(57)【要約】【課題】内容液中のパーティクル量、金属イオン溶出量および有機物溶出量を低く抑えること。【解決手段】液体収納容器は０．１μｍ径のパーティクル数が１５個／ｍＬ以下、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａの各金属イオンの溶出量が０．０２ｐｐｂ以下、Ｃ１０〜Ｃ２８のアルカンの溶出量がトルエン換算で２００ｐｐｍ以下の特性をもつ。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外装容器内に配置され、内部に内容液が収納される液体収納容器において、
前記液体収納容器は、前記液体収納容器の内容積を３Ｌに成形し、この３Ｌ内容積の内部を純水で満たした場合における０．１μｍ径のパーティクル数が１５個／ｍＬ以下であり、
前記液体収納容器の内容積を３Ｌに成形し、この３Ｌ内容積の内部を塩酸で満たした場合におけるＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａの各金属イオンの溶出量がいずれも０．０２ｐｐｂ未満であり、
液体収納容器の最内層は低密度ポリオレフィンフィルムを含み、１３ｍＬのジメチルカーボネートに接触面積が４５０００ｍｍ２となる様に前記最内層を接触させた場合に、Ｃ１０〜Ｃ２８のアルカンの溶出量がトルエン換算で２００ｐｐｍ以下となることを特徴とする液体収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体収納容器に係り、とりわけ工業薬品分野、医薬品や化粧品原料分野等で流動性内容物の保管や輸送に供せられる外装容器内に収容して使用される液体収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、工業薬品分野、医薬品や化粧品原料分野等で、保管や輸送にアルミニウム、スチール、ステンレス、ファイバーボード等で作られた外装容器の内部に配置され、流動性内容液を収容する液体収納容器が使用されている。
【０００３】
このような液体収納容器は、使用済みの液体収納容器を外装容器から取り出し、新たな液体収納容器を外装容器内にセットするだけで再使用することができるために、例えば、液体収納容器を使用せずに直にスチール等の外装容器に流動性内容物を充填する場合に比べて、洗浄する手間等が省けるなどの利点があり、工業薬品、医薬品や化粧品原料の容器として広く使用されている。
【０００４】
ところでディスプレイや半導体製造に関わるフォトリソグラフィ工程において、感光性樹脂（レジスト）は、基材上に細線パターンを形成するための材料として用いられる。
【０００５】
一方で、特に半導体分野では回路集積率の向上により、細線パターンに求められる線幅が年々狭まっており、近年では１００ｎｍ以下の微小線幅でパターンが形成されており、３０ｎｍ以下の微小線幅までもが求められ始めている。
【０００６】
このような線幅が求められるレジストの分野において、内容液としてのレジスト中のパーティクルの存在は歩留まり悪化の原因となる。
【０００７】
すなわち、基材上に塗布されたレジストにパーティクルが混入していた場合、パーティクル部にはレジストがないため、レジスト硬化・現像に際してパターン欠落となってしまい、パーティクルのサイズによっては、細線が断線してしまう。
【０００８】
このような断線の発生率を低下させるため、レジスト液内のパーティクルのサイズ、個数を低下させることが求められている。
【０００９】
また、レジストを用いてパターンを形成する場合、現像・エッチング・洗浄などの工程を踏む必要がある。
【００１０】
これらの工程においても、内容液内のパーティクルの存在は好ましくない。
【００１１】
すなわち、現像工程においてはパーティクルが存在する部分の直下のレジストが現像されない。また、エッチング工程においては、パーティクルが存在する部分の直下をエッチングできない。さらに洗浄工程においては、パーティクルが基材に残存してしまうなどの不具合が発生する。
【００１２】
これらの不具合の発生率を低下させるため、これらの内容液中のパーティクルサイズ、個数を低下させることが求められている。
【００１３】
また、上記パーティクルと同様に、内容液中の金属イオン量についても、低減が求められている。
【００１４】
すなわち、内容液がレジストである場合、レジスト中に金属イオン、特にアルカリ金属イオンが存在する場合、基材上に形成される層（トランジスタ素子など）内に固定正電荷として残存してしまい、トランジスタ素子の電荷特性を変化させてしまう、といった不具合が発生してしまう。
【００１５】
また、電池や配線を形成するに際しては、残留金属イオンがマイグレーションの要因となってしまう。
【００１６】
内容液が、現像液やエッチング液、洗浄液である場合においても金属イオンが含有されている場合には同様のリスクが生じてしまう。
【００１７】
近年、素子の小型化や細線化にともない、コンタミネーション起因の層中金属イオンに対する要求スペックは極少量化しており、フォトリソグラフィ工程では、ｐｐｔオーダーでの金属イオン数管理が求められている。
【００１８】
上記に加えて、内容液中の有機物不純物量についても、低減が求められている。
【００１９】
すなわち、レジスト液中に有機物不純物が存在する場合、レジストの硬化および細線パターンの形成に悪影響を及ぼす。
【００２０】
また、現像・エッチングの工程においては、現像・エッチングの効率を阻害する要因となり、更に、洗浄工程においては、有機物不純物が基材に残存してしまうなどの不具合が発生する。
【００２１】
この様に、内容液の有機物汚染を避けるため、内容液中の有機物不純物を充分に低下させる必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２２】
【特許文献１】特許第３９２９０００号公報
【特許文献２】特許第４９２６５３６号公報
【特許文献３】特開２０１４−１０４６０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２３】
本発明は上記点を考慮してなされたものであり、内容液中のパーティクル量、金属イオンおよび有機物の溶出量を低く抑えることができる液体収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
本発明は、外装容器内に配置され、内部に内容液が収納される液体収納容器において、前記液体収納容器は、前記液体収納容器の内容積を３Ｌに成形し、この３Ｌ内容積の内部を純水で満たした場合における０．１μｍ径のパーティクル数が１５個／ｍＬ以下であり、前記液体収納容器の内容積を３Ｌに成形し、この３Ｌ内容積の内部を塩酸で満たした場合におけるＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａの各金属イオンの溶出量がいずれも０．０２ｐｐｂ未満であり、液体収納容器の最内層は低密度ポリオレフィンフィルムを含み、１３ｍＬのジメチルカーボネートに接触面積が４５０００ｍｍ２となる様に前記最内層を接触させた場合にＣ１０〜Ｃ２８のアルカンの溶出量がトルエン換算で２００ｐｐｍ以下となることを特徴とする液体収納容器である。
【００２５】
本発明は、前記液体収納容器内部を純水で満たした場合における０．２μｍ径のパーティクル数が５個／ｍＬ以下となることを特徴とする液体収納容器であってもよい。
【００２６】
本発明は、前記液体収納容器内部を塩酸で満たした場合における元素番号２４〜３０の金属イオンの溶出量が、いずれも０．０２ｐｐｂ未満であることを特徴とする液体収納容器であってもよい。
【００２７】
本発明は、前記液体収納容器は内袋と外袋とを有することを特徴とする液体収納容器であってもよい。
【００２８】
本発明は、前記液体収納容器は袋本体と、この袋本体の側縁部に設けられた注出口とを有することを特徴とする液体収納容器であってもよい。
【００２９】
本発明は、前記袋本体と前記注出口は一体成形され、前記注出口は前記袋本体の上縁から外方へ突出することを特徴とする液体収納容器であってもよい。
【発明の効果】
【００３０】
以上のように本発明によれば、内容液のパーティクル量、金属イオンおよび有機物の溶出量を低く抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】図１は本発明による液体収納容器を示す平面図。
【図２】図２は注出口を示す斜視図。
【図３】図３は注出口を示す側面図。
【図４】図４は注出口を図３（ａ）と９０°異なる方向からみた側面図。
【図５】図５は注出口を示す上面図。
【図６】図６は注出口を示す底面図。
【図７】図７は袋本体に取付けられた注出口を示す側面図。
【図８】図８（ａ）（ｂ）は液体収納容器を外装容器内に挿入する状態を示す図。
【図９】図９は液体収納容器の袋本体の層構成を示す断面図。
【図１０】図１０（ａ）は折畳まれた液体収納容器を示す図、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のＢ部拡大図、図１０（ｃ）は図１０（ａ）のＣ部拡大図。
【図１１】図１１は液体収納容器の袋本体を縦方向折曲線を介してじゃ腹状に折畳む状態を示す図。
【図１２】図１２は液体収納容器の袋本体を上方横方向折曲線と下方横方向折曲線を介して折畳む状態を示す図。
【図１３】図１３は液体収納容器の袋本体を折曲線を介して折曲げることにより形成された三角折曲部を示す図。
【図１４】図１４は液体収納容器の製造方法を示す図。
【図１５】図１５は液体収納容器の袋本体内のパーティクル数を示す図。
【図１６】図１６は液体収納容器の変形例を示す図。
【図１７】図１７袋本体の外観を示す図。
【図１８】図１８は液体収納容器の金属溶出量を示す図。
【図１９】図１９は本発明による液体収納容器の変形例を示す図。
【図２０】図２０は液体収納容器のアルカン溶出量を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
＜本発明の実施の形態＞
以下、図面を参照して本発明を実施するための形態を説明する。
【００３３】
ここで図１は本発明による液体収納容器の一実施形態を示す平面図であり、図２は注出口の斜視図であり、図３は注出口の側面図であり、図４は注出口を図３と９０°異なる方向からみた側面図であり、図５は注出口の上面図であり、図６は注出口の底面図であり、図７は袋本体に取付けられた注出口の側面図である。
【００３４】
本実施形態による液体収納容器１は、外袋２０と内袋２１とを重ね合わせた多重フィルム２を、内袋２１同士が対向するように重ね合わせて合計４枚とし、その四辺をヒートシールしてヒートシール部１０を形成した袋本体３と、この袋本体３の上縁３ａに配置され内袋２１間に予め熱融着された注出口４０とを備えている。
【００３５】
尚、本実施形態では、袋本体３は多重フィルム２を内袋２１同士が対向するようにして積層し、四辺をヒートシールしてヒートシール部１０を形成することにより得られるが、これに限定されるものではなく、例えば、多重フィルム２を内袋２１同士が対向するようにして折り曲げた後、重なり合った外周辺の三辺をヒートシールして形成してもよい。また、ヒートシール部１０の内縁各部は、その内縁が弧状となるよう形成してもよい。これによって、角部に流動性内容物が残存し難い構造となる。また、袋本体は必ずしも多重フィルムから構成する必要はなく、包本体３のフィルム構成は内容物や量に応じて適宜選定できる。
【００３６】
なお、上述のように袋本体３は２枚の多重フィルム２を重ね合わせ、周縁をヒートシールしてヒートシール部１０を形成することにより得られる。この場合、袋本体３は上縁３ａと、底縁３ｂと、２側縁３ｃ、３ｃとを有する矩形形状を有している。また上縁３ａは２本の上縁ヒートシール部１０ａを含み、底縁３ｂは１本の底縁ヒートシール部１０ｂを含み、各側縁３ｃ、３ｃは１本の側縁ヒートシール部１０ｃを有し、これら上縁ヒートシール部１０ａと、底縁ヒートシール部１０ｂと側縁ヒートシール部１０ｃとによりヒートシール部１０が構成されている。
【００３７】
また袋本体３の上縁３ａは、上述のように２本の上縁ヒートシール部１０ａを含む。このように上縁３ａのヒートシール部１０ａを２本に分けることにより、例えば上縁３ａに２本分のヒートシール部１０ａの幅をもつ１本のヒートシール部を形成する場合に比べて、上縁３ａを比較的軟質に構成することができるため、好ましい。しかしながら、袋本体３の上縁３ａに１本の上縁ヒートシール部１０ａを設けても良い（図１９参照）。
【００３８】
また注出口４０は、袋本体３の上縁３ａに熱融着された注出口取付部５０と、該注出口取付部５０に連接され袋本体３から外方へ突出する注出口本体４１とを有し、注出口本体４１の上端には注出口フランジ４２が設けられている。また、図１に示すように、注出口４０は注出口取付部５０で多重フィルム２の内袋２１間に熱融着されている。
【００３９】
注出口４０の注出口取付部５０は、図２乃至図７に示すように、中央部５１と、中央部５１の両側に設けられ中央部５１の厚みより薄肉となる薄肉部５２をもつ楕円筒体からなり、扁平状で中央部５１に貫通穴４５を有する。通常、注出口４０を注出口取付部５０において多重フィルム２の内袋２１間に熱融着する際に、内袋２１間と注出口取付部５０の端部で囲まれる２つの領域に隙間ができて密封不良となり易い。これを防止するために両側に薄肉部５２を設け、熱融着時にこの薄肉部５２を溶融することにより隙間ができることを防止する。
【００４０】
また注出口４０の注出口本体４１は、断面形状が略Ｕ字形状の筒状体からなり、その上端周縁に注出口フランジ４２が設けられている。注出口本体４１の底部４３には、開口４４が形成されている。この開口４４によって液体収納容器１と、後述する外装容器５との間に通気を確保することができ、使用時に内容液を汲み出す際には、この開口４４を通じて液体収納容器１と外装容器５との間に気体を封入して、液体収納容器１の外部から圧力をかけて液体収納容器１内部の内容液の汲み出しをスムースに行うことができる。また注出口本体４１内の底部４３には、注出口上部部材７０が垂直方向に延びて設けられている。
【００４１】
注出口４０の注出口フランジ４２は外装容器５に形成された開口部５ａに装着され、液体収納容器１が外装容器５内で支持される。
【００４２】
注出口４０は、好ましくは射出成形法にて製造される。これに用いる樹脂としては射出成形可能な樹脂であれば特に限定するものではないが、多重フィルム２の内袋２１の内面を構成する樹脂と熱融着により接合されるために、内袋２１の内面を構成する樹脂により適宜選択する必要があるが、通常は高温時でも剛性があり、低温時において脆化し難い高密度ポリエチレンが好適である。
【００４３】
次に、袋本体３を構成する多重フィルム２について説明する。本実施の形態においては、多重フィルム２は外袋２０を構成するフィルムと内袋２１を構成するフィルムとで構成される。
【００４４】
図９に示すように、袋本体３の外袋２０としては未延伸ナイロン（厚さ２０μｍ）２０ａ／直鎖状低密度ポリエチレン（厚さ４０μｍ）２０ｂの積層体を用いることができ、内袋２１としては直鎖状低密度ポリエチレン（厚さ７０μｍ）を用いることができる。
【００４５】
この場合、外袋２０は未延伸ナイロン２０ａを含むため、外袋２０としてはその伸長度を増加させることができ、例えば外袋２０は３００％〜５００％の伸長度をもつ。このように外袋２０は高い伸長度をもつことができるため、袋本体３を全体として軟質とすることができ、後述のように外装容器５内に袋本体３を挿入し、この袋本体３内に窒素ガスやクリーンドライエアーを供給して袋本体３を外装容器内で膨らませる際、スムースに袋本体３を膨らませることができる。
【００４６】
なお、袋本体３の材料としては上述したものに限られることはない。
【００４７】
例えば内袋２１の材料としては、低密度ポリエチレン、低密度ポリエチレンと直鎖状低密度ポリエチレンの混合物のような材料を用いることができる。
【００４８】
また外袋２０の材料としては、伸長度が３００％〜５００％のもの、例えば、未延伸ナイロンや、低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、低密度ポリエチレンと直鎖状低密度ポリエチレンの混合物、などの材料を用いることができる。
これらの各種ポリエチレンに代表されるポリオレフィンには、製造工程に由来する低分子量成分が含まれることがある。そのため、低分子量成分である炭素数１０から２８(Ｃ１０〜Ｃ２８)の低分子量アルカンの溶出を防ぐためには、ポリオレフィン材料を適切に選択することが重要である。
【００４９】
次に液体収納容器１の袋本体３の材質について更に述べる。
【００５０】
液体収納容器１の袋本体３は、内容積が３Ｌとなる様に成形した袋本体３内部を純水で満たした場合における袋本体３内部の０．１μｍ径のパーティクル数が１５個／ｍＬ、好ましくは５．７〜１１．７個／ｍＬとなっている（図１５参照）。
【００５１】
また０．１５μｍ径のパーティクル数は、２．９〜５．４個／ｍＬとなっており、０．２μｍ径のパーティクル数は５個／ｍＬ以下、好ましくは１．４〜２．８個／ｍＬとなっており、０．３μｍ径のパーティクル数は０．５〜１．０個／ｍＬとなっており、０．５μｍ径のパーティクル数は０．１〜０．２個／ｍＬとなっている。
【００５２】
少なくとも０．１μｍ径サイズのパーティクルでは１５個／ｍＬまで、０．２μｍ径のサイズのパーティクルでは５個／ｍＬまでとすることにより、レジストを用いてパターンを形成する場合、現像液・エッチング液・洗浄液を用いて現像・エッチング・洗浄などの工程を踏む場合などにおいて、パーティクルの存在に起因した欠陥の欠陥修正の工程負荷を低減させることが可能となる。
【００５３】
また内容積が３Ｌとなる様に成形した袋本体３内部を塩酸で満たし、６０℃にて１週間静置保管した場合における袋本体内部へのＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａの各金属イオンの溶出量が、いずれも０．０２ｐｐｂ未満となっている。さらに、内容積が３Ｌとなる様に成形した袋本体３内部を塩酸で満たし、６０℃にて１週間静置保管した場合における元素番号２４〜３０の金属イオンの溶出量、すなわちＣｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎの金属イオンの溶出量も０．０２ｐｐｂ未満となっている。さらにまた、Ａｕ、Ａｇ、Ａｌの金属イオンの溶出量も０．０２ｐｐｂ未満となっている（図１８参照）。内容液がレジストである場合、レジスト中に金属イオン、特にアルカリ金属イオンが存在する場合、基材上に形成される層（トランジスタ素子など）内に固定正電荷として残存してしまい、トランジスタ素子の電荷特性を変化させてしまう、といった不具合が生じる場合がある。金属イオン存在量を０．０２ｐｐｂ未満である場合には、トランジスタ素子の電荷特性等の性能の低下を抑制することが可能となる。
【００５４】
また、上述のように袋本体３の最内層は、低密度ポリオレフィンフィルムからなり、１３ｍＬのジメチルカーボネートに接触面積が４５０００ｍｍ２となる様に袋本体３の最内層を接触させた場合、袋本体内部へのＣ１０〜Ｃ２８のアルカンの溶出量（有機物溶出量）は、トルエン換算で２００ｐｐｍ以下となっている。
内容液を基材に塗工して薄膜を形成する際、内容液中に有機物低分子量成分が多い場合には、基材表面に低分子量成分が吸着してしまい、薄膜の形成を阻害する不具合が生じる場合がある。内容液中に溶出したＣ１０〜Ｃ２８のアルカンの量がトルエン換算で２００ｐｐｍ以下である場合には、これらの不具合が生じることなく、薄膜が形成できる。
【００５５】
このように液体収納容器１の袋本体３について、パーティクル数、金属イオン溶出量および有機物溶出量を上記のように定めることにより、内容液としてディスプレイや半導体を製造する際使用されるレジストを用いた場合でも、最終製品としてのディスプレイおよび半導体を微細にかつ精度良く製造することができる。
【００５６】
このような構成からなる液体収納容器１の袋本体３は次のようにして製造される。
【００５７】
まず、図１４（ａ）に示すようにクリーンフィルタ８１を通った清浄空気を用いたインフレーション成形機８０により、内部が清浄空気で満たされた筒状の内袋２１を製造し、筒状の内袋２１の内面同士が対向して接する様に巻き取る。次に図１４（ｂ）に示すように、上述の様にして巻き取られた筒状の内袋２１を、内面同士が対向して接する様に巻き出し、内袋２１の外面上方および下方に外袋２０用のフィルムを配置し、多重フィルム２とする。次に、外袋２０用のフィルムと内面同士が対向して接する様に巻き出された筒状の内袋２１をヒートシール装置(図示せず)によりヒートシールし、側縁ヒートシール部１０ｃ、１０ｃ、上縁ヒートシール部１０ａ、底縁ヒートシール部１０ｂからなるヒートシール部１０を形成する。この際、上縁ヒートシール部１０ａには、後に注出口４０の注出口取付部５０を挿入して熱溶着する部分のみ、ヒートシールせずに未シール部としておく。次に、外袋２０と内袋２１とがヒートシールされてヒートシール部１０が形成された帯状フィルムを、袋本体毎に切断して、袋本体３を製造する。
【００５８】
しかる後に、注出口４０の注出口取付部５０を、袋本体３の上縁ヒートシール部１０ａの未シール部から内袋２１の中へ挿入し、外袋２０の上からヒートシールを行う事で内袋２１と注出口取付部５０とを熱溶着し、液体収納容器１が得られる。
なお、これら一連の工程は、全てクリーンルームの中で行われる。
【００５９】
この様にすることで、袋本体３の内袋２１の内面を、クリーンフィルタ８１を通った清浄空気以外に触れさせることなく、液体収納容器１を作製することができる。すなわち、液体収納容器１の製造工程において、パーティクルや金属イオンが内袋２１の内面に付着することを防止できる。
このことにより、上記のような特性をもった液体収納容器１を得ることができる。
なお、Ｔダイ法など、内袋２１をフィルム状に得る成膜方法によって液体収納容器１を得る場合、内袋２１の内面がガイドロール等の金属と接触することを避けられず、成膜工程内での内袋２１内面の金属汚染が大きくなってしまい、金属イオン溶出量が増加してしまう。
【００６０】
次に袋本体３の形状について説明する。袋本体３は図１０乃至図１３に示すように、縦方向に延びる複数、例えば４本の縦方向折曲線１１を介してじゃ腹状に折畳まれて形成された５つのじゃ腹部１２を含む（図１０および図１１参照）。
この場合、袋本体３の各じゃ腹部１２は略同一の幅Ｗを有している。そして袋本体３に取付けられた注出口４０は５つのじゃ腹部１２のうち中央のじゃ腹部１２に対応して配置されている。
【００６１】
またこのように袋本体３を縦方向折曲線１１を介して折畳んで５つのじゃ腹部１２を形成した後、袋本体３は上方横方向折曲線１５ａと下方横方向折曲線１５ｂとを介して折畳まれて、横方向に延びる折畳み部１６が形成される（図１２参照）。
【００６２】
その後袋本体３が折曲線１３に沿って折曲げられて三角折曲部１４を形成しても良い（図１０（ｂ）参照）。
【００６３】
このようにして図１０（ａ）（ｂ）に示すように、袋本体３に複数のじゃ腹部１２と、折畳み部１６と、三角折曲部１４とが形成された液体収納容器１が準備される。
なお、複数のじゃ腹部１２と、折畳み部１６とは、いずれを先に形成しても良い。
【００６４】
次に図８（ａ）（ｂ）に示すように、液体収納容器１は更に縦方向に折畳まれて縦方向に細長状に形成され、液体収納容器１は開口部５ａから外装容器５内に挿入される。
【００６５】
次に液体収納容器１の注出口４０が外装容器５の開口部５ａに装着される。この場合、注出口４０の注出口本体４１の注出口フランジ４２が外装容器５の開口部５ａに係合する（図７参照）。
【００６６】
次に液体収納容器１の注出口４０に膨らまし治具（図示せず）が装着され、この膨らまし治具を用いて液体収納容器１内に窒素ガスまたはクリーンドライエアーが供給されて、外装容器５内で液体収納容器１の袋本体３が膨らむ。
【００６７】
次に外装容器５内で液体収納容器１を膨らませる作用について、以下詳述する。
【００６８】
外装容器５内に液体収納容器１を挿入した場合、まず液体収納容器１の袋本体３のうち折畳み部１６より下方の部分が自重により落下して、袋本体３が拡がる。
【００６９】
次に上述のように、液体収納容器１内に膨らまし治具を用いて窒素ガスまたはクリーンドライエアーを供給することにより、袋本体３が膨らむ。これに伴って、縦方向折曲線１１を介してじゃ腹状に折畳まれた袋本体３が平坦状に拡げられる。
【００７０】
この時、袋本体３の上方部に、折曲線１３を介して折曲げることにより形成された三角折曲部１４が形成されている場合には、袋本体３が拡がる時に袋本体３の上縁３ａの隅部が外装容器５の開口部５ａに引掛かることはなく、このため袋本体３が損傷することが防止される。
【００７１】
また袋本体３の上縁３ａは１本あるいは２本の上縁ヒートシール部１０ａを含むため、幅広のヒートシール部を含む場合に比べて上縁３ａを軟質に構成することができ、袋本体３をよりスムースに外装容器５内で拡げることができる。さらにまた袋本体３の外袋２０は３００％〜５００％の伸長度を有するため、袋本体３の柔軟性を高めて、袋本体３の拡張作用を容易に行なうことができる。
【００７２】
このようにして、外装容器と液体収納容器の組合体が得られる。その後、膨らまし治具が注出口４０から取外され、内容液充填機(図示せず)が注出口４０に装着されて、この内容液充填機から内容液が液体収納容器へ充填される。
【００７３】
内容液が液体収納容器へ充填された後、図７に示すように、外装容器５の開口部５ａに装着された注出口４０の注出口本体４１内に、液体分配ノズル６０を保持する注出口上部部材７０が装着され、この注出口上部部材７０内に液体分配ノズル６０が挿入される。
【００７４】
注出口上部部材７０内に挿入された液体分配ノズル６０は、注出口４０の貫通穴４５を貫通して液体収納容器１の袋本体３内へ延びている。また液体分配ノズル６０はその上端に形成された大径部６３と、その下端に形成されたドーム形状部６１とを有し、ドーム形状部６１に複数の開孔６２が形成されている。このドーム形状部６１は、半球状をなしており、この半球状の面に複数の開孔６２が形成されている。ドーム形状部６１は、液体分配ノズル６０の下端が半球状に形成されていてもよいし、または半球状に形成されたノズルキャップが液体分配ノズル６０の下端に取り付けられていてもよい。
【００７５】
注出口上部部材７０内に挿入された液体分配ノズル６０は、その上端に設けられた大径部６３が注出口上部部材７０に係合して、この注出口上部部材７０により保持される。
【００７６】
このようにして、液体収納容器１内への内容液の充填工程を終えた後、外装容器５の開口部５ａにキャップ(図示せず)が装着される。この時、キャップと注出口上部部材７０との間に、ブレイクシールと呼ばれる密閉部材(後述するディスペンサ（図示せず）を取付ける際にディスペンサ先端によって突き破られる、発塵なく貫通可能な肉厚フィルム)が介在される。このため、注出口４０と、液体分配ノズル６０とは、このブレイクシールとキャップによって密閉される。このようにして、注出口４０および液体分配ノズル６０の大径部６３が密閉される。この場合、キャップは開口部５ａ外周に設けられた外ねじ５ｂに係合する。また、キャップは、キャップ本体と上部キャップとからなり、上部キャップはキャップ本体から取り外しが可能である。
【００７７】
液体収納容器１内の内容液を外部へ排出する場合、上部キャップがキャップ本体より取外され、液体分配ノズル６０の大径部６３がブレイクシールおよびキャップ本体を介してディスペンサに接続される。
【００７８】
次に加圧ガス源(図示せず)から窒素ガスが注出口４０の注出口本体４１内に供給され、その後窒素ガスは、開口４４から、外装容器５と液体収納容器１の袋本体３との間の空間に入る。次に袋本体３が外側から窒素ガスにより押圧され、袋本体３内の内容液がドーム形状部６１の開孔６２から液体分配ノズル６０内に入り、液体分配ノズル６０内の内容液はその後大径部６３からディスペンサ側へ排出される。
【００７９】
この間、液体分配ノズル６０はその下端にドーム形状部６１を有するため、袋本体３内の内容液を液体分配ノズル６０を介して大径部６３から外方へ排出する場合、液体分配ノズル６０の下端が袋本体３内面に当接しても、液体分配ノズル６０の下端によって袋本体３が破損することが防止される。
【００８０】
また、袋本体３内の内容液はドーム形状部６１に設けられた複数の開孔６２を介して液体分配ノズル６０内に吸込まれて、大径部６３からディスペンサ側へ排出される。このため液体分配ノズル６０の下端中心に単一の開孔を設けた場合に比べて、内容液の残量が少なくなっても袋本体３が液体分配ノズル６０に密接して液体分配ノズル６０内へ内容液が流れにくくなることが防止される。
【００８１】
＜本発明の変形例＞
次に図１６により本発明の変形例について説明する。
【００８２】
上記実施の形態において、液体収納容器１が袋本体３と、袋本体３の上縁３ａに袋本体３とは別体に取付けられた注出口４０とを有する例を示したが、これに限らず液体収納容器１は袋本体３と、この袋本体３の上縁３ａから外方へ突出するとともに袋本体３と一体成形された注出口４０を有していてもよく、内袋と外袋を有する代わりに、内袋を有していても良い。
【００８３】
袋本体３と注出口４０は、例えば低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレンや、低密度ポリエチレンと直鎖状低密度ポリエチレンなどから一体に成形することができる。
【００８４】
この変形例においては、袋本体３の注出口４０は注出口先端４０ｔと注出口側縁ヒートシール部４０ｕにてヒートシールされて密封されており、液体収納容器１は全体として平坦状に構成されている。
【００８５】
すなわち、図１４（ａ）に示すようにクリーンフィルタ８１を通った清浄空気を用いて、インフレーション成形機８０により、内部が清浄空気で満たされた筒状の内袋２１を製造し、筒状の内袋２１の内面同士が対向して接する様に巻き取る。次に、上述の様にして巻き取られた筒状の内袋２１を、内面同士が対向して接する様に巻き出し、ヒートシール装置によりヒートシールして、側縁ヒートシール部１０ｃ、１０ｃ、上縁ヒートシール部１０ａ、底縁ヒートシール部１０ｂ、注出口側縁ヒートシール部４０ｕ、注出口先端４０ｔからなるヒートシール部１０を形成する。次に、ヒートシール部１０が形成された帯状フィルムを、袋本体毎に切断することで、袋本体３と注出口４０とが一体に成形された液体収納容器１が得られる。なお、この変形例においては、注出口先端４０ｔを切断することで注出口を開口し、液体を液体収納容器１の内部に充填し、保管することができる。
【実施例】
【００８６】
次に本発明の具体的実施例について説明する。
【００８７】
（実施例１）
クリーンフィルタ８１としてＵＬＰＡフィルタ(ＪＩＳ Ｚ ８１２２により規定)を用いて、インフレーション成形機（ＷＩＮＤＭＯＥＬＬＥＲ＆ＨＯＥＬＳＣＨＥＲ ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ製）により、低密度ポリエチレン樹脂、具体的には宇部丸善ポリエチレン株式会社のＵＢＥポリエチレンＢ１２８を用いて、袋本体３を厚さ７０μｍにて作製した（図１４（ａ）参照）。しかる後に、変形例の態様にて、図１７の如く袋本体３の内容積が３Ｌとなる様に液体収納容器１を作製した。
【００８８】
このとき液体収納容器１内部を純水で満たした場合におけるパーティクル数は、０．１μｍ径のパーティクル数が５．７個／ｍＬ、０．１５μｍ径のパーティクル数が２．９個／ｍＬ、０．２μｍ径のパーティクル数が１．４個／ｍＬ、０．３μｍ径のパーティクル数が０．５個／ｍＬ、０．５μｍ径のパーティクル数が０．１個／ｍＬであった（図１５参照）。
【００８９】
（実施例２）
クリーンフィルタ８１としてＨＥＰＡフィルタ(ＪＩＳ Ｚ ８１２２により規定)を用いる以外は実施例１と同様にして、袋本体３をもつ液体収納容器１を作製した（図１４、図１７参照）。
【００９０】
このとき液体収納容器１内部を純水で満たした場合におけるパーティクル数は、０．１μｍ径のパーティクル数が１１．７個／ｍＬ、０．１５μｍ径のパーティクル数が５．４個／ｍＬ、０．２μｍ径のパーティクル数が２．８個／ｍＬ、０．３μｍ径のパーティクル数が１．０個／ｍＬ、０．５μｍ径のパーティクル数が０．２個／ｍＬであった（図１５参照）。
【００９１】
（比較例１）
クリーンフィルタ８１を用いないこと以外は実施例１と同様にして、液体収納容器１を作製した（図１４、図１７参照）。
【００９２】
このとき液体収納容器１内部を純水で満たした場合におけるパーティクル数は、０．１μｍ径のパーティクル数が５９．４個／ｍＬ、０．１５μｍ径のパーティクル数が３６．０個／ｍＬ、０．２μｍ径のパーティクル数が２１．２個／ｍＬ、０．３μｍ径のパーティクル数が９．４個／ｍＬ、０．５μｍ径のパーティクル数が２．７個／ｍＬであった（図１５参照）。
【００９３】
以上のことから、クリーンフィルタ８１としてＵＬＰＡフィルタまたはＨＥＰＡフィルタを用いてインフレーション成膜をすることにより、所望のパーティクル特性をもった袋本体３を有する液体収納容器１を得ることができた。
【００９４】
(実施例３)
実施例１と同様の材料を用いて、かつ同様の方法で袋本体３を成形した。
【００９５】
この袋本体３を面積２２５００ｍｍ２のフィルムに切り取って、表裏の接触面積が４５０００ｍｍ２になるようにしたフィルムを、１３ｍＬのジメチルカーボネートへ浸して６０℃で１週間静置した。
その後、フィルムからジメチルカーボネートにＣ１０〜Ｃ２８のアルカンが溶出したかどうかをガスクロマトグラフ質量分析計（株式会社島津製作所製、製品名：ＧＣＭＳ−ＱＰ２０１０）を用いて確認してトルエン換算にて算出した。
結果、溶出したＣ１０〜Ｃ２８のアルカンの量はトルエン換算にて１３１．７ｐｐｍで、適格であった（図２０参照）。
【００９６】
（実施例４）
実施例１の袋本体３の材料として、直鎖状低密度ポリエチレン樹脂、具体的には株式会社プライムポリマーのウルトゼックス３５００ＺＡを用いた。
【００９７】
実施例３と同様にして、この袋本体３から溶出したアルカン量を確認してトルエン換算にて算出したところ、溶出したＣ１０〜Ｃ２８のアルカンの量はトルエン換算にて３２．３ｐｐｍで、適格であった（図２０参照）。
【００９８】
（実施例５）
実施例１の袋本体３の材料として、直鎖状低密度ポリエチレン樹脂、具体的には日本ポリエチレン株式会社のカーネルＫＦ２７３を用いた。
【００９９】
実施例３と同様にして、この袋本体３から溶出したアルカン量を確認してトルエン換算にて算出したところ、溶出したＣ１０〜Ｃ２８のアルカンの量はトルエン換算にて３５．６ｐｐｍで、適格であった（図２０参照）。
【０１００】
(比較例２)
実施例１の袋本体３の材料として、直鎖状低密度ポリエチレン樹脂、具体的には宇部丸善ポリエチレン株式会社のユメリット１６５ＨＫを用いた。
【０１０１】
実施例３と同様にして、この袋本体３から溶出したアルカン量を確認してトルエン換算にて算出したところ、溶出したＣ１０〜Ｃ２８のアルカンの量はトルエン換算にて４２７．６ｐｐｍで、不適格であった（図２０参照）。
【０１０２】
(比較例３)
実施例１と同様にして、袋本体３の材料として、低密度ポリエチレン樹脂、具体的には日本ポリエチレン株式会社のノバテックＬＤ ＬＦ５４７Ｃを用いた。
【０１０３】
実施例３と同様にして、この袋本体３から溶出したアルカン量を確認してトルエン換算にて算出したところ、溶出したＣ１０〜Ｃ２８のアルカンの量はトルエン換算にて２３１．７ｐｐｍで、不適格であった（図２０参照）。
【０１０４】
以上のことから、袋本体３の材料を適切に選択することにより、所望のアルカン溶出量特性をもった液体収納容器１を得る事ができた。
【０１０５】
(実施例６)
実施例１と同様の材料を用いて、かつ同様の方法で成形した袋本体３を図１７の如く変形例の態様にて、袋本体３の内容積が３Ｌとなる様に液体収納容器１を作製した。
【０１０６】
この液体収納容器１を、周囲の環境からの汚染が無い様に注意しながら塩酸（和光純薬、ＳＣグレード）３Ｌで満たし、６０℃にて１週間静置した。その後、内袋２１から塩酸への金属イオン溶出量をＩＣＰ−ＭＳ(ＥＬＡＮ ＤＲＣ２、ＰｅｒｋｉｎＥｌｅｍｅｒ社製)を用いて確認した。
結果、溶出した金属イオンの量は、いずれも０．０２ｐｐｂ未満であり、適格であった。(図１８参照)
【０１０７】
(比較例４)
比較例１と同様の材料を用いて、かつ同様の方法で成形した袋本体３を、実施例６と同様の態様にて液体収納容器１を作製した。
【０１０８】
実施例６と同様にして、袋本体３から塩酸への金属イオン溶出量を測定した。
結果、溶出した金属イオンの量は、金属種によっては０．０２ｐｐｂを超えており、不適格であった。（図１８参照）
【０１０９】
以上のことから、クリーンフィルタ８１としてＵＬＰＡフィルタまたはＨＥＰＡフィルタを用いてインフレーション成膜をすることにより、所望の金属イオン溶出特性をもった液体収納容器１を得ることができた。
【符号の説明】
【０１１０】
１  液体収納容器
３  袋本体
３ａ  上縁
３ｂ  底縁
３ｃ  側縁
５  外装容器
５ａ  開口部
１０  ヒートシール部
２０  外袋
２１  内袋
４０  注出口
４１  注出口本体
４２  注出口フランジ
５０  注出口取付部
５１  中央部
５２  薄肉部
６０  液体分配ノズル
６１  ドーム形状部
６２  開孔
７０  注出口上部部材
８０  インフレーション成形機
８１  クリーンフィルタ
【図１】
2020152457.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2020152457.tif 000015
【図１４】
2020152457.tif 000016
【図１５】
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【図１６】
2020152457.tif 000018
【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【手続補正書】
【提出日】令和2年7月3日(2020.7.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内容物が収納される収納容器において、
前記収納容器は、前記収納容器の内部を３Ｌの塩酸で満たした場合に、内部の表面積１９２４００ｍｍ２あたりにおけるＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａの各金属イオンの溶出量がいずれも０．０２ｐｐｂ未満であり、
収納容器の最内層は、ポリオレフィン材料を含み、１３ｍＬのジメチルカーボネートに接触面積が４５０００ｍｍ２となる様に前記最内層を接触させた場合に、Ｃ１０〜Ｃ２８のアルカンの溶出量がトルエン換算で２００ｐｐｍ以下である、収納容器。
【請求項２】
前記収納容器の内部を３Ｌの純水で満たした場合に、内部の表面積１９２４００ｍｍ２あたりにおける０．１μｍ径のパーティクル数が１５個／ｍＬ以下である、請求項１に記載の収納容器。
【請求項３】
前記収納容器の内部を３Ｌの純水で満たした場合に、内部の表面積１９２４００ｍｍ２あたりにおける０．２μｍ径のパーティクル数が５個／ｍＬ以下である、請求項１又は２に記載の収納容器。
【請求項４】
前記収納容器内部を３Ｌの塩酸で満たした場合に、内部の表面積１９２４００ｍｍ２あたりにおける元素番号２４〜３０の金属イオンの溶出量が、いずれも０．０２ｐｐｂ未満である、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の収納容器。
【請求項５】
前記収納容器は内袋と外袋とを有する、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の収納容器。
【請求項６】
前記収納容器は袋本体と、この袋本体の側縁部に設けられた注出口とを有する、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の収納容器。
【請求項７】
前記袋本体と前記注出口は一体成形され、前記注出口は前記袋本体の上縁から外方へ突出する、請求項６記載の収納容器。