(57)【要約】【課題】  処理ガスが給気される処理空間を通過させつつエッチング処理を施したガラス板について、その主面へのガラス粉の付着を可及的に防止すること。【解決手段】  ガラス板２の搬送経路３上に配置された処理空間５をガラス板２に通過させつつ、処理空間５に給気した処理ガス６によりガラス板２にエッチング処理を施す処理工程Ｐ１と、処理工程Ｐ１を経たガラス板２を洗浄する洗浄工程Ｐ２とを備えたガラス板の製造方法において、洗浄工程Ｐ２では、処理工程Ｐ１の実行時にガラス板２の搬送方向の先頭部に位置していた端面２ｘを擦って洗浄するようにした。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板の搬送経路上に配置された処理空間を前記ガラス板に通過させつつ、前記処理空間に給気した処理ガスにより前記ガラス板にエッチング処理を施す処理工程と、該処理工程を経た前記ガラス板を洗浄する洗浄工程とを備えたガラス板の製造方法であって、
前記洗浄工程では、前記処理工程の実行時に前記ガラス板の搬送方向の先頭部に位置していた端面を擦って洗浄することを特徴とするガラス板の製造方法。
【請求項２】
前記搬送経路上の前記処理空間よりも下流側に、該搬送経路を挟んで対をなすロールブラシを配置し、
前記洗浄工程では、前記先頭部に位置していた端面を、前記対をなすロールブラシで擦って洗浄することを特徴とする請求項１に記載のガラス板の製造方法。
【請求項３】
前記洗浄工程では、前記処理工程の実行時に前記ガラス板の搬送方向の最後部に位置していた端面を擦って洗浄することを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス板の製造方法。
【請求項４】
前記ガラス板が矩形をなし、
前記処理工程では、前記ガラス板の平行な二つの端面が延びる方向と前記ガラス板の搬送方向とを揃えた状態で、該ガラス板に前記処理空間を通過させ、
前記搬送経路上の前記処理空間よりも下流側に、該搬送経路を挟んで対をなすディスクブラシを配置し、
前記洗浄工程では、前記二つの端面を、前記対をなすディスクブラシで擦って洗浄することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板の製造方法に係り、詳しくは、フッ化水素等の処理ガスによりガラス板にエッチング処理を施す工程を備えた製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）や、スマートホン、タブレット等のモバイル端末には、種々の厚みやサイズを有するガラス板が組み込まれている。
【０００３】
ところで、ガラス板の製造工程では、静電気の帯電に起因して不具合が生じることがある。例えば、作業台の載置面上にガラス板を載置して所定の処理を施す際に、ガラス板が載置面に貼り付いてしまう場合がある。これにより、処理を終えたガラス板を載置面から剥離させるにあたり、ガラス板が破損する場合があった。
【０００４】
そこで、上述のような問題への対策として、フッ化水素等の処理ガスによりガラス板にエッチング処理を施し、ガラス板の主面を粗化させることで、問題を解決する試みがなされている。そして、ガラス板にエッチング処理を施すための手法の一例が、特許文献１に開示されている。
【０００５】
同文献に開示された手法では、ガラス板の搬送経路上に配置された処理空間をガラス板に通過させつつ、処理空間に給気した処理ガスによりガラス板にエッチング処理を施している。なお、同手法においては、平置き姿勢のガラス板の主面のうち、下面のみ、或いは、下面と上面との双方を粗化させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２０１７／０４３３０５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記の手法では、下記のような解決すべき問題があった。
【０００８】
すなわち、同手法のような態様の下でエッチング処理を施されたガラス板は、主面にガラス粉が付着しやすいという問題がある。そのため、後の工程でガラス板に透明導電膜等の成膜処理を施すような場合に、主面に付着したガラス粉に起因して回路の断線等の不良が発生しやすい難点があった。
【０００９】
上記の事情に鑑みなされた本発明は、処理ガスが給気される処理空間を通過させつつエッチング処理を施したガラス板について、その主面へのガラス粉の付着を可及的に防止することを技術的な課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の発明者等は、鋭意研究の結果、処理ガスが給気される処理空間を通過させつつエッチング処理を施したガラス板について、その主面にガラス粉が付着しやすいのは、下記の理由によるものと知見するに至った。つまり、ガラス板が処理空間を通過する際には、その主面だけでなく端面も粗化される。そして、処理空間の通過時に先頭部に位置する端面は特に粗化されやすく、粗化に伴って当該端面からガラス粉が発生しやすくなる。そして、当該端面から発生したガラス粉が、主面に付着するガラス粉となることを知見した。
【００１１】
当該知見に基づいて、上記の課題を解決するために創案された本発明は、ガラス板の搬送経路上に配置された処理空間をガラス板に通過させつつ、処理空間に給気した処理ガスによりガラス板にエッチング処理を施す処理工程と、処理工程を経たガラス板を洗浄する洗浄工程とを備えたガラス板の製造方法であって、洗浄工程では、処理工程の実行時にガラス板の搬送方向の先頭部に位置していた端面を擦って洗浄することを特徴とするものである。
【００１２】
本方法では、洗浄工程において、処理工程の実行時にガラス板の搬送方向の先頭部に位置していた端面（以下、前方端面と表記）を擦って洗浄する。このようにすることで、前方端面に処理ガスが残留するのを低減することができ、残留する処理ガスが前方端面を粗化することによってガラス粉が発生するのを抑制できる。また、後に前方端面から発生してガラス板の主面に付着する虞のあるガラス粉を、予め前方端面から除去しておくことができる。その結果、ガラス板の主面へのガラス粉の付着を可及的に防止することが可能となる。
【００１３】
上記の方法において、搬送経路上の処理空間よりも下流側に、搬送経路を挟んで対をなすロールブラシを配置し、洗浄工程では、先頭部に位置していた端面（前方端面）を、対をなすロールブラシで擦って洗浄することが好ましい。
【００１４】
このようにすれば、搬送経路上に配置された対をなすロールブラシで前方端面を擦って洗浄するため、後に前方端面からガラス粉が発生することを効率的かつ確実に低減できる。
【００１５】
上記の方法において、洗浄工程では、処理工程の実行時にガラス板の搬送方向の最後部に位置していた端面を擦って洗浄することが好ましい。
【００１６】
このようにすれば、洗浄工程の実行に伴って、前方端面からのみでなく、最後部に位置していた端面（以下、後方端面と表記）から、後にガラス粉が発生することを低減できる。その結果、ガラス板の主面へのガラス粉の付着を更に確実に防止できる。
【００１７】
上記の方法において、ガラス板が矩形をなし、処理工程では、ガラス板の平行な二つの端面が延びる方向とガラス板の搬送方向とを揃えた状態で、ガラス板に処理空間を通過させ、搬送経路上の処理空間よりも下流側に、搬送経路を挟んで対をなすディスクブラシを配置し、洗浄工程では、二つの端面を、対をなすディスクブラシで擦って洗浄することが好ましい。
【００１８】
このようにすれば、洗浄工程の実行に伴って、後に平行な二つの端面からガラス粉が発生することを低減できる。その結果、ガラス板の主面へのガラス粉の付着を一層確実に防止することが可能となる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、処理ガスが給気される処理空間を通過させながらエッチング処理を施したガラス板について、その主面へのガラス粉の付着を可及的に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法に用いる製造装置を示す縦断側面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法に用いる製造装置を示す平面図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法における洗浄工程を示す縦断側面図である。
【図４】本発明の他の実施形態に係るガラス板の製造方法に用いる製造装置を示す縦断側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法について、添付の図面を参照しながら説明する。
【００２２】
最初に、ガラス板の製造方法に用いる製造装置について説明する。ここで、以下の説明においては、図１における紙面に対して鉛直な方向を「幅方向」と表記する。また、図中に矢印で示したＡ方向はガラス板の搬送方向であり、以下の説明においては、単に「搬送方向」と表記する。
【００２３】
図１および図２に示すように、製造装置１は、矩形のガラス板２を搬送経路３に沿って平置き姿勢で搬送する搬送装置４と、搬送経路３上に配置された処理空間５をガラス板２に通過させつつ処理ガス６によりエッチング処理を施す処理装置７と、処理空間５を通過中のガラス板２の上面２ａに沿って流れるガス８（非処理ガス）を噴射する噴射装置９と、処理後のガラス板２における搬送方向の先頭部に位置する端面２ｘ（以下、前方端面２ｘと表記）および最後部に位置する端面２ｙ（以下、後方端面２ｙと表記）を擦って洗浄する第一洗浄装置１０と、処理後のガラス板２における幅方向両端にそれぞれ位置する両端面２ｚ，２ｚ（以下、それぞれ幅方向端面２ｚと表記）を擦って洗浄する第二洗浄装置１１とを備える。
【００２４】
搬送装置４は、搬送経路３に沿って並べられた複数の搬送ローラー４ａを備える。これらの搬送ローラー４ａは、駆動ローラーである場合もあるし、フリーローラーである場合もある。ガラス板２は、両幅方向端面２ｚ，２ｚの延びる方向が搬送方向と揃えられた状態で、搬送装置４により搬送されていく。従って、搬送中のガラス板２における前方端面２ｘおよび後方端面２ｙはいずれも幅方向に延びた状態にある。
【００２５】
ここで、本実施形態の変形例として、一部の搬送ローラー４ａに代えて、搬送コンベアを配置してもよい。
【００２６】
処理装置７は、搬送経路３を上下に挟んで下側に配置された本体部７ａと、上側に配置された天板部７ｂとを有する。これら本体部７ａと天板部７ｂとの相互間に処理空間５が形成される。処理空間５は、搬送方向の上流端にガラス板２を空間内に進入させるための開口５ａを有すると共に、下流端にガラス板２を空間外に退出させるための開口５ｂを有する。この処理空間５の幅方向に沿った寸法（全幅）は、ガラス板２の幅方向に沿った寸法（全幅）と比較して長くなっている。また、処理空間５の搬送方向に沿った寸法は、ガラス板２の搬送方向に沿った寸法（前方端面２ｘから後方端面２ｙまでの長さ）よりも短くなっている。
【００２７】
本体部７ａは、処理空間５に処理ガス６としてのフッ化水素（ＨＦ）を給気するための給気路１２と、処理空間５から処理ガス６を排気するための排気路１３とを備える。給気路１２および排気路１３は上下方向に延びると共に、両者１２，１３のそれぞれの上端に形成された給気口および排気口は、幅方向に長尺なスリット状に形成されている。本実施形態では、処理空間５の搬送方向における中間地点から給気された処理ガス６が、給気後に搬送方向の上流側に向かう流れと下流側に向かう流れとに枝分かれした後、処理空間５から排気される。この処理ガス６によりガラス板２の下面２ｂが粗化される。
【００２８】
ここで、本実施形態の変形例として、給気路１２と排気路１３との配置を変更し、処理空間５に給気後の処理ガス６が、搬送方向の上流側から下流側に向かってのみ、或いは、下流側から上流側に向かってのみ流れるようにしてもよい。
【００２９】
天板部７ｂは、処理空間５を通過中のガラス板２の上面２ａとの間に、ガス８を流すための隙間が形成されるように配置されている。
【００３０】
噴射装置９は、ガス８としてクリーンドライエアー（ＣＤＡ）を噴射する。噴射装置９は、幅方向に長尺なスリット状の噴射口を有し、噴射口は、処理空間５の外から開口５ａを指向している。この噴射口の幅方向に沿った開口寸法は、ガラス板２の幅方向に沿った寸法よりも長くなっている。噴射口から噴射されたガス８は、上記のガス８を流すための隙間を搬送方向の上流側から下流側に向かって流れる。
【００３１】
ここで、本実施形態の変形例として、上記の噴射装置９の他に新たな噴射装置を追加してもよい。例えば、処理空間５の外から開口５ｂを指向した噴射口を有する噴射装置を追加してもよい。この新たな噴射装置は、上記のガス８を流すための隙間に対して搬送方向の下流側から上流側に向かうガス８の流れを形成する。一方、別の変形例として、噴射装置９を取り除いてガス８を一切噴射しないようにしてもよい。
【００３２】
第一洗浄装置１０は、搬送経路３上で処理空間５（処理装置７）よりも下流側に配置されている。この第一洗浄装置１０は、搬送経路３を上下に挟んで対をなすロールブラシ１０ａ，１０ａを備える。
【００３３】
各ロールブラシ１０ａは、幅方向に延びた回転軸と、回転軸の外周面に植毛された多数のブラシ毛とを有する。各ロールブラシ１０ａは、その回転周方向と搬送方向とが一致するように回転する。各ロールブラシ１０ａの幅方向に沿った寸法は、ガラス板２の幅方向に沿った寸法よりも長くなっている。これにより、対をなすロールブラシ１０ａ，１０ａがガラス板２の前方端面２ｘおよび後方端面２ｙを擦って洗浄する際には、これらの端面２ｘ，２ｙの全面（全幅）を洗浄することが可能である。
【００３４】
各ロールブラシ１０ａは、搬送経路３に対して接近および離反するように移動が可能となっており、本実施形態では、上下方向に沿って移動することが可能である。これにより、図１に実線で示す稼働位置と、二点鎖線で示す退避位置との間を移動できる。稼働位置は、各ロールブラシ１０ａがガラス板２の前方端面２ｘおよび後方端面２ｙを擦って洗浄する際の位置であり、退避位置は、各ロールブラシ１０ａが搬送経路３から離反してガラス板２との接触を回避できる位置である。
【００３５】
ここで、本実施形態の変形例として、各ロールブラシ１０ａの回転周方向は、搬送方向に逆らう方向であってもよい。また、対をなすロールブラシ１０ａ，１０ａの一方のみを配置するようにしてもよい。すなわち、上側のロールブラシ１０ａのみ、或いは、下側のロールブラシ１０ａのみを配置してもよい。また、ロールブラシ１０ａに代えて、スポンジローラ等を用いてもよいが、洗浄力を向上させる観点では、ロールブラシ１０ａが好ましい。また、ロールブラシ１０ａに代えて、幅方向に沿って並べて配置された複数のディスクブラシやディスクスポンジ等を用いてもよいが、設備コストを削減する観点では、ロールブラシ１０ａが好ましい。
【００３６】
第二洗浄装置１１は、搬送経路３上で第一洗浄装置１０よりも下流側に配置されている。この第二洗浄装置１１は、搬送経路３を上下に挟んで対をなすディスクブラシ１１ａ，１１ａを備える。対をなすディスクブラシ１１ａ，１１ａは二対が配置されており、両幅方向端面２ｚ，２ｚの一方の洗浄用と、他方の洗浄用とが配置されている。
【００３７】
対をなすディスクブラシ１１ａ，１１ａは相互に同方向に回転する。また、対をなすディスクブラシ１１ａ，１１ａの一方と他方とは、幅方向端面２ｚの非洗浄時には先端部同士（ブラシ毛同士）が接触した状態にある。一方、幅方向端面２ｚの洗浄時には先端部同士の相互間に幅方向端面２ｚが進入し、先端部同士の間に幅方向端面２ｚが介在した状態となる。
【００３８】
ここで、本実施形態の変形例として、第二洗浄装置１１の配置を変更し、搬送経路３上で処理空間５（処理装置７）と第一洗浄装置１０との相互間に配置してもよい。また、ディスクブラシ１１ａ，１１ａに代えて、ディスクスポンジ等を用いてもよいが、洗浄力を向上させる観点では、ディスクブラシ１１ａが好ましい。
【００３９】
以下、上記の製造装置１を用いたガラス板の製造方法について説明する。
【００４０】
最初に、ガラス板２にエッチング処理を施す処理工程Ｐ１を実行する。
【００４１】
処理工程Ｐ１では、搬送経路３上に配置された処理空間５をガラス板２に通過させることで、処理空間５に給気した処理ガス６によりガラス板２にエッチング処理を施す。これにより、ガラス板２の下面２ｂを粗化させる。なお、処理工程Ｐ１の実行中には、ガラス板２の上面２ａに沿って搬送方向の上流側から下流側に向かうガス８の流れを形成することで、処理ガス６により不当に上面２ａが粗化されることを回避する。
【００４２】
ここで、処理工程Ｐ１で粗化させる対象はガラス板２の下面２ｂであるが、不可避的に下面２ｂ以外の箇所も粗化される。特にガラス板２の前方端面２ｘは粗化されやすく、粗化に伴って前方端面２ｘからガラス粉が発生しやすくなる。
【００４３】
処理工程Ｐ１が完了すると、図３（ａ）〜（ｃ）に示すように、処理工程Ｐ１を経たガラス板２の前方端面２ｘ、後方端面２ｙ、及び、両幅方向端面２ｚ，２ｚを洗浄する洗浄工程Ｐ２を実行する。
【００４４】
洗浄工程Ｐ２では、まず、図３（ａ）に示すように、処理工程Ｐ１の実行時にガラス板２の搬送方向の先頭部に位置していた端面である前方端面２ｘを、稼働位置にある対をなすロールブラシ１０ａ，１０ａで擦って洗浄する。その際、第一洗浄装置１０が備えるノズル（図示なし）からロールブラシ１０ａ，１０ａ及び／又は前方端面２ｘに洗浄液（例えば純水）が供給される。前方端面２ｘの擦り洗浄が完了すると、同図に矢印で示すように、各ロールブラシ１０ａを即座に稼働位置から退避位置に移動させる。このため、各ロールブラシ１０ａはガラス板２の上面２ａおよび下面２ｂとは略接触しない。例えば、各ロールブラシ１０ａは、ガラス板２の上面２ａおよび下面２ｂのうちで前方端面２ｘから２００ｍｍ以下の位置までの領域と接触し、ガラス板２の上面２ａおよび下面２ｂの中央領域と接触しない。なお、この時点においては、ガラス板２の両幅方向端面２ｚ，２ｚの洗浄は開始されていない。
【００４５】
次に、図３（ｂ）に示すように、搬送に伴ってガラス板２が対をなすディスクブラシ１１ａ，１１ａの配置された箇所まで到達すると、幅方向の一方側と他方側とのそれぞれで、対をなすディスクブラシ１１ａ，１１ａにより幅方向端面２ｚを擦って洗浄していく。その際、第二洗浄装置１１が備えるノズル（図示なし）からディスクブラシ１１ａ，１１ａ及び／又は幅方向端面２ｚに洗浄液（例えば純水）が供給される。なお、対をなすロールブラシ１０ａ，１０ａについては、処理工程Ｐ１の実行時にガラス板２の搬送方向の最後部に位置していた端面である後方端面２ｙが、対をなすロールブラシ１０ａ，１０ａの配置された箇所に到達するまで退避位置で待機する。
【００４６】
その後、図３（ｃ）に示すように、搬送に伴ってガラス板２の後方端面２ｙが、対をなすロールブラシ１０ａ，１０ａの配置された箇所まで到達すると、同図に矢印で示すように、各ロールブラシ１０ａを再び退避位置から稼働位置に移動させる。この際にも、各ロールブラシ１０ａはガラス板２の上面２ａおよび下面２ｂとは略接触しない。例えば、各ロールブラシ１０ａは、ガラス板２の上面２ａおよび下面２ｂのうちで後方端面２ｙから２００ｍｍ以下の位置までの領域と接触し、ガラス板２の上面２ａおよび下面２ｂの中央領域と接触しない。そして、後方端面２ｙを稼働位置にある対をなすロールブラシ１０ａ，１０ａで擦って洗浄する。その際、第一洗浄装置１０が備えるノズル（図示なし）からロールブラシ１０ａ，１０ａ及び／又は後方端面２ｙに洗浄液（例えば純水）が供給される。後方端面２ｙの擦り洗浄の完了後、対をなすディスクブラシ１１ａ，１１ａの配置された箇所をガラス板２が通過し終えると、これをもって幅方向端面２ｚの洗浄も完了し、洗浄工程Ｐ２が完了する。
【００４７】
洗浄工程Ｐ２を経たガラス板２は、その後、種々の処理や検査等を経て製品ガラス板として製造される。例えば、洗浄工程Ｐ２（擦り洗浄工程）の後工程として、ガラス板２の上面２ａおよび下面２ｂをシャワー洗浄する工程（シャワー洗浄工程）や、エアナイフ等によって洗浄液をガラス板２から除去する乾燥工程を設けてもよい。なお、シャワー洗浄工程を、処理工程Ｐ１と擦り洗浄工程Ｐ２との間に設けてもよい。
【００４８】
以下、上記のガラス板の製造方法による主たる作用・効果について説明する。
【００４９】
上記の製造方法では、洗浄工程Ｐ２において、処理工程Ｐ１の実行時にガラス板２の搬送方向の先頭部に位置していた端面である前方端面２ｘを擦って洗浄する。このようにすることで、前方端面２ｘに処理ガスが残留するのを低減することができ、残留する処理ガスが前方端面２ｘを粗化することによってガラス粉が発生するのを抑制できる。また、後に前方端面２ｘから発生してガラス板２の上下面２ａ，２ｂに付着する虞のあるガラス粉を、予め前方端面２ｘから除去しておくことができる。その結果、ガラス板２の上下面２ａ，２ｂへのガラス粉の付着を可及的に防止することが可能となる。
【００５０】
ここで、本発明に係るガラス板の製造方法は、上記の実施形態で説明した態様に限定されるものではない。例えば、図４に示すように、処理装置７の本体部７ａ側に加え、天板部７ｂ側にも処理ガス６の給気路１２を設け、処理工程Ｐ１でガラス板２の下面２ｂのみでなく、上面２ａも粗化させる態様としてもよい。この場合においても、洗浄工程Ｐ２は上記の実施形態と同様の態様で実行できる。なお、図４に示す態様においては、上記の実施形態とは異なり噴射装置９を取り除いている。
【００５１】
また、上記の実施形態では、各ロールブラシが搬送経路に対して接近および離反するように移動が可能となっているが、この限りではない。各ロールブラシを移動が不可能な構成として、各ロールブラシが常に稼働位置に存在するようにしてもよい。このようにして、対をなすロールブラシがガラス板の前方端面および後方端面のみでなく、上下面および両幅方向端面をも擦って洗浄する態様としてもよい。
【００５２】
また、上記の実施形態では、対をなすロールブラシによりガラス板の前方端面を擦って洗浄しているが、この限りではない。前方端面の洗浄にあたり、上下方向に延びる回転軸の周りを回転するロールブラシを用いてもよい。そして、このロールブラシを回転させながらガラス板の前方端面に沿って移動させることにより、前方端面を擦って洗浄するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００５３】
２            ガラス板
２ｘ          前方端面
２ｙ          後方端面
２ｚ          幅方向端面
３            搬送経路
５            処理空間
６            処理ガス
１０ａ        ロールブラシ
１１ａ        ディスクブラシ
Ａ            搬送方向
Ｐ１          処理工程
Ｐ２          洗浄工程
【図１】
2020040864.tif 000003
【図２】
2020040864.tif 000004
【図３】
2020040864.tif 000005
【図４】
2020040864.tif 000006