(57)【要約】【課題】  例え流体処理装置が絶縁性でも、スパークを防いで安全性を向上させ得る流体処理装置用の帯電防止帯及びその製造方法を提供する。【解決手段】  流体処理装置に取り付けられる帯電防止帯３０であり、絶縁性の流体処理装置であるフィルターハウジング１の樹脂シリンダ１９の外周面に接触する導電層３１と、この導電層３１に形成されて外部に露出する樹脂層３２を積層構造に備え、熱収縮により樹脂シリンダ１９を包囲して固定され、樹脂シリンダ１９の外周面と導電層３１の間に導電性のアース接続材４０が介在されて接触し、フィルターハウジング１のスパークを防止する。樹脂シリンダ１９に帯電防止帯３０で帯電防止機能を付与するので、樹脂シリンダ１９の静電気を除電し、樹脂シリンダ１９の帯電を抑制できる。したがって、樹脂シリンダ１９に人体や物体が接触しても、これらの間に電流が一時的に流れ、スパークするおそれを排除できる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体処理装置に取り付けられる流体処理装置用の帯電防止帯であって、絶縁性の流体処理装置に接触する導電層と、この導電層に形成される樹脂層とを含み、熱収縮により流体処理装置を包囲して固定され、流体処理装置と導電層との間に導電性のアース接続材が介在されて接触することを特徴とする流体処理装置用の帯電防止帯。
【請求項２】
流体処理装置は、樹脂ヘッドと、この樹脂ヘッドに取り付けられて流体濾過フィルターを収納する中空の樹脂シリンダとを含み、これら樹脂ヘッドと樹脂シリンダのいずれかに、樹脂シリンダ内に流体を導入する導入口が設けられるとともに、流体濾過フィルターに濾過された流体を外部に導出する導出口が設けられる請求項１記載の流体処理装置用の帯電防止帯。
【請求項３】
流体処理装置は、樹脂シリンダに回転可能に嵌め通されて樹脂ヘッドと嵌め合わされ、この樹脂ヘッドの外面と螺子結合することにより、樹脂ヘッドと樹脂シリンダとを接続する樹脂ナットをさらに含んでなる請求項２記載の流体処理装置用の帯電防止帯。
【請求項４】
流体処理装置の樹脂ヘッド、樹脂シリンダ、及び樹脂ナットの少なくともいずれかの外面を導電層が包囲して接触する請求項３記載の流体処理装置用の帯電防止帯。
【請求項５】
導電層は、導電性高分子の層である請求項１ないし４のいずれかに記載の流体処理装置用の帯電防止帯。
【請求項６】
樹脂層は、熱収縮性の樹脂シートからなり、この樹脂シートの収縮方向が流体処理装置を包囲する方向と一致する請求項１ないし５のいずれかに記載の流体処理装置用の帯電防止帯。
【請求項７】
樹脂層は、熱収縮性のポリエーテルエーテルケトン樹脂シートからなり、このポリエーテルエーテルケトン樹脂シートの収縮方向が流体処理装置を包囲する方向と一致する請求項１ないし５のいずれかに記載の流体処理装置用の帯電防止帯。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載した流体処理装置用の帯電防止帯の製造方法であって、
樹脂層に導電性高分子溶液を塗工して乾燥させることにより導電層を積層形成することを特徴とする流体処理装置用の帯電防止帯の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体の製造プロセスで薬液等を流通、貯蔵、濾過等する流体処理装置用の帯電防止帯及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年における半導体の製造プロセスでは、配線パターンのハーフピッチが１００ｎｍを下回り、特に１０ｎｍ、７ｎｍ、５ｎｍの技術ノードでＩＣを製造する製造処理技術の進歩に伴い、ＥＵＶリソグラフィプロセスが採用されており、様々な薬液（例えば、アルコール系、エーテル系、酸系、アルカリ系等）が使用されるが、この薬液の使用量を削減したり、安定した流量を確保したい場合、フィルターハウジングが使用される（特許文献１、２、３、４参照）。
【０００３】
この種のフィルターハウジングは、図示しないが、薬液濾過用のフィルターを収納するシリンダと、このシリンダの開口部に嵌合されてフィルターをシリンダ内に挿入するヘッドとを備えて構成されている。これらシリンダとヘッドとは、耐薬品性を有する樹脂含有の成形材料によりそれぞれ成形されている。ヘッドには、薬液をシリンダ内に流入させる流入路が設けられるとともに、シリンダ内のフィルターで濾過された薬液をフィルターから外部に流出させる流出路が設けられている。
【０００４】
このようなフィルターハウジングを使用して薬液の清浄度を向上させ、薬液の使用量を削減したり、薬液の安定した流量を確保したい場合には、薬液を外部からヘッドの流入路に流入させる。すると、薬液は、外部からヘッドの流入路、シリンダ、及びフィルターに順次流入し、フィルターに粒子等が除去されることで濾過され、その後、フィルターからヘッドの流出路を経由して外部に流出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１７‐１１９７５０号公報
【特許文献２】特開２００５‐０００７６７号公報
【特許文献３】特開２０１２‐１７６４００号公報
【特許文献４】特開２００２‐１４３６４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来におけるフィルターハウジングは、以上のように構成され、シリンダが樹脂含有の成形材料により単に成形され、導電性に乏しく、静電気を帯びやすいので、絶縁性の薬液を濾過する際、摩擦等で少なからず帯電することとなる。その結果、フィルターハウジングの絶縁性のシリンダに人体や物体が接触する場合には、これらの間に電流が一時的に流れてスパークを生じ、有機溶剤の蒸気が存在するときには、この蒸気に引火するおそれがあるので、安全性を確保することができないという問題がある。
【０００７】
係る問題の解消には、（１）シリンダの材料を、金属等の導電材料に変更するという方法、（２）シリンダの材料を、散逸性炭素粉末とポリマー材料とが混合した材料に変更するという方法が考えられる。しかしながら、（１）の方法を採用すると、スパークの発生を回避することができるものの、コンタミネーションにより薬液の清浄度が低下するという大きな問題が新たに発生することになる。また、（２）の方法は、１００ｎｍ以下の技術ノードでの使用には、適切とはいえないときがある。
【０００８】
本発明は上記に鑑みなされたもので、例え流体処理装置が絶縁性でも、スパークを防いで安全性を向上させることのできる流体処理装置用の帯電防止帯及びその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明においては上記課題を解決するため、流体処理装置に取り付けられるものであって、
絶縁性の流体処理装置に接触する導電層と、この導電層に形成される樹脂層とを含み、熱収縮により流体処理装置を包囲して固定され、流体処理装置と導電層との間に導電性のアース接続材が介在されて接触することを特徴としている。
【００１０】
なお、流体処理装置は、樹脂ヘッドと、この樹脂ヘッドに取り付けられて流体濾過フィルターを収納する中空の樹脂シリンダとを含み、これら樹脂ヘッドと樹脂シリンダのいずれかに、樹脂シリンダ内に流体を導入する導入口が設けられるとともに、流体濾過フィルターに濾過された流体を外部に導出する導出口が設けられるようにすることができる。
また、流体処理装置は、樹脂シリンダに回転可能に嵌め通されて樹脂ヘッドと嵌め合わされ、この樹脂ヘッドの外面と螺子結合することにより、樹脂ヘッドと樹脂シリンダとを接続する樹脂ナットをさらに含むと良い。
【００１１】
また、樹脂ヘッドの周壁外面に螺子が形成され、樹脂シリンダの開口部周縁に、樹脂ヘッドの周壁に略整合するフランジが突出形成されており、樹脂ナットの内面には、樹脂ヘッドの螺子用の螺子が形成されるとともに、樹脂ナットの周壁には、樹脂シリンダのフランジに係止する係止片が内方向に向けて突出形成されるようにすることができる。
また、流体処理装置の樹脂ヘッド、樹脂シリンダ、及び樹脂ナットの少なくともいずれかの外面を導電層が包囲して接触するようにすることができる。
また、導電層は、導電性高分子の層であることが好ましい。
【００１２】
また、樹脂層は、熱収縮性の樹脂シートからなり、この樹脂シートの収縮方向が流体処理装置を包囲する方向と一致することが好ましい。
また、樹脂層は、熱収縮性のポリエーテルエーテルケトン樹脂シートからなり、このポリエーテルエーテルケトン樹脂シートの収縮方向が流体処理装置を包囲する方向と一致すると良い。
また、アース接続材は、少なくとも流体処理装置と帯電防止帯の導電層とに接触可能な導電性の電線を含み、この電線の端部には、必要に応じ、流体処理装置と導電層との間に挟まれる導電性のタグを接続することができる。
【００１３】
また、本発明においては上記課題を解決するため、請求項１ないし７のいずれかに記載した流体処理装置用の帯電防止帯の製造方法であって、
樹脂層に導電性高分子溶液を塗工して乾燥させることにより導電層を積層形成することを特徴としている。
【００１４】
ここで、特許請求の範囲における流体処理装置は、必要に応じ、上下逆にして使用することができる。この流体処理装置が処理する流体には、少なくとも水道水や純水、試験用の液体、薬液、溶液等からなる液体、各種のガスからなる気体が含まれる。流体処理装置の樹脂ヘッドには、流体濾過フィルターを支持させたり、あるいは隙間をおいて対向させることができる。樹脂シリンダは、透明、不透明、半透明のいずれでも良い。また、導電層は、導電性ポリマーの樹脂シートや樹脂フィルム等でも良いが、樹脂層に液状の導電性高分子材料を塗布して乾燥硬化させることにより、積層することもできる。樹脂層の樹脂シートには、樹脂シートの他、樹脂フィルムが含まれる。
【００１５】
本発明によれば、例え流体の摩擦で絶縁性の流体処理装置に電荷が生じても、電荷は、流体処理装置から帯電防止帯の導電層とアース接続材とを通過して大地に流れ、失われる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、例え流体処理装置が絶縁性でも、スパークを防いで安全性を向上させることができるという効果がある。
【００１７】
請求項２記載の発明によれば、流体を流体処理装置の導入口に導入すれば、流体を、流体処理装置の導入口、樹脂シリンダの内部、及び流体濾過フィルターに流入させ、この流体濾過フィルターにより濾過することができる。濾過された流体は、流体濾過フィルターから流体処理装置の導出口を経由して外部に流出させることができる。また、樹脂ヘッドと樹脂シリンダが別体なので、樹脂ヘッドや樹脂シリンダのメンテナンス作業や洗浄作業、流体濾過フィルターの交換作業が容易となる。
【００１８】
請求項３記載の発明によれば、流体処理装置の樹脂シリンダに樹脂ナットを嵌め通し、この樹脂ナットを回転させて樹脂ヘッドと螺合結合すれば、別体の樹脂ヘッドと樹脂シリンダとを接続することができる。樹脂ナットを利用するので、樹脂ヘッドと樹脂シリンダの接続部付近に複雑な結合機構をそれぞれ設ける必要がなく、しかも、樹脂ヘッドと樹脂シリンダを略同じ幅に揃えて構成することができる。
【００１９】
請求項４記載の発明によれば、樹脂ヘッドを導電層が包囲して接触すれば、樹脂ヘッドの静電気を除電し、樹脂ヘッドの帯電を抑制することが可能となる。また、樹脂シリンダを導電層が包囲して接触すれば、樹脂シリンダの静電気を除電し、樹脂シリンダの帯電を抑制することが可能となる。また、樹脂ナットを導電層が包囲して接触すれば、樹脂ナットの静電気を除電し、樹脂ナットの帯電抑制に資することが可能となる。また、樹脂ヘッド、樹脂シリンダ、及び樹脂ナットを導電層が一体的に包囲して接触すれば、流体処理装置全体の帯電抑制が可能となる。
【００２０】
請求項５記載の発明によれば、導電層を、導電性高分子の層とすれば、帯電防止帯の可撓性や柔軟性の向上が期待できる。
請求項６記載の発明によれば、樹脂層の樹脂シートが流体処理装置を包囲する方向に熱収縮するので、流体処理装置を囲む帯電防止帯の幅が狭くなり、流体処理装置の外面に帯電防止帯を適切に密接させることができる。
【００２１】
請求項７記載の発明によれば、樹脂層がポリエーテルエーテルケトン樹脂シートなので、優れた耐熱性、耐薬品性、耐溶剤性、難燃性等を得ることができる。また、樹脂層のポリエーテルエーテルケトン樹脂シートが流体処理装置を包囲する方向に熱収縮するので、流体処理装置を囲む帯電防止帯の幅が狭くなり、流体処理装置の外面に帯電防止帯を適切に密接させることができる。
【００２２】
請求項８記載の発明によれば、樹脂層に導電性高分子溶液を塗工して乾燥硬化させることで、柔軟性に優れる導電層を積層するので、曲げても折れないフレキシブルで低抵抗の導電層を形成することができ、しかも、湿度依存性のない静電気対策が期待できる。また、導電層と樹脂層とを両面粘着フィルム等で積層粘着する必要がないので、帯電防止帯の薄型化を図ることが可能となる。さらに、帯電防止帯の導電層の厚さを簡易に調整したり、導電層の導電性確保を容易に実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る流体処理装置用の帯電防止帯の実施形態を模式的に示す一部断面説明図である。
【図２】本発明に係る流体処理装置用の帯電防止帯の実施形態を模式的に示す断面説明図である。
【図３】本発明に係る流体処理装置用の帯電防止帯の実施形態におけるフィルターハウジングで薬液を濾過する状態を模式的に示す断面説明図である。
【図４】本発明に係る流体処理装置用の帯電防止帯の実施形態における帯電防止帯とアース接続材とを模式的に示す断面説明図である。
【図５】本発明に係る流体処理装置用の帯電防止帯の実施形態における円筒形の帯電防止帯を模式的に示す斜視説明図である。
【図６】本発明に係る流体処理装置用の帯電防止帯の製造方法の実施形態を模式的に示す図で、（ａ）図は樹脂層上に導電性高分子溶液を塗工して乾燥させることにより導電層を形成する状態を示す説明図、（ｂ）図は完成した帯電防止帯を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における流体処理装置用の帯電防止帯３０は、図１ないし図６に示すように、流体処理装置である絶縁性のフィルターハウジング１に接触する導電層３１と、この導電層３１に形成されて外部に露出する樹脂層３２とを備え、加熱に基づく熱収縮でフィルターハウジング１を包囲して固定され、フィルターハウジング１と導電層３１との間に導電性のアース接続材４０が介在されて接触し、フィルターハウジング１のスパークを防止する。
【００２５】
フィルターハウジング１は、図１ないし図３に示すように、濾過カートリッジ４を支持する平面略円形の樹脂ヘッド２と、この樹脂ヘッド２に取り付けられて濾過カートリッジ４を収納する中空縦長の樹脂シリンダ１９と、これら樹脂ヘッド２と樹脂シリンダ１９とを接続する平面略リング形の樹脂ナット２４とを分解可能に備え、半導体の製造プロセスで使用される薬液Ｃの清浄度を向上させたり、使用量を削減したり、あるいは安定した流量を確保するよう機能する。
【００２６】
フィルターハウジング１の樹脂ヘッド２、樹脂シリンダ１９、及び樹脂ナット２４は、耐薬品性を有する樹脂含有の成形材料によりそれぞれ肉厚に射出成形される。耐薬品性を有する樹脂としては、特に限定されるものではないが、例えば四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体（ＰＦＡ）、ポリプロピレン樹脂（ＰＰ）、四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）等があげられる。これらの中では、耐薬品性や耐熱性に優れ、化学的に不活性の四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体（ＰＦＡ）が最適である。
【００２７】
樹脂ヘッド２は、図１ないし図３に示すように、例えば下面が開口した背の低い断面略逆Ｕ字形に形成され、天井の内面中央部付近には、下方に指向する円筒形の支持座３が突出形成されており、この支持座３には、樹脂シリンダ１９の内底面に接触する濾過カートリッジ４が交換可能に嵌合吊持される。
【００２８】
濾過カートリッジ４は、樹脂ヘッド２の支持座３の内周面にＯリングを介して密嵌される円筒形のメッシュコア５と、樹脂ヘッド２の支持座３の外周面に嵌入されてメッシュコア５を包囲する円筒形のメッシュケージ６と、これらメッシュコア５とメッシュケージ６との間に挟持される筒形のフィルター７とを一体に備え、このフィルター７が樹脂シリンダ１９内に流入した薬液Ｃを精密濾過するよう機能する。
【００２９】
フィルター７は、特に限定されるものではないが、例えば耐薬品性、耐熱性、耐候性、耐摩耗性等に優れる四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）等の多孔質シートがプリーツ状に折られることで円筒形に形成される。このフィルター７は、四フッ化エチレン樹脂で円筒形に形成されるのが主ではあるが、薬液Ｃが高濃度のケトン、アミン、エステル以外であれば、強度や柔軟性に優れるポリフッ化ビニリデン樹脂（ＰＶＤＦ）やポリプロピレン樹脂（ＰＰ）の多孔質シートで円柱形等に形成することが可能である。
【００３０】
薬液Ｃは、特に限定されるものではないが、例えばメチルアルコールやイソプロピルアルコール等のアルコール系、エチルエーテルやメチルエーテル等のエーテル系、酢酸メチルや酢酸エチル等のエステル系、アセトンやメチルエチルケトン等のケトン系、トルエンやキシレン等の炭化水素系、ホルムアミドやジメチルホルムアミド等のアミド系、水や二硫化炭素等の無機物質、フランやアセトニトリル等の有機物質、アクリル酸等の酸系、ＴＭＡＨ水溶液等のアルカリ系等があげられる。この薬液Ｃは、必要に応じ、高温（例えば、１２０℃、１３０℃、１４０℃前後等）で使用されたり、常温で使用される。
【００３１】
樹脂ヘッド２の天井中心部から半径外方向に偏位した部分には、樹脂ヘッド２の支持座３と周壁との間に連通するベント孔８が穿孔され、このベント孔８の周縁部には、外部上方に突出する円筒形のボス９が一体形成されており、このボス９には、ベント孔８を開閉するプラグ１０が外部から着脱自在に挿入される。また、樹脂ヘッド２の天井の略中心部付近には、支持座３内に連通するベント孔８Ａが穿孔され、このベント孔８Ａの周縁部には、外部上方に指向する円筒形のボス９Ａが突出形成されており、このボス９Ａには、ベント孔８Ａを開閉するプラグ１０Ａが外部から着脱自在に挿入される。
【００３２】
樹脂ヘッド２の周壁上部には、樹脂シリンダ１９内に薬液Ｃを導入する導入口１１が穿孔され、この導入口１１の周縁部には、半径外方向に突出する円筒形のボス１２が一体形成されており、このボス１２には、薬液Ｃを外部から導く導入管１３がＯリングを介して接続される。
【００３３】
樹脂ヘッド２の周壁上部には、濾過カートリッジ４に精密濾過された薬液Ｃを外部に導出する導出口１４が穿孔され、この導出口１４には、半径内方向に伸びる円筒形の連通管１５が接続されており、この連通管１５が支持座３の内部と連通して薬液Ｃを流通させる。導出口１４は、例えば導入口１１と１８０°あるいは９０°の間隔をおいて穿孔され、周縁部には、外部に露出する円筒形のボス１６が一体形成されており、このボス１６には、薬液Ｃを外部に導出する導出管１７がＯリングを介して接続される。
【００３４】
樹脂ヘッド２の周壁の外周面下部には螺子溝１８が周方向に螺刻形成される。この螺子溝１８は、樹脂ナット２４の螺子２５と着脱自在に螺合し、この螺合により、別体の樹脂ヘッド２と樹脂シリンダ１９とが接続固定される。
【００３５】
樹脂シリンダ１９は、図１ないし図３に示すように、上部が開口し、下端部が閉塞した略有底円筒形に成形され、薬液Ｃを精密濾過する樹脂ヘッド２の濾過カートリッジ４を隙間を介し収納包囲しており、樹脂ヘッド２の導入口１１から導入された薬液Ｃを一時的に貯蔵する。
【００３６】
樹脂シリンダ１９は、例えば高さ（長さ）３００ｍｍ、直径１２０ｍｍ程度の大きさに形成され、開口した上部２０の外周縁には、樹脂ヘッド２の周壁の外周面に整合するフランジ２１が半径外方向に向けて突出形成されており、これら上部２０とフランジ２１とが樹脂ヘッド２の周壁下面に下方から対向して接触する。樹脂シリンダ１９の上部２０と樹脂ヘッド２の周壁下面との間には、必要に応じ、薬液Ｃの漏洩を防止するＯリングが挟持される。
【００３７】
樹脂シリンダ１９の底部から半径外方向に偏位した部分には、樹脂シリンダ１９の内外を連通するドレン孔が穿孔され、このドレン孔の周縁部には、外部下方に伸びる円筒形のボス２２が一体形成されており、このボス２２には、ドレン孔を開閉するプラグ２３が外部から着脱自在に挿入される。
【００３８】
樹脂ナット２４は、同図に示すように、樹脂シリンダ１９に回転可能に嵌通されて樹脂ヘッド２に嵌合可能な大きさに形成され、周壁の内周面上部には、樹脂ヘッド２の螺子溝１８用の螺子２５が周方向に螺刻形成されており、周壁の下部には、樹脂シリンダ１９のフランジ２１に係止して脱落を防止する係止片２６が半径内方向に向けて突出形成される。このような樹脂ナット２４は、樹脂シリンダ１９に嵌通されて樹脂ヘッド２に嵌合し、回転して螺子２５が樹脂ヘッド２の螺子溝１８と螺合するとともに、係止片２６が樹脂シリンダ１９のフランジ２１に係止することにより、樹脂ヘッド２と樹脂シリンダ１９とを強固に接続する。
【００３９】
帯電防止帯３０は、図１、図２、図４、図５に示すように、導電層３１と樹脂層３２との積層により形成され、フィルターハウジング１よりも僅かに拡径の円筒形に湾曲形成された後、フィルターハウジング１に嵌入されて包囲被覆するとともに、加熱処理によりフィルターハウジング１に密接して固定される。具体的には、フィルターハウジング１の樹脂シリンダ１９に嵌入され、この樹脂シリンダ１９を包囲被覆するとともに、加熱処理により樹脂シリンダ１９の外周面に密接して固定される。この帯電防止帯３０の導電層３１と樹脂層３２とは、基本的には樹脂シリンダ１９の外周面の上部から下部寄りまでの領域を一周して被包可能な大きさ・長さの帯形に形成される。
【００４０】
導電層３１は、樹脂層３２の被積層面に直接積層され、樹脂シリンダ１９の外周面を被包して面接触する。この導電層３１は、例えば樹脂層３２の対向する被積層面に、導電性高分子の分散した溶液が塗工されて乾燥硬化することにより、透明の薄膜に積層形成され、優れた可撓性や柔軟性を発揮する。導電性高分子の溶液としては、特に制約されるものではないが、例えばπ共役系導電性高分子とポリアニオンを含有する導電性複合体と、２つ以上のケイ素原子を有するシリケートと、ポリビニルアルコールと、分散媒とを含む溶液があげられる。
【００４１】
導電層３１の厚さは、導電性の確保と薄型化を図る観点から、０．１μｍ以上０．５μｍ以下、好ましくは０．１５μｍ以上０．４５μｍ以下、より好ましくは０．２μｍ以上０．４μｍ以下が最適である。また、導電層３１の表面抵抗値は、スパークを確実に防止するため、１×１０Ｅ＋８Ω以下、好ましくは１×１０Ｅ＋５Ω以下、より好ましくは１×１０Ｅ＋３Ω以下が良い。
【００４２】
樹脂層３２は、特に限定されるものではないが、例えば熱収縮性を有するポリエーテルエーテルケトン樹脂（ＰＥＥＫ）フィルム、ポリテトラフルオロエチレン樹脂（ＰＴＦＥ）フィルム、ポリエチレンテレフタレート樹脂（ＰＥＴ）フィルム、ポリエチレンナフタレート樹脂（ＰＥＮ）フィルム、ポリプロピレン樹脂（ＰＰ）フィルム、ポリカーボネート樹脂（ＰＣ）フィルム、ポリエーテルイミド樹脂（ＰＥＩ）フィルム、ポリエーテルスルホン樹脂（ＰＥＳ）フィルム、ポリフェニレンスルフィド樹脂（ＰＰＳ）フィルム等からなる。
【００４３】
これらの中では、耐薬品性、耐熱性、耐摩耗性、摺動性等に優れるポリテトラフルオロエチレン樹脂（ＰＴＦＥ）フィルムが好ましく、ポリエーテルエーテルケトン樹脂（ＰＥＥＫ）フィルムが特に好ましい。樹脂層３２は、ポリエーテルエーテルケトン樹脂フィルムの場合、融点が３４３℃、ガラス転移点が１４３℃であり、５００℃まで安定する優れた耐熱性を得ることができる。
【００４４】
また、樹脂層３２がポリエーテルエーテルケトン樹脂フィルムの場合、濃硫酸には酸化するものの、溶かせる溶剤がないので、耐溶剤性に優れ、超音波シールが容易であり、レーザにより溶着や印字が可能となる。さらに、難燃性にも優れ、吸水率が低く（０．０５％）、純度が高いので、例え燃焼しても、毒性ガスの発生を防止することが可能となる。
【００４５】
樹脂層３２は、熱収縮性の樹脂フィルムの場合、フィルターハウジング１に対する帯電防止帯３０の密接度を向上させたり、脱落を防止する観点から、樹脂フィルムの収縮方向が帯電防止帯３０の周方向、換言すれば、フィルターハウジング１を包囲する方向と一致することが好ましい。樹脂層３２がポリエーテルエーテルケトン樹脂フィルムの場合、ポリエーテルエーテルケトン樹脂フィルムは、成形時に長手方向に一軸延伸されることにより、熱収縮性が付与される。また、樹脂層３２の厚さは、限定されるものではないが、取り扱いの便宜を図るため、２０μｍ以上２５０μｍ以下、好ましくは３０μｍ以上１５０μｍ以下、より好ましくは４５μｍ以上１００μｍ以下が良い。
【００４６】
このような帯電防止帯３０を製造する場合には、先ず、所定の大きさ・長さの樹脂層３２を用意し、この樹脂層３２上に導電性高分子溶液をバーコータ３３で塗工（図６（ａ）参照）して乾燥させることにより導電層３１を積層形成すれば、二層構造の帯電防止帯３０を製造（図６（ｂ）参照）することができる。この際、導電性高分子溶液の乾燥温度は、フィルターハウジング１に帯電防止帯３０を加熱して密接固定する場合の温度よりも低く調整される。
【００４７】
アース接続材４０は、図１や図４に示すように、例えば金属製の棒や細長い板からなる導電性のタグ４１と、このタグ４１に接続される細長い銅線等の電線４２とを備えて形成される。このアース接続材４０のタグ４１は、フィルターハウジング１の樹脂シリンダ１９の外周面と導電層３１とに挟持されてこれらに直接接触し、導通性を確保する。また、電線４２は、例えばフィルターハウジング１周辺の金属製の配管等に接続され、アース（接地）される。
【００４８】
上記構成において、フィルターハウジング１に帯電防止帯３０を巻き付ける場合には、先ず、フィルターハウジング１を組み立てるとともに、帯電防止帯３０をフィルターハウジング１の樹脂シリンダ１９よりも僅かに拡径の円筒形に湾曲形成して樹脂層３２を外側に露出させ、樹脂シリンダ１９に帯電防止帯３０を遊嵌し、樹脂シリンダ１９の外周面と帯電防止帯３０の導電層３１との間にアース接続材４０のタグ４１を挿入する。帯電防止帯３０を円筒形に形成する方法としては、帯電防止帯３０の両端部を重ねて両面粘着テープや接着剤、ヒートシール等により接合する手法があげられる。
【００４９】
次いで、樹脂シリンダ１９に帯電防止帯３０を遊嵌したら、帯電防止帯３０をヒータ等により周囲から加熱し、帯電防止帯３０をその周方向に熱収縮させる。すると、帯電防止帯３０は、縮径化して樹脂シリンダ１９の外周面に導電層３１が密着し、樹脂シリンダ１９の外周面と導電層３１とにアース接続材４０のタグ４１が挟持されて確実に面接触する。この際、帯電防止帯３０の樹脂層３２がフィルターハウジング１を包囲する方向に熱収縮するので、帯電防止帯３０が確実に縮径化して樹脂シリンダ１９の外周面との間の隙間が減少し、樹脂シリンダ１９の外周面に密接する。
【００５０】
こうして樹脂シリンダ１９と導電層３１とにアース接続材４０のタグ４１を面接触させたら、アース接続材４０の電線４２を付近の配管等に接続してアースし、電荷を除去するようにすれば、フィルターハウジング１に帯電防止帯３０を巻き付け、帯電やスパークを防止する機能を付与することができる。
【００５１】
次に、フィルターハウジング１を使用して薬液Ｃの清浄度を向上させ、薬液Ｃの使用量を削減したり、薬液Ｃの安定した流量を確保したい場合には、先ず、ベント孔８・８Ａをそれぞれ開放し、薬液Ｃを導入管１３から樹脂ヘッド２の導入口１１に流入させる。すると、薬液Ｃは、図３に矢印で示すように、樹脂ヘッド２の導入口１１から濾過カートリッジ４を包囲する樹脂シリンダ１９の内部外周に流入し、この樹脂シリンダ１９の内部外周を満たした後、ベント孔８から外部に流出する。
【００５２】
次いで、薬液Ｃがベント孔８から外部に流出したのを確認したら、ボス９にプラグ１０を挿入してベント孔８を閉塞する。すると、薬液Ｃは、外部への流出が規制されるので、樹脂シリンダ１９の内部外周から濾過カートリッジ４のメッシュケージ６とフィルター７とを順次通過してその内部に流入するとともに、フィルター７に粒子等が除去されることで精密濾過され、濾過カートリッジ４の内部を満たした後、ベント孔８Ａから外部に流出する。
【００５３】
薬液Ｃがベント孔８Ａから外部に流出したのを確認したら、ボス９Ａにプラグ１０Ａを挿入してベント孔８Ａを閉塞する。すると、精密濾過された薬液Ｃは、外部への流出が規制されるので、濾過カートリッジ４の内部から支持座３の内部、連通管１５、及び樹脂ヘッド２の導出口１４を順次経由して導出管１７に流出することとなる。これらの際、例え薬液Ｃの摩擦で樹脂シリンダ１９に電荷が生じても、電荷は、樹脂シリンダ１９から帯電防止帯３０の導電層３１とアース接続材４０のタグ４１及び電線４２とを経由して大地に瞬間的に流れ、失われる。
【００５４】
上記構成によれば、絶縁性のフィルターハウジング１に帯電防止帯３０で帯電防止機能を付与するので、樹脂シリンダ１９の静電気を除電し、樹脂シリンダ１９の帯電を抑制することができる。したがって、樹脂シリンダ１９に人体や物体が接触しても、これらの間に電流が一時的に流れ、スパークするおそれを排除することができる。このスパークのおそれの排除により、例え有機溶剤の蒸気が存在しても、この蒸気に引火することがなく、安全性を大幅に向上させることができる。また、樹脂シリンダ１９の材料を金属に変更する必要がないので、コンタミネーションにより薬液Ｃの清浄度が低下することがない。
【００５５】
また、樹脂シリンダ１９の材料を、散逸性炭素粉末とポリマー材料とが混合した材料に変更する必要がないので、１００ｎｍ以下の技術ノードで容易に使用することが可能となる。また、ＥＳＤ静電放電テープを省略することができるので、超低粒子での使用、超高純度ＰＰＴレベル、あるいは低ＰＰＴレベル溶剤用途での使用に最適である。
【００５６】
また、樹脂層３２に導電性高分子溶液を塗工して乾燥硬化させることで、柔軟性に優れる導電性高分子製の導電層３１を積層するので、曲げても折れないフレキシブルで低抵抗の導電層３１を形成することができ、しかも、湿度依存性のない静電気対策が期待できる。加えて、導電層３１と樹脂層３２とを両面粘着フィルム等で積層する必要がないので、帯電防止帯３０の薄型化を図ることが可能となる。
【００５７】
また、樹脂シリンダ１９が四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体製の場合、樹脂シリンダ１９の外周面に導電性ポリマーを塗布して帯電防止用の導電層３１を形成することはきわめて困難であるが、樹脂シリンダ１９の外周面に帯電防止帯３０の導電層３１をきつく密接させるので、樹脂シリンダ１９に帯電防止帯３０を確実に巻着することが可能となり、樹脂シリンダ１９から帯電防止帯３０が抜け落ちるのを防止することができる。さらに、樹脂シリンダ１９に帯電防止帯３０を固定用の粘着層を用いることなく、巻着することができるので、薄型化の他、部品点数の削減が期待できる。
【００５８】
なお、上記実施形態では樹脂ヘッド２に導入管１３と導出管１７とを単に接続したが、これら導入管１３と導出管１７が樹脂製の場合、導入管１３と導出管１７の少なくともいずれかに帯電防止帯３０を嵌合固定し、スパークを防止するようにしても良い。また、フィルターハウジング１の樹脂シリンダ１９を下方に向けたが、何らこれに限定されるものではなく、樹脂シリンダ１９を上向きとしても良い。また、樹脂シリンダ１９の内部を複数の空間に区画して濾過カートリッジ４の内部に薬液Ｃが一定量ずつ流入したり、貯蔵されるようにしても良い。
【００５９】
また、樹脂シリンダ１９の内底面中央部付近に、上方に指向する円筒形の支持座３を突出形成し、この支持座３に、樹脂ヘッド２に近接する濾過カートリッジ４を交換可能に嵌合支持させても良い。また、樹脂シリンダ１９の壁や底部に、樹脂シリンダ１９内に薬液Ｃを導入する導入口１１を穿孔するとともに、濾過カートリッジ４に濾過された薬液Ｃを外部に導出する導出口１４を穿孔することができる。
【００６０】
また、樹脂シリンダ１９に導電層３１を接触させたが、何らこれに限定されるものではなく、樹脂ヘッド２と樹脂シリンダ１９の外周面に導電層３１をそれぞれ接触させても良いし、樹脂ヘッド２、樹脂シリンダ１９、及び樹脂ナット２４の外周面に導電層３１をそれぞれ接触させることもできる。また、樹脂ヘッド２と樹脂ナット２４の少なくともいずれかの外周面に導電層３１を接触させることもできる。また、樹脂ヘッド２、樹脂シリンダ１９、及び樹脂ナット２４に一体の導電層３１を接触させることもできる。この場合、樹脂ヘッド２の導入口１１と導出口１４に導電層３１が接触する部分は、予め穿孔しておけば、導電層３１の接触が円滑となる。また、導電層３１を熱収縮させて密着させた後、穿孔することもできる。
【００６１】
また、樹脂ヘッド２と樹脂シリンダ１９とを樹脂ナット２４で接続したが、樹脂ナット２４を省略し、樹脂ヘッド２と樹脂シリンダ１９とを螺子結合方式や熱融着方式等で嵌めて直接接続することもできる。また、帯電防止帯３０の導電層３１は、導電性高分子の他、特に支障を来さなければ、銅貼りのポリイミド樹脂シートや各種カーボン材等により形成することも可能である。さらに、樹脂シリンダ１９と帯電防止帯３０の導電層３１との間にアース接続材４０のタグ４１を挿入しても良いが、タグ４１を省略し、樹脂シリンダ１９の外周面と帯電防止帯３０の導電層３１との間に、アース接続材４０の電線４２の絶縁被覆部材を剥離した端部を直接挿入して接触させることも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明に係る流体処理装置用の帯電防止帯及びその製造方法は、電気、電子、半導体、精密部品等の製造分野で使用される。
【符号の説明】
【００６３】
１        フィルターハウジング（流体処理装置）
２        樹脂ヘッド
４        濾過カートリッジ（流体濾過フィルター）
７        フィルター
１１      導入口
１３      導入管
１４      導出口
１５      連通管
１７      導出管
１８      螺子溝
１９      樹脂シリンダ
２１      フランジ
２４      樹脂ナット
２５      螺子  
２６      係止片
３０      帯電防止帯
３１      導電層
３２      樹脂層
４０      アース接続材
４１      タグ
４２      電線
Ｃ        薬液（流体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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