(57)【要約】      （修正有）【課題】光レセプタクルに測定面を設けた場合でも、基準となる方向を特定でき、簡単に光レセプタクルを検査できる検査方法を提供すること。【解決手段】検査方法は、入射面と、反射面と、出射面と、測定面とを有する光レセプタクル１００を検査する方法である。光レセプタクルの出射面から出射された基準光線の基準線に対する基準角度を測定する工程と、検査ステージ２２０および測定面で順次反射した第１光線Ｌ１の基準線に対する第１角度を測定する工程と、測定面および検査ステージで順次反射した第２光線Ｌ２の基準線に対する第２角度を測定する工程と、基準角度と第１角度および第２角度の中間角度とを比較して光レセプタクルが適切に形成されているか否かを判定する工程と、を含む。【選択図】図３
2020160323.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光伝送体が接続されたときに、前記光伝送体から出射された光を入射させ、入射した光を出射させる光レセプタクルを検査する方法であって、
前記光レセプタクルは、
前記光伝送体から出射された光を入射させる入射面と、
前記入射面で入射した光を反射させる反射面と、
前記反射面で反射した光を外部に向けて出射させる出射面と、
前記光レセプタクルの外面の一部である測定面と、
を有し、
前記光レセプタクルの検査方法は、
検査ステージに配置された前記光レセプタクルの前記出射面から、前記検査ステージから離れるように出射された基準光線の基準線に対する基準角度を得る工程と、
第１光線を前記基準線に沿うように前記検査ステージに向けて出射したときに、前記検査ステージおよび前記測定面の順番で反射した後の、前記基準線に沿う方向に進む前記第１光線の前記基準線に対する第１角度を測定する工程と、
第２光線を前記基準線に沿うように前記測定面に向けて出射したときに、前記測定面および前記検査ステージの順番で反射した後の、前記基準線に沿う方向に進む前記第２光線の前記基準線に対する第２角度を測定する工程と、
前記基準角度と、前記第１角度および前記第２角度の中間角度とを比較して、前記基準角度および前記中間角度の差が閾値未満の場合には、前記光レセプタクルが適切に形成されていると判定し、前記基準角度および前記中間角度の差が閾値以上の場合には、前記光レセプタクルが適切に形成されていないと判定する工程と、
を含む、
光レセプタクルの検査方法。
【請求項２】
光伝送体が接続されたときに、前記光伝送体から出射された光を入射させ、入射した光を出射させる光レセプタクルを検査する検査装置であって、
前記光レセプタクルは、
前記光伝送体から出射された光を入射させる入射面と、
前記入射面で入射した光を反射させる反射面と、
前記反射面で反射した光を外部に向けて出射させる出射面と、
前記光レセプタクルの外面の一部である測定面と、
を有し、
前記検査装置は、
前記光レセプタクルを配置される検査ステージと、
到達する光線の基準線に対する角度を測定する角度測定器と、
前記光レセプタクルが適切に形成されているか否かを判定する判定部と、
を有し、
前記角度測定器は、
前記検査ステージに配置された前記光レセプタクルの前記出射面から、前記検査ステージから離れるように出射された基準光線の前記基準線に対する基準角度を測定し、
第１光線を前記基準線に沿うように前記検査ステージに向けて出射したときに、前記検査ステージおよび前記光レセプタクルの測定面の順番で反射した後の、前記基準線に沿う方向に進む前記第１光線の前記基準線に対する第１角度を測定し、
第２光線を前記基準線に沿うように前記測定面に向けて出射したときに、前記測定面および前記検査ステージの順番で反射した後の、前記基準線に沿う方向に進む前記第２光線の前記基準線に対する第２角度を測定し、
前記判定部は、前記基準角度と、前記第１角度および前記第２角度の中間角度とを比較して、前記基準角度および前記中間角度の差が閾値未満の場合には、前記光レセプタクルが適切に形成されていると判定し、前記基準角度および前記中間角度の差が閾値以上の場合には、前記光レセプタクルが適切に形成されていないと判定する、
検査装置。
【請求項３】
前記角度測定器は、オートコリメーターである、請求項２に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光レセプタクルの検査方法および検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信の技術分野では、ＬＥＤなどの発光素子や、光ファイバーや光導波路などの光伝送体、発光素子および光伝送体を光学的に接合するための光レセプタクルなどが使用されている。発光素子、光伝送体および光レセプタクルなどは、その大きさが小さいため、発光素子および光伝送体の高い配置精度や、光レセプタクルの高い成形精度が求められる。発光素子および光伝送体の高い配置精度を実現するためには、これらの光学部品を配置するための筐体に対しても高い組み立て精度が求められる。光通信の技術分野において、光学部品を配置するための筐体の組み立て精度を測定する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１には、レーザーオートコリメーターを用いて、被測定面の角度（組み立て精度）を測定する方法が記載されている。特許文献１に記載の測定方法は、レーザーオートコリメーターと、ミラーと、を使用する。被測定面は、パッケージの底面に配置されたベース板の表面に対して垂直となるように配置されるべき面である。
【０００４】
被測定面の角度を測定するためには、パッケージに向けてレーザー光線が出射されるように、パッケージの真上にレーザーオートコリメーターを配置し、パッケージの底部に配置されたベース板上であって、レーザー光線の光路上にミラーを配置する。
【０００５】
レーザーオートコリメーターから出射されたレーザー光線は、ミラーで反射して被測定面に到達する。被測定面に到達したレーザー光線は、当該被測定面で反射する。被測定面で反射したレーザー光線は、再度ミラーで反射し、レーザーオートコリメーターに到達する。被測定面の角度を測定する方法では、出射したレーザー光線の出射位置と、受光したレーザー光線の到達位置との位置関係から、ベース板の表面に沿う方向（基準方向）に対する被測定面の傾斜角度を測定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−２６７２３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載のレーザーオートコリメーターを用いて、光レセプタクルから出射される光が所定の方向に向けて出射されているか否かを検査することが考えられる。この場合、光レセプタクルに被測定面を設けただけでは、当該光レセプタクルから出射される光の角度の基準となる基準方向を特定することが困難な場合がある。これは、光レセプタクルの成形精度によって基準方向が精度良く特定できないためである。これにより、当該光レセプタクルから出射される光の角度を適切に測定できないことがあった。
【０００８】
本発明の目的は、光レセプタクルに測定面を設けた場合でも、基準となる方向を特定でき、簡単に光レセプタクルを検査できる検査方法および検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る光レセプタクルの検査方法は、光伝送体が接続されたときに、前記光伝送体から出射された光を入射させ、入射した光を出射させる光レセプタクルを検査する方法であって、前記光レセプタクルは、前記光伝送体から出射された光を入射させる入射面と、前記入射面で入射した光を反射させる反射面と、前記反射面で反射した光を外部に向けて出射させる出射面と、前記光レセプタクルの外面の一部である測定面と、を有し、前記光レセプタクルの検査方法は、検査ステージに配置された前記光レセプタクルの前記出射面から、前記検査ステージから離れるように出射された基準光線の基準線に対する基準角度を得る工程と、第１光線を前記基準線に沿うように前記検査ステージに向けて出射したときに、前記検査ステージおよび前記測定面の順番で反射した後の、前記基準線に沿う方向に進む前記第１光線の前記基準線に対する第１角度を測定する工程と、第２光線を前記基準線に沿うように前記測定面に向けて出射したときに、前記測定面および前記検査ステージの順番で反射した後の、前記基準線に沿う方向に進む前記第２光線の前記基準線に対する第２角度を測定する工程と、前記基準角度と、前記第１角度および前記第２角度の中間角度とを比較して、前記基準角度および前記中間角度の差が閾値未満の場合には、前記光レセプタクルが適切に形成されていると判定し、前記基準角度および前記中間角度の差が閾値以上の場合には、前記光レセプタクルが適切に形成されていないと判定する工程と、を含む。
【００１０】
本発明に係る検査装置は、光伝送体が接続されたときに、前記光伝送体から出射された光を入射させ、入射した光を出射させる光レセプタクルを検査する検査装置であって、前記光レセプタクルは、前記光伝送体から出射された光を入射させる入射面と、前記入射面で入射した光を反射させる反射面と、前記反射面で反射した光を外部に向けて出射させる出射面と、前記光レセプタクルの外面の一部である測定面と、を有し、前記検査装置は、前記光レセプタクルを配置される検査ステージと、到達する光線の基準線に対する角度を測定する角度測定器と、前記光レセプタクルが適切に形成されているか否かを判定する判定部と、を有し、前記角度測定器は、前記検査ステージに配置された前記光レセプタクルの前記出射面から、前記検査ステージから離れるように出射された基準光線の前記基準線に対する基準角度を測定し、第１光線を前記基準線に沿うように前記検査ステージに向けて出射したときに、前記検査ステージおよび前記光レセプタクルの測定面の順番で反射した後の、前記基準線に沿う方向に進む前記第１光線の前記基準線に対する第１角度を測定し、第２光線を前記基準線に沿うように前記測定面に向けて出射したときに、前記測定面および前記検査ステージの順番で反射した後の、前記基準線に沿う方向に進む前記第２光線の前記基準線に対する第２角度を測定し、前記判定部は、前記基準角度と、前記第１角度および前記第２角度の中間角度とを比較して、前記基準角度および前記中間角度の差が閾値未満の場合には、前記光レセプタクルが適切に形成されていると判定し、前記基準角度および前記中間角度の差が閾値以上の場合には、前記光レセプタクルが適切に形成されていないと判定する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、光レセプタクルに測定面を設けた場合でも、基準となる方向を特定でき、簡単に光レセプタクルを検査できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１Ａ〜Ｆは、実施の形態に係る光レセプタクルの構成を示す図である。
【図２】図２Ａ〜Ｄは、光レセプタクルの検査方法を説明するための図である。
【図３】図３Ａ〜Ｄは、光レセプタクルの検査方法を説明するための他の図である。
【図４】図４は、光レセプタクルの検査方法における判定する工程を説明するための図である。
【図５】図５は、光レセプタクルの検査方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明に係る一実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１４】
本実施の形態に係る光レセプタクル１００の検査方法は、光伝送体１６０から出射された光が所定の角度で出射されたかに否かついて検査する方法である。そこで、検査対象となる光レセプタクル１００について説明した後に、検査装置２００および検査装置２００を用いた検査方法について説明する。
【００１５】
（光レセプタクルの構成）
図１Ａ〜Ｆは、本実施の形態における光レセプタクル１００の構成を示す図である。図１Ａは、光レセプタクル１００の平面図であり、図１Ｂは、正面図であり、図１Ｃは、底面図であり、図１Ｄは、図１Ａに示されるＡ−Ａ線の断面図であり、図１Ｅは、左側面図であり、図１Ｆは、右側面図である。図１Ｄでは、光軸ＯＡ１、ＯＡ２、中心軸ＣＡ１、ＣＡ２を示すために光レセプタクル１００のハッチングを省略している。図１Ａ〜Ｄでは、光伝送体１６０およびフェルール１６２を破線で示している。
【００１６】
図１Ａ〜Ｄに示されるように、光レセプタクル１００は、光伝送体１６０がフェルール１６２を介して結合（以下、接続ともいう）されて使用される。光伝送体１６０の種類は、特に限定されない、光伝送体１６０の種類の例には、光ファイバー、光導波路が含まれる。本実施の形態では、光伝送体１６０は、光ファイバーである。光ファイバーは、シングルモード方式でもよいし、マルチモード方式でもよい。光伝送体１６０の数は、１または２以上である。本実施の形態では、光伝送体１６０の数は、１本である。
【００１７】
光レセプタクル１００は、透光性を有し、光伝送体１６０から出射された光を入射させ、入射した光の進行方向を変えて、外部に向けて出射させる。図１Ａ〜Ｆに示されるように、光レセプタクル１００は、入射面１１０と、反射面１２０と、出射面１３０と、測定面１４０とを有する。また、本実施の形態では、光レセプタクル１００は、脚部１５０をさらに有する。
【００１８】
光レセプタクル１００は、光通信に用いられる波長の光に対して透光性を有する材料を用いて形成される。そのような材料の例には、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）や環状オレフィン樹脂などの透明な樹脂が含まれる。また、例えば、光レセプタクル１００は、射出成形により製造される。
【００１９】
入射面１１０は、光レセプタクル１００の右側面側に形成されており、光伝送体１６０から出射された光を屈折させて光レセプタクル１００の内部に入射させる光学面である。入射面１１０は、光伝送体１６０から出射された光を、コリメート光、収束光、または拡散光に変換させうる。本実施の形態では、入射面１１０は、光伝送体１６０から出射された光をコリメート光に変換させる。入射面１１０の形状は、特に限定されない。入射面１１０は、光伝送体１６０に向かって凸状の凸レンズ面でもよいし、光伝送体１６０に対して凹状の凹レンズ面でもよいし、平面でもよい。本実施の形態では、入射面１１０は、光伝送体１６０に向かって凸状の凸レンズ面である。入射面１１０の平面視形状は、特に限定されない。入射面１１０の平面視形状は、円形状でもよいし、多角形状でもよい。本実施の形態では、入射面１１０の平面視形状は、円形状である。入射面１１０の中心軸ＣＡ１は、光伝送体１６０から出射される光の光軸ＯＡ１と一致していてもよいし、光伝送体１６０から出射される光の光軸ＯＡ１に対して傾斜していてもよい。本実施の形態では、入射面１１０の中心軸ＣＡ１は、光伝送体１６０から出射される光の光軸ＯＡ１と一致している。
【００２０】
反射面１２０は、光レセプタクル１００の底面側に形成された傾斜面であり、入射面１１０と出射面１３０との間の光路上に配置されている。反射面１２０は、入射面１１０で入射した光（光伝送体１６０から出射された光）を出射面１３０に向かって反射させる。反射面１２０は、平面でもよいし、曲面でもよい。本実施の形態では、反射面１２０は、平面である。反射面１２０は、光レセプタクル１００の底面から天面に向かうにつれて、光伝送体１６０から離れるように傾斜している。本実施の形態では、反射面１２０の傾斜角度は、入射面１１０で入射した光の光軸ＯＡ１に対して３０°である。反射面１２０には、入射面１１０で入射した光が、臨界角より大きな入射角で内部入射する。これにより、反射面１２０は、入射した光を出射面１３０に向けて全反射させる。
【００２１】
出射面１３０は、反射面１２０で反射した光を、外部に向けて出射させる光学面である。本実施の形態では、出射面１３０は、光レセプタクル１００の天面側に形成された光学面である。出射面１３０は、外部に向かって凸状の凸レンズ面でもよいし、外部に対して凹状の凹レンズ面でもよいし、平面でもよい。本実施の形態では、出射面１３０は、外部に向かって凸状の凸レンズ面である。出射面１３０の平面視形状は、特に限定されない。出射面１３０の平面視形状は、円形状でもよいし、多角形状でもよい。本実施の形態では、出射面１３０の平面視形状は、円形状である。出射面１３０の中心軸ＣＡ２は、出射面１３０から出射される光の光軸ＯＡ２と一致していてもよいし、出射面１３０から出射される光の光軸ＯＡ２に対して傾斜していてもよい。本実施の形態では、出射面１３０の中心軸ＣＡ２は、出射面１３０から出射される光の光軸ＯＡ２と一致している。
【００２２】
測定面１４０は、光レセプタクル１００の検査方法において使用される光レセプタクル１００の外面の一部の面である。測定面１４０は、後述する光レセプタクル１００の検査方法において機能できる位置の面であれば特に限定されない。本実施の形態では、測定面１４０は、入射面１１０の反対側（左側面側）に配置された外面である。測定面１４０は、検査ステージ２２０の傾斜面２２１上に光レセプタクル１００を配置したときに、傾斜面２２１に対して垂直方向に配置されるように構成されている。すなわち、測定面１４０と検査ステージ２２０の傾斜面２２１とのなす角度は、９０°である。測定面１４０は、平面であり、臨界角以上の角度で到達した光が全反射するように光学面仕上げされている。
【００２３】
脚部１５０は、光レセプタクル１００を図外の基板などに固定するときに使用される。脚部の数は、上述の機能を発揮できれば特に限定されない。本実施の形態では、脚部１５０の数は、３つである。
【００２４】
光伝送体１６０から出射された光は、入射面１１０で光レセプタクル１００の内部に入射する。光レセプタクル１００内に入射した光は、反射面１２０で内部反射して、出射面１３０に向かって進行する。出射面１３０に到達した光は、外部に向かって出射される。本実施の形態に係る光レセプタクル１００では、出射面１３０から左斜め上の方向に向かって出射される。
【００２５】
（検査装置の構成および検査方法）
次に、図２Ａ〜Ｄ、図３Ａ〜Ｄ、図４および図５を参照して、本実施の形態に係る検査装置２００および検査方法について説明する。
【００２６】
図２Ａ、Ｂは、基準線を求める工程を説明するための図であり、図２Ｃ、Ｄは、基準角度を得る工程を説明するための図である。図３Ａ、Ｂは、第１角度を得る工程を説明するための図であり、図３Ｃ、Ｄは、第２角度を得る工程を説明するための図である。図４は、判定する工程を説明するための図である。図５は、検査方法のフローチャートである。
【００２７】
図２Ｃ、図３Ａおよび図３Ｃに示されるように、検査装置２００は、移動ステージ２１０と、検査ステージ２２０と、角度測定器２３０と、判定部２４０を有する。検査装置２００は、光伝送体１６０が接続された光レセプタクル１００を検査ステージ２２０に配置した状態で光レセプタクル１００を検査する。
【００２８】
移動ステージ２１０は、検査ステージ２２０を支持するとともに、移動ステージ２１０を移動可能に構成されている。移動ステージ２１０の移動方向は、特に限定されない。移動ステージ２１０の移動方向は、移動ステージ２１０の上面を含む仮想平面における第１の軸（Ｘ軸）に沿う方向でもよいし、第１の軸（Ｘ軸）および第１の軸に直交する第２の軸（Ｙ軸）に沿う方向でもよい。本実施の形態では、移動ステージ２１０は、第１の軸（Ｘ軸）に沿う方向（図２Ｃ、図３Ａおよび図３Ｃにおいて左右方向）に移動する。移動ステージ２１０の駆動方法は、特に限定されない。移動ステージ２１０は、例えば、ステッピングモーターなどで駆動される。
【００２９】
検査ステージ２２０は、移動ステージ２１０の上に固定される。検査ステージ２２０の形状は、検査する光レセプタクル１００に応じて適宜設計される。本実施の形態では、検査ステージ２２０は、光レセプタクル１００から出射される基準光線の光軸が移動ステージ２１０の上面の法線と平行となるように形成されている。具体的には、検査ステージ２２０は、底面が直角三角形の三角柱である。本実施の形態では、傾斜面２２１に光レセプタクル１００が配置される。本実施の形態では、移動ステージ２１０に対する傾斜面２２１の角度は、３０°である。傾斜面２２１の表面は、到達した光を反射するように、光学面仕上げされている。なお、特に図示しないが、検査ステージ２２０の傾斜面２２１には、光レセプタクル１００を位置決めするための位置決め凸部が形成されている。光レセプタクル１００の位置決め凸部に光レセプタクル１００を係合させることにより、検査ステージ２２０に対して光レセプタクル１００を位置決めする。
【００３０】
角度測定器２３０は、到達する光線の基準線に対する角度を測定する。角度測定器２３０の例は、オートコリメーター、レーザーオートコリメーター、レーザー角度計測器が含まれる。本実施の形態では、角度測定器２３０は、レーザーオートコリメーターである。角度測定器２３０から出射され、反射した光を基準線Ｌとし、当該基準線Ｌが到達する角度測定器２３０の受光面の中心を基準点Ｐ０とする。角度測定器２３０は、検査ステージ２２０の直上部に、レーザー光線を検査ステージ２２０（光レセプタクル１００）に出射向けてするように配置されている。本実施の形態では、角度測定器２３０は、レーザー光線を出射し、測定対象物で反射したレーザー光線を受光することで、基準線に対する傾斜角度をＸ軸方向およびＹ軸方向についてそれぞれ測定できる。
【００３１】
判定部２４０は、光レセプタクル１００が適切に形成されているか否かを判定する。判定部２４０は、後述する基準角度と、第１角度および第２角度の中間角度とを比較する。そして、基準角度および中間角度の差が閾値以上の場合には、光レセプタクル１００が適切に形成されていると判定する。基準角度および中間角度の差が閾値未満の場合には、光レセプタクル１００が適切に形成されていないと判定する。ここで「閾値」は、検査する光レセプタクル１００に求められる成形精度に応じて適宜設定される。判定部２４０は、例えば、本発明の光レセプタクル１００の検査方法がインストールされた、ワークステーションやパーソナルコンピュータなどの汎用コンピュータである。
【００３２】
次に、本実施の形態に係る光レセプタクル１００の検査方法について説明する。
【００３３】
図２Ａ〜Ｄ、図３Ａ〜Ｄ、図４および図５に示されるように、光レセプタクル１００の検査方法は、基準角度を得る工程（Ｓ２００）と、第１角度を得る工程（Ｓ３００）と、第２角度を得る工程（Ｓ４００）と、判定する工程（Ｓ５００）を含む。本実施の形態では、基準線Ｌを求める工程（Ｓ１００）をさらに含んでいてもよい。
【００３４】
基準線Ｌ（基準方向）を求める工程（Ｓ１００）では、測定する角度の基準となる線を求める。図２Ａに示されるように、具体的には、まず、移動ステージ２１０上に基準プレート２５０を設置する。基準プレート２５０の表面は、平面であり、法線方向から入射した光を法線方向に向かって反射させる。角度測定器２３０からレーザー光線Ｌａを基準プレート２５０に向かって出射する。角度測定器２３０から出射したレーザー光線Ｌａは、そのまま基準プレート２５０に到達する。基準プレート２５０に到達したレーザー光線Ｌａは、基準プレート２５０で角度測定器２３０に向かって反射する。基準プレート２５０で反射した反射レーザー光線Ｌｂは、角度測定器２３０に到達する。図２Ｂに示されるように、このとき、基準プレート２５０で反射した反射レーザー光線Ｌｂが基準点Ｐ０の中心に到達するように、角度測定器２３０の位置を調整する。ここで、角度測定器２３０から出射された光線であって、基準プレート２５０で反射し、基準点Ｐ０を通過した反射レーザー光線Ｌｂを基準線Ｌとする。
【００３５】
基準角度を得る工程（Ｓ２００）では、図２Ｃ、Ｄに示されるように、光レセプタクル１００から出射される光が基準点Ｐ０に向くように、光レセプタクル１００を検査ステージ２２０に配置し、光レセプタクル１００から出射された光線の基準線Ｌに対する基準角度を得る。具体的には、基準プレート２５０に代えて、移動ステージ２１０上に検査ステージ２２０を設置する。そして、検査ステージ２２０に光レセプタクル１００を配置して、光伝送体１６０を光レセプタクル１００に接続する。次いで、光伝送体１６０から光線（基準光線Ｌ０）を出射する。光伝送体１６０から出射された基準光線Ｌ０は、光レセプタクル１００で制御されて、出射面１３０から角度測定器２３０に向けて出射される。このとき、光レセプタクル１００から出射された基準光線Ｌ０の光軸が、基準点Ｐ０の近くに到達するように、角度測定器２３０を調整する。これにより、基準点Ｐ０の近くを基準光線Ｌ０が通過する。
【００３６】
第１角度を測定する工程（Ｓ３００）では、第１光線Ｌ１を検査ステージ２２０の傾斜面２２１に向けて出射し、検査ステージ２２０の傾斜面２２１および測定面１４０の順番で反射した第１光線Ｌ１の基準線Ｌに対する第１角度を測定する。具体的には、図３Ａに示されるように、基準線Ｌと平行に第１光線Ｌ１を出射させたときに測定面１４０に到達するように移動ステージ２１０を移動させる。角度測定器２３０から出射された第１光線Ｌ１は、測定面１４０および検査ステージ２２０の順番に反射して、角度測定器２３０に到達する。次いで、図３Ｂに示されるように、基準線Ｌに対する第１光線Ｌ１の角度（第１角度）を測定する。
【００３７】
第２角度を測定する工程（Ｓ４００）では、第２光線を測定面１４０に向けて出射し、測定面１４０および検査ステージ２２０の順番で反射した第２光線Ｌ２の基準線Ｌに対する第２角度を測定する。具体的には、図３Ｃに示されるように、基準線Ｌと平行に第２光線Ｌ２を出射させたときに検査ステージ２２０に到達するように移動ステージ２１０を移動させる。角度測定器２３０から出射された第２光線Ｌ２は、検査ステージ２２０および測定面１４０の順番に反射して、角度測定器２３０に到達する。次いで、図３Ｄに示されるように、基準線Ｌに対する第２光線Ｌ２の角度（第２角度）を測定する。
【００３８】
なお、第１角度を測定する工程および第２角度を測定する工程は、角度測定器２３０から出射される光線（Ｌ１、Ｌ２）の光路が反対向きである点においてのみ異なる。よって、得られる第１角度および第２角度の絶対値は、ほぼ同じである。
【００３９】
次いで、判定する工程（Ｓ５００）について説明する。図４におけるＳ０（ｘ０，ｙ０）は、基準線Ｌに対する基準光線Ｌ０の傾斜角度（基準角度）を示しており、Ｓ１は、基準線Ｌに対する第１光線Ｌ１の傾斜角度（第１角度）を示しており、Ｓ２は、基準線Ｌに対する第２光線Ｌ２の傾斜角度（第２角度）を示しており、Ｓ３は、第１光線Ｌ１の傾斜角度（第１角度）および第２光線Ｌ２の傾斜角度（第２角度）の中間角度を示している。
【００４０】
図４に示されるように、まず、第１角度Ｓ１および第２角度Ｓ２の中間角度Ｓ３を求める。ここで、第１角度Ｓ１を（ｘ１，ｙ１）とし、第２角度Ｓ２を（ｘ２，ｙ２）とすると、中間角度Ｓ３（ｘ３，ｙ３）は、Ｓ３（（ｘ１＋ｘ２）／２，（ｙ１＋ｙ２）／２）で表すことができる。
【００４１】
次いで、基準角度Ｓ０と、中間角度Ｓ３との差ΔＤを求める。具体的には、（ｘ０−ｘ３，ｙ０−ｙ０）で求めることができる。そして、基準角度Ｓ０と、中間角度Ｓ３との差ΔＤが本来光レセプタクル１００から出射されるべき光に対する検査される光レセプタクル１００から出射される光の傾斜角度である。
【００４２】
次いで、光レセプタクル１００毎に設定された閾値と、差ΔＤとを比較して、差ΔＤが閾値未満の場合には、光レセプタクル１００が適切に形成されていると判定する。すなわち、光レセプタクル１００から出射された光が所定の角度で出射されていると判断できる。差ΔＤが閾値以上の場合には、光レセプタクル１００が適切に形成されていないと判定する。すなわち、光レセプタクル１００から出射された光が所定の角度で出射されていないと判断できる。
【００４３】
このようにして、光レセプタクル１００から出射された光が所定の角度で出射されているか否かを検査できる。
【００４４】
（効果）
以上のように、本実施の形態に係る光レセプタクル１００の検査装置および検査方法では、光レセプタクル１００から出射された光と、光レセプタクル１００の測定面１４０および検査ステージ２２０の傾斜面２２１で反射した光とを比較することで、簡単に光レセプタクル１００から出射される光の角度を求めることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明に係る光レセプタクルの検査方法および検査装置は、光伝送体を用いた光通信の高精度化に有用である。
【符号の説明】
【００４６】
１００  光レセプタクル
１１０  入射面
１２０  反射面
１３０  出射面
１４０  測定面
１５０  脚部
１６０  光伝送体
１６２  フェルール
２００  検査装置
２１０  移動ステージ
２２０  検査ステージ
２２１  傾斜面
２３０  角度測定器
２４０  判定部
２５０  基準プレート
Ｐ０  基準点
Ｌ  基準線
Ｌ０  基準光線
Ｌ１  第１光線
Ｌ２  第２光線
Ｌａ  レーザー光線
Ｌｂ  反射レーザー光線
ＣＡ１  入射面の中心軸
ＣＡ２  出射面の中心軸
ＯＡ１  光伝送体から出射された光の光軸
ＯＡ２  出射面から出射された光の光軸
【図１】
2020160323.tif 000003
【図２】
2020160323.tif 000004
【図３】
2020160323.tif 000005
【図４】
2020160323.tif 000006
【図５】
2020160323.tif 000007