(57)【要約】      （修正有）【課題】外部からの光の侵入やＸ線による発光のない、Ｘ線装置用窓の気密シールを提供する。【解決手段】Ｘ線窓１０は、薄膜１３と筐体１１との間に挟まれ、気密シールを提供する接着剤層を１４含み、接着剤層１４は、不透明で、気密性を有し、低原子番号元素からなり、耐熱性を有し、ガス放出やリークが少なく、薄膜１３の応力を緩和可能な、液晶ポリマーを含む。薄膜１３から接着剤層１４の反対側に配置される金属製のリングをさらに備え、接着剤層１４、薄膜１３は、リングと筐体との間に挟まれる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を透過させるように構成されている薄膜と、
筐体と、
前記薄膜と前記筐体との間に挟まれて前記薄膜と前記筐体との間を気密にシールするとともに、液晶ポリマーを有する接着剤層と、
を備えているＸ線窓。
【請求項２】
前記液晶ポリマーには剪断減粘性がある、請求項１に記載のＸ線窓。
【請求項３】
前記接着剤層は近位接着剤層であり、前記Ｘ線窓はさらに遠位接着剤層を備えており、
前記遠位接着剤層は液晶ポリマーを有し、
前記薄膜は、前記近位接着剤層と前記遠位接着剤層との間に挟まれている、
請求項１または２に記載のＸ線窓。
【請求項４】
前記薄膜から前記遠位接着剤層の反対側に配置される金属製のリングをさらに備え、
前記近位接着剤層、前記薄膜、および前記遠位接着剤層は、前記リングと前記筐体との間に挟まれている、
請求項３に記載のＸ線窓。
【請求項５】
前記薄膜と前記接着剤層との間に挟まれたリブ付き支持構造をさらに備え、
前記薄膜および前記リブ付き支持構造は、前記筐体の開口部を横切って延在しており、
前記リブ付き支持構造は、前記開口部を横切って前記薄膜を構造的に支持しており、
前記液晶ポリマーの粘度は３００℃で１００，０００ｃｐｓ以上である、
請求項１から４の何れか一項に記載のＸ線窓。
【請求項６】
前記液晶ポリマーを通して前記筐体の内部に入る５５０ｎｍの波長の光および８００ｎｍの波長の光の透過率が３％以下である、請求項１から５の何れか一項に記載のＸ線窓。
【請求項７】
前記液晶ポリマーのヤング率は２５℃で８ＧＰａ以下であり、
前記液晶ポリマーの引張強度は、前記薄膜のロールアウト方向、前記ロールアウト方向に対して横方向、またはその両方に対して２５℃で１５０ＭＰａ以上且つ２５０ＭＰａ以下であり、
前記液晶ポリマーの伸びは２５℃で２０％以上且つ５０％以下である、
請求項１から６の何れか一項に記載のＸ線窓。
【請求項８】
前記液晶ポリマーの異方性は２５℃で１００ＭＰａ以下であり、
前記液晶ポリマーの転移温度は２６０℃以上であり、
前記液晶ポリマーの熱膨張率は２５℃で２０×１０−６ｍ／（ｍ×Ｋ）以下である、
請求項１から７の何れか一項に記載のＸ線窓。
【請求項９】
前記液晶ポリマーは、４−ヒドロキシベンズアルデヒド、６−ヒドロキシ−２−ナフトアルデヒド、４，４'−ビフェノール、テレフタルアルデヒド、エタン−１，２−ジオールまたはそれらの組み合わせから形成されるサーモトロピック芳香族ポリエステルである、請求項１から８の何れか一項に記載のＸ線窓。
【請求項１０】
前記筐体は開口部を取り囲むフランジを有し、
前記接着剤層は前記フランジ上に配置されるとともに、前記開口部を取り囲む環状形状を有し、
前記フランジ上の前記接着剤層の幅をＷ１４として１ｍｍ≦Ｗ１４≦１５ｍｍであり、
前記薄膜と前記筐体との間における前記接着剤層の厚さは、１０μｍ以上且つ５００μｍ以下である、
請求項１から９の何れか一項に記載のＸ線窓。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、一般にＸ線窓に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線窓内の気密シールは、要求が厳しい場合がある。例えば、気密シールを通過してＸ線検出装置の内部に光が侵入すると、サンプルからの信号と干渉する可能性がある。したがって、気密シールが不透明であることは有用であり得る。気密シールからのＸ線蛍光、特に気密シール中の高原子番号元素からのＸ線蛍光は、サンプルからの信号と干渉する可能性がある。それ故、気密シールが低原子番号元素からなることは有用であり得る。
【０００３】
多くのＸ線装置は内部真空空間とこの真空空間を維持するためのゲッタを有する。そのようなゲッタは通常、高温でより早く活性化される。したがって、気密シールが高温に耐え得ることは有用であり得る。そのようなＸ線装置の構成要素のガス放出は、内圧の望ましくない上昇をもたらし得る。したがって、気密シールのガス放出が少ないこともまた有用な特徴となり得る。Ｘ線装置の構成要素を通るわずかな漏れでさえも、望ましくない内圧の上昇および装置の誤動作を徐々に引き起こす可能性がある。したがって、気密シールの漏れ速度が低いこともまた有用であり得る。
【０００４】
Ｘ線窓薄膜は、それが接合される筐体とＸ線窓薄膜との間の熱膨張率が不一致であることに起因して、製造中または使用中に内部応力を生じさせる可能性がある。このような応力を軽減するのに気密シールが役立つ。
【０００５】
Ｘ線窓薄膜およびＸ線装置筐体には多くの異なる材料が使用されている。気密シールが多種多様な材料に結合することができることは有用であり得る。
【発明の概要】
【０００６】
不透明であり、低原子番号元素からなり、高温に耐えられ、ガス放出が少なく、漏れが少なく、Ｘ線窓薄膜の応力を緩和でき、多くの異なる材料に結合することができるＸ線窓用の気密シールを提供することが有利であることが認識されている。本発明は、これらの要求を満たす、Ｘ線窓、およびＸ線窓の製造方法の様々な実施形態に関する。各実施形態は、これらの要求のうちの１つ、いくつか、またはすべてを満たすことができる。
【０００７】
Ｘ線窓は、Ｘ線を透過させるように構成されている薄膜と、筐体と、薄膜と筐体との間に挟まれて薄膜と筐体との間に気密シールを提供する接着剤層とを備え得る。接着剤層は液晶ポリマーを含み得る。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
（図面は一定の縮尺で描かれていない場合がある）
【図１】本発明の一実施形態による、薄膜１３と筐体１１との間に挟まれてそれらの間に気密シールを提供する接着剤層１４を含むＸ線窓１０の概略断面側面図である。
【図２】本発明の一実施形態による、薄膜１３と筐体１１のフランジ１１Ｆとの間に挟持されてそれらの間に気密シールを提供する接着剤層１４を含むＸ線窓２０、および薄膜１３と接着剤層１４との間に挟まれているリブ付き支持構造２４の概略断面側面図である。
【図３】本発明の一実施形態による、Ｘ線窓５０を製造する方法を示す概略斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態による、Ｘ線窓５０を製造する方法を示す概略斜視図である。
【図５】本発明の一実施形態による、Ｘ線窓５０を製造する方法を示す概略斜視図である。
【図６】本発明の実施形態による、一対の接着剤層６４の間に挟まれ、一方または両方によって筐体１１に気密封止された薄膜１３を含むＸ線窓６０の概略断面側面図である。
【図７】本発明の実施形態による、一対の接着剤層６４の間に挟まれ、一方または両方によって筐体１１に気密封止された薄膜１３を含むＸ線窓７０の概略断面側面図である。
【図８】本発明の実施形態による、一対の接着剤層６４の間に挟まれ、一方または両方によって筐体１１に気密封止された薄膜１３を含むＸ線窓８０の概略断面側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
定義
本明細書中で使用される場合、用語「隣接する」は、直接的且つ直近の接触を意味する。
【００１０】
本明細書で使用されるとき、用語「環状」は、リング形状を意味するが、円形形状に限定されない。環状形状は、例えば楕円形などの他の湾曲形状を有し得る。
【００１１】
本明細書で使用されるとき、「ｃｐｓ」はセンチポアズを意味する。
【００１２】
本明細書では、「ＫＰａ」はキロパスカルを意味し、「ＭＰａ」はメガパスカルを意味し、「ＧＰａ」はギガパスカルを意味する。
【００１３】
本明細書では、単位「ｍｂａｒ＊Ｌ／ｓｅｃ」において、「ｍｂａｒ」はミリバールを意味し、各ミリバールは１００パスカルに等しく、「Ｌ」はリットルを意味し、「ｓｅｃ」は秒を意味する。
【００１４】
本明細書では、「ｎｍ」はナノメートルを意味し、「μｍ」はマイクロメートルを意味する。
【００１５】
図１、図２、および図５に示すように、薄膜１３と筐体１１との間に挟まれてそれらの間に気密シールを提供する接着剤層１４を備えたＸ線窓１０、２０、および５０がそれぞれ示されている。薄膜１３は、筐体１１の開口部１１Ａを横切って延在し得る。薄膜１３および筐体１１は接着剤層１４に隣接し得る。
【００１６】
接着剤層１４は、エポキシ、液晶ポリマー、または他の種類の接着剤であり得るか、またはそれを含み得る。例えば、５０％以上、７５％以上、９０％以上、９５％以上、９９％以上、または１００％の接着剤層１４を液晶ポリマーとしてもよい。以下の数段落で説明するように、接着剤層１４は性能を向上させるために特定の特性を有し得る。
【００１７】
図２に示すように、Ｘ線窓２０は、薄膜１３を構造的に支持するとともに薄膜１３と接着剤層１４との間に挟まれたリブ付き支持構造２４をさらに備え得る。リブ付き支持構造２４は、筐体１１の開口部１１Ａを横切って延在していてもよく、筐体１１の開口部１１Ａを横切って薄膜１３を支持していてもよい。薄膜１３、接着剤層１４、またはその両方は、リブ付き支持構造２４に隣接していてもよい。あるいは、薄膜１３と接着剤層１４との間に他のまたは追加の材料があってもよい。筐体１１と接着剤層１４との間に他の材料があってもよい。リブ付き支持構造２４はシリコンを含んでいてもよい。
【００１８】
接着剤層１４の粘性が十分に高くない場合、接着剤層１４がリブ付き支持構造２４の溝の中に吸い込まれる可能性がある。このような溝内の接着剤層１４は、リブ付き支持構造２４を損傷する可能性がある。そのような溝内の接着剤層１４は、Ｘ線を遮断したり発したり（ｆｌｕｏｒｅｓｃｅ）する可能性があり、このことにより試料からのＸ線信号と干渉する可能性がある。したがって、接着剤層１４が高い粘度を有することは有用であり得る。接着剤層１４の例示的な粘度値は、それぞれ３００℃で、１０，０００ｃｐｓ以上、５０，０００ｃｐｓ以上、８０，０００ｃｐｓ以上、１００，０００ｃｐｓ以上、２００，０００ｃｐｓ以上または２５０，０００ｃｐｓ以上、且つ４００，０００ｃｐｓ以下、６００，０００ｃｐｓ以下または１，０００，０００ｃｐｓ以下を含む。本明細書におけるすべての粘度値は静的粘度である。
【００１９】
筐体１１に対する薄膜１３の結合を改善するために、接着剤層１４は、非ニュートン挙動を示すとともに剪断応力下にあるときに粘度の低下を伴う剪断減粘性を有していてもよい。
【００２０】
図１および図２に示すように、Ｘ線窓１０またはＸ線窓２０は、例えばＸ線検出装置またはＸ線管などのＸ線装置の一部とすることができる。Ｘ線検出器または電子放出器であり得るＸ線構成要素１２は、筐体１１の内部１１Ｉ内に少なくとも部分的に配置することができ、Ｘ線窓１０またはＸ線窓２０に面していてもよい。
【００２１】
これらのＸ線装置は通常、筐体１１の内部１１Ｉ内に真空空間を有する。この真空空間を達成し維持するために一般的にゲッタが使用されている。ゲッタはより高温でより迅速に活性化されるので、薄膜１３が高温で筐体１１にシールされる場合、製造時間を短縮することができる。したがって、接着剤層１４が劣化することなく高温に耐え得ることは有用であり得る。接着剤層１４が高い融解温度を有すること、または接着剤層１４が液晶ポリマーである場合、高い転移温度ＴＬＣ（固体状態と液晶状態との間の転移温度）を有することは有用であり得る。液晶ポリマーの転移温度ＴＬＣ値の例としては、２００℃以上、２６０℃以上、２７０℃以上、３００℃以上、３５０℃以上または４００℃以上、且つ５００℃以下、６００℃以下または８００℃以下が挙げられる。
【００２２】
可視光または赤外光は、Ｘ線検出器などのＸ線構成要素１２の動作を妨げる可能性がある。したがって、接着剤層１４が不透明であることは有用であり得る。例えば、５５０ｎｍの波長、８００ｎｍの波長、またはその両方の光の、接着剤層１４を通過して筐体１１の内部１１Ｉに入る透過率は、１０％以下、３％以下、または２％以下であり得る。
【００２３】
接着剤層１４は、薄膜１３と筐体１１との間の熱膨張率の不一致を補うために、低いヤング率、低い引張強度および高い伸びを有していてもよい。このような特性は、温度変化中に薄膜１３と筐体１１とが異なる速度で膨張または収縮するときに接着剤層１４が撓むことを可能にし、それによって窓の破損または歪みを回避する。
【００２４】
接着剤層１４のヤング率の例としては、それぞれ２５℃で、１００ＭＰａ以上、５００ＭＰａ以上または１ＧＰａ以上、且つ２ＧＰａ以下、５ＧＰａ以下、８ＧＰａ以下または１２ＧＰａ以下が挙げられる。接着剤層１４の引張強度値の例は、それぞれ２５℃で１００ＭＰａ以上、１２５ＭＰａ以上、１５０ＭＰａ以上または１７５ＭＰａ以上、且つ２００ＭＰａ以下、２２５ＭＰａ以下、２５０ＭＰａ以下または３００ＭＰａ以下を含む。これらの引張強度値のそれぞれは、縦方向（液晶ポリマーのロールアウト方向）、横方向（縦方向／ロールアウト方向を横切る方向）、またはその両方に対するものであり得る。
【００２５】
伸びは、引張試験に失敗する前の歪である。伸びは、（最終長さ−初期長さ）／初期長さに等しい。接着剤層１４の例示的な伸び値は、それぞれ２５℃で、１０％以上、２０％以上または３０％以上、且つ４０％以下、５０％以下または６０％以下を含む。
【００２６】
接着剤層１４はその製造方法に応じて等方性を有していてもよい。接着剤層１４の異方性がゼロに近いかゼロに等しいことは、均一な接着特性のためには好ましいかもしれない。例えば、接着剤層１４の異方性は、それぞれ２５℃で、３００ＭＰａ以下、２５０ＭＰａ以下、２００ＭＰａ以下、１５０ＭＰａ以下、１００ＭＰａ以下、７５ＭＰａ以下、５０ＭＰａ以下、または２５ＭＰａ以下としてもよい。異方性は、縦方向の引張強度から横方向の引張強度を差し引くことによって計算される。
【００２７】
薄膜１３および筐体１１は、低い熱膨張率値を有していてもよい。接着剤層１４が、薄膜１３、筐体１１、またはその両方の熱膨張係数に近い熱膨張係数を有することは有用であり得る。接着剤層１４の例示的な熱膨張率の値は、それぞれ２５℃で、０ｍ／（ｍ＊Ｋ）以上、１０−６ｍ／（ｍ＊Ｋ）以上または２×１０−６ｍ／（ｍ＊Ｋ）以上、且つ５×１０−６以下、１０×１０−６ｍ／（ｍ＊Ｋ）以下、２０×１０−６ｍ／（ｍ＊Ｋ）以下、３０×１０−６ｍ／（ｍ＊Ｋ）以下、３５×１０−６ｍ／（ｍ＊Ｋ）以下、４０×１０−６ｍ／（ｍ＊Ｋ）以下、または４５×１０−６ｍ／（ｍ＊Ｋ）以下を含む。
【００２８】
接着後における真空下での接着剤層１４のガス放出が少ないことは有用であり得る。この性質により最終装置の内部における真空度の低下を回避することができる。加熱された接着剤層１４の重量損失を用いてガス放出を定量化することができる。例えば、接着剤層１４を薄膜１３と筐体１１との間に配置する前の接着剤層１４の重量損失は、２４時間の間２２５°Ｃの温度で、５％以下、３％以下、２％以下、１％以下、０．７％以下または０．６％以下であり得る。
【００２９】
接着剤層１４として液晶ポリマーを使用することにより、多くの異なるＸ線窓薄膜１３材料と多くの異なる筐体材料との間に強力な気密シールを提供することができ、したがって気密シールを通るガス漏れを低減することができる。例えば、液晶ポリマーは、シリコン、ホウ素、アルミニウム、ステンレス鋼、ニッケル、銅、またはそれらの組み合わせに効果的に結合し得る。薄膜１３、筐体１１、またはその両方は、これらの材料のうちの１つまたは複数を含むことができる。本明細書に記載のＸ線窓１０、２０、および５０の漏れ防止性の例として、気密シールを形成した後少なくとも最初の１０時間は２５℃の温度で、１０−９ｍｂａｒ＊Ｌ／秒以下、≦１０−１０ｍｂａｒ＊Ｌ／秒以下、または３×１０−１０ｍｂａｒ＊Ｌ／秒以下の平均ヘリウム漏れ速度が含まれる。
【００３０】
Ｘ線窓は一般にＸ線検出装置と共に使用される。測定／検出された試料以外の物質からのＸ線蛍光は、試料からのＸ線信号と干渉する可能性がある。このように干渉するＸ線蛍光が高原子番号材料からのものである場合、この問題は通常さらに悪い。それ故、接着剤層１４が低原子番号材料で作られていると有用である。例えば、接着剤層１４中の原子の７０％以上、８０％以上、９０％以上、または９５％以上は、６以下の原子番号を有していてもよい。別の例として、接着剤層１４中の原子の９０％以上、９５％以上、９９％以上、または１００％が原子番号８以下を有していてもよい。したがって、接着剤層１４は、主に、炭素（Ｚ＝６）、水素（Ｚ＝１）、および酸素（Ｚ＝８）から形成することができる。
【００３１】
本明細書に記載の実施形態では、様々な種類の液晶ポリマーを接着剤層１４として使用することができる。例えば、液晶ポリマーは、主鎖、側鎖、線状、環状、分岐状、架橋状、またはそれらの組み合わせであり得る。液晶ポリマーは、サーモトロピックまたはリオトロピックであり得る。液晶ポリマーは芳香族ポリエステルであり得る。液晶ポリマーのポリマーは、以下の、４−ヒドロキシベンズアルデヒド、６−ヒドロキシ−２−ナフトアルデヒド、４，４'−ビフェノール、テレフタルアルデヒド、エタン−１，２−ジオール、またはそれらの組み合わせのモノマーから形成することができる。液晶ポリマーの形成に使用されるメソゲンは、円板状、棒状、両親媒性、またはそれらの組み合わせであり得る。液晶ポリマー１４は、液相の際に、高秩序構造の領域を形成し得る。
【００３２】
実装面の幅を適切に選択することにより、接合を改善し、漏れを低減し、そしてコストを低減することができる。図２のＸ線窓２０に示すように、筐体１１は開口部１１Ａを取り囲むフランジ１１Ｆを有していてもよい。接着剤層１４は、フランジ１１Ｆ上に配置してもよく、筐体１１の開口部１１Ａを取り囲む環状形状を有していてもよい。図２のＸ線窓２０は、フランジ１１Ｆの外側に取り付けた状態を示しているが、本発明は筐体１１の内部１１Ｉにおいてフランジ１１Ｆの内側への取り付けにも同様に適用可能である。フランジ１１Ｆ上の接着剤層１４の幅Ｗ１４の例には、０．５ｍｍ以上、１ｍｍ以上または３ｍｍ以上、且つ７ｍｍ以下、１０ｍｍ以下、１５ｍｍ以下または５０ｍｍ以下が含まれる。
【００３３】
薄膜１３が強く（特に１気圧の差圧に耐えるのに十分強く）、そして高いパーセントのＸ線透過を可能にすることは有用であり得る。薄膜１３は強度のために十分な厚さを有することができるが、Ｘ線を過度に減衰させるような厚さを有することはできない。例えば、薄膜１３は、０．０１マイクロメートル以上、０．２マイクロメートル以上、１０マイクロメートル以上または１００マイクロメートル以上、且つ５００マイクロメートル以下、１ミリメートル以下または５ミリメートル以下の厚さを有していてもよい。厚さは、構成材料、スパン幅、差圧、および用途によって異なる。薄膜１３の構成材料は、原子番号が１４以下、６以下または４以下の材料を含むか、またはそれらからなっていてもよく、ベリリウム、水素、酸素、炭素、ケイ素、および窒素を含み得る。
【００３４】
薄膜１３を横切る差圧（例えば、一方の側に真空、他方の側に空気または真空）は、それを過剰に曲げるかまたは偏向させ、Ｘ線窓を損傷し、そしてまたおそらくは意図しない電流経路、またはＸ線管の場合、電子ビーム集束の変化が発生することによって短絡を引き起こす可能性がある。したがって、偏向距離を最小にすることは有用であり得る。本明細書に記載の薄膜１３は、十分に強くすることができ、したがって、比較的小さい偏向距離を有し得る。例えば、薄膜１３は、薄膜１３を横切る１気圧の差圧で、４００マイクロメートル以下、３００マイクロメートル以下、２００マイクロメートル以下または１００マイクロメートル以下の偏向距離を有していてもよい。
【００３５】
Ｘ線窓が、低エネルギーＸ線の高い透過率を含む、Ｘ線の高い透過率を有することは有用であり得る。本明細書に記載の薄膜１３は、Ｘ線の高い透過率を有し得る。例えば、薄膜１３は、１．７４ｋｅＶのエネルギーを有するＸ線に対して、５０％以上、６０％以上、７０％以上、７４％以上または８０％以上の透過率を有していてもよい。
【００３６】
用途によっては、敏感な機器に望ましくないノイズを発生させないようにするために、Ｘ線窓が可視光および赤外光の透過を遮断することが有用であり得る。例えば、本明細書に記載の薄膜１３は、５５０ナノメートルの波長の可視光に対して１０％以下、３％以下もしくは２％以下の透過率、および／または８００ナノメートルの波長の赤外線に対して、１０％以下、４％以下もしくは３％以下の透過率を有していてもよい。
【００３７】
薄膜１３は、参照により全体として本明細書に組み込まれる米国特許第９，５０２，２０６号明細書に記載されているＸ線窓の特性（例えば、低偏向、高Ｘ線透過率、可視光および赤外光の低透過率）の一部または全部を含み得る。
【００３８】
方法
Ｘ線窓５０を作製する方法は、図３〜図５に示されている以下のステップのいくつかまたはすべてを含み得る。これらのステップは、以下の順序で、またはそう指定されている場合は他の順序で実行してもよい。以下に記載されていない追加のステップがあってもよい。これらの追加のステップは、記載されているものの前、間、または後であってもよい。Ｘ線窓５０およびその構成要素は、Ｘ線窓１０またはＸ線窓２０について上述したような特性を有していてもよい。
【００３９】
この方法は、薄膜１３と筐体１１との間に接着剤層１４を配置することを含み得る。この方法の別のステップは、薄膜１３と筐体１１とを互いに向かって、そしてそれらの間に挟まれた接着剤層１４に向かって押圧するために圧力Ｐを加えることであってもよい。この方法における追加のステップは、例えばオーブン５１内などでＸ線窓を加熱することであってもよい。圧力Ｐを加えることおよび加熱することは、同時にまたは順次に行ってもよい。例えば、薄膜１３および筐体１１の上に軽いものを載せてもよい。
【００４０】
圧力、そのような圧力下での持続時間、および温度は、最適な接合および処理量のために調整することができる。圧力が増加すると、処理時間が減少するとともに結合強度を増加させることができるが、敏感な構成要素への損傷または接着剤層１４の望ましくない薄化をもたらすことがある。接着剤層１４が液晶ポリマーである場合に特に適用可能な圧力範囲の例には、０．０１ＫＰａ以上、０．１ＫＰａ以上、０．１５ＫＰａ以上、０．２ＫＰａ以上、０．５ＫＰａ以上、１ＫＰａ以上または５ＫＰａ以上、且つ１０ＫＰａ以下、２０ＫＰａ以下、３０ＫＰａ以下、５０ＫＰａ以下または１００ＫＰａ以下が含まれる。
【００４１】
温度が上昇すると、処理時間が短縮され、結合材料の隙間および穴がよりよく埋まるが、接着剤層１４または他のＸ線窓構成要素に熱損傷が生じる可能性がある。最適温度は、印加圧力Ｐ、処理時間、構成要素の温度感受性、および所望の接着強度に基づいて選択することができる。例えば、接着剤層１４として液晶ポリマーを有するＸ線窓５０は、液晶ポリマーの転移温度ＴＬＣを超える温度に加熱してもよい。例えば、Ｘ線窓５０は、液晶ポリマーの転移温度ＴＬＣを超えて、１０℃以上、５０℃以上または７０℃以上に加熱してもよい。さらに、Ｘ線窓５０は、液晶ポリマーの転移温度ＴＬＣを超えて９０℃以下、１００℃以下、または１５０℃以下に加熱してもよい。別の例として、Ｘ線窓５０は、１００℃以上、１５０℃以上、２００℃以上、２５０℃以上、または３００℃以上、且つ３５０℃以下、４００℃以下、５００℃以下または６００℃以下の温度に加熱してもよい。
【００４２】
比較的低い温度および圧力でゆっくり硬化させると、結合が改善される可能性があるが、処理量が低下するためにコストが増大する可能性がある。処理時間（Ｘ線窓５０が圧力Ｐおよび加熱下に維持される時間）の例は、５分以上、１５分以上、２０分以上、３０分以上、または１時間以上、且つ２時間以下、３時間以下、４．５時間以下、６時間以下または１０時間以下を含む。
【００４３】
液晶ポリマーは最初に溶媒に溶解され得る。溶液（液晶ポリマーおよび溶媒）は、薄膜１３、筐体１１、またはその両方に塗布され、次いで溶媒を除去して薄膜１３を筐体１１に結合するために焼成され得る。あるいは、液晶ポリマーは、薄膜１３、筐体１１、またはその両方の上に加圧して配置した後に焼成され得るペレット形態であってもよい。液晶ポリマーはシート／フィルムに成形され得る。次いで、このシート／フィルムを切断して成形し、薄膜１３または筐体１１の上に配置してもよい。薄膜１３と筐体１１とは、液晶ポリマーを介して加圧された後、焼成され得る。これらの方法の間の選択は、液晶ポリマーの製造コスト、最終的な接着強度、Ｘ線窓の製造コスト、および液晶ポリマーの等方性に基づいてもよい。
【００４４】
鏡像接着されたＸ線窓
図６、図７、および図８に示されるように、開口部１１Ａを取り囲むフランジ１１Ｆ、薄膜１３、および一対の接着剤層６４を有する筐体１１を備えたＸ線窓６０、７０、および８０がそれぞれ示される。薄膜１３は、一対の接着剤層６４の間に挟持されていてもよく、一方または両方の接着剤層６４によって筐体１１に対して気密にシールされていてもよい。一対の接着剤層６４は、方法の節で上述したように一緒に圧縮して硬化させてもよい。２つの接着剤層６４を使用することにより、薄膜１３内の圧縮応力を均衡させることができ、Ｘ線窓の気密性を改善することができる。
【００４５】
図６に示すように、接着剤層６４の一方または両方は、筐体１１の開口部１１Ａを横切って延在するシートとしてもよい。図７および図８に示すように、接着剤層６４の一方または両方は、開口部を有する環状形状を有していてもよい。接着剤層６４の開口部は、筐体１１の開口部１１Ａを取り囲み得る。接着剤層６４の開口部は、筐体１１の開口部１１Ａと位置合わせされ得る。これらの異なる実施形態の間の決定は、コスト、製造可能性、接着剤層６４によるＸ線減衰、および漏れ止め性に基づいてなされ得る。
【００４６】
図６および図７に示すように、薄膜１３および一対の接着剤層６４は、筐体１１のフランジ１１Ｆの内側に装着され得る。図８に示すように、薄膜１３および一対の接着剤層６４は、筐体１１のフランジ１１Ｆの外側に装着され得る。フランジの内側または外側に装着することの利点についてのさらなる情報については、米国特許出願第２０１４／０００８５３８号公報および米国特許出願第２０１８／０３２３０３３号公報を参照のこと。
【００４７】
上述の接着剤層１４は、一対の接着剤層６４のうちの１つの層、具体的には他の層、すなわち遠位接着剤層１４ｄよりも筐体１１に近い近位接着剤層１４ｐであり得る。近位接着剤層１４ｐ、遠位接着剤層１４ｄ、またはその両方は、接着剤層１４について上述したような特性を有することができる。一対の接着剤層６４は、互いに対して同じ材料組成を有することができる。筐体１１および薄膜１３も上述のような特性を有することができる。
【００４８】
Ｘ線窓は、遠位接着剤層１４ｄの薄膜１３の反対側に配置されたリング６１をさらに含み得る。したがって、遠位接着剤層１４ｄは、リング６１と薄膜１３との間に挟むことができる。一実施形態では、リング６１は金属製とすることができる。リング６１は、例えばコバール（ＡＳＴＭ  Ｆ  １５  Ａｌｌｏｙ）などの鉄−ニッケル−コバルト合金を含み得る。熱膨張の不一致を回避するために、リング６１と筐体１１とは互いに同じ材料組成を有することができる。したがって、両方とも金属製、両方とも鉄−ニッケル−コバルト合金、または両方ともコバールを含むことができる。リング６１を使用することにより、気密シールの接着を改善することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【外国語明細書】
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