(57)【要約】【課題】コンタクトプレートが重い場合にデバイスや電極の厚さが異なるときでも、複数の電極と複数の検査用端子の各々の接触圧を適正に制御することのできるデバイス検査装置を提供すること。【解決手段】デバイス検査装置１において、電動リニアアクチュエータ７がコンタクトプレート４を下降させると、コンタクトプレート４がリニアガイド８に沿って下降し、コンタクトプレート４の複数の検査用端子３の各々がデバイス１００（表示パネル１１０）の複数の電極１２０に当接する。その際、流体圧シリンダ９は、コンタクトプレート４を上方に持上げる力を加えている。従って、流体圧を所定の値に設定した状態で、検査用端子３が電極１２０に当接した後、電動リニアアクチュエータ７がコンタクトプレート４をさらに微小距離だけ下降させると、コンタクトプレート４の自重から流体圧シリンダ９の持上げ力をマイナスした力が電極１２０に加わる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
デバイスに設けられた複数の電極の各々に検査用端子を当接させて前記デバイスを検査するデバイス検査装置であって、
前記検査用端子が複数設けられたコンタクトプレートと、
前記コンタクトプレートの自重に抗する持ち上げ力を前記コンタクトプレートに作用させる流体圧シリンダと、
前記流体圧シリンダを介して前記コンタクトプレートを前記デバイスに接近する下方向および前記デバイスから離間する上方向に直線駆動する電動リニアアクチュエータと、
前記コンタクトプレートが上下方向に移動する際に前記コンタクトプレートをガイドするリニアガイドと、
を有することを特徴とするデバイス検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載のデバイス検査装置において、
前記電動リニアアクチュエータは、前記コンタクトプレートを降下させて前記複数の電極の各々に前記複数の検査用端子を接触した際、前記コンタクトプレートをさらに降下させてから前記デバイスの検査を行うことを特徴とするデバイス検査装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のデバイス検査装置において、
前記リニアガイドは、スライダとガイドレールとの間に配置された複数の転動体によって摺動部分が構成されていることを特徴とするデバイス検査装置。
【請求項４】
請求項１から３までの何れか一項に記載のデバイス検査装置において、
前記流体圧シリンダは、精密レギュレータを介してエアーが供給されるエアーシリンダであることを特徴とするデバイス検査装置。
【請求項５】
請求項１から４までの何れか一項に記載のデバイス検査装置において、
前記複数の検査用端子は各々、検査用端子自身の弾性変形、あるいは前記複数の検査用端子と前記コンタクトプレートとの間に配置されたバネの付勢によって、上下方向に移動可能であることを特徴とするデバイス検査装置。
【請求項６】
請求項１から５までの何れか一項に記載のデバイス検査装置において、
前記デバイスが表示パネルであり、
前記複数の検査用端子から前記複数の電極の各々に給電して前記表示パネルを点灯させた際の点灯状態に基づいて前記表示パネルを検査することを特徴とするデバイス検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デバイスの電気的な検査を行うデバイス検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルや有機エレクトロルミネッセンス表示パネル等の表示パネル（デバイス）の電気的な検査を行う検査装置として、複数の導通針を備えたプローブカード等の検査手段を支持するヘッドを、モータによって駆動されるボールネジを備えた昇降手段によって降下させて、導通針とデバイスとが接触したことをフォトカップラ（センサ）によって検知したときにヘッドの降下を停止する構成が提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−７７５６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、センサによってヘッドの位置を精度よく制御した場合でも、デバイスや電極の厚さが異なる場合、電極に対する検査用端子の接触圧が変動するという問題点がある。また、大判の液晶表示パネルや有機エレクトロルミネッセンス表示パネル等の表示パネルの検査をする場合は、電極の数が多いため、導通針の数が多く、コンタクトプレートのサイズは大きくなる。このため、コンタクトプレートが重くなるため、コンタクトプレートを使用して検査をする場合に、接触圧を適正に管理する手段が必要となるが、かかる手段を構成するのは容易でないという問題点がある。
【０００５】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、コンタクトプレートが重い場合にデバイスや電極の厚さが異なるときでも、複数の電極と複数の検査用端子の各々の接触圧を適正に制御することのできるデバイス検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、デバイスに設けられた複数の電極の各々に検査用端子を当接させて前記デバイスを検査するデバイス検査装置であって、前記検査用端子が複数設けられたコンタクトプレートと、前記コンタクトプレートの自重に抗する持ち上げ力を前記コンタクトプレートに作用させる流体圧シリンダと、前記流体圧シリンダを介して前記コンタクトプレートを前記デバイスに接近する下方向および前記デバイスから離間する上方向に直線駆動する電動リニアアクチュエータと、前記コンタクトプレートが上下方向に移動する際に前記コンタクトプレートをガイドするリニアガイドと、を有することを特徴とする。
【０００７】
本発明では、電動リニアアクチュエータを駆動すると、流体圧シリンダとコンタクトプレートはリニアガイドによって上下方向に移動する。その際、流体圧シリンダは、コンタクトプレートを上方に持上げる力を加えているので、コンタクトプレートの検査用端子をデバイスの電極に当接させたとき、電極に対する検査用端子の接触圧は、コンタクトプレートの自重から流体圧シリンダの持上げ力をマイナスした力になる。従って、流体圧シリンダの流体圧を調整して流体圧を０とすれば、電極に対する検査用端子の接触圧は、コンタクトプレートの自重であり、流体圧を上げると接触圧が０となる。従って、流体圧を所定の値に設定した状態で、検査用端子が電極に当接した後、電動リニアアクチュエータがコンタクトプレートをさらに微小距離だけ下降させると、コンタクトプレートの自重から
流体圧シリンダの持上げ力をマイナスした力が電極に加わる。従って、デバイスや電極の厚さが異なる場合でも、電極に対する検査用端子の接触圧が一定となる。
【０００８】
本発明において、前記電動リニアアクチュエータは、前記コンタクトプレートを降下させて前記複数の電極の各々に前記複数の検査用端子を接触した際、前記コンタクトプレートをさらに降下させてから前記デバイスの検査を行う態様を採用することができる。
【０００９】
本発明において、前記リニアガイドは、スライダとガイドレールとの間に配置された複数の転動体によって摺動部分が構成されている態様を採用することができる。かかる態様によれば、リニアガイドにおける摺動負荷を小さくすることができるので、摺動負荷による接触圧のばらつきを抑制することができる。
【００１０】
本発明において、前記流体圧シリンダは、精密レギュレータを介してエアーが供給されるエアーシリンダである態様を採用することができる。精密レギュレータでは、一次圧および二次圧の変動に敏感に反応するため、設定圧力を一定に保つことができる。それ故、変動の少ない精密な圧力制御を行うことができる。
【００１１】
本発明において、前記複数の検査用端子は各々、検査用端子自身の弾性変形、あるいは前記複数の検査用端子と前記コンタクトプレートとの間に配置されたバネの付勢によって、上下方向に移動可能である態様を採用することができる。また、複数の検査用端子が付勢されていない態様であってもよい。
【００１２】
本発明において、前記デバイスが表示パネルであり、前記複数の検査用端子から前記複数の電極の各々に給電して前記表示パネルを点灯させた際の点灯状態に基づいて前記表示パネルを検査する態様を採用することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明では、電動リニアアクチュエータを駆動すると、流体圧シリンダとコンタクトプレートはリニアガイドによって上下方向に移動する。その際、流体圧シリンダは、コンタクトプレートを上方に持上げる力を加えているので、コンタクトプレートの検査用端子をデバイスの電極に当接させたとき、電極に対する検査用端子の接触圧は、コンタクトプレートの自重から流体圧シリンダの持上げ力をマイナスした力になる。従って、流体圧シリンダの流体圧を調整して流体圧を０とすれば、電極に対する検査用端子の接触圧は、コンタクトプレートの自重であり、流体圧を上げると接触圧が０となる。従って、流体圧を所定の値にした状態で、検査用端子が電極に当接した後、電動リニアアクチュエータがコンタクトプレートをさらに微小距離だけ下降させると、コンタクトプレートの自重から流体圧シリンダの持上げ力をマイナスした力が電極に加わる。従って、デバイスや電極の厚さが異なる場合でも、電極に対する検査用端子の接触圧が一定となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明を適用したデバイス検査装置を正面からみた様子を模式的に示す説明図。
【図２】図１に示す検査用端子を表示パネルの電極に当接させた状態を示す説明図。
【図３】図１に示すデバイス検査装置のステージに表示パネルを配列した様子を示す平面図。
【図４】図１に示す電動リニアアクチュエータ等の説明図。
【図５】図４に示すリニアガイドの説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に、図面を参照して、本発明の実施形態に係るデバイス検査装置１を説明する。以
下の説明では、デバイス検査装置１として、液晶表示パネルや有機エレクトロルミネッセンス表示パネル等の表示パネル１１０をデバイス１００とし、表示パネル１１０に給電して表示領域１５０を点灯させた際の様子を撮像して検査する場合を中心に説明する。
【００１６】
（検査装置の全体構成）
図１は、本発明を適用したデバイス検査装置１を正面からみた様子を模式的に示す説明図である。図２は、図１に示す検査用端子３を表示パネル１１０の電極１２０に当接させた状態を示す説明図である。図３は、図１に示すデバイス検査装置１のステージ２に表示パネル１１０を配列した様子を示す平面図である。
【００１７】
図１に示すように、デバイス検査装置１は、複数の電極１２０が上面に形成されたデバイス１００を上面に配置するステージ２と、ステージ２の周りを囲むフレーム１０とを有している。また、デバイス検査装置１は、複数の電極１２０に各々当接した際に複数の電極１２０の各々に信号等を印加する複数の検査用端子３を備えたコンタクトプレート４と、コンタクトプレート４を上下方向に昇降させる駆動装置６とを有している。
【００１８】
本形態において、デバイス１００は液晶表示パネルや有機エレクトロルミネッセンス表示パネル等の表示パネル１１０であり、図２に示すように、検査用端子３を電極１２０に当接させて信号等を印加して表示パネル１１０を点灯させた際、その様子をホルダ５０に保持されたカメラ５で撮像して、表示パネル１１０を検査する。また、表示パネル１１０の電気特性を検査する。
【００１９】
図３に示すように、ステージ２には、デバイス１００として、例えば、大型サイズの表示パネル１１０が配置され、大型サイズの表示パネル１１０の表示領域１５０において画素を点灯させたときの点灯状態を４台のカメラ５で撮像する。その際、４台のカメラ５は各々、表示領域１５０の４等分した中心に位置するように位置調整される。
【００２０】
表示パネル１１０では、表示領域１５０の外側に複数の電極１２０が設けられている。このため、図１に示すコンタクトプレート４には、表示パネル１１０の複数の電極１２０に対応する複数の検査用端子３が所定の位置に設けられている。このため、表示パネル１１０が大型化すると、コンタクトプレート４も大型化し、コンタクトプレート４は重くなる。また、コンタクトプレート４は、カメラ５による撮像を行えるように枠状に形成されている。なお、デバイス１００は、ステージ２に複数配置される場合もある。
【００２１】
再び図１において、複数の検査用端子３とコンタクトプレート４との間にはバネ３１が配置されており、複数の検査用端子３は各々、バネ３１の付勢によって、上下方向に移動可能である。従って、検査用端子３を電極１２０に当接させた際、検査用端子３は、バネ３１の付勢力に抗して上方に移動し、検査用端子３を電極１２０から離間させると、検査用端子３は下方位置に戻る。なお、検査用端子３が可撓性のピンからなる場合、複数の検査用端子３は各々、検査用端子３自身の弾性変形によって、上下方向に移動可能であるため、バネ３１を省略してもよい。
【００２２】
（駆動装置６の構成）
図４は、図１に示す電動リニアアクチュエータ７等の説明図である。図５は、図４に示すリニアガイド８の説明図である。
【００２３】
図１に示す駆動装置６は、流体圧シリンダ９と、流体圧シリンダ９を介してコンタクトプレート４を表示パネル１１０に接近する下方向、および表示パネル１１０から離間する上方向に直線駆動する電動リニアアクチュエータ７と、コンタクトプレート４が上下方向に移動する際にコンタクトプレート４をガイドするリニアガイド８とを有している。流体
圧シリンダ９は、コンタクトプレート４の自重に抗する持ち上げ力をコンタクトプレート４に作用させる。
【００２４】
本形態において、流体圧シリンダ９は、レギュレータ９５を介してエアーが供給されるエアーシリンダである。本形態において、レギュレータ９５は精密レギュレータ９５０であり、精密レギュレータ９５０では、一次圧および二次圧の変動に敏感に反応するため、設定圧力を一定に保つことができる。それ故、変動の少ない精密な圧力制御を行うことができる。
【００２５】
図１および図４に示すように、電動リニアアクチュエータ７は、電動スライダであり、モータ７１と、モータ７１によって駆動されるボールねじ７２と、ボールねじ７２によって直線的に駆動されるナット７３とを有しており、ボールねじ７２は、支持板７０に固定された軸受７５によって回転可能に支持されている。支持板７０は、フレーム１０に固定されている。
【００２６】
図１に示すように、ナット７３は、流体圧シリンダ９のチューブ９１に連結され、流体圧シリンダ９のロッド９２は、コンタクトプレート４に連結されている。このようにして、電動リニアアクチュエータ７は、流体圧シリンダ９を介してコンタクトプレート４を上下方向に駆動可能になっている。
【００２７】
図１および図４に示すように、リニアガイド８は、２つのスライダ８１と、２つのスライダ８１の各々を上下方向に移動可能に支持する２本のガイドレール８２とを有している。ガイドレール８２は、例えば、電動リニアアクチュエータ７と共通の支持板７０に固定されており、フレーム１０に連結されている。
【００２８】
図５に示すように、スライダ８１の内部には、ガイドレール８２に面する流動路８１０が形成されており、流動路８１０には、リテーナ８３に支持された鋼球からなる転動体８４が配置されている。従って、ガイドレール８２に沿ってスライダ８１が移動する際、複数の転動体８４によって摺動部分が構成されているため、摺動負荷を小さくすることができる。
【００２９】
（本形態の作用および主な効果）
本形態のデバイス検査装置１において、電動リニアアクチュエータ７を駆動すると、コンタクトプレート４はリニアガイド８によって上下方向に移動する。従って、図１に示す状態から図２に示すようにコンタクトプレート４を下降させると、複数の検査用端子３の各々を複数の電極１２０に当接させることができる。
【００３０】
その際、流体圧シリンダ９は、コンタクトプレート４を上方に持上げる力を加えているので、コンタクトプレート４の検査用端子３をデバイス１００（表示パネル１１０）の電極１２０に当接させたとき、電極１２０に対する検査用端子３の接触圧は、コンタクトプレート４の自重から流体圧シリンダ９の持上げ力をマイナスした力になる。従って、レギュレータ（精密レギュレータ９５０）によって、流体圧シリンダ９の流体圧を調整して流体圧を０とすれば、電極１２０に対する検査用端子３の接触圧は、コンタクトプレート４の自重であり、流体圧を上げると接触圧が０となる。このため、流体圧を所定の値に設定した状態で、検査用端子３が電極１２０に当接した後、電動リニアアクチュエータ７がコンタクトプレート４をさらに微小距離だけ下降させると、コンタクトプレート４の自重から流体圧シリンダ９の持上げ力をマイナスした力が電極１２０に加わる。従って、コンタクトプレート４が重い場合に、デバイス１００（表示パネル１１０）や電極１２０の厚さが異なるときでも、電極１２０に対する検査用端子３の接触圧を一定に管理することができる。このため、電動リニアアクチュエータ７によってコンタクトプレート４を直接駆動
する場合と違って、コンタクトプレート４の位置精度と押付け力の管理が不要となる。それ故、低機能のモータ７１で精度の高い検査を行うことができる。
【００３１】
［他の実施形態］
上記実施形態では、デバイス１００が表示パネル１１０である場合を例示したが、表示パネル１１０以外のデバイス１００を検査するデバイス検査装置１に本発明を適用してもよい。また、複数の検査用端子３にバネ３１の付勢や、検査用端子３自身の弾性による付勢力が加わっていない態様であってもよい。この場合、電極１２０に対する検査用端子３の接触圧はコンタクトプレート４の押付け力となる。
【符号の説明】
【００３２】
１…デバイス検査装置、２…ステージ、３…検査用端子、４…コンタクトプレート、５…カメラ、６…駆動装置、７…電動リニアアクチュエータ、８…リニアガイド、９…流体圧シリンダ、１０…フレーム、３１…バネ、７０…支持板、７１…モータ、７２…ボールねじ、７３…ナット、８１…スライダ、８２…ガイドレール、８３…リテーナ、８４…転動体、９１…チューブ、９２…ロッド、９５…レギュレータ、１００…デバイス、１１０…表示パネル、１２０…電極、１５０…表示領域、８１０…流動路、９５０…精密レギュレータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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