(57)【要約】【課題】取り扱いが容易で、接着工程を行わずに可動体および固定体を接続可能なダンパー部材を製造する。【解決手段】アクチュエータ１は、可動体３と固定体２とを接続する円筒形状のゲル状ダンパー部材１４を備える。ゲル状ダンパー部材１４の製造においては、第１部材１１および第２部材１２を製造用治具９０に同軸に位置決めすると共に、第１部材１１の外周面および第２部材１２の内周面に接着補助層１３を形成した型にゲル材料１４０を充填する。ゲル材料１４０を加熱硬化させてゲル状ダンパー部材１４を成形すると共に、接着補助層１３とゲル材料１４０とを反応させて、ゲル状ダンパー部材１４に第１部材１１および第２部材１２を固定する。ゲル状ダンパー部材１４の硬化後に、ゲル状ダンパー部材１４、第１部材１１、および第２部材１２を一体化させたダンパー部材１０を製造用治具９０から取り外す。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材、および、前記第１部材の外周側を囲む第２部材を製造用治具に位置決めし、
前記第１部材の外周面および前記第２部材の内周面には、接着補助層を形成しておき、
前記第１部材の外周面と前記第２部材の内周面との隙間にゲル材料を充填し、
前記ゲル材料を硬化させてゲル状ダンパー部材を成形すると共に、前記接着補助層と前記ゲル材料とを反応させて、前記ゲル状ダンパー部材に前記第１部材および前記第２部材を固定し、
前記ゲル状ダンパー部材を、前記第１部材および前記第２部材と共に前記製造用治具から取り外すことを特徴とするダンパー部材の製造方法。
【請求項２】
前記ゲル材料は、加熱硬化型のゲル材料であり、
前記隙間に前記ゲル材料を充填した後、加熱硬化処理を行うことによって、前記ゲル状ダンパー部材を成形することを特徴とする請求項１に記載のダンパー部材の製造方法。
【請求項３】
前記加熱硬化処理を加圧状態で行うことを特徴とする請求項２に記載のダンパー部材の製造方法。
【請求項４】
前記第１部材の外周面と前記第２部材の内周面との隙間の周方向の一部に第３部材を位置決めし、
前記隙間に面する前記第３部材の表面に離型層を設けておき、
前記ゲル材料を硬化させて前記ゲル状ダンパー部材を成形した後に、前記第３部材を前記第１部材と前記第２部材の間から取り外すことを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のダンパー部材の製造方法。
【請求項５】
前記第１部材および前記第２部材は円筒状であり、且つ、前記製造用治具によって同軸に位置決めされ、
前記第１部材の外周面と前記第２部材の内周面との間に、円筒状の前記ゲル状ダンパー部材を成形することを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載のダンパー部材の製造方法。
【請求項６】
前記接着補助層は、プライマーからなることを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載のダンパー部材の製造方法。
【請求項７】
前記ゲル材料には、第１材料と第２材料が配合され、
前記ゲル状ダンパー部材のバネ定数を、前記第１材料と前記第２材料の配合比によって調節することを特徴とする請求項１から６の何れか一項に記載のダンパー部材の製造方法。
【請求項８】
前記ゲル材料を所定量入れたシリンジを減圧して前記ゲル材料を脱泡し、
前記第１部材の外周面と前記第２部材の内周面との隙間に、脱泡済みの前記ゲル材料を充填することを特徴とする請求項１から７の何れか一項に記載のダンパー部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動体を固定体に対して相対移動させるリニアアクチュエータに用いられるダンパー部材およびその製造方法、ならびに、ダンパー部材を備えたリニアアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
アクチュエータとして、固定体および可動体と、可動体を駆動する磁気駆動機構を備えるとともに、可動体と固定体とをダンパー部材を介して接続したものがある。特許文献１のアクチュエータは、シリコーンゲル等からなるゲル状ダンパー部材によって固定体と可動体が接続される。ゲル状ダンパー部材は板状であり、接着等の方法で可動体および固定体に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１２７７８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ゲル状ダンパー部材は、それ自身が吸着性を有するため、取扱いが容易でない。例えば、大型のゲル状ダンパー部材を製造し、テーブル上で分割した後、分割後のゲル状ダンパー部材を吸着ヘッドで１つずつ吸着して搬送しようとした際、ゲル状ダンパー部材がテーブルに吸着してしまい、搬送を容易に行えないという問題点がある。また、素材であるシリコーンゲルは難接着性であるため、固定体および可動体に接着固定する際に、使用できる接着剤が限定される。
【０００５】
本願出願人は、特願２０１９−０１５５８８において、取り扱いが容易なダンパー部材の構成を提案している。特願２０１９−０１５５８８には、ゲル状部材の厚さ方向の一方面および他方面の一方または両方に可撓性のフィルムが接合され、ゲル状部材の側面は開放状態にあるダンパー部材が記載されている。
【０００６】
しかしながら、特願２０１９−０１５５８８に記載したダンパー部材は、平坦な面に取り付けることが前提であるため、板状であり、平坦以外の場所へ取り付けることができるものではない。また、ゲル状部材に接合されたフィルムを可動体および固定体に接着することによってダンパー部材を取り付けるため、接着工程を行わなければならない点は特許文献１と同様である。従って、接着工程をなくすことができず、ダンパー部材の取付工程を効率化できない。また、接着工程があると、接着剤を塗布する装置や、接着剤を塗布した面へダンパー部材を供給するための作業空間も必要である。
【０００７】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、取り扱いが容易で、接着工程を行わずに可動体および固定体に取り付け可能な構成のダンパー部材の製造方法を提案することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係るダンパー部材の製造方法は、第１部材、および、前記第１部材の外周側を囲む第２部材を製造用治具に位置決めし、前記第１部材の外周面および前記第２部材の内周面には、接着補助層を形成しておき、前記第１部材の外周面と前記第２部材の内周面との隙間にゲル材料を充填し、前記ゲル材料を硬化させてゲル状ダンパー部材を成形すると共に、前記接着補助層と前記ゲル材料とを反応させて、前記
ゲル状ダンパー部材に前記第１部材および前記第２部材を固定し、前記ゲル状ダンパー部材を、前記第１部材および前記第２部材と共に前記製造用治具から取り外すことを特徴とすることを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、内側の枠材（第１部材）と外側の枠材（第２部材）を製造用治具に対して位置決めすることによって両枠材の間に隙間を形成し、この隙間に充填したゲル材料を硬化させる過程で、両枠材の表面（第１部材の外周面および第２部材の内周面）に形成した接着補助層とゲル材料とを反応させることによって、内側の枠材（第１部材）と外側の枠材（第２部材）をゲル状ダンパー部材に固定する。このようにすると、接着剤による接着工程を行わずに第１部材および第２部材をゲル状ダンパー部材に固定できる。従って、製造後のゲル状ダンパー部材の取り扱いが容易である。また、円筒形状などの立体的形状のゲル状ダンパー部材の製造が容易であり、第１部材の外周面および第２部材の内周面が平面でなくても、ゲル状ダンパー部材との接合が容易である。さらに、必要な形状どおりにゲル状ダンパー部材を成形できるので、大判の部材からゲル状ダンパー部材を切り出す必要がなく、ゲル材料を無駄なく使用できる。従って、材料コストを抑えることができ、製造効率を上げることができる。
【００１０】
本発明において、前記ゲル材料は、加熱硬化型のゲル材料であり、前記隙間に前記ゲル材料を充填した後、加熱硬化処理を行うことによって、前記ゲル状ダンパー部材を成形することができる。例えば、シリコーンゲルを用いる場合には、加熱硬化処理によってゲル状ダンパー部材を成形することができる。
【００１１】
本発明において、前記加熱硬化処理を加圧状態で行うことが好ましい。加熱硬化処理によってゲル材料が縮む場合には、成形されたゲル状ダンパー部材の特定箇所に応力集中が発生するおそれがある。加圧状態で加熱硬化処理を行うことにより、応力集中の発生を抑制できる。
【００１２】
本発明において、前記第１部材の外周面と前記第２部材の内周面との隙間の周方向の一部に第３部材を位置決めし、前記隙間に面する前記第３部材の表面に離型層を設けておき、前記ゲル材料を硬化させて前記ゲル状ダンパー部材を成形した後に、前記第３部材を前記第１部材と前記第２部材の間から取り外すことができる。このようにすると、肉抜き部を備えたゲル状ダンパー部材を成形できる。例えば、肉抜き部を周方向に均等な間隔で形成することによって、ゲル状ダンパー部材の内周部と第１部材との固定面積と、ゲル状ダンパー部材の外周部と第２部材との固定面積との面積差を少なくすることができる。これにより、ゲル状ダンパー部材の内周部への応力集中を低減させることができる。応力集中を低減させることにより、ゲル状ダンパー部材によって可動体と固定体とを接続した場合に、可動体を振動させる際の振幅の許容範囲を大きくすることができる。従って、大きな振幅で可動体を振動させることができる。また、ゲル状ダンパー部材の耐久性を向上させることができる。
【００１３】
本発明において、前記第１部材および前記第２部材は円筒状であり、且つ、前記製造用治具によって同軸に位置決めされ、前記第１部材の外周面と前記第２部材の内周面との間に、円筒状の前記ゲル状ダンパー部材を成形することが好ましい。このようにすると、円筒形状のゲル状ダンパー部材を容易に製造できる。また、円筒形状のゲル状ダンパー部材を用いれば、可動体と固定体との間に全周にわたって連続してゲル状ダンパー部材を配置できる。これにより、可動体が軸線方向以外の方向に移動することを抑制できる。また、ゲル状ダンパー部材の内周部には第１部材が固定され、外周部には第２部材が固定されているので、可動体と固定体をゲル状ダンパー部材によって接続する場合に、ゲル状ダンパー部材の接着工程を行う必要がない。また、第１部材と第２部材の一方を可動体側の部材、他方を固定体側の部材にすれば、可動体と固定体の間に、直接ゲル状ダンパー部材を成
形できる。従って、製造効率を上げることができる。
【００１４】
本発明において、前記接着補助層は、プライマーからなる。第１部材の外周面および第２部材の内周面にプライマーを塗布しておくことにより、ゲル材料を加熱硬化させる際、プライマーとゲル材料とが反応して、プライマーが塗布された面にゲル状ダンパー部材が接合される。従って、ゲル状ダンパー部材を成形する過程で、同時に、第１部材および第２部材にゲル状ダンパー部材を固定できる。よって、製造効率を上げることができる。
【００１５】
本発明において、前記ゲル材料には、第１材料と第２材料が配合され、前記ゲル状ダンパー部材のバネ定数を、前記第１材料と前記第２材料の配合比によって調節する。このようにすると、ゲル状ダンパー部材によって支持される可動体の共振周波数を調節できる。
【００１６】
本発明において、前記ゲル材料を所定量入れたシリンジを減圧して前記ゲル材料を脱泡し、前記第１部材の外周面と前記第２部材の内周面との隙間に、脱泡済みの前記ゲル材料を充填することが好ましい。例えば、ゲル材料としてシリコーンゲルを用いる場合には、ゲル材料に空気が含まれやすいので、脱泡処理を行うことにより、ゲル状ダンパー部材の成形不良を抑制できる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、接着剤による接着工程を行わずに第１部材および第２部材をゲル状ダンパー部材に固定できる。従って、製造後のゲル状ダンパー部材の取り扱いが容易である。また、円筒形状などの立体的形状のゲル状ダンパー部材の製造が容易であり、第１部材の外周面および第２部材の内周面が平面でなくても、ゲル状ダンパー部材との接合が容易である。さらに、必要な形状どおりにゲル状ダンパー部材を成形できるので、大判の部材からゲル状ダンパー部材を切り出す必要がなく、ゲル材料を無駄なく使用できる。従って、材料コストを抑えることができ、製造効率を上げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】ダンパー部材を備えたアクチュエータの断面図である。
【図２】図１のアクチュエータの分解断面斜視図である。
【図３】本実施形態に係るダンパー部材の製造方法の説明図である。
【図４】本実施形態に係るダンパー部材の製造方法のフローチャートである。
【図５】変形例の製造用治具の説明図である。
【図６】変形例のダンパー部材およびその製造方法の説明図である。
【図７】変形例のダンパー部材の製造方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。まず、可動体３と固定体２をダンパー部材１０によって接続したアクチュエータ１の構成を説明し、続いて、ダンパー部材１０の製造方法を説明する。以下の説明において、軸線Ｌとは可動体３の中心軸線である。また、軸線Ｌが延在する方向（軸線Ｌ方向）の一方側をＬ１とし、軸線Ｌ方向の他方側をＬ２とする。
【００２０】
以下に説明するアクチュエータ１は、固定体２が可動体３の外周側を囲んでおり、ダンパー部材１０の内周部が可動体３に接続され、ダンパー部材１０の外周部が固定体２に接続される形態であるが、可動体３と固定体２の配置を入れ換えて、ダンパー部材１０の内周部が固定体２に接続され、ダンパー部材１０の外周部が可動体３に接続される形態とすることも可能である。また、アクチュエータ１は、可動体３を固定体２に対して軸線Ｌ方向に振動させる磁気駆動機構６を備える。以下に説明するアクチュエータ１では、磁気駆動機構６は、可動体３に配置される磁石６１と、固定体２に配置されるコイル６２を備え
ているが、磁石６１とコイル６２の配置を逆にした構成を採用することも可能である。
【００２１】
（全体構成）
図１は、ダンパー部材１０を備えたアクチュエータ１の断面図である。図２は、図１のアクチュエータ１の分解断面斜視図である。図１、図２に示すように、アクチュエータ１は、固定体２および可動体３と、固定体２と可動体３とを接続するダンパー部材１０と、固定体２に対して可動体３を軸線Ｌ方向に相対移動させる磁気駆動機構６を備える。磁気駆動機構６は、磁石６１およびコイル６２を備える。磁石６１は、可動体３に配置され、コイル６２は、固定体２に配置される。可動体３は、Ｌ１側の端部およびＬ２側の端部の各位置において、ダンパー部材１０を介して固定体２と接続される。従って、ダンパー部材１０は、軸線Ｌ方向に離間した２箇所に配置される。ダンパー部材１０は、後述するように、シリコーンゲル等からなるゲル状ダンパー部材１４を備えている。
【００２２】
（固定体）
固定体２は、ケース２０と、ケース２０に保持される第１ホルダ４および第２ホルダ５を備える。ケース２０は、軸線Ｌ方向に延びる筒状ケース２１と、筒状ケース２１のＬ１側の端部に固定される第１端板２２と、筒状ケース２１のＬ２側の端部に固定される第２端板２３を備える。第１ホルダ４および第２ホルダ５は、筒状ケース２１の内側に配置される。第１ホルダ４には、コイル６２が固定されるとともに、ダンパー部材１０が接続される。第２ホルダ５には、ダンパー部材１０が接続される。本形態では、第１ホルダ４および第２ホルダ５は樹脂製であり、ケース２０は金属製である。
【００２３】
第１ホルダ４は、中央に円形の開口部４１が設けられた環状部４２と、環状部４２の内周部分からＬ２側へ突出する円筒状のコイル固定部４３を備える。コイル６２は、コイル固定部４３の外周側に巻かれている。開口部４１には、ダンパー部材１０が配置される。環状部４２の外周面は円筒面であり、筒状ケース２１に内接する。図２に示すように、環状部４２には、径方向に延びるリブ４２１が形成されている。また、周方向で隣り合うリブ４２１の間に肉抜き部４２２が形成されている。環状部４２には、コイル線が接続される基板６３が固定される。基板６３は、環状部４２の外周面に設けられた凹部４４に配置される。
【００２４】
第２ホルダ５は、中央に円形の開口部５１が設けられた環状部５２と、環状部５２の外周縁からＬ１側へ突出する円筒部５３と、円筒部５３の周方向の一部からＬ１側へ突出する突出部５４を備える。突出部５４の先端は、第１ホルダ４の凹部４４に配置される。開口部５１の内側には、ダンパー部材１０が配置される。環状部５２および円筒部５３の外周面は円筒面であり、筒状ケース２１に内接する。
【００２５】
（可動体）
可動体３は、固定体２の径方向の中心において軸線Ｌ方向に延びるシャフト３１と、シャフト３１の軸線Ｌ方向の略中央に固定される磁石６１と、磁石６１にＬ１側で重なる第１ヨーク３２と、磁石６１にＬ２側で重なる第２ヨーク３３と、第１ヨーク３２にＬ１側で重なる内側環状部材３６と、第２ヨーク３３にＬ２側で重なる金属製の内側環状部材３７を備える。内側環状部材３６、３７は、シャフト３１が嵌まる軸孔を備えている。内側環状部材３６、３７は同一形状であり、軸線Ｌ方向で逆向きに配置される。内側環状部材３６、３７は、可動体３の質量ｍを調節するための錘である。
【００２６】
可動体３と固定体２とをゲル状ダンパー部材１４を備えたダンパー部材１０によって接続したアクチュエータ１においては、以下の式（１）に示すように、可動体３の共振周波数ｆ０は、可動体３の質量ｍとゲル状ダンパー部材１４のバネ定数ｋを含む式で規定される。従って、錘（側環状部材３６、３７）の重量を調節することにより、可動体３の質量
を調節して、可動体３の共振周波数ｆ０を調節することができる。
共振周波数ｆ０＝（１／２π）×√（ｋ／ｍ）・・・（１）
ｋ：ゲル状ダンパー部材のバネ定数、ｍ：可動体の質量
【００２７】
磁石６１は円筒状であり、軸線Ｌ方向においてＮ極とＳ極とに分極するように着磁されている。シャフト３１は、固定体２の径方向の中心において軸線Ｌ方向に延びている。磁石６１の外周側には、第１ホルダ４に設けられたコイル固定部４３が磁石６１と同軸に配置される。従って、磁石６１とコイル６２は同軸に配置される。
【００２８】
第１ヨーク３２は、外径寸法が磁石６１の外径寸法よりわずかに大きい磁性板である。第１ヨーク３２の外周面は、磁石６１の外周面より径方向外側に張り出している。第１ヨーク３２は、磁石６１のＬ１側の面に接着等の方法で固定されている。第２ヨーク３３は、２枚の磁性板（第１磁性板３４、第２磁性板３５）によって構成される。第１磁性板３４は、磁石６１のＬ２側に配置される端板部３４１と、端板部３４１の外縁からＬ１側に延在する円筒状の側板部３４２とを備えている。側板部３４２は、コイル固定部４３の外周側に配置される。第２磁性板３５は、第１磁性板３４の端板部３４１よりわずかに小さな円板状である。第２磁性板３５は、第１磁性板３４の端板部３４１にＬ１側で積層され、端板部３４１に溶接されている。第２ヨーク３３は、第２磁性板３５が磁石６１のＬ２側の面に接着等の方法で固定されている。
【００２９】
（ダンパー部材）
ダンパー部材１０は、シャフト３１と第１ホルダ４との間、および、シャフト３１と第２ホルダ５との間の２箇所に配置される。以下、シャフト３１と第１ホルダ４とを接続するダンパー部材１０を第１ダンパー部材１０Ａとし、シャフト３１と第２ホルダ５とを接続するダンパー部材１０を第２ダンパー部材１０Ｂとして説明する。第１ダンパー部材１０Ａと第２ダンパー部材１０Ｂは同一の構成であり、軸線Ｌ方向で逆向きに配置される。
【００３０】
ダンパー部材１０（第１ダンパー部材１０Ａ、第２ダンパー部材１０Ｂ）は、円筒状の第１部材１１と、第１部材１１の外周側に配置される第２部材１２と、第１部材１１と第２部材１２の間に配置されるゲル状ダンパー部材１４を備える。第１部材１１および第２部材１２は円筒状であり、同軸に配置される。ゲル状ダンパー部材１４は、径方向の厚さが一定の円筒状部材であり、軸線Ｌ方向の寸法（高さ）も一定である。ゲル状ダンパー部材１４は、シリコーンゲルからなる。例えば、ゲル状ダンパー部材１４として、針入度が９０度から１１０度のシリコーンゲルを用いることができる。
【００３１】
ゲル状ダンパー部材１４の内周部１４１は、第１部材１１に接続され、ゲル状ダンパー部材１４の外周部１４２は、第２部材１２に接続されている。ゲル状ダンパー部材１４は、第１部材１１と第２部材１２の間にゲル材料を充填して熱硬化させることにより成形される。ゲル材料は、熱硬化する際に、第１部材１１の外周面および第２部材１２の内周面に塗布された接着補助層１３（図３参照）と接する部分が反応して、接着補助層１３が塗布された面に固定される。従って、ゲル状ダンパー部材１４は、硬化後に接着剤を用いて第１部材１１および第２部材１２に固定する必要がなく、接着補助層１３と反応したゲル状ダンパー部材１４自身の接着力によって、内周部１４１が第１部材１１に接続されると共に、外周部１４２が第２部材１２に接続される。
【００３２】
（ダンパー部材の取付構造）
シャフト３１と第１ホルダ４とを接続する第１ダンパー部材１０Ａは、第１ホルダ４の開口部４１に配置される。第１ダンパー部材１０Ａの第２部材１２は、接着などによって開口部４１の内面に固定される。また、第１ダンパー部材１０Ａの第１部材１１は、第１部材１１の中心部分を貫通する軸孔１９に配置されるボルト３１０によって、シャフト３
１のＬ１側の端部に固定される。これにより、第１ホルダ４とシャフト３１が第１ダンパー部材１０Ａによって接続される。第１部材１１は、内側環状部材３６にＬ１側から当接する。
【００３３】
シャフト３１と第２ホルダ５とを接続する第２ダンパー部材１０Ｂは、第２ホルダ５の開口部５１に配置される。第２ダンパー部材１０Ｂの第２部材１２は、接着などによって開口部５１の内面に固定される。また、第２ダンパー部材１０Ｂの第１部材１１は、軸孔１９に配置されるボルト３１０によってシャフト３１のＬ２側の端部に固定される。これにより、第２ホルダ５とシャフト３１が第２ダンパー部材１０Ｂによって接続される。第１部材１１は、内側環状部材３７にＬ２側から当接する。
【００３４】
（アクチュエータの動作）
アクチュエータ１は、コイル６２に通電することにより、磁気駆動機構６が、可動体３を軸線Ｌ方向に駆動する駆動力を発生させる。コイル６２への通電を切ると、可動体３は、ゲル状ダンパー部材１４の復帰力によって原点位置へ戻る。従って、コイル６２への通電を断続的に行うことにより、可動体３は、軸線Ｌ方向で振動する。
【００３５】
第１ダンパー部材１０Ａは、シャフト３１と第１ホルダ４との間において、シャフト３１のＬ１側の端部を全周で囲むゲル状ダンパー部材１４を備えている。また、第２ダンパー部材１０Ｂは、シャフト３１と第２ホルダ５との間において、シャフト３１のＬ２側の端部を全周で囲むゲル状ダンパー部材１４を備えている。第１ダンパー部材１０Ａおよび第２ダンパー部材１０Ｂにおいて、ゲル状ダンパー部材１４は、第１部材１１と第２部材１２の間に隙間なく充填されており、全周に連続して配置される。可動体３が固定体２に対して軸線Ｌ方向に振動する際、ゲル状ダンパー部材１４の内周部１４１に固定された第１部材１１とゲル状ダンパー部材１４の外周部１４２に固定された第２部材１２は、軸線Ｌ方向に相対移動する。従って、ゲル状ダンパー部材１４は、可動体３の振動に追従してせん断方向に変形する。
【００３６】
（ダンパー部材の製造方法）
図３は、本実施形態に係るダンパー部材１０の製造方法の説明図である。図４は、本実施形態に係るダンパー部材１０の製造方法のフローチャートである。図３に示すように、ダンパー部材１０の製造に用いる製造用治具９０は、円形凹部９１と、円形凹部９１の底面中央から突出するピン９２を備える。円形凹部９１の底面は、ピン９２を囲む中央の領域が環状に凹んでいる。ダンパー部材１０を製造する際には、製造用治具９０に第１部材１１および第２部材１２を位置決めしたものを、ゲル状ダンパー部材１４を成形するための型として用いる。
【００３７】
図４に示すように、ダンパー部材１０の製造方法は、ゲル状ダンパー部材１４を成形するためのゲル材料１４０を準備する工程（ステップＳＴ１〜ステップＳＴ５）と、ゲル状ダンパー部材１４を成形するための型を準備し、型内にゲル状ダンパー部材１４を成形して、製造用治具９０から取り外す工程（ステップＳＴ１１〜ＳＴ１８）とを含む。図３には、ステップＳＴ１〜ＳＴ５の図示を省略している。
【００３８】
まず、成形用のゲル材料１４０を準備する工程について図４を参照して説明する。ゲル状ダンパー部材１４は、２種類の原料（第１材料と第２材料）を混合した２液性のゲル材料１４０から成形される。ステップＳＴ１では、第１材料と第２材料を所定の配合比となるように計量する。ここで、成形品であるゲル状ダンパー部材１４は、第１材料と第２材料の配合比によってバネ定数ｋが変化する。そこで、ステップＳＴ１では、求めるバネ定数ｋを達成可能な配合比となるように、第１材料と第２材料を計量する。
【００３９】
次に、ステップＳＴ２では、ミキサーにて第１材料と第２材料を撹拌して混合させる。続いて、ステップＳＴ３では、撹拌後のゲル材料１４０を一定量ずつ容器へ移す。例えば、後述するディスペンサー９３（図３参照）を用いてゲル材料１４０を型へ充填する場合には、ディスペンサー９３用の容器であるシリンジへ一定量ずつゲル材料１４０を移す。容器（シリンジ）に移すゲル材料１４０の量は、製造するゲル状ダンパー部材１４の寸法に応じた量に設定される。
【００４０】
続いて、ステップＳＴ４、５では、ゲル材料１４０に含まれる空気を除去する。ゲル材料１４０としてシリコーンゲルを用いる場合には、空気を含みやすい。そこで、ゲル状ダンパー部材１４の成型不良を抑制するため、ステップＳＴ４、５を行う。ステップＳＴ４では、ゲル材料１４０を入れたシリンジを真空器へセットする。ステップＳＴ５では、真空器内を減圧してシリンジ内のゲル材料１４０を脱泡する。以上により、ゲル状ダンパー部材１４を成形するためのゲル材料１４０の準備が完了する。
【００４１】
次に、ゲル状ダンパー部材１４を成形するための型を準備し、型内にゲル状ダンパー部材１４を成形して、製造用治具９０から取り外す工程について、図３、図４を参照して説明する。ゲル状ダンパー部材１４を成形するための型を準備する工程（ステップＳＴ１１、ＳＴ１２）は、上記のゲル材料１４０を準備する工程の前に行ってもよいし、ゲル材料１４０を準備する工程と並行して行ってもよいし、あるいは、ゲル材料１４０を準備する工程の後に行ってもよい。
【００４２】
ステップＳＴ１１では、製造用治具９０に対して第１部材１１および第２部材１２を当接させて位置決めすることによって、第１部材１１と第２部材１２の間に径方向の隙間Ｓを形成する。図３に示すように、ステップＳＴ１１では、円形凹部９１の中央から突出するピン９２を第１部材１１の軸孔１９に挿入し、第１部材１１を円形凹部９１の底面にＬ１側から当接させる。また、円形凹部９１の内周面に第２部材１２を内接させるとともに、第２部材１２を円形凹部９１の底面の外周領域に当接させる。これにより、第１部材１１と第２部材１２が軸線Ｌ方向および径方向に位置決めされ、第１部材１１と第２部材１２の間には、環状の隙間Ｓが形成される。環状の隙間Ｓは全周にわたって形成され、径方向の幅が全周で一定である。
【００４３】
ステップＳＴ１２では、隙間Ｓにゲル材料１４０を充填した際にゲル材料１４０と接する面である第１部材１１の外周面および第２部材１２の内周面に、接着補助層１３を形成する。接着補助層１３は、例えば、プライマーを塗布することによって形成される。なお、接着補助層１３の形成は、製造用治具９０に対して第１部材１１および第２部材１２を組み付ける前に行ってもよい。すなわち、ステップＳＴ１１とステップＳＴ１２の順序を逆にすることもできる。
【００４４】
次に、ステップＳＴ１３では、型へゲル材料１４０を充填する。図３に示すように、第１部材１１と第２部材１２との間に形成された径方向の隙間Ｓに脱気済みのゲル材料１４０を充填する。上記のように、ゲル材料１４０はシリンジに充填されているので、ディスペンサー９３にシリンジをセットし、ディスペンサー９３から一定量のゲル材料１４０を隙間Ｓへ吐出する。
【００４５】
続いて、ステップＳＴ１４〜ＳＴ１８では、ゲル材料１４０を硬化させる処理を行う。例えば、ゲル材料１４０として加熱硬化型のシリコーンゲルを用いた場合には、加熱硬化処理を行うことによってゲル材料１４０を硬化させる。まず、ステップＳＴ１４では、ゲル材料１４０を充填した型（製造用治具９０に第１部材１１および第２部材１２を組み付けたユニット）を恒温槽のチャンバーに入れる。次に、ステップＳＴ１５では、チャンバーを規定の温度に昇温させる。続いて、ステップＳＴ１６では、規定の温度にチャンバー
内を維持して規定の時間待機する。次に、ステップＳＴ１７では、チャンバー内を降温させ、ステップＳＴ１８では、恒温槽から型を取り出す。
【００４６】
上記のように、ステップＳＴ１４〜ＳＴ１８において、ゲル材料１４０を型ごと加熱し、規定の温度で規定の時間維持することにより、ゲル材料１４０が加熱硬化される。これにより、第１部材１１と第２部材１２の隙間Ｓにゲル状ダンパー部材１４が成形される。ゲル材料１４０は、加熱硬化する際に、接着補助層１３（プライマー）に接する部分が接着補助層１３（プライマー）と反応して、第１部材１１の外周面および第２部材１２の内周面に固定される。従って、硬化後のゲル状ダンパー部材１４は、接着剤を用いることなく、ゲル状ダンパー部材１４自体の接着力によって、ゲル状ダンパー部材１４の内周部１４１が第１部材１１に固定されると共に、ゲル状ダンパー部材１４の外周部１４２が第２部材１２に固定される。
【００４７】
次に、ステップＳＴ１９では、ゲル状ダンパー部材１４と第１部材１１および第２部材１２とが一体化されたダンパー部材１０を製造用治具９０から取り外す。例えば、製造用治具９０の第１部材１１が当接する面および第２部材１２が当接する面に突き出しピンを配置するための貫通孔を設けておき、突き出しピンを用いてダンパー部材１０を製造用治具９０から取り外す。これにより、第１部材１１と第２部材１２がゲル状ダンパー部材１４によって接続されたダンパー部材１０が完成する。
【００４８】
（本形態の主な効果）
以上のように、本形態のダンパー部材１０の製造方法は、第１部材１１、および、第１部材１１の外周側を囲む第２部材１２を製造用治具９０に位置決めするステップ（ステップＳＴ１１）と、第１部材１１の外周面および第２部材１２の内周面に接着補助層１３を形成するステップ（ステップＳＴ１２）と、第１部材１１の外周面と第２部材１２の内周面との隙間Ｓにゲル材料１４０充填するステップ（ステップＳＴ１３）と、ゲル材料１４０を硬化させてゲル状ダンパー部材１４を成形すると共に、接着補助層１３とゲル材料１４０とを反応させて、ゲル状ダンパー部材１４に第１部材１１および第２部材１２を固定するステップ（ステップＳＴ１４〜ＳＴ１８）と、ゲル状ダンパー部材１４を、第１部材１１および第２部材１２と共に製造用治具９０から取り外すステップ（ステップＳＴ１９）と、を含む。
【００４９】
本形態によれば、ゲル状ダンパー部材１４を成形する過程で、同時に枠材（第１部材１１および第２部材１２）をゲル状ダンパー部材１４に固定できるため、難接着性の部材であるゲル状ダンパー部材１４に対する接着工程を行うことなく、ゲル状ダンパー部材１４を接続体として使用できる。このように、ゲル状ダンパー部材１４の接着工程を不要にしたことで、アクチュエータ１の製造工程を効率化できる。また、ゲル状ダンパー部材１４と枠材とを一体化させたダンパー部材１０を製造できるため、製造後のゲル状ダンパー部材１４の取り扱いが容易である。さらに、必要な形状どおりにゲル状ダンパー部材１４を成形できるので、成形後にゲル状ダンパー部材を加工する必要がなく、大判の部材から必要な形状を切り出す必要がない。従って、ゲル材料１４０を無駄なく使用でき、材料コストを抑えることができる。また、ゲル状ダンパー部材１４の加工手間をなくすことができるので、製造効率を上げることができる。また、第１部材１１および第２部材１２におけるゲル状ダンパー部材１４の固定面が平面でなくても、容易に固定することができる。従って、円筒形状などの立体的形状のゲル状ダンパー部材１４の製造が容易である。
【００５０】
本形態では、ゲル材料１４０としてシリコーンゲルを用いるため、加熱硬化処理を行うことによって、ゲル状ダンパー部材１４を成形することができる。また、本形態では、接着補助層１３としてプライマーを用いるので、第１部材１１の外周面および第２部材１２の内周面にプライマーを塗布しておくことにより、ゲル材料１４０を加熱硬化させる際、
プライマーとゲル材料１４０とを反応させて、プライマーが塗布された面にゲル状ダンパー部材１４を接合することができる。
【００５１】
本形態では、第１部材１１および第２部材１２は円筒状であって、製造用治具９０によって同軸に位置決めされている。そして、第１部材１１の外周面と第２部材１２の内周面との間に、円筒状のゲル状ダンパー部材１４が成形される。このように、円筒形状のゲル状ダンパー部材１４を製造することにより、可動体３と固定体２との径方向の隙間に全周にわたって連続してゲル状ダンパー部材１４を配置したアクチュエータ１を製造できる。このようなアクチュエータ１は、可動体３が軸線Ｌ方向（振動方向）以外の方向に移動する場合のゲル状ダンパー部材１４のバネ定数が、可動体３が軸線Ｌ方向（振動方向）に移動する場合のバネ定数の３倍程度になるので、可動体３が振動方向とは異なる方向に移動することを抑制できる。従って、可動体３の意図しない動きを抑制でき、可動体３が固定体２に衝突することを抑制できる。
【００５２】
本形態では、第１材料と第２材料を配合した２液性のゲル材料１４０を用いてゲル状ダンパー部材１４を製造しており、ゲル状ダンパー部材１４のバネ定数を、第１材料と第２材料の配合比によって調節する。従って、ゲル状ダンパー部材１４の寸法を変えることなく、可動体３の共振周波数を調節できる。
【００５３】
本形態では、ゲル材料１４０を所定量入れたシリンジを減圧してゲル材料１４０を脱泡し、第１部材１１の外周面と第２部材１２の内周面との隙間に、シリンジから脱泡済みのゲル材料１４０を注入する。従って、空気を含みやすいシリコーンゲルをゲル材料として用いる場合においても、ゲル状ダンパー部材１４の成形不良を抑制できる。
【００５４】
（変形例）
（１）上記形態において、ゲル材料１４０を加熱硬化する場合に、加熱硬化処理によってゲル材料１４０が縮む場合には、成形されたゲル状ダンパー部材１４の特定箇所に応力集中が発生するおそれがある。従って、熱硬化処理によってゲル材料１４０が縮む場合には、上記の製造方法のステップＳＴ１５〜ＳＴ１７において、恒温槽のチャンバー内を加圧状態として、加圧状態で加熱硬化処理を行うことが好ましい。このようにすると、成形されたゲル状ダンパー部材１４の特定箇所に応力集中が発生することを抑制できる。応力集中を低減させることにより、ゲル状ダンパー部材１４の耐久性を向上させることができる。また、応力集中を低減させることにより、可動体３を振動させる際の振幅の許容範囲を大きくすることができる。従って、大きな振幅で可動体３を振動させることができる。
【００５５】
（２）上記形態では、第１部材１１および第２部材１２は、可動体３および固定体２とは別部材の枠体であったが、可動体３側の部材である枠体と、固定体２側の部材である枠体とを製造用治具９０に直接位置決めして、可動体３側の部材と固定体２側の部材との間に直接、ゲル状ダンパー部材１４を成形することができる。
【００５６】
（３）図５は、変形例の製造用治具９０Ａの説明図である。製造用治具９０Ａは、複数の円形凹部９１を備えており、各円形凹部９１にピン９２が設けられている。従って、各円形凹部９１にそれぞれ、第１部材１１と第２部材１２を位置決めすると共に、第１部材１１と第２部材１２の表面に接着補助層１３を形成することにより、複数のゲル状ダンパー部材１４を一度に製造することができる。
【００５７】
（４）図６は、変形例のダンパー部材１０Ｃおよびその製造方法の説明図であり、図６（ａ）は成形用の型および成形品の断面構成を模式的に示す説明図であり、図６（ｂ）は成形用の型および成形品の平面構成を模式的に示す説明図である。また、図７は、変形例のダンパー部材１０Ｃの製造方法のフローチャートである。上記形態の製造方法は、第１部
材１１と第２部材１２との間に設けられた円環状の隙間Ｓ全体にゲル材料１４０を充填して、円筒形状のゲル状ダンパー部材１４を製造する方法であったが、図６、図７に示す製造方法は、表面に離型層を備えた第３部材９４を隙間Ｓの周方向の一部に配置することによって、円筒形状以外の形状のゲル状ダンパー部材１４Ｃを製造する方法である。以下、上記形態と同一のステップについては説明を省略し、異なるステップについて説明する。
【００５８】
図７に示すように、変形例のステップＳＴ１１Ａでは、製造用治具９０に対して、第１部材１１、第２部材１２、および第３部材９４の３部材を位置決めする。第１部材１１および第２部材１２は、上記形態と同様に位置決めされる。第３部材９４は、扇型形状をしており、径方向の寸法が第１部材１１と第２部材１２の隙間Ｓに内接する寸法である。図６（ｂ）に示すように、第３部材９４は、周方向に等間隔で複数配置される、これにより、隣り合う第３部材９４の間には、周方向の隙間Ｓが形成される。
【００５９】
ステップＳＴ１２では、第１部材１１の外周面および第２部材１２の内周面のうち、第３部材９４が配置されていない領域（すなわち、隙間Ｓに面する領域）に接着補助層１３が形成される。ここで、第３部材９４は、少なくとも、周方向の両側を向く面（すなわち、隙間Ｓに面する面）に離型層９５が形成されている。離型層９５は、例えば、フッ素樹脂コーティング層とすることができる。
【００６０】
ステップＳＴ１３では、第１部材１１と第２部材１２の隙間Ｓのうち、第３部材９４が配置されていない領域にゲル材料１４０を充填する。加熱硬化後、ステップＳＴ１９Ａでは、製造用治具９０からゲル状ダンパー部材１４Ｃと第１部材１１、第２部材１２、および第３部材９４を備えた成形品を取り外す。ステップＳＴ２０Ａでは、製造用治具９０から取り外した成形品から、第３部材９４を取り外す。第３部材９４は、ゲル状ダンパー部材１４Ｃと接する面に離型層９５が形成されているので、ゲル状ダンパー部材１４Ｃの間から容易に取り外すことができる。
【００６１】
このように、第１部材１１の外周面と第２部材１２の内周面との隙間Ｓの周方向の一部に第３部材９４を位置決めし、隙間Ｓに面する第３部材９４の表面に離型層９５を設けておき、隙間Ｓに充填したゲル材料１４０を硬化させてゲル状ダンパー部材１４Ｃを成形した後に、第３部材９４を取り外すことにより、ゲル状ダンパー部材１４Ｃが歯車状に配置されたダンパー部材１０Ｃが完成する。
【００６２】
ダンパー部材１０Ｃは、円筒形状のゲル状ダンパー部材１４を備えた場合と比較して、ゲル状ダンパー部材１４Ｃの内周部と第１部材１１との固定面積と、ゲル状ダンパー部材１４Ｃの外周部と第２部材１２との固定面積との面積差を少なくすることができる。従って、ゲル状ダンパー部材１４Ｃの内周部への応力集中を低減させることができる。応力集中を低減させることにより、ゲル状ダンパー部材１４Ｃによって可動体３と固定体２とを接続した場合に、可動体３を振動させる際の振幅の許容範囲を大きくすることができる。従って、大きな振幅で可動体３を振動させることができる。また、ゲル状ダンパー部材１４の耐久性を向上させることができる。
【００６３】
なお、第３部材９４の形状や数、配置は上記の形態に限定されるものではなく、適宜変更が可能である。
【符号の説明】
【００６４】
１…アクチュエータ、２…固定体、３…可動体、４…第１ホルダ、５…第２ホルダ、６…磁気駆動機構、１０、１０Ｃ…ダンパー部材、１０Ａ…第１ダンパー部材、１０Ｂ…第２ダンパー部材、１１…第１部材、１２…第２部材、１３…接着補助層、１４、１４Ｃ…ゲル状ダンパー部材、１９…軸孔、２０…ケース、２１…筒状ケース、２２…第１端板、２
３…第２端板、３１…シャフト、３２…第１ヨーク、３３Ｂ…第２ヨーク、３４…第１磁性板、３５…第２磁性板、３６…内側環状部材、３７…内側環状部材、４１…開口部、４１Ａ…環状凹部、４２…環状部、４３…コイル固定部、４４…凹部、５１…開口部、５２…環状部、５３…円筒部、５４…突出部、６１…磁石、６２…コイル、６３…基板、９０…製造用治具、９１…円形凹部、９２…ピン、９３…ディスペンサー、９４…第３部材、９５…離型層、１４０…ゲル材料、１４１…内周部、１４２…外周部、３１０…ボルト、３４１…端板部、３４２…側板部、４２１…リブ、４２２…肉抜き部、Ｌ…軸線、Ｓ…隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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