(57)【要約】      （修正有）【課題】複数のインクジェットノズルから吐出された各液滴の液滴量を迅速かつ正確に測定する手段を提供すること。【解決手段】複数のインクジェットノズルから吐出された各液滴の液滴量を測定する装置であって、計測面と、画像取得部と、液滴量測定部と、複数のインクジェットノズルのうち少なくとも１つを基準ノズルに指定して、当該基準ノズルから吐出された基準液滴の液滴量を測定する基準液滴量測定部とを備え、液滴量測定部は、画像中の各液滴の面積を測定する液滴面積測定部と、面積体積換算係数を予め登録する換算係数登録部と、濡れ性補正係数を登録する補正係数登録部と、面積体積換算係数を算出する換算係数算出部と、濡れ性補正係数を算出する補正係数算出部と、液滴面積測定部で測定した各液滴の面積と、面積体積換算係数と、濡れ性補正係数に基づいて、当該各液滴の液滴量を算出する液滴量算出部を備えた。【選択図】図５
2020157738.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のインクジェットノズルから吐出された各液滴の液滴量を測定する装置であって、
前記複数のインクジェットノズルから吐出された各液滴を着弾させる計測面と、
前記計測面上に着弾した前記各液滴を含む画像を取得する画像取得部と、
前記画像に含まれた前記各液滴の面積を測定してから体積換算を行うことで当該各液滴の液滴量の測定を行う液滴量測定部と、
前記複数のインクジェットノズルのうち少なくとも１つを基準ノズルに指定して、当該基準ノズルから吐出された基準液滴の液滴量を測定する基準液滴量測定部とを備え、
前記液滴量測定部は、
前記画像に含まれた前記各液滴の面積を測定する液滴面積測定部と、
前記計測面上に着弾した前記各液滴の面積から当該各液滴の液滴量を換算するための面積体積換算係数を予め登録する換算係数登録部と、
液滴面積測定部で測定された前記各液滴の面積を、前記計測面の場所毎または区画毎に補正するための、濡れ性補正係数を登録する補正係数登録部と、
前記計測面上に着弾させた前記基準液滴の面積と液滴量との関係に基づいて、前記面積体積換算係数を算出する換算係数算出部と、
前記計測面上の複数箇所に着弾させた同じ液滴量の基準液滴それぞれの面積と代表場所に着弾させた基準液滴の面積との比率に基づいて、前記濡れ性補正係数を算出する補正係数算出部と、
前記液滴面積測定部で測定した前記各液滴の面積と、前記面積体積換算係数と、前記濡れ性補正係数に基づいて、当該各液滴の液滴量を算出する液滴量算出部を備えた
ことを特徴とする、液滴量測定装置。
【請求項２】
前記液滴量の測定対象となる前記各液滴は、前記複数のインクジェットノズルからそれぞれ複数回吐出させて着弾したものであることを特徴とする、請求項１に記載の液滴量測定装置。
【請求項３】
前記液滴量の測定対象となる前記各液滴の周囲には、当該液滴の乾燥速度を遅行させるダミー液滴が塗布されている
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の液滴量測定装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の液滴量測定装置と、
前記各液滴を着弾させる基板を保持する基板保持部と、
前記各液滴を吐出させる前記複数のインクジェットノズルと、
前記複数のインクジェットノズルを前記基板保持部および前記計測面に対して相対移動させる相対移動部と、
前記計測面上に吐出された前記各液滴を含む画像を撮像する撮像カメラと、
予め登録された塗布パターンデータに基づいて、前記相対移動部ならびに、前記複数のインクジェットノズルから吐出させる前記各液滴の吐出量及びタイミングを制御する制御部を備え、
前記制御部は、
前記基板保持部に保持された前記基板に向けて前記複数のインクジェットノズルから前記各液滴を吐出させる塗布モードと、
前記複数のインクジェットノズルのうち少なくとも１つから指定した前記基準ノズルから吐出される前記基準液滴の液滴量を測定する基準液滴量測定モードと、
前記計測面上に着弾させた前記基準液滴の面積と液滴量との関係に基づいて、前記面積体積換算係数を算出する換算係数算出モードと、
前記計測面上の複数箇所に着弾させた同じ液滴量の基準液滴それぞれの面積と代表場所に着弾させた基準液滴の面積の比に基づいて、前記濡れ性補正係数を算出する補正係数算出モードと、
前記計測面に向けて前記複数のインクジェットノズルから前記各液滴を吐出させ、前記撮像カメラで撮像した画像を前記画像取得部で取得して、前記液滴面積測定部で測定した前記各液滴の面積と、前記面積体積換算係数と、前記濡れ性補正係数に基づいて、当該各液滴の液滴量を測定する液滴量測定モードと切り替えて実行する
ことを特徴とする、インクジェット塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のインクジェットノズルから吐出された各液滴の液滴量を測定する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイのカラーフィルタやプリンタブルエレクトロニクスの配線などは、インクジェットやディスペンサ等を用いて所望のパターンで塗布された液滴を乾燥させることで、所定パターンの塗布皮膜や配線などが形成されている。
【０００３】
そして、これら塗布液滴を乾燥させた後の塗布皮膜や配線のさらなる膜厚均一化が求められている。そのためには、インクジェットノズルから吐出される液滴の液滴量を正確に把握して、所望の液滴量が吐出できるようにすることが求められる。
【０００４】
一般的に、インクジェットノズルは、１つのヘッドに多数備えられているが、各々の吐出量にばらつきがあること、経時変化により吐出量が変化すること等が知られており、液滴の液滴量を正確に測定する技術が種々提案されている（例えば、特許文献１，２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１４８１８０号公報
【特許文献２】特開２０１１−１３６３０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
１つのヘッドに備えられた多数のインクジェットノズルについて、個々に吐出量（つまり体積）を測定する技術では、各液滴の液滴量を正確に測定できるが、時間がかかるという課題があった。そのため、量産に際して塗布装置の稼働を優先させると、量産稼働期間内での吐出量測定が敬遠され、比較的停機時間の長いメンテナンス期間等にしか吐出量を測定することができない。そして、最後の測定から次の測定までのスパンが長いと、液滴量が徐々に不正確になってしまう。
【０００７】
一方、着弾させた液滴の面積から液滴量（体積）を算出する場合、一度に複数の液滴を撮像して液滴量を算出することができるため、多数のインクジェットノズルから吐出された各液滴の液滴量を短時間で測定することができる。そのため、塗布装置の稼働期間内にある待機時間（例えば、塗布動作の合間のすきま時間）など、少しの空き時間を利用して液滴量を測定することができるため、頻繁に測定することができる。しかし、液滴を着弾させる面の濡れ性が均一でないと、各液滴の接触角にバラツキが生じ、同じ液滴量（体積）でも撮像した液滴の面積が異なってしまい（つまり、面積から一義的に体積を算出することができず）、正確性に欠けるという課題があった。
【０００８】
そこで本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、複数のインクジェットノズルから吐出された各液滴の液滴量を迅速かつ正確に測定する手段を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
以上の課題を解決するために、本発明に係る一態様は、
複数のインクジェットノズルから吐出された各液滴の液滴量を測定する装置であって、
複数のインクジェットノズルから吐出された各液滴を着弾させる計測面と、
計測面上に着弾した各液滴を含む画像を取得する画像取得部と、
画像に含まれた各液滴の面積を測定してから体積換算を行うことで当該各液滴の液滴量の測定を行う液滴量測定部と、
複数のインクジェットノズルのうち少なくとも１つを基準ノズルに指定して、当該基準ノズルから吐出された基準液滴の液滴量を測定する基準液滴量測定部とを備え、
液滴量測定部は、
画像に含まれた各液滴の面積を測定する液滴面積測定部と、
計測面上に着弾した各液滴の面積から当該各液滴の液滴量を換算するための面積体積換算係数を予め登録する換算係数登録部と、
液滴面積測定部で測定された各液滴の面積を、計測面の場所毎または区画毎に補正するための、濡れ性補正係数を登録する補正係数登録部と、
計測面上に着弾させた基準液滴の面積と液滴量との関係に基づいて、面積体積換算係数を算出する換算係数算出部と、
計測面上の複数箇所に着弾させた同じ液滴量の基準液滴それぞれの面積と代表場所に着弾させた基準液滴の面積との比率に基づいて、濡れ性補正係数を算出する補正係数算出部と、
液滴面積測定部で測定した各液滴の面積と、面積体積換算係数と、濡れ性補正係数に基づいて、当該各液滴の液滴量を算出する液滴量算出部を備えた
ことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
上記の液滴量測定装置によれば、複数のインクジェットノズルから吐出された各液滴の液滴量を迅速かつ正確に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す概略図である。
【図２】本発明を具現化する形態の一例の要部を示す斜視図である。
【図３】本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す概略図である。
【図４】本発明を具現化する形態の一例の別の要部を示す斜視図である。
【図５】本発明を具現化する形態の一例における液滴の着弾例を示す平面図である。
【図６】本発明を具現化する形態の一例におけるフロー図である。
【図７】本発明を具現化する形態の一例におけるフロー図である。
【図８】本発明を具現化する形態の一例におけるフロー図である。
【図９】本発明を具現化する形態の一例におけるフロー図である。
【図１０】本発明を具現化する第２の形態の一例の全体構成を示す概略図である。
【図１１】本発明を具現化する第２の形態の一例の全体構成を示す概略図である。
【図１２】本発明を具現化する第３の形態の一例の全体構成を示す概略図である。
【図１３】本発明を具現化する第３の形態の別の一例の全体構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明を実施するための形態について、図を用いながら説明する。
【００１３】
なお、以下の説明では、直交座標系の３軸をＸ、Ｙ、Ｚとし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向と表現し、ＸＹ平面に垂直な方向（つまり、重力方向）をＺ方向と表現する。また、Ｚ方向は、重力に逆らう方向を上、重力がはたらく方向を下と表現する。
【００１４】
［第１の形態］  
図１は、本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す概略図である。図１には、本発明に係る液滴量測定装置１と、それを備えたインクジェット塗布装置Ｋの概略図が示されている。
【００１５】
インクジェット塗布装置Ｋは、基板Ｗに向けて複数のインクジェットノズルＪｎから塗布液の液滴（以下、単に「液滴」と言う）Ｌを吐出させ、予め規定された位置に液滴Ｌを各々着弾させることで、基板Ｗに所定の塗布動作を行うものである。なお、基板Ｗに所定の塗布動作を行うモードを、「塗布モード」と言う。なお、基板Ｗは、外部に設置された基板移載ロボットＲＨやコンベア等でハンドリングされて、インクジェット塗布装置Ｋの内外に移載される。
【００１６】
また、インクジェット塗布装置Ｋは、複数のインクジェットノズルＪから基板Ｗや計測面３（詳細は後述する）等に向けて液滴Ｌを吐出し、それら液滴Ｌが着弾した状態における各液滴ＱＭｎそれぞれの面積ＳＭｎを測定し、複数のインクジェットノズルＪそれぞれの液滴量（つまり、体積）Ｖを算出する「液滴量測定モード」とを有している。そして、インクジェット塗布装置Ｋは、「塗布モード」と「液滴量測定モード」とを切り替えて運転を行う。
【００１７】
なお下述では、複数のインクジェットノズルＪ、液滴Ｌ、液滴量Ｖ等について、個別に配列番地（アドレス）を示す記号「ｎ」を付記して、インクジェットノズルＪｎ、液滴Ｌｎ、液滴量ＶＭｎ等と表現する場合がある。
【００１８】
具体的には、インクジェット塗布装置Ｋは、基板保持部Ｈ、吐出ユニットＮ、相対移動部Ｍ、処理部Ｃ１、制御部Ｃ２等と、液滴量測定装置１を備えている。
【００１９】
基板保持部Ｈは、基板Ｗを保持するものである。
【００２０】
具体的には、基板保持部Ｈは、基板Ｗを水平状態で下面側から支えつつ、位置ずれしないように保持する構成をしている。より具体的には、基板保持部Ｈは、その上面が水平な状態で、塗布装置１のフレームｆ上に取り付けられている。また、基板保持部Ｈの上面には、溝や細孔が設けられており、これら溝や細孔は、切換バルブ（図示せず）を介して負圧発生源と接続されている。そして、制御部Ｃ２からの制御信号に基づいて切換バルブを操作することで、これら溝や細孔を負圧状態にして基板Ｗを吸着保持したり、負圧状態から大気圧に解放して基板Ｗの吸着を解除したりすることができる。
【００２１】
吐出ユニットＮは、基板Ｗや計測面３に向けて複数の液滴Ｌを逐次吐出するものである。
【００２２】
具体的には、吐出ユニットＮは、複数のインクジェットノズルＪｎを備えている。複数のインクジェットノズルＪｎは、制御部Ｃ２からの制御信号に基づいて、各々独立して液滴Ｌを吐出したり、吐液供給タンク１３から塗布液を供給したりする。なお、吐液タンク１３には、吐液供給ポート１４に接続された配管１５が接続されており、配管１５の途中には切換バルブ１６が取り付けられている。そのため、吐液供給タンク１３は、その内部を所定の圧力（正圧〜負圧）に維持することができる構成をしている。
【００２３】
図２は、本発明を具現化する形態の一例の要部を示す斜視図であり、図２には、吐出ユニットＮを下方から斜め上方に見上げた様子が示されている。
【００２４】
具体的には、吐出ユニットＮは、液滴Ｌを吐出する複数のインクジェットノズルＪｎ（例えば図示する様に、ｎ＝１０〜１２，２０〜２２，・・・，８０〜８２）を有している。なお、各ノズルＪｎは、吐出ユニットＮの本体内部に備えられた液滴吐出機構（図示せず）と個別に接続されている。より具体的には、液滴吐出機構はピエゾバルブなどの体積変化により液滴Ｌｎを吐出させるものが例示できる。そして、各液滴吐出機構は、制御部Ｃ２から出力される制御信号に基づいて、各ノズルＪｎから液滴Ｌｎを吐出させる／吐出させないといった切替制御ができる構成をしている。そのため、各ノズルＪｎは、制御部Ｃ２から出力される制御信号としては、所定の駆動電流・電圧が所定時間Ｔｓ印加されることで、これら駆動電流や電圧の大きさ、印加時間Ｔｓ、印加回数に比例した量の液滴が吐出される。
【００２５】
なお図２には、複数のインクジェットノズルＪｎ（ｎ＝１０，２０，〜８０等）から液滴Ｌｎを吐出させている様子が示されている。
【００２６】
そして、吐出ユニットＮは、基板Ｗに対して相対移動させながら、基板Ｗ上に設定した所定の位置に向けて各ノズルＪｎから液滴Ｌｎを吐出させることで、所定の塗布動作が行われる。
【００２７】
相対移動部Ｍは、吐出ユニットＮ、飛翔体撮像部２１（詳細を後述する）、画像取得部４の撮像カメラ４１を、基板Ｗや計測面３に対して所定の速度で相対移動させ、所定の位置で静止させるものである。
【００２８】
具体的には、移動機構Ｍは、レール部Ｍ１、スライダー部Ｍ２、第１ガントリー部Ｍ３、レール部Ｍ４、スライダー部Ｍ５、第２ガントリー部Ｍ６等を備え、基板Ｗの上面（つまり、ＸＹ平面）に対して平行な方向（例えば、Ｙ方向）に相対移動させる構成をしている。
【００２９】
レール部Ｍ１は、Ｙ方向に所定の長さを有し、インクジェット塗布装置１のフレームｆ上に２本一組（つまり一対）のレールが互いに平行な状態で、水平に取り付けられている。
【００３０】
スライダー部Ｍ２は、レール部Ｍ１上に移動可能に取り付けられており、制御部Ｃ２からの制御信号に基づいて、レール部Ｍ１上を所定の速度でＹ方向に移動したり、所定の位置で静止したりする構成をしている。
【００３１】
第１ガントリー部Ｍ３は、基板保持部Ｈおよび計測面３の上方を略逆Ｕの字状に跨ぐ状態でスライダー部Ｍ２に取り付けられた門型構造物であり、第１ガントリー部Ｍ３には吐出ユニットＮや照明ユニット２５が取り付けられている。
【００３２】
レール部Ｍ４は、Ｙ方向に所定の長さを有し、インクジェット塗布装置１のフレームｆ上に２本一組（つまり一対）のレールが互いに平行な状態で、水平に取り付けられている。
【００３３】
スライダー部Ｍ５は、レール部Ｍ４上に移動可能に取り付けられており、制御部Ｃ２からの制御信号に基づいて、レール部Ｍ４上を所定の速度でＹ方向に移動したり、所定の位置で静止したりする構成をしている。
【００３４】
第２ガントリー部Ｍ６は、基板保持部Ｈおよび計測面３の上方を略逆Ｕの字状に跨ぐ状態でスライダー部Ｍ５に取り付けられた門型構造物である。第２ガントリー部Ｍ６には、飛翔体撮像部２１の撮像カメラと画像取得部４の撮像カメラ４１が取り付けられている。
【００３５】
図３は、本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す概略図である。図３には、図１に示したスライダーＭ２が元の位置（Ｐ１）から別の場所（Ｐ２）に、スライダーＭ５が元の位置（Ｐ４）から別の場所（Ｐ５）に移動した後の様子が示されている。
【００３６】
また、移動機構Ｍは、「塗布モード」においてスライダーＭ２を所定の区間Ｐ３、一定速度で移動させたり、詳細を後述する「基準液滴量測定モード」や「液滴量測定モード」等において、スライダーＭ２を所定の位置Ｐ１，Ｐ２等に移動／静止させたり、スライダーＭ５を所定の位置Ｐ４，Ｐ５等に移動／静止させたりすることができる。
【００３７】
移動機構Ｍは、この様な構成をしているため、吐出ユニットＮの複数のインクジェットノズルＪｎが配置されている下面側と、基板保持部Ｈに保持された基板Ｗおよび計測面３の上面とを対向させつつ、基板Ｗおよび計測面３に対して吐出ユニットＮをＹ方向（つまり、走査方向）に移動させることができる。
【００３８】
処理部Ｃ１は、予め登録された手順に従って画像処理や演算処理等を行うものである。
【００３９】
具体的には、処理部Ｃ１は、下述の様な機能を有している。
・取得した画像Ｐ，Ｐｓに対して画像処理を行い、検出対象（液滴）の輪郭を抽出する。
・２値化処理、サブピクセル処理等により、抽出した輪郭で囲まれた領域が、何画素分あるかカウントする。
・取得した画像Ｐ，Ｐｓの１画素あたりの面積から、抽出した輪郭で囲まれた領域の面積を算出する。
・画像処理や演算処理で得られた結果、予め登録された係数、数式等に基づいて、所定の演算処理を行う。
【００４０】
より具体的には、処理部Ｃ１は、画像処理機能を有するコンピュータＣＮや画像処理装置ＧＰ（つまり、ハードウェア）と、その実行プログラム（ソフトウェア）で構成されている。
【００４１】
制御部Ｃ２は、基板保持部Ｈ、吐出ユニットＮ、相対移動部Ｍ、処理部Ｃ１、液滴量測定装置１ならびに各部の機器を制御するものである。
【００４２】
具体的には、制御部Ｃ２は、下述の様な機能を有している。
・基板保持部Ｈに対して、吸着保持／保持解除の指令（信号出力）をする。
・吐出ユニットＮの各インクジェットノズルＪｎに対して、液滴Ｌの吐出の指令をする。
・相対移動部Ｍのスライダー部Ｍ２，Ｍ５に対して、移動／静止の指令をする。
・処理部Ｃ１とデータや信号をやり取りする。
・画像取得部４に対して、撮像トリガを出力する。
・液滴量測定部５に対して、測定開始のトリガを出力する。
【００４３】
より具体的には、制御部Ｃ２は、プログラマブルロジックコントローラやコンピュータＣＮ等（つまり、ハードウェア）と、その実行プログラム（つまり、ソフトウェア）で構成されており、各部の機器から出力された信号やデータを入力し、所定の演算処理等を行い、処理結果に基づいて、各部の機器に信号やデータを出力することができる。
【００４４】
［液滴量測定装置について］
液滴量測定装置１は、複数のインクジェットノズルＪｎから吐出された各液滴Ｌｎの液滴量ＶＭｎを測定するものである。
【００４５】
具体的には、液滴量測定装置１は、基準液滴量測定部２、計測面３、画像取得部４、液滴量測定部５等を備えている。より具体的には、液滴量測定装置１は、上述のインクジェット塗布装置Ｋを用いて計測面３に着弾させた各液滴ＱＭｎの面積ＳＭｎを測定し、測定した面積ＳＭｎから各液滴ＱＭｎの体積ＶＭｎを算出（つまり、液滴量を測定）するものである。なお、計測面３に着弾する前の液滴は「吐出された液滴Ｌｎ」と呼び、計測面３に着弾した後のものは「着弾した液滴ＱＭｎ」と呼ぶ。また、「面積ＳＭｎ」とは、測定面２と平行な水平面に投影された面積（つまり、水平投影面積）を意味する。そして、液滴量測定装置１で測定された液滴量ＶＭｎは、インクジェット塗布装置Ｋに出力され、各インクジェットノズルＪｎの吐出時間Ｔｓや駆動電流・電圧に対する液滴量の校正等に利用される。
【００４６】
基準液滴量測定部２は、複数のインクジェットノズルＪｎのうち少なくとも１つを基準ノズルＪＩに指定して、基準ノズルＪＩから吐出された基準液滴ＬＩの液滴量ＶＩを測定するものである。
【００４７】
具体的には、基準液滴量測定部２は、吐出制御部、飛翔体撮像部２１、基準液滴量算出部、基準液滴量登録部等を備えている。
【００４８】
吐出制御部は、複数のインクジェットノズルＪｎのうち少なくとも１つを基準ノズルＪＩに指定して、基準ノズルＪＩから基準液滴ＬＩを吐出させるものである。
具体的には、基準ノズルＪＩから吐出される基準液滴ＬＩが飛翔体撮像部２１で撮像できる位置（Ｐ１，Ｐ４）に、相対移動部Ｍを移動させた後、吐出制御部は、基準指令値（時間、電流・電圧）を印加して、基準ノズルＪＩから基準液滴ＬＩを吐出させる。
より具体的には、吐出制御部は、塗布ユニットＮと制御部Ｃ２の一部にて構成されている。
【００４９】
飛翔体撮像部２１は、基準ノズルＪＩに指定されたインクジェットノズルから吐出された飛翔中の基準液滴ＬＩを撮像し、基準液滴ＬＩを含む画像Ｐｓを出力するものである。
【００５０】
具体的には、飛翔体撮像部２１は、撮像カメラ（飛翔観測カメラとも呼ばれる）を備えている。
【００５１】
より具体的には、飛翔体撮像部２１は、ＣＭＯＳやＣＣＤを撮像素子として備え、撮像した画像Ｐｓを外部へ出力するものであり、基準ノズルＪＩから吐出された液滴ＬＩを飛翔経路の真横（例えば、Ｙ方向）から撮像できるように配置されている。
【００５２】
基準液滴量算出部は、飛翔体撮像部２１で撮像した画像Ｐｓに基づいて、基準液滴ＬＩの液滴量ＶＩを測定するものである。
【００５３】
具体的には、基準液滴量算出部は、飛翔体撮像部２１で撮像した画像Ｐｓに含まれた基準液滴ＬＩの輪郭を抽出し、当該輪郭で囲まれた領域が何画素分かをカウントして基準液滴ＬＩの垂直投影面積を算出し、輪郭形状と垂直投影面積に基づいて基準液滴ＬＩの液滴量ＶＩを算出する処理を行う。
【００５４】
より具体的には、基準液滴量算出部は、インクジェット塗布装置Ｋの処理部Ｃ１の一部にて構成されており、飛翔体撮像部２１で撮像した画像Ｐｓに含まれた基準液滴ＬＩが当該輪郭を断面形状とする回転体とみなし、当該垂直投影面積を積分して体積（つまり、液滴量ＶＩ）を算出する処理を行う。
【００５５】
基準液滴量登録部は、基準指令値（時間、電流・電圧）に対する基準ノズルＪＩの液滴量ＶＩを登録するものである。具体的には、基準液滴量登録部は、上述の基準液滴量算出部で算出した基準液滴ＬＩの液滴量ＶＩを登録する。より具体的には、基準液滴量登録部は、インクジェット塗布装置Ｋの処理部Ｃ１の一部にて構成されている。
【００５６】
計測面３は、複数のインクジェットノズルＪｎから吐出された液滴Ｌｎや基準液滴ＬＩを着弾させるものである。
【００５７】
図４は、本発明を具現化する形態の一例の別の要部を示す斜視図であり、図４には、計測面３を斜め上方から見下ろした様子が示されている。
【００５８】
具体的には、計測面３は、その上面が水平面（つまり、ＸＹ平面）となる様に、インクジェット塗布装置Ｋのフレームｆ上に取り付けられている。
【００５９】
より具体的には、計測面３は、透明な樹脂フィルム３０で構成されており、樹脂フィルム３０の下方には照明ユニット３１が備えられている。また、樹脂フィルム３０は、巻出ロール（不図示）から供給され、巻取ロール（不図示）に巻き取られる、いわゆるロール・トゥ・ロール方式で搬送供給され、搬送経路の途中には、搬送ローラ３２〜３５が配置されている。そのため、樹脂フィルム３０は、計測面３に着弾した基準液滴ＱＩｎや各液滴ＱＭｎの面積測定等が済んだ後、液滴ＱＭが付着した部位が巻取ロールに巻き取られる。それと共に、各液滴ＱＩｎ，ＱＭｎが付着していない部位が巻出ロールから供給され、計測面３がリフレッシュされる。
【００６０】
照明ユニット３１は、計測面３を構成する樹脂フィルム３０の下面側から上方に向けて照明光を照射するものである。具体的には、照明ユニット３１として、ＬＥＤや蛍光灯などの白色光や、測定対象となる液滴ＱＭｎでの吸収率が高い波長の光を放出する光源を備えた照明（いわゆる、透過照明）が例示できる。
【００６１】
図５は、本発明を具現化する形態の一例における液滴の着弾例を示す平面図である。図５には、基準ノズルＪＩや複数のインクジェットノズルＪｎから吐出されて、計測面３上に着弾した基準液滴ＱＩｎや各液滴ＱＭｎ等の配置イメージが示されている。また、図５には、計測面３上に設定された画像Ｐの撮像領域が破線で示されており、計測面３上の濡れ性が近い区画の境界を２点鎖線で示している。
【００６２】
画像取得部４は、計測面３上に着弾した基準液滴ＱＩｎや各液滴ＱＭｎを含む画像Ｐを取得するものである。
【００６３】
具体的には、画像取得部４は、撮像カメラ４１を備えている。
【００６４】
撮像カメラ４１は、複数のインクジェットノズルＪｎから吐出されて、計測面３上に着弾した基準液滴ＱＩｎや各液滴ＱＭｎを含む領域を撮像するものであり、計測面３の上方であって、Ｚ方向下向きに計測面３を撮像するように配置されている。
【００６５】
具体的には、撮像カメラ４１は、ＣＭＯＳやＣＣＤを撮像素子として備え、撮像した画像Ｐを外部へ出力するものである。この場合、透明な樹脂フィルム３０を通過する光と、着弾した液滴Ｑｎを通過する光の光量差によって、画像Ｐ内の背景と液滴Ｑｎとの輝度差が生じるため、液滴Ｑが判別できる。
【００６６】
液滴量測定部５は、画像Ｐに含まれた各液滴ＱＭｎの液滴量ＶＭｎの測定や当該測定に関連する処理を行うものである。
【００６７】
具体的には、液滴量測定部５は、予め登録された手順に従って画像処理や演算処理等を行い、画像Ｐに含まれた各液滴ＱＭｎの面積ＳＭｎを測定し、面積ＳＭｎから液滴量ＶＭｎを算出する演算処理を行う。
【００６８】
より具体的には、液滴量測定部５は、インクジェット塗布装置Ｋの処理部Ｃ１の一部で構成されており、液滴面積測定部５１、換算係数登録部５２、補正係数登録部５３、換算係数算出部５４、補正係数算出部５５、液滴量算出部５６等を備えている。
【００６９】
液滴面積測定部５１は、画像Ｐに含まれた各液滴ＱＭｎの面積ＳＭｎを測定するものである。
【００７０】
具体的には、液滴面積測定部５１は、予め規定された画像処理手順に基づいて、画像Ｐに含まれた各液滴ＱＭｎの輪郭を抽出し、当該輪郭で囲まれた領域が何画素分あるかをカウントして、各液滴ＱＭｎの面積ＳＭｎを測定する。
【００７１】
換算係数登録部５２は、液滴面積測定部５１で測定された各液滴ＱＭｎの面積ＳＭｎから液滴量（つまり、体積）ＶＭｎを換算するための、面積体積換算係数αを登録するものである。面積体積換算係数αは、換算係数算出部５４で算出する。
【００７２】
補正係数登録部５３は、計測面３の場所毎に濡れ性が異なることに鑑み、液滴面積測定部５１で測定された各液滴ＱＭｎの面積ＳＭｎを計測面３の場所毎または区画毎に補正するための、濡れ性補正係数βxyを登録するものである。濡れ性補正係数βxyは、補正係数算出部５５で算出する。なお、濡れ性補正係数βxyは、計測面３上の場所や区画を示す位置情報（座標やアドレス等）に紐付けられており、記号xyを付記して表す。
【００７３】
換算係数算出部５４は、面積体積換算係数αを算出するものである。
【００７４】
具体的には、換算係数算出部５４は、計測面３上に着弾させた基準液滴ＱＩの面積ＳＩと液滴量ＶＩとの関係に基づいて、面積体積換算係数αを算出する。
より具体的には、換算係数算出部５４は、予め計測面３上に代表場所を設定しておき、この代表地点に着弾させた基準液滴ＱＩの面積ＳＩを液滴面積測定部５１にて測定するとともに、基準液滴量測定部２にて測定した基準液滴ＬＩの液滴量ＶＩから、次式
α＝ＶＩ／ＳＩ
に基づいて、面積体積換算係数αを算出する。
【００７５】
補正係数算出部５５は、濡れ性補正係数βxyを算出するものである。
【００７６】
具体的には、補正係数算出部５５は、計測面３上の複数箇所に着弾させた同じ液滴量ＶＩの基準液滴ＱＩxyそれぞれの面積ＳＩxyと、代表場所の基準液滴ＱＩの面積ＳＩとの比率から、次式
βxy＝ＳＩxy／ＳＩ
に基づいて、濡れ性補正係数βxyを算出する。なお、基準液滴ＱＩxy、面積ＳＩxyに付記した記号xyは、計測面３上の場所や区画を示す位置情報（座標やアドレス等）である。
【００７７】
液滴量算出部５６は、測定した各液滴ＱＭｎの面積ＳＭｎ、面積体積換算係数α、濡れ性補正係数βxyに基づいて、各液滴ＱＭｎの液滴量ＶＭｎを算出するものである。具体的には、液滴量算出部５６は、液滴面積測定部５１で測定した各液滴ＱＭｎの面積ＳＭｎと、換算係数登録部５２に登録されている面積体積換算係数αと、各液滴ＱＭｎの計測面３上の位置情報と、補正係数登録部５３に登録されている濡れ性補正係数βxyと、次式
ＶＭｎ＝α×βxy×ＳＭｎ  
に基づいて、液滴量ＶＭｎを算出する。
【００７８】
インクジェット塗布装置Ｋは、「塗布モード」のほか、「基準液滴量測定モード」、「面積体積換算係数算出モード」、「濡れ性補正係数算出モード」、「液滴量測定モード」を備えている。インクジェット塗布装置Ｋは、これら運転モードを切り替えて実行し、液滴量検査装置１で液滴Ｌｎの液滴量ＶＭｎを測定したり、液滴量ＶＭｎの測定に必要な面積体積換算係数αや濡れ性補正係数βxy等を算出したりすることができる。具体的には、インクジェット塗布装置Ｋは、下述の手順が登録された処理部Ｃ１や制御部Ｃ２の実行プログラムにより、各部を制御しながら所定の処理等を行う。
【００７９】
「基準液滴量測定モード」について
この運転モードは、基準ノズルＪＩから吐出される基準液滴ＬＩの液滴量ＶＩを測定するためのものである。
【００８０】
図６は、本発明を具現化する形態の一例におけるフロー図である。図６には、液滴量測定装置１、インクジェット塗布装置Ｋにおける「基準液滴量測定モード」の動作フロー／手順が概略的に例示されている。
【００８１】
予め、塗布ユニットＮの複数のインクジェットノズルＪｎのうち、いずれを基準ノズルＪＩとするか規定しておく。
【００８２】
そして、図１に示す様に、基準ノズルＪＩから吐出された飛翔中の基準液滴ＬＩが飛翔体撮像部２１で撮像できる位置（Ｐ１，Ｐ４）に、相対移動部Ｍを移動させる（ステップｓ１１）。
【００８３】
基準ノズルＪＩから基準指令値（時間、電流・電圧）で、基準液滴ＬＩを吐出させ、基準液滴ＬＩを飛翔体撮像部２１で撮像する（ステップｓ１２）。具体的には、基準液滴量測定部２の吐出制御部から基準ノズルＪＩに対し、所定の駆動電流・電圧を所定時間Ｔｓだけ印加して、基準液滴ＬＩを吐出させる。
【００８４】
飛翔体撮像部２１で飛翔中の基準液滴ＬＩが撮像された画像Ｐｓに基づいて、基準液滴ＬＩの体積（つまり、液滴量）ＶＩを測定する（ステップｓ１３）。具体的には、基準液滴量測定部２の基準液滴量算出部にて、飛翔中の基準液滴ＬＩの輪郭を抽出し、当該輪郭で囲まれた領域が何画素分かをカウントして基準液滴ＬＩの垂直投影面積を算出し、基準液滴ＬＩが当該輪郭を断面形状とする回転体とみなし、当該垂直投影面積を積分して体積ＶＩを算出する（ステップｓ１４）。
【００８５】
基準指令値（時間、電流・電圧）に対する基準ノズルＪＩの液滴量ＶＩを基準液滴量測定部２の基準液滴量登録部に登録する（ステップｓ１５）。
【００８６】
「面積体積換算係数算出モード」について
この運転モードは、面積体積換算係数αを算出するためのものである。
【００８７】
図７は、本発明を具現化する形態の一例におけるフロー図である。図７には、液滴量測定装置１、インクジェット塗布装置Ｋにおける「面積体積換算係数算出モード」の動作フロー／手順が概略的に例示されている。
【００８８】
予め上述の「基準液滴量測定モード」（ステップｓ１１〜ｓ１５）にて、基準ノズルＪＩから吐出される液滴ＬＩの液滴量ＶＩを測定しておく。
【００８９】
そして、図１に示す様に、飛翔体撮像部２１や撮像カメラ４１を退避位置（Ｐ４等）に移動させ、基準ノズルＪＩと計測面３とを（位置Ｐ１付近で）対向配置させつつ相対移動させながら、計測面３上の代表地点に基準液滴ＬＩを吐出する（ステップｓ２１）。具体的には、基準ノズルＪＩに対し、所定の駆動電流・電圧を所定時間Ｔｓだけ印加して、基準液滴ＬＩを吐出させる。
【００９０】
そして、図３に示す様に、塗布ユニットＮを退避位置（Ｐ２等）に移動させ、撮像カメラ４１が計測面３と対向する位置（Ｐ５）に相対移動部Ｍを移動させ、計測面３に着弾した基準液滴ＱＩを含んだ画像Ｐを、画像取得部４の撮像カメラ４１で撮像する（ステップｓ２２）。
【００９１】
画像Ｐに基づいて、基準液滴ＱＩについて、面積ＳＩを測定する（ステップｓ２３）。具体的には、画像Ｐを画像処理し、基準液滴ＱＩの輪郭を抽出し、その輪郭で囲まれた領域が何画素分かをカウントして基準液滴ＱＩの面積ＳＩを算出する。
【００９２】
基準液滴ＱＩの面積ＳＩから液滴量ＶＩを算出するための面積体積換算係数αを算出する（ステップｓ２４）。
【００９３】
算出した面積体積換算係数αは、換算係数登録部５２に登録する（ステップｓ２５）。
【００９４】
なお、代表地点は、少なくとも１箇所を設定しておけば良いが、複数箇所を設定しても良い。例えば、代表地点として複数箇所を設定した場合は、複数の液滴の総面積／総液滴量から面積体積換算係数αを算出すれば良い。
【００９５】
「濡れ性補正係数算出モード」について
この運転モードは、濡れ性補正係数βxyを算出するためのものである。
【００９６】
図８は、本発明を具現化する形態の一例におけるフロー図である。図８には、液滴量測定装置１、インクジェット塗布装置Ｋにおける「濡れ性補正係数算出モード」の動作フロー／手順が概略的に例示されている。
【００９７】
予め上述の「基準液滴量測定モード」（ステップｓ１１〜ｓ１５）にて、基準ノズルＪＩから吐出される液滴ＬＩの液滴量ＶＩを測定しておく。
【００９８】
図１に示す様に、飛翔体撮像部２１や撮像カメラ４１を退避位置（Ｐ４等）に移動させ、基準ノズルＪＩと計測面３とを（位置Ｐ１付近で）対向配置させつつ相対移動させながら、基準ノズルＪＩと計測面３とを相対移動させながら、計測面３上の代表地点を含む複数箇所に基準液滴ＬＩを吐出する（ステップｓ３１）。具体的には、基準ノズルＪＩに対し、所定の駆動電流・電圧を所定時間Ｔｓだけ印加して、基準液滴ＬＩを吐出させる。
【００９９】
そして、図３に示す様に、塗布ユニットＮを退避位置（Ｐ２等）に移動させ、撮像カメラ４１が計測面３と対向する位置（Ｐ５）に相対移動部Ｍを移動させ、計測面３上の複数箇所に着弾させた基準液滴ＱＩxyを含んだ画像Ｐを、観測カメラ４１で撮像する（ステップｓ３２）。
【０１００】
画像Ｐに基づいて、複数の基準液滴ＱＩxyそれぞれについて、面積ＳＩxyを測定する（ステップｓ３３）。具体的には、画像Ｐを画像処理し、基準液滴ＱＩxyそれぞれの輪郭を抽出し、その／それら輪郭で囲まれた領域が何画素分かをカウントして基準液滴ＱＩxyそれぞれの面積ＳＩxyを算出する。
【０１０１】
計測面３上の複数箇所に着弾させた同じ液滴量ＶＩの基準液滴ＱＩxyそれぞれの面積ＳＩxyと、代表場所の基準液滴ＱＩの面積ＳＩとの比率から、濡れ性補正係数βxyを算出する（ステップｓ３４）。
【０１０２】
算出した濡れ性補正係数βxyは、基準液滴ＱＩxyの位置情報と紐付けて、補正係数登録部５３に登録する（ステップｓ３５）。
【０１０３】
「液滴量測定モード」について
この運転モードは、測定対象となるインクジェットノズルＪｎから吐出させた液滴Ｌｎの液滴量ＶＭｎを測定するモードである。具体的には、各液滴ＱＭｎの面積ＳＭｎを測定し、各液滴ＱＭｎの計測面３上の位置情報と、面積体積換算係数αと濡れ性補正係数βxyとの関係に基づいて、液滴量ＶＭｎを算出するためのものである。
【０１０４】
図９は、本発明を具現化する形態の一例におけるフロー図である。図９には、液滴量測定装置１、インクジェット塗布装置Ｋにおける「液滴量測定モード」の動作フロー／手順が概略的に例示されている。
【０１０５】
図１に示す様に、飛翔体撮像部２１や撮像カメラ４１を退避位置（Ｐ４等）に移動させ、塗布ユニットＮが計測面３と対向する位置（Ｐ１）に相対移動部Ｍを移動させる（ステップｓ４１）。
【０１０６】
液滴測定の対象である複数のインクジェットノズルＪｎに対して基準指令値（時間、電流・電圧）を出力し、計測面３に向けて液滴Ｌｎを吐出させる（ステップｓ４２）。具体的には、各ノズルＪｎに対し、所定の駆動電流・電圧を所定時間Ｔｓだけ印加して、各液滴Ｌｎを吐出させる。
【０１０７】
そして、図３に示す様に、塗布ユニットＮを退避位置（Ｐ２等）に移動させ、撮像カメラ４１が計測面３と対向する位置（Ｐ５）に相対移動部Ｍを移動させ、計測面３に着弾した各液滴ＱＭｎを含んだ画像Ｐを、撮像カメラ４１で撮像する（ステップｓ４３）。
【０１０８】
画像Ｐに基づいて、測定対象ノズルからの各液滴ＱＭｎそれぞれの面積ＳＭｎを測定する（ステップｓ４４）。
【０１０９】
液滴面積測定部５１で測定した面積ＳＭｎと、換算係数登録部５２に登録されている面積体積換算係数αと、基準液滴ＱＩxyの位置情報と、補正係数登録部５３に登録された濡れ性補正係数βxyと、次式
ＶＭｎ＝α×βxy×ＳＭｎ  
に基づいて、それぞれの液滴量ＶＭｎを算出する（ステップｓ４５）。
【０１１０】
この様な構成をしているため、液滴量測定装置１は、画像Ｐに含まれた各液滴ＱＭｎの面積ＳＭｎを液滴量測定部５で一度に測定して正確な液滴量ＶＭｎを算出することができるので、複数のインクジェットノズルＪｎから吐出された各液滴Ｌｎの液滴量ＶＭｎを迅速かつ正確に測定することができる。
【０１１１】
そのため、インクジェット塗布装置Ｋは、液滴量測定装置１の検査部５で得られた結果に基づいて、複数のインクジェットノズルＪｎそれぞれについて、予め規定された範囲の液滴量ＶＭｎを吐出できているか、目詰まり等が無いか、「塗布モード」で使用しても支障が無いかどうか等の種々の検査を、迅速かつ確実に行うことができる。
【０１１２】
なお、上述の「面積体積換算係数算出モード」、「濡れ性補正係数算出モード」、「液滴量測定モード」は、それぞれを別個（つまり、直列的）に実行しても良いが、基準液滴ＬＩや各液滴Ｌｎの吐出と、着弾した基準液滴ＱＩや各液滴ＱＭｎを含む画像Ｐの撮像を並列的に実行しても良い。具体的には、上述の液滴吐出ステップｓ２１，ｓ３１，ｓ４２を一連の動作として行い、画像Ｐの撮像（ステップｓ２２，ｓ３２，ｓ４３）を１度に行い、面積体積換算係数αと濡れ性補正係数βの算出（ステップｓ２４，ｓ３４）と登録（ステップｓ２５，ｓ３５）をした後、各液滴ＱＭｎの面積ＳＭｎを測定（ステップｓ４４）し、液滴量ＶＭｎを算出（ステップｓ４５）する。そうすることで、基準液滴ＬＩや各液滴Ｌｎの吐出、画像Ｐの撮像に費やす時間を短縮させることができ、好ましい。
【０１１３】
［変形例］    
なお上述では、基準ノズルＪＩや測定対象とする複数のインクジェットノズルＪｎに対し、所定の駆動電流・電圧を所定時間Ｔｓだけ印加して、１つのノズルから１回ずつ基準液滴ＬＩ，各液滴Ｌｎを吐出させ、計測面３に基準液滴ＱＩや各液滴ＱＭを着弾させる構成を示した。
【０１１４】
しかし、本発明を具現化する上では、１つのノズルから１回ずつ液滴を吐出させる構成に限らず、１つのノズルから複数回吐出させた基準液滴ＬＩ，各液滴Ｌｎをノズル毎に計測面３の同じ場所に着弾させて、１つの液滴ＱＩｎ，ＱＭｎを形成しても良い。
【０１１５】
或いは、１つのノズルから複数回吐出させた液滴ＬＩ，Ｌｎの着弾位置をずらし、複数の液滴ＱＩｎ，ＱＭｎそれぞれの面積の合計値（又は平均値）から液滴量ＶＩ，ＶＭｎを算出する構成としても良い。
【０１１６】
測定対象とするインクジェットノズルＪｎそれぞれにおいて、１つのノズルから複数回液滴ＬＩ，Ｌｎを吐出させて、同じ場所に着弾させたり、着弾位置をずらしたりすることで、液滴量ＶＩ，ＶＭｎのバラツキが平均化されるので、各ノズルから吐出される液滴ＬＩ，Ｌｎの液滴量ＶＩ，ＶＭｎをより精度良く測定ができる。なお、１つのノズルから吐出させた液滴を同じ位置に重ねるか、着弾位置をずらすか、オーバーラップさせる／させない等については、各液滴ＱＩｎ，ＱＭｎの粘度や乾燥速度、各動作の所要時間、要求される測定精度等に基づいて決定すれば良い。
【０１１７】
［変形例］      
本発明を具現化する上で、計測面３上には、図５に実線で示す様な位置に、基準液滴ＱＩと液滴量の測定対象となる液滴ＱＭｎを着弾させ、これら液滴を含む画像Ｐを取得することで、各ノズルから吐出される液滴ＬＩ，Ｌｎの液滴量ＶＩ，ＶＭｎが迅速かつ精度良く測定ができる。
【０１１８】
しかし、各液滴ＱＩｎ，ＱＭｎの乾燥速度が速く体積収縮を伴う場合、隅や端にある液滴と、周りを他の液滴で囲まれている液滴とでは、液滴周囲の雰囲気の湿り気（蒸発した水分や溶剤に起因）が異なる場合がある。この様な場合、隅や端にある液滴と、他の液滴で囲まれている液滴とでは、それぞれの体積収縮の度合いに違いが生じ、画像Ｐを撮像した際に、面積比率が異なってしまうことがあり、算出した液滴量Ｖに誤差が生じることがある。
【０１１９】
この様な影響を減らすために、計測面３上には、液滴量の測定対象となる各液滴ＱＩｎ，ＱＭｎの周囲には、当該液滴ＱＩｎ，ＱＭｎの乾燥速度を遅行させるダミー液滴Ｑｄが塗布されていることが好ましい。
【０１２０】
ダミー液滴Ｑｄは、各液滴ＱＩｎ，ＱＭｎと同じ塗液を、測定対象とするインクジェットノズルＪｎまたは測定対象でないインクジェットノズルから吐出させたものである。具体的には、ダミー液滴Ｑｄは、各液滴ＱＩｎ，ＱＭｎが他の液滴で囲まれた状態となるように、各液滴ＱＩｎ，ＱＭｎが着弾していない場所（例えば、図５にて破線円で示す位置）に着弾させる。なお、ダミー液滴Ｑｄをどの程度着弾させるか、ダミー液滴Ｑｄで各液滴ＱＩｎ，ＱＭｎを何重に取り囲むか、ダミー液滴Ｑｄの大きさや密集度合いをどの程度にするか等は、各液滴ＱＩｎ，ＱＭｎの粘度や乾燥速度、各動作の所要時間、要求される測定精度等に基づいて決定すれば良い。
【０１２１】
そうすることで、基準液滴ＱＩｎや各液滴ＱＭｎの周囲の雰囲気の湿り気を均一化することができ、基準液滴ＱＩｎや各液滴ＱＩｎ，ＱＭｎの乾燥速度のばらつきを減らし、液滴量ＶＩ，ＶＭｎをより精度良く測定ができる。つまり、測定対象となる複数のインクジェットノズルＪｎから吐出される液滴Ｌｎの液滴量ＶＭｎを迅速かつ正確に測定することができる。
【０１２２】
［変形例：相対移動部Mについて］
なお上述では、相対移動部Ｍの具体的な構成として、吐出ユニットＮが第１ガントリー部Ｍ３に取り付けられており、撮像カメラ２１，４１が第２ガントリー部Ｍ６に取り付けられた構成を示した。この様な構成であれば、吐出ユニットＮや撮像カメラ２１，４１は、Ｙ方向に移動／静止できる。
【０１２３】
しかし、本発明を具現化する上で、相対移動部Ｍは、この様な構成に限らず下述の様な構成であっても良い。例えば、第１ガントリー部Ｍ３に、Ｘ方向に移動／静止可能なアクチュエータを備え、当該アクチュエータの可動部に吐出ユニットＮを取り付けた構成とする。同様に、第２ガントリー部Ｍ６に、Ｘ方向に移動／静止可能なアクチュエータを備え、当該アクチュエータの可動部に撮像カメラ２１，４１を取り付けた構成とする。
【０１２４】
［変形例：計測面３／画像取得部４について］
なお上述では、計測面３の具体例として、透明な樹脂フィルム３０で構成されており、樹脂フィルム３０の下方には照明ユニット３１が備えられた構成（透過照明）を示した。また、画像取得部４として、Ｚ方向下向きに計測面３を撮像するように配置された撮像カメラ４１を備えた構成を示した。
【０１２５】
しかし、この様な透過照明を計測面３に備えるのではなく、画像取得部４の撮像カメラ４１側に、計測面３の真上や斜め上方から光を照射する照明ユニット（同軸落斜照明、斜光照明等）を備えた構成であっても良い。この場合、計測面３で反射または散乱した光と、液滴Ｑｎで反射又は散乱した光の光量差によって、画像Ｐ内の背景と液滴Ｑｎとの輝度差が生じるため、液滴Ｑが判別できる。
【０１２６】
［変形例：基準液滴量測定部２／液滴量測定部５について］
なお上述では、基準液滴量測定部２の具体例として、吐出制御部が、塗布ユニットＮと制御部Ｃ２の一部にて構成され、基準液滴量算出部２が、インクジェット塗布装置Ｋの処理部Ｃ１の一部にて構成されている例を示した。また、液滴量測定部５が、インクジェット塗布装置Ｋの処理部Ｃ１の一部で構成されている例を示した。
【０１２７】
しかし、基準液滴量測定部２や液滴量測定部５の一部又は全部が、
別個に画像処理機能を有するコンピュータＣＮや画像処理装置ＧＰ（つまり、ハードウェア）と、その実行プログラム（ソフトウェア）を備えた構成であっても良い。
【０１２８】
なお上述では、本発明を具現化する第１の形態として、液滴量測定装置１と、それを備えたインクジェット塗布装置Ｋについて詳細に説明した。この形態において、基準液滴ＬＩを吐出する基準ノズルＪＩは、塗布ユニットＮに備えられた「塗布モード」で使用する複数のインクジェットノズルＪｎのうち少なくとも１つの中を基準ノズルＪＩとして指定したものである。そして、基準液滴量測定部２は、基準ノズルＪＩとして指定したノズルから吐出された液滴を飛翔観測して、液滴量ＶＩを測定していた。
【０１２９】
しかし、上述した第１の形態に限らず、下述の様な第２の形態であっても本発明を具現化することができる。
【０１３０】
［第２の形態］  
図１０，図１１は、本発明を具現化する第２の形態の一例の全体構成を示す概略図である。図１０，図１１には、本発明に係る第２の形態の液滴量測定装置１ｂと、それを備えたインクジェット塗布装置Ｋｂの概略図が示されている。
【０１３１】
なお、液滴量測定装置１ｂは、複数のインクジェットノズルＪｎから吐出された各液滴Ｌｎの液滴量ＶＭｎを測定するものであり、上述の液滴量測定装置１と共通する構成が多いため、相違する構成を中心に説明する。また、インクジェット塗布装置Ｋｂも、インクジェット塗布装置Ｋと共通する構成が多いため、相違する構成を中心に説明する。なお、互いに共通する構成（同様部分とも言う）については、詳細な記載を省略する。
【０１３２】
インクジェット塗布装置Ｋｂは、塗布ユニットＮに備えられた「塗布モード」で使用する複数のインクジェットノズルＪｎとは別に、専用のインクジェットノズルＪＦを備えており、これを基準ノズルＪＩとして用いる構成をしている。なお、専用のインクジェットノズルＪＦは、吐出ユニットＮと分岐接続された送液ルートを介して、吐液タンク１３と接続されている。
【０１３３】
液滴量測定装置１ｂは、基準液滴量測定部２ｂ（上述の基準液滴量測定部２に代わるもの）を備えており、基準液滴量測定部２ｂは、飛翔体撮像部２２（上述の飛翔体撮像部２１に代わるもの）を備えている。
【０１３４】
飛翔体撮像部２２は、インクジェットノズルＪＦ（つまり、基準ノズルＪＩ）から吐出された飛翔中の基準液滴ＬＩを撮像し、基準液滴ＬＩの断面形状を把握するためのものであり、撮像カメラ（飛翔観測カメラとも呼ばれる）を備えている。具体的には、飛翔体撮像部２２は、ＣＭＯＳやＣＣＤを撮像素子として備え、撮像した画像Ｐｓを外部へ出力するものであり、基準ノズルＪＩから吐出された液滴ＬＩを飛翔経路の真横（例えば、Ｙ方向）から撮像できるように、配置されている。より具体的には、飛翔体撮像部２２は、第２ガントリーＭ６または、装置フレームに取り付けられており、インクジェットノズルＪＦから吐出された液滴ＬＩが撮像できるよう配置されている。
【０１３５】
「基準液滴量測定モード」について
この運転モードは、インクジェットノズルＪＦ（つまり、基準ノズルＪＩ）から吐出される液滴ＬＩの液滴量ＶＩを測定するためのものである。
【０１３６】
まず、基準ノズルＪＩから吐出された飛翔中の基準液滴ＬＩを飛翔体撮像部２２で撮像するために、例えば図１０に示す様に、基準ノズルＪＩと計測面３とが対向する位置または任意の位置（Ｐ４等）に、相対移動部Ｍを移動させる（ステップｓ１１）。
【０１３７】
なお、他の動作ステップｓ１２〜ｓ１５については、上述の第１の形態と同様である。
【０１３８】
「面積体積換算係数算出モード」について
この運転モードでは、図１０に示す様に、飛翔体撮像部２２や撮像カメラ４１を退避位置（Ｐ４等）に移動させ、基準ノズルＪＩと計測面３とを（位置Ｐ４付近で）対向配置させつつ相対移動させながら、計測面３上の代表地点に基準液滴ＬＩを吐出する（ステップｓ２１）。具体的には、基準ノズルＪＩに対し、所定の駆動電流・電圧を所定時間Ｔｓだけ印加して、基準液滴ＬＩを吐出させる。
【０１３９】
そして、図１１に示す様に、塗布ユニットＮを退避位置（Ｐ２等）に移動させ、撮像カメラ４１が計測面３と対向する位置（Ｐ５）に相対移動部Ｍを移動させ、計測面３に着弾した基準液滴ＱＩを含んだ画像Ｐを、画像取得部４の撮像カメラ４１で撮像する（ステップｓ２２）。
【０１４０】
なお、他の動作ステップｓ２３〜ｓ２５については、上述の第１の形態と同様である。
【０１４１】
「濡れ性補正係数算出モード」について
この運転モードでは、図１０に示す様に、飛翔体撮像部２２や撮像カメラ４１を退避位置（Ｐ４等）に移動させ、基準ノズルＪＩと計測面３とを（位置Ｐ４付近で）対向配置させつつ相対移動させながら、基準ノズルＪＩと計測面３とを相対移動させながら、計測面３上の代表地点を含む複数箇所に基準液滴ＬＩを吐出する（ステップｓ３１）。具体的には、基準ノズルＪＩに対し、所定の駆動電流・電圧を所定時間Ｔｓだけ印加して、基準液滴ＬＩを吐出させる。
【０１４２】
そして、図１１に示す様に、塗布ユニットＮを退避位置（Ｐ２等）に移動させ、撮像カメラ４１が計測面３と対向する位置（Ｐ５）に相対移動部Ｍを移動させ、計測面３に着弾した基準液滴ＱＩxyを含んだ画像Ｐを、観測カメラ４１で撮像する（ステップｓ３２）。
【０１４３】
なお、他の動作ステップｓ３３〜ｓ３５については、上述の第１の形態と同様である。
【０１４４】
「液滴量測定モード」について
この運転モードでは、図１０に示す様に、飛翔体撮像部２２や撮像カメラ４１を退避位置（Ｐ４等）に移動させ、塗布ユニットＮが計測面３と対向する位置（Ｐ１）に相対移動部Ｍを移動させる（ステップｓ４１）。
【０１４５】
そして、ステップｓ４２を実行後は、図１１に示す様に、塗布ユニットＮを退避位置（Ｐ２等）に移動させ、撮像カメラ４１が計測面３と対向する位置（Ｐ５）に相対移動部Ｍを移動させ、計測面３に着弾した各液滴ＱＭｎを含んだ画像Ｐを、撮像カメラ４１で撮像する（ステップｓ４３）。
【０１４６】
なお、他の動作ステップｓ４４〜ｓ４５については、上述の第１の形態と同様である。
【０１４７】
この様な構成をしているため、液滴量測定装置１ｂにおいても、画像Ｐに含まれた各液滴ＱＭｎの面積ＳＭｎを液滴量測定部５で一度に測定して正確な液滴量ＶＭｎを算出することができるので、複数のインクジェットノズルＪｎから吐出された各液滴Ｌｎの液滴量ＶＭｎを迅速かつ正確に測定することができる。
【０１４８】
そのため、インクジェット塗布装置Ｋｂは、液滴量測定装置１ｂの検査部５で得られた結果に基づいて、複数のインクジェットノズルＪｎそれぞれについて、予め規定された範囲の液滴量ＶＭｎを吐出できているか、目詰まり等が無いか、「塗布モード」で使用しても支障が無いかどうか等の種々の検査を、迅速かつ確実に行うことができる。
【０１４９】
なお上述では、基準液滴量測定部２ｂの飛翔体撮像部２２が、第２ガントリーＭ６に取り付けられた構成を例示した。この様な構成であれば、計測面３に基準液滴ＬＩを吐出させる動作と、飛翔体撮像部２２で飛翔中の基準液滴ＬＩを含む画像Ｐｓを撮像する動作とを、一度に行うことができるので、時間短縮の観点から好ましい。しかし、飛翔体撮像部２２は、時間短縮の必要がなければこの様な構成に限らず、装置フレームｆに取付金具等を介して取り付けられた構成であっても良い。例えば、第２ガントリーＭ６を別の位置Ｐ６等に移動させて、撮像する構成であっても良い。
【０１５０】
なお、第２の形態においても、第１の形態に示した変形例（測定対象とするインクジェットノズルＪｎの１つから複数回液滴ＱＩ，ＱＭｎを吐出させて同じ場所に着弾させる構成や、計測面３にダミー液滴Ｑｄを着弾させる構成や、照明方式等）を同様に適用可能である。
【０１５１】
この形態では、吐出ユニットＮと基準ノズルＪＩが別個の構成で、それぞれ独立して稼働する第１ガントリー部Ｍ１と第２ガントリーＭ６に取り付けられている。そのため、吐出ユニットＮを用いて「塗布モード」を実行中に、「基準液滴量測定モード」を実行して基準ノズルＪＩの液滴量を測定することができる。つまり、インクジェット塗布装置Ｋｂの稼働時間をさほど損なわずに、液滴量の測定に必要な準備を行うことができるため、好ましい。
【０１５２】
なお上述では、インクジェット塗布装置Ｋ，Ｋｂに液滴量測定装置１，１ｂ、計測面３等を備えた構成を示し、計測面３に着弾させた基準液滴ＱＩや液滴ＱＭｎの面積等に基づいて、各ノズルＪｎから吐出される液滴Ｌｎの液滴量（体積）を液滴量測定装置１，１ｂにて測定する形態を例示した。
【０１５３】
しかし、そのような計測面３に代えて、下述する様な計測用基板Ｗｓを用いて、インクジェット塗布装置の各ノズルＪｎから吐出される液滴Ｌｎの液滴量（体積）ＶＭｎを測定する形態としても良い。
【０１５４】
［第３の形態］    
図１２は、本発明を具現化する第３の形態の一例の全体構成を示す概略図である。図１２には、本発明に係る第３の形態の液滴量測定システム１ｓの概略図が示されている。
【０１５５】
液滴量測定システム１ｓは、インクジェット塗布装置Ｋｃの吐出ユニットＮに備えられた各インクジェットノズルＪｎから吐出される各液滴Ｌｎの液滴量ＶＭｎを測定するものである。具体的には、液滴量測定システム１ｓは、計測用基板準備部Ｇ、基準液滴量測定部２ｂ、画像取得部４、液滴測定部５、ホストコンピュータＨＣ、基板搬送部ＲＨ等を備えて構成されている。
【０１５６】
液滴量測定システム１ｓは、「基準液滴量測定モード」、「面積体積換算係数算出モード」、「濡れ性補正係数算出モード」、「液滴量測定モード」を備えている。
【０１５７】
液滴量測定システム１ｓは、これら運転モードを切り替えて実行し、基準液滴ＬＩや各液滴Ｌｎの液滴量ＶＩ，ＶＭｎを測定したり、液滴量ＶＭｎの測定に必要な面積体積換算係数αや濡れ性補正係数βxy等を算出したりすることができる。
【０１５８】
インクジェット塗布装置Ｋｃは、基板Ｗや計測用基板Ｗｓ上に液滴Ｌｎを吐出させ、基板Ｗや計測用基板Ｗｓに所定の塗布動作を行うものである。なお、インクジェット塗布装置Ｋｃは、上述した第２の形態のインクジェット塗布装置Ｋｂから液滴量測定装置１ｂと基準ノズルＪＩを省いたもので、それ以外は同様の構成をしている。そのため、インクジェット塗布装置Ｋｃは、基板Ｗや計測用基板Ｗｓ上に所定の塗布動作を行う「塗布モード」を実行することができる。
【０１５９】
計測用基板準備部Ｇは、基準液滴ＬＩを複数箇所に着弾させた計測用基板Ｗｓを準備するものである。具体的には、計測用基板準備部Ｇは、基準ノズルＪＩ、基板保持部ＧＨ、相対移動部ＧＭ、処理部ＧＣ１、制御部ＧＣ２等を備えている。
【０１６０】
基準ノズルＪＩは、基準液滴ＬＩを吐出するものであり、上述のインクジェットノズルＪＦと同様の構成をしている。
【０１６１】
基板保持部ＧＨは、計測用基板Ｗを所定の姿勢で保持するものである。
【０１６２】
相対移動部ＧＭは、基準ノズルＪＩと計測用基板Ｗとを所定の速度で相対移動させたり、所定の位置で静止させるものである。具体的には、相対移動部ＧＭは、レール部ＧＭ１，スライダー部ＧＭ２、ガントリー部ＧＭ３を備えている。
【０１６３】
処理部ＧＣ１は、予め登録された手順に従って画像処理や演算処理等を行うものである。
【０１６４】
具体的には、処理部ＧＣ１は、下述の様な機能を有している。
・取得した画像Ｐ，Ｐｓに対して画像処理を行い、検出対象（液滴）の輪郭を抽出する。
・２値化処理、サブピクセル処理等により、抽出した輪郭で囲まれた領域が、何画素分あるかカウントする。
・取得した画像Ｐ，Ｐｓの１画素あたりの面積から、抽出した輪郭で囲まれた領域の面積を算出する。
・画像処理や演算処理で得られた結果、予め登録された係数、数式等に基づいて、所定の演算処理を行う。
【０１６５】
より具体的には、処理部ＧＣ１は、画像処理機能を有するコンピュータＣＮや画像処理装置ＧＰ（つまり、ハードウェア）と、その実行プログラム（ソフトウェア）で構成されている。
【０１６６】
制御部ＧＣ２は、基板保持部ＧＨ、基準ノズルＪＩ、相対移動部ＧＭ、処理部ＧＣ１、液滴量測定装置２ｂならびに各部の機器を制御し、計測用基板Ｗｓの複数箇所に向けて基準液滴ＬＩｎを吐出させ、基準液滴ＱＩｎを着弾させるものである。なお、計測用基板Ｗｓ上のどの位置に基準液滴ＱＩｎを着弾させるかは、予め設定しておく。
【０１６７】
具体的には、制御部ＧＣ２は、下述の様な機能を有している。
・基板保持部ＧＨに対して、吸着保持／保持解除の指令（信号出力）をする。
・基準ノズルＪＩに対して、液滴ＬＩの吐出の指令をする。
・相対移動部ＧＭのスライダー部ＧＭ２に対して、移動／静止の指令をする。
・処理部ＧＣ１とデータや信号をやり取りする。
・画像取得部４に対して、撮像トリガを出力する。
・液滴量測定部５に対して、測定開始のトリガを出力する。
【０１６８】
より具体的には、制御部ＧＣ２は、プログラマブルロジックコントローラやコンピュータＣＮ等（つまり、ハードウェア）と、その実行プログラム（つまり、ソフトウェア）で構成されており、各部の機器から出力された信号やデータを入力し、所定の演算処理等を行い、処理結果に基づいて、各部の機器に信号やデータを出力することができる。
【０１６９】
基準液滴量測定部２ｂは、基準ノズルＪＩから吐出された基準液滴ＬＩの液滴量ＶＩｎを測定するものである。具体的には、基準液滴量測定部２ｂは、上述で第２の形態として例示したものと概ね同様の構成をしており、吐出制御部、飛翔体撮像部２２、基準液滴量算出部、基準液滴量登録部等を備えている。なお、基準液滴量測定部２ｂの飛翔体撮像部２２に備えられた撮像カメラは、計測用基板準備部Ｇのガントリー部ＧＭ３に取り付けられている。
【０１７０】
画像取得部４は、計測用基板Ｗｓ上に着弾した基準液滴ＱＩｎや各液滴ＱＭｎを含む画像Ｐを取得するものである。具体的には、画像取得部４は、上述で第２の形態として例示したものと概ね同様の構成をしている。なお、画像取得部４は、撮像カメラ４１側に、計測用基板Ｗｓの真上や斜め上方から光を照射する照明ユニット（同軸落斜照明、斜光照明等）を備えた構成であっても良い。或いは、基板保持部ＧＨに照明装置（つまり、透過照明）を備えた構成であっても良い。
【０１７１】
液滴測定部５は、画像Ｐに含まれた基準液滴ＱＩｎや各液滴ＱＭｎの液滴量ＶＩｎ，ＶＭｎの測定や当該測定に関連する処理を行うものである。具体的には、液滴測定部５は、上述で第２の形態として例示したものと概ね同様の構成をしている。
【０１７２】
なお、基準液滴量測定部２ｂ、画像取得部４、液滴測定部５の処理部は、計測用基板準備部ＧのコンピュータＣＮの一部にて構成されている。
【０１７３】
基板搬送部ＲＨは、計測用基板Ｗｓを搬送するものである。具体的には、基板搬送部ＲＨは、計測用基板準備部Ｇやインクジェット塗布装置Ｋｃに対して計測用基板Ｗｓを搬送（受け渡し、移載とも言う）するものである。より具体的には、基板搬送部ＲＨは、計測用基板準備部Ｇやインクジェット塗布装置Ｋｃの内外にアクセス可能な基板移載ロボットＲＨやコンベア等で計測用基板Ｗｓのハンドリングを行う。
【０１７４】
ホストコンピュータＨＣは、計測用基板Ｗｓ上のどの位置に液滴Ｌｎを吐出して液滴Ｑｎを着弾させるか、液滴量測定装置１ｓで測定された各インクジェットノズルＪｎの液滴量ＶＭｎ等の位置情報（座標やアドレス等）や数値データを、インクジェット塗布装置Ｋｃに出力する。
【０１７５】
「基準液滴量測定モード」について
この運転モードは、基準ノズルＪＩから吐出される液滴ＬＩの液滴量ＶＩを測定するためのものである。
【０１７６】
まず、基準ノズルＪＩから吐出された飛翔中の基準液滴ＬＩを飛翔体撮像部２２で撮像するために、例えば図１２に示す様に、基準ノズルＪＩと計測用基板Ｗｓとが対向する位置または任意の位置に、相対移動部ＧＭを移動させる（ステップｓ１１）。
【０１７７】
なお、他の動作ステップｓ１２〜ｓ１５については、上述の第１，第２の形態と同様である。
【０１７８】
「面積体積換算係数算出モード」について
この運転モードでは、図１２に示す様に、計測用基板準備部Ｇ側で、基準ノズルＪＩと計測用基板Ｗｓとが対向配置させつつ相対移動部ＧＭを移動させながら、計測用基板Ｗｓ上の代表地点に基準液滴ＬＩを吐出する（ステップｓ２１）。具体的には、基準ノズルＪＩに対し、所定の駆動電流・電圧を所定時間Ｔｓだけ印加して、基準液滴ＬＩを吐出させる。
【０１７９】
そして、相対移動部ＧＭを移動させ、計測用基板Ｗｓに着弾した基準液滴ＱＩを含んだ画像Ｐを、画像取得部４の撮像カメラ４１で撮像する（ステップｓ２２）。
【０１８０】
なお、他の動作ステップｓ２３〜ｓ２５については、上述の第１，第２の形態と同様である。
【０１８１】
「濡れ性補正係数算出モード」について
この運転モードでは、計測用基板準備部Ｇ側で、基準ノズルＪＩと計測用基板Ｗｓとを対向配置させつつ相対移動させながら、計測用基板Ｗｓ上の代表地点を含む複数箇所に基準液滴ＬＩを吐出する（ステップｓ３１）。具体的には、基準ノズルＪＩに対し、所定の駆動電流・電圧を所定時間Ｔｓだけ印加して、基準液滴ＬＩを吐出させる。
【０１８２】
そして、撮像カメラ４１が計測用基板Ｗｓと対向する位置に相対移動部ＧＭを移動させ、計測用基板Ｗｓに着弾した基準液滴ＱＩxyを含んだ画像Ｐを、観測カメラ４１で撮像する（ステップｓ３２）。
【０１８３】
なお、他の動作ステップｓ３３〜ｓ３５については、上述の第１，第２の形態と同様である。
【０１８４】
「液滴量測定モード」について
この運転モードでは、図１２に示す様に、予めインクジェット塗布装置Ｋｃ側に計測用基板Ｗｓを移載しておき、塗布ユニットＮと計測用基板Ｗｓとを対向配置させつつ相対移動部Ｍを移動させる（ステップｓ４１）。
【０１８５】
液滴測定の対象である複数のインクジェットノズルＪｎに対して基準指令値（時間、電流・電圧）を出力し、予め設定された計測用基板Ｗｓ上の所定位置に向けて液滴Ｌｎを吐出させる（ステップｓ４２）。具体的には、各ノズルＪｎに対し、所定の駆動電流・電圧を所定時間Ｔｓだけ印加して、各液滴Ｌｎを吐出させる。
【０１８６】
そして、計測用基板準備部Ｇ側に計測用基板Ｗｓを移載し、撮像カメラ４１が計測用基板Ｗｓと対向配置させつつ相対移動させながら、計測用基板Ｗｓに着弾した各液滴ＱＭｎを含んだ画像Ｐを、撮像カメラ４１で撮像する（ステップｓ４３）。
【０１８７】
なお、他の動作ステップｓ４４〜ｓ４５については、上述の第１１，第２の形態と同様である。
【０１８８】
なお、液滴量測定システム１ｓにおいては、上述の「面積体積換算係数算出モード」、「濡れ性補正係数算出モード」、「液滴量測定モード」の実行手順として、基準液滴ＬＩや各液滴Ｌｎの吐出と、着弾した基準液滴ＱＩや各液滴ＱＭｎを含む画像Ｐの撮像を並列的に行うことが好ましい。具体的には、上述の液滴吐出ステップｓ２１，ｓ３１，ｓ４２を一連の動作として行い、画像Ｐの撮像（ステップｓ２２，ｓ３２，ｓ４３）を１度に行い、面積体積換算係数αと濡れ性補正係数βの算出（ステップｓ２４，ｓ３４）と登録（ステップｓ２５，ｓ３５）をした後、各液滴ＱＭｎの面積ＳＭｎを測定（ステップｓ４４）し、液滴量ＶＭｎを算出（ステップｓ４５）する。そうすることで、計測用基板Ｗｓの入れ替えや基準液滴ＬＩや各液滴Ｌｎの吐出、画像Ｐの撮像等に費やす時間を短縮させることができる。
【０１８９】
なお上述では、本発明に係る液滴量測定システム１ｓとして、基準液滴量測定部２ｂ、画像取得部４、液滴測定部５が、図１２に例示するように計測用基板準備部Ｇ側に備えられ構成を示した。
【０１９０】
この様な構成の場合、計測用基板Ｗｓをインクジェット塗布装置Ｋｃに移載した後、液滴ＱＭｎを着弾させた計測用基板Ｗｓを、再び計測用基板準備部Ｇ側に移載して、液滴測定部５にて正確な液滴量の測定が行われる。
【０１９１】
或いは、まだ基準液滴ＱＩを着弾させていない計測用基板Ｗｓに、インクジェット塗布装置Ｋｃを用いて各インクジェットノズルＪｎから液滴Ｌｎを吐出させて液滴ＱＭｎを着弾させ、後から計測用基板Ｗｓに、計測用基板準備部Ｇを用いて基準液滴ＱＩを着弾させ、画像Ｐを取得し、液滴量ＶＭｎを測定しても良い。
【０１９２】
なお、計測用基板Ｗｓに対して、計測用基板準備部Ｇとインクジェット塗布装置Ｋｃのどちらから先に液滴を着弾させるかは、各液滴ＱＩｎ，ＱＭｎの粘度や乾燥速度、各動作の所要時間、要求される測定精度等に基づいて決定すれば良い。
【０１９３】
さらに、本発明を具現化する上では、画像取得部４、液滴測定部５は、図１３に例示するようにインクジェット塗布装置Ｋｃ側に備えられた構成であっても良い。
図１３は、本発明を具現化する第３の形態の別の一例の全体構成を示す概略図である。図１３には、本発明に係る第３の形態の液滴量測定システム１ｓの別の一例の概略図が示されている。
【０１９４】
或いは、画像取得部４、液滴測定部５を備えた液滴量の測定を行う専用装置を準備して、当該装置でインクジェット塗布装置Ｋｃの各インクジェットノズルＪｎから吐出される液滴Ｌｎの液滴量ＶＭｎを測定する構成としても良い。この場合、計測用基板Ｗｓは、基板搬送部ＲＨにて受け渡しを行い、ホストコンピュータＨＣを介してデータ等の受け渡しを行う。
【０１９５】
また上述では、基準液滴量測定部２ｂやンクジェット塗布装置Ｋｃに液滴測定部５を備えた構成を例示したが、液滴測定部５が、ホストコンピュータＨＣに備えられた構成であっても良い。
【０１９６】
なお、第３の形態においても、第１，第２の形態に示した変形例（測定対象とするインクジェットノズルＪｎの１つから複数回液滴ＱＩ，ＱＭｎを吐出させて同じ場所に着弾させる構成や、計測面３／計測用基板Ｗｓにダミー液滴Ｑｄを着弾させる構成等）を同様に適用可能である。
【符号の説明】
【０１９７】
１，１ｂ    液滴量測定装置
２，２ｂ  基準液滴量測定部
３    計測面
４    画像取得部
５    液滴量測定部
１３  吐液供給タンク
２１  飛翔体撮像部（飛翔観測カメラ）
２５  照明ユニット
３０  樹脂フィルム
３１  照明ユニット
３２〜３５  搬送ローラ
４１  撮像カメラ（着弾液滴用）
５１  液滴面積測定部
５２  換算係数登録部
５３  補正係数登録部
５４  換算係数算出部
５５  補正係数算出部
５６  液滴量算出部
Ｋ，Ｋｂ，Ｋｃ  インクジェット塗布装置
Ｈ    基板保持部
Ｎ    吐出ユニット（塗布ノズル）
Ｊ    インクジェットノズル（測定対象）
ＪＩ  基準ノズル
Ｍ    相対移動部
Ｍ１  レール部
Ｍ２  スライダー部
Ｍ３  第１ガントリー部
Ｍ４  レール部
Ｍ５  スライダー部
Ｍ６  第２ガントリー部
Ｃ１  処理部
Ｃ２  制御部
Ｗ    基板・ワーク
Ｐ    画像（着弾した液滴を撮像）
Ｐｓ  画像（吐出した液滴の飛翔観測）
Ｌｎ  吐出された液滴
ＱＭｎ  着弾した液滴
ＳＭｎ  面積
ＶＭｎ  体積（液滴量）
ＬＩ  吐出された基準液滴
ＱＩ  着弾した基準液滴
ＳＩ  基準液滴の面積
ＶＩ  基準液滴の体積（液滴量）
α    面積体積換算係数
βxy  濡れ性補正係数
Ｔｓ  吐出時間
１ｓ  液滴量測定システム
ＨＣ  ホストコンピュータ
Ｇ    計測用基板準備部
ＧＨ  基板保持部
ＧＭ  相対移動部
ＧＣ１  処理部
ＧＣ２  制御部
ＲＨ  基板搬送部
Ｗｓ  計測用基板
【図１】
2020157738.tif 000003
【図２】
2020157738.tif 000004
【図３】
2020157738.tif 000005
【図４】
2020157738.tif 000006
【図５】
2020157738.tif 000007
【図６】
2020157738.tif 000008
【図７】
2020157738.tif 000009
【図８】
2020157738.tif 000010
【図９】
2020157738.tif 000011
【図１０】
2020157738.tif 000012
【図１１】
2020157738.tif 000013
【図１２】
2020157738.tif 000014
【図１３】
2020157738.tif 000015