(57)【要約】【課題】製造コストの増加を抑制しつつ、カラーフィルタにおけるクロストーク、及び、これによる画素毎の感度のバラツキを防止する。【解決手段】入射光を分光して所定の波長の入射光を透過するカラーフィルタおよびカラーフィルタを透過した入射光を受光して信号電荷を生成する光電変換部を備える複数の画素を具備する撮像装置は、第１の画素、４つの第２の画素および隔壁部を具備する。その第１の画素は、第１の分光特性を有するカラーフィルタを備える。その４つの第２の画素は、第１の分光特性と類似する分光特性を有するカラーフィルタを備えて第１の画素にそれぞれ隣接して配置される。その隔壁部は、第１の画素および第２の画素のそれぞれのカラーフィルタの間に配置されて第１の分光特性および第２の分光特性とは異なる分光特性を有する。【選択図】図５
2020150267.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光を分光して所定の波長の前記入射光を透過するカラーフィルタおよび前記カラーフィルタを透過した入射光を受光して信号電荷を生成する光電変換部を備える複数の画素を具備する固体撮像装置であって、
第１の分光特性を有する前記カラーフィルタを備える第１の画素と、
前記第１の分光特性と類似する分光特性を有する前記カラーフィルタを備えて前記第１の画素にそれぞれ隣接して配置される４つの第２の画素と、
前記第１の画素および前記第２の画素のそれぞれの前記カラーフィルタの間に配置されて前記第１の分光特性および前記第２の分光特性とは異なる分光特性を有する隔壁部と
を具備する固体撮像装置。
【請求項２】
前記４つの第２の画素は、可視光領域において中波長域の緑色光を透過する前記分光特性を有する前記カラーフィルタを備える請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記隔壁部は、可視光領域において短波長域の青色光を透過しつつ青色光以外の光を吸収する前記分光特性を有する請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記隔壁部は、可視光領域において長波長域の赤色光を透過しつつ赤色光以外の光を吸収する前記分光特性を有する請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記カラーフィルタと前記光電変換部との間における前記画素の境界に沿って配置される遮光膜をさらに具備し、
前記隔壁部は、前記境界と直交する方向において前記遮光膜より幅狭に形成される
請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項６】
前記隔壁部は、前記第１の画素のカラーフィルタを囲繞するように形成される請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項７】
入射光を分光して所定の波長の前記入射光を透過するカラーフィルタおよび前記カラーフィルタを透過した入射光を受光して信号電荷を生成する光電変換部を備える複数の画素を具備する固体撮像装置と、
前記固体撮像装置に前記入射光を導く光学系と、
前記固体撮像装置の出力信号を処理する処理回路と
を具備し、
前記固体撮像装置は、
第１の分光特性を有する前記カラーフィルタを備える第１の画素と、
前記第１の分光特性と類似する分光特性を有する前記カラーフィルタを備えて前記第１の画素にそれぞれ隣接して配置される４つの第２の画素と、
前記第１の画素および前記第２の画素のそれぞれの前記カラーフィルタの間に配置されて前記第１の分光特性および前記第２の分光特性とは異なる分光特性を有する隔壁部と
を備える
電子機器。
【請求項８】
受光面にて入射光を受光して信号電荷を生成する光電変換部を半導体基板に形成する工程と、
前記入射光を分光して所定の波長の前記入射光を透過するカラーフィルタのうちの第１の分光特性を有するカラーフィルタを前記光電変換部に配置する工程と、
前記第１の分光を有するカラーフィルタが配置される前記光電変換部に隣接する４つの前記光電変換部に前記第１の分光特性と類似する分光特性を有するカラーフィルタをそれぞれ配置する工程と、
前記第１の分光特性および前記第２の分光特性とは異なる分光特性を有する隔壁部を前記第１の分光特性を有するカラーフィルタおよび前記第２の分光特性を有するカラーフィルタの間に形成する工程と
を含んで構成される固体撮像装置の製造方法。
【請求項９】
前記隔壁部を形成する工程は、前記隔壁部と同じ分光特性を有する前記カラーフィルタの形成工程と同工程として行われる請求項８に記載の固体撮像装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は固体撮像装置、電子機器、及び、固体撮像装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）やＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）等の各種のイメージセンサを備えた撮像装置が提案されており、これら撮像装置は、カラー撮像装置として実現されることが一般的になっている。カラー撮像装置は、入射光を電荷に変換するフォトダイオード等の光電変換素子と、当該光電変換素子の受光面に入射する光を着色するカラーフィルタと、を備える。
【０００３】
カラーフィルタを介して光電変換素子の受光面に入射する入射光は、当該受光面へ斜めに入射するものもある。斜めに入射する光は、隣接するカラーフィルタの一方のカラーフィルタに入射した後、これらカラーフィルタの境界を横切って他方のカラーフィルタへ侵入し、そのまま他方のカラーフィルタ用の光電変換素子へ入射するクロストーク（混色）が発生する可能性がある。これにより、画素毎の感度にバラツキが生じる可能性があった。
【０００４】
このようなクロストークを防止するべく、特許文献１には、赤、緑、青の３色で構成されたカラーフィルタにおいて、赤カラーフィルタの周囲のみに、赤、青、緑のカラーフィルタよりも低屈折率の材料で形成された隔壁を設ける技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−１６５２１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した特許文献１に記載の技術を実施するためには、製造コストを増加することになる。すなわち、赤、緑及び青の３色で構成されるカラーフィルタの間に、赤、緑及び青とは別の材料（異なる屈折率の材料）で隔壁を作るためには、当該別の材料の選定、当該別の材料で隔壁を形成する新規工程の追加、リソグラフィ工程でのレジストマスクの作製などが必要であり、製造コストの増加に繋がることになる。
【０００７】
本技術では、このような製造コストの増加を抑制しつつ、カラーフィルタにおけるクロストーク、及び、これによる画素毎の感度のバラツキを防止する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本技術の態様の１つは、受光面にて入射光を受光して信号電荷を生成する複数の光電変換部と、前記複数の光電変換部のそれぞれに対応して１つずつ設けられた少なくとも３色のカラーフィルタと、互いに隣接する前記カラーフィルタの間に、これらカラーフィルタと異なる色のカラーフィルタのいずれかと同色の色材を含有して形成された隔壁部と、
を備えることを特徴とする固体撮像装置である。
【０００９】
本技術の態様の１つは、固体撮像装置と、前記固体撮像装置に入射光を導く光学系と、前記固体撮像装置の出力信号を処理する信号処理回路と、を備え、前記固体撮像装置は、受光面にて入射光を受光して信号電荷を生成する複数の光電変換部と、前記複数の光電変換部のそれぞれに対応して１つずつ設けられた少なくとも３色のカラーフィルタと、互いに隣接する前記カラーフィルタの間に、これらカラーフィルタと異なる色のカラーフィルタのいずれかと同色の色材を含有して形成された隔壁部と、を備えることを特徴とする電子機器である。
【００１０】
本技術の態様の１つは、受光面にて入射光を受光して信号電荷を生成する光電変換部を半導体基板に形成する第１工程と、前記入射光を着色して前記受光面へ透過する少なくとも３色のカラーフィルタを、前記複数の光電変換部に対応させて、前記光電変換部それぞれの受光面上方に設ける第２工程と、隣りあって設けられる前記カラーフィルタの間に、これら隣り合って設けられるカラーフィルタと異なる色のカラーフィルタのいずれかと同色の色材を含有する隔壁部を形成する第３工程と、を含んで構成される、固体撮像装置の製造方法である。
【００１１】
なお、本技術にかかる固体撮像装置や電子機器は、他の機器に組み込まれた状態で実施されたり他の方法とともに実施されたりする等の各種の態様を含む。また、本技術にかかる固体撮像装置の製造方法は、他の方法の一環として実施されたりする等の各種の態様を含む。また、本技術は、前記固体撮像装置や電子機器を備える撮像システム、前記固体撮像装置や電子機器の構成に対応した工程を有する駆動方法、当該駆動方法の構成に対応した機能をコンピュータに実現させるプログラム、該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体、等としても実現可能である。
【発明の効果】
【００１２】
本技術によれば、製造コストの増加を抑制しつつ、カラーフィルタにおけるクロストーク、及び、これによる画素毎の感度のバラツキを防止することができる。なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものでは無く、また付加的な効果があってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】固体撮像装置を備える撮像装置の構成を示すブロック図である。
【図２】固体撮像装置の構成を示すブロック図である。
【図３】画素の回路構成を説明する図である。
【図４】ＡＤ変換部の構成を示す図である。
【図５】固体撮像装置の要部構造を断面的に示した図である。
【図６】隔壁部を説明する図である。
【図７】隔壁部と遮光膜の関係を説明する図である。
【図８】固体撮像装置の製造方法を説明する図である。
【図９】固体撮像装置の製造方法を説明する図である。
【図１０】固体撮像装置の製造方法を説明する図である。
【図１１】固体撮像装置の製造方法を説明する図である。
【図１２】固体撮像装置の製造方法を説明する図である。
【図１３】固体撮像装置の製造方法を説明する図である。
【図１４】第２の実施形態にかかる固体撮像装置の構成を説明する図である。
【図１５】第３の実施形態にかかる固体撮像装置の構成を説明する図である。
【図１６】第３の実施形態にかかる固体撮像装置の構成を説明する図である。
【図１７】第４の実施形態にかかる固体撮像装置の構成を説明する図である。
【図１８】第５の実施形態にかかる固体撮像装置の構成を説明する図である。
【図１９】第５の実施形態にかかる固体撮像装置の構成を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、下記の順序に従って本技術を説明する。
（Ａ）第１の実施形態：
（Ｂ）第２の実施形態：
（Ｃ）第３の実施形態：
（Ｄ）第４の実施形態：
（Ｅ）第５の実施形態：
【００１５】
（Ａ）第１の実施形態：
［概略構成］
図１は、固体撮像装置を備える撮像装置１００の構成を示すブロック図である。同図に示す撮像装置１００は、電子機器の一例である。
【００１６】
なお、本明細書において、撮像装置とは、デジタルスチルカメラやデジタルビデオカメラ等の撮像装置や、撮像機能を有する携帯電話機などの携帯端末装置など、画像取込部（光電変換部）に固体撮像装置を用いる電子機器全般を指す。むろん、画像取込部に固体撮像装置を用いる電子機器には、画像読取部に固体撮像装置を用いる複写機も含まれる。また、撮像装置は、上述した電子機器に搭載するために固体撮像装置を含めてモジュール化されていてもよい。
【００１７】
図１において、撮像装置１００は、レンズ群を含む光学系１１、固体撮像装置１２、固体撮像装置１２の出力信号を処理する信号処理回路としてのＤＳＰ１３（Ｄｉｇｉｔａｌ
Ｓｉｇｎａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）、フレームメモリ１４、表示装置１５、記録装置１６、操作系１７、電源系１８及び制御部１９を備えている。
【００１８】
ＤＳＰ１３、フレームメモリ１４、表示装置１５、記録装置１６、操作系１７、電源系１８及び制御部１９は、通信バスを介して、互いにデータや信号を送受信できるように接続されている。
【００１９】
光学系１１は、被写体からの入射光（像光）を取り込んで固体撮像装置１２の撮像面上に結像する。固体撮像装置１２は、光学系１１によって撮像面上に結像された入射光の受光量に応じた電気信号を画素単位で生成し、画素信号として出力する。この画素信号はＤＳＰ１３に入力され、適宜に各種の画像処理を行った後、フレームメモリ１４に記憶されたり、記録装置１６の記録媒体に記録されたり、表示装置１５に出力されたりする。
【００２０】
表示装置１５は、液晶表示装置や有機ＥＬ(ｅｌｅｃｔｒｏ  ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ)表示装置等のパネル型表示装置からなり、固体撮像装置１２によって撮像された動画や静止画、その他の情報を表示する。記録装置１６は、固体撮像装置１２によって撮像された動画や静止画を、ＤＶＤ(Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｋ)やＨＤ（Ｈａｒｄ  Ｄｉｓｋ）、半導体メモリ等の記録媒体に記録する。
【００２１】
操作系１７は、ユーザから各種の操作を受け付けるものであり、ユーザの操作に応じた操作命令を通信バスを介して各部１３，１４，１５，１６，１８，１９へ送信する。電源系１８は、駆動電源となる各種の電源電圧を生成して供給対象（各部１２，１３，１４，１５，１６，１７，１９）へ適宜に供給する。
【００２２】
制御部１９は、演算処理を行うＣＰＵや撮像装置１００の制御プログラムを記憶するＲＯＭ、ＣＰＵのワークエリアとして機能するＲＡＭ、等を備えている。制御部１９は、ＲＡＭをワークエアリアとして利用しつつＲＯＭに記憶されている制御プログラムをＣＰＵが実行することにより、通信バスを介して各部１３，１４，１５，１６，１７，１８を制御する。また、制御部１９は、不図示のタイミングジェネレータを制御して各種のタイミング信号を生成させ、各部へ供給する制御を行ったりする。
【００２３】
［固体撮像装置の電気的構成］
図２は、固体撮像装置１２の構成を示すブロック図である。なお、本実施形態では、固体撮像装置として、Ｘ−Ｙアドレス型固体撮像装置の一種であるＣＭＯＳイメージセンサを例にとり説明を行うが、むろん、ＣＣＤイメージセンサを採用してもよい。以下、図２を参照しつつＣＭＯＳイメージセンサとしての固体撮像装置の具体的な一例について説明する。
【００２４】
図２において、固体撮像装置１２は、画素部１２１、垂直駆動部１２２、アナログデジタル変換部１２３（ＡＤ変換部１２３）、参照信号生成部１２４、水平駆動部１２５、通信・タイミング制御部１２６及び信号処理部１２７を備えている。
【００２５】
画素部１２１には、光電変換部としてのフォトダイオードを含む複数の画素ＰＸＬが二次元マトリクス状に配置されている。画素部１２１の受光面側には、各画素に対応してフィルタの色を区分された色フィルタアレイが設けられる。なお、画素ＰＸＬの具体的な回路構成については後述する。
【００２６】
画素部１２１には、ｎ本の画素駆動線ＨＳＬｎ（ｎ＝１，２，・・・）とｍ本の垂直信号線ＶＳＬｍ（ｍ＝１，２，・・・）が配線されている。画素駆動線ＨＳＬｎは、図の左右方向（画素行の画素配列方向／水平方向）に沿って配線され、図の上下方向に等間隔で配置されている。垂直信号線ＶＳＬｍは、図の上下方向（画素列の画素配列方向／垂直方向）に沿って配線され、図の左右方向に等間隔で配置されている。
【００２７】
画素駆動線ＨＳＬｎの一端は、垂直駆動部１２２の各行に対応した出力端子に接続されている。垂直信号線ＶＳＬｍは各列の画素ＰＸＬに接続されており、その一端は、ＡＤ変換部１２３に接続されている。垂直駆動部１２２や水平駆動部１２５は、通信・タイミング制御部１２６の制御の下、画素部１２１を構成する各画素ＰＸＬからアナログ信号を順次に読み出す制御を行う。なお、各画素ＰＸＬに対する画素駆動線ＨＳＬｎと垂直信号線ＶＳＬｍの具体的な接続については、画素ＰＸＬの説明とともに後述する。
【００２８】
通信・タイミング制御部１２６は、例えば、タイミングジェネレータと通信インターフェースとを備える。タイミングジェネレータは、外部から入力されるクロック（マスタークロック）に基づいて、各種のクロック信号を生成する。通信インターフェースは、固体撮像装置１２の外部から与えられる動作モードを指令するデータなどを受け取り、固体撮像装置１２の内部情報を含むデータを外部へ出力する。
【００２９】
通信・タイミング制御部１２６は、マスタークロックに基づいて、マスタークロックと同じ周波数のクロック、それを２分周したクロック、より分周した低速のクロック、等を生成し、デバイス内の各部（垂直駆動部１２２、水平駆動部１２５、ＡＤ変換部１２３、参照信号生成部１２４、信号処理部１２７、等）に供給する。
【００３０】
垂直駆動部１２２は、例えば、シフトレジスタやアドレスデコーダ等によって構成されている。垂直駆動部１２２は、外部から入力される映像信号をデコードした信号に基づいて、行アドレスを制御するための垂直アドレス設定部や行走査を制御するための行走査制御部を備えている。
【００３１】
垂直駆動部１２２は、読み出し走査と掃き出し走査が可能である。
読み出し走査とは、信号を読み出す単位画素を順に選択する走査である。読み出し走査は、基本的には行単位で順に行われるが、所定の位置関係にある複数画素の出力を加算もしくは加算平均することにより画素の間引きを行う場合は、所定の順番により行われる。
【００３２】
掃き出し走査とは、読み出し走査にて読み出しを行う行又は画素組み合わせに対し、この読み出し走査よりもシャッタースピードの時間分だけ先行して、読み出しを行う行又は画素組み合わせに属する単位画素をリセットさせる走査である。
【００３３】
水平駆動部１２５は、通信・タイミング制御部１２６の出力するクロックに同期してＡＤ変換部１２３を構成する各ＡＤＣ回路を順番に選択する。ＡＤ変換部１２３は、垂直信号線ＶＳＬｍごとに設けられたＡＤＣ回路（ｍ＝１，２，・・・）を備え、各垂直信号線ＶＳＬｍから出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換し、水平駆動部１２５の制御に従って水平信号線Ｌｔｒｆに出力する。
【００３４】
水平駆動部１２５は、例えば、水平アドレス設定部や水平走査部を備えており、水平アドレス設定部が規定した水平方向の読み出し列に対応するＡＤ変換部１２３の個々のＡＤＣ回路を選択することにより、選択されたＡＤＣ回路において生成されたデジタル信号を水平信号線Ｌｔｒｆに導く。
【００３５】
このようにしてＡＤ変換部１２３から出力されたデジタル信号は、水平信号線Ｌｔｒｆを介して信号処理部１２７へ入力される。信号処理部１２７は、画素部１２１からＡＤ変換部１２３を経由して出力される信号を、演算処理にて、色フィルタアレイの色配列に対応した画像信号に変換する処理を行う。
【００３６】
また、信号処理部１２７は、必要に応じて、水平方向や垂直方向の画素信号を加算や加算平均等により間引く処理を行う。このようにして生成された画像信号は、固体撮像装置１２の外部に出力される。
【００３７】
参照信号生成部１２４は、ＤＡＣ（Ｄｉｇｔａｌ  Ａｎａｌｏｇ  Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）を備えており、通信・タイミング制御部１２６から供給されるカウントクロックに同期して、参照信号Ｖｒａｍｐ（後述の図４等参照）を生成する。参照信号Ｖｒａｍｐは、通信・タイミング制御部１２６から供給される初期値から階段状に時間変化する鋸歯状波（ランプ波形）である。この参照信号Ｖｒａｍｐは、ＡＤ変換部１２３の個々のＡＤＣ回路に供給される。
【００３８】
ＡＤ変換部１２３は、複数のＡＤＣ回路を備えている。ＡＤＣ回路は、各画素ＰＸＬから出力されるアナログ電圧をＡＤ変換するにあたり、所定のＡＤ変換期間（後述するＰ相期間やＤ相期間）に参照信号Ｖｒａｍｐと垂直信号線ＶＳＬｍの電圧とを比較器にて比較し、参照信号Ｖｒａｍｐと垂直信号線ＶＳＬｍの電圧の電圧（画素電圧）との大小関係が反転する前後いずれかの時間をカウンタにてカウントする。これにより、アナログの画素電圧に応じたデジタル信号を生成することができる。なお、ＡＤ変換部１２３の具体例については後述する。
【００３９】
［画素構成］
図３は、画素の回路構成を説明する図である。同図には、一般的な４トランジスタ方式の構成の画素の等価回路を示してある。同図に示す画素は、フォトダイオードＰＤと、４つのトランジスタ（転送トランジスタＴＲ１、リセットトランジスタＴＲ２、増幅トランジスタＴＲ３、選択トランジスタＴＲ４）を備えている。
【００４０】
フォトダイオードＰＤは、受光した光量に応じた電流を光電変換によって発生させる。フォトダイオードＰＤのアノードはグランドに接続され、そのカソードは転送トランジスタＴＲ１のドレインに接続される。
【００４１】
画素ＰＸＬには、垂直駆動部１２２のリセット信号生成回路や各種ドライバから、信号線Ｌｔｒｇ，Ｌｒｓｔ，Ｌｓｅｌを介して、各種の制御信号が入力される。
【００４２】
転送トランジスタＴＲ１のゲートには、転送ゲート信号を伝送するための信号線Ｌｔｒｇが接続される。転送トランジスタＴＲ１のソースは、リセットトランジスタＴＲ２のソースと、増幅トランジスタＴＲ３のゲートとの接続点に対して接続される。この接続点は信号電荷を蓄積する容量であるフローティングディフュージョンＦＤを構成する。
【００４３】
転送トランジスタＴＲ１は、ゲートに信号線Ｌｔｒｇを通じて転送信号が入力されるとオンし、フォトダイオードＰＤの光電変換によって蓄積された信号電荷（ここでは、光電子）をフローティングディフュージョンＦＤに転送する。
【００４４】
リセットトランジスタＴＲ２のゲートには、リセット信号を伝送するための信号線Ｌｒｓｔが接続され、ドレインに定電圧源ＶＤＤが接続される。リセットトランジスタＴＲ２は、信号線Ｌｒｓｔを通じてゲートにリセット信号が入力されるとオンし、フローティングディフュージョンＦＤを定電圧源ＶＤＤの電圧にリセットする。一方、信号線Ｌｒｓｔを通じてゲートにリセット信号が入力されていない場合は、リセットトランジスタＴＲ２はオフし、フローティングディフュージョンＦＤと定電圧源ＶＤＤとの間に所定のポテンシャル障壁を形成する。
【００４５】
増幅トランジスタＴＲ３は、ゲートをフローティングディフュージョンＦＤに接続され、ドレインを定電圧源ＶＤＤに接続され、ソースを選択トランジスタＴＲ４のドレインに接続されている。
【００４６】
選択トランジスタＴＲ４は、ゲートに選択信号の信号線Ｌｓｅｌが接続され、ソースが垂直信号線ＶＳＬに接続される。選択トランジスタＴＲ４は、信号線Ｌｓｅｌを通じてゲートに制御信号（アドレス信号またはセレクト信号）を入力されるとオンし、信号線Ｌｓｅｌを通じてゲートにこの制御信号を入力されていない場合はオフする。
【００４７】
選択トランジスタＴＲ４がオンすると、増幅トランジスタＴＲ３は、フローティングディフュージョンＦＤの電圧を増幅して垂直信号線ＶＳＬに出力する。垂直信号線ＶＳＬを通じて各画素から出力された電圧は、ＡＤ変換部１２３に入力される。
【００４８】
なお、画素の回路構成は、図３に示した構成のみならず、３トランジスタ方式の構成や、他の４トランジスタ方式の構成等、公知の種々の構成を採用可能である。例えば、他の４トランジスタ方式の構成としては、増幅トランジスタＴＲ３と定電圧源ＶＤＤとの間に選択トランジスタＴＲ４を配置した構成が挙げられる。
【００４９】
［ＡＤ変換部］
図４は、ＡＤ変換部１２３の構成を示す図である。同図に示すように、ＡＤ変換部１２３を構成する各ＡＤＣ回路は、垂直信号線ＶＳＬｍ毎に設けられた比較器１２３ａやカウンタ１２３ｂと、ラッチ１２３ｃを備えている。
【００５０】
比較器１２３ａは、２つの入力端子Ｔ１，Ｔ２と１つの出力端子Ｔ３を備えている。一方の入力端子Ｔ１は、参照信号生成部１２４から参照信号Ｖｒａｍｐを入力され、他方の入力端子Ｔ２は、画素から垂直信号線ＶＳＬを通して出力されるアナログの画素信号（以下、画素信号Ｖｖｓｌと記載する。）を入力されている。
【００５１】
比較器１２３ａは、これら参照信号Ｖｒａｍｐと画素信号Ｖｖｓｌを比較する。比較器１２３ａは、参照信号Ｖｒａｍｐと画素信号Ｖｖｓｌとの大小関係に応じてハイレベルもしくはローレベルの信号を出力するようになっており、参照信号Ｖｒａｍｐと画素信号Ｖｖｓｌの大小関係が入れ替わると、出力端子Ｔ３の出力が、ハイレベルとローレベルの間で反転する。
【００５２】
カウンタ１２３ｂは、通信・タイミング制御部１２６からクロックを供給されており、当該クロックを利用してＡＤ変換の開始から終了までの時間をカウントしている。ＡＤ変換の開始と終了のタイミングは、通信・タイミング制御部１２６の出力する制御信号（例えば、クロック信号ＣＬＫの入力有無等）と比較器１２３ａの出力反転とに基づいて特定する。
【００５３】
また、カウンタ１２３ｂは、いわゆる相関２重サンプリング（ＣＤＳ）により、画素信号をＡ／Ｄ変換する。具体的には、カウンタ１２３ｂは、通信・タイミング制御部１２６の制御に従い、垂直信号線ＶＳＬｍからリセット成分に相当するアナログ信号が出力されている間はダウンカウントを行う。そして、このダウンカウントにより得られたカウント値を初期値とし、垂直信号線ＶＳＬｍから画素信号に相当するアナログ信号が出力されている間にアップカウントを行う。
【００５４】
このようにして生成されるカウント値は、信号成分とリセット成分の差分に相当するデジタル値となる。すなわち、垂直信号線ＶＳＬｍを通して画素からＡＤ変換部１２３へ入力されたアナログの画素信号に相当するデジタル値をリセット成分によって較正した値となる。
【００５５】
カウンタ１２３ｂが生成したデジタル値はラッチ１２３ｃに記憶され、水平走査部の制御に従って順次にラッチ１２３ｃから出力され、水平信号線Ｌｔｒｆを介して信号処理部１２７へ出力される。
【００５６】
［固体撮像装置の物理的構成］
図５は、固体撮像装置１２の要部構造を断面的に示した図である。なお、本実施形態では、裏面照射型のＣＭＯＳイメージセンサを例に取り説明を行うが、本技術は表面照射型のＣＭＯＳイメージセンサに適用することもできる。
【００５７】
同図に示す固体撮像装置１２は、裏面照射型のＣＭＯＳイメージセンサであり、例えば、シリコンによる半導体基板２００に複数の単位画素２１１が配列された画素領域２１０（いわゆる、撮像領域）と、画素領域２１０の周辺に配置された周辺回路部（不図示）とを形成して構成される。
【００５８】
画素トランジスタは、基板表面２００Ａの側に形成され、図５ではゲート電極２１２を示して模式的に画素トランジスタの存在を示している。各フォトダイオードＰＤは不純物拡散層による素子分離領域２１３で分離される。
【００５９】
［多層配線層］
半導体基板２００の画素トランジスタが形成された表面側には、層間絶縁膜２１５を介して、複数の配線２１４を形成した多層配線層２１６が形成される。このため、裏面照射型のＣＭＯＳイメージセンサでは、フォトダイオードＰＤの位置に関係なく配線２１４を形成することができる。
【００６０】
［層間絶縁膜］
半導体基板２００のフォトダイオードＰＤが臨む裏面上には、反射防止膜として機能する層間絶縁膜２２１が形成される。層間絶縁膜２２１は、互いに屈折率が異なる複数の膜が積層された積層構造を有する。層間絶縁膜２２１は、例えば、半導体基板２００の側から順に積層された、ハフニウム酸化（ＨｆＯ２）膜とシリコン酸化膜（ＳｉＯ２）の２層構造で構成される。ハフニウム酸化膜は、シリコン酸化膜よりも誘電率の高い高誘電率絶縁層（ｈｉｇｈ−ｋ膜）である。その他、層間絶縁膜２２１にはシリコン窒化膜を用いてもよい。
【００６１】
［遮光膜］
層間絶縁膜２２１上には、画素境界に対応する部分に、遮光膜２２０が形成される。遮光膜２２０は、光を遮光する材料であればよいが、遮光性が強く、かつ微細加工が可能な材料、例えばエッチングで精度良く加工できる材料で形成することが好ましい。より具体的には、アルミニウム（Ａｌ）、タングステン（Ｗ）、或いは銅（Ｃｕ）が例示される。
【００６２】
［平坦化膜＆カラーフィルタ］
層間絶縁膜２２１と遮光膜２２０の上には、平坦化膜２１７が形成され、平坦化膜２１７の上には、フォトダイオードＰＤそれぞれに対応するように形成された複数のカラーフィルタで構成されるカラーフィルタ層２１８が形成される。本実施形態においては、赤、緑、青の３原色に白を加えた４色のカラーフィルタを市松状に配置したカラーフィルタ層２１８を例に取って説明を行う。なお、本実施形態及び後述する他の実施形態では、原色系のフィルタを例に取り説明を行うが、本技術は、補色系のフィルタにも適用可能である。
【００６３】
赤カラーフィルタ２１８Ｒは、可視光領域で長波長域の赤色光（約６００〜７００ｎｍ）を透過しつつ赤色光以外の光を吸収する赤色材を含有して構成され、緑カラーフィルタ２１８Ｇは、可視光領域で中波長域の緑色光（約５００〜６００ｎｍ）を透過しつつ緑色光以外の光を吸収する緑色材を含有して構成される。青カラーフィルタ２１８Ｂは、可視光領域で短波長領域の青色光（約４００〜５００ｎｍ）を透過しつつ青色光以外の光を吸収する青色材を含有して構成され、白カラーフィルタ２１８Ｗは、可視光領域の光を全体的に透過する、例えば透明材を用いて構成される。なお、白カラーフィルタ２１８Ｗの部分は、カラーフィルタ層２１８の代わりに透明層で構成してもよい。
【００６４】
カラーフィルタ層２１８は、例えば、図６に示すように、白カラーフィルタ２１８Ｗと、他のカラーフィルタとが互い違いに配列されている。このため、白カラーフィルタ２１８Ｗの隣には白以外の何れかの色（赤、緑又は青）のカラーフィルタが設けられ、白以外の色（赤、緑及び青）のカラーフィルタの隣には白カラーフィルタ２１８Ｗが設けられることになる。
【００６５】
また、白以外の色（赤、緑及び青）のカラーフィルタは、赤カラーフィルタ２１８Ｒ又は青カラーフィルタ２１８Ｂに比べて緑カラーフィルタ２１８Ｇの割合を多くしてあり、例えば、赤１に対し、青１、緑２の割合で設けてある。青カラーフィルタ２１８Ｂ及び赤カラーフィルタ２１８Ｒの斜め隣には、緑カラーフィルタ２１８Ｇが位置するように配列される。
【００６６】
［隔壁部］
本実施形態では、これら各色のカラーフィルタ（赤、緑、青、又は白）の少なくとも１色を対象カラーフィルタＣＦｔとすると、当該対象カラーフィルタの少なくとも一方側で隣り合うように設けられる隣接カラーフィルタＣＦｎとの間に、当該隣接カラーフィルタＣＦｎ及び対象カラーフィルタＣＦｔの何れとも異なる色の他の有色カラーフィルタ（赤、緑、又は青）と同色の色材を含んで構成される隔壁部２５０が形成される。この隔壁部２５０については、後で詳述する。
【００６７】
［マイクロレンズ］
カラーフィルタ層２１８の上面には、フォトダイオードＰＤそれぞれに対応するようにマイクロレンズ２１９が形成される。マイクロレンズ２１９は、図５に示すように、半導体基板２００の裏面であって、カラーフィルタ層２１８の上方に設けられている。マイクロレンズ２１９は、画素領域２１０に配列された複数のフォトダイオードＰＤに対応するように、複数が、同一形状で配置されている。マイクロレンズ２１９は、受光面ＪＳからカラーフィルタ層２１８の側へ向かう方向において、中心が縁よりも厚く形成された凸型レンズであって、入射光を各フォトダイオードＰＤの受光面の略中心へ集光して透過するように構成されている。
【００６８】
［カラーフィルタの構成］
図６は、本実施形態に係る隔壁部２５０を説明する図である。なお、同図は、カラーフィルタ層２１８を平面的に見て示してある。
【００６９】
［青隔壁部］
図６（ａ）に示す例では、隣接して設けられた白カラーフィルタ２１８Ｗと緑カラーフィルタ２１８Ｇの間に沿って延びる境界部２６０に沿って、この境界部２６０を挟んで隣接しないカラーフィルタと同じ色材を含有する隔壁部、すなわち青カラーフィルタ２１８Ｂと同色の色材を含有する青隔壁部２５０Ｂが形成されている。より具体的には、境界部２６０に沿って、青カラーフィルタ２１８Ｂと同じ色材を含有する青隔壁部２５０Ｂが形成されている。
【００７０】
白カラーフィルタ２１８Ｗと緑カラーフィルタ２１８Ｇの境界部２６０に沿って青隔壁部２５０Ｂを設けることにより、分光特性が互いに類似する白カラーフィルタ２１８Ｗと緑カラーフィルタ２１８Ｇの間でのクロストーク（青隔壁部の場合、特に５５０ｎｍより長波長光でのクロストーク）が回避される。また、青隔壁部２５０Ｂを青カラーフィルタ２１８Ｂと同じ色材で形成することにより、隔壁部を形成する工程を追加することによるコスト増加を抑制できる。
【００７１】
なお、青隔壁部２５０Ｂは、色材以外の材料についても、青カラーフィルタ２１８Ｂと同じ材料としてもよく、例えば、母材を青カラーフィルタ２１８Ｂと共通としてもよい。また、青隔壁部２５０Ｂは、母材に対する色材の含有率を青カラーフィルタ２１８Ｂと略一致させてもよいし、当該含有率を青カラーフィルタ２１８Ｂと相違させてもよく、例えば、当該含有率を青カラーフィルタ２１８Ｂより高くしてもよい。
【００７２】
青隔壁部２５０Ｂは、図６（ａ）に示す例では、白カラーフィルタ２１８Ｗと緑カラーフィルタ２１８Ｇの間に沿って延びる境界部２６０に沿って形成されており、緑カラーフィルタ２１８Ｇを囲繞するように形成されている。その結果、白カラーフィルタ２１８Ｗは、赤カラーフィルタ２１８Ｒと隣接する側を除く三方で、青色材を含有する層と接することになる。
【００７３】
また、本実施形態に係るカラーフィルタ層の色配列において、緑カラーフィルタ２１８Ｇの角部の少なくとも１つ（図６では２つの角部）が青カラーフィルタ２１８Ｂの角部と接する構成であるため、緑カラーフィルタ２１８Ｇを囲繞する青隔壁部２５０Ｂは、青カラーフィルタ２１８Ｂの角部と連続している。
【００７４】
また、青隔壁部２５０Ｂが形成される境界部２６０では、青隔壁部２５０Ｂがある程度の幅を持って形成されるため、当該境界部２６０に形成される青隔壁部２５０Ｂを挟んで両側に形成されるカラーフィルタの形成領域は、その分浸食されて狭く形成される。図６（ａ）に示す例では、緑カラーフィルタ２１８Ｇと白カラーフィルタ２１８Ｗの境界部２６０に沿って青隔壁部２５０Ｂが形成されるため、この青隔壁部２５０Ｂの両側に形成される緑カラーフィルタ２１８Ｇの形成領域と白カラーフィルタ２１８Ｗの形成領域が青隔壁部２５０Ｂに浸食されて狭くなる。
【００７５】
［赤隔壁部］
図６（ｂ）に示す例では、隣接して設けられた白カラーフィルタ２１８Ｗと緑カラーフィルタ２１８Ｇの間に沿って延びる境界部２６０に沿って、この境界部２６０を挟んで隣接しないカラーフィルタと同じ色材を含有する隔壁部、すなわち赤カラーフィルタ２１８Ｒと同色の色材を含有する赤隔壁部２５０Ｒが形成されている。より具体的には、境界部２６０に沿って、赤カラーフィルタ２１８Ｒと同じ色材を含有する赤隔壁部２５０Ｒが形成されている。
【００７６】
白カラーフィルタ２１８Ｗと緑カラーフィルタ２１８Ｇの境界部２６０に沿って赤隔壁部２５０Ｒを設けることにより、分光特性が互いに類似する白カラーフィルタ２１８Ｗと緑カラーフィルタ２１８Ｇの間でのクロストーク（赤隔壁部の場合、特に５５０ｎｍより短波長光でのクロストーク）が回避される。また、赤隔壁部２５０Ｒを赤カラーフィルタ２１８Ｒと同じ色材で形成することにより、隔壁部を形成する工程を追加することによるコスト増加を抑制できる。
【００７７】
なお、赤隔壁部２５０Ｒは、色材以外の材料についても、赤カラーフィルタ２１８Ｒと同じ材料としてもよく、例えば、母材を赤カラーフィルタ２１８Ｒと共通としてもよい。また、赤隔壁部２５０Ｒは、母材に対する色材の含有率を赤カラーフィルタ２１８Ｒと略一致させてもよいし、当該含有率を赤カラーフィルタ２１８Ｒと相違させてもよく、例えば、当該含有率を赤カラーフィルタ２１８Ｒより高くしてもよい。
【００７８】
赤隔壁部２５０Ｒは、図６（ｂ）に示す例では、白カラーフィルタ２１８Ｗと緑カラーフィルタ２１８Ｇの間に沿って延びる境界部２６０に沿って形成されており、緑カラーフィルタ２１８Ｇを囲繞するように形成されている。その結果、白カラーフィルタ２１８Ｗは、青カラーフィルタ２１８Ｂと隣接する側を除く三方で、赤色材を含有する層と接することになる。
【００７９】
また、本実施形態に係るカラーフィルタ層の色配列において、緑カラーフィルタ２１８Ｇの角部の少なくとも１つ（図６では２つの角部）が赤カラーフィルタ２１８Ｒの角部と接する構成であるため、緑カラーフィルタ２１８Ｇを囲繞する赤隔壁部２５０Ｒは、赤カラーフィルタ２１８Ｒの角部と連続する。
【００８０】
また、赤隔壁部２５０Ｒが形成される境界部２６０では、赤隔壁部２５０Ｒがある程度の幅を持って形成されるため、当該境界部２６０に形成される赤隔壁部２５０Ｒを挟んで両側に形成されるカラーフィルタの形成領域は、その分浸食されて狭く形成される。図６（ｂ）に示す例では、緑カラーフィルタ２１８Ｇと白カラーフィルタ２１８Ｗの境界部２６０に赤隔壁部２５０Ｒが形成されるため、この赤隔壁部２５０Ｒの両側に形成される緑カラーフィルタ２１８Ｇの形成領域と白カラーフィルタ２１８Ｗの形成領域が赤隔壁部２５０Ｒに浸食されて狭くなる。
【００８１】
以上説明した青隔壁部２５０Ｂや赤隔壁部２５０Ｒ等の隔壁部２５０を形成することにより、製造コストの増加を抑制しつつ、カラーフィルタにおけるクロストーク、及び、これによる画素毎の感度のバラツキを防止することができる。特に、画角内で像高が高い箇所ではクロストークが生じやすいため有効である。
【００８２】
［隔壁部と遮光膜の関係］
図７は、隔壁部と遮光膜の関係を説明する図である。同図には、固体撮像装置１２の要部を断面的に示してある。
【００８３】
同図において、固体撮像装置１２は、第１画素Ｐｘ１と第２画素Ｐｘ２が互いに隣接し合うように形成されている。
【００８４】
第１画素Ｐｘ１は光電変換素子としての第１フォトダイオードＰＤ１を有し、当該第１フォトダイオードＰＤ１の受光面側に入射光を着色するための着色素子としての第１カラーフィルタＣＦ１及び入射光を第１フォトダイオードＰＤ１の受光面に集光するための集光素子としての第１オンチップレンズＬ１が順次に積層されている。
【００８５】
第２画素Ｐｘ２は光電変換素子としての第２フォトダイオードＰＤ２を有し、当該第２フォトダイオードＰＤ２の受光面側には入射光を着色するための着色素子としての第２カラーフィルタＣＦ２及び入射光を第２フォトダイオードＰＤ２の受光面に集光するための集光素子としての第２オンチップレンズＬ２が順次に積層されている。
【００８６】
第１フォトダイオードＰＤ１と第１カラーフィルタＣＦ１の間と、第２フォトダイオードＰＤ２と第２カラーフィルタＣＦ２の間には、第１画素Ｐｘ１と第２画素Ｐｘ２とで共通の平坦化膜ＰＬが形成されている。
【００８７】
互いに隣接し合うように形成された第１カラーフィルタＣＦ１と第２カラーフィルタＣＦ２の間には、その境界部Ｂ１に沿って隔壁部Ｗが形成されている。また、互いに隣接し合うように形成された第１フォトダイオードＰＤ１と第２フォトダイオードＰＤ２の間の境界部Ｂ２上の平坦化膜ＰＬの中には、境界部Ｂ２に沿って遮光膜Ｓが形成されている。隔壁部Ｗと遮光膜Ｓとは、図７上、互いに略上下方向へオフセットした位置関係で形成されている。なお、境界部Ｂ１と境界部Ｂ２は、いわゆる瞳補正等のための位置調整が無ければ、図７上、上下方向に延びる同一直線上に位置する。
【００８８】
遮光膜Ｓは、第１フォトダイオードＰＤ１や第２フォトダイオードＰＤ２の受光面を遮らない程度の幅で形成されている。このため、境界部Ｂ１と直交する方向の隔壁部幅ｄ１を遮光膜幅ｄ２よりも幅狭に形成することにより、隔壁部Ｗが第１フォトダイオードＰＤ１や第２フォトダイオードＰＤ２への入射光を阻害する可能性を可及的に低下することができる。これにより、隔壁部Ｗを形成したことによる受光感度の低下を抑制することができる。
【００８９】
また、隔壁部Ｗと遮光膜Ｓの間隔ｄ３は可及的に狭く形成することが望ましい。間隔ｄ３を狭くすることにより、第１画素Ｐｘ１と第２画素Ｐｘ２の境界において対面して形成される隔壁部Ｗの底面Ｗｂと遮光膜Ｓの上面Ｓｕとの間を通るクロストークが発生しにくくなり、第１画素Ｐｘ１と第２画素Ｐｘ２との間のクロストークを抑制することができる。なお、図７には、平坦化膜ＰＬの下端に沿って形成した遮光膜Ｓを例示してあるが、遮光膜Ｓは、平坦化膜ＰＬの下端から離間して形成してもよい。
【００９０】
［固体撮像装置の製造方法］
以下、上述した固体撮像装置１２を製造するための製造方法の一例について説明する。
【００９１】
図８〜図１３は、本実施形態に係る固体撮像装置１２の製造方法の各工程における固体撮像装置１２の要部を示す図である。
【００９２】
［フォトダイオード領域］
まず、半導体基板２００の画素領域を形成すべき領域に、各画素に対応させて光電変換部としてのフォトダイオードＰＤをそれぞれ形成する第１工程を行う。フォトダイオードＰＤは、基板厚さ方向の全域にわたるｎ型半導体領域と、ｎ型半導体領域に接して形成されて基板の表裏両面に臨むｐ型半導体領域とから成るｐｎ接合を有して形成される。これらのｐ型半導体領域やｎ型半導体領域は、例えば、イオン注入法を用いて、不純物を半導体基板に導入することによって形成される。各フォトダイオードＰＤは、ｐ型半導体で形成された素子分離領域によって分離される。
【００９３】
基板表面２００Ａの各画素に対応する領域には、それぞれ素子分離領域に接するｐ型半導体ウェル領域を形成し、このｐ型半導体ウェル領域内にそれぞれ画素トランジスタを形成する。画素トランジスタは、それぞれソース領域及びドレイン領域と、ゲート絶縁膜と、ゲート電極２１２とにより形成される。さらに、基板表面２００Ａの上部には、層間絶縁膜２１５を介して複数層の配線２１４を配置した多層配線層２１６を形成する。
【００９４】
［層間膜］
次に、図９に示すように、受光面となる基板裏面２００Ｂ上に、反射防止膜として機能する層間絶縁膜２２１を形成する。層間絶縁膜２２１は、例えば、熱酸化法やＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法により形成される。
【００９５】
［遮光膜の形成］
次に、図１０に示すように、層間絶縁膜２２１を介して半導体基板２００の基板裏面２００Ｂ上に、互いに隣接する画素の境界線に沿って遮光膜２２０を形成する。具体的には、層間絶縁膜２２１の全面に遮光膜を成膜する成膜工程と、その遮光膜をエッチングによりパターン加工するパターン加工工程とを行って遮光膜２２０を形成する。
【００９６】
遮光膜２２０の材料は、遮光性が強く、例えばエッチングで精度良く加工できる、繊細加工に適したものが好ましい。こうした特性を有する材料としては、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、銅（Ｃｕ）、等の金属材料が例示される。
【００９７】
遮光膜２２０の成膜工程は、例えば、スパッタリング法、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃｈａｌ
Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、メッキ処理等により行われる。これにより、上述したアルミニウム等の金属膜が層間絶縁膜２２１の全面に形成される。
【００９８】
遮光膜２２０のパターン加工工程では、複数の画素間の境界に対応する部分に沿ってレジストマスクが形成され、レジストマスクが形成されない部分の遮光膜２２０が、ウェットエッチングやドライエッチング等のエッチングにより選択的にエッチング除去される。これにより、遮光膜２２０は、互いに隣接する画素の境界線に沿って残存し、フォトダイオードＰＤの受光面の部分を開口したパターンが形成される。
【００９９】
［平坦化膜］
次に、図１１に示すように、層間絶縁膜２２１及び遮光膜２２０を介して基板裏面２００Ｂ上に、透明な平坦化膜２１７を形成する。平坦化膜２１７は、例えば、熱可塑性樹脂をスピンコート法によって成膜した後、熱硬化処理を行うことにより形成される。これにより、平坦化膜２１７内に遮光膜２２０が設けられた状態となる。
【０１００】
［カラーフィルタ＆隔壁部］
次に、図１２に示すように、平坦化膜２１７の上にカラーフィルタ層２１８及び隔壁部２５０を形成する第２工程及び第３工程を行う。カラーフィルタ層２１８及び隔壁部２５０は、例えば、顔料や染料などの色材と感光性樹脂とを含む塗布液を、スピンコート法などのコーティング方法によって塗布して塗膜を形成し、その塗膜をリソグラフィ技術でパターン加工することにより形成される。
【０１０１】
なお、青隔壁部２５０Ｂを青カラーフィルタ２１８Ｂと同じ材質で形成する場合、青カラーフィルタ２１８Ｂと青隔壁部２５０Ｂとを同一工程で形成することができ、赤隔壁部２５０Ｒを赤カラーフィルタ２１８Ｒと同じ材質で形成する場合、赤カラーフィルタ２１８Ｒと赤隔壁部２５０Ｒを赤カラーフィルタ２１８Ｒとを同一工程で形成することが出来る。
【０１０２】
各色のカラーフィルタの形成は、例えば、次のようにして行う事が出来る。まず、形成したい色の分光特性を得るための色材と感光性樹脂とを含む塗布液を、スピンコート法によって塗布し、フォトレジスト膜（図示なし）を成膜する。その後、プリベーク処理を実施した後に、そのフォトレジスト膜についてパターン加工することで、所望の色のカラーフィルタが形成される。
【０１０３】
更に具体的には、例えば、ｉ線縮小露光機を用いて、フォトレジスト膜について、パターン像を転写するパターン露光処理を実施する。その後、有機アルカリ水溶液（テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドにノニオン系界面活性剤を添加したもの等）を現像液として用いて、パターン露光処理が実施されたフォトレジスト膜について、現像処理を実施する。そして、ポストベーク処理を行うことで、所望の色のカラーフィルタが形成される。
【０１０４】
［マイクロレンズ］
次に、図１３に示すように、カラーフィルタ層２１８上に、マイクロレンズ２１９を形成する。マイクロレンズ２１９は、例えば、ポジ型のフォトレジスト膜をカラーフィルタ層２１８上に成膜後、加工することによって形成される。ここでは、受光面ＪＳからカラーフィルタ層２１８の側へ向かう方向において、中心が縁よりも厚く形成された凸型レンズとして、マイクロレンズ２１９を設ける。
【０１０５】
具体的には、ベース樹脂として、ポリスチレンを用い、また、感光剤として、ジアゾナフトキノンを用いて、ポジ型のフォトレジスト膜を、スピンコート法によって成膜し、プリベーク処理を実施する。そして、i線縮小露光機を用いて、パターン像を、そのポジ型のフォトレジスト膜へ照射する露光処理を実施する。その後、露光処理が実施されたフォトレジスト膜について現像処理を実施する。この現像処理においては、例えば、有機アルカリ水溶液(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドにノニオン系界面活性剤を添加したもの等)を現像液として用いる。そして、可視光における短波長領域の光吸収を無くすように脱色するために、紫外線を全面に照射する。その後、熱軟化点以上の温度でフォトレジスト膜について熱処理を実施する。これにより、マイクロレンズ２１９を完成させる。
【０１０６】
（Ｂ）第２の実施形態：
図１４は、本実施形態にかかる固体撮像装置４１２の構成を説明する図である。同図には、固体撮像装置４１２のカラーフィルタ層４１８を平面的に見て、カラーフィルタと隔壁部の位置関係を示してある。図中、４１８Ｒ、４１８Ｇ、４１８Ｂ、４１８Ｗは、単に「Ｒ」「Ｇ」「Ｂ」「Ｗ」と記載することにする。なお、本実施形態にかかる固体撮像装置４１２は、隔壁部以外の構造については上述した第１の実施形態にかかる固体撮像装置１２と同様であるため、詳細な説明は省略する。
【０１０７】
［青隔壁部］
図１４（ａ）に示す例では、隣接して設けられた白カラーフィルタ４１８Ｗと緑カラーフィルタ４１８Ｇの間に沿って延びる境界部４６０に沿って、この境界部４６０を挟んで隣接しないカラーフィルタと同色の色材を含有する隔壁部、すなわち青カラーフィルタ４１８Ｂと同色の色材を含有する青隔壁部４５０Ｂが形成されている。より具体的には、境界部４６０に沿って、青カラーフィルタ４１８Ｂと同じ色材を含有する青隔壁部４５０Ｂが形成されている。
【０１０８】
白カラーフィルタ４１８Ｗと緑カラーフィルタ４１８Ｇの境界部４６０に沿って青隔壁部４５０Ｂを設けることにより、分光特性が互いに類似する白カラーフィルタ４１８Ｗと緑カラーフィルタ４１８Ｇの間でのクロストークが回避される（青隔壁部の場合、特に５５０ｎｍより長波長光でのクロストーク）。また、青隔壁部４５０Ｂを青カラーフィルタ４１８Ｂと同じ色材で形成することにより、隔壁部を形成する工程を追加することによる製造コストの増加を抑制できる。
【０１０９】
なお、青隔壁部４５０Ｂは、色材以外の材料についても、青カラーフィルタ４１８Ｂと同じ材料としてもよく、例えば、母材を青カラーフィルタ４１８Ｂと共通としてもよい。また、青隔壁部４５０Ｂは、母材に対する色材の含有率を青カラーフィルタ４１８Ｂと略一致させてもよいし、当該含有率を青カラーフィルタ４１８Ｂと相違させてもよく、例えば、当該含有率を青カラーフィルタ４１８Ｂより高くしてもよい。
【０１１０】
同図において、青隔壁部４５０Ｂは、青カラーフィルタ４１８Ｂに隣接する側を除いて、白カラーフィルタ４１８Ｗを囲繞するように形成されている。本実施形態において、白カラーフィルタ４１８Ｗは、２次元マトリクス状に配列された複数のカラーフィルタにおいて市松状に縦横１つ置きに形成されているため、結果として、青カラーフィルタ４１８Ｂの周囲を除く全ての境界部４６０に青隔壁部４５０Ｂが形成されることになる。
【０１１１】
また、青隔壁部４５０Ｂが形成される境界部４６０では、青隔壁部４５０Ｂがある程度の幅を持って形成されるため、当該境界部４６０に形成される青隔壁部４５０Ｂを挟んで両側に形成されるカラーフィルタの形成領域は、その分浸食されて狭く形成される。図１４（ａ）に示す例では、赤カラーフィルタ４１８Ｒと緑カラーフィルタ４１８Ｇの形成領域は四方全てが青隔壁部４５０Ｂに浸食されて狭くなり、白カラーフィルタ４１８Ｗの形成領域は青カラーフィルタ４１８Ｂに隣接する側を除いて青隔壁部４５０Ｂに浸食されて狭くなる。
【０１１２】
むろん、青カラーフィルタ４１８Ｂに隣接する側の境界部４６０についても、青隔壁部４５０Ｂが形成される場合と同様の浸食部を設けて白カラーフィルタ４１８Ｗの形成領域を、赤カラーフィルタ４１８Ｒや緑カラーフィルタ４１８Ｇと同等にしてもよい。
【０１１３】
［赤隔壁部］
図１４（ｂ）に示す例では、隣接して設けられた白カラーフィルタ４１８Ｗと緑カラーフィルタ４１８Ｇの間に沿って延びる境界部４６０に沿って、この境界部４６０を挟んで隣接しないカラーフィルタと同色の色材を含有する隔壁部、すなわち赤カラーフィルタ４１８Ｒと同色の色材を含有する赤隔壁部４５０Ｒが形成されている。より具体的には、境界部４６０に沿って、赤カラーフィルタ４１８Ｒと同じ色材を含有する赤隔壁部４５０Ｒが形成されている。
【０１１４】
白カラーフィルタ４１８Ｗと緑カラーフィルタ４１８Ｇの境界部４６０に沿って赤隔壁部４５０Ｒを設けることにより、分光特性が互いに類似する白カラーフィルタ４１８Ｗと緑カラーフィルタ４１８Ｇの間でのクロストークが回避される（赤隔壁部の場合、特に５５０ｎｍより短波長光でのクロストーク）。また、赤隔壁部４５０Ｒを赤カラーフィルタ４１８Ｒと同じ色材で形成することにより、隔壁部を形成する工程を追加することによる製造コストの増加を抑制できる。
【０１１５】
なお、赤隔壁部４５０Ｒは、色材以外の材料についても、赤カラーフィルタ４１８Ｒと同じ材料としてもよく、例えば、母材を赤カラーフィルタ４１８Ｒと共通としてもよい。また、赤隔壁部４５０Ｒは、母材に対する色材の含有率を赤カラーフィルタ４１８Ｒと略一致させてもよいし、当該含有率を赤カラーフィルタ４１８Ｒと相違させてもよく、例えば、当該含有率を赤カラーフィルタ４１８Ｒより高くしてもよい。
【０１１６】
同図において、赤隔壁部４５０Ｒは、赤カラーフィルタ４１８Ｒに隣接する側を除いて、白カラーフィルタ４１８Ｗを囲繞するように形成されている。本実施形態において、白カラーフィルタ４１８Ｗは、２次元マトリクス状に配列された複数のカラーフィルタにおいて市松状に縦横１つ置きに形成されているため、結果として、赤カラーフィルタ４１８Ｒの周囲を除く全ての境界部４６０に赤隔壁部４５０Ｒが形成されることになる。
【０１１７】
また、赤隔壁部４５０Ｒが形成される境界部４６０では、赤隔壁部４５０Ｒがある程度の幅を持って形成されるため、当該境界部４６０に形成される赤隔壁部４５０Ｒを挟んで両側に形成されるカラーフィルタの形成領域は、その分浸食されて狭く形成される。図１４（ｂ）に示す例では、赤カラーフィルタ４１８Ｒと緑カラーフィルタ４１８Ｇの形成領域は四方全てが赤隔壁部４５０Ｒに浸食されて狭くなり、白カラーフィルタ４１８Ｗの形成領域は赤カラーフィルタ４１８Ｒに隣接する側を除いて赤隔壁部４５０Ｒに浸食されて狭くなる。
【０１１８】
むろん、赤カラーフィルタ４１８Ｒに隣接する側の境界部４６０についても、赤隔壁部４５０Ｒが形成される場合と同様の浸食部を設けて白カラーフィルタ４１８Ｗの形成領域を、赤カラーフィルタ４１８Ｒや緑カラーフィルタ４１８Ｇと同等にしてもよい。
【０１１９】
以上説明した青隔壁部４５０Ｂや赤隔壁部４５０Ｒ等の隔壁部４５０を形成することにより、製造コストの増加を抑制しつつ、カラーフィルタにおけるクロストーク、及び、これによる画素毎の感度のバラツキを防止することができる。特に、画角内で像高が高い箇所ではクロストークが生じやすいため有効である。
【０１２０】
（Ｃ）第３の実施形態：
図１５は、本実施形態にかかる固体撮像装置５１２の構成を説明する図である。同図には、固体撮像装置５１２のカラーフィルタ層５１８を平面的に見て、カラーフィルタと隔壁部の位置関係を示してある。図中、５１８Ｒ、５１８Ｇ、５１８Ｂは、単に「Ｒ」「Ｇ」「Ｂ」と記載することにする。なお、本実施形態にかかる固体撮像装置５１２は、カラーフィルタ以外の構造については上述した第１の実施形態にかかる固体撮像装置１２と同様であるため、詳細な説明は省略する。
【０１２１】
本実施形態に係るカラーフィルタ層５１８は、画素配列が、いわゆる「クリアビット」配列となっている。具体的には、水平方向ｘと垂直方向ｙとのそれぞれに対して４５°の角度で傾斜した第１および第２の傾斜方向ｋ１，ｋ２のそれぞれに、複数の画素Ｐが配列されている。
【０１２２】
そして、赤カラーフィルタ５１８Ｒと青カラーフィルタ５１８Ｂとが、第１および第２の傾斜方向ｋ１，ｋ２のそれぞれにおいて、１つの緑カラーフィルタ５１８Ｇを介して隣り合うように配置されている。これと共に、赤カラーフィルタ５１８Ｒが水平方向ｘと垂直方向ｙとのそれぞれにおいて１つの緑カラーフィルタ５１８Ｇを介して隣り合うように配置され、同様に、青カラーフィルタ５１８Ｂ水平方向ｘと垂直方向ｙとのそれぞれにおいて１つの緑カラーフィルタ５１８Ｇを介して隣り合うように配置されている。
【０１２３】
これにより、図１５に示すように、緑カラーフィルタ５１８Ｇは、撮像面（ｘｙ面）において、第１および第２の傾斜方向ｋ１，ｋ２のそれぞれに延在する部分を含むように形成される。そして、緑カラーフィルタ５１８Ｇは、撮像面（ｘｙ面）において、赤カラーフィルタ５１８Ｒと青カラーフィルタ５１８Ｂとのそれぞれの周辺を囲うように形成される。
【０１２４】
［青隔壁部］
図１６（ａ）に示す例では、隣接して設けられた緑カラーフィルタ５１８Ｇの間に沿って延びる境界部５６０に沿って、この境界部５６０を挟んで隣接しないカラーフィルタと同じ色材を含有する隔壁部、すなわち青カラーフィルタ５１８Ｂと同色の色材を含有する青隔壁部５５０Ｂが形成されている。より具体的には、境界部５６０に沿って、青カラーフィルタ５１８Ｂと同じ色材を含有する青隔壁部５５０Ｂが形成されている。
【０１２５】
隣接する緑カラーフィルタ５１８Ｇの境界部５６０に沿って青隔壁部５５０Ｂを設けることにより、分光特性が同一の緑カラーフィルタ５１８Ｇの間でのクロストーク（青隔壁部の場合、特に５５０ｎｍより長波長光でのクロストーク）が回避される。また、青隔壁部５５０Ｂを青カラーフィルタ５１８Ｂと同じ色材で形成することにより、隔壁部を形成する工程を追加することによる製造コストの増加を抑制できる。
【０１２６】
なお、青隔壁部５５０Ｂは、色材以外の材料についても、青カラーフィルタ５１８Ｂと同じ材料としてもよく、例えば、母材を青カラーフィルタ５１８Ｂと共通としてもよい。また、青隔壁部５５０Ｂは、母材に対する色材の含有率を青カラーフィルタ５１８Ｂと略一致させてもよいし、当該含有率を青カラーフィルタ５１８Ｂと相違させてもよく、例えば、当該含有率を青カラーフィルタ５１８Ｂより高くしてもよい。
【０１２７】
また、青隔壁部５５０Ｂが形成される境界部５６０では、青隔壁部５５０Ｂがある程度の幅を持って形成されるため、当該境界部５６０に形成される青隔壁部５５０Ｂを挟んで両側に形成される緑カラーフィルタ５１８Ｇの形成領域は、その分浸食されて狭く形成される。
【０１２８】
むろん、青カラーフィルタ５１８Ｂに隣接する側の境界部５６０についても、青隔壁部５５０Ｂが形成される場合と同様の浸食部を設けて緑カラーフィルタ５１８Ｇの形成領域を、赤カラーフィルタ５１８Ｒや緑カラーフィルタ５１８Ｇと同等サイズに調整してもよい。また、赤カラーフィルタ５１８Ｒと緑カラーフィルタ５１８Ｇの境界についても青隔壁部５５０Ｂを形成し、上述した青隔壁部５５０Ｂで囲繞される緑カラーフィルタ５１８Ｇと同様に、互いに隣接する赤カラーフィルタ５１８Ｒと緑カラーフィルタ５１８Ｇの形成領域が青隔壁部５５０Ｂによって浸食されるように調整してもよい。
【０１２９】
［赤隔壁部］
図１６（ｂ）に示す例では、隣接して設けられた緑カラーフィルタ５１８Ｇの間に沿って延びる境界部５６０に沿って、この境界部５６０を挟んで隣接しないカラーフィルタと同色の色材を含有する隔壁部、すなわち赤カラーフィルタ５１８Ｒと同色の色材を含有する赤隔壁部５５０Ｒが形成されている。より具体的には、境界部５６０に沿って、赤カラーフィルタ５１８Ｒ同じ色材を含有する赤隔壁部５５０Ｒが形成されている。
【０１３０】
隣接する緑カラーフィルタ５１８Ｇの境界部５６０に沿って赤隔壁部５５０Ｒを設けることにより、分光特性が同一の緑カラーフィルタ５１８Ｇの間でのクロストークが回避される（赤隔壁部の場合、特に５５０ｎｍより短波長光でのクロストーク）。また、赤隔壁部５５０Ｒを赤カラーフィルタ５１８Ｒと同じ色材で形成することにより、隔壁部を形成する工程を追加することによる製造コストの増加を抑制できる。
【０１３１】
なお、赤隔壁部５５０Ｒは、色材以外の材料についても、赤カラーフィルタ５１８Ｒと同じ材料としてもよく、例えば、母材を赤カラーフィルタ５１８Ｒと共通としてもよい。また、赤隔壁部５５０Ｒは、母材に対する色材の含有率を赤カラーフィルタ５１８Ｒと略一致させてもよいし、当該含有率を赤カラーフィルタ５１８Ｒと相違させてもよく、例えば、当該含有率を赤カラーフィルタ５１８Ｒより高くしてもよい。
【０１３２】
また、赤隔壁部５５０Ｒが形成される境界部５６０では、赤隔壁部５５０Ｒがある程度の幅を持って形成されるため、当該境界部５６０に形成される赤隔壁部５５０Ｒを挟んで両側に形成される緑カラーフィルタ５１８Ｇの形成領域は、その分浸食されて狭く形成される。
【０１３３】
むろん、赤カラーフィルタ５１８Ｒに隣接する側の境界部５６０についても、赤隔壁部５５０Ｒが形成される場合と同様の浸食部を設けて緑カラーフィルタ５１８Ｇの形成領域を、赤カラーフィルタ５１８Ｒや緑カラーフィルタ５１８Ｇと同等サイズに調整してもよい。また、赤カラーフィルタ５１８Ｒと緑カラーフィルタ５１８Ｇの境界についても赤隔壁部５５０Ｒを形成し、上述した赤隔壁部５５０Ｒで囲繞される緑カラーフィルタ５１８Ｇと同様に、互いに隣接する赤カラーフィルタ５１８Ｒと緑カラーフィルタ５１８Ｇの形成領域が赤隔壁部５５０Ｒによって浸食されるように調整してもよい。
【０１３４】
以上説明した青隔壁部５５０Ｂや赤隔壁部５５０Ｒ等の隔壁部５５０を形成することにより、製造コストの増加を抑制しつつ、カラーフィルタにおけるクロストーク、及び、これによる画素毎の感度のバラツキを防止することができる。特に、画角内で像高が高い箇所ではクロストークが生じやすいため有効である。
【０１３５】
（Ｄ）第４の実施形態：
図１７は、本実施形態にかかる固体撮像装置６１２の構成を説明する図である。同図には、固体撮像装置６１２のカラーフィルタ層６１８を平面的に見て、カラーフィルタと隔壁部の位置関係を示してある。図中、６１８Ｒ、６１８Ｇ、６１８Ｂは、単に「Ｒ」「Ｇ」「Ｂ」と記載することにする。なお、本実施形態にかかる固体撮像装置６１２は、隔壁部以外の構成については上述した第３の実施形態にかかる固体撮像装置５１２と同様であるため、詳細な説明は省略する。
【０１３６】
［青周囲の赤隔壁部］
図１７に示す例では、赤カラーフィルタ６１８Ｒとこれに隣接して設けられた緑カラーフィルタ６１８Ｇとの間に沿って延びる境界部６６０に沿って、この境界部６６０を挟んで隣接しないカラーフィルタと同色の色材を含有する隔壁部、すなわち青カラーフィルタ６１８Ｂと同色の色材を含有する青隔壁部６５０Ｂが形成されている。より具体的には、境界部６６０に沿って、青カラーフィルタ６１８Ｂと同じ色材を含有する青隔壁部６５０Ｂが形成されている。
【０１３７】
このように赤カラーフィルタ６１８Ｒの周囲の境界部６６０に沿って青隔壁部６５０Ｂを設けることにより、赤カラーフィルタ６１８Ｒと緑カラーフィルタ６１８Ｇの間でのクロストークが回避される（青隔壁部の場合、特に５５０ｎｍより長波長光でのクロストーク）。また、青隔壁部６５０Ｂを青カラーフィルタ６１８Ｂと同じ色材で形成することにより、隔壁部を形成する工程を追加することによる製造コストの増加を抑制できる。
【０１３８】
一方、青カラーフィルタ６１８Ｂとこれに隣接して設けられた緑カラーフィルタ６１８Ｇとの間に沿って延びる境界部６６０に沿って、この境界部６６０を挟んで隣接しないカラーフィルタと同じ色材を含有する隔壁部、すなわち赤カラーフィルタ６１８Ｒと同じ色材を含有する赤隔壁部６５０Ｒが形成されている。より具体的には、境界部６６０に沿って、赤カラーフィルタ６１８Ｒと同じ色材を含有する赤隔壁部６５０Ｒが形成されている。
【０１３９】
このように青カラーフィルタ６１８Ｂの周囲の境界部６６０に沿って赤隔壁部６５０Ｒを設けることにより、青カラーフィルタ６１８Ｂと緑カラーフィルタ６１８Ｇの間でのクロストークが回避される（赤隔壁部の場合、特に５５０ｎｍより短波長光でのクロストーク）。また、赤隔壁部６５０Ｒを赤カラーフィルタ６１８Ｒと同じ色材で形成することにより、隔壁部を形成する工程を追加することによる製造コストの増加を抑制できる。
【０１４０】
なお、青隔壁部６５０Ｂや赤隔壁部６５０Ｒは、色材以外の材料についても、青カラーフィルタ６１８Ｂや赤カラーフィルタ６１８Ｒと同じ材料としてもよく、例えば、母材を青カラーフィルタ６１８Ｂや赤カラーフィルタ６１８Ｒと共通としてもよい。また、これら隔壁部は、母材に対する色材の含有率を各カラーフィルタと略一致させてもよいし、当該含有率を各カラーフィルタと相違させてもよく、例えば、当該含有率を各カラーフィルタより高くしてもよい。
【０１４１】
また、青隔壁部６５０Ｂや赤隔壁部６５０Ｒが形成される境界部６６０では、これら隔壁部がある程度の幅を持って形成されるため、当該境界部６６０に形成される隔壁部を挟んで両側に形成されるカラーフィルタの形成領域は、その分浸食されて狭く形成される。
【０１４２】
むろん、その他の境界部６６０についても隔壁部を形成して、その他のカラーフィルタの形成領域についても、赤カラーフィルタ６１８Ｒや青カラーフィルタ６１８Ｂと同等サイズに調整してもよい。
【０１４３】
以上説明した青隔壁部６５０Ｂや赤隔壁部６５０Ｒ等の隔壁部６５０を形成することにより、製造コストの増加を抑制しつつ、カラーフィルタにおけるクロストーク、及び、これによる画素毎の感度のバラツキを防止することができる。特に、画角内で像高が高い箇所ではクロストークが生じやすいため有効である。
【０１４４】
（Ｅ）第５の実施形態：
図１８は、本実施形態にかかる固体撮像装置７１２の構成を説明する図である。同図には、固体撮像装置７１２のカラーフィルタ層７１８を平面的に見て、カラーフィルタと隔壁部の位置関係を示してある。図中、７１８Ｒ、７１８Ｇ、７１８Ｂは、単に「Ｒ」「Ｇ」「Ｂ」と記載することにする。なお、本実施形態にかかる固体撮像装置７１２は、カラーフィルタ以外の構造については上述した第１の実施形態にかかる固体撮像装置１２と同様であるため、詳細な説明は省略する。
【０１４５】
本実施形態に係るカラーフィルタ層７１８は、画素配列が、いわゆる「ベイヤ」配列となっている。具体的には、緑カラーフィルタ７１８Ｇが垂直方向及び水平方向ともに１画素飛ばしで（２画素毎繰り返しで）配置されたいわゆる市松状配置とされ、赤カラーフィルタ７１８Ｒ及び青カラーフィルタ７１８Ｂが、垂直方向には線順次で、水平方向には１画素飛ばしで（２画素毎繰り返しで）配置されている。
【０１４６】
［隔壁部］
図１９（ａ）に示す例では、赤カラーフィルタ７１８Ｒとこれに隣接して設けられた緑カラーフィルタ７１８Ｇとの間に沿って延びる境界部７６０に沿って、この境界部７６０を挟んで隣接しないカラーフィルタと同色の色材を含有する隔壁部、すなわち青カラーフィルタ７１８Ｂと同色の色材を含有する青隔壁部７５０Ｂが形成されている。より具体的には、境界部７６０に沿って、青カラーフィルタ７１８Ｂと同じ色材を含有する青隔壁部７５０Ｂが形成されている。
【０１４７】
このように赤カラーフィルタ７１８Ｒの周囲の境界部７６０に沿って青隔壁部７５０Ｂを設けることにより、赤カラーフィルタ７１８Ｒと緑カラーフィルタ７１８Ｇの間でのクロストークが回避される（青隔壁部の場合、特に５５０ｎｍより長波長光でのクロストーク）。また、青隔壁部７５０Ｂを青カラーフィルタ７１８Ｂと同じ色材で形成することにより、隔壁部を形成する工程を追加することによる製造コストの増加を抑制できる。
【０１４８】
一方、図１９（ｂ）に示す例では、青カラーフィルタ７１８Ｂとこれに隣接して設けられた緑カラーフィルタ７１８Ｇとの間に沿って延びる境界部７６０に沿って、この境界部７６０を挟んで隣接しないカラーフィルタと同じ色材を含有する隔壁部、すなわち赤カラーフィルタ７１８Ｒと同じ色材を含有する赤隔壁部７５０Ｒが形成されている。より具体的には、境界部７６０に沿って、赤カラーフィルタ７１８Ｒと同じ色材を含有する赤隔壁部７５０Ｒが形成されている。
【０１４９】
このように青カラーフィルタ７１８Ｂの周囲の境界部７６０に沿って赤隔壁部７５０Ｒを設けることにより、青カラーフィルタ７１８Ｂと緑カラーフィルタ７１８Ｇの間でのクロストークが回避される（赤隔壁部の場合、特に５５０ｎｍより短波長光でのクロストーク）。また、赤隔壁部７５０Ｒを赤カラーフィルタ７１８Ｒと同じ色材で形成することにより、隔壁部を形成する工程を追加することによる製造コストの増加を抑制できる。
【０１５０】
なお、青隔壁部７５０Ｂや赤隔壁部７５０Ｒは、色材以外の材料についても、青カラーフィルタ７１８Ｂや赤カラーフィルタ７１８Ｒと同じ材料としてもよく、例えば、母材を青カラーフィルタ７１８Ｂや赤カラーフィルタ７１８Ｒと共通としてもよい。また、これら隔壁部は、母材に対する色材の含有率を各カラーフィルタと略一致させてもよいし、当該含有率を各カラーフィルタと相違させてもよく、例えば、当該含有率を各カラーフィルタより高くしてもよい。
【０１５１】
また、青隔壁部７５０Ｂや赤隔壁部７５０Ｒが形成される境界部７６０では、これら隔壁部がある程度の幅を持って形成されるため、当該境界部７６０に形成される隔壁部を挟んで両側に形成されるカラーフィルタの形成領域は、その分浸食されて狭く形成される。
【０１５２】
むろん、その他の境界部７６０についても隔壁部を形成して、その他のカラーフィルタの形成領域についても、赤カラーフィルタ７１８Ｒや青カラーフィルタ７１８Ｂと同等サイズに調整してもよい。
【０１５３】
以上説明した青隔壁部７５０Ｂや赤隔壁部７５０Ｒ等の隔壁部７５０を形成することにより、製造コストの増加を抑制しつつ、カラーフィルタにおけるクロストーク、及び、これによる画素毎の感度のバラツキを防止することができる。特に、画角内で像高が高い箇所ではクロストークが生じやすいため有効である。また、画角内で像高が高い箇所で、青画素の間に設けられる緑画素の出力と赤画素の間に形成される緑画素の出力との間で出力差を生じにくくなる。
【０１５４】
なお、本技術は上述した実施形態や変形例に限られず、上述した実施形態および変形例の中で開示した各構成を相互に置換したり組み合わせを変更したりした構成、公知技術並びに上述した実施形態および変形例の中で開示した各構成を相互に置換したり組み合わせを変更したりした構成、等も含まれる。また，本技術の技術的範囲は上述した実施形態に限定されず，特許請求の範囲に記載された事項とその均等物まで及ぶものである。
【０１５５】
そして、本技術は、以下のような構成を取ることができる。
【０１５６】
（１）
受光面にて入射光を受光して信号電荷を生成する複数の光電変換部と、
前記複数の光電変換部のそれぞれに対応して１つずつ設けられた少なくとも３色のカラーフィルタと、
互いに隣接する前記カラーフィルタの間に、これらカラーフィルタと異なる色のカラーフィルタのいずれかと同色の色材を含有して形成された隔壁部と、
を備えることを特徴とする固体撮像装置。
【０１５７】
（２）
前記隔壁部が含有する色材は、前記異なる色のカラーフィルタと同じ色材である
前記（１）に記載の固体撮像装置。
【０１５８】
（３）
前記カラーフィルタと前記光電変換部との間には、複数の前記光電変換部の境界に沿うように遮光膜が形成されており、
前記境界と直交する方向において前記隔壁は前記遮光膜より幅狭に形成されている
前記（１）又は前記（２）に記載の固体撮像装置。
【０１５９】
（４）
前記隔壁は、少なくとも１色の前記カラーフィルタをそれぞれ囲繞するように形成される
前記（１）〜前記（３）の何れか１つに記載の固体撮像装置。
【０１６０】
（５）
前記カラーフィルタは、少なくとも緑カラーフィルタ、白カラーフィルタ、及びこれらと異色のカラーフィルタを含んで構成され、
前記隔壁は、前記緑カラーフィルタと白カラーフィルタの境界に沿って前記異色の色材を含有して形成される
前記（１）〜前記（４）の何れか１つに記載の固体撮像装置。
【０１６１】
（６）
前記カラーフィルタは、少なくとも緑カラーフィルタ、及びこれと異色のカラーフィルタを含んで構成され、
前記隔壁は、隣接して設けられる前記緑カラーフィルタの境界に沿って、前記異色の色材を含有して形成される
前記（１）〜前記（４）の何れか１つに記載の固体撮像装置。
【０１６２】
（７）
前記カラーフィルタは、少なくとも緑カラーフィルタ、並びに、これと異色且つ互いに異色の第１カラーフィルタ及び第２カラーフィルタ、を含んで構成され、
前記隔壁は、前記緑カラーフィルタと第１カラーフィルタの境界に沿って前記第１カラーフィルタと同色の色材を含有して形成される
前記（１）〜前記（４）の何れか１つ又は前記（６）に記載の固体撮像装置。
【０１６３】
（８）
前記カラーフィルタは、少なくとも赤カラーフィルタ、緑カラーフィルタ、及び青カラーフィルタを含んで構成され、
前記隔壁は、前記緑カラーフィルタと青カラーフィルタの境界に沿って赤色材を含有して形成される
前記（１）〜前記（４）の何れか１つに記載の固体撮像装置。
【０１６４】
（９）
前記カラーフィルタは、少なくとも赤カラーフィルタ、緑カラーフィルタ、及び青カラーフィルタを含んで構成され、
前記隔壁は、前記緑カラーフィルタと赤カラーフィルタの境界に沿って青色材を含有して形成される
前記（１）〜前記（４）の何れか１つ又は前記（８）に記載の固体撮像装置。
【０１６５】
（１０）
固体撮像装置と、
前記固体撮像装置に入射光を導く光学系と、
前記固体撮像装置の出力信号を処理する信号処理回路と、を備え、
前記固体撮像装置は、
受光面にて入射光を受光して信号電荷を生成する複数の光電変換部と、
前記複数の光電変換部のそれぞれに対応して１つずつ設けられた少なくとも３色のカラーフィルタと、
互いに隣接する前記カラーフィルタの間に、これらカラーフィルタと異なる色のカラーフィルタのいずれかと同色の色材を含有して形成された隔壁部と、
を備えることを特徴とする電子機器。
【０１６６】
（１１）
受光面にて入射光を受光して信号電荷を生成する光電変換部を半導体基板に形成する第１工程と、
前記入射光を着色して前記受光面へ透過する少なくとも３色のカラーフィルタを、前記複数の光電変換部に対応させて、前記光電変換部それぞれの受光面上方に設ける第２工程と、
隣りあって設けられる前記カラーフィルタの間に、これら隣り合って設けられるカラーフィルタと異なる色のカラーフィルタのいずれかと同色の色材を含有する隔壁を形成する第３工程と、
を含んで構成される、固体撮像装置の製造方法。
【０１６７】
（１２）
前記隔壁を形成するための前記第３工程は、前記３色のカラーフィルタのうち、前記隔壁と同色の色材を含有するカラーフィルタの形成工程と同工程として行われる
前記（１１）に記載の固体撮像装置の製造方法。
【符号の説明】
【０１６８】
１２…固体撮像装置、２００…半導体基板、２００Ａ…基板表面、２００Ｂ…基板裏面、２１０…画素領域、２１１…単位画素、２１２…ゲート電極、２１３…素子分離領域、２１４…配線、２１５…層間絶縁膜、２１６…多層配線層、２１７…平坦化膜、２１８…カラーフィルタ層、２１８Ｂ…青カラーフィルタ、２１８Ｇ…緑カラーフィルタ、２１８Ｒ…赤カラーフィルタ、２１９…マイクロレンズ、２２０…遮光膜、２２１…層間絶縁膜、２５０…隔壁部、２５０Ｂ…青隔壁部、２５０Ｒ…赤隔壁部、２６０…境界部、４１２…固体撮像装置、４１８…カラーフィルタ層、４１８Ｂ…青カラーフィルタ、４１８Ｇ…緑カラーフィルタ、４１８Ｒ…赤カラーフィルタ、４５０Ｂ…青隔壁部、４５０Ｒ…赤隔壁部、４６０…境界部、５１２…固体撮像装置、５１８…カラーフィルタ層、５１８Ｂ…青カラーフィルタ、５１８Ｇ…緑カラーフィルタ、５１８Ｒ…赤カラーフィルタ、５５０Ｂ…青隔壁部、５５０Ｒ…赤隔壁部、５６０…境界部、６１２…固体撮像装置、６１８…カラーフィルタ層、６１８Ｂ…青カラーフィルタ、６１８Ｒ…赤カラーフィルタ、６５０Ｂ…青隔壁部、６５０Ｒ…赤隔壁部、６６０…境界部、７１２…固体撮像装置、７１８…カラーフィルタ層、７１８Ｂ…青カラーフィルタ、７１８Ｇ…緑カラーフィルタ、７１８Ｒ…赤カラーフィルタ、７５０Ｂ…青隔壁部、７５０Ｒ…赤隔壁部、７６０…境界部、Ｂ１…境界部、Ｂ２…境界部、ＣＦ１…第１カラーフィルタ、ＣＦ２…第２カラーフィルタ、ＣＦｎ…隣接カラーフィルタ、ＣＦｔ…対象カラーフィルタ、ＪＳ…受光面、Ｌ１…第１オンチップレンズ、Ｌ２…第２オンチップレンズ、ＰＤ…フォトダイオード、ＰＬ…平坦化膜、ＰＤ１…第１フォトダイオード、ＰＤ２…第２フォトダイオード、Ｐｘ１…第１画素、Ｐｘ２…第２画素、Ｓ…遮光膜、Ｓｕ…上面、Ｗ…隔壁部、Ｗｂ…底面
【図１】
2020150267.tif 000003
【図２】
2020150267.tif 000004
【図３】
2020150267.tif 000005
【図４】
2020150267.tif 000006
【図５】
2020150267.tif 000007
【図６】
2020150267.tif 000008
【図７】
2020150267.tif 000009
【図８】
2020150267.tif 000010
【図９】
2020150267.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2020150267.tif 000013
【図１２】
2020150267.tif 000014
【図１３】
2020150267.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
2020150267.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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