(57)【要約】【課題】良好な平滑性、易滑性を有し、さらに他の層の積層性を向上させたポリエステルフィルムを提供する。【解決手段】少なくとも一方の面の表面結晶化度Ｃｓ（％）が、以下（１）を満たすポリエステルフィルム。（１）５８≦Ｃｓ≦７０【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方の面の表面結晶化度Ｃｓ（％）が、以下（１）を満たすポリエステルフィルム。
（１）５８≦Ｃｓ≦７０
【請求項２】
少なくとも一方の面の表面結晶化度Ｃｓ（％）と、フィルム全体の結晶化度Ｃａ（％）の比率Ｃｓ／Ｃａが、以下（２）を満たす、請求項１に記載のポリエステルフィルム。
（２）１．０≦Ｃｓ／Ｃａ
【請求項３】
フィルム全体の結晶化度Ｃａ（％）が、３０％以上４０％以下である、請求項１または２に記載のポリエステルフィルム。
【請求項４】
（１）を満たす面の、ＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で測定されるスライスレベルの最も大きい値（Ｒｔｏｐ）が２０ｎｍ以下である、請求項１から３のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
【請求項５】
（１）を満たす面の、ＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で測定される突起高さが１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の突起個数（Ｍ１０）が１．５×１０２〜１．０×１０５個／μｍ２以下である、請求項１から４のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
【請求項６】
（１）を満たす面の、ＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で測定される突起高さが１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の突起個数（Ｍ１０）が１．５×１０２〜１．０×１０５個／μｍ２以下であり、
前記（１）を満たす面とは反対側の面のＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で測定される突起高さが１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の突起個数（Ｍ１０）が１．５×１０２個／μｍ２未満であり、
フィルムの両方の面の表面エネルギーがいずれも４０ｍＮ／ｍ以上６０ｍＮ／ｍ以下であって、かつフィルムの一方の面の表面エネルギーともう一方の面の表面エネルギーの差が０以上１０ｍＮ／ｍ以下である、請求項１から４のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
【請求項７】
ドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）の基材に用いられる、請求項１から６のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
【請求項８】
積層セラミックコンデンサー（ＭＬＣＣ）を製造する際に用いられる、離型用フィルムの基材として用いられる、請求項１から６のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
【請求項９】
モーターの電気絶縁用部材として用いられる、請求項１から６のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルム表面の結晶化度を制御したポリエステルフィルムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ポリエステルはその加工性の良さから、様々な工業分野に利用されている。また、これらポリエステルをフィルム状に加工した製品は工業用途、光学製品用途、包装用途など今日の生活において重要な役割を果たしている。近年、電子情報機器において、小型化、高集積化が進み、それに伴って、電子情報機器の作製に用いられるフィルムには加工性の向上が求められている。特に、電子情報機器の作製には、フィルム表面に他の素材を積層させ、フィルムごと加工する手法が多く採られるため、フィルムの積層性や加工性向上のためには、フィルムの加工性を高めたり、平滑性を高めることが効果的な手段である。特に、他の素材を積層する際に、コーティングなど溶剤を用いる場合は、フィルム表面の加工性や易滑性が重要となる。
【０００３】
上記の要求に応えるためには、フィルム表面に易滑性と平滑性、さらにフィルム表面に他の層を積層したときの積層のずれを小さくしたり加工時に欠点を生じにくくする特性（以降、かかる特性を他の層の積層性と呼ぶ場合がある）を向上させる必要があり、例えば特許文献１、２には、フィルムに粒子を含有させることなく易滑性を向上させる技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１７／２１７０１号
【特許文献２】特開２０１８−１４５２１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、開示された技術では、平滑性には優れるものの、他の層の積層性を満足するものではない。一方、フィルムに粒子を含有させた場合は、易滑性は満足するが、平滑性に劣る場合があったり、粒子の凝集や粒子の脱落によって加工性が満足されないという問題がある。本発明は上記事情に鑑み、平滑性、易滑性を有し、さらに他の層に対する積層性も向上させたポリエステルフィルムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は以下の構成を取る。すなわち、
［Ｉ］少なくとも一方の面の表面結晶化度Ｃｓ（％）が、以下（１）を満たすポリエステルフィルム。
（１）５８≦Ｃｓ≦７０
［ＩＩ］少なくとも一方の面の表面結晶化度Ｃｓ（％）と、フィルム全体の結晶化度Ｃａ（％）の比率Ｃｓ／Ｃａが、以下（２）を満たす、［Ｉ］に記載のポリエステルフィルム。
（２）１．０≦Ｃｓ／Ｃａ
［ＩＩＩ］フィルム全体の結晶化度Ｃａ（％）が、３０％以上４０％以下である、［Ｉ］または［ＩＩ］に記載のポリエステルフィルム。
［ＩＶ］（１）を満たす面の、ＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で測定されるスライスレベルの最も大きい値（Ｒｔｏｐ）が２０ｎｍ以下である、［Ｉ］から［ＩＩＩ］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［Ｖ］（１）を満たす面の、ＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で測定される突起高さが１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の突起個数（Ｍ１０）が１．５×１０２〜１．０×１０５個／μｍ２以下である、［Ｉ］から［ＩＶ］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［ＶＩ］（１）を満たす面の、ＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で測定される突起高さが１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の突起個数（Ｍ１０）が１．５×１０２〜１．０×１０５個／μｍ２以下であり、前記（１）を満たす面とは反対側の面のＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で測定される突起高さが１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の突起個数（Ｍ１０）が１．５×１０２個／μｍ２未満であり、フィルムの両方の面の表面エネルギーがいずれも４０ｍＮ／ｍ以上６０ｍＮ／ｍ以下であって、かつフィルムの一方の面の表面エネルギーともう一方の面の表面エネルギーの差が０以上１０ｍＮ／ｍ以下である、［Ｉ］から［Ｖ］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［ＶＩＩ］ドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）の基材に用いられる、［Ｉ］から［ＶＩ］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［ＶＩＩＩ］積層セラミックコンデンサー（ＭＬＣＣ）を製造する際に用いられる、離型用フィルムの基材として用いられる、［Ｉ］から［ＶＩ］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［ＩＸ］モーターの電気絶縁用部材として用いられる、［Ｉ］から［ＶＩ］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のポリエステルフィルムは、優れた平滑性、易滑性を有し、さらに優れた積層性を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】ＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で測定されるＲｔｏｐをあらわす概念図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を詳細に説明する。
【００１０】
本発明はポリエステルフィルムに関する。本発明で言うポリエステルとは、ジカルボン酸構成成分とジオール構成成分を重縮合してなるものである。なお、本明細書内において、構成成分とはポリエステルを加水分解することで得ることが可能な最小単位のことを示す。
【００１１】
かかるポリエステルを構成するジカルボン酸構成成分としては、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、１，４−ナフタレンジカルボン酸、１，５−ナフタレンジカルボン酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、１，８−ナフタレンジカルボン酸、４，４’−ジフェニルジカルボン酸、４，４’−ジフェニルエーテルジカルボン酸等の芳香族ジカルボン酸、もしくはそのエステル誘導体が挙げられる。
【００１２】
また、かかるポリエステルを構成するジオール構成成分としては、エチレングリコール、１，２−プロパンジオール、１，３−プロパンジオール、１，４−ブタンジオール、１，２−ブタンジオール、１，３−ブタンジオール等の脂肪族ジオール類、シクロヘキサンジメタノール、スピログリコールなどの脂環式ジオール類、上述のジオールが複数個連なったものなどが挙げられる。中でも、機械特性、透明性の観点から、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリエチレン−２，６−ナフタレンジカルボキシレート（ＰＥＮ）、およびＰＥＴのジカルボン酸成分の一部にイソフタル酸やナフタレンジカルボン酸を共重合したもの、ＰＥＴのジオール成分の一部にシクロヘキサンジメタノール、スピログリコール、ジエチレングリコールを共重合したポリエステルが好適に用いられる。
【００１３】
本発明のポリエステルフィルムは、二軸配向していることが好ましい。二軸配向していることにより、フィルムの機械強度が向上し易滑性を向上させることができる。ここでいう二軸配向とは、広角Ｘ線回折で二軸配向のパターンを示すものをいう。二軸配向熱可塑性樹脂フィルムは、一般に未延伸状態の熱可塑性樹脂シートをシート長手方向および幅方向に延伸し、その後熱処理を施し結晶配向を完了させることにより、得ることができる。詳しくは後述する。
【００１４】
本発明のポリエステルフィルムは、少なくとも一方の面の表面結晶化度Ｃｓ（％）が、以下（１）を満たす必要がある。
（１）５８≦Ｃｓ≦７０
一般的に、ＰＥＴなどの結晶性ポリエステルからなるフィルムは、その分子鎖が配向することによって結晶化度が向上し、強固な構造を形成する結果、機械強度や、加工性、耐熱性が向上する。また、コーティングなどで他の層を設ける際、トルエンやエタノールなどの有機溶剤を用いる場合には、フィルム表面の結晶化度が高く、強固な構造を形成していると、フィルムが溶剤によって膨潤することを抑制したり、乾燥させる工程で熱に対する耐久性が高くなるため、他の層の積層性が向上する。また、機械オイルなどに浸漬される場合に必要となる耐久性（耐薬品性）なども向上する。さらに、表面の結晶化度が向上し、表面が硬くなる結果、積層した他の層を離型する際、フィルムを剥離しやすく、剥離性が向上する。また、本発明のフィルムに離型層を設けて離型用フィルムとして用いる場合、離型層に設けた被離型物の剥離性が向上する。
【００１５】
本発明のポリエステルフィルムの少なくとも一方の表面結晶化度Ｃｓ（％）が５８％に満たない場合は、当該面に他の層を設ける際、例えばインク層、離型層や感光性層を溶剤に溶かして塗布する場合に、フィルム表面の耐溶剤性が劣る結果、塗布性が劣り、他の層の積層性が劣る場合がある。本発明のポリエステルフィルムの少なくとも一方の面の結晶化度が７０％を超える場合は、結晶化度が高すぎてクラックが発生する結果、かえって耐久性（耐薬品性）が低下したり、構造が強固になりすぎてフィルムの製膜ができないことがある。本発明における少なくとも一方の表面結晶化度Ｃｓ（％）は、好ましくは６１％以上、より好ましくは６４％以上である。
【００１６】
本発明のポリエステルフィルムの表面結晶化度は、後述のラマン分光法によって求められるものであり、フィルムを構成するポリエステルのエステル結合のラマンバンド（Ｃ＝Ｏ結合伸縮バンド）を表す吸収ピークの半値幅を用いて求められる。本発明においては、ポリエステルフィルム中に最も多く含まれるポリエステル成分のエステル結合のラマンバンド（Ｃ＝Ｏ結合伸縮バンド）の波数は、Ｊ．Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  １０，  ３１７−３２２（１９７２）に記載の値を用いる。例えば、ポリエチレンテレフタレートを最も多く含むポリエステルフィルムについては、１７３０ｃｍ−１付近のポリエチレンテレフタレートのエステル結合のラマンバンド（Ｃ＝Ｏ結合伸縮バンド）の吸収ピークの半値幅を用いて表面結晶化度を求める。
【００１７】
フィルム表面の結晶化度を上記の範囲とするための方法は特に限定されないが、例えば、フィルム全体の結晶化度を高くすることでフィルム表面の結晶化度を上記の範囲としようとすると、製膜性が悪化するため、一般的な溶融押出法でフィルムを得ることが困難となる場合がある。そのため、結晶化を強制的に高めたポリエステルフィルムを、通常のポリエステルフィルムの表面に貼り合わせる方法や、ＵＶ照射やアーク放電によるコロナ処理、グロー放電によるプラズマ処理などの表面処理を行う方法と二軸配向せしめる方法の組み合わせが挙げられる。インラインでの製膜適応性やフィルム表面の結晶化度制御の観点からは、表面処理は、ＵＶ照射、アーク放電によるコロナ処理、大気圧グロー放電によるプラズマ処理が好ましく、処理の均一性やフィルムへのダメージが少ないことから大気圧グロー放電によるプラズマ処理が更に好ましい。ここでいう大気圧とは７００Ｔｏｒｒ〜７８０Ｔｏｒｒの範囲である。
【００１８】
大気圧グロー放電処理は、相対する電極とアースロール間に処理対象のフィルムを導き、装置中にプラズマ励起性気体を導入し、電極間に高周波電圧を印加することにより、該気体をプラズマ励起させ電極間においてグロー放電を行うものである。
【００１９】
一般的に、大気圧グロー放電処理によって熱可塑性樹脂フィルムの表面を処理する場合、グロー放電によって生じるプラズマのエネルギーによって、フィルム表面の分子鎖の切断や、生じる低分子量体が気化し、フィルム表面が削られる現象（以降、アッシングと称することがある）が起こる。熱可塑性樹脂の未延伸のフィルム、とくにＰＥＴやＰＢＴのように、未延伸のフィルムにおいても、結晶性が高い部分（結晶構造における分子鎖のコンフォメーションを有する部分、以下、結晶性部分と称することがある）とそうでない部分（以下、非晶性部分と称することがある）を持つフィルムの表面を大気圧グロー放電によって表面処理する場合、柔らかい非晶性部分からアッシングされていく。大気圧グロー放電処理することで、フィルム表面に結晶性部分を多く残存させることにより、後述の方法で二軸配向せしめ、フィルムとした場合に、フィルム表面の結晶化度を高くすることができる。また、大気圧グロー放電処理する前に、あらかじめ結晶性部分を増やしておくことでフィルム表面の結晶化度を高くすることが可能となる。例えば、ポリエステル樹脂の結晶性部分について、後述する製膜方法におけるキャストドラムの温度を上げて結晶性部分を増加させたり、ポリエステル樹脂中に結晶化促進剤を含有せしめることや、結晶化の早い樹脂を用いることで結晶性を高めるとＣｓを高くできるので好ましい。また、大気圧グロー放電処理の強度や、大気圧グロー放電処理の際に用いるプラズマ励起性気体の活性を上げることも好ましい実施形態である。特に、後述のプラズマ励起性気体のうち、アルゴン、酸素、二酸化炭素は、プラズマによって励起された場合に活性が高くなるため、好ましく用いられる。
【００２０】
ここでいう結晶化の早い樹脂とは、後述する方法で測定される示差走査型熱量測定（ＤＳＣ）において、樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）と、樹脂の結晶化温度（Ｔｃ）との差（ΔＴｃｇ）が、４０℃以下の樹脂を言う。結晶化を早める観点から、ΔＴｃｇは、３０℃以下であることが好ましい。
【００２１】
プラズマ励起性気体とは前記のような条件においてプラズマ励起されうる気体をいう。プラズマ励起性気体としては、例えば、アルゴン、ヘリウム、ネオン、クリプトン、キセノン等の希ガス、窒素、二酸化炭素、酸素、またはテトラフルオロメタンのようなフロン類およびそれらの混合物などが挙げられる。また、プラズマ励起性気体は、１種類を単独で用いてもよく、２種類以上を任意の混合比で組み合わせてもよい。プラズマによって励起された場合に活性が高くなる観点から、アルゴン、酸素、二酸化炭素のうちの少なくとも１種を含むことが好ましく、酸素を含むことがより好ましい。プラズマ処理における高周波電圧の周波数は１ｋＨｚ〜１００ｋＨｚの範囲が好ましい。また、以下方法で求められる放電処理強度（Ｅ値）は、１０〜１０００Ｗ・ｍｉｎ／ｍ２の範囲で処理することが突起形成の観点から好ましく、より好ましくは４０〜３００Ｗ・ｍｉｎ／ｍ２である。放電処理強度（Ｅ値）が低すぎると、突起が十分に形成されない場合があり、放電処理強度（Ｅ値）が高すぎると、ポリエステルフィルムにダメージを与えてしまう、または、アッシングが進行し、好ましい突起が形成されない場合がある。
＜放電処理強度（Ｅ値）の求め方＞
Ｅ＝Ｖｐ×Ｉｐ／（Ｓ×Ｗｔ）
Ｅ：Ｅ値（Ｗ・ｍｉｎ／ｍ２）
Ｖｐ：印加電圧（Ｖ）
Ｉｐ：印加電流（Ａ）
Ｓ：処理速度（ｍ／ｍｉｎ）
Ｗｔ：処理幅（ｍ）
本発明のポリエステルフィルムに上記の表面処理を施す場合、表面処理時のフィルムの表面温度を１５０℃以下にすることが好ましい。更に好ましくは１００℃以下、最も好ましくは５０℃以下である。表面温度が１５０℃よりも大きいとフィルムの結晶化が進行し、アッシングが進行しない場合がある。一方、フィルムの表面温度が低すぎると、アッシングが起こりにくく、好ましい突起が形成されにくい場合があるため、表面温度は１０℃以上、より好ましくは１５℃以上、更に好ましくは２５℃以上にすることが好ましい。また、表面処理温度は処理面と反対側の面を冷却ロール等で冷却することで調整することができる。
【００２２】
本発明のポリエステルフィルムは、少なくとも一方の面の表面結晶化度Ｃｓ（％）と、フィルム全体の結晶化度Ｃａ（％）の比率Ｃｓ／Ｃａが、以下（２）を満たすことが好ましい。
（２）１．０≦Ｃｓ／Ｃａ
Ｃｓ／Ｃａは、この値が大きいほど、表面の結晶化度がフィルム内部に比べて高いことを表しており、この値が大きいほど他の層の積層性を向上させつつ、製膜性を維持することができるため好ましい。好ましくは１．５以上、より好ましくは１．８以上である。上限は特には設けられないが、２．５を超える場合には、表層の結晶化度が高くなりすぎる結果、製膜性が悪化する場合がある。１．０に満たない場合は、表層の結晶化度が小さく、他の層の積層性が悪化する場合がある。
【００２３】
本発明のポリエステルフィルムは、フィルム全体の結晶化度Ｃａ（％）が、３０％以上４０％以下であることが好ましい。Ｃａが３０％に満たない場合は、強固な構造である結晶部分が少なく、強度が低下したり、フィルムの耐熱性に劣る場合がある。Ｃａが４０％を超えると、製膜性が悪化する場合がある。すなわち、フィルムの少なくとも一方の面の表面結晶化度Ｃｓを高くしつつも、フィルム全体の結晶化度Ｃａを上記の範囲で制御することで、他の層の積層性、耐久性（耐薬品性）、剥離性と、製膜性を同時に満たすフィルムとすることができるため好ましい。
【００２４】
本発明のポリエステルフィルムは、前記（１）を満たす面のＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で測定されるスライスレベルの最も大きい値（Ｒｔｏｐ（ｎｍ））が２０ｎｍ以下であることが好ましい。本発明におけるＲｔｏｐ（ｎｍ）は、フィルム表面に存在する突起の高さを反映している。Ｒｔｏｐ（ｎｍ）が２０ｎｍを超える場合、フィルムをロール状に巻き取った際にフィルムの他の面に欠陥を生じたり、フィルムの表面に他の層を積層する際に突起によって他の層に欠陥を与えたりする結果、加工性が低下する場合がある。また、Ｒｔｏｐが小さい場合、フィルムに突起が存在しないことになり、フィルムの易滑性が悪化する場合がある。Ｒｔｏｐ（ｎｍ）は、好ましくは３ｎｍ以上２０ｎｍ未満であり、より好ましくは５ｎｍ以上１５ｎｍ以下である。
【００２５】
本発明のポリエステルフィルムは、前記（１）を満たす面の、ＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で測定される突起高さが１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の突起個数（Ｍ１０）が１．５×１０２個／μｍ２以上１．０×１０５個／μｍ２以下であることが好ましい。Ｍ（１０）が上述の範囲である場合、他の層を積層させる場合、例えばコーティングによって離型層や感光性樹脂層を設ける場合、微細な表面の毛細管現象により、面全体に他の層が広がりやすく、欠点の発生を抑制でき、加工性が向上する。また、Ｍ（１０）が上述の範囲にある場合、微細な表面によって面同士の接触面積が低下する結果、易滑性が向上するため好ましい。Ｍ（１０）が１．５×１０２個／μｍ２未満である場合、他の層の積層性や易滑性が低下する場合がある。Ｍ（１０）が１．０×１０５個／μｍ２を超える場合、他の層と本発明のポリエステルフィルムの密着性が強くなりすぎ、剥離性が悪化する場合がある。Ｍ（１０）のより好ましい範囲は、１．７×１０２個／μｍ２以上１．０×１０４個／μｍ２未満、さらに好ましくは２．０×１０２個／μｍ２以上１．０×１０３個／μｍ２未満である。
【００２６】
本発明のポリエステルフィルムの、少なくとも片面が上述の（１）を満たす面の、Ｒｔｏｐ（ｎｍ）とＭ（１０）を好ましい範囲とするためには、上述の大気圧グロー放電処理を用い、その後フィルムを二軸配向せしめることが好ましい。
【００２７】
一般的に、大気圧グロー放電処理によってポリエステルフィルム、特に結晶性部分と非晶性部分を持つフィルムの表面をアッシングする場合、柔らかい非晶部からアッシングされる結果、フィルム表面に残存する結晶性部分が二軸配向せしめることによって突起を形成する。結晶性部と非晶性部を細分化させることで、大気圧グロー放電処理することでより微細な突起を形成することができ、また、結晶性部を増やしておくことで柔らかい非晶部が深く削れることで突起高さを高くすることが可能となる。例えば、熱可塑性樹脂の結晶性について、後述する製膜方法におけるキャストドラムの温度を上げて結晶性部分を増加させたり、熱可塑性樹脂中に結晶化促進剤などを含有せしめることで結晶性を高めることが好ましい。また、大気圧グロー放電処理の強度や、大気圧グロー放電処理の際に用いるプラズマ励起性気体の活性を上げることも、ＲｔｏｐやＭ（１０）を好ましい範囲とするための有効な手段である。ＲｔｏｐやＭ（１０）は二軸配向することによって形成されるため、フィルムを構成する樹脂が単一であれば二軸配向せしめやすく、より好ましい。
【００２８】
本発明のポリエステルフィルムは、（１）を満たす面の、ＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で測定される突起高さが１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の突起個数（Ｍ１０）が１．５×１０２個／μｍ２以上１．０×１０５個／μｍ２以下であり、前記（１）を満たす面とは反対側の面のＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で測定される突起高さが１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の突起個数（Ｍ１０）が１．５×１０２個／μｍ２未満であり、フィルムの両方の面の表面エネルギーがいずれも４０ｍＮ／ｍ以上６０ｍＮ／ｍ以下であって、かつフィルムの一方の面の表面エネルギーともう一方の面の表面エネルギーの差が０以上１０ｍＮ／ｍ以下であることが好ましい。
【００２９】
（１）を満たし、Ｍ（１０）が１．５×１０２個／μｍ２以上１．０×１０５個／μｍ２以下の面に他の層を積層する場合、該面の表面エネルギーがいずれも４０ｍＮ／ｍ以上６０ｍＮ／ｍ以下である場合、他の層として離型層や接着層、極性基を持つ層などを設けることができるため好ましい。また、フィルムの両方の面の表面エネルギーがいずれも４０ｍＮ／ｍ以上６０ｍＮ／ｍ以下であり、一方の面の表面エネルギーともう一方の面の表面エネルギーの差が０以上１０ｍＮ／ｍ以下である場合、他の層を積層するために複数のロールで搬送させ、両面が搬送ロールに接触する場合に、搬送ロールとの相互作用が小さく、搬送性が向上するため好ましい。
【００３０】
また、（１）を満たす面とは反対側の面のＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で測定される突起高さが１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の突起個数（Ｍ１０）が１．５×１０２個／μｍ２未満である場合、本発明のフィルムの（１）を満たす面に他の層を設け、ロールとして巻き取る場合に、他の層へ及ぼす影響が小さくなるため好ましい。
【００３１】
本発明のポリエステルフィルムの、固有粘度（ＩＶ）は、０．５５（ｄｌ／ｇ）以上０．８０（ｄｌ／ｇ）以下、より好ましくは０．６０（ｄｌ／ｇ）以上０．７０（ｄｌ／ｇ）以下である。ＩＶは、分子鎖の長さを反映した数字であり、分子鎖が短い方分子鎖の運動性が高いため二軸配向せしめる場合に結晶化度を向上させることが容易となるため好ましい。
【００３２】
本発明のポリエステルフィルムの（１）あるいは（２）を満たす面は、後述する測定条件における静摩擦係数μｓが、３．０以下であることが好ましい。３．０以下とすることで、本発明のフィルムに十分な易滑性を付与せしめることができ、加工性を高めることができる。より好ましくは、２．５以下、さらに好ましくは１．５以下である。下限は特には設けられないが、１．０を下回る場合、本発明のフィルムを巻き取る際に巻きズレが生じる場合があるため、１．０以上であることが好ましい。
【００３３】
本発明のポリエステルフィルムは、（１）あるいは（２）を満たす面の表面硬さは、後述の方法で得られる値が、３．５ＧＰａ以上４．５ＧＰａ未満であることが好ましい。より好ましくは３．５ＧＰａ以上３．９ＧＰａ未満である。本発明のフィルムの前述の面の表面硬さを３．５ＧＰａとすると、フィルム表面が外力によって変形することを抑制できるため、本発明のフィルムに離型層を設けて離型フィルムとして用いる場合、被離型物を剥離する際にかける力でフィルム表面が変形し、それに追随して被離型物も変形する結果、被離型物が破断することなどによる剥離性の低下を抑制することができる。一方、本発明のフィルムの前述の面の表面硬さを４．５ＧＰａ未満とすると、フィルム表面が外力によって変形しにくくできるため、本発明のフィルムに離型層を設けて離型フィルムとして用いる場合、被離型物を剥離する際にかける力がフィルムに吸収されずに被離型物に集中する結果、被離型物が破断することなどによる被離型物の剥離性の低下を抑制することができる。
【００３４】
本発明のポリエステルフィルムは、本発明の特性を損なわない範囲で、有機粒子または無機粒子、あるいはその両方を含有しても構わない。粒子を含有させることで、Ｒｔｏｐ（ｎｍ）を高くすることが可能となる。含有せしめる粒子の粒径は、本発明の特性を損なわないため、２００ｎｍが好ましく、より好ましくは１００ｎｍ、さらに好ましくは５０ｎｍ以下である。本発明の特性を最大限得るためには、実質的に粒子を含有しないことが好ましい。実質的に粒子を含有しないとは、ポリエステルフィルムに対する粒子の含有量が５００ｐｐｍ以下、さらに好ましくは５０ｐｐｍ以下、最も好ましくは１０ｐｐｍ以下である。
【００３５】
本発明のポリエステルフィルムの厚みは、特に限られるものでは無いが１μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましい。本発明のポリエステルフィルムを、他の層を設ける基材として用いる場合、ポリエステルフィルムの厚みは好ましくは１０μｍ以上５０μｍ以下であり、さらに好ましくは１０μｍ以上４０μｍ以下、特に好ましくは１５μｍ以上２５μｍ以下である。１０μｍ以上とすることで、本発明のポリエステルフィルムを用いて加工を行う場合、フィルムが破れたり、ハンドリング性の悪化を抑制できる。一方、５０μｍ以上とすることで、透明性の低下を抑制できるため、フォトリソグラフィーなどの工程に好適に用いることができる。
【００３６】
次に、本発明のポリエステルフィルムの製造方法について、二軸配向ポリエステルフィルムを例に挙げて説明するが、本発明は、かかる例によって得られる物のみに限定して解釈されるものではない。
【００３７】
本発明に用いられるポリエステルを得る方法としては、常法による重合方法が採用できる。例えば、テレフタル酸等のジカルボン酸成分またはそのエステル形成性誘導体と、エチレングリコール等のジオール成分またはそのエステル形成性誘導体とを公知の方法でエステル交換反応あるいはエステル化反応させた後、溶融重合反応を行うことによって得ることができる。また、必要に応じ、溶融重合反応で得られたポリエステルを、ポリエステルの融点温度以下にて、固相重合反応を行っても良い。
【００３８】
本発明のポリエステルフィルムは、従来公知の製造方法で得ることが出来るが、延伸、熱処理工程を以下の条件で製造することにより、少なくとも片面を上述の通り好ましい物性を持つ表面とすることができる。
【００３９】
本発明のポリエステルフィルムは、必要に応じて乾燥した原料を押出機内で加熱溶融し、口金から冷却したキャストドラム上に押し出してシート状に加工する方法（溶融キャスト法）を使用することができる。その他の方法として、原料を溶媒に溶解させ、その溶液を口金からキャストドラム、エンドレスベルト等の支持体上に押し出して膜状とし、次いでかかる膜層から溶媒を乾燥除去させてシート状に加工する方法（溶液キャスト法）等も使用することができる。
【００４０】
２層以上の積層ポリエステルフィルムを溶融キャスト法により製造する場合、積層ポリエステルフィルムを構成する層毎に押出機を用い、各層の原料を溶融せしめ、これらを押出装置と口金の間に設けられた合流装置にて溶融状態で積層したのち口金に導き、口金からキャストドラム上に押し出してシート状に加工する方法が好適に用いられる。該積層シートは、表面温度２０℃以上６０℃以下に冷却されたドラム上で静電気により密着冷却固化し、未延伸シートを作製する。キャストドラムの温度は、より好ましくは２５℃以上６０℃以下、さらに好ましくは４０℃以上５５℃以下である。２０℃以下では、プラズマを照射し、二軸延伸した後のフィルム表面の突起形成や結晶化度を高める効果が十分でない場合がある。６０℃を超えると、キャストドラムにフィルムが貼り付き、未延伸シートを得ることが困難になる場合がある。
【００４１】
次いで、ここで得られた未延伸フィルムにナノインプリントのようにモールドを用いて表面に形状を転写させる方法、紫外光照射やアーク放電によるコロナ処理、グロー放電によるプラズマ処理などの表面処理を施す。これらの表面処理は、本発明においては、未延伸フィルムを得た直後に行い、その後縦および横方向に逐次または同時に延伸し、その後熱処理することによって二軸配向せしめることが特に好ましい。該工程とすることで、グロー放電などによって表面に残存する結晶性部分が、延伸・熱処理工程によって結晶となり、結晶化度（Ｃｓ）やＲｔｏｐ（ｎｍ）、Ｍ（１０）を好ましい範囲とすることが可能となる。特に、延伸後の熱処理工程にて、熱処理の温度（Ｔｈ（℃））を、フィルムの融点（Ｔｍ）−３０℃以上Ｔｍ−１０℃以下にて実施することが重要となる。ＴｈがＴｍ−３０℃に満たない場合は結晶化の進行が十分でなく、またＴｈがＴｍ−１０℃を超える場合には結晶構造が融解し、Ｃｓが好ましい範囲にできない場合がある。Ｔｈは、より好ましくはＴｍ−２０℃以上Ｔｍ−１０℃以下である。
また、表面処理を施す面はキャストドラムに接していた面（ドラム面）でもキャストドラムに接していない面（非ドラム面）のいずれでも良く、両面に施しても良い。その際、表面処理を施すフィルム面の表面温度が高くなりすぎないよう制御する。
【００４２】
また、延伸・熱処理工程を、グロー放電などの処理の工程の後に設けることで、フィルムを加熱する工程を経るため、グロー放電などの表面処理によってポリエステル表面に導入されるアミド基やカルボキシル基同士を反応せしめ、フィルムの表面エネルギーを好ましい範囲とすることができる。延伸方法としては、逐次二軸延伸法又は同時二軸延伸法を用いることができる。最初に長手方向、次に幅方向の延伸を行う逐次二軸延伸法が、延伸破れなく本発明フィルムを得るのに有効である。
【００４３】
［特性の評価方法］
Ａ．ＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）による評価
（ｉ）突起高さが１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の突起個数Ｍ１０（個／μｍ２）、Ｒｔｏｐ（ｎｍ）
以下の測定方法によって得られるフィルム表面の画像を、付属の解析ソフトを用い、解析する。得られるフィルム表面の画像から、フィルム表面の基準面が自動的に決定される。該基準面から、突起高さの閾値を１ｎｍ、２ｎｍ・・・と１ｎｍごとに定め、各閾値で得られる突起個数を１ｎｍから１０ｎｍまでカウントし、１ｎｍでカウントされる個数から、１０ｎｍでカウントされる個数を引いた数値をＭ１０（個／μｍ２）とし、カウントされる突起個数が初めて０になる閾値から１ｎｍ低い閾値をＲｔｏｐ（ｎｍ）とする。
［ＡＦＭ測定方法］
装置；Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｉｎｓｔｕｒｕｍｅｎｔｓ社製  ＮａｎｏＳｃｏｐｅ３型  ＳＰＭコントロールステーション
ＳＰＭユニット；原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）
カンチレバー：シリコン単結晶
走査モード：タッピングモード
走査速度：０．８Ｈｚ
測定視野：１μｍ四方
サンプルライン：２５６
Ｆｌａｔｔｅｎ  Ａｕｔｏ：オーダー３
サンプル調整：２３℃、６５％ＲＨ、２４時間静置
ＡＦＭ測定環境：２３℃、６５％ＲＨ
場所を変えて２０回測定し、その平均値を求める。
【００４４】
Ｂ．静摩擦係数（μｓ）
２３℃６５％ＲＨにて調湿したフィルムを、幅７５ｍｍ、長さ１００ｍｍの短冊状に２枚切り出してサンプルとし、スベリ係数測定装置（型式ＳＴ−２００、（株）テクノニーズ製）を使用し、２３℃６５％ＲＨ雰囲気下にて測定する。該装置の測定台上に“テフロン（登録商標）”シートを敷いて固定し、その上に測定したい面を上にして短冊状のフィルムを１枚設置し、固定する。その後、測定したい面同士が重なるようにもう一枚の短冊状のフィルムを静置し、その上に荷重１００ｇをかけ、上側のフィルムを以下の条件で引っ張った際の静摩擦係数を測定する。５回の測定の平均値をもって静摩擦係数μｓとする。
測定距離：１２ｍｍ
測定速度：２１０ｍｍ／ｍｉｎ。
【００４５】
Ｃ．厚み（μｍ）
フィルム厚みは、ダイヤルゲージを用い、ＪＩＳ Ｋ７１３０（１９９２年）Ａ−２法に準じて、フィルムを１０枚重ねた状態で任意の５ヶ所について厚さを測定した。その平均値を１０で除してフィルム厚みとした。
【００４６】
フィルムが積層フィルムである場合、下記の方法にて、各層の厚みを求めた。フィルム断面を、フィルム幅方向に平行な方向にミクロトームで切り出す。該断面を走査型電子顕微鏡で５０００倍の倍率で観察し、積層各層の厚み比率を求める。求めた積層比率と上記したフィルム厚みから、各層の厚みを算出する。
【００４７】
Ｄ．フィルムの固有粘度ＩＶ（ｄｌ／ｇ）
オルトクロロフェノール１００ｍｌに本発明のフィルムを溶解させ（溶液濃度Ｃ＝１．２ｇ／ｄｌ）、その溶液の２５℃での粘度を、オストワルド粘度計を用いて測定する。また、同様に溶媒の粘度を測定する。得られた溶液粘度、溶媒粘度を用いて、下記（ａ）式により、［η］（ｄｌ／ｇ）を算出し、得られた値でもって固有粘度（ＩＶ）とする。
（ａ）ηｓｐ／Ｃ＝［η］＋Ｋ［η］２・Ｃ
（ここで、ηｓｐ＝（溶液粘度（ｄｌ／ｇ）／溶媒粘度（ｄｌ／ｇ））―１、Ｋはハギンス定数（０．３４３とする）である。）。
【００４８】
Ｅ．フィルム表面結晶化度Ｃｓ（％）
レーザーラマン分光法（顕微ラマン）によって、１７３０ｃｍ−１付近のラマンバンド（ポリエチレンテレフタレートのエステル結合のＣ＝Ｏ結合伸縮バンド）の半値幅Δν１７３０を求め、以下の式（ｉ）（ｉｉ）から、Ｃｓ（％）を求める。
【００４９】
（ｉ）密度ρ（ｇ／ｃｍ３）＝（３０５−Δν１７３０）／２０９
（ｉｉ）フィルム表面結晶化度Ｃｓ（％）＝１００×（ρ−１．３３５）／（１．４５５−１．３３５）
レーザーラマン分光法の測定条件は以下の通り。
対物レンズ；×５０倍
ビーム径；２μｍ
波長；２６６ｎｍ
レーザーパワー；２０ｍＷ
検出器；ＮＩＰＰＯＮ  ＲＯＰＥＲ製ＣＣＤ
Ｆ．フィルム全体の結晶化度Ｃａ（％）、フィルムの融点Ｔｍ（℃）
試料を、ＪＩＳ  Ｋ  ７１２２（１９９９）に基づいた方法により、セイコー電子工業（株）製示差走査熱量測定装置“ロボットＤＳＣ−ＲＤＣ２２０”を、データ解析にはディスクセッション“ＳＳＣ／５２００”を用いて、下記の要領にて、測定を実施した。
サンプルパンに試料を５ｍｇずつ秤量し、試料を２５℃から３００℃まで１０℃／分の昇温速度で加熱した（１ｓｔＲＵＮ）。１ｓｔＲＵＮの示差走査熱量測定チャート（縦軸を熱エネルギー、横軸を温度とする）を得る。当該１ｓｔＲｕｎの示差走査熱量測定チャートの、吸熱ピークのピーク温度を求め、Ｔｍ（℃）とする。また、吸熱ピークのピーク面積を求め、結晶融解熱量ΔＨｍ（Ｊ／ｇ）を求める。２以上の結晶融解ピークが観測される場合は、Ｔｍは、最も温度が高いピークの温度とする。結晶融解熱量は、最も温度が高いピークの面積を結晶融解熱量とし、２以上のピークが観察される場合は２つのピークを合わせてピーク面積を求め、結晶融解熱量を求める。得られたΔＨｍを、１４０．４（Ｊ／ｇ）で除した値に１００を掛け、Ｃａ（％）とする。
【００５０】
Ｇ．樹脂のガラス転移温度Ｔｇ（℃）、樹脂の結晶化温度Ｔｃ（℃）
ＪＩＳ  Ｋ７１２１（１９９９）に準じて、セイコー電子工業（株）製示差走査熱量測定装置”ロボットＤＳＣ−ＲＤＣ２２０”を、データ解析にはディスクセッション”ＳＳＣ／５２００”を用いて、下記の要領にて、測定を実施する。
【００５１】
サンプルパンに試料を５ｍｇ秤量し、試料を２５℃から３００℃まで１０℃／分の昇温速度で加熱し、その状態で５分間保持し、次いで２５℃以下となるよう急冷する。直ちに引き続いて、再度２５℃から１０℃／分の昇温速度で３００℃まで昇温を行って測定を行う。２回目の２５℃から３００℃までの昇温過程（２ｎｄＲＵＮ）の示差走査熱量測定チャート（縦軸を熱エネルギー、横軸を温度とする）において、ガラス転移の階段状の変化部分において、各ベースラインの延長した直線から縦軸方向に等距離にある直線とガラス転移の階段状の変化部分の曲線とが交わる点からガラス転移温度を求める。２以上のガラス転移の階段状の変化部分が観測される場合は、それぞれについて、ガラス転移温度を求め、それらの温度を平均した値を試料のガラス転移温度（Ｔｇ）（℃）とする。また、吸熱ピークである結晶化ピークにおけるピークトップの温度を求め、これをＴｃ（℃）とする。２以上の結晶化ピークが観察される場合は、それらの温度の平均した値をＴｃ（℃）とする。
【００５２】
Ｈ．フィルムの表面エネルギー（ｍＮ／ｍ）
ホルムアミドとエチレングリコールモノエチルエーテルとの混合液を用いて、ＪＩＳ Ｋ６７６８に規定された測定方法に基づいて測定する。測定を５回行い、得られた平均値フィルムの表面エネルギー（ｍＮ／ｍ）とする。
【００５３】
Ｉ．レジスト層塗工性
本発明のポリエステルフィルムのＡ面上に、暗室内にてグラビアコート法にて感光性樹脂層を、塗布厚みが５μｍとなるように塗布する。感光性樹脂層として、熱可塑性樹脂としてのメタクリル酸、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、ブチルメタクリレートからなる共重合ポリマーと、感光性材料としてのトリメチロールプロパントリアクリレートおよびポリエチレングリコール（数平均分子量６００）ジメタクリレートと、光重合開始剤としてのベンゾフェノンおよびジメチルアミノベンゾフェノンと、安定剤としてのハイドロキノンと、着色剤としてのメチルバイオレットとからなる混合物を、エタノールに溶解したものを用いる。塗布後のフィルムを、３００ｍｍ×５００ｍｍの範囲にて、塗布抜け、あるいは表面転写による塗布欠点を観察し、以下のように評価する。Ａが最も良好であり、Ｃが最も劣る。
Ａ：塗布欠点個数が９個／ｍ２以下
Ｂ：塗布欠点個数が１０〜１９個／ｍ２
Ｃ：塗布欠点個数が２０個／ｍ２以上。
【００５４】
Ｊ．レジスト層剥離性
Ｉ．項で得られた本発明のポリエステルフィルムと感光性樹脂層からなる積層体を、感光性樹脂層が片面鏡面研磨した６インチＳｉウエハーに接触するように重ね、ゴム製のローラーを用いてラミネートする。積層体は、あらかじめ幅１５ｍｍ長さ５０ｍｍに切り出し、ラミネートに供する。続いて感光性層からポリエステルフィルムを引っ張り試験器で剥離した際、感光性層の表面状態を観察する。
Ａ；キズの個数が１個以上５個以下。
Ｂ；キズの個数が６個以上１０個未満
Ｃ；キズの個数が１０個以上
Ａが最も良好であり、Ｃが最も劣る。
【００５５】
Ｋ．離型層塗工性
本発明のフィルムのＡ面上に、架橋プライマー層（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製商品名ＢＹ２４−８４６）をトルエンを溶媒として固形分１重量％に調整した塗布液を塗布／乾燥し、乾燥後の塗布厚みが０．１μｍとなるようにグラビアコーターで塗布し、１００℃で２０秒乾燥硬化する。その後１時間以内に付加反応型シリコーン樹脂（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製商品名ＬＴＣ７５０Ａ）１００重量部、白金触媒（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製商品名ＳＲＸ２１２）２重量部を固形分５重量％に調整した塗布液（溶媒；トルエン）を、乾燥後の塗布厚みが０．１μｍとなるようにグラビアコートで塗布し、１２０℃で３０秒乾燥硬化した後に巻き取り、離型フィルムを得る。塗布後のフィルムを、３００ｍｍ×５００ｍｍの範囲にて、塗布抜け、あるいは表面転写による塗布欠点を観察し、以下のように評価する。Ａが最も良好であり、Ｃが最も劣る。
Ａ：塗布欠点個数が９個／ｍ２以下
Ｂ：塗布欠点個数が１０〜１９個／ｍ２
Ｃ：塗布欠点個数が２０個／ｍ２以上。
【００５６】
Ｌ．耐薬品性
フィルム試料を測定片の形状（１ｃｍ×２０ｃｍ）に切り出したものを準備し、オートクレーブ装置（耐圧硝子工業（株）製ＴＶＳ−Ｎ２型）に冷凍機オイルＭｏｂｉｌ（株）製Ｍｏｂｉｌ ＥＡＬ Ａａｒｃｔｉｃ ６８をフィルムとともに封入する。オートクレーブ装置の内圧を、ポンプでもって真空状態（１００Ｐａ以下）とする。オートクレーブ装置全体を１４０℃に温め、２００時間経過後にフィルムの強度を測定する。なお、測定はｎ＝５とし、フィルムの縦方向、横方向のそれぞれ５サンプルについて測定した後、その平均値を破断強度Ｓ１とした。また、処理を行う前のフィルムについて破断強度Ｓ０を測定し、得られた破断伸度Ｓ０，Ｓ１を用いて、以下の式により強度保持率を算出した。
強度保持率（％）＝（Ｓ１／Ｓ０）×１００
なお、破断強度は、ＡＳＴＭ−Ｄ８８２（１９９７）に基づいて、サンプルを１ｃｍ×２０ｃｍの大きさに切り出し、チャック間５ｃｍ、引っ張り速度３００ｍｍ／ｍｉｎにて測定する。
Ａ：強度保持率が５０％以上
Ｂ：強度保持率が４０％以上５０％未満
Ｃ：強度保持率が４０％未満。
Ａが最も優れ、Ｃが最も劣る。
【００５７】
Ｍ．フィルムの表面硬さ（ＧＰａ）
サンプルを室温２３℃湿度６５％の雰囲気中において、２４時間放置後、その雰囲気下で以下の条件で測定を行う。
装置：Ｂｒｕｋｅｒ社製走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）ＮａｎｏＳｃｏｐｅＶ ＤｉｍｅｎｓｉｏｎＩｃｏｎ
探針：Ｓｉカンチレバー（バネ定数４０Ｎ／ｍ程度）
走査モード：タッピングモード、フォースボリューム（コンタクトモード）
走査範囲：５μｍ四方（走査ライン；５１２）
得られる各点の表面弾性率を、０．１ＧＰａごとの度数分布グラフとして表し、全点数の上位１０％の点数までの平均値を、フィルムの表面硬さとする。
【００５８】
Ｎ．被離型物の剥離性
Ｋ．項で得た離型層を設けたフィルムの離型層上に、セラミックスラリーを、乾燥後の厚みが３μｍとなるように塗布してシートを作製し、該シートを幅２５ｍｍ、長さ１５ｃｍの大きさになるように剥離する。１０回剥離を行い、シートが破断する回数で以下の通り評価する。セラミックスラリーとしてチタン酸バリウム（富士チタン工業（株）製商品名ＨＰＢＴ−１）１００重量部、ポリビニルブチラール（積水化学（株）製商品名ＢＬ−１）１０重量部、フタル酸ジブチル５重量部とトルエン−エタノール（重量比３０：３０）６０重量部に、数平均粒径２ｍｍのガラスビーズを加え、ジェットミルにて２０時間混合・分散させた後、濾過してペースト状に調整したものを用いる。剥離試験装置は、粘着・被膜剥離解析装置ＶＰＡ−Ｈ１００（共和界面科学（株）製）を用い、剥離角度１８０°、剥離速度２００ｍｍ／ｍｉｎの条件で実施する。
【００５９】
Ａ：シート破断回数が３回以下
Ｂ：シート破断回数が４回以上６回以下
Ｃ：シート破断回数が７回以上
【実施例】
【００６０】
以下、本発明について実施例を挙げて説明するが、本発明は必ずしもこれらに限定されるものではない。
【００６１】
［ＰＥＴ−１の製造］テレフタル酸およびエチレングリコールから、三酸化アンチモンを触媒として、常法により重合を行い、実質的に粒子を含有しない溶融重合ＰＥＴを得た。得られた溶融重合ＰＥＴのガラス転移温度は８１℃、融点は２５５℃、結晶化温度は１４５℃（ΔＴｃｇは６４℃）、固有粘度は０．６３であった。
【００６２】
［ＰＥＴ−２の製造］ＰＥＴ−１を用い、常法により固相重合を行い、固相重合ＰＥＴを得た。得られた固相重合ＰＥＴのガラス転移温度は８１℃、融点は２５５℃、結晶化温度は１５０℃（ΔＴｃｇは６９℃）、固有粘度は０．８１であった。
【００６３】
［ＰＥＴ−３の製造］ＰＥＴ−１の重合に際し、得られるＰＥＴ全体の重量に対する含有量が０．２重量％となるように、エチレングリコールに分散させた１００ｎｍコロイダルシリカを添加し、ＰＥＴ−３を得た。得られた溶融重合ＰＥＴのガラス転移温度は８１℃、融点は２５５℃、結晶化温度は１４１℃（ΔＴｃｇは６０℃）、固有粘度は０．６２であった。
【００６４】
［ＰＥＴ−４の製造］ＰＥＴ−１の重合に際し、得られるＰＥＴ全体の重量に対する含有量が０．２重量％となるように酢酸マグネシウム４水和物と、得られるＰＥＴ全体の重量に対する含有量が０．４重量％となるようにジメチルフェニルフォスフェート（ＤＰＰＯ）を加え、ＰＥＴ−４を得た。酢酸マグネシウムとＤＰＰＯが結晶化促進剤としての効果を発現するため結晶化温度が低くなり、得られたＰＥＴのガラス転移温度は８１℃、融点は２５５℃、結晶化温度は１２０℃（ΔＴｃｇは３９℃）、固有粘度は０．６３であった。
【００６５】
［ＭＢ−１の製造］ＰＥＴ−１  ９５重量部と、結晶化促進剤としてモンタン酸ナトリウム５重量部を、ベント孔付き押出機に投入し、ベント孔を１ｋＰａ以下になるように減圧しながら混練し、ＭＢ−１を得た。得られたＭＢ−１のガラス転移温度は７９℃、融点は２５０℃、結晶化温度は１０８℃（ΔＴｃｇは２９℃）、固有粘度は０．５９であった。
【００６６】
［ＰＢＴの製造］テレフタル酸ジメチル１００重量部、１，４−ブタンジオール５６重量部、テトラブチルチタネート０．００２５重量部を反応器にとり、反応開始温度を１５０℃とし、メタノールの留出と共に反応温度を徐々に上昇させ、３時間後に２１０℃とした。４時間後実質的にエステル交換反応が終了したこの反応混合物にテトラブチルチタネート０．００２５重量部を加えて、５時間重縮合反応を行った。すなわち、温度を２１０℃から徐々に昇温し２６０℃とした。一方、圧力は常圧より徐々に減じ、最終的には０．３ｍｍＨｇとした。反応開始後、５時間を経た時点で反応を停止し、窒素加圧下ポリマーを吐出させた。得られたポリエステル樹脂のガラス転移温度は４０℃、融点は２２５℃、結晶化温度は５５℃（ΔＴｃｇは１５℃）、固有粘度は０．８ｄｌ／ｇであった。
【００６７】
（実施例１）
ＰＥＴ−２を１６０℃で２時間減圧乾燥した後、押出機に表の記載の量となるようにして供給し、溶融押出してフィルターで濾過した後、ダイを介し冷却ロール上に静電印可キャスト法を用いて、４０℃に保ったキャスティングドラムに巻き付け冷却固化して未延伸フィルムを得た。この未延伸フィルムを相対する電極とアースロール間に導き、装置中に窒素ガスを導入し、Ｅ値が１５０Ｗ・ｍｉｎ／ｍ２となる条件でＡ面側に大気圧グロー放電処理を行った。また、その際処理面のフィルム表面温度が３０℃となるようにアースロールを冷却した。
処理後の未延伸フィルムを逐次二軸延伸機により長手方向に３．５倍、および幅方向にそれぞれ４．５倍、トータルで１５．７５倍延伸しその後、定長下２４０℃で熱処理した。その後、幅方向に弛緩処理を施し、厚み２０μｍの二軸配向フィルムを得た。得られた二軸配向フィルムの特性等を表に示す。フィルムのＡ面に対するレジスト層塗工性、レジスト層剥離性、離型層塗工性、被離型物の剥離性は、ともに問題のないフィルムであった。また、耐薬品性も良好なフィルムであった。
【００６８】
（実施例２−６、９−１５）
Ａ層を構成する樹脂、プラズマ処理強度（Ｅ値）、キャスト温度、延伸条件、プラズマ励起性気体を表の通り変えた以外は、実施例１と同様にして厚み２０μｍの二軸配向フィルムを得た。得られた二軸配向フィルムの特性等を表に示す。
【００６９】
実施例２ではフィルムのＩＶが好ましい範囲となったため、Ａ面のＣｓ、Ｒｔｏｐ、Ｍ（１０）が好ましい範囲となり、Ａ面に対するレジスト層塗工性、レジスト層剥離性、離型層塗工性に優れるフィルムとなった。
【００７０】
実施例３、６では、結晶化促進剤を添加したため、実施例２に比べＡ面のＣｓ、Ｒｔｏｐ、Ｍ（１０）がより好ましい範囲となり、Ａ面に対するレジスト層塗工性、レジスト層剥離性、離型層塗工性にさらに優れるフィルムとなった。
【００７１】
実施例４では、結晶化速度の速い樹脂としてＰＢＴを添加したため、実施例２に比べＡ面のＣｓ、Ｒｔｏｐが良好なフィルムとなり、Ａ面のレジスト剥離性、離型層塗工性に優れるフィルムとなった。Ｍ（１０）がやや劣るため、レジスト層塗工性はやや劣るものの、問題のないレベルであった。表面硬さがやや高く、被離型物の剥離性がやや劣るものの、実用上問題ないフィルムであった。
【００７２】
実施例５ではプラズマ処理強度を上げたため、実施例２に比べＡ面のＣｓ、Ｒｔｏｐ、Ｍ（１０）がより好ましい範囲となり、Ａ面に対するレジスト層塗工性、レジスト層剥離性、離型層塗工性にさらに優れるフィルムとなった。
【００７３】
実施例９では、Ａ面に粒子を添加した結果、Ｒｔｏｐが高くなる傾向が得られ、レジスト層剥離性にやや劣るが、充分に実用に耐えるフィルムであった。表面硬さがやや高く、被離型物の剥離性がやや劣るものの、実用上問題ないフィルムであった。
【００７４】
実施例１０では、モンタン酸ナトリウムの量が多くなった結果、表面エネルギーが小さくなり、レジスト塗工性がやや劣るが、充分に実用に耐えるフィルムであった。
【００７５】
実施例１１では延伸倍率を上げたため、実施例３に比べＡ面のＣｓ、Ｒｔｏｐ、Ｍ（１０）がより好ましい範囲となり、Ａ面に対するレジスト層塗工性、レジスト層剥離性、離型層塗工性にさらに優れるフィルムとなった。
【００７６】
実施例１２では、キャスト温度を低くしたため、実施例３に比べＡ面のＣｓ、Ｒｔｏｐ、Ｍ（１０）がやや劣るフィルムであったが、充分に実用に耐えるレベルであった。
【００７７】
実施例１３では、熱処理温度が低く、実施例３に比べＡ面のＣｓ、Ｒｔｏｐ、Ｍ（１０）がやや劣るフィルムであったが、充分に実用に耐えるレベルであった。
【００７８】
実施例１４では、プラズマ励起性気体として、窒素に、酸素を０．５体積％添加したガスを用いたため、実施例２に比べＡ面のＣｓ、Ｒｔｏｐ、Ｍ（１０）に優れ、Ａ面に対するレジスト層塗工性、レジスト層剥離性、離型層塗工性に優れるフィルムであった。
【００７９】
実施例１５では、結晶化促進剤を添加し、プラズマ処理強度を上げたため、Ａ面のＲｔｏｐが大きくなり、レジストの剥離性にやや劣るフィルムであったが、実用に問題ない範囲であった。
【００８０】
（実施例７）
Ａ面を構成する樹脂の組成と、Ｂ面を構成する樹脂の組成を表の通りとして、それぞれの樹脂を乾燥した後別々の押出機に投入し、溶融せしめた後にフィルターで濾過し、合流装置にて積層し、ダイを介し冷却ロール上に静電印可キャスト法を用いて、４０℃に保ったキャスティングドラムに巻き付け冷却固化して積層未延伸フィルムを得た以外は、実施例１と同様にして二軸配向ポリエステルフィルムを得た。フィルムの特性などを表に示す。Ａ面のＣｓ、Ｒｔｏｐ、Ｍ（１０）が好ましい範囲となり、Ａ面に対するレジスト層塗工性、レジスト層剥離性、離型層塗工性に優れるフィルムとなった。
【００８１】
（実施例８）
Ａ面、Ｂ面両方に大気圧グロー放電処理を行った以外は、実施例３と同様にして二軸配向ポリエステルフィルムを得た。フィルムの特性などを表に示す。フィルム両面のＣｓが好ましい範囲となった結果、耐薬品性に優れるフィルムとなった。
【００８２】
（比較例１）
押出機に供給するＡ層を構成する樹脂を表に記載の通りとし、実施例１と同様の方法で未延伸フィルムを得た後、大気圧グロー放電処理を行わずに逐次二軸延伸機へと導入したこと以外は実施例１と同様の方法で二軸配向フィルムを得た。得られた二軸配向フィルムの特性等を表に示す。大気圧グロー放電処理を実施していないため、Ａ面の特性に劣り、レジスト層塗工性、レジスト層剥離性、離型層塗工性、耐薬品性、被離型物の剥離性に劣るフィルムであった。
【００８３】
（比較例２）
熱固定温度を２２０℃とした以外は、実施例２と同様にして二軸配向ポリエステルフィルムを得た。フィルムの特性などを表に示す。熱固定温度が低いため、Ｃｓの値が小さく、レジスト層剥離性、離型層塗工性、被離型物の剥離性に劣るフィルムであった。
【００８４】
（比較例３、４）
原料の組成を表の通りに変えた以外は、比較例１と同様にしてフィルムを得た。Ａ面の表面特性に劣り、レジスト層塗工性、レジスト層剥離性、離型層塗工性、耐薬品性、被離型物の剥離性に劣るフィルムであった。
【００８５】
【表１】
2020084187.tif 000002
【００８６】
【表２】
2020084187.tif 000003
【００８７】
【表３】
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【００８８】
【表４】
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【００８９】
【表５】
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【００９０】
【表６】
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【産業上の利用可能性】
【００９１】
本発明の熱可塑性樹脂フィルムは良好な平滑性、易滑性を有し、さらに他の層の積層性、耐薬品性も向上させることができるため、片面に感光樹脂組成物を体積して使用されるドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）支持体用ポリエステルフィルムや積層セラミックコンデンサー（ＭＬＣＣ）を製造する際に用いられる離型用フィルム基材、冷凍機のモーターなどの電気絶縁用フィルムに好適に用いることができる。
【図１】
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