(57)【要約】【課題】磁気軸受を構成する永久磁石の位置の調整の際、その回転量を低減する。【解決手段】ターボ分子ポンプは、ロータシャフト（２１，２１ａ）に嵌挿された第２永久磁石（２５）、および第２永久磁石（２５）の内周面と径方向に対向してステータ側に設けられた第１永久磁石（１５）を有する永久磁石磁気軸受（３１，３１ａ）と、第１永久磁石（１５）の上方に配置されて第１永久磁石（１５）を支持する支持部材（１９）の外周面に螺合する押さえ部材（１７，１７ａ）と、第１永久磁石（１５）を押さえ部材（１７，１７ａ）に付勢する弾性体（１８）とを備え、押さえ部材（１７，１７ａ）は、第１永久磁石（１５）の外周面より径方向内側に位置する周面を有する。【選択図】図２
2020122529.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
静翼と、
前記静翼に対してロータシャフトを軸芯として相対回転する動翼が設けられたロータと、
少なくとも前記ロータシャフトの一端を支承する永久磁石磁気軸受であって、前記ロータシャフトに嵌挿された第２永久磁石、および前記第２永久磁石の内周面と径方向に対向してステータ側に設けられた第１永久磁石を有する永久磁石磁気軸受と、
前記第１永久磁石の上方に配置されて、前記第１永久磁石を支持する支持部材の外周面に螺合する押さえ部材と、
前記第１永久磁石を前記押さえ部材に付勢する弾性体とを備え、
前記押さえ部材は、前記第１永久磁石の外周面より径方向内側に位置する周面を有するターボ分子ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記押さえ部材はスペーサを介して前記第１永久磁石を押し付け、前記スペーサの外径は、前記第１永久磁石の外径よりも小さいターボ分子ポンプ。
【請求項３】
請求項１または２に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記第２永久磁石が設けられる前記ロータシャフトの内周面のうち、前記押さえ部材の外周面と対向する面に低真空側から高真空側に向かって内径が増加する斜面を有するターボ分子ポンプ。
【請求項４】
請求項３に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記押さえ部材はリング状の部材であり、
前記押さえ部材の外周面における低真空側の端部から、前記ロータシャフトの内周面までの距離は、前記押さえ部材の外周面の高真空側の端部から前記ロータシャフトの内周面までの距離よりも短いターボ分子ポンプ。
【請求項５】
請求項１から４までのいずれか一項に記載のターボ分子ポンプの調整方法であって、
前記押さえ部材の前記周面と前記ロータシャフトとの隙間に冶具を挿入し、前記冶具により前記第１永久磁石を押圧しながら、前記押さえ部材を前記支持部材の外周面に沿って回転させることにより、前記第１永久磁石の軸方向の位置を調整することを備える、ターボ分子ポンプの調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ターボ分子ポンプおよびターボ分子ポンプの調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
永久磁石磁気軸受によりロータの姿勢を保持するターボ分子ポンプが知られている。永久磁石磁気軸受の周囲には、永久磁石の特性のばらつき等により、望ましくない磁場が形成されることがある（特許文献１参照）。
【０００３】
永久磁石磁気軸受を構成する第１永久磁石および第２永久磁石のうち、静翼に対して固定された第１永久磁石は、ばねによる、ロータの回転軸の軸方向の弾性力によりリング状部材に押し付けられている。
【０００４】
リング状部材の回転により第１永久磁石の軸方向の位置を調整し、低真空側に配置された転がり軸受への予圧力を調整することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第６２４４４２４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
リング状部材を回転させて第１永久磁石の回転軸の軸方向の位置を調整する際、リング状部材の回転に伴う周方向の摩擦力により、第１永久磁石が回転軸の周りに回転してしまうことがある。この回転により、第１永久磁石の周囲に望ましくない磁場が形成されることがある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様は、静翼と、前記静翼に対してロータシャフトを軸芯として相対回転する動翼が設けられたロータと、少なくとも前記ロータシャフトの一端を支承する永久磁石磁気軸受であって、前記ロータシャフトに嵌挿された第２永久磁石、および前記第２永久磁石の内周面と径方向に対向してステータ側に設けられた第１永久磁石を有する永久磁石磁気軸受と、前記第１永久磁石の上方に配置されて前記第１永久磁石を支持する支持部材の外周面に螺合する押さえ部材と、前記第１永久磁石を前記押さえ部材に付勢する弾性体とを備え、前記押さえ部材は、前記第１永久磁石の外周面より径方向内側に位置する周面を有するターボ分子ポンプに関する。
本発明の第２の態様は、第１の態様のターボ分子ポンプの調整方法であって、前記押さえ部材の前記周面と前記ロータシャフトとの隙間に冶具を挿入し、前記治具により前記第１永久磁石を押圧しながら、前記押さえ部材を前記支持部材の外周面に沿って回転させることにより、前記第１永久磁石の軸方向の位置を調整する、ターボ分子ポンプの調整方法に関する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、永久磁石磁気軸受を構成する、静翼に対して固定された永久磁石（第１永久磁石）の回転軸の軸方向の位置を調整する際の、当該永久磁石の回転量を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、一実施形態のターボ分子ポンプのポンプ本体を示す断面図である。
【図２】図２は、永久磁石磁気軸受を示す図１の拡大断面図である。
【図３】図３（Ａ）は、リング状部材を示す上面図であり、図３（Ｂ）は、第１永久磁石を示す上面図である。
【図４】図４は、工具を説明する図であり、（Ａ）は半断面図、（Ｂ）は底面図である。
【図５】図５は、永久磁石磁気軸受の上部構造の詳細を示す断面図である。
【図６】図６は、永久磁石の位置の調整方法を示す概念図である。
【図７】図７は、変形例に係るリング状部材を示す上面図である。
【図８】図８は、変形例に係る永久磁石磁気軸受を示す断面図である。
【図９】図９は、変形例に係る永久磁石磁気軸受を示す断面図である。
【図１０】図１０は、変形例に係るロータシャフトの内周面の構造を示す断面図である。
【図１１】図１１は、ターボ分子ポンプの調整方法の流れを示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
【００１１】
−第１実施形態−
図１は、第１実施形態のターボ分子ポンプを構成するポンプ本体１を示す断面図であり、図２は、図１の領域Ｐの拡大断面図である。ターボ分子ポンプは、図１に示すポンプ本体１と不図示のコントロールユニットとを含んで構成される。
【００１２】
ポンプ本体１は、第１ケーシング１１Ａおよび第２ケーシング１１Ｂ（以下、単にケーシング１１と呼ぶ）と、静翼１２と、ネジステータ１３と、モータステータ１４と、支持部１９（図２）と、ロータ２０と、永久磁石磁気軸受３１と、転がり軸受３２と、吸気口９１と、排気口９２とを備える。ロータ２０は、ロータシャフト２１と、動翼２２と、円筒部２３と、モータロータ２４とを備える。
【００１３】
ロータシャフト２１は、高真空側の一端、すなわち吸気口９１側の端部において永久磁石磁気軸受３１により支承されている。ロータシャフト２１は、永久磁石磁気軸受３１よりも低真空側の他端、すなわち排気口９２側の端部において転がり軸受３２により支承されている。ロータ２０は、永久磁石磁気軸受３１と転がり軸受３２とを介し、ケーシング１１の内部で回転軸Ａｘの周りに回転支持される。
【００１４】
ロータ２０には、上下方向に間隔をあけて複数段の動翼２２が形成され、各段の動翼２２の間に静翼１２が交互に挿設されている。ロータ２０の動翼２２の下方には円筒部２３が形成されている。ケーシング１１には円筒部２３に対向してネジステータ１３が設けられ、ネジステータ１３の内周面に螺旋状溝が形成されている。静翼１２と動翼２２はタービン翼部を構成し、ネジステータ１３と円筒部２３はモレキュラードラッグポンプ部を構成する。このようにケーシング１１は、タービン翼部とモレキュラードラッグポンプ部を収容する。
なお、ネジステータ１３ではなく円筒部２３に螺旋状溝が形成されていてもよい。
【００１５】
ロータ２０は、モータステータ１４およびモータロータ２４により構成されるモータにより数万ｒｐｍ等の高速で回転駆動される。このモータは例えばＤＣブラシレスモータである。ロータシャフト２１には、永久磁石が内蔵されたモータロータ２４が装着され、ケーシング１１側に、回転磁界を形成するためのモータステータ１４が設けられている。
【００１６】
図１に示すようなターボ分子ポンプでは、ロータ２０の高速回転により吸気口９１からガス分子が流入し、このガス分子はタービン翼部およびモレキュラードラッグポンプ部のガス通路をそれぞれ経て排気口９２から排気される。これにより吸気口９１側を、たとえば０．１Ｐａ以下の高真空にすることができる。
【００１７】
永久磁石磁気軸受３１は、向かい合う第１永久磁石１５および第２永久磁石２５（図２）の回転軸Ａｘの径方向の反発力によりロータ２０を非接触支持する。転がり軸受３２は、ロータシャフト２１から軸方向の予圧力を受けながらロータシャフト２１を接触支持する。以下では、「軸方向」「径方向」および「周方向」の語は、それぞれ回転軸Ａｘによる回転座標系の軸方向、径方向および周方向を指すものとする。
【００１８】
図２に示すように、永久磁石磁気軸受３１は、ケーシング１１に配設された支持部材からなる支持部１９の外周面に配設された第１永久磁石１５、スペーサ１６、リング状部材１７、ばね１８およびばね支持部材１８ｓと、ロータシャフト２１の内周面に嵌挿され固定された第２永久磁石２５を含んで構成される。ばね１８の第１永久磁石１５と反対側の端面は、支持部１９に固定されたばね支持部材１８ｓにより支持されている。第１永久磁石１５、スペーサ１６、リング状部材１７および第２永久磁石２５は、リング状であり、回転軸Ａｘを中心軸として配置されている。図２では、支持部１９側に第１永久磁石１５が５個、ロータシャフト２１側に第２永久磁石２５が５個、軸方向に並んで配置されているが、第１永久磁石１５および第２永久磁石２５の個数は特に限定されない。
【００１９】
第１永久磁石１５と第２永久磁石２５とは隙間５を挟んで向かい合っている。隙間５のギャップは、第１永久磁石１５の外径寸法と第２永久磁石２５の内径寸法との差である。第１永久磁石１５および第２永久磁石を構成するそれぞれのリング状磁石要素は、軸方向の一端がＮ極、他端がＳ極となるように配置されている。積層される第１永久磁石１５のリング状磁石要素は、Ｎ極同士、またはＳ極同士が軸方向に向かい合うように配置されている。積層される第２永久磁石２５のリング状磁石要素も、Ｎ極同士、またはＳ極同士が軸方向に向かい合うように配置されている。第１永久磁石１５と第２永久磁石２５とは、同じ極同士がほぼ向かい合うように配置されているが、両磁石の軸方向の位置のずれにより、転がり軸受３２（図１）に予圧力が与えられる。したがって、両永久磁石の間の軸方向の位置ずれ量を変えて与圧力を調整することができる。
【００２０】
スペーサ１６は第１永久磁石１５の上面に載置され、リング状部材１７はスペーサ１６の上面に載置されている。リング状部材１７は、第１永久磁石１５の軸方向位置を調整し、転がり軸受３２に加えられる磁石の反発力による予圧力の反力を受けるための押さえ部材である。したがって、リング状部材１７は磁石位置調整部材ということができる。スペーサ１６は第１永久磁石１５を保護する保護部材である。
【００２１】
弾性体であるばね１８は、リング状部材１７とばね支持部材１８ｓとの間で第１永久磁石１５を弾性支持している。リング状部材１７の内周面には不図示の雌ねじが形成され、リング状部材１７は、支持部１９の支持部材の外周面の不図示の雄ねじに螺合している。リング状部材１７が回転軸Ａｘの周りに回転すると、リング状部材１７は軸方向に移動する。リング状部材１７の軸方向の移動により、ばね１８で弾性支持されているスペーサ１６および第１永久磁石１５が軸方向に移動する。従って、ターボ分子ポンプのユーザ（以下、単に「ユーザ」と呼ぶ）は、後述する位置調整用工具を用いてリング状部材１７を回転させることで、第１永久磁石１５の軸方向の位置の調整が可能となっている。
【００２２】
図３（Ａ）は、リング状部材１７を示す上面図であり、図３（Ｂ）は、第１永久磁石１５を示す上面図である。本実施形態に係るリング状部材１７の外径Ｌ１７は、第１永久磁石１５の外径Ｌ１５よりも小さい。これにより、リング状部材１７の外周面は、第１永久磁石１５の外周面よりも径方向内側に位置することになる。スペーサ１６の外径は、リング状部材１７の外径よりも大きく、かつ、後述する押さえ冶具５２の先端が十分に接触するだけの外径寸法があれば特に限定されないが、本実施形態では第１永久磁石１５の外径Ｌ１５と略同じ大きさであるとする。
【００２３】
図３（Ａ）に示すように、リング状部材１７の上面にはひっかけ部１７ｈが設けられている。ひっかけ部１７ｈは、図４（Ａ）を参照して後述するように、リング状部材１７を回転冶具５１で回転させるために設けられている。ひっかけ部１７ｈは、回転冶具５１から回転力を伝達される形状であれば凹部、凸部、切り欠き形状、その他の形状であってもよい。
【００２４】
図４（Ａ）および４（Ｂ）は、本実施形態のターボ分子ポンプにおいて使用される位置調整用工具５０の構造を説明する図である。図４（Ａ）および４（Ｂ）を参照して位置調整用工具５０を説明する。
【００２５】
位置調整用工具５０は、回転冶具５１と、回転冶具５１の外周面に摺動するように設けられた押さえ冶具５２とを有する。回転冶具５１は、ロータシャフト２１の支持部１９の先端が入り込むように、内側が刳り貫かれて薄肉とされた先端部５１ｂを有する把持部５１ａと、薄肉先端部５１ｂの先端に設けられた係止部５１ｃとを有する。係止部５１ｃは、リング状部材１７の上面の２か所にあるひっかけ部１７ｈに引っかけてリング状部材１７を回転軸Ａｘの周りに回転させる。押さえ冶具５２は、把持部５１ａの外周面を摺動するように設けられた薄肉円筒であり、押さえ冶具５２の先端でスペーサ１６を押さえて第１永久磁石１５の回転軸Ａｘ周りの回転変位を抑えつつ、把持部５１ａに回転力を与える。
【００２６】
本実施形態のターボ分子ポンプでは、リング状部材１７の外径Ｌ１７を、第１永久磁石１５の外径Ｌ１５、ひいてはスペーサ１６の外径よりも小さくして、把持部５１ａの外周面に沿って押さえ冶具５２を軸方向に挿入する空間（領域）を形成している。詳細に説明すると次のとおりである。
【００２７】
図４（Ａ）および４（Ｂ）と図５を参照して説明する。
支持部１９の上部外周面１９ｏｕｔの外径寸法と、ロータシャフト２１の第２永久磁石２５装着部より上側２１Ｕの内周面２１ｉｎの内径寸法との差をＤ１、リング状部材１６の内外径寸法差（リング幅）をＤ２とする。設計上、支持部１９の外周面１９ｏｕｔとロータシャフト２１の内周面２１ｉｎとの間には必然的に隙間ＧＡＰが形成され、この隙間の径方向寸法は（Ｄ１−Ｄ２）／２で表される。したがって、薄肉円筒形状の押さえ冶具５２の内外径差、すなわち円筒の厚さＤ５２（図４（Ａ）参照）を、（Ｄ１−Ｄ２）／２以下の寸法に設定すれば、リング状部材１７の外周面１７ｏｕｔとロータシャフト２１の内周面２１ｉｎとの間の隙間ＧＡＰに押さえ冶具５２を挿入することができる。
【００２８】
把持部５１ａの円筒部の厚さＤ５１と、押さえ冶具５２の円筒部の厚さＤ５２の和（Ｄ５１＋Ｄ５２）は、支持部１９の外周面とロータシャフト２１の内周面との間の隙間（Ｄ１−Ｄ２）／２よりも小さい寸法である。押さえ冶具５２の外径寸法Ｄ５２０は、ロータシャフト２１の第２永久磁石２５装着部より上側の内径寸法より小さい寸法である。
【００２９】
図６は、第１永久磁石１５の位置の調整方法を示す概念図である。
実施形態では上述した各部寸法としているので、スペーサ１６のリング状部材１７と接する面を、リング状の押さえ冶具５２を用いて軸方向に押圧することができる。この押圧に伴う摩擦力により、回転冶具５１によるリング状部材１７の回転に伴う第１永久磁石１５の回転を低減することができる。
【００３０】
なお、押さえ冶具５２によりスペーサ１６を押圧しつつ回転冶具５１によりリング状部材１７を回転させることができれば、回転冶具５１および押さえ冶具５２の構造は特に限定されない。例えば、位置調整用工具５０の回転治具５１は、円筒あるいは円柱形状の把持部５１ａの下端面から軸方向下方に延在する二又の先端延在部が図３（Ａ）の引っかけ部１７ｈに係合する構造であってもよい。二又に代えて三又または四又等でもよい。あるいはその他の構造を有していてもよい。
押さえ治具５２もリング状部材１７の外周面１７ｏｕｔとロータシャフト２１の上部内周面２１ｉｎとの間のＧＡＰ（図５参照）に挿入でき、かつ、スペーサ１６を軸方向下方に押圧できる構造であれば、円筒形状に限らない。円筒形状の上部把持部と上部把持部の下端面から軸方向下方に延在する分割された押さえ部材とで構成してもよい。回転冶具５１と押さえ治具５２はそれぞれ物理的に分離された冶具として構成してもよい。
【００３１】
リング状部材１７の材質は、雌ねじを備え、リング状に加工ができ、ばね１８等により軸方向に加えられる力に耐えるだけの強度があれば特に限定されない。スペーサ１６の材質は、リング状に加工ができ、上記強度があれば特に限定されない。
【００３２】
（ターボ分子ポンプの調整方法について）
図１１は、本実施形態に係るターボ分子ポンプの調整方法の流れを示すフローチャートである。ステップＳ１００１において、ユーザ等により、リング状部材１７の外周面とロータシャフト２１との隙間に押さえ冶具５２が挿入され、押さえ治具５２により第１永久磁石１５の押圧が行われる。ステップＳ１００１が終了したら、ステップＳ１００３が開始される。
【００３３】
ステップＳ１００３において、ユーザ等は、上記押圧を行いながら、リング状部材１７を支持部１９の外周面に沿って回転させることにより、第１永久磁石１５の軸方向の位置を調整する。ステップＳ１００３が終了したら、処理が終了される。
【００３４】
次のような変形も本発明の範囲内であり、上述の実施形態と組み合わせることが可能である。以下の変形例において、上述の実施形態と同様の構造、機能を示す部位等に関しては、同一の符号で参照し、適宜説明を省略する。以下の各変形例同士も互いに組み合わせることが可能である。
（変形例１）
上述の実施形態では、リング状部材１７の外径Ｌ１７を第１永久磁石１５の外径Ｌ１５よりも小さくしたが、リング状部材の少なくとも一部において、径方向の厚みをリング状部材の他の部分の径方向の厚みよりも小さくしてもよい。
【００３５】
図７は、本変形例に係るリング状部材１７ａの上面図である。リング状部材１７ａは、径方向の厚みがＴ１である第１部分１７１と、径方向の厚みがＴ２である第２部分１７２とを有する。ここで、厚みＴ２は、厚みＴ１よりも小さい。本変形例に係るリング状部材１７ａでは、ターボ分子ポンプに配置された際、第２部分１７２の外周面とロータシャフト２１の内周面との間に隙間が形成されるため、当該隙間から押さえ治具５２を挿入してスペーサ１６が回転しないように押圧することができる。
なお、第２部分１７２の形状は、ターボ分子ポンプに配置された際に隙間から押さえ治具５２を挿入することができれば特に限定されない。この変形例の押さえ冶具５２の形状は、円筒形状ではなく、第２部分１７２外側の切り欠き領域に挿入される部分円筒形状などの適宜の形状でよい。
【００３６】
（変形例２）
上述の実施形態では、スペーサ１６の外径は第１永久磁石１５の外径Ｌ１５と略等しいものとしたが、スペーサ１６の外径を第１永久磁石１５の外径よりも小さくしてもよい。
【００３７】
図８は、本変形例に係る永久磁石磁気軸受３１ａの構成を示す断面図である。永久磁石磁気軸受３１ａは、第１永久磁石１５と、スペーサ１６ａと、リング状部材１７と、ばね１８と、第２永久磁石２５とを備える。リング状部材１７およびスペーサ１６ａの外径は第１永久磁石１５の外径Ｌ１５よりも小さくなっているため、リング状部材１７およびスペーサ１６ａの外周面とロータシャフト２１の内周面との間に隙間が存在する。回転冶具５１と押さえ冶具５２をこの隙間から挿入し、リング状部材１７を回転冶具５１により回転させる際、スペーサ１６を介することなく、押さえ冶具５２により第１永久磁石１５を押圧して回転しないようにすることができる。すなわち、押さえ冶具５２で直接第１永久磁石１５を押圧する変形例である。
【００３８】
（変形例３）
上述の実施形態において、リング状部材１７の外周面と、当該外周面と向かい合うロータシャフトの内周面との間の隙間が大きくなるようにロータシャフトの内周面の形状を変化させてもよい。
【００３９】
図９は、本変形例に係るロータシャフト２１ａを示す断面図である。ロータシャフト２１ａの内周面２１０の、リング状部材１７の外周面と向かい合う少なくとも一部は、第１永久磁石１５からの軸方向の距離が吸気側に長くなる程、ロータシャフト２１ａの内径が大きくなるように形成されている。
【００４０】
図１０は、ロータシャフト２１ａの内周面２１０を模式的に示す概念図である。リング状部材１７の外周面１７０の上端部１７０ｔと、ロータシャフト２１ａの内周面２１０との間の径方向の距離をＬｔとする。リング状部材１７の外周面１７０の下端部１７０ｂと、ロータシャフト２１ａの内周面２１０との間の径方向の距離をＬｂとする。下端部１７０ｂは第１永久磁石１５が配置されている排気口側（低真空側）である。本変形例のターボ分子ポンプでは、ＬｔがＬｂよりも大きくなるようにロータシャフト２１ａに斜面２１０Ｓが形成されている。斜面２１０Ｓは高真空側に向けて先太りのテーパ面であり、このような構造を逃げ構造２１１（図１０の破線で示す矩形内構造）と呼ぶ。
【００４１】
本変形例のターボ分子ポンプは、ロータシャフト２１ａにこのような逃げ構造２１１が形成されている。これにより、押さえ冶具５２の先端が斜面２１０Ｓに接触して案内されるので、リング状部材１７とロータシャフト２１ａとの間の隙間に挿入しやすくし、第１永久磁石１５を回転しないように押圧する作業をより確実に行うことができる。また、回転冶具５１と押さえ冶具５２をより太くして折れにくい構造にしたり等、回転冶具５１および押さえ冶具５２の設計の自由度を増やすことができる。
【００４２】
（変形例４）
上述の実施形態では、ロータシャフト２１の低真空側の端部を転がり軸受３２により回転支持する構成とした。しかし、ロータシャフト２１の高真空側の端部を永久磁石磁気軸受３１により非接触支持すれば、ロータシャフト２１の他の軸受の種類は特に限定されない。また、同様にターボ分子ポンプの永久磁石磁気軸受３１以外の部分の構成も特に限定されない。
【００４３】
上述の実施形態または変形例によれば、次の作用効果が得られる。
（１）第１の態様による実施形態では、ターボ分子ポンプは、静翼と、前記静翼に対してロータシャフトを軸芯として相対回転する動翼が設けられたロータと、少なくとも前記ロータシャフトの一端を支承する永久磁石磁気軸受であって、前記ロータシャフトに嵌挿された第２永久磁石、および前記第２永久磁石の内周面と径方向に対向してステータ側に設けられた第１永久磁石を有する永久磁石磁気軸受と、前記第１永久磁石の上方に配置されて前記第１永久磁石を支持する支持部材の外周面に螺合する押さえ部材と、前記第１永久磁石を前記押さえ部材に付勢する弾性体とを備え、前記押さえ部材は、前記第１永久磁石の外周面より径方向内側に位置する周面を有する。これにより、第１永久磁石１５の軸方向の位置を調整する際の、第１永久磁石１５の回転量を低減することができる。
【００４４】
（２）第２の態様に係る実施形態では、第１の態様のターボ分子ポンプにおいて、前記押さえ部材はスペーサを介して前記第１永久磁石を押し付け、前記スペーサの外径は、前記第１永久磁石の外径よりも小さい。これにより、第１永久磁石１５を直接押圧して、第１永久磁石１５の軸方向の位置を調整する際の、第１永久磁石１５の回転量をより確実に低減することができる。
【００４５】
（３）第３の態様による実施形態では、第１または第２のいずれかの態様のターボ分子ポンプにおいて、前記第２永久磁石が設けられる前記ロータシャフトの内周面のうち、前記押さえ部材の外周面と対向する面に低真空側から高真空側に向かって内径が増加する斜面を有する。これにより、押さえ冶具５２の先端が斜面２１０Ｓに接触して案内されるので、押さえ治具５２がリング状部材１７とロータシャフト２１ａとの間の隙間に挿入されやすく、第１永久磁石１５を回転しないように押圧する作業をより確実に行うことができる。
【００４６】
（４）第４の態様による実施形態では、第３の態様のターボ分子ポンプにおいて、前記押さえ部材はリング状の部材であり、前記押さえ部材の外周面における低真空側の端部から、前記ロータシャフトの内周面までの距離は、前記押さえ部材の外周面の高真空側の端部から前記ロータシャフトの内周面までの距離よりも短い。これにより、ユーザが第１永久磁石１５を回転しないように押圧する作業をさらに確実に行うことができる。また、工具５０および押さえ冶具５２の設計の自由度を増やすことができる。
【００４７】
（５）第５の態様による実施形態では、ターボ分子ポンプの調整方法は、第１から第４までのいずれかの態様のターボ分子ポンプの調整方法であって、前記押さえ部材の前記周面と前記ロータシャフトとの隙間に冶具を挿入し、前記治具により前記第１永久磁石を押圧しながら、前記押さえ部材を前記支持部材の外周面に沿って回転させることにより、前記第１永久磁石の軸方向の位置を調整することを備える。これにより、この調整に伴う、第１永久磁石１５の回転軸Ａｘの周りの回転を抑制することができる。
なお、ここで、治具（押さえ治具５２）による第１永久磁石１５の押圧とは、第１永久磁石１５を当該冶具により直接押圧する場合の他、スペーサ１６等を介して間接的に押圧する場合も含めるものとする。
【００４８】
本発明は上記実施形態の内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００４９】
１…ポンプ本体、１１…転がり軸受、１２…静翼、１５…第１永久磁石、１６，１６ａ…スペーサ、１７，１７ａ…リング状部材、１７ｈ…ひっかけ部、１８…ばね、１８ｓ…ばね支持部材、１９…支持部、２０…ロータ、２１，２１ａ…ロータシャフト、２５…第２永久磁石、３１，３１ａ…永久磁石磁気軸受、３２…転がり軸受、５０…位置調整用工具、５１…回転冶具、５２…押さえ治具、９１…吸気口、９２…排気口、１７１…第１部分、１７２…第２部分、２１０…ロータシャフトの内周面、２１０Ｓ…斜面、２１１…逃げ構造、Ａｘ…回転軸、Ｌ１５…第１永久磁石の外径、Ｌ１７…リング状部材の外径、Ｌｂ…リング状部材下端部におけるロータシャフト内周面までの径方向の距離、Ｌｂ…リング状部材上端部におけるロータシャフト内周面までの径方向の距離、Ｔ１…第１部分の径方向の厚み、Ｔ２…第２部分の径方向の厚み。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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