(57)【要約】      （修正有）【課題】シート形状の薄膜多積層フィルムにおいて、粘着層保護のために粘着層の上に積層されているセパレータフィルム剥離の際、剥離困難である強粘着セパレータや、厚膜セパレータであってもセパレータ剥離が可能な剥離装置及び剥離装置を提供する。【解決手段】フィルムのセパレータを剥離する装置１００であって、少なくとも粘着テープ巻出し軸１０と、バックローラ１３と、巻取り軸１１を備えた剥離ユニット１４と、剥離ユニットを動作する駆動部と、剥離対象フィルムを真空吸着して固定する真空吸着ステージ１７を備えるフィルムセパレータ剥離装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムのセパレータを剥離する装置であって、
少なくとも粘着テープ巻出し軸と、バックローラと、巻取り軸とを備えた剥離ユニットと、剥離ユニットを駆動動作する駆動部と、剥離対象とするフィルムを真空吸着して固定する真空吸着ステージを備えることを特徴とするフィルムセパレータ剥離装置。
【請求項２】
前記真空吸着ステージの下側のエリアを２分割し、セパレータ剥離を開始するエリアと、それ以外のエリアとに分けた吸着エリア分割プレート及び吸着エリア分割パッキンを備え、各エリアそれぞれに独立した真空源を接続したことを特徴とする、請求項１に記載のフィルムセパレータ剥離装置。
【請求項３】
前記真空吸着ステージに、多孔質シートと吸着穴付吸着プレートとを設置してなることを特徴とする、請求項１または２に記載のフィルムセパレータ剥離装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のフィルムセパレータ剥離装置を用いたフィルムのセパレータ剥離方法であって、前記セパレータの対角線方向あるいは端辺方向に粘着テープを移動させてセパレータを剥離することを特徴とするフィルムセパレータ剥離方法。
【請求項５】
剥離対象とするフィルムのセパレータの粘着性及び厚さによって、前記剥離ユニットのバックローラの径を選択し、バックローラを交換することを特徴とする、請求項４に記載のフィルムセパレータ剥離方法。
【請求項６】
剥離対象とするフィルムのセパレータの粘着性及び厚さによって、前記吸着エリア分割プレート及び吸着エリア分割パッキンの吸着エリアの大きさ又は形状を選択し、交換することを特徴とする、請求項４に記載のフィルムセパレータ剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート形状のフィルムの粘着層保護のために粘着層の上に積層されているセパレータフィルムを剥離する装置及び剥離方法であって、特に、剥離困難である強粘着セパレータや、厚膜セパレータであってもセパレータ剥離が可能な剥離装置及び剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フィルム製品は幅広い用途や分野で利用されているが、例えば表示パネルに貼付けるための接着層や、接着層を貼付け前まで保護しておくためのセパレータフィルムが設けられることで、多層フィルムを成す場合が多い。そしてこれらのフィルムを用いた各種製品製造のためには、セパレータ剥離技術が必要となる。
【０００３】
例えばロール形状のフィルムのセパレータ剥離であれば、ロール設置時に手動でセパレータを剥がし、セパレータとその他のフィルムにテンションをかけながら巻き取って回収する方法等、容易に剥離可能な方法が数多く知られている。
【０００４】
しかしながら、シート形状になったフィルムにおいて、各シートのセパレータを連続で剥離する場合、例えば特許文献１に示される剥離装置のように、粘着テープを用いてセパレータを剥がす方式が一般的である。
また、特許文献２に示される剥離装置のように、フィルム剥離の際に生じる誘導電荷による帯電を防止する技術がある。
しかしいずれの場合も、強粘着セパレータや厚膜セパレータ等、フィルムの特長によっては、粘着テープを用いた連続剥離がうまくできない場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−７３１０号公報
【特許文献２】特開２０１４−１４１０６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
シート形状のフィルムのセパレータを剥離する場合において、下記に挙げる３つの問題点がある。
【０００７】
（１）ガラス基板やシリコンウェーハ等の剛性の高い固体上に設けられたセパレータを剥離する場合であれば、基材を物理的にチャック等で真空吸着して保持した状態で、粘着テープによりセパレータを剥がすことが可能であるが、シート形状のフィルムの場合、物理的に保持ができない。すなわち、真空吸着による保持は可能であるが、吸着力が弱いため、粘着テープを用いてセパレータを剥がそうとすると、真空吸着が外れてセパレータを剥がせない。吸着を強くし過ぎると、吸着穴や吸着溝部分が強く吸引されるため、フィルムに傷や吸着痕ができてしまい、製品としては不良品となってしまう問題がある。
【０００８】
（２）真空吸着で保持する場合、粘着テープによりセパレータを剥がす際に吸着が外れないようにするためには吸引力を大きくする必要があるが、大サイズのフィルムの場合、非常に大きな吸引力が必要となってしまい、真空源だけで装置価格が高くなってしまう問題がある。
【０００９】
（３）粘着テープによるセパレータ剥離を実施する場合、セパレータと粘着テープを接触させる剥離ユニット先端部の適切な構成が確立されていないため、セパレータ剥離ができない、あるいは真空吸着から外れてしまう、といったことから剥離不良となってしまう問題がある。
【００１０】
以上の問題点を鑑みて、本発明では、シート形状のフィルムにおいて、粘着層保護のために粘着層の上に積層されているセパレータフィルム剥離の際、剥離困難である強粘着セパレータや厚膜セパレータであっても、セパレータ剥離が可能な剥離装置及び剥離方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明において、上記課題を達成するための第一の発明は、
フィルムのセパレータを剥離する装置であって、少なくとも粘着テープ巻出し軸と、バックローラと、巻取り軸とを備えた剥離ユニットと、剥離ユニットを駆動動作する駆動部と、剥離対象とするフィルムを真空吸着して固定する真空吸着ステージを備えることを特徴とするフィルムセパレータ剥離装置である。
【００１２】
また、第二の発明は、
前記真空吸着ステージの下側のエリアを２分割し、セパレータ剥離を開始するエリアと、それ以外のエリアとに分けた吸着エリア分割プレート及び吸着エリア分割パッキンを備え、各エリアそれぞれに独立した真空源を接続したことを特徴とするフィルムセパレータ剥離装置である。
【００１３】
第三の発明は、
前記真空吸着ステージに、多孔質シートと吸着穴付吸着プレートとを設置してなることを特徴とするフィルムセパレータ剥離装置である。
【００１４】
第四の発明は、
フィルムのセパレータ剥離方法であって、前記セパレータの対角線方向あるいは端辺方向に粘着テープを移動させてセパレータを剥離する、フィルムセパレータ剥離方法である。
【００１５】
第五の発明は、
剥離対象とするフィルムのセパレータの粘着性及び厚さによって、前記剥離ユニットのバックローラの径を選択し、バックローラを交換することを特徴とするフィルムセパレータ剥離方法である。
【００１６】
第六の発明は、
剥離対象とするフィルムのセパレータの粘着性及び厚さによって、前記吸着エリア分割プレート及び吸着エリア分割パッキンの吸着エリアの大きさ又は形状を選択し、交換することを特徴とするフィルムセパレータ剥離方法。
【発明の効果】
【００１７】
本発明により、シート形状のフィルムにおいて、粘着層保護のために粘着層の上に積層されているセパレータフィルム剥離の際、剥離困難である強粘着セパレータや、厚膜セパレータであってもセパレータ剥離が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明のシート形状フィルムのセパレータ剥離装置における一実施形態の構成を示す概略図である。
【図２】本発明のシート形状フィルムのセパレータ剥離装置用真空吸着ステージの構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
（フィルムセパレータ剥離装置）
以下に、本発明の剥離装置について図を参照して説明する。なお、本発明は以下に述べる実施形態のみに限定されるものではない。
また、フィルムとは、例えば薄膜多積層のフィルムであるが、これに限定されるものではなく、少なくともセパレータを含み、製造工程または出荷工程でセパレータを剥離するものを対象とする。
【００２０】
図１は、本発明のシート形状のフィルムのセパレータ剥離装置（１００）の一実施形態を示す模式図であって、粘着テープ（１２）を取り付けてバックテンションをかける粘着テープ巻出し軸（１０）と、粘着テープ（１２）をセパレータ１６に接触させるためのバックローラ（１３）と、粘着テープにテンションをかけて巻き取る巻取り軸（１１）とで構成された剥離ユニット（１４）と、剥離ユニット（１４）を動作させる駆動部（図示せず）と、シート形状薄膜多積層フィルム（１５）が動かないように真空吸着して固定する真空吸着ステージ（１７）で構成された剥離装置（１００）を示している。
【００２１】
図２は、図１におけるシート形状薄膜多積層フィルムのセパレータ剥離ユニット（１４）に使用される真空吸着ステージ（１７）の詳細な構成を示す断面模式図であって、連続気泡を有する多孔質シート（１８）と、多孔質シート（１８）の下にある吸着穴付吸着プレート（２０）、及び吸着エリア分割パッキン（２１）と吸着エリア分割プレート（２２）からなる分割吸着ステージ（２５）と、多孔質シート（１８）の周囲側面をコーキング（封止）する封止接着剤（１９）とで構成された真空吸着ステージ（１７）の構造を示している。
また分割吸着ステージ（２５）の下方には、セパレータ剥離エリア真空源（２３）と、その他エリア真空源（２４）が接続されており、それぞれの真空源が動作して真空吸着する。
【００２２】
上記装置の構成および動作について、より詳細に説明する。
まず、図１のように、粘着テープ（１２）を、その粘着面がセパレータ（１６）に対向する向きに、粘着テープ巻出し軸（１０）に取付け、粘着テープバックローラ（１３）を介して、粘着テープ巻取り軸（１１）が矢印方向に回転することで回収する機構が、セパレータ剥離ユニット（１４）に固定されている。
【００２３】
セパレータ剥離ユニット（１４）は、そのユニット全体が高さ方向と幅方向に駆動する機構、例えば、リニアガイドとボールネジとサーボモータを組み合わせた駆動源がある。また、巻出し軸（１０）は、バックテンションがかけられる、例えばパウダーブレーキのような機構を備えている。
巻取り軸（１１）は、テンションをかけてフィルムを巻取る、例えば等速制御されたサーボモータのような機構を備えている。
そしてセパレータ剥離ユニット（１４）の下方には、セパレータ（１６）が表面上に設けられたシート形状多積層薄膜フィルム（１５）が、真空吸着ステージに吸着固定されている。
【００２４】
粘着テープバックローラ（１３）は交換が可能な構造となっており、シート形状多積層薄膜フィルム（１５）のセパレータ（１６）の粘着性や厚さによって、バックローラ（１３）の最適な径を選定することができる。
ローラ径が小さい、例えば直径１０ｍｍ程度であれば、剥離力は小さいが、吸着ステージから外れにくくなるため、比較的剥がしやすいセパレータ（１６）に適している。
ローラ径が大きい、例えば直径５０ｍｍ程度であれば、剥離力は大きくできるが、吸着ステージから外れやすくなるため、例えば図２に示す真空吸着ステージのような、吸着力を大きくできる構造にする工夫をすればよい。
【００２５】
本発明のフィルムセパレータ剥離装置は、上記に述べたような構成を備えることにより、シート形状のフィルムであっても真空吸着により保持することができ、従来は剥離が困難であった強粘着セパレータや厚膜セパレータであっても、セパレータを剥離できる。また、バックローラを交換してバックローラ径を変えることが容易であり、剥離対象とするフィルムセパレータの粘着性や厚さに応じて最適な剥離力に設定することができる。
【００２６】
図２は、図１の真空吸着ステージ（１７）のより詳細な断面模式図を示している。
シート形状多積層薄膜フィルム（１５）と同サイズの、連続気泡構造を持つ多孔質シート（１８）が、吸着穴がシート形状多積層薄膜フィルム（１５）と同サイズに等間隔配置されている吸着穴付吸着プレート（２０）の上に設置されており、多孔質シート周囲の端辺部を封止接着剤（１９）でコーキングすることで、端辺部からリークしない構造となっている。多孔質シートには多数の微小な孔が開いており、その上に剥離対象とするセパレータ付きフィルムを載置した際にしっかりとフィルムを保持し、フィルム下面全体を均一に吸着することができる。
【００２７】
吸着穴付吸着プレート（２０）の下には、吸着エリア分割パッキン（２１）と、吸着エリア分割プレート（２２）が設置されており、これによって、セパレータ（１６）剥離のきっかけとなる角部あるいは端辺部の吸着と、それ以外のエリアの吸着を分割している。この吸着エリア分割プレート（２２）の下方には通気孔が設けてあり、これらの通気孔は、それぞれの吸着源であるセパレータ剥離エリア真空源（２３）と、その他エリア真空源（２４）に接続されており、それぞれの真空源が独立して真空吸引できる構造となっている。真空源は、例えば真空ポンプあるいは真空エジェクタ等を用いることができる。
【００２８】
吸着エリアをどのように分割するかは、シート形状多積層薄膜フィルム（１５）のセパレータ（１６）の粘着性や厚さによって最適なエリアを選定する必要があるが、図２のような構成であれば、吸着エリア分割パッキン（２１）と、吸着エリア分割プレート（２２）の２つの部品を変えるだけで、簡単に吸着エリア変更が可能となる。
【００２９】
ここで、小さい剥離力で剥離可能なセパレータ（１６）であれば、その他エリアの範囲を広くするか、場合によっては分割せずに１つの吸着エリアで剥離が可能である。
また、大きい剥離力が必要なセパレータ（１６）であれば、セパレータ剥離エリア真空源（２３）の真空圧あるいは流量を大きくすることで剥離が可能となる。
尚、大きい剥離力が必要な場合、セパレータ剥離エリアを狭くすれば吸着力が大きくなるが、セパレータ剥離エリアを狭くしすぎると、その他エリアとの境界で吸着が外れる場合があるため、双方を満足するエリアの最適設計が必要となる。
【００３０】
粘着テープバックローラ（１３）のローラ径、吸着エリア分割パッキン（２１）、吸着エリア分割プレート（２２）、セパレータ剥離エリア真空源（２３）については、シート形状多積層薄膜フィルム（１５）のセパレータ（１６）の粘着性や厚さによって、最適設計を選定する必要があるが、本発明の構造であれば、上述のように必要最小限の部品選定で最適設計が可能となる。
【００３１】
（フィルムセパレータ剥離方法）
次に、本発明におけるフィルムセパレータ剥離方法について説明する。
図１に示すセパレータ剥離ユニット（１４）において、シート形状多積層薄膜フィルム（１５）上のセパレータ（１６）剥離の際、まず、吸着固定されているシート形状多積層
薄膜フィルム（１５）の角部あるいは端辺部に、バックローラ（１３）でテンションをかけて保持されている粘着テープ（１２）を上から下に下降させて接触させる。
次に、対角線方向あるいは対辺方向に向かって幅方向に動作しながら粘着テープ（１２）を巻き取ることで、セパレータ（１３）のみを剥離する。
【００３２】
剥離したセパレータ（１３）は、そのまま粘着テープ巻取り軸（１１）に一緒に巻き取られるか、あるいは、別のセパレータ回収ユニット、例えばチャックによって角部あるいは端辺部を掴み、対角線方向あるいは対辺方向に向かって幅方向に動作する機構によってセパレータ（１３）を剥離して回収し、ダストボックスに廃棄する。
【００３３】
このように、本発明の剥離方法によれば、シート形状のフィルムであっても真空吸着により固定しながら粘着テープによるセパレータを剥離し、巻き取ってセパレータを回収することができる。また強粘着セパレータや厚膜セパレータであっても、セパレータを剥離できる。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明は、これまでロール形状の供給でしかできなかった薄膜多積層フィルムのセパレータ剥離が、シート形状の薄膜多積層フィルムでも可能となるため、シート形状セパレータ剥離ができなかったために不可能とされていたフィルムの製造に応用することで、更なる技術進展に貢献することが可能となる。
【符号の説明】
【００３５】
１０・・・粘着テープ巻出し軸
１１・・・粘着テープ巻取り軸
１２・・・粘着テープ
１３・・・粘着テープバックローラ
１４・・・セパレータ剥離ユニット
１５・・・シート形状多積層薄膜フィルム
１６・・・セパレータ
１７・・・真空吸着ステージ
１８・・・連続気泡構造を持つ多孔質シート
１９・・・封止接着剤
２０・・・吸着穴付吸着プレート
２１・・・吸着エリア分割パッキン
２２・・・吸着エリア分割プレート
２３・・・セパレータ剥離エリア真空源
２４・・・その他エリア真空源
２５・・・分割吸着ステージ
１００・・・セパレータ剥離装置
【図１】
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【図２】
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