(57)【要約】【課題】  リフロー炉内の対象物をカメラによって撮像する装置において、カメラから対象物までの距離が変化する場合でも、対象物を正しく撮像し得る技術を提供する。【解決手段】  リフロー炉内の対象物を撮像する装置は、対象物を撮像するカメラと、カメラから対象物までの距離の変化、又は当該変化をもたらす事象を検出する検出手段と、検出手段による検出結果に基づいて、カメラの焦点及び撮像範囲の少なくとも一方を補正する補正手段とを備える。【選択図】図１
2020177069.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リフロー炉内の対象物を撮像する装置であって、
前記対象物を撮像するカメラと、
前記カメラから前記対象物までの距離の変化、又は当該変化をもたらす事象を検出する検出手段と、
前記検出手段による検出結果に基づいて、前記カメラの焦点及び撮像範囲の少なくとも一方を補正する補正手段と、
を備える装置。
【請求項２】
前記検出手段は、前記カメラから前記対象物までの距離を測定する変位センサを有し、
前記補正手段は、前記変位センサによる測定結果に基づいて、前記カメラの焦点及び撮像範囲の少なくとも一方を補正する、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記検出手段は、前記リフロー炉内の圧力を示す圧力情報を取得可能であり、
前記補正手段は、前記検出手段が取得した前記圧力情報に基づいて、前記カメラの焦点及び撮像範囲の少なくとも一方を補正する、請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
前記検出手段は、前記リフロー炉内の温度を示す温度情報を取得可能であり、
前記補正手段は、前記検出手段が取得した前記温度情報に基づいて、前記カメラの焦点及び撮像範囲との少なくとも一方を補正する、請求項１から３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項５】
前記リフロー炉は、前記対象物が載置されるとともにヒータを内蔵するステージと、前記ステージに当接して前記ステージ及び前記対象物を冷却する冷却器と、前記冷却器を前記ステージに対して当接及び離間させるアクチュエータと、を有し、
前記検出手段は、前記アクチュエータの動作を示す動作情報を取得可能であり、
前記補正手段は、前記検出手段が取得した前記動作情報に基づいて、前記カメラの焦点及び撮像範囲の少なくとも一方を補正する、請求項１から４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項６】
前記リフロー炉は、前記対象物が載置されるステージを有し、
前記検出手段は、前記ステージに取り付けられた加速度センサを有し、前記加速度センサによる測定結果に基づいて前記ステージの変位を算出し、
前記補正手段は、前記検出手段が算出した前記ステージの変位に基づいて、前記カメラの焦点及び撮像範囲の少なくとも一方を補正する、請求項１から４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項７】
前記カメラは、前記リフロー炉の外部に配置され、前記リフロー炉に設けられた観察窓を通して前記対象物を撮像する、請求項１から５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項８】
前記カメラは、前記リフロー炉に取り付けられる、請求項１から７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項９】
前記補正手段は、前記カメラ又は前記カメラのレンズの位置を調整することにより、前記カメラの焦点及び撮像範囲の少なくとも一方を補正する、請求項１から８のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１０】
リフロー炉内の対象物を観察する装置であって、
前記対象物を撮像するカメラと、
前記カメラによって経時的に撮像された二以上の画像を比較して、焦点及び撮像範囲の少なくとも一方の変化量を検出する第１画像処理手段と、
前記第１画像処理手段による検出結果に基づいて、前記二以上の画像の少なくとも一つを画像処理することにより、前記焦点及び撮像範囲の少なくとも一方を補正する第２画像処理手段と、
を備える装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書が開示する技術は、リフロー炉内の対象物（例えば回路基板や電子部品）をカメラによって撮像する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１に、リフロー炉内に配置された対象物（プリント基板）を、カメラによって撮像する装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２５７４６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の装置では、対象物をカメラによって撮像したときに、カメラの焦点や撮像範囲が意図せず変化して、対象物を正しく撮像できないことがあった。本発明者らは、この問題に関して検証を重ねた結果、リフロー炉における機械的な動作や、リフロー炉内の温度や圧力の変動などによって、カメラから対象物までの距離が変化し得ることを確認した。カメラから対象物までの距離が変化すれば、カメラの焦点や撮像範囲にも必然的に誤差が生じるので、そのような変化を排除することができれば、上記した問題を解決することができる。しかしながら、カメラから対象物までの距離は、様々な要因によって変化し得ると考えられ、その全てを完全に排除することは困難である。本発明は、以上の知見に基づいてなされたものであり、カメラから対象物までの距離が変化する場合でも、対象物を正しく撮像し得る技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本明細書が開示する技術は、リフロー炉内の対象物を撮像する装置に具現化される。この装置は、対象物を撮像するカメラと、カメラから対象物までの距離の変化、又は当該変化をもたらす事象を検出する検出手段と、検出手段による検出結果に基づいて、カメラの焦点及び撮像範囲の少なくとも一方を補正する補正手段と備える。
【０００６】
上記した装置では、カメラから対象物までの距離が変化したときに、その変化に応じてカメラの焦点及び／又は撮像範囲が調整される。これにより、カメラから対象物までの距離の変化を許容しながら、対象物を正しく撮像することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】実施例１の観察装置１０とリフロー炉１００の構成を模式的に示す図。
【図２】実施例１の観察装置１０の動作の流れを示すフローチャート。
【図３】実施例２の観察装置１０Ａとリフロー炉１００の構成を模式的に示す図。
【図４】実施例３の観察装置１０Ｂとリフロー炉１００Ｂの構成を模式的に示す図。
【図５】実施例４の観察装置１０Ｃとリフロー炉１００Ｃの構成を模式的に示す図。
【図６】実施例５の観察装置１０Ｄとリフロー炉１００の構成を模式的に示す図。
【図７】実施例６の観察装置１０Ｅとリフロー炉１００の構成を模式的に示す図。
【図８】実施例７の観察装置１０Ｆとリフロー炉１００の構成を模式的に示す図。
【図９】実施例７の観察装置１０Ｆの動作の流れを示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本技術の一実施形態において、検出手段は、カメラから対象物までの距離を測定する変位センサを有してもよい。この場合、補正手段は、変位センサによる測定結果に基づいて、カメラの焦点及び撮像範囲の少なくとも一方を補正してもよい。このような構成によると、カメラから対象物までの実際の距離に応じて、カメラの焦点及び／又は撮像範囲を適切に調整することができる。
【０００９】
本技術の一実施形態において、検出手段は、リフロー炉内の圧力を示す圧力情報を取得可能であってもよい。この場合、補正手段は、検出手段が取得した圧力情報に基づいて、カメラの焦点及び撮像範囲の少なくとも一方を補正してもよい。リフロー炉内の圧力は、例えばリフロー炉（特に、弾性を有するシール部材など）に僅かな変形をもたらすことがあり、カメラから対象物までの距離に影響を与える要因となり得る。そのことから、上記した変位センサに代えて、又は加えて、圧力情報を用いることによっても、カメラの焦点及び／又は撮像範囲を適切に調整することができる。
【００１０】
本技術の一実施形態において、検出手段は、リフロー炉内の温度を示す温度情報を取得可能であってもよい。この場合、補正手段は、検出手段が取得した温度情報に基づいて、カメラの焦点及び撮像範囲との少なくとも一方を補正してもよい。リフロー炉内の温度は、例えばリフロー炉や対象物の熱変形をもたらすことから、カメラから対象物までの距離に影響を与える要因となり得る。そのことから、上記した変位センサや圧力情報に代えて、又は加えて、温度情報を用いることによっても、カメラの焦点及び／又は撮像範囲を適切に調整することができる。
【００１１】
本技術の一実施形態において、リフロー炉は、対象物が載置されるとともにヒータを内蔵するステージと、ステージに当接してステージ及び対象物を冷却する冷却器と、冷却器をステージに対して当接及び離間させるアクチュエータとを有してもよい。このようなリフロー炉では、ステージに対して冷却器が当接及び離間したときに、ステージの位置が僅かに変化することがある。そのことから、検出手段は、冷却器を動作させるアクチュエータの動作を示す動作情報を取得可能であってもよい。そして補正手段は、検出手段が取得した動作情報に基づいて、カメラの焦点及び撮像範囲の少なくとも一方を補正してもよい。このような構成によると、冷却器の動作に起因するステージの変位に応じて、カメラの焦点及び／又は撮像範囲を適切に調整することができる。
【００１２】
上記したリフロー炉に限られず、多くのリフロー炉は、対象物が載置されるステージ（コンベア等の可動型を含む）を有する。この場合、検出手段は、ステージに取り付けられた加速度センサを有し、加速度センサによる測定結果に基づいてステージの変位を算出してもよい。そして、補正手段は、検出手段が算出したステージの変位に基づいて、カメラの焦点及び撮像範囲との少なくとも一方を補正してもよい。このような構成によっても、カメラから対象物までの距離の変化に応じて、カメラの焦点及び／又は撮像範囲を適切に調整することができる。
【００１３】
本技術の一実施形態において、カメラは、リフロー炉の外部に配置され、リフロー炉に設けられた観察窓を通して対象物を撮像してもよい。但し、カメラの配置については特に限定されない。他の実施形態として、カメラはリフロー炉の内部に配置されてもよい。
【００１４】
本技術の一実施形態において、カメラは、リフロー炉に取り付けられてもよい。なお、カメラがリフロー炉に取り付けられると、リフロー炉内の圧力や温度に応じて、カメラから対象物までの距離が変化しやすい。そのことから、カメラがリフロー炉に取り付けられるときは、前述した圧力情報や温度情報を用いることによって、カメラの焦点及び／又は撮像範囲をより適切に補正することができる。
【００１５】
本技術の一実施形態において、補正手段は、カメラ又はそのレンズの位置を調整することにより、カメラの焦点及び撮像範囲の少なくとも一方を補正してもよい。
【００１６】
本明細書が開示する技術は、リフロー炉内の対象物を観察する他の装置にも具現化される。この装置は、対象物を撮像するカメラと、カメラによって経時的に撮像された二以上の画像を比較して、焦点及び撮像範囲の少なくとも一方の変化量を検出する第１画像処理手段と、第１画像処理手段による検出結果に基づいて、二以上の画像の少なくとも一つを画像処理することにより、焦点及び撮像範囲の少なくとも一方を補正する第２画像処理手段とを備える。このような構成によると、カメラの焦点及び／又は撮像範囲に生じた変化の検出と、それに対する補正との両者が、主に画像処理によって行われることから、装置の物理的な構成を簡素なものとすることができる。
【実施例】
【００１７】
（実施例１）  図面を参照して、実施例１の観察装置１０について説明する。観察装置１０は、リフロー炉１００に対して設置され、リフロー炉１００内の対象物２を撮像する。この対象物２は、特に限定されないが、例えば回路基板や電子部品である。リフロー炉１００は、回路基板に電子部品をはんだ付けするリフロー工程で使用され、回路基板や電子部品といった対象物２を加熱及び冷却することで、それらの間に配置されたはんだ材を溶融及び再凝固する。
【００１８】
先ず、リフロー炉１００の構成について説明する。本実施例におけるリフロー炉１００は、対象物２を収容する筐体１０２と、筐体１０２内に位置するステージ１０４と、ステージ１０４に設けられたヒータ１０６とを備える。対象物２はステージ１０４上に配置され、ヒータ１０６によって加熱される。筐体１０２は、断熱材料で構成された複数のパーツが、シール部材１０２ａを介して互いに結合された構造を有する。筐体１０２には、外部から対象物２を観察するための観察窓１０２ｂが設けられている。観察窓１０２ｂは、ステージ１０４に対向する筐体１０２の上壁に設けられている。なお、ここで説明するリフロー炉１００の構成は一例であり、リフロー炉１００の具体的な構成を特に限定するものではない。
【００１９】
次に、観察装置１０の構成について説明する。観察装置１０は、主に、カメラ１２と、変位センサ１４と、移動装置１６と、プロセッサ１８と、照明２０とを備える。カメラ１２は、リフロー炉１００の外部に配置されており、観察窓１０２ｂを通じて対象物２を撮像する。カメラ１２は、デジタルカメラであって、プロセッサ１８と通信可能に接続されている。カメラ１２やそのレンズ１２ａの動作は、プロセッサ１８によって制御される。そして、カメラ１２が撮像した画像データは、プロセッサ１８へ送信される。なお、カメラ１２とプロセッサ１８との間の通信は、有線方式で行われてもよいし、無線方式で行われてもよい。
【００２０】
変位センサ１４は、カメラ１２又はレンズ１２ａに取り付けられており、カメラ１２から対象物２までの距離（正確には、レンズ１２ａの先端から対象物２までの距離）を測定する。変位センサ１４は、プロセッサ１８と通信可能に接続されており、その動作はプロセッサ１８によって制御される。また、変位センサ１４による測定結果は、プロセッサ１８へ送信される。プロセッサ１８は、変位センサ１４による測定結果に基づいて、カメラ１２から対象物２までの距離の変化を検出することができる。このように、本実施例の観察装置１０では、変位センサ１４及びプロセッサ１８等によって、カメラ１２から対象物２までの距離の変化を検出する検出手段が構成されている。なお、変位センサ１４とプロセッサ１８との間の通信は、有線方式で行われてもよいし、無線方式で行われてもよい。
【００２１】
移動装置１６は、カメラ１２が取り付けられており、カメラ１２の位置や姿勢を調整することができる。移動装置１６は、プロセッサ１８と通信可能に接続されており、その動作はプロセッサ１８によって制御される。プロセッサ１８は、移動装置１６に動作指令を与えることによって、対象物２に対するカメラ１２の位置や姿勢を調整することができる。例えば、プロセッサ１８は、カメラ１２から対象物２までの距離の変化を検出すると、カメラ１２や移動装置１６に動作指令を与えて、カメラ１２やそのレンズ１２ａの位置を調整する。これにより、カメラ１２から対象物２までの距離の変化に応じて、カメラ１２の焦点及び撮像範囲を調整することができる。このように、本実施例の観察装置１０では、カメラ１２のレンズ１２ａ、移動装置１６及びプロセッサ１８によって、カメラ１２の焦点及び撮像範囲の少なくとも一方を補正する補正手段が構成されている。
【００２２】
図２は、本実施例の観察装置１０が実行する動作の一例を示すフローチャートである。図２に示すように、先ずは、カメラ１２から対象物２までの基準となる距離が記憶される（Ｓ２）。この工程は、例えばヒータ１０６による加熱前に実施される。プロセッサ１８は、変位センサ１４によって測定された距離を取得し、それを基準となる距離として記憶する。その後、カメラ１２によって対象物２を撮像する前に、カメラ１２から対象物２までの距離が測定される（Ｓ４）。次いで、プロセッサ１８は、対象物２の撮像前に測定された距離と、記憶している基準となる距離とを比較して、両者の間の変化を検出する（Ｓ６）。両者の間に変化が検出されなければ（Ｓ６でＮＯ）、カメラ１２による対象物２の撮像を実行する（Ｓ１２）。
【００２３】
一方、両者の間に変化が検出された場合（Ｓ６でＹＥＳ）、プロセッサ１８は、カメラ１２や移動装置１６に動作指令を与えて、カメラ１２の焦点及び撮像範囲を調整する（Ｓ８）。このときの調整量は、検出された距離の変化量に基づいて定められる。その後、プロセッサ１８は、変位センサ１４によって再測定された距離を取得して、それを基準となる距離と再び比較する（Ｓ１０）。再測定された距離が、基準となる距離と一致すれば（Ｓ１０でＹＥＳ）、カメラ１２による対象物２の撮像を実行する（Ｓ１２）。再測定された距離が、基準となる距離と一致しなければ（Ｓ１０でＮＯ）、焦点及び撮像範囲の調整が再度実行される（Ｓ８）。
【００２４】
以上のように、本実施例の観察装置１０では、カメラ１２から対象物２までの距離が変化したときに、その変化に応じてカメラ１２の焦点及び撮像範囲の調整が実行される。これにより、カメラ１２から対象物２までの距離が変化したときでも、対象物２を正しく撮像することができる。特に、本実施例の観察装置１０では、カメラ１２から対象物２までの実際の距離を、変位センサ１４によって測定することができる。カメラ１２から対象物２までの距離は、様々な要因によって変化し得ると考えられるが、変位センサ１４によって実際の距離を測定することで、当該距離の変化をもたらす要因によらず、カメラ１２の焦点及び／又は撮像範囲を適切に調整することができる。
【００２５】
（実施例２）  図３を参照して、実施例２の観察装置１０Ａについて説明する。図３に示すように、実施例２の観察装置１０Ａでは、カメラ１２が、移動装置１６を介してリフロー炉１００の筐体１０２に取り付けられており、この点において実施例１の観察装置１０と相違する。その一方で、観察装置１０Ａの多くの構成については、実施例１の観察装置１０と共通又は対応している。図３に示す観察装置１０Ａでは、実施例１と共通又は対応する構成に同一の符号が付されており、重複する説明については省略する。
【００２６】
カメラ１２がリフロー炉１００の筐体１０２に取り付けられると、リフロー炉１００内の圧力や温度に応じて、カメラ１２の位置が変化しやすい。例えば、リフロー炉１００内の圧力が上昇すると、リフロー炉１００の筐体１０２（特に、シール部材１０２ａ）が弾性変形することで、カメラ１２の位置が変化することがある。あるいは、リフロー炉１００内の温度が上昇すると、リフロー炉１００の筐体１０２、ステージ１０４、又は対象物２が熱膨張することで、カメラ１２から対象物２までの距離が変化することがある。この場合、カメラ１２の焦点や撮像範囲にも、必然的に誤差が生じてしまう。
【００２７】
上記の問題に関して、本実施例の観察装置１０Ａでは、圧力情報及び温度情報をさらに用いることによって、カメラ１２の焦点及び撮像範囲を補正するように構成されている。圧力情報は、リフロー炉１００内の圧力を示す情報であり、リフロー炉１００のコントローラ（図示省略）からプロセッサ１８へ送信されるように構成されている。温度情報は、リフロー炉１００内の温度を示す情報であり、これもリフロー炉１００のコントローラからプロセッサ１８へ送信されるように構成されている。プロセッサ１８は、圧力情報からリフロー炉１００内の圧力変化を検出することができ、温度情報からリフロー炉１００内の温度変化を検出することができる。圧力変化や温度変化は、カメラ１２から対象物２までの距離の変化をもたらす事象の一例である。本実施例の観察装置１０Ａは、その事象を検出することによって、カメラ１２から対象物２までの距離に生じる変化を推定する。なお、ここでいうリフロー炉１００内の温度とは、リフロー炉１００内で測定された温度を広く意味し、例えば、筐体１０２の内面の温度、筐体１０２内の雰囲気の温度、ステージ１０４の温度、又は対象物２の温度であってよい。
【００２８】
プロセッサ１８は、検出した圧力変化や温度変化に基づいて、カメラ１２やレンズ１２ａの位置を調整する。これにより、カメラ１２から対象物２までの距離に生じた変化が、少なくとも部分的に相殺されるように、カメラ１２の焦点及び撮像範囲の調整が行われる。なお、検出した圧力変化又は温度変化と、それに対する焦点及び撮像範囲の調整量との関係は、例えば計算式、参照テーブル又は参照マップによって、プロセッサ１８に予め教示しておくことができる。このように、本実施例の観察装置１０Ａでは、リフロー炉１００内の圧力や温度に生じた変化に基づいて、カメラ１２から対象物２までの距離に生じる変化を推定することができる。従って、カメラ１２から対象物２までの距離を実測する変位センサ１４は、必ずしも必要とされない。
【００２９】
（実施例３）  図４を参照して、実施例３の観察装置１０Ｂについて説明する。図４に示すように、実施例３の観察装置１０Ｂでは、実施例２の観察装置１０Ｂと比較して、リフロー炉１００Ｂの構成が変更されている。即ち、本実施例におけるリフロー炉１００Ｂは、筐体１０２、ステージ１０４及びヒータ１０６に加えて、冷却器１０８及びアクチュエータ１１０をさらに有する。冷却器１０８は、ステージ１０４に当接することによって、ステージ１０４及び対象物２を冷却することができる。アクチュエータ１１０は、冷却器１０８に取り付けられており、冷却器１０８をステージ１０４に対して進退させることで、両者を当接及び離間させることができる。
【００３０】
上記したリフロー炉１００Ｂでは、ステージ１０４に対して冷却器１０８が当接及び離間したときに、ステージ１０４の位置が僅かに変化することがある。特に、本実施例におけるリフロー炉１００Ｂでは、冷却器１０８がステージ１０４の下方に位置しており、アクチュエータ１１０がカメラ１２の光軸に沿って冷却器１０８を移動させる。従って、冷却器１０８がステージ１０４に当接すると、ステージ１０４が上方へ僅かに移動し、冷却器１０８がステージ１０４から離間すると、ステージ１０４が下方へ僅かに移動（即ち、復帰）する。
【００３１】
そのことから、本実施例の観察装置１０Ｂでは、リフロー炉１００Ｂの動作情報をさらに用いることによって、カメラ１２の焦点及び撮像範囲を補正するように構成されている。動作情報は、冷却器１０８のアクチュエータ１１０の動作を示す情報であり、リフロー炉１００のコントローラからプロセッサ１８へ送信されるように構成されている。プロセッサ１８は、取得した動作情報に基づいて、ステージ１０４に対する冷却器１０８の当接及び離間を検出することができる。ステージ１０４に対する冷却器１０８の当接及び離間は、カメラ１２から対象物２までの距離の変化をもたらす事象の一例である。本実施例の観察装置１０Ｂは、その事象を検出することによって、カメラ１２から対象物２までの距離に生じる変化を推定する。
【００３２】
プロセッサ１８は、取得した動作情報に基づいて、カメラ１２やレンズ１２ａの位置を調整する。これにより、カメラ１２から対象物２までの距離に生じた変化が、少なくとも部分的に相殺されるように、カメラ１２の焦点及び撮像範囲の調整が行われる。なお、取得した動作情報（即ち、ステージ１０４に対する冷却器１０８の当接及び離間）と、それに対する焦点及び撮像範囲の調整量との関係は、例えば計算式、参照テーブル又は参照マップによって、プロセッサ１８に予め教示しておくことができる。このように、本実施例の観察装置１０Ｂでは、リフロー炉１００Ｂにおける動作に基づいて、カメラ１２から対象物２までの距離に生じる変化を推定することができる。従って、カメラ１２から対象物２までの距離を実測する変位センサ１４は、必ずしも必要とされない。また、圧力情報や温度情報についても、それらを必ずしも考慮する必要はない。
【００３３】
（実施例４）  図５を参照して、実施例４の観察装置１０Ｃについて説明する。図５に示すように、実施例４の観察装置１０Ｃでは、実施例１、２の観察装置１０、１０Ａと比較して、リフロー炉１００Ｃの構成が変更されている。即ち、本実施例におけるリフロー炉１００Ｃでは、観察窓１０２ｂが筐体１０２の側壁に設けられており、カメラ１２がステージ１０４上の対象物２を側方から撮像するように構成されている。このように、本明細書が開示する技術は、対象物２を側方から撮像する場合においても、有効に採用することができる。
【００３４】
（実施例５）  図６を参照して、実施例５の観察装置１０Ｄについて説明する。図６に示すように、実施例５の観察装置１０Ｄでは、リフロー炉１００のステージ１０４上に、プリズム２２が設けられており、カメラ１２がプリズム２２を介して対象物２を撮像するように構成されている。なお、プリズム２２は、ホルダ
を用いることにより、ステージ１０４に対して所望の姿勢で取り付けることができる。このように、プリズム２２（又はミラー）を用いることによって、対象物２を様々な角度から撮像することができる。なお、変位センサ１４は、カメラ１２から対象物２までの距離に代えて、カメラ１２からプリズム２２（又はステージ１０４）までの距離を測定してもよい。これにより、カメラ１２から対象物２までの距離（正確には、光路長）に生じた変化を検出することができる。加えて、又は代えて、観察装置１０Ｄは、前述した圧力情報及び／又は温度情報に基づいて、カメラ１２から対象物２までの距離（正確には、光路長）に生じた変化を検出してもよい。
【００３５】
（実施例６）  図７を参照して、実施例６の観察装置１０Ｅについて説明する。図７に示すように、実施例６の観察装置１０Ｅは、加速度センサ２６をさらに備えており、この点において実施例２の観察装置１０Ｂと相違する。加速度センサ２６は、ステージ１０４上に設けられており、ステージ１０４の加速度を検出することができる。加速度センサ２６は、有線又は無線によってプロセッサ１８に接続されており、加速度センサ２６による測定結果はプロセッサ１８に送信される。プロセッサ１８は、加速度センサ２６による測定結果に基づいて、詳しくは、それを二階積分することによって、ステージ１０４に生じた変位を検出することができる。なお、加速度センサ２６は、断熱ケース２８内に収容されており、ヒータ１０６による高温から保護されている。
【００３６】
本実施例の観察装置１０Ｅは、加速度センサ２６を用いることによって、ステージ１０４の変位を検出する。ステージ１０４の変位は、カメラ１２から対象物２までの距離の変化をもたらす事象の一例である。観察装置１０Ｅは、その事象を検出することによって、カメラ１２から対象物２までの距離に生じる変化を推定する。プロセッサ１８は、検出したステージ１０４の変位に基づいて、カメラ１２やレンズ１２ａの位置を調整する。これにより、カメラ１２から対象物２までの距離に生じた変化が、少なくとも部分的に相殺されるように、カメラ１２の焦点及び撮像範囲の調整が行われる。なお、検出されたステージ１０４の変位と、それに対する焦点及び撮像範囲の調整量との関係は、例えば計算式、参照テーブル又は参照マップによって、プロセッサ１８に予め教示しておくことができる。本実施例の観察装置１０Ｅにおいても、カメラ１２から対象物２までの距離を実測する変位センサ１４や、圧力情報や温度情報といった他の情報は、必ずしも必要とされない。
【００３７】
（実施例７）  図８、図９を参照して、実施例７の観察装置１０Ｆについて説明する。図８に示すように、実施例７の観察装置１０Ｆは、他の実施例の観察装置１０−１０Ｅと比較して、プロセッサ１８の機能が変更されている。即ち、プロセッサ１８は、機能的に、撮像範囲誤差検出部１８ａと、撮像範囲誤差補正部１８ｂとを備える。撮像範囲誤差検出部１８ａは、本技術における第１画像処理部の一例であり、撮像範囲誤差補正部１８ｂは、本技術における第２画像処理部の一例である。即ち、撮像範囲誤差検出部１８ａは、カメラ１２によって経時的に撮像された二以上の画像を比較して、撮像範囲の変化量（即ち、誤差）を検出することができる。撮像範囲誤差補正部１８ｂは、撮像範囲誤差検出部１８ａによる検出結果に基づいて、二以上の画像の少なくとも一つを画像処理することにより、撮像範囲の少なくとも一方を補正することができる。なお、撮像範囲誤差検出部１８ａ及び撮像範囲誤差補正部１８ｂは、プロセッサ１８のハードウエア及びソフトウエアを用いて構成されており、物理的には共通する構成要素も多く存在する。
【００３８】
図９は、本実施例の観察装置１０Ｆが実行する動作の一例を示すフローチャートである。図９に示すように、先ずは、カメラ１２によって対象物２を撮像して、基準となる画像を取得する（Ｓ２２）。この工程は、例えばヒータ１０６による加熱前に実施される。プロセッサ１８は、カメラ１２から撮像された画像を取得し、それを基準となる画像として記憶する。この画像における撮像範囲が、後の処理で基準となる撮像範囲として用いられる。その後、例えばヒータ１０６による加熱後に、カメラ１２によって対象物２が撮像される（Ｓ２４）。次いで、プロセッサ１８は、ステップＳ２４で撮像された画像の撮像範囲を、ステップＳ２２で記憶した基準となる画像の撮像範囲と比較して、両者の間の変化を検出する（Ｓ２６）。両者の間に変化が検出されなければ（Ｓ２６でＮＯ）、ステップＳ２４で撮像された画像が、対象物２を正しく撮像した画像であるとして、図９に示す一連の処理は終了する。
【００３９】
一方、両者の間に変化が検出された場合（Ｓ２６でＹＥＳ）、プロセッサ１８は、ステップＳ２４で撮像された画像に画像処理を行って、当該画像の撮像範囲を補正する（Ｓ２８）。この処理は、主に撮像範囲誤差補正部１８ｂによって実行される。このときの補正量は、検出された撮像範囲の変化量に基づいて定められる。その後、プロセッサ１８は、補正後の画像の撮像範囲を、基準となる画像の撮像範囲と再度比較する（Ｓ３０）。補正後の画像の撮像範囲が、基準となる画像の撮像範囲と一致すれば（Ｓ３０でＹＥＳ）、対象物２を正しく撮像した画像が得られたとして、図９に示す一連の処理は終了する。一方、両者の撮像範囲が依然として一致いなければ（Ｓ３０でＮＯ）、画像処理による再度の補正が実行される（Ｓ２８）。そして、両者の撮像範囲が一致した段階で（Ｓ３０でＹＥＳ）、図９の処理は終了する。
【００４０】
以上のように、本実施例の観察装置１０Ｆでは、カメラ１２の撮像範囲に生じた変化の検出と、それに対する補正との両者が、主に画像処理によって行われる。そのことから、他の実施例における変位センサ１４や移動装置１６が必ずしも必要とされない。従って、観察装置１０Ｆの物理的な構成を簡素なものとすることができる。なお、本実施例の観察装置１０Ｆでは、カメラ１２の撮像範囲に加えて、又は代えて、カメラ１２の焦点に生じた変化の検出と、それに対する補正との両者が、主に画像処理によって行われてもよい。
【００４１】
以上、本明細書が開示する技術の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書、又は、図面に説明した技術要素は、単独で、あるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組合せに限定されるものではない。本明細書又は図面に例示した技術は、複数の目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００４２】
１０、１０Ａ−１０Ｆ：観察装置
１２：カメラ
１４：変位センサ
１６：移動装置
１８：プロセッサ
２０：照明
２２：プリズム
２４：ホルダ
１００、１００Ｂ、１００Ｃ：リフロー炉
１０２：リフロー炉の筐体
１０２ａ：リフロー炉のシール部材
１０２ｂ：リフロー炉の観察窓
１０４：リフロー炉のステージ
１０６：リフロー炉のヒータ
１０８：リフロー炉の冷却器
１１０：リフロー炉のアクチュエータ
【図１】
2020177069.tif 000003
【図２】
2020177069.tif 000004
【図３】
2020177069.tif 000005
【図４】
2020177069.tif 000006
【図５】
2020177069.tif 000007
【図６】
2020177069.tif 000008
【図７】
2020177069.tif 000009
【図８】
2020177069.tif 000010
【図９】
2020177069.tif 000011