(57)【要約】【課題】ガラス板を搬送する際に生じた発塵物がガラス板の表面に付着するのを防止して、表面品位に優れたガラス板を提供する。【解決手段】本発明に係るガラス板の製造装置は、ガラス板Ｇを搬送する搬送装置１４を備えたものであって、搬送装置１４は、搬送用のシャフト３２と、シャフト３２を支持する軸受３３と、軸受３３が収容される収容室３４と、収容室３４に潤滑液３５を供給する供給路３６と、収容室３４から潤滑液３５を排出する排出路３７とを備える。上記構成の搬送装置１４は、排出路３７を通じて収容室３４から潤滑液３５と共に収容室３４内の気体３８を排出可能に構成されている。【選択図】図２
2020040757.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板を搬送する搬送装置を備えたガラス板の製造装置であって、
前記搬送装置は、搬送用のシャフトと、
前記シャフトを支持する軸受と、
前記軸受が収容される収容室と、
前記収容室に潤滑液を供給する供給路と、
前記収容室から前記潤滑液を排出する排出路とを備えると共に、
前記排出路を通じて前記収容室から前記潤滑液と共に前記収容室内の気体を排出可能としたことを特徴とするガラス板の製造装置。
【請求項２】
前記排出路の出口側に、前記気体を吸引する吸引装置が配設されている請求項１に記載のガラス板の製造装置。
【請求項３】
前記排出路と、前記吸引装置との間には、前記潤滑液と前記気体との比重差を利用して前記潤滑液と前記気体とを分離する気液分離槽が配設されている請求項２に記載のガラス板の製造装置。
【請求項４】
複数の前記収容室が配設されると共に、前記気液分離槽は、前記複数の収容室とそれぞれ前記排出路を介して接続される請求項３に記載のガラス板の製造装置。
【請求項５】
前記排出路は、前記収容室の底面に接続される請求項１〜４の何れか一項に記載のガラス板の製造装置。
【請求項６】
前記排出路の断面積は、前記供給路の断面積よりも大きい請求項１〜５の何れか一項に記載のガラス板の製造装置。
【請求項７】
前記搬送装置は、エアナイフを有する乾燥室に配設される請求項１〜６の何れか一項に記載のガラス板の製造装置。
【請求項８】
ガラス板を搬送する搬送工程を備えたガラス板の製造方法であって、
前記搬送工程では、請求項１〜７の何れか一項に記載の搬送装置を用いて前記ガラス板を搬送することを特徴とするガラス板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板の製造装置、及びガラス板の製造方法に関し、特にガラス板を搬送する際に生じた粉塵等の発塵物がガラス板の表面に付着するのを防止するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば液晶ディスプレイ用のガラス基板をはじめとするガラス板を製造するに際しては、成形したガラス原板（成形原板）から切り出されたガラス板に端面加工などの加工を施した後、当該ガラス板を洗浄すると共に、洗浄時にガラス板の表面に付着した洗浄液をエアの吹き付けにより除去して（液切りして）、ガラス板を乾燥させている（例えば、特許文献１を参照）。また、上述の処理をガラス板に対して実施する際、ガラス板は例えばローラコンベアなどの搬送装置で乾燥室内を搬送される。
【０００３】
ところで、この種の搬送装置は、通常、ローラを有する搬送用のシャフトを軸受で支持する構造をなす。そのため、ガラス板の搬送に伴い、軸受からの発塵が問題となる。そこで、特許文献２には、発塵の抑制と発塵物の捕捉を目的として軸受の一部を液体に浸漬させると共に、発塵物のガラス板への飛散防止を目的として軸受の周囲に軸受を覆うカバーを取り付けることが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４-３８９１４号公報
【特許文献２】特開２００２−３４７９２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、たとえ特許文献２のように軸受の周囲にカバーを取付けたとしても、軸受で支持されるシャフトとカバーとの間には不可避的な隙間が生じるため、粉塵がカバー外に漏れ出るおそれがある。そのため、搬送中のガラス板表面に粉塵が付着する事態を防止することは難しい。
【０００６】
以上の事情に鑑み、ガラス板を搬送する際に生じた発塵物がガラス板の表面に付着するのを防止して、表面品位に優れたガラス板を提供することを、解決すべき技術課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題の解決は、本発明に係るガラス板の製造装置により達成される。すなわち、この製造装置は、ガラス板を搬送する搬送装置を備えたガラス板の製造装置であって、搬送装置は、搬送用のシャフトと、シャフトを支持する軸受と、軸受が収容される収容室と、収容室に潤滑液を供給する供給路と、収容室から潤滑液を排出する排出路とを備えると共に、排出路を通じて収容室から潤滑液と共に収容室内の気体を排出可能とした点をもって特徴付けられる。
【０００８】
このように、本発明に係るガラス板の製造装置では、軸受の収容室から潤滑液を排出する排出路を設けると共に、この排出路を通じて収容室から潤滑液と共に収容室内の気体を排出可能とした。この構成によれば、潤滑液で捕捉した発塵物だけでなく収容室内を浮遊する（潤滑液に捕捉されていない）発塵物を収容室から排除することができる。これにより、収容室内を浮遊する発塵物が収容室の外に漏れ出て、搬送中のガラス板に付着する事態を効果的に防止することができる。また、排出路に向けた気体の流れが生じることで、収容室内の気体を積極的に潤滑液と接触させることができるので、潤滑液による発塵物の捕捉効果を高めることも可能となる。もちろん、収容室に潤滑液の供給路と排出路とを設けることにより、収容室には常に清浄な潤滑液が存在する状態となるため、安定的な発塵物の捕捉効果を得ることができる。
【０００９】
なお、収容室内の気体を排出するための排気路を、潤滑液排出用の排出路とは別に設けることも考えられるが、この場合には、排出路と同数の排気路が新たに必要となり、配管の数が増大（倍増）するため、配管系の複雑化を招く。また、気体を排出するための排気路を構成する配管に発塵物が付着して堆積しやすい。これに対して、本発明に係るガラス板の製造装置では、上述した排気路を排出路と共通化した構造としたので、排気路を排出路と別に設ける場合と比べて、配管の数を大幅に減らすことができる。また、排出路に付着した発塵物は、排出される潤滑液に流されて潤滑液と共に排出される。よって、配管系の複雑化や排出路での発塵物の堆積を回避しつつ、発塵物のガラス板への付着を防止することが可能となる。
【００１０】
また、本発明に係るガラス板の製造装置において、排出路の出口側に、気体を吸引する吸引装置が配設されてもよい。また、この場合、排出路と、吸引装置との間には、潤滑液と気体との比重差を利用して潤滑液と気体とを分離する気液分離槽が配設されてもよい。
【００１１】
このように、排出路の出口側に吸引装置を設けると共に、排出路と吸引装置との間に気液分離槽を設けることにより、簡易な構成で、収容室内の潤滑液と気体をそれぞれ効果的に排出することができる。また、潤滑液と気体とを相互に分離した状態で排出することにより、潤滑液を循環させる等して繰り返し利用することができるので、潤滑液の使用量を少なくでき、経済的である。
【００１２】
また、本発明に係るガラス板の製造装置において、複数の収容室が配設されると共に、気液分離槽は、複数の収容室とそれぞれ排出路を介して接続されてもよい。
【００１３】
このように一つの気液分離槽に対して複数の収容室を接続した構成をとることによって、一つの収容室につき一つの気液分離槽を設ける場合と比べて、気液分離槽と接続される排出路以外の配管の数を大幅に減らすことができる。よって、配管系の更なる簡素化を図ることが可能となる。
【００１４】
また、本発明に係るガラス板の製造装置において、排出路は、収容室の底面に接続されていてもよい。
【００１５】
このように排出路を収容室の底面に接続することにより、潤滑液が自重により円滑に流下して収容室から排出される。よって、吸引装置等の負荷を軽減しながら容易に潤滑液を排出することが可能となる。
【００１６】
また、本発明に係るガラス板の製造装置において、吸引路の断面積は、供給路の断面積よりも大きくてもよい。
【００１７】
このように、供給路の断面積を相対的に小さくし、排出路の断面積を相対的に大きくすることによって、収容室内における潤滑液の流通を良好にして、収容室内における潤滑液の滞留を回避することができる。そのため、潤滑液による発塵物の捕捉効果を効果的に得つつも、発塵物の配管内面への付着、堆積を可及的に防止することが可能となる。もちろん、排出路の断面積が大きいほど、潤滑液と気体双方の排出経路を確保し易いため、発塵物を円滑に排除する点において好適である。
【００１８】
以上に述べたように、本発明に係るガラス板の製造装置は、ガラス板の搬送用のシャフトを支持する軸受から生じる発塵物がガラス板の表面に付着するのを防止可能とすることから、例えば搬送装置が、エアナイフを有する乾燥室に配設される場合に好適である。
【００１９】
また、前記課題の解決は、本発明に係るガラス板の製造方法によっても達成される。すなわち、この製造方法は、ガラス板を搬送する搬送工程を備えたガラス板の製造方法であって、搬送工程では、上述の製造装置が備える搬送装置を用いてガラス板を搬送する点をもって特徴付けられる。
【００２０】
このように、本発明に係るガラス板の製造方法は、搬送工程で上述した搬送装置を用いてガラス板を搬送する。よって、配管系の複雑化や排出路での発塵物の堆積を回避しつつ、発塵物のガラス板への付着を防止することが可能となる。
【発明の効果】
【００２１】
以上に述べたように、本発明によれば、ガラス板を搬送する際に生じた発塵物がガラス板の表面に付着するのを防止して、表面品位に優れたガラス板を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第一実施形態に係るガラス板の洗浄乾燥装置の側面図である。
【図２】図１に示す搬送装置のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図２に示す搬送装置の使用態様の一例を説明するためのＡ−Ａ断面図である。
【図４】図２に示す搬送装置のＢ−Ｂ断面図である。
【図５】本発明の第二実施形態に係る搬送装置のＡ−Ａ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の第一実施形態を説明する。
【００２４】
本実施形態に係るガラス板の製造方法は、例えばガラス板に切断、研磨など所定の加工を施す加工工程と、所定の加工が施されたガラス板を洗浄する洗浄工程と、洗浄したガラス板に付着した洗浄液を除去してガラス板を乾燥させる乾燥工程を備えると共に、これら一連の作業工程にガラス板を搬入及び搬出する目的で、ガラス板を搬送する搬送工程をさらに備える。また、この場合、本実施形態に係るガラス板の製造装置は、ガラス板の加工装置と、洗浄乾燥装置と、搬送装置とを備える。以下、まず、洗浄工程と乾燥工程に関連する事項を説明した後、搬送工程に関連する事項を説明する。
【００２５】
図１は、本発明に係るガラス板の製造装置のうち、洗浄工程及び乾燥工程に使用する洗浄乾燥装置１０の全体構成を示す側面図である。図１に示すように、この洗浄乾燥装置１０は、洗浄処理室１１と乾燥処理室１２とを備え、ガラス板Ｇの搬送経路１３は、洗浄処理室１１及び乾燥処理室１２を横断するように設けられる。この場合、洗浄処理室１１と乾燥処理室１２内には、ガラス板Ｇを搬送経路１３に沿って搬送する搬送装置１４が配設される。
【００２６】
本実施形態では、洗浄処理室１１は、第一洗浄室１５と第二洗浄室１６とを有する。このうち第一洗浄室１５は、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａを擦って表面Ｇａ，Ｇａに付着した異物等の汚れを除去する洗浄ローラ１７を有する。本実施形態では、上下一対の洗浄ローラ１７，１７がガラス板Ｇの搬送経路１３を介して対向する位置に配設されている。
【００２７】
また、第一洗浄室１５内には、洗浄液供給装置１８が配設される。この場合、搬送経路１３上を通るガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ全域に洗浄液１９が供給されるように、洗浄液供給装置１８の供給口（図示は省略）の向きや幅方向寸法、供給流量などが設定されている。なお、本実施形態における「幅方向」とは、搬送経路１３上を搬送されるガラス板Ｇの幅方向と一致する方向をいうものとする。
【００２８】
第二洗浄室１６は、第一洗浄室１５よりも搬送経路１３の下流側に位置し、第一洗浄室１５から第二洗浄室１６内に搬入されたガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａにリンス液（すすぎ液）２０を供給するリンス液供給装置２１を有する。この場合も、搬送経路１３上を通るガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ全域にリンス液２０が供給されるように、リンス液供給装置２１の供給口（図示は省略）の向きや幅方向寸法、供給流量などが設定されている。
【００２９】
乾燥処理室１２は、液切り室２２と、液切り室２２よりも搬送経路１３の下流側に位置する第一乾燥室２３とを有する。本実施形態では、乾燥処理室１２は、第一乾燥室２３よりも搬送経路１３の下流側に第二乾燥室２４をさらに有する。液切り室２２と第一乾燥室２３との間には仕切り２５が設けられている。これにより、液切り室２２の雰囲気等が第一乾燥室２３に流入するのを制限している。
【００３０】
第一乾燥室２３には、第一乾燥室２３内に搬入されるガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに向けて所定の気体２６（例えば、クリーンドライエアなど）を吹き付けるための気体吹付け装置２７が配設される。本実施形態では、気体吹付け装置２７は、上下一対のエアナイフ２８，２８であり、これら一対のエアナイフ２８，２８間にガラス板Ｇの搬送経路１３が位置している。ここで、各エアナイフ２８の供給口２８ａの幅方向寸法は、一対のエアナイフ２８，２８間を通過するガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ全域に気体２６を吹き付け得る大きさに設定されている。また、各エアナイフ２８の供給口２８ａの角度は、第一乾燥室２３側から液切り室２２側に向けて気体２６をガラス板Ｇの表面Ｇａに吹き付け得る大きさに設定されている。
【００３１】
第一乾燥室２３と第二乾燥室２４との間には仕切り２９が設けられている。これにより、第一乾燥室２３の内部空間と、第二乾燥室２４の内部空間とが区画されるので、第一乾燥室２３の雰囲気等が第二乾燥室２４に流入するのを制限している。このため、第二乾燥室２４の清浄度を第一乾燥室２３の清浄度よりも高くできる。
【００３２】
第二乾燥室２４には、第二乾燥室２４内に搬入されるガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに向けて所定の気体２６を吹き付けるための気体吹付け装置３０が配設される。本実施形態では、気体吹付け装置３０は、上下一対のエアナイフ３１，３１であり、これら一対のエアナイフ３１，３１間にガラス板Ｇの搬送経路１３が位置している。ここで、各エアナイフ３１の供給口３１ａの幅方向寸法は、一対のエアナイフ３１，３１間を通過するガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ全域に気体２６を吹き付け得る大きさに設定されている。また、各エアナイフ３１の供給口３１ａの角度は、第二乾燥室２４側から第一乾燥室２３側に向けて気体２６をガラス板Ｇの表面Ｇａに吹き付け得る大きさに設定されている。
【００３３】
図２は、搬送装置１４を搬送方向（図１でいえば矢印Ａの向き）から見た縦断面図である。図２に示すように、この搬送装置１４は、ガラス板Ｇの搬送用のシャフト３２と、シャフト３２を支持する軸受３３と、軸受３３が収容される収容室３４と、収容室３４に潤滑液３５を供給する供給路３６と、収容室３４から潤滑液３５を排出する排出路３７とを備える。本実施形態では、搬送装置１４は、収容室３４内の気体３８を吸引する吸引装置３９と、潤滑液３５と気体３８とを分離する気液分離装置としての気液分離槽４０と、タンク４１と、圧送用のポンプ４２、及びフィルタ４３とをさらに備える。収容室３４は、乾燥処理室１２の内部に配置され、吸引装置３９、気液分離槽４０、タンク４１、ポンプ４２、及びフィルタ４３は、乾燥処理室１２の外部に配置される。
【００３４】
シャフト３２は、直接又は間接的にガラス板Ｇを支持する。本実施形態では、シャフト３２の外周にローラ４４が取付けられており、このローラ４４でガラス板Ｇを支持する。また、上記構成をなす複数のシャフト３２が、ガラス板Ｇの搬送経路１３に沿って配設されている（図１を参照）。複数のシャフト３２の一部には図示しないモータ等の駆動装置が連結されており、駆動装置により当該一部のシャフト３２を回転駆動させることで、ローラ４４で支持されるガラス板Ｇに搬送経路１３に沿った向きの搬送力を付与する。なお、図１ではシャフト３２以外の搬送装置１４の構成要素の図示を省略している。また、図２では、搬送装置１４以外の構成要素（すなわち洗浄処理室１１と乾燥処理室１２の構成要素）の図示を省略している。
【００３５】
軸受３３は、例えば液体潤滑方式の軸受であり、収容室３４の内部に配設される。本実施形態では、収容室３４を構成するケーシング４５に取付けベース４６を介して軸受３３が固定されている。
【００３６】
供給路３６は、潤滑液３５を収容室３４の内部空間に供給するためのものであり、収容室３４に接続される。本実施形態では、図２に示すように、収容室３４の底面３４ａに供給路３６が接続されている。
【００３７】
供給路３６の上流側には、フィルタ４３を介してポンプ４２が接続されている。ポンプ４２の上流側には潤滑液３５が溜まった状態のタンク４１があり、ポンプ４２とタンク４１とが接続されている。これにより、タンク４１中の潤滑液３５がポンプ４２により収容室３４に向けて圧送され、圧送された潤滑液３５が供給路３６を通じて収容室３４内に流入するようになっている（後述する図３を参照）。
【００３８】
収容室３４には、排出路３７が接続される。この排出路３７を備えた搬送装置１４は、排出路３７を通じて収容室３４内の潤滑液３５を収容室３４から排出すると共に、排出路３７を通じて収容室３４内の気体３８を収容室３４から排出可能に構成されている。
【００３９】
ここで、排出路３７は、例えば断面真円形状の管状体で構成され、収容室３４の底面３４ａに接続されている。ここで、排出路３７の断面積Ｓ１は、例えば供給路３６の断面積Ｓ２よりも大きく設定される。
【００４０】
排出路３７の出口側（下流側）には、気体３８を吸引可能な吸引装置３９が配設されている。また、吸引装置３９と排出路３７との間には、潤滑液３５と気体３８とを分離する気液分離装置としての気液分離槽４０が配設されている。本実施形態では、この気液分離槽４０の天井面４０ａに排出路３７が接続されると共に、気液分離槽４０の側面４０ｂに排気路４７の入口側（上流側）が接続されている。排気路４７の出口側（下流側）は吸引装置３９に接続されている。また、気液分離槽４０の底面４０ｃに排液路４８が接続されており、排液路４８の下方には、上部を開放したタンク４１が配設されている。これにより、排出路３７を通じて気液分離槽４０に至った潤滑液３５が気液分離槽４０の下側空間４０ｄに保持され、保持された状態の潤滑液３５が排液路４８を通じてタンク４１に還流可能とされる。また、排出路３７を通じて気液分離槽４０に至った気体３８は、吸引装置３９により吸引され、排気路４７を通じて気液分離槽４０から排出可能とされる。
【００４１】
本実施形態では、図４に示すように、複数の収容室３４が搬送経路１３に沿って配設されると共に、一つの気液分離槽４０が、複数の収容室３４とそれぞれ排出路３７を介して接続されている。一つの気液分離槽４０には、一つの吸引装置３９が排気路４７を介して接続されている。なお、図示は省略するが、軸受３３がシャフト３２の長手方向両側に配設される場合、長手方向一方側の軸受３３を収容する収容室３４だけでなく、長手方向他方側の軸受を収容する収容室についても上述の接続形態を成してもよい。すなわち、一つの気液分離槽が、シャフト３２の長手方向他方側の軸受を収容する複数の収容室とそれぞれ排出路を介して接続されてもよい。また、排液路４８は気液分離槽４０に一つのみ設けられていてもよいし、複数設けられていてもよい。
【００４２】
次に、上記構成の搬送装置１４を用いた搬送工程の一例を説明する。
【００４３】
この搬送工程では、加工工程で所定の加工（端面加工、表面処理などのうち少なくとも一つ以上）を施したガラス板Ｇを、搬送装置１４により搬送経路１３に沿って搬送する。図１に示す例でいえば、まず搬送経路１３の上流側に位置する洗浄乾燥装置１０の第一洗浄室１５内にガラス板Ｇを搬入する。そして、第一洗浄室１５内を下流側に向けて搬送している間、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに向けて洗浄液供給装置１８，１８から洗浄液１９を供給し、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａを洗浄ローラ１７，１７で擦る。これにより、表面Ｇａ，Ｇａに付着した微粒子などの異物を擦り取る。然る後、ガラス板Ｇを搬送装置１４により第二洗浄室１６内に搬入する。そして、第二洗浄室１６内を下流側に向けて搬送している間、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに向けてリンス液供給装置２１からリンス液２０を供給し、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ上の洗浄液１９と異物を洗い流す。然る後、ガラス板Ｇを搬送装置１４により第二洗浄室１６外に搬出する。
【００４４】
上述した洗浄工程を経た後、ガラス板Ｇを搬送装置１４により乾燥処理室１２の液切り室２２内に搬入する。そして、液切り室２２から第一乾燥室２３に搬入する直前にガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに向けて、気体吹付け装置２７としての一対のエアナイフ２８，２８から気体２６を吹き付ける。これにより、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ上に残存していたリンス液２０（場合によっては少量の洗浄液１９も）と、微粒子を含む異物とを吹き飛ばす。
【００４５】
このようにして液切りがなされたガラス板Ｇを引き続き搬送装置１４により第一乾燥室２３外に搬出すると共に第二乾燥室２４に搬入する。そして、第二乾燥室２４に搬入する直前にガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに向けて、気体吹付け装置３０としての一対のエアナイフ３１，３１から気体２６を吹き付ける。これにより、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ上に残存していたリンス液２０等と微粒子を含む異物を吹き飛ばす。以上のようにしてリンス液２０等と微粒子を含む異物とを除去することで、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａは洗浄され、かつ乾いた状態となる。上記洗浄及び乾燥処理が施されたガラス板Ｇは、搬送装置１４により第二乾燥室２４の外に搬出される。
【００４６】
上述のようにしてガラス板Ｇを搬送装置１４で搬送する際、シャフト３２は軸受３３により回転可能に支持される。また、シャフト３２が軸受３３で回転支持される間、軸受３３は液潤滑状態とされる。詳述すると、シャフト３２の回転時、図３に示すポンプ４２を駆動し、タンク４１に溜まった状態の潤滑液３５を収容室３４側に向けて圧送する。圧送された潤滑液３５は供給路３６を通じて収容室３４内に流入し、軸受３３の一部に接触する（ここでは軸受３３の底部が潤滑液３５で浸かった状態となる）。これにより軸受３３は液潤滑状態となる。また、収容室３４に流入した潤滑液３５は収容室３４の底面３４ａ上を流れて、底面３４ａに接続された排出路３７を通じて収容室３４から排出される。この際、潤滑液３５の収容室３４内への単位時間当たりの流入量を調整すると共に、潤滑液３５の収容室３４外への単位時間当たりの流出量を調整することにより、収容室３４内における潤滑液３５の流通形態が所定の態様に設定される。例えば上述のように潤滑液３５の流入量と流出量とを調整することにより、収容室３４の底部に溜まった潤滑液３５の液面高さｈ（図３を参照）が所定の大きさに維持される。
【００４７】
また、この際、図３に示すように、底面３４ａ上で層状の形態をなす潤滑液３５を、排出路３７を通じて排出すると共に、排出路３７の下流側に配設された吸引装置３９を駆動して排気路４７と連通する空間を吸引することで、排出路３７を通じて収容室３４内の気体３８を排出する。この場合、排出路３７の一部の領域（例えば図３に示す周縁部３７ａ）を潤滑液３５が通過し、排出路３７の残部の領域（例えば図３に示す中央部３７ｂ）を気体３８が通過する。上述した潤滑液３５の流通形態、及び潤滑液３５と気体３８の排出形態は、例えばポンプ４２の吐出量、供給路３６の断面積Ｓ２、排出路３７の断面積Ｓ１、吸引装置３９の吸引量、収容室３４の容積、気液分離槽４０の容積などを調整することにより達成され得る。
【００４８】
排出路３７を通じて収容室３４から排出された潤滑液３５と気体３８はともに気液分離槽４０に導入される。ここで、潤滑液３５と気体３８との間には大きな比重差があることから、気液分離槽４０に導入された潤滑液３５は自重により落下して、気液分離槽４０の下側空間４０ｄに保持される。対して、気液分離槽４０に導入された気体３８は、気液分離槽４０の上側空間４０ｅに保持される。下側空間４０ｄに保持された潤滑液３５は気液分離槽４０の底面４０ｃに接続された排液路４８を通じて気液分離槽４０から排出され、上側空間４０ｅに保持された気体３８は気液分離槽４０の側面４０ｂに接続された排気路４７を通じて気液分離槽４０から排出される。
【００４９】
このうち、排液路４８を通じて排出された潤滑液３５は、タンク４１に落下する。タンク４１内に落下した潤滑液３５はポンプ４２により圧送され、供給路３６を通じて再び収容室３４内に供給される。また、ポンプ４２と供給路３６との間に配設したフィルタ４３により、潤滑液３５中の発塵物が捕捉されることで、収容室３４には、発塵物を実質的に含まない、あるいは発塵物の含有率が排出路３７の通過時よりも低く清浄な潤滑液３５が流入する。このようにして、潤滑液３５が循環使用される。
【００５０】
このように、本発明に係るガラス板の製造装置及び製造方法では、軸受３３の収容室３４に潤滑液３５を供給すると共に、収容室３４から排出路３７を通じて潤滑液３５と共に収容室３４内の気体３８を排出可能とした。この構成によれば、潤滑液３５で捕捉した発塵物だけでなく収容室３４内を浮遊する発塵物を収容室３４から排除することができる。これにより、収容室３４内を浮遊する発塵物が収容室３４の外に漏れ出て、搬送中のガラス板Ｇに付着する事態を効果的に防止することができる。また、排出路３７に向けた気体３８の流れが生じることで（図３を参照）、収容室３４内の気体３８を積極的に潤滑液３５と接触させることができるので、潤滑液３５による発塵物の捕捉効果を高めることも可能となる。もちろん、収容室３４に潤滑液３５の供給路３６と排出路３７とを設けることにより、収容室３４には常に清浄な潤滑液３５が存在する状態となるため、安定的な捕捉効果を得ることができる。以上より、本発明に係るガラス板の製造方法及び製造装置によれば、ガラス板Ｇを搬送する際に生じた発塵物がガラス板Ｇの表面Ｇａに付着するのを防止して、表面品位に優れたガラス板Ｇを提供することが可能となる。
【００５１】
また、本実施形態のように、吸引装置３９で収容室３４内を吸引することによって、排出路３７を通じて収容室３４内の気体３８を排出できるだけでなく、収容室３４のケーシング４５とシャフト３２との隙間を通じて収容室３４外から収容室３４内に向かう気体３８の流れを作ることができる（図３を参照）。これにより、収容室３４内からの発塵物の漏れ出しをより効果的に防止することが可能となる。
【００５２】
また、本実施形態では、排出路３７と吸引装置３９との間に、潤滑液３５と気体３８とを分離する気液分離槽４０を配設したので、簡易な構成で、収容室３４内の潤滑液３５と気体３８をそれぞれ効果的に排出することができる。また、潤滑液３５と気体３８とを相互に分離した状態で排出することにより、潤滑液３５を循環させる等して繰り返し利用することができるので（図３を参照）、潤滑液３５の使用量を少なくでき、経済的である。また、潤滑液３５を循環使用することによって、収容室３４内における潤滑液３５の円滑な流通を図ることができるので、収容室３４の隅部や排出路３７の内面などに発塵物が付着、堆積する事態を効果的に防止することが可能となる。
【００５３】
以上、本発明の第一実施形態を説明したが、もちろん本発明に係るガラス板の製造装置及び製造方法は上記例示の形態には限定されない。当該製造装置及び製造方法は、本発明の範囲内で種々の形態をとることが可能である。
【００５４】
図５は、本発明の第二実施形態に係る搬送装置５０の断面図である。この搬送装置５０は、気液分離槽４０とポンプ４２との間に配設されるタンク４１を省略し、気液分離槽４０からポンプ４２に潤滑液３５を供給可能に気液分離槽４０とポンプ４２とを接続した点において、図２に示す搬送装置１４と相違する。すなわち、本実施形態に係る搬送装置５０において、気液分離槽４０の下側空間４０ｄには所定量の潤滑液３５が常に溜まっており、第一実施形態におけるタンク４１の役割を兼ねている。一方で、吸引装置３９に接続される排気路４７は常に気液分離槽４０の上側空間４０ｅに開口しており、これにより気液分離槽４０による潤滑液３５と気体３８の分離を可能としている。この場合、気液分離槽４０とポンプ４２とは排液路４８を介して接続されている。そのため、気液分離槽４０から排出された潤滑液３５がポンプ４２により圧送され、供給路３６を通じて再び収容室３４内に流入するようになっている。その他の構成については第一実施形態と同じであるので、ここでは詳細な説明を省略する。
【００５５】
このように、本実施形態に係る搬送装置５０によれば、収容室３４から排出路３７を通じて潤滑液３５と共に収容室３４内の気体３８を排出することにより、潤滑液３５で捕捉した発塵物だけでなく収容室３４内を浮遊する発塵物を収容室３４から排除することができる。これにより、第一実施形態と同様、収容室３４内を浮遊する発塵物が収容室３４の外に漏れ出て、搬送中のガラス板Ｇに付着する事態を効果的に防止することができる。また、この搬送装置５０においては、タンク４１を省略しつつも、潤滑液３５を循環使用できるようにしたので、上述した作用効果を効果的に享受しつつも、搬送装置５０の配管系をさらに簡素化できる。
【００５６】
また、上記実施形態では、排出路３７を通じて潤滑液３５と共に収容室３４内の気体３８を排出するに際し、排出路３７の周縁部３７ａを潤滑液３５が通過し、排出路３７の中央部３７ｂを気体３８が通過する場合を例示したが、もちろんこの形態には限られない。潤滑液３５と気体３８が共に排出路３７を通過可能な限りにおいて、潤滑液３５と気体３８の排出形態は任意に設定可能である。また、そのために、排出路３７の形態を変更してもよい。
【００５７】
また、上記実施形態では、搬送装置１４，５０を構成するシャフト３２の外周にローラ４４が取付けられており、このローラ４４でガラス板Ｇを支持する場合を例示したが、もちろん、シャフト３２はこれ以外の形態もとり得る。すなわち、ガラス板Ｇと直接に接触し、ガラス板Ｇを支持するシャフト３２に本発明を適用してもよく、あるいは、ベルトなどローラ４４やシャフト３２外周面以外の搬送面を有する部材を駆動させるためのシャフト３２に本発明を適用してもよい。要は、ガラス板Ｇの搬送に関わるシャフト３２である限りにおいて、任意のシャフトが本発明の適用を受け得る。
【００５８】
また、以上の説明では、本発明に係る搬送装置１４，５０が、洗浄工程と乾燥工程にガラス板Ｇを搬入並びに搬出可能とした場合を例示したが、もちろん、本発明は、洗浄工程や乾燥工程以外のガラス板Ｇの製造に関わる工程にガラス板Ｇを搬入、搬出し、あるいは上記複数の工程間でガラス板Ｇを搬送する場合にも適用可能である。
【符号の説明】
【００５９】
１０    洗浄乾燥装置
１１    洗浄処理室
１２    乾燥処理室
１３    搬送経路
１４，５０  搬送装置
１５    第一洗浄室
１６    第二洗浄室
１７    洗浄ローラ
１８    洗浄液供給装置
１９    洗浄液
２０    リンス液
２１    リンス液供給装置
２２    液切り室
２３    第一乾燥室
２４    第二乾燥室
２６    気体
２７    気体吹付け装置
２８    エアナイフ
３０    気体吹付け装置
３１    エアナイフ
３２    シャフト
３３    軸受
３４    収容室
３５    潤滑液
３６    供給路
３７    排出路
３７ａ  周縁部
３７ｂ  中央部
３８    気体
３９    吸引装置
４０    気液分離槽
４１    タンク
４２    ポンプ
４３    フィルタ
４４    ローラ
４７    排気路
４８    排液路
Ｇ      ガラス板
Ｓ１    断面積（排出路）
Ｓ２    断面積（供給路）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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