(57)【要約】【課題】期待される電気熱量効果を発揮する電気熱量効果装置を提供する。【解決手段】電気熱量効果装置２は、ＥＣＥ装置２と呼ばれる。ＥＣＥ装置２は、ＥＣＥ材料２１を備える。ＥＣＥ装置２は、ＥＣＥ材料２１に電場を与える電極２２、２３を備える。電極２２は、複数の部分電極３２を備える。複数の部分電極３２は、複数のスリット３３によって区画されている。複数の部分電極３２のそれぞれは、ヒューズとしての接続部分４１を介して端子２４に接続されている。ＥＣＥ材料２１は、絶縁不良、または絶縁破壊を生じることがある。この場合、ひとつの部分電極３２と、電極２３とが電気的に導通する。ただし、接続部分４１は、ヒューズとして機能し、ひとつの部分電極３２を非活性電極として隔離する。残る他の複数の部分電極３２は、活性電極として機能する。【選択図】図１
2020150077.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気熱量効果を発揮する電気熱量効果材料（２１）と、
複数の部分電極（３２、２３２、６３２）の集合体であり、前記電気熱量効果材料に電場を印加する電極（２２、２３）と、
複数の前記部分電極のそれぞれに設けられており、複数の前記部分電極のそれぞれに流れる電流により溶断する複数のヒューズ（４１、６４２）とを備える電気熱量効果装置。
【請求項２】
複数の前記部分電極は、接続部分（４１、６４２）によって一連の導体（３１）として接続されており、前記ヒューズは、前記接続部分により提供されている請求項１に記載の電気熱量効果装置。
【請求項３】
前記接続部分は、複数の接続部分のひとつであって、複数の前記接続部分は、網（３４）状に配置されている請求項２に記載の電気熱量効果装置。
【請求項４】
複数の前記部分電極は、
所定の第１面積（Ａ３２Ｌ）をもち、前記電極における第１領域に配置されている第１部分電極（３２）と、
前記第１面積より小さい第２面積（Ａ３２Ｓ）をもち、前記第１領域以外の第２領域に配置されている第２部分電極（２３２）とを含む請求項１から請求項３のいずれかに記載の電気熱量効果装置。
【請求項５】
前記第２領域は、帯状に延びている請求項４に記載の電気熱量効果装置。
【請求項６】
前記第２領域は、前記電気熱量効果材料の縁に沿って延びている請求項４に記載の電気熱量効果装置。
【請求項７】
さらに、前記電気熱量効果材料に与えられる電場を変調する電場変調装置（８）を備える請求項１から請求項６のいずれかに記載の電気熱量効果装置。
【請求項８】
複数の前記部分電極は、複数のスリット（３３、８３３）によって区画されている請求項１から請求項７のいずれかに記載の電気熱量効果装置。
【請求項９】
複数の部分電極（３２、２３２、６３２）から、電気熱量効果を発揮する電気熱量効果材料に電場を印加するステップ（１７６）と、
複数の前記部分電極のひとつである特定部分電極（３２ｎ）に流れる電流によりヒューズを溶断することによって、前記特定部分電極を非活性電極として隔離するとともに、他の前記部分電極を活性電極として残すステップ（１７７）とを備える電気熱量効果装置の製造方法。
【請求項１０】
さらに、前記電場を変調するステップ（１７８）を備える請求項９に記載の電気熱量効果装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この明細書における開示は、電気熱量効果装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、電気熱量効果が生じる材料を開示する。従来技術として列挙された先行技術文献の記載内容は、この明細書における技術的要素の説明として、参照により援用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１６０４６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
電気熱量効果材料は、熱、異物、外的な変形作用などによって欠陥を生じることがある。電気熱量効果材料は、欠陥に起因して、絶縁不良、または絶縁破壊を生じる場合がある。絶縁不良、または絶縁破壊は、電極間における部分的な電気導通を生じる。この結果、電気熱量効果が失われることがある。上述の観点において、または言及されていない他の観点において、電気熱量効果装置にはさらなる改良が求められている。
【０００５】
開示されるひとつの目的は、期待される電気熱量効果を発揮する電気熱量効果装置を提供することである。
【０００６】
開示される他のひとつの目的は、電極間における部分的な電気導通があっても、残された健全な電気熱量効果材料を機能させることができる電気熱量効果装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
ここに開示された電気熱量効果装置は、電気熱量効果を発揮する電気熱量効果材料（２１）と、複数の部分電極（３２、２３２、６３２）の集合体であり、電気熱量効果材料に電場を印加する電極（２２、２３）と、複数の部分電極のそれぞれに設けられており、複数の部分電極のそれぞれに流れる電流により溶断する複数のヒューズ（４１、６４２）とを備える。
【０００８】
開示される電気熱量効果装置によると、複数の部分電極の集合体としての電極によって、電気熱量効果材料に電場が印加される。複数の部分電極のひとつである特定部分電極に過大な電流が流れると、ヒューズが溶断する。ヒューズは、特定部分電極を非活性電極として隔離する。残る複数の部分電極は、電気熱量効果材料に電場を印加する。よって、ひとつの特定部分電極に故障が発生しても、残る複数の部分電極によって、電気熱量効果を発生させることができる。
【０００９】
ここに開示された電気熱量効果装置の製造方法は、複数の部分電極（３２、２３２、６３２）から、電気熱量効果を発揮する電気熱量効果材料に電場を印加するステップ（１７６）と、複数の部分電極のひとつである特定部分電極（３２ｎ）に流れる電流によりヒューズを溶断することによって、特定部分電極を非活性電極として隔離するとともに、他の部分電極を活性電極として残すステップ（１７７）とを備える。
【００１０】
開示される電気熱量効果装置の製造方法によると、複数の部分電極の集合体としての電極によって、電気熱量効果材料に電場が印加される。複数の部分電極のひとつである特定部分電極に過大な電流が流れると、ヒューズが溶断する。ヒューズは、特定部分電極を非活性電極として隔離する。残る複数の部分電極は、活性電極として残される。よって、ひとつの特定部分電極に故障が発生しても、残る複数の部分電極によって、電気熱量効果を発生させることができる。
【００１１】
この明細書における開示された複数の態様は、それぞれの目的を達成するために、互いに異なる技術的手段を採用する。請求の範囲およびこの項に記載した括弧内の符号は、後述する実施形態の部分との対応関係を例示的に示すものであって、技術的範囲を限定することを意図するものではない。この明細書に開示される目的、特徴、および効果は、後続の詳細な説明、および添付の図面を参照することによってより明確になる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１実施形態に係る熱機器のブロック図である。
【図２】ＥＣＥ装置の斜視図である。
【図３】ＥＣＥ装置の平面図である。
【図４】図３の矢印ＩＶ部分を示す部分拡大図である。
【図５】ＥＣＥ装置の等価回路を示す回路図である。
【図６】ＥＣＥ材料の製造方法を示すフローチャートである。
【図７】ＥＣＥ材料の製造装置を示すブロック図である。
【図８】ＥＣＥ材料の平面図である。
【図９】ＥＣＥ装置の平面図である。
【図１０】第２実施形態のＥＣＥ装置を示す図である。
【図１１】中間フィルム材料を示す平面図である。
【図１２】第３実施形態のＥＣＥ装置の平面図である。
【図１３】第４実施形態のＥＣＥ装置の平面図である。
【図１４】第５実施形態のＥＣＥ装置の平面図である。
【図１５】第６実施形態のＥＣＥ装置の平面図である。
【図１６】第７実施形態に係る熱機器のブロック図である。
【図１７】第８実施形態に係るＥＣＥ装置の部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
複数の実施形態が、図面を参照しながら説明される。複数の実施形態において、機能的におよび／または構造的に対応する部分および／または関連付けられる部分には同一の参照符号、または百以上の位が異なる参照符号が付される場合がある。対応する部分および／または関連付けられる部分については、他の実施形態の説明を参照することができる。
【００１４】
第１実施形態
図１は、熱機器１を示す。熱機器１は、温度調節装置を提供する。温度調節装置は、機器の温度、または室内の空気の温度を調節するために利用することができる。温度調節装置は、例えば、電池、電子回路等の発熱機器を冷却するために利用することができる。温度調節装置は、例えば、飲料、食品、水などの物品の温度を調節するために利用することができる。温度調節装置は、例えば、冷凍庫、冷蔵庫、住居、事業所、乗り物などの室内の空気温度を調節するために利用することができる。
【００１５】
熱機器１は、電気熱量効果装置２を備える。以下の説明において、電気熱量効果は、ＥＣＥ：ＥｌｅｃｒｔｒｏＣａｌｏｒｉｃ  Ｅｆｆｅｃｔと呼ばれる。熱機器１は、ＥＣＥ装置２が発揮する電気熱量効果によって得られる高温だけ、低温だけ、または高温と低温との両方を利用する。
【００１６】
ＥＣＥ装置２は、電気熱量効果を発揮するＥＣＥ材料２１と、ＥＣＥ材料２１に電場を印加するための電極２２、２３とを備える。ＥＣＥ材料２１は、電極２２と電極２３との間に配置されている。電極２２、２３は、それらの間に生じる電場をＥＣＥ材料２１に印加する。
【００１７】
ＥＣＥ材料２１は、電場の印加により発熱し、電場の除去により吸熱する。ＥＣＥ材料２１は、所定値を超える電場が印加されるとき、分子の配列が整列する。このとき、ＥＣＥ材料２１は、エントロピーが減少し、熱を放出する。この結果、ＥＣＥ材料２１の温度が上昇する。ＥＣＥ材料２１は、電場が除去されるとき、分子の配列がランダムに戻る。このとき、ＥＣＥ材料２１は、エントロピーが増加し、熱を吸収する。この結果、ＥＣＥ材料２１の温度が低下する。言い換えると、ＥＣＥ材料２１は、外部から電場が加えられたエントロピーの小さい状態において、電場を除去すると吸熱してエントロピーが大きくなる。ＥＣＥ材料２１は、エントロピーが大きな状態において、電場を印加すると放熱してエントロピーが小さくなる。
【００１８】
ＥＣＥ材料２１は、強誘電体材料によって提供することができる。ＥＣＥ材料２１は、ＰＶｄＦ樹脂（ポリフッ化ビニリデン樹脂）によって提供されている。これに代えて、ＥＣＥ材料２１は、ポリフッ化ビニリデン（ＶｄＦ）に、トリフルオロエチレン（ＴｒＦＥ）および／または１−クロロ−１−フルオロ−エチレン（ＣＦＥ）を添加物として含む、Ｐ（ＶｄＦ／ＴｒＦＥ）、またはＰ（ＶｄＦ／ＴｒＦＥ／ＣＦＥ）によって提供されてもよい。ＥＣＥ材料２１は、ポリマーフィルムとして提供されている。ポリマーフィルムは、通常のフィルムの製造方法によって提供することができる。ＥＣＥ材料２１は、セラミックスなどの強誘電材料によって提供されてもよい。
【００１９】
熱機器１は、ＥＣＥ装置２を収容するハウジング３を有する。ハウジング３は、熱を輸送する媒体４の容器でもある。ハウジング３は、媒体４を循環的に流す通路を備えることができる。媒体４は、ＥＣＥ装置２と熱交換する。媒体４は、ＥＣＥ装置２が吸収する熱を運搬する。媒体４は、ＥＣＥ装置２が放出する熱を運搬する。媒体４は、低温端ＬＴから高温端ＨＴへ熱を運搬する。媒体４は、低温端ＬＴに配置された熱交換器５と熱交換する。媒体４は、高温端ＨＴに配置された熱交換器６と熱交換する。媒体４は、流体によって提供される。媒体４は、気体、または液体によって提供される。媒体４は、水、またはオイルを主成分とする。媒体４は、フロリナート等のフッ素系不活性液体によって提供されてもよい。
【００２０】
熱交換器５、６は、温度調節の対象との熱交換を提供する。よって、媒体４は、温度調節の対象から隔離された媒体である。図中には、矢印付きの波線によって熱の流れが例示されている。温度調節装置が機器の温度調節に利用される場合、例えば、熱交換器５は、機器の発熱部分と熱交換可能に配置される。熱交換器６は、空気または液体と熱交換することにより、熱を放散する。温度調節装置が空気の冷却に利用される場合、例えば、熱交換器５は、空気と熱交換可能に配置され、空気を冷却する。この場合、熱交換器６は、空気または液体と熱交換することにより、熱を放散する。温度調節装置が空気の加熱に利用される場合、例えば、熱交換器６は、空気と熱交換可能に配置され、空気を加熱する。この場合、熱交換器５は、空気または液体と熱交換することにより、熱源として機能する。
【００２１】
熱機器１は、ＥＣＥ装置２と媒体４との間の相対的な熱の移動を生成するための熱輸送装置（ＴＴＲＤ）７を有する。この実施形態では、熱輸送装置７は、媒体４の往復的な流れを生成し、制御する。熱輸送装置７は、ＥＣＥ装置２が吸熱するとき、ＥＣＥ装置２から熱交換器５へ向かう媒体４の流れを提供する。熱輸送装置７は、ＥＣＥ装置２が放熱するとき、ＥＣＥ装置２から熱交換器６へ向かう媒体４の流れを提供する。熱輸送装置７は、複数のポンプ、および複数のバルブを含む流体機器によって提供することができる。
【００２２】
熱機器１は、ＥＣＥ装置２に電場を与え、かつ、電場を少なくとも強弱に変調する電場変調装置（ＥＦＭＤ）８を備える。電場変調装置８は、ＥＣＥ材料２１が電気熱量効果を発揮する電場を供給する。電場変調装置８は、ＥＣＥ材料２１に与えられる電場を周期的に変調する。電場変調装置８は、ＥＣＥ材料２１を強い電場の中におく状態と、ＥＣＥ材料２１を弱い電場の中におく状態とを切り換える。弱い電場は、電場を除去した状態、すなわちゼロ（０）電場の状態を含む。この実施形態では、電場変調装置８は、ＥＣＥ材料２１に与えられる電場を、所定値を超える電場状態と、ゼロ（０）電場状態とに切り換える。なお、電場は、電界と呼ばれてもよい。
【００２３】
熱機器１は、熱輸送装置７と、電場変調装置８との両方を制御する制御装置（ＣＮＴ）９を有する。制御装置９は、媒体４の流れと、電場の変調とを同期させる。この明細書における制御装置は、電子制御装置（ＥＣＵ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｕｎｉｔ）とも呼ばれる場合がある。制御装置、または制御システムは、（ａ）ｉｆ−ｔｈｅｎ−ｅｌｓｅ形式と呼ばれる複数の論理としてのアルゴリズム、または（ｂ）機械学習によってチューニングされた学習済みモデル、例えばニューラルネットワークとしてのアルゴリズムによって提供される。
【００２４】
制御装置は、少なくともひとつのコンピュータを含む制御システムによって提供される。制御システムは、データ通信装置によってリンクされた複数のコンピュータを含む場合がある。コンピュータは、ハードウェアである少なくともひとつのプロセッサ（ハードウェアプロセッサ）を含む。ハードウェアプロセッサは、下記（ｉ）、（ｉｉ）、または（ｉｉｉ）により提供することができる。
【００２５】
（ｉ）ハードウェアプロセッサは、少なくともひとつのメモリに格納されたプログラムを実行する少なくともひとつのプロセッサコアである場合がある。この場合、コンピュータは、少なくともひとつのメモリと、少なくともひとつのプロセッサコアとによって提供される。プロセッサコアは、ＣＰＵ：Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ、ＧＰＵ：Ｇｒａｐｈｉｃｓ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ、ＲＩＳＣ−ＣＰＵなどと呼ばれる。メモリは、記憶媒体とも呼ばれる。メモリは、プロセッサによって読み取り可能な「プログラムおよび／またはデータ」を非一時的に格納する非遷移的かつ実体的な記憶媒体である。記憶媒体は、半導体メモリ、磁気ディスク、または光学ディスクなどによって提供される。プログラムは、それ単体で、またはプログラムが格納された記憶媒体として流通する場合がある。
【００２６】
（ｉｉ）ハードウェアプロセッサは、ハードウェア論理回路である場合がある。この場合、コンピュータは、プログラムされた多数の論理ユニット（ゲート回路）を含むデジタル回路によって提供される。デジタル回路は、ロジック回路アレイ、例えば、ＡＳＩＣ：Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ−Ｓｐｅｃｉｆｉｃ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ、ＦＰＧＡ：Ｆｉｅｌｄ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｇａｔｅ  Ａｒｒａｙ、ＳｏＣ：Ｓｙｓｔｅｍ  ｏｎ  ａ  Ｃｈｉｐ、ＰＧＡ：Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｇａｔｅ  Ａｒｒａｙ、ＣＰＬＤ：Ｃｏｍｐｌｅｘ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｌｏｇｉｃ  Ｄｅｖｉｃｅなどとも呼ばれる。デジタル回路は、プログラムおよび／またはデータを格納したメモリを備える場合がある。コンピュータは、アナログ回路によって提供される場合がある。コンピュータは、デジタル回路とアナログ回路との組み合わせによって提供される場合がある。
【００２７】
（ｉｉｉ）ハードウェアプロセッサは、上記（ｉ）と上記（ｉｉ）との組み合わせである場合がある。（ｉ）と（ｉｉ）とは、異なるチップの上、または共通のチップの上に配置される。これらの場合、（ｉｉ）の部分は、アクセラレータとも呼ばれる。
【００２８】
制御装置と信号源と制御対象物とは、多様な要素を提供する。それらの要素の少なくとも一部は、ブロック、モジュール、またはセクションと呼ぶことができる。さらに、制御システムに含まれる要素は、意図的な場合にのみ、機能的な手段と呼ばれる。
【００２９】
図２は、ＥＣＥ装置２を示す。なお、この図および他の図において、電極２２、２３は厚さに関して誇張して描かれている。図示されるように、ＥＣＥ装置２は、平板状である。ＥＣＥ装置２は、電極２２に電気的に接続された端子２４を有する。ＥＣＥ装置２は、電極２３に電気的に接続された端子２５を有する。端子２４、２５は、電極２２、２３の全体に電場を発生させるように配置されている。端子２４、２５は、例えば、ＥＣＥ装置２の縦辺、または横辺に沿って延びる導体部分を有していてもよい。ＥＣＥ装置２は、追加的な膜、または層を有していてもよい。ＥＣＥ装置２は、例えば、ＥＣＥ材料２１と、電極２２、２３との間に、保護層などを備えることができる。さらに、ＥＣＥ装置２は、例えば、電極２２、２３の外側に、保護層を備えていてもよい。ＥＣＥ装置２は、ＥＣＥ材料２１と、電極２２、２３との積層方法ＴＤを有する。ＥＣＥ装置２は、積層方法ＴＤと直交する長さ方向ＬＤおよび幅方向ＷＤを有する。
【００３０】
電極２２、２３は、ＥＣＥ材料２１の表面に形成された導体膜によって提供されている。電極２２、２３は、ＥＣＥ材料２１の表面に蒸着された金属薄膜によって提供されている。電極２２、２３は、多様な形態によって提供することができる。電極２２、２３は、導体箔、導体板などによって提供されてもよい。この実施形態では、金属薄膜によって電極２２、２３が提供されている。
【００３１】
図３において、電極２２または電極２３が図示されている。この実施形態では、電極２２が複数の部分電極３２を有する。電極２３は、導体３１の全体にわたって連続する電極を有している。導体３１は、導体薄膜によって提供されている。電極２２、または電極２３の少なくとも一方が、複数の部分電極３２を備えることによって、後述の部分的な隔離が実現される。
【００３２】
電極２２は、複数の部分電極３２を有している。電極２２は、複数の部分電極３２の集合体である。複数の部分電極３２は、互いに一連の導体として連結されている。この結果、端子２４と、複数の部分電極３２とは、電気的に接続されている。
【００３３】
複数の部分電極３２の間には、複数のスリット３３が配置されている。複数のスリット３３は、互いに離れて位置づけられている。複数のスリット３３は、部分的に導体３１を残して、間欠的に配置されている。複数のスリット３３は、網状に配置されている。複数のスリット３３の間には、電極２２としての導体３１が配置されている。スリット３３は、電極２２としての導電性を有しない部位である。スリット３３は、電極２２を蒸着する工程において形成される。複数の部分電極３２は、複数のスリット３３によって区画されている。
【００３４】
ひとつの部分電極３２は、所定の面積Ａ３２Ｌを有する。面積Ａ３２Ｌは、第１面積とも呼ばれる。この面積Ａ３２Ｌは、後述の非活性電極の総数と、合計面積とが、ＥＣＥ装置２の電気熱量効果を損なわないように設定されている。さらに、面積Ａ３２Ｌは、電極２２の抵抗成分を含む電気的な特性を許容範囲に抑えるように設定されている。ここで、面積Ａ３２Ｌは、許容範囲における比較的大きい面積に相当する。後述の面積Ａ３２Ｓは、面積Ａ３２Ｌより小さい（Ａ３２Ｓ＜Ａ３２Ｌ）。面積Ａ３２Ｓは、第２面積とも呼ばれる。
【００３５】
図４は、図３の矢印ＩＶ部分を拡大して示している。複数の部分電極３２は、マス目状、マトリックス状、またはグリッド状とも呼ぶことができる。部分電極３２の形状は、多辺形、または多角形と呼ぶことができる。複数の部分電極３２は、網３４状に配置されている。複数の部分電極３２は、網３４の複数の交点に交互に配置されている。
【００３６】
複数の部分電極３２は、それらの頂点において互いに電気的に接続されている。複数の部分電極３２は、接続部分４１によって一連の導体３１として接続されている。接続部分４１は、導体狭窄部を提供する。導体狭窄部は、幅Ｗ４１を備える。電極２２および電極２３に電流が流れる場合、電流は部分電極３２に広がって流れる。一方で、電流は、接続部分４１において集中的に流れる。この結果、接続部分４１は、発熱しやすい。接続部分４１に流れる電流が所定の電流閾値Ｉｔｈを超えると、接続部分４１は発熱し、断線することがある。この電流閾値Ｉｔｈは、導体３１の厚さ、および幅Ｗ４１、さらには導体３１の材料によって計画的に設定することができる。電流閾値Ｉｔｈは、ＥＣＥ装置２の全体が正常である場合に、ひとつの接続部分４１に流れる正常電流Ｉｎｒより高く設定されている。電流閾値Ｉｔｈは、ＥＣＥ材料２１が部分的に短絡することによって、ひとつの接続部分４１に流れる故障電流Ｉｓｈより低く設定されている。よって、電流閾値Ｉｔｈは、正常電流Ｉｎｒより高く、故障電流Ｉｓｈより低い（Ｉｎｒ＜Ｉｔｈ＜Ｉｓｈ）。
【００３７】
図５は、ＥＣＥ装置２の等価回路を示す。複数の接続部分４１のそれぞれは、ヒューズを提供する。複数の接続部分４１が提供する複数のヒューズは、複数の部分電極のそれぞれに設けられている。複数の接続部分４１が提供する複数のヒューズは、複数の部分電極３２のそれぞれに流れる電流により溶断する。接続部分４１は、閾値電流Ｉｔｈを超える電流が流れる場合に電気的な回路接続を切断する。複数のヒューズは、複数の部分電極３２のいずれか少なくともひとつを非活性電極として隔離する。同時に、複数のヒューズは、非活性電極以外の他の残りの部分電極３２を活性電極として残すことを可能とする。この結果、ＥＣＥ装置２の全体が電気熱量効果を失う事態が回避される。
【００３８】
ひとつの特定部分電極３２ｎにおいて、ＥＣＥ材料２１の絶縁不良、またはＥＣＥ材料２１の絶縁破壊が発生すると、電極２２の特定部分電極３２ｎと、電極２３とが電気的に導通する。多くの場合、電気導通は、短絡である。この場合、特定部分電極３２ｎに関連する複数の頂点のそれぞれに均等に故障電流Ｉｓｈが流れる事態を想定できる。この場合、複数の接続部分４１が順に切断される。特定部分電極３２ｎに関連する複数の頂点のいずれかに電流が集中した場合も、複数の接続部分４１が順に切断される。図示の場合、例えば、４つの頂点が順に切断される。この結果、特定部分電極３２ｎは、他の残りの部分電極３２群から電気的に分離される。したがって、接続部分４１がヒューズとして機能することにより、特定部分電極３２ｎは、ＥＣＥ材料２１に電場を印加することができない非活性電極になる。このとき、他の残りの複数の部分電極３２は、ＥＣＥ材料２１に電場を印加することができる活性電極として生き残る。複数の特定部分電極３２ｎが発生した場合、複数の特定部分電極３２ｎが同時に、または順に非活性電極として隔離される。
【００３９】
図６は、ＥＣＥ装置２の製造方法１７０を示す。ＥＣＥ装置の製造方法１７０は、複数のステップ１７１−１７８を備える。ステップ１７１−１７８の順序は、限定的ではない。例えば、ＥＣＥ材料２１と電極２２、２３とを組み合わせるステップ１７５は、ステップ１７４の前に実行されてもよい。
【００４０】
ステップ１７１は、ＥＣＥ材料の原料を調整する工程を提供する。このステップ１７１では、例えば、ＰＶｄＦ樹脂の原料粉体と有機溶媒とが混合される。ステップ１７２は、調整された原料を押し出す工程を提供する。この工程により、原料が膜状に成形される。ステップ１７３は、ステップ１７２により成形された原料膜が、加熱によって乾燥される。ここでは、原料膜から有機溶媒が除去される。
【００４１】
図７は、ステップ１７１からステップ１７３を実施する製造装置を示す。製造装置は、タンク８１を備える。タンク８１は、ＰＶｄＦ樹脂の原料粉体と有機溶媒と混合原料を貯める。混合原料は、タンク８１から押し出され、原料膜８２に成形される。製造装置は、加熱炉８３を備える。加熱炉８３は、原料膜８２を加熱し、乾燥させる。こうして得られたＥＣＥ材料２１の中間フィルム材８４は、ロール材８５として巻き取られる。中間フィルム材８４は、ロール材８５として物流におかれる場合がある。さらに、製造装置は、ステップ１７５における電極２２、２３を形成するための蒸着炉を備えていてもよい。
【００４２】
図６に戻り、ステップ１７４は、中間フィルム材８４から、ＥＣＥ材料２１を切り出す工程を提供する。ステップ１７４では、ＥＣＥ材料２１より広い中間フィルム材８４から、複数のＥＣＥ材料２１が切り出される。ステップ１７５は、ＥＣＥ材料２１と電極２２、２３とを組み合わせる工程を提供する。ステップ１７５は、ステップ１７４の前に実施されてもよい。ステップ１７５では、複数の部分電極３２が形成される。これにより、ＥＣＥ装置２が完成する。
【００４３】
ステップ１７６−１７８は、製造方法における試験工程によって提供される。ステップ１７６−１７８は、電気熱量効果装置の使用方法において提供されてもよい。ステップ１７６−１７８は、不活性電極と活性電極とを生成するための製造方法でもある。
【００４４】
ステップ１７６では、ＥＣＥ装置２に実際に電場を印加する工程が提供される。ステップ１７６では、端子２４、２５に電圧が印加される。このとき、ＥＣＥ材料２１に欠陥があると、ＥＣＥ材料２１が絶縁破壊を生じる。ステップ１７６は、複数の部分電極３２から、電気熱量効果を発揮するＥＣＥ材料２１に電場を印加する工程を提供する。
【００４５】
ステップ１７７では、特定部分電極３２ｎにおいて電気導通が発生する。この場合、特定部分電極３２ｎは、上記ヒューズによって非活性電極として隔離され、他の残る複数の部分電極３２が活性電極として残される。ステップ１７７は、複数の部分電極３２のひとつである特定部分電極３２ｎに流れる電流によりヒューズを溶断する。ステップ１７７は、これによって、特定部分電極３２ｎを非活性電極として隔離するとともに、他の部分電極３２を活性電極として残す工程を提供する。
【００４６】
ステップ１７６−１７７は、ＥＣＥ装置の製造方法に含まれる試験段階において実施されてもよい。この場合、ＥＣＥ装置の製造方法は、非活性電極と活性電極とを含む複数の部分電極３２を備えるＥＣＥ装置２を提供する。これに代えて、ステップ１７６−１７７は、ＥＣＥ装置２が製造された後の使用方法または制御方法において実施されてもよい。この場合、ＥＣＥ装置の使用方法または制御方法は、ＥＣＥ装置２に含まれる複数の部分電極３２を、非活性電極と、活性電極とに分類する段階を提供する。別の観点では、非活性電極と活性電極との両方を含むＥＣＥ装置の製造方法は、使用方法または制御方法の段階において完了するともいえる。ステップ１７６−１７７は、ＥＣＥ装置２の製造方法と、ＥＣＥ装置２が製造された後の使用方法または制御方法との両方において実施されてもよい。
【００４７】
ステップ１７８では、電場変調装置８が、ＥＣＥ材料２１に与えられる電場を強弱に変調する。電場変調装置８は、時間経過につれて、ＥＣＥ材料２１に与えられる電場を強弱に変化させる。この強弱の変化は、電場の印加と、除去との変化によって実現されている。
【００４８】
図８は、ＥＣＥ材料２１における欠陥５０を示している。欠陥５０は、丸印によって示されている。欠陥５０は、例えば、気泡、異物、外部から与えられる作用力による変形、材料組成の偏り、不純物など多様な要因によって発生する。この実施形態では、加熱炉８３において欠陥５０が発生する場合がある。
【００４９】
図９は、電極２２を示す。Ｘ印は、部分的な電気導通箇所６０を示す。電極２２におけるｎ番目の特定部分電極３２ｎと、電極２３とが、欠陥５０の表裏に位置づけられている。この場合、欠陥５０において絶縁破壊が発生すると、電極２２の特定部分電極３２ｎと、電極２３とが電気的に導通し、電気導通箇所６０を生じる。電気導通箇所６０（短絡）は、故障電流を許容する。したがって、電極２２の特定部分電極３２ｎに関連する４つの接続部分４１は、ヒューズとして機能する。この結果、４つの接続部分４１は、特定部分電極３２ｎを非活性電極として分離する。同時に、４つの接続部分４１は、特定部分電極３２ｎ以外の他の複数の部分電極３２を活性電極として残す。
【００５０】
以上に述べた実施形態によると、期待される電気熱量効果を発揮するＥＣＥ装置２が提供される。特に、電極間における部分的な電気導通があっても、残された健全なＥＣＥ材料を機能させることができる。
【００５１】
製造段階において部分的な電気導通が生じる場合、ＥＣＥ装置２の不良品を抑制することができる。また、別の観点では、後発的に部分的な電気導通が生じる場合、ＥＣＥ装置２の機能を持続することができる。ＥＣＥ材料２１の部分的な電気導通を許容するＥＣＥ装置２を提供することができる。言い換えると、ＥＣＥ材料２１の部分的な電気導通があっても、残された健全なＥＣＥ材料２１を機能させることができるＥＣＥ装置２が提供される。ＥＣＥ材料２１に欠陥５０があっても、ＥＣＥ装置２の全体にわたって電気熱量効果が失われる事態が回避される。この結果、信頼性の高いＥＣＥ装置２を提供することができる。
【００５２】
しかも、複数の接続部分４１によってヒューズが提供される。このため、別部品として複数のヒューズを設ける必要がない。さらに、通電試験において、非活性電極を隔離することができる。このため、ＥＣＥ装置２を市場に供給した後の、電気熱量効果の変動を抑制することができる。また、別の観点では、市場において後発的に電気導通が生じた場合であっても、電気熱量効果の変動を抑制することができる。また、ＥＣＥ装置２の機能が完全に失われる事態を回避することができる。
【００５３】
第２実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。上記実施形態では、複数の部分電極３２は、互いに等しい面積Ａ３２Ｌを有する。これに代えて、この実施形態では、複数の部分電極３２は、少なくとも２種類の部分電極３２、２３２を有する。これら２種類の部分電極３２、２３２は、少なくとも２種類の異なる面積Ａ３２Ｌ、Ａ３２Ｓによって区別可能である。部分電極３２は、第１部分電極とも呼ばれる。部分電極２３２は、第２部分電極とも呼ばれる。
【００５４】
図１０は、欠陥５０の密度の分布と、複数の種類の部分電極３２、２３２の分布とを示している。（ａ）は、ＥＣＥ材料２１の一例を示している。ＥＣＥ材料２１は、複数の欠陥５０を含む場合がある。さらに、複数の欠陥５０は、例えば、製造方向、または製造装置に起因して、ＥＣＥ材料２１の上において、一定の分布を示す場合がある。複数の欠陥５０は、例えば、ＥＣＥ材料２１の上において、帯状に分布する場合がある。さらに、複数の欠陥５０は、例えば、ＥＣＥ材料２１の上において、ＥＣＥ材料２１の辺（縁）に沿って帯状に分布する場合がある。この場合、複数の欠陥５０は、例えば、ＥＣＥ材料２１の短辺、または長辺に沿って帯状に分布する場合がある。
【００５５】
図１１は、図７における中間フィルム材８４の平面図を示す。中間フィルム材８４は、製造方法、または製造装置に起因して、複数の欠陥５０の分布を有する場合がある。中間フィルム材８４は、例えば、加熱炉８３における温度むらに起因して、複数の欠陥５０の帯状の分布を有する場合がある。このような複数の欠陥５０の帯状の分布は、中間フィルム材８４の長手方向に沿って細長く延びている。この結果、中間フィルム材８４は、欠陥５０が比較的少ない低密度領域２５１と、欠陥５０が比較的多い高密度領域２５２とを有する。
【００５６】
図６におけるステップ１７４では、中間フィルム材８４からＥＣＥ材料２１が切り出される。ここで、破線で示される範囲２１ａ、２１ｂ、２１ｃからＥＣＥ材料２１が切り出される場合、ＥＣＥ材料２１も、低密度領域２５１と、高密度領域２５２とを有する。破線で示される範囲２１ｄだけをＥＣＥ材料２１としてもよい。ただし、この場合、材料の歩留まりが悪化する。このように、多くのＥＣＥ材料２１は、その面に沿って、複数の欠陥５０を有する。しかも、複数の欠陥５０は、不可避である。さらに、複数のＥＣＥ材料２１は、複数の欠陥５０に関して、互いに等しい分布を有する。
【００５７】
図１０に戻り、（ａ）に示されるように、ＥＣＥ材料２１は、低密度領域２５１と、高密度領域２５２とを有する。低密度領域２５１は、第１領域とも呼ばれる。高密度領域２５２は、第２領域とも呼ばれる。（ｂ）は、この実施形態の電極２２を示す。電極２２は、複数の部分電極３２と、複数の部分電極２３２とを有する。部分電極２３２は、面積Ａ３２Ｓを有する。面積Ａ３２Ｓは、面積Ａ３２Ｌより小さい（Ａ３２Ｓ＜Ａ３２Ｌ）。面積Ａ３２Ｓは、面積Ａ３２Ｌのおよそ１／４である。複数の部分電極３２は、低密度領域２５１に配置されている。複数の部分電極２３２は、高密度領域２５２に配置されている。
【００５８】
（ｃ）は、ＥＣＥ装置２の側面を示す。（ｃ）において、複数の欠陥５０が破線によって示されている。
【００５９】
（ｄ）は、ＥＣＥ装置２における欠陥密度ＤＦと、電極面積Ａとを示す。欠陥密度ＤＦは、欠陥数ｎ／平方ミリである。電極面積Ａは、平方ミリである。低密度領域２５１における欠陥密度ＤＦは、高密度領域２５２における欠陥密度ＤＦより低い。欠陥５０の密度分布は、低密度領域２５１において最低値ＤＦｂを示す。欠陥５０の密度分布は、高密度領域２５２において最高値ＤＦｐを示す。
【００６０】
低密度領域２５１におけるひとつの部分電極３２の面積Ａ３２Ｌは、高密度領域２５２におけるひとつの部分電極２３２の面積Ａ３２Ｓより大きい。逆に、高密度領域２５２におけるひとつの部分電極２３２の面積Ａ３２Ｓは、低密度領域２５１におけるひとつの部分電極３２の面積Ａ３２Ｌより小さい。言い換えると、低密度領域２５１には、比較的大きい面積Ａ３２Ｌをもつ複数の部分電極３２が配置されている。高密度領域２５２には、比較的小さい面積Ａ３２Ｓをもつ複数の部分電極２３２が配置されている。この結果、欠陥５０の密度の分布と、複数の部分電極３２、２３２の面積の分布とは、互いに対応付けられている。欠陥５０の高密度領域２５２と、小面積の部分電極２３２とが関連づけられている。欠陥５０の低密度領域２５１と、大面積の部分電極３２とが関連づけられている。よって、欠陥５０の密度の高低と、複数の部分電極３２、２３２の面積の大小とは、互いに逆の関係によって関連付けられている。
【００６１】
図示の例では、ＥＣＥ材料２１における複数の欠陥５０の欠陥密度ＤＦは、ＥＣＥ材料２１の一端部において高く、他端部において低い。よって、ＥＣＥ材料２１上における欠陥密度ＤＦの分布は、ＥＣＥ材料２１上において所定の傾向、または傾斜を有している。一方で、複数の部分電極３２、２３２が提供する面積Ａは、ＥＣＥ材料２１の一端部において小さく、他端部において大きい。よって、ＥＣＥ材料２１上における面積Ａの分布は、ＥＣＥ材料２１上において面積Ａの傾向、または傾斜を有している。欠陥密度ＤＦの傾向と、面積Ａの傾向とは、互いに対応している。欠陥密度ＤＦの傾向と、面積Ａの傾向とは、互いに逆の関係である。
【００６２】
ＥＣＥ材料２１は、高密度領域２５２において、絶縁破壊を生じる場合がある。この場合、部分電極２３２の面積Ａ３２Ｓが比較的小さいため、電気熱量効果の低下が抑制される。しかも、電極２２は、高密度領域２５２だけに部分電極２３２も有するから、電極２２の電気的な特性の変化を抑制することができる。
【００６３】
さらに、多くの場合、高密度領域２５２において発生する絶縁破壊の数は、低密度領域２５１において発生する絶縁破壊の数より多い。この場合、複数の部分電極２３２が、非活性電極として隔離される。部分電極２３２の面積Ａ３２Ｓは比較的小さいから、非活性電極の合計面積も抑制される。この結果、電気熱量効果の低下が抑制される。しかも、電極２２は、高密度領域２５２だけに部分電極２３２も有するから、電極２２の電気的な特性の変化を抑制することができる。
【００６４】
この実施形態でも、部分的な電気導通が許容される。言い換えると、部分的な電気導通によって電気熱量効果が発揮されない部分が発生しても、残る部分において電気熱量効果を発揮させることができる。しかも、２種類の広さをもつ部分電極３２、２３２を備えることにより、残る部分の面積を大きくすることができる。
【００６５】
第３実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。上記実施形態では、ＥＣＥ装置２は、低密度領域２５１と、高密度領域２５２とを有する。これに代えて、ＥＣＥ装置２は、多様な分布を示す低密度領域と、高密度領域とを備えることができる。
【００６６】
図１２は、２つの高密度領域を有する場合を示す。（ａ）は、ＥＣＥ材料２１を示す。ＥＣＥ材料２１は、一端部に高密度領域２５２を有し、他端部に高密度領域３５３を有する。さらに、ＥＣＥ材料２１は、中央部に低密度領域２５１を有する。（ｂ）は、電極２２を示す。複数の部分電極３２は、低密度領域２５１に配置されている。複数の部分電極２３２は、２つの高密度領域２５２、３５３に配置されている。
【００６７】
第４実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。図１３は、２つの低密度領域を有する場合を示す。（ａ）は、ＥＣＥ材料２１を示す。ＥＣＥ材料２１は、一端部に低密度領域２５１を有し、他端部に低密度領域４５４を有する。さらに、ＥＣＥ材料２１は、中央部に高密度領域２５２を有する。（ｂ）は、電極２２を示す。複数の部分電極３２は、２つの低密度領域２５１、４５４に配置されている。複数の部分電極２３２は、高密度領域２５２に配置されている。
【００６８】
第５実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。上記実施形態では、面積が異なる複数の種類の部分電極３２は、帯状に配置されている。これに代えて、複数の種類の部分電極３２は、多様な分布を形成するように配置されてもよい。
【００６９】
図１４において、比較的小さい面積Ａ３２Ｓをもつ複数の部分電極２３２は、面積Ａ３２Ｌをもつ複数の部分電極３２によって囲まれた島状領域５５５の中に配置されている。この実施形態によると、島状領域５５５において絶縁破壊が発生しやすい場合に、部分的な電気導通を許容するＥＣＥ装置２が提供される。この実施形態は、例えば、ＥＣＥ装置２の用途に起因して、島状領域に外力が加えられやすく、その外力によって電極間に短絡が生じる場合などに有効である。
【００７０】
第６実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。上記実施形態では、複数の部分電極３２は、マス目状に配置されている。また、複数の部分電極３２は、ヒューズとしての複数の接続部分４１によって接続されている。これに代えて、複数の部分電極３２は、多様な形状によって提供することができる。さらに、複数の部分電極３２は、ＥＣＥ材料２１の上において、完全に分離された複数の部分電極３２によって提供されていてもよい。
【００７１】
図１５において、電極２２は、ストライプ状の複数の部分電極６３２を備える。複数の部分電極６３２は、ＥＣＥ材料２１の上において、複数のスリット６３３によって完全に分離されている。この実施形態でも、複数の部分電極６３２は、数種類の異なる面積を有している。複数の部分電極６３２は、面積の広さ（大小）に関して分布を形成している。狭い面積の部分電極６３２の分布は、欠陥５０の密度の分布に対応している。図示の例では、ＥＣＥ装置２の長手方向における中央部分において、狭い面積の部分電極６３２が分布しており、かつ、欠陥５０が高い密度で分布している。
【００７２】
複数の部分電極６３２は、端子２４から電気的に並列に接続されている。端子２４と複数の部分電極６３２との間の複数の導電経路のそれぞれには、複数のヒューズ６４２が配置されている。ヒューズ６４２は、閾値電流Ｉｔｈにおいて溶断するように設定されている。この実施形態でも、ＥＣＥ材料２１の部分的な電気導通を許容するＥＣＥ装置２が提供される。
【００７３】
第７実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。上記実施形態では、媒体４が熱を輸送している。また、媒体４は、温度調節の対象から隔離された媒体である。これに代えて、ＥＣＥ装置２は、温度調節の対象としての媒体４と直接的に接触してもよい。
【００７４】
図１６において、熱機器１は、ＥＣＥ装置２によって空気の温度を調節する冷暖房装置である。ハウジング３は、空調装置のハウジングを提供する。ハウジング３は、冷風通路７１１と、温風通路７１２とを提供する。熱機器１は、媒体４としての空調空気を送風する送風機７１３を備える。熱機器１は、冷風通路７１１と、温風通路７１２とを切り換えるダンパ装置７１４を備える。冷暖房装置が冷房を提供する場合、冷風通路７１１は、空調対象室に連通される。この場合、温風通路７１２は、室外に連通される。冷暖房装置が暖房を提供する場合、冷風通路７１１は、室外に連通される。この場合、温風通路７１２は、空調対象室に連通される。熱輸送装置７は、送風機７１３と、ダンパ装置７１４とを制御する。ダンパ装置７１４は、ＥＣＥ装置２の吸熱状態において、図示されるように冷風通路７１１を開き、温風通路７１２を閉じる。ダンパ装置７１４は、ＥＣＥ装置２の発熱状態において、冷風通路７１１を閉じ、温風通路７１２を開く。この実施形態によると、ＥＣＥ装置２による電気熱量効果を直接的に利用することができる。
【００７５】
第８実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。上記実施形態では、複数のスリット３３の交点に接続部分４１が残されている。これに代えて、交差するスリット８３３によって複数の部分電極３２を区画してもよい。
【００７６】
図１７は、電極２２を示す。この実施形態でも、複数の部分電極３２は、網３４に沿って配置されている。電極２２は、複数のＸ字状のスリット８３３を有する。複数のスリット８３３は、それらの間に複数の部分電極３２を区画している。複数の部分電極３２は、それらの辺において、接続部分８４１を介して互いに接続されている。接続部分８４１は、ヒューズを提供している。この実施形態でも、ＥＣＥ材料２１の欠陥などに起因して電極間が導通する場合がある。この場合、電気導通箇所６０における特定部分電極３２ｎだけが非活性電極として隔離され、残る他の複数の部分電極３２が活性電極として生き残る。
【００７７】
他の実施形態
この明細書および図面等における開示は、例示された実施形態に制限されない。開示は、例示された実施形態と、それらに基づく当業者による変形態様を包含する。例えば、開示は、実施形態において示された部品および／または要素の組み合わせに限定されない。開示は、多様な組み合わせによって実施可能である。開示は、実施形態に追加可能な追加的な部分をもつことができる。開示は、実施形態の部品および／または要素が省略されたものを包含する。開示は、ひとつの実施形態と他の実施形態との間における部品および／または要素の置き換え、または組み合わせを包含する。開示される技術的範囲は、実施形態の記載に限定されない。開示されるいくつかの技術的範囲は、請求の範囲の記載によって示され、さらに請求の範囲の記載と均等の意味及び範囲内での全ての変更を含むものと解されるべきである。
【００７８】
明細書および図面等における開示は、請求の範囲の記載によって限定されない。明細書および図面等における開示は、請求の範囲に記載された技術的思想を包含し、さらに請求の範囲に記載された技術的思想より多様で広範な技術的思想に及んでいる。よって、請求の範囲の記載に拘束されることなく、明細書および図面等の開示から、多様な技術的思想を抽出することができる。
【００７９】
上記実施形態では、熱輸送は、媒体４の移動によって提供されている。ＥＣＥ装置２は静止部であり、媒体４は可動であり、熱を輸送している。これに代えて、熱輸送装置７は、ＥＣＥ装置２を発熱位置と吸熱位置との間において移動させてもよい。この場合、ＥＣＥ装置２自体が発熱位置と吸熱位置との間において移動する。ＥＣＥ装置２によって機器を冷却する場合、例えば、ＥＣＥ装置２は吸熱位置において機器に接触し、発熱位置において機器から離れるように構成される。この場合、ＥＣＥ装置２は接触状態において機器から吸熱し、ＥＣＥ装置２は隔離状態において外気に放熱する。
【００８０】
上記実施形態では、ＥＣＥ装置２は、平板状である。これに代えて、ＥＣＥ装置２は、波板状、フィン状、筒状など多様な形状によって提供可能である。ＥＣＥ装置２の形状は、媒体４との熱交換性を高めるように選択することができる。
【００８１】
上記実施形態では、電極２２は、複数の部分電極３２を備える。これに代えて、電極２３が複数の部分電極３２を備えていてもよい。この場合、電極２２は、全面に渡って広がる導体３１を備える。
【００８２】
上記実施形態では、電極２２または電極２３は、２種類、または数種類の面積をもつ複数の部分電極を有している。これに代えて、電極２２または電極２３は、さらに多い複数の種類の面積をもつ複数の部分電極を有していてもよい。複数の電極は、例えば、欠陥密度に応じて、面積が段階的に変化するように設定されていてもよい。上記実施形態では、複数の部分電極は、第１部分電極と、第２部分電極とを含む。これに加えて、複数の部分電極は、第１面積より小さく、第２面積より大きい第３面積をもつ第３部分電極を含むことができる。第３部分電極は、欠陥密度が、第１領域より高く、第２領域より低い第３領域に配置される。
【符号の説明】
【００８３】
１  熱機器、  ２  電気熱量効果装置（ＥＣＥ装置）、
３  ハウジング、  ４  媒体、  ５、６  熱交換器、
７  熱輸送装置、  ８  電場変調装置、  ９  制御装置、
２１  ＥＣＥ材料、  ２２、２３  電極、  ２４、２５  端子、
３１  導体、  ３２  部分電極、  ３２ｎ  特定部分電極、
３３  スリット、  ４１  接続部分（ヒューズ）、  ５０  欠陥、
６０  電気導通箇所、  ８１  タンク、  ８２  原料膜、
８３  加熱炉、  ８４  中間フィルム材、  ８５  ロール材、
２３２  部分電極、  ２５１  低密度領域、  ２５２  高密度領域、
３５３  高密度領域、
４５４  低密度領域、
５５５  島状領域、
６３２  部分電極、  ６３３  スリット、  ６４２  ヒューズ、
７１１  冷風通路、  ７１２  温風通路、
７１３  送風機、  ７１４  ダンパ装置、
８３３  スリット、  ８４１  接続部分。
【図１】
2020150077.tif 000003
【図２】
2020150077.tif 000004
【図３】
2020150077.tif 000005
【図４】
2020150077.tif 000006
【図５】
2020150077.tif 000007
【図６】
2020150077.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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