(57)【要約】      （修正有）【課題】品質に優れた切削面が得られるソーワイヤの提供。【解決手段】ソーワイヤ２は、波状のくせを有している。このくせは、第一波成分４、第二波成分６及び第三波成分８が複合された形状を有する。第一波成分４の波長ＷＬ１は、第二波成分６の波長ＷＬ２と異なっている。第二波成分６の波長ＷＬ２は、第三波成分８の波長ＷＬ３と異なっている。第三波成分８の波長ＷＬ３は、第一波成分４の波長ＷＬ１と異なっている。第一波成分４の波高ＷＨ１は、第二波成分６の波高ＷＨ２と異なっている。第二波成分６の波高ＷＨ２は、第三波成分８の波高ＷＨ３と異なっている。第三波成分８の波高ＷＨ３は、第一波成分４の波高ＷＨ１と異なっている。【選択図】図２
2020049644.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
波状のくせを有しており、
上記くせが、第一波成分、第二波成分及び第三波成分を含んでいるソーワイヤ。
【請求項２】
上記第一波成分の波長ＷＬ１が、上記第二波成分の波長ＷＬ２と異なっており、
上記第二波成分の波長ＷＬ２が、上記第三波成分の波長ＷＬ３と異なっており、
上記第三波成分の波長ＷＬ３が、上記第一波成分の波長ＷＬ１と異なっている請求項１に記載のソーワイヤ。
【請求項３】
上記第一波成分の波高ＷＨ１が、上記第二波成分の波高ＷＨ２と異なっており、
上記第二波成分の波高ＷＨ２が、上記第三波成分の波高ＷＨ３と異なっており、
上記第三波成分の波高ＷＨ３が、上記第一波成分の波高ＷＨ１と異なっている請求項１又は２に記載のソーワイヤ。
【請求項４】
上記第一波成分の振動方向が、上記第二波成分の振動方向と異なっており、
上記第二波成分の振動方向が、上記第三波成分の振動方向と異なっており、
上記第三波成分の振動方向が、上記第一波成分の振動方向と異なっている請求項１から３のいずれかに記載のソーワイヤ。
【請求項５】
上記第一波成分の波長ＷＬ１及び波高ＷＨ１、上記第二波成分の波長ＷＬ２及び波高ＷＨ２、上記第三波成分の波長ＷＬ３及び波高ＷＨ３、並びに線径Ｄｉが下記数式を満たす請求項１から４のいずれかに記載のソーワイヤ。
１．１ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ１ ≦ ５０ ＊ Ｄｉ
１．２ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ２ ≦ １００ ＊ Ｄｉ
２０００ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ３ ≦ ６０００ ＊ Ｄｉ
１．０５ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ１ ≦ ５ ＊ Ｄｉ
１．１ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ２ ≦ １０ ＊ Ｄｉ
２ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ３ ≦ １０００ ＊ Ｄｉ
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ソーワイヤに関する。詳細には、本発明は、ソーワイヤのくせ付けの改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体インゴットのスライスに、ソーワイヤが用いられている。スライスにより、ウエハが得られる。固定砥粒式のソーワイヤ及び遊離砥粒式のソーワイヤが、使用されている。固定砥粒式のソーワイヤは、切削効率に優れる。しかし、固定砥粒式のソーワイヤで得られた切削面は、寸法精度に劣る。ウエハの性能の観点から、遊離砥粒式のソーワイヤが有利である。
【０００３】
遊離砥粒式のソーワイヤでは、スライスに先だってこのソーワイヤにスラリーが吹き付けられる。このスラリーは、砥粒を含んでいる。ソーワイヤの走行により、砥粒はインゴットとソーワイヤとの間に引き込まれる。この砥粒の移動によってインゴットが切削され、スライスが達成される。多くの砥粒を引き込みうるソーワイヤは、切削効率に優れる。多くの砥粒を引き込みうるソーワイヤは、切削面の寸法精度にも寄与しうる。
【０００４】
特開２００４−２７６２０７公報には、くせ付けされたソーワイヤが開示されている。このくせは、波形状を有する。波は、山と谷とを有する。砥粒は谷に補足され、インゴットの内部を進行する。このソーワイヤは、多くの砥粒を引き込みうる。
【０００５】
同様のくせ付けがなされたソーワイヤが、特表２００８−５１９６９８公報に開示されている。このソーワイヤは、２の波を有する。一方の波の振動方向は、他方の波の振動方向とは異なる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２７６２０７公報
【特許文献２】特表２００８−５１９６９８公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
切削加工に使用されることで、ソーワイヤに偏摩耗が生じることがある。偏摩耗は、切削面の寸法精度を下げる。本発明の目的は、偏摩耗が生じにくく、従って品質に優れた切削面が得られるソーワイヤの提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るソーワイヤは、波状のくせを有しする。このくせは、第一波成分、第二波成分及び第三波成分を含む。
【０００９】
好ましくは、第一波成分の波長ＷＬ１は、第二波成分の波長ＷＬ２と異なる。好ましくは、第二波成分の波長ＷＬ２は、第三波成分の波長ＷＬ３と異なる。好ましくは、第三波成分の波長ＷＬ３は、第一波成分の波長ＷＬ１と異なる。
【００１０】
好ましくは、第一波成分の波高ＷＨ１は、第二波成分の波高ＷＨ２と異なる。好ましくは、第二波成分の波高ＷＨ２は、第三波成分の波高ＷＨ３と異なる。好ましくは、第三波成分の波高ＷＨ３は、第一波成分の波高ＷＨ１と異なる。
【００１１】
好ましくは、第一波成分の振動方向は、第二波成分の振動方向と異なる。好ましくは、第二波成分の振動方向は、第三波成分の振動方向と異なる。好ましくは、第三波成分の振動方向は、第一波成分の振動方向と異なる。
【００１２】
好ましくは、第一波成分の波長ＷＬ１及び波高ＷＨ１、第二波成分の波長ＷＬ２及び波高ＷＨ２、第三波成分の波長ＷＬ３及び波高ＷＨ３、並びに線径Ｄｉは、下記数式を満たす。
１．１ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ１ ≦ ５０ ＊ Ｄｉ
１．２ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ２ ≦ １００ ＊ Ｄｉ
２０００ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ３ ≦ ６０００ ＊ Ｄｉ
１．０５ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ１ ≦ ５ ＊ Ｄｉ
１．１ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ２ ≦ １０ ＊ Ｄｉ
２ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ３ ≦ １０００ ＊ Ｄｉ
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るソーワイヤのくせは、３以上の波成分を有する。このソーワイヤでは、砥粒が均一に引き込まれうる。このソーワイヤでは、偏摩耗が生じにくい。このソーワイヤにより、寸法精度のよい切削面が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係るソーワイヤの一部が示された正面図であ。
【図２】図２は、図１のソーワイヤが模式的に示された拡大右側面図である。
【図３】図３は、図１のソーワイヤのくせの第一波線分が示された模式図である。
【図４】図４は、図１のソーワイヤのくせの第二波線分が示された模式図である。
【図５】図５は、図１のソーワイヤのくせの第三波線分が示された模式図である。
【図６】図６は、図１のソーワイヤのためのくせ付け装置の一部が示された模式図である。
【図７】図７は、本発明の他の実施形態に係るソーワイヤが模式的に示された右側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、適宜図面が参照されつつ、好ましい実施形態に基づいて本発明が詳細に説明される。
【００１６】
図１及び２に、ソーワイヤ２が示されている。これらの図面において、Ｘ方向は水平方向であり、Ｙ方向は鉛直方向であり、Ｚ方向は水平方向である。Ｘ方向は、このソーワイヤ２の長さ方向でもある。このソーワイヤ２は、ソーマシンに装着されて、図１の左向きに走行する。
【００１７】
このソーワイヤ２は、波状のくせを有している。このくせは、図２に模式的に示された、第一波成分４、第二波成分６及び第三波成分８が複合された形状を有する。くせが、４以上の波成分が複合された形状を有してもよい。
【００１８】
図３には、第一波成分４が模式的に示されている。図３は、図２の矢印Ａ１の方向から見た第一波成分４が示されている。第一波成分４は、矢印Ａ１に対して垂直な平面において、振動している。第一波成分４は、他の平面では振動していない。第一波成分４は、二次元の波である。第一波成分４は、一定波長で振動している。図２から明らかなように、第一波成分４の波の振動方向は、Ｙ方向である。
【００１９】
図３に示されるように、第一波成分４は、多数の山１０と多数の谷１２とを有している。これらの山１０及び谷１２は、Ｘ方向に沿って交互に配置されている。ソーワイヤ２は、第一波成分４の谷１２において砥粒を補足し、切削面へと引き込む。図３において、矢印ＷＬ１は第一波成分４の波長を表し、矢印ＷＨ１は第一波成分４の波高を表す。
【００２０】
図４には、第二波成分６が模式的に示されている。図４は、図２の矢印Ａ２の方向から見た第二波成分６が示されている。第二波成分６は、矢印Ａ２に対して垂直な平面において、振動している。第二波成分６は、他の平面では振動していない。第二波成分６は、二次元の波である。第二波成分６は、一定波長で振動している。図２から明らかなように、第二波成分６の振動方向は、Ｙ方向に対して傾斜している。第二波成分６の振動方向は、第一波成分４の振動方向と異なる。本実施形態では、第二波成分６の振動方向の、第一波成分４の振動方向に対する角度θ１−２は、６０°である（図２参照）。
【００２１】
図４に示されるように、第二波成分６は、多数の山１４と多数の谷１６とを有している。これらの山１４及び谷１６は、Ｘ方向に沿って交互に配置されている。ソーワイヤ２は、第二波成分６の谷１６において砥粒を補足し、切削面へと引き込む。図４において、矢印ＷＬ２は第二波成分６の波長を表し、矢印ＷＨ２は第二波成分６の波高を表す。
【００２２】
図５には、第三波成分８が模式的に示されている。図５は、図２の矢印Ａ３の方向から見た第三波成分８が示されている。第三波成分８は、矢印Ａ３に対して垂直な平面において、振動している。第三波成分８は、他の平面では振動していない。第三波成分８は、二次元の波である。第三波成分８は、一定波長で振動している。図２から明らかなように、第三波成分８の振動方向は、Ｙ方向に対して傾斜している。第三波成分８の振動方向は、第一波成分４の振動方向と異なる。本実施形態では、第三波成分８の振動方向の、第一波成分４の振動方向に対する角度θ１−３は、１２０°である（図２参照）。第三波成分８の振動方向は、第二波成分６の振動方向とも異なる。本実施形態では、第三波成分８の振動方向の、第二波成分６の振動方向に対する角度θ２−３は、６０°である（図２参照）。
【００２３】
図５に示されるように、第二波成分６は、多数の山１８と多数の谷２０とを有している。これらの山１８及び谷２０は、Ｘ方向に沿って交互に配置されている。ソーワイヤ２は、第三波成分８の谷２０において砥粒を補足し、切削面へと引き込む。図５において、矢印ＷＬ３は第三波成分８の波長を表し、矢印ＷＨ３は第三波成分８の波高を表す。
【００２４】
第一波成分４、第二波成分６及び第三波成分８は、前述の通り、二次元の波である。第一波成分４、第二波成分６及び第三波成分８が複合することで、三次元の波が形成される。このソーワイヤ２のくせは、三次元形状を有する。
【００２５】
このソーワイヤ２は、第一波成分４の谷１２、第二波成分６の谷１６及び第三波成分８の谷２０によって、砥粒を引き込む。このソーワイヤ２は、均一に砥粒を引き込む。このソーワイヤ２では、偏摩耗が生じにくい。このソーワイヤ２により、寸法精度に優れた切削面が得られる。このソーワイヤ２により、粗さが小さな切削面が得られる。
【００２６】
このソーワイヤ２では、第一波成分４の振動方向が第二波成分６の振動方向と異なっており、第二波成分６の振動方向が第三波成分８の振動方向と異なっており、第三波成分８の振動方向が第一波成分４の振動方向と異なっている。このソーワイヤ２は、振動方向の異なる３の波成分が複合したくせを有している。このソーワイヤ２では、砥粒が均一に引き込まれる。
【００２７】
第一波成分４の振動方向と、第二波成分６の振動方向との間の角度は、２０°以上１６０°以下が好ましく、３０°以上１５０°以下が特に好ましい。第二波成分６の振動方向と、第三波成分８の振動方向との間の角度は、２０°以上１６０°以下が好ましく、３０°以上１５０°以下が特に好ましい。第三波成分８の振動方向と、第一波成分４の振動方向との間の角度は、２０°以上１６０°以下が好ましく、３０°以上１５０°以下が特に好ましい。
【００２８】
図３及び４の対比から明らかな通り、第二波成分６の波長ＷＬ２は、第一波成分４の波長ＷＬ１より大きい。図４及び５の対比から明らかな通り、第三波成分８の波長ＷＬ３は、第二波成分６の波長ＷＬ２より大きい。波長の大小関係が、異なってもよい。例えば、第一波成分４の波長ＷＬ１が第二波成分６の波長ＷＬ２よりも大きくてもよい。第一波成分４の波長ＷＬ１が、第二波成分６の波長ＷＬ２と同じでもよい。
【００２９】
図３及び４の対比から明らかな通り、第一波成分４の波高ＷＨ１は、第二波成分６の波高ＷＨ２より大きい。図３及び５の対比から明らかな通り、第三波成分８の波高ＷＨ３は、第一波成分４の波高ＷＨ１より大きい。波高の大小関係が、異なってもよい。例えば、第一波成分４の波高ＷＨ１が第二波成分６の波高ＷＨ２より小さくてもよい。第一波成分４の波高ＷＨ１が、第二波成分６の波高ＷＨ２と同じでもよい。
【００３０】
このソーワイヤ２では、第一波成分４の波長ＷＬ１が第二波成分６の波長ＷＬ２と異なっており、第二波成分６の波長ＷＬ２が第三波成分８の波長ＷＬ３と異なっており、第三波成分８の波長ＷＬ３が第一波成分４の波長ＷＬ１と異なっている。このソーワイヤ２は、波長の異なる３の波成分が複合したくせを有している。このソーワイヤ２では、砥粒が均一に引き込まれる。
【００３１】
前述の通り、第一波成分４の波長ＷＬ１が、第二波成分６の波長ＷＬ２と同じでもよい。この場合でも、第三波成分８の波長ＷＬ３が波長ＷＬ１及び波長ＷＬ２と異なることにより、砥粒の均一な引き込みが達成されうる。
【００３２】
このソーワイヤ２では、第一波成分４の波高ＷＨ１が第二波成分６の波高ＷＨ２と異なっており、第二波成分６の波高ＷＨ２が第三波成分８の波高ＷＨ３と異なっており、第三波成分８の波高ＷＨ３が第一波成分４の波高ＷＨ１と異なっている。このソーワイヤ２は、波高の異なる３の波成分が複合したくせを有している。このソーワイヤ２では、砥粒が均一に引き込まれる。
【００３３】
前述の通り、第一波成分４の波高ＷＨ１が、第二波成分６の波高ＷＨ２と同じでもよい。この場合でも、第三波成分８の波高ＷＨ３が波高ＷＨ１及び波高ＷＨ２と異なることにより、砥粒の均一な引き込みが達成されうる。
【００３４】
好ましくは、第一波成分４の波長ＷＬ１は、下記の数式を満たす。
１．１ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ１ ≦ ５０ ＊ Ｄｉ
この数式においてＤｉは、線径を表す（図２参照）。換言すれば、第一波成分４の波長ＷＬ１は、線径Ｄｉの１．１倍以上５０倍以下である。好ましくは、波長ＷＬ１は、線径Ｄｉの３倍以上４０倍以下である。
【００３５】
好ましくは、第二波成分６の波長ＷＬ２は、下記の数式を満たす。
１．２ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ２ ≦ １００ ＊ Ｄｉ
換言すれば、第二波成分６の波長ＷＬ２は、線径Ｄｉの１．２倍以上１００倍以下である。好ましくは、波長ＷＬ２は、線径Ｄｉの３．５倍以上５０倍以下である。
【００３６】
好ましくは、第三波成分８の波長ＷＬ３は、下記の数式を満たす。
２０００ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ３ ≦ ６０００ ＊ Ｄｉ
換言すれば、第三波成分８の波長ＷＬ３は、線径Ｄｉの２０００倍以上６０００倍以下である。好ましくは、波長ＷＬ３は、線径Ｄｉの２２００倍以上５０００倍以下である。
【００３７】
波長ＷＬ１と波長ＷＬ２との差の絶対値の、線径Ｄｉに対する比率は、３％以上が好ましく、５％以上が特に好ましい。波長ＷＬ２と波長ＷＬ３との差の絶対値の、線径Ｄｉに対する比率は、３％以上が好ましく、５％以上が特に好ましい。波長ＷＬ３と波長ＷＬ１との差の絶対値の、線径Ｄｉに対する比率は、３％以上が好ましく、５％以上が特に好ましい。
【００３８】
波長ＷＬ１に対する波長ＷＬ３の比（ＷＬ３／ＷＬ１）は、２５０以上が好ましく、６５０以上が特に好ましい。比（ＷＬ３／ＷＬ１）は、２５００以下が好ましい。波長ＷＬ２に対する波長ＷＬ３の比（ＷＬ３／ＷＬ２）は、２００以上が好ましく、５２０以上が特に好ましい。比（ＷＬ３／ＷＬ２）は、２０００以下が好ましい。
【００３９】
好ましくは、第一波成分４の波高ＷＨ１は、下記の数式を満たす。
１．０５ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ１ ≦ ５ ＊ Ｄｉ
この数式においてＤｉは、線径を表す（図２参照）。換言すれば、第一波成分４の波高ＷＨ１は、線径Ｄｉの１．０５倍以上５倍以下である。好ましくは、波高ＷＨ１は、線径Ｄｉの１．１倍以上３倍以下である。
【００４０】
好ましくは、第二波成分６の波高ＷＨ２は、下記の数式を満たす。
１．１ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ２ ≦ １０ ＊ Ｄｉ
換言すれば、第二波成分６の波高ＷＨ２は、線径Ｄｉの１．１倍以上１０倍以下である。好ましくは、波高ＷＨ２は、線径Ｄｉの１．２倍以上５倍以下である。
【００４１】
好ましくは、第三波成分８の波高ＷＨ３は、下記の数式を満たす。
２ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ３ ≦ １０００ ＊ Ｄｉ
換言すれば、第三波成分８の波高ＷＨ３は、線径Ｄｉの２倍以上１０００倍以下である。好ましくは、波高ＷＨ３は、線径Ｄｉの５０倍以上８００倍以下である。
【００４２】
波高ＷＨ１と波高ＷＨ２との差の絶対値の、線径Ｄｉに対する比率は、３％以上が好ましく、５％以上が特に好ましい。波高ＷＨ２と波高ＷＨ３との差の絶対値の、線径Ｄｉに対する比率は、３％以上が好ましく、５％以上が特に好ましい。波高ＷＨ３と波高ＷＨ１との差の絶対値の、線径Ｄｉに対する比率は、３％以上が好ましく、５％以上が特に好ましい。
【００４３】
線径Ｄｉは、０．０５ｍｍ以上０．４０ｍｍ以下が好ましく、０．１０ｍｍ以上０．２０ｍｍ以下が特に好ましい。
【００４４】
ソーワイヤ２の材質は、金属である。典型的な金属は、炭素鋼である。炭素鋼からなる主部の表面に、ブラスメッキが施されたソーワイヤ２が好ましい。
【００４５】
このソーワイヤ２のためのくせ付け装置は、第一くせ付け部、第二くせ付け部及び第三くせ付け部を有している。図６に、第一くせ付け部３０が示されている。この第一くせ付け部３０は、第一歯車３２及び第二歯車３４からなる歯車対３６を有している。母線３８が歯車対３６を通過することで、塑性変形が生じる。この塑性変形により、母線３８に第一波成分４がくせ付けされる。
【００４６】
図示されていないが、第二くせ付け部も歯車対を有している。第一くせ付け部３０から排出された母線３８は、第二くせ付け部の歯車対を通過する。この通過によって塑性変形が生じ、母線３８に第二波成分６がくせ付けされる。第一くせ付け部３０の歯車対の軸に対して傾斜した軸を有する歯車対により、第一波成分４とは振動方向が異なる第二波成分６が形成されうる。
【００４７】
図示されていないが、第三くせ付け部も歯車対を有している。第二くせ付け部から排出された母線３８は、第三くせ付け部の歯車対を通過する。この通過によって塑性変形が生じ、母線３８に第三波成分８がくせ付けされる。第一くせ付け部３０の歯車対の軸に対して傾斜した軸を有する歯車対により、第一波成分４とは振動方向が異なる第三波成分８が形成されうる。第二くせ付け部の歯車対の軸に対して傾斜した軸を有する歯車対により、第二波成分６とは振動方向が異なる第三波成分８が形成されうる。
【００４８】
図７は、本発明の他の実施形態に係る本発明の他の実施形態に係るソーワイヤ２２が模式的に示された右側面図である。このソーワイヤ２２は、波状のくせを有している。このくせは、図７に模式的に示された、第一波成分２４、第二波成分２６及び第三波成分２８が複合された形状を有する。第一波成分２４の振動方向は、Ｙ方向である。第二波成分２６の振動方向は、Ｙ方向に対して９０°傾斜している。第三波成分２８の振動方向は、Ｙ方向に対して１２０°傾斜している。第二波成分２６の振動方向を除けば、このソーワイヤ２２の構造は、図１−５に示されたソーワイヤ２２の構造と同じである。
【００４９】
このソーワイヤ２２は、第一波成分２４の谷、第二波成分２６の谷及び第三波成分２８の谷によって、砥粒を引き込む。このソーワイヤ２２は、均一に砥粒を引き込む。このソーワイヤ２２では、偏摩耗が生じにくい。このソーワイヤ２２により、寸法精度に優れた切削面が得られる。このソーワイヤ２２により、粗さが小さな切削面が得られる。
【実施例】
【００５０】
以下、実施例によって本発明の効果が明らかにされるが、この実施例の記載に基づいて本発明が限定的に解釈されるべきではない。
【００５１】
［実施例１］
図１−５に示されたソーワイヤを製作した。このソーワイヤの仕様が、下記の表１に示されている。このソーワイヤは、ブラスメッキが施された炭素鋼からなる。
【００５２】
［実施例２−９］
仕様を下記の表１及び２に示される通りとした他は実施例１と同様にして、実施例２−９のソーワイヤを得た。
【００５３】
［比較例１］
第一波成分及び第二波成分を有するソーワイヤを製作した。このソーワイヤは、第三波成分を有さない。
【００５４】
［比較例２］
従来のソーワイヤを準備した。このソーワイヤは、波の形状を有さない。
【００５５】
［試験１］
各ソーワイヤをソーマシンに装着した。このソーワイヤの表面に、砥粒を含むスラリーを塗布した。このソーワイヤを０．６ｍｍ／ｍｉｎの速度で走行させて、ガラス板をスライスした。得られた切削面の粗さとうねりとを観察し、評価した。この結果が、指数として下記の表１−３に示されている。数値が大きいほど、評価が優れている。
【００５６】
［試験２］
このソーワイヤの走行速度を０．８ｍｍ／ｍｉｎとした他は実験１と同様にして、切削面の粗さとうねりとを評価した。この結果が、指数として下記の表１−３に示されている。数値が大きいほど、評価が優れている。
【００５７】
【表１】
2020049644.tif 000003
【００５８】
【表２】
2020049644.tif 000004
【００５９】
【表３】
2020049644.tif 000005
【００６０】
表１−３に示されるように、各実施例のソーワイヤでは、比較例１及び２のソーワイヤに比べて優れた評価が得られている。この評価結果から、本発明の優位性は明らかである。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明に係るソーワイヤは、種々の物品の切断に用いられ得る。
【符号の説明】
【００６２】
２、２２・・・ソーワイヤ
４、２４・・・第一波成分
６、２６・・・第二波成分
８、２８・・・第三波成分
１０、１４、１８・・・山
１２、１６、２０・・・谷
３０・・・第一くせ付け部
３２・・・第一歯車
３４・・・第二歯車
３６・・・歯車対
３８・・・母線
【図１】
2020049644.tif 000006
【図２】
2020049644.tif 000007
【図３】
2020049644.tif 000008
【図４】
2020049644.tif 000009
【図５】
2020049644.tif 000010
【図６】
2020049644.tif 000011
【図７】
2020049644.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成31年2月8日(2019.2.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
波状のくせを有しており、
上記くせが、第一波成分、第二波成分及び第三波成分が複合された形状を有するソーワイヤ。
【請求項２】
上記第一波成分の波長ＷＬ１が、上記第二波成分の波長ＷＬ２と異なっており、
上記第二波成分の波長ＷＬ２が、上記第三波成分の波長ＷＬ３と異なっており、
上記第三波成分の波長ＷＬ３が、上記第一波成分の波長ＷＬ１と異なっている請求項１に記載のソーワイヤ。
【請求項３】
上記第一波成分の波高ＷＨ１が、上記第二波成分の波高ＷＨ２と異なっており、
上記第二波成分の波高ＷＨ２が、上記第三波成分の波高ＷＨ３と異なっており、
上記第三波成分の波高ＷＨ３が、上記第一波成分の波高ＷＨ１と異なっている請求項１又は２に記載のソーワイヤ。
【請求項４】
上記第一波成分の振動方向が、上記第二波成分の振動方向と異なっており、
上記第二波成分の振動方向が、上記第三波成分の振動方向と異なっており、
上記第三波成分の振動方向が、上記第一波成分の振動方向と異なっている請求項１から３のいずれかに記載のソーワイヤ。
【請求項５】
上記第一波成分の波長ＷＬ１及び波高ＷＨ１、上記第二波成分の波長ＷＬ２及び波高ＷＨ２、上記第三波成分の波長ＷＬ３及び波高ＷＨ３、並びに線径Ｄｉが下記数式を満たす請求項１から４のいずれかに記載のソーワイヤ。
１．１ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ１ ≦ ５０ ＊ Ｄｉ
１．２ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ２ ≦ １００ ＊ Ｄｉ
２０００ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ３ ≦ ６０００ ＊ Ｄｉ
１．０５ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ１ ≦ ５ ＊ Ｄｉ
１．１ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ２ ≦ １０ ＊ Ｄｉ
２ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ３ ≦ １０００ ＊ Ｄｉ
【手続補正書】
【提出日】平成31年4月18日(2019.4.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
波状のくせを有しており、
上記くせが、第一波成分、第二波成分及び第三波成分が複合された形状を有しており、
上記第一波成分の振動方向が、上記第二波成分の振動方向と異なっており、
上記第二波成分の振動方向が、上記第三波成分の振動方向と異なっており、
上記第三波成分の振動方向が、上記第一波成分の振動方向と異なっているソーワイヤ。
【請求項２】
上記第一波成分の波長ＷＬ１が、上記第二波成分の波長ＷＬ２と異なっており、
上記第二波成分の波長ＷＬ２が、上記第三波成分の波長ＷＬ３と異なっており、
上記第三波成分の波長ＷＬ３が、上記第一波成分の波長ＷＬ１と異なっている請求項１に記載のソーワイヤ。
【請求項３】
上記第一波成分の波高ＷＨ１が、上記第二波成分の波高ＷＨ２と異なっており、
上記第二波成分の波高ＷＨ２が、上記第三波成分の波高ＷＨ３と異なっており、
上記第三波成分の波高ＷＨ３が、上記第一波成分の波高ＷＨ１と異なっている請求項１又は２に記載のソーワイヤ。
【請求項４】
上記第一波成分の波長ＷＬ１及び波高ＷＨ１、上記第二波成分の波長ＷＬ２及び波高ＷＨ２、上記第三波成分の波長ＷＬ３及び波高ＷＨ３、並びに線径Ｄｉが下記数式を満たす請求項１から３のいずれかに記載のソーワイヤ。
１．１ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ１ ≦ ５０ ＊ Ｄｉ
１．２ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ２ ≦ １００ ＊ Ｄｉ
２０００ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＬ３ ≦ ６０００ ＊ Ｄｉ
１．０５ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ１ ≦ ５ ＊ Ｄｉ
１．１ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ２ ≦ １０ ＊ Ｄｉ
２ ＊ Ｄｉ ≦ ＷＨ３ ≦ １０００ ＊ Ｄｉ