(57)【要約】【課題】絶縁性を確保しつつ、狭いピッチで複数のコンタクトプローブを配置することが可能な検査治具を提供すること。【解決手段】コンタクトプローブＰを収容する筺体Ｈと、筺体Ｈ内部に配置されコンタクトプローブＰの位置を位置決めする位置決め部材１と、を備え、位置決め部材１は、コンタクトプローブＰを収容する複数の収容部１２を有し、複数の収容部１２の間には、コンタクトプローブＰ同士を絶縁する仕切Ｄが設けられていることを特徴とする。【選択図】図１
2020134216.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンタクトプローブを収容する筺体と、前記筺体内部に配置されるコンタクトプローブの位置を決定する位置決め部材と、を備え、
前記位置決め部材は、前記コンタクトプローブを収容する複数の収容部を有し、
前記複数の収容部の間には、前記コンタクトプローブ同士を絶縁する仕切が設けられていることを特徴とする検査治具。
【請求項２】
前記複数の収容部は、直線状の溝であることを特徴とする、請求項１に記載の検査治具。
【請求項３】
前記複数の収容部は、異なる溝深さを有していることを特徴とする、請求項２に記載の検査治具。
【請求項４】
前記コンタクトプローブは、略平板状であることを特徴とする、請求項１〜３の何れかに記載の検査治具。
【請求項５】
前記仕切の厚さは、前記コンタクトプローブの幅よりも小さいことを特徴とする、請求項４に記載の検査治具。
【請求項６】
前記筺体は、前記コンタクトプローブの端部が挿通される位置決め孔を有していることを特徴とする、請求項５に記載の検査治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンタクトプローブを用いた検査を円滑に行うための検査治具に係るものである。
【背景技術】
【０００２】
コンタクトプローブとは、主に、集積回路等の半導体部品や、プリント配線板等の電子基盤の電気的特性、その他電子機器・電子部品の検査に用いられる電子部品であり、バネ性や接触信頼性を確保するためのバネ構造体と、検査対象物と接触するプランジャと、を備えている。また、プランジャは、バネ構造体の両端部に設けられている。
【０００３】
このようなコンタクトプローブの発明として、例えば、特許文献１には、導電性およびバネ性を有する薄板によって一体成型されており、一端部を構成するとともに所定の第１被接触物に接触する第１接触部（プランジャ）と、他端部を構成するとともに所定の第２被接触物に接触する第２接触部（プランジャ）と、第１接触部と第２接触部とを繋ぐとともにコンタクトプローブの長手方向へコンタクトプローブを変形させるための変形部（バネ構造体）とを備えたコンタクトプローブが記載されている。変形部は、第１接触部に繋がる第１変形部と、第２接触部に繋がる第２変形部と、第１変形部と第２変形部との間に配置される第３変形部とを備え、第３変形部のバネ定数は、第１変形部のバネ定数および第２変形部のバネ定数よりも小さくなっている。
このような構成により、所定の接触圧で被接触物に接触させることが可能で、かつ、撓み量を所定量以上とすることが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５１０３５６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１には、薄板によって一体成型されたコンタクトプローブを複数配置し、検査に用いるための配置部材が記載されている。
【０００６】
この配置部材に設けられている複数の配置孔は、端部に形成され、プランジャが収容される小径孔と、小径孔より大きい内径で形成され、バネ構造体が収容される大径孔と、から構成されている。
【０００７】
ここで、配置孔をこのような構成とすると、例えばケルビン測定等狭いピッチでコンタクトプローブを配置して行う測定が困難となる。
即ち、大径孔が、バネ構造体の幅方向の長さよりも大きい直径を有する略丸孔状であるから、コンタクトプローブを、その厚さ方向に近接して配置することが困難となる。
【０００８】
本発明は上記のような実状に鑑みてなされたものであり、絶縁性を確保しつつ、狭いピッチで複数のコンタクトプローブを配置することが可能な検査治具を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明は、コンタクトプローブを収容する筺体と、前記筺体内部に配置されコンタクトプローブの位置を決定する位置決め部材と、を備え、
前記位置決め部材は、前記コンタクトプローブを収容する複数の収容部を有し、
前記複数の収容部の間には、前記コンタクトプローブ同士を絶縁する仕切が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、位置決め部材にコンタクトプローブ同士を絶縁する仕切が設けられていることで、コンタクトプローブ間の絶縁性を確保しつつ、コンタクトプローブの位置決めを行うことが可能となる。
【００１１】
本発明の好ましい形態では、前記複数の収容部は、直線状の溝であることを特徴とする。
【００１２】
このような構成とすることで、位置決め部材に、より多くの収容部を形成することが可能となる。
【００１３】
本発明の好ましい形態では、前記複数の収容部は、異なる溝深さを有していることを特徴とする。
【００１４】
このような構成とすることで、検査対象に応じて、複数のコンタクトプローブの間隔を、収容部の深さ方向で調節することができ、検査時の汎用性が向上する。
【００１５】
本発明の好ましい形態では、前記コンタクトプローブは、略平板状であることを特徴とする。
【００１６】
このような構成とすることで、複数の収容部の幅を極力狭くすることができ、位置決め部材に、より多くの収容部を形成することが可能となる。
【００１７】
本発明の好ましい形態では、前記仕切の厚さは、前記コンタクトプローブの幅よりも小さいことを特徴とする。
【００１８】
このような構成とすることで、複数のコンタクトプローブを、仕切の厚さ方向に極力近接して配置することが可能となる。
【００１９】
本発明の好ましい形態では、前記筺体は、前記コンタクトプローブの端部が挿通される位置決め孔を有していることを特徴とする。
【００２０】
このような構成とすることで、コンタクトプローブの破壊を抑制しつつ、コンタクトプローブの位置決めを正確に行うことができ、精度の高い検査を行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、絶縁性を確保しつつ、狭いピッチでコンタクトプローブを配置することが可能な検査治具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態に係る位置決め部材を示す図であって、（ア）概略斜視図、（イ）上面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る筺体を示す図であって、（ア）概略斜視図、（イ）側面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る筺体の構成部品を示す図であって、（ア）第一筺体の上面図、（イ）第一筺体のＸＸ´線断面図、（ウ）第二筺体の上面図、（エ）第二筺体のＹＹ´線断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る検査治具の組み立て手順を説明する図である。
【図５】本発明の実施形態に係る検査治具を示す図であって、（ア）コンタクトプローブを組み込んだ際の概略斜視図、（イ）コンタクトプローブを組み込んだ際の側面図
【図６】本発明の実施形態に係る位置決め部材を示す図であって、（ア）コンタクトプローブを組み込んだ際の上面図、（イ）（ア）部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を用いて、本発明の実施形態に係る検査治具について説明する。
なお、以下に示す実施形態は本発明の一例であり、本発明を以下の実施形態に限定するものではない。また、これらの図において、符号１は、本実施形態に係る位置決め部材を示し、符号２は、本実施形態に係る検査治具を示す。
【００２４】
図１に示すように、位置決め部材１は、絶縁材料により形成された略四角柱状の本体部１１と、コンタクトプローブを収容する収容部１２と、を備えている。位置決め部材１の材料としては、例えば樹脂が好適に用いられる。
【００２５】
収容部１２は、本体部１１の一の長辺側側面に形成される直線状の溝であり、第一収容部１２ａと第二収容部１２ｂとにより構成されている。
さらに詳述すれば、第一収容部１２ａ及び第二収容部１２ｂは、本体部１１の一の長辺側側面の長辺方向と略平行となるよう、かつ長辺の全長に亘って形成されている。即ち、図１（イ）に示すように、第一収容部１２ａ及び第二収容部１２ｂは、本体部１１の上面から底面に向かって貫通するように形成されている。また、第二収容部１２ｂの溝深さは、第一収容部１２ａの溝深さよりも深く形成されている。そして、第一収容部１２ａ及び第二収容部１２ｂをこのように形成することで、第一収容部１２ａと第二収容部１２ｂとの間に、薄板状の仕切Ｄが形成されている。
なお、収容部１２の数は、本実施形態に示す２つに限られず、幾つであっても良いし、使用するコンタクトプローブに合わせて、溝深さや幅等任意に変更可能である。また、複数の収容部１２を、本体部１１の異なる側面から形成しても良い。
【００２６】
図２に示すように、筺体Ｈは、略長方形板状の第一筺体Ｈ１と、略直方体状の第二筺体Ｈ２と、を有しており、第一筺体Ｈ１の端部に第二筺体Ｈ２が連結されることで、図２（イ）に示すように、全体として側面視で略Ｌ字状を成している。
なお、筺体Ｈの内部に収容される位置決め部材１は、点線で示している。
【００２７】
図３（ア）及び（イ）に示すように、第一筺体Ｈ１には、厚さ方向に貫通する、２つの略丸孔状の位置決め孔ｒ１が設けられている。
また、厚さ方向に貫通し、第二筺体Ｈ２と連結する連結具Ｂ（図４参照）を挿通するための一対の連結孔ｃ１が、短辺方向に間隔を置いて設けられている。
さらに、厚さ方向に貫通し、検査対象（図示せず）に取付ける取付具（図示せず）を挿通するための略小判型の取付孔ａが、長辺方向に間隔を置いて２つ設けられている。
【００２８】
図３（ウ）及び（エ）に示すように、第二筺体Ｈ２には、その内部に位置決め部材１を載置する、略Ｈ字状にくり抜かれた載置部ｈが設けられ、載置部ｈの底面から第二筺体Ｈ２の底面に向かって貫通する、２つの略丸孔状の位置決め孔ｒ２が設けられている。
また、高さ方向に貫通し、第一筺体Ｈ１と連結する連結具Ｂ（図４参照）を挿通するための一対の連結孔ｃ２が、長辺方向に間隔を置いて設けられている
なお、載置部ｈの幅方向の長さは、位置決め部材１の幅方向の長さと略同一に形成されている。
【００２９】
検査治具２を構成する位置決め部材１及び筺体Ｈは、図２に示す状態とすることで、各部材が有する連結孔ｃ１及びｃ２のそれぞれの中心軸が一致し、また、位置決め孔ｒ１及びｒ２のそれぞれの中心軸と収容部１２のそれぞれの深さ方向端部とが一致するように構成されている。
【００３０】
検査治具２を用いて検査を実施する際、使用者は、まず、２つの略平板状のコンタクトプローブＰを第一収容部１２ａ及び第二収容部１２ｂに個別に収容し、第一収容部１２ａ及び第二収容部１２ｂの深さ方向端部まで位置させる。（図４の矢印ｐ１）。
【００３１】
次に、使用者は、コンタクトプローブＰが収容された位置決め部材１を、位置決め部材１の幅方向と載置部ｈの幅方向とが略平行となるように、載置部ｈに載置する（図４の矢印ｐ２）。こうすることで、コンタクトプローブＰの一端が、位置決め孔ｒ２に挿通される。
【００３２】
次に、使用者は、第一筺体Ｈ１を、その短辺側端面が第二筺体Ｈ２の長辺側側面と一致するように、第二筺体Ｈ２の上方から被せる（図４の矢印ｐ３）。こうすることで、コンタクトプローブＰの他端が、位置決め孔ｒ１に挿通される。
【００３３】
最後に、使用者は、連結孔ｃ１及びｃ２に、適宜ボルト等の連結具Ｂを挿通させ、第一筺体Ｈ１及び第二筺体Ｈ２を連結させる（図４の矢印ｐ４）。
【００３４】
こうすることで、図５に示すように、各コンタクトプローブＰが検査治具２の内部に組み込まれる。また、各コンタクトプローブＰの両端が、位置決め孔ｒ１及びｒ２から突出した状態となる。
【００３５】
そして、使用者は、各コンタクトプローブＰの一端を、抵抗値の解析等を行う電子機器に接続される、導電可能な素材で形成された基台（図示せず）等に接触させ、他端を検査対象に接触させることで、測定を行う。
【００３６】
図６に示すように、各コンタクトプローブＰは、その幅方向が、第一収容部１２ａ及び第二収容部１２ｂの深さ方向と略平行となるように、第一収容部１２ａ及び第二収容部１２ｂに収容されている。
【００３７】
また、図６（イ）に示すように、仕切Ｄの厚さｔは、各コンタクトプローブＰの幅ｗよりも小さく形成されている。
【００３８】
なお、本実施形態において、第一収容部１２ａの溝深さは１．８５ｍｍ、第二収容部１２ｂの溝深さは２．６５ｍｍ、第一収容部１２ａ及び第二収容部１２ｂの幅は０．３ｍｍ、に設計されている。
【００３９】
本実施形態によれば、位置決め部材１が有する第一収容部１２ａと第二収容部１２ｂとの間に、コンタクトプローブＰ同士を絶縁する仕切Ｄが設けられていることで、コンタクトプローブＰ間の絶縁性を確保しつつ、コンタクトプローブＰの位置決めを行うことが可能となる。
【００４０】
また、第一収容部１２ａ及び第二収容部１２ｂが直線状の溝であることで、位置決め部材１に、第三収容部等より多くの収容部を、さらに形成することが可能となる。
【００４１】
また、第一収容部１２ａ及び第二収容部１２ｂが異なる溝深さを有していることで、検査対象に応じて、コンタクトプローブＰの間隔を、収容部１２の深さ方向で調節することができ、検査時の汎用性が向上する。
【００４２】
また、コンタクトプローブＰが略平板状であることで、第一収容部１２ａ及び第二収容部１２ｂの幅を極力狭くすることができ、位置決め部材１に、より多くの収容部を形成することが可能となる。
【００４３】
また、仕切Ｄの厚さｔがコンタクトプローブＰの幅ｗよりも小さいことで、複数のコンタクトプローブＰを、仕切Ｄの厚さｔ方向に極力近接して配置することが可能となる。
【００４４】
また、筺体ＨがコンタクトプローブＰの端部が挿通される位置決め孔ｒ１、ｒ２を有していることで、コンタクトプローブＰの破壊を抑制しつつ、コンタクトプローブＰの位置決めを正確に行うことができ、精度の高い検査を行うことが可能となる。
【００４５】
なお、前記実施形態において示した各構成部材の諸形状や寸法等は一例であって、設計要求等に基づき種々変更可能である。
【符号の説明】
【００４６】
１          位置決め部材
１１        本体部
１２        収容部
１２ａ      第一収容部
１２ｂ      第二収容部
Ｄ          仕切
２          検査治具
Ｈ          筺体
Ｈ１        第一筺体
ａ          取付孔
Ｈ２        第二筺体
ｈ          載置部
ｒ１、ｒ２  位置決め孔
ｃ１、ｃ２  連結孔
Ｂ          連結具
【図１】
2020134216.tif 000003
【図２】
2020134216.tif 000004
【図３】
2020134216.tif 000005
【図４】
2020134216.tif 000006
【図５】
2020134216.tif 000007
【図６】
2020134216.tif 000008