(57)【要約】【課題】クリーンルームへの異物侵入の抑制精度を向上させること。【解決手段】第１室１３には、外側梱包材Ｐ１及び内側梱包材Ｐ２によって二重に梱包された搬送部品Ｐが搬入される。第１室１３で外側梱包材Ｐ１が取り除かれた搬送部品Ｐは、第１室１３と隣接する第２室１４に搬入される。搬送部品Ｐは、第２室１４からクリーンルーム１１に搬入される。第１室１３は、第１室１３の重力方向の上側にて空気を第１室１３内に吸入する第１吸入部２２と、第１室１３の重力方向の下側にて空気を第１室１３外に排出する第１排出部２１と、を有する。第２室１４は、第２室１４の重力方向の上側にて空気を第１吸入部２２よりも大きい吸入力で第２室１４内に吸入する第２吸入部２４と、第２室１４の重力方向の下側にて空気を第１排出部２１よりも小さい排出力で第２室１４外に排出する第２排出部２３と、を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外側梱包材及び内側梱包材によって二重に梱包された搬送部品が搬入されるとともに、前記外側梱包材が前記搬送部品から取り除かれる第１室と、
前記第１室と重力方向と直交する方向にて隣接するとともに前記第１室と内部空間が連通する室であって、前記外側梱包材が取り除かれた前記搬送部品が前記第１室から搬入される第２室と、
前記第２室と重力方向と直交する方向にて隣接するとともに前記第２室と内部空間が連通可能である室であって、前記搬送部品が前記第２室から搬入されるクリーンルームと、を備える搬送設備であって、
前記第１室は、前記第１室の重力方向の上側にて前記第１室外の空気を前記第１室内に吸入する第１吸入部と、前記第１室の重力方向の下側にて前記第１室内の空気を前記第１室外に排出する第１排出部と、を有し、
前記第２室は、前記第２室の重力方向の上側にて前記第２室外の空気を前記第１吸入部よりも大きい吸入力で前記第２室内に吸入する第２吸入部と、前記第２室の重力方向の下側にて前記第２室内の空気を前記第１排出部よりも小さい排出力で前記第２室外に排出する第２排出部と、を有する搬送設備。
【請求項２】
前記第１室は、前記第１排出部の重力方向の上部に位置するとともに、前記外側梱包材を前記搬送部品から取り除くために前記搬送部品を載置する載置台を有し、
前記載置台は、重力方向の上部から下部に空気が流通可能な貫通孔を有する請求項１に記載の搬送設備。
【請求項３】
前記第１室は、
前記第１排出部の重力方向の上部に位置するとともに、前記外側梱包材を前記搬送部品から取り除くために前記搬送部品を載置する載置台と、
前記搬送部品から取り除かれた前記外側梱包材を前記載置台に押し付ける押圧部と、を有する請求項１又は請求項２に記載の搬送設備。
【請求項４】
前記第１室は、前記外側梱包材を前記搬送部品から取り除くために前記搬送部品を載置する第１載置台を前記第１排出部の重力方向の上部に有し、
前記第２室は、前記外側梱包材が取り除かれた前記搬送部品を載置するための第２載置台を前記第２排出部の重力方向の上部に有し、
前記第２載置台は、前記第１載置台よりも重力方向の上部に位置する請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載の搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、室内の粉塵等の異物レベルが管理されたクリーンルームを備える搬送設備が知られている。例えば、特許文献１に記載の搬送設備は、第一の室と、第一の室と内部空間が連通する第二の室と、を備えている。第二の室は、クリーンルームの内部空間と連通している。
【０００３】
特許文献１に記載の搬送設備にて搬送される搬送部品は、ケースに収納されるとともに、ケースの外側から梱包材によって二重に梱包されている。特許文献１に記載の搬送設備では、まず梱包材によって二重に梱包された搬送部品が第一の室に搬送されるとともに、第一の室にて外側の梱包材が取り除かれる。その後、搬送部品が第一の室から第二の室に搬送された後、内側の梱包材が取り除かれる。そして、ケースに収容された搬送部品が第二の室からクリーンルームに搬送される。
【０００４】
こうした特許文献１に記載の搬送設備では、第一の室の上部にファンを設けることにより、第二の室から第一の室に向かう気流を発生させている。これにより、外側の梱包材を取り除く際に、外側の梱包材の外面に付着した異物が第一の室内に拡散したとしても、上記の気流によって第一の室から第二の室への異物侵入の抑制を図ることで、クリーンルームへの異物侵入の抑制を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１６３８０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、第一の室にて外側の梱包材を搬送部品から取り除く作業中に、外側の梱包材の外面から一旦第一の室内に飛散した異物が落下して、内側の梱包材の外面に付着するおそれがある。こうして異物が付着すると、内側の梱包材の外面に異物が付着した状態で搬送部品が第一の室から第二の室に搬入されることにより、第二の室に異物が侵入してしまい、第二の室からクリームルームに異物が侵入するおそれがある。特許文献１に記載の搬送設備では、クリーンルームへの異物侵入の抑制精度の点で改善の余地があった。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、クリーンルームへの異物侵入の抑制精度を向上できる搬送設備を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する搬送設備は、外側梱包材及び内側梱包材によって二重に梱包された搬送部品が搬入されるとともに、前記外側梱包材が前記搬送部品から取り除かれる第１室と、前記第１室と重力方向と直交する方向にて隣接するとともに前記第１室と内部空間が連通する室であって、前記外側梱包材が取り除かれた前記搬送部品が前記第１室から搬入される第２室と、前記第２室と重力方向と直交する方向にて隣接するとともに前記第２室と内部空間が連通可能である室であって、前記搬送部品が前記第２室から搬入されるクリーンルームと、を備える搬送設備であって、前記第１室は、前記第１室の重力方向の上側にて前記第１室外の空気を前記第１室内に吸入する第１吸入部と、前記第１室の重力方向の下側にて前記第１室内の空気を前記第１室外に排出する第１排出部と、を有し、前記第２室は、前記第２室の重力方向の上側にて前記第２室外の空気を前記第１吸入部よりも大きい吸入力で前記第２室内に吸入する第２吸入部と、前記第２室の重力方向の下側にて前記第２室内の空気を前記第１排出部よりも小さい排出力で前記第２室外に排出する第２排出部と、を有することを特徴とする。
【０００９】
上記構成において、第１室では、第１吸入部から第１排出部に向けて空気が流れることにより、第１室の重力方向の上部から下部に向けて流れる気流が生じる。その一方で、第２室でも同様に、第２吸入部から第２排出部に向けて空気が流れることにより、第２室の重力方向の上部から下部に向けて流れる気流が生じる。また、第２吸入部の空気の吸入力は、第１吸入部の空気の吸入力よりも大きい。第１排出部の空気の排出力は、第２排出部の空気の排出力よりも大きい。そのため、第１室及び第２室では、第２室における第２吸入部の位置から第１室における第１排出部の位置に向けて空気が流れる。
【００１０】
上記構成によれば、第１室にて搬送部品の外側梱包材の外面に付着した異物が、第１室の重力方向の上下方向の気流によって外側梱包材から離れるとともに第１室の下部に向けて流される。また、外側梱包材の外面に異物が残っていると、第１室にて搬送部品から外側梱包材を取り除く作業中に外側梱包材の外面から異物が離れるが、こうした異物も、第１室の重力方向の上下方向の気流によって第１室の重力方向の下部に向けて流される。そのため、第１室内に異物が飛散することが抑制され、異物が内側梱包材に付着することを抑制することにより、異物が内側梱包材に付着した搬送部品を第２室に搬入することが抑制できる。こうして第２室への異物の侵入を抑制することによって、第２室からクリーンルームへの異物の侵入を抑制できる。
【００１１】
また、上記構成によれば、第１室では、万一、異物が第２室に近づく方向に流れたとしても、第２室から第１室へと流れる気流によって異物が流される。こうして第２室への異物の侵入を抑制することによって、第２室からクリーンルームへの異物の侵入を抑制できる。このように、上記構成によれば、第１室及び第２室における重力方向の上下方向の気流と第２室から第１室へと流れる気流とを生じさせることで、クリーンルームへの異物侵入の抑制精度を向上できる。
【００１２】
搬送設備において、前記第１室は、前記第１排出部の重力方向の上部に位置するとともに、前記外側梱包材を前記搬送部品から取り除くために前記搬送部品を載置する載置台を有し、前記載置台は、重力方向の上部から下部に空気が流通可能な貫通孔を有することが好ましい。
【００１３】
上記構成によれば、載置台の貫通孔を介して第１排出部に向けて空気が流れることにより、第１室の載置台上で搬送部品から取り除かれた外側梱包材が載置台上に吸着される。そのため、搬送部品から取り除かれた外側梱包材が第１室の載置台から舞い上がることを抑制できる。したがって、外側梱包材の外面に付着した異物が、外側梱包材の舞い上がりに伴って第１室に拡散することを抑制できる。第１室での異物の拡散を抑制することで、第１室から第２室への異物の侵入を抑制し、第２室からクリーンルームへの異物侵入の抑制精度をさらに向上できる。
【００１４】
搬送設備において、前記第１室は、前記第１排出部の重力方向の上部に位置するとともに、前記外側梱包材を前記搬送部品から取り除くために前記搬送部品を載置する載置台と、前記搬送部品から取り除かれた前記外側梱包材を前記載置台に押し付ける押圧部と、を有することが好ましい。
【００１５】
上記構成によれば、搬送部品から取り除かれた外側梱包材が押圧部によって第１室の載置台上に押し付けられる。そのため、搬送部品から取り除かれた外側梱包材が第１室の載置台から舞い上がることを抑制できる。したがって、外側梱包材の外面に付着した異物が、外側梱包材の舞い上がりに伴って第１室に拡散することを抑制できる。第１室での異物の拡散を抑制することで、第１室から第２室への異物の侵入を抑制し、第２室からクリーンルームへの異物侵入の抑制精度をさらに向上できる。
【００１６】
搬送設備において、前記第１室は、前記外側梱包材を前記搬送部品から取り除くために前記搬送部品を載置する第１載置台を前記第１排出部の重力方向の上部に有し、前記第２室は、前記外側梱包材が取り除かれた前記搬送部品を載置するための第２載置台を前記第２排出部の重力方向の上部に有し、前記第２載置台は、前記第１載置台よりも重力方向の上部に位置することが好ましい。
【００１７】
仮に第１室内に異物が拡散している場合では、時間の経過とともに重力方向下方に異物が移動することにより、第１室内の空間中から第１載置台上に異物が落ちてくる。上記構成によれば、第２載置台が第１載置台よりも重力方向の上部に位置しているため、第１載置台上から第２載置台上へと異物が移動しにくい。したがって、第１載置台及び第２載置台を介して第１室から第２室に異物が侵入することを抑制することで、クリーンルームへの異物侵入の抑制精度をさらに向上できる。
【発明の効果】
【００１８】
この発明によれば、クリーンルームへの異物侵入の抑制精度を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施形態の搬送設備を示す模式図。
【図２】外側梱包材の除去作業について説明するための模式図。
【図３】外側梱包材の除去作業について説明するための模式図。
【図４】第１室から第２室への搬送部品の搬入について説明するための模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、搬送設備を具体化した実施形態について図１〜図４にしたがって説明する。
図１及び図２に示すように、搬送設備１０は、部屋としてのクリーンルーム１１及び搬送室１２を備える。クリーンルーム１１は、室内の粉塵等の異物の粒子径が十分に小さい値以下となるように異物レベルが管理された部屋であり、図１に一部を省略して図示している。搬送室１２は、図１の上下方向である重力方向に対して直交する方向のうち、一方向にて互いに隣接する第１室１３及び第２室１４を備える。第２室１４は、重力方向と直交する方向のうち、一方向にてクリーンルーム１１に隣接している。また、第１室１３は、図１の左側である搬送室１２の一方側に位置し、第２室１４は、図１の右側である搬送室１２の他方側に位置する。なお、第１室１３及び第２室１４では、第１室１３と第２室１４とが隣接する方向であって、図１の左側の第１室１３から図１の右側の第２室１４に向けた方向である搬送方向に搬送部品Ｐを搬送する。以下では、こうした第１室１３及び第２室１４での搬送部品Ｐの搬送方向を、単に搬送方向という。また以下では、重力方向の上を単に上といい、重力方向の下を単に下という。搬送方向の上流側の方向であって図の左方向を一方といい、搬送方向の下流側の方向であって図の右方向を他方という。
【００２１】
第１室１３は、上壁部１３ａと、上壁部１３ａの一方側の端部から下方に延びる側壁部１３ｃと、を備える。また第１室１３は、図示は省略しているが、上壁部１３ａ及び側壁部１３ｃの両方と直交して延びる壁部であって、側壁部１３ｃを挟んで互いに対向する一対の側壁部を備える。第１室１３の上壁部１３ａ、側壁部１３ｃ、及び上記一対の側壁部は、搬送室１２の一方側部分を構成する壁部にそれぞれ相当する。
【００２２】
第２室１４は、上壁部１４ａと、上壁部１４ａの他方側の端部から下方に延びる側壁部１４ｃと、を備える。また第２室１４は、図示は省略しているが、上壁部１４ａ及び側壁部１４ｃの両方と直交して延びる壁部であって、側壁部１４ｃを挟んで互いに対向する一対の側壁部を備える。第２室１４の上壁部１４ａ、側壁部１４ｃ、及び上記一対の側壁部は、搬送室１２の他方側部分を構成する壁部にそれぞれ相当する。
【００２３】
第１室１３は、上壁部１３ａの他方側の端部から下方に延びる側壁部は有さず、他方側に向けて開放した形状となっている。第２室１４は、上壁部１４ａの一方側の端部から下方に延びる側壁部は有さず、一方側に向けて開放した形状となっている。これにより、第１室１３と第２室１４とは、搬送室１２内にて内部空間が互いに連通している。
【００２４】
また、搬送室１２は、下部に第１下室１５及び第２下室１６を備える。第１下室１５と第２下室１６とは、搬送方向にて互いに隣接している。第１下室１５は搬送室１２における一方側に位置し、第２下室１６は搬送室１２における他方側に位置する。
【００２５】
第１下室１５は、第１室１３よりも下方に位置しており、下壁部１５ｂと、下壁部１５ｂの一方側の端部から上方に延びる側壁部１５ｃと、を備える。また第１下室１５は、図示は省略しているが、下壁部１５ｂ及び側壁部１５ｃの両方と直交して延びる壁部であって、側壁部１５ｃを挟んで互いに対向する一対の側壁部を備える。第１下室１５の下壁部１５ｂ、側壁部１５ｃ、及び上記一対の側壁部は、搬送室１２の一方側部分を構成する壁部にそれぞれ相当する。また、第１室１３の側壁部１３ｃと第１下室１５の側壁部１５ｃとは、第１室１３と第１下室１５とで連続した壁部であり、搬送室１２の１つの壁部を構成している。第１室１３の上記一対の側壁部と第１下室１５の上記一対の側壁部も同様に、第１室１３と第１下室１５とで連続した壁部であり、搬送室１２の一対の壁部を構成している。
【００２６】
第２下室１６は、第２室１４よりも下方に位置しており、下壁部１６ｂと、下壁部１６ｂの他方側の端部から上方に延びる側壁部１６ｃと、を備える。また第２下室１６は、図示は省略しているが、下壁部１６ｂ及び側壁部１６ｃの両方と直交して延びる壁部であって、側壁部１６ｃを挟んで互いに対向する一対の側壁部を備える。第２下室１６の下壁部１６ｂ、側壁部１６ｃ、及び上記一対の側壁部は、搬送室１２の他方側部分を構成する壁部にそれぞれ相当する。また、第２室１４の側壁部１４ｃと第２下室１６の側壁部１６ｃとは、第２室１４と第２下室１６とで連続した壁部であり、搬送室１２の１つの壁部を構成している。第２室１４の上記一対の側壁部と第２下室１６の上記一対の側壁部も同様に、第２室１４と第２下室１６とで連続した壁部であり、搬送室１２の一対の壁部を構成している。
【００２７】
搬送室１２は、第１下室１５と第２下室１６との間に、上下方向に延びる隔壁部１７を備える。第１下室１５と第２下室１６とは、隔壁部１７によって内部空間が互いに隔絶されている。なお、第１室１３と第２室１４との間には互いの内部空間を隔絶する隔壁部は存在しない。搬送室１２においては、仮に隔壁部１７を上壁部１３ａ，１４ａまで上部に延ばしたときに、第１室１３と第２室１４との間での仮の隔壁部１７の配設位置が、第１室１３と第２室１４との境界位置に相当する。
【００２８】
第１室１３は、第１室１３の下側であって、上下方向での第１下室１５との境界部分に、第１排出部２１を備える。第１排出部２１は、ファンやフィルタを備えるＦＦＵ（ファンフィルタユニット）である。第１排出部２１のファンの駆動によって、第１室１３から第１下室１５へと空気を吸引することにより、第１室１３内の空気が強制的に第１室１３外に排出される。この第１排出部２１による空気の排出によっては、空気と共に第１室１３内の異物が第１下室１５へと流される。第１排出部２１のフィルタによって、第１室１３から第１下室１５へと流れる空気中の異物のほか、第１下室１５の空気中で浮遊して第１室１３に近づく異物が吸着可能となっている。
【００２９】
第１室１３は、第１室１３の上側にて第１室１３外の空気を第１室１３内に吸入する第１吸入部２２を備える。第１吸入部２２は、第１室１３の上壁部１３ａに設けられている。また、第１吸入部２２は、ファンやフィルタを備えるＦＦＵであり、第１室１３外の空気が流入する空気管が接続されている。第１吸入部２２では、空気管を介して第１室１３外から第１吸入部２２に空気が流入し、流入した空気中の異物がフィルタに吸着する。そして、第１吸入部２２では、異物が除去されて清浄化された空気をファンの駆動によって第１室１３内に強制的に供給する。
【００３０】
第２室１４は、第２室１４の下側であって、上下方向での第２下室１６との境界部分に、第２排出部２３を備える。第２排出部２３は、上記第１排出部２１と同様にファンやフィルタを備えるＦＦＵであり、ファンの駆動によって第２室１４内の空気を強制的に第２室１４外である第２下室１６に排出するものである。この第２排出部２３による空気の排出によっては、空気と共に第２室１４内の異物が第２下室１６へと流される。第２排出部２３のフィルタによって、第２室１４から第２下室１６へと流れる空気中の異物のほか、第２下室１６の空気中で浮遊して第２室１４に近づく異物が吸着可能となっている。なお、第２排出部２３では、一定時間あたりのファンの回転数が第１排出部２１よりも少なくなるように、ファン駆動が制御されている。ここで、第１排出部２１及び第２排出部２３において、一定時間あたりのファンの回転数が多いほど、一定時間あたりに第１室１３外や第２室１４外に排出できる空気量が多くなる。第１排出部２１及び第２排出部２３においては、それぞれの上記一定時間あたりのファンの回転数がそれぞれの排出力に相当する。すなわち第２排出部２３は、第２室１４内の空気を第１排出部２１よりも小さい排出力で第２室１４外に排出する。
【００３１】
また、第２室１４は、第２室１４の上側にて第２室１４外の空気を第２室１４内に吸入する第２吸入部２４を備える。第２吸入部２４は、第１吸入部２２と同様の構成を有するものであり、清浄化した第２室１４外の空気をファンの駆動によって第２室１４内に強制的に供給するものである。なお、第２吸入部２４は、一定時間あたりのファンの回転数が第１吸入部２２よりも多くなるように、ファン駆動が制御されている。ここで、第１吸入部２２及び第２吸入部２４において、一定時間あたりのファンの回転数が多いほど、一定時間あたりに第１室１３内や第２室１４内に吸入できる空気量が多くなる。第１吸入部２２及び第２吸入部２４においては、それぞれの上記一定時間あたりのファンの回転数がそれぞれの吸入力に相当する。すなわち第２吸入部２４は、第２室１４外の空気を第１吸入部２２よりも大きい吸入力で第２室１４内に吸入する。
【００３２】
第１下室１５の側壁部１５ｃと第２下室１６の側壁部１６ｃとには、集塵機１８がそれぞれ接続されている。第１下室１５の側壁部１５ｃに接続された集塵機１８によって第１下室１５内の粉塵等の異物が吸引されることにより、第１下室１５の空気中の異物が取り除かれる。第２下室１６の側壁部１６ｃに接続された集塵機１８によって第２下室１６内の粉塵等の異物が吸引されることにより、第２下室１６の空気中の異物が取り除かれる。各集塵機１８からは、異物が取り除かれた空気が第１下室１５及び第２下室１６外に排出される。
【００３３】
第１室１３は、第１排出部２１の上部に第１コンベア２５を備える。第２室１４は、第２排出部２３の上部に第２コンベア２６を備える。第１コンベア２５及び第２コンベア２６は、例えばベルトコンベアである。第１コンベア２５における上部に位置するベルト部分が、第１室１３にて搬送部品Ｐを載置するための第１載置台として機能する。第２コンベア２６における上部に位置するベルト部分が、第２室１４にて搬送部品Ｐを載置するための第２載置台として機能する。第１コンベア２５及び第２コンベア２６が駆動することにより、載置された搬送部品Ｐを一方側から他方側に搬送可能となっている。
【００３４】
本実施形態では、第１コンベア２５と第２コンベア２６とが隣接して位置している。また、搬送室１２内を搬送方向の上流側から見たときに、第２コンベア２６が第１コンベア２５よりも上部に位置している。第１コンベア２５は、ベルトの厚み方向に貫通する貫通孔２５ｈを有する。貫通孔２５ｈは微小な大きさの孔であり、その大きさは空気が流通可能であって第１コンベア２５の上部に搬送部品Ｐを載置するのに支障のない大きさに設定されている。また貫通孔２５ｈは、第１コンベア２５のベルトの全体に複数位置している。なお、図１〜図４では、貫通孔２５ｈの大きさと数を模式的に図示している。第１コンベア２５における上記第１載置台となる部分では、貫通孔２５ｈがベルトの上下に貫通したものとなる。
【００３５】
図３に示すように、第１室１３は、第１コンベア２５を上部から押圧する押圧部２７を備える。押圧部２７は、例えば第１室１３を構成するいずれかの壁部に設けられており、その壁部から第１コンベア２５に近接する方向に移動することで、第１コンベア２５を押圧するものである。押圧部２７は、第１コンベア２５を上部から押圧する押圧位置と、第１コンベア２５から離間して第１コンベア２５を押圧しない非押圧位置とで移動可能である。また、押圧部２７は、搬送部品Ｐの周りのうち、搬送方向の上流側と下流側との２か所で第１コンベア２５を押圧可能な形状となっている。
【００３６】
図４に示すように、第２室１４は、側壁部１４ｃの一部が開口してなる開口部１４ｈを備える。また、搬送室１２は、第２室１４の側壁部１４ｃにおける開口部１４ｈを外側から塞ぐシャッター２８を備える。シャッター２８は、開口部１４ｈを塞ぐ閉塞位置と、開口部１４ｈを開放する非閉塞位置とで上下移動する。シャッター２８が上記閉塞位置となると、シャッター２８によって第２室１４とクリーンルーム１１とが隔絶される。シャッター２８が上記閉塞位置から上側に移動して上記非閉塞位置となると、開口部１４ｈを介して第２室１４とクリーンルーム１１とが連通する。すなわち、第２室１４とクリーンルーム１１とは互いの内部空間が連通可能である。また、図示は省略しているが、第１室１３も、側壁部１３ｃ等、第１室１３を構成するいずれかの壁部に開口部を備える。この第１室１３の開口部も、シャッター等によって開閉可能となっている。
【００３７】
クリーンルーム１１は、第２室１４の側壁部１４ｃにおける開口部１４ｈに対応する位置に搬送路２９を備える。クリーンルーム１１では、搬送路２９の上部に搬送部品Ｐが載置される。
【００３８】
次に、搬送室１２への搬送部品Ｐの搬入を含む、搬送設備１０による搬送部品Ｐの搬送方法について、本実施形態の作用と共に説明する。なお、以下では特に言及しないが、第１排出部２１、第１吸入部２２、第２排出部２３、及び第２吸入部２４の駆動は、搬送部品Ｐが搬送室１２外にある時も含め、搬送部品Ｐのクリーンルーム１１への搬送を行っている間は継続されている。
【００３９】
図１に示すように、まず第１室１３の上記開口部が開放されるとともに、第１室１３の上記開口部を介して搬送部品Ｐが第１室１３内に搬入される。第１室１３に搬入される搬送部品Ｐは、外側梱包材Ｐ１及び内側梱包材Ｐ２によって二重に梱包された状態となっている。なお、外側梱包材Ｐ１及び内側梱包材Ｐ２は、例えばいずれも袋状であり、ポリエチレン等の樹脂等を含むフィルタからなる。
【００４０】
第１室１３外から第１室１３内に搬送部品Ｐが搬入される際には、作業者又はロボットによって第１室１３の第１コンベア２５に搬送部品Ｐが載置される。第１コンベア２５に載置された搬送部品Ｐは、第１コンベア２５の駆動によって第１室１３の一方側から他方側までの間の所定の位置まで移動される。所定の位置まで搬送部品Ｐが搬送されると、第１コンベア２５の駆動が停止される。なお、上記所定位置は、後述する外側梱包材Ｐ１の除去を行うロボットの作業位置に対応する位置である。
【００４１】
次に、図２に示すように、ロボットによって搬送部品Ｐから外側梱包材Ｐ１が取り除かれる。このとき、第１コンベア２５の上部は、外側梱包材Ｐ１を搬送部品Ｐから取り除くために搬送部品Ｐが載置される第１載置台として機能する。また本実施形態において、外側梱包材Ｐ１を取り除く方法は、例えば、まずロボットによって搬送部品Ｐの上面のうち中央部分に位置する外側梱包材Ｐ１の部分を上方に摘まみ上げる。そして、ロボットによって摘まみ上げた外側梱包材Ｐ１の部分を切断し、切断した部分を境に一方側と他方側とに外側梱包材Ｐ１を開く。外側梱包材Ｐ１をさらに開くと、外側梱包材Ｐ１の外面であった面が下側を向いて第１コンベア２５と対向するようになる。
【００４２】
ここで、第１室１３においては、搬送部品Ｐからの外側梱包材Ｐ１の除去作業を行っている間、第１吸入部２２による空気の吸入と、第１排出部２１による空気の排出とが行われている。こうした第１室１３では、第１吸入部２２から第１排出部２１に向けて空気が流れることにより、図２に矢印で示すように第１室１３の上部から下部に向けて流れる気流が生じる。この気流を、以下では第１室１３の上下方向の気流という。その一方で、第２室１４でも同様に、第２吸入部２４から第２排出部２３に向けて空気が流れることにより、図２の第２室１４に矢印で示すように第２室１４の上部から下部に向けて流れる気流が生じる。この気流を、以下では第２室１４の上下方向の気流という。
【００４３】
また、第２吸入部２４の空気の吸入力は、第１吸入部２２の空気の吸入力よりも大きい。第１排出部２１の空気の排出力は、第２排出部２３の空気の排出力よりも大きい。そのため、搬送室１２では、第２吸入部２４の位置である第２室１４における上方且つ他方側の位置から、第１排出部２１の位置である第１室１３における下方且つ一方側の位置に向けて多量の空気が流れる。この空気の流れによって、搬送室１２では、図２の第１室１３と第２室１４との間に矢印で示すように、第２室１４と第１室１３とを跨ぐように他方側から一方側に向けて流れる気流が生じる。この気流を、以下では第２室１４から第１室１３へと流れる気流という。
【００４４】
第１室１３では、搬送部品Ｐの外側梱包材Ｐ１の外面に付着した異物が、第１室１３の上下方向の気流によって外側梱包材Ｐ１から離れるとともに第１室１３の下部に向けて流される。また、外側梱包材Ｐ１の外面に異物が残っていると、第１室１３にて搬送部品Ｐから外側梱包材Ｐ１を取り除く作業中に外側梱包材Ｐ１の外面から異物が第１室１３内に離れることがある。こうした異物も、第１室１３の上下方向の気流によって第１室１３の下部に向けて流される。第１室１３では、外側梱包材Ｐ１の外面であった面が下側を向くように外側梱包材Ｐ１が開かれるため、外側梱包材Ｐ１の外面に付着した異物を第１排出部２１からより排出させやすい。また、第１室１３では、万一、異物が第２室１４に近づく方向に流れたとしても、第２室１４から第１室１３へと流れる気流によって異物が搬送室１２の一方側に向けて流される。これにより、第１室１３から第２室１４への異物の侵入を抑制できる。
【００４５】
図３に示すように、第１室１３での外側梱包材Ｐ１を取り除く作業において、外側梱包材Ｐ１をさらに開くと、外側梱包材Ｐ１が第１コンベア２５上に広がる。このとき、外側梱包材Ｐ１は、搬送部品Ｐの下部と第１コンベア２５の上部とで挟まれた状態となり、外側梱包材Ｐ１の外面であった面が第１コンベア２５の上部と接触する。ここで、第１コンベア２５の上下では、第１排出部２１による空気の排出によって、第１コンベア２５の貫通孔２５ｈを介した上部から下部への空気の流れが生じている。そのため、第１コンベア２５上の外側梱包材Ｐ１は、第１コンベア２５に近接する方向に引っ張られることにより、第１コンベア２５上に吸着される。また、搬送部品Ｐの下部以外の部分では、外側梱包材Ｐ１が取り除かれることで内側梱包材Ｐ２が露出する。ここで、第１室１３では、外側梱包材Ｐ１の外面であった面が下側を向くように外側梱包材Ｐ１が開かれるため、第１コンベア２５上には外側梱包材Ｐ１の外面であった面が吸着される。こうして第１コンベア２５上に外側梱包材Ｐ１が吸着されることにより、外側梱包材Ｐ１の外面であった面に付着した異物が第１コンベア２５上に吸着されやすくなっている。
【００４６】
搬送室１２では、外側梱包材Ｐ１が開かれるときに、押圧部２７が上記押圧位置に移動する。上記押圧位置に移動した押圧部２７は、第１コンベア２５上に広がった外側梱包材Ｐ１を上部から押圧する。外側梱包材Ｐ１は、押圧部２７と第１コンベア２５とで挟まれた状態になる。
【００４７】
図４に示すように、押圧部２７による外側梱包材Ｐ１の押圧が継続されたまま、ロボットによって搬送部品Ｐが第１コンベア２５から第２コンベア２６に移し替えられる。この移し替えの際、押圧部２７による外側梱包材Ｐ１の押圧により、外側梱包材Ｐ１が第１コンベア２５上に残る。そして、第２室１４には、外側梱包材Ｐ１が取り除かれているとともに内側梱包材Ｐ２によって梱包された状態の搬送部品Ｐが第１室１３から搬入される。第２コンベア２６に載置された搬送部品Ｐは、第２コンベア２６の駆動によって第２室１４の他方側に移動される。第２室１４では、第１室１３と同様に、異物が第２室１４の上下方向の気流によって第２室１４の下部に向けて流される。
【００４８】
そして、シャッター２８が閉塞位置から非閉塞位置へと移動することにより、第２室１４の開口部１４ｈが開放される。第２コンベア２６の駆動により、第２コンベア２６上の搬送部品Ｐが第２室１４の開口部１４ｈを介してクリーンルーム１１内に移動していく。クリーンルーム１１には、内側梱包材Ｐ２で梱包された搬送部品Ｐが第２室１４から搬入される。クリーンルーム１１では、搬送路２９上に搬送部品Ｐが載置される。その後、クリーンルーム１１では、搬送部品Ｐから内側梱包材Ｐ２が取り除かれる。
【００４９】
なお、クリーンルーム１１に搬送部品Ｐが搬入されて第２室１４の開口部１４ｈがシャッター２８によって閉塞された後等、搬送部品Ｐが第２コンベア２６に載置された後の任意のタイミングにて、押圧部２７が非押圧位置に移動する。これより、押圧部２７による外側梱包材Ｐ１の押圧が解除されるとともに、外側梱包材Ｐ１が第１コンベア２５上から取り除かれる。
【００５０】
本実施形態では以下の効果を得ることができる。
（１）第１室１３では、第１吸入部２２及び第１排出部２１によって第１室１３に上下方向の気流を生じさせることができる。そのため、異物が第１室１３の上下方向の気流によって第１室１３の下部に向けて流され、第１室１３内に異物が飛散することが抑制される。これにより、外側梱包材Ｐ１を切り開く前において、第１室１３にて異物が内側梱包材Ｐ２に付着することを抑制することにより、異物が内側梱包材Ｐ２に付着した搬送部品Ｐを第２室１４に搬入することが抑制できる。また、大きな吸入力を備える第２吸入部２４と大きな排出力を備える第１排出部２１とによって、第２室１４から第１室１３へと流れる気流を生じさせることができる。そのため、異物が第２室１４から第１室１３へと流れる気流によって搬送室１２の一方側に向けて流される。こうして第２室１４への異物の侵入を抑制することによって、第２室１４からクリーンルーム１１への異物の侵入を抑制できる。このように、本実施形態によれば、第１室１３及び第２室１４における上下方向の気流と第２室１４から第１室１３へと流れる気流とを生じさせることで、クリーンルーム１１への異物侵入の抑制精度を向上できる。
【００５１】
（２）第１コンベア２５の貫通孔２５ｈを介して第１排出部２１に空気が流れることにより、外側梱包材Ｐ１が第１コンベア２５上に吸着される。また、搬送部品Ｐから取り除かれた外側梱包材Ｐ１が押圧部２７によって第１コンベア２５上に押し付けられる。そのため、搬送部品Ｐから取り除かれた外側梱包材Ｐ１が第１コンベア２５から舞い上がることを抑制できる。したがって、外側梱包材Ｐ１の外面に付着した異物が、外側梱包材Ｐ１の舞い上がりに伴って第１室１３内に拡散することを抑制できる。第１室１３での異物の拡散を抑制することで、第１室１３から第２室１４への異物の侵入を抑制し、第２室１４からクリーンルーム１１への異物侵入の抑制精度をさらに向上できる。
【００５２】
（３）仮に第１室１３内に異物が拡散している場合では、時間の経過とともに重力方向下方に異物が移動することにより、第１室１３内の空間中から第１コンベア２５上に異物が落ちてくる。本実施形態では、第２コンベア２６が第１コンベア２５よりも重力方向の上部に位置しているため、第１コンベア２５上から第２コンベア２６上へと異物が移動しにくい。したがって、第１コンベア２５及び第２コンベア２６を介して第１室１３から第２室１４に異物が侵入することを抑制することで、クリーンルーム１１への異物侵入の抑制精度をさらに向上できる。
【００５３】
なお、上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
【００５４】
○  一定時間あたりのファンの回転数以外の要素を異ならせることによって、第１吸入部２２と第２吸入部２４との吸入力を異ならせるようにしてもよい。例えば、第１吸入部２２よりも大型の装置を第２吸入部２４として採用することで、第１吸入部２２よりも大きな吸入力で第２吸入部２４が駆動するようにしてもよい。
【００５５】
○  一定時間あたりのファンの回転数以外の要素を異ならせることによって、第１排出部２１と第２排出部２３との排出力を異ならせるようにしてもよい。例えば、第２排出部２３よりも大型の装置を第１排出部２１として採用することで、第２排出部２３よりも大きな排出力で第１排出部２１が駆動するようにしてもよい。
【００５６】
○  第１排出部２１は、第１室１３内の空気を第１室１３外に排出するものであればよく、上記実施形態の構成に限定されない。第１吸入部２２は、第１室１３内に強制的に空気を供給するものであればよく、上記実施形態の構成に限定されない。例えば、第１吸入部２２として、ファン等の吸入機構によって第１室１３の内圧が陽圧になるように第１室１３内に空気を供給するものを採用する。第１排出部２１として、ファン等の吸入機構を備えず、フィルタ等の第１室１３と第１下室１５とを連通する連通機構を備えるものを採用する。こうした第１吸入部２２及び第１排出部２１によっては、第１吸入部２２によって陽圧にされた第１室１３の空気が第１排出部２１を介して第１下室１５に押し出されるようになる。そのため、この変更例によっても、上記実施形態と同様に、第１室１３に重力方向の上下方向の気流を生じさせることができる。
【００５７】
○  第２排出部２３は、第２室１４内の空気を第２室１４外に排出するものであればよく、上記実施形態の構成に限定されない。第２吸入部２４は、第２室１４内に強制的に空気を供給するものであればよく、上記実施形態の構成に限定されない。例えば、第２吸入部２４として、ファン等の吸入機構によって第２室１４の内圧が陽圧になるように第２室１４内に空気を供給するものを採用する。第２排出部２３として、ファン等の吸入機構を備えず、フィルタ等の第２室１４と第２下室１６とを連通する連通機構を備えるものを採用する。こうした第２吸入部２４及び第２排出部２３によっては、第２吸入部２４によって陽圧にされた第２室１４の空気が第２排出部２３を介して第２下室１６に押し出されるようになる。そのため、この変更例によっても、上記実施形態と同様に、第２室１４に重力方向の上下方向の気流を生じさせることができる。
【００５８】
○  第１排出部２１、第１吸入部２２、第２排出部２３、及び第２吸入部２４は、第２室１４の開口部１４ｈの開放後から、第１室１３の搬送部品Ｐを搬入するための開口部の開放前までの間であれば、駆動が停止される期間があってもよい。
【００５９】
○  上記実施形態にてロボットによって行っていた作業を作業者によって行うようにしてもよい。なお、第１室１３で行う搬送部品Ｐから外側梱包材Ｐ１を取り除く作業等、搬送室１２内で行われる作業は、作業者が搬送室１２内に入らずに行うことが望ましい。例えば、搬送室１２外から装着可能な手袋が搬送室１２内に設置されたグローブボックス型の設備を搬送室１２として採用するとともに、作業者が手袋を装着して搬送室１２外から搬送室１２内の作業を行うようにすれば、作業者が搬送室１２内に入らずに作業を行える。
【００６０】
○  押圧部２７は、搬送部品Ｐから取り除かれた外側梱包材Ｐ１が第１コンベア２５から舞い上がることが抑制できる範囲内であれば、適宜形状を変更可能である。例えば、押圧部２７は、搬送部品Ｐの周りの３か所以上で第１コンベア２５を押圧可能な形状であってもよいし、搬送部品Ｐの周りで第１コンベア２５を一部材によって押圧可能な形状であってもよい。
【００６１】
○  第１室１３での押圧部２７の搭載を省略してもよい。
○  第１室１３において搬送部品Ｐから外側梱包材Ｐ１を取り除く際には、必ずしも外側梱包材Ｐ１の外面であった面が下側を向くように外側梱包材Ｐ１を開かなくてもよい。
【００６２】
○  第１コンベア２５と第２コンベア２６とは、上下方向の同位置等、上下方向の互いの位置関係を変更して設置してもよい。
○  第１コンベア２５の貫通孔２５ｈと同様の貫通孔を第２コンベア２６が有していてもよい。この形態では、第２コンベア２６の貫通孔を介して第２室１４の上下方向に空気が流れるようになるため、第２室１４の下方向により異物が流れやすくなる。
【００６３】
○  第１コンベア２５は、貫通孔２５ｈを有さない形態としてもよい。
○  第１コンベア２５及び第２コンベア２６の一方又は両方にかえて、上部に載置させた搬送部品Ｐを移動させない載置台を採用してもよい。
【００６４】
○  隔壁部１７を省略することによって、第１下室１５と第２下室１６とで内部空間が連通する形態としてもよい。また、この形態においては、第２下室１６の側壁部１６ｃに接続された集塵機１８を省略することが可能である。こうして第２下室１６の集塵機１８を省略した場合では、第１排出部２１を介して第１室１３から第１下室１５に流れ込んだ異物のほか、第２排出部２３を介して第２室１４から第２下室１６に流れ込んだ異物も、第１下室１５の側壁部１５ｃに接続された集塵機１８によって吸引される。
【００６５】
○  第２室１４にて搬送部品Ｐから内側梱包材Ｐ２を取り除く作業を行うとともに、内側梱包材Ｐ２が取り除かれた搬送部品Ｐを第２室１４からクリーンルーム１１に搬入してもよい。
【符号の説明】
【００６６】
Ｐ…搬送部品、Ｐ１…外側梱包材、Ｐ２…内側梱包材、１０…搬送設備、１１…クリーンルーム、１２…搬送室、１３…第１室、１４…第２室、２１…第１排出部、２２…第１吸入部、２３…第２排出部、２４…第２吸入部、２５…第１コンベア、２５ｈ…貫通孔、２６…第２コンベア、２７…押圧部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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