(57)【要約】【課題】イオン引出電極に付着した試料成分を、質量分析装置を分解することなく容易に除去できるようにする。【解決手段】イオン化室と、質量分析室と、イオン化室で発生したイオンを質量分析室へと引き出すイオン引出電極と、イオン化室の壁面に設けられたサンプルプレート出し入れ口と、サンプルプレート出し入れ口を介してイオン化室に挿入可能なイオン引出電極清掃具１３０とを備えた質量分析装置を提供する。イオン引出電極清掃具は、通気管１３１、１４１、１６０と、通気管の先端に回転可能に支持された円盤状の回転研磨部１５０と、通気管に設けられた空気入口１４５と、通気管に設けられた空気出口１６１と、通気管の内部の、空気入口と空気出口との間の位置に設けられ、該通気管の内部における空気の流れによって回転する羽根車１８０と、羽根車の回転を回転研磨部に伝達する回転伝達機構１８１、１８２、１５４とを有する。【選択図】図３
2020115444.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を保持したサンプルプレートが収容されるイオン化室と、
前記イオン化室で発生したイオンを質量電荷比に基づいて分離して検出するイオン分離・検出部と、
前記イオン分離・検出部が収容される質量分析室と、
前記イオン化室と前記質量分析室との境界に設けられ、前記イオン化室で発生した前記イオンを前記質量分析室へと引き出すイオン引出電極と、
前記イオン化室の壁面に設けられたサンプルプレート出し入れ口と、
前記サンプルプレート出し入れ口を介して前記イオン化室に挿入可能なイオン引出電極清掃具と、
を有し、
前記イオン引出電極清掃具が、
通気管と、
前記通気管の先端に回転可能に支持された円盤状の回転研磨部と、
前記通気管に設けられた空気入口と、
前記通気管に設けられた空気出口と、
前記通気管の内部の、前記空気入口と前記空気出口との間の位置に設けられ、該通気管の内部における空気の流れによって回転する羽根車と、
前記羽根車の回転を前記回転研磨部に伝達する回転伝達機構と、
を有している質量分析装置。
【請求項２】
前記羽根車の仮想的な回転軸と、前記回転研磨部の仮想的な回転軸とが互いに直交している請求項１に記載の質量分析装置。
【請求項３】
前記空気入口が前記回転研磨部の外周に隣接する位置に設けられている請求項１又は２に記載の質量分析装置。
【請求項４】
試料を保持したサンプルプレートが収容されるイオン化室と、
前記イオン化室で発生したイオンを質量電荷比に基づいて分離して検出するイオン分離・検出部と、
前記イオン分離・検出部が収容される質量分析室と、
前記イオン化室と前記質量分析室との境界に設けられ、前記イオン化室で発生した前記イオンを前記質量分析室へと引き出すイオン引出電極と、
前記イオン化室の壁面に設けられたサンプルプレート出し入れ口と、
を有する質量分析装置の前記イオン引出電極の清掃に使用されるイオン引出電極清掃具であって、
通気管と、
前記通気管の先端に回転可能に支持された回転研磨部と、
前記通気管に設けられた空気入口と、
前記通気管に設けられた空気出口と、
前記通気管の内部の、前記空気入口と前記空気出口との間の位置に設けられ、該通気管の内部における空気の流れによって回転する羽根車と、
前記羽根車の回転を前記回転研磨部に伝達する回転伝達機構と、
を有しているイオン引出電極清掃具。
【請求項５】
前記羽根車の仮想的な回転軸と、前記回転研磨部の仮想的な回転軸とが互いに直交している請求項４に記載のイオン引出電極清掃具。
【請求項６】
前記空気入口が前記回転研磨部の外周に隣接する位置に設けられている請求項４又は５に記載のイオン引出電極清掃具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、質量分析装置及びイオン引出電極清掃具に関する。
【背景技術】
【０００２】
質量分析装置は、試料中の成分をイオン化するイオン化部と、試料由来のイオンを試料の近傍から引き出して加速するイオン引出電極と、イオン引出電極によって引き出されたイオンを質量電荷比に応じて分離して検出するイオン分離・検出部と、を含んでいる。イオン化部における試料のイオン化手法には様々なものが存在するが、固体試料の分析においては、レーザ脱離イオン化法が広く用いられている。
【０００３】
レーザ脱離イオン化法は、サンプルプレートの表面に保持させた固体試料（例えば、生体組織切片、金属板、若しくは半導体板などの薄片状試料、又は液体試料を乾燥等によって固化させたもの等）にレーザ光を照射し、紫外線である該レーザ光のエネルギによって前記試料の一部を表面から脱離させてイオン化する手法である。レーザ脱離イオン化法による試料のイオン化を行う質量分析装置は、レーザイオン化質量分析装置とよばれる。
【０００４】
レーザイオン化質量分析装置において、レーザ光の照射によって試料から発生したイオンは、試料と対向する位置に配置された板状のイオン引出電極が形成する電場によって、試料の近傍から引き出される。イオン引出電極は、その中央にイオンを通過させるための開口を備えており、試料近傍から引き出されたイオンは、この開口を通過してイオン分離・検出部へと導かれる（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開2018-006050号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のようなレーザイオン化質量分析装置では、サンプルプレート上の試料にレーザ光を照射した際に、試料表面から脱離した試料成分の一部がイオン引出電極に付着することがある。イオン引出電極に付着した試料成分を除去するためには、質量分析装置を分解してイオン引出電極を取り出す必要がある。また、イオン引出電極を清掃した後には、再びイオン引出電極を元通りに取り付けて質量分析装置を組み立て直す必要がある。この分解と再組み立ての作業は手間と時間を要するものであるため、作業者の負担が大きいという問題があった。
【０００７】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、質量分析装置のイオン引出電極に付着した試料成分を、質量分析装置を分解することなく容易に除去できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために成された本発明に係る質量分析装置は、
試料を保持したサンプルプレートが収容されるイオン化室と、
前記イオン化室で発生したイオンを質量電荷比に基づいて分離して検出するイオン分離・検出部と、
前記イオン分離・検出部が収容される質量分析室と、
前記イオン化室と前記質量分析室との境界に設けられ、前記イオン化室で発生した前記イオンを前記質量分析室へと引き出すイオン引出電極と、
前記イオン化室の壁面に設けられたサンプルプレート出し入れ口と、
前記サンプルプレート出し入れ口を介して前記イオン化室に挿入可能なイオン引出電極清掃具と、
を有し、
前記イオン引出電極清掃具が、
通気管と、
前記通気管の先端に回転可能に支持された円盤状の回転研磨部と、
前記通気管に設けられた空気入口と、
前記通気管に設けられた空気出口と、
前記通気管の内部の、前記空気入口と前記空気出口との間の位置に設けられ、該通気管の内部における空気の流れによって回転する羽根車と、
前記羽根車の回転を前記回転研磨部に伝達する回転伝達機構と、
を有している。
【発明の効果】
【０００９】
上記本発明によれば、質量分析装置のイオン引出電極に付着した試料成分を、質量分析装置を分解することなく容易に除去することが可能となる。  
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る質量分析装置の概略構成を示す断面図。
【図２】同実施形態におけるイオン引出電極清掃具を示す斜視図。
【図３】前記イオン引出電極清掃具の構成を示す断面図。
【図４】前記イオン引出電極掃除具によってイオン引出電極を清掃している状態を示す断面図。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る質量分析装置の概略構成を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明を行う。
【００１２】
［実施形態１］
図１に、本発明の一実施形態に係る質量分析装置の概略構成を示す。この質量分析装置は、試料のイオン化法としてレーザ脱離イオン化法（Laser Desorption/Ionization：ＬＤＩ）を用いるレーザイオン化質量分析装置である。
なお、ＬＤＩには、マトリックス試薬を脱離・イオン化支援材料として用いるマトリックス支援レーザ脱離イオン化法（Matrix Assisted Laser Desorption/Ionization：ＭＡＬＤＩ）、及びマトリックス試薬を使用せず、金属若しくは金属酸化物等から成るナノ粒子又はポーラスシリコンプレート等の多孔質基板表面のナノ構造を脱離・イオン化支援材料として用いる表面支援レーザ脱離イオン化法（Surface-Assisted Laser Desorption/Ionization：ＳＡＬＤＩ）などが含まれる。
【００１３】
本実施形態に係るレーザイオン化質量分析装置は、サンプルプレート１１１がセットされる試料ステージ１１２と、サンプルプレート１１１上の試料に紫外線であるレーザ光を照射するためのレーザ光源１２４と、試料から生じたイオンを試料近傍から引き出すイオン引出電極１１４と、前記イオンを質量電荷比に基づいて分離する質量分離器１２２と、分離されたイオンを検出するイオン検出器１２３と、イオン引出電極１１４を清掃するためのイオン引出電極清掃具１３０と、を備えている。なお、質量分離器１２２及びイオン検出器１２３が本発明におけるイオン分離・検出部に相当する。試料ステージ１１２は、図示しない真空ポンプにより真空排気されるイオン化室１１０に収容され、質量分離器１２２及びイオン検出器１２３は、図示しない真空ポンプにより真空排気される質量分析室１２０に収容されている。また、イオン引出電極１１４は、イオン化室１１０と質量分析室１２０の間の隔壁に設けられている。
【００１４】
分析対象である試料はサンプルプレート１１１上に塗布又は載置され、サンプルプレート１１１は試料ステージ１１２の上面に載置される。試料ステージ１１２は、Ｘ−Ｙ移動機構１１３によってＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能となっている。イオン化室１１０の壁面のうち、イオン引出電極１１４が設けられている面と直交する壁面の１つには、サンプルプレート１１１をイオン化室１１０に差し入れたり、イオン化室１１０からサンプルプレート１１１を取り出したりするための、プレート出し入れ口１１７が設けられている。プレート出し入れ口１１７には、開閉可能な扉１１８が設けられている。
【００１５】
イオン引出電極１１４は、試料ステージ１１２の上面と対向する位置に配置された板状の電極であり、中央にイオンを通過させるための開口であるイオン通過口１１５を備えている。なお、イオン引出電極１１４の上面にはイオン通過口１１５を中心とするすり鉢状の凹部１１６（図４を参照）が形成されている。このイオン通過口１１５は試料の表面における前記レーザ光の照射位置の直上に位置している。
【００１６】
試料をイオン化するためのレーザ光は、質量分析室１２０の外部に設けられたレーザ光源１２４から出射し、質量分析室１２０の壁面に設けられた窓部１２５を介して質量分析室１２０の内部に進入する。質量分析室１２０内に進入したレーザ光は、反射光学系１２６で反射され、イオン引出電極１１４のイオン通過口１１５を通過してイオン化室１１０内の試料に照射される。なお、レーザ光源１２４及び反射光学系１２６の位置や角度は固定されており、Ｘ−Ｙ移動機構１１３により試料ステージ１１２を適宜移動させることで、サンプルプレート１１１上の任意の位置に対してレーザ光を照射することができる。
【００１７】
イオン引出電極１１４と試料ステージ１１２の間には図示しない電圧印加部によって電圧が印加されており、この電圧印加によってイオンをＺ軸方向に加速するような電場が形成される。前記レーザ光の照射によって試料の表面から発生したイオンは、前記電場の作用によってイオン引出電極１１４の方へ移動して、イオン引出電極１１４のイオン通過口１１５を介して質量分析室１２０に進入する。
【００１８】
質量分析室１２０に進入したイオンは、イオン輸送光学系１２１によって収束されて質量分離器１２２に導かれる。質量分離器１２２としては、例えば、イオントラップ型、四重極型、二重収束型、飛行時間型など各種のものを用いることができる。
【００１９】
質量分離器１２２に導入されたイオンは、質量電荷比（m/z）に応じて分離されてイオン検出器１２３で検出される。イオン検出器１２３による検出信号は図示しない信号処理部に送られる。信号処理部では、前記検出信号に基づいて、イオンの質量電荷比を横軸とし、イオンの強度を縦軸とするマススペクトルが生成される。
【００２０】
続いて、本実施形態に係る質量分析装置の特徴的構成であるイオン引出電極清掃具１３０について説明する。図２及び図３に示すように、本実施形態におけるイオン引出電極清掃具１３０は、中空のシャフト１３１と、シャフト１３１の先端に設けられた清掃部１４０と、シャフト１３１の基端に設けられた吸引装置接続部１６０とを備えている。
【００２１】
清掃部１４０は、円盤状の回転テーブル１５０（本発明における回転研磨部に相当）と、回転テーブル１５０を回転可能に支持する支持部１４１とを含んでいる。
【００２２】
回転テーブル１５０は、円形の板の下面中央に下方に延びる中心軸部材１５１を設けたものである。回転テーブル１５０の上面中央には、円形の第１突出部１５２が設けられており、第１突出部１５２の中央には、イオン引出電極１１４のイオン通過口１１５と略同一径の円形の第２突出部１５３が設けられている。この回転テーブル１５０の上面には、図２に示すようなシート状の研磨材１９０が取り付けられる。研磨材１９０としては、例えば、布、革、スポンジ、又はゴム等で形成されたバフに砥粒を付着させたものが用いられる。回転テーブル１５０の下面の外周には、後述するピニオンギア１８２と噛み合う歯１５４が形成されている。
【００２３】
支持部１４１は、中空の板状の形状を有しており、その上面には、回転テーブル１５０の直径よりも僅かに大きな径を有する円形の開口であるテーブル取付口１４２が設けられている。また、支持部１４１の周面には、筒状のシャフト挿入部１４３が形成されており、シャフト挿入部１４３にシャフト１３１の先端が差し込まれることにより、シャフト１３１の内部空間と支持部１４１の内部空間が互いに連通される。支持部１４１の内底面には、テーブル取付口１４２の中心に対応する位置に軸受１４４が設けられており、この軸受１４４に回転テーブル１５０の中心軸部材１５１を差し込むことによって、回転テーブル１５０が支持部１４１に対して回転自在に支持される。上記の通り、テーブル取付口１４２の直径は、回転テーブル１５０の直径よりも僅かに大きいため、支持部１４１に回転テーブル１５０を取り付けると、テーブル取付口１４２の内周と、回転テーブル１５０の外周との間に環状の間隙１４５が形成される。この間隙１４５が、本発明における空気入口に相当する。
【００２４】
吸引装置接続部１６０は、中空の部材であり、その下面には、真空掃除機などの吸引装置１９２（図４参照）が接続される吸引装置接続口１６１が設けられている。この吸引装置接続口１６１が本発明における空気出口に相当する。また、吸引装置接続部１６０の側面にはシャフト１３１の基端が接続され、これにより、吸引装置接続部１６０の内部空間は、シャフト１３１の内部空間と連通されている。これらの吸引装置接続部１６０及びシャフト１３１、並びに上述の支持部１４１が、本発明における通気管に相当する。
【００２５】
吸引装置接続部１６０の内部空間にはシャフト１３１内を流れる空気によって回転する羽根車１８０が収容されている。羽根車１８０の中心には、シャフト１３１と平行に延伸する中心軸部材１８１が挿通されている。中心軸部材１８１の一端（以下、後端とよぶ）は吸引装置接続部１６０の側面に回転可能に支持されており、中心軸部材１８１の他端（以下、前端とよぶ）は、シャフト１３１の内部を通って支持部１４１の内部空間に位置している。中心軸部材１８１の前端には、回転テーブル１５０の下面に設けられた歯１５４と噛み合うピニオンギア１８２が取り付けられている。これらの中心軸部材１８１、ピニオンギア１８２、及び歯１５４が、本発明における回転伝達機構に相当する。
【００２６】
本実施形態に係る質量分析装置におけるイオン引出電極の清掃方法について図４を参照しつつ説明する。まず、イオン引出電極清掃具１３０の回転テーブル１５０の上面に、バフなどの研磨材１９０を取り付ける。続いて、イオン引出電極清掃具１３０の吸引装置接続口１６１に、真空掃除機等の吸引装置１９２に接続されたホース１９１を連結し、吸引装置１９２による空気の吸引を開始する。これにより、支持部１４１と回転テーブル１５０の間の間隙１４５から支持部１４１の内部空間に空気が流入するようになり、更に、該空気がシャフト１３１の内部を通って吸引装置接続口１６１から排出されるようになる（図３中の白矢印を参照）。このときシャフト１３１内に発生した空気の流れによって羽根車１８０が回転し、これに伴って羽根車１８０に挿通された中心軸部材１８１及びその前端に設けられたピニオンギア１８２が回転する。このピニオンギア１８２の回転が、回転テーブル１５０の外周に設けられた歯１５４に伝達されて回転テーブル１５０が回転する。
【００２７】
次に、イオン化室１１０の扉１１８（図４では図示を省略している）を開放し、サンプルプレート出し入れ口１１７にイオン引出電極清掃具１３０の先端を挿入する。このとき、試料ステージ１１２は、イオン引出電極清掃具１３０と干渉しない位置に退避させておく。なお、イオン引出電極清掃具１３０のシャフト１３１は、回転テーブル１５０の上面中央をイオン引出電極１１４の下面中央に当接させた際に、少なくともシャフト１３１の基端部及び吸引装置接続部１６０がイオン化室１１０の外部に突出するような長さとなっている。そして、回転テーブル１５０をイオン引出電極１１４の下面に押し当て、回転テーブル１５０の上面に取り付けられた研磨材１９０でイオン引出電極１１４を研磨する。
【００２８】
このように、本実施形態に係る質量分析装置は、サンプルプレート出し入れ口１１７を介してイオン化室１１０に挿入可能なイオン引出電極清掃具１３０を備えているため、イオン引出電極１１４に付着した試料成分を、質量分析装置を分解することなく容易に除去することができる。更に、このときイオン引出電極１１４から除去された試料成分は、回転テーブル１５０の外周とテーブル取付口１４２の内周との間の間隙１４５からイオン引出電極清掃具１３０の内部に吸引され、シャフト１３１の内部を通過して吸引装置接続口１６１から排出される。そのため、イオン引出電極１１４から除去された試料成分がイオン化室１１０の内部に散乱するのを防止することができる。
【００２９】
［実施形態２］
以上では、本発明をレーザイオン化質量分析装置に適用する例を示したが、本発明は、二次イオン質量分析装置にも適用可能である。この場合の構成例を図５に示す。なお、図１で示したものと同一又は対応する構成要素については、下二桁が共通する符号を付し、適宜説明を省略する。
【００３０】
二次イオン質量分析装置は、固体試料の表面に一次イオンビームを照射し、該一次イオンビームの照射によって試料表面から放出される二次イオンの質量電荷比を計測する装置である。そのため、実施形態１で示したレーザイオン化質量分析装置と異なり、レーザ光源１２４、窓部１２５、及び反射光学系１２６を有さず、これらに代えて、一次イオンビームを発生するイオン銃２２７を備えている。なお、図５では、図示の都合上、イオン銃２２７の全体を質量分析室２２０の内部に配置しているが、実際の二次イオン質量分析装置では、イオン銃２２７はその先端部のみが質量分析室２２０に挿入されている。イオン銃２２７から出射された一次イオンビームは、イオン引出電極２１４のイオン通過口２１５を介して試料に照射される。前記一次イオンビームを構成するイオンとしては、例えば、アルゴンイオン、酸素イオン、セシウムイオンなどが用いられる。この一次イオンビームの照射によって試料表面から発生したイオン（二次イオン）は、イオン引出電極２１４によって形成される電場の作用によって試料近傍から引き出されてイオン引出電極２１４のイオン通過口２１５を通過する。そして、該イオンは、イオン輸送光学系２２１を経て質量分離器２２２に導入され、質量電荷比（m/z）に基づいて分離されてイオン検出器２２３で検出される。
【００３１】
このような二次イオン質量分析装置においても、試料表面に一次イオンビームを照射した際に、試料表面から脱離した試料成分の一部がイオン引出電極２１４に付着することがある。実施形態に係る質量分析装置は、上記同様のイオン引出電極清掃具２３０を備えており、質量分析装置を分解することなく、イオン引出電極２１４に付着した試料成分を容易に除去することができる。なお、イオン引出電極清掃具２３０の構成及び使用方法は、実施形態１で示したものと同様であるため詳しい説明は省略する。
【００３２】
以上、図面を参照して本発明における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本発明の種々の態様について説明する。なお、以降に付した符号は理解を容易にするためのものであって、本発明の構成を限定するものではない。
【００３３】
本発明の第１態様の質量分析装置は、
試料を保持したサンプルプレートが収容されるイオン化室と、
前記イオン化室で発生したイオンを質量電荷比に基づいて分離して検出するイオン分離・検出部と、
前記イオン分離・検出部が収容される質量分析室と、
前記イオン化室と前記質量分析室との境界に設けられイオン化室で発生した前記イオンを前記質量分析室へと引き出すイオン引出電極と、
前記イオン化室の壁面に設けられたサンプルプレート出し入れ口と、
前記サンプルプレート出し入れ口を介して前記イオン化室に挿入可能なイオン引出電極清掃具と、
を有し、
前記イオン引出電極清掃具が、
通気管と、
前記通気管の先端に回転可能に支持された円盤状の回転研磨部と、
前記通気管に設けられた空気入口と、
前記通気管に設けられた空気出口と、
前記通気管の内部の、前記空気入口と前記空気出口との間の位置に設けられ、該通気管の内部における空気の流れによって回転する羽根車と、
前記羽根車の回転を前記回転研磨部に伝達する回転伝達機構と、
を有している。
【００３４】
第１態様の質量分析装置は、サンプルプレート出し入れ口を介してイオン化室に挿入可能なイオン引出電極清掃具を備えている。このイオン引出電極清掃具では、空気出口に真空掃除機等の空気吸引手段を接続し、該空気吸引手段で空気を吸引することによって、通気管の内部に前記空気入口から前記空気出口へと向かう空気の流れが発生する。この空気の流れによって羽根車が回転し、その回転が回転伝達機構によって伝達されて回転研磨部が回転する。この回転研磨部をイオン引出電極に押し付けることにより、イオン引出電極に付着した試料成分を除去することができる。したがって、第１態様の質量分析装置では、イオン引出電極に付着した試料成分を、質量分析装置を分解することなく容易に除去することができる。
【００３５】
本発明の第２態様の質量分析装置は、前記第１態様の質量分析装置において、
前記羽根車の仮想的な回転軸と、前記回転研磨部の仮想的な回転軸とが互いに直交している。
【００３６】
本発明の第３態様の質量分析装置は、前記第１態様又は前記第２態様の質量分析装置において、
前記空気入口が前記回転研磨部の外周に隣接する位置に設けられている。
【００３７】
第３態様の質量分析装置では、回転研磨部による研磨によってイオン引出電極から除去された試料成分が、回転研磨部の外周に隣接する位置に設けられた空気入口から通気管の内部に吸引され、通気管の内部を通過して空気出口から排出される。そのため、イオン引出電極から除去された試料成分がイオン化室の内部に散乱するのを防止することができる。
【００３８】
本発明の第４態様のイオン引出電極清掃具は、
試料を保持したサンプルプレートが収容されるイオン化室と、
前記イオン化室で発生したイオンを質量電荷比に基づいて分離して検出するイオン分離・検出部と、
前記イオン分離・検出部が収容される質量分析室と、
前記イオン化室と前記質量分析室との境界に設けられ、前記イオン化室で発生した前記イオンを前記質量分析室へと引き出すイオン引出電極と、
前記イオン化室の壁面に設けられたサンプルプレート出し入れ口と、
を有する質量分析装置の前記イオン引出電極の清掃に使用されるイオン引出電極清掃具であって、
通気管と、
前記通気管の先端に回転可能に支持された円盤状の回転研磨部と、
前記通気管に設けられた空気入口と、
前記通気管に設けられた空気出口と、
前記通気管の内部の、前記空気入口と前記空気出口との間の位置に設けられ、該通気管の内部における空気の流れによって回転する羽根車と、
前記羽根車の回転を前記回転研磨部に伝達する回転伝達機構と、
を有している。
【００３９】
第４態様のイオン引出電極清掃具では、空気出口に真空掃除機等の空気吸引手段を接続し、該空気吸引手段で空気を吸引することによって、通気管の内部に前記空気入口から前記空気出口へと向かう空気の流れが発生する。この空気の流れによって羽根車が回転し、その回転が回転伝達機構によって伝達されて回転研磨部が回転する。この回転研磨部を質量分析装置のイオン化室に挿入してイオン引出電極に押し付けることにより、イオン引出電極に付着した試料成分を除去することができる。したがって、第４態様のイオン引出電極清掃具によれば、質量分析装置のイオン引出電極に付着した試料成分を、質量分析装置を分解することなく容易に除去することができる。
【００４０】
本発明の第５態様のイオン引出電極清掃具は、前記第４態様のイオン引出電極清掃具において、
前記羽根車の仮想的な回転軸と、前記回転研磨部の仮想的な回転軸とが互いに直交している。
【００４１】
本発明の第６態様のイオン引出電極清掃具は、前記第４態様又は前記第５態様のイオン引出電極清掃具において、
前記空気入口が前記回転研磨部の外周に隣接する位置に設けられている。
【００４２】
第６態様のイオン引出電極清掃具では、回転研磨部による研磨によってイオン引出電極から除去された試料成分が、回転研磨部の外周に隣接する位置に設けられた空気入口から通気管の内部に吸引され、通気管の内部を通過して空気出口から排出される。そのため、イオン引出電極から除去された試料成分がイオン化室の内部に散乱するのを防止することができる。
【符号の説明】
【００４３】
１１０、２１０…イオン化室
１１１、２１１…サンプルプレート
１１４、２１４…イオン引出電極
１１７、２１７…プレート出し入れ口
１２０、２２０…質量分析室
１２２、２２２…質量分離器
１２３、２２３…イオン検出器
１３０、２３０…イオン引出電極清掃具
１３１…シャフト
１４０…清掃部
１４１…支持部
１４２…テーブル取付口
１４５…間隙
１５０…回転テーブル
１５４…歯
１６１…吸引装置接続口
１８０…羽根車
１８１…中心軸部材
１８２…ピニオンギア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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