(57)【要約】【課題】原料タンクを加熱する加熱部の異常を検出できる技術を提供する。【解決手段】本開示の一態様による原料タンクの監視装置は、固体又は液体の原料を貯留する原料タンクを加熱手段により設定温度に昇温する際の前記原料タンクの温度を監視する監視装置であって、前記温度が前記設定温度を含む安定範囲内に到達したかを判定すると共に、前記温度が前記安定範囲内から逸脱したかを判定する温度判定部と、前記温度判定部が、前記温度が前記安定範囲内から逸脱したと判定した時点から予め定めたタイムアウト時間が経過した場合に前記加熱手段の前記設定温度を０℃に設定する設定部と、を有する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体又は液体の原料を貯留する原料タンクを加熱手段により設定温度に昇温する際の前記原料タンクの温度を監視する監視装置であって、
前記温度が前記設定温度を含む安定範囲内に到達したかを判定すると共に、前記温度が前記安定範囲内から逸脱したかを判定する温度判定部と、
前記温度判定部が、前記温度が前記安定範囲内から逸脱したと判定した時点から予め定めたタイムアウト時間が経過した場合に前記加熱手段の前記設定温度を０℃に設定する設定部と、
を有する、
原料タンクの監視装置。
【請求項２】
前記温度判定部が、前記温度が前記安定範囲内から逸脱したと判定した時点から予め設定されたタイムアウト時間が経過した場合に警告画面を表示させる信号を出力する出力部を有する、
請求項１に記載の原料タンクの監視装置。
【請求項３】
固体又は液体の原料を貯留する原料タンクを加熱手段により設定温度に昇温する際の前記原料タンクの温度を監視する監視装置であって、
所定時間における前記原料タンクの温度変化量と、前記所定時間における前記加熱手段の出力との関係に基づいて、前記加熱手段の異常を判定するパワー判定部と、
前記パワー判定部により前記加熱手段が異常であると判定された場合に前記加熱手段の前記設定温度を０℃に設定する設定部と、
を有する、
原料タンクの監視装置。
【請求項４】
前記パワー判定部は、前記所定時間における前記加熱手段の出力が０％であり、且つ前記所定時間における前記原料タンクの温度変化量が第１の閾値以上である場合、前記加熱手段が異常であると判定する、
請求項３に記載の原料タンクの監視装置。
【請求項５】
前記パワー判定部は、前記所定時間における前記加熱手段の出力が所定値以上であり、且つ前記所定時間における前記原料タンクの温度変化量が第２の閾値未満である場合、前記加熱手段が異常であると判定する、
請求項３又は４に記載の原料タンクの監視装置。
【請求項６】
前記パワー判定部により前記加熱手段が異常であると判定された場合に警告画面を表示させる信号を出力する出力部を有する、
請求項３乃至５のいずれか一項に記載の原料タンクの監視装置。
【請求項７】
前記警告画面は、操作を受け付ける操作領域を有し、前記操作領域が操作されていない状態において前記加熱手段の動作に関する設定の変更が無効化される、
請求項２又は６に記載の原料タンクの監視装置。
【請求項８】
前記操作領域が操作されることなく前記加熱手段の動作に関する設定を変更する操作が行われた場合、前記出力部は、前記設定の変更が無効化されている旨の警告画面を表示させる信号を出力する、
請求項７に記載の原料タンクの監視装置。
【請求項９】
前記加熱手段は、独立して制御できる複数のヒータを含み、
前記設定部は、前記加熱手段の全ての前記ヒータに対して前記設定温度を０℃に設定する、
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の原料タンクの監視装置。
【請求項１０】
固体又は液体の原料を貯留する原料タンクを加熱手段により設定温度に昇温する際の前記原料タンクの温度を監視する監視方法であって、
前記温度が前記設定温度を含む安定範囲内に到達したかを判定するステップと、
前記温度が前記安定範囲内から逸脱したかを判定するステップと、
前記温度が前記安定範囲内から逸脱したと判定した時点から予め定めたタイムアウト時間が経過した場合に前記加熱手段の前記設定温度を０℃に設定するステップと、
を有する、
原料タンクの監視方法。
【請求項１１】
固体又は液体の原料を貯留する原料タンクを加熱手段により設定温度に昇温する際の前記原料タンクの温度を監視する監視方法であって、
所定時間における前記原料タンクの温度変化量と、前記所定時間における前記加熱手段の出力との関係に基づいて、前記加熱手段の異常を判定するステップと、
前記加熱手段が異常であると判定された場合、前記加熱手段の前記設定温度を０℃に設定するステップと、
を有する、
原料タンクの監視方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、原料タンクの監視装置及び原料タンクの監視方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
固体の原料を貯留する原料タンク内を加熱して固体の原料を昇華させて原料ガスを形成し、この原料ガスを原料タンクから延びる配管を介して成膜装置の処理容器内へ導入する原料ガス供給システムが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２３５４９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、原料タンクを加熱する加熱部の異常を検出できる技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様による原料タンクの監視装置は、固体又は液体の原料を貯留する原料タンクを加熱手段により設定温度に昇温する際の前記原料タンクの温度を監視する監視装置であって、前記温度が前記設定温度を含む安定範囲内に到達したかを判定すると共に、前記温度が前記安定範囲内から逸脱したかを判定する温度判定部と、前記温度判定部が、前記温度が前記安定範囲内から逸脱したと判定した時点から予め定めたタイムアウト時間が経過した場合に前記加熱手段の前記設定温度を０℃に設定する設定部と、を有する。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、原料タンクを加熱する加熱部の異常を検出できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】原料タンクを備える成膜装置の構成例を示す概略図
【図２】装置制御部のハードウェア構成の一例を示す図
【図３】装置制御部の機能構成の一例を示す図
【図４】温度逸脱監視処理の一例を示すフローチャート
【図５】温度逸脱監視処理を説明するための図
【図６】パワー監視処理の一例を示すフローチャート
【図７】パワー監視処理を説明するための図（１）
【図８】パワー監視処理を説明するための図（２）
【図９】異常を検知したときに表示される警告画面の一例を示す図
【図１０】異常を検知したときに表示される警告画面の別の例を示す図
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、添付の図面を参照しながら、本開示の限定的でない例示の実施形態について説明する。添付の全図面中、同一又は対応する部材又は部品については、同一又は対応する参照符号を付し、重複する説明を省略する。
【０００９】
〔成膜装置〕
原料タンクを備える成膜装置の一例について説明する。図１は、原料タンクを備える成膜装置の構成例を示す概略図である。
【００１０】
図１に示されるように、成膜装置２は、成膜処理部４と、原料ガス供給部６と、装置制御部１００と、を有する。成膜処理部４は、被処理体としての半導体ウエハ（以下「ウエハＷ」という。）に対して成膜処理を施す。原料ガス供給部６は、成膜処理部４に対して原料ガスを供給する。
【００１１】
成膜処理部４は、例えばアルミニウム合金等より形成される筒体状の処理容器８を有する。処理容器８内には、ウエハＷを保持する保持手段１０が設けられる。保持手段１０は、処理容器８の底部に設けられた支柱１２と、支柱１２の上端に設けられた円板状の載置台１４とを有する。載置台１４上には、ウエハＷが載置される。載置台１４内には、ウエハＷを加熱する加熱手段１６が設けられている。
【００１２】
処理容器８の底部には、排気口１８が設けられている。排気口１８には、圧力調整弁２０、高真空用ポンプ２２及び粗引き用の真空ポンプ２４が順次介設された排気通路２６を有する真空排気系２８が接続されている。真空排気系２８は、処理容器８内を真空引きして所定の減圧雰囲気に維持する。高真空用ポンプ２２としては、例えばターボ分子ポンプを利用できる。粗引き用の真空ポンプ２４としては、例えばドライポンプを利用できる。
【００１３】
処理容器８の側壁には、ウエハＷを搬出入する開口３０が形成されている。開口３０には、ゲートバルブ３２が設けられている。ゲートバルブ３２は、開口３０を気密に開閉する。
【００１４】
処理容器８の天井部には、例えばシャワーヘッド３４により形成されたガス導入手段３６が設けられている。ガス導入手段３６は、シャワーヘッド３４の下面に設けたガス噴出孔３８より処理容器８内へ必要なガスを供給する。シャワーヘッド３４のガス入口３４Ａには、原料ガス供給部６から原料ガスが供給される。なお、ガス導入手段３６としては、シャワーヘッド３４に代えて、ノズル等を用いてもよい。
【００１５】
原料ガス供給部６は、原料ガスを形成する原料４２を貯留する原料タンク４０を有する。原料は、蒸気圧が比較的低くて蒸発し難い低蒸気圧原料よりなる。原料としては、例えば固体又は液体の原料が挙げられる。原料タンク４０には、原料４２を加熱するタンク加熱手段４４が設けられている。タンク加熱手段４４により原料４２が加熱されると、原料４２が気化されて原料ガスが生成される。
【００１６】
タンク加熱手段４４としては、例えば独立して制御できる複数のヒータを利用できる。以下では、複数のヒータの各々を区別する場合、各ヒータにチャンネル番号、例えばチャンネル１（ＣＨ１）、チャンネル２（ＣＨ２）、・・・、チャンネルｎ（ＣＨｎ）を割り当てて説明する場合がある。また、複数のヒータの各々に対応して複数の温度センサが設けられている。複数の温度センサの各々を区別する場合、各温度センサに対応するヒータと同じチャンネル番号、例えばチャンネル１（ＣＨ１）、チャンネル２（ＣＨ２）、・・・、チャンネルｎ（ＣＨｎ）を割り当てて説明する場合がある。
【００１７】
原料タンク４０の天井部には、原料出口４６が形成されている。原料出口４６には、原料通路４８の一端が接続されている。原料通路４８の他端は、成膜処理部４のシャワーヘッド３４のガス入口３４Ａに接続されている。原料通路４８は、原料タンク４０内の原料４２が気化することにより形成された原料ガスをガス入口３４Ａに供給する。
【００１８】
原料通路４８には、原料タンク４０の側から開閉弁Ｖ１及び開閉弁Ｖ２がこの順序で介設されている。開閉弁Ｖ１と開閉弁Ｖ２との間の原料通路４８からは、原料通路４８内の雰囲気を排気するための粗引きライン５４が分岐されている。粗引きライン５４の下流側は、真空排気系２８の排気通路２６における高真空用ポンプ２２と粗引き用の真空ポンプ２４との間に接続されている。粗引きライン５４には、開閉弁Ｖ３が介設されている。
【００１９】
また、原料通路４８には、加熱ヒータ部５８が設けられている。加熱ヒータ部５８は、原料通路４８を加熱することにより、原料通路４８を流れる原料ガスの再液化や再固化を防止する。加熱ヒータ部５８は、例えば原料タンク４０からシャワーヘッド３４までの全域に亘って設けられている。また、加熱ヒータ部５８は、原料通路４８の途中に介設される開閉弁Ｖ１〜Ｖ３にも設けられている。加熱ヒータ部５８としては、原料通路４８に設ける場合には例えばテープヒータ、マントルヒータ、シリコンラバーヒータ等を利用でき、開閉弁Ｖ１〜Ｖ３に設ける場合には例えば上記の各ヒータに加えて埋め込み式のカートリッジヒータ等を利用できる。
【００２０】
また、粗引きライン５４には、粗引きライン用ヒータ部６０が設けられている。粗引きライン用ヒータ部６０は、粗引きライン５４を加熱することにより、粗引きライン５４を流れる原料ガスの再液化や再固化を防止する。
【００２１】
装置制御部１００は、成膜処理部４、原料ガス供給部６を含む成膜装置２の全体の動作を制御する。装置制御部１００は、例えば開閉弁Ｖ１〜Ｖ３の開閉動作によるガスの供給の開始、停止、各加熱手段、ヒータ部の設定温度の指示、プロセス圧力、プロセス温度等を制御する。また、装置制御部１００は、原料タンク４０の温度を監視する監視装置として動作する。装置制御部１００は、例えばコンピュータである。
【００２２】
〔装置制御部のハードウェア構成〕
次に、装置制御部１００のハードウェア構成について説明する。図２は、装置制御部１００のハードウェア構成の一例を示す図である。
【００２３】
図２に示されるように、装置制御部１００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）２０１、ＲＯＭ（Read Only Memory）２０２、ＲＡＭ（Random Access Memory）２０３を有する。ＣＰＵ２０１、ＲＯＭ２０２、ＲＡＭ２０３は、いわゆるコンピュータを形成する。また、装置制御部１００は、補助記憶装置２０４、操作装置２０５、表示装置２０６、Ｉ／Ｆ（Interface）装置２０７、ドライブ装置２０８を有する。なお、装置制御部１００の各ハードウェアは、バス２０９を介して相互に接続される。
【００２４】
ＣＰＵ２０１は、補助記憶装置２０４にインストールされた各種プログラム（例えば、データ解析プログラム等）を実行する。
【００２５】
ＲＯＭ２０２は、不揮発性メモリであり、主記憶装置として機能する。ＲＯＭ２０２は、補助記憶装置２０４にインストールされた各種プログラムをＣＰＵ２０１が実行するために必要な各種プログラム、データ等を格納する。各種プログラムとしては、例えばＢＩＯＳ（Basic Input/Output System）、ＥＦＩ（Extensible Firmware Interface）等のブートプログラムが挙げられる。
【００２６】
ＲＡＭ２０３は、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）やＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）等の揮発性メモリであり、主記憶装置として機能する。ＲＡＭ２０３は、補助記憶装置２０４にインストールされた各種プログラムがＣＰＵ２０１によって実行される際に展開される、作業領域を提供する。
【００２７】
補助記憶装置２０４は、各種プログラムや、各種プログラムがＣＰＵ２０１によって実行されることでデータを格納する。格納部３０７は、補助記憶装置２０４において実現される。
【００２８】
操作装置２０５は、装置制御部１００の管理者が装置制御部１００に対して各種指示を入力する際に用いる入力デバイスである。表示装置２０６は、装置制御部１００の内部情報を表示する表示デバイスである。
【００２９】
Ｉ／Ｆ装置２０７は、ネットワーク１５０に接続するための接続デバイスである。
【００３０】
ドライブ装置２０８は、記録媒体２１０を挿入するためのデバイスである。記録媒体２１０には、ＣＤ−ＲＯＭ、フレキシブルディスク、光磁気ディスク等のように情報を光学的、電気的あるいは磁気的に記録する媒体が含まれる。また、記録媒体２１０には、ＲＯＭ、フラッシュメモリ等のように情報を電気的に記録する半導体メモリ等が含まれていてもよい。
【００３１】
なお、補助記憶装置２０４にインストールされる各種プログラムは、例えば、配布された記録媒体２１０がドライブ装置２０８に挿入され、該記録媒体２１０に記録された各種プログラムがドライブ装置２０８により読み出されることでインストールされる。あるいは、補助記憶装置２０４にインストールされる各種プログラムは、ネットワークを介してダウンロードされることで、インストールされてもよい。
【００３２】
〔装置制御部の機能構成〕
次に、装置制御部１００の機能構成について説明する。図３は、装置制御部１００の機能構成の一例を示す図である。
【００３３】
図３に示されるように、装置制御部１００は、チャンネル判定部３０１、温度判定部３０２、時刻判定部３０３、設定部３０４、出力部３０５、パワー判定部３０６、格納部３０７を有する。
【００３４】
チャンネル判定部３０１は、チャンネル情報の取得、チャンネルの判定等を実行する。チャンネル情報は、チャンネル番号、温度、ヒータのパワー等を含む。チャンネル判定部３０１は、例えばチャンネル情報を取得し、取得したチャンネル情報に基づき、該チャンネルが制御対象又はモニタ対象であるかを判定する。また、チャンネル判定部３０１は、取得したチャンネル情報に基づき、該チャンネルが制御対象であるかを判定する。また、チャンネル判定部３０１は、取得したチャンネル情報に基づき、該チャンネルが最後のチャンネルであるかを判定する。
【００３５】
温度判定部３０２は、温度の取得、温度の判定等を実行する。例えば、温度判定部３０２は、チャンネル判定部３０１が取得したチャンネル情報に含まれる温度が設定温度を含む安定範囲内（温度安定幅内）であるかを判定する。また、温度判定部３０２は、チャンネル判定部３０１が取得したチャンネル情報に含まれる温度が安定範囲内から逸脱したかを判定する。
【００３６】
時刻判定部３０３は、時刻の取得、時刻の判定等を実行する。例えば、時刻判定部３０３は、監視開始時刻を取得済みであるかを判定する。また、時刻判定部３０３は、現在時刻を取得し、取得した現在時刻を元にタイムアウト時刻を算出する。また、時刻判定部３０３は、現在時刻がタイムアウト時刻以上であるかを判定する。
【００３７】
設定部３０４は、各チャンネルのヒータの設定温度を設定する。例えば、設定部３０４は、タンク加熱手段４４が異常であると判断された場合、多チャンネルの全てのチャンネルのヒータの設定温度を０℃に設定する。
【００３８】
出力部３０５は、各種の信号を出力する。例えば、出力部３０５は、表示装置２０６に警告画面を表示させる信号を出力する。
【００３９】
パワー判定部３０６は、ヒータのパワーの取得、ヒータのパワーの判定等を実行する。パワー判定部３０６は、チャンネル判定部３０１が取得したチャンネル情報に含まれるヒータのパワーが「０％」であるかを判定する。また、パワー判定部３０６は、ヒータのパワーが所定値以上であるかを判定する。
【００４０】
格納部３０７は、各種の時刻（例えば、監視開始時刻）、各種の温度（例えば、後述する第１温度、第２温度）等のデータを格納する。
【００４１】
〔温度逸脱監視処理〕
次に、原料タンク４０の監視方法の一例として、装置制御部１００のチャンネル判定部３０１、温度判定部３０２、時刻判定部３０３、設定部３０４及び出力部３０５により実行される温度逸脱監視処理について説明する。
【００４２】
温度逸脱監視処理は、固体又は液体の原料を貯留する原料タンク４０をタンク加熱手段４４により設定温度に昇温する際の原料タンク４０の温度を監視する監視方法である。温度逸脱監視処理では、原料タンク４０の温度が安定範囲内に到達した後、安定範囲内から逸脱したかを判定し、安定範囲内から逸脱したと判定した時点から予め定めたタイムアウト時間が経過した場合にタンク加熱手段４４の設定温度を０℃に設定する。
【００４３】
以下では、多チャンネルのヒータの出力を、各ヒータに対応して設けられた多チャンネルの温度センサの出力に基づいて監視する場合を説明する。図４は、温度逸脱監視処理の一例を示すフローチャートである。図５は、温度逸脱監視処理を説明するための図である。
【００４４】
図４に示される温度逸脱監視処理が開始されると、チャンネル判定部３０１は、最初のチャンネルのチャンネル情報を取得する（ステップＳ４０１）。
【００４５】
続いて、チャンネル判定部３０１は、取得したチャンネル情報に基づき、現チャンネルが制御対象又はモニタ対象であるかを判定する（ステップＳ４０２）。
【００４６】
チャンネル判定部３０１は、現チャンネルが制御対象のチャンネルではなく且つモニタ対象のチャンネルでもないと判定した場合、処理をステップＳ４２０へ進める。一方、チャンネル判定部３０１は、現チャンネルが制御対象又はモニタ対象のチャンネルであると判定した場合、取得したチャンネル情報に基づき、現チャンネルが監視対象であるかを判定する（ステップＳ４０３）。
【００４７】
チャンネル判定部３０１は、現チャンネルが監視対象ではないと判定した場合、処理をステップＳ４２０へ進める。一方、現チャンネルが監視対象であると判定された場合、温度判定部３０２は、チャンネル判定部３０１が取得したチャンネル情報に含まれる温度（現在温度）が設定温度を含む安定範囲内（温度安定幅内）であるかを判定する（ステップＳ４０４）。一実施形態では、図５に示されるように、温度安定幅は、下限が設定温度Ｔよりも温度Ｔ１だけ低い温度であり、上限が設定温度Ｔよりも温度Ｔ２だけ高い温度である。温度Ｔ１と温度Ｔ２とは同じであってもよく、異なっていてもよい。
【００４８】
温度判定部３０２は、現在温度が設定温度を含む安定範囲内でないと判定した場合、処理をステップＳ４２０へ進める。一方、温度判定部３０２は、現在温度が設定温度を含む安定範囲内であると判定した場合、現チャンネルが温度安定化待ち状態にあるチャンネルであると判断して逸脱監視を開始（図５の時刻ｔ）する（ステップＳ４０５）。
【００４９】
続いて、温度判定部３０２は、現在の温度を取得する（ステップＳ４０６）。続いて、温度判定部３０２は、ステップＳ４０６において取得した現在の温度が安定範囲内から逸脱したかを判定する（ステップＳ４０７）。
【００５０】
温度判定部３０２は、現在の温度が安定範囲内から逸脱していないと判定した場合、処理をステップＳ４２０へ進める。一方、温度判定部３０２により現在の温度が安定範囲内から逸脱したと判定された場合、時刻判定部３０３は、監視開始時刻を取得済みであるかを判定する（ステップＳ４０８）。
【００５１】
時刻判定部３０３は、監視開始時刻を取得済みでないと判定した場合、処理をステップＳ４１１へ進める。一方、監視開始時刻を取得済みである判定した場合、時刻判定部３０３は、現在時刻を取得する（ステップＳ４０９）。
【００５２】
続いて、時刻判定部３０３は、取得した現在時刻を元にタイムアウト時刻を算出する（ステップＳ４１０）。例えば、タイムアウト時刻は、現在時刻から監視開始時刻を減算すること（現在時刻−監視開始時刻）により算出される。
【００５３】
続いて、時刻判定部３０３は、現在時刻がタイムアウト時刻以上であるかを判定する（ステップＳ４１１）。
【００５４】
時刻判定部３０３は、現在時刻がタイムアウト時刻未満であると判定した場合、処理をステップＳ４２０へ進める。一方、時刻判定部３０３により現在時刻がタイムアウト時刻以上であると判定された場合、設定部３０４は、タンク加熱手段４４が異常であると判断し、多チャンネルの全てのチャンネルの設定温度を０℃に設定する（ステップＳ４１２）。また、出力部３０５は、表示装置２０６に警告画面を表示させる信号を出力する（ステップＳ４１３）。これにより、表示装置２０６には、アラームが発報されていることを示す警告画面が表示される。なお、警告画面については後述する。その後、処理をステップＳ４２０へ進める。
【００５５】
ステップＳ４２０では、チャンネル判定部３０１は、取得したチャンネル情報に基づき、現チャンネルが最後のチャンネルであるかを判定する。
【００５６】
チャンネル判定部３０１は、現チャンネルが最後のチャンネルであると判定した場合、処理を終了する。一方、チャンネル判定部３０１は、現チャンネルが最後のチャンネルではないと判定した場合、次のチャンネルのチャンネル情報を取得し（ステップＳ４２１）、処理をステップＳ４０２へ戻す。
【００５７】
以上に説明した温度逸脱監視処理によれば、装置制御部１００は、取得した温度が設定温度を含む安定範囲内に到達したかを判定すると共に、該温度が安定範囲内から逸脱したかを判定する。また、装置制御部１００は、取得した温度が安定範囲内から逸脱したと判定した時点から予め定めたタイムアウト時間が経過した場合にタンク加熱手段４４の設定温度を０℃に設定する。これにより、タンク加熱手段４４が異常な状態となった場合（例えば、タンク加熱手段４４の故障）においても異常を検出できる。
【００５８】
〔パワー監視処理〕
次に、原料タンク４０の監視方法の別の例として、装置制御部１００のチャンネル判定部３０１、時刻判定部３０３、設定部３０４、出力部３０５、パワー判定部３０６及び格納部３０７により実行されるパワー監視処理について説明する。
【００５９】
パワー監視処理は、固体又は液体の原料を貯留する原料タンク４０をタンク加熱手段４４により設定温度に昇温する際の原料タンク４０の温度を監視する監視方法である。パワー監視処理では、所定時間における原料タンク４０の温度変化量と、該所定時間におけるタンク加熱手段４４の出力との関係に基づいて、タンク加熱手段４４の異常を判定する。そして、タンク加熱手段４４が異常であると判定された場合、タンク加熱手段４４の設定温度を０℃に設定する。
【００６０】
以下では、多チャンネルのヒータのパワー（出力）を、各チャンネルの各々のヒータに対応して設けられた多チャンネルの温度センサの出力に基づいて監視する場合を説明する。図６は、パワー監視処理の一例を示すフローチャートである。図７及び図８は、パワー監視処理を説明するための図である。
【００６１】
図６に示されるパワー監視処理が開始されると、チャンネル判定部３０１は、最初のチャンネルのチャンネル情報を取得する（ステップＳ６０１）。
【００６２】
続いて、チャンネル判定部３０１は、取得したチャンネル情報に基づき、現チャンネルが制御対象であるかを判定する（ステップＳ６０２）。
【００６３】
チャンネル判定部３０１は、現チャンネルが制御対象のチャンネルではないと判定した場合、処理をステップＳ６２０へ進める。一方、チャンネル判定部３０１は、現チャンネルが制御対象であると判定した場合、取得したチャンネル情報に基づき、現チャンネルが監視対象であるかを判定する（ステップＳ６０３）。
【００６４】
チャンネル判定部３０１は、現チャンネルが監視対象ではないと判定した場合、処理をステップＳ６２０へ進める。一方、チャンネル判定部３０１により現チャンネルが監視対象であると判定された場合、パワー判定部３０６は、チャンネル判定部３０１が取得したチャンネル情報に含まれるヒータのパワーが「０％」であるかを判定する（ステップＳ６０４）。
【００６５】
パワー判定部３０６は、ヒータのパワーが「０％」であると判定した場合、処理をステップＳ６０８へ進める。一方、パワー判定部３０６は、ヒータのパワーが「０％」でないと判定した場合、該パワーが所定値以上であるかを判定する（ステップＳ６０５）。
【００６６】
パワー判定部３０６は、ヒータのパワーが所定値以上であると判定した場合、処理をステップＳ６０８へ進める。一方、パワー判定部３０６によりヒータのパワーが所定値未満であると判定された場合、時刻判定部３０３は監視開始時刻を削除する（ステップＳ６０６）。また、温度判定部３０２は、第１温度及び第２温度を初期化する（ステップＳ６０７）。その後、処理をステップＳ６２０へ進める。
【００６７】
ステップＳ６０８では、時刻判定部３０３は、監視開始時刻が格納部３０７に格納されているかを判定する。
【００６８】
時刻判定部３０３は、監視開始時刻が格納部３０７に格納されていると判定した場合、処理をステップＳ６１１へ進める。一方、時刻判定部３０３により監視開始時刻が格納部３０７に格納されていないと判定された場合、時刻判定部３０３は、現在時刻を取得し、監視開始時刻として格納部３０７に格納する（ステップＳ６０９）。
【００６９】
続いて、時刻判定部３０３は、現在温度を取得し、第１温度として格納部３０７に格納する（ステップＳ６１０）。その後、時刻判定部３０３は、処理をステップＳ６１１へ進める。
【００７０】
ステップＳ６１１では、時刻判定部３０３は、現在時刻を取得し、格納部３０７に格納された監視開始時刻と取得した現在時刻とに基づいて、監視周期に到達したかを判定する。時刻判定部３０３は、監視周期に到達していないと判定した場合、処理をステップＳ６２０へ進める。一方、時刻判定部３０３により監視周期に到達していると判定された場合、温度判定部３０２は、現在温度を取得し、第２温度として格納部３０７に格納する（ステップＳ６１２）。
【００７１】
続いて、温度判定部３０２は、格納部３０７に格納された第２温度から第１温度を差し引いた温度差を算出する（ステップＳ６１３）。
【００７２】
続いて、温度判定部３０２は、算出した温度差と予め設定した閾値とに基づいて、温度が正常であるかを判定する（ステップＳ６１４）。具体的には、図７に示されるように、現チャンネルのヒータのパワーが「０％」である場合、温度判定部３０２は、ステップＳ６１３にて算出した温度差が第１の閾値未満である場合にタンク加熱手段４４が正常であると判断する。一方、温度判定部３０２は、ステップＳ６１３にて算出した温度差が第１の閾値以上である場合にタンク加熱手段４４が異常であると判断する。また、図８に示されるように、現チャンネルのヒータのパワーが所定値以上である場合、温度判定部３０２は、ステップＳ６１３にて算出した温度差が第２の閾値以上である場合にタンク加熱手段４４が正常であると判断する。一方、温度判定部３０２は、ステップＳ６１３にて算出した温度差が第２の閾値未満である場合にタンク加熱手段４４が異常であると判断する。
【００７３】
温度判定部３０２は、タンク加熱手段４４が正常であると判断した場合、第１温度を取得した時刻を監視開始時刻として格納部３０７に格納し、第２温度を第１温度に上書きして格納部３０７に格納する。続いて、時刻判定部３０３は、次回の監視を開始する時刻を算出し、監視開始時刻として格納部３０７に格納する（ステップＳ６１６）。
【００７４】
一方、温度判定部３０２によりタンク加熱手段４４が異常であると判断された場合、設定部３０４は、多チャンネルの全てのチャンネルの設定温度を０℃に設定する（ステップＳ６１７）。また、出力部３０５は、表示装置２０６に警告画面を表示させる信号を出力する（ステップＳ６１８）。これにより、表示装置２０６には、アラームが発報されていることを示す警告画面が表示される。なお、警告画面については後述する。その後、処理をステップＳ６２０へ進める。
【００７５】
ステップＳ６２０では、チャンネル判定部３０１は、取得したチャンネル情報に基づき、現チャンネルが最後のチャンネルであるかを判定する。チャンネル判定部３０１は、現チャンネルが最後のチャンネルであると判定した場合、処理を終了する。一方、チャンネル判定部３０１は、現チャンネルが最後のチャンネルではないと判定した場合、次のチャンネルのチャンネル情報を取得し（Ｓ６２１）、処理をステップＳ６０２へ戻す。
【００７６】
以上に説明したパワー監視処理によれば、装置制御部１００は、所定時間における原料タンク４０の温度変化量と、該所定時間におけるタンク加熱手段４４の出力との関係に基づいて、タンク加熱手段４４の異常を判定する。また、装置制御部１００は、タンク加熱手段４４が異常であると判定された場合にタンク加熱手段４４の設定温度を０℃に設定する。そのため、タンク加熱手段４４の複数のヒータ間のケーブルの差し間違いや未接続等の物理的な要因によるタンク加熱手段４４の異常を検出できる。これにより、人為的なミスによるタンク加熱手段４４の異常を検出できる。
【００７７】
〔警告画面〕
次に、表示装置２０６に表示される警告画面の一例について説明する。
【００７８】
図９は、異常を検知したときに表示される警告画面の一例を示す図である。図９に示されるように、警告画面８００は、状態表示部８１０、詳細表示部８２０、メニュー表示部８３０、警告表示部８４０を有する。
【００７９】
状態表示部８１０は、成膜装置２を含むシステム全体の状態、例えば操作モード（例えば、管理者モード、オペレータモード）、選択装置、アラーム内容、現在時刻を表示する。図９に示される例では、状態表示部８１０は、操作モードとして、オペレータモードが選択されていることを示す「ＯＰＥＲＡＴＯＲ」を表示している。また、状態表示部８１０は、選択装置として、第２のプロセスモジュールが選択されていることを示す「ＰＭ２状態表示」を表示している。また、状態表示部８１０は、アラーム内容として、ＣＨ３６０のヒータの出力がフルパワー（１００％）であるにも関わらず昇温していないことを示す「フルパワーＣＨの非昇温検知  ＣＨ３６０」を表示している。また、状態表示部８１０は、現在時刻として、２０１８年９月１２日２２時１９分５４秒を示す「２０１８／０９／１２  ２２：１９：５４」を表示している。
【００８０】
詳細表示部８２０は、状態表示部８１０が選択装置として表示するモジュール（例えば、プロセスモジュール、トランスファモジュール、ロードロックモジュール、ローダモジュール）の詳細情報を表示する。詳細情報としては、例えばモジュール状態（例えば、自動、手動、メンテナンス）、コンディション（例えば、プリコート完了、成膜完了）、レシピ、成膜（デポ）回数（例えば、０回、１回、２回）が挙げられる。
【００８１】
メニュー表示部８３０は、管理者、オペレータ等の操作者が操作可能な各種のメニューボタンを表示する。メニューボタンとしては、例えば温度パラメータの設定を変更する「温度パラメータ編集」ボタンが挙げられる。
【００８２】
警告表示部８４０は、装置制御部１００により実行される温度逸脱監視処理又はパワー監視処理においてタンク加熱手段４４の異常が検出された場合に詳細表示部８２０に重畳して表示される。警告表示部８４０は、例えば原料タンク４０の温度制御中に異常を検出したこと、推定される異常の原因、復旧方法を表示する。また、警告表示部８４０は、操作を受け付ける操作領域である「確認」ボタンを有し、「確認」ボタンが操作されていない状態においてタンク加熱手段４４の動作に関する設定の変更を無効化する。
【００８３】
図９に示される例では、警告表示部８４０は、原料タンク４０の温度制御中に異常を検出したことを示す情報として、「ヒータの温度制御中に異常を検出しました。」と表示している。また、警告表示部８４０は、推定される異常の原因を示す情報として、「以下の原因が考えられます。１）ヒータの共通パラメータの設定値が不正。２）温度Ｔ／Ｃケーブルの差し間違い。３）温度コントローラの制御異常。」を表示している。また、警告表示部８４０は、復旧方法を示す情報として、「パラメータの設定値を確認して下さい。温度Ｔ／Ｃケーブルの接続や温度コントローラの接続を確認して下さい。問題がないことを確認した後に［確認］ボタンを押下して下さい。」と表示している。
【００８４】
図１０は、異常を検知したときに表示される警告画面の別の例を示す図である。図１０に示される警告画面は、図９に示される警告画面８００の警告表示部８４０が表示する「確認」ボタンが操作されていない状態において、操作者によりヒータの動作の設定を変更する操作が行われた場合に表示される。
【００８５】
図１０に示されるように、警告画面９００は、状態表示部９１０、詳細表示部９２０、メニュー表示部９３０を有する。
【００８６】
状態表示部９１０は、成膜装置２を含むシステム全体の状態、例えば操作モード（例えば、管理者モード、オペレータモード）、選択装置、アラーム内容、現在時刻を表示する。
【００８７】
図１０に示される例では、状態表示部９１０は、操作モードとして、オペレータモードが選択されていることを示す「ＯＰＥＲＡＴＯＲ」を表示している。また、状態表示部９１０は、選択装置を示す情報として、アラームが発生していることを示す「アラーム詳細」を表示している。また、状態表示部９１０は、アラーム内容として、ヒータの制御ができないことを示す「ヒータ制御ができません」を表示している。アラーム内容は、一例として、操作者が容易に認識できるように強調表示されている。また、状態表示部９１０は、現在時刻を示す情報として、２０１８年８月８日１４時１４分７秒を示す「２０１８／０８／０８  １４：１４：０７」を表示している。
【００８８】
詳細表示部９２０は、アラームの詳細情報、例えばアラームの概要、ヒータ制御に失敗した旨の通知、原因、復旧方法を表示する。図１０に示される例では、詳細表示部９２０は、アラームの概要として、アラームが発生した時刻（Ｄａｔｅ）、時間（Ｔｉｍｅ）、アラームＩＤ（ＡＬＩＤ）及びアラームメッセージ（Ａｌａｒｍ  Ｍｅｓｓａｇｅ）を表示している。また、詳細表示部９２０は、ヒータ制御に失敗した旨の通知として、「［説明］ヒータの初期化実行制御の動作前インタロックを検知しました。」を表示している。また、詳細表示部９２０は、原因として、「［原因］ヒータ昇温異常が発生した状態ではヒータの初期化実行制御を実行することはできません。」を表示している。また、詳細表示部９２０は、復旧方法として、「［対処］上記原因を解除してから再度実行して下さい。」を表示している。
【００８９】
今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその趣旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
【符号の説明】
【００９０】
４０    原料タンク
４２    原料
４４    タンク加熱手段
１００  装置制御部
３０２  温度判定部
３０４  設定部
３０５  出力部
３０６  パワー判定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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