(57)【要約】【課題】移動体に加わる外乱負荷に応じて静圧ポケットに供給する流体の流量を調整することにより、移動体の振動を抑制する静圧流体支持装置を備えた工作機械を提供する。【解決手段】工作機械１において、弁制御装置５０は、振動測定装置４による測定結果である測定波形データに基づいて得られた基準波形データを取得する基準波形データ取得部７０と、基準波形データとは逆位相の波形データを時間軸方向へシフトさせた第一調整波形データを生成する第一調整波形データ生成部９１と、第一調整波形データのシフト時間を変えながら第一調整波形データに基づいて絞り開度を調整した場合に、基準波形データの振幅の変化を観察することにより、基準波形データの振幅を小さくするのに最適な第一調整波形データの最適シフト時間を導出する最適シフト時間導出部９２とを備える。【選択図】図４
2020197276.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体と、
前記支持体に対して移動可能な移動体と、
流体を介して前記移動体を前記支持体に対して相対移動可能に支持する静圧流体支持装置と、
前記移動体の振動を測定可能な振動測定装置と、
を備え、
前記静圧流体支持装置は、
前記支持体及び前記移動体の一方に設けられ、前記支持体及び前記移動体の他方と対向する位置に配置された静圧ポケットと、
前記流体を供給する流体供給装置と、
前記流体供給装置から供給された流体を前記静圧ポケットへ案内する流体案内流路と、
前記流体案内流路に設けられ、絞り開度を変えることで前記静圧ポケットに供給される前記流体の流量を調整可能な能動型の可変絞り弁と、
前記振動測定装置による測定結果に基づいて前記絞り開度を能動的に調整する弁制御装置と、
を備え、
前記弁制御装置は、
前記振動測定装置による測定結果である測定波形データに基づいて得られた基準波形データを取得する基準波形データ取得部と、
前記基準波形データに基づいて最適波形データを生成する最適波形データ生成部と、
前記最適波形データに基づいて前記絞り開度を調整する絞り開度調整部と、
を備え、
前記最適波形データ生成部は、
前記基準波形データとは逆位相の波形データを時間軸方向へシフトさせた第一調整波形データを生成する第一調整波形データ生成部と、
前記基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第一調整波形データのシフト時間を変えながら前記第一調整波形データに基づいて前記絞り開度を調整した場合に、前記基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第一調整波形データの最適シフト時間を導出する最適シフト時間導出部と、
前記基準波形データに対して前記最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせた最適波形データを記憶する最適波形データ記憶部と、
を備える、工作機械。
【請求項２】
前記第一調整波形データ生成部は、前記基準波形データとは逆位相の波形データを時間軸方向へ逐次シフトさせた前記第一調整波形データを生成し、
前記最適シフト時間導出部は、
新たに時間シフトさせた前記第一調整波形データに基づいて前記絞り開度を調整したときの前記基準波形データの振幅である第一調整後振幅と、新たに時間シフトさせる前の前記第一調整波形データに基づいて前記絞り開度を調整したときの前記基準波形データの振幅である第一調整前振幅とを比較し、且つ、
前記第一調整後振幅と前記第一調整前振幅との比較結果に基づき、前記基準波形データの振幅が小さくなる前記最適シフト時間を導出する、
請求項１に記載の工作機械。
【請求項３】
前記第一調整波形データ生成部は、前記基準波形データとは逆位相の波形データを時間進み方向と時間遅れ方向の何れか一方へ逐次シフトさせた前記第一調整波形データを生成し、
前記最適シフト時間導出部は、前記第一調整後振幅が前記第一調整前振幅よりも一旦小さくなった後に大きくなった場合に、前記第一調整前振幅に対応する前記第一調整波形データにおけるシフト時間を前記最適シフト時間として導出する、請求項２に記載の工作機械。
【請求項４】
前記第一調整波形データ生成部は、前記第一調整波形データを最初に生成する際のシフト時間である初期シフト時間を０以外の時間として、前記第一調整波形データを生成する、請求項１−３の何れか一項に記載の工作機械。
【請求項５】
前記第一調整波形データ生成部は、前記第一調整波形データを生成する際の前記基準波形データに対するゲインである初期ゲインを１より大きな一定値として、前記第一調整波形データを生成する、請求項１−４の何れか一項に記載の工作機械。
【請求項６】
前記工作機械は、さらに、
前記第一調整波形データに対してゲインを調整した第二調整波形データを生成する第二調整波形データ生成部と、
前記第二調整波形データのゲイン調整量を変えながら前記第二調整波形データに基づいて前記絞り開度を調整した場合に、前記基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第二調整波形データの最適ゲインを導出する最適ゲイン導出部と、
を備え、
前記最適波形データ記憶部は、前記基準波形データに対して前記最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせると共に前記最適ゲインだけゲインを調整した前記最適波形データを記憶する、請求項１−５の何れか一項に記載の工作機械。
【請求項７】
前記第二調整波形データ生成部は、前記第一調整波形データに対してゲインを逐次調整した前記第二調整波形データを生成し、
前記最適ゲイン導出部は、
新たにゲインを調整した前記第二調整波形データに基づいて前記絞り開度を調整したときの前記基準波形データの振幅である第二調整後振幅と、新たにゲインを調整する前の前記第二調整波形データに基づいて前記絞り開度を調整したときの前記基準波形データの振幅である第二調整前振幅とを比較し、且つ、
前記第二調整後振幅と前記第二調整前振幅との比較結果に基づき、前記基準波形データの振幅が小さくなる前記最適ゲインを導出する、
請求項６に記載の工作機械。
【請求項８】
前記第二調整波形データ生成部は、前記第一調整波形データに対してゲインを大きくする方向と小さくする方向の何れか一方へ逐次調整した前記第二調整波形データを生成し、
前記最適ゲイン導出部は、前記第二調整後振幅が前記第二調整前振幅よりも一旦小さくなった後に大きくなった場合に、前記第二調整前振幅に対応する前記第二調整波形データにおけるゲインを最適ゲインとして導出する、請求項７に記載の工作機械。
【請求項９】
前記弁制御装置は、さらに、前記基準波形データの振幅が予め設定された閾値を超えたか否かを判定する判定部を備え、
前記最適波形データ生成部は、前記基準波形データの振幅が閾値を超えた場合に、前記最適波形データを新たに生成する、請求項１−８の何れか一項に記載の工作機械。
【請求項１０】
前記振動測定装置は、前記静圧ポケットが前記流体から受ける圧力を検出する圧力センサである、請求項１−９の何れか一項に記載の工作機械。
【請求項１１】
前記基準波形データは、前記振動測定装置による測定結果として得られる波形データそのものである、請求項１−１０の何れか一項に記載の工作機械。
【請求項１２】
前記基準波形データは、前記振動測定装置による測定で得られた波形データに対してフィルタリング処理を行うことにより得られた波形データ、又は、複数の波形データの振幅を平均化することにより得られた波形データである、請求項１−１０の何れか一項に記載の工作機械。
【請求項１３】
前記基準波形データは、前記振動測定装置による測定で得られた波形データを周波数分析することにより得られた関数である、請求項１−１０の何れか一項に記載の工作機械。
【請求項１４】
前記基準波形データは、前記振動測定装置による測定で得られた波形データに対し、フィルタリング処理を行うことにより得られた波形データを、周波数分析することにより得られた関数である、請求項１−１０の何れか一項に記載の工作機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静圧流体支持装置を備えた工作機械に関する。
【背景技術】
【０００２】
静圧流体支持装置を備えた工作機械が知られている。例えば、特許文献１には、対向する移動体及び固定体の面に一方に静圧ポケットを備えた静圧流体支持（軸受）装置が開示されている。特許文献１に記載の静圧流体支持装置では、ポンプによって加圧された流体が静圧ポケットに供給され、移動体と固定体との間に所定の厚さの流体膜が形成される。これにより、移動体が固定体に対して非接触に支持されて摩擦が低減され、移動体及び固定体が高精度に相対移動可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５８７４１８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
発明者は、移動体に加わる外乱負荷に応じて静圧ポケットに供給する流体の流量を能動的に調整することにより、移動体の振動を抑制できることを見出した。しかしながら、静圧流体支持装置に設けられる可変絞り弁の絞り開度を変えてから静圧ポケットに供給される流体の流量が変化するまでに一定のタイムラグが生じる。つまり、移動体に加わる外乱負荷の変化に合わせて可変絞り弁４０の絞り開度を変えたとしても、静圧ポケットに供給される流体の流量の変化は、移動体に加わる外乱負荷の変化と一致せず、移動体の振動を十分に抑制することができない。
【０００５】
本発明は、移動体に加わる外乱負荷に応じて静圧ポケットに供給する流体の流量を調整することにより、移動体の振動を抑制する静圧流体支持装置を備えた工作機械を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る工作機械は、支持体と、前記支持体に対して移動可能な移動体と、流体を介して前記移動体を前記支持体に対して相対移動可能に支持する静圧流体支持装置と、前記移動体の振動を測定可能な振動測定装置とを備える。前記静圧流体支持装置は、前記支持体及び前記移動体の一方に設けられ、前記支持体及び前記移動体の他方と対向する位置に配置された静圧ポケットと、前記流体を供給する流体供給装置と、前記流体供給装置から供給された流体を前記静圧ポケットへ案内する流体案内流路と、前記流体案内流路に設けられ、絞り開度を変えることで前記静圧ポケットに供給される前記流体の流量を調整可能な能動型の可変絞り弁と、前記振動測定装置による測定結果に基づいて前記絞り開度を能動的に調整する弁制御装置とを備える。
【０００７】
前記弁制御装置は、前記振動測定装置による測定結果である測定波形データに基づいて得られ基準波形データを取得する基準波形データ取得部と、前記基準波形データに基づいて最適波形データを生成する最適波形データ生成部と、前記最適波形データに基づいて前記絞り開度を調整する絞り開度調整部とを備える。
【０００８】
前記最適波形データ生成部は、前記基準波形データとは逆位相の波形データを時間軸方向へシフトさせた第一調整波形データを生成する第一調整波形データ生成部と、前記基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第一調整波形データのシフト時間を変えながら前記第一調整波形データに基づいて前記絞り開度を調整した場合に、前記基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第一調整波形データの最適シフト時間を導出する最適シフト時間導出部と、前記基準波形データに対して前記最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせた最適波形データを記憶する最適波形データ記憶部とを備える。
【０００９】
本発明に係る工作機械によれば、絞り開度調整部は、基準波形データに対して最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせた最適波形データに基づいて絞り開度を調整する。ここで、可変絞り弁において絞り開度を調整した場合に、絞り開度を調整したタイミングと静圧ポケットに供給される流体の流量が変更されるタイミングとは、時間にずれを生じる。つまり、基準波形データそのものに基づいて絞り開度を調整した場合には、静圧ポケットへ供給する流体の流量を、適切な量とすることができない。そこで、上述したように、絞り開度調整部によって調整する絞り開度は、基準波形データに対して最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせた最適波形データに基づいて調整されている。よって、静圧流体支持装置は、移動体に加わる外乱負荷の変化に応じて静圧ポケットに供給される流体の流量を適切に変化させることができる。その結果、当該工作機械は、移動体の振動を確実に抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】工作機械における支持部分に関する構成図である。
【図２】工作機械を構成する可変絞り弁の拡大断面図である。
【図３】工作機械を構成する弁制御装置の機能ブロック図である。
【図４】弁制御装置の最適波形データ生成部の機能ブロック図である。
【図５】変位波形データＤＷ、最適流量波形データＢＦＷ及び流量波形データＦＷを模式的に示したグラフである。
【図６】最適流量波形データＢＦＷ及び第一調整波形データＲＷ１を模式的に示したグラフである。
【図７】最適流量波形データＢＦＷ、第一調整波形データＲＷ１及び第一調整流量波形データＦＷ１を模式的に示したグラフである。
【図８】最適流量波形データＢＦＷ、第一調整波形データＲＷ１、第二調整波形データＲＷ２、第一調整流量波形データＦＷ１及び第二調整流量波形データＦＷ２を模式的に示したグラフである。
【図９】基準波形データの振幅及び移動体の変位の時系列変化と、シフト時間及びゲインの時系列変化との関係を示す図である。なお、図９の最下図において太線がシフト時間を示し、細線がゲインを示す。
【図１０】基準波形データの振幅と、基準波形データに対する流量波形データの位相ずれ量との関係を示すグラフである。
【図１１】基準波形データの振幅と、基準波形データに対する流量波形データのゲインの差との関係を示すグラフである。
【図１２】弁制御装置により実行される絞り開度調整処理を示すフローチャートである。
【図１３】絞り開度調整処理の中で実行される最適波形データ生成処理を示すフローチャートである。
【図１４Ａ】最適波形データ生成処理の中で実行される最適シフト時間導出処理を示すフローチャートである。
【図１４Ｂ】最適波形データ生成処理の中で実行される最適シフト時間導出処理を示すフローチャート２である。
【図１５】最適波形データ生成処理の中で実行される最適ゲイン導出処理を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（１．工作機械１の構成）
工作機械１は、例えば、研削盤、マシニングセンタ等であって、支持体に対して移動体を移動可能に支持する支持装置を備える。本例における工作機械は、高精度に移動体を支持するために、支持装置として静圧流体支持装置を適用する。特に、本例においては、静圧流体支持装置における静圧ポケットに供給する流体の流量を能動的に調整することによって、移動体の振動を減衰させることができる。
【００１２】
ここで、移動体は、支持体に対してスライド移動する構成としてもよいし、回転する構成としてもよい。移動体は、スライド移動する構成としては、研削盤における砥石台、トラバースベース、テーブル、マシニングセンタにおけるコラム、テーブル等である。また、移動体は、回転する構成としては、研削盤における砥石車の支持軸、工作物の回転支持軸、マシニングセンタにおける工具の支持軸、工作物の回転支持軸等である。
【００１３】
工作機械１の構成について、図１を参照して説明する。ただし、図１には、工作機械１における支持部分に関する構成のみを図示する。工作機械１は、支持体２と、移動体３と、静圧流体支持装置１００とを主に備える。例えば、工作機械１が砥石台トラバースタイプの研削盤である場合には、支持体２は、研削盤におけるトラバースベースであり、移動体３は、研削盤の砥石台である。工作機械１がテーブルトラバースタイプの研削盤である場合には、支持体２は、研削盤におけるベッドであり、移動体３は、研削盤の砥石台である。もちろん、支持体２及び移動体３は、上記以外にも適用可能である。
【００１４】
静圧流体支持装置１００は、流体Ｆを介して移動体３を支持体２に対して移動可能に支持する装置である。なお、図１に示す矢印は、流体Ｆが流れる方向を示す。
【００１５】
（２．静圧流体支持装置１００の詳細構成）
静圧流体支持装置１００の詳細構成について、図１を参照して説明する。図１に示すように、静圧流体支持装置１００は、静圧ポケット１０と、流体供給装置２０と、流体案内流路３０と、能動型の可変絞り弁４０と、弁制御装置５０とを備える。
【００１６】
静圧ポケット１０は、支持体２及び移動体３の一方に設けられ、支持体２及び移動体３の他方と対向する位置に配置される。本例においては、静圧ポケット１０は、支持体２に設けられる。そして、静圧ポケット１０は、支持体２の移動体３と対向する面に配置される。流体供給装置２０は、流体Ｆを供給する装置であって、例えば油圧ポンプである。流体Ｆは、例えば、潤滑油である。
【００１７】
流体案内流路３０は、流体供給装置２０から供給された流体Ｆを静圧ポケット１０に案内する流路である。つまり、流体供給装置２０から供給された流体Ｆは、流体案内流路３０を介して静圧ポケット１０に流入する。そして、静圧ポケット１０に流入した流体Ｆは、支持体２と移動体３との間を通過する。このように、静圧流体支持装置１００は、支持体２と移動体３との間に流体Ｆを送りこむことにより、支持体２に対して移動体３を低摩擦で相対移動可能に支持する。
【００１８】
可変絞り弁４０は、流体案内流路３０の途中に設けられる。可変絞り弁４０は、絞り開度を変えることにより、静圧ポケット１０へ供給する流体Ｆの流量を能動的に調整する。弁制御装置５０は、可変絞り弁４０の絞り開度を調整するための制御装置である。
【００１９】
（３．可変絞り弁４０の構成）
可変絞り弁４０の構成について、図２を参照して説明する。可変絞り弁４０は、絞り開度を能動的に調整可能とすることにより、静圧ポケット１０へ供給する流体Ｆの流量を能動的に調整することができる。可変絞り弁４０は、ダイアフラムによる可変絞りタイプ、スプール弁による可変絞りタイプ等が存在する。本例において、可変絞り弁４０は、ダイアフラムによる可変絞りタイプを例にあげる。
【００２０】
可変絞り弁４０は、図２に示すように、ハウジング４１と、ダイアフラム４２と、連通通路４３と、アクチュエータ４４とを主に備える。ハウジング４１は、流体案内流路３０によって流体供給装置２０から静圧ポケット１０へ案内される流体Ｆが流入出する円筒状の部材である。ハウジング４１には、流入通路４５及び流出通路４６が形成される。流入通路４５は、流体供給装置２０から延びる流体案内流路３０とハウジング４１の内部とに連通する通路であり、流体供給装置２０から供給された流体Ｆは、流入通路４５を通過してハウジング４１の内部に流入する。流出通路４６は、静圧ポケット１０から延びる流体案内流路３０とハウジング４１の内部とに連通する通路であり、静圧ポケット１０には、流出通路４６を通過してハウジング４１の内部から流出した流体Ｆが流入する。
【００２１】
流入通路４５を通過した流体Ｆがハウジング４１の内部に流入する際の入口となる流入口４５ａと、ハウジング４１の内部の流体Ｆが流出通路４６に流出する際の出口となる流出口４６ａとは、ハウジング４１の内部において対向する位置に配置される。さらに、ハウジング４１には、流出口４６ａが形成される部位であって、流入口４５ａが形成される部位に向けて突出する弁座４７が形成される。
【００２２】
ダイアフラム４２は、鋼材等からなる弾性部材である。ダイアフラム４２は、例えば円形に形成され、ダイアフラム４２の周縁部分は、ハウジング４１に保持される。また、ダイアフラム４２は、ハウジング４１の内部を区画する。具体的に、ハウジング４１は、ダイアフラム４２によって、流入通路４５に連通する空間である流体貯留室４８と、流出通路４６に連通する空間である流体供給室４９とに区画される。ダイアフラム４２は、弁座４７と所定の隙間Ｄを隔てて対向し、隙間Ｄにより絞りを形成する。流体供給室４９に流入した流体は、絞りとしての隙間Ｄを通過して流出口４６ａから流出する。つまり、隙間Ｄの寸法は、可変絞り弁４０における絞り開度に相当する。
【００２３】
連通通路４３は、流体貯留室４８と流体供給室４９とに連通する通路であり、流体貯留室４８に流入した流体は、連通通路４３を通過することで流体供給室４９に流入する。このように、可変絞り弁４０において、流入通路４５、流体貯留室４８、連通通路４３、流体供給室４９及び流出通路４６は、流体案内流路３０の一部を構成する。
【００２４】
アクチュエータ４４は、流体貯留室４８に収容されており、例えば、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）やソレノイドにより構成される。アクチュエータ４４は、弁制御装置５０により駆動制御される。アクチュエータ４４は、固定子４４ａと、可動子４４ｂとを備える。固定子４４ａは、ハウジング４１のうち、流体貯留室４８を形成する部位の内周面に固定される円環状の部材である。可動子４４ｂは、固定子４４ａの径方向内側に配置される。
【００２５】
また、ボイスコイルモータを構成するアクチュエータ４４においては、固定子４４ａの内周側には、環状の永久磁石が固定され、可動子４４ｂには、コイルボビンと、そのコイルボビンに巻回されるボイスコイルとが設けられる。アクチュエータ４４は、ボイスコイルに電流を流すことにより、固定子４４ａに対して可動子４４ｂを流入口４５ａ側又は流出口４６ａ側へ変位させる。可動子４４ｂは、ダイアフラム４２に固定されており、アクチュエータ４４は、可動子４４ｂを変位させることでダイアフラム４２を弾性変形させることによって、隙間Ｄの寸法、即ち、絞り開度を変える。このように、可変絞り弁４０は、アクチュエータ４４を駆動して絞り開度を変えることにより、静圧ポケット１０に供給する流体Ｆの流量を能動的に調整する。
【００２６】
ここで、工作機械１が研削盤であり、移動体３が、砥石車を支持する砥石台である場合において、砥石台には、種々の振動が生じる。例えば、研削盤を用いた研削加工において、砥石車を支持する砥石台には、研削抵抗の変化に起因する振動や砥石車の回転振れに起因する振動等が発生する。そこで、工作機械１は、移動体３の振動を測定可能な振動測定装置４（図１参照）を備え、弁制御装置５０が、振動測定装置４から得られた測定結果に基づいて絞り開度を変えることにより、移動体３の振動を減衰させる。
【００２７】
本例において、工作機械１は、振動測定装置４として、静圧ポケット１０が流体Ｆから受ける圧力を測定する圧力センサを備える。移動体３が振動すると、移動体３の振動が静圧ポケット１０における流体Ｆに伝達される。つまり、静圧ポケット１０が流体Ｆから受ける圧力は、流体Ｆが移動体３から受ける負荷により変化し、移動体３の振動による変位に連動して変化する。そこで、工作機械１は、圧力センサによる検出結果を移動体３の振動の測定結果として利用する。これにより、工作機械１は、移動体３の振動を確実に測定することができる。
【００２８】
（４．弁制御装置５０の構成）
次に、図３を参照して、弁制御装置５０の構成を説明する。弁制御装置５０は、振動測定装置４による測定結果に基づいて絞り開度を能動的に調整する。本例においては、弁制御装置５０は、図３に示すように、絞り開度調整部６１を備える。絞り開度調整部６１は、アクチュエータ４４を駆動制御することにより、絞り開度（図２に示す隙間Ｄ）を能動的に調整する。
【００２９】
弁制御装置５０は、さらに、最適波形データ記憶部６２を備える。最適波形データ記憶部６２は、絞り開度調整部６１が絞り開度を調整する際に用いる最適波形データを記憶する。最適波形データは、絞り開度に関する波形データであり、絞り開度は、最適波形データに対応するように能動的に変化することになる。そして、弁制御装置５０は、最適波形データに基づいて絞り開度調整部６１による絞り開度の調整を行う。
【００３０】
ここで、移動体３は、移動体３に加わる外乱負荷が周期的に変化することで振動する。このとき、静圧流体支持装置１００は、移動体３に加わる外乱負荷が大きくなるタイミングで静圧ポケット１０に供給する流体Ｆの流量を増やし、移動体３に加わる負荷が小さくなるタイミングで静圧ポケット１０に供給する流体Ｆの流量を減らす。このように、静圧流体支持装置１００は、移動体３に加わる外乱負荷が流体Ｆから移動体３に加える圧力で相殺されるように絞り開度を調整することにより、移動体３に加わる外乱負荷に起因する移動体３の振動を抑制する。
【００３１】
この点に関して、可変絞り弁４０の絞り開度を変えてから静圧ポケット１０に供給される流体の流量が変化するまでの間に、一定のタイムラグが生じる。従って、移動体３に加わる外乱負荷が増減するタイミングに一致するように絞り開度を調整した場合、静圧ポケット１０に供給される流体Ｆが増減するタイミングは、移動体３に加わる外乱負荷が増減するタイミングと一致せず、移動体３の振動を十分に抑制できない。そこで、弁制御装置５０は、当該タイムラグを考慮して生成された最適波形データに基づいて絞り開度を調整する。つまり、静圧流体支持装置１００は、移動体３に加わる外乱負荷の増減と静圧ポケット１０に供給される流体Ｆの増減とが同期するように絞り開度を調整することで、移動体３の振動を確実に抑制することができる。
【００３２】
弁制御装置５０は、さらに、基準波形データ取得部７０を備える。基準波形データ取得部７０は、振動測定装置４による測定結果である測定波形データに基づいて得られた基準波形データを取得する。基準波形データは、振動測定装置４による測定結果として得られる測定波形データそのものである場合を例にあげる。つまり、基準波形データは、測定波形データに一致する。なお、後述するが、基準波形データは、測定波形データに対して所定の処理を施したデータとすることもできるため、測定波形データとは区別した表現とする。
【００３３】
弁制御装置５０は、さらに、判定部８０を備える。判定部８０は、基準波形データの振幅が予め設定された閾値を超えるか否かを判定する。ここでは、判定部８０は、最適波形データを更新するか否かの判定を行う。つまり、基準波形データの振幅が閾値以下であれば、最適波形データ記憶部６２に既に記憶されている最適波形データに基づいて絞り開度調整部６１による絞り開度の調整が行われる。一方、弁制御装置５０は、基準波形データの振幅が閾値を超えた場合、新たな最適波形データを生成し、新たに生成された最適波形データを最適波形データ記憶部６２に記憶する。そして、絞り開度調整部６１による絞り開度の調整は、新たに生成された最適波形データに基づいて行われる。
【００３４】
弁制御装置５０は、さらに、最適波形データ生成部９０を備える。最適波形データ生成部９０は、基準波形データ取得部７０により取得された基準波形データに基づいて、最適波形データを生成する。最適波形データ生成部９０は、最適波形データの初期設定時、及び、上述した判定部８０により最適波形データを更新すべきと判定された場合に、最適波形データの生成を行う。
【００３５】
最適波形データを生成する過程において、最適波形データ生成部９０は、仮の最適波形データを作成し、当該仮の最適波形データに基づいて絞り開度を調整したときの移動体３の振動を測定することを繰り返しながら、移動体３の振動が最も小さくなる最適波形データを導出する。そして、最適波形データ生成部９０は、導出された最適波形データを最適波形データとして最適波形データ記憶部６２に記憶する。従って、絞り開度調整部６１は、最適波形データ生成部９０により生成された最適波形データに基づいて絞り開度を調整することになる。
【００３６】
（５．最適波形データ生成部９０の詳細構成）
最適波形データ生成部９０の詳細構成について、図４を参照して説明する。図４に示すように、最適波形データ生成部９０は、第一調整波形データ生成部９１を備える。第一調整波形データ生成部９１は、基準波形データとは逆位相の波形データを時間軸方向へ逐次シフトさせた第一調整波形データを生成する。つまり、第一調整波形データは、絞り開度を増減させるタイミングを、基準波形データの逆位相の波形データのタイミングからずらした波形データとなる。
【００３７】
第一調整波形データ生成部９１は、最初に第一調整波形データを生成するにあたり、基準波形データを逆位相にした波形データを初期シフト時間Ｓ０だけ時間軸方向へシフトした波形データＲＷ０を生成する。初期シフト時間Ｓ０は、予め設定されたシフト時間であり、初期シフト時間記憶部９５に記憶される。ここで、初期シフト時間Ｓ０は、０以外に設定されることが望ましい。例えば、初期シフト時間Ｓ０は、最適なシフト時間の予測値とするとよい。これにより、初期シフト時間Ｓ０が０である場合と比べて、最適なシフト時間の導出が短時間にできる。
【００３８】
ここで、第一調整波形データ生成部９１は、基準波形データに対するゲインを１とした波形データ、即ち基準波形データと同一の振幅とした波形データを、第一調整波形データとしてもよい。ただし、第一調整波形データ生成部９１は、基準波形データに対するゲインを１より大きな一定値とした波形データを、第一調整波形データとするとよい。ここで、第一調整波形データにおいて調整される初期ゲインＧ０は、初期ゲイン記憶部９６に記憶される。
【００３９】
最適波形データ生成部９０は、さらに、最適シフト時間導出部９２を備える。最適シフト時間導出部９２は、基準波形データの逆位相の波形データに対する第一調整波形データのシフト時間として、基準波形データの振幅を小さくするのに最適なシフト時間（以下「最適シフト時間ＢＰＳ」と称す）を導出する。ここで、シフト時間が０である場合とは、第一調整波形データが、基準波形データの逆位相の波形データに一致する場合に相当する。
【００４０】
最適シフト時間導出部９２は、基準波形データの逆位相の波形データに対する第一調整波形データのシフト時間を逐次変えながら第一調整波形データに基づいて絞り開度を調整した場合に、基準波形データの振幅の変化を観察する。その過程で、最適シフト時間導出部９２は、基準波形データの振幅を最も小さくするのに最適な第一調整波形データＲＷ１を導出し、当該第一調整波形データＲＷ１のシフト時間を最適シフト時間ＢＰＳとして導出する。そして、最適シフト時間導出部９２は、最適波形データ記憶部６２に最適シフト時間ＢＰＳを記憶させる。なお、最適シフト時間ＢＰＳの導出手順については、後述する。
【００４１】
最適波形データ生成部９０は、さらに、第二調整波形データ生成部９３を備える。第二調整波形データ生成部９３は、第一調整波形データに対してゲインを逐次調整した第二調整波形データを生成する。第二調整波形データは、基準波形データの振幅が更に小さくなるように、第一調整波形データのゲインを調整した波形データである。
【００４２】
最適波形データ生成部９０は、さらに、最適ゲイン導出部９４を備える。最適ゲイン導出部９４は、基準波形データの振幅を小さくするのに最適な第二調整波形データのゲイン（以下「最適ゲインＢＧ」と称す）を導出する。具体的に、最適ゲイン導出部９４は、第一調整波形データに対する第二調整波形データのゲイン調整量を逐次変えながら絞り開度を調整した場合に、基準波形データの振幅の変化を観察する。その過程で、最適ゲイン導出部９４は、基準波形データの振幅を最も小さくするのに最適な第二調整波形データＲＷ２を導出し、当該第二調整波形データＲＷ２の基準波形データに対するゲインを最適ゲインＢＧとして導出する。そして、最適ゲイン導出部９４は、最適波形データ記憶部６２に最適ゲインＢＧを記憶させる。なお、最適ゲインＢＧの導出手順については、後述する。
【００４３】
つまり、最適波形データ記憶部６２は、基準波形データに対して最適シフト時間ＢＰＳだけ時間軸方向にシフトさせると共に最適ゲインＢＧだけゲインを調整した最適波形データを記憶する。
【００４４】
（６．最適波形データの導出手順の例）
最適波形データの導出手順の一例について、図５−図９を参照して説明する。図５には、移動体３に加わる負荷に伴う移動体３の変位の時系列変化を模式的に表した変位波形データＤＷ、及び、その変位波形データＤＷを逆位相にした最適流量波形データＢＦＷが図示されている。即ち、静圧ポケット１０に供給される流量が最適流量波形データＢＦＷに沿って増減することができるように、弁制御装置５０が絞り開度を調整することで、移動体３の振動を効果的に抑制することができる。
【００４５】
ここで、図５に示すように、可変絞り弁４０の絞り開度の変更が静圧ポケット１０に供給される流体の流量の変化に反映されるまでには、一定のタイムラグＴＬが生じる。仮に、絞り開度調整部６１が、最適流量波形データＢＦＷをそのまま利用して絞り開度を調整した場合、静圧ポケット１０に供給される流体Ｆの流量の時系列変化を示す流量波形データＦＷは、最適流量波形データＢＦＷに対してタイムラグＴＬだけ時間軸方向にシフトする。
【００４６】
そこで、最適シフト時間導出部９２は、図６に示すように、流量波形データＦＷの位相を最適流量波形データＢＦＷの位相に近似させることができる第一調整波形データＲＷ１を導出する。第一調整波形データＲＷ１は、最適流量波形データＢＦＷの位相を最適シフト時間ＢＰＳだけ時間軸方向へシフトさせた波形データである。ただし、図６における第一調整波形データＲＷ１は、最適流量波形データＢＦＷに対してゲインを１より大きくしている。このようにして、最適シフト時間導出部９２は、最適シフト時間ＢＰＳを導出する。
【００４７】
最適流量波形データＢＦＷを最適シフト時間ＢＰＳだけ時間軸方向にシフトさせた第一調整波形データＲＷ１により絞り開度を調整した場合、静圧ポケット１０に供給される流体Ｆの流量の時系列変化を示す第一調整流量波形データＦＷ１は、図７に示すようになる。つまり、最適流量波形データＢＦＷと第一調整流量波形データＦＷ１とは、位相は一致するが、振幅が異なる。
【００４８】
そこで、最適ゲイン導出部９４は、図８に示すように、第一調整流量波形データＦＷ１の振幅が最適流量波形データＢＦＷの振幅に近似させることができる第二調整波形データＲＷ２を導出する。第二調整波形データＲＷ２は、最適シフト時間ＢＰＳだけシフトさせた第一調整波形データＲＷ１のゲインを最適ゲインＢＧだけゲイン調整した波形データである。ここで、第二調整波形データＲＷ２により絞り開度を調整した場合、静圧ポケット１０に供給される流体Ｆの流量の時系列変化を示す第二調整流量波形データＦＷ２は、最適流量波形データＢＦＷに一致する。このようにして、最適ゲイン導出部９４は、最適ゲインＢＧを導出する。
【００４９】
つまり、図９に示すように、最適波形データ生成部９０は、最初に、基準波形データの振幅及び移動体３の変位が小さくなるように、第一調整波形データのシフト時間を調整する。そして、最適波形データ生成部９０は、基準波形データの振幅及び移動体３の変位が最も小さくなる最適シフト時間ＢＰＳを導出する。その後、最適波形データ生成部９０は、基準波形データの振幅及び移動体３の変位が小さくなるように第二調整波形データのゲインを調整する。そして、最適波形データ生成部９０は、基準波形データの振幅及び移動体３の変位が最も小さくなる最適ゲインＢＧを導出する。これにより、最適波形データ生成部９０は、流量波形データＦＷのゲインを最適流量波形データＢＦＷのゲインに近似させるための最適波形データを生成することができる。
【００５０】
（７．最適な第一調整波形データＲＷ１の導出手順の例）
次に、最適な第一調整波形データＲＷ１の導出手順の一例について、図９及び図１０を参照して説明する。第一調整波形データ生成部９１は、基準波形データ取得部７０が取得した基準波形データに対して、時間進み方向と時間遅れ方向の一方へ初期シフト時間Ｓ０（図９に示す）だけシフトした第一調整波形データＲＷ０を生成する。
【００５１】
そして、絞り開度調整部６１が、当該第一調整波形データに基づいて絞り開度を調整すると、静圧ポケット１０へ供給される流体の流量が変化する。その結果、移動体３の振動態様が変化する。再び、基準波形データ取得部７０が、振動測定装置４による測定結果である測定波形データに基づいて、基準波形データを取得する。このときの基準波形データの振幅を「第一調整前振幅ａｍ１１」とする。
【００５２】
次に、第一調整波形データ生成部９１は、基準波形データを時間進み方向と時間遅れ方向の一方へ初期シフト時間Ｓ０よりも所定時間ΔＳだけさらにシフトした第一調整波形データを生成する。絞り開度調整部６１が、当該第一調整波形データに基づいて絞り開度を調整する。そして、再び、基準波形データ取得部７０が、振動測定装置４による測定結果である測定波形データに基づいて、基準波形データを取得する。このときの基準波形データの振幅を「第一調整後振幅ａｍ１２」とする。
【００５３】
次に、最適シフト時間導出部９２が、第一調整前振幅ａｍ１１と第一調整後振幅ａｍ１２とを比較する。そして、上記処理を繰り返す。ここで、第一調整前振幅ａｍ１１は、新たに時間シフトさせる前の第一調整波形データに基づいて絞り開度を調整したときの基準波形データの振幅となる。第一調整後振幅ａｍ１２は、新たに時間シフトさせた第一調整波形データに基づいて絞り開度を調整したときの基準波形データの振幅となる。
【００５４】
ここで、図１０に示すように、初期の第一調整波形データＲＷ０に基づいて絞り開度を調整したときの第一調整流量波形データと、最適流量波形データＢＦＷとの位相ずれ量をＰ０とする。そして、第一調整波形データのシフト時間を逐次調整すると、図１０に示すように変化する。つまり、第一調整波形データに基づいて絞り開度を調整したときの第一調整流量波形データと、最適流量波形データＢＦＷとの位相ずれ量が０になるときが、基準波形データの振幅が最も小さくなるときとなる。
【００５５】
そこで、第一調整波形データ生成部９１は、基準波形データとは逆位相の波形データを時間進み方向と時間遅れ方向の何れか一方へ逐次シフトさせた第一調整波形データを生成する。そして、最適シフト時間導出部９２は、第一調整後振幅ａｍ１２が第一調整前振幅ａｍ１１よりも一旦小さくなった後に大きくなった場合に、最小振幅となる領域を通過したと判断し、第一調整前振幅ａｍ１１が、最小振幅となる領域に最も近づいたと判断する。そこで、第一調整前振幅ａｍ１１に対応する第一調整波形データ（直前の第一調整波形データ）を、最適な第一調整波形データＲＷ１とし、第一調整波形データＲＷ１におけるシフト時間を最適シフト時間ＢＰＳとして導出する。
【００５６】
ここで、図９に示すように、初期シフト時間Ｓ０は、０以外に設定されることが望ましい。例えば、初期シフト時間Ｓ０は、第一調整後振幅ａｍ１２が第一調整前振幅ａｍ１１よりも小さくなるようなシフト時間であることが望ましい。これにより、初期シフト時間が０である場合と比べて、最適シフト時間ＢＰＳの導出が短時間にできる。
【００５７】
また、図９に示すように、初期ゲインＧ０は、１より大きな一定値に設定されることが望ましい。これにより、第一調整前振幅ａｍ１１と第一調整後振幅ａｍ１２の差を大きくすることができるため、比較判定が容易となる。
【００５８】
（８．最適な第二調整波形データＲＷ２の導出手順の例）
最適な第二調整波形データＲＷ２の導出手順の一例について、図９及び図１１を参照して説明する。第二調整波形データ生成部９３は、第一調整波形データ生成部９１が生成した最適な第一調整波形データＲＷ１に対して、ゲインを調整した第二調整波形データを生成する。第二調整波形データのゲインは、第一調整波形データに対して、ゲインを大きくする方向と小さくする方向の何れか一方へ調整する。例えば、図９に示すように、第二調整波形データのゲインは、初期ゲインＧ０よりも大きくする方向に調整する。
【００５９】
そして、絞り開度調整部６１が、当該第二調整波形データに基づいて絞り開度を調整すると、静圧ポケット１０へ供給される流体の流量が変化する。その結果、移動体３の振動態様が変化する。再び、基準波形データ取得部７０が、振動測定装置４による測定結果である測定波形データに基づいて、基準波形データを取得する。このときの基準波形データの振幅を「第二調整前振幅ａｍ２１」とする。
【００６０】
次に、第二調整波形データ生成部９３は、ゲインを所定量だけ調整した第二調整波形データを生成する。絞り開度調整部６１が、当該第二調整波形データに基づいて絞り開度を調整する。そして、再び、基準波形データ取得部７０が、振動測定装置４による測定結果である測定波形データに基づいて、基準波形データを取得する。このときの基準波形データの振幅を「第二調整後振幅ａｍ２２」とする。
【００６１】
次に、最適ゲイン導出部９４が、第二調整前振幅ａｍ２１と第二調整後振幅ａｍ２２とを比較する。そして、上記処理を繰り返す。ここで、第二調整前振幅ａｍ２１は、新たにゲインを調整する前の第二調整波形データに基づいて絞り開度を調整したときの基準波形データの振幅となる。第二調整後振幅ａｍ２２は、新たにゲインを調整した第二調整波形データに基づいて絞り開度を調整したときの基準波形データの振幅となる。
【００６２】
ここで、図１１に示すように、最適な第一調整波形データＲＷ１に基づいて絞り開度を調整したときの第一調整流量波形データと、最適流量波形データＢＦＷとの振幅の比をＱ０とする。そして、第二調整波形データのゲインを逐次調整すると、図１１に示すように変化する。つまり、第二調整波形データに基づいて絞り開度を調整したときの第二調整流量波形データＦＷ２と、最適流量波形データＢＦＷとの振幅の比が１になるときが、基準波形データの振幅が最も小さくなるときとなる。
【００６３】
そこで、第二調整波形データ生成部９３は、第一調整波形データに対して逐次ゲインを調整した第二調整波形データを生成する。そして、最適ゲイン導出部９４は、第二調整後振幅ａｍ２２が第二調整前振幅ａｍ２１よりも一旦小さくなった後に大きくなった場合に、最小振幅となる領域を通過したと判断し、第二調整前振幅ａｍ２１が、最小振幅となる領域に最も近づいたと判断する。そこで、第二調整前振幅ａｍ２１に対応する第二調整波形データ（直前の第二調整波形データ）を、最適な第二調整波形データＲＷ２とし、第二調整波形データＲＷ２におけるゲインを最適ゲインＢＧとして導出する。
【００６４】
（９．絞り開度調整処理）
次に、図１２に示すフローチャートを参照しながら、弁制御装置５０により実行される絞り開度調整処理について説明する。図１２に示すように、基準波形データ取得部７０は、絞り開度調整処理で行う最初の処理として、基準波形データを取得する（Ｓ１）。続いて、判定部８０は、基準波形データの振幅が、予め設定された閾値を超えるか否かを判定する（Ｓ２）。その結果、基準波形データの振幅が閾値を超えた場合（Ｓ２：Ｙｅｓ）、最適波形データ生成部９０は、後述する最適波形データ生成処理（Ｓ３）を実行する。一方、基準波形データの振幅が閾値以下であれば（Ｓ２：Ｎｏ）、最適波形データ生成部９０は、最適波形データ記憶部６２に記憶された最適シフト時間ＢＰＳ及び最適ゲインＢＧを用いて最適波形データを生成する（Ｓ４）。その後、絞り開度調整部６１は、最適波形データに基づいて絞り開度を調整する（Ｓ５）。
【００６５】
このように、判定部８０は、基準波形データの振幅が予め設定された閾値を超えたか否かを判定し、最適波形データ生成部９０は、基準波形データの振幅が閾値を超えた場合に、最適波形データを新たに生成する。つまり、基準波形データの振幅が大きくなってきた場合には、最適波形データを新たに生成することで、基準波形データの振幅を小さくすることができる。一方、基準波形データの振幅が閾値以下である場合には、最適波形データの更新処理を行わないため、弁制御装置５０による安定した振動抑制効果を発揮し続けることができる。
【００６６】
（１０．最適波形データ生成処理）
次に、図１３に示すフローチャートを参照しながら、絞り開度調整処理の中で実行される最適波形データ生成処理（Ｓ３）について説明する。図１３に示すように、最適波形データ生成部９０は、最適波形データ生成処理（Ｓ３）の中で実行する最初の処理として、最適シフト時間導出処理（Ｓ１０）を実行する。この最適シフト時間導出処理（Ｓ１０）において、最適波形データ生成部９０は、最適な第一調整波形データＲＷ１を生成する。Ｓ１０の処理が終了すると、最適波形データ生成部９０は、最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）を実行する。この最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）において、最適波形データ生成部９０は、最適な第二調整波形データＲＷ２を生成する。
【００６７】
（１０−１．最適シフト時間導出処理）
次に、図１４Ａ及び図１４Ｂに示すフローチャートを参照しながら、最適波形データ生成処理（Ｓ３）の中で実行される最適シフト時間導出処理（Ｓ１０）について説明する。図１４Ａに示すように、第一調整波形データ生成部９１は、最適シフト時間導出処理（Ｓ１０）の中で実行する最初の処理として、初期の波形データＲＷ０を生成する（Ｓ１１）。その後、絞り開度調整部６１は、初期の波形データＲＷ０に基づく絞り開度の調整を行う（Ｓ１２）。その後、基準波形データ取得部７０は、初期の波形データＲＷ０に基づいて絞り開度を調整したときの基準波形データを取得する（Ｓ１３）。具体的に、Ｓ１３の処理において、基準波形データ取得部７０は、基準波形データの振幅（第一調整前振幅ａｍ１１）を取得する。
【００６８】
次に、第一調整波形データ生成部９１は、基準波形データに対して時間進み方向に所定時間だけシフトさせた第一調整波形データを生成し（Ｓ１４）、絞り開度調整部６１は、第一調整波形データに基づく絞り開度の調整を行う（Ｓ１５）。その後、基準波形データ取得部７０は、第一調整波形データに基づいて絞り開度を調整した後の基準波形データを取得する（Ｓ１６）。具体的に、基準波形データ取得部７０は、基準波形データの振幅（第一調整後振幅ａｍ１２）を取得する。
【００６９】
次に、最適シフト時間導出部９２は、第一調整後振幅ａｍ１２が第一調整前振幅ａｍ１１よりも小さいか否かを比較する（Ｓ１７）。その結果、第一調整後振幅ａｍ１２が第一調整前振幅ａｍ１１よりも小さい場合（Ｓ１７：Ｙｅｓ）、第一調整波形データ生成部９１は、初期の波形データＲＷ０に対するシフト方向（ここでは時間進み方向）へ所定時間さらにシフトさせた新たな第一調整波形データを生成する（Ｓ１８）。
【００７０】
一方、第一調整後振幅ａｍ１２が第一調整前振幅ａｍ１１以上である場合（Ｓ１７：Ｎｏ）、第一調整波形データ生成部９１は、基準波形データに対して時間遅れ方向に所定時間だけシフトさせた第一調整波形データを生成し（Ｓ１９）、Ｓ１５から繰り返す。そうすると、Ｓ１７において、第一調整後振幅ａｍ１２が第一調整前振幅ａｍ１１よりも小さくなる（Ｓ１７：Ｙｅｓ）。この場合、Ｓ１８において、第一調整波形データ生成部９１は、初期の波形データＲＷ０に対するシフト方向（ここでは時間遅れ方向）へ所定時間さらにシフトさせた新たな第一調整波形データを生成する。
【００７１】
図１４Ｂに示すように、絞り開度調整部６１は、Ｓ１８の処理後、新たな第一調整波形データに基づく絞り開度の調整を行い（Ｓ２０）、基準波形データ取得部７０は、新たな第一調整波形データに基づいて絞り開度を調整したときの基準波形データを取得する（Ｓ２１）。具体的に、基準波形データ取得部７０は、基準波形データの振幅（第一調整前振幅ａｍ１１及び第一調整後振幅ａｍ１２）を取得する。続いて、最適シフト時間導出部９２は、第一調整後振幅ａｍ１２が第一調整前振幅ａｍ１１よりも小さいか否かを比較する（Ｓ２２）。
【００７２】
その結果、第一調整後振幅ａｍ１２が第一調整前振幅ａｍ１１よりも小さい場合（Ｓ２２：Ｙｅｓ）、直前に生成した第一調整波形データのシフト時間は、最適シフト時間ＢＰＳではないと判断できる。そこで、第一調整波形データ生成部９１は、第一調整波形データを先のシフト方向に所定時間シフトさせた新たな第一調整波形データを生成し（Ｓ２３）、Ｓ２０の処理を再度実行する。
【００７３】
一方、第一調整後振幅ａｍ１２が第一調整前振幅ａｍ１１以上である場合（Ｓ２２：Ｎｏ）、最適シフト時間導出部９２は、直前に生成した第一調整波形データのシフト時間が最適シフト時間ＢＰＳであると判断できる。そこで、最適シフト時間導出部９２は、当該シフト時間を、最適シフト時間ＢＰＳとして最適波形データ記憶部６２に記憶し（Ｓ２４）、本処理を終了する。
【００７４】
このように、最適シフト時間導出処理（Ｓ１０）において、最適シフト時間導出部９２は、第一調整前振幅ａｍ１１と第一調整後振幅ａｍ１２とを比較する。そして、第一調整波形データ生成部９１は、第一調整前振幅ａｍ１１と第一調整後振幅ａｍ１２との比較結果に基づき、基準波形データの振幅が小さくなるように基準波形データに対するシフト時間を再調整した新たな第一調整波形データを生成する。そして、絞り開度調整部６１は、新たな第一調整波形データに基づいて絞り開度を調整する。こうした一連の処理を繰り返すことにより、最適シフト時間導出部９２は、第一調整波形データＲＷ１のシフト時間を最適シフト時間ＢＰＳに近似させることができる。
【００７５】
また、最適シフト時間導出部９２は、第一調整後振幅ａｍ１２が第一調整前振幅ａｍ１１よりも一旦小さくなった後に大きくなった場合に、直前に生成した第一調整波形データにおけるシフト時間を最適シフト時間とする。よって、最適シフト時間導出部９２は、最適シフト時間ＢＰＳを確実に導出できる。
【００７６】
（１０−２．最適ゲイン導出処理）
次に、図１５に示すフローチャートを参照しながら、最適波形データ生成処理（Ｓ３）の中で実行される最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）について説明する。図１５に示すように、第二調整波形データ生成部９３は、最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）の中で実行する最初の処理として、第一調整波形データに対してゲインを大きくする方向へ調整した第二調整波形データを生成する（Ｓ３１）。その後、絞り開度調整部６１は、第二調整波形データに基づく絞り開度の調整を行う（Ｓ３２）。次に、基準波形データ取得部７０は、第二調整波形データに基づいて絞り開度を調整した後の基準波形データを取得する（Ｓ３３）。具体的に、Ｓ３３の処理において、基準波形データ取得部７０は、基準波形データの振幅（第二調整前振幅ａｍ２１及び第二調整後振幅ａｍ２２）を取得する。
【００７７】
次に、最適ゲイン導出部９４は、第二調整後振幅ａｍ２２が第二調整前振幅ａｍ２１よりも小さいか否かを比較する（Ｓ３４）。その結果、第二調整後振幅ａｍ２２が第二調整前振幅ａｍ２１よりも小さい場合（Ｓ３４：Ｙｅｓ）、第二調整波形データ生成部９３は、第一調整波形データＲＷ１に対するゲイン調整方向（ここではゲインを大きくする方向）へ、ゲインを調整した新たな第二調整波形データを生成する（Ｓ３５）。
【００７８】
一方、第二調整後振幅ａｍ２２が第二調整前振幅ａｍ２１以上である場合（Ｓ３４：Ｎｏ）、第二調整波形データ生成部９３は、第一調整波形データＲＷ１に対してゲインを小さくする方向へ調整した新たな第二調整波形データを生成し（Ｓ３６）、Ｓ３２から繰り返す。そうすると、Ｓ３４において、第二調整後振幅ａｍ２２が第二調整前振幅ａｍ２１よりも小さくなる（Ｓ３４：Ｙｅｓ）。この場合、Ｓ３５において、第二調整波形データ生成部９３は、第一調整波形データＲＷ１に対するゲイン調整方向（ここではゲインを小さくする方向）へ、ゲインをさらに調整した新たな第二調整波形データを生成する。
【００７９】
Ｓ３５の処理後、絞り開度調整部６１は、新たな第二調整波形データに基づく絞り開度の調整を行い（Ｓ３７）、基準波形データ取得部７０は、新たな第二調整波形データに基づいて絞り開度を調整したときの基準波形データを取得する（Ｓ３８）。次に、最適ゲイン導出部９４は、第二調整後振幅ａｍ２２が第二調整前振幅ａｍ２１よりも小さいか否かを判定する（Ｓ３９）。
【００８０】
その結果、第二調整後振幅ａｍ２２が第二調整前振幅ａｍ２１よりも小さい場合（Ｓ３９：Ｙｅｓ）、直前に生成した第二調整波形データのゲインは、最適ゲインＢＧではないと判断できる。そこで、第二調整波形データ生成部９３は、直前に生成した第二調整波形データを、先のゲイン調整方向に所定のゲイン調整を行った新たな第二調整波形データを生成し（Ｓ４０）、Ｓ３７の処理を再度実行する。
【００８１】
一方、第二調整後振幅ａｍ２２が第二調整前振幅ａｍ２１以上である場合（Ｓ３９：Ｎｏ）、最適ゲイン導出部９４は、直前に生成した第二調整波形データのゲインが最適ゲインＢＧであると判断できる。そこで、最適ゲイン導出部９４は、直前に生成した第二調整波形データのゲインを、最適ゲインＢＧとして最適波形データ記憶部６２に記憶し（Ｓ４１）、本処理を終了する。
【００８２】
このように、最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）において、最適ゲイン導出部９４は、第二調整前振幅ａｍ２１と第二調整後振幅ａｍ２２とを比較する。そして、第二調整波形データ生成部９３は、第二調整前振幅ａｍ２１と第二調整後振幅ａｍ２２との比較結果に基づき、基準波形データの振幅が小さくなるように第一調整波形データＲＷ１に対するゲインを再調整した新たな第二調整波形データを生成する。そして、絞り開度調整部６１は、新たな第二調整波形データに基づいて絞り開度を調整する。こうした一連の処理を繰り返すことにより、最適ゲイン導出部９４は、第二調整波形データＲＷ２のゲインを最適ゲインＢＧに近似させることができる。
【００８３】
また、最適ゲイン導出部９４は、第二調整後振幅ａｍ２２が第二調整前振幅ａｍ２１よりも一旦小さくなった後に大きくなった場合に、直前に生成した第二調整波形データにおけるゲインを最適ゲインＢＧとする。よって、最適ゲイン導出部９４は、最適ゲインＢＧを確実に導出できる。
【００８４】
以上説明したように、絞り開度調整部６１は、基準波形データに対して最適シフト時間ＢＰＳだけ時間軸方向にシフトさせると共に最適ゲインＢＧだけゲインを調整した最適波形データに基づいて絞り開度を調整する。よって、静圧流体支持装置１００は、移動体３に加わる外乱負荷の変化に応じて静圧ポケット１０に供給される流体Ｆの流量の変化させることができる。よって、工作機械１は、移動体３の振動を確実に抑制できる。
【００８５】
また、工作機械１は、振動測定装置４としての圧力センサを備える。これにより、最適波形データ生成部９０は、移動体３の振動の周期を的確に把握することができる。なお、工作機械１は、振動測定装置４を用いて移動体３の振動の周期を把握できればよく、圧力センサ以外の振動測定装置４を用いることもできる。例えば、工作機械１は、移動体３に加わる外乱負荷を測定する装置として、圧力センサの代わりにロードセルを用いることも可能である。また、工作機械１は、移動体３の振動そのものを測定するものとして、移動体３に装着された変位センサや加速度センサ、ＡＥセンサ等を振動測定装置４として用いてもよい。また、本例において、移動体３の振動の周期は、砥石車の回転に同期すると考えられることから、砥石車の回転軸等に設けられたロータリエンコーダ等を振動測定装置４と用いることも可能である。
【００８６】
（１１．基準波形データの他の例）
上記において、基準波形データは、振動測定装置４による測定結果そのものである場合を例に挙げて説明したが、これに限られるものではない。例えば、弁制御装置５０は、振動測定装置４による測定結果として得られた波形データに対してフィルタリング処理を行うことにより得られた波形データ、又は、複数の波形データの振幅を平均化することにより得られた波形データを基準波形データとしてもよい。この場合、弁制御装置５０は、基準波形データに突発的に発生した（周期的でない）振動が含まれる場合に、当該突発的に発生した振動を基準波形データから除外することができるので、基準波形データの振動の周期を的確に把握することができる。
【００８７】
また、弁制御装置５０は、振動測定装置４による測定結果として得られた波形データを周波数分析することにより得られた関数を基準波形データとして取得してもよい。この場合、弁制御装置５０は、基準波形データを的確に把握することができる。さらに、弁制御装置５０は、振動測定装置４による測定結果として得られた波形データに対し、フィルタリング処理を行うことにより得られた波形データを、周波数分析することにより得られた関数を基準波形データとして取得してもよい。この場合、弁制御装置５０は、基準波形データに突発的に発生した振動が含まれる場合に、当該突発的に発生した振動を基準波形データから除外することができるので、基準波形データの振動の周期を的確に把握することができる。
【符号の説明】
【００８８】
１：工作機械、  ２：支持体、  ３：移動体、  ４：振動測定装置、  １０：静圧ポケット、  ２０：流体供給装置、  ３０：流体案内流路、  ４０：可変絞り弁、  ６１：絞り開度調整部、  ７０：基準波形データ取得部、  ８０：判定部、  ９１：第一調整波形データ生成部、  ９２：最適シフト時間導出部、  ９３：第二調整波形データ生成部、  ９４：最適ゲイン導出部、  ９５：初期シフト時間記憶部、  ９６：初期ゲイン記憶部、  １００：静圧流体支持装置、  ａｍ１１：第一調整前振幅、  ａｍ１２：第一調整後振幅、  ａｍ２１：第二調整前振幅、  ａｍ２２：第二調整後振幅、  ＢＧ：最適ゲイン、  ＢＰＳ：最適シフト時間、  Ｄ：隙間（絞り開度）、  Ｆ：流体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５】
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