(57)【要約】【課題】可動部を駆動方向に小型化した振動波モータを提供する。【解決手段】振動波モータ１００は、圧電素子１０３と振動板１０２とからなる振動子１０４と、振動子１０４を保持する保持部材１０６と、圧電素子１０３に固定され、圧電素子１０３に給電するフレキシブル基板１１６と、振動子１０４と摩擦接触する摩擦部材１０１と、振動子１０４と摩擦部材１０１とを加圧する加圧手段１１１と、を備え、振動子１０４と摩擦部材１０１とが相対移動し、フレキシブル基板１１６は、相対移動の方向において、保持部材１０６に固定される第１の折り返し部１１６ｃと、相対移動に伴い折り返し位置が変化する第２の折り返し部１１６ｄと、を備え、加圧手段１１１の加圧中心Ａは、相対移動の方向において第２の折り返し部１１６ｄの位置変化範囲Ｂと重なるように配置される。【選択図】  図１
2020137237.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子と振動板とからなる振動子と、
該振動子を保持する保持部材と、
前記圧電素子に固定され、前記圧電素子に給電するフレキシブル基板と、
前記振動子と摩擦接触する摩擦部材と、
前記振動子と該摩擦部材とを加圧する加圧手段と、
を備え、
前記振動子と前記摩擦部材とが相対移動し、
前記フレキシブル基板は、前記相対移動の方向において、前記保持部材に固定される第１の折り返し部と、前記相対移動に伴い折り返し位置が変化する第２の折り返し部と、を備え、
前記加圧手段の加圧中心は、前記相対移動の方向において前記第２の折り返し部の位置変化範囲と重なるように配置されることを特徴とする、振動波モータ。
【請求項２】
圧電素子と振動板とからなる振動子と、
該振動子を保持する保持部材と、
前記圧電素子に固定され、前記圧電素子に給電するフレキシブル基板と、
該振動子と摩擦接触する摩擦部材と、
前記振動子と該摩擦部材とを加圧する加圧手段と、
該加圧手段による加圧力を受ける転動手段と、
該転動手段を備え前記振動子と前記摩擦部材の相対移動を案内する案内手段と、
を備え、
前記フレキシブル基板は、前記相対移動の方向において、前記保持部材に固定される第１の折り返し部と、前記相対移動に伴い折り返し位置が変化する第２の折り返し部と、を備え、
前記案内手段の案内中心は、前記相対移動の方向において前記第２の折り返し部の位置変化範囲と重なるように配置されることを特徴とする、振動波モータ。
【請求項３】
前記第１の折り返し部は、前記相対移動の方向において前記加圧中心と重ならないように配置されることを特徴とする、請求項１に記載の振動波モータ。
【請求項４】
前記第１の折り返し部は、前記相対移動の方向において前記案内中心と重ならないように配置されることを特徴とする、請求項２に記載の振動波モータ。
【請求項５】
前記第１の折り返し部は、前記フレキシブル基板の面内で前記相対移動の方向に折り返すか、面外への折り畳み形状であることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項６】
前記第２の折り返し部は、略Ｒ形状で前記フレキシブル基板の面外へと屈曲変形することを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項７】
前記振動波モータは、前記振動子が超音波領域の周波数の振動をする超音波モータであることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動波モータと、前記振動波モータにより駆動される光学レンズと、を有することを特徴とする、鏡筒駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動波モータおよび振動波モータを備えた鏡筒駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、超音波モータには可動側に駆動源が配置され、駆動源へ電力を供給するためのフレキシブル基板が接続されるものがある。特許文献１では、駆動部の振動を阻害しないようにフレキシブル基板が屈曲変形する屈曲部を備えている超音波モータ、およびそのフレキシブル基板の配置と固定が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１００９２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の超音波モータの駆動部の構成では、駆動距離が長くなった際に必要以上に駆動部が大型化してしまうことがある。また、駆動方向に大型化した駆動部を駆動させるために、超音波モータユニットとしても駆動方向に更に大型化してしまうことがある。
【０００５】
本発明の目的は、可動部を駆動方向に小型化した振動波モータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の振動波モータは、圧電素子と振動板とからなる振動子と、該振動子を保持する保持部材と、前記圧電素子に固定され、前記圧電素子に給電するフレキシブル基板と、前記振動子と摩擦接触する摩擦部材と、前記振動子と該摩擦部材とを加圧する加圧手段と、を備え、前記振動子と前記摩擦部材とが相対移動し、前記フレキシブル基板は、前記相対移動の方向において、前記保持部材に固定される第１の折り返し部と、前記相対移動に伴い折り返し位置が変化する第２の折り返し部と、を備え、前記加圧手段の加圧中心は、前記相対移動の方向において前記第２の折り返し部の位置変化範囲と重なるように配置されることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、可動部を駆動方向に小型化した振動波モータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（Ａ）実施例１の振動波モータ１００の構成を示す平面図である。（Ｂ）同側面図である。
【図２】（Ａ）実施例１の振動波モータ１００の構成を示す断面図である。（Ｂ）同底面図である。
【図３】（Ａ）実施例１の振動波モータ１００の可動部の相対移動を示す平面図である。（Ｂ）同側面図である。
【図４】実施例１の振動波モータ１００の可動部の底面図である。
【図５】（Ａ）実施例２の振動波モータ２００の構成を示す平面図である。（Ｂ）同側面図である。
【図６】実施例３の振動波モータ３００の可動部の底面図である。
【図７】振動波モータ１００を適用した撮像装置の構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（実施例１）
以下に、本発明の好ましい実施の形態を、添付の図面に基づいて詳細に説明する。なお、図面において、振動波モータ１００の相対移動の方向をＸ軸方向、後述の加圧手段による加圧方向をＺ軸方向、Ｘ軸方向およびＺ軸方向のいずれにも直交する方向をＹ軸方向とする。各軸方向において、ある一方の方向を正側の方向、正側の反対方向を負側の方向とする。
【００１０】
図１（Ａ）、図１（Ｂ）、図２（Ａ）、図２（Ｂ）は、いずれも実施例１の振動波モータ１００の構成を示している。図１（Ａ）は、実施例１の振動波モータ１００の平面図であり、図１（Ｂ）は、振動波モータ１００をＹ軸方向からみた側面図である。図２（Ａ）は、図１（Ａ）で示す断面線ＩＩＡ−ＩＩＡにおける断面図であり、図２（Ｂ）は、振動波モータ１００の底面図である。実施例１の振動波モータ１００は、以下に述べる各部材により構成されている。
【００１１】
図２（Ａ）に示すように、振動波モータ１００（超音波モータ）は、摩擦部材１０１、振動子１０４、振動子保持部材、フレキシブル基板１１６、加圧手段、案内手段等から構成されている。振動子１０４は、弾性を有する振動板１０２と圧電素子１０３により構成されている。振動板１０２と圧電素子１０３は、公知の接着剤等により固着されている。圧電素子１０３へ給電するためのフレキシブル基板１１６が圧電素子１０３に固定され、超音波領域の周波数を有する高周波電圧が印加されることにより超音波振動が励振される。
【００１２】
振動子１０４と第１の保持部材１０５とは、公知の接着剤等により固定されているが、固定されればその方法は限定されない。第２の保持部材１０６は、薄板板金１０７を介して第１の保持部材１０５と連結されている。第１の保持部材１０５、第２の保持部材１０６と薄板板金１０７により振動子保持部材が構成される。摩擦部材１０１と固定側レール部材１１３はネジ等の公知の技術により固定枠部材１１２に固定されている。なお、第２の保持部材１０６は、被駆動部材（例えば、後述の光学レンズ３）に接続するための接続部１０６ｂを備える。
【００１３】
図１（Ａ）、図２（Ｂ）に示すように、本発明の加圧手段であるバネ１１１は、４か所において加圧プレート１１０と可動側レール部材１１５を連結し、振動子１０４を摩擦部材１０１へ摩擦接触させる加圧力を付与している。位置Ａを示すＸ印は４つのバネ１１１が発生する加圧力の加圧中心を示している。また、位置Ａは後述する案内手段の案内中心とも一致している。図２（Ａ）に示すように、加圧プレート１１０は、弾性部材１０８を貼り付ける貼付部材１０９と接触し、また貼付部材１０９と圧電素子１０３との間には、弾性部材１０８が配置されており、加圧力が伝達される。貼付部材１０９および弾性部材１０８は、加圧プレート１１０と圧電素子１０３との直接接触を妨げ、圧電素子１０３の損傷を防止している。
【００１４】
第２の保持部材１０６と可動側レール部材１１５は、不図示のネジ等で固定されるが、固定されればその方法は限定されない。可動側レール部材１１５は、Ｖ溝形状を有する可動側案内部１１５ａを２つ備えており、それぞれのＶ溝に本発明の転動手段である転動ボール１１４が配置されている。一方、固定側レール部材１１３においても、Ｖ溝形状を有する固定側案内部１１３ａが２つ備えられている。そして、固定側レール部材１１３が有する固定側案内部１１３ａと、可動側レール部材１１５が有する可動側案内部１１５ａにより転動ボール１１４が挟持されている。このような構成により相対移動の方向であるＸ軸方向への案内手段が構成される。
【００１５】
この際、転動ボール１１４を挟持する力は、４つのバネ１１１により発生する。そのため、２つの転動ボール１１４がバネ１１１の加圧中心である位置Ａを挟むように配置されなければ力のバランスが崩れ、転動ボール１１４を介して可動側レール部材１１５が浮いてしまう。上記の理由から、可動側レール部材１１５の可動側案内部１１５ａは加圧中心である位置Ａに対し、対称に配置される。その結果、可動側案内部１１５ａの案内中心も位置Ａと一致する。この構成において、駆動距離が長い振動波モータ１００を構成するためには、案内距離が長い案内手段が必要になり、そのため可動側案内部１１５ａを相対移動の方向であるＸ軸方向に長くする必要がある。
【００１６】
振動板１０２は、接触部１０２ａを備え、接触部１０２ａは前述のバネ１１１の加圧力により加圧付勢された状態で摩擦部材１０１に接触している。フレキシブル基板１１６を介して圧電素子１０３に駆動電圧が印加されると超音波振動が励振され、振動子１０４に共振現象が起こる。この時、振動子１０４には２種の定在波が発生し、振動板１０２の接触部１０２ａに略楕円運動がおこる。前述の振動板１０２と摩擦部材１０１の加圧接触状態において、振動子１０４に発生した略楕円運動が効率的に摩擦部材１０１へ伝達される。その結果、振動子１０４に接続する第２の保持部材１０６までの構成は、固定部材に対してＸ軸方向へ相対移動する。また、第２の保持部材１０６に接続する被駆動部材も一体となりＸ軸方向へと移動する。上記のように、振動子１０４から第２の保持部材１０６までの構成により振動波モータ１００の可動部が構成される。
【００１７】
次にフレキシブル基板１１６の配置について説明する。なお、図面においてフレキシブル基板１１６は梨地で示されており、また、フレキシブル基板１１６が他の部材に隠れてしまう部分は破線で示されている。図１（Ａ）に示すように、フレキシブル基板１１６は、固定部１１６ａで圧電素子１０３に固定され、Ｙ軸方向へ延在したのち、屈曲部１１６ｂで相対移動の方向であるＸ軸方向に略９０度曲がり、そのまま延在する。そして、第１の折り返し部１１６ｃにおいてフレキシブル基板１１６は、フレキシブル基板１１６の面内で相対移動の方向に折り返し、そのまま延在する。この第１の折り返し部１１６ｃは、第２の保持部材１０６の屈曲ガイド１０６ａのＸ軸方向の端部付近に固定されるため平面ターン形状を形成する。次に、フレキシブル基板１１６は、第２の折り返し部１１６ｄにおいて、略Ｒ形状で面外へと屈曲変形して相対移動の方向に折り返し、延在する。そして固定部１１６ｅで固定枠部材１１２に固定される。その後、フレキシブル基板１１６はＹ軸方向へ延在し、不図示の外部接続部へ接続される。
【００１８】
図１（Ｂ）に示すように、第２の折り返し部１１６ｄは、第２の保持部材１０６の有する屈曲ガイド１０６ａと、固定枠部材１１２が有する案内面１１２ａによりガイドされ、加圧方向に略Ｕ字形状の屈曲形状（立ち上がりＵターン形状）を形成する。屈曲ガイド１０６ａおよび案内面１１２ａは、相対移動の方向であるＸ軸方向に延在しており、振動波モータ１００の可動部のＸ軸方向の相対移動に伴い、第２の折り返し部１１６ｄの折り返し位置は変化することができる。このように可動部の相対移動に伴い、第２の折り返し部１１６ｄの位置が相対移動の方向に変化することで、フレキシブル基板１１６の可動側（第１の折り返し部１１６ｃ）と固定側（固定部１１６ｅ）の固定位置の相対位置変化が吸収される。
【００１９】
次に、実施例１における振動波モータ１００の可動部の相対移動について説明する。図３（Ａ）は平面図を、図３（Ｂ）はＹ軸方向から見た側面図を示している。図３（Ａ）および図３（Ｂ）の上半分に示す図は、振動波モータ１００の可動部がＸ軸方向の正側のユニット端部に位置している状態を示している。この時、第２の折り返し部１１６ｄは振動波モータ１００の可動部内でＸ軸方向の負側の端部に位置している。図３（Ｂ）に示すように、屈曲ガイド１０６ａおよび案内面１１２ａが相対移動の方向であるＸ軸方向に延在しているため、可動部がＸ軸方向の正側のユニット端部に位置していても、第２の折り返し部１１６ｄは屈曲形状を形成することができる。また第１の折り返し部１１６ｃは、固定されているのでＸ軸方向の負側の端部に位置している。
【００２０】
図３（Ａ）および図３（Ｂ）の下半分に示す図は、振動波モータ１００の可動部がＸ軸方向の負側のユニット端部に位置している状態を示している。この時、第２の折り返し部１１６ｄは、振動波モータ１００の可動部内でＸ軸方向の正側の端に位置している。図３（Ｂ）に示すように、屈曲ガイド１０６ａおよび案内面１１２ａが相対移動の方向であるＸ軸方向に延在しているため、可動部がＸ軸方向の負側のユニット端部に位置していても、第２の折り返し部１１６ｄは屈曲形状を形成することができる。また第１の折り返し部１１６ｃは、固定されているのでＸ軸方向の負側の端部に位置したままである。
【００２１】
振動波モータ１００の可動部が相対移動した際にも、相対移動の方向に延在した屈曲ガイド１０６ａおよび案内面１１２ａにフレキシブル基板１１６が案内されることで第２の折り返し部１１６ｄの屈曲形状が維持される。もし、振動波モータ１００の駆動距離を長くする場合、可動部側に設けられる屈曲ガイド１０６ａの寸法を長くすることが必要である。この要求に対して、振動波モータ１００では、屈曲ガイド１０６ａが相対移動の方向に長くなっており、この構成によって長い駆動距離を得ることができる一方、相対移動の方向には振動波モータ１００が大型化していない。
【００２２】
次に、第２の折り返し部１１６ｄの可動部内における位置変化範囲Ｂについて説明する。第２の折り返し部１１６ｄの可動部内における位置変化範囲Ｂは矢印で示されている。フレキシブル基板１１６が第１の折り返し部１１６ｃにおいて一度折り返されることで、第２の折り返し部１１６ｄの位置変化範囲Ｂは、振動波モータ１００の加圧中心（すなわち可動部の中心）である位置Ａから相対移動の方向の前後に延在させることができる。前述のとおり位置Ａにおいて、加圧中心および案内中心は一致しているため、加圧中心および案内中心は第２の折り返し部１１６ｄの位置変化範囲Ｂと相対移動の方向で重なることになる。一方、第１の折り返し部１１６ｃは、相対移動の方向において加圧中心および案内中心である位置Ａと重ならないように配置される。
【００２３】
上記のような構成によって、振動波モータ１００を大型化すること無しに、長い駆動距離を得ることができる。言い換えれば、従来と同程度の駆動距離を得るには、振動波モータ１００の可動部を駆動方向に小型化することが可能である。次に、図４を用いて実施例１における可動部を駆動方向に小型化したことの効果について説明する。図４は、振動波モータ１００の可動部をＺ軸方向の負側から見た場合の拡大図である。矢印で示す長さＣ１は、第２の折り返し部１１６ｄの屈曲形状を案内するために必要な屈曲ガイド１０６ａの相対移動の方向の長さを示している。矢印で示す長さＤ１は、案内手段を構成する２つの可動側案内部１１５ａを直線状に配置した場合の駆動方向の長さを示している。
【００２４】
実施例１の振動波モータ１００では、相対移動の方向において、屈曲形状を案内する屈曲ガイド１０６ａの長さＣ１が案内手段を構成する可動側案内部１１５ａの長さＤ１の相対移動の方向の内側に含まれている。一方、例えば特許文献１の図１１（ａ）に示された状態は、駆動部が駆動端開始位置に位置する場合を示しており、屈曲部が駆動部の長さの範囲から逸脱している。従来の構成の超音波モータでは、長い駆動距離を得るために駆動部の相対移動の方向の寸法が必要以上に大型化することとなる。
【００２５】
しかしながら、実施例１の振動波モータ１００では、長さＣ１と長さＤ１の不一致による可動部の必要以上の大型化を抑制することができるので、長い駆動距離を得ることできるという優れた効果がある。また、可動部を駆動方向に小型化した振動波モータ１００を提供することができる。
【００２６】
（実施例２）
以下に、実施例２を添付の図面に基づいて詳細に説明する。実施例２は、実施例１に対して第２の保持部材２０６とフレキシブル基板２１６の形状が異なっている。実施例２の説明では実施例１との差異のみを説明し、共通する部分の説明は省く。
【００２７】
図５（Ａ）は、実施例２の振動波モータ２００の平面図を示している。図５（Ｂ）は、Ｙ軸方向からみた側面図を示している。以下、実施例２におけるフレキシブル基板２１６の配置について説明する。
【００２８】
フレキシブル基板２１６は、固定部２１６ａで不図示の圧電素子１０３に固定され、Ｙ軸方向へ延在したのち、屈曲部２１６ｂで相対移動の方向であるＸ軸方向に略９０度曲がり、そのまま延在する。そして、第１の折り返し部２１６ｃにおいてフレキシブル基板２１６は、フレキシブル基板２１６の面外の方向へ１８０度折り畳まれ、そのまま延在する。この第１の折り返し部２１６ｃは、第２の保持部材２０６のＸ軸方向の端部付近に固定される。次に、フレキシブル基板２１６は、第２の折り返し部２１６ｄにおいて、略Ｒ形状で面外へと屈曲変形して相対移動の方向に折り返し、延在する。そして固定部２１６ｅで固定枠部材１１２に固定される。その後、フレキシブル基板２１６はＹ軸方向へ延在し、不図示の外部接続部へ接続される。
【００２９】
第１の折り返し部２１６ｃは、面外へ折り畳まれる折り畳み形状であるため、第１の折り返し部２１６ｃと第２の折り返し部２１６ｄをＹ軸方向において重なる位置に配置することができる。そのため第１の折り返し部２１６ｃを固定するために第２の保持部材２０６をＹ軸方向に大型化する必要がない。結果として、長さＥ２で示す実施例２の振動波モータ２００の可動部のＹ軸方向の寸法は、図１（Ａ）における長さＥ１で示す実施例１の振動波モータ１００の可動部のＹ軸方向の寸法より、小型化されることができる。
【００３０】
ここで、第１の折り返し部２１６ｃは、折り畳まれて形成されるため、第２の保持部材２０６が有する屈曲ガイド２０６ａと並行であり、Ｘ軸方向にその寸法が大型化しない。そのため、第２の折り返し部２１６ｄの屈曲形状の形成を阻害することはない。
【００３１】
以上のように、実施例２の振動波モータ２００は、実施例１における効果と同様に、可動部の必要以上の大型化を抑制することができるので、長い駆動距離を得ることできるという優れた効果がある。また、加えて実施例２の振動波モータ２００では、フレキシブル基板２１６の第１の折り返し部２１６ｃを面外への折り畳み形状で構成することにより、可動部を駆動方向に小型化しつつ駆動直交方向にも小型化した振動波モータ２００を提供することができる。
【００３２】
（実施例３）
以下に、実施例３を添付の図面に基づいて詳細に説明する。実施例３は、実施例１および実施例２に対して可動側レール部材３１５と固定側レール部材３１３がそれぞれ有する案内部の構成が異なっている。実施例３の説明では実施例１と実施例２との差異のみを説明し、共通する部分の説明は省く。
【００３３】
図６は、実施例３における振動波モータ３００の可動部をＺ軸方向の負側から見た場合の拡大図である。実施例３では転動ボール３１４が３つ配置され、可動側案内部３１５ａおよび固定側案内部３１３ａ（不図示）も転動ボール３１４に対応した３か所に配置される。なお、図６においては、右側２つの転動ボール３１４が直線状に配置されている。しかしながら、固定側もしくは可動側の２か所の案内部がつながった構造であっても構わない。
【００３４】
実施例１と同様に転動ボール３１４を挟持する力は、４つのバネ１１１により発生する。そのため、３つの転動ボール３１４がバネ１１１の加圧中心である位置Ａを挟むように配置されなければ力のバランスが崩れ、転動ボール３１４を介して可動側レール部材３１５が浮いてしまう。上記の理由から、可動側レール部材３１５の可動側案内部３１５ａは加圧中心である位置Ａに対し、対称に配置される。その結果、可動側案内部３１５ａの案内中心も位置Ａと一致する。３つの転動ボール３１４を備えた構成であっても、実施例１と同様にＸ軸方向への案内手段が構成される。
【００３５】
次に、実施例３の効果について説明する。矢印で示す長さＣ３は実施例１と同様に屈曲ガイド３０６ａの相対移動の方向の長さを示している。矢印で示す長さＤ３は、案内手段を構成する転動ボール３１４が３つの場合において、２つの可動側案内部３１５ａを直線状に配置した場合の駆動方向の長さを示している。
【００３６】
実施例３の振動波モータ３００では、相対移動の方向において、屈曲形状を案内する屈曲ガイド３０６ａの長さＣ３が案内手段を構成する可動側案内部３１５ａの長さＤ３の相対移動方向の内側に含まれている。それゆえ、長さＣ３と長さＤ３の不一致による可動部の必要以上の大型化を抑制することができるので、長い駆動距離を得ることできるという優れた効果がある。また、可動部を駆動方向に小型化した振動波モータ３００を提供することができる。
【００３７】
（適用例）
図７は、実施例１の振動波モータ１００を適用した撮像装置の構成を示している。なお、振動波モータ１００を備えた鏡筒駆動装置が撮像装置に搭載された場合について説明するが、これは本発明を限定するものではない。また、後述の撮像レンズ部１とカメラボディ２が一体となっている撮像装置について説明をするが、撮像レンズ部１は交換可能なレンズであっても構わない。
【００３８】
撮像装置本体は、撮像レンズ部１とカメラボディ２によって構成されている。撮像レンズ部１の内部において、光学レンズ３は振動波モータ１００と連結されており、振動波モータ１００を構成する振動子１０４が移動することにより、光学レンズ３は光軸５と略平行な方向に移動可能となる。これら光学レンズ３を含む鏡筒と振動波モータ１００とにより、本発明の鏡筒駆動装置が構成される。光学レンズ３が合焦レンズである鏡筒駆動装置においては、撮像時に合焦レンズが光軸５と略平行な方向に移動し、被写体像はカメラボディ２の内部の撮像素子４の位置で結像し、合焦した像を生成することが可能となる。
【００３９】
以上、本発明の好ましい実施例、適用例について説明したが、本発明はこれらの形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１００、２００、３００    振動波モータ
３                        光学レンズ
１０１                    摩擦部材
１０２                    振動板
１０３                    圧電素子
１０４                    振動子
１０６、２０６            保持部材（第２の保持部材）
１１１                    バネ（加圧手段）
１１３ａ                  案内手段（固定側案内部）
１１４、３１４            転動手段（転動ボール）
１１５ａ、３１５ａ        案内手段（可動側案内部）
１１６、２１６            フレキシブル基板
１１６ｃ、２１６ｃ        第１の折り返し部
１１６ｄ、２１６ｄ        第２の折り返し部
Ａ                        加圧中心、案内中心
Ｂ                        位置変化範囲
【図１】
2020137237.tif 000003
【図２】
2020137237.tif 000004
【図３】
2020137237.tif 000005
【図４】
2020137237.tif 000006
【図５】
2020137237.tif 000007
【図６】
2020137237.tif 000008
【図７】
2020137237.tif 000009