(57)【要約】  【課題】薄型化することのできるゲートバルブを提供する。  【解決手段】ゲートバルブ１は、第１の開口部９を有する第１のプレート２と、第１のプレート２に対向して配置される第２のプレート３と、第１のプレート２と第２のプレート３との間に形成される弁体ガイド空間５と、弁体ガイド空間５内に配置される弁体プレート６を備える。弁体プレート６は、第１の押圧部１３に押圧されて第１のプレート２から離間した状態では、弁体ガイド空間５内において、弁体開口部１１が第１の開口部９からずれる方向に沿ってスライド可能であり、第２の押圧部１６に押圧されて第１のプレート２に接触した状態では、弁体ガイド空間５内において、第１のプレート２に対して位置が固定される。第１の押圧部１３と第２の押圧部１６は、複数の金属製の薄板１８、１９が互いに拡散接合されることによって形成されたベローズ構造を有する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の開口部を有する第１のプレートと、
第２の開口部を有し、前記第１のプレートに対向して配置される第２のプレートと、
前記第１のプレートと前記第２のプレートとの間に形成される弁体ガイド空間と、
前記弁体ガイド空間内に配置され、弁体開口部を有する弁体プレートと、
を備え、
前記第１のプレートには、前記弁体プレートを前記第１のプレートから離れる方向に向けて押圧する第１の押圧部が設けられ、
前記第２のプレートには、前記弁体プレートを前記第１のプレートに近づく方向に向けて押圧する第２の押圧部が設けられ、
前記弁体プレートは、
前記第１の押圧部に押圧されて前記第１のプレートから離間した状態では、前記弁体ガイド空間内において、前記弁体開口部が前記第１の開口部からずれる方向に沿ってスライド可能であり、
前記第２の押圧部に押圧されて前記第１のプレートに接触した状態では、前記弁体ガイド空間内において、前記第１のプレートに対して位置が固定され、
前記第１の押圧部および前記第２の押圧部は、複数の金属製の薄板が互いに拡散接合されることによって形成されたベローズ構造を有することを特徴とするゲートバルブ。
【請求項２】
前記第１のプレートに設けられる前記第１の押圧部の数は、前記第２のプレートに設けられる前記第２の押圧部の数より多い、請求項１に記載のゲートバルブ。
【請求項３】
前記第１の押圧部は、第１の制御部によって制御され、
前記第１のプレートには、少なくとも３つの前記第１の押圧部が設けられ、前記少なくとも３つの第１の押圧部は、環状に配置されており、
前記第１の制御部は、前記第１の押圧部によって前記弁体プレートを前記第１のプレートから離れる方向に向けて押圧するときに、前記環状に配置された第１の押圧部を所定の回転方向に沿って順に作動させる、請求項１または請求項２に記載のゲートバルブ。
【請求項４】
前記第２の押圧部は、第２の制御部によって制御され、
前記第２のプレートには、少なくとも２つの前記第２の押圧部が設けられ、
前記第２の制御部は、前記第２の押圧部によって前記弁体プレートを前記第１のプレートに近づく方向に向けて押圧するときに、前記第２の押圧部を同時に作動させる、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載のゲートバルブ。
【請求項５】
前記弁体プレートには、前記弁体開口部が前記第１の開口部からずれる方向にスライドされたときに前記第１の開口部を囲むように配置される環状のシーリング部材が設けられている、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載のゲートバルブ。
【請求項６】
前記シーリング部材は、前記第１のプレートに対して密着性と剥離性を有する材料で構成されている、請求項５に記載のゲートバルブ。
【請求項７】
前記第１のプレートには、前記弁体開口部の周辺に配置される壁部材が設けられ、
前記第１のプレートと前記弁体プレートと前記壁部材は、導電性を有する材料で構成されており、
前記第１のプレートまたは前記弁体プレートは、接地されている、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載のゲートバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄型のゲートバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電子顕微鏡や電子線検査装置などの装置には、電子ビームを発生させる電子銃が配置される空間と、電子ビームが照射される検査対象（サンプル）が配置される空間とを、２つの空間に仕切るたのゲートバルブが設けられている（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００３】
ゲートバルブは、以下のような場合に使用される。例えば、サンプルに電子ビームが照射された結果、サンプルからガスが発生して真空度が悪化してしまった場合に、電子銃を保護するためにゲートバルブが閉じられる。また、サンプル交換を行う場合、サンプルが配置される空間の真空度が悪化するため、電子銃を保護するためにゲートバルブが閉じられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２００７０９号公報
【特許文献２】特開２００８−１１６０１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、電子顕微鏡や電子線検査装置などの装置も小型化が進み、装置内部の空間が少なくなってきている。それに伴い、ゲートバルブを小型化する技術も開発されているが、従来のゲートバルブにおいては、１０数ｍｍまでの薄型化が限度であった。従来のゲートバルブは、小型の電子顕微鏡や電子線検査装置の場合、ある程度の空間的な余裕のある電子銃の近傍であれば何とか配置することが可能であるものの、ほとんど空間的な余裕のないサンプルの近傍には配置することが不可能であった（図１０参照）。そのため、小型の電子顕微鏡や電子線検査装置であっても、サンプルの近傍に配置できるような薄型のゲートバルブの開発が望まれていた。
【０００６】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたもので、薄型のゲートバルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のゲートバルブは、第１の開口部を有する第１のプレートと、第２の開口部を有し、前記第１のプレートに対向して配置される第２のプレートと、前記第１のプレートと前記第２のプレートとの間に形成される弁体ガイド空間と、前記弁体ガイド空間内に配置され、弁体開口部を有する弁体プレートと、を備え、前記第１のプレートには、前記弁体プレートを前記第１のプレートから離れる方向に向けて押圧する第１の押圧部が設けられ、前記第２のプレートには、前記弁体プレートを前記第１のプレートに近づく方向に向けて押圧する第２の押圧部が設けられ、前記弁体プレートは、前記第１の押圧部に押圧されて前記第１のプレートから離間した状態では、前記弁体ガイド空間内において、前記弁体開口部が前記第１の開口部からずれる方向に沿ってスライド可能であり、前記第２の押圧部に押圧されて前記第１のプレートに接触した状態では、前記弁体ガイド空間内において、前記第１のプレートに対して位置が固定され、前記第１の押圧部および前記第２の押圧部は、複数の金属製の薄板が互いに拡散接合されることによって形成されたベローズ構造を有している。
【０００８】
この構成によれば、複数の金属製の薄板を互いに拡散接合させることによって、第１の押圧部および第２の押圧部のベローズ構造が形成されているので、ゲートバルブを薄型化することができる。これにより、従来のゲートバルブでは実現することが極めて困難であった厚さ（２〜３ｍｍ）まで、ゲートバルブを薄型化することが可能になる。
【０００９】
また、本発明のゲートバルブでは、前記第１のプレートに設けられる前記第１の押圧部の数は、前記第２のプレートに設けられる前記第２の押圧部の数より多くてもよい。
【００１０】
この構成によれば、第１の押圧部が多く設けられる。第１のプレートと接触した状態の弁体プレートは、第１のプレートと密着して引き離しにくい。そのため、弁体プレート（第１のプレートに密着した弁体プレート）を第１のプレートから引き離すためには、より大きい力が必要となる。この場合、第１の押圧部が多く設けられているので、弁体プレートを第１のプレートから容易に引き離すことができる。
【００１１】
また、本発明のゲートバルブでは、前記第１の押圧部は、第１の制御部によって制御され、前記第１のプレートには、少なくとも３つの前記第１の押圧部が設けられ、前記少なくとも３つの第１の押圧部は、環状に配置されており、前記第１の制御部は、前記第１の押圧部によって前記弁体プレートを前記第１のプレートから離れる方向に向けて押圧するときに、前記環状に配置された第１の押圧部を所定の回転方向に沿って順に作動させてもよい。
【００１２】
この構成によれば、第１のプレートには、少なくとも３つの第１の押圧部が環状に配置されており、第１の押圧部によって弁体プレートを第１のプレートから引き離すときに、環状に配置された第１の押圧部が所定の回転方向に沿って順に作動する。これにより、環状に配置された第１の押圧部から所定の回転方向に沿って順に弁体プレートに力が加えられるので、弁体プレートを第１のプレートから円滑に引き離すことができる。
【００１３】
また、本発明のゲートバルブでは、前記第２の押圧部は、第２の制御部によって制御され、前記第２のプレートには、少なくとも２つの前記第２の押圧部が設けられ、前記第２の制御部は、前記第２の押圧部によって前記弁体プレートを前記第１のプレートに近づく方向に向けて押圧するときに、前記第２の押圧部を同時に作動させてもよい。
【００１４】
この構成によれば、第２の押圧部によって弁体プレートを第１のプレートに押し付けるときに、複数の第２の押圧部が同時に作動する。これにより、複数に配置された第２の押圧部から弁体プレートに均等に力が加えられるので、弁体プレートを第１のプレートに適切に押し付けることができ、弁体プレートと第１のプレートとの間の気密性を適切に保つことができる。
【００１５】
また、本発明のゲートバルブでは、前記弁体プレートには、前記弁体開口部が前記第１の開口部からずれる方向にスライドされたときに前記第１の開口部を囲むように配置される環状のシーリング部材が設けられてもよい。
【００１６】
この構成によれば、弁体開口部が第１の開口部からずれている状態では、シーリング部材によって第１の開口部が囲われて、弁体プレートと第１のプレートとの間の気密性を良好に確保することができる。
【００１７】
また、本発明のゲートバルブでは、前記シーリング部材は、前記第１のプレートに対して密着性と剥離性を有する材料で構成されてもよい。
【００１８】
この構成によれば、シーリング部材が密着性を有しているので、弁体プレートが第１のプレートに押し付けられたときに、弁体プレートと第１のプレートとの間の気密性を良好に確保することができる。また、シーリング部材が剥離性を有しているので、弁体プレートを第１のプレートから容易に引き離すことができる。
【００１９】
また、本発明のゲートバルブでは、前記第１のプレートには、前記弁体開口部の周辺に配置される壁部材が設けられ、前記第１のプレートと前記弁体プレートと前記壁部材は、導電性を有する材料で構成されており、前記第１のプレートまたは前記弁体プレートは、接地されてもよい。
【００２０】
この構成によれば、弁体開口部の周辺に壁部材が配置されており、第１のプレートと弁体プレートと壁部材が導電性を有しているので、弁体開口部が第１の開口部に対応する位置に配置された状態で、第１の開口部と弁体開口部を荷電粒子ビーム（例えば電子ビーム）が通過した場合に、発生した迷走電子によるチャージを、壁部材から接地された第１のプレートや弁体プレートから逃がすことができる。これにより、ゲートバルブをＧＮＤ電極として利用することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、ゲートバルブを薄型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態におけるゲートバルブの斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態におけるゲートバルブの分解斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態におけるベローズ構造（拡散接合前）の説明図である。
【図４】本発明の実施の形態におけるベローズ構造（拡散接合後）の説明図である。
【図５】本発明の実施の形態における弁体プレートの上面図である。
【図６】本発明の実施の形態における弁体プレートの下面図である。
【図７】本発明の実施の形態におけるゲートバルブの動作の説明図である。
【図８】本発明の実施の形態におけるゲートバルブの動作の説明図である。
【図９】本発明の実施の形態におけるゲートバルブの動作の説明図である。
【図１０】小型の電子顕微鏡の装置内部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態のゲートバルブについて、図面を用いて説明する。本実施の形態では、小型の電子顕微鏡や電子線検査装置等に用いられるゲートバルブの場合を例示する。
【００２４】
本実施の形態のゲートバルブの構成を、図面を参照して説明する。図１は、本実施の形態のゲートバルブの斜視図であり、図２は、本実施の形態のゲートバルブの分解斜視図である。図１および図２に示すように、ゲートバルブ１は、電子ビームの光源側（図１および図２における上側）に配置される第１のプレート２と、第１のプレート２に対向してサンプル側（図１および図２における下側）に配置される第２のプレート３と、第２のプレート３の上面に固定される中間プレート４と、中間プレート４の中央部に形成された弁体ガイド空間５の内部に配置される弁体プレート６を備えている。第１のプレート２、第２のプレート３、中間プレート４、弁体プレート６は、いずれも金属製（例えば、第１のプレート２と第２のプレート３と中間プレート４はステンレス製、弁体プレート６はチタン製）である。また、第１のプレート２と第２のプレート３は、ＧＮＤに接地されている。
【００２５】
第１のプレート２と中間プレート４の間には、第１のガスケット７が配置されており、第２のプレート３と中間プレート４の間には、第２のガスケット８が配置されている。第１のガスケット７と第２のガスケット８は、いずれも気密性を有する樹脂製（例えばシリコーン製）である。なお、中間プレート４は、第２プレートと一体に製造することもできる。その場合には、第２のガスケット８は不要である。
【００２６】
第１のプレート２には、電子ビームの光軸に対応する位置に第１の開口部９が設けられている。また、第２のプレート３には、第１の開口部９に対応する位置（電子ビームの光軸に対応する位置）に第２の開口部１０が設けられている。また、弁体プレート６には、電子ビームを通過させるための弁体開口部１１が設けられている。
【００２７】
第１のプレート２と第２のプレート３は、ボルト１２によって固定される。このとき、中間プレート４は、第２のプレート３に固定される。このとき、弁体プレート６は、第２のプレート３に固定された中間プレート４の弁体ガイド空間５の内部を移動可能である。具体的には、弁体プレート６は、電子ビームの光軸に沿う方向（図１および図２における上下方向）に上下移動可能である。また、弁体プレート６は、電子ビームの光軸に交差する方向（図１および図２における左右方向）にスライド移動可能である。
【００２８】
第１のプレート２の下面には、弁体プレート６を第１プレートから離れる方向（図１および図２における下方向）に向けて押圧する第１の押圧部１３が設けられている。本実施の形態では、４つの第１の押圧部１３が四角環状に配置されている。第１の押圧部１３にはそれぞれエア供給路１４が接続されており、エア供給路１４から空気が供給されることによって、第１の押圧部１３は、弁体プレート６を第１プレートから離れる方向に向けて押圧するように構成されている。第１の押圧部１３への空気の供給は、第１の制御部１５によって制御されている（図７〜図９参照）。
【００２９】
第２のプレート３の上面には、弁体プレート６を第１プレートに近づく方向（図１および図２における上方向）に向けて押圧する第２の押圧部１６が設けられている。本実施の形態では、２つの第２の押圧部１６が並んで配置されている。第１の押圧部１３と同様、第２の押圧部１６にもそれぞれエア供給路１４が接続されており、エア供給路１４から空気が供給されることによって、第２の押圧部１６は、弁体プレート６を第１プレートに近づく方向に向けて押圧するように構成されている。第２の押圧部１６への空気の供給は、第２の制御部１７によって制御されている（図７〜図９参照）。
【００３０】
ここで、図３および図４を参照しながら、第１の押圧部１３と第２の押圧部１６の構造を説明する。本実施の形態では、第１の押圧部１３と第２の押圧部１６は、同一の構造を有している。図３および図４は、第１の押圧部１３と第２の押圧部１６の構造の説明図である。図３および図４に示すように、第１の押圧部１３と第２の押圧部１６は、複数の金属製の薄板が互いに拡散接合されることによって形成されたベローズ構造を有している。
【００３１】
この場合、第１の薄板１８と第２の薄板１９を交互に重ね合わせてベローズ構造が形成される。第１の薄板１８は、中央が開口している円板状（円環状）の本体と、本体上面の外側に設けられる円環状の上面外側凸部２０と、本体下面の内側に設けられる円環状の下面内側凸部２１を備えている。また、第２の薄板１９は、中央が開口している円板状（円環状）の本体と、本体上面の内側に設けられる円環状の上面内側凸部２２と、本体下面の外側に設けられる円環状の下面外側凸部２３を備えている。
【００３２】
そして、第１の薄板１８と第２の薄板１９が交互に重ね合わせられた状態で、第１の薄板１８の上面外側凸部２０と第２の薄板１９の下面外側凸部２３とが拡散接合され、第１の薄板１８の下面内側凸部２１と第２の薄板１９の上面内側凸部２２とが拡散接合されることによって、ベローズ構造が形成される。
【００３３】
つぎに、図５および図６を参照しながら、弁体プレート６の構成について説明する。図５は、弁体プレート６の上面図であり、図６は、弁体プレート６の下面図である。図５に示すように、弁体プレート６の上面（第１のプレート２側の面、図１および図２における上側の面）には、第１のプレート２の第１の押圧部１３が収納される第１の凹部２４が形成されている。また、図６に示すように、弁体プレート６の下面（第２のプレート３側の面、図１および図２における下側の面）には、第２のプレート３の第２の押圧部１６が収納される第２の凹部２５が形成されている。
【００３４】
また、図５に示すように、弁体プレート６の上面には、弁体開口部１１が第１の開口部９からずれる方向にスライドされたときに第１の開口部９を囲むように配置される環状のシーリング部材２６が設けられている。シーリング部材２６は、第１のプレート２に対して密着性と剥離性を有する樹脂製（例えばシリコーン製）である。さらに、弁体プレート６の上面には、弁体開口部１１の周辺に配置される一対の直線状の壁部材２７が設けられている。壁部材２７は、導電性を有する樹脂製（例えばカーボン入りシリコーン製）である。
【００３５】
以上のように構成されたゲートバルブ１について、図７〜図９を参照してその動作を説明する。
【００３６】
例えば電子ビームをサンプルに照射する場合など、ゲートバルブ１を開いた状態にする場合には、図７（ａ）に示すように、弁体プレート６の弁体開口部１１を、第１のプレート２の第１の開口部９（と第２のプレート３の第２の開口部１０）に対応する位置（電子ビームの光軸の位置）に配置する。そして、図７（ｂ）に示すように、第２の制御部１７によって第２の押圧部１６を作動させ、第２の押圧部１６によって弁体プレート６を第１のプレート２に近づく方向に向けて押圧する。このとき、２つの第２の押圧部１６を同時に作動させる。弁体プレート６は、第２の押圧部１６に押圧されて第１のプレート２に接触した状態では、弁体ガイド空間５内において第１のプレート２に対して位置が固定される。
【００３７】
つぎに、サンプルを交換する場合など、ゲートバルブ１を閉じた状態にする場合には、図８（ｂ）に示すように、第２の制御部１７の作動を停止し、弁体プレート６に対する第２の押圧部１６による押圧（第１のプレート２に近づく方向に向けた押圧）を停止する。その後、第１の制御部１５を作動させ、第１の押圧部１３によって弁体プレート６を第１のプレート２から離れる方向に向けて押圧する。このとき、４つの第１の押圧部１３を所定の回転方向に沿って順に（例えば時計回りに）作動させる。
【００３８】
そうすると、弁体プレート６は、図８（ａ）に示すように、第１の押圧部１３に押圧されて第１のプレート２から離間した状態になる。その後、弁体プレート６が第１のプレート２から離間した状態になったら、第１の押圧部１３の作動を停止し、弁体プレート６に対する第１の押圧部１３による押圧（第１のプレート２から離れる方向に向けた押圧）を停止する。この状態では、弁体プレート６は、第１の押圧部１３と第２の押圧部１６のいずれからも押圧されていない。その後、弁体ガイド空間５内において、弁体プレート６を弁体開口部１１が第１の開口部９からずれる方向に沿ってスライド移動させ、弁体プレート６のシーリング部材２６を、第１のプレート２の第１の開口部９に対応する位置に配置する。
【００３９】
そして、図９（ａ）（ｂ）に示すように、第２の制御部１７によって第２の押圧部１６を作動させ、第２の押圧部１６によって弁体プレート６を第１のプレート２に近づく方向に向けて押圧する。このとき、２つの第２の押圧部１６を同時に作動させる。弁体プレート６は、第２の押圧部１６に押圧されて第１のプレート２に接触した状態では、弁体ガイド空間５内において第１のプレート２に対して位置が固定される。
【００４０】
このような本実施の形態のゲートバルブ１によれば、複数の金属製の薄板１８、１９を互いに拡散接合させることによって、第１の押圧部１３および第２の押圧部１６のベローズ構造が形成されているので、ゲートバルブ１を薄型化することができる。これにより、従来のゲートバルブ１では実現することが極めて困難であった厚さ（２〜３ｍｍ）まで、ゲートバルブ１を薄型化することが可能になる。
【００４１】
また、本実施の形態では、第１の押圧部１３が（第２の押圧部１６より）多く設けられている。第１のプレート２と接触した状態の弁体プレート６は、第１のプレート２と密着して引き離しにくい。そのため、弁体プレート６（第１のプレート２に密着した弁体プレート６）を第１のプレート２から引き離すためには、より大きい力が必要となる。この場合、第１の押圧部１３が多く設けられているので、弁体プレート６を第１のプレート２から容易に引き離すことができる。
【００４２】
また、本実施の形態では、第１のプレート２には、少なくとも３つの第１の押圧部１３が環状に配置されており、第１の押圧部１３によって弁体プレート６を第１のプレート２から引き離すときに、環状に配置された第１の押圧部１３が所定の回転方向に沿って順に作動する。これにより、環状に配置された第１の押圧部１３から所定の回転方向に沿って順に弁体プレート６に力が加えられるので、弁体プレート６を第１のプレート２から円滑に引き離すことができる。
【００４３】
また、本実施の形態では、第２の押圧部１６によって弁体プレート６を第１のプレート２に押し付けるときに、複数の第２の押圧部１６が同時に作動する。これにより、複数に配置された第２の押圧部１６から弁体プレート６に均等に力が加えられるので、弁体プレート６を第１のプレート２に適切に押し付けることができ、弁体プレート６と第１のプレート２との間の気密性を適切に保つことができる。
【００４４】
また、本実施の形態では、弁体開口部１１が第１の開口部９からずれている状態では、シーリング部材２６によって第１の開口部９が囲われて、弁体プレート６と第１のプレート２との間の気密性を良好に確保することができる。
【００４５】
また、本実施の形態では、シーリング部材２６が密着性を有しているので、弁体プレート６が第１のプレート２に押し付けられたときに、弁体プレート６と第１のプレート２との間の気密性を良好に確保することができる。また、シーリング部材２６が剥離性を有しているので、弁体プレート６を第１のプレート２から容易に引き離すことができる。
【００４６】
また、本実施の形態では、第１のプレート２（と第２のプレート３）が接地されており、弁体プレート６も第１のプレート２（または第２のプレート３）を介して接地されている。そして、弁体開口部１１の周辺に壁部材２７が配置されており、第１のプレート２（と第２のプレート３）と弁体プレート６と壁部材２７が導電性を有しているので、弁体開口部１１が第１の開口部９に対応する位置に配置された状態で、第１の開口部９と弁体開口部１１を荷電粒子ビーム（例えば電子ビーム）が通過した場合に、発生した迷走電子によるチャージを、壁部材２７から接地された第１のプレート２や弁体プレート６から逃がすことができる。これにより、ゲートバルブ１をＧＮＤ電極として利用することができる。
【００４７】
以上、本発明の実施の形態を例示により説明したが、本発明の範囲はこれらに限定されるものではなく、請求項に記載された範囲内において目的に応じて変更・変形することが可能である。
【００４８】
例えば、上記の実施の形態では、第１のプレート２に第１の押圧部１３が４つ設けられ、第２のプレート３に第２の押圧部１６が２つ設けられた例について説明したが、本発明の範囲はこれに限定されない。第１の押圧部１３は、３つ以下でもよく５つ以上でもよい。また、第２の押圧部１６は、１つでもよく３つ以上でもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
以上のように、本発明にかかるゲートバルブは、ゲートバルブを薄型化することができるという効果を有し、小型の電子顕微鏡や電子線検査装置などに適用され、有用である。
【符号の説明】
【００５０】
１  ゲートバルブ
２  第１のプレート
３  第２のプレート
４  中間プレート
５  弁体ガイド空間
６  弁体プレート
７  第１のガスケット
８  第２のガスケット
９  第１の開口部
１０  第２の開口部
１１  弁体開口部
１２  ボルト
１３  第１の押圧部
１４  エア供給路
１５  第１の制御部
１６  第２の押圧部
１７  第２の制御部
１８  第１の薄板
１９  第２の薄板
２０  上面外側凸部
２１  下面内側凸部
２２  上面内側凸部
２３  下面外側凸部
２４  第１の凹部
２５  第２の凹部
２６  シーリング部材
２７  壁部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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