(57)【要約】【課題】半導体装置チャンバ内へのパーティクルの反跳を低減することができる真空ポンプ。【解決手段】ターボ分子ポンプ１は、モータ１０により回転駆動されるシャフト４ｂにポンプロータ４ａが締結された回転体４と、ポンプロータ４ａの吸気口側端面に形成された凹部４３と、凹部４３を覆うカバー部６を有するバランス修正部材６５とを備える。【選択図】図１
2020122487.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータにより回転駆動されるシャフトにターボポンプ段を有するポンプロータが締結された回転体と、
前記ポンプロータの吸気口側端面に形成された凹部と、
後記第２部材に固定されて前記凹部を覆い、後記第２部材に固定されることにより前記回転体に固定された状態で前記回転体のバランスを修正する第１修正部を外面に有する第１部材と、
前記凹部において前記回転体に固定され、前記回転体のバランスを修正する第２修正部を有する第２部材とを備える、真空ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
前記第１部材のロータ軸方向位置は、前記第１部材の外面が前記凹部の内壁の縁と一致する位置から前記第１部材の内面が前記ポンプロータの吸気口側端面と一致する位置までの間に設定されている、真空ポンプ。
【請求項３】
請求項２に記載の真空ポンプにおいて、
前記ポンプロータは、前記凹部の内壁の縁と前記ポンプロータの吸気口側端面とを接続する上り勾配の斜面を有する、真空ポンプ。
【請求項４】
請求項３に記載の真空ポンプにおいて、
前記第１部材は、前記上り勾配の斜面上に配置されたカバー部を有する、真空ポンプ。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記第２部材、前記ポンプロータおよび前記シャフトは、ボルトによる共締めによって互いに締結されている、真空ポンプ。
【請求項６】
請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記シャフトは前記ポンプロータを貫通して前記凹部に突出し、
前記第２部材は前記シャフトの前記凹部に突出した部分に固定されている、真空ポンプ。
【請求項７】
請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記シャフトは前記ポンプロータを貫通して前記凹部に突出し、
前記第１部材は前記シャフトの前記凹部に突出した部分に固定されている、真空ポンプ。
【請求項８】
請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記凹部と前記第１部材の外部空間とを接続する連通路を備える、真空ポンプ。
【請求項９】
モータにより回転駆動されるシャフトにポンプロータが締結された回転体と、
前記ポンプロータの吸気口側端面に形成された凹部と、
前記凹部を覆うカバー部を有するロータバランス修正部材とを備え、
前記カバー部のロータ軸方向位置は、前記カバー部の外面が前記凹部の内壁の縁と一致する位置から前記カバー部の内面が前記ポンプロータの吸気口側端面と一致する位置までの間に設定されており、
前記ロータバランス修正部材は、
前記凹部に配置される第１バランス修正部を備える第１部品と、前記カバー部が形成された第２部品とで構成されており、
前記第１部品は、前記カバー部の外周側に配置されて前記凹部の一部を覆い、カバー機能とバランス修正機能とを兼ねる第３修正部を有する、真空ポンプ。
【請求項１０】
モータにより回転駆動されるシャフトにポンプロータが締結された回転体と、
前記ポンプロータの吸気口側端面に形成された凹部と、
前記凹部を覆うカバー部を有するロータバランス修正部材とを備え、
前記ポンプロータは、前記凹部の内壁の縁と前記ポンプロータの吸気口側端面とを接続する上り勾配の斜面を有し、
前記ロータバランス修正部材は、
前記凹部に配置される第１バランス修正部を備える第１部品と、前記カバー部が形成された第２部品とで構成されており、
前記第１部品は、前記カバー部の外周側に配置されて前記凹部の一部を覆い、カバー機能とバランス修正機能とを兼ねる第３修正部を有する、真空ポンプ。
【請求項１１】
請求項１に記載の真空ポンプのバランス修正方法であって、
前記ポンプロータの凹部に前記第２部材を固定する第１の工程と、
前記第１部材が取り付けられていない状態において、前記回転体のアンバランス量を計測し、前記第２修正部において前記回転体のバランスを修正する第２の工程と、
前記第１部材を前記第２部材に固定し、前記回転体のアンバランス量を計測し、前記第１修正部において前記回転体のバランスを修正する第３の工程と、をこの順に実行する、真空ポンプのバランス修正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ターボ分子ポンプのロータは、一般的に回転軸であるシャフトにボルト等の締結部材を用いて締結されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のターボ分子ポンプでは、ロータの吸気口側端面に凹部が形成され、その凹部底面部分をシャフトにボルト締結している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許３９７４７７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、ターボ分子ポンプ等の真空ポンプを、例えばエッチング装置等の半導体製造装置の排気ポンプとして使用した場合、プロセスガス排出時にプロセスガス中の成分の化学的変化により発生したパーティクルが、吸気口から真空ポンプ内に流入する。上述したように、ロータの吸気口側端面に凹部が形成されている場合、凹部にパーティクルが堆積しやすい。半導体製造装置チャンバへのガス流入を調節してチャンバ内の加減圧を繰り返すと、凹部に堆積したパーティクルがチャンバ側に反跳する。その結果、半導体製造における品質低下を招く。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、モータにより回転駆動されるシャフトにポンプロータが締結された回転体と、前記ポンプロータの吸気口側端面に形成された凹部と、前記凹部を覆うカバー部を有するロータバランス修正部材とを備える。
さらに好ましい実施形態では、前記カバー部のロータ軸方向位置は、前記カバー部の外面が前記凹部の内壁の縁と一致する位置から前記カバー部の内面が前記ポンプロータの吸気口側端面と一致する位置までの間に設定されている。
さらに好ましい実施形態では、前記ポンプロータは、前記凹部の内壁の縁と前記ポンプロータの吸気口側端面とを接続する上り勾配の斜面を有する。
さらに好ましい実施形態では、前記ロータバランス修正部材は、前記凹部に配置される第１バランス修正部を備える第１部品と、前記カバー部が形成された第２部品とで構成されている。
さらに好ましい実施形態では、前記カバー部は第２バランス修正部を有する。
さらに好ましい実施形態では、前記第１部品は、前記カバー部の外周側に配置されて前記凹部の一部を覆い、カバー機能とバランス修正機能とを兼ねる第３修正部を有する。
さらに好ましい実施形態では、前記第１部品、前記ポンプロータおよび前記シャフトは、ボルトによる共締めによって互いに締結され、前記第２部品は、前記第１部品に固定されている。
さらに好ましい実施形態では、前記シャフトは前記ポンプロータを貫通して前記凹部に突出し、前記ロータバランス修正部材は前記シャフトの前記凹部に突出した部分に固定されている。
さらに好ましい実施形態では、前記シャフトは前記ポンプロータを貫通して前記凹部に突出し、前記第２部品は前記シャフトの前記凹部に突出した部分に固定されている。
さらに好ましい実施形態では、前記凹部と前記カバー部の外部空間とを接続する連通路
を備える。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、半導体装置チャンバ内へのパーティクルの反跳を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図１は、本発明に係る真空ポンプの一実施の形態を示す図である。
【図２】図２は、ポンプロータの凹部部分の拡大図である。
【図３】図３は、バランスリングおよびカバー部の組み付け手順とバランス調整方法とを説明する図である。
【図４】図４は、カバー部の軸方向位置を説明する図である。
【図５】図５は、本実施の形態の第１の変形例を示す図である。
【図６】図６は、本実施の形態の第２の変形例を示す図である。
【図７】図７は、本実施の形態の第３の変形例を示す図である。
【図８】図８は、本実施の形態の第４の変形例を示す図である。
【図９】図９は、本実施の形態の第５の変形例を示す図である。
【図１０】図１０は、本実施の形態の第６の変形例を示す図である。
【図１１】図１１は、本実施の形態の第６の変形例の他の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図１は、本発明に係る真空ポンプの一実施の形態を示す図であり、ターボ分子ポンプ１の概略構成を示す断面図である。
【０００９】
図１に示すターボ分子ポンプ１は、回転翼４１と固定翼３１とで構成されるターボポンプ段と、円筒部４２とステータ３２とで構成されるネジ溝ポンプ段とを有している。ネジ溝ポンプ段においては、ステータ３２または円筒部４２にネジ溝が形成されている。回転翼４１および円筒部４２はポンプロータ４ａに形成されている。ポンプロータ４ａはシャフト４ｂにボルト締結されている。ポンプロータ４ａとシャフト４ｂとによって回転体ユニット４が構成される。
【００１０】
軸方向に配置された複数段の回転翼４１に対して、複数段の固定翼３１が交互に配置されている。各固定翼３１は、スペーサリング３３を介してポンプ軸方向に積層されている。シャフト４ｂは、ベース３に設けられたラジアル電磁石３４，３５およびアキシャル電磁石３６によって非接触支持される。シャフト４ｂの目標浮上位置からの変位は、ギャップセンサ３４ａ，３５ａ，３６ａによって検出される。
【００１１】
回転体ユニット４はモータ１０により回転駆動される。磁気軸受が作動していない時には、シャフト４ｂは非常用のメカニカルベアリング３７ａ，３７ｂによって支持される。回転体ユニット４がモータ１０により高速回転されると、ポンプ吸気口３０から流入した気体分子は、ターボポンプ段（回転翼４１、固定翼３１）およびネジ溝ポンプ段（円筒部４２、ステータ３２）により順に排気され、排気ポート３８から排出される。ベース３には、ベース冷却用の冷却水パイプ３９が設けられている。
【００１２】
ポンプロータ４ａのポンプ吸気口側の端面４０２には、凹部４３が形成されている。凹部４３にはバランス修正部材６５が設けられている。バランス修正部材６５は、凹部４３を覆うカバー部６とバランス修正用のバランスリング５とを有している。ボルト７５によりカバー部６をバランスリング５のボス部５０２に固定することにより、それらはバランス修正部材６５として一体化される。バランスリング５は、ボルト７０によってポンプロータ４ａと共にシャフト４ｂに共締めされている。
【００１３】
図２は、ポンプロータ４ａの凹部４３の部分の拡大図である。ポンプロータ４ａの凹部底面に形成された貫通孔４００に、シャフト４ｂの頂部に形成されたボス部４０１と、バランスリング５の裏面側に形成されたボス部５０１とが挿入される。また、バランスリング５のボス部５０２の頂部には凸部５０３が形成され、この凸部５０３がカバー部６の裏面側に形成された凹部６０１に嵌め合うことにより、カバー部６が位置決めされる。カバー部６の外面６０２の高さ（軸方向位置）については後述する。
【００１４】
凹部４３はカバー部６によって覆われているので、ポンプ吸気口３０（図１参照）から流入したパーティクルＰは、ポンプロータ４ａのポンプ吸気口側の端面４０２やカバー部６の外面６０２の上に落下する。ターボ分子ポンプ１の回転体ユニット４は高速回転するので、端面４０２や外面６０２に落下したパーティクルＰは、遠心力によって回転の軸Ｊから遠ざかるように回転翼４１の先端方向に移動する。回転翼４１の部分に移動したパーティクルＰは、回転翼４１および固定翼３１に通過してポンプ下流側へと移動する。よって、ポンプロータ４ａの端面におけるパーティクルＰの堆積を防止でき、半導体装置チャンバ内の圧力を加減圧した際の、パーティクルＰのチャンバ内への反跳を防止することができる。
【００１５】
上述したように回転体ユニット４は高速回転するので、バランス調整が重要となる。図３は、バランスリング５およびカバー部６の組み付け手順とバランス調整方法とを説明する図である。第１の工程では、図３（ａ）に示すように、ポンプロータ４ａとバランスリング５とを、ボルト７０によりシャフト４ｂに共締めする。これにより、ポンプロータ４ａとシャフト４ｂとが一体化されると共に、ポンプロータ４ａの凹部底面にバランスリング５が固定される。
【００１６】
第２の工程では、カバー部６が取り付けられていない状態において、回転試験機により回転体ユニット４のアンバランス量を計測する。計測されたアンバランス量が許容値を越えている場合には、アンバランス量を低減させるためにバランスリング５の修正部５０４の一部をドリル等で削り取る。逆に、修正部５０４に止めネジ等の質量を付加することで、アンバランスを修正しても良い。
【００１７】
第３の工程では、図３（ｂ）のように、カバー部６をバランスリング５に固定し、回転試験機により回転体ユニット４のアンバランス量を計測する。計測されたアンバランス量が許容値を越えている場合には、アンバランス量を低減させるためにカバー部６の外面６０２の一部を削り取る。なお、カバー部６の縁に近い領域を、削り取る部位としての修正部６０３に設定する。カバー部６の質量は回転体ユニット全体の質量に比べてはるかに小さいので、カバー部６を取り付けたことによるバランスの崩れは小さく、許容値を越えた場合の削除量は、第２工程における削除量に比べ非常に小さい。そのため、修正部６０３の厚さは、バランスリング５の修正部５０４の厚さに比べて薄くできる。
【００１８】
一般的に、ポンプロータ４ａはアルミ合金で形成されるが、半導体装置用途のターボ分子ポンプでは耐食処理が施される。例えば、ニッケルメッキ等の耐食処理が施される。その場合、メッキ処理前に上述した第１の工程および第２の工程が行われる。なお、バランスリング５およびカバー部６には、ステンレス材のような耐食性の金属材料が用いられる。第２の工程のバランス修正後に、ポンプロータ４ａのメッキ処理を施す。メッキ処理後、シャフト４ｂにポンプロータ４ａを組み付けてカバー部６をバランスリング５に固定する。その後、上述した第３の工程の場合と同様に回転体ユニット４のバランス修正を行う。
【００１９】
図４は、カバー部６の軸方向位置を説明する図である。図４（ａ）は、カバー部６の軸方向位置の下限を説明する図である。カバー部６の外面６０２の下限位置は、凹部４３の内壁４３１の縁と一致する位置に設定される。ポンプロータ４ａには、凹部４３の内壁４３１の縁（上端）とポンプ吸気口側の端面４０２とを繋ぐ斜面４０３が形成されている。すなわち、凹部４３の縁には面取り加工が施されている。この場合には、内壁４３１の縁は斜面４０３の下端となる。
【００２０】
外面６０２上のパーティクルＰは、破線矢印で示すように斜面４０３を昇って端面４０２へ移動し、その後、回転翼４１の部分まで移動して排気されることになる。そのため、パーティクルＰが斜面４０３を乗り越え易いように、斜面４０３の勾配は小さい方が好ましい。
【００２１】
一方、二点鎖線Ｌ１で示すように、凹部４３の縁に面取りが形成されない場合、または、面取りが非常に小さい場合には、カバー部６の高さの下限位置は、軸方向位置に関して外面６０２と端面４０２とが一致するように設定される。
【００２２】
図４（ｂ）は、カバー部６の軸方向位置の上限を説明する図である。ポンプ小型化のためには、回転体ユニット４の軸方向高さはなるべく低く抑えるのが好ましい。そのため、カバー部６の上限位置は、カバー部６の内面６０４が端面４０２に接触している場合の位置とするのが好ましい。このとき、カバー部６の外面６０２の軸方向位置は、端面４０２の軸方向位置にカバー部６の厚さ寸法ｔをプラスした値となる。
【００２３】
（第１の変形例）
図５は、本実施の形態の第１の変形例を示す図である。図３で説明したように、カバー部６をバランスリング５に取り付けた後にもバランス調整を行い、アンバランス量が基準値を上回っていた場合には、カバー部６の修正部６０３を削ってバランス修正をする。そこで、図５に示す第１の変形例では、修正部６０３の厚さを厚くして、修正の余裕度を大きくするようにした。
【００２４】
また、バランスリング５とカバー部６との締結部においては、カバー部６に凸部６０５を形成し、バランスリング５に凹部５０５を形成した。なお、斜面４０３とカバー部６の修正部６０３との間には隙間Ｇが形成される。この隙間Ｇを介して凹部４３の空間と外部空間とが連通される。これは、凹部４３を密閉空間とするとこの空間がエアポケットとなるため、真空排気したときに凹部４３内の気体が徐々にリークして真空環境に悪影響を及ぼす。しかし、図５のように隙間Ｇを形成することにより、真空排気時には凹部４３内の気体が速やかに排気されるので、上述のような問題は生じない。なお、隙間Ｇを形成する代わりに、カバー部６に貫通孔を形成しても良い。
【００２５】
（第２の変形例）
図６は、本実施の形態の第２の変形例を示す図である。図２に示した実施の形態では、ポンプロータ４ａとバランスリング５とを、ボルト７０によりシャフト４ｂに共締めして一体とする構成とした。一方、図６（ａ）に示す構成では、ポンプロータ４ａとシャフト４ｂとの締結はボルト７１で行い、ポンプロータ４ａとバランスリング５との締結はボルト７２で行うようにした。いずれの場合も凹部４３側からボルト締めが行われる。一方、図６（ｂ）に示す構成では、シャフト４ｂにフランジ４０４を形成して、このフランジ４０４の部分を、ボルト７３を用いてポンプロータ４ａに締結するようにした。ボルト７３の締め付けはシャフト側（図示下側）から行われる。
【００２６】
（第３の変形例）
図７は、本実施の形態の第３の変形例を示す図である。図２に示した実施の形態では、ポンプロータ４ａの貫通孔４００に、シャフト４ｂのボス部４０１およびバランスリング５のボス部５０１を嵌め合わせる構成とした。一方、図７に示す構成では、ポンプロータ４ａには、シャフト締結用の凹部４０５とバランスリング締結用のボス部４０６とが形成されている。また、バランスリング５の裏面側には、ボス部４０６が嵌め合わされる凹部５０６が形成されている。シャフト４ｂのボス部４０１を凹部４０５に嵌め合わせ、かつ、バランスリング５の凹部５０６にポンプロータ４ａのボス部４０６を嵌め合わせ、ボルト７０で共締めすることにより、ポンプロータ４ａ，シャフト４ｂおよびバランスリング５が一体とされる。
【００２７】
（第４の変形例）
図８は、本実施の形態の第４の変形例を示す図である。図８に示す構成では、バランスリング５の構成が図２に示したバランスリング５と異なり、それに応じてカバー部６の外径寸法を変更している。図３において説明したように、バランス調整作業においては、カバー部６を取り付ける前にバランスリング５を利用してバランス修正を行い、カバー部６を取り付けた後には、カバー部６を削ることで再度のバランス修正を行うようにしている。第４の変形例では、これら両方のバランス修正をバランスリング５だけで行えるような構成とした。
【００２８】
バランスリング５では、修正部５０４の外周部分に凹部４３の開口方向に伸延する立設部５０７を形成し、立設部５０７の先端に修正部５０７ａを設けた。この修正部５０７ａはカバー部６の外周側に配置され、カバー部６と共に凹部４３の一部を覆っている。すなわち、修正部５０７ａは、バランス修正機能とカバー機能とを備えている。
【００２９】
カバー部６を取り付ける前のバランス修正では、図３（ａ）に示す場合と同様に、バランスリング５の修正部５０４の一部をドリル等で削り取る。そして、カバー部６を取り付けた後のバランス修正では、修正部５０７ａの一部をドリル等で削り取ることによりバランス修正を行う。この構成の場合、カバー部６にバランス修正用の削り代を設ける必要がないので、カバー部６の厚さを薄くすることが可能となる。
【００３０】
（第５の変形例）
図９は、本実施の形態の第５の変形例を示す図である。上述した図２に示す例では、バランス修正部材６５をバランスリング５とカバー部との２部品で構成した。一方、図９（ａ）に示す構成では、バランス修正部材６５を一部品で構成した。バランス修正部材６５はカバー部６５０を有しており、カバー部６５０の外周側の肉厚を厚くして修正部６５０ａとした。
【００３１】
第５の変形例では、バランス修正部材６５はバランス修正機能とカバー部機能とを備えているので、図２のように２部品で構成する場合と比べて、組立作業の工数低減を図ることができる。さらに、バランス調整作業においては、ポンプロータ４ａとシャフト４ｂとバランス修正部材６５とを一体とした後に行われるバランス修正の１回だけで済む。
【００３２】
図９（ｂ）に示す構成は、バランス修正用の修正部６５０ａを、カバー部６５０で覆われた凹部４３の内部に配置した場合を示す。このように構成した場合、バランス修正の際に修正部６５０ａの貫通孔をカバー部６５０に形成する必要があり、２部品構成の方が好ましい。
【００３３】
なお、図９（ａ），（ｂ）に示す例では、バランス修正部材６５をボルト７４でポンプロータ４ａに固定する構成としたが、図２の構成の場合と同様に、ポンプロータ４ａ，シャフト４ｂおよびバランス修正部材６５をボルトによる共締めで締結するようにしても良い。
【００３４】
（第６の変形例）
図１０，１１は、本実施の形態の第６の変形例を示す図である。第６の変形例では、図１０（ａ）に示すように、シャフト４ｂのボス部４０１は、ポンプロータ４ａの貫通孔４００を貫通するように構成されている。図１０（ａ）に示す構成では、凹部４３側に突出したボス部４０１の先端は、バランスリング５に形成された凹部５０５に嵌め合わされている。カバー部６の構成は、図５に示すカバー部６と同様である。
【００３５】
図１０（ｂ）に示す構成では、バランスリング５は単純なリング状の板部材であり、その中心部をシャフト４ｂのボス部４０１が貫通している。また、カバー部６はポンプロータ４ａの端面４０２に固定される構成となっており、外周部分がポンプロータ４ａの端面４０２にボルト固定されている。カバー部６の裏面側中央に形成された凹部６０１は、シャフト４ｂの先端に嵌め合う構成となっている。
【００３６】
図１０（ｃ）に示す構成は、図８の構成において、シャフト４ｂのボス部４０１がポンプロータ４ａの貫通孔４００を貫通する構成としたものである。カバー部６は図８に示す場合と同一形状であり、バランスリング５についても図８に示す場合とほぼ同様の構成となっている。ただし、シャフト４ｂのボス部４０１がポンプロータ４ａを貫通しているので、バランスリング５の裏面側に凹部４０５が形成され、その凹部４０５にシャフト４ｂの先端が嵌め合わされている。
【００３７】
図１１（ａ）に示す構成は、図１０（ｂ）に示す構成において、カバー部６をシャフト４ｂのボス部４０１の先端に固定する構成としたものである。また、図１１（ｂ）に示す構成では、バランス修正機能とカバー部機能とを備えているバランス修正部材６５を、シャフト４ｂのボス部４０１の先端に固定する構成とした。ポンプロータ４ａはシャフト４ｂにボルト固定され、バランス修正部材６５はボス部４０１の先端にボルト固定される。バランス修正部材６５の裏面側中央にはボス部４０１と嵌め合わされる凹部６５１が形成され、カバー部６５０外周部分には厚肉の修正部６５０ａが形成されている。バランス調整作業は、ポンプロータ４ａとシャフト４ｂとを締結し、バランス修正部材６５をシャフト４ｂの先端に固定した後に行われる。バランス修正では、バランス修正部材６５の修正部６５０ａの一部が削り取られる。
【００３８】
以上説明したように本実施の形態は以下のような作用効果を奏する。
（１）図２や図９に示すように、ターボ分子ポンプ１は、凹部４３を覆うカバー部６を有するバランス修正部材６５を備える。その結果、ポンプ内に流入したパーティクルＰは、端面４０２やカバー部６の外面６０２の上に落下し、凹部４３に溜まるのを防止できる。端面４０２や外面６０２の上のパーティクルＰは、遠心力により回転翼４１の方向に移動しポンプ下流側に排気されるので、ポンプロータ端面上へのパーティクルＰの堆積を防止でき、半導体装置チャンバの加減圧によるチャンバ内へのパーティクルＰの反跳を防止することができる。
【００３９】
（２）図４に示すように、カバー部６のロータ軸方向位置は、カバー部６の外面６０２が凹部４３の内壁４３１の縁と一致する位置（図４（ａ）に示す位置）から、カバー部６の内面６０４がポンプロータ４ａの吸気口側の端面４０２と一致する位置（図４（ｂ）に示す位置）までの間に設定される。また、凹部４３の内壁４３１の縁とポンプロータ４ａの吸気口側の端面４０２とを接続する上り勾配の斜面４０３が設けられる場合には、設定範囲の下限位置である内壁４３１の縁は、斜面４０３と内壁４３１との交線である。
【００４０】
このようにカバー部６のロータ軸方向位置を設定することにより、カバー部６の外面６０２上のパーティクルＰは、遠心力によって容易に回転翼方向に移動することができる。例えば、カバー部６の外面６０２が内壁４３１の縁よりも低い場合には、外面６０２上を移動するパーティクルＰは内壁４３１に堰き止められて、この部分にパーティクルＰが蓄積されてしまうことになる。一方、本実施の形態では、外面６０２の下限位置を内壁４３１の縁としているので、そのようなパーティクルＰの蓄積を防止することができる。また、垂直な内壁４３１が露出していないので、ポンプメンテナンス時に外面６０２上のパーティクルＰの拭き取りを行う際に、拭き取りが行いやすい。
【００４１】
（３）また、図２に示すように、バランス修正部材６５を、凹部４３に配置されるバランスリング５とカバー部６との２部品で構成することにより、バランスリング５によるバランス修正作業が容易となる。また、バランスリング５には比重の大きな金属を使用し、カバー部６には比重の小さな金属材料を使用する等の、それぞれ部品に適した材料を用いることができる。
【００４２】
（４）さらに、図５に示すように、カバー部６にもバランス修正用の修正部６０３を設けることで、カバー部６を取り付けた後のバランス修正における修正可能量に余裕が生じる。
【００４３】
（５）図８に示す構成では、バランスリング５は、カバー部６の外周側に配置されて凹部４３の一部を覆い、カバー機能とバランス修正機能とを兼ねる修正部５０７ａを有する。このような構成とすることで、カバー部６を取り付ける前のバランス修正およびカバー部６を取り付けた後のバランス修正のいずれにおいても、修正部５０７ａによりバランス修正を行うことができる。このように、バランス修正機能の部品（バランスリング５）とカバー機能の部品（カバー部６）とを厳密に別部品とすることで、それぞれに特化した構成とすることができる。例えば、カバー部６の厚さを可能な限り薄くかつ軽くすることができる。
【００４４】
（６）図２に示すように、バランスリング５、ポンプロータ４ａおよびシャフト４ｂを、ボルト７０による共締めによって互いに締結する構成とすることで、組立作業の工数低減を図ることができる。
【００４５】
（７）また、図５に示すように、凹部４３とカバー部６の外部空間とを接続する連通路（隙間Ｇ）を備えることで、真空排気時には凹部４３内の気体が速やかに排気される。その結果、凹部４３内の気体が徐々にリークして真空環境に悪影響を及ぼすという事態が発生しない。
【００４６】
上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。また、上述した変形例の一つ、もしくは複数を上述の実施形態と組み合わせることも可能である。さらに、本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。例えば、上述の実施形態ではターボ分子ポンプを例に説明したが、高速回転するロータを有する真空ポンプ、例えば、モレキュラードラッグポンプ等にも適用できる。カバー部を取り付けるためのボルトはカバー部より若干上方に飛び出した形であってもよい。また、バランスリングやカバーを腐食防止の為にメッキ処理を施しても良い。この場合、バランスリングやカバーの全面をメッキ処理してもよく、凹部から露出するカバー部の上面のみがメッキ処理されてもよい。
【符号の説明】
【００４７】
１…ターボ分子ポンプ、４…回転体ユニット、４ａ…ポンプロータ、４ｂ…シャフト、５…バランスリング、６，６５０…カバー部、１０…モータ、４３…凹部、６５…バランス修正部材、４０２…端面、４０３…斜面、４３１…内壁、５０４，５０７ａ，６０３，６５０ａ…修正部、６０２…外面、Ｇ…隙間、Ｐ…パーティクル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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