(57)【要約】      （修正有）【課題】ノズルが高密度に配置される場合でも、流路が形成された部材同士を確実に接合する。【解決手段】圧力室列８よりも、搬送方向におけるヘッドユニット１１の内側及び外側に、それぞれ、紙幅方向に並んだ複数の流入連結流路３２及び複数の流出連結流路３４が配置されている。複数の流入連結流路３２及び複数の流出連結流路３４は、それぞれ、隣接する２つの圧力室３０に対応している。各流入連結流路３２及び各流出連結流路３４は、それぞれ、２つの流入絞り流路３１、及び、２つの流出絞り流路３３を介して、対応する２つの圧力室３０に接続されている。圧電膜４１、電極４２、４３、保護膜４５〜４７、配線４８、４９などが形成された振動膜４０の上面に、複数の保護基板が接着剤で接合されている。【選択図】図２
2020040292.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体流路が形成された第１流路部材、を備え、
前記液体流路は、
ノズルとそれぞれ接続され、第１方向に配列された複数の圧力室と、
前記複数の圧力室に接続され、前記圧力室との接続部分から、前記第１方向と直交する第２方向の少なくとも一方側に引き出された複数の絞り流路と、
前記第１方向に配列された複数の流路であって、それぞれが、前記複数の絞り流路のうち前記第１方向に隣接する２以上の一部の前記絞り流路と接続され、前記第１方向及び前記第２方向のいずれとも直交する第３方向に延び、前記第１流路部材の前記第３方向の表面に開口を有する複数の連結流路と、を備えていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記連結流路が、前記第１方向に隣接するＮ個の前記絞り流路と接続され、
前記連結流路の前記第１方向の長さは、前記圧力室の前記第１方向の長さよりも長く、且つ、前記圧力室の前記第１方向の長さのＮ倍の長さよりも短いことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記絞り流路は、前記第２方向において前記連結流路側に向かうほど、前記第１方向において前記連結流路の内側に向かうように、前記第２方向に対して傾いて延びていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第１流路部材の前記表面に接合され、前記複数の連結流路の前記開口と、前記複数の連結流路に共通の共通流路とを接続する接続流路が形成された第２流路部材、をさらに備え、
前記第３方向に投影したときに、前記接続流路の前記開口との接続部分が、前記開口の縁よりも内側に位置していることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記複数の絞り流路として、
前記複数の圧力室との接続部分から前記第２方向の一方側に引き出され、前記複数の圧力室に液体を流入させる複数の流入絞り流路と、
前記複数の圧力室との接続部分から前記第２方向の他方側に引き出され、前記複数の圧力室から液体が流出される複数の流出絞り流路と、を有し、
前記複数の連結流路として、
前記複数の流入絞り流路のうち、前記第１方向に隣接する２以上の一部の前記流入絞り流路とそれぞれ接続され、前記第１方向に並んだ複数の流入連結流路と、
前記複数の流出絞り流路のうち、前記第１方向に隣接する２以上の一部の前記流出絞り流路とそれぞれ接続され、前記第１方向に並んだ複数の流出連結流路と、を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第１流路部材は、
前記複数の圧力室が前記第１方向に配列されることによってそれぞれ形成され、前記第２方向に隣接して並んだ２つの圧力室列を有し、
前記２つの圧力室列のうち、一方の前記圧力室列に対応する前記ノズルから吐出される液体の種類と、他方の前記圧力室列に対応する前記ノズルから吐出される液体の種類とが同じであり、
前記２つの圧力室列に対応する前記流入絞り流路が、前記第２方向における前記２つの圧力室列の間に引き出され、
前記第２方向における前記２つの圧力室列の間に、前記２つの圧力室列に対応する前記一部の流入絞り流路とそれぞれ接続され、前記第１方向に並んだ前記複数の流入連結流路が配置されていることを特徴する請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記第１流路部材は、
前記複数の圧力室が前記第１方向に配列されることによってそれぞれ形成され、前記第２方向に並んだ複数の圧力室列を有し、
隣接する２つの圧力室列に対応する前記流出絞り流路が、前記第２方向における前記２つの圧力室列の間に引き出され、
前記第２方向における前記２つの圧力室列の間に、前記２つの圧力室列に対応する前記一部の流出絞り流路とそれぞれ接続され、前記第１方向に並んだ前記複数の流出連結流路が配置されていることを特徴する請求項５又は６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記複数の流入連結流路が前記第１方向に隣接する２つの前記流入絞り流路と接続され、
前記複数の流出連結流路が前記第１方向に隣接する２つの前記流入絞り流路と接続され、
同じ流入連結流路に接続される２つの前記流入絞り流路のうち、一方の流入絞り流路と同じ前記圧力室に接続された前記流出絞り流路と、他方の流入絞り流路と同じ圧力室に接続された前記流出絞り流路とが、別の前記流出連結流路に接続されていることを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記複数の圧力室に対して設けられ、前記圧力室内の液体に圧力を付与する複数の駆動素子と、
前記複数の駆動素子に接続された配線と、を備え、
複数の前記連結流路が、前記第１方向に並んでおり、
前記配線が、前記第１流路部材の、前記第１方向に隣接する前記連結流路の間に位置する領域を通って延びていることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記複数の圧力室が前記第１方向に配列されることによって形成された第１圧力室列と、
前記複数の圧力室が前記第１方向に配列されることによって形成され、前記第１圧力室列と前記第２方向に隣接して並んだ第２圧力室列と、
前記第２方向において、前記第１圧力室列よりも、前記第２圧力室列と反対側に配置され、前記配線と接続される端子と、を有し、
前記第２圧力室列を構成する前記複数の圧力室に設けられた前記複数の駆動素子に接続された配線が、前記第１圧力室列を構成する前記複数の圧力室のうち、前記第１方向に隣接する２つの前記圧力室の間を通って前記端子まで延びていることを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記第１流路部材の、前記第１方向に隣接する前記圧力室の間に位置する領域に、前記配線が１本だけ配置されていることを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記駆動素子は、
圧電体と、
前記圧電体の前記第３方向の一方の面に配置された第１電極と、
前記圧電体の前記第３方向の他方の面に配置された第２電極と、を有し、
前記配線は、
複数の前記駆動素子に対応する複数の前記第１電極に個別に設けられ、前記第１電極と接続された複数の第１配線と、
複数の前記駆動素子に対応する複数の前記第２電極に個別に設けられ、前記第２電極と接続された複数の第２配線と、を有することを特徴とする請求項９〜１１のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記複数の第１配線と前記複数の第２配線とが、異なる面に配置されていることを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記第１電極が、一定の電位に保持され、
前記複数の第１配線のうち２以上の第１配線が、同じ面上に配置され、互いに接続されていることを特徴とする請求項１２又は１３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
２以上の前記第１配線が互いに接続された配線部分の幅が、前記第１配線の互いに接続されていない部分の幅の合計よりも大きいことを特徴とする請求項１４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１６】
前記開口の外形は、前記第３方向に投影した形状が、少なくとも一部の角部が面取りされた矩形であることを特徴とする請求項９〜１５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１７】
前記開口の外形は、前記第３方向に投影した形状が、前記第1方向及び前記第２方向のいずれに対しても傾いた辺を有する多角形であることを特徴とする請求項９〜１５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１８】
前記配線は、前記開口の外形の前記第１方向及び前記第２方向のいずれに対しても傾いた部分に沿って、前記第１方向及び前記第２方向に対して傾いて延びていることを特徴とする請求項１６又は１７に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を吐出する液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズルから液体を吐出する液体吐出ヘッドの一例として、特許文献１には、ノズルからインクを吐出するインクジェットプリントヘッドが記載されている。特許文献１のインクジェットプリントヘッドでは、ノズルとそれぞれ接続された複数の流体チャンバー（fluidic chamber）がＬ方向に並んでおり、各流体チャンバーのＬ方向と直交するＷ方向の両端部に、Ｗ方向に延びた流体チャネル（fluidic channel）が接続されている。Ｗ方向の一方側に位置する各流体チャネルの流体チャンバーと反対側の端部には、Ｌ方向及びＷ方向のいずれとも直交する上下方向に延び、各流体チャネルに対して個別の流体供給チャネル（fluidic supply channel）が接続されている。そして、インクジェットプリントヘッドの上面には、複数の流体供給チャネルの上端の開口がＬ方向に並んでいる。一方、Ｗ方向の他方側に位置する各流体チャネルの流体チャンバーと反対側の端部には、Ｌ方向及びＷ方向のいずれとも直交する方向に延び、各流体チャネルに対して個別の流体帰還チャネル（fluidic return channel）が接続され、複数の流体帰還チャネルがＬ方向に並んでいる。そして、インクジェットプリントヘッドの上面には、複数の各流体帰還チャネルの上端の開口がＬ方向に並んでいる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開公報第2016/193749号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、特許文献１では、インクジェットプリントヘッドの上面に、流体供給チャネル及び流体帰還チャネルに接続される流路が形成された部材が接合される。一方で、近年、特許文献１に記載されているようなインクジェットプリントヘッドでは、印刷の高速化、高解像度化などの目的で、多数のノズルを高密度に配置することが要求される。そして、この場合には、多数の流体供給チャネル及び流体帰還チャネルも、高密度に配置される。
【０００５】
そして、この場合には、インクジェットプリントヘッドの上面に、多数の流体供給チャネル及び流体帰還チャネルの開口が配置されることになり、インクジェットプリントヘッドと上記部材との位置合わせに高い精度が要求される。そのため、インクジェットプリントヘッドと上記部材との位置ずれの許容度が小さく、インクジェットプリントヘッド内の流路と上記流路部材内の流路とが接続されず、これらの流路間でインクが流れないなどの問題が発生する虞がある。
【０００６】
本発明の目的は、ノズルが高密度に配置される場合でも、流路が形成された部材同士を接合したときに流路同士を確実に接続することが可能な液体吐出ヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、液体流路が形成された第１流路部材、を備え、前記液体流路は、ノズルとそれぞれ接続され、第１方向に配列された複数の圧力室と、前記複数の圧力室に接続され、前記圧力室との接続部分から、前記第１方向と直交する第２方向の少なくとも一方側に引き出された複数の絞り流路と、前記第１方向に配列された複数の流路であって、それぞれが、前記複数の絞り流路のうち前記第１方向に隣接する２以上の一部の前記絞り流路と接続され、前記第１方向及び前記第２方向のいずれとも直交する第３方向に延び、前記第１流路部材の前記第３方向の表面に開口を有する複数の連結流路と、を備えている。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施形態に係るプリンタ１の概略構成図である。
【図２】図１のヘッドユニット１１の一部分を示す平面図である。
【図３】図２のIII−III線断面図である。
【図４】振動膜４０の上面における下部配線４８の配置を示す図である。
【図５】保護膜４６の上面における上部配線４９の配置を示す図である。
【図６】圧力室３０に対して個別に流入連結流路３２及び流出連結流路３４が設けられた場合の図である。
【図７】変形例１のヘッドユニット１００の図２に対応する平面図である。
【図８】変形例２のヘッドユニット１１０の図２に対応する平面図である。
【図９】変形例３のヘッドユニット１２０の図４に対応する図である。
【図１０】変形例４のヘッドユニット１３０の図４に対応する図である。
【図１１】変形例５のプリンタ１４０の概略構成図である。
【図１２】図１１のヘッドユニット１５１の図２に対応する平面図である。
【図１３】図１２のXIII−XIII線断面図である。
【図１４】変形例６のヘッドユニット１６０の図２に対応する平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の好適な実施形態について説明する。
【００１０】
＜プリンタ１の概略構成＞
図１に示すように、本実施形態に係るプリンタ１は、２つのインクジェットヘッド２Ａ、２Ｂと、プラテン３と、搬送ローラ４、５とを備えている。インクジェットヘッド２Ａとインクジェットヘッド２Ｂとは、記録用紙Ｐが搬送される搬送方向（本発明の「第２方向」）に並んでおり、インクジェットヘッド２Ｂがインクジェットヘッド２Ａよりも、搬送方向の下流側に位置している。インクジェットヘッド２Ａ、２Ｂは、それぞれ、４つのヘッドユニット１１と、保持部材１２とを備えている。
【００１１】
ヘッドユニット１１は、その下面に形成された複数のノズル１０を有する。複数のノズル１０は、搬送方向と直交する紙幅方向（本発明の「第１方向」）に配列されることによってノズル列９を形成しており、ヘッドユニット１１には、搬送方向に並んだ２列のノズル列９が形成されている。２列のノズル列９間で、紙幅方向のノズル１０の位置は同じである。なお、以下では、図１に示すように、紙幅方向の右側及び左側を定義して説明を行う。
【００１２】
インクジェットヘッド２Ａにおいては、２列のノズル列９のうち、搬送方向の上流側のノズル列９（以下、ノズル列９Ａとすることがある）を構成するノズル１０からブラックインクが吐出され、搬送方向の下流側のノズル列９（以下、ノズル列９Ｂとすることがある）を構成するノズル１０からイエローインクが吐出される。インクジェットヘッド２Ｂにおいては、搬送方向の上流側のノズル列９Ａを構成するノズル１０からシアンインクが吐出され、搬送方向の下流側のノズル列９Ｂを構成するノズル１０からマゼンタインクが吐出される。
【００１３】
また、インクジェットヘッド２Ａ、２Ｂにおいては、４つのヘッドユニット１１のうち、２つずつのヘッドユニット１１が、それぞれ、紙幅方向に間隔をあけて並んでいる。また、４つのヘッドユニット１１のうち、紙幅方向に並んだ２つのヘッドユニット１１と残り２つのヘッドユニット１１とは、搬送方向に間隔をあけて並んでいる。また、搬送方向の上流側に配置された２つのヘッドユニット１１と、下流側に配置された２つのヘッドユニット１１とは、紙幅方向の位置がずれている。これにより、４つのヘッドユニット１１の複数のノズル１０が、紙幅方向に記録用紙Ｐの全長にわたって配置されている。また、搬送方向の上流側に配置されたヘッドユニット１１の紙幅方向の一方側の一部のノズル１０と、下流側に配置されたヘッドユニット１１の紙幅方向の他方側の一部ノズル１０とが、搬送方向に重なっている。すなわち、インクジェットヘッド２Ａ、２Ｂは、紙幅方向に記録用紙Ｐの全長にわたって延びた、いわゆるラインヘッドである。
【００１４】
保持部材１２は、紙幅方向に記録用紙Ｐの全長にわたって延びた矩形の板状の部材である。保持部材１２には、４つのヘッドユニット１１に対応する４つの貫通孔１２ａが形成されている。ヘッドユニット１１の複数のノズル１０は、対応する貫通孔１２ａを介して下側（記録用紙Ｐ側）に露出している。
【００１５】
プラテン３は、インクジェットヘッド２Ａ、２Ｂの下方に配置され、インクジェットヘッド２Ａ、２Ｂの複数のノズル１０と対向している。プラテン３は、記録用紙Ｐを下方から支持する。
【００１６】
搬送ローラ４は、搬送方向におけるインクジェットヘッド２Ａ、２Ｂ及びプラテン３よりも上流側に配置されている。搬送ローラ５は、搬送方向におけるインクジェットヘッド２Ａ、２Ｂ及びプラテン３よりも下流側に配置されている。搬送ローラ４、５は、記録用紙Ｐを搬送方向に搬送する。
【００１７】
そして、プリンタ１では、搬送ローラ４、５により記録用紙Ｐを搬送方向に搬送させながら、インクジェットヘッド２Ａ、２Ｂに複数のノズル１０から記録用紙Ｐに向けてインクを吐出させることによって、記録用紙Ｐへの記録を行う。
【００１８】
＜ヘッドユニット１１＞
次に、ヘッドユニット１１について説明する。図２〜図５に示すように、ヘッドユニット１１は、ノズルプレート２１と、流路基板２２（本発明の「第１流路部材」）と、圧電アクチュエータ２３と、保護基板２４（本発明の「第２流路部材」）と、マニホールド部材２５とを備えている。なお、図２では、配線の位置をわかりやすくするために、後述する保護膜４５〜４７に覆われており破線で描くべき配線４８、４９を実線で示している。後述する図７、図８、図１２においても同様である。
【００１９】
ノズルプレート２１は、ポリイミドなどの合成樹脂材料からなる。ノズルプレート２１には、上述したような２列のノズル列９を構成する複数のノズル１０が形成されている。
【００２０】
流路基板２２は、シリコン（Ｓｉ）からなり、ノズルプレート２１の上面に配置されている。流路基板２２には、複数の圧力室３０と、複数の流入絞り流路３１と、複数の流入連結流路３２と、複数の流出絞り流路３３と、複数の流出連結流路３４とが形成されている。
【００２１】
複数の圧力室３０は、複数のノズル１０に対して個別に設けられている。圧力室３０は、上下方向に投影した形状が搬送方向を長手方向とする矩形であり、圧力室３０の中央部が、対応するノズル１０と上下方向に重なっている。これにより、流路基板２２には、複数の圧力室３０が紙幅方向に配列されることによって形成された圧力室列８が、２列のノズル列９に対応して搬送方向に２列に配置されている。なお、以下では、ノズル列９Ａに対応する、搬送方向の上流側の圧力室列８を圧力室列８Ａとし、ノズル列９Ｂに対応する、搬送方向の下流側の圧力室列８を圧力室列８Ｂとすることがある。
【００２２】
複数の流入絞り流路３１は、複数の圧力室３０に対して個別に設けられている。流入絞り流路３１は、対応する圧力室３０の、搬送方向におけるヘッドユニット１１における内側の端の下端部に接続され、圧力室３０との接続部分から、搬送方向におけるヘッドユニット１１の内側（本発明の「第２方向の一方側」）に引き出されている。
【００２３】
複数の流入連結流路３２は、紙幅方向に隣接する２つの流入絞り流路３１毎に設けられている。流入連結流路３２は、対応する２つの流入絞り流路３１の圧力室３０と反対側の端と接続されている。また、流入連結流路３２は、上下方向（本発明の「第３方向」）に延び、流路基板２２の上面に開口３２ａを有している。また、流入連結流路３２の紙幅方向の長さＷｒｉは、圧力室３０の紙幅方向の長さＷｃよりも長く、圧力室３０の長さＷｃの２倍の長さ２×Ｗｃよりも短い。また、これに対応して、流入絞り流路３１は、紙幅方向において流入連結流路３２側に向かうほど、搬送方向における流入連結流路３２の内側に向かうように、紙幅方向に対して傾いて延びている。例えば、長さＷｃが５５μｍ程度であるのに対して、長さＷｒｉが８０μｍ程度である。
【００２４】
複数の流出絞り流路３３は、複数の圧力室３０に対して個別に設けられている。流出絞り流路３３は、対応する圧力室３０の、搬送方向におけるヘッドユニット１１の外側の端の下端部に接続され、圧力室３０との接続部分から、搬送方向におけるヘッドユニット１１の外側（本発明の「第２方向の他方側」）に引き出されている。
【００２５】
複数の流出連結流路３４は、紙幅方向に隣接する２つの流出絞り流路３３毎に設けられている。流出連結流路３４は、対応する２つの流出絞り流路３３の圧力室３０と反対側の端と接続されている。また、流出連結流路３４は、上下方向に延び、流路基板２２の上面に開口３４ａを有している。また、流出連結流路３４の紙幅方向の長さＷｒｏは、圧力室３０の紙幅方向の長さＷｃよりも長く、圧力室３０の長さＷｃの２倍の長さ２×Ｗｃよりも短い。なお、本実施形態では、流入連結流路３２の紙幅方向の長さＷｒｉと、流出連結流路３４の紙幅方向の長さＷｒｏとはほぼ同じ長さである。また、流出絞り流路３３は、紙幅方向において流出連結流路３４側に向かうほど、搬送方向において流出連結流路３４の内側に向かうように、紙幅方向に対して傾いて延びている。
【００２６】
＜圧電アクチュエータ２３＞
圧電アクチュエータ２３は、振動膜４０と、２つの圧電膜４１（本発明の「圧電体」）と、複数の下部電極４２（本発明の「第１電極」）と、複数の上部電極４３（本発明の「第２電極」）とを備えている。
【００２７】
振動膜４０は、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、窒化ケイ素（ＳｉＮ）などからなる。振動膜４０は、流路基板２２の上端部が酸化又は窒化されることによって形成されたものである。振動膜４０は、複数の圧力室３０を覆っている。
【００２８】
圧電膜４１は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、振動膜４０の上面に配置されている。２つの圧電膜４１は、２列の圧力室列８に対応しており、対応する圧力室列８を構成する複数の圧力室３０にわたって紙幅方向に延びている。
【００２９】
複数の下部電極４２は、例えば白金（Ｐｔ）からなり、複数の圧力室３０に対して個別に設けられている。下部電極４２は、上下方向に投影した形状が圧力室３０よりも一回り小さい矩形であり、振動膜４０と圧電膜４１との間の面に配置され、対応する圧力室３０の中央部と上下方向に重なっている。下部電極４２は、グランド電位に保持される。なお、本実施形態では、圧電膜４１の下面が、本発明の「圧電体の第３方向の一方の面」に相当する。
【００３０】
複数の上部電極４３は、例えば白金（Ｐｔ）やイリジウム（Ｉｒ）からなり、複数の圧力室３０に対して個別に設けられている。上部電極４３は、上下方向に投影した形状が圧力室３０よりも一回り小さい矩形であり、圧電膜４１の上面に配置され、対応する圧力室３０の中央部と上下方向に重なっている。複数の上部電極４３には、個別に、グランド電位及び所定の駆動電位のいずれかが選択的に付与される。なお、本実施形態では、圧電膜４１の上面が、本発明の「圧電体の第３方向の他方の面」に相当する。
【００３１】
そして、圧電アクチュエータ２３は、各圧力室３０と上下方向に重なる部分が、それぞれ、圧力室３０内のインクに圧力を付与する駆動素子４４となっている。
【００３２】
ここで、駆動素子４４を駆動して圧力室３０内のインクに圧力を付与し、ノズル１０からインクを吐出させる方法について説明する。圧電アクチュエータ２３では、予め、全ての駆動素子４４の上部電極４３がグランド電位に保持されている。あるノズル１０からインクを吐出させるためには、そのノズル１０に対応する駆動素子４４の上部電極４３の電位を駆動電位に切り換える。すると、下部電極４２と上部電極４３との電位差により、圧電膜４１の下部電極４２と上部電極４３とに挟まれた部分に厚み方向の電界が生じ、圧電膜４１のこの部分が、電界の方向と直交する水平方向に収縮する。これにより、圧電膜４１及び振動膜４０が、圧力室３０側に凸となるように変形し、圧力室３０の容積が小さくなる。その結果、圧力室３０内のインクの圧力が上昇し、圧力室３０に連通するノズル１０からインクが吐出される。そして、インクの吐出後、上記上部電極をグランド電位に戻す。
【００３３】
また、圧電アクチュエータ２３には、保護膜４５〜４７と、複数の下部配線４８（本発明の「第１配線」）と、複数の上部配線４９（本発明の「第２配線」）とが設けられている。保護膜４５〜４７は、下方からこの順に積層されており、圧電アクチュエータ２３を覆っている。保護膜４５は、例えばアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）からなる。保護膜４６は、例えば、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）からなる。保護膜４７は、例えば、窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）からなる。
【００３４】
また、保護膜４５〜４７の積層体５０の、圧電アクチュエータ２３のうち、各圧力室３０の中央部と上下方向に重なる部分には、貫通孔５０ａが形成されている。これにより、駆動素子４４の駆動時の振動膜４０及び圧電膜４１の変形が、保護膜４５〜４７によって阻害されにくくなっている。また、積層体５０の各流入連結流路３２と上下方向に重なる部分には、貫通孔５０ｂが形成されている。また、積層体５０の各流出連結流路３４と上下方向に重なる部分には、貫通孔５０ｃが形成されている。
【００３５】
図２〜図４に示すように、複数の下部配線４８は、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）などからなり、振動膜４０と保護膜４５との間の面に配置されている。複数の下部配線４８は、複数の下部電極４２に対して個別に設けられており、対応する下部電極４２の搬送方向の上流側の端部に接続されているとともに、下部電極４２との接続部分から、搬送方向の上流側に向かって延びている。
【００３６】
より詳細に説明すると、搬送方向の上流側の圧力室列８Ａに対応する下部配線４８は、振動膜４０と保護膜４５との間の面の、圧力室列８Ａに対応する、紙幅方向に隣接する流入連結流路３２の間の領域を通って延びている。
【００３７】
また、搬送方向の下流側のノズル列９Ｂに対応する下部配線４８は、振動膜４０と保護膜４５との間の面の、圧力室列８Ｂに対応する、紙幅方向に隣接する流入連結流路３２の間の領域と、圧力室列８Ａに対応する、紙幅方向に隣接する流入連結流路３２の間の領域と、圧力室列８Ａに対応する、紙幅方向に隣接する圧力室３０の間の領域と、圧力室列８Ａに対応する、紙幅方向に隣接する流出連結流路３４の間の領域とを通って延びている。
【００３８】
ここで、紙幅方向において、圧力室３０同士の間隔は、流入連結流路３２同士の間隔、及び、流出連結流路３４同士の間隔よりも小さいため、本実施形態では、紙幅方向に隣接する圧力室３０の間の領域には、下部配線４８が１本だけ配置されている。
【００３９】
そして、下部配線４８の下部電極４２との接続部分と反対側の端が、圧力室列８Ａに対応する複数の流出連結流路３４よりも搬送方向の上流側に配置された共通端子５１に接続されている。共通端子５１は、図示しない配線部材などを介して電源に接続され、グランド電位に保持される。
【００４０】
図２、図３、図５に示すように、複数の上部配線４９は、例えばアルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）などからなり、保護膜４６と保護膜４７との間の面に配置されている。複数の上部配線４９は、複数の上部電極４３に対して個別に設けられており、保護膜４５、４６に形成された導通孔５３を介して対応する上部電極４３の搬送方向の下流側の端部に接続されているとともに、上部電極４３との接続部分から、搬送方向の下流側に向かって延びている。
【００４１】
より詳細に説明すると、圧力室列８Ａに対応する上部配線４９は、保護膜４６と保護膜４７との間の面の、圧力室列８Ａに対応する、紙幅方向に隣接する流入連結流路３２の間の領域と、圧力室列８Ｂに対応する、紙幅方向に隣接する流入連結流路３２の間の領域と、圧力室列８Ｂに対応する、紙幅方向に隣接する圧力室３０の間の領域と、圧力室列８Ｂに対応する、紙幅方向に隣接する流出連結流路３４の間の領域とを通って延びている。
【００４２】
また、圧力室列８Ｂに対応する上部配線４９は、保護膜４６と保護膜４７との間の面の、圧力室列８Ｂに対応する、紙幅方向に隣接する流出連結流路３４の間の領域を通って延びている。
【００４３】
ここで、紙幅方向において、圧力室３０同士の間隔は、流入連結流路３２同士の間隔、及び、流出連結流路３４同士の間隔よりも小さいため、本実施形態では、紙幅方向に隣接する圧力室３０の間の領域には、上部配線４９が１本だけ配置されている。
【００４４】
そして、上部配線４９の上部電極４３との接続部分と反対側の端が、圧力室列８Ｂに対応する複数の流出連結流路３４よりも搬送方向の下流側に配置された複数の個別端子５２に接続されている。複数の個別端子５２は、複数の上部配線４９に対して個別に設けられている。複数の個別端子５２は、図示しない制御回路に接続され、制御回路により個別に、グランド電位及び駆動電位のいずれかが選択的に付与される。
【００４５】
＜保護基板２４＞
図３に示すように、保護基板２４は、圧電アクチュエータ２３が形成された流路基板２２の上面に接着剤で接合されている。保護基板２４の下面には、２つの凹部５６が形成されている。２つの凹部５６は、２つの圧力室列８に対応しており、各圧力室列８を構成する複数の圧力室３０にわたって紙幅方向に延びている。そして、各凹部５６と流路基板２２との間に形成される空間に、対応する複数の駆動素子４４が収容される。
【００４６】
また、保護基板２４には、複数の流入接続流路５７と、複数の流出接続流路５８とが形成されている。
【００４７】
複数の流入接続流路５７は、複数の流入連結流路３２に対して個別に設けられている。流入接続流路５７は、保護基板２４を上下方向に貫通しており、対応する流入連結流路３２と上下方向に重なっている。また、流入接続流路５７は、下側の部分において上側の部分よりも、紙幅方向及び搬送方向の長さが短くなっている。これにより、流入接続流路５７の、流入連結流路３２の開口３２ａとの接続部分を含む下側の部分は、上下方向に投影したときに、開口３２ａの縁よりも内側に位置している。
【００４８】
複数の流出接続流路５８は、複数の流出連結流路３４に対して個別に設けられている。流出接続流路５８は、保護基板２４を上下方向に貫通しており、対応する流出連結流路３４と上下方向に重なっている。また、流出接続流路５８は、下側の部分において上側の部分よりも、紙幅方向及び搬送方向の長さが短くなっている。これにより、流出接続流路５８の、流出連結流路３４の開口３４ａとの接続部分を含む下側の部分は、上下方向に投影したときに、開口３４ａの縁よりも内側に位置している。
【００４９】
＜マニホールド部材２５＞
マニホールド部材２５は、保護基板２４の上面に配置されている。マニホールド部材２５には、２つの流入マニホールド６１と２つの流出マニホールド６２とが形成されている。なお、本実施形態では、流入マニホールド６１及び流出マニホールド６２が、本発明の「共通流路」に相当する。
【００５０】
２つの流入マニホールド６１は、２つの圧力室列８に対応している。各流入マニホールド６１は、対応する圧力室列８を構成する複数の圧力室３０と連通する複数の流入接続流路５７にわたって紙幅方向に延びており、これら複数の流入接続流路５７の上端と接続されている。２つの流出マニホールド６２は、２つの圧力室列８に対応している。各流出マニホールド６２は、対応する圧力室列８を構成する複数の圧力室３０と連通する複数の流出接続流路５８にわたって紙幅方向に延びており、これら複数の流出接続流路５８の上端と接続されている。
【００５１】
また、流入マニホールド６１及び流出マニホールド６２は、それぞれ、図示しない流路を介して同じインクタンク６５に接続されている。また、流入マニホールド６１とインクタンク６５との間の流路には、インクタンク６５側から流入マニホールド６１側にインクを送る供給側ポンプ６６が設けられている。また、流出マニホールド６２とインクタンク６５との間の流路には、流出マニホールド６２側からインクタンク６５側にインクを送る排出側ポンプ６７が設けられている。
【００５２】
そして、供給側ポンプ６６及び排出側ポンプ６７を駆動させると、インクタンク６５内のインクが、図示しない流路を介して流入マニホールド６１に流れ込み、流入マニホールド６１から複数の流入接続流路５７、複数の流入連結流路３２及び複数の流入絞り流路３１を介して複数の圧力室３０に流入する。また、複数の圧力室３０内のインクが、複数の流出絞り流路３３、複数の流出連結流路３４及び複数の流出接続流路５８を介して、流出マニホールド６２に流出し、流出マニホールド６２から図示しない流路を介してインクタンク６５に戻る。これにより、インクタンク６５とヘッドユニット１１との間でインクが循環する。なお、本実施形態では、供給側ポンプ６６と排出側ポンプ６７の両方が設けられているが、これらのうち片方のポンプのみが設けられていてもよい。この場合でも、ポンプを駆動させることによって、上述したのと同様にインクを循環させることができる。
【００５３】
また、マニホールド部材２５の上面には、ダンパ膜２６が配置されており、ダンパ膜２６によって、流入マニホールド６１及び流出マニホールド６２が覆われている。そして、ダンパ膜２６の流入マニホールド６１及び流出マニホールド６２と上下方向に重なる部分が変形することによって、流入マニホールド６１及び流出マニホールド６２内のインクの圧力変動が抑えられる。ダンパ膜２６の上面にはダンパ部材２７が配置されている。ダンパ部材２７の下面の流入マニホールド６１及び流出マニホールド６２と上下方向に重なる部分には、それぞれ、ダンパ室２７ａが形成されている。
【００５４】
＜効果＞
ここで、本実施形態と異なり、流入連結流路３２及び流出連結流路３４の代わりに、例えば、図６に示すように、各圧力室３０に対して個別に、上下方向に延び、流入絞り流路７１と接続される流入流路７２、及び、上下方向に延び、流出絞り流路７３と接続される流出流路７４を設ける場合を考える。ここで、流入流路７２及び流出流路７４の紙幅方向の位置は、対応する圧力室３０の紙幅方向の位置と同じであり、流入絞り流路７１及び流出絞り流路７３は、搬送方向と平行に延びている。また、流入流路７２及び流出流路７４の紙幅方向の長さは、圧力室３０の紙幅方向の長さと同じＷｃである。また、流入流路７２及び流出流路７４の搬送方向の長さは、それぞれ、流入連結流路３２及び流出連結流路３４と同じである。なお、図６では、配線や、圧電アクチュエータ２３よりも上方の部材などの図示を省略している。
【００５５】
これに対して、本実施形態では、上述したように、２つの圧力室３０毎に、流入連結流路３２及び流出連結流路３４を設けている。これにより、図６の場合と比較して、流路基板２２と保護基板２４とを接着剤で接着するときに、要求される位置合わせの精度が低く、流入連結流路３２と流入接続流路５７、及び、流出連結流路３４と流出接続流路５８とを確実に接続することができる。
【００５６】
また、本実施形態では、上述したように、流入連結流路３２及び流出連通流路３４の紙幅方向の長さＷｒｉ、Ｗｒｏが、圧力室３０の紙幅方向の長さＷｃの２倍の長さ２×Ｗｃよりも短い。したがって、本実施形態の場合と図６の場合とを比較すると、本実施形態の紙幅方向に隣接する２つの圧力室３０に対応する流入連結流路３２の紙幅方向の長さは、図６の場合の２つの圧力室３０に対応する２つの流入流路７２の紙幅方向の長さの合計よりも短い。同様に、本実施形態の紙幅方向に隣接する２つの圧力室３０に対応する流出連結流路３４の紙幅方向の長さは、図６の場合の２つの圧力室３０に対応する２つの流出流路７４の紙幅方向の長さの合計よりも短い。
【００５７】
そのため、本実施形態の場合には、図６の場合よりも、圧電アクチュエータ２３が形成された流路基板２２の、保護基板２４と接合される部分の面積が大きい。これにより、流路基板２２と保護基板２４とを接着剤で接着するときに、これらを確実に接合することができる。ヘッドユニット１１に多数のノズル１０が高密度に配置される場合には、複数の流入連結流路３２の開口３２ａの面積と複数の流出連結流路３４の開口３４ａの面積の合計が大きくなる。したがって、上記のように、圧電アクチュエータ２３が形成された流路基板２２の、保護基板２４と接合される部分の面積を大きくすることは特に有効である。
【００５８】
一方で、本実施形態では、流入連結流路３２及び流出連通流路３４の紙幅方向の長さＷｒｉ、Ｗｒｏが、圧力室３０の紙幅方向の長さＷｃよりも長い。したがって、２つの圧力室３０に対応する２つの流入絞り流路３１と接続される流入連結流路３２の容積を２つの流入絞り流路３１に対して十分なものとすることができる。同様に、２つの圧力室３０に対応する２つの流出絞り流路３３と接続される流出連結流路３４の容積を、２つの流出絞り流路３３に対して十分なものとすることができる。
【００５９】
また、仮に、流路基板２２と保護基板２４の接合時に、流入連結流路３２と流入接続流路５７とが位置ずれして、流入接続流路５７が流入連結流路３２の縁からはみ出すと、流入連結流路３２と流入接続流路５７とが接続される面積が小さくなり、流入連結流路３２と流入接続流路５７との間で十分にインク流れない虞がある。同様に、流路基板２２と保護基板２４の接合時に、流出連結流路３４と流出接続流路５８とが位置ずれして、流出接続流路５８が流出連結流路３４の縁からはみ出すと、流出連結流路３４と流出接続流路５８とが接続される面積が小さくなり、流出連結流路３４と流出接続流路５８との間で十分にインク流れない虞がある。そして、これらは、インクのリフィル不足や、ノズル１０間でのインクの吐出量のばらつきの要因となる。
【００６０】
これに対して、本実施形態では、流入接続流路５７及び流出接続流路５８が、上下方向に投影したときに、それぞれ、流入連結流路３２の縁よりも内側、及び、流出連結流路３４の縁よりも内側に位置している。これにより、流路基板２２と保護基板２４との接合時に、流入連結流路３２と流入接続流路５７とが多少位置ずれしたとしても、流入接続流路５７が流入連結流路３２の縁からはみ出すことがない。同様に、流路基板２２と保護基板２４との接合時に、流出連結流路３４と流出接続流路５８とが多少位置ずれしたとしても、流出接続流路５８が流出連結流路３４の縁からはみ出すことがない。
【００６１】
また、この場合には、上下方向に投影したときに、流入接続流路５７が、流入連結流路３２の縁よりも外側に位置する部分を有する場合や、流出接続流路５８が流出連結流路３４の縁よりも外側に位置する部分を有する場合と比較して、流路基板２２と保護基板２４とが接着される面積を大きくすることができる。これにより、流路基板２２と保護基板２４とを接着剤で接着するときに、これらを確実に接合することができる。
【００６２】
また、本実施形態では、上述したように、流入連結流路３２及び流出連結流路３４の紙幅方向の長さＷｒｉ、Ｗｒｏが、対応する２つの圧力室３０の紙幅方向の長さの合計２×Ｗｃよりも短いのに対応して、流入絞り流路３１及び流出絞り流路３３を、搬送方向に対して傾斜した方向に延びるものとしている。これにより、これらの絞り流路を途中で折れ曲がって延びたものとする場合等と比較して、絞り流路の長さを短くすることができる。
【００６３】
また、本実施形態と異なり、ノズル列９に対応する全ての圧力室３０に対して１つの流入連結流路３２及び１つの流出連結流路３４を設ける場合を考える。この場合には、全ての配線４８、４９を、上記１つの流入流路の紙幅方向の両側の領域、及び、上記１つの流出流路の紙幅方向の両側の領域に配置する必要がある。これに対して、本実施形態では、２つの圧力室３０にそれぞれ対応する流入連結流路３２が紙幅方向に間隔をあけて並んでいる。また、２つの圧力室３０にそれぞれ対応する流出連結流路３４が紙幅方向に間隔をあけて並んでいる。そして、配線４８、４９が、隣接する流入連結流路３２の開口３２ａの間の複数の領域、及び、隣接する流出連結流路３４の開口３４ａの間の複数の領域を通って延びている。このように、配線４８、４９を複数の領域に分けて配置することができるので、ノズル列９に対応する全ての圧力室３０に対して１つの流入連結流路３２及び１つの流出連結流路３４を設ける場合と比較して、配線を配置しやすい。
【００６４】
ここで、本実施形態では、複数の下部電極４２に個別の複数の下部配線４８と、複数の上部電極４３に個別の複数の上部配線４９とを有しており、比較的配線の数が多い。特に、ヘッドユニット１１に多数のノズル１０が高密度に配置される場合には、配線の数が多くなる。したがって、上述したように、配線４８、４９を、隣接する流入連結流路３２の開口３２ａの間の領域、及び、隣接する流出連結流路３４の開口３４ａの間の領域を通って延びるように配置する意義は大きい。
【００６５】
また、本実施形態では、ヘッドユニット１１の搬送方向の上流側の端部に共通端子５１が設けられ、ヘッドユニット１１の搬送方向の下流側の端部に複数の個別端子５２が設けられている。そこで、本実施形態では、搬送方向の上流側の圧力室列８Ａに対応する複数の上部配線４９を、搬送方向の下流側の圧力室列８Ｂに対応する、隣接する流入連結流路３２の間の領域、隣接する圧力室３０の間の領域、及び、隣接する流出連結流路３４の間の領域を通るように延ばして、複数の個別端子５２と接続させている。また、搬送方向の下流側の圧力室列８Ｂに対応する複数の下部配線４８を、搬送方向の上流側の圧力室列８Ａに対応する、隣接する流入連結流路３２の間の領域、隣接する圧力室３０の間の領域、及び、隣接する流出連結流路３４の間の領域を通るように延ばして、共通端子５１と接続させている。
【００６６】
また、本実施形態では、隣接する圧力室３０同士の間隔は、隣接する流入連結流路３２同士の間隔、及び、隣接する流出連結流路同士の間隔よりも小さく、隣接する圧力室３０の領域のスペースが狭いため、隣接する圧力室３０の間の領域に配置される配線４８、４９は１本だけとしている。これにより、配線同士がショートしてしまうのを防止することができる。
【００６７】
また、本実施形態では、複数の下部配線４８と複数の上部配線４９とを、異なる面に配置している。これにより、全ての配線を同一面上に配置する場合と比較して、配線同士の間隔を大きくすることができる。
【００６８】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載の限りにおいて様々な変更が可能である。
【００６９】
上述の実施形態では、流入連結流路３２及び流出連結流路３４の上下方向に投影した外形形状が、全ての角部が直角の矩形であったが、これには限られない。
【００７０】
変形例１では、図７に示すように、ヘッドユニット１００において、ノズル列９Ａに対応する流入連結流路１０１の、上下方向に投影した外形形状が、紙幅方向左側且つ搬送方向の上流側の角部が面取りされた矩形となっている。また、ノズル列９Ａに対応する流出連結流路１０２の、上下方向に投影した外形形状が、紙幅方向左側且つ搬送方向の下流側の角部が面取りされた矩形となっている。また、ノズル列９Ｂに対応する流入連結流路１０１の、上下方向に投影した外形形状が、紙幅方向右側且つ搬送方向の下流側の角部が面取りされた矩形となっている。ノズル列９Ｂに対応する流出連結流路１０２の、上下方向に投影した外形形状が、紙幅方向右側且つ搬送方向の上流側の角部が面取りされた矩形となっている。
【００７１】
そして、配線４８、４９は、流入連結流路１０１及び流出連結流路１０２の各面取りされた角部の近傍において、角部に沿って、紙幅方向及び搬送方向のいずれに対しても傾いた方向に延びている。
【００７２】
配線４８、４９を、隣接する流入連結流路１０１の間や、隣接する流出連結流路１０２の間を通るように配置する場合、流入連結流路１０１及び流出連結流路１０２を回り込むように配線４８、４９を配置することになる。変形例１では、流入連結流路１０１及び流出連結流路１０２の上下方向に投影した外形形状が、角部が面取りされた矩形であるため、配線４８、４９を引き回す際に、流入連結流路１０１及び流出連結流路１０２が邪魔になりにくい。
【００７３】
また、配線４８、４９は、流入連結流路１０１及び流出連結流路１０２の各面取りされた角部の近傍において、角部に沿って、紙幅方向及び搬送方向のいずれに対しても傾いた方向に延びるように配置することにより、配線４８、４９の長さを極力短くすることができる。
【００７４】
また、変形例１では、流入連結流路１０１及び流出連結流路１０２の上下方向に投影した外形形状を、１つの角部のみが面取りされた矩形としたが、２以上の角部が面取りされた矩形としてもよい。
【００７５】
変形例２では、図８に示すように、ヘッドユニット１１０において、流入連結流路１１１の上下方向に投影した外形形状が、搬送方向と平行な２本の辺１１１ａと、搬送方向の下流側に向かうほど紙幅方向の左側に向かうように紙幅方向及び搬送方向に対して傾いた２本の辺１１１ｂと、搬送方向の下流側に向かうほど紙幅方向の右側に向かうように紙幅方向及び搬送方向に対して傾いた２本の辺１１１ｃとを有する六角形となっている。
【００７６】
また、流出連結流路１１２の上下方向に投影した外形形状が、搬送方向と平行な２本の辺１１２ａと、搬送方向の下流側に向かうほど紙幅方向の左側に向かうように紙幅方向及び搬送方向に対して傾いて延びた２本の辺１１２ｂと、搬送方向の下流側に向かうほど紙幅方向の右側に向かうように紙幅方向及び搬送方向に対して傾いた２本の辺１１２ｃとを有する六角形となっている。
【００７７】
そして、配線４８、４９は、上記六角形の上記紙幅方向及び搬送方向に対して傾いた辺１１１ｂ、１１１ｃ、１１２ｂ、１１２ｃの近傍を通る部分において、その辺に沿って紙幅方向及び搬送方向に対して傾いて延びている。
【００７８】
配線４８、４９を、隣接する流入連結流路１１１の間や、隣接する流出連結流路１１２の間を通るように配置する場合、流入連結流路１１１及び流出連結流路１１２を回り込むように配線４８、４９を配置することになる。変形例２では、流入連結流路１１１及び流出連結流路１１２の上下方向に投影した外形形状が、紙幅方向及び搬送方向のいずれに対しても傾いた辺１１１ｂ、１１１ｃ、１１２ｂ、１１２ｃを有する六角形であるため、配線４８、４９を引き回す際に、流入連結流路１１１及び流出連結流路１１２が邪魔になりにくい。
【００７９】
また、配線４８、４９を、上記六角形の上記紙幅方向及び搬送方向に対して傾いた辺１１１ｂ、１１１ｃ、１１２ｂ、１１２ｃの近傍を通る部分において、その辺に沿って紙幅方向及び搬送方向に対して傾いて延びるように配置することにより、配線４８、４９の長さを極力短くすることができる。
【００８０】
また、変形例２では、流入連結流路１１１及び流出連結流路１１２の上下方向に投影した外形形状を六角形としたが、紙幅方向及び搬送方向に対して傾いた辺を有する別の多角形としてもよい。
【００８１】
また、変形例１、２では、連結流路の外形の紙幅方向及び傾斜方向に対して傾いて延びた部分の近傍において、配線が連結流路の外形に沿って延びていたが、これには限られない。連結流路の上記傾いて延びた部分の近傍において、配線が折れ曲がって延びている等してもよい。
【００８２】
また、上述の実施形態では、複数の下部配線４８が個別に共通端子５１と接続されていたが、これには限られない。
【００８３】
変形例３では、図９に示すように、ヘッドユニット１２０において、複数の下部配線１２１のうち、紙幅方向に隣接する４本ずつの下部配線１２１が、それぞれ、搬送方向の上流側の端部近傍において一体化して１つの連結配線１２２を形成している。連結配線１２２の幅は、４本の下部配線１２１の幅の合計よりも大きい。そして、各連結配線１２２が、それぞれ、共通端子５１に接続されている。
【００８４】
一定の電位に保持される複数の下部電極４２と接続される複数の下部配線１２１同士を接続して連結配線１２２とすることにより、複数の下部配線１２１を個別に共通端子５１と接続する場合と比較して、配線のレイアウトを簡単なものとすることができる。
【００８５】
また、連結配線１２２の幅を、４本の下部配線１２１の幅の合計よりも広くすることにより、複数の下部配線１２１を個別に共通端子５１と接続する場合と比較して、下部電極４２に導通する部分の面積を大きくすることができる。これにより、下部電極４２の電位を安定させることができる。
【００８６】
また、変形例３では、連結配線１２２の幅が、４本の下部配線１２１の幅の合計よりも広くなっていたが、これには限られない。例えば、連結配線１２２の幅が、４本の下部配線１２１の幅以下であってもよい。例えば、連結配線１２２の幅が１本の下部配線１２１の幅程度であってもよい。
【００８７】
また、上述の実施形態では、複数の下部電極４２と接続される複数の下部配線４８と、複数の上部電極４２と接続される複数の上部配線４３とが、別の面に配置されていたが、これには限られない。
【００８８】
例えば、複数の下部電極に接続される複数の配線のうちの一部の配線と、複数の上部電極に接続される複数の配線のうち一部の配線とが、ある面に配置され、複数の下部電極に接続される複数の配線のうちの上記一部以外の配線と、複数の上部電極に接続される複数の配線のうち上記一部以外の配線とが、上記ある面とは別の面に配置されていてもよい。
【００８９】
さらには、複数の下部電極及び複数の上部電極に接続される複数の配線が全て同じ面上に配置されていてもよい。例えば、変形例４では、図１０に示すように、ヘッドユニット１３０において、下部電極４２に接続される配線１３１と、上部電極４３に接続される配線１３２とが、振動膜４０と保護膜４５との間の面に配置されている。なお、各配線１３１、１３２の紙幅方向及び搬送方向の位置は、上述の実施形態の配線４８、４９と同様である。
【００９０】
なお、変形例４では、配線１３１、１３２が、振動膜４０と保護膜４５との間の面に配置しているが、これには限られない。下部電極４２に接続される配線と上部電極４３に接続される配線とは、例えば、保護膜４６と保護膜４７との間の面等、別の面に配置されていてもよい。
【００９１】
また、上述の実施形態では、圧力室３０毎に個別にグランド電位に保持される下部電極４２が設けられ、各下部電極４２に個別に下部配線４８が接続されていたが、これには限られない。例えば、下部電極が２以上の圧力室３０にわたって延びた、これらの圧力室３０に対して共通のものであり、この共通の下部電極に対して１つの下部配線が接続されていてもよい。
【００９２】
また、上述の実施形態では、紙幅方向に隣接する２つの圧力室３０の間の領域に、配線が１本だけ配置されていたが、これには限られない。例えば、紙幅方向に隣接する２つの圧力室３０の間の領域に、配線が２本以上配置されていてもよい。
【００９３】
また、上述の実施形態では、圧力室列８Ａに対応する複数の上部配線４９が、圧力室列８Ｂを構成する複数の圧力室３０のうち紙幅方向に隣接する圧力室３０の間の領域を通って、圧力室列８Ｂに対応する流出連結流路３４よりも搬送方向の下流側に位置する複数の個別端子５２に接続されていたが、これには限られない。
【００９４】
例えば、圧力室列８Ａに対応する流出連結流路３４よりも搬送方向の上流側に複数の第１個別端子が配置され、圧力室列８Ｂに対応する流出連結流路３４よりも搬送方向の下流側に複数の第２個別端子が配置されていてもよい。そして、圧力室列８Ａに対応する複数の上部配線４９が、上部電極４３から搬送方向の上流側に延びて複数の第１個別端子と接続され、圧力室列８Ｂに対応する複数の上部配線４９が、上部電極４３から搬送方向の下流側に延びて複数の第２個別端子に接続されていてもよい。この場合には、隣接する圧力室３０の間の領域に上部配線が配置されない。
【００９５】
また、上述の実施形態では、圧力室列８Ｂに対応する複数の下部配線４８が、圧力室列８Ａを構成する複数の圧力室３０のうち紙幅方向に隣接する圧力室３０の間の領域を通って、圧力室列８Ａに対応する流出連結流路３４よりも搬送方向の上流側に位置する共通端子５１に接続されていたが、これには限られない。
【００９６】
例えば、圧力室列８Ａに対応する流出連結流路３４よりも搬送方向の上流側に第１共通端子が設けられ、圧力室列８Ｂに対応する流出連結流路３４よりも搬送方向の下流側に第２共通端子が配置されていてもよい。そして、圧力室列８Ａに対応する複数の下部配線４８が、下部電極４２から搬送方向の上流側に延びて第１共通端子と接続され、圧力室列８Ｂに対応する複数の下部配線４８が、下部電極４２から搬送方向の下流側に延びて第２共通端子に接続されていてもよい。この場合には、隣接する圧力室３０の間の領域に下部配線が配置されない。
【００９７】
また、上述の実施形態では、複数の流入連結流路３２、及び、複数の流出連結流路３４が、それぞれ、紙幅方向に間隔をあけて並んでおり、配線４８、４９が、隣接する流入連結流路３２の間の領域や、隣接する流出連結流路３４の間の領域を通って延びていたが、これには限られない。例えば、配線４８、４９が、複数の流入連結流路３２よりも紙幅方向の外側の領域や、複数の流出連結流路３４よりも紙幅方向の外側の領域を通って延びていてもよい。
【００９８】
また、上述の実施形態では、ヘッドユニット１１の２つのノズル列９間で、ノズル１０から吐出されるインクの色が異なっていたが、これには限られない。
【００９９】
例えば、変形例５では、図１１に示すように、プリンタ１４０が、４つのインクジェットヘッド１４１Ｋ、１４１Ｙ、１４１Ｃ、１４１Ｍと、プラテン１４２と、搬送ローラ１４３、１４４とを備えている。インクジェットヘッド１４１Ｋ、１４１Ｙ、１４１Ｃ、１４１Ｍは、搬送方向の上流側からこの順に並んでいる。インクジェットヘッド１４１Ｋ、１４１Ｙ、１４１Ｃ、１４１Ｍは、それぞれ、４つのヘッドユニット１５１と、保持部材１５２とを備えている。
【０１００】
ヘッドユニット１５１は、その下面に形成された複数のノズル１５０を有する。複数のノズル１５０は、紙幅方向に配列されることによってノズル列１４９を形成しており、ヘッドユニット１５１には、搬送方向に並んだ２列のノズル列１４９が形成されている。２列のノズル列１４９間で、紙幅方向のノズル１０の位置が、各ノズル列１４９におけるノズル１５０同士の間隔の半分の長さだけずれている。
【０１０１】
インクジェットヘッド１４１Ｋ、１４１Ｙ、１４１Ｃ、１４１Ｍにおいては、それぞれ、２列のノズル列１４９を構成するノズル１５０からブラック、イエロー、シアン、マゼンタのインクが吐出される。すなわち、２列のノズル列１４９間で、ノズル１５０から吐出されるインクの種類は同じである。
【０１０２】
また、インクジェットヘッド１４１Ｋ、１４１Ｙ、１４１Ｃ、１４１Ｍにおいては、４つのヘッドユニット１５１のうち、２つずつのヘッドユニット１５１が、それぞれ、紙幅方向に間隔をあけて並んでいる。また、４つのヘッドユニット１５１のうち、紙幅方向に並んだ２つのヘッドユニット１５１と残り２つのヘッドユニット１５１とは、搬送方向に間隔をあけて並んでいる。また、搬送方向の上流側に配置された２つのヘッドユニット１５１と、下流側に配置された２つのヘッドユニット１５１とは、紙幅方向の位置がずれている。これにより、４つのヘッドユニット１５１の複数のノズル１５０が、紙幅方向に記録用紙Ｐの全長にわたって配置されている。また、搬送方向の上流側に配置されたヘッドユニット１５１の紙幅方向の一方側の一部のノズル１５０と、下流側に配置されたヘッドユニット１５１の紙幅方向の他方側の一部のノズル１５０とが、搬送方向に重なっている。
【０１０３】
保持部材１５２は、紙幅方向に記録用紙Ｐの全長にわたって延びた矩形の板状の部材である。保持部材１５２には、４つのヘッドユニット１５１に対応する４つの貫通孔１５２ａが形成されている。ヘッドユニット１５１の複数のノズル１５０は、対応する貫通孔１５２ａを介して下側（記録用紙Ｐ側）に露出している。
【０１０４】
プラテン１４２は、インクジェットヘッド１４１Ａ〜１４１Ｄの下方に配置され、インクジェットヘッド１４１Ａ〜１４１Ｄの複数のノズル１５０と対向している。プラテン１４２は、記録用紙Ｐを下方から支持する。
【０１０５】
搬送ローラ１４３は、搬送方向におけるインクジェットヘッド１４１Ａ〜１４１Ｄ及びプラテン１４２よりも上流側に配置されている。搬送ローラ１４３は、搬送方向におけるインクジェットヘッド１４１Ａ〜１４１Ｄ及びプラテン１４２よりも下流側に配置されている。搬送ローラ１４３、１４４は、記録用紙Ｐを搬送方向に搬送する。
【０１０６】
＜ヘッドユニット１５１＞
次に、ヘッドユニット１５１について詳細に説明する。図１２、図１３に示すように、ヘッドユニット１５１は、ヘッドユニット１１と同様のインク流路、圧電アクチュエータ、配線などを有する。ただし、ヘッドユニット１５１では、上述したように、２つのノズル列１４９間で、紙幅方向のノズル１５０の位置がずれているのに対応して、搬送方向の上流側のノズル列１４９（以下、ノズル列１４９Ａとすることがある）と下流側のノズル列１４９（以下、ノズル列１４９Ｂとすることがある）とで、対応する圧力室３０、流入絞り流路３１、流出絞り流路３３、流出連結流路３４、流出接続流路５８、駆動素子４４等の紙幅方向の位置がずれている。そして、ヘッドユニット１５１でも、複数の圧力室３０が２列のノズル列１４９に対応する２列の圧力室列１４８を形成している。なお、以下では、ノズル列１４９Ａに対応する圧力室列１４８を圧力室列１４８Ａとし、ノズル列１４９Ｂに対応する圧力室列１４８を圧力室列１４８Ｂとすることがある。また、図１３は、図１２にXIII−XIII線で示したように、一平面で切った断面ではない。
【０１０７】
また、ヘッドユニット１５１では、ヘッドユニット１１とは異なり、搬送方向における、圧力室列１４８Ａと圧力室列１４８Ｂとの間に、それぞれが上下方向に延び、紙幅方向に１列に並んだ複数の流入連結流路１５３が配置されている。各連結流路１５３は、圧力室列１４８Ａに対応する複数の流入絞り流路３１のうち、紙幅方向に隣接する２つの流入絞り流路３１、及び、圧力室列１４８Ｂに対応する複数の流入絞り流路３１のうち、紙幅方向に隣接する２つの流入絞り流路３１の、合計４つの流入絞り流路３１と接続されている。各流入連結流路１５３は、流入接続流路１５４を介して、流入マニホールド１５５と接続されている。
【０１０８】
そして、流入マニホールド１５５と、２つの流出マニホールド６２は、それぞれ、図示しない流路を介して同じインクタンク１５６に接続されている。また、流入マニホールド１５５とインクタンク１５６との間の流路には、インクタンク１５６側から流入マニホールド１５５側に向けてインクを送る供給側ポンプ１５７が設けられている。また、各流出マニホールド６２とインクタンク１５６との間の流路には、それぞれ、流出マニホールド６２側からインクタンク１５６側に向けてインクを送る排出側ポンプ１５８が設けられている。
【０１０９】
変形例５では、２つの圧力室列１４８Ａ、１４８Ｂに対応する流入絞り流路を、圧力室列１４８Ａと圧力室列１４８Ａとの間に引き出して、流入連結流路１５３を、２つの圧力室列１４８に対して共通のものとすることができる。
【０１１０】
また、変形例５とは異なり、各圧力室列１４８に対応する流入連結流路を別々に設ける場合には、これらの流入共通流路を隔てる隔壁が必要である。これに対して、変形例５では、２つの圧力室列１４８に対して共通に流入連結流路が設けられている。したがって、変形例５では上記隔壁に対応する部分が必要なく、２つの圧力室列１４８に対応する流入絞り流路３１に対して設けられる流入連結流路１５３の容積（上下方向から見た面積）を、各圧力室列１４８に対応する流入連結流路を別々に設ける場合の流入連結流路の容積（上下方向から見た面積）の合計よりも大きくすることができる。
【０１１１】
ここで、変形例５では、供給側ポンプ１５７と２つの排出側ポンプ１５８の両方を設けたが、これには限られない。供給側ポンプ１５７、及び、２つの排出側ポンプ１５８のうち、片方のみを設けてもよい。
【０１１２】
また、変形例５では、上記のように、２つの流出マニホールド６２に対して個別に排出側ポンプ１５８を設けたが、これには限られない。例えば、２つの流出マニホールド６２とインクタンク１５６とを接続する２つの流路が、途中で互いに連結されたうえでインクタンク１５６に接続されており、上記連結された流路部分に、排出側ポンプが設けられていてもよい。
【０１１３】
また、変形例５とは逆に、ヘッドユニット１５１の搬送方向における圧力室列１４８Ａ、１４８Ｂよりも外側に、それぞれ、ノズル列１４９Ａ、１４９Ｂに対して別々の複数の流入連結流路が配置され、紙幅方向における圧力室列１４８Ａと圧力室列１４８Ｂとの間に、圧力室列１４８Ａ、１４８Ｂに対して共通の複数の流出連結流路が配置されていてもよい。
【０１１４】
この場合には、２つの圧力室列１４８Ａ、１４８Ｂに対応する流出絞り流路を、圧力室列１４８Ａと圧力室列１４８Ｂとの間に引き出して、流出連結流路を、２つの圧力室列１４８に対して共通のものとすることができる。
【０１１５】
また、２つの圧力室列１４８に対応する流出絞り流路３３に対して設けられる流出連結流路の容積（上下方向から見た面積）を、各圧力室列１４８に対応する流出連結流路を別々に設ける場合の流出連結流路の容積（上下方向から見た面積）の合計よりも大きくすることができる。
【０１１６】
また、上述の実施形態では、１つの流入連結流路３２に接続される２つの圧力室３０が、１つの流出連結流路３４に接続されていたが、これには限られない。例えば、変形例６では、図１４に示すように、ヘッドユニット１６０において、流入連結流路３２に接続される２つの流入絞り流路３１と、流出連結流路３４に接続される２つの流出絞り流路３３とが、紙幅方向に圧力室３０の１つ分ずれている。すなわち、Ｎを２以上の自然数として、紙幅方向の左側からＮ、（Ｎ＋１）番目の２つの流入絞り流路３１と接続されているのに対して、紙幅方向の左側から（Ｎ−１）、Ｎ番目の２つの流出絞り流路３３、及び、紙幅方向の左側から（Ｎ＋１）、（Ｎ＋２）番目の２つの流出絞り流路３３が、それぞれ同じ流出連結流路３４と接続されている。
【０１１７】
これにより、変形例６では、同じ流入連結流路３２に接続される２つの流入絞り流路３１のうち、一方の流入絞り流路３１と同じ圧力室３０に接続される流出絞り流路３３と、一方の流入絞り流路３１と同じ圧力室３０に接続される流出絞り流路３３とが、別の流出連結流路３４に接続される。
【０１１８】
ここで、例えば、流路基板２２の製造誤差や、流路基板２２と保護基板２４とを接合する際の位置ずれにより、ある圧力室３０に対応する、流入連結流路３２と流入接続流路５７との接続面積、及び、流出連結流路３４と流出接続流路５８との接続面積の両方がずれた場合を考える。この場合、流入連結流路３２に接続される２つの流入絞り流路３１と同じ圧力室３０に接続された２つの流出連結流路３４が、同じ流出連結流路３４に接続されていると、流入連結流路３２と流入接続流路５７との接続面積のずれと、流出連結流路３４と流出接続流路５８との接続面積のずれの両方の影響によって、２つの圧力室３０に連通するノズル１０からのインクの吐出特性が大きく変わってしまう。
【０１１９】
変形例６でも、このような場合に、上記ある圧力室３０に連通するノズル１０からのインクの吐出特性は、流入連結流路３２と流入接続流路５７との接続面積のずれと、流出連結流路３４と流出接続流路５８との接続面積のずれの両方の影響を受ける。しかしながら、変形例６では、上記ある圧力室３０の紙幅方向の一方側に隣接する圧力室３０に連通するノズル１０からのインクの吐出特性は、流入連結流路３２と流入接続流路５７との接続面積のずれの影響を受けるが、流出接続流路５８との接続面積のずれの影響を受けない。また、上記ある圧力室３０の紙幅方向の他方側に隣接する圧力室３０に連通するノズル１０からのインクの吐出特性は、流出接続流路５８との接続面積の変動の影響を受けるが、流入連結流路３２と流入接続流路５７との接続面積の変動の影響を受けない。これにより、変形例６の場合には、インクの吐出特性が大きく変わってしまうノズル１０の数を少なくすることができ、複数のノズル１０間でのインクの吐出量のばらつきを極力小さくすることができる。
【０１２０】
また、上述の実施形態では、流入連結流路３２の開口３２ａとの接続される流入接続流路５７の下端が、上下方向に投影したときに、開口３２ａの縁よりも内側に位置していたが、これには限られない。上下方向に投影したときに、流入接続流路５７の下端の縁が、開口３２ａの縁と重なっていてもよい。あるいは、上下方向に投影したときに、流入接続流路５７の下端の縁が、開口３２ａの縁よりも外側に位置していてもよい。
【０１２１】
同様に、上下方向に投影したときに、流出連結流路３４の開口３４ａと接続される流出接続流路５８の下端の縁が、開口３４ａの縁と重なっていてもよい。あるいは、上下方向に投影したときに、流出接続流路５８の下端の縁が、開口３４ａの縁よりも外側に位置していてもよい。
【０１２２】
また、上述の実施形態では、流入連結流路３２の紙幅方向の長さＷｒｉが、圧力室３０の紙幅方向の長さＷｃの２倍の長さ２×Ｗｃよりも短いのに対応して、流入絞り流路３１が、搬送方向に対して傾いて延びていたが、これには限られない。流入絞り流路は、途中で折れ曲がって延びていてもよい。同様に、流出絞り流路も、途中で折れ曲がって延びていてもよい。
【０１２３】
また、以上の例では、１つの流入連結流路に２つの流入絞り流路が接続され、１つの流出連結流路に２つの流出絞り流路が接続されていたが、これには限られない。１つの流入連結流路に３つ以上の流入絞り流路が接続されていてもよいし、１つの流出連結流路に３つ以上の流出絞り流路が接続されていてもよい。
【０１２４】
１つの流入連結流路にＮ個（Ｎは３以上の自然数）の流出絞り流路が接続されている場合には、紙幅方向における流入連結流路の長さを、圧力室３０の紙幅方向の長さＷｃよりも長く、且つ、圧力室３０の上記長さＷｃのＮ倍の長さＮ×Ｗｃよりも短くすることが好ましい。同様に、１つの流出連結流路にＮ個の流出絞り流路が接続されている場合には、紙幅方向における流出連結流路の長さを、圧力室３０の紙幅方向の長さＷｃよりも長く、且つ、圧力室３０の上記長さＷｃのＮ倍の長さＮ×Ｗｃよりも短くすることが好ましい。
【０１２５】
これらの場合には、振動膜４０の上面の、保護基板２４と接合される部分の面積を大きくして、振動膜４０と保護基板２４とを接着剤で接着するときに、これらを確実に接合することができる。さらに、Ｎ個の圧力室３０に対応するＮ個の流入絞り流路と接続される流入連結流路の容積を、Ｎ個の流入絞り流路に対して十分なものとすることができる。また、Ｎ個の圧力室３０に対応するＮ個の流出絞り流路と接続される流出連結流路の容積を、Ｎ個の流出絞り流路に対して十分なものとすることができる。
【０１２６】
あるいは、紙幅方向における流入連結流路の長さを、圧力室３０の上記長さＷｃ以下としてもよい。また、紙幅方向における流出連結流路の長さを、圧力室３０の上記長さＷｃ以下としてもよい。
【０１２７】
また、以上では、インクタンクとの間でインクが循環するヘッドユニットを有するインクジェットヘッドに本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。ヘッドユニットは、インクタンクにインクを戻すための流路を有していないものであってもよい。例えば、ヘッドユニットが、上述の実施形態のヘッドユニット１１から、流出絞り流路３３、流出連結流路３４、流出接続流路５８、流出マニホールド６２を除いたものであってもよい。
【０１２８】
また、以上では、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。例えば、液状化させた金属や樹脂など、インク以外の液体を吐出する液体吐出ヘッドに本発明を適用することも可能である。
【符号の説明】
【０１２９】
２Ａ、２Ｂ  インクジェットヘッド
１０  ノズル
２１  ノズルプレート
２２  流路基板
２３  圧電アクチュエータ
２４  保護基板
２５  流路部材
３０  圧力室
３１  流入絞り流路
３２  流入連結流路
３２ａ  開口
３３  流出絞り流路
３４  流出連結流路
３４ａ  開口
４０  振動膜
４２  下部電極
４３  上部電極
４４  駆動素子
４８  下部配線
４９  上部配線
５１  共通端子
５２  個別端子
６１  流入マニホールド
６２  流出マニホールド
１０１  流入連結流路
１０２  流出連結流路
１１１  流入連結流路
１１２  流出連結流路
１２１  下部配線
１２２  連結配線
１３１、１３２  配線
１４１Ｋ、１４１Ｙ、１４１Ｃ、１４１Ｍ  インクジェットヘッド
１４８  圧力室列
１５０  ノズル
１５３  流入連結流路
１５５  流入マニホールド
【図１】
2020040292.tif 000003
【図２】
2020040292.tif 000004
【図３】
2020040292.tif 000005
【図４】
2020040292.tif 000006
【図５】
2020040292.tif 000007
【図６】
2020040292.tif 000008
【図７】
2020040292.tif 000009
【図８】
2020040292.tif 000010
【図９】
2020040292.tif 000011
【図１０】
2020040292.tif 000012
【図１１】
2020040292.tif 000013
【図１２】
2020040292.tif 000014
【図１３】
2020040292.tif 000015
【図１４】
2020040292.tif 000016