(57)【要約】      （修正有）【課題】貫通孔の長さを確保し気密性を向上させたモータおよびディスク駆動装置を提供すること。【解決手段】ディスク駆動装置用のモータ１であって、静止部は、複数のコイルが中心軸９を中心として環状に配置されたステータユニット３０と、ステータユニットの下側に位置するベース部４０と、を有し、ベース部は、回転部、軸受部およびステータユニットを収容する内部空間を構成するハウジングの一部であり、ベース部は、コイルから引き出されたリード線３３を、ハウジングの内部空間から外側へと導く貫通孔４３を有し、貫通孔は、接着剤４５が充填されているとともに、軸方向下側に向かって傾斜する傾斜孔を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
静止部と、
前記静止部に取り付けられた軸受部と、
前記軸受部を介して、前記静止部に対して中心軸を中心として回転可能に支持される回転部と、
を備えるディスク駆動装置用のモータであって、
前記静止部は、
複数のコイルが前記中心軸を中心として環状に配置されたステータユニットと、
前記ステータユニットの下側に位置するベース部と、
を有し、
前記ベース部は、
前記回転部、前記軸受部および前記ステータユニットを収容する内部空間を構成するハウジングの一部の一部であり、  
前記ベース部は、
前記コイルから引き出されたリード線を、前記ハウジングの前記内部空間から外側へと導く貫通孔を有し、
前記貫通孔は、
接着剤が充填されているとともに、軸方向下側に向かって傾斜する傾斜孔を有する、モータ。
【請求項２】
請求項１に記載のモータであって、
前記傾斜孔は、
軸方向下側に向かって径方向に延びる、モータ。
【請求項３】
請求項１に記載のモータであって、
前記傾斜孔は、
軸方向下側に向かって周方向に延びる、モータ。
【請求項４】
請求項１に記載のモータであって、
前記貫通孔は、
前記内部空間に開口する上側開口と、
前記ベース部の前記外側の空間に開口する下側開口と、を有し、
軸方向から見て、前記上側開口と前記下側開口が重なっていない、モータ。
【請求項５】
請求項１に記載のモータであって、
前記貫通孔は、
前記内部空間に開口する上側開口と、
前記ベース部の前記外側の空間に開口する下側開口と、を有し、
軸方向から見て、前記上側開口の一部と前記下側開口の一部とが重なっている、モータ。
【請求項６】
請求項２または請求項３に記載のモータであって、
複数の前記コイルは、３相からなるコイル群により構成され、
前記コイル群は、それぞれの相から、それぞれ１つの前記リード線を有し、
前記ベース部は、前記貫通孔を３つ有し、
１つの前記リード線が、１つの前記貫通孔に、挿通されるとともに、
３つの前記貫通孔が、周方向に沿って設けられる、モータ。
【請求項７】
請求項３に記載のモータであって、
複数の前記コイルは、３相からなるコイル群により構成され、
前記コイル群は、それぞれの相から、それぞれ１つの前記リード線を有し、
前記ベース部は、前記貫通孔を３つ有し、
１つの前記リード線が、１つの前記貫通孔に、挿通されるとともに、
３つの前記貫通孔が、径方向に沿って設けられる、モータ。
【請求項８】
請求項２に記載のモータであって、
前記貫通孔は、
前記傾斜孔よりも軸方向上側において、軸方向に延びる直線孔を有する、モータ。
【請求項９】
請求項１から請求項８までのいずれか１項に記載のモータであって、
前記ベース部は、
前記第１開口よりも径方向外側において、軸方向下側へ窪む凹部を有し、
前記回転部は、
前記ステータユニットと径方向に対向するマグネットを有するロータハブを有し、
前記ロータハブは、
前記マグネットの径方向外側を覆う側壁部と、
前記側壁部の軸方向下端から径方向外側へ延びるフランジ部と、を有し、
前記フランジ部の少なくとも一部は、前記凹部に位置する、モータ。
【請求項１０】
請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載のモータと、
前記ハウジングの前記内部空間において、前記回転部に支持されるディスクと、
前記ディスクに対して情報の読み出しおよび書き込みの少なくとも一方を行うアクセス部と、
を有するディスク駆動装置であって、
前記内部空間には、空気よりも低密度の気体が充填されている、ディスク駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータおよびディスク駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ハードディスクドライブ等のディスク駆動装置が知られている。ディスク駆動装置には、ディスクを回転させるためのモータが搭載されている。従来のディスク駆動装置に搭載されたモータについては、例えば、特開２０１８―０７３４４４号公報に記載されている。当該公報では、ベースプレートの貫通孔の内周面と貫通孔に挿通される導線とが接触し、この接触部分に封止剤が流れ込まないことによって、ヘリウム等の気体を充填したハードディスクドライブの気密性が低下することを課題とした発明が開示されている。  
【特許文献１】特開２０１８―０７３４４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特開２０１８―０７３４４４号公報に記載のディスク駆動装置では、仮に、貫通孔の内周面と導線とが接触しなかったとしても、貫通孔の長さが短ければ、ヘリウム等の密度が小さい気体の場合、その気体が封止剤を透過して漏れる可能性が有る。
【０００４】
このような問題を鑑みて、本発明の目的は、モータおよびディスク駆動装置において、貫通孔の長さを確保し気密性を向上させたモータおよびディスク駆動装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明の例示的な第１実施形態であるータは、静止部と、静止部に取り付けられた軸受部と、軸受部を介して、静止部に対して中心軸を中心として回転可能に支持される回転部と、を備えるディスク駆動装置用のモータであって、静止部は、複数のコイルが中心軸を中心として環状に配置されたステータユニットと、ステータユニットの下側に位置するベース部と、を有し、ベース部は、回転部、軸受部およびステータユニットを収容する内部空間を構成するハウジングの一部の一部であり、ベース部は、コイルから引き出されたリード線を、ハウジングの内部空間から外側へと導く貫通孔を有し、貫通孔は、接着剤が充填されているとともに、軸方向下側に向かって傾斜する傾斜孔を有する。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の例示的な第１実施形態によれば、貫通孔が傾斜孔を設けることによって、ディスク駆動装置内部の気密性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図１は、本発明の例示的な第１実施形態のディスク駆動装置の断面図である。
【図２】図２は、図１のモータの一部を拡大した断面図である。
【図３】図３は、図１のベース部を上面側から視た平面図である。
【図４Ａ】図４Ａは、図１の貫通孔付近の拡大図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、図１の貫通孔付近の拡大図である。
【図５】図５は、本発明の例示的な第２実施形態のモータの一部を拡大した断面図である。
【図６】図６は、本発明の例示的な第３実施形態のベース部を上面側から視た平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の例示的な第１実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本発明では、モータの中心軸と平行な方向を「軸方向」、モータの中心軸に直交する方向を「径方向」、モータの中心軸を中心とする円弧に沿う方向を「周方向」、とそれぞれ称する。また、本発明では、軸方向を上下方向とし、ベース部に対してステータユニット側を上として、各部の形状や位置関係を説明する。ただし、この上下方向の定義により、本発明に係るモータ、およびディスク駆動装置の使用時の向きを限定する意図はない。
【０００９】
また、本発明において「平行な方向」とは、略平行な方向も含む。また、本発明において「直交する方向」とは、略直交する方向も含む。
【００１０】
＜１．ディスク駆動装置の構成＞
図１は、本発明の例示的な第１実施形態に係るディスク駆動装置１００の断面図である。図２は、図１のモータ１の一部を拡大した断面図である。
【００１１】
ディスク駆動装置１００は、ハードディスクドライブである。ディスク駆動装置１００は、モータ１と、複数（図１では３枚）のディスク１０１と、アクセス部１０２と、これらを収容するハウジング１０３とを備える。
【００１２】
ハウジング１０３は、ベース部４０と、カバー部材１０４と、を有する。ベース部４０は、後述のモータ１の一部でもある。ベース部４０は開口を有し、その開口にカバー部材１０４が嵌められて、ハウジング１０３が構成される。ハウジング１０３の内部空間には、後述するモータ１のシャフト１０、回転部２０、およびステータユニット３０、が収容される。すなわち、ベース部４０は、後述する回転部２０、後述の静止部に取り付けられた軸受部およびステータユニット３０を収容する内部空間を構成するハウジング１０３の一部である。ベース部４０とカバー部材１０４とは、ハウジング１０３内の気密性が損なわれないように、組み合わされる。ハウジング１０３の内部空間には、空気よりも低密度の気体、例えば、ヘリウムガスが充填されている。なお、ハウジング１０３の内部空間には、水素ガス、空気等が充填されていてもよい。
【００１３】
複数のディスク１０１は、情報が記録される媒体である。複数のディスク１０１は、間に、スペーサ１０５が配置され、上下方向に延びる中心軸９に沿って積層される。そして、複数のディスク１０１は、後述するモータ１に支持される。複数のディスク１０１は、モータ１により、中心軸９を中心として回転する。
【００１４】
アクセス部１０２は、ヘッド１０７と、アーム１０８と、ヘッド移動機構１０９とを有する。ヘッド１０７は、ディスク１０１の表面に接近して、ディスク１０１に記録された情報の読み出し、および、ディスク１０１への情報の書き込み、の少なくともいずれか一方を磁気的に行う。ヘッド１０７は、アーム１０８に支持される。アーム１０８は、ヘッド移動機構１０９に支持される。
【００１５】
モータ１は、ディスク駆動装置用のモータである。モータ１は、シャフト１０と、回転部２０と、ステータユニット３０と、ベース部４０と、を有する。本発明の例示的な各実施形態にかかるモータ１は、三相モータである。ステータユニット３０と、ベース部４０を含むハウジング１０３と、により、本発明の例示的な各実施形態にかかる「静止部」が構成される。
【００１６】
シャフト１０は、中心軸９に沿って配置された、略円筒形状の部材である。シャフト１０は、回転部２０を、中心軸９を中心として回転可能に支持する。シャフト１０は、例えば、ステンレス等の金属により形成される。シャフト１０の上端部は、ハウジング１０３のカバー部材１０４にネジを介して固定される。シャフト１０の下端部は、ベース部４０に固定される。
【００１７】
回転部２０は、スリーブ２１と、ロータハブ２２と、クランプ部材２３と、マグネット２４と、ヨーク２５と、を備える。回転部２０は、軸受部を介して、静止部に対して中心軸９を中心として回転可能に支持される。
【００１８】
スリーブ２１は、中心軸９を中心として回転可能に支持される。スリーブ２１は、シャフト１０の周囲において、シャフト１０との間に隙間を介し対向する。隙間には、潤滑油、ガス等の流体が充填される。本発明の例示的な各実施形態においては、シャフト１０の外周面と、スリーブ２１の内周面と、それらの間に介在する流体とで、軸受部が構成される。
【００１９】
ロータハブ２２は円筒状である。ロータハブ２２は、スリーブ２１に支持される。そして、ロータハブ２２は、スリーブ２１と共に、中心軸９を中心として回転する。スリーブ２１とロータハブ２２とは、一繋がりの部材で形成されてもよいし、別部材であってもよい。スリーブ２１およびロータハブ２２の材料には、例えば、アルミニウム合金または強磁性ステンレス鋼等の金属が使用される。
【００２０】
クランプ部材２３は、ロータハブ２２に支持される。クランプ部材２３は、ロータハブ２２との間に、複数のディスク１０１を支持する。これにより、複数のディスク１０１は、回転部２０に支持され、中心軸９を中心として回転する。
【００２１】
マグネット２４は、ヨーク２５を介して、ロータハブ２２の内周面に固定される。マグネット２４は、中心軸９を中心とする円環形状をなす。マグネット２４の内周面は、周方向に沿ってＮ極とＳ極とが交互に配列された磁極面である。
【００２２】
ステータユニット３０は、ロータハブ２２の径方向内側に配置され、マグネット２４と隙間をおいて対向する。ステータユニット３０は、回転部２０を回転させるトルクを発生させる。ステータユニット３０は、複数のコイル３１と、ステータコア３２とを有する。ステータコア３２は、中心軸９を中心とする円環状の磁性体が、複数積層された積層構造体であって、ベース部４０に固定される。ステータコア３２は、径方向外側に突出する複数のティースを有する。複数のコイル３１は、複数のティースに巻かれ、中心軸９を中心として環状に配置される。複数のコイル３１は、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相、の３相からなるコイル群により構成される。各コイル群は、それぞれの相から、それぞれ１つのリード線３３を有する。なお、各コイル群は、１つの導線により構成される。
【００２３】
ベース部４０は、例えば、鋳造にて成型される。ベース部４０は、アルミダイキャストである。ベース部４０は、上面４０ａと下面４０ｂとを有する。上面４０ａは、ハウジング１０３の内側を向く面である。下面４０ｂは、ハウジング１０３の外側を向く面である。
【００２４】
図３は、ベース部４０を上面４０ａ側から視た平面図である。図４Ａおよび図４Ｂは、図１の貫通孔４３付近の拡大図である。以下、ベース部４０について、図１から図３、図４Ａ、および図４Ｂを参照して説明する。
【００２５】
ベース部４０は、上面４０ａから上側に突出した突出部４１を有する。突出部４１は、第１突出部４１１と、第２突出部４１２とを有する。第１突出部４１１は、シャフト１０の外周面において、シャフト１０を固定する。また、第１突出部４１１は、ステータユニット３０のステータコア３２を、外周面で支持する。第２突出部４１２は、第１突出部４１１の外周面に設けられる。第２突出部４１２は、第１突出部４１１よりも上下方向の高さが低い。第１突出部４１１に支持されるステータユニット３０は、第２突出部４１２の上方に配置される。
【００２６】
図３に示すように、第２突出部４１２には、上下方向に延びる３つの貫通孔４３が設けられる。すなわち、ベース部４０は、貫通孔４３を３つ有する。なお、貫通孔４３に隣接して破線で示す部位は、後述する傾斜孔４３３Ａである。貫通孔４３は、ハウジング１０３の内部空間と外部空間とを連通する。３つの貫通孔４３は、周方向に沿って設けられる。コイル３１は、三相交流の各相の電流を供給するための３本のリード線３３を有する。１つのリード線３３が、１つの貫通孔４３に挿通される。すなわち、３つの貫通孔４３それぞれには、３本のリード線３３のうちのいずれか１本が通される。これにより、第２突出部４１２の周方向幅を必要以上に大きく確保する必要はないため、モータ１の小型化に有効である。また、３本のリード線３３を３つの貫通孔４３から引き出しやすい。なお、リード線３３は、貫通孔４３を通り、ベース部４０の下面４０ｂに配置される配線基板３４に、半田３５によって電気的に接続される。すなわち、ベース部４０は、コイル３１から引き出されたリード線３３を、ハウジング１０３の内部空間から外側へと導く貫通孔４３を有する。
【００２７】
貫通孔４３には、充填部材である接着剤４５が充填される。接着剤４５は、絶縁性接着剤である。接着剤４５により、貫通孔４３が塞がれて、ハウジング１０３の内部空間は密閉される。接着剤４５は、ベース部４０の下面４０Ｂ側から充填される。より詳しくは、貫通孔４３からリード線３３が引き出された状態で、ベース部４０の下面４０ｂ側から液体状の接着剤４５を充填し、それを硬化する。したがって、貫通孔４３の少なくとも後述する下側開口４３２は、接着剤４５に覆われる。また、接着剤４５の少なくとも一部は、貫通孔４３の内部に充填される。
【００２８】
ここで、貫通孔４３は、より長い方が好ましい。貫通孔４３の長さを長くすると、ハウジング１０３の内部空間と外部空間との距離が長くなるため、ハウジング１０３の内部空間に封入されている気体が外部空間へ漏れにくい。すなわち、ハウジング１０３の内部空間の気密性を確保できる。そこで、ベース部４０の上面４０ａに第２突出部４１２を設け、その第２突出部４１２に貫通孔４３を設ける。これにより、貫通孔４３の上下方向の長さを長くできる。さらに、貫通孔４３は、軸方向下側に向かって径方向外側へ延びる傾斜孔４３３Ａを有する。傾斜孔４３３Ａが、径方向外側へ延びることによって、その延長線上にある配線基板３４と接続しやすくなる。また、第２突出部４１２の厚みが一定であることを前提として、傾斜孔４３３Ａを有する貫通孔４３と、傾斜孔４３３Ａを有さない貫通孔と、を比較すると、傾斜孔４３３Ａを有する貫通孔４３の方が長い。すなわち、本発明においては、ハウジング１０３の内部空間に封入されている気体が外部空間へ漏れにくいため、ハウジング１０３の内部空間の気密性を確保できる。
【００２９】
第２突出部４１２の上面は、上下方向において、ステータユニット３０に対向する面である。図３に示すように、第２突出部４１２の上面には、絶縁シート５０が設けられる。また、絶縁シート５０は、少なくとも、３つの貫通孔４３の開口を覆う大きさを有する。ただし、３つの貫通孔４３それぞれを、異なる絶縁シート５０で覆うようにしてもよい。
【００３０】
図４Ａおよび図４Ｂに示すように、貫通孔４３は、ハウジング１０３の内部空間に開口する上側開口４３１と、ハウジング１０３の外側の空間に開口する下側開口４３２と、を有する。絶縁シート５０は、貫通孔４３の上側開口４３１に被せられ、貫通孔４３を塞ぐ。絶縁シート５０には、上側開口４３１の略中心部と重なる位置に、不図示の孔が設けられる。リード線３３は、この孔から貫通孔４３を通り、ベース部４０の下面４０ｂに引き出される。絶縁シート５０は絶縁性材料であって、貫通孔４３に対するリード線３３の位置決めを行い、リード線３３と貫通孔４３の内壁との接触を防止する。
【００３１】
ここで、図４Ａおよび図４Ｂに示すように、軸方向から見て、上側開口４３１と下側開口４３２とが重なっていない。すなわち、軸方向から見て、上側開口４３１と下側開口４３２とが重なっていない場合と重なっている場合とを比較すると、前者の方が、貫通孔４３が長い。すなわち、本発明においては、ハウジング１０３の内部空間に封入されている気体が外部空間へ漏れにくいため、ハウジング１０３の内部空間の気密性を確保できる。但し、上側開口４３１の一部と下側開口４３２の一部とが重なっていても良い。言い換えれば、軸方向から見て、上側開口４３１の一部と下側開口４３２の一部とが重なっている場合と、上側開口４３１と下側開口４３２のいずれか一方が他方と完全に重なっている場合と、を比較すると、前者の方が、貫通孔４３が長い。すなわち、当該実施形態であっても、ハウジング１０３の内部空間に封入されている気体が外部空間へ漏れにくいため、ハウジング１０３の内部空間の気密性を確保できる。さらに、当該実施形態の場合、軸方向から見て、上側開口４３１と下側開口４３２とが重なっていない実施形態、もしくは、上側開口４３１の一部と下側開口４３２の一部とが重なっている実施形態、と比較して、貫通孔４３の長さが短く傾斜孔４３３Ａの傾斜角度が小さいため、貫通孔４３を形成する作業（例えば、ドリルでの切削等）を行い易い。
【００３２】
また、ロータハブ２２は、ヨーク２５を介してマグネット２４の径方向外側を覆う側壁部２２１と、側壁部２２１の軸方向下端から径方向外側へ延びるフランジ部２２２と、を有する。また、ベース部４０は、上側開口４３１よりも径方向外側において、軸方向下側へ窪む図４Ｂに破線で示す凹部４０１を有する。すなわち、フランジ部２２２の少なくとも一部は、凹部４０１に位置する。これにより、モータ１を軸方向に薄型化することが可能である。
【００３３】
続いて、本発明の第２実施形態について図５を用いて説明する。図５は、本発明の例示的な第２実施形態のモータの一部を拡大した断面図である。第２実施形態においては、貫通孔４３が、傾斜孔４３３Ｂよりも軸方向上側において、軸方向に延びる直線孔４３４を有している点で、第１実施形態と異なる。なお、便宜上、第１実施形態と異なる部位のみ、第１実施形態と異なる図面符合を付している。
【００３４】
図５で示すように、直線孔４３４は、第２突出部４１２の上面から距離ｄ１だけ軸方向下側へ延びている。また、直線孔４３４の軸方向下端と傾斜孔４３３Ｂの上端とが接続されている。これにより、傾斜孔４３３Ｂと第２突出部４１２の径方向外側の軸方向最下部Ｐとの距離を広く確保することができる。すなわち、図５で示す距離ｄ２を広く確保することができるため、ベース部４０ｂの剛性を確保しやすく、ステータユニット３０Ｂから生じる振動による悪影響を受けにくいモータを提供できる。
【００３５】
なお、図５においては、直線孔４３４の軸方向最下部は、第２突出部４１２の軸方向下部Ｐの軸方向位置Ｌよりも軸方向上側に位置しているが、軸方向位置Ｌよりも軸方向下側に位置しても良い。これにより、更に、傾斜孔と第２突出部の径方向外側の軸方向最下部との距離を広く確保することができるため、ベース部の剛性を確保しやすく、ステータユニットから生じる振動による悪影響を受けにくいモータを提供できる。
【００３６】
続いて、本発明の第３実施形態について図６を用いて説明する。図６は、本発明の例示的な第３実施形態のベース部を上面側から視た平面図である。第３実施形態においては、傾斜孔４３３Ｃの延びる方向、および貫通孔４３Ｃの配置に関して、第１実施形態と異なる。なお、便宜上、第１実施形態と異なる部位のみ、第１実施形態と異なる図面符合を付している。
【００３７】
図６で示すように、第２突出部４１２Ｃには、上下方向に延びる３つの貫通孔４３Ｃが設けられる。すなわち、ベース部４０Ｃは、貫通孔４３Ｃを３つ有し、３つの貫通孔４３は、径方向に沿って設けられる。なお、貫通孔４３Ｃは、ハウジング１０３の内部空間に開口する上側開口４３１Ｃを有する。コイル３１は、三相交流の各相の電流を供給するための３本のリード線３３を有する。１つのリード線３３が、１つの貫通孔４３Ｃに挿通される。すなわち、３つの貫通孔４３Ｃそれぞれには、３本のリード線３３のうちのいずれか１本が通される。また、貫通孔４３Ｃに隣接して破線で示す部位は、傾斜孔４３３Ｃである。傾斜孔４３３Ｃは、軸方向下側に向かって周方向に延びている。より詳細には、軸方向から見て、傾斜孔４３３Ｃの軸方向下端は、第２突出部４１２Ｃと重なっており、第２突出部より径方向外側の部位４１３とは重なっていない。すなわち、傾斜孔４３３Ｃは、上述の部位４１３よりも軸方向において肉厚な第２突出部４１２Ｃに設けられている。これにより、ベース部４０Ｃの剛性を確保しやすく、ステータユニットから生じる振動による悪影響を受けにくいモータを提供できる。
【００３８】
以上、第１実施形態から第３実施形態について説明したが、上述の実施形態に登場した
各要素を、矛盾が生じない範囲で、適宜に組み合わせてもよい。例えば、第１実施形態に記載の周方向に設けられた上側開口４３１と、第３実施形態に記載の周方向に延びる傾斜孔４３３Ｃと、を組み合わせても良い。また、第２実施形態に記載の直線孔４３４と、第３実施形態に記載の周方向に延びる傾斜孔４３３Ｃと、を組み合わせても良い。更には、第３実施形態に記載の径方向に延びる上側開口４３１Ｃと、第１実施形態に記載の周方向に延びる傾斜孔４３３Ａと、を組み合わせても良い。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明は、モータおよびディスク駆動装置に利用できる。
【符号の説明】
【００４０】
１      モータ
９      中心軸
１０    シャフト
１２    スリーブ
２０    回転部
３０    ステータユニット
４０    ベース部
４０１  凹部
４１    突起部
４１１  第１突出部
４１２  第２突出部
４３    貫通孔
４３１  上側開口
４３２  下側開口
４３３  傾斜孔
４３４  直線孔
５０    絶縁シート
１００  ディスク駆動装置
１０３  ハウジング
１０４  カバー部材
【図１】
2020054118.tif 000003
【図２】
2020054118.tif 000004
【図３】
2020054118.tif 000005
【図４Ａ】
2020054118.tif 000006
【図４Ｂ】
2020054118.tif 000007
【図５】
2020054118.tif 000008
【図６】
2020054118.tif 000009