(57)【要約】【課題】  複数の振動体を有する振動型アクチュエータにおいて、当該複数の振動体における共振周波数のばらつきによる性能低下を低減することを目的とする。【解決手段】  複数の振動体と、複数の振動体の接触部に接触する接触体と、を有し、複数の振動体のそれぞれに励振された振動は、複数の振動体と接触体とを相対移動させ、振動は、振動体と接触体とが加圧接触する第１の方向に接触部が変位する第１の振動モードの振動と、第１の方向と交差する第２の方向に接触部が変位する第２の振動モードの振動と、を含み、複数の振動体において、第２の振動モードの共振周波数のうちの最小値が、第１の振動モードの共振周波数のうちの最大値以上であり、且つ、第２の振動モードの共振周波数のうちの最小値に対する、第２の振動モードの共振周波数のうちの最大値と最小値の差の割合が所定の値以下である。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の振動体と、
前記複数の振動体の接触部に接触する接触体と、を有し、
前記複数の振動体のそれぞれに励振された振動は、前記複数の振動体と前記接触体とを相対移動させ、
前記振動は、前記振動体と前記接触体とが加圧接触する第１の方向に前記接触部が変位する第１の振動モードの振動と、前記第１の方向と交差する第２の方向に前記接触部が変位する第２の振動モードの振動と、を含み、
前記複数の振動体において、前記第２の振動モードの共振周波数のうちの最小値が、前記第１の振動モードの共振周波数のうちの最大値以上であり、且つ、前記第２の振動モードの共振周波数のうちの最小値に対する、前記第２の振動モードの共振周波数のうちの最大値と最小値の差の割合が所定の値以下であることを特徴とする振動型アクチュエータ。
【請求項２】
前記所定の値は、０．０１であることを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項３】
前記複数の振動体のそれぞれは、電気−機械エネルギ変換素子と、前記電気−機械エネルギ変換素子が接合された弾性体と、を有し、
前記弾性体は、前記弾性体の前記電気−機械エネルギ変換素子が接合された面と反対側の面に、前記第１の方向に突出した突起部を有し、
前記突起部は、中空構造を形成する側壁部と、前記接触体と接触する前記接触部と、を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項４】
前記第２の方向は、前記第１の方向と直交することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項５】
前記第１の振動モードの次数は１であり、前記第２の振動モードの次数は２であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータと、
前記振動型アクチュエータにより駆動されるレンズと、を備えることを特徴とするレンズ鏡筒。
【請求項７】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータと、
前記振動型アクチュエータにより駆動されるレンズと、
前記レンズを通過した光が結像する位置に設けられた撮像素子と、を備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項８】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータと、
前記振動型アクチュエータにより駆動される被駆動部材と、を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項９】
複数の振動体と、
前記複数の振動体の接触部に接触する接触体と、を有し、
前記複数の振動体のそれぞれに励振された振動は、前記複数の振動体と前記接触体とを相対移動させ、
前記振動は、前記振動体と前記接触体とが加圧接触する第１の方向に前記接触部が変位する第１の振動モードの振動と、前記第１の方向と交差する第２の方向に前記接触部が変位する第２の振動モードの振動と、を含む振動型アクチュエータの製造方法であって、
振動体に給電基板を接合する接合工程と、
前記振動体の前記第１の振動モードと前記第２の振動モードの共振周波数を測定する測定工程と、
前記第２の振動モードの共振周波数のうちの最小値が、前記第１の振動モードの共振周波数のうちの最大値以上になるように、且つ、前記第２の振動モードの共振周波数のうちの最小値に対する、前記第２の振動モードの共振周波数のうちの最大値と最小値の差の割合が、各層内で第１の所定の値以下になるように、複数の振動体を層別する層別工程と、
各層のいずれかから複数の振動体を選択する選択工程と、を有することを特徴とする振動型アクチュエータの製造方法。
【請求項１０】
前記第１の所定の値は、０．０１であることを特徴とする請求項９に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【請求項１１】
前記層別工程が、前記複数の振動体に給電基板を接合し、前記振動体が室温になった後であって、前記給電基板が接合された振動体における共振周波数が一定になる前に、前記複数の振動体において、前記第２の振動モードの共振周波数のうちの最小値に対する、前記第２の振動モードの共振周波数のうちの最大値と最小値の差の割合が、各層内で第２の所定の値以下になるように層別することを特徴とする請求項９又は１０に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【請求項１２】
前記第２の所定の値は、０．００７であることを特徴とする請求項１１に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【請求項１３】
前記第２の方向は、前記第１の方向と直交することを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【請求項１４】
前記第１の振動モードの次数は１であり、前記第２の振動モードの次数は２であることを特徴とする請求項９乃至１３のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動型アクチュエータ等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、振動体（弾性体、圧電素子）に励振された振動により、振動体に接触する接触体が駆動される（振動体と接触体を相対移動させる）振動型アクチュエータに関する提案がなされている。
【０００３】
たとえば、特許文献１に記載されているように振動体を２個（特許文献１の図１）あるいは複数個（特許文献１の図７）配置して、直線駆動（特許文献１の図１）や回転駆動（特許文献１の図７）するタイプが提案されている。まずは、図８、９を用いて、従来技術について説明する。
【０００４】
図８は、振動体の（ａ）平面図と（ｂ）側面図を示す。図８において、振動体１は、矩形（四角形）の薄板状に形成された電気−機械エネルギ変換素子（圧電素子）３と、この圧電素子３（の一平面）と接合されて一体化された弾性体２と、により構成されている。
【０００５】
弾性体２は、本体部２−３と支持部２−４とを有する。
【０００６】
本体部２−３は、圧電素子３とともに振動する矩形の薄板状に形成された基部２−１と、この基部２−１の一平面（弾性体２の、圧電素子が接合された面とは反対側の面）において凸状に形成された２つの突起部２−２と、を有する。突起部２−２は、たとえば特許文献２に記載されているように、前記基部２−１の一平面から、接触体と加圧接触する方向（第１の方向）に突出する、中空構造を形成する（連続した）側壁部２−２−１と、先端に、接触体と接触する接触部２−２−２を有する。
【０００７】
支持部２−４は可撓性を有し、本体部２−３と構造上、一体的に形成されている。支持部２−４は、本体部２−３の振動をなるべく本体部２−３の外に伝えないように、一部板厚を小さくした薄肉部２−５を有する。また、支持部２−４は、圧電素子３の接合や振動体の組立などの位置決めの際に用いられる丸穴２−６及び長穴２−７も有する。
【０００８】
以下では、Ｚ方向は、振動体と接触体とが加圧接触する方向であり、Ｘ方向は、振動体と接触体とが相対移動する方向であり、Ｙ方向は、Ｘ方向及びＺ方向と直交する方向である。
【０００９】
振動体１には、図９（ａ）に示すように、突起部２−２の先端に主にＺ方向（第１の方向）の変位を発生させる短手（Ｙ）方向の第１の屈曲運動を発生させる。また、突起部２−２の先端に主にＸ方向成分を含む方向（第１の方向と交差する方向。以下、「第２の方向」ともいう）の変位を発生させる長手（Ｘ）方向の第２の屈曲運動を発生させる。このとき、第１の屈曲運動と第２の屈曲運動を、時間的位相差を持って発生させる。それにより、突起部２−２の先端が楕円運動し、図中Ｘ方向に、不図示の接触体が駆動される。ここで、「第１の方向と交差する方向」（第２の方向）には、「第１の方向と直交する方向」（振動体と接触体とが相対移動する方向）も含まれる。
【００１０】
なお、図９（ｂ）にも、第１の屈曲運動（第１の振動モード、モード１）を示した。また、図９（ｃ）にも、第２の屈曲運動（第２の振動モード、モード２）を示した。ここでは、図９（ａ）、図９（ｂ）に示される第１の振動モードの次数（第１の次数）は１であり、図９（ａ）、図９（ｃ）に示される第２の振動モードの次数（第２の次数）は２である。次数とは、振動における腹の数のことである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２０１１−２５９５５９号公報
【特許文献２】特開２０１１−２３４６０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、振動体１は、弾性体や圧電素子の寸法のばらつきなどにより、共振周波数がばらつく。それにより、複数の振動体で１つの接触体を、１つの昇圧回路すなわち共通の交流信号で駆動する場合、振動体の組合せによっては、アクチュエータの性能が低下する場合がある。
【００１３】
本発明は、複数の振動体を有する振動型アクチュエータにおいて、当該複数の振動体における共振周波数のばらつきによる性能低下を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る振動型アクチュエータは、複数の振動体と、前記複数の振動体の接触部に接触する接触体と、を有し、前記複数の振動体のそれぞれに励振された振動は、前記複数の振動体と前記接触体とを相対移動させ、前記振動は、前記振動体と前記接触体とが加圧接触する第１の方向に前記接触部が変位する第１の振動モードの振動と、前記第１の方向と交差する第２の方向に前記接触部が変位する第２の振動モードの振動と、を含み、前記複数の振動体において、前記第２の振動モードの共振周波数のうちの最小値が、前記第１の振動モードの共振周波数のうちの最大値以上であり、且つ、前記第２の振動モードの共振周波数のうちの最小値に対する、前記第２の振動モードの共振周波数のうちの最大値と最小値の差の割合が所定の値以下であることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明に係る振動型アクチュエータの製造方法は、複数の振動体と、前記複数の振動体の接触部に接触する接触体と、を有し、前記複数の振動体のそれぞれに励振された振動は、前記複数の振動体と前記接触体とを相対移動させ、前記振動は、前記振動体と前記接触体とが加圧接触する第１の方向に前記接触部が変位する第１の振動モードの振動と、前記第１の方向と交差する第２の方向に前記接触部が変位する第２の振動モードの振動と、を含む振動型アクチュエータの製造方法であって、振動体に給電基板を接合する接合工程と、前記振動体の前記第１の振動モードと前記第２の振動モードの共振周波数を測定する測定工程と、前記第２の振動モードの共振周波数のうちの最小値が、前記第１の振動モードの共振周波数のうちの最大値以上になるように、且つ、前記第２の振動モードの共振周波数のうちの最小値に対する、前記第２の振動モードの共振周波数のうちの最大値と最小値の差の割合が、各層内で第１の所定の値以下になるように、複数の振動体を層別する層別工程と、各層のいずれかから複数の振動体を選択する選択工程と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、複数の振動体を有する振動型アクチュエータにおいて、当該複数の振動体における共振周波数のばらつきによる性能低下を低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態に係る、（ａ）回転型アクチュエータの一部部品単位に展開した全体斜視図、（ｂ）振動体周辺の拡大展開斜視図。
【図２】本発明の実施形態に係る、回転型アクチュエータの駆動制御装置の構成を示すブロック図。
【図３】本発明の実施形態に係る、（ａ）振動体単体のインピーダンス特性、（ｂ）３個の振動体の第２の共振周波数のばらつきとモータ性能の関係（横軸は、「第２の振動モードの共振周波数のうちの最大値と最小値の差」）、（ｃ）３個の振動体の第２の共振周波数のばらつきとモータ性能の関係（横軸は、「第２の振動モードの共振周波数のうちの最小値に対する、第２の振動モードの共振周波数のうちの最大値と最小値の差の割合」）を表す図。
【図４】本発明の実施形態に係る、振動型アクチュエータの製造工程に係るフロー図。
【図５】本発明の実施形態に係る、振動型アクチュエータの製造工程に係るフロー図の変形例。
【図６】本発明の実施形態に係る、振動体のフレキ接着（接合）後の共振周波数の変化を表す図。
【図７】本発明の実施形態に係る、（ａ）振動型アクチュエータを備える撮像装置の概略構成を示す上面図、（ｂ）ブロック図。
【図８】振動体の構成を示した、（ａ）平面図、（ｂ）側面図。
【図９】振動体の振動モードの説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。なお、本実施形態では、振動型アクチュエータとは、振動が励起される振動体と、振動体に加圧接触する接触体とを備え、振動により振動体と接触体とが相対移動する構成を有するものを指すこととする。つまり、振動体の駆動出力を、振動体と接触体との相対移動によって取り出すことができる構成となっているものを指すものとする。
【００１９】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明にかかわる第１実施例である。
【００２０】
図１（ａ）は、図８に示したタイプの振動体（を有する振動型アクチュエータ）を円周上に３個（複数）配置した回転型アクチュエータを部品単位に展開した斜視図を示す。図１（ｂ）は、振動体１周辺の拡大展開斜視図を示す。
【００２１】
図１（ａ）に示すように、円環状の基台（支持部材）７に振動体１が３個（複数）配置され、振動体１に接触するロータ（接触体）８を回転駆動する構成となっている。
【００２２】
振動体１は、保持部材４のピン４ａと、支持部の丸穴２−６及び長穴２−７と、を嵌合させて接着（接合）するなどして接合することにより小基台（保持部材４）に保持される。また、保持部材４は、穴４ｂと、支持部材７のピン７ａで嵌合することにより、加圧方向において自由に動けるように位置決めされる。
【００２３】
保持部材４には矩形状の貫通穴４ｃが形成され、（振動体１を押圧する）押圧部材６が、貫通穴４ｃの中に納まっている。押圧部材６は、支持部材７と接することで、（フェルトなどの）振動絶縁部材５を介して、不図示の加圧部材（バネなど）により振動体１を押圧する。また、押圧部材６は、保持部材４に対しては、加圧方向において相対移動可能になっている。
【００２４】
このような構成にすることにより、支持部２−４に加圧の反力がかかりづらくし、圧電素子の接着（接合）の剥れなどを防止している。電気−機械エネルギ変換素子（圧電素子）３には給電用のフレキシブルプリント基板（給電基板）３３が接着（接合）されており、給電基板３３を介して交流信号を圧電素子３に印加して振動体１を駆動する。
【００２５】
なお、押圧部材６には位置決め用ピン６ａ、６ｂが設けられ、支持部材７に設けられた穴７ｂ、７ｃと嵌合することで位置決めされている。また、支持部材７の半円柱状の面（凸部）７ｄと接することにより、ピッチング方向（接触体８との相対運動方向）に回転可能になっている。
【００２６】
図２は、図１に示した回転型アクチュエータの駆動制御装置の構成を示すブロック図である。この駆動制御装置は、接触体８と一体的に駆動される被駆動体９の目標値を生成する位置指令生成手段１１を有し、その出力側には、比較手段１２を介して操作量決定手段１６が接続されている。比較手段１２は、位置指令生成手段１１から出力された目標値と、位置検出手段１０から出力された被駆動体９の現在位置とを比較する。操作量決定手段１６は、比較手段１２の比較結果から、振動型アクチュエータの操作量を演算する。操作量決定手段１６はＰＩ制御器、またはＰＩＤ制御器で構成されている。
【００２７】
位置検出手段１０は、被駆動体９の位置を検出するものであり、例えばエンコーダにて構成される。振動体ａ、ｂ、ｃは、上記図１（ａ）に示した構成の３個の振動体１であり、接触体８と被駆動体９を一体的に駆動されるものである。操作量決定手段１６の出力側には、楕円運動における楕円の比率を設定する楕円比決定手段１３と、交流信号の周波数を設定する駆動周波数決定手段１４が接続されている。
【００２８】
楕円比決定手段１３は、操作量決定手段１６の出力から、振動体１の突起部（接触部）に生成する楕円運動のＸ軸振幅とＺ軸振幅の比率を設定し、その比率を実現する２つの振動モードの時間的位相差を設定可能に構成されている。駆動周波数決定手段１４は操作量決定手段１６の出力から、振動体１に印加する交流電圧の駆動周波数を設定可能に構成されている。さらに、楕円比決定手段１３及び駆動周波数決定手段１４の出力側が駆動信号生成手段１５に接続されている。
【００２９】
駆動信号生成手段１５は、駆動周波数決定手段１４で決定された周波数で、かつ楕円比決定手段１３で決定された位相差を有する２相の交流信号を生成する。駆動信号生成手段１５の出力側には昇圧回路１７が接続されている。昇圧回路１７は駆動信号生成手段１５で生成された２相の交流信号を昇圧し、昇圧された２相の交流信号は３個の振動体１（振動体ａ、ｂ、ｃ）に並列に印加される。昇圧回路１７は、電力増幅器、スイッチング素子、ＤＣ／ＤＣ回路、またはトランス回路で構成されてもよい。
【００３０】
図３（ａ）は、３個の振動体単体のインピーダンス特性の一例を示す（３種類の線はそれぞれ、異なる振動体のインピーダンス特性を示す）。横軸が駆動周波数、縦軸がアドミタンス（インピーダンスの逆数）で、アドミタンスのピークの周波数が共振周波数である。１つの振動体には２つのピークがあり、背景技術で述べた、第１の次数の第１の屈曲運動（第１の振動モード）の共振周波数と、第２の次数の第２の屈曲運動（第２の振動モード）の共振周波数を表している。なお、加圧をかけたモータ状態では２つのピークは近接する傾向がある。また、第１の次数である１と、第２の次数である２は、図８に示したタイプの振動体（を有する振動型アクチュエータ）において好ましい次数である。したがって、第１の次数と第２の次数は、振動体（を有する振動型アクチュエータ）のタイプが変われば変わり得るものなので、本発明を実施する際の次数は、ここに示した次数に限られない。
【００３１】
この例では、複数（３個）の振動体において、第２の次数で変位する第２の振動モードの共振周波数のうちの最大値ｆ２ｍａｘ（９４．０ｋＨｚ）と最小値ｆ２ｍｉｎ（９３．３ｋＨｚ）の差は、０．７ｋＨｚとなる。つまり、３個の振動体において、ｆ２ｍｉｎに対する、ｆ２ｍａｘとｆ２ｍｉｎの差の割合（０．７／９３．３）は、０．００７５（０．７５％）となる。
【００３２】
図３（ｂ）は、図３（ａ）で求めた第２の振動モードの共振周波数のうちの最大値と最小値の差（ｆ２ｍａｘ−ｆ２ｍｉｎ）とモータ性能の関係を示す測定結果の一例である。横軸は、第２の振動モードの共振周波数のうちの最大値と最小値の差、である。縦軸は、最大回転数と所定の回転数での消費電力である。図３（ｃ）は、図３（ｂ）の横軸を、第２の振動モードの共振周波数のうちの最小値に対する、第２の振動モードの共振周波数のうちの最大値と最小値の差の割合、に置き換えたものである。
【００３３】
なお、最大回転数は振動体の破損防止のため９０ｒｐｍを上限としている。図３（ｂ）を見ると、第２の振動モードの共振周波数の最小値ｆ２ｍｉｎが９０ｋＨｚである複数の振動体において、ｆ２ｍａｘとｆ２ｍｉｎの差が０．９ｋＨｚを超えると、消費電力が増加傾向になり、モータ効率が低下していることがわかる。すなわち、複数の振動体において、ｆ２ｍｉｎに対する、ｆ２ｍａｘとｆ２ｍｉｎの差の割合が所定の値（第１の所定の値）、具体的には０．０１（１％）を超えると、消費電力が増加傾向になる。そして、モータ効率（性能）が低下している（図３（ｃ）参照）。
【００３４】
したがって、ｆ２ｍｉｎに対する、ｆ２ｍａｘとｆ２ｍｉｎの差の割合が所定の値以下（第１の所定の値以下）となるように層別（仕分け）された各層のいずれかに含まれる複数の振動体の中から振動体を複数選別（選択）して組み合わせればよい。ここで、所定の値以下とは、具体的には０．０１以下（１％以下）である。そうすれば、共振周波数のばらつきによる性能低下を低減し、良好な性能のアクチュエータを提供することができる。なお、層別の詳細については、後述する。
【００３５】
ところで、アクチュエータの性能は、第２の振動モードによるＸ方向の変位量に依存するところが多く、第１の振動モードによるＺ方向の変位はある程度の値であればそれ以上は必要ない。したがって、複数の振動体で駆動するとき、第２の振動モードの共振周波数差のみを見ればよい。
【００３６】
ただし、アクチュエータの駆動は、周波数の高いところで起動し、周波数を下げて第２の振動モードの共振周波数に近づけることで速度を上げる。そのため、第２の振動モードの共振周波数を第１の振動モードの共振周波数より高くしないと、第２の振動モードの振動振幅が大きくなる前に第１の振動モードが共振周波数を超えて振動振幅が急激に低下し、良好な性能が得られない。
【００３７】
したがって、複数の振動体で駆動する場合は、図３（ａ）に示すように第２の振動モードの共振周波数のうちの最小値ｆ２ｍｉｎを第１の振動モードの共振周波数の最大値ｆ１ｍａｘより高いか、あるいは等しくするとよい。つまり、ｆ２ｍｉｎを第１の振動モードの共振周波数の最大値以上（ｆ１ｍａｘ以上）にするとよい。
【００３８】
なお、振動体単体における第２の振動モードの共振周波数（ｆ２）と第１の振動モードの共振周波数（ｆ１）の差（ｆ２−ｆ１）であるΔｆは、０．５ｋＨｚ以上５ｋＨｚ以下が好ましい。Δｆが０．５ｋＨｚ未満だと、第２の振動モードの共振周波数周辺で振動体を駆動したときに、駆動周波数が第１の振動モードの共振周波数を超えて、振動振幅が急激に低下する可能性が高まるからである。また、Δｆが５ｋＨｚより大きいと、第２の振動モードの共振周波数周辺で振動体を駆動したときに、駆動周波数が第１の振動モードの共振周波数から離れて、第１の振動モードの振動振幅が大きくなりづらいからである。
【００３９】
＜第２実施形態＞
図４は、本発明の振動型アクチュエータの製造工程に係るフロー図である。
【００４０】
図４に示すように、工程１８、工程１９（接合工程）の後、振動体単体でインピーダンス測定により２つの振動モードの共振周波数を測定する工程２０（測定工程）の第２の振動モードの共振周波数の結果をもとに、層別範囲１％で層別を行う。ここで、工程１８は、圧電素子を弾性体に接着（接合）する工程であり、工程１９（接合工程）は、フレキシブルプリント基板（給電基板）を圧電素子に接着（接合）する工程である。
【００４１】
層別とは、複数の振動体を、いくつかの層に分けることである。たとえば、複数の振動体において、第２の振動モードの共振周波数のうちの最小値ｆ２ｍｉｎが１００ｋＨｚの場合、その割合０．０１（１％）は１ｋＨｚである。したがって、たとえば、１００ｋＨｚ以上１０１ｋＨｚ未満を第１層、１０１ｋＨｚ以上１０２ｋＨｚ未満を第２層、１０２ｋＨｚ以上１０３ｋＨｚ未満を第３層というように、振動体を仕分けすることである。
【００４２】
この層別工程２１により、同一の層内から選択された振動体の組合せであれば必ず、ｆ２ｍｉｎに対する、ｆ２ｍａｘとｆ２ｍｉｎの差の割合を所定の値以下（第１の所定の値以下）、具体的には０．０１以下（１％以下）にすることができる。したがって、工程２２（選択工程）は、各層のいずれかから無作為に振動体を選択し、振動体保持部材接着工程２３（接合工程）を経てモータ組立工程２４を行い、性能が良好なモータを得ることができる。
【００４３】
＜第３実施形態＞
図５は、本発明の振動型アクチュエータの製造工程に係るフロー図の変形例であり、生産現場の状況によってこの形態をとる可能性もある。すなわち、給電基板の接着工程１９（接合工程）から共振周波数測定工程１２０までの短縮をはかりたいときは、給電基板の接着工程１９（接合工程）の１時間後（振動体の温度が確実に室温になっている）に行う。
【００４４】
ただし、図６に示すように、共振周波数は給電基板の接着（接合）から２４時間後まで変化しており、共振周波数が一定になるまでの、共振周波数の変化量のばらつきも考慮しなければならない。したがって、共振周波数測定工程１２０の場合は、層別工程１２１の層別範囲を狭めて割合を所定の値以下（第２の所定の値以下）、具体的には０．００７以下（０．７％以下）としている。
【００４５】
＜その他の実施形態＞
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。例えば、本発明に係る振動体は、図１に示した回転型アクチュエータに限って適用されるものではなく、たとえば２個の振動体を駆動方向に配置したり、接触体を上下面から挟むように配置したりしたリニア型アクチュエータにも適用が可能である。
【００４６】
また、本発明の振動型アクチュエータを撮像装置（光学機器）のレンズ駆動用途や、複写機の感光ドラムの回転駆動用途やステージの駆動用途等の様々な用途に用いることができる。ここでは、一例として、振動体を円環状に複数配置し接触体を回転駆動する振動型アクチュエータをレンズ鏡筒に配置されたレンズの駆動に用いた撮像装置（光学機器）について説明する。
【００４７】
図７（ａ）は、電子機器としての撮像装置７００の概略構成を示す上面図である。
【００４８】
撮像装置７００は、撮像素子７１０及び電源ボタン７２０を搭載したカメラ本体７３０を備える。また、撮像装置７００は、第１レンズ群（不図示）、第２レンズ群３２０、第３レンズ群（不図示）、第４レンズ群３４０、振動型アクチュエータ６２０，６４０を備えるレンズ鏡筒７４０を備える。レンズ鏡筒７４０は、交換レンズとしてカメラ本体７３０に対して着脱自在である。
【００４９】
撮像装置７００では、振動型アクチュエータ６２０によって、被駆動部材としての第２レンズ群３２０の駆動が行われる。また、振動型アクチュエータ６４０によって、被駆動部材としての第４レンズ群３４０の駆動が行われる。振動型アクチュエータ６２０，６４０には、図１（ａ）乃至図７（ａ）を参照して説明した振動体１等が用いられる。例えば、振動型アクチュエータ６２０を構成する接触体の回転をギア等により光軸方向の直進運動に変換し、第２レンズ群３２０の光軸方向における位置を調整する。振動型アクチュエータ６４０についても同様の構成とすることができる。
【００５０】
図７（ｂ）は、撮像装置７００の概略構成を示すブロック図である。第１レンズ群３１０、第２レンズ群３２０、第３レンズ群３３０、第４レンズ群３４０及び光量調節ユニット３５０が、レンズ鏡筒７４０内部の光軸上の所定位置に配置される。第１レンズ群３１０〜第４レンズ群３４０と光量調節ユニット３５０とを通過した光は、撮像素子７１０に結像する。撮像素子７１０は、光学像を電気信号に変換して出力し、その出力は、カメラ処理回路７５０へ送られる。
【００５１】
カメラ処理回路７５０は、撮像素子７１０からの出力信号に対して増幅やガンマ補正等を施す。カメラ処理回路７５０は、ＡＥゲート７５５を介してＣＰＵ７９０に接続されると共に、ＡＦゲート７６０とＡＦ信号処理回路７６５とを介してＣＰＵ７９０に接続されている。カメラ処理回路７５０において所定の処理が施された映像信号は、ＡＥゲート７５５と、ＡＦゲート７６０及びＡＦ信号処理回路７６５を通じてＣＰＵ７９０へ送られる。なお、ＡＦ信号処理回路７６５は、映像信号の高周波成分を抽出して、オートフォーカス（ＡＦ）のための評価値信号を生成し、生成した評価値をＣＰＵ７９０へ供給する。
【００５２】
ＣＰＵ７９０は、撮像装置７００の全体的な動作を制御する制御回路であり、取得した映像信号から、露出決定やピント合わせのための制御信号を生成する。ＣＰＵ７９０は、決定した露出と適切なフォーカス状態が得られるように、振動型アクチュエータ６２０，６４０及びメータ６３０の駆動を制御することによって、第２レンズ群３２０、第４レンズ群３４０及び光量調節ユニット３５０の光軸方向位置を調整する。
【００５３】
ＣＰＵ７９０による制御下において、振動型アクチュエータ６２０は第２レンズ群３２０を光軸方向に移動させ、振動型アクチュエータ６４０は第４レンズ群３４０を光軸方向に移動させ、光量調節ユニット３５０はメータ６３０により駆動制御される。
【００５４】
振動型アクチュエータ６２０により駆動される第２レンズ群３２０の光軸方向位置は、第１のエンコーダ７７０により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０に通知されることで、振動型アクチュエータ６２０の駆動にフィードバックされる。同様に、振動型アクチュエータ６４０により駆動される第４レンズ群３４０の光軸方向位置は第２のエンコーダ７７５により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０に通知されることで、振動型アクチュエータ６４０の駆動にフィードバックされる。
【００５５】
光量調節ユニット３５０の光軸方向位置は、絞りエンコーダ７８０により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０へ通知されることで、メータ６３０の駆動にフィードバックされる。
【００５６】
なお、振動型アクチュエータ６２０，６４０は、撮像装置において、レンズ群を光軸方向で駆動する用途に限定されず、像ぶれを補正するために像ぶれ補正レンズ或いは撮像素子を光軸と直交する方向で駆動する用途等にも用いることができる。
【符号の説明】
【００５７】
１  振動体
２−２−２  接触部
８  接触体
６２０，６４０  振動型アクチュエータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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