(57)【要約】【課題】装着ワークを面方向において均等な接着力にて被装着面に装着することができるワーク装着装置及びワーク貼合システムを提供する。【解決手段】ワーク装着装置８０は、加圧室８５ｈを有する基台８５と、加圧室８５ｈを塞ぐように基台８５に装着され、加圧室８５ｈとは反対側の面に第２ワークＷ２が設置され、弾性材料により形成される装着シート８３と、を備える。装着シート８３は、加圧室８５ｈが加圧されて膨張することにより、設置された第２ワークＷ２を微粘着シートを介してステージ部の下面に押し付ける。【選択図】図３
2020179629.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧室を有する基台と、
前記加圧室を塞ぐように前記基台に装着され、前記加圧室とは反対側の面に装着ワークが設置され、弾性材料により形成される装着シートと、を備え、
前記装着シートは、前記加圧室が加圧されて膨張することにより、設置された前記装着ワークを微粘着材を介して被装着面に押し付ける、
ワーク装着装置。
【請求項２】
前記装着シートは、
前記加圧室に接する位置に設けられ、前記加圧室が加圧されて膨張する第１ダイヤフラム膜と、
前記加圧室とは反対側の面に前記装着ワークが設置され、前記第１ダイヤフラム膜よりも前記基台から遠い位置において前記第１ダイヤフラム膜に重ねられ、膨張する前記第１ダイヤフラム膜に押されることにより前記装着ワークを前記被装着面に押し付けるように弾性変形する第２ダイヤフラム膜と、を備え、
前記第２ダイヤフラム膜は、前記装着ワークが設置される面に開口し、設置された前記装着ワークを前記第２ダイヤフラム膜に吸着するために真空状態とされる真空室を有する、
請求項１に記載のワーク装着装置。
【請求項３】
前記基台を動かす駆動部と、
前記第２ダイヤフラム膜の前記真空室を真空とする真空ポンプと、
前記基台の前記加圧室を加圧する加圧部と、
テーブルに設置された前記装着ワークに前記第２ダイヤフラム膜が対面するように前記駆動部を介して前記基台を動かした後に、前記真空ポンプを介して前記第２ダイヤフラム膜の前記真空室を真空状態とすることにより前記第２ダイヤフラム膜に前記装着ワークを吸着させるワーク吸着処理部と、
前記第２ダイヤフラム膜に吸着された前記装着ワークを前記被装着面に対面させるように前記駆動部を介して前記基台を動かした後に、前記加圧部を介して前記加圧室を加圧することにより前記装着シートを膨張させ、前記装着ワークを前記微粘着材を介して前記被装着面に押し付けるワーク装着処理部と、を備える、
請求項２に記載のワーク装着装置。
【請求項４】
請求項１から３の何れか１項に記載のワーク装着装置と、
前記ワーク装着装置により装着された前記装着ワークを被貼合ワークに貼り合わせるワーク貼合装置と、を備えたワーク貼合システムであって、
前記ワーク貼合装置は、
ダイヤフラム閉空間を有するダイヤフラムチャンバと、
前記ダイヤフラムチャンバの前記ダイヤフラム閉空間を閉じるように、前記ダイヤフラムチャンバに装着され、弾性材料により形成され、前記ダイヤフラム閉空間の加圧に伴い膨張する貼合ダイヤフラム膜と、
前記ワーク装着装置により前記装着ワークが装着される前記被装着面を有し、膨張する前記貼合ダイヤフラム膜に押されて弾性変形することにより前記装着ワークを前記被貼合ワークに向けて押すワークステージと、を備える、
ワーク貼合システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク装着装置及びワーク貼合システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、基板等の第１ワークにフィルム等の第２ワークを貼り合わせるワーク貼合装置が知られている。例えば、特許文献１に記載のワーク貼合装置は、空圧凹部を覆うダイヤフラム膜を有する可動チャンバ体と、可動チャンバ体に対向して位置し、第１ワークが装着される固定チャンバ体と、を備える。ダイヤフラム膜には通気可能な複数の通気口が形成されている。よって、空圧凹部に真空圧を作用させることにより通気口を介して第２ワークに真空圧が作用し、ダイヤフラム膜に第２ワークが吸着される。そして、可動チャンバ体と固定チャンバ体により囲まれた真空チャンバ空間が真空状態とされる。この状態から、空圧凹部の内部空間が真空状態から大気圧に急減に加圧されることにより、ダイヤフラム膜が第１ワークに向かって膨張し、第２ワークが第１ワークに押し付けられる。これにより、第２ワークが第１ワークに貼り合わされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−４９０４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１の構成では、第２ワークが空圧凹部内の真空圧によりダイヤフラム膜に吸着された状態において、真空チャンバ空間が真空状態とされる。これにより、空圧凹部内と真空チャンバ空間の圧力差が小さくなると、ダイヤフラム膜に対する第２ワークの吸着力が小さくなり、第２ワークがダイヤフラム膜から離間するおそれがある。この第２ワークの離間を抑制するため、発明者は、第２ワークとダイヤフラム膜の間に微粘着シートを設けることを検討している。ここで、微粘着シートは、第２ワークからダイヤフラム膜に向けて押し付けられた力、すなわち圧縮力に応じた接着力を発揮する。よって、第２ワークを微粘着シートを介してダイヤフラム膜に装着する場合、第２ワークをその面方向において不均等な力でダイヤフラム膜に押し当てられると、第２ワークとダイヤフラム膜の接着力にばらつきが生じる。すなわち、第２ワークとダイヤフラム膜の間において、接着力の強い部分と接着力の弱い部分が発生する。この接着力のばらつきは、第２ワークと第１ワークの貼り合わせの品質の低下を招くおそれがある。よって、第２ワーク（装着ワーク）を面方向において均等な接着力にてダイヤフラム膜に装着することが求められる。
【０００５】
本発明は、上記実状を鑑みてなされたものであり、装着ワークを面方向において均等な接着力にて被装着面に装着することができるワーク装着装置及びワーク貼合システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係るワーク装着装置は、加圧室を有する基台と、前記加圧室を塞ぐように前記基台に装着され、前記加圧室とは反対側の面に装着ワークが設置され、弾性材料により形成される装着シートと、を備え、前記装着シートは、前記加圧室が加圧されて膨張することにより、設置された前記装着ワークを微粘着材を介して被装着面に押し付ける。
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の第２の観点に係るワーク貼合システムは、前記ワーク装着装置と、前記ワーク装着装置により装着された前記装着ワークを被貼合ワークに貼り合わせるワーク貼合装置と、を備えたワーク貼合システムであって、前記ワーク貼合装置は、ダイヤフラム閉空間を有するダイヤフラムチャンバと、前記ダイヤフラムチャンバの前記ダイヤフラム閉空間を閉じるように、前記ダイヤフラムチャンバに装着され、弾性材料により形成され、前記ダイヤフラム閉空間の加圧に伴い膨張する貼合ダイヤフラム膜と、前記ワーク装着装置により前記装着ワークが装着される前記被装着面を有し、膨張する前記貼合ダイヤフラム膜に押されて弾性変形することにより前記装着ワークを前記被貼合ワークに向けて押すワークステージと、を備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ワーク装着装置及びワーク貼合システムにおいて、装着ワークを面方向において均等な接着力にて被装着面に装着することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係るワーク貼合システムの概略図である。
【図２】（ａ）は図１の範囲Ａの拡大図であり、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した拡大図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る（ａ）はワーク装着装置の概略図であり、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した拡大図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る装着シートが膨張したときのワーク装着装置の概略図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る（ａ）〜（ｅ）はワーク装着処理の各工程を示す概略図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るワーク装着処理を示すフローチャートである。
【図７】本発明の一実施形態に係る（ａ）〜（ｄ）はワーク貼り合わせ処理の各工程を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明に係るワーク貼合装置及びワーク貼合システムの一実施形態について、図面を参照して説明する。
図１に示すように、ワーク貼合システム１は、被貼合ワークの一例である第２ワークＷ２を装着ワークの一例である第１ワークＷ１に貼り合わせるワーク貼合装置１０と、ワーク貼合装置１０に第２ワークＷ２を装着するワーク装着装置８０と、を備える。
【００１１】
まず、ワーク貼合装置１０について説明する。
図１に示すように、ワーク貼合装置１０は、第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に貼り付ける２層真空チャンバ方式の装置である。ワーク貼合装置１０は、上チャンバ２１と、下チャンバ３１と、ダイヤフラムユニット２０と、制御部４０と、真空ポンプ４１と、チャンバ駆動部４２と、位置合わせカメラ６０と、切替弁４３ａ，４３ｂと、開放弁４３ｃと、図２（ａ）に示す切替弁４３ｄと、を備える。
【００１２】
図１に示すように、下チャンバ３１は上チャンバ２１に向けて開口する箱状をなす。下チャンバ３１は、その内底面に固定されるワーク支持台３２を有する。ワーク支持台３２の上面はＸ方向においてＺ方向に向けて凸状の曲面状のワーク設置面３２ａを有する。ワーク支持台３２のワーク設置面３２ａには、曲板状の第１ワークＷ１が装着される。
【００１３】
上チャンバ２１は下チャンバ３１に向けて開口する箱状をなす。上チャンバ２１は、チャンバ駆動部４２により下チャンバ３１に対して開閉する。上チャンバ２１が下チャンバ３１に対して閉じられると、上チャンバ２１と下チャンバ３１の間には、密閉されたチャンバ内空間３１ａが形成される。上チャンバ２１の上板２１ｕには、後述する駆動軸２９が通過する軸通孔２１ｈが形成される。軸通孔２１ｈは、駆動軸２９がＸ方向とＹ方向に移動可能に、駆動軸２９よりも大きい径を有する。
【００１４】
ダイヤフラムユニット２０は、貼合シート２３と、ダイヤフラムチャンバ２６と、駆動軸２９と、軸駆動部２７と、蛇腹部２８ａと、駆動部支持板２８ｂと、支持柱部２８ｃと、を備える。貼合シート２３は、互いに厚さ方向に重ねられた貼合ダイヤフラム膜２２及びワークステージ２５を有する。
ダイヤフラムチャンバ２６は、チャンバ内空間３１ａに位置し、ワーク支持台３２に向けて開口する箱状をなす。
図２（ａ）に示すように、ダイヤフラムチャンバ２６の開口側の端面には貼合ダイヤフラム膜２２の外周縁部が固定されている。貼合ダイヤフラム膜２２によりダイヤフラムチャンバ２６内のダイヤフラム閉空間２６ａが密閉される。貼合ダイヤフラム膜２２は、ダイヤフラムチャンバ２６のダイヤフラム閉空間２６ａが加圧されることにより弾性変形する弾性体、例えばゴム等の超弾性体からなる。
【００１５】
図２（ａ）に示すように、ワークステージ２５は貼合ダイヤフラム膜２２よりもワーク支持台３２に近い位置において貼合ダイヤフラム膜２２に重ねられる。ワークステージ２５の外周縁部はダイヤフラムチャンバ２６の開口側の端面に固定されている。ワークステージ２５は既存の貼合装置に後付け可能である。ワークステージ２５は、貼合ダイヤフラム膜２２の膨張によってワーク支持台３２に近づく方向に押されることにより、第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に貼り付ける。
【００１６】
詳しくは、ワークステージ２５は、ワーク装着装置８０により第２ワークＷ２が装着されるステージ部２５ａと、ステージ部２５ａを弾性的にダイヤフラムチャンバ２６に支持するステージ支持部２５ｂと、を備える。
ステージ部２５ａは、第２ワークＷ２よりも広い面積の板状に形成される。ステージ部２５ａは、貼合ダイヤフラム膜２２よりも外力に対して弾性変形しづらく、かつ、第１ワークＷ１の曲面に沿って弾性変形可能な材質又は形状で形成されている。例えば、ステージ部２５ａは、貼合ダイヤフラム膜２２よりも弾性率が大きい塩化ビニル等の樹脂、又は金属により形成される。
図２（ｂ）に示すように、ステージ部２５ａの下面には微粘着シート２５ｃを介して第２ワークＷ２が装着される。ステージ部２５ａは、貼合ダイヤフラム膜２２に比べて、変形しづらいため、第２ワークＷ２の装着が容易である。ステージ部２５ａの下面は第２ワークＷ２が装着される被装着面である。微粘着シート２５ｃは剥離可能に粘着する両面粘着テープである。微粘着シート２５ｃは第２ワークＷ２が自重によりステージ部２５ａから脱落しない程度の強さの粘着力で、かつ、第２ワークＷ２が第１ワークＷ１に貼り合わされる際の第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の間の粘着力よりも弱い粘着力を有する。微粘着シート２５ｃは、例えば、樹脂フィルム等からなる基材と、その基材の両面に形成され、シリコン系化合物やウレタン系化合物等からなる繰り返し使用可能な微粘着層を備える。微粘着シート２５ｃは、ステージ部２５ａと第２ワークＷ２の間で強い力で圧縮されると接着力が強くなり、弱い力で圧縮されると接着力が弱くなる、という性質を有する。
【００１７】
図２（ｂ）に示すように、ステージ部２５ａ内には真空室２５ｈが形成されている。真空室２５ｈは、ステージ部２５ａにおける第２ワークＷ２が装着される面に開口する複数の開口穴を有する。真空室２５ｈが真空ポンプ４１により真空状態とされることによりステージ部２５ａの下面に第２ワークＷ２が吸着される。
図２（ａ）に示すように、ステージ支持部２５ｂはダイヤフラムチャンバ２６の開口側の端面とステージ部２５ａの間に位置する。ステージ支持部２５ｂの外周縁部は、図示しない金具によりダイヤフラムチャンバ２６の開口側の端面に固定される。ステージ支持部２５ｂは、弾性体であって、ステージ部２５ａよりも外力に対して変形しやすい材質又は形状で形成されている。例えば、ステージ支持部２５ｂは例えばゴム等の超弾性体又は塩化ビニル等の樹脂からなる。ステージ支持部２５ｂは貼合ダイヤフラム膜２２により押されることでステージ部２５ａよりも大きく弾性変形する。ステージ部２５ａは、ボルト又は接着剤等を介してステージ支持部２５ｂに固定されてもよいし、ステージ支持部２５ｂにインサート成形されてもよい。
なお、この例に限らず、ステージ支持部２５ｂは、ステージ部２５ａと同一の材質で、かつ、ステージ部２５ａよりも厚さが薄く形成されていてもよい。
【００１８】
図１に示すように、駆動軸２９は、ダイヤフラムチャンバ２６と軸駆動部２７の間を接続し、Ｚ方向に沿って延びる円筒状をなす。駆動軸２９は上チャンバ２１の軸通孔２１ｈを通過する。駆動軸２９の下端は、ダイヤフラムチャンバ２６の上板の接続孔２６ｈ内に固定される。これにより、駆動軸２９の内部空間２９ａはダイヤフラムチャンバ２６のダイヤフラム閉空間２６ａに連続する。
【００１９】
駆動部支持板２８ｂは、上チャンバ２１の外側に位置し、軸通孔２１ｈにＺ方向に対向する位置に設けられる。支持柱部２８ｃは、上チャンバ２１の上面に対して駆動部支持板２８ｂを支持する。蛇腹部２８ａは、駆動軸２９の周囲を囲む筒状をなし、上チャンバ２１の上面と駆動部支持板２８ｂの下面の間に延びる。蛇腹部２８ａは、軸通孔２１ｈを介してチャンバ内空間３１ａが外部空間に繋がることを遮断し、チャンバ内空間３１ａの真空度を向上させる。
【００２０】
軸駆動部２７は、制御部４０による制御のもと、駆動軸２９をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向に移動させ、駆動軸２９をその軸を中心としてθ方向に回転させる。軸駆動部２７は、ダイヤフラムチャンバ２６を第１ワークＷ１に対して所望の位置及び所望の向きに移動又は回転させることができる。
【００２１】
図１に示すように、チャンバ駆動部４２は、制御部４０による制御のもと、上チャンバ２１を下チャンバ３１に対して接近又は離間するように移動させる。チャンバ駆動部４２は、例えば、油圧又は空気圧で動作するシリンダである。
【００２２】
開放弁４３ｃは、制御部４０による制御のもと開かれることによりチャンバ内空間３１ａを大気圧とする。
切替弁４３ａは、真空ポンプ４１とダイヤフラムチャンバ２６のダイヤフラム閉空間２６ａの間を接続する流路４５ａに設けられる。切替弁４３ａは、制御部４０による制御のもと、流路４５ａを導通させた導通状態、流路４５ａを遮断させた遮断状態、及び流路４５ａを大気に開放する開放状態の間で切り替わる。
切替弁４３ｂは、真空ポンプ４１とチャンバ内空間３１ａの間を接続する流路４５ｂに設けられる。切替弁４３ｂは、制御部４０による制御のもと、流路４５ｂを流体的に導通させた導通状態と流路４５ｂを流体的に遮断させた遮断状態の間で切り替わる。
図２（ａ）に示すように、切替弁４３ｄは、真空ポンプ４１とステージ部２５ａの図２（ｂ）に示す真空室２５ｈの間を接続する流路４５ｃに設けられる。切替弁４３ｄは、制御部４０による制御のもと、流路４５ｃを流体的に導通させた導通状態と流路４５ｃを流体的に遮断させた遮断状態の間で切り替わる。
真空ポンプ４１は、制御部４０による制御のもと動作し、切替弁４３ａ，４３ｂ，４３ｄの状態に応じて、ダイヤフラム閉空間２６ａ、チャンバ内空間３１ａ及びステージ支持部２５ｂの真空室２５ｈの少なくとも何れかを真空状態とする。
【００２３】
図１に示すように、位置合わせカメラ６０は、ワーク設置面３２ａに設置された第１ワークＷ１と貼合シート２３に装着された第２ワークＷ２を撮影し、その撮影データを制御部４０に出力する。位置合わせカメラ６０は、例えば、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２のそれぞれの対角線上に位置する角部を撮影するために４つのカメラを備える。
【００２４】
制御部４０は、軸駆動部２７、真空ポンプ４１、切替弁４３ａ，４３ｂ，４３ｄ及び開放弁４３ｃを制御し、位置合わせカメラ６０からの撮影データに基づき第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の位置ずれを測定する。制御部４０は、ワーク貼り合わせ処理等の処理を実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＣＰＵの動作プログラム等が記憶されるＲＯＭ（Read Only Memory）、ＣＰＵのワークエリアとして利用されるＲＡＭ（Random Access Memory）等を備える。
【００２５】
次に、ワーク装着装置８０について説明する。
図３（ａ）に示すように、ワーク装着装置８０は、基台８５と、第１ダイヤフラム膜８１及び第２ダイヤフラム膜８２からなる装着シート８３と、真空ポンプ８６と、加圧部８７と、制御部８８と、駆動部８９と、を備える。
基台８５は、例えば、長方形又は正方形の板状をなす。基台８５における装着シート８３が装着される面には凹状に加圧室８５ｈが形成される。加圧室８５ｈはＸ方向及びＹ方向に延びる溝により格子状に形成される。加圧室８５ｈは加圧部８７により加圧される。
第１ダイヤフラム膜８１は、基台８５の加圧室８５ｈが形成される面の全域を覆うシート状に形成され、基台８５の周縁部に固定されている。第１ダイヤフラム膜８１は、加圧室８５ｈ内が加圧されることにより、図４に示すように、凸状に弾性変形する弾性体、例えばゴム等の超弾性体、塩化ビニル等の樹脂からなる。
【００２６】
第２ダイヤフラム膜８２は、第１ダイヤフラム膜８１と同様のシート状に形成され、基台８５との間で第１ダイヤフラム膜８１を挟み込むように第１ダイヤフラム膜８１に重ねられる。第２ダイヤフラム膜８２の周縁部は、第１ダイヤフラム膜８１の周縁部に固定されている。第２ダイヤフラム膜８２における第１ダイヤフラム膜８１と反対側の吸着面８２ａ（図３（ａ）の上面）には第２ワークＷ２が設置される。
図３（ｂ）に示すように、第２ダイヤフラム膜８２内には真空室８２ｈが形成されている。真空室８２ｈは、第２ダイヤフラム膜８２における第２ワークＷ２が装着される面に開口する複数の開口穴を有する。真空室８２ｈが真空ポンプ８６により真空状態とされることにより、図３（ｂ）の矢印で示すように、第２ワークＷ２が第２ダイヤフラム膜８２の吸着面８２ａに吸着される。第２ダイヤフラム膜８２は、真空室８２ｈを有する点を除き、第１ダイヤフラム膜８１と同様の材質及び形状で形成される。第２ダイヤフラム膜８２は、図４に示すように、凸状に膨張する第１ダイヤフラム膜８１に押されて凸状に膨張し、第２ワークＷ２を微粘着シート２５ｃを介してステージ部２５ａの下面に押し付ける。これにより、第２ワークＷ２がステージ部２５ａの下面に装着される。
【００２７】
駆動部８９は、制御部８８による制御のもと、基台８５をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向に移動可能であり、基台８５をＹ方向に延びる回転軸Ａｘを中心にα方向に回転可能な多関節ロボットアームである。
【００２８】
真空ポンプ８６は、制御部４０による制御のもと動作し、流路８６ａを介して接続される第２ダイヤフラム膜８２の真空室８２ｈを真空状態とする。加圧部８７は、制御部４０による制御のもと動作し、流路８７ａを介して接続される基台８５の加圧室８５ｈを加圧する。
制御部８８は、真空ポンプ８６、加圧部８７及び駆動部８９を制御する。制御部８８は、ワーク装着処理等の処理を実行するＣＰＵ、ＣＰＵの動作プログラム等が記憶されるＲＯＭ、ＣＰＵのワークエリアとして利用されるＲＡＭ等を備える。
なお、制御部８８は、機能ブロックとして、後述する図６のステップＳ１０１，１０２に係る処理を実行するワーク吸着処理部と、後述する図６のステップＳ１０４，１０６に係る処理を実行するワーク装着処理部と、を備える。
【００２９】
次に、図６のフローチャートを参照しつつ、ワーク装着装置８０の制御部８８により実行されるワーク装着処理について説明する。このワーク装着処理の開始時には、図５（ａ）に示すように、テーブル９０の上面に第２ワークＷ２が設置されている。
まず、制御部８８は、駆動部８９を介して装着シート８３がＺ方向の下方向を向くように基台８５をα方向に回転させつつＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向に移動させることにより、装着シート８３をテーブル９０の上面の第２ワークＷ２に対面させる（ステップＳ１０１）。
【００３０】
そして、制御部８８は、真空ポンプ８６を動作させて、真空室８２ｈを真空状態とすることにより、装着シート８３の吸着面８２ａに第２ワークＷ２を吸着させる（ステップＳ１０２）。
次に、制御部８８は、装着シート８３に第２ワークＷ２を吸着させた状態で、駆動部８９を介して、基台８５をテーブル９０から離し、装着シート８３がＺ方向の上方向を向くように基台８５をα方向に１８０度回転させる（ステップＳ１０３）。そして、制御部８８は、駆動部８９を介して、図５（ｂ）に示すように、基台８５を上チャンバ２１と下チャンバ３１の間に進入させて、図５（ｃ）に示すように、第２ワークＷ２が装着された装着シート８３をワーク貼合装置１０の貼合シート２３に対面させる（ステップＳ１０４）。
【００３１】
次に、制御部８８は、真空ポンプ８６の動作を停止することにより装着シート８３に第２ワークＷ２が吸着した状態を解除し（ステップＳ１０５）、加圧部８７を介して加圧室８５ｈを加圧することにより、図４及び図５（ｄ）に示すように、装着シート８３を膨張させる（ステップＳ１０６）。これにより、装着シート８３は第２ワークＷ２をその面方向（ＸＹ平面方向）に均等な力でステージ部２５ａの下面に向けて押し付ける。第２ワークＷ２における装着シート８３に接触する面、又は装着シート８３における第２ワークＷ２に接触する面には、予め図４に示す微粘着シート２５ｃが設けられている。よって、第２ワークＷ２は微粘着シート２５ｃを介して第２ワークＷ２の面方向に均等な接着力でステージ部２５ａに接着する。
そして、制御部８８は、加圧部８７の動作を停止して、装着シート８３を膨張していない元の状態に戻し（ステップＳ１０７）、駆動部８９を介して基台８５を移動させることにより、図５（ｅ）に示すように、装着シート８３を第２ワークＷ２が接着するステージ部２５ａから離し、基台８５を上チャンバ２１と下チャンバ３１の間から退避させる（ステップＳ１０８）。以上で、ワーク装着処理が終了となる。
なお、ステップＳ１０６と同時又はステップＳ１０６の前後に、ワーク貼合装置１０の制御部４０は、図２（ａ），（ｂ）に示すように、切替弁４３ｄを導通状態とし、真空ポンプ４１を動作させることにより、真空室２５ｈを真空状態とする。これにより、第２ワークＷ２は、微粘着シート２５ｃの接着力に加えて、真空によりステージ部２５ａに吸着する。
【００３２】
ワーク貼合装置１０は、上述したワーク装着処理の後、ワーク貼り合わせ処理を実行する。
このワーク貼り合わせ処理においては、ワーク貼合装置１０の制御部４０は、図７（ａ）に示すように、位置合わせカメラ６０を第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の間に進入させ、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２を撮影し、貼り合わせ前の第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の位置ずれを測定する。そして、制御部４０は、測定された位置ずれを解消するように軸駆動部２７を介してダイヤフラムチャンバ２６をＸ方向とＹ方向に移動させるとともにθ方向に回転させることにより第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の位置合わせを行う。
次に、制御部４０は、図７（ｂ）に示すように、チャンバ駆動部４２を介して上チャンバ２１を下チャンバ３１に対して閉じた後、切替弁４３ａ，４３ｂを導通状態とし、真空ポンプ４１を動作させることにより、チャンバ内空間３１ａとダイヤフラム閉空間２６ａを真空状態とする。チャンバ内空間３１ａが真空状態となった場合には、第２ワークＷ２とステージ部２５ａの間で作用する真空による吸着力が低下するものの、第２ワークＷ２は微粘着シート２５ｃの接着力によりステージ部２５ａに接着された状態を維持する。
そして、制御部４０は、軸駆動部２７を介してダイヤフラムチャンバ２６が第１ワークＷ１に近づくようにＺ方向に移動させる。そして、切替弁４３ｄを遮断状態に切り替えて第２ワークＷ２とステージ部２５ａの間で作用する真空による吸着力を遮断し、切替弁４３ａを開放状態に切り替えることによりダイヤフラム閉空間２６ａを大気圧まで加圧する。これにより、貼合ダイヤフラム膜２２は第１ワークＷ１に向かって膨張し、ワークステージ２５を介して第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に向けて押し付けて、第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に貼り合わせる。第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の何れかの接着面には、接着剤、例えば、シート状のＯＣＡ（Optical Clear Adhesive）や液体状のＯＣＲ（Optical Clear Resin）が設けられる。第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の間の接着力は、第２ワークＷ２とステージ部２５ａの微粘着シート２５ｃによる接着力よりも大きい。
【００３３】
最後に、制御部４０は、開放弁４３ｃを開くことによりチャンバ内空間３１ａを大気圧とし、図７（ｄ）に示すように、上チャンバ２１を下チャンバ３１に対して開き、軸駆動部２７を介してダイヤフラムチャンバ２６が第２ワークＷ２から遠ざかるようにＺ方向に移動させる。これにより、第２ワークＷ２がステージ部２５ａから剥がれて、貼り合わされた第１ワークＷ１と第２ワークＷ２は下チャンバ３１から取り出し可能となる。
以上で、ワーク貼り合わせ処理が終了となる。
なお、第１ワークＷ１は、例えば、液晶基板、プラズマディスプレイ基板又は太陽電池モジュール基板等である。第２ワークＷ２は、例えば、静電防止用、反射防止用等の各種機能性フィルムである。
【００３４】
（効果）
以上、説明した一実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）ワーク装着装置８０は、加圧室８５ｈを有する基台８５と、加圧室８５ｈを塞ぐように基台８５に装着され、加圧室８５ｈとは反対側の面に装着ワークの一例である第２ワークＷ２が設置され、弾性材料により形成される装着シート８３と、を備える。装着シート８３は、加圧室８５ｈが加圧されて膨張することにより、設置された第２ワークＷ２を微粘着材の一例である微粘着シート２５ｃを介して被装着面の一例であるステージ部２５ａの下面に押し付ける。
仮に、比較例として、ＸＹ平面方向における第２ワークＷ２とステージ部２５ａの接着力にばらつきが生じている場合、第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に貼り合わせる際、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の間に空気が入り込みやすく、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の貼り合わせの品質が低下する。この点、上記構成によれば、ワーク装着装置８０における装着シート８３が膨張することにより、第２ワークＷ２は微粘着シート２５ｃを介して第２ワークＷ２の面方向に均等な接着力でステージ部２５ａに接着される。この状態から第２ワークＷ２が第１ワークＷ１に貼り合わされるため、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の間に空気が入り込みづらく、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の貼り合わせの品質を高めることができる。
【００３５】
（２）装着シート８３は、加圧室８５ｈに接する位置に設けられ、加圧室８５ｈが加圧されて膨張する第１ダイヤフラム膜８１と、加圧室８５ｈとは反対側の吸着面８２ａに第２ワークＷ２が設置され、第１ダイヤフラム膜８１よりも基台８５から遠い位置において第１ダイヤフラム膜８１に重ねられ、膨張する第１ダイヤフラム膜８１に押されることにより第２ワークＷ２をステージ部２５ａの下面に押し付けるように弾性変形する第２ダイヤフラム膜８２と、を備える。第２ダイヤフラム膜８２は、第２ワークＷ２が設置される面に開口し、設置された第２ワークＷ２を第２ダイヤフラム膜８２に吸着するために真空状態とされる真空室８２ｈを有する。
この構成によれば、第２ダイヤフラム膜８２は、真空室８２ｈが真空状態とされることにより第２ワークＷ２を保持する。これにより、ワーク装着装置８０は、装着シート８３が膨張することにより第２ワークＷ２をステージ部２５ａの下面に装着する機能に加えて、真空室８２ｈが真空状態とされることにより装着シート８３を介して第２ワークＷ２を保持する機能を有する。また、第２ワークＷ２は第２ダイヤフラム膜８２の吸着面８２ａに真空により引っ張られるため第２ワークＷ２に皺が生じることが抑制される。
また、第１ダイヤフラム膜８１が膨張する際に波打ったとしても、第１ダイヤフラム膜８１と第２ワークＷ２の間には第２ダイヤフラム膜８２が介在している。このため、第１ダイヤフラム膜８１が波打った影響が直接に第２ワークＷ２に到達しづらく、ステージ部２５ａに装着された第２ワークＷ２が波打つことが抑制される。
【００３６】
（３）ワーク装着装置８０は、基台８５をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及びα方向に動かす駆動部８９と、第２ダイヤフラム膜８２の真空室８２ｈを真空とする真空ポンプ８６と、基台８５の加圧室８５ｈを加圧する加圧部８７と、テーブル９０に設置された第２ワークＷ２に第２ダイヤフラム膜８２が対面するように駆動部８９を介して基台８５を動かした後に、真空ポンプ８６を介して第２ダイヤフラム膜８２の真空室８２ｈを真空状態とすることにより第２ダイヤフラム膜８２の吸着面８２ａに第２ワークＷ２を吸着させる制御部８８のステップＳ１０１，１０２に係る機能ブロックであるワーク吸着処理部と、第２ダイヤフラム膜８２に吸着された第２ワークＷ２を貼合シート２３のステージ部２５ａの下面に対面させるように駆動部８９を介して基台８５を動かした後に、加圧部８７を介して加圧室８５ｈを加圧することにより装着シート８３を膨張させ、第２ワークＷ２をステージ部２５ａの下面に押し付ける制御部８８のステップＳ１０４，１０６に係る機能ブロックであるワーク装着処理部と、を備える。
この構成によれば、ワーク装着装置８０は、第２ワークＷ２を持ち上げた後、その第２ワークＷ２を連続的にステージ部２５ａの下面に貼り合わせることができる。
【００３７】
（４）ワーク貼合システム１は、ワーク装着装置８０と、ワーク装着装置８０により装着された第２ワークＷ２を被貼合ワークの一例である第１ワークＷ１に貼り合わせるワーク貼合装置１０と、を備える。ワーク貼合装置１０は、ダイヤフラム閉空間２６ａを有するダイヤフラムチャンバ２６と、ダイヤフラムチャンバ２６のダイヤフラム閉空間２６ａを閉じるように、ダイヤフラムチャンバ２６に装着され、弾性材料により形成され、ダイヤフラム閉空間２６ａの加圧に伴い膨張する貼合ダイヤフラム膜２２と、ワーク装着装置８０により第２ワークＷ２が装着される被装着面を有し、膨張する貼合ダイヤフラム膜２２に押されて弾性変形することにより第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に向けて押すワークステージ２５と、を備える。
この構成によれば、貼合ダイヤフラム膜２２が膨張する際に波打ったとしても、貼合ダイヤフラム膜２２と第２ワークＷ２の間にはワークステージ２５が介在している。このため、貼合ダイヤフラム膜２２が波打った影響が第２ワークＷ２に到達しづらく、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の貼り合わせの品質が低下することが抑制される。よって、ワーク貼合システム１においては、ワーク装着装置８０が第２ワークＷ２を均等の力でワークステージ２５に接着させることと、貼合ダイヤフラム膜２２及び第２ワークＷ２の間にワークステージ２５が介在することの両方により、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の貼り合わせの品質が高められる。
【００３８】
なお、本発明は以上の実施形態及び図面によって限定されるものではない。本発明の要旨を変更しない範囲で、適宜、変更（構成要素の削除も含む）を加えることが可能である。以下に、変形の一例を説明する。
【００３９】
（変形例）
上記実施形態においては、チャンバ駆動部４２は上チャンバ２１を移動させていたが、これに限らず、下チャンバ３１を移動させてもよい。
【００４０】
上記実施形態においては、装着シート８３は、第１ダイヤフラム膜８１及び第２ダイヤフラム膜８２を備えていたが、第１ダイヤフラム膜８１及び第２ダイヤフラム膜８２のうち何れか一方が省略されてもよい。
【００４１】
上記実施形態において、弾性変形していない貼合シート２３は、ＸＹ平面に沿うように設けられていたが、これに限らず、Ｘ方向及びＹ方向の少なくとも何れかに対して傾斜するように設けられていてもよい。この場合、駆動部８９は回転軸Ａｘを中心に基台８５をα方向に回転させることにより装着シート８３を貼合シート２３に平行としてもよい。これにより、貼合シート２３の向きに関わらず、ワーク装着装置８０は第２ワークＷ２を均等な接着力で貼合シート２３に装着することができる。
【００４２】
上記実施形態においては、駆動軸２９の内部空間２９ａはダイヤフラム閉空間２６ａと真空ポンプ４１の間を繋ぐ流路の一部であったが、駆動軸２９とは別に流路が形成されていてもよい。
【００４３】
上記実施形態において、ワーク設置面３２ａはＸＹ平面に沿う平面状をなし、第１ワークＷ１は平板状をなしていてもよい。
【００４４】
上記実施形態において、貼合シート２３のうちワークステージ２５が省略され、貼合ダイヤフラム膜２２が直接に第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に向けて押し付けてもよい。
【００４５】
上記各実施形態においては、下チャンバ３１に曲面状の第１ワークＷ１が設置され、上チャンバ２１側にダイヤフラムユニット２０が設けられていたが、下チャンバ３１、上チャンバ２１及びダイヤフラムユニット２０の上下（天地）方向が反対であってもよい。具体的には、曲面状の第２ワークＷ２が上チャンバのワーク支持台に設置され、下チャンバ側にダイヤフラムユニットが設けられていてもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１…ワーク貼合システム、１０…ワーク貼合装置、２０…ダイヤフラムユニット、２１…上チャンバ、２１ｈ…軸通孔、２１ｕ…上板、２２…貼合ダイヤフラム膜、２３…貼合シート、２５…ワークステージ、２５ａ…ステージ部、２５ｂ…ステージ支持部、２５ｃ…微粘着シート、２５ｈ，８２ｈ…真空室、２６…ダイヤフラムチャンバ、２６ａ…ダイヤフラム閉空間、２６ｈ…接続孔、２７…軸駆動部、２８ａ…蛇腹部、２８ｂ…駆動部支持板、２８ｃ…支持柱部、２９…駆動軸、２９ａ…内部空間、３１…下チャンバ、３１ａ…チャンバ内空間、３２…ワーク支持台、３２ａ…ワーク設置面、４０，８８…制御部、４１，８６…真空ポンプ、４２…チャンバ駆動部、４３ａ，４３ｂ，４３ｄ…切替弁、４３ｃ…開放弁、４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，８６ａ，８７ａ…流路、６０…位置合わせカメラ、８０…ワーク装着装置、８１…第１ダイヤフラム膜、８２…第２ダイヤフラム膜、８２ａ…吸着面、８３…装着シート、８５…基台、８５ｈ…加圧室、８７…加圧部、８９…駆動部、９０…テーブル、Ｗ１…第１ワーク、Ｗ２…第２ワーク、Ａｘ…回転軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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