(57)【要約】【課題】被加工物とテープとの間に気泡がない状態にする。【解決手段】被加工物Ｗの一方の面ＷａにテープＴを貼着するテープ貼着工程と、テープが貼着された被加工物ＷをテープＴが上側に露出するようにスピンナテーブル２の上に保持する保持工程と、被加工物ＷとテープＴとの間に介在している気泡Ｂを取り除く気泡抜き工程と、を備えるテープ貼着方法であって、下端に噴射口４１を備えた流体噴射ノズル４０を用いて上方からテープＴに向けて混合流体Ｒを噴射しながら、水平移動手段５を用いて流体噴射ノズル４０を水平方向に移動させることによって気泡を被加工物の外周から排出する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物の一方の面にテープを貼着するテープ貼着方法であって、
被加工物の一方の面全面を覆うようにテープを貼着するテープ貼着工程と、
該テープを貼着した被加工物の他方の面をスピンナテーブルの保持面で保持する保持工程と、
該保持面の中心上方に配置される流体噴射ノズルから、該保持面に保持された被加工物に貼着した該テープの表面に向かって流体を噴射させ、該保持面の中心を軸に該スピンナテーブルを高速回転させ、該被加工物と該テープとの間に介在している気泡を該被加工物の外周から排出させる気泡抜き工程と、
を備えたテープ貼着方法。
【請求項２】
被加工物の一方の面にテープを貼着するテープ貼着方法であって、
被加工物の一方の面全面を覆うようにテープを貼着するテープ貼着工程と、
該スピンナテーブルの保持面で該テープを保持し該保持面が該テープを介して被加工物を保持する保持工程と、
該保持面の中心上方に配置される流体噴射ノズルから、該保持面が該テープを介して保持する被加工物の他方の面に向かって流体を噴射させ、該保持面の中心を軸に該スピンナテーブルを高速回転させ、該被加工物と該テープとの間に介在している気泡を該被加工物の外周から排出させる気泡抜き工程と、
を備えたテープ貼着方法。
【請求項３】
該流体噴射ノズルを水平移動させる水平移動手段を備え、
該気泡抜き工程は、該水平移動手段によって、該流体噴射ノズルを該保持面の中心を通り該保持面の径方向に水平移動させ、該被加工物と該テープとの間に介在している気泡を該被加工物の外周から排出させる請求項１又は２記載のテープ貼着方法。
【請求項４】
該気泡抜き工程は、該流体噴射ノズルをエア源に連通させ、該流体噴射ノズルからエアを噴射させる請求項１、２又は３記載のテープ貼着方法。
【請求項５】
該気泡抜き工程は、該流体噴射ノズルをエア源と水供給源とに連通させ、該流体噴射ノズルから水とエアとの混合流体を噴射させる請求項１、２又は３記載のテープ貼着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープ貼着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハを切削ブレードで切削する切削加工では、リングフレームの開口にウェーハを配置しリングフレームとウェーハとをテープで一体化させてワークセットを形成し、分割されたチップをテープで支持してチップがバラバラにならないようにしている。しかし、ワークセットを形成したとき、ウェーハとテープとの間に気泡が入ることがあり、気泡が分割予定ラインの直下にできた状態のワークセットのウェーハを切削ブレードで切削すると、カーフに大きなチッピングが発生するという問題がある。そのため、ワークセットはウェーハとテープとの間に気泡がないように特許文献１に開示のような方法でテープマウントしている。
【０００３】
また、例えばウェーハの研削加工を行うときには、デバイス保護を目的としてデバイスが形成されている側の面に保護テープを貼着する。その際にも、保護テープとウェーハとの間に気泡が入っていると、ウェーハを均等な厚みで研削することができなくなるという問題がある。また、特許文献２に示すようにバンプ付きウェーハのバンプが形成される面に保護テープを貼着する場合は、保護テープとウェーハとの間に気泡が入りやすいという特徴がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２８１３４３号公報
【特許文献２】特開２００７−０７９９１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のように、ウェーハとテープとの間に気泡が入らないようにテープを貼着するのは時間がかかり困難である。また、気泡が入った場合には、貼着したテープを剥離してもう一度テープを貼着する必要があり、剥離したテープを廃棄することになり不経済である。
従って、ウェーハへのテープの貼着においては、テープを貼着した後に、より効率的かつ経済的にテープとウェーハとの間に気泡がない状態にするという解決すべき課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、被加工物の一方の面にテープを貼着するテープ貼着方法であって、被加工物の一方の面全面を覆うようにテープを貼着するテープ貼着工程と、該テープを貼着した被加工物の他方の面をスピンナテーブルの保持面で保持する保持工程と、該保持面の中心上方に配置される流体噴射ノズルから、該保持面に保持された被加工物に貼着した該テープの表面に向かって流体を噴射させ、該保持面の中心を軸に該スピンナテーブルを高速回転させ、該被加工物と該テープとの間に介在している気泡を該被加工物の外周から排出させる気泡抜き工程と、を備えたテープ貼着方法である。
【０００７】
また、本発明は、被加工物の一方の面にテープを貼着するテープ貼着方法であって、被加工物の一方の面全面を覆うようにテープを貼着するテープ貼着工程と、該スピンナテーブルの保持面で該テープを保持し該保持面が該テープを介して被加工物を保持する保持工程と、該保持面の中心上方に配置される流体噴射ノズルから、該保持面が該テープを介して保持する被加工物の他方の面に向かって流体を噴射させ、該保持面の中心を軸に該スピンナテーブルを高速回転させ、該被加工物と該テープとの間に介在している気泡を該被加工物の外周から排出させる気泡抜き工程と、を備えたテープ貼着方法である。
【０００８】
上記テープ貼着方法においては、該流体噴射ノズルを水平移動させる水平移動手段を備え、該気泡抜き工程は、該水平移動手段によって、該流体噴射ノズルを該保持面の中心を通り該保持面の径方向に水平移動させ、該被加工物と該テープとの間に介在している気泡を該被加工物の外周から排出させることが望ましい。
【０００９】
上記の気泡抜き工程は、該流体噴射ノズルをエア源に連通させ、該流体噴射ノズルからエアを噴射させてもよいし、該流体噴射ノズルをエア源と水供給源とに連通させ、該流体噴射ノズルから水とエアとの混合流体を噴射させてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、被加工物とテープとの境に入った気泡を被加工物の外周から抜いているので、従来のようにテープマウントをし直す必要がなく、気泡が入ったときに貼着していたテープを廃棄しないで利用することができ、経済的である。
また、テープを張りなおす時間を削減することができるため、時間的コストの削減という効果をもたらす。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】気泡除去装置の全体を表す斜視図である。
【図２】（ａ）は、被加工物に貼着されたテープが上側に露出するようにしてスピンナテーブルに保持されている被加工物の中心付近に向けて上方から流体を噴射する様子を表す断面図であり、（ｂ）は、被加工物の外周付近に向けて上方から流体を噴射する様子を表す断面図である。
【図３】（ａ）は、被加工物に貼着されたテープが保持面に当接するようにスピンナテーブルに保持されている被加工物の中心付近に向けて上方から流体を噴射する様子を表す断面図であり、（ｂ）は、被加工物の外周付近に向けて上方から流体を噴射する様子を表す断面図である。
【図４】（ａ）は、被加工物のデバイスが形成されている側の面にテープを貼着する様子を表す斜視図であり、（ｂ）は、被加工物のデバイスが形成されている側の面と反対側の面にテープを貼着する様子を表す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
１  気液除去装置について
図１に示す気泡除去装置１は、テープＴが貼着された状態でスピンナテーブル２に保持されている被加工物Ｗに対して、流体噴射ノズル４０から流体を噴射させて被加工物Ｗと被加工物Ｗに貼着されているテープＴとの間に介在している気泡を取り除く装置である。
気泡除去装置１は、例えば、被加工物Ｗの加工の前後に、被加工物Ｗがスピンナテーブル２に保持されている状態でスピンナテーブル２を回転させながら、エアや水やそれらの混合物等を噴きつけて被加工物Ｗの上面や下面を洗浄する所謂スピンナ洗浄装置としての機能を有していてもよいし、あるいは、そのような他の用途を有していなく、被加工物ＷとテープＴとの間に生じた気泡を取り除くために特別に用いられる装置であってもよい。以下、気泡除去装置１の構成について詳述する。
【００１３】
図１、図２、及び図３に示すように、気泡除去装置１には、円板形状のスピンナテーブル２が備えられている。スピンナテーブル２には吸引部２０と吸引部２０を囲繞する枠体２１とが備えられており、吸引部２０の上面は、被加工物Ｗが保持される保持面２０ａとなっている。また、吸引部２０は図示しない吸引源に接続されており、被加工物Ｗが保持面２０ａの上に載置された状態で、吸引源により生み出される吸引力を保持面２０ａに伝達することによって、保持面２０ａに被加工物Ｗを吸引保持することができる。
スピンナテーブル２の枠体２１の下端にはスピンドル２３が連結されており、スピンドル２３には、スピンドル２３をＺ軸方向の回転軸２５を軸として回転させるモータ２２がロータリージョイント２４を介して接続されている。図示しない電源から電力が供給されてモータ２２がスピンドル２３を回転軸２５を軸として回転駆動させると、これに伴ってスピンナテーブル２が回転軸２５を軸として回転することとなる。
【００１４】
図１、図２、及び図３に示すように、気泡除去装置１には、ケーシング１２が備えられている。ケーシング１２は、スピンナテーブル２を囲繞するようにＺ軸方向に延ばして配設された外周板１２０と、同じくスピンナテーブル２を囲繞するように外周板１２０の内側に配設された内周板１２２と、外周板１２０の下端と内周板１２２の下端とを連結する底板１２１と、によって構成されており、ケーシング１２の内部には、外周板１２０と内周板１２２と底板１２１とによって囲繞された凹形状の空間が形成されている。
また、ケーシング１２の上方には天板１０が配設されており、ケーシング１２と天板１０とは、図１に示すように、＋Ｙ方向側において直方体形状の薄板である連結部材１１を介して連結されている。
なお、ケーシング１２の底板１２１には、図示しない排出口が配設されており、被加工物ＷとテープＴとの間に生じた気泡Ｂを取り除く際に用いられるエアや水等が、排出口からケーシング１２の外部に排出されることとなる。
【００１５】
図１、図２、及び図３に示すように、ケーシング１２の外周板１２０と内周板１２２との間には、例えば、Ｚ軸方向に昇降可能な飛散防止カバー１３が配設されている。飛散防止カバー１３は、スピンナテーブル２を囲繞するようにＺ軸方向に延設された側面カバー１３０と、飛散防止カバー１３が昇降移動する際にスピンナテーブル２を通過させる開口１３３と、開口１３３から側面カバー１３０の方向に向かうに従って下方へと傾斜するように形成された円錐台の側面の形状をなす環状の傾斜板１３２と、側面カバー１３０と傾斜板１３２とを連結する環状の底面カバー１３１と、を備えている。
【００１６】
図１、図２、及び図３に示すように、例えば、図示しない昇降手段を用いて側面カバー１３０を＋Ｚ方向に上昇させることによって、ケーシング１２、連結部材１１、及び天板１０によって囲繞されている空間と気泡除去装置１の外部の空間とを仕切ることができる。これにより、例えば、スピンナテーブル２に保持された被加工物Ｗに向けて噴射されたエアや水等の流体が被加工物Ｗに当たって反射したとき、流体を側面カバー１３０によって受け止めることができ、気泡除去装置１の外部へと流体が飛散するのを防止できる。
また、反射した流体を底面カバー１３１の下面１３１ｂ及び傾斜板１３２の下面１３２ｂで受け止めて、ケーシング１２の下方に配設されている図示しない排出口へと導くことによって、流体をケーシング１２の外部へと効率よく排出することができる。
【００１７】
図１、図２、及び図３に示すように、ケーシング１２の内部における、スピンナテーブル２の上方には流体噴射ノズル４０が備えられており、流体噴射ノズル４０の下端には噴射口４１が配設されている。
ケーシング１２の内部には、流体噴射ノズル４０を水平方向に移動させる水平移動手段５が備えられている。水平移動手段５には、水平方向に延設されたアーム５０と、Ｚ軸方向に立設された筒状の軸部５１とが配設されており、アーム５０の一端には流体噴射ノズル４０の側部が、アーム５０の他端には軸部５１が、それぞれ連結されている。軸部５１はＺ軸方向の回転軸５５を有しており、軸部５１の下端には、軸部５１を回転軸５５を軸として回転駆動させるモータ５２が接続されている。
モータ５２によって駆動されて軸部５１が回転軸５５を軸として回転すると、アーム５０が旋回して、これに伴い流体噴射ノズル４０がスピンナテーブル２の上方を水平移動する構成となっている。
【００１８】
流体噴射ノズル４０にはジョイント６０が配設されており、流体噴射ノズル４０はジョイント６０を介してエア流路６１に接続されている。エア流路６１はエア源６に接続しており、また、エア流路６１にはエア流路開閉バルブ６２が配設されている。エア流路開閉バルブ６２の開閉操作を行うことによって、エア源６と流体噴射ノズル４０とが連通されている状態と、両者が連通されていない状態とを切り替えることができる。
同様に、流体噴射ノズル４０は、ジョイント７０及び水路７１を介して水源７に接続されており、水路７１には水路開閉バルブ７２が配設されている。水路開閉バルブ７２を開閉操作することによって、水源７と流体噴射ノズル４０とが連通されている状態と、両者が連通されていない状態とを切り替えることができる。
【００１９】
なお、気泡除去装置１には、気泡除去手段１に備える上記のような各種の機構を電気的に制御する制御手段３が備えられている。
【００２０】
２  テープ貼着方法
本発明のテープ貼着方法は、被加工物ＷにテープＴを貼着するテープ貼着工程と、被加工物Ｗをスピンナテーブル２の上に保持する保持工程と、気泡除去装置１を用いて被加工物ＷとテープＴとの間に生じた気泡を取り除く気泡抜き工程とを備えている。以下、テープ貼着方法について、工程ごとに説明する。
【００２１】
［テープ貼着工程］
まず、図４（ａ）に示すように、例えば、交差する複数の分割予定ラインＬが一方の面Ｗａに形成され、かつ、分割予定ラインＬによって区画された各々の領域にデバイスＤが形成されている被加工物Ｗの一方の面Ｗａに、一方の面Ｗａの全面を覆うようにテープＴを貼着する。
また、テープ貼着工程においては、図４（ｂ）に示すように、例えば、後に切削加工等の実施が予定されている被加工物Ｗ１に対して、被加工物Ｗ１をデバイスＤが形成されている側の面Ｗ１ａを上にして環状のリングフレームＦの開口の中央に載置して、被加工物Ｗの裏面Ｗ１ｂとリングフレームＦの裏面ＦｂとにダイシングテープＴ１を貼着することも考えられる。
【００２２】
なお、以下では、テープ貼着工程において、図４（ａ）に示すように、被加工物Ｗの一方の面ＷａにテープＴを貼着した場合を想定して、保持工程、気泡除去工程について説明するが、本発明の実施可能な形態はこれに限定されるものではない。
【００２３】
［保持工程］
テープＴを被加工物Ｗの一方の面Ｗａに貼着した後、図１、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、被加工物Ｗの他方の面Ｗｂがスピンナテーブル２の保持面２０ａに当接するように、すなわち、被加工物Ｗに貼着されているテープＴの上面Ｔａが露出するように、被加工物Ｗをスピンナテーブル２の上に載置する。スピンナテーブル２の保持面２０ａの上に被加工物Ｗが載置されている状態で、図示しない吸引源が発揮する吸引力を保持面２０ａに伝達することによって保持面２０ａに被加工物Ｗが吸引保持される。
【００２４】
その後、モータ２２を用いてスピンドル２３を駆動させて、スピンドル２３を回転軸２５を軸として回転させることによって、スピンナテーブル２が回転軸２５を軸として高速回転する。これにより、スピンナテーブル２に保持されている被加工物Ｗが回転軸２５を軸として高速回転する。
【００２５】
［気泡抜き工程］
次いで、図２（ａ）に示すように、流体噴射ノズル４０の噴射口４１からスピンナテーブル２に保持された被加工物Ｗに貼着されているテープＴの上面Ｔａに向けてエアと水との混合流体Ｒを噴射する。
なお、混合流体Ｒを噴射する際には、エア流路開閉バルブ６２及び水路開閉バルブ７２が開いており、エア源６及び水源７がそれぞれ流体噴射ノズル４０に連通されている。エア源６からエア流路６１を通じて流体噴射ノズル４０に送られたエアと、水源７から水路７１を通じて同じく流体噴射ノズル４０に送られた水とが、流体噴射ノズル４０の内部において混ざり合い、混合流体Ｒとして噴射口４１からテープＴの上面Ｔａに向けて噴射される。
【００２６】
流体噴射ノズル４０の噴射口４１から、回転軸２５を軸として高速回転しているテープＴの上面Ｔａに向けて混合流体Ｒを噴射しながら、図１、図２（ａ）、及び図２（ｂ）に示すように、モータ５２を用いてアーム５０を回転軸５５を軸として旋回させることによって、アーム５０に連結された流体噴射ノズル４０を水平方向に移動させて、被加工物ＷとテープＴとの間に介在している気泡Ｂを被加工物Ｗの外周から排出する。
なお、テープＴの上面Ｔａにあたって反射し、スピンナテーブル２の側方へと向かう混合流体Ｒの水滴は、飛散防止カバー１３の側面カバー１３０の内側面１３０ａ、傾斜板１３２の下面１３２ｂ、及び底面カバー１３１の下面１３１ｂに付着して、例えば、側面カバー１３０に沿って下方へと流れ落ちていく。そして、図示しない排出口から気泡除去装置１の外部へと排出される。
【００２７】
このとき、例えば、図１に示すように、スピンナテーブル２に保持されている被加工物Ｗが回転軸２５を軸として高速回転している状態で、流体噴射ノズル４０を保持面２０ａの円周の真上の点Ｐ１に位置付けて、混合流体Ｒの噴射を開始する。そして、アーム５０を回転軸５５を軸として旋回させることによって、アーム５０に接続されている流体噴射ノズル４０を、スピンナテーブル２の中心Ｏの真上の点Ｐ０を通過するように、点Ｐ１とは異なる保持面２０ａの円周の真上の点Ｐ２に移動させる。そして、流体噴射ノズル４０が点Ｐ２に到達したら、モータ５２を電気的に制御して、アーム５０を回転軸５５を軸として逆回転させることにより、点Ｐ２に位置付けられている流体噴射ノズル４０を、点Ｐ０を経由して点Ｐ１に移動させる。このようにして、流体噴射ノズル４０から混合流体Ｒを噴射させながら、点Ｐ０を経由した点Ｐ１と点Ｐ２との間の往復移動させることによって、被加工物ＷとテープＴとの間に介在している気泡Ｂを被加工物Ｗの円の外周へと排出して取り除くことができる。
【００２８】
また、例えば、図２（ａ）に示すように、流体噴射ノズル４０が点Ｐ０の付近、つまり回転中心に位置付けられている状態で、流体の噴射を開始するとともに、流体噴射ノズル４０を回転軸５５を軸として短い距離だけ往復移動させて、例えば、被加工物Ｗの中心Ｗｏの付近に位置している気泡Ｂを被加工物Ｗの外周方向へと移動させる。そして、時間の経過とともに、例えば、モータ５２を電気的に制御してアーム５０の旋回角度を大きくしていくことによって、図２（ｂ）に示すように、流体噴射ノズル４０の往復移動の片道の路程を大きくしていき、徐々に気泡Ｂを被加工物Ｗの円の外周へと追いやっていく。このように、流体噴射ノズル４０の移動距離を制御することによって、より効率的に気泡Ｂを被加工物Ｗの外側へと排出することができる。
【００２９】
さらには、例えば、モータ２２の電気的制御を行い、軸部５１の回転速度を制御して、アーム５０の旋回速度を制御することによって流体噴射ノズル４０の水平方向への移動速度を変化させてもよい。例えば、流体噴射ノズル４０の水平移動の速度を、時間の経過とともに遅くさせる、つまり流体噴射ノズル４０が被加工物Ｗの外周に近くなるほど遅くさせる、といった構成も考えられる。
また、流体噴射ノズル４０を往復移動させないで、点Ｐ０に位置づけ、流体の噴射を開始し、点Ｐ１または点Ｐ２のいずれかに向かって移動させることで、徐々に気泡Ｂを被加工物Ｗの円の外周へと追いやっていってもよい。
【００３０】
上記のように、噴射口４１からテープＴの上面Ｔａに向けて混合流体Ｒを噴射させながら、流体噴射ノズル４０を適宜、水平移動させることによって、被加工物ＷとテープＴとの間に介在している気泡Ｂを効率的に被加工物Ｗの外周から排出することができる。
さらに、流体噴射ノズル４０の水平移動させない構成でもよい。この場合、流体噴射ノズル４０から噴射された流体が、被加工物Ｗの上面を中央から外周にむかって流れる際に、気泡で盛り上がったテープＴに流体が流れる力が加わることで、気泡Ｂを被加工物Ｗの外周へと移動させることができる。
【００３１】
上記の保持工程においては、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、スピンナテーブル２の保持面２０ａとテープＴとが当接するように、被加工物Ｗの他方の面Ｗｂが露出した状態で被加工物Ｗがスピンナテーブル２に保持されていてもよい。
【００３２】
かかる場合は、流体噴射ノズル４０の噴射口４１から、被加工物Ｗの他方の面Ｗｂに向けて上記と同様に混合流体Ｒを噴射する。例えば、図３（ａ）に示すように、流体噴射ノズル４０から被加工物Ｗの中心Ｗｏの付近に向かって混合流体Ｒを噴射して、被加工物ＷとテープＴとの間に介在している気泡Ｂを被加工物Ｗの円の外周方向に移動させる。そして、図３（ｂ）に示すように、被加工物Ｗの円の外周付近に位置している気泡Ｂを被加工物Ｗの外周から排除する。これにより、被加工物ＷとテープＴとの間に介在している気泡を効率的に被加工物Ｗの外周から排出することができる。
【００３３】
なお、エア流路開閉バルブ６２と水路開閉バルブ７２とを適宜、開閉制御することによって、噴射口４１から、例えば、エアのみを噴射させることで気泡Ｂを除去する事も可能である。
【符号の説明】
【００３４】
１  気泡除去装置  １０：天板  １１：連結部材  １２：ケーシング
１２０：外周板  １２１：底板  １２２：内周板
１３：飛散防止カバー  １３０：側面カバー  １３１：底面カバー  １３１ｂ：下面
１３２：傾斜板  １３２ｂ：下面  １３３：開口
２：スピンナテーブル  ２０：吸引部  ２０ａ：保持面  ２１：枠体  ２２：モータ
２３：スピンドル  ２４：ロータリージョイント  ２５：回転軸
Ｏ：スピンナテーブルの中心  ３：制御手段  ４０：流体噴射ノズル  ４１：噴射口
５：水平移動手段  ５０：アーム  ５１：軸部  ５２：モータ  ５５：回転軸
６：エア源  ６０：ジョイント  ６１：エア流路  ６２：エア流路開閉バルブ
７：水源  ７０：ジョイント  ７１：水路  ７２：水路開閉バルブ
Ｗ：被加工物  Ｗａ：一方の面  Ｗｂ：他方の面  Ｌ：分割予定ライン  Ｄ：デバイス
Ｗ１：被加工物  Ｔ１：ダイシングテープ  Ｆ：リングフレーム
Ｔ：テープ  Ｔａ：テープの上面  Ｂ：気泡  Ｒ：混合流体
Ｐ０：保持面の中心の真上の点  Ｐ１、Ｐ２：保持面の円周の真上の点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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