(57)【要約】      （修正有）【課題】実装装置により生産された電子デバイスの不良が発見された場合、不良の原因を究明する生産システム、及び生産方法を提供する。【解決手段】生産システムは、動作指令に基づいて実装動作を実行する実装ヘッドと、実装ヘッドの状態を検出するセンサと、実装動作により電子部品が実装された基板Ｐを検査する検査装置４と、動作指令とセンサの検出データと検査装置４の検査データとが関連付けられた関連データを出力する関連データ出力部と、を備える。【選択図】図１
2020167206.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
動作指令に基づいて実装動作を実行する実装ヘッドと、
前記実装ヘッドの状態を検出するセンサと、
前記実装動作により電子部品が実装された基板を検査する検査装置と、
前記動作指令と前記センサの検出データと前記検査装置の検査データとが関連付けられた関連データを出力する関連データ出力部と、を備える、
生産システム。
【請求項２】
前記動作指令と異常と判定された前記検出データとの相関データを出力する相関データ出力部を備え、
前記関連データ出力部は、前記相関データと前記検査データとに基づいて、前記関連データを出力する、
請求項１に記載の生産システム。
【請求項３】
不良と判定された前記検査データに係る前記動作指令及び前記検出データを解析した解析データを出力する解析部を備える、
請求項１又は請求項２に記載の生産システム。
【請求項４】
複数の前記検出データを演算処理して算出データを出力する算出部を有する、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の生産システム。
【請求項５】
前記検出データは、前記実装ヘッドの状態量の検出値を含み、
前記算出データは、複数の前記検出値の平均値を含む、
請求項４に記載の生産システム。
【請求項６】
前記実装ヘッドに設けられ前記検出データを無線で送信する無線送信機を備える、
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の生産システム。
【請求項７】
動作指令に基づいて実装動作を実行する実装ヘッドの状態の検出データを取得することと、
前記実装動作により電子部品が実装された基板の検査データを取得することと、
前記動作指令と前記検出データと前記検査データとが関連付けられた関連データを出力することと、を含む、
生産方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産システム、及び生産方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子デバイスを生産する生産システムにおいて、複数の実装装置により生産ラインが構築される。複数の実装装置は、サーバにより管理される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−２１５７２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
複数の実装装置は、基板に電子部品を順次実装する。電子部品が実装された基板は、基板外観検査装置（ＡＯＩ：Automated  Optical  Inspection）のような検査装置により検査される。検査装置により電子デバイスの不良が発見された場合、不良の原因を円滑に究明できる技術が要望される。
【０００５】
本発明の態様は、実装装置により生産された電子デバイスの不良が発見された場合、不良の原因を究明することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様に従えば、動作指令に基づいて実装動作を実行する実装ヘッドと、前記実装ヘッドの状態を検出するセンサと、前記実装動作により電子部品が実装された基板を検査する検査装置と、前記動作指令と前記センサの検出データと前記検査装置の検査データとが関連付けられた関連データを出力する関連データ出力部と、を備える、生産システムが提供される。
【０００７】
本発明の第２の態様に従えば、動作指令に基づいて実装動作を実行する実装ヘッドの状態の検出データを取得することと、前記実装動作により電子部品が実装された基板の検査データを取得することと、前記動作指令と前記検出データと前記検査データとが関連付けられた関連データを出力することと、を含む、生産方法が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の態様によれば、実装装置により生産された電子デバイスの不良が発見された場合、不良の原因を究明することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、本実施形態に係る生産システムを示す図である。
【図２】図２は、本実施形態に係る実装装置を示す図である。
【図３】図３は、本実施形態に係る生産システムを示すブロック図である。
【図４】図４は、本実施形態に係る相関データの一例を説明するための図である。
【図５】図５は、本実施形態に係る関連データの一例を説明するための図である。
【図６】図６は、本実施形態に係る生産方法を示すフローチャートである。
【図７】図７は、本実施形態に係るコンピュータシステムを示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。
【００１１】
［生産システム］
図１は、本実施形態に係る生産システム１を示す図である。図１に示すように、生産システム１は、検査装置２と、実装装置３と、検査装置４と、データ処理装置５と、解析装置６とを備える。検査装置２、実装装置３、及び検査装置４により、電子デバイスの生産ライン７が構築される。
【００１２】
生産ライン７において、実装装置３は、複数設けられる。本実施形態において、実装装置３は、第１実装装置３Ａと、第２実装装置３Ｂと、第３実装装置３Ｃとを含む。
【００１３】
生産ライン７において基板Ｐが搬送される。生産ライン７において基板Ｐが搬送され、実装装置３において電子部品Ｃが基板Ｐに実装されることにより、電子デバイスが生産される。本実施形態において、生産ライン７の先頭装置は、検査装置２である。生産ライン７の後尾装置は、検査装置４である。基板Ｐは、検査装置２に搬入された後、検査装置２により検査される。検査装置２により検査された基板Ｐは、複数の実装装置３（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）のそれぞれに順次搬送される。複数の実装装置３（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）は、基板Ｐに電子部品Ｃを順次実装する。実装装置３において電子部品Ｃが実装された基板Ｐは、検査装置４に搬入された後、検査装置４により検査される。検査装置４により検査された基板Ｐは、検査装置４から搬出される。
【００１４】
基板Ｐが検査装置２に搬入される前に、印刷機により基板Ｐにクリーム半田が印刷される。クリーム半田が印刷された基板Ｐが、検査装置２に搬入される。なお、印刷機の図示は省略する。
【００１５】
検査装置２は、電子部品Ｃが実装される基板Ｐを検査する検査動作を実行する。検査装置２は、電子部品Ｃが実装される前の基板Ｐの状態を検査する。検査装置２は、基板Ｐのクリーム半田の印刷状態を検査する半田印刷検査装置（ＳＰＩ：Solder  Paste  Inspection）を含む。
【００１６】
実装装置３は、クリーム半田が印刷された基板Ｐに電子部品Ｃを実装する実装動作を実行する。電子部品Ｃが実装された基板Ｐは、リフロー炉において加熱される。リフロー炉において基板Ｐが加熱されることにより、クリーム半田が溶ける。溶けたクリーム半田が冷却されることにより、電子部品Ｃが基板Ｐに半田付けされる。なお、リフロー炉の図示は省略する。
【００１７】
実装装置３は、制御装置３０を有する。制御装置３０は、実装装置３を制御するための動作指令を出力する。
【００１８】
検査装置４は、実装装置３の実装動作により電子部品Ｃが実装された基板Ｐを検査する検査動作を実行する。検査装置４は、電子部品Ｃが実装された後の基板Ｐの状態を検査する。検査装置４は、電子部品Ｃが実装された基板Ｐの外観を検査する基板外観検査装置（ＡＯＩ：Automated  Optical  Inspection）を含む。
【００１９】
データ処理装置５は、実装装置３の制御装置３０から出力された動作指令を取得する。また、データ処理装置５は、実装装置３のセンサから出力された検出データを取得する。データ処理装置５は、検出データをデータ処理する。データ処理装置５は、複数の実装装置３のそれぞれに設けられる。データ処理装置５は、実装装置３のエッジコンピュータとして機能する。エッジコンピュータとは、工場の複数の対象のそれぞれに分散配置された状態でデータ処理するコンピュータシステムをいう。本実施形態において、工場の複数の対象は、実装装置３のセンサを含む。エッジコンピュータにより、上位システムの負荷が軽減され、通信遅延が解消される。本実施形態において、上位システムは、解析装置６を含む。
【００２０】
本実施形態において、データ処理装置５は、制御装置３０から出力された動作指令と、実装装置３のセンサから出力され異常と判定された検出データとの相関データを出力する。また、データ処理装置５は、複数の検出データを演算処理した演算処理結果を示す算出データを出力する。
【００２１】
解析装置６は、複数の実装装置３を管理する。解析装置６は、サーバとして機能する。サーバとは、要求に応じて所定のデータを提供するコンピュータシステムをいう。検査装置４により電子デバイスの不良が発見された場合、解析装置６は、複数のデータ処理装置５のそれぞれから出力された相関データと、検査装置４の検査データとに基づいて、動作指令とセンサの検出データと検査装置４の検査データとが関連付けられた関連データを出力する。また、解析装置６は、不良と判定された検査データに係る動作指令及び検出データを解析した解析結果を示す解析データを出力する。関連データ又は解析データが提供されることにより、電子デバイスの不良の原因の究明が実行される。また、関連データ又は解析データが提供されることにより、電子デバイスの不良の発生を未然に防止するための措置が講じられる。
【００２２】
解析装置６は、出力装置８と接続される。出力装置８は、管理者に出力データを提供する。出力装置８として、表示データを提供する表示装置及び印刷データを提供する印刷装置が例示される。表示装置として、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Liquid  Crystal  Display）又は有機ＥＬディスプレイ（ＯＥＬＤ：Organic  Electroluminescence  Display）のようなフラットパネルディスプレイが例示される。
【００２３】
［実装装置］
図２は、本実施形態に係る実装装置３を示す図である。実装装置３は、制御装置３０と、基板支持部材３１と、実装ヘッド３２と、ヘッド移動装置３３と、センサ３４と、無線送信機３５と、無線受信機３６とを有する。
【００２４】
制御装置３０は、実装ヘッド３２を制御するための動作指令を出力するコンピュータシステムを含む。制御装置３０は、電子部品Ｃを基板Ｐに実装する手順を示す生産プログラムを記憶する。制御装置３０は、生産プログラムに基づいて、実装ヘッド３２に動作指令を出力する。
【００２５】
基板支持部材３１は、実装位置において基板Ｐを支持する。
【００２６】
実装ヘッド３２は、制御装置３０から出力された動作指令に基づいて、基板Ｐに電子部品Ｃを実装する実装動作を実行する。実装ヘッド３２は、実装位置に配置された基板Ｐの表面に電子部品Ｃを実装する。実装ヘッド３２は、電子部品Ｃを着脱可能に保持するノズル３７を有する。実装ヘッド３２は、電子部品供給装置（不図示）から供給された電子部品Ｃをノズル３７で保持して基板Ｐに実装する。実装ヘッド３２は、電子部品供給装置から電子部品Ｃが供給される供給位置と、基板Ｐが配置されている実装位置との間を移動可能である。供給位置と実装位置とは、水平面内において異なる位置に規定される。実装ヘッド３２は、供給位置に供給された電子部品Ｃをノズル３７で保持して、実装位置に移動した後、実装位置に配置されている基板Ｐに電子部品Ｃを実装する。
【００２７】
実装ヘッド３２は、ノズル３７を複数有する。ノズル３７は、電子部品Ｃを着脱可能に保持する。ノズル３７は、電子部品Ｃを吸着保持する吸引ノズルである。ノズル３７の先端部に開口が設けられる。ノズル３７の開口は、真空システムと接続される。ノズル３７の先端部と電子部品Ｃとが接触した状態で、ノズル３７の開口からの吸引動作が実行されることにより、ノズル３７の先端部に電子部品Ｃが吸着保持される。ノズル３７の開口からの吸引動作が解除されることにより、ノズル３７から電子部品Ｃが解放される。
【００２８】
ヘッド移動装置３３は、実装ヘッド３２を移動する。ヘッド移動装置３３は、実装ヘッド３２を水平面内の第１軸方向及び水平面内において第１軸方向と直交する第２軸方向のそれぞれに移動可能である。ヘッド移動装置３３は、実装ヘッド３２を第１軸方向に移動する第１軸移動装置３３Ｘと、実装ヘッド３２を第２軸方向に移動する第２軸移動装置３３Ｙとを有する。第１軸移動装置３３Ｘ及び第２軸移動装置３３Ｙのそれぞれは、アクチュエータを含む。第１軸移動装置３３Ｘは、実装ヘッド３２に連結される。第１軸移動装置３３Ｘの作動により、実装ヘッド３２が第１軸方向に移動する。第２軸移動装置３３Ｙは、第１軸移動装置３３Ｘを介して実装ヘッド３２に連結される。第２軸移動装置３３Ｙの作動により第１軸移動装置３３Ｘが第２軸方向に移動することによって、実装ヘッド３２が第２軸方向に移動する。
【００２９】
実装ヘッド３２は、ノズル３７を水平面と直交する第３軸方向及び第３軸を中心とする回転方向のそれぞれに移動するノズル移動装置３８を有する。ノズル移動装置３８は、アクチュエータを含む。ノズル移動装置３８は、複数のノズル３７のそれぞれに設けられる。
【００３０】
ノズル３７は、ヘッド移動装置３３及びノズル移動装置３８により、第１軸方向、第２軸方向、第３軸方向、及び回転方向の４つの方向に移動可能である。ノズル３７が移動することにより、ノズル３７に保持されている電子部品Ｃも、第１軸方向、第２軸方向、第３軸方向、及び回転方向の４つの方向に移動可能である。
【００３１】
センサ３４は、実装ヘッド３２の状態を検出する。センサ３４は、実装ヘッド３２が実装動作を実行しているときの実装ヘッド３２の状態を検出する。センサ３４は、実装ヘッド３２に設けられる。
【００３２】
センサ３４の検出データは、実装ヘッド３２の状態量の検出値を含む。実装ヘッド３２の状態量として、ノズル３７の開口と真空システムとの間の流路における空気の流量、ノズル３７の開口と真空システムとの間の流路の圧力、及びノズル３７の回転方向の角度が例示される。センサ３４として、ノズル３７の開口と真空システムとの間の流路における空気の流量を検出する流量センサ、ノズル３７の開口と真空システムとの間の流路の圧力を検出する圧力センサ、及びノズル３７の回転方向の角度を検出する角度センサが例示される。
【００３３】
流量センサは、実装動作においてノズル３７が電子部品Ｃを吸着保持するときのノズル３７の開口と真空システムとの間の流路における空気の流量を検出する。流量センサの検出値がゼロである場合、流量センサの検出データは正常であると判定され、ノズル３７は電子部品Ｃを正常に吸着保持していると判定される。流量センサの検出値がゼロよりも大きい値である場合、流量センサの検出データは異常であると判定され、ノズル３７は電子部品Ｃを正常に吸着保持していないと判定される。
【００３４】
圧力センサは、実装動作においてノズル３７が電子部品Ｃを吸着保持するときのノズル３７の開口と真空システムとの間の流路の圧力を検出する。圧力センサの検出値が規定値以下である場合、圧力センサの検出データは正常であると判定され、ノズル３７は電子部品Ｃを正常に吸着保持していると判定される。圧力センサの検出値が規定値よりも大きい場合、圧力センサの検出データは異常であると判定され、ノズル３７は電子部品Ｃを正常に吸着保持していないと判定される。
【００３５】
角度センサは、実装動作においてノズル３７が電子部品Ｃを吸着保持するときのノズル３７の角度を検出する。角度センサの検出値が目標値である場合、角度センサの検出データは正常であると判定され、ノズル３７は電子部品Ｃを正しい角度で吸着保持していると判定される。角度センサの検出値が目標値でない場合、角度センサの検出データは異常であると判定され、ノズル３７は電子部品Ｃを正しくない角度で吸着保持していると判定される。
【００３６】
なお、センサ３４は、流量センサ、圧力センサ、及び角度センサに限定されない。センサ３４は、実装動作を実行しているときの実装ヘッド３２の状態を検出するセンサであればよく、例えばヘッド移動装置３３のアクチュエータに加えられる電圧を検出する電圧センサ、及びノズル移動装置３８のアクチュエータに加えられる電圧を検出する電圧センサでもよい。
【００３７】
無線送信機３５は、センサ３４の検出データを無線で送信する。無線送信機３５は、実装ヘッド３２に設けられる。無線送信機３５は、例えば実装ヘッド３２の外面に固定される。実装ヘッド３２が移動した場合、センサ３４及び無線送信機３５は、実装ヘッド３２と一緒に移動する。
【００３８】
無線受信機３６は、無線送信機３５から送信されたセンサ３４の検出データを受信する。無線受信機３６は、実装ヘッド３２の外部に配置される。無線受信機３６の位置は固定される。無線受信機３６は、ケーブルを介してデータ処理装置５と接続される。無線受信機３６は、センサ３４の検出データをデータ処理装置５に出力する。
【００３９】
［制御装置、データ処理装置、及び解析装置］
図３は、本実施形態に係る生産システム１を示すブロック図である。図３に示すように、生産システム１は、実装装置３と、検査装置４と、データ処理装置５と、解析装置６とを備える。実装装置３は、制御装置３０と、実装ヘッド３２と、センサ３４と、無線送信機３５と、無線受信機３６とを有する。
【００４０】
第１実装装置３Ａと、第２実装装置３Ｂと、第３実装装置３Ｃとは、同様の構成である。第１実装装置３Ａの制御装置３０と、第２実装装置３Ｂの制御装置３０と、第３実装装置３Ｃの制御装置３０とは、同様の構成である。第１実装装置３Ａに接続されるデータ処理装置５と、第２実装装置３Ｂに接続されるデータ処理装置５と、第３実装装置３Ｃに接続されるデータ処理装置５とは、同様の構成である。
【００４１】
制御装置３０は、生産プログラム記憶部３０Ａと、動作指令出力部３０Ｂとを有する。生産プログラム記憶部３０Ａは、生産プログラムを記憶する。生産プログラムとは、電子部品Ｃを基板Ｐに実装する手順を示すプログラムをいう。動作指令出力部３０Ｂは、実装ヘッド３２を制御するための動作指令を出力する。動作指令出力部３０Ｂは、ヘッド移動装置３３及びノズル移動装置３８に動作指令を出力する。動作指令出力部３０Ｂは、生産プログラム記憶部３０Ａに記憶されている生産プログラムに基づいて、動作指令を出力する。動作指令出力部３０Ｂは、生産プログラムに従って実装ヘッド３２が動作するように、動作指令を出力する。
【００４２】
データ処理装置５は、動作指令取得部５１と、検出データ取得部５２と、判定部５３と、相関データ出力部５４と、相関データ記憶部５５と、算出部５６とを有する。
【００４３】
動作指令取得部５１は、動作指令出力部３０Ｂから出力される動作指令を取得する。動作指令出力部３０Ｂは、実装ヘッド３２を制御するための動作指令と同一の動作指令を動作指令取得部５１に出力する。動作指令出力部３０Ｂは、実装ヘッド３２に動作指令を出力するタイミングと同一のタイミングで、動作指令を動作指令取得部５１に出力する。動作指令取得部５１は、実装ヘッド３２に出力された動作指令の内容及び実装ヘッド３２に動作指令が出力された時点を認識することができる。
【００４４】
検出データ取得部５２は、センサ３４の検出データを取得する。センサ３４の検出データは、無線送信機３５から無線受信機３６に送信される。無線受信機３６とデータ処理装置５とはケーブルを介して接続される。検出データ取得部５２は、センサ３４の検出データを、ケーブルを介して無線受信機３６から取得する。
【００４５】
検出データ取得部５２は、動作指令取得部５１による動作指令の取得と同期して、センサ３４の検出データを取得する。
【００４６】
判定部５３は、検出データ取得部５２により取得されたセンサ３４の検出データが異常か否かを判定する。センサ３４の検出データが異常である状態は、実装ヘッド３２が電子部品Ｃを基板Ｐに正しく実装できない状態を意味する。判定部５３は、センサ３４の検出データに基づいて、実装ヘッド３２が電子部品Ｃを基板Ｐに正しく実装できる状態であると判定した場合、センサ３４の検出データは正常であると判定する。判定部５３は、センサ３４の検出データに基づいて、実装ヘッド３２が電子部品Ｃを基板Ｐに正しく実装できない状態であると判定した場合、センサ３４の検出データは異常であると判定する。
【００４７】
判定部５３は、センサ３４により検出された実装ヘッド３２の状態量の検出値が許容値である場合又は許容範囲である場合、センサ３４の検出データは正常であると判定する。判定部５３は、センサ３４により検出された実装ヘッド３２の状態量の検出値が許容値でない場合又は許容範囲でない場合、センサ３４の検出データは異常であると判定する。許容値又は許容範囲は予め定められ、判定部５３に保持されている。
【００４８】
上述のように、センサ３４として、流量センサ、圧力センサ、及び角度センサが例示される。流量センサの検出値がゼロである場合、判定部５３は、ノズル３７が電子部品Ｃを正常に吸着保持していると判定し、流量センサの検出データが正常であると判定する。流量センサの検出値がゼロよりも大きい値である場合、判定部５３は、ノズル３７が電子部品Ｃを正常に吸着保持していないと判定し、流量センサの検出データは異常であると判定する。
【００４９】
圧力センサの検出値が規定値以下である場合、判定部５３は、ノズル３７が電子部品Ｃを正常に吸着保持していると判定し、圧力センサの検出データは正常であると判定する。圧力センサの検出値が規定値よりも大きい場合、判定部５３は、ノズル３７が電子部品Ｃを正常に吸着保持していないと判定し、圧力センサの検出データは異常であると判定する。
【００５０】
角度センサの検出値が目標値である場合、判定部５３は、ノズル３７が電子部品Ｃを正しい角度で吸着保持していると判定し、角度センサの検出データは正常であると判定する。角度センサの検出値が目標値でない場合、判定部５３は、ノズル３７が電子部品Ｃを正しくない角度で吸着保持していると判定し、角度センサの検出データは異常であると判定する。
【００５１】
相関データ出力部５４は、動作指令取得部５１から動作指令を取得する。相関データ出力部５４は、判定部５３において異常と判定された検出データを取得する。相関データ出力部５４は、動作指令と異常と判定された検出データとの相関データを出力する。
【００５２】
上述のように、検出データ取得部５２は、動作指令取得部５１による動作指令の取得と同期して、センサ３４の検出データを取得する。相関データ出力部５４は、同一のタイミングで取得された動作指令と検出データとを取得する。相関データ出力部５４は、実装ヘッド３２に出力された動作指令の内容及び実装ヘッド３２に動作指令が出力された時点と、異常と判定された検出データとが関連付けられた相関データを出力する。相関データにより、検出データが異常であるときに出力された動作指令の内容及びその動作指令が出力された時点が認識される。
【００５３】
相関データ記憶部５５は、相関データ出力部５４から出力された相関データを記憶する。
【００５４】
図４は、本実施形態に係る相関データの一例を説明するための図である。図４に示すように、相関データは、異常と判定された検出データと、異常と判定される検出データが検出されたときの動作指令の内容と、その動作指令が出力された時点とが関連付けられたデータである。
【００５５】
図４に示す例においては、「○○時××分△△秒」に「第Ａ電子部品を第ＢノズルでＣ基板の第Ｄアドレスに実装」する内容の動作指令が出力されたときに「流量の異常」を示す検出データが取得されている。「○○時□△分××秒」に「第Ｈ電子部品を第Ａノズルで基板の第Ｊアドレスに実装」する内容の動作指令が出力されたときに「角度の異常」を示す検出データが取得されている。
【００５６】
相関データは、異常と判定された検出データ及び異常と判定された検出データに係る動作指令を含む。相関データのデータ量は、検出データ（生データ）のデータ量よりも小さい。
【００５７】
算出部５６は、複数の検出データを演算処理して算出データを出力する。算出部５６は、同一のセンサ３４から出力された複数の検出データを演算処理して算出データを出力する。
【００５８】
センサ３４は、所定周期で検出データを出力する。無線送信機３５は、所定周期で検出データを送信し、無線受信機３６は、所定周期で検出データを検出データ取得部５２に出力する。検出データ取得部５２は、所定周期で検出データを取得する。算出部５６は、同一のセンサ３４から所定時間において出力された複数の検出データを演算処理する。
【００５９】
検出データは、実装ヘッド３２の状態量の検出値を含む。算出部５６により算出される算出データは、複数の検出値の平均値を含む。
【００６０】
例えば、算出部５６は、第１のノズル３７の流路に係る流量センサから出力された複数の検出値の平均値を算出する。算出部５６は、第２のノズル３７の流路に係る流量センサから出力された複数の検出値の平均値を算出する。算出部５６は、第３のノズル３７の流路に係る流量センサから出力された複数の検出値の平均値を算出する。
【００６１】
なお、算出部５６により算出される算出データは、複数の検出値の最大値でもよいし、最小値でもよいし、中央値でもよい。
【００６２】
算出データのデータ量は、検出データ（生データ）のデータ量よりも小さい。
【００６３】
解析装置６は、相関データ取得部６１と、算出データ取得部６２と、検査データ取得部６３と、判定部６４と、関連データ出力部６５と、関連データ記憶部６６と、解析部６７と、出力制御部６８とを有する。
【００６４】
相関データ取得部６１は、相関データ出力部５４から相関データを取得する。相関データ取得部６１は、複数のデータ処理装置５のそれぞれから出力された相関データを取得する。
【００６５】
相関データのデータ量は、検出データのデータ量よりも小さい。相関データ出力部５４は、通信遅延の発生が抑制された状態で、相関データを相関データ取得部６１に送信することができる。
【００６６】
算出データ取得部６２は、算出部５６から算出データを取得する。算出データ取得部６２は、複数のデータ処理装置５のそれぞれから出力された相関データを取得する。
【００６７】
算出データのデータ量は、検出データのデータ量よりも小さい。算出部５６は、通信遅延の発生が抑制された状態で、算出データを算出データ取得部６２に送信することができる。
【００６８】
検査データ取得部６３は、検査装置４から電子部品Ｃが実装された基板Ｐの検査データを取得する。
【００６９】
判定部６４は、検査データ取得部６３により取得された検査装置４の検査データが不良か否かを判定する。なお、基板Ｐの検査データが不良か否かの判定は、検査装置４により実行されてもよい。
【００７０】
関連データ出力部６５は、動作指令とセンサ３４の検出データと検査装置４の検査データとが関連付けられた関連データを出力する。
【００７１】
本実施形態において、関連データ出力部６５は、相関データ取得部６１により取得された相関データと、検査データ取得部６３により取得された検査データとに基づいて、関連データを出力する。
【００７２】
関連データ記憶部６６は、関連データ出力部６５から出力された関連データを記憶する。
【００７３】
図５は、本実施形態に係る関連データの一例を説明するための図である。図５に示すように、関連データは、相関データと、その相関データに係る実装装置３と、検査データとが関連付けられたデータである。すなわち、関連データは、異常と判定された検出データと、異常と判定される検出データが検出されたときの動作指令の内容と、その動作指令が出力された時点と、その動作指令が出力された実装装置３と、不良と判定された検査データとが関連付けられたデータである。
【００７４】
図５に示す例においては、「第３実装装置」において「○○時××分△△秒」に「第Ａ電子部品を第ＢノズルでＣ基板の第Ｄアドレスに実装」する内容の動作指令が出力されたときに「流量の異常」を示す検出データが取得され、「Ｃ基板が不良」である検査データが取得されている。「第２実装装置」において「○○時××分Ｘ△秒」に「第Ｅ電子部品を第ＢノズルでＦ基板の第Ｇアドレスに実装」する内容の動作指令が出力されたときに「流量の異常」を示す検出データが取得され、「Ｆ基板が不良」である検査データが取得されている。「第３実装装置」において「○○時□△分××秒」に「第Ｈ電子部品を第ＡノズルでＪ基板の第Ｋアドレスに実装」する内容の動作指令が出力されたときに「角度の異常」を示す検出データが取得され、「Ｊ基板が不良」である検査データが取得されている。「第１実装装置」において「○○時□□分△△秒」に「第Ｈ電子部品を第ＣノズルでＬ基板の第Ｍアドレスに実装」する内容の動作指令が出力されたときに「角度の異常」を示す検出データが取得され、「Ｌ基板が不良」である検査データが取得されている。
【００７５】
解析部６７は、不良と判定された検査データに係る動作指令及び検出データを解析した解析データを出力する。
【００７６】
図５に示す例において、解析部６７は、例えば不良と判定された「Ｃ基板」に係る動作指令及び検出データを解析した解析データを出力する。すなわち、解析部６７は、「Ｃ基板の不良」の原因が「第３実装装置」の「第Ｂノズルに係る流量の異常」である可能性が高いことを示す解析データを出力する。また、解析部６７は、「Ｆ基板の不良」の原因が「第２実装装置」の「第Ｂノズルに係る流量の異常」である可能性が高いことを示す解析データを出力する。また、解析部６７は、「Ｊ基板の不良」の原因が「第３実装装置」の「第Ａノズルに係る角度の異常」である可能性が高いことを示す解析データを出力する。また、解析部６７は、「Ｌ基板の不良」の原因が「第１実装装置」の「第Ｃノズルに係る角度の異常」である可能性が高いことを示す解析データを出力する。
【００７７】
出力制御部６８は、出力装置８を制御する。出力制御部６８は、関連データ出力部６５から出力された関連データを出力装置８に出力される。出力装置８が表示装置を含む場合、出力制御部６８は、図５を参照して説明したような関連データを表示装置に表示させる。
【００７８】
また、出力制御部６８は、解析部６７から出力された解析データを出力装置８に出力させる。出力装置８が表示装置を含む場合、出力制御部６８は、例えば「Ｃ基板の不良」の原因が「第３実装装置」の「第Ｂノズルに係る流量の異常」である可能性が高いことを示す表示データ（文字データ）を表示装置に表示させる。
【００７９】
また、出力制御部６８は、算出データ取得部６２により取得された算出データを出力装置８に出力させる。出力装置８が表示装置を含む場合、出力制御部６８は、例えば第１実装装置の実装ヘッド３２に係る空気の流量の平均値を示す表示データを表示装置に表示させる。
【００８０】
［生産方法］
図６は、本実施形態に係る生産方法を示すフローチャートである。検査装置２において検査された基板Ｐは、複数の実装装置３（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）のそれぞれに順次搬送される。複数の実装装置３のそれぞれにおいて、制御装置３０の動作指令出力部３０Ｂは、生産プログラムに基づいて動作指令を出力する。複数の実装装置３のそれぞれにおいて、実装ヘッド３２は、動作指令に基づいて実装動作を実行する。センサ３４は、実装ヘッド３２の状態量を検出する。
【００８１】
データ処理装置５において、動作指令取得部５１は、動作指令出力部３０Ｂから動作指令を取得する（ステップＳＡ１）。
【００８２】
検出データ取得部５２は、無線受信機３６からセンサ３４の検出データを取得する（ステップＳＡ２）。
【００８３】
判定部５３は、検出データ取得部５２により取得されたセンサ３４の検出データが異常か否かを判定する（ステップＳＡ３）。
【００８４】
ステップＳＡ３において、センサ３４の検出データは異常であると判定された場合（ステップＳＡ３：Ｙｅｓ）、相関データ出力部５４は、動作指令取得部５１により取得された動作指令と、判定部５３において異常と判定された検出データとの相関データを出力する（ステップＳＡ４）。
【００８５】
なお、ステップＳＡ３において、センサ３４の検出データは異常ではないと判定された場合（ステップＳＡ３：Ｎｏ）、相関データは出力されない。
【００８６】
解析装置６において、相関データ取得部６１は、相関データ出力部５４から相関データを取得する（ステップＳＢ１）。
【００８７】
検査データ取得部６３は、検査装置４の検査データを取得する（ステップＳＢ２）。
【００８８】
判定部６４は、検査データ取得部６３により取得された検査装置４の検査データが不良か否かを判定する（ステップＳＢ３）。
【００８９】
ステップＳＢ３において、検査装置４の検査データは不良であると判定された場合（ステップＳＢ３：Ｙｅｓ）、関連データ出力部６５は、相関データ取得部６１により取得された相関データと、判定部６４において不良と判定された検査データとに基づいて、関連データを出力する（ステップＳＢ４）。
【００９０】
解析部６７は、不良と判定された検査データに係る動作指令及び検出データを解析した解析データを出力する（ステップＳＢ５）。
【００９１】
出力制御部６８は、ステップＳＢ４において出力された関連データ、及びステップＳＢ５において出力された解析データを、出力装置８に出力させる（ステップＳＢ６）。
【００９２】
上述のように、出力制御部６８は、関連データとして、例えば図５に示したような関連データを出力装置８に出力させる。また、出力制御部６８は、解析データとして、例えば「Ｃ基板の不良」の原因が「第３実装装置」の「第Ｂノズルに係る流量の異常」である可能性が高いことを示す解析データを出力装置８に出力させる。
【００９３】
なお、ステップＳＢ３において、検査装置４の検査データは不良ではないと判定された場合（ステップＳＢ３：Ｎｏ）、関連データ及び解析データは出力されない。
【００９４】
［コンピュータシステム］
図７は、本実施形態に係るコンピュータシステム１０００を示すブロック図である。上述の制御装置３０、データ処理装置５、及び解析装置６のそれぞれは、コンピュータシステム１０００を含む。コンピュータシステム１０００は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）のようなプロセッサ１００１と、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）のような不揮発性メモリ及びＲＡＭ（Random  Access  Memory）のような揮発性メモリを含むメインメモリ１００２と、ストレージ１００３と、入出力回路を含むインターフェース１００４とを有する。制御装置３０、データ処理装置５、及び解析装置６のそれぞれの機能は、コンピュータプログラムとしてストレージ１００３に記憶されている。プロセッサ１００１は、コンピュータプログラムをストレージ１００３から読み出してメインメモリ１００２に展開し、コンピュータプログラムに従って上述の処理を実行する。なお、コンピュータプログラムは、ネットワークを介してコンピュータシステム１０００に配信されてもよい。
【００９５】
コンピュータプログラムは、上述の実施形態に従って、コンピュータシステム１０００に、動作指令に基づいて実装動作を実行する実装ヘッド３２の状態の検出データを取得することと、実装動作により電子部品Ｃが実装された基板Ｐの検査データを取得することと、動作指令と検出データと検査データとが関連付けられた関連データを出力することと、を実行させることができる。
【００９６】
［効果］
以上説明したように、本実施形態によれば、実装ヘッド３２を制御するための動作指令と、異常と判定されたセンサ３４の検出データと、不良と判定された検査装置４の検査データとが関連付けられた関連データが出力される。これにより、検査装置４により電子デバイスの不良が発見された場合、管理者は、関連データを参照して、不良の原因を円滑に究明することができる。
【００９７】
相関データ出力部５４は、動作指令と異常と判定された検出データとの相関データを生成する。関連データ出力部６５は、相関データ出力部５４から出力された相関データと検査データとに基づいて、関連データを生成する。これにより、関連データ出力部６５の負荷が軽減される。
【００９８】
解析部６７は、不良と判定された検査データに係る動作指令及び検出データを解析した解析データを出力する。これにより、管理者は、解析データを参照して、不良の原因を認識することができる。
【００９９】
算出部５６は、複数の検出データを演算処理して算出データを出力する。これにより、管理者は、算出データを参照して、不良の原因を究明することができる。例えば、流量の平均値が徐々に上昇している場合、管理者は、例えばノズル３７の先端部に異物が付着し、ノズル３７による電子部品Ｃの吸着動作が不安定になっていると判定することができる。
【０１００】
実装ヘッド３２に設けられているセンサ３４の検出データは、実装ヘッド３２に設けられている無線送信機３５から、実装ヘッド３２の外部に設けられている無線受信機３６に送信される。実装動作において、実装ヘッド３２はヘッド移動装置３３により移動する。実装ヘッド３２が移動しても、センサ３４の検出データが無線で送信されることにより、データ処理装置５は、実装動作において検出されたセンサ３４の検出データを円滑に取得することができる。
【０１０１】
［その他の実施形態］
上述の実施形態においては、データ処理装置５の相関データ出力部５４において相関データが生成され、解析装置６の関連データ出力部６５は、相関データと不良と判定された検査データとに基づいて、関連データを生成することとした。データ処理装置５において相関データは生成されなくてもよい。解析装置６は、実装装置３から動作指令及びセンサ３４の検出データと取得し、検査装置４から不良と判定された検査データを取得して、動作指令と異常と判定された検出データと不良と判定された検査データとが関連付けられた関連データを出力してもよい。
【０１０２】
上述の実施形態において、解析部６７は、算出部５６から出力された算出データに基づいて、解析データを出力してもよい。
【０１０３】
上述の実施形態においては、複数の実装装置３のそれぞれがデータ処理装置５を１つずつ有することとした。複数の実装装置３が１つのデータ処理装置５を共用してもよい。
【０１０４】
上述の実施形態において、データ処理装置５の機能の少なくとも一部が解析装置６に設けられてもよいし、解析装置６の機能の少なくとも一部がデータ処理装置５に設けられてもよい。
【符号の説明】
【０１０５】
１…生産システム、２…検査装置、３…実装装置、３Ａ…第１実装装置、３Ｂ…第２実装装置、３Ｃ…第３実装装置、４…検査装置、５…データ処理装置、６…解析装置、７…生産ライン、８…出力装置、３０…制御装置、３０Ａ…生産プログラム記憶部、３０Ｂ…動作指令出力部、３１…基板支持部材、３２…実装ヘッド、３３…ヘッド移動装置、３３Ｘ…第１軸移動装置、３３Ｙ…第２軸移動装置、３４…センサ、３５…無線送信機、３６…無線受信機、３７…ノズル、３８…ノズル移動装置、５１…動作指令取得部、５２…検出データ取得部、５３…判定部、５４…相関データ出力部、５５…相関データ記憶部、５６…算出部、６１…相関データ取得部、６２…算出データ取得部、６３…検査データ取得部、６４…判定部、６５…関連データ出力部、６６…関連データ記憶部、６７…解析部、６８…出力制御部、Ｃ…電子部品、Ｐ…基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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