(57)【要約】【課題】廃液処理装置において、液槽から陽極板を抜き出し又は液槽に陽極板を差し込みする際に、シリコン屑によって邪魔されず容易に該作業を行えるようにする。【解決手段】シリコン屑が混入された加工廃液をシリコン屑と清水とに分離する廃液処理装置１であって、加工廃液Ｌを貯める液槽２と、液槽２に等間隔で配設されマイナスに帯電させる陰極板３０と、陰極板３０に対面して陰極板３０と所定の間隔で離間して液槽２に抜き差し可能に配設されプラスに帯電させる陽極板３１と、陽極板３１の上部を保持し液槽２から陽極板３１を抜き出し又は液槽２に差し込みする抜き差し手段３２と、液槽２内で陰極板３０と陽極板３１とが所定の間隔を形成するために少なくとも陰極板３０の両面からそれぞれ飛び出した間隔形成部３０９と、を備える廃液処理装置１。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン屑が混入された加工廃液をシリコン屑と清水とに分離する廃液処理装置であって、
該加工廃液を貯める液槽と、
該液槽に等間隔で配設されマイナスに帯電させる陰極板と、
該陰極板に対面して該陰極板と所定の間隔で離間して該液槽に抜き差し可能に配設されプラスに帯電させる陽極板と、
該陽極板の上部を保持し該液槽から該陽極板を抜き出し又は該液槽に差し込みする抜き差し手段と、
該液槽内で該陰極板と該陽極板とが所定の該間隔を形成するために少なくとも該陰極板の両面からそれぞれ飛び出した間隔形成部と、を備える廃液処理装置。
【請求項２】
前記陽極板は上部が両横外側に張り出した張り出し部を備え、
前記液槽は上部に該張り出し部を位置決めし載置させる位置決め溝を備える、
請求項１記載の廃液処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコン屑が混入された加工廃液をシリコン屑と清水とに分離する廃液処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
砥石でシリコンウェーハを切削する切削装置や、砥石でシリコンウェーハを研削する研削装置は、加工によって生み出される廃液にシリコン屑が含まれており、廃液を再利用する際、シリコン屑を除去する必要がある。
フィルタを用いてシリコン屑を除去すると、短時間でフィルタが目詰まりするので頻繁にフィルタ交換作業が必要になると共にフィルタが無駄になる。その対策として、特許文献１又は特許文献２に開示されているように廃液を溜めた液槽に陰極板と陽極板とを交互に配置して、陽極板に帯電したシリコン屑を吸着させ、陰極板側から清水を吸引して廃液のリサイクルを可能にしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２５１４３５号公報
【特許文献２】特開２０１４−１２４５７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
陽極板は、ある程度シリコン屑を吸着したら液槽から取り出して吸着したシリコン屑を剥ぎ取り、再び液槽の所定の位置に取り付け着液させる。そして、陽極板は陰極板と所定の間隔を開けて配設する必要があるため、液槽の内側面には陽極板を案内し深さ方向に延在する案内溝を備えている。
【０００５】
電圧を印加して陽極板をプラスに帯電させマイナスに帯電したシリコン屑を吸着させたとき、陽極板と案内溝の凹みとの間がシリコン屑で満たされる。そのため、陽極板を液槽から取り出すのが困難になる。また、陽極板を液槽から取り出すことができても、案内溝にシリコン屑が残っていて、陽極板からシリコン屑を剥ぎ落とした後、再度陽極板を案内溝に差し込むときに、案内溝に残ったシリコン屑が邪魔をして陽極板を差し込むことができないという問題がある。
【０００６】
よって、廃液処理装置においては、液槽から陽極板を抜き出し又は該液槽に陽極板を差し込みする際に、シリコン屑によって邪魔されないようにし、容易に上記作業を行えるようにするという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明は、シリコン屑が混入された加工廃液をシリコン屑と清水とに分離する廃液処理装置であって、該加工廃液を貯める液槽と、該液槽に等間隔で配設されマイナスに帯電させる陰極板と、該陰極板に対面して該陰極板と所定の間隔で離間して該液槽に抜き差し可能に配設されプラスに帯電させる陽極板と、該陽極板の上部を保持し該液槽から該陽極板を抜き出し又は該液槽に差し込みする抜き差し手段と、該液槽内で該陰極板と該陽極板とが所定の該間隔を形成するために少なくとも該陰極板の両面からそれぞれ飛び出した間隔形成部と、を備える廃液処理装置である。
【０００８】
前記陽極板は上部が両横外側に張り出した張り出し部を備え、前記液槽は上部に該張り出し部を位置決めし載置させる位置決め溝を備えると好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る廃液処理装置は、加工廃液を貯める液槽と、液槽に等間隔で配設されマイナスに帯電させる陰極板と、陰極板に対面して陰極板と所定の間隔で離間して液槽に抜き差し可能に配設されプラスに帯電させる陽極板と、陽極板の上部を保持し液槽から陽極板を抜き出し又は液槽に差し込みする抜き差し手段と、液槽内で陰極板と陽極板とが所定の間隔を形成するために少なくとも陰極板の両面からそれぞれ飛び出した間隔形成部と、を備えることで、液槽から陽極板を抜きとるとき、陽極板は溝に差し込まれていないため液槽にひっかかることがない。
また、液槽に陽極板を差し込むとき、溝を狙う必要が無く、且つ、間隔形成部によって陰極板と陽極板との間に所定の間隔を形成できる。さらに、液槽に溝が無いので、従来のような溝にシリコン屑が詰まって陽極板が差し込めなくなるという事態が発生しない。
【００１０】
本発明に係る廃液処理装置は、陽極板は上部が両横外側に張り出した張り出し部を備え、液槽は上部に該張り出し部を位置決めし載置させる位置決め溝を備えることで、液槽の定位置に陽極板を差し込むときに従来よりも容易に差し込みが可能となる。また、位置決め溝は液槽の上部に形成されているため、該位置決め溝にシリコン屑が詰まることはない。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】廃液処理装置の一例を示す斜視図である。
【図２】液槽内の陽極板と陰極板との配置を示す断面図である。
【図３】液槽と陽極板と陰極板とを分離して示す斜視図である。
【図４】液槽に陽極板を差し込んでいる状態を説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に示す本発明に係る廃液処理装置１は、シリコン屑が混入された加工廃液をシリコン屑と清水とに分離する装置であり、加工廃液を貯める液槽２と、液槽２に等間隔で配設されマイナスに帯電させる陰極板３０（図２参照）と、陰極板３０にＹ軸方向において対面して陰極板３０と所定の間隔で離間して液槽２に抜き差し可能に配設されプラスに帯電させる陽極板３１と、陽極板３１の上部を保持し液槽２から陽極板３１を抜き出し又は液槽２に差し込みする抜き差し手段３２と、液槽２内で陰極板３０と陽極板３１とが所定の間隔を形成するために少なくとも陰極板３０の両面からそれぞれ飛び出した間隔形成部３０９（図２参照）と、を備えている。
図１に示すように、廃液処理装置１の上記各構成要素は、廃液処理装置１の直方体状の筐体１０内部に収容されている。
【００１３】
図１〜３に示す略直方体の箱状の液槽２は、例えば、合成樹脂等の絶縁部材によって形成されており、平面視矩形の底板２１（図２、３参照）と、底板２１の外周から一体的に＋Ｚ方向に立ち上がる４枚の側壁とからなり、図２に示すように底板２１と各側壁とで囲まれた空間にシリコン屑Ｐを含む加工廃液Ｌを溜めることができる。図１〜３でＸ軸方向において対向する２枚の側壁（図２では紙面奥側のみ図示）を側壁２２ａとして、Ｙ軸方向において対向する２枚の側壁を側壁２２ｂとする。
図２、３に示すように、例えば、側壁２２ｂの下部側の領域には、加工廃液Ｌが送られてくる給液管４０３の他端が連通する供給口２２３が形成されている。
【００１４】
図１に示すように、液槽２の側方には、シリコン屑Ｐが含まれる加工廃液Ｌを収容する廃液収容タンク４０が設けられており、図２に示すポンプ４０２によって、廃液収容タンク４０から給液管４０３を介して液槽２に加工廃液Ｌが導入される。
また、液槽２の上部には、加工廃液Ｌが溢れることを防止する図示しないオーバーフロー管が設けられている。オーバーフロー管は、廃液収容タンク４０に連通しており、液槽２から溢れようとした加工廃液Ｌを再び廃液収容タンク４０に導く。
【００１５】
陽極板３１は、電気化学的に貴となる材料で構成され、平面形状が矩形状の平板状に形成されている。例えば、陽極板３１は、銅、銀、白金、又は金などの材料で構成することができる。本実施形態では、陽極板３１としてＳＵＳを適用している。複数の陽極板３１は、その表面が液槽２の長手方向（Ｙ軸方向）と直交する状態、言い換えると、液槽２の幅方向（Ｘ軸方向）と平行な状態で、互いに間隔をあけて配置されている。
【００１６】
陽極板３１の上端面には、例えば、幅方向（Ｘ軸方向）の中央部から互いに間隔をあけて上方に突出した二つの被係合部３１０が設けられている。被係合部３１０は、矩形状の板状に形成され、中央にＸ軸方向に貫通した被係合孔３１０ａが設けられている。被係合孔３１０ａには、抜き差し手段３２の保持部３２０の係合ピン３２０ａが進入して係合する。
【００１７】
例えば、図１、３に示すように、本実施形態における廃液処理装置１において、陽極板３１は上部が両横外側（±Ｘ方向側）に張り出した張り出し部３１５を備え、液槽２は上部に該張り出し部３１５を位置決めし載置させる位置決め溝２７を備える。なお、廃液処理装置１は、張り出し部３１５及び位置決め溝２７を備えない構成となっていてもよい。
【００１８】
張り出し部３１５は、例えば、角柱の出っ張りであるが、円柱状の出っ張りであってもよい。液槽２の位置決め溝２７は、例えば、２枚の側壁２２ａの上端面に張り出し部３１５の外形に合わせて凹状に形成された溝であるが、これに限定されず、例えば、断面Ｖ字形状の溝であってもよい。位置決め溝２７の深さは、張り出し部３１５が少しだけ入り込む程度の深さであればよく、位置決め溝２７の溝幅は、載置された張り出し部３１５がＹ軸方向に多少移動可能となる程度の長さであればよい。また、位置決め溝２７の代わりに、２枚の側壁２２ａの上端面に位置決め用のマークが描かれていてもよい。
【００１９】
例えば、図１、３に示すように、液槽２のＸ軸方向において対向する二枚の側壁２２ａの内側面には、複数のＺ軸方向に延在する支持溝２２４が所定間隔を空けて形成されており、陰極板３０は、Ｙ軸方向に所定間隔を空けて該各支持溝２２４に挿嵌された状態で、液槽２内に配設されている。各支持溝２２４は、液槽２の側壁２２ａの上端面に形成された位置決め溝２７とＹ軸方向において交互に形成されている。即ち、陰極板３０は、陽極板３１にＹ軸方向において対向して、陽極板３１と離間して交互に複数配設されており、陽極板３１と平行な状態になっている。
なお、例えば、陽極板３１を位置決めする位置決め溝２７の溝幅中点と、位置決め溝２７を挟む２本の支持溝２２４間の中点とは略合致している。
【００２０】
図２、３に示す陰極板３０は、陽極板３１と同様に、電気化学的に貴となる材料で構成され、平面形状が矩形の平板状に形成されている。例えば、陰極板３０は、銅、銀、白金、又は金などの材料で構成することができる。本実施形態では、陰極板３０としてＳＵＳを適用している。
【００２１】
図２に示すように、各陰極板３０及び各陽極板３１の下端と液槽２の底板２１との間には所定幅の隙間が設けられており、液槽２に供給口２２３から流入した加工廃液Ｌは、該隙間を通り陰極板３０と陽極板３１との間を上昇していく。
【００２２】
図２に示す陰極板３０と陽極板３１とのＹ軸方向における所定の間隔は、陰極板３０の表面両面からそれぞれＹ軸方向に飛び出した間隔形成部３０９によって形成される。間隔形成部３０９は、例えば樹脂で形成されており、本実施形態においては、略半円板状の外形を備えているが、該形状に限定されるものではなく、例えば、Ｙ軸方向に飛び出る略半球状、円錐状、又は角錐状等の外形を備えていてもよい。図３に示すように、間隔形成部３０９は、例えば、陰極板３０表面の下部側の領域において幅方向（Ｘ軸方向）に所定の距離離間させて２つ配設されているが、３つ以上配設されていてもよい。例えば、陰極板３０から飛び出るように設けられた間隔形成部３０９は、陽極板３１の抜き差し方向であるＺ軸方向に細長く延在するような外形を備えていてもよい。
また、Ｙ軸方向において一方の端と他方の端との２つの陽極板３１は、それぞれの一方の面だけが陰極板３０と対面し、それぞれ他方の面は、液槽２の各側壁２２ｂの内側面と対面している。そのため、陽極板３１が対面する液槽２の各側壁２２ｂの内側面に間隔形成部３０９を備えるとよい。
【００２３】
本実施形態において、陽極板３１と陰極板３０との間には直流電圧が印加される（図２参照）。すなわち、陽極板３１に直流電源ＤＣのプラス（＋）側が電気的に接続されて加工廃液Ｌ中でプラスに帯電される。陽極板３１は、加工廃液Ｌ中でプラスに帯電されて、加工廃液Ｌ中でマイナスに帯電したシリコン屑Ｐを吸着するために用いられる。一方、陰極板３０に直流電源ＤＣのマイナス（−）側が電気的に接続されて加工廃液Ｌ中でマイナスに帯電される。
【００２４】
陽極板３１でシリコン屑Ｐがおおまかに除去された加工廃液（清水）は、図１に示す清水送出手段３８によって、筐体１０内に配設された清水貯水タンク４１に送出される。図１〜３に示す複数の清水送出手段３８は、例えば、複数の陰極板３０の上部に取り付けられＹ軸方向の両端が閉塞された清水吸引パイプ３８１と、各清水吸引パイプ３８１に連結された連結パイプ３８３と、連結パイプ３８３上に配設された開閉バルブ３８２とを有している。図２、３に示すように、清水吸引パイプ３８１の側面には、パイプの延在方向（Ｘ軸方向）に沿って複数の清水吸引口３８１ａが等間隔を空けて形成されている。
【００２５】
連結パイプ３８３は、例えば、清水吸引パイプ３８１の上方に延びた後側壁２２ａ側に曲がり、液槽２の側壁２２ａを貫通し、さらに清水貯水タンク４１に向かって下方に屈曲して、清水貯水タンク４１の後述する供給口４１２（図１参照）に連結している。清水吸引パイプ３８１及び連結パイプ３８３は、陽極板３１でシリコン屑Ｐがおおまかに除去された清水を液槽２内から清水貯水タンク４１に送給する。開閉バルブ３８２は、連結パイプ３８３内の流路を開閉自在に構成される。
【００２６】
図１に示すように廃液収容タンク４０の上方に、液槽２において分離されたシリコン屑Ｐを含まない清水を貯水する清水貯水タンク４１が配設されている。清水貯水タンク４１は、タンク本体４１０と、清水中の気泡を消すためにタンク本体４１０内に斜めに配設された消泡傾斜板４１１と、複数の供給口４１２とを備えている。供給口４１２は、例えば、清水送出手段３８の清水吸引パイプ３８１及び開閉バルブ３８２と同数設けられている。供給口４１２は、タンク本体４１０の上部を貫通している。
【００２７】
図１に示す陽極板３１の上部を保持し液槽２から陽極板３１を抜き出し又は液槽２に差し込みする抜き差し手段３２は、Ｙ軸方向移動手段３４によって、液槽２の上方を水平にＹ軸方向に往復移動可能となっている。筐体１０の内側壁に固定されたＹ軸方向移動手段３４は、液槽２の長手方向（Ｙ軸方向）と平行に設けられた水平ボールネジ３４０と、水平ボールネジ３４０を回転駆動するモータ３４３と、Ｙ軸方向に延在する一対の水平移動用のガイドレール３４１と、内部のナットが水平ボールネジ３４０に螺合し両端下面がガイドレール３４１に摺接する可動部材３４２と、を備えている。そして、モータの駆動により水平ボールネジ３４０が回動することにより可動部材３４２に固定された抜き差し手段３２がガイドレール３４１にガイドされてＹ軸方向に移動する構成となっている。水平ボールネジ３４０及びガイドレール３４１は、液槽２の上方からシリコン屑Ｐを陽極板３１から分離するための図１に示す分離部５０の上方にわたる長さを有しており、抜き差し手段３２をＹ軸方向に移動させることにより、抜き差し手段３２の保持部３２０が保持した陽極板３１を液槽２から分離部５０に移動させることができる。
【００２８】
抜き差し手段３２は、可動部材３４２に上端が固定された鉛直板３２９と、液槽２の深さ方向（Ｚ軸方向）と平行に鉛直板３２９の側面に設けられた鉛直ボールネジ３２１と、鉛直ボールネジ３２１を回転駆動するモータ３２３と、Ｚ軸方向に延在する一対のガイドレール３２２と、内部のナットが鉛直ボールネジ３２１に螺合し側面がガイドレール３２２に摺接する保持部３２０と、を備えている。そして、モータの駆動により鉛直ボールネジ３２１が回動することにより保持部３２０がガイドレール３２２にガイドされてＺ軸方向に移動する構成となっている。
【００２９】
抜き差し手段３２の陽極板３１を保持する保持部３２０は、例えば、内部のナットが鉛直ボールネジ３２１に螺合する板状部材３２０ｄと、板状部材３２０ｄの下面に配設された一対のチャックシリンダ３２０ｃとを備えている。一対のチャックシリンダ３２０ｃは、液槽２の幅方向（Ｘ軸方向）に互いに間隔をあけて配設されている。一対のチャックシリンダ３２０ｃは、板状部材３２０ｄに取り付けられたシリンダ本体３２０ｂと、シリンダ本体３２０ｂから液槽２の幅方向（Ｘ軸方向）に突没自在に設けられた係合ピン３２０ａとを備えている。一対のチャックシリンダ３２０ｃは、例えば、シリンダ本体３２０ｂから突出する係合ピン３２０ａがＸ軸方向において互いに近づく状態となっている。各係合ピン３２０ａは、下降する保持部３２０が陽極板３１の上方に位置付けられた状態でシリンダ本体３２０ｂから突出すると、陽極板３１の各被係合部３１０の被係合孔３１０ａにそれぞれ挿嵌される。これによって、抜き差し手段３２の保持部３２０が陽極板３１を保持した状態になる。
【００３０】
シリコン屑Ｐを陽極板３１から分離するための図１に示す分離部５０は、上部に陽極板３１が入り込む開口を備えるハウジング５００を備えており、該ハウジング５００内に、例えば、陽極板３１の表面をＹ軸方向両側から挟み込むことができる図示しない一対のスクレーパーを備えている。
【００３１】
分離部５０の下方には、陽極板３１から剥ぎ取られたシリコン屑Ｐを収容するシリコン屑タンク５６が配設されている。シリコン屑タンク５６は、上部が開口した容器であり、分離部５０の下部に連結され、分離部５０において分離され落下してきたシリコン屑Ｐを貯蔵する。
【００３２】
例えば、分離部５０は、シリコン屑タンク５６に貯蔵されたシリコン屑Ｐから発生する水素ガスを外部に排出する水素ガス排出手段５７を備えている。水素ガス排出手段５７は、分離部５０のハウジング５００の壁を貫通することにより、分離部５０の内部を大気に開放している。
【００３３】
以下に、図１、図２、及び図４を用いて、廃液処理装置１において、液槽２から陽極板３１が抜き出され、陽極板３１に付着しているシリコン屑Ｐが剥ぎ取られ、さらに、液槽２にシリコン屑Ｐが剥ぎ取られた後の陽極板３１が差し込まれる場合について説明する。
図１、２においては、加工廃液Ｌが液槽２に貯液されており、加工廃液Ｌに陽極板３１及び陰極板３０が着液している。そして、陽極板３１に直流電源ＤＣのプラス（＋）を通電する一方、陰極板３０に直流電源ＤＣのマイナス（−）を通電する。この結果、陽極板３１と陰極板３０との間には電界が形成される。そして、図２に示すように、加工廃液Ｌに混入されてマイナス（−）に帯電されているシリコン屑Ｐは、電気泳動によって、マイナス（−）に帯電された陰極板３０から反発し、プラス（＋）に帯電された陽極板３１に吸着される。
【００３４】
一定量のシリコン屑Ｐを陽極板３１が吸着した後、図１に示すＹ軸方向移動手段３４のモータ３４３が水平ボールネジ３４０を回動させることにより、取り出してシリコン屑Ｐを分離すべき陽極板３１の直上に抜き差し手段３２の保持部３２０が位置づけられる。
該位置づけは、例えば、上述したＹ軸方向移動手段３４のモータ３４３が、図示しないパルス発振器から供給される駆動パルスによって動作するパルスモータである場合には、図示しない制御手段が、モータ３４３に供給される駆動パルス数をカウントすることで抜き差し手段３２のＹ軸方向における移動量が算出されて実現される。
【００３５】
例えば、Ｙ軸方向移動手段３４のモータ３４３がサーボモータであり、サーボモータにロータリエンコーダが接続され、ロータリエンコーダがサーボアンプに接続されている場合には、サーボアンプからモータ３４３に対して動作信号が供給された後、ロータリエンコーダがエンコーダ信号（サーボモータの回転数）をサーボアンプに対して出力する。そして、サーボアンプが受け取ったエンコーダ信号を基に抜き差し手段３２のＹ軸方向における移動量を算出して上記位置づけが実現される。
【００３６】
次いで、抜き差し手段３２において鉛直ボールネジ３２１が回動することで保持部３２０が下降していき、一対のチャックシリンダ３２０ｃが陽極板３１の被係合部３１０の被係合孔３１０ａのＸ軸方向延長線上に位置づけられる。
【００３７】
さらに、一対のチャックシリンダ３２０ｃの係合ピン３２０ａが、シリンダ本体３２０ｂから突出することにより、被係合部３１０の被係合孔３１０ａに挿嵌される。そして、その状態のまま鉛直ボールネジ３２１が逆方向に回動することで保持部３２０が上昇して、陽極板３１が液槽２内から抜き出される。ここで、液槽２は従来のような陽極板３１を位置決めし液槽２の深さ方向に延在する溝を備えておらず、よって、陽極板３１は溝に差し込まれていないため、液槽２に陽極板３１がひっかかることなく、容易に液槽２からシリコン屑Ｐが付着した陽極板３１を引き出すことができる。
【００３８】
次いで、Ｙ軸方向移動手段３４は、水平ボールネジ３４０を回動させることにより、陽極板３１を保持した保持部３２０を分離部５０の直上まで移動させる。そして、抜き差し手段３２において鉛直ボールネジ３２１が回動することで保持部３２０が下降していき、陽極板３１が、分離部５０のハウジング５００内に挿入される。このとき、分離部５０のハウジング５００内に配設された図示しない一対のスクレーパーは、互いにＹ軸方向に間隔を空けて平行な状態となっている。
【００３９】
陽極板３１がハウジング５００内に下降した後、一対のスクレーパーが陽極板３１の表面を挟み込む。この状態で、抜き差し手段３２の陽極板３１を保持した保持部３２０が例えば上方に引き上げられることで、一対のスクレーパーが陽極板３１に付着しているシリコン屑Ｐを剥ぎ取る。陽極板３１から剥ぎ取られたシリコン屑Ｐは、シリコン屑タンク５６に収容される。
【００４０】
シリコン屑Ｐが剥ぎ取られた陽極板３１がさらに上昇し、分離部５０の上方に引き上げられると、分離部５０への陽極板３１の搬送時とは逆方向にＹ軸方向移動手段３４の水平ボールネジ３４０が回動され、陽極板３１が液槽２の元の収容場所の上方まで移動されて、位置づけられる。
【００４１】
該位置づけは、Ｙ軸方向移動手段３４のモータ３４３がパルスモータである場合には、図示しない制御手段によるモータ３４３に供給される駆動パルス数のカウントで実現される。または、Ｙ軸方向移動手段３４のモータ３４３がサーボモータである場合には、サーボアンプがロータリエンコーダからエンコーダ信号を受け取ることで実現される。
又は、本実施形態の廃液処理装置１のように、陽極板３１は上部が両横外側に張り出した張り出し部３１５を備え、液槽２は上部に張り出し部３１５を位置決めし載置させる位置決め溝２７を備える場合には、例えば、保持部３２０に位置決め溝２７を検出する光センサ等を配設して、該光センサによる位置決め溝２７の検出によって実現されてもよい。
【００４２】
陽極板３１の液槽２の元の収容場所の上方への位置づけが上記いずれの手法により実現される場合であっても、該位置づけは高い精度が求められることが無く少々のずれがあっても問題が生じない。なぜならば、本発明に係る廃液処理装置１は、液槽２が従来のような陽極板３１を位置決めし液槽２の深さ方向に延在する溝を備えておらず、代わりに、液槽２内で陰極板３０と陽極板３１とがＹ軸方向において所定の間隔を形成するために少なくとも陰極板３０の両面からそれぞれ飛び出した間隔形成部３０９を備えているからである。
また、本実施形態においては、Ｙ軸方向において一方の端と他方の端との２つの陽極板３１は、それぞれ一方の面だけが陰極板３０と対面し、それぞれ他方の面は、液槽２の各側壁２２ｂの内壁面と対面している。そのため、陽極板３１が対面する液槽２の各側壁２２ｂの内壁面に間隔形成部３０９を備えることで、２枚の陽極板３１と液槽２の各側壁２２ｂとの間にも所定の間隔を形成できるため好ましい。
【００４３】
抜き差し手段３２において鉛直ボールネジ３２１が回動することで、図４に示すように、シリコン屑Ｐが剥ぎ取られた後の陽極板３１を保持する保持部３２０が下降していき、液槽２内で陽極板３１が加工廃液Ｌに着液する。ここで、液槽２には従来のような深さ方向に延在する溝が無いので、従来のような溝にシリコン屑Ｐが詰まっており陽極板３１が液槽２に差し込めなくなるという事態は生じない。
【００４４】
陽極板３１の液槽２の元の収容場所の上方への位置づけに少々のずれがあっても、液槽２内で陰極板３０と再び差し込まれた陽極板３１とがＹ軸方向において所定の間隔を形成する。即ち、液槽２内を下降していく陽極板３１は、陰極板３０に形成された間隔形成部３０９の斜面にまず当接する。例えば、間隔形成部３０９は、略半円板状、略半球状、円錐状又は角錐状の外形（即ち、斜面を有する外形）を備えており、陽極板３１は間隔形成部３０９の斜面上を滑りつつ隣り合う陰極板３０の各間隔形成部３０９間の隙間に向かってＹ軸方向位置が矯正されつつ下降していく。
【００４５】
その結果、液槽２内の所定の深さまで陽極板３１が下降することで、液槽２内で陰極板３０と陽極板３１とが間隔形成部３０９によって所定の間隔を形成した状態になる。また、液槽２の上部に形成された位置決め溝２７上に陽極板３１の張り出し部３１５が載置された状態になる。なお、位置決め溝２７を、例えば断面Ｖ字形状の溝とすることで、上記位置づけにおけるずれがある場合の、陽極板３１差し込み時における位置矯正がよりスムーズに行われるため好ましい。なお、位置決め溝２７は液槽２の上部に形成されているため、位置決め溝２７にシリコン屑Ｐが詰まることはない。
【００４６】
なお、本発明に係る廃液処理装置１は本実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている廃液処理装置１の各構成の形状や大きさ等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１：廃液処理装置  １０：筐体
２：液槽  ２１：底板  ２２ａ：側壁  ２２４：支持溝  ２７：位置決め溝  ２２ｂ：側壁  ２２３：供給口
Ｐ：シリコン屑  Ｌ：加工廃液
３０：陰極板  ３０９：間隔形成部
３１：陽極板  ３１０：被係合部  ３１０ａ：被係合孔  ３１５：張り出し部
３２：抜き差し手段  
３２０：保持部  ３２０ｄ：板状部材  ３２０ｃ：一対のチャックシリンダ  ３２０ａ：係合ピン  ３２０ｂ：シリンダ本体  ３２９：鉛直板  ３２１：鉛直ボールネジ  ３２２：一対のガイドレール
３４：Ｙ軸方向移動手段  ３４０：水平ボールネジ  ３４１：ガイドレール  ３４２：可動部材
３８：清水送出手段  ３８１：清水吸引パイプ  ３８１ａ：清水吸引口  ３８２：開閉バルブ  ３８２：連結パイプ
４０：廃液収容タンク  ４０２：ポンプ  ４０３：給液管
４１：清水貯水タンク  ４１０：タンク本体  ４１１：消泡傾斜板  ４１２：供給口
５０：分離部  ５００：ハウジング  ５６：シリコン屑タンク  ５７：水素ガス排出手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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