(57)【要約】【課題】  電気部品試験方法及び試験プローブを提供する。【解決手段】  本明細書に開示されているのは、電気部品を試験するための方法及び試験プローブである。この電気部品は、少なくとも第１の電極と、第２の電極と、を備える。この方法は以下のステップ、すなわち、第１の電極を第１の導電性フレキシブル層で被覆するステップと、第１の電極コンタクトを駆動して、第１の電極コンタクトの第１の端部を、第１の導電性フレキシブル層を介して第１の電極と電気的に接続させるステップと、第２の電極を第２の導電性フレキシブル層で被覆するステップと、第２の電極コンタクトを駆動して、第２の電極コンタクトの第２の端部を、第２の導電性フレキシブル層を介して第２の電極と電気的に接続させるステップと、を含む。第１の導電性フレキシブル層は、異方性導電膜である。【選択図】図1
2020144130.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも第１の電極と、第２の電極と、を備える電気部品を試験するための電気部品試験方法であって、
前記第１の電極を、異方性導電膜である第１の導電性フレキシブル層で被覆することと、
第１の電極コンタクトを駆動して、前記第１の電極コンタクトの第１の端部を、前記第１の導電性フレキシブル層を介して前記第１の電極と電気的に接続させることと、
前記第２の電極を第２の導電性フレキシブル層で被覆することと、
第２の電極コンタクトを駆動して、前記第２の電極コンタクトの第２の端部を、前記第２の導電性フレキシブル層を介して前記第２の電極と電気的に接続させることと、
を含む電気部品試験方法。
【請求項２】
前記第１の電極が、複数の第１の補助電極で構成され、前記第１の導電性フレキシブル層が、前記第１の補助電極の少なくとも一部を被覆する、請求項１に記載の電気部品試験方法。
【請求項３】
前記第１の電極及び前記第２の電極が第１の距離の分だけ離隔され、前記第１の補助電極が第２の距離の間隔をあけて設けられるとともに、前記第１の距離が前記第２の距離よりも大きい、請求項２に記載の電気部品試験方法。
【請求項４】
前記第１の導電性フレキシブル層で前記第２の電極を被覆することをさらに含み、前記第２の電極コンタクトが駆動されているとき、前記第２の電極コンタクトの前記第２の端部が、前記第１の導電性フレキシブル層を介して前記第２の電極と電気的に接続されている、請求項１に記載の電気部品試験方法。
【請求項５】
前記第１の端部の面積が、前記第２の端部の面積よりも大きい、請求項１に記載の電気部品試験方法。
【請求項６】
少なくとも第１の電極と、第２の電極と、を備える電気部品を試験するための試験プローブであって、
第１の端部を有する第１の電極コンタクトであって、第１の導電性フレキシブル層が前記第１の端部に配置されるとともに、前記第１の電極に着脱可能に接触するように構成された第１の電極コンタクトと、
着脱可能に前記第２の電極と接触するように、且つ、電気的に接続するように構成された第２の端部を有する第２の電極コンタクトと、
を備え、
前記第１の導電性フレキシブル層が前記第１の電極に接触しているとき、前記第１の端部が、前記第１の導電性フレキシブル層を介して前記第１の電極と電気的に接続されている試験プローブ。
【請求項７】
前記第１の導電性フレキシブル層が異方性導電膜である、請求項６に記載の試験プローブ。
【請求項８】
前記第１の端部と、前記第１の導電性フレキシブル層との間に、さらに導電性粘着層がある、請求項７に記載の試験プローブ。
【請求項９】
前記第１の電極が複数の第１の補助電極で構成され、前記第１の導電性フレキシブル層が前記第１の電極に接触しているとき、前記第１の導電性フレキシブル層が、前記第１の補助電極の少なくとも一部を被覆する、請求項６に記載の試験プローブ。
【請求項１０】
前記第１の電極及び前記第２の電極が第１の距離の分だけ離隔され、前記第１の補助電極が第２の距離の間隔をあけて設けられるとともに、前記第１の距離が前記第２の距離よりも大きい、請求項９に記載の試験プローブ。
【請求項１１】
第２の導電性フレキシブル層が、前記第２の電極コンタクトの前記第２の端部に配置されるとともに、前記第２の電極に着脱可能に接触するように構成されており、
前記第２の導電性フレキシブル層が前記第２の電極に接触しているとき、前記第２の端部が、前記第２の導電性フレキシブル層を介して前記第２の電極と電気的に接続されている、請求項６に記載の試験プローブ。
【請求項１２】
前記第１の端部の面積が、前記第２の端部の面積よりも大きい、請求項６に記載の試験プローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願の相互参照
本出願は、２０１９年３月８日に出願された台湾特許出願番号第１０８１０７６９６号明細書に対する優先権を主張し、参照によりその内容全体が本出願に組み込まれる。
【０００２】
本発明は、電気部品試験方法及び試験プローブ、特に、凹凸表面を有する電極に適用可能な電気部品試験方法及び試験プローブに関する。
【背景技術】
【０００３】
電気部品が小型になるほど、電気部品を試験する難度は高くなる。従来のサイズのデバイス、例えば、ＬＥＤ又はレーザダイオードの特性について試験するのであれば、試験プローブを使用して電極と接触させ、発光ダイオードに駆動電流を送り込むことが可能である。しかし、ダイオードの寸法がミクロンの幅からナノメートルに小型化するにつれて、電極は、ますます微視的な、捕らえどころのないものになってきている。部品によっては、パターンでプリントされた、したがって表面が凹凸状の電極を有するものまである。いずれにせよ、試験プローブは、角度及び位置を固定した状態で電極に接触することは言うまでもなく、電極の位置を正確に特定することに難航することになろう。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで、必要とされるのは、小型化された電気部品に、また場合によっては目的に合わせた電極を有する電気部品に適用可能な革新的な試験方法に加えて、関連する試験プローブである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、導電性フレキシブル層で覆われた状態で電極が電極コンタクトと電気的に接続した電気部品の試験方法を提供する。この方法は、パターニングされた表面又は凹凸表面を有する微小電気部品及び様々な電極に適用可能である。
【０００６】
本発明は、電気部品を試験するための方法を開示する。電気部品は、少なくとも第１の電極と、第２の電極と、を備える。この方法は以下のステップ、すなわち、第１の電極を第１の導電性フレキシブル層で被覆するステップと、第１の電極コンタクトを駆動して、第１の電極コンタクトの第１の端部を、第１の導電性フレキシブル層を介して第１の電極と電気的に接続させるステップと、第２の電極コンタクトを駆動して、第２の電極コンタクトの第２の端部を、第２の電極と電気的に接続させるステップと、を含む。第１の導電性フレキシブル層は、異方性導電膜である。
【０００７】
１つの実施形態では、第１の電極は、複数の第１の補助電極で構成され、第１の導電性フレキシブル層は、第１の補助電極の少なくとも一部を被覆する。第１の電極及び第２の電極は、第１の距離の分だけ離隔されている場合があり、第１の補助電極は、第２の距離の間隔をあけて設けられている場合があり、第１の距離は第２の距離よりも大きい。
【０００８】
前記方法は、第２の電極を第１の導電性フレキシブル層で被覆することをさらに含むことができる。第２の電極コンタクトが駆動されているとき、第２の電極コンタクトの第２の端部は、第１の導電性フレキシブル層を介して第２の電極と電気的に接続されている。或いは、前記方法は、第２の電極を第２の導電性フレキシブル層で被覆することをさらに含むことができ、第２の電極コンタクトが駆動されているとき、第２の端部は、代わって第２の導電性フレキシブル層を介して第２の電極と電気的に接続されている。
【０００９】
本発明は、導電性フレキシブル層が電極コンタクトに配置された試験プローブもまた提供する。この試験プローブは、パターニングされた表面又は凹凸表面を有する微小電気部品及び様々な電極に適用可能である。
【００１０】
本発明は、電気部品を試験するための試験プローブを開示する。電気部品は、少なくとも第１の電極と、第２の電極と、を備える。試験プローブは、第１の電極コンタクトと、第２の電極コンタクトと、を備える。第１の電極コンタクトは、第１の導電性フレキシブル層が配置された第１の端部を有する。第１の導電性フレキシブル層は、第１の電極に着脱可能に接触するように構成されている。すなわち、接触すると、第１の端部は、第１の導電性フレキシブル層を介して第１の電極と電気的に接続される。第２の電極コンタクトは第２の端部を有し、着脱可能に第２の電極と接触し、且つ、電気的に接続されるように構成されている。
【００１１】
１つの実施形態では、第１の導電性フレキシブル層は、異方性導電膜である。第１の端部と第１の導電性フレキシブル層との間に、導電性粘着層があってもまたよい。前記第１の電極は、複数の第１の補助電極で構成することができる。すなわち、第１の導電性フレキシブル層が第１の電極に接触しているとき、第１の導電性フレキシブル層が、第１の補助電極の少なくとも一部を被覆する。第２の導電性フレキシブル層は、第２の電極コンタクトの第２の端部に配置することができ、第２の電極に着脱可能に接触するように構成することができる。第２の導電性フレキシブル層が第２の電極に接触しているとき、第２の端部は、第２の導電性フレキシブル層を介して第２の電極と電気的に接続されている。
【００１２】
要約すると、導電性フレキシブル層は、本発明によって提供される電気部品試験方法及び試験プローブでは、電極と電極コンタクトとの間の媒体としての機能を果たす。電極コンタクトが電極に接近する前に、弾力性のある、比較的平滑な層で電極の凹凸表面を被覆することにより、測定誤差及び不正確性が低減する。電極が多数の微小な補助部品で構成されている場合、導電性フレキシブル層は、一度に補助部品を被覆することができるという追加のボーナスを有し、それらを１つずつ電気的に接続する負担がなくなる。したがって、本発明は、様々なパターニングされた電極に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態に従う電気部品試験方法のフローチャートである。
【図２Ａ】本発明の一実施形態に従う電気部品を図示する。
【図２Ｂ】本発明の別の実施形態に従う電気部品を図示する。
【図３Ａ】図１に従うステップＳ１０の実行を図示する。
【図３Ｂ】図１に従うステップＳ１２及びＳ１６の実行を図示する。
【図４Ａ】図３Ａに基づく、別の導電性フレキシブル層の塗布を図示する。
【図４Ｂ】図３Ｂに基づく、別の導電性フレキシブル層の塗布を図示する。
【図５】本発明の一実施形態に従う試験プローブ及び電気部品を図示する。
【図６】本発明の別の実施形態に従う試験プローブ及び電気部品を図示する。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の特徴、異議、及び機能を以下でさらに開示する。しかしながら、それは本発明の実現可能な実施形態のほんの一部にすぎず、本発明の範囲はそれら実施形態に限定されない。すなわち、本発明の特許請求の範囲に従ってなされる同等な変更及び修正は、依然として本発明の主題となる。本発明の趣旨及び範囲から逸脱することなく、本発明のさらなる有効化として見なされるものとする。
【００１５】
図１及び図２Ａを併せて参照されたい。図１は、本発明の一実施形態に従う電気部品試験方法のフローチャートであり、図２Ａは、電気部品２を図示する。本実施形態の試験方法は、電気部品２に適用することができる。この電気製品は、限定するものではないが、ダイ、チップ、ウェーハの一部、又は２つ以上の電極を有する任意のデバイスとすることができる。電気部品２の最終用途もまた、本実施形態には関係ない。部品２は、発光ダイオード（ＬＥＤ）、有機ＬＥＤ（ＯＬＥＤ）、レーザダイオード（ＬＤ）、チップセット、又はフリップチップ実装を用いる任意のデバイスとすることができる。電気部品２は、試験を受けているＬＥＤであると仮定する。試験台上では、部品２の片面に位置する電極２０、２２ａ、及び２２ｂで、部品２に電圧又は電流が加えられ、発光効率、色温度などに関する結果が得られる。
【００１６】
図２Ａは、電気部品２を電極２０（第１の電極）と、電極２２ａ（第２の電極）と、電極２２ｂと、を有するものとして図示しているが、本実施形態では、その主題が作動するのに３つの電極を有する必要はない。部品２は、実際には２つの電極だけで十分機能する場合がある。ここでも再び電気部品２はＬＥＤであると仮定する。電極２０、２２ａ、及び２２ｂは、部品２の２つの極性のうちの１つに相当する。例えば、電極２０はＬＥＤの正の端子とすることができ、電極２２ａ及び電極２２ｂは、負の端子とすることができる。電極２０、２２ａ、及び２２ｂのサイズ及び形式は重要ではない。それらの高さは可変とすることができ、したがって、電気部品２の上面２ａよりも上に突き出ていてもよい。上面２ａを上から見ると、電極２０、２２ａ、及び２２ｂは長方形のように見えることが認められるが、任意の他の形状とすることもまた可能である。
【００１７】
１つの例では、電極２０は、複数の補助部品（第１の補助電極）で構成されている。図２Ｂを参照されたい。同図は、本発明の別の実施形態に従う電気部品２を図示している。図２Ｂに示されているように、電極２０は多数の補助部品２００を有し、そのサイズ及び形状を本明細書で具体的に記載する必要はない。ここでも再び、補助電極２００の高さは可変とすることができ、したがって、上面２ａよりも上に突き出ていてもよい。上面２ａを上から見ると、補助電極２００は長方形のように見えることが認められるが、それ以外にパターニングすることもまた可能である。１つの方向に沿って、電極２０及び電極２２ａは距離Ｄ１（第１の距離）の分だけ離隔され、一方補助電極２００は、距離Ｄ２（第２の距離）の間隔をあけて設けられている。すなわち、隣接する一対の補助部品２００が、それぞれ、Ｄ２の分だけ離隔されている。電極２０及び電極２２ａの極性が反対であるという事実を考えると、距離Ｄ１はかなり大きく、電極２０と電極２２ａとの間に短絡を形成して電気部品２に損傷を引き起こさないように、十分に安全であると見なされるものとする。十分な距離Ｄ１は、例えば、部品２の動作電圧又は電流に左右され、本実施形態の範囲内ではない。他方、距離Ｄ２は、同じ極性の補助電極２００間に画定されるが、この距離では短絡の形成に関する安全上の懸念はほとんどない。したがって、距離Ｄ１は、少なくとも距離Ｄ２よりもわずかに大きい。
【００１８】
本実施形態の電気部品試験方法は、図２Ｂに従って図１、図３Ａ、及び図３Ｂで最も良く示されており、電気部品２の電極２０（第１の電極）は、補助部品２００（第１の補助電極）で構成されている。当業者であれば無論、前記試験方法は図２Ａの単一の第１の電極でも同様に機能することに同意するであろう。図３Ａは、図１のステップＳ１０の実行を図示し、一方、図３Ｂは、ステップＳ１２及びＳ１６の実行を図示する。ステップＳ１０が図３Ａに示されているように、補助電極２００は、導電性フレキシブル層３（第１の導電性フレキシブル層）で被覆されている。補助部品２００の高さ及び垂直高は、電気部品２の上面２ａの上方の様々なレベルに可変である。その結果、上面２ａが平らであることはほぼあり得ず、試験プローブの電極コンタクト（図３Ａに示されない）が補助電極２００に対して支持されているならば、補助電極の一部と直接接触しない可能性があり、隆起した補助部品２００のいくつかによって損傷を受ける可能性がある。したがって、ステップＳ１０及び本実施形態の導電性フレキシブル層３は、導電性及び弾力性を有する材料でできていることが好ましい。層３の一例は、導電性高分子からなる膜である。
【００１９】
ステップＳ１２が図３Ｂに示されているように、電極コンタクト４０（第１の電極コンタクト）が駆動され、電極コンタクト４０の第１の端部４０ａが、導電性フレキシブル層３を介して補助電極２００に電気的に接続されるようになっている。層３は、その厚さにより、実質上、電極コンタクト４０と補助部品２００との間の緩衝材である。電極コンタクト４０は、第１の端部４０ａを補助部品２００と直接接触させずにそれらに対して支持され得る。したがって、いくつかの隆起した補助電極２００によってコンタクト４０が損傷を受ける機会はほとんどない。さらに、弾力性があるおかげで、導電性フレキシブル層３は、上面２ａ上で電極コンタクト４０と補助部品２００との間で圧縮されると、部分的、且つ一時的に変形することができる。個々の補助電極２００のまわりの隙間を埋めて、導電性フレキシブル層３は、第１の端部４０ａと補助部品２００との間で電流を伝送するための経路としての機能を果たし、電極コンタクト４０を電極２０と電気的に接続する。言いかえれば、導電性フレキシブル層３は、補助電極２００と上手く嵌まり込むことが可能であり、また、補助電極２００の一部を封入することさえ可能である。層３を媒体として用いて、電極コンタクト４０は、角度及び位置の点においてより確実に、また、電圧及び電流の伝送においてより効果的に、補助部品２００に電気的に接続することができる。
【００２０】
図３Ｂに示されているように、電極コンタクト４２ａ（第２の電極コンタクト）が駆動され、電極コンタクト４２ａの第２の端部４２０ａが、電極２２ａ（第２の電極）に電気的に接続されるようになっている。１つの例では、コンタクト４２ａは、先の尖った端部４２０ａが電極２２ａに対して支持される針状構造であり、電極コンタクト４２ａと電極２２ａとの間で電流を伝送するための経路を容易に形成する。電極コンタクト４０の第１の端部４０ａと導電性フレキシブル層３との間のコンタクトは、良好な電気接続を保持するように二次元とすることができ、一方、電極コンタクト４２ａの第２の端部４２０ａと電極２２ａとの間のコンタクトは、単一の点に確立することができることに留意されたい。したがって、第１の端部４０ａの面積は、第２の端部４２０ａの面積よりも大きくてもよい。加えて、本実施形態では、第２の電極コンタクトが２つ以上あってもよい。図３Ｂに示されているステップＳ１２及びＳ１６のように、例えば、電極コンタクト４２ａ及び４２ｂは、電極２２ａ及び電極２２ｂにそれぞれ電気的に接続されるように構成されている。コンタクト４２ｂもまた、針状とすることができ、その先の尖った第２の端部４２０ｂが電極２２ｂに対して支持され、電極コンタクト４２ｂと電極２２ｂとの間で電流を伝送するための経路を容易に形成している。
【００２１】
実際には、導電性フレキシブル層３は、電極コンタクト４０から補助電極２００まで、垂直方向に沿ってのみ導電性があり、水平方向には全く導電性のない異方性膜とすることができる。言いかえれば、たとえ層３の被覆が別の電極、例えば、電極２２ａまで延在していたとしても、電極コンタクト４０と電極コンタクト４２ａとの間に短絡はなかったはずである。図４Ａ及び図４Ｂを併せて参照されたい。図３Ａ及び図３Ｂにそれぞれ基づいて、図４Ａ及び図４Ｂは、導電性フレキシブル層５の塗布を図示しているが、この導電性フレキシブル層５もまた、導電性及び弾力性を有する材料でできており、補助電極２００（又は図２Ａの電極２０）並びに電極２２ａ及び電極２２ｂを含めた、上面２ａの大部分にわたって広げることができる。１つの例では、異方性導電膜が層５として選択されていることで、この層が電極２００、２２ａ、及び２２ｂを一度に被覆しているときでさえも電極間で短絡が形成されないようになっている。電極コンタクト４０、４２ａ、及び４２ｂが上面２ａに対して支持されているとき、それらは導電性フレキシブル層５を介して、電極２００、２２ａ、及び２２ｂにそれぞれ電気的に接続されている。
【００２２】
別の例では、電極２００（一体として）、２２ａ、及び２２ｂはそれぞれ、別個の導電性フレキシブル層で被覆されている。電極コンタクト４０、４２ａ、及び４２ｂが上面２ａに対して支持されているとき、それらは依然として、それらの対応する導電性フレキシブル層を介して、電極２００、２２ａ、及び２２ｂにそれぞれ電気的に接続され得る。なお、ステップＳ１４は、導電性フレキシブル層５が電極コンタクト４０、４２ａ、及び４２ｂを同時に被覆したワンピース層であることが示されている図４Ａ及び図４Ｂに限定されず、ステップＳ１４は、電極コンタクト４０、４２ａ、及び４２ｂを別々に被覆した、絶縁された導電性フレキシブル層に適用することもまた可能である。
【００２３】
本発明は、本明細書によって試験プローブをさらに開示するが、それは、前記電気部品試験方法を生んだ技術概念と同じ技術概念の産物である。図５を参照されたい。本発明の一実施形態に従って、図５は、電気部品２を試験するように構成された試験プローブ６を図示する。図２Ｂの例に従って、電気部品２は、少なくとも、電極２０（第１の電極）と、電極２２ａ（第２の電極）と、を備え、さらにこの電極２０は、補助部品２００（第１の補助電極）で構成されている。当業者であれば無論、前記試験プローブは図２Ａの単一の第１の電極でも同様に機能することに同意するであろう。電気部品２の詳細な構造の説明は、図２Ｂ又は図２Ａに関連して見出すことができるので、ここで繰り返すことはしない。試験プローブ６は、電極コンタクト６０（第１の電極コンタクト）と、電極コンタクト６２ａ（第２の電極コンタクト）と、電極コンタクト６２ｂと、を備える。コンタクト６０、６２ａ、及び６２ｂは、電極２００、２２ａ、及び２２ｂにそれぞれ相当する。電極２０又はその補助部品２００は特に、電極コンタクト６０によって被覆されているため、また、図２Ｂに表されているため、図５では明確に示されていない。
【００２４】
電極コンタクト６０は、第１の端部６０ａを有し、そこに導電性フレキシブル層６００（第１の導電性フレキシブル層）が配置されている。実際的に言えば、導電性フレキシブル層６００は、補助電極２００に着脱可能に接触するように構成されている。すなわち、層６００は、補助部品２００に配置されていない。電気部品２の試験をしようとする場合にのみ、電極コンタクト６０は部品２に接近し、導電性フレキシブル層６００が補助電極２００に対して支持され、導電性フレキシブル層６００を介してコンタクト６０の第１の端部６０ａを補助部品２００と電気的に接続させる。電極２０の表面は、元々、又は補助部品２００があるために、凹凸状である場合があるが、緩衝層６００に厚さ及び弾力性があるおかげで、第１の端部６０ａは、電極２０又は電極２００に直接接触せず、電極コンタクト６０は、前記凹凸状であることにより損傷を受けることがない。
【００２５】
導電性フレキシブル層６００の弾力性は、補助電極２００に対して支持されたときに、導電性フレキシブル層が部分的、且つ一時的に変形することにも貢献している。個々の補助部品２００のまわりの隙間に圧縮されて詰め込まれて、導電性フレキシブル層６００は、補助電極２００と上手く嵌まり込み、さらには、補助電極２００の一部を封入する。層６００を媒体として用いて、電極コンタクト６０は、角度及び位置においてより確実に、また、電圧及び電流の伝送においてより効果的に、補助部品２００に電気的に接続することができる。図５では、電極コンタクト６２ａは、第２の端部６２０ａを用いて、電極２２ａに直接触れており、電極コンタクト６２ｂは、第２の端部６２０ｂを用いて、電極２２ｂに直接触れている。ただし、本実施形態には他の構成も存在する。第１の端部６０ａと導電性フレキシブル層６００との間のコンタクト、及び層６００と補助電極２００との間のコンタクトはいずれも、二次元とすることができ、一方、第２の端部６２０ａと電極２２ａとの間のコンタクトは、単一の点に確立することができることに留意されたい。したがって、第１の端部６０ａの面積は、第２の端部６２０ａの面積よりも大きくてもよい。
【００２６】
本実施形態の試験プローブ６に関して、電極コンタクト６２ａ及び６２ｂは、針状構造でなくてもよいし、第２の端部６２０ａ及び６２０ｂが電極２２ａ及び電極２２ｂに対してそれぞれ直接支持されている必要はない。図５及び図６を併せて参照されたい。図６は、本発明の別の実施形態に従う電気部品２及び試験プローブ７を図示する。試験プローブ６及び７は、試験プローブ７が、類似した電極コンタクト７０、７２ａ、及び７２ｂを有し、このコンタクト７０、７２ａ、及び７２ｂは、電極２００、２２ａ、及び２２ｂにそれぞれ相当するという点で同様である。コンタクト６０と同様に、コンタクト７０は第１の端部７０ａを有し、そこに導電性フレキシブル層７００（第１の導電性フレキシブル層）が配置されている。導電性フレキシブル層６００と同様に、層７００は、補助電極２００に着脱可能に接触するように構成されている。すなわち、層７００は、補助部品２００に配置されていない。
【００２７】
図６と試験プローブ７との差を特に際立たせているのは、電極コンタクト７２ａ及び７２ｂが針状ではないという点である。言いかえれば、コンタクト７２ａの第２の端部７２０ａと、電極２２ａとの間のコンタクト、及びコンタクト７２ｂの第２の端部７２０ｂと、電極２２ｂとの間のコンタクトは二次元である。第２の端部７２０ａに導電性フレキシブル層７２２ａ（第２の導電性フレキシブル層）が配置され、また、第２の端部７２０ｂに別の導電性フレキシブル層７２２ｂが配置されていてもよい。層７２２ａ及び層７２２ｂは、電極２２ａ及び電極２２ｂにそれぞれ着脱可能に接触するように構成されている。本実施形態によれば、導電性フレキシブル層７００、７２２ａ、及び７２２ｂは、同じ材料でできている必要はない。層７００、７２２ａ、及び７２２ｂは、異方性導電膜であってもよいし、異方性導電膜でなくてもよい。
【００２８】
要約すると、導電性フレキシブル層は、本発明によって提供される電気部品試験方法及び試験プローブでは、電極と電極コンタクトとの間の媒体としての機能を果たす。電極コンタクトが電極に接近する前に、弾力性のある、比較的平滑な層で電極の凹凸表面を被覆することにより、測定誤差及び不正確性が低減する。電極が多数の微小な補助部品で構成されている場合、導電性フレキシブル層は、一度に補助部品を被覆することができるという追加ボーナスを有し、それらを１つずつ電気的に接続する負担がなくなる。したがって、本発明は、様々なパターニングされた電極に適用可能である。
【符号の説明】
【００２９】
２  電気部品
２ａ  上面
３  導電性フレキシブル層
５  導電性フレキシブル層
６  試験プローブ
７  試験プローブ
２０  電極
２２ａ  電極
２２ｂ  電極
４０  第１の電極コンタクト
４０ａ  第１の端部
４２ａ  第２の電極コンタクト
４２ｂ  電極コンタクト
６０  第１の電極コンタクト
６０ａ  第１の端部
６２ａ  第２の電極コンタクト
６２ｂ  電極コンタクト
７０  電極コンタクト
７０ａ  第１の端部
７２ａ  電極コンタクト
７２ｂ  電極コンタクト
２００  補助電極
４２０ａ  第２の端部
４２０ｂ  第２の端部
６００  第１の導電性フレキシブル層
６２０ａ  第２の端部
７００  第１の導電性フレキシブル層
７２０ａ  第２の端部
７２０ｂ  第２の端部
７２２ａ  導電性フレキシブル層
７２２ｂ  導電性フレキシブル層
Ｄ１  第１の距離
Ｄ２  第２の距離
Ｓ１０、Ｓ１２、Ｓ１４、Ｓ１６  ステップ
【図１】
2020144130.tif 000003
【図２Ａ】
2020144130.tif 000004
【図２Ｂ】
2020144130.tif 000005
【図３Ａ】
2020144130.tif 000006
【図３Ｂ】
2020144130.tif 000007
【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
2020144130.tif 000009
【図５】
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【図６】
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【外国語明細書】
2020144130000001.pdf