(57)【要約】【課題】ポンプ制御装置のファームウエアの自動更新を適切に行うことができる表示ユニットの提供。【解決手段】表示ユニット３は、ポンプモータで駆動される回転体を有するポンプ本体、およびポンプモータの運転を制御するファームウエアが実装されているポンプ制御装置を有する真空ポンプ１に接続され、ポンプモータの起動、停止を指示する指示部と、ポンプモータの運転状態に関する情報を取得する情報取得部と、取得した情報を表示する表示部と、ポンプ本体の運転状態に基づいてポンプ制御装置１２のファームウエアを更新プログラムで更新する更新制御部とを有する。【選択図】図１
2020033904.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプモータで駆動される回転体を有するポンプ本体、および前記ポンプモータの運転を制御するファームウエアが実装されるポンプ制御装置を有する真空ポンプに接続される表示ユニットであって、
前記ポンプモータの起動、停止を指示する指示部と、
前記ポンプモータの運転状態に関する情報を取得する情報取得部と、
前記取得した情報を表示する表示部と、
前記ポンプ本体の運転状態に基づいて前記ファームウエアを更新プログラムで更新する更新制御部とを有する、表示ユニット。
【請求項２】
請求項１に記載の表示ユニットにおいて、
前記更新制御部は、前記ポンプ本体が停止中であれば前記ファームウエアを前記更新プログラムで更新し、前記ポンプ本体が運転中であれば前記ファームウエアを前記更新プログラムで更新しない、表示ユニット。
【請求項３】
請求項２に記載の表示ユニットにおいて、
前記ポンプ本体は、前記回転体をラジアル方向およびスラスト方向にそれぞれ支承する機械式軸受を有し、
前記更新制御部は、前記ポンプ本体がフリーラン状態で回転しているときは、前記ファームウエアを前記更新プログラムで更新する、表示ユニット。
【請求項４】
請求項３に記載の表示ユニットにおいて、
前記ポンプ本体がフリーラン状態で回転しているときとは、前記ポンプ本体が停止処理中であって前記ポンプモータの電気的制御が行われていないときである、表示ユニット。
【請求項５】
請求項１から４までのいずれか１項に記載の表示ユニットにおいて、
前記更新制御部は、前記ポンプ本体が起動処理中のときは、前記更新プログラムに付された属性に基づいて前記ファームウエアの更新を制御する、表示ユニット。
【請求項６】
請求項５に記載の表示ユニットにおいて、
前記属性は前記更新プログラムの緊急度または重要度であり、
前記更新制御部は、前記緊急度が高いとき、または前記重要度が高いときは、前記ファームウエアを前記更新プログラムで更新する、表示ユニット。
【請求項７】
請求項５または６に記載の表示ユニットにおいて、
前記更新制御部は、前記ファームウエアの更新処理が終了した後、前記起動処理を再開する、表示ユニット。
【請求項８】
ポンプモータで駆動される回転体を有するポンプ本体、および前記ポンプモータの運転を制御するファームウエアが実装されるポンプ制御装置を有する真空ポンプに接続される表示ユニットにネットワーク回線で接続されるサーバであって、
前記ポンプモータの運転状態に関する情報を取得する情報取得部と、
前記情報取得部で取得した前記ポンプ本体の運転状態に基づいて、前記ファームウエアを更新プログラムで更新することの可否を判定し、可であれば更新プログラムで前記ファームウエアを更新することを前記表示ユニットに指示する更新指示部を有する、サーバ。
【請求項９】
ポンプモータで駆動される回転体を有するポンプ本体、および前記ポンプモータの運転を制御するファームウエアが実装されるポンプ制御装置を有する真空ポンプと、
前記真空ポンプに接続され前記ポンプ本体の運転状態に関する情報を取得する情報取得部を有する表示ユニットと、
前記表示ユニットにネットワーク回線で接続されるサーバとを含み、
前記ファームウエアの更新を制御するファームウエア更新システムであって、
前記情報取得部で取得した前記ポンプ本体の運転状態に基づいて、前記サーバまたは前記表示ユニットは、前記ファームウエアを更新プログラムで更新することの可否を判定し、可であれば更新プログラムで前記ファームウエアを更新する、ファームウエア更新システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプに用いられる表示ユニット、サーバおよびファームウエアの更新システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ターボ分子ポンプは真空容器を高真空に排気する真空ポンプである。通常、ターボ分子ポンプ本体とポンプ用電源装置とにより真空ポンプを構成して使用される。真空ポンプは、真空容器内の真空度を調節する機能を有する。真空容器内での処理は、真空容器側の主制御装置で制御される。真空ポンプの起動/停止も主制御装置の指令により実行される。
【０００３】
真空容器側の主制御装置からの指令でポンプ起動/停止を実行する代わりに、真空ポンプや主制御装置から離れた場所に設置された遠隔装置によりポンプの起動/停止を行うことがある。遠隔装置は、たとえば、ターボ分子ポンプに一体的に設置された電源装置とケーブルで接続された表示ユニットであり、この表示ユニットからポンプの起動停止を指令する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１６０３８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したポンプ用電源装置にはファームウエアが実装されている。従来は、そのアップデートはサービスマンが専用の制御装置をポンプ用電源装置に接続して行っているが、アップデートの自動化が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明の一つの態様による表示ユニットは、ポンプモータで駆動される回転体を有するポンプ本体、および前記ポンプモータの運転を制御するファームウエアが実装されるポンプ制御装置を有する真空ポンプに接続される表示ユニットであって、前記ポンプモータの起動、停止を指示する指示部と、前記ポンプモータの運転状態に関する情報を取得する情報取得部と、前記取得した情報を表示する表示部と、前記情報取得部で取得した前記ポンプ本体の運転状態に基づいて、前記ファームウエアを更新プログラムで更新する更新制御部とを有する。
（２）本発明の好ましい態様の表示ユニットにおける前記更新制御部は、前記ポンプ本体が停止中であれば前記ファームウエアを前記更新プログラムで更新し、前記ポンプ本体が運転中であれば前記ファームウエアを前記更新プログラムで更新しない。
（３）本発明の好ましい態様の表示ユニットは、前記回転体をラジアル方向およびスラスト方向にそれぞれ支承する機械式軸受を有する前記ポンプ本体に接続され、前記更新制御部は、前記ポンプ本体がフリーラン状態で回転しているときは、前記ファームウエアを前記更新プログラムで更新する。
前記ポンプ本体がフリーラン状態で回転しているときとは、前記ポンプ本体が停止処理中であって前記ポンプモータの電気的制御が行われていないときである。
（４）本発明の好ましい態様の表示ユニットにおける前記更新制御部は、前記ポンプ本体が起動処理中のときは、前記更新プログラムに付された属性に基づいて前記ファームウエアの更新を制御する。前記属性は、好ましくは、前記更新プログラムの緊急度または重要度であり、前記更新制御部は、前記ポンプ本体が起動処理中にあっては、前記緊急度が高いとき、または前記重要度が高いときは、前記ファームウエアを前記更新プログラムで更新する。
（５）本発明の好ましい態様の表示ユニットにおける前記更新制御部は、起動処理を中断して前記ファームウエアの更新処理を行う場合は、更新処理が終了した後、中断した起動処理を再開する。
（６）本発明の他の態様のサーバは、ポンプモータで駆動される回転体を有するポンプ本体、および前記ポンプモータの運転を制御するファームウエアが実装されるポンプ制御装置を有する真空ポンプに接続される表示ユニットにネットワーク回線で接続されるサーバであって、前記ポンプモータの運転状態に関する情報を取得する情報取得部と、前記情報取得部で取得した前記ポンプ本体の運転状態に基づいて、前記ファームウエアを更新プログラムで更新することの可否を判定し、可であれば更新プログラムで前記ファームウエアを更新することを前記表示ユニットに指示する更新指示部を有する。
（７）本発明のさらに他の態様のファームウエア更新システムは、ポンプモータで駆動される回転体を有するポンプ本体、および前記ポンプモータの運転を制御するファームウエアが実装されるポンプ制御装置を有する真空ポンプと、前記真空ポンプに接続され、前記ポンプモータの運転状態に関する情報を取得する情報取得部を有する表示ユニットと、前記表示ユニットにネットワーク回線で接続されるサーバとを含み、前記ファームウエアの更新を制御するファームウエア更新システムであって、前記情報取得部で取得した前記ポンプ本体の運転状態に基づいて、前記サーバまたは前記表示ユニットは、前記ファームウエアを更新プログラムで更新することの可否を判定し、可であれば更新プログラムで前記ファームウエアを更新する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、表示ユニットが接続されているポンプ制御装置のファームウエアのアップデートを他の電子機器を接続することなく自動的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１の実施の形態の全体構成を示す図
【図２】図１の真空システム１００の一例を示す図
【図３】図１の外部サーバ３０１にアップされた更新プログラムを管理するテーブルの一例を示す図
【図４】図１の外部サーバ３０１で実行される更新プログラム配信処理手順の一例を示すフローチャート
【図５】図１のローカルサーバ２０１にアップされた更新プログラムを管理するテーブルの一例示す図
【図６】図１のローカルサーバ２０１で実行される更新プログラム配信処理手順の一例を示すフローチャート
【図７】図１の表示ユニット３で実行される更新プログラム適用処理手順の一例を示すフローチャート
【図８】図７の更新プログラム適用判定処理の詳細を示すフローチャート
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
−第１の実施の形態−
（全体構成）
図１は本発明の第１の実施の形態を説明する図である。図１には、真空システム１００−１〜１００−Ｎ（以下、代表符号１００）と、真空システム１００で排気処理される真空チャンバ４−１〜４−Ｎ（以下、代表符号４）と、ローカルネットワークを介して真空システム１００と接続され、真空システム１００を制御し、監視するローカルサーバ２０１と、インターネットを介してローカルサーバ２０１と接続され、各種の情報、データ、プログラムなどを授受する外部サーバ３０１とが示されている。
【００１０】
真空システム１００は、後述するターボ分子ポンプ１と、ターボ分子ポン１の起動/停止を遠隔制御したり、ポンプ運転状態を監視して表示したりする表示ユニット３とを有している。表示ユニット３はＣＰＵなどの制御演算部を有する。制御演算部は、ターボ分子ポンプ１の起動/停止、ポンプの運転状態の監視、監視して得た情報の表示等を行う。
【００１１】
第１の実施の形態では、後述するポンプ制御装置１２に実装されているファームウエアの更新を表示ユニット３が行う。表示ユニット３は、ターボ分子ポンプ１の運転状態に基づいて、ファームウエアの更新タイミングを判断して更新処理を実行する。更新用ファームウエアとその書換プログラム（以下、総称して更新プログラムと呼ぶ）は、はじめに外部サーバ３０１にアップされる。第１の実施の形態では、この更新プログラムは、外部サーバ３０１からローカルサーバ２０１に配信され、ローカルサーバ２０１から表示ユニット３に配信される。表示ユニット３は配信された更新プログラムによりポンプ制御装置１２のファームウエアの更新を行う。以下、詳細に説明する。
【００１２】
（真空システム１００）
図２は真空システム１００の詳細を説明する図である。
真空システム１００は、ターボ分子ポンプ１と、ターボ分子ポンプ１とともに排気を行うバックポンプ２と、ターボ分子ポンプ１に接続される表示ユニット３とを備えている。ターボ分子ポンプ１は、真空排気を行うポンプ本体１１と、ポンプ本体１１を駆動制御するファームウエアを実装したポンプ制御装置１２とを備えている。ポンプ本体１１の吸気側は排気対象である真空チャンバ４に接続される。真空チャンバ４には、チャンバ内圧力を計測するための真空計５が設けられている。ポンプ制御装置１２は、演算制御部１２ａと記憶部１２ｂとを有し、演算制御部１２ａは、記憶部１２ｂに格納されているファームウエアにより各種処理を実行する。ファームウエアは、ソフトウエア（プログラム）であったり、ＦＰＧＡのようなプログラマブルロジック回路で構成することもある。
【００１３】
ポンプ本体１１は、タービン翼が形成されたポンプロータ１１０と、図示しないポンプケーシングに固定されたステータ翼と、ポンプロータ１１０を回転駆動するモータ１１１と、ポンプロータ１１０の回転数を検出する回転センサ１１２とを備えている。図示しないが、ポンプロータ１１０のロータシャフトの両端はベアリングタイプの機械式軸受でラジアル方向に軸支されている。ポンプ本体１１は、ポンプ停止時、ロータシャフトのスラスト方向の荷重を支持する機械式のタッチベアリングも備えている。
【００１４】
ポンプ本体１１の排気側にはバックポンプ２が接続される。ターボ分子ポンプ１は吸気口から流入した気体を大気圧まで圧縮して排気口から排出することができないので、ポンプ本体１１の排気側にドライポンプ等のバックポンプ２を設けて、ターボ分子ポンプ１の排気側の気体をバックポンプ２で大気圧まで圧縮して排出するようにしている。
【００１５】
表示ユニット３は、ターボ分子ポンプ１およびバックポンプ２の起動停止等を制御する装置であり、ＣＰＵ，ＲＡＭ，ＲＯＭ等を備えるとともに、ポンプ制御装置１２のファームウエアを更新制御する更新制御部３０、EEPROM（Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory）等の不揮発性メモリで構成される記憶部３１、ポンプ状態や圧力値等を表示する表示部３３、表示ユニット３への手動入力操作を行うための入力操作部３２、外部装置に電源を供給する電源供給部３４、およびネットワーク回線に接続するための通信部３５を備えている。
【００１６】
図２に示す例では、電源供給部３４は、ポンプ制御装置１２および真空計５に電源Ｖ１を供給している。ここでは、ポンプ制御装置１２および真空計５に同電圧の電源Ｖ１を供給しているが、異なっていても構わない。また、表示ユニット３は、入力操作部からの入力指示によりポンプを遠隔で起動、停止させることができる。すなわち、表示ユニット３は、起動および停止をリモート操作により指示するＴＭＰ制御信号Ｓ１をポンプ制御装置１２へ出力すると共に、バックポンプ２の起動停止を行うＢＰ制御信号Ｓ３を出力する。表示ユニット３には、真空計５から圧力計測値Ｐｃを表すアナログ電圧信号が入力され、ポンプ制御装置１２からポンプ状態信号Ｓ２が入力され、バックポンプ２からアラーム通知信号Ｓ４が入力される。通信部３５は、ローカルネットワーク回線にＬＡＮケーブルで接続され、ローカルサーバ２０１との間で各種情報の授受が行われる。
図１に示すように、ローカルサーバ２０１はインターネット回線と接続され、真空システム１００の機器メーカのサーバ（以下、外部サーバ）３０１との間で各種情報の授受が行われる。
ポンプ状態信号Ｓ２は、モータ回転数、モータ電流、モータ電圧などを含むポンプの運転状態を示す情報であり、通信部３５でこれら情報が取得される。
【００１７】
（外部サーバ３０１）
図３は、外部サーバ３０１の記憶装置にアップされた更新プログラム情報を説明する図である。外部サーバ３０１は、図示しないが、ＣＰＵなどの演算処理装置、記憶装置、通信インターフェースなどを備えている。記憶装置には、更新プログラムテーブルＵＴ１の記憶領域が設けられている。更新プログラムテーブルＵＴ１には、更新プログラム情報欄ＵＰ１と、更新プログラムが適用される対象となるポンプ制御装置１２の型式を示す対象製品型式欄ＵＰ２と、緊急に更新プログラムの適用を行う必要があることを示す緊急度フラグを示す緊急度フラグ欄ＵＰ３と、更新対象となるポンプ制御装置１２、すなわち真空ポンプ１のユーザ情報欄ＵＰ４とが含まれる。
【００１８】
更新プログラム情報欄ＵＰ１には、更新プログラムとそのバージョン情報が示されている。
対象製品型式欄ＵＰ２には、ポンプ制御装置１２の型式ＤＵ＿１０、ＤＵ_２５などが示されている。たとえば、型式ＤＵ＿１０のポンプ制御装置１２の演算制御部１２ａはＡＳＩＣで構成され、型式ＤＵ＿２５のポンプ制御装置１２の演算制御部１２ａはＦＰＧＡで構成される。このように演算制御部１２ａのプロセッサの種類が異なる場合、それぞれのファームウエアに適した更新プログラムが使用される。更新プログラム情報欄ＵＰ１のＰＧＤＵ１０．１．１とＰＧＤＵ２５．１．２はそれぞれ、ＡＳＩＣとＦＰＧＡで構成される処理装置の異なった更新プログラムを示す。型式ＤＵ＿１０および型式ＤＵ＿２５のポンプ制御装置１２が使用されるポンプ本体１１に使用されるロータシャフトは機械式のラジアル軸受、スラスト軸受で支承されている。型式ＤＵ＿３５のポンプ制御装置１２は磁気式軸受を使用した真空ポンプに使用され、更新プログラムＰＧＤＵ３５．１．０は、更新プログラムＰＧＤＵ１０．１．１およびＰＧＤＵ２５．１．２とは異なるアルゴリズムで更新処理を行うプログラムである。
【００１９】
緊急度フラグ欄ＵＰ３には、更新プログラムの緊急度が高い、低いが示されている。緊急度の高い更新プログラムは、ＯＳやセキュリーテイに関する欠陥などを修正するプログラムである。このような種類の更新プログラムは直ちに更新処理を行わない場合、真空システムなど製造設備に影響を与えたり、製品不具合の発生が生じることが想定されるものを意味している。
ユーザ情報欄ＵＰ４には、型式ＤＵ＿１０のポンプ制御装置１２を搭載した真空ポンプ１を購入したユーザ名ＡＢＣ、ＸＹＺ、および型式ＤＵ_２５のポンプ制御装置１２を搭載した真空ポンプ１を購入したユーザ名ＰＱＲ、ＪＫＬが示されている。
【００２０】
図４は、外部サーバ３０１の更新プログラム配信処理の手順を示すフローチャートである。ステップＳ４０１で更新プログラムがアップされたことが判定されると、ステップＳ４０２で配信の準備処理を行う。配信準備処理は、更新プログラムテーブルＵＴ１を参照しつつ、アップされている更新プログラムに関する情報を収集する処理である。ステップＳ４０３では、ステップＳ４０２で収集したユーザ情報に基づいて、更新プログラムの適用対象の真空ポンプ１を使用しているユーザが特定され、ユーザのローカルサーバ２０１、すなわち配信先ＩＰアドレスが決定される。そして、更新プログラム、更新プログラムのバージョン情報、緊急度など必要な情報が一体化された配信データが生成され、ローカルサーバ２０１へ配信される。
ステップＳ４０１で更新プログラムがアップされていないと判定されたときは、いずれの処理も実行せずにリターン処理する。
【００２１】
（ローカルサーバ２０１）
図５は、ローカルサーバ２０１の記憶装置にアップされた更新プログラム情報を説明する図である。ローカルサーバ２０１は、図示しないが、ＣＰＵなどの演算処理装置、記憶装置、通信インターフェースなどを備えている。記憶装置には、更新プログラムテーブルＵＴ１１の記憶領域が設けられている。更新プログラムテーブルＵＴ１１には、配信された最新の更新プログラムの情報が示された更新プログラム情報欄ＵＰ１１と、その更新プログラムが適用される対象となるポンプ制御装置１２の型式ＵＰ１２と、ローカルサーバ２０１に接続されているポンプ制御装置１２の識別番号ＵＰ１３とが示されている。
【００２２】
更新プログラム情報欄ＵＰ１１には、配信された更新プログラムとそのバージョン情報が示されている。対象製品型式欄ＵＰ１２には、ポンプ制御装置１２の型式ＤＵ＿１０、ＤＵ_２５などが示されている。ポンプ制御装置識別欄ＵＰ１３には、ユーザが使用しているポンプ制御装置１２を識別する識別番号（ＩＤ）１１，１２，２１，２２，３１，３２などが示されている。
【００２３】
図６は、ローカルサーバ２０１の更新プログラム配信処理の手順を示すフローチャートである。ステップＳ６０１において、外部サーバ３０１から更新プログラムが配信されたことが判定されると、ステップＳ６０２に進み、更新プログラムを所定の記憶領域に保存する。
ステップＳ６０３において、更新プログラムテーブルＵＴ１１を参照して更新プログラムが適用される製品型式を認識し、更新プログラムのバージョンを認識する。ローカルサーバ２０１は、図示しない記憶領域に、ローカルサーバ２０１が管理している真空システムで使用されている複数のポンプ制御装置１２とそのファームウエアを対応付けた一覧表テーブルを有している。ローカルサーバ２０１は、その一覧表テーブルを参照して該当するポンプ制御装置１２を特定する。そして、特定された複数台のポンプ制御装置１２の現在のバージョンと、受信した更新プログラムのバージョンとを比較する。
ステップＳ６０４では、使用中のファームウエアのバージョンが古ければ、当該ポンプ制御装置１２のファームウエアは更新プログラムで更新する必要があると判定し、ステップＳ６０５に進む。使用中のファームウエアのバージョンが更新プログラムのバージョンと同じであれば、ファームウエアの更新は不要であり、ステップＳ６０１に戻る。
【００２４】
このようにしてローカルサーバ２０１は、管理している複数台のポンプ制御装置１２のなかから、今回の更新プログラムが適用されていないポンプ制御装置１２を選択する。ステップＳ６０５に進むと、ローカルサーバ２０１は、更新が必要と判定された、すなわち選択されたポンプ制御装置１２に接続されている表示ユニット３にのみ、更新プログラムを配信することを通知する。その後、処理を終了してリターン処理を実行する。
【００２５】
ステップＳ６０１において、更新プログラムが配信されていないとき、および、ステップＳ６０４において、更新プログラムを適用するポンプ制御装置１２が存在しないときは、ともに、いずれの処理も実行せずにリターン処理を実行する。
ステップＳ６０３，６０４の処理は、ローカルサーバ２０１にアップされた更新プログラムを利用する型式のポンプ制御装置１２すべてに対して実行される。
【００２６】
（表示ユニット３）
表示ユニット３は、更新プログラムの配信通知を受け、かつ、更新プログラムの受信処理を実行できるときに更新プログラムの配信を要求する。配信要求によりローカルサーバから送信された更新プログラムを受信して保存する。更新適用処理が可能なときに、接続されているポンプ制御装置１２の旧バージョンのファームウエアを新バージョンのファームウエアに更新する。以下、表示ユニット３の更新プログラムによるファームウエアの更新処理について、図７および図８のフローチャートを参照して説明する。
【００２７】
図７は、表示ユニット３で実行される更新プログラムの適用処理の手順を示すフローチャートである。
ステップＳ７０１において、適用すべき更新プログラムの存在をローカルサーバ２０１から通知されているか否かを判定する。更新プログラムがあるときは、ステップＳ７０２において、更新プログラムの受信が可能か否かを判定し、可能と判定されるときは、ステップＳ７０３において、通知されている更新プログラムの配信をローカルサーバ２０１に要求する。ステップＳ７０４において、ローカルサーバ２０１から配信される更新プログラムを受信して一時記憶領域に格納し、ステップＳ７０５に進む。ステップＳ７０５では、更新プログラムの適用処理が可能か否かを判定する。
ステップＳ７０２において更新プログラムの受信が可能ではないと判定されたときは、ステップＳ７０６に進み、ローカルサーバ２０１に対して更新プログラムを受信できないことを通知する。
【００２８】
更新プログラムを受信することが可能か否かの判断は、更新プログラムを受信して一時記憶領域に保存する際、表示ユニット３の本来の制御処理に影響があるかないかに基づいて判断される。たとえば、更新プログラムの容量が小さい場合は短時間で更新プログラムの受信処理が終了するが、容量が大きい場合は更新プログラムの受信処理に長時間を要する。したがって、更新プログラムの容量と現在のポンプ運転状態とに基づいて判断して、真空処理プロセスに影響を及ぼさないようにすることが好ましい。ポンプが停止中であれば、表示ユニット３は更新プログラムをその容量に関わらず受信することが可能である。
【００２９】
図８は、上述した図７のステップＳ７０５の詳細手順を示すフローチャートである。
ステップＳ８０１において、表示ユニット３により制御、監視されているターボ分子ポンプ１の運転状態を判定する。第１の実施の形態では、以下の(1)〜(4)にポンプ運転状態を分類して更新プログラムの適用可否を判断している。
(1)ポンプ停止中は更新プログラムの適用が可能である。
(2)ポンプ運転中は更新プログラムの適用が不可である。
(3)ポンプ停止処理実行中は、フリーラン状態であれば更新プログラムの適用が可であり、それ以外の状態では更新プログラムの適用が不可である。
(4)ポンプ起動処理実行中は、更新プログラムの緊急度が高ければ更新プログラムの適用が可であり、緊急度が低い状態では更新プログラムの適用が不可である。
【００３０】
（停止中）
ステップＳ８０１においてターボ分子ポンプ１が停止中と判定されると、表示ユニット３は、ステップＳ８０２で更新プログラムによりポンプ制御装置１２のファームウエアを更新し、ステップＳ８０３でファームウエアが更新されたことをユーザに報知する。このとき、表示ユニット３の記憶部３１に記憶されているファームウエアのバージョンを更新プログラムのバージョンで書き換える。これは、図６のステップＳ６０３によるバージョン比較で更新プログラムの適用が必要か否かをローカルサーバ２０１が判断する際に使用される情報である。表示ユニット３は、更新処理終了後、更新されたファームウエアのバージョンをローカルサーバ２０１に送信し、ローカルサーバ２０１は、上述した一覧表テーブルのバージョンを書き換える。バージョン情報は図６のステップＳ６０３の処理で必要な情報である。
【００３１】
（停止処理中）
ステップＳ８０１において、ターボ分子ポンプ１の停止処理を実行中であると判定されると、ステップＳ８０４において、フリーラン状態であるか否かを判定する。停止処理とは、真空システム１００の運転を中止する際の処理であり、ユーザが表示ユニット３の入力部から停止指示が行れたり、真空処理装置を制御、管理しているメインコントローラから停止指示が行われると実行される。
【００３２】
フリーラン状態とは、上記停止処理によりポンプ制御装置１２がモータを停止する制御処理を実行しているとき、たとえば、ポンプモータへの電力供給が停止されて慣性力でロータ翼が回転している状態である。第１の実施の形態のターボ分子ポンプ１はラジアル軸受もスラスト軸受もともに機械式の玉軸受を採用している。そのため、モータ停止処理中にポンプ制御装置１２がポンプ回転に関する積極的な制御は行わない。したがって、ステップＳ８０４でフリーラン状態が判定されるとステップＳ８０２に進み、表示ユニット３は更新プログラムで演算制御部１２ａのファームウエアを更新する。
あるいは、真空処理装置で真空圧制御を行わないプロセスでもフリーラン状態があり得る。たとえば、プロセスの切替過程において、真空チャンバ４では被処理対象製品がロード、アンロードされるが、このような工程でも積極的なモータ制御を行う必要がなく、ポンプをフリーラン状態とする場合がある。
【００３３】
なお、磁気式軸受では、モータ停止中でも磁気浮上動作は継続して行う必要があり、ポンプ制御装置１２によるポンプ運転に関する積極的な制御が必要であり、フリーラン状態は存在しない。したがって、磁気式軸受を用いる真空ポンプでは停止処理中の更新プログラムの適用処理は実行しないような更新適用アルゴリズムとなる。
【００３４】
（運転中）
ステップＳ８０１において、ターボ分子ポンプ１が運転中と判定されたときは、ステップＳ８１１において、表示ユニット３は、ポンプ制御装置１２のファームウエアの更新を行わず、ポンプ制御装置１２の運転処理を継続する。その後、ステップＳ８１２において、更新プログラムがあることをユーザに報知する。
【００３５】
（起動処理中）
ステップＳ８０１において、ターボ分子ポンプ１が起動処理中であると判定されたときは、ステップＳ８２１において、更新プログラムが緊急度の高いプログラムであるか否かを、上述した緊急度フラグで判断する。ステップＳ８２１において、更新プログラムの緊急度が低いと判定されるとステップＳ８２２に進む。ステップＳ８２２では、起動処理を続行する。その後、ステップＳ８１２に進み、緊急度の低い更新プログラムが配信されていることを報知してリターン処理を実行する。
【００３６】
ステップＳ８２１において、更新プログラムの緊急度が高いと判定されたときは、ステップＳ８２３において、表示ユニット３が起動処理を中断する処理を行ってステップＳ８２４に進む。ステップＳ８２４では、更新プログラム適用処理を実行してファームウエアを更新し、ステップＳ８２５において、ファームウエアを更新したことをユーザに報知する。その後、ステップＳ８２６において、中断した起動処理を再開するか否かを判定する。再開が判定されるとステップＳ８２７に進み、起動処理を再開する処理を実行する。起動処理の再開が否定されるとステップＳ８２８に進み、起動処理を中止したことをユーザに報知してリターン処理を実行する。
【００３７】
起動処理は、ターボ分子ポンプ１の運転を起動する処理であり、たとえばユーザが表示ユニット３から起動スイッチをオン操作して開始される。起動処理が開始されると、バックポンプ２が起動され、その後、真空計５で検出されたチャンバ内圧力が所定値を下回るとポンプモータ１１１への通電が開始され、ロータ翼１１２の回転が加速される。回転数センサ１１２からの回転数信号により、ロータ翼１１２の回転速度が表示ユニット３で表示される。
【００３８】
このような起動処理中に緊急度が高い更新プログラムの適用を行う場合、たとえば、ポンプ回転数が定常回転数に達する直前であってもモータをいったん停止し、その後、更新プログラム適用処理を行う。ポンプ回転数が定常回転数に達している場合、起動処理から通常運転への移行処理が必要であり、その過程でもポンプを停止処理して更新プログラムを適用することが好ましい。
【００３９】
以上説明した第１の実施の形態の表示ユニット３の動作を説明すると以下のとおりである。
（１）表示ユニット３は、ポンプモータ１１１で駆動されるロータ翼のような回転体１１０を有するポンプ本体１１と、ポンプモータ１１１の運転を制御するファームウエアが実装されているポンプ制御装置１２とを有する真空ポンプであるターボ分子ポンプ１に接続される。表示ユニット３は、ポンプモータ１１１の起動、停止を指示入力する入力操作部３２と、ポンプモータ１１１の運転状態に関する情報を取得する情報取得部と、取得した情報を表示する表示部３３と、ポンプ本体１１の運転状態に基づいてポンプ制御装置１２のファームウエアを更新プログラムで更新する更新制御部３０とを有する。
第１の実施の形態の表示ユニット３は、更新制御部３０がポンプ本体１１の運転状態に基づいて、ポンプ本体１１に影響がないタイミングでポンプ制御装置１２のファームウエアの更新処理を行うことができる。
【００４０】
（２）更新制御部３０は、ポンプ本体１１が停止中であればポンプ制御装置１２のファームウエアを更新プログラムで更新し、ポンプ本体１１が運転中であればポンプ制御装置１２のファームウエアを更新プログラムで更新しない。したがって、ポンプ制御装置１２のファームウエアの更新を自動化しても、ポンプ本体１１の運転に影響がない。
【００４１】
（３）回転体をラジアル方向およびスラスト方向にそれぞれ支承する機械式軸受を有するポンプ本体１１に接続される表示ユニット３においては、更新制御部３０は、ポンプ本体１１がフリーラン状態で回転しているときは、ポンプ制御装置１２のファームウエアを更新プログラムで更新するようにした。したがって、ポンプ制御装置１２のファームウエアを更新するタイミングを多く設定することができる。
ポンプ本体１１がフリーラン状態で回転しているときとは、ポンプ本体１１が停止処理中であってポンプモータ１１１の電気的制御が行われていないときである。真空処理装置で真空圧制御を行わないときにフリーラン状態が生じることもある。
【００４２】
（４）更新制御部は、ポンプ本体１１が起動処理中のときは、更新プログラムに付された属性に基づいてポンプ制御装置１２のファームウエアの更新を制御する、属性は、たとえば更新プログラムの緊急度である。更新制御部としての制御演算部３０は、緊急度が高いときは、ポンプ制御装置１２のファームウエアを更新プログラムで更新する。
したがって、真空システムの故障、不具合の発生を未然に防止することができる。
（５）更新制御部３０は、ポンプ制御装置１２のファームウエアの更新処理が終了した後、起動処理を再開する。したがって、更新プログラムの適用により真空システムが起動されないことが防止される。
【００４３】
（変形例１）
第１の実施の形態では、型式ＤＵ＿１０および型式ＤＵ＿２５のポンプ制御装置１２のが使用されるポンプ本体のロータシャフトは機械式ラジアル軸受、機械式スラスト軸受で支承されると説明した。しかし、本発明は、ラジアル磁気軸受、およびスラスト磁気軸受を備えるターボ分子ポンプにも適用することができる。この場合、第１の実施の形態のメカニカル式軸受を用いるターボ分子ポンプとは異なり、フリーラン状態でも磁気浮上が必要であり、フリーラン状態での更新はできない。
たとえば、上述したように型式ＤＵ＿３５のポンプ制御装置１２が使用されるポンプ本体のロータシャフトが磁気式ラジアル軸受、磁気式スラスト軸受で支承される場合、図８の更新処理判定手順は異なる。磁気式軸受を用いるターボ分子ポンプに接続される表示ユニット３にあっては、ステップＳ８０１でポンプ運転状態が停止処理中と判定されたときにポンプ制御装置１２のファームウエアの更新処理は行わない。その他は、図８と同様である。したがって、図８の更新適用判定処理のアルゴリズムは、機械式軸受を有するターボ分子ポンプと、磁気浮上式軸受を有するターボ分子ポンプとは異なる。
【００４４】
（変形例２）
第１の実施の形態では、ポンプ停止処理実行中であってもフリーラン状態であればポンプ制御装置１２の更新プログラムの適用が可とした。しかし、ポンプ停止処理実行中には更新プログラムの適用を不可としてもよい。
【００４５】
（変形例３）
第１の実施の形態では、ポンプ起動処理実行中であっても更新プログラムの緊急度が高ければ更新プログラムの適用が可とし、緊急度が低い状態では更新プログラムの適用は不可とした。しかし、ポンプ起動処理実行中には緊急度が高い更新プログラムの適用を不可としてもよい。変形例２の場合、機械式軸受、磁気式軸受のいずれの真空ポンプでも更新プログラム適用アルゴリズムを共通化することが可能である。
【００４６】
（変形例４）
第１の実施の形態では、緊急度の高い更新プログラムについては、起動処理中でもポンプ制御装置１２のファームウエアの更新を優先させた。しかしながら、緊急度とともに、もしくは緊急度に代えて、重要度の高い更新プログラムについて、起動処理中にポンプ制御装置１２のファームウエアの更新を優先させてもよい。重要度の高い更新プログラムとして、重要なアルゴリズム改訂を含む場合が挙げられる。
【００４７】
（変形例５）
更新プログラムの容量の大きさに基づいてポンプ制御装置１２のファームウエアの更新タイミングを制御してもよい。第１の実施の形態では、起動処理中に緊急度が高い更新プログラムは起動処理を中断させて更新処理を実行するようにした。しかし、容量が大きい更新プログラムについては、更新処理に長時間を要することもあり、所定容量を超える更新プログラムの更新処理は禁止し、所定容量以下の更新プログラムに限って更新処理を行うことも可能である。
【００４８】
（変形例６）
ポンプ起動処理中であって緊急度の高い更新プログラムを適用する場合、第１の実施の形態では図８のステップＳ８２１からステップＳ８２３へ自動的に進むようにした。しかし、ユーザに更新プログラムの適用処理を優先させるか否かを判断させ、ユーザからの更新プログラム適用指示で更新処理を行うようにしてもよい。
【００４９】
（変形例７）
第１の実施の形態では、図６のステップＳ６０５において、更新プログラムがあるときにローカルサーバ２０１は表示ユニット３に対して更新プログラムの配信許可を求めた。しかし、ポンプ運転状態に関わらず表示ユニット３が更新プログラムの配信を受け入れられるシステム構成であれば（システムに余裕があれば）、以下のように更新処理を行うことも可能である。すなわち、ローカルサーバ２０１はユーザの許可を求めることなく、更新プログラムを表示ユニット３に配信する。表示ユニット３は、配信された更新プログラムを所定領域に保存し、更新可能なときに更新プログラムを適用してファームウエアを更新する。
【００５０】
（変形例８）
第１の実施の形態と変形例では、表示ユニット３をローカルサーバ２０１と接続し、ローカルサーバ２０１を外部サーバ３０１と接続したシステム構成とし、表示ユニット３が図８の更新プログラム適用判定処理を実行することとした。しかし、本発明はこのような構成に限定されない。たとえば、図８の更新プログラム適用判定処理をローカルサーバ２０１で実行したり、あるいは、外部サーバ３０１で実行したりしてもよい。
これらのサーバ２０１または３０１は、ポンプモータ１１１で駆動される回転体１１０を有するポンプ本体１１、およびポンプモータ１１１の運転を制御するポンプ制御装置１２を有する真空ポンプ１に接続される表示ユニット３にネットワーク回線で接続される。これらのサーバ２０１または３０１は、ポンプ本体１１の運転状態に関する情報を表示ユニット３を経由して取得する情報取得部と、情報取得部で取得したポンプ本体１１の運転状態に基づいて、ポンプ制御装置１２のファームウエアを更新プログラムで更新することの可否を判定し、可であれば更新プログラムでファームウエアを更新することを表示ユニット３に指示する更新指示部を有する。
【００５１】
（変形例９）
第１の実施の形態と変形例では、表示ユニット３をローカルサーバ２０１と接続し、ローカルサーバ２０１を外部サーバ３０１と接続したシステム構成とした。しかし、本発明はこのような構成に限定されない。たとえば、小規模事業者では、表示ユニット３を機器メーカの外部サーバ３０１に直接接続する場合も想定される。このようなシステム構成では、更新プログラムの適用処理は、外部サーバ３０１が表示ユニット３との間で情報の授受を行うことにより実行することができる。
あるいは、表示ユニット３にユーザが更新プログラムを手動でセットアップする場合には、表示ユニット３は図８の更新プログラム適用判定処理を実行して更新プログラムの適用判定処理を行うようにしてもよい。この例は、ローカルサーバ２０１、あるいは外部サーバ３０１のいずれとも連携することなくファームウエアを自動更新するものである。
【００５２】
（変形例１０）
第１の実施の形態では、ポンプ制御装置１２の現在のファームウエアのバージョンは、ローカルサーバ２０１に記憶された情報を用いることとした。しかし、更新プログラムが外部サーバ３０１から配信されるたびに、都度、表示ユニット３にバージョン情報を要求して取得してもよい。
【００５３】
上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではなく、また、変形例の一つ、もしくは複数を上述の実施形態と組み合わせることも可能である。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。例えば、上述の実施の形態ではターボ分子ポンプを例に説明したが、例えば、ねじ溝ポンプ段のみを備えるドラッグポンプに使用される表示ユニットであれば、本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００５４】
１…ターボ分子ポンプ、２…バックポンプ、３…表示ユニット、４…真空チャンバ、５…真空計、１１…ポンプ本体、１２…ポンプ制御装置、１２ａ…演算制御部、１２ｂ…記憶部、３０…更新制御部、３１…記憶部、３２…入力操作部、３３…表示部、３４…電源供給部、３５…通信部、１００…真空システム、１１０…ポンプロータ、１１１…モータ、１１２…回転センサ、２０１…ローカルサーバ、３０１…外部サーバ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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