(57)【要約】【課題】検査液槽内を浮上する微細な気泡を広い領域で検出する。【解決手段】漏れ検査装置は、検査液Ｌ中に被検査物Ｗを水没させた状態で、被検査物Ｗから漏れ出る気泡Ｂの有無を検出して漏れを検査する。漏れ検査装置は、被検査物Ｗを検査液Ｌに水没させる検査液槽１と、検査液槽１の内側に配置されて検査液Ｌに超音波を放射する超音波送信部２と、検査液槽１の内側に配置されて検査液Ｌの超音波振動を受信する超音波受信部３とを備えている。超音波送信部２は複数の超音波振動子４を備え、超音波受信部３は複数の超音波センサ５を備えている。超音波振動子４と超音波センサ５は、交互に横並びに配置され、超音波振動子４が、検査液槽１の対向壁７に向かって超音波振動を放射する姿勢に配置されて、超音波センサ５が、検査液槽１の対向壁７の方向から入射する超音波振動を受信する姿勢に配置されている。【選択図】図１
2020143940.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査液中に被検査物を水没させた状態で、被検査物から漏れ出る気泡の有無を検出して漏れを検査する超音波式漏れ検査装置であって、
被検査物を検査液に水没させる検査液槽と、
前記検査液槽の内側に配置されて検査液に超音波を放射する超音波送信部と、
前記検査液槽の内側に配置されて検査液の超音波振動を受信する超音波受信部とを備え、
前記超音波送信部は複数の超音波振動子を備え、
前記超音波受信部は複数の超音波センサを備え、
前記超音波振動子と前記超音波センサが交互に横並びに配置され、
前記超音波振動子が、前記検査液槽の対向壁に向かって超音波振動を放射する姿勢に配置されて、
前記超音波センサが、前記検査液槽の対向壁の方向から入射する超音波振動を受信する姿勢に配置されてなることを特徴とする超音波式漏れ検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載する超音波式漏れ検査装置であって、
前記超音波振動子と前記超音波センサが、
前記検査液槽の内面に水平方向に伸びる直線上に交互に横並びに配置されてなることを特徴とする超音波式漏れ検査装置。
【請求項３】
請求項１に記載する超音波式漏れ検査装置であって、
前記超音波振動子と前記超音波センサが、
前記検査液槽の内面に、ジグザグ状に横並びに配置されてなることを特徴とする超音波式漏れ検査装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載する超音波式漏れ検査装置であって、
前記超音波振動子と前記超音波センサが同じ個数であること特徴とする超音波式漏れ検査装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載する超音波式漏れ検査装置であって、
前記超音波振動子と前記超音波センサが、送信ビームと受信ビームの中心軸を、平行ないしほぼ平行とする姿勢で配置されてなることを特徴とする超音波式漏れ検査装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載する超音波式漏れ検査装置であって、
前記超音波送信部が、複数の前記超音波振動子を複数のブロックに分割して、隣接するブロックの超音波振動子が異なる周波数の超音波振動を放射することを特徴とする超音波式漏れ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波を利用して液中を浮上する気泡を検出して漏れを検査する装置に関し、とくに、内部に中空部のある被検査物の小孔やクラック等を検出するのに最適な超音波式漏れ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明者は、液中を浮上する微細な気泡を検出することで、ガソリンタンクやマフラー等のように、内部を密閉構造の中空部とする部品のピンホールやクラック等を検査する装置を開発した。（特許文献１参照）
この検査装置は、被検査物の開口部を密閉して水等の検査液に水没し、被検査物の内部に空気を圧入して、ピンホールなどの微細な隙間からの空気漏れで発生する気泡を検出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−４７０５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明者が先に開発した検査装置を、図１６の斜視図に示す。この検査装置９０は、開口部を密閉して加圧空気を圧入した被検査物Ｗを水等の検査液Ｌに水没し、ピンホールやクラックからの空気の漏れを、液中を浮上する気泡Ｂに超音波を放射して検出する。この検査装置９０は、検査液Ｌに超音波を放射する超音波振動子９４と、液中に放射された超音波振動を受信する超音波センサ９５とを設けている。この検査装置９０は、超音波を検査液Ｌ中に放射して検査液Ｌを浮上する気泡Ｂを検出する。超音波が気泡に当たるとその９０％以上を反射するので、反射波を検出して気泡を検出できる。また検査液中を上昇する気泡は、螺旋運動や振り子運動、表面形状の変化等の揺動を伴って浮上するので、超音波を放射するとその反射波は揺動に伴う周波数偏移を生じる。さらに超音波は回折し、重畳するので、気泡の後方でも観測される。このように気泡の揺動に応じて、反射波の周波数偏移の量が異なるので、これらを検出して気泡の状態、すなわち被検査物の気密性や漏れ量等を検出できる。
【０００５】
以上の検査装置は、検査液中を浮上する気泡を検出して被検査物の漏れを発見できる特徴がある。この方式の検査装置は、検査液槽の広い範囲で浮上する微細な気泡を検出できることが大切である。図１６に示す検査装置９０は、検査液槽９１のひとつの内面に、上下に離して超音波振動子９４と超音波センサ９５を配置している。この図の検査装置９０は、超音波振動子９４の下方に超音波センサ９５を配置して、超音波振動子９４で下向きに超音波振動の送信ビームを放射して、気泡の反射波を下方に配置する超音波センサ９５で受信する。この検査装置９０は、送信ビームを通過する気泡が反射する超音波振動を超音波センサ９５で受信する。超音波は指向性が鋭いので、超音波振動子９４は鋭い送信ビームで超音波を放射し、超音波センサ９５は鋭い受信ビームで超音波を受信する。図１６の検査装置９０は、検査液槽９１の中央部の反射領域を浮上する気泡の反射波を、超音波センサ９５が高い感度で受信する。超音波センサ９５の受信ビームが鋭いので、反射領域の外側を浮上する気泡の反射波は、受信ビームから離れるにしたがって受信感度が低下するので、信号レベルが小さくなって気泡を確実に検出できなくなる。送信ビームの中心軸に配置する超音波センサは、送信ビームの中心軸に位置するので、超音波振動子が放射する直接波を強い信号レベルで受信して、気泡が反射する弱い反射波を直接波から分離して検出するのが難しい。したがって、図１６に示す従来の検査装置９０は、検査液槽９１の内部を広い領域で浮上する微細な気泡を安定して確実に検出するのが難しい欠点がある。
【０００６】
本発明は、従来の以上の欠点を解消することを目的に開発されたもので、本発明の大切な目的は、極めて簡単な構造としながら、検査液槽の内部を浮上する微細な気泡を広い領域で検出できる超音波式漏れ検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のある態様に係る超音波式漏れ検査装置は、検査液Ｌ中に被検査物Ｗを水没させた状態で、被検査物Ｗから漏れ出る気泡Ｂの有無を検出して漏れを検査する。超音波式漏れ検査装置は、被検査物Ｗを検査液Ｌに水没させる検査液槽１と、検査液槽１の内側に配置されて検査液Ｌに超音波を放射する超音波送信部２と、検査液槽１の内側に配置されて検査液Ｌの超音波振動を受信する超音波受信部３とを備えている。超音波送信部２は複数の超音波振動子４を備え、超音波受信部３は複数の超音波センサ５を備えている。超音波振動子４と超音波センサ５は、交互に横並びに配置され、超音波振動子４が、検査液槽１の対向壁７に向かって超音波振動を放射する姿勢に配置されて、超音波センサ５が、検査液槽１の対向壁７の方向から入射する超音波振動を受信する姿勢に配置されている。
【発明の効果】
【０００８】
以上の超音波式漏れ検査装置は、簡単な構造で検査液槽の内部を浮上する微細な気泡を広い領域で検出できる特長がある。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係る超音波式漏れ検査装置の概略斜視図である。
【図２】図１に示す超音波式漏れ検査装置の垂直横断面図である。
【図３】図１に示す超音波式漏れ検査装置の平面図である。
【図４】本発明の他の実施形態に係る超音波式漏れ検査装置の概略斜視図である。
【図５】図４に示す超音波式漏れ検査装置の垂直横断面図である。
【図６】超音波送信部の超音波振動子から放射される送信ビームで形成される超音波振動層を示す模式平面図である。
【図７】超音波受信部の超音波センサで受信される受信ビームで形成される超音波受信層を示す模式平面図である。
【図８】超音波送信部の超音波振動子から時分割で超音波を発生させるタイミングを示すタイミングチャートである。
【図９】気泡がない場合の反射波のスペクトルを示すグラフである。
【図１０】小さな気泡が１個ある場合の反射波のスペクトルを示すグラフである。
【図１１】小さな気泡が複数個ある場合の反射波のスペクトルを示すグラフである。
【図１２】大きな気泡が１個ある場合の反射波のスペクトルを示すグラフである。
【図１３】大きな気泡が複数個ある場合の反射波のスペクトルを示すグラフである。
【図１４】本発明の他の実施形態に係る超音波式漏れ検査装置の概略平面図である。
【図１５】本発明の他の実施形態に係る超音波式漏れ検査装置の垂直横断面図である。
【図１６】従来の検査装置の概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面に基づいて本発明を詳細に説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向や位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、及びそれらの用語を含む別の用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した発明の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本発明の技術的範囲が制限されるものではない。また、複数の図面に表れる同一符号の部分は同一もしくは同等の部分又は部材を示す。
さらに以下に示す実施形態は、本発明の技術思想の具体例を示すものであって、本発明を以下に限定するものではない。また、以下に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、特定的な記載がない限り、本発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、例示することを意図したものである。また、一の実施の形態、実施例において説明する内容は、他の実施の形態、実施例にも適用可能である。また、図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため、誇張していることがある。
【００１１】
本発明の第１の発明の超音波式漏れ検査装置は、検査液中に被検査物を水没させた状態で、被検査物から漏れ出る気泡の有無を検出して漏れを検査する。この超音波式漏れ検査装置は、被検査物を検査液に水没させる検査液槽と、検査液槽の内側に配置されて検査液に超音波を放射する超音波送信部と、検査液槽の内側に配置されて検査液の超音波振動を受信する超音波受信部とを備えている。超音波送信部は複数の超音波振動子を備え、超音波受信部は複数の超音波センサを備えている。超音波振動子と超音波センサは、交互に横並びに配置されており、超音波振動子が、検査液槽の対向壁に向かって超音波振動を放射する姿勢に配置されて、超音波センサが、検査液槽の対向壁の方向から入射する超音波振動を受信する姿勢に配置されている。
【００１２】
以上の超音波式漏れ検査装置は、検査液槽の内側に、超音波振動子と超音波センサとを交互に横並びに配置して、超音波振動子は、検査液槽の対向壁に向かって超音波振動を放射する姿勢に、超音波センサは、検査液槽の対向壁の方向から入射する超音波振動を受信する姿勢に配置している。この検査装置は、横並びに配置している複数の超音波振動子が、所定の間隔で複数列の送信ビームを対向壁に向かって放射する。送信ビームが複数列に対向壁に向かって放射されて、検査液槽の内部には、検査液が超音波振動される超音波振動層ができる。超音波振動層は、横並びに配列される複数列の送信ビームで形成される。超音波振動子は、所定の指向性（放射角）で超音波振動を放射するので、隣の超音波振動子の送信ビームが互いに重なりあってほとんど隙間なく超音波振動層ができる。送信ビームの放射角は超音波振動子の指向性で特定される。超音波振動子の指向性は、周波数やホーンの形状等で調整できるが、一般的には送信ビームの半値角（θ）が約８〜３０度である。半値角（θ）は、超音波振動の強さが１／２に半減する角度で、指向性を表す指標のひとつである。半値角（θ）は、角度をずらして超音波振動の強度を測定して、信号レベルが中心軸の１／２に低下する角度である。したがって、超音波振動子は、半値角（θ）の内側において超音波振動の強さを、送信ビームの中心軸の１／２以上にできる。
【００１３】
超音波振動層は、送信ビームの半値角（θ）の内側において、中心軸の超音波振動の１／２以上となる。図６において、超音波振動子４に接近する領域において、送信ビームの内側に位置しない半値角（θ）の外側領域２４ができる。外側領域２４は、送信ビームの中心軸４ｘの振動強度の１／２以下となるが、超音波振動子４に極めて近い位置にあり、中心軸４ｘの振動強度が強いので、この領域を通過する気泡も、超音波振動に励起されて反射波を放射する。したがって、超音波振動層２２を通過する気泡は、超音波振動に励起されて充分な強度で反射波を放射する。
【００１４】
超音波振動層を通過する気泡からの反射波は、超音波振動子の隣に配置している超音波センサに高い感度で受信される。超音波振動子と交互に、横並びに配置された複数の超音波センサは、高い感度で超音波振動を受信する超音波受信層を形成している。超音波センサは、超音波振動子に近似する指向性を示し、最高感度の１／２以上の受信感度で超音波振動を受信する半値角（θ）から受信ビームの入射角が特定される。横並びに配置している複数の超音波センサで形成される複数列の受信ビームで、反射波を高感度に受信できる超音波受信層が検査液中に設けられる。超音波振動子と超音波センサは交互に横並びに配置されるので、超音波振動層と超音波受信層は、ほぼ同じ面に配置される。気泡は、超音波振動層を通過する時に反射波を放射する。超音波受信層は超音波振動層とほぼ同じ層にあるので、超音波振動層で気泡が放射する反射波は、超音波センサが高い感度で受信する。図７において、超音波受信層２３も、超音波センサ５に極めて近い領域で、受信ビーム外に位置する外側領域２５ができる。しかしながら、この外側領域２５も超音波センサ５に極めて近い位置にあるので、受信ビームの中心軸５ｘに対して受信感度が゜１／２以下に低下しても、超音波センサ５との距離が近いので、高い感度で受信される。超音波センサ５が受信する信号強度が、距離の二乗に比例して低下するので、近くなると極めて強くなるからである。
【００１５】
したがって、以上の超音波式漏れ検査装置は、検査液槽のほぼ全面に位置する超音波振動層を気泡が通過するときに反射波を放射し、さらに、この反射波が超音波センサで高い感度で受信され、検査液槽を広い領域で浮上する全ての気泡を確実に検出できる特徴を実現する。
【００１６】
本発明の第２の発明の超音波式漏れ検査装置は、超音波振動子と超音波センサを、検査液槽の内面に水平方向に伸びる直線上に交互に横並びに配置している。
【００１７】
この漏れ検査装置は、超音波振動子が超音波を放射する超音波振動層と、超音波センサが高い感度で反射波を受信する超音波受信層とを同一面に配置できるので、超音波センサが特に高い感度で気泡の反射波を受信して、微弱な気泡をも確実に検出できる特徴がある。
【００１８】
本発明の第３の発明の超音波式漏れ検査装置は、超音波振動子と超音波センサを、検査液槽の内面に、ジグザグ状に横並びに配置している。
【００１９】
本発明の第４の発明の超音波式漏れ検査装置は、超音波振動子と超音波センサを同じ個数としている。
【００２０】
本発明の第５の発明の超音波式漏れ検査装置は、超音波振動子と超音波センサを、送信ビームと受信ビームの中心軸を平行ないしほぼ平行とする姿勢で配置している。
【００２１】
本発明の第６の発明の超音波式漏れ検査装置は、超音波送信部が、複数の超音波振動子を複数のブロックに分割して、隣接するブロックの超音波振動子が異なる周波数の超音波振動を放射している。
【００２２】
以上の検査装置は、超音波センサが受信する超音波の周波数で、気泡の位置を正確に判定できる特徴がある。
【００２３】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１に係る超音波式漏れ検査装置を図１〜図３に示す。図１は超音波式漏れ検査装置の概略斜視図を、図２は漏れ検査装置の垂直横断面図を、図３は漏れ検査装置の平面図をそれぞれ示している。これらの図に示す超音波式漏れ検査装置１００は、被検査物Ｗを検査液Ｌに水没させる検査液槽１と、検査液槽１の内側に配置されて検査液Ｌに超音波を放射する超音波送信部２と、検査液槽１の内側に配置されて検査液Ｌの超音波振動を受信する超音波受信部３とを備えている。さらに、図の超音波式漏れ検査装置１００は、超音波送信部２と超音波受信部３に接続しているコントローラ３０を備えている。
【００２４】
（検査液槽１）
図１に示す検査液槽１は、上方の開口部を四角形とする直方体形状であって、底板１５の周囲に周壁１０を設けている。周壁１０は、第１の周壁１１ないし第４の周壁１４からなり、第１の周壁１１と第３の周壁１３を対向位置に配置して、第２の周壁１２と第４の周壁１４を対向位置に配置している。図１の検査液槽１は、上方開口部を長方形とする細長い直方体である。この検査液槽１は、第１の周壁１１と第３の周壁１３を、平面視における長手方向の両側に設けた側面板とし、第２の周壁１２と第４の周壁１４を長手方向の両端に設けた端面板としている。図の検査液槽１は、第１の周壁１１の内側に、超音波送信部２と超音波受信部３を配置して設けている。超音波送信部２と超音波受信部３は、周壁１０の上部であるが、液面レベルよりも下に配置され、超音波送信部２から検査液Ｌに超音波振動を放射して気泡Ｂを超音波振動で励起し、励起された気泡Ｂからの超音波振動を超音波受信部３で受信して気泡を検出する。
【００２５】
（超音波送信部２、超音波受信部３）
超音波送信部２と超音波受信部３は、検査液槽１の内側であって、同一面に配置されている。超音波送信部２は複数の超音波振動子４を備え、超音波受信部３は複数の超音波センサ５を備えている。超音波振動子４と超音波センサ５は、交互に横並びに配置されており、超音波振動子４は、水平ないしほぼ水平方向に超音波振動を放射し、超音波センサ５は水平ないしほぼ水平方向に入射する超音波振動を受信する。水平ないしほぼ水平方向に超音波振動を放射する超音波振動子４は、検査液槽１の対向壁７である第３の周壁１３に向かって超音波振動を放射し、水平ないしほぼ水平方向に超音波振動が入射する超音波センサ５は、第３の周壁１３の方向から入射する超音波振動を高い感度で受信する。
【００２６】
図１及び図３の漏れ検査装置１００は、第１の周壁１１の内面に、水平方向に伸びる直線上に、超音波振動子４と超音波センサ５を交互に横並びに配置している。ただ、超音波式漏れ検査装置は、図４及び図５に示すように、超音波振動子４と超音波センサ５を、検査液槽１の内面に、ジグザグ状に横並びに配置することもできる。
【００２７】
交互に横並びに配置される超音波振動子４と超音波センサ５は、同じ個数とし、あるいは超音波センサ５を超音波振動子４よりもひとつ多くして、横並びに配置する両端に超音波センサ５を配置し、あるいは超音波振動子４を超音波センサ５よりもひとつ多くして、横並びに配置する両端に超音波振動子４を配置することもできる。
【００２８】
超音波振動子４と超音波センサ５は、超音波振動を放射する送信ビームの中心軸４ｘと、超音波振動を最大感度で受信する受信ビームの中心軸５ｘを、好ましくは水平ないしほぼ水平方向とする。水平方向に放射される超音波振動は、検査液槽１の第１の周壁１１から第３の周壁１３までの間を最短距離で移動して、この間の気泡Ｂを充分な強度の超音波振動で励起でき、また、この間を移動する気泡Ｂからの超音波振動を高い感度で受信できる。ただし、本発明の超音波式漏れ検査装置は、超音波振動子と超音波センサを、送信ビームの中心軸と受信ビームの中心軸が、たとえば、１５度以下の角度に多少傾斜する姿勢に配置することもできる。
【００２９】
横並びに配置している複数の超音波振動子４は、所定の間隔で複数列の送信ビームを対向壁７である第３の周壁１３に向かって水平ないしほぼ水平方向に放射する。検査液槽１の内部で検査液Ｌの上部には、図６に示すように、複数の送信ビームによって検査液が超音波振動される超音波振動層２２ができる。各々の超音波振動子４が放射する超音波振動の複数列の送信ビームは、互いに重なりあって超音波振動層２２を形成する。送信ビームの放射角は、超音波振動の強度が１／２に低下する半値角（θ）を約８〜３０度とする角度である。
【００３０】
超音波送信部２は、複数の超音波振動子４を、超音波の放射方向、すなわち送信ビームの中心軸４ｘを平行とする姿勢で、所定の間隔で水平方向に並べて、送信ビームを放射する。超音波送信部２は、複数の超音波振動子４で超音波振動を放射して、送信ビームを平行に並べて、検査液Ｌを浮上する気泡Ｂを検出する超音波振動層２２を構成する。超音波振動子４の間隔は、超音波振動層２２にほぼ均一に超音波を放射する間隔に設定される。超音波振動子４の間隔が広すぎると、超音波振動子４の間の超音波振動が弱くなって、この領域を浮上する気泡Ｂを確実に検出できなくなる。超音波振動子４の間隔を狭くして、超音波振動層２２の全体を充分な強度の超音波振動にできるが、超音波振動子４の個数が多くなって部品コストが高くなる。したがって、超音波振動子４の間隔は、超音波振動層２２をほぼ均一な超音波振動としながら、できる限り超音波振動子４の個数を少なくするように、たとえば、１ｃｍよりも広く、５ｃｍよりも狭くする。
【００３１】
超音波振動子４は、送信ビームの半値角（θ）で超音波振動を放射する角度が特定されるので、超音波送信部２に配置される複数の超音波振動子４は、送信ビームの半値角（θ）で隣接する超音波振動子４の間隔を最適値に調整し、半値角（θ）の大きい超音波振動子４は間隔を広く、半値角（θ）の小さい超音波振動子４は間隔を狭くする。このことから、超音波振動子４の間隔は、前述した範囲には特定されず、超音波振動子４の特性、検査する精度などを考慮して最適値に設定される。
【００３２】
超音波受信部３は、複数の超音波センサ５を水平方向に並べて配置している。超音波センサ５は、超音波振動を受信する角度、すなわち超音波振動が入射する角度で受信感度が変化する。受信ビームの中心軸５ｘの方向から入射する超音波振動の感度が最大となる。超音波送信部２は、複数の超音波振動子４を水平方向に並べて配置している。超音波振動子４は、送信ビームの中心軸４ｘの方向に最も強く超音波振動を放射する。図３の平面図に示すように、超音波センサ５と超音波振動子４は、交互に横並びに配置されて、超音波振動子４の超音波振動に励起された気泡の反射波を超音波センサ５で受信する。この構造の超音波式漏れ検査装置１００は、各々の超音波振動子４から放射される超音波振動によって形成されて超音波振動層２２を浮上する気泡からの反射波を超音波センサ５が高い感度で受信できる。超音波センサと超音波振動子と交互に横並びに配置されるので、隣接する超音波センサ５の間隔は、超音波振動子４と同じ間隔とする。
【００３３】
超音波振動層２２を通過する気泡Ｂからの反射波は、超音波振動子４の隣に配置している超音波センサ５が高い感度で受信する。超音波振動子４と交互に配置されて、超音波振動子４に隣接して配置される超音波センサ５は、隣の超音波振動子４が放射した超音波振動で励起された気泡Ｂからの反射波を高い感度で受信する。横並びに配置している複数の超音波センサ５は、図７に示すように、超音波振動子４と同じように、複数列の受信ビームで超音波受信層２３を形成して、超音波受信層２３を通過する気泡Ｂからの反射波を高い感度で受信する。横並びに配置している複数の超音波センサで形成される複数列の受信ビームで構成される超音波受信層２３は、検査液Ｌの上部であって、超音波振動層２２と同一平面に位置する。超音波振動子４と超音波センサ５は交互に横並びに配置されるからである。
【００３４】
気泡Ｂは、超音波振動層２２を浮上する時に超音波振動に励起されて反射波を放射する。気泡Ｂが超音波振動に励起される超音波振動層２２は、超音波センサ５が超音波振動を受信する超音波受信層２３と同じ層にあって、超音波受信層２３で気泡Ｂが放射する超音波振動は、超音波センサ５に高い感度で受信される。
【００３５】
図４及び図５に示すように、超音波振動子４と超音波センサ５をジグザグ状に配置する超音波式漏れ検査装置２００は、複数列の送信ビームで構成される超音波振動層２２と、複数列の受信ビームで構成される超音波受信層２３が完全に同一平面でなく、ほぼ同一平面に位置するが、正確には上下に位置ずれしている。超音波受信層２３と超音波振動層２２がほぼ同一平面に配置する漏れ検査装置は、超音波センサ５の受信感度の高い超音波受信層２３が、超音波振動層２２に接近するので、気泡Ｂからの反射波を確実に受信できる。
【００３６】
超音波式漏れ検査装置１００、２００において、気泡の反射波の受信レベルを高くすることは、微細な気泡の検出に有効である。超音波センサ５が、受信感度を高くして低レベルの反射波を受信できるからである。超音波式漏れ検査装置１００、２００は、超音波センサ５が気泡の反射波を受信して気泡を検出するので、いかに高感度で反射波を検出できるかは、漏れ検査装置においても微細な気泡の検出において極めて重要である。
【００３７】
このことから、微弱な信号レベルの反射波を確実に安定して検出することは、漏れ検査装置において極めて重要である。気泡が超音波振動に励起される超音波振動層２２と、気泡が放射する超音波振動を高い感度で受信する超音波受信層２３を、同一又は、ほぼ同一平面に配置する検査装置は、気泡が超音波振動に励起されて放射する反射波を高い確度で受信して、微弱な気泡を確実に検出する。
【００３８】
以上の漏れ検査装置１００、２００は、以下の状態で使用されて被検査物Ｗの漏れを検出する。
検査液槽１に充填された検査液Ｌに被検査物Ｗを水没させる。被検査物Ｗは、浮上する気泡Ｂの反射波を超音波受信部３で受信できるように、超音波送信部２と超音波受信部３を配置した水平面よりも低い位置まで被検査物Ｗを水没させ、被検査物Ｗを超音波振動層２２と超音波受信層２３の下方に配置する。
【００３９】
また、超音波送信部２及び超音波受信部３は、コントローラ３０と接続される。コントローラ３０は、超音波受信部３で受信した反射波を検出して気泡Ｂの有無を検出する気泡検出部（図示せず）を備える。コントローラ３０は、外付けのコンピュータ等の外部機器とすることもできるが、超音波式漏れ検査装置自体にコントローラ３０を組み込むことにより、外部機器を付加することなく気泡検出やその位置、量の検出を実現できる。コントローラ３０には、超音波受信部３が検出した反射波の周波数偏移や信号レベルから、浮上する気泡Ｂを検出して表示する表示部（図示せず）を備える。表示部はＣＲＴや液晶パネル等とすることができる。またコントローラ等の部材を操作するための操作パネルやコンソール、キーボード等の入力デバイスを必要に応じて設ける。
【００４０】
さらに、検査液槽１内には、検査液Ｌに水没された被検査物Ｗの内部に圧縮空気を供給するためのエアー配管３１を備える。これにより、被検査物Ｗに圧縮空気を送出して、被検査物Ｗに小孔や亀裂が存在する場合に小孔や亀裂から気泡Ｂの漏れを生じさせる。気泡Ｂは検査液槽１内の検査液Ｌ中を上昇し、検査液Ｌの液面に到達して破消する。超音波振動子４から放射する超音波振動は、超音波振動層２２を浮上する気泡Ｂを励起して反射波を放射する。超音波受信部３は、超音波振動で励起された気泡Ｂが放射する超音波振動を受信する。コントローラ３０は、気泡Ｂが放射する超音波振動の周波数偏移や信号レベルから、気密漏れを判定する。さらに、コントローラ３０は、超音波センサ５が受信する周波数偏移や信号レベルから気泡Ｂの位置、発生量なども検出する。
【００４１】
検査液槽１は、検査液Ｌを蓄える水槽であり、上方を開口した略矩形状の容器型に形成される。検査液槽１は、周壁の内面に、超音波送信部２と超音波受信部３を配置している。超音波送信部２の超音波振動子４は、水平ないしほぼ水平方向に超音波振動を放射する。コントローラ３０は、気泡Ｂの反射波を検出する各々の超音波センサ５の信号レベルから、気泡Ｂの発生位置を検出できる。また漏れ検査装置１００、２００は、各超音波振動子４から各々超音波を時分割で線状にバースト放射して、各々の超音波センサ５が受信する信号レベルで気泡Ｂの位置も検出できる。
【００４２】
超音波送信部２は、全ての超音波振動子４から同時に超音波を放射し、あるいは、隣接する超音波振動子４を時分割に切り替えて超音波を放射する。隣接する超音波振動子４が、時分割に切り換えて順番に超音波を放射する漏れ検査装置は、隣接する超音波振動子４の干渉を防止し、高い分解能で気泡Ｂの位置を検出できる。図８は、複数の超音波振動子４から時分割で超音波を発生させるタイミングチャートを示す。この図に示すように、バースト状の超音波を発生させるタイミングを時分割で切り替え、検査液槽１中を超音波振動子４の配列方向に隙間無く順次走査するように超音波を放射する。これによって、超音波を放射したタイミングから反射波を検出するまでの時間差と、どこの超音波センサ５が反射波を高い信号レベルで受信したかを検出して、気泡Ｂの発生位置つまり漏れ位置を特定できる。
【００４３】
被検査物Ｗは、気密性や亀裂、小孔の発生を検出したい部材であり、検査液Ｌに水没可能なあらゆる部材が対象となる。例えば、燃料タンク、車両用触媒コンバータ、マフラー等である。また検査液Ｌは、被検査物Ｗに腐食等の損傷を与えない、あるいはその影響の少ない液体が選択され、例えば水等である。検査液Ｌは防錆剤の水溶液を使用することが望ましく、また必要に応じて気泡流動や超音波伝搬を考慮した粘度、温度に調整する。
【００４４】
超音波振動子４は、ＭＨｚオーダーの超音波を送信する。検査液Ｌでの減衰を考慮して、好ましくは１ＭＨｚ以上２０ＭＨｚ以下の超音波を使用し、信号処理回路の容易さ等から１ＭＨｚから２ＭＨｚが望ましい。超音波は気泡Ｂに当たるとその９０％以上を反射するので、超音波センサ５は反射波を検出できる。また気泡Ｂが検査液Ｌ中を上昇する際には、検査液Ｌに上昇を阻まれ、螺旋運動や振り子運動、表面形状の変化等の揺動を伴って浮上するので、ＭＨｚオーダーの超音波を水平方向から放射するとその反射波は揺動に伴う周波数偏移を生じる。周波数偏移は周波数の変化量、言い換えれば振動数の変化量であり、通常ヘルツ（Ｈｚ）で表わされる。このように気泡の揺動に応じて、反射波の周波数偏移の量が異なる。したがって、これらを検出することで気泡の状態を検出でき、ひいては被検査物Ｗの気密性や漏れ量等を検出できる。
【００４５】
気泡の状態を検出する方法を、図９〜図１３に基づいて説明する。まず、図９を気泡がないときの反射波の受信信号とする。このように、気泡がない場合は超音波の放射波の周波数とほぼ同じ位置にピークが表れる。
【００４６】
検査液Ｌ内を浮上する気泡Ｂは検査液Ｌの粘性によって気泡Ｂの大きさに係わる異なった揺動を示す。例えば、小さい気泡の揺動は水平方向の軌跡の変化が支配的であるためその周波数のパワースペクトルは裾野の狭い鋭い波形となり、大きい気泡の揺動は水平方向の軌跡の変化と気泡の表面形状の歪みの双方が支配的となるためその周波数のパワースペクトルは裾野の広い波形となるので、揺動に伴って生じる反射波の周波数のパワースペクトルの形状は気泡の大きさに係わりを持った形状となり、この周波数のパワースペクトルの面積は気泡の量つまり気泡の大きさに相当する。検査液Ｌを使用した超音波式漏れ検査装置１００、２００の気泡検出部において、送信周波数を除くピーク周波数のパワースペクトル値とこのピーク周波数から一定の幅の１つ以上の周波数でのパワースペクトル値との差を算出することにより、周波数のパワースペクトルの形状つまり周波数のパワースペクトルの面積を求めることができ、気泡の大きさ、すなわち気泡の体積、言い換えれば漏れ量が検出できる。
【００４７】
さらに、反射波は、同一の小孔や亀裂の位置からの漏れに伴う気泡が１個の場合には気泡の揺動に伴う周波数のパワースペクトルが、超音波振動子４が放射する超音波の周波数によるピークを除き唯一のピークを有するが、気泡が複数の場合にはそれぞれの気泡が少し異なった揺動を示すために一定の範囲内に複数のピークを有するような周波数のパワースペクトル波形となり、実際にはこれらのピークを有する周波数のパワースペクトルの重畳により複数のピークを有し且つ周波数のパワースペクトルの裾野が幅広く持ち上がるような波形を示すこととなる。検査液Ｌを使用した超音波式漏れ検査装置１００、２００の気泡検出部において一定の周波数範囲内の周波数のパワースペクトルの変化量を計測することにより気泡の総量すなわち漏れ量を算出することができ、ピークの数を求めることにより気泡の数が検出できる。
【００４８】
反射波について、以上をまとめると、微少気泡が１個のときの反射波は、図１０に示すように主ピークから離れた周波数で小ピークが見られ、例えば放射波の主ピークよりも高い周波数に半値幅の狭い小ピークが検出される。一方、微小気泡が複数個あるときの反射波は、図１１に示すように、主ピークから離れた位置に複数の小ピークが見られる。ここでは放射波である主ピークの近傍で複数の小ピークが検出される。さらに大きな気泡が１個あるときの反射波は、図１２に示すように幅広の小ピークが観察される。また大きな気泡が複数個あるときの反射波は、図１３に示すように幅広の小ピークが複数形成される結果、スペクトル全体がブロードに嵩上げされる状態となる。このように反射波は気泡の大きさ及び数と相関しており、このような差異を用いることで、気泡量すなわち漏れ量を換算できる。
【００４９】
また、漏れ検査装置は、超音波を気泡に放射して気泡の揺動を能動的に生じさせ、この変化を受信信号の位相・周波数変化等として検出することで、高精度な気泡検出を図ることができる。例えば、気泡が検査液Ｌ中を上昇する際には、検査液Ｌの粘性に伴う抵抗力によって上昇を阻まれ、その結果として検査液Ｌの流動や地球の自転等の微少な影響を伴って螺旋運動や振り子運動、表面形状の変化等の揺動を生じる。これらの揺動は気泡の大きさと相関関係を有しているが、些細な力学的影響により変化を生じるため現実的には再現性が低い。しかし、比較的パワーの大きい超音波を水平方向から気泡に放射することで、気泡の大きさに係わる固有の揺動を誘導することができ、気泡の大きさに相関関係を有する揺動の再現性を高めることができる。例えば、大きな気泡においては超音波を水平方向から受けたとしても表面の形状が変化するだけで気泡の水平位置はほとんど変化しない、一方、小さな気泡においては超音波を水平方向から受けると放射方向に相対的な位置の移動を生じる。これにより反射波に気泡の大きさに相関関係を有する位相及び周波数の変化を能動的に生じさせると共に、特徴が発散しがちな揺動を気泡の大きさに係わる特定の揺動に収束させ、安定した気泡量の算出が可能となる。
【００５０】
このように、スペクトル波形の変化を観察することで、気泡の数及び大きさを把握することができる。スペクトル波形の観察は、演算処理により定量的に処理することができる。例えばスペクトルのピーク位置や半値幅、平均値等を演算し、所定の基準値や閾値と比較することでこれらの判定を自動化することが可能となる。この演算及び判定は、コントローラ３０で行う。
【００５１】
また、本実施の形態では、一般的に被検査物内に供給する気体として空気を用いる為、ヘリウムガス拡散式に比べるとランニングコストが安く、水素ガス拡散式では困難な水素吸脱性部品であるアルミや炭素繊維等の材料が使われている被検査物にも適用可能である。
【００５２】
（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２にかかる超音波式漏れ検査装置を図１４に示す。この図に示す超音波式漏れ検査装置３００は、超音波送信部２が、複数の超音波振動子４を複数のブロック９に分割しており、隣接するブロック９の超音波振動子４が異なる周波数の超音波振動を放射して、気泡の位置を正確に判定する。超音波送信部２は、好ましくは、各々のブロック９にひとつの超音波振動子４を配置し、すなわち、ひとつの超音波振動子４でひとつのブロック９を構成して、隣接する超音波振動子４が異なる周波数の超音波振動を放射する。この漏れ検査装置３００は、超音波放射面に周波数が異なる複数列の送信ビームを放射して、周波数が異なる送信ビームのピッチを狭くして、気泡Ｂの位置をより高い分解能で特定できる。ただし、漏れ検査装置は、各々のブロックを複数の超音波振動子で構成することもできる。
【００５３】
隣接するブロック９が放射する周波数差を大きくして、どこの超音波振動子４からの超音波を受信したかを確実に識別できるが、超音波振動子４は、共振周波数からずれると超音波の放射効率が低下するので、隣接するブロック９が放射する超音波振動の周波数差は、好ましくは、超音波振動子４の共振周波数の１０％以下とする。超音波振動子４は、放射する超音波振動の周波数を、好ましくは１ＭＨｚないし３ＭＨｚ、たとえば、１ＭＨｚ又は２ＭＨｚとするので、ブロック９が放射する超音波振動の周波数差は、たとえば３０Ｈｚよりも大きく、２００ＫＨｚよりも小さい範囲とする。この漏れ検査装置３００は、全ての超音波送信部２を、同じ共振周波数の超音波振動子４を使用して、隣接するブロック９の超音波振動子４の周波数を異なる周波数にできる。
【００５４】
超音波送信部２は、たとえば、隣接するブロック９の超音波振動子４が放射する超音波振動の周波数を、ブロック９の配列方向に、交互に高くなり、かつ低くなる周波数とすることで、全体の周波数範囲を狭くしながら、隣のブロック９の超音波振動子４は異なる周波数の超音波を放射できる。たとえば、図１４に示すように、共振周波数を２ＭＨｚとする１５個の超音波振動子４を横並びに配置して、以下の周波数の超音波振動を放射して、隣接する超音波振動子４が異なる周波数の超音波を放射することができる。
【００５５】
第１番目の超音波振動子が放射する超音波振動の周波数……２０１５ｋＨｚ
（周波数差７０Ｈｚ低下）
第２番目の超音波振動子が放射する超音波振動の周波数……１９４５ｋＨｚ
（周波数差７５Ｈｚ上昇）
第３番目の超音波振動子が放射する超音波振動の周波数……２０２０ｋＨｚ
（周波数差７０Ｈｚ）
第４番目の超音波振動子が放射する超音波振動の周波数……１９５０ｋＨｚ
（周波数差７５Ｈｚ上昇）
第５番目の超音波振動子が放射する超音波振動の周波数……２０２５ｋＨｚ
（周波数差７０Ｈｚ）
第６番目の超音波振動子が放射する超音波振動の周波数……１９５５ｋＨｚ
（周波数差７５Ｈｚ上昇）
第７番目の超音波振動子が放射する超音波振動の周波数……２０３０ｋＨｚ
（周波数差７０Ｈｚ）
第８番目の超音波振動子が放射する超音波振動の周波数……１９６０ｋＨｚ
（周波数差７５Ｈｚ上昇）
第９番目の超音波振動子が放射する超音波振動の周波数……２０３５ｋＨｚ
（周波数差７０Ｈｚ）
第１０番目の超音波振動子が放射する超音波振動の周波数…１９６５ｋＨｚ
（周波数差７５Ｈｚ上昇）
第１１番目の超音波振動子が放射する超音波振動の周波数…２０４０ｋＨｚ
（周波数差７０Ｈｚ）
第１２番目の超音波振動子が放射する超音波振動の周波数…１９７０ｋＨｚ
（周波数差７５Ｈｚ上昇）
第１３番目の超音波振動子が放射する超音波振動の周波数…２０４５ｋＨｚ
（周波数差７０Ｈｚ）
第１４番目の超音波振動子が放射する超音波振動の周波数…１９７５ｋＨｚ
（周波数差７５Ｈｚ上昇）
第１５番目の超音波振動子が放射する超音波振動の周波数…２０５０ｋＨｚ
【００５６】
各ブロック９の超音波振動の周波数を以上に設定する超音波送信部２は、隣のブロック９との周波数差が７０Ｈｚ、又は７５Ｈｚと大きくして、気泡Ｂがどのブロック９の超音波振動に励起されたかを正確に判定して、気泡Ｂの位置を正確に特定できる。また、以上の超音波送信部２は、ブロック９の配列方向に、ブロック９の超音波振動子４が放射する超音波の周波数を交互に高く、また低くして、奇数番のブロック９から偶数番のブロック９には周波数を低くして、偶数番のブロック９から奇数番のブロック９には周波数を高くして、隣のブロック９の超音波振動差を７０Ｈｚ、又は７５Ｈｚと大きくしながら、全体の周波数幅を、最低周波数の１９４５ｋＨｚから最高周波数の２０５０ｋＨｚとして、共振周波数の２ＭＨｚに対して−２．７５％〜＋２．５％と１０％以下の範囲に設定している。
【００５７】
さらに、以上のように、超音波送信部２が、全てのブロック９の超音波振動子４の放射超音波の周波数を異なる周波数に設定する漏れ検査装置３００は、超音波受信部２が受信する周波数で送信ビームを特定して、気泡Ｂの位置を正確に検出できる特徴がある。また、各々のブロック９の超音波振動子４の周波数が、特定周波数の高調波とならない周波数に設定することで、超音波受信部３が受信する周波数で送信ビームを誤り無く判定できる特徴もある。
【００５８】
以上の漏れ検査装置３００は、隣接して横並びに配置している複数の超音波振動子４が異なる周波数の超音波を放射し、複数の超音波振動子４と、これに隣接して配置している超音波センサ５とをペアとして反射波を検出する。超音波センサ５が受信する超音波振動の周波数から、気泡が励起された超音波の周波数を特定して、気泡を励起した超音波振動子４を検出して、気泡の位置を判定する。この漏れ検査装置３００は、超音波センサ５が受信する超音波振動の周波数から超音波センサ５を特定するので、気泡の位置、すなわち漏れ位置を正確に検出できる。
【００５９】
以上の超音波式漏れ検査装置は、検査液槽１に貯留された検査液Ｌに被検査物Ｗを水没させた状態で、超音波送信部２から検査液Ｌに超音波振動を放射し、気泡Ｂで励起された信号を超音波受信部３で受信することにより、気泡を検出している。このため、超音波式漏れ検査装置は、検査液槽１の内部に所定量の検査液Ｌを貯留できる構造としている。ここで、検査液槽１に貯留される検査液Ｌは、被検査物Ｗを水没させる際の流動によって、あるいは、放射される超音波振動の直接波や反射波の振動によって、あるいはまた、検査液中を浮上する気泡Ｂが水面近くではじける際の衝撃等によって、液面が波立つ場合がある。液面で発生する波は、検査液中を伝わる超音波を乱反射させる原因となり、これによりノイズが発生して超音波センサの受信感度が低下するおそれがある。したがって、この種の超音波式漏れ検査装置にとって、検査液槽１に貯留された検査液Ｌの液面が波立つことは決して好ましい状態ではない。このように、検査液Ｌの液面が波立つのを防止するために、超音波式漏れ検査装置は、以下に示す構造とすることもできる。
【００６０】
（実施の形態３）
図１５に示す超音波式漏れ検査装置４００は、検査液槽１に貯留される検査液Ｌをオーバーフローさせて排液することにより、検査液Ｌの液面が波立つのを防止している。図の超音波式漏れ検査装置４００は、検査液槽１に貯留される検査液Ｌをオーバーフローさせるために、検査液槽１に設けた排液部１６と、検査液槽１に検査液Ｌを供給する給液部１７とを備えている。
【００６１】
検査液槽１に形成される排液部１６は、たとえば、特定の周壁を他の周壁よりも低く形成することによって構成することができる。図１５に示す検査液槽１は、平面視において長方形状の４辺を構成する周壁１０のうち、１辺である第３の周壁１３を他の３辺の周壁１０よりも低く形成して、検査液槽１内の検査液Ｌをオーバーフローさせる排液部１６としている。この排液部１６は、第３の周壁１３の上端縁が水平姿勢となるようにカットして形成されており、検査液槽１に貯留される検査液Ｌの液面を均一にオーバーフローさせて排液できるようにしている。とくに、検査液槽１に形成される排液部１６は、検査液Ｌをオーバーフローさせる周壁の全長にわたって設けることで、水面付近の検査液Ｌを、排液部となる周壁全体から均一にオーバーフローさせて排液できる。ただ。排液部は、特定の周壁の一部を低く形成して設けることもできる。
【００６２】
さらに、検査液槽は、図示しないが、平面視において長方形状の４辺を構成する周壁のうち、２辺の周壁を他の２辺の周壁よりも低く形成して排液部とすることも、３辺の周壁を他の１辺の周壁よりも低く形成して排液部とすることもできる。とくに、長方形を構成する４辺のうち、対向する２辺の周壁を他の２辺の周壁よりも低く形成して排液部を設ける構造は、水面近くの検査液を検査液槽の両側方向にオーバーフローさせてスムーズに排液できる。さらに、検査液槽１は、必ずしもいずれかの周壁を他の周壁よりも低く形成する必要はなく、全ての周壁を同じ高さとして、周壁の全周の上端を排液部として周壁全体からオーバーフローさせて排液することもできる。
【００６３】
以上のように、検査液槽１に貯留される検査液Ｌをオーバーフローさせる超音波式漏れ検査装置４００は、液面近くの検査液Ｌを、図１５の矢印で示すように排液部１６に流動させてオーバーフローさせるので、検査液Ｌの液面が継続的に波立つのを有効に防止でき、液面に発生する波による悪影響を効果的に防止してノイズを低減できる。
【００６４】
給液部１７は、検査液Ｌを連続して検査液槽１に供給して、過剰となる検査液Ｌを検査液槽１からオーバーフローさせる。このような給液部１７として、たとえば、給液ポンプや、高低差による圧力を利用した給液機構が使用できる。とくに、検査液Ｌを水とする場合においては、給液部１７を水道として、蛇口や給水栓から供給される水道水を検査液槽１に給水することもできる。以上の給液部１７は、検査液槽１に連続供給する検査液Ｌの供給量を調整することで検査液槽１からのオーバーフロー量を調整できる。給液部１７は、検査液槽１に貯留される検査液Ｌの液面が波立つのを抑制できるオーバーフロー量となるように、検査液Ｌの供給量を調整する。
【００６５】
図１５に示す検査液槽１は、給液部１７から検査液Ｌが供給される供給部１８を、検査液槽１の上部に配置している。この構造は、液面に近い位置に検査液Ｌを供給することで、検査液槽１内の検査液全体を流動させることなく、水面近くの検査液Ｌのみを流動させることで、効率よくオーバーフローして配液できる。この漏れ検査装置は、検査液槽１の内部における検査液Ｌの流動を抑制することで、検査液中を上昇する気泡Ｂへの影響を低減しながら、気泡Ｂを正確に検出できる。
【００６６】
さらに、検査液槽は、図示しないが、給液部から検査液が供給される供給部を、検査液槽の底部に配置することもできる。この構造は、検査液槽の底部に配置される供給部から供給される検査液を、検査液槽の上部に流動させながらオーバーフローさせて排液できるので、検査液を経時的に新しいものに交換しながら検査できる。たとえば、汚れた被検査物を検査する場合等においては、検査液中の汚れ成分を排出することで、検査液を清澄にしながら検査を継続できる。このため、検査液中を浮遊する汚れ成分による、誤検出やノイズの発生を有効に防止しながら検査できる。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明の超音波式漏れ検査装置は、超音波計測センサを用いた水没式空気漏れ検査装置に好適に適用できる。また検査対象としては、エンジンブロック、ミッションケース、ショックアブソーバ、燃料パイプ、燃料タンク等の自動車部品、電気機器部品、ガス・水道器具、食品・薬品、医療器具等が挙げられる。例えば車両用触媒コンバータの空気漏れ検査や、密封充填の包装容器のピンホール等シール不良の検出に好適に利用できる。
【符号の説明】
【００６８】
１００、２００、３００、４００…漏れ検査装置
１…検査液槽
２…超音波送信部
３…超音波受信部
４…超音波振動子
４ｘ…中心軸
５…超音波センサ
５ｘ…中心軸
７…対向壁
９…ブロック
１０…周壁
１１…第１の周壁
１２…第２の周壁
１３…第３の周壁
１４…第４の周壁
１５…底板
１６…排液部
１７…給液部
１８…供給部
２２…超音波振動層
２３…超音波受信層
２４…外部領域
２５…外部領域
３０…コントローラ
３１…エアー配管
９０…検査装置
９１…検査液槽
９４…超音波振動子
９５…超音波センサ
Ｌ…検査液
Ｗ…被検査物
Ｂ…気泡
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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