(57)【要約】【課題】ヒータを用いることなく試料の温度を調整することができる試料温度調整装置を提供する。【解決手段】試料温度調整装置１００は、試料収容部材１と、支持部３２と、調整剤収容部材２と、熱伝導部３と、第１移動機構４とを備える。試料収容部材１は、収容空間１ａを有する。収容空間１ａは、試料Ｓを収容する。支持部３２は、収容空間１ａにおいて試料Ｓを支持する。調整剤収容部材２は、試料収容部材１の外部に配置される。調整剤収容部材２は、環境温度と異なる温度を示す温度調整剤Ｍを収容する。熱伝導部３は、温度調整剤Ｍの温度を支持部３２に伝達する。熱伝導部３は、温度調整剤Ｍに浸漬される浸漬部３１を有する。第１移動機構４は、温度調整剤Ｍと浸漬部３１との接触面積が変化するように調整剤収容部材２を移動させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を収容する収容空間を有する試料収容部材と、
前記収容空間において前記試料を支持する支持部と、
前記試料収容部材の外部に配置されて、環境温度と異なる温度を示す温度調整剤を収容する調整剤収容部材と、
前記温度調整剤の温度を前記支持部に伝達する熱伝導部と、
前記調整剤収容部材を移動させる第１移動機構と
を備え、
前記熱伝導部は、前記温度調整剤に浸漬される浸漬部を有し、
前記第１移動機構は、前記温度調整剤と前記浸漬部との接触面積が変化するように前記調整剤収容部材を移動させる、試料温度調整装置。
【請求項２】
前記試料収容部材は、光を透過する光学窓を有し、
前記光学窓は、前記試料に対向する位置に配置される、請求項１に記載の試料温度調整装置。
【請求項３】
前記試料収容部材の外部に配置されて、前記光学窓に向けて気体を噴出するノズルを更に備える、請求項２に記載の試料温度調整装置。
【請求項４】
前記支持部は、前記試料を支持する下面又は上面を有する、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の試料温度調整装置。
【請求項５】
前記試料収容部材を移動させる第２移動機構を更に備える、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の試料温度調整装置。
【請求項６】
前記試料付近の温度を測定する温度測定部を更に備える、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の試料温度調整装置。
【請求項７】
前記収容空間を低圧状態にする真空ポンプを更に備える、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の試料温度調整装置。
【請求項８】
前記熱伝導部を覆う断熱性部材を更に備える、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の試料温度調整装置。
【請求項９】
前記熱伝導部は、
前記支持部の第１接続箇所に接続する第１接続部と、
前記支持部の第２接続箇所に接続する第２接続部と
を有し、
前記第１接続部と前記第２接続部とは互いに対向する、請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の試料温度調整装置。
【請求項１０】
前記第１接続部と前記第２接続部とは、前記第１接続部と前記第２接続部とが対向する方向において対称である、請求項９に記載の試料温度調整装置。
【請求項１１】
前記熱伝導部は、板状の熱伝導部材を含む、請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の試料温度調整装置。
【請求項１２】
前記熱伝導部と前記支持部とが単一の部材からなる、請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の試料温度調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料温度調整装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に、顕微鏡用クライオスタット装置が開示されている。特許文献１に開示の顕微鏡用クライオスタット装置は、真空容器と、試料ホルダと、熱伝導体と、低熱源と、ヒータとを備える。真空容器は、１つ以上の光学窓を有する。試料ホルダは、真空容器中に配置される。熱伝導体は、試料ホルダの熱を熱伝導により低熱源に流して、試料ホルダの温度を下げる。ヒータは、試料ホルダを加熱する。特許文献１に開示の顕微鏡用クライオスタット装置は、試料ホルダを熱伝導で冷却すると同時にヒータで加熱して、冷却と加熱とのバランスで試料ホルダの温度をコントロールする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２５１６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示の顕微鏡用クライオスタット装置は、試料ホルダの温度を調整するために、ヒータで試料ホルダを加熱する必要がある。したがって、消費電力の面で改善の余地がある。
【０００５】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ヒータを用いることなく試料の温度を調整することができる試料温度調整装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の試料温度調整装置は、試料収容部材と、支持部と、調整剤収容部材と、熱伝導部と、第１移動機構とを備える。前記試料収容部材は、収容空間を有する。前記収容空間は、試料を収容する。前記支持部は、前記収容空間において前記試料を支持する。前記調整剤収容部材は、前記試料収容部材の外部に配置される。前記調整剤収容部材は、環境温度と異なる温度を示す温度調整剤を収容する。前記熱伝導部は、前記温度調整剤の温度を前記支持部に伝達する。前記第１移動機構は、前記調整剤収容部材を移動させる。前記熱伝導部は、前記温度調整剤に浸漬される浸漬部を有する。前記第１移動機構は、前記温度調整剤と前記浸漬部との接触面積が変化するように前記調整剤収容部材を移動させる。
【０００７】
ある実施形態において、前記試料収容部材は、光を透過する光学窓を有する。前記光学窓は、前記試料に対向する位置に配置される。
【０００８】
ある実施形態において、前記試料温度調整装置は、前記試料収容部材の外部に配置されるノズルを有する。前記ノズルは、前記光学窓に向けて気体を噴出する。
【０００９】
ある実施形態において、前記支持部は、前記試料を支持する下面又は上面を有する。
【００１０】
ある実施形態において、前記試料温度調整装置は、前記試料収容部材を移動させる第２移動機構を更に備える。
【００１１】
ある実施形態において、前記試料温度調整装置は、前記試料付近の温度を測定する温度測定部を更に備える。
【００１２】
ある実施形態において、前記試料温度調整装置は、前記収容空間を低圧状態にする真空ポンプを更に備える。
【００１３】
ある実施形態において、前記試料温度調整装置は、前記熱伝導部を覆う断熱性部材を更に備える。
【００１４】
ある実施形態において、前記熱伝導部は、第１接続部と、第２接続部とを有する。前記第１接続部は、前記支持部の第１接続箇所に接続する。前記第２接続部は、前記支持部の第２接続箇所に接続する。前記第１接続部と前記第２接続部とは互いに対向する。
【００１５】
ある実施形態において、前記第１接続部と前記第２接続部とは、前記第１接続部と前記第２接続部とが対向する方向において対称である。
【００１６】
ある実施形態において、前記熱伝導部は、板状の熱伝導部材を含む。
【００１７】
ある実施形態では、前記熱伝導部と前記支持部とが単一の部材からなる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、ヒータを用いることなく試料の温度を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態１に係る顕微鏡システムを示す図である。
【図２】本発明の実施形態２に係る顕微鏡システムを示す図である。
【図３】本発明の実施形態３に係る顕微鏡システムを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。但し、図中、同一又は相当部分については同一の参照符号を付して説明を繰り返さない。また、説明が重複する箇所については、適宜説明を省略する場合がある。なお、図面には、理解を容易にするために、上下方向、及び左右方向を記載しているが、本発明に係る試料温度調整装置の作製時及び使用時の向きを限定する意図はない。
【００２１】
［実施形態１］
まず図１を参照して、本実施形態の顕微鏡システム２００を説明する。図１は、本実施形態に係る顕微鏡システム２００を示す図である。図１に示すように、顕微鏡システム２００は、試料温度調整装置１００と、対物レンズ２０１とを備える。
【００２２】
試料温度調整装置１００は、試料Ｓの温度を調整する。対物レンズ２０１は、試料Ｓの拡大像を生成する。なお、顕微鏡システム２００は、対物レンズ２０１に加えて、鏡筒のような一般的な光学顕微鏡の観察光学系が備える部材を更に備える。顕微鏡システム２００は、照明光学系を更に備えてもよい。本実施形態の顕微鏡システム２００が備える光学顕微鏡は、倒立型顕微鏡である。
【００２３】
続いて図１を参照して、本実施形態の試料温度調整装置１００を説明する。図１に示すように、試料温度調整装置１００は、試料収容部材１と、調整剤収容部材２と、熱伝導体３と、第１移動機構４とを備える。本実施形態の試料温度調整装置１００は、試料Ｓを冷却する。換言すると、本実施形態の試料温度調整装置１００は、クライオスタットである。
【００２４】
試料収容部材１は、対物レンズ２０１の上方に配置される。試料収容部材１は、試料Ｓを収容する収容空間１ａを有する。本実施形態において、試料収容部材１は、真空チャンバーである。したがって、収容空間１ａは、密閉空間である。試料収容部材１の材料は、例えば樹脂である。試料収容部材１は、例えば、直径３ｃｍの円筒形状を有する。
【００２５】
試料収容部材１は、壁部１１と、光学窓１２とを有する。壁部１１は、収容空間１ａを区画する。光学窓１２は、壁部１１の開口を塞ぐように配置される。光学窓１２は、光を透過する。光学窓１２は、例えば、ガラス製である。光学窓１２は、試料Ｓに対向する位置に配置される。また、光学窓１２は、対物レンズ２０１に対向する位置に配置される。本実施形態では、光学窓１２は、壁部１１のうち、底壁（下壁）に配置される。具体的には、光学窓１２は、対物レンズ２０１の上方に配置される。光学窓１２は、光学顕微鏡によって試料Ｓを観察するために設けられる。光学窓１２は、例えば、カバーガラスである。
【００２６】
調整剤収容部材２は、試料収容部材１の外部に配置される。調整剤収容部材２は、温度調整剤Ｍを収容する。温度調整剤Ｍは、環境温度と異なる温度を示す。調整剤収容部材２は、例えば、断熱容器である。
【００２７】
本実施形態の温度調整剤Ｍは、寒剤（低温熱源）である。寒剤は、例えば、液体窒素である。寒剤として液体窒素を使用することにより、試料Ｓの温度を１２３Ｋ（ケルビン）まで冷却することができる。本実施形態において、調整剤収容部材２は、デュワー瓶である。デュワー瓶は、二重壁を有する。二重壁の内部は真空である。
【００２８】
熱伝導体３は、浸漬部３１と、支持部３２と、接続部３３と、中間部３４とを有する。熱伝導体３は、温度調整剤Ｍの温度を支持部３２に伝達する。この結果、支持部３２が、温度調整剤Ｍ（寒剤）の温度によって冷却される。浸漬部３１、接続部３３、及び中間部３４は、本発明の熱伝導部を構成する。本実施形態では、浸漬部３１、支持部３２、接続部３３、及び中間部３４は、単一の部材からなる。したがって、温度調整剤Ｍの温度を支持部３２に効率よく伝達することができる。
【００２９】
熱伝導体３は、熱伝導率が高い材料を含む。熱伝導体３の材料は、例えば、銀、銅、金、又はアルミニウムである。なお、熱伝導体３の材料は、温度調整剤Ｍの温度を支持部３２に伝達することができる限り、特に限定されない。
【００３０】
浸漬部３１は、試料収容部材１の外部に配置される。浸漬部３１は、熱伝導体３の一端部である。浸漬部３１は、温度調整剤Ｍに浸漬される。支持部３２は、収容空間１ａに配置される。支持部３２は熱伝導体３の他端部に含まれる。
【００３１】
支持部３２は、収容空間１ａにおいて試料Ｓを支持する。より具体的には、試料Ｓは支持部３２に固定される。本実施形態において、支持部３２は、熱伝導体３の他端部をＬ字状に曲げ加工して形成する。支持部３２は、試料Ｓを支持する下面を有する。試料Ｓは、例えば、カーボン両面テープを用いて支持部３２の下面に貼り付けられる。
【００３２】
接続部３３の一端は、支持部３２に接続する。接続部３３は、収容空間１ａの内部から収容空間１ａの外部まで延びる。中間部３４の一端は、接続部３３の他端に接続する。中間部３４の他端は浸漬部３１に接続する。なお、接続部３３は、試料収容部材１の壁部１１の開口を介して、収容空間１ａの内部から収容空間１ａの外部まで延びる。壁部１１の開口の内周面と接続部３３との隙間は、例えば接着剤を用いて封止される。これにより、収容空間１ａの密閉性が向上する。
【００３３】
本実施形態において、浸漬部３１の断面積は、支持部３２、接続部３３、及び中間部３４の断面積よりも大きい。この結果、温度調整剤Ｍの熱を効率よく伝達することができる。
【００３４】
また、支持部３２、接続部３３、及び中間部３４の断面積が浸漬部３１の断面積よりも小さいことにより、熱伝導体３の曲げ加工が容易となる。例えば、浸漬部３１は、複数枚の板状の熱伝導部材を積層させて形成する。複数枚の熱伝導部材のうちの１枚には、他の熱伝導部材よりも長いものを使用する。他の熱伝導部材よりも長い熱伝導部材を曲げ加工して、支持部３２、接続部３３、及び中間部３４を形成する。板状の熱伝導部材は、例えば、銅製の熱伝導プレートである。
【００３５】
また、接続部３３の断面積が浸漬部３１の断面積よりも小さいことにより、試料収容部材１の壁部１１の開口を小さくすることができる。その結果、収容空間１ａを密閉性が向上する。なお、支持部３２及び接続部３３の断面積は、試料収容部材１のサイズに応じて選定される。
【００３６】
第１移動機構４は、調整剤収容部材２を移動させる。より具体的には、第１移動機構４は、温度調整剤Ｍと浸漬部３１との接触面積が変化するように調整剤収容部材２を移動させる。本実施形態では、第１移動機構４は、調整剤収容部材２を上下方向に移動させる。温度調整剤Ｍと浸漬部３１との接触面積を変化させることにより、試料Ｓの温度を調整することができる。詳しくは、温度調整剤Ｍと浸漬部３１との接触面積が減少することに応じて、試料Ｓの温度は上昇する。温度調整剤Ｍと浸漬部３１との接触面積が増加することに応じて、試料Ｓの温度は下がる。
【００３７】
本実施形態において、作業者は、第１移動機構４を手動で操作して、調整剤収容部材２を移動させる。第１移動機構４は、例えば、ジャッキである。なお、第１移動機構４は、ジャッキに限定されない。第１移動機構４は、例えば、Ｚ軸ステージであってもよい。
【００３８】
以上、図１を参照して説明したように、本実施形態によれば、調整剤収容部材２を移動させることにより、試料Ｓの温度を調整することができる。したがって、ヒータを用いることなく試料Ｓの温度を調整することができる。
【００３９】
また、本実施形態によれば、フィードバック制御を使わずに試料Ｓの温度を調整することができる。したがって、支持部３２の振動及びドリフトを低減することができる。具体的には、温度調整剤Ｍと浸漬部３１との接触面積を変化させると、試料Ｓの温度は、変化後の接触面積に対応する温度に漸近していく。したがって、試料Ｓの温度が振動しないため、支持部３２の振動及びドリフトを低減することができる。
【００４０】
続いて図１を参照して、本実施形態の試料温度調整装置１００を更に説明する。図１に示すように、試料温度調整装置１００は、断熱性部材５と、真空ポンプ６１と、配管６２と、第２移動機構７と、ノズル８と、温度測定部９とを更に備える。
【００４１】
断熱性部材５は、熱伝導体３を覆う。具体的には、断熱性部材５は、中間部３４を覆う。換言すると、断熱性部材５は、熱伝導体３の一部を覆う。断熱性部材５が熱伝導体３の一部を覆うことで、熱伝導体３によって伝達される熱が周囲の空気に奪われ難くなり、試料Ｓの温度を効率よく調整することが可能となる。なお、断熱性部材５は、断熱性能を有する部材である限り、特に限定されない。本実施形態において、断熱性部材５は保冷剤である。例えば、断熱性部材５の素材は、エアロゲルである。
【００４２】
真空ポンプ６１は、収容空間１ａを低圧状態にする。具体的には、真空ポンプ６１は、配管６２に接続される。配管６２は、中空部材である。配管６２の一端は、収容空間１ａに位置する。真空ポンプ６１が駆動することで、収容空間１ａ内の空気が、配管６２を介して、収容空間１ａの外部に排出される。収容空間１ａが低圧状態となることで、収容空間１ａ内の部材に霜が付くことを抑制できる。また、収容空間１ａ内の部材が結露によって濡れることを抑制できる。更に、収容空間１ａから空気が排出されるため、試料Ｓ及び支持部３２の熱が空気に奪われ難くなる。また、接続部３３のうち、収容空間１ａ内に配置される部分の熱が、空気に奪われ難くなる。したがって、試料Ｓの温度を効率よく調整することが可能となる。また、試料Ｓの温度の安定性が向上する。
【００４３】
第２移動機構７は、試料収容部材１を移動させる。作業者は、第２移動機構７を用いて試料収容部材１を移動させることにより、試料Ｓと対物レンズ２０１との相対的な位置関係を調整することができる。したがって、より確実に試料Ｓを観察することができる。第２移動機構７は、例えば、開口付きピエゾステージである。開口付きピエゾステージは、Ｘ軸ステージ、ＸＹ軸ステージ、Ｚ軸ステージ、及びＸＹＺ軸ステージのいずれかである。
【００４４】
ノズル８は、試料収容部材１の外部に配置されて、光学窓１２に向けて気体を噴出する。ノズル８は、気体の供給源に、例えば、チューブを介して接続している。光学窓１２に向けて気体が噴出されることにより、光学窓１２に結露が発生することを抑制することができる。気体は、例えば、窒素、アルゴン、又は乾燥空気である。
【００４５】
温度測定部９は、試料Ｓ付近の温度を測定する。温度測定部９は、熱電対９１と、表示装置９２とを含む。表示装置９２は、熱電対９１によって測定された温度を表示する。したがって、作業者は、試料Ｓ付近の温度を確認して、試料Ｓの温度が所望の温度になったか否かを判断することができる。また、作業者は、試料Ｓ付近の温度を確認して、第１移動機構４を操作することができる。したがって、試料Ｓの温度の調整作業を効率よく行うことができる。なお、温度を測定する部材は、熱電対９１に限定されない。温度を測定する部材は、例えば、サーミスタであってもよい。
【００４６】
［実施形態２］
続いて図２を参照して本発明の実施形態２について説明する。但し、実施形態１と異なる事項を説明し、実施形態１と同じ事項についての説明は割愛する。実施形態２は、熱伝導体３の形状が実施形態１と異なる。
【００４７】
図２は、本実施形態に係る顕微鏡システム２００を示す図である。但し、理解を容易にするために、図２では、図１を参照して説明した温度測定部９を省略している。
【００４８】
図２に示すように、本実施形態の接続部３３は、第１接続部３３ａと、第２接続部３３ｂとを有する。具体的には、第１接続部３３ａ、第２接続部３３ｂ、及び支持部３２は、熱伝導体３の他端部を曲げ加工して形成する。詳しくは、熱伝導体３の他端部は、第１屈曲点Ｐ１において右側に向けて斜め下方に曲げられる。なお、熱伝導体３の他端部は平板状であり、右側は、熱伝導体３の他端部の一方の主面側（第１主面側）を示す。次に、熱伝導体３の他端部は、第２屈曲点Ｐ２において左側に向けて曲げられる。ここでは、熱伝導体３の他端部は水平に折り曲げられる。なお、左側は、熱伝導体３の他端部の他方の主面側（第２主面側）を示す。次に、熱伝導体３の他端部は、第３屈曲点Ｐ３において右側に向けて斜め上方に曲げられる。
【００４９】
本実施形態において、第１接続部３３ａは、第１屈曲点Ｐ１から第２屈曲点Ｐ２までの部分であり、支持部３２は、第２屈曲点Ｐ２から第３屈曲点Ｐ３までの部分であり、第２接続部３３ｂは、第３屈曲点Ｐ３から第２接続部３３ｂの先端までの部分である。したがって、第１接続部３３ａは第２屈曲点Ｐ２において支持部３２に接続し、第２接続部３３ｂは第３屈曲点Ｐ３において支持部３２に接続する。また、前記第１接続部３３ａと前記第２接続部３３ｂとは互いに対向する。なお、第２屈曲点Ｐ２は第１接続箇所の一例であり、第３屈曲点Ｐ３は第２接続箇所の一例である。
【００５０】
また、第２接続部３３ｂの先端は、第１屈曲点Ｐ１に接続している。換言すると、第２接続部３３ｂの先端は、第１接続部３３ａの基端である第１屈曲点Ｐ１側の端部に接続している。したがって、第２接続部３３ｂは、第３屈曲点Ｐ３から第１屈曲点Ｐ１までの部分であり、熱伝導体３の他端部の形状（第１接続部３３ａ、支持部３２、及び第２接続部３３ｂからなる部分の形状）は、三角形となる。
【００５１】
更に、本実施形態では、第１接続部３３ａと第２接続部３３ｂとが対向する方向（ここでは、左右方向）において、第１接続部３３ａと第２接続部３３ｂとは対称である。より具体的には、第１接続部３３ａと第２接続部３３ｂとは線対称である。
【００５２】
以上、図２を参照して本発明の実施形態２を説明した。本実施形態によれば、第１接続部３３ａ及び第２接続部３３ｂは、第１屈曲点Ｐ１から互いに反対側の斜め下方に延びて、支持部３２に接続する。したがって、第１接続部３３ａと第２接続部３３ｂとが対向する方向への支持部３２の振動及びドリフトを低減することができる。なお、左右方向及び上下方向に直交する前後方向（図２の紙面に対して垂直な方向）への振動及びドリフトは、板状の接続部３３が前後方向に幅を有することにより、低減することができる。
【００５３】
更に、本実施形態によれば、第１接続部３３ａと第２接続部３３ｂとが対向する方向において、第１接続部３３ａと第２接続部３３ｂとが対称であるため、第１接続部３３ａと第２接続部３３ｂとが対向する方向への支持部３２の振動及びドリフトを、より低減することができる。
【００５４】
なお、本実施形態において、熱伝導体３の他端部の形状は三角形であったが、熱伝導体３の他端部の形状は三角形に限定されない。熱伝導体３の他端部の形状は、支持部３２の振動及びドリフトを低減できる形状であればよい。例えば、熱伝導体３の他端部の形状は、四角形であってもよい。
【００５５】
［実施形態３］
続いて図３を参照して本発明の実施形態３について説明する。但し、実施形態１、２と異なる事項を説明し、実施形態１、２と同じ事項についての説明は割愛する。実施形態３は、試料収容部材１の構成が実施形態１、２と異なる。
【００５６】
図３は、本実施形態に係る顕微鏡システム２００を示す図である。本実施形態の顕微鏡システム２００は、光学顕微鏡として、正立型顕微鏡を備える。図３に示すように、本実施形態の試料収容部材１は、対物レンズ２０１の下方に配置される。また、光学窓１２は、壁部１１のうち、上壁に配置される。具体的には、光学窓１２は、対物レンズ２０１の下方に配置される。
【００５７】
また、本実施形態の支持部３２は、試料Ｓを支持する上面を有する。試料Ｓは、例えば、カーボン両面テープを用いて支持部３２の上面に貼り付けられる。
【００５８】
以上、図３を参照して本発明の実施形態３を説明した。本実施形態によれば、試料温度調整装置１００を、正立型顕微鏡に適用することができる。なお、本実施形態では、熱伝導体３の他端部の形状はＬ字状であるが、実施形態２で説明したように、熱伝導体３の他端部の形状は三角形であってもよい。
【００５９】
以上、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明した。但し、本発明は、上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の態様において実施することが可能である。
【００６０】
例えば、本発明による実施形態において、温度調整剤Ｍは寒剤であったが、温度調整剤Ｍは寒剤に限定されない。温度調整剤Ｍは、環境温度と異なる温度を示す限り、特に限定されない。温度調整剤Ｍは、環境温度に対して高い温度を保持してもよい。例えば、温度調整剤Ｍは、熱湯であり得る。温度調整剤Ｍが、環境温度に対して高い温度を保持することにより、試料Ｓを加熱することができる。なお、温度調整剤Ｍは、環境温度に対して高い温度を保持する場合、真空ポンプ６１及び配管６２は省略されてもよい。
【００６１】
また、本発明による実施形態では、浸漬部３１の断面積は、支持部３２、接続部３３、及び中間部３４の断面積より大きいが、浸漬部３１、支持部３２、接続部３３、及び中間部３４の断面積は同一であってもよい。
【００６２】
また、本発明による実施形態では、熱伝導部（浸漬部３１、接続部３３、及び中間部３４）と支持部３２とが単一の部材からなるが、熱伝導部と支持部３２とは別の部材であってもよい。
【００６３】
また、本発明による実施形態において、試料温度調整装置１００は顕微鏡観察に適用されたが、試料温度調整装置１００は、他の光学計測にも適用できる。例えば、試料温度調整装置１００は、ＵＶ（紫外）／ＶＩＳ（可視）測定、ラマン分光測定、赤外吸収分光測定、発光測定、及びＴＨｚ（テラヘルツ）測定に適用することができる。
【００６４】
なお、図面は、発明の理解を容易にするために、それぞれの構成要素を主体に模式的に示しており、図示された各構成要素の厚さ、長さ、個数、間隔等は、図面作成の都合上から実際とは異なる場合もある。また、上記の実施形態で示す各構成要素の構成は一例であって、特に限定されるものではなく、本発明の効果から実質的に逸脱しない範囲で種々の変更が可能であることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明は、試料の温度依存性を測定する分野に有用である。
【符号の説明】
【００６６】
１      試料収容部材
１ａ    収容空間
２      調整剤収容部材
３      熱伝導体
４      第１移動機構
３１    浸漬部
３２    支持部
１００  試料温度調整装置
Ｍ      温度調整剤
Ｓ      試料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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