(57)【要約】【課題】円偏光板の欠陥の有無を容易に判断することができる検査方法、及び、検査装置を提供する。【解決手段】円偏光板１、及び、ポリエチレンテレフタレート系樹脂からなる剥離フィルム１６ａを備えるフィルム状の被検査物１０と、位相差板４と、円偏光板１とクロスニコルを構成する位相差フィルタ３と、をこの順に並ぶように配置し、被検査物１０側又は位相差フィルタ３側のいずれか一方側から光を入射し、その他方側から観察して円偏光板１の欠陥の有無を判断する。この検査において、位相差板４として、第１の位相差板と、第１の位相差板とは異なる面内位相差を有する第２の位相差板とを順に用いる。【選択図】図１
2020160421.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円偏光板、及び、ポリエチレンテレフタレート系樹脂からなる剥離フィルムを備えるフィルム状の被検査物の欠陥の有無を判断する検査方法であって、
前記被検査物と、
波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が前記剥離フィルムの波長５５０ｎｍにおける面内位相差値と略同一であり、且つ、前記剥離フィルムが有する複屈折を補償するものである第１の位相差板と、
前記円偏光板とクロスニコルを構成する位相差フィルタと、をこの順に並ぶように配置し、
前記被検査物側又は前記位相差フィルタ側のいずれか一方側から光を入射し、その他方側から前記位相差フィルタ又は前記被検査物を観察して前記円偏光板の欠陥の有無を判断し、
前記第１の位相差板を、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が前記剥離フィルムの波長５５０ｎｍにおける面内位相差値よりも５０〜１００ｎｍ大きく、且つ、前記剥離フィルムが有する複屈折を補償するものである第２の位相差板に置き換え、
前記被検査物側又は前記位相差フィルタ側のいずれか一方側から光を入射し、その他方側から前記位相差フィルタ又は前記被検査物を観察する、検査方法。
【請求項２】
前記円偏光板は、重合性液晶化合物の硬化物からなる位相差膜を有するものである、請求項１記載の検査方法。
【請求項３】
前記被検査物、前記第１の位相差板、前記第２の位相差板、及び、前記位相差フィルタの少なくとも一つを、互いに対面する角度が異なるように傾ける、又は、前記光の光軸に垂直な方向に回転させる、請求項１又は２記載の検査方法。
【請求項４】
前記第１の位相差板及び前記第２の位相差板は、互いに同一の部材内に配置されて構成されたものである、請求項１〜３のいずれか一項記載の検査方法。
【請求項５】
円偏光板と、ポリエチレンテレフタレート系樹脂からなる剥離フィルムとを備えるフィルム状の被検査物に光を入射して前記円偏光板の欠陥の有無を判断する検査装置であって、
光源と、
前記光源から発せられ前記被検査物により円偏光に変換された光を入射させる位相差フィルタと、
前記被検査物が配置される場所よりも前記光源から遠い側、且つ、前記位相差フィルタが配置される場所よりも前記光源に近い側に配置され、前記円偏光を通過させる位相差板と、を備え、
前記位相差板は、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が前記剥離フィルムの波長５５０ｎｍにおける面内位相差値と略同一である第１の位相差板と、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が前記剥離フィルムの波長５５０ｎｍにおける面内位相差値よりも５０〜１００ｎｍ大きい第２の位相差板とを含み、前記第１の位相差板及び前記第２の位相差板は、前記剥離フィルムが有する複屈折を補償するものである、検査装置。
【請求項６】
円偏光板と、ポリエチレンテレフタレート系樹脂からなる剥離フィルムとを備えるフィルム状の被検査物に円偏光を入射して前記円偏光板の欠陥の有無を判断する検査装置であって、
光源と、
前記光源が発する光を前記円偏光に変換する位相差フィルタと、
前記被検査物が配置される場所よりも前記光源に近い側、且つ、前記位相差フィルタが配置される場所よりも前記光源から遠い側に配置され、前記円偏光を通過させる位相差板と、を備え、
前記位相差板は、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が前記剥離フィルムの波長５５０ｎｍにおける面内位相差値と略同一である第１の位相差板と、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が前記剥離フィルムの波長５５０ｎｍにおける面内位相差値よりも５０〜１００ｎｍ大きい第２の位相差板とを含み、前記第１の位相差板及び前記第２の位相差板は、前記剥離フィルムが有する複屈折を補償するものである、検査装置。
【請求項７】
前記位相差板は、前記第１の位相差板及び前記第２の位相差板が同一の部材内に配置されて構成されたものである、請求項５又は６記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査方法及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等に用いられる偏光板は、一般的に偏光子が２枚の保護フィルムに挟まれて構成されている。偏光板を表示装置に貼り付けるため、片方の保護フィルムには粘着剤層が積層され、更に粘着剤層に剥離フィルムが積層される。また、他方の保護フィルムにもその表面を保護する剥離フィルムが貼合される場合が多い。偏光板はこのように剥離フィルムが積層された状態で流通搬送され、表示装置の製造工程で表示装置に貼合する際に剥離フィルムが剥離される。
【０００３】
ところで、偏光板はその製造段階において、偏光子と保護フィルムとの間に異物が混入したり、気泡が残ったり、あるいは、保護フィルムが位相差フィルムの機能を持つ場合には配向欠陥が内在していることがある（以下、これらの異物、気泡及び配向欠陥をまとめて、「欠陥」ということがある）。欠陥が存在する偏光板を表示装置に貼合した場合、その欠陥の箇所が輝点として視認されたり、欠陥の箇所で画像がゆがんで見えたりすることがある。特に、輝点として視認される欠陥は、当該表示装置の黒表示時に視認されやすい。
【０００４】
そこで、偏光板を表示装置に貼合する前段階（剥離フィルムを備えた状態の偏光板）で、この偏光板の欠陥を検出するための検査が行われる。この欠陥の検査は、一般的には偏光板の偏光軸を利用した光検査である。具体的には、特許文献１に示されているように、被検査物である偏光板と光源との間に偏光フィルタを設けたうえで、この偏光板又は偏光フィルタを平面方向に回転させ、これらのそれぞれの偏光軸方向を特定の関係とする。偏光軸方向同士が互いに直交する場合（すなわちクロスニコルを構成する配置の場合）、偏光フィルタを通過した直線偏光は、偏光板を通過しない。しかしながら、偏光板に欠陥が存在すると、当該箇所では直線偏光が透過してしまうので、その光が検出されることで欠陥の存在が判明する。一方、偏光板と偏光フィルタとの偏光軸方向同士が平行である場合、偏光フィルタを通過した直線偏光は偏光板を透過する。しかしながら、偏光板に欠陥が存在すると、当該箇所では直線偏光が遮断されるので、その光が検出されないことで欠陥の存在が判明する。偏光板を透過してきた光を検査者が目視により検出するか、あるいはＣＣＤカメラと画像処理装置とを組み合わせた画像解析処理値により自動的に検出することで、偏光板の欠陥の有無の検査を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−２２９８１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したように偏光板に剥離フィルムを備える場合は、この剥離フィルムが有する複屈折により偏光板の偏光特性が阻害されるため、従来の検査装置では偏光板に存在する輝点等の欠陥を精度よく検出することができなかった。
【０００７】
偏光板が円偏光板であり、且つ、剥離フィルムがポリエチレンテレフタレート系樹脂（ＰＥＴ系樹脂）からなる場合は、当該ＰＥＴ系樹脂の波長分散にある程度合わせた位相差フィルタ（上記偏光フィルタに相当）を用いる。ここで、円偏光板と位相差フィルタとをクロスニコルを構成するように配置した場合、上記原理によれば欠陥は輝点として視認されることになるが、円偏光板が有する位相差膜の配向欠陥やピンホール等の位相差値が低い領域では輝点欠陥が黒点として視認されてしまうことがあり、その場合、輝点として検出するよりも検出判断が難しかった。特に、円偏光板が重合性液晶化合物の硬化物からなる位相差膜を含む場合にはその傾向が顕著である。
【０００８】
本発明は、円偏光板の欠陥の有無を容易に判断することができる検査方法、及び、検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、円偏光板、及び、ＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルムを備えるフィルム状の被検査物の欠陥の有無を判断する検査方法であって、被検査物と、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が剥離フィルムの波長５５０ｎｍにおける面内位相差値と略同一であり、且つ、剥離フィルムが有する複屈折を補償するものである第１の位相差板と、円偏光板とクロスニコルを構成する位相差フィルタと、をこの順に並ぶように配置し、被検査物側又は位相差フィルタ側のいずれか一方側から光を入射し、その他方側から位相差フィルタ又は被検査物を観察して円偏光板の欠陥の有無を判断し、第１の位相差板を、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値（以下、この波長５５０ｎｍにおける面内位相差値を「Ｒｅ（５５０）」ということがある。）が、剥離フィルムのＲｅ（５５０）よりも５０〜１００ｎｍ大きく、且つ、剥離フィルムが有する複屈折を補償するものである第２の位相差板に置き換え、被検査物側又は位相差フィルタ側のいずれか一方側から光を入射し、その他方側から位相差フィルタ又は被検査物を観察して円偏光板の欠陥の有無を判断する、検査方法を提供する。
【００１０】
この検査方法では、第１の位相差板を用いた検査で黒色欠陥が観察された部位を第２の位相差板を用いて検査することによって、これを輝点欠陥として観察することが可能となる。これによれば、円偏光板の欠陥の有無を容易に判断することができる。
【００１１】
円偏光板は、重合性液晶化合物の硬化物からなる位相差膜を有するものであってもよい。位相差膜が重合性液晶化合物の硬化物からなる場合、その一般的な薄さから、黒点欠陥として観察される可能性が高まる。従って、本発明を適用する対象として好適である。
【００１２】
本発明の検査方法において、被検査物、第１の位相差板、第２の位相差板、及び、位相差フィルタの少なくとも一つを、互いに対面する角度が異なるように傾けてもよく、又は、光の光軸に垂直な方向に回転させてもよい。これらを傾けることで、剥離フィルムや位相差板の位相差を微調整できることから、より広範囲の検査が可能となる。また、これらを回転させることで剥離フィルムと位相差板との軸合わせが容易となる。
【００１３】
第１の位相差板及び第２の位相差板は、互いに同一の部材内に配置されて構成されたものであってもよい。
【００１４】
本発明は、円偏光板と、ＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルムとを備えるフィルム状の被検査物に光を入射して円偏光板の欠陥の有無を判断する検査装置であって、光源と、光源から発せられ被検査物により円偏光に変換された光を入射させる位相差フィルタと、被検査物が配置される場所よりも光源から遠い側、且つ、位相差フィルタが配置される場所よりも光源に近い側に配置され、円偏光を通過させる位相差板と、を備え、位相差板は、そのＲｅ（５５０）が剥離フィルムのＲｅ（５５０）と略同一である第１の位相差板と、Ｒｅ（５５０）が剥離フィルムのＲｅ（５５０）よりも５０〜１００ｎｍ大きい第２の位相差板とを含み、第１の位相差板及び第２の位相差板は、剥離フィルムが有する複屈折を補償するものである、検査装置を提供する。
【００１５】
また、本発明は、円偏光板と、ＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルムとを備えるフィルム状の被検査物に円偏光を入射して円偏光板の欠陥の有無を判断する検査装置であって、光源と、光源が発する光を円偏光に変換する位相差フィルタと、被検査物が配置される場所よりも光源に近い側、且つ、位相差フィルタが配置される場所よりも光源から遠い側に配置され、円偏光を通過させる位相差板と、を備え、位相差板は、Ｒｅ（５５０）が剥離フィルムのＲｅ（５５０）と略同一である第１の位相差板と、Ｒｅ（５５０）が剥離フィルムのＲｅ（５５０）よりも５０〜１００ｎｍ大きい第２の位相差板とを含み、第１の位相差板及び第２の位相差板は、剥離フィルムが有する複屈折を補償するものである、検査装置を提供する。
【００１６】
これらの検査装置における位相差板は、第１の位相差板及び第２の位相差板が同一の部材内に配置されて構成されたものであってもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、円偏光板の欠陥の有無を容易に判断することができる検査方法、及び、検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１の実施形態の検査装置を示す図である。
【図２】被検査物の断面図である。
【図３】位相差板の一例を示す図である。
【図４】位相差板の他の一例を示す図である。
【図５】第２の実施形態の検査装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において同一部分又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２０】
＜第１の実施形態＞
第１の実施形態の検査装置及び検査方法ついて説明する。
【００２１】
（検査装置と被検査物）
本実施形態の検査装置は、円偏光板の表面欠陥の有無を検査するものである。図１に示されているとおり、検査装置１００Ａは、光源２、位相差板４、及び、位相差フィルタ３がこの順に配置されてなるものである。
【００２２】
図２に示されているとおり、検査対象であるフィルム状の被検査物１０は、検査対象の本体である円偏光板１と、円偏光板１に対して粘着剤層１５を介して積層された剥離フィルム１６ａとを備えている。円偏光板１は、偏光フィルム１１の両面に保護フィルム１２ａ，１２ｂが貼合されており、更に、剥離フィルム１６ａを備える側の保護フィルム１２ａ上に粘着剤層１３を介して位相差膜１４が形成されてなるものである。そして、円偏光板１のうち剥離フィルム１６ａを備えていない側の面には別の剥離フィルム１６ｂが積層されている。円偏光板１は、一般的に表示装置、例えば液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置に用いられるものであり、使用時には剥離フィルム１６ａを剥がして、粘着剤層１５を介して表示装置に貼り付けられる。
【００２３】
なお、本明細書において「円偏光板」とは、円偏光板及び楕円偏光板を含むものとする。また、「円偏光」は、円偏光と楕円偏光を含むものとする。
【００２４】
偏光フィルム１１は、検査装置１００Ａにおいては、光源２から入射した光を直線偏光に変換するフィルムである。偏光フィルム１１としては、例えば、ポリビニルアルコールフィルムにヨウ素や二色性色素が吸着・配向されたものや、重合性液晶化合物を配向・重合したものに、二色性色素が吸着・配向したものが挙げられる。
【００２５】
保護フィルム１２ａ，１２ｂは、偏光フィルム１１を保護するためのものである。保護フィルム１２ａ，１２ｂとしては、適度な機械的強度を有する偏光板を得る目的で、偏光板の技術分野で汎用されているものが用いられる。典型的には、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）フィルム等のセルロースエステル系フィルム；環状オレフィン系フィルム；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム等のポリエステル系フィルム：ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）フィルム等の（メタ）アクリル系フィルム等である。また、偏光板の技術分野で汎用されている添加剤が、保護フィルムに含まれていてもよい。
【００２６】
保護フィルム１２ａ，１２ｂは、円偏光板１の構成要素として偏光フィルム１１とともに表示装置に貼合されるものであるので、位相差値の厳密な管理等が要求される。保護フィルム１２ａ，１２ｂとしては、典型的には、位相差値が極めて小さいものが好ましく用いられる。保護フィルム１２ａ，１２ｂは、接着剤を介して偏光フィルム１１に貼合される。
【００２７】
位相差膜１４は、検査装置１００Ａにおいては、偏光フィルム１１によって直線偏光とされた光を円偏光に変換する膜である。位相差膜１４は、位相差を有する膜であれば特に制限はないが、重合性液晶化合物の硬化物からなるものであることが好ましい。重合性液晶化合物の硬化物からなる位相差膜１４は、通常厚さが０．２μｍ〜１０μｍ程度と薄く、異物等を含む場合にその部分で位相差値が低下しやすい。このような部位では、後述するとおり、位相差板４で剥離フィルム１６ａの複屈折を補償したときに本来は輝点欠陥として観察されるべきものであるにも関わらず、黒点となって観察される場合がある。
【００２８】
位相差膜１４を形成し得る重合性液晶化合物は、例えば、特開２００９−１７３８９３号公報、特開２０１０−３１２２３号公報、ＷＯ２０１２／１４７９０４号公報、ＷＯ２０１４／１０３２５号公報及びＷＯ２０１７−４３４３８号公報に開示されたものを挙げることができる。これらの公報に記載の重合性液晶化合物は、広い波長域において一様の偏光変換が可能な、いわゆる逆波長分散性を有する位相差膜を形成可能である。例えば、当該重合性液晶化合物を含む溶液（重合性液晶化合物溶液）を適当な基材上に塗布して光重合させることで、上述のように極めて薄い位相差膜を形成することができるので、かかる位相差膜を有する円偏光板は、厚みが極めて薄い円偏光板を形成することができる。このように厚みが極めて薄い円偏光板は、近年着目されているフレキシブル表示材料用の円偏光板として有利である。
【００２９】
重合性液晶化合物溶液を塗布する基材としては、上述の公報に記載されたものを挙げることができる。かかる基材には、重合性液晶化合物を配向させるために配向膜が設けられていてもよい。配向膜は偏光照射により光配向させるものや、ラビング処理により機械的に配向させたもののいずれでもよい。なお、かかる配向膜に関しても、上記公報に記載されている。
【００３０】
しかしながら、重合性液晶化合物溶液を塗布する基材に異物等が存在していたり、基材自体に傷等があったり、する場合に、重合性液晶化合物溶液を塗布して得られる塗布膜自体に欠陥が生じることがある。また、配向膜をラビング処理した場合には、ラビング布の屑が配向膜上に残り、これが重合性液晶化合物溶液（液晶硬化膜形成用組成物）の塗布膜に欠陥を生じさせることもある。このように、重合性液晶化合物から形成される位相差膜は、厚みが極めて薄い位相差膜を形成可能であるが、欠陥を生じる要因がある。そして、位相差膜の欠陥は上述のとおり、黒点となって観察される欠陥が生じることがある。このような欠陥を有する位相差膜を備えた円偏光板及び剥離フィルムを有する被検査物の欠陥の有無を判定する検出において、本実施形態の検査装置、検査方法は特に有用である。
【００３１】
位相差膜１４は、基材上に配向膜形成用組成物を塗布し、更にその上に重合性液晶化合物を含んだ液晶硬化膜形成用組成物を塗布することによって作製することができる。そうして作成した位相差膜１４を、保護フィルム１２ａ上に形成された粘着剤層１３に対して基材ごと貼合し、その後、基材を剥がすことで、位相差膜１４を保護フィルム１２ａ上に転写することができる。
【００３２】
剥離フィルム１６ａは、表示装置に貼合するときに円偏光板１から剥がされるものであり、通常は、剥がされた剥離フィルム１６ａは廃棄される。したがって、保護フィルム１２ａ，１２ｂとは異なり、位相差値の厳密な管理が要求されることはない。そのため、市販されているフィルムを剥離フィルム１６ａとして採用する場合に、その位相差値を補償しないと、位相差フィルタ３を用いる欠陥の検査において、誤動作を招きかねない。すなわち、このように位相差値が厳密に管理されていない剥離フィルム１６ａ，１６ｂが貼合された円偏光板１の欠陥検査では、当該剥離フィルム１６ａの位相差が検査装置１００Ａの検査精度を低下させる原因になり得る。
【００３３】
なお、上記背景技術に記したように、円偏光板１において、剥離フィルム１６ａの反対面には別の剥離フィルム１６ｂが設けられることが多い。図２に示されている円偏光板１では保護フィルム１２ｂ側に剥離フィルム１６ｂが貼合されている。この剥離フィルム１６ｂも通常、表示装置に貼合するときに円偏光板１から剥がされるものであり、保護フィルム１２ａ，１２ｂとは異なり、位相差値の厳密な管理が要求されることはない。剥離フィルム１６ｂの位相差値を補償する場合には、検査装置１００Ａにおいて、剥離フィルム１６ａを剥離フィルム１６ｂに置き換えて（すなわち、剥離フィルム１６ｂのＲｅ（５５０）を予め求めておいてから、被検査物１０の向きを反対にし（剥離フィルム１６ｂが位相差板４に対向する形に設置して）、検査装置１００Ａを用いて、本実施形態の検査方法を実施すればよい。なお、図２において、保護フィルム１２ｂと剥離フィルム１６ｂとは、適当な接着剤層又は粘着剤層を介して貼合されていてもよい（図２においては、この接着剤層又は粘着剤層は、図示はしていない）。
【００３４】
本実施形態において、剥離フィルム１６ａはＰＥＴ系樹脂からなるものである。剥離フィルム１６ｂの位相差値を補償して本実施形態の検査方法を実施する場合には、剥離フィルム１６ｂもＰＥＴ系樹脂からなるものを用いる。ＰＥＴ系樹脂からなるフィルム（ＰＥＴ系樹脂フィルム）は、剥離フィルムとして汎用であり、且つ安価であるという利点がある。一方、安価なＰＥＴ系樹脂フィルムは上記のとおり、位相差値の厳密な管理が要求されることはない。そのため、例えば、製品ロットごとに位相差値にバラツキがあることがある。また、同一のＰＥＴ樹脂系フィルムであっても、面内に位相差値のバラツキがあることもある。このような安価なＰＥＴ樹脂系フィルムを剥離フィルムとして貼合した円偏光板であっても、本実施形態の検査方法により、その欠陥の有無を精度よく検出することができる。
【００３５】
ここで、剥離フィルム１６ａのＲｅ（５５０）の求め方を示しておく。上記のとおり、これら剥離フィルムはＰＥＴ系樹脂からなるフィルムであり、このようなフィルムは市場から容易に入手できる。このフィルムから例えば、４０ｍｍ×４０ｍｍ程度の大きさの片を分取（長尺フィルムから、適当な切断具を用いて分取する等）する。この片のＲｅ（５５０）を３回測定し、Ｒｅ（５５０）の平均値を求める。片のＲｅ（５５０）は、位相差測定装置ＫＯＢＲＡ−ＷＰＲ（王子計測機器株式会社製）を用い、測定温度室温（２５℃程度）で測定することができる。なお、剥離フィルム１６ｂのＲｅ（５５０）を求める場合にも、同様の試験を行えばよい。
【００３６】
光源２は、種々の市販品を用いることができるが、例えばレーザ光等の直線光（直線光に近似するものも含む）であることが有利である。光源２が発する光は無偏光であり、偏光フィルム１１を通過し所定方向の偏光となり、更に位相差膜１４を通過して円偏光となる。すなわち、無偏光の光が円偏光板１通過することで、円偏光となる。
【００３７】
位相差フィルタ３は、円偏光板であり、位相差を有する層を光源２側へ向けて配置されている。位相差フィルタ３は、被検査物１０を検査する場面では、常に被検査物１０中の円偏光板１とクロスニコルを構成するように、その向きが調整される。そして、この位相差フィルタ３を構成する偏光板及び位相差板（位相差を有する層を構成する）は、いわゆる無欠陥のものが採用される。
【００３８】
位相差板４は、被検査物１０が備える剥離フィルム１６ａによる光の複屈折を補償するものである。位相差板４を構成する材料としては、ＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルム１６ａによる光の複屈折を補償するものであれば特に限定されない。市販の１００〜２００ｎｍを有する位相差板を準備し、これらを複数枚積層して所望の位相差値となるようにして位相差板４を形成することもできる。Ｒｅ（５５０）は通常、加成性を有するため、積層した位相差板のＲｅ（５５０）から所望のＲｅ（５５０）の位相差板４を得ることができる。ＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルム１６ａは、通常、面内方向の位相差値や遅相軸のばらつきが大きいため、検査時に位相差値を複数選択できるように複数種の位相差板を準備しておくことが好ましい。本実施形態では、剥離フィルム１６ａのＲｅ（５５０）と略同一の位相差値をもつ第１の位相差板と、剥離フィルム１６ａのＲｅ（５５０）よりも５０〜１００ｎｍ大きなＲｅ（５５０）の第２の位相差板との少なくとも二種類の位相差板を用いる。なお、剥離フィルム１６ａのＲｅ（５５０）と略同一の位相差値とは、剥離フィルム１６ａのＲｅ（５５０）と、位相差板のＲｅ（５５０）との差分の絶対値が２０ｎｍ以下であることをいう。
【００３９】
更に、剥離フィルムの位相差値のばらつきを考慮すると、上記位相差板は、剥離フィルムのＲｅ（５５０）に対して、±３００ｎｍ程度の範囲の位相差を示すものとすることが好ましい。この位相差の範囲内では更に、剥離フィルムの面内方向において５０ｎｍ〜１００ｎｍ刻みで変化させることが好ましい。これらの位相差を示す位相差板を種々準備しておくことが好ましい。すなわち、第１の位相差板、第２の位相差板に加え、更に位相差の異なる第３の位相差板、第４の位相差板を準備しておくことが好ましい。
【００４０】
位相差板４の典型例の概略を図３及び図４に示す。図３及び図４に示されているとおり、一枚の位相差板部材の中に位相差値が異なる領域が連続して配置されて構成されたものであってもよい。すなわち、少なくとも第１の位相差板及び第２の位相差板が同一の部材中に構成されていてもよい。
【００４１】
図３に示されているとおり、位相差板４Ａは、面内方向の位相差値が異なる領域が一方向に連なって構成されたものであってもよい。すなわち、端に位置する領域（第１の領域ａ１；第１の位相差板に相当）は、Ｒｅ（５５０）が例えば１７２０ｎｍである領域であり、その隣に接している領域（第２の領域ａ２；第２の位相差板に相当）は、Ｒｅ（５５０）が１７９０ｎｍである領域であり、更にその隣に接している領域（第３の領域ａ３；第３の位相差板に相当）は、Ｒｅ（５５０）が１８６０ｎｍである領域である。位相差板４Ａにおいて、当該領域の数は任意であり、図３ではｎ番目の領域ａｎまでを示している。なお、それぞれの領域において、厚さ方向の位相差値は、一領域で観察しようとする視野領域の広さにより調節することができる。
【００４２】
また、図４に示されているとおり、位相差板４Ｂは、Ｒｅ（５５０）が異なる領域が環状に並んだ構成とされていてもよい。すなわち、円盤状の位相差板４Ｂは、中心部から放射状に延びる仮想線を境界として位相差値が異なる複数の領域に区分されており、ある領域（第１の領域ｂ１；第１の位相差板に相当）は、Ｒｅ（５５０）が例えば１７２０ｎｍである領域であり、その隣に接している領域（第２の領域ｂ２；第２の位相差板に相当）は、Ｒｅ（５５０）が１７９０ｎｍである領域であり、更にその隣に接している領域（第３の領域ｂ３；第３の位相差板に相当）は、Ｒｅ（５５０）が１８６０ｎｍである領域である。位相差板４Ｂにおいて、当該領域の数は任意であり、図４では第６の領域ｂ６まで存在する円盤状の位相差板を示している。
【００４３】
被検査物１０、位相差板４及び位相差フィルタ３を通過した光を観察するために、光軸９上、且つ、位相差フィルタ３の両側のうち光源２がある側とは反対側の位置に、ＣＣＤカメラ等を含む検出手段５を配置してもよい。例えば、ＣＣＤカメラと画像処理装置を組み合わせた画像処理解析により自動的に検出し、これによって被検査物の検査を行うことができる。或いは、検出手段５は部材ではなく、人間が位相差フィルタ３を目視観察することであってもよい。
【００４４】
また、検査装置１００Ａは、被検査物１０、位相差板４及び位相差フィルタ３の少なくとも一つを、互いに対面する角度が異なるように傾ける、又は、光の光軸９に垂直な方向に回転させることを可能とする可動装置（図示していない。）を備えていることが好ましい。これらを傾けることで、ＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルム１６ａや位相差板４の位相差を微調整できることから、より広範囲の検査が可能となる。また、これらを回転させることでＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルム１６ａと位相差板４との軸合わせが容易となる。
【００４５】
（検査方法）
検査装置１００Ａを用いた検査方法は、以下のとおりである。はじめに、検査装置１００Ａの内部のうち、光源２と位相差板４との間に被検査物１０を挿入する。このとき、被検査物１０と位相差板４と位相差フィルタ３とが、その面がいずれも平行となるように、且つ、被検査物１０中の剥離フィルム１６ａを備える側が光源２とは反対側を向くとともに円偏光板１と位相差フィルタ３とがクロスニコルを構成するように配置する。検査装置１００Ａが上記可動装置を備えている場合は、被検査物１０を任意の向きに挿入した後に、被検査物１０と位相差フィルタ３との相対的な位置関係を可動装置によって変化させてクロスニコルとしてもよい。
【００４６】
光源２が発した光は被検査物１０に入射し、被検査物１０を通過して円偏光となる。被検査物１０と位相差フィルタ３とがクロスニコルの配置となることによって、被検査物１０を通過することで生じた円偏光が位相差フィルタ３によって遮断される。このとき、被検査物１０中の円偏光板１に欠陥が存在すると、この欠陥部分は正規の遮断が行えず、検出手段５における検査作業者の目又はＣＣＤカメラ等には欠陥部分が輝点として観察される。
【００４７】
しかしながら、剥離フィルム１６ａが位相差を有する場合、被検査物１０を通過することで生じた円偏光が影響を受け、位相差フィルタ３を透過する光量が多くなり（例えば光源の光量の１０％又は１５％を超えるようになり）、円偏光板１に存在する輝点などの欠陥の検出精度が低下する。ここで、被検査物１０と位相差フィルタ３との間に位相差板４が配置されていることによって、被検査物１０中の剥離フィルム１６ａの位相差値がキャンセルされ、剥離フィルム１６ａによる光の複屈折を補償する。
【００４８】
また、位相差板４は、剥離フィルム１６ａによる光の複屈折を効果的に補償するために剥離フィルム１６ａが有する位相差値と波長分散特性とにできる限り一致するように設計するが、剥離フィルム１６ａの位相差値の面内ばらつきにより検査視野全体で光を十分に遮断して検査することは困難である。このような場合には、円偏光板１のうち、位相差膜１４の位相差値が低下している部分で光学補償がマッチングし、本来輝点として観察されるべき欠陥が黒点として観察されてしまうことが起こりうる。通常、黒点欠陥は輝点欠陥と比較して、視認性に与える影響が小さいため欠陥サイズについても輝点欠陥より大きくても許容されることが多いことから、結果的に問題なしと判断されてしまうことがある。しかし、その黒点欠陥が本来位相差膜１４の位相差値低下部位に起因する輝点欠陥として観察されるべきものであった場合には、視認性に与える影響が大きく、問題となってしまう。
【００４９】
このため、本実施形態では、黒点と視認された欠陥部位に対して、第２の位相差板を用いる（例えば図３及び図４に例示した位相差板４Ａ，４Ｂのうち、第２の領域ａ２，ｂ２）を用いる。例えば、位相差板４Ａの第１の領域ａ１（第１の位相差板）を用いて行った初回の検査において黒点と視認された欠陥部位に対して、第２の領域ａ２（第２の位相差板）を用いて二回目の検査を行う。このように、面内方向の位相差値が異なる位相差板を用いて複数回にわたって検査することで該当欠陥が輝点欠陥として観察された場合には、欠陥を正しく認識しやすい。なお、第２の領域ａ２（第２の位相差板）を用いた検査でも黒点と視認された場合は、第３の領域ａ３（第３の位相差板）へ続けて検査を行う。
【００５０】
検査中、被検査物１０、位相差板４及び位相差フィルタ３の少なくとも一つを、互いに対面する角度が異なるように傾けてもよいし、光の光軸９に垂直な方向に回転させてもよい。傾けることによって、剥離フィルム１６ａや位相差板４の位相差を微調整できることから、より広範囲の検査が可能となる。また、これらを回転させることでＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルム１６ａと位相差板４との軸合わせが容易となる。これらの操作は、検査装置１００Ａが可動装置を備えている場合に特に容易に行うことができる。
【００５１】
＜第２の実施形態＞
第２の実施形態の検査装置及び検査方法について説明する。図５に示されているとおり、第２の実施形態の検査装置１００Ｂが第１の実施形態の検査装置１００Ｂと異なる点は、被検査物１０を配置する場所と位相差フィルタ３を配置する場所とが逆になっている点である。すなわち、検査装置１００Ｂは、光源２、位相差フィルタ３、及び、位相差板４がこの順に配置されてなるものであり、被検査物１０は、検査時には剥離フィルム１６ａが光源２側を向くようにして、位相差板４よりも光源から遠い位置に配置される。なお、上記第１の実施形態と同様に、円偏光板１に剥離フィルム１６ｂを貼合しこの剥離フィルム１６ｂの位相差値を補償する場合には、検査装置１００Ｂにおいて剥離フィルム１６ｂが位相差板４に対向するように被検査物１０を設置すればよい。
【００５２】
検査装置１００Ｂを用いた被検査物１０の検査においても、第１の実施形態と同様の原理によって円偏光板１の欠陥の有無を容易に検査することができる。
【００５３】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら限定されるものではない。
【実施例】
【００５４】
以下、実験例を挙げて本発明の内容をより具体的に説明する。なお、本発明は下記実験例に限定されるものではない。以下の記載中、含有量ないし使用量を表す「部」及び「％」は、特記ない限り重量基準である。
【００５５】
各物性の測定は、次の方法で行った。
（１）フィルム厚さの測定方法
株式会社ニコン製のデジタルマイクロメーターであるＭＨ−１５Ｍを用いて測定した。
（２）位相差値の測定方法
位相差測定装置ＫＯＢＲＡ−ＷＰＲ（王子計測機器株式会社製）を用いて測定した。なお、以下の表記において、前記のＲｅ（５５０）と同様に、波長４５０ｎｍ及び波長６５０ｎｍの光に対する面内位相差をそれぞれ、「Ｒｅ（４５０）」、「Ｒｅ（６５０）」という。
（３）位相差フィルタ透過した光の透過率の測定
分光放射計（（株）トプコンテクノハウス製、ＳＲ−ＵＬ１）を、測定面から１ｍ離して設置し、測定角２°視野とした状態で輝度を測定した。光源の輝度に対して何％の光が位相差フィルタを透過しているかを計算した。
（４）円偏光板の偏光度及び単体透過率の測定：
積分球付き分光光度計〔日本分光株式会社製の「Ｖ７１００」、２度視野；Ｃ光源〕を用いて測定した。
【００５６】
［直線偏光板の作製］
厚さ３０μｍのポリビニルアルコールフィルム（平均重合度約２４００、ケン化度９９．９モル％以上）を、乾式延伸により約４倍に一軸延伸し、さらに緊張状態を保ったまま、４０℃の純水に４０秒間浸漬した後、ヨウ素／ヨウ化カリウム／水の重量比が０．０５２／５．７／１００の水溶液に２８℃で３０秒間浸漬して染色処理を行った。その後、ヨウ化カリウム／ホウ酸／水の重量比が１１．０／６．２／１００の水溶液に７０℃で１２０秒間浸漬した。引き続き、８℃の純水で１５秒間洗浄した後、３００Ｎの張力で保持した状態で、６０℃で５０秒間、次いで７５℃で２０秒間乾燥して、ポリビニルアルコールフィルムにヨウ素が吸着配向している厚み１２μｍの吸収型偏光子を得た。
【００５７】
得られた偏光フィルムの両面に、接着剤層の厚さが０．１μｍになるようにポリビニルアルコール系接着剤を塗布しながら、保護フィルム（トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）フィルム（商品名：ＫＣ２ＵＡＷ、厚み：２５μｍ、コニカミノルタ社製）を貼合したのち、８０℃で２分間の乾燥を行い、直線偏光板を作製した。得られた直線偏光板の偏光度は、９９．９９５％、単体透過率４２．５％であった。
【００５８】
［重層性液晶化合物の硬化物からなる位相差膜の作製］
下記化学構造を有する光配向性材料５部（重量平均分子量：３００００）とシクロペンタノン（溶媒）９５部とを成分として混合し、得られた混合物を８０℃で１時間攪拌することにより、配向膜形成用組成物を得た。
【化１】
2020160421.tif 000003
【００５９】
以下に示す重合性液晶化合物Ａ、及び、重合性液晶化合物Ｂを９０：１０の質量比で混合した混合物に対して、レベリング剤（Ｆ−５５６；ＤＩＣ社製）を１．０部、及び重合開始剤である２−ジメチルアミノ−２−ベンジル−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン（「イルガキュア３６９（Ｉｒｇ３６９）」、ＢＡＳＦジャパン株式会社製）を６部添加した。さらに、固形分濃度が１３％となるようにＮ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）を添加し、８０℃で１時間攪拌することにより、液晶硬化膜形成用組成物を得た。ここで、重合性液晶化合物Ａは特開２０１０−３１２２３号公報に記載の方法で製造した。また、重合性液晶化合物Ｂは、特開２００９−１７３８９３号公報に記載の方法に準じて製造した。以下にそれぞれの分子構造を示す。
（重合性液晶化合物Ａ）
【化２】
2020160421.tif 000004
（重合性液晶化合物Ｂ）
【化３】
2020160421.tif 000005
【００６０】
［基材、配向膜、重合性液晶化合物が硬化した層からなる積層体の製造］
基材として厚さ５０μｍのシクロオレフィン系フィルム〔日本ゼオン（株）製の商品名「ＺＦ−１４−５０」〕上にコロナ処理を実施した後、上記の配向膜形成用組成物をバーコーターで塗布し、８０℃で１分間乾燥し、偏光ＵＶ照射装置〔ウシオ電機（株）の商品名「ＳＰＯＴ  ＣＵＲＥ  ＳＰ−９」〕を用いて、波長３１３ｎｍにおける積算光量：１００ｍＪ／ｃｍ２で軸角度４５°にて偏光ＵＶ露光を実施した。続いて、配向膜に、上記の液晶硬化膜形成用組成物を、バーコーターを用いて塗布し、１２０℃で１分間乾燥した後、高圧水銀ランプ〔ウシオ電機（株）  の商品名：「ユニキュアＶＢ−１５２０１ＢＹ−Ａ」〕を用いて、紫外線を照射（窒素雰囲気下、波長３６５ｎｍにおける積算光量：５００ｍＪ／ｃｍ２）することにより、重合性液晶化合物が硬化した層を形成した。これにより、基材、配向膜及び重合性液晶化合物が硬化した層からなる積層体を得た。
【００６１】
上記方法にて製造した重合性液晶化合物が硬化した層の面内の位相差値Ｒｅ（λ）は、粘着剤を介してガラスに貼合した後、基材であるシクロオレフィン系フィルムを剥離した後に測定した。各波長における位相差値Ｒｅ（λ）を測定結果は、Ｒｅ（４５０）＝１２１ｎｍ、Ｒｅ（５５０）＝１４２ｎｍ、Ｒｅ（６５０）＝１４６ｎｍ、Ｒｅ（４５０）／Ｒｅ（５５０）＝０．８５、Ｒｅ（６５０）／Ｒｅ（５５０）＝１．０３であった。
【００６２】
［円偏光板、及び、被検査物の作製］
上記の直線偏光板の片面に粘着剤層を形成し、重合性液晶化合物の硬化物からなる層、すなわち位相差膜を貼合した。このとき、位相差膜の遅相軸と直線偏光板の吸収軸とのなす角が４５°（直線偏光板側から見たとき時計回りに４５°）となるように貼合した。そして、位相差膜に更に粘着剤像を形成し、位相差値が２０００ｎｍであるＰＥＴフィルムを剥離フィルムとして貼合し、被検査物を作製した。
【００６３】
［位相差フィルタの作製］
上記の直線偏光板を別途用意し、その片面に粘着剤層を形成し、上記位相差膜の遅相軸と直線偏光板の吸収軸とのなす角が−４５°（直線偏光板側から見たときに反時計回りに４５°）となるように位相差膜を貼合し、位相差フィルタを作製した。
【００６４】
［位相差板の作製］
位相差板として、４Ｚ−Ｙ００４（東レ株式会社製、Ｒｅ（５５０）が１５０ｎｍ〜１８０ｎｍ）を用いた。作製した位相差値は、１７２０ｎｍ〜２３５０ｎｍまで７０ｎｍ刻みとした。作製した位相差板の一覧を表１に示す。この表の見方は、最も左のカラムは、各位相差領域における位相差値（面内位相差値）を示す。例えば、位相差値１７２０ｎｍの領域は、位相差値１５５ｎｍの位相差板１０枚と、位相差値１７０ｎｍの位相差板１枚とを積層することで調製したことを示す（１５５ｎｍ×１０＋１７０ｎｍ＝１７２０ｎｍ）。なお、各領域の厚さ方向の位相差値は、面内位相差値の４．８倍程度であった。
【００６５】
【表１】
2020160421.tif 000006
【００６６】
［被検査物の検査］
上記で作製した検査装置により、被検査物の欠陥の有無を検査した。バックライト（光源）／被検査物（剥離フィルム側が光源と反対側を向くように配置した）／位相差板／位相差フィルタの順に光学系を構成した。位相差板は面内位相差値が２０００ｎｍ及び２０７０ｎｍの位相差領域を使用した。こうして最も暗い状態での輝度を測定したところ、問題なく輝点欠陥を検出できたが、輝度が入射光量の１１．５％程度である黒点として観察される欠陥も確認された。
【００６７】
次いで、位相差板の面内方向の位相差値を２０７０ｎｍに変更してその黒点部分を検査したところ、上記の黒点として観察された欠陥が、輝点欠陥として正しく検出することができた。
【００６８】
この例では、図１に示されているように、バックライトからの光が被検査物１０、位相差板４及び位相差フィルタ３の順に透過するように組み立てた検査装置１００Ａの実験例を示したが、図５に示されているように、バックライトからの光が位相差フィルタ３、位相差板４及び被検査物１０の順に透過するように組み立てた検査装置１００Ｂでも同様に、黒点として観察された欠陥を輝点欠陥として正しく検出することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本発明は、円偏光板の品質検査に利用することができる。
【符号の説明】
【００７０】
１…円偏光板、２…光源、３…位相差フィルタ、４（４Ａ，４Ｂ）…位相差板、５…検出手段、９…光軸、１０…被検査物、１１…偏光フィルム、１２ａ，１２ｂ…保護フィルム、１３…粘着剤層、１４…位相差膜、１５…粘着剤層、１６ａ，１６ｂ…剥離フィルム、１００Ａ，１００Ｂ…検査装置、ａ１，ｂ１…第１の領域（第１の位相差板）、ａ２，ｂ２…第２の領域（第２の位相差板）、ａｎ…第ｎの領域（第ｎの位相差板）。
【図１】
2020160421.tif 000007
【図２】
2020160421.tif 000008
【図３】
2020160421.tif 000009
【図４】
2020160421.tif 000010
【図５】
2020160421.tif 000011