(57)【要約】【課題】  層間剥離や軟磁性合金扁平粉の連鎖的な脱落を生じない磁性部品を提供すること。【解決手段】  磁性部品１０は、上下方向と直交する上面１０２及び下面１０４と、上面１０２と下面１０４とを繋ぐ側面１１０とを有している。磁性部品１０は、軟磁性扁平粉２０と結着部材３０とを含む。軟磁性扁平粉２０の表面は、絶縁体膜２４で覆われている。軟磁性扁平粉２０は、厚み方向と交差する二つの主表面２２を有している。軟磁性扁平粉２０の主表面２２の一方は、上面１０２、下面１０４及び側面１１０の夫々において、磁性部品１０の外側へ向いている。【選択図】図２
2020061530.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軟磁性扁平粉と結着部材とを含む磁性部品であって、
前記軟磁性扁平粉の表面は、絶縁体膜で覆われており、
前記軟磁性扁平粉は、その厚み方向と交差する二つの主表面を有しており、
前記磁性部品は、上下方向と直交する上面及び下面と、前記上面と前記下面とを繋ぐ側面とを有しており、
前記軟磁性扁平粉の前記主表面の一方は、前記上面、前記下面及び前記側面の夫々において、前記磁性部品の外側へ向いている
磁性部品。
【請求項２】
請求項１に記載の磁性部品であって、
前記磁性部品は、前記側面から前記磁性部品の内部へ広がる側部領域と、それ以外の主領域とを有しており、
前記側部領域において、前記軟磁性扁平粉の前記主表面の一方は、前記側面へ向いており、
前記主領域において、前記軟磁性扁平粉の前記主表面は、前記上下方向と交差している
磁性部品。
【請求項３】
請求項２に記載の磁性部品であって、
前記上下方向における前記磁性部品の中央位置において、前記側面と直交する方向の前記側部領域のサイズは、３０μｍ以上３００μｍ以下である
磁性部品。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれかに記載の磁性部品であって、
前記結着部材は、ＳｉＯ２である
磁性部品。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか一つに記載の磁性部品であって、
前記軟磁性扁平粉は、Ｆｅ−Ｓｉ系の軟磁性合金材料から製造され、
前記軟磁性扁平粉の平均アスペクト比は、１０以上である
磁性部品。
【請求項６】
磁性部品の製造方法であって、
絶縁体膜で覆われた軟磁性扁平粉をバインダと混錬して造粒粉を生成し、
前記造粒粉を金型内に充填して一軸プレス法によりプレスして成型体を形成し、
前記金型内において前記成型体に対して熱硬化プロセスを行って前記バインダを熱硬化させ、
その後、前記成型体を前記金型から取り出す
磁性部品の製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載の磁性部品の製造方法であって、
熱硬化プロセスを１時間以上行う
磁性部品の製造方法。
【請求項８】
請求項６又は請求項７に記載の磁性部品の製造方法であって、
前記金型から取り出された前記成型体をさらに熱処理する
磁性部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁性部品及びその製造方法に関し、特に、軟磁性扁平粉を用いた磁性部品及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
軟磁性合金扁平粉を用いた複合磁性体が知られている。複合磁性体は、軟磁性合金扁平粉を所定方向に配向させることにより、所定方向において高い透磁率を実現する。一般に、複合磁性体は、シート状に形成される。しかし、複合磁性体を利用して磁性コアやノイズフィルタ等の磁性部品を構成したいという要望が存在する。
【０００３】
特許文献１は、軟磁性合金扁平粉を用いた圧粉磁心を開示している。特許文献１の圧粉磁心は、複数の成型体を重ね合わせて接合することにより形成されている。成型体の夫々において、軟磁性合金扁平粉は、成型体の製造時のプレス方向と直交する方向に配向されている。複数の成型体は、軟磁性合金扁平粉の配向方向が一致するように、プレス方向に重ねられて互いに接合されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２１４４２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の圧粉磁心には、重ねられた成型体の接合部分において、成型体が互いに剥離する層間剥離が生じる可能性があるという問題がある。同様の問題は、シート状の複合磁性体を積層して構成された磁性部品においても起こり得る。加えて、これらの圧粉磁心や磁性部品には、その側面から軟磁性合金扁平粉が次々に脱落するという問題も起こり得る。
【０００６】
本発明は、上記問題が起こることを防ぐことのできる構造を備える磁性部品を提供することを目的とする。また、本発明は、そのような磁性部品を製造することができる一例としての製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、第１の磁性部品として、軟磁性扁平粉と結着部材とを含む磁性部品であって、
前記軟磁性扁平粉の表面は、絶縁体膜で覆われており、
前記軟磁性扁平粉は、その厚み方向と交差する二つの主表面を有しており、
前記磁性部品は、上下方向と直交する上面及び下面と、前記上面と前記下面とを繋ぐ側面とを有しており、
前記軟磁性扁平粉の前記主表面の一方は、前記上面、前記下面及び前記側面の夫々において、前記磁性部品の外側へ向いている
磁性部品を提供する。
【０００８】
また、本発明は、第２の磁性部品として、第１の磁性部品であって、
前記磁性部品は、前記側面から前記磁性部品の内部へ広がる側部領域と、それ以外の主領域とを有しており、
前記側部領域において、前記軟磁性扁平粉の前記主表面の一方は、前記側面へ向いており、
前記主領域において、前記軟磁性扁平粉の前記主表面は、前記上下方向と交差している
磁性部品を提供する。
【０００９】
また、本発明は、第３の磁性部品として、第２の磁性部品であって、
前記上下方向における前記磁性部品の中央位置において、前記側面と直交する方向の前記側部領域のサイズは、３０μｍ以上３００μｍ以下である
磁性部品を提供する。
【００１０】
また、本発明は、第４の磁性部品として、第１から第３の磁性部品のいずれかであって、
前記結着部材は、ＳｉＯ２である
磁性部品を提供する。
【００１１】
また、本発明は、第５の磁性部品として、第１から第４の磁性部品のいずれかであって、
前記軟磁性扁平粉は、Ｆｅ−Ｓｉ系の軟磁性合金材料から製造され、
前記軟磁性扁平粉の平均アスペクト比は、１０以上である
磁性部品を提供する。
【００１２】
本発明は、第１の磁性部品の製造方法として、
絶縁体膜で覆われた軟磁性扁平粉をバインダと混錬して造粒粉を生成し、
前記造粒粉を金型内に充填して一軸プレス法によりプレスして成型体を形成し、
前記金型内において前記成型体に対して熱硬化プロセスを行って前記バインダを熱硬化させ、
その後、前記成型体を前記金型から取り出す
磁性部品の製造方法を提供する。
【００１３】
本発明は、第２の磁性部品の製造方法として、第１の磁性部品の製造方法であって、
熱硬化プロセスを１時間以上行う
磁性部品の製造方法を提供する。
【００１４】
本発明は、第３の磁性部品の製造方法として、第１又は第２の磁性部品の製造方法であって、
前記金型から取り出された前記成型体をさらに熱処理する
磁性部品の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の磁性部品において、軟磁性扁平粉は、磁性部品の上面、下面及び側面の夫々において、主表面の一方が外側へ向いている。即ち、軟磁性扁平粉は、各面の近傍において各面に沿うように配向されている。そのため、薄型の成型体やシートを積層した場合の層間部に相当する部位がなく、層間剥離は生じない。加えて、側面からの軟磁性扁平粉の脱落も防止される。また、軟磁性扁平粉は、磁性部品の主領域において、主表面が上下方向と交差するように配向しており、高い透磁率を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施の形態による磁性部品を示す斜視図である。
【図２】図１の磁性部品のＡ−Ａ線断面における軟磁性扁平粉の配向を示す模式図である。図において、軟磁性扁平粉の密度は、実際よりも極めて低く描かれている。軟磁性扁平粉の配向方向は、夫々の位置における代表的な例を示している。
【図３】図２の一点鎖線Ｂで示す枠内を拡大して示す模式図である。図において、各部寸法は実際の磁性部品における各部寸法を表すものではない。
【図４】図１の磁性部品のＡ−Ａ線断面の第１角部を拡大して示す写真である。
【図５】図１の磁性部品のＡ−Ａ線断面の第２角部を拡大して示す写真である。
【図６】図１の磁性部品のＡ−Ａ線断面の第３角部を拡大して示す写真である。
【図７】図１の磁性部品のＡ−Ａ線断面の第４角部を拡大して示す写真である。
【図８】図１の磁性部品のＡ−Ａ線断面の中央部を部分的に拡大して示す写真である。
【図９】図１の磁性部品の内周面と端面との境界を部分的に拡大して示す写真である。
【図１０】図１の磁性部品の端面を部分的に拡大して示す写真である。
【図１１】本発明の磁性部品の製造方法の一例を示すフローチャートである。
【図１２】図１１の製造方法に含まれるプレス工程において、造粒粉体に生じる圧力分布を示す図である。図は、トロイダル形状の磁性部品の径方向に沿った断面を表している。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図１を参照すると、本発明の一実施の形態に係る磁性部品（複合磁性コア）１０は、上下方向に沿った軸を持つ半円筒（半円環状）の形状を有している。詳しくは、磁性部品１０は、上下方向と直交する半環状の上面１０２及び下面１０４と、上面１０２と下面１０４とを繋ぐ側面１１０とを有している。また、本実施の形態において、側面１１０は、外側面１１２と、内側面１１４と、一対の端面１１６とを含んでいる。
【００１８】
図１の磁性部品１０は、使用時において同一構成の他の磁性部品と組み合わされて、円筒状（トロイダル形状）の磁性コアを構成する。換言すると、磁性部品１０は、分割型磁性コアを構成する一部品である。但し、本発明は、これに限られない。本発明の磁性部品は単体で磁性コアを構成するものでもよいし、２以上の部品と組み合わされて磁性コアを構成するものでもよい。また、本発明の磁性部品の形状は、その用途に応じて様々に変更し得る。たとえば、磁性部品は、円筒形、円環形、枠形、角筒形、柱形又は棒形等であってもよい。
【００１９】
図３に示されるように、本実施の形態による磁性部品１０は、軟磁性扁平粉２０と、軟磁性扁平粉２０を相互に結着させる結着部材３０とで構成される。磁性部品１０は、軟磁性扁平粉２０が持つ形状磁気異方性を利用するものである。
【００２０】
軟磁性扁平粉２０は、特に限定されないが、Ｆｅ−Ｓｉ系、Ｆｅ−Ｓｉ−Ａｌ系またＦｅ−Ｓｉ−Ｃｒ系の軟磁性合金材料を用いて形成することができる。軟磁性扁平粉２０は、その名から理解されるように扁平形状を有している。そして、軟磁性扁平粉２０は、図３に示されるように、その厚み方向と交差する二つの主表面２２を有している。本実施の形態において、軟磁性扁平粉２０の平均粒径は３０〜４０μｍであり、平均アスペクト比は１０以上である。軟磁性扁平粉２０の粒径は、厚み方向と直交する方向の長さであり、アスペクト比は、粒径と厚みとの比である。
【００２１】
図３に示されるように、軟磁性扁平粉２０の表面は、絶縁体膜２４で覆われている。絶縁体膜２４は、特に限定されないが、軟磁性扁平粉２０を熱処理することによって形成される酸化膜（不動態膜）又は窒化膜を用いることができる。
【００２２】
結着部材３０は、特に限定されないが、無機物であることが望ましい。結着材としての無機物として、ＳｉＯ２を用いることができる。
【００２３】
図２に示されるように、磁性部品１０の内部において軟磁性扁平粉２０は配向している。詳しくは、軟磁性扁平粉２０は、磁性部品１０の上面１０２、下面１０４及び側面１１０の夫々において、各面に沿うように配向している。換言すると、軟磁性扁平粉２０は、上面１０２、下面１０４及び側面１１０の夫々において、その主表面２２（図３参照）の一方が磁性部品１０の外側へ向いている。また、磁性部品１０の上面１０２、下面１０４及び側面１１０の夫々の近傍において、軟磁性扁平粉２０は、各面に沿うように配向している。換言すると、軟磁性扁平粉２０は、磁性部品１０の上面１０２、下面１０４及び側面１１０の夫々の近傍において、その主表面２２の一方が磁性部品１０の各面へ向いている。これにより、磁性部品１０の上面１０２及び下面１０４の近傍では、軟磁性扁平粉２０の主表面２２の一方が上下方向と交差する。さらに、磁性部品１０の上面１０２、下面１０４及び側面１１０から離れた領域において、軟磁性扁平粉２０は上下方向と交差する方向に沿って配向している。換言すると、軟磁性扁平粉２０は、磁性部品１０の上面１０２、下面１０４及び側面１１０から離れた領域において、その主表面２２の一方が上下方向と交差している。図２において、磁性部品１０の側面１１０から離れた領域では、上面１０２から下面１０４まで、軟磁性扁平粉２０の主表面２２の一方が上下方向と直交している。但し、本願発明はこれに限定されず、軟磁性扁平粉２０は、その主表面２２が上下方向と直交していない場合もある。
【００２４】
図２から理解されるように、磁性部品１０の内部は、軟磁性扁平粉２０の配向状態に基づいて、側部領域４０と主領域４２とに区分することができる。換言すると、磁性部品１０は、側部領域４０と主領域４２とを有している。ここで、側部領域４０は、側面１１０から磁性部品１０の内部へ広がる領域である。主領域４２は、側部領域４０以外の領域である。主領域４２は、上下方向において上面１０２から下面１０４まで連続している。側部領域４０は、上下方向と直交する方向において、主領域４２と接している。上下方向と直交する方向において、対向する二つの側部領域４０の間には、主領域４２が存在する。本実施の形態において、上下方向における磁性部品１０の中央位置における、側面１１０と直交する方向の側部領域４０のサイズＴは、３０μｍ以上３００μｍ以下である。
【００２５】
図４から図８までの図から理解されるように、磁性部品１０の一実施例によると、軟磁性扁平粉２０は、図２に示されるように整然とは配列していない。しかしながら、軟磁性扁平粉２０は、概ね、図２に示されるように配列している。
【００２６】
また、図４から図１０までの図から理解されるように、磁性部品１０には、複数の薄型成型体や複数のシートを積層して形成される磁性部品が持つ層間部に相当する部位が存在しない。そのため、本実施の形態の磁性部品１０は、層間剥離を生じない。
【００２７】
さらに、図４から図１０までの図から理解されるように、本実施の形態の磁性部品１０において、軟磁性扁平粉２０は、上面１０２、下面１０４及び側面１１０の夫々において、その主表面２２（図３参照）の一方が、磁性部品１０の外側へ向いている。換言すると、磁性部品１０の最表面は、軟磁性扁平粉２０の主表面２２で構成されている。これにより、磁性部品１０の表面において、配向方向に沿ったクラックの発生が防止されるとともに、磁性部品１０の最表面は、総じて滑らかとなる。その結果、磁性部品１０の表面に形成されたクラックが内部へ拡がって生じる、層間剥離に類似する軟磁性扁平粉２０の剥離を抑制することができる。また、磁性部品１０を他の磁性部品と組み合わせる際に、それらの間に生じる隙間の小さくし又は無くすことができる。たとえば、磁性部品１０の端面１１６は、略平面とみなすことができるので、同形の他の磁性部品の端面と突き合わせたとき、それらの端面を互いに密着させることができる。その結果、二つの磁性部品１０で形成されたトロイダル形状の磁性コアは、単一部品からなるトロイダル形状の磁性コアと同等の磁気特性を示す。
【００２８】
また、磁性部品１０の最表面が軟磁性扁平粉２０の主表面２２で構成されていることから、磁性部品１０が他の物体に接触又は衝突しても、軟磁性扁平粉２０に対して剥離方向の力が働き難い。よって、バインダ成分の分解等によって生じる空孔２６（図３参照）が磁性部品１０の内部に存在しても、軟磁性扁平粉２０の剥離が生じ難い。また、軟磁性扁平粉２０のいくつかが磁性部品１０の表面から脱落しても、その脱落は他の軟磁性扁平粉２０の脱落に繋がりにくい。つまり、本実施の形態による磁性部品１０は、軟磁性扁平粉２０が連鎖的に次々と脱落することを抑制することができる。
【００２９】
上述のように磁性部品１０の主領域４２において、軟磁性扁平粉２０の主表面２２は、上下方向と交差している（図２及び図３参照）。これにより、磁性部品１０は、主領域４２における軟磁性扁平粉２０の配向方向に沿って高い透磁率を持つ。したがって、磁性部品１０と同一構成の他の磁性部品とを組み合わせて構成したトロイダル形状の磁性コアは、径方向に高い透磁率を持つ。よって、このような磁性コアに上下方向に延びる信号線（対）を通すと、磁性コアは、信号線（対）に対して良好なノイズフィルタ（コモンモードノイズフィルタ）として機能する。本実施の形態による磁性部品１０を用いた磁性コアは、１〜３ＧＨｚの高周波ノイズの抑制に特に有効である。
【００３０】
次に、図１１を参照して、本発明の磁性部品の製造方法の一例について説明する。但し、本発明は、これに限定されず、本発明の磁性部品は、他の製造方法によっても製造することが可能である。また、以下の説明では、トロイダル形状の磁性部品の製造を想定しており、製造される磁性部品は、上述した磁性部品１０とその形状が異なる。しかしながら、その内部構成については磁性部品１０と共通するので、以下の説明では、共通の参照番号を使用し、必要に応じて図２及び図３を参照する。また、以下の説明では、磁性部品のサイズとして、外径１３ｍｍ、内径８ｍｍ、厚み５ｍｍを想定しているが、本発明はこれに限られない。本発明の磁性部品の製造方法は、様々なサイズ、形状の磁性部品に適用可能である。
【００３１】
まず、軟磁性合金原料を粉砕するとともに扁平化し、軟磁性扁平粉２０を得る（ステップＳ１０１）。軟磁性合金材料として、Ｆｅ−Ｓｉ系、Ｆｅ−Ｓｉ−Ａｌ系、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｃｒ系の合金材料を用いることができる。また、軟磁性合金原料の粉砕及び扁平化には、特に限定されないが、スラリー循環式のメディア攪拌型ミルを用いることができる。
【００３２】
次に、軟磁性扁平粉２０の表面に絶縁体膜２４を形成する（ステップＳ１０２）。絶縁体膜２４の形成は、軟磁性扁平粉２０を大気中又は窒素雰囲気中において熱処理することで行うことができる。熱処理温度は、５００℃〜９００℃とすることができる。これにより、軟磁性扁平粉２０の表面には、高い絶縁性を持つ酸化膜（不動態膜）又は窒化膜が絶縁体膜２４として形成される。
【００３３】
次に、表面に絶縁体膜２４が形成された軟磁性扁平粉２０とバインダとを混錬して造粒粉を生成する（ステップＳ１０３）。バインダは、特に限定されないが、シリコーン樹脂を用いることが好ましい。シリコーン樹脂を溶剤に溶解させたバインダ溶液と軟磁性扁平粉２０と混合し、混合物を乾燥するまで混錬する。溶剤は特に限定されないが、エタノールやアセトンを用いることができる。軟磁性扁平粉２０は、比表面積が大きいため、バインダの割合は、軟磁性扁平粉２０に対して３ｗｔ％〜９ｗｔ％とすることが好ましい。その後、乾燥した混合物を所定の目開きの金属メッシュを用いてふるい分けし、所定の粒径を持つ造粒粉を得る。
【００３４】
次に、造粒粉を秤量し（ステップＳ１０４）、所定量の造粒粉を金型内に充填する（ステップＳ１０５）。その際、造粒粉の密度を高めるため、金型に振動を加えてもよい。続いて、金型内に充填された造粒粉（造粒粉体）を一軸プレス法によりプレスして成型体を形成する（ステップＳ１０６）。このプレスは、１ｔｏｎ／ｃｍ２以上の荷重で行う。金型は、例えば、上パンチ、下パンチ及びダイスで構成される。プレス成型を行う前に、上パンチ及び下パンチの夫々のパンチ面とダイスの内面に、潤滑・離型剤を塗布しておくことが好ましい。潤滑・離型剤として、ステアリン酸亜鉛を用いることができる。
【００３５】
図１２に矢印で示されるように、プレス工程において、金型（図示せず）内の造粒粉体５０は、上パンチと接する上界面５２及び下パンチと接する下界面５４に上下方向の圧縮力（プレス圧力）を受ける。上界面５２及び下界面５４が受けた圧縮力は、造粒粉体５０内において、主として上下方向に伝わる。そのため、造粒粉体５０の内部の圧力は、その中央部で最も高くなる。その一方で、造粒粉体５０に加えられた力は、上下方向と交差する方向にも伝わる。ダイスの内面に接する側界面５６に近い領域において造粒粉体５０に働く力は、上下方向の力よりも上下方向と交差する方向の力の方が大きい。
【００３６】
プレス工程（ステップＳ１０６）により造粒粉体５０は圧縮され、それに伴い軟磁性扁平粉２０の配向が生じる。この軟磁性扁平粉２０の配向メカニズムは、以下のようなものと推定される。即ち、プレス工程により造粒粉体５０が圧縮されると、造粒粉は押し潰される。このとき、造粒粉に含まれる軟磁性扁平粉２０は、造粒粉を押し潰そうとする力の向きに直交する方向へ配向しようとする。ここで、造粒粉を押し潰そうとする力は、図１２に示される圧力等高線に直交する方向の力である。したがって、軟磁性扁平粉２０は、図１２に示される圧力等高線に沿うように配向しようとする。
【００３７】
一方、図１２に示す造粒粉体５０において、金型の表面に接する軟磁性扁平粉２０は、金型の表面によってその移動が制限される。即ち、上界面５２、下界面５４及び側界面５６の夫々に位置する軟磁性扁平粉２０は、上パンチ、下パンチ、及びダイスによってそれぞれ移動が制限される。また、金型の表面に接する軟磁性扁平粉２０には、金型の表面と直交する方向の力が大きく働く。詳しくは、上界面５２及び下界面５４に位置する軟磁性扁平粉２０は、上下方向の力を大きく受け、側界面５６に位置する軟磁性扁平粉２０は、上下方向と直交する方向の力を大きく受ける。そのため、金型の表面に接する軟磁性扁平粉２０は、その主表面２２の一方を金型の表面に向けるように移動する（向きを変える）。その結果、プレス工程（ステップＳ１０６）により形成される成型体の最表面は、主表面２２の一方を外側に向けた軟磁性扁平粉２０で構成される。上界面５２、下界面５４及び側界面５６の近くに位置する軟磁性扁平粉２０は、上述の造粒粉が押し潰されることによる配向メカニズムより、その主表面２２の一方を金型の表面へ向けるように移動する。その結果、上界面５２に近い領域において、軟磁性扁平粉２０は主表面２２の一方を上界面５２に向けるように配向する（図２参照）。こうして、上界面５２に近い領域において、軟磁性扁平粉２０は主表面２２の一方を上界面５２に向けるように配向する（図２参照）。また、下界面５４に近い領域において、軟磁性扁平粉２０は主表面２２の一方を下界面５４に向けるように配向する（図２参照）。さらに、側界面５６に近い領域において、軟磁性扁平粉２０は主表面２２の一方を側界面５６に向けるように配向する（図２参照）。なお、側界面５６に近い領域の軟磁性扁平粉２０は、側部領域４０（図２参照）を形成する。
【００３８】
一方、金型の表面からある程度離れた造粒粉は、上下方向の力を受ける。そのため、これらの造粒粉に含まれる軟磁性扁平粉２０は、その主表面２２が上下方向と交差するように配向する（図２参照）。なお、これらの軟磁性扁平粉２０は、上界面５２及び下界面５４の近傍に位置する軟磁性扁平粉２０とともに主領域４２（図２参照）を形成する。
【００３９】
プレス工程（ステップＳ１０６）において、上述した軟磁性扁平粉２０の配向を実現するためには、金型内での軟磁性扁平粉２０の移動が容易でなければならない。軟磁性扁平粉２０の移動容易性は、軟磁性扁平粉２０のサイズ及び形状に依存する。本実施の形態において、軟磁性扁平粉２０の平均粒径は３０〜４０μｍ、平均アスペクト比は１０以上としている。このような軟磁性扁平粉２０を用いることで、プレス工程において上述した軟磁性扁平粉２０の配向を生じさせることができる。
【００４０】
再び図１１を参照すると、プレス工程の後、金型から成型体を取り出すことなく、固定治具を用いて上パンチと下パンチとを互いに固定する（ステップＳ１０７）。そして、金型を恒温槽内に置き、金型内の成型体に対して熱硬化プロセスを行って、バインダを熱硬化させる（ステップＳ１０８）。金型から成型体を取り出すことなく熱硬化プロセスを行うことで、硬化の前後における成型体の形状変化を抑制するとともに、軟磁性扁平粉２０の配向状態の変化を抑制することができる。十分な熱硬化を行うことなく金型から成型体を取り出すと、上パンチ及び下パンチからの圧縮力から解放された成型体は、（特に上下方向に）膨張する。この膨張は、上下方向のサイズ（厚み）が大きいほど大きく、たとえば、成型体の厚みが３ｍｍを超えると顕著になる。本実施の形態では、このような成型体の膨張が生じないように十分に熱硬化を行う。たとえば、熱硬化プロセスは、恒温槽内の温度を１５０℃〜２００℃として１時間以上保持することにより行う。
【００４１】
固定治具及び金型を冷却した後、金型から熱硬化した成型体（磁性部品１０）を取り出す（ステップＳ１０９）。この後、必要に応じてさらに熱処理を行ってもよい。本実施の形態では、取り出した磁性部品（複合磁性コア）１０に対して、さらに熱処理（脱脂処理）を行う（ステップＳ１１０）。この熱処理は、大気中又は窒素雰囲気中において、６００℃〜９００℃の温度で行うことができる。この熱処理により、シリコーン樹脂の有機成分も分解され、結着部材３０としてＳｉＯ２が残る。こうして、有機成分を含まない磁性部品１０を得ることができる。
【００４２】
以上のようにして製造された磁性部品１０は、薄型の成型体やシートを積層した場合の層間部に相当する部位がなく、層間剥離は生じない。また、磁性部品１０の上面１０２、下面１０４及び側面１１０の夫々において、軟磁性扁平粉２０の主表面２２の一方が外側へ向いているので、各面にクラックが生じておらず、各面からの軟磁性扁平粉２０の脱落も防止される。さらに、この磁性部品１０の主領域４２において、軟磁性扁平粉２０は、その主表面２２が上下方向と交差するように配向しているため、配向方向において高い透磁率を実現することができる。たとえば、磁性部品１０の形状がトロイダル形状の場合、径方向に高い透磁率を持つ。
【００４３】
また、上記のように製造された磁性部品１０において、軟磁性扁平粉２０同士の間には、有機分の分解により形成される空孔２６と無機酸化物（結着部材３０としてのＳｉＯ２）とが残る（図３参照）。その結果、得られた磁性部品１０は、高い絶縁性を持つ。一般に、磁性コアをコモンモードフィルタとして信号線に装着する場合、磁性コアは信号線に密着していることが好ましい。本実施の形態により得られる磁性部品（複合磁性コア）１０は高い絶縁性を有しているため、（被覆）信号線に直接取り付けることが可能であり、信号線に密着させることが可能である。即ち、本実施の形態により製造される磁性部品（複合磁性コア）１０は、優れたコモンモードフィルタ（ＥＭＩコア）として利用することができる。
【００４４】
以上、本発明について実施の形態を掲げて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の変形・変更が可能である。たとえば、上記実施の形態では、成型体を金型内で熱硬化させたが、成型体の形状変化及び軟磁性扁平粉２０の配向変化を抑制することができるのであれば、成型体を金型から取り出した後に熱硬化を行うようにしてもよい。
【符号の説明】
【００４５】
１０    磁性部品
１０２    上面
１０４    下面
１１０    側面
１１２    外側面
１１４    内側面
１１６    端面
２０    軟磁性扁平粉
２２    主表面
２４    絶縁体膜
２６    空孔
３０    結着部材
４０    側部領域
４２    主領域
５０    造粒粉体
５２    上界面
５４    下界面
５６    側界面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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