(57)【要約】【課題】液体貯留室内のインクの乾燥に起因した吸振性能の低下を低減する。【解決手段】液体を噴射するノズルが形成されたノズル基板と、前記ノズル基板に接合される流路基板とを具備し、前記流路基板は、前記ノズルに連通する圧力室と、前記圧力室に供給される液体を貯留する第１液体貯留室とを有し、前記ノズル基板は、第１ダンパー室と、前記第１液体貯留室と前記第１ダンパー室とを連通し、当該第１液体貯留室内の液体の圧力変動を吸収するためのメニスカスが形成される１以上の第１孔部とを有する液体噴射ヘッド。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズルが形成されたノズル基板と、
前記ノズル基板に接合される流路基板とを具備し、
前記流路基板は、
前記ノズルに連通する圧力室と、
前記圧力室に供給される液体を貯留する第１液体貯留室とを有し、
前記ノズル基板は、
第１ダンパー室と、
前記第１液体貯留室と前記第１ダンパー室とを連通し、当該第１液体貯留室内の液体の圧力変動を吸収するためのメニスカスが形成される１以上の第１孔部とを有する
液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記ノズル基板は、
前記１以上の前記第１孔部は、複数の第１孔部であり、
前記第１ダンパー室は、前記複数の第１孔部に連通する
請求項１の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記ノズル板には、前記第１ダンパー室と外部空間とに連通する連通孔を有する
請求項１または請求項２の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記ノズル基板は、第１基板と第２基板とを含み、
前記第１基板は、前記流路基板と前記第２基板との間に位置し、
前記ノズルおよび前記第１孔部は、前記第１基板に形成され、
前記第１ダンパー室は、前記第２基板に形成される
請求項１から請求項３の何れかの液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記第２基板は、着脱可能である
請求項４の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記第２基板の側面のうち前記ノズル側の面は、前記第１基板の表面に対して９０度より小さい角度で傾斜する傾斜面である
請求項４または請求項５の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記第２基板の表面は撥水膜である
請求項４から請求項６の何れかの液体噴射ヘッド。
【請求項８】
前記第１孔部は、第１部分と第２部分とを含み、
前記第１部分は、前記流路基板と前記第２部分との間に位置し、
前記第１部分の内径は、前記第２部分の内径よりも大きい
請求項１から請求項７の何れかの液体噴射ヘッド。
【請求項９】
前記圧力室を通過した液体のうち、前記ノズルから噴射されない液体が排出される排出流路と、
前記排出流路を通過した液体が排出される第２液体貯留室とを具備し、
前記ノズル基板は、
第２ダンパー室と、
前記第２液体貯留室と前記第２ダンパー室とを連通し、当該第２液体貯留室内の液体の圧力変動を吸収するためのメニスカスが形成される１以上の第２孔部とを有する
請求項１から請求項８の何れかの液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
前記ノズル基板は、
前記１以上の前記第２孔部は、複数の第２孔部であり、
前記第２ダンパー室は、前記複数の第２孔部に連通する
請求項９の液体噴射ヘッド。
【請求項１１】
請求項１から請求項１０の何れかの液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドを制御する制御部と
を具備する液体噴射装置。
【請求項１２】
前記第１ダンパー室および前記第２ダンパー室の何れか一方を加圧する
請求項１１の液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を噴射する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
インク等の液体を複数のノズルから噴射する液体噴射装置が従来から提案されている。例えば、特許文献１には、圧送チャンバと、流体を圧送チャンバから吐出させるアクチュエーターと、各圧送チャンバに連通する給送チャネルとを具備する液体吐出装置が開示されている。給送チャネルの底部の表面には、給送チャネル内の圧力変動を吸収するためのダミーノズルが形成される。ダミーノズルは給送チャネルに連通する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２０１８−５１３０４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１の技術では、ダミーノズルが外部空間に連通するため、給送チャネル内の流体が乾燥することで増粘する。したがって、圧力変動を吸収する性能が低下する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルが形成されたノズル基板と、前記ノズル基板に接合される流路基板とを具備し、前記流路基板は、前記ノズルに連通する圧力室と、前記圧力室に供給される液体を貯留する第１液体貯留室とを有し、前記ノズル基板は、第１ダンパー室と、前記第１液体貯留室と前記第１ダンパー室とを連通し、当該第１液体貯留室内の液体の圧力変動を吸収するためのメニスカスが形成される１以上の第１孔部とを有する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１実施形態に係る液体噴射装置の構成図である。
【図２】液体噴射ヘッドの断面図である。
【図３】液体噴射ヘッドの平面図である。
【図４】比較例１に係る液体噴射ヘッドの断面図である。
【図５】第２実施形態に係る液体噴射ヘッドの断面図である。
【図６】ノズル面の近傍における拡大図である。
【図７】変形例に係る第１孔部の断面図である。
【図８】変形例に係る液体噴射ヘッドの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
Ａ．第１実施形態
図１は、本発明の好適な形態に係る液体噴射装置１００を例示する構成図である。本実施形態の液体噴射装置１００は、液体の例示であるインクを媒体１２に噴射するインクジェット方式の印刷装置である。媒体１２は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象が媒体１２として利用される。図１に例示される通り、液体噴射装置１００には、インクを貯留する液体容器１４が設置される。例えば液体噴射装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、またはインクを補充可能なインクタンクが液体容器１４として利用される。
【０００８】
図１に例示される通り、液体噴射装置１００は、制御ユニット２０と搬送機構２２と移動機構２４と液体噴射ヘッド２６とを具備する。制御ユニット２０は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、液体噴射装置１００の各要素を統括的に制御する。制御ユニット２０は「制御部」の例示である。搬送機構２２は、制御ユニット２０による制御のもとで媒体１２をＹ軸に沿って搬送する。
【０００９】
移動機構２４は、制御ユニット２０による制御のもとで液体噴射ヘッド２６をＸ軸に沿って往復させる。Ｘ軸は、媒体１２が搬送されるＹ軸に交差する。例えば、Ｘ軸とＹ軸とは相互に直交する。第１実施形態の移動機構２４は、液体噴射ヘッド２６を収容する略箱型の搬送体２４２と、搬送体２４２が固定された搬送ベルト２４４とを具備する。なお、複数の液体噴射ヘッド２６を搬送体２４２に搭載した構成、または、液体容器１４を液体噴射ヘッド２６とともに搬送体２４２に搭載した構成も採用され得る。
【００１０】
液体噴射ヘッド２６は、液体容器１４から供給されるインクを制御ユニット２０による制御のもとで複数のノズルＮから媒体１２に噴射する。搬送機構２２による媒体１２の搬送と搬送体２４２の反復的な往復とに並行して各液体噴射ヘッド２６が媒体１２にインクを噴射することで、媒体１２の表面に所望の画像が形成される。なお、以下の説明では、Ｘ-Ｙ平面に垂直な軸を以下ではＺ軸と表記する。Ｚ軸は、典型的には鉛直線である。Ｘ-Ｙ平面は、例えば媒体１２の表面に平行な平面である。液体噴射ヘッド２６は、Ｙ軸の方向に配列する複数のノズルＮが形成される。
【００１１】
図２は、図１のII-II線における液体噴射ヘッド２６の断面図であり、図３は、液体噴射ヘッド２６の平面図である。図２に例示される通り、液体噴射ヘッド２６は、ノズル基板３２と流路基板３４と振動板３６とを具備する。ノズル基板３２と流路基板３４と振動板３６とは、Ｙ軸に沿う長尺な板状部材であり、例えば接着剤を利用して相互に接合される。流路基板３４を挟んで相互に反対側にノズル基板３２と振動板３６とが接合される。具体的には、流路基板３４におけるＺ軸の正方向の表面にノズル基板３２が接合され、流路基板３４におけるＺ軸の負方向の表面に振動板３６が接合される。なお、流路基板３４とノズル基板３２とは、例えばシリコン（Ｓi）の単結晶基板をエッチング等の半導体製造技術により加工することで形成される。ノズル基板３２には、Ｙ軸の方向に配列する複数のノズルＮが形成される。各ノズルＮは、インクが通過する貫通孔である。
【００１２】
流路基板３４は、インクの流路を形成するための部材である。流路基板３４には、第１液体貯留室Ｒ1と圧力室Ｃと供給流路Ｐと排出流路Ｑと連結流路Ｇと第２液体貯留室Ｒ2とが形成される。図３に例示される通り、第１液体貯留室Ｒ1および第２液体貯留室Ｒ2は、複数のノズルＮにわたり連続するように平面視でＹ軸に沿う長尺状に形成された空間である。他方、圧力室Ｃと供給流路Ｐと排出流路Ｑとは、ノズルＮ毎に個別に形成された空間である。図２に例示される通り、第１液体貯留室Ｒ1および第２液体貯留室Ｒ2は、流路基板３４におけるＺ軸の正方向の表面に形成される。第１液体貯留室Ｒ1と第２液体貯留室Ｒ2とは、Ｚ軸の方向からの平面視においてノズルＮを挟んで反対側に位置する。圧力室Ｃは、流路基板３４におけるＺ軸の負方向の表面に形成される。液体容器１４から供給されたインクは第１液体貯留室Ｒ1に貯留される。
【００１３】
供給流路Ｐは、第１液体貯留室Ｒ1と圧力室Ｃとを連通させる流路である。図３に例示される通り、Ｙ軸の方向における供給流路Ｐの幅は、Ｙ軸の方向における圧力室Ｃの幅よりも小さい。連結流路Ｇは、圧力室ＣとノズルＮとを連通させる流路である。Ｚ軸の正方向における連結流路Ｇの端部がノズルＮに連結する。平面視において、ノズルＮと連結流路Ｇとは重なる。Ｙ軸の方向における連結流路Ｇの幅は、Ｙ軸の方向における圧力室Ｃの幅よりも小さい。
【００１４】
流路基板３４には、相異なるノズルＮに対応する複数の圧力室ＣがＹ軸に沿って形成される。各圧力室Ｃは、Ｚ軸の方向からの平面視でＸ軸に沿う長尺状の開口である。各圧力室Ｃは、内部に充填されたインクに圧力を付与するための空間である。Ｘ軸の正方向における圧力室Ｃの端部は、平面視において供給流路Ｐに重なり、Ｘ軸の負方向における圧力室Ｃの端部は、平面視において連結流路Ｇに重なる。液体貯留室Ｒに貯留されたインクは、供給流路Ｐに分岐して複数の圧力室Ｃに並列に供給および充填される。圧力室Ｃは、連結流路Ｇを介してノズルＮと連通する。
【００１５】
振動板３６は、弾性的に変形可能な板状部材である。例えば、振動板３６は、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）で形成された第１層と酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）で形成された第２層との積層で構成される。
【００１６】
図２に例示される通り、振動板３６のうち圧力室Ｃとは反対側の表面には、相異なるノズルＮに対応する複数の圧電素子４４が設置される。各圧電素子４４は、圧力室Ｃの圧力を変動させる駆動素子である。具体的には、圧電素子４４は、駆動波形の供給により変形するアクチュエーターであり、平面視でＸ方向に沿う長尺状に形成される。複数の圧電素子４４は、複数の圧力室Ｃに対応するようにＹ方向に配列する。圧電素子４４の変形に連動して振動板３６が振動すると、圧力室Ｃ内の圧力が変動することで、圧力室Ｃに充填されたインクが連通流路３２６とノズルＮとを通過して噴射される。
【００１７】
排出流路Ｑは、流路基板３４におけるＺ軸の正方向の表面に形成され、連結流路Ｇと第２液体貯留室Ｒ2とを連結させる流路である。Ｚ軸の正方向における連結流路Ｇの端部に排出流路Ｑが連結する。具体的には、排出流路Ｑは、圧力室Ｃを通過したインクのうちノズルＮから噴射されないインクが排出される流路である。図３に例示される通り、Ｙ軸の方向における排出流路Ｑの幅は、例えばＹ軸の方向における連結流路Ｇの幅よりも小さい。排出流路Ｑを通過したインクが第２液体貯留室Ｒ2に排出される。各排出流路Ｑから第２液体貯留室Ｒ2に排出されたインクは、例えばポンプ等を含む循環機構により第１液体貯留室Ｒ1に環流される。
【００１８】
図２に例示される通り、ノズル基板３２には、第１孔部Ｄ1と第１ダンパー室Ｔ1と第１連通孔Ｋ1とが形成される。第１孔部Ｄ1と第１ダンパー室Ｔ1と第１連通孔Ｋ1とは、複数のノズルＮの配列に対して第２液体貯留室Ｒ2とは反対側に形成される。第１ダンパー室Ｔ1は、複数のノズルＮにわたり連続する空間である。第１連通孔Ｋ1は、例えばノズルＮ毎に形成される。
【００１９】
第１孔部Ｄ1は、ノズル基板３２における流路基板３４側の表面に形成される。図３に例示される通り、Ｚ軸の方向からの平面視で第１液体貯留室Ｒ1に重なる位置に、複数の第１孔部Ｄ1が形成される。なお、第１孔部Ｄ1の個数は１つでもよい。第１孔部Ｄ1の内径は、例えばノズルＮの内径と略等しい。なお、第１孔部Ｄ1の内径がノズルＮの内径よりも小さくてもよい。第１孔部Ｄ1の内径は、第１孔部Ｄ1の断面積における直径である。第１孔部Ｄ1には、第１液体貯留室Ｒ1内のインクの圧力変動を吸収するためのメニスカスが形成される。具体的には、圧力室Ｃから供給流路Ｐを介して第１液体貯留室Ｒ1に伝播する圧力変動に応じて第１孔部Ｄ1内のメニスカスが振動することで、当該圧力変動が吸収される。なお、図２および図３では、Ｘ軸に沿って複数の第１孔部Ｄ1が配列する構成を例示したが、複数の第１孔部Ｄ1を形成する位置は任意である。
【００２０】
第１ダンパー室Ｔ1は、第１孔部Ｄ1を介して第１液体貯留室Ｒ1と連通する空間である。複数の第１孔部Ｄ1にわたり連続するように第１ダンパー室Ｔ1が形成される。平面視において、複数の第１孔部Ｄ1と第１ダンパー室Ｔ1とが重なる。第１連通孔Ｄ1は、第１ダンパー室Ｔ1と外部空間とを連通する空間である。すなわち、第１ダンパー室Ｔ1は大気開放される。例えば、第１ダンパー室Ｔ1の内壁からノズル基板３２の側面に向かって第１連通孔Ｋ1が形成される。なお、第１ダンパー室Ｔ1の内壁からノズル基板３２における流路基板３４とは反対側の面に向かって第１連通孔Ｋ1を形成してもよい。第１連通孔Ｋ1の内径は、第１孔部Ｄ1の内径よりも小さい。
【００２１】
また、ノズル基板３２には、第２孔部Ｄ2と第２ダンパー室Ｔ2と第２連通孔Ｋ2とが形成される。第２孔部Ｄ2と第２ダンパー室Ｔ2と第２連通孔Ｋ2とは、複数のノズルＮの配列に対して第１液体貯留室Ｒ1とは反対側に形成される。第２ダンパー室Ｔ2は、複数のノズルＮにわたり連続する空間である。第２連通口Ｋ2は、例えばノズルＮ毎に形成される。
【００２２】
なお、第１実施形態では、第１連通孔Ｋ1および第２連通孔Ｋ2をノズルＮ毎に形成したが、第１連通孔Ｋ1および第２連通孔Ｋ2はノズルＮ毎に形成しなくてもよい。例えば、第１ダンパー室Ｔ1においてノズルＮの個数とは無関係に１個以上の第１連通孔Ｋ1を形成してもよい。同様に、第２ダンパー室Ｔ2においてノズルＮの個数とは無関係に１個以上の第２連通孔Ｋ2を形成してもよい。また、１つの圧力室Ｃに対して複数のノズルＮが形成され、当該複数のノズルＮにより媒体１２における１つの画素を形成する液体噴射ヘッド２６の場合は、圧力室Ｃ毎に第１連通孔Ｋ１および第２連通孔Ｋ2を形成してもよい。
【００２３】
第２孔部Ｄ2は、ノズル基板３２における流路基板３４側の表面に形成される。図３に例示される通り、Ｚ軸の方向からの平面視で第２液体貯留室Ｒ2に重なる位置に、複数の第２孔部Ｄ2が形成される。なお、第２孔部Ｄ2の個数は１つでもよい。第２孔部Ｄ2の内径は、例えばノズルＮの内径と略等しい。なお、第２孔部Ｄ2の内径がノズルＮの内径よりも小さくてもよい。なお、第２孔部Ｄ2の内径は、第２孔部Ｄ2の断面積における直径である。第２孔部Ｄ2には、第２液体貯留室Ｒ2内のインクの圧力変動を吸収するためのメニスカスが形成される。具体的には、圧力室Ｃから連結流路Ｇと排出流路Ｑとを介して第２液体貯留室Ｒ2に伝播する圧力変動に応じて第２孔部Ｄ2内のメニスカスが振動することで、当該圧力変動が吸収される。なお、図２および図３では、Ｘ軸に沿って複数の第２孔部Ｄ2が配列する構成を例示したが、複数の第２孔部Ｄ2を形成する位置は任意である。
【００２４】
第１孔部Ｄ1および第２孔部Ｄ2の内径は、第１孔部Ｄ1および第２孔部Ｄ2からインクを噴射させずに吸振性能を維持する観点からも、ノズルＮの内径と同等以下が好適である。特に、第１孔部Ｄ１および第２孔部Ｄ2の内径がノズルＮの内径より小さい構成が好適である。ノズルＮと第１孔部Ｄ1と第２孔部Ｄとの断面形状は、円形に限定されず、例えば、四角形や五角形等の多角形でもよいし、楕円形でもよい。例えば、ノズルＮと第１孔部Ｄ1と第２孔部Ｄとの断面形状が円形以外の構成では、断面積が同じである円形の直径が、ノズルＮと第１孔部Ｄ1と第２孔部Ｄとの内径である。なお、ノズルＮと第１孔部Ｄ1と第２孔部Ｄとの内径がＺ軸上の位置に応じて変化する構成では、Ｚ軸の正方向における開口の大きさから内径が算出される。
【００２５】
第２ダンパー室Ｔ2は、第２孔部Ｄ2を介して第２液体貯留室Ｒ2と連通する空間である。複数の第２孔部Ｄ2にわたり連続するように第２ダンパー室Ｔ2が形成される。平面視において、複数の第２孔部Ｄ2と第２ダンパー室Ｔ2とが重なる。第２連通孔Ｋ2は、第２ダンパー室Ｔ2と外部空間とを連通する空間である。すなわち、第２ダンパー室Ｔ2は大気開放される。例えば、第２ダンパー室Ｔ2の内壁からノズル基板３２の側面に向かって第２連通孔Ｋ2が形成される。なお、第２ダンパー室Ｔ2の内壁からノズル基板３２における流路基板３４とは反対側の面に向かって第２連通孔Ｋ2を形成してもよい。第２連通孔Ｋ2の内径は、第２孔部Ｄ2の内径よりも小さい。
【００２６】
図４は、ノズル基板３２を貫通する貫通孔Ｕに、第１液体貯留室Ｒ1内のインクの圧力変動を吸収するためのメニスカスを形成する構成（以下「比較例１」という）における液体噴射ヘッド２６の断面図である。比較例１では、貫通孔Ｕが外部空間に露出するため、第１液体貯留室Ｒ1内のインクが乾燥して粘度が増加する。したがって、貫通孔Ｕ内のメニスカスにより圧力変動を吸収する性能が低下するという問題がある。それに対して、第１実施形態では、第１液体貯留室Ｒ1内の圧力変動を吸収するためのメニスカスが形成される第１孔部Ｄ1が第１ダンパー室Ｔ1の内部に形成される。したがって、比較例１と比較して、第１液体貯留室Ｒ1内のインクが乾燥することを抑制できる。すなわち、第１液体貯留室Ｒ1内のインクの乾燥に起因した吸振性能の低下を低減できる。
【００２７】
また、第１孔部Ｄ1に連通する第１ダンパー室Ｔ1が形成される第１実施形態の構成によれば、第１ダンパー室Ｔ1が形成されない構成と比較して、第１孔部Ｄ1に形成されるメニスカスが第１液体貯留室Ｒ1内の圧力変動を吸収しやすいという利点がある。
【００２８】
第１ダンパー室Ｔ1に連通する複数の第１孔部Ｄ1が形成される第１実施形態の構成によれば、第１液体貯留室Ｒ1内の圧力変動を十分に吸収しやすい。第１実施形態では、ノズル基板３２が連通孔Ｋ1を有する第１実施形態の構成によれば、第１ダンパー室Ｔ1が密閉されている構成と比較して、第１液体貯留室Ｒ1内の圧力変動を十分に吸収しやすい。なお、以上に例示した第１孔部Ｄ1および第１ダンパー室Ｔ1における各構成の効果は、第２孔部Ｄ2および第２ダンパー室Ｔ2についても同様に実現される。
【００２９】
Ｂ．第２実施形態
第２実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
【００３０】
図５は、第２実施形態に係る液体噴射ヘッド２６の断面図である。図５に例示される通り、第２実施形態に係るノズル基板３２は、第１基板３２１と第２基板３２２とで構成される。第１基板３２１は、流路基板３４に接合され、第２基板３２２は、第１基板３２１における流路基板３４とは反対側の面に接合される。すなわち、第１基板３２１は、第２基板３２２と流路基板３４との間に位置する。第２基板３２２の表面は、第２基板３２２の表面に対するインクの付着を抑制する観点から、撥水膜で形成される。なお、第２基板３２２は、第１基板３２１に対して着脱可能である。
【００３１】
第１基板３２１には、ノズルＮと第１孔部Ｄ1と第２孔部Ｄ2とが形成される。ノズルＮと第１孔部Ｄ1と第２孔部Ｄ2とは、第１基板３２１を貫通する貫通孔である。なお、平面視においてノズルＮと第１孔部Ｄ1と第２孔部Ｄ2とが形成される位置は、第１実施形態と同様である。
【００３２】
第２基板３２２には、ノズルＮを露出させる開口部Ｏが形成される。具体的には、開口部Ｏは、複数のノズルＮの配列の全体を露出させるようにＹ軸の方向に沿って形成される貫通孔である。図５に例示される通り、第２基板３２２の側面のうちノズルＮ側の面（以下「ノズル面」）Ｓは、第１基板３２１の表面に対して傾斜する。ノズル面Ｓは、第２基板３２２の開口部Ｏにおける内壁のうちＹ軸に沿って延在する面であるとも換言できる。図６は、図５におけるノズル面Ｓの近傍αを拡大した断面図である。具体的には、図６に例示される通り、ノズル面Ｓは、第１基板３２１の表面に対して角度θをなす。具体的には、角度θは、０度より大きく９０度より小さい角度である。角度θは、例えば３０度、４５度または６０度である。
【００３３】
また、第２基板３２２には、第１ダンパー室Ｔ1と第１連通孔Ｋ1と第２ダンパー室Ｔ2と第２連通孔Ｋ2とが形成される。第１ダンパー室Ｔ1および第１連通孔Ｋ1は、第２基板３２２のうち開口部Ｏに対してＸ軸の正方向の領域に形成される、第２ダンパー室Ｔ2および第２連通孔Ｋ2は、第２基板３２２のうち開口部Ｏに対してＸ軸の負方向の領域に形成される。
【００３４】
第１ダンパー室Ｔ1と第１連通孔Ｋ1と第２ダンパー室Ｔ2と第２連通孔Ｋ2とは、第２基板３２２における第１基板３２１側の表面に形成される空間であり、上面が第１基板３２１により閉塞される。第１実施形態と同様に、第１ダンパー室Ｔ1は複数の第１孔部Ｄ1に連通し、第１連通孔Ｋ1は第１ダンパー室Ｔ1と外部空間とに連通する。また、第１実施形態と同様に、第２ダンパー室Ｔ2は複数の第２孔部Ｄ2に連通し、第２連通孔Ｋ2は第２ダンパー室Ｔ2と外部空間とに連通する。
【００３５】
図５に例示される通り、第２実施形態の液体噴射装置１００は、払拭部２８を具備する。液体噴射ヘッド２６のクリーニングに払拭部２８が利用される。例えば弾性材料により長方形状に成形された板状部材が払拭部２８として利用される。払拭部２８は、ノズル基板３２の表面に接触した状態で、当該表面のインクを払拭する。制御ユニット２０は、ノズル基板３２の表面に接触した払拭部２８を、Ｘ方向に沿って相対的に移動させる。したがって、ノズル基板３２の表面の全域に付着したインクが払拭部２８により払拭される。払拭部２８は、例えばノズル基板３２におけるＸ軸の負方向からＹ方向にかけて移動する。すなわち、払拭部２８は、第２基板３２２におけるＸ軸の負方向の領域の表面→第１基板３２１のうちノズルＮが形成される領域の表面→第２基板３２２におけるＸ軸の正方向の領域の表面、という順番でノズル基板３２の表面を移動する。
【００３６】
第２実施形態においても第１実施形態と同様の効果が実現される。第２実施形態では、ノズルＮおよび第１孔部Ｄ1が第１基板３２１に形成され、第１ダンパー室Ｔ1が第２基板３２２に形成されるから、ノズルＮおよび第１孔部Ｄ1と、第１ダンパー室Ｔ1とが共通の基板に形成される構成と比較して、ノズルＮおよび第１孔部Ｄ1と、第１ダンパー室Ｔ1とを容易に形成することができる。また、第２実施形態では、第２基板３２２が着脱可能であるから、例えば第２基板３２２を取外して液体噴射ヘッド２６のメンテナンス作業をすることができる。なお、以上の効果は、第２孔部Ｄ2および第２ダンパー室Ｔ2についても同様に実現される。
【００３７】
ここで、第２基板３２２のノズル面Ｓが、第１基板３２１の表面に対して直交する垂直面である構成（以下「比較例２という」）では、払拭部２８がノズル基板３２の表面を移動しにくいという問題がある。例えば第１基板３２１の表面から第２基板３２２の表面に払拭部２８が移動する際に、払拭部２８の先端がノズル面Ｓに引っ掛かり、払拭部２８の移動を阻害する。それに対して、第２実施形態では、第２基板３２２のノズル面Ｓが、第１基板３２１の表面に対して０度より大きく９０度より小さい角度θで傾斜する傾斜面であるから、比較例２と比較して、ノズル基板３２の表面を払拭部２８が移動しやすいという利点がある。
【００３８】
また、比較例２ではノズル面Ｓに払拭部２８が接触しにくく、ノズル面Ｓに付着したインクを払拭部２８が払拭できない可能性がある。それに対して、第１基板３２１の表面に対して０度より大きく９０度より小さい角度θで傾斜する傾斜面をノズル面Ｓとして利用する第２実施形態の構成によれば、例えば払拭部２８が第２基板３２２の表面から第１基板３２１の表面に移動する際に、第１基板３２１から連続的にノズル面Ｓを払拭することができる。したがって、比較例２と比較して、ノズル面Ｓに付着したインクを払拭部２８が十分に払拭することができる。
【００３９】
Ｃ．変形例
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。なお、以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
【００４０】
（１）前述の各形態では、第１孔部Ｄ1の内径が全長にわたり一定である構成を例示したが、第１孔部Ｄ1の内径をＺ軸における位置で相違させてもよい。図７は、変形例に係る第１孔部Ｄ1の断面図である。図７に例示される通り、第１孔部Ｄ1は、内径が相違する第１部分Ｄ11と第２部分Ｄ12とを含む。第１部分Ｄ11は、第１孔部Ｄ1におけるＺ軸の負方向に位置し、第２部分Ｄ12は、第１孔部Ｄ1におけるＺ軸の正方向に位置する。すなわち、第１部分Ｄ11は、流路基板３４と第２部分Ｄ12との間に位置する。第１部分Ｄ11は、流路基板３４側の内径が第２部分Ｄ12側の内径よりも小さいテーパ形状である。第２部分Ｄ12は、全長にわたり内径が一定である円柱状である。第１部分Ｄ11の内径は、第２部分Ｄ12の内径よりも大きい。例えば、第１部分Ｄ11の全長にわたり、第２部分Ｄ12よりも内径が大きい。
【００４１】
例えば第１孔部Ｄ1の全長にわたり内径を小さくする構成では、第１孔部Ｄ1に形成されるメニスカスが第１液体貯留室Ｒ1の圧力変動を十分に吸収できないという問題がある。他方で、例えば第１孔部Ｄ1の全長にわたり内径を大きくする構成では、第１孔部Ｄ1からインクが漏出するという問題がある。それに対して、第１実施形態では、第１部分Ｄ11の内径が第２部分Ｄ12の内径よりも大きいから、第２部分Ｄ12にメニスカスが形成されることで、第１液体貯留室Ｒ1の圧力変動を十分に吸収しつつ、第１孔部Ｄ1からインクが漏出する可能性を低減できる。また、メニスカスが第２部分Ｄ12に形成される状態が維持されるため、第１孔部Ｄ1内においてメニスカスが形成される位置がばらつくことを低減できる。したがって、第１孔部Ｄ1が第１液体貯留室Ｒ1の圧力変動を吸収する量が、ノズルＮ毎にばらつく可能性を低減できる。なお、第２孔部Ｄ2およびノズルＮについても同様に、内径が相違する複数の部分を含んでもよい。以上の説明から理解される通り、第１孔部Ｄ1および第２孔部Ｄ2の形状は任意である。
【００４２】
（２）前述の各形態において、第１ダンパー室Ｔ1および第２ダンパー室Ｔ2の何れか一方を加圧してもよい。例えば、液体噴射ヘッド２６が傾いて、第１ダンパー室Ｔ1内と第２ダンパー室Ｔ2内との間で圧力差が生じたときに、第１ダンパー室Ｔ1および第２ダンパー室Ｔ2の何れか一方を加圧することで、第１ダンパー室Ｔ1内の圧力と第２ダンパー室Ｔ2内の圧力とを近づけることができる。
【００４３】
（３）前述の各形態では、ノズル基板３２に第１連通孔Ｋ1および第２連通孔Ｋ2を形成したが、第１連通孔Ｋ1および第２連通孔Ｋ2の何れか一方または双方をノズル基板３２から省略してもよい。すなわち、第１ダンパー室Ｔ1または第２ダンパー室Ｔ2が外部空間に連通しない構成も採用される。
【００４４】
（４）前述の各形態において、流路基板３４を複数の部材で構成してもよい。例えば、圧力室Ｃが形成される第１流路基板と、第１液体貯留室Ｒ1と供給流路Ｐと連結流路Ｇと排出流路Ｑと第２液体貯留室Ｒ2とが形成される第２流路基板とで流路基板３４を構成してもよい。
【００４５】
（５）前述の各形態において、第２孔部Ｄ2および第２ダンパー室Ｔ2を省略してもよい。
【００４６】
（６）前述の各形態では、各排出流路Ｑから第２液体貯留室Ｒ2に排出されたインクが第１液体貯留室Ｒ1に環流される構成を例示したが、ノズルＮから噴射されないインクを還流される構成は必須ではない。すなわち、排出流路Ｑおよび第２液体貯留室Ｒ2は液体噴射ヘッド２６から省略される。
【００４７】
（７）前述の各形態では、第１ダンパー室Ｔ1および第２ダンパー室Ｔ2を複数のノズルＮにわたり連続する空間として第１ダンパー室Ｔ1および第２ダンパー室Ｔ2を形成したが、図８に例示される通り、複数のノズルＮの各々について第１ダンパー室Ｔ1および第２ダンパー室Ｔ2を形成してもよい。
【００４８】
（８）前述の各形態では、液体噴射ヘッド２６を搭載した搬送体２４２を往復させるシリアル方式の液体噴射装置１００を例示したが、複数のノズルＮが媒体１２の全幅にわたり分布するライン方式の液体噴射装置にも本発明を適用することが可能である。
【００４９】
（９）圧力室Ｃ内の液体をノズルＮから噴射させる駆動素子は、前述の各形態で例示した圧電素子４４に限定されない。例えば、加熱により圧力室Ｃの内部に気泡を発生させて圧力を変動させる発熱素子を駆動素子として利用することも可能である。以上の例示から理解される通り、駆動素子は、圧力室Ｃ内の液体をノズルＮから噴射させる要素として包括的に表現され、圧電方式および熱方式等の動作方式や具体的な構成の如何は不問である。
【００５０】
（１０）前述の各形態で例示した液体噴射装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を噴射する液体噴射装置は、液晶表示パネル等の表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴射する液体噴射装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、生体に関する有機物の溶液を噴射する液体噴射装置は、例えばバイオチップを製造する製造装置として利用される。
【符号の説明】
【００５１】
１００…液体噴射装置、１２…媒体、１４…液体容器、２０…制御ユニット、２２…搬送機構、２４…移動機構、２４２…搬送体、２４４…搬送ベルト、２６…液体噴射ヘッド、２８…払拭部、３２…ノズル基板、３２１…第１基板、３２２…第２基板、３２６…連通流路、３４…流路基板、３６…振動板、４４…圧電素子、Ｃ…圧力室、Ｄ1…第１孔部、Ｄ2…第２孔部、Ｇ…連結流路、Ｋ1…第１連通孔、Ｋ2…第２連通孔、Ｎ…ノズル、Ｐ…供給流路、Ｑ…排出流路、Ｒ1…第１液体貯留室、Ｒ2…第２液体貯留室、Ｔ1…第１ダンパー室、Ｔ2…第２ダンパー室。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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