(57)【要約】【課題】シャッタ部材の破損をより確実に防止するために有利な技術を提供する。【解決手段】シャッタ装置は、光束を遮断するシャッタ部材と、前記シャッタ部材を回転駆動する回転機構と、前記シャッタ部材の変形が検出されるように光路が配置された光学センサを備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光束を遮断するシャッタ部材と、前記シャッタ部材を回転駆動する回転機構と、を有するシャッタ装置であって、
前記シャッタ部材の変形が検出されるように光路が配置された光学センサを備える、
ことを特徴とするシャッタ装置。
【請求項２】
前記光路の方向は、前記シャッタ部材の回転軸に平行な直線と交差する方向である、
ことを特徴とする請求項１に記載のシャッタ装置。
【請求項３】
前記光路の方向と前記直線とがなす角度が３０度以上かつ６０度以下である、
ことを特徴とする請求項２に記載のシャッタ装置。
【請求項４】
前記光路は、前記シャッタ部材の形状が正常形状範囲から逸脱したことが検出されるように配置されている、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のシャッタ装置。
【請求項５】
前記光路は、前記シャッタ部材の形状が前記正常形状範囲から逸脱したときに前記シャッタ部材によって遮断されるように配置されている、
ことを特徴とする請求項４に記載のシャッタ装置。
【請求項６】
前記光路は、前記シャッタ部材の形状が前記正常形状範囲に収まっているときに前記シャッタ部材によって遮断されるように配置されている、
ことを特徴とする請求項４に記載のシャッタ装置。
【請求項７】
前記光路は、前記シャッタ部材の形状が正常形状範囲から第１方向に逸脱したことが検出されるように配置された第１光路と、前記シャッタ部材の形状が前記正常形状範囲から前記第１方向とは異なる第２方向に逸脱したことが検出されるように配置された第２光路とを含む、
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のシャッタ装置。
【請求項８】
前記シャッタ部材は、前記シャッタ部材の回転中心を中心とする円弧状のエッジを有し、前記光路は、前記シャッタ部材の回転軸に平行な方向における前記エッジの位置の変化を検出することによって前記シャッタ部材の変形を検出する、
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のシャッタ装置。
【請求項９】
前記シャッタ部材は、前記シャッタ部材が前記回転機構によって回転駆動されることによって前記光束を横切るエッジを有し、前記光路は、前記シャッタ部材の回転軸に平行な方向における前記エッジの位置の変化を検出することによって前記シャッタ部材の変形を検出する、
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のシャッタ装置。
【請求項１０】
前記光学センサの出力に基づいて、前記シャッタ部材の異常を判定する判定部を更に備える、
ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載のシャッタ装置。
【請求項１１】
前記光学センサは、２値の信号を出力する、
ことを特徴とする請求項１０に記載のシャッタ装置。
【請求項１２】
前記光学センサは、アナログ信号を出力し、前記判定部は、前記アナログ信号の波形に基づいて前記シャッタ部材の異常を判定する、
ことを特徴とする請求項１０に記載のシャッタ装置。
【請求項１３】
前記光学センサは、前記光路を挟んで対向して配置された投光部および受光部を有する、
ことを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のシャッタ装置。
【請求項１４】
原版を保持する原版保持部と、
基板を保持する基板保持部と、
光源と、
前記光源からの光を使って前記原版を照明する照明光学系と、
前記原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系と、
請求項１乃至１３のいずれか１項に記載のシャッタ装置と、を備え、
前記シャッタ装置は、前記光源と前記原版保持部との間の光路において光束を遮断することができるように配置されている、
ことを特徴とする露光装置。
【請求項１５】
物品製造方法であって、
請求項１４に記載の露光装置を用いて基板を露光する露光工程と、
前記露光工程で露光された前記基板を現像する現像工程と、を含み、
前記現像工程を経た前記基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シャッタ装置、露光装置および物品製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光源からの光を用いて原版を照明し、原版のパターンを投影光学系によって基板に投影することによって該基板を露光する露光装置において、基板への光の照射を制御するためにシャッタ装置が使用される。シャッタ装置は、光束を横切るようにシャッタ部材を回転駆動することによって基板への光の照射を制御しうる。単位時間当たりの基板の処理枚数、即ちスループットを向上させるために、シャッタ部材の高速駆動が要求され、そのためにシャッタ部材の軽量化が図られている。シャッタ部材の軽量化は、シャッタ部材の薄型化によってなされうる。シャッタ部材の薄型化によってシャッタ部材が変形しやすくなる。シャッタ部材の変形は、シャッタ部材とその周辺に配置された部材との機械的な干渉を引き起こし、シャッタ装置の故障をもたらしうる。
【０００３】
特許文献１には、露光シャッタの異常を検出する異常検出手段を有する露光装置が記載されている。異常検出手段は、放電灯からの光を検出する光検出器の出力と、露光シャッタのシャッタ羽根からの露光光の反射光を検出する光検出器の出力とに基づいてシャッタ羽根の反射率を計算し、この反射率に基づいて露光シャッタの異常を検出する。あるいは、異常検出手段は、露光シャッタのシャッタ羽根の表面温度を検出し、この表面温度に基づいて露光シャッタの異常を検出する。あるいは、異常検出手段は、シャッタ羽根とその周辺に配置された遮蔽板との電気的な接触を検出することによって露光シャッタの異常を検出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２１６０７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
シャッタ羽根の反射率または表面温度を検出する構成では、シャッタ羽根の異常な変形を直接的に検出することはできないので、シャッタ羽根の異常な変形を検出することができない可能性がある。また、シャッタ羽根とその周辺に配置された遮蔽板との電気的な接触を検出する構成では、接触が検出された時点で既にシャッタ羽根または遮蔽板等が破損している可能性がある。したがって、引用文献１に記載された構成では、シャッタ羽根の変形による破損を未然に防止することができない可能性がある。
【０００６】
本発明は、シャッタ部材の破損をより確実に防止するために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の１つの側面は、光束を遮断するシャッタ部材と、前記シャッタ部材を回転駆動する回転機構と、を有するシャッタ装置に係り、前記シャッタ装置は、前記シャッタ部材の変形が検出されるように光路が配置された光学センサを備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、シャッタ部材の破損をより確実に防止するために有利な技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施形態の露光装置の構成を示す図。
【図２】第１実施形態のシャッタ装置を示す図。
【図３】シャッタ部材による露光光の遮断状態と通過状態とを例示する図。
【図４】第１実施形態のシャッタ装置の構成を示す図。
【図５】第１実施形態におけるシャッタ部材の変形の検出原理を模式的に示す図。
【図６】第１実施形態における光学センサの出力信号を例示する図。
【図７】第２実施形態におけるシャッタ部材の変形の検出原理を模式的に示す図。
【図８】第２実施形態における光学センサの出力信号を例示する図。
【図９】第３実施形態における光学センサの出力信号を例示する図。
【図１０】第４実施形態のシャッタ装置の構成を示す図。
【図１１】第４実施形態における光学センサの出力信号を例示する図。
【図１２】第５実施形態におけるシャッタ部材の変形の検出原理、および、光学センサの出力信号を例示する図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
【００１１】
図１には、本発明の第１実施形態の露光装置ＥＸＰの構成が示されている。露光装置ＥＸＰは、光源１１０、シャッタ装置１２０、照明光学系１３０、原版保持部１４０、投影光学系１５０および基板保持部１６０を備えうる。原版保持部１４０は、原版１４２を保持する。原版保持部１４０は、不図示の原版位置決め機構によって位置決めされ、これにより原版１４２が位置決めされうる。基板保持部１６０は、基板１６２を保持する。露光装置ＥＸＰには、レジスト塗布装置によってレジストが塗布された基板１６２が供給される。基板保持部１６０は、不図示の基板位置決め機構によって位置決めされ、これにより基板１６２が位置決めされうる。
【００１２】
シャッタ装置１２０は、光源１１０と原版保持部１４０との間の光路において光束を遮断することができるように配置されている。照明光学系１３０は、光源１１０からの光を使って原版１４２を照明する。投影光学系１５０は、照明光学系１３０によって照明された原版１４２のパターンを基板１６２に投影し、これによって基板１６２が露光される。これにより、基板１６２に塗布されたレジストに潜像パターンが形成される。潜像バターンは、不図示の現像装置によって現像され、これによりレジストパターンが基板１６２上に形成される。
【００１３】
露光装置ＥＸＰは、基板１６２の露光量を制御する構成、換言すると、シャッタ装置１２０を制御する構成として、例えば、検出部１７０、シャッタ制御部１８２およびドライバ１８４を備えうる。検出部１７０は、例えば、光センサ１７２、アンプ１７４、Ｖ／Ｆコンバータ１７６およびパルスカウンタ１７８を含みうる。光センサ１７２は、光電変換素子を含み、シャッタ装置１２０を通過し光センサ１７２に入射した光を光電変換しうる。
【００１４】
一例において、シャッタ装置１２０を通過した光の一部がビームスプリッタ１３２によって取り出されて、光センサ１７２に導かれうる。アンプ１７４は、光センサ１７２からの出力信号（例えば、電流信号）を電圧信号に変換しうる。Ｖ／Ｆコンバータ１７６は、アンプ１７４から出力される電圧信号を周波数信号に変換しうる。パルスカウンタ１７８は、Ｖ／Ｆコンバータ１７６から出力される周波数信号のパルス数をカウントしうる。パルスカウンタ１７８によってカウントされるカウント値は、露光光の強度を積算した量（すなわち、シャッタ装置１２０を通過した露光光の積算量）に対応し、基板１６２の積算露光量にも対応する。
【００１５】
シャッタ制御部１８２は、基板１６２の露光が開始されるように、ドライバ１８４に対して、シャッタ装置１２０を通過状態にするための指令を送りうる。その後、シャッタ制御部１８２は、検出部１７０からの出力に基づいて、基板１６２の積算露光量が目標露光量になるように、ドライバ１８４に対して、シャッタ装置１２０を遮断状態にするための指令を送りうる。ドライバ１８４は、シャッタ制御部１８２からの指令に従ってシャッタ装置１２０を駆動しうる。
【００１６】
露光装置ＥＸＰは、露光装置ＥＸＰの上記の各部を制御する制御部１９０を備えうる。制御部１９０は、例えば、ＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｇａｔｅ  Ａｒｒａｙの略。）などのＰＬＤ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｌｏｇｉｃ  Ｄｅｖｉｃｅの略。）、又は、ＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｐｅｃｉｆｉｃ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔの略。）、又は、プログラムが組み込まれた汎用又は専用のコンピュータ、又は、これらの全部または一部の組み合わせによって構成されうる。
【００１７】
基板１６２は、典型的には、複数のショット領域を有する。基板１６２のあるショット領域と原版１４２とが位置合わせされた後、該ショット領域の露光が開始されるように、シャッタ制御部１８２によって、光を通過させる通過状態になるようにシャッタ装置１２０が制御されうる。この状態で、シャッタ制御部１８２は、検出部１７０（パルスカウンタ１７８）から提供されるカウント値に基づいて、シャッタ装置１２０を遮断状態にするための指令をドライバ１８４に送りうる。これに応答して、ドライバ１８４は、シャッタ装置１２０を遮断状態にするようにシャッタ装置１２０を駆動しうる。この後、他のショット領域を露光するために、当該他のショット領域と原版とが位置合わせされ、当該他のショット領域が露光されうる。以上のような処理がすべてのショット領域に対して実行されうる。
【００１８】
図２には、第１実施形態のシャッタ装置１２０の構成および動作が模式的に示されている。シャッタ装置１２０は、シャッタ部材３０、および、シャッタ部材３０を回転駆動するモータ（回転機構）３１を含みうる。モータ３１は、ドライバ１８４によって駆動されて、シャッタ部材３０を回転駆動しうる。
【００１９】
図３（ａ）〜（ｄ）には、シャッタ装置１２０のシャッタ部材３０による露光光の遮断状態と通過状態とが例示されている。シャッタ部材３０は、光束（露光光）３２を遮断する遮断部分３０ａ１、３０ａ２と、光束３２を通過させる通過部分３０ｂ１、３０ｂ２とを有しうる。図３（ａ）に示される期間ｔａでは、光束３２が遮断部分３０ａによって遮断され、基板１６２は露光されない。図３（ｂ）に示される期間ｔｂでは、光束３２は、通過部分３０ｂ１を通過して、基板１６２のあるショット領域を露光する。図３（ｃ）に示される期間ｔｃでは、光束３２が遮断部分３０ａによって遮断され、基板１６２は露光されない。図３（ｄ）に示される期間ｔｄでは、光束３２は、通過部分３０ｂ２を通過して、基板１６２の他のショット領域を露光する。
【００２０】
図２、図３に示された例では、シャッタ部材３０は、２つの遮断部分３０ａ１、３０ａ２と、２つの通過部分３０ｂ１、３０ｂ２とを有するが、シャッタ部材３０は、少なくとも１つの遮断部分と、少なくとも１つの通過部分とを有しうる。シャッタ部材３０は、例えば、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示された各位置で停止されてもよいし、停止されることなく連続的に駆動されてもよい。
【００２１】
図４には、第１実施形態のシャッタ装置１２０の構成が示されている。図４（ａ）は、モータ３１の回転軸（出力軸）３１ａに平行な面（回転軸３１ａを通る面）でシャッタ装置１２０を切断した断面である。図４（ｂ）は、モータ３１の回転軸（出力軸）３１ａに垂直な面（シャッタ部材３０を通る面）でシャッタ装置１２０を切断した断面図である。モータ３１は、ドライバ１８４から供給される電流にしたがって回転軸（回転シャフト）３１ａを回転させうる。回転軸３１ａには、光束３２を遮断するシャッタ部材３０が固定されていて、シャッタ部材３０は、モータ３１によって回転駆動されうる。モータ３１は、保持部材４１に固定されうる。保持部材４１には、光束３２を通過させる開口部４１ａが設けられうる。ここで、保持部材４１とシャッタ部材３０との間には、シャッタ装置１２０からの光束３２の漏れ、および、シャッタ部材３０と保持部材４１との機械的な干渉が発生しないように、適切な隙間ΔＧが設けられうる。
【００２２】
シャッタ装置１２０は、モータ３１によって回転駆動されるシャッタ部材３０の変形が検出されるように光路４３ｃが配置された光学センサ４３を備えうる。一例において、光学センサ４３は、センサホルダ４２に固定され、センサホルダ４２は、ねじ等の固定部品４５によって保持部材４１に固定されうる。センサホルダ４２は、不図示の調整機構により、保持部材４１に対する相対位置が調整されうる。光学センサ４３は、例えば、光路４３ｃを挟んで対向して配置された投光部４３ａおよび受光部４３ｂを有する透過型センサでありうる。あるいは、光学センサ４３は、ミラーに対して対向して配置されたセンサユニットに投光部および受光部が組み込まれた反射型センサであってもよい。光学センサ４３は、２値の信号を出力するフォトインタラプタでありうる。当該２値は、光路４３ｃがシャッタ部材３０によって遮断されていることを示す値と、光路４３ｃがシャッタ部材３０によって遮断されていないことを示す値とである。
【００２３】
一例において、光学センサ４３は、光路４３ｃがシャッタ部材３０によって遮断されている状態においてハイレベル（Ｈｉｇｈ）を出力し、光路４３ｃがシャッタ部材３０によって遮断されていない状態においてローレベル（Ｌｏｗ）を出力しうる。他の例において、光学センサ４３は、光路４３ｃがシャッタ部材３０によって遮断されていない状態においてハイレベルを出力し、光路４３ｃがシャッタ部材３０によって遮断されている状態においてローレベルを出力しうる。
【００２４】
シャッタ部材３０は、シャッタ部材３０の回転中心（回転軸３１ａの中心）を中心とする円弧状のエッジ３０ｅを有しうる。光学センサ４３の光路４３ｃは、シャッタ部材３０の円弧状のエッジ３０ｅの近傍に配置されうる。光路４３ｃの方向は、回転軸３１ａに平行な直線Ｄａｘと交差する方向でありうる。光路４３ｃの方向と回転軸３１ａに平行な直線Ｄａｘとがなす角度θ１は、例えば、３０度以上かつ６０度以下、好ましくは４０度以上かつ５０度以下であり、一例において４５度でありうる。
【００２５】
シャッタ装置１２０は、光学センサ４３の出力に基づいて、シャッタ部材３０の異常を判定する判定部６０を含んでもよい。判定部６０は、判定の結果を制御部１９０に通知しうる。制御部１９０は、シャッタ部材３０が異常を有するとの判定結果の通知を判定部６０から受けた場合、エラー処理を実行しうる。該エラー処理は、例えば、基板１６２の露光を停止する処理、オペレータに対してシャッタ部材３０が異常を有するとの判定結果を報知する処理を含みうる。判定部６０は、制御部１９０に組み込まれてもよい。
【００２６】
図５を参照しながらシャッタ部材３０の変形を光学センサ４３によって検出する動作を説明する。光学センサ４３の光路４３ｃは、シャッタ部材３０の形状が正常形状範囲から逸脱したことが検出されるように配置されうる。例えば、光学センサ４３の光路４３ｃは、シャッタ部材３０の形状が正常形状範囲から逸脱したときにシャッタ部材３０によって遮断されるように配置されうる。ここで、シャッタ部材３０の変形は、シャッタ部材３０を静止させた状態で存在する場合もありうるし、シャッタ部材３０を回転させた状態で発生する場合もありうる。後者は、シャッタ部材３０に作用する遠心力または加速度等によって生じうる。
【００２７】
一例において、回転軸３１に平行な方向におけるシャッタ部材３０のエッジ３０ｅの変位が許容変位Δｄを超えると、光学センサ４３の出力信号が、例えば、Ｈｉｇｈ（通過）からＬｏｗ（遮断）に遷移するように、光学センサ４３の位置が調整されうる。例えば、シャッタ部材３０の形状が形状５０になると、シャッタ部材３０のエッジ３０ｅは、回転軸３１に平行な方向におけるシャッタ部材３０の変位許容変位Δｄを超えうる。
【００２８】
図６（ａ）には、シャッタ部材３０の形状が正常形状範囲に収まっている場合における光学センサ４３の出力信号が例示されている。図６（ｂ）には、シャッタ部材３０の形状が正常形状範囲から逸脱した場合における光学センサ４３の出力信号が例示されている。図６（ａ）、（ｂ）において、横軸は時間ｔであり、縦軸は光学センサ４３の出力である。
【００２９】
図６（ａ）に例示されるように、シャッタ部材３０の形状が正常形状範囲に収まっている場合は、期間ｔａ、ｔｂ、ｔｃ、ｔｄのいずれにおいても、光学センサ４３の光路４３ｃがシャッタ部材３０によって遮断されることはない。したがって、光学センサ４３の出力信号は、Ｈｉｇｈ（通過）を維持する。図６（ｂ）に例示されるように、シャッタ部材３０の形状が正常形状範囲から逸脱している場合は、露光のための光束３２をシャッタ部材３０が遮断する期間ｔａ、ｔｃにおいて、光学センサ４３の光路４３ｃがシャッタ部材３０によって遮断される。ただし、期間ｔｂ、ｔｄにおいては、光学センサ４３の光路４３ｃは、シャッタ部材３０によって遮断されない。したがって、露光のための光束３２をシャッタ部材３０が遮断する期間ｔａ、ｔｃにおいて、光学センサ４３の出力信号は、Ｌｏｗ（遮断）となり、シャッタ部材３０の形状が正常形状範囲から逸脱していることを示す。
【００３０】
判定部６０は、光学センサ４３の出力信号に基づいてシャッタ部材３０の異常を判定することができる。この例では、判定部６０は、光学センサ４３の出力信号がＨｉｇｈとＬｏｗとを繰り返すこと、または、Ｌｏｗが存在することに基づいて、シャッタ部材３０に異常があると判定することができる。換言すると、判定部６０は、光学センサ４３の出力信号がＨｉｇｈとＬｏｗとを繰り返すこと、または、Ｌｏｗが存在することに基づいて、シャッタ部材３０の異常を検出することができる。
【００３１】
上記の例では、シャッタ部材３０の形状が正常形状範囲から逸脱している場合は、露光のための光束３２をシャッタ部材３０が遮断する期間ｔａ、ｔｃに光学センサ４３の光路４３ｃがシャッタ部材３０によって遮断される。しかし、シャッタ部材３０の形状が正常形状範囲から逸脱している場合、露光のための光束３２をシャッタ部材３０が遮断しない期間ｔｂ、ｔｄにおいて光学センサ４３の光路４３ｃがシャッタ部材３０によって遮断されるように光学センサ４３が配置されてもよい。
【００３２】
許容変位Δｄが図４に模式的に示される隙間ΔＧよりも小さい値に調整されることにより、シャッタ部材３０と保持部材４１との接触によってシャッタ装置１２０が故障する前に、判定部６０がシャッタ装置１２０の異常を検出することができる。異常の検出に基づいてシャッタ装置１２０を交換することにより、シャッタ装置１２０の故障に伴う露光装置ＥＸＰの停止を未然に防止することができる。
【００３３】
図４に示された例では、光束３２の光路と光学センサ４３との間に回転軸３１が位置するように光学センサ４３が配置されているが、光学センサ４３の位置は、エッジ３０ｅが通過する領域の周辺であれば、どこであってもよい。また、複数の光学センサ４３が配置されてもよい。角度θ１は、図４（ａ）に記載された角度θ１が正の値であるとして、負の値であってもよい。この場合、シャッタ部材３０の変形の方向がモータ３１から離れる方向であっても、シャッタ部材３０の形状が正常形状範囲から逸脱したことを検出することができる。
【００３４】
以下、第２実施形態の露光装置ＥＸＰおよびシャッタ装置１２０について説明する。第２実施形態として言及しない事項は、第１実施形態に従いうる。図７を参照しながら第２実施形態におけるシャッタ部材３０の変形およびその検出を説明する。第２実施形態は、光学センサ４３の配置が第１実施形態と異なる。第２実施形態では、光学センサ４３の光路４３ｃは、シャッタ部材３０の形状が正常形状範囲に収まっているときにシャッタ部材３０によって遮断されるように配置される。
【００３５】
一例において、回転軸３１に平行な方向におけるシャッタ部材３０材のエッジ３０ｅの変位が許容変位Δｄを超えると、光学センサ４３の出力信号が、例えば、Ｌｏｗ（遮断）からＨｉｇｈ（通過）に遷移するように、光学センサ４３の位置が調整されうる。例えば、シャッタ部材３０の形状が形状５０になると、シャッタ部材３０のエッジ３０ｅは、回転軸３１に平行な方向におけるシャッタ部材３０の許容変位Δｄを超えうる。
【００３６】
図８（ａ）には、シャッタ部材３０の形状が正常形状範囲に収まっている場合における光学センサ４３の出力信号が例示されている。図８（ｂ）には、シャッタ部材３０の形状が正常形状範囲から逸脱した場合における光学センサ４３の出力信号が例示されている。図８（ａ）、（ｂ）において、横軸は時間ｔであり、縦軸は光学センサ４３の出力である。
【００３７】
図８（ａ）に例示されるように、シャッタ部材３０の形状が正常形状範囲に収まっている場合は、露光のための光束３２をシャッタ部材３０が遮断する期間ｔａ、ｔｃにおいて、光学センサ４３の光路４３ｃがシャッタ部材３０によって遮断される。図８（ｂ）に例示されるように、シャッタ部材３０の形状が正常形状範囲から逸脱している場合は、期間ｔａ、ｔｃにおいても、光学センサ４３の光路４３ｃは、シャッタ部材３０によって遮断されない。よって、期間ｔａ、ｔｂ、ｔｃ、ｔｄのいずれにおいても、光学センサ４３の光路４３ｃは、シャッタ部材３０によって遮断されず、光学センサ４３の出力信号は、Ｈｉｇｈレベルを維持する。
【００３８】
判定部６０は、光学センサ４３の出力信号に基づいてシャッタ部材３０の異常を判定することができる。この例では、判定部６０は、例えば、露光のための光束３２をシャッタ部材３０が遮断する期間ｔａ、ｔｃ中に光学センサ４３の出力信号がＨｉｇｈになる期間があることに基づいて、シャッタ部材３０に異常があると判定することができる。
【００３９】
第２実施形態では、第１実施形態と同様に、光学センサ４３の位置は、エッジ３０ｅが通過する領域の周辺であれば、どこであってもよい。また、複数の光学センサ４３が配置されてもよい。
【００４０】
以下、図９を参照しながら第３実施形態の露光装置ＥＸＰおよびシャッタ装置１２０について説明する。第３実施形態として言及しない事項は、第１又は第２実施形態に従いうる。第３実施形態のシャッタ装置１２０は、少なくとも２つの光学センサ４３、４３’を備えうる。したがって、第３実施形態のシャッタ装置１２０は、少なくとも２つの光路４３ｃ、４３ｃ’を有しうる。
【００４１】
図９に示された例では、光学センサ４３は、光路４３ｃを有し、光学センサ４３’は、光路４３ｃ’を有する。光路（第１光路）４３ｃは、シャッタ部材３０の形状が正常形状範囲から第１方向（モータ３１に近づく方向）に逸脱したことが検出されるように配置されうる。光路（第２光路）４３ｃ’は、シャッタ部材３０の形状が正常形状範囲から第１方向とは異なる第２方向（モータ３１から遠ざかる方向）に逸脱したことが検出されるように配置される。
【００４２】
光学センサ４３は、例えば、光路４３ｃを挟んで対向して配置された投光部４３ａおよび受光部４３ｂを有する透過型センサでありうる。光学センサ４３’は、例えば、光路４３ｃ’を挟んで対向して配置された投光部４３ａ’および受光部４３ｂ’を有する透過型センサでありうる。投光部４３ａと投光部４３ａ’は、シャッタ部材３０の回転域を挟んで互いに対向する位置に配置されうる。受光部４３ｂと受光部４３ｂ’は、シャッタ部材３０の回転域を挟んで互いに対向する位置に配置されうる。第３実施形態によれば、第１方向および第２方向のいずれに正常形状範囲を逸脱してシャッタ部材３０が変形した場合にも、それを検出することができる。
【００４３】
第３実施形態では、第１実施形態と同様に、光学センサ４３、４３’の組は、エッジ３０ｅが通過する領域の周辺であれば、どこに配置されてもよい。また、複数組の光学センサ４３、４３’が配置されてもよい。
【００４４】
以下、図１０、図１１を参照しながら第４実施形態の露光装置ＥＸＰおよびシャッタ装置１２０について説明する。第４実施形態として言及しない事項は、第１乃至第３実施形態に従いうる。第４実施形態は、光学センサ４３の配置が第１乃至第３実施形態と異なる。
【００４５】
シャッタ部材３０は、シャッタ部材３０がモータ３１によって回転駆動されることによって光束３２を横切るエッジ３０ｆを有する。光学センサ４３の光路４３ｃは、シャッタ部材３０の回転軸３１ａに平行な方向におけるエッジ３０ｆの位置の変化を検出することによってシャッタ部材３０の変形を検出しうる。光路４３ｃの方向と回転軸３１ａに平行な直線Ｄａｘとがなす角度θ１は、例えば、３０度以上かつ６０度以下、好ましくは４０度以上かつ５０度以下であり、一例において４５度でありうる。
【００４６】
一例において、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）のいずれかの状態にシャッタ部材３０が整定（停止）されている状態において、光学センサ４３によってシャッタ部材３０の変形が検出されうる。具体的には、該状態において、回転軸３１に平行な方向におけるシャッタ部材３０の円弧状のエッジ３０ｅの変位が許容変位Δｄを超えると、光学センサ４３の出力信号がＬｏｗ（遮断）になりうる。よって、判定部６０は、光学センサ４３の出力信号に基づいてシャッタ部材３０の異常を判定することができる。
【００４７】
図１１には、シャッタ部材３０に異常がない場合における光学センサ４３の出力信号が例示されている。光学センサ４３の出力信号は、周期Ｔを有する周期信号でありうる。シャッタ部材３０に異常が発生すると、光学センサ４３の出力信号の波形が正常状態における波形から変化しうる。例えば、シャッタ部材３０に異常が発生すると、光学センサ４３の出力信号の波形が正常状態における波形に対して遅れうる。例えば、シャッタ制御部１８２がドライバ１８４に駆動指令を送るタイミング等を基準とする光学センサ４３の出力信号の位相は、シャッタ部材３０における異常の発生によって変化しうる。したがって、判定部６０は、光学センサ４３の出力信号の波形に基づいてシャッタ部材３０の異常を判定することができる。第４実施形態においても、複数の光学センサ４３が配置されてもよい。
【００４８】
以下、図１２を参照しながら第５実施形態の露光装置ＥＸＰおよびシャッタ装置１２０について説明する。第５実施形態として言及しない事項は、第１乃至第４実施形態に従いうる。第５実施形態は、光学センサ４３の仕様が第１乃至第４実施形態と異なる。図１２（ａ）には、第５実施形態のシャッタ装置１２０における光学センサ４３の配置例が模式的に示されている。
【００４９】
第５実施形態のシャッタ装置１２０は、アナログ信号を出力する光学センサ４３を備えている。第５実施形態における光学センサ４３は、第１乃至第４実施形態における光学センサ４３も光路４３ｃよりも太い光路４３ｄを有しうる。光路４３ｄは、平行光束が通過する空間でありうる。光学センサ４３は、例えば、光路４３ｃを挟んで対向して配置された投光部４３ａおよび受光部４３ｂを有する透過型センサでありうる。あるいは、光学センサ４３は、ミラーに対して対向して配置されたセンサユニットに投光部および受光部が組み込まれた反射型センサであってもよい。受光部４３ｂは、光量センサでありうる。光学センサ４３は、受光部４３ｂによって受光される光の強度に応じた振幅を有するアナログ信号を出力しうる。光学センサ４３の光路４３ｄは、光路４３ｄの中心軸（光軸）４３ａｘが正常状態のシャッタ部材３０のエッジ３０ｅの近傍を通り、光路４３ｄの一部が正常状態のシャッタ部材３０のエッジ３０ｅによって遮断されるように配置されうる。
【００５０】
図１２（ｂ）には、光学センサ４３の出力信号Ｓｏｕｔが例示されている。出力信号Ｓｏｕｔは、期間ｔａ、ｔｃにおいて、シャッタ部材３０のエッジ３０ｅの振動等に依存する波形を有しうる。判定部６０は、正常状態における出力信号Ｓｏｕｔと、露光装置ＥＸＰの使用時における出力信号Ｓｏｕｔとを比較することによって、シャッタ部材３０の異常を判定することができる。正常状態における出力信号Ｓｏｕｔと、露光装置ＥＸＰの使用時における出力信号Ｓｏｕｔとの比較は、出力信号Ｓｏｕｔそのものの比較であってもよいし、出力信号Ｓｏｕｔから抽出される特徴量に基づいて行われてもよい。
【００５１】
本発明の実施形態における物品製造方法は、例えば、物品（半導体素子、磁気記憶媒体、液晶表示素子など）、カラーフィルターなどの物品を製造するのに好適である。かかる製造方法は、上記の露光装置を用いて、感光剤が塗布された基板を露光する露光工程と、露光工程で露光された基板を現像する現像工程を含む。また、該製造方法は、他の周知の工程（酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージングなど）を含みうる。本実施形態における物品の製造方法は、従来に比べて、物品の性能、品質、生産性及び生産コストの少なくとも１つにおいて有利である。
【００５２】
発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。
【符号の説明】
【００５３】
ＥＸＰ：露光装置、１２０：シャッタ装置、３０：シャッタ部材、３１：モータ、３１ａ：回転軸、４３：光学センサ、４３ａ：投光部、４３ｂ：受光部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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