(57)【要約】【課題】安定して特性を向上できる半導体装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】実施形態によれば、半導体装置は、第１〜第３電極、第１〜第３窒化物領域、第１絶縁膜及び第２絶縁膜を含む。前記第１窒化領域は、Ａｌｘ１Ｇａ１−ｘ１Ｎ（０≦ｘ１＜１）を含む。前記第２窒化物領域は、Ａｌｘ２Ｇａ１−ｘ２Ｎ（０＜ｘ２≦１、ｘ１＜ｘ２）を含む。前記第１絶縁膜は、第１絶縁領域及び第２絶縁領域を含みシリコンと窒素とを含む。前記第３窒化物領域は、Ａｌｘ３Ｇａ１−ｘ３Ｎ（０＜ｘ３≦１、ｘ１＜ｘ３）を含む。前記第２絶縁膜は、シリコンと酸素とを含む。【選択図】図１
2020150141.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１電極と、
第２電極と、
Ａｌｘ１Ｇａ１−ｘ１Ｎ（０≦ｘ１＜１）を含む第１窒化物領域であって、前記第１窒化物領域は、第１部分領域、第２部分領域、前記第１部分領域と前記第２部分領域との間の第３部分領域、前記第１部分領域と前記第３部分領域との間の第４部分領域、及び、前記第３部分領域と前記第２部分領域との間の第５部分領域を含み、前記第１部分領域から前記第１電極への第１方向は、前記第１電極から前記第２電極への第２方向と交差し、前記第２部分領域から前記第２電極への方向は前記第１方向に沿う、前記第１窒化物領域と、
Ａｌｘ２Ｇａ１−ｘ２Ｎ（０＜ｘ２≦１、ｘ１＜ｘ２）を含む第２窒化物領域であって、前記第２窒化物領域は、第６部分領域及び第７部分領域を含み、前記第４部分領域から前記第６部分領域への方向は前記第１方向に沿い、前記第５部分領域から前記第７部分領域への方向は前記第１方向に沿う、前記第２窒化物領域と、
第３電極であって、前記第３部分領域から前記第３電極への方向は前記第１方向に沿い、前記第３電極の少なくとも一部は前記第２方向において前記第６部分領域と前記第７部分領域との間にある、前記第３電極と、
第１絶縁領域及び第２絶縁領域を含みシリコンと窒素とを含む第１絶縁膜と、
Ａｌｘ３Ｇａ１−ｘ３Ｎ（０＜ｘ３≦１、ｘ１＜ｘ３）を含む第３窒化物領域であって、前記第３窒化物領域は、第１〜第７部分を含み、前記第１部分は、前記第３電極と前記第３部分領域との間にあり、前記第２部分は、前記第３電極と前記第４部分領域との間にあり、前記第３部分は、前記第３電極と前記第５部分領域との間にあり、前記第４部分は、前記第３電極と前記第６部分領域との間にあり、前記第５部分は、前記第３電極と前記第７部分領域との間にあり、前記第１絶縁領域は、前記第６部分と前記第６部分領域との間にあり、前記第２絶縁領域は前記第７部分と前記第７部分領域との間にある、前記第３窒化物領域と、
シリコンと酸素とを含む第２絶縁膜であって、前記第２絶縁膜は、第３〜７絶縁領域を含み、前記第３絶縁領域は、前記第１部分と前記第３電極との間にあり、前記第４絶縁領域は、前記第４部分と前記第３電極との間にあり、前記第５絶縁領域は、前記第５部分と前記第３電極との間にあり、前記第６部分は、前記第６絶縁領域と前記第１絶縁領域との間にあり、前記第７部分は、前記第７絶縁領域と前記第２絶縁領域との間にある、前記第２絶縁膜と、
を備えた、半導体装置。
【請求項２】
前記第１部分の結晶性は、前記第６部分の結晶性よりも高い、請求項１記載の半導体装置。
【請求項３】
前記第１部分の少なくとも一部は、結晶を含み、
前記第６部分の少なくとも一部は、アモルファスである、請求項１記載の半導体装置。
【請求項４】
前記第２部分の結晶性は、前記第６部分の結晶性よりも高い、請求項１記載の半導体装置。
【請求項５】
前記第４部分の結晶性は、前記第６部分の結晶性よりも高い、請求項１記載の半導体装置。
【請求項６】
前記第２絶縁膜は、第８絶縁領域及び第９絶縁領域をさらに含み、
前記第８絶縁領域は、前記第４部分と前記第３電極との間にあり、
前記第９絶縁領域は、前記第５部分と前記第３電極との間にある、請求項１〜５のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項７】
前記第２絶縁膜は窒素を含まない、または、
前記第２絶縁膜に含まれる窒素の濃度は、前記第１絶縁膜に含まれる窒素の濃度よりも低い、請求項１〜６のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項８】
前記第３部分領域は、前記第１部分と対向する第１面を含み、
前記第６部分領域は、前記第１絶縁領域と対向する第２面を含み、
前記第１面の前記第１方向に沿う位置と、前記第２面の前記第１方向に沿う位置と、の間の前記第１方向に沿う距離は、６０ｎｍ以上である、請求項１〜７のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項９】
前記第３部分領域は、前記第１部分と対向する第１面を含む領域を含み、
前記第１面を含む前記領域におけるボロンの濃度は、１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下である、請求項１〜８のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項１０】
前記第３部分領域は、前記第１部分と対向する第１面を含む領域を含み、
前記第１面を含む前記領域における塩素の濃度は、１×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下である、請求項１〜８のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項１１】
前記第３部分領域は、前記第１部分と対向する第１面を含み、
前記第１面の表面粗さは、１ｎｍ以下である、請求項１〜８のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項１２】
前記第１絶縁領域と前記第２絶縁領域との間の前記第２方向に沿う距離は、３μｍ以下である、請求項１〜１１のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項１３】
前記第６部分領域と前記第７部分領域との間の前記第２方向に沿う距離は、３μｍ以下である、請求項１〜１２のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項１４】
前記ｘ３は、前記ｘ２よりも高い、請求項１〜１３のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項１５】
前記ｘ１は、０以上０．０５以下であり、
前記ｘ２は、０．０５以上０．３以下であり、
前記ｘ３は、０．３を超え１以下である、請求項１〜１３のいずれか１つに記載の半導体層。
【請求項１６】
前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する方向を第３方向とし、
前記第１電極及び前記第２電極の一方の、前記第１電極及び前記第２電極の他方と対向する部分の前記第３方向に沿う長さをＷｇ（メートル）とし、
前記第１電極と前記第２電極との間に流れる電流をＩｄ（アンペア）としたとき、
Ｉｄ／Ｗｇが５×１０−４Ａ／ｍｍであるときの、前記第１電極の電位を基準にした前記第３電極の電位は、正である、請求項１〜１５のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項１７】
Ａｌｘ１Ｇａ１−ｘ１Ｎ（０≦ｘ１＜１）を含む第１窒化物領域と、Ａｌｘ２Ｇａ１−ｘ２Ｎ（０＜ｘ２≦１、ｘ１＜ｘ２）を含む第２窒化物領域と、第１絶縁膜と、を含み、前記第１窒化物領域と前記第１絶縁膜との間に前記第２窒化物領域が設けられた積層体を準備し、
前記第１絶縁膜の側から前記積層体の一部を除去して前記積層体に凹部を形成して、前記凹部の底部において前記第１窒化物領域の一部を露出させ、
前記凹部の前記底部で露出する前記第１窒化物領域、前記第２窒化物領域の側面、及び、前記第１絶縁膜に、Ａｌｘ３Ｇａ１−ｘ３Ｎ（０＜ｘ３≦１、ｘ１＜ｘ３）を含む第３窒化物領域を形成し、
前記第３窒化物領域の形成の後に、第２絶縁膜を形成し、
前記第２絶縁膜の形成の後に、前記第１〜第３電極を形成し、前記第１電極から前記第２電極への第２方向は、前記第１窒化物領域から前記第２窒化物領域への第１方向と交差し、前記第３電極の前記第２方向における位置は、前記第１電極の前記第２方向における位置と、前記第２電極の前記第２方向における位置と、の間にあり、前記第３電極の少なくとも一部は、前記凹部の残余の空間にある、半導体装置の製造方法。
【請求項１８】
前記第３窒化物領域は、原子層堆積により形成される、請求項１７記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１９】
前記第１絶縁膜は、シリコンと窒素とを含み、
前記第２絶縁膜は、シリコンと酸素とを含み、
前記第２絶縁膜は窒素を含まない、または、
前記第２絶縁膜に含まれる窒素の濃度は、前記第１絶縁膜に含まれる窒素の濃度よりも低い、請求項１７または１８に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項２０】
前記第３窒化物領域の前記形成の前に、前記凹部の前記底部で露出する前記第１窒化物領域をアンモニアを含む雰囲気で熱処理する、請求項１〜１９のいずれか１つに記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、半導体装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば窒化物半導体を用いた半導体装置がある。半導体装置において、特性の向上が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第９３３７３３２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態は、安定して特性を向上できる半導体装置及びその製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施形態によれば、半導体装置は、第１〜第３電極、第１〜第３窒化物領域、第１絶縁膜及び第２絶縁膜を含む。前記第１窒化領域は、Ａｌｘ１Ｇａ１−ｘ１Ｎ（０≦ｘ１＜１）を含む。前記第１窒化物領域は、第１部分領域、第２部分領域、前記第１部分領域と前記第２部分領域との間の第３部分領域、前記第１部分領域と前記第３部分領域との間の第４部分領域、及び、前記第３部分領域と前記第２部分領域との間の第５部分領域を含む。前記第１部分領域から前記第１電極への第１方向は、前記第１電極から前記第２電極への第２方向と交差する。前記第２部分領域から前記第２電極への方向は前記第１方向に沿う。前記第２窒化物領域は、Ａｌｘ２Ｇａ１−ｘ２Ｎ（０＜ｘ２≦１、ｘ１＜ｘ２）を含む。前記第２窒化物領域は、第６部分領域及び第７部分領域を含む。前記第４部分領域から前記第６部分領域への方向は前記第１方向に沿う。前記第５部分領域から前記第７部分領域への方向は前記第１方向に沿う。前記第３部分領域から前記第３電極への方向は前記第１方向に沿う。前記第３電極の少なくとも一部は前記第２方向において前記第６部分領域と前記第７部分領域との間にある。前記第１絶縁膜は、第１絶縁領域及び第２絶縁領域を含みシリコンと窒素とを含む。前記第３窒化物領域は、Ａｌｘ３Ｇａ１−ｘ３Ｎ（０＜ｘ３≦１、ｘ１＜ｘ３）を含む。前記第３窒化物領域は、第１〜第７部分を含む。前記第１部分は、前記第３電極と前記第３部分領域との間にある。前記第２部分は、前記第３電極と前記第４部分領域との間にある。前記第３部分は、前記第３電極と前記第５部分領域との間にある。前記第４部分は、前記第３電極と前記第６部分領域との間にある。前記第５部分は、前記第３電極と前記第７部分領域との間にある。前記第１絶縁領域は、前記第６部分と前記第６部分領域との間にある。前記第２絶縁領域は、前記第７部分と前記第７部分領域との間にある。前記第２絶縁膜は、シリコンと酸素とを含む。前記第２絶縁膜は、第３〜７絶縁領域を含む。前記第３絶縁領域は、前記第１部分と前記第３電極との間にある。前記第４絶縁領域は、前記第４部分と前記第３電極との間にある。前記第５絶縁領域は、前記第５部分と前記第３電極との間にある。前記第６部分は、前記第６絶縁領域と前記第１絶縁領域との間にある。前記第７部分は、前記第７絶縁領域と前記第２絶縁領域との間にある。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】図１（ａ）及び図１（ｂ）は、第１実施形態に係る半導体装置を例示する模式的断面図である。
【図２】図２（ａ）〜図２（ｃ）は、第１実施形態に係る半導体装置を例示する模式図である。
【図３】図３（ａ）〜図３（ｄ）は、第１実施形態に係る半導体装置のＸ線回折パターン像を例示する図である。
【図４】図４は、半導体装置の特性を例示するグラフ図である。
【図５】図５は、半導体装置の特性を例示するグラフ図である。
【図６】図６（ａ）〜図６（ｄ）は、半導体装置の特性を例示するグラフ図である。
【図７】図７は、第２実施形態に係る半導体装置の製造方法を例示するフローチャート図である。
【図８】図８（ａ）〜図８（ｄ）は、第２実施形態に係る半導体装置の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
【図９】図９（ａ）〜図９（ｄ）は、第２実施形態に係る半導体装置の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。  
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。  
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
（第１実施形態）  
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、第１実施形態に係る半導体装置を例示する模式的断面図である。  
図１（ａ）に示すように、実施形態に係る半導体装置１１０は、第１電極５１、第２電極５２、第３電極５３、第１窒化物領域１０、第２窒化物領域２０、第３窒化物領域３０、第１絶縁膜４１、及び、第２絶縁膜４２を含む。
【０００９】
第１窒化物領域１０は、Ａｌｘ１Ｇａ１−ｘ１Ｎ（０≦ｘ１＜１）を含む。Ａｌの組成比ｘ１は、例えば、０以上０．０５以下である。第１窒化物領域１０は、例えば、ＧａＮを含む。第１窒化物領域１０は、例えば、半導体領域である。第１窒化物領域１０は、例えば、結晶を含む。
【００１０】
第１窒化物領域１０は、例えば、第１〜第５部分領域１１〜１５を含む。第３部分領域１３は、第１部分領域１１と第２部分領域１２との間にある。第４部分領域１４は、第１部分領域１１と第３部分領域１３との間にある。第５部分領域１５は、第３部分領域１３と第２部分領域１２との間にある。第１〜第５部分領域１１〜１５は、例えば、互いに連続する。
【００１１】
第１部分領域１１から第１電極５１への第１方向は、第１電極５１から第２電極５２への第２方向と交差する。
【００１２】
第２方向は、例えば、Ｘ軸方向である。Ｘ軸方向に対して垂直な１つの方向をＺ軸方向とする。Ｘ軸方向及びＺ軸方向に対して垂直な方向をＹ軸方向とする。
【００１３】
第１方向は、例えば、Ｚ軸方向である。
【００１４】
第２部分領域１２から第２電極５２への方向は第１方向（例えばＺ軸方向）に沿う。
【００１５】
第２窒化物領域２０は、Ａｌｘ２Ｇａ１−ｘ２Ｎ（０＜ｘ２≦１、ｘ１＜ｘ２）を含む。第２窒化物領域２０は、ＡｌＧａＮを含む。例えば、Ａｌの組成比ｘ２は、０．０５以上０．３以下である。１つの例において、第２窒化物領域３０は、例えば、Ａｌ０．３Ｇａ０．７Ｎを含む。第２窒化物領域２０は、例えば、半導体領域である。第２窒化物領域２０は、例えば、結晶を含む。
【００１６】
第２窒化物領域２０は、第６部分領域２６及び第７部分領域２７を含む。第４部分領域１４から第６部分領域２６への方向は、第１方向（例えばＺ軸方向）に沿う。第５部分領域１５から第７部分領域２７への方向は、第１方向に沿う。
【００１７】
第３部分領域１３から第３電極５３への方向は、第１方向（例えば、Ｚ軸方向）に沿う。第３電極５３の少なくとも一部は、第２方向（Ｘ軸方向）において、第６部分領域２６と第７部分領域２７との間にある。
【００１８】
第１絶縁膜４１は、第１絶縁領域４１ａ及び第２絶縁領域４１ｂを含む。第１絶縁膜４１は、シリコンと窒素とを含む。１つの例において、第１絶縁膜４１は、ＳｉＮを含む。
【００１９】
第３窒化物領域３０は、Ａｌｘ３Ｇａ１−ｘ３Ｎ（０＜ｘ３≦１、ｘ１＜ｘ３）を含む。例えば、第３窒化物領域３０におけるＡｌの組成比ｘ３は、第２窒化物領域２０におけるＡｌの組成比ｘ２よりも高い。１つの例において、Ａｌの組成比ｘ３は、例えば、０．３を超え１以下である。例えば、第３窒化物領域３０は、例えばＡｌＮを含む。第３窒化物領域３０は、例えば、半導体領域である。後述するように、第３窒化物領域３０の結晶性は、場所によって異なっても良い。
【００２０】
第３窒化物領域３０は、第１〜第７部分ｐ１〜ｐ７を含む。第１部分ｐ１は、第１方向（例えば、Ｚ軸方向）において、第３電極５３と第３部分領域１３との間にある。第２部分ｐ２は、第２方向（Ｘ軸方向）において、第３電極５３と第４部分領域１４との間にある。第３部分ｐ３は、第２方向（Ｘ軸方向）において、第３電極５３と第５部分領域１５との間にある。第４部分ｐ４は、第２方向（Ｘ軸方向）において、第３電極５３と第６部分領域２６との間にある。第５部分ｐ５は、第２方向（Ｘ軸方向）において、第３電極５３と第７部分領域２７との間にある。第１絶縁領域４１ａは、第６部分ｐ６と第６部分領域２６との間にある。第２絶縁領域４１ｂは、第７部分ｐ７と第７部分領域２７との間にある。第１〜第７部分ｐ１〜ｐ７は、例えば、互いに連続する。
【００２１】
第２絶縁膜４２は、シリコンと酸素とを含む。第２絶縁膜４２は、例えば、酸化シリコンを含む。第２絶縁膜４２は、例えば、ＳｉＯ２を含む。１つの例において、第２絶縁膜４２は窒素を含まない。例えば、第２絶縁膜４２に含まれる窒素の濃度は、第１絶縁膜４１に含まれる窒素の濃度よりも低くても良い。
【００２２】
第２絶縁膜４２は、第３〜７絶縁領域４２ｃ〜４２ｇを含む。第３絶縁領域４２ｃは、第１方向（例えば、Ｚ軸方向）において、第１部分ｐ１と第３電極５３との間にある。第４絶縁領域４２ｄは、第２方向（Ｘ軸方向）において、第４部分ｐ４と第３電極５３との間にある。第５絶縁領域４２ｅは、第２方向（Ｘ軸方向）において、第５部分ｐ５と第３電極５３との間にある。第６部分ｐ６は、第１方向（例えば、Ｚ軸方向）において、第６絶縁領域４２ｆと第１絶縁領域４１ａとの間にある。第７部分ｐ７は、第１方向（例えば、Ｚ軸方向）において、第７絶縁領域４２ｇと第２絶縁領域４１ｂとの間にある。
【００２３】
第２絶縁膜４２は、第８絶縁領域４２ｈ及び第９絶縁領域４２ｉをさらに含んでも良い。第８絶縁領域４２ｈは、第２方向（Ｘ軸方向）において、第４部分ｐ４と第３電極５３との間にある。第９絶縁領域４２ｉは、第５部分ｐ５と第３電極５３との間にある。
【００２４】
例えば、第１窒化物領域１０及び第２窒化物領域２０は、積層体１８に含まれる。例えば、基体１０ｓの上に、積層体１８が設けられる。例えば、基体１０ｓの上にバッファ層１７が形成される。バッファ層１７の上に、第１窒化物領域１０がエピタキシャル成長される。第１窒化物領域１０の上に、第２窒化物領域２０がエピタキシャル成長される。第２窒化物領域２０の上に第１絶縁膜４１が形成される。積層体１８は、第１絶縁膜４１を含んでも良い。例えば、第１絶縁膜４１の開口部を介して、積層体１８の一部が除去されて、凹部（リセス、またはトレンチ）が形成される。凹部の底部は、第１窒化物領域１０中に位置する。凹部の底面（第１窒化物領域１０の一部）、凹部の側面（第１窒化物領域１０の一部及び第２窒化物領域２０の一部）、及び、積層体１８の表面（例えば上面）に、第３窒化物領域３０が設けられる。例えば、第３窒化物領域３０の少なくとも一部は、エピタキシャル成長される。第３窒化物領域３０は、例えば、再成長層である。第３窒化物領域３０の形成の後に、第２絶縁膜４２が形成される。例えば、第１〜第３電極５１〜５３が形成される。これにより、半導体装置１１０が得られる。
【００２５】
第１電極５１は、例えば、ソース電極として機能する。第２電極５２は、例えば、ドレイン電極として機能する。第３電極５３は、例えば、ゲート電極として機能する。第２絶縁膜４２は、例えばゲート絶縁膜として機能する。第１絶縁膜４１は、例えば、保護膜として機能する。例えば、第３電極５３の電位（例えばゲート電圧）により、第１電極５１と第２電極５２との間に流れる電流（ドレイン電流）が制御できる。ゲート電圧は、例えば、第１電極５１の電位を基準にした第３電極５３の電位である。
【００２６】
例えば、第１窒化物領域１０の第１窒化物領域２０の側の部分に、例えば、２次元電子ガス１０Ｅが生じる。２次元電子ガス１０Ｅがキャリア領域となる。半導体装置１１０は、例えば、ＨＥＭＴ（High Electron Mobility Transistor）である。
【００２７】
実施形態に係る半導体装置１１０においては、Ｚ軸方向において、第３電極５３と第３部分領域１３との間に、第３窒化物領域３０の第１部分ｐ１が設けられる。例えば、第１部分領域１１の第１部分ｐ１の側の部分に、２次元電子ガス１０Ｆが形成される。これにより、例えば、高いチャネル移動度が得られる。
【００２８】
実施形態において、第３窒化物領域３０は、第３部分領域１３（例えば、ＧａＮ）の上の第１部分ｐ１に加えて、凹部の側面部分（例えば、第２〜第５部分ｐ２〜ｐ５）、及び、第２窒化物領域２０の上の部分（第６部分ｐ６及び第７部分ｐ７）を含む。これらの部分は、連続的である。このような第３窒化物領域３０を設けることで、例えば、第１部分ｐ１において良好な結晶性が得やすくなる。これにより、例えば、２次元電子ガス１０Ｆが安定して形成できる。これにより、より高いチャネル移動度が安定して得られる。実施形態によれば、安定して特性を向上できる半導体装置を提供できる。
【００２９】
実施形態においては、第１絶縁膜４１が設けられる。第１絶縁膜４１により、凹部の形成時に、第２窒化物領域２０の上面は保護される。第２窒化物領域２０の劣化が抑制できる。
【００３０】
実施形態において、第３窒化物領域３０の第１部分ｐ１は、第１窒化物領域１０の第３部分領域１３の上に設けられる。これにより、例えば、第１部分ｐ１において、良好な結晶性が得やすい。
【００３１】
一方、第３窒化物領域３０の第６部分ｐ６は、第１絶縁膜４１の第１絶縁領域４１ａの上に設けられる。第３窒化物領域３０の第７部分ｐ７は、第１絶縁膜４１の第２絶縁領域４１ｂの上に設けられる。このように、第１部分ｐ１と第６部分ｐ６とで、下地が異なる。第１部分ｐ１と第７部分ｐ７とで、下地が異なる。このため、これらの部分において、結晶性などが異なっても良い。
【００３２】
図２（ａ）〜図２（ｃ）は、第１実施形態に係る半導体装置を例示する模式図である。  図２（ａ）及び図２（ｂ）は、半導体装置１１０のＳＴＥＭ（Scanning Transmission Electron Microscope）像である。図２（ａ）は、第１部分ｐ１を含む領域に対応する。図２（ｂ）は、第２部分ｐ２、第４部分ｐ４及び第６部分ｐ６を含む領域に対応する。図２（ｃ）は、図２（ａ）に示されている領域と、半導体装置１１０に含まれている領域（窒化物領域など）と、の関係を示している。
【００３３】
図３（ａ）〜図３（ｄ）は、第１実施形態に係る半導体装置のＸ線回折パターン像を例示する図である。  
図３（ａ）〜図３（ｄ）は、第１部分ｐ１、第２部分ｐ２、第４部分ｐ４及び第６部分ｐ６にそれぞれ対応する。
【００３４】
図２（ａ）、図２（ｂ）、及び、図３（ａ）〜図３（ｄ）から分かるように、第３窒化物領域３０に含まれる複数の領域において、互いに結晶性が異なる。例えば、第１部分ｐ１の結晶性は、第６部分ｐ６の結晶性よりも高い。第１部分ｐ１の結晶性は、第７部分ｐ７の結晶性よりも高い。第１部分ｐ１の結晶性が高いことで、例えば、高いチャネル移動度が得やすい。
【００３５】
例えば、第１部分ｐ１の少なくとも一部は、結晶を含む。第６部分ｐ６の少なくとも一部は、アモルファスでも良い。第７部分ｐ７の少なくとも一部は、アモルファスでも良い。
【００３６】
第３窒化物領域３０の側面部分（例えば、第２部分ｐ２）は、窒化物半導体の上に形成される。このため、側面部分における結晶性は、比較的高い。例えば、第２部分ｐ２の結晶性は、第６部分ｐ６の結晶性よりも高い。例えば、第２部分ｐ２の結晶性は、第４部分ｐ４の結晶性よりも高い。例えば、第３部分ｐ３の結晶性は、第７部分ｐ７の結晶性よりも高い。例えば、第１部分ｐ１及び第２部分ｐ２の結晶性は、第４部分ｐ４及び第５部分ｐ５の結晶性よりも高い。
【００３７】
第４部分ｐ４は、窒化物半導体の上に形成される。このため、第４部分ｐ４の結晶性は、比較的高い。例えば、第４部分ｐ４の結晶性は、第６部分ｐ６の結晶性よりも高い。例えば、第５部分ｐ５の結晶性は、第７部分ｐ７の結晶性よりも高い。
【００３８】
実施形態において、第３電極５３は、Ｘ軸方向において、第１窒化物領域１０の一部と対向し、第２窒化物領域２０と対向する。第３電極５３は、例えば、リセス型のゲート電極である。例えば、第２窒化物領域２０の下の２次元電子ガス１０Ｅは、第３電極５３及び第２絶縁膜４２（ゲート絶縁膜）により分断される。これにより、しきい値電圧が高くでき、ノーマリオフ特性が安定して得やすくなる。
【００３９】
発明者の実験により、しきい値電圧が、上記の凹部の深さ、及び、ゲート長Ｌｇにより変化することが分かった。以下、実験結果の例について説明する。
【００４０】
図１（ｂ）に示すように、第３部分領域１３は、第１部分ｐ１と対向する第１面１０ｆａを含む。第６部分領域２６は、第１絶縁領域４１ａと対向する第２面２０ｆｂを含む。第１面１０ｆａは、凹部の底面（上面）に対応する。第２面２０ｆｂは、第２窒化物領域２０の上面に対応する。
【００４１】
第１面１０ｆａの第１方向（Ｚ軸方向）に沿う位置と、第２面２０ｆｂの第１方向（Ｚ軸方向）に沿う位置と、の間の第１方向（Ｚ軸方向）に沿う距離を距離ｄ１とする。距離ｄ１は、凹部の深さ（リセス深さ）に対応する。
【００４２】
図１（ｂ）に示すように、第１絶縁領域４１ａと第２絶縁領域４１ｂとの間の第２方向（Ｘ軸方向）に沿う距離を距離ｗ１とする。第６部分領域２６と第７部分領域２７との間の第２方向（Ｘ軸方向）に沿う距離を距離ｗ２とする。第２部分ｐ２と第３部分ｐ３との間の第２方向（Ｘ軸方向）に沿う距離を距離ｗ３とする。凹部の側面が垂直である場合は、これらの距離は、互いに実質的に同じである。これらの距離は、例えば、ゲート長Ｌｇに対応する。これらの距離は、側面の傾斜による距離の差に比べて大きい。このため、実用的には、ゲート長Ｌｇとして、これらの距離のいずれかを用いても良い。以下では、ゲート長Ｌｇは、距離ｗ２である。
【００４３】
実験の試料において、第１窒化物領域１０は、ＧａＮである。第２窒化物領域２０は、Ａｌ０．２５Ｇａ０．７５Ｎである。第２窒化物領域２０の厚さ（Ｚ軸方向の長さ）は、３０ｎｍである。第３窒化物領域３０は、ＡｌＮである。第３窒化物領域３０の厚さ（例えば、第１部分ｐ１のＺ軸方向の長さ）は、０．５ｎｍである。第１絶縁膜４１は、ＳｉＮである。第１絶縁膜４１の厚さ（Ｚ軸方向の長さ）は、１０ｎｍである。第２絶縁膜４２は、ＳｉＯ２である。第２絶縁膜４２の厚さ（例えば、第３絶縁領域４２ｃのＺ軸方向の長さ）は、３０ｎｍである。第１〜第３電極５１〜５３は、ＴｉＮを含む。
【００４４】
凹部の深さ（距離ｄ１）、及び、ゲート長Ｌｇが変更された複数の試料が作製される。これらの試料のしきい値電圧及びチャネル移動度が評価される。
【００４５】
図４及び図５は、半導体装置の特性を例示するグラフ図である。  
これらの図は、ゲート長Ｌｇが１μｍの試料の特性の測定結果を示している。試料において、チャネル幅「Ｗｇ」は、２０μｍである。「Ｗｇ」は、例えば、第１電極５１及び第２電極５２の、互いに対向する部分のＹ軸方向の長さに対応する。これらの図の横軸は、距離ｄ１（ｎｍ、凹部の深さ）である。図４の縦軸は、しきい値電圧Ｖｔｈ（Ｖ）である。しきい値電圧Ｖｔｈは、ドレイン電流が１×１０−６Ａとなるゲート電圧に対応する。この例において、ドレイン電流を「Ｉｄ」とし、チャネル幅Ｗｇを「Ｗｇ」としたとき、ドレイン電流が１×１０−６Ａのときに、「Ｉｄ／Ｗｇ」は、５×１０−４Ａ／ｍｍである。図５の縦軸は、チャネル移動度μ（ｃｍ２／Ｖｓ、電界効果移動度）である。図５の縦軸は、対数表示である。
【００４６】
図４からわかるように、距離ｄ１（凹部の深さ）が１５ｎｍのように短いと、しきい値電圧Ｖｔｈは、負である。この場合、ノーマリオンの動作が得られる。距離ｄ１が長くなると、しきい値電圧Ｖｔｈは上昇し、正になる。この場合、ノーマリオフの動作が得られる。図４から分かるように、距離ｄ１が５０ｎｍを超えると、しきい値電圧Ｖｔｈは急激に上昇する。距離ｄ１が６０ｎｍ以上において、高い正のしきい値電圧Ｖｔｈが得られる。距離ｄ１は、８０ｎｍ以上であることが好ましい。高い正のしきい値電圧Ｖｔｈが安定して得られる。距離ｄ１は、１００ｎｍ以上であることが好ましい。高い正のしきい値電圧Ｖｔｈがより安定して得られる。
【００４７】
実施形態において、例えば上記のように、第１方向及び第２方向を含む平面と交差する方向を第３方向とする。第３方向は、例えば、Ｙ軸方向である。このとき、第１電極５１及び第２電極５２の一方の、第１電極５１及び第２電極５２の他方と対向する部分の第３方向に沿う長さをＷｇ（メートル）とする。第１電極５１と第２電極５２との間に流れる電流をＩｄ（アンペア）とする。実施形態においては、Ｉｄ／Ｗｇが５×１０−４Ａ／ｍｍであるときの、第１電極５１の電位を基準にした第３電極５３の電位（例えば、しきい値電圧Ｖｔｈ）は、正である。Ｉｄ／Ｗｇが５×１０−４Ａ／ｍｍ以上において、第１電極５１の電位を基準にした第３電極５３の電位は、正である。
【００４８】
図５からわかるように、距離ｄ１（凹部の深さ）が１５ｎｍのように短いと、高いチャネル移動度が得られる。しかしながら、図４に関して説明したように、この場合は、しきい値電圧Ｖｔｈは、負である。
【００４９】
一方、図５に示すように、距離ｄ１が６０ｎｍ〜３００ｎｍの範囲において、チャネル移動度μは実質的に変化しない。
【００５０】
実施形態においては、距離ｄ１は６０ｎｍ以上であることが好ましい。これにより、高い正のしきい値電圧Ｖｔｈと、比較的高い安定したチャネル移動度μと、が得られる。
【００５１】
上記の例では、第２窒化物領域２０の厚さが３０ｎｍである。実施形態において、距離ｄ１は、第２窒化物領域２０の厚さの２倍以上でることが好ましい。距離ｄ１は、第２窒化物領域２０の厚さの２．５倍以上であることが好ましい。距離ｄ１は、第２窒化物領域２０の厚さの３倍以上であることがさらに好ましい。距離ｄ１は、第２窒化物領域２０の厚さの３．３倍以上であることがさらに好ましい。
【００５２】
以下、ゲート長Ｌｇを変化させた試料におけるしきい値電圧Ｖｔｈの測定結果の例について説明する。
【００５３】
図６（ａ）〜図６（ｄ）は、半導体装置の特性を例示するグラフ図である。  
これらの図の横軸は、ゲート長Ｌｇ（μｍ）である。縦軸は、しきい値電圧Ｖｔｈである。図６（ａ）〜図６（ｄ）は、距離ｄ１が４５ｎｍ、１００ｎｍ、１２０ｎｍ及び１６０ｎｍの結果にそれぞれ対応する。
【００５４】
図６（ａ）に示すように、距離ｄ１が４５ｎｍの場合、ゲート長Ｌｇが短くなると、しきい値電圧Ｖｔｈは低下する。これは、「短チャネル効果」として一般的に知られている現象に対応すると考えられる。一方、図６（ｂ）〜図６（ｄ）に示すように、距離ｄ１が１００ｎｍ、１２０ｎｍ及び１６０ｎｍの場合、ゲート長Ｌｇが１μｍ〜３μｍの範囲で、ゲート長Ｌｇが短くなると、しきい値電圧Ｖｔｈは上昇する。このような現象は、従来知られていない。距離ｄ１（凹部の深さ）が長くなったときにおいて特異的に生じる現象だと考えられる。
【００５５】
実施形態においては、ゲート長Ｌｇは、３μｍ以下であることがより好ましい。これにより、例えば、高いしきい値電圧Ｖｔｈが得やすくなる。
【００５６】
実施形態において、凹部の底部においては、不純物が少ないことが好ましい。例えば、凹部の形成は、例えば、ＢＣｌ３及びＣｌ２をよりなる群から選択された少なくとも１つ含むガスを用いたドライエッチングにより行われる。このガスに含まれる元素が第３部分領域１３に残ると、例えば、チャネル移動度μが低下する場合がある。ガスに含まれる元素の濃度が、例えば、凹部の形成の後に、アンモニアなどの雰囲気で熱処理することで低下させられても良い。
【００５７】
例えば、第３部分領域１３は、第１部分ｐ１と対向する第１面１０ｆａ（図１（ｂ）参照）を含む領域を含む。第１面１０ｆａを含むこの領域におけるボロンの濃度は、例えば、１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下である。第１面１０ｆａを含む領域におけるボロンの濃度は、例えば、約９×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３である。第１面１０ｆａを含む領域におけるボロンの濃度は、例えば、１×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上である。
【００５８】
第１面１０ｆａを含む領域における塩素の濃度は、例えば、１×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下である。第１面１０ｆａを含む領域における塩素の濃度は、例えば、約４×１０１５ａｔｏｍｓ／ｃｍ３である。第１面１０ｆａを含む領域における塩素の濃度は、例えば、約１×１０１５ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上である。
【００５９】
第１面１０ｆａは平坦であることが好ましい。例えば、凹部の形成の後に、アンモニアなどの雰囲気で熱処理することで、第１面１０ｆａの平坦性が向上する。例えば、第１面１０ｆａの表面粗さ（例えば、二乗平均平方根ＲＭＳ）は、１ｎｍ以下である。第１面１０ｆａの表面粗さは、例えば、約２０２ｐｍである。
【００６０】
第１面１０ｆａの表面（第３部分領域１３の表面）は、比較的平坦である（図２（ａ）参照）。そして、第３窒化物領域３０の第１部分ｐ１の表面も比較的平坦である（図２（ａ）参照）。一方、第３窒化物領域３０の側面部分（例えば第４部分ｐ４など）の表面の凹凸は、第１部分ｐ１の表面の凹凸よりも大きい。
【００６１】
（第２実施形態）  
第２実施形態は、半導体装置の製造方法に係る。  
図７は、第２実施形態に係る半導体装置の製造方法を例示するフローチャート図である。  
図７に示すように、積層体１８を準備する（ステップＳ１１０）。積層体１８は、Ａｌｘ１Ｇａ１−ｘ１Ｎ（０≦ｘ１＜１）を含む第１窒化物領域１０と、Ａｌｘ２Ｇａ１−ｘ２Ｎ（０＜ｘ２≦１、ｘ１＜ｘ２）を含む第２窒化物領域２０と、第１絶縁膜４１と、を含む。第１窒化物領域１０と第１絶縁膜４１との間に第２窒化物領域２０が設けられる。
【００６２】
第１絶縁膜４１の側から積層体１８の一部を除去して積層体１８に凹部を形成する（ステップＳ１２０）。そして、凹部の底部において第１窒化物領域１０の一部を露出させる。
【００６３】
Ａｌｘ３Ｇａ１−ｘ３Ｎ（０＜ｘ３≦１、ｘ１＜ｘ３）を含む第３窒化物領域３０を形成する（ステップＳ１３０）。第３窒化物領域３０は、凹部の底部で露出する第１窒化物領域１０、第２窒化物領域２０の側面、及び、第１絶縁膜４１に形成される。
【００６４】
第３窒化物領域３０の形成の後に、第２絶縁膜４２を形成する（ステップＳ１４０）。
【００６５】
電極（第１〜第３電極５１〜５３）を形成する（ステップＳ１５０）。ステップＳ１５０は、例えば、第２絶縁膜４２の形成（ステップＳ１４０）の後に実施される。第１電極５１から第２電極５２への第２方向（Ｘ軸方向）は、第１窒化物領域１０から第２窒化物領域２０への第１方向（例えばＺ軸方向）と交差する。第３電極５３の第２方向における位置は、第１電極５１の第２方向における位置と、第２電極５２の第２方向における位置と、の間にある。第３電極５３の少なくとも一部は、凹部の残余の空間にある。
【００６６】
以下、本実施形態に係る半導体装置１１０の製造方法の例について説明する。  
図８（ａ）〜図８（ｄ）、及び、図９（ａ）〜図９（ｄ）は、第２実施形態に係る半導体装置の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。これらの図において、バッファ層１７は省略されている。
【００６７】
図８（ａ）に示すように、基体１０ｓの上に、第１窒化物領域１０が設けられる。第１窒化物領域１０の上に第２窒化物領域２０が設けられる。基体１０ｓは、例えば、シリコン基板である。
【００６８】
図８（ｂ）に示すように、第２窒化物領域２０の上に第１絶縁膜４１が設けられる。積層体１８が得られる。
【００６９】
図８（ｃ）に示すように、第１絶縁膜４１の上に、所定の開口を有するマスク膜４５が形成される。
【００７０】
図８（ｄ）に示すように、マスク膜４５をマスクとして用いて、第１絶縁膜４１の一部を除去する。これにより、第１絶縁膜４１に開口部４１ｏが形成される。
【００７１】
図９（ａ）に示すように、第１絶縁膜４１をマスクとして用い、積層体１８の一部を除去する。積層体１８に凹部１８ｒが形成される（ステップＳ１２０）。凹部１８ｒの底部１８ｂにおいて、第１窒化物領域１０の一部が露出される。
【００７２】
このとき、凹部１８ｒの深さは、第２窒化物領域２０の上面と底部１８ｂとの間のＺ軸方向における距離ｄ１に対応する。距離ｄ１は、例えば、６０ｎｍ以上であることが好ましい。距離ｄ１は、例えば、第２窒化物領域２０の厚さの２倍以上であることが好ましい。
【００７３】
図９（ｂ）に示すように、第３窒化物領域３０を形成する（ステップＳ１３０）。第３窒化物領域３０は、凹部１８ｒの底部１８ｂで露出する第１窒化物領域１０、第２窒化物領域２０の側面２０ｓ、及び、第１絶縁膜４１の上面に形成される。
【００７４】
図９（ｃ）に示すように、第２絶縁膜４２を形成する。
【００７５】
図９（ｄ）に示すように、第１〜第３電極５１〜５３を形成する。第１電極５１から第２電極５２への第２方向（Ｘ軸方向）は、第１窒化物領域１０から第２窒化物領域２０への第１方向（Ｚ軸方向）と交差する。第３電極５３の第２方向における位置は、第１電極５１の第２方向における位置と、第２電極５２の第２方向における位置と、の間にある。第３電極５３の少なくとも一部は、凹部１８ｒの残余の空間にある。第２方向（Ｘ軸方向）において、第３電極５２は、第１窒化物領域１０と対向する。
【００７６】
上記の製造方法においては、第３窒化物領域３０が、凹部１８ｒの底部１８ｂで露出する第１窒化物領域１０、第２窒化物領域２０の側面２０ｓ、及び、第１絶縁膜４１の上面に形成される。第３窒化物領域３０の第１部分ｐ１（図１（ａ）参照）において、良好な結晶性が得られる。第１絶縁膜４１を用いて凹部１８ｒを形成することで、第２窒化物領域２０のダメージが少ない。第３窒化物領域３０を覆うように第２絶縁膜４２が形成されることで、第３窒化物領域３０が保護される。
【００７７】
実施形態によれば、安定して特性を向上できる半導体装置及びその製造方法が提供できる。
【００７８】
実施形態において、第３窒化物領域３０は、原子層堆積（ＡＬＤ）により形成されることが好ましい。これにより、例えば、凹部１８ｒにおいても第３窒化物領域３０を均一に形成することができる。
【００７９】
第１絶縁膜４１は、例えば、シリコンと窒素とを含む。第２絶縁膜４２は、例えば、シリコンと酸素とを含む。第２絶縁膜４２は窒素を含まない。または、第２絶縁膜４２に含まれる窒素の濃度は、第１絶縁膜４１に含まれる窒素の濃度よりも低い。例えば、第１絶縁膜４１により、第２窒化物領域２０が保護される。例えば、第２絶縁膜４２がゲート絶縁膜として機能したときに、安定した特性が得られる。
【００８０】
第３窒化物領域３０の形成（ステップＳ１３０）の前に、凹部１８ｒの底部１８ｂで露出する第１窒化物領域１０を熱処理しても良い。熱処理は、例えば、アンモニアを含む雰囲気で行われる。これにより、例えば、凹部１８ｒの形成の際に用いられたガスに含まれる元素が除去される。例えば、底部１８ｂの表面（第１面１０ｆａ）の平坦性が向上する。
【００８１】
実施形態によれば、安定して特性を向上できる半導体装置及びその製造方法が提供できる。
【００８２】
本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれば良い。
【００８３】
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、半導体装置に含まれる窒化物領域、電極及び絶縁膜などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
【００８４】
また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
【００８５】
その他、本発明の実施の形態として上述した半導体装置及びその製造方法を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての半導体装置及びその製造方法も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
【００８６】
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと解される。
【００８７】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００８８】
１０…窒化物領域、  １０Ｅ、１０Ｆ…２次元電子ガス、  １０ｆａ…第１面、  １０ｓ…基体、  １１〜１５…第１〜第５部分領域、  １７…バッファ層、  １８…積層体、  １８ｂ…底部、  １８ｒ…凹部、  ２０…第２窒化物領域、  ２０ｆｂ…第２面、  ２０ｓ…側面、  ２６…第６部分領域、  ２７…第７部分領域、  ３０…第３窒化物領域、  ４１…第１絶縁膜、  ４１ａ、４１ｂ…第１、第２絶縁領域、  ４１ｏ…開口部、  ４２…第２絶縁膜、  ４２ｃ〜４２ｉ…第３〜第９絶縁領域、  ４５…マスク膜、  ５１〜５３…第１〜第３電極、  μ…チャネル移動度、  １１０…半導体装置、  Ｌｇ…ゲート長、  Ｖｔｈ…しきい値電圧、  ｄ１…距離、  ｐ１〜ｐ７…第１〜第７部分、  ｗ１〜ｗ３…距離
【図１】
2020150141.tif 000003
【図２】
2020150141.tif 000004
【図３】
2020150141.tif 000005
【図４】
2020150141.tif 000006
【図５】
2020150141.tif 000007
【図６】
2020150141.tif 000008
【図７】
2020150141.tif 000009
【図８】
2020150141.tif 000010
【図９】
2020150141.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】令和1年11月7日(2019.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１５】
前記ｘ１は、０以上０．０５以下であり、
前記ｘ２は、０．０５以上０．３以下であり、
前記ｘ３は、０．３を超え１以下である、請求項１〜１３のいずれか１つに記載の半導体装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
第２窒化物領域２０は、Ａｌｘ２Ｇａ１−ｘ２Ｎ（０＜ｘ２≦１、ｘ１＜ｘ２）を含む。第２窒化物領域２０は、ＡｌＧａＮを含む。例えば、Ａｌの組成比ｘ２は、０．０５以上０．３以下である。１つの例において、第２窒化物領域２０は、例えば、Ａｌ０．３Ｇａ０．７Ｎを含む。第２窒化物領域２０は、例えば、半導体領域である。第２窒化物領域２０は、例えば、結晶を含む。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
例えば、第１窒化物領域１０の第２窒化物領域２０の側の部分に、例えば、２次元電子ガス１０Ｅが生じる。２次元電子ガス１０Ｅがキャリア領域となる。半導体装置１１０は、例えば、ＨＥＭＴ（High Electron Mobility Transistor）である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
図９（ｄ）に示すように、第１〜第３電極５１〜５３を形成する。第１電極５１から第２電極５２への第２方向（Ｘ軸方向）は、第１窒化物領域１０から第２窒化物領域２０への第１方向（Ｚ軸方向）と交差する。第３電極５３の第２方向における位置は、第１電極５１の第２方向における位置と、第２電極５２の第２方向における位置と、の間にある。第３電極５３の少なくとも一部は、凹部１８ｒの残余の空間にある。第２方向（Ｘ軸方向）において、第３電極５３は、第１窒化物領域１０と対向する。