(57)【要約】【課題】吸盤によって保持されるリングフレームの位置決めを、容易に実施する。【解決手段】リングフレーム保持機構１０では、リングフレーム１を位置決めする際、吸盤４１から噴出されたエアにより、テーブル１１の上面１３とリングフレーム１の下面との間にエア層を形成し、このエア層により、リングフレーム１と吸盤４１とが非接触状態となるとともに、吸盤４１が下方に押されて、その上端４１ａとテーブル１１の上面１３とが面一になる。このため、４つの吸盤４１からリングフレーム１を離すことが可能となるので、位置決め部２１，２３，２５および２７が、リングフレーム１を容易に横滑りさせることが可能である。このため、リングフレーム１を目標位置に位置決めすることが容易となり、位置決め不良の発生を抑制することができる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平行に向かい合った２つの第１の平坦面と該第１の平坦面に対して直交する方向で平行に向かい合った２つの第２の平坦面とからなる４つの平坦面を外周に有するリングフレームを、該第１および第２の平坦面の少なくとも一方を挟んで目標位置に位置決めする位置決め手段で位置決めされた該リングフレームの下面を吸引保持するリングフレームの保持機構であって、
テーブルと、該テーブルの上面に形成された開口を有する凹部に配置され可撓性を有する吸盤と、該吸盤を吸引源に連通する吸引路と、該吸引路に配設される第１のバルブと、該吸盤をエア供給源に連通するエア供給路と、該エア供給路に配設される第２のバルブとを備え、
該吸盤は、該テーブルの上面からとび出ており、下方向に押されることにより該凹部に収容されることの可能な上端を有しており、
該第２のバルブが開かれて該吸盤からエアが噴出されたとき、該テーブルの上面と該リングフレームの下面との間にエア層が形成され、該リングフレームと該吸盤とが非接触状態となるとともに、該エア層により該吸盤の上端が下方向に押されて、該吸盤の上端と該テーブルの上面とが面一になり、該位置決め手段が、該向かい合う平坦面を挟んで該リングフレームを目標位置に位置決めし、
該第２のバルブが閉じられるとともに該第１のバルブが開かれたとき、該吸盤が該リングフレームを吸引保持する、
リングフレームの保持機構。
【請求項２】
該吸盤を支持する蛇腹筒をさらに備え、
該第１のバルブが開かれて該吸盤が該リングフレームを吸引保持したとき、該吸盤の上端が該リングフレームの下面によって下方に押されるとともに、該蛇腹筒内が負圧になり該蛇腹筒内と該蛇腹筒外の大気圧との圧力差が発生し、大気圧によって該蛇腹筒が収縮されることで、該吸盤が該凹部内に収容されて、該テーブルの上面が該リングフレームの下面を支持する、
請求項１記載のリングフレームの保持機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リングフレームの保持機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
リングフレームとウェーハにダイシングテープを貼着して一体化するテープマウンタでは、リングフレーム保持手段が、ウェーハの直径よりも大きい内径のリングフレームの下面を吸引保持する。そして、ウェーハ保持手段が、リングフレームの開口を介して、ウェーハの下面を吸引保持する。さらに、貼着手段が、リングフレームの上面とウェーハの上面とに、ダイシングテープを貼着する。ダイシングテープが貼着される際には、リングフレームの開口の中心とウェーハの中心とが一致される。
【０００３】
また、リングフレームには、平行に向かい合った２つの第１の平坦面と、第１の平坦面に対して直交する方向で平行に向かい合った２つの第２の平坦面とが、外周に形成されている。
【０００４】
ウェーハの中心とリングフレームの開口の中心とを一致させるために、リングフレーム保持手段は、リングフレームの平坦面を挟むことで、リングフレームを目標位置に位置決めしている（特許文献１および２参照）。
位置決めされたリングフレームは、吸盤で保持される。少なくとも４つの吸盤が、位置決めされたリングフレームの中心を中心とし、等間隔に配設されている。
【０００５】
吸盤を使用している理由は、リングフレームの下面に傷をつけないため、および、僅かに歪みがあるリングフレームを、吸盤を用いて接触することによって吸引保持するためである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３−０８２０４５号公報
【特許文献２】特開２０１１−０３６９６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、吸盤の上にリングフレームを置いているので、吸盤とリングフレームとの摩擦力のために、リングフレームが横滑りしにくくなり、リングフレームを位置決めしにくいという問題が発生した。そこで、位置決めの際、吸盤からエアを噴出させて、このエアによってリングフレームを浮かせることが考えられる。しかし、リングフレームがリング状であるため、その下面を押し上げる４つの吸盤からの４つのエアのバランスが崩れている場合、４つの吸盤の全てからリングフレームを浮かせることが困難である。この場合、少なくとも１つの吸盤とリングフレームとが接触したままとなると、これらの間に生じる摩擦力により、リングフレームが横滑りしにくくなるので、リングフレームを位置決めすることが困難となる。
【０００８】
本発明の目的は、吸盤によって保持されるリングフレームの位置決めを、容易に実施することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のリングフレームの保持機構（本保持機構）は、平行に向かい合った２つの第１の平坦面と該第１の平坦面に対して直交する方向で平行に向かい合った２つの第２の平坦面とからなる４つの平坦面を外周に有するリングフレームを、該第１および第２の平坦面の少なくとも一方を挟んで目標位置に位置決めする位置決め手段で位置決めされた該リングフレームの下面を吸引保持するリングフレームの保持機構であって、テーブルと、該テーブルの上面に形成された開口を有する凹部に配置され、可撓性を有する吸盤と、該吸盤を吸引源に連通する吸引路と、該吸引路に配設される第１のバルブと、該吸盤をエア供給源に連通するエア供給路と、該エア供給路に配設される第２のバルブとを備え、該吸盤は、該テーブルの上面からとび出ており、下方向に押されることにより該凹部に収容されることの可能な上端を有しており、該第２のバルブが開かれて該吸盤からエアが噴出されたとき、該テーブルの上面と該リングフレームの下面との間にエア層が形成され、該リングフレームと該吸盤とが非接触状態となるとともに、該エア層により該吸盤の上端が下方向に押されて、該吸盤の上端と該テーブルの上面とが面一になり、該位置決め手段が、該向かい合う平坦面を挟んで該リングフレームを目標位置に位置決めし、該第２のバルブが閉じられるとともに該第１のバルブが開かれたとき、該吸盤が該リングフレームを吸引保持する。
【００１０】
また、本保持機構は、該吸盤を支持する蛇腹筒をさらに備えてもよく、該第１のバルブが開かれて該吸盤が該リングフレームを吸引保持したとき、該吸盤の上端が該リングフレームの下面によって下方に押されるとともに、該蛇腹筒内が負圧になり該蛇腹筒外の大気圧との圧力差が発生し、大気圧によって該蛇腹筒が収縮されることで、該吸盤が該凹部内に収容されて、該テーブルの上面が該リングフレームの下面を支持してもよい。
【発明の効果】
【００１１】
本保持機構では、リングフレームを位置決めする際、吸盤から噴出されたエアにより、テーブルの上面とリングフレームの下面との間にエア層を形成し、このエア層により、リングフレームと吸盤とが非接触状態となるとともに、吸盤が下方に押されて、その上端とテーブルの上面とが面一になる。このため、吸盤からリングフレームを離すことが可能となるため、位置決め手段が、リングフレームを容易に横滑りさせることが可能である。これにより、リングフレームを目標位置に位置決めすることが容易となり、位置決め不良の発生を抑制することができる。
【００１２】
また、本保持機が吸盤を支持する蛇腹筒を備えている場合、吸盤がリングフレームを吸着保持したとき、吸盤が凹部内に収容されて、リングフレームの下面がテーブルの上面によって支持される。これにより、たとえば、リングフレーム上にダイシングテープを貼着する際、貼着ローラとテーブルの上面とによって、ダイシングテープおよびリングフレームを挟むことができる。その結果、ダイシングテープを、リングフレームに容易かつ堅固に貼着することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】リングフレームを示す斜視図である。
【図２】実施形態にかかるリングフレームの保持機構（本保持機構）を示す斜視図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図４】図２のＢ−Ｂ線矢視断面図である。
【図５】本保持機構の搬送工程を示す説明図である。
【図６】本保持機構の浮上および位置決め工程を示す説明図である。
【図７】本保持機構の保持工程を示す説明図である。
【図８】本保持機構における位置決め手段の他の例を示す説明図である。
【図９】図８に示した位置決め手段の構造を示す説明図である。
【図１０】図９に示した位置決め手段の動作を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
まず、本実施形態にかかるリングフレーム保持機構によって取り扱われるリングフレームについて、簡単に説明する。
図１に示すように、リングフレーム１は、中央の開口部２、平行に向かい合った２つの第１の平坦面３，５、および、第１の平坦面３，５の向かい合う方向に対して直交する方向に向かい合った２つの第２の平坦面７，９を備えている。これら４つの平坦面３，５，７および９は、リングフレーム１の外周に備えられており、リングフレーム１を位置決めするための基準面となる。
【００１５】
図２に示すように、本実施形態にかかるリングフレーム保持機構１０は、リングフレーム１を載置するためのテーブル１１を備えている。テーブル１１は、リング状の上面１３を備えており、その内部に、ウェーハ（図示せず）を保持するためのウェーハ保持テーブル１５が設けられている。
【００１６】
テーブル１１の上面１３には、第１の固定位置決め部２１、および、第１の固定位置決め部２１に向かい合う第１の可動位置決め部２３が配置されている。さらに、上面１３には、第２の固定位置決め部２５、および、第２の固定位置決め部２５に向かい合う第２の可動位置決め部２７が配置されている。
【００１７】
本実施形態では、第１の固定位置決め部２１と第１の可動位置決め部２３とが向かい合う方向と、第２の固定位置決め部２５と第２の可動位置決め部２７とが向かい合う方向とは、互いに略直交している。なお、これら位置決め部２１，２３，２５および２７は、ブロック形状を有しており、位置決め手段の一例に相当する。
【００１８】
図３に示すように、第１の可動位置決め部２３および第２の可動位置決め部２７は、シリンダ機構３２を備えており、このシリンダ機構３２によって、テーブル１１の径方向に移動することが可能である。なお、図２では、シリンダ機構３２の描画を省略している。
【００１９】
本実施形態では、第１の固定位置決め部２１および第１の可動位置決め部２３と、第２の固定位置決め部２５および第２の可動位置決め部２７との少なくとも一方が、リングフレーム１における第１の平坦面３，５および第２の平坦面７，９の少なくとも一方を挟んで、リングフレーム１を、テーブル１１の上面１３における目標位置に位置決めする。
【００２０】
テーブル１１の上面１３には、さらに、開口を有する４つの凹部３１が設けられている。これら４つの凹部３１は、上記した４つの位置決め部２１，２３，２５および２７の間に配置されている。図４に示すように、各凹部３１内には、リングフレーム１を吸着可能な吸盤機構３３の吸盤部材４０が収容されている。
【００２１】
吸盤機構３３は吸盤部材４０を備えており、吸盤部材４０は、可撓性を有する吸盤４１、および、吸盤４１を支持する蛇腹筒４２を有している。
吸盤機構３３は、さらに、吸引源６１に接続されている吸引用配管４３、吸引用配管４３に配設されている第１のバルブ４５、エア供給源６３に接続されているエア供給用配管４７、エア供給用配管４７に配設されている第２のバルブ４９、および、共通路６５を備えている。
【００２２】
共通路６５は、吸引用配管４３およびエア供給用配管４７と、各吸盤部材４０の吸盤４１とを、蛇腹筒４２を介してつないでいる。すなわち、吸引用配管４３および共通路６５は、吸盤部材４０の吸盤４１を吸引源６１に連通する吸引路の一例に相当し、エア供給用配管４７および共通路６５は、吸盤４１をエア供給源６３に連通するエア供給路の一例に相当する。
【００２３】
吸盤４１は、蛇腹筒４２、共通路６５および吸引用配管４３を介して吸引源６１に連通されると、吸盤４１の上端４１ａの開口部からエアを吸い込み、上端４１ａの近傍にあるリングフレーム１を吸着保持する。一方、吸盤４１は、蛇腹筒４２、共通路６５およびエア供給用配管４７を介してエア供給源６３に連通されると、上端４１ａの開口部からエアを噴出し、上端４１ａに吸着されているリングフレーム１から離れる。
【００２４】
蛇腹筒４２は、凹部３１内に配置されており、その上側の端部が吸盤４１の下端に接続されている一方、下側の端部が共通路６５に接続されている。蛇腹筒４２は、伸縮可能な構造を有しており、自身が伸縮することによって、凹部３１内で吸盤４１を上下動させるように構成されている。すなわち、蛇腹筒４２が、通常状態である伸張した状態にあるとき、吸盤４１の上端４１ａは、テーブル１１の上面１３からとび出ている。また、吸盤４１が上方から押されると、蛇腹筒４２は、吸盤４１の受ける押圧力によって収縮する。このため、吸盤４１が、凹部３１内に収容される。
【００２５】
このように、吸盤４１の上端４１ａは、テーブル１１の上面１３から僅かにとび出ており、下方向に押されることにより凹部３１に収容されることが可能である。
【００２６】
また、本実施形態では、蛇腹筒４２が吸引源６１に連通されると、蛇腹筒４２内が負圧になり、蛇腹筒４２外の大気圧との圧力差が発生し、大気圧によって蛇腹筒４２が収縮される。したがって、この場合にも、吸盤４１の上端４１ａが凹部３１内に収容される。
【００２７】
次に、リングフレーム保持機構１０によるリングフレーム保持動作について説明する。
（１）リングフレーム搬送工程
リングフレーム保持機構１０の動作の開始前に、まず、図１に示したリングフレームが、リングフレーム保持機構１０の所定位置に搬送される。この搬送に使用される搬送装置１１１は、図５に示すように、リングフレーム１を吸引保持する複数（たとえば４つ）の保持部材１２１、保持部材１２１の吸引源である搬送吸引源１１７、各保持部材１２１を支持する支持部１１６、駆動源（図示せず）に連結されたアーム部１１５、および、支持部１１６とアーム部１１５とを連結する連結部材１１９を備えている。
【００２８】
アーム部１１５は、その基端側が駆動源に連結されている一方、先端側が、連結部材１１９および支持部１１６を介して、保持部材１２１を保持している。アーム部１１５は、駆動源を旋回軸としてＸＹ平面内で旋回可能であり、駆動源を昇降軸としてＺ方向に沿って上下方向に昇降可能である。
【００２９】
保持部材１２１は、リングフレーム１を吸引保持する吸着部１２３を先端に備えている。吸着部１２３は、ポーラスセラミックス等の多孔質材料からなる。搬送吸引源１１７は、真空発生装置及びコンプレッサー等を含み、連通路１７１を有している。連通路１７１は、支持部１１６等を貫通して保持部材１２１の吸着部１２３にまで到達している。したがって、搬送吸引源１１７は、この連通路１７１を介して、吸着部１２３に接続されている。搬送吸引源１１７が連通路１７１を介して吸着部１２３を吸引することにより、吸着部１２３の表面に負圧が生じる。吸着部１２３は、この負圧によって、リングフレーム１を吸引保持する。
【００３０】
なお、図５〜７では、説明の便宜上、図３に示した断面図における第１の位置決め部２１，２３に関する部分と、図４に示した断面図における吸盤機構３３に関する部分とを、１つの図にて示している。
【００３１】
リングフレーム搬送工程では、搬送装置１１１が、駆動源からの駆動力を用いて、ＸＹ平面内でアーム部１１５を旋回させることによって、所定の位置に載置されているリングフレーム１の上方に、保持部材１２１を配置する。そして、アーム部１１５をＺ方向に沿って降ろすことにより、保持部材１２１をリングフレーム１に接触させる。さらに、搬送吸引源１１７を動作させることにより、保持部材１２１の吸着部１２３によってリングフレーム１を吸引保持する。この状態で、アーム部１１５を旋回および昇降することにより、リングフレーム１を、リングフレーム保持機構１０におけるテーブル１１の上面１３の上方に配置する。さらに、アーム部１１５を降ろすことにより、リングフレーム１を、吸盤部材４０における吸盤４１の上端４１ａに載置する。
【００３２】
なお、以下に示す例では、アーム部１１５は、リングフレーム１における第１の平坦面３，５が、リングフレーム保持機構１０の第１の固定位置決め部２１と第１の可動位置決め部２３との間に配されるように、リングフレーム１を吸盤４１の上端４１ａに載置する。これにより、リングフレーム１における第２の平坦面７，９が、リングフレーム保持機構１０の第２の固定位置決め部２５と第２の可動位置決め部２７との間に配される。
【００３３】
（２）浮上よび位置決め工程
次に、リングフレーム１を目標位置に位置決めする。
図６に示すように、この工程では、第１のバルブ４５が閉じられている状態で第２のバルブ４９が開かれて、各吸盤部材４０の吸盤４１が、エア供給用配管４７、共通路６５および蛇腹筒４２を介して、エア供給源６３に連通される。これにより、吸盤４１からエアが噴出されて、吸盤４１の上端４１ａに載置されているリングフレーム１が、吸盤４１から浮上する。
なお、図６および図７では、吸引用配管４３、エア供給用配管４７、共通路６５および蛇腹筒４２内におけるエアの流れを、矢印によって示している。
【００３４】
すなわち、吸盤４１から噴出されたエアにより、吸盤部材４０を収容している凹部３１が設けられたテーブル１１の上面１３とリングフレーム１の下面との間に、エア層が形成される。このエア層により、リングフレーム１と吸盤４１とが非接触状態となる。さらに、エア層により、吸盤４１の上端４１ａが下方向に押されて、吸盤４１の上端４１ａとテーブル１１の上面１３とが面一になる。
【００３５】
この状態で、位置決め部２１，２３，２５および２７（図２参照）が、リングフレーム１の位置決めを実施する。すなわち、第１の可動位置決め部２３が、そのシリンダ機構３２によってテーブル１１の径方向に移動しながら、リングフレーム１の第１の平坦面３に接触し、リングフレーム１を横滑りさせて、第１の固定位置決め部２１とともに平坦面３，５を挟み込む。それとともに、第２の可動位置決め部２７が、そのシリンダ機構３２によってテーブル１１の径方向に移動しながら、リングフレーム１の第２の平坦面９に接触し、リングフレーム１を横滑りさせて、第２の固定位置決め部２５とともに平坦面７，９挟み込む。これにより、リングフレーム１の平坦面５，９が、２つの固定位置決め部２１，２５に接触する。その結果、リングフレーム１が、テーブル１１における目標位置に位置決めされる。
【００３６】
（３）保持工程
次に、リングフレーム１を、リングフレーム保持機構１０によって吸着保持する。
図７に示すように、この工程では、第２のバルブ４９が閉じられるとともに、第１のバルブ４５が開かれて、各吸盤部材４０の吸盤４１が、吸引用配管４３、共通路６５および蛇腹筒４２を介して、吸引源６１に連通される。これにより、浮上していたリングフレーム１が、吸盤４１の上端４１ａに載置される。そして、吸盤４１が、その上端４１ａの開口部からエアを吸い込み、上端４１ａに載置されているリングフレーム１を吸着保持する。
【００３７】
このとき、吸盤４１の上端４１ａが、リングフレーム１の重さによって、下方に押される。また、吸盤部材４０の蛇腹筒４２が吸引源６１に連通されたことにより、蛇腹筒４２の内部が負圧になり、蛇腹筒４２の外部の大気圧との圧力差が発生し、蛇腹筒４２が大気圧によって収縮される。その結果、吸盤４１が凹部３１内に収容され、吸盤４１の上端４１ａとテーブル１１の上面１３とが略面一となる。これにより、リングフレーム１の下面が、吸盤４１の上端４１ａおよびテーブル１１の上面１３によって支持される。
【００３８】
以上のように、リングフレーム保持機構１０では、リングフレーム１を位置決めする際、吸盤４１から噴出されたエアにより、テーブル１１の上面１３とリングフレーム１の下面との間にエア層を形成し、このエア層により、リングフレーム１と吸盤４１とが非接触状態となるとともに、吸盤４１が下方に押されて、その上端４１ａとテーブル１１の上面１３とが面一になる。このため、リングフレーム保持機構１０では、４つの吸盤４１からリングフレーム１を離すことが可能となるため、位置決め部２１，２３，２５および２７が、リングフレーム１を容易に横滑りさせることが可能である。これにより、リングフレーム１を目標位置に位置決めすることが容易となり、位置決め不良の発生を抑制することができる。
【００３９】
また、リングフレーム保持機構１０では、吸盤４１がリングフレーム１を吸着保持したとき、吸盤４１が凹部３１内に収容されて、吸盤４１の上端４１ａとテーブル１１の上面１３とが略面一となり、リングフレーム１の下面を、吸盤４１の上端４１ａおよびテーブル１１の上面１３によって支持する。これにより、たとえば、リングフレーム１上にダイシングテープ（図示せず）を貼着する際、貼着ローラ（図示せず）とテーブル１１の上面１３とによって、ダイシングテープおよびリングフレーム１を挟むことができる。その結果、ダイシングテープを、リングフレーム１に容易かつ堅固に貼着することができる。
【００４０】
なお、本実施形態では、テーブル１１が、位置決め手段の一例として、ブロック形状を有する位置決め部２１，２３，２５および２７を備えている。これに代えて、テーブル１１は、図８に示すような、互いに向かい合う第３の固定位置決め部５１および第３の可動位置決め部５３と、互いに向かい合う第４の固定位置決め部５５および第４の可動位置決め部５７とを備えてもよい。第３の固定位置決め部５１と第３の可動位置決め部５３とが向かい合う方向と、第４の固定位置決め部５５と第４の可動位置決め部５７とが向かい合う方向とは、互いに略直交している。
【００４１】
この構成では、第３の固定位置決め部５１および第３の可動位置決め部５３と、第４の固定位置決め部５５および第４の可動位置決め部５７との少なくとも一方が、リングフレーム１における第１の平坦面３，５および第２の平坦面７，９の少なくとも一方を挟んで、リングフレーム１を、テーブル１１の上面１３における目標位置に位置決めする。
【００４２】
第３の固定位置決め部５１は、テーブル１１に固定された本体５１Ｂ、および、本体５１Ｂに取り付けられた２本のピン５１Ｐを備えている。第３の固定位置決め部５１に対向する第３の可動位置決め部５３は、本体５３Ｂ、本体５３Ｂに取り付けられた１本のピン５３Ｐ、および、本体５３Ｂをテーブル１１の径方向に貫通するシャフト５３Ｓを備えている。
【００４３】
第４の固定位置決め部５５は、テーブル１１に固定された本体５５Ｂ、および、本体５５Ｂに取り付けられた２本のピン５５Ｐを備えている。第４の固定位置決め部５５に対向する第４の可動位置決め部５７は、本体５７Ｂ、本体５７Ｂに取り付けられた１本のピン５７Ｐ、および、本体５７Ｂをテーブル１１の径方向に貫通するシャフト５７Ｓを備えている。
【００４４】
位置決め部５１〜５７の本体５１Ｂ〜５７Ｂは、テーブル１１の上面１３から突き出ないように、テーブル１１内に配置されている。第３の可動位置決め部５３の本体５３Ｂおよび第４の可動位置決め部５７の本体５７Ｂは、それぞれ、シャフト５３Ｓ，５７Ｓに沿って、テーブル１１の径方向に移動することが可能である。
【００４５】
位置決め部５１〜５７のピン５１Ｐ〜５７Ｐは、図９に示すように、それぞれ、本体５１Ｂ〜５７Ｂ内に、ばねＲによって支持されている。なお、図９は、第３の可動位置決め部５３のピン５３Ｐについて示しているけれども、他のピン５１Ｐ，５５Ｐおよび５７Ｐも同様の構造を有する。ばねＲによって支持されているため、ピン５１Ｐ〜５７Ｐは、上方から押圧されることにより収縮して、一部が本体５１Ｂ〜５７Ｂ内に収容される。
【００４６】
この構成では、吸盤４１の上端４１ａに吸着保持され、上端４１ａおよびテーブル１１の上面１３に支持されているリングフレーム１、および、ウェーハ保持テーブル１５（図８参照）に保持されているウェーハ（図示せず）に、ダイシングテープを容易に貼着することができる。
【００４７】
たとえば、リングフレーム１およびウェーハにダイシングテープを貼着する場合、図１０に示すように、まず、リングフレーム１およびウェーハをダイシングテープＴによって覆い、貼着ローラ７１によってダイシングテープＴをリングフレーム１およびウェーハに押し付ける。
【００４８】
この際、貼着ローラ７１の端部が位置決め部５１〜５７のピン５１Ｐ〜５７Ｐ上に差し掛かると、ピン５１Ｐ〜５７Ｐが押圧されて収縮し、ピン５１Ｐ〜５７Ｐの上面がダイシングテープＴの上面と略面一となる。このため、ピン５１Ｐ〜５７Ｐが貼着ローラ７１の回転を阻害することが抑制されるので、リングフレーム１およびウェーハに、ダイシングテープＴを容易に貼着することができる。
【符号の説明】
【００４９】
１：リングフレーム、３，５：第１の平坦面、７，９：第２の平坦面、
１０：リングフレーム保持機構、
１１：テーブル、１５：ウェーハ保持テーブル、
２１：第１の固定位置決め部、２３：第１の可動位置決め部、
２５：第２の固定位置決め部、２７：第２の可動位置決め部、
３１：凹部、３２：シリンダ機構、
３３：吸盤機構、４０：吸盤部材、４１：吸盤、４１ａ：上端、４２：蛇腹筒、
４３：吸引用配管、４５：第１のバルブ、４７：エア供給用配管、４９：第２のバルブ、
５１：第３の固定位置決め部、５３：第３の可動位置決め部、
５５：第４の固定位置決め部、５７：第４の可動位置決め部、
６１：吸引源、６３：エア供給源、６５：共通路、
７１：貼着ローラ、
Ｔ：ダイシングテープ
【図１】
2020061457.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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