(57)【要約】【課題】  帯状ガラスフィルムを搬送する際に、その本来の搬送経路に対する実際の通過経路のずれを修正するにあたり、帯状ガラスフィルムの破損を防止すること。【解決手段】  帯状ガラスフィルム１を搬送しつつ、修正機構１５により帯状ガラスフィルム１の本来の搬送経路Ｒ１に対する実際の通過経路Ｒ２のずれを修正する修正工程Ｐ７を備えたガラスフィルムの製造方法において、修正機構１５に、帯状ガラスフィルム１を搬送面に吸着した状態で搬送する吸着コンベア３を設け、吸着コンベア３による帯状ガラスフィルム１の送り経路Ｓを変化させることで、修正工程Ｐ７を実行するようにした。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状ガラスフィルムを搬送しつつ、修正機構により前記帯状ガラスフィルムの本来の搬送経路に対する実際の通過経路のずれを修正する修正工程を備えたガラスフィルムの製造方法であって、
前記修正機構に、前記帯状ガラスフィルムを搬送面に固定保持した状態で搬送する搬送部を設け、該搬送部による前記帯状ガラスフィルムの送り経路を変化させることで、前記修正工程を実行することを特徴とするガラスフィルムの製造方法。
【請求項２】
前記修正機構に対して前記搬送経路の上流側に隣接させて配置した第一搬送機構と、下流側に隣接させて配置した第二搬送機構とを設け、
前記搬送部の搬送面と、前記第一搬送機構および前記第二搬送機構の双方の搬送面とを、前記帯状ガラスフィルムの同一面側に位置させることを特徴とする請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項３】
前記修正機構と、前記第一搬送機構および前記第二搬送機構とを、前記搬送経路上で前記帯状ガラスフィルムが平置き姿勢で搬送される区間に配置し、
前記搬送部の搬送面と、前記第一搬送機構および前記第二搬送機構の双方の搬送面とを、同一高さに位置させることを特徴とする請求項２に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項４】
前記搬送部として、前記帯状ガラスフィルムを吸着した状態で搬送する吸着コンベアを用いることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項５】
前記吸着コンベアの搬送面に対して鉛直に延びる回転軸線を中心として、前記吸着コンベアに首振りさせることで前記送り経路を変化させることを特徴とする請求項４に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項６】
前記回転軸線を、前記吸着コンベアにおける送り方向の上流側端部に位置させたことを特徴とする請求項５に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項７】
前記回転軸線を、前記吸着コンベアにおける前記帯状ガラスフィルムの幅方向に沿う方向の中央部に位置させたことを特徴とする請求項５又は６に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項８】
前記修正機構に対して前記搬送経路の上流側に、前記帯状ガラスフィルムにおける幅方向端部の幅方向へのずれを検出する検出器を設け、
前記検出器による検出結果に基づいて前記送り経路を変化させることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のガラスフィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はガラスフィルムの製造方法に係り、詳しくはガラスフィルムの元となる帯状ガラスフィルムを搬送しつつ、その本来の搬送経路に対する実際の通過経路のずれを修正する工程を備えた製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、急速に普及しているスマートホンやタブレット等のモバイル端末は、薄型、軽量であることが要求されるため、これらの端末に組み込まれるガラス板に対しては薄板化に対する要請が高まっている。このような現状の下、フィルム状にまで薄板化（例えば厚みが３００μｍ以下）されたガラスフィルムと称されるガラス板が開発、製造されるに至っている。
【０００３】
ガラスフィルムの製造工程では、ロール・トゥ・ロールの方式を利用することで、製品ガラスフィルムの元となる帯状ガラスフィルムを搬送しつつ、帯状ガラスフィルムに対して様々な処理を施す場合が多い。一例としては、搬送中の帯状ガラスフィルムに対し、製品には不要となる部位を分断したり、表裏面を洗浄したり、欠陥の有無を検査したりする処理を施すことがある。
【０００４】
ところで、帯状ガラスフィルムを搬送する際には、搬送経路の途中で帯状ガラスフィルムに蛇行や斜行が発生し、本来の搬送経路と帯状ガラスフィルムが実際に通過する通過経路との間にずれが生じてしまう場合がある。このような不具合は、帯状ガラスフィルムに対して施す処理の数が増加するほど生じ易くなる。これは、処理の増加に伴って帯状ガラスフィルムの搬送経路が長距離化し、これに対応するべくローラーやコンベア等の数が増えることに起因している。
【０００５】
ここで、上記のずれの修正に利用することが可能な手法が特許文献１に開示されている。同手法は、ウエブ（帯状の薄板）を搬送する際に、本来の搬送経路に対する実際の通過経路のずれを修正するための手法であり、ずれの修正に際して下記の修正機構を用いる。
【０００６】
修正機構は、ウエブの搬送経路上で上流側と下流側とに間隔を空けて配置され、各々がウエブの上面に接触する一対の上面接触ローラー（同文献のローラー５３，５６）と、搬送経路上で一対の上面接触ローラーの相互間に配置され、各々がウエブの下面に接触する一対の下面接触ローラー（同文献のローラー５４，５５）とを備えている。つまり、同機構では、合計四本のローラーが、搬送経路に沿って上流側の上面接触ローラー、上流側の下面接触ローラー、下流側の下面接触ローラー、下流側の上面接触ローラーの順番で配置されている。一対の下面接触ローラーは、一対の上面接触ローラーよりも高い位置に配置されており、上流側の下面接触ローラーおよび下流側の下面接触ローラーは、それぞれ上流側の上面接触ローラーおよび下流側の上面接触ローラーの略真上に配置されている。
【０００７】
上記の配置関係により、これら四本のローラーの配置箇所を通過するウエブは、下記のように進行方向を順々に転換していく。最初に、搬送に伴って上流側の上面接触ローラーまで到達したウエブは、当該ローラーに沿って進行方向を水平方向から上方向に転換する。次に、上流側の下面接触ローラーまで到達すると、当該ローラーに沿って進行方向を上方向から再び水平方向に転換する。その後、下流側の下面接触ローラーまで到達すると、当該ローラーに沿って進行方向を水平方向から下方向に転換する。最後に、下流側の上面接触ローラーまで到達すると、当該ローラーに沿って進行方向を下方向から再度水平方向に転換する。
【０００８】
一対の下面接触ローラーは、これらの両端部が連結バー（同文献の連結バー５７，５８）によって連結されている。両ローラーおよび連結バーは、上下方向に延びる回転軸線を中心として一体となって回転することで、首振り動作を行うことが可能となっている。なお、同機構においては、上流側の下面接触ローラーの中央部を貫通するように回転軸線が位置している。そして、両ローラーおよび連結バーの首振り動作に伴って、上記のずれを修正する構成となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１１−４２４５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献１に開示された手法を利用した場合には、下記のような解決すべき問題があった。
【００１１】
すなわち、同手法では、ずれの修正時にウエブと下面接触ローラーとの間で滑りが生じない程度に、ウエブを下面接触ローラーの表面に当接させる必要があることから、複数回に亘ってウエブの進行方向を略直角に転換させることが必須となり、転換の度にウエブを大きな曲率で湾曲させる必要がある。そのため、帯状ガラスフィルムを搬送する場合に上記の手法を利用すると、進行方向を転換させる際に、湾曲に伴って発生した応力により帯状ガラスフィルムが破損してしまう場合があった。このような事情から、帯状ガラスフィルムを破損させることなく、ずれの修正を可能とする技術の確立が期待されていた。
【００１２】
上記の事情に鑑みなされた本発明は、帯状ガラスフィルムを搬送する際に、その本来の搬送経路に対する実際の通過経路のずれを修正するにあたり、帯状ガラスフィルムの破損を防止することを技術的な課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の課題を解決するための本発明は、帯状ガラスフィルムを搬送しつつ、修正機構により帯状ガラスフィルムの本来の搬送経路に対する実際の通過経路のずれを修正する修正工程を備えたガラスフィルムの製造方法であって、修正機構に、帯状ガラスフィルムを搬送面に固定保持した状態で搬送する搬送部を設け、搬送部による帯状ガラスフィルムの送り経路を変化させることで、修正工程を実行することを特徴とする。
【００１４】
本方法では、修正機構に設けられた搬送部が帯状ガラスフィルムを搬送面に固定保持した状態で搬送することが可能である。そして、この状態の搬送部が帯状ガラスフィルムの送り経路を変化させることで、当該帯状ガラスフィルムの本来の搬送経路に対する実際の通過経路のずれが修正されて修正工程が完了する。このとおり、本方法においては、ずれを修正するにあたって帯状ガラスフィルムを大きな曲率で湾曲させるような必要性を好適に排除できる。その結果、湾曲に伴って発生した応力により帯状ガラスフィルムが破損するような事態の発生を必然的に防止できる。以上のことから、本方法によれば、帯状ガラスフィルムを搬送する際に、その本来の搬送経路に対する実際の通過経路のずれを修正するにあたり、帯状ガラスフィルムの破損を防止することが可能となる。
【００１５】
上記の方法では、修正機構に対して搬送経路の上流側に隣接させて配置した第一搬送機構と、下流側に隣接させて配置した第二搬送機構とを設け、搬送部の搬送面と、第一搬送機構および第二搬送機構の双方の搬送面とを、帯状ガラスフィルムの同一面側に位置させることが好ましい。
【００１６】
このようにすれば、帯状ガラスフィルムの表裏面のうち、一方面については搬送部の搬送面、第一搬送機構の搬送面、及び、第二搬送機構の搬送面との接触を確実に回避できる。そのため、帯状ガラスフィルムの一方面を保証面とし、当該保証面について各搬送面との接触を回避させるようにすれば、保証面が傷付くことを可及的に防止でき、帯状ガラスフィルムを元に製造されるガラスフィルム製品の品質を向上させる上で有利となる。
【００１７】
上記の方法では、修正機構と、第一搬送機構および第二搬送機構とを、搬送経路上で帯状ガラスフィルムが平置き姿勢で搬送される区間に配置し、搬送部の搬送面と、第一搬送機構および第二搬送機構の双方の搬送面とを、同一高さに位置させることが好ましい。
【００１８】
このようにすれば、帯状ガラスフィルムを第一搬送機構から修正機構の搬送部に移乗させる際、及び、修正機構の搬送部から第二搬送機構に移乗させる際についても、帯状ガラスフィルムの湾曲を可及的に回避できる。従って、湾曲に起因した帯状ガラスフィルムの破損を防止する上で更に有利となる。
【００１９】
上記の方法では、搬送部として、帯状ガラスフィルムを吸着した状態で搬送する吸着コンベアを用いることが好ましい。
【００２０】
このようにすれば、搬送部の搬送面（吸着コンベアの搬送面）と帯状ガラスフィルムの主面（表裏面の一方）との接触面積を十分に確保しやすくなり、好適に帯状ガラスフィルムを搬送面に固定保持でき、ひいては、より確実に修正工程を実行できる。さらには、修正工程を確実に実行しつつ、帯状ガラスフィルムを円滑に搬送することも可能となる。
【００２１】
上記の方法では、吸着コンベアの搬送面に対して鉛直に延びる回転軸線を中心として、吸着コンベアに首振りさせることで送り経路を変化させることが好ましい。
【００２２】
このようにすれば、吸着コンベアの首振りに伴って、搬送部による帯状ガラスフィルムの送り経路を変化させることができ、極めて簡便かつ確実に送り経路を変化させることが可能となる。
【００２３】
上記の方法では、回転軸線を、吸着コンベアにおける送り方向の上流側端部に位置させることが好ましい。
【００２４】
このようにすれば、回転軸線を吸着コンベアにおける送り方向の上流側端部に位置させたことで、吸着コンベアの首振りに伴い、帯状ガラスフィルムの幅方向に沿って吸着コンベアの搬送面が移動する際の振れ幅が、送り方向の上流側ほど小さくなる。このため、第一搬送機構から吸着コンベアに移乗してくる帯状ガラスフィルムが、移乗後に急激に進行方向を転換させられるような事態の発生を回避できる。従って、帯状ガラスフィルムに掛かる負荷を低減でき、その破損を更に確実に防止することが可能となる。
【００２５】
上記の方法では、回転軸線を、吸着コンベアにおける帯状ガラスフィルムの幅方向に沿う方向の中央部に位置させることが好ましい。
【００２６】
このようにすれば、帯状ガラスフィルムの本来の搬送経路に対する実際の通過経路のずれが、帯状ガラスフィルムの幅方向の一方側にずれた場合と、他方側にずれた場合とのいずれの場合に対しても、好適に対処することが可能となる。
【００２７】
上記の方法では、修正機構に対して搬送経路の上流側に、帯状ガラスフィルムにおける幅方向端部の幅方向へのずれを検出する検出器を設け、検出器による検出結果に基づいて送り経路を変化させることが好ましい。
【００２８】
このようにすれば、帯状ガラスフィルムに発生しているずれの程度を的確に検出できると共に、検出結果に基づいて搬送部による帯状ガラスフィルムの送り経路を変化させるため、ずれの程度に応じた適切な対処が可能となる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、帯状ガラスフィルムを搬送する際に、その本来の搬送経路に対する実際の通過経路のずれを修正するにあたり、帯状ガラスフィルムの破損を防止することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの製造方法の概略を示す側面図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に用いる修正機構を示す平面図である。
【図３】（ａ）は本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に用いる修正機構を示す側面図であり、（ｂ）は平面図である。
【図４】本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの製造方法における修正工程を示す平面図である。
【図５】本発明の第二実施形態に係るガラスフィルムの製造方法の概略を示す側面図である。
【図６】本発明の第三実施形態に係るガラスフィルムの製造方法の概略を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法について、添付の図面を参照しながら説明する。
【００３２】
＜第一実施形態＞
図１に示すように、第一実施形態に係るガラスフィルムの製造方法では、ロール・トゥ・ロールの方式を利用して、ガラスフィルムの元となる帯状ガラスフィルム１を複数の搬送ローラー２および吸着コンベア３により長手方向に沿って搬送する。
【００３３】
そして、帯状ガラスフィルム１に対して搬送経路の上流側から順番に巻出工程Ｐ１、切断工程Ｐ２、洗浄工程Ｐ３、濯ぎ工程Ｐ４、液切工程Ｐ５、乾燥工程Ｐ６、修正工程Ｐ７、検査工程Ｐ８、巻取工程Ｐ９を実行する。なお、これらの工程のうち、切断工程Ｐ２〜検査工程Ｐ８までの各工程は、搬送経路上で帯状ガラスフィルム１が平置き姿勢（水平姿勢）で搬送される区間にて実行する。
【００３４】
帯状ガラスフィルム１は、３００μｍ以下の厚みに形成されており可撓性を有する。この帯状ガラスフィルム１では、搬送中に搬送ローラー２および吸着コンベア３と非接触となる表面１ａ（上面）が保証面であり、両者２，３と接触する裏面１ｂ（下面）が非保証面である。また、帯状ガラスフィルム１は、切断工程Ｐ２の実行前の時点において、後に製品となる有効部１ｘを幅方向中央部に有し、製品には不要となる不要部１ｙを幅方向両端部の各々に有している。
【００３５】
本実施形態では、複数の搬送ローラー２の中に、駆動ローラーとフリーローラーとを混在させている。複数の搬送ローラー２に含まれる駆動ローラーの数は、帯状ガラスフィルム１の搬送条件に応じて適宜増減させてよい。なお、本実施形態の変形例として、複数の搬送ローラー２に代えて、複数のコンベアを用いて帯状ガラスフィルム１を搬送するようにしてもよい。
【００３６】
巻出工程Ｐ１は、第一ガラスロール４から帯状ガラスフィルム１を巻き出す工程である。
【００３７】
巻出工程Ｐ１では、帯状ガラスフィルム１と帯状保護シート５とが重ね合わされた状態で巻芯６の周りにロール状に巻き取られてなる第一ガラスロール４から、帯状ガラスフィルム１および帯状保護シート５を連続的に巻き出すと共に、両者１，５を相互に分離させる。分離後の帯状ガラスフィルム１は、搬送経路の下流側の切断工程Ｐ２に送る。一方で、分離後の帯状保護シート５は、再びロール状に巻き取って第一シートロール７とする。
【００３８】
搬送経路上で第一ガラスロール４の直下流には、搬送中の帯状ガラスフィルム１における幅方向端部の位置を検出する第一検出器８が配置されている。そして、第一検出器８が検出した幅方向端部の位置が許容範囲を超えて幅方向一方側にずれている場合には、ずれを修正するべく巻芯６が幅方向他方側に移動する。
【００３９】
切断工程Ｐ２は、巻出工程Ｐ１で巻き出した帯状ガラスフィルム１をレーザー割断法により長手方向に沿って切断することで、帯状ガラスフィルム１から不要部１ｙを分断する工程である。
【００４０】
切断工程Ｐ２では、搬送経路の上方に配置した切断器９により、帯状ガラスフィルム１の有効部１ｘと不要部１ｙとの境界線に沿ってレーザーＬを照射すると共に、照射に伴って加熱された箇所に向けて冷媒Ｃ（例えばミスト水）を噴射する。これにより、帯状ガラスフィルム１が連続的に切断されて不要部１ｙが分断されていく。分断後の不要部１ｙは、搬送経路から離脱させて廃棄する。なお、本実施形態の変形例として、レーザー割断法に代えて、レーザー溶断法により切断を行ってもよい。この切断工程Ｐ２の実行後には、有効部１ｘのみでなる帯状ガラスフィルム１を搬送経路の下流側に送る。
【００４１】
洗浄工程Ｐ３は、切断工程Ｐ２の実行後における帯状ガラスフィルム１（有効部１ｘ）について、その表裏面１ａ，１ｂを洗浄液、及び、ブラシローラー１０により洗浄する工程である。
【００４２】
洗浄工程Ｐ３では、洗浄液として、例えば純水や洗剤を混ぜた水等を使用する。洗浄液は、帯状ガラスフィルム１の表面１ａ側および裏面１ｂ側の各々において、搬送経路に沿って配置された複数の供給ノズル１１から表裏面１ａ，１ｂに供給する。ブラシローラー１０は、帯状ガラスフィルム１を厚み方向に挟んで対（本実施形態では二対）となるように配置されており、回転に伴って帯状ガラスフィルム１の表面１ａおよび裏面１ｂの全幅を洗浄する。
【００４３】
濯ぎ工程Ｐ４は、洗浄工程Ｐ３で洗浄した帯状ガラスフィルム１の表裏面１ａ，１ｂをリンス液により濯ぐ工程である。
【００４４】
濯ぎ工程Ｐ４では、リンス液として、例えば純水等を使用する。リンス液は、洗浄工程Ｐ３と同様にして、帯状ガラスフィルム１の表面１ａ側および裏面１ｂ側の各々において、搬送経路に沿って配置された供給ノズル１２から表裏面１ａ，１ｂに供給する。
【００４５】
液切工程Ｐ５は、濯ぎ工程Ｐ４の実行後における帯状ガラスフィルム１について、これに残留した洗浄液やリンス液をガスの噴射により液切りする工程である。
【００４６】
液切工程Ｐ５では、帯状ガラスフィルム１の表面１ａ側および裏面１ｂ側の各々において、搬送経路に沿って配置されたエアーナイフ１３から、表裏面１ａ，１ｂに向けてガス（例えば空気等）を噴射する。これにより、帯状ガラスフィルム１の表裏面１ａ，１ｂに残留した洗浄液やリンス液をガスの圧力により除去する。
【００４７】
乾燥工程Ｐ６は、液切工程Ｐ５で液切りされた帯状ガラスフィルム１を乾燥させる工程である。
【００４８】
乾燥工程Ｐ６では、帯状ガラスフィルム１の表面１ａ側および裏面１ｂ側の各々において、搬送経路に沿って配置されたドライヤー１４により、帯状ガラスフィルム１の表裏面１ａ，１ｂを乾燥させる。
【００４９】
修正工程Ｐ７の実行には、吸着コンベア３を備えた修正機構１５と、搬送経路上で吸着コンベア３の直上流に配置された第二検出器１６とを用いる。
【００５０】
図２に示すように、吸着コンベア３は、多数の吸着用孔３ｘが形成されたベルト３ａを備えており、ベルト３ａの内周側に配置された負圧発生機構の稼働に伴って、ベルト３ａの表面に帯状ガラスフィルム１を吸着した状態で搬送することが可能である。これにより、吸着コンベア３は、帯状ガラスフィルム１を搬送面（本実施形態ではベルト３ａの表面）に固定保持した状態で搬送する搬送部として機能する。
【００５１】
ここで、吸着コンベア３は、本実施形態のように帯状ガラスフィルム１の幅方向における一部の領域のみを吸着するものであってもよいし、本実施形態の変形例として、帯状ガラスフィルム１の幅方向における全幅を吸着するものであってもよい。
【００５２】
吸着コンベア３と、搬送経路上で吸着コンベア３の上流側に隣接した第一搬送機構としての搬送ローラー２ａと、下流側に隣接した第二搬送機構としての搬送ローラー２ｂとの三者の搬送面は、同一高さに位置している。また、これら三者の搬送面は、帯状ガラスフィルム１の同一面側（裏面１ｂ側）に位置している。なお、両搬送ローラー２ａ，２ｂにおける搬送面とは、これらローラーの外周面における頂部である。
【００５３】
吸着コンベア３は、搬送面に対して鉛直に延びる（本実施形態では上下方向に延びる）回転軸線Ｚを中心として、図２に白抜き矢印で示すように、首振り動作を行うことが可能である。この首振り動作に伴って、吸着コンベア３による帯状ガラスフィルム１の送り経路Ｓが変化する。回転軸線Ｚは、吸着コンベア３における送り方向の上流側端部に位置し、且つ、帯状ガラスフィルム１の幅方向に沿う方向の中央部に位置している。
【００５４】
ここで、本実施形態の変形例として、回転軸線Ｚの位置を帯状ガラスフィルム１の搬送経路に沿って変更してもよい。一例として、本実施形態での位置である吸着コンベア３における送り方向の上流側端部に代えて、送り方向の中央部（吸着コンベア３における搬送面の中心）に回転軸線Ｚを位置させてもよい。また、吸着コンベア３よりも上流側に回転軸線Ｚを位置させてもよい。
【００５５】
吸着コンベア３は、帯状ガラスフィルム１の幅方向一方側および他方側にそれぞれ同じ角度θの分だけ首振り動作が可能である。勿論、本実施形態の変形例として、幅方向一方側と他方側とで角度θの大きさが異なっていてもよい。角度θの大きさとしては、１．０°以下が好ましく、０．５°以下がより好ましく、０．１°以下が最も好ましい。また、図２に示した寸法Ｄは、吸着コンベア３が角度θの分だけ首振り動作を行った場合に、当該吸着コンベア３の通過の前後で帯状ガラスフィルム１が幅方向にずれる距離に等しく、寸法Ｄは、１０．０ｍｍ以下が好ましく、５．０ｍｍ以下がより好ましく、１．０ｍｍ以下が最も好ましい。
【００５６】
図３（ａ），（ｂ）に示すように、修正機構１５は、ガイドレール１７ａが設置された土台１７と、上下方向に延びた状態で土台１７に固定された棒体１８と、ガイドレール１７ａに沿って移動するガイド１９ａを有し、且つ、当該ガイド１９ａの移動に伴って棒体１８を中心として揺動する揺動部材１９とを備えている。これらの要素により吸着コンベア３の首振り動作を実現している。
【００５７】
土台１７は、揺動部材１９を下方から支持すると共に、平面視で揺動部材１９よりも一回り大きく形成されている。このため、図３（ｂ）に白抜き矢印で示すように、揺動部材１９が揺動した場合でも、揺動部材１９が土台１７から食み出ないようになっている。ガイドレール１７ａは、平面視で棒体１８を中心とする円弧をなしている。
【００５８】
棒体１８は、図示省略の固定のための機構（例えばネジ機構等）により土台１７に固定されている。この棒体１８は、吸着コンベア３の送り方向における上流側端部の真下に位置しており、当該棒体１８の中心軸線が回転軸線Ｚと一致している。
【００５９】
揺動部材１９には、棒体１８と嵌り合う貫通孔１９ｂが形成されている。また、揺動部材１９は、連結部材２０を介して吸着コンベア３を下方から支持している（図３（ｂ）では両者３，２０の図示は省略）。これにより、ガイド１９ａがガイドレール１７ａに沿って移動すると、これに伴って揺動部材１９が揺動すると共に、揺動部材１９に支持された状態の吸着コンベア３が首振り動作を行う。
【００６０】
図２に示すように、上記の第二検出器１６は、搬送経路上の搬送ローラー２ａと吸着コンベア３との相互間（図２の円Ｔで囲って示す箇所）にて、帯状ガラスフィルム１における幅方向端部の幅方向へのずれを検出することが可能である。そして、第二検出器１６による検出結果に基づいて、ずれが許容範囲を超えている場合には、ずれを修正するべく吸着コンベア３に首振り動作を行わせ、吸着コンベア３による帯状ガラスフィルム１の送り経路Ｓを変化させる構成となっている。
【００６１】
ここで、本実施形態の変形例として、第二検出器１６が幅方向端部のずれを検出する位置を変更してもよい。一例として、搬送経路上の吸着コンベア３と搬送ローラー２ｂとの相互間にて、帯状ガラスフィルム１における幅方向端部の幅方向へのずれを検出するようにしてもよい。
【００６２】
図４に示すように、修正工程Ｐ７は、帯状ガラスフィルム１を搬送しつつ、帯状ガラスフィルム１の本来の搬送経路Ｒ１に対する実際の通過経路Ｒ２のずれを修正する工程である。なお、「本来の搬送経路Ｒ１」とは、搬送中の帯状ガラスフィルム１に蛇行や斜行が発生しなかった場合に、帯状ガラスフィルム１が通過する経路を意味する。
【００６３】
以下、修正工程Ｐ７を実行する際の具体的な流れについて説明する。なお、修正工程Ｐ７は、搬送中の帯状ガラスフィルム１に蛇行や斜行が発生した結果、両経路Ｒ１，Ｒ２の間にずれが生じ、これに伴って帯状ガラスフィルム１の幅方向端部の幅方向へのずれが許容範囲を超えた場合にのみ実行する。すなわち、蛇行や斜行が全く発生していない場合や、発生した場合でも幅方向端部の幅方向へのずれが許容範囲内である場合には、修正工程Ｐ７は実行しない。ここで、上記の許容範囲は任意に設定してよい。
【００６４】
まず、帯状ガラスフィルム１に蛇行や斜行が全く発生しておらず、本来の搬送経路Ｒ１を帯状ガラスフィルム１が通過している場合（本来の搬送経路Ｒ１と実際の通過経路Ｒ２とが一致している場合）には、吸着コンベア３は首振り動作を行わない。従って、吸着コンベア３による帯状ガラスフィルム１の送り経路Ｓは、図４に二点鎖線で示すように、本来の搬送経路Ｒ１と平行な状態にある。
【００６５】
その後、帯状ガラスフィルム１に蛇行、或いは、斜行が発生し、帯状ガラスフィルム１の本来の搬送経路Ｒ１に対して実際の通過経路Ｒ２がずれたとする。この場合においても、帯状ガラスフィルム１における幅方向端部の幅方向へのずれが許容範囲内であれば、依然として、吸着コンベア３による帯状ガラスフィルム１の送り経路Ｓは、図４に二点鎖線で示すように、本来の搬送経路Ｒ１と平行な状態に維持される。
【００６６】
その後、帯状ガラスフィルム１の蛇行や斜行が悪化し、幅方向端部の幅方向へのずれが許容範囲を超えたとする。この場合には修正工程Ｐ７を実行し、吸着コンベア３に首振り動作を行わせる。これにより、帯状ガラスフィルム１の本来の搬送経路Ｒ１に対する実際の通過経路Ｒ２のずれを修正する。具体的には、幅方向端部の幅方向一方側へのずれが許容範囲を超えた場合、吸着コンベア３は幅方向他方側に首振り動作を行う。そして、帯状ガラスフィルム１の送り経路Ｓを、図４に実線で示すように、幅方向他方側に傾くように変化させる。これにより、次第にずれが修正されていく。
【００６７】
最後に、修正工程Ｐ７を実行した結果、帯状ガラスフィルム１における幅方向端部の幅方向へのずれが許容範囲内にまで回復すれば、吸着コンベア３は、帯状ガラスフィルム１の送り経路Ｓを本来の搬送経路Ｒ１と平行な状態に復帰させる。なお、帯状ガラスフィルム１の蛇行や斜行により、再び幅方向端部の幅方向へのずれが許容範囲を超えた場合には、同様にして再び修正工程Ｐ７を実行する。
【００６８】
ここで、本実施形態の変形例として、搬送経路上に複数の修正機構１５（吸着コンベア３）および第二検出器１６を配置し、搬送経路上の複数箇所で修正工程Ｐ７を実行するようにしてもよい。
【００６９】
図１に示すように、検査工程Ｐ８は、帯状ガラスフィルム１における欠陥（帯状ガラスフィルム１に混入した異物等）の有無を検査する工程である。
【００７０】
検査工程Ｐ８では、搬送経路の上方に配置したカメラ２１の視野内を帯状ガラスフィルム１を通過させながら、欠陥の有無を連続的に検査していく。
【００７１】
巻取工程Ｐ９は、検査後の帯状ガラスフィルム１を巻き取って第二ガラスロール２２とする工程である。
【００７２】
巻取工程Ｐ９では、検査後の帯状ガラスフィルム１と、第二シートロール２３から巻き出した帯状保護シート２４とを重ね合わせた状態で、巻芯２５の周りにロール状に連続的に巻き取ることで、第二ガラスロール２２とする。
【００７３】
なお、巻取工程Ｐ９では、巻きずれ防止機構（図示省略）により、巻芯２５の周りに巻き取られる帯状ガラスフィルム１の巻きずれを防止する。この巻きずれ防止機構は巻芯２５を帯状ガラスフィルム１の幅方向に沿って移動させることが可能である。また、当該機構は巻芯２５の移動と一体に移動する検出器（図示省略）を備えており、この検出器が巻き取られる帯状ガラスフィルム１の幅方向端部の位置を検出する構成となっている。そして、検出器が検出した幅方向端部の位置が許容範囲を超えて幅方向一方側にずれている場合には、ずれに合わせて巻芯２５が幅方向一方側（ずれた側）に移動することで巻きずれを防止する。
【００７４】
以下、上記のガラスフィルムの製造方法による主たる作用・効果について説明する。
【００７５】
上記の製造方法では、吸着コンベア３が帯状ガラスフィルム１を搬送面に吸着した状態で搬送することが可能である。そして、この状態の吸着コンベア３が帯状ガラスフィルム１の送り経路Ｓを変化させることで、当該帯状ガラスフィルム１の本来の搬送経路Ｒ１に対する実際の通過経路Ｒ２のずれが修正される。このとおり、ずれを修正するにあたって帯状ガラスフィルム１を大きな曲率で湾曲させるような必要性を好適に排除できることから、帯状ガラスフィルム１が破損するような事態の発生を防止できる。
【００７６】
以下、本発明の他の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法について説明する。なお、他の実施形態の説明において、上記の第一実施形態で説明済みの要素と実質的に同一の要素については、他の実施形態の説明で参照する図面に同一符号を付すことで重複する説明を省略し、第一実施形態との相違点についてのみ説明する。
【００７７】
＜第二実施形態＞
図５に示すように、第二実施形態に係るガラスフィルムの製造方法が、上記の第一実施形態と相違している点は、搬送経路上で修正機構１５（吸着コンベア３）を基準として上流側が上り勾配、下流側が下り勾配になっている点である。これにより、両搬送ローラー２ａ，２ｂの搬送面よりも吸着コンベア３の搬送面が高い位置に存在している。なお、図５においては、修正工程Ｐ７の実行に用いる要素以外の図示を一部省略している。
【００７８】
＜第三実施形態＞
図６に示すように、第三実施形態に係るガラスフィルムの製造方法が、上記の第一実施形態と相違している点は、搬送経路上で修正機構１５を基準として上流側が上り勾配、下流側が下り勾配になっている点と、吸着コンベア３に代えて、搬送部としてサクションローラー２６が配置されている点である。なお、図６においては、修正工程Ｐ７の実行に用いる要素以外の図示を一部省略している。
【００７９】
サクションローラー２６は、帯状ガラスフィルム１の幅方向に沿う方向に回転軸が延びると共に、外周面に多数の吸着用孔（図示省略）が形成されている。このサクションローラー２６は、内部に配置された負圧発生機構の稼働に伴って、外周面に帯状ガラスフィルム１を吸着した状態で搬送することが可能である。
【００８０】
サクションローラー２６は、搬送面（サクションローラー２６の外周面における頂部）に対して鉛直に延びる（本実施形態では上下方向に延びる）回転軸線Ｚを中心として、首振り動作を行うことが可能である。そして、首振り動作に伴ってサクションローラー２６による帯状ガラスフィルム１の送り経路Ｓが変化する。
【００８１】
ここで、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、上記の実施形態で説明した態様に限定されるものではない。例えば、上記の実施形態では、ロール・トゥ・ロールの方式を利用して帯状ガラスフィルムを搬送する態様の下で修正工程を実行しているが、この限りではない。例えば、ダウンドロー法（一例として、オーバーフローダウンドロー法）により成形した帯状ガラスフィルムを搬送した後でロール状に巻き取ってガラスロールとする態様の下で修正工程を実行してもよい。
【００８２】
また、上記の第一実施形態および第二実施形態では、搬送部として吸着コンベアを用いており、第三実施形態では、搬送部としてサクションローラーを用いているが、これに限定されるものではない。搬送部として帯状ガラスフィルムを表裏両側から挟んだ状態で搬送するニップローラーを用いてもよい。そして、ニップローラーによる帯状ガラスフィルムの送り経路を変化させることで、修正工程を実行してもよい。
【００８３】
さらに、上記の各実施形態では、吸着コンベア、或いは、サクションローラーに首振り動作を行わせることで、帯状ガラスフィルムの送り経路を変化させているが、この限りではない。例えば、吸着コンベア、或いは、サクションローラーを帯状ガラスフィルムの幅方向に沿う方向に移動させることで、帯状ガラスフィルムの送り経路を変化させてもよい。
【符号の説明】
【００８４】
１          帯状ガラスフィルム
２ａ        搬送ローラー
２ｂ        搬送ローラー
３          吸着コンベア
１５        修正機構
１６        第二検出器
Ｐ７        修正工程
Ｒ１        本来の搬送経路
Ｒ２        実際の通過経路
Ｓ          送り経路
Ｚ          回転軸線
【図１】
2020040745.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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