(57)【要約】【課題】ノイズ光を低減しつつ、窓部材の破損を抑制することができると共に、信頼性の向上を図ることができるミラーユニットを提供する。【解決手段】ミラーユニット１００では、第１壁部５１の高さＨ１が第２壁部５２の高さＨ２よりも高い。窓部材４４は、第１壁部５１の頂面５１ａ上及び第２壁部５２の頂面５２ａ上に配置され、ミラー面７ａに対して傾斜している。第１〜第４壁部５１〜５４のいずれかを第１参照壁部とすると、第１参照壁部に垂直な断面において、ミラー面７ａにおける第１参照壁部側の第１端Ｐ１と、窓部材４４において外表面４４ａと第１側面４４ｃとにより第１参照壁部側に形成された第１角部６１とを通る第１直線Ｌ１が、第１壁部５１と交差する。配線部は、ベース４２の内部を延在する部分を有し、枠部材４３の外側へ引き出されている。【選択図】図２
2020122964.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、
可動部、及び前記可動部上に設けられたミラー面を有し、前記ベース上に配置された光走査デバイスと、
第１方向から見た場合に前記光走査デバイスを囲むように前記ベース上に配置された枠部材と、
前記枠部材の開口を覆うように前記枠部材上に配置された平板状の窓部材と、
前記光走査デバイスに電気的に接続された配線部と、を備え、
前記枠部材は、前記第１方向に垂直な第２方向において互いに向かい合う第１壁部及び第２壁部と、前記第１方向及び前記第２方向の双方に垂直な第３方向において互いに向かい合う第３壁部及び第４壁部と、を有し、
前記第１壁部の高さは、前記第２壁部の高さよりも高く、
前記窓部材は、前記第１壁部の頂面上及び前記第２壁部の頂面上に配置され、前記ミラー面に対して傾斜しており、
前記第１壁部、前記第２壁部、前記第３壁部及び前記第４壁部のいずれか１つを第１参照壁部とすると、前記ミラー面を通り前記第１参照壁部に垂直な断面において、前記ミラー面における前記第１参照壁部側の第１端と、前記窓部材において前記枠部材とは反対側の外表面と第１側面とにより前記第１参照壁部側に形成された第１角部とを通る第１直線が、前記第１参照壁部と交差しており、
前記配線部は、前記ベースの内部を延在する部分を有し、前記枠部材の外側へ引き出されている、ミラーユニット。
【請求項２】
前記窓部材は、前記枠部材に接合されており、
前記窓部材の厚さは、前記窓部材と前記枠部材とが接合されている領域の幅よりも小さい、請求項１に記載のミラーユニット。
【請求項３】
前記第１壁部、前記第２壁部、前記第３壁部及び前記第４壁部のうち、前記第１参照壁部と向かい合うものを第２参照壁部とすると、前記断面において、前記ミラー面における前記第２参照壁部側の第２端と、前記窓部材において前記外表面と第２側面とにより前記第２参照壁部側に形成された第２角部とを通る第２直線が、前記第２参照壁部と交差している、請求項１又は２に記載のミラーユニット。
【請求項４】
前記配線部は、前記第１方向から見た場合に前記第１参照壁部と重なるように、前記ベースの内部を延在している、請求項１〜３のいずれか一項に記載のミラーユニット。
【請求項５】
前記配線部は、前記第１方向から見た場合に前記枠部材の内側に位置する領域において前記ベース上に設けられた電極パッドを有し、
前記第１壁部、前記第２壁部、前記第３壁部及び前記第４壁部のうち、前記第１参照壁部と向かい合うものを第２参照壁部とすると、前記光走査デバイスと前記第１参照壁部との間の距離は、前記光走査デバイスと前記第２参照壁部との間の距離よりも長く、
前記電極パッドは、前記ベース上において前記光走査デバイスと前記第１参照壁部との間に配置されている、請求項１〜４のいずれか一項に記載のミラーユニット。
【請求項６】
前記第１参照壁部は、前記第１壁部であり、前記第２参照壁部は、前記第２壁部である、請求項５に記載のミラーユニット。
【請求項７】
前記配線部は、前記第１方向から見た場合に前記枠部材の内側に位置する第１領域において前記光走査デバイスに電気的に接続され、前記第１方向から見た場合に前記枠部材と重なる第２領域において前記ベースの内部を延在し、前記第１方向から見た場合に前記枠部材の外側に位置する第３領域へ引き出されている、請求項１〜６のいずれか一項に記載のミラーユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ミラーユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
ミラーユニットとして、可動部上にミラー面が設けられた光走査デバイスと、光走査デバイスを囲むように配置された枠部材と、枠部材の開口を塞ぐ平板状の窓部材と、を備えるものが知られている（例えば特許文献１参照）。光は外部から窓部材を介してミラー面に入射してミラー面で反射され、窓部材を介して外部に出射する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−２１５３５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載のミラーユニットでは、枠部材を構成する互いに向かい合う一対の壁部の一方の高さが他方よりも高く形成されており、枠部材上に配置された窓部材がミラー面に対して傾斜している。窓部材がミラー面に対して傾斜していると、窓部材で反射した光が進む方向をミラー面で反射した光が進む方向とは異ならせることができ、窓部材で反射した光がノイズ光となるのを抑制することができる。
【０００５】
一方、上述したミラーユニットのようにミラー面が設けられた可動部を揺動させて光を走査する構成においては、ミラー面の角度によっては窓部材への光の入射角度が大きくなり、窓部材から出射する光の屈折角度が大きくなる。特に、上述したように窓部材が傾斜している構成においては、窓部材への光の入射角度が一層大きくなる。そのため、高精度な光走査を実現するためには、窓部材での屈折の影響を考慮する必要がある。そこで、窓部材を薄く形成して窓部材における屈折量を低減することで、窓部材での屈折の影響を抑制することが考えられる。しかしながら、窓部材を薄く形成すると、窓部材の強度が低下し、窓部材が破損し易くなる。そのため、窓部材の破損を抑制することが求められる。また、上述したようなミラーユニットには、信頼性の向上が併せて求められる。
【０００６】
本発明は、ノイズ光を低減しつつ、窓部材の破損を抑制することができると共に、信頼性の向上を図ることができるミラーユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のミラーユニットは、ベースと、可動部、及び可動部上に設けられたミラー面を有し、ベース上に配置された光走査デバイスと、第１方向から見た場合に光走査デバイスを囲むようにベース上に配置された枠部材と、枠部材の開口を覆うように枠部材上に配置された平板状の窓部材と、光走査デバイスに電気的に接続された配線部と、を備え、枠部材は、第１方向に垂直な第２方向において互いに向かい合う第１壁部及び第２壁部と、第１方向及び第２方向の双方に垂直な第３方向において互いに向かい合う第３壁部及び第４壁部と、を有し、第１壁部の高さは、第２壁部の高さよりも高く、窓部材は、第１壁部の頂面上及び第２壁部の頂面上に配置され、ミラー面に対して傾斜しており、第１壁部、第２壁部、第３壁部及び第４壁部のいずれか１つを第１参照壁部とすると、ミラー面を通り第１参照壁部に垂直な断面において、ミラー面における第１参照壁部側の第１端と、窓部材において枠部材とは反対側の外表面と第１側面とにより第１参照壁部側に形成された第１角部とを通る第１直線が、第１参照壁部と交差しており、配線部は、ベースの内部を延在する部分を有し、枠部材の外側へ引き出されている。
【０００８】
このミラーユニットでは、第１壁部の高さが第２壁部の高さよりも高く、窓部材が、第１壁部の頂面上及び第２壁部の頂面上に配置され、ミラー面に対して傾斜している。これにより、窓部材で反射した光が進む方向をミラー面で反射した光が進む方向とは異ならせることができ、窓部材で反射した光がノイズ光となるのを抑制することができる。また、第１壁部、第２壁部、第３壁部及び第４壁部のいずれか１つを第１参照壁部とすると、ミラー面を通り第１参照壁部に垂直な断面において、ミラー面における第１参照壁部側の第１端と、窓部材において外表面と第１側面とにより第１参照壁部側に形成された第１角部とを通る第１直線が、第１参照壁部と交差している。第１直線が第１壁部と交差するように構成することで、第１参照壁部が窓部材に対して相対的に厚く形成される。これにより、厚く形成された第１参照壁部によって窓部材を支持することができ、窓部材の破損を抑制することができる。一方、第１参照壁部を厚く形成する場合、小型化の観点から、光走査デバイス側に向けて第１参照壁部の厚さを広げることが考えられるが、その場合、ベース上において枠部材の内側に位置する部分の面積が狭くなる。そのような狭い部分に光走査デバイスとの電気的接続のための配線部を形成しようとすると、配線部にショート等の不具合が生じるおそれがある。これに対し、このミラーユニットでは、配線部が、ベースの内部を延在する部分を有し、枠部材の外側へ引き出されている。このようにベースの内部に配線部を形成することで、配線部にショート等の不具合が生じるのを抑制することができる。また、例えばベースと枠部材との間をベースの表面に沿って延在するように配線部を形成する場合と比べて、配線部の劣化を抑制することができると共に、ベースと枠部材との間の接合部に配線部が影響を与えるのを抑制することができる。よって、このミラーユニットによれば、ノイズ光を低減しつつ、窓部材の破損を抑制することができると共に、信頼性の向上を図ることができる。
【０００９】
窓部材は、枠部材に接合されており、窓部材の厚さは、窓部材と枠部材とが接合されている幅よりも小さくてもよい。この場合、窓部材を薄く形成することができ、窓部材での屈折の影響を抑制することができる。
【００１０】
第１壁部、第２壁部、第３壁部及び第４壁部のうち、第１参照壁部と向かい合うものを第２参照壁部とすると、上記断面において、ミラー面における第２参照壁部側の第２端と、窓部材において外表面と第２側面とにより第２参照壁部側に形成された第２角部とを通る第２直線が、第２参照壁部と交差していてもよい。この場合、第２参照壁部が窓部材に対して相対的に厚く形成されるため、厚く形成された第２参照壁部によって窓部材を支持することができ、窓部材の破損を一層確実に抑制することができる。
【００１１】
配線部は、第１方向から見た場合に第１参照壁部と重なるように、ベースの内部を延在していてもよい。厚く形成された第１参照壁部側に配線部を引き出そうとすると上述した配線部の劣化等が生じ易くなるが、このミラーユニットでは、ベースの内部に配線部が形成されているため、配線部の劣化等を確実に抑制することができる。
【００１２】
配線部は、第１方向から見た場合に枠部材の内側に位置する領域においてベース上に設けられた電極パッドを有し、第１壁部、第２壁部、第３壁部及び第４壁部のうち、第１参照壁部と向かい合うものを第２参照壁部とすると、光走査デバイスと第１参照壁部との間の距離は、光走査デバイスと第２参照壁部との間の距離よりも長く、電極パッドは、ベース上において光走査デバイスと第１参照壁部との間に配置されていてもよい。この場合、電極パッドを配置するためのスペースを確保することができる。
【００１３】
第１参照壁部は、第１壁部であり、第２参照壁部は、第２壁部であってもよい。この場合、第１壁部が第２壁部と比べて光走査デバイスから離れているため、第２壁部よりも高さが高い第１壁部によってミラー面からの光が遮られるのを抑制することができる。
【００１４】
配線部は、第１方向から見た場合に枠部材の内側に位置する第１領域において光走査デバイスに電気的に接続され、第１方向から見た場合に枠部材と重なる第２領域においてベースの内部を延在し、第１方向から見た場合に枠部材の外側に位置する第３領域へ引き出されていてもよい。この場合、上述した配線部の劣化等を一層確実に抑制することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ノイズ光を低減しつつ、窓部材の破損を抑制することができると共に、信頼性の向上を図ることができるミラーユニットを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施形態に係るミラーユニットの平面図である。
【図２】図１のII−II線に沿っての断面図である。
【図３】図１のIII−III線に沿っての断面図である。
【図４】図１のIV−IV線に沿っての断面図である。
【図５】光走査デバイスの平面図である。
【図６】変形例に係るミラーユニットの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。
［ミラーユニットの全体構成］
【００１８】
図１〜図３に示されるように、ミラーユニット１００は、光走査デバイス１と、光走査デバイス１を収容するパッケージ４０と、を備えている。パッケージ４０は、ベース４２と、枠部材４３と、窓部材４４と、を有している。
【００１９】
ベース４２は、例えば、窒化アルミニウム又は酸化アルミニウム等の非磁性材料により矩形板状に形成されている。ベース４２は、主面４２ａと、主面４２ａとは反対側の裏面４２ｂと、を有している。主面４２ａは、パッケージ４０の内面の一部を構成する面である。主面４２ａには、凹部４２ｃが形成されている。凹部４２ｃの底面には、凹部４２ｄが形成されている。光走査デバイス１は、ベース４２上に、より具体的には凹部４２ｃの底面上に配置されている。ベース４２の裏面４２ｂ側には、後述する光走査デバイス１の第１駆動用コイル１１及び第２駆動用コイル１２に作用する磁界を発生させる磁界発生部（図示省略）が配置されている。磁界発生部は、例えば、ハルバッハ配列がとられた永久磁石を含んで構成されている。
【００２０】
枠部材４３は、ベース４２の主面４２ａに垂直なＺ軸方向（第１方向）から見た場合に光走査デバイス１を囲むように、主面４２ａ上に配置されている。枠部材４３は、例えば、窒化アルミニウム又は酸化アルミニウム等の非磁性材料により矩形枠状に形成されている。
【００２１】
窓部材４４は、例えば、ガラス等の透光性材料により形成された矩形平板状の基材の両表面に反射防止膜が形成されることで構成されている。窓部材４４は、枠部材４３の一方の開口４３ａを覆うように枠部材４３上に配置され、ベース４２及び光走査デバイス１とＺ軸方向において向かい合っている。窓部材４４は、開口４３ａを気密に封止するように、例えば低融点ガラス等の接合材４５により枠部材４３に接合されている。
【００２２】
ベース４２は、枠部材４３の他方の開口４３ｂを気密に封止するように、例えば低融点ガラス等の接合材４６により枠部材４３に接合されている。これにより、パッケージ４０内が気密に封止されている。ベース４２及び枠部材４３は、単一の部材を構成するように一体的に形成されていてもよい。
【００２３】
接合材４５，４６による接合は、低融点ガラスによる接合以外に、例えば、樹脂接着剤、低温はんだ（Ｓｎ／Ｐｂ、Ｓｎ／Ｃｕ系）、低温ロウ材（Ａｕ／Ｓｎ合金、Ａｕ／Ｇｅ合金等）、高温ロウ材（Ａｇ系等）、プロジェクション溶接、シームシール溶接、レーザ溶接、電子ビーム溶接等による接合であってもよい。
［光走査デバイスの構成］
【００２４】
図５に示されるように、光走査デバイス１は、支持部２と、支持部２に対して揺動可能な可動部１０と、を有している。可動部１０は、第１可動部３と、第２可動部４と、一対の第１連結部５と、一対の第２連結部６と、ミラー７と、を有している。支持部２、第１可動部３、第２可動部４、一対の第１連結部５及び一対の第２連結部６は、例えばＳＯＩ（Silicon  on  Insulator）基板により一体的に形成されている。つまり、光走査デバイス１は、ＭＥＭＳ（Micro  Electro  Mechanical  Systems）デバイスとして構成されている。
【００２５】
第１可動部３は、例えば矩形板状に形成されている。第２可動部４は、光軸方向Ａから見た場合に隙間を介して第１可動部３を囲むように、例えば矩形環状に形成されている。支持部２は、光軸方向Ａから見た場合に隙間を介して第２可動部４を囲むように、例えば矩形枠状に形成されている。つまり、支持部２は、光軸方向Ａから見た場合に第１可動部３及び第２可動部４を囲むように枠状に形成されている。
【００２６】
第１可動部３は、第１軸線Ｘ１周りに揺動可能となるように、一対の第１連結部５を介して第２可動部４に連結されている。つまり、第１可動部３は、支持部２において第１軸線Ｘ１周りに揺動可能となるように支持されている。第１可動部３は、第１部分３１と、第２部分３２と、を含んでいる。第１部分３１は、光軸方向Ａから見た場合に例えば円形状に形成されている。第２部分３２は、光軸方向Ａから見た場合に例えば矩形環状に形成されている。第１部分３１は、光軸方向Ａから見た場合に第２部分３２に囲まれており、複数（この例では２つ）の接続部分３３を介して第２部分３２と接続されている。つまり、第１部分３１と第２部分３２との間には、複数の接続部分３３を除いて隙間が形成されている。
【００２７】
接続部分３３は、例えば、第２部分３２の矩形状の内縁のうち第２軸線Ｘ２と交差する２辺の中央部に位置している。すなわち、この例では、接続部分３３は、第２軸線Ｘ２上に位置している。第１部分３１は、少なくとも第２軸線Ｘ２に沿った方向において第２部分３２に接続されていればよい。
【００２８】
第２可動部４は、第２軸線Ｘ２周りに揺動可能となるように、一対の第２連結部６を介して支持部２に連結されている。つまり、第２可動部４は、支持部２において第２軸線Ｘ２周りに揺動可能となるように支持されている。第１軸線Ｘ１及び第２軸線Ｘ２は、光軸方向Ａに垂直であり、互いに交差している（この例では互いに直交している）。なお、第１部分３１は、光軸方向Ａから見た場合に矩形状又は多角形状に形成されていてもよい。第１部分３１は、光軸方向Ａから見た場合に、円形状（例えば楕円形状）に形成されていてもよい。第２部分３２は、光軸方向Ａから見た場合に五角形以上の多角形環状又は円環状に形成されていてもよい。
【００２９】
一対の第１連結部５は、第１可動部３の第２部分３２と第２可動部４との間の隙間において、第１可動部３を挟むように第１軸線Ｘ１上に配置されている。各第１連結部５は、トーションバーとして機能する。一対の第２連結部６は、第２可動部４と支持部２との間の隙間において、第２可動部４を挟むように第２軸線Ｘ２上に配置されている。各第２連結部６は、トーションバーとして機能する。
【００３０】
ミラー７は、第１可動部３の第１部分３１上に設けられている。ミラー７は、第１軸線Ｘ１と第２軸線Ｘ２との交点を含むように、第１部分３１におけるベース４２とは反対側（窓部材４４側）の表面上に形成されている。ミラー７は、例えば、アルミニウム、アルミニウム系合金、金又は銀等の金属材料により、円形、楕円形又は矩形の膜状に形成されている。ミラー７における第１可動部３とは反対側の表面は、光軸方向Ａと垂直に延在するミラー面７ａを構成している。ミラー面７ａの中心（幾何中心、重心）は、光軸方向Ａから見た場合に、第１軸線Ｘ１と第２軸線Ｘ２との交点に一致している。このように、複数の接続部分３３を介して第２部分３２と接続された第１部分３１にミラー７が設けられているため、第１可動部３が共振周波数レベルで第１軸線Ｘ１周りに揺動しても、ミラー７に撓み等の変形が生じるのを抑制することができる。
【００３１】
ミラー面７ａの外縁から第１部分３１の外縁までの距離は、接続部分３３の幅よりも小さい。接続部分３３の幅とは、接続部分３３の延在方向（この例では第２軸線Ｘ２に沿った方向）に垂直な方向（この例では第１軸線Ｘ１に沿った方向）に沿っての長さである。第１可動部３は、第２部分３２及び接続部分３３を有していなくてもよい。ミラー面７ａの外縁から第１部分３１の外縁までの距離は、第２連結部６の幅よりも小さくてもよい。第２連結部６の幅とは、第２連結部６の延在方向（この例では第２軸線Ｘ２に沿った方向）に垂直な方向（この例では第１軸線Ｘ１に沿った方向）に沿っての長さである。
【００３２】
更に、光走査デバイス１は、第１駆動用コイル１１と、第２駆動用コイル１２と、配線１５ａ，１５ｂと、配線１６ａ，１６ｂと、電極パッド２１ａ，２１ｂと、電極パッド２２ａ，２２ｂと、を有している。図２では、説明の便宜上、第１駆動用コイル１１及び第２駆動用コイル１２が一点鎖線で示され、配線１５ａ，１５ｂ及び配線１６ａ，１６ｂが実線で示されている。
【００３３】
第１駆動用コイル１１は、第１可動部３の第２部分３２に設けられている。第１駆動用コイル１１は、光軸方向Ａから見た場合におけるミラー７の外側の領域（すなわち、第２部分３２）においてスパイラル状（渦巻き状）に複数回巻かれている。第１駆動用コイル１１には、磁界発生部により発生させられる磁界が作用する。
【００３４】
第１駆動用コイル１１は、第１可動部３の表面に形成された溝内に配置されている。つまり、第１駆動用コイル１１は、第１可動部３に埋め込まれている。第１駆動用コイル１１の一端は、配線１５ａを介して電極パッド２１ａに接続されている。配線１５ａは、第１可動部３から、一方の第１連結部５、第２可動部４及び一方の第２連結部６を介して、支持部２まで延在している。配線１５ａ及び電極パッド２１ａは、例えば、タングステン、アルミニウム、金、銀、銅又はアルミニウム系合金等の金属材料により一体的に形成されている。
【００３５】
第１駆動用コイル１１の他端は、配線１５ｂを介して電極パッド２１ｂに接続されている。配線１５ｂは、第１可動部３から、他方の第１連結部５、第２可動部４及び他方の第２連結部６を介して、支持部２まで延在している。配線１５ｂ及び電極パッド２１ｂは、例えば、タングステン、アルミニウム、金、銀、銅又はアルミニウム系合金等の金属材料により一体的に形成されている。
【００３６】
第２駆動用コイル１２は、第２可動部４に設けられている。第２駆動用コイル１２は、第２可動部４においてスパイラル状（渦巻き状）に複数回巻かれている。第２駆動用コイル１２には、磁界発生部により発生させられる磁界が作用する。第２駆動用コイル１２は、第２可動部４の表面に形成された溝内に配置されている。つまり、第２駆動用コイル１２は、第２可動部４に埋め込まれている。
【００３７】
第２駆動用コイル１２の一端は、配線１６ａを介して電極パッド２２ａに接続されている。配線１６ａは、第２可動部４から、一方の第２連結部６を介して、支持部２に延在している。配線１６ａ及び電極パッド２２ａは、例えば、タングステン、アルミニウム、金、銀、銅又はアルミニウム系合金等の金属材料により一体的に形成されている。
【００３８】
第２駆動用コイル１２の他端は、配線１６ｂを介して電極パッド２２ｂに接続されている。配線１６ｂは、第２可動部４から、他方の第２連結部６を介して、支持部２に延在している。配線１６ｂ及び電極パッド２２ｂは、例えば、タングステン、アルミニウム、金、銀、銅又はアルミニウム系合金等の金属材料により一体的に形成されている。
【００３９】
電極パッド２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂの数及び配置は、図４に示される例に限られない。図４の例のように、電極パッド２１ａが可動部１０に対して第２軸線Ｘ２の一方側に配置され、電極パッド２１ｂが可動部１０に対して第２軸線Ｘ２の他方側に配置されてもよいし、或いは、電極パッド２１ａ，２１ｂの双方が可動部１０に対して第２軸線Ｘ２の一方側又は他方側に配置されてもよい。後者の場合、配線１５ａ，１５ｂは、同一の第２連結部６上を延在してもよい。これらの点は、電極パッド２２ａ，２２ｂ及び配線１６ａ，１６ｂについても同様である。
【００４０】
以下、光走査デバイス１における可動部１０の動作の例として、第１例〜第５例を説明する。第１例では、第１駆動用コイル１１に高周波数の駆動電流が印加される。このとき、第１駆動用コイル１１には、磁界発生部により発生させられた磁界が作用しているため、第１駆動用コイル１１にローレンツ力が発生する。これにより、第１可動部３は、例えば、共振周波数レベルで第１軸線Ｘ１周りにおいて揺動させられる。
【００４１】
また、第２駆動用コイル１２には、一定の大きさの駆動電流が印加される。このとき、第２駆動用コイル１２には、磁界発生部により発生させられた磁界が作用しているため、第２駆動用コイル１２にローレンツ力が発生する。これにより、第２可動部４は、例えば、駆動電流の大きさに応じて第２軸線Ｘ２周りにおいて回転させられ、その状態で停止させられる。これにより、光走査デバイス１によれば、所定の光源からの光をミラー面７ａにより反射させて走査することができる。光は外部から窓部材４４を介してミラー面７ａに入射してミラー面７ａで反射され、窓部材４４を介して外部に出射する。第１例では、第１可動部３が共振周波数で揺動されると共に第２可動部４が静的に用いられる。
【００４２】
第２例では、第１例の第１可動部３の動作と同様に、第１駆動用コイル１１に高周波数の駆動電流が印加されることによって第１可動部３が共振周波数に応じて揺動されると共に、第２駆動用コイル１２に高周波数の駆動電流が印加されることによって第２可動部４が共振周波数に応じて揺動される。このように、第２例では、第１可動部３及び第２可動部４の両方が、共振周波数で揺動される。
【００４３】
第３例では、第１例の第２可動部４の動作と同様に、第１駆動用コイル１１に対して一定の大きさの駆動電流が印加されることによって、第１可動部３が駆動電流の大きさに応じて第１軸線Ｘ１周りにおいて回転させられて停止させられると共に、第２駆動用コイル１２に対して一定の大きさの駆動電流が印加されることによって、第２可動部４が駆動電流の大きさに応じて第２軸線Ｘ２周りにおいて回転させられて停止させられる。このように、第３例では、第１可動部３及び第２可動部４の両方が、静的に用いられる。
【００４４】
第４例及び第５例では、第１可動部３のみが駆動される。第４例では、第１駆動用コイル１１に高周波数の駆動電流が印加されることにより、第１可動部３が共振周波数に応じて揺動される。第５例では、第１駆動用コイル１１に対して一定の大きさの駆動電流が印加されることによって、第１可動部３が駆動電流の大きさに応じて第１軸線Ｘ１周りにおいて回転させられて停止させられる。第４例及び第５例は、例えば第２可動部４が設けられていない場合等に用いられ得る。
【００４５】
上述したとおり、光走査デバイス１は、ベース４２上に配置されている。支持部２が凹部４２ｃの底面に固定され、第１可動部３及び第２可動部４が凹部４２ｄの底面と向かい合っている。凹部４２ｄが設けられていることにより、第１可動部３及び第２可動部４がベース４２に干渉することなく揺動可能となっている。
［パッケージの構成］
【００４６】
図１〜図４に示されるように、枠部材４３は、第１壁部５１と、第２壁部５２と、第３壁部５３と、第４壁部５４と、を有している。各壁部５１〜５４は、平板状に形成されており、同一の厚さを有している。第１壁部５１と第２壁部５２は、互いに平行に延在し、Ｚ軸方向に垂直なＸ軸方向（第２方向）において互いに向かい合っている。第３壁部５３と第４壁部５４とは、互いに平行に延在し、Ｚ軸方向及びＸ軸方向の双方に垂直なＹ軸方向（第３方向）において互いに向かい合っている。第３壁部５３は、第１壁部５１の一端及び第２壁部５２の一端に接続されており、第４壁部５４は、第１壁部５１の他端及び第２壁部５２の他端に接続されている。第３壁部５３及び第４壁部５４は、例えば同一の形状を有している。
【００４７】
第１壁部５１におけるベース４２とは反対側の頂面５１ａは、第２壁部５２から離れるにつれてベース４２の主面４２ａから遠ざかるように、主面４２ａに対して傾斜している。第２壁部５２におけるベース４２とは反対側の頂面５２ａは、第１壁部５１に近づくにつれてベース４２の主面４２ａから遠ざかるように、主面４２ａに対して傾斜している。第１壁部５１の高さＨ１は、第２壁部５２の高さＨ２よりも高い。第１壁部５１の高さＨ１は、主面４２ａから頂面５１ａまでの距離の最大値であり、第２壁部５２の高さＨ２は、主面４２ａから頂面５２ａまでの距離の最大値である。
【００４８】
第３壁部５３におけるベース４２とは反対側の頂面５３ａは、Ｙ軸方向から見た場合に、第１壁部５１に近づくにつれてベース４２の主面４２ａから遠ざかるように、主面４２ａに対して傾斜している。第４壁部５４におけるベース４２とは反対側の頂面５４ａは、Ｙ軸方向から見た場合に、第１壁部５１に近づくにつれてベース４２の主面４２ａから遠ざかるように、主面４２ａに対して傾斜している。第３壁部５３の高さは、第４壁部５４の高さと等しい。
【００４９】
頂面５１ａ〜５４ａは、面一となっており、同一平面上に位置している。窓部材４４は、頂面５１ａ〜５４ａ上に配置されることにより、第２壁部５２から第１壁部５１へ向かうにつれて主面４２ａから遠ざかるように、主面４２ａ（ミラー面７ａ）に対して傾斜している。換言すれば、各頂面５１ａ〜５４ａは、窓部材４４の傾斜に応じた角度で傾斜している。
【００５０】
なお、第１壁部５１は、複数の部分により構成されていてもよい。これらの複数の部分は、互いの間に隙間が設けられて別体に形成されていてもよい。実施形態では頂面５１ａの全体が平坦に形成されているが、頂面５１ａに切欠き、凹部又は凸部等が形成されることにより、頂面５１ａが複数の領域に分割されていてもよい。必ずしも頂面５１ａの全体が、窓部材４４の傾斜に応じた角度で傾斜していなくてもよい。例えば、頂面５１ａ内の２点を結んだ直線が窓部材４４の傾斜に応じた角度で傾斜していればよい。これらの点は、第２壁部５２〜第４壁部５４についても同様である。窓部材４４は、頂面５１ａ〜５４ａの全体において枠部材４３に接合されていなくてもよく、頂面５１ａ〜５４ａの少なくとも一部において枠部材４３に接合されていればよい。
【００５１】
窓部材４４は、外表面４４ａと、内表面４４ｂと、第１側面４４ｃと、第２側面４４ｄと、第３側面４４ｅと、第４側面４４ｆと、を有している。外表面４４ａは、枠部材４３とは反対側の表面であり、内表面４４ｂは、枠部材４３側の表面である。外表面４４ａと内表面４４ｂとは、互いに平行に延在している。各側面４４ｃ〜４４ｆは、外表面４４ａ及び内表面４４ｂと垂直に延在し、外表面４４ａ及び内表面４４ｂに連続している。窓部材４４は、内表面４４ｂが頂面５１ａ〜５４ａと向かい合うように、枠部材４３上に配置されている。第１側面４４ｃ、第２側面４４ｄ、第３側面４４ｅ及び第４側面４４ｆは、それぞれ、頂面５１ａ、頂面５２ａ、頂面５３ａ及び頂面５４ａ上に位置している。
【００５２】
窓部材４４は、外表面４４ａと第１側面４４ｃとにより第１壁部５１側に形成された第１角部６１と、外表面４４ａと第２側面４４ｄとにより第２壁部５２側に形成された第２角部６２と、外表面４４ａと第３側面４４ｅとにより第３壁部５３側に形成された第３角部６３と、外表面４４ａと第４側面４４ｆとにより第４壁部５４側に形成された第４角部６４と、を有している。Ｚ軸方向から見た場合に、第１角部６１は、頂面５１ａと重なっており、第２角部６２は、頂面５２ａと重なっている。Ｚ軸方向から見た場合に、第３角部６３は、頂面５３ａと重なっており、第４角部６４は、頂面５４ａと重なっている。なお、この例では第１側面４４ｃが平坦面であるが、第１側面４４ｃは湾曲面であってもよい。この場合、第１角部６１は、平坦な外表面４４ａと、湾曲した第１側面４４ｃとの間の境界部に形成される。同様に、第２側面４４ｄは湾曲面であってもよい。この場合、第２角部６２は、平坦な外表面４４ａと、湾曲した第２側面４４ｄとの間の境界部に形成される。
【００５３】
窓部材４４の厚さＴ４４は、第１壁部５１の厚さＴ５１、第２壁部５２の厚さＴ５２、第３壁部５３の厚さＴ５３、第４壁部５４の厚さＴ５４の各々よりも薄い。この例では、壁部５１〜５４の厚さＴ５１〜Ｔ５４は、互いに等しい。また、窓部材４４の厚さＴ４４は、窓部材４４と枠部材４３とが接合材４５により接合されている接合領域の幅Ｗよりも小さい。幅Ｗは、各頂面５１ａ〜５４ａに平行で且つ枠部材４３の延在方向に直交する方向に沿っての幅である。この例では、接合領域の幅Ｗが枠部材４３の全周にわたって等しいが、接合領域の幅が枠部材４３の周方向に関して変化している場合、幅Ｗは、接合領域の幅の最大値である。
【００５４】
図２及び図３を参照しつつ、各部材の位置関係について説明する。光走査デバイス１は、例えば、第１軸線Ｘ１がＸ軸方向と平行になり且つ第２軸線Ｘ２がＹ軸方向と平行になるように配置されている。図２では、ミラー面７ａの中心を通り且つＸ軸方向及びＺ軸方向の双方に平行な断面が示されている。図２の断面は、Ｙ軸方向に垂直であり、第１壁部５１及び第２壁部５２に垂直である。図３では、ミラー面７ａの中心を通り且つＹ軸方向及びＺ軸方向の双方に平行な断面が示されている。図３の断面は、Ｘ軸方向に垂直であり、第３壁部５３及び第４壁部５４に垂直である。
【００５５】
図２及び図３では、可動部１０が第１軸線Ｘ１周り及び第２軸線Ｘ２周りに回転していない非回転状態（非駆動状態、初期状態）が示されている。非回転状態では、第１可動部３が第１軸線Ｘ１周りに回転しておらず、且つ第２可動部４が第２軸線Ｘ２周りに回転していない。非回転状態において、ミラー面７ａは、ベース４２の主面４２ａに平行である。
【００５６】
図２の断面において、ミラー面７ａにおける第１壁部５１側の端部である第１端Ｐ１と、第１角部６１の頂点とを通る第１直線Ｌ１が、第１壁部５１と交差している。すなわち、第１直線Ｌ１が、第１壁部５１を通っている。また、図２の断面において、ミラー面７ａにおける第２壁部５２側の端部である第２端Ｐ２と、第２角部６２の頂点とを通る第２直線Ｌ２が、第２壁部５２と交差している。すなわち、第２直線Ｌ２が、第２壁部５２を通っている。
【００５７】
図３の断面において、ミラー面７ａにおける第３壁部５３側の端部である第３端Ｐ３と、第３角部６３の頂点とを通る第３直線Ｌ３が、第３壁部５３と交差している。すなわち、第３直線Ｌ３が、第３壁部５３を通っている。また、図３の断面において、ミラー面７ａにおける第４壁部５４側の端部である第４端Ｐ４と、第４角部６４の頂点とを通る第４直線Ｌ４が、第４壁部５４と交差している。すなわち、第４直線Ｌ４が、第４壁部５４を通っている。
【００５８】
なお、第１可動部３の表面を鏡面加工することによりミラー面７ａが形成されている場合、ミラー面７ａの端部は、加工された領域の端部である。或いは、反射膜が形成されずに、第１可動部３の表面自体がミラー面７ａを構成する場合、ミラー面７ａの端部は、第１可動部３の端部である。上記実施形態では、ミラー面７ａの中心を通りＹ軸方向に垂直な断面において、第１可動部３が第１連結部５に繋がっている。この場合、第１可動部３の端部は、第１可動部３と第１連結部５との間の境界上に位置する。実施形態のように、第１可動部３が第１部分３１及び第１部分３１を囲む第２部分３２を有し、ミラー面７ａが第１部分３１上に設けられている場合、ミラー面７ａの端部は、第１部分３１の端部の近傍に位置する。
［配線部］
【００５９】
図１及び図４に示されるように、ミラーユニット１００は、光走査デバイス１に電気的に接続された配線部７０を更に備えている。配線部７０は、複数（この例では８つ）の内側電極パッド７１と、複数（この例では９つ）の外側電極パッド７２と、複数（この例では８つ）の配線７３と、を有している。内側電極パッド７１、外側電極パッド７２及び配線７３の各々は、例えば、タングステン、アルミニウム、金、銀、銅又はアルミニウム系合金等の金属材料により形成されている。
【００６０】
内側電極パッド７１は、Ｚ軸方向から見た場合に枠部材４３の内側に位置する内側領域（第１領域）Ｒ１に設けられている。内側電極パッド７１は、ベース４２上に、より具体的には凹部４２ｃの底面上に配置されている。内側電極パッド７１は、凹部４２ｃの底面上において、光走査デバイス１と第３壁部５３との間に配置されている。ミラーユニット１００では、Ｙ軸方向に沿っての光走査デバイス１と第３壁部５３との間の距離Ｃ１は、Ｙ軸方向に沿っての光走査デバイス１と第４壁部５４との間の距離Ｃ２よりも長くなっている（図３）。すなわち、内側電極パッド７１は、第３壁部５３及び第４壁部５４のうち光走査デバイス１から遠い第３壁部５３と、光走査デバイス１との間に配置されている。ミラーユニット１００では、Ｘ軸方向に沿っての光走査デバイス１と第１壁部５１との間の距離は、Ｘ軸方向に沿っての光走査デバイス１と第２壁部５２との間の距離と等しい。複数の内側電極パッド７１は、例えばＸ軸方向に沿って並んでいる。複数の内側電極パッド７１は、それぞれ、ワイヤＷＲを介して、光走査デバイス１の電極パッド２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂのいずれかに電気的に接続されている。
【００６１】
外側電極パッド７２は、Ｚ軸方向から見た場合に枠部材４３の外側に位置する外側領域（第３領域）Ｒ３に設けられている。外側電極パッド７２は、ベース４２上に、より具体的には主面４２ａ上に配置されている。複数の外側電極パッド７２は、例えば、Ｘ軸方向に沿って等間隔で並んでいる。複数の外側電極パッド７２は、例えば、外部の制御装置等との電気的な接続に用いられる。
【００６２】
図１に示されるように、複数の配線７３は、それぞれ、内側電極パッド７１と外側電極パッド７２とを互いに電気的に接続している。複数の配線７３は、複数（この例では４つ）の配線７３Ａと、複数（この例では４つ）の配線７３Ｂと、を含んでいる。
【００６３】
各配線７３Ａは、Ｚ軸方向から見た場合にＸ軸方向及びＹ軸方向に対して傾斜して直線状に延在している。各配線７３Ｂは、複数（この例では２つ）の屈曲部を有している。各配線７３Ｂは、Ｚ軸方向から見た場合にＸ軸方向及びＹ軸方向に対して傾斜して直線状に延在する一対の第１直線状部７３Ｂａと、Ｚ軸方向から見た場合にＸ軸方向に沿って直線状に延在する第２直線状部７３Ｂｂと、を有している。一対の第１直線状部７３Ｂａは、配線７３Ｂの両端に位置し、第２直線状部７３Ｂｂに接続されている。一対の第１直線状部７３Ｂａと第２直線状部７３Ｂｂとの間の境界部に、上記屈曲部が形成されている。
【００６４】
図４に示されるように、各配線７３は、ベース４２内に形成された孔４２ｅ内に配置されており、ベース４２の内部を延在している。各配線７３は、内側領域Ｒ１において内側電極パッド７１に電気的に接続され、Ｚ軸方向から見た場合に枠部材４３と重なる重なり領域（第２領域）Ｒ２においてベース４２の内部を延在し、外側領域Ｒ３へ引き出されている。すなわち、各配線７３は、内側領域Ｒ１に位置する第１部分７４と、重なり領域Ｒ２に位置する第２部分７５と、外側領域Ｒ３に位置する第３部分７６と、を有している。
【００６５】
第１部分７４は、内側電極パッド７１に接続されている。この例では、配線７３及び内側電極パッド７１は、互いに一体的に（１つの部材として）形成されている。換言すれば、配線７３は、内側領域Ｒ１において露出するように設けられており、露出した部分が内側電極パッド７１を構成している。第２部分７５は、第１部分７４に接続されており、第３壁部５３の下側を直線状に延在している。換言すれば、配線７３は、重なり領域Ｒ２において、Ｚ軸方向から見た場合に第３壁部５３と重なるように、ベース４２の内部を延在している。第３部分７６は、第２部分７５に接続されており、重なり領域Ｒ２から外側領域Ｒ３へ引き出されて外側電極パッド７２の裏面に接続されている。図４では配線７３のうち配線７３Ａが図示されているが、配線７３Ａと同様に、配線７３Ｂもベース４２の内部を延在している。
［作用及び効果］
【００６６】
ミラーユニット１００では、第１壁部５１の高さＨ１が第２壁部５２の高さＨ２よりも高く、窓部材４４が、第１壁部５１の頂面５１ａ上及び第２壁部５２の頂面５２ａ上に配置され、ミラー面７ａに対して傾斜している。これにより、窓部材４４で反射した光が進む方向をミラー面７ａで反射した光が進む方向とは異ならせることができ、窓部材４４で反射した光がノイズ光となるのを抑制することができる。
【００６７】
ミラー面７ａを通り第１壁部５１に垂直な断面（図２）において、ミラー面７ａにおける第１壁部５１側の第１端Ｐ１と、窓部材４４において外表面４４ａと第１側面４４ｃとにより第１壁部５１側に形成された第１角部６１とを通る第１直線Ｌ１が、第１壁部５１と交差している。当該断面（図２）において、ミラー面７ａにおける第２壁部５２側の第２端Ｐ２と、窓部材４４において外表面４４ａと第２側面４４ｄとにより第２壁部５２側に形成された第２角部６２とを通る第２直線Ｌ２が、第２壁部５２と交差している。ミラー面７ａを通り第３壁部５３に垂直な断面（図３）において、ミラー面７ａにおける第３壁部５３側の第３端Ｐ３と、窓部材４４において外表面４４ａと第３側面４４ｅとにより第３壁部５３側に形成された第３角部６３とを通る第３直線Ｌ３が、第３壁部５３と交差している。当該断面（図３）において、ミラー面７ａにおける第４壁部５４側の第４端Ｐ４と、窓部材４４において外表面４４ａと第４側面４４ｆとにより第４壁部５４側に形成された第４角部６４とを通る第４直線Ｌ４が、第４壁部５４と交差している。直線Ｌ１〜Ｌ４が壁部５１〜５４と交差するように構成することで、各壁部５１〜５４が窓部材４４に対して相対的に厚く形成される。これにより、厚く形成された壁部５１〜５４によって窓部材４４を支持することができ、窓部材４４の破損を抑制することができる。
【００６８】
一方、壁部５１〜５４を厚く形成する場合、小型化の観点から、光走査デバイス１側に向けて壁部５１〜５４の厚さを広げることが考えられるが、その場合、ベース４２上において枠部材４３の内側に位置する部分の面積が狭くなる。そのような狭い部分に光走査デバイス１との電気的接続のための配線部を形成しようとすると、配線部にショート等の不具合が生じるおそれがある。これに対し、ミラーユニット１００では、配線部７０が、ベース４２の内部を延在する部分（配線７３）を有し、枠部材４３の外側へ引き出されている。このようにベース４２の内部に配線部７０を形成することで、配線部７０にショート等の不具合が生じるのを抑制することができる。また、例えばベース４２と枠部材４３との間をベース４２の主面４２ａに沿って延在するように配線部７０を形成する場合と比べて、配線部７０の劣化を抑制することができると共に、ベース４２と枠部材４３との間の接合部（接合材４６）に配線部７０が影響を与えるのを抑制することができる。よって、ミラーユニット１００によれば、ノイズ光を低減しつつ、窓部材４４の破損を抑制することができると共に、信頼性の向上を図ることができる。
【００６９】
窓部材４４の厚さＴ４４が、窓部材４４と枠部材４３とが接合されている幅Ｗよりも小さい。これにより、窓部材４４を薄く形成することができ、窓部材４４での屈折の影響を抑制することができる。
【００７０】
第１直線Ｌ１が第１壁部５１と交差すると共に、第２直線Ｌ２が第２壁部５２と交差している。これにより、互いに向かい合う第１壁部５１及び第２壁部５２の双方が窓部材４４に対して相対的に厚く形成されるため、厚く形成された壁部５１，５２によって窓部材４４を支持することができ、窓部材４４の破損を一層確実に抑制することができる。また、第３直線Ｌ３が第３壁部５３と交差すると共に、第４直線Ｌ４が第４壁部５４と交差している。これにより、互いに向かい合う第３壁部５３及び第４壁部５４の双方が窓部材４４に対して相対的に厚く形成されるため、厚く形成された壁部５３，５４によって窓部材４４を支持することができ、窓部材４４の破損を一層確実に抑制することができる。
【００７１】
配線部７０が、重なり領域Ｒ２において、Ｚ軸方向から見た場合に第３壁部５３と重なるように、ベース４２の内部を延在している。厚く形成された第３壁部５３側に配線部７０を引き出そうとすると上述した配線部７０の劣化等が生じ易くなるが、ミラーユニット１００では、ベース４２の内部に配線部７０が形成されているため、配線部７０の劣化等を確実に抑制することができる。
【００７２】
光走査デバイス１と第３壁部５３との間の距離Ｃ１が、光走査デバイス１と第４壁部５４との間の距離Ｃ２よりも長く、内側電極パッド７１が、ベース４２上において光走査デバイス１と第３壁部５３との間に配置されている。これにより、内側電極パッド７１を配置するためのスペースを確保することができる。
【００７３】
配線部７０が、Ｚ軸方向から見た場合に枠部材４３の内側に位置する内側領域Ｒ１において光走査デバイス１に電気的に接続され、Ｚ軸方向から見た場合に枠部材４３と重なる重なり領域Ｒ２においてベース４２の内部を延在し、Ｚ軸方向から見た場合に枠部材４３の外側に位置する外側領域Ｒ３へ引き出されている。これにより、上述した配線部７０の劣化等を一層確実に抑制することができる。
【００７４】
配線部７０が、ベース４２の裏面４２ｂ上に形成された部分を有していない。ベース４２の裏面４２ｂを磁石（磁界発生部）の上面に接着して固定する場合、第１駆動用コイル１１及び第２駆動用コイル１２に作用する磁力を確保するためには、ベース４２を磁石に可能な限り近づけることが好ましい。ベース４２の裏面４２ｂ上に形成された部分を配線部７０が有していないことで、ベース４２を磁石に近づけることができ、第１駆動用コイル１１及び第２駆動用コイル１２に作用する磁力を大きく確保することができる。
［変形例］
【００７５】
図６に示される配線部７０Ａでは、外側電極パッド７２及び配線７３が、内側領域Ｒ１に設けられている。外側電極パッド７２は、内側領域Ｒ１においてベース４２の裏面４２ｂ上に配置されている。配線７３は、内側電極パッド７１の裏面に接続され、ベース４２の内部をＺ軸方向に沿って直線状に延在し、外側電極パッド７２の裏面に接続されている。このような変形例によっても、上記実施形態と同様に、上述した配線部７０の劣化等を抑制することができる。
【００７６】
上記変形例において、外側電極パッド７２は、外側領域Ｒ３においてベース４２の裏面４２ｂ上に配置されていてもよい。この場合、配線７３は、内側電極パッド７１の裏面に接続され、ベース４２の内部をＺ軸方向に沿って直線状に延在し、ベース４２の裏面４２ｂに露出する第１部分と、第１部分に接続され、内側領域Ｒ１、重なり領域Ｒ２及び外側領域Ｒ３にわたって延在するように裏面４２ｂ上に設けられ、外側電極パッド７２に接続された第２部分と、を有していてもよい。
【００７７】
上記変形例において、外側電極パッド７２は、外側領域Ｒ３においてベース４２の主面４２ａ上に配置されていてもよい。この場合、配線７３は、内側電極パッド７１の裏面に接続され、ベース４２の内部をＺ軸方向に沿って直線状に延在し、ベース４２の裏面４２ｂに露出する第１部分と、第１部分に接続され、内側領域Ｒ１、重なり領域Ｒ２及び外側領域Ｒ３にわたって延在するように裏面４２ｂ上に設けられた第２部分と、第２部分に接続され、ベース４２の内部をＺ軸方向に沿って直線状に延在し、外側電極パッド７２の裏面に接続された第３部分と、を有していてもよい。
【００７８】
本発明は、上記実施形態及び変形例に限られない。例えば、各構成の材料及び形状には、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。各壁部５１〜５４の厚さＴ５１〜Ｔ５４は、互いに異なっていてもよい。配線７３は、内側領域Ｒ１において内側電極パッド７１に電気的に接続され、重なり領域Ｒ２においてベース４２の内部を延在し、外側領域Ｒ３へ引き出されていればよく、配線７３の一部がベース４２の表面に沿って形成された表面配線として構成されていてもよい。実施形態の光走査デバイス１では可動部１０が電磁力により駆動されたが、可動部１０は静電力又は圧電素子により駆動されてもよい。
【００７９】
上記実施形態では、第３壁部５３を第１参照壁部とみなし、第４壁部５４を第２参照壁部とみなすことができる。この場合、第３壁部５３、第３端Ｐ３、第３側面４４ｅ、第３角部６３、第３直線Ｌ３が、第１壁部、第１端、第１側面、第１角部、第１直線にそれぞれ相当し、第４壁部５４、第４端Ｐ４、第４側面４４ｆ、第４角部６４、第４直線Ｌ４が、第２壁部、第２端、第２側面、第２角部、第２直線にそれぞれ相当する。上記実施形態では、第３壁部５３を第２参照壁部とみなし、第４壁部５４を第３参照壁部とみなすこともできる。
【００８０】
上記実施形態では、第１壁部５１を第１参照壁部とみなし、第２壁部５２を第２参照壁部とみなすこともできる。この場合、第１壁部５１、第１端Ｐ１、第１側面４４ｃ、第１角部６１、第１直線Ｌ１が、第１壁部、第１端、第１側面、第１角部、第１直線にそれぞれ相当し、第２壁部５２、第２端Ｐ２、第２側面４４ｄ、第２角部６２、第２直線Ｌ２が、第２壁部、第２端、第２側面、第２角部、第２直線にそれぞれ相当する。この場合において、光走査デバイス１と第１壁部５１との間の距離が、光走査デバイス１と第２壁部５２との間の距離よりも長くされ、内側電極パッド７１が、ベース４２上において光走査デバイス１と第１壁部５１との間に配置されてもよい。すなわち、内側電極パッド７１が、第１壁部５１及び第２壁部５２のうち光走査デバイス１から遠い第１壁部５１と、光走査デバイス１との間に配置されていてもよい。この場合でも、内側電極パッド７１を配置するためのスペースを確保することができる。また、第１壁部５１が第２壁部５２と比べて光走査デバイス１から離れているため、第２壁部５２よりも高さが高い第１壁部５１によってミラー面７ａからの光が遮られるのを抑制することができる。上記実施形態では、第１壁部５１を第２参照壁部とみなし、第２壁部５２を第１参照壁部とみなすこともできる。
【００８１】
上記実施形態では、下記（１）〜（４）の全てが満たされていたが、下記（１）〜（４）の少なくとも１つが満たされていればよく、その他は満たされていなくてもよい。
（１）図２の断面において第１直線Ｌ１が第１壁部５１と交差する
（２）図２の断面において第２直線Ｌ２が第２壁部５２と交差する
（３）図３の断面において第３直線Ｌ３が第３壁部５３と交差する
（４）図３の断面において第４直線Ｌ４が第４壁部５４と交差する
【００８２】
窓部材４４には、切欠きが形成されていてもよい。切欠きは、例えば、外表面４４ａに形成され、外表面４４ａの縁部に沿って延在していてもよい。切欠きは、例えば断面矩形状に形成されていてもよい。この場合、窓部材４４は、図２の断面において、外表面４４ａと切欠きの内面とにより第１壁部５１側に形成された第１角部と、外表面４４ａと切欠きの内面とにより第２壁部５２側に形成された第２角部と、切欠きの内面と第１側面４４ｃとにより形成された第５角部（別の第１角部）と、切欠きの内面と第２側面４４ｄとにより形成された第６角部（別の第２角部）と、有し得る。また、窓部材４４は、図３の断面において、外表面４４ａと切欠きの内面とにより第３壁部５３側に形成された第３角部と、外表面４４ａと切欠きの内面とにより第４壁部５４側に形成された第４角部と、切欠きの内面と第３側面４４ｅとにより形成された第７角部（別の第３角部）と、切欠きの内面と第４側面４４ｆとにより形成された第８角部（別の第４角部）と、有し得る。この場合、下記（５）〜（８）の少なくとも１つが満たされていてもよい。（５）図２の断面において、ミラー面７ａにおける第１壁部５１側の第１端Ｐ１と、第１角部とを通る直線が、第１壁部５１と交差する。（６）図２の断面において、ミラー面７ａにおける第２壁部５２側の第２端Ｐ２と、第２角部とを通る直線が、第２壁部５２と交差する。（７）図３の断面において、ミラー面７ａにおける第３壁部５３側の第３端Ｐ３と、第３角部とを通る直線が、第３壁部５３と交差する。（８）図３の断面において、ミラー面７ａにおける第４壁部５４側の第４端Ｐ４と、第４角部とを通る直線Ｌ４が、第４壁部５４と交差していてもよい。これにより、上記実施形態と同様に、各壁部５１〜５４を厚く形成することができる。下記（９）〜（１２）の少なくとも１つが満たされていてもよい。（９）図２の断面において、第１端Ｐ１と第５角部とを通る直線が第１壁部５１と交差する。（１０）図２の断面において、第２端Ｐ２と第６角部とを通る直線が第２壁部５２と交差する。（１１）図３の断面において、第３端Ｐ３と第７角部とを通る直線が第３壁部５３と交差する。（１２）図３の断面において、第４端Ｐ４と第８角部とを通る直線が第４壁部５４と交差する。この場合にも、各壁部５１〜５４を厚く形成することができる。上記（９）〜（１２）が満たされている場合、上記（５）〜（８）は満たされていなくてもよい。この場合、上記（９）〜（１２）が満たされていることにより、各壁部５１〜５４を厚く形成することができる。また、上記（５）〜（８）が満たされていないことにより、各壁部５１〜５４によってミラー面７ａからの光が遮られるのを回避することができ、窓部材４４の外表面４４ａの全体を光走査に利用することができる。窓部材４４の外表面４４ａとは、光走査デバイス１とは反対側を向いた表面を意味し、切欠きの内面を含む。
【符号の説明】
【００８３】
１…光走査デバイス、７ａ…ミラー面、１０…可動部、４４ｃ…第１側面、４４ｄ…第２側面、４２…ベース、４３…枠部材、４３ａ…開口、４４…窓部材、４４ａ…外表面、４５…接合材、５１…第１壁部、５１ａ…頂面、５２…第２壁部、５２ａ…頂面、５３…第３壁部、５４…第４壁部、６１…第１角部、６２…第２角部、６３…第３角部、６４…第４角部、７０…配線部、７１…内側電極パッド、１００…ミラーユニット、Ｃ１，Ｃ２…距離、Ｌ１…第１直線、Ｌ２…第２直線、Ｌ３…第３直線、Ｌ４…第４直線、Ｐ１…第１端、Ｐ２…第２端、Ｐ３…第３端、Ｐ４…第４端、Ｒ１…内側領域（第１領域）、Ｒ２…重なり領域（第２領域）、Ｒ３…外側領域（第３領域）、Ｗ…幅。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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