(57)【要約】【課題】プレート同士が接着剤で接合される液体吐出ヘッドにおいて、ダンパが設けられる複数の流路間における、ダンパによる圧力変動の抑制効果を均一にする。【解決手段】複数のマニホールド４１、４２が形成された下側マニホールドプレート２２の上面に、ダンパ２３が接着剤で接合されている。ダンパ２３は、薄膜状の第１ダンパ部材４６と、第１ダンパ部材４６の下面に配置され、各マニホールド４１、４２の紙幅方向の両端部を除いた部分と上下方向に重なる貫通孔４７ａが形成された第２ダンパ部材４７とを備えている。ダンパ２３のうち、第１ダンパ部材４６が貫通孔４７ａから露出した部分が、第１部分２３ａである。ダンパ２３のうち、マニホールド４１、４２を仕切る隔壁２２ａと上下方向に重なる部分が、第２部分２３ｂである。第２部分２３ｂは、マニホールド４１、４２と重なる位置まで搬送方向に延びて第１部分２３ａに接続される。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルを含む個別流路が第１方向に配列されることによってそれぞれ形成され、前記第１方向と交差する第２方向に並んだ複数の個別流路列、を有する個別流路部材と、
各個別流路列に対して設けられ、対応する個別流路列を構成する複数の前記個別流路とそれぞれ接続され、前記第２方向に並んだ複数の第１共通流路と、前記第２方向に隣接する前記第１共通流路同士を仕切る第１隔壁と、を有し、前記第１方向及び前記第２方向のいずれとも平行な平面と交差する第３方向に前記個別流路部材と積層された第１共通流路部材と、
前記第３方向における、前記第１共通流路部材に対して、前記個別流路部材と反対側に配置され、前記第１共通流路部材に接着剤で接合されたダンパと、を備え、
前記ダンパは、
前記複数の第１共通流路と前記第３方向に重なる、弾性変形可能な複数の第１部分と、
前記第１隔壁に接合され、且つ、前記第１共通流路と前記第３方向に重なる位置まで前記第２方向に延びて前記第１部分と接続された、前記第１部分よりも第３方向の長さが長い第２部分と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記ダンパの、前記第３方向における前記第１共通流路部材と反対側の面に接着剤で接合され、前記複数の第１共通流路と前記第３方向に重なる複数のダンパ室と、前記第２方向に隣接する前記ダンパ室同士を仕切る第２隔壁と、を有するダンパ室部材、を備え、
前記第２部分は、前記第２隔壁に接合され、且つ、前記第２隔壁と前記第３方向に重ならない位置まで前記第２方向に延びていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第２方向において、前記第２隔壁が、前記第１隔壁の両端の間に位置していることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記ダンパは、
前記第３方向に積層された第１ダンパ部材と第２ダンパ部材とを有し、
前記第２ダンパ部材の、前記第１共通液室と前記第３方向に重なる部分に貫通孔が形成され、
前記第１ダンパ部材の前記貫通孔と前記第３方向に重なる部分が前記第１部分を形成し、
前記第１ダンパ部材と前記第２ダンパ部材とが前記第３方向に重なることによって前記第２部分を形成していることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記ダンパの、前記第３方向における前記第１共通流路部材と反対側の面に接着剤で接合され、前記複数の第１共通流路と前記第３方向に重なる複数のダンパ室を有するダンパ室部材、を備え、
前記ダンパは、
前記第１共通流路のうち、前記第１部分と前記第３方向に重なる部分とは異なる部分と前記第３方向に重なる第３部分を有し、
前記第３部分に、前記第１共通流路と接続される第１接続流路が形成され、
前記ダンパ室部材に、前記第１接続流路と接続される第２接続流路が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
複数の前記第３部分が、前記第１方向に互いに離れて配置され、
前記第１部分が、前記第１方向において複数の前記第３部分の間に位置することを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
複数の前記第１部分が、前記第１共通流路の前記第１方向に互いに離れた複数の部分と前記第３方向に重なり、
前記第３部分が、前記第１方向において、複数の前記第１部分の間に位置することを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記第３方向において、前記ダンパ室部材に対する記ダンパと反対側に配置され、前記第２接続流路と接続される第２共通流路を有する第２共通流路部材、をさらに備え、
前記第２共通流路の数が前記第１共通流路の数よりも少なく、
前記第２接続流路は、
２以上の前記第１共通流路と連通する前記第１接続流路と、１つの前記第２共通流路とを接続することを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記第１隔壁は、第３隔壁と、第３隔壁よりも前記第２方向の長さが長い第４隔壁と、を有し、
前記第２部分は、前記第３隔壁と接合された前記第４部分と、前記第４隔壁と接合された前記第５部分と、を備え、
前記第４部分は、前記第５部分よりも、前記第２方向の長さが長いことを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記ダンパの、前記第３方向における前記第１共通流路部材と反対側の面に接着剤で接合され、前記複数の第１共通流路と前記第３方向に重なる複数の第１ダンパ室、を有するダンパ室部材、を備え、
前記ダンパ室部材が、前記複数のダンパ室と前記第２方向に並び、且つ、前記第１共通流路と前記第３方向に重ならない第２ダンパ室を有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記第２ダンパ室は、前記第１ダンパ室よりも前記第２方向の長さが短いことを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記第３方向における、前記ダンパの、前記第１共通流路部材と反対側の面に接着剤で接合され、前記複数の第１共通流路と前記第３方向に重なる複数のダンパ室を有するダンパ室部材、を備え、
前記ダンパ室部材が、
前記第２方向に延びて前記ダンパ室同士を連通させる第１連通路と、
前記第２方向に延び、前記複数のダンパ室のうち、前記第２方向の最も一方側に配置された前記ダンパ室を大気連通させる第２連通路と、を有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記ダンパ室部材は、前記第３方向に積層された複数のプレートを有し、
前記複数のプレートのうち最も前記ダンパに近いプレートに、前記第１連通路及び前記第２連通路となる貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記ダンパ室部材は、前記第３方向に積層された複数のプレートを有し、
前記複数のプレートのうち最も前記ダンパに近いプレートの、前記ダンパ側の部分に前記連通路及び前記大気連通路となる凹部が形成されていることを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
前記第１連通路と、前記第２連通路とは、前記第１方向において異なる位置に配置されていることを特徴とする請求項１１〜１４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１６】
複数の個別流路と接続された複数の共通流路を有し、前記個別流路部材と積層方向に積層された共通流路部材と、
前記共通流路部材の、前記積層方向における前記個別流路部材と反対側の面に接着剤で接合されたダンパと、を備え、
前記ダンパは、
第１ダンパ部材と、
前記第１ダンパ部材と前記積層方向に積層された第２ダンパ部材と、を有し、
前記第２ダンパ部材は、前記共通流路と前記積層方向に重なる部分に貫通孔を有し、
前記貫通孔は、前記積層方向において前記第１ダンパ部材に向かうほど、前記積層方向と直交する方向の長さが短くなることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１７】
前記第１ダンパ部材の前記積層方向の長さが１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１６に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を吐出する液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズルから液体を吐出する液体吐出ヘッドの一例として、特許文献１には、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドが記載されている。特許文献１のインクジェットヘッドでは、ノズルとそれぞれ連通する複数の圧力室が、複数の圧力室に共通のマニホールドと連通している。また、特許文献１のインクジェットヘッドには、このような複数の圧力室とマニホールドとの組が複数形成されている。また、特許文献１のインクジェットヘッドは、複数のプレートが積層されることによって上記のようなインク流路が形成されている。また、マニホールドが形成されたプレートの下面に接合されたプレートの下側の部分に凹部が形成されている。これにより、このプレートのマニホールドと凹部とに挟まれた部分が、弾性変形してマニホールド内のインクの圧力変動が抑えるダンパとなる。また、特許文献１では、凹部が形成されたプレートの下面にノズルが形成されたプレートが接合され、このプレートによって凹部が覆われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開2017-39275号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、特許文献１のインクジェットヘッドのような液体吐出ヘッドでは、プレート同士を接着剤で接合することがある。この場合、接着剤によるプレート同士の接合時に、凹部が形成されたプレートとノズルが形成されたプレートとの接合面から凹部内に接着剤がはみ出し、はみ出した接着剤がダンパに付着することがある。このとき、複数のマニホールド流路に対応する複数のダンパで、接着剤が付着するか否かや、接着剤の付着量にばらつきが生じて、ダンパ間での変形量（マニホールドの圧力変動の抑制効果）にばらつきが生じてしまう。
【０００５】
本発明の目的は、プレート同士が接着剤で接合される液体吐出ヘッドであって、ダンパが設けられる複数の流路間において、ダンパによる圧力変動の抑制効果を均一にすることが可能な液体吐出ヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液体吐出ヘッドは、ノズルを含む個別流路が第１方向に配列されることによってそれぞれ形成され、前記第１方向と交差する第２方向に並んだ複数の個別流路列、を有する個別流路部材と、各個別流路列に対して設けられ、対応する個別流路列を構成する複数の前記個別流路とそれぞれ接続され、前記第２方向に並んだ複数の第１共通流路と、前記第２方向に隣接する前記第１共通流路同士を仕切る第１隔壁と、を有し、前記第１方向及び前記第２方向のいずれとも平行な平面と交差する第３方向に前記個別流路部材と積層された第１共通流路部材と、前記第３方向における、前記第１共通流路部材に対して、前記個別流路部材と反対側に配置され、前記第１共通流路部材に接着剤で接合されたダンパと、を備え、前記ダンパは、前記複数の第１共通流路と前記第３方向に重なる、弾性変形可能な複数の第１部分と、前記第１隔壁に接合され、且つ、前記第１共通流路と前記第３方向に重なる位置まで前記第２方向に延びて前記第１部分と接続された、前記第１部分よりも第３方向の長さが長い第２部分と、を有する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明では、ダンパにおいて、厚みが薄い（第３方向の長さが短い）第１部分が弾性変形することで、第１共通流路内の液体の圧力変動が抑えられる。また、本発明では、厚みが厚い（第３方向の長さが長い）第２部分が、第１隔壁に接合され、且つ、圧力室と重なる位置まで延びて第１部分と接続されている。そのため、第１共通流路部材とダンパとを接着剤で接合したときに、これらの接着面から接着剤がはみ出しても、接着剤は、第２部分には付着するが、第１部分には付着しない。これにより、第１部分の変形は、はみ出した接着剤の影響を受けず、その結果、第１共通流路間で、圧力変動の抑制効果を均一にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施形態に係るプリンタの概略構成図である。
【図２】図１のヘッドユニットの一部分を拡大した図である。
【図３】搬送方向の下流側から見たヘッドユニットの図である。
【図４】個別ユニット及び下側マニホールドプレートの一部分を示す平面図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】（ａ）は下側マニホールドプレートの平面図であり、（ｂ）はダンパの平面図である。
【図７】（ａ）は接続流路ユニットの最も下方の流路プレートの平面図であり、（ｂ）は接続流路ユニットの下から２番目の流路プレートの平面図であり、（ｃ）は接続流路ユニットの上から２番目の流路プレートの平面図であり、（ｄ）は接続流路ユニットの最も上方の流路プレートの平面図である。
【図８】図７（ａ）の一部分を拡大した図である。
【図９】（ａ）は上側マニホールドユニットの最も下方の流路プレートの平面図であり、（ｂ）はフィルタプレートの平面図であり、（ｃ）は上側マニホールドユニットの上から２番目の流路プレートの平面図であり、（ｄ）は上側マニホールドユニットの最も上方の流路プレートの平面図である。
【図１０】チューブ接続部材の平面図である。
【図１１】（ａ）は第２ダンパ部材上に第１ダンパ部材を形成する工程を説明するための図であり、（ｂ）は、第２ダンパ部材に貫通孔を形成する工程を説明するための図であり、（ｃ）は、ダンパと下側マニホールドプレート及び接続流路ユニットとを接合する工程を説明するための図である。
【図１２】変形例１の図８に対応する図である。
【図１３】変形例２の図６（ｂ）に対応する図である。
【図１４】変形例３の図５に対応する図である。
【図１５】変形例４の図５に対応する図である。
【図１６】変形例５の図５に対応する図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の好適な実施形態について説明する。
【００１０】
＜プリンタの全体構成＞
図１に示すように、本実施形態に係るプリンタ１は、インクジェットヘッド２と、プラテン３と、搬送ローラ４、５とを備えている。
【００１１】
図１、図２に示すように、インクジェットヘッド２は、４つのヘッドユニット１１（１１ａ〜１１ｄ）と、保持部材１２とを備えている。ヘッドユニット１１（本発明の「液体吐出ヘッド」）は、その下面に形成された複数のノズル１０からインクを吐出する。より詳細に説明すると、複数のノズル１０は、紙幅方向（本発明の「第１方向」）に配列されることによってノズル列９を形成している。また、ヘッドユニット１１には、紙幅方向と直交する搬送方向（本発明の「第２方向」）に並んだ８列のノズル列９を有している。
【００１２】
８列のノズル列９のうち、搬送方向の上流側から奇数番目のノズル列９を構成する複数のノズル１０と、偶数番目のノズル列９を構成する複数のノズル１０とは、各ノズル列９におけるノズル１０同士の間隔の半分の長さだけ、紙幅方向にずれている。そして、複数のノズル１０からは、搬送方向の上流側から１、２番目、３、４番目、５、６番目及び７、８番目のノズル列９を構成するものから、それぞれ、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタのインクが吐出される。なお、以下では、図１に示すように紙幅方向の右側及び左側を定義して説明を行う。
【００１３】
また、ヘッドユニット１１ａとヘッドユニット１１ｃ、及び、ヘッドユニット１１ｂとヘッドユニット１１ｄは、それぞれ、紙幅方向に並んでいる。また、ヘッドユニット１１ｂ、１１ｄは、ヘッドユニット１１ａ、１１ｃよりも、紙幅方向と直交する搬送方向の下流側に位置している。また、ヘッドユニット１１ｂ、１１ｄは、それぞれ、ヘッドユニット１１ａ、１１ｃに対して紙幅方向の右側にずれて配置されている。これにより、インクジェットヘッド２では、４つのヘッドユニット１１の複数のノズル１０が、ノズル紙幅方向における記録用紙Ｐの全長にわたって配列されている。すなわち、インクジェットヘッド２は、いわゆるラインヘッドである。なお、ヘッドユニット１１の詳細な構成については、後程説明する。
【００１４】
保持部材１２は、紙幅方向を長手方向とする矩形の板状の部材であり、保持部材１２に４つのヘッドユニット１１が固定されている。また、保持部材１２には、４つのヘッドユニット１１に対応する４つの矩形の貫通孔１２ａが形成されている。ヘッドユニット１１の複数のノズル１０は、対応する貫通孔１２ａから下側（記録用紙Ｐ側）に露出している。
【００１５】
プラテン３は、インクジェットヘッド２の下方に配置され、４つのヘッドユニット１１の複数のノズル１０と対向している。プラテン３は、記録用紙Ｐを下方から支持する。搬送ローラ４は、搬送方向において、インクジェットヘッド２及びプラテン３よりも上流側に配置されている。搬送ローラ５は、搬送方向において、インクジェットヘッド２及びプラテン３よりも下流側に配置されている。搬送ローラ４、５は、記録用紙Ｐを搬送方向に搬送する。
【００１６】
そして、プリンタ１では、搬送ローラ４、５により記録用紙Ｐを搬送方向に搬送しながら、４つのヘッドユニット１１の複数のノズル１０からインクを吐出することによって、記録用紙Ｐに記録を行う。
【００１７】
＜ヘッドユニット＞
次に、ヘッドユニット１１について説明する。図２〜図９に示すように、ヘッドユニット１１は、個別ユニット２１と、下側マニホールドプレート２２（本発明の「共通流路部材」、「第１共通流路部材」）と、ダンパ２３と、接続流路ユニット２４（本発明の「ダンパ室部材」）と、上側マニホールドユニット２５（本発明の「第２共通流路部材」）と、チューブ接続部材２６と、を備えている。
【００１８】
図３〜図５に示すように、個別ユニット２１は、ノズルプレート３１と、流路基板３２と、振動膜３３と、複数の駆動素子３４と、保護基板３５とを備えている。ノズルプレート３１は、合成樹脂材料等からなる。ノズルプレート３１には、上述の８列のノズル列９を構成する複数のノズル１０が形成されている。
【００１９】
流路基板３２は、シリコン（Ｓｉ）からなり、ノズルプレート３１の上面に配置されている。流路基板３２には、複数のノズル１０に対して個別の複数の圧力室４０が形成されている。圧力室４０は、搬送方向の中央部において、ノズル１０と上下方向に重なっている。これにより、流路基板３２には、複数の圧力室４０が紙幅方向に配列されることによってそれぞれ形成され、搬送方向に並んだ８列の圧力室列８が形成されている。
【００２０】
振動膜３３は、流路基板３２の上端部に設けられており、複数の圧力室４０を覆っている。振動膜３３は、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）又は窒化ケイ素（ＳｉＮ）からなる。振動膜３３は、流路基板３２の上端部が酸化又は窒化されることによって形成されたものである。
【００２１】
また、振動膜３３には、搬送方向の上流側から奇数番目の圧力室列８を構成する複数の圧力室４０の搬送方向の下流側の端部と上下方向に重なる部分、及び、搬送方向の上流側から偶数番目の圧力室列８を構成する複数の圧力室４０の搬送方向の上流側の端部と上下方向に重なる部分に、流入孔３３ａが形成されている。また、振動膜３３には、搬送方向の上流側から奇数番目の圧力室列８を構成する複数の圧力室４０の搬送方向の上流側の端部と上下方向に重なる部分、及び、搬送方向の上流側から偶数番目の圧力室列８を構成する複数の圧力室４０の搬送方向の下流側の端部と上下方向に重なる部分に、流出孔３３ｂが形成されている。
【００２２】
複数の駆動素子３４は、複数の圧力室４０に対して個別のものである。駆動素子３４は、振動膜３３の上面の、圧力室４０と上下方向に重なる部分に配置されている。駆動素子３４は、例えば、圧電体、電極などを有する圧電素子である。ただし、駆動素子３４の構成については従来と同様であるので、ここではこれ以上の詳細な説明を省略する。
【００２３】
保護基板３５は、シリコン（Ｓｉ）からなり、振動膜３３及び複数の駆動素子３４が設けられた流路基板３２の上面に配置されている。保護基板３５には、流入孔３３ａと上下方向に重なる部分に、上下方向に保護基板３５を貫通する供給絞り流路３５ａが形成されている。また、保護基板３５には、流出孔３３ｂと上下方向に重なる部分に、上下方向に保護基板３５を貫通する帰還絞り流路３５ｂが形成されている。また、保護基板３５の下側の部分には、各圧力室列８を構成する複数の圧力室４０と上下方向に重なる部分に凹部３５ｃが形成されている。そして、凹部３５ｃ内に、圧力室列８に対応する複数の駆動素子３４が収容されている。
【００２４】
なお、本実施形態では、ノズル１０と圧力室４０と供給絞り流路３５ａと帰還絞り流路３５ｂとを合わせた流路が、本発明の「個別流路」に相当し、この個別流路が紙幅方向に配列されることによって形成された列（ノズル列９、圧力室列８に対応する列）が、本発明の「個別流路列」に相当する。また、上記個別流路が形成された、ノズルプレート３１、流路基板３２及び保護基板３５を合わせたものが、本発明の「個別流路部材」に相当する。
【００２５】
図３〜図６（ａ）に示すように、下側マニホールドプレート２２は、保護基板３５の上面に配置されている。下側マニホールドプレート２２には、４つの下側供給マニホールド４１と、８つの下側帰還マニホールド４２とが形成されている。
【００２６】
各下側供給マニホールド４１は、同じ色のインクが流れる２列の圧力室列８に対応する複数の供給絞り流路３５ａにわたって紙幅方向に延び、これらの供給絞り流路３５ａと接続されている。各下側帰還マニホールド４２は、各圧力室列８に対応する複数の帰還絞り流路３５ｂにわたって紙幅方向に延び、これらの帰還絞り流路３５ｂと接続されている。また、紙幅方向において、下側帰還マニホールド４２は、下側供給マニホールド４１よりも右側及び左側まで延びている。
【００２７】
また、下側マニホールドプレート２２は、搬送方向に隣接する下側供給マニホールド４１と下側帰還マニホールド４２との間の部分、及び、搬送方向に隣接する２つ下側帰還マニホールド４２の間の部分が、それぞれ、これらのマニホールド４１、４２同士を仕切る隔壁２２ａ（本発明の「第１隔壁」）となっている。また、搬送方向において、上流側から２番目の圧力室列８に対応する２つの下側帰還マニホールド４２のうち下流側の下側帰還マニホールド４２と、上流側から３番目の圧力室列８に対応する２つの下側帰還マニホールド４２のうち上流側の下側帰還マニホールド４２との間の隔壁２２ａ(以下、隔壁２２ａ２（本発明の「第４隔壁」）とする）の長さＬ２は、隔壁２２ａ１以外の隔壁２２ａ（以下、隔壁２２ａ１（本発明の「第３隔壁」）とする）の長さＬ１よりも長い。
【００２８】
図３、図５、図６（ｂ）に示すように、ダンパ２３は、下側マニホールドプレート２２の上面に配置され、４つの下側供給マニホールド４１及び８つの下側帰還マニホールド４２を覆っている。ダンパ２３は、第１ダンパ部材４６と第２ダンパ部材４７とを備えている。
【００２９】
第１ダンパ部材４６は、ポリアミドイミド、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等の合成樹脂材料などからなる、上下方向の長さが１０μｍ以下の薄膜状の部材である。第２ダンパ部材４７は、ステンレス等の金属材料などからなる、上下方向の長さが１５０μｍ程度の部材である。第２ダンパ部材４７は、第１ダンパ部材４６の下側に配置されている。また、第２ダンパ部材４７が下側マニホールドプレート２２の上面に接着剤で接合されている。
【００３０】
また、第２ダンパ部材４７には、各マニホールド４１、４２の、搬送方向の両端部を除いた部分と上下方向に重なる部分に、貫通孔４７ａが形成されている。貫通孔４７ａは、上側に向かうほど（第１ダンパ部材４６に向かうほど）、搬送方向の長さが短くなっている。これにより、貫通孔４７ａの内壁面は、上側に向かうほど、搬送方向において貫通孔４７ａの中央側に向かうように上下方向に対して傾いた傾斜面４７ｂとなっている。
【００３１】
そして、ダンパ２３は、このような構造となっていることにより、第１ダンパ部材４６の貫通孔４７ａから露出している部分が、弾性変形可能な第１部分２３ａとなっている。そして、第１部分２３ａが弾性変形することで、マニホールド４１、４２内のインクの圧力変動を抑えることができる。このとき、第１部分２３ａは、例えば、最大で６０μｍ程度、弾性変形する。ここで、第１部分２３ａを上記圧力変動によって弾性変形可能とするために、第１ダンパ部材４６を、ヤング率が５．５〜６．５ＧＰａ、好ましくは６ＧＰａ程度とのものとすることが好ましい。
【００３２】
また、ダンパ２３は、第１部分２３ａ以外の部分において、第１ダンパ部材４６と第２ダンパ部材４７とが上下方向に重なっており、第１部分２３ａよりも厚みが大きくなっている。そして、ダンパ２３の第１ダンパ部材４６と第２ダンパ部材４７とが重なった部分のうち、搬送方向において、第１部分２３ａの両側に位置する部分が、第２部分２３ｂとなっている。第２部分２３ｂは、隔壁２２ａに接着剤で接合されているとともに、搬送方向の両側に、マニホールド４１、４２と上下方向に重なる位置まで延び、第１部分２３ａと接続されている。
【００３３】
また、搬送方向において、隔壁２２ａ２の長さＬ２が隔壁２２ａ１の長さＬ１よりも長いのに対応して、第２部分２３ｂのうち、隔壁２２ａ２と接合されている第２部分２３ｂ２（本発明の「第５部分」）の長さＬ４（＞Ｌ２）が、隔壁２２ａ１と接合されている第２部分２３ｂ１（本発明の「第４部分」）の長さＬ３（＞Ｌ１）よりも長い。また、第２部分２３ｂは、第１部分２３ａよりも上下方向の長さが長いため、第２部分２３ｂのうちマニホールド４１、４２と上下方向に重なる部分は、マニホールド４１、４２内のインクの圧力変動によってはほとんど変形しない。
【００３４】
また、ダンパ２３の第１ダンパ部材４６と第２ダンパ部材４７とが重なった部分のうち、マニホールド４１、４２の紙幅方向の両端部と上下方向に重なる２つの部分が、それぞれ、第３部分２３ｃとなっている。第３部分２３ｃには、下側供給マニホールド４１の紙幅方向の右端部及び左端部と上下方向に重なる部分に、それぞれ、供給接続孔２３ｄ、２３ｅが形成されている。また、第３部分２３ｃには、下側帰還マニホールド４２の紙幅方向の右端部及び左端部と上下方向に重なる部分に、それぞれ、帰還接続孔２３ｆ、２３ｇが形成されている。なお、本実施形態では、供給接続孔２３ｄ、２３ｅ及び帰還接続孔２３ｆ、２３ｇが、本発明の「第１接続流路」に相当する。
【００３５】
＜接続流路ユニット＞
図３、図５、図７に示すように、接続流路ユニット２４は、紙幅方向を長手方向とする矩形の４枚の流路プレート５１〜５４が上下方向に積層されることによって構成されている。流路プレート５１〜５４は、例えば、４２合金又はステンレスによって形成されている。
【００３６】
流路プレート５１は、ダンパ２３の上面に配置されている。図７（ａ）に示すように、流路プレート５１には、４つの供給流路孔６１ａと、４つの供給流路孔６２ａと、４つの帰還流路孔６３ａと、４つの帰還流路孔６４ａとが形成されている。供給流路孔６１ａ、６２ａ、及び、帰還流路孔６３ａ、６４ａは、流路プレート５１を上下方向に貫通する貫通孔である。
【００３７】
４つの供給流路孔６１ａは、４つの供給流路孔２３ｄに対応している。各供給流路孔６１ａは、対応する供給流路孔２３ｄと上下方向に重なっている。４つの供給流路孔６２ａは、４つの供給流路孔２３ｅに対応している。各供給流路孔６２ａは、対応する供給流路孔２３ｅと上下方向に重なっている。
【００３８】
４つの帰還流路孔６３ａの各々は、同じ色のインクが流れる２つの帰還流路孔２３ｆに対応している。各帰還流路孔６３ａは、対応する２つの帰還流路孔２３ｆにまたがって延び、これら２つの帰還流路孔２３ｆと接続されている。４つの帰還流路孔６４ａの各々は、同じ色のインクが流れる２つの帰還流路孔２３ｇに対応している。各帰還流路孔６４ａは、対応する２つの帰還流路孔２３ｇにまたがって延び、これら２つの帰還流路孔２３ｇと接続されている。
【００３９】
また、図５、図７（ａ）、図８に示すように、流路プレート５１には、各マニホールド４１、４２と上下方向に重なる部分に、それぞれ、紙幅方向に延びた第１ダンパ室６５が形成されている。第１ダンパ室６５は、ダンパ２３の上側への変形を受け入れるための空間である。なお、図８では、図面を見やすくするために、流路プレート５１のうち、第１ダンパ室６５が形成されていない部分にハッチングを付している。
【００４０】
第１ダンパ室６５は流路プレート５１を貫通する貫通孔によって形成されている。また、流路プレート５１に第１ダンパ室６５が形成されていることにより、流路プレート５１のうち、隣接する第１ダンパ室６５の間の部分が、これらを隔てる隔壁５１ａ（本発明の「第２隔壁」）となっている。また、本実施形態では、隔壁５１ａのうち、隔壁２２ａ１と上下方向に重なる隔壁５１ａ１の搬送方向の長さＬ５が、隔壁２２ａ１の長さＬ１よりも短い。また、隔壁５１ａのうち、隔壁２２ａ１と上下方向に重なる隔壁５１ａ２の搬送方向の長さＬ６が、隔壁２２ａ２の長さＬ２よりも短い。そして、搬送方向において、隔壁５１ａ１は、隔壁２２ａ１の両端の間に位置し、隔壁５１ａ２は、隔壁２２ａ２の両端の間に位置している。
【００４１】
また、流路プレート５１には、２つの第１連通路５１ｂと６つの第２連通路５１ｃとが形成されている。第１連通路５１ｂは、全ての第１ダンパ室６５にわたって搬送方向に延び、これらの第１ダンパ室６５を互いに連通させている。また、２つの第１連通路５１ｂは、紙幅方向に間隔をあけて配置されている。
【００４２】
６つの第２連通路５１ｃのうち３つずつの第２連通路５１ｃは、搬送方向に延びて、それぞれ、搬送方向の最も上流側の第１ダンパ室６５、及び、最も下流側の第１ダンパ室６５と、流路プレート５１の搬送方向の端面とを接続することで、これら２つの第１ダンパ室６５を大気連通させる。上記の通り、第１ダンパ室６５同士は第１連通路５１ｂによって互いに連通していることから、第２連通路５１ｃにより搬送方向の最も上流側及び下流側の第１ダンパ室６５を大気連通されることにより、全ての第１ダンパ室６５が大気連通している。
【００４３】
また、上記３つずつの第２連通路５１ｃは、それぞれ、紙幅方向に間隔をあけて配置されている。ただし、第１連通路５１ｂと第２連通路５１ｃとは、紙幅方向の異なる位置に配置されている。また、第１連通路５１ｂ及び第２連通路５１ｃは、流路プレート５１の下面に形成された凹部によって形成されている。
【００４４】
流路プレート５２は流路プレート５１の上面に配置されている。図７（ｂ）に示すように、流路プレート５２には、４つの供給流路孔６１ｂと、４つの供給流路孔６２ｂと、４つの帰還流路孔６３ｂと、４つの帰還流路孔６４ｂとが形成されている。供給流路孔６１ｂ、６１ｂ、及び、帰還流路孔６３ｂ、６４ｂは、流路プレート５２を上下方向に貫通する貫通孔である。
【００４５】
４つの供給流路孔６１ｂは、４つの供給流路孔６１ａに対応している。各供給流路孔６１ｂは、対応する供給流路孔６１ａと上下方向に重なっている。４つの供給流路孔６２ｂは、４つの供給流路孔６２ａに対応している。各供給流路孔６１ｂは、対応する供給流路孔６１ａと上下方向に重なっている。４つの帰還流路孔６３ｂは、４つの帰還流路孔６３ａに対応している。各帰還流路孔６３ｂは、対応する帰還流路孔６３ａの中央部と上下方向に重なっている。４つの帰還流路孔６４ｂは、４つの帰還流路孔６４ａに対応している。各帰還流路孔６４ｂは、対応する帰還流路孔６４ａの中央部と上下方向に重なっている。
【００４６】
流路プレート５３は、流路プレート５２の上面に配置されている。図７（ｃ）に示すように、流路プレート５３には、４つの供給流路孔６１ｃと、４つの供給流路孔６２ｃと、４つの帰還流路孔６３ｃと、４つの帰還流路孔６４ｃとが形成されている。供給流路孔６１ｃ、６２ｃ、及び、帰還流路孔６３ｃ、６４ｃは、流路プレート５３を上下方向に貫通する貫通孔である。
【００４７】
４つの供給流路孔６１ｃは、４つの供給流路孔６１ｂに対応している。各供給流路孔６１ｃは、対応する供給流路孔６１ｂと上下方向に重なっている。また、搬送方向の上流側から１、２番目の供給流路孔６１ｃは、供給流路孔６１ｂと上下方向に重なる部分から、搬送方向の上流側に延びている。また、搬送方向の上流側から３、４番目の供給流路孔６１ｃは、供給流路孔６１ｂと上下方向に重なる部分から、搬送方向の下流側に延びている。
【００４８】
４つの供給流路孔６２ｃは、４つの供給流路孔６２ｂに対応している。各供給流路孔６２ｃは、対応する供給流路孔６２ｂと上下方向に重なっている。また、搬送方向の上流側から１、２番目の供給流路孔６２ｃは、供給流路孔６２ｂと上下方向に重なる部分から、搬送方向の上流側に延びている。また、搬送方向の上流側から３、４番目の供給流路孔６２ｃは、供給流路孔６２ｂと上下方向に重なる部分から、搬送方向の下流側に延びている。
【００４９】
４つの帰還流路孔６３ｃは、４つの帰還流路孔６３ｂに対応している。各帰還流路孔６３ｃは、対応する帰還流路孔６３ｂと上下方向に重なっている。また、搬送方向の上流側から１、２番目の帰還流路孔６３ｃは、帰還流路孔６３ｂと上下方向に重なる部分から、搬送方向の上流側に向かうほど紙幅方向の右側に向かうように、搬送方向に対して傾いて延びている。また、搬送方向の上流側から３、４番目の帰還流路孔６３ｃは、帰還流路孔６３ｂと上下方向に重なる部分から、搬送方向の下流側に向かうほど紙幅方向の右側に向かうように、搬送方向に対して傾いて延びている。
【００５０】
４つの帰還流路孔６４ｃは、４つの帰還流路孔６４ｂにする、各帰還流路孔６４ｃは、対応する帰還流路孔６４ｂと上下方向に重なっている。また、搬送方向の上流側から１、２番目の帰還流路孔６４ｃは、帰還流路孔６４ｂと上下方向に重なる部分から、搬送方向の上流側に向かうほど紙幅方向の左側に向かうように、搬送方向に対して傾いて延びている。また、搬送方向の上流側から３、４番目の帰還流路孔６４ｃは、帰還流路孔６４ｂと上下方向に重なる部分から、搬送方向の下流側に向かうほど紙幅方向の左側に向かうように、搬送方向に対して傾いて延びている。
【００５１】
流路プレート５４は、流路プレート５３の上面に配置されている。図７（ｄ）に示すように、流路プレート５４には、４つの供給流路孔６１ｄと、４つの供給流路孔６２ｄと、４つの帰還流路孔６３ｄと、４つの帰還流路孔６４ｄとが形成されている。供給流路孔６１ｄ、６２ｄ、及び、帰還流路孔６３ｄ、６４ｄは、流路プレート５４を上下方向に貫通する貫通孔である。
【００５２】
４つの供給流路孔６１ｄは、４つの供給流路孔６１ｃに対応している。各供給流路孔６１ｄは、対応する供給流路孔６１ｃの、供給流路孔６１ｂと上下方向に重なる部分と反対側の端部と上下方向に重なっている。４つの供給流路孔６２ｄは、４つの供給流路孔６２ｃに対応している。各供給流路孔６２ｄは、対応する供給流路孔６２ｃの、供給流路孔６２ｂと上下方向に重なる部分と反対側の端部と上下方向に重なっている。
【００５３】
４つの帰還流路孔６３ｄは、４つの帰還流路孔６３ｃに対応している。各帰還流路孔６３ｄは、対応する帰還流路孔６３ｃの、帰還流路孔６３ｂと上下方向に重なる部分と反対側の端部と上下方向に重なっている。４つの帰還流路孔６４ｄは、４つの帰還流路孔６４ｃに対応している。各帰還流路孔６４ｄは、対応する帰還流路孔６４ｃの、帰還流路孔６４ｂと上下方向に重なる部分と反対側の端部と上下方向に重なっている。
【００５４】
＜上側マニホールドユニット＞
上側マニホールドユニット２５は、接続流路ユニット２４の上面に配置されている。図３、図９に示すように、上側マニホールドユニット２５は、３枚の流路プレート８１、８３、８４とフィルタプレート８２とを備えている。流路プレート８１、８３、８４及びフィルタプレート８２は、紙幅方向を長手方向とする矩形のプレートである。
【００５５】
図９（ａ）に示すように、流路プレート８１には、４つの供給マニホールド部分９１ａと４つの帰還マニホールド部分９２ａとが形成されている。４つの供給マニホールド部分９１ａは、それぞれが、紙幅方向に延び、搬送方向に間隔をあけて並んでいる。４つの帰還マニホールド部分９２ａは、それぞれが紙幅方向に延び、搬送方向に間隔をあけて延びている。また、対応する供給マニホールド部分９１ａと帰還マニホールド部分９２ａとは、搬送方向に隣接して並んでいる。より詳細に説明すると、搬送方向の上流側から１、２番目の帰還マニホールド部分９２ａが、それぞれ、搬送方向の上流側から１、２番目の供給マニホールド部分９１ａの搬送方向の上流側に隣接している。また、搬送方向の上流側から３、４番目の帰還マニホールド部分９２ａが、それぞれ、搬送方向の上流側から３、４番目の供給マニホールド部分９１ａの搬送方向の下流側に隣接している。
【００５６】
そして、供給マニホールド部分９１ａの紙幅方向の両端部は、それぞれ、接続流路ユニット２４の流路プレート５４に形成された供給流路孔６１ｄ、６２ｄと重なっている。また、帰還マニホールド部分９２ａの紙幅方向の両端部は、それぞれ、接続流路ユニット２４の流路プレート５４に形成された帰還流路孔６３ｄ、６４ｄと重なっている。
【００５７】
フィルタプレート８２は、流路プレート８１の上面に配置されている。図９（ｂ）に示すように、フィルタプレート８２には、供給マニホールド部分９１ａと上下方向に重なる部分、及び、帰還マニホールド部分９２ａと上下方向に重なる部分に、それぞれ、フィルタ８２ａが形成されている。
【００５８】
流路プレート８３は、フィルタプレート８２の上面に配置されている。図９（ｃ）に示すように、流路プレート８３には、４つの供給マニホールド部分９１ｂと４つの帰還マニホールド部分９２ｂとが形成されている。４つの供給マニホールド部分９１ｂは、紙幅方向に延び、４つの供給マニホールド部分９１ａと上下方向に重なっている。４つの帰還マニホールド部分９２ｂは、紙幅方向に延び、４つの帰還マニホールド部分９２ａと上下方向に重なっている。
【００５９】
また、搬送方向の上流側から１、３番目の帰還マニホールド部分９２ｂは、搬送方向の上流側から１、３番目の帰還マニホールド部分９２ａよりも紙幅方向の左側まで延びている。また、搬送方向の上流側から２、４番目の帰還マニホールド部分９２ｂは、搬送方向の上流側から２、４番目の帰還マニホールド部分９２ａよりも紙幅方向の右側まで延びている。これにより、紙幅方向において、供給マニホールド部分９１ｂの両端の位置と、帰還マニホールド部分９２ｂの両端の位置とが異なっている。
【００６０】
流路プレート８４は、流路プレート８３の上面に配置されている。図９（ｄ）に示すように、流路プレート８４には、４つの供給孔９４と４つの帰還孔９５とが形成されている。４つの供給孔９４は、４つの供給マニホールド部分９１ｂに対応している。供給孔９４は、搬送方向の上流側から１、３番目の供給マニホールド部分９１ｂの紙幅方向の左端部、及び、搬送方向の上流側から２、４番目の供給マニホールド部分９１ｂの紙幅方向の右端部と上下方向に重なっている。
【００６１】
４つの帰還孔９５は、４つの帰還マニホールド部分９２ｂに対応している。帰還孔９５は、搬送方向の上流側から１、３番目の帰還マニホールド部分９２ｂの紙幅方向の左端部、及び、搬送方向の上流側から２、４番目の帰還マニホールド部分９２ｂの紙幅方向の右端部と上下方向に重なっている。
【００６２】
そして、上側マニホールドユニット２５では、供給マニホールド部分９１ａと供給マニホールド部分９１ｂとが上下方向に重なることによってマニホールド（以下、上側供給マニホールド９１とする）が形成されている。また、帰還マニホールド部分９２ａと帰還マニホールド部分９２ｂとが上下方向に重なることによってマニホールド（以下、上側帰還マニホールド９２する）が形成されている。また、上側供給マニホールド９１は、フィルタ８２ａによって上下に仕切られる。また、上側帰還マニホールド９２が、フィルタ８２ａによって上下に仕切られる。
【００６３】
また、ヘッドユニット１１では、供給接続孔２３ｄと、供給流路孔６１ａ〜６１ｄが互いに接続されることによって形成された流路（以下、この流路を「供給接続流路６１」という）とにより、１つの下側供給マニホールド４１の紙幅方向の右端部と、１つの上側供給マニホールド９１の紙幅方向の右端部とが接続される。また、供給接続孔２３ｅと、供給流路孔６２ａ〜６２ｄが互いに接続されることによって形成された流路（以下、この流路を「供給接続流路６２」という）とにより、１つの下側供給マニホールド４１の紙幅方向の左端部と、１つの上側供給マニホールド９１の紙幅方向の左端部とが接続される。
【００６４】
また、ヘッドユニット１１では、帰還接続孔２３ｆと、帰還流路孔６３ａ〜６３ｄが互いに接続されることによって形成された流路（以下、この流路を「帰還接続流路６３」という）とにより、２つの下側帰還マニホールド４２の紙幅方向の右端部と、１つの上側帰還マニホールド９２の紙幅方向の右端部とが接続される。また、帰還接続孔２３ｇと、帰還流路孔６４ａ〜６４ｄが互いに接続されることによって形成された流路（以下、この流路を「帰還接続流路６４」という）とにより、２つの下側帰還マニホールド４２の紙幅方向の左端部と、１つの上側帰還マニホールド９２の紙幅方向の左端部とが接続される。
【００６５】
なお、本実施形態では、上述の供給接続流路６３及び帰還接続流路６４が、本発明の「第２接続流路」に相当する。
【００６６】
＜チューブ接続部材＞
図３に示すように、チューブ接続部材２６は、合成樹脂材料などからなる、直方体形状のブロック状の部材であり、上側マニホールドユニット２５の上面に配置されている。図１０に示すように、チューブ接続部材２６には、４つの供給流路１０１と４つの帰還流路１０２とが形成されている。
【００６７】
４つの供給流路１０１は、上側マニホールドユニット２５の流路プレート８４の４つの供給孔９４に対応しており、各供給流路１０１は、上下方向に延び、対応する供給孔９４に接続されている。４つの帰還流路１０２は、流路プレート８４の４つの帰還孔９５に対応しており、各帰還流路１０２は、上下方向に延び、対応する帰還孔９５に接続されている。
【００６８】
また、チューブ接続部材２６には、４つの供給チューブ接続部１０３と、４つの帰還チューブ接続部１０４とが設けられている。４つの供給チューブ接続部１０３は、チューブ接続部材２６の上面から上方に突出している。４つの供給チューブ接続部１０３は、４つの供給流路１０１に対応している。各供給チューブ接続部１０３は、対応する供給流路１０１に接続されている。
【００６９】
また、各供給チューブ接続部１０３には供給チューブ１０５が接続されている。そして、各供給チューブ接続部１０３は、供給チューブ１０５を介して、対応する色のインクが貯留されたインクタンク１１０に接続されている。また、供給チューブ１０５の供給チューブ接続部１０３とインクタンク１１０との間に位置する部分には、供給側ポンプ１１１が接続されている。供給側ポンプ１１１は、インクタンク１１０側から供給チューブ接続部１０３側に向かう方向にインクを送る。
【００７０】
４つの帰還チューブ接続部１０４は、チューブ接続部材２６の上面から上方に突出している。４つの帰還チューブ接続部１０４は、４つの帰還流路１０２に対応している。各帰還チューブ接続部１０４は、対応する帰還流路１０２に接続されている。
【００７１】
また、各帰還チューブ接続部１０４には帰還チューブ１０６が接続されている。そして、各帰還チューブ接続部１０４は、帰還チューブ１０６を介して、対応する色のインクが貯留されたインクタンク１１０に接続されている。また、帰還チューブ１０６の帰還チューブ接続部１０４とインクタンク１１０との間に位置する部分には、帰還側ポンプ１１２が接続されている。帰還側ポンプ１１２は、帰還チューブ接続部１０４側からインクタンク１１０側に向かう方向にインクを送る。
【００７２】
そして、供給側ポンプ１１１及び帰還側ポンプ１１２を駆動させると、インクタンク１１０内のインクが、供給チューブ１０５、供給チューブ接続部１０３、供給流路１０１、上側供給マニホールド９１、供給接続流路６１、６２、下側供給マニホールド４１及び供給絞り流路３５ａを順に流れ、流入孔３３ａから圧力室４０に流れ込む。圧力室４０内のインクは、流出孔３３ｂから流出し、帰還絞り流路３５ｂ、下側帰還マニホールド４２、帰還接続流路６３、６４、上側帰還マニホールド９２、帰還流路１０２、帰還チューブ接続部１０４及び帰還チューブ１０６を順に流れてインクタンク１１０に戻る。すなわち、インクタンク１１０と各ヘッドユニット１１との間でインクが循環する。
【００７３】
＜ヘッドユニットの製造方法＞
次に、ヘッドユニット１１の製造方法について説明する。ヘッドユニット１１を製造する際には、図１１（ａ）に示すように、第２ダンパ部材４７となる金属部材１４７の表面に、公知の成膜法により、第１ダンパ部材４６を形成する。続いて、図１１（ｂ）に示すように、金属部材１４７に、第１ダンパ部材４６と反対側からエッチングを施すことによって、貫通孔４７ａを形成して第２ダンパ部材４７にする。このとき、貫通孔４７ａの内壁面は、上述したような傾斜面４７ｂとなる。そして、これにより、ダンパ２３が完成する。そして、ダンパ２３と、別途作成した、ヘッドユニット１１を構成する各部材とを接合する。このとき、ダンパ２３と下側マニホールドプレート２２、及び、接続流路ユニット２４（流路プレート５１）とを接着剤で接合する。ここで、第１ダンパ部材４６を構成する合成樹脂材料は、一般に極性を有していない。そのため、プラズマ加工などにより第１ダンパ部材４６の上面に極性を持たせたうえで、第１ダンパ部材４６と流路プレート５１とを接着剤で接合する。
【００７４】
＜効果＞
本実施形態では、ダンパ２３において、厚みが薄い（上下方向の長さが短い）第１部分２３ａが弾性変形することで、マニホールド４１、４２内のインクの圧力変動を抑えることができる。一方、厚みの厚い第２部分２３ｂの、マニホールド４１、４２と上下方向に重なる部分は、マニホールド４１、４２内の圧力変動によってはほとんど変形しない。
【００７５】
また、ダンパ２３と下側マニホールドプレート２２とを接着剤で接合すると、これらの接合面から接着剤がはみ出してくる。これに対して、本実施形態では、上述したように、ダンパ２３の第２部分２３ｂが隔壁２２ａに接合されるとともに、マニホールド４１、４２と上下方向に重なる位置まで延びている。したがって、図１１（ｃ）に示すように、はみ出した接着剤Ｓは、第２部分２３ｂには付着するが、第１部分２３ａには到達しにくい。その結果、第１部分２３ａの変形が接着剤の影響を受けず、下側供給マニホールド４１間、及び、下側帰還マニホールド４２間で、ダンパ２３による圧力変動の抑制効果を均一にすることができる。
【００７６】
また、本実施形態では、第２ダンパ部材４７の貫通孔４７ａの内壁面が傾斜面４７ｂとなっている。したがって、ダンパ２３と下側マニホールドプレート２２との間からはみ出した接着剤が貫通孔４７ａの縁に到達したとしても、接着剤は貫通孔４７ａの傾斜面４７ｂに付着し、第１部分２３ａには到達しにくい。
【００７７】
また、ダンパ２３と接続流路ユニット２４（流路プレート５１）とを接着剤で接合したときに、これらの接着面から接着剤がはみ出しても、接着剤は、第２部分２３ｂには付着するが、第１部分２３ａには到達しにくい。これにより、上述したのと同様、下側供給マニホールド４１間、及び、下側帰還マニホールド４２間で、ダンパ２３による圧力変動の抑制効果を均一にすることができる。
【００７８】
また、本実施形態では、搬送方向において、隔壁５１ａが、隔壁２２ａの両端の間に位置しているため、第２部分２３ｂの、ダンパ２３の第２部分２３ｂと流路プレート５１との接着面の縁から、第１部分２３ａと第２部分２３ｂとの境界までの長さが長くなる。したがって、ダンパ２３と流路プレート５１との接着面から接着剤がはみ出したときに、はみ出した接着剤を確実に第１部分２３ａに到達しないようにすることができる。
【００７９】
また、本実施形態では、ダンパ２３が、第２ダンパ部材４７上に、薄膜状の第１ダンパ部材４６が積層されたものである。したがって、例えば、厚みの大きい第２ダンパ部材４７に厚みの薄い第１ダンパ部材４６を形成してから、エッチングにより第２ダンパ部材４７に貫通孔４７ａを形成することにより、厚みの薄い第１部分２３ａを有するダンパ２３を簡単に製造することができる。本実施形態では、第１ダンパ部材４６の厚み（上下方向の長さ）が１０μｍ以下と特に薄いため、第１ダンパ部材４６を単独で製造するのは難しいが、上記のようにして、第１ダンパ部材４６と第２ダンパ部材４７とを有するダンパ２３を簡単に製造することできる。
【００８０】
また、本実施形態では、ダンパ２３の第３部分２３ｃに、供給流路孔２３ｄ、２３ｅ及び帰還接続孔２３ｆ、２３ｇを形成することにより、ヘッドユニットを大型化することなく、マニホールド４１、４２の第１共通流路と連通する流路を形成することができる。
【００８１】
また、本実施形態では、紙幅方向において、互いに離れて配置された２つの第３部分２３ｃの間に、第１部分２３ａが配置されている。これにより、ヘッドユニットを大型化することなく、マニホールド４１、４２内のインクの圧力変動を抑えるための第１部分と、第１共通流路と連通する流路とを形成することができる。
【００８２】
また、本実施形態では、上側帰還マニホールド９２の数が、下側帰還マニホールド４２の数よりも少ないため、上側マニホールドユニット２５の流路の構造を簡単なものとすることができる。
【００８３】
また、本実施形態では、隔壁２２ａ２の長さＬ２が、隔壁２２ａ１の長さＬ１よりも長いのに対応して、隔壁２２ａ２に接合される第２部分２３ｂ２の長さＬ４を、隔壁２２ａ１に接合される第２部分２３ｂ１の長さＬ３よりも長くしている。これにより、ヘッドユニット１１の強度を高くすることができる。
【００８４】
また、本実施形態では、複数の第１ダンパ室６５が搬送方向に配列されているのに対して、搬送方向に延びた第１連通路５１ｂにより第１ダンパ室６５同士を連通させ、第２連通路５１ｃにより、搬送方向の最も上流側及び下流側の第１ダンパ室６５を大気連通させることにより、複数の第１ダンパ室６５を大気連通させることができる。
【００８５】
また、本実施形態では、接続流路ユニット２４を構成する流路プレート５１〜５４のうち、流路プレート５１に第１連通路５１ｂ及び第２連通路５１ｃとなる貫通孔が形成され、流路プレート５２〜５４には、第１連通路５１ｂ及び第２連通路５１ｃとなる貫通孔や凹部が形成されていない。これにより、流路プレート５１〜５４を接着剤で接合したときに、流路プレート５１と流路プレート５２との接合面からはみ出した接着剤が第１連通路５１ｂ及び第２連通路５１ｃに流れ込みやすいが、流路プレート５２〜５４の接合面からはみ出した接着剤が第１連通路５１ｂ及び第２連通路５１ｃに流れ込みにくい。したがって、第１連通路５１ｂ及び第２連通路５１ｃに流れ込む接着剤の量を少なくすることができる。
【００８６】
ここで、本実施形態と異なり、紙幅方向において、第１連通路５１ｂと第２連通路５１ｃとが同じ位置に配置されている場合を考える。この場合には、流路プレート５１のうち、紙幅方向において第１連通路５１ｂ及び第２連通路５１ｃが形成された部分の強度が極端に小さくなって流路プレート５１が破損しやすくなる。そこで、本実施形態では、紙幅方向において、第１連通路５１ｂと第２連通路５１ｃとを異なる位置に配置している。これにより、流路プレート５１を破損しにくくすることができる。
【００８７】
［変形例］
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載の限りにおいて、様々な変更が可能である。
【００８８】
上述の実施形態では、紙幅方向において、第１連通路５１ｂと第２連通路５１ｃとを異なる位置に配置したが、これには限られない。紙幅方向において、第１連通路５１ｂと第２連通路５１ｃとを同じ位置に配置してもよい。
【００８９】
また、上述の実施形態では、第１連通路５１ｂ及び第２連通路５１ｃが、流路プレート５１に形成された凹部によって形成されていたが、これには限られない。例えば、第１連通路５１ｂ及び第２連通路５１ｃは、流路プレート５１に形成された貫通孔によって形成されていてもよい。この場合には、流路プレート５１〜５４のいずれの接合面からはみ出した接着剤も、第１連通路５１ｂ及び第２連通路５１ｃ内に流れ込みにくい。したがって、第１連通路５１ｂ及び第２連通路５１ｃ内に流れ込む接着剤の量を少なくすることができる。
【００９０】
また、上述の実施形態や変形例１では、流路プレート５１〜５４のうち流路プレート５１にのみ、第１連通路５１ｂ及び第２連通路５１ｃとなる貫通孔や凹部が形成されていたが、これには限られない。例えば、流路プレート５１〜５４のうち下側の２枚以上の流路プレートに第１連通路及び第２連通路となる貫通孔や凹部が形成されていてもよい。
【００９１】
また、上述の実施形態では、第１連通路５１ｂによって複数の第１ダンパ室６５同士を連通させ、第２連通路５１ｃによって搬送方向における最も上流側及び下流側に配置された第１ダンパ室６５を大気連通させることによって、複数の第１ダンパ室６５を大気連通させたが、これには限られない。例えば、第１ダンパ室６５同士を連通させず、各第１ダンパ室６５を個別に大気連通させてもよい。
【００９２】
また、上述の実施形態において、第１ダンパ室６５とは別に、ダンパ２３と流路プレート５１とを接合する際にこれらの接合面からはみ出した接着剤を溜めるための第２ダンパ室を設けてもよい。
【００９３】
例えば、変形例１では、図１２に示すように、流路プレート５１の、搬送方向における最も上流側の第１ダンパ室６５よりも上流側の部分、及び、搬送方向における最も下流側の第１ダンパ室６５よりも下流側の部分に、それぞれ、紙幅方向に延びた第２ダンパ室１５１が配置されている。第２ダンパ室１５１は、マニホールド４１、４２とは上下方向に重ならない。また、第２ダンパ室１５１の搬送方向の長さＬ８は、第１ダンパ室６５の搬送方向の長さＬ７よりも短い。なお、長さＬ７は、下側マニホールド４１、４２の搬送方向の長さとほぼ同じである。
【００９４】
また、変形例１では、搬送方向に延びた２つの第１連通路１５２により、複数の第１ダンパ室６５と上記２つの第２ダンパ室１５１とが互いに連通されている。また、搬送方向に延びた第２連通路１５３により、第２ダンパ室１５１が大気連通されている。
【００９５】
この場合には、ダンパ２３と流路プレート５１とを接合する際にこれらの接合面からはみ出した接着剤を第２ダンパ室１５１に溜めることができる。これにより、第１ダンパ室６５に接着剤を流れ込みにくくすることができる。
【００９６】
また、第２ダンパ室１５１については、はみ出した接着剤をとどめておくことができればよいため、それほど大きな容積を必要としない。したがって、第２ダンパ室１５１の搬送方向の長さＬ８を、第１ダンパ室６５の搬送方向の長さＬ７よりも短くすることにより、流路プレート５１（接続流路ユニット２４）の搬送方向への大型化を抑えることができる。
【００９７】
また、変形例１では、第２ダンパ室１５１の搬送方向の長さＬ８が、第１ダンパ室６５の搬送方向の長さＬ７よりも短くなっていたが、これには限られない。長さＬ８は、長さＬ７以上であってもよい。
【００９８】
また、上述の実施形態では、下側マニホールドプレート２２において、隔壁２２ａ２の長さＬ２が、隔壁２２ａ１の長さＬ１よりも長いのに対応して、ダンパ２３において、第２部分２３ｂ２の長さＬ４が、第２部分２３ｂ１の長さＬ３よりも長くなっていたが、これには限られない。例えば、下側マニホールドプレート２２において、全ての隔壁２２ａの搬送方向の長さが同じであり、これに対応して、ダンパ２３において、全ての第２部分２３ｂの搬送方向の長さが同じであってもよい。
【００９９】
また、上述の実施形態では、上側帰還マニホールド９２の数が、下側帰還マニホールド４２の数よりも少なくなっており、帰還接続流路６３、６４によって、２つの下側帰還マニホールド４２と１つの上側帰還マニホールド９２とが接続されていたが、これには限られない。上側帰還マニホールド９２の数と、下側帰還マニホールド４２の数とが同じであり、帰還接続流路によって、１つの下側帰還マニホールド４２と１つの上側帰還マニホールド９２とが接続されていてもうよい。
【０１００】
また、上述の実施形態では、下側供給マニホールド４１と上側供給マニホールド９１の紙幅方向の端部同士のみ、及び、下側帰還マニホールド４２と上側帰還マニホールド９２の紙幅方向の端部同士のみが接続されていたが、これには限られない。
【０１０１】
変形例２では、図１３に示すように、ダンパ１６１（第２ダンパ部材４７）の、各マニホールド４１、４２の、紙幅方向の右側の部分と上下方向に重なる部分に、貫通孔１６２ａが形成されている。また、ダンパ１６１（第２ダンパ部材４７）の、各マニホールド４１、４２の、紙幅方向の左側の部分と上下方向に重なる部分に、貫通孔１６２ｂが形成されている。これにより、ダンパ１６１の、貫通孔１６２ａ、１６２ｂが形成された部分が、第２ダンパ部材４７によって形成される第１部分１６１ａとなっている。
【０１０２】
また、ダンパ１６１の紙幅方向における貫通孔１６２ａと貫通孔１６２ｂとの間の領域は、貫通孔のない（第１ダンパ部材４６と第２ダンパ部材４７とが上下方向に重なった）第３部分１６１ｂとなっている。また、ダンパ１６１も、ダンパ２３と同様の第３部分２３ｃを有している。
【０１０３】
そして、これにより、変形例２では、２つの第１部分１６１ａが、紙幅方向に離れて配置され、紙幅方向における２つの第１部分１６１ａの間に、第３部分１６１ｂが配置されている。
【０１０４】
また、第３部分１６１ｂには、４つの供給接続孔１６３ａと、８つの帰還接続孔１６３ｂとが形成されている。４つの供給接続孔１６３ａは、４つの下側供給マニホールド４１（図６（ａ）参照）に対応している。各供給接続孔１６３ａは、対応する下側供給マニホールド４１の紙幅方向の中央部と上下方向に重なっている。８つの帰還接続孔１６３ｂは、８つの下側帰還マニホールド４２（図６（ａ）参照）に対応している。各帰還接続孔１６３ｂは、対応する下側帰還マニホールド４２の紙幅方向の中央部と上下方向に重なっている。
【０１０５】
なお、詳細な説明は省略するが、変形例２では、接続流路ユニット２４に、上述の実施形態と同様の構成のほか、１つの供給接続孔１６３ａと１つの上側供給マニホールド９１の紙幅方向の中央部とを接続する流路、及び、２つの供給接続孔１６３ａと上側帰還マニホールド９２の紙幅方向の中央部とを接続する流路形成されている。そして、これにより、変形例２では、下側供給マニホールド４１と上側供給マニホールド９１、及び、下側帰還マニホールド４２と上側帰還マニホールド９２が、それぞれ、紙幅方向の左端部、右端部及び中央部の３か所において接続される。また、接続流路ユニット２４において、各マニホールド４１、４２に対して、それぞれ、２つの第１ダンパ室が、紙幅方向に間隔をあけて配置されている。
【０１０６】
そして、変形例２では、複数の第１部分１６１ａを紙幅方向に離して配置し、紙幅方向における複数の第１部分１６１ａの間に第３部分１６１ｂを設け、第３部分１６１ｂに供給接続孔１６３ａ及び帰還接続孔１６３ｂを形成することにより、ヘッドユニットを大型化することなく、マニホールド４１、４２内のインクの圧力変動を抑えるための第１部分と、マニホールド４１、４２と連通する流路とを形成することができる。
【０１０７】
また、ダンパにおいて、供給接続孔及び帰還接続孔が形成される第３部分が、第１部分に対して、上述の実施形態や上記変形例２のような位置関係で配置されることには限られない。例えば、供給接続孔及び帰還接続孔が形成される第３部分が、マニホールド４１、４２の紙幅方向の片側の端部と上下方向に重なる部分にのみ配置されていてもよい。あるいは、供給接続孔及び帰還接続孔が形成される第３部分が、マニホールド４１、４２の紙幅方向の中央部と上下方向に重なる部分にのみ配置されていてもよい。
【０１０８】
また、上述の実施形態では、第１ダンパ室６５が形成される接続流路ユニット２４に、下側供給マニホールド４１と上側供給マニホールド９１、及び、下側供給マニホールド４２と上側帰還マニホールド９２をそれぞれ接続する接続流路６１〜６４が形成されていたが、これには限られない。例えば、接続流路ユニット２４の代わりに、第１ダンパ室６５が形成され、且つ、接続流路６１〜６４が形成されていないダンパ部材を配置し、下側供給マニホールド４１と上側供給マニホールド９１、及び、下側供給マニホールド４２と上側帰還マニホールド９２をそれぞれ接続する接続流路を別の部材に形成してもよい。
【０１０９】
また、上述の実施形態では、第１ダンパ部材４６の上下方向の長さが１０μｍ以下であったが、これには限られない。第１ダンパ部材４６の上下方向の長さは１０μｍよりも大きくてもよい。また、この場合には、第１ダンパ部材４６を単独で作製し、第１ダンパ部材４６と、貫通孔４７ａが形成された第２ダンパ部材４７とを接合することによってダンパ２３を作製してもよい。
【０１１０】
また、上述の実施形態では、第２ダンパ部材４７に形成された貫通孔４７ａの内壁面が上下方向に対して傾斜した傾斜面４７ｂであったが、これには限られない。例えば、貫通孔４７ａの内壁面は上下方向と平行な面であってもよい。なお、例えば、上記のように、第１ダンパ部材４６と第２ダンパ部材４７とを接合することによってダンパ２３を作製する場合において、レーザ加工などエッチング以外の方法によって第２ダンパ部材４７に貫通孔４７ａを形成することによって、内壁面が上下方向と平行な貫通孔４７ａを形成することができる。
【０１１１】
また、上述の実施形態において、第２部分２３ｂの下面のうち、マニホールド４１、４２と上下方向に重なる部分に、溝が形成されていてもよい。この場合には、第２部分２３ｂと下側マニホールドプレート２２との間からはみ出した接着剤がこの溝に溜まることにより、さらに第１部分２３ａに接着剤が到達しにくくなる。
【０１１２】
ここで、第２部分２３ｂの上記溝は、例えば、第２ダンパ部材４７の第２部分２３ｂとなる部分を貫通する貫通孔であり、第１ダンパ部材４６による溝の上面が形成されている。あるいは、第２部分２３ｂの上記溝は、例えば、第２ダンパ部材４７の第２部分２３ｂとなる部分の下面に形成された凹部である。ただし、溝に溜めることの接着剤の量を多くして、接着剤が第１部分２３ａに到達しにくくなるようにする観点からは、溝は上記貫通孔であることがより好ましい。
【０１１３】
また、上述の実施形態において、第２部分２３ｂの下面のうち、マニホールド４１、４２と上下方向に重なる部分に、下方に突出する壁が形成されていてもよい。この場合には、第２部分２３ｂと下側マニホールドプレート２２との間からはみ出した接着剤の流れが上記壁によって遮られることにより、さらに第１部分２３ａに接着剤が到達しにくくなる。
【０１１４】
この例では、例えば、第２ダンパ部材４７は、第２部分２３ｂとなる部分のうち、各隔壁２２ａと上下方向に重なる部分を含む一部分に、搬送方向の長さが各隔壁２２ａよりも長い凹部が形成されたものとなっている。この場合、第２ダンパ部材４７の第２部分２３ｂとなる部分のうち、上記一部以外の部分が上記壁となる。あるいは、第２ダンパ部材４７の下面に上記壁となる別の部材が接合されていてもよい。
【０１１５】
また、上述の実施形態では、ダンパ２３が、貫通孔４７ａが形成された第２ダンパ部材４７の上面に、薄膜状の第１ダンパ部材４６が配置されたものであったが、これには限られない。
【０１１６】
変形例３では、図１４に示すように、ダンパ１７１が、第２ダンパ部材１７２の下面に上述の実施形態と同様の第１ダンパ部材４６が配置されたものとなっている。第２ダンパ部材１７２には、各マニホールド４１、４２の、搬送方向の両端部を除いた部分と上下方向に重なる部分に、貫通孔１７２ａが形成されている。貫通孔１７２ａは、下側に向かう（第１ダンパ部材４６に近づく）ほど、搬送方向の長さが短くなっている。これにより、貫通孔１７２ａの内壁面は、下側に向かうほど、搬送方向において貫通孔１７２ａの中央側に向かうように上下方向に対して傾いた傾斜面１７２ｂとなっている。なお、紙幅方向及び搬送方向における、貫通孔１７２ａの位置は、上述の実施形態の貫通孔４７ａの位置と同様である。
【０１１７】
そして、変形例３の場合には、ダンパ１７１のうち、第１ダンパ部材４６が貫通孔１７２ａから露出した第１部分１７１ａが、弾性変形してマニホールド４１、４２の圧力変動を抑える。また、ダンパ１７１の、第１ダンパ部材４６と第２ダンパ部材１７２とが上下方向に重なる部分のうち、隔壁２２ａに接合される第２部分１７１ｂが、搬送方向にマニホールド４１、４２と上下方向に重なる位置まで延びて、第１部分１７１ａに接続されている。
【０１１８】
変形例４では、図１５に示すように、ダンパ１８１が、上述の実施形態のダンパ２３と同様の第１ダンパ部材４６及び第２ダンパ部材４７と、第１ダンパ部材４６の上面に配置された変形例３と同様の第２ダンパ部材１７３とを備えている。
【０１１９】
そして、変形例４の場合には、ダンパ１８１のうち、第１ダンパ部材４６が貫通孔４７ａ及び貫通孔１７２ａから露出した第１部分１８１ａが、弾性変形してマニホールド４１、４２の圧力変動を抑える。また、ダンパ１８１の、第１ダンパ部材４６と第２ダンパ部材４７、１７２とが上下方向に重なる部分のうち、隔壁２２ａに接合される第２部分１８１ｂが、搬送方向にマニホールド４１、４２と上下方向に重なる位置まで延びて、第１部分１７１ａに接続されている。
【０１２０】
さらには、ダンパは、複数の部材が積層されることによって形成されるものであることには限られない。変形例５では、図１６に示すように、ダンパ１９１が、例えば金属材料からなる１つの部材によって形成されている。ダンパ１９１の下面には、各マニホールド４１、４２の、搬送方向の両端部を除いた部分と上下方向に重なる部分に、凹部１９２が形成されている。これにより、凹部１９２の内壁面は、上側に向かうほど、搬送方向において凹部１９２の中央側に向かうように上下方向に対して傾いた傾斜面１９２ａとなっている。凹部１９２は、例えばハーフエッチングによって形成することができる。なお、紙幅方向及び搬送方向における、凹部１９２の位置は、上述の実施形態の貫通孔４７ａの位置と同様である。
【０１２１】
そして、変形例５では、ダンパ１９１のうち、凹部１９２が形成されて上下方向の長さが短くなった第１部分１９１ａが、弾性変形してマニホールド４１、４２の圧力変動を抑える。また、ダンパ１９１の、凹部１９２が形成されていない部分のうち、隔壁２２ａに接合される第２部分１９１ｂが、マニホールド４１、４２と上下方向に重なる位置まで搬送方向に延びて第１部分１９１ａに接続されている。
【０１２２】
また、変形例５では、ダンパ１９１の下面に凹部１９２が形成されていたが、これには限られない。凹部１９２の代わりにダンパ１９１の上面に凹部が形成されていてもよいし、凹部１９２に加えてダンパ１９１の上面に凹部が形成されていてもよい。
【０１２３】
そして、変形例３〜５の場合でも、上述したのと同様に、ダンパ１９１と下側マニホールドプレート２２及び接続流路ユニット２４とを接着剤で接合する際に、これらの接合面からはみ出した接着剤が第１部分に到達しにくい。その結果、下側供給マニホールド４１間、及び、下側帰還マニホールド４２間で、ダンパによる圧力変動の抑制効果を均一にすることができる。
【０１２４】
また、上述の実施形態では、隔壁５１ａ１、５１ａ２の長さＬ５、Ｌ６が、それぞれ、隔壁２２ａ１、２２ａ２の長さＬ１、Ｌ２よりも短く、搬送方向において、隔壁５１ａ１が、隔壁２２ａ１の両端の間に位置し、隔壁５１ａ２が、隔壁２２ａ２の両端の間に位置していたが、これには限られない。例えば、搬送方向において、隔壁２２ａ１と隔壁５１ａ１、及び、隔壁２２ａ２と隔壁５１ａ２において、それぞれ、少なくとも片側の端の位置が同じであってもよい。あるいは、搬送方向において、隔壁２２ａ１が、隔壁５１ａ１の両端の間に位置し、隔壁２２ａ２が、隔壁５１ａ２の両端の間に位置していてもよい。
【０１２５】
さらには、第１ダンパ室や第１ダンパ室同士を仕切る隔壁がなくてもよい。例えば、ダンパの上面に別の部材が配置されておらず、ダンパが外部に露出していてもよい。
【０１２６】
また、以上の例において、インクが流れる方向を逆にしてもよい。すなわち、以上の例において、圧力室４０からインクタンク１１０にインクを帰還させるために用いた流路を、インクタンク１１０から圧力室４０にインクを供給するための流路として用い、以上の例においてインクタンク１１０から圧力室４０にインクを供給するための流路として用いた流路を、圧力室４０からインクタンク１１０にインクを帰還させるための流路として用いてもよい。
【０１２７】
また、以上では、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッド、及び、インクジェットヘッドを備えたプリンタに本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。ノズルからインク以外の液体を吐出する液体吐出ヘッド、及び、このような液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置に本発明を適用することも可能である。
【符号の説明】
【０１２８】
１０  ノズル
１１  ヘッドユニット
２２  下側マニホールドプレート
２２ａ、２２ａ１、２２ａ２  隔壁
２３  ダンパ
２３ａ  第１部分
２３ｂ  第２部分
２３ｃ  第３部分
２５  上側マニホールドユニット
４０  圧力室
３５ａ  供給絞り流路
３５ｂ  帰還絞り流路
４１  下側供給マニホールド
４２  下側帰還マニホールド
４６  第１ダンパ部材
４７  第２ダンパ部材
４７ａ  貫通孔
５１  流路プレート
５１ａ、５１ａ１、５１ａ２  隔壁
９１  上側供給マニホールド
９２  上側帰還マニホールド
６５  第１ダンパ室
１５１  第２ダンパ室
１６１  ダンパ
１６１ａ  第１部分
１６１ｂ  第３部分
１６３ａ  供給接続孔
１６３ｂ  帰還接続孔
１７１  ダンパ
１７１ａ  第１部分
１７１ｂ  第２部分
１７２  第２ダンパ部材
１７２ａ  貫通孔
１８１  ダンパ
１８１ａ  第１部分
１８１ｂ  第２部分
１９１  ダンパ
１９１ａ  第１部分
１９１ｂ  第２部分
１９２  凹部
１９１ａ  第１部分
１９１ｂ  第２部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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