(57)【要約】【課題】第１ワークと第２ワークの間に空気が入り込むことを抑制できるワーク貼合装置及びマスクを提供する。【解決手段】ワーク貼合装置１０は、内部空間２１ａを有する上チャンバ２１と、第１ワークＷ１が設置される内部空間３１ａを有し、上チャンバ２１と対向する位置に設けられる下チャンバ３１と、内部空間２１ａを閉じるように上チャンバ２１に装着され、内部空間２１ａの加圧に伴い膨張することにより第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に向けて押すダイヤフラム膜２２と、ダイヤフラム膜２２と第２ワークＷ２の間に設けられるマスク２８と、を備える。マスク２８は、第２ワークＷ２に対向する位置に形成され、膨張したダイヤフラム膜２２が通過する開口孔部２８ｅを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１内部空間を有する第１チャンバと、
第１ワークが設置される第２内部空間を有し、前記第１チャンバと対向する位置に設けられる第２チャンバと、
前記第１内部空間を閉じるように前記第１チャンバに装着され、前記第１内部空間の加圧に伴い膨張することにより第２ワークを前記第１ワークに向けて押すダイヤフラム膜と、
前記ダイヤフラム膜と前記第２ワークの間に設けられるマスクと、を備え、
前記マスクは、前記第２ワークに対向する位置に形成され、膨張した前記ダイヤフラム膜が通過する開口孔部を有する、
ワーク貼合装置。
【請求項２】
前記開口孔部は、前記第２ワークよりも小さい面積で、前記第２ワークと同一の縦横比を有する、
請求項１に記載のワーク貼合装置。
【請求項３】
前記マスクは複数の片部に分割され、
前記ワーク貼合装置は、前記ダイヤフラム膜が膨張した状態から前記複数の片部を互いに離れるように移動させるマスク駆動部を備える、
請求項１又は２に記載のワーク貼合装置。
【請求項４】
前記第２ワークが装着されるステージ部を有し、前記マスクと前記第１ワークの間に設けられ、前記マスクの前記開口孔部を通過した前記ダイヤフラム膜により押されることにより前記第２ワークを前記第１ワークに貼り合わせるワークステージを備える、
請求項１から３の何れか１項に記載のワーク貼合装置。
【請求項５】
第１内部空間を有する第１チャンバと、第１ワークが設置される第２内部空間を有し、前記第１チャンバと対向する位置に設けられる第２チャンバと、前記第１内部空間を閉じるように前記第１チャンバに装着され、前記第１内部空間の加圧に伴い膨張することにより第２ワークを前記第１ワークに向けて押すダイヤフラム膜と、を備えるワーク貼合装置に装着され、前記ダイヤフラム膜と前記第２ワークの間に設けられるマスクであって、
前記第２ワークに対向する位置に形成され、膨張した前記ダイヤフラム膜が通過する開口孔部を有する、
マスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク貼合装置及びマスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、基板等の第１ワークにフィルム等の第２ワークを貼り合わせるワーク貼合装置が知られている。例えば、特許文献１に記載のワーク貼合装置は、空圧凹部を覆うダイヤフラム膜を有する可動チャンバ体と、可動チャンバ体に対向して位置する固定チャンバ体と、を備える。固定チャンバ体内には第１ワークが装着され、ダイヤフラム膜には第２ワークが装着される。そして、可動チャンバ体と固定チャンバ体により囲まれた空間と空圧凹部の内部空間が真空状態とされる。この状態から、空圧凹部の内部空間が真空状態から大気圧に急減に加圧されることにより、ダイヤフラム膜が第１ワークに向かって膨張し、第２ワークが第１ワークに押し付けられる。これにより、第２ワークが第１ワークに貼り合わされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−４９０４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
第２ワークは、その中心位置から外側に向かって順に第１ワークに貼り合わされることが理想であり、これにより、第１ワークと第２ワークの間に空気が入り込むことが抑制される。しかしながら、上記特許文献１の構成においては、空圧凹部の内部空間は真空状態から大気圧となるように加圧されるため、ダイヤフラム膜は急激に膨張する。このため、ダイヤフラム膜により第２ワークが押される位置及び範囲を規定することが困難であった。例えば、図６に模式的に示すように、膨張する過程でダイヤフラム膜１２２が波打つと、ダイヤフラム膜１２２は第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２にて第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に向けて押す。この場合、第２ワークＷ２が第１ワークＷ１に対して撓んだ状態となり、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の間に空気が入り込むおそれがあった。
【０００５】
本発明は、上記実状を鑑みてなされたものであり、第１ワークと第２ワークの間に空気が入り込むことを抑制できるワーク貼合装置及びマスクを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係るワーク貼合装置は、第１内部空間を有する第１チャンバと、第１ワークが設置される第２内部空間を有し、前記第１チャンバと対向する位置に設けられる第２チャンバと、前記第１内部空間を閉じるように前記第１チャンバに装着され、前記第１内部空間の加圧に伴い膨張することにより第２ワークを前記第１ワークに向けて押すダイヤフラム膜と、前記ダイヤフラム膜と前記第２ワークの間に設けられるマスクと、を備え、前記マスクは、前記第２ワークに対向する位置に形成され、膨張した前記ダイヤフラム膜が通過する開口孔部を有する。
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の第２の観点に係るマスクは、第１内部空間を有する第１チャンバと、第１ワークが設置される第２内部空間を有し、前記第１チャンバと対向する位置に設けられる第２チャンバと、前記第１内部空間を閉じるように前記第１チャンバに装着され、前記第１内部空間の加圧に伴い膨張することにより第２ワークを前記第１ワークに向けて押すダイヤフラム膜と、を備えるワーク貼合装置に装着され、前記ダイヤフラム膜と前記第２ワークの間に設けられるマスクであって、前記第２ワークに対向する位置に形成され、膨張した前記ダイヤフラム膜が通過する開口孔部を有する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ワーク貼合装置及びマスクにおいて、第１ワークと第２ワークの間に空気が入り込むことを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る上チャンバが閉じた状態のワーク貼合装置の概略図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る（ａ）は上チャンバが開いた状態のワーク貼合装置の概略図であり、（ｂ）はマスクが閉じられたときのワーク貼合装置の概略図であり、（ｃ）はマスクが開かれたときのワーク貼合装置の概略図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係るマスクの平面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る（ａ）は上チャンバが開いた状態のワーク貼合装置の概略図であり、（ｂ）は上チャンバが閉じた状態のワーク貼合装置の概略図であり、（ｃ）は第２ワークが第１ワークに貼り合わされる際のワーク貼合装置の概略図である。
【図５】本発明の第３の実施形態に係る（ａ）は上チャンバが閉じた状態のワーク貼合装置の概略図であり、（ｂ）は第２ワークが第１ワークに貼り合わされる際のワーク貼合装置の概略図である。
【図６】背景技術に係るダイヤフラム膜が膨張する際のワーク貼合装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（第１の実施形態）
本発明に係るワーク貼合装置の第１の実施形態について、図面を参照して説明する。
図１に示すように、ワーク貼合装置１０は、第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に貼り付ける２層真空チャンバ方式の装置である。ワーク貼合装置１０は、上チャンバ２１と、下チャンバ３１と、ダイヤフラム膜２２と、マスクシャッター装置２９と、ワーク支持台３２と、制御部４０と、真空ポンプ４１と、チャンバ駆動部４２と、切替弁４３ａ，４３ｂと、開放弁４３ｃと、を備える。
【００１１】
下チャンバ３１は上チャンバ２１に向けて開口する箱状をなす。下チャンバ３１は、上チャンバ２１が閉じられることにより密閉された空間となる内部空間３１ａを有する。
ワーク支持台３２は、内部空間３１ａの内底面に固定される板状をなす。ワーク支持台３２の上面には第１ワークＷ１が装着される。
【００１２】
上チャンバ２１は下チャンバ３１に向けて開口する箱状をなす。上チャンバ２１の開口側の端面にはダイヤフラム膜２２の外周縁部が固定されている。ダイヤフラム膜２２により上チャンバ２１の内部空間２１ａが密閉される。ダイヤフラム膜２２は、上チャンバ２１の内部空間２１ａが加圧されることにより弾性変形する弾性体、例えばゴム等の超弾性体からなる。
【００１３】
図１に示すように、チャンバ駆動部４２は、制御部４０による制御のもと、上チャンバ２１を下チャンバ３１に対して接近又は離間するように移動させる。チャンバ駆動部４２は、例えば、油圧又は空気圧で動作するシリンダである。
【００１４】
開放弁４３ｃは、上チャンバ２１に設けられ、制御部４０による制御のもと開かれることにより上チャンバ２１の内部空間２１ａを大気圧とする。
切替弁４３ａは、真空ポンプ４１と上チャンバ２１の内部空間２１ａの間を接続する流路４５ａに設けられる。切替弁４３ａは、制御部４０による制御のもと、流路４５ａを導通させた開状態と流路４５ａを遮断させた閉状態の間で切り替わる。
切替弁４３ｂは、真空ポンプ４１と下チャンバ３１の内部空間３１ａの間を接続する流路４５ｂに設けられる。切替弁４３ｂは、制御部４０による制御のもと、流路４５ｂを流体的に導通させた開状態と流路４５ｂを流体的に遮断させた閉状態の間で切り替わる。
真空ポンプ４１は、制御部４０による制御のもと動作し、上チャンバ２１の内部空間２１ａ及び下チャンバ３１の内部空間３１ａの少なくとも何れかを真空状態とする。
【００１５】
制御部４０は、マスクシャッター装置２９、チャンバ駆動部４２、真空ポンプ４１、切替弁４３ａ，４３ｂ及び開放弁４３ｃを制御する。制御部４０は、制御処理を実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＣＰＵの動作プログラム等が記憶されるＲＯＭ（Read Only Memory）、ＣＰＵのワークエリアとして利用されるＲＡＭ（Random Access Memory）等を備える。
【００１６】
図１に示すように、マスクシャッター装置２９は、マスク２８と、シリンダ２５ａ，２５ｂと、出力軸２８ｆ，２８ｇと、軸支持部２６ａ，２６ｂと、固定部２７と、を備える。
【００１７】
図１及び図３に示すように、マスク２８は、ダイヤフラム膜２２と第２ワークＷ２の間に設けられ、膨張するダイヤフラム膜２２が第２ワークＷ２に接触する位置及び範囲を規定する機能を有する。マスク２８は既存の貼合装置に後付け可能である。マスク２８は、ダイヤフラム膜２２の膨張により変形しない材質及び形状で形成されている。マスク２８は第２ワークＷ２に対向する開口孔部２８ｅを有する枠状をなす。開口孔部２８ｅはマスク２８の中心位置Ｃに形成される。開口孔部２８ｅの中心位置Ｃは第２ワークＷ２の中心位置Ｃに一致する。開口孔部２８ｅの周縁部は、図１の下方向に向かうにつれて開口孔部２８ｅの中心位置Ｃに近づくように傾斜する傾斜面２８ｄを有する。傾斜面２８ｄは、マスク２８が開かれる際にダイヤフラム膜２２を第２ワークＷ２にスムーズに接触させる機能を有する。
図３に示すように、開口孔部２８ｅは、第２ワークＷ２よりも小さいサイズで第２ワークＷ２と同一の縦横比（図３の左右方向の長さと上下方向の長さの比）を有する。本例では、開口孔部２８ｅは第２ワークＷ２と相似形をなす。例えば、マスク２８、開口孔部２８ｅ及び第２ワークＷ２は長方形状をなす。マスク２８は、第１片部２８ａ及び第２片部２８ｂに分割される。第１片部２８ａ及び第２片部２８ｂは、それぞれ同一の凹字形状に形成され、互いに対向するようにＸ方向（図３の左右方向）に並べられる。第１片部２８ａ及び第２片部２８ｂの境界線２８ｃは、マスク２８のＸ方向の中央に位置し、Ｙ方向（図３の上下方向）に延びる。マスク２８が開かれたとき第１片部２８ａ及び第２片部２８ｂは離間し、マスク２８が閉じられたとき第１片部２８ａ及び第２片部２８ｂは接触する。
【００１８】
図１に示すように、シリンダ２５ａ，２５ｂは、下チャンバ３１の外部に設けられ、制御部４０による制御のもとマスク２８を開閉する。シリンダ２５ａは出力軸２８ｇを介してマスク２８の第１片部２８ａに接続される。シリンダ２５ｂは出力軸２８ｆを介してマスク２８の第２片部２８ｂに接続される。
シリンダ２５ａは、制御部４０による制御のもと、第１片部２８ａをＸ方向に移動させる。シリンダ２５ｂは、制御部４０による制御のもと、第２片部２８ｂをＸ方向に移動させる。
【００１９】
固定部２７は、下チャンバ３１の開口側の端面に固定される環状の金具である。固定部２７は、出力軸２８ｆ，２８ｇが通過する孔部２７ａと、ダイヤフラム膜２２の下面外周縁部を支持する支持面２７ｂと、第１片部２８ａ及び第２片部２８ｂが第２ワークＷ２から離れたときに入り込む凹部２７ｃと、を備える。支持面２７ｂにおける中心位置Ｃ側の周縁面は、下方向に向かうにつれて中心位置Ｃに近づく傾斜面を有する。支持面２７ｂはマスク２８の上面に連続する。支持面２７ｂとマスク２８の上面は、ダイヤフラム膜２２のうち開口孔部２８ｅに対向しない領域を支持する。
軸支持部２６ａ，２６ｂは、固定部２７における支持面２７ｂの下方向に固定され、それぞれ出力軸２８ｆ，２８ｇを支持する。
【００２０】
次に、ワーク貼合装置１０の作用について説明する。
まず、図２（ａ）に示すように、マスク２８が開かれ、かつ上チャンバ２１が下チャンバ３１に対して開いた状態で、第１ワークＷ１がワーク支持台３２の上面に設置され、第１ワークＷ１の上面に第２ワークＷ２が設置される。第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の間には接着剤、例えば、シート状のＯＣＡ（Optical Clear Adhesive）や液体状のＯＣＲ（Optical Clear Resin）が設けられる。
【００２１】
次に、図１に示すように、制御部４０は、チャンバ駆動部４２を介して上チャンバ２１を下チャンバ３１に対して閉じるとともに、シリンダ２５ａ，２５ｂを介してマスク２８を閉じる。そして、制御部４０は、切替弁４３ａ，４３ｂを開状態とし、真空ポンプ４１を動作させる。これにより、下チャンバ３１の内部空間３１ａと上チャンバ２１の内部空間２１ａが真空状態となる。この状態において、制御部４０は、切替弁４３ａを閉じ、開放弁４３ｃを開くことにより上チャンバ２１の内部空間２１ａを大気圧まで加圧する。これにより、図２（ｂ）に示すように、ダイヤフラム膜２２はマスク２８の開口孔部２８ｅを通って第１ワークＷ１に向かって膨張し、第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に向けて押し付ける。この際、図２（ｂ）の破線で示すように、ダイヤフラム膜２２は中心位置Ｃから外側に向かって順に第２ワークＷ２に接触していく。よって、第２ワークＷ２の中央部が第２ワークＷ２の外周側よりも先に第１ワークＷ１に接着される。これにより、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の間に空気が入り込むことが抑制される。また、マスク２８により、膨張するダイヤフラム膜２２が第２ワークＷ２に接触する位置及び範囲が規定され、ダイヤフラム膜２２が波打って第２ワークＷ２に接触することが抑制される。
【００２２】
ダイヤフラム膜２２がマスク２８の開口孔部２８ｅに対向する全範囲に接触すると、制御部４０は、シリンダ２５ａ，２５ｂを介して、図２（ｃ）に示すように、マスク２８を開く。このとき、第１片部２８ａ及び第２片部２８ｂはＸ方向において第２ワークＷ２から離間し、固定部２７の凹部２７ｃに退避する。この際の第１片部２８ａ及び第２片部２８ｂの移動速度と移動開始タイミングは、互いに同じであってもよいし、異なっていてもよい。第１片部２８ａ及び第２片部２８ｂが第２ワークＷ２から退避することにより、ダイヤフラム膜２２はＸ方向の外側に向かって第２ワークＷ２に接触していき、第２ワークＷ２のＸ方向の外側を第１ワークＷ１に押し付ける。これにより、第２ワークＷ２の第１ワークＷ１に対する貼り合わせが完了する。
【００２３】
第２ワークＷ２と第１ワークＷ１の貼り合わせが完了した後、制御部４０は、内部空間３１ａも大気圧として、上チャンバ２１を下チャンバ３１に対して開く。これにより、第２ワークＷ２が貼り合わされた第１ワークＷ１は下チャンバ３１から取り出し可能となる。
なお、本実施形態において、第１ワークＷ１及び第２ワークＷ２は、長方形状及び正方形を含む多角形板状、円板状又は楕円板状等の何れの形状であってもよい。
また、第１ワークＷ１は、例えば、液晶基板、プラズマディスプレイ基板又は太陽電池モジュール基板等である。第２ワークＷ２は、例えば、静電防止用、反射防止用等の各種機能性フィルムである。
【００２４】
（効果）
以上、説明した第１の実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）ワーク貼合装置１０は、第１内部空間の一例である内部空間２１ａを有する第１チャンバの一例である上チャンバ２１と、第１ワークＷ１が設置される第２内部空間の一例である内部空間３１ａを有し、上チャンバ２１と対向する位置に設けられる第２チャンバの一例である下チャンバ３１と、内部空間２１ａを閉じるように上チャンバ２１に装着され、内部空間２１ａの加圧に伴い膨張することにより第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に向けて押すダイヤフラム膜２２と、ダイヤフラム膜２２と第２ワークＷ２の間に設けられるマスク２８と、を備える。マスク２８は、第２ワークＷ２に対向する位置に形成され、膨張したダイヤフラム膜２２が通過する開口孔部２８ｅを有する。
この構成によれば、マスク２８によりダイヤフラム膜２２が第２ワークＷ２を押す位置及び範囲が規定される。これにより、膨張したダイヤフラム膜２２が波打った状態で第２ワークＷ２を押すことが抑制される。また、第２ワークＷ２の中央部が第２ワークＷ２の外周側よりも先に第１ワークＷ１に接着される。よって、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の間に空気が入り込むことが抑制される。
【００２５】
（２）開口孔部２８ｅは、第２ワークＷ２よりも小さい面積で、第２ワークＷ２と同一の縦横比を有する。
この構成によれば、開口孔部２８ｅは第２ワークＷ２よりも小さい面積である。このため、マスク２８の開口孔部２８ｅを通過したダイヤフラム膜２２が第２ワークＷ２の中央部を押す。よって、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の間に空気が入り込むことが抑制される。
また、開口孔部２８ｅは第２ワークＷ２と同一の縦横比を有する。このため、マスク２８の開口孔部２８ｅを通過したダイヤフラム膜２２はバランス良く第２ワークＷ２を押すことができる。
【００２６】
（３）マスク２８は第１片部２８ａ及び第２片部２８ｂに分割される。ワーク貼合装置１０は、ダイヤフラム膜２２が膨張した状態から第１片部２８ａ及び第２片部２８ｂを互いに離れるように移動させるマスク駆動部の一例であるシリンダ２５ａ，２５ｂを備える。
この構成によれば、第１片部２８ａ及び第２片部２８ｂは、ダイヤフラム膜２２が膨張した状態から互いに離れるように移動する。第１片部２８ａ及び第２片部２８ｂが互いに離れるように移動するにつれて、ダイヤフラム膜２２は外側に向かって第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に押し付けていく。よって、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の間に空気が入り込むことが抑制される。
【００２７】
（第２の実施形態）
本発明に係るワーク貼合装置の第２の実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態では、マスクが分割されておらず、マスクが開閉しない点が上記第１の実施形態と異なる。以下、第１の実施形態との相違点を中心に説明する。
【００２８】
図４（ａ）に示すように、マスク１２８は、開口孔部１２８ｅを有する一体の枠板状をなす。マスク１２８は、ダイヤフラム膜２２の下側であって、上チャンバ２１の開口側の端面に固定されている。
本実施形態では、第１の実施形態におけるシリンダ２５ａ，２５ｂ、出力軸２８ｆ，２８ｇ、軸支持部２６ａ，２６ｂ及び固定部２７は省略されている。
【００２９】
本実施形態の作用について説明する。図４（ａ），（ｂ）に示すように、ワーク支持台３２に第１ワークＷ１と第２ワークＷ２が設置された状態で、上チャンバ２１が下チャンバ３１に対して閉じる。そして、上記第１の実施形態と同様に、上チャンバ２１の内部空間２１ａが加圧されると、図４（ｃ）に示すように、膨張するダイヤフラム膜２２はマスク１２８の開口孔部１２８ｅを通って第１ワークＷ１に向かって膨張し、第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に向けて押し付ける。この際、図４（ｃ）の破線で示すように、ダイヤフラム膜２２は中心位置Ｃから外側に向かって第２ワークＷ２に接触していく。これにより、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の間に空気が入り込むことが抑制される。
【００３０】
（効果）
以上、説明した第２の実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）マスク１２８は、第２ワークＷ２に対向する位置に形成され、膨張したダイヤフラム膜２２が通過する開口孔部１２８ｅを有する。
この構成によれば、マスク１２８によりダイヤフラム膜２２が第２ワークＷ２を押す位置及び範囲が規定される。よって、上記第１の実施形態と同様に、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の間に空気が入り込むことが抑制される。
【００３１】
（第３の実施形態）
本発明に係るワーク貼合装置の第３の実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態では、ダイヤフラム膜が直接に第２ワークを押さず、ワークステージを介して第２ワークを押す点が上記第１の実施形態と異なる。以下、第１の実施形態との相違点を中心に説明する。
【００３２】
図５（ａ）に示すように、ワークステージ６５はマスク１２８とワーク支持台３２の間に設けられる。ワークステージ６５の外周縁部はマスク１２８の下側において上チャンバ２１の開口側の端面に固定されている。ワークステージ６５は既存の貼合装置に後付け可能である。ワークステージ６５は、ダイヤフラム膜２２の膨張によってワーク支持台３２に近づく方向に押されることにより、第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に貼り付ける。
【００３３】
詳しくは、ワークステージ６５は、第２ワークＷ２が装着されるステージ部６３と、ステージ部６３を弾性的に上チャンバ２１に支持するステージ支持部６４と、を備える。例えば、ステージ部６３及びステージ支持部６４は弾性体、例えば、塩化ビニル、ゴム等により形成される。ステージ部６３及びステージ支持部６４は、同一の材質で形成されてもよいし、異なる材質で形成されてもよい。
また、図５（ａ）に示すように、ワーク支持台３２の上面には、Ｘ方向（図５の左右方向）において凹状に湾曲した底面を有する収容凹部３２ａが形成されている。収容凹部３２ａの底面には、底面に沿った曲板状の第１ワークＷ１が装着されている。
複数のピロー３３は、収容凹部３２ａをＸ方向に挟み込むようにワーク支持台３２の上面に配置される。図５（ｂ）に示すように、上チャンバ２１が下チャンバ３１に対して閉じたとき、複数のピロー３３は、ワークステージ６５に接触し、ワークステージ６５を下方向から支持する。
【００３４】
図５（ｂ）に示すように、膨張したダイヤフラム膜２２は、マスク１２８の開口孔部１２８ｅを通過して、ワークステージ６５のステージ部６３を第１ワークＷ１に向けて押す。これにより、ステージ部６３は凹状に撓み、第２ワークＷ２の中心位置Ｃが第１ワークＷ１の中心位置Ｃに接触する。このとき、ステージ部６３の曲率は第１ワークＷ１の曲率よりも大きくなる。この状態から、ダイヤフラム膜２２の膨張が進行すると、ステージ部６３の曲率が小さくなることにより、第２ワークＷ２が中心位置Ｃから外側に向けて第１ワークＷ１に貼り合わされる。
本実施形態におけるマスク１２８は、上記第１の実施形態と同様に、開閉可能に構成されてもよい。
【００３５】
（効果）
以上、説明した第３の実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）ワーク貼合装置１０は、第２ワークＷ２が装着されるステージ部６３を有し、マスク１２８と第１ワークＷ１の間に設けられ、マスク１２８の開口孔部１２８ｅを通過したダイヤフラム膜２２により押されることにより第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に貼り合わせるワークステージ６５を備える。
この構成によれば、ダイヤフラム膜２２が膨張する際に、ダイヤフラム膜２２が波打った状態となっても、第２ワークＷ２が装着されるステージ部６３が波打つことが抑制される。よって、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の間に空気が入り込むことが抑制される。
【００３６】
なお、本発明は以上の実施形態及び図面によって限定されるものではない。本発明の要旨を変更しない範囲で、適宜、変更（構成要素の削除も含む）を加えることが可能である。以下に、変形の一例を説明する。
【００３７】
（変形例）
上記各実施形態においては、マスク２８，１２８の開口孔部２８ｅ，１２８ｅは、第２ワークＷ２よりも小さい面積で形成されていたが、これに限らず、第２ワークＷ２よりも大きい面積で形成されてもよい。
また、マスク２８，１２８の開口孔部２８ｅ，１２８ｅは、第２ワークＷ２と同一の縦横比を有していたが、異なる縦横比を有していてもよい。
【００３８】
上記各実施形態においては、チャンバ駆動部４２は上チャンバ２１を移動させていたが、これに限らず、下チャンバ３１を移動させてもよい。
【００３９】
上記各実施形態におけるマスク２８，１２８は、長方形板状であったが、これに限らず、正方形板状を含む多角形板状であってもよい。また、マスク２８，１２８は楕円を含む円板状に形成されてもよい。開口孔部２８ｅ，１２８ｅは、マスク１２８と同様に、正方形板状を含む多角形であってもよいし、楕円を含む円形であってもよい。また、開口孔部２８ｅ，１２８ｅはマスク２８，１２８の中心位置に形成されていたが、中心位置から離れた位置に形成されてもよい。
【００４０】
上記第１の実施形態においては、マスク２８は２つの片部２８ａ，２８ｂに分割されていたが、３つ以上の片部に分割されてもよい。例えば、片部の数をｎ個（ｎは自然数）とした場合、「３６０°／ｎ」にて算出される角度間隔で異なる方向に各片部を移動させる。また、マスク２８は、カメラのシャッターと同様の複数の羽根状の片部を備えていてもよい。
【００４１】
上記第１の実施形態においては、図２（ａ）に示すように、第２ワークＷ２は、第１ワークＷ１の上面に装着されていたが、これに限らず、マスク２８の下面に装着されてもよい。これと同様に、上記第２の実施形態において、第２ワークＷ２はマスク１２８の下面に装着されてもよい。
【符号の説明】
【００４２】
１０…ワーク貼合装置、２１…上チャンバ、２１ａ，３１ａ…内部空間、２２，１２２…ダイヤフラム膜、２５ａ，２５ｂ…シリンダ、２８，１２８…マスク、２８ａ…第１片部、２８ｂ…第２片部、２８ｄ…傾斜面、２８ｅ，１２８ｅ…開口孔部、２９…マスクシャッター装置、３１…下チャンバ、３２…ワーク支持台、３２ａ…収容凹部、３３…ピロー、４０…制御部、４１…真空ポンプ、４２…チャンバ駆動部、４３ａ，４３ｂ…切替弁、４３ｃ…開放弁、６３…ステージ部、６４…ステージ支持部、６５…ワークステージ、Ｃ…中心位置、Ｗ１…第１ワーク、Ｗ２…第２ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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