(57)【要約】【課題】フィーダから供給された部品上の吸着位置をノズルで精度良く吸着すること。【解決手段】複数のフィーダ（１５）から供給された部品（５０）をノズル（２４）で吸着して基板に実装する実装装置であって、複数のフィーダが横並びに設置可能なフィーダバンク（１６）と、複数のフィーダに付された基準マーク（Ｍ）を検出する検出部（４１）と、複数の基準マークの検出位置からフィーダの傾きを算出する算出部（４２）と、複数の基準マークに対する部品の吸着位置（Ｐ１）のオフセットを取得する取得部（４３）と、フィーダの傾き分だけ回転するようにオフセットを補正する補正部（４４）とを備える構成にした。【選択図】図３
2020009901.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のフィーダから供給された部品をノズルで吸着して基板に実装する実装装置であって、
前記複数のフィーダが横並びに設置可能なフィーダバンクと、
前記複数のフィーダに付された基準マークを検出する検出部と、
前記複数の基準マークの検出位置から前記フィーダの傾きを算出する算出部と、
前記複数の基準マークに対する部品の吸着位置のオフセットを取得する取得部と、
前記フィーダの傾き分だけ回転するようにオフセットを補正する補正部とを備えたことを特徴とする実装装置。
【請求項２】
高さセンサで測定した基準高さに基づいて前記ノズルで部品を吸着しており、
前記取得部が、前記基準マークに対する基準高さの測定位置のオフセットを取得し、
前記補正部が、前記吸着位置のオフセット及び前記測定位置のオフセットを補正することを特徴とする請求項１に記載の実装装置。
【請求項３】
前記算出部が前記複数の基準マークの検出位置から線形近似によって前記フィーダの傾きを算出することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の実装装置。
【請求項４】
前記複数のフィーダが隣接して前記フィーダバンクに設置されることを特徴とする請求項３に記載の実装装置。
【請求項５】
前記補正部が前記フィーダの傾きだけ装置座標系を回転させてフィーダ座標系とし、当該フィーダ座標系によってオフセットを補正することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の実装装置。
【請求項６】
前記複数のフィーダにはオフセットを記憶した記憶部が設けられており、前記記憶部がティーチングによって前記基準マークに対する前記吸着位置のオフセットを記憶することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の実装装置。
【請求項７】
フィーダバンクに横並びに設置された複数のフィーダから供給された部品をノズルで吸着して基板に実装する実装方法であって、
前記複数のフィーダに付された基準マークを検出するステップと、
前記複数の基準マークの検出位置から前記フィーダの傾きを算出するステップと、
前記複数の基準マークに対する部品の吸着位置のオフセットを取得するステップと、
前記フィーダの傾き分だけ回転するようにオフセットを補正するステップとを有することを特徴とする実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、実装装置及び実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に実装装置には複数のフィーダが横並びに設置されたフィーダバンクが設けられ、フィーダバンクの各フィーダによって実装ヘッドに対して順番に部品が供給されている。この種の実装装置として、フィーダ上の基準マークから部品の吸着位置までのオフセットに基づいて、ノズルでフィーダから部品をピックアップするものが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の実装装置では、フィーダの基準マークを撮像部で撮像し、基準マークの検出位置からオフセット分だけノズルを移動させて部品の吸着位置を吸着している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１１１１５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、実装装置に対してフィーダバンクが傾いた状態で取り付けられる場合がある。また、フィーダバンクに対してフィーダが精度よく位置決めされているとは限らない。このため、実装装置の実装動作の基準となる装置座標系で、フィーダの基準マークから吸着位置までのオフセットを使用すると、部品の吸着位置に対してノズルが位置ズレする場合があった。
【０００５】
本開示はかかる点に鑑みてなされたものであり、フィーダから供給された部品の吸着位置をノズルで精度良く吸着するという効果を奏しうる実装装置及び実装方法を提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様の実装装置は、複数のフィーダから供給された部品をノズルで吸着して基板に実装する実装装置であって、前記複数のフィーダが横並びに設置可能なフィーダバンクと、前記複数のフィーダに付された基準マークを検出する検出部と、前記複数の基準マークの検出位置から前記フィーダの傾きを算出する算出部と、前記複数の基準マークに対する部品の吸着位置のオフセットを取得する取得部と、前記フィーダの傾き分だけ回転するようにオフセットを補正する補正部とを備えたことを特徴とする。
【０００７】
本開示の一態様の実装方法は、フィーダバンクに横並びに設置された複数のフィーダから供給された部品をノズルで吸着して基板に実装する実装方法であって、前記複数のフィーダに付された基準マークを検出するステップと、前記複数の基準マークの検出位置から前記フィーダの傾きを算出するステップと、前記複数の基準マークに対する部品の吸着位置のオフセットを取得するステップと、前記フィーダの傾き分だけ回転するようにオフセットを補正するステップとを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、フィーダバンクに横並びに設置された複数のフィーダに基準マークが付されているため、複数の基準マークの並び方向からフィーダの傾きが算出されて基準マークに対する部品の吸着位置のオフセットが補正される。実装装置に対するフィーダバンクの取り付け誤差、フィーダバンクに対するフィーダの取り付け誤差によってフィーダが傾いた場合でも、部品の吸着位置に精度良くノズルを位置付けることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施の形態の実装装置全体を示す模式図である。
【図２】フィーダバンクの傾きによる位置ズレの説明図である。
【図３】本実施の形態の実装装置のブロック図である。
【図４】本実施の形態の補正処理の一例を示す図である。
【図５】本実施の形態のティーチング作業の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態の実装装置について説明する。図１は、本実施の形態の実装装置の模式図である。図２は、フィーダバンクの傾きによる位置ズレの説明図である。なお、本実施の形態の実装装置は一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
【００１１】
図１に示すように、実装装置１は、フィーダ１５によって供給された部品５０（図２参照）を、実装ヘッド２３によって基板Ｗの所定位置に実装するように構成されている。実装装置１の基台１０の略中央には、Ｘ軸方向に基板Ｗを搬送する基板搬送部１９が配設されている。基板搬送部１９は、Ｘ軸方向の一端側から部品実装前の基板Ｗを実装ヘッド２３の下方に搬入して位置決めし、部品実装後の基板ＷをＸ軸方向の他端側から装置外に搬出している。また、基板搬送部１９を挟んだ両側には、複数のフィーダ１５がＸ軸方向に横並びに設置されたフィーダバンク１６が交換台車によって分離可能に連結されている。
【００１２】
フィーダ１５にはテープリールが着脱自在に装着され、テープリールには多数の部品５０をパッケージングしたキャリアテープが巻回されている。各フィーダ１５は、装置内のスプロケットホイールの回転によって、実装ヘッド２３にピックアップされる供給位置に向けて順番に部品５０を送り出している。実装ヘッド２３の供給位置では、キャリアテープから表面のカバーテープが剥離され、キャリアテープのポケット内の部品５０が外部に露出される。なお、本実施の形態では、フィーダ１５としてテープフィーダを例示したが、他のフィーダを備えていてもよい。
【００１３】
基台１０上には、実装ヘッド２３をＸ軸方向及びＹ軸方向に水平移動させる移動機構２０が設けられている。移動機構２０は、Ｙ軸方向に延びる一対のＹ軸駆動部２１と、Ｘ軸方向に延びるＸ軸駆動部２２とを有している。一対のＹ軸駆動部２１は基台１０の四隅に立設した支持部（不図示）に支持されており、Ｘ軸駆動部２２は一対のＹ軸駆動部２１にＹ軸方向に移動可能に設置されている。Ｘ軸駆動部２２上には実装ヘッド２３がＸ軸方向に移動可能に設置されている。Ｘ軸駆動部２２とＹ軸駆動部２１とによって実装ヘッド２３が水平移動されて、フィーダ１５からピックアップした部品５０が基板Ｗの所望の位置に実装される。
【００１４】
実装ヘッド２３は、ノズル２４を備えた複数（本実施の形態では３つ）のヘッド部２５を有している。ヘッド部２５は、Ｚ軸モータ（不図示）によってノズル２４をＺ軸方向に上下動すると共に、θモータ（不図示）によってノズル２４をＺ軸回りに回転する。各ノズル２４は吸引源（不図示）に接続されており、吸引源からの吸引力によって部品を吸着保持する。なお、実装ヘッド２３は、ノズル２４を一列に並べた直列式の実装ヘッドに限定されず、フィーダ１５から供給された部品５０を基板Ｗに実装可能な構成であればよく、例えば、ノズルを周方向に並べたロータリー式の実装ヘッドで構成されていてもよい。
【００１５】
実装ヘッド２３には、基板Ｗや部品５０からの高さを検出する高さセンサ２６や、ノズル２４で保持した部品５０を認識する部品認識部（不図示）が設けられている。高さセンサ２６は、検査光の反射によって基板Ｗや部品５０の高さを検出し、検出結果に基づいてノズル２４の上下方向の移動量を制御している。部品認識部は、水平方向に対向した発光部と受光部で、発光部からの光が部品で遮光された遮光状態から部品形状や吸着ミスを認識している。なお、部品認識部では、発光部から受光部に向かってＬＥＤ光が発光されてもよいし、発光部から受光部に向かってレーザー光が発光されてもよい。
【００１６】
また、実装ヘッド２３には、基板Ｗ上のマークを真上から撮像するマーク撮像部２７と、ノズル２４による部品５０の搭載動作を撮像する部品撮像部２８とが設けられている。マーク撮像部２７は基板Ｗ上のマークを真上から撮像しており、マークの上面画像によって基板Ｗに座標系が設定されると共に基板Ｗの位置や反り等が認識される。部品撮像部２８は、フィーダ１５に対する部品５０の吸着前後を撮像する他、基板Ｗに対する部品５０の搭載前後を撮像している。これら部品画像によってノズル２４による部品５０の吸着有無が検査されると共に、基板Ｗにおける部品５０の搭載有無が検査される。
【００１７】
実装装置１の基台１０上には、ノズル２４に吸着された部品５０を真下から撮像する下面撮像部３１が設けられている。下面撮像部３１は、実装ヘッド２３による搬送中の部品５０を撮像して、撮像画像に応じて部品５０の傾きや高さ等を認識している。また、実装装置１の基台１０上には、各種部品に応じて複数種類のノズル２４が用意された自動交換機（ATC:Automatic  Tool  Changer）３２が設けられている。実装ヘッド２３が自動交換機３２まで移動することで、実装ヘッド２３が装着中のノズル２４を取り外して新たなノズル２４に着け替えることが可能になっている。
【００１８】
また、実装装置１には、装置各部を統括制御する制御装置３５が設けられている。制御装置３５は、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等によって構成されている。メモリは、用途に応じてＲＯＭ(Read  Only  Memory)、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）等の一つ又は複数の記憶媒体で構成されている。メモリには、実装装置１全体の制御プログラムの他、実装装置１に後述する補正処理を実行させるプログラム等が記憶されている。制御装置３５によって実装ヘッド２３が駆動されて、基板Ｗに対する部品５０の実装動作が制御される。
【００１９】
ところで、図２Ａに示すように、フィーダ１５から供給された部品５０をノズル２４で吸着する際には、フィーダ１５に付された基準マークＭを基準にして部品５０の吸着位置Ｐ１にノズル２４が位置付けられる。この場合、各フィーダ１５には基準マークＭから部品５０の吸着位置Ｐ１までのオフセット（Ｘ、Ｙ）が設定されている。そして、マーク撮像部２７（図１参照）によって基準マークＭが撮像によって検出され、基準マークＭの検出位置からオフセット（Ｘ、Ｙ）分だけノズル２４が移動されることで、ノズル２４によって部品５０の吸着位置Ｐ１が吸着される。
【００２０】
しかしながら、図２Ｂに示すように、フィーダ１５が実装装置１に対して精度良く取り付けられるとは限らない。実装装置１にフィーダバンク１６（図１参照）が傾いて取り付けられると、実装装置１の実装動作の基準となる装置座標系のＸＹ軸に対して、フィーダバンク１６に設置されたフィーダ１５のＸＹ軸が平行にならない。特に、近年では部品５０の小型化が進み、吸着位置Ｐ１に対するノズル２４の位置決めにフィーダバンク１６の設置誤差以上の高い精度が求められている。このため、実装装置１の実装動作を基準にした装置座標系を用いると、ノズル２４によって部品５０の吸着位置Ｐ１に精度良く吸着することができない。
【００２１】
また、図２Ｃに示すように、実装ヘッド２３（図１参照）では高さセンサ２６で高さ出しを実施してから、基準高さに基づいてノズル２４で部品５０の上面が吸着される。基準高さの測定位置Ｐ２は、部品５０によって様々だが、例えば、部品５０の上面、部品５０の近傍、基準マークＭに設定されている。基準高さの測定位置Ｐ２についても、フィーダバンク１６が傾いて取り付けられると、高さセンサ２６によって測定位置Ｐ２で精度良く測定することができない。また、実装装置１に対するフィーダバンク１６の取り付け誤差だけではなく、フィーダバンク１６に対するフィーダ１５の取り付け誤差によっても同様な問題が生じる。
【００２２】
さらに、各フィーダ１５にオフセット（Ｘ、Ｙ）を記憶させるためには、事前に部品５０の吸着位置Ｐ１や基準高さの測定位置Ｐ２のティーチング作業が必要になる。ティーチング作業では、ティーチング用の実装装置や、設計上の寸法通りに加工された高精度な治具フィーダを用意しなければならない。ティーチングに適した環境を用意して、各フィーダ１５にオフセットを設定したとしても、上記したように装置座標系のＸＹ軸に対してフィーダ１５のＸＹ軸が傾いている場合には、部品５０の吸着位置Ｐ１や基準高さの測定位置Ｐ２にズレが生じてしまう。
【００２３】
そこで、本実施の形態では、フィーダバンク１６に複数のフィーダ１５が横並びで設置されていることに着目し、各フィーダ１５の基準マークＭの並び方向からフィーダバンク１６の傾き、すなわちフィーダ１５の傾きを算出している。フィーダ１５の傾きに応じて部品５０の吸着位置Ｐ１のオフセット及び基準高さの測定位置Ｐ２のオフセットを補正して、ノズル２４を吸着位置Ｐ１に位置付ける他、高さセンサ２６を基準高さの測定位置Ｐ２に位置付けている。また、オフセットのティーチング作業の際に、ティーチング用の実装装置や治具フィーダを用意する必要がない。
【００２４】
以下、図３を参照して、実装装置の制御構成について説明する。図３は、本実施の形態の実装装置のブロック図である。なお、図３のブロック図には、実装装置が簡略化して記載されているが、実装装置が通常備える構成については備えているものとする。
【００２５】
図３に示すように、実装装置１（図１参照）の制御装置３５にはマーク撮像部２７が接続されており、マーク撮像部２７でフィーダ１５の基準マークＭが撮像され、基準マークＭを基準にして部品５０の吸着動作や基準高さの測定動作を実施している。基準マークＭから吸着位置Ｐ１のオフセット分だけノズル２４が水平方向で移動されて吸着位置Ｐ１に位置付けられ、基準マークＭから測定位置Ｐ２のオフセット分だけ高さセンサ２６が水平後方に移動されて測定位置Ｐ２に位置付けられる。高さセンサ２６で測定した基準高さに基づいてノズル２４の高さが調整され、部品５０の吸着位置Ｐ１にノズル２４が位置付けられて、フィーダ１５から供給された部品５０がノズル２４で吸着される。
【００２６】
制御装置３５には、複数のフィーダ１５に付された基準マークＭを検出する検出部４１と、複数の基準マークＭの検出位置からフィーダ１５の傾きを算出する算出部４２とが設けられている。マーク撮像部２７で撮像された各フィーダ１５の基準マークＭの撮像画像が検出部４１に入力され、検出部４１によって撮像画像に対して画像処理が施されてフィーダ１５毎に基準マークＭの重心が検出される。算出部４２によって複数の基準マークＭの検出位置から最小二乗法等の線形近似によって近似直線Ｌ（図４Ｂ参照）が算出され、装置座標系のＸ軸と近似直線Ｌの成す角度からフィーダ１５（フィーダバンク１６）の傾きが算出される。
【００２７】
また、制御装置３５には、複数の基準マークＭからのオフセットを取得する取得部４３と、フィーダ１５の傾き分だけ回転するようにオフセットを補正する補正部４４とが設けられている。フィーダバンク１６にフィーダ１５がセットされると、取得部４３によってフィーダ１５の記憶部４５から基準マークＭに対する部品５０の吸着位置Ｐ１のオフセット及び基準高さの測定位置Ｐ２のオフセットが取得される。補正部４４によってフィーダ１５の傾き分だけ装置座標系が回転されてフィーダ座標系とされ、このフィーダ座標系を基準にすることでオフセットが補正される。
【００２８】
このように、吸着位置Ｐ１及び測定位置Ｐ２のオフセットがフィーダ１５の傾きによって補正されることで、フィーダ１５の傾きに関わらずに、ノズル２４を吸着位置Ｐ１、高さセンサ２６を測定位置Ｐ２に精度良く位置付けることができる。また、フィーダ１５の傾きが補正されているため、ティーチング用の実装装置や治具フィーダを用意することなく、吸着位置Ｐ１及び測定位置Ｐ２のオフセットをティーチングすることができる。ティーチングによってフィーダ１５の記憶部４５に書き込むことで、フィーダ１５が付け替えられた場合でも、フィーダ１５の記憶部４５に記憶されたオフセットを引き継ぐことが可能になっている。
【００２９】
図４及び図５を参照して、補正処理及びティーチング作業について説明する。図４は、本実施の形態の補正処理の一例を示す図である。図５は、本実施の形態のティーチング作業の一例を示す図である。なお、図４及び図５では、説明の便宜上、図３の符号を適宜使用しながら説明する。
【００３０】
図４Ａに示すように、フィーダ１５の記憶部４５には、事前に基準マークＭの検出位置を基準にした部品５０の吸着位置Ｐ１及び基準高さの測定位置Ｐ２のオフセット（Ｘａ、Ｙａ）、（Ｘｂ、Ｙｂ）が記憶されている。基準マークＭは、フィーダ１５の表面にマーク撮像部２７によって撮像可能な状態で付されている。実装装置１（図１参照）のフィーダバンク１６にフィーダ１５を取り付けることで、取得部４３によって記憶部４５から基準マークＭに対する吸着位置Ｐ１のオフセット（Ｘａ、Ｙａ）及び測定位置Ｐ２のオフセット（Ｘｂ、Ｙｂ）がそれぞれ読み出される。
【００３１】
図４Ｂに示すように、フィーダ１５が傾いている場合には、フィーダ１５の基準マークＭに対する吸着位置Ｐ１及び測定位置Ｐ２のオフセットも傾けられる。実装装置１の装置座標系は傾いていないため、二点鎖線の状態からフィーダ１５が傾いた分だけ吸着位置Ｐ１及び測定位置Ｐ２が基準マークＭを中心にして回転方向に位置ズレしている。この場合、マーク撮像部２７によって複数のフィーダ１５の基準マークＭが撮像されて、検出部４１によって基準マークＭの撮像画像から複数の基準マークＭの重心位置（Ｘ１、Ｙ１）、（Ｘ２、Ｙ２）、（Ｘ３、Ｙ３）…が検出される。
【００３２】
算出部４２によって基準マークＭの検出位置（Ｘ１、Ｙ１）、（Ｘ２、Ｙ２）、（Ｘ３、Ｙ３）…が線形近似されて近似直線Ｌが算出される。この近似直線Ｌと装置座標系のＸ軸の成す角度からフィーダ１５の傾きθが求められる。フィーダ１５同士が離れていれば２つの基準マークＭの検出位置を通る直線によってフィーダ１５の傾きを求めることができるが、通常は部品５０の取り出し効率等の理由によってフィーダ１５同士が隣接して設置されている。このため、線形近似を用いることでフィーダ１５同士が隣接していても、フィーダ１５の傾きを精度良く算出することが可能になっている。
【００３３】
図４Ｃに示すように、補正部４４によって装置座標系がフィーダ１５の傾きθ分だけ回転されて、基準マークＭの検出位置を原点としたフィーダ座標系が設定される。フィーダ座標系上で検出位置からオフセット（Ｘａ、Ｙａ）だけ離して吸着位置Ｐ１が設定され、検出位置からオフセット（Ｘｂ、Ｙｂ）だけ離して測定位置Ｐ２が設定される。このように、フィーダ１５の傾きθ分だけ回転するように、吸着位置Ｐ１のオフセット（Ｘａ、Ｙａ）及び測定位置Ｐ２のオフセット（Ｘｂ、Ｙｂ）が補正される。そして、ノズル２４が吸着位置Ｐ１に精度良く位置づけられ、高さセンサ２６が測定位置Ｐ２に精度良く位置付けられる。
【００３４】
図５に示すように、フィーダ１５の傾きに応じてフィーダ座標系が設定されているため、ティーチング用の実装装置や治具フィーダを用いることなくティーチング作業を実施することができる。この場合、マーク撮像部２７がフィーダ１５の基準マークＭを撮像し、検出部４１による基準マークＭの検出位置から部品５０の吸着位置Ｐ１までのオフセット（Ｘａ、Ｙａ）がティーチングされてフィーダ１５の記憶部４５に記憶される。同様にして、検出部４１による基準マークＭの検出位置から基準高さの測定位置Ｐ２までのオフセット（Ｘｂ、Ｙｂ）がティーチングされてフィーダ１５の記憶部４５に記憶される。
【００３５】
以上のように、本実施の形態の実装装置１では、フィーダバンク１６に横並びに設置された複数のフィーダ１５に基準マークＭが付されているため、複数の基準マークＭの並び方向からフィーダ１５の傾きが算出されて基準マークＭに対する吸着位置Ｐ１及び測定位置Ｐ２のオフセットが補正される。実装装置１に対するフィーダバンク１６の取り付け誤差、フィーダバンク１６に対するフィーダ１５の取り付け誤差によってフィーダ１５が傾いた場合でも、吸着位置Ｐ１にノズル２４を位置付けると共に測定位置Ｐ２に高さセンサ２６を位置付けることができる。
【００３６】
なお、本実施の形態において、部品の吸着位置と基準高さの測定位置が異なる構成につて説明したが、吸着位置と測定位置が一致していてもよい。例えば、部品上面の同じ位置に吸着位置及び測定位置が設定されていてもよい。
【００３７】
また、本実施の形態において、部品の吸着位置及び基準高さの測定位置のオフセットを補正する構成について説明したが、少なくとも吸着位置のオフセットを補正する構成であればよい。
【００３８】
また、本実施の形態において、マーク撮像部によってフィーダの基準マークを認識する構成にしたが、基準マークを認識可能な構成であれば特に限定されない。また、基準マークは、フィーダの表面に印刷されてもよいし、フィーダの表面に貼着されたシールでもよい。また、基準マークはフィーダの表面の孔や窪みでもよい。
【００３９】
また、本実施の形態において、複数の基準マークの検出位置から最小二乗法等の線形近似によってフィーダの傾きを算出する構成にしたが、線形近似を用いずに複数の基準マークの検出位置の最も離間した２点を結ぶことでフィーダの傾きを算出してもよい。
【００４０】
また、本実施の形態において、基準マークの検出位置を中心としてフィーダの傾き分だけ装置座標系を回転させてフィーダ座標系とし、フィーダ座標系を基準に吸着位置や測定位置のオフセットを設定することでオフセットを補正する構成にしたが、この構成に限定されない。基準マークの検出位置を中心として吸着位置や測定位置の座標を回転させることでオフセットを補正してもよい。
【００４１】
また、本実施の形態において、フィーダバンクに複数のフィーダが隣接して設置される構成にしたが、複数のフィーダが離間して設置されていてもよい。
【００４２】
また、本実施の形態において、吸着位置及び測定位置のオフセットがフィーダの記憶部に記憶される構成にしたが、吸着位置及び測定位置のオフセットが実装装置の記憶部に記憶されてもよい。
【００４３】
また、本実施の形態のプログラムは記憶媒体に記憶されてもよい。記憶媒体は、特に限定されないが、光ディスク、光磁気ディスク、フラッシュメモリ等の非一過性の記憶媒体であってもよい。
【００４４】
また、本実施の形態及び変形例を説明したが、他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。
【００４５】
また、本開示の技術は上記の実施の形態及び変形例に限定されるものではなく、技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。
【００４６】
下記に、上記の実施の形態における特徴点を整理する。
上記実施の形態に記載の実装装置は、複数のフィーダから供給された部品をノズルで吸着して基板に実装する実装装置であって、複数のフィーダが横並びに設置可能なフィーダバンクと、複数のフィーダに付された基準マークを検出する検出部と、複数の基準マークの検出位置からフィーダの傾きを算出する算出部と、複数の基準マークに対する部品の吸着位置のオフセットを取得する取得部と、フィーダの傾き分だけ回転するようにオフセットを補正する補正部とを備えたことを特徴とする。
【００４７】
上記実施の形態に記載の実装方法は、フィーダバンクに横並びに設置された複数のフィーダから供給された部品をノズルで吸着して基板に実装する実装方法であって、複数のフィーダに付された基準マークを検出するステップと、複数の基準マークの検出位置からフィーダの傾きを算出するステップと、複数の基準マークに対する部品の吸着位置のオフセットを取得するステップと、フィーダの傾き分だけ回転するようにオフセットを補正するステップとを有することを特徴とする。
【００４８】
これらの構成によれば、フィーダバンクに横並びに設置された複数のフィーダに基準マークが付されているため、複数の基準マークの並び方向からフィーダの傾きが算出されて基準マークに対する部品の吸着位置のオフセットが補正される。実装装置に対するフィーダバンクの取り付け誤差、フィーダバンクに対するフィーダの取り付け誤差によってフィーダが傾いた場合でも、部品の吸着位置に精度良くノズルを位置付けることができる。
【００４９】
上記実施の形態に記載の実装装置において、高さセンサで測定した基準高さに基づいてノズルで部品を吸着しており、取得部が、基準マークに対する基準高さの測定位置のオフセットを取得し、補正部が、吸着位置のオフセット及び測定位置のオフセットを補正する。この構成によれば、実装装置に対するフィーダバンクの取り付け誤差、フィーダバンクに対するフィーダの取り付け誤差によってフィーダが傾いた場合でも、基準高さの測定位置に精度良く高さセンサを位置付けることができる。
【００５０】
上記実施の形態に記載の実装装置において、算出部が複数の基準マークの検出位置から線形近似によってフィーダの傾きを算出する。この構成によれば、複数の検出位置の近似直線からフィーダの傾きを容易に算出することができる。
【００５１】
上記実施の形態に記載の実装装置において、複数のフィーダが隣接してフィーダバンクに設置される。この構成によれば、複数のフィーダが隣接して設置されることで、複数のフィーダからの部品をまとめて取り出して生産効率が向上される。また、フィーダバンクに複数のフィーダが隣接して設置されていても、線形近似によってフィーダの傾きを精度良く算出することができる。
【００５２】
上記実施の形態に記載の実装装置において、補正部がフィーダの傾きだけ装置座標系を回転させてフィーダ座標系とし、当該フィーダ座標系によってオフセットを補正する。この構成によれば、フィーダ座標系を用いることで容易にオフセットを補正することができる。
【００５３】
上記実施の形態に記載の実装装置において、複数のフィーダにはオフセットを記憶した記憶部が設けられており、記憶部がティーチングによって基準マークに対する吸着位置のオフセットを記憶する。この構成によれば、フィーダバンクでフィーダが付け替えられた場合でも、フィーダの記憶部に記憶されたオフセットを引き継ぐことができる。また、オフセットのティーチング時に寸法精度が高い治具フィーダを用意する必要がない。
【符号の説明】
【００５４】
１  ：実装装置
１５：フィーダ
１６：フィーダバンク
２４：ノズル
２６：高さセンサ
２７：マーク撮像部
４１：検出部
４２：算出部
４３：取得部
４４：補正部
４５：記憶部
５０：部品
Ｌ  ：近似直線
Ｍ  ：基準マーク
Ｐ１：吸着位置
Ｐ２：測定位置
Ｗ  ：基板
θ  ：フィーダの傾き
【図１】
2020009901.tif 000003
【図２】
2020009901.tif 000004
【図３】
2020009901.tif 000005
【図４】
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【図５】
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