(57)【要約】【課題】処理装置に搬入される表示パネルの搬送および処理装置から搬出される表示パネルの搬送を行うパネル搬送装置において、表示パネルの搬送方向に直交する方向で小型化することが可能なパネル搬送装置を提供する。【解決手段】パネル搬送装置１０は、処理装置３に搬入される液晶パネル２を搬送するためのパネル搬送機構２０と、処理装置３から搬出される液晶パネル２を搬送するためのパネル搬送機構２１とを備えている。パネル搬送機構２０は、液晶パネル２が載置される載置部材２２を備え、パネル搬送機構２１は、液晶パネル２が載置される載置部材２４を備えている。パネル搬送装置１０では、載置部材２２と載置部材２４とが上下方向において互いにずれた状態で配置されるとともに、載置部材２２の少なくとも一部と載置部材２４の少なくとも一部とが、液晶パネル２の搬送方向に直交するＹ方向において同じ位置に配置されている。【選択図】図５
2020167256.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルの処理を行う処理装置に搬入される前記表示パネルを搬送するための搬入側パネル搬送機構と、前記処理装置から搬出される前記表示パネルを搬送するための搬出側パネル搬送機構とを備え、
前記搬入側パネル搬送機構は、前記表示パネルが載置される搬入側載置部材と、前記搬入側載置部材を水平方向へ直線的に移動させる搬入側スライド機構とを備え、
前記搬出側パネル搬送機構は、前記表示パネルが載置される搬出側載置部材と、前記搬出側載置部材を水平方向へ直線的に移動させる搬出側スライド機構とを備え、
前記搬入側載置部材の往復移動方向と前記搬出側載置部材の往復移動方向とは一致しており、
前記搬入側載置部材の往復移動方向および前記搬出側載置部材の往復移動方向を第１方向とし、第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、
前記搬入側載置部材と前記搬出側載置部材とが上下方向において互いにずれた状態で配置され、前記搬入側載置部材の少なくとも一部と前記搬出側載置部材の少なくとも一部とが第２方向において同じ位置に配置されていることを特徴とするパネル搬送装置。
【請求項２】
少なくとも上下方向において前記搬入側載置部材が配置される位置と上下方向において前記搬出側載置部材が配置される位置との間で前記表示パネルを昇降させるパネル昇降機構と、前記処理装置への前記表示パネルの搬入と前記処理装置からの前記表示パネルの搬出とを行うパネル搬入搬出機構とを備えることを特徴とする請求項１記載のパネル搬送装置。
【請求項３】
前記パネル搬入搬出機構は、前記搬入側パネル搬送機構から前記表示パネルを受け取るとともに前記パネル昇降機構に前記表示パネルを引き渡し、
前記搬入側載置部材は、前記搬出側載置部材よりも上側に配置され、
前記パネル昇降機構は、上下方向において前記搬入側載置部材が配置されている位置で前記パネル搬入搬出機構から前記表示パネルを受け取った後に、前記表示パネルを下降させて前記搬出側載置部材に載置することを特徴とする請求項２記載のパネル搬送装置。
【請求項４】
前記パネル搬入搬出機構は、前記表示パネルを上側から吸着して把持するパネル把持部と、前記パネル把持部を昇降可能かつ回動可能に保持する本体部と、前記本体部に対して前記パネル把持部を昇降させる把持部昇降機構と、上下方向を回動の軸方向として前記本体部に対して前記パネル把持部を回動させる把持部回動機構とを備えることを特徴とする請求項３記載のパネル搬送装置。
【請求項５】
複数枚の前記表示パネルが収容されるカセットが配置されるカセット配置部と、前記カセット配置部に配置される前記カセットから前記表示パネルを搬出して前記搬入側載置部材に載置するパネル受渡機構を備えることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のパネル搬送装置。
【請求項６】
前記処理装置は、前記表示パネルを点灯検査するための検査装置であることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のパネル搬送装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載のパネル搬送装置を複数備え、
複数の前記パネル搬送装置は、第１方向に沿って配置され、
複数の前記パネル搬送装置が有する前記搬入側パネル搬送機構または前記搬出側パネル搬送機構は、上下方向において互いにずれた状態で配置され、
上下方向において互いにずれた状態で配置される複数の前記搬入側パネル搬送機構または前記搬出側パネル搬送機構の少なくとも一部が第２方向において同じ位置に配置されていることを特徴とするパネル搬送システム。
【請求項８】
上下方向において互いにずれた状態で配置される複数の前記搬入側パネル搬送機構または前記搬出側パネル搬送機構が第２方向において同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項７記載のパネル搬送システム。
【請求項９】
前記処理装置で処理された後の前記表示パネルが回収されるパネル回収部を備え、
第１方向の一方を第３方向とすると、前記パネル回収部は、前記パネル搬送システムの第３方向の端部に配置され、
複数の前記パネル搬送装置が有する前記搬出側パネル搬送機構は、前記搬出側載置部材に載置された前記表示パネルを前記パネル回収部に搬送し、
複数の前記搬出側パネル搬送機構が上下方向において互いにずれた状態で配置されるとともに、第２方向において同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項８記載のパネル搬送システム。
【請求項１０】
表示パネルの処理を行う処理装置に対して前記表示パネルを搬送する複数のパネル搬送装置を備え、
前記パネル搬送装置は、前記処理装置に搬入される前記表示パネルを搬送するための搬入側パネル搬送機構と、前記処理装置から搬出される前記表示パネルを搬送するための搬出側パネル搬送機構とを備え、
前記搬入側パネル搬送機構は、前記表示パネルが載置される搬入側載置部材と、前記搬入側載置部材を水平方向へ直線的に移動させる搬入側スライド機構とを備え、
前記搬出側パネル搬送機構は、前記表示パネルが載置される搬出側載置部材と、前記搬出側載置部材を水平方向へ直線的に移動させる搬出側スライド機構とを備え、
前記搬入側載置部材の往復移動方向と前記搬出側載置部材の往復移動方向とは一致しており、
前記搬入側載置部材の往復移動方向および前記搬出側載置部材の往復移動方向を第１方向とし、第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、
複数の前記パネル搬送装置は、第１方向に沿って配置され、
複数の前記パネル搬送装置が有する前記搬入側パネル搬送機構または前記搬出側パネル搬送機構は、上下方向において互いにずれた状態で配置され、
上下方向において互いにずれた状態で配置される複数の前記搬入側パネル搬送機構または前記搬出側パネル搬送機構の少なくとも一部が第２方向において同じ位置に配置されていることを特徴とするパネル搬送システム。
【請求項１１】
上下方向において互いにずれた状態で配置される複数の前記搬入側パネル搬送機構または前記搬出側パネル搬送機構が第２方向において同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項１０記載のパネル搬送システム。
【請求項１２】
前記処理装置で処理された後の前記表示パネルが回収されるパネル回収部を備え、
第１方向の一方を第３方向とし、第３方向の反対方向を第４方向とすると、前記パネル回収部は、前記パネル搬送システムの第３方向の端部に配置され、
複数の前記パネル搬送装置が有する前記搬出側パネル搬送機構は、前記搬出側載置部材に載置された前記表示パネルを前記パネル回収部に搬送し、
複数の前記搬出側パネル搬送機構が上下方向において互いにずれた状態で配置されるとともに、第２方向において同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項１１記載のパネル搬送システム。
【請求項１３】
前記パネル搬送装置は、複数枚の前記表示パネルが収容されるカセットが配置されるカセット配置部と、前記カセット配置部に配置される前記カセットから前記表示パネルを搬出して前記搬入側載置部材に載置するパネル受渡機構を備え、
複数の前記パネル搬送装置が有する前記搬入側パネル搬送機構が第２方向において同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項１２記載のパネル搬送システム。
【請求項１４】
複数の前記パネル搬送装置が有する前記搬入側パネル搬送機構が上下方向において同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項１３記載のパネル搬送システム。
【請求項１５】
前記搬出側載置部材に載置される前記表示パネルへの塵埃の付着を防止するために前記搬出側スライド機構と前記搬出側載置部材との間に配置される防塵カバーを備えることを特徴とする請求項１２から１４のいずれかに記載のパネル搬送システム。
【請求項１６】
前記搬出側スライド機構が配置される空間の空気を吸引する吸引機構を備えることを特徴とする請求項１５記載のパネル搬送システム。
【請求項１７】
前記搬出側載置部材の停止位置で前記搬出側載置部材に前記表示パネルが載置されているのか否かを検知するための検知機構を備えることを特徴とする請求項１２から１６のいずれかに記載のパネル搬送システム。
【請求項１８】
前記パネル搬送システムが有する前記パネル搬送装置の数は、前記処理装置の数と等しくなっており、
複数の前記処理装置は、第１方向に配列され、
複数の前記パネル搬送装置のそれぞれが複数の前記処理装置のそれぞれに対して前記表示パネルを搬送し、
少なくとも、複数の前記処理装置のうちの最も第４方向側に配置される前記処理装置に対して前記表示パネルを搬送する前記パネル搬送装置は、第１方向に配列される複数の前記搬出側パネル搬送機構と、第１方向で隣接する２個の前記搬出側パネル搬送機構の一方から他方に前記表示パネルを引き渡すパネル引渡機構とを備えることを特徴とする請求項１２から１７のいずれかに記載のパネル搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の表示パネルを搬送するパネル搬送装置に関する。また、本発明は、液晶パネル等の表示パネルを搬送するパネル搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネルを点灯検査するための検査装置を備える検査システムが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の検査システムは、複数の検査装置と、複数の検査装置に搬入される液晶パネルを搬送する搬入側のコンベヤと、複数の検査装置から搬出される液晶パネルを搬送する搬出側のコンベヤとを備えている。複数の検査装置は、コンベヤによる液晶パネルの搬送方向に配列されている。また、搬入側のコンベヤと搬出側のコンベヤとは、コンベヤによる液晶パネルの搬送方向に直交する方向において隣接配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−１９８４９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の検査システムでは、搬入側のコンベヤと搬出側のコンベヤとが、コンベヤによる液晶パネルの搬送方向に直交する方向（より具体的には、コンベヤによる液晶パネルの搬送方向と上下方向とに直交する方向）において隣接配置されているため、液晶パネルの搬送方向に直交する方向において検査システムが大型化する。
【０００５】
そこで、本発明の課題は、表示パネルの処理を行う処理装置に搬入される表示パネルの搬送および処理装置から搬出される表示パネルの搬送を行うパネル搬送装置において、表示パネルの搬送方向に直交する方向で小型化することが可能なパネル搬送装置を提供することにある。また、本発明の課題は、処理装置に搬入される表示パネルの搬送および処理装置から搬出される表示パネルの搬送を行うパネル搬送装置を複数備えるパネル搬送システムにおいて、表示パネルの搬送方向に直交する方向で小型化することが可能なパネル搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、本発明のパネル搬送装置は、表示パネルの処理を行う処理装置に搬入される表示パネルを搬送するための搬入側パネル搬送機構と、処理装置から搬出される表示パネルを搬送するための搬出側パネル搬送機構とを備え、搬入側パネル搬送機構は、表示パネルが載置される搬入側載置部材と、搬入側載置部材を水平方向へ直線的に移動させる搬入側スライド機構とを備え、搬出側パネル搬送機構は、表示パネルが載置される搬出側載置部材と、搬出側載置部材を水平方向へ直線的に移動させる搬出側スライド機構とを備え、搬入側載置部材の往復移動方向と搬出側載置部材の往復移動方向とは一致しており、搬入側載置部材の往復移動方向および搬出側載置部材の往復移動方向を第１方向とし、第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、搬入側載置部材と搬出側載置部材とが上下方向において互いにずれた状態で配置され、搬入側載置部材の少なくとも一部と搬出側載置部材の少なくとも一部とが第２方向において同じ位置に配置されていることを特徴とする。
【０００７】
本発明のパネル搬送装置では、処理装置に搬入される表示パネルを搬送するための搬入側パネル搬送機構の搬入側載置部材と、処理装置から搬出される表示パネルを搬送するための搬出側パネル搬送機構の搬出側載置部材とが上下方向において互いにずれた状態で配置されるとともに、搬入側載置部材の少なくとも一部と搬出側載置部材の少なくとも一部とが第２方向において同じ位置に配置されている。そのため、本発明では、処理装置に搬入される表示パネルの搬送および処理装置から搬出される表示パネルの搬送を行うパネル搬送装置において、搬入側パネル搬送機構および搬出側パネル搬送機構による表示パネルの搬送方向に直交する第２方向でパネル搬送装置を小型化することが可能になる。
【０００８】
本発明において、パネル搬送装置は、少なくとも上下方向において搬入側載置部材が配置される位置と上下方向において搬出側載置部材が配置される位置との間で表示パネルを昇降させるパネル昇降機構と、処理装置への表示パネルの搬入と処理装置からの表示パネルの搬出とを行うパネル搬入搬出機構とを備えることが好ましい。このように構成すると、搬入側載置部材と搬出側載置部材とが上下方向においてずれた状態で配置されていても、処理装置に搬入される表示パネルをパネル搬入搬出機構が受け取る際の表示パネルの高さと、処理装置から搬出された表示パネルをパネル搬入搬出機構が引き渡す際の表示パネルの高さとを同じ高さに合わせることが可能になる。したがって、パネル搬入搬出機構の構成および制御を簡素化することが可能になる。
【０００９】
本発明において、たとえば、パネル搬入搬出機構は、搬入側パネル搬送機構から表示パネルを受け取るとともにパネル昇降機構に表示パネルを引き渡し、搬入側載置部材は、搬出側載置部材よりも上側に配置され、パネル昇降機構は、上下方向において搬入側載置部材が配置されている位置でパネル搬入搬出機構から表示パネルを受け取った後に、表示パネルを下降させて搬出側載置部材に載置する。
【００１０】
本発明において、たとえば、パネル搬入搬出機構は、表示パネルを上側から吸着して把持するパネル把持部と、パネル把持部を昇降可能かつ回動可能に保持する本体部と、本体部に対してパネル把持部を昇降させる把持部昇降機構と、上下方向を回動の軸方向として本体部に対してパネル把持部を回動させる把持部回動機構とを備えている。
【００１１】
本発明において、パネル搬送装置は、たとえば、複数枚の表示パネルが収容されるカセットが配置されるカセット配置部と、カセット配置部に配置されるカセットから表示パネルを搬出して搬入側載置部材に載置するパネル受渡機構を備えている。この場合には、カセットから搬出した表示パネルを処理装置に搬入することが可能になる。
【００１２】
本発明において、処理装置は、たとえば、表示パネルを点灯検査するための検査装置である。
【００１３】
本発明のパネル搬送装置は、パネル搬送システムに用いることができる。このパネル搬送システムは、たとえば、パネル搬送装置を複数備え、複数のパネル搬送装置は、第１方向に沿って配置され、複数のパネル搬送装置が有する搬入側パネル搬送機構または搬出側パネル搬送機構は、上下方向において互いにずれた状態で配置され、上下方向において互いにずれた状態で配置される複数の搬入側パネル搬送機構または搬出側パネル搬送機構の少なくとも一部が第２方向において同じ位置に配置されている。
【００１４】
このパネル搬送システムでは、表示パネルの搬送方向に直交する第２方向でパネル搬送装置を小型化することが可能になるため、表示パネルの搬送方向に直交する第２方向でパネル搬送システムを小型化することが可能になる。また、このパネル搬送システムでは、複数の搬入側パネル搬送機構または搬出側パネル搬送機構は、上下方向において互いにずれた状態で配置され、上下方向において互いにずれた状態で配置される複数の搬入側パネル搬送機構または搬出側パネル搬送機構の少なくとも一部が第２方向において同じ位置に配置されているため、第１方向に沿って配置される（すなわち、表示パネルの搬送方向に沿って配置される）複数のパネル搬送装置をパネル搬送システムが備えていても、表示パネルの搬送方向に直交する第２方向でパネル搬送システムを小型化することが可能になる。
【００１５】
本発明において、上下方向において互いにずれた状態で配置される複数の搬入側パネル搬送機構または搬出側パネル搬送機構が第２方向において同じ位置に配置されていることが好ましい。このように構成すると、表示パネルの搬送方向に沿って配置される複数のパネル搬送装置をパネル搬送システムが備えていても、表示パネルの搬送方向に直交する第２方向でパネル搬送システムをより小型化することが可能になる。
【００１６】
本発明において、たとえば、パネル搬送システムは、処理装置で処理された後の表示パネルが回収されるパネル回収部を備え、第１方向の一方を第３方向とすると、パネル回収部は、パネル搬送システムの第３方向の端部に配置され、複数のパネル搬送装置が有する搬出側パネル搬送機構は、搬出側載置部材に載置された表示パネルをパネル回収部に搬送し、複数の搬出側パネル搬送機構が上下方向において互いにずれた状態で配置されるとともに、第２方向において同じ位置に配置されている。
【００１７】
また、上記の課題を解決するため、本発明のパネル搬送システムは、表示パネルの処理を行う処理装置に対して表示パネルを搬送する複数のパネル搬送装置を備え、パネル搬送装置は、処理装置に搬入される表示パネルを搬送するための搬入側パネル搬送機構と、処理装置から搬出される表示パネルを搬送するための搬出側パネル搬送機構とを備え、搬入側パネル搬送機構は、表示パネルが載置される搬入側載置部材と、搬入側載置部材を水平方向へ直線的に移動させる搬入側スライド機構とを備え、搬出側パネル搬送機構は、表示パネルが載置される搬出側載置部材と、搬出側載置部材を水平方向へ直線的に移動させる搬出側スライド機構とを備え、搬入側載置部材の往復移動方向と搬出側載置部材の往復移動方向とは一致しており、搬入側載置部材の往復移動方向および搬出側載置部材の往復移動方向を第１方向とし、第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、複数のパネル搬送装置は、第１方向に沿って配置され、複数のパネル搬送装置が有する搬入側パネル搬送機構または搬出側パネル搬送機構は、上下方向において互いにずれた状態で配置され、上下方向において互いにずれた状態で配置される複数の搬入側パネル搬送機構または搬出側パネル搬送機構の少なくとも一部が第２方向において同じ位置に配置されていることを特徴とする。
【００１８】
本発明のパネル搬送システムでは、複数のパネル搬送装置が有する複数の搬入側パネル搬送機構または搬出側パネル搬送機構は、上下方向において互いにずれた状態で配置され、上下方向において互いにずれた状態で配置される複数の搬入側パネル搬送機構または搬出側パネル搬送機構の少なくとも一部が第２方向において同じ位置に配置されている。そのため、本発明では、処理装置に搬入される表示パネルの搬送および処理装置から搬出される表示パネルの搬送を行うとともに第１方向に沿って配置される（すなわち、表示パネルの搬送方向に沿って配置される）複数のパネル搬送装置をパネル搬送システムが備えていても、表示パネルの搬送方向に直交する第２方向でパネル搬送システムを小型化することが可能になる。
【００１９】
本発明において、上下方向において互いにずれた状態で配置される複数の搬入側パネル搬送機構または搬出側パネル搬送機構が第２方向において同じ位置に配置されていることが好ましい。このように構成すると、表示パネルの搬送方向に沿って配置される複数のパネル搬送装置をパネル搬送システムが備えていても、表示パネルの搬送方向に直交する第２方向でパネル搬送システムをより小型化することが可能になる。
【００２０】
本発明において、たとえば、パネル搬送システムは、処理装置で処理された後の表示パネルが回収されるパネル回収部を備え、第１方向の一方を第３方向とし、第３方向の反対方向を第４方向とすると、パネル回収部は、パネル搬送システムの第３方向の端部に配置され、複数のパネル搬送装置が有する搬出側パネル搬送機構は、搬出側載置部材に載置された表示パネルをパネル回収部に搬送し、複数の搬出側パネル搬送機構が上下方向において互いにずれた状態で配置されるとともに、第２方向において同じ位置に配置されている。
【００２１】
本発明において、パネル搬送装置は、複数枚の表示パネルが収容されるカセットが配置されるカセット配置部と、カセット配置部に配置されるカセットから表示パネルを搬出して搬入側載置部材に載置するパネル受渡機構を備え、複数のパネル搬送装置が有する搬入側パネル搬送機構が第２方向において同じ位置に配置されていることが好ましい。このように構成すると、表示パネルの搬送方向に沿って配置される複数のパネル搬送装置をパネル搬送システムが備えていても、表示パネルの搬送方向に直交する第２方向でパネル搬送システムをより小型化することが可能になる。
【００２２】
本発明において、たとえば、複数のパネル搬送装置が有する搬入側パネル搬送機構が上下方向において同じ位置に配置されている。
【００２３】
本発明において、パネル搬送システムは、搬出側載置部材に載置される表示パネルへの塵埃の付着を防止するために搬出側スライド機構と搬出側載置部材との間に配置される防塵カバーを備えることが好ましい。このように構成すると、上下方向において互いにずれた状態で配置される複数の搬出側パネル搬送機構が第２方向において同じ位置に配置されていても、搬出側スライド機構で発生する塵埃が、搬出側載置部材に載置される表示パネルに付着するのを防止することが可能になる。
【００２４】
本発明において、パネル搬送システムは、搬出側スライド機構が配置される空間の空気を吸引する吸引機構を備えることが好ましい。このように構成すると、上下方向において互いにずれた状態で配置される複数の搬出側パネル搬送機構が第２方向において同じ位置に配置されていても、搬出側スライド機構で発生する塵埃が、搬出側載置部材に載置される表示パネルに付着するのをより効果的に防止することが可能になる。
【００２５】
本発明において、パネル搬送システムは、搬出側載置部材の停止位置で搬出側載置部材に表示パネルが載置されているのか否かを検知するための検知機構を備えることが好ましい。このように構成すると、検知機構の検知結果に基づいてパネル搬送システムの誤動作を防止することが可能になる。また、このように構成すると、搬出側載置部材の停止位置で搬出側載置部材に表示パネルが載置されているのか否かを検知するため、検知機構によって、搬出側載置部材に表示パネルが載置されているのか否かを精度良く検知することが可能になる。
【００２６】
本発明において、パネル搬送システムが有するパネル搬送装置の数は、処理装置の数と等しくなっており、複数の処理装置は、第１方向に配列され、複数のパネル搬送装置のそれぞれが複数の処理装置のそれぞれに対して表示パネルを搬送し、少なくとも、複数の処理装置のうちの最も第４方向側に配置される処理装置に対して表示パネルを搬送するパネル搬送装置は、第１方向に配列される複数の搬出側パネル搬送機構と、第１方向で隣接する２個の搬出側パネル搬送機構の一方から他方に表示パネルを引き渡すパネル引渡機構とを備えることが好ましい。このように構成すると、最も第４方向側に配置される処理装置に対して表示パネルを搬送するパネル搬送装置において、１個の搬出側パネル搬送機構によってパネル回収部まで表示パネルを搬送する場合と比較して、このパネル搬送装置のサイクルタイムを短縮することが可能になる。
【発明の効果】
【００２７】
以上のように、本発明では、表示パネルの処理を行う処理装置に搬入される表示パネルの搬送および処理装置から搬出される表示パネルの搬送を行うパネル搬送装置において、表示パネルの搬送方向に直交する方向でパネル搬送装置を小型化することが可能になる。また、本発明では、処理装置に搬入される表示パネルの搬送および処理装置から搬出される表示パネルの搬送を行うパネル搬送装置を複数備えるパネル搬送システムにおいて、表示パネルの搬送方向に直交する方向でパネル搬送システムを小型化することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施の形態にかかるパネル搬送システムおよび処理装置の斜視図である。
【図２】図１に示すパネル搬送システムおよび処理装置の平面図である。
【図３】図１に示すパネル搬送システムの構成を説明するための側面図である。
【図４】図１に示すパネル搬送装置の斜視図である。
【図５】図４に示すパネル搬送装置の構成を説明するための平面図である。
【図６】図３のＥ−Ｅ方向からパネル搬送システムの構成を説明するための正面図である。
【図７】図６のＦ部の拡大図である。
【図８】図４に示すパネル搬送装置の動作を説明するための斜視図である。
【図９】図４に示すパネル搬送装置の動作を説明するための斜視図である。
【図１０】図４に示すパネル搬送装置の動作を説明するための斜視図である。
【図１１】図４に示すパネル搬送装置の動作を説明するための斜視図である。
【図１２】図４に示すパネル搬送装置の動作を説明するための斜視図である。
【図１３】図４に示すパネル搬送装置の動作を説明するための斜視図である。
【図１４】図４に示すパネル搬送装置の動作を説明するための斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００３０】
（パネル搬送システムの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかるパネル搬送システム１および検査装置３〜５の斜視図である。図２は、図１に示すパネル搬送システム１および検査装置３〜５の平面図である。図３は、図１に示すパネル搬送システム１の構成を説明するための側面図である。
【００３１】
本形態のパネル搬送システム１は、携帯機器等で使用される比較的小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれて使用される。パネル搬送システム１は、表示パネルである液晶パネル２を搬送する。具体的には、パネル搬送システム１は、液晶パネル２を検査する検査装置３〜５への液晶パネル２の搬入および検査装置３〜５からの液晶パネル２の搬出を行う。また、パネル搬送システム１は、３台の検査装置３〜５への液晶パネル２の搬入と３台の検査装置３〜５からの液晶パネル２の搬出とを行う。液晶パネル２は、長方形の平板状に形成されている。本形態の検査装置３〜５は、液晶パネル２の処理を行う処理装置である。
【００３２】
検査装置３〜５で検査が行われる前の液晶パネル２は、カセット６に収容され、検査装置３〜５で検査が行われた後の液晶パネル２は、トレイ７（図２参照）に収容される。カセット６の外形は、直方体となっている。カセット６には、複数枚の液晶パネル２が収容されている。後述のカセット配置部２７にカセット６が配置されているときには、カセット６に収容される液晶パネル２は、液晶パネル２の厚さ方向と上下方向とが略一致するように配置されており、上下方向に一定の間隔をあけた状態の複数枚の液晶パネル２が上下方向で重なるように配置されている。トレイ７は、略長方形の平板状に形成されており、トレイ７の上面には、液晶パネル２が収容される凹部が形成されている。トレイ７には、複数枚の液晶パネル２が上下方向で重ならない状態で収容されている。
【００３３】
パネル搬送システム１は、検査装置３〜５に対して液晶パネル２を搬送する複数のパネル搬送装置１０〜１２を備えている。本形態のパネル搬送システム１は、３台のパネル搬送装置１０〜１２を備えている。すなわち、パネル搬送システム１が有するパネル搬送装置１０〜１２の数は、検査装置３〜５の数と等しくなっている。３台のパネル搬送装置１０〜１２のそれぞれは、３台の検査装置３〜５のそれぞれに対して液晶パネル２を搬送する。具体的には、パネル搬送装置１０は、検査装置３に対して液晶パネル２を搬送し、パネル搬送装置１１は、検査装置４に対して液晶パネル２を搬送し、パネル搬送装置１２は、検査装置５に対して液晶パネル２を搬送する。
【００３４】
また、パネル搬送システム１は、トレイ７が複数段に積み重なった状態で配置される複数のトレイ配置部１３（図２参照）と、パネル搬送装置１０〜１２からトレイ７に液晶パネル２を搬送する１台のロボット１４とを備えている。本形態では、複数のトレイ配置部１３とロボット１４とによって、検査装置３〜５で検査された後（すなわち、検査装置３〜５で処理された後）の液晶パネル２が回収されるパネル回収部１５が構成されている。
【００３５】
３台の検査装置３〜５は、水平方向に配列されている。以下の説明では、３台の検査装置３〜５の配列方向である図１等のＸ方向を「前後方向」とし、上下方向と前後方向とに直交する図１等のＹ方向を「左右方向」とする。また、前後方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図１等のＸ２方向を「後ろ」側とし、左右方向の一方側である図１等のＹ１方向側を「右」側とし、その反対側である図１等のＹ２方向側を「左」側とする。
【００３６】
検査装置３〜５は、前側から後ろ側に向かってこの順番に配置されている。すなわち、検査装置３は、最も前側に配置され、検査装置５は、最も後ろ側に配置されている。検査装置３〜５は、液晶パネル２を点灯検査するための点灯検査装置である。検査装置３〜５は、たとえば、液晶パネル２が載置される２個のパネル載置部１６と、２個のパネル載置部１６を保持する保持部と、上下方向を回転の軸方向として保持部を回転させる回転機構と、液晶パネル２の点灯検査時に内部が暗室となる筐体とを備えている。
【００３７】
筐体の内部には、液晶パネル２の点灯検査を行うためのバックライトやカメラが設置されている。パネル載置部１６には、たとえば、２枚の液晶パネル２が載置される。回転機構は、２個のパネル載置部１６のうちの一方のパネル載置部１６が筐体の外部に配置されるとともに他方のパネル載置部１６が筐体の内部に配置される位置と、一方のパネル載置部１６が筐体の内部に配置されるとともに他方のパネル載置部１６が筐体の外部に配置される位置との間でパネル保持部を回転させる。筐体の外部に配置されるパネル載置部１６は、筐体の右側に配置されている。
【００３８】
パネル回収部１５は、パネル搬送システム１の後端部に配置されている。また、パネル回収部１５は、検査装置５よりも後ろ側に配置されている。トレイ配置部１３は、トレイ７を昇降させるトレイ昇降機構を備えている。ロボット１４は、複数のトレイ配置部１３の上側に配置されている。ロボット１４は、いわゆる２軸直交ロボットであり、液晶パネル２を上側から吸着して把持するパネル把持部と、パネル把持部を前後方向に移動させるスライド機構と、パネル把持部を左右方向に移動させるスライド機構とを備えている。
【００３９】
ロボット１４は、パネル搬送装置１０〜１２から検査後の液晶パネル２を受け取って、トレイ配置部１３の最上段に配置されるトレイ７に液晶パネル２を収容する。具体的には、ロボット１４は、検査装置３〜５での検査結果に応じて選択されたトレイ配置部１３に検査後の液晶パネル２を搬送して、このトレイ配置部１３の最上段に配置されるトレイ７に液晶パネル２を収容する。
【００４０】
（パネル搬送装置の構成）
図４は、図１に示すパネル搬送装置１０の斜視図である。図５は、図４に示すパネル搬送装置１０の構成を説明するための平面図である。図６は、図３のＥ−Ｅ方向からパネル搬送システム１の構成を説明するための正面図である。図７は、図６のＦ部の拡大図である。
【００４１】
パネル搬送装置１０〜１２は、検査装置３〜５の右側に配置されている。パネル搬送装置１０〜１２は、前後方向に沿って配置されている。パネル搬送装置１０は、検査装置３に搬入される液晶パネル２を搬送するためのパネル搬送機構２０と、検査装置３から搬出される液晶パネル２を搬送するためのパネル搬送機構２１とを備えている。本形態のパネル搬送装置１０は、１個のパネル搬送機構２０と、複数のパネル搬送機構２１とを備えている。具体的には、パネル搬送装置１０は、１個のパネル搬送機構２０と、２個のパネル搬送機構２１（図３参照）とを備えている。本形態のパネル搬送機構２０は、搬入側パネル搬送機構であり、パネル搬送機構２１は、搬出側パネル搬送機構である。
【００４２】
パネル搬送機構２０は、液晶パネル２が載置される載置部材２２と、載置部材２２を水平方向へ直線的に移動させるスライド機構２３とを備えている。パネル搬送機構２１は、液晶パネル２が載置される載置部材２４と、載置部材２４を水平方向へ直線的に移動させるスライド機構２５とを備えている。本形態の載置部材２２は、搬入側載置部材であり、スライド機構２３は、搬入側スライド機構であり、載置部材２４は、搬出側載置部材であり、スライド機構２５は、搬出側スライド機構である。
【００４３】
また、パネル搬送装置１０は、カセット６が配置されるカセット配置部２７と、カセット配置部２７に配置されるカセット６から液晶パネル２を搬出するロボット２８と、検査装置３への液晶パネル２の搬入と検査装置３からの液晶パネル２の搬出を行うロボット２９と、液晶パネル２を昇降させるパネル昇降機構３０〜３２とを備えている。本形態のロボット２８は、パネル受渡機構であり、ロボット２９は、パネル搬入搬出機構である。
【００４４】
カセット配置部２７は、検査装置３の右側に配置されるとともに、検査装置３の後端側に配置されている。ロボット２８は、前後方向においてカセット配置部２７と同じ位置に配置されている。また、ロボット２８は、左右方向において検査装置３とカセット配置部２７との間に配置されている。ロボット２９は、ロボット２８よりも前側に配置されている。パネル昇降機構３０は、前後方向においてロボット２９と同じ位置に配置されている。
【００４５】
ロボット２８は、いわゆる３軸直交ロボットであり、液晶パネル２を下側から吸着して把持するパネル把持部３５と、パネル把持部３５を昇降させるスライド機構と、パネル把持部３５を左右方向に移動させるスライド機構と、パネル把持部３５を前後方向に移動させるスライド機構とを備えている。ロボット２８は、カセット６に収容される液晶パネル２を１枚ずつ左側に向かって取り出して、載置部材２２に載置する。
【００４６】
パネル搬送機構２０は、カセット配置部２７の左側に配置されている。また、パネル搬送機構２０は、カセット配置部２７よりも下側に配置されている。載置部材２２は、平板状に形成されている。載置部材２２は、載置部材２２の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。載置部材２２には、２枚の液晶パネル２が載置可能となっている。本形態では、パネル載置部１６に載置される液晶パネル２の高さと載置部材２２に載置される液晶パネル２の高さとが等しくなっている。載置部材２２には、載置部材２２に液晶パネル２を載置する際にパネル把持部３５が通過する切欠き部２２ａが形成されている（図５参照）。切欠き部２２ａは、前後方向に間隔をあけた状態で２箇所に形成されている。また、切欠き部２２ａは、載置部材２２の左端面から右側に向かって形成されている。
【００４７】
スライド機構２３は、載置部材２２を前後方向に往復移動させる。スライド機構２３は、たとえば、モータと、モータの動力で回転するネジ軸およびネジ軸に係合するナット部材を有するボールねじと、載置部材２２を前後方向に案内するガイド機構とを備えている。スライド機構２３には、載置部材２２の右端部が取り付けられている。なお、スライド機構２３は、ボールねじに代えて、モータの動力で回転するプーリおよびベルトを備えていても良い。
【００４８】
パネル搬送機構２０は、ロボット２８から受け取った液晶パネル２を、ロボット２９に引渡し可能な位置まで前側に搬送する。すなわち、スライド機構２３は、ロボット２８から液晶パネル２を受取り可能な位置と、液晶パネル２をロボット２９に引渡し可能な位置との間で前後方向に載置部材２２を往復移動させる。具体的には、スライド機構２３は、前後方向においてロボット２８が配置されている位置と、前後方向においてパネル載置部１６が配置されている位置との間で前後方向に載置部材２２を往復移動させる。
【００４９】
パネル搬送機構２１は、左右方向においてパネル搬送機構２０とほぼ同じ位置に配置されている。また、パネル搬送機構２１は、上下方向においてパネル搬送機構２０とずれた位置に配置されており、載置部材２４は、上下方向において載置部材２２とずれた位置に配置されている。すなわち、載置部材２２と載置部材２４とが上下方向において互いにずれた状態で配置されている。本形態では、パネル搬送機構２１は、パネル搬送機構２０よりも下側に配置されており、載置部材２４は、載置部材２２よりも下側に配置されている。すなわち、載置部材２２は、載置部材２４よりも上側に配置されている。
【００５０】
また、２個のパネル搬送機構２１は、前後方向に配列されている。２個のパネル搬送機構２１は、上下方向および左右方向において同じ位置に配置されている。以下の説明では、２個のパネル搬送機構２１を区別して表す場合には、前側に配置されるパネル搬送機構２１を「パネル搬送機構２１Ａ」とし、後ろ側に配置されるパネル搬送機構２１を「パネル搬送機構２１Ｂ」とする。
【００５１】
載置部材２４は、平板状に形成されている。載置部材２４は、載置部材２４の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。載置部材２４には、２枚の液晶パネル２が載置可能となっている。載置部材２４には、載置部材２４に液晶パネル２を載置する際に、パネル昇降機構３０の一部を構成する後述のパネル把持部３６が通過する切欠き部２４ａが形成されている（図５参照）。切欠き部２４ａは、前後方向に間隔をあけた状態で２箇所に形成されている。また、切欠き部２４ａは、載置部材２４の右端面から左側に向かって形成されている。
【００５２】
スライド機構２５は、パネル搬送システム１のフレーム３３に取り付けられている。スライド機構２５は、載置部材２４を前後方向に往復移動させる。すなわち、載置部材２２の往復移動方向と載置部材２４の往復移動方向とは一致している。本形態の前後方向（Ｘ方向）は、載置部材２２、２４の往復移動方向である第１方向となっている。また、左右方向（Ｙ方向）は、第１方向と上下方向とに直交する第２方向となっている。また、後ろ方向（Ｘ２方向）は、第１方向の一方である第３方向となっており、前方向（Ｘ１方向）は、第３方向の反対方向である第４方向となっている。
【００５３】
スライド機構２５は、たとえば、モータと、モータの動力で回転するプーリおよびベルトと、載置部材２４を前後方向に案内するガイド機構とを備えている。スライド機構２５には、載置部材２４の左端部が取り付けられている。なお、スライド機構２５は、プーリおよびベルトに代えて、ボールねじを備えていても良い。
【００５４】
後述のように、パネル昇降機構３１は、前後方向において、パネル搬送機構２１Ａの後端部およびパネル搬送機構２１Ｂの前端部が配置される位置に配置されている。パネル搬送機構２１Ａの載置部材２４は、前後方向において、パネル載置部１６が配置された位置とパネル昇降機構３１が配置された位置との間で移動可能となっている。パネル搬送機構２１Ａのスライド機構２５は、前後方向においてパネル載置部１６が配置されている位置よりも若干前側の位置と、前後方向においてパネル昇降機構３１が配置されている位置との間に設置されている。
【００５５】
また、パネル搬送機構２１Ｂの載置部材２４は、前後方向において、パネル昇降機構３１が配置された位置とロボット１４が配置された位置との間で移動可能となっている。パネル搬送機構２１Ｂのスライド機構２５は、前後方向においてパネル昇降機構３１が配置されている位置と、前後方向においてロボット１４が配置されている位置よりも若干後ろ側の位置との間に設置されている。２個のパネル搬送機構２１は、検査装置３から搬出された液晶パネル２を、ロボット１４に引渡し可能な位置まで後ろ側に搬送する。すなわち、パネル搬送機構２１は、載置部材２４に載置された液晶パネル２をパネル回収部１５に搬送する。
【００５６】
上述のように、載置部材２２は、載置部材２４よりも上側に配置されている。また、上述のように、パネル搬送機構２１は、左右方向においてパネル搬送機構２０とほぼ同じ位置に配置されている。本形態では、載置部材２２の少なくとも一部と載置部材２４の少なくとも一部が左右方向において同じ位置に配置されている。具体的には、載置部材２２の右端部を除く載置部材２２のほぼ全体と、載置部材２４の左端部を除く載置部材２４のほぼ全体とが左右方向において同じ位置に配置されている。スライド機構２３は、スライド機構２５よりも右側に配置されている。
【００５７】
パネル昇降機構３０は、前後方向においてパネル載置部１６と同じ位置に配置されている。また、パネル昇降機構３０は、スライド機構２５の右側に配置されている。パネル昇降機構３０は、液晶パネル２を下側から吸着して把持するパネル把持部３６と、パネル把持部３６を上下方向に移動させるスライド機構３７とを備えている。本形態のパネル昇降機構３０は、平板状に形成される２枚のパネル把持部３６を備えている。パネル把持部３６は、パネル把持部３６の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。２枚のパネル把持部３６は、前後方向に間隔をあけた状態で配置されている。
【００５８】
スライド機構３７は、たとえば、モータと、モータの動力で回転するネジ軸およびネジ軸に係合するナット部材を有するボールねじと、パネル把持部３６を上下方向に案内するガイド機構とを備えている。スライド機構３７には、パネル把持部３６の右端部が取り付けられている。パネル把持部３６は、上下方向において載置部材２２が配置される位置よりも上側へ移動可能になっている。また、パネル把持部３６は、上下方向において載置部材２４が配置される位置よりも下側へ移動可能になっている。すなわち、パネル昇降機構３０は、パネル把持部３６に把持される液晶パネル２を、少なくとも、上下方向において載置部材２２が配置される位置と上下方向において載置部材２４が配置される位置との間で昇降させる。
【００５９】
ロボット２９は、液晶パネル２を上側から吸着して把持するパネル把持部３８と、パネル把持部３８を昇降可能かつ回動可能に保持する本体部３９と、本体部３９に対してパネル把持部３８を昇降させる把持部昇降機構と、上下方向を回動の軸方向として本体部３９に対してパネル把持部を回動させる把持部回動機構とを備えている。本体部３９は、前後方向においてパネル載置部１６と同じ位置に配置されている。すなわち、本体部３９は、前後方向においてパネル昇降機構３０と同じ位置に配置されている。また、本体部３９は、左右方向においてパネル載置部１６とスライド機構２５との間に配置されている。
【００６０】
本形態のロボット２９は、２個のパネル把持部３８を備えている。２個のパネル把持部３８は、上側から見たときに、本体部３９の中心に対して１８０°ピッチで配置されている。２個のパネル把持部３８は、連結部材４０によって連結されている。パネル把持部３８は、２枚の液晶パネル２を把持する。把持部昇降機構および把持部回動機構は、本体部３９の内部に収容されている。把持部回動機構は、上側から見たときに、本体部３９の中心を回動中心にして２個のパネル把持部３８を回動させる。
【００６１】
ロボット２９は、前後方向においてパネル載置部１６が配置された位置で停止している載置部材２２に載置された検査前の２枚の液晶パネル２をパネル把持部３８によって上側から吸着して把持するとともに、パネル載置部１６に載置された検査後の２枚の液晶パネル２をパネル把持部３８によって上側から吸着して把持した後、パネル把持部３８を１８０°回動させる。その後、ロボット２９は、パネル把持部３８に把持された検査前の２枚の液晶パネル２をパネル載置部１６に載置するとともに、載置部材２２と同じ高さまで上昇して停止しているパネル把持部３６に、パネル把持部３８に把持された検査後の２枚の液晶パネル２を載置する。このときには、載置部材２２は、パネル把持部３６と干渉しないように、前後方向においてロボット２８が配置されている位置まで移動している。
【００６２】
すなわち、ロボット２９は、パネル搬送機構２０から液晶パネル２を受け取るとともに、パネル昇降機構３０に液晶パネル２を引き渡す。パネル昇降機構３０は、上下方向において載置部材２２が配置されている位置でロボット２９から液晶パネル２を受け取った後、液晶パネル２を下降させてパネル搬送機構２１Ａの載置部材２４に載置する。このときには、パネル搬送機構２１Ａの載置部材２４は、前後方向においてパネル載置部１６が配置された位置まで移動して停止している。
【００６３】
パネル昇降機構３１は、前後方向において、パネル搬送機構２１Ａの後端部およびパネル搬送機構２１Ｂの前端部が配置される位置に配置されている。また、パネル昇降機構３１は、スライド機構２５の右側に配置されている。パネル昇降機構３１は、パネル昇降機構３０とほぼ同様に構成されている。すなわち、パネル昇降機構３１は、液晶パネル２を下側から吸着して把持する２枚のパネル把持部と、パネル把持部を上下方向に移動させるスライド機構３７とを備えている。
【００６４】
ただし、パネル昇降機構３１では、スライド機構３７によるパネル把持部の昇降量が、パネル昇降機構３０でのスライド機構３７によるパネル把持部３６の昇降量よりも小さくなっており、パネル昇降機構３１のスライド機構３７の上下方向の長さは、パネル昇降機構３０のスライド機構３７の上下方向の長さよりも短くなっている。
【００６５】
パネル昇降機構３１のパネル把持部は、上下方向において載置部材２４が配置される位置よりも上側へ移動可能になっているとともに、上下方向において載置部材２４が配置される位置よりも下側へ移動可能になっている。パネル昇降機構３１は、前後方向においてパネル昇降機構３１が配置された位置で停止しているパネル搬送機構２１Ａの載置部材２４から液晶パネル２を受け取る。その後、パネル昇降機構３１は、パネル把持部を昇降させて、前後方向においてパネル昇降機構３１が配置された位置で停止しているパネル搬送機構２１Ｂの載置部材２４に液晶パネル２を引き渡す。本形態のパネル昇降機構３１は、前後方向で隣接するパネル搬送機構２１Ａからパネル搬送機構２１Ｂに液晶パネル２を引き渡すパネル引渡機構である。
【００６６】
パネル昇降機構３２は、前後方向において、ロボット１４が配置される位置に配置されている。また、パネル昇降機構３２は、スライド機構２５の右側に配置されている。パネル昇降機構３２は、パネル昇降機構３０とほぼ同様に構成されている。すなわち、パネル昇降機構３２は、液晶パネル２を下側から吸着して把持する２枚のパネル把持部と、パネル把持部を上下方向に移動させるスライド機構３７とを備えている。
【００６７】
パネル昇降機構３２のパネル把持部は、上下方向において後述の載置部材５４が配置される位置よりも上側へ移動可能になっているとともに、上下方向において載置部材２４が配置される位置よりも下側へ移動可能になっている。パネル昇降機構３２は、前後方向においてロボット１４が配置された位置で停止しているパネル搬送機構２１Ｂの載置部材２４から液晶パネル２を受け取る。その後、パネル昇降機構３２は、載置部材５４よりも上側にパネル把持部を上昇させて、ロボット１４に液晶パネル２を引き渡す。
【００６８】
このように、パネル搬送機構２１Ａは、パネル昇降機構３０から受け取った液晶パネル２を、パネル昇降機構３１に引渡し可能な位置まで後ろ側に搬送する。すなわち、パネル搬送機構２１Ａのスライド機構２５は、パネル昇降機構３０から液晶パネル２を受取り可能な位置と、液晶パネル２をパネル昇降機構３１に引渡し可能な位置との間で前後方向に載置部材２４を往復移動させる。また、パネル搬送機構２１Ｂは、パネル昇降機構３１から受け取った液晶パネル２を、パネル昇降機構３２に引渡し可能な位置まで後ろ側に搬送する。すなわち、パネル搬送機構２１Ｂのスライド機構２５は、パネル昇降機構３１から液晶パネル２を受取り可能な位置と、液晶パネル２をパネル昇降機構３２に引渡し可能な位置との間で前後方向に載置部材２４を往復移動させる。
【００６９】
パネル搬送装置１１は、パネル搬送装置１０とほぼ同様に構成されている。以下のパネル搬送装置１１の構成の説明では、パネル搬送装置１０が有する構成と同様の構成には同一の符号を付すとともに、パネル搬送装置１０との相違点を中心に、パネル搬送装置１１の構成を説明する。パネル搬送装置１１は、検査装置４に搬入される液晶パネル２を搬送するための１個のパネル搬送機構２０と、検査装置４から搬出される液晶パネル２を搬送するための１個のパネル搬送機構４１とを備えている。また、パネル搬送装置１１は、カセット配置部２７と、ロボット２８、２９と、パネル昇降機構３０、３２とを備えている。
【００７０】
パネル搬送機構４１は、液晶パネル２が載置される載置部材４４と、載置部材４４を水平方向へ直線的に移動させるスライド機構４５とを備えている。載置部材４４は、載置部材２４とほぼ同様に構成されている。スライド機構４５には、載置部材４４の左端部が取り付けられている。本形態のパネル搬送機構４１は、搬出側パネル搬送機構である。また、載置部材４４は、搬出側載置部材であり、スライド機構４５は、搬出側スライド機構である。
【００７１】
スライド機構４５は、パネル搬送システム１のフレーム３３に取り付けられている。スライド機構４５は、載置部材４４を前後方向に往復移動させる。スライド機構４５は、スライド機構２５とほぼ同様に構成されている。ただし、スライド機構４５による載置部材４４の前後方向の移動量は、２個のスライド機構２５による載置部材２４の前後方向の移動量よりも短くなっており、スライド機構４５の前後方向の長さは、２個のスライド機構２５の前後方向の合計長さよりも短くなっている。
【００７２】
パネル搬送装置１１のパネル搬送機構２０は、パネル搬送装置１０のパネル搬送機構２０と上下方向および左右方向において同じ位置に配置されている。パネル搬送機構４１は、左右方向において、パネル搬送装置１１のパネル搬送機構２０とほぼ同じ位置に配置されている。また、パネル搬送機構４１は、上下方向においてパネル搬送装置１１のパネル搬送機構２０とずれた位置に配置されており、載置部材２２と載置部材４４とが上下方向において互いにずれた状態で配置されている。本形態では、載置部材２２は、載置部材４４よりも上側に配置されている。
【００７３】
載置部材４４は、前後方向において、検査装置４のパネル載置部１６が配置された位置とロボット１４が配置された位置との間で移動可能となっている。スライド機構４５は、前後方向において検査装置４のパネル載置部１６が配置されている位置と、前後方向においてロボット１４が配置されている位置との間に設置されている。スライド機構４５の後端部は、スライド機構２５の後端部よりも前側に配置されている。パネル搬送機構４１は、検査装置４から搬出された液晶パネル２を、ロボット１４に引渡し可能な位置まで後ろ側に搬送する。すなわち、パネル搬送機構４１は、載置部材４４に載置された液晶パネル２をパネル回収部１５に搬送する。
【００７４】
上述のように、載置部材２２は、載置部材４４よりも上側に配置されている。また、上述のように、パネル搬送機構４１は、左右方向においてパネル搬送装置１１のパネル搬送機構２０とほぼ同じ位置に配置されている。本形態では、パネル搬送装置１１の載置部材２２の右端部を除く載置部材２２のほぼ全体と、載置部材４４の左端部を除く載置部材４４のほぼ全体とが左右方向において同じ位置に配置されている。スライド機構４５は、スライド機構２３よりも左側に配置されている。
【００７５】
また、パネル搬送機構４１は、上下方向においてパネル搬送機構２１と互いにずれた状態で配置されている。本形態では、パネル搬送機構４１は、パネル搬送機構２１の上側に配置されている。また、パネル搬送機構４１の少なくとも一部とパネル搬送機構２１の少なくとも一部が左右方向において同じ位置に配置されている。本形態では、パネル搬送機構４１とパネル搬送機構２１とが左右方向において同じ位置に配置されている。具体的には、載置部材４４と載置部材２４とが左右方向において同じ位置に配置され、スライド機構４５とスライド機構２５とが左右方向において同じ位置に配置されている。すなわち、前後方向から見たときに、載置部材４４は、載置部材２４の真上に配置され、スライド機構４５は、スライド機構２５の真上に配置されている。
【００７６】
パネル搬送装置１１のパネル昇降機構３０は、前後方向において検査装置４のパネル載置部１６と同じ位置に配置されている。また、このパネル昇降機構３０は、上下方向および左右方向においてパネル搬送装置１０のパネル昇降機構３０と同じ位置に配置されている。パネル搬送装置１１のパネル把持部３６は、上下方向において載置部材２２が配置される位置よりも上側へ移動可能になっている。また、このパネル把持部３６は、上下方向において載置部材４４が配置される位置よりも下側へ移動可能になっている。
【００７７】
パネル搬送装置１１のパネル昇降機構３０は、パネル把持部３６に把持される液晶パネル２を、少なくとも、上下方向において載置部材２２が配置される位置と上下方向において載置部材４４が配置される位置との間で昇降させる。なお、パネル搬送装置１１におけるパネル把持部３６の昇降量は、パネル搬送装置１０におけるパネル把持部３６の昇降量よりも小さくなっており、パネル搬送装置１１におけるパネル昇降機構３０のスライド機構３７の上下方向の長さは、パネル搬送装置１０におけるパネル昇降機構３０のスライド機構３７の上下方向の長さよりも短くなっている。
【００７８】
パネル搬送装置１１では、パネル昇降機構３０は、上下方向において載置部材２２が配置されている位置でロボット２９から液晶パネル２を受け取った後に、液晶パネル２を下降させて載置部材４４に載置する。このときには、載置部材４４は、前後方向において検査装置４のパネル載置部１６が配置された位置まで移動して停止している。パネル搬送装置１１のパネル昇降機構３２は、前後方向において、ロボット１４が配置される位置に配置されている。また、このパネル昇降機構３２は、パネル搬送装置１０のパネル昇降機構３２の前側に配置されている。
【００７９】
パネル搬送装置１１では、パネル昇降機構３２のパネル把持部は、上下方向において後述の載置部材５４が配置される位置よりも上側へ移動可能になっているとともに、上下方向において載置部材４４が配置される位置よりも下側へ移動可能になっている。このパネル昇降機構３２は、前後方向においてロボット１４が配置された位置で停止している載置部材４４から液晶パネル２を受け取る。その後、パネル昇降機構３２は、載置部材５４よりも上側にパネル把持部を上昇させて、ロボット１４に液晶パネル２を引き渡す。
【００８０】
このように、パネル搬送機構４１は、パネル昇降機構３０から受け取った液晶パネル２を、パネル昇降機構３２に引渡し可能な位置まで後ろ側に搬送する。すなわち、スライド機構４５は、パネル昇降機構３０から液晶パネル２を受取り可能な位置と、液晶パネル２をパネル昇降機構３２に引渡し可能な位置との間で前後方向に載置部材４４を往復移動させる。なお、パネル搬送装置１１におけるパネル昇降機構３２のパネル把持部の昇降量は、パネル搬送装置１０におけるパネル昇降機構３２のパネル把持部の昇降量よりも小さくなっており、パネル搬送装置１１におけるパネル昇降機構３２のスライド機構３７の上下方向の長さは、パネル搬送装置１０におけるパネル昇降機構３２のスライド機構３７の上下方向の長さよりも短くなっている。
【００８１】
パネル搬送装置１２は、パネル搬送装置１０、１１とほぼ同様に構成されている。以下のパネル搬送装置１２の構成の説明では、パネル搬送装置１０、１１が有する構成と同様の構成には同一の符号を付すとともに、パネル搬送装置１０、１１との相違点を中心に、パネル搬送装置１２の構成を説明する。パネル搬送装置１２は、検査装置５に搬入される液晶パネル２を搬送するための１個のパネル搬送機構２０と、検査装置５から搬出される液晶パネル２を搬送するための１個のパネル搬送機構５１とを備えている。また、パネル搬送装置１２は、カセット配置部２７と、ロボット２８、２９と、パネル昇降機構３０、３２とを備えている。
【００８２】
パネル搬送機構５１は、液晶パネル２が載置される載置部材５４と、載置部材５４を水平方向へ直線的に移動させるスライド機構５５とを備えている。載置部材５４は、載置部材４４と同様に構成されている。スライド機構５５には、載置部材５４の左端部が取り付けられている。本形態のパネル搬送機構５１は、搬出側パネル搬送機構であり、載置部材５４は、搬出側載置部材であり、スライド機構５５は、搬出側スライド機構である。
【００８３】
スライド機構５５は、パネル搬送システム１のフレーム３３に取り付けられている。スライド機構５５は、載置部材５４を前後方向に往復移動させる。スライド機構５５は、スライド機構４５とほぼ同様に構成されている。ただし、スライド機構５５による載置部材５４の前後方向の移動量は、スライド機構４５による載置部材４４の前後方向の移動量よりも短くなっており、スライド機構５５の前後方向の長さは、スライド機構４５の前後方向の合計長さよりも短くなっている。
【００８４】
パネル搬送装置１２では、カセット配置部２７は、検査装置５の前端側に配置されており、パネル搬送機構２０は、ロボット２８から受け取った液晶パネル２を、ロボット２９に引渡し可能な位置まで後ろ側に搬送する。パネル搬送装置１２のパネル搬送機構２０は、パネル搬送装置１０、１１のパネル搬送機構２０と上下方向および左右方向において同じ位置に配置されている。パネル搬送機構５１は、左右方向において、パネル搬送装置１２のパネル搬送機構２０とほぼ同じ位置に配置されている。また、載置部材５４と載置部材２２とは上下方向において互いにずれた状態で配置されている。本形態では、載置部材２２は、載置部材５４よりも上側に配置されている。
【００８５】
載置部材５４は、前後方向において、検査装置５のパネル載置部１６が配置された位置とロボット１４が配置された位置との間で移動可能となっている。本形態では、スライド機構５５は、前後方向においてパネル搬送装置１２のカセット配置部２７が配置されている位置と、前後方向においてロボット１４が配置されている位置との間に設置されている。スライド機構５５の後端部は、スライド機構４５の後端部よりも前側に配置されている。パネル搬送機構５１は、検査装置５から搬出された液晶パネル２を、ロボット１４に引渡し可能な位置まで後ろ側に搬送する。すなわち、パネル搬送機構５１は、載置部材５４に載置された液晶パネル２をパネル回収部１５に搬送する。
【００８６】
上述のように、載置部材２２は、載置部材５４よりも上側に配置されている。また、上述のように、パネル搬送機構５１は、左右方向においてパネル搬送装置１２のパネル搬送機構２０とほぼ同じ位置に配置されている。本形態では、パネル搬送装置１２の載置部材２２の右端部を除く載置部材２２のほぼ全体と、載置部材５４の左端部を除く載置部材５４のほぼ全体とが左右方向において同じ位置に配置されている。スライド機構５５は、スライド機構２３よりも左側に配置されている。
【００８７】
また、パネル搬送機構５１は、上下方向においてパネル搬送機構２１、４１と互いにずれた状態で配置されている。本形態では、パネル搬送機構５１は、パネル搬送機構４１の上側に配置されている。また、パネル搬送機構５１の少なくとも一部とパネル搬送機構２１、４１の少なくとも一部が左右方向において同じ位置に配置されている。本形態では、パネル搬送機構５１とパネル搬送機構４１とパネル搬送機構２１とが左右方向において同じ位置に配置されている。
【００８８】
具体的には、載置部材５４と載置部材４４と載置部材２４とが左右方向において同じ位置に配置され、スライド機構５５とスライド機構４５とスライド機構２５とが左右方向において同じ位置に配置されている。すなわち、前後方向から見たときに、載置部材５４は、載置部材４４の真上に配置され、スライド機構５５は、スライド機構４５の真上に配置されている。また、本形態では、パネル搬送機構２１とパネル搬送機構４１との上下方向の間隔と、パネル搬送機構４１とパネル搬送機構５１との上下方向の間隔とが等しくなっている。
【００８９】
パネル搬送装置１２のパネル昇降機構３０は、前後方向において検査装置５のパネル載置部１６と同じ位置に配置されている。また、このパネル昇降機構３０は、上下方向および左右方向においてパネル搬送装置１０、１１のパネル昇降機構３０と同じ位置に配置されている。パネル搬送装置１２のパネル把持部３６は、上下方向において載置部材２２が配置される位置よりも上側へ移動可能になっている。また、このパネル把持部３６は、上下方向において載置部材５４が配置される位置よりも下側へ移動可能になっている。
【００９０】
パネル搬送装置１２のパネル昇降機構３０は、パネル把持部３６に把持される液晶パネル２を、少なくとも、上下方向において載置部材２２が配置される位置と上下方向において載置部材５４が配置される位置との間で昇降させる。なお、パネル搬送装置１２におけるパネル把持部３６の昇降量は、パネル搬送装置１１におけるパネル把持部３６の昇降量よりも小さくなっており、パネル搬送装置１２におけるパネル昇降機構３０のスライド機構３７の上下方向の長さは、パネル搬送装置１１におけるパネル昇降機構３０のスライド機構３７の上下方向の長さよりも短くなっている。
【００９１】
パネル搬送装置１２では、パネル昇降機構３０は、上下方向において載置部材２２が配置されている位置でロボット２９から液晶パネル２を受け取った後に、液晶パネル２を下降させて載置部材５４に載置する。このときには、載置部材５４は、前後方向において検査装置５のパネル載置部１６が配置された位置まで移動して停止している。パネル搬送装置１２のパネル昇降機構３２は、前後方向において、ロボット１４が配置される位置に配置されている。また、このパネル昇降機構３２は、パネル搬送装置１１のパネル昇降機構３２の前側に配置されている。
【００９２】
パネル搬送装置１２では、パネル昇降機構３２のパネル把持部は、上下方向において載置部材５４が配置される位置よりも上側へ移動可能になっているとともに、上下方向において載置部材５４が配置される位置よりも下側へ移動可能になっている。このパネル昇降機構３２は、前後方向においてロボット１４が配置された位置で停止している載置部材５４から液晶パネル２を受け取る。その後、パネル昇降機構３２は、載置部材５４よりも上側にパネル把持部を上昇させて、ロボット１４に液晶パネル２を引き渡す。
【００９３】
このように、パネル搬送機構５１は、パネル昇降機構３０から受け取った液晶パネル２を、パネル昇降機構３２に引渡し可能な位置まで後ろ側に搬送する。すなわち、スライド機構５５は、パネル昇降機構３０から液晶パネル２を受取り可能な位置と、液晶パネル２をパネル昇降機構３２に引渡し可能な位置との間で前後方向に載置部材５４を往復移動させる。なお、パネル搬送装置１２におけるパネル昇降機構３２のパネル把持部の昇降量は、パネル搬送装置１１におけるパネル昇降機構３２のパネル把持部の昇降量よりも小さくなっており、パネル搬送装置１２におけるパネル昇降機構３２のスライド機構３７の上下方向の長さは、パネル搬送装置１１におけるパネル昇降機構３２のスライド機構３７の上下方向の長さよりも短くなっている。
【００９４】
本形態では、パネル搬送装置１０のカセット配置部２７と、パネル搬送装置１１のカセット配置部２７と、パネル搬送装置１２のカセット配置部２７とは、上下方向および左右方向において同じ位置に配置されている。また、パネル搬送装置１０のロボット２８と、パネル搬送装置１１のロボット２８と、パネル搬送装置１２のロボット２８とは、上下方向および左右方向において同じ位置に配置され、パネル搬送装置１０のロボット２９と、パネル搬送装置１１のロボット２９と、パネル搬送装置１２のロボット２９とは、上下方向および左右方向において同じ位置に配置されている。
【００９５】
図７に示すように、パネル搬送システム１のフレーム３３には、スライド機構２５、４５、５５で発生する塵埃が、載置部材２４、４４、５４に載置される液晶パネル２に付着するのを防止するための防塵カバー６０が固定されている。防塵カバー６０は、たとえば、薄鋼板を所定形状に折り曲げることで形成されている。防塵カバー６０は、スライド機構２５、４５、５５と載置部材２４、４４、５４との間に配置されている。また、防塵カバー６０は、スライド機構２５、４５、５５の可動側の部品および載置部材２４、４４、５４と干渉しない位置に配置されている。また、防塵カバー６０は、たとえば、前後方向におけるスライド機構２５、４５、５５の設置範囲の全域に配置されている。
【００９６】
図７に示すように、スライド機構２５、４５、５５は、フレーム３３と防塵カバー６０とに囲まれた空間の中に配置されている。パネル搬送システム１は、スライド機構２５、４５、５５が配置される空間の空気を吸引する吸引機構６１を備えている。吸引機構６１は、たとえば、排気用のポンプである。また、パネル搬送システム１は、載置部材２４、４４、５４の停止位置で載置部材２４、４４、５４に液晶パネル２が載置されているのか否かを検知するための検知機構６２を備えている（図３参照）。検知機構６２は、たとえば、光学式のセンサである。検知機構６２は、たとえば、前後方向において、パネル昇降機構３０〜３２が設置された位置に配置されている。
【００９７】
（パネル搬送装置の動作）
図８〜図１４は、図４に示すパネル搬送装置１０の動作を説明するための斜視図である。
【００９８】
パネル搬送装置１０では、ロボット２８が、カセット６に収容される検査前の液晶パネル２を１枚ずつ取り出して、載置部材２２に載置する（図８〜図１０参照）。このときには、載置部材２２は、前後方向においてロボット２８が配置されている位置で停止している。２枚の液晶パネル２が載置部材２２に載置されると、パネル搬送機構２１は、液晶パネル２を、ロボット２９に引渡し可能な位置まで前側に搬送する（図１１参照）。すなわち、パネル搬送機構２１は、２枚の液晶パネル２が載置された載置部材２２を、前後方向においてパネル載置部１６が配置されている位置まで移動させて停止させる。
【００９９】
その後、ロボット２９は、前後方向においてパネル載置部１６が配置された位置で停止している載置部材２２に載置された２枚の液晶パネル２をパネル把持部３８によって上側から吸着して把持するとともに、パネル載置部１６に載置された検査後の２枚の液晶パネル２をパネル把持部３８によって上側から吸着して把持する（図１１参照）。その後、ロボット２９は、パネル把持部３８を１８０°回動させて、パネル把持部３８に把持された検査前の２枚の液晶パネル２をパネル載置部１６に載置するとともに、載置部材２２と同じ高さまで上昇して停止しているパネル把持部３６に、パネル把持部３８に把持された検査後の２枚の液晶パネル２を載置する（図１２参照）。
【０１００】
なお、本形態では、パネル搬送装置１０のサイクルタイムを短縮するため、パネル把持部３６は、載置部材２２に載置された２枚の液晶パネル２をロボット２９がパネル把持部３８によって上側から吸着して把持しているときに、載置部材２２等と干渉しない所定の高さまで上昇して停止している。
【０１０１】
その後、パネル昇降機構３０は、パネル把持部３６を下降させて、ロボット２９から受け取った２枚の液晶パネル２を、パネル搬送機構２１Ａの載置部材２４に載置する（図１３参照）。その後、パネル搬送機構２１Ａは、２枚の液晶パネル２が載置された載置部材２４を、前後方向においてパネル昇降機構３１が配置されている位置まで移動させる（図１４参照）。前後方向においてパネル昇降機構３１が配置されている位置までパネル搬送機構２１Ａの載置部材２４が移動して停止すると、パネル昇降機構３１は、パネル把持部を昇降させて、前後方向においてパネル昇降機構３１が配置された位置で停止しているパネル搬送機構２１Ｂの載置部材２４に液晶パネル２を引き渡す。
【０１０２】
その後、パネル搬送機構２１Ｂは、２枚の液晶パネル２が載置された載置部材２４を、前後方向においてロボット１４が配置された位置まで移動させて停止させる。その後、パネル昇降機構３２は、載置部材２４に載置された２枚の液晶パネル２をパネル把持部で受け取ってから、パネル把持部を上昇させて、ロボット１４に液晶パネル２を引き渡す。以上の動作を繰り返して、パネル搬送装置１０は、検査装置３に液晶パネル２を搬入するとともに、検査装置３から液晶パネル２を搬出する。
【０１０３】
また、パネル搬送装置１１は、パネル搬送装置１０と同様の動作を行って、検査装置４に液晶パネル２を搬入するとともに、検査装置４から液晶パネル２を搬出する。ただし、パネル搬送装置１１が有するパネル搬送機構４１の数は１個であるため、パネル搬送装置１１では、パネル搬送機構４１による液晶パネル２の搬送過程の途中で液晶パネル２の受渡しは行われない。また、パネル搬送装置１２は、パネル搬送装置１１と同様の動作を行って、検査装置５に液晶パネル２を搬入するとともに、検査装置５から液晶パネル２を搬出する。
【０１０４】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、パネル搬送装置１０〜１２において、載置部材２２は、載置部材２４、４４、５４よりも上側に配置されている。また、本形態では、載置部材２２の少なくとも一部と載置部材２４、４４、５４の少なくとも一部が左右方向において同じ位置に配置されている。そのため、本形態では、左右方向でパネル搬送装置１０〜１２を小型化することが可能になり、その結果、左右方向でパネル搬送装置１を小型化することが可能になる。
【０１０５】
特に本形態では、載置部材２２の右端部を除く載置部材２２のほぼ全体と、載置部材２４、４４、５４の左端部を除く載置部材２４、４４、５４のほぼ全体とが左右方向において同じ位置に配置されているため、左右方向でパネル搬送装置１０〜１２をより小型化することが可能になる。したがって、本形態では、左右方向でパネル搬送システム１をより小型化することが可能になる。
【０１０６】
また、本形態では、パネル搬送機構２１、４１、５１が上下方向において互いにずれた状態で配置されるとともに、パネル搬送機構２１の少なくとも一部とパネル搬送機構４１の少なくとも一部とパネル搬送機構５１の少なくとも一部とが左右方向において同じ位置に配置されているため、前後方向に沿って配置される３個のパネル搬送装置１０〜１２をパネル搬送システム１が備えていても、左右方向でパネル搬送システム１を小型化することが可能になる。
【０１０７】
特に本形態では、パネル搬送機構２１とパネル搬送機構４１とパネル搬送機構５１とが左右方向において同じ位置に配置されているため、左右方向でパネル搬送システム１をより小型化することが可能になる。また、本形態では、パネル搬送装置１０のパネル搬送機構２０と、パネル搬送装置１１のパネル搬送機構２０と、パネル搬送装置１２のパネル搬送機構２０とが左右方向において同じ位置に配置されているため、左右方向でパネル搬送システム１をより小型化することが可能になる。
【０１０８】
本形態では、パネル搬送装置１０〜１２は、パネル昇降機構３０を備えている。そのため、本形態では、載置部材２２と載置部材２４、４４、５４とが上下方向においてずれた状態で配置されていても、検査装置３〜５に搬入される液晶パネル２をロボット２９が受け取る際の液晶パネル２の高さと、検査装置３〜５から搬出された液晶パネル２をロボット２９が引き渡す際の液晶パネル２の高さとを同じ高さに合わせることが可能になる。したがって、本形態では、ロボット２９の構成および制御を簡素化することが可能になる。
【０１０９】
本形態では、スライド機構２５、４５、５５と載置部材２４、４４、５４との間に防塵カバー６０が配置されている。そのため、本形態では、上下方向において互いにずれた状態で配置されるパネル搬送機構２１、４１、５１が左右方向において同じ位置に配置されていても、スライド機構２５、４５、５５で発生した塵埃が、載置部材２４、４４、５４に載置される液晶パネル２に付着するのを防止することが可能になる。また、本形態では、スライド機構２５、４５、５５が配置される空間の空気を吸引する吸引機構６１が設置されているため、スライド機構２５、４５、５５で発生した塵埃が、載置部材２４、４４、５４に載置される液晶パネル２に付着するのをより効果的に防止することが可能になる。
【０１１０】
本形態では、パネル搬送システム１は、載置部材２４、４４、５４の停止位置で載置部材２４、４４、５４に液晶パネル２が載置されているのか否かを検知するための検知機構６２を備えている。そのため、本形態では、検知機構６２の検知結果に基づいてパネル搬送システム１の誤動作を防止することが可能になる。また、本形態では、載置部材２４、４４、５４の停止位置で載置部材２４、４４、５４に液晶パネル２が載置されているのか否かを検知するため、検知機構６２によって、載置部材２４、４４、５４に液晶パネル２が載置されているのか否かを精度良く検知することが可能になる。
【０１１１】
本形態では、パネル搬送装置１０は、左右方向で隣接する２個のパネル搬送機構２１Ａ、２１Ｂと、パネル搬送機構２１Ａからパネル搬送機構２１Ｂに液晶パネル２を引き渡すパネル昇降機構３１とを備えている。そのため、本形態では、パネル搬送機構２１Ａは、載置部材２４に載置された液晶パネル２をパネル昇降機構３１に引き渡せば、前後方向においてパネル載置部１６が配置されている位置まで載置部材２４を戻すことができる。したがって、本形態では、１個のパネル搬送機構２１によってパネル回収部１５まで液晶パネル２を搬送する場合と比較して、パネル搬送装置１０のサイクルタイムを短縮することが可能になる。
【０１１２】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【０１１３】
上述した形態において、パネル搬送装置１０のパネル搬送機構２０、パネル搬送装置１１のパネル搬送機構２０、および、パネル搬送装置１２のパネル搬送機構２０の中から任意に選択される１個のパネル搬送機構２０と残りの２個のパネル搬送機構２０とが左右方向においてずれていても良いし、パネル搬送装置１０のパネル搬送機構２０とパネル搬送装置１１のパネル搬送機構２０とパネル搬送装置１２のパネル搬送機構２０とが左右方向において互いにずれていても良い。
【０１１４】
また、上述した形態において、パネル搬送装置１０のパネル搬送機構２０、パネル搬送装置１１のパネル搬送機構２０、および、パネル搬送装置１２のパネル搬送機構２０の中から任意に選択される１個のパネル搬送機構２０と残りの２個のパネル搬送機構２０とが上下方向においてずれていても良いし、パネル搬送装置１０のパネル搬送機構２０とパネル搬送装置１１のパネル搬送機構２０とパネル搬送装置１２のパネル搬送機構２０とが上下方向において互いにずれていても良い。
【０１１５】
上述した形態では、パネル搬送機構２１とパネル搬送機構４１とパネル搬送機構５１とが下側から上側に向かってこの順番で配置されているが、パネル搬送機構２１とパネル搬送機構４１とパネル搬送機構５１とが下側から上側に向かってどのような順番で配置されていても良い。たとえば、パネル搬送機構５１とパネル搬送機構４１とパネル搬送機構２１とが下側から上側に向かってこの順番で配置されていても良い。
【０１１６】
上述した形態において、パネル搬送機構２１、パネル搬送機構４１およびパネル搬送機構５１の中から任意に選択される１個のパネル搬送機構２１、４１、５１と残りの２個のパネル搬送機構２１、４１、５１とが左右方向においてずれていても良いし、パネル搬送機構２１とパネル搬送機構４１とパネル搬送機構５１とが左右方向において互いにずれていても良い。また、上述した形態において、載置部材２２と載置部材２４とが左右方向においてずれていても良いし、載置部材２２と載置部材４４とが左右方向においてずれていても良いし、載置部材２２と載置部材５４とが左右方向においてずれていても良い。
【０１１７】
上述した形態において、パネル搬送システム１が備えるパネル搬送装置１０〜１２の数は、１個または２個であっても良いし、４個以上であっても良い。また、上述した形態において、パネル搬送装置１０は、前後方向に配列される３個以上のパネル搬送機構２１を備えていても良い。この場合には、パネル搬送装置１０は、パネル搬送機構２１の数に応じた複数のパネル昇降機構３１を備えている。さらに、上述した形態において、パネル搬送装置１１は、前後方向に配列される２個のパネル搬送機構４１を備えていても良い。この場合には、パネル搬送装置１１は、パネル昇降機構３１を備えている。また、上述した形態において、パネル搬送装置１０が有するパネル搬送機構２１の数は１個であっても良い。
【０１１８】
上述した形態において、検査前の液晶パネル２がトレイ７に収容され、検査後の液晶パネル２がカセット６に収容されても良い。この場合には、パネル搬送機構２１、４１、５１は、検査装置３〜５に搬入される液晶パネル２を搬送するための搬入側パネル搬送機構となり、パネル搬送機構２０は、検査装置３〜５から搬出される液晶パネル２を搬送するための搬出側パネル搬送機構となる。
【０１１９】
また、この場合には、複数のトレイ配置部１３とロボット１４とによって、検査前の液晶パネル２が供給されるパネル供給部が構成されている。また、この場合には、パネル昇降機構３０は、載置部材２４、４４、５４に載置されている液晶パネル２を受け取った後に、上下方向において載置部材２２が配置されている位置まで上昇する。ロボット２９は、パネル昇降機構３０から液晶パネル２を受け取るとともにパネル搬送機構２０に液晶パネル２を引き渡す。
【０１２０】
上述した形態において、ロボット２８、２９は、垂直多関節ロボットであっても良いし、水平多関節ロボットであっても良いし、パラレルリンクロボットであっても良い。また、上述した形態において、パネル搬送装置１０〜１２は、パネル昇降機構３０を備えていなくても良い。この場合には、ロボット２９が載置部材２４、４４、５４に直接、液晶パネル２を載置する。さらに、上述した形態において、スライド機構２５、４５、５５は、リニアモータであっても良い。この場合には、防塵カバー６０および吸引機構６１が不要になる。
【０１２１】
上述した形態において、検査装置３〜５は、点灯検査装置以外の検査装置であっても良い。また、上述した形態では、パネル搬送装置１０〜１２は、検査装置３〜５に対して液晶パネル２を搬送しているが、パネル搬送装置１０〜１２は、検査装置３〜５以外の、液晶パネル２に対して所定の処理を行う処理装置に対して液晶パネル２を搬送しても良い。さらに、上述した形態において、パネル搬送装置１０〜１２で搬送される表示パネルは、液晶パネル２以外の表示パネルであっても良い。たとえば、パネル搬送装置１０〜１２で搬送される表示パネルは、有機ＥＬパネルであっても良い。
【符号の説明】
【０１２２】
１  パネル搬送システム
２  液晶パネル（表示パネル）
３〜５  検査装置（処理装置）
６  カセット
１０〜１２  パネル搬送装置
１５  パネル回収部
２０  パネル搬送機構（搬入側パネル搬送機構）
２１、４１、５１  パネル搬送機構（搬出側パネル搬送機構）
２２  載置部材（搬入側載置部材）
２３  スライド機構（搬入側スライド機構）
２４、４４、５４  載置部材（搬出側載置部材）
２５、４５、５５  スライド機構（搬出側スライド機構）
２７  カセット配置部
２８  ロボット（パネル受渡機構）
２９  ロボット（パネル搬入搬出機構）
３０  パネル昇降機構
３１  パネル昇降機構（パネル引渡機構）
３８  パネル把持部
３９  本体部
６０  防塵カバー
６１  吸引機構
６２  検知機構
Ｘ  第１方向
Ｘ１  第４方向
Ｘ２  第３方向
Ｙ  第２方向
【図１】
2020167256.tif 000003
【図２】
2020167256.tif 000004
【図３】
2020167256.tif 000005
【図４】
2020167256.tif 000006
【図５】
2020167256.tif 000007
【図６】
2020167256.tif 000008
【図７】
2020167256.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2020167256.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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