(57)【要約】【課題】本開示は、基材を有するカセットのドアを開放するためのドアオープナーに関する。【解決手段】オープナーは、カセットと係合する、かつカセットのドアおよび基材を移動させるために第一の開口部を有する第一の壁と、第一の壁の反対側にあり、かつ基材を移動させるために第二の開口部を有する第二の壁とを有する。ドアオープナーは、カセットのドアを保持するための閉鎖装置を有してもよく、また第一の側面および第二の側面を有し、かつ第一の壁と第二の壁の間に形成されたチャンバ内で移動可能である。オープナーは閉鎖装置を、第一の側面が第一の壁に対して閉じる第一の閉鎖位置から、第二の側面が第二の壁に対して閉じる第二の閉鎖位置へと、第一の方向に移動させて、また第二の閉鎖位置から、第一の閉鎖位置と第二の閉鎖位置の間の搬送位置へと移動させる、第一のアクチュエータを有してもよい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材を有するカセットのドアを開放するように構築され、かつ配設されたドアオープナーであって、
前記カセットと係合するように構成され、かつ前記カセットの前記ドアおよび基材を移動するために第一の開口部が提供された第一の壁と、
前記第一の壁の反対側にあり、かつ基材を移動させるために第二の開口部が提供された第二の壁と、
前記カセットの前記ドアを保持するように構成され、かつ前記第一の壁と第二の壁の間に形成されたチャンバ内で移動可能である閉鎖装置と、を備え、
前記ドアオープナーには、前記ドアを有する前記閉鎖装置を第一の方向において、
前記閉鎖装置の第一の側面が前記第一の壁に対して実質的に閉じる第一の閉鎖位置から、前記閉鎖装置の第二の側面が前記第二の壁に対して実質的に閉じる第二の閉鎖位置へと移動させ、
前記第二の閉鎖位置から、前記第一の閉鎖位置と前記第二の閉鎖位置の間の搬送位置へと、移動させるように構築され、かつ配設された第一のアクチュエータが提供されている、ドアオープナー。
【請求項２】
前記第一の開口部および第二の開口部が相互に正反対にある、請求項１に記載のドアオープナー。
【請求項３】
前記第一の開口部および第二の開口部が相互に整列している、請求項１に記載のドアオープナー。
【請求項４】
前記第一の側面および第二の側面が前記閉鎖装置の反対側にある、請求項１に記載のドアオープナー。
【請求項５】
前記閉鎖装置が、強固に接続された前記第一の側面および第二の側面を有する強固な構造である、請求項１に記載のドアオープナー。
【請求項６】
前記ドアオープナーが、前記第一の壁と前記第二の壁の間に閉鎖装置によって保持された前記カセットの前記ドアを有する前記閉鎖装置を、前記第一の方向と実質的に直角を成す第二の方向に移動させるように、前記第一の壁と前記第二の壁の間の空間を有して構築されている、かつ配設されている、請求項１に記載のドアオープナー。
【請求項７】
前記ドアオープナーが、前記閉鎖装置を前記搬送位置から前記チャンバ内の保管位置に移動させるように構築され、かつ配設された第二のアクチュエータを備える、請求項１に記載のドアオープナー。
【請求項８】
前記第二のアクチュエータが、前記閉鎖装置を前記チャンバを通して、前記第一の方向と実質的に直角を成す第二の方向に移動させる、請求項７に記載のドアオープナー。
【請求項９】
前記ドアオープナーが、前記チャンバ内にガスを提供するように構築され、かつ配設されたガス供給を備える、請求項１に記載のドアオープナー。
【請求項１０】
前記ドアオープナーが、前記チャンバからガスを排出するように構築され、かつ配設されたガス排出を備える、請求項１に記載のドアオープナー。
【請求項１１】
前記ドアオープナーが、ガス流を前記カセットの中に提供するように構築され、かつ配設されたガス供給を備える、請求項１に記載のドアオープナー。
【請求項１２】
可撓性シールが、前記第一の壁、前記第二の壁、第一の表面、および第二の表面のうちの一つ以上に提供されている、請求項１に記載のドアオープナー。
【請求項１３】
請求項１に記載のドアオープナーが提供された基材処理装置であって、前記基材処理装置が、基材取り扱い室内に提供された基材取り扱いロボットをさらに備え、前記ドアオープナーの前記第一の壁および第二の壁が前記基材取り扱い室の壁を形成し、前記基材処理装置が、前記基材取り扱い室内にパージ流を提供するように構築され、かつ配設された窒素パージシステムを備える、基材処理装置。
【請求項１４】
基材を有するカセットのドアを開放する方法であって、
第一の開口部が提供された第一の壁に対して、基材を有する前記カセットを動かすことと、
第一の側面および第二の側面が提供された閉鎖装置を用いて前記カセットの前記ドアを把持することと、
前記カセットの前記ドアを有する前記閉鎖装置を、前記第一の側面が前記第一の壁に対して実質的に閉じる第一の閉鎖位置から、前記第二の側面が前記第一の壁の反対側の第二の壁に対して実質的に閉じる第二の閉鎖位置へと、第一の方向に動かすことと、
前記カセットの前記ドアを有する前記閉鎖装置を、前記第二の閉鎖位置から、第一の閉鎖位置と第二の閉鎖位置の間の搬送位置へと、前記第一の方向に動かすことと、
前記カセットの前記ドアを有する前記閉鎖装置を、前記搬送位置から、前記第一の壁と第二の壁の間のチャンバ内の保管位置へと、前記第一の方向と実質的に直角を成す第二の方向に動かすことと、を含む、方法。
【請求項１５】
前記方法が、ガス供給を用いて前記チャンバ内にガスを提供することを含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記方法が、ガス排出を有する前記チャンバからガスを排出することを含む、請求項１４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は概して、基材を有するカセットのドアを開放するように構築され、かつ配設されたドアオープナーに関する。より具体的には、本開示は、カセットと係合するように構成され、かつカセットのドアおよび基材を移動させるために第一の開口部が提供された第一の壁と、第一の壁の反対側にあり、かつ基材を移動させるために第二の開口部が提供された第二の壁とを備える、ドアオープナーに関する。閉鎖装置は、カセットのドアを保持するように、かつ第一の壁と第二の壁の間に形成されたチャンバ内で移動可能であるように構成されてもよい。ドアオープナーは基材処理装置に提供されてもよい。
【背景技術】
【０００２】
基材を搬送するために、取り外し可能なように適合されたドアが提供されたカセットを使用してもよい。前記ドアには多かれ少なかれ、カセットの他の部分に対して気密シールが提供されることができる。基材が炉などの基材処理装置内で処理される必要がある場合、基材はカセットから取り出され、基板ラック内に定置される場合があり、また前記基板ラックは基材と一緒に反応器の中に導入される場合がある。処理後、基材をラックとともに反応器から取り出してもよく、また基材を移動してカセットに戻し、さらなる処理のために搬送してもよい。
【０００３】
炉などの基材処理装置は、制御された雰囲気、例えば不活性窒素雰囲気中で機能する場合がある。空間内での制御された雰囲気の希釈を防止するように反応器が配設されている空間に前記基材が入る前に、基材をこのような制御された雰囲気の中に持ち込むことは、有利である場合がある。
【０００４】
基材を制御された雰囲気の中に持ち込むためのロックチャンバを有する構築は、特許文献１において説明されうる。構築には、第一の壁と第二の壁の間に形成されたロックチャンバ内に２つの別個の閉鎖が提供される場合がある。これによって、第一の壁および第二の壁にある第一の開口部および第二の開口部の両方を別個の閉鎖を用いて個々に封鎖することが可能になる。ロックチャンバ内の別個のアクチュエータを必要とする２つの別個の閉鎖を用いた設計は、製造および維持のためには極めて複雑である場合がある。その結果、製造および維持がより簡単でありうる簡略化されたドアオープナーを提供することが目的となりうる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許第６４８１９４５号明細書
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この「発明の概要」は、選択された概念を簡略化した形態で紹介するために提供されている。これらの概念について、以下の本開示の例示的な実施形態の「発明を実施するための形態」において、さらに詳細に説明されている。この発明の概要は、特許請求される主題の主要な特徴または本質的な特徴を特定することを意図していない、または特許請求される主題の範囲を限定するために使用することも意図していない。
【０００７】
目的によると、基材を有するカセットのドアを開放するように構築され、かつ配設されたドアオープナーを一実施形態において提供することが望ましい場合がある。オープナーは、カセットと係合するように構成され、かつカセットのドアおよび基材を移動するために第一の開口部が提供された第一の壁を備えてもよい。オープナーには、第一の壁の反対側にあり、かつ基材を移動するために第二の開口部が提供された第二の壁が提供されてもよい。
【０００８】
閉鎖装置は、カセットのドアを保持するように構成されてもよい。閉鎖装置は、第一の壁と第二の壁の間に形成されたチャンバ内で移動可能であってもよい。オープナーには、ドアを有する閉鎖装置を、閉鎖装置の第一の側面が第一の壁に対して実質的に閉じる第一の閉鎖位置から、閉鎖装置の第二の側面が第二の壁に対して実質的に閉じる第二の閉鎖位置へと、第一の方向に移動させるように構築され、かつ配設された第一のアクチュエータが提供されてもよい。第一のアクチュエータは、閉鎖装置を第二の閉鎖位置から、第一の閉鎖位置と第二の閉鎖位置の間の搬送位置に移動させるように構築され、かつ配設されてもよい。ドアオープナーの実施形態は、目に見えてよりコンパクトに、かつ単純にされうるが、これはドアオープナーを構築し、維持することを容易にする。
【０００９】
実施形態によると、ドアオープナーが提供された基材処理装置が提供されてもよく、この装置は基材取り扱い室内に提供された処理取り扱いロボットをさらに備える。ドアオープナーの第一の壁および第二の壁は、基材取り扱い室の壁を形成してもよい。装置は、基材取り扱い室内にパージ流を提供するように構築され、かつ配設された窒素パージシステムを備えてもよい。
【００１０】
さらなる実施形態によると、基材を有するカセットのドアを開放する方法が提供されてもよい。方法は、
第一の開口部が提供された第一の壁に対して、基材を有するカセットを動かすことと、
第一の側面および第二の側面が提供された閉鎖装置を用いてカセットのドアを把持することと、
カセットのドアを有する閉鎖装置を、第一の側面が第一の壁に対して実質的に閉じる第一の閉鎖位置から、第二の側面が第一の壁の反対側の第二の壁に対して実質的に閉じる第二の閉鎖位置へと、第一の方向に動かすことと、       
カセットのドアを有する閉鎖装置を、第二の閉鎖位置から、第一の閉鎖位置と第二の閉鎖位置の間の搬送位置へと、第一の方向に動かすことと、       
カセットのドアを有する閉鎖装置を、搬送位置から第一の壁と第二の壁の間のチャンバ内の保管位置へと、第一の方向と実質的に直角を成す第二の方向に動かすことと、を含んでもよい。       
【００１１】
本発明と先行技術を超えて達成された利点とを要約する目的で、本発明の特定の目的および利点が本明細書において上記に説明されている。当然のことながら、必ずしもこうした目的または利点のすべてが本発明の任意の特定の実施形態によって達成されなくてもよいことが理解されるべきである。それ故に、例えば本明細書に教示または示唆する通り、一つの利点または一群の利点を達成または最適化する様態で、本明細書で教示または示唆されうる通りの他の目的または利点を必ずしも達成することなく、本発明が具体化または実行されてもよいことを当業者は認識するであろう。
【００１２】
これらの実施形態のすべては、本明細書に開示する本発明の範囲内であることが意図されている。これらのおよび他の実施形態は、添付の図面を参照する以下の特定の実施形態の発明を実施するための形態から、当業者に容易に明らかとなり、本発明は、開示されるいかなる特定の実施形態にも限定されない。
【００１３】
当然のことながら、図内の要素は、単純化および明瞭化のために例示されていて、必ずしも実寸に比例して描かれていない。例えば、図内の要素のうちの幾つかの寸法は、本開示の例示された実施形態の理解の向上を助けるために他の要素と相対的に誇張されている場合がある。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施形態による基材処理装置の実施例の概略上面図を示す。
【図２】図２ａ〜図２ｆは、実施形態による、カセット開放中の様々な位置での、図１の装置で使用するドアオープナーの概略上面図を示す。
【図３】実施形態による、図１の装置で使用するドアオープナーの概略上面図をより詳細に示す。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
特定の実施形態および実施例を以下に開示しているものの、本発明の具体的に開示された実施形態および／または用途、ならびにその明白な修正および均等物を超えて本発明が拡大することは、当業者により理解されるであろう。それ故に、開示された本発明の範囲は、以下に説明される特定の開示された実施形態によって限定されるべきではないことが意図される。本明細書に示された図は、任意の特定の材料、構造または装置の実際の図であることを意味せず、本開示の実施形態を説明するために使用されている単に理想化された表現にすぎない。
【００１６】
本明細書で使用される「基材」または「ウエハ」という用語は、使用されてもよい任意の下地材料、または装置、回路、もしくは膜が上に形成されてもよい任意の下地材料を指す場合がある。「半導体デバイス構造」という用語は、半導体基材の上またはその中に形成される半導体デバイスの能動部品または受動部品の少なくとも一部分である、またはそれらを含むまた画定する、処理された半導体構造または部分的に処理された半導体構造の任意の部分を指す場合がある。例えば、半導体デバイス構造としては、集積回路の能動部品および受動部品、例えばトランジスタ、メモリ素子、トランスデューサ、キャパシタ、抵抗器、導電線、導電性ビア、導電性コンタクトパッドなどが挙げられてもよい。
【００１７】
図１は、実施形態による基材処理装置（例えば、炉１）の実施例の概略上面図を示す。炉１は、前部壁４および後部壁６を有するハウジング２を備える。炉１は、複数の基材カセットＣを保管するためのカセット保管カルーセル３などの保管装置を備えてもよく、その基材カセットは各々複数の基材を収容する。カセット保管カルーセル３は、カセットを支持するための多数のプラットフォームステージを備えてもよい。プラットフォームステージは、垂直軸５の周りに回転可能に取り付けられた中央支持体に接続されてもよい。各プラットフォームステージは、多数のカセットＣを収容するように構成されている。垂直軸５の周りの多数のプラットフォームステージを有する中央支持体を回転させるために、駆動組立品が中央支持体に動作可能に接続されている。
【００１８】
炉１は、カセット保管カルーセル３と、炉１のハウジング２の前部壁４に隣接するカセット入口出口ポート１１と、および／または基材移動位置１５との間でカセットＣを移動するように構成されたカセットハンドラーアーム９を有するカセットハンドラー７を有してもよい。カセットハンドラー７は、異なる高さにあるカセットに達するための昇降機構を備えてもよい。カセットを保管するための各プラットフォームステージは、その中に切り欠き部を有してもよく、この切り欠き部は、カセットハンドラーアーム９がそれを通して垂直に通ることを可能にするように、かつプラットフォームステージがその上でカセットＣを支持することを可能にするようにサイズが決められ、かつ形状にされている。
【００１９】
基板を有するカセットＣのドアを開放するように構築され、かつ配設されたドアオープナー１９が提供されてもよい。オープナー１９は、カセットＣと係合するように構成され、かつカセットのドアおよび基材を移動するために第一の開口部が提供された第一の壁２１を備えてもよい。オープナー１９は、第一の壁の反対側にあり、かつ基材を基材取り扱いロボット３５に移動するために第二の開口部が提供された第二の壁を有してもよい。第一の壁およびまたは第二の壁は、カセットハンドラー７と基材取り扱いロボット３５とを分離する内壁の一部であってもよい。基材移動位置１５には、カセットＣを回転させるために、および／またはカセットＣをドアオープナー１９に逆らって移動させるためにカット移動器が提供されてもよい。
【００２０】
基材処理装置は、基材移動位置１５に位置付けられたカセットＣからドアオープナー１９を通して基材ラックへと、およびその逆に基材を移動するために基材取り扱いアーム３６が提供された基材取り扱いロボット３５を備えてもよい。炉は基材取り扱い室３７を備えてもよく、その中に基材取り扱いロボット３５が収容されている。
【００２１】
ハウジング２は、炉１の全長にわたって延在する第一の側壁および第二の側壁４７を有してもよい。装置の幅を画定しうる炉の側壁４７間の距離は、１９０〜２５０ｃｍであってもよく、好ましくは２１０〜２３０ｃｍであり、最も好ましくは約２２０ｃｍである。炉１の保守は、側壁４７にドアが必要ないように、炉の後ろ側６または前側４から実施されうる。
【００２２】
ドアがない側壁４７の構築によって、複数の炉１は半導体製造工場内で横に並べて位置付けられうる。隣接する炉の側壁は、これによって相互に非常に近くに位置付けられてもよく、または相互に対して位置付けられてさえもよい。有利なことに、複数の炉は、粒子のための非常に厳密な要件を有するいわゆる「クリーンルーム」の非常に清浄な環境内にあるカセット搬送装置と連動する炉１の前側４を有する壁を形成してもよい。炉１の後ろ側６は、前側４よりも厳密でない、粒子のための要件を有しうる保守アレイと連動してもよい。
【００２３】
炉１には、複数の基材を処理するために第一の反応器および第二の反応器４５が提供されてもよい。２つの反応器を使用することは、炉１の生産性を向上させる場合がある。上面図の基材処理装置は、実質的にＵ字形状で構成されてもよい。保守区域４３は、Ｕ字形状の脚部の間に構築され、かつ配設されてもよい。Ｕ字形状の二本の脚部の間の距離は、保守作業者のために十分な空間を許容するために６０〜１２０ｃｍの間であってもよく、より好ましくは８０〜１００ｃｍの間であってもよく、最も好ましくは約９０ｃｍであってもよい。後部ドア４２は、Ｕ字形状の脚部の間に提供されていて、使用していない時に保守区域４３を封鎖しうる。
【００２４】
第一の反応器および第二の反応器４５は、Ｕ字形状の脚部内に構築され、かつ配設されてもよい。第一の反応器および第二の反応器４５は、Ｕ字形状の脚部の下部に提供されてもよい。実質的なＵ字形状は、Ｖ字形状も含んでもよい。
【００２５】
図２ａ〜図２ｆは、カセットＣを開く様々な位置にある時の、図１の装置で使用するドアオープナー１９の概略上面図を示す。ドアオープナー１９は、カセットＣと係合するように構成され、かつカセットＣのドアおよび基材を移動するために第一の開口部２５が提供された第一の壁２１を備えてもよい。ドアオープナー１９は、第一の壁２１の反対側にあり、かつ基材を基材取り扱いロボットに移動するために第二の開口部２７が提供された第二の壁２３を有してもよい。第一の開口部２５は、第二の開口部２７の反対側であってもよい。第一の開口部２５および第二の開口部２７は、相互に整列されてもよい。第一の壁２１および／または第二の壁２３は、カセットハンドラーと基材取り扱いロボットとを分離する内壁の一部であってもよい。ドアオープナー１９は、カセットのドア３１を保持するように構成され、かつ第一の壁２１と第二の壁２３の間に形成されたチャンバ３３内で移動可能である閉鎖装置２９を有してもよい。
【００２６】
図２ａにおいて、カセットＣは、基材移動位置１５（図１を参照）にあるカセット移動器を用いて、ドアオープナー１９に向かって移動されてもよく、これによってカセットＣは第一の壁２１に対して定置されてもよく、またカセットＣのドア３１は閉鎖装置２９に対して押し付けられてもよいことが示されている。閉鎖装置２９には、第一の側面および第二の側面が提供されてもよい。側面は閉鎖装置上で相互に反対側であってもよい。閉鎖装置は、強固に接続された第一の側面および第二の側面を有する強固な構造であってもよい。第一の側面は、カセットＣのドア３１と係合するように構成されてもよい。この目的のために、前記第一の側面には、ドア３１と係合するために、またそれを把持するためにグリッパーまたはロックが提供されてもよい。ドア３１と係合すると、グリッパーまたはロックはカセットＣからドアを放出してもよい。
【００２７】
可撓性シール（例えば、ゴムシール）は、カセットＣに対してシールするために第一の壁２１に提供されてもよい。随意に、可撓性シール（例えば、ゴムシール）はまた、カセットＣのドア３１に対してシールするために、閉鎖装置２９の第一の表面にも提供されてもよい。
【００２８】
図２ｂ、図２ｃ、および図２ｄにおいて、カセットＣのドア３１を保持する間の閉鎖装置２９が第一の閉鎖位置から第二の閉位置に第一の方向に移動されうる方法が示されうる。第一の閉鎖位置において、第一の側面は第一の壁２１に対して閉じてもよい（図２ｂ）。第二の閉鎖位置において、第二の側面は第二の壁２３に対して閉じてもよい（図２ｄ）。ドアオープナー１９には、閉鎖装置２９を第一の方向に移動させるために第一のアクチュエータが提供されてもよい。可撓性シール（例えば、ゴムシール）は、第二の壁と第二の側の間のギャップを封止するために、第二の壁２３、または閉鎖装置２９の第二の側面に提供されてもよい。
【００２９】
ドアオープナー１９は、ガス流をチャンバ３３の中へと提供するためにガス供給３２を備えてもよい。ドアオープナーは、チャンバ３３からガスを排出するためにガス排出３０を備えてもよい。カセットＣを開放中および／または開放後、ガスはガス供給３２からカセットＣおよびチャンバ３１の中に吹き付けられてもよい。これは、カセットＣの高さ全体にわたって、カセット内に配設されたすべての基材間で達成されうる。図２ｃにおいて矢印３４によって示されたガス流れは、ガス排出３０に向かって生成されてもよい。カセット１０全体を通したガスのパージ流が作り出されてもよく、これは窒素雰囲気を作り出す。この窒素雰囲気は、第二の開口部２７を完全に開放する前に作り出されて、基材取り扱い室内の雰囲気の希釈を低減する場合がある。
【００３０】
第二の開口部を完全に開放するために、閉鎖装置２９はまず、第二の閉鎖位置から、第一の閉鎖位置と第二の閉鎖位置の間の搬送位置に移動されてもよい（図２ｅを参照）。この動きは、第一の方向において達成される場合がある。搬送位置において、閉鎖装置に取り付けられたカセットＣのドア３１を有する閉鎖装置１９をチャンバ３３内の保管位置に移動させるために、第一の壁２１および第二の壁２３からの十分なゆとり（クリアランス）がある。例えば、第二のアクチュエータを用いて、第一の方向に実質的に垂直である第二の方向に（図２ｆを参照）、それを動かすことによる。ドア３１および閉鎖装置２９が移動されて第二の開口部２７から離れる時、基材は、基材取り扱い室３７内で基材取り扱いロボット３５（図１参照）を用いてカセットＣから交換されてもよい。
【００３１】
図３は、アクチュエータを有する図１の装置内で使用するドアオープナー１９の概略上面図をより詳細に示す。ドアオープナー１９は、閉鎖装置２９を第一の方向に移動させるように構築および配設された第一のアクチュエータ５３に接続されてもよい。第一のアクチュエータ５３は、閉鎖装置２９の第一の側面が第一の壁２１に対して閉じる第一の閉鎖位置から、第二の側面が第二の壁２３に対して閉じる第二の閉鎖位置へと、ガイド５５に沿って移動可能であってもよい。
【００３２】
可撓性シール６３（例えば、ゴムシール）は、第一の壁２１に対してシールするために閉鎖装置２９の第一の側面に提供されてもよい。別の方法として、可撓性シールは、閉鎖装置２９の第一の側面に対してシールするために第一の壁２１に提供されてもよい。別の可撓性シール６５は、閉鎖装置２９の第二の側面に対してシールするために第二の壁２３に提供されてもよい。その他の可撓性シールはまた、第二の壁２１に対してシールするために閉鎖装置２９の第二の側面に提供されてもよい。
【００３３】
閉鎖装置２９を第二の閉鎖位置から、第一の閉鎖位置と第二の閉鎖位置の間の搬送位置へと、第一の方向にガイド５５に沿って移動させるために、第一のアクチュエータ５３が使用されてもよい。搬送位置において、第二のアクチュエータ５９を有する（閉鎖装置に取り付けられたカセットのドアをも有する）閉鎖装置１９を、第一の方向と実質的に直角を成す第二の方向に、チャンバ３３内の保管位置へと移動させるために、第一の壁２１および第二の壁２３からの十分なゆとり（クリアランス）がある。第二のアクチュエータ５９は、第一のアクチュエータ５３および閉鎖装置２９とともにガイド５５を第二の方向に移動させるために、スピンドル５７に接続されてもよい。
【００３４】
示され、かつ説明された特定の実施形態は、本発明およびその最良の形態の例示であり、態様および実施の範囲をいかなるやり方でも、そうでなければ限定することを意図しない。実際、簡潔さのために、従来の製造、関連、調製、およびシステムの他の機能的態様を詳細に説明していない場合がある。さらに、様々な図に示される接続線は、様々な要素間の例示的な機能的関係および／または物理的連結を表すことを意図する。多くの代替的もしくは追加の機能的関係、もしくは物理的接続が実際のシステムに存在してもよく、および／または幾つかの実施形態では存在しなくてもよい。
【００３５】
本明細書に記載の構成および／または手法は本質的に例示的であり、これらの特定の実施形態または実施例は、数多くの変形が可能であるため、限定的な意味で考えられないことが理解されるべきである。本明細書に記載の特定のルーチンまたは方法は、任意の数の処理方策のうちの一つ以上を表す場合がある。それ故に、例示された様々な動作は、例示された順序で実施されてもよく、他の順序で実施されてもよく、または場合によっては省略されてもよい。
【００３６】
本開示の主題は、本明細書に開示の様々なプロセス、システム、および構成、ならびに他の特徴、機能、動作および／または特性のすべての新規かつ自明でない組み合わせおよび部分的組み合わせ、ならびにそのありとあらゆる均等物を含む。
【００３７】
特定の実施形態および実施例を以下に開示しているものの、本発明の具体的に開示された実施形態および／または用途、ならびにその明白な修正および均等物を超えて本発明が拡大することは、当業者により理解されるであろう。それ故に、開示された本発明の範囲は、以下に説明される特定の開示された実施形態によって限定されるべきではないことが意図される。本明細書に示された図は、任意の特定の材料、構造または装置の実際の図であることを意味せず、本開示の実施形態を説明するために使用されている単に理想化された表現にすぎない。
【図１】
2020167398.tif 000003
【図２】
2020167398.tif 000004
【図３】
2020167398.tif 000005
【外国語明細書】
2020167398000001.pdf