(57)【要約】【課題】流路基板の表面に塗布される接着剤に起因した噴射特性の誤差を低減する。【解決手段】液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルに連通する圧力室の側面を構成する流路基板と、前記流路基板に接合される第１面と前記第１面とは反対の第２面とを含む振動板と、前記第２面に設けられ、前記圧力室の圧力を変動させる駆動素子とを具備する液体噴射ヘッドであって、前記圧力室の側面は、平面視において曲率中心が前記圧力室内に位置する曲面を隅部に含み、前記第１面には、凹部が形成され、前記圧力室は、平面視において前記凹部の内側に位置する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズルに連通する圧力室の側面を構成する流路基板と、
前記流路基板に接合される第１面と前記第１面とは反対の第２面とを含む振動板と、
前記第２面に設けられ、前記圧力室の圧力を変動させる駆動素子とを具備する液体噴射ヘッドであって、
前記圧力室の側面は、平面視において曲率中心が前記圧力室内に位置する曲面を隅部に含み、
前記第１面には、凹部が形成され、
前記圧力室は、平面視において前記凹部の内側に位置する
液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記凹部の側面は、当該凹部の底面に連続する曲面を含み、
平面視における前記圧力室の隅部の曲率半径は、断面視における前記凹部の隅部の曲率半径よりも大きい
請求項１の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記流路基板には、前記圧力室に液体を供給する液体貯留室と、前記圧力室と前記液体貯留室とを連通する連通流路とが形成され、
前記液体貯留室が延在する方向における前記連通流路の幅は、当該方向における前記圧力室の幅よりも小さい
請求項１または請求項２の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記連通流路の側面は、液体貯留室の側面に連続する曲面を含む
請求項３の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記圧電素子は、平面視において前記凹部の内側に位置する
請求項１から請求項４の何れかの液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１から請求項５の何れかの液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドを制御する制御部と
を具備する液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を噴射する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
インク等の液体を複数のノズルから噴射する液体噴射ヘッドが従来から提案されている。例えば特許文献１には、圧力室が形成された圧力室形成基板と、圧力室の壁面の一部を構成する振動板と、当該振動板に設けられ圧力室内の圧力を変動させる圧電素子と、圧力室とノズルとを連通するノズル連通孔が形成された連通基板とを具備する液体噴射装置が開示されている。圧力室形成基板を挟んで相互に反対側に振動板と連通基板とが位置する。連通基板と圧力室形成基板とは接着剤により接合される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−０８０９４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１の技術では、圧力室形成基板と連通基板とを接合する接着剤が、毛管力により圧力室の隅部に沿って進行し、振動板に付着する可能性がある。接着剤の付着により、振動板の振動特性が変化し、結果的にノズルからのインクの噴射特性に誤差が生じる場合がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルに連通する圧力室の側面を構成する流路基板と、前記流路基板に接合される第１面と前記第１面とは反対の第２面とを含む振動板と、前記第２面に設けられ、前記圧力室の圧力を変動させる駆動素子とを具備する液体噴射ヘッドであって、前記圧力室の側面は、平面視において曲率中心が前記圧力室内に位置する曲面を隅部に含み、前記第１面には、凹部が形成され、前記圧力室は、平面視において前記凹部の内側に位置する。また、本発明は、当該液体噴射ヘッドと、液体噴射ヘッドを制御する制御部とを具備する液体噴射装置としても観念できる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１実施形態に係る液体噴射装置の構成図である。
【図２】液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
【図３】液体噴射ヘッドの断面図である。
【図４】圧力室の付近における平面図である。
【図５】圧力室の付近における断面図である。
【図６】凹部の曲面の付近における断面図である。
【図７】第２実施形態に係る液体噴射ヘッドの断面図である。
【図８】第２実施形態に係る圧力室の付近における平面図である。
【図９】変形例に係る液体噴射ヘッドの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
Ａ．第１実施形態
図１は、本発明の好適な形態に係る液体噴射装置１００を例示する構成図である。本実施形態の液体噴射装置１００は、液体の例示であるインクを媒体１２に噴射するインクジェット方式の印刷装置である。媒体１２は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象が媒体１２として利用される。図１に例示される通り、液体噴射装置１００には、インクを貯留する液体容器１４が設置される。例えば液体噴射装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、またはインクを補充可能なインクタンクが液体容器１４として利用される。
【０００８】
図１に例示される通り、液体噴射装置１００は、制御ユニット２０と搬送機構２２と移動機構２４と液体噴射ヘッド２６とを具備する。制御ユニット２０は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、液体噴射装置１００の各要素を統括的に制御する。制御ユニット２０は「制御部」の例示である。搬送機構２２は、制御ユニット２０による制御のもとで媒体１２をＹ軸に沿って搬送する。
【０００９】
移動機構２４は、制御ユニット２０による制御のもとで液体噴射ヘッド２６をＸ軸に沿って往復させる。Ｘ軸は、媒体１２が搬送されるＹ軸に交差する。例えば、Ｘ軸とＹ軸とは相互に直交する。第１実施形態の移動機構２４は、液体噴射ヘッド２６を収容する略箱型の搬送体２４２と、搬送体２４２が固定された搬送ベルト２４４とを具備する。なお、複数の液体噴射ヘッド２６を搬送体２４２に搭載した構成、または、液体容器１４を液体噴射ヘッド２６とともに搬送体２４２に搭載した構成も採用され得る。
【００１０】
液体噴射ヘッド２６は、液体容器１４から供給されるインクを制御ユニット２０による制御のもとで複数のノズルから媒体１２に噴射する。搬送機構２２による媒体１２の搬送と搬送体２４２の反復的な往復とに並行して各液体噴射ヘッド２６が媒体１２にインクを噴射することで、媒体１２の表面に所望の画像が形成される。なお、以下の説明では、Ｘ-Ｙ平面に垂直な軸を以下ではＺ軸と表記する。Ｚ軸は、典型的には鉛直線である。Ｘ-Ｙ平面は、例えば媒体１２の表面に平行な平面である。
【００１１】
図２は、液体噴射ヘッド２６の分解斜視図であり、図３は、図２におけるIII-III線の断面図である。図２および図３に例示される通り、液体噴射ヘッド２６は、第１流路基板３２を具備する。第１流路基板３２は、Ｙ軸に沿って長尺な略矩形状の板状部材である。第１流路基板３２のうちＺ軸の負方向の面上に、第２流路基板３４と振動板３６と複数の圧電素子３８と筐体部４２と保護基板４４とが設置される。他方、第１流路基板３２のうちＺ軸の正方向における面上に、ノズル基板４６と吸振体４８とが設置される。液体噴射ヘッド２６の各要素は、概略的には第１流路基板３２と同様にＹ軸に沿う長尺な板状部材であり、例えば接着剤を利用して相互に接合される。
【００１２】
図２に例示される通り、ノズル基板４６は、Ｙ軸の方向に配列する複数のノズルＮが形成された板状部材である。各ノズルＮは、インクが通過する貫通孔である。なお、第１流路基板３２と第２流路基板３４とノズル基板４６とは、例えばシリコン（Ｓi）の単結晶基板をエッチング等の半導体製造技術により加工することで形成される。ただし、液体噴射ヘッド２６の各要素の材料や製法は任意である。
【００１３】
第１流路基板３２は、インクの流路を形成するための板状部材である。図２および図３に例示される通り、第１流路基板３２には、開口部３２２と連通流路３２４と供給流路３２６とが形成される。開口部３２２は、複数のノズルＮにわたり連続するようにＺ軸の方向からの平面視でＹ軸に沿う長尺状に形成された貫通孔である。他方、連通流路３２４および供給流路３２６は、ノズルＮ毎に個別に形成された貫通孔である。また、図３に例示される通り、第１流路基板３２のうちＺ軸の正方向の表面には、複数の連通流路３２４にわたる中継流路３２８が形成される。中継流路３２８は、開口部３２２と複数の連通流路３２４とを連通させる流路である。
【００１４】
筐体部４２は、例えば樹脂材料の射出成形で製造された構造体であり、第１流路基板３２のうちＺ軸の負方向の表面に固定される。図３に例示される通り、筐体部４２には収容部４２２と導入口４２４とが形成される。収容部４２２は、第１流路基板３２の開口部３２２に対応した外形の凹部であり、導入口４２４は、収容部４２２に連通する貫通孔である。図３から理解される通り、第１流路基板３２の開口部３２２と筐体部４２の収容部４２２とを相互に連通させた空間が液体貯留室Ｒとして機能する。液体容器１４から供給されて導入口４２４を通過したインクが液体貯留室Ｒに貯留される。
【００１５】
吸振体４８は、液体貯留室Ｒ内の圧力変動を吸収するための要素であり、例えば弾性変形が可能な可撓性のフィルムを含んで構成される。具体的には、第１流路基板３２の開口部３２２と中継流路３２８と複数の連通流路３２４とを閉塞して液体貯留室Ｒの底面を構成するように、第１流路基板３２のうちＺ軸の正方向における表面に吸振体４８が設置される。
【００１６】
図２および図３に例示される通り、第２流路基板３４は、相異なるノズルＮに対応する複数の圧力室Ｃが形成された板状部材である。具体的には、圧力室Ｃの側面が第２流路基板３４により構成される。圧力室Ｃの側面は、振動板３６に対して交差する面である。複数の圧力室Ｃは、Ｙ軸に沿って配列する。各圧力室Ｃは、Ｚ軸の方向からの平面視でＸ軸に沿う長尺状の開口である。Ｘ軸の正方向における圧力室Ｃの端部は、平面視において１個の連通流路３２４に重なる。また、Ｘ軸の負方向における圧力室Ｃの端部は、平面視において１個の供給流路３２６に重なる。圧力室Ｃは、供給流路３２６を介してノズルＮと連通する。
【００１７】
図４は、圧力室Ｃの付近における平面図である。図４に例示される通り、圧力室Ｃの側面は、第１平面Ｗ1と第２平面Ｗ2と曲面Ｗ3とを含む。第１平面Ｗ1は、圧力室Ｃの側面のうちＸ軸に沿う平面である。Ｙ軸の負方向と正方向とのそれぞれに第１平面Ｗ1が位置する。平面視において圧力室Ｃの長辺に対応する平面が第１平面Ｗ1である。第２平面Ｗ2は、圧力室Ｃの側面のうちＹ軸に沿う平面である。Ｘ軸の負方向と正方向とのそれぞれに第２平面Ｗ2が位置する。平面視において圧力室Ｃの短辺に対応する平面が第２平面Ｗ2である。以上の説明から理解される通り、圧力室Ｃの側面は、相互に対向する２つの第１平面Ｗ1と、相互に対向する２つの第２平面Ｗ2とを含む。
【００１８】
曲面Ｗ3は、第１平面Ｗ1および第２平面Ｗ2に連続する面であり、平面視における圧力室Ｃの隅部に位置する。圧力室Ｃの隅部は、平面視において圧力室Ｃの角に位置する。すなわち、概略的な平面形状が長方形である圧力室Ｃにおいては４つの隅部が存在する。したがって、圧力室Ｃの側面は、４つの隅部のそれぞれに対応する４つの曲面Ｗ3を含む。Ｚ軸の方向からの平面視において、曲面Ｗ3の曲率中心が圧力室Ｃ内に位置する。曲面Ｗ3は、中心線がＺ軸に平行で圧力室Ｃ内に位置する円柱面の一部とも換言できる。図４には、平面視における曲面Ｗ3の曲率半径ｒ1が図示されている。曲率半径は、曲面の曲がり具合を表す指標であり、曲率半径が大きいほど曲面が緩やかに曲がることを表す。
【００１９】
曲面Ｗ3を有する圧力室Ｃは、例えば等方性エッチングにより形成される。等方性エッチングは、例えばボッシュプロセス等のドライエッチング、または、ウエットエッチングである。例えば混酸を使用した等方性エッチングをシリコン単結晶基板に対して実施することで圧力室Ｃが形成される。混酸は、例えばフッ酸、硝酸および酢酸を１：２：１の割合で含む。
【００２０】
図３に例示される通り、第２流路基板３４のうち第１流路基板３２とは反対側の表面には振動板３６が設置される。振動板３６は、弾性的に変形可能な板状部材である。具体的には、振動板３６は、第２流路基板３４に接合される第１面Ｆ1と、第１面Ｆ1とは反対の第２面Ｆ2とを含む。第１実施形態の振動板３６は、例えば、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）で形成された第１層３６１と、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）で形成された第２層３６２との積層で構成される。第１層３６１は、振動板３６のうち第２流路基板３４側に位置し、第２層３６２は、第１層３６１に対して第２流路基板３４とは反対側に位置する。すなわち、第１層３６１におけるＺ軸の負方向の表面に第２層３６２が積層される。
【００２１】
図３から理解される通り、第１流路基板３２と振動板３６とは、各圧力室Ｃを挟んで相互に間隔をあけて対向する。圧力室Ｃは、第１流路基板３２と振動板３６との間に位置し、当該圧力室Ｃ内に充填されたインクに圧力を付与するための空間である。液体貯留室Ｒに貯留されたインクは、中継流路３２８から各連通流路３２４に分岐して複数の圧力室Ｃに並列に供給および充填される。圧力室Ｃは、第１流路基板３２を介してノズルＮと連通する。
【００２２】
図２および図３に例示される通り、振動板３６における第２面Ｆ2には、相異なるノズルＮに対応する複数の圧電素子３８が設けられる。各圧電素子３８は、圧力室Ｃの圧力を変動させる駆動素子である。具体的には、圧電素子３８は、駆動信号の供給により変形するアクチュエーターであり、平面視でＸ軸に沿う長尺状に形成される。複数の圧電素子３８は、複数の圧力室Ｃに対応するようにＹ軸に沿って配列する。圧電素子３８の変形に連動して振動板３６が振動すると、圧力室Ｃ内の圧力が変動することで、圧力室Ｃに充填されたインクが供給流路３２６とノズルＮとを通過して噴射される。
【００２３】
図４に例示される通り、圧電素子３８は、相互に対向する第１電極３８１と第２電極３８２との間に圧電体層３８３を介在させた積層体である。第１電極３８１は、振動板３６の第２面Ｆ2に圧電素子３８毎に形成された個別電極である。第１電極３８１には、圧電素子３８を駆動するための駆動信号が供給される。圧電体層３８３は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛等の強誘電性の圧電材料で形成される。第２電極３８２は、複数の圧電素子３８にわたり連続する共通電極である。第２電極３８２には所定の基準電圧が印加される。すなわち、基準電圧と駆動信号との差分に相当する電圧が圧電体層３８３に印加される。第１電極３８１と第２電極３８２と圧電体層３８３とが平面視で重なる部分が圧電素子３８として機能する。圧電素子３８は、圧力室Ｃの圧力を変動させる「駆動素子」の一例である。圧電素子３８の変形に連動して振動板３６が振動すると、圧力室Ｃ内のインクの圧力が変動し、圧力室Ｃに充填されたインクが連通流路３２４とノズルＮとを通過して外部に噴射される。なお、第１電極３８１を共通電極として第２電極３８２を圧電素子３８毎の個別電極とした構成、または、第１電極３８１および第２電極３８２の双方を個別電極とした構成も採用され得る。
【００２４】
図５は、図３の圧力室Ｃの付近を拡大した断面図である。図４におけるＶ-Ｖ線の断面図が図３である。図３および図５に例示される通り、振動板３６の第１面Ｆ1には、第１面Ｆ1に対して窪んだ凹部Ｈが形成される。図４に例示される通り、平面視において圧力室Ｃに重なる位置に凹部Ｈが形成される。具体的には、平面視において圧力室Ｃが凹部Ｈの内側に位置する。したがって、図５に例示される通り、第２流路基板３４における振動板３６の表面と凹部Ｈの内壁とで構成される空間Ｅが形成される。空間Ｅは、平面視で圧力室Ｃに重ならない空間である。図４に例示される通り、凹部Ｈの周縁の全周にわたり空間Ｅが形成される。平面視において圧力室Ｃの周縁を囲うように空間Ｅが形成されるとも換言できる。また、平面視において圧電素子３８は圧力室Ｃの内側に位置する。すなわち、圧電素子３８も凹部Ｈの内側に位置する。
【００２５】
図５に例示される通り、第１実施形態では、第１層３６１に凹部Ｈが形成される。具体的には、凹部Ｈは、底面Ｋ1と側面Ｋ2とで構成される空間である。底面Ｋ1は、第１面Ｆ1に平行な平面であり、第１面Ｆ1からＺ軸の負方向に離れて位置する。他方、側面Ｋ2は、第１面Ｆ1から底面Ｋ1に連続する曲面である。側面Ｋ2は、凹部Ｈの全周にわたり当該曲面が形成される。側面Ｋ2の曲率中心は、断面視において側面Ｋ2に対して圧力室Ｃの方向に位置する。例えば側面Ｋ2は、中心線がＹ軸の方向に平行で凹部Ｈ内に位置する円柱面の一部であるとも換言できる。
【００２６】
図６は、図５の凹部Ｈにおける側面Ｋ2の付近を拡大した拡大図である。図６には、断面視における凹部Ｈの隅部における曲率半径ｒ2が図示されている。凹部Ｈの隅部は、断面視において凹部Ｈの両端である。第１実施形態では、図４の平面視における圧力室Ｃの隅部の曲率半径ｒ1は、図６の断面視における凹部Ｈの隅部の曲率半径ｒ2よりも大きい。
【００２７】
図２および図３の保護基板４４は、複数の圧電素子３８を保護するとともに第２流路基板３４および振動板３６の機械的な強度を補強する板状部材である。すなわち、第２流路基板３４のうち第１流路基板３２とは反対側に保護基板４４が設置される。保護基板４４と振動板３６との間に複数の圧電素子３８が設置される。保護基板４４は、例えばシリコン（Ｓi）で形成される
【００２８】
図３に例示される通り、振動板３６の表面には、例えば配線基板５０が接合される。配線基板５０は、制御ユニット２０または電源回路と液体噴射ヘッド２６とを電気的に接続するための複数の配線が形成された実装部品である。例えばＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）やＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の可撓性の配線基板５０が好適に採用される。図３に例示される通り、液体噴射ヘッド２６は、配線基板５０に実装される駆動回路６２を具備する。駆動回路６２は、駆動信号を各圧電素子３８に供給する。
【００２９】
例えば圧力室Ｃの隅部が平面視で角形である構成（以下「比較例」という）を想定する。すなわち、比較例では、第１平面Ｗ1と第２平面Ｗ2とが隅部において交差する。比較例では、第１流路基板３２と第２流路基板３４とを接合するための接着剤が、隅部に発生する毛管力により圧力室Ｃ内を当該隅部に沿って進行し、振動板３６に付着する可能性がある。接着剤の付着により、振動板３６の振動特性が変化し、結果的にノズルからのインクの噴射特性に誤差が生じる場合がある。噴射特性は、例えば噴射量、噴射方向または噴射速度である。それに対して、第１実施形態では、圧力室Ｃの側面が隅部において曲面Ｗ3を含むから、隅部に発生する毛管力が低減され、接着剤が当該隅部を進行して振動板３６に付着する可能性を低減できる。したがって、第２流路基板３４の表面に塗布される接着剤に起因した噴射特性の誤差を低減できる。
【００３０】
また、第１実施形態では、圧力室Ｃが平面視において振動板３６の凹部Ｈの内側に位置するから、仮に接着剤が圧力室Ｃの隅部に沿って進行しても当該接着剤が第２流路基板３４の表面と凹部Ｈの内壁との間の空間Ｅに進入する。すなわち、振動板３６のうち圧電素子３８に重なる領域に接着剤が付着することを抑制できる。したがって、第２流路基板３４の表面に塗布される接着剤に起因した噴射特性の誤差を低減する効果が顕著である。
【００３１】
平面視における圧力室Ｃの隅部の曲率半径ｒ1が断面視における凹部Ｈの隅部の曲率半径ｒ2よりも大きい第１実施形態の構成によれば、隅部に発生する毛管力が十分に低減される。したがって、接着剤が圧力室Ｃの隅部を介して振動板３６に付着する可能性を十分に低減できる。ただし、曲率半径ｒ1が曲率半径ｒ2よりも小さくてもよい。第１実施形態では、圧電素子３８は平面視において凹部Ｈの内側に位置するから、凹部Ｈが平面視において圧電素子３８の外側に位置する構成と比較して、振動板３６を十分に変位させることができる。
【００３２】
Ｂ．第２実施形態
第２実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
【００３３】
図７は、第２実施形態に係る液体噴射ヘッド２６の断面図であり、図８は、図７の圧力室Ｃの付近における平面図である。圧力室Ｃの側面が曲面Ｗ3を含む構成、および、振動板３６が凹部Ｈを含む構成は第１実施形態と同様である。図７に例示される通り、第２実施形態の液体噴射ヘッド２６では、第１流路基板３２が省略される。すなわち、第２流路基板３４における振動板３６とは反対側にノズル基板４６が設置される。第２実施形態の筐体部４２は、振動板３６の第２面Ｆ2に設置される。筐体部４２は、第１実施形態と同様に、収容部４２２と導入口４２４とが形成される。第２流路基板３４と振動板３６とにわたり形成される開口部３４１と、収容部４２２とが連通することで液体貯留室Ｒとして機能する。なお、開口部３４１は、複数のノズルＮにわたり連続するようにＺ軸の方向からの平面視でＹ軸に沿う長尺状に形成された貫通孔である。
【００３４】
図７および図８に例示される通り、第２実施形態の第２流路基板３４には、連通流路３４３が形成される。連通流路３４３は、圧力室Ｃ毎に形成された貫通孔であり、圧力室Ｃと液体貯留室Ｒとを連通する。図８に例示される通り、液体貯留室Ｒが延在するＹ軸の方向における連通流路３４３の幅は、Ｙ軸の方向における圧力室Ｃの幅よりも小さい。すなわち、連通流路３４３の流路抵抗は、圧力室Ｃの流路抵抗よりも大きい。すなわち、連通流路３４３は、圧力室Ｃから液体貯留室Ｒへのインクの逆流を抑制するための絞り流路として機能する。
【００３５】
図８に例示される通り、連通流路３４３の側面は、曲面Ｗ4を含む。連通流路３４３の側面は、振動板３６に対して交差する面である。具体的には、連通流路３４３の側面は、液体貯留室Ｒの側面に連続する曲面Ｗ4と、圧力室Ｃの側面に連続する曲面Ｗ4とを含む。液体貯留室Ｒの側面に連続する曲面Ｗ4の曲率中心は、平面視において液体貯留室Ｒの外側に位置する。圧力室Ｃの側面に連続する曲面Ｗ4の曲率中心は、平面視において圧力室Ｃの外側に位置する。
【００３６】
第２実施形態においても第１実施形態と同様の効果が実現される。なお、連通流路３４３の側面と液体貯留室Ｒの側面とが角形に連結される構成では、連結部分に応力が集中することで破損しやすい。それに対して、第２実施形態では、液体貯留室Ｒの側面に連続する曲面Ｗ4を連通流路３４３の側面が含むから、連通流路３４３と液体貯留室Ｒとの連結部分に発生する応力が低減される。したがって、当該連結部分が破損する可能性を低減できる。
【００３７】
Ｃ．変形例
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。なお、以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
【００３８】
（１）前述の各形態では、振動板３６を第１層３６１と第２層３６２とで構成したが、振動板３６の構成は任意である。例えば単層で振動板３６を構成しても、３層以上で振動板３６を構成してもよい。
【００３９】
（２）前述の各形態では、振動板３６の凹部Ｈの側面Ｋ2が曲面である構成を例示したが、凹部Ｈの側面が平面であってもよい。例えば、第１面Ｆ1から凹部Ｈの底面Ｋ1に向かい角度をなす平面を凹部Ｈの側面Ｋ2が含んでもよい。また、凹部Ｈの側面Ｋ2のうち底面Ｋ1と連続する部分が曲面であり、凹部Ｈの側面Ｋ2のうち第１面Ｆ1から当該曲面に連続する部分が平面であってもよい。
【００４０】
（３）第２実施形態の構成において、図９に例示される通り、振動板３６の凹部Ｈを、連通流路３４３に重なるように形成してもよい。図９の構成では、圧力室Ｃに平面視で重なる位置から、Ｘ軸の正方向における連通流路３４３の端部まで、凹部Ｈが形成される。
【００４１】
（４）前述の各形態では、液体噴射ヘッド２６を搭載した搬送体２４２を往復させるシリアル方式の液体噴射装置１００を例示したが、複数のノズルＮが媒体１２の全幅にわたり分布するライン方式の液体噴射装置にも本発明を適用することが可能である。
【００４２】
（５）圧力室Ｃ内の液体をノズルＮから噴射させる駆動素子は、前述の各形態で例示した圧電素子３８に限定されない。例えば、加熱により圧力室Ｃの内部に気泡を発生させて圧力を変動させる発熱素子を駆動素子として利用することも可能である。以上の例示から理解される通り、駆動素子は、圧力室Ｃ内の液体をノズルＮから噴射させる要素として包括的に表現され、圧電方式および熱方式等の動作方式や具体的な構成の如何は不問である。
【００４３】
（６）前述の各形態で例示した液体噴射装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を噴射する液体噴射装置は、液晶表示パネル等の表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴射する液体噴射装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、生体に関する有機物の溶液を噴射する液体噴射装置は、例えばバイオチップを製造する製造装置として利用される。
【符号の説明】
【００４４】
１００…液体噴射装置、１２…媒体、１４…液体容器、２０…制御ユニット、２２…搬送機構、２４…移動機構、２４２…搬送体、２４４…搬送ベルト、２６…液体噴射ヘッド、３２…第１流路基板、３２２…開口部、３２４…連通流路、３２６…供給流路、３２８…中継流路、３４…第２流路基板、３４１…開口部、３４３…連通流路、３６…振動板、３６１…第１層、３６２…第２層、３８…圧電素子、３８１…第１電極、３８２…第２電極、３８３…圧電体層、４２…筐体部、４２２…収容部、４２４…導入口、４４…保護基板、４６…ノズル基板、４８…吸振体、５０…配線基板、６２…駆動回路、Ｃ…圧力室、Ｈ…凹部、Ｎ…ノズル、Ｒ…液体貯留室。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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