(57)【要約】      （修正有）【課題】ノイズ信号の検出感度を向上させることができる放射線検出器を提供する。【解決手段】放射線検出器１は、基板と、前記基板の一方の面に設けられ、第１の方向に延びる複数の制御ラインと、前記基板の一方の面に設けられ、前記第１の方向に交差する第２の方向に延びる複数のデータラインと、対応する前記制御ラインと、対応する前記データラインと、に電気的に接続され、放射線を直接的またはシンチレータ５と協働して検出する複数の検出部と、前記複数の検出部から画像データ信号を読み出す信号検出回路と、読み出された前記画像データ信号の値に基づいて前記放射線の入射開始時を判定する入射放射線検出回路と、ノイズの発生を検出するノイズ検出回路と、一方の端部が前記ノイズ検出回路と電気的に接続され、他方の端部が放射線検出器に設けられた部材に機械的に接続された少なくとも１つの配線と、前記配線に設けられた錘８と、を備えている。【選択図】図１
2020197441.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の一方の面に設けられ、第１の方向に延びる複数の制御ラインと、
前記基板の一方の面に設けられ、前記第１の方向に交差する第２の方向に延びる複数のデータラインと、
それぞれが、対応する前記制御ラインと、対応する前記データラインと、に電気的に接続され、放射線を直接的またはシンチレータと協働して検出する複数の検出部と、
前記複数の検出部から画像データ信号を読み出す信号検出回路と、
読み出された前記画像データ信号の値に基づいて前記放射線の入射開始時を判定する入射放射線検出回路と、
ノイズの発生を検出するノイズ検出回路と、
一方の端部が前記ノイズ検出回路と電気的に接続され、他方の端部が放射線検出器に設けられた部材に機械的に接続された少なくとも１つの配線と、
前記配線に設けられた錘と、
を備えた放射線検出器。
【請求項２】
前記配線の前記他方の端部は、前記基板に機械的に接続されている請求項１記載の放射線検出器。
【請求項３】
前記複数のデータラインと、前記信号検出回路と、を電気的に接続するフレキシブルプリント基板をさらに備え、
前記配線は、前記フレキシブルプリント基板に設けられている請求項１または２に記載の放射線検出器。
【請求項４】
前記配線は複数設けられ、
前記ノイズ検出回路は、前記複数の配線のそれぞれに流れるノイズ信号の値を加算または平均する請求項１〜３のいずれか１つに記載の放射線検出器。
【請求項５】
前記入射放射線検出回路は、前記読み出された画像データ信号の値が所定の閾値以上の場合には前記放射線が入射したと判定し、
前記ノイズ検出回路は、前記ノイズ信号の値が所定の閾値以下の場合には前記ノイズが発生していないと判定し、
前記放射線が入射したと判定され、且つ、前記ノイズが発生していないと判定された場合には、前記信号検出回路は、前記画像データ信号の読み出しを開始する請求項１〜４のいずれか１つに記載の放射線検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、放射線検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
放射線検出器の一例にＸ線検出器がある。Ｘ線検出器には、例えば、Ｘ線を蛍光に変換するシンチレータ、蛍光を電荷に変換するアレイ基板、電荷を画像データ信号として読み出す回路基板などが設けられている。一般的には、回路基板は、フレキシブルプリント基板を介してアレイ基板と電気的に接続されている。
【０００３】
ここで、画像データ信号を読み出す際にＸ線検出器に振動が加わると、フレキシブルプリント基板が振動によって揺れ、誘導ノイズが発生する場合がある。誘導ノイズが発生すると、読み出された画像データ信号に誘導ノイズが重なり、Ｘ線画像の品質が悪くなるおそれがある。この場合、Ｘ線検出器に加速度計を設け、Ｘ線検出器に振動が加わったことを加速度計により検出することができる。しかしながら、この様にすると、Ｘ線検出器の構成が複雑になる。また、誘導ノイズの発生を直接検出することができない。
【０００４】
そのため、フレキシブルプリント基板に設けられた配線が振動することで発生したノイズを検出する技術が提案されている。ところが、フレキシブルプリント基板は、剛性の割には質量が小さいので振動し難いという問題がある。そのため、この様な技術には、ノイズ信号の検出感度を向上させることに関して改善の余地がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１８−５９７２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、ノイズ信号の検出感度を向上させることができる放射線検出器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態に係る放射線検出器は、基板と、前記基板の一方の面に設けられ、第１の方向に延びる複数の制御ラインと、前記基板の一方の面に設けられ、前記第１の方向に交差する第２の方向に延びる複数のデータラインと、それぞれが、対応する前記制御ラインと、対応する前記データラインと、に電気的に接続され、放射線を直接的またはシンチレータと協働して検出する複数の検出部と、前記複数の検出部から画像データ信号を読み出す信号検出回路と、読み出された前記画像データ信号の値に基づいて前記放射線の入射開始時を判定する入射放射線検出回路と、ノイズの発生を検出するノイズ検出回路と、一方の端部が前記ノイズ検出回路と電気的に接続され、他方の端部が放射線検出器に設けられた部材に機械的に接続された少なくとも１つの配線と、前記配線に設けられた錘と、を備えている。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】Ｘ線検出器を例示するための模式斜視図である。
【図２】Ｘ線検出器の模式分解図である。
【図３】Ｘ線検出器のブロック図である。
【図４】アレイ基板の回路図である。
【図５】フレキシブルプリント基板、回路基板、および画像処理部の接続関係を例示するためのブロック図である。
【図６】ノイズ信号を例示するためのグラフ図である。
【図７】Ｘ線画像の撮影手順の一例を例示するためのフローチャートである。
【図８】他の実施形態に係る配線および錘を例示するための模式斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。  
本実施の形態に係る放射線検出器は、Ｘ線のほかにもγ線などの各種放射線に適用させることができる。ここでは、一例として、放射線の中の代表的なものとしてＸ線に係る場合を例にとり説明をする。したがって、以下の実施形態の「Ｘ線」を「他の放射線」に置き換えることにより、他の放射線にも適用させることができる。
【００１０】
また、以下に例示をするＸ線検出器１は、放射線画像であるＸ線画像を検出するＸ線平面センサである。Ｘ線平面センサには、大きく分けて直接変換方式と間接変換方式がある。
直接変換方式は、入射Ｘ線により光導電膜内部に発生した光導電電荷（電荷）を高電界により電荷蓄積用の蓄積キャパシタに直接導く方式である。  
間接変換方式は、Ｘ線をシンチレータにより蛍光（可視光）に変換し、蛍光をフォトダイオードなどの光電変換素子により電荷に変換し、電荷を蓄積キャパシタに導く方式である。
【００１１】
以下においては、一例として、間接変換方式のＸ線検出器１を例示するが、本発明は直接変換方式のＸ線検出器にも適用することができる。  
すなわち、Ｘ線検出器は、Ｘ線を電気的な情報に変換する検出部を有するものであれば良い。検出部は、例えば、Ｘ線を直接的またはシンチレータと協働して検出するものとすることができる。  
なお、直接変換方式のＸ線検出器の基本的な構成には既知の技術を適用することができるので、詳細な説明は省略する。  
また、Ｘ線検出器１は、例えば、一般医療などに用いることができる。ただし、Ｘ線検出器１の用途は一般医療などに限定されるわけではない。
【００１２】
図１は、Ｘ線検出器１を例示するための模式斜視図である。  
図２は、Ｘ線検出器１の模式分解図である。  
なお、図２においては、バイアスライン２ｃ３、画像処理部４、フレキシブルプリント基板７ａ、７ｂ、および錘８などを省いて描いている。  
図３は、Ｘ線検出器１のブロック図である。  
図４は、アレイ基板２の回路図である。  
図５は、フレキシブルプリント基板７ｂ、回路基板３、および画像処理部４の接続関係を例示するためのブロック図である。  
図１〜図５に示すように、Ｘ線検出器１には、アレイ基板２、回路基板３、画像処理部４、シンチレータ５、支持板６、フレキシブルプリント基板７ａ、７ｂ、および錘８を設けることができる。
【００１３】
アレイ基板２は、シンチレータ５によりＸ線から変換された蛍光を電荷に変換することができる。  
図２および図４に示すように、アレイ基板２は、基板２ａ、光電変換部２ｂ、制御ライン（又はゲートライン）２ｃ１、データライン（又はシグナルライン）２ｃ２、バイアスライン２ｃ３、配線パッド２ｄ１、配線パッド２ｄ２、および保護層２ｆなどを有することができる。  
本実施の形態においては、光電変換部２ｂが、Ｘ線をシンチレータ５と協働して検出する検出部となる。  
なお、光電変換部２ｂ、制御ライン２ｃ１、データライン２ｃ２、およびバイアスライン２ｃ３などの数は例示をしたものに限定されるわけではない。
【００１４】
基板２ａは、板状を呈し、無アルカリガラスなどの透光性材料から形成することができる。  
光電変換部２ｂは、基板２ａの一方の面に複数設けることができる。光電変換部２ｂは、制御ライン２ｃ１とデータライン２ｃ２とにより画された領域に設けることができる。複数の光電変換部２ｂは、マトリクス状に並べることができる。なお、１つの光電変換部２ｂは、例えば、Ｘ線画像における１つの画素（pixel）に対応する。
【００１５】
複数の光電変換部２ｂのそれぞれには、光電変換素子２ｂ１と、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ；Thin Film Transistor）２ｂ２を設けることができる。また、図４に示すように、光電変換素子２ｂ１において変換した電荷が供給される蓄積キャパシタ２ｂ３を設けることができる。蓄積キャパシタ２ｂ３は、例えば、板状を呈し、薄膜トランジスタ２ｂ２の下に設けることができる。ただし、光電変換素子２ｂ１の容量によっては、光電変換素子２ｂ１が蓄積キャパシタ２ｂ３を兼ねることができる。
【００１６】
光電変換素子２ｂ１が蓄積キャパシタ２ｂ３を兼ねる場合（蓄積キャパシタ２ｂ３が省略される場合）には、電荷の蓄積および放出が行われるのは光電変換素子２ｂ１となる。この場合、薄膜トランジスタ２ｂ２をオン状態とすることで光電変換部２ｂから電荷が放出され、薄膜トランジスタ２ｂ２をオフ状態とすることで光電変換部２ｂに電荷が蓄積される。
【００１７】
蓄積キャパシタ２ｂ３が設けられる場合には、薄膜トランジスタ２ｂ２をオン状態とすることで蓄積キャパシタ２ｂ３から電荷が放出され、薄膜トランジスタ２ｂ２をオフ状態とすることで蓄積キャパシタ２ｂ３に電荷が蓄積される。  
なお、以下においては、一例として、蓄積キャパシタ２ｂ３が設けられる場合を例示する。
【００１８】
光電変換素子２ｂ１は、例えば、フォトダイオードなどとすることができる。  
薄膜トランジスタ２ｂ２は、蓄積キャパシタ２ｂ３への電荷の蓄積および放出のスイッチングを行うことができる。薄膜トランジスタ２ｂ２は、ゲート電極２ｂ２ａ、ドレイン電極２ｂ２ｂ及びソース電極２ｂ２ｃを有するものとすることができる。
【００１９】
薄膜トランジスタ２ｂ２のゲート電極２ｂ２ａは、対応する制御ライン２ｃ１と電気的に接続することができる。薄膜トランジスタ２ｂ２のドレイン電極２ｂ２ｂは、対応するデータライン２ｃ２と電気的に接続することができる。薄膜トランジスタ２ｂ２のソース電極２ｂ２ｃは、対応する光電変換素子２ｂ１と蓄積キャパシタ２ｂ３とに電気的に接続することができる。また、光電変換素子２ｂ１のアノード側と蓄積キャパシタ２ｂ３は、対応するバイアスライン２ｃ３と電気的に接続することができる（図４を参照）。
【００２０】
制御ライン２ｃ１は、所定の間隔をあけて互いに平行に複数設けることができる。制御ライン２ｃ１は、例えば、行方向（第１の方向の一例に相当する）に延びている。１つの制御ライン２ｃ１は、基板２ａの周縁近傍に設けられた複数の配線パッド２ｄ１のうちの１つと電気的に接続することができる。１つの配線パッド２ｄ１には、フレキシブルプリント基板７ａに設けられた複数の配線７ａ１のうちの１つを電気的に接続することができる。
【００２１】
データライン２ｃ２は、所定の間隔をあけて互いに平行に複数設けることができる。データライン２ｃ２は、例えば、行方向に直交する列方向（第２の方向の一例に相当する）に延びている。１つのデータライン２ｃ２は、基板２ａの周縁近傍に設けられた複数の配線パッド２ｄ２のうちの１つと電気的に接続することができる。１つの配線パッド２ｄ２には、フレキシブルプリント基板７ｂに設けられた複数の配線７ｂ１のうちの１つを電気的に接続することができる。
【００２２】
図４に示すように、バイアスライン２ｃ３は、データライン２ｃ２とデータライン２ｃ２との間に、データライン２ｃ２と平行に設けることができる。バイアスライン２ｃ３には、図示しないバイアス電源を電気的に接続することができる。図示しないバイアス電源は、例えば、回路基板３などに設けることができる。なお、バイアスライン２ｃ３は、必ずしも必要ではなく、必要に応じて設けるようにすればよい。バイアスライン２ｃ３が設けられない場合には、光電変換素子２ｂ１のアノード側と蓄積キャパシタ２ｂ３は、バイアスライン２ｃ３に代えてグランドに電気的に接続することができる。  
制御ライン２ｃ１、データライン２ｃ２、およびバイアスライン２ｃ３は、例えば、アルミニウムやクロムなどの低抵抗金属を用いて形成することができる。
【００２３】
保護層２ｆは、光電変換部２ｂ、制御ライン２ｃ１、データライン２ｃ２、およびバイアスライン２ｃ３を覆うものとすることができる。保護層２ｆは、例えば、酸化物絶縁材料、窒化物絶縁材料、酸窒化物絶縁材料、および樹脂材料の少なくとも１種を含む。
【００２４】
回路基板３は、アレイ基板２の、シンチレータ５側とは反対側に設けることができる。  図３および図５に示すように、回路基板３には、制御回路３１、信号検出回路３２、ノイズ検出回路３３、演算回路３４、メモリ３５、メモリ３６、通信回路３７、および入射Ｘ線検出回路３８を設けることができる。
【００２５】
制御回路３１は、薄膜トランジスタ２ｂ２のオン状態とオフ状態を切り替えることができる。
図３に示すように、制御回路３１は、複数のゲートドライバ３１ａと行選択回路３１ｂとを有することができる。  
行選択回路３１ｂには、画像処理部４などから制御信号Ｓ１を入力することができる。行選択回路３１ｂは、Ｘ線画像のスキャン方向に従って、対応するゲートドライバ３１ａに制御信号Ｓ１を入力することができる。
【００２６】
ゲートドライバ３１ａは、対応する制御ライン２ｃ１に制御信号Ｓ１を入力することができる。例えば、制御回路３１は、フレキシブルプリント基板７ａを介して、制御信号Ｓ１を各制御ライン２ｃ１毎に順次入力することができる。制御ライン２ｃ１に入力された制御信号Ｓ１により薄膜トランジスタ２ｂ２がオン状態となり、光電変換部２ｂ（蓄積キャパシタ２ｂ３）から電荷（画像データ信号Ｓ２）を読み出すことができるようになる。
【００２７】
信号検出回路３２は、薄膜トランジスタ２ｂ２がオン状態の時に、画像処理部４からのサンプリング信号に従って、複数の光電変換部２ｂ（蓄積キャパシタ２ｂ３）から電荷（画像データ信号Ｓ２）を順次読み出すことができる。画像データ信号Ｓ２は、フレキシブルプリント基板７ｂの配線７ｂ１を介して読み出すことができる。また、信号検出回路３２は、読み出された画像データ信号Ｓ２（アナログ信号）を順次デジタル信号に変換することができる。
【００２８】
ノイズ検出回路３３は、ノイズの発生を検出する。ノイズ検出回路３３は、フレキシブルプリント基板７ｂの配線７ｂ２において発生した誘電ノイズを検出することができる。すなわち、ノイズ検出回路３３は、配線７ｂ２に流れるノイズ信号を検出し、検出されたノイズ信号に基づいてノイズの発生を判定することができる。  
なお、ノイズ検出回路３３の作用に関する詳細は後述する。
【００２９】
また、信号検出回路３２とノイズ検出回路３３は、ともに信号を検出する回路である。そのため、ノイズ検出回路３３の構成は、信号検出回路３２の構成と同様とすることができる。例えば、図３に示すように、信号検出回路３２に設けられた複数のチャンネルの一部をノイズ検出回路３３とすることができる。この様にすれば、省スペース化や、製造コストの低減を図ることができる。
【００３０】
演算回路３４は、メモリ３５に格納されている制御プログラムに基づいて、制御回路３１、信号検出回路３２、ノイズ検出回路３３、および通信回路３７などの動作を制御することができる。例えば、演算回路３４は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などとすることができる。
【００３１】
メモリ３５は、制御回路３１、信号検出回路３２、ノイズ検出回路３３、および通信回路３７などの動作を制御する制御プログラムを格納することができる。  
メモリ３６は、信号検出回路３２により読み出された画像データ信号Ｓ２、ノイズ検出回路３３により検出されたノイズ信号を一時的に格納することができる。また、メモリ３６は、ノイズ信号の判定に用いる閾値、Ｘ線の入射時の判定に用いる閾値などのデータを格納することができる。  
メモリ３５およびメモリ３６は、例えば、半導体メモリやハードディスクドライブなどとすることができる。
【００３２】
通信回路３７は、読み出された画像データ信号Ｓ２が乗った電波を送信することができる。また、通信回路３７は、制御信号Ｓ１などの制御情報が乗った電波を受信することができる。通信回路３７は、送信回路、受信回路、およびアンテナを有することができる。送信回路は、高周波信号を発生させる回路、高周波信号を所定の電力まで増大させる増幅回路、画像データ信号Ｓ２を高周波信号に乗せる変調回路などを有することができる。画像データ信号Ｓ２が乗った電波は、アンテナを介して、外部に送信することができる。受信回路は、アンテナを介して受信した制御情報が乗った電波を復調して制御情報を復元することができる。復元された制御情報は、演算回路３４および制御回路３１などに入力することができる。
【００３３】
入射Ｘ線検出回路３８は、薄膜トランジスタ２ｂ２がオン状態の時に、当該薄膜トランジスタ２ｂ２が電気的に接続されたデータライン２ｃ２に流れる電流の値に基づいてＸ線の入射開始時を判定することができる。すなわち、入射Ｘ線検出部６は、薄膜トランジスタ２ｂ２がオン状態の時に読み出された画像データ信号Ｓ２の値に基づいてＸ線の入射開始時を判定することができる。例えば、入射Ｘ線検出部６は、オン状態となっている薄膜トランジスタ２ｂ２が接続されたデータライン２ｃ２に流れる電流を検出し、検出された電流の値が所定の閾値以上の場合には、Ｘ線が入射したと判定することができる。所定の閾値は、薄膜トランジスタ２ｂ２がオン状態であり且つＸ線が入射した時にデータライン２ｃ２に流れた電流の値と、薄膜トランジスタ２ｂ２がオン状態であり且つＸ線が入射していない時にデータライン２ｃ２に流れた電流の値との差に基づいて予め設定することができる。
【００３４】
画像処理部４は、回路基板３と電気的に接続することができる。この場合、図１および図５に示すように、画像処理部４と回路基板３との間のデータ通信を無線により行うことができる。なお、画像処理部４と回路基板３との間のデータ通信は、有線により行うようにしてもよい。ただし、データ通信が無線により行われるようにすれば、Ｘ線検出器１の検出部分（アレイ基板２、回路基板３およびシンチレータ５が収納された筐体）の携帯性を向上させることができる。また、画像処理部４は、回路基板３と一体化することもできる。
【００３５】
画像処理部４は、例えば、デジタル信号に変換された画像データ信号Ｓ２を受信し、受信した画像データ信号Ｓ２に基づいてＸ線画像を構成することができる。構成されたＸ線画像のデータは、画像処理部４から外部の機器に向けて出力することができる。なお、Ｘ線画像の構成には既知の技術を適用することができるので詳細な説明は省略する。
【００３６】
シンチレータ５は、複数の光電変換部２ｂの上に設けられ、入射するＸ線を可視光すなわち蛍光に変換することができる。シンチレータ５は、基板２ａ上の複数の光電変換部２ｂが設けられた領域（有効画素領域）を覆うように設けることができる。  
シンチレータ５は、例えば、ヨウ化セシウム（ＣｓＩ）：タリウム（Ｔｌ）、ヨウ化ナトリウム（ＮａＩ）：タリウム（Ｔｌ）、あるいは臭化セシウム（ＣｓＢｒ）：ユーロピウム（Ｅｕ）などを含むものとすることができる。シンチレータ５は、真空蒸着法を用いて形成することができる。真空蒸着法を用いてシンチレータ５を形成すれば、複数の柱状結晶の集合体からなるシンチレータ５を形成することができる。
【００３７】
また、シンチレータ５は、例えば、テルビウム賦活硫酸化ガドリニウム（Ｇｄ２Ｏ２Ｓ／Ｔｂ、又はＧＯＳ）などを用いて形成することもできる。この場合、複数の光電変換部２ｂごとに四角柱状のシンチレータ５が設けられるように、マトリクス状の溝部を設けることができる。
【００３８】
その他、蛍光の利用効率を高めて感度特性を改善するために、シンチレータ５の表面側（Ｘ線の入射面側）を覆うように図示しない反射層を設けることができる。  
また、空気中に含まれる水蒸気により、シンチレータ５の特性と図示しない反射層の特性が劣化するのを抑制するために、シンチレータ５と図示しない反射層を覆う図示しない防湿体を設けることができる。
【００３９】
図１に示すように、支持板６は、板状を呈するものとすることができる。支持板６は、図示しない筐体の内部に固定することができる。支持板６のＸ線の入射側の面には、アレイ基板２とシンチレータ５を設けることができる。支持板６のＸ線の入射側とは反対側の面には、回路基板３を設けることができる。支持板６の材料は、例えば、アルミニウム合金などの軽金属、炭素繊維強化プラスチックなどの樹脂などとすることができる。
【００４０】
フレキシブルプリント基板７ａは、複数の制御ライン２ｃ１と制御回路３１とを電気的に接続することができる。フレキシブルプリント基板７ａに設けられた複数の配線７ａ１のうちの１つは、複数の配線パッド２ｄ１のうちの１つと電気的に接続することができる。フレキシブルプリント基板７ａに設けられた複数の配線７ａ１の他端は、ゲートドライバ３１ａと電気的に接続することができる。
【００４１】
フレキシブルプリント基板７ｂは、複数のデータライン２ｃ２と信号検出回路３２とを電気的に接続することができる。フレキシブルプリント基板７ｂに設けられた複数の配線７ｂ１のうちの１つは、複数の配線パッド２ｄ２のうちの１つと電気的に接続することができる。すなわち、複数の配線７ｂ１のそれぞれの一方の端部は、データライン２ｃ２と電気的に接続することができる。複数の配線７ｂ１のそれぞれの他方の端部は、信号検出回路３２と電気的に接続することができる。
【００４２】
また、フレキシブルプリント基板７ｂには配線７ｂ２を設けることができる。配線７ｂ２は、少なくとも１つ設けることができる。配線７ｂ２の一方の端部は、ノイズ検出回路３３と電気的に接続することができる。配線７ｂ２の他方の端部は、Ｘ線検出器１に設けられた部材に機械的に接続することができる。例えば、配線７ｂ２の他方の端部は、基板２ａに機械的に接続することができる。この場合、配線７ｂ２の他方の端部は、複数の光電変換部２ｂが電気的に接続されたデータライン２ｃ２と電気的に接続しないようにすることができる。
【００４３】
次に、ノイズ検出回路３３の作用についてさらに説明する。  
一般的なＸ線検出器は、以下の様にして画像データ信号Ｓ２を読み出している。
まず、Ｘ線の入射が認識された場合には、制御回路３１が、薄膜トランジスタ２ｂ２を順次オン状態にする。信号検出回路３２は、サンプリング信号に従って各蓄積キャパシタ２ｂ３に蓄積されている電荷（画像データ信号Ｓ２）をデータライン２ｃ２を介して順次読み出す。
【００４４】
ここで、前述したように、複数のデータライン２ｃ２と信号検出回路３２とは、フレキシブルプリント基板７ｂを介して電気的に接続されている。この場合、Ｘ線検出器１に振動が加わると、フレキシブルプリント基板７ｂが振動して、配線７ｂ１と他の部材（例えば、基板２ａ）との位置関係が変化する場合がある。配線７ｂ１と他の部材との位置関係が変化すると、配線７ｂ１とグランド間の結合容量が変化して誘導ノイズが発生する場合がある。
【００４５】
入射Ｘ線検出回路３８が設けられている場合には、発生した誘導ノイズが入射Ｘ線検出回路３８に入力されるおそれがある。そのため、入射Ｘ線検出回路３８が、画像データ信号Ｓ２を読み出す際に誘導ノイズが発生すると、誘導ノイズが画像データ信号Ｓ２と重なり、Ｘ線の入射時を誤検出するおそれがある。例えば、人や動物などの被検体がＸ線検出器１に接触した場合、Ｘ線の入射が無いにもかかわらずＸ線が入射したと誤検出し、意図しないタイミングで撮影動作が開始されるおそれがある。撮影動作が開始すると撮影動作が終了するまでは次の撮影動作が開始できないため、このようなＸ線入射の誤検出が頻発すると、正常な撮影動作が阻害され、撮影業務に大きな支障が生じるおそれがある。  
また、信号検出回路３２が、画像データ信号Ｓ２を読み出す際に誘導ノイズが発生すると、誘導ノイズが画像データ信号Ｓ２と重なり、Ｘ線画像の品質が悪くなるおそれがある。
【００４６】
これらの場合には、誘導ノイズが重なった画像データ信号Ｓ２であるか否かを判断することは極めて難しい。また、誘導ノイズが重なった画像データ信号Ｓ２から、画像データ信号Ｓ２のみを分離することは困難である。
【００４７】
この場合、誘導ノイズの発生を検出することができれば、誘導ノイズが重なった画像データ信号Ｓ２であるか否かを判断することが可能となる。例えば、Ｘ線検出器１に加速度計を設け、Ｘ線検出器１に振動が加わったことを加速度計により検出すれば、誘導ノイズの発生を間接的に検出することができる。しかしながら、この様にすると、Ｘ線検出器１の構成が複雑になる。また、加速度計では、誘導ノイズの発生を直接検出することができない。
【００４８】
そこで、本実施の形態に係るＸ線検出器１においては、Ｘ線検出器１に振動が加わった際に振動する配線７ｂ２を設けている。  
ここで、配線７ｂ２と他の部材との間で発生する誘導電荷をＱｓ、寄生容量をＣｓ、電位差をＶｓとすれば、Ｑｓ＝Ｃｓ・Ｖｓの関係がある。さらに、配線７ｂ２と他の部材との間の誘電率をε、配線７ｂ２の金属部分の有効面積をＳ、配線７ｂ２と他の部材との間の距離をｄとすれば、Ｃｓは、Ｃｓ=ε・Ｓ／ｄとあらわすことができる。そのため、配線７ｂ２が振動すると、配線７ｂ２と他の部材との位置関係が変化（±Δｄ）して誘導電荷による誘導ノイズΔＱｓ＝ε・Ｓ・Ｖｓ/（ｄ±Δｄ）が発生する。
【００４９】
配線７ｂ１とは異なり、配線７ｂ２のアレイ基板２側の端部は、複数の光電変換部２ｂが電気的に接続されたデータライン２ｃ２と電気的に接続されていない。そのため、配線７ｂ２には誘導ノイズによるノイズ信号のみが流れることになる。
【００５０】
図６は、ノイズ信号を例示するためのグラフ図である。  
図６に示すように、配線７ｂ２に流れるノイズ信号の値が所定の閾値以上となった場合には、ノイズ検出回路３３は、ノイズが発生したと判定することができる。すなわち、ノイズ検出回路３３は、薄膜トランジスタ２ｂ２がオン状態の時に、配線７ｂ２に流れるノイズ信号を検出し、ノイズの発生を判定することができる。
【００５１】
ノイズが発生したと判定された場合には、例えば、演算回路３４は、入射Ｘ線検出回路３８による判定結果を廃棄することができる。ノイズが発生したと判定された場合には、例えば、ノイズ検出回路３３は、ノイズ信号に関する情報を画像処理部４に送信することができる。例えば、画像処理部４は、ノイズ信号に関する情報に基づいて、画像データ信号Ｓ２の読み出しの中止、ノイズ信号が含まれる一画面分の画像データ信号Ｓ２の廃棄、ノイズ信号が含まれる画像データ信号Ｓ２の補正、および、警報の出力の少なくともいずれかを行うことができる。
【００５２】
画像データ信号Ｓ２の補正においては、例えば、ノイズ信号が検出された時刻の画像データ信号Ｓ２を廃棄するとともに、当該時刻の前後に読み出された画像データ信号Ｓ２を用いて廃棄された画像データ信号Ｓ２に対応するデータを作成することができる。  
警報は、例えば、ノイズ信号が所定の値以下となるまで出力することができる。この様にすれば、ノイズ信号の発生を容易に認識することができる。
【００５３】
以上においては、振動による誘導ノイズが配線７ｂ２に発生する場合を例示した。しかしながら、配線７ｂ２はアンテナとしても機能するので、外部からの電磁誘導ノイズがＸ線検出器１に印加された場合にも、誘導ノイズが配線７ｂ２に発生する。そのため、配線７ｂ２を設ける様にすれば、電磁誘導ノイズをも検出することができる。
【００５４】
また、Ｘ線が入射した際に発生する残像を除去するために、Ｘ線が入射していないときに画像データ信号Ｓ２を読み出す場合がある。この様な場合にノイズ信号が発生すると、残像の除去が困難となるおそれがある。本実施の形態に係るＸ線検出器１とすれば、残像の除去を適切に行うことが可能となる。
【００５５】
ここで、フレキシブルプリント基板７ｂは、剛性の割には質量が小さいので振動し難いという問題がある。そのため、配線７ｂ２がフレキシブルプリント基板７ｂに設けられていると振動により発生するノイズ信号が小さくなるので、ノイズ信号の検出が困難となるおそれがある。すなわちノイズ信号の検出感度を向上させることに関して改善の余地がある。
【００５６】
そこで、図１および図５に示すように、配線７ｂ２には錘８を設けることができる。図１および図５に示すように、配線７ｂ２がフレキシブルプリント基板７ｂに設けられた配線の場合には、錘８は、フレキシブルプリント基板７ｂに設けることができる。錘８が設けられていれば、振動が加えられた際に、配線７ｂ２の振幅を大きくすることができる。そのため、ノイズ信号の検出感度を向上させることことができる。配線７ｂ２の振幅は、錘８の重さ、および、錘８とアレイ基板２の周縁との間の距離により調整することができる。この場合、錘８の重さが重くなるほど、錘８とアレイ基板２の周縁との間の距離が長くなるほど配線７ｂ２の振幅を大きくすることができ、ひいては、発生するノイズ信号を大きくすることができる。錘８の重さ、および、錘８とアレイ基板２の周縁との間の距離は、実験やシミュレーションを行うことで適宜決定することができる。
【００５７】
錘８の材料は、ある程度の比重を有するものであれば特に限定はない。錘８の材料は、例えば、金属、樹脂、セラミックスなどとすることができる。この場合、錘８が絶縁材料から形成されていれば、短絡などが生じるのを抑制することができる。
【００５８】
図７は、Ｘ線画像の撮影手順の一例を例示するためのフローチャートである。  
例えば、図７に示すように、配線２ｂ１を介して読み出された画像データ信号Ｓ２が所定の閾値以上の場合には、入射Ｘ線検出回路３８はＸ線が入射したと判定することができる。  
配線２ｂ２を流れるノイズ信号の値が所定の閾値以下の場合には、ノイズ検出回路３３は、ノイズが発生していないと判定することができる。  
Ｘ線が入射したと判定され、且つ、ノイズが発生していないと判定された場合には、信号検出回路３２は、画像データ信号Ｓ２の読み出しを開始することができる。
【００５９】
以上においては、配線７ｂ２がフレキシブルプリント基板７ｂに設けられる場合を例示したが、フレキシブルプリント基板７ｂと、ノイズの発生を検出するための配線７ｂ３とが離れていていてもよい。  
図８は、他の実施形態に係る配線７ｂ３および錘８ａを例示するための模式斜視図である。  
図８に示すように、配線７ｂ３は、フレキシブルプリント基板７ｂと離れた位置に設けることができる。配線７ｂ３のアレイ基板２側の端部は、例えば、アレイ基板２に機械的に接続することができる。配線７ｂ３の回路基板３側の端部は、回路基板３に機械的に接続することができる。この場合、配線７ｂ３の回路基板３側の端部は、ノイズ検出回路３３と電気的に接続することができる。
【００６０】
錘８ａは、配線７ｂ３に設けることができる。錘８ａの重さや配置は、配線７ｂ３の剛性などに応じて適宜設定することができる。錘８ａの重さや配置は、実験やシミュレーションにより適宜決定することができる。錘８ａの材料は、錘８の材料と同様とすることができる。
【００６１】
本実施の形態によれば、フレキシブルプリント基板７ｂには錘８ａが設けられていない。そのため、Ｘ線検出器１に振動が加えられた際に、フレキシブルプリント基板７ｂの振幅を小さくすることができる。そのため、フレキシブルプリント基板７ｂの配線２ｂ１において発生するノイズ信号を小さくすることができ、ひいてはＸ線画像の品質を向上させることができる。
【００６２】
一方、錘８ａが設けられた配線７ｂ３の振幅は大きくすることができる。そのため、配線７ｂ３において発生するノイズ信号を大きくすることができ、ひいてはノイズ信号の検出感度を向上させることができる。
【００６３】
なお、以上においては、ノイズ信号を検出するための配線７ｂ２（７ｂ３）が、１つ設けられる場合を例示したが、配線７ｂ２（７ｂ３）は、少なくとも１つ設けることができる。複数の配線７ｂ２（７ｂ３）が設けられる場合には、複数の配線７ｂ２（７ｂ３）のそれぞれに流れるノイズ信号の値を加算して値を大きくしたり、ノイズ信号を平均したりすることができる。また、複数の配線７ｂ２（７ｂ３）を密集させて設けることもできるし、配線７ｂ２（７ｂ３）と配線７ｂ２（７ｂ３）との間の距離を大きくすることもできる。複数の配線７ｂ２（７ｂ３）が設けられていれば、ノイズ信号の検出感度をさらに向上させることができる。
【００６４】
また、配線７ｂ２（７ｂ３）が、フレキシブルプリント基板７ｂが設けられる側に設けられる場合を例示したが、配線７ｂ２（７ｂ３）はフレキシブルプリント基板７ａが設けられる側に設けることもできるし、フレキシブルプリント基板７ｂに対峙する側に設けることもできるし、フレキシブルプリント基板７ａに対峙する側に設けることもできる。この場合、複数の配線７ｂ２（７ｂ３）が分散して設けられていれば、ノイズ信号の検出感度をさらに向上させることができる。  
また、配線７ｂ２または配線７ｂ３が設けられる場合を例示したが、配線７ｂ２および配線７ｂ３が設けられるようにしてもよい。また、配線７ｂ２（７ｂ３）の端部が基板２ａに機械的に接続される場合を例示したが、配線７ｂ２（７ｂ３）の端部が、Ｘ線検出器１に設けられた部材に機械的に接続されていてもよい。例えば、配線７ｂ２（７ｂ３）の端部が支持板６などに機械的に接続されていてもよい。
【００６５】
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００６６】
１  Ｘ線検出器、２  アレイ基板、２ａ  基板、２ｂ  光電変換部、２ｂ１  光電変換素子、２ｂ２  薄膜トランジスタ、２ｂ３  蓄積キャパシタ、２ｃ１  制御ライン、２ｃ２  データライン、３  回路基板、４  画像処理部、５  シンチレータ、７ａ  フレキシブルプリント基板、７ｂ  フレキシブルプリント基板、７ｂ１  配線、７ｂ２  配線、７ｂ３  配線、８  錘、８ａ  錘、３１  制御回路、３２  信号検出回路、３３  ノイズ検出回路、３８  入射Ｘ線検出回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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