(57)【要約】      （修正有）【課題】各部の必要な特性を満たす可撓性外歯歯車を、容易に製造できる技術を提供する。【解決手段】可撓性外歯歯車は、外周面に外歯を有する。外歯は、円環状の剛性内歯歯車の内歯に対して部分的に噛み合う。可撓性外歯歯車は、非真円カムの回転に伴って押されることにより、内歯と外歯との噛み合い位置をその周方向に移動させながら、剛性内歯歯車に対して相対回転する。可撓性外歯歯車は、第１部２７と第２部２８とを有する。第１部は、外歯が形成される筒状の可撓性薄肉部２５を含む。第２部は、外歯の回転中心軸に対して垂直な方向に広がる平板部２６を含む。第１部と、第２部とは、互いに異なる材料である。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円環状の剛性内歯歯車の内歯に対して部分的に噛み合う外歯をその外周面に有し、その
内周面が非真円カムの回転に伴って押されることにより、前記内歯と前記外歯との噛み合
い位置をその周方向に移動させながら、前記剛性内歯歯車に対して相対回転する、可撓性
外歯歯車であって、
前記外歯が形成される筒状の可撓性薄肉部を含む第１部と、
前記外歯の回転中心軸に対して垂直な方向に広がる平板部を含み、前記第１部と一体化される第２部と、を有し、
前記第１部と、前記第２部とは、互いに異なる材料である可撓性外歯歯車。
【請求項２】
請求項１に記載の可撓性外歯歯車であって、
前記第１部は、非晶質金属である可撓性外歯歯車。
【請求項３】
請求項１および請求項２に記載の可撓性外歯歯車であって、
前記第１部と、前記第２部とは、互いに別部材であり、供回り可能に接触している可撓性外歯歯車。
【請求項４】
請求項１に記載の可撓性外歯歯車であって、
前記第１部の径方向外周面は、開口部側に向かって径方向内方向かう傾斜面である。
【請求項５】
請求項１に記載の可撓性外歯歯車であって、
前記第１部は、可撓性薄肉部に繋がる第１腕部を有し、
前記第２部は平板部に繋がる第２腕部を有し、
前記第１部と前記第２部は、前記第１腕部と前記第２腕部で一体化されている。
【請求項６】
請求項１に記載の可撓性外歯歯車であって、
前記第１部の径方向外周面に前記第２部が位置する。
【請求項７】
請求項１に記載の可撓性外歯歯車であって、
前記第１部の下方に前記第２部が接触する。
【請求項８】
請求項６に記載の可撓性外歯歯車であって、
前記第１部と前記第２部の接触部においては、前記第１部が前記第２部の外側に配置される。
【請求項９】
請求項１に記載の可撓性外歯歯車であって、
前記第１部の可撓性薄肉部は、前記外歯の歯幅より小さな凹凸部を有する。
【請求項１０】
請求項１に記載の可撓性外歯歯車であって、
前記第１部は、前記可撓性薄肉部から延びる第１腕部を有し、テーパー形状の基部を有し、
前記第２部は、前記第１部の径方向外側に配置される外輪と、前記第１部および前記外輪の径方向内側に配置される内輪と、を有し、
前記基部は、前記外輪と、前記内輪と径方向に重なる。
【請求項１１】
請求項１に記載の可撓性外歯歯車であって、
前記第２部は、前記平板部と接続され、前記外歯の回転中心軸に対して平行な方向に延びる壁部を有し、
前記壁部の端部には、溝部を有し、
前記溝部は、前記可撓性薄肉部の少なくとも一部が収容される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可撓性外歯歯車および波動歯車装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、可撓性外歯歯車を備える波動歯車装置が知られている。この種の波動歯車装置は
、主に減速機として用いられる。従来の波動歯車装置については、例えば、特開２０１１
−１９６４２３号公報に開示されている。この特開２０１１−１９６４２３号公報に開示
された波動歯車装置は、内歯が形成された剛性内歯歯車と、外歯が形成された可撓性外歯
歯車と、可撓性外歯歯車を半径方向に撓ませて外歯を内歯に噛み合せるとともに、噛み合
わせ位置を円周方向に移動させることにより剛性内歯歯車および可撓性外歯歯車の間に相
対回転運動を発生させる波動発生器と、を備えている。
【０００３】
また、特開２０１１−１９６４２３号公報に記載の可撓性外歯歯車は、胴部と円板部と
を備える。胴部は、その外周面に外歯が形成される。円板部は、外歯の回転中心軸に対し
て垂直な平面をなす。この円板部の中央に、前記相対回転運動を外部に取り出すための出
力軸が固定される。
【特許文献１】特開２０１１−１９６４２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような構成の可撓性外歯歯車において、胴部は、波動発生器が駆動されることによ
り楕円状の撓み変形を繰り返す部分なので、撓み変形し易い薄肉状に形成される。一方、
円板部は、出力軸を固定する部分なので、剛性の高い厚肉状に形成される。
【０００５】
可撓性外歯歯車は、一般的には、鍛造により胴部と円板部とが一体的に形成される。し
かしながら、鍛造では、肉厚の異なる複数の部位を有する部材を、精度よく製造すること
が困難である。このため、鍛造加工後に、各部の撓み性、剛性等の特性を好適化するため
に、切削加工により、可撓性外歯歯車を仕上げることが必要であった。
【０００６】
特開２０１１−１９６４２３号公報では、可撓性外歯歯車の耐久性を向上させるために
、胴部と円板部とを別体として、互いに係合している。しかしながら、胴部と円板部とを
別体とすると、波動歯車装置を、局所的ながたつきを抑えて精度よく駆動させることが困
難と考えられる。
【０００７】
本発明の目的は、各部の必要な特性を満たす可撓性外歯歯車を、容易に製造できる技術
を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の可撓性外歯歯車は、円環状の剛性内歯歯車の内歯に対して部分的に噛み合う外
歯をその外周面に有し、その内周面が非真円カムの回転に伴って押されることにより、前
記内歯と前記外歯との噛み合い位置をその周方向に移動させながら、前記剛性内歯歯車に
対して相対回転する。この可撓性外歯歯車は、第１部と第２部とを少なくとも有する。前
記第１部は、前記外歯が形成される筒状の可撓性薄肉部を含む。前記第２部は、前記外歯
の回転中心軸に対して垂直な方向に広がる平板部を含む。前記第２部は、前記第１部に対
して接合されることで当該第１部と一体化される。前記第１部と、前記第２部とは、互いに異なる材料である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の観点によれば、各部の必要な特性を満たす可撓性外歯歯車を、容易に製造でき
る。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、第１実施形態に係る波動歯車装置の縦断面図である。
【図２】図２は、第１実施形態に係る波動歯車装置の横断面図である。
【図３】図３は、第１実施形態に係る可撓性外歯歯車の縦断面図である。
【図４】図４は、第１実施形態に係る可撓性外歯歯車の分解縦断面図である。
【図５】図５は、第１実施形態の変形例１に係る可撓性外歯歯車の縦断面図である。
【図６Ａ】図６Ａは、第１実施形態の変形例２に係る可撓性外歯歯車の縦断面図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、第１実施形態の変形例２に係る可撓性外歯歯車の縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本願の例示的な実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本願で
は、波動歯車装置の中心軸と平行な方向を「軸方向」、波動歯車装置の中心軸に直交する
方向を「径方向」、波動歯車装置の中心軸を中心とする円弧に沿う方向を「周方向」、と
それぞれ称する。
【００１２】
また、本願において「平行な方向」とは、略平行な方向も含む。また、本願において「
直交する方向」とは、略直交する方向も含む。
【００１３】
＜１．第１実施形態＞
＜１−１．波動歯車装置の構成＞
以下では、図１および図２を参照して、本発明の第１実施形態に係る波動歯車装置１００の構成について説明する。図１は、第１実施形態に係る波動歯車装置１００の縦断面図である。図２は、図１のII−II位置から見たときの波動歯車装置１００の横断面図である。
【００１４】
本実施形態の波動歯車装置１００は、後述する剛性内歯歯車１０と可撓性外歯歯車２０との差動を利用して、入力された回転運動を変速する装置である。波動歯車装置１００は、例えば、小型ロボットの関節に組み込まれ、モータから得られる動力を減速する減速機として用いられる。
【００１５】
図１および図２に示すように、波動歯車装置１００は、剛性内歯歯車１０と、可撓性外歯歯車２０と、波動発生器３０と、を備えている。
【００１６】
剛性内歯歯車１０は、回転中心軸Ｃを中心とする円環状の部材である。剛性内歯歯車１０の剛性は、後述する可撓性薄肉部２５の剛性よりも、はるかに高い。したがって、剛性内歯歯車１０は、実質的に剛体とみなすことができる。剛性内歯歯車１０は、内周面に複数の内歯を有する。複数の内歯１１は、周方向に沿って、一定のピッチで配列される。剛性内歯歯車１０は、波動歯車装置１００が搭載される装置の枠体に固定される。
【００１７】
可撓性外歯歯車２０は、可撓性薄肉部２５と平板部２６とを有する部材である。可撓性薄肉部２５は、半径方向に撓み可能な円筒状の部分である。平板部２６は、可撓性薄肉部２５よりも撓み難い平板状の部分である。図１および図２に示すように、可撓性外歯歯車２０は、剛性内歯歯車１０の内側に配置される。可撓性薄肉部２５は、外周面に複数の外歯２１を有する。複数の外歯２１は、周方向に沿って、一定のピッチで配列される。上述の剛性内歯歯車１０が有する内歯１１の数と、可撓性外歯歯車２０が有する外歯２１の数とは、僅かに相違する。平板部２６の中央には、減速後の動力を取り出すための出力軸（図示省略）が固定される。
【００１８】
波動発生器３０は、可撓性外歯歯車２０を撓み変形させるための機構である。波動発生器３０は、非真円カム３１と、波動ベアリング３３と、を有する。
【００１９】
本実施形態の非真円カム３１は、楕円形のカムプロフィールを有する。図１及び図２に示すように、非真円カム３１は、可撓性外歯歯車２０の可撓性薄肉部２５の径方向内側に配置される。非真円カム３１の中央には、入力軸（図示省略）が相対回転不能に固定される。入力軸および非真円カム３１は、外部のモータ（図示省略）から得られる動力によって、減速前の回転数で回転する。
【００２０】
波動ベアリング３３は、内輪３３１と、複数のボール３３２と、弾性変形可能な外輪３３３と、を有する。内輪３３１は、非真円カム３１の外周面に固定される。外輪３３３は、可撓性外歯歯車２０の可撓性薄肉部２５の内周面に固定される。複数のボール３３２は、内輪３３１と外輪３３３との間に介在し、周方向に沿って配列される。外輪３３３は、回転される非真円カム３１のカムプロフィールを反映するように、内輪３３１およびボール３３２を介して弾性変形（撓み変形）する。
【００２１】
このような構成の波動歯車装置１００において、上記の入力軸に動力が供給されると、入力軸および非真円カム３１が一体的に回転する。また、非真円カム３１の回転に伴って、波動ベアリング３３を介して、可撓性外歯歯車２０の可撓性薄肉部２５の内周面が押されることにより、可撓性薄肉部２５が楕円状に撓み変形する。これにより、図２のように、可撓性薄肉部２５がなす楕円の長軸の両端の２箇所で、外歯２１と内歯１１とが噛み合う。この際、前記楕円の前記２箇所以外の位相位置では、外歯２１と内歯１１とは噛み合わない。
【００２２】
非真円カム３１が回転すると、前記楕円の長軸の位置が周方向に移動するので、外歯２１と内歯１１との噛み合い位置も周方向に移動する。ここで、上述のように、剛性内歯歯車１０の内歯１１の数と、可撓性外歯歯車２０の外歯２１の数とは、僅かに相違する。このため、非真円カム３１の１回転ごとに、内歯１１と外歯２１との噛み合い位置が僅かに変化する。その結果、剛性内歯歯車１０に対して可撓性外歯歯車２０および出力軸が、減速された回転数で回転する。
【００２３】
＜１−２．可撓性外歯歯車の構成＞
次に、可撓性外歯歯車２０の構成について、図３および図４を参照してより具体的に説明する。図３は、第１実施形態に係る可撓性外歯歯車２０の縦断面図である。図４は、図３の可撓性外歯歯車２０を構成する第１部２７および第２部２８を説明するための分解縦断面図である。
【００２４】
図３および図４に示すように、本実施形態の可撓性外歯歯車２０は、可撓性薄肉部２５、平板部２６、および筒状腕部２９を有する。
【００２５】
可撓性薄肉部２５は、径方向に撓み変形可能な筒状の部分である。可撓性薄肉部２５の径方向の厚みは、平板部２６の軸方向の厚みよりも薄い。複数の外歯２１は、可撓性薄肉部２５の外周面に形成される。平板部２６は、可撓性薄肉部２５よりも剛性の高い円板形状の部分である。平板部２６は、回転中心軸Ｃ（図１参照）に対して垂直に広がる。また、平板部２６は、可撓性薄肉部２５に対し、径方向内側に向かって広がる。
【００２６】
筒状腕部２９は、可撓性薄肉部２５の軸方向の一端部と平板部２６の外周部とを繋ぐ、円筒状の部分である。筒状腕部２９の径方向の厚みは、平板部２６の軸方向の厚みよりも薄い。可撓性薄肉部２５と平板部２６との間に筒状腕部２９を設けることで、可撓性薄肉部２５が楕円状の撓み変形を繰り返しても、可撓性外歯歯車２０に掛かる応力の分布が局所的に集中してしまうことを緩和できる。筒状腕部２９の軸方向中途部は、非真円カム３１を回転させたときに掛かる応力の分布が相対的に少ない領域となる。図３及び図４に示すように、筒状腕部２９は、第１部２７と第２部２８とに跨って形成される。ここで、筒状腕部２９の第１部側を第１腕部２９Ａ、第２部側を第２腕部２９Ｂとする。つまり、第１部２７は、可撓性薄肉部２５に繋がる第１腕部２９Ａを有し、第２部２８は平板部２６に繋がる第２腕部２９Ｂを有する。
【００２７】
図４に示すように、可撓性外歯歯車２０は、第１部２７と第２部２８とが、互いに固定されることにより形成される。可撓性薄肉部２５と、筒状腕部２９の一部である第１腕部２９Ａとは、第１部２７に含まれる。平板部２６と、筒状腕部２９の前記一部以外の部分である第２腕部２９Ｂは、第２部２８に含まれる。ここで、第１腕部２９Ａは、第２腕部２９Ｂは、第１部２７と第２部２８が互いに固定されるときに、互いに接触する部分である。
【００２８】
＜１−３．可撓性外歯歯車の製造工程＞
可撓性外歯歯車２０を製造するときには、まず、可撓性外歯歯車２０の一部である第１部２７が、鋳造より製造される（ステップＳ１）。鋳造により製造されることにより、切削加工に比べ、複雑な歯車形状を持つ歯車をより効率よく製造することができる。なお、第１部の径方向外周面は、開口部側に向かって径方向内方向かう傾斜面であることが好ましい。これにより鋳造時の離型性が向上するだけでなく、可撓性外歯歯車２０が非真円カム３１に押さえられて変形した場合に、剛性内歯歯車１０との噛み合わせが良くなる。
【００２９】
ステップＳ１と同時に、またはこれと前後して、可撓性外歯歯車２０の他の一部である第２部２８が、鍛造加工により製造される（ステップＳ２）。より詳細には、第２部２８は、鍛造によって大まかな形状に加工された後、切削により細部の加工がされる。加えて、接合面２８Ａが研磨されて、鏡面に磨き上げられる。
【００３０】
続いて、第１部２７の第１腕部２９Ａと、第２部２８の第２腕部２９Ｂと、が接触して、互いに固定される（ステップＳ３）。すなわち、第１部２７と第２部２８とが、互いに固定されることにより、可撓性外歯歯車２０が製造される。第１部２７と第２部２８が互いに固定されているとは、第１部２７と第２部２８が、お互いに接合され、一繋がりの部材となっている場合に限られない。すなわち、第１部２７と第２部２８とが供回り可能に接触している状態であれば、第１部２７と第２部２８別々の部材のままでもよい。
【００３１】
第１部２７と第２部２８とが、組み合わされて、互いに固定される際には、カシメ、接着、圧入、溶接、嵌め合い、インサート成型といった各種の手法が用いられてよい。
【００３２】
第１部２７の第１腕部２９Ａは、可撓性外歯歯車２０の歯幅より凹凸を有し、第２部２８の第２腕部２９Ｂは、第１部２７の凹凸にかみ合う凹凸を有することが好ましい。これにより、第１部２７と第２部２８が組み合わされて固定された際に、凹凸部が回り止めとなり、空転が抑制される。
【００３３】
このような工程で可撓性外歯歯車２０を製造すれば、以下のような点で有利である。すなわち、可撓性薄肉部２５は、楕円状の撓み変形が繰り返される部分であるので、高いバネ性（可撓性）が要求される。一方、平板部２６は、一般的に出力軸をネジ等の締結具を用いて固定する部分であるので、高い剛性や、ある程度以上の厚みが要求される。上記の製造工程によれば、このような異なる可撓性や剛性が要求される複数の部分を、個別の工程（ステップＳ１，Ｓ２）で製造することが可能となる。よって、第１部２７と第２部２８とで異なる弾性率の材料を採用したり、第１部２７と第２部２８とで異なる加工処理を施したりすることが容易となる。結果として、各部の特性を満たす可撓性外歯歯車２０を容易に製造することができる。
【００３４】
第１部２７の材料には、非晶質金属が用いられることが好ましい。可撓性外歯歯車における寸法精度を向上させることができる。第２部２８の材料には、例えば、鉄等の金属が用いられる。また、第１部２７には、第２部２８よりも弾性率の小さい（変形しやすい）材料を用いることが好ましい。このようにすれば、外歯２１が形成される可撓性薄肉部２５を撓みやすくする一方、出力軸が固定される平板部２６の剛性を高くすることが容易にできる。
【００３５】
また、本実施形態の可撓性外歯歯車２０では、非真円カム３１を回転させたときに掛かる応力の分布が相対的に少ない領域である筒状腕部２９の中途部に、第１部２７と第２部２８が互いに固定された部分である固定部２３が形成される。より詳細には、第１腕部２９Ａと、第２腕部２９Ｂが互いに固定された部分が固定部２３である。すなわち、外歯２１が形成される可撓性薄肉部２５からも、平板部２６からも、離れた位置に、固定部２３が形成される。これにより、固定部２３に無理な力が掛かって可撓性外歯歯車２０が第１部２７と第２部２８とに分裂してしまうことを防止できる。このように、可撓性外歯歯車２０の可撓性薄肉部２５が撓み変形を繰り返しても、応力が集中し難い部位に、固定部２３を形成することで、可撓性外歯歯車２０の耐久性を向上させることができる。
【００３６】
以上ように、本実施形態によれば、剛性を要する平板部２６と、可撓性を要する可撓性薄肉部２５とを併せ持つ、いわゆるカップ型の可撓性外歯歯車２０を、効率よく製造する
ことができる。
【００３７】
＜変形例１＞
以下では、図５を参照して、第１実施形態の変形例１に係る可撓性外歯歯車４０の構成について説明する。図５は、第１実施形態の変形例１に係る可撓性外歯歯車４０の縦断面図である。なお、以下の説明においては、第１実施形態で既に説明した部材や部位と同様の部材・部位については、第１実施形態で付したのと同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００３８】
第１実施形態の変形例１に係る可撓性外歯歯車４０の第１部４７の第１腕部４９Ａは可撓性薄肉部６５と繋がる基部４１と、基部から延びてテーパー形状を有する延伸部４２を有する。第２部４８の第２腕部４９Ｂは、第１部２７の径方向外側に配置される外輪４３と、第１部４７および外輪４３の径方向内側に配置される内輪４４とを有する。
【００３９】
ここで、第１部４７の延伸部４２は、第２部４８の外輪４３と、内輪４４との間に配置される。延伸部４２と外輪４３と、内輪４４とが互いに固定され、第１部４７と第２部４８とがより強固に固定される。より具体的には、延伸部４２を外輪４３と内輪４４の間に配置した状態で、外輪４３と内輪４４との間の隙間を狭めるように移動させ、延伸部を挟み込んで固定する。この際、単に挟み込むことで固定してもよいし、接着や溶接などを組み合わせてもよい。また、外輪４３の径方向内側面や、内輪４４の径方向外周面に図示しない凹凸形状を設けて延伸部４２を挟みこんで固定してもよい。この際に、延伸部４２を変形させてもよい。
【００４０】
＜変形例２＞
以下では、図６Ａおよび図６Ｂを参照して、第１実施形態の変形例２に係る可撓性外歯歯車６０の構成について説明する。図６Ａは、第１実施形態の変形例２に係る可撓性外歯歯車６０を構成する、第１部６７と第２部６８を、一体化する前の状態における断面図である。なお、以下の説明においては、第１実施形態で既に説明した部材や部位と同様の部材・部位については、第１実施形態で付したのと同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００４１】
第２部６８の第２腕部６９Ｂの端部には、溝部７０を有する。溝部７０には、第１部６７の少なくとも一部が収容され。そして、溝部７０を構成する壁面を変形させて、第１部６８と第２部６８が、カシメ固定される。図６Ｂは、カシメ固定された状態における第１部６７と第２部６８の断面図である。カシメ固定に際しては、溶接の様に昇温する必要が無いため、固定時の第１部６７の昇温も小さくて済む。この特性は、第１部６７の素材として、例えば金属ガラスなどの昇温によって変質してしまう素材を選択する事を容易にする。なお、必要に応じて、適宜接着や溶接などの固定手法を併用しても良い。
【００４２】
＜３．その他の変形例＞
以上、本発明の例示的な実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定
されるものではない。
【００４３】
上記の実施形態では、可撓性外歯歯車は、第１部と第２部とを固定することにより製造されていた。しかしながら、可撓性外歯歯車は、第１部および第２部を含む３つ以上の部材を固定することにより、製造されてもよい。
【００４４】
また、上記の実施形態では、第１部と第２部とに、弾性率の異なる材料を用いることを説明した。しかしながら、第１部と第２部とに、弾性率以外の特性が異なる材料を用いてもよい。例えば、第１部と第２部とに、バネ性、圧力耐性、繰り返し荷重に対する耐性、または硬度が異なる材料を用いてもよい。
【００４５】
また、上記の実施形態では、第２部は、鍛造により製造されていた。しかしながら、第２部は、プレス加工等の他の工法により製造されてもよい。
【００４６】
第１腕部の径方向外側面に第２腕部の径方向内側面が接触して固定されていたが、第２腕部の径方向外側面に、第１腕部の径方向内側面が接触して固定されてもよい。また、第１腕部の下方に第２腕部が接触して固定されてもよい。
【００４７】
第１部と第２部とは、第１腕部と第２腕部が接触して固定されていたが、これに限られない。可撓性薄肉部と、平坦部が接触して固定されてもよい。
【００４８】
また、上記の実施形態で示した可撓性外歯歯車の製造工程において、各工程の順序を一部入れ替えたり、或いは他の工程がさらに追加されたりしてもよい。
【００４９】
上記の実施形態では、可撓性外歯歯車に対し、「縦」、「横」、「底」等の方向性を付して説明したが、これらは、波動歯車装置の使用時の向きを限定するものではない。
【００５０】
また、波動歯車装置の細部の形状等については、本願の各図に示されたものと異なっていてもよい。また、上記の実施形態または変形例に登場した各要素を、矛盾が生じない範囲で、適宜に組み合わせてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本願は、可撓性外歯歯車および波動歯車装置に利用できる。
【符号の説明】
【００５２】
１０  剛性内歯歯車
１１  内歯
２０，４０，６０，可撓性外歯歯車
２１  外歯
２３，４３，６３  固定部
２５  可撓性薄肉部
２６，４６，６６  平板部
２７，４７，６７  第１部
２８，４８，６８  第２部
２９  筒状腕部
３０  波動発生器
３１  非真円カム
３３  波動ベアリング
１００  ：波動歯車装置
【図１】
2020122563.tif 000003
【図２】
2020122563.tif 000004
【図３】
2020122563.tif 000005
【図４】
2020122563.tif 000006
【図５】
2020122563.tif 000007
【図６Ａ】
2020122563.tif 000008
【図６Ｂ】
2020122563.tif 000009