(57)【要約】【課題】回収側の共有流路の液体が直前の噴射済み液体の液体噴射圧を新たに噴射されることになる液体に及ぼす影響を低減する。【解決手段】複数のノズルを有するノズルプレートが装着される流路形成基板は、複数のノズルへの液体供給に共用される共有供給路と該共有供給路から分岐して圧力室に至るノズルごとの個別供給路とから供給流路を形成し、ノズルと圧力室とを連通するノズルごとの連通流路に連通したノズルごとの個別回収路と該個別回収路が合流して複数のノズルからの液体回収に共用される共有回収路とから回収流路を形成する。そして、共有供給路は、流路域に亘って可撓性の供給側可撓プレートで液密に閉鎖され、共有回収路は、可撓性の回収側可撓プレートで液密に閉鎖される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズルを複数有する液体噴射ヘッドであって、
前記複数のノズルを有するノズルプレートと、
該ノズルプレートが装着される流路形成基板であって、前記複数のノズルへの液体供給に共用される共有供給路と、該共有供給路から分岐して前記ノズルごとの圧力室に至る個別供給路と、前記ノズルと前記圧力室とを連通する前記ノズルごとの連通流路と、該連通流路に前記ノズルごとに連通した個別回収路と、該個別回収路が合流して前記複数のノズルからの液体回収に共用される共有回収路とを有する流路形成基板と、
前記圧力室の圧力を変化させる前記ノズルごとの圧力発生部と、
前記流路形成基板が形成する前記共有供給路を流路域に亘って液密に閉鎖する可撓性の供給側可撓プレートと、
前記流路形成基板が形成する前記共有回収路を流路域に亘って液密に閉鎖する可撓性の回収側可撓プレートとを備える、
液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記流路形成基板は、
前記ノズルプレートが装着される側の基板面に、前記供給側可撓プレートで閉鎖される前記共有供給路の前記流路域と、前記回収側可撓プレートで閉鎖される前記共有回収路の前記流路域とを有する、
液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記ノズルプレートと、前記供給側可撓プレートと前記回収側可撓プレートのどちらか片方もしくは両方が別部材であり、前記ノズルプレート側から見たときの大きさが、前記流路形成基板より前記ノズルプレートが小さい、
液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記流路形成基板に、前記圧力室に連通する個別流路の開口が前記ノズルプレート側に形成され、前記ノズルに対して回収側の共通液室と前記開口の間に壁を有し、
前記壁に前記ノズルプレートと前記回収側可撓プレートの両方が接合される、
液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記流路形成基板に、前記圧力室に連通する個別流路の開口が前記ノズルプレート側に形成され、前記ノズルに対して供給側の共通液室と前記開口の間に壁を有し、
前記壁に前記ノズルプレートと前記供給側可撓プレートの両方が接合される、
液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項３から請求項５のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記ノズルプレートのヤング率が、前記供給側可撓プレートと前記回収側可撓プレートの両方よりも大きい、
液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記流路形成基板は、
前記圧力室の側の第１流路基板と、
前記第１流路基板に前記ノズルプレートの側から積層された第２流路基板とを備え、
前記第１流路基板と前記第２流路基板とが液密に接合して積層した基板積層形態で、供給側と回収側の流路を形成する、
液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項７に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記流路形成基板は、
前記共有供給路と前記共有回収路の少なくとも一方を、前記第１流路基板と前記第２流路基板との接合面で分離された流路とし、
該分離された流路としての前記共有供給路と前記共有回収路を、前記第１流路基板または前記第２流路基板の貫通孔として形成する、
液体噴射ヘッド。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれかに記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドへ供給され、前記液体噴射ヘッドから還流される前記液体を貯留する液体容器と、を備える液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッドと液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズルから液体を噴射する液体噴射装置は、例えば、液体であるインクを噴射するインクジェット方式の印刷装置として用いられている。こうした印刷装置では、インクの粘度増大やインク成分の沈降により印字品質の低下を来すので、インク噴射の圧力変化をもたらす圧力室にインクを循環供給する手法が提案されている（例えば、特許文献１）。この特許文献１では、ノズルごとの圧力室へのインク給排を図るに当たり、圧力室への供給側流路を共有流路と当該流路からノズルごとに分離した個別流路の構成とし、圧力室からの回収側流路も、ノズルごとの個別流路と当該流路が合流した共有流路を採用している。その上で、回収側の共有流路の流路域を、ノズルを有するノズルプレートで閉塞すると共に、供給側の共有流路をその流路域において可撓性のコンプライアンスシートで閉鎖している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１４３９４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１でなされた圧力室へのインクの循環供給を経たインク成分の沈降等の抑制は、印字品質の向上に寄与するが、以下に記すように、他の観点からの印字品質の向上の余地がある。インク噴射圧を受けたインクは、ノズルから噴射されるものの、噴射されなかったインクは、回収側の個別流路を経て共有流路に流れ込む。この回収側共有流路に流れ込んだインクは、新たに噴射されることになるインクと流路を介して繋がっている。しかも、回収側共有流路は、圧力室に加えられたインク噴射圧に対する耐性を有するノズルプレートで閉鎖されている。よって、回収側共有流路のインクに直前の噴射による圧力変動が残留していると、新たに噴射されることになるインクに影響を及ぼしてしまうことがある。そうすると、ノズルから噴出される噴出量の変動が起きて印字品質の低下を招き兼ねないことが危惧されるに至った。なお、こうした事象は、インクジェット方式の印刷装置に限らず、他の液体噴射装置においても起き得る。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一形態によれば、液体噴射ヘッドが提供される。この液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルを複数有する液体噴射ヘッドであって、前記複数のノズルを有するノズルプレートと、該ノズルプレートが装着される流路形成基板であって、前記複数のノズルへの液体供給に共用される共有供給路と、該共有供給路から分岐して前記ノズルごとの圧力室に至る個別供給路と、前記ノズルと前記圧力室とを連通する前記ノズルごとの連通流路と、該連通流路に前記ノズルごとに連通した個別回収路と、該個別回収路が合流して前記複数のノズルからの液体回収に共用される共有回収路とを有する流路形成基板と、前記圧力室の圧力を変化させる前記ノズルごとの圧力発生部と、前記流路形成基板が形成する前記共有供給路を流路域に亘って液密に閉鎖する可撓性の供給側可撓プレートと、前記流路形成基板が形成する前記共有回収路を流路域に亘って液密に閉鎖する可撓性の回収側可撓プレートとを備える。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明の第１実施形態の液体噴射装置の構成を模式的に示す説明図である。
【図２】液体噴射ヘッドの主要なヘッド構成材を分解視して上方側から概略的に示す説明図である。
【図３】液体噴射ヘッドの主要なヘッド構成材を分解視して下方側から概略的に示す説明図である。
【図４】図２における４−４線に沿って液体噴射ヘッドを断面視して示す説明図である。
【図５】第２実施形態の液体噴射装置における液体噴射ヘッドを主要な構成部材を分解した上で図４相当に断面視して示す説明図である。
【図６】第３実施形態の液体噴射装置における液体噴射ヘッドを図４相当に断面視して示す説明図である。
【図７】第４実施形態の液体噴射装置の構成を模式的示す説明図である。
【図８】液体噴射ヘッドの主要なヘッド構成材を分解視して上方側から概略的に示す説明図である。
【図９】図８における９−９線に沿って液体噴射ヘッドを断面視して示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
Ａ．第１実施形態：
図１は、本発明の第１実施形態の液体噴射装置１００の構成を模式的示す説明図である。液体噴射装置１００は、液体の一例であるインクの液滴を媒体１２に噴射するインクジェット方式の印刷装置である。以下、インクの液滴の噴射を、単にインク噴射と称する。液体噴射装置１００は、印刷用紙の他、樹脂フィルムや布等の任意の材質の印刷対象を媒体１２とし、これらの各種の媒体１２に対して印刷を行う。図１以降の各図においては、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向のうち、後述する液体噴射ヘッド２６の搬送方向（主走査方向）をＸ方向とし、Ｙ方向は、主走査方向と直交した媒体送り方向（副走査方向）であり、Ｚ方向は、ＸＹ平面に直交したインク噴射方向、および鉛直方向である。以下の説明においては、説明の便宜上、主走査方向を印刷方向と、適宜、称する。また、向きを特定する場合には、図示方向を＋（正）として、方向表記に正負の符合を併用する。なお、インク噴射方向は鉛直方向であってもよいし、それと交差する方向でもよい。液体噴射装置１００は、媒体送り方向（副走査方向）と液体噴射ヘッド２６の搬送方向（主走査方向）とが一致する、いわゆるラインプリンタでもよい。
【０００８】
液体噴射装置１００は、液体容器１４と、媒体１２を送り出す搬送機構２２と、制御ユニット２０と、ヘッド移動機構２４と、液体噴射ヘッド２６とを備える。液体容器１４は、液体噴射ヘッド２６から噴射される複数種のインクを個別に貯留する。液体容器１４としては、可撓性フィルムで形成された袋状のインクパックや、インク補充が可能なインクタンクなどが利用可能である。
【０００９】
制御ユニット２０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリ等の記憶回路とを含み、搬送機構２２やヘッド移動機構２４、液体噴射ヘッド２６等を統括制御する。搬送機構２２は、制御ユニット２０の制御下で動作し、媒体１２を＋Ｙ方向に送り出す。
【００１０】
ヘッド移動機構２４は、媒体１２の印刷範囲に亘ってＸ方向に掛け渡された搬送ベルト２３と、液体噴射ヘッド２６を収容して搬送ベルト２３に固定するキャリッジ２５とを備える。ヘッド移動機構２４は、制御ユニット２０の制御下で動作し、液体噴射ヘッド２６を主走査方向（Ｘ方向）においてキャリッジ２５ごと往復移動させる。キャリッジ２５の往復移動の際、キャリッジ２５はガイドレールにより案内されるが、このガイドレールについては、図示を省略した。なお、液体容器１４を液体噴射ヘッド２６と共にキャリッジ２５に搭載したヘッド構成としてもよい。
【００１１】
液体噴射ヘッド２６は、液体容器１４が貯留するインク色ごとに用意され、液体容器１４から供給されるインクを、制御ユニット２０の制御下で、複数のノズルＮから媒体１２に向けて噴射する。液体噴射ヘッド２６の往復移動の間のノズルＮからのインク噴射により、媒体１２に所望の画像等の印刷がなされる。液体噴射ヘッド２６は、図１に示すように、複数のノズルＮを副走査方向に沿って並べたノズル列を備える。
【００１２】
液体噴射ヘッド２６は、ヘッド構成材をＺ方向に積層した積層体である。図２は、液体噴射ヘッド２６の主要なヘッド構成材を分解視して上方側から概略的に示す説明図である。図３は、液体噴射ヘッド２６の主要なヘッド構成材を分解視して下方側から概略的に示す説明図である。図４は、図２における４−４線に沿って液体噴射ヘッド２６を断面視して示す説明図である。なお、図示する各構成部材の厚みは、実際の構成材厚みを示しているものではない。
【００１３】
図示するように、液体噴射ヘッド２６は、主要なヘッド構成材として、ヘッドにおける後述の各種流路を形成する流路形成基板３０と、ノズルＮごとの圧力室Ｃを形成する圧力室プレート４０と、圧力発生部としての後述の圧電素子４４の取付やその保護に関与する保護基板５０と、インク供給用の供給流路基板６０と、インク回収用の回収流路基板７０とを備える。なお、供給流路基板６０と回収流路基板７０とを一体に形成してもよいし別体に形成してもよい。また、供給側可撓プレート５３と回収側可撓プレート５４とを一体に形成してもよいし別体に形成してもよい。圧力発生部は、圧力室Ｃ内に充填されたインクに圧力変化を引き起こすために、発熱する発熱素子であってもよいし、静電素子であってもよいし、ＭＥＭＳ素子であってもよい。
【００１４】
流路形成基板３０は、Ｚ方向からの平面視においてＸ方向よりもＹ方向に長尺なプレート体であり、−Ｚ方向の基板上面に、供給流路基板６０と回収流路基板７０が装着され、これら供給流路基板６０と回収流路基板７０との間に、圧力室プレート４０と保護基板５０とが積層状態で装着される。また、流路形成基板３０の＋Ｚ方向の基板下面には、ノズルプレート５２と供給側可撓プレート５３および回収側可撓プレート５４とが装着される。そして、この流路形成基板３０は、以下に説明するように、各種の液体流路を、流路形成基板３０に設けられた貫通孔や陥没凹溝を組み合わせることにより形成する。貫通孔は流路形成基板３０をＺ方向に貫通する孔であってもよいし、陥没凹溝は流路形成基板３０をＺ方向に貫通しない溝であってもよい。また、流路形成基板３０は、基板下面の陥没凹溝をノズルプレート５２や供給側可撓プレート５３、回収側可撓プレート５４で閉鎖することで、ノズルプレート５２や供給側可撓プレート５３、回収側可撓プレート５４との間に流路を形成する。以下、各プレート構成を、インクの供給側から回収側に掛けての流路形成と関連付けて説明する。
【００１５】
供給流路基板６０は、Ｙ方向に長尺なプレート体であり、内部にインク受入室６１を備える。インク受入室６１は、下端が開口してＹ方向に沿って延在する凹溝が流路形成基板３０で閉鎖されることで形成され、液体容器１４から供給されたインクを、図４において白抜き矢印で示すように、インク導入口６２を経て受け入れる。供給流路基板６０は、適宜な樹脂材料の射出成形により形成される。
【００１６】
流路形成基板３０は、この供給流路基板６０の装着側から、インク流入室１３１と、供給液室１３２と、供給流路１３３と、ノズル連通流路１３４と、回収連通流路１３５と、第１回収流路１３６と、第２回収流路１３７と、第３回収流路１３８と、インク回収室１３９と、インク排出室１４０とを有する。
【００１７】
インク流入室１３１は、図２に示すように、流路形成基板３０をＺ方向に貫通し、Ｙ方向に沿って長形の矩形の開口であり、供給流路基板６０のインク受入室６１と重なる。供給液室１３２は、図３および図４に示すように、流路形成基板３０の基板下面にインク流入室１３１と連続してＹ方向に長い開口を有する複数の圧力室Ｃに連通する共通液室となる凹溝であり、流路形成基板３０の基板下面に装着された供給側可撓プレート５３により流路域に亘って閉鎖されることで形成される。供給流路１３３は、図２および図４に示すように、流路形成基板３０をＺ方向に貫通して供給液室１３２に至るノズルＮごとの貫通孔であり、ノズルＮごとの圧力室Ｃを圧力室一端の側で供給液室１３２と連通する。圧力室Ｃは、図２および図４に示すように、圧力室プレート４０の下面にノズルＮごとにＸ方向に沿って形成された陥没凹溝であり、圧力室プレート４０が流路形成基板３０の基板上面に保護基板５０により挟持して装着されることで形成される。なお、流路形成基板３０への供給流路基板６０と供給側可撓プレート５３の装着、および、保護基板５０による流路形成基板３０への圧力室プレート４０の挟持・装着は、適宜な接着剤を用いて液密になされる。
【００１８】
供給流路基板６０のインク受入室６１から圧力室Ｃに至るまでのインク供給のための供給流路のうち、インク流入室１３１とこれに連通した供給液室１３２とは、複数のノズルＮのインク供給（液体供給）に共用される共有供給路であり、流路形成基板３０の基板下面において、その流路域に亘り供給側可撓プレート５３で閉鎖される。供給流路１３３は、上記の供給共有路からノズルＮごとに分岐してノズルＮごとの圧力室Ｃに至る個別供給路である。供給側可撓プレート５３は、インク流入室１３１および供給液室１３２における圧力変動を吸収し各ノズル間の液滴吐出速度のばらつきを抑える可撓性のフィルムなどで形成されている。供給側可撓プレート５３および回収側可撓プレート５４が共通液室である供給液室１３２やインク回収室１３９インク排出室１４０の壁の一部を画成している。供給側可撓プレート５３および回収側可撓プレート５４は、可撓性を有するフィルム状の薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、芳香族ポリアミド（アラミド）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、流路形成基板３０や後述の第２流路基板３０Ｄや第１流路基板３０Ｕは、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等やシリコン（Ｓｉ）の単結晶基板やガラスなどの可撓プレートよりヤング率の大きい硬質の材料で形成される。流路形成基板３０の供給液室１３２やインク回収室１３９の領域は、厚さ方向Ｚに完全に除去された開口部となっているため、例えばノズル面などの一方面にあたる供給液室１３２やインク回収室１３９の領域は、可撓性を有する供給側可撓プレート５３および回収側可撓プレート５４のみで封止されている。
【００１９】
ノズル連通流路１３４は、図２および図４に示すように、流路形成基板３０を貫通するノズルＮごとの貫通孔であり、流路形成基板３０の基板下面に装着されたノズルプレート５２のノズルＮにノズルＮごとの圧力室Ｃを圧力室他端の側で連通する。ノズルプレート５２は、流路形成基板３０の基板下面に液密に装着され、既述したノズル連通流路１３４と、後述の回収連通流路１３５および第１回収流路１３６を、流路形成基板３０の基板下面の側で閉塞する。
【００２０】
ノズルプレート５２は、シリコン（Ｓｉ）の単結晶基板への半導体製造技術、例えば、ドライエッチングやウェットエッチング等の加工技術の適用を経て、図２に示すようにノズルＮを列状に有するよう形成される。このノズルプレート５２は、供給側可撓プレート５３と回収側可撓プレート５４と別部材であり、ノズルプレート５２の側から見たときの大きさは、流路形成基板３０よりノズルプレート５２が小さい。よって、高精度な加工が必要で高価なノズルプレート５２を小さくできる。ノズルＮは、インクを噴射する円形状の貫通孔である。ノズルＮは、矩形や多角形の貫通孔でもよい。
【００２１】
回収連通流路１３５は、図３および図４に示すように、流路形成基板３０の基板下面にノズルＮごとに個別に形成された凹溝であり、流路形成基板３０の基板下面に液密に装着されたノズルプレート５２により閉鎖して形成される。この回収連通流路１３５は、圧力室Ｃからのノズル連通流路１３４と流路形成基板３０を貫通するノズルＮごとの第１回収流路１３６とを連通する。
【００２２】
第２回収流路１３７は、図２および図４に示すように、流路形成基板３０の基板上面に第１回収流路１３６と連続するようにノズルＮごとに個別に形成された凹溝であり、流路形成基板３０の基板上面に液密に装着された圧力室プレート４０により閉鎖されて形成される。この第２回収流路１３７は、流路形成基板３０を貫通するノズルＮごとの第３回収流路１３８を上記した第１回収流路１３６に連通し、流路形成基板３０の基板下面側に、図３および図４に示すように、プレート装着座１４１を形成する。このプレート装着座１４１は、ノズルプレート５２と回収側可撓プレート５４の装着座となる。
【００２３】
回収流路基板７０は、Ｙ方向に長尺なプレート体であり、内部にインク収容室７１を備える。インク収容室７１は、既述した供給流路基板６０のインク受入室６１と同様、下端が開口してＹ方向に沿って延在する凹溝が流路形成基板３０で閉鎖されることで形成され、後述のインク排出室１４０から排出されたインクを、図４において黒塗り矢印で示すように、インク排出口７２を経て液体容器１４に還流させる。回収流路基板７０は、適宜な樹脂材料の射出成形により形成される。なお、回収流路基板７０からのインク還流は、図示しないインク回収機構によりなされる。また、流路形成基板３０への回収流路基板７０の装着は、適宜な接着剤を用いて液密になされる。
【００２４】
流路形成基板３０のインク排出室１４０は、図２に示すように、Ｙ方向に長い開口を有する、複数の圧力室Ｃに連通する共通液室となる流路形成基板３０を貫通する貫通孔であり、回収流路基板７０のインク収容室７１と重なる。インク回収室１３９は、図３および図４に示すように、流路形成基板３０の基板下面にＹ方向に長い開口を有する、複数の圧力室Ｃに連通する共通液室となる凹溝であり、その長手方向であるＹ方向に沿ってインク排出室１４０と連通し、流路形成基板３０の基板下面に装着された回収側可撓プレート５４により流路域に亘って閉鎖されることで形成される。そして、ノズルＮごとの第３回収流路１３８がインク回収室１３９において合流し、インク回収室１３９は、ノズルＮごとの第３回収流路１３８をインク排出室１４０に連通する。
【００２５】
圧力室Ｃを通過したインクを回収するための回収流路のうち、インク排出室１４０とこれに連通したインク回収室１３９とは、複数のノズルＮからのインク回収（液体回収）に共用される共有回収路であり、流路形成基板３０の基板下面において、その流路域に亘り回収側可撓プレート５４で閉鎖される。回収連通流路１３５と第１回収流路１３６と第２回収流路１３７および第３回収流路１３８は、上記した共有回収路とノズル連通流路１３４とを連通するノズルＮごとの個別回収路である。回収側可撓プレート５４は、供給側可撓プレート５３と同様、インク回収室１３９およびインク排出室１４０における圧力変動を吸収する可撓性のフィルム、例えばコンプライアンス基板から形成されている。
【００２６】
流路形成基板３０は、ノズルプレート５２と同様、シリコンの単結晶基板への既述した半導体製造技術の適用を経て、インク流入室１３１等の上記した各種流路を形成する。
【００２７】
保護基板５０は、流路形成基板３０の基板上面に圧力室ＣをノズルＮごとに形成する圧力室プレート４０を挟持すると共に、圧力室Ｃごとの圧電素子４４への通電を図るリード電極４５を、圧力室プレート４０に対して挟持する。保護基板５０は、図２に示すように、Ｙ方向に長尺なプレート体であり、振動部４２の上面側に凹状の空間を形成して、振動部４２を圧電素子４４と共に覆う。また、保護基板５０は、リード電極４５と電気的に接触する図示しない配線基板の設置用に、Ｙ方向に長い開口を有する、複数のリード電極に渡って開口を有する貫通孔５１を有し、ノズルプレート５２とは反対の側から流路形成基板３０に装着される。ノズルプレート５２は高精度なノズル加工が要求される高価な部品であり、供給側可撓プレート５３および回収側可撓プレート５４と一体では無い別部材であることが好ましい。
【００２８】
振動部４２は、弾性的に振動できるよう薄板状に形成された圧力室Ｃの天上壁であり、閉鎖された圧力室Ｃごとに圧電素子４４を備える。それぞれの圧電素子４４は、ノズルＮに個別に対応し、制御ユニット２０からの駆動信号を受けて変形する受動素子であり、ノズルＮの並びに対応付けて振動部４２に配設される。圧電素子４４の振動により、圧力室Ｃに供給済みのインクに圧力変化が起きる。この圧力変化は、ノズル連通流路１３４を経てノズルＮに及ぶ。
【００２９】
圧力室プレート４０は、流路形成基板３０と同様、シリコンの単結晶基板への既述した半導体製造技術の適用を経て形成できるほか、他の材料で形成してもよい。保護基板５０は、適宜な樹脂材料の射出成形により形成される。
【００３０】
上記した流路構成を有する液体噴射ヘッド２６では、液体容器１４から図示しないポンプにより供給されたインクは、供給流路基板６０におけるインク受入室６１を経て、流路形成基板３０のインク流入室１３１と供給液室１３２に流れ込み、共有供給路であるインク流入室１３１と供給液室１３２とに充満する。こうして充満したインクは、継続供給されるインクに押し出され、ノズルＮごとの個別流路である供給流路１３３を経て圧力室Ｃに供給され、この圧力室Ｃにおいて、制御ユニット２０により駆動制御される圧電素子４４の振動を受けてノズルＮから噴射される。液体容器１４からのインク供給は、ノズルＮからのインク噴射がなされている印刷状況下においても、ノズルＮからのインク噴射を伴わない状況下でも継続される。複数の圧力室Ｃには、複数のノズルＮに対して共有のインク流入室１３１と供給液室１３２からノズルごとに分岐した供給流路１３３を経て、インクが個別に供給される。
【００３１】
圧力室Ｃへのインク供給が継続されている状況において、ノズルＮからインク噴射されなかったインクは、それぞれの圧力室Ｃを通過した後に、圧力室Ｃごとの回収連通流路１３５と第１回収流路１３６と第３回収流路１３８を経て、複数のノズルＮに対して共有のインク回収室１３９とインク排出室１４０に押し出され、回収流路基板７０のインク収容室７１に送り出される。その後、インクは液体容器１４に還流する。
【００３２】
以上説明した第１実施形態の液体噴射装置１００は、ノズルＮごとの圧力室Ｃに、インク流入室１３１から供給流路１３３までの供給流路からインクを供給し、ノズルＮごとの圧力室Ｃを通過してノズルＮから噴出されなかったインクを、回収連通流路１３５からインク排出室１４０までの回収流路で回収する。こうしたインクの供給・回収に際し、圧力室Ｃに供給されるインクは、供給流路のうちの共有供給路であるインク流入室１３１と供給液室１３２に充満し、圧力室Ｃを通過したインクは、回収流路のうちの共有回収路であるインク回収室１３９とインク排出室１４０に充満する。共有供給路を構成するインク流入室１３１と供給液室１３２は、その流路域に亘って可撓性の供給側可撓プレート５３で閉鎖され、共有回収路を構成するインク回収室１３９とインク排出室１４０とは、その流路域に亘って可撓性の回収側可撓プレート５４で閉鎖されている。このため、インク流入室１３１と供給液室１３２に充満したインクに及ぶインク供給圧の変動は、供給側可撓プレート５３の撓みにより減衰される。また、インク回収室１３９とインク排出室１４０に充満したインクに及ぶインク供給圧やインク噴射の際のインク噴射圧の変動は、回収側可撓プレート５４の撓みにより減衰される。この結果、第１実施形態の液体噴射装置１００によれば、新たなインク噴射の際のインク噴射圧に直前に噴射済みインクのインク噴射圧が及ぼす影響を低減できる。
【００３３】
第１実施形態の液体噴射装置１００は、ノズルＮから噴出されなかったインクが最初に通過する回収連通流路１３５とインク回収室１３９とを連通するに当たり、流路形成基板３０の基板上面に陥没凹溝として形成した第２回収流路１３７により、基板下面側にプレート装着座１４１を形成する。よって、図４に示すように、ノズルプレート５２は元より、回収側可撓プレート５４を、確実に流路形成基板３０の基板下面に装着できる。
【００３４】
第１実施形態の液体噴射装置１００は、供給側可撓プレート５３の閉鎖対象となるインク流入室１３１と供給液室１３２の流路域と、回収側可撓プレート５４の閉鎖対象となるインク回収室１３９とインク排出室１４０の流路域とを、ノズルプレート５２が装着される基板下面とした。よって、第１実施形態の液体噴射装置１００によれば、ノズルプレート５２と供給側可撓プレート５３および回収側可撓プレート５４を流路形成基板３０の基板下面に装着すれば済むので、プレート装着に拘わる組み付け工数の低減やコスト低下を図ることができる。
【００３５】
第１実施形態の液体噴射装置１００は、液体噴射ヘッド２６において、ノズルプレート５２を、供給側可撓プレート５３と回収側可撓プレート５４と別部材とし、ノズルプレート５２の側から見たときの大きさが、流路形成基板３０よりノズルプレート５２の方が小さいようにした。よって、ドライエッチングやウェットエッチングといった高精度な加工が必要で高価なノズルプレート５２を小さくすることが可能となる。なお、供給側可撓プレート５３と回収側可撓プレート５４は、同一素材であることから、ノズルプレート５２は、上記の両可撓プレートのどちらか片方もしくは両方と別部材となる。
【００３６】
第１実施形態の液体噴射装置１００は、液体噴射ヘッド２６において、流路形成基板３０に、圧力室Ｃに連通する個別流路である回収連通流路１３５の開口をノズルプレート５２の側に形成し、ノズルＮに対して回収側の共通液室であるインク回収室１３９と回収連通流路１３５の開口の間に壁としてのプレート装着座１４１を形成し、このプレート装着座１４１を介して、ノズルプレート５２と回収側可撓プレート５４の両方を流路形成基板３０に接合した。よって、一番面積の大きい共通液室部となり得るインク回収室１３９をノズルプレート５２で覆う必要が無く、且つ、回収側可撓プレート５４とは別部材であるノズルプレート５２の接合しろを確保できノズルヘッの小型化を図ることができる。
【００３７】
第１実施形態の液体噴射装置１００は、液体噴射ヘッド２６において、流路形成基板３０に、圧力室Ｃに連通する個別流路であるノズル連通流路１３４の開口をノズルプレート５２の側に形成し、ノズルＮに対して供給側の共通液室である供給液室１３２とノズル連通流路１３４の開口の間に壁を有し、この壁を介して、ノズルプレート５２と供給側可撓プレート５３の両方を流路形成基板３０に接合した。よって、一番面積の大きい共通液室部となり得る供給液室１３２で覆う必要が無く、且つ、供給側可撓プレート５３とは別部材であるノズルプレートの接合しろを確保できノズルヘッの小型化を図ることができる。
【００３８】
第１実施形態の液体噴射装置１００は、液体噴射ヘッド２６において、ノズルプレート５２のヤング率を、供給側可撓プレート５３と回収側可撓プレート５４の両方よりも大きくした。よって、ノズルプレート５２には上記の両可撓プレートより硬い材料を使用できるので、ノズル部分での圧力の吸収によるエネルギーロスを低減できる。
【００３９】
Ｂ．第２実施形態：
図５は、第２実施形態の液体噴射装置における液体噴射ヘッド２６Ａを主要な構成部材を分解した上で図２相当に断面視して示す説明図である。なお、以下の説明に当たっては、既述した各流路構成や各構成部材については、その機能が同じであれば、説明の便宜上、同一の符合を用いることとする。
【００４０】
図５に示す液体噴射ヘッド２６Ａは、流路形成基板３０を、圧力室プレート４０の側の第１流路基板３０Ｕと、この第１流路基板３０Ｕにノズルプレート５２の側から積層された第２流路基板３０Ｄを液密に接合した基板積層形態とした点に特徴がある。そして、インク流入室１３１からインク排出室１４０までの各流路は、第１流路基板３０Ｕと第２流路基板３０Ｄとで別々に、或いは両流路基板の接合により、次のように形成される。
【００４１】
インク流入室１３１は、Ｙ方向に長い開口を有する第１流路基板３０Ｕを貫通する貫通孔である（図２参照）。供給液室１３２は、Ｙ方向に長い開口を有する第２流路基板３０Ｄを貫通する貫通孔であって、＋Ｘ方向において、第１流路基板３０Ｕのインク流入室１３１と連通し、供給側可撓プレート５３により流路域に亘って閉鎖される。供給流路１３３は、第１流路基板３０Ｕを貫通するノズルＮごとの貫通孔であり、圧力室プレート４０におけるそれぞれの圧力室Ｃを第２流路基板３０Ｄの供給液室１３２に連通する。
【００４２】
ノズルＮごとのノズル連通流路１３４は、第１流路基板３０Ｕを貫通する貫通孔である上流側流路１３４Ｕと第２流路基板３０Ｄを貫通する貫通孔である下流側流路１３４Ｄとに分けられ、第１流路基板３０Ｕに第２流路基板３０Ｄが積層することで形成される。ノズルＮごとの回収連通流路１３５は、第２流路基板３０Ｄの基板下面にノズルＮごとに形成された凹溝である。ノズルＮごとの第１回収流路１３６は、第２流路基板３０Ｄを貫通する貫通孔であり、回収連通流路１３５により、ノズル連通流路１３４の下流側流路１３４Ｄと連通する。
【００４３】
ノズルＮごとの第２回収流路１３７は、第１流路基板３０ＵをＸ方向に沿って開口する貫通孔であり、第２流路基板３０Ｄを貫通するノズルＮごとの第１回収流路１３６とそれぞれ連通する。また、この第２回収流路１３７は、Ｙ方向に長い開口を有する第２流路基板３０Ｄを貫通する貫通孔であるインク回収室１３９と連通し、インク回収室１３９は、第１回収流路１３６との間に、プレート装着座１４１を形成する。つまり、貫通孔同士の第２回収流路１３７とインク回収室１３９とが連通することで、液体噴射ヘッド２６Ａでは、第３回収流路１３８の形成を省略できる。インク排出室１４０は、Ｙ方向に長い開口を有する第１流路基板３０Ｕを貫通する貫通孔であり（図２参照）、インク回収室１３９と連通する。
【００４４】
以上説明した第２実施形態の液体噴射装置は、流路形成基板３０を第１流路基板３０Ｕに第２流路基板３０Ｄが液密に積層した基板積層形態とした上で、第１流路基板３０Ｕと第２流路基板３０Ｄとで個別に、或いは、両流路基板でインクの供給流路と回収流路とを形成する。具体的には、各種流路を既述したように第１流路基板３０Ｕを貫通する貫通孔で形成したり、回収連通流路１３５を除く各種流路を第２流路基板３０Ｄを貫通する貫通孔で形成できる。この結果、液体噴射ヘッド２６Ａを有する第２実施形態の液体噴射装置によれば、第１流路基板３０Ｕと第２流路基板３０Ｄとにおいて、それぞれの基板における流路形状を簡略化でき、この簡略化により、流路形成の工数低減やコスト低下を図ることができる。
【００４５】
液体噴射ヘッド２６Ａを有する第２実施形態の液体噴射装置は、共有供給路であるインク流入室１３１と供給液室１３２の両者、および、共有回収路であるインク回収室１３９とインク排出室１４０の両者を、第１流路基板３０Ｕと第２流路基板３０Ｄとの接合面で分離された流路とした。これに加え、分離された流路としてのインク流入室１３１とインク排出室１４０を第１流路基板３０Ｕの貫通孔として形成し、分離された流路としての供給液室１３２とインク回収室１３９を第２流路基板３０Ｄの貫通孔として形成した。よって、液体噴射ヘッド２６Ａを有する第２実施形態の液体噴射装置によれば、流路形状をより一層、簡略化でき、更なる流路形成の工数低減とコスト低下を図ることができる。
【００４６】
Ｃ．第３実施形態：
図６は、第３実施形態の液体噴射装置における液体噴射ヘッド２６Ｂを図２相当に断面視して示す説明図である。
【００４７】
図６に示す液体噴射ヘッド２６Ｂは、液体噴射ヘッド２６Ａと同様、流路形成基板３０を第１流路基板３０Ｕと第２流路基板３０Ｄの基板積層形態とし、回収側可撓プレート５４により閉鎖されるインク排出室１４０とインク回収室１３９を第１流路基板３０Ｕに形成した点に特徴がある。
【００４８】
液体噴射ヘッド２６Ｂは、第１流路基板３０Ｕにインク回収室１３９とインク排出室１４０を形成する。共有回収路であるインク回収室１３９は、第１流路基板３０Ｕの基板下面にＹ方向に長い凹溝として形成され、第２流路基板３０Ｄの回収連通流路１３５と第１回収流路１３６を経て連通する。よって、液体噴射ヘッド２６Ｂでは、第２回収流路１３７と第３回収流路１３８の形成を省略できる。なお、図６に示すインク回収室１３９を、ノズルＮごとの第２回収流路１３７に代え、この第２回収流路１３７を直接、インク排出室１４０に連通してもよい。
【００４９】
共有回収路であるインク排出室１４０は、第１流路基板３０ＵをＹ方向に長い開口を有する貫通孔として形成され、インク回収室１３９と連通し、回収側可撓プレート５４により、第１流路基板３０Ｕの基板上面でその流路域が閉鎖されている。ノズルＮごとの下流側流路１３４Ｄと第１回収流路１３６は、第２流路基板３０Ｄを貫通する円形の貫通孔であり、ノズルＮごとの回収連通流路１３５は、下流側流路１３４Ｄと第１回収流路１３６とを連通するよう、第２流路基板３０Ｄを貫通する貫通孔である。回収連通流路１３５のＺ方向高さは、第２流路基板３０ＤのＺ方向高さと同じであるが、開口面積が両側の下流側流路１３４Ｄと第１回収流路１３６の流路面積の３０〜４０％程度となるように、Ｙ方向の溝幅が狭くされている。なお、回収連通流路１３５を、既述した実施形態と同様、ノズルプレート５２の側において陥没した凹溝としてもよい。
【００５０】
以上説明した液体噴射ヘッド２６Ｂを有する第３実施形態の液体噴射装置によっても、第２流路基板３０Ｄにおいて、流路を全て貫通孔とできるので、流路形状のより一層の簡略化を通して、流路形成の工数低減とコスト低下を図ることができる。
【００５１】
Ｄ．第４実施形態：
図７は、第４実施形態の液体噴射装置１００Ａの構成を模式的示す説明図である。図８は、液体噴射ヘッド２６Ｃの主要なヘッド構成材を分解視して上方側から概略的に示す説明図である。図９は、図８における９−９線に沿って液体噴射ヘッド２６Ｃを断面視して示す説明図である。
【００５２】
第４実施形態の液体噴射装置１００Ａは、液体噴射ヘッド２６Ｃに複数のノズルＮを副走査方向に沿って並べたノズル列を備え、このノズル列を主走査方向に沿って所定の間隔を隔てて２列有する点に特徴がある。この２列のノズル列は、図においては第１ノズル列Ｌ１、第２ノズル列Ｌ２として示されており、第１ノズル列Ｌ１のノズルＮと第２ノズル列Ｌ２のノズルＮとを、主走査方向に並ぶように備える。以下の説明においては、第１ノズル列Ｌ１と第２ノズル列Ｌ２の中央を中心軸としこの中心軸を含んでＹ方向に貫くＹＺ平面を、説明の便宜上、中心面Ｏとする。なお、第１ノズル列Ｌ１と第２ノズル列Ｌ２におけるノズルＮの並びは、媒体送り方向（Ｙ方向）にずれた千鳥状の並びでもよい。また、第１ノズル列Ｌ１と第２ノズル列Ｌ２は、液体容器１４が備える複数種類のインクに合わせたノズル列である。
【００５３】
第１ノズル列Ｌ１と第２ノズル列Ｌ２を有する液体噴射ヘッド２６Ｃは、液体噴射ヘッド２６Ａ，２６Ｂと同様、流路形成基板３０を第１流路基板３０Ｕと第２流路基板３０Ｄの基板積層形態とし、第１ノズル列Ｌ１の側からのインク回収と、第２ノズル列Ｌ２の側からのインク回収とを、両ノズル列の中央で図る点に特徴がある。そして、液体噴射ヘッド２６Ｃは、第１ノズル列Ｌ１のそれぞれのノズルＮへのインク供給流路構成と、第２ノズル列Ｌ２のそれぞれのノズルＮへのインク供給流路構成とを、中心面Ｏを挟んで面対称に備える。つまり、液体噴射ヘッド２６のうち、中心面Ｏを挟んで＋Ｘ方向側の第１部分Ｐ１と−Ｘ方向側の第２部分Ｐ２とでは、その構成が共通する。具体的には、第１ノズル列Ｌ１のそれぞれのノズルＮに対応する圧力室Ｃへのインク供給流路は、液体噴射ヘッド２６Ａと同様、＋Ｘ方向の側から、第１流路基板３０Ｕに貫通形成したインク流入室１３１と、第２流路基板３０Ｄに貫通形成した供給液室１３２と、第１流路基板３０Ｕに貫通形成した供給流路１３３とから構成される。また、第２ノズル列Ｌ２のそれぞれのノズルＮに対応する圧力室Ｃへのインク供給流路は、−Ｘ方向の側から、第１流路基板３０Ｕに貫通形成したインク流入室１３１と、第２流路基板３０Ｄに貫通形成した供給液室１３２と、第１流路基板３０Ｕに貫通形成した供給流路１３３とから構成される。
【００５４】
液体噴射ヘッド２６Ｃは、圧力室Ｃを形成する圧力室プレート４０と、当該プレートを挟持する保護基板５０とを、第１ノズル列Ｌ１および第２ノズル列Ｌ２に対応して備え、二つの圧力室プレート４０と保護基板５０を筐体部１６０で、流路形成基板３０に保持する。この筐体部１６０は、既述したインク受入室６１を＋Ｘ方向と−Ｘ方向のインク流入室１３１に対応付けて備え、既述したインク収容室７１を、中心面Ｏの位置に備える。
【００５５】
また、液体噴射ヘッド２６Ｃは、中心面Ｏの位置に、インク収容室７１と重なるインク排出室１４０を、第１流路基板３０Ｕにおいて、Ｙ方向に長い基板下面に凹溝として形成した上流側排出室１４０Ｕと、第２流路基板３０ＤをＹ方向に長い開口を有する貫通孔として形成した下流側排出室１４０Ｄとを接合して形成する。第１ノズル列Ｌ１および第２ノズル列Ｌ２における回収連通流路１３５は、第１回収流路１３６を経て、それぞれ上流側排出室１４０Ｕと連通し、下流側排出室１４０Ｄとの間に、ノズル列ごとのプレート装着座１４１を形成する。つまり、このプレート装着座１４１は、Ｙ方向に沿って共有回収路であるインク排出室１４０における下流側排出室１４０Ｄと、ノズルＮごとの貫通孔である第１回収流路１３６とを区画する。そして、液体噴射ヘッド２６Ｃは、第１ノズル列Ｌ１に対応するノズルプレート５２と第２ノズル列Ｌ２に対応するノズルプレート５２とを、回収連通流路１３５と第１回収流路１３６を閉鎖するよう、プレート装着座１４１を用いて装着され、回収側可撓プレート５４を、下流側排出室１４０Ｄを閉鎖するよう、プレート装着座１４１を用いて両ノズルプレート間に装着される。
【００５６】
以上説明した第４実施形態の液体噴射装置１００Ａによれば、第１ノズル列Ｌ１と第２ノズル列Ｌ２を有する液体噴射ヘッド２６Ｃを搭載しても、第１実施形態の液体噴射装置１００と同様、新たなインク噴射の際のインク噴射圧に直前に噴射済みインクのインク噴射圧が及ぼす影響を低減できる。この他、第４実施形態の液体噴射装置１００Ａによれば、第２実施形態の液体噴射装置と同様、流路形状の簡略化を通した、流路形成の工数低減やコスト低下を図ることができる。
【００５７】
Ｅ．他の実施形態：
（Ｅ−１）既述した実施形態では、流路形成基板３０が形成するインク流入室１３１の側から圧力室Ｃにインクを供給し、圧力室Ｃを通過したインクをインク排出室１４０の側から回収したが、このインクの流れを逆向きとしてもよい。具体的には、図４に示すインク排出室１４０の側から圧力室Ｃにインクを供給し、圧力室Ｃを通過したインクをインク流入室１３１の側から回収してもよい。
【００５８】
（Ｅ−２）本発明は、インクを噴射する液体噴射装置に限らず、インク以外の他の液体を噴射する任意の液体噴射装置にも適用することができる。例えば、以下のような各種の液体噴射装置に本発明は適用可能である。
（１）ファクシミリ装置等の画像記録装置。
（２）液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射装置。
（３）有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイや、面発光ディスプレイ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ、ＦＥＤ）等の電極形成に用いられる電極材噴射装置。
（４）バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を噴射する液体噴射装置。
（５）精密ピペットとしての試料噴射装置。
（６）潤滑油の噴射装置。
（７）樹脂液の噴射装置。
（８）時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置。
（９）光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置。
（１０）基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を噴射する液体噴射装置。
（１１）他の任意の微小量の液滴を噴射させる液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置。
【００５９】
なお、「液滴」とは、液体噴射装置から噴射される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう「液体」とは、液体噴射装置が消費できるような材料であればよい。例えば、「液体」は、物質が液相であるときの状態の材料であれば良く、粘性の高い又は低い液状態の材料、及び、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような液状態の材料も「液体」に含まれる。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなども「液体」に含まれる。液体の代表的な例としてはインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インクおよび油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種の液体状組成物を包含するものとする。
【００６０】
Ｆ．他の形態：
本発明は、上述の実施形態や実施形態、変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば前記ヘッドに対するインクの供給方向と回収方向を逆にし、回収方向からインクを供給してインクを循環しながらインクを噴射することも可能である。また、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態、実施形態、変形例中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【００６１】
（１）本発明の一形態によれば、液体噴射ヘッドが提供される。この液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルを複数有する液体噴射ヘッドであって、前記複数のノズルを有するノズルプレートと、該ノズルプレートが装着される流路形成基板であって、前記複数のノズルへの液体供給に共用される共有供給路と、該共有供給路から分岐して前記ノズルごとの圧力室に至る個別供給路と、前記ノズルと前記圧力室とを連通する前記ノズルごとの連通流路と、該連通流路に前記ノズルごとに連通した個別回収路と、該個別回収路が合流して前記複数のノズルからの液体回収に共用される共有回収路とを有する流路形成基板と、前記圧力室の圧力を変化させる前記ノズルごとの圧力発生部と、前記流路形成基板が形成する前記共有供給路を流路域に亘って液密に閉鎖する可撓性の供給側可撓プレートと、前記流路形成基板が形成する前記共有回収路を流路域に亘って液密に閉鎖する可撓性の回収側可撓プレートとを備える。
【００６２】
この形態の液体噴射ヘッドは、複数の圧力室に供給流路から液体を供給し、複数の圧力室を通過してノズルから噴出されなかった液体を回収流路で回収する。圧力室に供給される液体は、供給流路のうちの共有供給路に充満し、圧力室を通過した液体は、回収流路のうちの共有回収路に充満する。共有供給路と共有回収路とは、その流路域に亘って可撓性の可撓プレートで閉鎖されていることから、共有供給路の液体に及ぶ液体供給圧の変動は、供給側可撓プレートの撓みにより減衰される。また、共有回収路の液体に及ぶ液体供給圧や液体噴射の際の液体噴射圧の変動は、回収側可撓プレートの撓みにより減衰される。この結果、この形態の液体噴射装置によれば、新たな液体噴射の際の液体噴射圧に噴射済み液体噴射圧が及ぼす影響を低減できる。
【００６３】
（２）上記形態の液体噴射ヘッドにおいて、前記流路形成基板は、前記ノズルプレートが装着される側の基板面に、前記供給側可撓プレートで閉鎖される前記共有供給路の前記流路域と、前記回収側可撓プレートで閉鎖される前記共有回収路の前記流路域とを有するようにしてもよい。こうすれば、プレート装着面が同一となるので、組み付け工数低減やコスト低下を図ることができる。
【００６４】
（３）上記形態の液体噴射ヘッドにおいて、前記ノズルプレートと、前記供給側可撓プレートと前記回収側可撓プレートのどちらか片方もしくは両方が別部材であり、前記ノズルプレート側から見たときの大きさが、前記流路形成基板より前記ノズルプレートが小さいようにしてもよい。こうすれば、高精度な加工が必要で高価なノズルプレートを小さくすることが可能となる。
【００６５】
（４）上記形態の液体噴射ヘッドにおいて、前記流路形成基板に、前記圧力室に連通する個別流路の開口が前記ノズルプレート側に形成され、前記ノズルに対して回収側の共通液室と前記開口の間に壁を有し、前記壁に前記ノズルプレートと前記回収側可撓プレートの両方が接合されるようにしてもよい。こうすれば、一番面積の大きい共通液室部をノズルプレートで覆う必要が無く、且つ別部材である前記ノズルプレートの接合しろを確保できヘッドを小さくできる。
【００６６】
（５）上記形態の液体噴射ヘッドにおいて、前記流路形成基板に、前記圧力室に連通する個別流路の開口が前記ノズルプレート側に形成され、前記ノズルに対して供給側の共通液室と前記開口の間に壁を有し、前記壁にノズルプレートと前記供給側可撓プレートの両方が接合されるようにしてもよい。こうすれば、一番面積の大きい共通液室部をノズルプレートで覆う必要が無く、且つ別部材であるノズルプレートの接合しろを確保できヘッドを小さくできる。
【００６７】
（６）上記形態の液体噴射ヘッドにおいて、前記ノズルプレートのヤング率が、前記供給側可撓プレートと前記回収側可撓プレートの両方よりも大きいようにしてもよい。こうすれば、ノズルプレートは可撓プレートより硬い材料を使用できるので、ノズル部分での圧力の吸収によるエネルギーロスを低減できる。
【００６８】
（７）上記形態の液体噴射ヘッドにおいて、前記流路形成基板は、前記圧力室の側の第１流路基板と、前記第１流路基板に前記ノズルプレートの側から積層された第２流路基板とを備え、前記第１流路基板と前記第２流路基板とが液密に接合して積層した基板積層形態で、供給側と回収側の流路とを形成するようにしてもよい。こうすれば、第１流路基板と第２流路基板とにおいて、それぞれの流路基板における流路形状の簡略化が可能となり、この簡略化により、流路形成の工数低減やコスト低下を図ることができる。供給側と回収側の流路は、共有供給路と、個別供給路と、連通流路と、個別回収路と、共有回収路である。
【００６９】
（８）上記形態の液体噴射装置において、前記流路形成基板は、前記共有供給路と前記共有回収路の少なくとも一方を、前記第１流路基板と前記第２流路基板との接合面で分離された流路とし、該分離された流路としての前記共有供給路と前記共有回収路を、前記第１流路基板または前記第２流路基板の貫通孔として形成するようにしてもよい。こうすれば、流路形状をより一層、簡略化でき、更なる流路形成の工数低減やコスト低下を図ることができる。
【００７０】
（９）本発明の他の形態によれば、液体噴射装置が提供される。この液体噴射装置は、上記したいずれかの形態の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドへ供給され、前記液体噴射ヘッドから還流される前記液体を貯留する液体容器と、を備える。この液体噴射装置によれば、流路形状の変形の抑制、或いは回避が可能な液体噴射ヘッドを有することから、液体噴射により得られる物の品質を高めることが可能となる。
【００７１】
また、本発明は、種々の態様で実現することが可能であり、例えば、液体噴射方法等の形態で実現することができる。
【符号の説明】
【００７２】
１２…媒体、１４…液体容器、２０…制御ユニット、２２…搬送機構、２３…搬送ベルト、２４…ヘッド移動機構、２５…キャリッジ、２６…液体噴射ヘッド、２６Ａ…液体噴射ヘッド、２６Ｂ…液体噴射ヘッド、２６Ｃ…液体噴射ヘッド、３０…流路形成基板、３０Ｄ…第２流路基板、３０Ｕ…第１流路基板、４０…圧力室プレート、４２…振動部、４４…圧電素子、４５…リード電極、５０…保護基板、５１…貫通孔、５２…ノズルプレート、５３…供給側可撓プレート、５４…回収側可撓プレート、６０…供給流路基板、６１…インク受入室、６２…インク導入口、７０…回収流路基板、７１…インク収容室、７２…インク排出口、１００…液体噴射装置、１００Ａ…液体噴射装置、１３１…インク流入室、１３２…供給液室、１３３…供給流路、１３４…ノズル連通流路、１３４Ｄ…下流側流路、１３４Ｕ…上流側流路、１３５…回収連通流路、１３６…第１回収流路、１３７…第２回収流路、１３８…第３回収流路、１３９…インク回収室、１４０…インク排出室、１４０Ｄ…下流側排出室、１４０Ｕ…上流側排出室、１４１…プレート装着座、１６０…筐体部、Ｃ…圧力室、Ｌ１…第１ノズル列、Ｌ２…第２ノズル列、Ｎ…ノズル、Ｏ…中心面、Ｐ１…第１部分、Ｐ２…第２部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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