(57)【要約】【課題】インダクタンス及び抵抗が不明なモータのインダクタンス及び抵抗を推定する機能を有するモータ制御装置を提供する。【解決手段】モータ制御装置は、入力される電圧指令に応じた電圧をモータに印加する電力変換器と、入力される電流指令で指定される電流値とモータの駆動電流の電流値とが一致するように、モータの駆動電流の電流値の検出結果を用いて電力変換器に入力される電圧指令を算出する電流制御器と、モータの電気的時定数に基づきモータ定数算出用周波数を特定し、モータ定数算出用周波数の正弦波を生成して電流指令として電流制御器に入力する電流指令生成部と、電流指令生成部により正弦波が電流指令として電流制御器に入力されている間における電圧指令、モータの駆動電流の電流値を、それぞれ、入力、出力とした周波数応答を求め、求めた周波数応答からモータの抵抗及びインダクタンスを算出するモータ定数算出部とを備える。【選択図】図２
2020010433.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータを制御するモータ制御装置であって、
入力される電圧指令に応じた電圧を前記モータに印加する電力変換器と、
入力される電流指令で指定される電流値と前記モータの駆動電流の電流値とが一致するように、前記モータの駆動電流の電流値の検出結果を用いて前記電力変換器に入力される電圧指令を算出する電流制御器と、
前記モータの電気的時定数に基づきモータ定数算出用周波数を特定し、前記モータ定数算出用周波数の正弦波を生成して前記電流指令として前記電流制御器に入力する電流指令生成部と、
前記電流指令生成部により前記正弦波が前記電流指令として前記電流制御器に入力されている間における前記電圧指令、前記モータの駆動電流の電流値を、それぞれ、入力、出力とした周波数応答を求め、求めた周波数応答から前記モータの抵抗及びインダクタンスを算出するモータ定数算出部と、
を備えることを特徴とするモータ制御装置。
【請求項２】
前記電流指令生成部は、前記モータの電気的時定数の逆数を前記モータ定数算出用周波数として特定する、
ことを特徴とする請求項１に記載のモータ制御装置。
【請求項３】
前記電流指令生成部は、前記電力変換器と前記電流制御器とを含む電流制御ループの周波数帯域を、前記モータ定数算出用周波数よりも低くしてから、前記モータ定数算出用周波数の正弦波を生成して前記電流指令として前記電流制御器に入力する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のモータ制御装置。
【請求項４】
前記電流指令生成部は、前記モータ定数算出用周波数の、振幅が互いに異なる複数の正弦波を１つずつ前記電流指令として前記電流制御器に入力し、
前記モータ定数算出部は、前記複数の正弦波のそれぞれについて、前記モータの抵抗及びインダクタンスを算出する、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のモータ制御装置。
【請求項５】
前記モータの仕様によらず前記モータに過度の電流が流れない電圧として予め定められた規定電圧以下の電圧が前記モータに印加されることになる電流指令の前記電流制御器への入力により、前記電圧指令、前記モータの駆動電流の電流値を、それぞれ、入力、出力とした所定周波数範囲内の周波数応答を求め、求めた周波数応答から前記モータの電気的時定数を推定する推定部を、さらに、備え、
前記電流指令生成部は、前記推定部により推定された前記モータの電気的時定数に基づき前記モータ定数算出用周波数を特定する、
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のモータ制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータ制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
モータを、モータ制御装置で良好に制御するためには、当該モータのモータ定数（インダクタンス、抵抗等）が必要とされる。また、モータのモータ定数は、モータの温度やモータを流れる電流により変化する。そのため、モータ定数を推定するための様々な技術が開発されている。例えば、ｄ軸とｑ軸にパルス電圧を印可したときの各種電圧及び電流から、モータ抵抗を既知として、モータを流れる電流に応じたｄ軸及びｑ軸インダクタンスを推定する技術（例えば、特許文献１参照）が開発されている。また、ｄ軸及びｑ軸電流指令に高周波成分を重畳したときの各種電圧及び電流から、モータを流れる電流及びモータの温度に応じたｄ軸及びｑ軸インダクタンスを推定する技術（例えば、特許文献２参照）も開発されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−６９７８２号公報
【特許文献２】特開平９−２８１９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
所定状態にあるモータのモータ定数が既知の場合、当該モータ定数に応じた設定をモータ制御装置に対して行った上で上記のような技術によりモータ定数を補正すれば、モータをより良好に制御することが可能となる。ただし、モータ制御装置により制御するモータのモータ定数（インダクタンス及び抵抗）が全く分からない場合もある。そして、モータのモータ定数が不明であると、モータのモータ定数を推定するための煩雑な作業を行う必要が生ずる。
【０００５】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、インダクタンス及び抵抗が不明なモータのインダクタンス及び抵抗を推定する機能を有するモータ制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一観点に係る、モータを制御するモータ制御装置は、入力される電圧指令に応じた電圧を前記モータに印加する電力変換器と、入力される電流指令で指定される電流値と前記モータの駆動電流の電流値とが一致するように、前記モータの駆動電流の電流値の検出結果を用いて前記電力変換器に入力される電圧指令を算出する電流制御器と、前記モータの電気的時定数に基づきモータ定数算出用周波数を特定し、前記モータ定数算出用周波数の正弦波を生成して前記電流指令として前記電流制御器に入力する電流指令生成部と、前記電流指令生成部により前記正弦波が前記電流指令として前記電流制御器に入力されている間における前記電圧指令、前記モータの駆動電流の電流値を、それぞれ、入力、出力とした周波数応答を求め、求めた周波数応答から前記モータの抵抗及びインダクタンスを算出するモータ定数算出部と、を備える。
【０００７】
すなわち、モータの抵抗及びインダクタンスは、基本的には、正弦波が電流指令として電流制御器に入力されている間における電圧指令、モータの駆動電流の電流値を、それぞれ、入力、出力とした周波数応答から求めることが出来るが、電流指令として電流制御器
に入力されている正弦波の周波数が過度に低いと、インダクタンスの算出精度（推定精度）が悪くなる。また、当該正弦波の周波数が過度に高いと、抵抗の算出精度（推定精度）が悪くなるが、モータの抵抗及びインダクタンスを算出するための周波数応答を求める際、モータ制御装置では、モータの電気的時定数に基づき特定されたモータ定数算出用周波数の正弦波が電流指令として電流制御器に入力される。従って、このモータ制御装置によれば、インダクタンス及び抵抗が不明なモータのインダクタンス及び抵抗を正確に推定（算出）することが出来る。
【０００８】
モータ制御装置の電流指令生成部は、前記モータの電気的時定数の逆数を前記モータ定数算出用周波数として特定しても良い。また、電流指令生成部は、モータの電気的時定数の逆数近傍の周波数（例えば、電気的時定数の逆数を含む所定周波数範囲内の値）をモータ定数算出用周波数として特定しても良い。
【０００９】
電流制御ループのフィードバック制御の影響により、モータのインダクタンス及び抵抗の同定精度が悪くなることを防止するために、モータ制御装置に、『前記電流指令生成部は、前記電力変換器と前記電流制御器とを含む電流制御ループの周波数帯域を、前記モータ定数算出用周波数よりも低くしてから、前記モータ定数算出用周波数の正弦波を生成して前記電流指令として前記電流制御器に入力する』構成を採用しておいても良い。
【００１０】
各種駆動電流におけるモータの抵抗及びインダクタンスを得られるようにするために、モータ制御装置に、『前記電流指令生成部は、前記モータ定数算出用周波数の、振幅が互いに異なる複数の正弦波を１つずつ前記電流指令として前記電流制御器に入力し、
前記モータ定数算出部は、前記複数の正弦波のそれぞれについて、前記モータの抵抗及びインダクタンスを算出する』構成を採用しても良い。
【００１１】
また、モータ制御装置に、『前記モータの仕様によらず前記モータに過度の電流が流れない電圧として予め定められた規定電圧以下の電圧が前記モータに印加されることになる電流指令の前記電流制御器への入力により、前記電圧指令、前記モータの駆動電流の電流値を、それぞれ、入力、出力とした所定周波数範囲内の周波数応答を求め、求めた周波数応答から前記モータの電気的時定数を推定する推定部を、さらに、備え、前記電流指令生成部は、前記推定部により推定された前記モータの電気的時定数に基づき前記モータ定数算出用周波数を特定する』構成を採用しても良い。この構成を採用しておけば、電気的時定数、インダクタンス及び抵抗が不明なモータのインダクタンス及び抵抗を推定することが可能となる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、インダクタンス及び抵抗が不明なモータのインダクタンス及び抵抗を推定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係るモータ制御装置のモータ制御機能の説明図である。
【図２】図２は、実施形態に係るモータ制御装置のモータ定数算出機能の説明図である。
【図３】図３は、電圧指令、検出電流を、それぞれ、入力、出力とした場合のゲイン線図である。
【図４】図４は、電流制御ループのボード線図である。
【図５】図５は、インダクタンスの電流依存性の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態を説明する。
【００１５】
図１、図２に、それぞれ、本発明の一実施形態に係るモータ制御装置１０のモータ制御機能、モータ定数算出機能の説明図を示す。
【００１６】
本実施形態に係るモータ制御装置１０は、機械３１と接続されたＡＣサーボモータ（以下、単にモータと表記する）３０を制御するための装置（図１）に、モータ３０のインダクダンス及び抵抗を算出する機能（図２）を追加した装置である。
【００１７】
まず、モータ制御装置１０のモータ制御機能について説明する。図１に示してあるように、モータ３０を制御する場合、モータ制御装置１０は、位置制御器１１、速度制御器１２、電流制御器１３、電力変換器１４、電流検出器１５及び速度演算器１６を備えた装置として動作する。図１に示してある各部は、以下のように動作するユニットである。
【００１８】
位置制御器１１は、ＰＬＣ等の上位装置（図示略）から入力された位置指令と、モータ３０に取り付けられている位置検出器３２により検出されたモータ３０の位置（以下、検出位置）との偏差に、位置比例ゲインを乗ずることで速度指令を算出する。速度演算器１６は、検出位置を時間微分することにより速度（以下、検出速度と表記する）を算出する。
【００１９】
速度制御器１２は、位置制御器１１により算出された速度指令と検出速度との偏差の積分量に速度積分ゲインを乗じ、その算出結果と当該速度偏差の和に速度比例ゲインを乗ずることにより、電流指令を算出する。
【００２０】
電流制御器１３は、速度制御器１２により算出された電流指令と、電流検出器１５により検出されるモータ３０を実際に流れる電流の大きさ（以下、検出電流と表記する）との偏差に応じた電圧指令を生成する。この電流制御器１３としては、通常、ＰＩ制御器が使用される。電力変換器１４は、電流制御器１３からの電圧指令を増幅してモータ３０に印加するユニットである。
【００２１】
以下、モータ制御装置１０が有しているモータ定数算出機能について説明する。
上記したように、モータ制御装置１０は、モータ３０の制御時に、電流制御を行う装置となっている。高精度な電流制御を行うためには、モータ３０の抵抗とインダクタンスの正確な値が必要とされるが、モータ３０の抵抗及びインダクタンスが全く分からない場合もある。そのような場合に、モータ３０の抵抗及びインダクタンスを求めるために使用される機能がモータ定数算出機能である。
【００２２】
図２に示してあるように、モータ制御装置１０のモータ定数算出機能は、電流指令生成部２１とＲＬ算出部２２とを含むモータ定数推定部２０と、電流制御器１３と電力変換器１４と電流検出器１５とにより実現されている。
【００２３】
モータ定数推定部２０は、動作モードとして、第１動作モード〜第３動作モードを有している。以下、各モードでのモータ定数推定部２０の動作を説明する。
【００２４】
〔第１動作モード〕
第１動作モードは、モータ３０の電気的時定数が分かっている場合にユーザが利用できるモードである。
第１動作モードでモータ定数推定部２０を動作させる場合、ユーザは、モータ制御装置１０と接続されている上位装置に対して、モータ３０の電気的時定数の入力操作を含む所定の操作（以下、第１操作と表記する）を行う。第１操作が行われると、上位装置からモ
ータ定数推定部２０に、ユーザにより入力された電気的時定数が通知されて、モータ定数推定部２０が第１動作モードでの動作を開始する。
【００２５】
モータ定数推定部２０が第１動作モードでの動作を開始すると、電流指令生成部２１は、ユーザにより入力された電気的時定数の逆数をモータ定数算出用周波数として算出する。次いで、電流指令生成部２１は、電流制御器１３等からなる電流制御ループの現在の帯域周波数がモータ定数算出用周波数以上であるか否かを判断する。
【００２６】
電流指令生成部２１は、電流制御ループの現在の帯域周波数がモータ定数算出用周波数以上であった場合には、電流制御ループの帯域周波数がモータ定数算出用周波数よりも低くなるように、電流制御器１３の制御パラメータ（ＰＩゲイン）を変更する。その後、電流指令生成部２１は、モータ定数算出用周波数の、所定振幅の正弦波を、所定時間の間、電流指令として電流制御ループに入力する電流指令入力処理を行う。なお、正弦波を、電流制御ループに入力するとは、正弦波を、電流制御器１３の前段の差分器に入力するということである。
【００２７】
一方、電流制御ループの現在の帯域周波数がモータ定数算出用周波数よりも低かった場合、電流指令生成部２１は、電流制御器１３の制御パラメータを変更することなく、上記電流指令入力処理を行う。
【００２８】
電流指令生成部２１が上記電流指令入力処理を行っている間、ＲＬ算出部２２は、電圧指令と検出電流とを収集する。電流指令入力処理が完了すると、ＲＬ算出部２２は、収集した情報に基づき、電圧指令、検出電流を、それぞれ、入力、出力とした周波数応答を求める。次いで、ＲＬ算出部２２は、求めた周波数応答からモータ３０の抵抗Ｒ及びインダクタンスＬを以下の（１）、（２）式により算出する。
【００２９】
【数１】
2020010433.tif 000003
ここで、ωは、モータ定数算出用周波数であり、Ｐ（ω）、Ｇ（ω）は、は、それぞれ、上記周波数応答として求められるゲイン、位相である。なお、上記（１）、（２）式は、以下のモータモデルを仮定することで得られるものである。
【００３０】
【数２】
2020010433.tif 000004
【００３１】
ＲＬ算出部２２によるモータ３０の抵抗及びインダクタンスの算出が完了すると、モータ定数推定部２０は、算出された抵抗及びインダクタンスを処理結果として上位装置に送信してから、第１動作モードでの動作を終了する。
【００３２】
［第２動作モード］
第２動作モードも、モータ３０の電気的時定数が分かっている場合にユーザが利用できるモードである。
【００３３】
第２動作モードでモータ定数推定部２０を動作させる場合、ユーザは、上位装置に対して、モータ３０の電気的時定数と１つ以上の駆動電流指定値の入力操作を含む所定の操作（以下、第２操作と表記する）を行う。第２操作が行われると、上位装置からモータ定数推定部２０に、ユーザにより入力された各値が通知されて、モータ定数推定部２０が第２動作モードでの動作を開始する。
【００３４】
モータ定数推定部２０が第２動作モードでの動作を開始すると、電流指令生成部２１は、ユーザにより入力された電気的時定数の逆数をモータ定数算出用周波数として算出する。次いで、電流指令生成部２１は、電流制御器１３等からなる電流制御ループの現在の帯域周波数がモータ定数算出用周波数以上であるか否かを判断する。そして、電流指令生成部２１は、電流制御ループの現在の帯域周波数がモータ定数算出用周波数以上であった場合に限り、電流制御ループの帯域周波数をモータ定数算出用周波数よりも低くなるように、電流制御器１３の制御パラメータを変更する。
【００３５】
その後、電流指令生成部２１は、ユーザにより入力された駆動電流指定値毎に、モータ定数算出用周波数の正弦波であって、その振幅を、モータを流れる電流の時間平均値が駆動電流指定値と一致するように定めた正弦波を、所定時間の間、電流指令として電流制御ループに入力する電流指令入力処理を行う。
【００３６】
また、第２動作モードでモータ定数推定部２０が動作している場合、ＲＬ算出部２２は、電流指令生成部２１が行う電流指令入力処理毎に、電圧指令と検出電流とを収集し、収集した情報に基づき、電圧指令、検出電流を、それぞれ、入力、出力とした周波数応答を求め、求めた周波数応答からモータ３０の抵抗及びインダクタンスを算出する。そして、モータ定数推定部２０は、全電流指令入力処理に対するＲＬ算出部２２による処理が完了したときに、ＲＬ算出部２２により算出された抵抗及びインダクタンスの各（全）ペアを処理結果として上位装置に送信してから、第２動作モードでの動作を終了する。
【００３７】
［第３動作モード］
第３動作モードは、通常、モータ３０の電気的時定数が不明である場合に利用されるモードである。
【００３８】
第３動作モードでモータ定数推定部２０を動作させる場合、ユーザは、上位装置に対して、第３動作モードでの動作の開始を指示するための所定の操作（以下、第３操作と表記する）を行う。第３操作が行われると、上位装置からモータ定数推定部２０に、第３動作モードでの動作の開始が指示されて、モータ定数推定部２０が第３動作モードでの動作を開始する。
【００３９】
モータ定数推定部２０が第３動作モードでの動作を開始すると、電流指令生成部２１及びＲＬ算出部２２により、モータ３０の仕様によらずモータ３０に過度の電流が流れない電圧として予め定められた規定電圧以下の電圧しかモータ３０に印加されない状態で、電圧指令、検出電流を、それぞれ、入力、出力とした所定周波数範囲（例えば、数Ｈｚ〜数ｋＨｚ）内の周波数応答を測定する処理が行われる。なお、上記規定電圧は、数Ｖ程度の予め定められている電圧であっても、モータ制御装置１０の電源電圧から求められる値（例えば、電源電圧×５％）であっても良い。
【００４０】
上記周波数応答の測定を終えたＲＬ算出部２２は、測定された周波数応答の幾つかの周
波数におけるゲイン及び位相から、モータ３０のインダクタンス及び抵抗を算出する。次いで、ＲＬ算出部２２は、インダクタンス及び抵抗の複数組の算出結果から、所定の処理（例えば、異常値を除去した上で平均を取るといった処理）により、１組のインダクタンス及び抵抗を算出する。そして、ＲＬ算出部２２は、当該１組のインダクタンス及び抵抗の算出結果からモータ３０の電気的時定数を算出する。
【００４１】
上記手順によるモータ３０の電気的時定数の算出が完了すると、電流指令生成部２１及びＲＬ算出部２２は、上記した第１動作モードでの電流指令生成部２１及びＲＬ算出部２２とモータ定数算出用周波数の算出に用いる電気的時定数がユーザにより入力されたものではない点のみが異なる処理を行う。そして、モータ定数推定部２０は、算出された抵抗及びインダクタンスを処理結果として上位装置に送信してから、第３動作モードでの動作を終了する。
【００４２】
以上、説明したように、本実施形態に係るモータ制御装置１０は、基本的には、正弦波が電流指令として電流制御器１３に入力されている間における電圧指令、検出電流を、それぞれ、入力、出力とした周波数応答から、モータ３０の抵抗及びインピーダンスを求める装置である。電圧指令、検出電流を、それぞれ、入力、出力とした周波数応答（ゲイン線図）は、図３に示したようなものとなる。従って、電流指令として電流制御器１３に入力される正弦波の周波数が過度に低いと、インダクタンスの算出精度（推定精度）が悪くなる。また、当該正弦波の周波数が過度に高いと、抵抗の算出精度（推定精度）が悪くなるが、モータ制御装置１０は、電流指令として電流制御器１３に入力される正弦波の周波数を、モータ３０の電気的時定数（図３におけるＴ）の逆数とするように構成されている。従って、モータ制御装置１０によるモータ３０の抵抗及びインダクタンスの算出結果は、正確なものとなる。また、算出されたモータ３０の抵抗Ｒ及びインダクタンスＬに基づき、例えば、電流制御器１３の比例ゲインＫｐ、積分ゲインＫｉを以下の値とすれば、モータ３０を良好に制御できることになる。
【００４３】
Ｋｐ=Ｗｃ×Ｌ  …（３）
Ｋｉ=Ｒ／Ｌ    …（４）
なお、（３）式におけるＷｃは、予め定められている比例係数である。
【００４４】
また、モータ制御装置１０の電流制御ループの周波数応答（ボード線図）は、図４に示したようなものとなる。そのため、“モータ定数測定用周波数＜電流制御ループの帯域周波数”が成立する場合、電流制御器１３に入力される偏差が“０”に近くなって、モータ３０の抵抗及びインダクタンスの同定精度が悪くなるが、モータ制御装置１０は、モータ定数測定用周波数以下となるように、電流制御ループの帯域周波数を変更する機能を有している。従って、モータ制御装置１０によれば、電流制御器１３に入力される偏差が“０”に近くなることによる同定精度の低下も抑止することできる。
【００４５】
また、モータ３０のインダクタンスは、図５に示したように、モータ３０を流れる電流によって変化する。モータ定数推定部２０を第２動作モードで動作させれば、各電流値におけるモータ３０のインダクタンス及び抵抗を算出（推定）することが出来る。従って、モータ制御装置１０によれば、モータ３０の駆動電流に応じて電流制御器１３のパラメータを変更するといったことも可能となる。
【００４６】
さらに、モータ制御装置１０のモータ定数推定部２０を第３動作モードで動作させれば、電気的時定数が不明なモータ３０の抵抗及びインダクタンスを推定することが出来る。また、第３動作モードでは、モータ３０に低電圧しか印加されない。従って、抵抗が低いモータ３０に過度に電流が流れてしまうといった現象の発生を防止できることにもなる。
【００４７】
《変形形態》
上記したモータ制御装置１０は、各種の変形を行えるものである。例えば、モータ制御装置１０を、モータ３０の抵抗及びインダクタンスの算出結果に基づき、電流制御器１３の制御パラメータを自動的に変更する装置に変形しても良い。なお、第２動作モードにおける抵抗及びインダクタンスの算出結果に電流制御器１３の制御パラメータを自動的に変更する場合には、各電流値について算出された抵抗及びインダクタンスを記憶したテーブルをモータ制御装置１０に追加した上で、電流値に応じて抵抗とインダクタンスの値（（３）、（４）式参照）が変更されるようにしておけば良い。
【００４８】
また、モータ定数算出用周波数は、モータ３０の電気的時定数の逆数近傍の値であれば良い。電気的時定数の逆数の範囲（区分）毎に、モータ定数算出用周波数を定めておき、電気的時定数の逆数が含まれる範囲に対応づけられているモータ定数算出用周波数が使用されるようにしておいても良い。
【００４９】
《付記》
１．  モータ（３０）を制御するモータ制御装置（１０）であって、
入力される電圧指令に応じた電圧を前記モータに印加する電力変換器（１４）と、
入力される電流指令で指定される電流値と前記モータの駆動電流の電流値とが一致するように、前記モータの駆動電流の電流値の検出結果を用いて前記電力変換器（１４）に入力される電圧指令を算出する電流制御器（１３）と、
前記モータ（３０）の電気的時定数に基づきモータ定数算出用周波数を特定し、前記モータ定数算出用周波数の正弦波を生成して前記電流指令として前記電流制御器（１３）に入力する電流指令生成部（２１）と、
前記電流指令生成部（２１）により前記正弦波が前記電流指令として前記電流制御器（１３）に入力されている間における前記電圧指令、前記モータ（３０）の駆動電流の電流値を、それぞれ、入力、出力とした周波数応答を求め、求めた周波数応答から前記モータ（３０）の抵抗及びインダクタンスを算出するモータ定数算出部（２２）と、
を備えることを特徴とするモータ制御装置（１０）。
【符号の説明】
【００５０】
１０    モータ制御装置
１１    位置制御器
１２    速度制御器
１３    電流制御器
１４    電力変換器
１５    電流検出器
１６    速度演算部
２０    モータ定数推定部
２１    電流指令生成部
２２    ＲＬ算出部
３０    ＡＣサーボモータ
３１    機械
３２    位置検出部
【図１】
2020010433.tif 000005
【図２】
2020010433.tif 000006
【図３】
2020010433.tif 000007
【図４】
2020010433.tif 000008
【図５】
2020010433.tif 000009