(57)【要約】      （修正有）【課題】マイクロアクチュエータの検査を容易にすること。【解決手段】磁気ディスク装置１は、ディスク部１０、およびディスク部を制御する制御部３０を備える。ディスク部は、複数の磁気ディスクに応じて設けられる複数の磁気ヘッドＲ１、Ｒ２、ＲＮ、Ｗ１、Ｗ２〜ＷＮを含み、第１アクチュエータであるＶＣＭにより動作する磁気ヘッド部と、複数の磁気ヘッドに応じて設けられ、第１アクチュエータにより位置決めされる磁気ヘッドの位置を調整する第２アクチュエータであるマイクロアクチュエータＭＡ１、ＭＡ２〜ＭＡＮと、複数の第２アクチュエータのうちから選択的に第２アクチュエータを動作させる第２スイッチング回路５５とを備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の磁気ディスクを有するディスク部、および前記ディスク部を制御する制御部を備える磁気ディスク装置であって、
前記ディスク部は、
前記複数の磁気ディスクに応じて設けられる複数の磁気ヘッドを含み、第１アクチュエータにより動作する磁気ヘッド部と、
前記複数の磁気ヘッドに応じて設けられ、前記第１アクチュエータにより位置決めされる前記磁気ヘッドの位置を調整する第２アクチュエータと、
前記複数の第２アクチュエータのうちから選択的に第２アクチュエータを動作させるスイッチング部と、
を備える、磁気ディスク装置。
【請求項２】
前記ディスク部は、
前記磁気ディスクに対してリード／ライトを行う磁気ヘッドを選択するヘッド選択部を備え、
前記スイッチング部は、前記ヘッド選択部から選択された磁気ヘッドに設けられる前記第２アクチュエータを選択して動作させる、
請求項１に記載の磁気ディスク装置。
【請求項３】
前記ディスク部は、
前記第２アクチュエータの電気特性を測定する電気特性測定回路を備え、
前記制御部は、前記電気特性測定回路の測定結果に基づいて、前記複数の第２アクチュエータのいずれに故障が生じているかを判定する、
請求項１又は２に記載の磁気ディスク装置。
【請求項４】
前記スイッチング部は、所定の動作モードが設定された場合に、前記複数の第２アクチュエータのうちから複数の第２アクチュエータを選択する、
請求項１に記載の磁気ディスク装置。
【請求項５】
前記第２アクチュエータを動作させるアクチュエータ制御部は、前記制御部に設けられる、
請求項１から４のいずれか一項に記載の磁気ディスク装置。
【請求項６】
前記第２アクチュエータを動作させるアクチュエータ制御部は、前記ディスク部に設けられる、
請求項１から４のいずれか一項に記載の磁気ディスク装置。
【請求項７】
複数の磁気ディスクを有する第１ディスク部、複数の磁気ディスクを有する第２ディスク部、および前記第１ディスク部および前記第２ディスク部を制御する制御部を備える磁気ディスク装置であって、
前記第１ディスク部と、前記第２ディスク部とは、独立して動作し、
前記第１ディスク部、および前記第２ディスク部は、それぞれ、
前記複数の磁気ディスクに応じて磁気ヘッドが設けられ、第１アクチュエータにより動作する、磁気ヘッド部と、
前記複数の磁気ヘッド部にそれぞれ設けられ、前記第１アクチュエータにより位置決めされる前記磁気ヘッドの位置を調整する第２アクチュエータと、
前記複数の第２アクチュエータのうちから選択的に第２アクチュエータを動作させるスイッチング部と、
を備える、磁気ディスク装置。
【請求項８】
前記第２アクチュエータを駆動させるアクチュエータ駆動部は、前記第１ディスク部、および前記第２ディスク部にそれぞれ設けられる、
請求項７に記載の磁気ディスク装置。
【請求項９】
第１磁気記録面を含んだ複数の磁気記録面と、
第１磁気ヘッドを含み、前記複数の磁気記録面に対してデータをリード／ライトする複数の磁気ヘッドと、
前記第１磁気ヘッドによって、前記第１磁気記録面に対してデータがリード／ライトされる場合、前記複数の磁気ヘッドを駆動する第１アクチュエータと、
前記第１磁気ヘッドによって、前記第１磁気記録面に対してデータがリード／ライトされる場合、一の第２アクチュエータが独立に駆動する複数の第２アクチュエータと、
を備える、磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
実施形態は、磁気ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
少なくとも１つの薄膜磁気ヘッド素子を有する磁気ヘッドスライダと、磁気ヘッドスライダに固着されており薄膜磁気ヘッド素子の精密位置決めを行うアクチュエータと、薄膜磁気ヘッド素子のための第１の回路及びアクチュエータを駆動するための第２の回路を少なくとも搭載したＩＣチップと、アクチュエータ及びＩＣチップを固着支持するサスペンションとを備えた磁気ディスク装置が知られている。このサスペンションは、磁気ディスク装置に要求されるさらなる高密度記録化に十分に対処でき、かつサスペンション上を通る配線数を減少させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第６，６８０，８１０号明細書
【特許文献２】米国特許第６，７０７，６３３号明細書
【特許文献３】米国特許第６，８３１，８０７号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、マイクロアクチュエータを備えた磁気ディスク装置が知られている。マイクロアクチュエータは、ピエゾ素子を用いた駆動部が小さく動作応答速度が速いアクチュエータであり、磁気ディスク装置に、ヘッド部を大きく動作させるアクチュエータに加え、マイクロアクチュエータを設けることにより、磁気ヘッドの所定のトラックへの位置決め精度を向上させている。
【０００５】
マイクロアクチュエータは、磁気ディスク装置が複数のアクチュエータを有する場合、その数に応じた複数のマイクロアクチュエータを有することになる。ここで、複数のマイクロアクチュエータは、一意の電圧によって全て動作するようになっている。
【０００６】
一般に、磁気ディスク、アクチュエータ及びマイクロアクチュエータ等が組み込まれたヘッドディスクアセンブリと称されるディスク部は、クリーンルーム等で製造され、完成後も外部の塵埃と遮断される。このため、ディスク部を制御する制御プリント基板との接続もコネクタ経由となり、コネクタのピンの制限等に起因して制御プリント基板からマイクロアクチュエータを個別に制御することは困難である。また、全てのマイクロアクチュエータが並列接続されており、ヘッドディスクアセンブリに組み込む前の状態でマイクロアクチュエータの電気特性を測定しマイクロアクチュエータに不良が生じていることを把握することができても、いずれのマイクロアクチュエータに不良が生じているか把握することが困難である。
【０００７】
このため、例えばヘッドディスクアセンブリを組み込んだ後、制御プリント基板を取り付け、磁気ディスクに記録されているサーボターンに磁気ヘッドをオントラックさせてみないと、どのマイクロアクチュエータに不良が生じているか否かを把握することができない場合がある。
【０００８】
このように、略製品状態にまで組み上げないとマイクロアクチュエータに不良が生じているか否かが把握できないため、不良が生じていることが把握できた場合、制御プリント基板を外し、クリームルームに戻してヘッドディスクアセンブリを分解し、ヘッドディスクアセンブリから磁気ヘッドを交換する必要があった。
【０００９】
本発明が解決しようとする課題は、マイクロアクチュエータの検査を容易にすることができる磁気ディスク装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
一実施形態に係る、磁気ディスク装置は、複数の磁気ディスクを有するディスク部、および前記ディスク部を制御する制御部を備える。前記ディスク部は、前記複数の磁気ディスクに応じて設けられる複数の磁気ヘッドを含み、第１アクチュエータにより動作する磁気ヘッド部と、前記複数の磁気ヘッドに応じて設けられ、前記第１アクチュエータにより位置決めされる前記磁気ヘッドの位置を調整する第２アクチュエータと、前記複数の第２アクチュエータのうちから選択的に第２アクチュエータを動作させるスイッチング部と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１実施形態に係る磁気ディスク装置の構成の一例を示す図。
【図２】同実施形態に係るディスク部の構成の一例を示す図。
【図３】同実施形態に係る制御部の構成の一例を示す図。
【図４】同実施形態に係るアクチュエータ及びマイクロアクチュエータを動作させる構成の一例を示す図。
【図５】同実施形態に係るマイクロアクチュエータの検査処理の一例を示すフローチャート。
【図６】第２実施形態に係るアクチュエータ及びマイクロアクチュエータを動作させる構成の一例を示す図。
【図７】第３実施形態に係るアクチュエータ及びマイクロアクチュエータを動作させる構成の一例を示す図。
【図８】第４実施形態に係る動作モードを設定する処理の一例を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、実施の形態について図面を参照して説明する。なお、開示はあくまで一例にすぎず、以下の実施形態に記載した内容により発明が限定されるものではない。当業者が容易に想到し得る変形は、当然に開示の範囲に含まれる。説明をより明確にするため、図面において、各部分のサイズ、形状等を実際の実施態様に対して変更して模式的に表す場合もある。複数の図面において、対応する要素には同じ参照数字を付して、詳細な説明を省略する場合もある。
【００１３】
（第１の実施形態）
図１は、磁気ディスク装置の構成の一例を示す図である。磁気ディスク装置１は、ディスク部１０と、制御部３０とを備える。制御部３０は、ディスク部１０とは電気的に接続されており、制御部３０はディスク部１０の動作を制御する。ディスク部１０は、例えば、ヘッドディスクアセンブリと称される。
【００１４】
図２は、ディスク部１０の構成の一例を示す図である。
図２に示すように、ディスク部１０は、磁気ディスク１１、スピンドルモータ（ＳＰＭ）１２、ＳＰＭコネクタ１３、第１アクチュエータであるアクチュエータ１４、サスペンション１５、磁気回路１９、ヘッドアンプＩＣ２０、フレシキブル・プリント配線基板（ＦＰＣ）２１、コネクタ２２を備える。また、サスペンション１５は、スライダ１６、磁気ヘッド１６ａ、第２アクチュエータであるマイクロアクチュエータ１７，１８を含む。なお、アクチュエータ１４、及びスライダ１６、磁気ヘッド１６ａ、マイクロアクチュエータ１７，１８を含むサスペンション１５により磁気ヘッド部が構成される。
【００１５】
磁気ディスク１１は、例えば、円板状に形成され非磁性体からなる基板を有している。基板の各表面には、下地層として軟磁気特性を示す材料からなる軟磁性層と、その上層部に、ディスク面に対して垂直方向に磁気異方性を有する磁気記録層と、その上層部に保護膜層とが記載の順に積層されている。
【００１６】
磁気ディスク１１は、ＳＰＭ１２に固定され、このＳＰＭ１２によって所定の速度で回転させられる。本実施形態では、複数枚の磁気ディスク１１がＳＰＭ１２に設置されている。尚、本実施形態では、複数の磁気ディスク１１は、それぞれが２面の磁気記録面を有している。磁気ヘッド部には、磁気ディスク１１の枚数に応じて、磁気ヘッド１６ａ、スライダ１６、マイクロアクチュエータ１７，１８を含むサスペンション１５が設けられる。つまり、本実施形態にかかる磁気ディスク装置１に２枚の磁気ディスク１１が設けられる場合、磁気記録面は４面あり、磁気ヘッド１６ａ、スライダ１６、マイクロアクチュエータ１７，１８を含むサスペンション１５も、それぞれ４つ設けられる。尚、磁気ディスク１１の枚数はこれに限定されず、１枚でもよく、また３枚以上でもよい。ＳＰＭ１２は、後述するサーボコンボ（ＳＶＣ）３６から供給される駆動電流（または駆動電圧）により駆動される。磁気ディスク１１は、磁気ヘッド１６ａによってデータパターンが記録再生される。ＳＰＭ１２は、ＳＰＭコネクタ１３を介してＳＶＣ３６と接続される。
【００１７】
アクチュエータ１４は、回動自在に設置されている。ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）によってアクチュエータ１４を回動することで、磁気ヘッド１６ａは、磁気ディスク１１の所望のトラック上に移動され、位置決めされる。ＶＣＭは、サーボコンボ（ＳＶＣ）３６から供給される駆動電流（または駆動電圧）によって駆動される。
【００１８】
サスペンション１５は、磁気ヘッド１６ａを支持するフレームである。サスペンション１５の先端側にスライダ１６が設けられており、その基部側にマイクロアクチュエータ１７，１８が設けられている。スライダ１６には、磁気ヘッド１６ａが設けられており、磁気ヘッド１６ａには磁気ディスク１１からデータをリードするリードヘッド、および磁気ディスク１１にデータをライトするライトヘッドが含まれる。
【００１９】
マイクロアクチュエータ１７，１８は、アクチュエータ１４により位置決めされる磁気ヘッド１６ａの位置を調整する。これにより、磁気ヘッド１６ａの位置決め精度を向上させることができる。なお、マイクロアクチュエータ１７，１８が設けられる位置は、図２に図示する場所に限られるものではなく、例えば、磁気ヘッド１６ａに近接して設けられてもよい。マイクロアクチュエータ１７，１８は、本実施形態では、ピエゾ素子を用いており、電圧を印加することによりピエゾ素子を変形させて磁気ヘッド１６ａの位置を調整する。
【００２０】
ヘッドアンプＩＣ２０は、ＦＰＣ２１、およびコネクタ２２により後述するシステム・オン・チップ（ＳＯＣ）３１と接続される。ヘッドアンプＩＣ２０は、ＳＯＣ３１から供給されるライトデータに応じたライト信号（ライト電流）を磁気ヘッド１６ａのライトヘッドに供給する。また、ヘッドアンプＩＣ２０は、磁気ヘッド１６ａのリードヘッドから出力されたリード信号を増幅して、ＳＯＣ３１に伝送する。
【００２１】
ＦＰＣ２１は、ヘッドアンプＩＣ２０と、コネクタ２２との間に設けられる配線基板である。ＦＰＣ２１は、コネクタ２２を介してＳＯＣ３１と接続されている。ＦＰＣ２１には、ＳＯＣ３１からの信号をヘッドアンプＩＣ２０に送信すると共に、ヘッドアンプＩＣ２０からＳＯＣ３１へ信号を送信するための複数の信号線が設けられる。
【００２２】
図３は、制御部３０の構成の一例を示す図である。
図３に示すように、制御部３０は、ＳＯＣ３１、メモリ３３、サーボコンボ（ＳＶＣ）３６、コネクタ３７、およびＳＰＭコネクタ１３を備える。ＳＯＣ３１は、ＭＰＵ３２を含み、メモリ３３は、ＤＲＡＭ３４、フラッシュＲＯＭ３５を含む。
【００２３】
ＳＯＣ３１は、ＭＰＵ３２、Ｒ／Ｗチャネル（図示省略）、ハードディスクコントローラ（図示省略）を含み、例えば、これらが１チップで構成されてなる。Ｒ／Ｗチャネルは、読み出し（リード）／書き込み（ライト）に関連する信号を処理する信号処理回路である。ハードディスクコントローラは、磁気ヘッド１６ａ、ヘッドアンプＩＣ２０、Ｒ／Ｗチャネル、及びＭＰＵ３２を介することにより、磁気ディスク１１へのデータの書き込みと、磁気ディスク１１からのデータの読み出しとを制御する。
【００２４】
ＭＰＵ３２は、磁気ディスク装置１のメインコントローラであり、リード／ライト動作の制御および磁気ヘッド１６ａの位置決め及び調整に必要なサーボ制御を実行する。メモリ３３は、揮発性メモリであるＲＡＭ３４および不揮発性メモリであるフラッシュＲＯＭ３５を含む。メモリ３３は、ＭＰＵ３２の処理に必要なプログラムおよびパラメータを格納する。
【００２５】
ＳＶＣ３６は、ＭＰＵ３２の指示に基づいて、ＳＰＭ１２およびＶＣＭの回転を制御すると共に、アクチュエータ１４およびマイクロアクチュエータ１７，１８を制御し、磁気ヘッド１６ａを所定のトラックに位置させる。コネクタ３７は、コネクタ２２と接続される。ＳＰＭコネクタ１３は、ＳＰＭ１２に接続され、ＳＶＣ３６から送信される信号をＳＰＭ１２に送信し、ＳＰＭ１２を回転させる。
【００２６】
図４は、アクチュエータ及びマイクロアクチュエータを動作させる構成の一例を示す図である。なお、図４においては、磁気ディスク装置１にサスペンション１５がＮ（Ｎ：自然数）個設けられている場合で説明する。また、アクチュエータ及びマイクロアクチュエータを動作させる構成以外については、説明を省略する。
【００２７】
図４に示すように、制御部３０と、ディスク部１０とは、コネクタＣ（既述のコネクタ２２，３７）で接続されている。ディスク部１０は、ＶＣＭ、ヘッドアンプＩＣ２０、マイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮ、リードヘッドＲ１，Ｒ２，…，ＲＮ、ライトヘッドＷ１，Ｗ２，…，ＷＮを有している。ヘッドアンプＩＣ２０は、第１スイッチング回路５０、リードフィルタ５１、ライトデータ生成回路５２、ヘッド選択回路５３、電気特性測定回路５４、第２スイッチング回路５５を有している。また、制御部３０内のＳＶＣ３６は、アクチュエータ駆動アンプ４１、およびマイクロアクチュエータ駆動アンプ４２を有している。
【００２８】
アクチュエータ駆動アンプ４１はＶＣＭの動作を制御する。これにより、アクチュエータ１４が回転する。また、マイクロアクチュエータ駆動アンプ４２は、電気特性測定回路５４、および第２スイッチング回路５５を介してマイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮ（Ｎは自然数）と接続される。なお、マイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…ＭＡＮは、それぞれ、既述のマイクロアクチュエータ１７，１８から構成される。第２スイッチング回路５５は、マイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮをそれぞれＯＮ／ＯＦＦできるように、複数のスイッチにより構成される。磁気ディスク装置１が磁気ディスク１１に対してリード／ライトを行う場合、ヘッド選択回路５３の指示に基づいて、マイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮの１つがＯＮ状態になり、ＯＮ状態になったマイクロアクチュエータにより、磁気ヘッド１６ａの位置の調整が行われる。
【００２９】
第１スイッチング回路５０は、リードヘッドＲ１，Ｒ２，…，Ｒ３、ライトヘッドＷ１，Ｗ２，…ＷＮをそれぞれＯＮ／ＯＦＦできるように、複数のスイッチにより構成されている。リードヘッドＲ１およびライトヘッドＷ１が１つの組となり、リードヘッドＲ２およびライトヘッドＷ２が別の組になり、というように、リードヘッドおよびライトヘッドの組が１つのサスペンション１５に設けられる。磁気ディスク装置１が磁気ディスク１１に対してリード／ライトを行う場合、ヘッド選択回路５３の指示に基づいて、リードヘッドおよびライトヘッドの組の１つがＯＮ状態になり、磁気ディスク１１からデータのリード、又は磁気ディスク１１へのデータのライトが行われる。
【００３０】
リードフィルタ５１は、リードヘッドＲ１，Ｒ２，…，Ｒ３のいずれかからリードしたリード信号の所定周波数をフィルタする。これにより、リード信号に含まれるノイズを除去する。リードフィルタ５１を通過したリード信号は、ＳＯＣ３１へ出力される。ライトデータ生成回路は、ＳＯＣ３１から受信するライトコマンドに基づいて、ライトデータを生成する。生成されたライトデータは、ライトヘッドＷ１，Ｗ２，…，ＷＮのいずれかによりライトされる。
【００３１】
ヘッド選択回路５３は、磁気ディスク装置１が磁気ディスク１１に対してリード／ライトを行う場合、ＭＰＵ３２から指示された磁気ヘッド部のリードヘッドおよびライトヘッドに対応するスイッチをＯＮするように第１スイッチング回路５０に指示を送信すると共に、当該リードヘッドおよびライトヘッドを有するサスペンション１５に設けられるマイクロアクチュエータをＯＮするように第２スイッチング回路５５に指示を送信する。これにより、リード／ライトを行うリードヘッドおよびライトヘッドが動作可能になると共に、当該リードヘッドおよびライトヘッドを有する磁気ヘッド部に設けられるマイクロアクチュエータが動作可能になる。
【００３２】
第２スイッチング回路５５は、マイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…ＭＡＮをそれぞれＯＮ／ＯＦＦできるように構成されており、ヘッド選択回路５３の指示に基づいて、マイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…ＭＡＮのＯＮ／ＯＦＦを行う。電気特性測定回路５４は、電気特性、本実施形態では、マイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮの電圧値を測定する。そして、その測定結果がＭＰＵ３２に取得される。例えば、マイクロアクチュエータＭＡ１がＯＮ状態で、他のマイクロアクチュエータがＯＦＦ状態のときは、マイクロアクチュエータＭＡ１の電圧値をＭＰＵ３２が取得する。
【００３３】
次に、以上のように構成された磁気ディスク装置１のマイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮを検査する処理について説明する。図５は、マイクロアクチュエータの検査処理の一例を示すフローチャートである。この処理は、例えば、フラッシュＲＯＭ内に格納されたプログラムに基づいて、ディスク部１０が略製品状態になる前に実行される。
【００３４】
図５に示すように、ＭＰＵ３２がヘッド選択回路５３に、動作させる磁気ヘッド１６ａ（リードヘッドおよびライトヘッド）を指定する指示を送信する（ＳＴ１０１）。次に、ヘッド選択回路５３が第２スイッチング回路５５のスイッチから指定された磁気ヘッド１６ａに対応するスイッチを接続させる（ＳＴ１０２）。
【００３５】
次に、ＭＰＵ３２がＳＶＣ３６にマイクロアクチュエータ駆動アンプ４２を動作させる指示を送信する（ＳＴ１０３）。マイクロアクチュエータ駆動アンプ４２が動作することにより、第２スイッチング回路５５において、スイッチがＯＮになっているマイクロアクチュエータが動作する（ＳＴ１０４）。このとき、ＭＰＵ３２が電気特性測定回路５４の測定した電気特性を取得する（ＳＴ１０５）。つまり、本実施形態では、ＭＰＵ３２が、動作させているマイクロアクチュエータの電圧値を取得する。
【００３６】
次に、ＭＰＵ３２は全てのマイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…ＭＡＮに対して処理が終了したか否かを判定する（ＳＴ１０６）。処理が終了していないと判定された場合（ＳＴ１０６：ＮＯ）、処理はステップＳＴ１０１に戻り、他のマクロアクチュエータに対してステップＳＴ１０１からステップＳＴ１０５の処理を実行する。また、処理が終了したと判定した場合（ＳＴ１０６：ＹＥＳ）、ＭＰＵ３２は、この処理は終了する。このように処理を実行することにより、ＭＰＵ３２は、第２スイッチング回路５５内の全てのマイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮそれぞれの電気特性（電圧値）を順に取得することができる。そして、ＭＰＵ３２は、このように取得した電気特性と、予め設定された閾値とを比較することにより、マイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮのいずれかに異常が生じているか否かを判定することができる。
【００３７】
以上のように説明した磁気ディスク装置１によると、複数のマイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮのうちから選択的に１つのマイクロアクチュエータを動作させることができる。このため、複数のマイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮをディスク部１０に組み込み、ディスク部１０にＦＰＣ２１を取り付けた後、磁気ディスク１１に記録されているサーボターンに磁気ヘッド１６ａをオントラックさせなくても、マイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮに不良が生じているか否かを把握するこができる。このため、マイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮの検査を容易にすることができる。これにより、略製品状態にまで組み上げなくてもマクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…ＭＡＮに不良が生じているか否かを把握することができる。このため、ＦＰＣ２１を外し、クリームルームに戻してディスク部１０を分解し、ディスク部１０から磁気ヘッド部等を交換する手間を省くことができる。
【００３８】
また、マイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮは、ピエゾ素子を用いている。ピエゾ素子は、使用量、および温度等の環境ストレスによって消極する性質を有している。磁気ディスク１１へのリード／ライト時に全てのマイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮを動作させる構成だと、リード／ライトを行う磁気ヘッド１６ａは１つであるため、全てのマイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮを動作させることは、動作させる必要のないマイクロアクチュエータまで動作させることになる。これでは、マイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮの消極が早くなる。これに対して、本実施形態の磁気ディスク装置１によると、複数のマイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮのうちから選択的に１つのマイクロアクチュエータを動作させることができる。このため、複数のマイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮの寿命を延ばし、ひいては、磁気ディスク装置１の寿命を延ばすことができる。
【００３９】
（第２実施形態）
第２実施形態は、マイクロアクチュエータ駆動アンプ４２をディスク部１０内に設けた点が第１実施形態と異なっている。このため、当該異なる点について以下に説明する。なお、第１実施形態と同一構成には同一符号を付し、これらについては詳細な説明を省略する。
【００４０】
図６は、アクチュエータ及びマイクロアクチュエータを動作させる構成の一例を示す図である。なお、アクチュエータ及びマイクロアクチュエータを動作させる構成以外については、説明を省略する。
【００４１】
図６に示すように、マイクロアクチュエータ駆動アンプ４２がヘッドアンプＩＣ２０内に設けられている。なお、マイクロアクチュエータ駆動アンプ４２がＭＰＵ３２から指示を受け、駆動するのは、第１実施形態と同様である。また、本実施形態では、ヘッドアンプＩＣ２０にマイクロアクチュエータ駆動アンプ４２を設ける構成で説明するが、これに限るものではなく、マイクロアクチュエータ駆動アンプ４２を設ける場所は、ディスク部１０内であればよい。このように磁気ディスク装置１を構成しても、第１実施形態と同様な効果を奏することができる。
【００４２】
（第３実施形態）
第３実施形態は、磁気ディスク装置にディスク部を２つ設けた構成（例えば、デュアルアクチュエータと称される構成）になっている点が第２実施形態と異なっている。このため、当該異なる点について以下に説明する。なお、第２実施形態と同一構成には同一符号を付し、これらについては詳細な説明を省略する。
【００４３】
図７は、アクチュエータ及びマイクロアクチュエータを動作させる構成の一例を示す図である。なお、また、アクチュエータ及びマイクロアクチュエータを動作させる構成以外については、説明を省略する。
【００４４】
図７に示すように、磁気ディスク装置１００には、第１ディスク部であるディスク部１０１、第２ディスク部であるディスク部１０２が設けられると共に、ディスク部１０１，１０２を制御する制御部３０が設けられている。制御部３０には、ディスク部１０１を制御するＳＯＣ３１１、ディスク部１０２を制御するＳＯＣ３１２が設けられている。ＳＯＣ３１１には、ＭＰＵ３２１が含まれ、ＳＯＣ３１２には、ＭＰＵ３２２が含まれる。また、ＳＯＣ３１１は、ＳＶＣ３６１に含まれるアクチュエータ駆動アンプ４１１を制御することにより、ＶＣＭ１を動作させ、ＳＯＣ３１２は、ＳＶＣ３６２に含まれるアクチュエータ駆動アンプ４１２を制御することにより、ＶＣＭ２を動作させる。このように、磁気ディスク装置１００は、ディスク部１０１と、ディスク部１０２とは独立して動作することが可能に構成されている。
【００４５】
ディスク部１０１には、ヘッドアンプＩＣ２０１内にマイクロアクチュエータ駆動アンプ４２１が設けられており、マイクロアクチュエータ駆動アンプ４２１がＭＰＵ３２１の指示に基づいて、マイクロアクチュエータＭＡ１１，ＭＡ２１，…，ＭＡＮ１を駆動する。ディスク部１０１には、リードヘッドＲ１１，Ｒ２１，…，ＲＮ１、およびライトヘッドＷ１１，Ｗ２１，…，ＷＮ１が含まれる。
【００４６】
また、ディスク部１０２には、ヘッドアンプＩＣ２０２内にマイクロアクチュエータ駆動アンプ４２２が設けられており、マイクロアクチュエータ駆動アンプ４２２がＭＰＵ３２２の指示に基づいて、マイクロアクチュエータＭＡ１２，ＭＡ２２，…，ＭＡＮ２を駆動する。ディスク部１０２には、リードヘッドＲ１２，Ｒ２２，…，ＲＮ２、およびライトヘッドＷ１２，Ｗ２２，…，ＷＮ２が含まれる。
【００４７】
このように構成された磁気ディスク装置１００によると、マイクロアクチュエータＭＡ１１，ＭＡ２１，…，ＭＡＮ１を駆動するマイクロアクチュエータ駆動アンプ４２１をディスク部１０１に設けると共に、マイクロアクチュエータＭＡ１２，ＭＡ２２，…，ＭＡＮ２を駆動するマイクロアクチュエータ駆動アンプ４２２をディスク部１０２に設けている。このため、制御部３０内のＳＶＣ３６１，３６２の回路構成を小さくすることができる。よって、制御部３０内の回路構成の設計自由度を高めることができる。
【００４８】
なお、マイクロアクチュエータ駆動アンプ４２１，４２２がヘッドアンプＩＣ２０１，２０２内になくてもディスク部１０１，１０２内にそれぞれ設けられていれば良いのは、第２実施形態と同様である。
【００４９】
また、本実施形態では、ディスク部１０１，１０２という２つのディスク部が磁気ディスク装置１に設けられる構成で説明したが、これに限るものではなく、３つ以上のディスク部を設けるようにしてもよい。このように、３つ以上のディスク部を設ける構成にすると、さらに、制御部３０内の回路構成の設計自由度を高めることができる。
【００５０】
（第４実施形態）
第４実施形態は、動作させるマイクロアクチュエータを１つではなく、動作モードに応じて複数のマイクロアクチュエータにした点が第１実施形態と異なっている。このため、当該異なる点について以下に説明する。なお、第２実施形態と同一構成には同一符号を付し、これらについては詳細な説明を省略する。
【００５１】
本実施形態では、磁気ディスク装置１は、第１動作モードと、第２動作モードとを有する。第１動作モードは、既述で説明したような第２スイッチング回路５５のスイッチを１つだけ接続し、マイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮのうちの１つを動作させるモードである。第２動作モードは、第２スイッチング回路５５の複数のスイッチを接続し、複数のマイクロアクチュエータを動作させるモードである。ここで、複数とは、任意の複数であり、例えば２つでもよいし、全てでも良いし、半分（例えば、アクチュエータの軸方向の上下、又は、偶奇）でもよい。
【００５２】
次に、動作モードを設定する処理について説明する。図８は、動作モードを設定する処理の一例を示すフローチャートである。なお、当該処理は、例えば、フラッシュＲＯＭ３５にファームウェアとして格納されたプログラムを読みだして、ＭＰＵ３２により実行される。
【００５３】
図８に示すように、まず、ＭＰＵ３２は、設定された動作モードが第１動作モードか否かを判定する（ＳＴ２０１）。例えば、通常のリード／ライト動作ではなく、特別な動作モードが指定されたか否かに基づいて判定される。第１動作モードであると判定した場合（ＳＴ２０１：ＹＥＳ）、ＭＰＵ３２は、既述のように、複数のマイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…ＭＡＮから１つのマイクロアクチュエータを動作させ（ＳＴ２０２）、動作終了と判定した場合（ＳＴ２０３：ＹＥＳ）、この処理を終了する。
【００５４】
一方、第１動作モードでないと判定した場合（ＳＴ２０１：ＮＯ）、言い換えれば、特別な動作モードが指定されていると判定された場合、ＭＰＵ３２は、第２動作モードを設定する（ＳＴ２０４）。次に、ＭＰＵ３２は、複数のマイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮから複数のマイクロアクチュエータを動作させ（ＳＴ２０５）、動作終了と判定した場合（ＳＴ２０６：ＹＥＳ）、動作モードを第１動作モードに設定し（ＳＴ２０７）、この処理を終了する。
【００５５】
以上のように構成された磁気ディスク装置１によると、複数のマイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮから１つのマイクロアクチュエータだけでなく、複数のマイクロアクチュエータを動作させることができる。このため、様々な処理に対応することが可能になる。
【００５６】
また、上記実施形態で説明した磁気ディスク装置１は、第１磁気記録面を含んだ複数の磁気ディスク１１の磁気記録面（例えば、２枚の磁気ディスクだと４つの磁気記録面）と、第１磁気ヘッドを含み、複数の磁気記録面に対してデータをリード／ライトする複数の磁気ヘッド１６ａと、第１磁気ヘッドによって、第１磁気記録面に対してデータがリード／ライトされる場合に複数の磁気ヘッド１６ａを駆動するアクチュエータ（第１アクチュエータ）１４と、第１磁気ヘッドによって、第１磁気記録面に対してデータがリード／ライトされる場合、一のマイクロアクチュエータが独立に駆動する複数のマイクロアクチュエータＭＡ１，ＭＡ２，…ＭＡＮと、を備えるものであるということができる。
この場合、複数の磁気記録面と複数の磁気ヘッド１６ａとは、一対一で対応しており、動作する一のマイクロアクチュエータは、第１磁気ヘッドに対応する、つまり、第１磁気ヘッドが含まれるサスペンション１５に設けられるマイクロアクチュエータとすることができる。
【００５７】
なお、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００５８】
１，１００…磁気ディスク装置、１０，１０１，１０２…ディスク部、１１…磁気ディスク、１４…アクチュエータ、１５…サスペンション、１６…スライダ、１６ａ…磁気ヘッド、１７，１８，ＭＡ１，ＭＡ２，…，ＭＡＮ…マイクロアクチュエータ、２０…ヘッドアンプＩＣ、３１，３１１，３１２…ＳＯＣ、３２…ＭＰＵ、３０…制御部、３６…ＳＶＣ、４１…アクチュエータ駆動アンプ、４２…マイクロアクチュエータ駆動アンプ、５３…ヘッド選択回路、５４…電気特性測定回路、５５…第２スイッチング回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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