(57)【要約】【課題】薄い基板であっても破損させることなく安定的に保持して移送し、ディップコート法において上記の無効領域をより小さく抑える移送装置及び方法、並びに塗布方法を提供する。【解決手段】樹脂部形成ユニット２６は、基板１０の端縁部１０ｐに凸部としての樹脂部３１を形成する。移送装置２１は、樹脂部３１が上方となる状態で起立姿勢としている基板１０を、第１保持部材４１と第２保持部材４２とを有する保持具２７により、樹脂部３１を挟持するように、または保持具２７が樹脂部３１と下方から係合するように、保持した状態で吊り上げて移送する。移送工程後に、保持具２７による保持は解除される。樹脂部３１は、保持解除の後に剥ぎ取られる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状基材を保持具により保持して移送する移送方法において、
前記板状基材の端縁部に、突出した凸部を形成する凸部形成工程と、
前記凸部が上方となる状態で起立姿勢としている前記板状基材を、前記板状基材の第１基材面側に配される第１保持部材と第２基材面側に配される第２保持部材とを有する保持具により前記凸部を挟持するように、または前記保持具が前記凸部と下方から係合するように、保持した状態で吊り上げて移送する移送工程と、
移送工程後に、前記保持具による保持を解除する保持解除工程と、
を有する移送方法。
【請求項２】
前記凸部形成工程は、樹脂からなる樹脂部を前記凸部として形成する樹脂部形成工程である請求項１に記載の移送方法。
【請求項３】
前記樹脂部形成工程は、
前記板状基材を起立姿勢にした状態で、前記板状基材の周縁のうち上側の前記端縁部に、前記樹脂と硬化することにより前記樹脂を生成する硬化性化合物とのいずれかを含有する塗工液を塗工する塗工工程と、
前記塗工により形成した塗工部を硬化することにより、前記樹脂部にする硬化工程と、を有する請求項２に記載の移送方法。
【請求項４】
前記硬化性化合物は、光照射により硬化する光硬化性化合物と、加熱により硬化する熱硬化性化合物と、乾燥により硬化する乾燥硬化性化合物とのいずれかである請求項３に記載の移送方法。
【請求項５】
前記凸部形成工程は、前記板状基材を起立姿勢にした状態で、前記板状基材の周縁のうち上側の前記端縁部に、水ガラスを塗工液として塗工、またはセラミックスを含有する塗工液を塗工する塗工工程と、
前記塗工により形成した塗工部を硬化することにより、前記凸部にする硬化工程と、を有する請求項１に記載の移送方法。
【請求項６】
前記塗工工程は、
前記板状基材の端面に前記塗工液を塗工する請求項３ないし５のいずれか１項に記載の移送方法。
【請求項７】
前記第１保持部材は、
前記第１基材面側に配され、前記第１基材面に沿って並ぶ複数の第１爪を有し、
前記第２保持部材は、
前記第２基材面側に配され、前記第２基材面に沿って並ぶ複数の第２爪を有する請求項１ないし６のいずれか１項に記載の移送方法。
【請求項８】
板状基材を保持具により保持して移送する移送装置において、
前記板状基材の端縁部に、突出した凸部を形成する凸部形成ユニットと、
前記凸部が上方となる状態で前記板状部材を起立姿勢に支持する支持具と、
前記前記板状基材の第１基材面側に配される第１保持部材と他方の基材面側に配される第２保持部材とを有し、前記凸部を挟持するようにまたは前記凸部と下方から係合するように、前記板状基材を保持する保持具と、
前記保持具を変位させる変位機構と、
を備える移送装置。
【請求項９】
塗布液が収容されたコート槽の前記塗布液に、板状基材を浸漬することにより塗布する塗布方法において、
前記板状基材の端縁部に、突出した凸部を形成する凸部形成工程と、
前記凸部が上方となる状態で起立姿勢としている前記板状基材を、前記板状基材の第１基材面側に配される第１保持部材と他方の基材面側に配される第２保持部材とを有する保持具により前記凸部を挟持するように、または前記保持具が前記凸部と下方から係合するように、保持した状態で吊り上げて前記コート槽へ移送する移送工程と、
前記コート槽の前記塗布液に浸漬することにより前記塗布液を塗布する塗布工程と、
前記塗布工程後に、前記保持具による保持を解除する保持解除工程と、
を有する塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移送方法及び装置、並びに塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
湿式の塗布方法として、塗膜の材料となる塗布液をコート槽内に収容し、そこに処理対象物（ワーク）としての板状基材（基板）を浸漬してから引き上げるディップコート法は、他の湿式の塗布方法と比較して量産性に優れ、設備コスト及び製造コストを共に抑えることができる。さらに、ディップコート法は、厚みを均一に制御することも可能であり、ガラスインターポーザー等において形成する高精度な膜など、様々な種類の膜を形成する上で非常に有効な手法である。
【０００３】
ディップコート法に使用する塗布液には、空気に接することにより劣化など変質してしまうものがある。例えば、空気中の水分に接するとその水分で加水分解する塗布液である。このように空気と接触することにより変質する塗布液は、コート槽に貯留されている間に液面が空気に触れているので、長時間放置しておくと劣化してしまう。
【０００４】
また、空気との接触により変質しやすい塗布液を使用した場合には、浸漬して引き上げた基板上の被膜も、空気に触れることで加水分解することがあり、引き上げ環境に応じて、得られる膜の特性が変わってしまう。例えば、引き上げ中に空気中の水分量が変化すると、得られる膜は均一ではなくなる。また、複数の基板に対して順次、膜を形成する場合には、引き上げ環境に応じて特性が互いに異なる膜が個々の基板に形成されてしまう。
【０００５】
そこで、特許文献１には、塗布液を貯留する槽本体の上部に、塗布液の液面を覆うように蓋を設け、この蓋に、鉛直に起立した姿勢の基板を昇降することにより出し入れするための開口を形成したコート槽が記載されている。蓋は、開口側の端部が液面に向かって延びており、これによって、塗布液の劣化を抑制するとともに、一定品質の膜を再現性よく形成している。
【０００６】
また、特許文献２には、ディップコート法において、複数枚の矩形状の基板の１つの角部が上端となるようにし、チャッキング機構を備えた移送装置によりコート槽まで移送し、浸漬する手法が記載されている。チャッキング機構は、互いに反対方向に往復動する一対のスライド部材を有しており、これら一対のスライド部材の一方にはガラス基板の一面側に当接する第１爪部を、他方には第１爪部と対向する位置にてガラス基板の他面側に当接する第２爪部を有している。特許文献２では、これら第１爪部と第２爪部とにより、ガラス基板を把持している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１４−１１７６３４号公報
【特許文献２】特開平４−１９０８６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ディップコート法での塗布に供するガラス製の基板には、厚みが１ｍｍあるいはそれよりも非常に薄いものがある。そのような薄いガラス製の基板は、把持の具合によっては、ひびが入ったり割れるといった破損が発生する。また、把持が不安定である場合には、特許文献１に記載されるようなスリット状の開口で基板を出し入れする際に、基板が開口の端部に接触してしまう場合がある。このような接触によっても基板が割れたり、あるいは、形成した膜がこのような接触によりダメージを受けることがある。
【０００９】
また、基板のうち、把持された把持領域は、塗布できない無効領域、いわゆるエッジイクスクルージョンとなる。把持具が液中に液没してしまうと、基板を引き上げたときにその把持具から塗布液がたれてしまうから、把持部を塗布液に接触させることはできないのが通常である。そこで、無効領域をより小さく抑えて、塗膜を基板のより広い面積に形成する手法が望まれている。
【００１０】
本発明は、薄い基板であっても破損させることなく安定的に保持して移送し、ディップコート法において上記の無効領域をより小さく抑える移送方法及び移送装置、ならびに塗布方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明の移送方法は、凸部形成工程と、移送工程と、保持解除工程とを有し、板状基材を保持具により保持して移送する。凸部形成工程は、板状基材の端縁部に、突出した凸部を形成する。移送工程は、凸部が上方となる状態で起立姿勢としている板状基材を、板状基材の第１基材面側に配される第１保持部材と第２基材面側に配される第２保持部材とを有する保持具により凸部を挟持するように、または保持具が凸部と下方から係合するように、保持した状態で吊り上げて移送する。保持解除工程は、移送工程後に、保持具による保持を解除する。
【００１２】
凸部形成工程は、樹脂からなる樹脂部を上記凸部として形成する樹脂部形成工程であることが好ましい。樹脂部形成工程は、塗工工程と、硬化工程とを有することが好ましい。塗工工程は、板状基材を起立姿勢にした状態で、板状基材の周縁のうち上側の上記端縁部に、樹脂と硬化することにより樹脂を生成する硬化性化合物とのいずれかを含有する塗工液を塗工する。硬化工程は、塗工により形成した塗工部を硬化することにより上記樹脂部にする。硬化性化合物は、光照射により硬化する光硬化性化合物と、加熱により硬化する熱硬化性化合物と、乾燥により硬化する乾燥硬化性化合物とのいずれであってもよい。
【００１３】
凸部形成工程は、板状基材を起立姿勢にした状態で、板状基材の周縁のうち上側の上記端縁部に、水ガラスを塗工液として塗工、またはセラミックスを含有する塗工液を塗工する塗工工程と、塗工により形成した塗工部を硬化することにより、上記凸部にする硬化工程とを有していてもよい。
【００１４】
塗工工程は、板状基材の端面に塗工液を塗工することが好ましい。
【００１５】
第１保持部材は、第１基材面側に配され、第１基材面に沿って並ぶ複数の第１爪を有し、第２保持部材は、第２基材面側に配され、第２基材面に沿って並ぶ複数の第２爪を有することが好ましい。
【００１６】
本発明の移送装置は、凸部形成ユニットと、支持具と、保持具と、変位機構とを備え、板状基材を保持具により保持して移送する。凸部形成ユニットは、板状基材の端縁部に、突出した凸部を形成する。支持具は、凸部が上方となる状態で板状部材を起立姿勢に支持する。保持具は、板状基材の第１基材面側に配される第１保持部材と他方の基材面側に配される第２保持部材とを有し、凸部を挟持するようにまたは凸部と下方から係合するように、板状基材を保持する。変位機構は、保持具を変位させる。
【００１７】
本発明の塗布方法は、凸部形成工程と、移送工程と、塗布工程と、保持解除工程とを有し、塗布液が収容されたコート槽の塗布液に、板状基材を浸漬することにより塗布する。凸部形成工程は、板状基材の端縁部に、突出した凸部を形成する。移送工程は、凸部が上方となる状態で起立姿勢としている板状基材を、板状基材の第１基材面側に配される第１保持部材と他方の基材面側に配される第２保持部材とを有する保持具により凸部を挟持するように、または保持具が凸部と下方から係合するように、保持した状態で吊り上げてコート槽へ移送する。塗布工程は、コート槽の塗布液に浸漬することにより塗布液を塗布する。保持解除工程は、塗布工程後に、保持具による保持を解除する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、薄い基板であっても破損させることなく安定的に保持して移送し、ディップコート法において上記の無効領域をより小さく抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】積層体の層構成を示す構成図である。
【図２】塗布設備の説明図である。
【図３】塗工工程の説明図である。
【図４】剥取工程の説明図である。
【図５】保持の説明図である。
【図６】保持具の斜視概略図である。
【図７】保持具の説明図である。
【図８】保持の説明図である。
【図９】保持の説明図である。
【図１０】樹脂部及び保持の説明図である。
【図１１】樹脂部及び保持の説明図である。
【図１２】樹脂部及び保持の説明図である。
【図１３】保持具の説明図である。
【図１４】保持部の説明図である
【図１５】別の保持具の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明により製造されるものとしては、板状基材（以下、基板と称する）１０の一方の第１基材面（以下、第１基板面と称する）と反対側の第２基材面（以下、第２基板面と称する）との両面に機能膜１１が形成された積層体１２等があり、例えばガラスインターポーザーに用いられる。ガラスインターポーザーは、シリコン基板と実装部との間に配される部材であり、シリコン基板と実装部との熱膨張の影響を緩和する等の機能を有する。
【００２１】
基板１０としてはガラスが用いられる。機能膜１１は、基板１０の両面、すなわち、第１基板面１０Ａと第２基板面１０Ｂとに形成される。なお、ガラスインターポーザーに用いる積層体１２の場合には、第１基板面１０Ａから第２基板面１０Ｂへ基板１０を貫通する貫通孔が設けられているが、図１においては貫通孔の図示は略してある。後述の塗布工程により塗膜はこの貫通孔の壁面にも形成される。
【００２２】
製造されるものはガラスインターポーザーに限定されない。例えば損傷しやすいガラスと機能膜との積層構造を有する種々の積層体など、ディップコート法で製造できる公知の積層体であってよい。このような例としては、太陽電池パネルに用いられるカバーガラスがあり、カバーガラスは、ガラスと反射防止膜との積層体である。
【００２３】
図２において、本発明の一実施形態である塗布設備２０は、矩形の基板１０に機能膜１１を形成するためのものである。塗布設備２０は、移送装置２１と、コート槽２２とを備える。移送装置２１は、移送元からコート槽２２を経て移送先に基板１０を順次移送するためのものである。移送装置２１は、複数の基板１０を支持する支持台２５と、樹脂部形成ユニット２６と、保持具２７と、変位機構２８とを備える。
【００２４】
支持台２５は、複数の基板１０のそれぞれを起立した姿勢（以下、起立姿勢と称する）で支持する支持具の一例である。支持台２５は、台本体２５ａと、台本体２５ａ上に複数の仕切り板２５ｂとを備える。複数の仕切り板２５ｂは、それぞれ起立姿勢で、間隔をあけて、互いに平行に配されている。仕切り板２５ｂと仕切り板２５ｂとの間に基板１０を挿入することで、基板１０は起立姿勢を保持された状態で台本体２５ａ上に載置される。また、基板１０は、矩形の上側の一辺が水平となる状態で載置されている。隣り合う仕切り板２５ｂ同士の間隔は、支持対象物である基板１０の厚みに応じて適宜設定される。なお、基板１０は、この例では長方形または正方形としているが、他の矩形、あるいは円形であってもよい。
【００２５】
この例では、支持台２５に配置した状態で、後述の樹脂部３１を形成しており、そのため樹脂部形成ユニット２６は支持台２５の上方に設けてある。ただし、樹脂部形成ユニット２６の位置は、支持台２５の上方に限られず、樹脂部３１を形成する場所に応じて決定すればよい。
【００２６】
樹脂部形成ユニット２６は、基板１０の端縁部１０ｐに、樹脂からなる樹脂部３１を形成するためのものである。基板１０は、移送の際に、この樹脂部３１を介して保持具２７に保持される。なお、樹脂部３１には、樹脂以外の成分が含まれていても構わない。樹脂部３１は、基板１０から突出した凸部の一例であり、したがって、樹脂部形成ユニット２６は、凸部を形成する凸部形成ユニットの一例である。凸部としては樹脂部３１に限られず、樹脂部３１の代わりに、例えば、ケイ素系化合物からなるケイ素部や、セラミックスからなるセラミックス部などでもよい。すなわち、凸部は基板１０から突出していればよく、素材は特に限定されない。
【００２７】
樹脂部形成ユニット２６は、塗工ノズル３２と光源３３とを備える。塗工ノズル３２は、先端の開口（図示無し）から塗工液３６を出し、これにより、基板１０の周縁部のうち、端面１０ｓを含む端縁部１０ｐに、塗工液３６からなる突出した塗工部３７が形成される（塗工工程）。この例の塗工ノズル３２には、塗工ノズル３２を変位させるノズル変位機構（図示無し）が設けられており、塗工ノズル３２を移動させて、端縁部１０ｐに塗工部３７を形成している。
【００２８】
塗工液３６は、硬化性化合物を含む液である。なお、塗工液３６は、樹脂部３１を構成する樹脂が溶剤に溶けている溶液であってもよい。硬化性化合物は、樹脂部３１を構成する樹脂を硬化により生成する化合物である。硬化性化合物は、特に限定されず、例えば、光の照射（光照射）により硬化する光硬化性化合物と、加熱により硬化する熱硬化性化合物と、乾燥により硬化する乾燥硬化性化合物等が挙げられる。また、硬化性化合物は、例えば液体の硬化性化合物や公知の接着剤等であってもよく、室温（２５℃）程度で硬化するような液体の硬化性化合物（例えば１液性の硬化性化合物や２液性の硬化性化合物等）であってもよい。ただし、後工程で樹脂部３１を剥ぎ取る場合には、基板１０から剥ぎ取り可能な程度の接着力を示すものとする。本例では光硬化性化合物を用いており、紫外線で硬化する紫外線硬化性化合物を用いている。なお、硬化性化合物は、モノマーとオリゴマーとポリマーとのいずれでもよい。
【００２９】
用いることができる光硬化性化合物としては、アクリレート系樹脂、エポキシ系樹脂等が挙げられる。用いることができる熱硬化性化合物としては、エポキシ樹脂、メラミン系樹脂、ポリウレタン等が挙げられる。用いることができる乾燥硬化性化合物としては、溶剤系接着剤等が挙げられる。
【００３０】
この例では樹脂部３１を形成するから、塗工液３６として、硬化性化合物を含有する液、もしくは、樹脂を含有する液を用いるが、凸部を構成する素材に応じて塗工液を決めればよい。例えば、前述のケイ素系部を凸部として形成する場合には、水ガラスを塗工液として用いることができる。水ガラスは、ケイ酸ナトリウムである。すなわち水ガラスは無水ケイ酸（ＳｉＯ２）と酸化ソーダ（Ｎａ２Ｏ）との混合物であり、無水ケイ酸と酸化ソーダとの混合比率は特に限定されず、市販品など公知のものを用いることができる。また、前述のセラミックス部を凸部として形成する場合には、セラミックスを含有する液体を塗工液として用いることができ、市販品など公知のものを用いることができる。セラミックスを含有する液体を用いる場合には、速乾性のものを用いると凸部の形成効率がよく、好ましい。
【００３１】
光源３３は、塗工部３７に光を照射することにより塗工部３７を樹脂部３１にするためのものである。前述のように本例では硬化性化合物として紫外線硬化性化合物を用いているから、光源３３には紫外線を射出する紫外線光源を用いている。なお、この例では、端縁部１０ｐの図２紙面奥行方向の全域に設けた塗工部３７に光が照射されるように、奥行方向に延びた光源３３を用いている。この光照射により、塗工部３７に含まれる硬化性化合物は硬化して前述の樹脂になり、基板１０の端縁部１０ｐから突出した樹脂部３１が生成される（硬化工程）。以上のようにして、樹脂部形成ユニット２６では、塗工工程と硬化工程とを含む樹脂部形成工程が行われる。
【００３２】
光源３３には、光源３３を図２の水平方向に移動させる光源変位機構（図示無し）を設けてある。この光源変位機構により、塗工ノズル３２により塗工部３７が形成された基板１０に対して、順次光を照射することができる。なお、光源変位機構により光源を奥行方向に変位させることにより、奥行方向に形成した塗工部３７に光を照射してもよい。例えば、塗工ノズルと光源とを一体型にして、これらを一体に移動させることにより、塗工しながら、形成された塗工部３７に対して光照射を行うことで、塗工と硬化との迅速化を図れる。また、塗工部３７が形成された複数枚の基板１０に対して、これらをまとめて光照射してもよい。なお、塗工ノズル３２及び光源３３は、基板１０及び塗工部３７に対して相対的に移動すれば塗工及び光照射はできるから、塗工ノズル３２及び光源３３を固定し、例えば支持台２５を移動させるなどにより基板１０を移動してもよい。
【００３３】
光源３３の光の射出により塗工ノズル３２の先端で塗工液３６が固まってしまう場合には、光源３３と塗工ノズル３２との間に遮光板を設ける、あるいは、射出面から出た光の広がり方（配光）が狭い光源、すなわち狭角配光の光源（例えばＬＥＤ（Light Emission Diode，発光ダイオード）チップ等）を用いることが好ましい。これらにより光源３３から塗工ノズル３２の先端への光照射が抑制され、その結果、塗工ノズル３２の先端で塗工液３６が固まることが抑えられる。
【００３４】
硬化性化合物が熱硬化性化合物である場合には、光源３３の代わりに、塗工部３７を加熱する加熱器を設ければよい。加熱器としては、例えば加熱した気体（例えば空気など）を送出する加熱送風部や、エネルギー線（赤外線など）照射により塗工部３７を加熱する例えばエネルギー線照射ヒータなどが挙げられる。また、硬化性化合物が乾燥硬化性化合物である場合には、乾燥した気体（例えば空気など）を送り出す乾燥送風機などを設ければよい。このように、硬化性化合物の硬化の種類に応じて、塗工部を硬化して樹脂部を形成する硬化部は選択される。
【００３５】
保持具２７は、上下方向及び水平方向に移動可能とされており、第１保持部材４１と第２保持部材４２とを備える。第１保持部材４１は基板１０の第１基板面１０Ａ側に配され、第２保持部材４２は第２基板面１０Ｂ側に配される。これら第１保持部材４１と第２保持部材４２とは、これらを移動させる移動機構（図示無し）が内蔵されている支持部材４３に設けられており、この支持部材４３の下部で、互いの先端の距離が増減する方向にスライド移動する。基板１０を保持する際には、第１保持部材４１と第２保持部材４２とは互いの距離を小さくし、保持を解除する際には互いの距離を大きくする。ただし、第１保持部材４１と第２保持部材４２とはスライド移動機構でなくてもよく、互いの先端が開閉する開閉機構であってもよい。
【００３６】
変位機構２８は保持具２７を上下方向と水平方向とに変位させるためのものである。変位機構２８は、保持具２７に接続しており、昇降機構２８ａと水平移動機構２８ｂとを有する。昇降機構２８ａは、保持具２７を上下方向（鉛直方向）に移動させる。例えば、支持台２５に載置されている基板１０上では、第１保持部材４１と第２保持部材４２とで基板１０を保持する保持開始位置に保持具２７を下降させ、保持開始位置において下降を停止させる。また、保持した基板１０を支持台２５から上昇させる際、もしくは、基板１０を保持する際など、基板１０を上方向に移動する際には、変位機構２８は保持具２７を上昇させる。なお、保持の方法の詳細については、別の図面を用いて後述する。
【００３７】
水平移動機構２８ｂは、保持具２７を水平方向に移動させる。具体的には、支持台２５の上方からコート槽２２の上方へ、及び、コート槽２２の上方から次工程を行う場所の上方へ基板１０をする場合に、変位機構２８は保持具２７を水平方向で移動させる。
【００３８】
これら保持具２７と変位機構２８とにより、基板１０は保持された状態で吊り上げられ、その状態で、移送元である支持台２５からコート槽２２へ、そしてコート槽２２から次工程を行う移送先へと移送される（移送工程）。
【００３９】
コート槽２２は、ディップコート法により塗布を行うためのものである。コート槽２２は、基板１０の第１基板面１０Ａと第２基板面１０Ｂとに塗布液５１からなる被膜（図示無し）を形成するためのものであり、槽本体５５と、蓋５６とを備える。槽本体５５は、塗布液５１を貯留する。
【００４０】
蓋５６は、貯留されている塗布液５１の液面５１ｓ上の雰囲気と外部空間とを仕切るためのものであり、液面５１ｓを覆うように槽本体５５の上部に配される。蓋５６には、起立姿勢、具体的には鉛直な起立姿勢の基板１０が昇降して通過するための開口５６ａが形成されている。保持具２７は、液面５１ｓにできるだけ近づいた位置にまで下降するようにしているので、開口５６ａは、保持具２７が通過できる程度に、できるだけ小さなサイズに形成されており、本例では図２紙面奥行方向に延びたスリット状としてある。なお、下降した際の保持具２７は開口５６ａよりも上部に位置してもよい。その場合には、開口５６ａは、被膜が形成された状態の基板１０が通過できる程度のサイズに形成してあればよい。開口５６ａをできるだけ小さく形成することで、液面５１ｓ上の雰囲気と外部空間とをより効果的に仕切り、塗布液５１の劣化が抑えられる。
【００４１】
塗布液５１は、機能膜１１（図１参照）を形成するためのものである。塗布液５１は、この中に基板１０が浸漬された後に、上方へ引きあがられることにより第１基板面１０Ａと第２基板面１０Ｂとに塗布液５１が塗布されて被膜を形成し（塗布工程）、その後の工程での所定の処理により、被膜は機能膜１１となる。所定の処理とは、例えば被膜を乾燥する乾燥処理や、光を照射する光照射処理などが挙げられ、塗布液５１に含まれる化合物に応じて処理の種類は決められる。本例ではこれらの処理が終わった後に、樹脂部３１を剥ぎ取っている（剥取工程）が、樹脂部３１は、後述のように、保持具２７による保持をするためのものであるから、剥ぎ取りは、保持を解除した（保持解除工程）の後であればいずれのタイミングで行ってもよい。また、後の工程で、端縁部１０ｐ以外のみを使用する場合、あるいは、基板１０の端縁部１０ｐを切除する場合には、剥取工程を行わなくてもよい。
【００４２】
被膜及び機能膜１１の厚みは、例えば塗布液５１からの基板１０の引き上げ速度を調整することにより、制御することができる。具体的には、引き上げ速度を大きく（速く）するほど厚みを大きく（厚く）することができ、引き上げ速度を小さく（遅く）するほど厚みを小さく（薄く）することができる。これは、塗布液５１と基板１０との界面で、塗布液５１の表面張力及び／または凝集力等により基板１０に被膜として付着している塗布液５１を液面５１ｓ下の塗布液５１が引き戻そうとする力が働くからである。したがって、その力は、引き上げ速度を大きくした方が短い時間働くために厚みを大きくする方向に機能し、一方、引き上げ速度を小さくしたほうが長い時間働くため厚みが小さくする方向に機能する。
【００４３】
被膜及び機能膜１１の厚みと引き上げ速度との関係は、塗布液５１の性状（液質）を変更すること、上記の表面張力を変更すること、あるいは、被膜の乾燥速度を変更することにより、変えることができる。表面張力及び乾燥速度は、塗布液５１の溶剤の量や種類によって調整することができる。また、乾燥速度は、塗布を行う装置（例えばコート槽）の構成を変えることによっても調整できる。例えば、コート槽２２の開口５６ａの上方に乾燥気体を供給する気体供給部を設け、塗布液５１から引き上げ中の基板１０の被膜に対して乾燥気体を供給する場合には、その供給流量を調整することで被膜の乾燥速度を調整できる。
【００４４】
塗工工程及び剥取工程について図３及び図４を参照しながら説明する。塗工ノズル３２は前述のノズル変位機構により、図３に示すように水平方向と上下方向とのいずれにも変位する。これにより、塗工ノズル３２を下方向へ変位させることにより基板１０の上端に近づける、水平方向に変位させることにより基板１０の上端を例えばなぞるように変位させる、上方へ変位させることにより基板１０から遠ざける、といった移動が可能とされている。
【００４５】
塗工ノズル３２は、基板１０の上端に近づいてから塗工液３６を出し、塗工を開始する。そして、基板１０の上側の端面１０ｓに沿うように、図３における横方向に塗工ノズル３２を移動させる。この移動中に、塗工液３６を塗工ノズル３２から連続的に出すことにより塗工液３６は端面１０ｓの図２紙面奥行方向に延びた状態に塗布され、その結果、同方向に延びた塗工部３７が端面１０ｓのみもしくは端面１０ｓを含む端縁部１０ｐに形成される。この例では端面１０ｓを含む端縁部１０ｐに塗工部３７を形成している。
【００４６】
ただし、端面１０ｓに沿った移動中に、塗工液３６を塗工ノズル３２から間欠的に出してもよい。これにより塗工液３６は端面１０ｓの延びた方向において断続的に塗布され、その結果、同方向において部分的な複数の塗工部３７が端面１０ｓのみもしくは端面１０ｓを含む端縁部２０ｐに形成される。このように、塗工部３７は、端面１０ｓのみもしくは端面１０ｓを含む端縁部２０ｓに、矩形の基板１０の一辺で延びた態様で形成してもよいし、部分的に複数の領域をもって形成されてもよい。部分的に複数の領域をもって塗工部３７を形成する場合には、図３の横方向において、第１保持部材４１（図２参照）の後述の複数の第１爪６１ａ（図５参照）と複数の第２爪６２ｂ（図５参照）とのそれぞれが対向する位置に塗工部３７を形成する。
【００４７】
塗工ノズル３２は、塗工液３６を出すこと（以下、出液と称する）を停止した後、もしくは出液の停止と同時に、端面１０ｓから遠ざけるように変位させる。これにより塗工部３７から離れる際の塗工ノズル３２の先端にかけて塗工液３６は伸びた状態を経て、切れる。これにより、塗工部３７には形成の終端に、塗工液３６が角（つの）のように立ち上がった突起ＰＰが形成される。この突起ＰＰは、硬化工程を経て得られた樹脂部３１においても図４に示すように残る。前述の通り、樹脂部３１は、基板１０を保持具２７により保持するためのものだから、保持が解除された後は不要である。そこで、樹脂部３１を剥ぎ取る場合があり、剥取工程においてはこの突起ＰＰを摘まむように保持し、引き上げることができる。これにより、樹脂部３１は基板１０から除去される。剥ぎ取りは、剥取処理操作を行う操作者によって行ってもよいし、突起ＰＰを摘まむように挟持する挟持部とこの挟持部を変位させる変位機構とを備える剥取装置によって行ってもよい。
【００４８】
塗工ノズル３２は、ノズル変位機構を備える構成に限定されず、塗工処理操作を行う操作者によって移動させてもよい。また、この例では、起立姿勢にした基板１０の上方となる端面１０ｓに塗工液３６を塗工しているが、例えば基板１０の側方である端面に塗工してもよい。その場合には、塗工ノズル３２を例えば上から下へ移動させながら塗工してもよいし、上部のみに塗工液３６を出し、塗工液３６が流れ落ちるようにして塗工してもよい。
【００４９】
この例での樹脂部形成ユニット２６は、塗工により樹脂部３１を形成するが、樹脂部３１は塗工による形成に限られない。樹脂部３１を形成する他の手法としては、例えば樹脂部３１となる樹脂材（図示無し）を粘着テープ（図示無し）で、端縁部１０ｐに貼り付ける方法がある。また、この例では樹脂部３１を剥ぎ取ることにより除去しているが、樹脂部３１を除去する場合の除去手法は剥ぎ取りに限られない。例えば、エッチングなどにより除去してもよいし、剥離剤を樹脂部３１に付与するなどの手法でも構わない。
【００５０】
保持具２７及び変位機構２８によって基板１０を保持する方法について、図５を参照しながら説明する。なお、図５〜図１４においては、第１保持部材４１及び第２保持部材４２に対して、基板１０の厚みと樹脂部３１の大きさとを大きく誇張して描いてある。樹脂部３１は、図５における下端の位置が基板１０の端面１０ｓから１ｍｍ以内となるように形成しており、０．５ｍｍ以内であることがより好ましい。端面１０ｓのみに形成していても構わない。すなわち、端縁部１０ｐの第１基板面１０Ａ及び第２基板面１０Ｂにおける領域寸法Ｌ１０ｐは、０ｍｍ以上１ｍｍ以下であることが好ましく、０ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であることが好ましい。領域寸法Ｌ１０ｐが０ｍｍである場合は、端面１０ｓのみに形成している場合である。このように、樹脂部３１の断面積は実際には非常に小さい。
【００５１】
第１保持部材４１と第２保持部材４２とは、それぞれ、先端に第１爪６１ａが形成された板状の第１保持部６１と、第２爪６２ａが形成された板状の第２保持部６２とを備える。第１爪６１ａと第２爪６２ａとは、保持対象の基板１０側、かつ、基板１０を保持した状態において下向きになるように先端を向けている。
【００５２】
基板１０を保持する際には、図５（Ａ）に示すように、まず、第１爪６１ａと第２爪６２ａとの各先端が樹脂部３１よりも下に位置する状態に、変位機構２８によって保持具２７を下降させる。下降後、第１保持部材４１と第２保持部材４２とは互いの距離を小さくする。この例では、第１爪６１ａと第２爪６２ａとの各先端が基板１０に接触しない程度にしている。その後、変位機構２８により、図５（Ｂ）に示すように、保持具２７を上昇させる。これにより、第１保持部材４１と第２保持部材４２とは第１爪６１ａと第２爪６２ａとが樹脂部３１に下方から係合して基板１０を保持した状態で吊り上げ、これにより基板１０が吊り下げられた状態になる。
【００５３】
樹脂部３１は、上記のように基板１０の非常に少ない領域である上方の端縁部１０ｐに設けられており、第１保持部材４１と第２保持部材４２とがこの樹脂部３１に係合するから、基板１０のうち保持に利用されている領域は上方の端縁部１０ｐである非常に小さい一部のみに抑えられる。したがって、この領域の下方はコート槽２２において塗布液５１内に浸漬でき、このように塗布できない無効領域（エッジイクスクルージョン）は非常に小さく抑えられる。なお、ガラスインターポーザーに用いられる０．７ｍｍの厚みのガラス製の基板１０でも、２００ｍｍ×２００ｍｍのサイズで概ね１００ｇに満たない程度の質量であり、上記の領域寸法Ｌ１０ｐでも基板１０を保持する際の樹脂部３１としての機能を十分に発揮する。
【００５４】
また、第１爪６１ａと第２爪６２ａとは先端を下向きにした状態で基板１０を保持しているから、保持具２７が液面５１ｓ（図２参照）に接触することを防止しやすい。さらに、樹脂部３１に第１基板面１０Ａ側と第２基板面１０Ｂ側との両側から保持具２７は係合するから、基板１０は鉛直の起立姿勢を安定的に維持し、かつ、基板１０が破損しない。
【００５５】
なお、第１保持部材４１と第２保持部材４２とは、弾性材料（例えばゴム系材料など）で形成することにより、樹脂部３１に入り込んだ場合や基板１０に接した場合であっても、樹脂部３１や基板１０に対する過度な押圧力を抑制できる。このような過度な押圧力を抑制することにより、基板１０の破損がより確実に抑えられる。ただし、第１保持部材４１と第２保持部材４２とを弾性材料で形成しない場合でも、例えば第１保持部材４１と第２保持部材とをばねなどの弾性部材を用いて付勢し、その付勢力を調整することで樹脂部３１や基板１０に対する過度な押圧力を抑制できる。
【００５６】
第１保持部６１と第２保持部６２とは、それぞれ複数が第１保持部材４１と第２保持部材４２とに形成されている。図６には、第１保持部６１を７個、第２保持部６２を６個描いてあるが、各個数はこの例に限定されない。第２爪６２ａは、複数の第１爪６１ａの並び方向（複数の第２爪６２ａの並び方向でもある）において、第１爪６１ａと第１爪６１ａとの間に位置するように配されている。これにより、図７に示すように、樹脂部３１に入り込んだ場合や基板１０に接した場合であっても、樹脂部３１及び基板１０に対して過度な押圧力が付与されることがより確実に抑えられている。なお、複数の第１爪６１ａは、この例では第１基板面１０Ａに沿って、かつ、水平に並んで配されているが、第１基板面１０Ａに沿って配されていればよい。複数の第２爪６２ａについても同様である。また、この例では、第１爪６１ａと第２爪６２ａとが、並び方向において互いの間となるように並び方向でずらして配されているが、第１爪６１ａと第２爪６２ａとの配置態様はこれに限定されず、第１爪６１ａと第２爪６２ａとが基板１０を介して対向した位置に配されていてもよい。
【００５７】
また、第１爪６１ａと第２爪６２ａとは、図７に示すように断面楔形とされており、先端が第１基板面１０Ａと第２基板面１０Ｂとに平行に形成されている。これにより、基板１０はより安定的に保持される。
【００５８】
上記の例は、樹脂部３１に第１保持部材４１と第２保持部材４２とが係合するように、基板１０を吊り上げて保持する場合であるが、基板１０の保持態様はこれに限定されない。例えば、図８に示すように、複数の第１爪６１ａと複数の第２爪６２ａとで樹脂部３１を押さえて、第１保持部材４１と第２保持部材４２とにより樹脂部３１を挟持してもよい。
【００５９】
この例では、第１基板面１０Ａ上と第２基板面１０Ｂ上とに形成された樹脂部３１を挟持しているが、樹脂部３１を挟持する位置はこれに限られない。例えば図９に示すように、端面１０ｓよりも上方で樹脂部３１を挟持してもよい。このように端面１０ｓよりも上方で樹脂部３１を挟持する場合には、樹脂部３１は第１基板面１０Ａと第２基板面１０Ｂとに形成されていなくてもよく、端面１０ｓにのみ形成されていれば足りる（図１０参照）。
【００６０】
例えば、図１１に示すように、第１基板面１０Ａ上の端縁部１０ｐにのみ形成されていてもよいし、図１２に示すように、第１基板面１０Ａ上と第２基板面１０Ａ上との端縁部１０ｐにのみ形成され、かつ端面１０ｓに形成されていなくもよい。この場合には、樹脂部３１に第１保持部材４１と第２保持部材４２とを係合するように、基板１０を保持して吊り上げてもよいし、第１保持部材４１と第２保持部材４２とにより樹脂部３１を挟持することにより基板１０を保持して吊上げてもよい。これらのように、樹脂部３１は、端縁部１０ｐに形成されていればよい。
【００６１】
図１３に示す保持具７０は、第１保持部材４１と第２保持部材４２との代わりに、第１保持部材７１と第２保持部材７２とを備える。第１保持部材７１と第２保持部材７２とは、第１保持部６１と第２保持部６２と同様に板状の第１保持部７５と第２保持部７６とを有する。第１保持部７５と第２保持部７６との第１爪７５ａと第２爪７６ａとは、楔形の先端が断面円形の円柱状とされている。
【００６２】
この例においても、第１保持部材７５と第２保持部材７６とが樹脂部３１に係合するから、基板１０のうち保持に利用されている領域は上方の非常に小さい一部のみに抑えられる。したがって、無効領域は非常に小さく抑えられる。また、第１爪７５ａと第２爪７６ａとは先端を下向きにした状態で、基板１０を保持しているから、保持具７０の液面５１ｓへの接触を防止しやすい。さらに、樹脂部３１に第１基板面１０Ａ側と第２基板面１０Ｂ側との両側から保持具２７は係合するから、基板１０は鉛直の起立姿勢を安定的に維持し、かつ、基板１０が破損しない。なお、保持具７０の場合であっても、保持具２７の場合と同様に、第１保持部材７５と第２保持部材７６とにより樹脂部３１を挟持してもよい。
【００６３】
第１保持部６１，７５及び第２保持部６２，７６は楔形の第１爪６１ａ，７５ａ及び第２爪６２ａ，７６ａを有するが、第１保持部及び第２保持部はこれに限られない。例えば、図１４に示すように、先細の爪７８ａを有する保持部７８であってもよい。
【００６４】
保持具２７，７０の代わりに、図１５に示す保持具９０であってもよい。保持具９０は、第１保持部材９１と第２保持部材９２とを備える。第１保持部材９１及び第２保持部材９２とは、高い剛性の例えば金属で形成された第１保持部９３及び第２保持部９４と、例えばゴム系材料などの弾性材料で形成された弾性部９７とを備える。各弾性部９７は、例えば金属製の移動軸９６により支持部材４３に設けられている。これにより、第１保持部９３及び第２保持部９４は、弾性部９７を介して移動軸９６によってスライド移動する。
【００６５】
保持具９０は、樹脂部３１に入り込んだ場合や基板１０に接した場合であっても、樹脂部３１や基板１０に対する過度な押圧力を抑制できる。このような過度な押圧力を抑制することにより、基板１０の破損がより確実に抑えられる。
【符号の説明】
【００６６】
１０    基板
１０Ａ  第１基板面
１０Ｂ  第２基板面
１０ｐ  端縁部
１０ｓ  端面
１１    機能膜
１２    積層体
２０    塗布設備
２１    移送装置
２２    コート槽
２５    支持台
２５ａ  台本体
２５ｂ  仕切り板
２６    樹脂部形成ユニット
２７，７０，９０    保持具
２８    変位機構
２８ａ  昇降機構
２８ｂ  水平移動機構
３１    樹脂部
３２    塗工ノズル
３３    光源
３６    塗工液
３７    塗工部
４１，７１，９１    第１保持部材
４２，７２，９２    第２保持部材
４３    支持部材
５１    塗布液
５１ｓ  液面
５５    槽本体
５６    蓋
５６ａ  開口
６１，７５，９３    第１保持部
６１ａ，７５ａ  第１爪
６２，７６，９４    第２保持部
６２ａ，７６ａ  第２爪
７８    保持部
７８ａ  爪
９６    移動軸
９７    弾性部
ＰＰ    突起
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2020018968.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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