどが用いられ得る。本実施形態でのステージ(200)は、支持部(100)の上面に複数個形成されているが、これに限定せず、基板(20)の幅に対応される幅を有すれば十分であり、一つのステージ(200)で形成することもできる。
【００３０】
傾斜調節部(300)は、支持部(100)及びステージ(200)の傾斜角度を調節する部材であって、支持部(100)の下に、基板(20)の幅方向に両端にそれぞれ設置される。傾斜調節部(300)は、支持部(100) 及びステージ(200)を支持しながら他の装置と結合される。
【００３１】
図2を参照して、本実施形態に係るステージ傾斜調節装置の構成についてより詳細に説明する。
【００３２】
図2は、本発明の一実施形態に係るステージ傾斜調節装置の主要構成を示す側面図である。
【００３３】
支持部(100)は、支持フレーム(110)と、支持プレート(120)を含む。
【００３４】
支持フレーム(110)は、ステージ(200)と傾斜調節部(300)との間に設置され、ステージ傾斜調節装置(10)の骨格をなす短冊状の部材である。支持フレーム(110)をなす４つの角のうち、基板(20)の幅方向に平行な２つの角の間には、複数の鋼材バーが形成されている。支持フレーム(110)は、基板(20)の幅より多少広い幅を有している。
【００３５】
支持プレート(120)は、ステージ(200)を直接支持する部材であって、一部は支持フレーム(110)上に支持され、残りは支持フレーム(110)から外部に突出している。支持プレート(120)は、支持フレーム(110)の幅に対応される幅を有する短冊状の広い面と、それから前方に延長される複数の狭い面を有する。支持プレート(120)の広い面は、支持フレーム(110)の上面によって支持され、支持プレート(120)の狭い面は、ステージ(200)の下面を支持する。もっとも、支持プレート(120)の形状はこれに限定されず、一つの短冊状にすることもできる。
【００３６】
傾斜調節部(300)は、第1の固定プレート(310)と、回転ユニット(320)と、駆動ユニット(330)と、第2の固定プレート(340)と、傾斜ブロック(350)を含む。
【００３７】
第1の固定プレート(310)は、支持部(100)の下に、基板(20)の幅方向に両端にそれぞれ設置され、基板(20)の長さ方向に支持フレーム(110)より多少大きい寸法を有し、上下面が平らな形状である。第1の固定プレート(310)は、ステージ傾斜調節装置(10)を他の装置に固定させ、後述する回転ユニット(320)と駆動ユニット(330)がそれぞれ設置される部材である。
【００３８】
回転ユニット(320)と駆動ユニット(330)は、支持部(100)とステージ(200)を安定的に支持するために、第1の固定プレート(310)の上面において前後方向に両端にそれぞれ設置され、駆動ユニット(330)の作動によって、回転ユニット(320)が回転しながら支持部(100)とステージ(200)が所定の角度で回転するようになる。駆動ユニット(330)の作動に応じた回転ユニット(320)及びステージ(200)の回転動作関係の詳細については後述する。
【００３９】
第2の固定プレート(340)は、第1の固定プレート(310)と同様に、基板(20)の幅方向に両端に、そして、支持フレーム(110)の下面と回転ユニット(320)の上面との間にそれぞれ設置される。
【００４０】
傾斜ブロック(350)は、後述する駆動ユニット(330)のローラー(334)と当接するように、第2の固定プレート(340)の下面の一側に設置される。傾斜ブロック(350)は、地面に対して所定の角度で傾斜をなしている傾斜面を有する。傾斜ブロック(350)の傾斜面の角度や方向は特に限定せず、分断対象となる基板(20)の種類や特性、寸法などを考慮して適切な角度を選択することができる。
【００４１】
本実施形態に係る回転ユニット(320)と駆動ユニット(330)の構成について、図3を参照して、より詳細に説明する。
【００４２】
図3は、本発明の一実施形態に係るステージ傾斜調節装置の傾斜調節部の主要構成を示す斜視図である。
【００４３】
回転ユニット(320)は、固定ブラケット(321)と、回転ブラケット(322)と、回転軸(323)を含む。
【００４４】
固定ブラケット(321)は、第1の固定プレート(310)の上面の一側において左右両端にそれぞれ設置され、回転ブラケット(322)は、それぞれの固定ブラケット(321)の間に挿入されるように、第2の固定プレート(340)の下面に設置される。固定ブラケット(321)と回転ブラケット(322)には、回転軸(323)が挿入されることができるように貫通孔が形成されている。これにより、後述する駆動ユニット(330)が作動すれば、固定ブラケット(321)が固定された状態で回転ブラケット(322)が回転軸(323)を中心に所定の角度(傾斜ブロック(350)の傾斜面が地面となす角度及びローラー(334)の移動距離に相応する角度)で回転する。そして、回転ブラケット(322)と結合された第2の固定プレート(340)が回転することによって、支持部(100)とステージ(200)も同様に回転するようになる。
【００４５】
駆動ユニット(330)は、モータ(331)と、ボールスクリュー(332)と、ボールスクリューハウジング(333)と、ローラー(334)と、移動レール(335)と、固定レール(336)と、ストッパ(337)を含む。
【００４６】
モータ(331)は、外部から電力などを供給されて駆動ユニット(330)を作動させる部材である。モータ(331)は、ブラケット(図面符号未図示)などを通じて、駆動ユニット(330)と結合される。モータ(331)の種類は特に限定せず、ステップモータやサーボモータなどが使用され得る。
【００４７】
ボールスクリュー(332)は、第1の固定プレート(310)の上面に設置され、一端がモータ(331)とつながっており、モータ(331)が回転すると、ボールスクリュー(332)は前後方向に直進運動をする。
【００４８】
ボールスクリューハウジング(333)は、ボールスクリュー(332)が挿入される部材であって、第1の固定プレート(310)の上面に設置される。ボールスクリューハウジング(333)は、正面から見るとき(前方から見るとき)T字状であり、前後方向に延長されている。ボールスクリューハウジング(333)の上面は平らであり、ボールスクリュー(332)が挿入されるように前後方向に貫通孔が形成されている。ボールスクリューハウジング(333)は、ボールスクリュー(332)の前後進に応じて同様に前後進するように、ボールスクリュー(332)と結合されている。
【００４９】
ローラー(334)は、傾斜ブロック(350)と当接するようにボールスクリューハウジング(333)の上面に回転可能に設置される。これにより、モータ(331) 及びボールスクリュー(332)の作動によってボールスクリューハウジング(333)が前後方向に動くと、ローラー(334)は、傾斜ブロック(350)と当接しながら転がり運動をするようになる。ローラー(334)の個数は特に限定せず、傾斜ブロック(350)の傾斜角度及び面積などを考慮して適切な個数で設置することができる。モータ(331)とボールスクリュー(332)とローラー(334)は、ローラー移動機構を構成する。
【００５０】
移動レール(335)は、ボールスクリューハウジング(333)の下面の左右両端にそれぞれ設置され、固定レール(336)は、移動レール(335)に対応されるように、第1の固定プレート(310)の上面の左右両端にそれぞれ設置される。固定レール(336)の両側面には、前後方向に長く溝が形成されており、移動レール(335)の両側面には、移動レール(335)が固定レール(336)の溝に挟まれた状態で前後方向に移動できるように突出部が形成されている。これにより、ボールスクリューハウジング(333)が前後方向に動く途中に固定レール(336)から離脱されない。
【００５１】
ストッパ(337)は、ボールスクリューハウジング(333)の前後方向の動きを制限する部材である。図3には、一つのストッパ(337)のみが図示されているが、ストッパ(337)は、ボールスクリューハウジング(333)の前後方向に一つずつ設置されることができる。これにより、ボールスクリューハウジング(333)が前後方向に動く過程で、所定の移動距離に到逹すると、ボールスクリューハウジング(333)の全面もしくは後面がストッパ(337)と当接し、ボールスクリューハウジング(333)の動きが制限される。
【００５２】
図4を参照して、本実施形態に係るステージ傾斜調節装置の作動状態を説明する。参考までに、図4に示したステージ傾斜調節装置の構成は、図1から3を参照して説明したステージ傾斜調節装置の構成と同一であり、図4において重複する一部図面の符号は記載しない。
【００５３】
図4は、本実施形態に係るステージ傾斜調節装置の作動状態を示す図面であって、図4(a)は、基板がステージ傾斜調節装置にローディングされた状態であり、図4(b)は、ボールスクリュー及びボールスクリューハウジングが前方に移動した状態であり、図4(c)は、ボールスクリュー及びボールスクリューハウジングが後方に移動した状態である。
【００５４】
まず、スクライブ装置(未図示)によってスクライブラインが形成された基板(20)が、移送装置(未図示)によってステージ傾斜調節装置(10)へ移送される。  ステージ(200)上に基板(20)がローディングされれば、ステージ(200)に形成されている吸着孔を通じて基板(20)を吸着し、ステージ(200)上に固定させる(図4(a))。この時、スクライブラインを中心に、基板(20)の一側は、本発明に係るステージ傾斜調節装置(10)のステージ(200)にローディングされた状態であり、他側は図示していない固定ステージにローディングされた状態である。また、ローラー(334)は、傾斜ブロック(350)の傾斜面の中間部分に位置している。
【００５５】
次に、スクライブラインに沿って基板(20)を分断するために駆動ユニット(330)を作動すると、回転ユニット(320)がそれにつれて回転することになる。  駆動ユニット(330)の作動方向、すなわち、回転ユニット(320)の回転方向は、状況に応じて時計回り(図4(b))または反時計回り(図4(c))に選択することができる。  特に、基板の種類や大きさなどによっては、基板の分断方向が基板の分断品質に影響を与える場合があるが、本発明に係るステージ傾斜調節装置によると、基板の適切な分断方向を簡単に設定することができる。
【００５６】
具体的に、基板(20)を時計回りに回転させて分断する場合、モータ(331)の作動によってボールスクリュー(332)及びボールスクリューハウジング(333)が前方に移動する。これにより、ボールスクリューハウジング(333)の上面に形成されているローラー(334)が傾斜ブロック(350)の傾斜面と当接しつつ、前方に移動するようになるが、傾斜ブロック(350)の傾斜面は前方に上向きしているので、回転ブラケット(322)が回転軸(323)を中心に時計回りに回転する。そして、回転ブラケット(322)と結合されている支持フレーム(110)が回転することによって、ステージ(200)及びその上面に吸着されている基板(20)も同様に回転することになる。これにより、ステージ(200)上に吸着されている基板(20)は、下に折り曲がるようになり、基板(20)がスクライブラインを中心に分断される(図4(b))。
【００５７】
逆に、基板(20)を反時計回りに回転させて分断する場合、モータ(331)の作動によってボールスクリュー(332) 及びボールスクリューハウジング(333)が後方に移動する。これにより、ボールスクリューハウジング(333)の上面に形成されているローラー(334)が傾斜ブロック(350)の傾斜面に当接しつつ、後方に移動するようになるが、傾斜ブロック(350)の傾斜面は前方に上向きしているので、回転ブラケット(322)が回転軸(323)を中心に反時計回りに回転する。そして、回転ブラケット(322)と結合されている支持フレーム(110)が回転することによって、ステージ(200)及びその上面に吸着されている基板(20)も同様に回転することになる。これにより、ステージ(200)上に吸着されている基板(20)は、上に折り曲がるようになり、基板(20)がスクライブラインを中心に分断される(図4(c))。
【００５８】
前述したように、本発明の一実施形態に係るステージ傾斜調節装置(10)は、ステージ(200)の傾斜を調節する傾斜調節部(300)において、回転ユニット(320)と駆動ユニット(330)を別個にして、支持部(100)の両端に形成した。したがって、回転部と駆動部が一つからなる従来の傾斜調節装置に比べて、回転ユニット(320)に加わる負荷を著しく減少させることができるだけでなく、装置全体の構造的な安全性を高めることができる。
【００５９】
また、モータ(331)とボールスクリュー(332)及びローラー(334)からなる簡単な構成のローラー移動機構(傾斜調節部(300))を用いて、ステージ(200)の傾斜を容易に調節することができる。特に、ローラー(334)を前後方向に移動させることだけでも、ステージ(200)の回転方向を適切に選択することができ、状況によって基板(20)の適切な分断方向を選択することができるので、基板(20)の分断品質を向上させることができる。
【００６０】
図5を参照して、本発明の他の実施形態に係るステージ傾斜調節装置について説明する。参考までに、前述した本発明の一実施形態に係るステージ傾斜調節装置と同じ図面符号については、説明を省略する。
【００６１】
図5は、本発明の他の実施形態に係るステージ傾斜調節装置の主要構成を示す斜視図である。
【００６２】
本発明の他の実施形態に係るステージ傾斜調節装置(10)は、移送部(400)をさらに含む。
【００６３】
移送部(400)は、図示していないスクライブ装置によってスクライブラインが形成された基板(20)をステージ傾斜調節装置(10)に搬入するとき、そしてスクライブラインに沿って分断された基板(20)をステージ傾斜調節装置(10)から搬出するとき、基板(20)をより容易に移送するための部材である。移送部(400)は、移送レール(410)と補強支柱(420)を含む。
【００６４】
移送レール(410)は、支持部(100)の支持プレート(120)の上面に設置され、基板(20)の長さ方向に後方に延長形成される。移送レール(410)は、複数のローラーを含み、ローラーは、基板(20)の下面と当接する。移送レール(410)の個数は特に限定せず、基板(20)の幅や重さなどによって適切な個数で設置することができる。
【００６５】
補強支柱(420)は、基板(20)の移送過程で移送レール(410)が搖れることを防止するために、移送レール(410)の下面に設置される。
【００６６】
図6を参照して、本発明の一実施形態に係る基板分断装置を説明する。  参考までに、前述したステージ傾斜調節装置と同一の図面符号については、説明を省略する。
【００６７】
図6は、本発明の一実施形態に係る基板分断装置の斜視図である。
【００６８】
本発明の一実施形態に係る基板分断装置(1)は、ステージ傾斜調節装置(10)と、第1の位置調節部(30)と、第2の位置調節部(40)を含む。
【００６９】
第1の位置調節部(30)は、ステージ傾斜調節装置(10)を第1の方向(例えば、基板(20)の長さ方向)に移動させる部材であって、他の装置との結合のために下面が平たく形成されている。第1の位置調節部(30)は、ステージ傾斜調節装置(10)の下に、基板(20)の幅方向に基板分断装置(1)の両側にそれぞれ設置される。第1の位置調節部(30)の上面には、第1の方向に移動可能な第1のスライダー(図面符号未図示)が備えられている。第1のスライダーの一部は内側に折り曲げられて突出部を形成しており、当該突出部は、第1の位置調節部(30)において第1の方向に形成された溝に挿入される。第1の位置調節部(30)の作動の際、第1のスライダーは、溝に挟まれた状態で第1の方向に移動し、これにより、後述するように、第1のスライダーと結合された第2の位置調節部(40)が第1の方向に移動するようになる。
【００７０】
第2の位置調節部(40)は、ステージ傾斜調節装置(10)を第2の方向(例えば、基板(20)の厚さ方向)に移動させる部材である。第2の位置調節部(40)は、第1の位置調節部(30)とステージ傾斜調節装置(10)との間にそれぞれ設置され、第2の位置調節部(40)の一側は、第1の位置調節部(30)の第1のスライダーに結合される。  第1の位置調節部(30)と同様に、第2の位置調節部(40)の一面には、第2の方向に移動可能な第2のスライダー(図面符号未図示)が備えられている。第2のスライダーは、ステージ傾斜調節装置(10)と直接結合されるか、ブラケットなどの別途の結合部材を通じて傾斜調節装置(10)と結合される。第2のスライダーの一部は、内側に折り曲げられて突出部を形成しており、当該突出部は、第2の位置調節部(40)に第2の方向に形成された溝に挿入される。第2の位置調節部(40)の作動の際、第2のスライダーは、溝に挟まれた状態で第2の方向に移動し、これにより、第2のスライダーと結合されたステージ傾斜調節装置(10)が第2の方向に移動するようになる。
【００７１】
このような構成を通じて、本発明に係る基板分断装置(1)は、ステージ(200)上に固定される基板(20)とステージ傾斜調節装置(10)の最適の分断位置を設定することができ、基板(20)の分断品質を高めることができる。
【００７２】
本発明に係るステージ傾斜調節装置において、傾斜調節部は、装置の左側と右側のそれぞれに形成されているものと説明したが、傾斜調節部の位置や個数は特に限定せず、ステージの傾斜角度を調節するのに適切な位置に、適切な個数で設置されることができる。
【００７３】
本発明に係るステージ傾斜調節装置において、ステージ上に形成された吸着孔を用いて基板をステージ上に固定するものと説明したが、基板を固定する方式は吸着固定方式に限らない。例えば、別途のクランプユニットなどを用いた機構的な固定方式を通じて、基板をステージ上に固定することもできる。
【００７４】
本発明に係るステージ傾斜調節装置及び基板分断装置は、スクライブラインが形成された基板を分断する工程に使用されるものと説明したが、これに限定されず、例えば、分断された基板の端材を取り除く工程にも使用され得る。
【００７５】
本発明に係るステージ傾斜調節装置は、補強リブをさらに含むことができる。例えば、支持部とステージとの間に補強リブが設置されることができ、支持部と移送部との間にも補強リブが設置されることもできる。これにより、本発明に係るステージ傾斜調節装置は、作動時の構造的な安全性を確保することができる。
【００７６】
以上の説明は、本発明の技術思想を例示的に説明したものに過ぎないものであって、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者であれば、本発明の本質的な特性から外れない範囲で様々な修正及び変形が可能であるだろう。したがって、本発明に開示された実施例は、本発明の技術思想を限定するためのものではなく、説明するためのものであり、これらの実施例によって本発明の技術思想の範囲が限定されるものではない。本発明の保護範囲は、下記の請求範囲によって解釈されるべきであり、それと同等な範囲内にあるすべての技術思想は、本発明の権利範囲に含まれるものとして解釈されるべきであろう。
【符号の説明】
【００７７】
１      基板分断装置
１０    ステージ傾斜調節装置
２０    基板
３０    第1の位置調節部
４０    第2の位置調節部
１００  支持部
１１０  支持フレーム
１２０  支持プレート
２００  ステージ
３００  傾斜調節部
３１０  第1の固定プレート
３２０  回転ユニット
３２１  固定ブラケット
３２２  回転ブラケット
３２３  回転軸
３３０  駆動ユニット
３３１  モータ
３３２  ボールスクリュー
３３３  ボールスクリューハウジング
３３４  ローラー
３３５  固定レール
３３６  移動レール
３３７  ストッパ   
３４０  第2の固定プレート
４００  移送部
４１０  移送レール
４２０  補強支柱
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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