(57)【要約】【課題】試料の適切な分析を容易にする質量分析システム、分析制御装置、質量分析方法および分析制御方法を提供する。【解決手段】投光部２３０により出射された光が試料１の部分に照射されることにより発生する光音響が光音響検出部２４０により検出される。投光部２３０により出射された光が試料１の部分に照射されることにより生成されるイオンの質量分析が質量分析部２６０により行われる。光音響検出部２４０により検出される光音響の強度に基づいて分析条件が分析制御装置１０により変更される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を出射する投光部と、
前記投光部により出射された光が試料の部分に照射されることにより発生する光音響を検出する光音響検出部と、
前記投光部により出射された光が試料の前記部分に照射されることにより生成されるイオンの質量分析を行う質量分析部と、
前記光音響検出部により検出される光音響の強度に基づいて分析条件を変更する分析制御装置とを備える、質量分析システム。
【請求項２】
前記分析条件は、試料における光の照射位置を含み、
試料における光の照射位置を変更する照射位置変更部をさらに備え、
前記分析制御装置は、前記光音響検出部により検出される光音響の強度に基づいて試料における光の照射位置が変更されるように前記照射位置変更部を制御する、請求項１記載の質量分析システム。
【請求項３】
前記分析条件は、試料に照射される光の強度を含み、
前記分析制御装置は、前記光音響検出部により検出される光音響の強度に基づいて試料に照射される光の強度が変更されるように前記投光部を制御する、請求項１または２記載の質量分析システム。
【請求項４】
前記投光部は、第１のピーク波長を有する光を出射する第１の光源と、前記第１のピーク波長よりも長い第２のピーク波長を有する光を出射する第２の光源とを含み、
前記第１の光源と前記第２の光源とは、試料の同一の部分に光を照射するように設けられ、
前記光音響検出部は、前記第２の光源により出射された光が試料に照射されることにより発生する光音響を検出し、
前記質量分析部は、前記第１の光源により出射された光が試料に照射されることにより生成されるイオンの質量分析を行う、請求項１〜３のいずれか一項に記載の質量分析システム。
【請求項５】
光が試料の部分に照射されることにより生成されるイオンの質量分析を行う質量分析部に接続される分析制御装置であって、
光が試料の前記部分に照射されることにより発生する光音響の強度を取得する光音響取得部と、
質量分析の結果を示す検出信号を前記質量分析部から取得する検出信号取得部と、
前記光音響取得部により取得された光音響の強度に基づいて分析条件を変更する条件変更部と、
前記検出信号取得部により取得された検出信号に基づいてマススペクトルを生成する生成部とを備える、分析制御装置。
【請求項６】
前記光音響取得部により取得された光音響の強度が予め定められたしきい値以上であるか否かを判定する判定部と、
光音響の強度が前記しきい値以上である場合、前記検出信号取得部により取得された検出信号を積算する積算部とをさらに備え、
前記生成部は、前記積算部により積算された検出信号に基づいてマススペクトルを生成する、請求項５記載の分析制御装置。
【請求項７】
光を出射するステップと、
出射された光が試料の部分に照射されることにより発生する光音響を検出するステップと、
出射された光が試料の前記部分に照射されることにより生成されるイオンの質量分析を行うステップと、
検出される光音響の強度に基づいて分析条件を変更するステップとを含む、質量分析方法。
【請求項８】
光が試料の部分に照射されることにより生成されるイオンの質量分析を行う質量分析部の分析制御方法であって、
光が試料の前記部分に照射されることにより発生する光音響の強度を取得するステップと、
質量分析の結果を示す検出信号を前記質量分析部から取得するステップと、
取得された光音響の強度に基づいて分析条件を変更するステップと、
取得された検出信号に基づいてマススペクトルを生成するステップとを含む、分析制御方法。
【請求項９】
前記マススペクトルを生成するステップは、
取得された光音響の強度が予め定められたしきい値以上であるか否かを判定することと、
光音響の強度が前記しきい値以上である場合、取得された検出信号を積算することと、
積算された検出信号に基づいてマススペクトルを生成することとを含む、請求項８記載の分析制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、質量分析システム、分析制御装置、質量分析方法および分析制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、マトリクス支援レーザ脱離イオン化（ＭＡＬＤＩ）法によるイオン源を用いた質量分析装置では、マトリックスと混合された試料へレーザ光を照射することによりイオンが生成され、イオン検出器によりイオンが検出される。イオン検出器による検出信号に基づいてマススペクトルが生成される。マススペクトルには種々のノイズが含まれるため、レーザ光の１回の照射のみでは、有意なマススペクトルを生成することはできない。そこで、マススペクトルのＳ／Ｎ（信号／ノイズ）比を向上させるために、レーザ光の複数回の照射により生成される複数のマススペクトルが積算される（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１８５３０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
試料には、成分が一様に分布されているのではなく、不規則なムラをもって分布されていることがある。そのため、レーザ光の照射位置等の分析条件が適切ではない場合、十分な質量分解能および検出感度でマススペクトルを生成することができない。したがって、分析者は、生成されたマススペクトルを確認することにより分析条件が適切であるか否かを判断し、適切ではない場合、分析条件を変更して同様の分析を繰り返す必要がある。
【０００５】
しかしながら、このような分析を繰り返すと、分析者の負担が増加するとともに、分析の効率が低下する。そのため、試料の適切な分析を容易にする質量分析システム、分析制御装置、質量分析方法および分析制御方法を開発することが望まれる。
【０００６】
本発明の目的は、試料の適切な分析を容易にする質量分析システム、分析制御装置、質量分析方法および分析制御方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）第１の発明に係る質量分析システムは、光を出射する投光部と、投光部により出射された光が試料の部分に照射されることにより発生する光音響を検出する光音響検出部と、投光部により出射された光が試料の部分に照射されることにより生成されるイオンの質量分析を行う質量分析部と、光音響検出部により検出される光音響の強度に基づいて分析条件を変更する分析制御装置とを備える。
【０００８】
この質量分析システムにおいては、出射された光が試料の部分に照射されることにより発生する光音響が検出される。また、出射された光が試料の部分に照射されることにより生成されるイオンの質量分析が行われる。ここで、検出される光音響の強度に基づいて分析条件が変更される。
【０００９】
この構成によれば、試料における光の照射位置に含まれる成分の量的情報が光音響として実時間で検出されるとともに、成分の量的情報に応じて分析条件が変更されつつ試料の分析が行われる。したがって、分析者は、分析結果に応じて分析条件を変更しつつ同様の分析を繰り返す必要がない。これにより、試料の適切な分析を容易に行うことができる。
【００１０】
（２）分析条件は、試料における光の照射位置を含み、質量分析システムは、試料における光の照射位置を変更する照射位置変更部をさらに備え、分析制御装置は、光音響検出部により検出される光音響の強度に基づいて試料における光の照射位置が変更されるように照射位置変更部を制御してもよい。この場合、試料における光の照射位置を変更することにより、分析条件を容易に変更することができる。
【００１１】
（３）分析条件は、試料に照射される光の強度を含み、分析制御装置は、光音響検出部により検出される光音響の強度に基づいて試料に照射される光の強度が変更されるように投光部を制御してもよい。この場合、試料に照射される光の強度を変更することにより、分析条件を容易に変更することができる。
【００１２】
（４）投光部は、第１のピーク波長を有する光を出射する第１の光源と、第１のピーク波長よりも長い第２のピーク波長を有する光を出射する第２の光源とを含み、第１の光源と第２の光源とは、試料の同一の部分に光を照射するように設けられ、光音響検出部は、第２の光源により出射された光が試料に照射されることにより発生する光音響を検出し、質量分析部は、第１の光源により出射された光が試料に照射されることにより生成されるイオンの質量分析を行ってもよい。
【００１３】
この場合、試料からイオンを生成するために適した光と、試料から光音響を発生させるために適した光とが別個に投光部から出射される。これにより、試料のイオン化効率と、光音響の発生効率とを向上させることができる。また、第２の光源により出射される光のピーク波長は、第１の光源により出射される光のピーク波長よりも長い。この構成においては、特定の官能基を有する成分の量的情報を光音響として効率的に検出することができる。そのため、当該官能基を有する成分を効率的に分析することが可能になる。
【００１４】
（５）第２の発明に係る分析制御装置は、光が試料の部分に照射されることにより生成されるイオンの質量分析を行う質量分析部に接続される分析制御装置であって、光が試料の部分に照射されることにより発生する光音響の強度を取得する光音響取得部と、質量分析の結果を示す検出信号を質量分析部から取得する検出信号取得部と、光音響取得部により取得された光音響の強度に基づいて分析条件を変更する条件変更部と、検出信号取得部により取得された検出信号に基づいてマススペクトルを生成する生成部とを備える。
【００１５】
この分析制御装置においては、光が試料の部分に照射されることにより発生する光音響の強度が取得される。また、質量分析の結果を示す検出信号が質量分析部から取得される。ここで、取得された光音響の強度に基づいて分析条件が変更され、取得された検出信号に基づいてマススペクトルが生成される。この構成によれば、分析者は、分析結果に応じて分析条件を変更しつつ同様の分析を繰り返す必要がないので、試料の適切な分析を容易に行うことができる。
【００１６】
（６）分析制御装置は、光音響取得部により取得された光音響の強度が予め定められたしきい値以上であるか否かを判定する判定部と、光音響の強度がしきい値以上である場合、検出信号取得部により取得された検出信号を積算する積算部とをさらに備え、生成部は、積算部により積算された検出信号に基づいてマススペクトルを生成してもよい。この構成によれば、試料における光の照射位置に含まれる成分の量が一定以上の場合に、検出信号が積算される。これにより、良好なマススペクトルを容易に生成することができる。
【００１７】
（７）第３の発明に係る質量分析方法は、光を出射するステップと、出射された光が試料の部分に照射されることにより発生する光音響を検出するステップと、出射された光が試料の部分に照射されることにより生成されるイオンの質量分析を行うステップと、検出される光音響の強度に基づいて分析条件を変更するステップとを含む。この質量分析方法によれば、分析者は、分析結果に応じて分析条件を変更しつつ同様の分析を繰り返す必要がないので、試料の適切な分析を容易に行うことができる。
【００１８】
（８）第４の発明に係る分析制御方法は、光が試料の部分に照射されることにより生成されるイオンの質量分析を行う質量分析部の分析制御方法であって、光が試料の部分に照射されることにより発生する光音響の強度を取得するステップと、質量分析の結果を示す検出信号を質量分析部から取得するステップと、取得された光音響の強度に基づいて分析条件を変更するステップと、取得された検出信号に基づいてマススペクトルを生成するステップとを含む。この分析制御方法によれば、分析者は、分析結果に応じて分析条件を変更しつつ同様の分析を繰り返す必要がないので、試料の適切な分析を容易に行うことができる。
【００１９】
（９）マススペクトルを生成するステップは、取得された光音響の強度が予め定められたしきい値以上であるか否かを判定することと、光音響の強度がしきい値以上である場合、取得された検出信号を積算することと、積算された検出信号に基づいてマススペクトルを生成することとを含んでもよい。この場合、良好なマススペクトルを容易に生成することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、試料の適切な分析を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施の形態に係る質量分析システムの構成を示す図である。
【図２】図１の質量分析装置の構成を示す図である。
【図３】図２の分析制御装置の構成を示す図である。
【図４】質量分析プログラムにより行われる質量分析処理の第１の例のアルゴリズムを示すフローチャートである。
【図５】質量分析プログラムにより行われる質量分析処理の第２の例のアルゴリズムを示すフローチャートである。
【図６】質量分析プログラムにより行われる質量分析処理の第３の例のアルゴリズムを示すフローチャートである。
【図７】本発明の他の実施の形態における質量分析装置の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態に係る質量分析システム、分析制御装置、質量分析方法および分析制御方法について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２３】
（１）質量分析システムの構成
図１は、本発明の一実施の形態に係る質量分析システムの構成を示す図である。図１に示すように、質量分析システム３００は、処理装置１００および質量分析装置２００を備える。処理装置１００は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）１１０、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）１２０、ＲＯＭ（リードオンリメモリ）１３０、記憶部１４０、操作部１５０、表示部１６０および入出力Ｉ／Ｆ（インターフェイス）１７０により構成される。
【００２４】
ＣＰＵ１１０、ＲＡＭ１２０、ＲＯＭ１３０、記憶部１４０、操作部１５０、表示部１６０および入出力Ｉ／Ｆ１７０はバス１０１に接続される。ＣＰＵ１１０、ＲＡＭ１２０およびＲＯＭ１３０が分析制御装置１０を構成する。分析制御装置１０の詳細については後述する。
【００２５】
ＲＡＭ１２０は、ＣＰＵ１１０の作業領域として用いられる。ＲＯＭ１３０にはシステムプログラムが記憶される。記憶部１４０は、ハードディスクまたは半導体メモリ等の記憶媒体を含み、質量分析プログラムを記憶する。質量分析プログラムは、他の記録媒体に記憶されていてもよい。ＣＰＵ１１０が記憶部１４０等に記憶された質量分析プログラムをＲＡＭ１２０上で実行することにより、後述する質量分析処理が行われる。
【００２６】
操作部１５０は、キーボード、マウスまたはタッチパネル等の入力デバイスである。使用者は、操作部１５０を用いて処理装置１００に各種指示を行うことができる。表示部１６０は、例えばＬＣＤ（液晶ディスプレイ）パネルまたは有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）パネルにより構成され、質量分析処理において生成されたマススペクトル等を表示可能である。入出力Ｉ／Ｆ１７０は、質量分析装置２００に接続される。
【００２７】
図２は、図１の質量分析装置２００の構成を示す図である。図２に示すように、質量分析装置２００は、真空チャンバ２１０、ステージ２２１、駆動部２２２、投光部２３０、光音響検出部２４０、引出電極２５０および質量分析部２６０を含む。また、質量分析装置２００は、１または複数の光学素子（本例ではミラー２０１）を含む。
【００２８】
真空チャンバ２１０は、内部にステージ２２１、光音響検出部２４０、引出電極２５０、質量分析部２６０およびミラー２０１を収容するとともに、例えばガラスにより形成された窓部２１１を有する。真空チャンバ２１０の内部は真空に維持される。ステージ２２１には、試料１が形成されたサンプルプレート２が保持される。本実施の形態においては、試料１は赤外領域の光を吸収する特性を有する。駆動部２２２は、モータ等のアクチュエータであり、分析制御装置１０による制御に基づいてステージ２２１を移動させる。
【００２９】
投光部２３０は、光源２３１，２３２およびハーフミラー２３３を含む。光源２３１は、例えば紫外レーザ光発生器であり、分析制御装置１０による制御に基づいて紫外領域の光（以下、紫外光と呼ぶ。）を出射する。光源２３２は、例えば赤外レーザ光発生器であり、分析制御装置１０による制御に基づいて赤外領域の光（以下、赤外光と呼ぶ。）を出射する。光源２３１，２３２が、それぞれ第１および第２の光源の例である。ハーフミラー２３３は、光源２３１により出射された紫外光と光源２３２により出射された赤外光とを共通の光路上に重ね合わせ可能に配置される。
【００３０】
投光部２３０により出射された光は、窓部２１１を通して真空チャンバ２１０の内部に導かれ、ミラー２０１によりステージ２２１の中央付近に向けて反射される。この場合、光源２３１により出射された紫外光と、光源２３２により出射された赤外光とを試料１の同一の部分に照射することが可能になる。
【００３１】
光源２３２により出射された赤外光が試料１に照射された場合、試料１により光が吸収され、熱が放出される。その際に、熱による試料１の体積の膨張により試料１から光音響が発生する。光音響検出部２４０は、例えばマイクロホンであり、試料１から発生する光音響を検出する。また、光音響検出部２４０は、検出された光音響の強度を図示しない増幅器を通して分析制御装置１０に与える。
【００３２】
光源２３１により出射された紫外光が試料１に照射された場合、光イオン化により試料１に含まれる各種成分のイオンが生成される。引出電極２５０は、所定の電場を形成することにより、試料１から生成されたイオンを質量分析部２６０に向けて引き出す。
【００３３】
質量分析部２６０は、試料１から生成されたイオンの質量分析を行う。具体的には、質量分析部２６０は、イオンを捕捉するイオントラップ、イオンを飛行させるフライトチューブおよびイオンを検出する検出器等を含み、引出電極２５０から引き出されたイオンを質量電荷比が小さい順に検出する。また、質量分析部２６０は、検出量を示す検出信号を生成し、生成された検出信号を分析制御装置１０に与える。
【００３４】
（２）質量分析処理
（ａ）質量分析処理の第１の例
図３は、図２の分析制御装置１０の構成を示す図である。図４は、質量分析プログラムにより行われる質量分析処理の第１の例のアルゴリズムを示すフローチャートである。図３に示すように、分析制御装置１０は、ステージ制御部１１、投光制御部１２、光音響取得部１３、検出信号取得部１４、判定部１５、積算部１６および生成部１７を含む。ステージ制御部１１および投光制御部１２により、分析条件を変更するための条件変更部１８が構成される。
【００３５】
図１のＣＰＵ１１０が記憶部１４０等に記憶された質量分析プログラムを実行することにより、分析制御装置１０の機能部が実現される。分析制御装置１０の機能部の一部または全部が電子回路等のハードウエアにより実現されてもよい。以下、図３の分析制御装置１０および図４のフローチャートを用いて質量分析処理の第１の例を説明する。
【００３６】
図４に示すように、ステージ制御部１１は、駆動部２２２を制御することによりステージ２２１を所定の初期位置に移動させる（ステップ３０１）。次に、投光制御部１２は、光源２３２を制御することにより、赤外光を出射する（ステップ３０２）。また、投光制御部１２は、光源２３１を制御することにより、紫外光を出射する（ステップ３０３）。ステップ３０２，３０３は、いずれが先に実行されてもよいし、同時に実行されてもよい。
【００３７】
ステップ３０２で出射された赤外光と、ステップ３０３で出射された紫外光は、試料１の同一の部分に照射される。なお、赤外光のビームスポットと紫外光のビームスポットとが試料１上で完全に重なっていなくてもよい。赤外光のビームスポットと紫外光のビームスポットとは、試料１上で少なくとも部分的に重なっていればよい。
【００３８】
続いて、光音響取得部１３は、試料１に赤外光が照射されることにより生成される光音響の強度を光音響検出部２４０から取得する（ステップ３０４）。また、検出信号取得部１４は、試料１に紫外光が照射されることにより生成される検出信号を質量分析部２６０から取得する（ステップ３０５）。ステップ３０４，３０５は、いずれが先に実行されてもよいし、同時に実行されてもよい。
【００３９】
その後、判定部１５は、ステップ３０５で取得された光音響の強度が所定のしきい値以上であるか否かを判定する（ステップ３０６）。ここで、試料１において、赤外光の照射部分に光イオン化可能な成分が高い密度で含まれている場合には、光音響の強度がしきい値以上となる。一方、試料１において、赤外光の照射部分に光イオン化可能な成分が高い密度で含まれてない場合には、光音響の強度がしきい値未満となる。
【００４０】
そこで、光音響の強度がしきい値未満である場合、ステージ制御部１１は、駆動部２２２を制御することによりステージ２２１をわずかに移動させ（ステップ３０７）、ステップ３０２に戻る。この場合、試料１の異なる位置に赤外光および紫外光が照射されることとなり、光音響の強度がしきい値以上になるまでステップ３０２〜３０７が繰り返される。このように、本実施の形態においては、ステージ２２１および駆動部２２２により、試料１における光の照射位置を変更するための照射位置変更部２２０が構成される。
【００４１】
光音響の強度がしきい値以上である場合、積算部１６は、ステップ３０５で取得された検出信号を積算する（ステップ３０８）。次に、積算部１６は、検出信号の積算を終了するか否かを判定する（ステップ３０９）。具体的には、積算部１６は、検出信号を所定の回数だけ積算した場合、検出信号の積算を終了すると判定する。積算が終了されない場合、積算部１６は、ステップ３０２に戻る。積算が終了されるまでステップ３０２〜３０９が繰り返される。
【００４２】
積算が終了された場合、生成部１７は、ステップ３０８で積算された検出信号に基づいてマススペクトルを生成し（ステップ３１０）、質量分析処理を終了する。生成部１７は、ステップ３１０で生成したマススペクトルを表示部１６０に表示させてもよい。
【００４３】
（ｂ）質量分析処理の第２の例
図４の質量分析処理において、ステップ３０３，３０５は、他の時点で実行されてもよい。図５は、質量分析プログラムにより行われる質量分析処理の第２の例のアルゴリズムを示すフローチャートである。図５に示すように、質量分析処理の第２の例においては、ステップ３０２の後、ステップ３０３が実行されずにステップ３０４が実行される。また、ステップ３０４の後、ステップ３０５が実行されずにステップ３０６が実行される。
【００４４】
ステップ３０６で光音響の強度がしきい値以上である場合、ステップ３０３，３０５が順次実行される。ステップ３０５が実行された後、処理はステップ３０８に進む。質量分析処理の第２の例におけるステップ３０８〜３１０は、質量分析処理の第１の例におけるステップ３０８〜３１０とそれぞれ同様である。このように、本例においては、光音響の強度がしきい値である場合には、投光部２３０から紫外光が出射されず、質量分析部２６０から検出信号が取得されない。そのため、質量分析処理を高速化することができる。
【００４５】
（ｃ）質量分析処理の第３の例
図４の質量分析処理において、光音響の強度がしきい値未満である場合（ステップ３０６でＮｏ）、ステージ２２１が移動されることにより試料１における光の照射位置が変更されるが（ステップ３０７）、本発明はこれに限定されない。ステップ３０６で光音響の強度がしきい値未満である場合、ステージ２２１が移動されずに、試料１に照射される光の強度等の他の分析条件が変更されてもよい。
【００４６】
図６は、質量分析プログラムにより行われる質量分析処理の第３の例のアルゴリズムを示すフローチャートである。本例においては、光源２３１により出射される光の強度は、マススペクトルの質量分解能が低下しないように、小さく設定されている。
【００４７】
ここで、図６に示すように、ステップ３０６で光音響の強度がしきい値未満である場合、投光制御部１２は、光源２３１，２３２を制御することにより、出射される光の強度をわずかに増加させ（ステップ３１１）、ステップ３０２に戻る。この場合、強度が増加された赤外光および紫外光が試料１に照射されることとなり、光音響の強度がしきい値以上になるまでステップ３０２〜３０６，３１１が繰り返される。
【００４８】
ステップ３０６で光音響の強度がしきい値以上である場合、処理はステップ３０８に進む。ステップ３０８の後、図４のステップ３０２〜３０９とそれぞれ同様のステップ３１２〜３１９が実行される。ステップ３１９で積算が終了された場合、生成部１７は、ステップ３０８，３１８で積算された検出信号に基づいてマススペクトルを生成し（ステップ３２０）、質量分析処理を終了する。生成部１７は、ステップ３２０で生成されたマススペクトルを表示部１６０に表示させてもよい。
【００４９】
（３）効果
本実施の形態に係る質量分析システム３００においては、光源２３２により出射された赤外光が試料１の部分に照射されることにより発生する光音響が光音響検出部２４０により検出される。また、光源２３１により出射された紫外光が試料１の部分に照射されることにより生成されるイオンが質量分析部２６０により検出される。
【００５０】
光音響検出部２４０から光音響取得部１３により取得された光音響の強度が予め定められたしきい値以上であるか否かが判定部１５により判定される。光音響の強度がしきい値未満である場合、分析条件が条件変更部１８により変更される。一方、光音響の強度がしきい値以上である場合、質量分析部２６０から検出信号取得部１４により取得された検出信号が積算部１６により積算される。積算部１６により積算された検出信号に基づいてマススペクトルが生成部１７により生成される。
【００５１】
この構成によれば、試料１における光の照射位置に含まれる成分の量的情報が光音響として実時間で検出されるとともに、成分の量的情報に応じて分析条件が変更される。また、試料１における光の照射位置に含まれる成分の量が一定以上の場合に、検出信号が積算される。これにより、良好なマススペクトルが容易に生成される。したがって、分析者は、分析結果に応じて分析条件を変更しつつ同様の分析を繰り返す必要がない。その結果、試料１の適切な分析を容易に行うことができる。
【００５２】
また、上記の構成においては、試料１に含まれる成分に応じた適切な分析条件を自動的に設定することが可能である。したがって、分析者の判断に基づいた繰り返し作業に起因する恣意的な分析結果が取得されることを防止することができる。
【００５３】
さらに、本実施の形態においては、試料１からイオンを生成するために適した紫外光と、試料１から光音響を発生させるために適した赤外光とが投光部２３０から別個に出射される。これにより、試料１のイオン化効率と、光音響の発生効率とを向上させることができる。また、特定の官能基を有する成分の量的情報を光音響として効率的に検出することができる。そのため、当該官能基を有する成分を効率的に分析することが可能になる。
【００５４】
（４）他の実施の形態
（ａ）上記実施の形態において、投光部２３０は２つの光源２３１，２３２を含むが、本発明はこれに限定されない。他の実施の形態に係る質量分析システム３００について、上記実施の形態に係る質量分析システム３００と異なる点を説明する。図７は、本発明の他の実施の形態における質量分析装置２００の構成を示す図である。図７に示すように、本実施の形態においては、投光部２３０は光源２３２およびハーフミラー２３３を含まない。
【００５５】
また、本実施の形態においては、試料１は、紫外光を吸収する特性を有する。この場合、光源２３１により出射された紫外光が試料１に照射されることにより光音響が発生するとともに、光イオン化により試料１に含まれる各種成分のイオンが生成される。なお、試料１は、紫外光に加えて、他の波長領域の光を吸収する特性を含んでもよい。
【００５６】
試料１において、紫外光の照射部分に光イオン化可能な成分が高い密度で含まれている場合には、光音響の強度がしきい値以上となる。一方、試料１において、紫外光の照射部分に光イオン化可能な成分が高い密度で含まれてない場合には、光音響の強度がしきい値未満となる。そこで、本実施の形態においては、以下の点を除き、図４〜図６の質量分析処理と同様の質量分析処理が行われる。
【００５７】
図４の質量分析処理においては、ステップ３０２が実行されず、ステップ３０４では、ステップ３０３で出射された紫外光が試料１に照射されることにより発生する光音響が取得される。図５の質量分析処理においては、ステップ３０２で紫外光が出射され、ステップ３０４では、ステップ３０２で出射された紫外光が試料１に照射されることにより発生する光音響が取得される。図６の質量分析処理においては、ステップ３０２，３１２が実行されず、ステップ３０４，３１４では、ステップ３０３，３１３でそれぞれ出射された紫外光が試料１に照射されることにより発生する光音響が取得される。
【００５８】
（ｂ）上記実施の形態において、ステージ２２１が移動されることにより試料１における光の照射位置が変更されるが、本発明はこれに限定されない。例えば、光を試料１に向けて反射するミラー２０１の反射角度が可変である場合には、ミラー２０１の反射角度が変更されることにより試料１における光の照射位置が変更されてもよい。
【００５９】
なお、ミラー２０１にピエゾ素子等のアクチュエータが取り付けられる場合、当該アクチュエータを制御することにより、ミラー２０１の反射角度を変更することができる。この場合、ミラー２０１およびアクチュエータにより、試料１における光の照射位置を変更するための照射位置変更部２２０が構成される。
【００６０】
（ｃ）上記実施の形態において、光音響取得部１３により取得された光音響の強度と、予め定められたしきい値との比較結果に基づいて分析条件が変更されるが、本発明はこれに限定されない。他の判定方法により光音響の強度に基づいて分析条件が変更されてもよい。例えば、新たに取得された光音響の強度と、以前に取得された音響の強度との比較結果に基づいて分析条件が変更されてもよい。
【００６１】
（ｄ）上記実施の形態において、光源２３１は紫外光を出射し、光源２３２は赤外光を出射するが、本発明はこれに限定されない。光源２３１は紫外以外の他のピーク波長を有する光を出射してもよいし、光源２３２は赤外以外の他のピーク波長を有する光を出射してもよい。この場合において、光源２３２により出射される光のピーク波長は、光源２３１により出射される光のピーク波長よりも長いことが好ましい。
【符号の説明】
【００６２】
１…試料，２…サンプルプレート，１０…分析制御装置，１１…ステージ制御部，１２…投光制御部，１３…光音響取得部，１４…検出信号取得部，１５…判定部，１６…積算部，１７…生成部，１８…条件変更部，１００…処理装置，１０１…バス，１１０…ＣＰＵ，１２０…ＲＡＭ，１３０…ＲＯＭ，１４０…記憶部，１５０…操作部，１６０…表示部，１７０…入出力Ｉ／Ｆ，２００…質量分析装置，２０１…ミラー，２１０…真空チャンバ，２１１…窓部，２２０…照射位置変更部，２２１…ステージ，２２２…駆動部，２３０…投光部，２３１，２３２…光源，２３３…ハーフミラー，２４０…光音響検出部，２５０…引出電極，２６０…質量分析部，３００…質量分析システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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