(57)【要約】【課題】切削ブレードの先端の形状を高速かつ高精度に検出する。【解決手段】ライン型レーザ変位計８を用い、切削ブレード４の先端４ａに、切削ブレード４の径方向（Ｚ方向）から切削ブレード４の回転方向に直交する方向（Ｘ方向）へ沿ったライン状の光ＬＢを照射し、その照射した光の反射光に基づいて切削ブレード４の先端４ａの形状を検出する。【選択図】  図３
2020001134.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャックテーブルに保持された被加工物を切削する円板状の切削ブレードの先端の形状を検出する切削ブレードの先端形状検出方法であって、
前記切削ブレードの先端に、前記切削ブレードの径方向から前記切削ブレードの回転方向に直交する方向へ沿ったライン状の光を照射し、その照射した光の反射光に基づいて前記切削ブレードの先端の形状を検出する先端形状検出ステップ
を備えることを特徴とする切削ブレードの先端形状検出方法。
【請求項２】
請求項１に記載された切削ブレードの先端形状検出方法において、
さらに、
前記先端形状検出ステップによって検出された前記切削ブレードの先端の形状と、予め定められている前記切削ブレードの先端の許容形状とを比較し、前記検出された切削ブレードの先端の形状が前記許容形状から外れていた場合、異常と判断する異常判断ステップ
を備えることを特徴とする切削ブレードの先端形状検出方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載された切削ブレードの先端形状検出方法において、
前記切削ブレードを所定の位置に位置させるブレード位置セットステップを備え、
前記先端形状検出ステップは、
前記所定の位置に位置している前記切削ブレードの先端に前記ライン状の光を照射し、その照射した光の反射光に基づいて前記切削ブレードの先端の形状を検出する
ことを特徴とする切削ブレードの先端形状検出方法。
【請求項４】
チャックテーブルに保持された被加工物を切削する円板状の切削ブレードの先端の形状を検出する切削ブレードの先端形状検出装置であって、
前記切削ブレードの先端に、前記切削ブレードの径方向から前記切削ブレードの回転方向に直交する方向へ沿ったライン状の光を照射し、その照射した光の反射光に基づいて前記切削ブレードの先端の形状を検出するように構成されたライン型レーザ変位計
を備えることを特徴とする切削ブレードの先端形状検出装置。
【請求項５】
請求項４に記載された切削ブレードの先端形状検出装置において、
さらに、
前記ライン型レーザ変位計によって検出された前記切削ブレードの先端の形状と、予め定められている前記切削ブレードの先端の許容形状とを比較し、前記検出された切削ブレードの先端の形状が前記許容形状から外れていた場合、異常と判断するように構成された異常判断部
を備えることを特徴とする切削ブレードの先端形状検出装置。
【請求項６】
請求項４又は５に記載された切削ブレードの先端形状検出装置において、
前記切削ブレードを所定の位置に位置させるブレード位置セット部を備え、
前記ライン型レーザ変位計は、
前記所定の位置に位置している前記切削ブレードの先端に前記ライン状の光を照射し、その照射した光の反射光に基づいて前記切削ブレードの先端の形状を検出する
ことを特徴とする切削ブレードの先端形状検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する円板状の切削ブレードの先端形状を検出する切削ブレードの先端形状検出方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体装置などの製造工程では、シリコンウエハやガラス基板などの被加工物（以下、ワークともいう。）をチャックテーブルに保持し、このチャックテーブルに保持されたワークを円板状の切削ブレードで切削し、個々のチップに分割するようにしている。
【０００３】
図５に、ワークを個々のチップに分割する切削装置（ダイシング装置）２００の要部を示す。この切削装置２００では、チャックテーブル１にダイシングテープ（粘着テープ）２を介してワーク３を保持し、この保持されたワーク３を円板状の切削ブレード４により切削することによって、個々のチップに分割する。
【０００４】
この切削装置２００において、切削ブレード４はスピンドル５に装着されており、スピンドル５の回転軸６を中心として切削ブレード４を高速回転させて、ワーク３を切削して行く。このワーク３の切削に際しては、ダイシングテープ２の途中まで切削ブレード４の先端４ａを掘り込ませる（図６参照）。
【０００５】
これにより、切削後には、ワーク３がフルカットされ、ハーフカット状態のダイシングテープ２により、カットされた個々のチップがバラバラにならないように保持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１５−１５２６７号公報
【特許文献２】特開２００２−３５７４０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
一般に、新品の切削ブレード４の先端４ａの形状は、図６に示すように矩形である。しかし、切削に伴って、切削ブレード４の先端４ａは摩耗して行き、円弧状へと変化する（図７参照）。切削ブレード４の先端４ａの形状が円弧状へ変化すると、ワーク３に形成される溝の幅が溝の上と下とで異なってしまう。
【０００８】
このような問題を解消しようとして、切削ブレード４の先端４ａを深く堀り込ませると（図８参照）、堀り込んだ部分のダイシングテープ２の厚みが薄くなり、振動し、蛇行、チッピングなどが生じる。
【０００９】
なお、図５において、切削ブレード４の径方向をＺ方向、切削ブレード４の回転方向に直交する方向（回転軸６に平行な方向）をＸ方向、ワーク３を切削して行く方向をＹ方向とした場合、Ｘ方向へ向かうレーザビームをＺ方向へ移動させて、切削ブレード４の先端４ａのＺ方向の位置を検出するようにした例がある（例えば、特許文献１参照）。しかし、この方法では、切削ブレード４の直径が摩耗によって小さくなったことは検出することができるが、切削ブレード４の先端４ａの形状の変化は検出することができない。
【００１０】
また、Ｚ方向へ向かうレーザビームをＸ方向へ移動させて、切削ブレード４の先端４ａの形状を検出したり、切削ブレード４をＸ方向へ移動させて、Ｚ方向へ向かうレーザビームで切削ブレード４の先端４ａの形状を検出したりすることが考えられる。すなわち、１本のレーザビームで切削ブレード４の先端４ａの形状をスキャンすることが考えられる。しかし、この方法では、レーザビームや切削ブレードを移動させる機構が必要であり、検出に時間がかかる。
【００１１】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、切削ブレードの先端の形状を高速かつ高精度に検出することが可能な切削ブレードの先端形状検出方法および装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このような目的を達成するために本発明は、チャックテーブル（１）に保持された被加工物（３）を切削する円板状の切削ブレード（４）の先端（４ａ）の形状を検出する切削ブレードの先端形状検出方法であって、切削ブレードの先端に、切削ブレードの径方向（Ｚ方向）から切削ブレードの回転方向に直交する方向（Ｘ方向）へ沿ったライン状の光（ＬＢ）を照射し、その照射した光の反射光に基づいて切削ブレードの先端の形状を検出する先端形状検出ステップ（Ｓ１０２）を備えることを特徴とする。
【００１３】
本発明では、例えばライン型レーザ変位計を用い、切削ブレードの先端に、切削ブレードの径方向から切削ブレードの回転方向に直交する方向へ沿ったライン状の光を照射し、その照射した光の反射光に基づいて切削ブレードの先端の形状を検出する。これにより、本発明では、レーザビームや切削ブレードを移動させたりすることなく、切削ブレードの先端の形状を高速かつ高精度に検出することが可能となる。
【００１４】
なお、上記説明では、一例として、発明の構成要素に対応する図面上の構成要素を、括弧を付した参照符号によって示している。
【発明の効果】
【００１５】
以上説明したように、本発明によれば、切削ブレードの先端に、切削ブレードの径方向から切削ブレードの回転方向に直交する方向へ沿ったライン状の光を照射し、その照射した光の反射光に基づいて切削ブレードの先端の形状を検出するようにしたので、レーザビームや切削ブレードを移動させたりすることなく、切削ブレードの先端の形状を高速かつ高精度に検出することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係る切削ブレードの先端形状検出装置を含む切削装置の要部を示す平面図である。
【図２】図２は、切削ブレードをホームポジションに位置させた状態を示す図である。
【図３】図３は、本実施の形態に係る切削ブレードの先端形状検出装置の要部の構成を示す図である。
【図４】図４は、本実施の形態に係る切削ブレードの先端形状検出装置で行われる処理に関するフローチャートである。
【図５】図５は、チャックテーブルにダイシングテープを介して保持されたワークおよび切削ブレードを示す図である。
【図６】図６は、ダイシングテープの途中まで切削ブレードの先端を掘り込ませた状態を示す図である。
【図７】図７は、切削ブレードの先端が摩耗して円弧状へと変化した状態を示す図である。
【図８】図８は、円弧状へと変化した切削ブレードの先端を深く掘り込ませた状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１８】
図１は本発明の実施の形態に係る切削ブレードの先端形状検出装置を含む切削装置１００の要部を示す平面図である。
【００１９】
図１において、図５と同一符号は図５を参照して説明した構成要素と同一或いは同等の構成要素を示し、その説明は省略する。
【００２０】
この切削装置１００において、チャックテーブル１は支持台７に設けられており、支持台７にはチャックテーブル１の近くにライン型レーザ変位計８が設けられている。
【００２１】
この切削装置１００において、切削ブレード４の先端４ａの形状を知りたい場合には、スピンドル５のＸ，Ｙ，Ｚ方向の位置を調整して、切削ブレード４をホームポジション（所定の位置）に位置させる。
【００２２】
図２に、切削ブレード４をホームポジションに位置させた状態を示す。図２（ａ）は図１における矢印Ａ方向から見た図、図２（ｂ）は図１における矢印Ｂ方向から見た図であり、切削ブレード４がホームポジションＨＰに位置している状態を示している。
【００２３】
ホームポジションＨＰでは、切削ブレード４の先端４ａがライン型レーザ変位計８の送受光面８ａに対向し、切削ブレード４の先端４ａとライン型レーザ変位計８の送受光面８ａとの間に僅かな間隙ｈが設けられる。
【００２４】
図３に、本実施の形態に係る切削ブレードの先端形状検出装置１０１の要部の構成を示す。図４に、本実施の形態に係る切削ブレードの先端形状検出装置１０１で行われる処理に関するフローチャートを示す。
【００２５】
本実施の形態の切削ブレードの先端形状検出装置１０１は、ライン型レーザ変位計８と、異常判断部９と、メモリ１０と、ブレード位置セット部１１とを備えている。
【００２６】
ブレード位置セット部１１は、オペレータからの指示に応じて、スピンドル５のＸ，Ｙ，Ｚ方向の位置を調整して、切削ブレード４をホームポジションＨＰに位置させる（ステップＳ１０１）。
【００２７】
ライン型レーザ変位計８は、２次元形状計測センサとして知られている変位計であり（例えば、特許文献２参照）、ライン状光送受光部８−１と、先端形状検出部８−２とを備えている。
【００２８】
ライン型レーザ変位計８において、ライン状光送受光部８−１は、ホームポジションＨＰに位置している切削ブレード４の先端４ａに、切削ブレード４の径方向（Ｚ方向）から切削ブレード４の回転方向に直交する方向（Ｘ方向）へ沿ったライン状の光ＬＢを照射し、その照射した光の反射光を受光する（ステップＳ１０２）。
【００２９】
ライン型レーザ変位計８において、先端形状検出部８−２は、ライン状光送受光部８−１が受光した反射光に基づいて、切削ブレード４の先端４ａの形状を検出する（ステップＳ１０３）。
【００３０】
ライン型レーザ変位計８の先端形状検出部８−２によって検出された切削ブレード４の先端４ａの形状はＢＴRとして異常判断部９に送られる。
【００３１】
メモリ１０には、切削ブレード４の先端４ａの許容形状がＢＴAとして記憶されている。この許容形状ＢＴAは、切削ブレード４の先端４ａの形状の使用可能な限界値として、実験を繰り返すことによって定められたものである。
【００３２】
異常判断部９は、ライン型レーザ変位計８から送られてくる検出された切削ブレード４の先端形状ＢＴRと、メモリ１０に記憶されている切削ブレード４の先端４ａの許容形状ＢＴAとを比較する（ステップＳ１０４）。
【００３３】
ここで、異常判断部９は、検出された切削ブレード４の先端形状ＢＴRが許容形状ＢＴAから外れていた場合、異常と判断し（ステップＳ１０５のＹＥＳ）、その旨をオペレータへ知らせる（ステップＳ１０６）。この知らせを受けて、オペレータは、ブレード４を新品と交換する。
【００３４】
このようにして、本実施の形態の切削ブレードの先端形状検出装置１０１によれば、ライン型レーザ変位計８を用いることによって、レーザビームや切削ブレードを移動させたりすることなく、切削ブレード４の先端４ａの形状を高速かつ高精度に検出することができるようになる。また、切削ブレード４の先端４ａが摩耗し、その形状が異常となった場合、新品のブレード４への交換をオペレータに促すことができるようになる。
【００３５】
なお、この切削ブレードの先端形状検出装置１０１において、異常判断部９やメモリ１０、ブレード位置セット部１１などは、プロセッサや記憶装置からなるハードウェアと、これらのハードウェアと協働して各種機能を実現させるプログラムとによって実現される。
【００３６】
また、この切削ブレードの先端形状検出装置１０１において、切削ブレード４の先端４ａの形状の検出は、切削ブレード４を回転させながら行うようにしてもよく、切削ブレード４の回転を停止させた状態で行うようにしてもよい。切削ブレード４を回転させながら行う場合には、例えば、切削ブレード４の先端４ａの形状の平均値を求め、この求めた平均値を切削ブレード４の先端形状ＢＴRとする。
【００３７】
また、この切削ブレードの先端形状検出装置１０１を用いての切削ブレード４の先端４ａの形状の検出は、切削ブレード４によって加工を行うワーク３のロット毎に行うようにしてもよく、ワーク３の加工枚数が所定枚数に達する毎に行うなどしてもよい。
【００３８】
また、上述した実施の形態では、切削ブレード４の先端４ａの形状のみを検出するものとしているが、これと合わせて、切削ブレード４のブレード幅、突き出し量などを同時に計測することも可能である。
【００３９】
また、検出される切削ブレード４の先端４ａの形状から、切削ブレード４の寿命、切削ブレード４によるワーク３の加工枚数の上限を見極めたり、切削装置１００のドレッシング条件の開発を行うようにしたりしてもよい。
【００４０】
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【符号の説明】
【００４１】
１…チャックテーブル、２…ダイシングテープ、３…被加工物（ワーク）、４…切削ブレード、４ａ…先端、５…スピンドル、６…回転軸、７…支持台、８…ライン型レーザ変位計、ＬＢ…ライン状の光、８−１…ライン状光送受光部、８−２…先端形状検出部、９…異常判断部、１０…メモリ、１１…ブレード位置セット部、１００…切削装置、１０１…切削ブレードの先端形状検出装置。
【図１】
2020001134.tif 000003
【図２】
2020001134.tif 000004
【図３】
2020001134.tif 000005
【図４】
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【図５】
2020001134.tif 000007
【図６】
2020001134.tif 000008
【図７】
2020001134.tif 000009
【図８】
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