(57)【要約】【課題】研磨パッドをコンパクトな状態として運搬作業の負荷を軽減しながらも、研磨パッドの品質を維持することが可能な研磨パッド用運搬具を提供する。【解決手段】研磨パッド用運搬具１は、設置面と当接する基部１１と、基部１１の上方に設けられ、研磨パッド９の下面と当接して研磨パッド９を支持する支持部１２と、を備える。水平方向に沿うＸ軸方向に沿って見たとき、支持部１２は、上部から下部にかけて幅が漸次増加するとともに、上端部１２ａが湾曲するように形成されている。【選択図】図１
2020049572.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性を有する研磨パッドの運搬に用いられる研磨パッド用運搬具であって、
設置面と当接する基部と、
前記基部の上方に設けられ、研磨パッドの下面と当接して該研磨パッドを支持する支持部と、を備え、
水平方向に沿う所定方向に沿って見たとき、前記支持部は、上部から下部にかけて幅が漸次増加するとともに、上端部が湾曲するように形成されていることを特徴とする、研磨パッド用運搬具。
【請求項２】
前記所定方向に沿って見たとき、前記支持部の上端部の曲率半径は、前記支持部の他部の曲率半径よりも小さい、請求項１に記載の研磨パッド用運搬具。
【請求項３】
前記所定方向に沿って見たとき、前記支持部の外形線は変曲点を有していない、請求項２に記載の研磨パッド用運搬具。
【請求項４】
平板形状を呈し、外形線が湾曲している複数の起立部材と、
複数の連結部材と、を備え、
前記複数の起立部材は、その厚み方向が前記所定方向に沿うとともに、前記所定方向に互いに間隔を空けて配置され、
前記複数の連結部材は、前記所定方向に延びるように配置され、前記複数の起立部材を連結している、請求項１から３のいずれか一項に記載の研磨パッド用運搬具。
【請求項５】
前記所定方向に沿って見たとき、前記連結部材は、その外側端部が前記起立部材の外形線と略一致するように配置されている、請求項４に記載の研磨パッド用運搬具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可撓性を有する研磨パッドの運搬に用いられる研磨パッド用運搬具に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイのマザーガラスや半導体デバイス等の研磨に用いられる研磨材が広く普及している。このような研磨材として、ウレタン樹脂発泡体により形成され、可撓性を有する研磨パッドがある。
【０００３】
特許文献１には、研磨パッド運搬用ボックスが開示されている。当該運搬用ボックスは、内箱と、収容部材とを有している。収容部材は袋形状を呈しており、研磨パッドを収容する。内箱の内部には棒状部材が配置されており、研磨パッドを収容している収容部材が、当該棒状部材により吊り下げられた状態で保持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−６２９７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、液晶ディスプレイの大型化や、研磨効率向上の要求に伴い、大型の研磨パッドの需要が高まっている。例えば、特許文献１に記載されているような円盤形状の研磨パッドでは、直径が２０００ｍｍを超えるものも提供されている。
【０００６】
特許文献１記載の運搬用ボックスでは、研磨パッドは円盤形状のまま運搬される。したがって、当該研磨パッドの運搬に大型の運搬用ボックスを用いる必要があり、運搬作業の負荷が増加するという課題があった。
【０００７】
また、研磨パッドの運搬作業の負荷を軽減する方法として、例えば、研磨パッドを折り曲げてコンパクトな状態とすることにより、比較的小さい運搬具でも運搬を可能にするものが考えられる。しかしながら、この場合、折り曲げられた研磨パッドに歪が生じ、運搬後に元の形状を復元できなくなったり、研磨パッドの表面に貼付されている離型紙が剥離したりするおそれがある。
【０００８】
本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、研磨パッドをコンパクトな状態として運搬作業の負荷を軽減しながらも、研磨パッドの品質を維持することが可能な研磨パッド用運搬具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明は、可撓性を有する研磨パッドの運搬に用いられる研磨パッド用運搬具であって、設置面と当接する基部と、基部の上方に設けられ、研磨パッドの下面と当接して研磨パッドを支持する支持部と、を備え、水平方向に沿う所定方向に沿って見たとき、支持部は、上部から下部にかけて幅が漸次増加するとともに、上端部が湾曲するように形成されていることを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、研磨パッドが支持部において支持されると、研磨パッドの中央部は支持部の上端部により支持され、研磨パッドの両端部は垂下する。つまり、研磨パッドは、支持部の上端部において折り曲げられた状態となる。この結果、本発明に係る研磨パッド用運搬具は、研磨パッドを原形のまま運搬する従来の運搬具と比較して、研磨パッドをコンパクトな状態にして運搬作業の負荷を軽減することが可能になる。
【００１１】
また、支持部の上端部は湾曲している。研磨パッドはこの上端部の湾曲に沿って緩やかに変形するため、上端部周辺で研磨パッドが極端に屈曲することはない。この結果、折り曲げられた研磨パッドに、運搬後に元の形状を復元できなくなるほどの屈曲が生じることを抑制し、研磨パッドの品質を維持することが可能になる。
【００１２】
本発明において、好ましくは、所定方向に沿って見たとき、支持部の上端部の曲率半径は、支持部の他部の曲率半径よりも小さい。
【００１３】
この構成によれば、支持部の上端部において研磨パッドの下面に作用する面圧は、支持部の他部において作用する面圧よりも大きくなる。この結果、支持部の上端部において、研磨パッドの下面との間の摩擦力を集中的に発生させることができる。この結果、運搬時に研磨パッドは上端部において確実に支持されるため、研磨パッドが支持部からずれ落ちることを抑制できる。
【００１４】
本発明において、好ましくは、所定方向に沿って見たとき、支持部の外形線は変曲点を有していない。
【００１５】
この構成によれば、変曲点の近傍において研磨パッドに無為な歪が生じたり、研磨パッドが支持部から離れることを抑制できる。この結果、折り曲げられた研磨パッドに、運搬後に元の形状を復元できなくなるほどの屈曲が生じることを抑制し、研磨パッドの品質を維持することが可能になる。
【００１６】
本発明において、好ましくは、平板形状を呈し、外形線が湾曲している複数の起立部材と、複数の連結部材と、を備え、複数の起立部材は、その厚み方向が所定方向に沿うとともに、所定方向に互いに間隔を空けて配置され、複数の連結部材は、所定方向に延びるように配置され、複数の起立部材を連結している。
【００１７】
この構成によれば、研磨パッド用運搬具の内部に空隙を形成し、研磨パッド用運搬具を軽量化することができる。また、研磨パッド用運搬具の作製の際には、起立部材の湾曲している外形線により、支持部の上端部における湾曲を設けることができる。
【００１８】
本発明において、好ましくは、所定方向に沿って見たとき、連結部材は、その外側端部が起立部材の外形線と略一致するように配置されている。
【００１９】
この構成によれば、連結部材の外側端部を起立部材の外形線と略一致するように配置することにより、隣り合う起立部材の間では、連結部材の外側端部において研磨パッドの下面と当接し、研磨パッドを支持することができる。この結果、隣り合う起立部材の間でも、起立部材の湾曲した外形線に沿うように研磨パッドを配置し、研磨パッドに無為な歪が生じることを抑制できる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、研磨パッドをコンパクトな状態として運搬作業の負荷を軽減しながらも、研磨パッドの品質を維持することが可能な研磨パッド用運搬具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】実施形態に係る研磨パッド用運搬具を示す斜視図である。
【図２】図１の研磨パッド用運搬具を示す斜視図である。
【図３】図１の研磨パッド用運搬具を示す側面図である。
【図４】比較例に係る研磨パッド用運搬具を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、添付図面を参照しながら実施形態について説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては同一の符号を付して、重複する説明は省略する。
【００２３】
まず、図１及び図２を参照しながら、実施形態に係る研磨パッド用運搬具１（以下「運搬具１」という。）の構成について説明する。図１及び図２は、運搬具１を示す斜視図である。図１は、研磨パッド９を支持している運搬具１を示しており、図２は、互いに離間した運搬具１と研磨パッド９とを示している。
【００２４】
尚、理解を容易にするため、図１に示されるように、水平方向に沿う軸をＸ軸及びＹ軸とし、鉛直向きをＺ軸とする直交座標を用いて説明する。Ｘ軸方向は、本発明に係る所定方向の一例である。図２以降にも同様の座標が示されている。
【００２５】
研磨パッド９は、不図示の研磨装置に搭載される研磨材である。研磨パッド９は、ウレタン樹脂発泡体に硬化剤を添加し、硬化させることにより成形されており、可撓性を有している。成形された研磨パッド９は円盤形状を呈しており、その直径は約２０００ｍｍである。研磨パッド９は、スラリー状の研磨液の供給を受けながら、ワークの表面を研磨する。また、研磨パッド９の一側面には、不図示の離型紙が貼付されている。
【００２６】
運搬具１は、この研磨パッド９の運搬に用いられる。運搬具１のＸ軸方向外寸は約２４００ｍｍ、Ｙ軸方向外寸は６００ｍｍ、Ｚ軸方向外寸は約１０００ｍｍである。
【００２７】
運搬具１は、基部１１と、支持部１２と、を有している。基部１１は運搬具１の土台となる部分であり、設置面（例えば、床面や、運搬具１を収容するケースの底面）と当接する。支持部１２は、基部１１の上方に設けられており、湾曲形成されている。
【００２８】
運搬具１は、この支持部１２において研磨パッド９の下面と当接し、研磨パッド９を支持する。支持部１２の上端部１２ａは、研磨パッド９の中央部９ａの下面と当接する。
【００２９】
研磨パッド９は支持部１２の上端部１２ａにおいて折り曲げられ、研磨パッド９の端部９ｂが垂下する。このため、運搬具１により支持されている研磨パッド９のＺ軸方向外寸は、研磨パッド９の直径である２０００ｍｍよりも十分小さくなる。
【００３０】
研磨パッド９は、その中央部９ａから端部９ｂにかけて、支持部１２の湾曲に沿って変形する。研磨パッド９は、Ｘ軸周りに巻かれる不図示のゴム製のバンド等により、運搬具１に対して固定される。研磨パッド９は、当該研磨パッド９を支持している運搬具１とともに不図示のケースに収容され、当該ケースとともに運搬される。
【００３１】
次に、図１及び図２に加えて図３及び図４を参照しながら、運搬具１の詳細な構成と作製について説明する。図３は、運搬具１を示す側面図である。図４は、比較例に係る研磨パッド用運搬具１００（以下「運搬具１００」という。）を示す側面図である。図２に示されるように、運搬具１は、６枚の起立部材２と、連結部材３１〜３３と、底板４と、により構成されている。
【００３２】
６枚の起立部材２の形状は全て同一である。起立部材２は、樹脂材料により形成され、平板形状を呈している。起立部材２の厚さ（つまり、Ｘ軸方向寸法）は一様であるが、図３に示されるように、起立部材２の幅（つまり、Ｙ軸方向寸法）は、上部から下部にかけて漸次増加するように設定されている。
【００３３】
起立部材２の外形線２ａは、湾曲している。詳細には、図３に示されるように、外形線２ａは略楕円形状の一部を成しており、その曲率半径は、上部から下部にかけて漸次増加するように設定されている。つまり、上端部１２ａにおける外形線２ａの曲率半径Ｒは、外形線２ａの他部における曲率半径よりも小さい。
【００３４】
また、起立部材２の外形線２ａは、変曲点を有していない。例えば、図４に示される比較例に係る運搬具１００の起立部材２０の外形線２０ａは、複数の変曲点ＩＰを有している。つまり、外形線２０ａは、変曲点ＩＰにおいて突出方向が変化するように湾曲している。これに対し、本実施形態に係る起立部材２の外形線２ａは、このように突出方向が変化する変曲点を有していない。
【００３５】
また、起立部材２は、切欠２１〜２３が形成されている。切欠２１，２２は、支持部１２（図２参照）に対応する部位に形成されており、切欠２３は、起立部材２の下端部に形成されている。切欠２１〜２３は、起立部材２を厚さ方向に貫通するとともに、起立部材２の内方に向かって延びている。切欠２１〜２３の幅は略一様である。
【００３６】
連結部材３１〜３３は、いずれも樹脂材料により形成されており、細長い平板形状を呈している。連結部材３１〜３３の厚さは、起立部材２の切欠２１〜２３の幅と略同一である。
【００３７】
運搬具１は、起立部材２と、連結部材３１〜３３と、底板４と、を組み立てることにより作製される。６枚の起立部材２は、図２に示されるように、Ｘ軸方向に互いに間隔を空けて直線状に配置される。各起立部材２は、その厚さ方向がＸ軸方向に沿うように配置される。これにより、各起立部材２に形成された切欠２１〜２３が、それぞれＸ軸方向に沿って直線状に整列する。
【００３８】
連結部材３１は切欠２１に嵌入し、連結部材３２は切欠２２に嵌入し、連結部材３３は切欠２３に嵌入する。図３に示されるように側面視した場合に、連結部材３１の外側端部３１ａと、連結部材３２の外側端部３２ａとが、起立部材２の外形線２ａと略一致するように配置される。つまり、連結部材３１，３２の外側端部３１ａ，３２ａは起立部材２の端部と略面一となる。６枚の起立部材２は、連結部材３１〜３３を介して互いに連結され、隣り合う起立部材２，２間の間隔が維持される。
【００３９】
６枚の起立部材２のそれぞれの下端は、接着剤や粘着テープ等の公知の手段により、底板４の上面に固定され、これにより、運搬具１の作製作業が完了する。底板４は樹脂材料により形成されており、平板形状を呈している。
【００４０】
このように作製された運搬具１は、起立部材２の外形線２ａに相当する外側端部と、連結部材３１，３２の外側端部３１ａ，３２ａとにおいて研磨パッド９の下面と当接し、研磨パッド９を支持する。すなわち、起立部材２の外側端部と、連結部材３１，３２の外側端部３１ａ，３２ａとが、支持部１２として機能する。起立部材２の外側端部と、連結部材３１，３２の外側端部３１ａ，３２ａと、が十字形状に交差している部位では、研磨パッド９は特に安定的に支持される。
【００４１】
支持部１２により研磨パッド９の下面が支持されると、図３に示されるように、研磨パッド９は、自重により上端部１２ａの湾曲に沿って緩やかに変形する。また、上端部１２ａにおいて研磨パッド９に作用する面圧Ｐ１は、基部１１近傍において研磨パッド９に作用する面圧Ｐ２よりも大きくなる。
【００４２】
次に、上記実施形態に基づく作用効果について説明する。
【００４３】
上記構成によれば、研磨パッド９が支持部１２において支持されると、研磨パッド９の中央部９ａは支持部１２の上端部１２ａにより支持され、研磨パッド９の両端部９ｂは垂下する。つまり、研磨パッド９は、支持部１２の上端部１２ａにおいて折り曲げられた状態となる。この結果、運搬具１は、研磨パッド９を原形のまま運搬する従来の運搬具と比較して、研磨パッド９をコンパクトな状態にして運搬作業の負荷を軽減することが可能になる。
【００４４】
また、支持部１２の上端部１２ａは湾曲している。研磨パッド９はこの上端部１２ａの湾曲に沿って緩やかに変形するため、上端部１２ａ周辺で研磨パッド９が極端に屈曲することはない。この結果、折り曲げられた研磨パッド９に、運搬後に元の形状を復元できなくなるほどの屈曲が生じることを抑制し、研磨パッド９の品質を維持することが可能になる。
【００４５】
また、Ｘ軸方向に沿って見たとき、支持部１２の上端部１２ａの曲率半径Ｒは、支持部１２の他部の曲率半径よりも小さい。
【００４６】
この構成によれば、支持部１２の上端部１２ａにおいて研磨パッド９の下面に作用する面圧Ｐ１は、支持部１２の他部において作用する面圧Ｐ２よりも大きくなる。この結果、支持部１２の上端部１２ａにおいて、研磨パッド９の下面との間の摩擦力を集中的に発生させることができる。この結果、運搬時に研磨パッド９は上端部１２ａにおいて確実に支持されるため、研磨パッド９が支持部１２からずれ落ちることを抑制できる。
【００４７】
ところで、比較例に係る運搬具１００（図４参照）では、起立部材２０の外形線２０ａが変曲点ＩＰを有しているため、変曲点ＩＰの周辺において研磨パッド９が無為に歪み、研磨パッドの品質が低下するおそれがある。
【００４８】
これに対し、本実施形態の運搬具１では、Ｘ軸方向に沿って見たとき、支持部１２の外形線は変曲点を有していない。
【００４９】
この構成によれば、変曲点の近傍において研磨パッド９に無為な歪が生じることを抑制できる。この結果、折り曲げられた研磨パッド９に、運搬後に元の形状を復元できなくなるほどの屈曲が生じることを抑制し、研磨パッド９の品質を維持することが可能になる。
【００５０】
また、運搬具１は、平板形状を呈し外形線２ａが湾曲している複数の起立部材２と、複数の連結部材３１〜３３と、を備える。複数の起立部材２は、その厚み方向がＸ軸方向に沿うとともに、Ｘ軸方向に互いに間隔を空けて配置される。複数の連結部材３１〜３３は、Ｘ軸方向に延びるように配置され、複数の起立部材２を連結している。
【００５１】
この構成によれば、運搬具１の内部に空隙を形成し、運搬具１を軽量化することができる。また、運搬具１の作製の際には、起立部材２の湾曲している外形線２ａにより、支持部１２の上端部１２ａにおける湾曲を設けることができる。
【００５２】
Ｘ軸方向に沿って見たとき、連結部材３１，３２は、その外側端部３１ａ，３２ａが起立部材２の外形線２ａと略一致するように配置されている。
【００５３】
この構成によれば、連結部材３１，３２の外側端部３１ａ，３２ａを起立部材２の外形線２ａと略一致するように配置することにより、隣り合う起立部材２，２の間では、連結部材３１，３２の外側端部３１ａ，３２ａにおいて研磨パッド９の下面と当接し、研磨パッド９を支持することができる。この結果、隣り合う起立部材２，２間でも、起立部材２の湾曲した外形線２ａに沿うように研磨パッドを配置し、研磨パッド９に無為な歪が生じることを抑制できる。
【００５４】
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。実施形態が備える各要素並びにその配置、材料、条件、形状及びサイズ等は、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、異なる実施形態で示した構成同士を部分的に置換し又は組み合わせることが可能である。
【符号の説明】
【００５５】
１  研磨パッド用運搬具（運搬具）
２  起立部材
２ａ  外形線
３１〜３３  連結部材
３１ａ，３２ａ  外側端部
９  研磨パッド
１１基部
１２  支持部
１２ａ  上端部
【図１】
2020049572.tif 000003
【図２】
2020049572.tif 000004
【図３】
2020049572.tif 000005
【図４】
2020049572.tif 000006