(57)【要約】      （修正有）【課題】湾曲した基板を、可能な限り互いに平行になるように積層して、収納できる基板カセットを提供する。【解決手段】特にウエハのような、互いに積層された多くの基板（３２）を収容する基板カセット（１０）は、第１側面（１４）と、第１側面（１４）に平行な第２側面（１６）とを含むハウジングを有する。少なくとも細長い第１サポート（２０）は、両側面（１４、１６）の間のハウジングの中の基板のために提供される。サポート（２０）は、第１側面（１４）から少なくとも部分において離れる。第１側面（１４）は、少なくとも１つの第１サポート（２０）に最も近い。【選択図】図２
2020167374.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
特にウエハのような、互いに積層された多くの基板（３２）を収納する基板カセット（１０）であって、第１側面（１４）と、第１側面（１４）に平行な第２側面（１６）とを含むハウジングを含み、少なくとも細長い第１サポート（２０）が、両側面（１４、１６）の間のハウジング（１２）の中の基板のために提供され、サポート（２０）は第１側面（１４）から少なくとも一部分において離れ、第１側面（１４）は少なくとも１つの第１サポート（２０）に最も近い基板カセット（１０）。
【請求項２】
第２側面（１６）の上に、少なくとも第２サポート（２２）が、少なくとも１つの第１サポート（２０）の高さに配置され、それぞれの場合、スロット（１８）は、少なくとも１つの第１サポート（２０）および少なくとも１つの第２サポート（２２）の１つのより規定される請求項１に記載の基板カセット（１０）。
【請求項３】
少なくとも１つの第２サポート（２２）は、第２側面（１６）から距離を隔て、または特に第２側面（１６）の上に直接成型されたような、第２側面（１６）と直接接触するサポートレール（２４）である請求項２に記載の基板カセット（１０）。
【請求項４】
互いに積層されて配置された多くのスロット（１８）が提供され、特に互いに積層されて配置された多くのスロット（１８）のサポート（２０、２２）は最大で５０ｍｍの間隔を隔て、特に５ｍｍから３０ｍｍの間隔を隔てる請求項２または３に記載の基板カセット（１０）。
【請求項５】
スロット（１８）の第１サポート（２０）および／または第２サポート（２２）と、それぞれに最も近い側面（１４、１６）との間の距離は、２５ｍｍから４０ｍｍまでの大きさおよび／または最大で基板（３２）の直径の半分の大きさである請求項２〜４のいずれかに記載の基板カセット（１０）。
【請求項６】
少なくとも１つの第１サポート（２０）および／または少なくとも１つの第２サポート（２２）は、サポート線またはサポート領域（２６）を含む請求項１〜５のいずれかに記載の基板カセット（１０）。
【請求項７】
少なくとも１つの第１サポート（２０）および／または少なくとも１つの第２サポート（２２）は、側面（１４、１６）に対して平行に延び、または所定の鋭角で延びる請求項１〜６のいずれかに記載の基板カセット（１０）。
【請求項８】
少なくとも１つの第１サポート（２０）および／または少なくとも１つの第２サポート（２２）は、サポート（２０）から第１側面（１４）まで、または第２側面（１６）まで延びるサポートアーム（２８）の上に適宜提供される請求項１〜７のいずれかに記載の基板カセット（１０）。
【請求項９】
サポートアーム（２８）は、特にねじ止めにより、第１側面（１４）または第２側面（１６）に適宜取り付けられる請求項８に記載の基板カセット（１０）。
【請求項１０】
サポートアーム（２８）の少なくとも一部は、平面図において、第１サポート（２０）と、基板カセット（１０）の前面または後面との間の挿入方向の領域に延びる請求項８または９に記載の基板カセット（１０）。
【請求項１１】
サポートアーム（２８）は、三角形のベース領域（３０）を有する請求項８〜１０のいずれかに記載の基板カセット（１０）。
【請求項１２】
サポート（２０）は、基板カセット（１０）のサポートアーム（２８）の搭載位置で、サポートアーム（２８）の最も高い領域である請求項８〜１１のいずれかに記載の基板カセット（１０）。
【請求項１３】
多くのサポートアーム（２８）が提供され、サポートアーム（２８）は、特にサポート櫛の形状のような、一片として設計される請求項８〜１２のいずれかに記載の基板カセット（１０）。
【請求項１４】
サポート（２０）は、側面（１４）および／またはサポートアーム（２８）に対して高さが調整可能である請求項１〜１３のいずれかに記載の基板カセット（１０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特にウエハのような、多くの基板を重ねて収納するための基板カセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
互いに積層された基板を収納するための基板カセットは公知である。そのような基板カセットは、通常、複数のスロットを有し、１つの基板は、それぞれのスロットに収納できる。公知の基板カセットは、平坦な基板の収納に特に適している。しかしながら、もし基板が湾曲していた場合、いくつかの例では、それらは、基板カセットのスロット中の決められた位置に安定して配置することができない。多重に湾曲した場合は、安定して支持することは特に困難である。多重に湾曲した基板の形状は、ポテトチップの形状に類似する。ポテトチップの形状に類似した湾曲を有する場合、２つの基板の間の距離は、基板カセット中での基板の回転位置に応じて変化し、これは、特にスロットからランダムに取り出す必要がある場合に、基板の取り出しを困難にする。
【０００３】
しかしながら、基板カセットの所定の位置に、可能な限り互いに平行になるように基板を収納することが必要となる。これは、エンドエフェクタの手段により基板を取り出す場合、基板に潜在的なダメージを与えるエンドエフェクタと基板との間の衝突を無くすための唯一の方法である。
【０００４】
それゆえに、本発明の目的は、湾曲した基板を、可能な限り互いに平行になるように積層して、収納できる基板カセットを提供することである。
【発明の概要】
【０００５】
この目的は、本発明により、第１側面と、第１側面に平行な第２側面とを含むハウジングを備えた、互いに積層された多くの基板、特にウエハを収納するための基板カセットの手段により達成される。ここで、少なくとも細長い第１サポートが、両側面の間のハウジング中に基板のために提供され、サポートは第１側面から少なくとも部分において離れ、第１側面は、少なくとも１つの第１サポートに最も近い。特に、第１サポートは、第２側面より、第１側面により近く配置される。
【０００６】
第１サポートは、それゆえに、第１側面には隣接せず、基板は、第１サポートによりその外側のエッジの上には支持されず、基板の外側のエッジから所定の距離の領域で支持される。これは、第１サポートとハウジングの第１側面との間に配置された基板の領域が、露出し、第１サポートと接触しないことを意味する。このように、多重に湾曲した基板は、全総数が少なくとも３つの支持点で支持できる。この方法では、湾曲や多重湾曲があっても、多くの基板を互いに平行に積層することが可能になり、理想の位置からの逸脱は最小になる。さらに、基板カセットに配置された基板は、このように、光バリアの手段により検出できる。
【０００７】
側面は、連続したパネル領域を含むサイドパネルとして設計される。しかしながら、少なくとも１つの側面が連続したパネル領域を有さないこと、および／または例えばフレームとして設計されることも考えられる。これは、基板カセットの作製において材料の節約を可能にする。
【０００８】
ハウジングは、１つの片として作製されても、多くの独立した成分を用いて組み立てられてもよい。このように、ハウジングは、ハウジングカバーの形態の上面、および／または両側面に加えて、中間の横木を含んでも良い。特に、ハウジングは、射出成型された部分でも良い。
【０００９】
中間の横木の代わりに、ハウジングは、また、両側面を接続する接続パネルを含んでも良い。
【００１０】
基板は、例えば４５０ｍｍまでの直径を有するウエハ、特に３００ｍｍまでの直径を有するウエハ、好適には５０ｍｍと２００ｍｍとの間の直径を有するウエハであることが好ましい。基板の湾曲は、特に基板の最も大きな湾曲を有する領域は、１０ｍｍまでの量であり、即ち基板の最も高い点と、基板の最も低い点との間の、基板の軸方向の距離は、１０ｍｍまでの量でも良い。最大の湾曲は、４５０ｍｍ以上の直径を有する基板の場合、より大きくても良い。
【００１１】
第２側面上では、少なくとも第２サポートは、少なくとも１つの第１サポートの高さに配置され、おのおのの場合、スロットは少なくとも１つの第１サポートと少なくとも１つの第２サポートにより規定される。このように、基板カセットの中に基板が配置された場合、基板は、第１サポートおよび第２サポートの手段により安定して支持される。
【００１２】
少なくとも１つの第２サポートは、例えば、第２側面から離れて配置され、または第２側面と直接接触するサポートレールであり、特に第２側面の上に直接成型される。第１の場合、第２サポートは、第１サポートに対して鏡面反転して設計される。この場合、基板カセット中に多重に湾曲した基板がある場合、基板とスロットとの間に４つの支持点がある。第２の場合、サポートが第２側面の上に直接配置したサポートレールであれば、多重に湾曲した基板に対して３つの支持点となり、これにより支持される基板を特に安定して支持できる。正確に３つの支持点の存在は、基板が、基板カセットの中で傾斜し、または固定されないという長所を有する。支持点は、好適には、同じ高さに配置される。
【００１３】
具体例によれば、互いに重なって配置された多くのスロットが提供され、特に互いに重なって配置されたスロットのサポートは、最大で５０ｍｍの間隔を隔て、特に５ｍｍから３０ｍｍの間隔である。結果として、可能な限り多くの基板が、基板カセットの中に収納できる。スロットの間のそのような間隔を選択することは、多くの困難なく、エンドエフェクタの手段により、基板カセットへの搬入または搬出を可能にする。
【００１４】
スロットの第１サポートおよび／または第２サポートとそれぞれの最も近い側面との間この距離は、例えば、２５ｍｍから４０ｍｍの大きさ、および／または最も大きくて基板の直径の半分と同じ大きさである。この方法では、基板をより不安定に支持することになる、非常に小さい第１サポートと第２サポートとの間の距離は、避けることができる。
【００１５】
少なくとも１つの第１サポートおよび／または少なくとも１つの第２サポートは、サポート線またはサポート領域を含み、特にサポート線またはサポート領域は全体のサポートを形成する。サポート線またはサポート領域は、それに沿って基板がサポートに接触する線／領域をいう。この目的のために、例えば、サポート線は、直線として設計され、またはサポート領域は平面の上に設計される。サポート線またはサポート領域を形成することにより、スロットの方向に沿った異なった場所で基板をサポートの上に保持できる。
【００１６】
具体例では、少なくとも１つの第１サポートおよび／または少なくとも１つの第２サポートは、側面に対して平行または鋭角に延びる。少なくとも１つのサポートのエッジ、またはサポート線が、側面に対して平行または鋭角に、特に１０°までの角度で延びることを意味すると理解される。これにより、エンドエフェクタは、基板カセット中のサポートに対して平行または実質的に平行に移動できる。この方法では、基板の取り扱いまたは輸送が、エンドエフェクタを用いて単純化される。
【００１７】
少なくとも１つの第１サポートおよび／または少なくとも１つの第２サポートは、例えば、サポートから第１側面または第２側面まで適宜延びるサポートアームの上に設けられる。特に、サポートは、サポートアームによってのみ支持される。サポートアームの使用により、基板カセットの所定の位置にサポートを配置することが可能になる。サポートは、サポートアームにより、基板の重さで下方に曲がらないように、安定して支持される。特に、サポートは固く設計される。
【００１８】
上方から見た場合、サポートアームのベース領域は、サポートの領域より広くても良い。サポートは比較的小さな領域、特に狭い領域なので、もしサポートアームのベース領域が、安定した位置にサポートを維持するためにより大きい場合に有利である。サポートの領域より大きなサポートアームのベース領域を有することにより、サポートの領域は、これにより特に小さく保たれ、この結果、基板カセット中の所定の位置に基板の配置を可能にする。
【００１９】
サポートアームは、第１側面または第２側面に適宜、特にねじ止めで取り付けられる。これにより、基板カセット中で後パネルおよび／または前パネルを用いた分配が可能になる。特に、基板カセットの後側面および／または前側面は、完全に開くことができる。
【００２０】
サポートアームの少なくとも一部は、基板カセットの第１サポートと後側面または前側面との間に、スロットの方向に上から見た領域に延びることができる。例えば、サポートは、その前端を有するサポートアームと、特に基板カセットの後側面に面した前端の上で、隣り合う。これにより、基板カセットから基板を取り出すまたは基板を配置するエンドエフェクタの操作に対する妨害が除去できる。
【００２１】
自由空間は、サポートとサポートに最も近い側面との間に提供されるのが好ましい。これにより、基板は湾曲した基板の場合に、サポートの側面の上で下方に向かって、特にサポートと最も近い側面との間の領域で、延びることができる。
【００２２】
具体例では、サポートアームは、三角形のベース領域を有し、特に、ベース領域はサポートアームの自由端に向かって細くなる。これにより、サポートアームは、必要な安定性を有し、同時に軽量となる。特に、サポートアームのそのような形状は、サポートアームまたはサポートのみが、サポートアームの重さの結果としてサポートアームの自由端に向かって下方に傾斜するのを防止する。
【００２３】
サポートは、好適には、基板カセット中のサポートアームの搭載された位置で、サポートアームの最も高い領域であることが好ましい。これは、基板が、サポートアームの他の領域ではなく、サポートの上に実際に保持されるのを確実にする。
【００２４】
多くのサポートアームが提供された場合、サポートアームは、１つの片として、特にサポート櫛の形状に組み合わされても良い。これにより、組み立て中の取り扱いが簡単になり、組み立てに必要な仕事が大幅に低減される。
【００２５】
様々な形成された基板のために基板カセットを柔軟に使用できるために、サポートは、側面および／またはサポートアームに対して高さが調整可能なことが好ましい。
【００２６】
本発明の追加の長所および特徴は、以下の記載および参照される一連の図面から分かるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明にかかる基板カセットの等角図を示す。
【図２】図１の基板カセットの断面図を示す。
【図３】図１の基板カセットの他の等角図を示す。
【図４】図２の断面図に直交する断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
図１は、互いに積層された多くの基板、特にウエハを収納するための基板カセット１０を示す。
【００２９】
基板カセット１０は、第１側面１４と、第１側面１４に平行な第２側面１６とを含むハウジング１２を有し、それらの側面は、それぞれ連続したサイドパネルにより形成される。サイドパネルは、基板カセット１０の上面１７にねじ止めされる。しかしながら、基板カセット１０のハウジング１２が、射出成型により一体として作製されることは想像できる。
【００３０】
側面１４、１６を互いに安定に支持するために、側面１４、１６に接続され、第１側面１４から第２側面１６まで側面１４、１６の下端の上に延びる中間の横木１９が設けられる。中間の横木１９は、さらに、システム中で基板カセット１０の存在を検出するセンサの取り付けまたは操作のために使用されても良い。
【００３１】
中間の横木１９は、独立した部分として作製されても、またはハウジング１２の一部分として設計されても良い。
【００３２】
基板カセット１０は、さらに、同じ高さの少なくとも１つの第１サポート２０および少なくとも１つの第２サポート２２によりそれぞれが規定された複数のスロット１８を含む。サポート２０、２２は、これによりハウジング１２の中に配置される。１つの基板は、スロット１８毎に、基板カセット１０の中に収納され、基板は、基板カセット１０の表側からスロット１８の中に導入される。
【００３３】
サポート２０は、その機械的な取り付けにかかわらず、単にサポート領域またはサポート線を意味すると理解される。
【００３４】
図１で見られるが、図２により良く見られるように、示された具体例では、第１サポート２０は、細長く、第１側面１４に平行に延びる。この目的を達成するために、サポート２０は比較的狭く設計され、例えば、幅は最大で２ｍｍである。
【００３５】
さらに、第１サポート２０は、第１側面１４から部分的に少なくとも間隔を隔て、第１側面１４は第１サポート１０に最も近く、即ち、第１サポート２０は、第２側面１６より第１側面１４に近い。
【００３６】
それぞれの場合、第２サポート２２は、第２側面１６と直接接続されるサポートレール２４により形成される。特に、サポートレール２４は、第２側面１６の上に成型されてもよい。代わりに、第２サポート２２は、第１サポート２０に対して鏡面対象として設計されても良い。
【００３７】
多くのスロット１８を形成するために、多くの第１サポート２０と多くの第２サポート２２が互いに重なって整列するように、ハウジング１２中に配置され、特に、５０ｍｍの最大距離を隔てて、例えば５ｍｍから３０ｍｍの間隔を隔てて、配置される。
【００３８】
サポートアーム２８が分離して取り付けられたように設計されずに、多くのまたは全てのサポートアーム２８が、１つの片から形成され、特に、サポート櫛の形に形成されることも考えられる。
【００３９】
サポートアーム２８は、この場合サポート歯を形成する。サポート歯の数は、これにより、対向する側面１６上に成型された第２サポート２２の数と同じであろう。
【００４０】
図２は、基板カセット１０を横切る断面図であり、第１サポート２０の形態および位置を、図１より明確に示すものである。
【００４１】
図２から見られるように、第１サポート２０は、具体例に示されるように、第１側面１４に平行に延びるサポート領域２６により実現される。
【００４２】
図示するように、基板３２の外形は、図２に破線で示されている。
【００４３】
第１サポート２０から第１側面１４までの距離は、例えば２５ｍｍから４０ｍｍである。  第１サポート２０から第１側面１４までの距離は、最も大きくても、基板３２の直径の半分までである。
【００４４】
第１サポート２０を所定の場所に配置するために、第１サポート２０は、第１サポート２０から第１側面１４に延びるサポートアーム２８の上に設計される。
【００４５】
サポートアーム２８は、今度は、特にねじ止めにより、第１側面１４の上に取り付けられる。これにより、サポートアーム２８は、取り付け部の領域中に、特に第１側面１４と隣接したサポートアーム２８の領域で、残りの領域中より大きく設計される。
【００４６】
サポートアーム２８は、例えば射出成型部分であり、特にプラスチックから形成される。
【００４７】
もし、基板カセット１０中に挿入された場合、サポート２０自身は、サポートアーム２８の最上部である。これにより、基板３２は、いつも、基板カセット１０中のサポートの上に乗る。さらに、これは、サポート２０と最も近い側面１４の間に自由空間を形成する。
【００４８】
図２から分かるように、サポートアーム２８のベース領域３０は、サポート２０の領域より広い。
【００４９】
特に、サポートアーム２８は、三角形のベース領域３０を有する。この場合、ベース領域３０は、サポートアーム２８またはサポート２０の自由端に向かう方向に、点になるように細くなる。結果として、サポートアーム２８は、全体として特に安定であり、特に、サポートアーム２８の自重は、有利に分散される。この重量分散の目的は、基板カセット１０中で可能な限り水平にサポート２０を配置し、サポートアーム２８の自重により自由端に向かって下がらないようにすることである。
【００５０】
示された具体例は、サポートアーム２８を設計するために多くの考え得る可能性のうちの１つのみを示す。第１側面１４に向かった短い足を備える、殆ど一定に延びたＬ形状を有するレールのようなサポートアームであって、サポート２０が長い足の上部先端の上に形成されるサポートアームを設計することも、考え得る。
【００５１】
図３は、他の等角図の基板カセット１０を示し、基板カセット１０の裏側を見ることができる。
【００５２】
この図から、多くのスロット１８を形成するために、多くのサポート２８は、特に互いに直接接続されるように、ハウジング１２中に直接積層されて配置されることが明らかである。
【００５３】
第１サポート２０と第２サポート２２との双方がサポートアーム２８の上に形成された場合、サポート２０、２２は、側面１４、１６に対して、および／またはサポートアーム２８に対して、高さが調整可能であることも考え得る。もしサポートアーム２８が、単体のサポート櫛の上に成型された場合も同じである。
【００５４】
図４は、図２の断面に対して直交する断面を示し、特にスロットの方向に直交する断面を示す。
【００５５】
この描写では、スロット１８は、サポート２０、２２の上に乗せられた基板により占領される。
【００５６】
基板３２は、基板３２の外縁３４まで所定の距離に、第１サポート２０を用いて支持される。
【００５７】
これに比べて、基板３２は、その外側のエッジ２２を用いて、第２サポート２２の上に配置される。この方法では、平坦な基板３２と湾曲した基板３２が、信頼して互いに平行に支持される。
【００５８】
図４中の基板３２の描写は、写実的に正確である必要は無く、単に一例として提供される。さらに、多くの異なるように形成された基板３２は、図４中のスロット１８中にそれぞれ描かれる。しかしながら、実際は常に、１つのスロット１８は１つの基板３２によって占められる。
【図１】
2020167374.tif 000003
【図２】
2020167374.tif 000004
【図３】
2020167374.tif 000005
【図４】
2020167374.tif 000006
【外国語明細書】
2020167374.tif 000007
2020167374.tif 000008
2020167374.tif 000009
2020167374.tif 000010
2020167374.tif 000011
2020167374.tif 000012
2020167374.tif 000013
2020167374.tif 000014
2020167374.tif 000015
2020167374.tif 000016
2020167374.tif 000017
2020167374.tif 000018
2020167374.tif 000019
2020167374.tif 000020