(57)【要約】【課題】より簡便な構成で、高精度かつ高い耐熱性を有するミラーマウントを提供する。【解決手段】ミラーマウント９０は、軸線回りに回転可能、かつ、軸線方向に進退可能に設けられた軸部９１と、軸部９１の端部に固定されて、軸線に直交する面内に広がる支持盤９２と、支持盤９２に固定されたミラー９３と、を備える。支持盤９２は、第一材料からなり板状に延びるとともに互いに軸線の周方向に間隔をあけて積層された複数のベース板と、第二材料からなり互いに隣り合うベース同士を接続する複数の梁と、を有する非熱膨張部材によって構成された環状部材８１を有する。第一材料の線膨張係数は、第二材料の線膨張係数よりも大きい。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線回りに回転可能、かつ、軸線方向に進退可能に設けられた軸部と、
前記軸部の端部に固定されて、前記軸線に直交する面内に広がる支持盤と、
該支持盤に固定されたミラーと、
を備え、
前記支持盤は、第一材料からなり板状に延びるとともに互いに前記軸線の周方向に間隔をあけて積層された複数のベース板と、第二材料からなり互いに隣り合う前記ベース同士を接続する複数の梁と、を有する非熱膨張部材によって構成された環状部材を有し、
前記第一材料の線膨張係数は、前記第二材料の線膨張係数よりも大きいミラーマウント。
【請求項２】
前記軸部の前記端部から前記軸線を中心として径方向に延びるとともに、前記環状部材に接続された複数の径方向部材を有し、
該複数の径方向部材は、周方向を前記ベース板の積層方向とする前記非熱膨張部材によって構成されている請求項１に記載のミラーマウント。
【請求項３】
前記支持盤は、前記環状部材の内周側に設けられ、前記軸線を中心とした同心円状をなす複数の分割リングを有し、
該複数の分割リングは、周方向を前記ベース板の積層方向とする前記非熱膨張部材によって構成されている請求項１に記載のミラーマウント。
【請求項４】
前記軸部の前記端部から前記軸線を中心として径方向に延びるとともに、前記複数の分割リングのそれぞれに接続された複数の径方向部材を有し、
該複数の径方向部材は、周方向を前記ベース板の積層方向とする前記非熱膨張部材によって構成されている請求項３に記載のミラーマウント。
【請求項５】
前記支持盤は、前記軸線方向から見て、前記軸部の前記端部から接線方向に前記環状部材まで延びる複数のストラット部材をさらに有し、
該複数のストラット部材は、前記接線方向及び前記軸線方向に直交する方向を前記ベース板の積層方向とする前記非熱膨張部材によって構成されている請求項１から４のいずれか一項に記載のミラーマウント。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ミラーマウントに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばレーザ光を反射鏡によって反射させることでその経路を自在に変化させる技術が知られている。この種のレーザ照射系は、レーザ光源と、レーザ光の経路上に配置される複数の反射鏡と、を備えている。反射鏡として、具体的には、微動鏡、パン鏡、チルト鏡が挙げられる。これらのうち、微動鏡は、レーザ光の経路に対する角度・姿勢をわずかに変化させることで、最終的に照射系から発せられるレーザ光の方向を調整するものである。
【０００３】
ここで、レーザ光は高エネルギー状態で照射されることから、反射鏡にレーザ光が入射する際にその一部が熱エネルギーとなって当該反射鏡が加熱される。反射鏡に熱が加わると、鏡面の歪み（熱変形）によって光学特性に狂いが生じる。このような熱変形を防ぐための冷却構造を備えた光学装置の一例として、下記特許文献１に記載されたものが知られている。
【０００４】
特許文献１に記載されたプロジェクターは、投射画像を形成するための光学装置と、当該光学装置を液体冷媒によって冷却する冷却ユニットと、を備えている。光学装置は、光変調装置としての液晶パネルと、液晶パネルの入射側に配置された入射側偏光板と、出射側に配置された出射側偏光板と、色合成装置としてのプリズムと、を有している。冷却ユニットは、これら装置のうち、最も大きな熱に曝される出射側偏光板を冷却する。これにより、偏光板の歪みによる画像の品質劣化が抑制できるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−１０９７５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１に記載された装置では、光学装置を冷却するために液冷構造の冷却ユニットが用いられることから、装置全体の寸法体格が大型化してしまう。さらに、冷却ユニットの動作状態によって耐熱性が制限されるため、光学装置に期待できる精度・信頼性が限定的となってしまう可能性もある。
【０００７】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであって、より簡便な構成で、高精度かつ高い耐熱性を有するミラーマウントを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様に係るミラーマウントは、軸線回りに回転可能、かつ、軸線方向に進退可能に設けられた軸部と、前記軸部の端部に固定されて、前記軸線に直交する面内に広がる支持盤と、該支持盤に固定されたミラーと、を備え、前記支持盤は、第一材料からなり板状に延びるとともに互いに前記軸線の周方向に間隔をあけて積層された複数のベース板と、第二材料からなり互いに隣り合う前記ベース同士を接続する複数の梁と、を有する非熱膨張部材によって構成された環状部材を有し、前記第一材料の線膨張係数は、前記第二材料の線膨張係数よりも大きい。
【０００９】
上記構成によれば、支持盤が非熱膨張部材によって構成されている。非熱膨張部材は、ベース板と梁とを有し、梁を形成する第二材料は、ベース板を形成する第一材料よりも小さな線膨張係数を有している。したがって、非熱膨張部材に熱が加えられた場合、ベース板は自身の広がる面方向に熱膨張を生じる一方で、梁に生じる熱膨張は相対的に小さくなる。これにより、梁によって接続された隣り合うベース板同士の間隔（積層方向における離間距離）は熱膨張によっては変化せず、一定の値を維持する。即ち、この非熱膨張部材は、ベース板の積層方向における線膨張係数がゼロか、又は極小さな値となる。したがって、例えばレーザ光のような高エネルギーを伴う光がミラーに照射され、上記の支持盤に熱が加わった場合であっても、支持盤には軸線に直交する方向における熱膨張が極めて生じにくい。その結果、ミラーの歪みが抑制され、ミラーマウントの精度を維持することができる。特に、他の冷却装置等を用いることなく、支持盤の熱変形を抑制することができるため、装置の寸法体格を小さく抑えることも可能となる。
【００１０】
上記ミラーマウントでは、前記軸部の前記端部から前記軸線を中心として径方向に延びるとともに、前記環状部材に接続された複数の径方向部材を有し、該複数の径方向部材は、周方向を前記ベース板の積層方向とする前記非熱膨張部材によって構成されていてもよい。
【００１１】
上記構成によれば、環状部材によってミラーが支持されるとともに、当該環状部材に複数の径方向部材が接続されている。径方向部材を形成する非熱膨張部材の積層方向（ベース板の積層方向）は周方向とされている。したがって、支持盤に熱が加わった場合であっても、軸線に直交する方向における熱変形がゼロとなるか、又は極めて小さな値となる。その結果、ミラーの歪みが抑制され、ミラーマウントの精度を維持することができる。特に、ミラーに軸線に直交する方向の歪みが生じた場合、顕著な精度低下が生じ得るが、上記の構成によれば、このような可能性を大幅に低減することができる。
【００１２】
上記ミラーマウントでは、前記支持盤は、前記環状部材の内周側に設けられ、前記軸線を中心とした同心円状をなす複数の分割リングを有し、該複数の分割リングは、周方向を前記ベース板の積層方向とする前記非熱膨張部材によって構成されていてもよい。
【００１３】
上記構成によれば、支持盤は、軸線を中心とした同心円状の複数の分割リングを有している。これにより、例えば支持盤を一体の円盤状に形成した場合に比べて、当該支持盤全体に生じる熱変形を小さくすることができる。さらに、これら分割リングを形成する非熱膨張部材の積層方向（ベース板の積層方向）は周方向とされている。したがって、支持盤に熱が加わった場合であっても、軸線に直交する方向における熱変形がゼロとなるか、又は極めて小さな値となる。その結果、ミラーの歪みが抑制され、ミラーマウントの精度を維持することができる。特に、ミラーに軸線に直交する方向の歪みが生じた場合、顕著な精度低下が生じ得るが、上記の構成によれば、このような可能性を大幅に低減することができる。
【００１４】
上記ミラーマウントでは、前記軸部の前記端部から前記軸線を中心として径方向に延びるとともに、前記複数の分割リングのそれぞれに接続された複数の径方向部材を有し、該複数の径方向部材は、周方向を前記ベース板の積層方向とする前記非熱膨張部材によって構成されていてもよい。
【００１５】
上記構成によれば、分割リングのそれぞれに対して複数の径方向部材が接続されている。これにより、分割リングに生じる軸線に直交する方向の熱変形が、径方向に延びる径方向部材によって抑制される。したがって、分割リングと環状部材のみによって支持盤を構成した場合に比べて、熱変形をさらに小さく抑えることができる。その結果、ミラーの歪みが抑制され、ミラーマウントの精度を維持することができる。
【００１６】
上記ミラーマウントでは、前記支持盤は、前記軸線方向から見て、前記軸部の前記端部から接線方向に前記環状部材まで延びる複数のストラット部材をさらに有し、該複数のストラット部材は、前記接線方向及び前記軸線方向に直交する方向を前記ベース板の積層方向とする前記非熱膨張部材によって構成されていてもよい。
【００１７】
上記構成によれば、軸部と環状部材とが、接線方向に延びる複数のストラット部材によって接続されている。さらに、ストラット部材を構成する非熱膨張部材の積層方向（ベース板の積層方向）は、当該接線方向及び軸線方向に直交する方向とされている。したがって、外部から熱が加わった場合であっても、ストラット部材には軸線に直交する方向における熱変形を生じないか、又は極めて小さな値となる。これにより、ミラーマウントの精度低下を抑制することができる。また、たとえストラット部材に熱変形が生じた場合であっても、ストラット部材が接線方向に延びていることから、当該熱変形によって環状部材を軸線回りにわずかに回転させるのみに留まり、径方向における熱変形は依然としてゼロか、又は小さな値に抑えることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、より簡便な構成で、高精度かつ高い耐熱性を有するミラーマウントを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第一実施形態に係るレーザ照射装置の全体構成図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係るミラーマウントの縦断面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。
【図４】本発明の第一実施形態に係る支持盤を構成する非熱膨張部材の構成を示す斜視図である。
【図５】非熱膨張部材の挙動を説明する説明図である。
【図６】本発明の第二実施形態に係るミラーマウントの縦断面図である。
【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線における断面図である。
【図８】本発明の第三実施形態に係るミラーマウントの縦断面図である。
【図９】図８のＩＸ−ＩＸ線における断面図である。
【図１０】図８のＸ−Ｘ線における断面図である。
【図１１】本発明の第四実施形態に係るミラーマウントの縦断面図である。
【図１２】図１１のＸＩＩ−ＸＩＩ線における断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
［第一実施形態］
本発明の第一実施形態について、図１から図５を参照して説明する。本実施形態に係るレーザ照射装置１００は、予め定められた目標点に対してレーザ光Ｌを正確に照射するために用いられる光学装置である。
【００２１】
図１に示すように、このレーザ照射装置１００は、レーザ光Ｌを発生させるレーザ出力部１０と、微動鏡１１と、反射鏡１２と、パン鏡１３と、チルト鏡１４と、を備えている。反射鏡１２は、レーザ出力部１０から照射されたレーザ光Ｌの経路上に配置されている。反射鏡１２は、レーザ光Ｌを微動鏡１１に向かって反射させる。微動鏡１１は、反射鏡１２で反射されたレーザ光Ｌをさらに反射することで、パン鏡１３、及びチルト鏡１４に向かわせる。反射鏡１２から入射したレーザ光Ｌはこれらパン鏡１３・チルト鏡１４によって反射される。パン鏡１３・チルト鏡１４は、微動鏡１１から入射したレーザ光Ｌの経路を調整するために設けられている。チルト鏡１４で反射されたレーザ光Ｌは外部の目標点に照射される。なお、パン鏡１３・チルト鏡１４の個数や経路は図１の例によっては限定されず、設計や仕様に応じて適宜変更することが可能である。
【００２２】
上記の反射鏡１２、微動鏡１１、パン鏡１３、及びチルト鏡１４は、いずれもレーザ光Ｌを反射可能なミラー９３（後述）を有しており、このミラー９３を所定の姿勢で支持するために、以下で説明するミラーマウント９０の構成を適用することが可能である。なお、図１では、微動鏡１１にミラーマウント９０を適用した例を示している。図２に示すように、ミラーマウント９０は、軸部９１と、支持盤９２と、ミラー９３（上述）と、を備える。
【００２３】
軸部９１は、不図示の駆動源によって、所定の方向に延びる軸線Ａｃ回りに回転可能であるとともに、当該軸線Ａｃ方向に進退可能とされている。支持盤９２は、この軸部９１の先端部９１ｔ（端部）に固定されている。支持盤９２は、軸線Ａｃに直交する面内に広がる円盤状をなしている。支持盤９２の軸線Ａｃ方向一方側の面には、ミラー９３が固定されている。ミラー９３の軸線Ａｃ方向一方側の面は、レーザ光Ｌを反射可能な反射面Ｓｒとされている。
【００２４】
支持盤９２は、軸線Ａｃを中心とする円環状の環状部材８１と、当該環状部材８１の内周側に設けられた複数の分割リング８２と、を有している。図３に示すように、複数の分割リング８２は、軸線Ａｃを中心とした同心円状をなしている。即ち、内周側から外周側に向かうに従って、分割リング８２の径方向の寸法が大きくなっている。なお、詳しくは図示しないが、互いに隣り合う一対の分割リング８２同士は、接着剤によって固定されている。この接着剤としては、硬化した状態でもある程度の弾性力を有するものが好適に用いられる。また、最も外周側の分割リング８２の外周面と、環状部材８１の内周面との間も、このような接着剤によって結合されている。
【００２５】
以上のような支持盤９２では、環状部材８１の軸線Ａｃ方向一方側の端面にミラー９３が固定されている。より具体的には、環状部材８１の端面には、軸線Ａｃ方向他方側に向かって凹む溝Ｒが形成されており、ミラー９３はこの溝Ｒに嵌め込まれている。さらに、ミラー９３と上記の複数の分割リング８２との間には空間が形成されている。
【００２６】
ミラー９３の反射面Ｓｒに入射したレーザ光Ｌの大部分は、当該反射面Ｓｒによって反射されて所定の経路を進行する。一方で、レーザ光Ｌの一部の成分は、ミラー９３を透過して支持盤９２に到達する。支持盤９２に到達したレーザ光Ｌのエネルギーは、熱に変換されて支持盤９２を加熱する。例えば、支持盤９２が熱による膨張（熱変形）を生じやすい材料で形成されている場合、この熱変形によってミラー９３の姿勢・形状が変化する。その結果、ミラー９３による反射光の経路が変化し、所定の目標点にレーザ光Ｌを照射できなくなる可能性がある。
【００２７】
そこで、本実施形態では、熱変形がゼロを示す（又は熱変形が極めて小さい）材料によって支持盤９２を構成している。具体的には、支持盤９２は非熱膨張部材Ｍ（力学的非熱膨張部材）によって構成されている。
【００２８】
図４に示すように、非熱膨張部材Ｍは、板状に形成されるとともに、厚さ方向に間隔をあけて互いに平行に配列された複数のベース板１と、これらベース板１同士を互いに接続する三次元トラス構造２と、を備えている。これらベース板１、及び三次元トラス構造２は、いずれも金属材料で形成されている。ベース板１を形成する第一材料の線膨張係数は、三次元トラス構造２を形成する第二材料の線膨張係数に対して相対的に大きい。第一材料、及び第二材料としては、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１０、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ４１０）や、Ｔｉ６Ａｌ４Ｖ、Ｎｉ基合金（インコネル６００、７１８）、高クロム鋼（９Ｃｒ、１２Ｃｒ）、２．２５Ｃｒ−１Ｍｏ材等から選択された材料が適宜用いられる。より具体的には、第一材料としてＳＵＳ３０４を用い、第二材料としてこのＳＵＳ３０４よりも線膨張係数が小さいＳＵＳ４１０を用いることが考えられる。また、第一材料としてＳＵＳ３０４を用い、第二材料としてＴｉ６Ａｌ４Ｖを用いることも可能である。この他、アルミ合金や銅、カーボンスチールを第一材料、又は第二材料として用いることも可能である。複数のベース板１は、延在領域の全体にわたって等間隔をあけて互いに対向している。
【００２９】
三次元トラス構造２は、互いに交差する方向に延びる複数の梁２１を有している。それぞれの梁２１は棒状をなしている。この三次元トラス構造２では、４つの梁２１が、互いに対向する一対のベース板１のうち、一方側のベース板１の表面に格子状に配列された複数の支持点の一つ（第一支持点３１）と、他方側のベース板１の表面に格子状に配列された４つの支持点（第二支持点３２）とをそれぞれ接続している。
【００３０】
ベース板１は、複数（４つ）の梁２１が接続されることで第一支持点３１を形成する支持部４１と、ベース板１の広がる方向（面方向）において互いに隣接する複数の支持部４１を接続する接続部４２と、を有している。これにより、ベース板１には、複数（４つ）の第一支持点３１を頂点とする四角形の孔（ベース板孔部６）が形成されている。即ち、ベース板１は、各第一支持点３１同士を接続する格子状をなしている。
【００３１】
ベース板１に直交する方向から見て、第一支持点３１と第二支持点３２とは、位置が互いに重ならないようにそれぞれ配列されるとともに、互いに等間隔をあけて格子状に配列されている。即ち、上記４つの梁２１は、１つの第一支持点３１を頂点とするとともに、４つの第二支持点３２によってベース板１上に形成される四角形を底面とする四角錐を形成している。複数の梁２１は、互いに同一の長さを有している。
【００３２】
上記のような三次元トラス構造２が、ベース板１を挟んで積層方向に鏡像対称となるように配置されている。言い換えれば、ベース板１の一方側の面における１つの第一支持点３１の反対側（ベース板１の他方側の面上）には、他の第一支持点３１が位置している。図４の例では、これらベース板１、及び三次元トラス構造２が、４層にわたって積層されている構成を示している。
【００３３】
次に、上記の非熱膨張部材Ｍの挙動について、図５を参照して説明する。図５では、一対のベース板１と、これらベース板１同士の間に設けられた１層の三次元トラス構造２のみを代表的に示している。非熱膨張部材Ｍに熱が加えられた場合、ベース板１、及び三次元トラス構造２は、以下のような挙動を示す。まず、ベース板１は、自身の延在する面方向に膨張する（図５中のＤａ方向に膨張する：ベース板１ａ）。したがって、上述の第一支持点３１同士の間隔が広がる（第一支持点３１ａ）。ここで、梁２１の線膨張係数が、ベース板１の線膨張係数よりも小さいことから、ベース板１の熱膨張量に比べて、梁２１の熱膨張量は小さくなっている。これにより、上述の第一支持点３１同士の間隔が広がり、一対の梁２１はベース板１の膨張する方向へ引っ張られる（梁２１ａ）。その結果、一方側のベース板１に対して、他方側のベース板１を近付く方向に変位させる力が働く。この力により、他方側のベース板１は、図５中の矢印Ｄｂ方向に変位する。このように、ベース板１の広がる面方向に膨張が生じる一方で、面方向に直交する厚さ方向（積層方向）では熱変形がゼロ（又は極めて小さい値）となる。なお、図５の例では、説明のためにベース板１の挙動を誇張して示している。即ち、実際には、ベース板１同士は、互いに近付く方向には変位せず、積層方向における熱変形はゼロ（又は極めて小さい値）となる。
【００３４】
他方で、上記のような非熱膨張部材Ｍとは異なる、一様な材料で形成された中実の板材に熱を加えた場合、面方向と厚さ方向のいずれにおいても熱膨張が生じてしまう。即ち、上記の非熱膨張部材Ｍでは、従来得られなかった特性を実現することができる。
【００３５】
本実施形態に係る支持盤９２では、上記のベース板１の積層方向が、軸線Ａｃに対する周方向とされている（図３中の矢印Ｄは積層方向を示している）。即ち、ベース板１同士の間隔（積層方向における間隔）は変化しないか、又は極めて小さな変化を示す。したがって、軸線Ａｃに直交する方向における支持盤９２の寸法は変化しないか、又は極めて小さな変化を示す。これにより、支持盤９２に固定されているミラー９３の歪みが抑制される。
【００３６】
以上、説明したように、本実施形態では、支持盤９２が非熱膨張部材Ｍによって構成されている。非熱膨張部材Ｍは、ベース板１と梁２１とを有し、梁２１を形成する第二材料は、ベース板１を形成する第一材料よりも小さな線膨張係数を有している。したがって、非熱膨張部材Ｍに熱が加えられた場合、ベース板１は自身の広がる面方向に熱膨張を生じる一方で、梁２１に生じる熱膨張は相対的に小さくなる。これにより、梁２１によって接続された隣り合うベース板１同士の間隔（積層方向における離間距離）は熱膨張によっては変化せず、一定の値を維持する。即ち、この非熱膨張部材Ｍは、ベース板１の積層方向における線膨張係数がゼロか、又は極小さな値となる。したがって、レーザ光Ｌのような高エネルギーを伴う光がミラー９３に照射され、上記の支持盤９２に熱が加わった場合であっても、支持盤９２には軸線Ａｃに直交する方向における熱膨張が極めて生じにくい。その結果、ミラー９３の歪みが抑制され、ミラーマウント９０の精度を維持することができる。特に、他の冷却装置等を用いることなく、支持盤９２の熱変形を抑制することができるため、装置の寸法体格を小さく抑えることも可能となる。
【００３７】
上記構成によれば、支持盤９２は、軸線Ａｃを中心とした同心円状の複数の分割リング８２を有している。これにより、例えば支持盤９２を一体の円盤状に形成した場合に比べて、当該支持盤９２全体に生じる熱変形を小さくすることができる。さらに、これら分割リング８２を形成する非熱膨張部材Ｍの積層方向（ベース板１の積層方向）は周方向とされている。したがって、支持盤９２に熱が加わった場合であっても、軸線Ａｃに直交する方向における熱変形がゼロとなるか、又は極めて小さな値となる。その結果、ミラー９３の歪みが抑制され、ミラーマウント９０の精度を維持することができる。特に、ミラー９３に軸線Ａｃに直交する方向の歪みが生じた場合、顕著な精度低下が生じ得るが、上記の構成によれば、このような可能性を大幅に低減することができる。
【００３８】
以上、本発明の第一実施形態について説明した。なお、本発明の要旨を逸脱しない限りにおいて、上記の構成に種々の変更や改修を施すことが可能である。例えば、上記実施形態では、ミラーマウント９０をレーザ照射装置１００に適用した例について説明した。しかしながら、ミラーマウント９０の適用例はこれに限定されず、光の経路を変更・調整する必要のある光学装置であれば、いかなるものにもミラーマウント９０を適用することが可能である。
【００３９】
［第二実施形態］
次に、本発明の第二実施形態について、図６と図７を参照して説明する。なお、上記第一実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。図６に示すように、本実施形態では、支持盤２９２の構成が第一実施形態とは異なっている。
【００４０】
支持盤２９２は、環状部材８１と、内周部材２９４と、複数のストラット部材２９５と、を有している。環状部材８１の構成は上記第一実施形態と同様である。内周部材２９４は、軸部９１の先端部９１ｔに固定された円盤状の部材である。内周部材２９４の径方向の寸法は、環状部材８１の径方向の寸法よりも小さいこれにより、環状部材８１の内周面と内周部材２９４の外周面との間には円環状の空間が形成されている。
【００４１】
ストラット部材２９５は、内周部材２９４と環状部材８１とを互いに接続している。図７に示すように、ストラット部材２９５は、軸線Ａｃ方向から見て、内周部材２９４（又は軸部９１の先端部９１ｔ）のなす円の接線方向に延びている。本実施形態では、このようなストラット部材２９５が、軸線Ａｃに対する周方向に等間隔をあけて複数（６個）設けられている。
【００４２】
各ストラット部材２９５は、上述の非熱膨張部材Ｍによって構成されている。より具体的には、ストラット部材２９５を形成する非熱膨張部材Ｍでは、ベース板１の積層方向が、内周部材２９４の接線方向及び軸線Ａｃに直交する方向とされている（図７中の矢印Ｄは積層方向を示している）。さらに、図６に示すように、ストラット部材２９５は、軸線Ａｃ方向において内周部材２９４、及び環状部材８１よりも他方側（即ち、ミラー９３とは反対側）に位置している。ストラット部材２９５と内周部材２９４、及び環状部材８１は、結合部材Ｃによってそれぞれ互いに結合されている。結合部材Ｃとして、具体的には、硬化後にも弾性復元力を発揮することが可能な接着剤が好適に用いられる。
【００４３】
上記構成によれば、軸部９１と環状部材８１とが、接線方向に延びる複数のストラット部材２９５によって接続されている。さらに、ストラット部材２９５を構成する非熱膨張部材Ｍの積層方向（ベース板１の積層方向）は、接線方向及び軸線Ａｃに直交する方向とされている。したがって、外部から熱が加わった場合であっても、ストラット部材２９５には熱変形を生じないか、又は極めて小さな値となる。これにより、ミラーマウント９０の精度低下を抑制することができる。また、たとえストラット部材２９５に熱変形が生じた場合であっても、ストラット部材２９５が接線方向に延びていることから、当該熱変形によって環状部材８１が軸線Ａｃ回りにわずかに回転するのみに留まり、径方向における熱変形は依然としてゼロか、又は小さな値に抑えることができる。
【００４４】
以上、本発明の第二実施形態について説明した。なお、本発明の要旨を逸脱しない限りにおいて、上記の構成に種々の変更や改修を施すことが可能である。例えば、上記第二実施形態では、ストラット部材２９５が６個設けられている構成について説明した。しかしながら、ストラット部材２９５の個数はこれに限定されず、５個以下、又は７個以上設けることも可能である。
【００４５】
［第三実施形態］
続いて、本発明の第三実施形態について、図８から図１０を参照して説明する。なお、上記の各実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。図８に示すように、本実施形態では、支持盤３９２の構成が上記各実施形態とは異なっている。具体的には、支持盤３９２は、環状部材８１と、複数の分割リング８２（図９参照）と、これら環状部材８１、及び複数の分割リング８２に対して軸線Ａｃ方向の他方側に設けられた複数（８個）の径方向部材３９４と、を有している。
【００４６】
図８及び図１０に示すように、各径方向部材３９４は、軸部９１の先端部９１ｔから、軸線Ａｃに対する径方向に延びている。即ち、複数の径方向部材３９４は、周方向に等間隔をあけて、軸部９１の先端部９１ｔから放射状に延びている。径方向部材３９４は、上述の非熱膨張部材Ｍによって形成されている。具体的には、径方向部材３９４を構成する非熱膨張部材Ｍの積層方向（ベース板１の積層方向）は、軸線Ａｃに対する周方向とされている（図９中の矢印Ｄは積層方向を示している。）。このような径方向部材３９４が、環状部材８１、及び各分割リング８２に対して、軸線Ａｃ方向の他方側から結合部材Ｃ´を介して結合されている。結合部材Ｃ´としては、硬化後に弾性復元力を発揮することが可能な接着剤が好適に用いられる。
【００４７】
上記構成によれば、支持盤３９２は、軸線Ａｃを中心とした同心円状の複数の分割リング８２を有している。これにより、例えば支持盤９２を一体の円盤状に形成した場合に比べて、当該支持盤３９２全体に生じる熱変形を小さくすることができる。さらに、これら分割リング８２を形成する非熱膨張部材Ｍの積層方向（ベース板１の積層方向）は周方向とされている。したがって、支持盤３９２に熱が加わった場合であっても、軸線Ａｃに直交する方向における熱変形がゼロとなるか、又は極めて小さな値となる。その結果、ミラー９３の歪みが抑制され、ミラーマウント９０の精度を維持することができる。特に、ミラー９３に軸線Ａｃに直交する方向の歪みが生じた場合、顕著な精度低下が生じ得るが、上記の構成によれば、このような可能性を大幅に低減することができる。
【００４８】
さらに、上記構成によれば、分割リング８２のそれぞれに対して複数の径方向部材３９４が接続されている。これにより、分割リング８２に生じる径方向の熱変形が、径方向に延びる径方向部材３９４によって抑制される。したがって、分割リング８２と環状部材８１のみによって支持盤３９２を構成した場合に比べて、熱変形をさらに小さく抑えることができる。その結果、ミラー９３の歪みが抑制され、ミラーマウント９０の精度を維持することができる。
【００４９】
以上、本発明の第三実施形態について説明した。なお、本発明の要旨を逸脱しない限りにおいて、上記の構成に種々の変更や改修を施すことが可能である。例えば、上記第三実施形態では、径方向部材３９４が８個設けられている構成について説明した。しかしながら、径方向部材３９４の個数はこれに限定されず、７個以下、又は９個以上設けることも可能である。
【００５０】
［第四実施形態］
次に、本発明の第四実施形態について、図１１と図１２を参照して説明する。なお、上記の各実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。図１１及び図１２に示すように、本実施形態では、支持盤４９２の構成が上記の各実施形態とは異なっている。具体的には、支持盤４９２は、環状部材８１と、環状部材８１に接続された複数の径方向部材３９４と、を有している。即ち、この支持盤４９２は、第三実施形態で説明した支持盤３９２における分割リング８２を排した構成を採っている。また、本実施形態では、径方向部材３９４の内周側の端部が、軸部９１の先端部９１ｔに固定されている。本実施形態においても、径方向部材３９４を形成する非熱膨張部材Ｍの積層方向（ベース板１の積層方向）は、軸線Ａｃに対する周方向とされている（図１２中の矢印Ｄは積層方向を示している。）。
【００５１】
上記構成によれば、環状部材８１によってミラー９３が支持されるとともに、当該環状部材８１に複数の径方向部材３９４が接続されている。径方向部材３９４を形成する非熱膨張部材Ｍの積層方向（ベース板１の積層方向）は周方向とされている。したがって、支持盤４９２に熱が加わった場合であっても、軸線Ａｃに直交する方向における熱変形がゼロとなるか、又は極めて小さな値となる。その結果、ミラー９３の歪みが抑制され、ミラーマウント９０の精度を維持することができる。特に、ミラー９３に軸線Ａｃに直交する方向の歪みが生じた場合、顕著な精度低下が生じ得るが、上記の構成によれば、このような可能性を大幅に低減することができる。
【００５２】
以上、本発明の第四実施形態について説明した。なお、本発明の要旨を逸脱しない限りにおいて、上記の構成に種々の変更や改修を施すことが可能である。
【符号の説明】
【００５３】
１００…レーザ照射装置
１…ベース板
２…三次元トラス構造
１０…レーザ出力部
１１…微動鏡
１２…反射鏡
１３…パン鏡
１４…チルト鏡
２１…梁
３１…第一支持点
３２…第二支持点
４１…支持部
４２…接続部
８１…環状部材
８２…分割リング
９０…ミラーマウント
９１…軸部
９１ｔ…先端部
９２，２９２，３９２，４９２…支持盤
９３…ミラー
２９４…内周部材
２９５…ストラット部材
３９４…径方向部材
Ａｃ…軸線
Ｃ，Ｃ´…結合部材
Ｌ…レーザ光
Ｍ…非熱膨張部材
Ｒ…溝
Ｓｒ…反射面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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