(57)【要約】      （修正有）【課題】摩擦中の摩擦界面で生じるサブミクロンオーダーの現象を観察することが可能な摩擦の観察方法及び観察装置を提供する。【解決手段】電子透過膜１の第１面に押圧部材３を押し付けつつ、電子透過膜の面方向に沿って、押圧部材を移動することで、摩擦を生じさせるステップと、電子透過膜の第１面とは反対側の第２面に対し、電子ビームＢを照射するステップと、電子透過膜を透過した電子ビームが電子透過膜と押圧部材との界面に照射されることで、界面で発生した電子または電磁波を検出し、電子透過膜において摩擦が生じている領域の像を取得するステップと、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子透過膜の第１面に押圧部材を押し付けつつ、当該電子透過膜の面方向に沿って、前記押圧部材を移動することで、摩擦を生じさせるステップと、
前記電子透過膜の前記第１面とは反対側の第２面に対し、電子ビームを照射するステップと、
前記電子透過膜を透過した前記電子ビームが前記電子透過膜と前記押圧部材との界面に照射されることで、前記界面で発生した電子または電磁波を検出し、前記電子透過膜において前記摩擦が生じている領域の像を取得するステップと、を備えている、摩擦の観察方法。
【請求項２】
前記電子透過膜の厚みが、１〜２００ｎｍである、請求項１に記載の摩擦の観察方法。
【請求項３】
前記電子透過膜が、Ｓｉ3Ｎ4，ＳｉＯ2，ＳｉＣ，Ｓｉ，ＤＬＣ，アモルファスカーボン、グラフェン、または酸化グラフェンにより形成されている、請求項１または２に記載の摩擦の観察方法。
【請求項４】
前記押圧部材が曲面を有し、当該曲面を前記電子透過膜に押圧する、請求項１から３のいずれかに記載の摩擦の観察方法。
【請求項５】
前記電子透過膜によって塞がれた開口を有するとともに、密閉された内部空間を有する、容器を準備するステップをさらに備え、
前記電子透過膜の第１面が前記内部空間に面し、
前記摩擦を生じさせるステップでは、前記電子透過膜の第１面に潤滑油を塗布し、当該潤滑油が塗布されている領域に対し、前記押圧部材によって前記摩擦を生じさせる、請求項１から４のいずれかに記載の摩擦の観察方法。
【請求項６】
電子顕微鏡によって摩擦を観察するための観察装置であって、
第１面及び当該第１面とは反対の第２面を有する電子透過膜と、
前記電子顕微鏡の電子ビームが前記電子透過膜の第２面に対して照射されるように、当該電子透過膜を支持する支持部と、
前記電子透過膜の第１面に対して接触する押圧部材と、
前記押圧部材を前記電子透過膜の第１面に対して押圧させるとともに、当該第１面に沿って移動させることで、摩擦を生じさせる、移動機構と、
を備え、
前記電子透過膜を透過した前記電子ビームが前記電子透過膜と前記押圧部材との界面に照射されることで、前記界面で発生した電子または電磁波を検出し、前記電子透過膜において生じている前記摩擦を前記電子顕微鏡で観察するように構成されている、摩擦の観察装置。
【請求項７】
前記電子透過膜の厚みが、１〜２００ｎｍである、請求項６に記載の摩擦の観察装置。
【請求項８】
前記電子透過膜は、Ｓｉ3Ｎ4，ＳｉＯ2，ＳｉＣ，Ｓｉ，ＤＬＣ，アモルファスカーボン、グラフェン、または酸化グラフェンにより形成されている、請求項６または７に記載の摩擦の観察装置。
【請求項９】
前記押圧部材が曲面を有し、当該曲面が前記電子透過膜に押圧される、請求項６から８のいずれかに記載の摩擦の観察装置。
【請求項１０】
前記支持部は、開口を有し、密閉された内部空間を有する容器を備えており、
前記電子透過膜の第１面が前記内部空間に面するように、当該電子透過膜によって前記開口が塞がれ、
前記電子透過膜の第１面に潤滑油が塗布され、当該潤滑油が塗布されている領域に対し、前記押圧部材によって前記摩擦が生じるように構成されている、請求項６から９のいずれかに記載の摩擦の観察装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、摩擦の観察方法及び観察装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
摩擦は二つの表面間が接触・摺動する「界面」で生じる。界面という固体間で挟まれた領域は「その場」観察が非常に困難で、観察および分析は摩擦後に行われる。これに対して、例えば、非特許文献１では、光学顕微鏡を用いて摩擦界面を観察する試みがなされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】V. Chauveau, D. Mazuyer, F. Dassenoy, and J. Cayer-Barrioz, Tribol. Lett., 2012, pp. 467−480.
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、摩擦界面では、形状変化や物理化学反応などサブミクロンオーダーの現象がダイナミックに変化していると推測されるが、ブラックボックス化して未明の現象が多々ある。この摩擦現象の解明には、非特許文献１のような光学顕微鏡を用いた観察では分解能が全く足りない。そのため、分解能が非常に高い走査型電子顕微鏡などの電子顕微鏡を用いた、摩擦界面のその場観察が不可欠であるが、現在のところ全く実現されていない。本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、摩擦中の摩擦界面で生じるサブミクロンオーダーの現象を観察することが可能な摩擦の観察方法及び観察装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る摩擦の観察方法は、電子透過膜の第１面に押圧部材を押し付けつつ、当該電子透過膜の面方向に沿って、前記押圧部材を移動することで、摩擦を生じさせるステップと、前記電子透過膜の前記第１面とは反対側の第２面に対し、電子ビームを照射するステップと、前記電子透過膜を透過した前記電子ビームが前記電子透過膜と前記押圧部材との界面に照射されることで、前記界面において発生する電子または電磁波を検出し、前記電子透過膜において前記摩擦が生じている領域の像を取得するステップと、を備えている。なお、電子ビームを照射するステップは、摩擦を生じさせるステップの後でもよい。
【０００６】
上記摩擦の観察方法においては、前記電子透過膜の厚みを、１〜２００ｎｍとすることができる。
【０００７】
上記摩擦の観察方法においては、前記押圧部材が曲面を有し、当該曲面を前記電子透過膜に押圧するように構成することができる。
【０００８】
上記摩擦の観察方法においては、前記電子透過膜を、Ｓｉ3Ｎ4，ＳｉＯ2，ＳｉＣ，Ｓｉ，ＤＬＣ，アモルファスカーボン、グラフェン、または酸化グラフェンにより形成することができる。
【０００９】
上記摩擦の観察方法においては、前記電子透過膜によって塞がれた開口を有するとともに、密閉された内部空間を有する、容器を準備するステップをさらに備えることができ、前記電子透過膜の第１面が前記内部空間に面し、前記摩擦を生じさせるステップでは、前記電子透過膜の第１面に潤滑油を塗布し、当該潤滑油が塗布されている領域に対し、前記押圧部材によって前記摩擦を生じさせるように構成することができる。
【００１０】
本発明に係る摩擦の観察装置は、電子顕微鏡によって摩擦を観察するための観察装置であって、第１面及び当該第１面とは反対の第２面を有する電子透過膜と、前記電子顕微鏡の電子ビームが前記電子透過膜の第２面に対して照射されるように、当該電子透過膜を支持する支持部と、前記電子透過膜の第１面に対して接触する押圧部材と、前記押圧部材を前記電子透過膜の第１面に対して押圧させるとともに、当該第１面に沿って移動させることで、摩擦を生じさせる、移動機構と、を備え、前記電子透過膜を透過した前記電子ビームが前記電子透過膜と前記押圧部材との界面に照射されることで、前記界面で発生した電子または電磁波を検出し、前記電子透過膜において生じている前記摩擦を前記電子顕微鏡で観察するように構成されている。
【００１１】
上記摩擦の観察装置においては、前記電子透過膜の厚みを、１〜２００ｎｍとすることができる。
【００１２】
上記摩擦の観察装置においては、前記押圧部材が曲面を有し、当該曲面が前記電子透過膜に押圧されるように構成することができる。
【００１３】
上記摩擦の観察装置においては、前記電子透過膜を、Ｓｉ3Ｎ4，ＳｉＯ2，ＳｉＣ，Ｓｉ，ＤＬＣ，アモルファスカーボン、グラフェン、または酸化グラフェンにより形成することができる。
【００１４】
上記摩擦の観察装置においては、前記支持部は、開口を有し、密閉された内部空間を有する容器を備えており、前記電子透過膜の第１面が前記内部空間に面するように、当該電子透過膜によって前記開口が塞がれ、前記電子透過膜の第１面に潤滑油が塗布され、当該潤滑油が塗布されている領域に対し、前記押圧部材によって前記摩擦が生じるように構成することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、摩擦中の摩擦界面で生じるサブミクロンオーダーの現象を観察することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る観察装置の概略構成図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係る観察装置の概略構成図である。
【図３】本発明の実施例に係る観察装置で観察した摩擦界面の写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
＜Ａ．第１実施形態＞
以下、本発明に係る観察装置の第１実施形態について、図面を参照しつつ説明する。図１は、この観察装置の概略構成図である。
【００１８】
＜１．観察装置の概要＞
図１に示すように、本実施形態に係る観察装置１０は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の真空槽内の試料観察ステージ８０上に配置され、電子透過膜１の表面で生じる摩擦を観察するためのものである。具体的には、この観察装置１０は、電子透過膜１と、この電子透過膜１とを支持する支持部２と、電子透過膜１に押圧される押圧部材３と、この押圧部材３の動作を制御する制御部（移動機構）４と、を備えている。以下、各部材について、詳細に説明する。
【００１９】
＜１−１．電子透過膜＞
電子透過膜１は、ＳＥＭにおいて照射される電子ビームＢが透過するものである。電子透過膜１を形成する材料は、電子が透過するものであれば、特には限定されないが、例えば、Ｓｉ3Ｎ4，ＳｉＯ2，ＳｉＣ，Ｓｉ，ＤＬＣ，アモルファスカーボン、グラフェン、または酸化グラフェン等を採用することができる。このうち、Ｓｉ3Ｎ4は、硬く、破壊されにくい材料であるため、特に好ましい。
【００２０】
電子透過膜１の厚みは、特には限定されないが、例えば、１〜２００ｎｍであることが好ましく、５〜１００ｎｍであることがさらに好ましく、２０〜５０ｎｍであることが特に好ましい。これは、電子透過膜１の厚みが小さいと、ＳＥＭにおいて明瞭な像を得ることができて好ましいが、小さすぎると、摩擦によって破壊される可能性があることによる。一方、電子透過膜１の厚みが、大きすぎると電子が透過しないおそれがあることによる。
【００２１】
＜１−２．支持部＞
支持部２は、電子透過膜１を支持する支持板２１と、この支持板２１を水平状態でＳＥＭの真空槽の試料観察ステージ８０上で支持するための基台２２と、備えている。支持板２１には、円形の貫通孔２１１が形成されており、この貫通孔２１１を塞ぐように、支持板２１の下面に電子透過膜１が固定されている。基台２２は、支持板２１が固定される矩形状の固定板２２１と、この固定板２２１の四隅から下方に延びる４本の脚部材２２２とを備えており、この基台２２によって、支持板２１が所定の高さに保持される。なお、支持板２１には貫通孔２１１ではなくも、切り欠きを形成し、この切り欠きの少なくとも一部を塞ぐように電子透過膜１を取り付けてもよい。
【００２２】
＜１−３．押圧部材＞
次に、押圧部材３について説明する。本実施形態において、押圧部材３は球体によって形成されており、後述する制御部４の片持ち梁４１によって支持される。そして、片持ち梁４１の動作は、後述する制御部４のピエゾステージ４２によって制御され、これによって、押圧部材３は、電子透過膜１の下面（第１面）を押圧しつつ、電子透過膜１の面方向に移動するようになっている。すなわち、押圧部材３によって、電子透過膜１の下面が擦られ、摩擦が生じるようになっている。
【００２３】
押圧部材３は、例えば、金属、セラミックス、樹脂材料など、電子が透過しない種々の材料を使用することができる。このうち、金属は、導電性であるため、ＳＥＭでの観察に適している。
【００２４】
＜１−４．制御部＞
続いて、制御部４について説明する。制御部４は、上述したように押圧部材３を支持する片持ち梁４１と、この片持ち梁４１を動作させるピエゾステージ４２と、片持ち梁４１の位置を検知する検知部４３と、を備えている。片持ち梁４１は、弾性変形可能な板材や針金などを用いることができ、上述したように、その一端部の上面に押圧部材３が固定されている。そして、片持ち梁４１の他端部がピエゾステージ４２に固定されている。ピエゾステージ４２は、ピエゾアクチュエータによって三次元的（Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向）に動作する公知の装置である。ここでは、電子透過膜１と垂直な方向（鉛直方向）をＺ方向とし、それと直交する電子透過膜１の面方向をＸ方向及びＹ方向と規定する。
【００２５】
また、検知部４３は、ピエゾステージ４２に固定されたレーザ源４３１と、片持ち梁４１の一端部の下面に取り付けられたミラー４３２と、ピエゾステージ４２に取り付けられたミラー４３３と、ピエゾステージ４２に固定されたフォトダイオード４３４と、を備えている。この構成によって、レーザ源４３１から照射されたレーザ光が２枚のミラー４３２、４３３で反射し、反射されたレーザ光が、フォトダイオード４３３によって受光されるようになっている。２枚のミラー４３２，４３３は、押圧部材３と対応する位置にあるため、これらミラー４３２，４３３で反射するレーザ光を受光することで、押圧部材３の位置を検出できるようになっている。なお、検知部４の構成は特には限定されず、レーザ光を用い、少なくとも一枚以上のミラーによって、反射したレーザ光を受光することで片持ち梁４１の一端部、つまり押圧部材３と対応する位置が検出できるように構成されていればよい。
【００２６】
＜２．観察装置による摩擦の観察方法＞
次に、上記のように構成された観察装置１０による摩擦の観察方法について説明する。まず、上記観察装置１０を、ＳＥＭの真空槽内の試料観察ステージ８０上に配置する。次に、ピエゾステージ４２を駆動し、片持ち梁４１を上方に移動する。これにより、片持ち梁４１の一端部に固定された押圧部材３が電子透過膜１を押圧する。このとき、電子透過膜１を押圧する力は、電子透過膜１の種類、厚み、押圧部材３の形状によって適宜変更することができる。したがって、この押圧力は特には限定されないが、例えば、押圧部材３が数ｍｍ程度の直径のものであれば、例えば、１ｍＮ以下とすることができる。なお、後述する実施例においては、１５μＮで電子透過膜１を押圧するようにしている。
【００２７】
続いて、ピエゾステージ４２を駆動し、片持ち梁４１をＸ方向に往復動させる。これにより、押圧部材３は、電子透過膜１を押圧しつつ、電子透過膜１の面方向に移動する。例えば、電子透過膜１上で一方向のみ移動してもよいし、二次元的に移動させてもよい。こうして、電子透過膜１と押圧部材３との間で摩擦が生じる。このとき、片持ち梁４１の先端部の位置は、上述したレーザによって計測しているため、この先端部の位置に基づいて片持ち梁４１の曲げ変位等を得ることができる。したがって、例えば、この先端部の位置を一定にすることで、電子透過膜１への押圧力を一定にすることができる。また、曲げ変位と押圧力との関係を較正しておけば、ピエゾステージ４２の移動を制御することで、電子透過膜１への押圧力を調整することができる。さらに、片持ち梁４１のねじれも測定される。ねじれは摩擦力に換算するように較正することができる。
【００２８】
これに続いて、ＳＥＭにおいて電子ビームＢを観察装置１０に対して照射する。すなわち、支持板２１の貫通孔２１１に向けて電子ビームＢを照射する。電子ビームＢは、電子透過膜１の上面（第２面）から、これを透過し、電子透過膜1と押圧部材３との界面に照射される。これにより、界面から二次電子が発生する。この二次電子は電子透過膜１を透過した後、ＳＥＭの検出部によって検出され、これが結像される。すなわち、ＳＥＭにより、電子透過膜１と押圧部材３との間で生じる摩擦を観察することができる。
【００２９】
＜３．特徴＞
以上のように、本実施形態によれば、電子透過膜１の下面を押圧部材３で擦ることによって摩擦を生じさせるとともに、電子透過膜１の上面から電子ビームＢを照射し、電子透過膜１と押圧部材３との界面に照射する。これにより、界面から発生した二次電子を検出し、結像することで、ＳＥＭにより、摩擦を観察することができる。したがって、これまで不可能であった、摩擦中の摩擦界面で生じるサブミクロンオーダーの現象を観察することができる。そのため、摩擦のメカニズムの解明に寄与することが期待される。
【００３０】
本実施形態に係る観察装置１０は、小型で簡易な構成であるため、ＳＥＭを利用して低コストで摩擦の観察を行うことができる。
【００３１】
＜Ｂ．第２実施形態＞
次に、本発明に係る観察装置の第２実施形態について、図面を参照しつつ説明する。図２は、第２実施形態に係る観察装置の概略構成図である。以下では、主として第１実施形態と相違する部分について説明し、同じ構成については、同じ符号を付して説明を省略することがある。
【００３２】
本実施形態に係る観察装置２０が、第１実施形態と相違するのは、支持部２の代わりに、容器５を有する点である。そして、この容器５に、上述した押圧部材３、制御部４が、密閉された状態で収容されている。すなわち、容器５の内部空間は、ＳＥＭの真空槽に対して気密である。
【００３３】
容器５は、直方体状に形成されており、上壁部５１に貫通孔５２が形成されている。そして、この貫通孔５２を上壁部５１の下面側から塞ぐように、電子透過膜１が固定されている。容器５に収容された押圧部材３は、この電子透過膜１を下面側から押圧するように設置される。また、押圧部材３を支持する片持ち梁４１は、第１実施形態と同様に、ピエゾステージ４２によってＸ，Ｙ，Ｚ方向に駆動され、これによって、押圧部材３と電子透過膜１との間に摩擦が生じる。
【００３４】
さらに、本実施形態においては、電子透過膜１の下面に潤滑油６が塗布されており、電子透過膜１において潤滑油６が塗布された領域に、押圧部材３が接している。そして、第１実施形態と同様に、押圧部材３を移動させた状態で、ＳＥＭの電子ビームを電子透過膜１に照射すれば、潤滑油６よって低減された摩擦を観察することができる。したがって、各種の潤滑油６の効果の検証のために、この観察装置２０を用いることができる。なお、潤滑油は特には限定されず、グリース、水系潤滑剤、粉末も含まれる。
【００３５】
本実施形態では、観察装置２０が密閉された容器５を有し、この中に押圧部材３等を収容しているが、これは、容器５がなければ、潤滑油６が、ＳＥＭの真空槽において蒸発するおそれがあるためである。なお、容器５の内部空間の圧力は、常圧でもよいが、真空槽に接する電子透過膜１が圧力差によって破壊されるおそれがあるため、減圧することもできる。
【００３６】
＜Ｃ．変形例＞
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、種々の変更が可能である。なお、以下の変形例は、適宜組み合わせることができる。
【００３７】
＜１＞
電子透過膜１を支持する支持部２の構成は特には限定されない。すなわち、ＳＥＭの電子ビームを電子透過膜１に対して照射できるように、電子透過膜１を支持し、これを真空槽内に設置できる態様であれば、上記実施形態のような支持板２１及び基台２２以外の構成であってもよい。
【００３８】
＜２＞
上記実施形態では、片持ち梁４１の端部に押圧部材３を固定し、片持ち梁４１をピエゾステージ４２で移動するように構成しているが、これに限定されない。すなわち、押圧部材３を電子透過膜１に押圧しつつ、これを面方向に移動できるのであれば、種々の移動機構を適用することができる。また、上記実施形態では、電子透過膜１への押圧力や摩擦力を測定するために、レーザを用いているが、これに限定されない。すなわち、押圧力や摩擦力の測定は、例えば、歪みゲージ、変位測定、静電容量方式、ロードセル方式など、種々の方法を採用することができる。
【００３９】
＜３＞
上記実施形態の押圧部材３は球状に形成されているが、電子透過膜１を押圧できるのであれば、種々の形状にすることができる。すなわち、押圧部材３において、電子透過膜１に接する部位の形状を、球面、曲面、平面等種々の形状にすることができる。但し、平面の場合、電子透過膜１との平行度が正確でなければ押圧が困難になるため、球面や曲面であることが好ましい。また、球面や曲面であれば、押圧によって、点ではなく所定の面積で電子透過膜１に接するため、摩擦の観察がしやすいという利点もある。
【００４０】
＜４＞
第２実施形態で用いた容器５の形状は特には限定されず、上述した直方体以外の形状でもよく、密閉された内部空間が形成されていればよい。また、第２実施形態では、制御部４を容器５の内部空間に収容しているが、これに限定されない。すなわち、少なくとも、容器５の開口５２を電子透過膜１が塞ぎ、電子透過膜１における容器５の内部空間側の面に潤滑油６及び押圧部材３が配置されていればよい。したがって、押圧部材３の駆動を制御する制御部４の少なくとも一部を、容器５の外部に配置することできる。
【００４１】
＜５＞
上記実施形態では、ＳＥＭにより電子透過膜1と押圧部材３との界面で発生する二次電子を観察しているが、押圧部材３から生じた反射電子、Ｘ線を検出することもでき、これを結像して観察することもできる。また、ＳＥＭ以外であっても、電子透過膜１を介して押圧部材３に電子ビームを照射でき、押圧部材３で発生した電子、電磁波などを検出し、結像して観察できる、各種の電子顕微鏡等を採用することができる。
【実施例】
【００４２】
以下、本発明の実施例について説明する。但し、本発明は以下の実施例に限定されない。
【００４３】
まず、上記第１実施形態と同様の図１に示す観察装置を準備した。すなわち、貫通孔が形成された支持板を準備し、その下面に、貫通孔を塞ぐように電子透過膜を固定した。この電子透過膜は、Ｓｉ3Ｎ4により形成され、厚みが約５０ｎｍである。また、摩擦を観察するため、電子透過膜の下面には、酸化ナノカーボン（木材由来の酸化ナノカーボン；ｏＷＮＣｓ）分散水を滴下し、乾燥させて被膜を形成した。ｏＷＮＣｓはグラファイト層が殻となった球状の物質で、直径は数十ｎｍである。また、このｏＷＮＣｓの被膜の厚みは、概ね５０〜１００ｎｍであると考えられる。
【００４４】
そして、この支持板を支持台に固定した。また、片持ち梁として針金を用い、その先端に、押圧部材としてＳＵＪ２製の直径約１ｍｍのボールを固定した。また、片持ち梁の他端部はピエゾステージに固定し、押圧部材が電子透過膜の下面のｏＷＮＣｓが設けられている領域を押圧するように位置決めした。そして、押圧部材が約１５μＮの力で電子透過膜の下面を押圧するように制御し、且つ電子透過膜を押圧する押圧部材を、電子透過膜の面方向に約２００μｍの長さで一方向に往復動するように設定した。
【００４５】
以上のような観察装置を走査型電子顕微鏡の真空槽に設置し、ピエゾステージによる駆動を開始した。次に、電子透過膜に向けて電子ビームを照射した。そして、電子透過膜と押圧部材との界面から発生する二次電子を検出することで、図３に示すように、摩擦が生じている像を得た。図３（ａ）は、押圧部材の駆動開始当初の状態を示すものであり、図３（ｂ）は、押圧部材を１０００回、往復動させた後の状態を示すものである。
【００４６】
図３（ａ）に示す白い領域は、ｏＷＮＣｓが塗布された領域であるが、均一に塗布されているのではなく、厚みにはムラが生じている。そして、図３（ｂ）に示すように、１０００回の摩擦を行った後には、図３（ａ）と比べ白い領域が薄くなっていることが分かる。これは、押圧部材によってｏＷＮＣｓが擦られ剥離したからである。また、図３（ａ）及び図３（ｂ）の○で囲まれた部分を対比すると、図３（ｂ）では、白い領域の形状が小さくなっており、摩擦によってｏＷＮＣｓが電子透過膜から完全に脱離したことが観察できる。なお、本実施例では、静止画によって説明を行っているが、実際の試験では、動画による観察を行っている。
【００４７】
このように、本発明に係る観察装置を利用することで、摩擦中の摩擦界面を観察することができた。
【符号の説明】
【００４８】
１  電子透過膜
２  支持部
３  押圧部材
４  制御部（移動機構）
５  容器
６  潤滑油
【図１】
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【図２】
2020180925.tif 000004
【図３】
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