(57)【要約】【課題】基板を投影システム等に対して位置決めする精度を改善するシステム等を提供する。【解決手段】  基板テーブルと別個に形成されたカバープレート、およびカバープレートの温度を制御することによって基板テーブルの温度を安定化させる手段があるリソグラフィ装置を開示する。カバープレートが基板テーブルの熱遮蔽材として作用するように、カバープレートと基板テーブルの間に設けた断熱材があるリソグラフィ装置を開示する。基板テーブルの歪みを測定し、基板テーブルの歪みを参照することによって基板の位置制御を改善する手段を備えるリソグラフィ装置を開示する。【選択図】図１２
2020115237.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を支持するように構成された基板テーブルと、
変調した放射ビームを基板に投影するように構成された投影システムと、
露光中に前記投影システムと基板の間の領域に液体を提供するように構成された液体供給システムと、
物理的に前記基板テーブルから分離し、露光中に前記基板の半径方向外側に位置し、前記基板に実質的に隣接し且つ同一高さにある、前記投影システムに対向する表面を提供するように構成されたカバープレートと、
前記カバープレートの一部の温度を制御することによって、対応するターゲット温度からの前記基板テーブルの一部の温度偏差を減少させるように構成された基板テーブル温度安定化デバイスと、
を含む、リソグラフィ装置。
【請求項２】
前記温度安定化デバイスが、前記カバープレートの一部に熱を入力するように構成された加熱要素、前記カバープレートの一部から熱を抽出するように構成された冷却要素、または前記加熱要素と前記冷却要素の両方を備える、請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項３】
前記温度安定化デバイスが、前記カバープレートに埋め込まれた流路のネットワークと、対応するターゲット温度からの前記基板テーブルの一部の温度偏差を減少させるために、前記流路のネットワーク内の熱交換流体の温度、圧力、または両方を制御するように設けられたコントローラとを備える、請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項４】
前記温度安定化デバイスが、加熱要素と、対応するターゲット温度からの前記基板テーブルの一部の温度偏差を減少させるために、前記加熱要素からの熱出力を制御するように構成されたコントローラとを備える、請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項５】
前記加熱要素が、ターゲット温度の領域で温度により生じた相転移を受ける材料を備え、前記相転移が前記材料を、転移温度より低い比較的高い加熱出力を生成する状態から、転移温度より高い比較的低い加熱出力を生成する状態へと変化させる、請求項４に記載のリソグラフィ装置。
【請求項６】
前記基板テーブル温度安定化デバイスが、相転移を受ける前記材料に電流を通すように設けられ、前記相転移は、前記加熱要素材料を、転移温度より低い比較的小さい抵抗の状態から転移温度より高い比較的大きい抵抗の状態へと変化させるように構成される、請求項５に記載のリソグラフィ装置。
【請求項７】
前記基板テーブル温度安定化デバイスが、相転移を受ける前記材料に変化する磁界を与えるように構成され、前記相転移が、前記加熱要素材料を、転移温度より低い磁気ヒステリシス状態から転移温度より高い非磁気ヒステリシス状態へと変化させるように構成される、請求項５に記載のリソグラフィ装置。
【請求項８】
前記基板テーブル、前記カバープレートまたはそれらの両方の一部の温度を測定するように構成された温度センサをさらに備え、前記基板テーブル温度安定化デバイスが、前記温度センサからの温度読み取り値を使用して、対応するターゲット温度からの前記基板テーブルの一部の温度偏差を減少させるように構成される、請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項９】
前記基板テーブルと前記基板の間に位置し、前記基板を支持するように設けられた基板ホルダをさらに備える、請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１０】
熱伝導性結合媒体が、前記基板テーブルと、前記カバープレート、前記基板ホルダ、またはそれらの両方との間に設けられるように構成される、請求項９に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１１】
前記熱伝導性結合媒体が流体、インジウム、またはそれらの両方である、請求項１０に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１２】
前記基板ホルダがＳｉＳｉＣを含む材料から形成される、請求項９に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１３】
変調した放射ビームを液体に通して基板テーブルに保持された基板に投影すること、および、
カバープレートの一部の温度を制御することによって、対応するターゲット温度からの前記基板テーブルの一部の温度偏差を減少させること、を含み、前記カバープレートは、前記基板テーブルから物理的に分離し、前記変調した放射ビームの投影中に前記基板の半径方向外側にあり、前記基板に実質的に隣接し且つ同一高さにある表面を有する、デバイス製造方法。
【請求項１４】
基板を支持するように構成された基板テーブルと、
変調した放射ビームを基板に投影するように構成された投影システムと、
露光中に前記投影システムと前記基板の間の領域に液体を提供するように構成された液体供給システムと、
物理的に前記基板テーブルから分離し、露光中に前記基板の半径方向外側に位置し、前記基板に実質的に隣接し且つ同一高さにある、前記投影システムに対向する表面を提供するように構成されたカバープレートと、
前記カバープレートからの前記基板テーブルの熱遮蔽を提供するために、前記カバープレートと前記基板テーブルの間の熱伝達を減少させるように構成された断熱材と、
を含む、リソグラフィ装置。
【請求項１５】
前記断熱材が、その上に前記カバープレートが装着された低い熱コンダクタンスの節を備える、請求項１４に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１６】
前記低コンダクタンスの節が、低い熱伝導性、前記カバープレートとの最小の接触領域、前記基板テーブルとの最小の接触領域、またはそのいずれかの組合せを有するように構成される、請求項１５に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１７】
変調した放射ビームを液体に通して基板テーブルに保持された基板に投影すること、および、
カバープレートと前記基板テーブルの間の熱伝達を減少させ、それによって前記カバープレートによる前記基板テーブルの熱遮蔽を可能にするように、前記カバープレートを断熱すること、を含み、前記カバープレートが、前記基板テーブルから物理的に分離し、前記変調した放射ビームの投影中に前記基板の半径方向外側にあり、前記基板に実質的に隣接し且つ同一高さにある表面を有する、デバイス製造方法。
【請求項１８】
基板を支持するように構成された基板テーブルと、
変調した放射ビームを基板に投影するように構成された投影システムと、
前記基板テーブルの一部の位置を求めるように構成された測定システムと、
前記基板テーブルの歪みに関するデータを提供するように構成された基板テーブル歪み測定デバイスと、
前記測定システムで測定した前記基板テーブルの一部の前記位置、および前記基板テーブル歪み測定デバイスによって提供された前記基板テーブルの歪みに関するデータを参照することにより、前記投影システムに対して前記基板の位置を制御するように構成された基板位置コントローラと、を含む、リソグラフィ装置。
【請求項１９】
前記測定システムが、
前記基板の側面に装着された実質的に平面の反射器と、
前記反射器の表面の局所的領域に放射を誘導するように構成された放射源と、
前記反射器の前記局所的領域から反射した放射を捕捉して、そこから前記反射器表面と基準点との間の距離を測定するように構成された放射検出器と、を含み、
前記基板テーブル歪み測定デバイスが、前記基板テーブルの歪みによって生じた前記反射器の表面プロファイルに関するデータを提供する、請求項１８に記載のリソグラフィ装置。
【請求項２０】
前記基板テーブル歪み測定デバイスが、前記基板テーブル、前記反射器、またはそれらの両方の一部に熱で生じた歪みを測定するように構成される、請求項１９に記載のリソグラフィ装置。
【請求項２１】
前記基板テーブル歪み測定デバイスが、複数対の放射源および放射検出器を備え、それぞれが前記反射器表面の異なる部分とそれに対応する基準点との間の距離を測定し、それによって前記反射器の表面プロファイルに関するデータを導出するように構成される、請求項２０に記載のリソグラフィ装置。
【請求項２２】
前記基板テーブル歪み測定デバイスが、予測理論モデルに基づいて前記反射器の前記表面プロファイルを推定するように構成される、請求項１９に記載のリソグラフィ装置。
【請求項２３】
前記基板テーブル歪み測定デバイスが、校正データメモリに記憶されている校正データに基づいて前記表面プロファイルを推定するように構成される、請求項１９に記載のリソグラフィ装置。
【請求項２４】
変調した放射ビームを基板テーブルによって保持された基板に投影すること、
前記基板テーブルの一部の位置を測定すること、および、
前記基板テーブルの前記一部の前記測定位置、および前記基板テーブルの歪みに関するデータを参照することにより、前記変調した放射ビームを投影するために使用される投影システムに対する前記基板の位置を制御すること、
を含む、デバイス製造方法。
【請求項２５】
リソグラフィ装置の基板テーブル反射器の表面プロファイルをマッピングする方法であって、
基板を支持するように構成された基板テーブルの第一側面に装着され、実質的に平面である第一反射器であって、第一軸に平行な垂線を有する第一反射器を提供すること、
前記基板テーブルの第二側面に装着され、実質的に平面である第二反射器であって、前記第一軸に対して平行でない第二軸に平行な垂線を有する第二反射器を提供すること、および、
前記第二反射器の表面から基準フレームの基準点までの垂直距離を測定しながら、前記第一軸に平行に前記基板テーブルを動かすこと、
を含む、マッピング方法。
【請求項２６】
前記第一反射器の表面から基準フレームの基準点への垂直距離を測定しながら、前記第二軸に平行に前記基板テーブルを動かすことをさらに含む、請求項２５に記載のマッピング
方法。
【請求項２７】
第二軸に実質的に平行な方向で反射器の表面から基準点までの距離を測定しながら、第一軸に平行に基板テーブルを動かすことによって、基板テーブルの反射器の表面プロファイルをマッピングし、前記第二軸が前記第一軸に対して実質的に直交すること、
変調した放射ビームを基板に投影すること、および、
前記基板の異なったターゲット領域を露光するために変調した放射ビームを投影するのに使用される投影システムに対して基板を動かすこと、を含み、前記位置が、基準点からの前記基板テーブル反射器の距離の測定値、および前記基板テーブル反射器の前記表面プロファイルを参照することにより求められるものであるデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
[0001]  本発明はリソグラフィ装置およびデバイス製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
[0002]  リソグラフィ装置は、所望のパターンを基板に、通常は基板のターゲット部分に適用する機械である。リソグラフィ装置は例えば、集積回路（ＩＣ）の製造に使用可能である。このような場合、代替的にマスクまたはレチクルとも呼ばれるパターニングデバイスを使用して、ＩＣの個々の層上に形成すべき回路パターンを生成することができる。このパターンを、基板（例えばシリコンウェーハ）上のターゲット部分（例えば１つまたは幾つかのダイの一部を含む）に転写することができる。パターンの転写は通常、基板に設けた放射感応性材料（レジスト）の層への結像により行われる。一般的に、１枚の基板は、順次パターン化される網の目状の互いに近接したターゲット部分を含んでいる。従来のリソグラフィ装置は、パターン全体をターゲット部分に１回で露光することによって各ターゲット部分が照射される、いわゆるステッパと、基板を所定の方向（「スキャン」方向）と平行あるいは逆平行にスキャンしながら、パターンを所定の方向（「スキャン」方向）に放射ビームでスキャンすることにより、各ターゲット部分が照射される、いわゆるスキャナとを含んでいる。パターンを基板にインプリントすることによっても、パターニングデバイスから基板へとパターンを転写することが可能である。
【０００３】
[0003]  投影システムの最終要素と基板の間の空間を充填するように、リソグラフィ投影装置内の基板を水などの比較的高い屈折率を有する液に液浸することが提案されている。その要点は、より小さい形体を結像可能にすることである。というのは、露光放射が液体中の方が短い波長を有するからである。（液体の効果は、システムの有効ＮＡを増加させ、焦点深さも増大させることとみなすこともできる。）自身内に固体粒子（例えばクォーツ）が浮遊した水など、他の液浸液も提案されている。
【０００４】
[0004]  しかし、基板を、または基板と基板テーブルを液体の浴に浸すこと（例えば参照により全体が本明細書に組み込まれる米国特許第ＵＳ４，５０９，８５２号参照）は、スキャン露光中に加速すべき大きい塊の液体があることでもある。これには、追加のモータまたはさらに強力なモータが必要であり、液体中の乱流が望ましくない予測不能な効果を引き起こすことがある。
【０００５】
[0005]  提案されている解決法の１つは、液体供給システムが基板の局所的な領域のみ、および投影システムの最終要素と基板の間に液体封じ込めシステムを使用して液体を提供することである（基板は通常、投影システムの最終要素より大きい表面積を有する）。こ構成を達成するように提案されている１つの方法が、参照により全体が本明細書に組み込まれているＰＣＴ特許出願第ＷＯ９９／４９５０４号で開示されている。図２および図３に示すように、液体は少なくとも１つの入口ＩＮによって基板上に、好ましくは最終要素に対する基板の動作の方向に沿って供給され、投影システムの下を通過した後に少なくとも１つの出口ＯＵＴによって除去される。つまり、基板がＸ方向にて最終要素の下でスキャンされると、液体が最終要素の＋Ｘ側にて供給され、−Ｘ側にて取り上げられる。図２は、液体が入口ＩＮを介して供給され、低圧ソースに接続された出口ＯＵＴによって要素の他方側で取り上げられる配置構成を概略的に示したものである。図２の図では、液体が最終要素に対する基板の動作方向に沿って供給されるが、こうである必要はない。最終要素の周囲に位置決めされた入口および出口の様々な方向および数が可能であり、一例が図３に図示され、ここでは各側に４組の入口と出口が、最終要素の周囲の規則的パターンで設けられる。
【０００６】
[0006]  局所的な液体供給システムがあるさらなる液浸リソグラフィの解決法が、図４に図示されている。液体は、投影システムＰＬのいずれかの側にある２つの溝入口ＩＮによって供給され、入口ＩＮの半径方向外側に配置構成された複数の別個の出口ＯＵＴによって除去される。入口ＩＮおよびＯＵＴは、中心に穴がある板に配置することができ、投影ビームがこの穴を通して投影される。液体は、投影システムＰＬの一方側にある１つの溝入口ＩＮによって供給され、投影システムＰＬの他方側にある複数の別個の出口ＯＵＴによって除去され、それによって投影システムＰＬと基板Ｗの間に薄膜状の液体の流れが引き起こされる。入口ＩＮと出口ＯＵＴのどの組合せを選択するかは、基板Ｗの動作方向によって（入口ＩＮと出口ＯＵＴの他の組合せが作動していない状態で）決定することができる。
【０００７】
[0007]  提案されている別の解決法は、投影システムの最終要素と基板テーブルの間にある空間の境界の少なくとも一部に沿って延在するバリア部材を液体供給システムに設けることである。バリア部材は、ＸＹ面で投影システムに対して実質的に静止しているが、Ｚ方向（光軸の方向）では多少相対的な運動があってよい。バリア部材と基板の表面に間にシールが形成される。ある実施形態では、シールはガスシールなどの非接触シールである。ガスシールがあるこのようなシステムは、参照により全体が本明細書に組み込まれる米国特許出願公報第ＵＳ２００４−０２０７８２４号で開示されている。
【０００８】
[0008]  それぞれ参照により全体が本明細書に組み込まれる欧州特許出願公報第ＥＰ１４２０３００号および米国特許出願公報第ＵＳ２００４−０１３６４９４号では、ツインまたはデュアルステージ液浸リソグラフィ装置の概念が開示されている。このような装置には、基板を支持する２つのテーブルが設けられている。第一位置で、液浸液のない状態でテーブルにてレベリング測定を実行し、液浸液が存在する第二位置で、テーブルを使用して露光を実行する。あるは、装置は、露光位置と測定位置の間で動作可能な１つのテーブルのみを有してもよい。
【０００９】
[0009]  基板Ｗは、これを支持する基板テーブルＷＴを動作させることにより、ＸＹ面で変位することができる。基板テーブルＷＴの、したがって基板Ｗの相対位置は、基板テーブルＷＴの側面に装着した１つまたは複数のミラーによって測定することができる。例えば、１つまたは複数の干渉計を設けて、これらのミラーの表面上にある点から基準フレームにある対応する点または軸線への実質的に垂直の距離を測定することができる。基板テーブルＷＴの歪みはこれらのミラーを変形させることがあり、したがって投影システムＰＳに対して基板Ｗを移動かつ／または位置決めする精度を低下させ、これは基板Ｗ上に形成されるパターンの品質に悪影響を及ぼすことがある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
[0010]  例えば、基板を例えば投影システムなどに対して位置決めすることができる精度を改善するシステムなどを提供することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
[0011]  本発明の一態様によれば、基板を支持するように構成された基板テーブルと、変調した放射ビームを基板に投影するように構成された投影システムと、露光中に投影システムと基板の間の領域に液体を提供するように構成された液体供給システムと、物理的に基板テーブルから分離し、露光中に基板の半径方向外側に位置し、基板に実質的に隣接し且つ同一高さにある、投影システムに対向する表面を提供するように構成されたカバープレートと、カバープレートの一部の温度を制御することによって、対応するターゲット温度からの基板テーブルの一部の温度偏差を減少させるように構成された基板テーブル温
度安定化デバイスと、からなるリソグラフィ装置が提供される。
【００１２】
[0012]  本発明のさらなる態様によれば、変調した放射ビームを液体に通して基板テーブルに保持された基板に投影し、カバープレートの一部の温度を制御することによって、対応するターゲット温度からの基板テーブルの一部の温度偏差を減少させる、ことからなり、カバープレートは、基板テーブルから物理的に分離し、変調した放射ビームの投影中に基板の半径方向外側にある、基板に実質的に隣接し且つ同一高さにある表面を有する、デバイス製造方法が提供される。
【００１３】
[0013]  本発明のさらなる態様によれば、基板を支持するように構成された基板テーブルと、変調した放射ビームを基板に投影するように構成された投影システムと、露光中に投影システムと基板の間の領域に液体を提供するように構成された液体供給システムと、物理的に基板テーブルから分離し、露光中に基板の半径方向外側に位置し、基板に実質的に隣接し且つ同一高さにある、投影システムに対向する表面を提供するように構成されたカバープレートと、カバープレートからの基板テーブルの熱遮蔽を提供するために、カバープレートと基板テーブルの間の熱伝達を減少させるように構成された断熱材と、からなるリソグラフィ装置が提供される。
【００１４】
[0014]  本発明のさらなる態様によれば、変調した放射ビームを液体に通して基板テーブル上に保持された基板に投影し、カバープレートと基板テーブルの間の熱伝達を減少させ、それによってカバープレートからの基板テーブルの熱遮蔽を可能にするように、カバープレートを断熱する、ことからなり、カバープレートは、基板テーブルから物理的に分離し、変調した放射ビームの投影中に基板の半径方向外側にあり、基板に実質的に隣接し且つ同一高さにある表面を有する、デバイス製造方法が提供される。
【００１５】
[0015]  本発明のさらなる態様によれば、基板を支持するように構成された基板テーブルと、変調した放射ビームを基板に投影するように構成された投影システムと、基板テーブルの一部の位置を求めるように構成された測定システムと、基板テーブルの歪みに関するデータを提供するように構成された基板テーブル歪み測定デバイスと、測定システムで測定した基板テーブルの一部の位置、および基板テーブル歪み測定デバイスによって提供された基板テーブルの歪みに関するデータを参照することにより、投影システムに対して基板の位置を制御するように構成された基板位置コントローラと、からなるリソグラフィ装置が提供される。
【００１６】
[0016]  本発明のさらなる態様によれば、変調した放射ビームを基板テーブルによって保持された基板に投影し、基板テーブルの一部の位置を測定し、基板テーブルの一部の測定位置、および基板テーブルの歪みに関するデータを参照することにより、変調した放射ビームを投影するために使用される投影システムに対する基板の位置を制御する、ことからなるデバイス製造方法が提供される。
【００１７】
[0017]  本発明のさらなる態様によれば、リソグラフィ装置の基板テーブル反射器の表面プロファイルをマッピングする方法であって、基板を支持するように構成された基板テーブルの第一側面に装着された実質的に平面の第一反射器を提供し、第一反射器は第一軸に平行な垂線を有し、基板テーブルの第二側面に装着された実質的に平面の第二反射器を提供し、第二反射器は、第一軸に対して平行でない第二軸に平行な垂線を有し、第二反射器の表面から基準フレームの基準点までの垂直距離を測定しながら、第一軸に平行に基板テーブルを動作させる、ことからなるマッピング方法が提供される。
【００１８】
[0018]  本発明のさらなる態様によれば、第二軸に実質的に平行な方向で反射器の表面から基準点までの距離を測定しながら、第一軸に平行に基板テーブルを動かし、基板テー
ブルの反射器の表面プロファイルをマッピングし、第二軸が第一軸に対して実質的に直交し、変調した放射ビームを基板に投影し、基板の異なったターゲット領域を露光するために変調した放射ビームを投影するのに使用される投影システムに対して基板を動かす、ことからなり、位置は、基準点からの基板テーブル反射器の距離の測定値、および基板テーブル反射器の表面プロファイルを参照することにより求められる、デバイス製造方法が提供される。
【００１９】
[0019]  次に、本発明の実施形態を添付の略図を参照しながら、ほんの一例として説明する。図面では対応する参照記号は対応する部品を示している。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】[0020]  本発明の実施形態によるリソグラフィ装置を示した図である。
【図２】[0021]  リソグラフィ投影装置に使用する液体供給システムを示した図である。
【図３】[0021]  リソグラフィ投影装置に使用する液体供給システムを示した図である。
【図４】[0022]  リソグラフィ投影装置に使用する別の液体供給システムを示した図である。
【図５】[0023]  基板ホルダおよび可動式基板テーブル上に装着した基板を示した図である。
【図６】[0024]  基板ホルダの熱膨張によって引き起こされる基板テーブルへの効果を示した図である。
【図７】[0025]  本発明の実施形態によるカバープレートと基板テーブル間の断熱を示した図である。
【図８】[0026]  本発明の実施形態による基板テーブル温度安定化デバイスを、流路のネットワークとともに示した図である。
【図９】[0027]  本発明の実施形態による基板テーブル温度安定化デバイスを、電熱器およびコントローラとともに示した図である。
【図１０】[0028]  本発明の実施形態による基板テーブル温度安定化デバイスを、変動する磁界によって起動されるように構成された加熱要素とともに示した図である。
【図１１】[0029]  本発明の実施形態による熱伝導性結合媒体を組み込んだ基板テーブルアセンブリを示した図である。
【図１２】[0030]  本発明の実施形態による位置測定システムおよび基板テーブル歪み測定デバイスを示した図である。
【図１３】[0031]  本発明の実施形態によりミラー毎に複数の干渉計を備える測定システムを示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
[0032]  図１は、本発明の一実施形態によるリソグラフィ装置を概略的に示したものである。このリソグラフィ装置は、
【００２２】
[0033]  放射ビームＢ（例えばＵＶ放射またはＤＵＶ放射）を調整するように構成された照明システム（イルミネータ）ＩＬと、
【００２３】
[0034]  パターニングデバイス（例えばマスク）ＭＡを支持するように構成され、特定のパラメータに従ってパターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第一位置決め装置ＰＭに接続された支持構造体（例えばマスクテーブル）ＭＴと、
【００２４】
[0035]  基板（例えばレジストコートウェーハ）Ｗを保持するように構成され、特定のパラメータに従って基板を正確に位置決めするように構成された第二位置決め装置ＰＷに
接続された基板テーブル（例えばウェーハテーブル）ＷＴと、
【００２５】
[0036]  パターニングデバイスＭＡによって放射ビームＢに与えられたパターンを基板Ｗのターゲット部分Ｃ（例えば１つまたは複数のダイを備える）に投影するように構成された投影システム（例えば屈折投影レンズシステム）ＰＳとを備える。
【００２６】
[0037]  照明システムは、放射の誘導、成形、または制御を行うための、屈折、反射、磁気、電磁気、静電気型等の光学コンポーネント、またはその任意の組合わせなどの様々なタイプの光学コンポーネントを含んでいてもよい。
【００２７】
[0038]  支持構造体は、パターニングデバイスの方向、リソグラフィ装置の設計等の条件、例えばパターニングデバイスが真空環境で保持されているか否かに応じた方法で、パターニングデバイスを保持する。この支持構造体は、パターニングデバイスを保持するために、機械的、真空、静電気等のクランプ技術を使用することができる。支持構造体は、例えばフレームまたはテーブルでよく、必要に応じて固定式または可動式でよい。支持構造体ＭＴは、パターニングデバイスが例えば投影システムなどに対して確実に所望の位置にくるようにできる。本明細書において「レチクル」または「マスク」という用語を使用した場合、その用語は、より一般的な用語である「パターニングデバイス」と同義とみなすことができる。
【００２８】
[0039]  本明細書において使用する「パターニングデバイス」という用語は、基板のターゲット部分にパターンを生成するように、放射ビームの断面にパターンを与えるために使用することができる任意のデバイスを指すものとして広義に解釈されるべきである。ここで、放射ビームに与えられるパターンは、例えばパターンが位相シフト特徴またはいわゆるアシスト特徴を含む場合、基板のターゲット部分における所望のパターンに正確には対応しないことがある点に留意されたい。一般的に、放射ビームに与えられるパターンは、集積回路などのターゲット部分に生成されるデバイスの特別な機能層に相当する。
【００２９】
[0040]  パターニングデバイスは透過性または反射性でよい。パターニングデバイスの例には、マスク、プログラマブルミラーアレイ、およびプログラマブルＬＣＤパネルがある。マスクはリソグラフィにおいて周知のものであり、これには、バイナリマスク、Alternating位相シフト、減衰型位相シフトのようなマスクタイプ、さらには様々なハイブリ
ッドマスクタイプも含まれる。プログラマブルミラーアレイの一例として、小さなミラーのマトリクス配列を使用し、そのミラーは各々、入射する放射ビームを異なる方向に反射するよう個々に傾斜することができる。傾斜したミラーは、ミラーマトリクスによって反射する放射ビームにパターンを与える。
【００３０】
[0041]  本明細書において使用する「投影システム」という用語は、例えば使用する露光放射、または液浸液の使用や真空の使用などの他の要因に合わせて適宜、例えば屈折光学システム、反射光学システム、反射屈折光学システム、磁気光学システム、電磁気光学システムおよび静電気光学システム、またはその任意の組合せを含む任意のタイプの投影システムを網羅するものとして広義に解釈されるべきである。本明細書において「投影レンズ」という用語を使用した場合、これはさらに一般的な「投影システム」という用語と同義とみなすことができる。
【００３１】
[0042]  ここに示している装置は透過タイプである（例えば透過マスクを使用する）。あるいは、装置は反射タイプでもよい（例えば上記で言及したようなタイプのプログラマブルミラーアレイを使用する、または反射マスクを使用する）。
【００３２】
[0043]  リソグラフィ装置は２つ（デュアルステージ）またはそれ以上の基板テーブル
（および／または２つ以上の支持構造体）を有するタイプでよい。このような「マルチステージ」機械においては、追加のテーブルを並行して使用するか、１つまたは複数の他のテーブルを露光に使用している間に１つまたは複数のテーブルで予備工程を実行することができる。
【００３３】
[0044]  図１を参照すると、イルミネータＩＬは放射源ＳＯから放射ビームを受け取る。放射源とリソグラフィ装置とは、例えば放射源がエキシマレーザである場合に、それぞれ別々の構成要素であってもよい。このような場合、放射源はリソグラフィ装置の一部を形成するとみなされず、放射ビームは、例えば適切な誘導ミラーおよび／またはビームエクスパンダなどを備えるビームデリバリシステムＢＤの補助により、放射源ＳＯからイルミネータＩＬへと送られる。他の例では、例えば放射源が水銀ランプの場合は、放射源がリソグラフィ装置の一体部分であってもよい。放射源ＳＯおよびイルミネータＩＬは、必要に応じてビームデリバリシステムＢＤとともに放射システムと呼ぶことができる。
【００３４】
[0045]  イルミネータＩＬは、放射ビームの角度強度分布を調節するアジャスタＡＤを備えていてもよい。通常、イルミネータの瞳面における強度分布の外側および／または内側半径範囲（一般にそれぞれ、σ-outerおよびσ-innerと呼ばれる）を調節することができる。また、イルミネータＩＬは、インテグレータＩＮおよびコンデンサＣＯなどの他の種々のターゲットを備えていてもよい。イルミネータを用いて放射ビームを調整し、その断面にわたって所望の均一性と強度分布とが得られるようにしてもよい。
【００３５】
[0046]  放射ビームＢは、支持構造体（例えばマスクテーブル）ＭＴに保持されたパターニングデバイス（例えばマスク）ＭＡに入射し、パターニングデバイスによってパターン化される。放射ビームＢはマスクＭＡを通過して、基板Ｗのターゲット部分Ｃ上にビームを集束する投影システムＰＳを通過する。第二位置決め装置ＰＷおよび位置センサＩＦ（例えば干渉計装置、リニアエンコーダまたは容量センサ）の補助により、基板テーブルＷＴを、例えば放射ビームＢの経路において様々なターゲット部分Ｃに位置決めするように正確に移動できる。同様に、第一位置決め装置ＰＭおよび別の位置センサ（図１には明示されていない）を使用して、例えばマスクライブラリから機械的に検索した後に、またはスキャン中に、放射ビームＢの経路に対してパターニングデバイスＭＡを正確に位置決めすることができる。一般的に、支持構造体ＭＴの移動は、第一位置決め装置ＰＭの部分を形成するロングストロークモジュール（粗動位置決め）およびショートストロークモジュール（微動位置決め）を用いて実現できる。同様に、基板テーブルＷＴの移動は、第二位置決め装置ＰＷの部分を形成するロングストロークモジュールおよびショートストロークモジュールを使用して実現できる。ステッパの場合（スキャナとは対照的に）、支持構造体ＭＴをショートストロークアクチュエータのみに接続するか、固定してもよい。パターニングデバイスＭＡおよび基板Ｗは、パターニングデバイスアラインメントマークＭ１、Ｍ２および基板アラインメントマークＰ１、Ｐ２を使用して位置合わせすることができる。図示のような基板アラインメントマークは、専用のターゲット位置を占有するが、ターゲット部分の間の空間に配置してもよい（スクライブレーンアラインメントマークと呼ばれる）。同様に、パターニングデバイスＭＡ上に複数のダイを設ける状況では、パターニングデバイスアラインメントマークをダイ間に配置してもよい。
【００３６】
[0047]  図示の装置は以下のモードのうち少なくとも１つにて使用可能である。
【００３７】
[0048]  １．ステップモードにおいては、支持構造体ＭＴおよび基板テーブルＷＴは、基本的に静止状態に維持される一方、放射ビームに与えたパターン全体が１回でターゲット部分Ｃに投影される（すなわち単一静止露光）。次に、別のターゲット部分Ｃを露光できるように、基板テーブルＷＴがＸ方向および／またはＹ方向に移動される。ステップモードでは、露光フィールドの最大サイズによって、単一静止露光で像が形成されるターゲ
ット部分Ｃのサイズが制限される。
【００３８】
[0049]  ２．スキャンモードにおいては、支持構造体ＭＴおよび基板テーブルＷＴは同期的にスキャンされる一方、放射ビームに与えられたパターンをターゲット部分Ｃに投影する（つまり単一動的露光）。支持構造体ＭＴに対する基板テーブルＷＴの速度および方向は、投影システムＰＳの拡大（縮小）および像反転特性によって求めることができる。スキャンモードでは、露光フィールドの最大サイズによって、単一動的露光におけるターゲット部分の（非スキャン方向における）幅が制限され、スキャン動作の長さによってターゲット部分の（スキャン方向における）高さが決まる。
【００３９】
[0050]  ３．別のモードでは、支持構造体ＭＴはプログラマブルパターニングデバイスを保持して基本的に静止状態に維持され、基板テーブルＷＴを移動またはスキャンさせながら、放射ビームに与えられたパターンをターゲット部分Ｃに投影する。このモードでは、一般にパルス状放射源を使用して、基板テーブルＷＴを移動させる毎に、またはスキャン中に連続する放射パルスの間で、プログラマブルパターニングデバイスを必要に応じて更新する。この動作モードは、上記したようなタイプのプログラマブルミラーアレイなどのプログラマブルパターニングデバイスを使用するマスクなしリソグラフィに容易に利用できる。
【００４０】
[0051]  上述した使用モードの組合せおよび／または変形、または全く異なる使用モードも利用できる。
【００４１】
[0052]  図５は、基板ホルダ２および基板テーブルＷＴによって支持される基板Ｗを概略的に示したものである。基板テーブルＷＴは、基板Ｗの異なったターゲット領域を露光するように、投影システムＰＳに対して移動させることができる。基板Ｗの正確な位置決めが一般的に望ましい。例えば、リソグラフィで生成した幾つかの層からデバイスを形成すべき場合は、各層が他の層との正確な空間的対応を有していなければならない。この対応の程度は、各層のパターン形成中に基板Ｗをどの程度良好に位置決めするかによって決定される。
【００４２】
[0053]  例えばフィードバックまたはサーボループを、基板テーブルＷＴを物理的に動作させる手段およびその位置を測定する手段と組み合わせて使用することにより、正確な変位を達成することができる。基板Ｗは、可能な限り最短の時間で、望ましくは行き過ぎがない状態で、測定位置とターゲット位置との間の差を漸進的に減少させることによって、ターゲット位置に向かって移動する。
【００４３】
[0054]  基板Ｗが基板テーブルＷＴに対して固定されているか、それとの空間的関係が分かっている場合は、はるかに小さく、薄い方の基板Ｗの位置を直接測定しようとするより、基板テーブルＷＴ上の１つまたは複数の点の位置を測定し、そこから基板Ｗの位置を推定する方が都合がよいことがある。
【００４４】
[0055]  このようなアプローチの正確さは、基板テーブルＷＴの測定から推定できる基板Ｗの位置の精度に少なくともある程度は依存する。特に、これは基板テーブルＷＴが露光中に歪んだ場合に困難になることがある。これは例えば基板テーブルＷＴおよび／または基板テーブルＷＴと機械的に接触しているターゲットの温度変動により生じることがある。
【００４５】
[0056]  温度変動は、例えばリソグラフィ放射からの熱に起因して生じることもある。代替的または追加的に、特に液浸システムでは、基板Ｗの表面および周囲領域からの液体（通常は液浸液）の蒸発が冷却につながることがある。この状況は、基板Ｗまたは他の重
要な要素の温度を制御するために組み込むことがある補償システムによって、さらに複雑になり得る。例えば、液浸液の蒸発によって引き起こされる冷却を打ち消すために、基板加熱装置を供給することができる。加熱装置は、基板Ｗをさらに一定の温度に維持するように設計してよいが、基板テーブルＷＴなどの他のターゲットに、さらに大きい温度勾配および／または変動を引き起こすことがある。
【００４６】
[0057]  図５は、基板テーブルＷＴの測定を通して基板位置を間接的に測定できる配置構成を示す。図示の実施例では、基板Ｗが基板ホルダ２上の突起または「節」５を介して支持され、基板ホルダ２自体が節３を介して基板テーブルＷＴに載置されるように構成される。
【００４７】
[0058]  １つまたは複数のカバープレート６０が、少なくとも部分的に液浸液を閉じ込める液体封じ込め構造体６８（例えば図１１参照−液体封じ込め構造体６８は、明快さを期して図５および図８から図１０には図示されていない）が基板Ｗの表面上を滑らかに通ることができるようにするために設けられる。この構成では、基板Ｗが投影システムＰＳに対してスキャンされる場合に、液体封じ込め構造６８が動作するのに十分に大きい平面を提供するために、カバープレート６０は基板Ｗの半径方向外側に位置される。カバープレート６０は、様々なサイズの基板に合わせて融通性を提供するために、節３に着脱式に装着してもよい。
【００４８】
[0059]  １つまたは複数のミラー６が基板テーブルＷＴの側面に装着され、これらのミラーによって基板テーブルＷＴの位置が求められる。例えば、１つまたは複数の干渉計を使用することができ、これはこれらのミラーから反射する放射に基づいて作動する。干渉計は、反射した放射を使用して、干渉計の検出部分に対して固定された基準フレームの特定の点からミラーの表面までの距離を推定することができる。様々な軸線に沿って基板テーブルＷＴの位置を求めるために、複数のミラーおよび対応する干渉計を設けてよい。例えば、直交する方向に向いた２つの平面ミラーを設けてよい。ミラーは基板テーブルＷＴに固定するか、基板テーブルＷＴと一体的に形成してよい。
【００４９】
[0060]  基板テーブルＷＴの歪みは、それに装着されたミラーの形状の歪みを引き起こし得る。図６は、図５に示した配置構成の上面図を概略的に示し、このような歪みが生じ得る１つの様子を示す。左手の図では、中心円が基板Ｗを表し、その下に基板ホルダ２（視認不可）がある。周囲の正方形は、側面に実質的に完全に平面のミラー６が装着された基板テーブルＷＴである。右手の図は、基板テーブルＷＴ上の基板ホルダ２の熱で生じた歪み（図５の矢印１０）を（誇張した形態で）示す。基板ホルダ２の加熱は、基板ホルダ２を元の形態（細線）から熱膨張した形態（太線；図６の矢印８）へ膨張させる。この加熱は、おそらく液浸液の蒸発が基板Ｗに及ぼす冷却効果を打ち消すように構成された基板加熱装置４（例えば熱交換流体を導くために使用する複数の流路でよい）によって引き起こされる。代替的または追加的に、リソグラフィ放射自体に起因して加熱が生じることがある。
【００５０】
[0061]  例えば基板ホルダ２と基板テーブルＷＴとの間に維持される低い圧力によって基板テーブルＷＴに対して極めてしっかり保持される膨張した基板ホルダ２は、基板テーブルＷＴの本体の歪み（図５の矢印１２）を引き起こす半径方向の力を生じさせることがある。この歪みは、図６の右手の図（太線；矢印１４）で示すように、ミラー６に相応する変形を引き起こし得る。
【００５１】
[0062]  基板テーブルＷＴ及び基板ホルダ２の各々、または両方は、非常に小さい熱膨張率を有する材料から形成してよい。しかし、このような材料は高価なことがあり、広範囲の物理的特性で入手できないことがあるので、他の態様ではそれほど適切でなくなる。
例えば、耐摩耗性は基板ホルダ２にとって重要な特性であり得るが、耐摩耗性が良好で熱膨張率が実質的にゼロである材料は、入手可能かつ／または経済的でないことがある。
【００５２】
[0063]  図５および図６の基板テーブルＷＴの歪みは、基板ホルダ２の膨張により生じるものとして図示されているが、歪みは、基板テーブルＷＴ自体の加熱または冷却に起因して生じることもある。例えば、液浸液の蒸発は、ある程度の熱収縮を引き起こすようである。基板テーブルＷＴは、ある部分が膨張して、他の部分が収縮し、図６に示すより複雑な歪みを引き起こすことがあり、これにより基板ホルダの一様な膨張に基づく変形が確実になる。
【００５３】
[0064]  ミラー６の歪みは、基板Ｗの制御誤差を引き起こすことがある。例えば補正措置を執らない場合、外側に膨張するミラーの部分を検出干渉計に隣接して配置すると、干渉計は、基板テーブルが全体として実際より近いことを示す信号を出力することがあるが、実際には近づいているのはミラーの局所的部分だけである。これは、この信号をフィードバックループに入力した場合に、基板Ｗの位置に誤ったオフセットを引き起こすことがある。
【００５４】
[0065]  図７は、基板テーブルＷＴにあり得る加熱および／または冷却源に対して熱遮蔽を提供するようにカバープレート６０が配置構成された実施形態を概略的に示す。これは、カバープレート６０と基板テーブルＷＴの間に断熱材を設けることによって達成される。このようにすると、例えば液浸液の蒸発または放射加熱などによって引き起こされるカバープレート６０の温度変化は、カバープレート６０の下の基板テーブルＷＴへと熱を大幅に伝達しない。図示の実施例では、断熱は特殊な節２１の形態をとる。これらの節２１の熱コンダクタンスは、例えば断面サイズを最小限にするか、低い熱伝導率の材料を使用する、あるいはその両方によって低くするように配置構成される。基板テーブルＷＴとカバープレート６０間の相対的熱交換は、これらのターゲットのいずれか、または両方に反射性コーティングを適用することによって減少させることができる。
【００５５】
[0066]  図８は、基板テーブル温度安定化デバイスを備える本発明の実施形態によるリソグラフィ装置の一部を概略的に示し、この基板テーブル温度安定化デバイスは、基板テーブルＷＴの一部および／または基板テーブルＷＴと機械的および／または熱的に接触する成分の温度を、ある範囲(または複数の範囲)のターゲット温度内に維持するように構成される。この範囲は、望ましい正確さ、および基板テーブルＷＴ（および上述した関連するコンポーネント）の温度の変化に対する感度（例えば熱膨張率、機械的構造および／または設けられた任意のヒートシンク構成）に依存する。異なった範囲および／またはターゲット温度が、予想される熱入力または出力に従い、基板テーブルＷＴの異なった部分のために使用されることができる。例えば、熱膨張の影響を受けやすい、または熱入力／出力にそれほど曝露しないように予想される基板テーブルＷＴの領域では、より厳密な公差が望ましいことがある。追加的または代替的に、基板テーブルＷＴ内で制御された不均一な温度プロファイルを維持することが適切な場合は、基板テーブルＷＴの異なる部分に複数の異なるターゲット温度を使用してよい。
【００５６】
[0067]  基板テーブルおよび／または関連するコンポーネントの温度の安定化は、その熱膨張および／または収縮の程度を低下させ、それによって基板テーブルＷＴの全体的な歪みを減少させることができる。これは、ミラー６（図８では図示せず）などの基板テーブルＷＴ位置測定デバイスの動作に対する妨害を最小限に抑え、これによって投影システムＰＳに対して基板Ｗを位置決めする正確さを改善することができ、したがって例えばオーバレイ誤差を減少させることが可能である。
【００５７】
[0068]  この実施形態による温度安定化デバイスは、１つまたは複数のカバープレート
６０の温度を制御することによって作動する。これは、基板テーブルＷＴの温度プロファイルまたは平均温度の測定値変動に従ってカバープレート６０の温度プロファイル（空間的に一定、または空間的に変動する温度分布を含む）を制御することによって、能動的に実行することができる。あるいは、温度安定化デバイスは、（カバープレートの温度は測定することができるが）基板テーブルＷＴの温度プロファイルの測定値を参照せずに、カバープレートの温度を分離して制御するのみで、さらに受動的に作動してもよい。この後者のアプローチによれば、実質的に一定の温度を維持する（または言い換えると、カバープレートの温度をカバープレート６０のターゲット温度の範囲内に維持する）ように、カバープレート６０の温度を制御することができる。基板テーブルＷＴの温度を直接参照せずにカバープレート６０の温度を制御することが、基板テーブル装置への妨害を最小限に抑えて実施できる。
【００５８】
[0069]  カバープレート６０の温度制御は、受動的および／または能動的に（以上参照）、基板テーブルＷＴを熱入力および／または出力の最も重要なソースの幾つかから効果的に「遮蔽」することができる。例えば、冷却を引き起こす液浸液の蒸発の大きい割合は、カバープレート６０の表面上で生じる。同様に、基板テーブルＷＴ上の領域に曝露したターゲットからの放射加熱は、最初にカバープレート６０に当たる傾向がある。これらの要素の１つまたは複数を直接補償するためにカバープレート６０の温度を制御すると、基板テーブルＷＴの温度に対する最終的影響が低下することになる。
【００５９】
[0070]  基板テーブルＷＴの測定温度を参照してカバープレートの温度を制御する場合、カバープレートの温度制御は、最初にカバープレート６０を通過せずに基板テーブルＷＴに到達する加熱および／または冷却（例えば基板ホルダ２に設置した基板温度補償装置および／または放射ビームからの放射加熱からの加熱）を少なくともある程度は補償することもできる。
【００６０】
[0071]  図８の配置構成によるカバープレート６０の温度制御は、カバープレート６０内またはその上に埋め込まれた流路２０のネットワークによって、および基板テーブルＷＴの一部（および／または基板ホルダ２およびカバープレート６０などの関連コンポーネント）の温度を対応するターゲット温度（制御されている基板テーブルの１つまたは複数の部分（および／または関連コンポーネント）に「対応する」各ターゲット温度）の範囲内に維持するために、流路２０のネットワーク内に流れる熱交換流体の温度および／または圧力（およびその結果の流量）を制御するように配置構成されたコントローラ３０によって達成される。熱交換流体は例えば精製水でよい。温度および／または圧力は、例えば校正実験、基板テーブルＷＴの予想される電力入力／出力の数学的モデリング、歪みに寄与するターゲットの実際の温度測定（以下参照）、および／または流体の実際の測定を参照することによって制御することができる。
【００６１】
[0072]  流路２０のシステムは、必要に応じてカバープレート６０を加熱し、さらにカバープレート６０を冷却するようにいずれにも構成することができ、それによって基板テーブルの温度を柔軟に制御することができる。代替的または追加的に、流路２０は、カバープレート６０の一部を加熱しながら、別の部分を冷却するように構成することができる。これは、カバープレート６０および／または基板テーブルＷＴ（および／または他の関連コンポーネント）全体の温度変動が、熱交換流体の温度全体に及ぶ場合に達成することができる。あるいは、１組の特性（例えば高い温度）を有する熱交換流体を流路２０のシステムの一部に供給しながら異なる組合せの特性（例えば比較的低い温度）を有する熱交換流体を流路２０のシステムの別の部分に同時に提供するシステムを提供することができる。この方法で、流路のシステムを使用して、カバープレート６０および／または基板テーブルＷＴ（および／または他の関連コンポーネント）の広範囲の温度変動を安定化させることができる。
【００６２】
[0073]  代替的および／または追加的に、基板テーブル温度安定化デバイスは、図９で概略的に示すように１つまたは複数の電気ヒータ２６およびコントローラ４０を備えることができる。１つまたは複数の電気ヒータ２６は、図示のようにカバープレート６０に埋め込むか、カバープレート６０の表面（カバープレートの上、その下、またはその両側）に取り付けることができる。
【００６３】
[0074]  電気ヒータは容易に、最小限の追加的ハードウェアで制御することができる。その出力は迅速に調節することができ、制御の向上および迅速な応答を提供する。
【００６４】
[0075]  一実施形態によれば、図９に図示された加熱要素２６は、ターゲット温度の領域で温度によって生じる相転移を受ける材料からなるものとしてよく、相転移によって材料は、転移温度より低い比較的高い加熱出力を生成する状態から、転移温度より高い比較的低い加熱出力を生成する状態へと変化する。例えば、強磁性体、反強磁性体またはフェリ磁性体のような磁気順序転移を受ける材料を選択してよい。代替的または追加的に、構造的相転移を経験する材料を選択してよい。
【００６５】
[0076]  転移温度を通して材料を加熱すると、材料の抵抗が突然上昇するように、材料を選択することができる。コントローラ４０が一定の電圧を維持するように構成された場合、材料内で損失する電力は、突然の抵抗増大に起因して突然増加し、これは温度が位置とともに大幅に変動しても、複雑な制御回路および多数の温度センサおよび加熱装置を必要とせずに、基板テーブルＷＴの温度を安定化させる傾向を有する。温度が低すぎる（つまり転移温度およびターゲット温度より低い）場合、加熱出力は自動的に比較的高くなり、温度が高すぎる（つまり転移温度およびターゲット温度より高い）場合、加熱出力は自動的に低くなる。
【００６６】
[0077]  同様の原則に従って働く代替的または追加的アプローチが、図１０に概略的に図示されている。ここでは、１つまたは複数の加熱要素２６が設けられ、これはコントローラ５０によって制御された１つまたは複数のエレクトロマグネット２８によって作動される。１つまたは複数の加熱要素２６は、材料を転移温度より低い磁気ヒステリシス状態から転移温度より高い非磁気ヒステリシス状態（つまり磁気ヒステリシスを示さない、または最小量の磁気ヒステリシスを示す状態）へと変化させる相転移を受ける材料からなる。コントローラ５０および１つまたは複数のエレクトロマグネット２８は、１つまたは複数の加熱要素２６に変動する磁界を与えるように構成され、これによって１つまたは複数の加熱要素は、１つまたは複数の加熱要素が転移温度より低い場合のみ、磁気ヒステリシスによって基板テーブルＷＴに熱を与える。強磁性材料を、例えば磁気ヒステリシス材料として使用してもよい。この場合もこの構成は、複雑な制御回路および多数の温度センサおよび加熱装置を必要とせずに、カバープレート６０および／または基板テーブルＷＴ（および／または他の関連ターゲット）の位置変動による温度変動さえ安定化させる傾向がある。
【００６７】
[0078]  １つまたは複数の温度センサ２２を設ける、基板テーブルＷＴおよび／またはカバープレート６０に固定する、基板テーブルＷＴおよび／またはカバープレート６０内に埋め込む（図８、図９および図１０で図示）、または基板テーブルＷＴおよび／またはカバープレート６０に隣接して位置決めすることができる（例えば赤外線センサ）。１つまたは複数の温度センサは、基板テーブルＷＴと熱および／または機械的に接触する他のターゲット内、またはその上に設けてもよい。１つまたは複数の温度センサは、基板テーブルＷＴ、カバープレート６０および／または関連ターゲットの温度に関する情報を提供し、これはコントローラ３０、４０および／または５０が使用して、基板テーブルＷＴおよび／またはカバープレート６０（および／または他の関連ターゲット）の温度を１つま
たは複数の対応するターゲット温度の範囲内に維持するために、１つまたは複数の加熱／冷却要素２０／２６の加熱／冷却出力を変動させることができる。例えば、温度センサの読み取り値と１つまたは複数のターゲット温度との間の１つまたは複数の差を小さくするために、１つまたは複数の加熱／冷却要素２０／２６の出力を調節するフィードバックループを設けてよい。
【００６８】
[0079]  図１１は、基板Ｗが基板Ｗと基板テーブルＷＴの間に配置された基板ホルダ２で支持される実施形態を概略的に示したものである。この構成は、基板ホルダ２内に加熱または冷却要素を全く備えない。つまり、基板ホルダ２がそれほど嵩張らず、複雑にならないようにすることができ、これは製造費を削減することができる。材料のボリュームが小さくなると、基板ホルダ２が膨張または収縮した場合に引き起こされる問題も軽減することができる。というのは、これらの膨張または収縮が、関係する材料の量の減少に起因して比例して小型化／弱体化するからである。したがって、基板ホルダ２の熱特性（例えば熱膨張率）に関する設計の制約を緩和することができ、このコンポーネントの他の物理的または経済的特性を最適化するための自由度が大きくなる。
【００６９】
[0080]  基板Ｗ、基板ホルダ２、基板テーブルＷＴおよび／またはカバープレート６０の高められた温度制御は、基板Ｗと基板ホルダ２、基板ホルダ２と基板テーブルＷＴおよび／またはカバープレート６０と基板テーブルＷＴの間に高い熱伝導率の通路を設けることによって達成される。これは、一実施形態によれば、基板Ｗ、カバープレート６０、基板テーブルＷＴの間に熱伝導性結合媒体６６を組み込むことによって達成することができる。図示の実施例では、この結合媒体は液体であり、基板ホルダ２およびカバープレート６０の下の領域に設けられ、１つまたは複数の栓６４によって限定される。液体は、主要支持機構として節を使用することに伴う可撓性の喪失を生じることなく、基板ホルダ２と基板テーブルＷＴの間に大きい接触表面を提供する。熱伝導率が高い液体が特に効果的である。
【００７０】
[0081]  代替的または追加的に、気体状結合媒体を使用してよい。例えば基板テーブルＷＴ、カバープレート６０、基板ホルダ２の間の領域を低圧（つまり大気圧より非常に低い圧力）で保持する場合は、基板ホルダ２（またはカバープレート６０）を十分確実に固定することと、基板ホルダ２（またはカバープレート６０）から基板テーブルＷＴへの熱結合を改善するために多少のガスを提供することとの間のバランスを達成するように、低圧レベルを減少させることができる。代替的または追加的に、異なるガス圧の領域を、基板ホルダ２および／またはカバープレート６０の下に確立することができ、低圧の領域がターゲットを固定するように作用し、より高い圧力の領域は、熱結合を改善するように作用する。例えばガス結合媒体として浄化した空気を使用してよい。
【００７１】
[0082]  代替機構によれば、節３、５と基板Ｗ、基板ホルダ２、カバープレート６０および／または基板テーブルＷＴの間に流体でない結合媒体を設けてよい。例えば、非常に軟らかく、良好な熱導体であるインジウム箔を使用してよい。
【００７２】
[0083]  基板Ｗおよび／または基板ホルダ２と基板テーブルＷＴおよび／またはカバープレート６０との間の温度通路が強化されると、基板テーブルＷＴの温度を安定化させるための測定が、基板Ｗおよび基板ホルダ２の温度を安定化させる作用もすることが保証される。つまり、例えば基板ホルダ２の熱膨張／収縮が、基板テーブルＷＴの歪みを引き起こす可能性が低くなり、基板ホルダ２に適切な材料の選択範囲が広くなる。例えば、高い耐摩耗性を有するＳｉＳｉＣの基板ホルダ２を使用することができる。
【００７３】
[0084]  図１２は、例えば投影システムＰＳおよび／またはリソグラフィ装置に対してしっかり固定することが可能な基準フレーム９２に対する基板テーブルＷＴの一部の位置
を求めるために、測定システムを備える実施形態を概略的に示したものである。リソグラフィ装置は、望ましくない温度変動による熱収縮および／または膨張などによる基板テーブルＷＴの歪みに関するデータを生成するように配置構成された基板テーブル歪み測定デバイス８６も備える。基板Ｗは、基板位置コントローラ８４の制御下で作動する基板テーブル変位装置９０によって、投影システムＰＳに対して変位する（例えばスキャンされる）。
【００７４】
[0085]  基板位置コントローラ８４は、測定システムおよび基板テーブル歪み測定デバイス８６から入力されたデータを参照することにより、所望の軌跡に沿って基板Ｗをどのように動作させるか決定する。測定システムは、基板テーブルＷＴの測定部分の位置を定期的に更新し、そこから基板位置コントローラ８４が基板Ｗの位置を導出するように構成される。この動作は、基板テーブルＷＴが一定の幾何学的形状を維持する場合は、比較的単純である。というのは、測定システムが測定する基板テーブルＷＴの部分の位置と、基板の位置との間に相応する一定の関係があるからである。しかし、基板テーブルＷＴの幾何学的形状が変化すると、この関係が変化することがあり、これは基板Ｗの位置決めの誤差につながる。本実施形態によれば、この誤差は、基板テーブル歪み測定デバイスの出力を使用して、基板テーブルＷＴの測定部分の位置と基板の位置との関係を更新し、基板テーブルの歪みを反映することによって軽減するか、回避することができる。このアプローチは、例えば基板テーブルＷＴの温度の不規則性および／またはその直接的な物理的結果を減少させる試みに関連するものなど、有意の追加的ハードウェアを必要とせずに基板の位置決めを、したがってオーバレイ性能を改善することができる。
【００７５】
[0086]  一実施形態によれば、測定システムは、基板テーブルＷＴの側面に装着された複数の平面反射器８２を備える。１つまたは複数の干渉計を設けて、ミラーの表面の位置を測定する。１つまたは複数の干渉計はそれぞれ、放射源８１および放射検出器８３、および任意の時に放射が入射するミラーの表面と、問題の干渉計に関連する基準フレーム９２に対する固定点との間の距離を求めるために、放射された放射と受け取った放射とを比較するシステムを備えてよい。例えば複数のミラーを直交する方向に向くように配置構成することによって、直交する軸に沿って基板テーブルＷＴの部分の位置を求めることが可能である。
【００７６】
[0087]  基板テーブルＷＴの歪みによって、これらのミラーがわずかに湾曲することがある。基板テーブル歪み測定デバイス８６は、これを補正できるように、この曲率または「ミラープロファイル」に関する情報を提供する。
【００７７】
[0088]  これを実行可能な１つの方法は、ミラー８２および／または基板テーブルＷＴの曲率を測定することである。これは、１つまたは複数の典型的な露光シーケンス中に基板テーブルＷＴがどのように変形するかを評価する校正作業として実行することができる。これらの校正作業の結果はメモリ装置８８に記憶することができ、基板テーブル位置コントローラに適切な補正値を提供するために、歪み測定デバイスがこれにオンラインでアクセスすることができる。
【００７８】
[0089]  代替的または追加的に、測定システムには、基板テーブルＷＴに形成されたミラー８２毎に、図１３に示すような複数の干渉計（例えば放射源と検出器の対を含む）を設けることができる。この配置構成の各干渉計は、任意の時に基準フレーム９２に対するミラー表面の異なる部分からの距離を測定することができ、それによって基板テーブルＷＴのプロファイルを非常に効率的に測定することができる。この配置構成は、露光中に基板テーブルＷＴに予想される歪みに関する校正データを導出するために、迅速に使用することができ、オンラインデータを基板テーブル歪み測定デバイス８６に提供するように使用することができる。追加的または代替的に、基板テーブル位置コントローラ８４は、（
対応するミラーが正確に平面ではない場合に）干渉計を１つしか使用せずに可能な程度より、基板テーブルＷＴの１つの側面の位置を正確に測定するために、ミラー毎に各干渉計の読み取り値の平均をとるように構成することができる。
【００７９】
[0090]  代替的または追加的に、基板テーブル歪み測定デバイス８６は、予測モデルによって予想される基板テーブルの歪みを求めるように構成することができる。モデルは、基板Ｗ、基板ホルダ２、基板テーブルＷＴおよび／またはこれらのコンポーネントの任意の１つまたは複数と熱および／または機械的に接触している任意のコンポーネントの熱および機械的特性に、さらにリソグラフィ放射から予想される電力入力または出力および／または例えば基板Ｗおよび／またはカバープレート６０の表面からの液浸液の蒸発に基づいてよい。モデルのパラメータは、校正測定値を参照して調整することができる。予想される電力入力または出力は、特定の所望の線量パターンに関連するエネルギ流の分析から導出するか、校正測定値から導出することができる。基板テーブルＷＴの歪みが、熱膨張して基板テーブルＷＴに押しつけられた基板ホルダ２から生じると予想される場合は、基板ホルダ２の均一な膨張に基づく単純化されたモデルが効果的なことがある。
【００８０】
[0091]  基板テーブル位置決めミラー８２の表面プロファイルは、マッピング方法で求めてもよい。例えば、基板テーブルＷＴの異なる非平行の側面に２つの名目上平面の反射器８２を設け、各ミラーに１つの干渉計を設ける場合は、第二ミラー８２への垂線に平行に基板テーブルＷＴを移動させながら、干渉計から第一ミラーの表面への垂直距離がいかに変化するかを測定することにより、マッピングすることができる。次に、このプロセスを繰り返すが、第二ミラーのプロファイルをマッピングするために、第一ミラー８２の垂線に平行に基板テーブルＷＴを移動する。
【００８１】
[0092]  本文ではＩＣの製造におけるリソグラフィ装置の使用に特に言及しているが、本明細書で説明するリソグラフィ装置には他の用途もあることを理解されたい。例えば、これは、集積光学装置、磁気ドメインメモリ用誘導および検出パターン、フラットパネルディスプレイ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、薄膜磁気ヘッドなどである。こうした代替的な用途に照らして、本明細書で「ウェーハ」または「ダイ」という用語を使用している場合、それぞれ、「基板」または「ターゲット部分」という、より一般的な用語と同義とみなしてよいことが、当業者には認識される。本明細書に述べている基板は、露光前または露光後に、例えばトラック（通常はレジストの層を基板に塗布し、露光したレジストを現像するツール）、メトロロジツールおよび／またはインスペクションツールで処理することができる。適宜、本明細書の開示は、以上およびその他の基板処理ツールに適用することができる。さらに、基板は、例えば多層ＩＣを生成するために、複数回処理することができ、したがって本明細書で使用する基板という用語は、既に複数の処理済み層を含む基板も指すことができる。
【００８２】
[0093]  本明細書で使用する「放射」および「ビーム」という用語は、紫外線（ＵＶ）放射（例えば、３６５ｎｍ、２４８ｎｍ、１９３ｎｍ、１５７ｎｍまたは１２６ｎｍの波長を有する）を含むあらゆるタイプの電磁放射を網羅する。
【００８３】
[0094]  「レンズ」という用語は、状況が許せば、屈折および反射光学コンポーネントを含む様々なタイプの光学コンポーネントのいずれか、またはその組合わせを指す。
【００８４】
[0095]  以上、本発明の特定の実施形態を説明したが、説明とは異なる方法でも本発明を実践できることが認識される。例えば、本発明は、上記で開示したような方法を述べる機械読み取り式命令の１つまたは複数のシーケンスを含むコンピュータプログラム、またはその内部に記憶されたこのようなコンピュータプログラムを有するデータ記憶媒体（例えば半導体メモリ、磁気または光ディスク）の形態をとることができる。
【００８５】
[0096]  本発明の１つまたは複数の実施形態は、特に上述したタイプを含むが、それに限定されない任意の液浸リソグラフィ装置に、液浸液が浴槽の形態で提供されるか、基板の局所的な表面領域のみに提供されるかにかかわらず適用することができる。本明細書で想定されるような液体供給システムは、広義に解釈されたい。特定の実施形態では、これは、投影システムと基板および／または基板テーブルの間の空間に液体を提供する機構または構造体の組合せでよい。これは、液体をこの空間に提供する１つまたは複数の構造体、１つまたは複数の液体入口、１つまたは複数のガス入口、１つまたは複数のガス出口および／または１つまたは複数の液体出口の組合せを備えてよい。ある実施形態では、空間の表面は、基板および／または基板テーブルの一部であるか、空間の表面が、基板および／または基板テーブルの表面を完全に覆うか、空間が基板および／または基板テーブルを囲んでよい。液体供給システムは任意選択で、さらに１つまたは複数の要素を含み、液体の位置、量、品質、形状、流量または任意の他の形体を制御してよい。
【００８６】
[0097]  上記で言及した基板テーブルＷＴは、基本的形態では一般に「ミラーブロック」としても知られる。上記で言及した基板ホルダ２は、基本的形態では一般に「ピンプルプレート」としても知られる。
【００８７】
[0098]  上記の説明は例示的であり、限定的ではない。したがって、請求の範囲から逸脱することなく、記載されたような本発明を変更できることが当業者には明白である。
【図１】
2020115237.tif 000003
【図２】
2020115237.tif 000004
【図３】
2020115237.tif 000005
【図４】
2020115237.tif 000006
【図５】
2020115237.tif 000007
【図６】
2020115237.tif 000008
【図７】
2020115237.tif 000009
【図８】
2020115237.tif 000010
【図９】
2020115237.tif 000011
【図１０】
2020115237.tif 000012
【図１１】
2020115237.tif 000013
【図１２】
2020115237.tif 000014
【図１３】
2020115237.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】令和2年5月18日(2020.5.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を支持する可動テーブルの位置を特定するための測定システムであって、
前記可動テーブルの側面に装着された複数の平面反射器と、
前記平面反射器の表面の位置を測定するように配列された１以上の位置センサと、を備え、
前記１以上の位置センサの各々は、前記可動テーブルのプロファイルを測定するために前記複数の平面反射器と前記１以上の位置センサとの間の距離を測定する、測定システム。
【請求項２】
前記位置センサは、干渉計装置、リニアエンコーダ及び容量センサのうちの少なくとも１つを備える、請求項１に記載の測定システム。
【請求項３】
前記１以上の位置センサは、前記複数の平面反射器の垂線に直交する方向に配列される、請求項１又は２に記載の測定システム。
【請求項４】
前記可動テーブルは、前記複数の平面反射器の垂線に平行な方向又は直交する方向に前記１以上の位置センサに対して移動可能である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の測定システム。
【請求項５】
前記位置センサは、前記複数の平面反射器に放射される放射を生成する放射源と、前記複数の平面反射器から反射された前記放射を受け取る放射検出器と、を備える、請求項１〜４のいずれか１項に記載の測定システム。
【請求項６】
任意の時に前記放射が入射する前記平面反射器の表面と、前記位置センサに関連する基準フレームに対する固定点との間の距離を求めるために、放射された前記放射と受け取った前記放射とを比較するシステムをさらに備える、請求項５に記載の測定システム。
【請求項７】
前記１以上の位置センサは前記基準フレームに固定される、請求項６に記載の測定システム。
【請求項８】
前記測定システムは、前記可動テーブルの予想される歪みに関する較正データを導出するように構成される、請求項１〜７のいずれか１項に記載の測定システム。
【請求項９】
前記可動テーブルの歪みに関するデータを生成するように構成された歪み測定デバイスをさらに備える、請求項１〜８のいずれか１項に記載の測定システム。
【請求項１０】
前記歪み測定デバイスは、前記可動テーブルの歪みを反映させるために、前記可動テーブルの測定された部分の位置と前記基板の位置との間の関係を更新するように構成される、請求項９に記載の測定システム。
【請求項１１】
前記歪み測定デバイスは、予測モデルによって予想される前記可動テーブルの歪みを特定するように構成される、請求項９に記載の測定システム。
【請求項１２】
前記複数の平面反射器の表面プロファイルはマッピング方法によって特定される、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の測定システム。
【請求項１３】
基板を支持するように配置された基板ホルダであって、
第１主要面及び前記第１主要面とは反対の第２主要面を有する本体と、
前記第１主要面上の第１セットの１以上の突起であって、前記基板を支持するように構成された第１セットの１以上の突起と、
前記第２主要面上の第２セットの１以上の突起と、を備え、
前記基板と前記基板ホルダとの間に熱伝導性結合媒体が設けられる、基板ホルダ。
【外国語明細書】
2020115237000001.pdf