(57)【要約】【課題】小型化および薄型化が図られながら、視認性に優れる第１アライメントマークおよび第２アライメントマークを備え、これらを用いるアライメントを同時に実施することのできる配線回路基板およびその製造方法を提供すること。【解決手段】配線回路基板１は、アライメントマーク層１１を備える。アライメントマーク層１１は、第１アライメントマーク４１と第２アライメントマーク４２とを備える。条件Ａまたは条件Ｂを満足する。条件Ａ：第１アライメントマーク４１は、第１部分（第１起点部分１０または第１重心部分Ｃ１）を有する。第２アライメントマーク４２は、第２部分（第２起点部分１７または第２重心部分Ｃ２）を有する。条件Ｂ：第１アライメントマーク４１が第１部分を有する一方、第２アライメントマーク４２が第２部分を有さず、または、第１アライメントマーク４１が第１部分を有さず、かつ、第２アライメントマーク４２が、第２部分を有さない。【選択図】図１
2020160325.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アライメントマーク層と、
前記アライメントマーク層の厚み方向一方側および他方側に配置される絶縁層とを備える配線回路基板であり、
前記アライメントマーク層は、
前記絶縁層から厚み方向一方側に露出する第１アライメントマークと、
前記絶縁層から厚み方向他方側に露出する第２アライメントマークと
を備え、
前記第１アライメントマークおよび前記第２アライメントマークが、下記条件Ａまたは条件Ｂを満足することを特徴とする、配線回路基板。
条件Ａ：前記第１アライメントマークは、前記厚み方向に対する直交方向において複数方向に延びる第１起点部分、および、前記直交方向に連続するベタ部の第１重心部分からなる群から選択される少なくとも１つの部分である第１部分を有する。
前記第２アライメントマークは、前記直交方向において複数方向に延びる第２起点部分、および、前記直交方向に連続するベタ部の第２重心部分からなる群から選択される少なくとも１つの部分である第２部分を有する。
前記第１部分が、平面視において、前記第２部分と、Ｌの量でずれており、前記ずれ量Ｌと、前記配線回路基板の最大長さＺとが、下記式を満たす。
Ｚ／１０，００００  ≦  Ｌ  ≦  Ｚ×２／３
条件Ｂ：前記第１アライメントマークが前記第１部分を有する一方、前記第２アライメントマークが前記第２部分を有さず、
または、
前記第１アライメントマークが前記第１部分を有さず、かつ、前記第２アライメントマークが、前記第２部分を有さない。
前記第１アライメントマークおよび前記第２アライメントマークの平面視における最短距離Ｌと、前記配線回路基板の最大長さとＺが、下記式を満たす。
Ｚ／１０，００００  ≦  Ｌ  ≦  Ｚ×２／３
【請求項２】
前記第２アライメントマークが、前記第１アライメントマークと、同一形状または相似形状を有することを特徴とする、請求項１に記載の配線回路基板。
【請求項３】
前記第１アライメントマークおよび前記第２アライメントマークが前記条件Ｂを満足し、
前記第１アライメントマークが、前記第１部分を有し、前記第２アライメントマークが、前記第２部分を有さず、
前記第１部分が、平面視において、前記第２アライメントマークと、Ｌの量でずれており、前記ずれ量Ｌと、前記配線回路基板の最大長さＺとが、下記式を満たすことを特徴とする、請求項１または２に記載の配線回路基板。
Ｚ／１０，００００  ≦  Ｌ  ≦  Ｚ×２／３
【請求項４】
前記第１アライメントマークと前記第２アライメントマークとが、平面視において、重複しないことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の配線回路基板。
【請求項５】
前記第２アライメントマークが、平面視において、前記第１アライメントマークを囲んでいることを特徴とする、請求項４に記載の配線回路基板。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の配線回路基板の製造方法であり、
前記アライメントマーク層および前記絶縁層を配置する工程、
前記第１アライメントマークを前記絶縁層から厚み方向一方側に露出させる工程、
前記第２アライメントマークを前記絶縁層から厚み方向他方側に露出させる工程、および、
前記第１アライメントマークおよび前記第２アライメントマークを、ソフトエッチングする工程
を備えることを特徴とする、配線回路基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線回路基板およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種のアライメントを実施するアライメントマークを備える配線回路基板が知られている。
【０００３】
例えば、ベース絶縁層と、ベース絶縁層の上面に配置される導体マークと、ベース絶縁層の上面に、導体マークを露出するように配置されるカバー絶縁層とを備える配線回路基板が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
特許文献１では、導体マークは、カバー絶縁層から上側に向かって露出されており、配線回路基板の上側に配置される画像認識カメラが、導体マークの映像を取得して、各種のアライメントを実施している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２５８３７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかるに、用途および目的によっては、配線回路基板が、ベース絶縁層から下側に向かって露出する第２導体マークをさらに備えることが求められる。
【０００７】
また、近年、配線回路基板には薄型化が求められており、そのため、導体マークおよび第２導体マークをなす導体層の薄型化が求められる。
【０００８】
また、配線回路基板の小型化も求められている。
【０００９】
さらに、導体マークおよび第２導体マークには優れた視認性が求められる。
【００１０】
本発明は、小型化および薄型化が図られながら、視認性に優れる第１アライメントマークおよび第２アライメントマークを備え、これらを用いるアライメントを同時に実施することのできる配線回路基板およびその製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明（１）は、アライメントマーク層と、前記アライメントマーク層の厚み方向一方側および他方側に配置される絶縁層とを備える配線回路基板であり、前記アライメントマーク層は、前記絶縁層から厚み方向一方側に露出する第１アライメントマークと、前記絶縁層から厚み方向他方側に露出する第２アライメントマークとを備え、前記第１アライメントマークおよび前記第２アライメントマークが、下記条件Ａまたは条件Ｂを満足する、配線回路基板を含む。
条件Ａ：前記第１アライメントマークは、前記厚み方向に対する直交方向において複数方向に延びる第１起点部分、および、前記直交方向に連続するベタ部の第１重心部分からなる群から選択される少なくとも１つの部分である第１部分を有する。
【００１２】
前記第２アライメントマークは、前記直交方向において複数方向に延びる第２起点部分、および、前記直交方向に連続するベタ部の第２重心部分からなる群から選択される少なくとも１つの部分である第２部分を有する。
【００１３】
前記第１部分が、平面視において、前記第２部分と、Ｌの量でずれており、前記ずれ量Ｌと、前記配線回路基板の最大長さＺとが、下記式を満たす。
【００１４】
Ｚ／１０，００００  ≦  Ｌ  ≦  Ｚ×２／３
条件Ｂ：前記第１アライメントマークが前記第１部分を有する一方、前記第２アライメントマークが前記第２部分を有さず、
または、
前記第１アライメントマークが前記第１部分を有さず、かつ、前記第２アライメントマークが、前記第２部分を有さない。
【００１５】
前記第１アライメントマークおよび前記第２アライメントマークの平面視における最短距離Ｌと、前記配線回路基板の最大長さとＺが、下記式を満たす。
【００１６】
Ｚ／１０，００００  ≦  Ｌ  ≦  Ｚ×２／３
しかるに、配線回路基板を製造するには、厚み方向一方側に露出する第１アライメントマークと、他方側に露出する第２アライメントマークとをソフトエッチングで洗浄して、それらの視認性を確保する場合がある。
【００１７】
しかし、第１アライメントマークおよび第２アライメントマークをソフトエッチングするとき、アライメントマーク層の浸食に伴って、第１アライメントマークの厚み方向位置が他方側に向かってわずかに移動するとともに、第２アライメントマークの厚み方向位置が一方側に向かってわずかに移動する。
【００１８】
さらに、第１アライメントマークが、複数方向に延びる起点部分、および、ベタ部の重心部分からなる群から選択される少なくとも１つの部分である第１部分を有する場合には、第１アライメントマークをソフトエッチングするときに、エッチング液が滞留し易く、かかる第１部分のアライメントマーク層の浸食が増大し、その第１部分の厚み方向位置が他方側に向かって大きく移動する。
【００１９】
また、第２アライメントマークが、複数方向に延びる第２起点部分、および、ベタ部の第２重心部分からなる群から選択される少なくとも１つの部分である第２部分を有する場合には、第２アライメントマークをソフトエッチングするときに、エッチング液が滞留し易く、かかる第２部分のアライメントマーク層の浸食が増大し、その第２部分の厚み方向位置が一方側に向かって大きく移動する。
【００２０】
そのため、第１部分および第２部分が、平面視において、重複していれば、第１部分および第２部分の厚み方向位置の移動によって、貫通孔が形成される。このことは、アライメントマーク層が薄い場合には、顕著である。
【００２１】
しかし、この配線回路基板において、第１アライメントマークおよび第２アライメントマークが条件Ａを満足すれば、第１部分が、平面視において、第２部分とずれているので、第１アライメントマークおよび第２アライメントマークをソフトエッチングするときに、第１部分の厚み方向位置が他方側に移動するとともに、第２部分の厚み方向位置が一方側に移動しても、第１部分および第２部分の重複に起因する貫通孔の形成を防止することができる。そのため、これら第１アライメントマークおよび第２アライメントマークは、視認性に優れる。
【００２２】
同時に、第１部分は、第２部分と、上記式を満たすＬの量でずれているので、配線回路基板は、小型化が図られ、第１アライメントマークを用いるアライメントと、第２アライメントマークを用いるアライメントとを、同時に実施することができる。
【００２３】
また、第１アライメントマークおよび第２アライメントマークが条件Ｂを満足すれば、少なくとも、第２アライメントマークが第２部分を有さない。そのため、第２アライメントマークをソフトエッチングするときに、第２部分の存在に起因するエッチング液の滞留を抑制できる。従って、エッチング液の滞留に起因する上記した貫通孔の形成を防止することができる。その結果、第１アライメントマークおよび第２アライメントマークは、視認性に優れる。
【００２４】
同時に、第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの平面視における最短距離Ｌが上記式を満たすので、配線回路基板は、小型化が図られ、第１アライメントマークを用いるアライメントと、第２アライメントマークを用いるアライメントとを、同時に実施することができる。
【００２５】
従って、この配線回路基板は、小型化および薄型化されながら、視認性に優れる第１アライメントマークおよび第２アライメントマークを備え、これらを用いるアライメントを同時に実施することができる。
【００２６】
本発明（２）は、前記第２アライメントマークが、前記第１アライメントマークと、同一形状または相似形状を有する、（１）に記載の配線回路基板を含む。
【００２７】
この配線回路基板では、第２アライメントマークが、第１アライメントマークと、同一形状または相似形状を有するので、第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの構成が簡単である。
【００２８】
本発明（３）は、前記第１アライメントマークおよび前記第２アライメントマークが前記条件Ｂを満足し、前記第１アライメントマークが、前記第１部分を有し、前記第２アライメントマークが、前記第２部分を有さず、前記第１部分が、平面視において、前記第２アライメントマークと、Ｌの量でずれており、前記ずれ量Ｌと、前記配線回路基板の最大長さＺとが、下記式を満たす、（１）または（２）に記載の配線回路基板を含む。
【００２９】
Ｚ／１０，００００  ≦  Ｌ  ≦  Ｚ×２／３
この配線回路基板では、第２アライメントマークが第２部分を有さないので、第２アライメントマークをソフトエッチングするときに、第２アライメントマークの厚み方向位置が厚み方向一方側に大きく移動することを抑制できる。
【００３０】
一方、第１部分は、その厚み方向位置が厚み方向他方側に大きく移動しても、第２アライメントマークとずれているので、第１部分と第２アライメントマークとの重複に起因する貫通孔の形成を防止することができる。
【００３１】
本発明（４）は、前記第１アライメントマークと前記第２アライメントマークとが、平面視において、重複しない、（１）〜（３）のいずれか一項に記載の配線回路基板を含む。
【００３２】
この配線回路基板では、第１アライメントマークが、第２アライメントマーク第２アライメントマークとが、平面視において、重複しないので、第１アライメントマークおよび第２アライメントマークをソフトエッチングするときに、第１アライメントマークと第２アライメントマークとの重複に起因する貫通孔の形成を防止することができる。
【００３３】
本発明（５）は、前記第２アライメントマークが、平面視において、前記第１アライメントマークを囲んでいる、（４）に記載の配線回路基板を含む。
【００３４】
この配線回路基板では、第２アライメントマークが、平面視において、第１アライメントマークを囲んでいるので、第１アライメントマークおよび第２アライメントマークをコンパクトに配置することができる。そのため、配線回路基板を小型化することができる。
【００３５】
本発明（６）は、（１）〜（５）のいずれか一項に記載の配線回路基板の製造方法であり、前記アライメントマーク層および絶縁層を配置する工程、前記第１アライメントマークを前記絶縁層から厚み方向一方側に露出させる工程、前記第２アライメントマークを前記絶縁層から厚み方向他方側に露出させる工程、および、前記第１アライメントマークおよび前記第２アライメントマークを、ソフトエッチングする工程を備える、配線回路基板の製造方法を含む。
【００３６】
この製造方法は、第１アライメントマークおよび第２アライメントマークをソフトエッチングする工程において、それらに対応するアライメントマーク層の浸食を進め、第１アライメントマークの厚み方向位置を他方側に移動させ、また、第２アライメントマークの厚み方向位置を一方側に移動させても、条件Ａまたは条件Ｂを満足するため、上記した重複に起因する貫通孔の形成を防止することができる。そのため、視認性に優れる第１アライメントマークおよび第２アライメントマークを形成することができる。
【００３７】
また、この製造方法は、上記した配線回路基板の製造方法であるので、小型化および薄型化が図られながら、視認性に優れる第１アライメントマークおよび第２アライメントマークを備え、これらを用いるアライメントを同時に実施することができる配線回路基板を製造することができる。
【発明の効果】
【００３８】
本発明の配線回路基板の製造方法およびそれにより得られる配線回路基板は、小型化および薄型化が図られながら、視認性に優れる第１アライメントマークおよび第２アライメントマークを備え、これらを用いるアライメントを同時に実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】図１Ａ〜図１Ｃは、本発明の配線回路基板の第１実施形態を示し、図１Ａが、配線回路基板の平面図、図１Ｂが、図１Ａに示す端子、第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの拡大平面図、図１Ｃが、図１Ｂに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの拡大底面図を示す。
【図２】図２は、図１Ａ〜図１Ｃに示す配線回路基板の断面図であり、図１ＢのＸ−Ｘ線に沿う断面図を示す。
【図３】図３Ａ〜図３Ｄは、図２に示す配線回路基板の製造工程図であり、図３Ａが、導体層をベース絶縁層に配置する工程、図３Ｂが、カバー開口部を有するカバー絶縁層を配置する工程、図３Ｃが、ベース開口部を形成する工程、図３Ｄが、めっき層を配置する工程を示す。
【図４】図４は、図１Ａに示す配線回路基板の変形例（実装領域が複数設けられる態様）の平面図を示す。
【図５】図５Ａ〜図５Ｃは、図１Ｂ〜図２に示す配線回路基板の変形例の断面図であり、図５Ａが、第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの平面図、図５Ｂが、第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの底面図、図５Ｃが、図５Ａに示すＸ−Ｘ線に沿う断面図を示す。
【図６】図６は、図２に示す配線回路基板の変形例の断面図を示す。
【図７】図７は、図１Ｂに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの変形例の平面図を示す。
【図８】図８は、図１Ｂに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの変形例の平面図を示す。
【図９】図９は、図１Ｂに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの変形例の平面図を示す。
【図１０】図１０は、図１Ｂに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの変形例の平面図を示す。
【図１１】図１１は、図８に示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークをさらに変形した第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図１２】図１２は、図９に示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークをさらに変形した第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図１３】図１３は、図１０に示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークをさらに変形した第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図１４】図１４は、図１Ｂに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの変形例の平面図を示す。
【図１５】図１５は、図１４に示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図１６】図１６は、図１Ｂに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの変形例の平面図を示す。
【図１７】図１７は、図１６に示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図１８】図１８は、図１６に示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図１９】図１９は、図１６に示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図２０】図２０は、図１６に示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図２１】図２１は、図１６に示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図２２】図２２は、図１６に示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図２３】図２３は、図１Ｂに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図２４】図２４は、図２３に示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図２５】図２５は、図１Ｂに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの変形例の平面図を示す。
【図２６】図２６は、図２５に示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図２７】図２７は、図２５に示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図２８】図２８は、図２６に示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図２９】図２９Ａ〜図２９Ｂは、第２実施形態の第１アライメントマークおよび第２アライメントマークであり、図２９Ａが、平面図、図２９Ｂが、底面図を示す。
【図３０】図３０Ａ〜図３０Ｂは、図２９Ａ〜図２９Ｂに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの変形例であり、図３０Ａが、平面図、図３０Ｂが、底面図を示す。
【図３１】図３１Ａ〜図３１Ｂは、図２９Ａ〜図２９Ｂに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの変形例であり、図３１Ａが、平面図、図３１Ｂが、底面図を示す。
【図３２】図３２は、図２９Ａに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図３３】図３３は、図２９Ａに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図３４】図３４は、図２９Ａに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図３５】図３５は、図２９Ａに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図３６】図３６は、図２９Ａに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図３７】図３７は、図２９Ａに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図３８】図３８は、図２９Ａに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図３９】図３９は、図２９Ａに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図４０】図４０は、図２９Ａに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例の平面図を示す。
【図４１】図４１Ａ〜図４１Ｃは、図２９Ａ、図３６および図３９に示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例（第１部分が第２アライメントマークと重複する変形例）の平面図、図４１Ａが、図２９Ａの第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例、図４１Ｂが、図３６に示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例、図４１Ｃが、図３９に示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例を示す。
【図４２】図４２Ａ〜図４２Ｂは、本発明の第３実施形態の第１アライメントマークおよび第２アライメントマークであって、図４２Ａが、平面図、図４２Ｂが、断面図を示す。
【図４３】図４３は、図４２Ａに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの変形例の平面図を示す。
【図４４】図４４は、図４２Ａに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの変形例の平面図を示す。
【図４５】図４５は、図４２Ａに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの変形例の平面図を示す。
【図４６】図４６は、図４２Ａに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの変形例の平面図を示す。
【図４７】図４７は、図４２Ａに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの変形例の平面図を示す。
【図４８】図４８Ａ〜図４８Ｃは、図４２Ａ〜図４２Ｂに示す第１アライメントマークおよび第２アライメントマークのさらなる変形例（第１アライメントマークが第２アライメントマークと重複する変形例）であり、図４８Ａが、平面図、図４８Ｂが、断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
第１実施形態は、本発明の条件Ａを満足する配線回路基板に対応し、第２〜第３実施形態は、本発明の条件Ｂを満足する配線回路基板に対応する。
【００４１】
なお、第１実施形態は、第１アライメントマーク（後述）が第１部分（後述）を有し、第２アライメントマーク（後述）が第２部分（後述）を有する態様であり、第２実施形態は、第１アライメントマークが第１部分を有し、第２アライメントマークが第２部分を有さない態様であり、第３実施形態は、第１アライメントマークが第１部分を有さず、第２アライメントマークが第２部分を有さない態様である。
【００４２】
＜第１実施形態＞
本発明の配線回路基板の第１実施形態を、図１Ａ〜図２を参照して説明する。
【００４３】
なお、図１Ａにおいて、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２（後述）の相対配置を明確に示すために、カバー絶縁層４（後述）を省略している。
【００４４】
また、図１Ｂにおいて、アライメントマーク層１１の周端縁および第２アライメントマーク４２は、平面視で視認されないが、第１アライメントマーク４１との相対配置を明確に示すために、破線で描画している。
【００４５】
また、図１Ｃにおいて、アライメントマーク層１１の周端縁および第１アライメントマーク４１は、底面視で視認されないが、第２アライメントマーク４２との相対配置を明確に示すために、破線で描画している。
【００４６】
図１Ａ〜図２において、この配線回路基板１は、略平板形状を有する。具体的には、厚み方向に対向する一方面および他方面を有し、これらは、厚み方向に直交する面方向に延びる。
【００４７】
配線回路基板１の平面視におけるサイズは、実装する電子素子（後述）のサイズなどによって適宜調整され、具体的には、後述する面方向における最大長さＺ（より具体的には、最大長さＺとずれ量Ｌ（後述）が式を満たす）を有するように、調整される。具体的には、配線回路基板１の最大長さＺは、例えば、１ｍｍ以上、好ましくは、５ｍｍ以上であり、また、例えば、５０ｍｍ以下、好ましくは、３０ｍｍ以下である。
【００４８】
具体的には、配線回路基板１は、略矩形平板形状を有する。配線回路基板１は、その中央部に位置する実装領域７と、周辺領域８とを有する。
【００４９】
実装領域７は、配線回路基板１の一方面に電子素子（図示せず）が実装される平面視略矩形状の領域である。実装領域７は、配線回路基板１に１つ設けられている。実装領域７の内部には、複数の端子９が設けられている。複数の端子９は、実装領域７の周端部に沿って、周方向に互いに間隔を隔てて隣接配置されている。
【００５０】
周辺領域８は、実装領域７の周辺に位置する領域である。周辺領域８には、アライメントマーク層１１が設けられている。なお、アライメントマーク層１１には、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２が区画される。
【００５１】
そして、この配線回路基板１は、絶縁層の一例としてのベース絶縁層２と、導体層３と、絶縁層の一例としてのカバー絶縁層４とを厚み方向一方側に向かって順に備える。
【００５２】
ベース絶縁層２は、配線回路基板１と同一の外形形状を有する。ベース絶縁層２は、厚み方向に対向する一方面および他方面を有する。また、ベース絶縁層２は、周辺領域８において、第２アライメントマーク４２に対応するベース開口部５を有する。ベース開口部５は、ベース絶縁層２を厚み方向に貫通する貫通孔であり、第２アライメントマーク４２を露出している。
【００５３】
ベース絶縁層２の材料としては、例えば、ポリイミド樹脂などの絶縁樹脂が挙げられる。ベース絶縁層２の厚みは、例えば、０．１μｍ以上、好ましくは、０．５μｍ以上であり、より好ましくは、１μｍ以上であり、また、例えば、５０μｍ以下、好ましくは、３０μｍ以下、より好ましくは、２０μｍ以下である。
【００５４】
導体層３は、ベース絶縁層２の一方面に配置されている。導体層３は、端子９と、配線（図示せず）と、アライメントマーク層１１とを備える。
【００５５】
端子９は、実装領域７において、ベース絶縁層２の一方面に配置されており、上記したパターンで配置されている。
【００５６】
図示しない配線は、実装領域７において、ベース絶縁層２の一方面に配置されており、端子９間を接続する。
【００５７】
アライメントマーク層１１は、ベース絶縁層２に支持されている。具体的には、アライメントマーク層１１は、周辺領域８において、ベース絶縁層２の一方面に配置されている。換言すれば、ベース絶縁層２は、アライメントマーク層１１の厚み方向他方側に配置されている。
【００５８】
アライメントマーク層１１は、略矩形平板形状を有しており、具体的には、厚み方向に対向する一方面および他方面を有する。アライメントマーク層１１のサイズは、後述する第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２が形成される領域を有するように、調整されている。
【００５９】
導体層３の材料は、後述するソフトエッチングによる浸食が許容される金属（合金を含む）であって、例えば、銅などの導体が挙げられる。
【００６０】
導体層３の厚みは、極めて薄く、具体的には、例えば、１５μｍ以下、好ましくは、１０μｍ以下、より好ましくは、８μｍ以下であり、また、例えば、０．１μｍ以上、好ましくは、０．３μｍ以上、より好ましくは、０．５μｍである。
【００６１】
カバー絶縁層４は、ベース絶縁層２の一方面において、端子９を露出し、図示しない配線を被覆するように、配置されている。
【００６２】
カバー絶縁層４は、周辺領域８において、第１アライメントマーク４１に対応するカバー開口部６を有する。カバー開口部６は、カバー絶縁層４を厚み方向に貫通する貫通孔であり、第１アライメントマーク４１を露出している。
【００６３】
カバー絶縁層４の材料は、ベース絶縁層２の材料と同様である。カバー絶縁層４の厚みは、例えば、０．１μｍ以上、好ましくは、０．５μｍ以上であり、より好ましくは１μｍ以上であり、また、例えば、５０μｍ以下、好ましくは、３０μｍ以下、より好ましくは、２０μｍ以下である。
【００６４】
次に、条件Ａを満足する第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２について詳説する。
【００６５】
第１アライメントマーク４１は、アライメントマーク層１１の一方面において、カバー開口部６から一方側に向かって露出する部分である。
【００６６】
第１アライメントマーク４１は、平面視略＋字（プラス字）形状（あるいはクロス形状）を有する。具体的には、第１アライメントマーク４１は、第１部分の一例である第１起点部分１０と、第１延出部１３と、第２延出部１４と、第３延出部１５と、第４延出部１６とを一体的に有する。
【００６７】
第１起点部分１０は、第１延出部１３、第２延出部１４、第３延出部１５および第４延出部１６が複数方向に延出する（延びる）ための起点となる部分である。
【００６８】
第１延出部１３および第２延出部１４のそれぞれは、第１起点部分１０から、面方向に含まれる第１方向（図１Ａおよび図１Ｂにおける左右方向に相当）（複数方向の一部の一例）の一方側または他方側に向かって延びる切片（ストリップ）形状を有する。より具体的には、第１延出部１３および第２延出部１４は、第１起点部分１０から互いに反対側に向かって延びる略直線形状を有する。第１延出部１３および第２延出部１４は、第１起点部分１０を通過する第１仮想線ＩＬ１上に位置する。
【００６９】
第３延出部１５および第４延出部１６のそれぞれは、第１起点部分１０から、面方向に含まれ、第１方向および厚み方向に直交する第２方向（図１Ａおよび図１Ｂにおける上下方向に相当）（複数方向の一部の一例）の一方側または他方側に向かって延びる切片（ストリップ）形状を有する。より具体的には、第３延出部１５および第４延出部１６は、第１起点部分１０から互いに反対側に向かって延びる略直線形状を有する。第３延出部１５および第４延出部１６は、第１起点部分１０を通過する第２仮想線ＩＬ２上に位置する。第２仮想線ＩＬ２は、第１仮想線ＩＬ１に直交する。
【００７０】
なお、アライメントマーク層１１の一方面において、第１アライメントマーク４１の周囲部分は、カバー絶縁層４に被覆されている。
【００７１】
第２アライメントマーク４２は、アライメントマーク層１１の他方面において、ベース開口部５から他方側に向かって露出する部分である。
【００７２】
第２アライメントマーク４２は、第１アライメントマーク４１と相似する平面視形状を有する。具体的には、第２アライメントマーク４２は、平面視略＋字（プラス字）形状（あるいはクロス形状）を有する。第２アライメントマーク４２は、平面視において、第１アライメントマーク４１より小さい形状を有する。
【００７３】
詳しくは、第２アライメントマーク４２は、第２部分の一例としての第２起点部分１７と、第５延出部１８と、第６延出部１９と、第７延出部２０と、第８延出部２１とを一体的に有する。
【００７４】
第２起点部分１７は、第５延出部１８、第６延出部１９、第７延出部２０および第８延出部２１が複数方向に延出する（延びる）ための起点となる部分である。
【００７５】
第５延出部１８および第６延出部１９のそれぞれは、第２起点部分１７から、第１方向の一方側または他方側に向かって延びる切片（ストリップ）形状を有する。より具体的には、第５延出部１８および第６延出部１９は、第２起点部分１７から互いに反対側に向かって延びる略直線形状を有する。第５延出部１８および第６延出部１９は、第２起点部分１７を通過する第３仮想線ＩＬ３上に位置する。第３仮想線ＩＬ３は、第１仮想線ＩＬ１に平行する。
【００７６】
第７延出部２０および第８延出部２１のそれぞれは、第２起点部分１７から、第２方向の一方側または他方側に向かって延びる切片（ストリップ）形状を有する。より具体的には、第７延出部２０および第８延出部２１は、第２起点部分１７から互いに反対側に向かって延びる略直線形状を有する。第７延出部２０および第８延出部２１は、第２起点部分１７を通過する第４仮想線ＩＬ４上に位置する。第４仮想線ＩＬ４は、第２仮想線ＩＬ２に平行する。
【００７７】
なお、アライメントマーク層１１の他方面において、第２アライメントマーク４２の周囲部分は、ベース絶縁層２に被覆されている。
【００７８】
そして、この配線回路基板１では、第１起点部分１０は、平面視において、第２起点部分１７と重複せず、ずれて配置されている。
【００７９】
また、第１起点部分１０は、平面視において、第２起点部分１７、第５延出部１８、第６延出部１９および第７延出部２０のいずれもとも、重複せず、ずれて配置されている。
【００８０】
また、第２起点部分１７は、平面視において、第１延出部１３、第２延出部１４、第３延出部１５および第４延出部１６のいずれもとも、重複せず、ずれて配置されている。
【００８１】
つまり、第１アライメントマーク４１と、第２アライメントマーク４２とは、平面視において、重複せず、ずれて配置されている。第１アライメントマーク４１と、第２アライメントマーク４２とは、平面視において、互いに間隔を隔てて配置されている。
【００８２】
平面視において、第１起点部分１０と第２起点部分１７とのずれ量（長さ）Ｌは、平面視において、第１起点部分１０と第２起点部分１７との最短距離Ｌであり、配線回路基板１の最大長さＺとともに、下記式を満足する。
【００８３】
Ｚ／１０，００００  ≦  Ｌ  ≦  Ｚ×２／３
ずれ量Ｌが上記した［Ｚ×２／３］を超えれば、第１アライメントマーク４１を用いるアライメントと、第２アライメントマーク４２を用いるアライメントとを同時に実施することができず、また、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２を周辺領域８に広く配置する必要があるから、配線回路基板１の小型化を図ることができない。
【００８４】
他方、ずれ量Ｌが上記した［Ｚ／１０，００００］未満であれば、後述するソフトエッチング（洗浄）に起因する貫通孔の形成をより確実に抑制することができない。
【００８５】
ずれ量Ｌの上限は、好ましくは、［Ｚ×１／２］、より好ましくは、［Ｚ×１／３］、さらに好ましくは、［Ｚ×１／４］である。
【００８６】
また、ずれ量Ｌの下限は、好ましくは、[Ｘ／１０，０００]、より好ましくは、［Ｘ／５,０００］、さらに好ましくは、［Ｘ／３,０００］である。
【００８７】
具体的には、ずれ量Ｌは、例えば、１０ｍｍ以下、好ましくは、７．５ｍｍ以下、より好ましくは、５ｍｍ以下、さらに好ましくは、３ｍｍ以下であり、また、例えば、０．０５ｍｍ以上、好ましくは、０．０３ｍｍ以上、より好ましくは、０．１ｍｍ以上である。
【００８８】
第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２のサイズは、配線回路基板１の用途および目的に応じて適宜設定される。具体的には、第１起点部分１０の平面積は、例えば、１０μｍ２以上、好ましくは、１００μｍ２以上であり、例えば、１，００００，０００μｍ２以下、好ましくは、１００，０００μｍ２以下である。第１延出部１３、第２延出部１４、第３延出部１５および第４延出部１６のそれぞれの延出長さは、例えば、０．０１ｍｍ以上、好ましくは、０．０３ｍｍ以上、より好ましくは、０．０５ｍｍ以上であり、また、例えば、１０ｍｍ以下、好ましくは、３ｍｍ以下、より好ましくは、１ｍｍ以下である。
【００８９】
第２起点部分１７の平面積の、第１起点部分１０の平面積に対する比は、例えば、１以下、好ましくは、０．９以下、より好ましくは、０．７５以下であり、また、例えば、０．１以上、好ましくは、０．３以上である。
【００９０】
第１延出部１３、第２延出部１４、第３延出部１５および第４延出部１６のそれぞれの長さは、第５延出部１８、第６延出部１９、第７延出部２０および第８延出部２１のそれぞれの長さより、長い。
【００９１】
第１延出部１３の延出長さの、第５延出部１８の延出長さに対する比は、例えば、１超過、好ましくは、１．１以上、より好ましくは、１．２以上であり、また、例えば、１０以下である。第２延出部１４の延出長さの第６延出部１９の延出長さに対する比と、第３延出部１５の延出長さの第７延出部２０の延出長さに対する比と、第４延出部１６の延出長さの第８延出部２１の延出長さに対する比とは、上記した第１延出部１３の延出長さの第５延出部１８の延出長さに対する比と同様である。
【００９２】
次に、この配線回路基板１を製造する方法を、図３Ａ〜図３Ｃを参照して説明する。
【００９３】
図３Ａに示すように、まず、この方法では、ベース絶縁層２を準備し、次いで、導体層３を、ベース絶縁層２の一方面に配置する。
【００９４】
ベース絶縁層２は、例えば、面方向に延びる略シート形状から準備し、まだ、上記したベース開口部５（図３Ｃ参照）を有していない。
【００９５】
導体層３は、例えば、アディティブ法、サブトラクティブ法などによって、ベース絶縁層２の一方面に、配線（図示せず）、端子９およびアライメントマーク層１１を有するパターンに形成する。
【００９６】
図３Ｂに示すように、次いで、この方法では、カバー絶縁層４を、ベース絶縁層２の一方面に、カバー開口部６を有するパターンで形成する。
【００９７】
これにより、アライメントマーク層１１の一方面において、カバー開口部６から露出する第１アライメントマーク４１を形成（区画）する。
【００９８】
図３Ｃに示すように、次いで、この方法では、ベース開口部５を、ベース絶縁層２に形成する。
【００９９】
ベース開口部５をベース絶縁層２に形成するには、例えば、エッチング、レーザーなどが用いられる。
【０１００】
これにより、アライメントマーク層１１の他方面において、ベース開口部５から露出する第２アライメントマーク４２を形成（区画）する。
【０１０１】
その後、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２を洗浄する。
【０１０２】
具体的には、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２を、例えば、ソフトエッチングにより、洗浄する。
【０１０３】
ソフトエッチングでは、アライメントマーク層１１の浸食に伴って、第１アライメントマーク４１の厚み方向位置が厚み方向他方側に向かってわずかに移動するとともに、第２アライメントマーク４２の厚み方向位置が厚み方向一方側に向かってわずかに移動する条件（エッチング液の種類、時間、温度等）が選択される。
【０１０４】
第１アライメントマーク４１のソフトエッチングでは、エッチング液が第１延出部１３〜第４延出部１６から第１起点部分１０に向かって流動し易く、そのため、第１起点部分１０にエッチング液が滞留するので、第１起点部分１０の厚み方向位置が厚み方向他方側に向かって移動する速度が、第１延出部１３〜第４延出部１６のそれらより速い。
【０１０５】
第２アライメントマーク４２のソフトエッチングでは、エッチング液が第５延出部１８〜第８延出部２１から第２起点部分１７に向かって流動し易く、そのため、第２起点部分１７にエッチング液が滞留するので、第２起点部分１７の厚み方向位置が厚み方向一方側に向かって移動する速度が、第５延出部１８〜第８延出部２１のそれらより速い。
【０１０６】
一方で、アライメントマーク層１１において、第１アライメントマーク４１と対向する他方面は、ベース絶縁層２に被覆（マスク）されているので、上記したようなソフトエッチングによる他方面の厚み方向位置の移動を生じない。
【０１０７】
また、アライメントマーク層１１において、第２アライメントマーク４２と対向する一方面は、カバー絶縁層４に被覆（マスク）されているので、上記したようなソフトエッチングによる一法面の厚み方向位置の移動を生じない。
【０１０８】
これによって、ベース絶縁層２と、導体層３と、カバー絶縁層４とを備える配線回路基板１が得られる。
【０１０９】
図２に示すように、その後、配線回路基板１の厚み方向一方側に配置される第１画像認識カメラ３１と、配線回路基板１の厚み方向他方側に配置される第２画像認識カメラ３２とによって、電子素子（図示せず）および配線回路基板１のアライメントを実施する。
【０１１０】
このアライメントでは、第１画像認識カメラが第１アライメントマーク４１を認識し、第２画像認識カメラ３２が第２アライメントマーク４２を認識する。
【０１１１】
そして、この配線回路基板１において、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２が条件Ａを満足し、第１起点部分１０が、平面視において、第２起点部分１７とずれている。そのため、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２をソフトエッチングするときに、第１起点部分１０の厚み方向位置が他方側に移動するとともに、第２起点部分１７の厚み方向位置が一方側に移動しても、第１起点部分１０および第２起点部分１７の重複に起因する貫通孔の形成を防止することができる。そのため、これら第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２は、視認性に優れる。
【０１１２】
同時に、第１起点部分１０は、第２起点部分１７と、上記式を満たすＬの量でずれているので、配線回路基板１は、小型化が図られ、第１アライメントマーク４１を用いるアライメントと、第２アライメントマーク４２を用いるアライメントとを、同時に実施することができる。
【０１１３】
従って、この配線回路基板１は、小型化および薄型化されながら、視認性に優れる第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２を備え、これらを用いるアライメントを同時に実施することができる。
【０１１４】
また、この配線回路基板１では、第２アライメントマーク４２は、第１アライメントマーク４１と相似形状を有するので、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２の構成が簡単である。
【０１１５】
また、この配線回路基板１では、ソフトエッチングによって、第１アライメントマーク４１の厚み方向位置が他方側に移動し、第２アライメントマーク４２の厚み方向位置が一方側に移動しても、そもそも、第１アライメントマーク４１と第２アライメントマーク４２とが、平面視において、重複しないので、第１アライメントマーク４１と第２アライメントマーク４２との重複に起因する貫通孔の形成を防止することができる。
【０１１６】
また、上記した配線回路基板１の製造方法は、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２をソフトエッチングする工程において、それらに対応するアライメントマーク層１１の浸食を進め、第１アライメントマーク４１の厚み方向位置を他方側に移動させ、また、第２アライメントマーク４２の厚み方向位置を一方側に移動させても、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２が条件Ａを満足するため、上記した重複に起因する貫通孔の形成を防止することができる。そのため、視認性に優れる第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２を形成することができる。
【０１１７】
また、この製配線回路基板１の製造方法は、上記した配線回路基板１を製造する方法であるので、小型化および薄型化が図られながら、視認性に優れる第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２を備え、これらを用いるアライメントを同時に実施することができる配線回路基板１を製造することができる。
【０１１８】
＜変形例＞
以下の各変形例において、上記した第１実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、各変形例は、特記する以外、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。さらに、第１実施形態および変形例を適宜組み合わせることができる。
【０１１９】
図１Ａに示すように、この配線回路基板１には、１つの実装領域７が設けられている。
【０１２０】
しかし、配線回路基板１における実装領域７の数は、上記に限定されず、複数であってもよい。
【０１２１】
図４に示すように、この変形例では、実装領域７は、配線回路基板１に、例えば、９つ配置されている。具体的には、第１方向に３列、第２方向に３列、合計、９つの実装領域７が、互いに間隔を隔てて並列配置されている。
【０１２２】
複数の実装領域７を備える配線回路基板１は、１つの実装領域７を備える配線回路基板１（図１Ａ参照）より、面方向における最大長さＺが長い。特に限定されないが、例えば、１０ｍｍ以上、好ましくは、２５ｍｍ以上であり、また、例えば、１，０００ｍｍ以下である。
【０１２３】
そして、このような配線回路基板１においても、平面視において、配線回路基板１の最大長さＺと、第１起点部分１０および第２起点部分１７のずれ量Ｌとは、下記式を満足する。
【０１２４】
Ｚ／１０，００００  ≦  Ｌ  ≦  Ｚ×２／３
第１アライメントマーク４１は、図４に示すように、実装領域７に対して、１対１対応で設けられている。しかし、図示しないが、複数の実装領域７（つまり、１つの配線回路基板１）に対して、１つ設けられていてもよい。このことは、第２アライメントマーク４２についても、同様である。
【０１２５】
また、第１実施形態では、第２アライメントマーク４２は、平面視において、第１アライメントマーク４１より小さいが、その大小関係は、逆転していてもよい。
【０１２６】
図２の仮想線および図３Ｄに示すように、配線回路基板１は、めっき層２５をさらに備えてもよい。めっき層２５は、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２に配置されている。めっき層２５の材料としては、例えば、金、ニッケルなどが挙げられる。
【０１２７】
めっき層２５を配置するには、図３Ｄに示すように、洗浄後の第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２をめっき（例えば、電解めっきなど）する。なお、めっき層２５は、めっきが複数実施された複数層であってもよい。
【０１２８】
なお、配線回路基板１がめっき層２５を備える場合には、第１アライメントマーク４１に対応するめっき層２５が、第１画像認識カメラ３１によって認識され、また、第２アライメントマーク４２に対応するめっき層２５が、第２画像認識カメラ３２によって認識される。
【０１２９】
また、第１実施形態では、図３Ａ〜図３Ｃに示すように、ベース開口部５を形成する前に、導体層３を配置しているが、図示しないが、まず、ベース開口部５をベース絶縁層２に形成し、その後、導体層３をベース絶縁層２に配置することもできる。例えば、ベース開口部５が予め形成されたベース絶縁層２を準備し、その後、導体層３をサブトラクティブ法でベース絶縁層２の一方面に積層（形成）する。
【０１３０】
第１実施形態では、図２に示すように、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２は、共通するアライメントマーク層１１に対して設けられている。しかし、図５Ａ〜図５Ｃに示すように、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２が、別々のアライメントマーク層に設けられていてもよい。
【０１３１】
図５Ａ〜図５Ｃに示すように、第１アライメントマーク４１は、アライメントマーク層１１に区画され、第２アライメントマーク４２は、第２アライメントマーク層１２に区画されている。
【０１３２】
第１アライメントマーク４１は、アライメントマーク層１１の一方面において、カバー開口部６から一方側に向かって露出している。
【０１３３】
第２アライメントマーク４２は、アライメントマーク層１１と独立して設けられる第２アライメントマーク層１２の他方面において、ベース開口部５から他方側に向かって露出している。
【０１３４】
この変形例では、図５Ａに示すように、アライメントマーク層１１は、平面視において、第１アライメントマーク４１を包含しており、第１アライメントマーク４１より大きく、第１アライメントマーク４１と相似形状を有する。具体的には、アライメントマーク層１１は、第１アライメントマーク４１より大きい、平面視略＋字（プラス字）形状（あるいはクロス形状）を有する。アライメントマーク層１１の周端部の一方面が、カバー絶縁層４に被覆されている。
【０１３５】
第２アライメントマーク層１２は、ベース絶縁層２の一方面において、アライメントマーク層１１と面方向に間隔を隔てて配置されている。第２アライメントマーク層１２は、平面視において、第２アライメントマーク４２を包含しており、第２アライメントマーク４２より大きく、第２アライメントマーク４２と相似形状を有する。具体的には、アライメントマーク層１１は、第２アライメントマーク４２より大きい、平面視略＋字（プラス字）形状（あるいはクロス形状）を有する。第２アライメントマーク層１２の周端部の他方面が、ベース絶縁層２に被覆されている。
【０１３６】
図６に示すように、アライメントマーク層１１は、ベース絶縁層２のベース開口部５内に充填される充填部２３を有していてもよい。充填部２３の他方面は、第２アライメントマーク４２の一例であって、ベース絶縁層２の他方面と面一である。
【０１３７】
また、図示しないが、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２は、第２アライメントマーク４２は、第１アライメントマーク４１と同一平面視形状を有することもできる。
【０１３８】
図７に示すように、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２は、それぞれ、平面視略Ｌ字形状であってもよい。
【０１３９】
具体的には、図７に示す第１アライメントマーク４１は、図１Ｂに示す第２延出部１４および第４延出部１６を備えず、第１起点部分１０、第１延出部１３および第３延出部１５を備える。
【０１４０】
図７に示す第２アライメントマーク４２は、図１Ｂ〜図１Ｃに示す第６延出部１９および第８延出部２１を備えず、第２起点部分１７、第５延出部１８および第７延出部２０を備える。
【０１４１】
図１Ｂに示す第１実施形態では、平面視において、第２アライメントマーク４２が、第１アライメントマーク４１と重複しないが、図８〜図１０の変形例では、第２アライメントマーク４２が第１アライメントマーク４１と部分的に重複することが許容される。
【０１４２】
但し、第１起点部分１０および第２起点部分１７が平面視においてずれて配置される必要がある。
【０１４３】
図８に示す変形例では、第１アライメントマーク４１の第１延出部１３の遊端部と、第２アライメントマーク４２の第６延出部１９の遊端部とが、平面視において、重複する。
【０１４４】
この変形例では、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２が平面視において重複しない図１Ｂに示す配線回路基板１に比べて、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２をコンパクトに配置することができる。
【０１４５】
図８に示す変形例では、平面視において、第１アライメントマーク４１における１つの延出部と、第２アライメントマーク４２における１つの延出部とが、重複するが、図９に示す変形例では、第１アライメントマーク４１における２つの延出部と、第２アライメントマーク４２における２つの延出部とが、重複する。
【０１４６】
具体的には、図９に示すように、第１アライメントマーク４１における第１延出部１３および第４延出部１６が、それぞれ、第２アライメントマーク４２における第７延出部２０および第６延出部１９と重複する。
【０１４７】
図９に示すように、具体的には、この変形例では、平面視において、第１延出部１３と第７延出部２０とが交差（直交）し、第４延出部１６および第６延出部１９が交差（直交）する。
【０１４８】
なお、図９に示す変形例において、平面視において、第１起点部分１０は、第２アライメントマーク４２と重複せず、また、第２起点部分１７は、第１アライメントマーク４１と重複しない。
【０１４９】
図９に示す変形例では、第１アライメントマーク４１の１つの延出部および第２アライメントマーク４２の１つの延出部が平面視において重複する図８に示す配線回路基板１に比べて、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２をより一層コンパクトに配置することができる。
【０１５０】
図１０に示す変形例では、平面視において、第２起点部分１７と、第１延出部１３の先端部（遊端部）とが重複する。
【０１５１】
一方、平面視において、第１起点部分１０は、第２アライメントマーク４２とずれて配置される。つまり、第１起点部分１０は、第２起点部分１７と重複しない。
【０１５２】
図１０に示す変形例では、平面視において、第２起点部分１７が第１アライメントマーク４１と重複するので、第２起点部分１７が第１アライメントマーク４１とずれて配置される図９の変形例に比べて、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２をより一層コンパクトに配置することができる。そのため、エッチングが滞留し易い第１起点部分１０および第２起点部分１７の重複に起因する貫通孔の形成を防止しながら、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２をコンパクトに配置することができる。
【０１５３】
図１１は、図８に示す変形例における第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２の形状を、平面視略Ｌ字形状に変更したさらなる変形例を示す。図１１に示す変形例は、図８に示す変形例と同様の作用効果を奏することができる。
【０１５４】
図１２は、図９に示す変形例における第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２の形状を、平面視略Ｌ字形状に変更したさらなる変形例を示す。図１２に示す変形例は、図９に示す変形例と同様の作用効果を奏することができる。
【０１５５】
図１３は、図１０に示す変形例における第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２の形状を、平面視略Ｌ字形状に変更したさらなる変形例を示す。図１３に示す変形例は、図１０に示す変形例と同様の作用効果を奏することができる。
【０１５６】
また、図１４に示すように、第２アライメントマーク４２が、複数（４個）の第２起点部分１７を有することもできる。
【０１５７】
具体的には、第２アライメントマーク４２は、第１アライメントマーク４１の外側において、第１アライメントマーク４１を囲む平面視略矩形枠形状を有しており、４つの角部２４を有する。４つの角部２４は、第２部分の一例としての第２起点部分１７に相当する。この変形例では、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２は、平面視において、ずれており、重複しない。
【０１５８】
第２起点部分１７の数は、上記に限定されず、図１５に示すように、１２であってもよい。
【０１５９】
図１５に示す変形例では、第２アライメントマーク４２は、第１アライメントマーク４１の平面視略＋字形状の外側に、第１アライメントマーク４１を囲むように配置される無端枠形状を有する。第２アライメントマーク４２は、第１アライメントマーク４１の外端縁に沿う（対応する）形状を有する。第２アライメントマーク４２は、第１アライメントマーク４１の外端縁に相似する平面視枠形状を有する。具体的には、第２アライメントマーク４２は、内側に向かった開放される平面視コ字形状を有するコ字状部材３６を４つ一体的に有する。１つのコ字状部材３６当たり、３つの角部２４が設けられる。そのため、この第２アライメントマーク４２は、３×４＝１２個の角部２４を備える。
【０１６０】
図１６に示すように、第１アライメントマーク４１は、第１部分として、第１起点部分１０に代えて、ベタ部３０の重心部分Ｃ１を有することもできる。
【０１６１】
ベタ部３０は、面方向に沿うベタパターンであって、平面視において、ベタ部３０の外端縁の内側の領域において、貫通孔などの開口を有しない。具体的には、ベタ部３０は、平面視略矩形状を有する。
【０１６２】
第１重心部分Ｃ１は、ベタ部３０に有される（含まれる）。なお、ベタ部３０は、「重心」を有するが、厚み方向に投影したときに、かかる「重心」がベタ部３０と重複するときに、重心部分（具体的には、第１重心部分Ｃ１）としてベタ部３０に有される（含まれる）。
【０１６３】
第１重心部分Ｃ１は、第１アライメントマーク４１をソフトエッチングするときに、エッチング液が、第１アライメントマーク４１において第１重心部分Ｃ１の周囲部分に比べて、滞留し易く、そのため、第１重心部分Ｃ１の厚み方向位置が厚み方向他方側に向かって移動する速度が、周囲部分のそれに比べて、速い。
【０１６４】
ベタ部３０の平面積は、例えば、０．００１ｍｍ２以上、好ましくは、０．００５ｍｍ２以上、より好ましくは、０．０１ｍｍ２以上であり、また、例えば、１００ｍｍ２以下、好ましくは、５０ｍｍ２以下、より好ましくは、３０ｍｍ２以下である。
【０１６５】
この配線回路基板１は、第１重心部分Ｃ１が、平面視において、角部２４とずれており、条件Ａを満足する。そのため、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２をソフトエッチングするときに、第１重心部分Ｃ１の厚み方向位置が他方側に移動するとともに、角部２４の厚み方向位置が一方側に移動しても、第１重心部分Ｃ１および角部２４の重複に起因する貫通孔の形成を防止することができる。そのため、これら第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２は、視認性に優れる。
【０１６６】
また、この配線回路基板１では、第１アライメントマーク４１が、ベタ部３０の第１重心部分Ｃ１を有し、第２アライメントマーク４２が、平面視において、第１アライメントマーク４１を囲んでいるので、平面視において、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２を周辺領域８においてコンパクトに配置することができる。そのため、配線回路基板１の小型化を図ることができる。
【０１６７】
図１６に示す変形例では、第１アライメントマーク４１が第２アライメントマーク４２に囲まれているが、図１７に示すように、第１アライメントマーク４１が、第２アライメントマーク４２に囲まれず、第２アライメントマーク４２の外側に配置されていてもよい。
【０１６８】
図１８〜図２０に示すように、第１アライメントマーク４１は、第２アライメントマーク４２における線分部３７と重複することができる。
【０１６９】
線分部３７は、第２アライメントマーク４２において４つ備えられており、各線分部３７は、２つの角部２４を連結している。４つの線分部３７のうちの１つが、第１アライメントマーク４１と重複する。
【０１７０】
図１８に示す変形例では、第１重心部分Ｃ１が、線分部３７に対して、外側にずれて配置されている。
【０１７１】
図１９に示す変形例では、第１重心部分Ｃ１が、線分部３７と重複している。但し、Ｃ１は、線分部３７の両端に配置される角部２４（第２起点部分１７）とずれて配置されている。
【０１７２】
図２０に示す変形例では、第１重心部分Ｃ１が、線分部３７に対して、内側にずれて配置されている。
【０１７３】
図１８〜図２０の変形例のうち、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２をコンパクトに配置する観点では、図１９および図２０の変形例が好ましく、図２０の変形例がより好ましい。
【０１７４】
一方、図１８〜図２０の変形例のうち、第１重心部分Ｃ１における貫通孔の防止の観点から、線分部３７と第１重心部分Ｃ１とがずれて配置される図１８および図２０の変形例が好ましい。
【０１７５】
また、第１アライメントマーク４１の形状は、第１重心部分Ｃ１を含めば特に限定されず、例えば、図示しないが、平面視略多角形状（矩形を除く）、例えば、三角形状、五角形状、六角形状であってもよく、また、例えば、図２１に示すように、平面視略円形状でもよい。
【０１７６】
また、図１５〜図２１の変形例は、第２アライメントマーク４２は、無端形状を有するが、図２２に示すように、有端形状を有することもできる。
【０１７７】
第２アライメントマーク４２は、１つのコ字状部材３６を有しており、２つの角部２４（第２起点部分１７）を有する。
【０１７８】
また、ベタ部３０の数は、特に限定されず、図２３に示すように、複数であってもよい。
【０１７９】
第１アライメントマーク４１は、複数（４つ）のベタ部３０を有する。複数のベタ部３０は、複数の延出部（第５延出部１８、第６延出部１９、第７延出部２０、第８延出部２１）に対応して設けられる。ベタ部３０は、延出部の遊端部と重複する一方、第２起点部分１７とずれて配置されている。
【０１８０】
図２４は、図２３に示す変形例における第２アライメントマーク４２の形状を、平面視略Ｌ字形状に変更したさらなる変形例を示す。図２３に示す変形例は、図２３に示す変形例と同様の作用効果を奏することができる。
【０１８１】
また、図１６〜図２４の変形例では、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２のいずれか一方（具体的には、第１アライメントマーク４１）が、ベタ部３０を有するが、図２５〜図２８に示すように、両方がベタ部３０を有することもできる。
【０１８２】
図２５に示すように、第２アライメントマーク４２は、略矩形のベタ部３０を有しており、かかるベタ部３０は、第２重心部分Ｃ２を有する。
【０１８３】
第２重心部分Ｃ２は、第２アライメントマーク４２のベタ部３０に有される（含まれる）。なお、ベタ部３０は、「重心」を有するが、厚み方向に投影したときに、かかる「重心」がベタ部３０と重複するときに、重心部分（具体的には、第２重心部分Ｃ２）としてベタ部３０に有される（含まれる）。
【０１８４】
第２重心部分Ｃ２は、第２アライメントマーク４２をソフトエッチングするときに、エッチング液が、第２アライメントマーク４２において第２重心部分Ｃ２の周囲部分に比べて、滞留し易く、そのため、第２重心部分Ｃ２の厚み方向位置が厚み方向一方側に向かって移動する速度が、周囲部分のそれに比べて、速い。
【０１８５】
第１重心部分Ｃ１と、第２重心部分Ｃ２とは、平面視において、ずれて配置されている。
【０１８６】
第１重心部分Ｃ１と第２重心部分Ｃ２とのずれ量Ｌは、配線回路基板１の最大長さＺとともに、下記式を満足する。
【０１８７】
Ｚ／１０，００００  ≦  Ｌ  ≦  Ｚ×２／３
ずれ量Ｌの上限は、好ましくは、［Ｚ×１／２］、より好ましくは、［Ｚ×１／３］、さらに好ましくは、Ｚ／１０，００００である。
【０１８８】
また、ずれ量Ｌの下限は、好ましくは、[Ｘ／１０，０００]、より好ましくは、［Ｘ／５,０００］、さらに好ましくは、［Ｘ／３,０００］である。
【０１８９】
また、第２アライメントマーク４２は、平面視において、第１アライメントマーク４１と重複せず、ずれている。
【０１９０】
図２６に示すように、第１アライメントマーク４１の一部と、第２アライメントマーク４２の一部とが重複することが許容される。
【０１９１】
具体的には、図２６に示すように、第１アライメントマーク４１の隅部と、第２アライメントマーク４２とが、平面視において、重複する。但し、第１重心部分Ｃ１は、第２重心部分Ｃ２と、ずれて配置されている。
【０１９２】
第２アライメントマーク４２のベタ部３０の形状は、上記に限定されず、図２７〜図２８に示すように、略円形状であってもよい。
【０１９３】
図２７および図２８は、それぞれ、図２５および図２６の第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２を、略円形状に変更した変形例である。
【０１９４】
＜第２実施形態＞
以下の第２実施形態において、上記した第１実施形態および変形例と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、第２実施形態は、特記する以外、第１実施形態および変形例と同様の作用効果を奏することができる。さらに、第１実施形態および変形例を適宜組み合わせることができる。
【０１９５】
第２実施形態の配線回路基板１は、条件Ｂを満足し、第１アライメントマーク４１が第１部分を有する一方、第２アライメントマーク４２が第２部分を有しない。
【０１９６】
具体的には、図２９Ａ〜図２９Ｂに示すように、第１アライメントマーク４１は、第１部分の一例である、ベタ部３０の第１重心部分Ｃ１を有する。
【０１９７】
一方、第２アライメントマーク４２は、第２重心部分Ｃ２も第２起点部分１７も有さない。つまり、第２アライメントマーク４２は、第２部分を有さない。具体的には、第２アライメントマーク４２は、平面視略円環形状を有しており、第１アライメントマーク４１の径方向外側に間隔を隔てて配置されている。
【０１９８】
この第２実施形態では、第１アライメントマーク４１の第１重心部分Ｃ１は、平面視において、第２アライメントマーク４２とずれて配置されている。
【０１９９】
第２アライメントマーク４２をソフトエッチングするときに、第２アライメントマーク４２が第２部分（第２起点部分１７または第２重心部分Ｃ２（後述））を有さないので、第２アライメントマーク４２におけるエッチング液の滞留が抑制される。
【０２００】
第１アライメントマーク４１と第２アライメントマーク４２との最短距離Ｌは、配線回路基板１の最大長さＺとともに、下記式を満足する。
【０２０１】
Ｚ／１０，００００  ≦  Ｌ  ≦  Ｚ×２／３
最短距離Ｌの上限は、好ましくは、［Ｚ×１／２］、より好ましくは、［Ｚ×１／３］、さらに好ましくは、Ｚ／１０，００００である。
【０２０２】
また、最短距離Ｌの下限は、好ましくは、[Ｘ／１０，０００]、より好ましくは、［Ｘ／５,０００］、さらに好ましくは、［Ｘ／３,０００］である。
【０２０３】
具体的には、最短距離Ｌは、例えば、１０ｍｍ以下、好ましくは、７．５ｍｍ以下、より好ましくは、５ｍｍ以下、さらに好ましくは、３ｍｍ以下であり、また、例えば、０．０５ｍｍ以上、好ましくは、０．０３ｍｍ以上、より好ましくは、０．１ｍｍ以上である。
【０２０４】
さらに、第１重心部分Ｃ１と第２アライメントマーク４２との最短距離Ｌ２は、配線回路基板１の面方向における最大長さＺとともに、下記式を満たす。
【０２０５】
Ｚ／１０，００００  ≦  Ｌ２  ≦  Ｚ×２／３
最短距離Ｌ２の上限は、好ましくは、［Ｚ×１／２］、より好ましくは、［Ｚ×１／３］、さらに好ましくは、Ｚ／１０，００００である。
【０２０６】
また、最短距離Ｌ２の下限は、好ましくは、[Ｘ／１０，０００]、より好ましくは、［Ｘ／５,０００］、さらに好ましくは、［Ｘ／３,０００］である。
【０２０７】
また、この配線回路基板１は、第２アライメントマーク４２が、第２部分を有さないので、条件Ｂを満足する。そのため、第２アライメントマーク４２をソフトエッチングするときに、第２アライメントマーク４２におけるエッチング液の滞留を抑制でき、そのため、第２アライメントマーク４２の厚み方向位置が一方側に緩慢に移動させることができる。つまり、第２アライメントマーク４２の厚み方向位置が厚み方向一方側に大きく移動することを抑制できる。
【０２０８】
同時に、第１アライメントマーク４１と第２アライメントマーク４２との最短距離Ｌが上記式を満たすので、配線回路基板１は、小型化が図られ、第１アライメントマーク４１を用いるアライメントと、第２アライメントマーク４２を用いるアライメントとを、同時に実施することができる。
【０２０９】
さらに、第１重心部分Ｃ１が、平面視において、第２アライメントマーク４２とずれているので、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２をソフトエッチングするときに、第１重心部分Ｃ１の厚み方向位置が他方側に移動しても、第１重心部分Ｃ１および第２アライメントマーク４２の重複に起因する貫通孔の形成を防止することができる。そのため、これら第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２は、視認性に優れる。
【０２１０】
さらに、第１重心部分Ｃ１と第２アライメントマーク４２との最短距離Ｌ２が上記式を満たせば、配線回路基板１は、小型化が図られ、第１重心部分Ｃ１を含む第１アライメントマーク４１を用いるアライメントと、第２アライメントマーク４２を用いるアライメントとを、同時に実施することができる。
【０２１１】
＜変形例＞
以下の各変形例において、上記した第１および第２実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、各変形例は、特記する以外、第１および第２実施形態と同様の作用効果を奏することができる。さらに、第１、第２実施形態および変形例を適宜組み合わせることができる。
【０２１２】
図３０Ａ〜図３０Ｂに示す変形例では、平面視において、第２アライメントマーク４２は、第１アライメントマーク４１に含まれており、具体的には、第１アライメントマーク４１の外端縁の内側に間隔を隔てて配置されている。第２アライメントマーク４２は、平面視において、径方向にわたって、第１アライメントマーク４１の周端部と重複する。そのため、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２をコンパクトに配置することができる。
【０２１３】
図３１Ａ〜図３１Ｂに示す変形例では、第２アライメントマーク４２の外端縁は、第１アライメントマーク４１の外端縁および内端縁の間に配置されている。第２アライメントマーク４２は、平面視において、径方向内側部分が、第１アライメントマーク４１の周端部と重複する。
【０２１４】
図２９Ａ〜図３１Ｂのうち、第２アライメントマーク４２の第１アライメントマーク４１との重複部分の面積が少ないか、あるいは、重複部分がないことから、それに起因する貫通孔の形成を抑制する観点から、図２９Ａ〜図３０Ｂの変形例が好ましくは、さらには、第２アライメントマーク４２および第１アライメントマーク４１がずれている図２９Ａ〜図２９Ｂの変形例がより好ましい。
【０２１５】
図３２に示す変形例では、第１重心部分Ｃ１が、第２アライメントマーク４２に対して、外側にずれて配置されている。そのため、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２の構成が簡単である。
【０２１６】
図３３〜図３４に示す変形例では、第１アライメントマーク４１の周端部の一部が、第２アライメントマーク４２と重複している。
【０２１７】
図３３に示す変形例では、第１重心部分Ｃ１が、第２アライメントマーク４２の外側にずれて配置されている。
【０２１８】
図３４に示す変形例では、第１重心部分Ｃ１が、第２アライメントマーク４２の内側にずれて配置されている。
【０２１９】
図３２〜図３４の変形例のうち、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２をコンパクトに配置する観点から、図３３〜図３４の変形例が好ましく、図３４の変形例がより好ましい。
【０２２０】
第２アライメントマーク４２は、第２部分（第２起点部分１７または第２重心部分Ｃ２）を有さなければその形状は特に限定されず、図３５に示すように、例えば、平面視略半円弧形状であってもよい。
【０２２１】
図３６〜図３８に示すように、また、第１アライメントマーク４１は、第１重心部分Ｃ１を有する平面視略矩形状を有することもできる。
【０２２２】
図３６に示すように、第１アライメントマーク４１は、第２アライメントマーク４２の内側に間隔を隔てて配置されている。そのため、第１重心部分Ｃ１は、第２アライメントマーク４２とずれて配置されている。
【０２２３】
図３７に示すように、第１重心部分Ｃ１が第２アライメントマーク４２とずれていれば、第１アライメントマーク４１が、平面視において第２アライメントマーク４２の全部を含んでもよい。
【０２２４】
さらに、図３８に示すように、第１アライメントマーク４１の隅部が、平面視において、第２アライメントマーク４２と重複することが許容される。
【０２２５】
また、図３９〜図４０に示すように、第１アライメントマーク４１が、第１重心部分Ｃ１に代えて、第１起点部分１０を有しており、第１起点部分１０が、第２アライメントマーク４２と、平面視において、ずれて配置されていてもよい。
【０２２６】
図３９では、第１アライメントマーク４１は、平面視において、第２アライメントマーク４２の内側にずれて配置されている。具体的には、第１アライメントマーク４１は、平面視において、第２アライメントマーク４２に囲まれている。
【０２２７】
図４０では、第１延出部１３〜第４延出部１６が、平面視において、第２アライメントマーク４２と重複している。
【０２２８】
図３９〜図４０のうち、貫通孔の形成の防止の観点から、図３９の変形例が好ましい。
【０２２９】
一方、図３９〜図４０のうち、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２をコンパクトに配置する観点から、図４０の変形例が好ましい。
【０２３０】
さらに、第２実施形態およびその変形例では、図２９Ａ〜図４０に示すように、第１重心部分Ｃ１が、平面視において、第２アライメントマーク４２とずれて配置されている。しかし、図４１Ａ〜図４１Ｃに示すように、第１部分の一例である第１重心部分Ｃ１または第１起点部分１０が、平面視において、第２アライメントマーク４２と重複することもできる。
【０２３１】
図４１Ａに示す変形例では、第１アライメントマーク４１が、平面視略円形状のベタ部３０を備えており、ベタ部３０の第１重心部分Ｃ１が、第２アライメントマーク４２と、平面視において重複している。
【０２３２】
図４１Ｂに示す変形例では、第１アライメントマーク４１が、平面視略矩形状のベタ部３０を備えており、ベタ部３０の第１重心部分Ｃ１が、第２アライメントマーク４２と、平面視において重複している。
【０２３３】
図４１Ｃに示す変形例では、第１アライメントマーク４１が、第１起点部分１０を備えており、この第１起点部分１０が、第２アライメントマーク４２と、平面視において重複している。
【０２３４】
図４１Ａ〜図４１Ｃに示す変形例によれば、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２をソフトエッチングするときに、第２アライメントマーク４２は、上記した第２部分を有さないことから、第２部分のようなエッチング液の滞留に起因する厚み方向位置の一方側への迅速な移動を抑制できる。そのため、第２アライメントマーク４２の厚み方向位置の一方側への緩慢な移動を達成することができる。
【０２３５】
その結果、図４１Ａ〜図４１Ｃに示すように、たとえ、第１部分の一例である第１重心部分Ｃ１または第１起点部分１０が、平面視において、第２アライメントマーク４２と重複しても、第２アライメントマーク４２における厚み方向位置が他方側に緩慢に移動するため、上記した貫通孔の形成を抑制することができる。
【０２３６】
なお、図４１Ａ〜図４１Ｃに示す変形例より、図２９Ａ〜図４０に示す第２実施形態および変形例が好適である。図２９Ａ〜図４０に示す第２実施形態および変形例であれば、第１重心部分Ｃ１が、平面視において、第２アライメントマーク４２とずれて配置されているので、第１重心部分Ｃ１または第１起点部分１０と、第２アライメントマーク４２との重複に起因する貫通孔の形成を防止することができる。
【０２３７】
＜第３実施形態＞
以下の第３実施形態において、上記した第１、第２実施形態および変形例と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、第３実施形態は、特記する以外、第１、第２実施形態および変形例と同様の作用効果を奏することができる。さらに、第１、第２実施形態および変形例を適宜組み合わせることができる。
【０２３８】
第３実施形態の配線回路基板１は、条件Ｂを満足し、第１アライメントマーク４１が第１部分を有さず、かつ、第２アライメントマーク４２が第２部分を有しない。
【０２３９】
具体的には、図４２Ａ〜図４７に示すように、第１アライメントマーク４１は、第１起点部分１０も、ベタ部３０の第１重心部分Ｃ１も有しない。つまり、第１アライメントマーク４１は、第１部分を有しない。また、第２アライメントマーク４２は、第２起点部分１７もベタ部３０の第２重心部分Ｃ２も有しない。つまり、第２アライメントマーク４２は、第２部分を有しない。
【０２４０】
第１アライメントマーク４１は、平面視略円環形状を有する。なお、第１アライメントマーク４１は、重心を有するが、平面視で、第１アライメントマーク４１と重複する第１重心部分Ｃ１を有しない。
【０２４１】
第２アライメントマーク４２は、重心を有するが、平面視で、第２アライメントマーク４２と重複する第２重心部分Ｃ２を有しない。
【０２４２】
そして、第２アライメントマーク４２は、平面視において、第１アライメントマーク４１の外側にずれて配置されている。具体的には、第２アライメントマーク４２は、第１アライメントマーク４１より大きい平面視略円環形状を有する。
【０２４３】
第１アライメントマーク４１と、第２アライメントマーク４２とのずれ量Ｌは、第１アライメントマーク４１の外端縁と、第２アライメントマーク４２の内端縁との最短距離であって、配線回路基板１の最大長さＺとともに、下記式を満足する。
【０２４４】
Ｚ／１０，００００  ≦  Ｌ  ≦  Ｚ×２／３
ずれ量Ｌの上限は、好ましくは、［Ｚ×１／２］、より好ましくは、［Ｚ×１／３］、さらに好ましくは、Ｚ／１０，００００である。
【０２４５】
また、ずれ量Ｌの下限は、好ましくは、[Ｘ／１０，０００]、より好ましくは、［Ｘ／５,０００］、さらに好ましくは、［Ｘ／３,０００］である。
【０２４６】
第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２をソフトエッチングするときに、第１アライメントマーク４１が第１部分を有さず、また、第２アライメントマーク４２が第２部分を有さないので、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２の両方におけるエッチング液の滞留が抑制される。
【０２４７】
そして、この第３実施形態は、条件Ｂを満足し、第１アライメントマーク４１が、第１部分を有さず、かつ、第２アライメントマーク４２が、第２部分を有さない。そのため、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２をソフトエッチングするときに、第１アライメントマーク４１は、上記した第１部分のようなエッチング液の滞留に起因する厚み方向位置の他方側への迅速な移動を抑制でき、また、第２アライメントマーク４２は、上記した第２部分のようなエッチング液の滞留に起因する厚み方向位置の一方側への迅速な移動を抑制できる。そのため、第１アライメントマーク４１の厚み方向位置の他方側への緩慢な移動と、第２アライメントマーク４２の厚み方向位置の一方側への緩慢な移動とを両立することができる。
【０２４８】
また、この第３実施形態では、そもそも、第１アライメントマーク４１が、平面視において、第２アライメントマーク４２と、ずれているので、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２をソフトエッチングするときに、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２の重複に起因する貫通孔の形成を防止することができる。そのため、これら第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２は、視認性に優れる。
【０２４９】
同時に、第１アライメントマーク４１は、第２アライメントマーク４２と、上記式を満たすずれ量Ｌでずれているので、配線回路基板１は、小型化が図られ、第１アライメントマーク４１を用いるアライメントと、第２アライメントマーク４２を用いるアライメントとを、同時に実施することができる。
【０２５０】
従って、この配線回路基板１は、小型化および薄型化されながら、視認性に優れる第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２を備え、これらを用いるアライメントを同時に実施することができる。
【０２５１】
＜変形例＞
以下の各変形例において、上記した第１〜第３実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、各変形例は、特記する以外、第１〜第３実施形態と同様の作用効果を奏することができる。さらに、第１〜第３実施形態および変形例を適宜組み合わせることができる。
【０２５２】
第２アライメントマーク４２の形状は、第２部分を有しなければ特に限定されず、例えば、図４３に示すように、平面視略楕円形状であってもよい。
【０２５３】
図４４に示すように、第１アライメントマーク４１は、第２アライメントマーク４２の外側にずれて配置されていてもよい。第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２は、平面視において、互いにずれて配置されている。そのため、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２の構成が簡単である。
【０２５４】
図４５に示すように、第１アライメントマーク４１が、一方側に向かって開放される平面視略円弧形状を有し、第２アライメントマーク４２が、他方側に向かって開放される面視略円弧形状を有することができる。
【０２５５】
また、図４６に示すように、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２が、いずれも、同一方向に向かって開放される平面視略円弧形状であってもよい。
【０２５６】
また、図４７に示すように、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２は、いずれも、平面視略Ｃ字形状を有していてもよい。
【０２５７】
平面視において、第１アライメントマーク４１の２つの遊端部間を、第２アライメントマーク４２が通過するとともに、第２アライメントマーク４２の２つの遊端部間を、第１アライメントマーク４１が通過する。
【０２５８】
さらに、第３実施形態およびその変形例では、図４２Ａ〜図４７に示すように、第１アライメントマーク４１が、平面視において、第２アライメントマーク４２とずれて配置されている。しかし、図４８Ａ〜図４８Ｂに示すように、第１アライメントマーク４１が、平面視において、第２アライメントマーク４２と重複することもできる。
【０２５９】
第２アライメントマーク４２は、第１アライメントマーク４１と同一の、平面視略円環形状を有する。第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２は、平面視において、互いに重複する。
【０２６０】
この変形例では、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２が重複しても、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２をソフトエッチングするときに、第１アライメントマーク４１の厚み方向位置の他方側への緩慢な移動と、第２アライメントマーク４２の厚み方向位置の一方側への緩慢な移動とを両立しているので、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２の重複に起因する貫通孔の形成を抑制することができる。
【０２６１】
なお、図４８Ａ〜図４８Ｂに示す変形例より、図４２Ａ〜図４７に示す第３実施形態および変形例が好適である。図４２Ａ〜図４７に示す第３実施形態および変形例であれば、第１アライメントマーク４１が、平面視において、第２アライメントマーク４２とずれて配置されているので、第１アライメントマーク４１および第２アライメントマーク４２の重複に起因する貫通孔の形成を防止することができる。
【符号の説明】
【０２６２】
１     配線回路基板
２     ベース絶縁層
４     カバー絶縁層
１０   第１起点部分（第１部分の一例）
１１   アライメントマーク層
１２   第２アライメントマーク層
１７   第２起点部分（第２部分の一例）
３０   ベタ部
４１   第１アライメントマーク
４２   第２アライメントマーク
Ｃ１   第１重心部分（第１部分の一例）
Ｃ２   第２重心部分（第２部分の一例）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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