(57)【要約】【課題】従来のホッパーは、目詰まりが改善できるものの、安定したマスフローにて全量を供給することができず、個数単位で粉体を供給することが困難な点を解決する。【解決手段】本発明の粉状部品供給装置１は、上部に粉状部品の供給開口１２Ａが、下部に粉状部品の排出開口１２Ｂが、各々設けられ、供給開口１２Ａから排出開口１２Ｂに向けてしだいに径が小さくされたホッパー本体１２と、供給開口１２Ａを覆う蓋１３と、ホッパー本体１２内に粉状部品全量を装入して蓋１３を閉めた状態で、ホッパー本体１２内に負圧を発生させる負圧発生装置１４とを備えている。【効果】ホッパー本体１２内に発生した負圧により、排出開口１２Ｂから外気が流入し、これにより粉状部品の堆積圧が軽減すると共に崩壊させるべきアーチやラットホールが形成されることがなく、マスフローにて全量を供給することができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部に粉状部品の供給開口が、下部に粉状部品の排出開口が、各々設けられ、前記供給開口から前記排出開口に向けてしだいに径が小さくされたホッパー本体と、前記供給開口を覆う蓋と、前記ホッパー本体内に粉状部品全量を装入して前記蓋を閉めた状態で、ホッパー本体内に負圧を発生させる負圧発生装置とを備えたことを特徴とする粉状部品供給装置。
【請求項２】
前記ホッパー本体内における、負圧発生箇所と装入された粉状部品の堆積箇所との間に粉状部品の誤吸い込み防止用のフィルターを設けたことを特徴とする請求項１記載の粉状部品供給装置。
【請求項３】
前記排出開口の開口径を変更する排出開口径変更手段を備えたことを特徴とする請求項１又は２記載の粉状部品供給装置。
【請求項４】
前記排出開口の下方に、排出された粉状部品をカウントする計測手段を設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の粉状部品供給装置。
【請求項５】
前記ホッパー本体内における粉状部品の残留有無を確認する残留確認手段を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の粉状部品供給装置。
【請求項６】
前記ホッパー本体における前記排出開口から排出された粉状部品を受けて次工程へ搬送するフィーダーを有し、このフィーダーが、粉状部品の搬送面にポーラスプレートが設けられると共に内部中空とされたフィーダー本体と、このフィーダー本体に接続され、前記ポーラスプレートから空気を噴出させるために該フィーダー本体内部に正圧を発生させる正圧発生装置と、前記フィーダー本体における粉状部品の搬送方向と直交する両側縁部のうち一方側縁部の上面に設けられたガイド部とを備え、さらに、前記フィーダー本体の、搬送方向の下流側を上流側に対して下方に傾斜させると共に、前記ガイド部を設けた側を該ガイド部を設けていない側に対して下方に傾斜させた構成であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の粉状部品供給装置。
【請求項７】
前記フィーダー本体に、粉状部品を個別分離する個別分離機構を備えたことを特徴とする請求項６に記載の粉状部品供給装置。
【請求項８】
前記フィーダー本体に、前後の向きのある粉状部品における前と後を整える前後反転機構を備えたことを特徴とする請求項６又は７に記載の粉状部品供給装置。
【請求項９】
前記フィーダー本体に、上下の向きのある粉状部品における上と下を整える上下反転機構を備えたことを特徴とする請求項６〜８のいずれかに記載の粉状部品供給装置。
【請求項１０】
前記フィーダー本体に、粉状部品の分岐した搬送経路へ方向を変更する方向変更機構を備えたことを特徴とする請求項６〜９のいずれかに記載の粉状部品供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体素子や電子・電気素子といった極めて小さい粉状部品を安定して定量かつ定数供給することが可能な粉状部品供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
昨今では、半導体素子や電子・電気素子は極めて小さくなってきており、もはや粉状ともいえる状態となった部品を一時的に収容したホッパーから、重さ単位ではなく、個数単位で供給することが非常に困難になってきている。
【０００３】
粉体を供給するホッパーは、ホッパー内上層に堆積した粉体の圧力と、粉体同士及び粉体とホッパー内壁の摩擦（静電気）と、により、大きくは以下の２つの問題が生じて、安定的な排出ができない場合ある。
【０００４】
１つは、ホッパー内における排出口の直上部に断面円弧状の塊（この塊を「アーチ」と称す）が形成され、このアーチが排出口を閉塞して、完全に排出が停止してしまうという問題。
【０００５】
もう１つは、ホッパー内における排出口の直上部の粉体だけが排出されて（この排出跡の孔を「ラットホール」と称す）、つまりラットホール周辺の粉体は流動せずに残ってしまうという問題。
【０００６】
ちなみに、ホッパーから粉体が詰まることなく、またホッパー内に粉体が残留することなく、安定して全て排出される状況を「マスフロー」と、また、ラットホールを形成する分だけ排出される状況（つまり粉体が残留するような状況）を「ファネルフロー」と、ホッパーから粉体が排出されない状況（つまり断面円弧状の塊が排出口を閉塞して排出が停止する状況）を「ブリッジ」と言う。
【０００７】
上記ブリッジやファネルフローを抑制するためには、ホッパー内における粉体の流動特性の改善を目的としてホッパーの形状等を変更する手法と、アーチやラットホールの形成抑制と崩壊を目的としてホッパーに外圧を加える手法とがある。
【０００８】
上記のホッパーの形状等を変更する手法としては、例えば、排出口径を大きくする、ホッパーの排出口に至る傾斜角度を鋭角にする（排出口の開口面に対して９０°となる角度に近づける）、ホッパー内壁面（内周面）の排出口に至る一部の傾斜角度を鋭角にするなどして該ホッパー内上層に堆積した粉体の圧力の偏りを生じさせる、ホッパー内壁に例えば帯電防止樹脂や例えばフッ素樹脂をコーティングして滑りを良好にする、といったものが知られている。
【０００９】
上記のホッパーに外圧を加える手法としては、例えば、ホッパーの外周に振動装置を設けて常時全体を細かく振動させる、ホッパーの外周に衝撃付与装置を設けて一定時間毎に衝撃を加える、ホッパー内の排出口周辺に接続した管から空気を噴射する、ホッパー内の排出口周辺に接続した管から空気を流入してホッパー内を高圧にする、といったものが知られている。
【００１０】
ところが、上記のホッパーの形状等を変更する手法は、粉体の材質や粒径や量によって効果が安定せず、ホッパー内における粉体の流動特性の改善は見込めるものの、効果としてはブリッジやファネルフローが生じにくくなる程度にとどまっていた。
【００１１】
一方、上記のホッパーに外圧を加える手法は、例えば比較的サイズが大きく矩形とされた粉体の場合、粉状部品同士が単に堆積、積層した状態ではなく複雑に組み合わさった状態となって、振動や衝撃を与えた瞬間的にアーチやブリッジが崩壊されてもその直後（次の振動や衝撃を受ける間）に再度アーチやブリッジが形成され、結果的に、流量が多い、流量が少ない、が繰り返され、目的とするマスフローにすることができない。
【００１２】
また、例えば、特許文献１（特開２０１９−３１３６０号公報）と特許文献２（特開平７−７６３９５号公報）には、上記のホッパーの形状等を変更する手法とホッパーに外圧を加える手法とを組み合わせた構成が開示されている。
【００１３】
特許文献１は、下面に排出口を有し、この排出口より上側に板を設け、板の端部とホッパー内壁との間を離間させ、この離間した部位から粉体が排出口へ移動可能とされ、板より下側に、ホッパーの下面から立ち上がり、粉体の排出口からの排出を抑制する抑制部を設け、抑制部の上端と板の端部とを結ぶ線分と水平方向とのなす角度を粉体の安息角以下としたホッパーと、このホッパーを振動させる振動部とを備えた構成とされている。
【００１４】
特許文献２は、ホッパーの排出口を開閉するダンパーの表面を、フッ素樹脂シートでライニングし、そのうえで、ホッパー内に上部に粉体を通過させないが気体は通過するスクリーンを設け、このスクリーンの上方に設けた蓋部より吸引通路が設けられ、ホッパーの側壁には粉体注入口が設けられた構成とされている。
【００１５】
しかしながら、特許文献１は、抑制部とホッパー側壁との間の空間で該抑制部によって堰き止められた粉体を振動によって乗り越えさせて排出口から排出する流路とされているので、側壁部によって堰き止められた粉体はホッパー内に残留することになる。
【００１６】
また、特許文献２は、粉体が金属である場合の目詰まりの要因として排出口端の帯電した粉体の付着によるものとしており、ホッパーへの粉体の注入のために吸引通路からホッパー内を吸引している。つまり、特許文献２は、ホッパー内の吸引が単に粉体注入口から新たな粉体を注入する目的にとどまり、排出に寄与していないので、粉体が金属でない場合に採用した場合は排出状況に何ら変化がなく、この吸引によってはアーチやラットホールを崩壊させることができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特開２０１９−３１３６０号公報
【特許文献１】特開平７−７６３９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
本発明が解決しようとする課題は、特許文献１，２を含めて従来のホッパーの目詰まり解消手法では、アーチやラットホールの形成を抑制して目詰まりが改善できるものの、ホッパー内の粉体を安定したマスフローにて全量を供給することができず、よって、個数単位で粉体を供給することが依然として困難なことにある。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記課題を解決するために、本発明の粉状部品供給装置は、上部に粉状部品の供給開口が、下部に粉状部品の排出開口が、各々設けられ、供給開口から前記排出開口に向けてしだいに径が小さくされたホッパー本体と、前記供給開口を覆う蓋と、前記ホッパー本体内に粉状部品全量を装入して前記蓋を閉めた状態で、ホッパー本体内に負圧を発生させる負圧発生装置とを備えることとした。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の粉状部品供給装置は、ホッパー本体内に発生した負圧により、排出開口から外気が流入し、これにより該ホッパー本体における排出開口の内部では排出開口から供給開口方向の気流が常時発生しているから、粉状部品の堆積圧も軽減し、崩壊させるべきアーチやラットホールが形成されることがなく、よって目詰まりが発生せず、マスフローにて全量を供給することができる。
【００２１】
また、本発明の粉状部品供給装置は、負圧発生装置によるホッパー本体内の負圧状態と排出開口から流入する空気の調整を行うことで、該排出開口から排出（落下）する粉状部品の排出量を個数単位でコントロールすることができるといった利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の粉状部品供給装置における実施例構成を示す概略図である。
【図２】本発明の粉状部品供給装置におけるホッパーを示す概略図である。
【図３】（ａ）〜（ｄ）は本発明の粉状部品供給装置におけるホッパーの排出開口径変更手段の一例を示す図である。
【図４】（ａ）（ｂ）は本発明の粉状部品供給装置におけるホッパーの排出開口径変更手段の一例を示す図である。
【図５】本発明の粉状部品供給装置におけるフィーダーを示す概略図である。
【図６】（ａ）（ｂ）は本発明の粉状部品供給装置におけるフィーダーの個別分離機構の一例を示す図である。
【図７】（ａ）（ｂ）は本発明の粉状部品供給装置におけるフィーダーの前後反転機構の一例を示す図である。
【図８】（ａ）（ｂ）は本発明の粉状部品供給装置におけるフィーダーの上下反転機構の一例を示す図である。
【図９】（ａ）〜（ｃ）は本発明の粉状部品供給装置におけるフィーダーの方向変更機構の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
本発明は、アーチやラットホールの形成を抑制して、ホッパー内の粉体を安定したマスフローにて全量を供給すると共に、個数単位で粉体を供給するという目的を、上部に粉状部品の供給開口が、下部に粉状部品の排出開口が、各々設けられ、前記供給開口から前記排出開口に向けてしだいに径が小さくされたホッパー本体と、前記供給開口を覆う蓋と、前記ホッパー本体内に粉状部品全量を装入して前記蓋を閉めた状態で、ホッパー本体内に負圧を発生させる負圧発生装置とを備える構成により達成した。
【００２４】
本発明の粉状部品供給装置は、次の原理によってアーチやラットホールの形成を抑制して、ホッパー内の粉体を安定したマスフローにて全量を供給すると共に、個数単位で粉体を供給する。
【００２５】
まず、例えば、ホッパー本体内に粉状部品を装入して、蓋を閉じて（蓋を開けていてもよいが）、負圧を発生させない、つまり大気圧と同圧状態の場合、排出開口はその径が細く絞られているので、上方の粉状部品の下方（排出開口）へ向けた堆積圧により、密集して固まってアーチを形成して排出開口を塞いだり、また、同時に排出開口から排出されようとする粉状部品が排出開口に詰まったりする。
【００２６】
では、例えば、ホッパー本体内に粉状部品を装入して、蓋を閉じて正圧を発生させた場合、一見するとホッパー本体内圧が高くなって粉状部品が排出開口から噴射状に排出されると思われるが、実際は、上方の粉状部品の下方（排出開口）へ向けた堆積圧も高くなることにより、やはり密集して固まってアーチを形成して排出開口を塞いだり、また、同時に排出開口から排出されようとする粉状部品が排出開口に詰まったりする。
【００２７】
ホッパー本体内部に正圧を発生させる場合や大気圧と同圧とした場合において、例えばホッパー本体を振動させたり衝撃を与えたりしても排出開口からの粉状部品の排出状況はさほど改善されることはなく、アーチの形成は抑制されても断続的にラットホールが形成されるような現象が生じる。つまり、ホッパー本体内からの粉状部品排出量が多い、少ないが交互に繰り返されるといった不安定な排出パターンとなる。
【００２８】
本発明は、上記の試験を踏まえて、いわゆる砂時計の原理を参考に構成した。すなわち、砂時計の原理は、簡単に説明すると、上下の砂の収容器をオリフィス部で繋いだ構成において、上収容器の砂は、重力で下収容器に落下するが、このとき、下収容器は砂がその容積を占める代わりに内部空気が上収容器に送る（上昇する）という砂と空気の交換現象が生じている。つまり、砂時計は、極端には、下収容器を手で温める等して該下収容器の空気を膨張させると、上収容器へ送られる空気量が過多となり、上収容器の砂の落下を妨げるのである。
【００２９】
本発明の粉状部品供給装置は、粉状部品全量を装入して蓋を閉めた状態で負圧発生装置によりホッパー本体内に負圧を発生させる構成とし、また、排出開口は閉じることなく、常時、大気と連通状態とされるよう開口しているから、例えばアーチが形成されようとするなどの要因で負圧が高くなると結果的に該ホッパー本体内における粉状部品の堆積圧は低くなり、また、堆積圧が低くなることに加えて、排出開口から（粉状部品の排出と交換で）大気が流入するため、アーチやラットホールの形成が確実に防止でき、砂時計のように安定的かつ単位時間あたりの排出個数を一定にして、つまりマスフローで粉状部品を供給できるのである。
【００３０】
また、本発明は、上記構成において、ホッパー本体内における、負圧発生箇所と装入された粉状部品の堆積箇所との間に粉状部品の誤吸い込み防止用のフィルターを設けてもよい。こうすることで、仮にホッパー本体内の粉状部品が舞い上がって浮遊しても吸い込まれてしまうことがない。
【００３１】
さらに、本発明は、上記構成において、排出開口の開口径を変更する排出開口径変更手段を備えてもよい。こうすることで、粉状部品のサイズに応じて排出開口から排出される粉状部品の単位時間あたりの個数を調整することができる。
【００３２】
また、本発明は、上記構成において、排出開口の下方に、排出された粉状部品をカウントする計測手段を設けてもよい。このようにすれば、排出される粉状部品の個数をリアルタイムで計測することができる。
【００３３】
さらに、本発明は、上記構成において、ホッパー本体内における粉状部品の残留有無を確認する残留確認手段を備えてもよい。こうすることで、粉状部品の残存有無、あるいはアーチやラットホールの形成の有無、といったホッパー本体内の状況を把握することができる。
【００３４】
また、本発明は、上記構成に加え、ホッパー本体における前記排出開口から排出された粉状部品を受けて次工程へ搬送するフィーダーを有する構成としてもよい。このフィーダーは、例えば、粉状部品の搬送面にポーラスプレートが設けられると共に内部中空とされたフィーダー本体と、このフィーダー本体に接続され、ポーラスプレートから空気を噴出させるために該フィーダー本体内部に正圧を発生させる正圧発生装置と、フィーダー本体における粉状部品の搬送方向と直交する両側縁部のうち一方側縁部の上面に設けられたガイド部とを備え、さらに、フィーダー本体の、搬送方向の下流側を上流側に対して下方に傾斜させると共に、ガイド部を設けた側を該ガイド部を設けていない側に対して下方に傾斜させた構成とすればよい。
【００３５】
上記構成のフィーダーは、正圧発生装置によってポーラスプレートから空気を噴射する構成としているので、フィーダー本体の搬送面（＝ポーラスプレート上）に排出された粉状部品を浮遊させることができる。
【００３６】
また、上記構成のフィーダーは、前記ポーラスプレートを搬送面としたフィーダー本体の、搬送方向の下流側を上流側に対して下方に傾斜させると共に、ガイド部を設けた側を該ガイド部を設けていない側に対して下方に傾斜させているので、浮遊して移動しやすくなった個別の粉状部品を前後や上下面の方向のばらつきはあるものの、ガイド部側に整列させて、重力により上流（ホッパー側）から下流（次工程側）へ搬送することができる。
【００３７】
さらに、本発明は、上記構成において、フィーダー本体に、粉状部品を個別分離する個別分離機構を備えたり、前後の向きのある粉状部品における前と後を整える前後反転機構を備えたり、上下の向きのある粉状部品における上と下を整える上下反転機構を備えたり、粉状部品の分岐した搬送経路へ方向を変更する方向変更機構を備えたりしてもよい。
【００３８】
このように、フィーダーにおいて、個別分離機構、前後反転機構、上下反転機構、方向変更機構を全部又は選択的に備えることで、下流工程において粉状部品を扱い易くなる。
【実施例】
【００３９】
以下、本発明の粉状部品供給装置の具体的な実施例について図面を参照して説明する。なお、図１及び図２に示す後述ホッパー１１における粉状部品と、図１及び図５と図６〜図９に示す後述フィーダー２１における粉状部品とは、実際には同じサイズであるが、説明上、フィーダー２１における粉状部品については１個ずつを誇張して（大きく）示している。したがって、フィーダー２１における後述する各機構の各構成要素も誇張して示している。
【００４０】
本発明の粉状部品供給装置１は、本実施例では、図１に示すように、ホッパー１１と、フィーダー２１とを備え、それぞれ以下の構成とされている。ホッパー１１は、その詳細を図２に示すように、上面に粉状部品の供給開口１２Ａが、下面に粉状部品の排出開口１２Ｂが、各々設けられ、供給開口１２Ａから前記排出開口１２Ｂに向けてしだいに径が小さくされた、本実施例では透明とされたホッパー本体１２を備えている。
【００４１】
ホッパー本体１２は、供給開口１２Ａの開口全域を覆う開閉自在の蓋１３が設けられている。この蓋１３には吸引管１４Ａの一端が接続され、この吸引管１４Ａの他端にはホッパー本体内１２に粉状部品全量を装入して蓋１３を閉めた状態で、ホッパー本体内に負圧を発生させる負圧発生装置１４が接続されている。吸引管１４Ａには負圧発生装置１４に至る部位に制御弁１４Ｂが設けられている。
【００４２】
また、ホッパー本体１２の内部には、蓋１３の直下でその開口領域全域を覆う開閉自在で通気可能な、粉状部品の誤吸い込み防止用のフィルター１３Ａが設けられている。なお、フィルター１３Ａは、ホッパー本体１２内であって、負圧発生箇所と装入された粉状部品の堆積箇所との間、例えば蓋１３の内側に位置する吸引管１４Ａの一端側の開口に設けてもよい。このフィルター１３Ａを設けることにより、負圧が発生した状態のホッパー本体１２内において粉状部品が吸引管１４Ａに吸い込まれることがない。
【００４３】
さらに、本実施例のホッパー１１は、ホッパー本体１２の外部の近傍に、残留確認手段としてのカメラ１５が設けられている。なお、この残留確認手段は、カメラ１５とする場合にはホッパー本体１２を透明としてその外部近傍に設けることに限らず、例えばホッパー本体１２内に設けても構わない。
【００４４】
また、残留確認手段は、カメラ１５に限らず、ホッパー本体１２内に粉状部品を装入する前と排出後の重さ（荷重）を計測するロードセルを用いたり、ホッパー本体１２の内部に設けて、該ホッパー本体１２内壁面をレーザ光又は超音波で走査して反射光又は反響音によって判断するセンサを用いてもよい。この残留確認手段（カメラ１５）を設けることで、粉状部品の残存有無やアーチやラットホールの形成の有無といったホッパー本体内の状況を把握することができる。
【００４５】
さらに、本実施例のホッパー１１は、排出開口１２Ｂに、該排出開口１２Ｂの開口径を変更する排出開口径変更手段１６を設けている。この排出開口径変更手段１６は、例えば図３に示すように、スライド式のシャッタ１６Ａによる排出開口１２Ｂの開口の直径方向へのスライドにより図３（ｂ）〜（ｄ）に示すように調整する。
【００４６】
なお、排出開口径変更手段１６は、スライド式のシャッタ１６Ａに代えて、図４に示すように、排出開口１２Ｂの開口を全閉から全開に至るまでの複数種の排出孔１６ａ〜１６ｄが形成された回転板１６Ｂを用いてもよい。なお、この回転板１６Ｂを用いた場合、排出開口１２Ｂの開口を全閉するには排出孔１６ａ〜１６ｄの間の領域を位置させることで、一方、排出開口１２Ｂの開口を全開は排出孔１６ａを位置させることで行う。
【００４７】
また、本実施例のホッパー１１は、排出開口１２Ｂの下方の位置に、排出された粉状部品をカウントする計測手段としての通過センサ１７を設けている。この通過センサ１７は、発受光する領域に粉状部品が通過して受光が遮断されると通過をカウントするものを採用している。
【００４８】
上記の排出開口径変更手段１６、通過センサ１７を備えることで、粉状部品のサイズに応じて排出開口から排出される粉状部品の単位時間あたりの個数を調整することができ、また、リアルタイムで排出される粉状部品の個数を計測することができる。
【００４９】
さらに、本実施例のホッパー１１は、上記の、負圧発生装置１４、制御弁１４Ｂ、カメラ１５、排出開口径変更手段１６（シャッタ１６Ａ、回転板１６Ｂ）、通過センサ１７が、粉状部品供給装置１全体を制御するための制御部２に接続されている。
【００５０】
制御部２は、ホッパー本体１２に装入した粉状部品のサイズや量に基づいて、負圧発生装置１４による負圧の高低を調整したり、制御弁１４Ｂによる開閉量を調整したり、あるいは、カメラ１５の撮像結果や通過センサ１７の粉状部品通過数に基づいて、粉状部品供給装置１全体における必要な制御（詳細省略）を行ったり、排出開口径変更手段１６による排出開口量を調整したりする。
【００５１】
上記構成のホッパー１１は、次のように動作する。ホッパー１１は、排出開口径変更手段１６によって排出開口１２Ｂを閉じた状態で、粉状部品全量をホッパー本体１２に装入し、蓋１３（及びフィルター１３Ａ）を閉める。この後、負圧発生装置１４によりホッパー本体１２内に負圧を発生させると共に、排出開口径変更手段１６によって排出開口１２Ｂを所定分開口して排出を開始する。
【００５２】
ホッパー１１は、ホッパー本体１２内において、例えばアーチが形成されようとするなどの要因で排出開口１２Ｂからの空気流入量が減り、負圧が高くなると結果的に該ホッパー本体内における粉状部品の堆積圧は低くなり、また、負圧の発生によって堆積圧が低くなることに加えて、排出開口１２Ｂから（粉状部品の排出と交換で）大気が流入し、この流入大気がアーチやラットホールの形成を抑制するという動作特性を有する。これにより、本発明のホッパー１１は、砂時計のようにマスフローにて安定的かつ単位時間あたりの排出個数を一定として粉状部品を供給できる。
【００５３】
一方、本実施例における粉状部品供給装置１におけるフィーダー２１は、次の構成とされている。フィーダー２１は、粉状部品の搬送面がポーラスプレート２２Ａを設けた内部中空とされたフィーダー本体２２を有している。
【００５４】
フィーダー本体２２の基本構成は、次のとおりである。図５に示すように、フィーダー本体２２は、上面（搬送面にポーラスプレート２２Ａを設けた中空筐体に噴出管２３Ａの一端が接続され、この噴出管２３Ａの他端は制御弁２３Ｂを介して該フィーダー本体２２内部に正圧を発生させてポーラスプレート２２Ａから空気を噴出させるための正圧発生装置２３が接続されている。また、フィーダー本体２２は、粉状部品の搬送方向と直交する両側縁部のうち、一方側縁部の上面にガイド部２４が設けられている。
【００５５】
さらに、フィーダー本体２２における、正圧発生装置２３及び制御弁２３Ｂは該フィーダー本体２２内に正圧を与えるために供給する空気量を調整するために、制御部２に接続されている。
【００５６】
本発明における粉状部品供給装置１において、フィーダー本体２２は、図１及び図５（ａ）に示すように搬送方向の下流側を上流側（ホッパー本体１２の排出開口１２Ｂが位置する側）に対して下方に傾斜させると共に、図５（ｂ）に示すようにガイド部２４を設けた側を該ガイド部２４を設けていない側に対して下方に傾斜させて設置する。
【００５７】
上記構成のフィーダー２１は、次のように動作する。正圧発生装置２３によってポーラスプレート２２Ａから空気を噴射すると、搬送面（＝ポーラスプレート上）に排出された粉状部品が浮遊し、浮遊して移動しやすくなった粉状部品がガイド部２４に接触するように寄って整列し、この状態でフィーダー本体２２の傾斜と自重により上流から下流へ移動する。
【００５８】
さらに、本実施例におけるフィーダー２１は、以下の粉状部品を操作するための付加構成を有している。例えば、図６に示すように、フィーダー２１は、粉状部品を個別分離する個別分離機構２５を備えている。
【００５９】
個別分離機構２５は、フィーダー本体２２における搬送経路途中の中空内部でポーラスプレート２２Ａの空気噴出のための孔を遮る遮断板２５Ａを有している。この遮断板２５Ａは、平面視で長方形又は正方形のものでもよいが、本実施例では、この遮断板２５Ａは、例えば幅方向のガイド部２４を設けた側を底辺とし、幅方向のガイド部２４を設けていない側を頂点とした、平面視三角状とされている。
【００６０】
個別分離機構２５は、この遮断板２５Ａを、不図示の移動機構により粉状部品の搬送方向と直交する方向（以下、幅方向という）に例えばソレノイド２５Ｂを用いて幅方向にスライド可能に配置する。
【００６１】
ソレノイド２５Ｂ（図１では個別分離機構２５と示している）は制御部２に接続され、制御部２により遮断板２５Ａを図６（ｂ）に示すように幅方向にスライドさせることで、ポーラスプレート２２Ａの空気噴出孔の遮断面積が変更され、粉状部品同士の搬送方向の間隔が調整される。
【００６２】
なお、遮断板２５Ａが平面視で長方形又は正方形である場合は、ソレノイド２５Ｂのような幅方向にスライド移動させる構成は必要なく（よって制御部２と接続しない）、ポーラスプレート２２Ａの裏面（中空内部）側に固定配置しておけばよい。この場合であっても固定間隔で粉状部品同士を個別分離することができる。
【００６３】
また、例えば、図７に示すように、フィーダー２１は、前後の向きのある粉状部品における前と後を整える前後反転機構２６を備えている。前後反転機構２６は、ホッパー１１から排出された粉状部品の状況を把握するために、フィーダー本体２２の上流側の上方位置に搬送面を撮像するカメラ２１Ａを設け、さらに、ガイド部２４の搬送面側（表）とそうでない側（裏）に亘って幅方向に突出と没入とが可能な例えばソレノイド２６Ａを設けている。
【００６４】
カメラ２１Ａとソレノイド２６Ａ（図１では前後反転機構２６と示している）は制御部２に接続され、制御部２はカメラ２１Ａにより撮像したデータに基づいて、前後の向きが誤っている粉状部品の後端部がソレノイド２６Ａの位置に到来した際に、該ソレノイド２６Ａをガイド部２４の表側に突出させる。
【００６５】
粉状部品の後端部がソレノイド２６Ａにより押されることで、図７（ｂ）に示すように、粉状部品は幅方向１８０°反転し、それまで後部だった部位が前部となる。なお、ソレノイド２６Ａは、この動作はカメラ２１Ａの撮像データにおいて前後が誤っている場合に（制御部２がそれを判断した場合に）のみ作動する。
【００６６】
また、例えば、図８に示すように、フィーダー２１は、上下の向きのある粉状部品における上と下を整える上下反転機構２７を備えている。上下反転機構２７は、ホッパー１１から排出された粉状部品の状況を把握するために、フィーダー本体２２の上流側の上方位置に搬送面を撮像するカメラ２１Ａを設け、さらに、ポーラスプレート２２Ａの搬送面と裏面に亘って突出と没入とが可能な例えばソレノイド２７Ａを設けている。
【００６７】
カメラ２１Ａとソレノイド２７Ａ（図１では上下反転機構２７と示している）は制御部２に接続され、制御部２はカメラ２１Ａにより撮像したデータに基づいて、上下の向きが誤っている粉状部品の後端部がソレノイド２６Ａの位置に到来した際に、該ソレノイド２６Ａをポーラスプレート２２Ａの搬送面に突出させる。
【００６８】
粉状部品の後端部がソレノイド２７Ａにより押されることで、図８（ｂ）に示すように、粉状部品は幅方向１８０°反転し、それまで裏面（下）だった面が表面（上）となる。なお、ソレノイド２７Ａは、この動作はカメラ２１Ａの撮像データにおいて上下が誤っている場合に（制御部２がそれを判断した場合に）のみ作動する。
【００６９】
また、例えば、図９に示すように、フィーダー２１は、粉状部品の分岐した搬送経路へ方向を変更する方向変更機構２８を備えている。方向変更機構２８は、ホッパー１１から排出された粉状部品の状況を把握するために、フィーダー本体２２の上流側の上方位置に搬送面を撮像するカメラ２１Ａを設け、さらに、フィーダー本体２２の搬送方向の下流部においてガイド部２４に代えて分岐板２８Ａを設けている。
【００７０】
分岐板２８Ａは、搬送方向の長さ方向の中央に回動軸２８Ｂを有し、この回動軸２８Ｂ（図１では方向変更機構２８と記している）が制御部２に接続されて回動制御されることで傾斜方向が変更される。
【００７１】
すなわち、制御部２はカメラ２１Ａにより撮像したデータに基づいて、搬送経路をそのまま直進搬送する粉状部品の場合は、図９（ａ）に示すように回動軸２８Ａ（回動軸２８Ｂ）を作動させず、ガイド部２４と分岐板２８Ａとを面一とする。
【００７２】
制御部２はカメラ２１Ａにより撮像したデータに基づいて、紙面向かって左側の搬送経路Ａに搬送する粉状部品の場合は、図９（ｂ）に示すように回動軸２８Ａ（回動軸２８Ｂ）を作動して、分岐板２８Ａの搬送方向の下流端を紙面向かって左側に傾斜させる。
【００７３】
制御部２はカメラ２１Ａにより撮像したデータに基づいて、紙面向かって右側の搬送経路Ｂに搬送する粉状部品の場合は、図９（ｃ）に示すように回動軸２８Ａ（回動軸２８Ｂ）を作動して、分岐板２８Ａの搬送方向の下流端を紙面向かって右側に傾斜させる。
【００７４】
以上のように、本発明は、供給対象を主に半導体素子や電子・電気素子といった極めて小さい粉状部品としたが、サイズが極めて小さいという点に限らず、例えば質量が極めて軽いもの（部品）を供給対象とした場合であっても、主にホッパー１１では負圧発生装置１４を、フィーダー２１では正圧発生装置２３を、制御部２によって適切に制御することにより、十分に対応可能である。
【符号の説明】
【００７５】
１  粉状部品供給装置
２  制御部
１１  ホッパー
１２  ホッパー本体
１２Ａ  供給開口
１２Ｂ  排出開口
１３  蓋
１３Ａ  フィルター
１４  負圧発生装置
１５  カメラ（残留確認手段）
１６  排出開口径変更手段
１７  通過センサ（計測手段）
２１  フィーダー
２２  フィーダー本体
２２Ａ  ポーラスプレート
２３  正圧発生装置
２４  ガイド部
２５  個別分離機構
２６  前後反転機構
２７  上下反転機構
２８  方向転換機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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