(57)【要約】      （修正有）【課題】より多くの量の液体をノズルから吐出させる技術を提供する。【解決手段】液体吐出ヘッド２６は、液体を吐出するノズルＮｚと、ノズルと連通する圧力チャンバーが第１軸方向に沿って複数並んで形成された圧力チャンバー列と、複数の圧力チャンバーに共通して連通される第１リザーバ４２ａおよび第２リザーバ４２ｂと、を備え、圧力チャンバー列は、第１リザーバと連通される第１圧力チャンバー２２１ａと、第２リザーバと連通される第２圧力チャンバー２２１ｂと、を含み、液体吐出ヘッドは、さらに、第１圧力チャンバーと前記第２圧力チャンバーとを一の前記ノズルに共通して連通させる連通流路１６を備える。【選択図】図３
2020157612.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体吐出ヘッドであって、
液体を吐出するノズルと、
前記ノズルと連通する圧力チャンバーが第１軸方向に沿って複数並んで形成された圧力チャンバー列と、
前記複数の圧力チャンバーに共通して連通される第１リザーバおよび第２リザーバと、を備え、
前記圧力チャンバー列は、前記第１リザーバと連通される第１圧力チャンバーと、前記第２リザーバと連通される第２圧力チャンバーと、を含み、
前記液体吐出ヘッドは、さらに、前記第１圧力チャンバーと前記第２圧力チャンバーとを一の前記ノズルに共通して連通させる連通流路を備える、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第１圧力チャンバーおよび前記第２圧力チャンバーと、前記連通流路と、前記一のノズルとの組は、複数備えられ、
各前記組に対応する複数の前記一のノズルは、前記第１軸方向に沿って並んで配置されてノズル列を構成する、液体吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第１圧力チャンバーから前記一の連通流路を通って前記第２圧力チャンバーへと前記液体が流れる場合において、前記各組の各前記連通流路を流れる前記液体の流れの向きは同じである、液体吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第１リザーバと前記第２リザーバとは、前記液体の吐出方向に平面視した場合に、少なくとも一部が重なるように設けられている、液体吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、さらに、
前記第１圧力チャンバーと前記第１リザーバとを接続する第１接続流路と、
前記第２圧力チャンバーと前記第２リザーバとを接続する第２接続流路と、を備え、
前記第１接続流路の流路長さは、前記第２接続流路の流路長さよりも短い、液体吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記一のノズルから前記第１圧力チャンバーまでの流路長さは、前記一のノズルから前記第２圧力チャンバーまでの流路長さよりも短い、液体吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項５に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記一のノズルと前記第１圧力チャンバーとの間の第１イナ−タンスは、前記一のノズルと前記第２圧力チャンバーとの間の第２イナ−タンスよりも小さい、液体吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項５に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第１接続流路の少なくとも一部分の流路断面積は、前記第２接続流路の流路断面積よりも小さい、液体吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項１から請求項８までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第１リザーバは、前記連通流路へと前記液体を供給する供給リザーバであり、
前記第２リザーバは、前記連通流路から前記液体を回収する回収リザーバである、液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
請求項１から請求項９までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記第１リザーバに前記液体を供給すると共に前記第２リザーバから前記液体を回収する機構と、を備える、液体吐出装置。
【請求項１１】
請求項１から請求項９までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドから吐出された液体を受ける媒体を前記液体吐出ヘッドに対して相対的に移動させる機構と、を備える、液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、ノズルから液体を吐出する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧力チャンバーの液体をノズルから吐出する技術が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−１３３９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来において、より多くの量の液体をノズルから吐出させる技術が望まれている。ここで、より多くの量の液体をノズルから吐出させるために、圧力チャンバーの体積を単純に大きくした場合、圧力チャンバーの剛性が低下する。圧力チャンバーの剛性が低下することによって、圧力チャンバーから液体への圧力の伝達が弱くなり、圧力チャンバーから液体をノズルに向けて排出する排除効率が低下する場合がある。また、圧力チャンバーの剛性の低下によって、圧電素子と圧力チャンバーとの共振周波数が低下する。これにより、圧力チャンバーの圧力応答性が低下する場合がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、液体を吐出するノズルと、前記ノズルと連通する圧力チャンバーが第１軸方向に沿って複数並んで形成された圧力チャンバー列と、前記複数の圧力チャンバーに共通して連通される第１リザーバおよび第２リザーバと、を備え、前記圧力チャンバー列は、前記第１リザーバと連通される第１圧力チャンバーと、前記第２リザーバと連通される第２圧力チャンバーと、を含み、前記液体吐出ヘッドは、さらに、前記第１圧力チャンバーと前記第２圧力チャンバーとを一の前記ノズルに共通して連通させる連通流路を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１実施形態の液体吐出装置の構成を模式的示す説明図。
【図２】液体吐出ヘッドの機能的な構成図。
【図３】液体吐出ヘッドの液体の流れを説明するための模式図。
【図４】液体吐出ヘッドの分解斜視図。
【図５】アクチュエーター基板と流路形成基板との一部を示す斜視図。
【図６】流路プレートの一部を示す分解斜視図。
【図７】液体吐出ヘッドをＹＺ平面で切断した第１部分切断図。
【図８】液体吐出ヘッドをＹＺ平面で切断した第２部分切断図。
【図９】液体吐出ヘッドの各構成をさらに説明するための図。
【図１０】振動板、流路形成基板、駆動素子と、第１リード電極、第２リード電極の位置関係を示す平面図。
【図１１】図１０の１１−１１断面図。
【図１２】図１０の１２−１２断面図。
【図１３】第１セグメント電極と第２セグメント電極の他の形成態様を説明するための図。
【図１４】第１実施形態の更に別形態を説明するための図である。
【図１５】第２実施形態の流路プレートの斜視図である。
【図１６】第２実施形態の液体吐出ヘッドの構成を説明するための第１の図。
【図１７】第２実施形態の液体吐出ヘッドの構成を説明するための第２の図。
【図１８】第３実施形態のノズルプレートの平面図。
【図１９】第３実施形態の流路プレートの一部を示す分解斜視図。
【図２０】第３実施形態の液体吐出ヘッドの構成を説明するための第１の図。
【図２１】液体吐出ヘッドの構成を説明するための第２の図。
【図２２】第４実施形態の流路プレートの一部を示す分解斜視図。
【図２３】液体吐出ヘッドの液体の流れを説明するための模式図。
【図２４】第５実施形態の液体吐出ヘッドの分解斜視図。
【図２５】液体吐出ヘッドの記録媒体と対向する側を表す平面図。
【図２６】図２５の２６−２６断面図である。
【図２７】流路形成基板と流路プレートとを平面視した場合の模式図。
【図２８】図２１に相当する図。
【図２９】図２０に相当する図。
【図３０】図２１に相当する図。
【図３１】第８実施形態の液体吐出ヘッドの機能的な構成図。
【図３２】第１駆動パルスと第２駆動パルスについて説明するための図。
【図３３】第９実施形態の液体吐出ヘッドの分解斜視図。
【図３４】一のノズルが通るＹＺ平面で液体吐出ヘッドを切断したときの断面図。
【図３５】第１０実施形態の液体吐出ヘッドの分解斜視図。
【図３６】一のノズルが通るＹＺ平面で液体吐出ヘッドを切断したときの断面図。
【図３７】第９，１０実施形態の液体吐出ヘッドの好ましい形態を説明するための図。
【図３８】第１２実施形態を説明するための図。
【図３９】第１２実施形態の別の態様を説明するための図。
【図４０】第１３実施形態の液体吐出装置を説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
Ａ．第１実施形態：
図１は、本開示の第１実施形態の液体吐出装置１００の構成を模式的示す説明図である。液体吐出装置１００は、液体の一例であるインクの液滴を媒体１２に吐出して印刷する、インクジェット方式の印刷装置である。媒体１２は、印刷用紙の他、樹脂フィルムや布等の任意の材質の印刷対象を採用可能である。図１以降の各図においては、互いに直交する第１軸方向Ｘ、第２軸方向Ｙおよび第３軸方向Ｚのうち、ノズル列方向を第１軸方向Ｘとし、ノズルＮｚからのインクの吐出方向に沿った方向を第３軸方向Ｚとし、第１軸方向Ｘと第３軸方向Ｚに直交する方向を第２軸方向Ｙとする。インクの吐出方向は、鉛直方向と平行であってもよいし、それと交差する方向でもよい。なお、液体吐出ヘッド２６の搬送方向に沿った主走査方向は第２軸方向Ｙであり、媒体１２の送り方向である副走査方向は第１軸方向Ｘとなる。以下の説明においては、説明の便宜上、主走査方向を印刷方向と、適宜称する。また、向きを特定する場合には、正の方向を「＋」、負の方向を「−」として、方向表記に正負の符合を併用する。なお、液体吐出装置１００は、媒体送り方向（副走査方向）と液体吐出ヘッド２６の搬送方向（主走査方向）とが一致する、いわゆるラインプリンタでもよい。
【０００８】
液体吐出装置１００は、液体容器１４と、流動機構６１５と、媒体１２を送り出す搬送機構７２２と、制御ユニット６２０と、ヘッド移動機構８２４と、液体吐出ヘッド２６と、を備える。液体容器１４は、液体吐出ヘッド２６から吐出される複数種のインクを個別に貯留する。液体容器１４としては、可撓性フィルムで形成された袋状の液体パックや、液体を補充可能な液体タンクなどが利用可能である。流動機構６１５は、液体容器１４と液体液体吐出ヘッド２６とを接続する流路の途中に設けられている。流動機構６１５は、ポンプであり、液体容器１４から液体吐出ヘッド２６へ液体を供給する。
【０００９】
液体吐出ヘッド２６は液体を吐出するための複数のノズルＮｚを有する。ノズルＮｚは、第１軸方向Ｘに沿って並んで配置されたノズル列を構成する。本実施形態では、１種類の液体を吐出するために２列のノズル列が用いられる。ノズルＮｚは、液体を吐出する円形のノズル開口を有する。なお、他の実施形態では、１種類の液体を吐出するために１列のノズル列が用いられてもよい。
【００１０】
制御ユニット６２０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、搬送機構７２２やヘッド移動機構８２４、液体吐出ヘッド２６を統括制御する。搬送機構７２２は、制御ユニット６２０の制御下で動作し、媒体１２を第１軸方向Ｘに沿って搬送する。つまり、搬送機構７２２は、媒体１２を液体吐出ヘッド２６に対して相対的に移動させる機構である。
【００１１】
ヘッド移動機構８２４は、媒体１２の印刷範囲に亘って第１軸方向Ｘに掛け渡された搬送ベルト２３と、液体吐出ヘッド２６を収容して搬送ベルト２３に固定するキャリッジ２５とを備える。ヘッド移動機構８２４は、制御ユニット６２０の制御下で動作し、液体吐出ヘッド２６を主走査方向に沿ってキャリッジ２５ごと往復移動させる。キャリッジ２５の往復移動の際、キャリッジ２５は図示しないガイドレールにより案内される。なお、液体容器１４を液体吐出ヘッド２６と共にキャリッジ２５に搭載したヘッド構成としてもよい。
【００１２】
液体吐出ヘッド２６は、ヘッド構成材を第３軸方向Ｚに積層した積層体である。液体吐出ヘッド２６は、ノズルＮｚの列を副走査方向に沿って並べたノズル列を備える。液体吐出ヘッド２６は、液体容器１４が貯留する液体の色ごとに用意され、液体容器１４から供給される液体を、制御ユニット６２０の制御下で、複数のノズルＮｚから媒体１２に向けて吐出する。液体吐出ヘッド２６の往復移動の間のノズルＮｚからの液体吐出により、媒体１２に所望の画像等の印刷がなされる。図１の破線で示された矢印は、液体容器１４と液体吐出ヘッド２６とのインクの移動を模式的に表している。
【００１３】
図２は、液体吐出ヘッド２６の機能的な構成図である。液体吐出ヘッド２６は、ノズル駆動回路２８と、ノズル列ＬＮｚを構成する複数のノズルＮｚと、複数の圧力チャンバー２２１と、駆動素子１１００と、を備える。
【００１４】
複数の圧力チャンバー２２１は、対応するノズルＮｚと連通し、液体を収容する。複数の圧力チャンバー２２１は、第１軸方向Ｘに沿って並んで形成された圧力チャンバー列ＬＸを構成する。複数の圧力チャンバー２２１は、隣り合う２つの圧力チャンバー２２１が一のノズルＮｚに共通して連通する。また、複数のノズルＮｚは、第１軸方向Ｘに沿って並んだノズル列ＬＮｚを構成する。図２に示す例では、ノズルＮｚ１には２つの圧力チャンバー２２１ａ１，２２１ｂ１が共通に連通し、ノズルＮｚ２には２つの圧力チャンバー２２１ａ２，２２１ｂ２が共通に連通する。また、ノズルＮｚ３には２つの圧力チャンバー２２１ａ３，２２１ｂ３が共通に連通し、ノズルＮｚ４には２つの圧力チャンバー２２１ａ４，２２１ｂ４が共有に連通する。ここで、一のノズルＮｚに共通して連通する、一方の圧力チャンバー２２１を第１圧力チャンバー２２１ａとも呼び、他方の圧力チャンバー２２１を第２圧力チャンバー２２１ｂとも呼ぶ。
【００１５】
駆動素子１１００は、複数の圧力チャンバー２２１のそれぞれに対応して設けられている。駆動素子１１００は、例えばピエゾ素子である。駆動素子１１００は、ノズル駆動回路２８と電気的に接続され、ノズル駆動回路２８から駆動パルスである電圧が印加されることで、圧力チャンバー２２１内の液体に圧力変化を生じさせる。駆動素子１１００は、圧力チャンバー２２１を区画する壁に取り付けられている。
【００１６】
複数のノズルＮｚはそれぞれ、第３軸方向Ｚにノズル開口を有する。駆動素子１１００が駆動されることで圧力チャンバー２２１の液体が押し出される。これにより、ノズル開口から液体が外部に向けて吐出される。
【００１７】
ノズル駆動回路２８は、駆動素子１１００の動作を制御する。ノズル駆動回路２８は、駆動素子１１００に対する駆動パルスの供給のＯＮとＯＦＦとを切り替えるスイッチ回路２８１を有する。スイッチ回路２８１は、各ノズルＮｚに対応して設けられている。スイッチ回路２８１Ａは、圧力チャンバー２２１ａ１、２２１ｂ１に対応して設けられた２つの駆動素子１１００の駆動を共通して制御するために用いられる。スイッチ回路２８１Ｂは、圧力チャンバー２２１ａ２，２２１ｂ２に対応して設けられた２つの駆動部２２０ａ，２２０ｂの駆動を共通して制御するために用いられる。スイッチ回路２８１Ｃは、圧力チャンバー２２１ａ３，２２１ｂ３に対応して設けられた２つの駆動素子１１００の駆動を共通して制御するために用いられる。スイッチ回路２８１ｄは、圧力チャンバー２２１ａ４，２２１ｂ４に対応して設けられた２つの駆動素子１１００の駆動を共通して制御するために用いられる。
【００１８】
ノズル駆動回路２８には、制御ユニット６２０から駆動パルスＣＯＭとパルス選択信号ＳＩとが供給される。パルス選択信号ＳＩは、印刷データＰＤに応じて生成され、駆動素子１１００の駆動部２２０に印加する駆動パルスを選択するための信号である。駆動パルスＣＯＭは、少なくとも一つの駆動パルスによって構成されている。本実施形態では、例えば、駆動パルスＣＯＭは、液体をノズルＮｚから吐出する程度に駆動素子１１００を振動させる吐出パルスと、液体を吐出しない程度にノズルＮｚ内の液体を微振動させる微振動パルスとを有する。例えば、パルス選択信号ＳＩが吐出パルスを選択する信号を示す場合には、スイッチ回路２８１は、駆動パルスＣＯＭの中から吐出パルスが駆動素子１１００に供給されるようにＯＮとＯＦＦとを切り替える。
【００１９】
図３は、液体吐出ヘッド２６の液体の流れを説明するための模式図である。図４は、液体吐出ヘッド２６の分解斜視図である。理解の容易のために図４においてノズルＮｚの数は実際の数よりも少なくしている。図４に示すように、液体吐出ヘッド２６は、ヘッド本体１１、ヘッド本体１１の一方面側に固定されたケース部材４０と、回路基板２９と、を備える。また、本実施形態のヘッド本体１１は、チャンバープレート１３と、チャンバープレート１３の一方側に設けられた流路プレート１５と、チャンバープレート１３に対して流路プレート１５とは反対側に設けられた保護基板３０と、流路プレート１５に対して流路形成基板１０とは反対側に設けられたノズルプレート２０およびコンプライアンス基板４５と、を備える。流路プレート１５は、中間プレート１５とも呼ぶ。チャンバープレート１３は、流路形成基板１０とアクチュエーター基板１１０５とが接合されることで形成されている。
【００２０】
液体吐出ヘッド２６の各構成を説明する前に、図３を用いて、液体吐出ヘッド２６の流路について説明する。以下ではノズルＮｚへと向かう液体の流れ方向を基準に説明する。図３において、液体の流れの向きは矢印の向きで示している。
【００２１】
液体吐出ヘッド２６の各ノズルＮｚは、流動機構６１５によって第１導入孔４４ａおよび第２導入孔４４ｂに供給された液体が連通する。第１導入孔４４ａおよび第２導入孔４４ｂはケース部材４０に形成されている。
【００２２】
第１導入孔４４ａに供給された液体は、ケース部材４０内の第１共通液室４４０ａを流通して第１リザーバ４２ａに流入する。第１リザーバ４２ａは、複数の第１圧力チャンバー２２１ａに共通して連通する。第１リザーバ４２ａは、流路プレート１５によって形成されている。第１リザーバ４２ａの液体は、第１個別流路１９２と第１供給流路２２４ａとを順に流通して第１圧力チャンバー２２１ａに流入する。第１個別流路１９２と第１供給流路２２４ａとは、各第１圧力チャンバー２２１ａに対応して複数設けられている。第１個別流路１９２は流路プレート１５によって形成されている。第１供給流路２２４ａおよび第１圧力チャンバー２２１ａは、流路形成基板１０によって形成されている。第１圧力チャンバー２２１ａと第１リザーバ４２ａとを接続する第１個別流路１９２および第１供給流路２２４ａが第１接続流路１９８を構成する。
【００２３】
第１圧力チャンバー２２１ａの液体は、連通流路１６を流通してノズルＮｚに至る。連通流路１６は、流路プレート１５によって形成されている。またノズルＮｚは、ノズルプレート２０によって形成されている。
【００２４】
第２導入孔４４ｂに供給された液体は、ケース部材４０内の第２共通液室４４０ｂを流通して第２リザーバ４２ｂに流入する。第２リザーバ４２ｂは、複数の第２圧力チャンバー２２１ｂに共通して連通する。第２リザーバ４２ｂは、流路プレート１５によって形成されている。第２リザーバ４２ｂの液体は、第２個別流路１９４と第２供給流路２２４ｂとを順に流通して第２圧力チャンバー２２１ｂに流入する。第２個別流路１９４と第２供給流路２２４ｂとは、各第２圧力チャンバー２２１ｂに対応して複数設けられている。第２個別流路１９４は流路プレート１５によって形成されている。第２供給流路２２４ｂおよび第２圧力チャンバー２２１ｂは、流路形成基板１０によって形成されている。第２圧力チャンバー２２１ｂと第２リザーバ４２ｂとを接続する第２個別流路１９４および第２供給流路２２４ｂが第２接続流路１９９を構成する。
【００２５】
第２圧力チャンバー２２１ｂの液体は、連通流路１６を流通してノズルＮｚに至る。このように連通流路１６は、一のノズルＮｚと連通する第１圧力チャンバー２２１ａおよび第２圧力チャンバー２２１ｂの液体が合流する流路である。第１供給流路２２４ａと第２供給流路２２４ｂとを区別することなく用いる場合には、供給流路２２４を用いる。
【００２６】
次に、図４に加え、図５〜図８を用いて液体吐出ヘッド２６の詳細構成について説明する。図５は、アクチュエーター基板１１０５と流路形成基板１０との一部を示す斜視図である。図６は、流路プレート１５の一部を示す分解斜視図である。図７は、液体吐出ヘッド２６を第２軸方向Ｙと第３軸方向Ｚに平行なＹＺ平面で切断した第１部分切断図である。図８は、液体吐出ヘッド２６を第２軸方向と第３軸方向Ｚに平行なＹＺ平面で切断した第２部分切断図である。図７および図８には、図４に示す２列のノズル列のうちで一方のノズル列に対応する各要素について図示しているが、他方のノズル列に対応する各要素も同様の構成である。
【００２７】
図４に示すように、ケース部材４０は、平面視において流路プレート１５と略同一形状である矩形形状を有する。ケース部材４０は、合成樹脂や金属などを用いて形成できる。本実施形態では、ケース部材４０は、低コストで量産可能な合成樹脂を用いて形成している。ケース部材４０は、アクチュエーター基板１１０５および流路プレート１５に接合されている。ケース部材４０は、流路形成基板１０およびアクチュエーター基板１１０５が収容される深さの凹部を有する。図７に示すように、ケース部材４０の凹部に流路形成基板１０などが収容された状態で、凹部のノズルプレート２０側の開口面が、流路プレート１５によって封止されている。
【００２８】
図４に示すように、ケース部材４０のうち、ノズルプレート２０が位置する側とは反対側の面には第１導入孔４４ａと第２導入孔４４ｂとが２つずつ形成されている。第１導入孔４４ａと第２導入孔４４ｂとを区別することなく用いる場合には、導入孔４４とも呼ぶ。図７に示すように、ケース部材４０の内側には、ノズルＮｚからの液体の吐出方向に沿った方向である第３軸方向Ｚに沿って延びる、第１共通液室４４０ａおよび第２共通液室４４０ｂが形成されている。
【００２９】
図４に示すように、コンプライアンス基板４５は、可撓部材４６と固定基板４７とを有する。可撓部材４６と固定基板４７とは接着剤によって接着されている。
【００３０】
固定基板４７は、ステンレス鋼などの金属などの可撓部材４６よりも硬質の材料で形成されている。固定基板４７は枠状の部材であり、枠の内側にはノズルプレート２０が配置される。固定基板４７は、流路プレート１５に形成された第２リザーバ４２ｂの、ノズルプレート２０側の開口を封止する。
【００３１】
可撓部材４６は、可撓性を有する材料で形成されている。可撓部材４６は枠状であり、枠の内側には、ノズルプレート２０が配置される。可撓部材４６は、可撓性を有するフィルム状の薄膜、例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、芳香族ポリアミドなどにより形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜である。可撓部材４６は、第２リザーバ４２ｂの一壁を形成している平面状の吸振体である。可撓部材４６は、第２リザーバ４２ｂにおける圧力の変化を吸収する機能を果たす。
【００３２】
図４に示すように、流路形成基板１０は、第２軸方向Ｙに間隔を開けて２つ設けられている。２つの流路形成基板１０の一方は、一方のノズル列のノズルＮｚに供給する液体を収容し、他方は他方のノズル列のノズルＮｚに供給する液体を収容する。流路形成基板１０の基材は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）やニッケル（Ｎｉ）などの金属、ジルコニア（ＺｒＯ２）あるいはアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、ランタンアルミン酸（ＬａＡｌＯ３）のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０の基材は、シリコン単結晶である。
【００３３】
図５に示すように、流路形成基板１０は板状部材である。流路形成基板１０は、アクチュエーター基板１１０５と向かい合う面２２６と、流路プレート１５と向かい合う第１面２２５とを有する。流路形成基板１０は、第１面２２５から面２２６に亘って貫通する孔によって、供給流路２２４と圧力チャンバー２２１とが形成されている。なお、供給流路２２４と圧力チャンバー２２１とは、少なくとも第１面２２５側が開口する凹部として形成されていればよい。すなわち、供給流路２２４と圧力チャンバー２２１とは、少なくとも第１面２２５側に形成されていればよい。
【００３４】
複数の圧力チャンバー２２１は、第１軸方向Ｘに並んで設けられている。また、複数の供給流路２２４は、第１軸方向に並んで設けられている。圧力チャンバー２２１および供給流路２２４は、流路形成基板１０の第１面２２５側から異方性エッチングすることにより形成されている。隣り合う第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂの間、および、隣り合う第１供給流路２２４ａと第２供給流路２２４ｂとの間には、隔壁２２２が設けられている。
【００３５】
面２２６には、アクチュエーター基板１１０５が接合されている。これにより、圧力チャンバー２２１および供給流路２２４の面２２６側の開口は、アクチュエーター基板１１０５によって封止される。
【００３６】
図５に示すように、供給流路２２４内には、貫通孔を区画する一側面から対向する他の側面に向かって突出する突出部２２７を有する。突出部２２７によって、突出部２２７の下流端２２３は他の部分よりも流路幅が狭くなっている。下流端２２３は圧力チャンバー２２１に接続されている。
【００３７】
アクチュエーター基板１１０５は、振動板２１０と、駆動素子１１００と、保護層２８０とを備える。振動板２１０は、弾性層２１０ａと、弾性層２１０ａ上に配置された絶縁層２１０ｂとを有する。振動板２１０は、例えば以下のように形成される。すなわち、振動板２１０の弾性層２１０ａを、圧力チャンバー２２１や供給流路２２４側形成される前の流路形成基板１０の面２２６上にスパッタ法などによって形成する。次に、絶縁層２１０ｂを弾性層２１０ａ上にスパッタ法などによって形成する。弾性層２１０ａは酸化ジルコニウムを用い、絶縁層２１０ｂは酸化シリコンを用いてもよい。
【００３８】
駆動素子１１００は、振動板２１０の面２１１上に配置されている。駆動素子１１００は、圧電特性を有する圧電体層と、圧電体層の両面を挟むように配置された共通電極およびセグメント電極と、を有する。駆動素子１１００を駆動する場合には、共通電極には、基準電位となるバイアス電圧が供給される。一方で、駆動素子１１００を駆動する場合には、セグメント電極には、スイッチ回路２８１がＯＮになることで駆動パルスＣＯＭの中から選択された駆動パルスが供給される。
【００３９】
保護層２８０は、駆動素子１１００上に配置され、駆動素子１１００の一部を覆う。保護層２８０は、絶縁性を有し、酸化物材料、窒化物材料、感光性樹脂材料および有機−無機ハイブリット材料の少なくとも１つから形成されてもよい。例えば、保護膜８０は、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）または酸化シリコン（ＳｉＯ２）などの酸化物材料から形成されてもよい。保護層２８０は、後述する上部電極である共通電極の一部を露出させる開口部８１を有していてもよい。平面視において、開口部８１の少なくとも一部は、複数の圧力チャンバー２２１と重なる位置に形成されている。
【００４０】
また、アクチュエーター基板１１０５は、共通電極に接続されるリード電極と、下部電極であるセグメント電極に接続されるリード電極とを有する。なお、アクチュエーター基板１１０５の詳細は後述する。
【００４１】
図４および図６に示すように、流路プレート１５は、ノズルプレート２０と向かい合うプレート第１面１５７と、流路形成基板１０と向かい合う第２面としてのプレート第２面１５８とを有する。流路プレート１５は、平面視で矩形状であり、流路形成基板１０よりも大きな面積を有する。図７に示すように、プレート第２面１５８は、流路形成基板１０の第１面２２５に接合されている。
【００４２】
図６に示すように、流路プレート１５は、第１流路プレート１５ａと第２流路プレート１５ｂとの２枚のプレートが積層されることで形成されている。第１流路プレート１５ａは、流路形成基板１０側に位置し、プレート第２面１５８を有する。第２流路プレート１５ｂは、ノズルプレート２０側に位置し、プレート第１面１５７を有する。第１流路プレート１５ａと第２流路プレート１５ｂのそれぞれの基材は、ステンレス鋼やニッケルなどの金属、またはジルコニウムなどのセラミックスなどを用いることができる。なお、流路プレート１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料で形成されていることが好ましい。すなわち、流路プレート１５と流路形成基板１０との線膨張係数が大きく異なる場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と流路プレート１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、流路プレート１５の基材として流路形成基板１０の基材と同じ、すなわち、シリコン単結晶基板を用いている。これにより、流路形成基板１０と流路プレート１５との線膨張係数を同程度にできるので、熱による反りや熱によるクラック、剥離などの発生を抑制することができる。
【００４３】
図４に示すように、流路プレート１５は、第１リザーバ４２ａと、第２リザーバ４２ｂと、第１個別流路１９２と、第２個別流路１９４と、連通流路１６と、を有する。
【００４４】
図６に示すように、第１リザーバ４２ａは、第１流路プレート１５ａを平面視方向であるＺ軸方向に貫通する貫通孔によって形成されている。第１リザーバ４２ａは、第１軸方向Ｘに沿って延びる。図４および図８に示すように第１リザーバ４２ａは、複数の第１個別流路１９２を介して、複数の圧力チャンバー２２１と共通して連通する。本実施形態では、第１リザーバ４２ａは、複数の第１個別流路１９２を介して複数の第１圧力チャンバー２２１ａに接続されることで、複数の第１圧力チャンバー２２１ａに共通して連通する。
【００４５】
図６に示すように、第２リザーバ４２ｂは、第１流路プレート１５ａと第２流路プレート１５ｂとを平面視方向である第３軸方向Ｚに貫通する第１開口４２ｂ１および第２開口４２ｂ２と、第２軸方向Ｙについて、第２開口４２ｂ２から第２別流路１９４側に向かって延びる開口部４２ｂ３とによって形成されている。第２リザーバ４２ｂは、第１軸方向Ｘに沿って延びる。第１開口４２ｂ１と第２開口４２ｂ２とは、平面視方向で重ね合わされる。第１開口４２ｂ１と第２開口４２ｂ２とはそれぞれ、平面視において、同じ大きさの矩形状である。第２リザーバ４２ｂは、複数の第２個別流路１９４を介して、複数の圧力チャンバー２２１と共通して連通する。本実施形態では、第２リザーバ４２ｂは、複数の第２個別流路１９４を介して複数の第２圧力チャンバー２２１ｂに接続されることで、複数の第２圧力チャンバー２２１ｂに共通して連通する。
【００４６】
図６に示すように、第１個別流路１９２は、第１流路プレート１５ａに形成された平面視方向である第３軸方向Ｚに貫通する貫通孔である。第１個別流路１９２は、平面視において矩形状である。図８に示すように、第１個別流路１９２は、第１リザーバ４２ａの下流端に接続されている。第１個別流路１９２は、第１リザーバ４２ａと第１供給流路２２４ａとを接続する。
【００４７】
図６に示すように、第２個別流路１９４は、第１流路プレート１５ａを平面視方向である第３軸方向Ｚに貫通する第１プレート貫通孔１９４ａと、第２流路プレート１５ｂを平面視方向である第３軸方向Ｚに貫通する第２プレート貫通孔１９４ｂとによって形成されている。第１プレート貫通孔１９４ａと第２プレート貫通孔１９４ｂとは、平面視方向で重ね合わされる。第１プレート貫通孔１９４ａと第２プレート貫通孔１９４ｂとはそれぞれ、平面視において、同じ大きさの矩形状である。図７に示すように、第２個別流路１９４は、第２リザーバ４２ｂの下流端に接続される。第２個別流路１９４は、第２リザーバ４２ｂと第２供給流路２２４ｂとを接続する。
【００４８】
図６に示すように、連通流路１６は、第１流路プレート１５ａを平面視方向である第３軸方向Ｚに貫通する第１貫通孔流路１６２と、第２流路プレート１５ｂを平面視方向である第３軸方向Ｚに貫通する第２貫通孔流路１６４とによって形成されている。連通流路１６は、第１軸方向Ｘに沿って複数設けられている。第１貫通孔流路１６２と第２貫通孔流路１６４とは平面視において同じ大きさの矩形状であり、平面視において重ね合わされる。連通流路１６は、一つの第１個別流路１９２と一つの第２個別流路１９４とに共通して接続される。連通流路１６は、隣り合う第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂの組に対して一つ設けられている。つまり、一つの連通流路１６は、隣り合う第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとを一のノズルＮｚに連通させる。流路プレート１５のプレート第２面１５８には、連通流路１６の開口１６３が形成されている。第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂのそれぞれの液体は、開口１６３を介して連通流路１６に流入する。
【００４９】
図７に示すように、保護基板３０は、駆動素子１１００を保護するための空間である凹部１３１を有する。保護基板３０は、ケース部材４０に接合されている。保護基板３０は、貫通孔３２を有する。貫通孔３２には、配線部材１２１が挿通されている。ケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属などを用いることができる。なお、ケース部材４０として、樹脂材料を成形することにより、低コストで量産することができる。
【００５０】
図４に示すように、ノズルプレート２０は、板状部材であり、流路プレート１５が位置する側とは反対側の第１面２１と、流路プレート１５側の第２面２２とを備える。ノズルプレート２０は、複数のノズルＮｚを有する。複数のノズルＮｚは、第１軸方向Ｘに沿って並んだノズル列を２列形成する。ノズルＮｚは、ノズルプレート２０を平面視方向である第３軸方向Ｚに貫通する貫通孔によって形成されている。ノズルＮｚの平面視は円形状である。一のノズルＮｚは、一の第１圧力チャンバー２２１ａと一の第２圧力チャンバー２２１ｂとに共通して連通する。
【００５１】
回路基板２９は、配線部材１２１とノズル駆動回路２８とを有する。配線部材１２１は、駆動素子１１００に電気信号を供給するための部材である。配線部材１２１は、複数の駆動素子１１００と制御ユニット６２０に電気的に接続されている。配線部材１２１は、可撓性を有するシート状のもの、例えば、ＣＯＦ基板などを用いることができる。なお、配線部材１２１には、ノズル駆動回路２８を設けなくてもよい。つまり、配線部材１２１は、ＣＯＦ基板に限定されず、ＦＦＣ、ＦＰＣなどであってもよい。配線部材１２１は、後述するリード電極によって駆動素子１１００と電気的に接続されている。また配線部材１２１は、複数のリード電極と電気的に接続される複数の端子１２３を有する。
【００５２】
ヘッド本体１１を構成する上述の流路形成基板１０やノズルプレート２０は、単一の板状部材であったが、複数のプレートが積層されて形成されていてもよい。また、上述の流路プレート１５は、第１流路プレート１５ａと第２流路プレート１５ｂとが積層されることで形成されていたが、単一のプレートによって形成されていてもよいし、３つ以上のプレートが積層されることで形成されていてもよい。
【００５３】
図９は、液体吐出ヘッド２６の各構成をさらに説明するための図である。図９は、流路形成基板１０と流路プレート１５とを第３軸方向Ｚのマイナス側から平面視した場合の模式図である。隣り合う第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとの間の隔壁２２２のうち、第１領域Ｒ１は、流路プレート１５のプレート第２面１５８に接合されている。これにより、第１領域Ｒ１は、流量プレート１５によって動きが拘束される。図９において、第１領域Ｒ１にはシングルハッチングを付している。また、隔壁２２２のうち第２領域Ｒ２は、平面視において一の連通流路１６の開口１６３と重なっている。つまり、第２領域Ｒ２は、プレート第２面１５８とは接合されていない領域である。隔壁２２２を第２面１５８に接合して拘束した場合、拘束した領域において隔壁２２２の変形がしにくくなるため、圧力チャンバー２２１自体のコンプライアンスが小さくなってノズルＮｚからの液体の吐出効率を向上させる作用をもたらす。コンプライアンスとは、圧力に対する変形のしやすさを表す物理量である。このような作用をもたらす理由は以下のとおりである。つまり、圧力チャンバー２２１のコンプライアンスがより小さくなれば、圧力チャンバー２２１で発生させた圧力のうちで、圧力チャンバー２２１自身の変形により吸収される割合が減るため、ノズルＮｚへと向かう液流が相対的に増すからである。一方、隔壁２２２を連通流路１６の開口１６３と重なるようにした場合、連通流路１６のイナ−タンスを小さくできる。イナ−タンスは、瞬間的な液体の流れやすさを決定するパラメーターである。イナ−タンスが小さくなれば、液体は流れやすくなる。イナ−タンスは、流路長や流路断面などの流路の構造によって決まる。イナ−タンスは、流路断面積が小さいほど大きくなる。よって、連通流路１６の開口１６３を隔壁２２２の第２領域Ｒ２と重なるように形成することで、連通流路１６の流路断面積をより大きくできる。これにより、連通流路１６のイナ−タンスを小さくできるので、圧力チャンバー２２１から連通流路１６を介してノズルＮｚへと液体を円滑に流通させることができる。よって、ノズルＮｚからの液体の吐出効率を向上させる作用をもたらす。すなわち、隔壁２２２を第２面１５８で拘束して第１領域Ｒ１とするか、連通流路１６の開口１６３と重ねて第２領域Ｒ２とするかの選択は、ノズルＮｚからの吐出効率に関して原理の異なる向上効果をもたらすところ、本構成は両方の領域を合わせ持つことでより優れた吐出効率の向上効果を奏する。
【００５４】
また、隔壁２２２は、第２軸方向Ｙに沿って延びている。ここで、第２領域Ｒ２の第２軸方向の長さＬ２は、第１領域Ｒ１の第２軸方向Ｙの長さＬ１の半分以下であることが好ましい。長さＬ２がこれより大きくなると、相対的に第１領域Ｒ１が小さくなり、圧力チャンバー２２１のコンプライアンス上昇による吐出効率低下の影響が著しくなる場合があるためである。すなわちこうすることで、上述した吐出効率の向上効果は特別に優れたものとなる。
【００５５】
また、第２領域Ｒ２の第２軸方向Ｙの長さＬ２は、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂのそれぞれの第１軸方向Ｘの幅Ｗ以上であることが好ましい。長さＬ２がこれより小さくなると連通流路１６のイナ−タンス低減の効果が十分に得られない場合があるためである。すなわちこうすることで、上述した吐出効率の向上効果は特別に優れたものとなる。
【００５６】
また、隣り合う第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとは、平面視で第１仮想線Ｌｎ１に実質的に線対称に形成され、連通流路１６は平面視で第１仮想線Ｌｎ１に実質的に線対称に形成されることが好ましい。第１仮想線Ｌｎ１は、第１軸方向Ｘにおいて、隣り合う第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとの間に位置する。こうすることで、第１圧力チャンバー２２１ａから連通流路１６へと伝達され圧力波と、第２圧力チャンバー２２１ｂから連通流路１６へと伝達される圧力波との大きさの偏りを抑制できる。これにより、第１圧力チャンバー２２１ａから連通流路１６に流入する液体の量と、第２圧力チャンバー２２１ｂから連通流路１６に流入する液体の量に偏りが生じることを抑制できる。
【００５７】
なお、本開示において「実質的に線対称」とは、完全な線対称に加え、製造上生じ得る非対称も含む意味である。例えば、異方性エッチングによって圧力チャンバー２２１を形成する場合、圧力チャンバー２２１の側壁に段差や凹凸が生じたり、図９に示すように側壁が傾斜したりして、平面視において完全な長方形状には形成できない。また、突出部２２７が形成されるために、圧力チャンバー２２１のうちで突出部２２７付近の側壁は傾斜したりする。また、異方性エッチングによって連通流路１６を形成する場合においても、連通流路１６の側壁に段差や凹凸が生じたりする。よって、第１仮想線Ｌｎ１に線対称となるように、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂを製造したり、連通流路１６を製造したりした場合でも、実際には多少非対称となる場合が生じ得る。本開示では、この場合においても「実質的に線対称」とみなす。
【００５８】
また図９に示すように、隣り合う第１圧力チャンバー２２１ａおよび第２圧力チャンバー２２１ｂと連通するノズルＮｚは、平面視で第１仮想線Ｌｎ１と重なるように配置されることが好ましい。こうすることで、第１圧力チャンバー２２１ａからノズルＮｚへと伝達される圧力波と、第２圧力チャンバー２２１ｂからノズルＮｚへと伝達される圧力波との大きさの偏りを抑制できる。これにより、第１圧力チャンバー２２１ａから連通流路１６を介してノズルＮｚに流入する液体の量と、第２圧力チャンバー２２１ｂから連通流路１６を介してノズルＮｚに流入する液体の量に偏りが生じることを抑制できる。本実施形態では、平面視でノズルＮｚの中心Ｃｅは第１仮想線Ｌｎと重なる。
【００５９】
図１０は、振動板２１０、流路形成基板１０、駆動素子１１００、第１リード電極２７０、第２リード電極２７６の位置関係を示す平面図である。図１１は、図１０の１１−１１断面図である。図１２は、図１０の１２−１２断面図である。
【００６０】
図１０〜図１２に示すように、駆動素子１１００は、面２１１において、第２軸方向Ｙに延びるように形成された複数のセグメント電極２４０と、圧電体層２５０と、共通電極２６０とを備える。圧電体層２５０は、平面視において、複数のセグメント電極２４０の少なくとも一部が重なり、かつ、複数のセグメント電極２４０を覆うように形成された第１部分２５１と、第１部分２５１以外の第２部分２５２とを有する。
【００６１】
図１１および図１２に示すように、振動板２１０は、可動領域２１５を有する。可動領域２１５は、平面視において圧力チャンバー２２１と重なる領域である。可動領域２１５は、圧力チャンバー２２１ごとに形成されている。本実施形態では、複数の可動領域２１５は、第１軸方向Ｘに並んで配置されている。振動板２１０のうち、隣り合う可動領域２１５の間は不動領域２１６である。図１１に示すように、不動領域２１６の下方には、流路形成基板１０の隔壁２２２が配置されている。
【００６２】
図１１および図１２に示すように、セグメント電極２４０は、少なくとも可動領域２１５において、第２軸方向Ｙに沿って延びる。本実施形態では、セグメント電極２４０は、第２軸方向における一方の端部が可動領域２１５内に形成され、他方の端部が可動領域２１５外に形成されている。
【００６３】
セグメント電極２４０は、導電性を有する層であり、駆動素子１１００において下部電極を構成する。セグメント電極２４０は、例えば、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）などのいずれかを含む金属層であってもよい。
【００６４】
また、図１０においては、便宜的に省略したが、図１１および図１２に示すように、面２１１において、圧電体層２５０の第２部分２５２が形成される領域において、セグメント電極２４０と同じ材質からなる下地層２４１が形成されている。下地層２４１は、電圧が印加されない導電層であって、上方に圧電体層２５０を形成する際に、圧電体の結晶成長を制御するために形成される導電層である。これによれば、圧電体層２５０の結晶方向が均一となり、駆動素子１１００の信頼性が向上する。
【００６５】
図１０〜図１２に示すように、圧電体層２５０は、振動板２１０の面２１１に形成された板状の部材である。圧電体層２５０は、振動板２１０の一部を露出させるための、第１部分２５１と第２部分２５２とを区画する複数の開口部２５６を有する。第１部分２５１は、可動領域２１５において第２軸方向Ｙに沿って延び、セグメント電極２４０の一部を覆っている。また図１２に示すように、圧電体層２５０は、セグメント電極２４０上にて開口する複数の開口部２５７を有する。圧電体層２５０は、圧電特性を有した多結晶体からなり、駆動素子１１００において印加されることにより変形することができる。圧電体層２５０の構造及び材料は、圧電特性を有していればよく、特に限定されない。圧電体層２５０は、公知の圧電材料から形成されればよく、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ３）、チタン酸ビスマスナトリウム（（Ｂｉ、Ｎａ）ＴｉＯ3）などを用いてもよい。
【００６６】
共通電極２６０は、平面視において、可動領域２１５の少なくとも一部を覆うように形成されている。図１１に示すように共通電極２６０は、第１軸方向Ｘにおいて、複数の圧電体層２５０の第１部分２５１を連続して覆うように形成されている。また図１２に示すように、共通電極２６０は、平面視において可動領域２１５と重ならない領域において、第１リード電極２７０と電気的に接続されている。共通電極２６０は導電性を有した層からなり、駆動素子１１００において上部電極を構成する。共通電極２６０は、例えば、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、金（Ａｕ）などを含む金属層であってもよい。
【００６７】
駆動素子１１００は、各圧力チャンバー２２１に対応して設けられた駆動部２２０を有する。駆動部２２０は、圧力チャンバー２２１上において、圧電体層２５０が共通電極２６０とセグメント電極２４０とによって挟まれた部分である。セグメント電極２４０に駆動パルスである電圧が印加されることで駆動部２２０が変形して圧力チャンバー２２１に圧力が加えられる。ここで、第１圧力チャンバー２２１ａの液圧を可変させるために、第１圧力チャンバー２２１ａ上に配置された駆動部２２０を第１駆動部２２０ａとも呼ぶ。また、第２圧力チャンバー２２１ｂの液圧を可変させるために、第２圧力チャンバー上２２１ｂ上に配置された駆動部を第２駆動部２２０ｂとも呼ぶ。
【００６８】
第１リード電極２７０は、圧電体層２５０の第２部分２５２において、共通電極２６０と電気的に接続される。また第１リード電極２７０は、図４に示すノズル駆動回路２８と図示しない配線を介して電気的に接続される。第１リード電極２７０は、導電性を有する材料によって形成される。
【００６９】
図１２に示すように、第２リード電極２７６は、開口部２５７内のセグメント電極２４０と電気的に接続されるように形成される。第２リード電極２７６は、開口部２５７内に位置する導電膜である下地層２７６ａと、下地層２７６ａに電気的に接続するように形成された配線層２７６ｂとを有する。製造過程において、下地層２７６ａはセグメント電極２４０の保護膜として機能することで、セグメント電極２４０が製造過程において損傷することを抑制できる。第２リード電極２７６は、導電性を有する材料によって形成される。各第２リード電極２７６は、配線部材１２１に設けられた対応する各端子１２３と電気的に接続される。
【００７０】
上記のごとく、チャンバープレート１３は、第１軸方向Ｘに沿って並んだ複数の圧力チャンバー２２１と、各圧力チャンバー２２１に対応して設けられた駆動素子１１００の駆動部２２０と、駆動素子１１００に電気信号である駆動パルスＣＯＭを供給するための複数の第２リード電極２７６とを有する。また、図１２に示すように、回路基板２９は、第２リード電極２７６上で接続される端子１２３を有する。
【００７１】
ここで、駆動素子１１００を構成する複数のセグメント電極２４０のうちで、平面視で第１圧力チャンバー２２１ａと重なり、第２圧力チャンバー２２１ｂと重ならないように形成された電極を第１セグメント電極２４０ａとする。また複数のセグメント電極２４０のうちで、平面視で、第２圧力チャンバー２２１ｂと重なり、第１圧力チャンバー２２１ａと重ならないように形成された電極を第２セグメント電極２４０ｂとする。
【００７２】
本実施形態では、図１０に示すように、第２リード電極２７６の配線層２７６ｂは、第１個別配線２７７ａと第２個別配線２７７ｂと合流配線２７６ｃと接続配線２７７ｄとを有する。第１個別配線２７７ａは、第１セグメント電極２４０ａと開口部２５７内で接続されている。第２個別配線２７７ｂは、第２セグメント電極２４０ｂと開口部２５７内で接続されている。合流配線２７７ｃは、第１個別配線２７７ａと第２個別配線２７７ｂとを接続する配線であり、第１軸方向Ｘに延びる。接続配線２７７ｄは、合流配線２７７ｃから端子１２３側に向かって延びる配線であり、端子１２３に接続される。これにより、第１セグメント電極２４０ａおよび第２セグメント電極２４０ｂは、共通する一の第２リード電極２７６に電気的に接続される。
【００７３】
リード電極としての第２リード電極２７６の第１軸方向Ｘの最大幅Ｗ２７６は、ノズル列のノズルピッチＰＮの５０％以上８０％以下であることが好ましい。こうすることで、第２リード電極２７６内を流れる電流のバラツキを低減できる。またこうすることで、隣り合う２つの第２リード電極２７６間の間隔を十分に確保し易くなるので、短絡の発生を抑制できる。なお、本実施形態では、ノズルピッチＰＮは、１５０ｄｐｉとなるピッチである。
【００７４】
上記のごとく、駆動素子１１００により近い位置である第２リード電極２７６によって、第１セグメント電極２４０ａと第２セグメント電極２４０ｂへの電気信号の配線を共通化できる。これにより、駆動素子１１００において、ノズル駆動回路２８から第１セグメント電極２４０ａまでの配線インピーダンスと、ノズル駆動回路２８から第２セグメント電極２４０ｂまでの配線インピーダンスとのバラツキを低減できる。よって、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとから、より均等に液体をノズルＮｚに供給できるので、ノズルＮｚの吐出特性がばらつく可能性を低減できる。
【００７５】
上記第１実施形態では、一のノズルＮｚに連通する第１圧力チャンバー２２１ａに対応して設けられた第１セグメント電極２４０ａと、一のノズルＮｚに連通する第２圧力チャンバー２２１ｂに設けられた第２セグメント電極２４０ｂとは、第１軸方向Ｘに間隔を開けて配置された別電極であった。しかしながら、第１セグメント電極２４０ａと第２セグメント電極２４０ｂとの形成態様はこれに限定されるものではない。
【００７６】
以下に図１３を用いて、第１セグメント電極２４０ａと第２セグメント電極２４０ｂとの他の形成態様について説明する。図１３は、第１セグメント電極２４０ａと第２セグメント電極２４０ｂの他の形成態様を説明するための図である。図１３は、図１０に相当する図である。図１３に示すように一のノズルＮｚに対応して設けられた第１セグメント電極２４０ａと第２セグメント電極２４０ｂとは、共通する電極層２４０Ｔの一部として形成されている。電極層２４０Ｔは、第１軸方向Ｘにおいて、一のノズルＮｚに対応して設けられた第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとの組ごとに、間隔を開けて配置されている。電極層２４０Ｔの外形は、図１３において太字の点線で示されている。図示しない圧電体層２５０は、電極層２４０Ｔと共通電極２６０とによって挟まれるように配置されている。電極層２４０Ｔのうち、第１圧力チャンバー２２１ａ上に位置する部分が第１セグメント電極２４０ａとして機能し、第２圧力チャンバー２２１ｂ上に位置する部分が第２セグメント電極として機能する。
【００７７】
図１０および図１３において、第１セグメント電極２４０ａと第２セグメント電極２４０ｂとは、平面視で、第１仮想線Ｌｎ１に実質的に線対称に形成されていることが好ましい。また、一の第２リード電極２７６は、平面視で第１仮想線Ｌｎ１を跨ぐように形成されていることが好ましい。こうすることで、ノズル駆動回路２８から第１セグメント電極２４０ａまでの配線インピーダンスと、ノズル駆動回路２８から第２セグメント電極２４０ｂまでの配線インピーダンスとのバラツキを低減できる。
【００７８】
図１４は、第１実施形態の更に別形態を説明するための図である。図１４は、図１０に相当する図である。図１４に示すように、端子１２３と第２リード電極２７６とは、平面視で第１仮想線Ｌｎ１と重なる位置で接続されていることが好ましい。図１４に示す形態では、平面視で接続配線２７７ｄが第１仮想線Ｌｎ１に重なる位置で第２軸方向Ｙに沿って端子１２３まで延びている。こうすることで、ノズル駆動回路２８から第１セグメント電極２４０ａまでの配線インピーダンスと、ノズル駆動回路２８から第２セグメント電極２４０ｂまでの配線インピーダンスとのバラツキをさらに低減できる。
【００７９】
上記のごとく第１実施形態では、図２および図３に示すように、液体吐出ヘッド２６は、圧力チャンバー列ＬＸを構成する複数の圧力チャンバー２２１に共通して連通される第１リザーバ４２ａおよび第２リザーバ４２ｂを備える。また、圧力チャンバー列ＬＸは、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとを含む。図３に示すように、第１圧力チャンバー２２１ａは、第１個別流路１９２および第１供給流路２２４ａを介して第１リザーバ４２ａと連通される。また第２圧力チャンバー２２１ｂは、第２個別流路１９４および第２供給流路２２４ｂを介して第２リザーバ４２ｂと連通される。また上述のごとく、液体吐出ヘッド２６は、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとを一のノズルＮｚに共通して連通させる連通流路１６を備える。これにより、２つの圧力チャンバー２２１ａ，２２１ｂから一のノズルＮｚに向けて液体を供給できるので、小型で液体の吐出効率が向上した液体吐出ヘッド２６が提供される。また、流動機構６１５の動作や、駆動素子１１００の動作を制御して、連通流路１６を介して第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとの間で液体を循環させることでノズルＮｚ近傍の液体を効率的に、周囲に位置する液体と置換できる。これにより、ノズルＮｚ近傍の液体が乾燥して粘度が上昇することで生じ得る、液体の吐出不良の発生を抑制できる。
【００８０】
また、図３に示すように、液体吐出ヘッド２６は、第１圧力チャンバー２２１ａおよび第２圧力チャンバー２２１ｂと、連通流路１６と、一のノズルＮｚとの組を複数備える。また図４に示すように、各組に対応する複数の一のノズルＮｚは、第１軸方向Ｘに沿って並んで配置されたノズル列を構成する。
【００８１】
本実施形態では、第１リザーバ４２ａと第２リザーバ４２ｂとからそれぞれ液体が供給される態様で説明してきたが、後述の第１３実施形態のように、同じ液体吐出ヘッド２６をいわゆる液体循環ヘッドとして用いることがある。このような場合、例えば、図３の点線の矢印の向きで示すように、第１圧力チャンバー２２１ａから一の連通流路１６を通って第２圧力チャンバー２２１ｂへと液体が流れる場合において、各組の連通流路１６を流れる液体の向きは同じである。図３に示す例では、各連通流路１６における液体は、第１軸方向Ｘのうち一方側から他方側へ向かって流れる。ここで、液体を第１圧力チャンバー２２１ａから連通流路１６を通って第２圧力チャンバー２２１ｂへと流した場合、つまり、第２圧力チャンバー２２１ｂから第２リザーバ４２ｂ、第２共通液室４４０ｂを通って液体を液体容器１４に戻す場合には、以下の現象が生じ得る。つまり、ノズルＮｚ近傍の流れに起因して、ノズルＮｚから吐出される液体の向きがノズルＮｚの開口方向である第３軸方向Ｚに対してズレる場合がある。よって、各連通流路１６の流れの向きを揃えることで、各ノズルＮｚから吐出される液体の向きのバラツキの程度を小さくできる。
【００８２】
また、図６および図７に示すように、第１リザーバ４２ａと第２リザーバ４２ｂとは、液体の吐出方向に平面視、つまり、第３軸方向Ｚのプラス側に向かって見た場合に、少なくとも一部が重なっている。本実施形態では、第１リザーバ４２ａと、第２リザーバ４２ｂの開口部４２ｂ３とが重なっている。こうすることで、液体吐出ヘッド２６が水平方向に大型化することを抑制できる。
【００８３】
また、図７および図８に示すように、第３軸方向Ｚに沿って延びる第１個別流路１９２は、第３軸方向Ｚに沿って延びる第２個別流路１９４よりも流路長が短い。これにより、第１接続流路１９８は第２接続流路１９９よりも流路長が短い。
【００８４】
また上記第１実施形態によれば、第１圧力チャンバー２２１ａと、第２圧力チャンバー２２１ｂと、一のノズルＮｚと、一の第２リード電極２７６との組は、ノズル列を構成するノズルＮｚの数だけ複数備えられている。また、各組に対応する複数のノズルＮｚは、図４に示すように第１軸方向Ｘに沿って並んで配置されてノズル列を構成する。
【００８５】
また、上記第１実施形態によれば、図３に示すように、第１圧力チャンバー２２１ａと第１リザーバ４２ａとは第１接続流路１９８を介して接続され、第２圧力チャンバー２２１ｂと第２リザーバ４２ｂとは第２接続流路１９９を介して接続されている。つまり、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとが別のリザーバに接続されている。これにより、例えば、第１リザーバ４２ａを連通流路１６に液体を供給する供給リザーバとして機能させ、第２リザーバ４２ｂを連通流路１６から液体を回収する回収リザーバとして機能させることができる。回収リザーバの液体は、第２共通液室４４０ｂを介して液体容器１４に戻してもよい。つまり、液体容器１４と液体吐出ヘッド２６との間で液体を循環させてもよい。液体の循環は、流動機構６１５の動作を制御することで行われてもよい。
【００８６】
以上説明した第１実施形態によれば、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂが一のノズルＮｚと連通することで、個々の圧力チャンバー２２１の体積が大きくなることを抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることが可能となる。つまり、液体がノズルＮｚから吐出される排除効率の低下を抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることができる。
【００８７】
Ｂ．第２実施形態：
図１５は、第２実施形態の流路プレート１５０の斜視図である。図１６は、第２実施形態の液体吐出ヘッド２６ａの構成を説明するための第１の図である。図１７は、第２実施形態の液体吐出ヘッド２６ａの構成を説明するための第２の図である。図１６は、流路形成基板１０と流路プレート１５０とを−第３軸方向Ｚ側から平面視したときの模式図である。図１７は、ノズルプレート２０のノズルＮｚと、圧力チャンバー２２１とを通るＸＺ平面で切断したときの模式図である。
【００８８】
第２実施形態の流路プレート１５０と、第１実施形態の流路プレート１５の違いは、第１流路プレート１５ａの第１貫通孔流路１６２０の構成である。流路プレート１５０のその他の構成については第１実施形態の流路プレート１５と同様の構成であるため、同様の構成については同一符号を付すと共に説明を省略する。
【００８９】
第１貫通孔流路１６２０は、第１流路プレート１５ａ１を平面視方向である第３軸方向Ｚに貫通する。第１貫通孔流路１６２０は、各圧力チャンバー２２１に対応して複数設けられている。つまり、各圧力チャンバー２２１は、対応する各第１貫通孔流路１６２０と連通する。複数の第１貫通孔流路１６２０は、第１軸方向Ｘに沿って並んで配置されている。隣り合う第１貫通孔流路１６２０のうち、第１圧力チャンバー２２１ａと向かい合う流路を第１流路１６２ａとし、第２圧力チャンバー２２１ｂと向かい合う流路を第２流路１６２ｂとする。一のノズルＮｚに連通する隣り合う第１流路１６２ａと第２流路１６２ｂとの間には流路隔壁１５９が設けられている。平面視において隣り合う第１流路１６２ａと第２流路１６２ｂとは、一の第２貫通孔流路１６４と重なるように配置されている。
【００９０】
図１７に示すように、ノズルＮｚから液体が吐出される場合には、第１圧力チャンバー２２１ａ上の駆動素子１１００の駆動部２２０ａと、第２圧力チャンバー２２１ｂ上の駆動素子１１００の駆動部２２０ｂとに駆動パルスが供給される。これにより矢印の向きに示すように、第１圧力チャンバー２２１ａの液体は第１流路１６２ａに押し出され、第２貫通孔流路１６４に流入する。また第２圧力チャンバー２２１ｂの液体は第２流路１６２ｂに押し出され、第２貫通孔流路１６４に流入する。第１流路１６２ａおよび第２流路１６２ｂから第２貫通孔流路１６４に流入して合流した液体は、ノズルＮｚに向かって流れる。これにより、ノズルＮｚ内の液体が外部に押し出されて吐出される。
【００９１】
図１６および図１７に示すように、隣り合う第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとの間の隔壁２２２は全領域に亘って流路プレート１５のプレート第２面１５８に接合されて動きが拘束されている。これにより、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとの剛性をより高くできるので、駆動部２２０の振動をより効率良く圧力チャンバー２２１に伝達できる。
【００９２】
また上記第２実施形態によれば、上記第１実施形態と同様の構成を有する点において同様の効果を奏する。例えば、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂが一のノズルＮｚと連通することで、個々の圧力チャンバー２２１の体積が大きくなることを抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることが可能となる。
【００９３】
Ｃ．第３実施形態：
図１８は、第３実施形態のノズルプレート２０ｂの平面図である。図１９は、第３実施形態の流路プレート１５０ｂの一部を示す分解斜視図である。図２０は、第３実施形態の液体吐出ヘッド２６ｂの構成を説明するための第１の図である。図２１は、液体吐出ヘッド２６ｂの構成を説明するための第２の図である。図２０は、ノズルプレート２０ｂのノズルＮｚと、圧力チャンバー２２１とを通るＸＺ平面で切断したときの模式図である。第２１は、流路形成基板１０と流路プレート１５０ｂとを−第３軸方向Ｚ側から平面視したときの図である。
【００９４】
第３実施形態の液体吐出ヘッド２６ｂと、上記第１実施形態の液体吐出ヘッド２６および第２実施形態の液体吐出ヘッド２６ａとの違いは、一のノズルＮｚに共通して連通する第１圧力チャンバー２２１ａおよび第２圧力チャンバー２２１ｂと、一のノズルＮｚと、を連通させる連通流路２９２が、ノズルプレート２０ｂに形成されている点である。第３実施形態の液体吐出ヘッド２６ｂと、第２実施形態の液体吐出ヘッド２６ａとで同様の構成については同一符号を付すと共に説明を省略する。
【００９５】
図１８および図２０に示すように、ノズルプレート２０ｂは、液体を吐出するノズルＮｚが形成された第１面２１と、ノズルＮｚと連通する連通流路２９２が形成された第２面２２とを備える。第２面２２は、第１面２１とは反対側の面である。図２０に示すように、連通流路２９２は第２面２２から第１面２１側に向かって延びる開口であり、深さ寸法はＤｐｂである。連通流路２９２は、第１軸方向Ｘに沿って延びる。ノズルＮｚは、連通流路２９２の第１面２１側の端部開口に接続され、第１面２１まで延びる開口である。ノズルＮｚは深さ寸法Ｄｐａである。連通流路２９２は、各ノズルＮｚに対応して複数設けられている。図２０に示すように、連通流路２９２は、第３軸方向Ｚに垂直な水平方向の流路を形成する。
【００９６】
図１８に示すように、平面視において、連通流路２９２は矩形状であり、ノズルＮｚは円形状である。平面視において、連通流路２９２は、接続されたノズルＮｚよりも大きい領域に形成されている。つまり、平面視において、連通流路２９２の輪郭の内側にノズルＮｚが配置されている。また、図２０に示すように、ノズルＮｚと連通流路２９２との接続部分には段差が形成されている。
【００９７】
連通流路２９２の深さ寸法Ｄｐｂは、ノズルＮｚの深さ寸法Ｄｐａ以上であることが好ましい。連通流路２９２の深さ寸法Ｄｐｂが小さくなると、連通流路２９２の流路断面積、つまり水平方向の流れを形成する流路の断面積が小さくなり、連通流路２９２のイナ−タンスが大きくなる。連通流路２９２のイナ−タンスが大きくなることで、連通流路２９２の液体が円滑に流通できない可能性が生じ得る。よって、深さ寸法Ｄｐｂを深さ寸法Ｄｐａ以上とすることで、連通流路２９２のイナ−タンスが大きくなることを抑制できる。これにより、ノズルＮｚからの吐出効率が低下することを抑制できる。
【００９８】
また、深さ寸法Ｄｐｂは、深さ寸法Ｄｐａの２倍以下であることが好ましい。こうすることで、連通流路２９２を、エッチングなどによって形成する際の製造時間が長くなることを抑制できる。またこうすることで、連通流路２９２の深さ寸法Ｄｐｂの製造バラツキの程度を小さくできるので、各ノズルＮｚからの液体の吐出量にバラツキが生じる可能性を低減できる。
【００９９】
本実施形態において、ノズルＮｚの深さ寸法Ｄｐａは、２５μｍ以上４０μｍ以下であり、連通流路２９２の深さ寸法Ｄｐｂは、３０μｍ以上７０μｍ以下である。
【０１００】
図１９に示すように、第２貫通孔流路１６４０は、第２流路プレート１５ｂ１を平面視方向である第３軸方向Ｚに貫通する。第２流路プレート１５ｂは、複数の第２貫通孔流路１６４０を有する。複数の第２貫通孔流路１６４０は、各圧力チャンバー２２１に対応して設けられている。第２貫通孔流路１６２は、平面視において矩形状である。平面視において、各第２貫通孔流路１６２は、対応する第１貫通孔流路１６２と重なるように配置される。隣り合う第２貫通孔流路１６４０のうち、第１流路１６２ａを介して第１圧力チャンバー２２１ａと連通する流路を第１形成流路１６４ａとし、第２流路１６２ｂを介して第２圧力チャンバー２２１ｂと連通する流路を第２形成流路１６４ｂとする。
【０１０１】
図２０に示すように、ノズルＮｚから液体が吐出される場合には、第１圧力チャンバー２２１ａ上の駆動素子１１００の駆動部２２０ａと、第２圧力チャンバー２２１ｂ上の駆動素子１１００の駆動部２２０ｂとに駆動パルスが供給される。これにより矢印の向きに示すように、第１圧力チャンバー２２１ａの液体は第１流路１６２ａに押し出され、第１形成流路１６４ａ、連通流路２９２の順に流れる。また第２圧力チャンバー２２１ｂの液体は、矢印の向きに示すように、第２流路１６２ｂに押し出され、第２形成流路１６４ｂ、連通流路２９２の順に流れる。連通流路２９２において、第１形成流路１６４ａと第２形成流路１６４ｂの液体が合流して、ノズルＮｚから吐出される。
【０１０２】
図２０に示すように、チャンバープレート１３は、ノズルプレート２０ｂの第２面側に配置される。また、第１圧力チャンバー２２１ａおよび第２圧力チャンバー２２１ｂは、一の連通流路２９２を通じて一のノズルＮｚと連通する。こうすることで、ノズルプレート２０ｂによって第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとを一のノズルＮｚに連通させることができるので、その他の部材、例えば、流路形成基板１０などを他の種類の液体吐出ヘッドと共通に用いることができる。他の種類の液体吐出ヘッドとは、例えば、一のノズルＮｚに対して一の圧力チャンバーが連通している液体吐出ヘッドである。
【０１０３】
図２１に示すように、連通流路２９２は、平面視で、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂと少なくとも一部が重なるように形成されている。つまり、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂの真下には、連通流路２９２の一部が位置する。こうすることで、第１圧力チャンバー２２１ａおよび第２圧力チャンバー２２１ｂと、連通流路２９２と、を接続する流路、本実施形態では流路プレート１５０ｂに形成された流路を水平方向に延ばす必要がない。よって、液体吐出ヘッド２６ｂが水平方向に大型化することを抑制できる。
【０１０４】
また、第１実施形態と同様に、隣り合う第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとは、平面視で第１仮想線Ｌｎ１に実質的に線対称に形成され、連通流路２９２は平面視で第１仮想線Ｌｎ１に実質的に線対称に形成されることが好ましい。こうすることで、第１圧力チャンバー２２１ａから連通流路２９２へと伝達され圧力波と、第２圧力チャンバー２２１ｂから連通流路２９２へと伝達される圧力波との大きさの偏りを抑制できる。これにより、第１圧力チャンバー２２１ａから連通流路２９２に流入する液体の量と、第２圧力チャンバー２２１ｂから連通流路２９２に流入する液体の量に偏りが生じることを抑制できる。
【０１０５】
また、第１圧力チャンバー２２１ａおよび第２圧力チャンバー２２１ｂと連通する一のノズルＮｚは、平面視で、第１仮想線Ｌｎ１と重なるように配置されていることが好ましい。こうすることで、第１圧力チャンバー２２１ａからノズルＮｚへと伝達され圧力波と、第２圧力チャンバー２２１ｂからノズルＮｚへと伝達される圧力波との大きさの偏りをさらに抑制できる。これにより、第１圧力チャンバー２２１ａからノズルＮｚに流入する液体の量と、第２圧力チャンバー２２１ｂからノズルＮｚに流入する液体の量に偏りが生じることをさらに抑制できる。本実施形態では、平面視でノズルＮｚの中心Ｃｅは第１仮想線Ｌｎと重なる。
【０１０６】
なお、第１圧力チャンバー２２１ａおよび第２圧力チャンバー２２１ｂから、一のノズルＮｚに向かう流路は、平面視において第１仮想線Ｌｎ１に実質的に線対称に形成されることが好ましい。これにより、第１圧力チャンバー２２１ａから連通流路２９２に流入する液体の量と、第２圧力チャンバー２２１ｂから連通流路２９２に流入する液体の量に偏りが生じることをより一層抑制できる。
【０１０７】
また図１９に示すように、中間プレートとしての流路プレート１５０ｂは、平面視方向に貫通する第１貫通孔としての第１流路１６２ａおよび第１形成流路１６４ａと、平面視方向に貫通する第２貫通穴としての第２流路１６２ｂおよび第２形成流路１６４ｂとを有する。流路プレート１５０ｂは、ノズルプレート２０ｂとチャンバープレート１３との間に配置されている。また図２０に示すように、第１圧力チャンバー２２１ａは、第１貫通孔としての第１流路１６２ａおよび第１形成流路１６４ａを介して連通流路２９２と連通する。また第２圧力チャンバー２２１ｂは、第２貫通孔としての第２流路１６２ｂおよび第２形成流路１６４ｂを介して連通流路２９２と連通する。これにより、中間プレートとしての流路プレート１５０ｂを介して第１圧力チャンバー２２１ａおよび第２圧力チャンバー２２１ｂを連通流路２９２に連通させることができる。よって、各圧力チャンバーに対応して各ノズルが設けられた液体吐出ヘッドに用いることができる中間プレート１５０ｂを用いて液体吐出ヘッド２６ｂを製造できる。
【０１０８】
上記第３実施形態によれば、上記第１実施形態や第２実施形態と同様の構成を有する点において同様の効果を奏する。例えば、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂが一のノズルＮｚと連通することで、個々の圧力チャンバー２２１の体積が大きくなることを抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることが可能となる。
【０１０９】
Ｄ．第４実施形態：
図２２は、第４実施形態の流路プレート１５０ｃの一部を示す分解斜視図である。図２３は、液体吐出ヘッド２６ｃの液体の流れを説明するための模式図である。図２２には、一のノズルＮｚと連通する流路プレート１５０ｃの構成を図示している。上記各実施形態では、一のノズルＮｚに連通する圧力チャンバー２２１の数は２つであったが、これに限定されるものではなく、３つ以上であってもよい。第４実施形態の液体吐出ヘッド２６ｃは、４つの圧力チャンバー２２１Ａ，２２１Ｂ，２２１Ｃ，２２１Ｄが一のノズルＮｚに連通する例である。液体吐出ヘッド２６ｃと図６に示す液体吐出ヘッド２６との違いは流路プレート１５０ｃの構成である。液体吐出ヘッド２６ｃのその他の構成については第１実施形態の液体吐出ヘッド２６と同様であるため、同様の構成については同一符号を付すと共に説明を省略する。なお、第４実施形態のノズルプレート２０のノズル列を構成するノズルＮｚの数は、第１実施形態のノズルプレート２０のノズル列を構成するノズルＮｚの数の半分である。
【０１１０】
図２２に示すように、第１流路プレート１５ａ３は、一のノズルＮｚに連通する２つの第１プレート貫通孔１９４ａと、２つの第１個別流路１９２との組を複数有する。図２２では１組のみが図示されている。２つの個別流路１９２は、第１リザーバ４２ａに接続されている。２つの第１プレート貫通孔１９４ａは、第２流路プレート１５ｂ３に形成された、対応する２つの第２プレート貫通孔１９４ｂと接続される。これにより、第２リザーバ４２ｂと、第１軸方向Ｘに並んで配置された２つの第２個別流路１９４とは連通する。一の連通流路１６ｃは、第１軸方向に並んで配置された４つの圧力チャンバー２２１Ａ、２２１Ｂ、２２１Ｃ、２２１Ｄと共通して連通する。つまり、平面視において、一の連通流路１６ｃの開口１６３は、第１軸方向に沿って４つの４つの圧力チャンバー２２１Ａ、２２１Ｂ、２２１Ｃ、２２１Ｄに亘って位置する。連通流路１６は、第１流路プレート１５ａに形成された第１貫通孔流路１６２ｃと、第２流路プレート１５ｂに形成された第２貫通孔流路１６４ｃとによって形成されている。
【０１１１】
図２３に示すように、第１リザーバ４２ａの液体は、圧力チャンバー２２１Ａ、２２１Ｂに供給され連通流路１６ｃで合流する。第２リザーバ４２ｂの液体は、圧力チャンバー２２１Ｃ、２２１Ｄに供給され連通流路１６ｃで合流する。４つの圧力チャンバー２２１Ａ、２２１Ｂ、２２１Ｃ、２２１Ｄの液体は、連通流路１６ｃを介してノズルＮｚから吐出される。
【０１１２】
なお、本実施形態において、一のノズルＮｚと連通する４つの圧力チャンバー２２１Ａ、２２１Ｂ、２２１Ｃ、２２１Ｄのそれぞれに対応して設けられた４つのセグメント電極２４０と、端子１２３とを接続する第２リード電極２７６とは、共通化してもよい。すなわち４つのセグメント電極２４０と電気的に接続されたリード線が途中で合流して１本のリード線となっていてもよい。こうすることで、４つの圧力チャンバー２２１Ａ、２２１Ｂ、２２１Ｃ、２２１Ｄのそれぞれに対応して設けられた４つの駆動部２２０の駆動タイミングのずれを抑制できるので、ノズルＮｚの吐出効率の低下を抑制できる。
【０１１３】
上記第４実施形態によれば、上記第１実施形態〜第３実施形態と同様の構成を有する点において同様の効果を奏する。例えば、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂが一のノズルＮｚと連通することで、個々の圧力チャンバー２２１の体積が大きくなることを抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることが可能となる。
【０１１４】
Ｅ．第５実施形態：
図２４は、第５実施形態の液体吐出ヘッド２６ｄの分解斜視図である。図２５は吐出ヘッド２６ｄの記録媒体と対向する側を表す平面図である。図２６は、図２５の２６−２６断面図である。図２７は、流路形成基板１０ｄと流路プレート１５ｄとを第３軸方向Ｚのマイナス側から平面視した場合の模式図である。図４に示す第１実施形態の液体吐出ヘッド２６と、第５実施形態の液体吐出ヘッド２６ｄとの主な違いは、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとが共通する１つのリザーバ４２ｄと連通している点と、流路形成基板１０ｄおよびケース部材４０ｄの構成である。第５実施形態の液体吐出ヘッド２６ｄと第１実施形態の液体吐出ヘッド２６とで同様の構成については同一符号を付すと共に説明を省略する。
【０１１５】
図２４に示すように、ケース部材４０ｄは、第１軸方向Ｘに延びる１つのノズル列に対して１つの導入孔４４を有する。本実施形態では、ノズル列は２列であるので、導入孔４４は２つ設けられている。また図２６に示すように、ケース部材４０ｄは、導入孔２４に接続された共通液室４４０ｄを有する。共通液室４４０ｄは、第３軸方向Ｚに沿って延びる。
【０１１６】
チャンバープレート１３ｄは、一枚の板状部材である。図２６に示すようにチャンバープレート１３ｄは、上記第１実施形態と同様の材料で形成できる。本実施形態では、チャンバープレート１３ｄは、シリコン単結晶基板によって形成されている。チャンバープレート１３ｄには、一方面側から異方性エッチングすることにより形成された複数の圧力チャンバー２２１が設けられている。圧力チャンバー２２１は、直方体状の空間である。圧力チャンバー２２１は、第１軸方向Ｘに沿って並んで配置されている。圧力チャンバー２２１が第１軸方向Ｘに沿って並ぶチャンバー列は、ノズル列に対応して２列形成されている。第１軸方向Ｘに沿って並んだ複数の圧力チャンバーのうち隣り合う２つの圧力チャンバー２２１は、第１実施形態と同様、一のノズルＮｚに共通して連通する第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとを含む。図２６は、第１圧力チャンバー２２１ａを通る液体吐出ヘッド２６ｄの断面を示している。
【０１１７】
図２４に示すように、流路プレート１５ｄは、ノズルプレート２０と向かい合うプレート第１面１５７と、流路形成基板１０と向かい合う第２面としてのプレート第２面１５８とを有する。流路プレート１５ｄは、平面視で矩形状であり、流路形成基板１０よりも大きな面積を有する。プレート第２面１５８は、流路形成基板１０の第１面２２５に接合されている。流路プレート１５ｄの基材は、ステンレス鋼やニッケルなどの金属、またはジルコニウムなどのセラミックスなどを用いることができる。なお、上記第１実施形態と同様に、流路プレート１５ｄは、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料で形成されていることが好ましい。
【０１１８】
流路プレート１５ｄは、１つのノズル列ごとに、リザーバ４２ｄと、各圧力チャンバー２２１に対応して設けられた複数の個別流路１９ｄと、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂの組ごとに対応して設けられた連通流路１６ｄと、を備える。
【０１１９】
図２６に示すように、リザーバ４２ｄは、第１マニホールド部４２３と第２マニホールド部４２５とによって構成されている。リザーバ４２ｄは、第１軸方向Ｘにおいて、第１軸方向Ｘに沿って配置された複数の圧力チャンバー２２１が位置する範囲に亘って延びる。第１マニホールド部４２３は、流路プレート１５ｄを厚み方向である平面視方向に貫通する開口である。第２マニホールド部４２５は、第１マニホールド部４２３から流路プレート１５ｄの面内方向における内側に延びる開口である。リザーバ４２ｄのノズルＮｚ側の開口は可撓部材４６によって封止されている。
【０１２０】
個別流路１９ｄは、圧力チャンバー２２１ごとに設けられている。個別流路１９ｄは、流路プレート１５ｄを平面視方向である第３軸方向Ｚに貫通する貫通孔である。個別流路１９ｄは、平面視において矩形状である。個別流路１９ｄにおいて、上流端は第２マニホールド部４２５に接続され、下流端は圧力チャンバー２２１に接続されている。
【０１２１】
連通流路１６ｄは、流路プレート１５ｄを第３軸方向Ｚに貫通する貫通孔である。連通流路１６ｄは、一のノズルＮｚに共通して連通する第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂと連通する。連通流路１６ｄは、平面視において矩形状である。つ図２７に示すように、連通流路１６ｄの開口１６３ｄは、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂに亘って形成されている。
【０１２２】
上記第１実施形態と同様に、隣り合う第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとは、平面視で第１仮想線Ｌｎ１に実質的に線対称に形成され、連通流路１６ｄは平面視で第１仮想線Ｌｎ１に実質的に線対称に形成されることが好ましい。また上記第１実施形態と同様に、隣り合う第１圧力チャンバー２２１ａおよび第２圧力チャンバー２２１ｂと連通するノズルＮｚは、平面視で第１仮想線Ｌｎ１と重なるように配置されることが好ましい。
【０１２３】
上記第５実施形態によれば、上記第１実施形態〜第４実施形態と同様の構成を有する点において同様の効果を奏する。例えば、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂが一のノズルＮｚと連通することで、個々の圧力チャンバー２２１の体積が大きくなることを抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることが可能となる。
【０１２４】
Ｆ．第６実施形態：
第１実施形態〜第５実施形態の液体吐出ヘッド２６〜２６ｄでは、図７および図８に示すように、第１接続流路１９８は第２接続流路１９９よりも短いように構成されている。つまり、第１接続流路１９８のイナ−タンスＩＴＦ１は、第２接続流路１９９のイナ−タンスＩＴＦ２よりも小さい関係を有する。この関係を有する液体吐出ヘッド２６〜２６ｄにおける好ましい形態を第６実施形態として説明する。以下では、ノズルプレート２０ｂに連通流路２９２が形成された第３実施形態の好ましい形態の液体吐出ヘッド２６ｂａを例に好ましい形態である第６実施形態を説明する。
【０１２５】
図２８は、図２１に相当する図である。図２９は、図２０に相当する図である。液体吐出ヘッド２６ｂａと第３実施形態の液体吐出ヘッド２６ｂとの違いはノズルＮｚの形成位置である。液体吐出ヘッド２６ｂａのその他の構成については液体吐出ヘッド２６ｂの構成と同様であるため、同様の構成については同一符号を付すと共に説明を省略する。図２８に示すように、平面視においてノズルＮｚは、第２圧力チャンバー２２１ｂよりも第１圧力チャンバー２２１ａに近い側に形成されている。これにより、図２９に示すように、一のノズルＮｚから第１圧力チャンバー２２１ａまでの流路長さである第１流路長は、一のノズルＮｚから第２圧力チャンバー２２１ｂまでの流路長さである第２流路長よりも短い。よって、一のノズルＮｚから第１圧力チャンバー２２１ａまでの第１イナ−タンスＩＴＮ１は、一のノズルＮｚから第２圧力チャンバーまでの第２イナ−タンスＩＴＮ２よりも小さい。圧力チャンバー２２１ａ，２２１ｂから見て接続流路１９８，１９９側のイナータンスＩＴＦやノズルＮｚ側のイナータンスＩＴＮは、圧力チャンバー２２１ａ，２２１ｂからノズルＮｚへのインクの吐出効率に影響する。例えば、接続流路１９８，１９９側のイナータンスＩＴＦが相対的に大きくなれば加圧された圧力チャンバー２２１ａ，２２１ｂからノズルＮｚへと向かう流れの効率、すなわち吐出効率は相対的に大きくなる。一方で、ノズルＮｚ側のイナータンスＩＴＮが相対的に大きくなれば加圧された圧力チャンバー２２１ａ，２２１ｂからの吐出効率は相対的に小さくなる。したがって、第１接続流路１９８と第２接続流路１９９との間でのイナータンスの違いは、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとの間でのノズルＮｚからの吐出効率のアンバランスの原因となり得る。例えば、接続流路１９８，１９９側のイナータンスについてＩＴＦ１＜ＩＴＦ２となる場合において、ノズルＮｚ側のイナータンスについてＩＴＮ１＝ＩＴＮ２の関係であると、第２圧力チャンバー２２１ｂからの吐出効率が第１圧力チャンバー２２１ａからの吐出効率よりも大きくなる。これにより、圧力チャンバー２２１ａ，２２１ｂ間の吐出効率のアンバランスが生じることになる。このようなアンバランスを補償又は低減するためには、ノズルＮｚ側のイナータンスについてＩＴＮ１＜ＩＴＮ２の関係とするのが好適である。
【０１２６】
上記第６実施形態において、第１流路長を第２流路長よりも短くすることで、第１イナ−タンスＩＴＮ１を第２イナ−タンスＩＴＮ２よりも小さくしていた。しかしながら、第１イナ−タンスＩＮＴ１が第２イナ−タンスＩＴＮ２よりも小さくなれば、他の構成を採用してもよい。例えば、一のノズルＮｚから第２圧力チャンバー２２１ｂまでの流路のうち、少なくとも一部の流路の流路断面積を、一のノズルＮｚから第１圧力チャンバー２２１ａまでの流路の断面積よりも小さくすることで、第１イナ−タンスＩＮＴ１を第２イナ−タンスＩＴＮ２よりも小さくしてもよい。
【０１２７】
Ｇ．第７実施形態：
第１実施形態〜第５実施形態の液体吐出ヘッド２６〜２６ｄでは、図７および図８に示すように、第１接続流路１９８は第２接続流路１９９よりも短いように構成されている。よって、第１接続流路１９８と第２接続流路１９９との流路形状が同じである場合には、第１接続流路１９８のイナ−タンスＩＴＦ１は、第２接続流路１９９のイナ−タンスＩＴＦ２よりも小さい関係となる。第１接続流路１９８のイナ−タンスＩＴＦ１は、第２接続流路１９９のイナ−タンスＩＴＦ２よりも小さい関係となった場合には、第１接続流路１９８と第２接続流路１９９とにおいて液体の流れやすさに不均衡が生じ得る。以下では、第１接続流路１９８が第２接続流路１９９よりも短い場合における好ましい形態を第７実施形態として説明する。以下では、ノズルプレート２０ｂに連通流路２９２が形成された第３実施形態の好ましい形態の液体吐出ヘッド２６ｂｂを例に好ましい形態である第７実施形態を説明する。
【０１２８】
図３０は、図２１に相当する図である。第７実施形態の液体吐出ヘッド２６ｂｂと、第３実施形態の液体吐出ヘッド２６ｂとの違いは、第２接続流路１９９を構成する第２供給流路２２４ｂの下流端２２３ｂと、第１接続流路１９８を構成する第１供給流路２２４ａの下流端２２３ａとの流路断面積の関係である。液体吐出ヘッド２６ｂｂのその他の構成については液体吐出ヘッド２６ｂの構成と同様であるため、同様の構成については同一符号を付すと共に説明を省略する。下流端２２３ａの流路幅Ｗａは、下流端２２３ｂの流路幅Ｗｂよりも狭い。これにより、下流端２２３ａの流路断面積は、下流端２２３ｂの流路断面積よりも小さい。これにより、第２接続流路１９９の流路長が第１接続流路１９８の流路長よりも長い場合でもあっても、第２接続流路１９９のイナ−タンスと第１接続流路１９８のイナ−タンスとが大きく乖離することを抑制できる。
【０１２９】
上記第７実施形態において、第１接続流路１９８のイナ−タンスと第２接続流路１９９のイナ−タンスが同程度となるように、流路幅Ｗａ，Ｗｂを設定することが好ましい。また、下流端２２３ａ，２２３ｂの流路幅Ｗａ，Ｗｂに代えて、第１接続流路１９８の他の部分の流路断面積を第２接続流路１９９の流路断面積を小さくしてよい。つまり、第１接続流路１９８の少なくとも一部分は、第２接続流路１９９の流路断面積よりも小さくなるように液体吐出ヘッド２６ｂｂは構成されてもよい。こうすることで、第２接続流路１９９のイナ−タンスと第１接続流路１９８のイナ−タンスとが大きく乖離することを抑制できる。
【０１３０】
Ｈ．第８実施形態：
上記第１実施形態から第７実施形態の液体吐出装置１００は、図１０〜図１２に示すように、一のノズルＮｚに連通する第１圧力チャンバー２２１ａに対応する第１セグメント電極２４０ａと、一のノズルＮｚに連通する第２圧力チャンバー２２１ｂに対応する第２セグメント電極２４０ｂとは、共通の第２リード電極２７６によって端子１２３に電気的に接続されていた。しかしながら、第１セグメント電極２４０ａと、第２セグメント電極２４０ｂとは、別々の第２リード電極２７６によって、各端子１２３に電気的に接続されていてもよい。つまり、第１セグメント電極２４０ａと第２セグメント電極２４０ｂとには、互いに独立した駆動パルスが供給されてもよい。つまり、第１圧力チャンバー２２１ａの液圧を可変させる第１駆動素子としての第１駆動部２２０ａと、第２圧力チャンバー２２１ｂの液圧を可変させる第２駆動素子としての第２駆動部２２０ｂとは、互いに独立して駆動可能に構成されてもよい。こうすることで、液体吐出ヘッド２６〜２６ｂｂの液体の吐出制御の自由度が向上する。
【０１３１】
例えば、図９に示す第１実施形態の液体吐出ヘッド２６では、連通流路１６の開口１６３と、第１圧力チャンバー２２１ａおよび第２圧力チャンバーのそれぞれの開口とが接しているため、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとの間でクロストークが生じやすい。クロストークとは、一の圧力チャンバー２２１内で発生した圧力変動が、他の圧力チャンバー２２１に伝播する現象である。よって、液体吐出装置１００は、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとの間で生じるクロストークを抑制するように、第１駆動部２２０ａと第２駆動部２２０ｂとを独立して駆動させることが好ましい。以下にこの具体例について説明する。
【０１３２】
図３１は、第８実施形態の具体例である液体吐出装置１００ｇが備える液体吐出ヘッド２６ｇの機能的な構成図である。図３２は、第１駆動パルスＣＯＭ１と第２駆動パルスＣＯＭ２について説明するための図である。第８実施形態の液体吐出装置１００ｇと、第１実施形態から第７実施形態の液体吐出装置１００との違いは、第２リード電極２７６が第１駆動部２２０ａと第２駆動部２２０ｂとにそれぞれ対応して別々に設けられている点と、制御ユニット６２０ｇが２つの駆動パルスＣＯＭ１，ＣＯＭ２を生成できる点である。
【０１３３】
図３２に示すように、第１駆動パルスＣＯＭ１と第２駆動パルスＣＯＭ２とは、異なる駆動パルスである。「異なる駆動パルス」とは、少なくとも駆動パルスを構成する収縮成分または膨張成分の傾きや、印加するタイミングや印加を終了する終了タイミングが異なることをいう。また、収縮や膨張は、圧力チャンバー２２１の状態変化のことである。つまり、収縮とは、圧力チャンバー２２１を形成する壁を内方に変形させることで、圧力チャンバー２２１の体積を減少させて圧力チャンバー２２１を加圧することである。また膨張とは、圧力チャンバー２２１を形成する壁を外方に変形させることで、圧力チャンバー２２１の体積を膨張させて圧力チャンバー２２１を減圧することである。
【０１３４】
図３２に示すように、第１駆動パルスＣＯＭ１は、膨張成分Ｅａ１と、収縮成分Ｅａ２とを有する。膨張成分Ｅａ１が駆動部２２０に印加されることで、圧力チャンバー２２１は加圧される。一方で、収縮成分Ｅａ２が駆動部２２０に印加されることで、圧力チャンバー２２１は減圧される。また、第２駆動パルスＣＯＭ２は、膨張成分Ｅｂ１と、収縮成分Ｅｂ２とを有する。
【０１３５】
図３１に示すように、ノズル駆動回路２８ｇは、各駆動部２２０に対応したスイッチ回路２８１Ａａ〜Ｄｂを有する。各スイッチ回路２８１Ａａ〜２８１Ｄｂには、制御ユニット６２０ｇから第１駆動パルスＣＯＭ１と第２駆動パルスＣＯＭ２とパルス選択信号ＳＩとが供給される。パルス選択信号ＳＩは、第１駆動パルスＣＯＭ１と第２駆動パルスＣＯＭ２のいずれを駆動部２２０に印加するかを選択するための信号である。例えば、パルス選択信号ＳＩが第１駆動パルスＣＯＭ１を選択するための信号である場合には、スイッチ回路２８１は、第１駆動パルスＣＯＭ１を駆動部２２０に印加するように回路の動作を制御する。
【０１３６】
ノズル駆動回路２８ｇは、第１駆動部２２０ａに第１駆動パルスＣＯＭ１を印加し、第２駆動部２２０ｂに第２駆動パルスＣＯＭ２を印加してもよい。この場合、図３２に示すように、ノズル駆動回路２８ｇは、第１圧力チャンバー２２１ａに対応する第１駆動部２２０ａと第２圧力チャンバー２２１ｂに対応する第２駆動部２２０ｂに対して、加圧成分による振動板２１０の固有振動が、同位相となるように収縮成分の開始タイミングを同調させることが好ましい。
【０１３７】
ここで、駆動パルスＣＯＭ１，ＣＯＭ２の各成分や印加タイミングをどうするかは製品仕様や使用する液体吐出ヘッド２６の特性に応じて適宜決めればよい事項である。例えば図３２に示すように全く異なる形状の駆動パルスＣＯＭ１，ＣＯＭ２を用いて、液滴量の多様な階調変化に応用してもよい。また図９に示すような液体吐出ヘッド２６の場合、第２領域Ｒ２の隔壁２２２は拘束を受けていないため、隣接する圧力チャンバー２２１からのクロストーク振動の影響が大きくなりやすいという特徴がある。このような場合は、クロストーク振動との同調条件を利用した駆動パルスＣＯＭ１，ＣＯＭ２の設計を行うことで極めて大きな吐出効率を得ることができる場合がある。また、第１実施形態として説明したように、隣接する圧力チャンバー２２１が全く同じ駆動パルス、印加タイミングで駆動されるような仕様としてもよい。
【０１３８】
Ｉ．第９実施形態：
図３３は、第９実施形態の液体吐出ヘッド２６ｈの分解斜視図である。図３４は、一のノズルＮｚが通るＹＺ平面で液体吐出ヘッド２６ｈを切断したときの断面図である。図２４に示す第５実施形態の液体吐出ヘッド２６ｄと、液体吐出ヘッド２６ｈとの違いは以下の通りである。つまり、図３４に示すように、液体吐出ヘッド２６ｈが、第１軸方向Ｘと交差、本実施形態では直交する第２軸方向Ｙに並んだ第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとが一の連通流路２９２ｈを通じて一のノズルＮｚと連通している点と、連通流路２９２ｈがノズルプレート２０ｈに形成されている点で、液体吐出ヘッド２６ｈと液体吐出ヘッド２６ｄとは異なる。第９実施形態において、第５実施形態と同様の構成については同一符号を付すと共に説明を省略する。
【０１３９】
図３４に示すように、ケース部材４０ｄの第２軸方向Ｙに間隔を開けて並んだ２つの導入孔４４のうち、一方は、第１共通液室４４０ｄａと第１リザーバ４２ｄａと第１個別流路１９ｄａを介して第１圧力チャンバー２２１ａに接続された第１導入孔４４ｈａとして機能する。また２つの導入孔４４のうち、他方は、第２共通液室４４０ｄｂと第２リザーバ４２ｄｂと第２個別流路１９ｄｂとを介して第２圧力チャンバー２２１ｂに接続された第２導入孔４４ｈｂとして機能する。
【０１４０】
ヘッド本体１１ｈの流路プレート１５ｈには、各圧力チャンバー２２１と、対応する連通流路２９２ｈとを接続する中間接続流路１６ｈが形成されている。中間接続流路１６ｈは、流路プレート１５ｈを平面視方向に貫通する孔である。一のノズルＮｚに連通する第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂの液体は、対応する中間接続流路１６ｈを通って連通流路２９２ｈで合流する。
【０１４１】
図３３に示すように、連通流路２９２ｈは、第２面２２に形成されている。連通流路２９２ｈは、第２面２２から第１面２１側に向かって延びる開口である。連通流路２９２ｈは、第２軸方向Ｙに沿って延びる。第２軸方向Ｙにおいて、ノズルＮｚは、連通流路２９２ｈの中央部分に形成されている。ノズルプレート２０ｈは、複数のノズルＮｚを有する。複数のノズルＮｚは、第１軸方向Ｘに沿って並んだ１列のノズル列ＬＮｚを形成する。本実施形態におけるノズルピッチＰＮは、第１実施形態〜第８実施形態の液体吐出ヘッド２６〜２６ｇのピッチの半分であり、３００ｄｐｉとなるピッチである。平面視において、連通流路２９２ｈは矩形状であり、ノズルＮｚは円形状である。
【０１４２】
また、本実施形態の液体吐出ヘッド２６ｈは、採用可能な範囲において、上記第１実施形態から第８実施形態の液体吐出ヘッド２６〜２６ｇの開示内容を採用してもよい。例えば、平面視において、連通流路２９２ｈは、接続されたノズルＮｚよりも大きい領域に形成されていてもよい。つまり、平面視において、連通流路２９２ｈの輪郭の内側にノズルＮｚが配置されている。また、連通流路２９２ｈの深さ寸法Ｄｐｂは、ノズルＮｚの深さ寸法Ｄｐａ以上であってもよい。また、深さ寸法Ｄｐｂは、深さ寸法Ｄｐａの２倍以下であってもよい。本実施形態において、ノズルＮｚの深さ寸法Ｄｐａは、２５μｍ以上４０μｍ以下であり、連通流路２９２の深さ寸法Ｄｐｂは、３０μｍ以上７０μｍ以下である。
【０１４３】
上記第９実施形態によれば、２つのチャンバー列のうち、一方の第１圧力チャンバー２２１ａと、他方の第２圧力チャンバー２２１ｂとが連通流路２９２ｈを通じて一のノズルＮｚと連通する。こうすることで、上記第１実施形態と同様に、個々の圧力チャンバー２２１の体積が大きくなることを抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることが可能となる。また、第９実施形態によれば、上記第１実施形態〜第９実施形態と同様の構成を有する点において同様の効果を奏する。
【０１４４】
Ｊ．第１０実施形態：
図３５は、第１０実施形態の液体吐出ヘッド２６ｉの分解斜視図である。図３６は、一のノズルＮｚが通るＹＺ平面で液体吐出ヘッド２６ｉを切断したときの断面図である。図３３に示す第９実施形態の液体吐出ヘッド２６ｈと、液体吐出ヘッド２６ｉとの違いは以下の通りである。つまり、図３５に示すように、液体吐出ヘッド２６ｉの連通流路１６ｉは、流路プレート１５ｉに形成されている点と、ノズルプレート２０ｉには連通流路２９２ｈが形成されていない点である。第１０実施形態のその他の構成については、第９実施形態と同様の構成であるので、同様の構成については同一符号を付すと共に説明を省略する。
【０１４５】
図３６に示すように、ヘッド本体１１ｉの連通流路１６ｉは、一のノズルＮｚに連通する第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとに接続されている。本実施形態では、平面視で、連通流路１６ｉの一部は、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂと重なるように形成されている。ノズルプレート２０ｉは一列のノズル列ＬＮｚを形成する。また、本実施形態の液体吐出ヘッド２６ｉは、採用可能な範囲において、上記第１実施形態から第９実施形態の液体吐出ヘッド２６〜２６ｈで用いた構成を採用してもよい。例えば、第２軸方向Ｙに隣り合う第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとは、平面視で第１仮想線に実質的に線対称に形成され、連通流路１６ｉは平面視で第１仮想線に実質的に線対称に形成されることが好ましい。本実施形態における第１仮想線は、平面視でノズル列ＬＮｚを表す線と同じである。
【０１４６】
上記第１０実施形態によれば、２つのチャンバー列のうち、一方の第１圧力チャンバー２２１ａと、他方の第２圧力チャンバー２２１ｂとが連通流路２９２ｈを通じて一のノズルＮｚと連通する。こうすることで、上記第１実施形態と同様に、個々の圧力チャンバー２２１の体積が大きくなることを抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることが可能となる。また、第９実施形態によれば、上記第１実施形態〜第１０実施形態と同様の構成を有する点において同様の効果を奏する。
【０１４７】
Ｋ．第１１実施形態：
図３７は、第９実施形態および第１０実施形態の液体吐出ヘッド２６ｈ，２６ｉの好ましい形態を説明するための図である。第９実施形態および第１０実施形態の液体吐出ヘッド２６ｈ，２６ｉの電気配線の一例を示す図である。駆動素子１１００ｊは、液体吐出ヘッド２６ｈ，２６ｉに用いることができる。駆動素子１１００ｊは、第１セグメント電極２４０ａと第２セグメント電極２４０ｂとを有する。
【０１４８】
第１セグメント電極２４０ａは、平面視で、第１圧力チャンバー２２１ａと重なり第２圧力チャンバー２２１ｂとは重ならないように形成されている。また第２セグメント電極２４０ｂは、平面視で、第２圧力チャンバー２２１ｂと重なり第１圧力チャンバー２２１ａとは重ならないように形成されている。本実施形態において、第１セグメント電極２４０ａおよび第２セグメント電極２４０ｂは、第２軸方向Ｙに間隔を開けて配置されている。また、第１セグメント電極２４０ａおよび第２セグメント電極２４０ｂは、図１２に示す第１実施形態と同様に、下地層を形成する。第２リード電極２７６は、第２軸方向Ｙに沿って延びる。第２リード電極２７６の一端部は、開口部２５７において第１セグメント電極２４０ａに接続されている。第２リード電極２７６の他端部は、開口部２５７において第２セグメント電極２４０ｂに接続されている。以上のように、一のノズルＮｚに対応して設けられた第１セグメント電極２４０ａおよび第２セグメント電極２４０ｂは、共通する一の第２リード電極２７６に接続されている。
【０１４９】
第１軸方向Ｘに並んだ複数の第２リード電極２７６はそれぞれ、対応する端子１２３に電気的に接続されることで、選択された駆動パルスＣＯＭが第１セグメント電極２４０ａおよび第２セグメント電極２４０ｂに印加される。
【０１５０】
本実施形態において、採用可能な範囲において、上記第１実施形態から第１０実施形態の開示内容を採用してもよい。例えば、第１セグメント電極２４０ａと第２セグメント電極２４０ｂとは、平面視で、第１仮想線Ｌｎ１Ｊに実質的に線対称に形成されていてもよい。第１仮想線Ｌｎ１Ｊは、第１軸方向Ｘに平行な線である。
【０１５１】
上記第１１実施形態によれば、第１実施形態〜第１０実施形態と同様の構成を有する点において同様の効果を奏する。例えば、ノズル駆動回路２８により近い位置である第２リード電極２７６によって、第１セグメント電極２４０ａと第２セグメント電極２４０ｂへの電気信号の配線を共通化できる。これにより、駆動素子１１００ｊにおいて、ノズル駆動回路２８から第１セグメント電極２４０ａまでの配線インピーダンスと、ノズル駆動回路２８から第２セグメント電極２４０ｂまでの配線インピーダンスとのバラツキを低減できる。
【０１５２】
Ｌ．第１２実施形態：
上記第１実施形態〜第１１実施形態では、例えば図１０に示すように、第１セグメント電極２４０ａと第２セグメント電極２４０ｂとは、共通する一の第２リード電極２７６に接続されていた。しかしながら、一のノズルＮｚに対応して設けられた第１セグメント電極２４０ａと第２セグメント電極２４０ｂとに共通する駆動パルスＣＯＭを供給する電気配線の接続態様についてはこれに限定されるものでない。以下に第２リード電極２７６を共通して用いることに代えて用いることができる電気配線の接続態様の例を説明する。
【０１５３】
図３８は、第１２実施形態を説明するための図である。図３８は、第１実施形態の図１０に相当する図であり、第１実施形態の駆動素子１１００と異なる点は、組を形成する第２リード電極２７６ｋａと第２リード電極２７６ｋｂとが一の端子１２３ｋに電気的に接続されている点である。その他の構成については第１実施形態と同様であるため、同様の構成については同一符号を付すと共に説明を省略する。
【０１５４】
第２リード電極である第１個別リード電極２７６ｋａは、開口部２５７において、第１圧力チャンバー２２１ａに対応した第１セグメント電極２４０ａに接続されている。第１個別リード電極２７６ｋａは、第１駆動部２２０ａの第１セグメント電極２４０ａから引き出されている。第２リード電極である第２個別リード電極２７６ｋｂは、開口部２５７において、第２圧力チャンバー２２１ｂに対応した第２セグメント電極２４０ｂに接続されている。第２個別リード電極２７６ｋｂは、第２駆動部２２０ｂの第２セグメント電極２４０ｂから引き出されている。一組の第１個別リード電極２７６ｋａと第２個別リード電極２７６ｋｂとは、第２軸方向Ｙに沿って平行に延びている。一組の第１個別リード電極２７６ｋａと第２個別リード電極２７６ｋｂとは、一の端子１２３ｋに共通して接続されている。本実施形態では、回路基板２９の一の端子１２３ｋは、平面視で第１個別リード電極２７６ｋａと第２個別リード電極２７６ｋｂとに重なって接続されている。
【０１５５】
一の端子１２３ｋの第１軸方向Ｘの最大幅Ｗ１２３は、ノズル列のノズルピッチＰＮの５０％以上８０％以下であることが好ましい。こうすることで、一の端子１２３ｋ内を流れる電流のバラツキを低減できる。またこうすることで、隣り合う２つの端子１２３ｋ間の間隔を十分に確保し易くなるので、短絡の発生を抑制できる。
【０１５６】
上記のごとく、ノズル駆動回路２８により近い位置である端子１２３ｋによって、第１セグメント電極２４０ａと第２セグメント電極２４０ｂへの電気信号の配線を共通化できる。これにより、駆動素子１１００ｋにおいて、ノズル駆動回路２８から第１セグメント電極２４０ａまでの配線インピーダンスと、ノズル駆動回路２８から第２セグメント電極２４０ｂまでの配線インピーダンスとのバラツキを低減できる。よって、第１圧力チャンバー２２１ａと第２圧力チャンバー２２１ｂとから、より均等に液体をノズルに供給できるので、ノズルＮｚの吐出特性がばらつく可能性を低減できる。
【０１５７】
上記第１２実施形態は、第１実施形態の駆動素子１１００の他の形態として説明したが、図３７に示す駆動素子１１００ｊの他の形態としても適用できる。以下の図３９を用いて、駆動素子１１００ｊの他の形態を説明する。図３９は、第１２実施形態の別の態様を説明するための図である。図３９は、図３７に相当する図である。駆動素子１１００ｋａにおいて、第２リード電極２７６は、第１セグメント電極２４０ａに接続された第１個別リード電極２７６ｋａａと、第２セグメント電極２４０ｂに接続され、第１個別リード電極２７６ｋａａとは間隔を開けて形成された第２個別リード電極２７６ｋｂａとを含んでもよい。第１個別リード電極２７６ｋａａと第２個別リード電極２７６ｋｂａとは、共通する一の端子１２３ｋａによって接続される。また、駆動素子１１００ｋと同様に、一の端子１２３ｋａの第１軸方向Ｘの最大幅Ｗは、ノズル列のノズルピッチＰＮの５０％以上８０％以下であることが好ましい。
【０１５８】
Ｍ．第１３実施形態：
上記各実施形態において、第１リザーバ４２ａ，４２ｄａおよび第２リザーバ４２ｂ，４２ｄｂは、液体供給源である液体容器１４から連通流路１６，１６ｃ，１６ｄ，１６ｉ，２９２，２９２ｈへと液体を供給する供給リザーバであったが、これに限定されるものではない。図４０は、第１３実施形態の液体吐出装置１００ｊを説明するための図である。上記の液体吐出装置１００，１００ｇとの違いは、液体容器１４から液体吐出ヘッド２６へと液体を供給する供給流路８１１に加え、液体吐出ヘッド２６から液体容器１４へと液体を回収するための回収流路８１２を有する点である。供給流路８１１は、第１リザーバ４２ａ，４２ｄａに連通する図４などに示す第１導入孔４４ａ，４４ｈａに接続される。回収流路８１２は、第２リザーバ４２ｂ，４２ｄｂに連通する図４などに示す第２導入孔４４ｂ，４４ｈｂに接続される。つまり、第１リザーバ４２ａ，４２ｄａは、連通流路１６，１６ｃ，１６ｄ，１６ｉ，２９２，２９２ｈへと液体を供給する供給リザーバとして機能する。また第２リザーバ４２ｂ，４２ｄｂは、連通流路１６，１６ｃ，１６ｄ，１６ｉ，２９２，２９２ｈから液体を回収する回収リザーバとして機能する。流動機構６１５は、制御ユニット６２０によって制御されることで、液体を液体吐出ヘッド２６内を通過させて移動させる。本実施形態では、流動機構６１５は、供給流路８１１と回収流路８１２とを介して液体容器１４と液体吐出ヘッド２６との間で液体を循環させる。以上のように、例えば、供給流路８１１や回収流路８１２や流動機構６１５が、第１リザーバ４２ａに液体を供給すると共に第２リザーバ４２ｂから液体を回収する機構に相当する。
【０１５９】
Ｎ．他の形態：
本開示は、上述した実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実現することができる。例えば、本開示は、以下の形態によっても実現可能である。以下に記載した各形態中の技術的特徴に対応する上記実施形態中の技術的特徴は、本開示の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、本開示の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【０１６０】
（１−１）本開示の一形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、液体を吐出するノズルが形成された第１面と、前記ノズルと連通する連通流路が形成された、前記第１面とは反対側の第２面と、を有するノズルプレートと、前記ノズルと連通する複数の圧力チャンバーが形成されたチャンバープレートと、を備え、前記チャンバープレートは、前記ノズルプレートの前記第２面側に配置され、前記複数の圧力チャンバーのうちの第１圧力チャンバーおよび第２圧力チャンバーは、一の前記連通流路を通じて前記ノズルと連通する。
この形態によれば、第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーがノズルと連通することで、圧力チャンバーの体積が大きくなることを抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることが可能となる。
【０１６１】
（１−２）上記形態であって、前記連通流路は、平面視で前記ノズルよりも大きい領域に形成されていてもよい。
この形態によれば、平面視で連通流路をノズルよりも大きい領域に形成できる。
【０１６２】
（１−３）上記形態であって、前記連通流路は、平面視で、前記第１圧力チャンバーおよび前記第２圧力チャンバーは少なくとも一部が重なるように形成されていてもよい。
この形態によれば、液体吐出ヘッドが水平方向に大型化することを抑制できる。
【０１６３】
（１−４）上記形態であって、前記連通流路の深さ寸法は、前記ノズルの深さ寸法以上であってもよい。
この形態によれば、連通流路の深さ寸法をノズルの深さ寸法以上とすることで、連通流路のイナ−タンスが大きくなることを抑制できる。
【０１６４】
（１−５）上記形態であって、前記連通流路の深さ寸法は、前記ノズルの深さ寸法の２倍以下であってもよい。
この形態によれば、連通流路を、エッチングなどによって形成する際の製造時間が長くなることを抑制できる。またこの形態によれば、連通流路の深さ寸法の製造バラツキの程度を小さくできるので、各ノズルＮｚからの液体の吐出量にバラツキが生じる可能性を低減できる。
【０１６５】
（１−６）上記形態であって、前記第１圧力チャンバーと前記第２圧力チャンバーとは、平面視で第１仮想線に実質的に線対称に形成され、前記連通流路は、平面視で前記第１仮想線に実質的に線対称に形成されていてもよい。
この形態によれば、第１圧力チャンバーから連通流路へと伝達され圧力波と、第２圧力チャンバーから連通流路へと伝達される圧力波との大きさの偏りを抑制できる。これにより、第１圧力チャンバーから連通流路に流入する液体の量と、第２圧力チャンバーから連通流路に流入する液体の量に偏りが生じることを抑制できる。
【０１６６】
（１−７）上記形態であって、前記第１圧力チャンバーおよび前記第２圧力チャンバーと連通する前記ノズルは、平面視で前記第１仮想線と重なるように配置されていてもよい。
この形態によれば、第１圧力チャンバーからノズルへと伝達され圧力波と、第２圧力チャンバーからノズルへと伝達される圧力波との大きさの偏りをさらに抑制できる。これにより、第１圧力チャンバーからノズルに流入する液体の量と、第２圧力チャンバーからノズルに流入する液体の量に偏りが生じることをさらに抑制できる。
【０１６７】
（１−８）上記形態であって、さらに、前記ノズルプレートと前記チャンバープレートとの間に配置された中間プレートを備え、前記中間プレートは、平面視方向に貫通する第１貫通孔および第２貫通孔を有し、前記第１圧力チャンバーは、前記第１貫通孔を介して前記連通流路と連通し、前記第２圧力チャンバーは、前記第２貫通孔を介して前記連通流路と連通してもよい。
この形態によれば、第１貫通孔と第２貫通孔とを有する中間プレートを介して第１圧力チャンバーおよび第２圧力チャンバーを連通流路に連通させることができる。
【０１６８】
（１−９）上記形態であって、さらに、前記複数の圧力チャンバーに共通して連通する第１リザーバおよび第２リザーバを備え、前記第１圧力チャンバーは前記第１リザーバに接続され、前記第２圧力チャンバーは前記第２リザーバに接続されてもよい。
この形態によれば、第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーとを異なるリザーバに接続できる。
【０１６９】
（１−１０）上記形態であって、前記第１リザーバは、前記連通流路へと前記液体を供給する供給リザーバであり、前記第２リザーバは、前記連通流路から前記液体を回収する回収リザーバであってもよい。
この形態によれば、第１リザーバを連通流路に液体を供給する供給リザーバとして機能させ、第２リザーバを連通流路から液体を回収する回収リザーバとして機能させることができる。
【０１７０】
（１−１１）上記形態の液体吐出ヘッドと、前記第１リザーバに前記液体を供給すると共に前記第２リザーバから前記液体を回収する機構と、を備える、液体吐出装置が提供されてもよい。
この形態によれば、第１リザーバに液体を供給すると共に第２リザーバから液体を回収できる。
【０１７１】
（１−１２）上記形態の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドから吐出された液体を受ける媒体を前記液体吐出ヘッドに対して相対的に移動させる機構と、を備える液体吐出装置が提供されてもよい。
この形態によれば、媒体を液体吐出ヘッドに対して相対的に移動できる。
【０１７２】
（２−１）本開示の他の一形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、液体を吐出するノズルと、複数の圧力チャンバーが第１面側に並んで設けられたチャンバープレートと、前記チャンバープレートの前記第１面と接合される第２面であって、前記圧力チャンバーを前記ノズルに連通させるための連通流路の開口が形成された第２面を有する、流路プレートと、を備え、前記複数の圧力チャンバーのうち、隣り合う第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーとの間の隔壁の第１領域は、前記流路プレートの前記第２面に接合されることで拘束され、前記隔壁の第２領域は、平面視において、一の前記連通流路の前記開口と重なっている。
この形態によれば、第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーがノズルと連通することで、圧力チャンバーの体積が大きくなることを抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることが可能となる。またこの形態によれば、連通流路の開口を隔壁の第２領域と重なるように形成することで、連通流路のイナ−タンスを小さくできる。つまり、連通流路の開口を隔壁の第２領域と重なるように形成することで、連通流路の流路断面積をより大きくできる。これにより、連通流路のイナ−タンスを小さくできるので、圧力チャンバーから連通流路を介してノズルへと液体を円滑に流通させることができる。よって、ノズルからの液体の吐出効率を向上できる。
【０１７３】
（２−２）上記形態であって、前記第１圧力チャンバーと前記第２圧力チャンバーとは、第１軸方向に沿って隣り合い、前記隔壁は、前記第１軸方向に直交する第２軸方向に沿って延びており、前記第２領域の前記第２軸方向の長さは、前記第１領域の前記第２軸方向の長さの半分以下であってもよい。
ここで、第２領域の第２軸方向の長さが第１領域の第２軸方向の長さの半分よりも大きくなると、相対的に第１領域が小さくなり、圧力チャンバーのコンプライアンス上昇による吐出効率低下の影響が著しくなる場合がある。この形態によれば、第２領域の第２軸方向の長さを第１領域の第２軸方向の長さの半分以下とすることで、ノズルからの液体の吐出効率をより向上できる。
【０１７４】
（２−３）上記形態であって、前記第２領域の前記第２軸方向の長さは、前記第１圧力チャンバーと前記第２圧力チャンバーのそれぞれの前記第１軸方向の幅以上であってもよい。
この形態によれば、ノズルからの液体の吐出効率をより一層向上できる。
【０１７５】
（２−４）上記形態であって、前記第１圧力チャンバーと前記第２圧力チャンバーとは、第１軸方向に沿って隣り合い、前記隔壁は、前記第１軸方向に直交する第２軸方向に沿って延びており、前記第２領域の前記第２軸方向の長さは、前記第１圧力チャンバーと前記第２圧力チャンバーのそれぞれの前記第１軸方向の幅以上であってもよい。
この形態によれば、連通流路の流路断面積が小さくなることを抑制できるので、連通流路のイナ−タンスが大きくなることをより抑制できる。よって、ノズルから液体を吐出する吐出効率が大きく低下することを抑制できる。
【０１７６】
（２−５）上記形態であって、前記流路プレートの基材と、前記チャンバープレートの基材とは、同じであってもよい。
この形態によれば、チャンバープレートと流路プレートとの線膨張係数を同程度にできるので、熱による反りや熱によるクラック、剥離などの発生を抑制することができる。
【０１７７】
（２−６）上記形態であって、前記第１圧力チャンバーと前記第２圧力チャンバーとは、平面視で第１仮想線に実質的に線対称に形成され、前記連通流路は、平面視で前記第１仮想線に実質的に線対称に形成されてもよい。
この形態によれば、第１圧力チャンバーから連通流路へと伝達され圧力波と、第２圧力チャンバーから連通流路へと伝達される圧力波との大きさの偏りを抑制できる。これにより、第１圧力チャンバーから連通流路に流入する液体の量と、第２圧力チャンバーから連通流路に流入する液体の量に偏りが生じることを抑制できる。
【０１７８】
（２−７）上記形態であって、前記第１圧力チャンバーおよび前記第２圧力チャンバーと連通する前記ノズルは、平面視で前記第１仮想線と重なるように配置されてもよい。
この形態によれば、第１圧力チャンバーからノズルへと伝達され圧力波と、第２圧力チャンバーからノズルへと伝達される圧力波との大きさの偏りを抑制できる。これにより、第１圧力チャンバーから連通流路を介してノズルに流入する液体の量と、第２圧力チャンバーから連通流路を介してノズルに流入する液体の量に偏りが生じることを抑制できる。
【０１７９】
（２−８）上記形態であって、さらに、前記複数の圧力チャンバーに共通して連通する第１リザーバおよび第２リザーバを備え、前記第１圧力チャンバーは前記第１リザーバに接続され、前記第２圧力チャンバーは前記第２リザーバに接続されてもよい。
この形態によれば、第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーとを異なるリザーバに接続できる。
【０１８０】
（２−９）上記形態であって、前記第１リザーバは、前記連通流路へと前記液体を供給する供給リザーバであり、前記第２リザーバは、前記連通流路から前記液体を回収する回収リザーバであってもよい。
この形態によれば、第１リザーバを連通流路に液体を供給する供給リザーバとして機能させ、第２リザーバを連通流路から液体を回収する回収リザーバとして機能させることができる。
【０１８１】
（２−１０）上記形態であって、さらに、前記圧力チャンバーの液圧を可変させる駆動素子を備え、前記第１圧力チャンバーに対応する前記駆動素子である第１駆動素子と、前記第２圧力チャンバーに対応する前記駆動素子である第２駆動素子とは、互いに独立して駆動可能であってもよい。
この形態によれば、第１駆動素子と第２駆動素子とを互いに独立して駆動させることで、第２領域を通じて第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーとの間で生じるクロストークの発生を低減できる。
【０１８２】
（２−１１）上記形態の液体吐出ヘッドと、前記第１リザーバに前記液体を供給すると共に前記第２リザーバから前記液体を回収する機構と、を備える、液体吐出装置が提供されてもよい。
この形態によれば、第１リザーバに液体を供給すると共に第２リザーバから液体を回収できる。
【０１８３】
（２−１２）液体吐出装置であって、上記形態の液体吐出ヘッドと、前記第１駆動素子と前記第２駆動素子とを駆動させる駆動回路と、を備え、前記駆動回路は、前記第１駆動素子に第１駆動パルスを印加し、前記第２駆動素子に前記第１駆動パルスとは異なる第２駆動パルスを印加してもよい。
この形態によれば、第１駆動素子に第１駆動パルスを印加し、第２駆動素子に第２駆動パルスを印加することで、第２領域を通じて第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーとの間で生じるクロストークの発生を低減できる。
【０１８４】
（２−１３）上記形態の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドから吐出された液体を受ける媒体を前記液体吐出ヘッドに対して相対的に移動させる機構と、を備える液体吐出装置が提供されてもよい。
この形態によれば、媒体を液体吐出ヘッドに対して相対的に移動できる。
【０１８５】
（３−１）本開示の他の一形態によれば液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、液体を吐出するノズルと、前記ノズルと連通する圧力チャンバーが第１軸方向に沿って複数並んで形成された圧力チャンバー列と、前記複数の圧力チャンバーに共通して連通される第１リザーバおよび第２リザーバと、を備え、前記圧力チャンバー列は、前記第１リザーバと連通される第１圧力チャンバーと、前記第２リザーバと連通される第２圧力チャンバーと、を含み、前記液体吐出ヘッドは、さらに、前記第１圧力チャンバーと前記第２圧力チャンバーとを一の前記ノズルに共通して連通させる連通流路を備える。
この形態によれば、第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーがノズルと連通することで、圧力チャンバーの体積が大きくなることを抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることが可能となる。
【０１８６】
（３−２）上記形態であって、前記第１圧力チャンバーおよび前記第２圧力チャンバーと、前記連通流路と、前記一のノズルとの組は、複数備えられ、各前記組に対応する複数の前記一のノズルは、前記第１軸方向に沿って並んで配置されてノズル列を構成してもよい。
この形態によれば、第１軸方向に沿って並んで配置された複数のノズルから液体を吐出できる。
【０１８７】
（３−３）上記形態であって、前記第１圧力チャンバーから前記一の連通流路を通って前記第２圧力チャンバーへと前記液体が流れる場合において、前記各組の各前記連通流路を流れる前記液体の流れの向きは同じであってもよい。
ここで、液体を第１圧力チャンバーから連通流路を通って第２圧力チャンバーへと流した場合、ノズル近傍の流れに起因して、ノズルから吐出される液体の向きがノズル開口方向に対してズレる場合がある。よって、各連通流路の流れの向きを揃えることで、各ノズルから吐出される液体の向きのバラツキの程度を小さくできる。
【０１８８】
（３−４）上記形態であって、前記第１リザーバと前記第２リザーバとは、前記液体の吐出方向に平面視した場合に、少なくとも一部が重なるように設けられていてもよい。
この形態によれば、液体吐出ヘッドが水平方向に大型化することを抑制できる。
【０１８９】
（３−５）上記形態であって、さらに、前記第１圧力チャンバーと前記第１リザーバとを接続する第１接続流路と、前記第２圧力チャンバーと前記第２リザーバとを接続する第２接続流路と、を備え、前記第１接続流路の流路長さは、前記第２接続流路の流路長さよりも短くてもよい。
この形態によれば、第１接続流路が第２接続流路よりも短い液体吐出ヘッドを提供できる。
【０１９０】
（３−６）上記形態であって、前記一のノズルから前記第１圧力チャンバーまでの流路長さは、前記一のノズルから前記第２圧力チャンバーまでの流路長さよりも短くてもよい。
ここで、圧力チャンバーから見て接続流路側のイナータンスやノズル側のイナータンスは、圧力チャンバーからノズルへの液体の吐出効率に影響する。例えば、接続流路側のイナータンスが相対的に大きくなれば加圧された圧力チャンバーからノズルへと向かう流れの効率、すなわち吐出効率は相対的に大きくなる。一方で、ノズル側のイナータンスが相対的に大きくなれば、加圧された圧力チャンバーからの吐出効率は相対的に小さくなる。したがって、第１接続流路と第２接続流路との間でのイナータンスの違いは、第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーとの間でのノズルからの吐出効率のアンバランスの原因となり得る。このようなアンバランスを補償又は低減するためには、上記形態のごとく、一のノズルから第１圧力チャンバーまでの流路長さを、一のノズルから第２圧力チャンバーまでの流路長さよりも短くすることでイナ−タンスを調整することが好ましい。
【０１９１】
（３−７）上記形態であって、前記一のノズルと前記第１圧力チャンバーとの間の第１イナ−タンスは、前記一のノズルと前記第２圧力チャンバーとの間の第２イナ−タンスよりも小さくてもよい。
ここで、圧力チャンバーから見て接続流路側のイナータンスやノズル側のイナータンスは、圧力チャンバーからノズルへの液体の吐出効率に影響する。例えば、接続流路側のイナータンスが相対的に大きくなれば加圧された圧力チャンバーからノズルへと向かう流れの効率、すなわち吐出効率は相対的に大きくなる。一方で、ノズル側のイナータンスが相対的に大きくなれば、加圧された圧力チャンバーからの吐出効率は相対的に小さくなる。したがって、第１接続流路と第２接続流路との間でのイナータンスの違いは、第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーとの間でのノズルからの吐出効率のアンバランスの原因となり得る。このようなアンバランスを補償又は低減するためには、上記形態のごとく第１イナ−タンスを第２イナータンスよりも小さくすることが好ましい。
【０１９２】
（３−８）上記形態であって、前記第１接続流路の少なくとも一部分の流路断面積は、前記第２接続流路の流路断面積よりも小さくてもよい。
この形態によれば、第２接続流路のイナ−タンスと第１接続流路のイナ−タンスとが大きく乖離することを抑制できる。
【０１９３】
（３−９）上記形態であって、前記第１リザーバは、前記連通流路へと前記液体を供給する供給リザーバであり、前記第２リザーバは、前記連通流路から前記液体を回収する回収リザーバであってもよい。
この形態によれば、第１リザーバを連通流路に液体を供給する供給リザーバとして機能させ、第２リザーバを連通流路から液体を回収する回収リザーバとして機能させることができる。
【０１９４】
（３−１０）上記形態の液体吐出ヘッドと、前記第１リザーバに前記液体を供給すると共に前記第２リザーバから前記液体を回収する機構と、を備える、液体吐出装置が提供されてもよい。
この形態によれば、第１リザーバに液体を供給すると共に第２リザーバから液体を回収できる。
【０１９５】
（３−１１）上記形態の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドから吐出された液体を受ける媒体を前記液体吐出ヘッドに対して相対的に移動させる機構と、を備える液体吐出装置が提供されてもよい。
この形態によれば、媒体を液体吐出ヘッドに対して相対的に移動できる。
【０１９６】
（４−１）本開示の他の一形態によれば液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、液体を吐出するノズルと、複数の圧力チャンバーと、各前記圧力チャンバーに対応して設けられた駆動素子と、前記駆動素子に電気信号を供給するための複数のリード電極と、を有するチャンバープレートと、前記リード電極上で接続される端子を有する回路基板と、を備え、前記複数の圧力チャンバーは、第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーとを含み、前記チャンバープレートは、一の前記ノズルに共通して連通する第１圧力チャンバーおよび第２圧力チャンバーと、前記駆動素子を構成する第１セグメント電極および第２セグメント電極であって、平面視で、前記第１圧力チャンバーと重なり前記第２圧力チャンバーとは重ならないように形成された第１セグメント電極と、平面視で前記第２圧力チャンバーと重なり前記第１圧力チャンバーとは重ならないように形成された第２セグメント電極と、を有し、前記第１セグメント電極および前記第２セグメント電極は、共通する一の前記リード電極に接続されている。
この形態によれば、第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーが一のノズルと連通することで、圧力チャンバーの体積が大きくなることを抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることが可能となる。またこの形態によれば、駆動素子により近い位置であるリード電極によって、第１セグメント電極と第２セグメント電極への電気信号の配線を共通化できる。これにより、駆動素子において、回路基板から第１セグメント電極までの配線インピーダンスと、回路基板から第２セグメント電極までの配線インピーダンスのバラツキを低減できる。よって、第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーとから、より均等に液体をノズルに供給できるので、ノズルの吐出特性がばらつく可能性を低減できる。
【０１９７】
（４−２）上記形態であって、前記第１セグメント電極と前記第２セグメント電極とは、共通の電極層の一部として形成されていてもよい。
この形態によれば、共通の電極層を用いて第１セグメント電極と第２セグメント電極とを形成できる。
【０１９８】
（４−３）上記形態であって、前記第１セグメント電極と前記第２セグメント電極とは、平面視で第１仮想線に実質的に線対称に形成され、前記一のリード電極は、前記平面視で前記第１仮想線を跨ぐように形成されていてもよい。
この形態によれば、回路基板から第１セグメント電極までの配線インピーダンスと、回路基板から第２セグメント電極までの配線インピーダンスとのバラツキを低減できる。
【０１９９】
（４−４）上記形態であって、前記端子と前記リード電極とは、前記平面視で前記第１仮想線と重なる位置で接続されていてもよい。
この形態によれば、回路基板から第１セグメント電極までの配線インピーダンスと、回路基板から第２セグメント電極までの配線インピーダンスとのバラツキをさらに低減できる。
【０２００】
（４−５）上記形態であって、前記第１圧力チャンバーと、前記第２圧力チャンバーと、前記一のノズルと、前記一のリード電極との組は複数備えられ、各前記組に対応する複数の前記一のノズルは、第１軸方向に沿って並んで配置されてノズル列を構成してもよい。
この形態によれば、各組に対応する複数の一のノズルが第１軸方向に沿って並んで配置できる。
【０２０１】
（４−６）上記形態であって、前記一のリード電極の前記第１軸方向の最大幅は、前記ノズル列のノズルピッチの５０％以上８０％以下であってもよい。
この形態によれば、一のリード電極内を流れる電流のバラツキを低減できる。またこの形態によれば、隣り合う２つのリード電極間の間隔を十分に確保し易くなるので、短絡の発生を抑制できる。
【０２０２】
（４−７）上記形態であって、前記第１圧力チャンバーと前記第２圧力チャンバーとは、前記第１軸方向に沿って並んで配置されていてもよい。
この形態によれば、第１軸方向に沿ってならんで配置された第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーとを形成できる。
【０２０３】
（４−８）上記形態であって、前記第１圧力チャンバーと前記第２圧力チャンバーとは、前記第１軸方向に交差する第２軸方向に沿って並んで配置されていてもよい。
この形態によれば、第２軸方向に沿って並んで配置された第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーとを形成できる。
【０２０４】
（４−９）上記形態であって、さらに、前記複数の圧力チャンバーに共通して連通する第１リザーバおよび第２リザーバを備え、前記第１圧力チャンバーと前記第１リザーバとは接続され、前記第２圧力チャンバーと前記第２リザーバとは接続されてもよい。
この形態によれば、第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーとを異なるリザーバに接続できる。
【０２０５】
（４−１０）上記形態であって、さらに、前記第１圧力チャンバーおよび前記第２圧力チャンバーと、前記一のノズルとを連通させる連通流路を有し、前記第１リザーバは、前記連通流路へと前記液体を供給する供給リザーバであり、前記第２リザーバは、前記連通流路から前記液体を回収する回収リザーバであってもよい。
この形態によれば、第１リザーバを連通流路に液体を供給する供給リザーバとして機能させ、第２リザーバを連通流路から液体を回収する回収リザーバとして機能させることができる。
【０２０６】
（４−１１）上記形態の液体吐出ヘッドと、前記第１リザーバに前記液体を供給すると共に前記第２リザーバから前記液体を回収する機構と、を備える、液体吐出装置が提供されてもよい。
この形態によれば、第１リザーバに液体を供給すると共に第２リザーバから液体を回収できる。
【０２０７】
（４−１２）上記形態の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドから吐出された液体を受ける媒体を前記液体吐出ヘッドに対して相対的に移動させる機構と、を備える液体吐出装置が提供されてもよい。
この形態によれば、媒体を液体吐出ヘッドに対して相対的に移動できる。
【０２０８】
（５−１）本開示の他の一形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、液体を吐出するノズルと、複数の圧力チャンバーと、各前記圧力チャンバーに対応して設けられた駆動素子と、前記駆動素子に電気信号を供給するための複数のリード電極と、を有するチャンバープレートと、前記リード電極上で接続される端子を有する回路基板と、を備え、前記複数の圧力チャンバーは、一の前記ノズルに共通して連通する第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーとを含み、前記複数のリード電極は、前記第１圧力チャンバーに対応する前記駆動素子である第１駆動素子から引き出された第１個別リード電極と、前記第２圧力チャンバーに対応する前記駆動素子である第２駆動素子から引き出された第２個別リード電極と、を含み、前記回路基板の一の前記端子は、平面視で前記第１個別リード電極と前記第２個別リード電極に重なって接続される。
この形態によれば、第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーが一のノズルと連通することで、圧力チャンバーの体積が大きくなることを抑制しつつ、より多くの量の液体をノズルから吐出させることが可能となる。またこの形態によれば、駆動素子により近い位置である端子によって、第１セグメント電極と第２セグメント電極への電気信号の配線を共通化できる。これにより、駆動素子において、回路基板から第１セグメント電極までの配線インピーダンスと、回路基板から第２セグメント電極までの配線インピーダンスのバラツキを低減できる。よって、第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーとから、より均等に液体をノズルに供給できるので、ノズルの吐出特性がばらつく可能性を低減できる。
【０２０９】
（５−２）上記形態であって、前記第１圧力チャンバーと、前記第２圧力チャンバーと、前記一のノズルと、前記端子との組は複数備えられ、各前記組に対応する複数の前記一のノズルは、第１軸方向に沿って並んで配置されてノズル列を構成してもよい。
この形態によれば、複数のノズルが第１軸方向に沿って並んで配置されたノズル列を構成できる。
【０２１０】
（５−３）上記形態であって、前記端子の前記第１軸方向の最大幅は、前記ノズル列のノズルピッチの５０％以上８０％以下であってもよい。
この形態によれば、端子内を流れる電流のバラツキを低減できる。またこの形態によれば、隣り合う２つの端子間の間隔を十分に確保し易くなるので、短絡の発生を抑制できる。
【０２１１】
（５−４）上記形態であって、前記第１圧力チャンバーと前記第２圧力チャンバーとは、前記第１軸方向に沿って並んで配置されていてもよい。
この形態によれば、第１軸方向に沿って並んで配置された第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーを提供できる。
【０２１２】
（５−５）上記形態であって、前記第１圧力チャンバーと前記第２圧力チャンバーとは、前記第１軸方向に交差する第２軸方向に沿って並んで配置されていてもよい。
この形態によれば、第２軸方向に沿って並んで配置された第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーを提供できる。
【０２１３】
（５−６）上記形態であって、さらに、前記複数の圧力チャンバーに共通して連通する第１リザーバおよび第２リザーバを備え、前記第１圧力チャンバーと前記第１リザーバとは接続され、前記第２圧力チャンバーと前記第２リザーバとは接続されてもよい。
この形態によれば、第１圧力チャンバーと第２圧力チャンバーとを異なるリザーバに接続できる。
【０２１４】
（５−７）上記形態であって、さらに、前記第１圧力チャンバーおよび前記第２圧力チャンバーと、前記一のノズルとを連通させる連通流路を有し、前記第１リザーバは、前記連通流路へと前記液体を供給する供給リザーバであり、前記第２リザーバは、前記連通流路から前記液体を回収する回収リザーバであってもよい。
この形態によれば、第１リザーバを連通流路に液体を供給する供給リザーバとして機能させ、第２リザーバを連通流路から液体を回収する回収リザーバとして機能させることができる。
【０２１５】
（５−８）上記形態の液体吐出ヘッドと、前記第１リザーバに前記液体を供給すると共に前記第２リザーバから前記液体を回収する機構と、を備える、液体吐出装置が提供されてもよい。
この形態によれば、第１リザーバに液体を供給すると共に第２リザーバから液体を回収できる。
【０２１６】
（５−９）上記形態の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドから吐出された液体を受ける媒体を前記液体吐出ヘッドに対して相対的に移動させる機構と、を備える液体吐出装置が提供されてもよい。
この形態によれば、媒体を液体吐出ヘッドに対して相対的に移動できる。
【０２１７】
本開示は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、液体吐出ヘッドや液体吐出装置の製造方法、液体吐出装置の制御方法、制御方法を実行するためのプログラム等の形態で実現することができる。
【符号の説明】
【０２１８】
１０，１０ｄ…流路形成基板、１１，１１ｈ，１１ｉ…ヘッド本体、１２…媒体、１３，１３ｄ…チャンバープレート、１４…液体容器、１５…流量プレート（中間プレート）、１５ａ，１５ａ１，１５ａ３…第１流路プレート、１５ｂ，１５ｂ１，１５ｂ３…第２流路プレート、１５ｄ，１５ｈ，１５ｉ…流路プレート、１６，１６ｃ，１６ｄ…連通流路、１６ｈ…中間接続流路、１６ｉ…連通流路、１９ｄ…個別流路、１９ｄａ…第１個別流路、１９ｄｂ…第２個別流路、２０，２０ｂ，２０ｈ，２０ｉ…ノズルプレート、２１…第１面、２２…第２面、２３…搬送ベルト、２４…導入孔、２５…キャリッジ、２６，２６ａ，２６ｂ，２６ｂａ，２６ｂｂ，２６ｃ，２６ｄ、２６ｇ、２６ｈ、２６ｉ…液体吐出ヘッド、２８，２８ｇ…ノズル駆動回路、２９…回路基板、３０…保護基板、３２…貫通孔、４０，４０ｄ…ケース部材、４２ａ…第１リザーバ、４２ｂ…第２リザーバ、４２ｂ１…第１開口、４２ｂ２…第２開口、４２ｂ３…開口部、４２ｄ…リザーバ、４２ｄａ…第１リザーバ、４２ｄｂ…第２リザーバ、４４…導入孔、４４ａ…第１導入孔、４４ｂ…第２導入孔、４４ｈａ…第１導入孔、４４ｈｂ…第２導入孔、４５…コンプライアンス基板、４６…可撓部材、４７…固定基板、８０…保護膜、８１…開口部、１００，１００ｇ，１００ｊ…液体吐出装置、１２１…配線部材、１２３，１２３ｋ，１２３ｋａ…端子、１３１…凹部、１５０，１５０ｂ，１５０ｃ…流路プレート、１５７…プレート第１面、１５８…隔壁、１５９…流路隔壁、１６２ａ…第１流路、１６２ｂ…第２流路、１６２ｃ…第１貫通孔流路、１６３、１６３ｄ…開口、１６４…第２貫通孔流路、１６４ａ…第１形成流路、１６４ｂ…第２形成流路、１６４ｃ…第２貫通孔流路、１９２…第１個別流路、１９４ａ…第１プレート貫通孔、１９４ｂ…第２プレート貫通孔、１９８…第１接続流路、１９９…第２接続流路、２１０…振動板、２１０ａ…弾性層、２１０ｂ…絶縁層、２１１…面、２１５…可動領域、２１６…不動領域、２２０…駆動部、２２０ａ…第１駆動部、２２０ｂ…第２駆動部、２２１…圧力チャンバー、２２１ａ…第１圧力チャンバー、２２１ｂ…第２圧力チャンバー、２２２…隔壁、２２３，２２３ａ，２２３ｂ…下流端、２２４…供給流路、２２４ａ…第１供給流路、２２４ｂ…第２供給流路、２２５…第１面、２２６…面、２２７…突出部、２４０…セグメント電極、２４０Ｔ…電極層、２４０ａ…第１セグメント電極、２４０ｂ…第２セグメント電極、２４１…下地層、２５０…圧電体層、２５１…第１部分、２５２…第２部分、２５６…開口部、２５７…開口部、２６０…共通電極、２７０…第１リード電極、２７６…第２リード電極、２７６ａ…下地層、２７６ｂ…配線層、２７６ｃ…合流配線、２７６ｋａ…第２リード電極、２７６ｋｂ…第２リード電極、２７７ａ…第１個別配線、２７７ｂ…第２別配線、２７７ｃ…合流配線、２７７ｄ…接続配線、２７７ｋａ…第１個別リード電極、２７７ｋｂ…第２個別リード電極、２８０…保護層、２８１…スイッチ回路、２９２…連通流路、２９２ｈ…連通流路、４２３…第１マニホールド部、４２５…第２マニホールド部、４４０ａ…第１共通液室、４４０ｂ…第２共通液室、４４０ｄ…共通液室、４４０ｄａ…第１共通液室、４４０ｄｂ…第２共通液室、６１５…流動機構、６２０…制御ユニット、６２０ｇ…制御ユニット、７２２…搬送機構、８１１…供給流路、８１２…回収流路、８２４…ヘッド移動機構、１１００，１１００ｊ，１１００ｋ，１１００ｋａ…駆動素子、１１０５…アクチュエーター基板、１６２０…第１貫通孔流路、１６４０…第２貫通孔流路、ＣＯＭ…駆動パルス、ＣＯＭ１…第１駆動パルス、ＣＯＭ２…第２駆動パルス、Ｃｅ…中心、Ｄｐａ…寸法、Ｄｐｂ…寸法、ＬＮｚ…ノズル列、ＬＸ…圧力チャンバー列、Ｌｎ１…第１仮想線、Ｌｎ１Ｊ…第１仮想線、Ｎｚ…ノズル、ＰＤ…印刷データ、ＰＮ…ノズルピッチ、Ｒ１…第１領域、Ｒ２…第２領域、ＳＩ…パルス選択信号、Ｗ１２３…最大幅、Ｗ２７６…最大幅、Ｗａ…流路幅、Ｗｂ…流路幅
【図１】
2020157612.tif 000003
【図２】
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【図３】
2020157612.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2020157612.tif 000009
【図８】
2020157612.tif 000010
【図９】
2020157612.tif 000011
【図１０】
2020157612.tif 000012
【図１１】
2020157612.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
2020157612.tif 000016
【図１５】
2020157612.tif 000017
【図１６】
2020157612.tif 000018
【図１７】
2020157612.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
2020157612.tif 000022
【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
2020157612.tif 000028
【図２７】
2020157612.tif 000029
【図２８】
2020157612.tif 000030
【図２９】
2020157612.tif 000031
【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
2020157612.tif 000034
【図３３】
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【図３４】
2020157612.tif 000036
【図３５】
2020157612.tif 000037
【図３６】
2020157612.tif 000038
【図３７】
2020157612.tif 000039
【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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