(57)【要約】【課題】正確な水分計測が可能な水分センサー、及び正確な蒸気圧計測が可能な蒸気圧計測装置用センサーを提供する。【解決手段】蒸気圧計測装置用センサー３０は、水分センサー１０と熱電対２０とを備えている。水分センサー１０は一対の導電体１１を備え、一対の導電体１１を被計測物４０に導入し当該一対の導電体１１の先端部間の電気抵抗を計測することで水分の有無を検出する。この水分センサー１０は、導電体１１の先端部以外は、耐熱性を有する絶縁物１２で被覆されており、さらに、導電体１１の先端部周辺に存在する水分が、導電体１１と絶縁物１２との隙間を介して被計測物４０の外部へ移動するのを抑制する遮蔽構造１３を有している。熱電対２０も水分センサー１０と同様に、耐熱性、絶縁性及び遮蔽構造を有している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の導電体を備え、前記一対の導電体を被計測物に導入し当該一対の導電体の先端部間の電気抵抗を計測する、高温環境下で使用される水分センサーにおいて、
前記導電体の先端部以外は、耐熱性を有する絶縁物で被覆されており、
前記導電体の先端部周辺に存在する水分が、前記導電体と前記絶縁物との隙間を介して被計測物の外部へ移動するのを抑制する遮蔽構造を有することを特徴とする水分センサー。
【請求項２】
前記導電体は金属線であり、
前記絶縁物はセラミックス製の管であり、
前記遮蔽構造は前記セラミックス製の管の内部の少なくとも一部に充填される耐熱性を有する充填材である、請求項１に記載の水分センサー。
【請求項３】
前記充填材は、シリコーン系充填材、エポキシ系充填材及び耐火性モルタルから選択される少なくとも一種である、請求項２に記載の水分センサー。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載の水分センサーと、当該水分センサーの近傍に配置される熱電対とを備え、高温環境下で使用される蒸気圧計測装置用センサーにおいて、
前記熱電対は、一対の異種金属線を備え、前記異種金属線の先端部以外は、耐熱性を有する絶縁物で被覆されており、前記異種金属線の先端部周辺に存在する水分が、前記異種金属線と前記絶縁物との隙間を介して被計測物の外部へ移動するのを抑制する遮蔽構造を有することを特徴とする蒸気圧計測装置用センサー。
【請求項５】
請求項１から３のいずれか一項に記載の水分センサーと、当該水分センサーの近傍に配置される熱電対とを備え、高温環境下で使用される蒸気圧計測装置用センサーにおいて、
前記熱電対は、一対の異種金属線を備え、前記一対の異種金属線は、その全部が耐熱性を有する絶縁物で被覆されていることを特徴とする蒸気圧計測装置用センサー。
【請求項６】
不定形耐火物の乾燥工程において、当該不定形耐火物内部の蒸気圧計測用に使用される、請求項４又は５に記載の蒸気圧計測装置用センサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高温環境下で使用される、水分センサーと、この水分センサーを備える蒸気圧計測装置用センサーに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、不定形耐火物の乾燥工程において、その内部の水分の有無を定性的に検出するための水分センサーとして、不定形耐火物に埋め込まれる一対の電極（導電体）を備えるものが知られている（例えば、非特許文献１参照）。すなわち、この水分センサーでは、被計測物である不定形耐火物に埋め込んだ一対の電極の先端部間の電気抵抗の変化を計測することで、水分の有無を定性的に検出する。また、前記非特許文献１には、水分センサーの近傍に熱電対を配置することで、不定形耐火物内部の蒸気圧を計測する方法も開示されている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
【非特許文献１】「流し込み剤の乾燥性評価（脱水挙動の実験的評価と数値解析）」、第１回鉄鋼用耐火物専門委員会、ｐ．３８−３９
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、本発明者らが前記非特許文献１の水分センサーを用いて、不定形耐火物の乾燥工程における水分有無の検出（以下「水分計測」ともいう。）の試験を重ねたところ、特に高温環境下では、正確な水分計測ができない場合のあることがわかった。
【０００５】
まず、前記非特許文献１の水分センサーにおいて、不定形耐火物内部に埋め込まれた電極は高温となるので、耐熱性がないと正確な水分計測ができない。
また、前記非特許文献１の水分センサーは、不定形耐火物内部に埋め込まれた電極の先端部周辺の水分の有無を、電極の先端部間の電気抵抗の変化によって検出するものであることから、先端部以外の電極に水分含有による導通が生じると、正確な水分計測ができない。
さらに、前記非特許文献１の水分センサーにおいて、不定形耐火物内部に埋め込まれた電極の先端部周囲は所定の蒸気圧となる一方、不定形耐火物外部の接続導線に接続される電極の基端部周囲は大気圧であるので、不定形耐火物内部の電極の先端部周囲と不定形耐火物外部の接続導線に接続される電極の基端部周囲とで圧力差が生じる。このため、不定形耐火物に埋め込まれた電極の周囲に水分の移動経路があると、その移動経路を通って水分が移動してしまい、正確な水分計測ができなくなる。例えば、不定形耐火物の乾燥性評価において水分の移動経路のある水分センサーを使用した場合、水分の移動が実際より促進されることから、正確な乾燥性評価（水分計測）ができない。
そして、正確な水分計測ができないと、正確な蒸気圧計測もできない。
【０００６】
そこで本発明が解決しようとする課題は、正確な水分計測が可能な水分センサー、及び正確な蒸気圧計測が可能な蒸気圧計測装置用センサーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、以下の水分センサー及び蒸気圧計測装置用センサーが提供される。
１．
一対の導電体を備え、前記一対の導電体を被計測物に導入し当該一対の導電体の先端部間の電気抵抗を計測する、高温環境下で使用される水分センサーにおいて、
前記導電体の先端部以外は、耐熱性を有する絶縁物で被覆されており、
前記導電体の先端部周辺に存在する水分が、前記導電体と前記絶縁物との隙間を介して被計測物の外部へ移動するのを抑制する遮蔽構造を有することを特徴とする水分センサー。
２．
前記導電体は金属線であり、
前記絶縁物はセラミックス製の管であり、
前記遮蔽構造は前記セラミックス製の管の内部の少なくとも一部に充填される耐熱性を有する充填材である、前記１に記載の水分センサー。
３．
前記充填材は、シリコーン系充填材、エポキシ系充填材及び耐火性モルタルから選択される少なくとも一種である、前記２に記載の水分センサー。
４．
前記１から３のいずれか一項に記載の水分センサーと、当該水分センサーの近傍に配置される熱電対とを備え、高温環境下で使用される蒸気圧計測装置用センサーにおいて、
前記熱電対は、一対の異種金属線を備え、前記異種金属線の先端部以外は、耐熱性を有する絶縁物で被覆されており、前記異種金属線の先端部周辺に存在する水分が、前記異種金属線と前記絶縁物との隙間を介して被計測物の外部へ移動するのを抑制する遮蔽構造を有することを特徴とする蒸気圧計測装置用センサー。
５．
前記１から３のいずれか一項に記載の水分センサーと、当該水分センサーの近傍に配置される熱電対とを備え、高温環境下で使用される蒸気圧計測装置用センサーにおいて、
前記熱電対は、一対の異種金属線を備え、前記一対の異種金属線は、その全部が耐熱性を有する絶縁物で被覆されていることを特徴とする蒸気圧計測装置用センサー。
６．
不定形耐火物の乾燥工程において、当該不定形耐火物内部の蒸気圧計測用に使用される、前記４又は５に記載の蒸気圧計測装置用センサー。
【０００８】
なお、本発明において「水分」とは、液体の水のほか、水蒸気（気体の水）を含むものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の水分センサーでは、導電体の先端部以外が耐熱性を有する絶縁物で被覆されているので、耐熱性を向上させることができるとともに、導電体の先端部までの絶縁性を確保でき、先端部以外の導通により正確な水分計測ができなくなる問題を解消することができる。さらに、遮蔽構造により、導電体の先端部周辺に存在する水分が導電体と絶縁物との隙間を介して被計測物の外部へ移動することが抑制されるので、水分の移動経路の存在により正確な水分計測ができなくなる問題を解消することができる。以上より、本発明の水分センサーによれば、正確な水分計測が可能となる。
【００１０】
本発明の蒸気圧計測装置用センサーは、本発明の水分センサーに加え熱電対を備えているので、例えば不定形耐火物の乾燥工程においてその内部の蒸気圧を計測することができる。しかも、本発明の蒸気圧計測装置用センサーにおいて熱電対は、水分センサーと同様に、耐熱性、絶縁性及び遮蔽構造を有していることから、正確な蒸気圧計測が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態である水分センサーと、この水分センサー及び熱電対を備える蒸気圧計測装置用センサーの使用状態を示す概念図。
【図２】本発明の他の実施形態である蒸気圧計測装置用センサーの使用状態を示す概念図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に、本発明の一実施形態である水分センサー１０と、この水分センサー１０及び熱電対２０を備える蒸気圧計測装置用センサー３０の使用状態を概念的に示している。
【００１３】
まず、水分センサー１０について説明すると、本実施形態において水分センサー１０は、一対の導電体として一対（２本）の金属線１１，１１を備えており、金属線１１，１１の先端部以外は、セラミックス製の管（以下「セラミックス管」という。）１２（耐熱性を有する絶縁物）で被覆されている。具体的には、セラミックス管１２は２個の貫通孔１２ａを有しており、各貫通孔１２ａに１本の金属線１１が挿通され、貫通孔１２ａと金属線１１との間には隙間が生じている。すなわち、金属線１１の先端部以外は、隙間を有する状態でセラミックス管１２により被覆されている。また、金属線１１は先端部が露出されている。
そして本実施形態では、遮蔽構造として、セラミックス管１２の内部、具体的には２個の貫通孔１２ａの全部（貫通孔１２ａと金属線１１との隙間の全部）にシリコーン系充填材１３が充填されている。
【００１４】
この水分センサー１０は、図１に示すように２本の金属線１１，１１が被計測物４０に導入され、２本の金属線１１，１１の先端部間の電気抵抗の変化を計測することで、水分の有無を定性的に検出する。そのため、２本の金属線１１，１１の基端部は接続導線５０を介して、２本の金属線１１，１１の先端部間の電気抵抗が算出できるように構成された回路（図示省略）に接続されている。
【００１５】
本実施形態では、接続導線５０に接続される金属線１１の基端部周囲、すなわちセラミックス管１２の基端部にシリコーン樹脂１４を配置している。このシリコーン樹脂１４は２本の金属線１１，１１の先端部以外を被覆する「耐熱性を有する絶縁物」であり、また、「遮蔽構造」でもある。
なお、２本の金属線１１，１１の基端部は被計測物４０の外部に位置する場合もあり、この場合、２本の金属線１１，１１の基端部は「耐熱性を有する絶縁物」で被覆しなくてもよい。すなわち、本発明の水分センサーにおいて、耐熱性を有する絶縁物で被覆する導電体の先端部以外の領域とは、被計測物に導入される領域のことである。
【００１６】
次に、熱電対２０について説明すると、本実施形態において熱電対２０は、通常の熱電対と同様に、先端が接合されている一対（２本）の異種金属線２１ａ，２１ｂを備えており、異種金属線２１ａ，２１ｂの先端部以外は、セラミックス管２２（耐熱性を有する絶縁物）で被覆されている。具体的には、セラミックス管２２は２個の貫通孔２２ａを有しており、各貫通孔２２ａに１本の異種金属線２１ａ又は２２ａが挿通され、貫通孔２２ａと異種金属線２１ａ，２１ｂとの間には隙間が生じている。すなわち、異種金属線２１ａ，２１ｂの先端部以外は、隙間を有する状態でセラミックス管２２により被覆されている。また、異種金属線２１ａ，２１ｂは、先端部が露出されている。
そして本実施形態では、遮蔽構造として、セラミックス管２２の内部、具体的には２個の貫通孔２２ａの全部（貫通孔２２ａと異種金属線２１a，２１ｂとの隙間の全部）にシリコーン系充填材２３が充填されている。
【００１７】
この熱電対２０は、図１に示すように水分センサー１０の近傍に配置され、周知のとおり、熱起電力を計測することで温度を算出する。そのため、２本の異種金属線２１ａ，２１ｂの基端部は接続導線６０を介して、熱起電力から温度を算出できる計測器（図示省略）に接続されている。
【００１８】
また、本実施形態では、接続導線６０に接続される異種金属線２１ａ，２１ｂの基端部周囲、すなわちセラミックス管２２の基端部にシリコーン樹脂２４を配置している。このシリコーン樹脂２４は２本の異種金属線２１ａ，２１ｂの先端部以外を被覆する「耐熱性を有する絶縁物」であり、また、「遮蔽構造」でもある。
なお、２本の異種金属線２１ａ，２１ｂの基端部は被計測物４０の外部に位置する場合もあり、この場合、２本の異種金属線２１ａ，２１ｂの基端部は「耐熱性を有する絶縁物」で被覆しなくてもよい。すなわち、本発明の熱電対において、耐熱性を有する絶縁物で被覆する異種金属線の先端部以外の領域とは、被計測物に導入される領域のことである。
【００１９】
次に、蒸気圧計測装置用センサー３０について説明すると、本実施形態の蒸気圧計測装置用センサー３０は、水分センサー１０と水分センサー１０の近傍に配置される熱電対２０とを備え、前記非特許文献１に記載のとおりの手法により、被計測物４０（例えば不定形耐火物）内部の蒸気圧を計測する。すなわち、被計測物４０（例えば不定形耐火物）の乾燥時に発生する蒸気圧は、脱水が完了するまでは飽和蒸気圧に一致することを利用し、水分センサー１０により計測される、２本の金属線１１，１１の先端部間の電気抵抗に急激な変化（増加）が見られるまでは、水分センサー１０の近傍に配置されている熱電対２０により計測した温度から求めた飽和蒸気圧を、電気抵抗が増加した後は蒸気圧が発生しないと仮定して数値０（大気圧）を、それぞれ蒸気圧計測値とする。
【００２０】
以上のとおり、蒸気圧計測装置用センサー３０を構成する水分センサー１０と熱電対２０は、いずれも耐熱性、絶縁性及び遮蔽構造を有していることから、例えば不定形耐火物の乾燥工程のように高温環境下で使用されても、正確な水分計測及び蒸気圧計測が可能となる。
ここで、「高温環境」とは、概ね１３０℃以上２５０℃以下の温度域をいう。この温度域は不定形耐火物の乾燥工程において爆裂が問題となる温度域に対応する。
また、「耐熱性を有する」とは、その耐熱温度が、前記高温環境の温度域内又は前記高温環境の温度域以上であることをいう。言い換えれば、「耐熱性を有する」とは、その耐熱温度が、水分センサーが使用される温度以上であることをいう。
【００２１】
次に、本発明の他の実施形態について説明する。
（１）水分センサー１０においては、一対の導電体として一対（２本）の金属線１１，１１を用いたが、導電体は金属線には限定されず、例えば金属板とすることもできる。要するに先端部間の電気抵抗を計測可能なものであればよい。
【００２２】
（２）水分センサー１０及び熱電対２０においては、導電体や異種金属線（以下、総称して「導電体等」という。）を被覆する、耐熱性を有する絶縁物としてセラミックス製の管を用いたが、耐熱性を有する絶縁物の材質はセラミックスには限定されず、例えば耐熱性を有する樹脂とすることもできる。ここで、耐熱性を有する樹脂とは、その耐熱温度が、前記高温環境の温度域内又は前記高温環境の温度域以上（水分センサーが使用される温度以上）であるものであり、例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ポリフェニレンスルファイド、ジアリルフタレート、フェノール樹脂、ポリイミド、ポリアミドイミドなどが挙げられる。
また、導電体等を被覆する耐熱性を有する絶縁物の形態は「管」には限定されず、例えば、横断面形状が「コの字型」をした２つの耐熱性を有する絶縁物を組み合わせて、導電体等を被覆することもできる。要するに、導電体等の先端部以外が、耐熱性を有する絶縁物で被覆されていればよい。
ただし、耐熱性及び絶縁性を十分に確保する点から、耐熱性を有する絶縁物の材質は、アルミナ、ムライト、ジルコニア、マグネシア、石英、フォルステライト等のセラミックスであることが好ましい。また、導電体等の先端部以外を確実かつ簡単に被覆する点から、導電体等を被覆する耐熱性を有する絶縁物の形態は「管」であることが好ましい。
なお、耐熱性を有する絶縁物の熱膨張係数が被計測物の熱膨張係数と大きく異なると、被計測物に亀裂を生じる懸念があるので、耐熱性を有する絶縁部の熱膨張係数は被計測物の熱膨張係数に近いほうが好ましい。
【００２３】
（３）水分センサー１０及び熱電対２０においては、遮蔽構造として、セラミックス管の貫通孔の全部に耐熱性を有する充填材（シリコーン系充填材）を充填したが、セラミックス管の貫通孔の一部に耐熱性を有する充填材を充填してもよい。セラミックス管の貫通孔の一部に耐熱性を有する充填材を充填する場合、セラミックス管の先端部又は基端部から例えば１０ｍｍ以上充填することができる。
また、遮蔽構造は、セラミックス管の貫通孔の少なくとも一部に耐熱性を有する充填材を充填する構成には限定されず、例えば、セラミックス管の先端部及び基端部の少なくとも一方にシリコーン樹脂等の耐熱性及び絶縁性を有する材料を配置することもできる。要するに遮蔽構造は、導電体等の先端部周辺に存在する水分が、導電体等とこれを被覆する絶縁物との隙間を介して被計測物の外部へ移動するのを抑制するものであればよい。
なお、耐熱性を有する充填材としては、シリコーン系充填材以外に、エポキシ系充填材、耐火性モルタルを好適に用いることができる。シリコーン系充填材、エポキシ系充填材、耐火性モルタルは、いずれも入手しやすく充填作業性にも優れている。
【００２４】
（４）水分センサー１０及び熱電対２０においては、一対の導電体等を２個の貫通孔のある１本のセラミックス管により被覆したが、一対の導電体等のそれぞれを１個の貫通孔のあるセラミックス管により被覆してもよい。また、水分センサー１０の一対の導電体と熱電対２０をまとめて４個の貫通孔のあるセラミックス管により被覆してもよい。この場合、遮蔽構造はそれぞれの貫通孔に設ける。
【００２５】
（５）熱電対２０においては、異種金属線２１ａ，２１ｂの先端部が露出されている構成としたが、異種金属線２１ａ，２１ｂの全部の領域が耐熱性を有する絶縁物であるセラミックス管２２で被覆されている構成としてもよい。
具体的には、図２に示すように、熱電対２０Ａは、異種金属線２１ａ，２１ｂの全部がセラミックス管２２で被覆されている構成としてもよい。この構成の場合、セラミックス管２２は前述の遮蔽構造と同様の機能を発揮する。
また、異種金属線２１ａ，２１ｂは、通常の熱電対と同様に先端部以外は絶縁物で被覆する必要がある。この場合の被覆物は通常の熱電対と同様にセラミックス網線、セラミック管、耐熱性樹脂等を用いることができる。
なお、耐熱性を有する絶縁物で被覆する異種金属線の全部の領域とは、被計測物に導入される領域のことである。
【実施例】
【００２６】
導電体を被覆する絶縁物及び遮蔽構造を表１のとおりとした水分センサーと、図１に示した熱電対２０とを備える蒸気圧計測装置用センサーを用いて、以下の要領で不定形耐火物（流し込み材）の乾燥試験を実施し、脱水完了時間、脱水開始時期及び蒸気圧を計測した。
【００２７】
＜乾燥試験＞
横１５８．５×縦７８．１×高さ２０５ｍｍの一面のみの開口部（横１５８．５×縦７８．１ｍｍの面）を持つスチール缶を使用し、開口部から１００ｍｍとなる位置に水分センサーと熱電対を固定した。
このスチール缶に対して不定形耐火物を流し込み施工し、施工日の翌日まで養生後、開口部を電気炉の炉内側になるように配置して試料の開口部の面のみ加熱されるように配置して乾燥試験を実施した。加熱は、０→２８０℃を０．３ｈ、２８０→４５０℃を２．７ｈ、その後４５０℃で６ｈ保持するパターンをプログラムコントローラーに設定して実施した。
【００２８】
＜脱水完了時間＞
所定の電圧Ｖ０を出力する電源に水分センサーと固定抵抗器Ｒ１を直列に接続し、固定抵抗器の両端部に発生する電圧Ｖ１を計測した。水分センサーにおける一対の導電体の先端部間の電気抵抗Ｒは、Ｒ＝Ｒ１×（Ｖ０−Ｖ１）／Ｖ１により算出した。乾燥されていない不定形耐火物では、材料中に水分が存在するため電気抵抗Ｒは低いが、前述の加熱試験では水分センサーにおける一対の導電体の先端部間の水分がなくなる直前から電気抵抗Ｒが増加し始め、その後急激に増加する。電気抵抗Ｒが３ＭΩ以上の状態を水分無しと判定して、脱水完了時間を読み取った。
【００２９】
＜脱水開始時期と蒸気圧＞
前述のとおり、乾燥試験では水分センサーにおける一対の導電体の先端部間の水分がなくなる直前から電気抵抗Ｒが増加し始める。電気抵抗Ｒの増加開始時の電気抵抗値を基準として０．０５ＭΩ上昇した時点を、脱水開始時期とした。「キャスタブル耐火物施工体の乾燥に関する一考察」、耐火物４０[５]２７０− ２７８（１９８８）でも示されているように、蒸気圧は水分が十分にあれば、その温度における飽和蒸気圧となる。このことから、乾燥試験における不定形耐火物内部の蒸気圧は、水分センサーによる水分計測の結果において、計測開始から脱水開始時期までは、水分センサーの近傍に配置した熱電対により計測した温度から計算される飽和蒸気圧とした。なお、脱水開始時期以降は蒸気圧の推定ができなくなるため、本発明による手法では蒸気圧は計測できない。
また、脱水開始時期から脱水完了時期においても、電気抵抗Ｒが十分に上がりきっていないことからもわかるように、いくらかの水分は存在するが、実験によるとこの間に関しては、蒸気圧が飽和蒸気圧に達することはなかった。脱水開始時期を過ぎると、飽和蒸気圧を維持するには水分が不足するためと推定される。
【００３０】
表１に、本発明の実施例及び比較例において計測された、脱水開始時期、脱水完了時間及び最大蒸気圧（前述の飽和蒸気圧）を示しているが、これらの計測結果の正確性を検証するため、水分センサー以外の条件は同一として、圧力伝達管を埋め込んだ試料を用いて乾燥試験を実施した。この乾燥試験では、試料内部で発生した蒸気圧を、圧力伝達管を介して外部の圧力センサーに伝達することにより、蒸気圧の直接計測が可能である。この計測を同一の条件で３回実施したところ、圧力センサーによる最大蒸気圧は平均で０．７６ＭＰａ、最大蒸気発生時期は試験開始後５．３ｈであった。これらの値を基準値として、表１に示す本発明の実施例及び比較例について、その計測結果の正確性を、「水分計測正確性」及び「蒸気圧計測正確性」として評価した。なお、圧力センサーによる計測結果によって定めた最大圧力発生時期は、水分センサーによる計測結果によって定めた脱水開始時期と概ね一致することを確認している。
すなわち、「水分計測正確性」については、圧力センサーによる計測結果によって定めた最大圧力発生時期（５．３ｈ）を基準として、水分センサーによる計測結果によって定めた脱水開始時期が±０．５ｈの範囲内であるものを○（合格）、±０．５ｈの範囲内でないものを×（不合格）とした。
また、「蒸気圧計測正確性」については、圧力センサーによる計測結果によって定めた最大蒸気圧（０．７６ＭＰａ）を基準として、水分センサーによる計測結果によって定めた最大蒸気圧が±０．１ＭＰａの範囲内であるものを○（合格）、±０．１ＭＰａの範囲内でないものを×（不合格）とした。
【００３１】
【表１】
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【００３２】
表１に示す実施例１〜４は、導電体を被覆する絶縁物がセラミックス管であって、遮断構造がセラミックス管の全部又は一部に充填された充填材であるもので、水分計測正確性、蒸気圧計測正確性ともに○（合格）となった。
また、実施例５は、実施例１において絶縁物をＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）管に変えたもの、実施例６，７は、実施例１において遮断構造を変えたものであるが、いずれも、水分計測正確性、蒸気圧計測正確性ともに○（合格）となった。
【００３３】
これに対して、比較例１は遮断構造を有しないものであり、脱水完了時間が短く、最大蒸気圧が大幅に低くなり、水分計測正確性、蒸気圧計測正確性ともに×（不合格）となった。セラミックス管の貫通孔が水分の移動経路となり、蒸気圧が低下し、乾燥も早期に終了したと考えられる。
比較例２は導電体を被覆する絶縁物が耐熱性を有しないものであり、電気抵抗が途中から計測できなくなった。導電体を被覆する絶縁物が溶融し、導通してしまったことが原因と考えられる。
比較例３は導電体を被覆する絶縁物がセラミックス編線被覆材であり、かつ遮断構造を有しないものであり、脱水完了時間が長く、最大蒸気圧が大幅に低くなり、水分計測正確性、蒸気圧計測正確性ともに×（合格）となった。セラミックス編線被覆材に水分が浸入して絶縁性が低下し、水分センサーにおける一対の導電体の先端部間以外の領域に電気抵抗の低い部分が生じたと考えられる。また、セラミックス編線被覆材が水分の移動経路となり、蒸気圧が低下したと考えられる。
【符号の説明】
【００３４】
１０  水分センサー
１１  金属線（導電体）
１２  セラミックス管（耐熱性を有する絶縁物）
１２ａ  貫通孔
１３  シリコーン系充填材（遮蔽構造）
１４  シリコーン樹脂
２０，２０Ａ  熱電対
２１ａ，２１ｂ  異種金属線
２２  セラミックス管（耐熱性を有する絶縁物）
２２ａ  貫通孔
２３  シリコーン系充填材（遮蔽構造）
２４  シリコーン樹脂
３０  蒸気圧計測装置用センサー
４０  被計測物
５０，６０  接続導線
【図１】
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【図２】
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