(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドのノズル面の拭き取り動作を行っても、ノズル孔内に気泡が発生して不吐出ノズルが形成されるのを抑えることができるインクジェット塗布装置及びインクジェットヘッドの洗浄方法を提供する。【解決手段】塗布液が吐出されるノズル孔が複数形成されたノズル面を有するインクジェットヘッドと、ノズル面を拭き取る拭き取り部材を有する洗浄装置と、を有するインクジェット塗布装置であって、インクジェットヘッドは、ノズル孔内の圧力が、塗布液を吐出する前にノズル孔内に塗布液を保持する吐出前保持圧力と、洗浄動作時に拭き取り部材でノズル面を拭き取る際の洗浄時保持圧力とに調節可能に形成され、洗浄時保持圧力は、吐出前保持圧力よりも高く設定され、ノズル孔から塗布液が流出するのを許容される圧力に設定されている構成とする。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液が吐出されるノズル孔が複数形成されたノズル面を有するインクジェットヘッドと、
前記ノズル面を拭き取る拭き取り部材を有する洗浄装置と、
を有するインクジェット塗布装置であって、
前記インクジェットヘッドは、前記ノズル孔内の圧力が、塗布液を吐出する前に前記ノズル孔内に塗布液を保持する吐出前保持圧力と、洗浄動作時に前記拭き取り部材で前記ノズル面を拭き取る際の洗浄時保持圧力とに調節可能に形成され、前記洗浄時保持圧力は、前記吐出前保持圧力よりも高く設定され、前記ノズル孔から塗布液が流出するのを許容される圧力に設定されていることを特徴とするインクジェット塗布装置。
【請求項２】
前記洗浄時保持圧力は、塗布液がノズル孔から流出するのが許容される負圧に設定されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット塗布装置。
【請求項３】
ノズル面に形成されたノズル孔から塗布液を吐出して塗布膜を形成するインクジェットヘッドの洗浄方法であって、
前記ノズル面に洗浄液を噴射して前記ノズル面を洗浄する洗浄工程と、
前記ノズル面に残留した洗浄液を拭き取る洗浄液拭取工程と、
前記ノズル孔内の圧力を前記吐出前保持圧力から前記洗浄時保持圧力に調節するノズル孔圧力変更工程と、
前記ノズル面に前記拭き取り部材を当接させて前記ノズル孔から流出する塗布液を前記拭き取り部材に吸収させる拭き取り仕上げ工程と、
をこの順に有することを特徴とするインクジェットヘッドの洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のノズルから塗布液を吐出するインクジェット塗布装置、及び、インクジェットヘッドを洗浄するインクジェットヘッドの洗浄方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ガラスやフィルム等の基材上に線分、矩形状等、様々な形状の塗布膜（膜パターン）がインクジェット塗布装置により形成されている。インクジェット塗布装置は、図１０に示すように、基材Ｗを載置するステージ１００と、塗布液（液滴）を吐出するヘッドモジュール１０２を有するインクジェットヘッド１０１を備えており、基材Ｗとインクジェットヘッド１０１を相対的に移動させつつ基材Ｗ上の所定位置にヘッドモジュール１０２のノズル孔１０４から液滴を吐出することにより精度のよい膜パターンが形成される。
【０００３】
また、インクジェット塗布装置は、洗浄装置１１０を備えており、インクジェットヘッド１０１を定期的に洗浄することにより塗布液を精度よく着弾させることができる。すなわち、洗浄装置１１０は、ノズル孔１０４が形成されるノズル面１０３を洗浄液で洗浄する洗浄部１１０ａと、洗浄後のノズル面１０３を拭き取る拭き取り部１１０ｂと、液滴を吐出させるトレイ部１１０ｃとを有しており、ノズル面１０３が洗浄装置１０１で洗浄されることにより、それぞれのノズル孔１０４の吐出状態が回復される。
【０００４】
すなわち、ノズル面１０３は、洗浄部１１０ａでノズル面１０３に洗浄液が直接噴射されることによって洗浄され（洗浄工程）、その後、図１１に示す拭き取り部１１０ｂの拭き取り部材１０５にノズル面１０３を当接させることにより（図１１（ｂ））、ノズル面１０３に残留した洗浄液が拭き取られる（洗浄液拭き取り工程）。そして、トレイ部１１０ｃにおいて、ノズル孔１０４から塗布液を強制的に吐出させることにより、ブリード、フラッシングが行われ（ブリード・フラッシング工程）、再度、ノズル面１０３を拭き取り部材１０５に当接させてノズル面１０３が拭き取られることにより（拭き取り工程）、ノズル孔１０４の吐出状態が正常に回復される（例えば、下記特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−２０１０７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上述のインクジェット塗布装置では、吐出状態が回復されず、不吐出ノズル（不吐出になったノズル孔１０４）が発生してしまう虞があるという問題があった。すなわち、インクジェットヘッド１０１のノズル孔１０４内は、図１２（ａ）に示すように、通常、塗布液で満たされてノズル孔１０４先端にメニスカスＭが形成される程度に負圧に保たれている。そして、吐出時には、ノズル孔１０４内に一定の圧力を与えることにより、ノズル孔１０４から所定量の液滴が精度よく吐出される。ところが、図１２（ｂ）に示すように、上記ブリード・フラッシング工程後の拭き取り工程において、拭き取り部材１０５がノズル面１０３に当接すると、ノズル孔１０４内の塗布液が拭き取り部材１０５に触れることにより拭き取り部材１０５に吸収される。そして、図１２（ｃ）に示すように、ノズル面１０３が拭き取り部材１０５から離れると、ノズル孔１０４内はメニスカスＭが形成される程度に負圧に保たれているため、拭き取り部材１０５に吸収された塗布液は吸収された量だけノズル孔１０４内の塗布液が不足し、ノズル孔１０４内には、塗布液の減少量に相当する気泡Ａが形成される。この気泡Ａがノズル孔１０４内に形成されると、吐出動作の際、ノズル孔１０４内に圧力をかけても吐出応答できず、結果的に不吐出ノズルが形成され、形成される塗布膜の精度を悪化させてしまうという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、インクジェットヘッドのノズル面の拭き取り動作を行っても、ノズル孔内に気泡が発生して不吐出ノズルが形成されるのを抑えることができるインクジェット塗布装置及びインクジェットヘッドの洗浄方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために本発明のインクジェット塗布装置は、塗布液が吐出されるノズル孔が複数形成されたノズル面を有するインクジェットヘッドと、前記ノズル面を拭き取る拭き取り部材を有する洗浄装置と、を有するインクジェット塗布装置であって、前記インクジェットヘッドは、前記ノズル孔内の圧力が、塗布液を吐出する前に前記ノズル孔内に塗布液を保持する吐出前保持圧力と、洗浄動作時に前記拭き取り部材で前記ノズル面を拭き取る際の洗浄時保持圧力とに調節可能に形成され、前記洗浄時保持圧力は、前記吐出前保持圧力よりも高く設定され、前記ノズル孔から塗布液が流出するのを許容される圧力に設定されていることを特徴としている。
【０００９】
上記インクジェット塗布装置によれば、ノズル面を拭き取る際に設定される洗浄時保持圧力が、ノズル孔内に塗布液を保持する吐出前保持圧力よりも高く設定されているため、ノズル面に拭き取り部材が当接してノズル孔内の塗布液が吸収された場合でもノズル孔内の塗布液が不足する影響を抑えることができる。すなわち、吐出前保持圧力は、ノズル孔にメニスカスＭが形成される程度の負圧に設定されているが、洗浄時保持圧力は吐出前保持圧力よりも高く設定されるため、吐出前保持圧力よりも正圧側の圧力に設定される。すなわち、この洗浄時保持圧力では、メニスカスＭは形成されず、ノズル孔から塗布液が流出することが許容されるため、ノズル孔から拭き取り部材に吸収される塗布液を供給することができる。したがって、インクジェットヘッドのノズル面の拭き取り動作を行っても、ノズル孔内の塗布液が不足してノズル孔内に気泡が形成されるのを抑えることができ、ノズル孔内に気泡が発生することによる不吐出ノズル（不吐出になったノズル孔）が形成されるのを抑えることができる。
【００１０】
また、前記洗浄時保持圧力は、塗布液がノズル孔から流出するのが許容される負圧に設定されている構成にしてもよい。
【００１１】
この構成によれば、洗浄時にノズル孔内に塗布液を保持しつつ、ノズル孔から微量の塗布液が流出するため、拭き取り部材に吸収される塗布液量以上の塗布液が流出するのを抑えることができる。
【００１２】
また、上記課題を解決するために本発明のインクジェットヘッドの洗浄方法は、ノズル面に形成されたノズル孔から塗布液を吐出して塗布膜を形成するインクジェットヘッドの洗浄方法であって、前記ノズル面に洗浄液を噴射して前記ノズル面を洗浄する洗浄工程と、前記ノズル面に残留した洗浄液を拭き取る洗浄液拭取工程と、前記ノズル孔内の圧力を前記吐出前保持圧力から前記洗浄時保持圧力に調節するノズル孔圧力変更工程と、前記ノズル面に前記拭き取り部材を当接させて前記ノズル孔から流出する塗布液を前記拭き取り部材に吸収させる拭き取り仕上げ工程と、をこの順に有することを特徴としている。
【００１３】
上記インクジェットヘッドの洗浄方法によれば、拭き取り仕上げ工程前にノズル孔圧力変更工程を備えており、ノズル孔圧力変更工程で、吐出前保持圧力から洗浄時保持圧力に変更されるため、ノズル孔内の圧力が吐出前保持圧力よりも正圧側の圧力に設定される。そのため、拭き取り仕上げ工程では、ノズル孔内にメニスカスＭは形成されず、ノズル孔から塗布液が流出することが許容されるため、ノズル孔から拭き取り部材に吸収される塗布液を供給することができる。したがって、拭き取り仕上げ工程を行っても、ノズル孔内の塗布液が不足してノズル孔内に気泡が形成されるのを抑えることができ、ノズル孔内に気泡が発生することによる不吐出ノズルが形成されるのを抑えることができる。このように不吐出ノズルが形成されるのを抑えることができるため、従来、ノズルの吐出状態を正常に回復させるために必要であったブリード・フラッシング工程を省くことができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のインクジェット塗布装置及びインクジェットヘッドの洗浄方法によれば、インクジェットヘッドのノズル面の拭き取り動作を行っても、ノズル孔内に気泡が発生して不吐出ノズルが形成されるのを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態におけるインクジェット塗布装置を概略的に示す側面図である。
【図２】上記インクジェット塗布装置を概略的に示す正面図である。
【図３】上記インクジェット塗布装置を概略的に示す上面図である。
【図４】上記インクジェットヘッドを示す図であり、（ａ）はノズル面側から見た図、（ｂ）はヘッドモジュールの拡大図である。
【図５】洗浄部をＹ軸方向から見た図である。
【図６】洗浄部をＸ軸方向から見た図である。
【図７】拭き取り部を示す図である。
【図８】ノズル孔内の塗布液の状態を示す図であり、（ａ）はノズル孔が拭き取り部材から離間しノズル孔内が塗布前保持圧力Ｐ１に設定された状態を示す図、（ｂ）はノズル孔が拭き取り部材に当接しノズル孔内が洗浄時保持圧力Ｐ２に設定された状態を示す図、（ｃ）はノズル孔内が再び塗布前保持圧力Ｐ１に設定された状態を示す図である。
【図９】一連のインクジェットヘッドの洗浄方法を示すフローチャートである。
【図１０】従来のインクジェット塗布装置を概略的に示す側面図である。
【図１１】従来のインクジェット塗布装置の拭き取り部を示す図であり、（ａ）はインクジェットヘッドが拭き取り部材から離間した状態を示す図、（ｂ）はインクジェットヘッドが拭き取り部材に当接した状態を示す図である。
【図１２】ノズル孔内の塗布液の状態を示す図であり、（ａ）はノズル孔が拭き取り部材から離間した状態を示す図、（ｂ）はノズル孔が拭き取り部材に当接した状態を示す図、（ｃ）はノズル孔が拭き取り部材から離間し、ノズル孔内に気泡が発生した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の洗浄装置に係る実施の形態を図面を用いて説明する。
【００１７】
図１は、洗浄装置を備えたインクジェット塗布装置の一実施形態を示す側面図であり、図２は、インクジェット塗布装置の正面図、図３は、インクジェット塗布装置の上面図、図４は、インクジェットヘッドをノズル面側から見た図である。なお、本実施形態のインクジェット塗布装置に用いられるインクは、カラーフィルタに用いられるインクや、有機ＥＬ、配線パターンの導電性インク、保護膜等、インクジェット形式で吐出できるものであれば、あらゆるものを対象とすることができる。
【００１８】
図１〜図４に示すように、インクジェット塗布装置１は、基材Ｗを載置するステージ２と、基材Ｗにインクを吐出する液滴ユニット３とを有しており、液滴ユニット３がステージ２に載置された基材Ｗ上を移動しつつ、インクを所定の位置に吐出することにより、基材Ｗ上に所定のパターンが形成される。
【００１９】
なお、以下の説明では、この液滴ユニット３が移動する方向をＸ軸方向、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。
【００２０】
液滴ユニット３は、本実施形態では、基材Ｗ上に塗布液（液滴）を塗布するものであり、塗布液を吐出するインクジェットヘッド３１と、このインクジェットヘッド３１を支持するガントリ３２とを有している。ガントリ３２は、ステージ２のＹ軸方向両端部分に設けられる支持部材３２ａと、これら２つの支持部材３２ａを連結するビーム部３２ｂとを有しており、支持部材３２ａとビーム部３２ｂによって略門型形状を有している。また、ステージ２に隣接する位置には、Ｘ軸方向に延びるレール２１が設けられており、支持部材３２ａは、それぞれレール２１上に沿ってスライド自在に設けられている。そして、支持部材３２ａには、リニアモータなどの駆動手段が設けられており、リニアモータを駆動制御することにより、支持部材３２ａがＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止できるようになっている。すなわち、液滴ユニット３がステージ２上を跨ぐ状態でＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止することができる。なお、レール２１は、洗浄装置４まで延びており、リニアモータを駆動制御することにより、液滴ユニット３が洗浄装置４で停止することができる。
【００２１】
また、ビーム部３２ｂには、インクを吐出するインクジェットヘッド３１が設けられている。インクジェットヘッド３１は、ビーム部３２ｂが支持部材３２ａに対して昇降動作することにより、基材Ｗに対して昇降動作できるようになっている。これにより基材Ｗにインクを吐出する塗布動作の際には、基材Ｗとインクジェットヘッド３１との距離が適切になるように調節される。また、インクジェットヘッド３１は、ビーム部３２ｂに沿ってＹ軸方向に移動可能に取付けられている。すなわち、Ｘ軸方向の所定位置で基材Ｗと対向するインクジェットヘッド３１は、Ｙ軸方向に移動することにより、そのＸ軸方向所定位置における基材ＷのすべてのＹ軸方向領域と対向できるようになっている。すなわち、支持部材３２ａがレール２１に沿って移動することによりＸ軸方向に移動し、さらにインクジェットヘッド３１がビーム部３２ｂに沿ってＹ軸方向に移動することにより、基材Ｗの所定位置にインクジェットヘッド３１が移動しインクを着弾させることができるようになっている。
【００２２】
また、インクジェットヘッド３１は、基材Ｗに対向する基材対向面３０ａ（図４（ａ）参照）に、複数のヘッドモジュール５を搭載しており、このヘッドモジュール５からインクが吐出される。ヘッドモジュール５は、ピエゾ素子を駆動源としたインク吐出装置である。ヘッドモジュール５は、インクを吐出するノズル孔５１を有しており、基材Ｗに対向するノズル面５１ａ（図４（ｂ）参照）に複数のノズル孔５１がヘッドモジュール５の長手方向に一方向に並んで配置されている。図４の例では、ノズル孔５１がＹ軸方向に配列されている。
【００２３】
そして、ヘッドモジュール５は、Ｙ軸方向において、それぞれが互いに重複する部分を有し、かつ、Ｘ軸方向に隣接して配置されており、複数のヘッドモジュール５が、いわゆる階段状に配置されている。すなわち、ヘッドモジュール５は、ノズル配置間隔とヘッドモジュール５の両端部分とでは寸法が異なっているため、この両端部分の寸法分を相殺できるようにＸ軸方向にずらしつつＹ軸方向に配列される。そして、この階段状に配置された３つのヘッドモジュール５の集合体をヘッドモジュール５の両端部分の寸法分を相殺できるように繰り返しＹ軸方向に配置することにより、インクジェットヘッド３１全体としてＸ軸方向に見て、すべてのノズル孔５１がＹ軸方向に沿って配列され、Ｘ軸方向から見てＹ軸方向に亘って等間隔で配置される。
【００２４】
ヘッドモジュール５は、ノズル面５１ａに複数のノズル孔５１が形成されており、ノズル孔５１の先端位置とノズル面５１ａとがほぼ一致するように形成されている。すなわち、ノズル面５１ａは平坦な形状を有しており、ノズル孔５１がノズル面５１ａと面一になっている。そして、インクジェットヘッド３１には、一体化されたすべてのヘッドモジュール５のノズル面５１ａが基材Ｗ側に向く状態で配置されており、全てのノズル面５１ａが基材Ｗと平行になっている。そして、ピエゾ素子を駆動させることにより、ノズル面５１ａに配列された各ノズル孔５１から一滴ずつインクを吐出できるようになっている。すなわち、ノズル孔５１内の圧力は、ノズル孔５１先端にメニスカスＭが形成されるように、吐出前保持圧力Ｐ１である負圧に維持されている（図８（ａ）参照）。そして、塗布動作時に塗布液を吐出させる場合には、ノズル孔５１内を加圧することによりメニスカスＭを破壊し、ノズル孔５１から塗布液（液滴）を吐出させる。これにより、基材Ｗ上の塗布領域の所定位置に所定量のインクが吐出され、精度よく吐出パターンを形成することができる。具体的には、ガントリ３２をＸ軸方向（＋方向）に走行させつつ、基材Ｗ上の所定位置に位置するノズル孔５１からインクを吐出させる。次いで、基材ＷのＸ軸方向端部でガントリ３２を停止させた状態でインクジェットヘッド３１をビーム部３２ｂのＹ軸方向端部まで移動させ、今度はガントリ３２をＸ軸方向（−方向）に走行させつつ、基材Ｗ上の所定位置に所定のノズル孔５１を配置させてノズル孔５１からインクを吐出させることにより、基材Ｗ全体に所定パターンを形成することができる。なお、このノズル面５１ａは、撥液性材料がコーティングされており、ノズル孔５１からインクが吐出された際に、余分なインクがノズル面５１ａに付着するのを抑え、仮に付着した場合でも拭き取り等の清掃作業により容易にインクを除去できるようになっている。
【００２５】
また、ステージ２のＸ軸方向に隣接する位置には、洗浄装置４が配置されている。この洗浄装置４は、ヘッドモジュール５のノズル面５１ａに付着した塗布液を除去し、ノズル孔５１の吐出状態を回復するためのものであり、ノズル面５１ａを洗浄する洗浄部４１と、洗浄後のノズル面５１ａを拭き取る拭き取り部７１とを有している。
【００２６】
洗浄部４１は、図５、図６に示すように、廃棄する洗浄液等（洗浄液、及び、除去されたインクの混合物）を受ける廃液トレイ４１と、洗浄液を噴出する洗浄ユニット４２とを有している。洗浄動作時には、インクジェットヘッド３１が廃液トレイ４１上に配置された状態で洗浄ユニット４２から噴出された洗浄液をノズル面５１ａに噴出することによりインクの除去が行われる。
【００２７】
廃液トレイ４１は、上方に開放された器形状を有しており、廃棄すべき洗浄液等を貯めることができる。廃液トレイ４１内には、洗浄ユニット４２が設けられている。この洗浄ユニット４２は、洗浄液を噴出する洗浄液噴射部４３と、洗浄液噴射部４３が取り付けられる洗浄フレームトレイ４４とを有しており、洗浄フレームトレイ４４がインクジェットヘッド３１に当接した状態で洗浄液噴射部４３から洗浄液を噴出させることによりノズル面５１ａを洗浄することができる。
【００２８】
洗浄フレームトレイ４４は、その底面部４４ａに洗浄液噴射部４３が取り付けられている。この洗浄フレームトレイ４４は、インクジェットヘッド３１とほぼ同じ大きさに形成されており、底面部４４ａの周囲に位置する端部から垂直に延びる側壁部４４ｂが、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された際に、インクジェットヘッド３１と対向するようになっている。そして、側壁部４４ｂには、基材対向面３０ａに対向する対向面４４ｂ１にはシール部４６が環状に設けられており、シール部４６の一部が対向面４４ｂ１から突出するように配置されている。
【００２９】
また、洗浄フレームトレイ４４には、鉛直方向に昇降する昇降機構４９が設けられており、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された状態で、インクジェットヘッド３１に対して近接、離間できるように構成されている。そのため、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された状態で、昇降機構４９により洗浄フレームトレイ４４を上昇させると、側壁部４４ｂに設けられたシール部４６がインクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａに当接し、インクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａと洗浄フレームトレイ４４とで形成された領域が外部に対して密封されるようになっている。これにより、洗浄液噴射部４３から洗浄液を噴出させても洗浄液が外部に飛散するのを防止できるようになっている。
【００３０】
洗浄液噴射部４３は、洗浄液をインクジェットヘッド３１のノズル面５１ａに直接噴出するものである。洗浄液噴射部４３は、シャワー型のノズル（シャワーノズル４７）であり、本実施形態では２つのシャワーノズル４７が一方向に沿って配置されている。具体的には、洗浄フレームトレイ４４の幅方向（短手方向）中央位置に２つのシャワーノズル４７が設けられており、この２つのシャワーノズル４７が長手方向に所定間隔で複数箇所に設けられている（図６参照）。すなわち、シャワーノズル４７は、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された状態でインクジェットヘッド３１の長手方向にわたって洗浄液を噴出できる位置に配置されている。
【００３１】
シャワーノズル４７は、洗浄液が噴出される部分であり、本体部分に洗浄液が噴射される噴射口が多数形成されている。これらの噴射口は、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された状態で、インクジェットヘッド３１のノズル面５１ａに向かって直接噴射される向きに設定されている。本実施形態では、シャワーノズル４７は、本体部分から扇型に噴射されるように設定されており、基材対向面３０ａに配置されるすべてのヘッドモジュール５のノズル面５１ａに向かって吹き付けるように洗浄液が噴射される。これにより、ノズル面５１ａに付着したインクは、洗浄液の成分により軟化されつつ、洗浄液の噴射力により、ノズル面５１ａから引き剥がされて除去される。
【００３２】
また、拭き取り部７１は、シャワーノズル４７による洗浄後、ノズル面５１ａに残留する洗浄液を拭き取るためのものである。具体的には、図７に示すように、Ｙ軸方向に離れて配置されたロール７２間に帯状の布部材である拭き取り部材７３が掛け渡されており、一方のロール７２から拭き取り部材７３が繰り出され、もう一方のロール７２で拭き取り部材７３が巻き取られるように形成されている。拭き取り動作時には、ノズル面５１ａに洗浄液が付着したインクジェットヘッド３１が拭き取り部材７３上に下降すると、ノズル面５１ａが拭き取り部材７３に押圧されることにより、ノズル面５１ａに付着した塗布液、洗浄液等が布部材の吸水力により吸収されることによりノズル面５１ａの拭き取りが行われる。そして、洗浄液が付着した拭き取り部材７３は、ロール７２により巻き取られ、操り出し側の拭き取り部材７３がなくなると、新しい拭き取り部材７３が巻回されたロール７２が供給される。すなわち、ノズル面５１ａを拭き取る拭き取り部材７３は、常に新しい拭き取り部材７３が供給されるようになっており、拭き取られた洗浄液が再度、ノズル面５１ａに付着するのを防止できるようになっている。
【００３３】
ここで、拭き取り動作時には、ノズル孔５１内の圧力は、洗浄時保持圧力Ｐ２に切り替えられる。この洗浄時保持圧力Ｐ２は、拭き取り部材７３がノズル面５１ａに当接した際に設定される圧力であり、吐出前保持圧力Ｐ１よりも高い圧力に設定されている。本実施形態では、洗浄時保持圧力Ｐ２は、ノズル孔５１ａから塗布液が流出するのが許容される圧力であって、ノズル孔５１ａ内が負圧に調節される。すなわち、図８（ａ）に示すようにノズル孔５１ａ内が吐出前保持圧力Ｐ１に設定されメニスカスＭが形成されている状態から、ノズル孔５１ａ内が洗浄時保持圧力Ｐ２に調節されると、ノズル孔５１ａ先端のメニスカスＭが破壊され、ノズル孔５１ａの先端から僅かに塗布液が流出し、時間と共にノズル孔５１ａから塗布液が染み出す（図８（ｂ））。そのため、洗浄動作時にノズル面５１ａに拭き取り部材７３が当接すると、ノズル孔５１ａ内の塗布液が拭き取り部材７３に吸収されるが、ノズル孔５１ａ内が塗布前保持圧力Ｐ１よりも高い洗浄時保持圧力Ｐ２に調節されているため、ノズル孔５１ａ内から吸収された分の新たな塗布液が上流側からノズル孔５１ａ内に供給される。したがって、従来のように吐出前保持圧力Ｐ１を維持しつつ拭き取り部材７３に当接させる場合に比べて、塗布液が拭き取り部材７３に供給されることによりノズル孔５１ａ内に気泡が形成されることはなく、ノズル面５１ａに拭き取り部材７３が当接してもノズル孔５１ａには常に塗布液で満たされる。
【００３４】
なお、洗浄時保持圧力Ｐ２は、ノズル面５１ａが拭き取り部材７３から離れる直前に吐出前保持圧力Ｐ１に切り替えられる。すなわち、洗浄時保持圧力Ｐ２に調節されることにより、ノズル孔５１から流出した塗布液が拭き取り部材７３に吸収され、拭き取り部材７３が吸収できる塗布液量がほぼ満たされる。そのため、ノズル面５１ａが拭き取り部材７３に当接した状態で吐出前保持圧力Ｐ１に切り替えられた場合でもノズル孔５１内の塗布液は拭き取り部材７３にほとんど吸収されず、ノズル孔５１内に気泡が形成されることが回避される。そして、吐出前保持圧力Ｐ１に切り替えられた後、インクジェットヘッド３１が上昇してノズル面５１ａが拭き取り部材７３から離れると（図８（ｃ））、ノズル孔５１先端にはメニスカスＭが形成されるため、ノズル孔５１から塗布液が漏れ出してノズル面５１ａに塗布液が付着することが回避される。
【００３５】
また、Ｘ軸方向端部には、、塗布液を捨て打ちする排液トレイ部６が設けられており、この排液トレイ部６でブリード動作、フラッシング動作が行われる。なお、ブリード動作は、上記洗浄装置による洗浄ではノズル孔５１の不吐出状態が解消されず、所定の設定数、不吐出ノズルが発生した場合に行われ、一定量のインクを強制的に吐出してノズル孔５１の吐出状態を回復させるものである。また、フラッシング動作は、基材交換などで待機する場合に、ノズル孔５１でインクが乾燥しないように完結的にインクを吐出する動作である。排液トレイ部６には、排液トレイが設けられており、インクジェットヘッド３１が排液トレイ上に配置された状態で、排液トレイにインクを吐出することによりブリード動作、フラッシング動作が行われる。
【００３６】
次に、洗浄装置４の動作について図９のフローチャートに基づいて説明する。この洗浄装置４による動作は、先の塗布動作が行われた後、次の新たな塗布動作を行う際に、インクジェットヘッド３１の吐出状態を保全するために行われる。
【００３７】
まず、所定の塗布動作が行われた後、シャワー洗浄工程が行われる（ステップＳ１）。具体的には、インクジェットヘッド３１を廃液トレイ４１上に移動させて、基材対向面３０ａが廃液トレイ４１内の洗浄フレームトレイ４４上に配置させる。そして、インクジェットヘッド３１を所定位置まで下降させた後、洗浄フレームトレイ４４を上昇させて洗浄フレームトレイ４４の側壁部４４ｂをインクジェットヘッド３１に当接させる。すなわち、側壁部４４ｂのシール部４６が基材対向面３０ａに当接することにより、基材対向面３０ａと洗浄フレームトレイ４４とで形成される領域が密封される。この状態を維持しつつ、洗浄液噴射部４３（シャワーノズル４７）から洗浄液を噴射させることにより、ヘッドモジュール５のノズル面５１ａ等に直接洗浄液を吹き付ける。これにより、洗浄液の洗浄力、及び、噴射力により、ノズル面５１ａ等に付着したインクが除去される。
【００３８】
次に、洗浄液拭取工程が行われる（ステップＳ２）。具体的には、インクジェットヘッド３１を拭き取り部７１上に移動させ、インクジェットヘッド３１を下降させて、残留した洗浄液を拭き取り部材７３に吸収させる。すなわち、ノズル面５１ａ等に付着した洗浄液の液滴に拭き取り部材７３を接触させることにより、ノズル面５１ａ等に付着した液滴が拭き取り部材７３に吸収されて除去される。すなわち、ノズル面５１ａ等に付着した洗浄液の雫が除去される。
【００３９】
次に、ノズル孔圧力変更工程が行われる（ステップＳ３）。このノズル孔圧力変更工程は、ノズル孔５１内の圧力を吐出前保持圧力Ｐ１から洗浄時保持圧力Ｐ２に変更するものである。すなわち、ノズル孔内の圧力は、塗布動作時に吐出前保持圧力Ｐ１に調整されており、ノズル孔５１先端にメニスカスＭが形成された状態に維持されている。この吐出前保持圧力Ｐ１を洗浄時保持圧力Ｐ２に変更することにより、メニスカスＭが破壊され、僅かな塗布液がノズル孔から染み出し、塗布液が流出することが許容される。これにより、上記洗浄液拭取工程では吐出前保持圧力Ｐ１に調整されているところ、ノズル面５１ａが拭き取り部材７３で拭き取られることによりノズル孔内に気泡が発生したとしても、洗浄時保持圧力Ｐ２に調整されることにより、ノズル孔５１内が再び塗布液で満たされる。
【００４０】
次に、拭き取り仕上げ工程が行われる（ステップＳ４）。具体的には、インクジェットヘッド３１を拭き取り部７１の拭き取り部材７３上に移動させる。そして、インクジェットヘッド３１が拭き取り部材７３上に移動した後、インクジェットヘッド３１を下降させてノズル面５１ａを拭き取り部材７３に当接させることにより、ノズル孔５１から染み出だしてノズル面５１ａに付着した塗布液が拭き取られる。このとき、ノズル面５１ａに付着した塗布液を拭き取ると同時にノズル孔５１内の塗布液も拭き取り部材７３に吸収されるが、ノズル孔５１内が洗浄時保持圧力Ｐ２に調節されているため、ノズル孔５１内に新たな塗布液が供給されるため、ノズル５１内に気泡が形成されるのを抑えることができる。そして、ノズル孔５１内の圧力が洗浄時保持圧力Ｐ２から吐出前保持圧力Ｐ１に切り替えられた後、インクジェットヘッド３１が上昇することにより、ノズル面５１ａが拭き取り部材７３から離れてノズル孔５１先端にメニスカスＭが形成され、拭き取り仕上げ工程が終了する。これにより、インクジェットヘッド３１の洗浄が完了し、ノズル孔５１の吐出状態が回復される。
【００４１】
このように、上記実施形態におけるインクジェット塗布装置によれば、ノズル面５１ａを拭き取る際に設定される洗浄時保持圧力Ｐ２が、ノズル孔５１内に塗布液を保持する吐出前保持圧力Ｐ１よりも高く設定されているため、ノズル面５１ａに拭き取り部材７３が当接してノズル孔５１内の塗布液が吸収された場合でもノズル孔５１内の塗布液が不足する影響を抑えることができる。すなわち、吐出前保持圧力Ｐ１は、ノズル孔５１にメニスカスＭが形成される程度の負圧に設定されているが、洗浄時保持圧力Ｐ２は吐出前保持圧力Ｐ１よりも高く設定されるため、吐出前保持圧力Ｐ１よりも正圧側の圧力に設定される。すなわち、この洗浄時保持圧力Ｐ２では、メニスカスＭは形成されず、ノズル孔５１から塗布液が流出することが許容されるため、ノズル孔５１から拭き取り部材７３に吸収される塗布液を供給することができる。したがって、インクジェットヘッド３１のノズル面５１ａの拭き取り動作を行っても、ノズル孔５１内の塗布液が不足してノズル孔５１内に気泡が形成されるのを抑えることができ、ノズル孔５１内に気泡が発生することによる不吐出ノズル（不吐出になったノズル孔５１）が形成されるのを抑えることができる。
【００４２】
また、上記実施形態では、各ノズルの吐出状態の回復について、ブリード、フラッシング動作を行わずに説明したが、不吐出ノズルの割合が一定以上になった場合や、通常の上記吐出状態の回復方法では回復しきれない場合には、上記洗浄工程の前にブリード工程を行うものであってもよい。そして、一連の洗浄動作が完了し（上記拭き取り仕上げ工程が完了し）、次の塗布動作まで待機時間がある場合には、排液トレイ部６上でフラッシング動作を行うものであってもよい。ただし、上記実施形態で説明したブリード工程を行わない方が、塗布液を浪費せずにノズル孔５１の吐出状態を回復できる点で好ましい。
【００４３】
また、上記実施形態では、洗浄時保持圧力Ｐ２が負圧である場合について説明したが、洗浄時保持圧力Ｐ２が陽圧に設定されるものであってもよい。陽圧に設定されることにより、ノズル孔５１から塗布液の流出量が増加するが、拭き取り部材７３が当接した際にノズル孔５１内に気泡が形成されるのを抑えることができる。
【符号の説明】
【００４４】
１  インクジェット塗布装置
２  ステージ
３  液滴ユニット
４  洗浄装置
４１  洗浄部
５１  ノズル孔
５１ａ  ノズル面
７１  拭き取り部
７３  拭き取り部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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