(57)【要約】      （修正有）【課題】接着層の硬化劣化を抑制でき、接着層における気泡の発生を抑制できる複合部材及び接着剤組成物の提供。【解決手段】複合部材１は、第１の部材３と、第２の部材５と、接着層７と、を備える。第１の部材３は、少なくとも一部の表面がセラミックから成る。第２の部材５は、少なくとも一部の表面が金属から成る。接着層７は、第１の部材３におけるセラミックから成る表面と、第２の部材５における金属から成る表面とを接着する。接着層７は、シリコーン樹脂と、炭素粉末と、を含む。熱重量測定における炭素粉末の重量減少量は、昇温速度１０℃／ｍｉｎで室温から２５０℃まで昇温させた場合に１重量％未満である。【選択図】図１
2020040404.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一部の表面がセラミックから成る第１の部材と、
少なくとも一部の表面が金属から成る第２の部材と、
前記第１の部材における前記セラミックから成る表面と、前記第２の部材における前記金属から成る表面とを接着する接着層と、
を備える複合部材であって、
前記接着層は、シリコーン樹脂と、炭素粉末と、を含み、
熱重量測定における前記炭素粉末の重量減少量は、昇温速度１０℃／ｍｉｎで室温から２５０℃まで昇温させた場合に１重量％未満である複合部材。
【請求項２】
少なくとも一部の表面がセラミックから成る第１の部材と、
少なくとも一部の表面が金属から成る第２の部材と、
前記第１の部材における前記セラミックから成る表面と、前記第２の部材における前記金属から成る表面とを接着する接着層と、
を備える複合部材であって、
前記接着層は、シリコーン樹脂と、炭素粉末と、を含み、
前記炭素粉末のＢＥＴ比表面積は、９５ｍｍ２／ｇ以下である複合部材。
【請求項３】
請求項２に記載の複合部材であって、
熱重量測定における前記炭素粉末の重量減少量は、昇温速度１０℃／ｍｉｎで室温から２５０℃まで昇温させた場合に１重量％未満である複合部材。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の複合部材であって、
前記炭素粉末は、カーボンブラック、カーボンファイバー、カーボンナノチューブ、及びグラフェンから成る群から選択される１以上である複合部材。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の複合部材であって、
前記接着層は、前記シリコーン樹脂１００重量部に対し、１重量部以上の前記炭素粉末を含む複合部材。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の複合部材であって、
半導体製造用部品の一部又は全部を構成する複合部材。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の複合部材であって、
前記シリコーン樹脂が付加硬化型のシリコーン樹脂である複合部材。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の複合部材であって、
前記接着層は、２５０℃で１６５時間加熱したときに気泡を発生せず、
前記接着層の初期のゴム硬度を（ａ）とし、前記接着層を２５０℃で１０００時間加熱した後のゴム硬度を（ｂ）とした場合、（ｂ）／（ａ）が２．２以下である複合部材。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の複合部材であって、
前記第１の部材と前記接着層との第１の接着面、及び／又は、前記第２の部材と前記接着層との第２接着面は平面であり、
その平面の面積は、直径１００ｍｍの円の面積以上である複合部材。
【請求項１０】
シリコーン樹脂と、炭素粉末と、を含む接着剤組成物であって、
熱重量測定における前記炭素粉末の重量減少量は、昇温速度１０℃／ｍｉｎで室温から２５０℃まで昇温させた場合に１重量％未満である接着剤組成物。
【請求項１１】
シリコーン樹脂と、炭素粉末と、を含む接着剤組成物であって、
前記炭素粉末のＢＥＴ比表面積は、９５ｍｍ２／ｇ以下である接着剤組成物。
【請求項１２】
請求項１１に記載の接着剤組成物であって、
熱重量測定における前記炭素粉末の重量減少量は、昇温速度１０℃／ｍｉｎで室温から２５０℃まで昇温させた場合に１重量％未満である接着剤組成物。
【請求項１３】
請求項１０〜１２のいずれか１項に記載の接着剤組成物であって、
前記シリコーン樹脂が付加硬化型のシリコーン樹脂である接着剤組成物。
【請求項１４】
請求項１０〜１３のいずれか１項に記載の接着剤組成物であって、
２５０℃で１６５時間加熱したときに気泡を発生せず、
初期のゴム硬度を（ａ）とし、２５０℃で１０００時間加熱した後のゴム硬度を（ｂ）とした場合、（ｂ）／（ａ）が２．２以下である接着剤組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は複合部材及び接着剤組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、静電チャック等の半導体製造用部品が知られている。静電チャックは、半導体ウェハを固定する機能を有する（特許文献１、２参照）。静電チャックは、セラミック基板と、金属基板と、それらを接着する接着層と、を備える。接着層として、シリコーン樹脂を含むものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１６５２６７号公報
【特許文献２】特許第４４０９３７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
静電チャックが備える接着層は、使用時に高温になることがある。シリコーン樹脂は、長時間高温に曝されると、熱劣化することが知られている。中でも硬化劣化は、酸素起因のラジカルにより次第に酸化され硬くなっていく。シリコーン樹脂が硬化劣化すると、接着層自体も硬化劣化する。
【０００５】
シリコーン樹脂の硬化劣化を抑制するため、ラジカル捕捉能を有する物質を接着層に含有させることが考えられる。しかしながら、この場合、ラジカル捕捉能を有する物質が水分等を放出し、気泡を生成することがある。気泡が生成すると、接着層と、セラミック基板又は金属基板との界面に、接着されていない箇所が生じてしまう。その結果、静電チャックに固定された半導体ウェハの表面温度が不均一になってしまう。
【０００６】
本開示の一局面は、接着層の硬化劣化を抑制でき、接着層における気泡の発生を抑制できる複合部材及び接着剤組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一態様は、少なくとも一部の表面がセラミックから成る第１の部材と、少なくとも一部の表面が金属から成る第２の部材と、前記第１の部材における前記セラミックから成る表面と、前記第２の部材における前記金属から成る表面とを接着する接着層と、を備える複合部材であって、前記接着層は、シリコーン樹脂と、炭素粉末と、を含み、熱重量測定における前記炭素粉末の重量減少量は、昇温速度１０℃／ｍｉｎで室温から２５０℃まで昇温させた場合に１重量％未満である複合部材である。本開示の一態様である複合部材は、接着層の硬化劣化を抑制でき、接着層における気泡の発生を抑制できる。
【０００８】
本開示の別の態様は、少なくとも一部の表面がセラミックから成る第１の部材と、少なくとも一部の表面が金属から成る第２の部材と、前記第１の部材における前記セラミックから成る表面と、前記第２の部材における前記金属から成る表面とを接着する接着層と、を備える複合部材であって、前記接着層は、シリコーン樹脂と、炭素粉末と、を含み、前記炭素粉末のＢＥＴ比表面積は、９５ｍｍ２／ｇ以下である複合部材である。本開示の別の態様の複合部材は、接着層の硬化劣化を抑制でき、接着層における気泡の発生を抑制できる。
【０００９】
本開示の別の態様は、シリコーン樹脂と、炭素粉末と、を含む接着剤組成物であって、熱重量測定における前記炭素粉末の重量減少量は、昇温速度１０℃／ｍｉｎで室温から２５０℃まで昇温させた場合に１重量％未満である接着剤組成物である。本開示の別の態様の接着剤組成物は、例えば、複合部材における接着層の形成に使用することができる。形成された接着層は、硬化劣化しにくく、気泡を発生しにくい。
【００１０】
本開示の別の態様は、シリコーン樹脂と、炭素粉末と、を含む接着剤組成物であって、前記炭素粉末のＢＥＴ比表面積は、９５ｍｍ２／ｇ以下である接着剤組成物である。本開示の別の態様の接着剤組成物は、例えば、複合部材における接着層の形成に使用することができる。形成された接着層は、硬化劣化しにくく、気泡を発生しにくい。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】複合部材１の構成を表す側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本開示の実施形態を説明する。
１．複合部材
本開示の複合部材は、第１の部材、第２の部材、及び接着層を備える。第１の部材の少なくとも一部の表面は、セラミックから成る。第１の部材は、例えば、その全体がセラミックから成るものであってもよいし、一部がセラミックから成り、他の部分は他の材質から成るものであってもよい。第１の部材として、例えば、セラミック基板等が挙げられる。
【００１３】
セラミックとしては、公知のものを適宜選択して用いることができる。セラミックの材料としては、例えば、酸化アルミニウム（アルミナ）、窒化アルミニウム、酸化イットリウム（イットリア）等が挙げられる。セラミックにはガラス成分も含まれる。
【００１４】
第２の部材の少なくとも一部の表面は、金属から成る。第２の部材は、例えば、その全体が金属から成るものであってもよいし、一部が金属から成り、他の部分は他の材質から成るものであってもよい。第２の部材として、例えば、金属基板等が挙げられる。金属としては、例えば、アルミニウム、鉄、金、銀、銅、ステンレス、チタン等が挙げられる。また、金属は、複数の元素の合金であってもよい。
【００１５】
接着層は、第１の部材におけるセラミックから成る表面と、第２の部材における金属から成る表面とを接着する層である。接着層は、シリコーン樹脂と、炭素粉末と、を含む。
シリコーン樹脂としては、例えば、付加硬化型のシリコーン樹脂と、縮合硬化型のシリコーン樹脂とが挙げられる。付加硬化型のシリコーン樹脂を用いる場合、接着層における気泡の生成を一層抑制できる。
【００１６】
付加硬化型のシリコーン樹脂は、少なくとも、（Ａ）一分子中に少なくとも２個のけい素原子結合アルケニル基を有するオルガノポリシロキサン、（Ｂ）一分子中に少なくとも２個のけい素原子結合水素原子を有するオルガノポリシロキサン、及び（Ｃ）ヒドロシリル化反応用触媒を含む。
【００１７】
（Ｂ）成分の配合量は、前記（Ａ）成分を架橋させるに十分な量であり、例えば、前記（Ａ）成分中のけい素原子結合アルケニル基１モルに対して、（Ｂ）成分中のけい素原子結合水素原子が０.５〜１０モルの範囲内となる量であることが好ましく、特に、これが
０．８〜１．２モルの範囲内となる量であることが好ましい。
【００１８】
（Ｃ）成分は、アルケニル基とけい素原子結合水素原子とのヒドロシリル化反応を促進
する成分である。（Ｃ）成分の配合量は、シリコーン樹脂の硬化を促進するに十分な量であり、例えば、（Ｃ）成分が白金系触媒である場合には、シリコーン樹脂における白金金属の濃度が、重量単位で、０.０１〜１０００ｐｐｍの範囲内となる量であることが好ま
しく、０.１〜５００ｐｐｍの範囲内となる量であることが一層好ましい。
【００１９】
炭素粉末としては、例えば、カーボンブラック、カーボンファイバー、カーボンナノチューブ、及びグラフェン等が挙げられる。炭素粉末は、これらから選択される２種以上の混合物であってもよい。炭素粉末は、シリコーン樹脂を劣化させるラジカルを捕捉し、シリコーン樹脂の硬化劣化を抑制する作用を奏する。
【００２０】
炭素粉末の添加量は、シリコーン樹脂１００重量部に対し、１重量部以上であることが好ましい。この場合、シリコーン樹脂の硬化劣化を一層抑制できる。炭素粉末の添加量は、シリコーン樹脂１００重量部に対し、４０重量部以下であることが好ましい。この場合、炭素粉末の分散性の点で優れる。
【００２１】
熱重量測定における炭素粉末の重量減少量（以下では単に重量減少量と呼ぶこともある）は、昇温速度１０℃／ｍｉｎで室温から２５０℃まで昇温させた場合に１重量％未満であることが好ましい。炭素粉末の重量減少量が１重量％未満である場合、接着層において生じる気泡を抑制できる。熱重量測定の方法は以下のとおりである。粉末の試料をアルミパンに入れる。次に、窒素雰囲気下、又は大気雰囲気下にて、昇温速度１０℃／ｍｉｎで室温から６００℃まで昇温する。このとき、サンプル間隔１秒で重量変化を繰り返し測定する。室温における重量から、２５０℃における重量を差し引いた値を、重量減少量とする。
【００２２】
なお、炭素粉末の重量減少は、炭素粉末の表面に吸着されていた水分や、カルボキシル基等の官能基が脱離して生じると推測される。
炭素粉末のＢＥＴ比表面積は、９５ｍｍ２／ｇ以下であることが好ましく、９０ｍｍ２／ｇ以下であることが一層好ましい。ＢＥＴ比表面積が９５ｍｍ２／ｇ以下である場合、炭素粉末に含まれる水分の量が少ない。そのため、炭素粉末から水分が揮発して気泡が生じることを抑制できる。ＢＥＴ比表面積が９０ｍｍ２／ｇ以下である場合、炭素粉末から水分が揮発して気泡が生じることを一層抑制できる。
【００２３】
ＢＥＴ比表面積の測定方法は以下のとおりである。粉末の試料を１００℃で６０分間脱気する。次に、ＢＥＴ流動法（１点法）により測定を行う。測定時のガスは、ＨｅとＮ２との混合ガスであって、それらの体積比は、Ｈｅ：Ｎ２＝７：３である。３回の測定値の平均値をＢＥＴ比表面積とする。
【００２４】
接着層は、シリコーン樹脂、炭素粉末に加えて、他の成分を含んでいてもよい。他の成分として、例えば、アルミナ、シリカ（例えば、湿式シリカ、乾式シリカ、ヒュームドシリカ等）、ジルコニア、窒化アルミニウム、窒化けい素、炭化けい素等のセラミック粉末、アルミ、銀、銅等の金属粉末、硫酸バリウム、炭酸カルシウム等が挙げられる。これらの成分は、熱伝導率付与、粘度調整、補強等の作用を奏する。
【００２５】
接着層は、２５０℃で１６５時間加熱したときに気泡が生じないものであることが好ましい。気泡が生じない場合、接着層と、第１の部材又は第２の部材との界面に、接着されていない箇所が一層生じにくい。
【００２６】
接着層の初期のゴム硬度を（ａ）とし、接着層を２５０℃で１０００時間加熱した後のゴム硬度を（ｂ）とした場合、（ｂ）／（ａ）が２．２以下であることが好ましい。（ｂ）／（ａ）が２．２以下である場合、接着層が一層柔らかいので、第１の部材と第２の部
材との熱膨張率の差に起因して生じる、第１の部材と第２の部材との端部付近での接着層の剥がれを一層抑制できる。
【００２７】
ゴム硬度の測定方法は以下のとおりである。ＪＩＳ  Ａ  ＴＹＰＥのゴム硬度計を用い、接着層のゴム硬度を測定する。ゴム硬度は、内径１８ｍｍ、長さ１７ｍｍの硬化体の上下面を測定し、平均値をゴム硬度とする。
【００２８】
第１の部材と接着層との接着面を第１の接着面とする。第２の部材と接着層との接着面を第２の接着面とする。第１の接着面、及び／又は、第２の接着面は、平面であることが好ましい。そして、第１の接着面が平面である場合、第１の接着面の面積は、直径１００ｍｍの円の面積以上であることが好ましい。また、第２の接着面が平面である場合、第２の接着面の面積は、直径１００ｍｍの円の面積以上であることが好ましい。また、第１の接着面及び第２の接着面がそれぞれ平面である場合、第１の接着面及び第２の接着面の面積は、それぞれ、直径１００ｍｍの円の面積以上であることが好ましい。
【００２９】
第１の接着面、及び／又は、第２の接着面が上記のものである場合、第１の部材と第２の部材との熱膨張率の差に起因して生じる、第１の部材と第２の部材との端部付近での接着層の剥がれを一層抑制できる。
【００３０】
また、第１の接着面、及び／又は、第２の接着面の面積が、直径１００ｍｍの円の面積以上である場合は、それ未満である場合よりも、第１の部材と第２の部材との間の熱伝導が、面内全体で一層均一になる。
【００３１】
複合部材は、例えば、半導体製造用部品の一部又は全部を構成する。半導体製造用部品としては、例えば、シャワーヘッド、静電チャック、ＣＶＤヒーター、真空チャック等が挙げられる。
【００３２】
複合部材は、例えば、以下の方法で製造できる。第１の部材の表面に、後述する接着剤組成物を塗布し、その塗布面に第２の部材を貼り合わせる。また、第２の部材の表面に接着剤組成物を塗布し、その塗布面に第１の部材を貼り合わせてもよい。また、第１の部材の表面と、第２の部材の表面とにそれぞれ接着剤組成物を塗布し、両者の塗布面同士を貼り合わせてもよい。これらの製造方法の場合、塗布した接着剤組成物が硬化して接着層を形成する。
【００３３】
また、複合部材は、例えば、以下の方法で製造してもよい。上述した接着層と同様の組成を有する接着シートを作成する。接着シートは流動性を持っていてもよいし、固形であってもよい。第１の部材と第２の部材との間に接着シートを配置する。第１の部材と第２の部材とを、それぞれ、接着シートの側に押し付ける。この製造方法の場合、接着シートが接着層を形成する。
【００３４】
例えば、図１に示すように、複合部材１は、第１の部材３と、第２の部材５と、接着層７と、を備える。例えば、複合部材１が静電チャックである場合、第１の部材３はセラミック基板であり、第２の部材５は、金属基板である。
【００３５】
２．接着剤組成物
本開示の接着剤組成物は、上述した接着層と同様の組成を有し、シリコーン樹脂と、炭素粉末と、を含む。シリコーン樹脂、及び炭素粉末の種類、物性、添加量等は、上述した接着層におけるシリコーン樹脂、及び炭素粉末と同様である。接着剤組成物は、シリコーン樹脂、及び炭素粉末以外の成分を含んでいてもよい。
【００３６】
本開示の接着剤組成物は、２５０℃で１６５時間加熱したときに気泡が生じないものであることが好ましい。気泡が生じない場合、接着剤組成物を用いて形成された接着層と、第１の部材又は第２の部材との界面に、接着されていない箇所が一層生じにくい。
【００３７】
接着剤組成物の初期のゴム硬度を（ａ）とし、接着剤組成物を２５０℃で１０００時間加熱した後のゴム硬度を（ｂ）とした場合、（ｂ）／（ａ）が２．２以下であることが好ましい。（ｂ）／（ａ）が２．２以下である場合、接着剤組成物が一層柔らかいので、接着剤組成部が接着する２つの部材間の熱膨張率の差に起因して生じる、接着剤組成物の剥がれを一層抑制できる。
【００３８】
接着剤組成物は、例えば、流動性を持っていてもよいし、ペースト状であってもよいし、固形であってもよい。接着剤組成物は、例えば、複合部材の製造に使用することができる。接着剤組成物を複合部材の製造に使用した場合、接着剤組成物は接着層を形成する。＜実施例＞
（１）接着剤組成物の製造
以下の表１に示す特性を有する炭素粉末Ａ１〜Ａ５を用意した。
【００３９】
【表１】
2020040404.tif 000003
【００４０】
Ａ１は、新日カーボン株式会社製のニテロン♯１０Ｋ（商品名）である。Ａ２は、三菱化学株式会社製の♯４０００（商品名）である。Ａ３は、デンカ株式会社製のデンカブラック（商品名）である。Ａ４は、三菱化学株式会社製のＭＡ６００（商品名）である。Ａ５は、旭カーボン株式会社製のＳＢＸ２５（商品名）である。
【００４１】
表１における「ＢＥＴ比表面積」及び「重量減少量」の測定方法は、上述した方法である。「重量減少量（Ｎ２）」は、窒素雰囲気での重量減少量であり、「重量減少量（Air
）」は、大気雰囲気での重量減少量である。
【００４２】
シリコーン樹脂と、炭素粉末Ａ１〜Ａ５のうちのいずれかとを含む原料を混合して、以下の表２、表３に示す接着剤組成物Ｓ１〜Ｓ１６を製造した。ただし、Ｓ１６については、炭素粉末を添加しなかった。
【００４３】
【表２】
2020040404.tif 000004
【００４４】
【表３】
2020040404.tif 000005
【００４５】
表２、表３における「炭素粉末量」は、シリコーン樹脂の重量を１００重量部とした場合の炭素粉末の添加量（単位は重量部）である。使用したシリコーン樹脂の種類は全て同一であり、付加硬化型のシリコーン樹脂である。接着剤組成物Ｓ１〜Ｓ１６は、ペースト状であり、スクリーン印刷が可能なだけの流動性を有する。表２、表３には、添加した炭素粉末のＢＥＴ比表面積、及び重量減少量を併せて示す。
（２）接着剤組成物の評価
接着剤組成物Ｓ１〜Ｓ１６のそれぞれについて、以下の評価を行った。
【００４６】
（２−１）気泡の評価用の試験体の作成
アルミ板の片面に接着剤組成物を塗布し、その塗布面にガラス板を貼り合わせ、試験体を作成した。ガラス板は第１の部材に対応し、アルミ板は第２の部材に対応する。接着剤組成物が硬化して成る層は接着層に対応する。試験体は、ガラス板と、アルミ板と、それらを接着する接着層とを備える。試験体は複合部材に対応する。  
【００４７】
ガラス板を構成するガラスはフロートガラスである。アルミ板を構成するアルミニウムはＡ６０６１Ｐ−Ｔ６である。ガラス板は、縦横それぞれ１１０ｍｍの正方形の板であって、厚みは１．１ｍｍである。アルミ板は、縦横それぞれ１３０ｍｍの正方形の板であって、厚みは１．０ｍｍである。接着層の厚みは０．３ｍｍである。接着層とガラス板との接着面は平面であり、その接着面の面積は、直径１００ｍｍの円の面積以上である。また、接着層とアルミ板との接着面は平面であり、その接着面の面積は、直径１００ｍｍの円の面積以上である。
【００４８】
（２−２）気泡の評価
前記（２−１）で作成した試験体を２５０℃で１６５時間加熱した。加熱後、接着層に気泡が生じているか否かを、ガラス板を透して目視で確認した。その結果を前記表２、表３に示す。表２、表３において、「○」は気泡が生じていないことを表し、「×」は気泡が多く生じたことを表す。
【００４９】
接着剤組成物Ｓ１〜Ｓ９においては、気泡が生じていなかった。それに対し、接着剤組成物Ｓ１０〜Ｓ１５では、気泡が生じていた。その理由は、接着剤組成物Ｓ１〜Ｓ９では、ＢＥＴ比表面積が小さく、重量減少量が小さい炭素粉末を添加しているのに対し、接着剤組成物Ｓ１０〜Ｓ１５では、ＢＥＴ比表面積が大きく、重量減少量が大きい炭素粉末を添加しているためであると推測される。
【００５０】
（２−３）ゴム硬度の測定
ＪＩＳ  Ａ  ＴＹＰＥのゴム硬度計を用い、接着剤組成物のゴム硬度を測定した。ゴム硬度の測定方法は、上述した方法である。ゴム硬度は、硬化劣化の程度を表す指標である。ゴム硬度の測定は、接着剤組成物の製造直後と、２５０℃で１０００時間加熱した後とにそれぞれ行った。測定結果を前記表２、表３に示す。表２、表３において「初期（ａ）」は、接着剤組成物の製造直後におけるゴム硬度を表す。表２、表３において「１０００ｈ後（ｂ）」は、２５０℃で１０００時間加熱した後における接着剤組成物のゴム硬度を表す。表２、表３における「（ｂ）／（ａ）」は、「初期（ａ）」の値に対する、「１０００ｈ後（ｂ）」の値の比率を表す。「（ｂ）／（ａ）」の値が大きいほど、加熱により硬くなったことを示しており、硬化劣化しやすいことを意味する。  
【００５１】
接着剤組成物Ｓ１〜Ｓ９においては、「（ｂ）／（ａ）」の値はいずれも小さかった。それに対し、接着剤組成物Ｓ１６では、「（ｂ）／（ａ）」の値は非常に大きかった。その理由は、接着剤組成物Ｓ１〜Ｓ９には、炭素粉末が添加されているのに対し、接着剤組成物Ｓ１６には、炭素粉末が添加されていないためであると推測される。
＜他の実施形態＞
以上、本開示の実施形態について説明したが、本開示は上述の実施形態に限定されることなく、種々変形して実施することができる。
【００５２】
（１）前記実施形態における１つの構成要素が有する複数の機能を、複数の構成要素によって実現したり、１つの構成要素が有する１つの機能を、複数の構成要素によって実現したりしてもよい。また、複数の構成要素が有する複数の機能を、１つの構成要素によって実現したり、複数の構成要素によって実現される１つの機能を、１つの構成要素によって実現したりしてもよい。また、前記実施形態の構成の一部を省略してもよい。また、前記実施形態の構成の少なくとも一部を、他の前記実施形態の構成に対して付加又は置換してもよい。なお、特許請求の範囲に記載した文言から特定される技術思想に含まれるあらゆる態様が本開示の実施形態である。
【００５３】
（２）上述した複合部材及び接着剤組成物の他、複合部材を構成要素とするシステム、接着剤組成物の製造方法、複合部材の製造方法等、種々の形態で本開示を実現することも
できる。
【符号の説明】
【００５４】
１…複合部材、３…第１の部材、５…第２の部材、７…接着層
【図１】
2020040404.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】令和1年11月12日(2019.11.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一部の表面がセラミックから成る第１の部材と、
少なくとも一部の表面が金属から成る第２の部材と、
前記第１の部材における前記セラミックから成る表面と、前記第２の部材における前記金属から成る表面とを接着する接着層と、
を備える複合部材であって、
前記接着層は、シリコーン樹脂と、炭素粉末と、を含み、
前記接着層は、２５０℃で１６５時間加熱したときに気泡を発生せず、
前記接着層の初期のゴム硬度を（ａ）とし、前記接着層を２５０℃で１０００時間加熱した後の前記接着層のゴム硬度を（ｂ）とした場合、（ｂ）／（ａ）が２．２以下であり、
前記ゴム硬度（ａ）が９〜２４であり、
前記ゴム硬度（ｂ）が２０〜４３であり、
半導体製造用部品の一部又は全部を構成する複合部材。
【請求項２】
請求項１に記載の複合部材であって、
前記炭素粉末のＢＥＴ比表面積は９５ｍ２／ｇ以下であり、
前記炭素粉末はラジカル捕捉能を有する複合部材。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の複合部材であって、
前記接着層は、前記シリコーン樹脂１００重量部に対し、１重量部以上の前記炭素粉末を含む複合部材。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の複合部材であって、
熱重量測定における前記炭素粉末の重量減少率は、窒素雰囲気下、又は大気雰囲気下にて、昇温速度１０℃／ｍｉｎで室温から２５０℃まで昇温させた場合に１重量％未満である複合部材。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の複合部材であって、
前記炭素粉末は、カーボンブラック、カーボンファイバー、カーボンナノチューブ、及びグラフェンから成る群から選択される１以上である複合部材。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の複合部材であって、
前記シリコーン樹脂が付加硬化型のシリコーン樹脂である複合部材。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の複合部材であって、
前記第１の部材と前記接着層との第１の接着面、及び／又は、前記第２の部材と前記接着層との第２接着面は平面であり、
その平面の面積は、直径１００ｍｍの円の面積以上である複合部材。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本開示の一態様は、少なくとも一部の表面がセラミックから成る第１の部材と、少なくとも一部の表面が金属から成る第２の部材と、前記第１の部材における前記セラミックから成る表面と、前記第２の部材における前記金属から成る表面とを接着する接着層と、を備える複合部材であって、前記接着層は、シリコーン樹脂と、炭素粉末と、を含み、前記接着層は、２５０℃で１６５時間加熱したときに気泡を発生せず、前記接着層の初期のゴム硬度を（ａ）とし、前記接着層を２５０℃で１０００時間加熱した後の前記接着層のゴム硬度を（ｂ）とした場合、（ｂ）／（ａ）が２．２以下であり、前記ゴム硬度（ａ）が９〜２４であり、前記ゴム硬度（ｂ）が２０〜４３であり、半導体製造用部品の一部又は全部を構成する複合部材である。本開示の一態様である複合部材は、接着層の硬化劣化を抑制でき、接着層における気泡の発生を抑制できる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】