(57)【要約】【課題】  小型であっても気密信頼性が高い圧電振動デバイス用の蓋および当該蓋を用いた圧電振動デバイスを提供することを目的とする。【解決手段】  水晶振動子１は、容器２の凹部１１に水晶振動素子３が収容され、枠部２２の上面２２０に、蓋４がガラス材料からなる封止材１０を介して接合された構成となっている。平面視矩形状の容器２の外側面を構成する二組の対向辺のうち、一組の対向辺の各々には、容器２の厚さ方向に切り欠かれた切り欠き部７０に電極が被着されてなるキャスタレーション７，７が形成されている。封止材１０は蓋４の周縁に沿って平面視で枠状に形成されており、蓋４のキャスタレーション７，７に対応する領域は縮幅部１０ａ，１０ａとなっている。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面視略矩形の容器に、ガラス材料からなる封止材を介して接合される平面視略矩形の蓋であって、
前記封止材は、前記蓋の前記容器と対向する面の周縁に沿って平面視で枠状に形成され、
前記容器は、一方に開口した凹部と、当該凹部の周囲に平面視で矩形枠状の枠部を備えるとともに、前記容器の外側面に、当該容器の厚さ方向に切り欠かれた切り欠き部に電極が被着されてなるキャスタレーションを備え、
前記キャスタレーションは、平面視略矩形の前記外側面を構成する二組の対向辺のうち少なくとも一組の対向辺の各々に設けられ、
前記蓋の前記キャスタレーションに対応する領域における封止材の幅が、局所的に幅狭になっていることを特徴とする蓋。
【請求項２】
前記キャスタレーションが、前記容器の外側面を構成する二組の対向辺のうち、一組の対向辺のみに設けられていることを特徴とする請求項１に記載の蓋。
【請求項３】
前記封止材の幅が局所的に幅狭になっている領域が、平面視で外側に開口するように封止材が切り欠かれた縮幅部であり、前記縮幅部の開口端における開口寸法が、前記切り欠き部の開口端における開口寸法よりも大きく形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の蓋。
【請求項４】
前記蓋の平面視における外形寸法が、前記容器の平面視における外形寸法よりも小さいことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の蓋。
【請求項５】
前記容器の前記凹部に少なくとも圧電振動素子が収容され、前記枠部の上面に請求項１乃至４のいずれか１項に記載の蓋が、ガラス材料からなる封止材を介して接合された圧電振動デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種電子機器のタイミングデバイスである圧電振動デバイスに用いられる蓋および当該蓋を用いた圧電振動デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、各種電子機器に用いられる圧電振動デバイス(水晶振動子や水晶発振器等)は小型化が進んでいる。例えば、平面視略矩形の表面実装型の水晶振動子では、その平面視における外形寸法は、長辺が２．０ｍｍ、短辺が１．６ｍｍと小さくなってきている。
【０００３】
前記表面実装型の水晶振動子は、上方に開口した凹部を有する容器と、前記凹部の内底面に設けられた電極パッド上に導電性接着剤を介して接合される水晶振動素子と、前記凹部を覆うように凹部の開口端に封止材を介して接合される蓋とで構成されている。前記封止材として、例えばガラス材料を用いることによって、安価で簡便な方法で容器と蓋とを接合（気密封止）することができる。
【０００４】
前記表面実装型の水晶振動子は、前記容器の外底面に設けられた複数の外部接続端子（実装端子）と、外部基板のランドとが、半田を介して導電接合される。車載用等の厳しい使用環境の用途では、水晶振動子の外部基板への実装強度および半田耐熱性を向上させるべく、水晶振動子を構成する容器の外側面に、当該容器の厚さ方向に切り欠かれた切り欠き部に電極が被着されたキャスタレーションが設けられる。このようなキャスタレーションが形成された水晶振動子は、例えば特許文献１乃至２に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−３２６４５号
【特許文献２】特許第５１８１７５５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に示す水晶振動子では、キャスタレーションは平面視矩形状の容器の外側面の一組の対向辺の各々に１つづつ形成されている。このような容器に、容器との接合面の周縁に沿ってガラス材料からなる封止材が枠状に形成された蓋を接合する場合、加熱雰囲気で溶融した封止材が、容器の枠部の上面からキャスタレーション部分に流れ込み、当該キャスタレーションを中心とする方向に封止材が集まり易くなる。これにより、平面視矩形枠状の枠部の上面の，前記キャスタレーションが形成されていない別の一組の対向辺における封止材の量が減少して、空孔が生じてしまう虞がある。このような封止材の空孔が生じると、水晶振動子の気密性が確保できず気密不良となってしまう。
【０００７】
このような気密不良は、水晶振動子の小型化により、水晶振動素子を収容するための凹部の大きさを或る程度大きく確保する必要があるために容器の枠部の幅が幅狭になって、これに対応する封止材の形成幅も幅狭になってしまうことに起因する。前記キャスタレーションは、平面視矩形状の容器の外側面の二組の対向辺の全てに形成される構成もあるが、特許文献１のように容器の外側面を構成する二組の対向辺のうち、一組の対向辺のみにキャスタレーションが形成された構成の方が、前記気密不良の危険性が相対的に高くなる。
【０００８】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、小型であっても気密信頼性が高い圧電振動デバイス用の蓋および当該蓋を用いた圧電振動デバイスを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために請求項１の発明は、平面視略矩形の容器に、ガラス材料からなる封止材を介して接合される平面視略矩形の蓋であって、前記封止材は、前記蓋の前記容器と対向する面の周縁に沿って平面視で枠状に形成され、前記容器は、一方に開口した凹部と、当該凹部の周囲に平面視で矩形枠状の枠部を備えるとともに、前記容器の外側面に、当該容器の厚さ方向に切り欠かれた切り欠き部に電極が被着されてなるキャスタレーションを備え、前記キャスタレーションは、平面視略矩形の前記外側面を構成する二組の対向辺のうち少なくとも一組の対向辺の各々に設けられ、前記蓋の前記キャスタレーションに対応する領域における封止材の幅が、局所的に幅狭になっている。
【００１０】
上記発明によれば、蓋のキャスタレーションに対応する領域における封止材の幅が、局所的に幅狭になっている。そのため、容器と蓋とが位置決めされた状態において、キャスタレーションの切り欠き部の内側に窪んだ部分の端縁と、蓋の封止材の前記幅狭の領域の外周側の端縁との間の距離を延長することができる。これにより、溶融した封止材がキャスタレーションに流れ込むのを抑制することができる。その結果、溶融した封止材のキャスタレーションを中心とする方向への偏在化が抑制され、封止材の量が過少になることによる空孔の発生を防止することができる。
【００１１】
また、上記目的を達成するために請求項２の発明は、前記キャスタレーションが、前記容器の外側面を構成する二組の対向辺のうち、一組の対向辺のみに設けられている。
【００１２】
上記発明によれば、前述した封止材の空孔の発生防止に好適である。キャスタレーションが容器の外側面を構成する二組の対向辺のうち、一組の対向辺のみに設けられている従来構成の場合、溶融した封止材がキャスタレーションに流れ込んで当該キャスタレーションを中心とした方向に封止材が引き寄せられ易くなる。その影響により、キャスタレーションが設けられていない他の一組の対向辺の封止材の量は、キャスタレーションが設けられている一組の対向辺側に引き寄せられて少なくなってしまう。これにより、キャスタレーションが設けられていない他の一組の対向辺において封止材の空孔が生じて、気密不良に至ってしまう。
【００１３】
これに対して本発明では、蓋の前記キャスタレーションに対応する領域における封止材の幅が局所的に幅狭になっている。そのため、溶融した封止材がキャスタレーションに流れ込むのを抑制することができ、溶融した封止材のキャスタレーションを中心とする方向への偏在化を抑制することができる。つまり、気密不良の危険性が相対的に高くなる構成である，一組の対向辺のみにキャスタレーションが形成されている場合に、封止材の空孔の発生防止に好適な構成である。
【００１４】
また、上記目的を達成するために請求項３の発明は、前記封止材の幅が局所的に幅狭になっている領域が、平面視で外側に開口するように封止材が切り欠かれた縮幅部であり、前記縮幅部の開口端における開口寸法が、前記切り欠き部の開口端における開口寸法よりも大きく形成されている。
【００１５】
上記発明によれば、前記縮幅部の開口端の方が、前記切り欠き部の開口端に対して、その長さ方向において平面視で外側に位置するようになる。また、縮幅部が、平面視で外側に開口するように封止材が切り欠かれた領域であるため、縮幅部の外周側の端縁が蓋の周縁に対して引き下げられて形成されることになる。これにより、切り欠き部の内側に窪んだ部分の端縁と、縮幅部の外周側の端縁との間の距離を確保することができる。これらのことにより、溶融した封止材がキャスタレーションに流れ込むのを抑制することができる。その結果、溶融した封止材のキャスタレーションを中心とする方向への偏在化が抑制され、封止材の量が過少になることによる空孔の発生を防止することができる。
【００１６】
また、上記目的を達成するために請求項４の発明は、前記蓋の平面視における外形寸法が、前記容器の平面視における外形寸法よりも小さい。
【００１７】
上記発明によれば、蓋と容器の各々の平面視における外形寸法が同じである場合に比べて、容器と蓋との相対的な位置ずれが生じた場合であっても、キャスタレーションの切り欠き部の内側に窪んだ部分の端縁と、封止材の前記幅狭の領域の外周側の端縁との間の距離をより確保することができる。
【００１８】
また、上記目的を達成するために請求項５の発明は、前記容器の前記凹部に少なくとも圧電振動素子が収容され、前記枠部の上面に請求項１乃至４のいずれか１項に記載の蓋が、ガラス材料からなる封止材を介して接合された圧電振動デバイスとなっている。
【００１９】
上記発明によれば、溶融した封止材のキャスタレーションを中心とする方向への偏在化が抑制され、封止材の量が過少になることによる空孔の発生を防止した圧電振動デバイスを提供することができる。
【発明の効果】
【００２０】
以上のように、本発明によれば、小型であっても気密信頼性が高い圧電振動デバイス用の蓋および当該蓋を用いた圧電振動デバイスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施形態に係る水晶振動子の断面模式図
【図２】本発明の実施形態に係る水晶振動子の蓋を除いた平面模式図
【図３】本発明の実施形態に係る容器の平面模式図
【図４】本発明の実施形態に係る蓋の平面模式図
【図５】本発明の実施形態に係る蓋と容器の接合前における平面透視図
【図６】図５のＢ部を拡大した平面模式図
【図７】本発明の実施形態の変形例に係る水晶振動子の平面透視図
【図８】本発明の実施形態の他の変形例に係る容器の平面模式図
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態に係る圧電振動デバイスとして水晶振動子を例に挙げ、図面を参照しながら説明する。
図１は本発明の実施形態に係る水晶振動子の断面模式図である。本実施形態における水晶振動子１は、略直方体状のパッケージからなる表面実装型の圧電振動デバイスであり、その平面視形状は略矩形となっている。本実施形態では水晶振動子１の平面視の外形寸法は、長辺が約２．１ｍｍ、短辺が約１．６ｍｍとなっている。なお、前記外形寸法は一例であり、他の外形寸法であっても本発明は適用可能である。
【００２３】
図１に示すように水晶振動子１は、容器２の凹部１１に、水晶振動素子３が収容され、凹部１１を覆うように蓋４が接合された構成となっている。
【００２４】
容器２は、底板部２０と、中間部２１と、枠部２２の３つの層から成るセラミックグリーンシートの焼成体となっており、その外観は略直方体状となっている。これらの３つの層が積層されることによって、一方に開口した凹部１１が形成されている。図１乃至２に示すように、凹部１１の周囲は、平面視で矩形枠状の枠部２２となっている。この枠部２２の上面２２０はセラミック素地が露出した平坦面となっている。前記中間部２１は、その一部が段部６ａ，６ｂを構成している。
【００２５】
容器２の外側面には、容器２の厚さ方向に切り欠かれた切り欠き部７０に電極が被着されたキャスタレーション７が形成されている（図２）。ここでキャスタレーション７とは、底板部２０と中間部２１と枠部２２の３層分が鉛直方向に切り欠かれた窪みである切り欠き部７０の内側面に電極が被着されたものをいう。本実施形態では、切り欠き部７０は平面視で１／２長楕円状となっている。
【００２６】
本実施形態では、切り欠き部７０の内側面のうち、底板部２０の１層の厚さ分だけに電極となる金属膜が被着されている。この電極（金属膜）は、容器２の外底面に設けられた一対の外部接続端子８，８（後述）の各々と電気的に接続されている。キャスタレーションが設けられていることにより、外部基板のランドに形成された半田がリフロー時に溶融して、キャスタレーションの電極部分にかけて半田のフィレット（メニスカス）が形成されるようになる。これによって、水晶振動子の外部基板への実装強度および半田耐熱性を向上させることができる。
【００２７】
本実施形態において、一対からなるキャスタレーション７，７は、図３に示すように容器２の外側面２２１を構成する二組の対向辺の外側面（２２１ａと２２１ｃ、２２１ｂと２２１ｄ）のうち、対向する一組の短辺の外側面（２２１ａと２２１ｃ）の各中央部分に形成されている。
【００２８】
容器２の段部６ａ，６ｂのうち、一方の段部６ａの上面には、一対の電極パッド５，５が、図２に示すように平面視略矩形の容器２の短辺方向に沿って互いに離間した状態で形成されている。
【００２９】
一対の電極パッド５，５は水晶振動素子３と導電性接着剤Ｓ，Ｓを介して導電接合される。ここで本実施形態では導電性接着剤Ｓとして、シリコーン系の樹脂接着剤が使用されている。この導電性接合材Ｓは、シリコーン樹脂に金属フィラーが含有された接着剤であり、塗布後には所定の温度プロファイルに管理された乾燥炉内で硬化処理が行われる。なお、樹脂接着剤にはシリコーン系以外の系統のものを使用してもよい。
【００３０】
他方の段部６ｂは、一対の電極パッド５，５に接合された水晶振動素子３の自由端側（水晶振動板の他端側３Ｂ）の下方に対応している。他方の段部６ｂが存在することによって、水晶振動子が外部衝撃等を受けて水晶振動素子３の自由端側３Ｂが鉛直下方に撓んだ場合であっても、励振電極３０ｂが凹部１１の内底面１１０に接触するのを防止することができる。これにより、励振電極３０ｂと凹部１１の内底面１１０との接触による電荷の移動によって、水晶振動子の発振周波数が変動するのを防止することができる。
【００３１】
本実施形態では電極パッド５は、タングステンのメタライズ層の上に電解ニッケルめっき層が形成され、さらにその上に電解金めっき層が形成された積層構成となっている。なお、前記メタライズ層には、タングステン（Ｗ）以外に、モリブデン（Ｍｏ）やチタン（Ｔｉ）を用いてもよい。
【００３２】
一対の電極パッド５，５は、底板部２０および中間部２１の内部を厚さ方向に貫通する貫通孔の内部に導体が充填されたビア（図示省略）や、配線パターン２３を経由して容器２の外底面（底板部２０の下面）に設けられた一対の外部接続端子８，８と各々電気的に接続されている。この一対の外部接続端子８，８の上面には、前述した電極パッド５と同じ膜構成からなるバンプ９，９が、外部接続端子８の平面視における大きさよりも一回り小さいサイズで形成されている。
【００３３】
図１乃至２に示す水晶振動素子３はＡＴカット水晶振動板であり、平面視では矩形状となっている。前記ＡＴカット水晶振動板の一主面と、当該一主面に対向する他主面の各々の中央側には、一対の励振電極３０ａ，３０ｂが水晶振動板を挟んで対向形成されている。なお、図面において、水晶振動板の一主面側における各種電極については符号の末尾にａを付し、他主面側における各種電極については符号の末尾にｂを付して表裏の電極の区別をしている。
【００３４】
前記一対の励振電極３０ａ，３０ｂの各々からは、水晶振動板の一端側３Ａに引き出される引出電極（符号省略）を経由して、一対の接続電極３１０，３１１が形成されている。一方の接続電極３１０は、水晶振動板の他主面の接続電極３１０ｂ（図示省略）から水晶振動板の一端側３Ａの短辺側面を経由して、一主面の接続電極３１０ａに接続されている。同様に、他方の接続電極３１１は、水晶振動板の一主面の接続電極３１１ａから水晶振動板の一端側３Ａの短辺側面を経由して、他主面の接続電極３１１ｂに接続されている。
【００３５】
蓋４は、セラミックから成る平板状の蓋体である。蓋４は、図４に示すように蓋４の容器と接合される側の主面である一主面４０に、その周縁に沿って封止材１０が枠状に形成されている。
【００３６】
封止材１０の幅は一定ではなく、蓋４のキャスタレーション７に対応する領域における封止材の幅が、局所的に幅狭になっている（図５乃至６参照）。この局所的に幅狭になっている領域は、平面視で外側に開口するように封止材が切り欠かれた縮幅部１０ａとなっている。具体的に、縮幅部１０ａは、封止材１０を幅方向（図５乃至６における左右方向）に１／２長楕円状に切除した残余の幅狭の領域となっている。この縮幅部１０ａは、平面視枠状に形成された封止材１０の対向する２つの短辺部分に各々形成されている。
【００３７】
そして、図６に示すように縮幅部１０ａの開口端における開口寸法Ｗ１は、容器２の切り欠き部７０の開口端における開口寸法Ｗ２よりも大きく形成されている。なお、図５乃至６は、蓋４と容器２とが互いに位置決め載置された状態であり、まだ封止材１０は溶融していない。ここで図中の破線は、蓋４の裏面側（一主面４０）の封止材の位置を認識できるように透過で表示させている。
【００３８】
上記構成によれば、容器２と蓋４とが位置決めされた状態において、縮幅部１０ａの開口端の方が、切り欠き部７０の開口端に対して、その長さ方向において平面視で外側（図５乃至６において上下方向）に位置するようになる。また、縮幅部１０ａが、平面視で外側に開口するように封止材が切り欠かれた領域であるため、縮幅部１０ａの外周側の端縁が蓋４の周縁に対してが引き下げられて形成されている。
【００３９】
具体的には、図６に示すように縮幅部１０ａにおいては１／２長楕円状に切除された封止材の短軸に相当する長さ（符号省略）に、縮幅部１０ａの外周側の端縁が、蓋４の短辺の周縁に対して距離ｄ２だけ引き下げられて形成されている。これにより、切り欠き部７０の距離ｄ１だけ内側に窪んだ部分の端縁と、縮幅部１０ａの外周側の端縁との間の枠部の幅方向における距離Ｘを確保することができる。これらのことにより、溶融した封止材１０がキャスタレーション７に流れ込むのを抑制することができる。その結果、溶融した封止材１０のキャスタレーション７を中心とする方向への偏在化が抑制され、封止材１０の量が過少になることによる空孔の発生を防止することができる。
【００４０】
本実施形態において、封止材１０はガラス材料で構成されている。封止材１０と容器２の枠部２２の上面２２０とが当接した状態で所定温度に加熱されることによって、封止材１０が溶融して枠部２２の上面２２０に行き渡る。これにより、容器２と蓋４とが接合される。
【００４１】
本実施形態において蓋４は、その平面視における外形寸法が、容器２の平面視における外形寸法よりも小さくなっている。蓋４と容器２との接合の際には、容器２の平面視における中心点と、蓋４の平面視における中心点とが略一致するように蓋４と容器２とが位置決めされる（図５参照）。
【００４２】
上記構成によれば、蓋と容器の各々の平面視における外形寸法が同じである場合に比べて、容器２と蓋４との相対的な位置ずれが生じた場合であっても、切り欠き部７０の内側に窪んだ部分の端縁と、縮幅部１０ａの外周側の端縁との間の距離（特に、枠部２２の幅方向における距離Ｘ）をより確保することができる。
【００４３】
また上記構成によれば、蓋４のキャスタレーション７に対応する領域における封止材の幅が、局所的に幅狭になっている。そのため、容器２と蓋４とが位置決めされた状態において、キャスタレーション７の切り欠き部７０の内側に窪んだ部分の端縁と、蓋４の封止材の前記幅狭の領域の外周側の端縁との間の距離を延長することができる。これにより、溶融した封止材１０がキャスタレーション７に流れ込むのを抑制することができる。その結果、溶融した封止材１０のキャスタレーション７を中心とする方向への偏在化が抑制され、封止材１０の量が過少になることによる空孔の発生を防止することができる。
【００４４】
さらに上記構成によれば、前述した封止材の空孔の発生防止に好適である。キャスタレーションが容器の外側面を構成する二組の対向辺のうち、一組の対向辺のみに設けられている従来構成の場合、溶融した封止材がキャスタレーションに流れ込んで当該キャスタレーションを中心とした方向に封止材が引き寄せられ易くなる。その影響により、キャスタレーションが設けられていない他の一組の対向辺の封止材の量は、キャスタレーションが設けられている一組の対向辺側に引き寄せられて少なくなってしまう。これにより、キャスタレーションが設けられていない他の一組の対向辺において封止材の空孔が生じて、気密不良に至ってしまう。
【００４５】
これに対して本発明では、蓋４のキャスタレーション７に対応する領域における封止材１０の幅が局所的に幅狭になっている。そのため、溶融した封止材１０がキャスタレーション７に流れ込むのを抑制することができ、溶融した封止材１０のキャスタレーション７を中心とする方向への偏在化を抑制することができる。つまり、本実施形態のように気密不良の危険性が相対的に高くなる構成である，一組の対向辺のみにキャスタレーションが形成されている場合に、封止材の空孔の発生防止に好適である。
【００４６】
本発明の実施形態では、蓋４の縮幅部１０ａの引き下がり寸法（ｄ２）は、容器の切り欠き部７０の内側への窪んだ距離（ｄ１）よりも大きくなっている（ｄ１＜ｄ２）。このような関係となっていることによって、容器２と蓋４との，容器の長手方向（図５における左右方向）への相対的な位置ずれが生じた場合であっても、切り欠き部７０の内側に窪んだ部分の端縁と、縮幅部１０ａの外周側の端縁との間の、枠部２２の幅方向における距離を確実に確保することができる。
【００４７】
また、本発明の実施形態では、縮幅部１０ａの開口端における開口寸法Ｗ１と、容器２の切り欠き部７０の開口端における開口寸法Ｗ２との差の半分（（Ｗ１-Ｗ２）/２）に相当する長さαは、容器２の平面視における中心点と、蓋４の平面視における中心点とが略一致するように蓋４と容器２とが位置決めされた状態での、容器２の外側面と蓋４の周縁との間の枠部２２の幅方向における距離Ｗ３よりも大きくなっている（α＞Ｗ３）。このような関係となっていることによって、容器２と蓋４との，容器の短手方向（図５における上下方向）への相対的な位置ずれが生じた場合であっても、切り欠き部７０の開口端における開口寸法Ｗ２が、縮幅部１０ａの開口端における開口寸法Ｗ１の範囲内に収めることができる。
【００４８】
なお、本発明の実施形態の変形例として、容器および蓋の封止材は図７に示す構成であってもよい。本発明の実施形態の変形例では、容器へのキャスタレーションの形成位置と、蓋の封止材への縮幅部の形成位置とが、前述した本発明の実施形態と異なっている。具体的には、図７に示すように、平面視略矩形の容器２４の対向する２つの長辺における外側面の中央部分にキャスタレーション７１，７１が形成されている。
【００４９】
一方、前述した本発明の実施形態と同材料からなる封止材１００の縮幅部１００ｂについては、蓋４２の平面視枠状の封止材１００の対向する２つの長辺の中央部分が局所的に幅狭になっている。具体的に、封止材の幅が局所的に幅狭になっている領域である縮幅部１００ｂ，１００ｂは、平面視で外側（図７における上下方向）に開口するように切り欠かれている。このような構成であっても、前述した本発明の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００５０】
なお、前述した本発明の実施形態における容器のように、キャスタレーションが容器の外側面を構成する二組の対向辺のうち、一組の対向辺のみに設けられている構成以外に、図８に示す構成にしてもよい。すなわち、容器２５の平面視枠状の枠部を構成する２組の対向辺のうち、対向する２つの長辺側の枠部の各中央部分が、凹部２７に向かう方向に突出していてもよい。この突出した部位である突出部２６，２６は、平面視枠状の枠部を構成する二組の対向辺のうち、一対のキャスタレーション７，７が形成されていない一組の対向辺に形成されている。
【００５１】
このような対向辺の各中央部分に突出部２６，２６が形成されていることによって、平面視枠状の封止材の縮幅部が、容器２５のキャスタレーション７，７に対応する対向辺のみに形成されている場合において、溶融した封止材がキャスタレーションに流れ込むのをより抑制することができる。これは、溶融した封止材が突出部２６，２６によって、長辺側の枠部の中央方向に引き寄せられ易くなるためである。その結果、溶融した封止材のキャスタレーションを中心とする方向への偏在化が抑制され、封止材の量が過少になることによる空孔の発生を防止することができる。
【００５２】
前述した本発明の実施形態およびその変形例では、キャスタレーションは平面視枠状の枠部の１つの辺に１つ形成されていたが、１つの辺に２つ以上形成されていてもよい。また、平面視枠状の枠部を構成する二組の対向辺の間でキャスタレーションの形成数が異なる場合、キャスタレーションの形成数が多い側の対向辺に対応する，蓋の封止材の対向辺に縮幅部を設けるのが好ましい。
【００５３】
また、前述した本発明の実施形態およびその変形例では、切り欠き部の平面視形状は、１／２長楕円状であったが、本発明に係るキャスタレーションの切り欠き部は当該形状に限定されるものではない。例えば平面視で矩形や半楕円であってもよい。
【００５４】
前述した本発明の実施形態では圧電振動デバイスとして水晶振動子を例に挙げたが、本発明は水晶振動子に限らず、水晶発振器にも適用可能である。また本発明は、水晶振動素子と温度センサとを内蔵した温度センサ内蔵型の水晶振動子にも適用可能である。
【００５５】
本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
圧電振動デバイスの量産に適用できる。
【符号の説明】
【００５７】
１    水晶振動子
２、２４、２５    容器
３    水晶振動素子
４、４２    蓋
７    キャスタレーション
１０    封止材
１０ａ    縮幅部
２２    枠部
７０、７１    切り欠き部
【図１】
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【図２】
2020167466.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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