(57)【要約】【課題】微細精密操作にも適用可能な駆動装置を提供する。【解決手段】駆動装置は、出力軸の一端に振動子が固定された移動ユニットと、前記移動ユニットを前記出力軸で支持するガイド部材と、前記移動ユニットを移動方向に対して自由度を有するように前記ガイド部材とともに前記出力軸を拘束する拘束部材を有しており、前記振動子を振動させることにより前記移動ユニットが前記出力軸の軸方向を移動方向として前記ガイド部材と前記拘束部材に対して移動する。前記出力軸の振動子と反対側の端に、先端ツールを取付可能な出力部材が固定されている。【選択図】図１５
2020054228.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
出力軸の一端に振動子が固定された移動ユニットと、前記移動ユニットを前記出力軸で支持するガイド部材と、前記移動ユニットを移動方向に対して自由度を有するように前記ガイド部材とともに前記出力軸を拘束する拘束部材を有しており、前記振動子を振動させることにより前記移動ユニットが前記出力軸の軸方向を移動方向として前記ガイド部材と前記拘束部材に対して移動する駆動機構であって、
前記出力軸の振動子と反対側の端に、先端ツールを取付可能な出力部材が固定されている、駆動機構。
【請求項２】
前記出力軸は、前記移動方向に沿う前後方向を長手方向とする直方体形状で構成されており、
前記ガイド部材は、前記移動方向と平行な前記出力軸の４つの外周面のうちの隣り合う２面と接触する２つの摩擦平面を有する一方、前記拘束部材は、前記出力軸の４つの外周面のうちの残りの２面それぞれに対して前記出力軸を前記ガイド部材側へ押し付ける２つの拘束部を有している、請求項１に記載の駆動機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気エネルギーを駆動力に変換する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電素子を利用して電気エネルギーを機械的仕事に変換する装置として、圧電インパクト駆動機構がある（たとえば特許文献１、２参照）。
【０００３】
特許文献１においては、圧電素子の一端に移動体を、他端に慣性体を固定し移動体を微小ステップ駆動できるようにしている。特許文献２においては圧電素子を固定した移動体により移動体に接続された微小レンズを動かすようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６３−２９９７８５号公報
【特許文献２】特開平６−３１５２８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の機構として、移動体に圧電素子の一端を取り付け、圧電素子を急速に変形させることにより移動体に衝撃（インパクト）を与えて移動体を移動させる機構がある。特許文献１の例では圧電素子の他端には慣性体を取り付けて圧電素子と慣性体により衝撃を発生させるようにしている。この機構は圧電素子を駆動源としているため小型の直動機構を実現でき、移動ユニットの移動距離は任意に延長することができる利点があるが、リニアアクチュエータ、電動シリンダーアクチュエータのような汎用的な機構要素として使おうとすると、特許文献１の例では移動方向のガイドがないか拘束が弱いため、移動体の移動方向が変化したり、姿勢が外力で変化し回転したりする可能性がある。
【０００６】
特許文献２の例では移動体は周囲の部材に対して、移動体から突き出した梁や突起を突っ張って圧接し、適当な摩擦が得られるようにしている。アクチュエータ単体として移動体の直進性を確保したり移動体の回転を防ぐ特段の対策がなされていず、外力に対して、移動方向を一定に保ったり姿勢を一定にして回転を防いだりする能力が低い。
【０００７】
これら例は微小ステップの駆動や微小光学系の駆動など特殊用途を目的とするもので、発生する力により対象物から受ける反力や、外力への対策がなされていない。このため、反力や外力により移動体の移動の方向が変化しやすかったり、移動体の姿勢が変化し回転しやすかったりするという課題がある。また移動方向を一定に保ったり姿勢を一定にして回転を防いだりする能力が低いため、発生力の反作用として力を作用させる対象物から受ける反力に弱く、発生力も大きくできないという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の駆動機構は、出力軸の一端に振動子が固定された移動ユニットと、前記移動ユニットを前記出力軸で支持するガイド部材と、前記移動ユニットを移動方向に対して自由度を有するように前記ガイド部材とともに前記出力軸を拘束する拘束部材を有しており、前記振動子を振動させることにより前記移動ユニットが前記出力軸の軸方向を移動方向として前記ガイド部材と前記拘束部材に対して移動する駆動機構であって、前記出力軸の振動子と反対側の端に、先端ツールを取付可能な出力部材が固定されているものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の駆動機構は、小型で堅牢性が高く、駆動力の高い汎用的な機構要素として使用できる力発生機やリニアアクチュエータ、電動シリンダーを安価な製造コストで提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態を示す駆動機構の側面図
【図２】同駆動機構の平面図
【図３】同駆動機構の底面図
【図４】同駆動機構の正面図
【図５】同駆動機構の背面図
【図６】同駆動機構の側面一部断面図
【図７】同駆動機構の正面一部断面図
【図８】同駆動機構の最も突き出した時の側面一部断面図
【図９】同駆動機構の最も引き込んだ時の側面一部断面図
【図１０】同駆動機構の側面図（カバーなし状態）
【図１１】同駆動機構の側面図（出力部材付）
【図１２】同駆動機構の平面図（出力部材付）
【図１３】同駆動機構の底面図（出力部材付）
【図１４】同駆動機構の正面図（出力部材付）
【図１５】同駆動機構の側面一部断面図（出力部材付）
【図１６】発生力グラフ
【図１７】本発明の実施形態を示す駆動機構のツール装着側面図
【図１８】同駆動機構のツール装着正面図
【図１９】同駆動機構による押し込み作業の例
【図２０】同駆動機構による押し込み作業の変形例
【図２１】同駆動機構によるシート貼り作業例
【図２２】同駆動機構の変形例
【図２３】同駆動機構の変形例
【図２４】同駆動機構の変形例
【図２５】駆動回路
【図２６】駆動波形
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の駆動機構は、出力軸の一端に振動子が固定された移動ユニットと、前記移動ユニットを前記出力軸で支持するガイド部材と、前記ガイド部材に固定されて前記移動ユニットを前記移動方向に対して自由度を有するように前記ガイド部材とともに前記出力軸を拘束する拘束部材を有しており、前記振動子を振動させることにより前記移動ユニットが前記出力軸の両端の中心を結ぶ方向を移動方向として前記ガイド部材と前記拘束部材に対して移動する駆動機構であって、前記ガイド部材は、上部を前記出力軸をガイドするガイド部とする一方、下部を前記駆動機構を外部機器に固定するためのインターフェース部としており、前記出力軸が、前記移動方向に沿う前後方向を長手方向とする直方体形状で構成されており、前記ガイド部材の前記ガイド部及び前記拘束部材それぞれが、断面Ｌ字状で構成されており、前記ガイド部が前記出力軸の外周面のうちの下面と左右一方の面の２面と接触する二つの摩擦平面を有する一方で、前記拘束部材が前記出力軸の外周面のうちの上面と左右他方の面の２面と接触する二つの摩擦平面を有するものである。
【００１２】
すなわち、一端に圧電素子を取り付けた直方体形状からなる剛性、熱伝導度、潤滑性の高い出力軸を、ガイド部材に対して、拘束部材で自由度を１自由度に限定するように押さえ込むことにより汎用的な機構要素として使え小型であり、少量生産においても低コストで製造可能で、発生力も大きく、直進性にもすぐれた直進性能の高いリニアアクチュエータ、電動シリンダーや力発生機を実現する。
【００１３】
ガイド部材にねじ止めされる拘束部材によって出力軸が、ガイド部材に強固に押さえつけられ、出力軸とガイド部材、拘束部材が出力軸の力を出す方向に長い四つの平面接触領域で密着するようにし、出力軸の直進性と姿勢の安定性が単純な構成で確保でき、拘束部材による押さえ力を大きくすることで発生力を大きくすることができる。
【００１４】
出力軸の出力端に圧電素子の質量に見合う質量を有する出力部材をとりつけ、出力端の損傷や磨耗を防止したり、先端ツールが取り付けやすくしたりし、本考案の駆動機構の発生力を高め、さらに出力部材に先端ツールを取り付けたときに、本駆動機構の振動特性に対する影響を少なくすることができ、先端ツールを取り付けても、本発明の駆動機構を安定的に動作させることができる。
【００１５】
出力軸には炭素繊維強化樹脂（CFRP）を使用し、ガイド部材と拘束部材には銅合金やステンレスを使用することで、潤滑剤なしで使用する場合も耐酸化特性の優れたパーフルオロポリエーテルやクロロトリフルオロエチレンなどのフッ素系の潤滑剤を使用する場合も出力軸とガイド部材、拘束部材の間の摩擦を炭素繊維の自己潤滑性や潤滑剤の特性を利用して低く抑え、さらに平面接触領域を大きくすることで、出力軸がガイド部材、拘束部材に対して外見上動いていない状態でも、力を作用させる対象物が駆動機構の発生力よりも強い力で動く場合も連続駆動できるようにし、対象物に押し付け力や引張り力を加え続けることのできる力発生機を実現する。
【００１６】
図１は本駆動機構の側面図、図２は平面図、図３は底面図、図４は正面図、図５は背面図である。図１から５において１は出力軸、２はガイド部材、３、４は側板、５はカバー、６はカバー取り付けねじ、７は底板、８は側板取り付けねじ、９は外部の装置の一部、１０は外部の装置の取り付けねじ、１１はリード線である。
【００１７】
図６、図７は本駆動機構の側面図と前面図において、一部の部品を断面にした図である。断面にした部品にはハッチングを施している。
【００１８】
図６において、出力軸１の一つの外面に圧電素子１２が接着により取り付けられている。出力軸１は直方体の形状を持ち、駆動機構全体が長細いスリムな形状にできるようにしているため、種々の機械装置に組み込みがしやすいようにできている。圧電素子１２は正負の電圧を印加されると、出力軸１の出力方向に伸び縮みするように構成されている。圧電素子のかわりに他の電歪素子や磁歪素子などの振動子を使用してもよい。
【００１９】
出力軸の圧電素子が取り付けられた面の中心と対向する面の中心を結んだ方向が出力軸の力を出す方向となる。Ｌはガイド部材２、拘束部材１４が出力軸の力を出す方向に出力軸と接する部分の長さである。ガイド部材２には側板３と底板７が側板取り付けねじ８、底板取り付けねじ１６によりねじ止めされている。底板には側板取り付けねじ８により側板４がねじ止めされている。側板３には出力軸よりも大きめの穴があけられ、出力軸が側板３に接触することなく移動できるようになっている。
【００２０】
図７において、出力軸１はガイド部材２とガイド部材２に拘束部材取り付けねじ１３でねじ止めされた拘束部材１４に挟み込まれた状態で保持されている。取り付けねじ１３により、拘束部材１４にある傾斜面１４ａはガイド部材２の傾斜面２ａに押し付けられ、傾斜面２ａの高さの低い側に移動していこうとする。この作用により拘束部材１４とガイド部材２で囲まれた空間は狭められるため、拘束部材１４は出力軸１をガイド部材２に押し付ける働きをする。
【００２１】
出力軸１の六つの外面のうち、圧電素子１２が取り付けられる面に隣接する四つの面は隣り合う二つの面がガイド部材２に、残りの隣り合う二つの面が拘束部材１４に押し付けられる。
【００２２】
拘束部材１４は２つの摩擦平面１４ｂ、１４ｃを持ち、出力軸１の隣り合う二つの平面との間で摩擦を発生する働きと、出力軸１の残りの隣り合う二つの平面をガイド部材２の２つの摩擦平面２ｂ、２ｃに押し付けて摩擦を発生する働きと、出力軸１の出力方向以外の自由度を拘束する働きをする。拘束部材取り付けねじ１３の締め付けトルクを調節することで、所望の力で出力軸をガイド部材に押しつけることができる。Ｗ１、Ｗ２はガイド部材２と拘束部材１４が出力軸１と接する部分の出力軸が力を出す方向に直角方向の幅である。
【００２３】
拘束部材１４の摩擦平面１４ｂ、１４ｃを出力軸１に沿わせやすくするために溝部１４ｄを設けてもよい。拘束部材取り付けねじ１３のねじ頭と拘束部材１４の間にスプリングワッシャーや波ワッシャーを挟みこんで、締め付けトルクの調整をしやすくしてもよい。
【００２４】
ガイド部材２、拘束部材１４は出力軸１の出力方向にある長さをもって出力軸１と接している。この長さが小さすぎると、出力軸１の出力方向以外の動きである出力軸１のピッチやヨーを防ぐ効果が出にくくなる。
【００２５】
出力軸１の出す力を有効に作用させるために、対象物は出力軸１に対して正対した姿勢に近い姿勢、形状を持たせるのが望ましいが、対象物と出力軸１の接する部分の法線の方向が出力軸１の力ｆを出す方向と４５°の角度までずれがあり得ると考えられる。４５°以上の角度のずれが生じる場合は、対象物に対して出力軸１の向きを変更するのが合理的である。
【００２６】
図８は出力軸１が最も突き出た状態での側面図の一部部品を断面にした図である。Ｌは出力軸１が力を出す方向に、出力軸１とガイド部材２、拘束部材１４が接触する長さになっている。Ｓは出力軸１がガイド部材２、拘束部材１４から最も突き出す長さである。出力軸１がガイド部材２、拘束部材１４と接触する出力軸の出力方向の長さＬは、出力軸１がガイド部材２、拘束部材１４から突き出す長さＳに応じて設定するのがよい。
【００２７】
図８に示すように対象物１５と出力軸１の接する部分の法線の方向が出力軸１の力ｆを出す方向と４５°のずれがある場合、出力軸１には接触部の法線の方向に−ｆ／√２の反力が作用する。この反力の出力軸１が力を出す方向に直角の分力は−ｆ／２となり、出力軸１にはガイド部材２の外側の端部Ｅ１を回転中心として−Ｓｆ／２の回転モーメントが働く。
【００２８】
−Ｓｆ／２の回転モーメントにより出力軸１はガイド部材２の外側の端部Ｅ１を支点として拘束部材１４の内側の端部Ｅ２を持ち上げようとする。持ち上げようとする力は−Ｓｆ／２Ｌとなる。後述するように、拘束部材１４は出力軸１の出す力の７倍以上の力で出力軸１を押さえつけているので、７ｆ以上の力で出力軸１を押さえつけていることになる。
【００２９】
この押さえつける力は拘束部材１４が出力軸１と接している面全体に分散して働いているが、拘束部材１４の内側の端部が持ち上げられようとすると、この端部に集中する。したがって７ｆ−Ｓｆ／２Ｌ＞０となるようにＬとＳの関係がなっていれば、出力軸１が回転することはない。この不等式から１４Ｌ＞Ｓであれば出力軸１が、対象物１５からの反力により回転することはない。ＳがＬの１４倍であると力が釣り合うことになるため回転を防止するための約３０％の力の余裕分を確保して、ＬをＳの１０分の１以上の長さに設定するのがよい。
【００３０】
出力軸１の回転のうちのロールは、長方形または正方形の断面を持つ出力軸１の四つの外面を、ガイド部材２と拘束部材１４で４方向から締め付けられていることで防止されている。ロールの防止については、図７中の出力軸１の力を出す方向と直角の方向の幅Ｗ１、Ｗ２が重要になるが、出力軸１の出す力の方向から考えて、実際の作業において出力軸１をロールさせるモーメントは大きくは働きにくいため、ピッチやヨーの防止のためのＬのような大きな長さにする必要はない。本駆動機構の用途、サイズ、デザイン等に合わせて許容される範囲で大きな幅を設定する。
【００３１】
図１、図２、図７において、ガイド部材２と側板４にはカバー取り付けねじ６により薄板を2箇所で曲げて作ったカバー５がねじ止めされている。ガイド部材２、側板３、底板７、側板４、カバー５が相互にねじ止めされ、箱型構造を形成するため、最小限の肉厚の部品によって、構造全体を堅牢にすることができる。このことにより本駆動機構を堅牢にしながら、軽量化、低コスト化を実現することができる。
【００３２】
図６、図７においてガイド部材２は上部が出力軸１をガイドする機能をもつガイド部となり、下部が外部機器とのインターフェース部になる。ガイド部材２のガイド部と拘束部材１４は出力軸１の外周の四面のまわりにほぼ均等の厚みのスペースに配置されているため、図４、図２に示すように本駆動機構を正面や上面からみたときに出力軸１は本駆動機構のインターフェース部を除いた部分の中央部から出入りするように配置され、使いやすく、外観デザイン的にも良好な形態にすることができる。
【００３３】
図６において圧電素子１２からは駆動用の２本のリード線１１が引き出されていて、本駆動機構にらせん状に巻かれた状態で収納され、側板４の中央部にあけられた穴１７から外部に出されている。リード線は側板４とは穴１７で接着されている。本駆動機構の内部で圧電素子１２の位置が変わるとリード線１１のらせん状に巻かれた部分が伸び縮みし、圧電素子１２がどの位置にあっても、圧電素子１２に駆動信号が印加される。図８に出力軸１の位置が変化したときのリード線１１のらせん部分の状態を示す。側板から引き出されたリード線１１は駆動回路に接続され、圧電素子１２に駆動信号が印加されることにより、出力軸１がガイド部材２、拘束部材１４に対して動こうとする力が発生する。
【００３４】
図７において、出力軸１は拘束部材１４に押さえつけられ、ガイド部材２の２つの摩擦平面２ｂ、２ｃに沿って移動するように拘束されるため、出力軸１の動きの直進性を高くすることができる。上記の押し付け力は、拘束部材取り付けねじ１３の締め付けの程度により調節することができ、通電時の駆動力、非通電時の出力軸１の保持力や、出力軸１が外力を受けたときに回転するのを防止する能力を高くしたいときは、拘束部材取り付けねじ１３の締め付けを強くすることで達成される。出力軸１の移動速度を速くしたいときは拘束部材取り付けねじ１３の締め付けを弱くすることで達成される。
【００３５】
仕様の一例として本駆動機構で出力軸が出す力を１０Ｎにしようとすると、出力軸１の四つの面の各面で２．５Ｎの力を発生させることになる。後述する本駆動機構に使用する材料と仕上げ条件では、出力軸１とガイド部材２、拘束部材１４の間の動摩擦係数は潤滑剤の有無により変化はあるが、０．１から０．１５になる。２．５Ｎの力を発生させるためには、出力軸１がガイド部材２、押さえ板３５、３６と接触する四つの面の間で２．５Ｎを動摩擦係数０．１５で割った１６．７Ｎ以上の押し付け力が作用する必要がある。この押しつけ力を出すだけの強い力で拘束部材１４はねじ止めされるため、出力軸１の回転など出力方向への移動以外の自由度はなくなっている。
【００３６】
ガイド部材２は本駆動機構を外部の装置に固定するためのインターフェース機能も持つ。図６、７においてガイド部材２にはねじ穴１８が設けられ、ねじ１０によって外部の装置９にガイド部材２をねじ止めすることにより、本駆動機構全体を外部の装置９に固定する。ガイド部材２は本駆動機構の出力軸１の移動の基準となる摩擦平面２ｂ、２ｃを有し、出力軸１は常に摩擦平面２ｂ、２ｃに押し付けられた状態で作動するためガイド部材２を保持することで、精度よく出力軸１の位置決めができ、外部装置は出力軸１に発生す力を正確に対象物に作用させることができる。
【００３７】
出力軸１とガイド部材２、拘束部材１４の接触部で出力軸１を駆動する力が発生するので、力の発生場所であるガイド部材２を本駆動機構全体の保持に使うことで、本駆動機構を動作させたときに外部の装置に加わる回転モーメントを小さくし、外部の装置の変形など外部の装置への影響を少なくすることができる。
【００３８】
またガイド部材２は、本駆動機構の構成部品の中で最も肉厚で、剛性が高く堅牢な部品であるので本駆動機構全体の保持に使用することで、本駆動機構の動作時に、外力による構成部品のひずみの影響からくる性能の低下を防ぐことができる。
【００３９】
図６において出力軸１と圧電素子１２の接合部の近傍で、出力軸１に出力軸１を囲むように板状のストッパー１９が、底板７、カバー５に対して微小な隙間をもって接着されている。ストッパー１９は出力軸１が最も外側に出たときにガイド部材２に当たって出力軸１の動きを止める働きをする。底板には棒状の規制部材２０が接着され、出力軸１が側板４に当たるのを防止する働きをする。図９にストッパー１８が規制部材２０に当たった状態を示す。板状の部品１９は出力軸１と圧電素子１２の両方と接着されるようにして、出力軸１と圧電素子１２の接着を補強するようにしてもよい。
【００４０】
ストッパー１９は出力軸１に強い衝撃などの外力がかかったときに、ガイド部材２近傍を回転中心として出力軸１が回転しようとする動きを、底板７やカバー５に当たることにより規制し、圧電素子１２が底板７やカバー５に当たって壊れるのを防止する。
【００４１】
出力軸１には炭素繊維強化樹脂（CFRP）を使用し、ガイド部材２と拘束部材１４には銅合金やステンレスを使用することで、潤滑剤なしでの使用においても出力軸１とガイド部材２、拘束部材１４の間の摩擦を炭素繊維の自己潤滑性を利用して低く抑え、さらに平面接触により圧力を分散することで、出力軸１がガイド部材２、拘束部材１４に対して外見上動いていない状態でも連続駆動することで、対象物に押し付け力や引張り力を加え続けることのできる力発生機を実現できる。
【００４２】
出力軸１に使用する炭素繊維強化樹脂は、出力軸１が力を出す方向に長繊維の炭素繊維が平行に配向され、ガイド部材２と拘束部材１４との相対的な運動の方向に長く接触領域が確保されるため、滑らかに相対運動をさせる効果を高めている。
【００４３】
図１０は出力位置が中間位置にある本駆動機構のカバー５を外した状態の側面図である。ガイド部材２の側面と側板４の側面にはカバー５をねじ止めするためのねじ穴１８が設けられている。
【００４４】
本駆動機構では、出力軸１の先端にニードルやグリッパー、インジェクターなどの先端ツールを取り付けて作業する際に、先端ツールを正確に操作できるようにする必要があるため、出力軸１がガイド部材２に対して回転しないように構成する。
【００４５】
本駆動機構ではガイド部材２に対して出力軸１が回転しないようにするためと、本駆動機構の特徴の一つである、対象物１５が停止した状態でも対象物１５固有の力で移動する場合でも、押し付け力や引張り力を対象物１５に作用させ続けることのできる力発生器としての機能を実現するために、出力軸１が外見上動いていない状態あるいは出力軸１が対象物固有の力で強制的に移動させられる状態で連続駆動させても、接触部の局所的な摩耗や表面状態が変化することにより性能が劣化するのを防げるよう、出力軸１とガイド部材２、拘束部材１４は精密に仕上げられた平面と平面での摺動をするようする。
【００４６】
本考案の駆動機構は振動子１２のサブミクロンの振幅の振動を用いた駆動機構であるため、出力軸１とガイド部材２、拘束部材１４の摺動面は面間のサブミクロンのすべり相対運動を妨げず、面間の圧力を分散させて局所的な摩耗や表面状態の変化を防止できるレベルの滑らかな面であることが必要である。このため出力軸１とガイド部材２、拘束部材１４の摺動面は研削、ラッピングなどの平面度と面粗さのよい平面が得られる加工法で加工する必要がある。
【００４７】
加工精度は高ければ高いほど面間圧力の分散に有利であるが、本駆動機構は汎用的な機械要素として使用するため現実的な製造コストを考慮して、平面度はガイド部材２、拘束部材１４の一つ一つの摺動面全域にわたって１マイクロメートル以下、面粗さはRａ０．４以下の精度とする。出力軸１はガイド部材２、拘束部材１４の摺動面に対面する部分ごとに平面度が１マイクロメートル以下、面粗さはRａ０．４以下の精度とする。出力軸１の摺動面全体については、局所的な段差やねじれがないように平滑な仕上げをする。
【００４８】
出力軸１とガイド部材２、拘束部材１４は、必要に応じてすり合わせを行い、出力軸１の摺動面とガイド部材２、拘束部材１４の摺動面の密着度を上げるようにしてもよい。本動機構では、出力軸１が微小振動すること、出力軸１とガイド部材２、拘束部材１４の材料が異種材料であること、出力軸１の材料が摺動性のよい材料であることから、摺動面の平面度、面粗さを上げ密着度を上げることで摺動面どうしが吸着するような不具合が起きることはない。
【００４９】
面粗さ測定の基準長は、ガイド部材２、拘束部材１４については、一つの摺動面を横断するほぼ全長とする。出力軸１についてはガイド部材２、拘束部材１４の摺動面に対面する部分部分を横断するほぼ全長とする。
【００５０】
ガイド部材２、拘束部材１４と平面と平面での摺動をさせるために、出力軸１は三角柱以上の多角柱の形状をとる必要がある。
【００５１】
三角柱は面の数が少なく、形状の粗取りでは加工コストを下げられる利点があるが、面と面のなす角が直角でない箇所ができるため、すべての面を加工するときに、ワークの固定角度を精度よく変える作業に手間と時間がかかり、コスト増の要因となる。5軸フライスなどの多軸加工機を使う方法も考えられるが、設備費や加工チャージが大きくなり、少量生産ではコスト増の要因となる。さらに面を研削やラッピングで仕上げる際も、ワークの保持の難しさや2面同時仕上げができないことから、仕上げ加工のコストも大きくなる。また出来上がった部品の面と面のなす角度の測定も直方体と比べて困難になり、コスト増の要因となる。
【００５２】
五角柱以上の多角柱は、三角柱の場合と同じように製作、角度検査が直方体と比べて困難である。摩擦保持をするガイド部材２、拘束部材１４の構成が複雑になり製作も困難になる。また五角柱以上であると三角柱や四角柱とくらべて、断面形状が円に近付いていくため出力軸１の回転、特にロールを防止する作用が働きにくくなる欠点がでてくる。
【００５３】
したがって、出力軸１として使用する多角柱は四角柱がよく、さらに製造コストを下げるために直方体の形状にするのがよい。
【００５４】
直方体でない一般的な四角柱の場合は底面の形状が長方形や正方形でないため、面と面のなす角が直角でない箇所がでてくるため、製作、角度検査が直方体と比べて困難でコスト増の要因となる。またガイド部材２、拘束部材１４の製作コストが上がり、機構の構成が複雑になる。
【００５５】
直方体の出力軸１においては、平面摺動に使われない残りの2面も側面と直角になるため、製作が容易になり、角度検査も容易になる効果がある。
【００５６】
これらの面の一つに振動子１２を固定するが、振動子１２の振動は面の法線方向に加えられため、振動は、出力軸１が自由度を持つ軸の方向に、効率的に加えられ、本駆動機構の効率を上げることができる。振動子１２を固定するのと反対側の面はそのままで出力端としてしようするか、出力部材を固定して使用する。出力端として使用する場合は出力軸１の発生する力の方向に直角の面が出力端となるが、これは物体を押したりするのに適した形状である。
【００５７】
後述するように出力部材を出力軸１の一端に固定して使用する場合も、この面を出力部材の受け面に当てて接着するなど、固定を容易に確実に行え、出力部材の受け面の法線方向が、出力軸１の出す力の方向になるため、出力軸１の出す力が効率的に出力部材に伝達される効果がある。
【００５８】
上記の事情から、低コストで少量生産も可能で、安定した動作が可能なリニアアクチュエータ、力発生機を実現するために、出力軸１の形状を直方体にすることが有効である。
【００５９】
出力軸１の出力端となる面は、対象物１５の形状や必要な圧力の大きさあるいは取り付ける出力部材の形状などに応じて完全な平面ではなく凸部や凹部を持つなどの変形を加えてもよい。出力部材を固定する場合も出力部材の受け面が加工都合上平面にできない場合などは、受け面の加工形状などに応じて変形を加えてもよい。
【００６０】
また直方体のエッジ部は面取りをして、エッジ部の微小な損傷の発生を防いだり、出力軸１と組み合わせるガイド部材２や拘束部材１４のコーナー部のR形状を許容して加工を容易にしたりするようにしてもよい。
【００６１】
出力軸１は拘束部材１４とガイド部材２による押し付け力によって変形しないためと、発生した力を対象物１５に効率的に作用させるために高い剛性を持つ必要がある。また圧電素子１２による加振により出力軸１が効率的に振動できるためと、駆動機構の軽量化のために軽量であることが必要である。さらに拘束部材１４とガイド部材２との接触においてサブミクロンの振幅の相対的な振動を可能にするために、低摩擦の材料であることが必要である。
【００６２】
これらの要求を満たす材料として、炭素繊維強化樹脂が適している。炭素繊維は軽量で弾性係数が高く、摩擦係数も低いため、前記の要求を満たすことができる。炭素繊維は長繊維のものを、出力軸１の出力方向に配向させた出力軸１を用いる。出力軸１が力を出す方向の縦弾性係数が大きくでき、圧電素子１２からの振動が出力軸１に効率よく伝わる。また、炭素繊維が、出力軸１とガイド部材２、拘束部材１４の相対移動方向に配向されるので、繊維の方向に長い距離にわたってガイド部材２、拘束部材１４が接することになり、炭素繊維の潤滑性のよさを有効に活用できる。拘束部材１４とガイド部材２の押し付けに対しては、炭素繊維の配向方向と直角方向の圧力になるが、炭素繊維強化樹脂中の炭素繊維の体積比率を６０％以上にすることにより、必要な圧縮剛性を得ることができる。
【００６３】
出力軸１がガイド部材２、拘束部材１４に対して外見上動いていない状態で連続駆動する場合には、出力軸１とガイド部材２、拘束部材１４は同じ場所でサブミクロンの振幅の微小な相対運動を５KHｚ以上の高周波で繰り返すことになるため、継続的に局所的に発生する摩擦熱の放散も重要になる。
【００６４】
出力軸１の材料として配向性ピッチ系炭素繊維を使用した炭素繊維強化樹脂を使用すると摩擦熱の放散に有利である。配向性ピッチ系炭素繊維は熱伝導率が８０から８００W/m・Kであり、１０W/m・K程度のPAN系炭素繊維よりも高く、摩擦熱を発生場所から出力軸１や出力部材を介して放散し、出力軸１とガイド部材２、押さえ板の接触部が摩擦熱により高温になり、表面状態の劣化から性能劣化につながることを防止する効果が高い。
【００６５】
また配向性ピッチ系炭素繊維は引っ張り弾性率が６４０から９３５ＧＰａ程度あり、ＰＡＮ系炭素繊維の２３０から６５０ＧＰａ程度よりも大きく出力軸の剛性を高め、本駆動機構の性能を上げるのにも有効である。
【００６６】
前述のように、炭素繊維は長繊維のものを用い、出力軸１の出力方向に配向させた炭素繊維強化樹脂を出力軸１として使用する。こうすることにより、摩擦部からの熱と圧電素子１２からの熱を炭素繊維の配向している方向に効率的に拡散させ、連続駆動する場合も熱による性能の低下がないようにすることができる。
【００６７】
後述するように、出力軸１先端に出力部材を取り付けて使用する場合は、出力軸１を伝わってきた熱を出力部材から放散させる効果ももたせることができる。
【００６８】
ピッチ系炭素繊維の一種である等方性ピッチ系炭素繊維は引っ張り弾性率が40GPaまでしかなく、短繊維しかないため出力軸１の剛性を高くすることができないので不適当である。
【００６９】
またガイド部材２を保持部材に使っていることにより、保持部から放散が促進され、性能の劣化を防止する効果が実現されている。
【００７０】
出力軸１のガイド部材２への押し付け力を大きくして出力軸１の出す力を大きくする場合は、潤滑剤を使用することもできる。潤滑剤を使用する場合は強い力で押し付けられた二つの平面に潤滑剤が介在した状態からの起動が必用になる。このような状態からの起動では、潤滑剤の酸化による潤滑剤粘度が増加すると起動がしにくくなる恐れがある。起動を容易にするために耐酸化特性がよく、酸化による粘度増加の少ないパーフルオロポリエーテルやクロロトリフルオロエチレンなどのフッ素系の潤滑油を使用する。潤滑油が酸化して潤滑特性が低下し、振動子の微小振動で励起される出力軸１とガイド部材２、押さえ板間の微小な相対運動が阻害され、起動に障害が起きるのを防ぐことができる。潤滑油は綿棒で出力軸の表面に塗布するなどの方法で使用できる。
【００７１】
増ちょう剤を潤滑油に付加すると増ちょう剤が平面間に強い圧力ではさみこまれ出力軸１とガイド部材２、押さえ板間の微小な相対運動を阻害することになるため、増ちょう剤は使用しない。
【００７２】
出力軸１の出力端は、対象物１５と接触することにより損傷を受けたり、磨耗したりする可能性があり、使用上の問題となる場合がある。また出力端に用途に応じたロッドや、インジェクタ、グリッパーのような先端ツールを取り付ける必要がある場合もある。
【００７３】
出力端の損傷や磨耗を防止したり、アダプターや先端ツールを取り付けたりするために、出力端に出力部材を取り付けた場合について説明する。
【００７４】
図１１は出力部材２１を取り付けた場合の本駆動機構の側面図、図１２は平面図、図１３は底面図、図１４は正面図である。図１１から図１４において、出力部材２１が出力軸１の先端部に取り付けられている。図１３において２２は出力部材取り付けねじである。
【００７５】
出力部材２１は対象物１５との接触で損傷したり磨耗したりしにくく、アダプターや先端ツールの取り付けに適した堅牢性の高い材料を用いる。具体的には金属、セラミック、繊維強化プラスチックなどが適している。出力部材２１にはアダプターや先端ツール取り付け用のねじ穴や植え込みボルトを設けてもよい。図１４において出力部材２１の先端部に、ツール取り付けねじ穴２３が設けられている。
【００７６】
図１５は出力部材２１を取り付けた本駆動機構の側面図において、一部の部品を断面にした図である。断面にした部品にはハッチングを施している。出力部材取り付けねじ２２を締め付けることによって出力部材２１が出力軸１に取り付けられている。出力部材２１は出力軸１と接触する部分で接着することで、結合強度を高くするようにしてもよい。
【００７７】
出力部材２１が取り付けることにより、出力端の損傷や磨耗を防止したり、先端ツールが取り付けやすくなることに加えて、本考案の駆動機構の性能を向上させる効果がある。その効果のひとつは、出力部材２１を取り付けることにより、本考案の駆動機構の発生力を高めることができることである。
【００７８】
もうひとつの効果は、先端ツールを取り付けたときに、先端ツールの質量が出力軸１、圧電素子１２、出力部材２１からなる振動ユニットに追加されることによる振動ユニットの振動特性に対する影響を少なくすることができ、先端ツールを取り付けても、本発明の駆動機構を安定的に動作させることができる効果である。
【００７９】
図１６は出力部材２１の質量を変えたときに、駆動機構の発生力がどう変化するかを測定したグラフである。測定に使用した駆動機構は出力軸１の長さが３０ｍｍ、ガイド部材２と拘束部材１４の出力軸の力を出す方向の長さが１０ｍｍ、圧電素子１２の質量が１．３ｇのものを使用している。グラフの横軸は出力軸１の位置を示す。出力軸１が最も引き込まれた状態を１ｍｍ、最も突き出た状態を１９ｍｍとしている。縦軸は出力軸１が出す押し出し力をフォースゲージで測定した値である。グラフ中に各条件での測定値と近似曲線を記入している。
【００８０】
質量が０のときは出力部材２１をつけない場合であり、発生力も小さく、周波数により特性が変化しやすくなっている。出力部材２１の質量が振動子１２の質量の二倍程度の２．５ｇでは、発生力が小さく力の方向が反対方向になる。出力部材２１の質量を大きくしていくと発生力が大きくなり、５ｇ以上になると発生力が大きくなり、出力軸１の位置による発生力の変動も小さくなる。
【００８１】
このように振動子１２の質量に見合う質量の出力部材２１を取り付けることにより、駆動機構の発生力を高くし、安定的に動作させることができる。測定結果から出力部材２１の質量は振動子１２の四倍以上がよい。この条件では先端ツールを取り付けても本駆動装置を安定的に動作させることができる。
【００８２】
図１７、図１８は出力部材２１に先端ツールとしてグリッパーを取り付けた場合の側面図と正面図である。グリッパーユニット２４はツール取り付けねじ２５により出力部材２１に取り付けられている。グリッパーユニット２４からはグリップ用のアーム２６と駆動信号を供給するリード線２７が２本ずつ出ていて、駆動信号を入力することによりアーム２６を開閉して、対象物をつかんだり、離したりすることができる。対象物をつかんでから本駆動機構を動作させることで、対象物を移動させ、希望の位置で対象物を離すという作業が可能になる。グリッパーユニット２４は電磁コイルによるもの、モーターによるものなど種々のものが利用できる。
【００８３】
図１９は本駆動機構を部品の押し込みや圧入作業に使用する場合の駆動方法を示す。作業は棒状部品２８を穴２９に押し込無作業である。
【００８４】
出力部材には押し込みツール３０がツール取り付けねじ２３によりねじ止めされている。本駆動機構を動作させる前に、穴２９と棒状部品２８と押し込みツール３０の位置を合わせる（Ａの状態）。棒状部品２８は不図示の保持具で穴の上方に位置決めされ、保持されている。本駆動機構は外部の装置により棒状部品２８の上方に位置決めされ、保持されている。
【００８５】
この後、本駆動機構は押す力（ｆ）と引く力（−ｆ）を交互に出力し、対象の棒状部品２８を間欠的な力で押し込んでいく。引く力を出す時間は押す力を出す時間はよりも短く設定され、引く力を出す間に押し込みツール３０がわずかに後退し、押し込みツール３０との間に隙間ができ、次に押す力を出すと押し込みツール３０が棒状部品２８に衝突して押し込んでいく動作が連続し、押し込みや圧入作業をよりなめらかに行うことができる。
【００８６】
本駆動機構を動作させると出力部材２１が所定の力で押し込みツール３０を動かしていき、棒状部品２８は押し込みツールに押されて穴２９の入り口に押し付けられる（Ｂの状態）。本駆動機構を引き続き動作させると棒状部品２８は、穴２９とのはめあいの抵抗力に抗して、穴２９の中ごろまで押し込まれる（Ｃの状態）。本駆動機構の動作を継続すると棒状部品２８は穴２９の底に到達する（Ｄの状態）。押し込み完了後も本駆動機構の動作は継続され、押し込みの完了を確実にして作業が完了する（Ｅの状態）。作業が完了すると本駆動機構の動作を終了する。図１９の下側のグラフは、本駆動機構の出力軸１、出力部材２１、押し込みツール３０が出力する力を示す。
【００８７】
本駆動機構では出力軸１がガイド部材２、拘束部材１４に対して外見上動いていない状態でも連続駆動することができる、エンコーダーやロードセルで対象物の位置や負荷を測定して作業の状態を監視しながら、本駆動装置の出力を制御する必要はなく、使いやすい装置システムが低コストで実現できる。本駆動機構を応用できる作業は押し込みや圧入作業に限られず、所定の引っ張り力が必要な作業、所定の圧力を保持する作業など広い範囲に及ぶ。
【００８８】
図２０はＡの状態からＣの状態まではｆの力で押し続け、その後はＥの状態まで押す力（ｆ）と引く力（−ｆ）を交互に出力し、対象の棒状部品２８を間欠的な力で押し込んでいく例である。このようにすると、棒状部品２８と穴２９の位置合わせ精度が重要で作業の負荷が小さい間は一定の力で押して、棒状部品２８の位置合わせがずれないようにし、棒状部品２８が穴２９に入り込んでからは間欠的に衝撃力を加えることで押し込みを確実にすることができる。
【００８９】
図２１は本駆動装置を曲面へのシート貼り付けに利用する例である。
【００９０】
出力部材２１には押さえローラーツール３１がツール取り付けねじ２３によりねじ止めされている。押さえローラーツールは先端に回転するローラーが取り付けられ、ローラーが回転しながら対象物を押さえていくことができる。シート３２は曲面を持つ台座３３の表面に貼り付けられる。台座の表面には接着剤が塗布され、シート３２が貼り付け位置に仮置きされている。
【００９１】
台座は移動台３４に乗せられ本駆動装置の下方に移動させて停止する（Ａの状態）。本駆動装置を動作させ、出力軸に押しの力を発生させると押さえローラーツール３１はシート３２の端の部分を台座に押さえつける（Ｂの状態）。移動台３４の移動を再開すると、シート３２と台座は押さえローラーに押さえられながら移動し、シート３２が台座に強固に接着されるよう、シート３２の全長にわたって台座に押し付けられる（ＣからＥの状態）。シート全長の押さえつけが完了すると出力軸に−ｆの力を発生させ、押さえローラーはシート３２から離れる（Ｆの状態）。
【００９２】
この作業では、出力軸１は上述したような押し引き交互動作や、一定の力での押しなどの設定された力出力モードで押さえローラーツール３１を対象物に押し付けるが、対象物の凹凸に追従して出力軸１が本駆動装置の側板３から出たり入ったりして位置を変化させる。この動作により対象物に凹凸があっても、対象物に一定のモードでの力を加え続けることができる。この場合も本駆動機構ではエンコーダーやロードセルで対象物の位置や負荷を測定して作業の状態を監視しながら、本駆動装置の出力を制御する必要はなく、使いやすい装置システムが低コストで実現できる。
【００９３】
出力軸１に出力部材２１を取り付けた場合や、出力部材２１に先端ツールを取り付けた場合は、出力軸１が最も突き出した状態で、ガイド部材２、拘束部材１４の外側エッジから出力部材２１や先端ツールの先端までの距離をＳとして、ガイド部材２、拘束部材１４の出力軸１の力を出す方向の長さＬがＳの１０分の１以上の長さに設定するのがよい。
【００９４】
図２２は本駆動機構のガイド部材２の別の形態を示す。この形態では、拘束部材がガイド部材２に一体化されている。ガイド部材２の内径寸法は出力軸１の外形寸法よりもわずかに小さめに作成し、出力軸１を挿入することで、ガイド部材２の押さえ面２ｄ、２ｅにより出力軸１の移動の基準となる摩擦平面２ｂ、２ｃに出力軸１が押し付けられガイド部材２と出力軸１間で摩擦が発生し、出力軸１の出力方向以外の自由度がなくなるように拘束される。
【００９５】
ガイド部材２の一部に溝部２ｆを設け、ガイド部材２の拘束部材に相当する部分を出力軸１に沿いやすくしてもよい。この形態では、出力軸１を挟み込む力を所定の値にするため高精度の加工が必要で、出力軸１との当たり面の加工も難度が高くなるが、部品点数の削減、組み立て工数の削減が可能になる。
【００９６】
図２３に示すように拘束部材を拘束部材１４と押さえ板３５、３６に分割することも可能である。出力軸１は、ガイド部材２と、ガイド部材２に拘束部材取り付けねじ１３でねじ止めされた拘束部材１４、押さえ板３５、３６に挟み込まれた状態で保持されている。
【００９７】
拘束部材１４は先端が曲がっていて、出力軸１との間に挿入された押さえ板３５、３６の摩擦平面３５ａ、３６ａを出力軸１に押し付ける。拘束部材１４は、押さえ板３５、３６と出力軸１の２つの平面との間で摩擦を発生する働きと、出力軸１の残りの２つの平面をガイド部材２の２つの摩擦平面２ｂ、２ｃに押し付けて摩擦を発生する働きと、出力軸１の出力方向以外の自由度を拘束する働きをする。
【００９８】
拘束部材１４と押さえ板３５、３６の接触面は研削やラッピングなど特段の平滑化は施さないため、拘束部材１４と押さえ板３５、３６の間の摩擦力は、押さえ板３５、３６と出力軸１の間の摩擦力より２倍以上大きくなり、本駆動機構を動作させたときに、押さえ板３５、３６と拘束部材１４は相対的に動くことはない。これにより、押さえ板３５、３６と出力軸１との間に発生する力は、出力軸１がガイド部材２に対して動こうとする力に加えて、出力軸１から取り出せる力として有効に利用できる。
【００９９】
仕様の一例として本駆動機構で出力軸の出力を１０Ｎにしようとすると、出力軸１の四つの面の各面で２．５Ｎの力を発生させることになる。出力軸１とガイド部材２、押さえ板３５、３６の間の動摩擦係数は潤滑剤の有無により変化はあるが、０．１から０．１５程度になる。２．５Ｎの力を発生させるためには、出力軸１がガイド部材２、押さえ板３５、３６と接触する四つの面で２．５Ｎを動摩擦係数０．１５で割った１７Ｎ程度以上の押し付け力が作用する必要がある。
【０１００】
拘束部材１４は押さえ板を１７Ｎ以上の力で押さえつけることになり、押さえ板３５、３６と拘束部材端面の間には強い摩擦が発生する。鉄系や銅系合金の材料でこのような接触条件の場合には、摩擦係数は０．５以上になると考えられ、押さえ板３５、３６と拘束部材１４端面の間の摩擦力は８Ｎ以上になる。この摩擦力は押さえ板３５、３６と出力軸１の間で発生する２．５Ｎの力よりもはるかに大きく、押さえ板３５、３６と拘束部材１４は相対的に動くことはない。
【０１０１】
この構成では部品点数が増え、組み立てコストなどコスト増の要因となるが、部品の加工や仕上げが容易になる。
【０１０２】
図７の例と同じように、拘束部材１４とガイド部材２に傾斜面を設け、取り付けねじ１３により拘束部材１４の傾斜面がガイド部材２の傾斜面に押し付けられ、傾斜面の高さの低い側に移動していこうとするようにしてもよい。
【０１０３】
図２４は、ガイド部材２を二体に分けた例である。ガイド部材をガイド部材２とガイド部材３７に分割して作成し、ガイド部材の生産コストを下げることができる。分割したガイド部材はガイド部材結合ねじ３８で結合され一体の部品として機能する。
【０１０４】
図２５は本発明において圧電素子１２を駆動する駆動回路の一例の回路図である。圧電素子１２は回路図中に記載している。回路は３つのブロックに分かれていて、それぞれのブロックを破線の枠で囲んでいる。左上のブロックはパルスジェネレータ、右上のブロックはワンショットマルチバイブレータ、下部のブロックは圧電素子１２の駆動部になっている。以下の回路の説明では圧電素子１２を圧電素子Ｐ１と呼ぶ。
【０１０５】
パルスジェネレータはアナログのコンパレータを利用したもので、抵抗Ｒ１、Ｒ２とコンデンサーＣ１の値に従って一定の周波数とデューティ比のパルスを連続的に出力する。
【０１０６】
図２５においてスイッチＳ１を閉にすると、パルスジェネレータが動作を開始し、圧電素子Ｐ１を駆動する波形の基本周波数を持つパルス波形を発生する。このパルス波形のデューティ比は0.5〜0.99程度が好ましく、圧電素子Ｐ１を急速充電または急速放電するのに十分な時間、波形がゼロレベルになるようにする。
【０１０７】
ワンショットマルチバイブレータは、パルスジェネレータの出力がハイレベルからゼロレベルに変化すると、所定の時間幅のパルスを一つ発生する。パルスの時間幅は抵抗Ｒ３とコンデンサーＣ２の値によって決定される。このパルスの時間幅はパルスジェネレータから出される連続パルス波形のハイレベルの時間よりも小さく設定する。
【０１０８】
圧電素子１２の駆動部はPchのCMOS  FETＱ１、Ｑ２とNchのCMOS  FETＱ３、Ｑ４からなるブリッジ回路に、圧電素子Ｐ１を低速で充電または放電させるための抵抗Ｒ４と、本駆動機構の動作方向を切り替えるための方向切換スイッチＳ２を付加したものである。
【０１０９】
図２６は駆動回路中のA点からＥ点における、電圧波形の説明図である。
【０１１０】
パルスジェネレータからの出力波形は図２６中のA点の波形となり、図２５の圧電素子１２駆動回路の左側のPch  FETＱ１とNch  FETＱ３のゲートに入力される。ワンショットマルチバイブレータからはパルスジェネレータの出力がハイレベルからゼロレベルに変化するときに抵抗Ｒ３とコンデンサーＣ２の値によって決定される時間幅のパルスが出力される。ワンショットマルチバイブレータの出力は圧電素子１２駆動回路の右側のPch  FETＱ２とNch  FETＱ４のゲートに入力される。
【０１１１】
パルスジェネレータからの出力がハイレベルからゼロレベルに変化すると、Pch  FETＱ１がオンになり、Nch  FETＱ３がオフになる。このときにワンショットマルチバイブレータからの出力はゼロレベルからハイレベルに変化するためNch  FETＱ４がオンになり、Pch  FETＱ２がオフになる。圧電素子Ｐ１はPch  FETＱ１とNch  FETＱ４を通じて、電源電圧Vで急速に充電される。
【０１１２】
パルスジェネレータからの出力は、圧電素子Ｐ１の急速充電が完了するのに十分な時間が経過すると、ゼロレベルからハイレベルに変化するようにデューティ比が設定されている。パルスジェネレータからのの出力がゼロレベルからハイレベルに変化すると、Pch  FETＱ１がオフになり、Nch  FETＱ３がオンになる。
【０１１３】
急速充電されていた圧電素子Ｐ１の電荷は抵抗Ｒ４とNch  FETＱ３を通して放電を開始するが、抵抗Ｒ４が介在しているため緩やかに放電が行われる。ワンショットマルチバイブレータからのパルスは、パルスジェネレータ出力の１周期の半分程度のあいだハイレベルであり、この間に圧電素子１２が放電するように抵抗Ｒ４の値は設定されている。
【０１１４】
ワンショットマルチバイブレータの出力がハイレベルからゼロレベルに変化すると、Pch  FETＱ２がオンになり、Nch  FETＱ４がオフになる。これにより圧電素子Ｐ１はPch  FETＱ２、抵抗Ｒ４、Nch  FETＱ３を通して逆極性での充電が開始される。このときも抵抗Ｒ４が介在しているため緩やかに充電が行われる。ワンショットマルチバイブレータの出力はパルスジェネレータ出力の１周期の半分程度のあいだゼロレベルであり、この間に圧電素子１２の逆極性での充電が完了する。
【０１１５】
パルスジェネレータから出される連続パルスの１周期の時間が経過するとパルスジェネレータの出力はふたたびハイレベルからゼロレベルに変化し、再びPcn  FETＱ１がオン、Nch  FETＱ３がオフになる。このときにワンショットマルチバイブレータからの出力も再びゼロレベルからハイレベルに変化するためNch  FETＱ４がオンになり、Pch  FETＱ３がオフになる。以下、上記の回路動作が繰り返されることにより圧電素子１２は時間的に非対称な電圧波形で駆動され、本発明の駆動機構が力発生機やリニアアクチュエータ、電動シリンダーとして動作する。
【０１１６】
パルスジェネレータからの波形の1周期分だけ、本発明の駆動機構を動作させることも可能である。このときには、パルスジェネレータのブロックを修正してワンショットマルチバイブレータとして動作させればよい。
【０１１７】
スイッチＳ２は、ブリッジ回路のなかで圧電素子Ｐ１の接続を逆にするスイッチで、このスイッチを切り替えることにより本発明の駆動機構の動作方向、力を出す方向を切り替えることができる。スイッチＳ２を設けるかわりに、電子的なスイッチ素子と抵抗の追加と駆動波形の調整で方向の切り替えをすることもできる。
【０１１８】
図２６においてAはパルスジェネレータからの出力であり、ブリッジ回路の左半分のPch  FETＱ１とNch  FETＱ３のゲートに入力される。Bはワンショットマルチバイブレータの出力で、ブリッジ回路の右側のPch  FETＱ２とNch  FETＱ４のゲートに入力される。Cは圧電素子Ｐ１の一方の電極の電圧で、Dは圧電素子１２のもう一方の電極の電圧である。EはNch  FETＱ３のソース電圧である。
【０１１９】
D-Cは圧電素子１２の二つの電極間の電圧を計算したもので、圧電素子Ｐ１が＋Vから-Vの電圧範囲で急速放電と緩やかな充電をされていることがわかる。
【０１２０】
駆動回路により圧電素子Ｐ１が非対称な電圧波形で駆動されると、圧電素子Ｐ１は伸縮運動をする。この伸縮運動は伸びと縮みの速度が異なるため、出力軸１には非対称な加振が行われ、出力軸１がガイド部材２、拘束部材１４に対して動こうとする力が発生し、対象物を移動させたり、対象物が駆動機構の発生する力では動かない場合や駆動機構の発生力に抗して出力軸１を動かす場合にも、対象物に力を加え続けたりすることができる。
【符号の説明】
【０１２１】
１  出力軸
２  ガイド部材
３  側板
４  側板
５  カバー
７  底板
９  外部の装置
１１  リード線
１２  圧電素子
１４  拘束部材
１５  対象物
１９  ストッパー
２０  規制部材
２１  出力部材
２３  ツール取り付けねじ穴
３０  押し込みツール
３２  押さえローラーツール
３５  押さえ板
３６  押さえ板
【図１】
2020054228.tif 000003
【図２】
2020054228.tif 000004
【図３】
2020054228.tif 000005
【図４】
2020054228.tif 000006
【図５】
2020054228.tif 000007
【図６】
2020054228.tif 000008
【図７】
2020054228.tif 000009
【図８】
2020054228.tif 000010
【図９】
2020054228.tif 000011
【図１０】
2020054228.tif 000012
【図１１】
2020054228.tif 000013
【図１２】
2020054228.tif 000014
【図１３】
2020054228.tif 000015
【図１４】
2020054228.tif 000016
【図１５】
2020054228.tif 000017
【図１６】
2020054228.tif 000018
【図１７】
2020054228.tif 000019
【図１８】
2020054228.tif 000020
【図１９】
2020054228.tif 000021
【図２０】
2020054228.tif 000022
【図２１】
2020054228.tif 000023
【図２２】
2020054228.tif 000024
【図２３】
2020054228.tif 000025
【図２４】
2020054228.tif 000026
【図２５】
2020054228.tif 000027
【図２６】
2020054228.tif 000028