(57)【要約】【課題】移動体の動作時に保持部材に発生する機械振動を低減する。【解決手段】作業装置１０は、第１移動体１Ａと、第１保持部材２Ａと、第１制振ユニット３Ａと、を備える。第１移動体１Ａは、第１対象物に第２対象物を実装する第１実装部１１Ａ、及び第１実装部１１Ａが第１方向に沿って移動可能な状態で第１実装部１１Ａを保持する第１軸部材１２Ａを有する。第１保持部材２Ａは、第１軸部材１２Ａが第１方向と交差する第２方向に沿って移動可能な状態で第１軸部材１２Ａを保持する。第１制振ユニット３Ａは、第１軸部材１２Ａの動作に連動して第２方向に沿って移動する第１制振部材３１Ａを含み、少なくとも一部が第１保持部材２Ａに接している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１対象物に第２対象物を実装する実装部、及び前記実装部が第１方向に沿って移動可能な状態で前記実装部を保持する軸部材を有する移動体と、
前記軸部材が前記第１方向と交差する第２方向に沿って移動可能な状態で前記軸部材を保持する保持部材と、
前記軸部材の動作に連動して前記第２方向に沿って移動する制振部材を含み、少なくとも一部が前記保持部材に接している制振ユニットと、を備える、
作業装置。
【請求項２】
前記保持部材は、床面に固定された装置本体に取り付けられており、
前記制振ユニットは、前記床面側から見て、前記保持部材における前記床面から遠い側の端部に位置している、
請求項１に記載の作業装置。
【請求項３】
前記制振ユニットは、前記第２方向における前記保持部材の端部に位置している、
請求項２に記載の作業装置。
【請求項４】
前記第１方向における前記制振ユニットの幅寸法は、前記第１方向における前記保持部材の幅寸法以下である、
請求項１〜３のいずれか１項に記載の作業装置。
【請求項５】
前記制振ユニットは、前記制振部材を駆動する制振用リニアモータを更に含む、
請求項１〜４のいずれか１項に記載の作業装置。
【請求項６】
前記制振部材は、前記制振用リニアモータからの駆動力によって前記第２方向に沿って直線的に移動する、
請求項５に記載の作業装置。
【請求項７】
前記保持部材としての第１保持部材と共に、前記軸部材が前記第２方向に沿って移動可能な状態で前記軸部材を保持する第２保持部材を更に備え、
前記第１保持部材は、前記第１方向における前記軸部材の一端部を保持し、
前記第２保持部材は、前記第１方向における前記軸部材の他端部を保持する、
請求項１〜６のいずれか１項に記載の作業装置。
【請求項８】
前記制振ユニットとしての第１制振ユニットとは異なる第２制振ユニットを更に備え、
前記第２制振ユニットは、前記制振部材としての第１制振部材とは異なり、前記軸部材の動作に連動して前記第２方向に沿って移動する第２制振部材を含み、
前記第２制振ユニットの少なくとも一部が前記第２保持部材に接している、
請求項７に記載の作業装置。
【請求項９】
前記実装部としての第１実装部とは異なる第２実装部、及び前記軸部材としての第１軸部材とは異なり、前記第２実装部が前記第１方向に沿って移動可能な状態で前記第２実装部を保持する第２軸部材を有し、前記移動体としての第１移動体とは異なる第２移動体と、
前記制振部材としての第１制振部材とは異なり、前記第２軸部材の動作に連動して前記第２方向に沿って移動する第２制振部材を含み、前記制振ユニットとしての第１制振ユニットとは異なる第２制振ユニットと、を更に備える、
請求項１〜８のいずれか１項に記載の作業装置。
【請求項１０】
前記保持部材としての第１保持部材と共に、前記第１軸部材及び前記第２軸部材が前記第２方向に沿って移動可能な状態で前記第１軸部材及び前記第２軸部材を保持する第２保持部材を更に備え、
前記第２制振ユニットの少なくとも一部が前記第２保持部材に接している、
請求項９に記載の作業装置。
【請求項１１】
前記実装部の動作に連動して前記第１方向に沿って移動する実装部用制振部材を含み、少なくとも一部が前記軸部材に接している実装部用制振ユニットを更に備える、
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の作業装置。
【請求項１２】
前記軸部材の移動を開始する第１開始時間と前記制振部材の移動を開始する第２開始時間とが一致し、かつ前記軸部材の移動が完了する第１完了時間と前記制振部材の移動が完了する第２完了時間とが一致している、
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の作業装置。
【請求項１３】
前記軸部材は、前記第１開始時間と前記第１完了時間とで規定される第１移動期間において、複数の加加速度点で加速度が変化するように移動し、
前記制振部材は、前記複数の加加速度点のうち少なくとも１つの加加速度点において発生する振動を制振するように構成されている、
請求項１２に記載の作業装置。
【請求項１４】
所定の作業を行う作業部、及び前記作業部が第１方向に沿って移動可能な状態で前記作業部を保持する軸部材を有する移動体と、
前記軸部材が前記第１方向と交差する第２方向に沿って移動可能な状態で前記軸部材を保持する保持部材と、
前記軸部材の動作に連動して前記第２方向に沿って移動する制振部材を含み、少なくとも一部が前記保持部材に接している制振ユニットと、を備える、
作業装置。
【請求項１５】
移動体と、
前記移動体が一の方向に沿って移動可能な状態で前記移動体を保持する保持部材と、
前記移動体の動作に連動して前記一の方向に沿って移動する制振部材を含む制振ユニットと、を備え、
前記保持部材は、床面に固定された装置本体に固定されている、
作業装置。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれか１項に記載の作業装置に用いられる、
制振ユニット。
【請求項１７】
所定の作業を行う作業部が第１方向に沿って移動可能な状態で前記作業部を保持する軸部材を前記第１方向と交差する第２方向に沿って移動させる際に、前記軸部材の動作に連動して前記第２方向に沿って制振部材を移動させる、
制振方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、作業装置、制振ユニット、及び制振方法に関する。より詳細には、本開示は、電子部品を基板に実装する実装機等の作業装置、制振ユニット、及び制振方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、電子部品を基板に実装する部品実装装置が記載されている。特許文献１に記載の部品実装装置は、複数の実装ヘッドが搭載されたヘッドユニットと、ヘッドユニットをＸ軸方向に沿って移動可能に支持する実装ヘッド支持部材と、実装ヘッド支持部材をＹ軸方向に沿って移動可能に支持する固定レールと、を備える。ヘッドユニットは、Ｘ軸サーボモータによりボールねじを介してＸ軸方向に駆動される。実装ヘッド支持部材は、Ｙ軸サーボモータによりボールねじを介してＹ軸方向に駆動される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１６５８６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載のような部品実装装置（作業装置）では、生産性を向上させるために、ヘッドユニット（実装部）及び実装ヘッド支持部材（軸部材）の高速化が進められている。しかしながら、ヘッドユニット及び実装ヘッド支持部材を高速で移動させることで機械振動が大きくなり、この機械振動によって実装精度が低下したり、他の設備が誤動作したりする可能性があった。
【０００５】
本開示の目的は、移動体の動作時に保持部材に発生する機械振動を低減することができる作業装置、制振ユニット、及び制振方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様に係る作業装置は、移動体と、保持部材と、制振ユニットと、を備える。前記移動体は、実装部、及び軸部材を有する。前記実装部は、第１対象物に第２対象物を実装する。前記軸部材は、前記実装部が第１方向に沿って移動可能な状態で前記実装部を保持する。前記保持部材は、前記軸部材が前記第１方向と交差する第２方向に沿って移動可能な状態で前記軸部材を保持する。前記制振ユニットは、制振部材を含み、少なくとも一部が前記保持部材に接している。前記制振部材は、前記軸部材の動作に連動して前記第２方向に沿って移動する。
【０００７】
本開示の一態様に係る作業装置は、移動体と、保持部材と、制振ユニットと、を備える。前記移動体は、作業部、及び軸部材を有する。前記作業部は、所定の作業を行う。前記軸部材は、前記作業部が第１方向に沿って移動可能な状態で前記作業部を保持する。前記保持部材は、前記軸部材が前記第１方向と交差する第２方向に沿って移動可能な状態で前記軸部材を保持する。前記制振ユニットは、制振部材を含み、少なくとも一部が前記保持部材に接している。前記制振部材は、前記軸部材の動作に連動して前記第２方向に沿って移動する。
【０００８】
本開示の一態様に係る作業装置は、移動体と、保持部材と、制振ユニットと、を備える。前記保持部材は、前記移動体が一の方向に沿って移動可能な状態で前記移動体を保持する。前記制振ユニットは、前記移動体の動作に連動して前記一の方向に沿って移動する制振部材を含む。前記保持部材は、床面に固定された装置本体に固定されている。
【０００９】
本開示の一態様に係る制振ユニットは、上述の作業装置に用いられる。
【００１０】
本開示の一態様に係る制振方法は、軸部材を第１方向と交差する第２方向に沿って移動させる際に、前記軸部材の動作に連動して前記第２方向に沿って制振部材を移動させる。前記軸部材は、所定の作業を行う作業部が前記第１方向に沿って移動可能な状態で前記作業部を保持する。
【発明の効果】
【００１１】
本開示によれば、移動体の動作時に保持部材に発生する機械振動を低減することができる、という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１Ａは、本開示の実施形態１に係る作業装置を模式的に表した図である。図１Ｂは、同上の作業装置の要部を模式的に表した図である。
【図２】図２は、同上の作業装置の作業部を示す概略図である。
【図３】図３Ａは、同上の作業装置の制振ユニットを示す概略図である。図３Ｂは、本開示の実施形態１の変形例１に係る作業装置の制振ユニットを示す概略図である。
【図４】図４は、本開示の実施形態１に係る作業装置のブロック図である。
【図５】図５Ａは、同上の作業装置の移動体の速度、加速度、及び加加速度の指令値を示すグラフである。図５Ｂは、同上の作業装置の移動体の実際の速度、加速度、及び加加速度の変化を示すグラフである。
【図６】図６Ａ〜図６Ｃは、同上の作業装置の移動体及び制振部材の速度変化を示すグラフである。
【図７】図７Ａ〜図７Ｃは、同上の作業装置の移動体及び制振部材の速度変化を示すグラフである。
【図８】図８Ａ〜図８Ｄは、本開示の実施形態１の変形例２〜５に係る作業装置を模式的に表した図である。
【図９】図９は、同上の作業装置の作業部を示す概略図である。
【図１０】図１０は、本開示の実施形態２に係る作業装置を模式的に表した図である。
【図１１】図１１は、本開示の実施形態２の変形例に係る作業装置を模式的に表した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、実施形態１，２に係る作業装置、及び制振ユニットについて、図面を参照して説明する。
【００１４】
以下の実施形態１，２等において参照する図１Ａ、図１Ｂ、図２、図３Ａ、図３Ｂ、図８Ａ、図８Ｂ、図８Ｃ、図８Ｄ、図９、図１０、及び図１１は、いずれも模式的な図である。したがって、図中の各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。
【００１５】
（実施形態１）
（１）概要
以下、実施形態１に係る作業装置１０の概要について、図１Ａ、図１Ｂ、及び図２を参照して説明する。
【００１６】
本実施形態に係る作業装置１０は、所定の作業を行うための装置である。本開示でいう「所定の作業」とは、第１対象物１００に第２対象物２００を実装する実装作業、第１対象物１００にはんだ、導電性接着剤等を塗布する塗布作業、及び第１対象物１００に導電性パターン等を印刷する印刷作業等をいう。本実施形態では、所定の作業は、例えば、第１対象物１００に第２対象物２００を実装する実装作業である。つまり、本実施形態では、作業装置１０は部品実装機（チップマウンター）である。
【００１７】
第１対象物１００は、例えば、矩形状のプリント基板（以下、「基板１００」ともいう）である。第２対象物２００は、例えば、コンデンサ、抵抗、インダクタ、トランス、ＩＣ（Integrated Circuit）、コネクタ、又はスイッチ等の電子部品（以下、「部品２００」ともいう）である。基板１００は、部品２００が実装される実装面１０１（図２参照）を有している。なお、部品２００は、上記の電子部品に限らず、基板１００に対して実装可能であれば他の部品であってもよい。
【００１８】
本実施形態に係る作業装置１０は、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、第１移動体１Ａ（移動体）と、第１保持部材２Ａ（保持部材）と、第１制振ユニット３Ａ（制振ユニット）と、を備えている。第１移動体１Ａは、図１Ｂ及び図２に示すように、第１実装部１１Ａ（実装部）と、第１軸部材１２Ａ（軸部材）と、を有している。第１実装部１１Ａは、第１対象物１００に第２対象物２００を実装する。第１軸部材１２Ａは、第１実装部１１Ａが第１方向に沿って移動可能な状態で第１実装部１１Ａを保持する。第１方向は、例えば、Ｘ方向である。
【００１９】
第１保持部材２Ａは、第１軸部材１２Ａが第２方向に沿って移動可能な状態で第１軸部材１２Ａを保持する。第２方向は、第１方向と交差（直交）する方向であり、例えば、Ｙ方向である。第１制振ユニット３Ａは、第１制振部材３１Ａ（制振部材）を含み、少なくとも一部が第１保持部材２Ａに接している。第１制振部材３１Ａは、第１軸部材１２Ａの動作に連動して第２方向に沿って移動する。つまり、本実施形態に係る第１制振ユニット３Ａは、上述の作業装置１０に用いられる。
【００２０】
本実施形態に係る作業装置１０では、第１制振ユニット３Ａの少なくとも一部が第１保持部材２Ａに接しており、第１軸部材１２Ａが第２方向に沿って移動する動作に連動して第１制振部材３１Ａを第２方向に沿って移動させている。そのため、第１制振ユニット３Ａが設けられていない場合、又は第１制振ユニット３Ａが第１保持部材２Ａに接していない場合に比べて、第１移動体１Ａの動作時に第１保持部材２Ａに発生する機械振動を低減することができる。
【００２１】
（２）構成
以下、本実施形態に係る作業装置１０の構成について、図１Ａ、図１Ｂ、図２、及び図３Ａを参照して説明する。以下の説明では、第１保持部材２Ａと第２保持部材２Ｂとが並ぶ方向をＸ方向、第１保持部材２Ａ及び第２保持部材２Ｂの長手方向をＹ方向、第１保持部材２Ａ及び第２保持部材２Ｂの短手方向をＺ方向と規定する。ただし、これらの方向は、作業装置１０の使用方向を限定する趣旨ではない。また、図面中の矢印は説明のために表記しているに過ぎず、実体を伴わない。さらに、図面中のドットは、該当部分を際立たせるために表記しているに過ぎず、実体を伴わない。なお、図２では、第１制振ユニット３Ａ及び第２制振ユニット３Ｂの図示を省略している。
【００２２】
本実施形態に係る作業装置１０は、図１Ａに示すように、第１移動体１Ａ（移動体）と、第１保持部材２Ａ（保持部材）と、第１制振ユニット３Ａ（制振ユニット）と、装置本体４と、を備えている。また、作業装置１０は、第２保持部材２Ｂと、第２制振ユニット３Ｂと、を更に備えている。言い換えると、本実施形態に係る作業装置１０は、保持部材としての第１保持部材２Ａと共に、第１軸部材１２Ａが第２方向に沿って移動可能な状態で第１軸部材１２Ａを保持する第２保持部材２Ｂを更に備えている。また、本実施形態に係る作業装置１０は、制振ユニットとしての第１制振ユニット３Ａとは異なる第２制振ユニット３Ｂを更に備えている。
【００２３】
（２．１）第１移動体
第１移動体１Ａは、図１Ｂ及び図２に示すように、第１実装部１１Ａと、第１軸部材１２Ａと、を有している。第１実装部１１Ａは、第１吸着ノズル１３Ａを含む。
【００２４】
第１実装部１１Ａは、第１吸着ノズル１３ＡをＺ方向に移動可能な状態で保持している。そのため、第１吸着ノズル１３Ａは、基板１００に対して部品２００を実装する場合には、基板１００に近づく向き、及び基板１００から離れる向きに移動可能である。また、第１吸着ノズル１３Ａは、部品２００を吸着する場合には、部品２００を供給する部品供給部（例えば、テープフィーダ）に近づく向き、及び部品供給部から離れる向きに移動可能である。第１吸着ノズル１３Ａは、部品２００を吸着する吸着状態と、部品２００の吸着状態を解除する解除状態と、を切替可能である。
【００２５】
第１軸部材１２Ａは、例えば、Ｘ方向に長い部材（Ｘビーム）である。第１軸部材１２Ａは、第１実装部１１ＡがＸ方向に沿って移動可能な状態で第１実装部１１Ａを保持している。言い換えると、第１実装部１１Ａは、第１リニアモータ１２１（図４参照）からの駆動力によって第１軸部材１２Ａの長手方向（Ｘ方向）に沿って移動可能である。本実施形態では、Ｘ方向が第１方向である。
【００２６】
（２．２）第１保持部材及び第２保持部材
第１保持部材２Ａ及び第２保持部材２Ｂの各々は、例えば、Ｙ方向に長い部材（Ｙビーム）である。第１保持部材２Ａ及び第２保持部材２Ｂは、Ｘ方向において所定の間隔を空けた状態で並んでいる。所定の間隔は、例えば、第１軸部材１２Ａの長さ寸法に等しい。そして、第１保持部材２Ａは、Ｘ方向（第１方向）における第１軸部材１２Ａの一端部を保持し、第２保持部材２Ｂは、Ｘ方向における第１軸部材１２Ａの他端部を保持している。第１保持部材２Ａ及び第２保持部材２Ｂは、第１軸部材１２Ａが第２方向に沿って移動可能な状態で第１軸部材１２Ａを保持している。言い換えると、第１軸部材１２Ａは、第２リニアモータ１２２（図４参照）からの駆動力によって第１保持部材２Ａ及び第２保持部材２Ｂの長手方向（Ｙ方向）に沿って移動可能である。本実施形態では、Ｙ方向が第２方向である。つまり、第２方向は、第１方向と交差（直交）する方向である。
【００２７】
（２．３）第１制振ユニット及び第２制振ユニット
第１制振ユニット３Ａは、第１移動体１Ａ（第１軸部材１２Ａ）がＹ方向に移動する際に第１保持部材２Ａに発生する機械振動を低減するためのユニットである。第２制振ユニット３Ｂは、第１移動体１Ａ（第１軸部材１２Ａ）がＹ方向に移動する際に第２保持部材２Ｂに発生する機械振動を低減するためのユニットである。
【００２８】
第１制振ユニット３Ａは、図３Ａに示すように、第１可動子としての第１制振部材３１Ａと、第１固定子３２Ａと、を有している。第２制振ユニット３Ｂは、図３Ａに示すように、第２可動子としての第２制振部材３１Ｂと、第２固定子３２Ｂと、を有している。なお、第１制振ユニット３Ａと第２制振ユニット３Ｂとは同じ構成であるため、ここでは第１制振ユニット３Ａについてのみ説明し、第２制振ユニット３Ｂについては説明を省略する。第２制振ユニット３Ｂについては、以下の説明において、「第１制振ユニット３Ａ」を「第２制振ユニット３Ｂ」に、「第１制振部材３１Ａ」を「第２制振部材３１Ｂ」に、「第１固定子３２Ａ」を「第２固定子３２Ｂ」に、「第１保持部材２Ａ」を「第２保持部材２Ｂ」に読み替えるだけでよい。
【００２９】
第１制振部材３１Ａは、図３Ａに示すように、シャフト３１１と、複数（図３Ａでは２つ）の錘３１２と、を含む。シャフト３１１は、一方向に長い円筒状に形成されている。シャフト３１１の内部には、上記一方向に沿って積層された複数の永久磁石（マグネット）が収納されている。複数の錘３１２は、シャフト３１１の長手方向の両端部にそれぞれ固定されている。第１制振部材３１Ａの質量は、シャフト３１１の質量と複数の錘３１２の質量とを合わせた質量である。そのため、複数の錘３１２の質量を変えることによって、第１制振部材３１Ａの質量を調節することができる。
【００３０】
第１固定子３２Ａは、一方向に長い角筒状に形成されている。第１固定子３２Ａは、上記一方向に沿って貫通する貫通孔を有している。この貫通孔は、第１制振部材３１Ａのシャフト３１１が挿通可能な大きさに形成されている。第１固定子３２Ａの内部には、第１固定子３２Ａの長手方向（一方向）に沿って巻かれた導線からなるコイルが収納されている。
【００３１】
この第１制振ユニット３Ａでは、第１固定子３２Ａのコイルに励磁電流を流すと、コイルと永久磁石との間に電磁力が作用し、この電磁力によって生じる推進力にて第１制振部材（第１可動子）３１Ａが直進移動する。つまり、第１制振ユニット３Ａは、第１制振部材３１Ａを駆動する制振用リニアモータ３０Ａ（図４参照）を有している。
【００３２】
第１制振ユニット３Ａは、図１Ａに示すように、後述する装置本体４が固定されている床面３００側（図１Ａにおける下側）から見て、第１保持部材２Ａにおける床面３００から遠い側の端部（図１Ａにおける上端部）に位置している。この構成によれば、第１制振ユニット３Ａによるモーメント力が大きくなり、第１制振ユニット３Ａによる制振効果を高めることができる。さらに、第１制振ユニット３Ａは、Ｙ方向（第２方向）における第１保持部材２Ａの端部に位置している。ここで、Ｙ方向における第１保持部材２Ａの中間部分には、第１移動体１Ａ（第１軸部材１２Ａ）の移動に伴って可動するケーブルベア（登録商標）５が配置されている（図１Ａ参照）。そのため、Ｙ方向における第１保持部材２Ａの端部に第１制振ユニット３Ａを配置することにより、ケーブルベア（登録商標）５の可動時に邪魔になりにくいという利点がある。
【００３３】
第１制振ユニット３Ａは、シャフト３１１の長手方向（一方向）が第１保持部材２Ａの長手方向（Ｙ方向）に沿った状態で、第１固定子３２Ａにて第１保持部材２Ａに取り付けられている。つまり、第１制振ユニット３Ａは、少なくとも第１固定子３２Ａで第１保持部材２Ａに接している。同様に、第２制振ユニット３Ｂは、少なくとも第２固定子３２Ｂで第２保持部材２Ｂに接している。
【００３４】
ところで、Ｘ方向（第１方向）における第１制振ユニット３Ａ及び第２制振ユニット３Ｂの幅寸法Ｈ１（図１０参照）は、Ｘ方向における第１保持部材２Ａ及び第２保持部材２Ｂの幅寸法Ｈ２（図１０参照）以下であることが好ましい。この構成によれば、Ｘ方向において、第１制振ユニット３Ａ及び第２制振ユニット３Ｂが第１保持部材２Ａ及び第２保持部材２Ｂ内に収まっており、作業装置１０の大型化を抑えることができる。
【００３５】
（２．４）装置本体
装置本体４は、第１移動体１Ａ、第１保持部材２Ａ、第２保持部材２Ｂ、第１制振ユニット３Ａ、及び第２制振ユニット３Ｂを支持する支持台である。装置本体４は、例えばボルト等の締結具によって床面３００に固定されている。また、装置本体４には、例えばボルト等の締結具によって第１保持部材２Ａ及び第２保持部材２Ｂが固定されている。
【００３６】
（２．５）回路構成
本実施形態に係る作業装置１０は、図４に示すように、制御回路１１０と、第１，第２駆動回路１１１，１１２と、制振用駆動回路１１３と、第１，第２リニアモータ１２１，１２２と、制振用リニアモータ３０Ａ，３０Ｂと、を更に備えている。
【００３７】
制御回路１１０は、第１，第２駆動回路１１１，１１２及び制振用駆動回路１１３を各別に制御するように構成されている。具体的には、制御回路１１０は、第１実装部１１Ａの第１吸着ノズル１３Ａが目標位置に到達するように、第１駆動回路１１１に対して第１制御信号を出力し、第２駆動回路１１２に対して第２制御信号を出力する。本実施形態では、目標位置は、第１対象物１００における第２対象物２００の実装位置である。第１制御信号には、目標位置の位置情報のうちＸ方向の位置情報が含まれている。第２制御信号には、目標位置の位置情報のうちＹ方向の位置情報が含まれている。また、制御回路１１０は、第１移動体１１ＡのＹ方向への移動時に第１保持部材２Ａ及び第２保持部材２Ｂに発生する機械振動を低減するために、制振用駆動回路１１３に対して第３制御信号を出力する。第３制御信号には、Ｙ方向における第１制振部材３１Ａ及び第２制振部材３１Ｂの速度、移動時間等の情報が含まれている。
【００３８】
制御回路１１０は、例えば、１以上のプロセッサ及び１以上のメモリを有するコンピュータシステムを主構成とする。そして、コンピュータシステムのメモリに記録されたプログラムを、コンピュータシステムのプロセッサが実行することにより、制御回路１１０の機能が実現される。プログラムは、メモリに予め記録されていてもよいし、インターネット等の電気通信回線を通じて、又はメモリカード等の非一時的な記録媒体に記録されて提供されてもよい。
【００３９】
第１駆動回路１１１は、第１リニアモータ１２１と対応しており、制御回路１１０からの第１制御信号に基づいて第１駆動信号を作成し、作成した第１駆動信号を第１リニアモータ１２１に出力する。第１リニアモータ１２１は、第１駆動回路１１１からの第１駆動信号に従ってＸ方向に沿って移動する。その結果、第１リニアモータ１２１からの駆動力によって第１実装部１１ＡもＸ方向に沿って移動し、第１吸着ノズル１３ＡがＸ方向における目標位置に到達する。
【００４０】
第２駆動回路１１２は、第２リニアモータ１２２と対応しており、制御回路１１０からの第２制御信号に基づいて第２駆動信号を作成し、作成した第２駆動信号を第２リニアモータ１２２に出力する。第２リニアモータ１２２は、第２駆動回路１１２からの第２駆動信号に従ってＹ方向に沿って移動する。その結果、第２リニアモータ１２２からの駆動力によって第１移動体１ＡもＹ方向に沿って移動し、第１吸着ノズル１３ＡがＹ方向における目標位置に到達する。
【００４１】
制振用駆動回路１１３は、制振用リニアモータ３０Ａ，３０Ｂと対応しており、制御回路１１０からの第３制御信号に基づいて第３駆動信号を作成し、作成した第３駆動信号を制振用リニアモータ３０Ａ，３０Ｂに出力する。制振用リニアモータ３０Ａ，３０Ｂは、制振用駆動回路１１３からの第３駆動信号に従ってＹ方向に沿って移動する。その結果、制振用リニアモータ３０Ａ，３０Ｂからの駆動力によって第１制振部材３１Ａ及び第２制振部材３１ＢもＹ方向に沿って移動する。つまり、第１制振部材３１Ａは、制振用リニアモータ３０Ａからの駆動力によってＹ方向（第２方向）に沿って直線的に移動する。なお、制振用リニアモータ３０Ａ，３０Ｂが移動する向きと第２リニアモータ１２２が移動する向きとは逆向きである。
【００４２】
図５Ａは、Ｙ方向における第１移動体１Ａ（第１軸部材１２Ａ）の速度、加速度、及び加加速度の指令値の一例を示すグラフである。図５Ｂは、Ｙ方向における第１移動体１Ａの実際の速度、加速度、及び加加速度の変化の一例を示すグラフである。第１移動体１Ａの速度が変化している点Ｐ１〜点Ｐ２の区間、及び点Ｐ３〜点Ｐ４の区間において、図５Ａでは速度が線形に変化しているのに対して、図５Ｂでは、一次遅れ要素の応答遅れによって非線形に変化している。なお、点Ｐ１〜点Ｐ４は、第１移動体１Ａの加速度が変化する加加速度点（以下、「第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４」ともいう）である。つまり、第１軸部材１２Ａは、第１開始時間ｔ１１（後述する）と第１完了時間ｔ１２（後述する）とで規定される第１移動期間Ｔ１（後述する）において、複数の加加速度点Ｐ１〜Ｐ４で加速度が変化するように構成されている。
【００４３】
（３）動作
次に、本実施形態に係る第１制振ユニット３Ａ及び第２制振ユニット３Ｂの動作について、図６Ａ〜図７Ｃを参照して説明する。ただし、第１制振ユニット３Ａの動作と第２制振ユニット３Ｂの動作は同様であるため、ここでは第１制振ユニット３Ａの動作についてのみ説明し、第２制振ユニット３Ｂの動作については説明を省略する。第２制振ユニット３Ｂについては、以下の説明において、「第１制振ユニット３Ａ」を「第２制振ユニット３Ｂ」に、「第１制振部材３１Ａ」を「第２制振部材３１Ｂ」に、「第１保持部材２Ａ」を「第２保持部材２Ｂ」に読み替えるだけでよい。
【００４４】
以下の説明では、第１移動体１Ａの質量をＭ１、第１移動体１Ａの加速度をＡ１、第１移動体１Ａの速度をＶ１とする。また、第１制振部材３１Ａの質量をＭｃ、第１制振部材３１Ａの加速度をＡｃ、第１制振部材３１Ａの速度をＶｃとする。
【００４５】
ところで、第１移動体１Ａの移動時において第１保持部材２Ａに発生する機械振動を低減するためには、第１移動体１Ａを進行方向に移動させるための第１推力Ｆ１と反対向きの第２推力（カウンタ推力）Ｆ２を、第１制振部材３１Ａによって発生させる必要がある。第１推力Ｆ１は、第１移動体１Ａの質量Ｍ１と、第１移動体１Ａの加速度Ａ１とで求められる（Ｆ１＝Ｍ１×Ａ１）。第２推力Ｆｃは、第１制振部材３１Ａの質量Ｍｃと、第１制振部材３１Ａの加速度Ａｃとで求められる（Ｆ２＝Ｍｃ×Ａｃ）。したがって、第１制振部材３１Ａについて、質量Ｍｃと加速度Ａｃとの少なくとも一方を調節することによって、第１保持部材２Ａに発生する機械振動を低減することが可能になる。
【００４６】
また、上述の第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４では、第１移動体１Ａの加速度の変化に伴って第１推力Ｆ１も変化しており、第１保持部材２Ａに与える衝撃が大きい。そのため、第１保持部材２Ａに発生する機械振動への影響も大きく、第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４において第２推力Ｆｃによる衝撃を与えることがより効果的である。この場合、第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４のすべてで第２推力Ｆｃによる衝撃を与えることが最も好ましいが、第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４のうちの２点で第２推力Ｆｃによる衝撃を与えてもよい。特に、第１移動体１Ａの移動を開始する第１加加速度点Ｐ１、及び第１移動体１Ａの移動が完了する第４加加速度点Ｐ４において発生する第１推力Ｆ１による衝撃が相対的に大きいため、これらの点において第２推力Ｆｃによる逆向きの衝撃を発生させるのがよい。つまり、第１制振部材３１Ａは、第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４のうち少なくとも１つの加加速度点において発生する振動（機械振動）を制振するように構成されていることが好ましい。以下、各動作例について説明する。
【００４７】
以下の各動作例では、第１移動体１Ａ（第１軸部材１２Ａ）の移動を開始する第１開始時間ｔ１１と、第１制振部材３１Ａの移動を開始する第２開始時間ｔ２１とを一致させている。さらに、第１移動体１Ａの移動が完了する第１完了時間ｔ２１と、第１制振部材３１Ａの移動が完了する第２完了時間ｔ２２とを一致させている。つまり、各動作例では、第１開始時間ｔ１１と第１完了時間ｔ１２とで規定される第１移動期間Ｔ１と、第２開始時間ｔ２１と第２完了時間ｔ２２とで規定される第２移動期間Ｔｃとを一致させている。
【００４８】
（３．１）第１動作例
まず、第１制振ユニット３Ａの第１動作例について、図６Ａを参照して説明する。図６Ａの上段のグラフは、第１移動体１Ａ（第１軸部材１２Ａ）の速度変化を示すグラフである。図６Ａの中段のグラフは、第１制振ユニット３Ａの第１制振部材３１Ａの速度変化を示すグラフである。
【００４９】
第１動作例では、第１移動体１Ａの質量Ｍ１と、第１制振部材３１Ａの質量Ｍｃとが等しい。また、第１移動体１Ａの速度Ｖ１と、第１制振部材３１Ａの速度Ｖｃとが等しく、その大きさは、例えば０．５４４ｍ／ｓである。さらに、第１移動体１Ａの加速度Ａ１と、第１制振部材３１Ａの加速度Ａｃとが等しく、その大きさは、例えば３Ｇである。ただし、第１移動体１Ａの速度Ｖ１が正の値であるのに対して、第１制振部材３１Ａの速度Ｖｃは負の値になっている。つまり、第１移動体１Ａが移動する向きと第１制振部材３１Ａが移動する向きとは逆向きである。
【００５０】
そして、第１動作例では、第１移動体１Ａの質量Ｍ１と第１制振部材３１Ａの質量Ｍｃとが等しく、かつ第１移動体１Ａの加速度Ａ１と第１制振部材３１Ａの加速度Ａｃとが等しい。つまり、第１推力Ｆ１と第２推力Ｆｃとの大きさが等しく、かつ第１推力Ｆ１の向きと第２推力Ｆｃの向きとが逆向きである。さらに、第１動作例では、第１完了時間ｔ１２と第２完了時間ｔ２２とを一致させ、かつ第１移動期間Ｔ１と第２移動期間Ｔｃとを一致させている。そのため、第１動作例では、第１移動体１Ａの動作時に第１保持部材２Ａに発生する機械振動の制動効果が大きくなるという利点がある。
【００５１】
また、第１動作例では、第１移動体１Ａの加速度Ａ１が変化する第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４（図６Ａでは、加加速度点Ｐ２と加加速度点Ｐ３とが一致）において第２推力Ｆｃによる逆向きの衝撃を発生させている。そのため、第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４において第１保持部材２Ａに発生する機械振動についても低減することができる。
【００５２】
ここで、第１動作例では、第１移動期間Ｔ１及び第２移動期間Ｔｃが共に、例えば０．０３７ｓｅｃである。そのため、第１移動体１Ａ、及び第１制振部材３１Ａの各々の移動距離は、０．０３７ｓｅｃ×０．５４４ｍ／ｓｅｃ×１／２＝０．０１ｍとなる。
【００５３】
図６Ａの下段のグラフは、第１制振部材３１Ａの加速度Ａｃを１．５Ｇとした場合の速度変化を示すグラフである。この場合、第１制振部材３１Ａの速度Ｖｃの大きさは０．２７２ｍ／ｓｅｃとなる。ただし、第１制振部材３１Ａの速度Ｖｃは負の値であるため、第１移動体１Ａが移動する向きと第１制振部材３１Ａが移動する向きとは逆向きである。また、第１移動期間Ｔ１及び第２移動期間Ｔｃは共に０．０３７ｓｅｃであるため、第１制振部材３１Ａの移動距離は、０．０３７ｓｅｃ×０．２７２ｍ／ｓｅｃ×１／２＝０．００５ｍとなる。つまり、第１制振部材３１Ａの移動距離は、図６Ａの中段のグラフの場合の半分になる。
【００５４】
この場合、第１移動体１Ａの質量Ｍ１と第１制振部材３１Ａの質量Ｍｃとが等しいため、図６Ａの中段のグラフの場合に比べて、第２推力Ｆｃの大きさが半分になる。そのため、第１移動体１Ａの動作時に第１保持部材２Ａに発生する機械振動の制振効果は小さくなる。一方、第１制振部材３１Ａの移動距離は短くなっており、そのため第１制振ユニット３Ａを小型化することができる。
【００５５】
この場合においても、第１移動体１Ａの加速度Ａ１が変化する第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４（図６Ａでは、加加速度点Ｐ２と加加速度点Ｐ３とが一致）において第２推力Ｆｃによる逆向きの衝撃を発生させている。そのため、第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４において第１保持部材２Ａに発生する機械振動についても低減することができる。
【００５６】
（３．２）第２動作例
次に、第１制振ユニット３Ａの第２動作例について、図６Ｂを参照して説明する。図６Ｂの上段のグラフは、第１移動体１Ａ（第１軸部材１２Ａ）の速度変化を示すグラフである。図６Ｂの中段のグラフは、第１制振ユニット３Ａの第１制振部材３１Ａの速度変化を示すグラフである。
【００５７】
第２動作例では、第１動作例に比べて、第１移動体１Ａの速度Ｖ１、及び第１制振部材３１Ａの速度Ｖｃを大きくしている。さらに、第２動作例では、第１移動期間Ｔ１及び第２移動期間Ｔｃを長くしている。その結果、第１移動体１Ａ及び第１制振部材３１Ａの各々の移動距離も長くなっている。
【００５８】
第２動作例では、第１移動体１Ａの速度Ｖ１及び第１制振部材３１Ａの速度Ｖｃの各々の大きさは、例えば３ｍ／ｓｅｃであり、その向きは逆向きである。また、第１移動期間Ｔ１及び第２移動期間Ｔｃの各々は、例えば０．２０４ｓｅｃである。したがって、第１移動体１Ａ及び第１制振部材３１Ａの各々の移動距離は、０．２０４ｓｅｃ×３ｍ／ｓｅｃ×１／２＝０．３０６ｍとなる。
【００５９】
第２動作例においても、第１移動体１Ａの質量Ｍ１と第１制振部材３１Ａの質量Ｍｃとが等しく、かつ第１移動体１Ａの加速度Ａ１と第１制振部材３１Ａの加速度Ａｃとが等しい。つまり、第１推力Ｆ１と第２推力Ｆｃとの大きさが等しく、かつ第１推力Ｆ１の向きと第２推力Ｆｃの向きとが逆向きである。さらに、第１完了時間ｔ１２と第２完了時間ｔ２２とを一致させ、かつ第１移動期間Ｔ１と第２移動期間Ｔｃとを一致させている。そのため、第２動作例では、第１移動体１Ａの動作時に第１保持部材２Ａに発生する機械振動の制振効果が大きくなるという利点がある。
【００６０】
また、第２動作例では、第１移動体１Ａの加速度Ａ１が変化する第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４（図６Ｂでは、加加速度点Ｐ２と加加速度点Ｐ３とが一致）において第２推力Ｆｃによる逆向きの衝撃を発生させている。そのため、第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４において第１保持部材２Ａに発生する機械振動についても低減することができる。
【００６１】
図６Ｂの下段のグラフは、第１制振部材３１Ａの加速度Ａｃを１．５Ｇとした場合の速度変化を示すグラフである。この場合、第１制振部材３１Ａの速度Ｖｃの大きさは１．５ｍ／ｓｅｃとなる。ただし、第１制振部材３１Ａの速度Ｖｃは負の値であるため、第１移動体１Ａが移動する向きと第１制振部材３１Ａが移動する向きとは逆向きになる。また、第１移動期間Ｔ１及び第２移動期間Ｔｃの各々は、例えば０．２０４ｓｅｃである。したがって、第１制振部材３１Ａの移動距離は、０．２０４ｓｅｃ×１．５ｍ／ｓｅｃ×１／２＝０．１５３ｍとなる。つまり、第１制振部材３１Ａの移動距離は、図６Ｂの中段のグラフの場合の半分になる。
【００６２】
この場合、第１移動体１Ａの質量Ｍ１と第１制振部材３１Ａの質量Ｍｃとが等しいため、図６Ｂの中段のグラフの場合に比べて、第２推力Ｆｃの大きさが半分になる。そのため、第１移動体１Ａの動作時に第１保持部材２Ａに発生する機械振動の制振効果は小さくなる。一方、第１制振部材３１Ａの移動距離は短くなっており、そのため第１制振ユニット３Ａを小型化することができる。
【００６３】
この場合においても、第１移動体１Ａの加速度Ａ１が変化する第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４（図６Ｂでは、加加速度点Ｐ２と加加速度点Ｐ３とが一致）において第２推力Ｆｃによる逆向きの衝撃を発生させている。そのため、第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４において第１保持部材２Ａに発生する機械振動についても低減することができる。
【００６４】
（３．３）第３動作例
次に、第１制振ユニット３Ａの第３動作例について、図６Ｃを参照して説明する。図６Ｃの上段のグラフは、第１移動体１Ａ（第１軸部材１２Ａ）の速度変化を示すグラフである。図６Ｃの中段のグラフは、第１制振ユニット３Ａの第１制振部材３１Ａの速度変化を示すグラフである。
【００６５】
第３動作例では、第２動作例に比べて、第１移動期間Ｔ１及び第２移動期間Ｔｃが長くなっている。そのため、第３動作例では、第１移動体１Ａの速度Ｖ１、及び第１制振部材３１Ａの速度Ｖｃが一定（低速）となる期間（第２〜第３加加速度点Ｐ２〜Ｐ３の期間）がある（図６Ｃの上段のグラフ参照）。
【００６６】
第３動作例では、第１移動期間Ｔ１及び第２移動期間Ｔｃの各々は、例えば０．２６８８ｓｅｃである。したがって、第１移動体１Ａ及び第１制振部材３１Ａの各々の移動距離は、｛（０．２６８８ｓｅｃ−０．２０４ｓｅｃ）＋０．２６８８ｓｅｃ｝×３ｍ／ｓｅｃ×１／２＝０．５ｍとなる。
【００６７】
第３動作例においても、第１移動体１Ａの質量Ｍ１と第１制振部材３１Ａの質量Ｍｃとが等しく、かつ第１移動体１Ａの加速度Ａ１と第１制振部材３１Ａの加速度Ａｃとが等しい。つまり、第１推力Ｆ１と第２推力Ｆｃとの大きさが等しく、かつ第１推力Ｆ１の向きと第２推力Ｆｃの向きとが逆向きである。さらに、第１完了時間ｔ１２と第２完了時間ｔ２２とを一致させ、かつ第１移動期間Ｔ１と第２移動期間Ｔｃとを一致させている。そのため、第２動作例では、第１移動体１Ａの動作時に第１保持部材２Ａに発生する機械振動の制振効果が大きくなるという利点がある。
【００６８】
また、第３動作例では、第１移動体１Ａの加速度Ａ１が変化する第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４において第２推力Ｆｃによる逆向きの衝撃を発生させている。そのため、第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４において第１保持部材２Ａに発生する機械振動についても低減することができる。
【００６９】
図６Ｃの下段のグラフは、第１制振部材３１Ａの加速度Ａｃを１．５Ｇとした場合の速度変化を示すグラフである。この場合、第１制振部材３１Ａの速度Ｖｃの大きさは１．９７６ｍ／ｓｅｃとなる。ただし、第１制振部材３１Ａの速度Ｖｃは負の値であるため、第１移動体１Ａが移動する向きと第１制振部材３１Ａが移動する向きとは逆向きになる。また、第１移動期間Ｔ１及び第２移動期間Ｔｃの各々は０．２６８８ｓｅｃである。したがって、第１制振部材３１Ａの移動距離は、０．２６８８ｓｅｃ×１．９７６ｍ／ｓｅｃ×１／２＝０．２６５５ｍとなる。つまり、第１制振部材３１Ａの移動距離は、図６Ｃの中段のグラフの場合の半分程度になる。
【００７０】
この場合、第１移動体１Ａの質量Ｍ１と第１制振部材３１Ａの質量Ｍｃとが等しいため、図６Ｃの中段のグラフの場合に比べて、第２推力Ｆｃの大きさが半分になる。そのため、第１移動体１Ａの動作時に第１保持部材２Ａに発生する機械振動の制振効果は小さくなる。一方、第１制振部材３１Ａの移動距離は短くなっており、そのため第１制振ユニット３Ａを小型化することができる。
【００７１】
また、この場合では、第１移動体１Ａの加速度Ａ１が変化する第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４のうち第１、第４加加速度点Ｐ１，Ｐ４において第２推力Ｆｃによる逆向きの衝撃を発生させている。そのため、第１、第４加加速度点Ｐ１，Ｐ４において第１保持部材２Ａに発生する機械振動についても低減することができる。
【００７２】
（３．４）第４動作例
次に、第１制振ユニット３Ａの第４動作例について、図７Ａを参照して説明する。図７Ａの上段のグラフは、第１移動体１Ａ（第１軸部材１２Ａ）の速度変化を示すグラフである。図７Ａの中段のグラフは、第１制振ユニット３Ａの第１制振部材３１Ａの速度変化を示すグラフである。
【００７３】
第４動作例では、第１移動体１Ａの質量Ｍ１が第１制振部材３１Ａの質量Ｍｃよりも大きく、かつ第１制振部材３１Ａの加速度Ａｃが第１移動体１Ａの加速度Ａ１よりも大きくなっている点で第１〜第３動作例と異なっている。具体的には、第１移動体１Ａの加速度Ａ１は、例えば３Ｇであり、第１制振部材３１Ａの加速度Ａｃは、例えば６Ｇである。また、第１移動体１Ａの速度Ｖ１は、例えば０．５４４ｍ／ｓｅｃであり、第１制振部材３１Ａの速度Ｖｃは、例えば０．３１８６ｍ／ｓｅｃである。そして、第１移動期間Ｔ１及び第２移動期間Ｔｃの各々は、例えば０．０３７ｓｅｃである。この場合、第１制振部材３１Ａの移動距離は０．０１ｍとなる。
【００７４】
第４動作例では、第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４のうち、第１移動体１Ａの動作開始点である第１加加速度点Ｐ１と、第１移動体１Ａの動作完了点である第４加加速度点Ｐ４において、第１推力Ｆ１による衝撃を低減するように構成されている。なお、図７Ａでは、第２加加速度点Ｐ２と第３加加速度点Ｐ３とが一致している。ここで、第１推力Ｆ１による衝撃は、上述したように、第１移動体１Ａの動作開始時及び動作完了時に相対的に大きくなることが分かっている。そのため、第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４のうち、第１加加速度点Ｐ１及び第４加加速度点Ｐ４において第２推力Ｆｃによる逆向きの衝撃を与えることで、第１移動体１Ａの動作時に第１保持部材２Ａに発生する機械振動を低減することができる。
【００７５】
図７Ａの下段のグラフは、第１制振部材３１Ａの別の動作例を示すグラフである。図７Ａの中段のグラフの場合、第１、第４加加速度点Ｐ１，Ｐ４において第１推力Ｆ１による衝撃を低減しているが、図７Ａの下段のグラフの場合には、第２、第３加加速度点Ｐ２，Ｐ３において第１推力Ｆ１による衝撃を低減するように構成されている。なお、図７Ａでは、第２加加速度点Ｐ２と第３加加速度点Ｐ３とが一致している。ただし、この場合には、第３加加速度点Ｐ３〜第４加加速度点Ｐ４の期間において、第１制振部材３１Ａが第１移動体１Ａと同じ向きに移動しているため、第１推力Ｆ１の向きと第２推力Ｆｃの向きとが同じ向きになっている。そのため、上記期間では、第２推力Ｆｃが大きくならないように、第１制振部材３１Ａの速度Ｖｃを徐々に変化させることが好ましい。
【００７６】
また、この場合、第１制振部材３１Ａは、第１移動体１Ａが移動する向きとは逆向きに移動した後、第１移動体１Ａが移動する向きと同じ向きに移動しており、第２完了時間ｔ２２においては元の位置（初期位置）に戻っている。そのため、第１移動体１Ａが移動する向きとは逆向きにのみ第１制振部材３１Ａを移動させる場合に比べて、第１制振部材３１Ａの移動距離（ストローク）が短くてすみ、第１制振ユニット３Ａを小型化することができる。
【００７７】
（３．５）第５動作例
次に、第１制振ユニット３Ａの第５動作例について、図７Ｂを参照して説明する。図７Ｂの上段のグラフは、第１移動体１Ａ（第１軸部材１２Ａ）の速度変化を示すグラフである。図７Ｂの中段のグラフは、第１制振ユニット３Ａの第１制振部材３１Ａの速度変化を示すグラフである。
【００７８】
第５動作例では、第４動作例に比べて、第１移動体１Ａの速度Ｖ１、及び第１制振部材３１Ａの速度Ｖｃを大きくしている。さらに、第５動作例では、第１移動期間Ｔ１及び第２移動期間Ｔｃを長くしている。その結果、第１移動体１Ａ及び第１制振部材３１Ａの各々の移動距離も長くなっている。
【００７９】
第５動作例では、第１移動体１Ａの速度Ｖ１は、例えば３ｍ／ｓｅｃであり、第１制振部材３１Ａの速度Ｖｃは、例えば１．７５８ｍ／ｓｅｃである。また、第１移動期間Ｔ１及び第２移動期間Ｔｃの各々は、例えば０．２０４ｓｅｃである。この場合、第１制振部材３１Ａの移動距離は０．３０６ｍとなる。
【００８０】
第５動作例においても、第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４のうち、第１移動体１Ａの動作開始点である第１加加速度点Ｐ１と、第１移動体１Ａの動作完了点である第４加加速度点Ｐ４において、第１推力Ｆ１による衝撃を低減している。なお、図７Ｂでは、第２加加速度点Ｐ２と第３加加速度点Ｐ３とが一致している。したがって、第５動作例においても、第１移動体１Ａの動作時に第１保持部材２Ａに発生する機械振動を低減することができる。
【００８１】
図７Ｂの下段のグラフは、第１制振部材３１Ａの別の動作例を示すグラフである。図７Ｂの中段のグラフの場合、第１、第４加加速度点Ｐ１，Ｐ４において第１推力Ｆ１による衝撃を低減しているが、図７Ｂの下段のグラフの場合には、第２、第３加加速度点Ｐ２，Ｐ３において第１推力Ｆ１による衝撃を低減するように構成されている。なお、図７Ａでは、第２加加速度点Ｐ２と第３加加速度点Ｐ３とが一致している。ただし、この場合には、第３加加速度点Ｐ３〜第４加加速度点Ｐ４の期間において、第１制振部材３１Ａが第１移動体１Ａと同じ向きに移動しているため、第１推力Ｆ１の向きと第２推力Ｆｃの向きとが同じ向きになっている。そのため、上記期間では、第２推力Ｆｃが大きくならないように、第１制振部材３１Ａの速度Ｖｃを徐々に変化させることが好ましい。
【００８２】
また、この場合、第１制振部材３１Ａは、第１移動体１Ａが移動する向きとは逆向きに移動した後、第１移動体１Ａが移動する向きと同じ向きに移動しており、第２完了時間ｔ２２においては元の位置（初期位置）に戻っている。そのため、第１移動体１Ａが移動する向きとは逆向きにのみ第１制振部材３１Ａを移動させる場合に比べて、第１制振部材３１Ａの移動距離（ストローク）が短くてすみ、第１制振ユニット３Ａを小型化することができる。
【００８３】
（３．６）第６動作例
次に、第１制振ユニット３Ａの第６動作例について、図７Ｃを参照して説明する。図７Ｃの上段のグラフは、第１移動体１Ａ（第１軸部材１２Ａ）の速度変化を示すグラフである。図７Ｃの中段のグラフは、第１制振ユニット３Ａの第１制振部材３１Ａの速度変化を示すグラフである。
【００８４】
第６動作例では、第５動作例に比べて、第１移動期間Ｔ１及び第２移動期間Ｔｃが長くなっている。そのため、第６動作例では、第１移動体１Ａの速度Ｖ１が一定（低速）となる期間（第２加加速度点Ｐ２〜第３加加速度点Ｐ３の期間）がある（図７Ｃの上段のグラフ参照）。
【００８５】
第６動作例では、第１移動期間Ｔ１及び第２移動期間Ｔｃの各々は、例えば０．２６８８ｓｅｃである。また、第６動作例では、第１制振部材３１Ａの加速度Ａｃが、例えば６Ｇであり、第１制振部材３１Ａの速度Ｖｃが、例えば２．１５５ｍ／ｓｅｃである。この場合、第１制振部材３１Ａの移動距離は０．５ｍとなる。
【００８６】
第６動作例においても、第１〜第４加加速度点Ｐ１〜Ｐ４のうち、第１移動体１Ａの動作開始点である第１加加速度点Ｐ１と、第１移動体１Ａの動作完了点である第４加加速度点Ｐ４において、第１推力Ｆ１による衝撃を低減している。したがって、第６動作例においても、第１移動体１Ａの動作時に第１保持部材２Ａに発生する機械振動を低減することができる。
【００８７】
図７Ｃの下段のグラフは、第１制振部材３１Ａの別の動作例を示すグラフである。図７Ｃの中段のグラフの場合、第１、第４加加速度点Ｐ１，Ｐ４において第１推力Ｆ１による衝撃を低減しているが、図７Ｃの下段のグラフの場合には、第２、第３加加速度点Ｐ２，Ｐ３において第１推力Ｆ１による衝撃を低減している。ただし、この場合には、第３加加速度点Ｐ３〜第４加加速度点Ｐ４の期間において、第１制振部材３１Ａが第１移動体１Ａと同じ向きに移動しているため、第１推力Ｆ１の向きと第２推力Ｆｃの向きとが同じ向きになっている。そのため、上記期間では、第２推力Ｆｃが大きくならないように、第１制振部材３１Ａの速度Ｖｃを徐々に変化させることが好ましい。
【００８８】
また、この場合、第１制振部材３１Ａは、第１移動体１Ａが移動する向きとは逆向きに移動した後、第１移動体１Ａが移動する向きと同じ向きに移動しており、第２完了時間ｔ２２においては元の位置（初期位置）に戻っている。そのため、第１移動体１Ａが移動する向きとは逆向きにのみ第１制振部材３１Ａを移動させる場合に比べて、第１制振部材３１Ａの移動距離（ストローク）が短くてすみ、第１制振ユニット３Ａを小型化することができる。
【００８９】
（４）変形例
実施形態１は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。実施形態１は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。また、作業装置１０の第１制振ユニット３Ａ及び第２制振ユニット３Ｂと同様の機能は、制振方法、コンピュータプログラム、又はコンピュータプログラムを記録した非一時的な記録媒体等で具現化されてもよい。
【００９０】
一態様に係る制振方法では、第１軸部材１２Ａ（軸部材）を第２方向に沿って移動させる際に、第１軸部材１２Ａの動作に連動して第２方向に沿って第１制振部材３１Ａ（制振部材）を移動させる。第１軸部材１２Ａは、所定の作業（実施形態１では、実装作業）を行う第１実装部１１Ａ（作業部）が第１方向に沿って移動可能な状態で第１実装部１１Ａを保持する。第２方向は、第１方向と交差する方向である。
【００９１】
以下、実施形態１の変形例を列挙する。以下に説明する変形例は、適宜組み合わせて適用可能である。
【００９２】
本開示における作業装置１０は、コンピュータシステムを含んでいる。コンピュータシステムは、ハードウェアとしてのプロセッサ及びメモリを主構成とする。コンピュータシステムのメモリに記録されたプログラムをプロセッサが実行することによって、本開示における作業装置１０としての機能が実現される。プログラムは、コンピュータシステムのメモリに予め記録されてもよく、電気通信回線を通じて提供されてもよく、コンピュータシステムで読み取り可能なメモリカード、光学ディスク、ハードディスクドライブ等の非一時的記録媒体に記録されて提供されてもよい。コンピュータシステムのプロセッサは、半導体集積回路（ＩＣ）又は大規模集積回路（ＬＳＩ）を含む１ないし複数の電子回路で構成される。ここでいうＩＣ又はＬＳＩ等の集積回路は、集積の度合いによって呼び方が異なっており、システムＬＳＩ、ＶＬＳＩ（Very Large Scale Integration）、又はＵＬＳＩ（Ultra Large Scale Integration）と呼ばれる集積回路を含む。さらに、ＬＳＩの製造後にプログラムされる、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）、又はＬＳＩ内部の接合関係の再構成若しくはＬＳＩ内部の回路区画の再構成が可能な論理デバイスについても、プロセッサとして採用することができる。複数の電子回路は、１つのチップに集約されていてもよいし、複数のチップに分散して設けられていてもよい。複数のチップは、１つの装置に集約されていてもよいし、複数の装置に分散して設けられていてもよい。ここでいうコンピュータシステムは、１以上のプロセッサ及び１以上のメモリを有するマイクロコントローラを含む。したがって、マイクロコントローラについても、半導体集積回路又は大規模集積回路を含む１ないし複数の電子回路で構成される。
【００９３】
作業装置１０における複数の機能が、１つの筐体内に集約されていることは作業装置１０に必須の構成ではなく、作業装置１０の構成要素は、複数の筐体に分散して設けられていてもよい。さらに、作業装置１０の少なくとも一部の機能（例えば、制御回路１１０）がクラウド（クラウドコンピューティング）等によって実現されてもよい。
【００９４】
（４．１）変形例１
実施形態１では、第１制振ユニット３Ａ及び第２制振ユニット３Ｂの各々が、制振用リニアモータ３０Ａ，３０Ｂを備えている。これに対して、第１制振ユニット３Ａ及び第２制振ユニット３Ｂの各々は、偏心モータ３０Ｃを備えていてもよい。偏心モータ３０Ｃは、図３Ｂに示すように、モータ３３と、偏心用錘３４と、を有している。偏心用錘３４は、モータ３３の回転軸に取り付けられている。
【００９５】
変形例１に係る第１制振ユニット３Ａ及び第２制振ユニット３Ｂの各々では、偏心モータ３０Ｃを回転させることで発生する力のうち、Ｙ方向に作用する力を第２推力Ｆｃとして利用する。この構成によれば、第１制振部材３１Ａ及び第２制振部材３１Ｂの各々を直進移動させる場合に比べて、第１制振ユニット３Ａ及び第２制振ユニット３Ｂの各々を小型化することができる。
【００９６】
（４．２）変形例２
作業装置１０は、図８Ａに示すように、第２移動体１Ｂを更に備えていてもよい。言い換えると、作業装置１０は、移動体としての第１移動体１Ａとは異なる第２移動体１Ｂを更に備えていてもよい。以下、変形例２に係る作業装置１０について、図８Ａ及び図９を参照して説明する。なお、変形例２に係る作業装置１０は、第２移動体１Ｂを備えている点を除いて、実施形態１に係る作業装置１０と同様であり、同一の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【００９７】
変形例２に係る作業装置１０は、第１移動体１Ａと、第１保持部材２Ａと、第２保持部材２Ｂと、複数（図８Ａでは２つ）の第１制振ユニット３Ａと、複数（図８Ａでは２つ）の第２制振ユニット３Ｂと、装置本体４と、を備えている。また、作業装置１０は、第２移動体１Ｂを更に備えている。
【００９８】
第２移動体１Ｂは、図９に示すように、第２実装部１１Ｂと、第２軸部材１２Ｂと、を有している。第２実装部１１Ｂは、第２吸着ノズル１３Ｂを含む。言い換えると、第２移動体１Ｂは、第１実装部１１Ａとは異なる第２実装部１１Ｂ、及び第１軸部材１２Ａとは異なり、第２実装部１１Ｂが第１方向（Ｘ方向）に沿って移動可能な状態で第２実装部１１Ｂを保持する第２軸部材１２Ｂを有する。
【００９９】
第２実装部１１Ｂは、第１リニアモータ１２１（図４参照）からの駆動力によって、第２軸部材１２Ｂに沿ってＸ方向に移動可能である。第２軸部材１２Ｂは、第２リニアモータ１２２（図４参照）からの駆動力によって、第１保持部材２Ａ及び第２保持部材２Ｂに沿ってＹ方向に移動可能である。
【０１００】
変形例２に係る作業装置１０では、図８Ａに示すように、複数の第１制振ユニット３Ａは、Ｙ方向における第１保持部材２Ａの両端部にそれぞれ位置している。また、複数の第２制振ユニット３Ｂは、Ｙ方向における第２保持部材２Ｂの両端部にそれぞれ位置している。一方（図８Ａ中の下側）の第１制振ユニット３Ａ及び一方（図８Ａ中の下側）の第２制振ユニット３Ｂは、第１移動体（第１軸部材１２Ａ）に対応している。また、他方（図８Ａ中の上側）の第１制振ユニット３Ａ及び他方（図８Ａ中の上側）の第２制振ユニット３Ｂは、第２移動体１Ｂ（第２軸部材１２Ｂ）に対応している。
【０１０１】
変形例２に係る作業装置１０では、第１移動体１Ａ又は第２移動体１Ｂの動作時において、複数の第１制振部材３１Ａ及び複数の第２制振部材３１Ｂのすべてを動作させてもよいし、少なくとも１つを動作させてもよい。一例として、第１移動体１Ａを動作させる場合には、対応する一方の第１制振部材３１Ａ及び第２制振部材３１Ｂを動作させ、第２移動体１Ｂを動作させる場合には、対応する他方の第１制振部材３１Ａ及び第２制振部材３１Ｂを動作させる。これにより、第１移動体１Ａ又は第２移動体１Ｂの動作時に第１保持部材２Ａ及び第２保持部材２Ｂに発生する機械振動を低減することができる。
【０１０２】
（４．３）変形例３
図８Ｂに示すように、Ｙ方向における第１保持部材２Ａの一端部に第１制振ユニット３Ａを配置し、Ｙ方向における第２保持部材２Ｂの他端部に第２制振ユニット３Ｂを配置してもよい。以下、変形例３に係る作業装置１０について、図８Ｂを参照して説明する。なお、変形例３に係る作業装置１０は、第１制振ユニット３Ａ及び第２制振ユニット３Ｂの配置を除いて、変形例２に係る作業装置１０と同様であり、同一の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【０１０３】
変形例３に係る作業装置１０は、図８Ｂに示すように、第１移動体１Ａと、第２移動体１Ｂと、第１保持部材２Ａと、第２保持部材２Ｂと、第１制振ユニット３Ａと、第２制振ユニット３Ｂと、装置本体４と、を備えている。
【０１０４】
第１制振ユニット３Ａは、Ｙ方向における第１保持部材２Ａの一端部、つまり第１移動体１Ａ側の端部に位置している。第２制振ユニット３Ｂは、Ｙ方向における第２保持部材２Ｂの他端部、つまり第２移動体１Ｂ側の端部に位置している。言い換えると、第１制振ユニット３Ａ及び第２制振ユニット３Ｂは、床面３００に設置された作業装置１０を上方から見て、対角線上に位置している。
【０１０５】
変形例３に係る作業装置１０では、第１移動体１Ａ又は第２移動体１Ｂの動作時において、第１制振ユニット３Ａ及び第２制振ユニット３Ｂの両方を動作させてもよい。また、第１移動体１Ａの動作時に第１制振ユニット３Ａのみを動作させ、第２移動体１Ｂの動作時に第２制振ユニット３Ｂのみを動作させてもよいし、その逆であってもよい。
【０１０６】
変形例３に係る作業装置１０では、第１移動体１Ａ又は第２移動体１Ｂの動作時において、第１制振ユニット３Ａ及び第２制振ユニット３Ｂの少なくとも一方を動作させることになる。そのため、第１移動体１Ａ又は第２移動体１Ｂの動作時に第１保持部材２Ａに発生する機械振動及び第２保持部材２Ｂに発生する機械振動の少なくとも一方を低減することができる。
【０１０７】
なお、図８Ｂにおいて、第１制振ユニット３Ａと第２制振ユニット３Ｂとの配置が逆であってもよい。
【０１０８】
（４．４）変形例４
図８Ｃに示すように、Ｙ方向における第１保持部材２Ａの中央部に第１制振ユニット３Ａを配置し、Ｙ方向における第２保持部材２Ｂの中央部に第２制振ユニット３Ｂを配置してもよい。以下、変形例４に係る作業装置１０について、図８Ｃを参照して説明する。なお、変形例４に係る作業装置１０は、第１制振ユニット３Ａ及び第２制振ユニット３Ｂの配置を除いて、変形例２に係る作業装置１０と同様であり、同一の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【０１０９】
変形例４に係る作業装置１０は、図８Ｃに示すように、第１移動体１Ａと、第２移動体１Ｂと、第１保持部材２Ａと、第２保持部材２Ｂと、第１制振ユニット３Ａと、第２制振ユニット３Ｂと、装置本体４と、を備えている。
【０１１０】
第１制振ユニット３Ａは、Ｙ方向における第１保持部材２Ａの中央部に位置している。第２制振ユニット３Ｂは、Ｙ方向における第２保持部材２Ｂの中央部に位置している。
【０１１１】
変形例４に係る作業装置１０では、第１移動体１Ａ又は第２移動体１Ｂの動作時において、第１制振ユニット３Ａ及び第２制振ユニット３Ｂの両方を動作させてもよい。また、第１移動体１Ａの動作時に第１制振ユニット３Ａのみを動作させ、第２移動体１Ｂの動作時に第２制振ユニット３Ｂのみを動作させてもよいし、その逆であってもよい。
【０１１２】
変形例４に係る作業装置１０では、第１移動体１Ａ又は第２移動体１Ｂの動作時において、第１制振ユニット３Ａ及び第２制振ユニット３Ｂの少なくとも一方を動作させることになる。そのため、第１移動体１Ａ又は第２移動体１Ｂの動作時に第１保持部材２Ａに発生する機械振動及び第２保持部材２Ｂに発生する機械振動の少なくとも一方を低減することができる。
【０１１３】
（４．５）変形例５
作業装置１０は、図８Ｄに示すように、複数の第１移動体１Ａと、複数の第２移動体１Ｂと、を備えていてもよい。以下、変形例５に係る作業装置１０について、図８Ｄを参照して説明する。なお、変形例５に係る作業装置１０は、複数の第１移動体１Ａ及び複数の第２移動体１Ｂを備えている点を除いて、変形例２に係る作業装置１０と同様であり、同一の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【０１１４】
変形例５に係る作業装置１０は、複数（図８Ｄでは２つ）の第１移動体１Ａと、複数（図８Ｄでは２つ）の第２移動体１Ｂと、第１保持部材２Ａと、第２保持部材２Ｂと、を備えている。さらに、作業装置１０は、複数（図８Ｄでは２つ）の第１制振ユニット３Ａと、複数（図８Ｄでは２つ）の第２制振ユニット３Ｂと、装置本体４と、を備えている。
【０１１５】
複数の第１移動体１Ａの一方、及び複数の第２移動体１Ｂの一方は、第１保持部材２Ａに保持されている。これらの第１移動体１Ａ及び第２移動体１Ｂは、Ｘ方向の一端部（図８Ｄの右端部）において第１保持部材２Ａに保持されている。複数の第１移動体１Ａの他方、及び複数の第２移動体１Ｂの他方は、第２保持部材２Ｂに保持されている。これらの第１移動体１Ａ及び第２移動体１Ｂは、Ｘ方向の他端部（図８Ｄの左端部）において第２保持部材２Ｂに保持されている。
【０１１６】
複数の第１制振ユニット３Ａは、Ｙ方向における第１保持部材２Ａの両端部にそれぞれ位置している。複数の第２制振ユニット３Ｂは、Ｙ方向における第２保持部材２Ｂの両端部にそれぞれ位置している。
【０１１７】
変形例５に係る作業装置１０では、第１移動体１Ａ又は第２移動体１Ｂの動作時において、複数の第１制振ユニット３Ａ及び複数の第２制振ユニット３Ｂのうち、少なくとも１つの制振ユニットを動作させる。これにより、第１移動体１Ａ又は第２移動体１Ｂの動作時に第１保持部材２Ａに発生する機械振動、及び第２保持部材２Ｂに発生する機械振動のうち少なくとも一方の機械振動を低減することができる。
【０１１８】
（４．６）その他の変形例
以下、実施形態１のその他の変形例を列挙する。
【０１１９】
実施形態１に係る作業装置１０は、第１保持部材２Ａ及び第２保持部材２Ｂの両方を備えているが、少なくとも第１保持部材２Ａを備えていればよい。つまり、第２保持部材２Ｂについては省略されていてもよい。この場合、第２保持部材２Ｂに取り付けられている第２制振ユニット３Ｂについても省略することができる。
【０１２０】
実施形態１に係る作業装置１０は、第１対象物１００に第２対象物２００を実装する部品実装機であるが、作業装置１０は、部品実装機に限らず、例えば第１対象物１００にはんだ、導電性接着剤等を塗布する塗布機であってもよい。また、作業装置１０は、第１対象物１００に導電性パターン等を印刷する印刷機であってもよい。
【０１２１】
実施形態１に係る作業装置１０では、第１制振ユニット３Ａが第１保持部材２Ａの上面に配置されているが、第１制振ユニット３Ａは、第１保持部材２Ａの側面に配置されていてもよいし、第１保持部材２Ａ内に配置されていてもよい。特に、第１制振ユニット３Ａが第１保持部材２Ａ内に配置されている場合には、振動源である第１軸部材１２Ａに近くなるので、第１保持部材２Ａに発生する機械振動をより効果的に低減することができる。第２制振ユニット３Ｂについても同様である。
【０１２２】
実施形態１に係る作業装置１０では、コイルを含む第１固定子３２Ａを第１保持部材２Ａに固定し、第１固定子３２Ａに対して第１制振部材３１Ａを可動させている。これに対して、第１制振部材３１Ａを第１保持部材２Ａに固定し、第１制振部材３１Ａに対して第１固定子３２Ａを可動させてもよい。また、第２制振ユニット３Ｂについても同様である。
【０１２３】
さらに、実施形態１に係る作業装置１０では、シャフト３１１が挿通される第１固定子３２Ａ側にコイルを設けているが、シャフト３１１側にコイルを設けてもよい。この場合、第１固定子３２Ａ内に複数の永久磁石（マグネット）を収納することになる。また、第２制振ユニット３Ｂについても同様である。
【０１２４】
実施形態１に係る作業装置１０では、Ｙ方向に並ぶ２つの保持部材（第１保持部材２Ａ及び第２保持部材２Ｂ）を備えているが、作業装置１０は、Ｙ方向に並ぶ３つ以上の保持部材を備えていてもよい。
【０１２５】
（実施形態２）
実施形態２に係る作業装置１０Ａは、第１実装部１１Ａの動作時において第１軸部材１２Ａに発生する機械振動を低減するために、第１軸部材１２Ａに取り付けられる実装部用制振ユニット６を備えている点で、実施形態１に係る作業装置１０と相違している。なお、それ以外の構成については、実施形態１に係る作業装置１０と同様であり、同一の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【０１２６】
実施形態２に係る作業装置１０Ａは、図１０に示すように、第１移動体１Ａ（移動体）と、第１保持部材２Ａ（保持部材）と、第２保持部材２Ｂと、第１制振ユニット３Ａ（制振ユニット）と、第２制振ユニット３Ｂと、装置本体４と、を備えている。また、作業装置１０は、実装部用制振ユニット６を更に備えている。
【０１２７】
実装部用制振ユニット６は、第３可動子としての実装部用制振部材６１と、第３固定子６２と、を有している。実装部用制振部材６１は、シャフト６１１と、複数（図１０では２つ）の錘６１２と、を含む。シャフト６１１は、一方向に長い円筒状に形成されている。シャフト６１１の内部には、上記一方向に沿って積層された複数の永久磁石（マグネット）が収納されている。複数の錘６１２は、シャフト６１１の長手方向の両端部にそれぞれ固定されている。実装部用制振部材６１の質量は、シャフト６１１の質量と複数の錘６１２の質量とを合わせた質量である。そのため、複数の錘６１２の質量を変えることによって、実装部用制振部材６１の質量を調節することができる。
【０１２８】
第３固定子６２は、一方向に長い角筒状に形成されている。第３固定子６２は、一方向に沿って貫通する貫通孔を有している。この貫通孔は、実装部用制振部材６１のシャフト６１１が挿通可能な大きさに形成されている。第３固定子６２の内部には、第３固定子６２の長手方向（一方向）に沿って巻かれた巻線からなるコイルが収納されている。
【０１２９】
実装部用制振ユニット６は、図１０に示すように、第３固定子６２において第１軸部材１２Ａに固定されており、少なくとも第３固定子６２において第１軸部材１２Ａに接している。
【０１３０】
実装部用制振ユニット６では、第３固定子６２のコイルに励磁電流を流すと、コイルと永久磁石との間に電磁力が作用し、この電磁力によって生じる推進力にて実装部用制振部材（第３可動子）６１が直進移動する。
【０１３１】
実施形態２に係る作業装置１０Ａでは、第１実装部１１Ａの動作に連動してＸ方向（第１方向）に沿って実装部用制振部材６１を移動させている。その結果、第１実装部１１Ａの動作時において第１軸部材１２Ａに発生する機械振動を低減することができる。
【０１３２】
ところで、上述のように、実装部用制振ユニット６を第１軸部材１２Ａに取り付けた場合には、第１移動体１Ａの質量が増加することになり、第１移動体１Ａの動作時における第１保持部材２Ａ及び第２保持部材２Ｂの負荷が大きくなる。そのため、第１保持部材２Ａ及び第２保持部材２Ｂへの負荷が大きくならないように、実装部用制振ユニット６を連結部材７に取り付けることが好ましい（図１１参照）。連結部材７は、第１保持部材２Ａと第２保持部材２Ｂとを端部同士で連結する部材である。
【０１３３】
この場合においても、実装部用制振ユニット６にて発生させた推力を、連結部材７を介して第１軸部材１２Ａに伝達することで、第１実装部１１Ａの動作時に第１軸部材１２Ａに発生する機械振動を低減することができる。
【０１３４】
（まとめ）
以上説明したように、第１の態様に係る作業装置（１０；１０Ａ；１０Ｂ）は、移動体としての第１移動体（１Ａ）と、保持部材としての第１保持部材（２Ａ）と、制振ユニットとしての第１制振ユニット（３Ａ）と、を備える。第１移動体（１Ａ）は、実装部としての第１実装部（１１Ａ）、及び軸部材としての第１軸部材（１２Ａ）を有する。第１実装部（１１Ａ）は、第１対象物（１００）に第２対象物（２００）を実装する。第１軸部材（１２Ａ）は、第１実装部（１１Ａ）が第１方向（例えば、Ｘ方向）に沿って移動可能な状態で第１実装部（１１Ａ）を保持する。第１保持部材（２Ａ）は、第１軸部材（１２Ａ）が第１方向と交差する第２方向（例えば、Ｙ方向）に沿って移動可能な状態で第１軸部材（１２Ａ）を保持する。第１制振ユニット（３Ａ）は、制振部材としての第１制振部材（３１Ａ）を含み、少なくとも一部が第１保持部材（２Ａ）に接している。第１制振部材（３１Ａ）は、第１軸部材（１２Ａ）の動作に連動して第２方向に沿って移動する。
【０１３５】
この態様によれば、第１制振部材（３１Ａ）によって、第１移動体（１Ａ）の動作時に第１保持部材（２Ａ）に発生する機械振動を低減することができる。
【０１３６】
第２の態様に係る作業装置（１０；１０Ａ；１０Ｂ）では、第１の態様において、第１保持部材（２Ａ）は、床面（３００）に固定された装置本体（４）に取り付けられている。第１制振ユニット（３Ａ）は、床面（３００）側から見て、第１保持部材（２Ａ）における床面（３００）から遠い側の端部に位置している。
【０１３７】
この態様によれば、第１制振ユニット（３Ａ）によるモーメント力を大きくすることができる。
【０１３８】
第３の態様に係る作業装置（１０；１０Ａ；１０Ｂ）では、第２の態様において、第１制振ユニット（３Ａ）は、第２方向における第１保持部材（２Ａ）の端部に位置している。
【０１３９】
この態様によれば、第１保持部材（２Ａ）に取り付けられている他の部材（例えば、ケーブルベア（登録商標）５）の邪魔になりにくいという利点がある。
【０１４０】
第４の態様に係る作業装置（１０；１０Ａ；１０Ｂ）では、第１〜３のいずれかの態様において、第１方向における第１制振ユニット（３Ａ）の幅寸法（Ｈ１）は、第１方向における第１保持部材（２Ａ）の幅寸法（Ｈ２）以下である。
【０１４１】
この態様によれば、作業装置（１０；１０Ａ；１０Ｂ）の大型化を抑えることができる。
【０１４２】
第５の態様に係る作業装置（１０；１０Ａ；１０Ｂ）では、第１〜４のいずれかの態様において、第１制振ユニット（３Ａ）は、制振用リニアモータ（３０Ａ）を更に含む。制振用リニアモータ（３０Ａ）は、第１制振部材（３１Ａ）を駆動する。
【０１４３】
この態様によれば、第１制振ユニット（３Ａ）を小型化することができる。
【０１４４】
第６の態様に係る作業装置（１０；１０Ａ；１０Ｂ）では、第５の態様において、第１制振部材（３１Ａ）は、制振用リニアモータ（３０Ａ）からの駆動力によって第２方向に沿って直線的に移動する。
【０１４５】
この態様によれば、第１移動体（１Ａ）の動作によって第１保持部材（２Ａ）に発生する機械振動をより効果的に低減することができる。
【０１４６】
第７の態様に係る作業装置（１０；１０Ａ；１０Ｂ）は、第１〜６のいずれかの態様において、第２保持部材（２Ｂ）を更に備える。第２保持部材（２Ｂ）は、保持部材としての第１保持部材（２Ａ）と共に、第１軸部材（１２Ａ）が第２方向に沿って移動可能な状態で第１軸部材（１２Ａ）を保持する。第１保持部材（２Ａ）は、第１方向における第１軸部材（１２Ａ）の一端部を保持する。第２保持部材（２Ｂ）は、第１方向における第１軸部材（１２Ａ）の他端部を保持する。
【０１４７】
この態様によれば、第１保持部材（２Ａ）のみで第１軸部材（１２Ａ）を保持する場合に比べて強固に保持することができる。
【０１４８】
第８の態様に係る作業装置（１０；１０Ａ；１０Ｂ）は、第７の態様において、第２制振ユニット（３Ｂ）を更に備える。第２制振ユニット（３Ｂ）は、制振ユニットとしての第１制振ユニット（３Ａ）とは異なる。第２制振ユニット（３Ｂ）は、第２制振部材（３１Ｂ）を含み、少なくとも一部が第２保持部材（２Ｂ）に接している。第２制振部材（３１Ｂ）は、制振部材としての第１制振部材（３１Ａ）とは異なり、第１軸部材（１２Ａ）の動作に連動して第２方向に沿って移動する。
【０１４９】
この態様によれば、第１保持部材（２Ａ）のみに第１制振ユニット（３Ａ）が接している場合に比べて、より効果的に機械振動を低減することができる。
【０１５０】
第９の態様に係る作業装置（１０；１０Ａ；１０Ｂ）は、第１〜８のいずれかの態様において、第２移動体（１Ｂ）と、第２制振ユニット（３Ｂ）と、を更に備える。第２移動体（１Ｂ）は、第２実装部（１１Ｂ）、及び第２軸部材（１２Ｂ）を有する。第２実装部（１１Ｂ）は、実装部としての第１実装部（１１Ａ）とは異なる。第２軸部材（１２Ｂ）は、軸部材としての第１軸部材（１２Ａ）とは異なり、第２実装部（１１Ｂ）が第１方向に沿って移動可能な状態で第２実装部（１１Ｂ）を保持する。第２移動体（１Ｂ）は、移動体としての第１移動体（１Ａ）とは異なる。第２制振ユニット（３Ｂ）は、第２制振部材（３１Ｂ）を含む。第２制振部材（３１Ｂ）は、制振部材としての第１制振部材（３１Ａ）とは異なり、第２軸部材（１２Ｂ）の動作に連動して第２方向に沿って移動する。第２制振ユニット（３Ｂ）は、制振ユニットとしての第１制振ユニット（３Ａ）とは異なる。
【０１５１】
この態様によれば、第１制振ユニット（３Ａ）のみで制振する場合に比べて、より効果的に機械振動を低減することができる。
【０１５２】
第１０の態様に係る作業装置（１０；１０Ａ；１０Ｂ）は、第９の態様において、第２保持部材（２Ｂ）を更に備える。第２保持部材（２Ｂ）は、保持部材としての第１保持部材（２Ａ）と共に、第１軸部材（１２Ａ）及び第２軸部材（１２Ｂ）が第２方向に沿って移動可能な状態で第１軸部材（１２Ａ）及び第２軸部材（１２Ｂ）を保持する。第２制振ユニット（３Ｂ）の少なくとも一部が第２保持部材（２Ｂ）に接している。
【０１５３】
この態様によれば、第１保持部材（２Ａ）のみに第１制振ユニット（３Ａ）が接している場合に比べて、より効果的に機械振動を低減することができる。
【０１５４】
第１１の態様に係る作業装置（１０Ａ；１０Ｂ）は、第１〜１０のいずれかの態様において、実装部用制振ユニット（６）を更に備える。実装部用制振ユニット（６）は、実装部用制振部材（６１）を含み、少なくとも一部が第１軸部材（１２Ａ）に接している。実装部用制振部材（６１）は、第１実装部（１１Ａ）の動作に連動して第１方向に沿って移動する。
【０１５５】
この態様によれば、第１実装部（１１Ａ）の動作によって第１軸部材（１２Ａ）発生する機械振動についても低減することができる。
【０１５６】
第１２の態様に係る作業装置（１０；１０Ａ；１０Ｂ）では、第１〜１１のいずれかの態様において、第１開始時間（ｔ１１）と第２開始時間（ｔ２１）とが一致し、かつ第１完了時間（ｔ１２）と第２完了時間（ｔ２２）とが一致している。第１開始時間（ｔ１１）は、第１軸部材（１２Ａ）の移動を開始する時間である。第２開始時間（ｔ２１）は、第１制振部材（３１Ａ）の移動を開始する時間である。第１完了時間（ｔ１２）は、第１軸部材（１２Ａ）の移動が完了する時間である。第２完了時間（ｔ２２）は、第１制振部材（３１Ａ）の移動が完了する時間である。
【０１５７】
この態様によれば、第１軸部材（１２）の動作によって第１保持部材（２Ａ）に発生する機械振動を低減することができる。
【０１５８】
第１３の態様に係る作業装置（１０；１０Ａ；１０Ｂ）では、第１２の態様において、第１軸部材（１２Ａ）は、第１開始時間（ｔ１１）と第１完了時間（ｔ１２）とで規定される第１移動期間（Ｔ１）において、複数の加加速度点（Ｐ１〜Ｐ４）で加速度が変化するように移動する。第１制振部材（３１Ａ）は、複数の加加速度点（Ｐ１〜Ｐ４）のうち少なくとも１つの加加速度点（例えば、Ｐ４）において発生する振動を制振するように構成されている。
【０１５９】
この態様によれば、第１軸部材（１２）の動作によって第１保持部材（２Ａ）に発生する機械振動を低減することができる。
【０１６０】
第１４の態様に係る作業装置（１０；１０Ａ；１０Ｂ）は、移動体としての第１移動体（１Ａ）と、保持部材としての第１保持部材（２Ａ）と、制振ユニットとしての第１制振ユニット（３Ａ）と、を備える。第１移動体（１Ａ）は、作業部（第１実装部１１Ａ）、及び軸部材としての第１軸部材（１２Ａ）を有する。作業部は、所定の作業（例えば、基板への部品の実装）を行う。第１軸部材（１２Ａ）は、作業部が第１方向に沿って移動可能な状態で作業部を保持する。第１保持部材（２Ａ）は、第１軸部材（１２Ａ）が第１方向と交差する第２方向に沿って移動可能な状態で第１軸部材（１２Ａ）を保持する。第１制振ユニット（３Ａ）は、制振部材としての第１制振部材（３１Ａ）を含み、少なくとも一部が第１保持部材（２Ａ）に接している。第１制振部材（３１Ａ）は、第１軸部材（１２）の動作に連動して第２方向に沿って移動する。
【０１６１】
この態様によれば、第１移動体（１Ａ）の動作時に第１保持部材（２Ａ）に発生する機械振動を低減することができる。
【０１６２】
第１５の態様に係る作業装置（１０；１０Ａ；１０Ｂ）は、移動体としての第１移動体（１Ａ）と、保持部材としての第１保持部材（２Ａ）と、制振ユニットとしての第１制振ユニット（３Ａ）と、を備える。第１保持部材（２Ａ）は、第１移動体（１Ａ）が一の方向（例えば、Ｘ方向）に沿って移動可能な状態で第１移動体（１Ａ）を保持する。第１制振ユニット（３Ａ）は、制振部材としての第１制振部材（３１Ａ）を含む。第１制振部材（３１Ａ）は、第１移動体（１Ａ）の動作に連動して一の方向に沿って移動する。第１保持部材（２Ａ）は、床面（３００）に固定された装置本体（４）に固定されている。
【０１６３】
この態様によれば、第１移動体（１Ａ）の動作時に第１保持部材（２Ａ）に発生する機械振動を低減することができる。
【０１６４】
第１６の態様に係る制振ユニット（３）は、第１〜１５のいずれかの態様に係る作業装置（１０；１０Ａ；１０Ｂ）に用いられる。
【０１６５】
この態様によれば、第１移動体（１Ａ）の動作時に第１保持部材（２Ａ）に発生する機械振動を低減することができる。
【０１６６】
第１７の態様に係る制振方法は、軸部材としての第１軸部材（１２Ａ）を第１方向と交差する第２方向に沿って移動させる際に、第１軸部材（１２Ａ）の動作に連動して第２方向に沿って制振部材としての第１制振部材（３１Ａ）を移動させる。第１軸部材（１２Ａ）は、所定の作業を行う作業部（第１実装部１１Ａ）が第１方向に沿って移動可能な状態で作業部を保持する。
【０１６７】
この態様によれば、第１移動体（１Ａ）の動作時に第１保持部材（２Ａ）に発生する機械振動を低減することができる。
【０１６８】
第２〜１５の態様に係る構成については、作業装置（１０；１０Ａ；１０Ｂ）に必須の構成ではなく、適宜省略可能である。
【符号の説明】
【０１６９】
１Ａ  第１移動体（移動体）
１１Ａ  第１実装部（実装部）
１２Ａ  第１軸部材（軸部材）
１Ｂ  第２移動体
１１Ｂ  第２実装部
１２Ｂ  第２軸部材
２Ａ  第１保持部材（保持部材）
２Ｂ  第２保持部材
３Ａ  第１制振ユニット（制振ユニット）
３１Ａ  第１制振部材（制振部材）
３Ｂ  第２制振ユニット
３１Ｂ  第２制振部材
４  装置本体
６  実装部用制振ユニット
６１  実装部用制振部材
１０，１０Ａ，１０Ｂ  作業装置
１００  第１対象物
２００  第２対象物
３００  床面
Ｈ１，Ｈ２  幅寸法
Ｐ１〜Ｐ４  加加速度点
Ｔ１  第１移動期間
ｔ１１  第１開始時間
ｔ１２  第１完了時間
ｔ２１  第２開始時間
ｔ２２  第２完了時間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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