(57)【要約】【課題】各種の加工装置が複数設置された製造工場内で作業を行うオペレータの作業効率を向上すること。【解決手段】本発明に係る加工装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工手段と、該加工手段を制御する制御手段と、加工条件を記憶する記憶手段と、通信ネットワークに接続して情報を送受信する送受信手段と、表示手段とを備える。該記憶手段は、監視対象として事前に設定された監視対象項目に関する情報を含む装置情報を記憶し、該送受信手段は、該通信ネットワークに接続して該装置情報を加工装置間で送受信し、前記制御手段は、前記表示手段によって、複数の加工装置の該装置情報を表示可能であることを特徴とする。【選択図】図３
2020160778.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工手段と、該加工手段を制御する制御手段と、加工条件を記憶する記憶手段と、通信ネットワークに接続して情報を送受信する送受信手段と、表示手段と
を備える加工装置であって、
該記憶手段は、
監視対象として事前に設定された監視対象項目に関する情報を含む装置情報を記憶し、
該送受信手段は、
該通信ネットワークに接続して該装置情報を加工装置間で送受信し、
前記制御手段は、
前記表示手段によって、複数の加工装置の該装置情報を表示可能である
ことを特徴とする加工装置。
【請求項２】
前記送受信手段は、
該加工装置間を有線または無線で接続して、該装置情報を送受信することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
該制御手段は、
複数の加工装置の該装置情報を、
実際に加工装置が設置されるレイアウトに従って、該表示手段に表示させることを特徴とする請求項１又は２に記載の加工装置。
【請求項４】
該制御手段は、
該送受信手段によって、他の加工装置に所定の処理を実行させる命令を該他の加工装置に送信することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハやパッケージ基板等の被加工物をチャックテーブルで保持し、切削、レーザー加工、研削などを行う加工装置が各種存在する。これらの加工装置は、半導体デバイス等の製造工場内に設置される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−２３５４４３号公報
【特許文献２】特開２０１８−５５５８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
製造工場内に各種の加工装置が複数台設定されている場合、加工装置毎に加工処理の進捗状況を確認し、その後にカセット交換やブレード交換などの準備や対応を行うと装置によってはオペレータの作業待ちで加工が止まる時間が発生する場合もあり、非効率である。いずれの加工装置からでも、他の加工装置による加工処理の進捗状況やエラー状況などの装置の設備状態を確認したいという要請がある。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、各種の加工装置が複数設置された製造工場内で作業を行うオペレータの作業効率を上げることが可能な加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工手段と、該加工手段を制御する制御手段と、加工条件を記憶する記憶手段と、通信ネットワークに接続して情報を送受信する送受信手段と、表示手段とを備える加工装置であって、該記憶手段は、監視対象として事前に設定された監視対象項目に関する情報を含む装置情報を記憶し、該送受信手段は、該通信ネットワークに接続して該装置情報を加工装置間で送受信し、前記制御手段は、前記表示手段によって、複数の加工装置の該装置情報を表示可能であることを特徴とする。
【０００７】
本発明の構成によれば、オペレータは、どの加工装置からでも他の加工装置における加工処理の進捗状況や装置の設備状態等を確認できる。このため、オペレータの作業効率を向上できる。
【０００８】
また、本発明に係る加工装置の送受信手段は、該加工装置間を有線または無線で接続して、該装置情報を送受信してもよい。この構成によれば、任意の接続形態で装置情報の送受信を実現できる。
【０００９】
また、本発明に係る加工装置の制御手段は、複数の加工装置の該装置情報を、実際に加工装置が設置されるレイアウトに従って、該表示手段に表示させてもよい。この構成によれば、オペレータに対して、複数の加工装置に対応する装置情報を直感的かつ容易に認識させることが可能となる。
【００１０】
また、本発明に係る加工装置の制御手段は、該送受信手段によって、他の加工装置に所定の処理を実行させる命令を該他の加工装置に送信してもよい。この構成によれば、オペレータがどの加工装置からでも他の加工装置を操作でき、作業効率を向上できる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、各種の加工装置が複数設置された製造工場内で作業を行うオペレータの作業効率を向上できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、実施形態に係るシステム構成を示す図である。
【図２】図２は、実施形態に係る加工装置を示す斜視図である。
【図３】図３は、実施形態に係る加工装置の機能構成の一例を模式的に示す図である。
【図４】図４は、実施形態に係るシステム構成に関する情報の一例を示す図である。
【図５】図５は、実施形態に係る画像設定格納部に記憶される画像設定の一例を示す図である。
【図６】図６は、実施形態に係る監視対象項目格納部に記憶される監視対象項目の一例を示す図である。
【図７】図７は、実施形態に係るレイアウト設定処理の手順の一例を示すフローチャートである。
【図８】図８は、実施形態に係るレイアウト設定処理の一例を示す図である。
【図９】図９は、実施形態に係るレイアウト設定処理の一例を示す図である。
【図１０】図１０は、実施形態に係るレイアウト設定処理の一例を示す図である。
【図１１】図１１は、実施形態に係るレイアウト設定処理の一例を示す図である。
【図１２】図１２は、実施形態に係る装置情報表示処理の手順の一例を示すフローチャートである。
【図１３】図１３は、実施形態に係る装置情報表示処理の一例を示す図である。
【図１４】図１４は、実施形態に係る装置情報表示エリアに表示される装置情報の一例を示す図である。
【図１５】図１５は、実施形態に係る遠隔操作処理の手順の一例を示すフローチャートである。
【図１６】図１６は、実施形態に係る操作選択ウィンドウの構成例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態を詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１４】
以下に説明する実施形態において、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。水平面内の一方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向をＺ軸方向とする。Ｘ軸及びＹ軸を含むＸＹ平面は、水平面と平行である。ＸＹ平面と直交するＺ軸方向は、鉛直方向である。
【００１５】
図１〜図３を用いて、実施形態に係る加工装置１の概要を説明する。図１は、実施形態に係るシステム構成を示す図である。図２は、実施形態に係る加工装置１を示す斜視図である。図３は、実施形態に係る加工装置１の機能構成の一例を模式的に示す図である。
【００１６】
図１に示すように、実施形態に係る複数の加工装置１は、それぞれ、通信ネットワーク５に接続する。複数の加工装置１は、通信ネットワーク５を介して、各種情報を送受信する。通信ネットワーク５は、例えば、被加工物４を量産する工場内及び事業所内の通信回線、公衆通信回線、及び専用通信回線等を含む。なお、通信ネットワーク５の接続形態は、無線であるか、または有線であるかを問わない。通信ネットワーク５は、サーバなどの情報処理装置を配置せず、装置間をつなぐのみのネットワークでもよい。
【００１７】
図２に示すように、加工装置１は、箱状の筐体である本体２を備える。かかる加工装置１は、図２もしくは図３に示すように、チャックテーブル３、加工ユニット１０、タッチパネル２０、通信ユニット３０、並びに制御ユニット１００を有する。
【００１８】
チャックテーブル３は、保持面３ａで被加工物４を保持する。チャックテーブル３は、吸引源（図示せず）と連通している。チャックテーブル３は、吸引源から供給される負圧によって被加工物４を吸引保持する。チャックテーブル３は、Ｚ軸周りに回転可能である。
【００１９】
被加工物４は、たとえばシリコン、サファイア、ガリウムなどを基板１０１とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。被加工物４は、ダイシングテープ４３を介して、環状のフレーム４２の開口に基板４１を支持して構成される。
【００２０】
加工ユニット１０は、チャックテーブル３に保持された被加工物４を加工する。加工ユニット１０は、例えば、切削手段であり、切削ブレード１３を有する。加工ユニット１０は、回転する切削ブレード１３によって、被加工物４に対して切削加工を施す。加工装置１は、例えば、加工装置１の筐体に対してチャックテーブル３をＸ軸方向に相対移動させるＸ軸移動手段（図示せず）を有する。また、加工装置１は、加工装置１の筐体に対して加工ユニット１０をＹ軸方向に相対移動させるＹ軸移動手段（図示せず）と、加工装置１の筐体に対して加工ユニット１０をＺ軸方向に相対移動させるＺ軸移動手段（図示せず）とを有する。加工装置１は、これらの各移動手段によって、チャックテーブル３と加工ユニット１０とを相対移動させることにより、チャックテーブル３に保持された被加工物４を加工する。加工ユニット１０は、加工手段の一例である。
【００２１】
加工装置１は、加工ユニット１０として、たとえば第一加工手段１１および第二加工手段１２を有する。第一加工手段１１および第二加工手段１２の切削ブレード１３は、Ｙ軸方向において互いに対向している。
【００２２】
タッチパネル２０は、表示面を外側に向けた状態で加工装置１に設置される。タッチパネル２０は、図３に示すように、表示部２１と入力部２２とを有する。表示部２１は、加工装置１に関する各種情報を表示する。表示部２１は、複数の加工装置１の装置情報を表示可能である。入力部２２は、加工条件の設定入力など、加工装置１に関する各種操作入力をオペレータから受け付ける。タッチパネル２０は、表示手段の一例である。
【００２３】
通信ユニット３０は、通信ネットワーク５に接続して装置情報を加工装置間で送受信する。通信ユニット３０は、通信ネットワーク５を介して、各種データの送受信を行うための送信部３１及び受信部３２を備える。送信部３１は、通信ネットワーク５に接続された他の加工装置１に装置情報を送信する。受信部３２は、他の加工装置１から送信された装置情報を受信する。通信ユニット３０は、他の加工装置１との間で情報を送受信するための通信規格をサポートする。通信ユニット３０は、送受信手段の一例である。
【００２４】
加工装置１が他の加工装置１との間で送受信する装置情報は、システムログや加工条件などが含まれてよい。通信ネットワーク５は、例えば、被加工物４を量産する工場内及び事業所内の通信回線、公衆通信回線、及び専用通信回線等を含む。なお、通信ユニット３０は、無線または有線により通信ネットワーク５に接続して、情報を送受信できる。
【００２５】
制御ユニット１００は、加工装置１を駆動する各機構（Ｘ軸移動手段、Ｙ軸移動手段、Ｚ軸移動手段）を制御する。制御ユニット１００は、加工装置１の各部を制御し、加工装置１による加工処理を実現する。制御ユニット１００は、たとえばオペレータにより入力設定された加工条件に従って、チャックテーブル３や加工ユニット１０を含む加工装置１の各部を制御し、被加工物４の加工処理を実現する。制御ユニット１００は、制御手段の一例である。
【００２６】
制御ユニット１００は、図３に示すように、記憶部１１０と、制御部１２０とを備える。
【００２７】
記憶部１１０は、制御部１２０により実行される加工装置１の各種処理等の機能を実現するプログラムや、プログラムによる処理に用いられるデータ（加工条件）などを記憶する。記憶部１１０は、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）、フラッシュメモリ、ＥＰＲＯＭ（Erasable  Programmable  Read  Only  Memory）、ＥＥＰＲＯＭ（登録商標）（Electrically  Erasable  Programmable  Read  Only  Memory）などの不揮発性または揮発性の半導体メモリなどを含む。記憶部１１０に記憶されるプログラムは、制御部１２０が備えるプロセッサにより実行可能なデータ処理を行うための複数の命令を含むプロセッサによる読取り可能かつ非遷移的な（non-transitory）記録媒体を有するプログラムプロダクトであるともいえる。記憶部１１０は、制御部１２０が備えるプロセッサがプログラムに記述された命令を実行する際の一時的な作業領域としても利用できる。
【００２８】
実施形態に係る記憶部１１０は、制御プログラム格納部１１１と、システム情報格納部１１２と、システムログ格納部１１３と、加工条件格納部１１４と、画像設定格納部１１５とを有する。さらに、記憶部１１０は、画像情報格納部１１６と、レイアウト設定格納部１１７と、監視対象項目格納部１１８と、装置情報格納部１１９とを有する。
【００２９】
制御プログラム格納部１１１に記憶される制御プログラムは、加工装置１の各種処理等を実現するための機能を提供する。制御プログラムにより提供される機能は、加工装置１の装置情報を送受信する機能、加工装置１の装置情報の表示レイアウトを設定する機能、他の加工装置１を遠隔操作する機能などを含む。
【００３０】
システム情報格納部１１２は、加工装置１のシステム構成に関するデータをシステム情報として記憶する。システム情報は、タッチパネル２０に表示される各種操作画面の画面構成に関するデータを含む。タッチパネル２０に表示される各種画面は、加工装置１において動作するプログラムの種類やバージョンに応じた画面構成を備える。
【００３１】
また、システム情報は、情報の送受信を行うネットワーク構成に関する情報を含む。図４は、実施形態に係るシステム構成に関する情報の一例を示す図である。図４に示すように、システム情報が有するシステム構成に関する情報は、自装置ＩＤの項目と、他装置ＩＤの項目と、アドレスの項目とを有し、これらの項目が相互に対応付けられている。自装置ＩＤ及び他装置ＩＤの項目は、被加工物４を量産する工場内及び事業所内に設置された複数の加工装置１を特定するために、各加工装置１に対して、それぞれ一意に割り当てられた識別情報を記憶する。アドレスの項目は、他の加工装置１に対して割り当てられる情報の宛先の情報を記憶する。宛先の情報は、複数の加工装置１が接続する通信ネットワーク５において、各加工装置１の通信ユニット３０に固有に割り当てられるアドレス情報（ＩＰアドレスやＭＡＣアドレス）などに該当する。それぞれの加工装置１は、アドレス情報に記憶された宛先の情報を送信先に設定することにより、加工装置１間で情報を送受信できる。
【００３２】
システムログ格納部１１３は、加工装置１により実行された加工処理に関する情報を記録したシステムログを記憶する。システムログは、たとえば加工処理を実行中のカセットの段数（最初の段から何段目か）、エラー情報、切削ブレードの摩耗量などの情報を記録できる。システムログは、装置情報の一部である。
【００３３】
加工条件格納部１１４は、加工処理に関わる基本的な条件に関する複数のデータを加工条件として記憶する。加工条件は、加工装置１においてオペレータにより作成された加工条件、及び他の加工装置１において作成された加工条件データの複製物（コピー）を含んでよい。
【００３４】
画像設定格納部１１５は、タッチパネル２０に表示する加工装置１の画像を選択するための設定を画像設定として記憶する。画像設定は、オペレータによりあらかじめ登録される。図５は、実施形態に係る画像設定格納部１１５に記憶される画像設定の一例を示す図である。図５に示すように、画像設定は、装置ＩＤの項目と、製品型番の項目と、画像ＩＤの項目とを有し、これらの項目が相互に対応付けられている。装置ＩＤの項目は、加工装置１の識別情報を記憶する。製品型番の項目は、加工装置１の種類を特定する番号を記憶する。画像ＩＤの項目は、装置ＩＤや製品型番に対応する画像を特定する情報を記憶する。なお、画像設定格納部１１５は、工場内などに設定された各加工装置１を、製品型番により他の加工装置１と区別できる場合、装置ＩＤを含まなくてもよい。また、画像設定格納部１１５は、工場内などに設定された各加工装置１を、製品型番により他の加工装置１と区別できない場合、製品型番を含まなくてもよい。
【００３５】
画像情報格納部１１６は、タッチパネル２０に表示する加工装置１の画像情報をあらかじめ記憶する。画像情報格納部１１６は、画像設定格納部１１５に記憶されている画像ＩＤに対応付けて、画像ＩＤに対応する画像情報をそれぞれ記憶する。画像情報は、実際に加工装置１を撮影した実写画像や、加工装置１の外観に応じて予め作成されたイラストやアイコンなどの作成画像などを適用できる。なお、加工装置１の実際の外観に寄せることなく、オペレータが任意に設定した画像などを装置画像として適用してもよい。
【００３６】
レイアウト設定格納部１１７は、タッチパネル２０に複数の加工装置１の画像を表示する際の表示レイアウトの設定データを記憶する。表示レイアウトの設定データは、オペレータにより手動で設定されてもよいし、工場や事業所の装置配置を示す見取り図などの情報に基づいて自動的に設定されてもよい。
【００３７】
監視対象項目格納部１１８は、加工装置１による加工処理において監視対象として事前に設定された監視対象項目を記憶する。図６は、実施形態に係る監視対象項目格納部１１８に記憶される監視対象項目の一例を示す図である。図６に示すように、監視対象項目は、エラー情報、カセット段数、ブレード摩耗量などを監視対象項目として含む。図６に示す監視対象項目は一例を示すものであり、ブレードの交換時期など、オペレータの作業効率の向上に寄与する任意の項目を設定できる。
【００３８】
装置情報格納部１１９は、他の加工装置１から受信した装置情報を記憶する。装置情報は、監視対象項目格納部１１８に記憶されている監視対象項目に関する情報を装置情報として記憶する。装置情報格納部１１９に記憶される装置情報は、たとえば、監視対象項目として事前に設定されたエラー情報、カセット段数、ブレード摩耗量などの情報を含む。装置情報格納部１１９は、他の加工装置１のそれぞれに割り当てられた装置ＩＤなどの識別情報に対応付けて、他の加工装置１の装置情報をそれぞれ記憶する。
【００３９】
制御部１２０は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、ＤＳＰ（Digital  Signal  Processor）、システムＬＳＩ（Large  Scale  Integration）などのプロセッサを含む。制御部１２０が備えるプロセッサは、記憶部１１０が備えるＲＡＭ上にロードされたプログラムを実行する。これにより、加工装置１により実行される各種処理等の機能が実現される。加工装置１により実行される各種処理等の機能として、他の加工装置１との間で情報を送受信する機能、加工装置１の装置情報の表示レイアウトを設定する機能、並びに他の加工装置１を遠隔操作する機能などが例示される。
【００４０】
制御部１２０は、記憶部１１０に格納されたプログラムに基づいて動作し、以下に説明する加工装置１の各種処理等（レイアウト設定処理、装置情報表示処理、及び遠隔操作処など）を実行する。
【００４１】
制御部１２０は、システムログ格納部１１３に記憶されているシステムログの中から監視の対象となる情報を定期的に取得し、他の加工装置１に送信する。また、制御部１２０は、他の加工装置１から送信された装置情報を受信し、受信した装置情報を装置情報格納部１１９に格納する。
【００４２】
［レイアウト設定処理］
図７を用いて、実施形態に係るレイアウト設定処理を説明する。図７は、実施形態に係るレイアウト設定処理の手順の一例を示すフローチャートである。図７に示すレイアウト設定処理は、制御部１２０により実行される。
【００４３】
図７に示すように、制御部１２０は、オペレータの操作に応じて、レイアウト設定ウィンドウを表示し（ステップＳ１０１）、レイアウトモードが終了したかを判定する（ステップＳ１０２）。
【００４４】
制御部１２０は、レイアウトモードが終了していないと判定すると（ステップ１０２；Ｎｏ）、ステップＳ１０２の判定を繰り返す。
【００４５】
制御部１２０は、レイアウトモードが終了したと判定すると（ステップ１０２；Ｙｅｓ）、レイアウトデータをレイアウト設定格納部１１７に保存する（ステップＳ１０３）。
【００４６】
そして、制御部１２０は、レイアウト設定ウィンドウを閉じて、トップメニュー画面を表示し（ステップＳ１０４）、図７に示すレイアウト設定処理を終了する。
【００４７】
図８〜図１１を用いて、レイアウト設定処理について具体的に説明する。図８〜図１１は、実施形態に係るレイアウト設定処理の一例を示す図である。
【００４８】
図８に示すように、制御部１２０は、オペレータの操作に応じて、タッチパネル２０にトップメニュー画面２１０を表示する（Ｓ１１）。トップメニュー画面２１０は、加工装置１のメンテナンス、操作、設定などを実行するための複数のメニューボタン２１１ａ及び２１１ｂが表示される。
【００４９】
そして、メニューボタン２１１ａ（Ｆ１  レイアウト設定）に対するオペレータの操作を検出すると（Ｓ１２）、制御部１２０は、レイアウト設定ウィンドウ２２０をタッチパネル２０に表示する（Ｓ１３）。レイアウト設定ウィンドウ２２０は、装置ＩＤの選択ウィンドウ２２１、装置画像表示エリア２２２、レイアウト設定エリア２２３、確定ボタン２２４、レイアウトモード終了ボタン２２５を備える。
【００５０】
続いて、図９に示すように、オペレータにより選択ウィンドウ２２１が操作されると、制御部１２０は、プルダウンリスト２２１Ｐを表示する（Ｓ２１）。プルダウンリスト２２１Ｐには、工場内に設置された複数の加工装置１のそれぞれに対応する装置ＩＤが選択可能な状態で表示される。
【００５１】
そして、オペレータにより、プルダウンリスト２２１Ｐにおいて装置ＩＤ：「Ｄ００１」が選択されると（Ｓ２２）、制御部１２０は、装置ＩＤ：「Ｄ００１」に対応する装置画像Ｇ１を装置画像表示エリア２２２に表示する（Ｓ２３）。
【００５２】
続いて、図１０に示すように、装置画像表示エリア２２２に表示された装置画像Ｇ１をレイアウト設定エリア２２３までドラッグするオペレータの操作を検出すると、制御部１２０は、オペレータの操作に応じて装置画像Ｇ１を移動させる（Ｓ３１〜Ｓ３２）。続いて、制御部１２０は、レイアウト設定エリア２２３で装置画像Ｇ１をドロップするオペレータの操作を検出すると、ドロップした位置に装置画像Ｇ１を表示する（Ｓ３３）。
【００５３】
続いて、制御部１２０は、オペレータの操作に応じて、図８〜図１０までの処理を繰り返し実行した後、図１１に示すように、レイアウト設定エリア２２３に各加工装置１に対応する装置画像Ｇ１〜Ｇ８を表示させる（Ｓ４１）。レイアウト設定エリア２２３に表示される各加工装置１に対応する装置画像Ｇ１〜Ｇ８の位置関係（レイアウト）に基づいて、装置情報の表示が行われる。また、確定ボタン２２４により装置画像Ｇ１〜Ｇ８の位置のレイアウトが確定されるまでの間、オペレータは、レイアウト設定エリア２２３内で装置画像（Ｇ１〜Ｇ８）の表示位置を変更できる。オペレータは、たとえば工場内などにおいて、実際に各加工装置１が設置されるレイアウトに従って、装置画像Ｇ１〜Ｇ８の表示位置を決定できる。これにより、制御部１２０は、後述する装置情報表示処理において、複数の加工装置１の装置情報を実際に加工装置１が設置されるレイアウトに従って、タッチパネル２０に表示させることができる。
【００５４】
そして、制御部１２０は、確定ボタン２２４に対するオペレータの操作を検出すると（Ｓ４２）、装置画像Ｇ１〜Ｇ８の位置関係を示すレイアウトデータを保存して、レイアウト設定エリア２２３にレイアウト保存完了のメッセージ２２３Ｍを表示する（Ｓ４３）。
【００５５】
メッセージ２２３Ｍを表示してから一定時間経過後、制御部１２０は、再びトップメニュー画面２１０をタッチパネル２０に表示し（Ｓ４４）、レイアウト設定処理を終了する。
【００５６】
［装置情報表示処理］
図１２を用いて、実施形態に係る装置情報表示処理を説明する。図１２は、実施形態に係る装置情報表示処理の手順の一例を示すフローチャートである。図１２に示す装置情報表示処理は、制御部１２０により実行される。以下に説明するように、制御部１２０は、タッチパネル２０によって、複数の加工装置１の装置情報を表示可能である。
【００５７】
図１２に示すように、制御部１２０は、オペレータの操作に応じて、レイアウト設定格納部１１７から表示レイアウトの設定データを読み込む（ステップＳ２０１）。
【００５８】
続いて、制御部１２０は、システムログ格納部１１３から自装置の装置情報を読み込むとともに、装置情報格納部１１９から他の加工装置１の装置情報を読み込む（ステップＳ２０２）。
【００５９】
続いて、制御部１２０は、ステップＳ２０１で読み込んだ表示レイアウトに従って、ステップＳ２０２で読み込んだ装置情報を装置情報ウィンドウに展開し、タッチパネル２０に表示する（ステップＳ２０３）。
【００６０】
続いて、制御部１２０は、モニターモードが終了したかを判定する（ステップＳ２０４）。制御部１２０は、判定の結果、モニターモードが終了していないと判定すると（ステップＳ２０４；Ｎｏ）、ステップＳ２０４の判定を繰り返す。
【００６１】
制御部１２０は、モニターモードが終了したと判定すると（ステップＳ２０４；Ｎｏ）、装置情報ウィンドウを閉じて、トップメニュー画面を表示し（ステップＳ２０５）、図１２に示す装置情報表示処理を終了する。
【００６２】
図１３及び図１４を用いて、装置情報表示処理について具体的に説明する。図１３は、実施形態に係る装置情報表示処理の一例を示す図である。図１４は、実施形態に係る装置情報表示エリア２３１に表示される装置情報の一例を示す図である。
【００６３】
図１３に示すように、制御部１２０は、オペレータの操作に応じて、タッチパネル２０にトップメニュー画面２１０を表示する（Ｓ５１）。そして、メニューボタン２１１ｂ（Ｆ２  モニタリング）に対するオペレータの操作を検出すると（Ｓ５２）、制御部１２０は、装置情報ウィンドウ２３０をタッチパネル２０に表示する（Ｓ５３）。装置情報ウィンドウ２３０は、装置情報表示エリア２３１と、モニターモード終了ボタン２３２を備える。
【００６４】
図１４に示すように、装置情報表示エリア２３１は、オペレータにより設定された表示レイアウトに従って、各加工装置に対応する装置ＩＤ、装置画像Ｇ１〜Ｇ８、及び装置情報Ｊ１〜Ｊ８を表示する。制御部１２０は、装置画像Ｇ１と、装置画像Ｇ１に対応する加工装置１の装置情報Ｊ１とを対応付けて表示する。同様に、制御部１２０は、装置画像Ｇ２と装置情報Ｊ２、装置画像Ｇ３と装置情報Ｊ３、装置画像Ｇ４と装置情報Ｊ４、装置画像Ｇ５と装置情報Ｊ５、装置画像Ｇ６と装置情報Ｊ６、装置画像Ｇ７と装置情報Ｊ７、並びに装置画像Ｇ８と装置情報Ｊ８を、それぞれ対応付けて表示する。
【００６５】
図１４に示す例では、装置ＩＤ：「Ｄ００３」に対応する装置情報にエラーが含まれる場合、エラー情報を含まない他の加工装置に対応する装置情報とは相違する表示色で装置情報を表示することにより、エラー情報であることをオペレータに通知する。すなわち、オペレータは、装置情報表示エリア２３１の装置情報を参照することにより、装置ＩＤ：「Ｄ００３」以外の他の加工装置１から、装置ＩＤ：「Ｄ００３」の加工装置１においてカセット２０枚目のカーフチェック中にエラーが発生したことを把握できる。また装置情報表示エリアに装置ＩＤを表示させることは必須ではなく、オペレータが装置を認識しやすい独自の呼び方やキーワードを表示する、また装置画像のみ表示するなど、適宜変更可能である。
【００６６】
［遠隔操作処理］
図１５及び図１６を用いて、実施形態に係る遠隔操作処理について説明する。図１５は、実施形態に係る遠隔操作処理の手順の一例を示すフローチャートである。図１６は、実施形態に係る操作選択ウィンドウの構成例を示す図である。図１５に示す処理は、制御部１２０により実行される。
【００６７】
図１５に示すように、制御部１２０は、オペレータの操作に応じて、操作選択ウィンドウをタッチパネル２０に表示する（ステップＳ３０１）。たとえば制御部１２０は、装置情報表示エリア２３１において、エラー情報を含む装置情報に対する操作を検出して、操作選択ウィンドウを表示できる。オペレータは、タッチパネル２０に表示される操作選択ウィンドウを利用して、他の加工装置１を遠隔操作できる。
【００６８】
図１６は、たとえば図１４に示す装置ＩＤ：「Ｄ００３」に対応する加工装置１が遠隔操作の対象となっている場合に表示される操作選択ウィンドウ２４０の一例を示している。図１６に示すように、操作選択ウィンドウ２４０は、複数の操作項目２４１〜２４３と、実行ボタン２４４と、キャンセルボタン２４５と、チェックボックス２５１〜２５３とを備える。
【００６９】
複数の操作項目２４１〜２４３は、オペレータが他の加工装置１を遠隔操作する場合に実施可能な操作に対応して設けられている。操作項目２４１は、他の加工装置１のアラーム音を停止させるための項目である。操作項目２４２は、他の加工装置１のエラー解除を行うための項目である。操作項目２４３は、加工条件をコピーするための項目である。
【００７０】
実行ボタン２４４は、操作項目２４１〜２４３に対応する操作を実行させる命令を他の加工装置１に送信するためのボタンである。キャンセルボタン２４５は、他の加工装置１を遠隔操作する遠隔操作モードを終了するためのボタンである。
【００７１】
チェックボックス２５１〜２５３は、各操作項目２４１〜２４３ごとに、オペレータの選択を受け付けるためのオブジェクトである。
【００７２】
制御ユニット１００は、通信ユニット３０によって、他の加工装置１に所定の処理を実行させる命令を他の加工装置に送信する。たとえば装置ＩＤ：「Ｄ００３」に対応する加工装置１のアラーム音を停止させたい場合、オペレータは、チェックボックス２５１にチェックを入れた後、実行ボタン２４４を操作する。これにより、装置ＩＤ：「Ｄ００３」に対応する加工装置１に対して、アラーム音の停止を指示する命令が送信される。
【００７３】
図１５に戻り、制御部１２０は、オペレータから遠隔操作指示（操作項目の選択および実行ボタン２４４の操作）を受け付けると（ステップＳ３０２）、遠隔操作指示の送信条件を満足するか否かを判定する（ステップ３０３）。
【００７４】
遠隔操作指示の送信条件は、オペレータの安全性を確保するために設けられる。たとえば遠隔操作の送信条件として、遠隔操作の対象となっている加工装置１の開閉扉が閉じられていることや、遠隔操作の対象となっている加工装置１のタッチパネル２０が最後操作されてから所定の時間が経過していることなどが例示される。制御部１２０は、他の加工装置１における開閉扉の開閉状態、タッチパネル２０が最後に操作されてからの時間などの情報を記憶部１１０に記憶しておき、必要に応じて読み出して利用できる。
【００７５】
制御部１２０は、遠隔操作指示の送信条件を満足すると判定した場合（ステップＳ３０３；Ｙｅｓ）、遠隔操作指示を遠隔操作の対象となっている他の加工装置１に送信し（ステップＳ３０４）、図１５に示す遠隔操作処理を終了する。
【００７６】
一方、制御部１２０は、遠隔操作指示の送信条件を満足しないと判定した場合（ステップＳ３０３；Ｎｏ）、操作指示を送信できない旨をオペレータに報知して（ステップＳ３０５）、図１５に示す遠隔操作処理を終了する。操作指示を送信できない旨をオペレータに報知する方法は、操作指示を送信できない旨のメッセージの表示やメッセージに対応する音声の出力などを採用できる。
【００７７】
上述してきたように、実施形態に係る加工装置１は、被加工物４を保持面３ａで保持するチャックテーブル３と、加工ユニット１０（加工手段の一例）と、タッチパネル２０（表示手段の一例）と、各機構の駆動を制御する制御ユニット１００（制御手段の一例）と、事前に設定された対象を監視する監視手段と、加工条件や監視項目を含む装置情報を記憶する記憶部１１０（記憶手段の一例）とを備える加工装置である。加工装置１は、ネットワークで接続された他の加工装置１に装置情報を送信する送信部３１と、他の加工装置１から送信された装置情報を受信する受信部３２とを備える。タッチパネル２０は、複数の加工装置１の装置情報を表示可能であることを特徴とする。
【００７８】
このため、オペレータは、事前に監視対象として設定された監視項目に対応する他の加工装置１の情報を、別の加工装置１から確認できる。このようにして、実施形態に係る加工装置１は、オペレータの作業効率を向上できる。
【００７９】
また、実施形態に係る加工装置１は、加工装置間を有線又は無線で接続して通信する。このため、サーバなどの情報処理装置を配置することなく、加工装置間で直接装置情報をやり取りできるので、システム構成を簡素化できる。
【００８０】
また、実施形態に係る加工装置１は、複数の加工装置１の装置情報を実際に加工装置１が設置されるレイアウトに従い表示する。このため、オペレータに対して、複数の加工装置に対応する装置情報を直感的かつ容易に認識させることが可能となる。
【００８１】
また、実施形態に加工装置１は、他の加工装置の該制御手段を操作する操作選択ウィンドウ２４０（操作部の一例）をさらに備えてもよい。この構成によれば、オペレータがどの加工装置１からでも他の加工装置１を操作でき、作業効率を向上できる。
【００８２】
［実施形態の変形例］
上述した実施形態において、加工装置１は、他の加工装置１との間で送受信する装置情報に加工条件を含めてもよい。すなわち、加工装置１は、他の加工装置１に対して、自装置の加工条件のコピーを生成し、生成したコピーを他の加工装置１に送信して提供してもよい。また、加工装置１は、他の加工装置１において生成された他の加工装置１の加工条件のコピーを受信して取得してもよい。
【００８３】
また、加工装置１は、エラー情報を含む装置情報の表示態様として、エラー情報を含まない装置情報と異なる表示色で表示する例には限定される必要なない。たとえばマークや記号などの画像を表示するなど、オペレータがエラー情報を含まない他の装置情報と識別可能な任意の表示態様を適用できる。
【００８４】
［その他の実施形態］
なお、本発明に係る加工装置１は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。たとえば、加工装置１は、切削装置以外の研削装置やレーザー加工装置であってもよい。
【００８５】
また、上記の実施形態において説明した加工装置１の各構成要素は機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、加工装置１の分散・統合の具体的形態は図示のものに限られず、その全部または一部を、各種の負荷や使用状況などに応じて、任意の単位で機能的または物理的に分散・統合して構成することができる。たとえば記憶部１１０が有する各格納部は、制御部１２０による制御やデータ管理の方法に応じて適宜統合してもよい。
【符号の説明】
【００８６】
１  加工装置
３  チャックテーブル
１０  加工ユニット
２０  タッチパネル
３０  通信ユニット
１００  制御ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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