(57)【要約】【課題】微細な検査点に二つのプローブを接触させることが容易なプローブ、及びそれを用いた検査治具、検査装置を提供する。【解決手段】プローブＰｒは、略棒状の形状を有するプローブＰｒであって、検査対象物１００に設けられた検査点１０１に接触させるための略円柱状の先端部Ｐａと、先端部とは反対側の略円柱状の基端部Ｐｂと、扁平な帯状形状を有し、先端部Ｐａと基端部Ｐｂとを繋ぐように延設された本体部Ｐｃとを備え、先端部Ｐａには、プローブＰｒの軸心と傾斜して交差する先端面Ｐｆが形成されている。【選択図】図７
2020012685.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
略棒状の形状を有するプローブであって、
検査対象物に設けられた検査点に接触させるための略円柱状の先端部と、
前記先端部とは反対側の基端部と、
扁平な帯状形状を有し、前記先端部と前記基端部とを繋ぐように延設された本体部とを備え、
前記先端部には、前記プローブの軸心と傾斜して交差する先端面が形成されているプローブ。
【請求項２】
前記先端面における側方の両縁部には、前記先端部の周面と連なる先窄まりの面取り面が形成されている請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
前記先端面の幅方向と、前記本体部における前記帯状形状の幅方向とが略同一方向である請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項４】
前記先端面の幅方向と、前記本体部における前記帯状形状の幅方向とが略直交する請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項５】
前記本体部は、前記帯状形状の幅広面に対して略直交する方向に突出するように湾曲している請求項１〜４のいずれか１項に記載のプローブ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載のプローブを複数と、
前記複数のプローブのうち互いに隣接する二本ずつの前記プローブを対にして、前記帯状形状の幅広面に対して略直交する方向であって、かつ同一方向に前記一対のプローブを撓ませた状態で、前記一対のプローブ同士で前記先端面の頂部同士が最も近づくように相隣接する向きに前記複数のプローブを保持する保持部材とを備える検査治具。
【請求項７】
前記基端部は前記軸心と直交する幅方向の寸法が前記幅方向と直交する厚み方向よりも大きく、
前記保持部材は、前記複数のプローブの前記基端部がそれぞれ挿入される規制孔が形成された規制プレートを備え、
前記各規制孔の、深さ方向に直交する第一方向の長さが前記基端部の前記幅方向の寸法よりも大きく、前記第一方向と直交する第二方向の長さが前記基端部の前記幅方向の寸法よりも小さい請求項６に記載の検査治具。
【請求項８】
略棒状の形状を有し、検査対象物に設けられた検査点に接触させるための略円柱状の先端部と、前記先端部とは反対側の基端部と、前記先端部と前記基端部とを繋ぐように延設された本体部とを備え、前記先端部には前記棒状の軸心と傾斜して交差する先端面が形成され、前記基端部は前記軸心と直交する幅方向の寸法が前記幅方向と直交する厚み方向よりも大きい複数のプローブと、
前記複数のプローブのうち互いに隣接する二本ずつの前記プローブを対にして、前記一対のプローブ同士で前記先端面の頂部同士が最も近づくように相隣接する向きに前記複数のプローブを保持する保持部材とを備え、
前記保持部材は、前記複数のプローブの前記基端部がそれぞれ挿入される規制孔が形成された規制プレートを備え、
前記各規制孔の、深さ方向に直交する第一方向の長さが前記基端部の前記幅方向の寸法よりも大きく、前記第一方向と直交する第二方向の長さが前記基端部の前記幅方向の寸法よりも小さい検査治具。
【請求項９】
前記先端面の幅方向と、前記基端部の幅方向とが略同一方向である請求項７又は８に記載の検査治具。
【請求項１０】
前記各規制孔の、前記第二方向の長さは、前記本体部の最大幅よりも大きい請求項７〜９のいずれか１項に記載の検査治具。
【請求項１１】
前記規制プレートは、前記基端部の先端が突出する背面を有し、
前記各規制孔は、前記背面から所定距離離間した位置に配置されている請求項７〜１０のいずれか１項に記載の検査治具。
【請求項１２】
請求項６〜１１のいずれか１項に記載の検査治具と、
前記プローブを前記検査点に接触させることにより得られる電気信号に基づき、前記検査対象物の検査を行う検査処理部とを備える検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査に用いられるプローブ、検査治具、及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回路基板上の配線パターンは、その回路基板に載置されるＩＣその他の半導体や電気部品に電気信号を伝達したり、液晶やプラズマパネルに電気信号を与えたりするために、低抵抗である必要があり、基板に形成された配線パターンの抵抗値を測定してその良否を検査している。配線パターンの抵抗値は、検査対象となる配線パターンの二箇所に設けられた検査点に、それぞれ一つずつプローブを接触させ、そのプローブ間に所定レベルの測定用電流を流すことによりそのプローブ間に生じる電圧を測定することによって、オームの法則を用いて測定される。
【０００３】
しかし、上記のように、配線パターンの二検査点それぞれに、一つずつ接触させたプローブを測定用電流の供給と電圧の測定とに共用すると、プローブと検査点との間の接触抵抗が測定電圧に影響を与え、抵抗値の測定精度が低下するという不都合がある。そこで、各検査点に、それぞれ電流供給用プローブと電圧測定用プローブとを接触させる。そして、各検査点に接触させた一対の電流供給用プローブ間に測定用電流を供給し、各検査点にそれぞれ接触させた一対の電圧測定用プローブ間に生じた電圧を測定する。このような測定方法によって、プローブと検査点との間の接触抵抗の影響を抑制して高精度に抵抗値を測定する方法が、四端子測定法として知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１８４３７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のように、四端子測定法を用いて配線パターンの検査を行う場合、電流供給用プローブ及び電圧測定用プローブの二つのプローブを検査点毎に接触させる必要がある。一方、近年、回路基板の微細化が進み、検査点となるパッドや電極等が小さくなった結果、一つの検査点に二つのプローブを接触させることが困難になっている。
【０００６】
本発明の目的は、微細な検査点に二つのプローブを接触させることが容易なプローブ、及びそれを用いた検査治具、検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るプローブは、略棒状の形状を有するプローブであって、検査対象物に設けられた検査点に接触させるための略円柱状の先端部と、前記先端部とは反対側の基端部と、扁平な帯状（ribbon）形状を有し、前記先端部と前記基端部とを繋ぐように延設された本体部とを備え、前記先端部には、前記プローブの軸心と傾斜して交差する先端面が形成されている。
【０００８】
この構成によれば、プローブの先端部に、プローブの軸心と傾斜して交差する先端面が形成されているので、先端面の頂部、すなわちプローブの頂部が軸心からずれた位置に位置することになる。従って、このプローブを二本、頂部同士が最も近づくように相隣接する向きに並べて検査点に接触させるようにすれば、頂部同士の距離を両プローブの軸心間の距離よりも短くすることができる。その結果、微細な検査点に二つのプローブを接触させることが容易となる。さらに、先端部と基端部とが、扁平な帯状形状を有する本体部によって連結されているので、このプローブを撓ませると、帯状形状の厚み方向に撓むことになる。そうすると、プローブの撓み方向によって、プローブの回転角度が規定される。その結果、頂部同士が最も近づくように相隣接する向きに一対のプローブを位置させることが容易となる。
【０００９】
また、前記先端面における側方の両縁部には、前記先端部の周面と連なる先窄まりの面取り面が形成されていることが好ましい。
【００１０】
プローブの軸心と傾斜して交差する先端面が、略円柱状の先端部が平坦に切断された形状の場合、先端面における、軸心に対して左右の先端側の両縁部は、先端部の周面となす角度が鋭角となる。そのため、先端面における側方先端側の両縁部の厚みが薄くなる結果、強度が低下して削れたり、その削れた部分がパーティクルとなって検査対象物を汚損したりするおそれがある。そこでこの構成によれば、先端面における側方の両縁部がいわゆる面取り加工されて、先端部の周面と連なる先窄まりの面取り面が形成されているので、先端面の縁部が削れたり、その削れた部分がパーティクルとなって検査対象物を汚損したりするおそれが低減される。
【００１１】
また、前記先端面の幅方向と、前記本体部における前記帯状形状の幅方向とが略同一方向であることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、プローブを撓まして保持した場合に帯状形状の厚み方向に撓みが生じるので、プローブの向き（回転角）を規定することができる。そして、先端面の幅方向と、帯状形状の幅方向とが略同一方向であるので、先端面が撓み方向に向くことになる。その結果、二本のプローブを、頂部同士が最も近づくように相隣接する向きに並べることが容易となる。
【００１３】
また、前記先端面の幅方向と、前記本体部における前記帯状形状の幅方向とが略直交することが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、プローブを撓まして保持した場合に帯状形状の厚み方向に撓みが生じるので、プローブの向き（回転角）を規定することができる。そして、先端面の幅方向と、帯状形状の幅方向とが略直交するので、先端面が撓み方向に対して直交する方向に向くことになる。その結果、二本のプローブを、頂部同士が最も近づくように相隣接する向きに並べることが容易となる。
【００１５】
また、前記本体部は、前記帯状形状の幅広面に対して略直交する方向に突出するように湾曲していることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、予めプローブが湾曲した形状を有するので、支持部材にプローブを組み付ける組み立て作業時に、プローブの先端面を、頂部同士が最も近接して相隣接する正しい向きに組み付けることが容易になる。
【００１７】
また、本発明に係る検査治具は、上述のプローブを複数と、前記複数のプローブのうち互いに隣接する二本ずつの前記プローブを対にして、前記帯状形状の幅広面に対して略直交する方向であって、かつ同一方向に前記一対のプローブを撓ませた状態で、前記一対のプローブ同士で前記先端面の頂部同士が最も近づくように相隣接する向きに前記複数のプローブを保持する保持部材とを備える。
【００１８】
この構成によれば、保持部材によって、一対のプローブが、頂部同士が最も近づくように相隣接する向きに並べて保持されるので、頂部同士の距離が両プローブの軸心間の距離よりも短くなる。その結果、微細な検査点に二つのプローブを接触させることが容易となる。
【００１９】
また、前記基端部は前記軸心と直交する幅方向の寸法が前記幅方向と直交する厚み方向よりも大きく、前記保持部材は、前記複数のプローブの前記基端部がそれぞれ挿入される規制孔が形成された規制プレートを備え、前記各規制孔の、深さ方向に直交する第一方向の長さが前記基端部の前記幅方向の寸法よりも大きく、前記第一方向と直交する第二方向の長さが前記基端部の前記幅方向の寸法よりも小さいことが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、規制孔内に基端部が嵌まり込むことによって、プローブの回転が阻止されるので、一対のプローブを、頂部同士が最も近づくように相隣接する向きに並べて保持することが容易となる。
【００２１】
また、本発明に係る検査治具は、略棒状の形状を有し、検査対象物に設けられた検査点に接触させるための略円柱状の先端部と、前記先端部とは反対側の基端部と、前記先端部と前記基端部とを繋ぐように延設された本体部とを備え、前記先端部には前記棒状の軸心と傾斜して交差する先端面が形成され、前記基端部は前記軸心と直交する幅方向の寸法が前記幅方向と直交する厚み方向よりも大きい複数のプローブと、前記複数のプローブのうち互いに隣接する二本ずつの前記プローブを対にして、前記一対のプローブ同士で前記先端面の頂部同士が最も近づくように相隣接する向きに前記複数のプローブを保持する保持部材とを備え、前記保持部材は、前記複数のプローブの前記基端部がそれぞれ挿入される規制孔が形成された規制プレートを備え、前記各規制孔の、深さ方向に直交する第一方向の長さが前記基端部の前記幅方向の寸法よりも大きく、前記第一方向と直交する第二方向の長さが前記基端部の前記幅方向の寸法よりも小さい。
【００２２】
この構成によれば、保持部材によって、一対のプローブが、頂部同士が最も近づくように相隣接する向きに並べて保持されるので、頂部同士の距離が両プローブの軸心間の距離よりも短くなる。その結果、微細な検査点に二つのプローブを接触させることが容易となる。さらに、規制孔内に基端部が嵌まり込むことによって、プローブの回転が阻止されるので、一対のプローブを、頂部同士が最も近づくように相隣接する向きに維持することが容易となる。
【００２３】
また、前記先端面の幅方向と、前記基端部の幅方向とが略同一方向であることが好ましい。
【００２４】
この構成によれば、一対のプローブを、頂部同士が最も近づくように相隣接する向きに並べたとき、当該一対のプローブにおける基端部の幅方向は、互いに平行となる。その結果、当該一対のプローブにおける基端部同士の間隔が拡がるので、当該一対のプローブの間隔を狭めることが容易となる。
【００２５】
また、前記各規制孔の、前記第二方向の長さは、前記本体部の最大幅よりも大きいことが好ましい。
【００２６】
この構成によれば、プローブの先端部側を規制孔に差し込んで本体部を挿通させ、さらにプローブを差し込んで基端部を規制孔内に位置させることができるので、検査治具の組立が容易である。
【００２７】
また、前記規制プレートは、前記基端部の先端が突出する背面を有し、前記各規制孔は、前記背面から所定距離離間した位置に配置されていることが好ましい。
【００２８】
この構成によれば、規制プレートの背面から所定距離離れた位置、すなわち基端部の先端からより離れた基端部の位置に位置することになる。その結果、基端部の先端付近ぎりぎりの位置でプローブの回転を規制する場合と比べて、基端部が規制孔から離脱してプローブが回転するおそれが低減される。
【００２９】
また、本発明に係る検査装置は、上述の検査治具と、前記プローブを前記検査点に接触させることにより得られる電気信号に基づき、前記検査対象物の検査を行う検査処理部とを備える。
【００３０】
この構成によれば、微細な検査点に二つのプローブを接触させることが容易なので、四端子測定法による検査を行うことが容易となる。
【発明の効果】
【００３１】
このような構成のプローブ、検査治具、及び検査装置は、微細な検査点に二つのプローブを接触させることが容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一実施形態に係る検査治具を備えた検査装置の構成を概略的に示す概念図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る検査治具を備えた検査装置の別の一例を概略的に示す概念図である。
【図３】図１、図２に示すプローブの一例の正面図と側面図である。
【図４】図１、図２に示すプローブの一例の正面図と側面図である。
【図５】図３，図４に示すプローブの先端部分の拡大図である。
【図６】図１に示す検査治具、第一ピッチ変換ブロック、及び第二ピッチ変換ブロックの断面図である。
【図７】図１、図２に示す検査治具における支持部材及びプローブの構成の一例を示す断面図である。
【図８】予め湾曲加工されたプローブの一例を示す正面図と側面図である。
【図９】予め湾曲加工されたプローブの一例を示す正面図と側面図である。
【図１０】図７に示す支持部材及びプローブの別の一例を示す断面図である。
【図１１】図１、図２に示すプローブの別の一例の側面図と正面図である。
【図１２】図７に示す支持部材及びプローブの構成の別の一例を示す断面図である。
【図１３】図１２におけるXIII−XIII線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。
（第一実施形態）
【００３４】
図１は、本発明の一実施形態に係る検査治具を備えた検査装置１の構成を概略的に示す概念図である。検査装置１は検査装置の一例に相当している。図１に示す検査装置１は、検査対象物１００に形成された回路を検査するための検査装置である。
【００３５】
検査対象物１００は、例えば半導体ウェハである。検査対象物１００は、例えばシリコンなどの半導体基板に、複数の半導体チップに対応する回路が形成されている。なお、検査対象物は、半導体チップ、CSP(Chip size package)、半導体素子（ＩＣ：Integrated Circuit）等の電子部品であってもよく、その他電気的な検査を行う対象となるものであればよい。
【００３６】
図１に示す検査装置１は、検査部４と、試料台６と、検査処理部８とを備えている。試料台６の上面には、検査対象物１００が載置される載置部６ａが設けられており、試料台６は、検査対象の検査対象物１００を所定の位置に固定するように構成されている。
【００３７】
載置部６ａは、例えば昇降可能にされており、試料台６内に収容された検査対象物１００を検査位置に上昇させたり、検査済の検査対象物１００を試料台６内に格納したりすることが可能にされている。また、載置部６ａは、例えば検査対象物１００を回転させて、オリエンテーション・フラットを所定の方向に向けることが可能にされている。また、検査装置１は、図略のロボットアーム等の搬送機構を備え、その搬送機構によって、検査対象物１００を載置部６ａに載置したり、検査済の検査対象物１００を載置部６ａから搬出したりする。
【００３８】
検査部４は、検査治具３、第一ピッチ変換ブロック５１、第二ピッチ変換ブロック５２、及び接続プレート５３を備えている。検査治具３は、検査対象物１００に複数のプローブＰｒを接触させて検査するための治具であり、例えば、いわゆるプローブカードとして構成されている。
【００３９】
検査対象物１００には、複数のチップが形成されている。各チップには、複数のパッドやバンプ等の検査点が形成されている。検査治具３は、検査対象物１００に形成された複数のチップのうち一部の領域（例えば図１にハッチングで示す領域、以下、検査領域と称する）に対応して、検査領域内の各検査点に対応するように、複数のプローブＰｒを保持している。
【００４０】
検査領域内の各検査点にプローブＰｒを接触させて当該検査領域内の検査が終了すると、載置部６ａが検査対象物１００を下降させ、試料台６が平行移動して検査領域を移動させ、載置部６ａが検査対象物１００を上昇させて新たな検査領域にプローブＰｒを接触させて検査を行う。このように、検査領域を順次移動させつつ検査を行うことによって、検査対象物１００全体の検査が実行されるようになっている。
【００４１】
なお、図１は、検査装置１の構成の一例を、発明の理解を容易にする観点から簡略的及び概念的に示した説明図であり、プローブＰｒの本数、密度、配置や、検査部４及び試料台６の各部の形状、大きさの比率、等についても、簡略化、概念化して記載している。例えば、プローブＰｒの配置の理解を容易にする観点で、一般的な半導体検査装置よりも検査領域を大きく強調して記載しており、検査領域はもっと小さくてもよく、もっと大きくてもよい。
【００４２】
接続プレート５３は、第二ピッチ変換ブロック５２を着脱可能に構成されている。接続プレート５３には、第二ピッチ変換ブロック５２と接続される図略の複数の電極が形成されている。接続プレート５３の各電極は、例えば図略のケーブルや接続端子等によって、検査処理部８と電気的に接続されている。第一ピッチ変換ブロック５１及び第二ピッチ変換ブロック５２は、プローブＰｒ相互間の間隔を、接続プレート５３の電極ピッチに変換するためのピッチ変換部材である。
【００４３】
検査治具３は、後述する先端部Ｐａと基端部Ｐｂとを有する複数のプローブＰｒと、複数のプローブＰｒを、先端部Ｐａ又は基端部Ｐｂを検査対象物１００へ向けて保持する支持部材３１とを備えている。
【００４４】
第一ピッチ変換ブロック５１には、各プローブＰｒの基端部Ｐｂ又は先端部Ｐａと接触して導通する後述の電極５１１が設けられている。検査部４は、接続プレート５３、第二ピッチ変換ブロック５２、及び第一ピッチ変換ブロック５１を介して、検査治具３の各プローブＰｒを、検査処理部８と電気的に接続したり、その接続を切り替えたりする図略の接続回路を備えている。
【００４５】
これにより、検査処理部８は、接続プレート５３、第二ピッチ変換ブロック５２、及び第一ピッチ変換ブロック５１を介して、任意のプローブＰｒに対して検査用信号を供給したり、任意のプローブＰｒから信号を検出したりすることが可能にされている。第一ピッチ変換ブロック５１及び第二ピッチ変換ブロック５２の詳細については後述する。
【００４６】
また、検査装置は半導体検査装置に限られず、例えば基板を検査する基板検査装置であってもよい。
【００４７】
図２は、本発明の一実施形態に係る検査治具を備えた検査装置１ａの構成を概略的に示す概念図である。図２に示す検査装置１ａは、検査対象物１００の一例である基板に形成された回路パターンを検査する基板検査装置である。
【００４８】
検査対象物１００は、例えばプリント配線基板、ガラスエポキシ基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、半導体パッケージ用のパッケージ基板、インターポーザ基板、フィルムキャリア等の基板であってもよく、液晶ディスプレイ、ＥＬ（Electro-Luminescence）ディスプレイ、タッチパネルディスプレイ等のディスプレイ用の電極板や、タッチパネル用等の電極板であってもよく、半導体ウェハ、半導体チップ、CSP(Chip size package)等の半導体基板であってもよく、種々の基板であってよい。なお、検査対象物は、基板に限らず、例えば半導体素子（ＩＣ：Integrated Circuit）等の電子部品であってもよく、その他電気的な検査を行う対象となるものであればよい。
【００４９】
図２に示す検査装置１ａは、検査部４Ｕ，４Ｄと、基板固定装置６ｂと、検査処理部８とを備えている。基板固定装置６ｂは、検査対象の検査対象物１００を所定の位置に固定するように構成されている。検査部４Ｕ，４Ｄは、検査治具３Ｕ，３Ｄを備えている。検査部４Ｕ，４Ｄは、図略の駆動機構によって、検査治具３Ｕ，３Ｄを、互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚの三軸方向に移動可能にされ、さらに検査治具３Ｕ，３Ｄを、Ｚ軸を中心に回動可能にされている。
【００５０】
検査部４Ｕは、基板固定装置６ｂに固定された検査対象物１００の上方に位置する。検査部４Ｄは、基板固定装置６ｂに固定された検査対象物１００の下方に位置する。検査部４Ｕ，４Ｄは、検査対象物１００に形成された回路パターンを検査するための検査治具３Ｕ，３Ｄを着脱可能に構成されている。検査治具３Ｕ，３Ｄは、半導体ウェハ等を検査するための、いわゆるプローブカードであってもよい。以下、検査部４Ｕ，４Ｄを総称して検査部４と称する。
【００５１】
検査治具３Ｕ，３Ｄは、それぞれ、後述する先端部Ｐａと基端部Ｐｂとを有する複数のプローブＰｒと、複数のプローブＰｒを、先端部Ｐａを検査対象物１００へ向けて保持する支持部材３１と、ベースプレート３２１とを備えている。ベースプレート３２１には、各プローブＰｒの基端部Ｐｂと接触して導通する図略の電極が設けられている。検査部４Ｕ，４Ｄは、ベースプレート３２１の各電極を介して各プローブＰｒの基端部Ｐｂを、検査処理部８と電気的に接続したり、その接続を切り替えたりする図略の接続回路を備えている。
【００５２】
プローブＰｒは、全体として略棒状の形状を有している。支持部材３１には、プローブＰｒを支持する複数の貫通孔が形成されている。各貫通孔は、検査対象となる検査対象物１００の配線パターン上に設定された検査点の位置と対応するように配置されている。これにより、プローブＰｒの先端部Ｐａが検査対象物１００の検査点に接触するようにされている。例えば、複数のプローブＰｒは、格子の交点位置に対応するように配設されている。当該格子の桟に相当する方向が、互いに直交するＸ軸方向及びＹ軸方向と一致するようにされている。検査点は、例えば配線パターン、半田バンプ、接続端子等とされている。
【００５３】
検査治具３Ｕ，３Ｄは、プローブＰｒの配置が異なる点と、検査部４Ｕ，４Ｄへの取り付け方向が上下逆になる点を除き、互いに同様に構成されている。以下、検査治具３Ｕ，３Ｄを総称して検査治具３と称する。検査治具３は、検査対象の検査対象物１００に応じて取り替え可能にされている。
【００５４】
図３、図４は、図１、図２に示すプローブＰｒの一例であるプローブＰｒ１，Ｐｒ２の側面図Ａと正面図Ｂを示している。以下、プローブＰｒ１，Ｐｒ２を総称してプローブＰｒと称する。図３、図４に示すプローブＰｒは、全体として略棒状の形状を有している。プローブＰｒは、略円柱状の先端部Ｐａと、先端部Ｐａとは反対側の略円柱状の基端部Ｐｂと、扁平な帯状（ribbon）形状を有し、先端部Ｐａと基端部Ｐｂとを繋ぐように延設された本体部Ｐｃとを備えている。
【００５５】
プローブＰｒは、導電性を有する金属材料等の、例えば略円柱形状の線材（ワイヤー）を、プレス加工等により扁平な帯状形状に加工した部分を本体部Ｐｃとし、その両側のプレスされていない部分を先端部Ｐａ及び基端部Ｐｂとして用いることができる。先端部Ｐａには、プローブＰｒの軸心Ｃ（長手方向）と傾斜して交差する先端面Ｐｆが形成されている。
【００５６】
本体部Ｐｃが扁平な帯状形状にされていることによって、本体部Ｐｃは、幅広面Ｆｗと直交する方向（厚さＴ方向）には撓みやすく、幅Ｗ方向には撓み難くされている。
【００５７】
先端部Ｐａ及び基端部Ｐｂの直径Ｄは、例えば２０μｍ〜１００μｍであり、例えば略５０μｍである。本体部Ｐｃの幅Ｗは、例えば５０μｍ〜１１０μｍであり、例えば略７０μｍである。本体部Ｐｃの厚さＴは、例えば１０μｍ〜９０μｍであり、例えば略３０μｍである。
【００５８】
図３に示すプローブＰｒ１は、先端面Ｐｆの幅方向Ｋが、本体部Ｐｃの帯状形状の幅Ｗ方向と略同一（平行）である。図４に示すプローブＰｒ２は、先端面Ｐｆの幅方向Ｋが、本体部Ｐｃの帯状形状の幅Ｗ方向と略直交している。
【００５９】
図５は、図３，図４に示すプローブＰｒの先端部Ｐａの先端部分の拡大図である。先端部Ｐａの先端面Ｐｆにおける側方の両縁部には、先端部Ｐａの周面Ｐｓと連なる先窄まりの面取り面Ｆａが形成されている。
【００６０】
例えば、略円柱状の先端部Ｐａの先端を、斜めに切断又は切削して傾斜面Ｆｃを形成し、その傾斜面Ｆｃの角を面取り加工して面取り面Ｆａを形成することによって、先端面Ｐｆを形成することができる。
【００６１】
なお、先端面Ｐｆには、必ずしも面取り面Ｆａが形成されていなくてもよい。しかしながら、例えば傾斜面Ｆｃをそのまま先端面Ｐｆとした場合、傾斜面Ｆｃの角部に薄く剛性の低い部分ができる。そのため、基板検査にプローブＰｒを用いた際に、剛性の低い部分が削れて検査点に当接する先端部Ｐａの頂部Ｐｐの形状が変形したり、削れた部分がパーティクルとなって検査対象物１００を汚損したりするおそれがある。従って、先端面Ｐｆには、面取り面Ｆａが形成されていることがより好ましい。
【００６２】
先端面Ｐｆ両側の面取り面Ｆａ同士が頂部Ｐｐでなす角度は、５０度〜７０度程度であり、例えば略６０度である。
【００６３】
図６は、図１に示す検査治具３、第一ピッチ変換ブロック５１、及び第二ピッチ変換ブロック５２の断面図である。なお、図２に示す検査装置１ａの場合は、図６に示す第一ピッチ変換ブロック５１及び第二ピッチ変換ブロック５２の代わりに、ベースプレート３２１が取り付けられる。
【００６４】
図６では、検査治具３と第一ピッチ変換ブロック５１とを分離した状態で示している。検査側支持体３２は、検査対象物１００と対向して配置される対向面Ｆ１を有している。電極側支持体３３は、第一ピッチ変換ブロック５１の下面と密着される背面Ｆ２を有している。背面Ｆ２からは、プローブＰｒの基端部Ｐｂの頂部Ｐｄｐが僅かに突出している。
【００６５】
第一ピッチ変換ブロック５１及び第二ピッチ変換ブロック５２は、それぞれ、例えば軸方向に扁平な略円筒形状を有している。背面Ｆ２に密着される第一ピッチ変換ブロック５１の下面には、各プローブＰｒの頂部Ｐｄｐの配置に対応して、複数の電極５１１が形成されている。第一ピッチ変換ブロック５１の上面には、複数の電極５１１よりも間隔を拡げて配置された複数の電極が形成されている。第一ピッチ変換ブロック５１の、下面の電極５１１と上面の電極とは、配線５１２で接続されている。
【００６６】
第二ピッチ変換ブロック５２の下面には、第一ピッチ変換ブロック５１上面の電極配置に対応して、複数の電極が形成されている。第二ピッチ変換ブロック５２の上面には、上述の接続プレート５３の電極配置に対応して形成された複数の電極３６２が形成されている。第二ピッチ変換ブロック５２の下面の電極と上面の電極３６２とは、配線３６１で接続されている。
【００６７】
これにより、検査治具３、第一ピッチ変換ブロック５１、及び第二ピッチ変換ブロック５２を組み立てて、第二ピッチ変換ブロック５２を接続プレート５３に取り付けることによって、検査処理部８が、各プローブＰｒに対して信号を入出力することが可能になる。
【００６８】
第一ピッチ変換ブロック５１及び第二ピッチ変換ブロック５２は、例えば、ＭＬＯ（Multi-Layer Organic）又はＭＬＣ（Multi-Layer Ceramic）等の多層配線基板を用いて構成することができる。
【００６９】
図７は、図１、図２に示す検査治具３（３Ｕ）における支持部材３１の構成の一例を示す断面図である。図７は、図１、図２に示す支持部材３１を、Ｘ−Ｚ平面で切断した断面を示している。図７では、検査対象物１００の検査点１０１にプローブＰｒの頂部Ｐｐを接触させた状態を示している。検査治具３Ｕにおける支持部材３１については図示を省略している。図７に示すプローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂは上述のプローブＰｒ１であり、プローブＰｒ２ａ，Ｐｒ２ｂは上述のプローブＰｒ２である。
【００７０】
支持部材３１は、検査対象物１００と対向して配置される検査側支持体３２と、この検査側支持体３２の検査対象物１００側とは反対側に対向配置される電極側支持体３３と、これらの検査側支持体３２および電極側支持体３３を所定距離隔てて互いに平行に保持する連結部材３４とを備えている。
【００７１】
検査側支持体３２は、対向プレート３２２と案内プレート３２３とが積層されることにより構成されている。対向プレート３２２は、検査対象物１００と対向して配置される対向面Ｆ１を有している。対向プレート３２２は、案内プレート３２３に対してボルト等の脱着可能な固定手段によって一体に固定されている。
【００７２】
検査側支持体３２には、プローブＰｒの先端部Ｐａが挿通される複数のプローブ挿通孔３２４が形成されている。各プローブ挿通孔３２４は、検査対象物１００に設けられた複数の検査点１０１に対してそれぞれプローブＰｒの頂部Ｐｐを案内する。
【００７３】
電極側支持体３３は、支持プレート３３１と、スペーサプレート３３２とがこの順に、対向面Ｆ１とは反対側から積層されて構成されている。支持プレート３３１における、対向面Ｆ１とは反対側の面は、背面Ｆ２とされている。電極側支持体３３には、複数のプローブ挿通孔３２４と対応する複数のプローブ支持孔３３３が形成されている。プローブ支持孔３３３には、プローブＰｒの基端部Ｐｂが挿入されている。基端部Ｐｂの先端が、背面Ｆ２からわずかに突出するようにされている。これにより、各プローブＰｒの基端部Ｐｂが、上述の電極に当接されて、検査処理部８と導通接続可能にされている。
【００７４】
複数のプローブＰｒは二本ずつ対にされている。一対のプローブＰｒのうち、一方が四端子測定法における電流供給用プローブとして用いられ、他方が電圧測定用プローブとして用いられる。図７においては、破線で囲んだ二本のプローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂが一対にされており、二本のプローブＰｒ２ａ，Ｐｒ２ｂが一対にされている。
【００７５】
一対のプローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂはＸ軸方向に隣接している。一対のプローブＰｒ２ａ，Ｐｒ２ｂは、図７において紙面奥行き方向（Ｙ軸方向）に隣接しており、プローブＰｒ２ｂは、プローブＰｒ２ａの後ろに隠れている。
【００７６】
一対のプローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂは、支持部材３１によって、互いに微少間隔を空けて、先端面Ｐｆの頂部Ｐｐ同士が最も近づくように相隣接する向きに保持されている。一対のプローブＰｒ２ａ，Ｐｒ２ｂは、支持部材３１によって、互いに微少間隔を空けて、先端面Ｐｆの頂部Ｐｐ同士が最も近づくように相隣接する向きに保持されている。
【００７７】
互いに対応するプローブ挿通孔３２４とプローブ支持孔３３３とは、対向面Ｆ１と平行な方向（Ｚ軸と直交する方向）に、所定距離ずれた位置に配置されている。これにより、互いに対応するプローブ挿通孔３２４に基端部Ｐｂが挿入され、プローブ支持孔３３３に先端部Ｐａが挿入されたプローブＰｒは、そのずれによって、湾曲する。
【００７８】
プローブＰｒは、湾曲されることによってバネ性を生じる。その結果、検査点１０１に対してプローブＰｒの頂部Ｐｐを弾性的に接触させることができ、接触安定性を向上させることができる。
【００７９】
プローブＰｒの本体部Ｐｃは、扁平な帯状形状にされているため、上述のように、幅広面Ｆｗと直交する方向（厚さＴ方向）には撓みやすく、幅Ｗ方向には撓み難くい。そのため、プローブ挿通孔３２４とプローブ支持孔３３３とのずれによってプローブＰｒを湾曲させると、各プローブＰｒは、プローブ挿通孔３２４とプローブ支持孔３３３とのずれ方向に対して幅広面Ｆｗが垂直になるように、略自動的に向きが揃えられる。
【００８０】
従って、図７に示すように、一対のプローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂを、ずれ方向（Ｘ軸方向）に隣接させて、先端面Ｐｆの頂部Ｐｐ同士が最も近づくように相隣接する向きに向きを揃えて支持部材３１に挿通して撓ませると、以後、その向きのままプローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂが回転することがないので、先端面Ｐｆの頂部Ｐｐ同士が最も近づくように相隣接する向きに、容易に保持したまま維持することができる。
【００８１】
同様に、一対のプローブＰｒ２ａ，Ｐｒ２ｂを、ずれ方向と直交する方向（Ｙ軸方向）に隣接させて、先端面Ｐｆの頂部Ｐｐ同士が最も近づくように相隣接する向きに向きを揃えて支持部材３１に挿通して撓ませると、以後、その向きのままプローブＰｒ２ａ，Ｐｒ２ｂが回転することがないので、先端面Ｐｆの頂部Ｐｐ同士が最も近づくように相隣接する向きに、容易に保持したまま維持することができる。
【００８２】
一対のプローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂ、及び一対のプローブＰｒ２ａ，Ｐｒ２ｂを、先端面Ｐｆの頂部Ｐｐ同士が最も近づくように相隣接する向きに保持すると、図７に示すように、一対のプローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂの頂部Ｐｐ同士の間隔は、プローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂの軸心間の距離より短くなる。同様に、一対のプローブＰｒ２ａ，Ｐｒ２ｂの頂部Ｐｐ同士の間隔は、プローブＰｒ２ａ，Ｐｒ２ｂの軸心間の距離より短くなる。その結果、微細な検査点１０１に二つのプローブＰｒを接触させることが容易となる。
【００８３】
なお、支持部材３１は、一対のプローブＰｒを、先端面Ｐｆの頂部Ｐｐ同士が最も近づくように相隣接する向きに保持すればよく、プローブＰｒは、必ずしもプローブＰｒ１のように、先端面Ｐｆの幅方向Ｋが、本体部Ｐｃの帯状形状の幅Ｗ方向と略同一（平行）でなくてもよく、プローブＰｒ２のように、先端面Ｐｆの幅方向Ｋが、本体部Ｐｃの帯状形状の幅Ｗ方向と略直交していなくてもよい。
【００８４】
しかしながら、プローブＰｒを、プローブＰｒ１，Ｐｒ２とすることによって、支持部材３１は、一対のプローブＰｒを、ずれ方向（撓み方向）と、平行（Ｘ軸方向）又は垂直（Ｙ軸方向）に配置すればよいので、支持部材３１によって、先端面Ｐｆの頂部Ｐｐ同士が最も近づくように相隣接する向きに保持することが容易である。
【００８５】
また、必ずしも図３、図４に示すプローブＰｒ１，Ｐｒ２を、プローブ挿通孔３２４とプローブ支持孔３３３との位置のずれによって湾曲させる例に限らない。プローブＰｒ１，Ｐｒ２は、予め湾曲加工された後に、図７に示すプローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂ，Ｐｒ２ａ，Ｐｒ２ｂのように、支持部材３１に取り付けられてもよい。
【００８６】
図８、図９は、予め湾曲加工されたプローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂ，Ｐｒ２ａ，Ｐｒ２ｂを示す側面図Ａと正面図Ｂである。図７に示すように、一対のプローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂは、同じ方向に湾曲させた状態で、先端面Ｐｆの向く方向が互いに逆方向になる。同様に、一対のプローブＰｒ２ａ，Ｐｒ２ｂも、同じ方向に湾曲させた状態で、先端面Ｐｆの向く方向が逆方向になる。
【００８７】
従って、プローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂを、図８に示すように、先端面Ｐｆの向く方向が互いに逆方向になるように本体部Ｐｃを湾曲加工する。同様に、プローブＰｒ２ａ，Ｐｒ２ｂを、図９に示すように、先端面Ｐｆの向く方向が互いに逆方向になるように本体部Ｐｃを湾曲加工する。
【００８８】
本体部Ｐｃの湾曲加工は、例えば、本体部Ｐｃを扁平な帯状形状にプレス加工する際に、本体部Ｐｃが湾曲した金型を用いることによって、同時に湾曲させることができる。
【００８９】
プローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂ，Ｐｒ２ａ，Ｐｒ２ｂを、予め本体部Ｐｃが湾曲した形状に加工しておくことによって、支持部材３１の組み立て作業時に、プローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂ，Ｐｒ２ａ，Ｐｒ２ｂの先端面Ｐｆを、頂部Ｐｐ同士が最も近接して相隣接する正しい向きに組み付けることが容易になる。
【００９０】
また、検査対象物１００を検査するためにプローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂ，Ｐｒ２ａ，Ｐｒ２ｂの頂部Ｐｐを、検査点１０１に圧接した際に、頂部Ｐｐに圧力が加わると、プローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂ，Ｐｒ２ａ，Ｐｒ２ｂを回転させる力が作用する場合がある。このような場合であっても、予め本体部Ｐｃが湾曲した形状とされていることによって、プローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂ，Ｐｒ２ａ，Ｐｒ２ｂが回転し難くなる。
【００９１】
その結果、頂部Ｐｐの検査点１０１への接触時に頂部Ｐｐが動いて接触が不安定になったり、先端面Ｐｆの向きが変わってしまったりすることが防止され、先端面Ｐｆを正しい向きに保持しつつ、頂部Ｐｐを検査点１０１へ接触させる安定性が向上する。
【００９２】
検査処理部８は、例えば電源回路、電圧計、電流計、及びマイクロコンピュータ等を備えている。検査処理部８は、図略の駆動機構を制御して検査部４Ｕ，４Ｄを移動、位置決めさせ、検査対象物１００の各検査点１０１に、一対のプローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂ、又は一対のプローブＰｒ２ａ，Ｐｒ２ｂを接触させる。これにより、各検査点１０１に、四端子測定法のための電流供給用プローブと電圧測定用プローブとを接触させ、各プローブＰｒを介して各検査点１０１と、検査処理部８とが電気的に接続される。
【００９３】
この状態で、検査処理部８は、電流供給用プローブを介して測定対象の二つの検査点１０１間に電流を供給し、電圧測定用プローブを介してその二つの検査点１０１間の電圧を測定する。その供給電流と測定電圧に基づいて、オームの法則により、当該二つの検査点１０１間の抵抗値を算出する。検査処理部８は、このようにして各検査点１０１間の抵抗値を検出することによって、検査対象物１００の検査を実行する。
【００９４】
図１０は、図７に示す支持部材３１及びプローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂの別の一例を示す断面図であり、図８に示すプローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂの別の一例を示している。図１０に示すように、プローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂは、基端部Ｐｂに近づくほど互いの距離が増大する方向に湾曲していてもよい。プローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂを、図１０に示すような形状としても、図７、図８に示すプローブＰｒ１ａ，Ｐｒ１ｂと同様の効果を得ることができる。
（第二実施形態）
【００９５】
次に、本発明の第二実施形態に係る検査装置１ｂについて説明する。検査装置１ｂは、例えば、半導体検査装置又は基板検査装置であり、検査装置１，１ａと同様図１、図２で示される。検査装置１ｂは、検査装置１ａとは、支持部材３１ａの構成と、プローブＰｒの形状とが異なる。検査装置１ｂは、その他の点では検査装置１，１ａと同様に構成されているのでその説明を省略し、以下、以下本実施の形態の特徴的な点について説明する。
【００９６】
図１１は、図１、図２に示すプローブＰｒの一例であるプローブＰｒ３の側面図Ａと正面図Ｂとを示している。図１１に示すプローブＰｒ３は、全体として略棒状の形状を有している。プローブＰｒは、略円柱状の先端部Ｐａと、先端部Ｐａとは反対側の基端部Ｐｄと、先端部Ｐａと基端部Ｐｄとを繋ぐように延設された本体部Ｐｅとを備えている。本体部Ｐｅは、例えば略円柱状の棒状形状を有している。
【００９７】
基端部Ｐｄは、軸心と直交する幅方向の寸法（幅Ｗｄ）が、幅方向及び軸心と直交する厚み方向の厚さＴｄよりも大きい扁平な形状を有している。幅Ｗｄは、例えば１１０μｍ程度とすることができ、厚さＴｄは、例えば３５μｍ程度とすることができる。先端面Ｐｆの幅方向Ｋと、基端部Ｐｄの幅Ｗｄの方向とは、略同一方向とされている。基端部Ｐｄの頂部Ｐｄｐは例えば曲面形状とされている。なお、頂部Ｐｄｐとしては、種々の形状が採用可能であり、その形状は特定の形状に限定されない。
【００９８】
図１２は、図７に示す支持部材及びプローブの構成の別の一例を示す断面図である。図１２は、図１、図２に示す支持部材３１ａを、Ｘ−Ｚ平面で切断した断面の一部を示している。
【００９９】
図１２に示す支持部材３１ａは、電極側支持体３３ａの構成が支持部材３１における電極側支持体３３とは異なる。支持部材３１ａは、その他の点では電極側支持体３３と同様に構成されているのでその説明を省略し、以下、以下電極側支持体３３ａの特徴的な点について説明する。
【０１００】
電極側支持体３３ａは、規制プレート３３５と、支持プレート３３１と、スペーサプレート３３２とがこの順に、対向面Ｆ１とは反対側から積層されて構成されている。規制プレート３３５における、対向面Ｆ１とは反対側の面が、背面Ｆ２とされている。
【０１０１】
規制プレート３３５には、複数のプローブ挿通孔３２４と対応する複数の貫通孔３３６が形成されている。支持プレート３３１には、複数のプローブ挿通孔３２４と対応する複数のプローブ支持孔３３３ａが形成されている。スペーサプレート３３２には、複数のプローブ挿通孔３２４と対応する複数のプローブ支持孔３３３ｂが形成されている。プローブ支持孔３３３ａとプローブ支持孔３３３ｂとが連通されて、プローブ支持孔３３３となる。
【０１０２】
貫通孔３３６、プローブ支持孔３３３ａ、及びプローブ支持孔３３３ｂが相互に連通されるように配置されることによって、これらが連通された連通孔３３７にプローブＰｒ３を挿入可能にされている。貫通孔３３６、プローブ支持孔３３３ａ、及びプローブ支持孔３３３ｂの中心が、少しずつずれた状態で配置されている。これにより、連通孔３３７の全体が対向面Ｆ１の直交方向に対して傾斜するように形成されている。その結果、連通孔３３７に挿通されたプローブＰｒ３の基端部Ｐｄ付近が、対向面Ｆ１の直交方向に対して傾斜する。
【０１０３】
プローブＰｒ３は、連通孔３３７とプローブ挿通孔３２４とに挿通され、支持部材３１ａによって、撓みやすいように傾斜した状態で支持される。そして、互いに隣接する一対のプローブＰｒ３が、支持部材３１ａによって、互いに微少間隔を空けて、先端面Ｐｆの頂部Ｐｐ同士が最も近づくように相隣接する向きに保持されている。
【０１０４】
なお、必ずしもプローブＰｒ３を傾斜させる必要はなく、貫通孔３３６、プローブ支持孔３３３ａ、及びプローブ支持孔３３３ｂの中心位置が一致していてもよい。また、連通孔３３７とプローブ挿通孔３２４の中心位置も一致していてもよい。
【０１０５】
貫通孔３３６は、背面Ｆ２側から順に、スペーサ孔３６、規制孔３５、及び大径孔３７が、同心で連通されて構成されている。
【０１０６】
図１３は、図１２におけるXIII−XIII線断面図である。図１３に示す規制孔３５は、孔本体部３５１と、孔本体部３５１の内壁面が、孔本体部３５１よりも小径の半円筒状に凹没した拡張孔部３５２と、孔本体部３５１の内壁面における、拡張孔部３５２とは反対側に、孔本体部３５１よりも小径の半円筒状に凹没した拡張孔部３５３とを含んでいる。
【０１０７】
図１２においては、規制孔３５の拡張孔部３５２に基端部Ｐｄが入り込んだ状態の断面を示している。
【０１０８】
拡張孔部３５２と拡張孔部３５３とが対向する対向方向が第一方向の一例に相当し、その対向方向及び規制孔３５の深さ方向と直交する方向が第二方向の一例に相当している。規制孔３５における第一方向の長さＬ１は、基端部Ｐｄの幅Ｗｄよりも大きい。規制孔３５における第二方向の長さＬ２は、幅Ｗｄよりも小さく、かつ本体部Ｐｅの直径Ｄすなわち最大幅よりも大きい。拡張孔部３５２，３５３の幅Ｌ３は、基端部Ｐｄの厚さＴｄよりも大きい。
【０１０９】
長さＬ１が幅Ｗｄよりも大きく、幅Ｌ３が厚さＴｄよりも大きいので、基端部Ｐｄの幅方向両端部を、拡張孔部３５２，３５３によって受け入れ可能にされている。また、規制孔３５の長さＬ２は、幅Ｗｄよりも小さくされているので、基端部Ｐｄの幅方向両端部が拡張孔部３５２，３５３内に受け入れられた状態で、プローブＰｒ３が回転しようとすると、基端部Ｐｄと拡張孔部３５２，３５３の内壁とが干渉する。
【０１１０】
その結果、連通孔３３７とプローブ挿通孔３２４とに支持されたプローブＰｒ３の回転が阻止されるので、支持部材３１ａは、一対のプローブＰｒ３を、先端面Ｐｆの頂部Ｐｐ同士が最も近づくように相隣接する向きに配置することが容易である。頂部Ｐｐ同士が最も近づくように一対のプローブＰｒ３を配置することができれば、微細な検査点に二つのプローブを接触させることが容易となる。
【０１１１】
また、長さＬ２が直径Ｄよりも大きければ、プローブＰｒ３の先端部Ｐａを、背面Ｆ２側から規制孔３５に差し込んで本体部Ｐｅを挿通させ、さらにプローブＰｒ３を差し込んで基端部Ｐｄを規制孔３５内に位置させることができるので、検査治具の組立が容易である。
【０１１２】
なお、長さＬ２は、本体部Ｐｅの直径Ｄよりも小さくてもよい。この場合、プローブＰｒ３の基端部Ｐｄを、背面Ｆ２とは反対側から規制孔３５に差し込むようにすればよい。
【０１１３】
なお、必ずしも先端面Ｐｆの幅方向Ｋと、基端部Ｐｄの幅Ｗｄの方向とは略同一である必要はない。しかしながら、もし仮に、先端面Ｐｆの幅方向Ｋと、基端部Ｐｄの幅Ｗｄの方向とが略同一方向ではなかった場合、本体部Ｐｅの直径Ｄよりも大きな幅Ｗｄが、一対のプローブＰｒ３の隣接方向に向くため、基端部Ｐｄ同士の干渉を避けるために隣接間隔を大きくする必要が生じる。そのため、隣接間隔の小さな一対の検査点に対して一対のプローブＰｒ３を接触させることが困難になる。
【０１１４】
従って、先端面Ｐｆの幅方向Ｋと、基端部Ｐｄの幅Ｗｄの方向とを略同一方向にすることは、一対のプローブＰｒ３の隣接間隔（図１３における左右方向の隣接間隔）を短くすることが容易になる点で、より好ましい。
【０１１５】
また、スペーサ孔３６を備えることによって、規制孔３５の位置が、スペーサ孔３６の深さ分、背面Ｆ２から所定距離離れた位置、すなわち頂部Ｐｄｐからより離れた基端部Ｐｄの位置に位置することになる。その結果、頂部Ｐｄｐ付近ぎりぎりの位置で、プローブＰｒ３の回転を規制する場合と比べて、基端部Ｐｄが規制孔３５から離脱してプローブＰｒ３が回転するおそれが低減される。スペーサ孔３６の深さ、すなわち所定距離は、例えば０．２ｍｍ程度とすることができる。
【０１１６】
なお、規制プレート３３５はスペーサ孔３６を備えていなくてもよく、規制孔３５が規制プレート３３５を貫通していてもよい。また、プローブ支持孔３３３ａ，３３３ｂは、孔径一定で各プレートを貫通する孔であってもよい。また、電極側支持体３３ａは、支持プレート３３１、スペーサプレート３３２を備えず、規制プレート３３５のみで電極側支持体３３ａが構成されていてもよい。
【０１１７】
プローブ支持孔３３３ａは、規制プレート３３５側から順に、小径部３８と、小径部３８よりも大径の大径部３９とが同心に連通されて構成されている。プローブ支持孔３３３ｂは、支持プレート３３１側から順に、大径部４０と、大径部４０よりも小径の小径部４１とが同心に連通されて構成されている。
【０１１８】
なお、プローブＰｒ３における本体部Ｐｅを、扁平な帯状形状を有する本体部Ｐｃと入れ替えた構成としてもよい。本体部Ｐｅを本体部Ｐｃと入れ替えたプローブＰｒ３は、上述のプローブＰｒ２，Ｐｒ３の場合と同様の効果を加重的に得られる。
【０１１９】
図１３に示す規制孔３５は、例えば樹脂材料等により構成された規制プレート３３５に対して、ドリル加工によって形成することができる。具体的には、規制プレート３３５にドリル加工によって拡張孔部３５２，３５３に対応する貫通孔を二つ形成し、この二つの貫通孔よりも大径の孔本体部３５１を、その二つの貫通孔と重なるように形成することによって規制孔３５を形成することができる。また、加工手段は機械ドリルに限られず、例えばレーザ加工であってもよい。また、規制プレート３３５は、例えばフィルム部材によって構成されていてもよく、例えばレーザ加工によって、フィルム部材に規制孔３５を形成してもよい。
【符号の説明】
【０１２０】
１，１ａ，１ｂ    検査装置
３，３Ｕ，３Ｄ    検査治具
４，４Ｕ，４Ｄ    検査部
６    試料台
６ａ  載置部
６ｂ  基板固定装置
８    検査処理部
３１，３１ａ      支持部材
３２  検査側支持体
３３，３３ａ      電極側支持体
３４  連結部材
３５  規制孔
３６  スペーサ孔
３７  大径孔
３８  小径部
３９  大径部
４０  大径部
４１  小径部
１００      検査対象物
１０１      検査点
３２１      ベースプレート
３２２      対向プレート
３２３      案内プレート
３２４      プローブ挿通孔
３３１      支持プレート
３３２      スペーサプレート
３３３，３３３ａ，３３３ｂ    プローブ支持孔
３３５      規制プレート
３３６      貫通孔
３３７      連通孔
３５１      孔本体部
３５２      拡張孔部
３５２，３５３    拡張孔部
３６１，５１２    配線
３６２，５１１    電極
Ａ    側面図
Ｂ    正面図
Ｃ    軸心
Ｄ    直径
Ｆ１  対向面
Ｆ２  背面
Ｆａ  面取り面
Ｆｃ  傾斜面
Ｆｗ  幅広面
Ｋ    幅方向
Ｌ１，Ｌ２  長さ
Ｌ３  幅
Ｐａ  先端部
Ｐｂ，Ｐｄ  基端部
Ｐｃ，Ｐｅ  本体部
Ｐｆ  先端面
Ｐｐ，Ｐｄｐ      頂部
Ｐｒ，Ｐｒ１，Ｐｒ２，Ｐｒ１ａ，Ｐｒ１ｂ，Ｐｒ２ａ，Ｐｒ２ｂ，Ｐｒ３    プローブ
Ｐｓ  周面
Ｗ，Ｗｄ    幅
【図１】
2020012685.tif 000003
【図２】
2020012685.tif 000004
【図３】
2020012685.tif 000005
【図４】
2020012685.tif 000006
【図５】
2020012685.tif 000007
【図６】
2020012685.tif 000008
【図７】
2020012685.tif 000009
【図８】
2020012685.tif 000010
【図９】
2020012685.tif 000011
【図１０】
2020012685.tif 000012
【図１１】
2020012685.tif 000013
【図１２】
2020012685.tif 000014
【図１３】
2020012685.tif 000015