(57)【要約】【課題】フィルムのような薄い帯状ワークに傷を付けることなく張力を付与することができるエアダンサーを提供する。【解決手段】帯状ワークにエア圧によって張力を与えるエアダンサー１であって、開口部１２、当該開口部１２と対向する底面部１３、および側壁部１４を有し、開口部１２から帯状ワーク２を収容させるダンサケース１１と、帯状ワーク２にエア圧を与えることにより、帯状ワーク２を略Ｕ字状に湾曲させてダンサケース１１に収容し帯状ワーク２に張力を付与する張力付与手段７と、を備え、ダンサケース１１の側壁部１４のうち、収容した帯状ワーク２の面と対向する側壁部１４には、エアを噴出する複数のエア噴出孔９ａと、エアを吸引する複数のエア吸引孔９ｂとが、少なくとも帯状ワーク２の面と対向する部分において一様に配置されている。【選択図】図２
2020001878.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状ワークにエア圧によって張力を与えるエアダンサーであって、
開口部、当該開口部と対向する底面部、および側壁部を有し、当該開口部から帯状ワークを収容させるダンサケースと、
帯状ワークにエア圧を与えることにより、帯状ワークを略Ｕ字状に湾曲させて前記ダンサケースに収容し帯状ワークに張力を付与する張力付与手段と、
を備え、
前記ダンサケースの前記側壁部のうち、収容した帯状ワークの面と対向する前記側壁部には、エアを噴出する複数のエア噴出孔と、エアを吸引する複数のエア吸引孔とが、少なくとも帯状ワークの面と対向する部分において一様に配置されていることを特徴とする、エアダンサー。
【請求項２】
前記張力付与手段は、帯状ワークに向かって前記開口部から前記底面部の方向にエアを吹き付けるエア供給部を有し、収容した帯状ワークの湾曲部の位置に追従して当該エア供給部が前記開口部と前記底面部の間を移動することを特徴とする、請求項１に記載のエアダンサー。
【請求項３】
複数の前記エア噴出孔は、帯状ワークの湾曲部の位置に追従して、当該湾曲部と対向する前記エア噴出孔から噴出されるエアの出力が他の前記エア噴出孔から噴出されるエアの出力よりも大きくなるよう制御されることを特徴とする、請求項１もしくは２に記載のエアダンサー。
【請求項４】
複数の前記エア吸引孔は、帯状ワークの湾曲部の位置に追従して、当該湾曲部と対向する前記エア吸引孔から吸引されるエアの出力が他の前記エア吸引孔から吸引されるエアの出力よりも小さくなるよう制御されることを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載のエアダンサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、送出しリールから巻取りリールに巻き取られる帯状のワークに張力を付与するダンサーに関するものであり、特にエア圧を利用してワークに張力を付与するエアダンサーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年では、生産効率を上げるため、帯状のワークをロール・トゥ・ロール方式により搬送し、帯状ワークの表面に所定の処理が行うことにより連続的に生産することが行われる。このロール・トゥ・ロール方式は、ロール巻きした帯状ワークを送り出し、所定の工程を経て、巻き取りリールに巻き取られる。例えば、下記特許文献１では、ロール・トゥ・ロール方式を用いて帯状ワーク上へのマスクパターンの露光が行われる。具体的には、特許文献１の帯状ワークの露光装置は、帯状ワークの搬送方向に沿って、帯状ワークの巻出しロール、第１エアダンサー、露光ユニット、第２エアダンサー及び巻取りロールが配設されており、巻出しロールから繰り出された帯状ワークが露光ユニットで露光処理され巻取りロールにより巻き取られる。この露光装置では、第１及び第２エアダンサーが用いられることにより帯状ワークの表面に損傷を与えることなく、帯状ワーク全体に張力が与えられ、搬送できるようになっている。
【０００３】
このエアダンサーは、図６に示すように、開口部を有するダンサケース１０１と、ダンサケース１０１の底面部１０２に設けられた吸引ユニット１０３（ファン）とを有しており、吸引ユニット１０３を作動させることによりダンサケース１０１の開口部に吸引力が発生し、ダンサケース１０１の開口部付近を走行する帯状ワーク１０４がダンサケース１０１内に引き込まれダンサケース１０１内で湾曲する姿勢で収容される。すなわち、吸引ユニット１０３による吸引力が帯状ワーク１０４に作用することにより、帯状ワーク１０４に張力が付与される。そして、吸引ユニット１０３の出力を変化させて吸引力を調節することにより、帯状ワーク１０４に作用する張力を調節できるようになっている。
【０００４】
近年では、有機ＥＬの基板としてフィルムが使用され、このフィルムの帯状ワーク１０４をロール・トゥ・ロール方式により搬送し、帯状ワーク１０４の表面にＴＦＴ回路を印刷する印刷装置が考えられている。このフィルムの帯状ワーク１０４は、有機ＥＬに用いるため、表面に傷が付くことを抑える必要がある。そのため、帯状ワーク１０４の張力付与にも、上述のように物理的な接触を抑えることができるエアダンサーが使用される。
【０００５】
しかし、特許文献１に記載のエアダンサーでは、帯状ワーク１０４に傷が付くおそれがあった。具体的には、ダンサケース１０１の開口部に設けられたローラーにより走行方向が変更されると、ダンサケース１０１の底面に向かう走行部１０５とダンサケース１０１の底面に到達する前に１８０°走行方向を変更する湾曲部１０６と、開口部に向かう走行部１０５とを有する姿勢を形成しつつ帯状ワーク１０４が走行するが、この状態で吸引ユニット１０３により吸引し続けると、走行部１０５とダンサケース１０１との隙間に存在する大気が吸引ユニット１０３側に流れることにより、帯状ワーク１０４の走行部１０５がダンサケース１０１側に引き寄せられ、帯状ワーク１０４の走行部１０５がダンサケース１０１に接触し、帯状ワーク１０４の裏面に傷が付いてしまうおそれがあった。
【０００６】
これに対し、特許文献２に記載のエアダンサーでは、図７に示すようにダンサケース１０１の側壁部１０７にエア噴出孔１０８を設け、このエア噴出孔１０８からエアを噴出させることにより、常に走行部１０５と側壁部１０７との間に常にエアを介在させ、帯状ワーク１０４とダンサケース１０１とが接触することを防いでいる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−３３５４４３号公報
【特許文献２】特開２０１３−１３９３２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献２に示すエアダンサーでは、それでも帯状ワーク１０４とダンサケース１０１とが接触し、帯状ワーク１０４に傷がつくおそれがあった。具体的には、側壁部１０７のエア噴出孔１０８から噴出させるエアの出力が高すぎる場合には走行部１０５の姿勢が安定せずにばたつき、ダンサケース１０１に接触する可能性があった。一方、エア噴出孔１０８から噴出させるエアの出力が低すぎる場合には吸引ユニット１０３による吸引力に負けて走行部１０５と側壁部１０７との隙間が無くなり、ダンサケース１０１に接触する可能性があった。しかしながら、これらを回避するために、走行部１０５と側壁部１０７との間で一定の隙間を維持し、安定して帯状ワーク１０４を搬送するように制御することは図６に示す形態のエアダンサーでは困難であり、そのため、帯状ワーク１０４に傷がつくおそれがあった。
【０００９】
本発明は上記問題を鑑みてなされたものであり、フィルムのような薄い帯状ワークに傷を付けることなく張力を付与することができるエアダンサーを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために本発明のエアダンサーは、帯状ワークにエア圧によって張力を与えるエアダンサーであって、開口部、当該開口部と対向する底面部、および側壁部を有し、当該開口部から帯状ワークを収容させるダンサケースと、帯状ワークにエア圧を与えることにより、帯状ワークを略Ｕ字状に湾曲させて前記ダンサケースに収容し帯状ワークに張力を付与する張力付与手段と、を備え、前記ダンサケースの前記側壁部のうち、収容した帯状ワークの面と対向する前記側壁部には、エアを噴出する複数のエア噴出孔と、エアを吸引する複数のエア吸引孔とが、少なくとも帯状ワークの面と対向する部分において一様に配置されていることを特徴としている。
【００１１】
上記エアダンサーによれば、ダンサケースの側壁部にエア噴出孔およびエア吸引孔が一様に配置されているため、帯状ワークに傷が付くことを抑えることができる。すなわち、側壁部と帯状ワークとの隙間においてエア噴出孔からのエアの噴出とエア吸引孔からのエアの吸引とを同時に行うことにより、側壁部と帯状ワークとの隙間を一定値で維持することができる。したがって、張力付与手段を作動し続けた場合でも、帯状ワークとダンサケースとが接触することを抑えることができる。
【００１２】
また、前記張力付与手段は、帯状ワークに向かって前記開口部から前記底面部の方向にエアを吹き付けるエア供給部を有し、収容した帯状ワークの湾曲部の位置に追従して当該エア供給部が前記開口部と前記底面部の間を移動しても良い。
【００１３】
この構成によれば、側壁部と帯状ワークとの間におけるエアの噴出と吸引の均衡をくずすことなく帯状ワークに張力を確実に与えることができる。
【００１４】
また、複数の前記エア噴出孔は、帯状ワークの湾曲部の位置に追従して、当該湾曲部と対向する前記エア噴出孔から噴出されるエアの出力が他の前記エア噴出孔から噴出されるエアの出力よりも大きくなるよう制御されても良い。
【００１５】
この構成によれば、帯状ワークの湾曲部を必要以上に側壁部方向に膨出しないように形成することができ、湾曲部において帯状ワークがダンサケースと接触することを防ぐことができる。
【００１６】
また、複数の前記エア吸引孔は、帯状ワークの湾曲部の位置に追従して、当該湾曲部と対向する前記エア吸引孔から吸引されるエアの出力が他の前記エア吸引孔から吸引されるエアの出力よりも小さくなるよう制御されても良い。
【００１７】
この構成によれば、帯状ワークの湾曲部を必要以上に側壁部方向に膨出しないように形成することができ、湾曲部において帯状ワークがダンサケースと接触することを防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のエアダンサーによれば、フィルムのような薄い帯状ワークに傷を付けることなく張力を付与することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明のエアダンサーを適用した印刷装置を示す概略図である。
【図２】本発明の一実施形態におけるエアダンサーを示す概略図である。
【図３】本発明の一実施形態におけるエアダンサーの側壁部を示す概略図である。
【図４】本発明の他の実施形態におけるエアダンサーを示す概略図である。
【図５】本発明の他の実施形態におけるエアダンサーを示す概略図である。
【図６】従来のエアダンサーを示す概略図である。
【図７】従来のエアダンサーを示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
次に、本発明のエアダンサー１の実施の形態について説明する。ここで、図１は、本発明のエアダンサー１を用いた回路パターンの印刷装置の構成を概略的に示す図であり、図２は、本発明のエアダンサー１を示す図である。
【００２１】
図１および図２に示すように、印刷装置は、ロール・トゥ・ロール方式によりテープ状の帯状ワーク２を一方向に搬送し、帯状ワーク２にＴＦＴ回路パターンの印刷を行うものであり、送出ロール３、エアダンサー１、保持ユニット４、ワーク処理ユニット５、保持ユニット４、エアダンサー１、巻取ロール６を有しており、これらがこの順に搬送方向に並べて配置されている。この印刷装置では、送出ロール３から繰り出された帯状ワーク２がエアダンサー１により適当な張力が付与されつつ、巻取ロール６で巻き取られることにより搬送される。そして、ワーク処理ユニット５の両端で保持ユニット４に保持された状態で、ワーク処理ユニット５により帯状ワーク２に印刷が行われ、印刷終了後、巻取ロール６で巻き取られることにより、所定の回路パターンが印刷された帯状ワーク２を得ることができるようになっている。なお、本説明では、鉛直方向をＺ軸方向、水平方向のうち帯状ワーク２の幅方向をＹ軸方向と呼び、水平方向においてＹ軸方向と直交する方向、すなわち帯状ワークの搬送方向をＸ軸方向と呼ぶ。
【００２２】
送出ロール３は、帯状ワーク２を下流側に供給するためのものである。送出ロール３は、図示しない制御装置により回転を駆動制御されることにより、帯状ワーク２を所定の速度で送り出すことができるようになっている。
【００２３】
ここで、帯状ワーク２は、テープ状に形成されたワークであり、例えば、透明のＰＥＴフィルムなどが用いられる。
【００２４】
巻取ロール６は、供給された帯状ワーク２を巻き取るものである。巻取ロール６は、送出ロール３と同様に、図示しない制御装置により回転を駆動制御されることにより帯状ワーク２を巻き取ることができるようになっている。
【００２５】
ワーク処理ユニット５は、帯状ワーク２に印刷を行うものであり、本実施形態では、インクジェット装置が適用され、インクジェット装置により所定のＴＦＴ回路パターンが印刷されるようになっている。具体的には、搬送された帯状ワーク２は、ワーク処理ユニット５の両端に配置された保持ユニット４により、ワーク処理ユニット５内で適当な張力が付与された状態で保持される。すなわち、インクジェット装置には、ステージ５１が設けられており、保持ユニット４により保持されることにより、ステージ５１上の帯状ワーク２が位置決めされると共に平坦な姿勢に保持される。そして、インクジェット装置のインクジェットノズル５２が移動しつつ、予めプログラムされた回路パターンの形状に材料を吐出することにより、帯状ワーク２の表面に所定のＴＦＴ回路パターンが印刷される。印刷が完了すると、保持ユニット４のチャック５３が解放され、巻取ロール６に巻き取られ、印刷された帯状ワーク２がワーク処理ユニット５から排出されると同時に次に印刷すべき帯状ワーク２が供給される。このようにして、ロール・トゥ・ロール方式により、連続的に帯状ワーク２にＴＦＴ回路パターンが印刷される。
【００２６】
エアダンサー１は、帯状ワーク２に張力を付与するものである。すなわち、帯状ワーク２に適度な張力を付与することにより、帯状ワーク２を撓ませることなく安定して走行させることができる。このエアダンサー１は、図２に示すように、帯状ワーク２を収容させるダンサケース１１と、帯状ワーク２に張力を付与する張力付与手段７とを有している。
【００２７】
ダンサケース１１は、開口部１２を有する箱体である。このダンサケース１１には、湾曲させた帯状ワーク２を収容することができるようになっている。本実施形態では、ダンサケース１１は直方体形状を有しており、上方に大気に開口する開口部１２を有している。なお、箱体のダンサケース１１において開口部１２と対向する面を本説明では底面部１３と呼び、開口部１２および底面部１３の周囲を取り囲む壁部を側壁部１４と呼ぶ。
【００２８】
張力付与手段７は、エア圧によって帯状ワーク２に非接触で張力を付与するものであり、本実施形態では、吸引力により帯状ワーク２に張力を付与する吸引ユニット７１が設けられている。具体的には、ダンサケース１１の底面部１３には、ブロワー７１ａ（図１参照）が設けられており、ダンサケース１１の底面部１３に設けられた複数の貫通孔１３ａを通じて連通されている。したがって、吸引ユニット７１であるブロワー７１ａを作動させると貫通孔１３ａを通じてダンサケース１１内の大気が排気され、開口部１２に吸引力が発生する。これにより、走行中の帯状ワーク２に張力を付与できるようになっている。
【００２９】
そして、帯状ワーク２が吸引ユニット７１により張力を受けると、ダンサケース１１上を走行していた帯状ワーク２がダンサケース１１内に引き込まれ、ダンサケース１１内に収容される。具体的には、開口部１２付近には、帯状ワーク２の走行方向を変えるローラー８が設けられており、吸引ユニット７１を作動させることにより、帯状ワーク２がローラー８を摺動し走行方向がダンサケース１１内に変更される。そして、ダンサケース１１内の帯状ワーク２は、ダンサケース１１の底面に到達する前に１８０°走行方向を変更し、開口部１２に設けられた下流側のローラー８に摺動することにより下流側のワーク処理ユニット５に向かって走行する。すなわち、帯状ワーク２は、ダンサケース１１内で略Ｕ字状に湾曲し、ダンサケース１１の底面部１３に向かう走行部２ａとダンサケース１１の底面部１３に到達する前に１８０°走行方向を変更する湾曲部２ｂと、開口部１２に向かう走行部２ａとを有する湾曲した姿勢を形成しつつ走行する。なお、帯状ワーク２に付与する張力は、吸引ユニット７１の吸引力を調節することにより調節することができる。その際、帯状ワーク２の湾曲部２ｂは、吸引ユニット７１の吸引力の強さによって位置が決定される。本実施形態では、帯状ワーク２がダンサケース１１の底面部１３に接触する前に湾曲部２ｂが位置するように設定されており、帯状ワーク２が底面部１３との接触により損傷することが回避される。
【００３０】
また、ダンサケース１１の側壁部１４のうち、収容した帯状ワーク２の走行部２ａの面と対向する側壁部１４には、間隙維持部９が設けられている。この間隙維持部９は、帯状ワーク２がダンサケース１１に接触することを防止するためのものである。具体的には、ダンサケース１１には、収容した帯状ワーク２の走行部２ａと対向する部分である側壁部１４に複数のエア噴出孔９ａおよび複数のエア吸引孔９ｂが形成されており、エア噴出孔９ａからエアが噴出され、また、エア吸引孔９ｂからエアが吸引されるように構成されている。
【００３１】
図３に本実施形態における側壁部１４の概略図を示す。なお、図３における二点鎖線は、走行部２ａの面が側壁部１４と対向するように収容された帯状ワーク２の一例を示している。本実施形態では、帯状ワーク２と対向する側壁部１４の帯状ワーク２と対向する部分には、複数のエア噴出孔９ａおよび複数のエア吸引孔９ｂとが一様に配置されている。すなわち、分布に偏りが無いようにエア噴出孔９ａおよびエア吸引孔９ｂが配置されている。なお、分布が一様であれば、図３のようにエア噴出孔９ａの個数はエア吸引孔９ｂの個数と異なっていても構わない。また、本実施形態では、エア噴出孔９ａから噴出されるエア量はほぼ一定に設定されている。
【００３２】
このように一様に配置されたエア噴出孔９ａおよびエア吸引孔９ｂからエアの噴出および吸引を同時に実施することにより、帯状ワーク２と側壁部１４との間に所定の隙間を設けて離間させることができ、帯状ワーク２がダンサケース１１と接触することを防止できるようになっている。
【００３３】
具体的には、吸引ユニット７１を作動させることにより帯状ワーク２は所定の張力が付与されると共に、その吸引力によりダンサケース１１内に湾曲した姿勢で収容される。この状態で吸引ユニット７１が作動し続けると、走行部２ａとダンサケース１１の側壁部１４との隙間に存在する大気が吸引ユニット７１側に流れることにより、帯状ワーク２の走行部２ａがダンサケース１１側に引き寄せられ、帯状ワーク２の走行部２ａが側壁部１４の方へ膨出するようになる。これに対し、エア噴出孔９ａから噴出されるエアによって側壁部１４と走行部２ａとの間に常にエアが介在する状態が形成されることにより、走行部２ａは側壁部１４から押し返され、走行部２ａがダンサケース１１内を非接触で走行することが維持される。これにより、ダンサケース１１に接触することが防止される。すなわち、帯状ワーク２に対して表面及び裏面共に損傷を与えることなく張力を付与することができる。
【００３４】
ここで、本実施形態のようにエアの噴出と吸引により押し引きのバランスをとって帯状ワーク２と側壁部１４とを離間させることにより、エアの噴出のみで帯状ワーク２を側壁部１４から離間させる場合と比べて帯状ワーク２のばたつきを生じさせにくくすることができ、また、両者の隙間を精度良く一定の値で維持することができる。
【００３５】
なお、図３に示すように、側壁部１４において、底面部１３の近傍など運用上帯状ワーク２の面（走行部２ａ）と対向しないであろう部分にはエア噴出孔９ａおよびエア吸引孔９ｂが配置されていなくても構わない。すなわち、少なくとも帯状ワーク２と対向する部分においてはエア噴出孔９ａおよびエア吸引孔９ｂが一様に配置されているが、それ以外の部分においてはエア噴出孔９ａおよびエア吸引孔９ｂが一様に配置されていなくても構わない。
【００３６】
次に、本発明の別の実施形態について図４を用いて説明する。
【００３７】
上述の実施形態では、張力付与手段７として吸引ユニット７１を設ける例について説明したが、この実施形態では帯状ワーク２にエアを吹き付けるエア供給部７２により張力を付与するものを設けている。具体的には、図４に示すように、帯状ワーク２の湾曲部２ｂを挟んでダンサケース１１の底面部１３の反対側にエア供給部７２としてのエアノズルが設けられており、このエアノズルからエアが噴出されるように構成されている。そして、エアノズルから噴出されるエアが走行中の帯状ワーク２に当たることにより帯状ワーク２に張力が付与される。このように帯状ワーク２にエアを吹き付ける構成であっても、帯状ワーク２に損傷を与えることなく張力を付与することができる。なお、張力付与手段７として吸引ユニット７１とエア供給部７２の例について説明したが、図４のようにこれらを両方同時に用いるものであっても良いし、いずれか一方のみ用いても良い。
【００３８】
また、図４に示すように、エア供給部７２はダンサケース１１の深さ方向に移動するものであってもよい。このようにエア供給部７２がダンサケース１１の深さ方向に移動する構成では、帯状ワーク２に大きな張力を付与したい場合にエアの出力を大きくして帯状ワーク２がダンサケース１１の底面部１３に接触するのを避けるべくダンサケース１１を深く形成した場合であっても、エア供給部７２が常に帯状ワーク２の湾曲部２ｂの位置に追従して移動できるため、噴出したエアが確実に湾曲部２ｂへ作用し、帯状ワーク２に安定して張力を付与することができる。
【００３９】
また、帯状ワーク２の走行部２ａと側壁部１４との距離を所定値で維持するためには、走行部２ａにおいてエアの供給と吸引の均衡をくずすことなく、両者のバランスを維持する必要がある。したがって、エア供給部７２からのエアの供給は可能な限り走行部２ａには影響させず湾曲部２ｂにのみ作用するようにさせることが好ましく、この観点からもエア供給部７２は図４に示すように湾曲部２ｂの位置に追従するように移動することが好ましい。
【００４０】
なお、図４に示す実施形態では、帯状ワーク２に対して底面部１３の反対側からエアを噴出することにより帯状ワーク２に安定して張力を付与しているが、間隙維持部９と同様の要領で帯状ワーク２に対して底面部１３の反対側からエアの噴出と吸引を同時に行い、これらのバランスによって帯状ワーク２に安定して張力を付与しても良い。
【００４１】
次に、本発明におけるさらに別の実施形態を図５を用いて説明する。
【００４２】
上述の実施形態では、ダンサケース１１のエア噴出孔９ａから噴出されるエアの出力がいずれのエア噴出孔９ａにおいても一定である例について説明したが、ダンサケース１１の開口部１２付近に比べて底面部１３側でエアが強く噴出されるように設定されていてもよい。すなわち、張力付与手段７が強く作用した場合に湾曲部２ｂが走行部２ａに比べて膨出して側壁部１４と接触するおそれがあることに対し、図５における二点鎖線の楕円で囲った部分が示すように、帯状ワーク２が膨出する部分、すなわち、底面部１３付近のエア噴出孔９ａから噴出されるエアの出力が他のエア噴出孔９ａから噴出されるエアの出力よりも大きくなるように設定されることにより、膨出する部分のみをダンサケース１１との接触から回避させることができる。さらに具体的には、湾曲部２ｂの位置に追従し、湾曲部２ｂに対向するエア噴出孔９ａから噴出されるエアの出力を他のエア噴出孔９ａから噴出されるエアの出力よりも高くすることにより、湾曲部２ｂを安定して形成させ、帯状ワーク２が側壁部１４と接触することを回避することができる。
【００４３】
また、上記の実施形態では、エア噴出孔９ａから噴出されるエアの出力を調節しているが、エア吸引孔９ｂから吸引されるエアの出力を調節しても良い。すなわち、湾曲部２ｂの位置に追従し、湾曲部２ｂに対向するエア吸引孔９ｂから吸引されるエアの出力を他のエア吸引孔９ｂから吸引されるエアの出力よりも低くすることにより、湾曲部２ｂを安定して形成させても良い。また、エア噴出孔９ａから噴出されるエアの出力とエア吸引孔９ｂから吸引されるエアの出力の両方を調節しても良い。
【００４４】
以上のエアダンサーにより、フィルムのような薄い帯状ワークに傷を付けることなく張力を付与することが可能である。
【００４５】
ここで、本発明の制御機構は、以上で説明した形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであってもよい。たとえば、上記の説明では、ＴＦＴ回路パターンの印刷を行う印刷装置に本発明のエアダンサー１が適用される例を説明したが、印刷装置に限るものではなく、ロール・トゥ・ロール方式により帯状ワーク２に損傷を与えることなく搬送する必要のある装置であれば適用する装置は特に限定しない。
【符号の説明】
【００４６】
１  エアダンサー
２  帯状ワーク
２ａ  走行部
２ｂ  湾曲部
３  送出ロール
４  保持ユニット
５  ワーク処理ユニット
６  巻取ロール
７  張力付与手段
８  ローラー
９  間隙維持部
９ａ  エア噴出孔
９ｂ  エア吸引孔
１１  ダンサケース
１２  開口部
１３  底面部
１３ａ  貫通孔
１４  側壁部
７１  吸引ユニット
７１ａ  ブロワー
７２  エア供給部
１０１  ダンサケース
１０２  底面部
１０３  吸引ユニット
１０４  帯状ワーク
１０５  走行部
１０６  湾曲部
１０７  側壁部
１０８  エア噴出孔
【図１】
2020001878.tif 000003
【図２】
2020001878.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2020001878.tif 000008
【図７】
2020001878.tif 000009