(57)【要約】【課題】ガラス層の濡れ拡がりが低減された圧力センサ、及び、ガラス層の濡れ拡がりを低減することができる圧力センサの製造方法を提供する。【解決手段】ダイヤフラム部１４４は、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに開口する溝部１４６であって、平面視で、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆから離間した位置で圧力検知素子１５０の外周１５０ｆを囲む環状の溝部１４６を有する。ガラス層１６０は、溝部１４６の外周面１４６ｆよりも外側に位置することなく、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａと溝部１４６の内周面１４６ｂとの境界部である環状角部１４６ｄの少なくとも一部に接触する形態を有する。【選択図】図５
2020012696.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出対象である圧力に応じて自身に歪みが生じるダイヤフラム部と、
前記ダイヤフラム部の表面上に設けられた圧力検知素子と、
前記圧力検知素子を前記ダイヤフラム部の前記表面上に接合するガラス層と、を備える
圧力センサであって、
前記ガラス層は、前記圧力検知素子のうち前記ダイヤフラム部側を向く裏面と前記ダイヤフラム部の前記表面との間に介在すると共に、前記圧力検知素子の外周を構成する外側面のうち少なくとも前記圧力検知素子の前記裏面側に位置する裏面側外側面に接触する態様で、前記圧力検知素子を前記ダイヤフラム部の前記表面上に接合しており、
前記ダイヤフラム部は、前記ダイヤフラム部の前記表面に開口する溝部を有し、
前記溝部は、環状の内周面と環状の外周面とを有する環状の溝部であって、平面視で、前記圧力検知素子の前記外周から離間した位置で前記圧力検知素子の前記外周を囲む溝部であり、
前記ガラス層は、前記溝部の前記外周面よりも外側に位置することなく、前記ダイヤフラム部の前記表面と前記溝部の前記内周面との境界部である環状角部の少なくとも一部に接触する形態を有する
圧力センサ。
【請求項２】
請求項１に記載の圧力センサであって、
前記ガラス層は、前記ダイヤフラム部の前記環状角部の全周に接触している
圧力センサ。
【請求項３】
請求項２に記載の圧力センサであって、
前記ガラス層は、前記溝部の内部に位置することなく、当該ガラス層の外周の全体が前記ダイヤフラム部の前記環状角部に接触している
圧力センサ。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の圧力センサであって、
前記ガラス層の一部は、前記溝部の内部に配置されている
圧力センサ。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の圧力センサであって、
前記溝部は、前記圧力検知素子の前記外周に沿った環状をなしている
圧力センサ。
【請求項６】
検出対象である圧力に応じて自身に歪みが生じるダイヤフラム部と、
前記ダイヤフラム部の表面上に設けられた圧力検知素子と、
前記圧力検知素子を前記ダイヤフラム部の表面上に接合するガラス層と、を有する
圧力センサの製造方法であって、
前記ダイヤフラム部の表面に前記ガラス層を形成するガラス層形成工程と、
前記ガラス層の表面に前記圧力検知素子を載置する載置工程と、
前記ガラス層を加熱して、前記ガラス層を軟化または溶融させることで、前記ガラス層を、前記圧力検知素子のうち前記ダイヤフラム部側を向く裏面と前記ダイヤフラム部の前記表面との間に介在させると共に、前記圧力検知素子の外周を構成する外側面のうち少なくとも前記圧力検知素子の前記裏面側に位置する裏面側外側面に接触する形態にして、前記ガラス層によって前記圧力検知素子を前記ダイヤフラム部の前記表面上に接合する接合工程と、を備え、
前記載置工程では、
前記ダイヤフラム部が、前記ダイヤフラム部の前記表面に開口する溝部であって、環状の内周面と環状の外周面とを有する環状の溝部を備えており、
前記ダイヤフラム部の前記表面のうち、平面視で、前記ダイヤフラム部の前記表面と前記溝部の前記内周面との境界部である環状角部より内側の領域に、前記ガラス層の全体を配置した状態で、前記ガラス層の前記表面に前記圧力検知素子を載置すると共に、前記圧力検知素子の前記外周から外側に離間した前記溝部によって前記圧力検知素子の前記外周が囲まれた状態にし、
前記接合工程では、
前記ガラス層を、前記溝部の前記外周面よりも外側に位置させることなく、前記ダイヤフラム部の前記環状角部の少なくとも一部に接触した形態にする
圧力センサの製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載の圧力センサの製造方法であって、
前記ガラス層形成工程に先立って、前記ダイヤフラム部として、前記溝部を有する前記ダイヤフラム部を用意し、
前記ガラス層形成工程では、前記溝部を有する前記ダイヤフラム部の前記表面のうち、平面視で、前記ダイヤフラム部の前記環状角部より内側の領域に、前記ガラス層を形成する
圧力センサの製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の圧力センサの製造方法であって、
前記ガラス層形成工程では、前記ガラス層の外周を、前記ダイヤフラム部の前記環状角部に沿った形状にする
圧力センサの製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載の圧力センサの製造方法であって、
前記環状角部は、平面視で、前記圧力検知素子の前記外周と同形状をなしており、
前記載置工程では、平面視で、前記圧力検知素子の前記外周が、前記ガラス層の前記外周に沿うようにして、前記ガラス層の前記表面に前記圧力検知素子を載置する
圧力センサの製造方法。
【請求項１０】
請求項６〜請求項９のいずれか一項に記載の圧力センサの製造方法であって、
前記ガラス層形成工程は、
前記ダイヤフラム部の前記表面にガラスペーストを塗布して、前記ダイヤフラム部の前記表面にガラスペースト層を形成する塗布工程と、
前記ガラスペースト層を焼成することによって、前記ダイヤフラム部の前記表面に前記ガラス層を形成する焼成工程と、を含み、
前記塗布工程では、スクリーン印刷によって、前記ガラスペーストを前記ダイヤフラム部の前記表面に塗布する
圧力センサの製造方法。
【請求項１１】
請求項６〜請求項１０のいずれか一項に記載の圧力センサの製造方法であって、
前記接合工程では、前記ガラス層を、前記溝部の内部に位置させることなく、前記ガラス層の外周の全体が前記ダイヤフラム部の前記環状角部に接触した形態にする
圧力センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力センサ及び圧力センサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、検出対象である圧力に応じて自身に歪みが生じるダイヤフラム部と、ダイヤフラム部の表面上に設けられた圧力検知素子と、圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に接合するガラス層とを備える圧力センサが開示されている。このうち、ダイヤフラム部は、平面視円形状であり、圧力検知素子は、平面視矩形状である。圧力検知素子は、ダイヤフラム部の周縁部に配置されている。ダイヤフラム部には、平面視で、Ｙ方向（ダイヤフラム部の中心と圧力検知素子の中心を通る直線に直交する方向）に圧力検知素子を間に挟むようにして、直線状をなす２本の段差（溝部）が形成されている。この段差（溝部）を形成することにより、ダイヤフラム部のＹ方向への変形を容易にしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１４／１８８８１７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、圧力検知素子をダイヤフラム部の表面に強固に接合すると共に、ダイヤフラム部に生じた歪みを圧力検知素子に効率良く伝達するために、以下のような態様で、ガラス層によって圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に接合することがある。具体的には、ガラス層を、圧力検知素子の裏面とダイヤフラム部の表面との間に介在させると共に、圧力検知素子の外周を構成する外側面のうち少なくとも圧力検知素子の裏面側に位置する裏面側外側面に接触させる態様で、ガラス層によって圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に接合する（すなわち、圧力検知素子のうち少なくとも裏面側の部位を、ガラス層内に埋め込むようにして接合する）。
【０００５】
このような圧力センサは、例えば、以下のようにして製造する。具体的には、まず、ガラスペーストを、ダイヤフラム部の表面に塗工（例えば、印刷）する。なお、ガラスペーストは、例えば、ガラスの粉末とバインダーと溶媒とが混合されたペースト状の物質である。次いで、ガラスペーストを焼成して、ガラスペーストに含まれている溶媒及びバインダーを除去すると共に、粉末状のガラスを軟化させつつダイヤフラム部の表面に接着させた後、冷却によりガラスを固化させる。これにより、ガラス層が、ダイヤフラム部の表面に形成（固着）される。
【０００６】
その後、ダイヤフラム部の表面に形成したガラス層の表面に、圧力検知素子を載置する。次いで、接合工程において、ガラス層を加熱して、当該ガラス層を軟化または溶融させると共に、当該ガラス層によって圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に接着させる。具体的には、ガラス層を軟化または溶融させることで、圧力検知素子の裏面がガラス層に接触すると共に、表面張力により、軟化または溶融したガラス層の一部が、圧力検知素子の外周を構成する外側面を、圧力検知素子の裏面側から表面側に向かって移動（上昇）する。これにより、圧力検知素子の厚み方向について、少なくとも圧力検知素子のうち裏面側の部位を、ガラス層内に埋め込むことができる。
【０００７】
しかしながら、上述のような接合工程において、ガラス層を軟化または溶融させたとき、軟化または溶融したガラス層が、ダイヤフラム部の表面上において、圧力検知素子の径方向外側に大きく濡れ拡がってしまい、ガラス層によって圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に適切に接合することができなくなることがあった。例えば、圧力検知素子のうち少なくとも裏面側の部位を、ガラス層の内部に埋め込むことができないことがあった。さらには、この問題を考慮して、圧力検知素子をガラス層の内部に埋め込むために、ダイヤフラム部の表面にガラスペーストをより多く塗工すると、軟化または溶融したガラス層が、ダイヤフラム部の表面よりも外側または内側にまで濡れ拡がり、他部材に付着する虞もあった。
【０００８】
本発明は、かかる現状に鑑みてなされたものであって、ガラス層の濡れ拡がりが低減された圧力センサ、及び、ガラス層の濡れ拡がりを低減することができる圧力センサの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様は、検出対象である圧力に応じて自身に歪みが生じるダイヤフラム部と、前記ダイヤフラム部の表面上に設けられた圧力検知素子と、前記圧力検知素子を前記ダイヤフラム部の前記表面上に接合するガラス層と、を備える圧力センサであって、前記ガラス層は、前記圧力検知素子のうち前記ダイヤフラム部側を向く裏面と前記ダイヤフラム部の前記表面との間に介在すると共に、前記圧力検知素子の外周を構成する外側面のうち少なくとも前記圧力検知素子の前記裏面側に位置する裏面側外側面に接触する態様で、前記圧力検知素子を前記ダイヤフラム部の前記表面上に接合しており、前記ダイヤフラム部は、前記ダイヤフラム部の前記表面に開口する溝部を有し、前記溝部は、環状の内周面と環状の外周面とを有する環状の溝部であって、平面視で、前記圧力検知素子の前記外周から離間した位置で前記圧力検知素子の前記外周を囲む溝部であり、前記ガラス層は、前記溝部の前記外周面よりも外側に位置することなく、前記ダイヤフラム部の前記表面と前記溝部の前記内周面との境界部である環状角部の少なくとも一部に接触する形態を有する圧力センサである。
【００１０】
上述の圧力センサは、圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に接合するガラス層を有する。このガラス層は、圧力検知素子の裏面とダイヤフラム部の表面との間に介在すると共に、圧力検知素子の外周を構成する外側面のうち少なくとも圧力検知素子の裏面側に位置する裏面側外側面に接触する態様で、圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に接合している。すなわち、圧力検知素子のうち少なくとも裏面側の部位を、ガラス層の内部に埋め込む態様で、圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に接合している。
【００１１】
さらに、上述の圧力センサでは、ダイヤフラム部が、ダイヤフラム部の表面に開口する溝部を有している。この溝部は、環状の内周面と環状の外周面とを有する環状の溝部であって、ダイヤフラム部の平面視で、圧力検知素子の外周から離間した位置で圧力検知素子の外周を囲む環状の溝部である。このような溝部を有する圧力センサは、ガラス層の濡れ拡がりが低減された圧力センサとなる。具体的には、ガラス層が、溝部の外周面よりも外側に位置することなく、ダイヤフラム部の表面と溝部の内周面との境界部である環状角部の少なくとも一部に接触する形態を有する、圧力センサとなる。
【００１２】
より具体的に説明すると、圧力センサを製造するために、ガラス層を介して圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に接合する工程において、ガラス層を加熱して、当該ガラス層を軟化または溶融させたときに、当該ガラス層が、ダイヤフラム部の表面上において圧力検知素子の径方向外側に濡れ拡がって、当該ガラス層の外周が、ダイヤフラム部の表面と溝部の内周面との境界部である環状角部に到達すると、その表面張力によって、ダイヤフラム部の表面に止まろうとする。これにより、ガラス層の濡れ拡がりを抑制することが可能となる。具体的には、ガラス層の一部が、ダイヤフラム部の環状角部の少なくとも一部に接触することで、環状角部に接触したガラス層の濡れ拡がりを抑制することが可能となる。
【００１３】
例えば、ガラス層が溝部内に進入することなく、ガラス層の外周（その少なくとも一部）がダイヤフラム部の環状角部に接触する態様で、ガラス層をダイヤフラム部の表面上に配置することで、圧力検知素子の外周を構成する外側面の少なくとも一部をガラス層の内部に埋めるようにして、ガラス層によって圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に接合することができる。また、軟化または溶融したガラス層の外周部がダイヤフラム部の環状角部を通過した場合でも、ガラス層のうち環状角部を通過した部位を溝部内に収容することができるので、ガラス層が溝部よりも外側に濡れ拡がるのを防止することができる。
【００１４】
従って、上述の圧力センサは、ガラス層が、溝部の外周面よりも外側に位置することなく、ダイヤフラム部の表面と溝部の内周面との境界部である環状角部の少なくとも一部に接触する態様で、ダイヤフラム部の表面上に配置された、圧力センサとなる。
【００１５】
なお、「ガラス層が、ダイヤフラム部の表面と溝部の内周面との境界部である環状角部の少なくとも一部に接触する態様で、ダイヤフラム部の表面上に配置されている」形態には、「ガラス層が、溝部内に位置することなく、ダイヤフラム部の環状角部の一部または全体に接触する形態」に限らず、「ガラス層の一部（周縁部）が溝部内に配置されると共に、ガラス層がダイヤフラム部の環状角部の一部または全体に接触する形態」も含まれる。
【００１６】
さらに、前記の圧力センサであって、前記ガラス層は、前記ダイヤフラム部の前記環状角部の全周に接触している圧力センサとすると良い。
【００１７】
「ガラス層がダイヤフラム部の環状角部の全周に接触している」ということは、接合工程において、軟化または溶融したガラス層が、その全周にわたって、ダイヤフラム部の環状角部に到達し、このとき、その表面張力によって、ダイヤフラム部の表面に止まろうとしたことになる。従って、ガラス層の全周にわたって濡れ拡がりが低減されたことになる。すなわち、上述の圧力センサは、ガラス層の全周にわたって濡れ拡がりが低減された圧力センサといえる。
【００１８】
なお、「ガラス層が、ダイヤフラム部の環状角部の全周に接触している」態様としては、例えば、ガラス層が溝部の内部に位置することなく、ガラス層の外周の全体がダイヤフラム部の環状角部に接触している態様を挙げることができる。すなわち、ガラス層が、溝部の内部に存在することなく、ダイヤフラム部の表面のうち環状の溝部によって囲まれた部位の全面を覆うように配置された態様である。また、ガラス層の周縁部が溝部内に位置すると共に、ガラス層のうち平面視で周縁部に対し内側に隣接する部位が、ダイヤフラム部の環状角部の全周にわたって接触している態様を挙げることができる。すなわち、ダイヤフラム部の表面のうち環状の溝部によって囲まれた部位の全面を覆うようにガラス層が配置されると共に、ガラス層の周縁部が溝部内に配置された態様である。
【００１９】
さらに、前記の圧力センサであって、前記ガラス層は、前記溝部の内部に位置することなく、当該ガラス層の外周の全体が前記ダイヤフラム部の前記環状角部に接触している圧力センサとすると良い。
【００２０】
上述の圧力センサは、ガラス層が、溝部の内部に位置することなく、ダイヤフラム部の表面のうち環状の溝部によって囲まれた部位の全面を覆うように配置された圧力センサである。このような圧力センサは、例えば、以下のようにして製造することができる。
【００２１】
具体的には、まず、ダイヤフラム部の表面のうち環状角部よりも内側の部位に、ガラス層の外周がダイヤフラム部の環状角部に沿った形状となるようにして、ガラス層を形成する。その後、ガラス層の表面に圧力検知素子を載置した状態で、ガラス層を軟化または溶融させることで、ガラス層を介して圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に接合する。このとき、軟化または溶融したガラス層は、径方向外側に向かって均等に濡れ拡がろうとするので、ダイヤフラム部の環状角部に沿った形状の外周を有するガラス層は、ダイヤフラム部の表面を濡れ拡がることによって、当該ガラス層の外周の全体がダイヤフラム部の環状角部に到達する。そして、環状角部に到達したガラス層の外周部が、その表面張力によって、ダイヤフラム部の表面に止まることで、ガラス層が溝部の内部に進入することなく、ガラス層の外周の全体がダイヤフラム部の環状角部に接触した形態になる。
【００２２】
このような圧力センサでは、ガラス層の濡れ拡がりが大きく低減されているので、圧力検知素子が、厚さ方向について十分にガラス層内に埋め込まれた圧力センサとなる。これにより、圧力検知素子がダイヤフラム部の表面に強固に接合されると共に、ダイヤフラム部に生じた歪みを圧力検知素子に効率良く伝達することが可能となる。
【００２３】
また、前記いずれかの圧力センサであって、前記ガラス層の一部は、前記溝部の内部に配置されている圧力センサとすると良い。
【００２４】
上述の圧力センサは、ガラス層の一部（周縁部の全部または一部）が溝部内に配置された圧力センサである。この圧力センサは、例えば、ガラス層を軟化または溶融させたとき、ガラス層の外周部の少なくとも一部がダイヤフラム部の環状角部を通過して径方向外側に濡れ拡がったものであるが、環状角部を径方向外側に通過したガラス層が、溝部の内部に収容されたものである。このように、上述の圧力センサは、ガラス層の一部が溝部の内部に収容されたことによって、ガラス層が溝部よりも外側に濡れ拡がるのを防止することができた圧力センサとなっている。
【００２５】
さらに、前記いずれかの圧力センサであって、前記溝部は、前記圧力検知素子の前記外周に沿った環状をなしている圧力センサとすると良い。
【００２６】
ガラス層の無駄を少なく（接合に寄与しないガラスを少なく）して、ガラス層によって圧力検知素子をダイヤフラム部の表面に接合するためには、ガラス層の外周を圧力検知素子の外周に沿った形状とするのが好ましい。従って、上述のように、圧力検知素子の外周に沿った環状をなす溝部を有する圧力センサを製造する場合、ガラス層形成工程において、ガラス層の外周が圧力検知素子の外周に沿った形状となるようにして、ダイヤフラム部の表面にガラス層を形成することで、ガラス層の外周がダイヤフラム部の環状角部に沿った形状となる。
【００２７】
このため、接合工程において、ガラス層を軟化または溶融すると、当該ガラス層は径方向外側に向かって均等に濡れ拡がろうとするので、当該ガラス層の外周の全体をダイヤフラム部の環状角部に到達させることができる。環状角部に到達したガラス層は、その表面張力によって、ダイヤフラム部の表面に止まろうとするので、ガラス層の全周にわたって濡れ拡がりが低減されることになる。従って、上述の圧力センサは、ガラス層の全周にわたって濡れ拡がりが低減された圧力センサになり得る。
【００２８】
このような圧力センサとしては、溝部が圧力検知素子の外周に沿った環状をなしている圧力センサであって、ガラス層が、溝部の内部に位置することなく、当該ガラス層の外周の全体がダイヤフラム部の環状角部に接触している圧力センサを挙げることができる。この圧力センサでは、平面視で、ガラス層の外周が、ダイヤフラム部の環状角部に沿った形状で、且つ、圧力検知素子の外周に沿った形状となる。この圧力センサは、ガラス層の無駄が少なく（接合に寄与しないガラスが少なく）、且つ、圧力検知素子が厚さ方向について十分にガラス層内に埋め込まれた圧力センサとなる。
【００２９】
本発明の他の態様は、検出対象である圧力に応じて自身に歪みが生じるダイヤフラム部と、前記ダイヤフラム部の表面上に設けられた圧力検知素子と、前記圧力検知素子を前記ダイヤフラム部の表面上に接合するガラス層と、を有する圧力センサの製造方法であって、前記ダイヤフラム部の表面に前記ガラス層を形成するガラス層形成工程と、前記ガラス層の表面に前記圧力検知素子を載置する載置工程と、前記ガラス層を加熱して、前記ガラス層を軟化または溶融させることで、前記ガラス層を、前記圧力検知素子のうち前記ダイヤフラム部側を向く裏面と前記ダイヤフラム部の前記表面との間に介在させると共に、前記圧力検知素子の外周を構成する外側面のうち少なくとも前記圧力検知素子の前記裏面側に位置する裏面側外側面に接触する形態にして、前記ガラス層によって前記圧力検知素子を前記ダイヤフラム部の前記表面上に接合する接合工程と、を備え、前記載置工程では、前記ダイヤフラム部が、前記ダイヤフラム部の前記表面に開口する溝部であって、環状の内周面と環状の外周面とを有する環状の溝部を備えており、前記ダイヤフラム部の前記表面のうち、平面視で、前記ダイヤフラム部の前記表面と前記溝部の前記内周面との境界部である環状角部より内側の領域に、前記ガラス層の全体を配置した状態で、前記ガラス層の前記表面に前記圧力検知素子を載置すると共に、前記圧力検知素子の前記外周から外側に離間した前記溝部によって前記圧力検知素子の前記外周が囲まれた状態にし、前記接合工程では、前記ガラス層を、前記溝部の前記外周面よりも外側に位置させることなく、前記ダイヤフラム部の前記環状角部の少なくとも一部に接触した形態にする圧力センサの製造方法である。
【００３０】
上述の製造方法では、接合工程において、ダイヤフラム部の表面に形成したガラス層を加熱して、ガラス層を軟化または溶融させることで、ガラス層を、圧力検知素子の裏面とダイヤフラム部の表面との間に介在させると共に、圧力検知素子の外側面のうち少なくとも裏面側外側面に接触する形態にして、ガラス層によって圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に接合する。すなわち、圧力検知素子のうち少なくとも裏面側の部位をガラス層内に埋め込むようにして、ガラス層によって圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に接合する。
【００３１】
より具体的に説明すると、接合工程において、ガラス層を軟化または溶融させると、圧力検知素子の裏面がガラス層に接触すると共に、表面張力により、ガラス層の一部が圧力検知素子の側面を裏面側から表面側に向かって移動（上昇）する（換言すれば、圧力検知素子のうち少なくとも裏面側がガラス層内に埋め込まれる）。これにより、ガラス層を、圧力検知素子の裏面とダイヤフラム部の表面との間に介在させると共に、圧力検知素子の外側面のうち少なくとも裏面側外側面に接触する形態にした状態で、このガラス層によって圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に接合することができる。
【００３２】
さらに、上述の製造方法では、接合工程に先立って、載置工程において、ダイヤフラム部の表面に開口する環状の溝部を有するダイヤフラム部の表面のうち、平面視で、ダイヤフラム部の表面と溝部の内周面との境界部である環状角部より内側の領域に、ガラス層の全体を配置した状態で、ガラス層の表面に圧力検知素子を載置すると共に、圧力検知素子の外周から外側に離間した溝部によって圧力検知素子の外周が囲まれた状態にする。なお、載置工程では、ダイヤフラム部が、ダイヤフラム部の表面に開口する溝部であって、環状の内周面と環状の外周面とを有する環状の溝部を備えた状態となっている。
このようにすることで、後の接合工程において、軟化または溶融したガラス層の濡れ拡がりを低減することができる。具体的には、ガラス層が、溝部の外周面よりも外側に位置することなく、ダイヤフラム部の表面と溝部の内周面との境界部である環状角部の少なくとも一部に接触した状態にすることができる。
【００３３】
より具体的には、接合工程において、軟化または溶融したガラス層が、ダイヤフラム部の表面上を圧力検知素子の径方向外側に濡れ拡がり、当該ガラス層の外周が、ダイヤフラム部の表面と溝部の内周面との境界部である環状角部に到達すると、その表面張力によって、ダイヤフラム部の表面に止まろうとする。これにより、ガラス層の濡れ拡がりを抑制することが可能となる。具体的には、ガラス層の一部が、ダイヤフラム部の環状角部の少なくとも一部に接触することで、その濡れ拡がりを抑制することが可能となる。
【００３４】
従って、上述の製造方法では、接合工程において、例えば、ガラス層を、溝部内に進入させることなく、当該ガラス層の外周（その少なくとも一部）がダイヤフラム部の環状角部に接触する形態にすることで、圧力検知素子の外周を構成する外側面の少なくとも一部をガラス層内に埋めるようにして、ガラス層によって圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に接合することができる。また、接合工程において、軟化または溶融したガラス層の外周部がダイヤフラム部の環状角部を通過した場合でも、当該通過した部位を溝部内に収容することができるので、ガラス層が溝部よりも外側に濡れ拡がるのを防止することができる。
【００３５】
なお、溝部は、ガラス層形成工程（載置工程より前の工程）においてガラス層をダイヤフラム部の表面に形成する前に、ダイヤフラム部に形成されているようにしても良いし、ガラス層形成工程においてガラス層をダイヤフラム部の表面に形成した後に、ダイヤフラム部に形成するようにしても良い。すなわち、載置工程を行うときに、溝部が形成されていれば良い。
【００３６】
また、「ダイヤフラム部の表面のうち、平面視で、ダイヤフラム部の表面と溝部の内周面との境界部である環状角部より内側の領域」には、環状角部も含まれる。従って、載置工程におけるガラス層は、ダイヤフラム部の環状角部から径方向内側に離間する態様で、ダイヤフラム部の表面に設けられていても良いし、ダイヤフラム部の環状角部に接触する態様でダイヤフラム部の表面に設けられていても良い。
【００３７】
さらに、前記の圧力センサの製造方法であって、前記ガラス層形成工程に先立って、前記ダイヤフラム部として、前記溝部を有する前記ダイヤフラム部を用意し、前記ガラス層形成工程では、前記溝部を有する前記ダイヤフラム部の前記表面のうち、平面視で、前記ダイヤフラム部の前記環状角部より内側の領域に、前記ガラス層を形成する圧力センサの製造方法とすると良い。
【００３８】
上述の製造方法では、ガラス層形成工程に先立って、ダイヤフラム部として、前述の溝部を有するダイヤフラム部を用意する。すなわち、既に溝部が形成されているダイヤフラム部の表面に対し、ガラス層形成工程においてガラス層を形成する。具体的には、ガラス層形成工程において、溝部を有するダイヤフラム部の表面のうち、平面視で、ダイヤフラム部の環状角部より内側の領域に、ガラス層を形成する。ガラス層形成工程の後に、ダイヤフラム部に溝部を形成する場合は、溝部の形成作業時にガラス層を損傷する等の不具合が生じる虞があるが、ガラス層形成工程の前に、ダイヤフラム部に溝部を形成しておくことで、そのような不具合が生じることを防止できる。
【００３９】
さらに、前記の圧力センサの製造方法であって、前記ガラス層形成工程では、前記ガラス層の外周を、前記ダイヤフラム部の前記環状角部に沿った形状にする圧力センサの製造方法とすると良い。
【００４０】
上述の製造方法では、ガラス層形成工程において、ガラス層の外周がダイヤフラム部の環状角部に沿った形状となるようにして、ガラス層をダイヤフラム部の表面に形成する。その後、接合工程において、ガラス層の表面に圧力検知素子を載置した状態で、ガラス層を軟化または溶融させることで、ガラス層を介して圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に接合する。
【００４１】
ところで、接合工程において軟化または溶融したガラス層は、径方向外側に向かって均等に濡れ拡がろうとするので、ガラス層形成工程においてガラス層の外周をダイヤフラム部の環状角部に沿った形状にしておくことで、接合工程において軟化または溶融させたガラス層を、その外周の全体にわたって均等に、ダイヤフラム部の環状角部に到達させることが可能となる。従って、軟化または溶融したガラス層が、その全周にわたって、その表面張力によって、ダイヤフラム部の表面に止まろうとするので、ガラス層の全周にわたって濡れ拡がりを低減することができる。すなわち、上述の製造方法では、ガラス層の全周にわたって濡れ拡がりを低減することができる。
【００４２】
さらに、前記の圧力センサの製造方法であって、前記環状角部は、平面視で、前記圧力検知素子の前記外周と同形状をなしており、前記載置工程では、平面視で、前記圧力検知素子の前記外周が、前記ガラス層の前記外周に沿うようにして、前記ガラス層の前記表面に前記圧力検知素子を載置する圧力センサの製造方法とすると良い。
【００４３】
上述の製造方法では、載置工程において、平面視で、圧力検知素子の外周が、ガラス層の外周に沿うようにして、ガラス層の表面に圧力検知素子を載置する。これにより、ガラス層の無駄を少なく（接合に寄与しないガラスを少なく）して、ガラス層によって圧力検知素子をダイヤフラム部の表面に適切に接合することができる。
【００４４】
さらに、上述の製造方法では、ダイヤフラム部の環状角部が、平面視で、圧力検知素子の外周と同形状（例えば、相似形状）をなしている。すなわち、ダイヤフラム部として、平面視で環状角部が圧力検知素子の外周と同形状となる溝部を有するダイヤフラム部を用いる。従って、載置工程において、平面視で、圧力検知素子の外周がガラス層の外周に沿うようにして、ガラス層の表面に圧力検知素子を載置することで、溝部が、圧力検知素子の外周に沿った環状となる。そして、上述の製造方法では、ガラス層形成工程において、ガラス層の外周を、ダイヤフラム部の環状角部に沿った形状としている。
【００４５】
このため、接合工程において、ガラス層を軟化または溶融させると、当該ガラス層は径方向外側に向かって均等に濡れ拡がろうとするので、当該ガラス層の外周の全体をダイヤフラム部の環状角部に到達させることが可能になる。環状角部に到達したガラス層は、その表面張力によって、ダイヤフラム部の表面に止まろうとするので、ガラス層の全周にわたってその濡れ拡がりを低減することが可能になる。
【００４６】
上述の製造方法によれば、例えば、ガラス層が、溝部の内部に位置することなく、当該ガラス層の外周の全体がダイヤフラム部の環状角部に接触している圧力センサを製造することができる。この圧力センサでは、平面視で、ガラス層の外周が、ダイヤフラム部の環状角部に沿った形状で、且つ、圧力検知素子の外周に沿った形状となる。この圧力センサは、ガラス層の無駄が少なく（接合に寄与しないガラスが少なく）、且つ、圧力検知素子が厚さ方向について十分にガラス層内に埋め込まれた圧力センサとなる。
【００４７】
さらに、前記いずれかの圧力センサの製造方法であって、前記ガラス層形成工程は、前記ダイヤフラム部の前記表面にガラスペーストを塗布して、前記ダイヤフラム部の前記表面にガラスペースト層を形成する塗布工程と、前記ガラスペースト層を焼成することによって、前記ダイヤフラム部の前記表面に前記ガラス層を形成する焼成工程と、を含み、前記塗布工程では、スクリーン印刷によって、前記ガラスペーストを前記ダイヤフラム部の前記表面に塗布する圧力センサの製造方法とすると良い。
【００４８】
上述の製造方法では、スクリーン印刷によって、ガラスペーストをダイヤフラム部の表面に塗布した後、このガラスペースト（ガラスペースト層）を焼成して、ダイヤフラム部の表面にガラス層を形成する。このように、ガラス層（ガラスペースト層）を形成するために、スクリーン印刷を利用することで、所望の形状のガラス層（ガラスペースト層）を、迅速且つ正確に、ダイヤフラム部の表面に形成することができる。
【００４９】
なお、ガラスペーストは、ガラス成分を含むペースト状の物質であり、例えば、ガラスの粉末とバインダーと溶媒とが混合されたペースト状の物質である。ガラスペースト層を焼成して、ガラス以外の物質（バインダー及び溶媒など）を除去することで、ガラス層となる。
【００５０】
さらに、前記いずれかの圧力センサの製造方法であって、前記接合工程では、前記ガラス層を、前記溝部の内部に位置させることなく、前記ガラス層の外周の全体が前記ダイヤフラム部の前記環状角部に接触した形態にする圧力センサの製造方法とすると良い。
【００５１】
上述の製造方法では、ガラス層が、溝部の内部に位置することなく、当該ガラス層の外周の全体がダイヤフラム部の環状角部に接触している圧力センサを製造する。この圧力センサでは、平面視で、ガラス層の外周が、ダイヤフラム部の環状角部に沿った形状で、且つ、圧力検知素子の外周に沿った形状となる。この圧力センサは、ガラス層の無駄が少なく（接合に寄与しないガラスが少なく）、且つ、圧力検知素子が厚さ方向について十分にガラス層内に埋め込まれた圧力センサとなる。
【００５２】
なお、接合工程におけるガラス層の濡れ拡がりの程度は、ガラス層の厚み、加熱温度（焼成温度）、及び加熱時間（焼成時間）によって変動する。従って、上述の製造方法では、ガラス層の厚み、加熱温度（焼成温度）、及び加熱時間（焼成時間）の調整により、濡れ拡がったガラス層を、溝部の内部に位置することなく、ガラス層の外周の全体がダイヤフラム部の環状角部に接触した形態にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】実施形態にかかる圧力センサの外観図である。
【図２】同圧力センサの縦断面図である。
【図３】図２のＡ部拡大図である。
【図４】ダイヤフラム体の斜視断面図である。
【図５】ダイヤフラム部の表面上に接合された圧力検知素子を示す平面図である。
【図６】図５のＥ−Ｅ断面図である。
【図７】実施形態にかかる圧力センサの製造方法を説明する図である。
【図８】実施形態にかかる圧力センサの製造方法を説明する他の図である。
【図９】実施形態にかかる圧力センサの製造方法を説明する他の図である。
【図１０】図９のＦ−Ｆ断面図である。
【図１１】実施形態にかかる圧力センサの製造方法を説明する他の図である。
【図１２】図１１のＪ−Ｊ断面図である。
【図１３】実施形態にかかる圧力センサの製造方法を説明する他の図である。
【図１４】変形形態１にかかる圧力センサの部分拡大断面図である。
【図１５】変形形態２にかかる圧力センサの部分拡大平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００５４】
（実施形態）
次に、本発明の実施形態にかかる圧力センサ１０について、図面を参照して説明する。図１は、実施形態にかかる圧力センサ１０の外観図（側面図）である。図２は、圧力センサ１０の縦断面図であり、軸線ＡＸを含む位置で圧力センサ１０を軸線方向ＤＸ（軸線ＡＸに沿う方向）に切断した断面図である。また、図３は、図２のＡ部拡大図である。なお、図１〜図３では、圧力センサ１０の軸線ＡＸに沿う軸線方向ＤＸのうち、ヒータ部材１３１が配置された側（図中下側）を先端側ＸＳ、これと反対側（図中上側）を後端側ＸＫとする。
【００５５】
本実施形態の圧力センサ１０は、後述するように、ヒータ部材１３１を含む変位部材１３０を備える圧力センサである。この圧力センサ１０は、ディーゼルエンジンの内燃機関本体（図示なし）に取り付けられ、燃焼室内の圧力（燃焼圧）を検知し、さらには、燃焼室内を加熱（予熱）する。
【００５６】
具体的には、圧力センサ１０は、軸線方向ＤＸに延びる筒状のハウジング１００と、軸線方向ＤＸに延びる棒状の変位部材１３０と、変位部材１３０に接続されたダイヤフラム体１４０と、圧力検知素子１５０と、コネクタ部材２００と、保護筒２１０とを備えている（図１〜図３参照）。
【００５７】
このうち、ハウジング１００は、軸線方向ＤＸの先端側ＸＳに位置する筒状の第１ハウジング部１１０と、この第１ハウジング部１１０よりも後端側ＸＫに位置する筒状の第２ハウジング部１２０とを有する。なお、第１ハウジング部１１０及び第２ハウジング部１２０は、炭素鋼やステンレス鋼などの金属によって形成されている。
【００５８】
第１ハウジング部１１０は、円筒部１１１と、円筒部１１１から先端側ＸＳに向かって縮径するテーパー状（傾斜面状）のシール部１１２とを有している。シール部１１２の先端側ＸＳに位置する開口１１２ｂからは、後述する変位部材１３０のヒータ部材１３１が露出（突出）している。なお、開口１１２ｂの内径は、変位部材１３０の外径よりも大きくされている。
【００５９】
本実施形態の圧力センサ１０は、第１ハウジング部１１０のシール部１１２の少なくとも一部が、取付対象体としての内燃機関のシリンダヘッド（図示せず）に接触する態様で、変位部材１３０に含まれるヒータ部材１３１の先端側ＸＳが燃焼室内に配置されるようにして、シリンダヘッドに取り付けられる。このようにして、圧力センサ１０がシリンダヘッドに装着される際、シール部１１２の少なくとも一部が、シリンダヘッドのプラグ開口部（図示しない）に押圧接触されることで、内燃機関の燃焼室の気密が実現される。
【００６０】
また、第２ハウジング部１２０は、円筒状をなしている。第２ハウジング部１２０の後端部には、鍔部１２２が形成されている。さらに、第２ハウジング部１２０のうち鍔部１２２よりも先端側ＸＳの部位には、圧力センサ１０を内燃機関のシリンダヘッドに固定するためのネジ部１２１（雄ネジ）が形成されている。従って、圧力センサ１０は、ネジ部１２１が、シリンダヘッドのプラグ取り付け穴に形成されている雌ネジ（図示せず）と螺合することによって、内燃機関に固定される。
【００６１】
さらに、第２ハウジング部１２０の後端側ＸＫにはコネクタ部材２００が配置されている（図２参照）。このコネクタ部材２００は、円筒形状をなし、電気絶縁性を有する部材、例えば、絶縁樹脂によって形成されている。さらに、コネクタ部材２００の内側には、端子部材２２０が保持されている。
第２ハウジング部１２０とコネクタ部材２００とは、保護筒２１０によって機械的に接続されている。この保護筒２１０は、円筒形状をなし、導電性を有する部材、例えば、ステンレス鋼によって形成されている。
【００６２】
また、変位部材１３０は、軸線方向ＤＸに延びる形態を有し、後述するように、軸線方向ＤＸの先端側ＸＳ（燃焼室側）から受けた圧力（燃焼圧）の変化に応じて軸線方向ＤＸに変位する。この変位部材１３０は、ヒータ部材１３１と、ヒータ部材１３１の周囲を覆う外筒１３２と、ヒータ部材１３１よりも後端側ＸＫに配置されている中軸１３３と、ヒータ部材１３１と中軸１３３とを接続するリング１３４とを備えている。
【００６３】
このうち、ヒータ部材１３１は、セラミック組成物からなる棒状の発熱素子である。このヒータ部材１３１は、軸線方向ＤＸに延びる棒状の基体１３１ａと、この基体１３１ａに内包されている所定のパターンを有する抵抗発熱体（図示しない）とを備える。基体１３１ａは、電気絶縁性を有する絶縁性セラミック材料によって形成されており、例えば、窒化ケイ素（Ｓｉ3Ｎ4）を主成分とする絶縁性セラミック材料が用いられる。
【００６４】
また、発熱抵抗体は、導電性を有する導電性セラミック材料によって形成されており、導電性セラミック材料としては、例えば、炭化タングステン（ＷＣ）と窒化ケイ素（Ｓｉ3Ｎ4）の混合物を主成分とする導電性セラミック材料が用いられる。この発熱抵抗体には、正電極と負電極（図示しない）とが接続されており、正電極は、後述するリング１３４と電気的に接続されており、負電極は、外筒１３２に対して電気的に接続されている。
【００６５】
外筒１３２は、円筒状の金属製部材であり、例えば、ステンレス鋼によって形成される。外筒１３２には、ヒータ部材１３１が圧入によって嵌め込まれており、その先端と後端からはヒータ部材１３１が露出している。ヒータ部材１３１が金属製の外筒１３２の内側に嵌め込まれて固定されていることで、ヒータ部材１３１を含む変位部材１３０が、外筒１３２を通じて、金属製のダイヤフラム体１４０と溶接によって接合可能とされている。
【００６６】
中軸１３３は、円柱状の金属製部材であり、例えば、ステンレス鋼によって形成される。また、リング１３４は、円筒状の金属製部材であり、例えば、ステンレス鋼によって形成される（図２参照）。
リング１３４の先端側ＸＳには、ヒータ部材１３１の後端部が圧入によって嵌め込まれている。また、リング１３４の後端側ＸＫには、中軸１３３の先端部が圧入によって嵌め込まれている。これにより、ヒータ部材１３１と中軸１３３とは、リング１３４によって、機械的に接続されると共に電気的に接続される（図２参照）。
【００６７】
また、中軸１３３の後端部は、端子バネ２４０を介して、端子部材２２０と機械的に且つ電気的に接続されている（図２参照）。端子バネ２４０は、導電性および弾性を有する部材、例えば、ステンレス鋼によって形成されており、湾曲部を有する板バネ形状をなしている。この端子バネ２４０は、燃焼室内の圧力変動によって変位部材１３０が軸線方向ＤＸに変位するのに伴って、軸線方向ＤＸに弾性的に伸縮することで、変位部材１３０の変位を吸収する。
【００６８】
本実施形態の圧力センサ１０では、電力供給配線（図示しない）を通じて外部電源からコネクタ部材２００に対して電力が入力され、入力された電力が、端子バネ２４０、中軸１３３、リング１３４を通じて、ヒータ部材１３１の正電極に供給されるように構成されている。
【００６９】
ダイヤフラム体１４０は、平面視において円環状の金属製部材であり、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｍｏ等を含有するニッケル合金によって形成される。このダイヤフラム体１４０は、外周円形状のダイヤフラム部１４４を有する。ダイヤフラム部１４４は、軸線方向ＤＸに貫通する貫通孔１４４ｂを有する円環状をなしている（図５参照）。ダイヤフラム体１４０は、ハウジング１００内において、変位部材１３０を軸線方向ＤＸに変位可能に保持している。より具体的には、変位部材１３０が、ダイヤフラム部１４４の貫通孔１４４ｂに挿通された態様で、ダイヤフラム部１４４の内側に固定されている。ダイヤフラム部１４４は、燃焼室内の圧力の変化に伴う変位部材１３０の変位に応じて、当該ダイヤフラム部１４４に歪みが生じるように構成されている。
【００７０】
なお、図４は、ダイヤフラム体１４０の斜視断面図である。また、図５は、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上に接合された圧力検知素子１５０を示す平面図(上面図）である。
【００７１】
ダイヤフラム体１４０は、略環状の本体部１４１と、本体部１４１の外周面の全周にわたって突出するフランジ部１４５とを備えている（図３及び図４参照）。本体部１４１は、円環板状のダイヤフラム部１４４と、ダイヤフラム部１４４の内周部の下面に接続する態様でこれを支持する円筒状の第１支持部１４２と、ダイヤフラム部１４４の外周部の下面に接続する態様でこれを支持する円筒状の第２支持部１４３とを備えている。このうち、第１支持部１４２の一部（突状部１４２ａ）は、変位部材１３０（外筒１３２）の外周面に接している。また、第２支持部１４３は、第２ハウジング部１２０の内周面に対向している。
【００７２】
第１支持部１４２の内周面の先端側ＸＳには、リング状の突状部１４２ａが形成されている。第１支持部１４２は、突状部１４２ａを介して、変位部材１３０の外筒１３２と溶接によって接合されている。また、フランジ部１４５は、第１ハウジング部１１０の後端面と第２ハウジング部１２０の先端面との間に挟まれており、フランジ部１４５の先端面及び後端面１４５ａは、第１ハウジング部１１０の後端面及び第２ハウジング部１２０の先端面とそれぞれ溶接によって接合されている。これにより、ハウジング１００と変位部材１３０とが、ダイヤフラム体１４０を通じて接続され、第２ハウジング部１２０の内周面と変位部材１３０の外周面との間の空間が封止される。
【００７３】
なお、本実施形態においては、第１ハウジング部１１０がシリンダヘッド（図示なし）と接触し、ダイヤフラム体１４０はシリンダヘッドとは接触しない。さらに、本実施形態においては、第２支持部１４３は、フランジ部１４５よりも先端側ＸＳに延びる延長部１４３ａを有している。なお、延長部１４３ａの外径は、フランジ部１４５よりも後端側ＸＫにおける第２支持部１４３の外径よりも大きい。すなわち、延長部１４３ａにおける第２支持部１４３の壁の厚さは、延長部１４３ａを有しない部分における第２支持部１４３の壁の厚さよりも厚い。
【００７４】
ダイヤフラム体１４０のダイヤフラム部１４４の表面１４４ａには、矩形板状の圧力検知素子１５０が搭載されている（図３及び図５参照）。具体的には、図５に示すように、圧力検知素子１５０は、平面視矩形状であり、ダイヤフラム部１４４の中心Ｏ（軸線ＡＸ）に関して対称な位置に、２つ設けられている。これらの圧力検知素子１５０には、ハウジング１００内の所定の位置に配置されている集積回路（図示しない）が、図示しないワイヤを通じて電気的に接続されている。
【００７５】
なお、圧力検知素子１５０は、平面視で４つの角部が全て直角をなす厳格な矩形状ではなく、平面視で４つの角部（詳細には、第１角部１５１、第２角部１５２、第３角部１５３、及び、第４角部１５４）が丸く（弧状に）された矩形状（略矩形状）である（図５参照）。この圧力検知素子１５０は、第１角部１５１と第２角部１５２との間に位置する第１辺１５６と、第２角部１５２と第３角部１５３との間に位置する第２辺１５７と、第３角部１５３と第４角部１５４との間に位置する第３辺１５８と、第４角部１５４と第１角部１５１との間に位置する第４辺１５９とを有する（図５参照）。
【００７６】
２つの圧力検知素子１５０は、それぞれ、平面視で、第２辺１５７及び第４辺１５９が、ダイヤフラム部の中心Ｏと圧力検知素子１５０の中心ＣＥとを結ぶ直線Ｋに略平行となる向きで配置されている。さらに、２つの圧力検知素子１５０は、ダイヤフラム部１４４の中心Ｏ（軸線ＡＸ）に関して対称な位置に設けられている（図５参照）。
【００７７】
これらの圧力検知素子１５０は、耐熱性を有するガラス層１６０によって、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに接合されている。ガラス層１６０は、無機ガラス（例えば、無鉛ガラスや鉛ガラスなど）からなり、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上に塗工されている（固着している）。このガラス層１６０は、平面視矩形状をなしている。より具体的には、ガラス層１６０の外周１６５が、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆに沿った形状とされている。詳細には、平面視で、圧力検知素子１５０よりも大きな矩形状（相似形状）をなし、ガラス層１６０の外周１６５が、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆから外側に離間しつつ、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆを囲んでいる。
【００７８】
なお、ガラス層１６０は、２つのガラス層１６０がダイヤフラム部１４４の径方向に対向する方向が、２つの圧力検知素子１５０がダイヤフラム部１４４の径方向に対向する方向（図５において左右方向）と一致するようにして、ダイヤフラム部１４４の中心Ｏに関して対称な位置に２つ設けられている。換言すれば、２つのガラス層１６０は、それぞれの中心を圧力検知素子１５０の中心ＣＥと一致させて、ダイヤフラム部１４４の中心Ｏに関して対称な位置に設けられている（図５参照）。
【００７９】
より具体的には、図６（図５のＥ−Ｅ断面図である）に示すように、圧力検知素子１５０は、その厚み方向（図６において上下方向）について、少なくとも圧力検知素子１５０の裏面１５０ｃ（ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａと対向する面）側に位置する部位の全体が（第１角部１５１〜第４角部１５４も含めて）、ガラス層１６０の内部内に埋め込まれた態様で、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに接合されている。
【００８０】
すなわち、圧力検知素子１５０は、圧力検知素子１５０の裏面１５０ｃの全体にガラス層１６０を構成するガラスが接触すると共に、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆを構成する外側面１５０ｄ（厚みをなす面）のうち、少なくとも圧力検知素子１５０の裏面１５０ｃ側に位置する裏面側外側面１５０ｇの全周にも、ガラス層１６０をなすガラスが接触した態様で、ガラス層１６０によってダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに接合されている。これにより、圧力検知素子１５０は、ガラス層１６０によって、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに強固に接合される。
【００８１】
換言すれば、ガラス層１６０は、圧力検知素子１５０の裏面１５０ｃの全体とダイヤフラム部１４４の表面１４４ａとの間に介在すると共に、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆを構成する外側面１５０ｄのうち少なくとも圧力検知素子１５０の裏面１５０ｃ側に位置する裏面側外側面１５０ｇの全周に接触する態様で、圧力検知素子１５０をダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上に接合している。すなわち、ガラス層１６０は、圧力検知素子１５０のうち少なくとも裏面１５０ｃ側の部位を、ガラス層１６０の内部に埋め込む態様で、圧力検知素子１５０をダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上に接合している。
【００８２】
本実施形態の圧力センサ１０では、燃焼室内の圧力（燃焼圧）の変動に伴って変位部材１３０が軸線方向ＤＸに変位すると、変位部材１３０（外筒１３２）に接続されているダイヤフラム部１４４が変形する（ダイヤフラム部１４４に歪みが生じる）と共に、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上に設けられている圧力検知素子１５０にも歪みが生じる。集積回路（図示なし）は、ダイヤフラム部１４４の変形（歪み）を、これと共に変形する（歪む）圧力検知素子１５０の抵抗値の変化に基づいて検知（測定）することで、内燃機関の燃焼圧を検知する。集積回路は、検知された燃焼圧を示す電気信号を、コネクタ部材２００に挿入されている配線（図示なし）を通じて、外部のコントローラ（例えば、エンジンコントローラ等）に出力する。
【００８３】
ところで、従来、ガラス層によって圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に接合する接合工程において、ガラス層を軟化または溶融させたとき、軟化または溶融したガラス層が、ダイヤフラム部の表面上において、圧力検知素子の径方向外側に大きく濡れ拡がってしまい、ガラス層によって圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に適切に接合することができなくなることがあった。例えば、圧力検知素子のうち少なくとも裏面側の部位を、ガラス層の内部に埋め込むことができないことがあった。さらには、この問題を考慮して、圧力検知素子をガラス層の内部に埋め込むために、ダイヤフラム部の表面にガラスペーストをより多く塗工すると、軟化または溶融したガラス層が、ダイヤフラム部の表面よりも外側または内側にまで濡れ拡がり、他部材（例えば、変位部材）に付着する虞もあった。
【００８４】
これに対し、本実施形態の圧力センサ１０では、ダイヤフラム部１４４が、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに開口する溝部１４６を有している（図４〜図７参照）。この溝部１４６は、図６及び図７に示すように、環状の内周面１４６ｂと環状の外周面１４６ｆとを有する環状の溝部であって、図５に示すように、ダイヤフラム部１４４の平面視で、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆから離間した位置で圧力検知素子１５０の外周１５０ｆを囲む、矩形環状の溝部である。このような溝部１４６を有する圧力センサ１０は、ガラス層１６０の濡れ拡がりが低減された圧力センサとなる。具体的には、圧力センサ１０では、ガラス層１６０が、溝部１４６の外周面１４６ｆよりも外側に位置することなく、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａと溝部１４６の内周面１４６ｂとの境界部である環状角部１４６ｄの少なくとも一部に接触する形態となる。
【００８５】
より具体的には、圧力センサ１０を製造するために、ガラス層１６０を介して圧力検知素子１５０をダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上に接合する工程において、ガラス層１６０を軟化または溶融させたときに、当該ガラス層１６０が、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上において圧力検知素子１５０の径方向外側に濡れ拡がって、当該ガラス層１６０の外周１６５が、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａと溝部１４６の内周面１４６ｂとの境界部である環状角部１４６ｄに到達すると、その表面張力によって、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに止まろうとする。これにより、ガラス層１６０の濡れ拡がりを抑制することが可能となる。具体的には、ガラス層１６０の一部が、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄの少なくとも一部に接触することで、環状角部１４６ｄに接触したガラス層１６０の濡れ拡がりを抑制することが可能となる。
【００８６】
これにより、ガラス層１６０の外周１６５の少なくとも一部がダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄに接触する態様で、ガラス層１６０がダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上に配置され、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆを構成する外側面１５０ｄの少なくとも一部（裏面側外側面１５０ｇ）をガラス層１６０の内部に埋めるようにして、ガラス層１６０によって圧力検知素子１５０をダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上に接合することができる（図５、図６参照）。従って、ガラス層１６０が、溝部１４６の外周面１４６ｆよりも外側に位置することなく、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄの少なくとも一部に接触する態様で、ダイヤフラム部１４４の表面上に配置された形態になる。
【００８７】
特に、本実施形態の圧力センサ１０では、ガラス層１６０が、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄの全周に接触している（図５、図６参照）。従って、ガラス層１６０の全周にわたって濡れ拡がりが低減されたことになる。すなわち、本実施形態の圧力センサ１０は、ガラス層１６０の全周にわたって濡れ拡がりが低減された圧力センサといえる。
【００８８】
しかも、本実施形態の圧力センサ１０では、ガラス層１６０は、溝部１４６の内部に位置することなく、当該ガラス層１６０の外周１６５の全体がダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄに接触している（図５、図６参照）。すなわち、ガラス層１６０は、濡れ拡がったときに、その外周１６５の全体がダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄに接触した状態で止まり、溝部１４６の内部に進入することなく、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａのうち環状の溝部１４６によって囲まれた部位の全面を覆うように配置されている。
【００８９】
このような圧力センサ１０では、ガラス層１６０の濡れ拡がりが大きく低減されているので、圧力検知素子１５０の厚さ方向について十分に（例えば、厚さの半分程度、またはそれ以上）ガラス層１６０内に埋め込まれた形態となる。これにより、圧力検知素子１５０がダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに強固に接合されると共に、ダイヤフラム部１４４に生じた歪みを圧力検知素子１５０に効率良く伝達することが可能となる。
【００９０】
なお、本実施形態の圧力センサ１０では、溝部１４６が、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆに沿った環状（平面視矩形環状）をなしている（図５参照）。詳細には、平面視で、溝部１４６の内周面１４６ｂとダイヤフラム部１４４の表面１４４ａとの境界部である環状角部１４６ｄ（溝部１４６の内周に一致する）が、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆと相似形状（外周１５０ｆよりも大きな形状）をなしており、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆから外側に離間しつつ、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆを囲んでいる。
【００９１】
また、前述したように、ガラス層１６０の外周１６５も、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆに沿った形状とされている。詳細には、平面視で、ガラス層１６０の外周１６５が、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄに沿った形状で、且つ、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆに沿った形状とされている（図５、図６参照）。
このため、本実施形態の圧力センサ１０は、ガラス層１６０の無駄が少なく（接合に寄与しないガラスが少なく）、且つ、圧力検知素子１５０が厚さ方向について十分にガラス層１６０の内部に埋め込まれた圧力センサとなる。
【００９２】
次に、本実施形態の圧力センサ１０の製造方法について説明する。
まず、平面視円環状のダイヤフラム部１４４を有するダイヤフラム体１４０を用意する。具体的には、図７に示すように、ダイヤフラム部１４４に溝部１４６が形成されたダイヤフラム体１４０を用意する。なお、溝部１４６は、平面視矩形環状をなし、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに開口している。
【００９３】
また、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａと溝部１４６の内周面１４６ｂとの境界部である環状角部１４６ｄは、平面視で、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆと同形状（平面視矩形状）をなしている。詳細には、環状角部１４６ｄは、平面視で、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆと相似形状（外周１５０ｆより大きな形状）をなしている。また、溝部１４６は、ダイヤフラム部１４４の中心Ｏに関して対称な位置に２つ形成されている（図７参照）。
【００９４】
次いで、ガラス層形成工程において、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに、ガラス層１６０を形成する。具体的には、溝部１４６を有するダイヤフラム部１４４の表面１４４ａのうち、平面視で、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄ（ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａと溝部１４６の内周面１４６ｂとの境界部）より内側（平面視で環状角部１４６ｄがなす矩形の中心側）の領域に、ガラス層１６０を形成する。なお、本実施形態のガラス層形成工程は、塗布工程と焼成工程とを含んでいる。
【００９５】
具体的には、まず、塗布工程において、図８に示すように、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａにガラスペーストを塗布して、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａにガラスペースト層１６０Ｐを形成する。なお、本実施形態では、スクリーン印刷によって、ガラスペーストをダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに塗布する。なお、ガラスペーストは、ガラスの粉末とバインダーと溶媒とが混合されたペースト状の物質である。
【００９６】
より具体的には、平面視で、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａのうち、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄよりも内側の領域（環状角部１４６ｄで囲まれた矩形状の領域内）に、平面視矩形状のガラスペースト層１６０Ｐを形成する。なお、本実施形態では、平面視で、環状角部１４６ｄによって形成される四角形（矩形）の中心と、ガラスペースト層１６０Ｐの中心が一致するように、且つ、ガラスペースト層１６０Ｐの外周が環状角部１４６ｄに沿った矩形状となるようにして、ガラスペースト層１６０Ｐを、ダイヤフラム部１４４の中心Ｏ（軸線ＡＸ）に関して対称な位置の２箇所に形成する（図８参照）。
【００９７】
その後、焼成工程において、ガラスペースト層１６０Ｐを焼成して、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａにガラス層１６０を形成する（図９参照）。具体的には、まず、ガラスペースト層１６０Ｐを形成したダイヤフラム体１４０を、加熱装置（例えば、電気炉）内に配置し、まず、加熱装置内の温度を５０〜１５０℃の範囲内の温度として、数分〜１００分間、加熱する。これにより、ガラスペースト層１６０Ｐに含まれている溶媒を除去して、ガラスペーストを乾燥させる。その後、加熱装置内の温度を４５０〜５５０℃の範囲内の温度として、数分〜１００分間、加熱することで、ガラスペースト層１６０Ｐに含まれているバインダーを除去する（焼失させる）。これにより、ガラスペースト層１６０Ｐがガラス層１６０になる。
【００９８】
次いで、加熱装置内の温度を５５０〜６５０℃の範囲内の温度として、数分〜１００分間、加熱することで、ガラス層１６０を、軟化させつつダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上に接着させる。その後、冷却によりガラス層１６０を固化させる。これにより、図９に示すように、平面視で、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａのうち、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄよりも内側の領域（環状角部１４６ｄで囲まれた矩形状の領域内）に、平面視矩形状のガラス層１６０が形成される。
【００９９】
より具体的には、平面視で、ガラス層１６０の中心が、環状角部１４６ｄによって形成される四角形（矩形）の中心と一致し、且つ、ガラス層１６０の外周１６５が環状角部１４６ｄに沿った矩形状とされたガラス層１６０が、ダイヤフラム部１４４の中心Ｏ（軸線ＡＸ）に関して対称な位置の２箇所に形成される。図９及び図１０に示すように、ガラス層１６０の外周１６５は、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄよりも径方向内側（図１０において中央側）に位置している。なお、図１０は、図９のＦ−Ｆ断面図である。
【０１００】
上述したように、本実施形態の製造方法では、スクリーン印刷によって、ガラスペーストをダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに塗布（ガラスペ−スト層１６０Ｐを形成）した後、このガラスペースト（ガラスペ−スト層１６０Ｐ）を焼成して、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａにガラス層１６０を形成する。このように、ガラス層１６０（ガラスペ−スト層１６０Ｐ）を形成するために、スクリーン印刷を利用することで、所望の形状のガラス層１６０（ガラスペ−スト層１６０Ｐ）を、迅速且つ正確に、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに形成することができる。
【０１０１】
また、本実施形態では、既に溝部１４６が形成されているダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに対し、ガラス層形成工程においてガラス層１６０を形成する。ガラス層形成工程の後に、ダイヤフラム部１４４に溝部１４６を形成する場合は、溝部１４６の形成作業時にガラス層１６０を損傷する等の不具合が生じる虞があるが、本実施形態のように、ガラス層形成工程の前に、ダイヤフラム部１４４に溝部１４６を形成しておくことで、そのような不具合が生じることを防止できる。
【０１０２】
さらに、本実施形態の製造方法では、ガラス層形成工程において、ガラス層１６０の外周１６５がダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄに沿った形状になるようにして、ガラス層１６０をダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに形成している。その後、後述する接合工程において、ガラス層１６０の表面１６０ｃに圧力検知素子１５０を載置した状態で、ガラス層１６０を軟化または溶融させることで、ガラス層１６０を介して圧力検知素子１５０をダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上に接合する。
【０１０３】
ところで、後述するように、接合工程において軟化または溶融したガラス層１６０は、径方向外側に向かって均等に濡れ拡がろうとするので、ガラス層形成工程においてガラス層１６０の外周１６５をダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄに沿った形状にしておくことで、接合工程において軟化または溶融させたガラス層１６０を、その外周１６５の全体にわたって均等に、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄに到達させることが可能となる。従って、軟化または溶融したガラス層１６０が、その全周にわたって、その表面張力によって、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに止まろうとするので、ガラス層１６０の全周にわたって濡れ拡がりを低減することが可能となる。
【０１０４】
次に、載置工程に進み、図１１及び図１２に示すように、ガラス層１６０の表面１６０ｃに圧力検知素子１５０を載置する。具体的には、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａのうち、平面視で、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄより内側の領域に、ガラス層１６０の全体を配置した状態で、ガラス層１６０の表面１６０ｃに圧力検知素子１５０を載置すると共に、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆから外側に離間した溝部１４６によって圧力検知素子１５０の外周１５０ｆが囲まれた状態にする。
【０１０５】
より具体的には、平面視で、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆが、ガラス層１６０の外周１６５に沿うようにして、ガラス層１６０の表面１６０ｃに圧力検知素子１５０を載置する。これにより、ガラス層１６０の無駄を少なく（接合に寄与しないガラスを少なく）して、ガラス層１６０によって圧力検知素子１５０をダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに適切に接合することが可能となる。
【０１０６】
さらに、本実施形態では、前述したように、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄが、平面視で、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆと同形状（例えば、相似形状）をなしている。従って、載置工程において、平面視で、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆがガラス層１６０の外周１６５に沿うようにして、ガラス層１６０の表面１６０ｃに圧力検知素子１５０を載置することで、溝部１４６が、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆに沿った環状となる。そして、本実施形態では、前述したように、ガラス層形成工程において、ガラス層１６０の外周１６５を、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄに沿った形状としている（図１１参照）。
【０１０７】
このため、後述する接合工程において、ガラス層１６０を軟化または溶融させると、当該ガラス層１６０は径方向外側に向かって均等に濡れ拡がろうとするので、当該ガラス層１６０の外周１６５の全体をダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄに到達させることが可能になる。環状角部１４６ｄに到達したガラス層１６０は、その表面張力によって、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに止まろうとするので、ガラス層１６０の全周にわたってその濡れ拡がりを低減することが可能になる。
【０１０８】
次に、接合工程において、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに形成したガラス層１６０を加熱して、ガラス層１６０を軟化または溶融させた後、ガラス層１６０を冷却して固化させることで、ガラス層１６０によって圧力検知素子１５０をダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上に接合する。
なお、本実施形態では、圧力検知素子１５０をガラス層１６０上に載置したダイヤフラム体１４０を、加熱装置（例えば、電気炉）内に配置し、加熱装置内の温度を５５０〜６５０℃の範囲内の温度として、数分〜１００分間、加熱する。これにより、ガラス層１６０を軟化させると共に、当該ガラス層１６０によって圧力検知素子１５０をダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上に接着させる。
【０１０９】
具体的には、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに形成したガラス層１６０を加熱して、ガラス層１６０を軟化させることで、ガラス層１６０を、圧力検知素子１５０の裏面１５０ｃの全体とダイヤフラム部１４４の表面１４４ａとの間に介在させると共に、圧力検知素子１５０の外側面１５０ｄのうち少なくとも裏面側外側面１５０ｇに接触する形態にして、ガラス層１６０によって圧力検知素子１５０をダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上に接合する（図１３参照）。すなわち、圧力検知素子１５０のうち少なくとも裏面１５０ｃ側の部位をガラス層１６０内に埋め込むようにして、ガラス層１６０によって圧力検知素子１５０をダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上に接合する。
【０１１０】
より具体的に説明すると、接合工程において、ガラス層１６０を軟化させると、圧力検知素子１５０の裏面１５０ｃの全体がガラス層１６０に接触すると共に、表面張力により、ガラス層１６０の一部が圧力検知素子１５０の外側面１５０ｄを裏面１５０ｃ側から表面１５０ｂ側に向かって移動（上昇）する（換言すれば、圧力検知素子１５０のうち少なくとも裏面１５０ｃ側がガラス層１６０内に埋め込まれる）。これにより、ガラス層１６０を、圧力検知素子１５０の裏面１５０ｃの全体とダイヤフラム部１４４の表面１４４ａとの間に介在させると共に、圧力検知素子１５０の外側面１５０ｄのうち少なくとも裏面側外側面１５０ｇに接触する形態にした状態で、このガラス層１６０によって圧力検知素子１５０をダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上に接合することができる。
【０１１１】
なお、本実施形態では、前述したように、接合工程に先立って、載置工程において、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに開口する環状の溝部１４６を有するダイヤフラム部１４４の表面１４４ａのうち、平面視で、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄより内側の領域に、ガラス層１６０の全体を配置した状態で、ガラス層１６０の表面１６０ｃに圧力検知素子１５０を載置すると共に、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆから外側に離間した溝部１４６によって圧力検知素子１５０の外周１５０ｆが囲まれた状態にしている（図１１及び図１２参照）。
【０１１２】
これにより、接合工程において、軟化したガラス層１６０の濡れ拡がりを低減することができる。具体的には、ガラス層１６０が、溝部１４６の外周面１４６ｆよりも外側に位置することなく、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａと溝部１４６の内周面１４６ｂとの境界部である環状角部１４６ｄの少なくとも一部に接触した状態にすることができる（図１３参照）。
【０１１３】
より具体的には、接合工程において、軟化したガラス層１６０が、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上を圧力検知素子１５０の径方向外側に濡れ拡がり、当該ガラス層１６０の外周１６５が、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄに到達すると、その表面張力によって、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに止まろうとする。これにより、ガラス層１６０の濡れ拡がりを抑制することが可能となる。具体的には、ガラス層１６０の一部が、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄの少なくとも一部に接触することで、その濡れ拡がりを抑制することが可能となる。
【０１１４】
特に、本実施形態の接合工程では、ガラス層１６０を、溝部１４６の内部に位置することなく、当該ガラス層１６０の外周１６５の全体がダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄに接触した形態にしている。より具体的には、ガラス層１６０を、溝部１４６内に進入させることなく、当該ガラス層１６０の外周１６５がダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄに接触する形態にすることで、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆを構成する外側面１５０ｄの少なくとも一部（裏面側外側面１５０ｇ）をガラス層１６０の内部に埋めるようにして、ガラス層１６０によって圧力検知素子１５０をダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上に接合する（図１３参照）。
【０１１５】
これにより、本実施形態の圧力センサ１０は、平面視で、ガラス層１６０の外周１６５が、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄに沿った形状で、且つ、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆに沿った形状となる（図５参照）。このような圧力センサ１０は、ガラス層１６０の無駄が少なく（接合に寄与しないガラスが少なく）、且つ、圧力検知素子１５０が厚さ方向について十分にガラス層１６０の内部に埋め込まれた圧力センサとなる。
【０１１６】
なお、接合工程におけるガラス層１６０の濡れ拡がりの程度は、ガラス層１６０の厚み、加熱温度（焼成温度）、及び加熱時間（焼成時間）によって変動する。従って、本実施形態の接合工程では、ガラス層１６０の厚み、加熱温度（焼成温度）、及び加熱時間（焼成時間）の調整により、濡れ拡がったガラス層１６０を、溝部１４６の内部に位置することなく、ガラス層１６０の外周１６５の全体がダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄに接触した形態にしている。
【０１１７】
以上説明したように、本実施形態では、ガラス層１６０の濡れ拡がりが大きく低減されているので、圧力検知素子１５０の厚さ方向について十分に（例えば、厚さの半分程度、またはそれ以上）ガラス層１６０内に埋め込まれた形態となる（図１３参照）。これにより、圧力検知素子１５０がダイヤフラム部１４４の表面１４４ａに強固に接合されると共に、ダイヤフラム部１４４に生じた歪みを圧力検知素子１５０に効率良く伝達することが可能となる。
【０１１８】
次いで、上述のように圧力検知素子１５０を接合したダイヤフラム体１４０、変位部材１３０（ヒータ部材１３１及び中軸１３３など）、ハウジング１００（第１ハウジング部１１０及び第２ハウジング部１２０）、コネクタ部材２００、及び、保護筒２１０などの各構成部品を組み付けることで、本実施形態の圧力センサ１０が完成する（図１及び図２参照）。
【０１１９】
（変形形態１）
本変形形態１は、実施形態と比較して、ガラス層の形状のみが異なり、その他は同様である。具体的には、実施形態では、ガラス層１６０を、溝部１４６の内部に配置させることなく、当該ガラス層１６０の外周１６５の全体がダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄに接触した形態にした。これに対し、本変形形態１では、図１４に示すように、ガラス層４６０の一部（周縁部の全部または一部）が溝部１４６内に配置された形態としている。なお、図１４は、実施形態の図６に相当する断面図であり、本変形形態１の圧力センサ４１０を図５のＥ−Ｅの位置で切断した断面図である。
【０１２０】
本変形形態１の圧力センサ４１０では、ガラス層４６０の一部（周縁部の全部または一部）が溝部１４６内に配置されると共に、ガラス層４６０のうち平面視で溝部１４６に対し内側（図１４において中央側）に隣接する部位が、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄの全周にわたって接触している。すなわち、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａのうち環状の溝部１４６によって囲まれた部位の全面を覆うようにガラス層４６０が配置されると共に、ガラス層４６０の一部（周縁部の全部または一部）が溝部１４６内に配置されている。
【０１２１】
本変形形態１では、接合工程において、軟化または溶融して径方向外側に濡れ拡がるガラス層４６０の外周部の少なくとも一部が、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄを通過して、径方向外側に濡れ拡がってゆく。しかしながら、ガラス層４６０のうち環状角部１４６ｄを通過した部位を、溝部１４６内に収容することができるので、ガラス層４６０が溝部１４６よりも外側に濡れ拡がるのを防止することができる。すなわち、ガラス層４６０の濡れ拡がりを低減することができる。
【０１２２】
従って、本変形形態１の圧力センサ４１０も、ガラス層４６０の濡れ拡がりが低減された圧力センサとなる。具体的には、本変形形態１の圧力センサ４１０は、ガラス層４６０が、溝部１４６の外周面１４６ｆよりも外側に位置することなく、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄに接触する態様で、ダイヤフラム部１４４の表面１４４ａ上に配置された圧力センサとなる。
【０１２３】
なお、本変形形態１では、接合工程における加熱温度を実施形態よりも高くしている。これにより、ガラス層４６０の濡れ拡がりの程度が、実施形態におけるガラス層１６０の濡れ拡がりの程度よりも大きくなり、ガラス層４６０の一部（周縁部の全部または一部）が溝部１４６内に配置された態様となっている。
【０１２４】
（変形形態２）
本変形形態２は、実施形態にと比較して、溝部とガラス層の形状のみが異なり、その他は同様である。具体的には、実施形態では、溝部１４６を、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆに沿った環状（平面視矩形環状）とした（図５参照）。また、ガラス層１６０を、圧力検知素子１５０の同様な平面視矩形状とした。詳細には、平面視で、ガラス層１６０の外周１６５が、ダイヤフラム部１４４の環状角部１４６ｄに沿った形状（接した形状）で、且つ、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆに沿った形状とした（図５、図６参照）。
【０１２５】
これに対し、本変形形態２では、図１５に示すように、溝部３４６を、平面視で、ダイヤフラム部３４４の外周３４４ｃに沿って延びる円弧状の第１円弧部３４６ｇと、第１円弧部３４６ｇに対し径方向内側（ダイヤフラム部３４４の中心Ｏ側）に位置してダイヤフラム部３４４の内周３４４ｄに沿って延びる円弧状の第２円弧部３４６ｈと、第１円弧部３４６ｇの一端と第２円弧部３４６ｈの一端とを結ぶ直線状の第１連結部３４６ｉと、第１円弧部３４６ｇの他端と第２円弧部３４６ｈの他端とを結ぶ直線状の第２連結部３４６ｊとによって構成された形状としている。この溝部３４６は、ダイヤフラム部３４４の表面３４４ａに開口する溝部である。より具体的には、溝部３４６は、環状の内周面３４６ｂと環状の外周面３４６ｆとを有する環状の溝部であって、ダイヤフラム部３４４の平面視で、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆから離間した位置で圧力検知素子１５０の外周１５０ｆを囲んでいる。
【０１２６】
また、本変形形態２では、ガラス層３６０を、平面視扇面形状としている。具体的には、平面視で、圧力検知素子１５０の外周１５０ｆに沿った矩形状ではなく、ダイヤフラム部３４４の表面３４４ａと溝部３４６の内周面３４６ｂとの境界部である環状角部３４６ｄに沿った形状（環状角部３４６ｄの全周に接触した形状）としている（図１５参照）。このようにすることで、ガラス層３６０の面積を大きくすることができるので、圧力検知素子１５０がガラス層３６０の内部に埋め込まれ易くなる。
【０１２７】
本変形形態２の圧力センサ３１０では、ガラス層３６０が、溝部３４６の外周面３４６ｆよりも外側に位置することなく、ダイヤフラム部３４４の環状角部３４６ｄに接触する態様で、ダイヤフラム部３４４の表面３４４ａ上に配置されている。詳細には、ガラス層３６０は、溝部３４６の内部に位置することなく、当該ガラス層３６０の外周３６５の全体がダイヤフラム部３４４の環状角部３４６ｄに接触している。すなわち、ガラス層３６０は、接合工程において濡れ拡がったときに、その外周３６５の全体がダイヤフラム部３４４の環状角部３４６ｄに接触した状態で止まり、溝部３４６の内部に進入することなく、ダイヤフラム部３４４の表面３４４ａのうち環状の溝部３４６によって囲まれた部位の全面を覆うように配置されている。
【０１２８】
このような圧力センサ３１０では、ガラス層３６０の濡れ拡がりが大きく低減されているので、圧力検知素子１５０の厚さ方向について十分に（例えば、厚さの半分程度、またはそれ以上）ガラス層３６０内に埋め込まれた形態となる。これにより、圧力検知素子１５０がダイヤフラム部３４４の表面３４４ａに強固に接合されると共に、ダイヤフラム部３４４に生じた歪みを圧力検知素子１５０に効率良く伝達することが可能となる。
【０１２９】
以上において、本発明を実施形態に即して説明したが、本発明は実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることはいうまでもない。
【０１３０】
例えば、実施形態及び変形形態１，２では、変位部材として、軸線方向ＤＸに延びる棒状のヒータ部材１３１を有する変位部材１３０を示した。しかしながら、本発明は、変位部材として、ヒータ部材に代えて、軸線方向ＤＸに延びる単なる棒状の部材（例えば、先端側ＸＳが閉じた筒状の金属部材）を有する変位部材を用いるようにしても良い。
【０１３１】
また、実施形態及び変形形態１，２では、圧力センサとして、変位部材１３０を備える圧力センサ１０を示した。しかしながら、本発明は、例えば、特許文献１に示されている圧力センサと同様な構成を有するような圧力センサにも適用される。すなわち、本発明は、変位部材を備えることなく、検出対象である圧力に応じて自身に歪みが生じるダイヤフラム部と、ダイヤフラム部の表面上に設けられた圧力検知素子と、圧力検知素子をダイヤフラム部の表面上に接合するガラス層とを備える圧力センサにも適用することができる。
【符号の説明】
【０１３２】
１０，３１０，４１０  圧力センサ
１００  ハウジング
１３０  変位部材
１３１  ヒータ部材
１４０  ダイヤフラム体
１４４，３４４  ダイヤフラム部
１４４ａ，３４４ａ  表面
１４４ｂ  貫通孔
１４６，３４６  溝部
１４６ｂ，３４６ｂ  内周面
１４６ｄ，３４６ｄ  環状角部
１４６ｆ，３４６ｆ  外周面
１５０  圧力検知素子
１５０ｃ  裏面
１５０ｄ  外側面
１５０ｆ  外周
１５０ｇ  裏面側外側面
１６０，３６０，４６０  ガラス層
１６０Ｐ  ガラスペースト層
１６５，３６５  外周
２００  コネクタ部材
ＡＸ  軸線
ＣＥ  圧力検知素子の中心
ＤＸ  軸線方向
ＸＳ  軸線方向先端側
ＸＫ  軸線方向後端側
Ｏ  ダイヤフラム部の中心
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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