(57)【要約】【課題】  液体流路を有する複数の基板を、接着剤で良好に貼り合わせた液体吐出ヘッドを提供すること。【解決手段】  第１の面の側に液体を吐出するための吐出口が形成され、前記第１の面と反対側の第２の面の側に凹部が形成され、前記第１の面から前記第２の面を貫通する第１の液体流路が前記第２の面の前記凹部の内部に開口した第１の基板を用意する工程と、第３の面に第２の液体流路が開口した第２の基板を用意する工程と、前記第１の液体流路と前記第２の液体流路とが連通するように、前記凹部の底面と前記第３の面とを接着剤で接着させ、前記第１の基板と前記第２の基板とを貼り合わせる工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の面の側に液体を吐出するための吐出口が形成され、前記第１の面と反対側の第２の面の側に凹部が形成され、前記第１の面から前記第２の面を貫通する第１の液体流路が前記第２の面の前記凹部の内部に開口した第１の基板を用意する工程と、
第３の面に第２の液体流路が開口した第２の基板を用意する工程と、
前記第１の液体流路と前記第２の液体流路とが連通するように、前記凹部の底面と前記第３の面とを接着剤で接着させ、前記第１の基板と前記第２の基板とを貼り合わせる工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記第１の基板はシリコン基板である請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記第１の液体流路は、前記第２の面の側の第１の部分と、前記第１の面の側の第２の部分とを有し、前記第１の基板の第１の面から前記第１の部分を加工し、前記第１の基板の前記第２の面から前記第２の部分を加工する請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記第１の部分と前記第２の部分が連通する前に前記第１の部分の加工を停止し、加工を停止した後で前記凹部を形成する請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記凹部はウェットエッチングで形成する請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記第１の基板の前記第２の面の側に先導孔を形成し、前記先導孔から加工を行うことで、前記凹部と前記第２の部分とを形成する請求項１乃至５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記第１の基板の前記第１の面に第３の基板を貼り合わせる工程を有する請求項１乃至６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記第３の基板の前記第１の基板がある側と反対側の面の上に、前記吐出口を有する流路形成部材を形成する工程を有する請求項１乃至７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記第３の基板はシリコン基板である請求項８に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記第２の基板はアルミナである請求項１乃至９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
第１の面の側に液体を吐出するための吐出口が形成され、前記第１の面と反対側の第２の面の側に凹部が形成され、前記第１の面から前記第２の面を貫通する第１の液体流路が前記第２の面の前記凹部の内部に開口した第１の基板と、
第３の面に前記第１の液体流路と連通する第２の液体流路が開口した第２の基板と、
を有する液体吐出ヘッドであって、
前記凹部の底面と前記第３の面とが接着剤で接着されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記第１の基板はシリコン基板である請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記第２の基板はアルミナである請求項１１または１２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記第１の基板の前記第１の面の上に第３の基板を有する請求項１１乃至１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
前記第３の基板はシリコン基板である請求項１４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１６】
前記第３の基板の前記第１の基板がある側と反対側の面の上に、前記吐出口を有する流路形成部材を有する請求項１４または１５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１７】
前記凹部に前記接着剤が充填されている請求項１１乃至１６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１８】
前記接着剤は、前記凹部の前記底面と交差する方向に延在する側面に接着している請求項１１乃至１７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１９】
前記凹部の深さは、３μｍ以上である請求項１１乃至１８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項２０】
前記凹部の深さは、５０μｍ以下である請求項１１乃至１９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッドの製造方法、及び液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタ等の液体吐出装置は、液体（インク）を吐出する液体吐出ヘッドを有する。このような液体吐出ヘッドとして、複数の基板を貼り合わせた基板を有する液体吐出ヘッドがある。
【０００３】
特許文献１には、第１の基板（記録素子基板）と第２の基板（支持部材）が貼り合わされた液体吐出ヘッドが記載されている。第１の基板の第１の面の側には、液体を吐出するための吐出口が形成されている。第１の基板には、第１の面と、第１の面と反対側の第２の面とを貫通する第１の液体流路（供給口）が形成されている。第２の基板の第３の面（第１の基板側の面）には、第２の液体流路が開口している。第１の基板と第２の基板とは、第２の面と第３の面とを接着剤で接着させることで貼り合わされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１８−８３３６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載されているような液体吐出ヘッドでは、第１の基板の第２の面を第２の基板と貼り合わせる。液体吐出ヘッドの製造過程において、第２の面は製造装置の構成部品（露光装置やラミネート装置の基板吸着ステージ、基板接合装置の静電チャック等）と接触することがある。この為、第２の面は製造装置の構成部品に付着していた付着物で汚染されることがある。
【０００６】
このように第２の面に付着物が付着した状態で、第１の基板の第２の面と、第２の基板の第３の面とを接着剤によって接着しようとすると、付着物によって接着が良好でなくなる場合がある。接着が良好でないと、第２の面と第３の面との間に隙間が形成される。第２の面には第１の液体流路が開口している。この為、第１の液体流路の開口と隙間が連通すると、隙間から液体が漏れてしまう可能性がある。液体が漏れると、液体の液体吐出ヘッド外への流出や、液体が隣接した液体流路に流出することで液体の混色等が発生してしまうおそれがある。
【０００７】
従って本発明は、液体流路を有する複数の基板を、接着剤で良好に貼り合わせた液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題は、以下の本発明によって解決される。即ち本発明は、第１の面の側に液体を吐出するための吐出口が形成され、前記第１の面と反対側の第２の面の側に凹部が形成され、前記第１の面から前記第２の面を貫通する第１の液体流路が前記第２の面の前記凹部の内部に開口した第１の基板を用意する工程と、第３の面に第２の液体流路が開口した第２の基板を用意する工程と、前記第１の液体流路と前記第２の液体流路とが連通するように、前記凹部の底面と前記第３の面とを接着剤で接着させ、前記第１の基板と前記第２の基板とを貼り合わせる工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、液体流路を有する複数の基板を、接着剤で良好に貼り合わせた液体吐出ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】液体吐出ヘッドの模式断面図。
【図２】液体吐出ヘッドの模式平面図。
【図３】液体吐出ヘッドの模式平面図。
【図４】液体吐出ヘッドの製造方法を示す模式断面図。
【図５】液体吐出ヘッドの製造方法を示す模式断面図。
【図６】比較形態における液体吐出ヘッドの模式断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して、本発明のいくつかの実施形態について説明する。本発明の液体吐出ヘッドは、プリンタ、複写機のほか、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサないし携帯機器、各種処理装置と複合的に組み合わされた産業装置等に適用できる。また、本発明の液体吐出ヘッドは、３Ｄプリンタ等の造形装置、半導体製造装置、医療用装置に適用することもできる。液体が吐出される対象物は２次元的な構造体でも３次元的な構造体でもよく、液体は空間に対して吐出されてもよい。以下、液体吐出ヘッドとして、インクジェットプリンタに用い、インクを吐出するインクジェットヘッドを例にとって説明する。
【００１２】
図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを模式的に示す断面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＢ部の拡大図を示した断面図である。また、図２は図１に示す液体吐出ヘッド１を第２の基板１０側から見た模式平面図であるが、便宜上、第２の基板１０と第２の液体流路１１と、第１の基板３と第１の液体流路２６と凹部１４とを同一平面上に図示している。また、図２には、便宜上、第３の基板２及び第１の基板３上に形成された構造物や接着剤１３は図示していない。
【００１３】
液体吐出ヘッド１は、第１の基板３と、第１の基板３と接着剤１３で接着された第２の基板１０とを有している。第１の基板３の第１の面３ａの側には、液体を吐出するための吐出口１７が形成されている。第１の基板３の第１の面３ａと反対側の面である第２の面３ｂの側には、凹部１４が形成されている。第１の基板３には、第１の面３ａから第２の面３ｂを貫通する第１の液体流路２６が形成されており、第１の液体流路２６の開口９が、第２の面３ｂの凹部１４の内部に開口している。第１の液体流路２６は、第２の面３ｂの側の第１の部分７と、第１の面３ａの側の第２の部分８とを有する。開口９の形状は、ここでは図２に示すように平行四辺形であるが、正方形であっても、長方形であっても、多角形であっても、円形であってもよい。第１の基板３には、絶縁層、保護層、密着向上層、平坦化層、反射防止層、耐薬品層等が形成されていてもよい。第１の基板３は、加工性の観点からシリコンで形成されたシリコン基板を用いることが好ましい。特に、単結晶のシリコン基板を用いることが好ましい。
【００１４】
第２の基板１０は、第３の面１０ａと、第３の面１０ａと反対側の面である第４の面１０ｂとを有している。第２の基板１０には、第３の面１０ａから第４の面１０ｂまで貫通する第２の液体流路１１が形成されている。従って、第３の面１０ａには第２の液体流路１１の開口１２が開口している。第２の液体流路１１は、第１の液体流路２６と連通している。開口１２の形状は、ここでは図２に示すように平行四辺形であるが、正方形であっても、長方形であっても、多角形であっても、円形であってもよい。第２の基板１０は、放熱性、絶縁性、機械的強度の観点から、アルミナで形成された基板であることが好ましい。
【００１５】
第１の基板３の第２の面３ｂと、第２の基板１０の第３の面１０ａは、接着剤１３で接着されている。このような接着剤１３としては、例えば熱硬化型接着剤や光硬化型接着剤、より具体的には硬化剤を添加したエポキシ樹脂等が挙げられる。
【００１６】
図１に示す例では、第１の基板３と吐出口１７との間には、第３の基板２と、流路形成部材４とが設けられている。第３の基板２は、第１の基板３の第１の面３ａの上に形成されている。第３の基板２の面２ａには、液体を吐出するためのエネルギーを与えるエネルギー発生素子５、エネルギー発生素子５の駆動回路（不図示）、接続端子（不図示）などが形成されている。エネルギー発生素子５としては、例えばＴａＳｉＮ膜を用いた発熱抵抗素子や、圧電素子、振動板等が挙げられる。エネルギー発生素子５の数は限定されず、複数のエネルギー発生素子５が所定の間隔で配置されていてもよい。また、第３の基板２には、絶縁層、保護層、密着向上層、平坦化層、反射防止層、耐薬品層等が形成されていてもよい。第３の基板２としては、エネルギー発生素子や駆動回路等の抵抗率の制御性や加工性の観点から、シリコンで形成されたシリコン基板を用いることが好ましい。特に、単結晶のシリコン基板を用いることが好ましい。第３の基板２には、面２ａと面２ｂとを貫通する第３の液体流路６が形成されている。第３の液体流路６は、第１の液体流路２６及び第２の液体流路１１と連通しており、面２ａにおいて隣接するエネルギー発生素子５の間に開口している。
【００１７】
流路形成部材４は、第３の基板２の面２ａと対向する吐出口形成部材１５と、吐出口形成部材１５と第３の基板２の面２ａとの間に位置する側壁形成部材１６とを有している。吐出口形成部材１５と側壁形成部材１６とは、一体的に形成されていてもよい。吐出口形成部材１５及び側壁形成部材１６は、例えば感光性樹脂で形成することができる。吐出口形成部材１５は、液体を吐出する吐出口１７を備えている。吐出口形成部材１５は、第３の基板２との間で、流路１８と圧力室１９を形成する。側壁形成部材１６は、流路１８の側壁を形成している部材である。圧力室１９はエネルギー発生素子５を備え、エネルギー発生素子５は吐出口１７と対向している。流路１８は第３の液体流路６および圧力室１９、吐出口１７と連通している。液体吐出ヘッド１の外部から供給された液体は、第２の基板１０の第２の液体流路１１から、第１の基板３の第１の液体流路２６の第２の部分８及び第１の部分７を通って、第３の基板２の第３の液体流路６に供給される。液体は、さらに流路１８を通って圧力室１９に供給され、吐出のためのエネルギーをエネルギー発生素子５から与えられて、吐出口１７から吐出される。
【００１８】
第３の基板２の面２ｂと、第１の基板３の第１の面３ａは、例えば樹脂材料（不図示）で接着されている。このような樹脂材料として、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、フッ素樹脂等が挙げられる。
【００１９】
上述したように、第１の基板３の第２の面３ｂの側には、凹部１４が形成されている。そして、第１の液体流路２６の開口９が、第２の面３ｂの凹部１４の内部に開口している。即ち、第２の面３ｂと対向する側から第２の面３ｂをみたとき、凹部１４の面積は開口９の面積よりも大きく、凹部１４の内部に開口９が含まれるようになっている。凹部１４は、第２の面３ｂから一段下がった（窪んだ）位置に形成されており、第２の面３ｂに沿って延在する底面１４ａと、底面１４ａと交差する方向に延在する側面１４ｂとを有する。凹部１４の特に底面１４ａは、第２の面３ｂより窪んだ位置（奥側）にあるので、第２の面３ｂが製造装置の構成部品と接触したとしても、底面１４ａは構成部品と接触しにくい。従って、凹部１４には、構成部品等に由来する付着物が付着しにくい。第１の基板３と第２の基板１０とは、接着剤１３によって貼り合わされている。接着剤１３は、第２の面３ｂと第３の面１０ａ、さらに凹部１４の底面１４ａと第３の面１０ａとを接着し、接着剤１３は凹部１４の内部に入り込んでいる。但し、第１の液体流路２６と第２の液体流路１１とが連通するように、接着剤１３は凹部１４の内部で一部存在しない領域がある。上述したように、凹部１４の底面１４ａは、製造装置の構成部品と接触しづらく、付着物が付着しにくい。従って、底面１４ａで接着剤１３による接着を行うことで、第１の基板３と第２の基板１０とを良好に接着することができる。特に凹部１４では第１の液体流路２６と第２の液体流路１１との連通が行われるので、連通が行われる部分で接着性を高め、第２の面３ｂと第３の面１０ａとの間に隙間を発生させないことで、液体の流出を抑制することができる。
【００２０】
上述したように、第２の面３ｂと対向する側から第２の面３ｂをみたとき、凹部１４の面積は開口９の面積よりも大きく、凹部１４の内部に開口９が含まれるようになっている。凹部１４には、接着剤１３が充填される。開口９は第１の液体流路２６と第２の液体流路１１とを連通させる部分であり、接着剤１３でふさがれないようにする。この為、開口９の開口の端部から凹部１４の側面１４ｂまでの距離（最短距離）を、１００μｍ以上とすることが好ましい。開口９の開口のいずれの端部においても、凹部１４の側面１４ｂまでの距離を１００μｍ以上とすることが好ましい。但し、あまりに離すと凹部１４が大きくなりすぎるので、開口９の開口の端部から凹部１４の側面１４ｂまでの距離は、５００μｍ以下とすることが好ましい。
【００２１】
付着物を付着させにくくする為に、凹部１４の深さ（図１の上下方向の凹部１４の長さ）は、３μｍ以上とすることが好ましい。但し、接着剤１３を底面１４ａに到達させて液体の流出を抑制する為に、凹部１４の深さは５０μｍ以下とすることが好ましい。
【００２２】
接着剤１３は、凹部１４の底面１４ａと第３の面１０ａとを接着している。液体の流出をより抑制する為に、凹部１４の底面１４ａと第３の面１０ａとを接着している接着剤１３は、さらに凹部１４の側面１４ｂに接着（接触）していることが好ましい。
【００２３】
図３は、図２と同様に、液体吐出ヘッド１を第２の基板１０側から見た模式平面図である。図３（ａ）では、図２と比較して、凹部１４の開口幅を、第１の部分７の延在方向と交わる方向（隣接する第１の部分がある方向）に広げている。図３（ｂ）では、図２と比較して、凹部１４の開口幅を、第１の部分７の延在方向に広げている。いずれの場合であっても、凹部１４の開口幅を広げることで、付着物の付着しにくい底面１４ａの面積が広がる。即ち、接着剤と底面１４ａとの接着面積が広くなり、液体がより流出しにくくなる。図３（ａ）では、第１の部分７の延在方向と交わる方向において、凹部１４の開口幅を、開口９の開口幅の１．５倍以上、５．０倍以下とすることが好ましい。図３（ｂ）では、第１の部分７の延在方向において、凹部１４の開口幅を、開口９の開口幅の２．０倍以上、１０．０倍以下とすることが好ましい。尚、凹部１４の形状は、ここではいずれも平行四辺形のものを示しているが、正方形であっても、長方形であっても、多角形であっても、円形であってもよい。
【００２４】
図６に、比較形態における液体吐出ヘッドを示す。図６（ａ）は、液体吐出ヘッドの断面図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＢ部の拡大図を示した断面図である。図６に示す液体吐出ヘッドは、第１の基板３の第２の面３ｂの側に、図１で説明した凹部１４が形成されていない。また、付着物による接着剤１３の剥がれ箇所２３を示している。この他の構成は図１で説明した液体吐出ヘッドと同様である為、説明を省略する。図６で示すように、接着剤１３は、第１の基板３と第２の基板１０とを、第２の面３ｂと第３の面１０ａでのみ接着する必要がある。第２の面３ｂには付着物が付着している。この為、剥がれ箇所２３が発生して、第１の基板３と第２の基板１０とが剥離してしまう。このような剥離が起こると、液体の流出が発生する場合がある。
【００２５】
次に、図１に示す液体吐出ヘッドの製造方法について、図４を用いて説明する。図４に示す各工程の順序は、記載された順に限られるものではない。
【００２６】
図４（ａ）に示すように、エネルギー発生素子５を面２ａに有する第３の基板２を用意する。ここでは、エネルギー発生素子５として、ＴａＳｉＮからなる発熱抵抗素子を用いた例を示している。また、第３の基板２として、シリコンの単結晶からなるシリコン基板を用いた例を示している。続いて図４（ｂ）に示すように、この第３の基板２に対して例えばレーザー加工、反応性イオンエッチング、サンドブラスト、ウェットエッチング等を行うことで、第３の液体流路６を形成する。ここでは、厚さ３００μｍの面方位（１００）のシリコン基板に、反応性イオンエッチングで第３の液体流路６を形成した例を示している。
【００２７】
次に、図４（ｃ）に示すように、第１の基板３を用意する。ここでは、厚さ６００μｍの面方位（１１０）のシリコン基板を用いた例を示している。第１の基板３の第１の面３ａと第２の面３ｂとには、開口２０ａや開口２０ｂが開口したマスク２１が設けられている。マスク２１は、熱酸化膜（シリコン酸化膜）、フォトレジスト等で形成する。そして、図４（ｄ）に示すように、マスク２１を用いて第１の基板３を加工する。加工はレーザー加工、反応性イオンエッチング、サンドブラスト、ウェットエッチング等によって行う。開口２０ａからの加工によって第１の部分７、開口２０ｂからの加工によって第２の部分８が形成される。これらの加工は同時に行ってもよい。ここでは、水酸化テトラメチルアンモニウムの水溶液を用いたウェットエッチング（結晶異方性エッチング）で、第１の部分７と第２の部分８を同時に加工（形成）した例を示している。尚、第１の部分７と第２の部分８は、連通する前に加工を停止している。後述するが、このようにすることで、凹部１４が形成しやすくなる。第１の部分７と第２の部分８は、第１の基板３の両面から同時に加工した場合でも、第１の部分７の深さと第２の部分８の深さに選択性を持たせることができる。例えば、第２の部分８をエッチングで加工した際に、エッチングレートの遅いシリコンの結晶方位（１１１）が形成されることによって、エッチングが実質的に停止するように、開口２０ｂの開口幅を規定する。このようにすることで、第２の部分８の深さ方向の加工（エッチング）を、エッチング過程で停止させた状態で、第１の部分７の加工（エッチング）を継続できる。即ち、エッチング深さ方向に選択性を持たせることができる。
【００２８】
第１の部分７の加工を停止した後で、図４（ｅ）に示すように、第２の面３ｂ上に、開口２０ｃを有するマスク２５を設ける。マスク２５は、例えばフォトレジストをマスクとして熱酸化膜（シリコン酸化膜）をパターニングすることで形成する。パターニング後、フォトレジストはフッ酸等で除去する。
【００２９】
次に、図４（ｆ）に示すように、開口２０ｃからの加工によって、第２の面３ｂに凹部１４を形成する。第１の液体流路２６の開口９は、凹部１４に開口する。凹部１４は、開口２０ｃから、レーザー加工、反応性イオンエッチング、サンドブラスト、ウェットエッチング等の方法によって形成する。例えばウェットエッチングの場合、第２の面３ｂ側だけではなく、第１の面３ａ側からもエッチングが進行する。このようにして、第１の部分７と第２の部分８の深さが最終的な狙い値となるように、第１の部分７と凹部１４を同時にエッチングして加工する。この方法であれば、凹部１４の加工と第１の部分７の追加工を同時にできるため、ウェットエッチングの時間を短縮できる。ここでは、水酸化テトラメチルアンモニウムの水溶液を用いたウェットエッチング（結晶異方性エッチング）で凹部１４を形成した例を示している。凹部１４を形成した後、マスク２１及びマスク２５をフッ酸等で除去し、図４（ｇ）に示すような第１の基板３を得る。
【００３０】
次に、図４（ｈ）に示すように、第３の基板２の面２ｂと、第１の基板３の第１の面３ａとを接着し、第１の基板３と第３の基板２とを貼り合わせる。接着方法としては、樹脂材料（例えば熱硬化性のエポキシ樹脂）等による接着、活性化させた表面同士を接触させて自発的に接合が進むフュージョン接合、共晶接合、拡散接合等が挙げられる。
【００３１】
次に、図４（ｉ）に示すように、第３の基板２の面２ｂ（第１の基板３がある側と反対側の面）の上に、吐出口１７を有する流路形成部材４を形成する。流路形成部材４には、例えばフォトリソグラフィーを用いて、側壁形成部材１６と、吐出口１７を有する吐出口形成部材１５とを形成する。吐出口形成部材１５は、第３の基板２との間に、流路１８と圧力室１９を形成している。ここでは、流路形成部材４をネガ型感光性樹脂で形成し、フォトリソグラフィーによってパターニングした例を示している。
【００３２】
第１の基板３の第１の面３ａの側には、液体を吐出するための吐出口１７が形成されている。また、第１の基板３の第２の面３ｂの側には、凹部１４が形成されている。そして、第１の基板３には、第１の面３ａから第２の面３ｂを貫通する第１の液体流路２６が、第２の面３ｂの凹部１４の内部に開口している。このような第１の基板３を用意する（第１の基板を用意する工程）。
【００３３】
次に、図４（ｊ）に示す第２の基板１０を用意する（第２の基板を用意する工程）。第２の基板１０は、第３の面１０ａと、第３の面１０ａと反対側の面である第４の面１０ｂとを有している。また、第３の面１０ａから第４の面１０ｂまで貫通する第２の液体流路１１が形成されている。第２の基板１０としては、例えばアルミナを用いる。ここでは、第２の基板１０として厚さ１０００μｍのアルミナを用いた例を示している。
【００３４】
次に、図４（ｋ）に示すように、第２の基板１０の第３の面１０ａに接着剤１３を形成する。接着剤１３の形成方法としては、第３の面１０ａへの接着剤１３の描画塗布、ドライフィルムラミネート、スクリーン印刷、スキージ等が挙げられる。接着剤１３は、液体吐出ヘッド１の液体の流動性を確保するため、第２の液体流路１１の第３の面１０ａに開口する開口１２と対応した位置に、形成されていない領域を設けることが好ましい。ここでは、接着剤１３の層に開口１３ａを設けている。接着剤１３としては、例えば熱硬化型接着剤や光硬化型接着剤が挙げられる。尚、ここでは接着剤１３を第２の基板１０の第３の面１０ａに形成した例を示しているが、接着剤１３は第１の基板３の第２の面３ｂに形成してもよい。
【００３５】
次に、図４（ｌ）に示すように、第１の基板３の第２の面３ｂと、第２の基板１０の第３の面１０ａとを接着剤１３で接着し、第１の基板３と第２の基板１０とを貼り合わせる（第１の基板と第２の基板とを貼り合わせる工程）。この際に、接着剤１３は、凹部１４の内部に充填され、凹部１４の底面１４ａと第３の面１０ａとを接着する。また、接着剤１３は、凹部１４の側面１４ｂにも接触している。但し、第１の液体流路と第２の液体流路とが連通するように、凹部１４内では接着剤１３がない部分が存在している（上述の開口１３ａに相当する部分）。このように凹部１４に接着剤１３を充填する方法として、第１の基板３に圧力を加えながら前後左右の振動を与えて、凹部の側面１４ｂ及び底面１４ａに接着剤１３を這い上がらせる方法がある。また、低粘度の接着剤１３を用いて、毛管現象により接着剤１３を充填する方法もある。ここでは、流路形成部材４を吸着ツール（不図示）で吸着して、第１の基板３の第２の面３ｂと、メカクランプ（不図示）で固定された第２の基板１０の第３の面１０ａを、接着剤１３を介して接触させた例を示している。また、その後、第２の基板１０に圧力を加えながら前後左右の振動を与えて接着した後、熱処理により接着剤１３を硬化させている。
【００３６】
最後に電気的接続を行うことで、液体吐出ヘッド１が製造される。このようにして製造された液体吐出ヘッド１は、底面１４ａで接着剤１３による接着が行われており、第１の基板３と第２の基板１０とが良好に接着されている。凹部１４では第１の液体流路２６と第２の液体流路１１との連通が行われるので、この部分で接着性を高めることで、液体の流出を抑制することができる。
【００３７】
液体吐出ヘッドの製造方法の別の一例を、図５を用いて説明する。図５（ａ）〜（ｄ）は、図４（ｄ）〜（ｆ）で示した第１の部分７と第２の部分８と凹部１４の製造方法を異ならせている。
【００３８】
図５（ａ）以前の工程は、図４（ａ）〜（ｃ）と同様である。まず、図５（ａ）に示すように、第１の基板３に、第１の部分７を形成する。第１の部分７は、第１の基板３の第１の面３ａ上のマスク２１を用い、マスク２１の開口から加工を行うことで形成する。第１の部分７は、第１の基板３の第１の面３ａに開口する。ここでは、反応性イオンエッチングを用いたボッシュプロセスによる加工で、第１の部分７を形成した例を示している。ボッシュプロセスとは、炭素を主成分とする保護膜（不図示）の形成と、ＳＦ６ガスなどによるエッチングを交互に繰り返して、シリコンを異方性エッチングする手法である。エッチング後は、ボッシュプロセスにおける保護膜（不図示）をハイドロフルオロエーテル等で除去する。
【００３９】
次に、第２の面３ｂに形成したマスク２１の開口２０ｂから加工を行い、第１の基板３に先導孔２２を形成する。先導孔２２は、後で形成する第２の部分８と同じ幅で形成する。詳細は後述するが、先導孔２２を形成することが、後の凹部１４と第２の部分８を形成する工程でのポイントとなる。ここでは、先導孔２２は反応性イオンエッチングを用いたボッシュプロセスによる加工で形成した例を示している。エッチング後は、ボッシュプロセスにおける保護膜（不図示）をハイドロフルオロエーテル等で除去する。
【００４０】
次に、図５（ｃ）に示すように、第２の面３ｂ上に、開口２０ｃを有するマスク２５を設ける。マスク２５は、例えばフォトレジストをマスクとして熱酸化膜（シリコン酸化膜）をパターニングすることで形成する。パターニング後、フォトレジストはフッ酸等で除去する。
【００４１】
次に、図５（ｄ）に示すように、第１の基板３の第２の面３ｂ側に、凹部１４と第２の部分８を同時に形成する。例えば、図５（ａ）で説明した形成方法によって、凹部１４と第２の部分８を同時に形成する。凹部１４をエッチングで加工する際、先導孔２２のエッチングが同時に進行して、第２の部分８が形成されていく。すなわち、先導孔２２がトリガーとなって、第２の部分８の深さが狙い値となるように、凹部１４と同時に第２の部分８がエッチングで形成される。エッチング後は、第１の部分７と第２の部分８は連通した状態になり、第１の液体流路２６となる。この製造方法であれば、凹部１４の形成と第２の部分８の形成を同時にできるため、個別に形成するよりも加工時間を短縮できる。エッチング後は、ボッシュプロセスにおける保護膜（不図示）をハイドロフルオロエーテル等で除去する。
【００４２】
以降の製造方法は、図４（ｇ）から図４（ｌ）と同様であるため、詳細は省略する。このようにして製造された液体吐出ヘッド１も、底面１４ａで接着剤１３による接着が行われており、第１の基板３と第２の基板１０とが良好に接着されている。従って、液体の流出を抑制することができる。
【符号の説明】
【００４３】
３  第１の基板
３ａ  第１の面
３ｂ  第２の面
１０  第２の基板
１１  第２の液体流路
１３  接着剤
１４  凹部
１７  吐出口
２６  第１の液体流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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