(57)【要約】【課題】偏光板の欠陥の有無を容易に判断することができる検査方法、及び、検査装置を提供する。【解決手段】偏光板１Ａと、ポリエチレンテレフタレート系樹脂からなる剥離フィルム１６ａとを備えるフィルム状の被検査物１０Ａと、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が剥離フィルム１６ａの波長５５０ｎｍにおける面内位相差値よりも５００〜６００ｎｍ大きい領域を含み、且つ、剥離フィルム１６ａが有する複屈折を補償するものである位相差板４と、偏光板１Ａとクロスニコルを構成する偏光フィルタ３Ａと、をこの順に並ぶように配置し、被検査物１０Ａ側又は偏光フィルタ３Ａ側のいずれか一方側から、光軸９が当該領域を通過するように光を入射し、その他方側から偏光フィルタ３Ａ又は被検査物１０Ａを観察して偏光板１Ａの欠陥の有無を判断する。【選択図】図１
2020160422.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
偏光板と、ポリエチレンテレフタレート系樹脂からなる剥離フィルムとを備えるフィルム状の被検査物の欠陥の有無を判断する検査方法であって、
前記被検査物と、
波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が前記剥離フィルムの波長５５０ｎｍにおける面内位相差値よりも５００〜６００ｎｍ大きい領域を含み、且つ、前記剥離フィルムが有する複屈折を補償するものである位相差板と、
前記偏光板とクロスニコルを構成する偏光フィルタと、をこの順に並ぶように配置し、
前記被検査物側又は前記偏光フィルタ側のいずれか一方側から、光軸が前記領域を通過するように光を入射し、その他方側から前記偏光フィルタ又は前記被検査物を観察する、検査方法。
【請求項２】
前記偏光板は、直線偏光板であり、
前記偏光フィルタは直線偏光フィルタである、請求項１記載の検査方法。
【請求項３】
前記偏光板は、円偏光板であり、
前記偏光フィルタは位相差フィルタである、請求項１記載の検査方法。
【請求項４】
前記位相差板は、面内位相差値が連続的に変化しているものである、請求項１〜３のいずれか一項記載の検査方法。
【請求項５】
前記位相差板は、複数枚からなり、前記面内位相差値が増す向きを互いに逆向きにして配置する、請求項４記載の検査方法。
【請求項６】
前記位相差板は、無機材料、又は、シクロオレフィン系樹脂からなるものである、請求項１〜５のいずれか一項記載の検査方法。
【請求項７】
前記被検査物、前記位相差板、及び、前記偏光フィルタの少なくとも一つを、互いに対面する角度が異なるように傾ける、又は、前記光の光軸に垂直な方向に回転させる、請求項１〜６のいずれか一項記載の検査方法。
【請求項８】
偏光板と、ポリエチレンテレフタレート系樹脂からなる剥離フィルムとを備えるフィルム状の被検査物に光を入射して前記偏光板の欠陥の有無を判断する検査装置であって、
光源と、
前記光源から発せられ前記被検査物を通過した光を入射させる偏光フィルタと、
前記被検査物が配置される場所よりも前記光源から遠い側、且つ、前記偏光フィルタが配置される場所よりも前記光源に近い側に配置され、前記被検査物を通過した光を通過させる位相差板と、を備え、
前記位相差板は、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が前記剥離フィルムの波長５５０ｎｍにおける面内位相差値よりも５００〜６００ｎｍ大きい領域を含み、且つ、前記剥離フィルムが有する複屈折を補償するものである、検査装置。
【請求項９】
偏光板と、ポリエチレンテレフタレート系樹脂からなる剥離フィルムとを備えるフィルム状の被検査物に光を入射して前記偏光板の欠陥の有無を判断する検査装置であって、
光源と、
前記光源が発する光を通過させる偏光フィルタと、
前記被検査物が配置される場所よりも前記光源に近い側、且つ、前記偏光フィルタが配置される場所よりも前記光源から遠い側に配置され、前記偏光フィルタを通過した光を通過させる位相差板と、を備え、
前記位相差板は、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が前記剥離フィルムの波長５５０ｎｍにおける面内位相差値よりも５００〜６００ｎｍ大きい領域を含み、且つ、前記剥離フィルムが有する複屈折を補償するものである、検査装置。
【請求項１０】
前記偏光板は、直線偏光板であり、
前記偏光フィルタは直線偏光フィルタである、請求項８又は９記載の検査装置。
【請求項１１】
前記偏光板は、円偏光板であり、
前記偏光フィルタは位相差フィルタである、請求項８又は９記載の検査装置。
【請求項１２】
前記位相差板は、面内位相差値が連続的に変化しているものである、請求項８〜１１のいずれか一項記載の検査装置。
【請求項１３】
前記位相差板は、複数枚からなり、前記面内位相差値が増す向きを互いに逆向きにして配置されている、請求項１２記載の検査装置。
【請求項１４】
前記位相差板は、無機材料、又は、シクロオレフィン系樹脂からなるものである、請求項８〜１３のいずれか一項記載の検査装置。
【請求項１５】
前記位相差板は、前記光の光軸が前記領域を通過する位置に配置されている、請求項８〜１４のいずれか一項記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査方法及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等に用いられる偏光板は、一般的に偏光子が２枚の保護フィルムに挟まれて構成されている。偏光板を表示装置に貼り付けるため、片方の保護フィルムには粘着剤層が積層され、更に粘着剤層に剥離フィルムが積層される。また、他方の保護フィルムにもその表面を保護する剥離フィルムが貼合される場合が多い。偏光板はこのように剥離フィルムが積層された状態で流通搬送され、表示装置の製造工程で表示装置に貼合する際に剥離フィルムが剥離される。
【０００３】
ところで、偏光板はその製造段階において、偏光子と保護フィルムとの間に異物が混入したり、気泡が残ったり、あるいは、保護フィルムが位相差フィルムの機能を持つ場合には配向欠陥が内在していることがある（以下、これらの異物、気泡及び配向欠陥をまとめて、「欠陥」ということがある）。欠陥が存在する偏光板を表示装置に貼合した場合、その欠陥の箇所が輝点として視認されたり、欠陥の箇所で画像がゆがんで見えたりすることがある。特に、輝点として視認される欠陥は、当該表示装置の黒表示時に視認されやすい。
【０００４】
そこで、偏光板を表示装置に貼合する前段階（剥離フィルムを備えた状態の偏光板）で、この偏光板の欠陥を検出するための検査が行われる。この欠陥の検査は、一般的には偏光板の偏光軸を利用した光検査である。具体的には、特許文献１に示されているように、被検査物である偏光板と光源との間に偏光フィルタを設けたうえで、この偏光板又は偏光フィルタを平面方向に回転させ、これらのそれぞれの偏光軸方向を特定の関係とする。偏光軸方向同士が互いに直交する場合（すなわちクロスニコルを構成する配置の場合）、偏光フィルタを通過した直線偏光は、偏光板を通過しない。しかしながら、偏光板に欠陥が存在すると、当該箇所では直線偏光が透過してしまうので、その光が検出されることで欠陥の存在が判明する。一方、偏光板と偏光フィルタとの偏光軸方向同士が平行である場合、偏光フィルタを通過した直線偏光は偏光板を透過する。しかしながら、偏光板に欠陥が存在すると、当該箇所では直線偏光が遮断されるので、その光が検出されないことで欠陥の存在が判明する。偏光板を透過してきた光を検査者が目視により検出するか、あるいはＣＣＤカメラと画像処理装置とを組み合わせた画像解析処理値により自動的に検出することで、偏光板の欠陥の有無の検査を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−２２９８１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したように偏光板に剥離フィルムを備える場合は、この剥離フィルムが有する複屈折により偏光板の偏光特性が阻害されるため、従来の検査装置では偏光板に存在する輝点等の欠陥を精度よく検出することができなかった。
【０００７】
すなわち、偏光板と偏光フィルタとをクロスニコルを構成するように配置した場合、上記原理によれば欠陥は輝点として視認されることになるが、偏光板の欠陥状況次第では輝点欠陥が黒点として視認されてしまうことがあり、その場合、輝点として検出するよりも検出判断が難しかった。この状況は偏光板が直線偏光版である場合も円偏光板である場合も同様である。
【０００８】
本発明は、偏光板の欠陥の有無を容易に判断することができる検査方法、及び、検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、偏光板と、ポリエチレンテレフタレート系樹脂（ＰＥＴ系樹脂）からなる剥離フィルムとを備えるフィルム状の被検査粒の欠陥の有無を判断する検査方法であって、被検査物と、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値（以下、この波長５５０ｎｍにおける面内位相差値を「Ｒｅ（５５０）」という）が剥離フィルムのＲｅ（５５０）よりも５００〜６００ｎｍ大きい領域を含み、且つ、剥離フィルムが有する複屈折を補償するものである位相差板と、偏光板とクロスニコルを構成する偏光フィルタと、をこの順に並ぶように配置し、被検査物側又は偏光フィルタ側のいずれか一方側から、光軸が領域を通過するように光を入射し、その他方側から偏光フィルタ又は被検査物を観察して偏光板の欠陥の有無を判断する、検査方法を提供する。
【００１０】
この検査方法によれば、当該位相差板を用いることで、可視光の透過スペクトルをより広い波長範囲で剥離フィルムと合わせることができるので、観察視野全体を一層暗くすることができる。このとき、輝点として観察される偏光板の欠陥部分が観察視野の中で一層際立つことになる。従って、本発明によれば、偏光板の欠陥の有無を容易に判断することができる。
【００１１】
本発明の検査方法において、偏光板は直線偏光板であり、偏光フィルタは直線偏光フィルタであってもよい。また、本発明において、偏光板は円偏光板であり、偏光フィルタは位相差フィルタであってもよい。いずれの場合も本発明を適用することができる。
【００１２】
位相差板は、面内位相差値が連続的に変化しているものであってもよい。この場合、一枚の位相差板が様々な面内位相差値を有することとなるので、当該一枚の位相差板で様々な剥離フィルムが有する位相差を補償することができる。
【００１３】
本発明では、位相差板は、複数枚からなり、面内位相差値が増す向きを互いに逆向きにして配置する態様としてもよい。このように配置した複数枚の位相差板では、位相差板が一枚である場合に比べて位相差板内の箇所に応じた位相差値の変化が緩やかである。従って、複数枚の位相差板を用いる場合、位相差板が一枚である場合に比べて剥離フィルムが有する位相差を補償することができる領域が広くなる。
【００１４】
位相差板は、無機材料、又は、シクロオレフィン系樹脂からなるものであってもよい。
【００１５】
本発明において、被検査物、位相差板、及び、偏光フィルタの少なくとも一つを、互いに対面する角度が異なるように傾けてもよく、又は、光の光軸に垂直な方向に回転させてもよい。これらを傾けることで、剥離フィルムや位相差板の位相差を微調整できることから、より広範囲の検査が可能となる。また、これらを回転させることで剥離フィルムと位相差板との軸合わせが容易となる。
【００１６】
また、本発明は、偏光板と、ＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルムとを備えるフィルム状の被検査物に光を入射して偏光板の欠陥の有無を判断する検査装置であって、光源と、光源から発せられ被検査物を通過した光を入射させる偏光フィルタと、被検査物が配置される場所よりも光源から遠い側、且つ、偏光フィルタが配置される場所よりも光源に近い側に配置され、被検査物を通過した光を通過させる位相差板と、を備え、位相差板は、Ｒｅ（５５０）が剥離フィルムのＲｅ（５５０）よりも５００〜６００ｎｍ大きい領域を含み、且つ、剥離フィルムが有する複屈折を補償するものである、検査装置を提供する。
【００１７】
また、本発明は、偏光板と、ＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルムとを備えるフィルム状の被検査物に光を入射して偏光板の欠陥の有無を判断する検査装置であって、光源と、光源が発する光を通過させる偏光フィルタと、被検査物が配置される場所よりも光源に近い側、且つ、偏光フィルタが配置される場所よりも光源から遠い側に配置され、偏光フィルタを通過した光を通過させる位相差板と、を備え、位相差板は、波Ｒｅ（５５０）が剥離フィルムのＲｅ（５５０）よりも５００〜６００ｎｍ大きい領域を含み、且つ、剥離フィルムが有する複屈折を補償するものである、検査装置を提供する。
【００１８】
本発明の検査装置において、偏光板は直線偏光板であり、偏光フィルタは直線偏光フィルタであってもよい。また、本発明において、偏光板は円偏光板であり、偏光フィルタは位相差フィルタであってもよい。いずれの場合も本発明を適用することができる。
【００１９】
本発明の検査装置においても、位相差板は、面内位相差値が連続的に変化しているものであってもよい。また、位相差板は、複数枚からなり、面内位相差値が増す向きを互いに逆向きにして配置されていてもよい。また、位相差板は、無機材料、又は、シクロオレフィン系樹脂からなるものであってもよい。
【００２０】
本発明の検査装置において、位相差板は、光の光軸が領域を通過する位置に配置されていてもよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、偏光板の欠陥の有無を容易に判断することができる検査方法、及び、検査装置を提供ことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】第１の実施形態の検査装置を示す図である。
【図２】第１の実施形態における被検査物の断面図である。
【図３】位相差板の一例を示す図である。
【図４】第１の実施形態の変形例の検査装置を示す図である。
【図５】位相差板を走査する状況を示す図である。
【図６】第２の実施形態の検査装置を示す図である。
【図７】第３の実施形態の検査装置を示す図である。
【図８】第３の実施形態における被検査物の断面図である。
【図９】第４の実施形態の検査装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において同一部分又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２４】
＜第１の実施形態＞
第１の実施形態の検査装置及び検査方法ついて説明する。
【００２５】
（検査装置と被検査物）
本実施形態の検査装置は、直線偏光板の表面欠陥の有無を検査するものである。図１に示されているとおり、検査装置１００Ａは、光源２、位相差板４、及び、直線偏光フィルタ（偏光フィルタ）３Ａがこの順に配置されてなるものである。
【００２６】
図２に示されているとおり、検査対象であるフィルム状の被検査物１０Ａは、検査対象の本体である直線偏光板１Ａと、直線偏光板１Ａに対して粘着剤層１５を介して積層された剥離フィルム１６ａとを備えている。直線偏光板１Ａは、偏光フィルム１１の両面に保護フィルム１２ａ，１２ｂが貼合されてなるものである。そして、直線偏光板１Ａのうち剥離フィルム１６ａを備えていない側の面には別の剥離フィルム１６ｂが積層されている。直線偏光板１Ａは、一般的に表示装置、例えば液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置に用いられるものであり、使用時には剥離フィルム１６ａを剥がして、粘着剤層１５を介して表示装置に貼り付けられる。
【００２７】
なお、本明細書において「直線偏光板」とは、任意の光を、例えば無偏光の光を直線偏光に変換するための偏光板を指している。
【００２８】
偏光フィルム１１は、検査装置１００Ａにおいて、光源２から入射した光を直線偏光に変換するフィルムである。偏光フィルム１１としては、例えば、ポリビニルアルコールフィルムにヨウ素や二色性色素が吸着・配向されたものや、重合性液晶化合物を配向・重合したものに、二色性色素が吸着・配向したものが挙げられる。
【００２９】
保護フィルム１２ａ，１２ｂは、偏光フィルム１１を保護するためのものである。保護フィルム１２ａ，１２ｂとしては、適度な機械的強度を有する偏光板を得る目的で、偏光板の技術分野で汎用されているものが用いられる。典型的には、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）フィルム等のセルロースエステル系フィルム；環状オレフィン系フィルム；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム等のポリエステル系フィルム：ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）フィルム等の（メタ）アクリル系フィルム等である。また、偏光板の技術分野で汎用されている添加剤が、保護フィルムに含まれていてもよい。
【００３０】
保護フィルム１２ａ，１２ｂは、直線偏光板１Ａの構成要素として偏光フィルム１１とともに表示装置に貼合されるものであるので、位相差値の厳密な管理等が要求される。保護フィルム１２ａ，１２ｂとしては、典型的には、位相差値が極めて小さいものが好ましく用いられる。保護フィルム１２ａ，１２ｂは、接着剤を介して偏光フィルム１１に貼合される。
【００３１】
剥離フィルム１６ａ，１６ｂは、表示装置に貼合するときに直線偏光板１Ａから剥がされるものであり、通常は、剥がされた剥離フィルム１６ａ，１６ｂは廃棄される。したがって、保護フィルム１２ａ，１２ｂとは異なり、位相差値の厳密な管理が要求されることはない。そのため、市販されているフィルムを剥離フィルム１６ａとして採用する場合に、その位相差値を補償しないと、直線偏光フィルタ３Ａを用いる欠陥の検査において、誤動作を招きかねない。すなわち、このように位相差値が厳密に管理されていない剥離フィルム１６ａ，１６ｂが貼合された直線偏光板１Ａの欠陥検査では、当該剥離フィルム１６ａの位相差が検査装置１００Ａの検査精度を低下させる原因になり得る。
【００３２】
なお、上記背景技術に記したように、偏光板１Ａにおいて、剥離フィルム１６ａの反対面には別の剥離フィルム１６ｂが設けられることが多い。図２に示されている偏光板１Ａでは保護フィルム１２ｂ側に剥離フィルム１６ｂが貼合されている。この剥離フィルム１６ｂも通常、表示装置に貼合するときに直線偏光板１Ａから剥がされるものであり、保護フィルム１２ａ，１２ｂとは異なり位相差値の厳密な管理が要求されることはない。剥離フィルム１６ｂの位相差値を補償する場合には、検査装置１００Ａにおいて、剥離フィルム１６ａを剥離フィルム１６ｂに置き換えて（すなわち、剥離フィルム１６ｂのＲｅ（５５０）を予め求めておいてから、被検査物１０Ａの向きを反対にし（剥離フィルム１６ｂが位相差板４に対向する形に設置して）、検査装置１００Ａを用いて本実施形態の検査方法を実施すればよい。なお、図２において、保護フィルム１２ｂと剥離フィルム１６ｂとは、適当な接着剤層又は粘着剤層を介して貼合されていてもよい（図２においては、この接着剤層又は粘着剤層は、図示していない）。
【００３３】
本実施形態において、剥離フィルム１６ａはＰＥＴ系樹脂からなるものである。剥離フィルム１６ｂの位相差値を補償して本実施形態の検査方法を実施する場合には、剥離フィルム１６ｂもＰＥＴ系樹脂からなるものを用いる。ＰＥＴ系樹脂からなるフィルム（ＰＥＴ系樹脂フィルム）は、剥離フィルムとして汎用であり、且つ安価であるという利点がある。一方、安価なＰＥＴ系樹脂フィルムは上記のとおり、位相差値の厳密な管理が要求されることはない。そのため、例えば、製品ロットごとに位相差値にバラツキがあることがある。また、同一のＰＥＴ樹脂系フィルムであっても、面内に位相差値（面内位相差値）のバラツキがあることもある。このような安価なＰＥＴ樹脂系フィルムを剥離フィルムとして貼合した偏光板であっても、本実施形態の検査方法により、その欠陥の有無を精度よく検出することができる。
【００３４】
ここで、剥離フィルム１６ａのＲｅ（５５０）の求め方を示しておく。上記のとおり、これら剥離フィルムはＰＥＴ系樹脂からなるフィルムであり、このようなフィルムは市場から容易に入手できる。このフィルムから例えば、４０ｍｍ×４０ｍｍ程度の大きさの片を分取（長尺フィルムから、適当な切断具を用いて分取する等）する。この片のＲｅ（５５０）を３回測定し、Ｒｅ（５５０）の平均値を求める。片のＲｅ（５５０）は、位相差測定装置ＫＯＢＲＡ−ＷＰＲ（王子計測機器株式会社製）を用い、測定温度室温（２５℃程度）で測定することができる。なお、剥離フィルム１６ｂのＲｅ（５５０）を求める場合にも、同様の試験を行えばよい。
【００３５】
光源２は、種々の市販品を用いることができるが、例えばレーザ光等の直線光（直線光に近似するものも含む）であることが有利である。光源２が発する光は無偏光であり、偏光フィルム１１を通過し所定方向の偏光となる。
【００３６】
直線偏光フィルタ３Ａは、直線偏光板である。直線偏光フィルタ３Ａは、被検査物１０Ａを検査する場面では、常に被検査物１０Ａ中の直線偏光板１Ａとクロスニコルを構成するように、その向きが調整される。直線偏光フィルタ３Ａの直線偏光板は、無欠陥のものである。
【００３７】
位相差板４は、剥離フィルム１６ａによる光の複屈折を補償するものである。直線偏光フィルタ３Ａと直線偏光板１Ａの偏光軸とが直交する場合（すわなちクロスニコルを構成する場合）では、直線偏光板１Ａにより変換された直線偏光は直線偏光フィルタ３Ａをまったく通過しないが、直線偏光板１Ａに欠陥が存在すると、輝点として視認されることがある。
【００３８】
しかしながら、剥離フィルム１６ａとしては、光学的に透明な材料が用いられ、通常、ＰＥＴ系樹脂のような複屈折を持つ材料が用いられることが多い。このような材料に直線偏光が通過すると楕円偏光に変換されてしまうため、直線偏光フィルタ３Ａと直線偏光板１Ａとがクロスニコルを構成しているとはいえ、直線偏光フィルタ３Ａを透過する光量が、光源の光量の１５％を超えるようになり、直線偏光板１に存在する欠陥に由来する輝点の検出精度が著しく低下する。剥離フィルム１６ｂを用いる場合も、同様の理由で、光学的に透明な材料が用いられる。
【００３９】
そこで、直線偏光フィルタ３Ａと被検査物である直線偏光板１Ａの間に位相差板４を配置することによって、剥離フィルム１６ａの透過率変化をキャンセルさせることで、剥離フィルム１６ａによる光の複屈折を補償する。
【００４０】
位相差板４の形状としては、剥離フィルム１６ａの光の複屈折を補償することができるものであれば特に限定されないが、ＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルム１６ａは面内の位相差値や遅相軸のばらつきが大きいため、検査時に位相差値が調整可能な形状をしていることが好ましい。その形状としては、図３に示されているとおり、その厚さが一様ではなく、薄い部分と厚い部分を有するように厚さが連続的に変化しているものが挙げられる。厚さが連続的に変化していることから、その厚さに応じて位相差値も連続的に変化している。この位相差板４は、厚さが最も薄い部分を起点として、所定の角度αで厚さが広がっており、断面視で「楔（くさび）」の形状をなしている。このような楔形をなしている位相差板４は、被検査物１０Ａの検査領域内でずらしたり回転させたりすることで、簡便に剥離フィルム１６ａによる光の複屈折を補償することが可能となる。
【００４１】
位相差板４の大きさは、一辺の長さが１ｃｍ〜３０ｃｍの範囲にある長方形又は正方形であることが好ましい。
【００４２】
位相差板４としては、石英や方解石などの複屈折性を示す鉱物などの無機材料や、シクロオレフィン系樹脂からなるフィルムを用いることができる。このような波長分散特性がフラットな材料を用いることが特に好ましい。また、楔形への加工のしやすさやその後の取り扱いの点から、石英などの鉱物を用いることが好ましい。
【００４３】
石英などの鉱物を用いる場合には、波長分散特性をよりフラットにするために、さらに位相差フィルムを用いてもよい。石英などの鉱物からなる位相差板の遅相軸に位相差フィルムの遅相軸を直交に配置する場合には正分散性の位相差フィルムを、石英などの鉱物からなる位相差板の遅相軸に位相差フィルムの遅相軸を平行に配置する場合には逆分散性の位相差フィルムを用いることが好ましい。このような位相差フィルムを用いる場合は、石英の表面に当該位相差フィルムを貼合する。
【００４４】
逆分散性の位相差フィルムとしては、例えば、帝人社製の商品名「ピュアエースＷＲ−Ｓ」、「ピュアエースＷＲ−Ｗ」、「ピュアエースＷＲ−Ｍ」、日東電工社製の商品名「ＮＲＦ」が挙げられる。正分散性の位相差フィルムとしては、例えば、ポリカーボネート系樹脂からなるフィルムや、ポリプロピレン系樹脂からなるフィルムが挙げられる。
【００４５】
上記のシクロオレフィン系樹脂としては、例えば、シクロペンタジエンとオレフィン類からディールス・アルダー反応によって得られるノルボルネンまたはその誘導体をモノマーとして開環メタセシス重合を行い、それに続く水添によって得られる樹脂、ジシクロペンタジエンとオレフィン類またはメタクリル酸エステル類からディールス・アルダー反応によって得られるテトラシクロドデセンまたはその誘導体をモノマーとして開環メタセシス重合を行い、それに続く水添よって得られる樹脂、ノルボルネン、テトラシクロドデセン、それらの誘導体類、またはその他の環状オレフィンモノマーを２種以上用いて同様に開環メタセシス共重合を行い、それに続く水添によって得られる樹脂、前記のノルボルネン、テトラシクロドデセン、またはそれらの誘導体に、ビニル基を有する芳香族化合物等を付加共重合させて得られる樹脂等が挙げられる。
【００４６】
シクロオレフィン系樹脂は、市販品を容易に入手することが可能である。この市販品としては例えば、各々商品名で、Ｔｏｐａｓ（Ｔｏｐａｓ  Ａｄｖａｎｃｅｄ  Ｐｏｌｙｍｅｒｓ  ＧｍｂＨ製）、アートン（ＪＳＲ株式会社製）、ゼオノア、ゼオネックス（以上、日本ゼオン株式会社製）、およびアペル（三井化学株式会社製）等が挙げられる。
【００４７】
また、位相差板４の位相差値としては、剥離フィルム１６ａのＲｅ（５５０）より５００〜６００ｎｍ大きい領域（以下、「広補償領域」と呼ぶ場合がある。）を有するものを用いる。このように約１波長分ずらした領域を有する位相差板４を用いることで、可視光の透過スペクトルをより広い波長範囲でＰＥＴ系樹脂フィルムと合わせることができ、位相差補償が可能となる。
【００４８】
被検査物１０Ａ、位相差板４及び直線偏光フィルタ３Ａを通過した光を観察するために、光軸９上、且つ、直線偏光フィルタ３Ａの両側のうち光源２がある側とは反対側の位置に、ＣＣＤカメラ等を含む検出手段５を配置してもよい。例えば、ＣＣＤカメラと画像処理装置を組み合わせた画像処理解析により自動的に検出し、これによって被検査物の検査を行うことができる。或いは、検出手段５は部材ではなく、人間が直線偏光フィルタ３Ａを目視観察することであってもよい。
【００４９】
また、検査装置１００Ａは、被検査物１０Ａ、位相差板４及び直線偏光フィルタ３Ａの少なくとも一つを、互いに対面する角度が異なるように傾ける、又は、光の光軸９に垂直な方向に回転させることを可能とする可動装置（図示していない。）を備えていることが好ましい。これらを傾けることで、ＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルム１６ａや位相差板４の位相差を微調整できることから、より広範囲の検査が可能となる。また、これらを回転させることでＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルム１６ａと位相差板４との軸合わせが容易となる。
【００５０】
（検査方法）
検査装置１００Ａを用いた検査方法は、以下のとおりである。はじめに、検査装置１００Ａの内部のうち、光源２と一枚の楔形位相差板４との間に被検査物１０Ａを挿入する。このとき、被検査物１０Ａと位相差板４と直線偏光フィルタ３Ａとが、その面がいずれも平行となるように、且つ、被検査物１０Ａ中の剥離フィルム１６ａを備える側が光源２とは反対側を向くとともに直線偏光板１Ａと直線偏光フィルタ３Ａとがクロスニコルを構成するように配置する。検査装置１００Ａが上記可動装置を備えている場合は、被検査物１０Ａを任意の向きに挿入した後に、被検査物１０Ａと直線偏光フィルタ３Ａとの相対的な位置関係を可動装置によって変化させてクロスニコルとしてもよい。
【００５１】
光源２が発した光は被検査物１０Ａに入射し、被検査物１０Ａを通過して直線偏光となる。被検査物１０Ａと直線偏光フィルタ３Ａとがクロスニコルの配置となることによって、被検査物１０Ａを通過することで生じた直線偏光が直線偏光フィルタ３Ａによって遮断される。このとき、被検査物１０Ａ中の直線偏光板１Ａに欠陥が存在すると、この欠陥部分は正規の遮断が行えず、検出手段５における検査作業者の目又はＣＣＤカメラ等には欠陥部分が輝点として観察される。
【００５２】
しかしながら、剥離フィルム１６ａが位相差を有する場合、被検査物１０Ａを通過することで生じた直線偏光が影響を受け、直線偏光フィルタ３Ａを透過する光量が多くなり（例えば光源の光量の１０％又は１５％を超えるようになり）、直線偏光板１Ａに存在する輝点などの欠陥の検出精度が低下する。ここで、被検査物１０Ａと直線偏光フィルタ３Ａとの間に位相差板４が配置されていることによって、被検査物１０Ａ中の剥離フィルム１６ａの位相差値がキャンセルされ、剥離フィルム１６ａによる光の複屈折を補償する。
【００５３】
検査中、光源２が発した光の光軸が位相差板４の「広補償領域」を通過するようにする。これにより、可視光の透過スペクトルをより広い波長範囲でＰＥＴ系樹脂フィルムと合わせることができ、位相差の補償が一層効果的となる。すなわち、位相差板４は厚さが連続的に変化し、従って位相差値も連続的に変化しているので、位相差板４が有する様々な厚さのうちの一部の厚さ部分において、剥離フィルム１６ａが有する複屈折がキャンセルされる。
【００５４】
また、検査中、被検査物１０Ａ、位相差板４及び直線偏光フィルタ３Ａの少なくとも一つを、互いに対面する角度が異なるように傾けてもよいし、光の光軸９に垂直な方向に回転させてもよい。傾けることによって、剥離フィルム１６ａや位相差板４の位相差を微調整できることから、より広範囲の検査が可能となる。また、これらを回転させることでＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルム１６ａと位相差板４との軸合わせが容易となる。これらの操作は、検査装置１００Ａが可動装置を備えている場合に特に容易に行うことができる。
【００５５】
以上、第１の実施形態の検査装置及び検査方法について説明した。この検査装置及び検査方法は、一部の構成又は検査手順を以下のように変更して実施することもできる。
【００５６】
図４に示されているとおり、断面視が楔形となっている位相差板４を二枚用意し、これらを位相差値が連続的に増す向きを互いに逆向きにして重ね合わした状態として使用してもよい。この場合、位相差板の位相差値としては、二枚の合計値を差し、上記「広補償領域」も二枚の合計値を基準とする。楔形の位相差板４を二枚用いることで、剥離フィルム１６ａの光の複屈折を広範囲で補償することができるため、検査領域を拡大することができ検査を効率よく行うことができる。
【００５７】
より詳細には、二枚の位相差板４，４の少なくとも一方を、その厚さが変化する方向（図示左右方向）にずらすことによって、位相差板４，４全体としての位相差を変化させることができる。その変化の程度は、厚さが増す向きを互いに逆向きとされて配置されていることによって、位相差板４が一枚である場合に比べて緩やかである。これによれば、二枚の位相差板４，４を用いる検査装置１００Ａ’（図４）では、位相差板４が一枚である検査装置１００に比べて、剥離フィルム１６ａが有する複屈折をキャンセルできる領域が一層広くなる。また、用いる位相差板４を三枚、四枚等としても同様に検査を行うことができる。
【００５８】
或いは、位相差板としては、断面視が楔形をしているものでなくてもよい。位相差板としては上記「広補償領域」を有していればよいので、剥離フィルム１６ａ，１６ｂの位相差をあらかじめ測定しておき、これ応じた位相差を有し、且つ、厚さが一様である位相差板を用いてもよい。
【００５９】
また、第１の実施形態は、被検査物１０Ａのうち検査したい場所をあらかじめ特定したうえでその一帯を検査する方法として特に有用であるが、図５に示されているとおり、光源２や位相差板４を走査することによって、被検査物１０Ａをより広範囲に亘って検査することができる。この場合、図５に示されているとおり、位相差板４を、被検査物１０Ａの面全体の領域を走査するように移動させる。移動させる方向としては、位相差板４の厚さが異なっている方向であることが好ましい。図１と図５との関係でいえば、位相差板４の厚さは図示左右方向に異なっているので、位相差板４の移動方向は図示左右方向であることが好ましい。このとき、必要に応じて光源２や検出手段５も併せて移動させる。
【００６０】
＜第２の実施形態＞
第２の実施形態の検査装置及び検査方法について説明する。図６に示されているとおり、第２の実施形態の検査装置１００Ｂが第１の実施形態の検査装置１００Ａと異なる点は、被検査物１０Ａを配置する場所と直線偏光フィルタ３Ａを配置する場所とが逆になっている点である。すなわち、検査装置１００Ｂは、光源２、直線偏光フィルタ３Ａ、及び、位相差板４がこの順に配置されてなるものであり、被検査物１０Ａは、検査時には剥離フィルム１６ａが光源２側を向くようにして、位相差板４よりも光源２から遠い位置に配置される。なお、上記第１の実施形態と同様に、偏光板１Ａに剥離フィルム１６ｂを貼合しこの剥離フィルム１６ｂの位相差値を補償する場合には、検査装置１００Ｂにおいて剥離フィルム１６ｂが位相差板４に対向するように被検査物１０Ａを設置すればよい。
【００６１】
検査装置１００Ｂを用いた被検査物１０Ａの検査においても、第１の実施形態と同様の原理によって直線偏光板１Ａの欠陥の有無を容易に検査することができる。
【００６２】
＜第３の実施形態＞
第３の実施形態の検査装置及び検査方法ついて説明する。
【００６３】
（検査装置と被検査物）
本実施形態の検査装置は、第１の実施形態とは異なり、円偏光板の表面欠陥の有無を検査するものである。第１の実施形態と相違する点として、検査対象であるフィルム状の被検査物１０Ｂが円偏光板１Ｂを含むものであること、及び、これに応じて直線偏光フィルタ３Ａに代えて位相差フィルタ３Ｂを用いることである。以下、第１の実施形態と相違する点について説明する。
【００６４】
図７に示されているとおり、検査装置１００Ｃは、光源２、位相差板４、及び、位相差フィルタ（偏光フィルタ）３Ｂがこの順に配置されてなるものである。
【００６５】
図８に示されているとおり、検査対象であるフィルム状の被検査物１０Ｂは、検査対象の本体である円偏光板１Ｂと、円偏光板１Ｂに対して粘着剤層１５を介して積層された剥離フィルム１６ａとを備えている。円偏光板１Ｂは、偏光フィルム１１の両面に保護フィルム１２ａ，１２ｂが貼合されており、更に、剥離フィルム１６ａを備える側の保護フィルム１２ａ上に粘着剤層１３を介して位相差膜１４が形成されてなるものである。そして、円偏光板１Ｂのうち剥離フィルム１６ａを備えていない側の面には別の剥離フィルム１６ｂが積層されている。円偏光板１Ｂは、一般的に表示装置、例えば液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置に用いられるものであり、使用時には剥離フィルム１６ａを剥がして、粘着剤層１５を介して表示装置に貼り付けられる。
【００６６】
なお、本明細書において「円偏光板」とは、円偏光板及び楕円偏光板を含むものとする。また、「円偏光」は、円偏光と楕円偏光を含むものとする。
【００６７】
位相差膜１４は、検査装置１００Ｃにおいて、偏光フィルム１１によって直線偏光とされた光を円偏光に変換する膜である（例えば、λ／４板）。位相差膜１４は、位相差を有する膜であれば特に制限はないが、重合性液晶化合物の硬化物からなるものであることが好ましい。重合性液晶化合物の硬化物からなる位相差膜１４は、通常厚さが０．２μｍ〜１０μｍ程度である。
【００６８】
位相差膜１４は、基材上に配向膜形成用組成物を塗布し、更にその上に重合性液晶化合物を含んだ液晶硬化膜形成用組成物を塗布することによって作製することができる。そうして作成した位相差膜１４を、保護フィルム１２ａ上に形成された粘着剤層１３に対して基材ごと貼合し、その後、基材を剥がすことで、位相差膜１４を保護フィルム１２ａ上に転写することができる。
【００６９】
光源２は、例えばレーザ光等の直線光（直線光に近似するものも含む）であることが有利である。光源２が発する光は無偏光であり、偏光フィルム１１を通過し所定方向の偏光となり、更に位相差膜１４を通過して円偏光となる。すなわち、無偏光の光が円偏光板１Ｂを通過することで、円偏光となる。
【００７０】
位相差フィルタ３Ｂは、円偏光板であり、位相差を有する層を光源２側へ向けて配置されている。位相差フィルタ３Ｂは、被検査物１０Ｂを検査する場面では、常に被検査物１０Ｂ中の円偏光板１Ｂとクロスニコルを構成するように、その向きが調整される。
【００７１】
（検査方法）
検査装置１００Ｃを用いた検査方法は、以下のとおりである。はじめに、検査装置１００Ｃの内部のうち、光源２と位相差板４との間に被検査物１０Ｂを挿入する。このとき、被検査物１０Ｂと位相差板４と位相差フィルタ３Ｂとが、その面がいずれも平行となるように、且つ、被検査物１０Ｂ中の剥離フィルム１６ａを備える側が光源２とは反対側を向くとともに円偏光板１Ｂと位相差フィルタ３Ｂとがクロスニコルを構成するように配置する。検査装置１００Ｃが上記可動装置を備えている場合は、被検査物１０Ｂを任意の向きに挿入した後に、被検査物１０Ｂと位相差フィルタ３Ｂとの相対的な位置関係を可動装置によって変化させてクロスニコルとしてもよい。
【００７２】
光源２が発した光は被検査物１０Ｂに入射し、被検査物１０Ｂを通過して円偏光となる。被検査物１０Ｂと位相差フィルタ３Ｂとがクロスニコルの配置となることによって、被検査物１０Ｂを通過することで生じた円偏光が位相差フィルタ３Ｂによって遮断される。このとき、被検査物１０Ｂ中の円偏光板１Ｂに欠陥が存在すると、この欠陥部分は正規の遮断が行えず、検出手段５における検査作業者の目又はＣＣＤカメラ等には欠陥部分が輝点として観察される。
【００７３】
しかしながら、剥離フィルム１６ａが位相差を有する場合、被検査物１０Ｂを通過することで生じた円偏光が影響を受け、位相差フィルタ３Ｂを透過する光量が多くなり（例えば光源の光量の１０％又は１５％を超えるようになり）、円偏光板１Ｂに存在する輝点などの欠陥の検出精度が低下する。ここで、被検査物１０Ｂと位相差フィルタ３Ｂとの間に位相差板４が配置されていることによって、被検査物１０Ｂ中の剥離フィルム１６ａ，１６ｂの位相差値がキャンセルされ、剥離フィルム１６ａによる光の複屈折を補償する。
【００７４】
検査中、光源２が発した光の光軸が位相差板４の広補償領域を通過するようにする。これにより、可視光の透過スペクトルをより広い波長範囲でＰＥＴ系樹脂フィルムと合わせることができ、位相差の補償が一層効果的となる。すなわち、位相差板４は厚さが連続的に変化し、従って位相差値も連続的に変化しているので、位相差板４が有する様々な厚さのうちの一部の厚さ部分において、剥離フィルム１６ａが有する複屈折がキャンセルされる。
【００７５】
また、検査中、被検査物１０Ｂ、位相差板４及び位相差フィルタ３Ｂの少なくとも一つを、互いに対面する角度が異なるように傾けてもよいし、光の光軸９に垂直な方向に回転させてもよいことは第１の実施形態と同様である。なお、上記第１の実施形態と同様に、円偏光板１Ｂに剥離フィルム１６ｂを貼合しこの剥離フィルム１６ｂの位相差値を補償する場合には、検査装置１００Ｃにおいて剥離フィルム１６ｂが位相差板４に対向するように被検査物１０Ａを設置すればよい。
【００７６】
＜第４の実施形態＞
第４の実施形態の検査装置及び検査方法について説明する。図９に示されているとおり、第４の実施形態の検査装置１００Ｄが第３の実施形態の検査装置１００Ｃと異なる点は、被検査物１０Ｂを配置する場所と位相差フィルタ３Ｂを配置する場所とが逆になっている点である。すなわち、検査装置１００Ｄは、光源２、位相差フィルタ３Ｂ、及び、位相差板４がこの順に配置されてなるものであり、被検査物１０Ｂは、検査時には剥離フィルム１６ａが光源２側を向くようにして、位相差板４よりも光源２から遠い位置に配置される。
【００７７】
検査装置１００Ｄを用いた被検査物１０Ｂの検査においても、第３の実施形態と同様の原理によって円偏光板１Ｂの欠陥の有無を容易に検査することができる。なお、上記第１の実施形態と同様に、被検査物１０Ｂに剥離フィルム１６ｂを貼合しこの剥離フィルム１６ｂの位相差値を補償する場合には、検査装置１００Ｄにおいて剥離フィルム１６ｂが位相差板４に対向するように被検査物１０Ｂを設置すればよい。
【００７８】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら限定されるものではない。例えば、第１の実施形態の変形例として示した位相差板４を二枚用いる検査装置及び検査方法は、第２〜第４の実施形態のいずれにおいても適用することができる。
【実施例】
【００７９】
以下、実施例及び比較例挙げて本発明の内容をより具体的に説明する。なお、本発明は下記実施例に限定されるものではない。以下の記載中、含有量ないし使用量を表す「部」及び「％」は、特記ない限り重量基準である。また、以下の記載中、「偏光板１」及び「位相差板１」の符号は、実験で用いたものを特定するための符号を表しており、図面上の符号とは異なる。
【００８０】
各物性の測定は、次の方法で行った。
（１）フィルム厚さの測定方法
株式会社ニコン製のデジタルマイクロメーターであるＭＨ−１５Ｍを用いて測定した。
（２）位相差値の測定方法
位相差測定装置ＫＯＢＲＡ−ＷＰＲ（王子計測機器株式会社製）を用いて測定した。
（３）偏光フィルタを透過した光の透過率の測定
分光放射計（（株）トプコンテクノハウス製、ＳＲ−ＵＬ１）を、測定面から１ｍ離して設置し、測定角２°視野とした状態で輝度を測定した。光源の輝度に対して何％の光が偏光フィルタを透過しているかを計算した。
（４）偏光板の偏光度及び単体透過率の測定：
積分球付き分光光度計〔日本分光株式会社製の「Ｖ７１００」、２度視野；Ｃ光源〕を用いて測定した。
【００８１】
［被検査物の作製］
厚さ３０μｍのポリビニルアルコールフィルム（平均重合度約２４００、ケン化度９９．９モル％以上）を、乾式延伸により約４倍に一軸延伸し、さらに緊張状態を保ったまま、４０℃の純水に４０秒間浸漬した後、ヨウ素／ヨウ化カリウム／水の重量比が０．０５２／５．７／１００の水溶液に２８℃で３０秒間浸漬して染色処理を行った。その後、ヨウ化カリウム／ホウ酸／水の重量比が１１．０／６．２／１００の水溶液に７０℃で１２０秒間浸漬した。引き続き、８℃の純水で１５秒間洗浄した後、３００Ｎの張力で保持した状態で、６０℃で５０秒間、次いで７５℃で２０秒間乾燥して、ポリビニルアルコールフィルムにヨウ素が吸着配向している厚さ１２μｍの吸収型偏光子を得た。
【００８２】
得られた偏光フィルムの両面に、接着剤層の厚さが０．１μｍになるようにポリビニルアルコール系接着剤を塗布しながら、保護フィルム（トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）フィルム（商品名：ＫＣ２ＵＡＷ、厚さ：２５μｍ、コニカミノルタ社製）を貼合せたのち、８０℃で２分間の乾燥を行い、偏光板１を作製した。得られた偏光板１の偏光度は、９９．９９５％、単体透過率４２．５％であった。
【００８３】
この偏光板１の片面に粘着剤層を形成し、位相差値が２０００ｎｍであるＰＥＴフィルムを剥離フィルムとして貼合し、被検査物である直線偏光板を作製した。このＰＥＴフィルムは、ＰＥＴからなるフィルムであり、ＰＥＴ系樹脂フィルムの一つである。
【００８４】
［位相差板の用意］
位相差板１として、石英の楔形検板を二枚用いた。二枚の楔形検板はいずれも、位相差値が５００ｎｍから２０００ｎｍまで連続的に変化しているものであった。
【００８５】
［実施例１］
バックライト（光源）／被検査物（剥離フィルム側がバックライトと反対側を向くように配置した）／位相差板１／偏光板１（偏光フィルタ）の順に光学系を構成した。位相差板１は、上記二枚の石英検板を用いて、位相差値が増す向きが互いに逆向きとなるように重ね合わせて配置した。位相差板１をスライドさせることで光軸部分において位相差値（Ｒｅ（５５０））が２５５０ｎｍになるようにした。こうして最も暗い状態での輝度を測定したところ、１．４％であり、検査に問題なく輝点欠陥を検出できた。
【００８６】
［比較例１］
バックライト（光源）／被検査物（剥離フィルム側がバックライトと反対側を向くように配置した）／位相差板１／偏光板１（偏光フィルタ）の順に光学系を構成した。位相差板１は、上記二枚の石英検板を用いて、位相差値が増す向きが互いに逆向きとなるように重ね合わせて配置した。位相差板１をスライドさせることで光軸部分において位相差値（Ｒｅ（５５０））が２０００ｎｍになるようにした。こうして最も暗い状態での輝度を測定したところ、１１．７％であり輝点欠陥を検出することができなかった。
【００８７】
［実施例２］
実施例１の被検査物が備えているＰＥＴフィルム（剥離フィルム）を、位相差値が２３００ｎｍのＰＥＴフィルムに変更した以外は同様に光学系を構成した。位相差板１をスライドさせることで光軸部分において位相差値（Ｒｅ（５５０））が２８５０ｎｍになるようにした。こうして最も暗い状態での輝度を測定したところ、２．０％であり検査に問題なく輝点欠陥を検出できた。
【００８８】
［比較例２］
実施例２において、位相差板１をスライドさせることで光軸部分において位相差値（Ｒｅ（５５０））が２３００ｎｍになるようにした以外は同様に光学系を構成した。こうして最も暗い状態での輝度を測定したところ、１２．７％であり輝点欠陥を検出することができなかった。
【００８９】
［実施例３］
実施例１の被検査物が備えているＰＥＴフィルム（剥離フィルム）を、位相差値（Ｒｅ（５５０））が２６００ｎｍのＰＥＴフィルムに変更した以外は同様に光学系を構成した。位相差板１をスライドさせることで光軸部分において位相差値が３１５０ｎｍになるようにした。こうして最も暗い状態での輝度を測定したところ、３．７％であり検査に問題なく輝点欠陥を検出できた。
【００９０】
［比較例３］
実施例３において、位相差板１をスライドさせることで光軸部分において位相差値（Ｒｅ（５５０））が２６００ｎｍになるようにした以外は同様に光学系を構成した。こうして最も暗い状態での輝度を測定したところ、１４．４％であり輝点欠陥を検出することができなかった。
【００９１】
［実施例４］
実施例１の被検査物が備えているＰＥＴフィルム（剥離フィルム）を、位相差値（Ｒｅ（５５０））が１７００ｎｍのＰＥＴフィルムに変更した以外は同様に光学系を構成した。位相差板１をスライドさせることで光軸部分において位相差値が２２５０ｎｍになるようにした。こうして最も暗い状態での輝度を測定したところ、２．１％であり検査に問題なく輝点欠陥を検出できた。
【００９２】
［比較例４］
実施例３において、位相差板１をスライドさせることで光軸部分において位相差値（Ｒｅ（５５０））が１７００ｎｍになるようにした以外は同様に光学系を構成した。こうして最も暗い状態での輝度を測定したところ、１０．５％であり輝点欠陥を検出することができなかった。
【００９３】
［実施例５］
実施例１の光学系を、バックライト（光源）／偏光板１（偏光フィルタ）／位相差板１／被検査物の順の光学系に変更した検査装置を用いても、輝点欠陥を検出することができる。
【産業上の利用可能性】
【００９４】
本発明は、偏光板の品質検査に利用することができる。
【符号の説明】
【００９５】
１Ａ…直線偏光板（偏光板）、１Ｂ…円偏光板（偏光板）、２…光源、３Ａ…直線偏光フィルタ（偏光フィルタ）、３Ｂ…位相差フィルタ（偏光フィルタ）、４…位相差板、５…検出手段、９…光軸、１０Ａ，１０Ｂ…被検査物、１１…偏光フィルム、１２ａ，１２ｂ…保護フィルム、１３…粘着剤層、１４…位相差膜、１５…粘着剤層、１６ａ，１６ｂ…剥離フィルム、１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ…検査装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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