(57)【要約】【課題】スピンドルユニットにおいて、スピンドルとハウジングとの間に加工屑を含む加工水（加工廃液）が進入するのを防ぐ。【解決手段】加工具装着のためのマウント６５を一端側に装着するスピンドル６２１と、スピンドル６２１を一端側を露出させ回転可能に支持するハウジング６２２と、スピンドル回転駆動源６２３と、露出したスピンドル外側面を包囲し、スピンドル６２１の一端側に装着されたマウント６５に非接触でマウント６５とハウジング６２２の一端との間でハウジング６２２の一端に連結される筒状シール部６８とを備え、シール部６８は、スピンドル６２１の一端側に装着されたマウント６５の外側面又はマウント６５の後面に対面した面に形成される環状内凹部６８１を備え、内凹部６８１がラビリンスシールとして機能し、被加工物加工の際に発生する加工屑を含む加工廃液が、マウント６５とシール部６８との隙間からハウジング６２２側に進入するのを止めるスピンドルユニット６２。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
砥石加工具を装着するためのマウントを一方の端側に装着するスピンドルと、該スピンドルの一方の端側を露出させ該スピンドルを回転可能に支持するハウジングと、該スピンドルを回転させる回転駆動源と、を備えたスピンドルユニットであって、
該ハウジングの一方の端から露出した該スピンドルの外側面を包囲し、該スピンドルの一方の端側に装着された該マウントに非接触の状態で該マウントと該ハウジングの一方の端との間で該ハウジングの一方の端に連結される筒状のシール部を備え、
該シール部は、該スピンドルの一方の端側に装着された該マウントの外側面に対面した面又は該スピンドルの一方の端側に装着された該マウントの後面に対面した面に形成される環状の内凹部を備え、
該内凹部がラビリンスシールとして機能し、
加工水を供給しながら該砥石加工具で被加工物を加工している際に加工屑を含む加工廃液が、該マウントと該シール部との間の隙間から該ハウジング側に進入するのを止めるスピンドルユニット。
【請求項２】
前記シール部の外壁面に撥水性のコーティングを施した請求項１記載のスピンドルユニット。
【請求項３】
前記シール部の内側面と前記スピンドルの外側面との間の隙間が、前記ハウジング内部において該スピンドルを支持するエアベアリングを形成した高圧エアの排気部となる請求項１又は２に記載のスピンドルユニット。
【請求項４】
前記シール部の先端の面に対面する前記マウントの該後面に形成され該シール部の先端を収容する環状凹部を備え、該シール部と該マウントとを該スピンドルの軸方向で切った断面における該シール部と該マウントとの間の隙間が大小交互に配設される請求項１、２又は３記載のスピンドルユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置等に配設されるスピンドルユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば切削装置に用いられるスピンドルユニット（例えば、特許文献１参照）においては、スピンドルとエアベアリング等でスピンドルを支持するハウジングとの間にスピンドルユニットの先端部分から加工屑を含む加工廃液がハウジング側に進入してしまうことがあり、スピンドルとハウジングとの間に加工廃液に含まれていた加工屑が固着することによってスピンドルが回転不能になる場合がある。これを防ぐために、ゴム等からなるリング状のシール部材を用いて加工廃液の上記進入を防止している。
【０００３】
しかし、切削ブレードで切削した被加工物の切断面をきれいにするため、切削ブレードに含まれる砥粒の粒径が小さく改良され、それに伴って排出される加工屑も小さくなる事で、スピンドルとハウジングとの間に加工屑がより進入しやすくなるという問題がある。該問題を解決するため方法として、スピンドルを支持するエアベアリングを形成したエアを、加工屑の進入を阻止するためのエアとして用いるためにハウジング側からスピンドルの先端側に向けて流れるようにしている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−０５９１５１号公報
【特許文献２】特開２０１８−０７５６８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、加工屑の進入を阻止するために該エアの消費量が多くなり問題となる。また、エアベアリング形成のためのエア供給を停止すると、ハウジングとスピンドルとの隙間に加工屑を含む加工廃液が入り込んでしまうという問題がある。よって、スピンドルユニットにおいては、エアベアリング形成のためのエア供給を停止した場合等においても、スピンドルとハウジングとの間に細かな加工屑を含む加工廃液が進入することを防ぎ、また、エアベアリングの代わりにボールベアリングなどを用いたメカニカルベアリングをスピンドルユニットが備える場合であっても、スピンドルとハウジングとの間に加工屑を含む加工廃液が進入するのを防ぎ、スピンドルとハウジングとの間に加工屑が固着して、スピンドルを回転不能にしてしまうことが無いようにするという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための本発明は、砥石加工具を装着するためのマウントを一方の端側に装着するスピンドルと、該スピンドルの一方の端側を露出させ該スピンドルを回転可能に支持するハウジングと、該スピンドルを回転させる回転駆動源と、を備えたスピンドルユニットであって、該ハウジングの一方の端から露出した該スピンドルの外側面を包囲し、該スピンドルの一方の端側に装着された該マウントに非接触の状態で該マウントと該ハウジングの一方の端との間で該ハウジングの一方の端に連結される筒状のシール部を備え、該シール部は、該スピンドルの一方の端側に装着された該マウントの外側面に対面した面又は該スピンドルの一方の端側に装着された該マウントの後面に対面した面に形成される環状の内凹部を備え、該内凹部がラビリンスシールとして機能し、加工水を供給しながら該砥石加工具で被加工物を加工している際に加工屑を含む加工廃液が、該マウントと該シール部との間の隙間から該ハウジング側に進入するのを止めるスピンドルユニットである。
【０００７】
本発明に係るスピンドルユニットにおいては、前記シール部の外壁面に撥水性のコーティングを施すと好ましい。
【０００８】
本発明に係るスピンドルユニットにおいては、前記シール部の内側面と前記スピンドルの外側面との間の隙間が、前記ハウジング内部において該スピンドルを支持するエアベアリングを形成した高圧エアの排気部となると好ましい。
【０００９】
本発明に係るスピンドルユニットは、シール部の先端の面に対面する前記マウントの該後面に形成され該シール部の先端を収容する環状凹部を備え、該シール部と該マウントとを該スピンドルの軸方向で切った断面における該シール部と該マウントとの間の隙間が大小交互に配置された形状（例えば、ジグザグ形状）となると好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係るスピンドルユニットは、ハウジングの一方の端から露出したスピンドルの外側面を包囲し、スピンドルの一方の端側に装着されたマウントに非接触の状態でマウントとハウジングの一方の端との間でハウジングの一方の端に連結される筒状のシール部を備え、シール部は、スピンドルの一方の端側に装着されたマウントの外側面に対面した面又はスピンドルの一方の端側に装着されたマウントの後面に対面した面に形成される環状の内凹部を備えることで、内凹部がラビリンスシールとして機能し、加工水を供給しながら砥石加工具で被加工物を加工している際に発生する加工屑を含む加工廃液を、マウントとシール部との間の隙間からハウジング側に進入するのを止めることが可能となる。即ち、細かな加工屑を含む加工廃液が、エアベアリングを形成するためのエア供給を停止しても、スピンドルとハウジングとの間に進入しようとするのを内凹部で止めることができる。したがって、スピンドルとハウジングとの間に加工屑が固着してしまうといった事態を生じさせないようにすることが可能となる。また、ハウジングがボールベアリング等のメカベアリングでスピンドルを支持する構成となっており、加工廃液の進入を防ぐためのハウジングから排出される高圧エアが無い場合であっても、スピンドルとハウジングとの間に加工屑を含む加工廃液が進入してしまうことを内凹部で止めることができるようになる。
【００１１】
本発明に係るスピンドルユニットにおいては、シール部の外壁面に撥水性のコーティングを施すことで、加工により発生する加工屑が生加工されたセラミックスやＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の水分が抜けやすく固化しやすい加工屑であっても、撥水性のコーティングでシール部の外壁面に加工屑を固着させないようにすることが可能となる。その結果、スピンドルの回転による部品同士のかじり等を防止することが可能となる。
【００１２】
本発明に係るスピンドルユニットにおいては、シール部の内側面とスピンドルの外側面との間の隙間が、ハウジング内部においてスピンドルを支持するエアベアリングを形成した高圧エアの排気部となることで、スピンドルを支持するエアベアリングを形成した高圧エアを加工屑の進入を阻止するためエアとして作用させることができる。
【００１３】
本発明に係るスピンドルユニットは、シール部の先端の面に対面するマウントの後面に形成されシール部の先端を収容する環状凹部を備え、シール部とマウントとをスピンドルの軸方向で切った断面におけるシール部とマウントとの間の隙間が大小交互に配設された形状となることで、細かな加工屑を含む加工廃液が、スピンドルとハウジングとの間に進入してしまうことをより防ぐことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係るスピンドルユニットを備える切削装置の一例を示す斜視図である。
【図２】スピンドルユニットを備える切削手段の構造の一例を示す断面図である。
【図３】切削手段の一部の分解断面図である。
【図４】切削手段の一部の断面図である。
【図５】シール部の先端の面に対面するマウントの後面に形成されシール部の先端を収容する環状凹部を備えるスピンドルユニットの一部を示す断面図である。
【図６】本発明に係るスピンドルユニットを備える研削装置の一例を示す斜視図である。
【図７】チャックテーブルと本発明に係るスピンドルユニットを備える研削手段とを示す断面図である。
【図８】シール部の別例を示す断面図である。
【図９】シール部の先端の面に対面するマウントの後面に形成されシール部の先端を収容する環状凹部を備えるスピンドルユニットの一部を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（実施形態１）
図１に示す切削装置１は、例えば、保持テーブル１５に保持された半導体ウェーハ等の板状の被加工物Ｗに対して、本発明に係るスピンドルユニット６２により回転される砥石加工具６３を切り込ませて切削加工を施す装置である。
【００１６】
図１に示す被加工物Ｗは、例えば、シリコンを母材とする外形が円形板状の半導体ウェーハであり、図１において上側を向いている表面Ｗａには、直交差する複数の分割予定ラインＳが形成されており、分割予定ラインＳによって格子状に区画された各領域にはＩＣ等のデバイスＤがそれぞれ形成されている。被加工物Ｗの裏面Ｗｂは、ダイシングテープＴが貼着されて保護されている。なお、被加工物Ｗはシリコン以外にガリウムヒ素、サファイア、樹脂、窒化ガリウム又はシリコンカーバイド等で構成されていてもよいし、その外形も円形状ではなく、例えば、矩形状に形成されていてもよい。例えば、被加工物Ｗは、その表面ＷａにＰＺＴ薄膜等が成膜されていてもよいし、生セラミックス基板やＰＺＴウェーハ等であってもよい。また、被加工物Ｗは、例えば、図示しない環状フレームによってダイシングテープＴを介してハンドリング可能に支持されていてもよい。
【００１７】
切削装置１の基台１０上には、切削送り方向（Ｘ軸方向）に保持テーブル１５を往復移動させる切削送り手段１１が配設されている。切削送り手段１１は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールネジ１１０と、ボールネジ１１０と平行に配設された一対のガイドレール１１１と、ボールネジ１１０を回動させるモータ１１２と、内部のナットがボールネジ１１０に螺合し底部がガイドレール１１１に摺接する可動板１１３とから構成される。そして、モータ１１２がボールネジ１１０を回動させると、これに伴い可動板１１３がガイドレール１１１にガイドされてＸ軸方向に移動し、可動板１１３上に配設された保持テーブル１５がＸ軸方向に移動する。
【００１８】
被加工物Ｗを保持する保持テーブル１５は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなる水平な保持面１５ａ上で被加工物Ｗを吸引保持する。保持テーブル１５は、その底面側に配設され軸方向がＺ軸方向である回転手段１５１を介して可動板１１３上に固定されている。
【００１９】
基台１０上の後方側（＋Ｘ方向側）には、門型コラム１００が切削送り手段１１を跨ぐように立設されている。門型コラム１００の前面には、Ｘ軸方向に水平面において直交するＹ軸方向に切削手段６を往復移動させる割り出し送り手段１２が配設されている。割り出し送り手段１２は、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ１２０と、ボールネジ１２０と平行に配設された一対のガイドレール１２１と、ボールネジ１２０を回動させるモータ１２２と、内部のナットがボールネジ１２０に螺合し側部がガイドレール１２１に摺接する可動板１２３とから構成される。そして、モータ１２２がボールネジ１２０を回動させると、これに伴い可動板１２３がガイドレール１２１にガイドされてＹ軸方向に移動し、可動板１２３上に切込み送り手段１６を介して配設された切削手段６がＹ軸方向に割り出し送りされる。
【００２０】
可動板１２３上には、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に対して直交するＺ軸方向（鉛直方向）に切削手段６を往復移動させる切込み送り手段１６が配設されている。切込み送り手段１６は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ１６０と、ボールネジ１６０と平行に配設された一対のガイドレール１６１と、ボールネジ１６０を回動させるモータ１６２と、内部のナットがボールネジ１６０に螺合し側部がガイドレール１６１に摺接する支持部材１６３とから構成される。そして、モータ１６２がボールネジ１６０を回動させると、これに伴い支持部材１６３がガイドレール１６１にガイドされてＺ軸方向に移動し、支持部材１６３が支持する切削手段６がＺ軸方向に切込み送りされる。
【００２１】
切削手段６は、例えば、砥石加工具６３を回転可能に支持するスピンドル６２１（図２参照）を備える本発明に係るスピンドルユニット６２と、スピンドル６２１に装着される砥石加工具６３と、砥石加工具６３をカバーするブレードカバー６４と、砥石加工具６３に加工水を供給する加工水供給ノズル６７１、６７２と、を少なくとも備えている。
【００２２】
図２に示すスピンドルユニット６２は、砥石加工具６３を装着するためのマウント６５を一方の端側（＋Ｙ方向側）に装着するスピンドル６２１と、スピンドル６２１の一方の端側を露出させスピンドル６２１を回転可能に支持するハウジング６２２と、スピンドル６２１を回転させる回転駆動源６２３と、を備えている。
【００２３】
本実施形態においては、ハウジング６２２の内部にはエアベアリングが形成される。即ち、筒状部材であるハウジング６２２の中にスピンドル６２１を通し、ハウジング６２２とスピンドル６２１との間の小さな隙間に、コンプレッサー等で構成されるエア供給源６０から供給された高圧エアからなるエア層（エアベアリング）を形成し、このエアベアリングによってスピンドル６２１を非接触で軸承する。
なお、ハウジング６２２は、ボールベアリング等のメカベアリングでスピンドル６２１を支持する構造となっていてもよい。
【００２４】
図２に示すように、ハウジング６２２に例えば非接触で支持されるスピンドル６２１は、Ｙ軸方向に延在する長軸部６２１ｃと、長軸部６２１ｃの例えば長手方向（Ｙ軸方向）の略中位置において一体的に形成され径方向外向きに延出されるスラストプレート部６２１ｄと、長軸部６２１ｃの一端側に一体的に形成され＋Ｙ方向側に向かって縮径するテーパー面を備えるマウント装着部６２１ａを有しており、マウント装着部６２１ａの先端面から内部にかけて固定ボルト６６４が螺合するネジ孔６２１ｂ（図３参照）が形成されている。長軸部６２１ｃ、及びスラストプレート部６２１ｄとハウジング６２２の内側面との間には、僅かな隙間が設けられている。
【００２５】
図２に示すように、ハウジング６２２の側壁内部には、エア供給源６０に連通しハウジング６２２の長手方向（Ｙ軸方向）に延びるエア流路６２２ａが形成され、ハウジング６２２の内側壁面には、スピンドル６２１に向かって高圧エアを噴出させる複数の噴射口６２２ｂが形成されている。
【００２６】
複数の噴射口６２２ｂからスピンドル６２１の外面に高圧エアが噴射され、スピンドル６２１とハウジング６２２との僅かな隙間に高圧エアが流れ込み隙間に充満する。これにより、ハウジング６２２にラジアルエアベアリングとスラストエアベアリングとが形成され、径方向及び軸方向（Ｙ軸方向）でスピンドル６２１が回転可能に支持される。即ち、スピンドル６２１がハウジング６２２により高圧エアを介して非接触で浮動支持される。
【００２７】
図２に示すスピンドル６２１の後端側（−Ｙ方向側）には、回転駆動源６２３が形成されている。回転駆動源６２３は、例えばモータであり、スピンドル６２１の後端にロータ６２３ｅが形成されている。ハウジング６２２には、ロータ６２３ｅを囲繞して配置されるステータ６２３ｃと、ステータ６２３ｃを囲繞し回転駆動源６２３の発熱を抑える冷却ジャケット６２２ｆとが形成されている。
【００２８】
図２に示すスピンドル６２１の先端側（＋Ｙ方向側）は、ハウジング６２２の一方の端側（＋Ｙ方向側）から外部に突き出るように露出している。図３に示すように、マウント装着部６２１ａは、例えば、円柱基部６２１ｇ及び円柱基部６２１ｇから＋Ｙ方向側の先端に向かって縮径する円錐台のテーパー部６２１ｆを備えている。
【００２９】
切削手段６は、スピンドル６２１に着脱可能に装着されるマウント６５を備えている。全体として正面視略円形の外形を備えるマウント６５は、円筒形状の筒状基部６５０と、筒状基部６５０の外側面の中間位置において径方向外側に突出して形成されたフランジ６５１と、を備えている。筒状基部６５０の筒内は、スピンドル６２１のテーパー部６２１ｆが嵌合する嵌合孔６５２（図３参照）となっている。
【００３０】
図３に示す筒状基部６５０のフランジ６５１よりも先端側（＋Ｙ方向側）の部分は、図３に示す略円環状の外形を備えるフランジ６６０の開口内に挿入される。また、筒状基部６５０の外側面６５ｃ中のフランジ６５１よりも先端側（＋Ｙ方向側）の領域には、固定ナット６６１が螺合するネジ６５０ｃが形成されている。
フランジ６５１の＋Ｙ方向側の前面には、一段の段差が設けられており、これによって砥石加工具６３の開口に嵌入される砥石支持部６５１ａが形成されている。
【００３１】
砥石加工具６３は、中央に円形の開口が形成された円環状のワッシャー型のブレードであり、ダイヤモンド砥粒等が適宜のバインダーで固定されて形成されている。なお、砥石加工具６３は、例えばアルミニウムからなる台金（ハブ）と台金から径方向外側に向かって突出するように形成された切り刃（砥石）とを備えるハブブレードであってもよい。
【００３２】
マウント６５の嵌合孔６５２にスピンドル６２１のテーパー部６２１ｆを挿嵌した後、スピンドル６２１のネジ孔６２１ｂに固定ボルト６６４を螺合していくことによって、テーパー部６２１ｆと嵌合孔６５２とが嵌合され、マウント６５をスピンドル６２１に固定することができる。さらに、フランジ６５１の砥石支持部６５１ａに砥石加工具６３の開口を挿入させてから、フランジ６５１の先端側にフランジ６６０の開口を挿入させ、筒状基部６５０の先端側の外側面６５ｃに形成されたネジ６５０ｃに固定ナット６６１を螺合させて締め付けることで、砥石加工具６３は、砥石支持部６５１ａによって支持されると共に、フランジ６５１とフランジ６６０とで挟持された状態になる。そして、図２に示す回転駆動源６２３によりスピンドル６２１が回転駆動されることに伴って、砥石加工具６３も高速回転する状態になる。
【００３３】
本発明に係るスピンドルユニット６２は、図３、４に示すように、ハウジング６２２の一方の端側から露出したスピンドル６２１の側面を包囲し、スピンドル６２１の一方の端側に装着されたマウント６５に非接触の状態でマウント６５とハウジング６２２の一方の端（＋Ｙ方向側）との間でハウジング６２２の一方の端に連結される筒状のシール部６８を備えている。
【００３４】
本実施形態におけるシール部６８は、ハウジング６２２の先端面に図示しないボルト等で後面が固定されている。筒状のシール部６８は、本実施形態においては、先端側（＋Ｙ方向側）に向かって縮径している。シール部６８の先端部分は、シール部６８の径方向外側に向かって拡径するようにフランジ状に延在することで、折り返し部６８５が形成されている。折り返し部６８５は、砥石加工具６３を挟んで配設される図４に示す一対の加工水供給ノズル６７１から噴射される加工水が加工屑を含んで加工廃液となった後に、砥石加工具６３の回転によって発生する気流により巻き上げられてシール部６８の先端面とマウント６５のフランジ６５１の後面６５１ｂとの間の隙間に直接向かっていくのを防ぐ役割を果す。
【００３５】
シール部６８の筒内径は、例えば、後端側から先端側に向かって、縮径した後に間欠的に拡径している。そして、シール部６８の内側面は、スピンドル６２１の円柱基部６２１ｇの外側面との間に僅かな隙間を設けて対面する第１内側面６８ａと、スピンドル６２１の一方の端側であるテーパー部６２１ｆに装着されたマウント６５の例えば外側面６５ｃ中のフランジ６５１よりも後端側の領域に対面した面６８ｂ（本実施形態においては、以下、第２内側面６８ｂとする）とを備える。
【００３６】
シール部６８は、第２内側面６８ｂに形成される環状の内凹部６８１を備えている。ラビリンスシールとして機能する内凹部６８１は、例えば、Ｙ軸方向に等間隔を空けて第２内側面６８ｂを環状に切り欠いて形成された３本の円環状の溝である。なお、内凹部６８１の本数は１本、２本、又は４本以上であってもよい。
【００３７】
例えば、図４に示すように、マウント装着部６２１ａの円柱基部６２１ｇの外側面との間に僅かな隙間を設けて対面する第１内側面６８ａには、ラビリンスシールとして機能する円環状の溝６８３が形成されていると好ましい。また、図３，４においては円環状の溝６８３は１本となっているが、Ｙ軸方向に所定間隔を空けて複数形成されていてもよい。なお、シール部６８は、円環状の溝６８３を備えない構成であってもよい。
【００３８】
シール部６８の外壁面６８ｄには、例えば本実施形態のようにテフロン（登録商標）コーティング等の撥水性のコーティング（塗布や、シートの貼着）が施されていると、外壁面６８ｄに加工屑が固着するのを防止できる。
【００３９】
例えば、シール部６８の内側面とスピンドル６２１の外側面との間の隙間、即ち、本実施形態においては、シール部６８の第１内側面６８ａとスピンドル６２１の円柱基部６２１ｇの外側面との間の隙間は、エアベアリングを形成するために流された高圧エアの排気部６２６となる。排気部６２６から排気されるエアは、シール部６８の第２内側面６８ｂとマウント６５の外側面６５ｃとの隙間を通り、シール部６８の先端面とマウント６５のフランジ６５１の後面６５１ｂとの隙間から排気される。
【００４０】
図１に示すブレードカバー６４は、その中央領域に砥石加工具６３を収容する略円形の開口を備えている。ブレードカバー６４の−Ｘ方向側の側面には、加工水供給ノズル６７２を支持するノズル支持ブロック６４３が配設されており、ノズル支持ブロック６４３には、純水等を蓄えている加工水供給源６９に連通し砥石加工具６３の径方向外側から砥石加工具６３に向かって加工水を噴射する加工水供給ノズル６７２が配設されている。
【００４１】
砥石加工具６３を図４に示すようにスピンドル６２１に装着した後に、図１に示すブレードカバー６４をハウジング６２２に装着すれば、砥石加工具６３をブレードカバー６４の開口内に収容でき、切削手段６が被加工物Ｗを切削可能な状態になる。
【００４２】
ブレードカバー６４は、Ｙ方向側から見て略Ｌ字形状の図１、４に示す一対の加工水供給ノズル６７１を支持している。一対の加工水供給ノズル６７１は、砥石加工具６３の下部を挟むようにしてＸ軸方向に互いに平行に延びている。一対の加工水供給ノズル６７１のそれぞれの上端は、加工水供給源６９に樹脂チューブ等を介して連通している。一対の加工水供給ノズル６７１は砥石加工具６３の側面に対面する内側面に複数のスリットを備えており、スリットから噴射される加工水によって、砥石加工具６３は冷却及び洗浄される。
【００４３】
例えば、図１に示すように、スピンドルユニット６２のハウジング６２２の外側面には、被加工物Ｗの分割予定ラインＳを検出するアライメント手段１８が配設されている。アライメント手段１８は、光照射手段と、被加工物Ｗからの反射光を捉える光学系及び受光量に対応した電気信号を出力する撮像素子等で構成されたカメラ１８０と、を備えており、カメラ１８０により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の画像処理によって被加工物Ｗの表面Ｗａの分割予定ラインＳの位置を検出できる。
【００４４】
以下に、上記図１に示す切削装置１を用いて被加工物ＷをデバイスＤを備える個々のチップに分割する場合の、切削装置１の動作、特にスピンドルユニット６２の動作について詳しく説明する。
【００４５】
まず、図１に示す保持テーブル１５の保持面１５ａによって、被加工物Ｗが表面Ｗａが上側を向いた状態で吸引保持される。保持テーブル１５により被加工物Ｗが保持された後、切削送り手段１１が、保持テーブル１５に保持された被加工物Ｗを＋Ｘ方向に送り、カメラ１８０が被加工物Ｗの撮像を行う。被加工物Ｗの表面Ｗａが写った撮像画像を基に、アライメント手段１８がパターンマッチング等の画像処理を実行し、砥石加工具６３を切り込ませるべき分割予定ラインＳの座標位置が検出される。各分割予定ラインＳの座標位置が検出されるのに伴って、切削手段６が割り出し送り手段１２によってＹ軸方向に移動され、切削すべき分割予定ラインＳと砥石加工具６３とのＹ軸方向における位置合わせが行われる。
【００４６】
上記位置合わせ後、図２に示す回転駆動源６２３がスピンドル６２１を高速回転させ、先に説明したエアベアリングでハウジング６２２に非接触で支持されるスピンドル６２１の回転に伴って、スピンドル６２１に固定された砥石加工具６３が高速回転をし、図１に示す切込み送り手段１６が切削手段６を−Ｚ方向に降下させ、例えば、砥石加工具６３が被加工物Ｗの裏面Ｗｂを切り抜けダイシングテープＴに到る所定の高さ位置に切削手段６が位置付けられる。さらに、切削送り手段１１が被加工物Ｗを保持する保持テーブル１５を所定の切削送り速度で＋Ｘ方向に移動させ、被加工物Ｗを分割予定ラインＳに沿って切削していく。
【００４７】
切削加工中において、図１、４に示す一対の加工水供給ノズル６７１によって、砥石加工具６３の刃厚方向（Ｙ軸方向）両側から砥石加工具６３と被加工物Ｗとの接触部位に向かって加工水が噴射され、接触部位に生じた加工屑が加工廃液となった加工廃液と共に除去され、また、接触部位が冷却される。
【００４８】
切削加工中において、先に説明したハウジング６２２内部においてスピンドル６２１に向けて噴出されスピンドル６２１を支持するエアベアリングを形成した高圧エアは、スピンドルユニット６２の排気部６２６、及びシール部６８の第２内側面６８ｂとマウント６５の外側面６５ｃとの隙間を通りスピンドルユニット６２外へ排気される。そして、排出された高圧エアは、エアシールとして働き、加工屑を含む加工廃液がシール部６８の先端面とマウント６５のフランジ６５１の後面６５１ｂとの隙間を通過してハウジング６２２内に進入しようとするのを防ぐ。
【００４９】
スピンドルユニット６２は外部に排出した該高圧エアによるエアシールの効果を得ることができる一方、エア供給を停止すると、ハウジング６２２とスピンドル６２１との隙間に加工屑を含む加工廃液が入り込んでしまうという問題があった。
しかし、本発明に係るスピンドルユニット６２では、図４に示すシール部６８が、スピンドル６２１の一方の端側に装着されたマウント６５の例えば外側面６５ｃに対面した第２内側面６８ｂに形成される環状の内凹部６８１を備えていることで、第２内側面６８ｂ、内凹部６８１、及びマウント６５の外側面６５ｃによって囲まれる微細な隙間でラビリンスシールを形成することが可能となる。そのため、細かな加工屑を含む加工廃液が、スピンドル６２１とハウジング６２２との間に進入してしまうことを防ぎ、スピンドル６２１とハウジング６２２との間に加工屑が固着してしまうといった事態を生じ無いようにすることが可能となる。また、エアベアリングの代わりに、ハウジング６２２がボールベアリングでスピンドル６２１を支持する構成の場合であっても、スピンドル６２１とハウジング６２２との間に加工屑を含む加工廃液が進入してしまうことをラビリンスシールとして機能する内凹部６８１で防ぐことができるようになる。
【００５０】
本発明に係るスピンドルユニット６２においては、シール部６８の外壁面６８ｄに撥水性のコーティングを施すことで、加工により発生する加工屑が例えば生加工されたセラミックスやＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の水分が抜けやすく固化しやすい加工屑であっても、撥水性のコーティングでシール部６８の外壁面６８ｄに加工屑を固着させないようにすることが可能となる。
【００５１】
なお、切削装置１が備える本発明に係るスピンドルユニット６２は、本実施形態１に限定されるものではない。例えば、スピンドルユニット６２は、図５に示すように、シール部６８の先端の面に対面するマウント６５の後面に形成されシール部６８の先端を収容する環状凹部６８６を備えていてもよい。例えば、環状凹部６８６は、マウント６５を構成するフランジ６５１の後面６５１ｂを所定深さだけ円環状に切り欠いて形成されており、シール部６８の先端部分が環状凹部６８６に入り込んだ状態になっている。環状凹部６８６は、シール部６８の外壁面６８ｄ、先端面、及び第２内側面６８ｂとの間に僅かな隙間を形成しており、シール部６８とマウント６５とをスピンドル６２１の軸方向（Ｙ軸方向）で切った断面におけるシール部６８とマウント６５との該隙間が図５に示すように大小交互に配設された形状であるコの字形状になる。そのため、シール部６８の先端面とマウント６５を構成するフランジ６５１の後面６５１ｂとの隙間に直接細かな加工屑を含む加工廃液が真っ直ぐ進入してしまうことをより防ぐことが可能となる。
【００５２】
（実施形態２）
図６に示す研削装置２は、本発明に係るスピンドルユニット７２を備える研削手段７によって、チャックテーブル２３によって吸引保持された被加工物Ｗを研削する装置である。研削装置２のベース２０上の前方（−Ｙ方向側）は、チャックテーブル２３に対して被加工物Ｗの着脱が行われる領域であり、ベース２０上の後方（＋Ｙ方向側）は、研削手段７によってチャックテーブル２３上に保持された被加工物Ｗの研削が行われる領域である。
なお、本発明に係るスピンドルユニット７２を備える研削装置は、研削装置２のような研削手段７が１軸のマニュアルタイプの研削装置に限定されるものではなく、粗研削手段と仕上げ研削手段とを備える２軸のフルオートタイプの研削装置であってもよい。
【００５３】
被加工物Ｗを保持する図６に示すチャックテーブル２３は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなり被加工物Ｗを吸着する吸着部２３０と、吸着部２３０を支持する枠体２３１とを備える。吸着部２３０は図示しない吸引源に連通し、吸着部２３０の露出面と枠体２３１の上面とからなる保持面２３０ａ上で被加工物Ｗを吸引保持する。なお、保持面２３０ａは、チャックテーブル２３の回転中心を頂点とする極めて緩やかな円錐面となっている。
【００５４】
チャックテーブル２３は、カバー２４によって囲繞されていると共に、その下方に配設されＺ軸方向の回転軸を備える図示しない回転手段によって回転可能である。また、チャックテーブル２３は、図１に示すカバー２４及びカバー２４に連結された蛇腹カバー２４ａの下方に配設された図示しない移動手段によってＹ軸方向に往復移動可能となっている。
【００５５】
研削領域には、コラム２１が立設されており、コラム２１の前面には研削手段７をチャックテーブル２３に対して離間又は接近するＺ軸方向（鉛直方向）に研削送りする研削送り手段２２が配設されている。研削送り手段２２は、鉛直方向の軸心を有するボールネジ２２０と、ボールネジ２２０と平行に配設された一対のガイドレール２２１と、ボールネジ２２０の上端に連結しボールネジ２２０を回動させるモータ２２２と、内部のナットがボールネジ２２０に螺合し側部がガイドレール２２１に摺接する昇降板２２３とを備えており、モータ２２２がボールネジ２２０を回動させると、これに伴い昇降板２２３がガイドレール２２１にガイドされてＺ軸方向に往復移動し、昇降板２２３に固定された研削手段７がＺ軸方向に研削送りされる。
【００５６】
研削位置まで＋Ｙ方向に移動したチャックテーブル２３に隣接する位置には、例えば、研削中において被加工物Ｗの厚みを接触式にて測定する厚み測定手段２８が配設されている。
【００５７】
チャックテーブル２３に保持された被加工物Ｗを研削する研削手段７は、軸方向がＺ軸方向であるスピンドル７２０を備える本発明に係るスピンドルユニット７２と、スピンドル７２０の下端に接続された円環状のマウント７３と、マウント７３の下面に着脱可能に装着された砥石加工具７４と、スピンドルユニット７２を支持し研削送り手段２２の昇降板２２３にその側面が固定されたホルダ７５とを備える。
【００５８】
スピンドルユニット７２は、砥石加工具７４を装着するためのマウント７３を一方の端側（下端側）に装着するスピンドル７２０と、スピンドル７２０の一方の端側を露出させスピンドル７２０を回転可能に支持するハウジング７２１と、スピンドル７２０を回転させる回転駆動源７２２と、を備えている。
【００５９】
図７に示すように、ハウジング７２１に例えば非接触で支持されるスピンドル７２０は、円柱状に形成されＺ軸方向に延在する長軸部７２０ａと、長軸部７２０ａの中段位置において長軸部７２０ａと一体的に形成され長軸部７２０ａから径方向外向きに延出される円形板状のプレート部７２０ｂと、長軸部７２０ａの下端側に長軸部７２０ａから径方向外向きに一体的に延出されマウント７３が取り付けられる円形板状の取り付け部７２０ｃとを備えている。プレート部７２０ｂ及び取り付け部７２０ｃとハウジング７２１の内側面との間には僅かな隙間が形成されている。
【００６０】
図７に示すように、例えば外形が有天井円筒形状に形成されたハウジング７２１は、コンプレッサー等で構成されるエア供給源７９から供給されるエアの圧力によってスピンドル７２０を非接触で支持するエアベアリングを内部に形成する。
なお、ハウジング７２１は、ボールベアリングでスピンドル７２０を支持する構造となっていてもよい。
【００６１】
エアベアリングの具体的な構造について説明する。ハウジング７２１の下端部分にはプレート部７２０ｂと取り付け部７２０ｃとの間に入り込むように環状板状の外形を備えるエア噴射部７２１ｄが形成されている。スピンドル７２０のプレート部７２０ｂとハウジング７２１のエア噴射部７２１ｄとの間、及びスピンドル７２０の取り付け部７２０ｃとハウジング７２１のエア噴射部７２１ｄとの間には、エアの通り路になる僅かな隙間が設けられている。エア噴射部７２１ｄの外面には図示しない多数の噴射口が形成されており、各噴射口はエア噴射部７２１ｄ内のエア流路７２１ｅ及び配管を通じてエア供給源７９に接続されている。
【００６２】
エア供給源７９から供給された高圧エアが、上記エア流路７２１ｅを通ってエア噴射部７２１ｄの各噴射口から隙間を介してスピンドル７２０の外面に噴射されることで、スピンドル７２０がハウジング７２１に対して高圧エアを介して浮動支持される。これにより、ハウジング７２１内にラジアルエアベアリングとスラストエアベアリングとが形成され、ラジアルエアベアリングとスラストエアベアリングとによって径方向及び軸方向でスピンドル７２０の外側面が回転可能に支持される。このとき、スラストエアベアリングによって広い範囲でスピンドル７２０のプレート部７２０ｂと取り付け部７２０ｃとが浮動支持されているため、スピンドル７２０に対してスラスト方向（Ｚ軸方向）に作用する加工負荷が適度に分散されている。
【００６３】
図７に示す回転駆動源７２２は、例えば、スピンドル７２０の長軸部７２０ａの上端側の側面に接続されたロータ７２２ａと、ロータ７２２ａの外側においてハウジング７２１の内側面に冷却ジャケット７２１ｆを介して配設されたステータ７２２ｂとを備えたモータである。ステータ７２２ｂには、回転駆動源７２２に所定の電力を供給する図示しない電源が接続されている。回転駆動源７２２は、ステータ７２２ｂに電圧が印加されることによりロータ７２２ａを回転させ、ロータ７２２ａが装着されたスピンドル７２０を回転させる。冷却ジャケット７２１ｆは、例えば水冷式の冷却ジャケットであり、回転駆動源７２２の発熱を抑える。
【００６４】
ハウジング７２１の一方の端側（下端側）からは、スピンドル７２０の一方の端側（下端側）である取り付け部７２０ｃが、ハウジング７２１の外部に向かって−Ｚ方向に突出している。ハウジング７２１から露出した取り付け部７２０ｃの下面に、マウント７３を図示しない固定ボルト等で取り付けることができるようになっている。
【００６５】
スピンドル７２０の一方の端側（下端側）に装着されたマウント７３の前面（本実施形態においては下面）には、砥石加工具７４が図示しないボルト等によって固定されている。砥石加工具７４は、砥石基台７４１と、砥石基台７４１の底面に環状に配置された略直方体形状の複数の研削砥石７４０とを備える。研削砥石７４０は、適宜のバインダー（接着剤）でダイヤモンド砥粒等が固着されて成形されており、主にその下面が研削面となる。
【００６６】
本発明に係るスピンドルユニット７２は、ハウジング７２１の一方の端側（下端側）から露出したスピンドル７２０の外側面を包囲し、スピンドル７２０の一方の端側に装着されたマウント７３に非接触の状態でマウント７３とハウジング７２１の一方の端との間でハウジング７２１の一方の端に連結される筒状のシール部７７を備えている。
【００６７】
本実施形態におけるシール部７７は、スピンドル７２０の取り付け部７２０ｃの外側面を包囲し、ハウジング７２１のエア噴射部７２１ｄの下面に図示しないボルト等でその上端面が固定されている。
シール部７７は、スピンドル７２０の一方の端側に装着されたマウント７３の例えば後面７３ｂ（本実施形態における上面）に対面した面７７ｃ（本実施形態においては下端面７７ｃ）に形成される環状の内凹部７７０を備えている。ラビリンスシールとして機能する内凹部７７０は、面７７ｃを環状に切り欠いて形成された１本の円環状の溝である。なお、内凹部７７０は、例えば、シール部７７の中心を中心とする同心円状に面７７ｃに複数本形成されていてもよい。
【００６８】
例えば、図７に示すように、スピンドル７２０の取り付け部７２０ｃの外側面に対面するシール部７７の内側面７７ａには、ラビリンスシールとして機能する１本の円環状の溝７７１が形成されていると好ましい。また、円環状の溝７７１は、例えば、内側面７７ａにＺ軸方向に所定間隔を空けて複数形成されていてもよい。
【００６９】
シール部７７の外壁面７７ｂには、例えばテフロン（登録商標）コーティング等の撥水性のコーティングが施されていると、外壁面７７ｂに加工屑が固着するのを防止できる。該撥水性のコーティングは、例えば撥水剤の塗布や、シートの貼着によるものである。
【００７０】
例えば、シール部７７の外壁面７７ｂは、平坦面ではなく、図７に示すように内側面７７ａ側に向かって窪んだ後外側に向かって折り返された形状となっていると、外壁面７７ｂに付着した加工廃液がシール部７７の面７７ｃに伝っていき難くなるので好ましい。
【００７１】
シール部７７の内側面７７ａとスピンドル７２０の外側面との隙間は、例えば、先に説明したスピンドル７２０を支持するエアベアリングを形成するために流された高圧エアの排気部７７３となる。排気部７７３から排気される高圧エアは、研削加工中に発生する加工屑を含んだ加工廃液が、ハウジング７２１内に進入するのを防ぐ役割を果す。
【００７２】
図７に示すように、スピンドル７２０の内部には、回転中心を通り加工水の通り道となる加工水流路７２０ｆがＺ軸方向に貫通して形成されている。加工水流路７２０ｆは、マウント７３内に形成された加工水分配路７３ａに連通している。加工水分配路７３ａはマウント７３の内部において周方向に均等間隔を空けて径方向に延在しており、マウント７３の下面でそれぞれ開口している。そして、加工水分配路７３ａは、砥石基台７４１の上面から内側斜面に貫通形成され研削砥石７４０に向かって加工水を噴出する複数の加工水噴出口７４１ｂと連通する。
【００７３】
研削装置２は、加工水を研削砥石７４０と被加工物Ｗとの接触部位に供給するための加工水供給手段２７を備えている。加工水供給手段２７は、例えば、スピンドル７２０の加工水流路７２０ｆにジョイント７２１ｈを介して挿入される加工水供給パイプ２７０と、ポンプ等から構成され加工水供給パイプ２７０の上端側に連通する加工水供給源２７１とを備えている。加工水供給源２７１が送出する加工水は、加工水供給パイプ２７０を通り、スピンドル７２０の加工水流路７２０ｆに至り、さらに、加工水分配路７３ａで分かれて加工水噴出口７４１ｂから下方に向かって噴出し、研削砥石７４０と被加工物Ｗとに供給される。
【００７４】
例えば、研削位置まで＋Ｙ方向に移動したチャックテーブル２３に隣接する位置には、研削中において被加工物Ｗと研削砥石７４０との接触部位に砥石加工具７４の外側から加工水を供給する加工水供給ノズル２６が配設されている。加工水供給ノズル２６は、加工水供給源２７１に配管を介して連通している。
【００７５】
以下に、上記図６、７に示す研削装置２を用いて被加工物Ｗの裏面Ｗｂを研削する場合の、研削装置２の動作、特にスピンドルユニット７２の動作について詳しく説明する。
図６、７に示すチャックテーブル２３の保持面２３０ａによって、被加工物Ｗが裏面Ｗｂが上側を向いた状態で吸引保持される。被加工物Ｗの裏面Ｗｂの中心とチャックテーブル２３の回転中心とは略合致している。次いで、被加工物Ｗを保持したチャックテーブル２３が、研削手段７の下まで＋Ｙ方向へ移動する。そして、研削手段７の研削砥石７４０とチャックテーブル２３に保持された被加工物Ｗとの位置合わせがなされる。位置合わせは、例えば、砥石加工具７４の回転中心が被加工物Ｗの回転中心に対して所定の距離だけ水平方向にずれ、研削砥石７４０の回転軌跡が被加工物Ｗの回転中心を通るように行われる。
【００７６】
次いで、研削手段７が研削送り手段２２により−Ｚ方向へと送られ、先に説明したハウジング７２１内に形成されるエアベアリングで非接触で支持されるスピンドル７２０の回転に伴って回転する研削砥石７４０が、被加工物Ｗの裏面Ｗｂに当接することで研削が行われる。研削中は、チャックテーブル２３が例えば研削砥石７４０と同方向に回転するのに伴って、保持面２３０ａ上に保持された被加工物Ｗも回転するので、研削砥石７４０によって被加工物Ｗの裏面Ｗｂ全面の研削加工が行われる。
【００７７】
研削加工中においては、図７に示す加工水供給源２７１が、主に砥石加工具７４を冷却するための加工水をスピンドル７２０中の加工水流路７２０ｆに対して供給する。加工水流路７２０ｆに供給された加工水は、マウント７３の加工水分配路７３ａを通り、砥石加工具７４の各加工水噴出口７４１ｂから噴出し研削砥石７４０に到達する。この加工水によって研削砥石７４０及び被加工物Ｗが冷却されると共に、被加工物Ｗの裏面Ｗｂから加工屑が加工廃液となった加工水と共に洗い流される。
【００７８】
また、研削加工中においては、加工水供給ノズル２６から、加工水が砥石加工具７４の外側から研削砥石７４０と被加工物Ｗとの接触部位に向かって噴射され、接触部位に生じた加工屑を含んだ加工廃液と共に除去される。
【００７９】
研削加工中において、先に説明したハウジング７２１内部においてスピンドル７２０に向けて噴出されスピンドル７２０を支持するエアベアリングを形成した高圧エアは、排気部７７３を通過して、さらに、シール部７７の面７７ｃ及び内凹部７７０とマウント７３の後面７３ｂと間を通ってスピンドルユニット７２の外部に排出される。そして、排出された高圧エアは、エアシールとして作用して、加工屑を含む加工廃液がシール部７７の面７７ｃとマウント７３の後面７３ｂとの隙間を通過してハウジング７２１内に至ることを効果的に防止できる。
【００８０】
スピンドルユニット７２の外部に排出された該高圧エアによるエアシールの効果を得ることができる一方、スピンドルユニット７２への高圧エアの供給を停止したとき、加工廃液が排気部７７３を通りハウジング７２１内に入り込んでしまうという問題があった。
しかし、本発明に係るスピンドルユニット７２では、シール部７７が、スピンドル７２０の一方の端側に装着されたマウント７３の例えば後面７３ｂに対面した面７７ｃに形成される環状の内凹部７７０を備えていることで、面７７ｃ、内凹部７７０、及びマウント７３の後面７３ｂによって囲まれる微細な隙間でラビリンスシールを形成することができる。そのため、細かな加工屑を含む加工廃液が、スピンドル７２０とハウジング７２１との間に進入してしまうことを、ラビリンスシールとして機能する内凹部７７０で防ぐことができる。そのため、スピンドル７２０とハウジング７２１との隙間に加工屑が固着してしまうといった事態を生じさせないようにすることが可能となる。また、エアベアリングの代わりに、ハウジング７２１が例えばボールベアリングでスピンドル７２０を支持する構成の場合であっても、スピンドル７２０とハウジング７２１との隙間に加工屑を含む加工廃液が進入してしまうことをラビリンスシールとして機能する内凹部７７０で防ぐことが可能となる。
【００８１】
本発明に係るスピンドルユニット７２においては、シール部７７の外壁面７７ｂに撥水性のコーティングを施すことで、加工により発生する加工屑が例えば生加工されたセラミックスやＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の水分が抜けやすく固化しやすい加工屑であっても、撥水性のコーティングでシール部７７の外壁面７７ｂに加工屑を固着させないようにすることが可能となる。
【００８２】
本発明に係るスピンドルユニット７２においては、シール部７７の内側面７７ａとスピンドル７２０の外側面との隙間が、ハウジング７２１内部においてスピンドル７２０を支持するエアベアリングを形成した高圧エアの排気部７７３となることで、スピンドル７２０を支持するエアベアリングを形成した高圧エアを加工屑の進入を阻止するためエアとして作用させることができる。
【００８３】
なお、研削装置２が備える本発明に係るスピンドルユニット７２は、本実施形態２に限定されるものではない。
例えば、図８に示すように、別例のシール部７７Ｆは、スピンドル７２０の一方の端側に装着されたマウント７３の外側面７３ｃに対面した面７７ｄに形成される環状の内凹部７７４を備えていてもよい。即ち、シール部７７Ｆの下端側は、マウント７３の後面７３ｂ上方を径方向外側に延在した後−Ｚ方向に延在しマウント７３の外側面７３ｃを囲繞する形状となっている。内凹部７７４は、例えば、マウント７３の外側面７３ｃに僅かな隙間を設けて対面した面７７ｄを環状に切り欠いて形成された複数本（例えば、３本）の円環状の溝であり、細かな加工屑を含む加工廃液がスピンドル７２０とハウジング７２１（図７参照）との隙間に進入してしまうことを防ぐラビリンスシールとして機能する。
【００８４】
図９に示すように、スピンドルユニット７２は、例えば、別例のシール部７７Ｇの先端に対面するマウント７３の後面７３ｂに形成されシール部７７Ｇの先端を収容する環状凹部７３３を備えていてもよい。環状凹部７３３は、マウント７３の後面７３ｂを所定深さだけ円環状に切り欠いて形成されており、シール部７７Ｇの外壁面７７ｂ、内側面７７ａ、及びマウント７３の後面７３ｂに対面する下端面７７ｃとの間に僅かな隙間を形成している。内凹部７７０は、下端面７７ｃ、及びマウント７３の後面７３ｂに形成された環状凹部７３３の底面と共にラビリンスシールとして機能する。そして、シール部７７Ｇとマウント７３とをスピンドル７２０の軸方向（Ｚ軸方向）で切った断面におけるシール部７７Ｇとマウント７３との隙間が図９に示すように大小交互に配置された形状（ジグザグした形状）となることで、内凹部７７０とマウント７３の後面７３ｂとの隙間に直接細かな加工屑を含む加工廃液が真っ直ぐ進入してしまうことをより防ぐことが可能となる。
【符号の説明】
【００８５】
Ｗ：被加工物  Ｗａ：被加工物の表面  Ｗｂ：被加工物の裏面  Ｓ：分割予定ライン  Ｄ：デバイス  Ｔ：ダイシングテープ
１：切削装置  １０：基台  １００：門型コラム
１１：切削送り手段  １５：保持テーブル  １５ａ：保持面  １５１：回転手段
１２：割り出し送り手段  １６：切込み送り手段  １８：アライメント手段  １８０：カメラ
６：切削手段  ６０：エア供給源  ６９：加工水供給源
６２：スピンドルユニット
６２１：スピンドル  ６２１ａ：マウント装着部  ６２１ｆ：テーパー部  ６２１ｇ：円柱基部  ６２１ｂ：ネジ孔  ６２１ｃ：長軸部  ６２１ｄ：スラストプレート部    ６２２ｆ：冷却ジャケット
６２２：ハウジング  ６２２ａ：エア流路  ６２２ｂ：噴射口
６２３：回転駆動源  ６２６：排気部
６３：砥石加工具
６４：ブレードカバー  ６４３：ノズル支持ブロック
６５：マウント  ６５ｃ：マウントの外側面  ６５０：筒状基部  ６５０ｃ：ネジ  ６５１：フランジ  ６５１ａ：砥石支持部  ６５２：嵌合孔
６６１：固定ナット  ６６４：固定ボルト  
６７１：一対の加工水供給ノズル  ６７２：加工水供給ノズル  ６９：加工水供給源
６８：シール部  ６８ａ：第１内側面  ６８ｂ：第２内側面  ６８１：内凹部  ６８３：円環状の溝  ６８ｄ：シール部の外壁面  ６８５：折り返し部  ６８６：環状凹部
２：研削装置  ２０：ベース  ２１：コラム
２３：チャックテーブル  ２４：カバー  ２２：研削送り手段  ２８：厚み測定手段
２７：加工水供給手段  ２６：加工水供給ノズル
７：研削手段
７２：スピンドルユニット
７２０：スピンドル  ７２０ａ：長軸部  ７２０ｂ：プレート部  ７２０ｃ：取り付け部
７２０ｆ：加工水流路  
７２１：ハウジング  ７２１ｄ：エア噴射部  ７２１ｅ：エア流路  ７２１ｆ：冷却ジャケット
７２２：回転駆動源
７３：マウント  ７３ａ：加工水分配路
７４：砥石加工具  ７４０：研削砥石  ７４１：砥石基台  
７５：ホルダ
７７：シール部  ７７ａ：シール部の内側面  ７７ｂ：シール部の外壁面  ７７０：内凹部
７７３：排気部  ７９：エア供給源
【図１】
2020183017.tif 000003
【図２】
2020183017.tif 000004
【図３】
2020183017.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2020183017.tif 000008
【図７】
2020183017.tif 000009
【図８】
2020183017.tif 000010
【図９】
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