(57)【要約】【課題】ボルト及びナットを用いずにボディ及びダイヤフラム弁を互いに一体化でき、ボルト及びナットの腐食破壊に起因して漏液が発生する虞を低減できる薬液制御装置を提供する。【解決手段】本発明による薬液制御装置は、隔壁１０５により互いに隔てられた流入路１０３及び流出路１０４が内部に設けられるとともに、流入路１０３に連通された流入路出口１０３ａ及び流出路１０４に連通された流出路入口１０４ａが外周面に設けられ、流入路出口１０３ａ及び流出路入口１０４ａを囲うボディ環状壁１０６が外周面から延出されたボディ１０と、ボディ環状壁１０６の先端開口を覆うとともに、流入路出口１０３ａ及び流出路入口１０４ａを介する流入路１０３から流出路１０４への薬液の流通を制御するためのダイヤフラム弁１１とを備え、ボディ環状壁１０６の先端部とダイヤフラム弁１１とが互いに溶着又は溶接されている。【選択図】図１
2020143701.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
隔壁により互いに隔てられた流入路及び流出路が内部に設けられるとともに、前記流入路に連通された流入路出口及び前記流出路に連通された流出路入口が外周面に設けられ、前記流入路出口及び前記流出路入口を囲うボディ環状壁が前記外周面から延出されたボディと、
前記ボディ環状壁の先端開口を覆うとともに、前記流入路出口及び前記流出路入口を介する前記流入路から前記流出路への薬液の流通を制御するためのダイヤフラム弁と
を備え、
前記ボディ環状壁の先端部と前記ダイヤフラム弁とが互いに溶着又は溶接されている、
薬液制御装置。
【請求項２】
前記ダイヤフラム弁は、
弁環状壁と、
前記弁環状壁の内周面から径方向内方に延出された接続壁と、
前記接続壁を介して前記弁環状壁に接続された弁本体と
を有し、
前記弁環状壁の軸端面が前記ボディ環状壁の軸端面と溶着又は溶接されている、
請求項１記載の薬液制御装置。
【請求項３】
前記弁環状壁の内径が前記ボディ環状壁の内径と等しい、
請求項２記載の薬液制御装置。
【請求項４】
前記接続壁は、
前記弁環状壁の内周面から延出された支持壁と、
前記支持壁と前記弁本体との間に介在されるとともに前記支持壁よりも肉厚が薄い薄肉部と
を含む、請求項２又は請求項３に記載の薬液制御装置。
【請求項５】
薬液制御装置のボディに取り付けられるダイヤフラム弁であって、前記ボディは、隔壁により互いに隔てられた流入路及び流出路が内部に設けられるとともに、前記流入路に連通された流入路出口及び前記流出路に連通された流出路入口が外周面に設けられ、前記流入路出口及び前記流出路入口を囲うボディ環状壁が前記外周面から延出されており、
弁環状壁と、
前記弁環状壁の内周面から径方向内方に延出された接続壁と、
前記接続壁を介して前記弁環状壁に接続された弁本体と
を備え、
前記弁環状壁の軸端面が前記ボディ環状壁の軸端面と溶着又は溶接されるように適合されたダイヤフラム弁であり、
前記弁環状壁の軸端面は、前記弁環状壁の外側に比べて内側が前記弁環状壁の軸方向に突出するか、又は前記弁環状壁の内側に比べて外側が前記弁環状壁の軸方向に突出している、
ダイヤフラム弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薬液の流通を制御するための薬液制御装置及びダイヤフラム弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来用いられていたこの種の薬液制御装置としては、例えば下記の特許文献１等に示されている構成を挙げることができる。すなわち、従来の薬液制御装置には、薬液が通される流路が設けられたボディ、ボディに取り付けられたダイヤフラム弁、及びボディとの間にダイヤフラム弁を挟み込むように配置されたアクチュエータが含まれている。アクチュエータによりダイヤフラム弁が作動されることで薬液の流通が制御される。これらボディ、ダイヤフラム弁及びアクチュエータは、ベース部の上に配置される。そして、アクチュエータの上側からボルトを挿入し、このボルトをベース部に設けられたナットに螺合させることにより、ボディ、ダイヤフラム弁及びアクチュエータが一体として固定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−３４３７５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような従来の薬液制御装置では、ボディ及びダイヤフラム弁等をボルト及びナットにより一体化しているので、金属部品であるボルト及びナットが薬液等により腐食破壊されて、接合部の緩みにより漏液が発生する虞がある。
【０００５】
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、その目的の一つは、ボルト及びナットを用いずにボディ及びダイヤフラム弁を互いに一体化でき、ボルト及びナットの腐食破壊に起因して漏液が発生する虞を低減できる薬液制御装置を提供することである。また、本発明は、上述の薬液制御装置に好適なダイヤフラム弁を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る薬液制御装置は、隔壁により互いに隔てられた流入路及び流出路が内部に設けられるとともに、流入路に連通された流入路出口及び流出路に連通された流出路入口が外周面に設けられ、流入路出口及び流出路入口を囲うボディ環状壁が外周面から延出されたボディと、ボディ環状壁の先端開口を覆うとともに、流入路出口及び流出路入口を介する流入路から流出路への薬液の流通を制御するためのダイヤフラム弁とを備え、ボディ環状壁の先端部とダイヤフラム弁とが互いに溶着又は溶接されている。
【０００７】
本発明に係るダイヤフラム弁は、薬液制御装置のボディに取り付けられるダイヤフラム弁であって、ボディは、隔壁により互いに隔てられた流入路及び流出路が内部に設けられるとともに、流入路に連通された流入路出口及び流出路に連通された流出路入口が外周面に設けられ、流入路出口及び流出路入口を囲うボディ環状壁が外周面から延出されており、弁環状壁と、弁環状壁の内周面から径方向内方に延出された接続壁と、接続壁を介して弁環状壁に接続された弁本体とを備え、弁環状壁の軸端面がボディ環状壁の軸端面と溶着又は溶接されるように適合されたダイヤフラム弁であり、弁環状壁の軸端面は、弁環状壁の外側に比べて内側が弁環状壁の軸方向に突出するか、又は弁環状壁の内側に比べて外側が弁環状壁の軸方向に突出している。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の薬液制御装置によれば、ボディ環状壁の先端部とダイヤフラム弁とが互いに溶着又は溶接されているので、ボルト及びナットを用いずにボディ及びダイヤフラム弁を互いに一体化でき、ボルト及びナットの腐食破壊に起因して漏液が発生する虞を低減できる。
【０００９】
本発明のダイヤフラム弁によれば、弁環状壁の軸端面が弁環状壁の外側に比べて内側が弁環状壁の軸方向に突出するか、又は弁環状壁の内側に比べて外側が弁環状壁の軸方向に突出しているので、ボディ環状壁とダイヤフラム弁とを互いに溶着又は溶接した後にボディ環状壁及びダイヤフラム弁の周面からビードが突出される虞を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態による薬液制御装置を示す平面図である。
【図２】図１の線Ａ−Ａに沿う薬液制御装置の断面図である。
【図３】図２のダイヤフラム弁の拡大断面図である。
【図４】図２のアクチュエータの拡大断面図である。
【図５】図１の薬液制御装置の製造方法を示す斜視図である。
【図６】図５のボディ環状壁及び弁環状壁の断面図である。
【図７】図６のボディ環状壁及び弁環状壁の変形例の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照して説明する。なお、本発明は各実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、各実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施の形態に示される全構成要素からいくつかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態の構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【００１２】
図１は本発明の実施の形態による薬液制御装置１を示す平面図であり、図２は図１の線Ａ−Ａに沿う薬液制御装置の断面図であり、図３は図２のダイヤフラム弁１１の拡大断面図であり、図４は図２のアクチュエータ１２の拡大断面図である。
【００１３】
図１及び図２に示す薬液制御装置１は、２つの配管（図示せず）の間に配置されて、一方の配管から他方の配管への薬液の流通を制御するための装置である。本実施の形態の薬液制御装置１の動作状態は、一方の配管から他方の配管への薬液の流通を許容する開状態と、一方の配管から他方の配管への薬液の流通を遮断する閉状態とで切り替え可能とされている。薬液制御装置１により流通が制御される薬液としては、例えば酸化性流体、塩基性流体及び有機系流体等を挙げることができる。
【００１４】
図２に特に表れているように、薬液制御装置１は、ベース部２の上部に配置されてている。ベース部２は、図示しない支持体に支持されている。薬液制御装置１は、ベース部２に対して着脱自在に設けられていることが好ましい。着脱自在とは、薬液制御装置１及びベース部２の破壊を伴わずに、ベース部２に薬液制御装置１を取り付けることができるとともに、ベース部２から薬液制御装置１を取り外すことができることを意味している。本実施の形態の薬液制御装置１は、例えばねじ込み又はフックの係合等によりベース部２に対して着脱可能とされている。
【００１５】
本実施の形態の薬液制御装置１は、ボディ１０、ダイヤフラム弁１１及びアクチュエータ１２を含んでいる。ボディ１０及びダイヤフラム弁１１は、薬液との接触による腐食を抑えるため樹脂で構成されていることが好ましい。ボディ１０及びダイヤフラム弁１１に用いる樹脂としては、例えばＰＦＡ等を挙げることができる。後述のアクチュエータ１２の第１及び第２ハウジングは、ボディ１０及びダイヤフラム弁１１と同様に樹脂で構成できる。第１及び第２ハウジング１２０，１２２は、ボディ１０及びダイヤフラム弁１１と比較して高強度であることが好ましい。第１及び第２ハウジング１２０，１２２に用いる樹脂としては、例えばＰＶＤＦ等を挙げることができる。
【００１６】
ボディ１０は、全体として円管状の外形を有する部材であり、薬液制御装置１の下部に配置されている。薬液制御装置１の下部とは、ベース部２に近い側を意味する。ボディ１０の軸方向１０ａに係るボディ１０の一端に第１接続部１０１が設けられており、軸方向１０ａに係るボディ１０の他端に第２接続部１０２が設けられている。本実施の形態では、ボディ１０に薬液を流入させる流入配管（図示せず）が第１接続部１０１に接続され、ボディ１０から薬液を流出させる流出配管（図示せず）が第２接続部１０２に接続されることとする。
【００１７】
ボディ１０の内部には、流入路１０３、流出路１０４及び隔壁１０５が設けられている。
【００１８】
流入路１０３は、第１接続部１０１の側端に形成された開口を一端として、その開口から軸方向１０ａに延びるボディ１０の内部空間である。流出路１０４は、第２接続部１０２の側端に形成された開口を一端として、その開口から軸方向１０ａに延びるボディ１０の内部空間である。
【００１９】
隔壁１０５は、軸方向１０ａに関する第１接続部１０１と第２接続部１０２との間でボディ１０の内周面からボディ１０の径方向に突出された壁体である。流入路１０３及び流出路１０４は、ボディ１０の内部において隔壁１０５により互いに隔てられている。流入路１０３側における隔壁１０５の下部には円弧面１０５ａが形成されている。流入路１０３を通る薬液は円弧面１０５ａに案内されて上方へ向かう。
【００２０】
ボディ１０の外周面には、流入路出口１０３ａ、流出路入口１０４ａ及びボディ環状壁１０６が設けられている。本実施の形態の流入路出口１０３ａ、流出路入口１０４ａ及びボディ環状壁１０６は、ボディ１０の上部に配置されている。
【００２１】
流入路出口１０３ａは、ボディ１０の外周面に形成された開口であり、流入路１０３の他端を構成している。流出路入口１０４ａは、ボディ１０の外周面に形成された開口であり、流出路１０４の他端を構成している。流入路出口１０３ａの周囲におけるボディ１０の外周面は平坦面とされている。この平坦面には、上述の隔壁１０５の上端面が含まれる。平坦面は、後述のピストン１２１の進退方向１２１ａに対して直交して延在されていることが好ましい。
【００２２】
ボディ環状壁１０６は、そのボディ環状壁１０６の周囲のボディ１０の外周面よりも突出するようにボディ１０の外周面から延出された環状の壁部である。ボディ環状壁１０６は、ピストン１２１の進退方向１２１ａと平行にボディ１０の外周面から延出されていることが好ましい。ボディ環状壁１０６は、流入路出口１０３ａ及び流出路入口１０４ａを囲うように配置されている。
【００２３】
ダイヤフラム弁１１は、ボディ環状壁１０６の先端開口を覆うように配置された部材であり、上述の流入路出口１０３ａ及び流出路入口１０４ａを介する流入路１０３から流出路１０４への薬液の流通を制御するための部材である。
【００２４】
図３に特に表れているように、本実施の形態のダイヤフラム弁１１は、弁環状壁１１０、接続壁１１１及び弁本体１１２を有している。
【００２５】
弁環状壁１１０は、ダイヤフラム弁１１の外周壁を構成する環状の壁体である。図２に示すように、弁環状壁１１０は、ボディ環状壁１０６と同軸状に配置されている。また、弁環状壁１１０は、弁環状壁１１０の軸方向に関してボディ環状壁１０６に隣り合うように配置されている。弁環状壁１１０の内径はボディ環状壁１０６の内径と等しくされている。内径が等しいとは、内径が厳密に等しいことのみならず、内径差が例えば１０％等の所定範囲内に収まっていることを意味する。但し、弁環状壁１１０及びボディ環状壁１０６は必ずしも同じ内径を有していなくてもよい。また、弁環状壁１１０及びボディ環状壁１０６は必ずしも同じ外径及び肉厚を有していなくてもよい。
【００２６】
接続壁１１１は、弁環状壁１１０の内周面から径方向内方に延出された環状の壁体であり、弁本体１１２を弁環状壁１１０に接続している。本実施の形態の接続壁１１１には、支持壁１１１ａ及び薄肉部１１１ｂが含まれている。支持壁１１１ａは、弁環状壁１１０の内周面から径方向内方に延出されている。薄肉部１１１ｂは、支持壁１１１ａの先端から径方向内方に延出されている。また、薄肉部１１１ｂは、支持壁１１１ａと弁本体１１２との間に介在されている。薄肉部１１１ｂの肉厚は、支持壁１１１ａの肉厚よりも薄くされている。薄肉部１１１ｂは、円弧状の断面形状を有している。換言すると、薄肉部１１１ｂの表面に沿う支持壁１１１ａの先端から薄肉部１１１ｂの先端までの距離は、弁環状壁１１０の径方向に沿う支持壁１１１ａの先端から薄肉部１１１ｂの先端までの距離よりも長くされている。
【００２７】
弁本体１１２は、弁環状壁１１０の径方向に係る中央において弁環状壁１１０の軸方向に延在された略円柱状の部分であり、接続壁１１１を介して弁環状壁１１０に接続されている。弁本体１１２は、アクチュエータ１２の動作により弁環状壁１１０の軸方向（ピストン１２１の進退方向１２１ａ）に進退可能とされている。
【００２８】
弁本体１１２の先端には、円板状の封鎖部１１２ａが設けられている。封鎖部１１２ａが流入路出口１０３ａを封鎖することにより、流入路出口１０３ａ及び流出路入口１０４ａを介する流入路１０３から流出路１０４への薬液の流通が遮断される。一方、封鎖部１１２ａが流入路出口１０３ａから離されることにより、流入路出口１０３ａ及び流出路入口１０４ａを介する流入路１０３から流出路１０４への薬液の流通が許容される。
【００２９】
弁本体１１２の後端には、アクチュエータ１２に接続される接続部１１２ｂが設けられている。
【００３０】
アクチュエータ１２は、ダイヤフラム弁１１の開閉動作を制御するための部分である。具体的には、アクチュエータ１２は、ダイヤフラム弁１１の弁本体１１２を進退させることにより、封鎖部１１２ａにより流入路出口１０３ａを開閉させる。
【００３１】
本実施の形態のアクチュエータ１２は、第１ハウジング１２０、ピストン１２１、第２ハウジング１２２及び付勢部材１２３を含んでいる。
【００３２】
第１ハウジング１２０は、アクチュエータ１２の下部に設けられた筒状の部材である。図４に特に表れているように、第１ハウジング１２０には、第１ハウジング下部環状壁１２００、案内部１２０１及び第１ハウジング上部環状壁１２０２が設けられている。
【００３３】
第１ハウジング下部環状壁１２００は、第１ハウジング１２０の下部において第１ハウジング１２０の外周壁を構成する環状の壁体である。第１ハウジング下部環状壁１２００は、弁環状壁１１０と同軸状に配置されている。また、第１ハウジング下部環状壁１２００は、第１ハウジング下部環状壁１２００の軸方向に関して弁環状壁１１０に隣り合うように配置されている。第１ハウジング下部環状壁１２００の内径は弁環状壁１１０の内径と等しくされている。但し、第１ハウジング下部環状壁１２００及び弁環状壁１１０は必ずしも同じ内径を有していなくてもよい。また、第１ハウジング下部環状壁１２００及び弁環状壁１１０は必ずしも同じ外径及び肉厚を有していなくてもよい。
【００３４】
案内部１２０１は、中央に貫通孔１２０１ａが設けられた環状部分であり、第１ハウジング１２０の軸方向に係る中間位置に配置されている。案内部１２０１及び貫通孔１２０１ａは、第１ハウジング下部環状壁１２００の軸方向に延在されている。貫通孔１２０１ａにはピストン１２１の先端が挿通されており、貫通孔１２０１ａの延在方向に沿ってピストン１２１が進退される。
【００３５】
第１ハウジング上部環状壁１２０２は、第１ハウジング１２０の上部（案内部１２０１よりも上方）において第１ハウジング１２０の外周壁を構成する環状の壁体である。第１ハウジング上部環状壁１２０２は、第１ハウジング下部環状壁１２００と同軸状に配置されている。第１ハウジング上部環状壁１２０２の内径は、第１ハウジング下部環状壁１２００の内径よりも大きくされている。
【００３６】
ピストン１２１は、第１ハウジング１２０の内部において第１ハウジング下部環状壁１２００の軸方向に延在された略円柱状部材である。ピストン１２１には、ピストン本体１２１０及び拡径部１２１１が設けられている。
【００３７】
ピストン本体１２１０は、第１ハウジング下部環状壁１２００の軸方向に延在された円柱状の部分である。ピストン本体１２１０の先端は、弁本体１１２の後端に設けられた接続部１１２ｂに接続されている。ピストン本体１２１０の進退に応じて、弁本体１１２が進退される。
【００３８】
拡径部１２１１は、ピストン本体１２１０の外周面からピストン本体１２１０の径方向外方に延出された部分である。拡径部１２１１の外径は、第１ハウジング上部環状壁１２０２の内径と実質的に等しくされている。
【００３９】
第１ハウジング１２０の案内部１２０１及び第１ハウジング上部環状壁１２０２、並びにピストン１２１のピストン本体１２１０及び拡径部１２１１によって囲まれた空間を作動室１２４と呼ぶ。作動室１２４には、エアポンプ（図示せず）が接続されている。
【００４０】
第２ハウジング１２２は、アクチュエータ１２の上部に設けられた筒状の部材である。第２ハウジング１２２には、第２ハウジング環状壁１２２０、天板部１２２１及び案内部１２２２が設けられている。
【００４１】
第２ハウジング環状壁１２２０は、第２ハウジング１２２の外周壁を構成する環状の壁体である。第２ハウジング環状壁１２２０は、第１ハウジング上部環状壁１２０２と同軸状に配置されている。また、第２ハウジング環状壁１２２０は、第２ハウジング環状壁１２２０の軸方向に関して第１ハウジング上部環状壁１２０２に隣り合うように配置されている。第２ハウジング環状壁１２２０の内径は第１ハウジング上部環状壁１２０２の内径と等しくされている。
【００４２】
天板部１２２１は、第２ハウジング環状壁１２２０の上端から第２ハウジング環状壁１２２０の径方向内方に延出された壁部である。
【００４３】
案内部１２２２は、内部に貫通孔１２２２ａが設けられた筒状部分であり、天板部１２２１の内縁から第２ハウジング環状壁１２２０の軸方向に延出されている。案内部１２２２及び貫通孔１２０１ａは、第２ハウジング環状壁１２２０と同軸に配置されている。案内部１２２２及び貫通孔１２０１ａは、第１ハウジング下部環状壁１２００の軸方向に延在されている。貫通孔１２２２ａにはピストン１２１の後端が挿通されており、貫通孔１２２２ａの延在方向に沿ってピストン１２１が進退される。
【００４４】
付勢部材１２３は、第２ハウジング環状壁１２２０の天板部１２２１とピストン１２１の拡径部１２１１との間に位置するように、第１及び第２ハウジング１２０，１２２の内部に配置されている。付勢部材１２３は、ピストン１２１を押し下げるようにピストン１２１を付勢している。
【００４５】
付勢部材１２３によりピストン１２１が押し下げられることにより、ダイヤフラム弁１１の封鎖部１１２ａにより流入路出口１０３ａが封鎖される。一方、上述の作動室１２４にエアポンプからエアが供給されて、作動室１２４内の圧力が付勢部材１２３の付勢力を上回ると、ピストン１２１が上方へと変位される。ピストン１２１が上方へと変位されることにより、封鎖部１１２ａが流入路出口１０３ａから離される。
【００４６】
なお、ピストン１２１と第１及び第２ハウジング１２０，１２２との間には、シーリングのためのシーリング部材１２５（Ｏリング）が取り付けられている。
【００４７】
ここで、本実施の形態による薬液制御装置１では、ボディ１０及びダイヤフラム弁１１は互いに溶着又は溶接されている。より具体的には、ボディ環状壁１０６の上側の軸端面１０６ａは、弁環状壁１１０の下側の軸端面１１０ａに溶着又は溶接されている。これにより、ボルト及びナットを用いずにボディ１０及びダイヤフラム弁１１を互いに一体化でき、部品点数を減少させることができる。なお、溶着とは、弁環状壁１１０及びボディ環状壁１０６の素材を溶融して互いに接合することを意味する。また、溶接とは、弁環状壁１１０及びボディ環状壁１０６の素材に溶着し得る接合樹脂を介して弁環状壁１１０及びボディ環状壁１０６間を接合することを意味する。
【００４８】
同様に、本実施の形態による薬液制御装置１では、ダイヤフラム弁１１及びアクチュエータ１２は互いに溶着又は溶接されている。より具体的には、弁環状壁１１０の上側の軸端面１１０ｂは、第１ハウジング下部環状壁１２００の軸端面１２００ａに溶着又は溶接されている。これにより、ボルト及びナットを用いずにダイヤフラム弁１１及びアクチュエータ１２を互いに一体化でき、ボルト及びナットの腐食破壊に起因して漏液が発生する虞を低減できる。また、部品点数を減少させることができる。
【００４９】
アクチュエータ１２の第１及び第２ハウジング１２０，１２２は、例えば回転ロック機構等により着脱可能に固定することができる。
【００５０】
なお、仮にダイヤフラム弁１１及びアクチュエータ１２の一体化にボルト及びナットを用いる場合には、ボルト及びナットをコーティングして、薬液との接触によりそれらボルト及びナットが腐食することが考えられる。しかしながら、本実施の形態のようにボルト及びナットを用いずに各部を接合することにより、ボルト及びナットをコーティングする工数を省略でき、コスト面及び納期面で有利となる。また、各部を溶着又は溶接により接合することにより、各部の接合箇所にＯリングを取り付ける必要が無くなり、コスト面及び納期面で有利である。また、Ｏリングが不要となることで、グリス等の使用を回避でき、製品清浄度の向上効果が得られる。さらに、各部を溶着又は溶接により接合することにより、各部のシール性能を向上できる。
【００５１】
次に、図５は、図１の薬液制御装置１の製造方法を示す斜視図である。本実施の形態の薬液制御装置１は、図５に示すヒータ３を用いて製造することができる。ヒータ３は、中央部に開口３０が形成された矩形の外観を有する装置である。ヒータ３は、外装の内部に電熱線等の加熱手段が配置された構成とすることができる。外装は、例えば金属等の熱伝導率が高い素材により構成することができる。開口３０の直径は、ダイヤフラム弁１１の封鎖部１１２ａの直径よりも大きく、かつボディ環状壁１０６及び弁環状壁１１０の内径よりも小さくされている。すなわち、ヒータ３は、封鎖部１１２ａと接触せずに、ボディ環状壁１０６及び弁環状壁１１０の軸端面１０６ａ，１１０ａに近づけられるように構成されている。
【００５２】
図５に示すように、ヒータ３の両側にボディ１０及びダイヤフラム弁１１が配置される。この時、ボディ１０及びダイヤフラム弁１１は、図示しないクランプにより挟持されており、ヒータ３に対して近づく方向及び離れる方向に変位可能とされている。この状態で、ボディ環状壁１０６及び弁環状壁１１０の軸端面１０６ａ，１１０ａがヒータ３の端面に近づけられて軸端面１０６ａ，１１０ａが所定温度まで加熱される。その次に、ボディ１０及びダイヤフラム弁１１がヒータ３から離されるとともにヒータ３が退避された後に、軸端面１０６ａ，１１０ａ同士が互いに押し当てられる。これにより、ボディ１０及びダイヤフラム弁１１が互いに溶着される。ダイヤフラム弁１１及びアクチュエータ１２も同様に溶着することができる。
【００５３】
ボディ１０及びダイヤフラム弁１１を構成する樹脂がＰＦＡ（融点２８０〜３２０℃）である場合、それらボディ１０及びダイヤフラム弁１１の軸端面を融点以上まで加熱する必要がある。融点未満の場合、溶着が不十分になる虞があるためである。
【００５４】
ボディ１０及びダイヤフラム弁１１を溶接する場合、これらボディ１０及びダイヤフラム弁１１を構成する樹脂を融点近くまで加熱しながら、接合用の素材(溶接棒)を溶かしボディ１０及びダイヤフラム弁１１を溶接することができる。
【００５５】
次に、図６は、図５のボディ環状壁１０６及び弁環状壁１１０の断面図である。図６に示すボディ環状壁１０６及び弁環状壁１１０は溶着前又は溶接前の状態である。図６では、ボディ環状壁１０６及び弁環状壁１１０以外の構成の図示を省略している。
【００５６】
図６に示すように、溶着前又は溶接前のボディ環状壁１０６の軸端面１０６ａは、ボディ環状壁１０６の内側に比べて外側がボディ環状壁１０６の軸方向に突出する傾斜面とされている。
【００５７】
同様に、溶着前又は溶接前の弁環状壁１１０の軸端面１１０ａは、弁環状壁１１０の内側に比べて外側が弁環状壁１１０の軸方向に突出する傾斜面とされている。
【００５８】
換言すると、溶着前又は溶接前のボディ環状壁１０６及び弁環状壁１１０の端部には、断面矩形に対する欠落部１０６ｃ，１１０ｃが形成されている。
【００５９】
ボディ環状壁１０６及び弁環状壁１１０を溶着するために、それらボディ環状壁１０６及び弁環状壁１１０の端部を加熱して互いに押し当てると、ボディ環状壁１０６及び弁環状壁１１０の材料が側方へと逃げようとする。図６に示すように溶着前のボディ環状壁１０６及び弁環状壁１１０の軸端面１０６ａ，１１０ａを傾斜面としておくことで、押し当て時に逃げた材料を欠落部１０６ｃ，１１０ｃで吸収できる。これにより、ボディ環状壁１０６とダイヤフラム弁１１とを互いに溶着した後にボディ環状壁１０６及びダイヤフラム弁１１の周面からビード（押し当て時に逃げた材料）が突出される虞を低減できる。特に、ボディ環状壁１０６及びダイヤフラム弁１１の内周面から突出したビードにより薬液の流通が妨げられる虞を低減できる。
【００６０】
なお、図６では、ボディ環状壁１０６及び弁環状壁１１０の軸端面１０６ａ，１１０ａの両方を傾斜面とするように説明しているが、それらボディ環状壁１０６及び弁環状壁１１０の軸端面１０６ａ，１１０ａのいずれか一方のみが傾斜面とされていてもよい。
【００６１】
次に、図７は、図６のボディ環状壁１０６及び弁環状壁１１０の変形例の断面図である。図７の溶着前又は溶接前のボディ環状壁１０６の軸端面１０６ａは、図６の溶着前又は溶接前のボディ環状壁１０６の軸端面１０６ａと比較して傾斜方向が逆にされている。すなわち、溶着前又は溶接前のボディ環状壁１０６の軸端面１０６ａは、ボディ環状壁１０６の外側に比べて内側がボディ環状壁１０６の軸方向に突出する傾斜面とされている。同様に、図７の溶着前又は溶接前の弁環状壁１１０の軸端面１１０ａは、図６の溶着前又は溶接前の弁環状壁１１０の軸端面１１０ａと比較して傾斜方向が逆にされている。すなわち、溶着前又は溶接前の弁環状壁１１０の軸端面１１０ａは、弁環状壁１１０の外側に比べて内側が弁環状壁１１０の軸方向に突出する傾斜面とされている。その他の構成は図６の態様と同様である。
【００６２】
ボディ環状壁１０６及び弁環状壁１１０を溶接するとき、図７に示すように溶着前のボディ環状壁１０６及び弁環状壁１１０の軸端面１０６ａ，１１０ａを傾斜面としておくことで、溶接時の開先の役割を果す。これにより、ボディ環状壁１０６とダイヤフラム弁１１とを互いに溶接した後にボディ環状壁１０６及びダイヤフラム弁１１の周面からビード（接合樹脂）が突出される虞を低減できる。
【００６３】
なお、図６及び図７ではボディ環状壁１０６及び弁環状壁１１０の軸端面１０６ａ，１１０ａが傾斜面であるように説明しているが、ボディ環状壁１０６の軸端面１０６ａは、ボディ環状壁１０６の外側に比べて内側がボディ環状壁１０６の軸方向に突出するか、又はボディ環状壁１０６の内側に比べて外側がボディ環状壁１０６の軸方向に突出する段状面であってもよい。同様に、弁環状壁１１０の軸端面１１０ａは、弁環状壁１１０の外側に比べて内側が弁環状壁１１０の軸方向に突出するか、又は弁環状壁１１０の内側に比べて外側が弁環状壁１１０の軸方向に突出する段状面であってもよい。
【００６４】
図６及び図７ではボディ環状壁１０６及び弁環状壁１１０の軸端面１０６ａ，１１０ａについてのみ説明しているが、他の接合端面（弁環状壁１１０の上側の軸端面１１０ｂ、第１ハウジング下部環状壁１２００の軸端面１２００ａ、第１ハウジング上部環状壁１２０２の軸端面１２０２ａ、及び第２ハウジング環状壁１２２０の軸端面１２２０ａ）も同様に傾斜面等によって構成することができる。
【００６５】
本実施の形態のような薬液制御装置１では、ボディ環状壁１０６の先端部とダイヤフラム弁１１とが互いに溶着又は溶接されているので、ボルト及びナットを用いずにボディ１０及びダイヤフラム弁１１を互いに一体化でき、ボルト及びナットの腐食破壊に起因して漏液が発生する虞を低減できる。また、部品点数を減少させることができる。
【００６６】
また、弁環状壁１１０の軸端面１１０ａがボディ環状壁１０６の軸端面１０６ａと溶着又は溶接されているので、固定用ネジの緩み等による接合部からの液漏れが低減できる。
【００６７】
さらに、弁環状壁１１０の内径がボディ環状壁１０６の内径と等しいので、管路内を流れる流体の残渣を少なくできる。
【００６８】
さらにまた、接続壁１１１が、弁環状壁１１０の内周面から延出された支持壁１１１ａと、支持壁１１１ａと弁本体１１２との間に介在されるとともに支持壁１１１ａよりも肉厚が薄い薄肉部１１１ｂとを含んでいるので、ボディ環状壁１０６の先端部とダイヤフラム弁１１とが互いに溶着又は溶接されていても、流路の開閉をより確実に行うことができる。
【００６９】
本実施の形態のようなダイヤフラム弁１１によれば、弁環状壁１１０の軸端面１１０ａが弁環状壁１１０の外側に比べて内側が弁環状壁１１０の軸方向に突出するか、又は弁環状壁１１０の内側に比べて外側が弁環状壁１１０の軸方向に突出しているので、ボディ環状壁１０６とダイヤフラム弁１１とを互いに溶着又は溶接した後にボディ環状壁１０６及びダイヤフラム弁１１の周面からビードが突出される虞を低減できる。
【符号の説明】
【００７０】
１        薬液制御装置
１０      ボディ
１０３    流入路
１０３ａ  流入路出口
１０４    流出路
１０４ａ  流出路入口
１０５    隔壁
１０６    ボディ環状壁
１１      ダイヤフラム弁
１１０    弁環状壁
１１０ａ  軸端面
１１１    接続壁
１１１ａ  支持壁
１１１ｂ  薄肉部
１１２    弁本体
【図１】
2020143701.tif 000003
【図２】
2020143701.tif 000004
【図３】
2020143701.tif 000005
【図４】
2020143701.tif 000006
【図５】
2020143701.tif 000007
【図６】
2020143701.tif 000008
【図７】
2020143701.tif 000009