(57)【要約】【課題】プラグとソケットが互いに接続されるときに生じるプラグの先端における傷の発生を抑制又は防止することができ、また、ソケット内部のメンテナンス性を向上させることを目的とする。【解決手段】流体移送用コネクタは、流体管の端部に設置されたオス形の金属製プラグと、プラグが挿入可能であり、プラグと接続されたとき流体が連通するメス形のソケット１００とを備え、ソケット１００は、プラグとソケット１００が接続された状態でプラグの先端部が収容される断面円形状の収容部１１を有し、収容部１１は、金属製の弁体ホルダ４０ｂと、弁体ホルダ４０ｂの内側に設置され、プラグとソケット１００が接続された状態でプラグの先端部と弁体ホルダ４０ｂの間に配置されている合成樹脂製の筒部１２とを有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体管の端部に設置されたオス形の金属製プラグと、
前記プラグが挿入可能であり、前記プラグと接続されたとき流体が連通するメス形のソケットと、
を備え、
前記ソケットは、前記プラグと前記ソケットが接続された状態で前記プラグの先端部が収容される断面円形状の収容部を有し、
前記収容部は、
金属製の本体部と、
前記本体部の内側に設置され、前記プラグと前記ソケットが接続された状態で前記プラグの前記先端部と前記本体部の間に配置されている合成樹脂製の筒部と、
を有する流体移送用コネクタ。
【請求項２】
前記筒部の内周面には、Ｏリングが収容される第１溝が形成され、前記第１溝に収容された前記Ｏリングは、前記プラグと前記ソケットが接続された状態で前記筒部と前記プラグとに接触する請求項１に記載の流体移送用コネクタ。
【請求項３】
前記筒部の内周面には、前記筒部の軸方向に対して平行であり、前記第１溝に接続された第２溝が形成されている請求項２に記載の流体移送用コネクタ。
【請求項４】
前記筒部の内周面には、前記筒部の軸方向に対して平行であり、周方向に対して交差した平面を有する第３溝が形成されている請求項１から３のいずれか１項に記載の流体移送用コネクタ。
【請求項５】
前記収容部に設置され、前記収容部に対して洗浄液を噴射するノズルを更に備え、
前記筒部には、前記ノズルが貫通して設置可能な貫通孔が形成されている請求項１から４のいずれか１項に記載の流体移送用コネクタ。
【請求項６】
前記筒部は、前記本体部に対して圧入されて固定、前記本体部の内周面に形成された第４溝に挿入されたＣリングによって固定、又は、前記本体部に対して螺合されて固定されている請求項１から５のいずれか１項に記載の流体移送用コネクタ。
【請求項７】
前記筒部は、一体的な一つの部材によって構成、又は、複数の構成部品によって構成されている請求項１から６のいずれか１項に記載の流体移送用コネクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体移送用コネクタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
流体移送用コネクタは、２つの異なる配管系統を接続する装置であり、例えば、半導体製造装置に用いられる流体（例えば薬液やガスなど）を一方から他方へ移送する際に用いられる。流体移送用コネクタは、例えば、流体を一時的に貯蔵するバッファタンクが設けられた建屋側に固定設置されたソケットと、タンクローリから導かれたホース等の流体管の先端に固定されたプラグとを備えている。ソケットにはバッファタンクと結ばれた流体管が接続されている。
【０００３】
ソケットとプラグが互いに接続されることによって、タンクローリからバッファタンクへ、又は、バッファタンクからタンクローリへと流体が移送可能になる。
【０００４】
流体移送用コネクタでは、オス形のプラグがソケット側の差込口に挿入されて固定された後、メス形のソケット本体が内部機構部の動作によってプラグ側へ移動する。そして、プラグとソケット本体が接続することによって、ソケット側の流体管とプラグ側の流体管が連通する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１３０５７４号公報
【特許文献２】特開２００８−８４０３号公報（特許第４９４４５１５号公報）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
タンクローリと接続される流体管は、例えば内側チューブ、中間チューブ及び外側チューブからなる三重構造を採用したものがあり、内側チューブ等は十分な肉厚が確保され、外側チューブはステンレス管等が用いられる。これにより、漏洩防止等の安全対策が施されるが、流体管の重量が大きくなる。そこで、重い流体管を支えて接続部の負担を軽減する目的で、金属製プラグの挿入状態を支持するための金属製補強部がソケットの入口側に設けられる場合がある（上記の特許文献１）。
【０００７】
しかし、この場合、金属製のプラグの外径とソケットの金属製補強部の内径の寸法設定を厳しくして、プラグの外周面と金属製補強部の内周面の間に隙間が生じないように形成される。そのため、上記の特許文献２では、プラグがソケットに挿入されるとき、金属部品同士の特有のかじり状態が発生することによって、金属製のプラグをスムーズに挿入できないという問題が生じることに着目し、金属製補強部に樹脂製ライナを具備することが開示されている。これにより、プラグの挿入時、金属部品同士のかじりが防止される。このように、特許文献２で開示された技術は、ソケットの入口側における部品が樹脂製に置き換えられたものである。
【０００８】
一方、上述した課題と異なり、金属製のプラグと金属製のソケットが互いに接続されるとき、プラグの先端の外周面に傷が付くという問題がある。プラグの先端に傷が形成されると、プラグの外周面とソケットの内周面の間のシール性能が低下し、流通する流体が漏洩するという問題が生じる。具体的には、プラグがソケット側の差込口に挿入された後、プラグ側の流体管の自重などによってプラグの後端側に負荷がかかると、流体管と接続されたプラグの後端が下側へ下がり、プラグの先端が上側へ向いた状態となる。そのため、プラグとソケットが互いに接続されるとき、プラグの先端がソケットの内周面に接触したままスライドすることによって、プラグの先端の外周面に傷が付く。この問題は、ソケット本体が内部機構部の動作によってプラグ側へ移動するとき、手動による動作と異なり、強制的に接続動作が行われるため、特に生じやすい。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、プラグとソケットが互いに接続されるときに生じるプラグの先端における傷の発生を抑制又は防止することができ、また、ソケット内部のメンテナンス性を向上させることが可能な流体移送用コネクタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明の流体移送用コネクタは以下の手段を採用する。
本発明に係る流体移送用コネクタは、流体管の端部に設置されたオス形の金属製プラグと、前記プラグが挿入可能であり、前記プラグと接続されたとき流体が連通するメス形のソケットとを備え、前記ソケットは、前記プラグと前記ソケットが接続された状態で前記プラグの先端部が収容される断面円形状の収容部を有し、前記収容部は、金属製の本体部と、前記本体部の内側に設置され、前記プラグと前記ソケットが接続された状態で前記プラグの前記先端部と前記本体部の間に配置されている合成樹脂製の筒部とを有する。
【００１１】
この構成によれば、オス形の金属製プラグは、流体管の端部に設置されており、プラグが挿入可能なメス形のソケットは、プラグと接続されたとき流体が連通する。ソケットは、収容部を有し、収容部には、プラグとソケットが接続された状態でプラグの先端部が収容される。収容部は、金属製の本体部と、本体部の内側に設置された合成樹脂製の筒部を有する。筒部は、プラグとソケットが接続された状態でプラグの先端部と本体部の間に配置されている。これにより、プラグとソケットが互いに接続されるとき、プラグの先端がソケットの内周面に接触したままスライドしたとしても、プラグの先端部は、金属製の本体部ではなく合成樹脂製の筒部と接触するため、プラグの先端部において傷が生じにくい。また、筒部は、本体部とは別体であるため、本体部に対して着脱可能な構成を有する。したがって、プラグとの接触によってソケットの収容部に傷が生じた場合でも、筒部を交換すればよく、メンテナンス性が向上する。
【００１２】
上記発明において、前記筒部の内周面には、Ｏリングが収容される第１溝が形成され、前記第１溝に収容された前記Ｏリングは、前記プラグと前記ソケットが接続された状態で前記筒部と前記プラグとに接触してもよい。
【００１３】
この構成によれば、筒部の内周面に第１溝が形成され、第１溝にはＯリングが収容される。第１溝に収容されたＯリングは、プラグとソケットが接続された状態で筒部とプラグとに接触する。これにより、プラグの外周面とソケットの内周面の間のシール性が向上する。また、Ｏリングが収容される溝が、金属製の本体部に直接形成される場合と異なり、筒部を交換することによってＯリングが収容される第１溝を再構築できることから、メンテナンス性が高まる。
【００１４】
上記発明において、前記筒部の内周面には、前記筒部の軸方向に対して平行であり、前記第１溝に接続された第２溝が形成されてもよい。
【００１５】
この構成によれば、筒部の内周面には、筒部の軸方向に対して平行な第２溝が形成され、第２溝はＯリングが収容される第１溝と接続されている。これにより、第２溝に例えば棒状部材を挿通して、棒状部材の先端を第１溝に収容されたＯリングに到達させることができるため、棒状部材を用いることによってＯリングの取り外しが容易になる。
【００１６】
上記発明において、前記筒部の内周面には、前記筒部の軸方向に対して平行であり、周方向に対して交差した平面を有する第３溝が形成されてもよい。
【００１７】
この構成によれば、筒部の内周面には、筒部の軸方向に対して平行な第３溝が形成され、第３溝は、周方向に対して交差した平面を有する。これにより、第３溝に棒状部材を設置して、棒状部材の側面を第３溝の周方向に対して交差した平面に当接でき、棒状部材を用いて、筒部を周方向に回転させることができる。したがって、筒部が本体部に挿入された後、筒部の周方向の位置決めが容易になる。
【００１８】
上記発明において、前記収容部に設置され、前記収容部に対して洗浄液を噴射するノズルを更に備え、前記筒部には、前記ノズルが貫通して設置可能な貫通孔が形成されてもよい。
【００１９】
この構成によれば、ノズルが、筒部の貫通孔に貫通して設置されて、収容部に設置される。ノズルは、収容部に対して洗浄液を噴射でき、洗浄液によって収容部内やプラグの先端を洗浄できる。また、筒部の貫通孔にノズルが貫通して設置されているため、筒部の軸方向の移動や周方向の回転がノズルによって抑制され、筒部が本体部から外れにくくなる。
【００２０】
上記発明において、前記筒部は、前記本体部に対して圧入されて固定、前記本体部の内周面に形成された第４溝に挿入されたＣリングによって固定、又は、前記本体部に対して螺合されて固定されてもよい。
【００２１】
この構成によれば、筒部は本体部に対して圧入されて固定されることにより、他の部品を用いて固定する必要がなく、筒部を本体部に対して取り付けたり取り外したりすることが比較的容易である。また、螺合によって固定する場合と比べて、周方向の位置決めを行いやすい。また、本体部の内周面に形成された第４溝に挿入されたＣリングによって固定されたり、本体部に対して螺合されて固定されたりすることにより、筒部が本体部に対して軸方向に抜けにくくなる。
【００２２】
上記発明において、前記筒部は、一体的な一つの部材によって構成、又は、複数の構成部品によって構成されてもよい。
【００２３】
この構成によれば、筒部が一体的な一つの部材によって構成されることにより、筒部の剛性を高めることができる。また、筒部が複数の構成部品によって構成されることにより、筒部の作製を容易化させたり本体部に対して取り付けやすくすることができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、プラグとソケットが互いに接続されるときに生じるプラグの先端における傷の発生を抑制又は防止することができ、また、ソケット内部のメンテナンス性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施形態に係る流体移送用コネクタを示す縦断面図であり、ソケットとプラグが接続された状態を示す。
【図２】本発明の一実施形態に係る流体移送用コネクタのソケットを示す縦断面図であり、移動部が第１開口部側に移動した状態を示す。
【図３】本発明の一実施形態に係る流体移送用コネクタのソケットを示す縦断面図であり、移動部が第２開口部側に移動した状態を示す。
【図４】本発明の一実施形態に係る流体移送用コネクタのソケットを示す横断面図であり、噴射用ノズルが設置された位置で切断した図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る筒部を示す正面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る筒部を示す縦断面図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る収容部を示す部分拡大縦断面図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る収容部の第１変形例を示す部分拡大縦断面図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る収容部の第２変形例を示す部分拡大縦断面図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る筒部の第１変形例を示す部分拡大縦断面図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係る筒部の第２変形例を示す部分拡大縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下に、本発明に係る流体移送用コネクタ１の一実施形態について、図面を参照して説明する。
本発明の一実施形態に係る流体移送用コネクタ１は、図１に示すように、例えば建屋側に固定設置されるソケット１００と、ホース等の流体管４００の先端に固定されるプラグ２００とを備える。ソケット１００とプラグ２００が互いに接続されることによって、流体移送用コネクタ１において、非圧縮性流体が流通可能となる。本実施形態における非圧縮性流体とは、例えば、半導体製造装置に用いられる純水や薬液等の液体である。
【００２７】
ソケット１００には、例えば建屋に設置されたバッファタンクと結ばれた流体管３００が接続されている。プラグ２００は、例えばタンクローリから導かれたホース等の流体管４００の先端に固定されている。
【００２８】
以下、本実施形態に係るソケット１００についてより詳細に説明する。
図１〜図３に示すように、ソケット１００は、ハウジング部１０と、弁体部２０と、ベローズ部３０と、移動部４０などを備える。
【００２９】
ハウジング部１０は、軸線Ｘに沿って筒状に形成された部材である。ハウジング部１０は、第１開口部１００ａと、第２開口部１００ｂを有する。第１開口部１００ａは、軸線Ｘに沿ったソケット１００の一端側に形成され、第１開口部１００ａにはプラグ２００が挿入される。第２開口部１００ｂは、軸線Ｘに沿ったソケット１００の他端側に形成され、第２開口部１００ｂには流体管３００が接続される。
【００３０】
ハウジング部１０は、図２に示すように、軸線Ｘに沿った第１開口部１００ａ側から順に、第１ハウジング部１０ａと、第２ハウジング部１０ｂと、第３ハウジング部１０ｃと、第４ハウジング部１０ｄとを備える。また、第１ハウジング部１０ａの第１開口部１００ａ側にフロントカバー１０ｅが配置され、第４ハウジング部１０ｄの第２開口部１００ｂ側にバックカバー１０ｆが配置される。さらに、第１ハウジング部１０ａと第２ハウジング部１０ｂの間には、軸線Ｘ回りに延びる円環状に形成されるサイドフランジ１０ｇが配置される。
【００３１】
フロントカバー１０ｅは、軸線Ｘ回りの複数箇所において、締結ボルト９０によって第１ハウジング部１０ａに締結されている。また、第１ハウジング部１０ａは、軸線Ｘ回りの複数箇所において、締結ボルト９１によってサイドフランジ１０ｇに締結されている。また、サイドフランジ１０ｇは、軸線Ｘ回りの複数箇所において、締結ボルト９２によってシャフト９５の内周面に形成された雌ねじに締結されている。また、バックカバー１０ｆは、軸線Ｘ回りの複数箇所において、締結ボルト９３によってシャフト９５の内周面に形成された雌ねじに締結されている。
【００３２】
第２ハウジング部１０ｂと、第３ハウジング部１０ｃと、第４ハウジング部１０ｄには、これらの内部の軸線Ｘ回りの複数箇所に形成される挿入穴にシャフト９５が挿入される。サイドフランジ１０ｇ側からシャフト９５の一端に締結ボルト９２が締結され、バックカバー１０ｆ側からシャフト９５の他端に締結ボルト９３が締結されることによって、第２ハウジング部１０ｂと、第３ハウジング部１０ｃと、第４ハウジング部１０ｄが、一体化されている。また、第１ハウジング部１０ａと第２ハウジング部１０ｂと第３ハウジング部１０ｃと第４ハウジング部１０ｄとは、隣り合う部材同士がインロー構造によって互いに嵌合されている。すなわち、一方のハウジング部に中心軸を共有する円環状の凸部が形成され、他方のハウジング部に中心軸を共有する円環状の凹部が形成されて、凸部と凹部が互いに嵌合可能に形成されている。これにより、第１ハウジング部１０ａと第２ハウジング部１０ｂと第３ハウジング部１０ｃと第４ハウジング部１０ｄのそれぞれの中心軸を一致させることができる。
【００３３】
以上のように、第１ハウジング部１０ａと第２ハウジング部１０ｂと第３ハウジング部１０ｃと第４ハウジング部１０ｄとは、一体に連結されており、第１開口部１００ａから第２開口部１００ｂへ向けて非圧縮性流体を流通させる筒状の流路が内部に形成される。
【００３４】
弁体部２０は、プラグ２００との接触によって、プラグ２００とハウジング部１０との間で、非圧縮性流体が流通可能な開状態となる。弁体部２０は、図２に示すように、バルブ本体２０ａと、スプリング２０ｂと、ストッパ２０ｃとを備える。
バルブ本体２０ａには、バルブ本体２０ａを流通する非圧縮性流体の流通量を規制する断面視円形のオリフィス２０ｄが形成されている。オリフィス２０ｄは、軸線Ｘ回りの複数箇所に、均等な間隔を空けて配置されている。
【００３５】
バルブ本体２０ａの外周面は、軸線Ｘに沿って延在する円筒形状となっており、後述する弁体ホルダ４０ｂの内周面よりもやや小さい外径となっている。したがって、バルブ本体２０ａは、弁体ホルダ４０ｂの内部空間に挿入された状態で、軸線Ｘに沿って移動可能となっている。
【００３６】
ストッパ２０ｃは、軸線Ｘ回りに延びる円環状に形成された部材であり、外周面に形成された雄ねじ部を弁体ホルダ４０ｂの内周面に形成された雌ねじ部に締結することによって、弁体ホルダ４０ｂに固定されている。
ストッパ２０ｃは、バルブ本体２０ａとの間に軸線Ｘに沿って延びるスプリング２０ｂを保持している。弁体ホルダ４０ｂの中央付近には内側に突出する第一弁座４１が形成されている。バルブ本体２０ａは、スプリング２０ｂが伸長しようとする付勢力によって第一弁座４１に押し付けられ、第一弁座４１の開口部を閉鎖する。このとき、バルブ本体２０ａは、第一弁座４１との間に軸線Ｘ回りに延びる円環状のシール領域を形成する。
【００３７】
図２及び図３に示す状態においては、バルブ本体２０ａに取り付けられるＯリング２０ｅが弁体ホルダ４０ｂの内周面に接触してシール領域を形成するため、第１開口部１００ａと第２開口部１００ｂとの間で非圧縮性流体が流通しない遮断状態となる。
【００３８】
ベローズ部３０は、非圧縮性流体が流通する伸縮可能な供給流路３１が内部に形成された部材である。ベローズ部３０は、ハウジング部１０の内部において弁体部２０と流体管３００との間に配置される。
ベローズ部３０は、図２に示すように、軸線Ｘに沿って第１開口部１００ａ側から順に、先端部３０ａとベローズ本体３０ｂと基端部３０ｃとを備える。先端部３０ａとベローズ本体３０ｂと基端部３０ｃとは、フッ素樹脂材料（例えば、ＰＴＦＥ）により一体に形成された部材となっている。
【００３９】
先端部３０ａは、軸線Ｘ回りに延びる円環状に形成された部材であり、外周面に形成された雄ねじ部をストッパ２０ｃの第２開口部１００ｂ側の内周面に形成された雌ねじ部に締結することにより、ストッパ２０ｃに固定されている。
基端部３０ｃは、軸線Ｘ回りに延びる円筒状に形成された部材であり、バックカバー１０ｆと第４ハウジング部１０ｄとの間に挟まれた状態で保持されている。
【００４０】
ベローズ本体３０ｂは、軸線Ｘに沿って伸長及び収縮可能な蛇腹形状となっている。先端部３０ａがストッパ２０ｃ及び弁体ホルダ４０ｂとともに軸線Ｘに沿って移動可能である。一方、基端部３０ｃは、ハウジング部１０に固定された状態で配置される。このように、先端部３０ａと基端部３０ｃの軸線Ｘ方向の間隔は移動部４０の位置によって変動するが、ベローズ本体３０ｂが蛇腹形状となっている。そのため、ベローズ部３０の内部に形成される供給流路３１は、軸線Ｘに沿って伸縮可能である。
【００４１】
移動部４０は、ソケット１００の第１開口部１００ａに設置されたプラグ２００に対して接触又は離間するように軸線Ｘに沿って移動可能な部材である。移動部４０は、軸線Ｘに沿って筒状に形成されるとともに内部に弁体部２０及びベローズ部３０を収容する部材である。移動部４０は、図２に示すように、軸線Ｘに沿って第１開口部１００ａ側から順に、弁体ホルダ４０ｂとベローズホルダ４０ａとを備える。
弁体ホルダ４０ｂの第２開口部１００ｂ側の外周面には雄ねじが形成され、ベローズホルダ４０ａの第１開口部１００ａ側の内周面には雌ねじが形成されている。弁体ホルダ４０ｂの雄ねじとベローズホルダ４０ａの雌ねじとを締結することにより、弁体ホルダ４０ｂとベローズホルダ４０ａが一体化されている。
【００４２】
ベローズホルダ４０ａの第１開口部１００ａ側の端部の外周部分には、軸線Ｘに沿って延びる円環状に形成される円環状突起部４０ｃが形成されている。この円環状突起部４０ｃは、第３ハウジング部１０ｃと第４ハウジング部１０ｄとの間に形成される円筒状の空間に、この空間を第１圧力室Ｐ１と第２圧力室Ｐ２とに区分するように配置されている。円環状突起部４０ｃは、Ｏリング４０ｄを介して第３ハウジング部１０ｃの内周面に接触している。
【００４３】
第１圧力室Ｐ１は、円環状突起部４０ｃの第１開口部１００ａ側（一端側）の側面と第３ハウジング部１０ｃの内周面との間に形成される空間であり、第３ハウジング部１０ｃの外周面に形成される貫通穴を介して給排気ポート８０に接続されている。
また、第２圧力室Ｐ２は、円環状突起部４０ｃの第２開口部１００ｂ側（他端側）の側面と第３ハウジング部１０ｃの内周面との間に形成される空間であり、第３ハウジング部１０ｃの外周面に形成される他の貫通穴を介して給排気ポート８１に接続されている。
【００４４】
第１圧力室Ｐ１は、供給配管を介して圧縮空気（操作気体）が供給されると、円環状突起部４０ｃを軸線Ｘに沿って第２開口部１００ｂ側へ移動させる付勢力を発生する。この付勢力は、ベローズ部３０のベローズ本体３０ｂを収縮させる方向の付勢力である。
図３に示すように、第１圧力室Ｐ１が発生させる付勢力によって第１圧力室Ｐ１が拡張する一方で第２圧力室Ｐ２が収縮すると、移動部４０が第２開口部１００ｂ側へ移動する。そのため、第１開口部１００ａにプラグ２００が挿入されている場合には、プラグ２００から移動部４０が離間する。
【００４５】
第２圧力室Ｐ２は、供給配管を介して圧縮空気（操作気体）が供給されると、円環状突起部４０ｃを軸線Ｘに沿って第１開口部１００ａ側へ移動させる付勢力を発生する。この付勢力は、ベローズ部３０のベローズ本体３０ｂを伸長させる方向の付勢力である。
図１及び図２に示すように、第２圧力室Ｐ２が発生させる付勢力によって第２圧力室Ｐ２が拡張する一方で第１圧力室Ｐ１が収縮すると、移動部４０が第１開口部１００ａ側へ移動する。そのため、図１に示すように、第１開口部１００ａにプラグ２００が挿入されている場合には、移動部４０がプラグ２００に接触する。
【００４６】
図１に示すように移動部４０がプラグ２００に接触すると、弁体部２０のバルブ本体２０ａの先端にプラグ２００の弁体部２０１のバルブ本体２０２の先端が接触し、バルブ本体２０ａが移動部４０の内周面から離間する。これにより、プラグ２００の弁体部２０１とベローズ部３０の内部に形成される供給流路３１との間で、非圧縮流体が流通可能となる。
【００４７】
図２及び図３に示すように、弁体ホルダ４０ｂの第１開口部１００ａ側の内側には、断面円形の収容部１１が形成される。収容部１１は、ソケット１００の第１開口部１００ａ入口よりも奥に位置する弁体部２０側に形成され、断面が円形状である。収容部１１には、プラグ２００の先端部が収容される。収容部１１は、金属製の弁体ホルダ４０ｂと、合成樹脂製の筒部１２によって構成される。収容部１１は、弁体ホルダ４０ｂの内側に筒部１２が設置される。
【００４８】
弁体ホルダ４０ｂは、金属製、例えばステンレス製であり、筒部１２が内側に形成される断面円形状の円筒面を有する。筒部１２は、例えばポリテトラフルオロエチレン製であり、低摩擦の材料で構成される。これにより、筒部１２の内周面に接触した金属製のプラグ２００は、スムーズに筒部１２の内周面に沿って移動する。
【００４９】
筒部１２は、図１に示すように、プラグ２００とソケット１００が接続された状態でプラグ２００の先端部と弁体ホルダ４０ｂの間に配置されている。筒部１２は、円筒状部材であり、筒部１２の外周面は、弁体ホルダ４０ｂの円筒面である内周面と接触して設置される。筒部１２の内周面にはプラグ２００の先端が挿入される。筒部１２の内周面は、プラグ２００の外周面と接触して配置される。
【００５０】
筒部１２は、プラグ２００とソケット１００が接続されたとき、プラグ２００の先端部、例えばプラグ２００の径が小さい部分（縮径部）を覆う長さ（軸線Ｘ方向の長さ）を有する。これにより、プラグ２００の先端がソケット１００の内周面に接触しやすい部分が筒部１２によって覆われる。また、筒部１２は、プラグ２００とソケット１００が接続した状態で、プラグ２００の先端部を広い面積で受けられるように、応力が集中しないような軸線Ｘ方向の長さを有することが望ましい。
【００５１】
本実施形態に係る筒部１２が設置されることによって、プラグ２００とソケット１００が互いに接続されるとき、プラグ２００の先端がソケット１００の内周面に接触したままスライドしたとしても、プラグ２００の先端部は、金属製の弁体ホルダ４０ｂではなく合成樹脂製の筒部１２と接触する。その結果、プラグ２００の先端部において傷が生じにくくなる。
【００５２】
図６に示すように、筒部１２の内周面には、Ｏリング２１（図１〜図３参照）が収容されるＯリング収容溝（第１溝）１３が形成される。Ｏリング収容溝１３に収容されたＯリング２１は、プラグ２００とソケット１００が接続された状態で筒部１２とプラグ２００とに接触することから、プラグ２００の外周面とソケット１００の内周面の間のシール性が向上する。また、Ｏリング収容溝１３が破損した場合等において、筒部１２を交換することによってＯリング収容溝１３を再構築できる。したがって、Ｏリング収容溝１３が、金属製の弁体ホルダ４０ｂに直接形成される場合と異なり、筒部１２の内周面にＯリング収容溝１３が形成される場合、ソケット１００のメンテナンス性が高まる。
【００５３】
また、図５及び図６に示すように、筒部１２の内周面には、筒部１２の軸方向に対して平行なＯリング交換用溝（第２溝）１４が形成される。Ｏリング交換用溝１４はＯリング収容溝１３と接続されている。これにより、Ｏリング交換用溝１４に例えば棒状部材（図示せず。）を挿通して、棒状部材の先端をＯリング収容溝１３に収容されたＯリング２１に到達させることができるため、棒状部材を用いることによってＯリング２１の取り外しが容易になる。
【００５４】
筒部１２の内周面には、図５及び図６に示すように、筒部１２の軸方向に対して平行な位置合わせ用溝（第３溝）１５が形成される。位置合わせ用溝１５は、周方向に対して交差した平面（立設面１５ａ）を有する。位置合わせ用溝１５は、例えば筒部１２の内周面に対してコ字形状に切り欠かれることによって、互いに対向する立設面１５ａを有する。
【００５５】
これにより、位置合わせ用溝１５に治具（図示せず。）を設置して、治具を位置合わせ用溝１５の周方向に対して交差した立設面１５ａに当接でき、治具を用いて、筒部１２を周方向に回転させることができる。したがって、筒部１２が弁体ホルダ４０ｂに挿入された後、筒部１２の周方向の位置決めが容易になる。
【００５６】
筒部１２には、図４及び図６に示すように、洗浄用ノズル２２が貫通して設置可能な貫通孔１６が形成される。これにより、洗浄用ノズル２２が、筒部１２の貫通孔１６に貫通して設置されて、収容部１１に設置される。なお、弁体ホルダ４０ｂには、図４に示すように、洗浄用ノズル２２が挿入され固定される貫通孔４２が形成されている。洗浄用ノズル２２は、弁体ホルダ４０ｂ及び筒部１２に対して着脱可能に構成されている。
【００５７】
洗浄用ノズル２２は、収容部１１の内部に対して洗浄液を噴射でき、洗浄液によって収容部１１内やプラグ２００の先端を洗浄できる。また、図４に示すように、筒部１２の貫通孔１６に洗浄用ノズル２２の先端が貫通して設置されているため、筒部１２の軸線Ｘ方向の移動や周方向の回転が洗浄用ノズル２２の先端によって抑制され、筒部１２が弁体ホルダ４０ｂから外れにくくなる。
【００５８】
収容部１１の内周面は、Ｏリング２１から第１開口部１００ａ側に向かってテーパ状に拡張している。なお、第１ハウジング部１０ａには内周面から外周面まで延びる排出孔（図示せず。）が形成されており、洗浄用ノズル２２から噴射された洗浄液は排出孔から排出される。
【００５９】
筒部１２は、弁体ホルダ４０ｂに対して、圧入によって固定される。これにより、Ｃリング等の他の部品を用いて固定する必要がなく、筒部１２を弁体ホルダ４０ｂに対して取り付けたり取り外したりすることが比較的容易である。また、螺合によって固定する場合と比べて、周方向の位置決めを行いやすい。
【００６０】
なお、図７に示すように、筒部１２の外周面には、突起部１２ａが形成されてもよい。突起部１２ａは、周方向に沿って帯状に形成され、弁体ホルダ４０ｂの内周面に形成された凹部４３に嵌合される。これにより、筒部１２の軸方向の移動が嵌合した突起部１２ａと凹部４３によって抑制され、筒部１２が弁体ホルダ４０ｂから外れにくくなる。
【００６１】
弁体ホルダ４０ｂに対する筒部１２の固定は、圧入による場合に限定されず、図８に示すように、筒部１２は、弁体ホルダ４０ｂの内周面に形成されたＣリング用溝（第４溝）４４に挿入されたＣリング５０によって固定されてもよい。Ｃリング用溝４４は、弁体ホルダ４０ｂに設置された筒部１２の第１開口部１００ａ側の端部より外側に形成される。Ｃリング用溝４４に挿入されたＣリング５０は、筒部１２の端部に接触して配置される。また、図９に示すように、筒部１２は、弁体ホルダ４０ｂに対して螺合されて固定されてもよい。すなわち、筒部１２の外周面に形成された雄ねじ１７と、弁体ホルダ４０ｂの内周面に形成された雌ねじ４５が螺合することによって、筒部１２が弁体ホルダ４０ｂに対して固定される。これらにより、筒部１２が弁体ホルダ４０ｂに対して軸方向に抜けにくくなる。
【００６２】
筒部１２は、一体的な一つの部材によって構成されてもよいし、複数のピース（構成部品）によって構成されてもよい。一体的な一つの部材によって構成された筒部１２は、筒部１２の剛性が高い。また、図１０及び図１１に示すように、筒部１２が複数の構成部品（例えば構成部品１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ）によって構成される場合は、筒部１２の作製を容易化させたり弁体ホルダ４０ｂに対して取り付けやすくすることができる。例えば、図１０及び図１１に示すように、構成部品１２Ａと１２Ｂ、構成部品１２Ａと１２Ｃ、構成部品１２Ｃと１２ＤがＯリング収容溝１３を境界にして分割されることによって、内周面におけるＯリング収容溝１３の形成を容易化させることができる。また、複数の構成部品に分割されていることで、交換が必要な構成部品のみを交換できる。
【００６３】
以上、本実施形態によれば、オス形の金属製のプラグ２００は、流体管４００の端部に設置されており、プラグ２００が挿入可能なメス形のソケット１００は、プラグ２００と接続されたとき流体が連通する。ソケット１００は、収容部１１を有し、収容部１１には、プラグ２００とソケット１００が接続された状態でプラグ２００の先端部が収容される。収容部１１は、金属製の弁体ホルダ４０ｂと、弁体ホルダ４０ｂの内側に設置された合成樹脂製の筒部１２を有する。筒部１２は、プラグ２００とソケット１００が接続された状態でプラグ２００の先端部と弁体ホルダ４０ｂの間に配置されている。これにより、プラグ２００とソケット１００が互いに接続されるとき、プラグ２００の先端がソケット１００の内周面に接触したままスライドしたとしても、プラグ２００の先端部は、金属製の弁体ホルダ４０ｂではなく合成樹脂製の筒部１２と接触するため、プラグ２００の先端部において傷が生じにくい。その結果、プラグ２００の外周面とソケット１００の内周面の間のシール性能が低下することがないため、流通する流体が漏洩するという問題が生じにくくなる。
【符号の説明】
【００６４】
１        ：流体移送用コネクタ
１０      ：ハウジング部
１１      ：収容部
１２      ：筒部
１３      ：Ｏリング収容溝
１４      ：Ｏリング交換用溝
１５      ：位置合わせ用溝
１６      ：貫通孔
１７      ：雄ねじ
２０，２０１      ：弁体部
２０ａ，２０２    ：バルブ本体
２０ｂ    ：スプリング
２０ｃ    ：ストッパ
２０ｄ    ：オリフィス
２０ｅ，２１，４０ｄ    ：Ｏリング
２２      ：洗浄用ノズル
３０      ：ベローズ部
３０ａ    ：先端部
３０ｂ    ：ベローズ本体
３０ｃ    ：基端部
３１      ：供給流路
４０      ：移動部
４０ａ    ：ベローズホルダ
４０ｂ    ：弁体ホルダ
４０ｃ    ：円環状突起部
４１      ：第一弁座
４２      ：貫通孔
４３      ：凹部
４４      ：Ｃリング用溝
４５      ：雌ねじ
５０      ：Ｃリング
８０，８１      ：給排気ポート
９０，９１，９２，９３      ：締結ボルト
９５      ：シャフト
１００    ：ソケット
１００ａ  ：第１開口部
１００ｂ  ：第２開口部
２００    ：プラグ
３００，４００    ：流体管
Ｐ１      ：第１圧力室
Ｐ２      ：第２圧力室
Ｘ        ：軸線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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