(57)【要約】【課題】検査対象物の内側面を適切に検査することが可能な検査装置を提供する。【解決手段】検査装置１０は、検査対象物２に向けて光を出射する光源部１３と、反射板１４１と反射板１４１の周囲に設けられる遮光板１４２，１４３とを備え、光源部１３から出射された出射光１３Ａを反射板１４１により反射させて検査対象物２の内側面に照射させる反射部１４と、反射部１４により光が照射された前記内側面を撮像する撮像部１１と、撮像部１１により撮像された撮像画像に基づいて前記内側面を検査する検査部１２と、を備える。【選択図】図４
2020134265.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の内側面を検査する検査装置であって、
前記検査対象物に向けて光を出射する光源部と、
反射板と前記反射板の周囲に設けられる遮光板とを備え、前記光源部から出射された光を前記反射板により反射させて前記検査対象物の前記内側面に照射させる反射部と、
前記反射部により光が照射された前記内側面を撮像する撮像部と、
前記撮像部により撮像された撮像画像に基づいて前記内側面を検査する検査部と、
を備える検査装置。
【請求項２】
前記検査対象物を前記内側面の全周方向に回転させる回転部をさらに備え、
前記撮像部は、前記内側面の全周を分割して撮像し、
前記検査部は、前記撮像部により撮像された複数の分割画像に基づいて前記内側面の全周を検査する、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記回転部の回転量を制御する回転制御部をさらに備え、
前記回転制御部は、前記反射部により前記内側面に照射される光の照射範囲に基づいて、前記回転量を制御する、
請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記反射部の光が照射される前記内側面の照射位置を深さ方向に調整可能な移動部をさらに備える、
請求項１〜３の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項５】
前記移動部は、前記検査対象物を前記深さ方向に移動させる、
請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記光源部と前記反射部と前記撮像部とを固定する固定部をさらに備え、
前記移動部は、前記固定部を移動させる、
請求項４に記載の検査装置。
【請求項７】
前記撮像部は、光軸の傾きを調整可能なあおり撮像の機能を備える、
請求項１〜６の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項８】
前記反射板は、前記内側面に対して傾斜して配置され、
前記遮光板は、前記反射板と前記内側面との間を覆うように配置されている、
請求項１〜７の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項９】
前記反射部の少なくとも一部は、前記検査対象物の内側に配置され、
前記光源部及び前記撮像部は、前記検査対象物の外側に配置されている、
請求項１〜８の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項１０】
検査対象物の内側面を検査する検査装置であって、
光源部と前記光源部の周囲に設けられる遮光板とを備え、前記光源部から出射された光を前記検査対象物の前記内側面に照射させる遮光光源部と、
前記遮光光源部により光が照射された前記内側面を撮像する撮像部と、
前記撮像部により撮像された撮像画像に基づいて前記内側面を検査する検査部と、
を備える検査装置。
【請求項１１】
検査対象物の内側面を検査する検査方法であって、
前記検査対象物に向けて光を出射する出射ステップと、
前記出射ステップにおり出射された光のうち、反射板と前記反射板の周囲に設けられる遮光板とを備える反射部に入射されて前記反射板により反射された光を、前記検査対象物の前記内側面に照射させる反射ステップと、
前記反射ステップにより光が照射された前記内側面を撮像する撮像ステップと、
前記撮像ステップにより撮像された撮像画像に基づいて前記内側面を検査する検査ステップと、
を含む検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の内側面を検査する検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、高い精度を求められる金属部品を製造する場合には切削加工が用いられる。高精度な部品であるため検査も厳しくなる傾向があり、人が目で確認して検査することも多い。検査工程は自動化によるコスト削減の対象となるためカメラで安定した画像を撮像できることが望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６２−８７８３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来、円筒形の金属部品で筒の内側を切削加工した部品は、例えばモーターのケーシングのような目的で広く使用されている。このような部品は、切削箇所が筒の内側面であるため、キズ、打痕などの有無を検査することが困難である。例えば、内側面の所定の検査箇所を撮像するために筒の内側に光を照射すると、当該光が内側面で様々な方向に反射して、検査箇所に反射光が不規則に照射される。このため、検査箇所を適切に撮像することが困難になる。なお、検査対象物が奥行方向に長いパイプ状である場合には内視鏡を用いる方法が考えられるが、この方法では分解能が低い、フォーカスが合い難い、一度に見える範囲が狭いなどの問題があり、適切な検査を行うことが難しい。
【０００５】
本発明の目的は、検査対象物の内側面を適切に検査することが可能な検査装置及び検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一の態様に係る検査装置は、検査対象物の内側面を検査する検査装置であって、前記検査対象物に向けて光を出射する光源部と、反射板と前記反射板の周囲に設けられる遮光板とを備え、前記光源部から出射された光を前記反射板により反射させて前記検査対象物の前記内側面に照射させる反射部と、前記反射部により光が照射された前記内側面を撮像する撮像部と、前記撮像部により撮像された撮像画像に基づいて前記内側面を検査する検査部と、を備える。
【０００７】
本発明の他の態様に係る検査方法は、検査対象物の内側面を検査する検査方法であって、前記検査対象物に向けて光を出射する出射ステップと、前記出射ステップにおり出射された光のうち、反射板と前記反射板の周囲に設けられる遮光板とを備える反射部に入射されて前記反射板により反射された光を、前記検査対象物の前記内側面に照射させる反射ステップと、前記反射ステップにより光が照射された前記内側面を撮像する撮像ステップと、前記撮像ステップにより撮像された撮像画像に基づいて前記内側面を検査する検査ステップと、を含む。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、検査対象物の内側面を適切に検査することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係る検査装置の全体構成を示す図である。
【図２】図２は、本発明の実施形態１に係る検査装置の構成を示す機能ブロック図である。
【図３】図３は、本発明の実施形態１に係る検査装置の反射部の構成を示す斜視図である。
【図４】図４は、本発明の実施形態１に係る検査装置の検査の様子を示す図である。
【図５Ａ】図５Ａは、検査対象物に光が照射された場合の反射の様子を示す図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは、図５Ａに対応する撮像画像の様子を示す図である。
【図６Ａ】図６Ａは、検査対象物に光が照射された場合の反射の様子を示す図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、図６Ａに対応する撮像画像の様子を示す図である。
【図７】図７は、本発明の実施形態に係る検査装置で実行される検査処理の手順の一例を示すフローチャートである。
【図８】図８は、本発明の反射部を用いない場合の検査対象物の内部の光の反射の様子を示す図である。
【図９】図９は、本発明の反射部を用いた場合の検査対象物の内部の光の反射の様子を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施形態２に係る検査装置の構成を示す機能ブロック図である。
【図１１】図１１は、本発明の実施形態２に係る検査装置の概略構成を示す図である。
【図１２】図１２は、本発明の実施形態３に係る検査装置の構成を示す機能ブロック図である。
【図１３】図１３は、本発明の実施形態３に係る検査装置の概略構成を示す図である。
【図１４】図１４は、本発明の実施形態３に係る検査装置の他の構成を示す図である。
【図１５】図１５は、本発明の実施形態４に係る検査装置の構成を示す機能ブロック図である。
【図１６】図１６は、本発明の実施形態５に係る検査装置の構成を示す機能ブロック図である。
【図１７】図１７は、本発明の実施形態５に係る検査装置の反射部の構成を示す斜視図である。
【図１８】図１８は、本発明の実施形態に係る検査装置の反射部の他の構成を示す斜視図である。
【図１９】図１９は、本発明の実施形態に係る検査装置の具体的な取付例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。尚、以下の実施形態は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定する性格を有さない。なお、説明の便宜上、各実施形態において示す構成要素と同一の機能を有する構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００１１】
［実施形態１］
図１は、本発明の実施形態１に係る検査装置１０の全体構成を示す図であり、図２は、検査装置１０の構成を示す機能ブロック図である。検査装置１０は、撮像部１１、検査部１２、光源部１３、反射部１４、固定部１５などを備え、検査対象物２の内側面の傷、打痕などの欠陥を検出する検査を行う。検査対象物２は、内側が閉じられた空間を有する筒状の部品であり、例えばモーターのケーシングである。各実施形態では、検査対象物２として、円筒形の金属部品を例に挙げて説明する。
【００１２】
撮像部１１、光源部１３、及び反射部１４は、固定部１５にネジ等により固定されている。固定部１５は、上下方向及び左右方向に移動可能に構成されてもよい。固定部１５は本発明の固定部の一例である。
【００１３】
光源部１３は、検査対象物２に向けて光を出射する照明装置である。光源部１３は本発明の光源部の一例である。光源部１３は、ＬＥＤ又は蛍光灯により構成される。光源部１３から出射された光（出射光）は、例えば検査対象物２の内側面及び反射部１４に照射される。光源部１３は、検査対象物２の外側に配置される。
【００１４】
反射部１４は、検査対象物２の内側面の検査箇所に検査に必要な光を照射させる検査用治具である。反射部１４は本発明の反射部の一例である。具体的には、反射部１４は、光源部１３から出射された出射光を内部で反射させて検査対象物２の内側面の検査箇所に照射させる。
【００１５】
図３は、反射部１４の一構成例を示す斜視図である。図３に示すように、反射部１４は、反射板１４１と、反射板１４１から上方に立ち上がり、反射板１４１の周囲を覆う遮光板１４２，１４３，１４４，１４５とを備えている。反射板１４１は、照射された光を反射する材料（反射材）を含んで構成されており、例えば基材に反射テープ又は反射塗料などの反射材が付与されて構成されている。なお、反射板１４１は、反射部１４の内部に対向する面（内面）に前記反射材が付与されることにより反射機能を有し、反射部１４の外部に対向する面（外面）に光を遮光する材料（遮光材）が付与されることにより遮光機能を有する。反射板１４１は、矩形状（長方形状）に形成されている。遮光板１４２，１４３，１４４，１４５は、光を遮光する材料を含んで構成されており、例えば基材に遮光テープ又は遮光塗料などの遮光材が付与されて構成されている。なお、遮光板１４２，１４３，１４４，１４５において、外面が遮光性を有していればよく、内面は遮光性を有していなくてもよい。
【００１６】
また、遮光板１４２は、第１辺１４２ａが反射板１４１の長辺に接続されており、第１辺１４２ａに対向する第２辺１４２ｂ及び第３辺１４２ｃが反射板１４１に対して傾斜している。同様に、遮光板１４３は、第１辺１４３ａが反射板１４１の長辺に接続されており、第１辺１４３ａに対向する第２辺１４３ｂ及び第３辺１４３ｃが反射板１４１に対して傾斜している。遮光板１４４は、矩形状に形成されており、第３辺１４２ｃ，１４３ｃに略平行となるように、反射板１４１に対して傾斜して配置される。また、遮光板１４５は、矩形状に形成されており、第２辺１４２ｂ，１４３ｂに略平行となるように、反射板１４１に対して傾斜して配置される。また、第２辺１４２ｂ，１４３ｂと遮光板１４４の第１辺１４４ａとは、同一面内に配置され、第３辺１４２ｃ，１４３ｃと遮光板１４５の第１辺１４５ａとは、同一面内に配置される。
【００１７】
検査対象物２の検査を行う場合、反射部１４は、図１に示すように、少なくとも一部（例えば下部）が検査対象物２の内側に挿入（配置）される。そして、反射部１４は、図４に示すように、遮光板１４２，１４３，１４４の端部（図３に示す第２辺１４２ｂ，１４３ｂ、第１辺１４４ａ）が検査対象物２の内側面に接触するように配置される。また、反射部１４の反射板１４１は、検査対象物２の内側面に対して斜め上方を向くように傾斜して配置され、反射部１４の遮光板１４２，１４３，１４４、１４５は、反射板１４１と検査対象物２の内側面との間を覆うように配置される。遮光板１４４は、検査対象物２の内側面に対して略直角となるように配置され、遮光板１４５は、検査対象物２の内側面に対して略平行となるように配置される。光源部１３は、例えば、検査対象物２の外側において、出射光が反射板１４１に照射されるように反射部１４の右斜め上方に配置される。これにより、光源部１３から出射された出射光１３Ａは、反射板１４１に反射されて検査対象物２の内側面（検査箇所）に到達する。このように、反射部１４は、光源部１３から出射された出射光を反射板１４１により反射させて検査対象物２の内側面（検査箇所）に照射させる。遮光板１４２，１４３，１４４，１４５の構成によれば、反射板１４１と検査対象物２の内側面との間の空間を略密閉することができるため、反射部１４の周囲の光を確実に遮光することができるとともに、前記空間において反射板１４１に反射された光を損失させることなく検査対象物２の内側面（検査箇所）に照射させることができる。また遮光板１４５が反射板１４１の上方に配置されているため、光源部１３から出射された出射光が反射部１４の上方を通過して検査対象物２の内側に入り込むことを防ぐことができる。さらに、遮光板１４５は検査対象物２の内側面に対して略平行となるように配置されるため、反射部１４を検査対象物２に挿入する際及び検査対象物２から取り出す際に、遮光板１４５が検査対象物２に接触することを防ぐことができる。
【００１８】
ここで、反射板１４１は、検査対象物２の内側面に対する傾斜角度が調整可能に構成されてもよい。例えば、反射部１４において、反射板１４１は、遮光板１４２，１４３に回転可能に支持されてもよい。また反射板１４１は、手動又は電動により回転可能に構成される。これにより、検査対象物２の形状、光源部１３及び撮像部１１の位置に応じて、反射板１４１を適切な角度に調整することができる。
【００１９】
撮像部１１は、反射部１４により光（反射光）が照射された検査対象物２の内側面（検査箇所）を撮像する。撮像部１１は本発明の撮像部の一例である。図４に示すように、撮像部１１は、検査対象物２の外側において、例えば、撮像範囲に検査対象物２の前記検査箇所が収まるように、光源部１３とは反対側の左斜め上方に配置される。これにより、反射部１４から前記検査箇所に照射された光が、前記検査箇所で反射されて撮像部１１に到達する。
【００２０】
ここで、撮像部１１により撮像される一般的な撮像画像の一例を示す。撮像部１１は、明視野画像又は暗視野画像を取得する。
【００２１】
例えば、図５Ａに示すように、撮像面に欠陥がなく滑らかな場合、光は正反射し（５−１）、撮像面に欠陥がある場合、光は正反射しない（５−２）。この場合に、撮像部１１を正反射光の延長線上に配置すると、図５Ｂに示すように、背景（５−３）が明るく、欠陥部位（５−４）が暗い検査用画像（明視野画像）が得られる。
【００２２】
また例えば、図６Ａに示すように、撮像面に欠陥がなく滑らかな場合、光は正反射し（６−１）、撮像面に傷などの粗い箇所がある場合、光は正反射せず拡散する（６−２）。この場合に、撮像部１１を正反射光の延長線上に配置しないと一部の光が撮像部１１に到達するため、図６Ｂに示すように、背景（６−３）が暗く、欠陥部位（６−４）が明るい検査用画像（暗視野画像）が得られる。
【００２３】
撮像部１１は、明視野画像又は暗視野画像の検査用画像を取得すると、前記検査用画像を検査部１２に出力する。また撮像部１１は、検査対象物２の内側面の全周を分割して撮像し、撮像した検査用画像（分割画像）を順次検査部１２に出力してもよい。
【００２４】
検査部１２は、撮像部１１により撮像された撮像画像に基づいて検査対象物２の内側面（検査箇所）を検査する。検査部１２は本発明の検査部の一例である。具体的には、検査部１２は、撮像部１１から前記検査用画像を取得すると、当該検査用画像を画像処理して、検査対象物２の内側面（検査箇所）の欠陥の有無を判定する。また、検査部１２は、撮像部１１から順次取得する複数の検査用画像（分割画像）に対して前記判定処理を行うことにより、検査対象物２の内側面の全周を検査する。
【００２５】
検査装置１０は、さらに記憶部（不図示）及び制御部（不図示）を備える。前記記憶部は、各種の情報を記憶する半導体メモリー、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ  Ｄｉｓｋ  Ｄｒｉｖｅ）又はＳＳＤ（Ｓｏｌｉｄ  Ｓｔａｔｅ  Ｄｒｉｖｅ）などを含む不揮発性の記憶部である。例えば前記記憶部には、前記制御部に後述の検査処理（図７参照）を実行させるためのプログラムなどの制御プログラムが記憶されている。
【００２６】
また前記記憶部には、撮像部１１が撮像した撮像画像（検査用画像）が記憶される。前記制御プログラムは、ＵＳＢ、ＣＤ又はＤＶＤなどのコンピュータ読取可能な記録媒体に非一時的に記録されており、検査装置１０が備えるＵＳＢドライブ、ＣＤドライブ又はＤＶＤドライブなどの読取装置（不図示）で読み取られて前記記憶部に記憶される。また、前記制御プログラムは、外部機器から通信網を介してダウンロードされて記憶部に記憶されてもよい。
【００２７】
前記制御部は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、及びＲＡＭなどの制御機器を有する。前記ＣＰＵは、各種の演算処理を実行するプロセッサーである。前記ＲＯＭは、前記ＣＰＵに各種の演算処理を実行させるためのＢＩＯＳ及びＯＳなどの制御プログラムが予め記憶される不揮発性の記憶部である。前記ＲＡＭは、各種の情報を記憶する揮発性又は不揮発性の記憶部であり、前記ＣＰＵが実行する各種の処理の一時記憶メモリー（作業領域）として使用される。そして、制御部は、前記ＲＯＭ又は前記記憶部に予め記憶された各種の制御プログラムを前記ＣＰＵで実行することにより検査装置１０を制御する。
【００２８】
次に、検査装置１０の検査処理の手順の流れについて説明する。図７に示すように、先ずステップＳ１１において、前記制御部は、検査開始後にトリガー（例えば検査開始信号）を受信したか否かを判定する。前記制御部が前記トリガーを受信した場合は（Ｓ１１：ＹＥＳ）、ステップＳ１２において、前記制御部は、撮像部１１に検査対象物２を撮像させる。前記制御部（検査部１２）は、撮像部１１から検査用画像を取得する。
【００２９】
次に、前記制御部（検査部１２）は、前記検査用画像を画像処理し（Ｓ１３）、検査対象物２の検査箇所に欠陥があるか否か（良品又は不良品）を判定する（Ｓ１４）。その後、処理はステップＳ１１に戻り、前記制御部は、前記トリガーを受信したか否かを判定する。
【００３０】
ステップＳ１１において前記制御部が前記トリガーを受信しない場合（Ｓ１１：ＮＯ）、ステップＳ１５に移行し、前記制御部は検査を終了するか否かを判定する。検査を終了する場合（Ｓ１５：ＹＥＳ）、前記制御部は検査終了処理を実行し（Ｓ１６）、検査を終了しない場合（Ｓ１５：ＮＯ）、処理はステップＳ１１に戻り、前記制御部は、前記トリガーを受信したか否かを判定する。
【００３１】
なお、本発明は、前記検査処理に含まれる一又は複数のステップを実行する検査方法の発明として捉えることができる。前記検査方法は、以下の各ステップを含む。
【００３２】
すなわち、前記検査方法は、検査対象物２に向けて光を出射する出射ステップと、前記出射ステップにおり出射された光のうち、反射板１４１と反射板１４１の周囲に設けられる遮光板１４２，１４３，１４４，１４５とを備える反射部１４に入射されて反射板１４１により反射された光を、検査対象物２の内側面に照射させる反射ステップと、前記反射ステップにより光が照射された前記内側面を撮像する撮像ステップと、前記撮像ステップにより撮像された撮像画像に基づいて前記内側面を検査する検査ステップと、を含む。
【００３３】
ここで、反射部１４を用いないで検査対象物２の検査箇所Ｅ１を検査した場合、図８に示すように、光源部１３から出射された出射光１３Ａと、出射光１３Ａが検査対象物２の内側面で複雑に反射を繰り返した反射光２Ａとが、検査箇所Ｅ１に照射される。これにより、検査箇所Ｅ１には複雑な陰影が発生する。このような陰影は僅かな差異で大きく変化し、所定の画像処理で取り除くことが難しいため、欠陥の検出が困難になる。
【００３４】
これに対して、実施形態１に係る検査装置１０によれば、図９に示すように、光源部１３から出射された出射光１３Ａが検査対象物２の内側面で複雑に反射を繰り返した反射光２Ａは、反射部１４の遮光板１４２，１４３により遮光されるため、検査箇所Ｅ１に到達しない。また光源部１３から出射され反射部１４の内部に到達した出射光１３Ａは、反射板１４１により反射される。そして、反射板１４１により反射された反射光１４Ａが検査箇所Ｅ１に到達する。このように、検査装置１０によれば、検査に必要な光のみを検査箇所Ｅ１に照射させることができる。これにより、前記陰影の発生を防ぐことができるため、筒状の部品の内側面の検査箇所Ｅ１を、照明条件を制限されずに、適切に検査することができる。また検査装置１０によれば、特に光沢があり光を乱反射する内側面を有する筒状の金属部品を高精度に検査することができる。
【００３５】
［実施形態２］
図１０は、本発明の実施形態２に係る検査装置２０の構成を示す機能ブロック図であり、図１１は、検査装置２０の全体構成を示す図である。検査装置２０は、実施形態１に係る検査装置１０にさらに、回転部２１及び回転制御部２２を備えている。
【００３６】
回転部２１は、例えば図１１に示すように、検査対象物２を内側面の全周方向（矢印方向Ｄ１）に回転させる。回転部２１は本発明の回転部の一例である。検査対象物２は、回転部２１の上面に載置される。
【００３７】
回転制御部２２は、回転部２１に制御信号（駆動信号）を送信し、回転部２１の回転量を制御する。回転制御部２２は本発明の回転制御部の一例である。例えば、回転制御部２２は、反射部１４により前記内側面に照射される光（反射光）の照射範囲に基づいて、前記回転量を制御する。また回転制御部２２は、撮像部１１により前記内側面を撮像する撮像範囲に基づいて、前記回転量を制御してもよい。回転制御部２２は、撮像部１１により検査対象物２の内側面の全周が分割して撮像されるように回転部２１を回転させてもよいし、撮像部１１により検査対象物２の内側面の所定の場所（検査箇所）が撮像されるように回転部２１を回転させてもよい。
【００３８】
検査部１２は、撮像部１１により撮像された複数の分割画像（検査用画像）に基づいて前記内側面の所定範囲（例えば全周）を検査する。
【００３９】
検査装置２０は、前記内側面の所定範囲（例えば全周）の検査が終了するまで、前記検査処理（図７参照）を繰り返す。実施形態２に係る検査装置２０によれば、検査対象物２の内側面の所定範囲の検査箇所Ｅ１を適切に検査することができる。
【００４０】
［実施形態３］
図１２は、本発明の実施形態３に係る検査装置３０の構成を示す機能ブロック図であり、図１３は、検査装置３０の全体構成を示す図である。検査装置３０は、実施形態１に係る検査装置１０にさらに、移動部３１及び移動制御部３２を備えている。なお、図１３には、実施形態２に係る回転部２１及び回転制御部２２を含む構成を示している。
【００４１】
移動部３１は、反射部１４の反射光が照射される前記内側面の照射位置を深さ方向に調整可能に構成されている。移動部３１は本発明の移動部の一例である。例えば、移動部３１は、図１３に示すように、検査対象物２を上下方向（深さ方向）（矢印方向Ｄ２）に移動させる。検査対象物２は、移動部３１の上面に載置される。図１３に示す構成では、検査対象物２は回転部２１の上面に載置され、回転部２１は移動部３１の上面に載置される。
【００４２】
移動制御部３２は、移動部３１に制御信号（駆動信号）を送信し、移動部３１の移動量を制御する。例えば、移動制御部３２は、反射部１４により前記内側面に照射される光（反射光）の照射範囲に基づいて、前記移動量を制御する。また移動制御部３２は、撮像部１１により前記内側面を撮像する撮像範囲に基づいて、前記移動量を制御してもよい。移動制御部３２は、撮像部１１により検査対象物２の内側面の上下方向の全面が分割して撮像されるように移動部３１を移動させてもよいし、撮像部１１により検査対象物２の内側面の所定の場所（検査箇所）が撮像されるように移動部３１を移動させてもよい。
【００４３】
検査部１２は、撮像部１１により撮像された複数の分割画像（検査用画像）に基づいて前記内側面の所定範囲（例えば全周）を検査する。
【００４４】
検査装置３０は、前記内側面の所定範囲（例えば全周）の検査が終了するまで、前記検査処理（図７参照）を繰り返す。実施形態３に係る検査装置３０によれば、検査対象物２の内側面の所定範囲の検査箇所Ｅ１を適切に検査することができる。例えば、検査装置３０は、検査対象物２の内側面の全周及び上下方向の全範囲を検査することができる。
【００４５】
検査装置３０は、上記構成に限定されず、例えば、移動部３１が、固定部１５を上下方向に移動可能に構成されてもよい。この場合、移動部３１が固定部１５を上下方向に移動させることにより、撮像部１１、光源部１３及び反射部１４が上下方向に移動可能となる。
【００４６】
また移動部３１は、図１４に示すように、上端部が固定部１５に固定され、下端部が反射部１４に固定されてもよい。この構成では、移動部３１は、上下方向に伸縮可能に構成されており、反射部１４を上下方向に移動させる。
【００４７】
［実施形態４］
図１５は、本発明の実施形態４に係る検査装置４０の全体構成を示す図である。検査装置４０は、実施形態１に係る検査装置１０において、撮像部１１があおり撮像部４１に置き換えられている。あおり撮像部４１は、光軸の傾きを調整可能なあおり撮像の機能を備える。
【００４８】
前記あおり撮像の機能がない場合、カメラの撮像素子と検査対象物２の内側面（検査箇所）とが平行でなければ撮像範囲全体にフォーカスを合わせることが難しい。このため、フォーカスが合っていないことにより適切な検査を行うことができない場合がある。なお、フォーカスの合う範囲（被写界深度）はカメラのレンズ、検査対象物２との距離、撮像範囲などの条件により変化する。
【００４９】
これに対して、実施形態４に係る検査装置４０では、前記あおり撮像の機能により、カメラの撮像素子と検査対象物２の内側面（検査箇所）とが平行でなく傾いた状態になっても撮像範囲全体にフォーカスを合わせることが可能となる。このため、検査対象物２の内側面を適切に検査することができる。あおり撮像部４１は、他の各実施形態に係る検査装置に適用することもできる。
【００５０】
［実施形態５］
図１６は、本発明の実施形態５に係る検査装置５０の全体構成を示す図である。検査装置５０は、実施形態１に係る検査装置１０において、光源部１３が省略され、反射部１４が遮光光源部５１に置き換えられている。図１７に示すように、遮光光源部５１は、反射部１４の反射板１４１が発光部１４６に置き換えられている。発光部１４６は、例えば、フラット型の照明装置を内蔵して構成される。発光部１４６は、検査対象物２の内側面の検査箇所に光を直接照射させる。遮光光源部５１は本発明の遮光光源部の一例である。
【００５１】
検査装置５０によれば、別途の光源部１３が不要となり、検査装置の構成を簡略化することができる。
【００５２】
以上に示した各実施形態において、反射部１４は、図１８に示すように樹脂材料により一体に形成されてもよい。また、反射部１４は、反射板１４１から後方に延伸するストッパー部１４７を備えてもよい。ストッパー部１４７は、反射部１４が検査対象物２の内側に挿入されたときに検査対象物２の開口部の縁（開口端）に載置される。これにより、反射部１４が検査対象物２の内側に落下することを防ぐことができる。図１８に示す反射部１４は、固定部１５に固定されていなくてもよい。
【００５３】
ここで、本発明の検査装置の具体的な取付例を図１９に示す。図１９に示すように、光源部１３は、検査対象物２の中心から右斜め上方に１５０ｍｍの位置、かつ検査対象物２の右端部から３０ｍｍの位置に固定される。また撮像部１１は、検査対象物２の中心から左斜め上方に２１０ｍｍの位置、かつ検査対象物２の上端部から２１０ｍｍの位置に固定される。
【００５４】
尚、本発明の検査装置は、各請求項に記載された発明の範囲において、以上に示された各実施形態を自由に組み合わせること、或いは各実施形態を適宜、変形又は一部を省略することによって構成されることも可能である。
【符号の説明】
【００５５】
２      ：検査対象物
１０    ：検査装置
１１    ：撮像部
１２    ：検査部
１３    ：光源部
１４    ：反射部
１５    ：固定部
２０    ：検査装置
２１    ：回転部
２２    ：回転制御部
３０    ：検査装置
３１    ：移動部
３２    ：移動制御部
４０    ：検査装置
４１    ：撮像部
５０    ：検査装置
５１    ：遮光光源部
１４１  ：反射板
１４２  ：遮光板
１４３  ：遮光板
１４４  ：遮光板
１４５  ：遮光板
１４６  ：発光部
【図１】
2020134265.tif 000003
【図２】
2020134265.tif 000004
【図３】
2020134265.tif 000005
【図４】
2020134265.tif 000006
【図５Ａ】
2020134265.tif 000007
【図５Ｂ】
2020134265.tif 000008
【図６Ａ】
2020134265.tif 000009
【図６Ｂ】
2020134265.tif 000010
【図７】
2020134265.tif 000011
【図８】
2020134265.tif 000012
【図９】
2020134265.tif 000013
【図１０】
2020134265.tif 000014
【図１１】
2020134265.tif 000015
【図１２】
2020134265.tif 000016
【図１３】
2020134265.tif 000017
【図１４】
2020134265.tif 000018
【図１５】
2020134265.tif 000019
【図１６】
2020134265.tif 000020
【図１７】
2020134265.tif 000021
【図１８】
2020134265.tif 000022
【図１９】
2020134265.tif 000023