(57)【要約】【課題】液体に含まれる異物の吐出口近傍への流入を抑制する。【解決手段】液体吐出ヘッド１は、液体が供給される供給路５が貫通する基板２と、基板２と対向し、液体が吐出される吐出口１０を備え、基板２との間で供給路５及び吐出口１０と連通する流路１１を形成する天板８と、天板８から流路１１を通って供給路５の内部まで延びる柱状部材１３と、を有している。柱状部材１３の供給路５に位置する端面１４は、吐出口１０から離れる方向において、天板８に向かって傾斜している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が供給される供給路が貫通する基板と、
前記基板と対向し、液体が吐出される吐出口を備え、前記基板との間で前記供給路及び前記吐出口と連通する流路を形成する天板と、
前記天板から前記流路を通って前記供給路の内部まで延びる柱状部材と、を有し、
前記柱状部材の前記供給路に位置する端面は、前記吐出口から離れる方向において、前記天板に向かって傾斜している液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記天板から前記流路を通って前記供給路の内部まで延びる他の柱状部材を有し、前記柱状部材と前記他の柱状部材は前記供給路の壁面に沿って配置されている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記天板から前記流路を通って前記供給路の内部まで延びる他の柱状部材を有し、前記柱状部材と前記他の柱状部材は互いに直交する２方向において同一間隔で配置されている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
液体が供給される供給路が貫通する基板と、
前記基板と対向し、液体が吐出される吐出口を備え、前記基板との間で前記供給路及び前記吐出口と連通する流路を形成する天板と、
前記天板から前記流路を通って前記供給路の内部まで延びる柱状部材と、を有し、
前記柱状部材の前記供給路に位置する端面は、前記供給路の流路断面の中央で前記天板に向けて突き出した椀状の仮想面に沿っている、液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記端面の前記柱状部材の側面に対する傾斜角は、前記供給路の流路断面の中央から遠ざかるほど小さい、請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記端面は、前記供給路の前記柱状部材に最も近接する壁面に向かって凹の凹曲面をなしている、請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記柱状部材は前記供給路の流路断面の中央より前記吐出口に近接した位置にある、請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
基板と、液体が吐出される吐出口を備えた天板と、を有し、液体が供給される供給路が前記基板の第１の面から前記第１の面の裏面まで貫通し、前記天板は前記基板の前記第１の面と対向し、前記基板との間で前記供給路及び前記吐出口と連通する流路を形成する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記供給路が設けられた前記基板の前記第１の面に感光性樹脂からなる型材を形成し、前記型材の一部を前記供給路の前記第１の面における開口から前記供給路の壁面に沿って垂れ込ませ、前記供給路に、前記供給路の前記開口を埋め且つ前記壁面に近いほど深く垂れ込んだ垂れ込み部を形成することと、
前記垂れ込み部が形成された前記型材を所定のパターンで露光することと、
露光された前記型材の上に、感光性樹脂からなる層を形成することと、
前記層を所定のパターンで露光することと、
前記型材と前記層を現像し、前記流路を形成するとともに、前記層から前記天板を形成し、前記型材の一部から、前記天板から前記流路を通って前記供給路の内部まで延びる柱状部材を形成することと、を有する液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記基板の前記第１の面にドライフィルムを転写し押圧することで、前記型材が形成されるとともに前記垂れ込み部が形成される、請求項８に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記ドライフィルムは前記ドライフィルムの軟化点以上の温度で転写される、請求項９に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記型材と前記層はネガ型感光性樹脂で形成される、請求項８から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドとその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクなどの液体を吐出する液体吐出ヘッドでは、記録品質を向上させるため、液体に含まれる異物を捕捉する部材が設けられることがある。このような液体吐出ヘッドとして、特許文献１には、液体が供給される供給路が貫通する基板と、基板と対向する流路形成部材と、フィルタとを有する液体吐出ヘッドが開示されている。特許文献１に記載の液体吐出ヘッドでは、流路形成部材は液体が吐出される吐出口を備えた天板を有し、天板は、基板との間で供給路及び吐出口と連通する流路を形成している。さらに、天板から流路を通って供給路の内部まで延びる柱状部材を有し、この柱状部材は液体に含まれる異物を捕捉するフィルタとして機能する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１５８１５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の液体吐出ヘッドでは、柱状部材の供給路内に位置する端面、すなわち柱状部材の液体供給方向における上流側の端面が、平面である。このような形状の柱状部材では、端面で異物の移動方向を制御できないため、吐出口近傍に異物が流入する可能性がある。高速かつ高精細な記録が要求されている近年の液体吐出ヘッドにおいて、吐出口近傍に異物が流入すると、液滴形成に必要な液量を供給できなくなり、記録品質を低下させる可能性がある。
本発明は、液体に含まれる異物の吐出口近傍への流入を抑制することが可能な液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の液体吐出ヘッドは、液体が供給される供給路が貫通する基板と、基板と対向し、液体が吐出される吐出口を備え、基板との間で供給路及び吐出口と連通する流路を形成する天板と、天板から流路を通って供給路の内部まで延びる柱状部材と、を有し、柱状部材の供給路に位置する端面は、吐出口から離れる方向において、天板に向かって傾斜している。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、柱状部材の供給路に位置する端面は、吐出口から離れる方向に天板に向かって傾斜しているため、液体に含まれる異物が端面の傾斜に沿って吐出口から離れる方向に移動しやすくなる。従って、本発明によれば液体に含まれる異物の吐出口近傍への流入を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドの模式図である。
【図２】図１に示す液体吐出ヘッドの模式的断面図である。
【図３】変形例の液体吐出ヘッドの模式的平面図である。
【図４】変形例の液体吐出ヘッドの模式的断面図である。
【図５】図１に示す液体吐出ヘッドの製造方法の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照して、本発明のいくつかの実施形態について説明する。本発明の液体吐出ヘッドにおいて吐出される液体は特に限定されないが、本実施形態では液体はインクとして説明する。
【０００９】
図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを模式的に示す斜視図、図１（ｂ）は図１（ａ）に示す液体吐出ヘッドの平面図であり、便宜上、吐出口と供給路と柱状部材を同一平面上に示している。図２（ａ）は図１（ｂ）のＡ−Ａ断面を、図２（ｂ）は図１（ｂ）のＢ−Ｂ断面を、図２（ｃ）は図２（ａ）のＣ部拡大図を示している。なお、各図において方向Ｘはインクが圧力室１２に流入する方向、方向Ｙは方向Ｘと直交し、複数の吐出口１０が配列する方向、方向Ｚは方向Ｘ，Ｙと直交し、インクが吐出口１０から吐出する方向である。
液体吐出ヘッド１は、基板２と、基板２の上に形成された流路形成部材３と、を有している。基板２には、インクにインクを吐出するためのエネルギーを与えるエネルギー発生素子４や、エネルギー発生素子４の駆動回路（図示せず）、接続端子１８などが形成されている。エネルギー発生素子４としては、例えばＴａＳｉＮ膜を用いた発熱抵抗素子が挙げられる。エネルギー発生素子４の数は限定されず、複数のエネルギー発生素子４が所定の間隔で配置されていてもよい。基板２には、絶縁層、保護層、密着向上層、平坦化層、反射防止層、耐薬品層等（これらの層は図示せず）が形成されていてもよく、また、これらの層は任意の層の間に形成することができる。駆動回路はトランジスタ等の半導体素子を含んでいる。基板２は半導体素子や回路が形成可能であれば特に限定されないが、抵抗率の制御性や加工性の観点からシリコン基板を用いることが好ましい。以下の説明において、エネルギー発生素子４、駆動回路、接続端子１８などが形成された基板２の面を第１の面２Ａ、第１の面２Ａの裏面を第２の面２Ｂという。
【００１０】
基板２には、インクが供給される供給路５が、基板２を第１の面２Ａから第２の面２Ｂまで貫通して設けられている。供給路５は、方向Ｘにおいてエネルギー発生素子４の両側に形成されているが、片側だけに形成されてもよい。なお、供給路５などを用いて、圧力室１２の内部の液体を外部との間で循環させることが好ましい。供給路５は概ね長方形の流路断面を有している。後述するように、液体吐出ヘッド１の製造工程において樹脂を第１の面２Ａから供給路５内に安定的に垂れ込ませることが重要であるため、供給路５の４つの壁面６はすべて基板２の第１の面２Ａに対して垂直に形成されている。供給路５の壁面６が第１の面２Ａに対して非垂直な形状であると、樹脂の垂れ込みが部分的に十分に行われない可能性がある。以下の説明において、供給路５の第１の面２Ａに開口する面を第１の開口７という。
【００１１】
流路形成部材３は、基板２と対向する天板８と、天板８と基板２との間に位置する側壁９とを有している。天板８は、インクが吐出される吐出口１０を備えている。天板８は、基板２との間で、流路１１と圧力室１２を形成する。天板８の膜厚は０．５μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましい。圧力室１２はエネルギー発生素子４を備え、エネルギー発生素子４は吐出口１０と対向している。流路１１は供給路５及び圧力室１２と連通している。従って、流路１１は吐出口１０とも連通している。液体吐出ヘッド１の外部から供給されたインクは、供給路５から流路１１を通って圧力室１２に供給される。そして、吐出のためのエネルギーを圧力室１２が内部に備えるエネルギー発生素子４から与えられて、吐出口１０から吐出される。
【００１２】
液体吐出ヘッド１は、さらに、天板８から流路１１を通って供給路５の内部まで延びる柱状部材１３を有している。柱状部材１３はインクの流通方向に関して圧力室１２の上流側に位置しており、インクに含まれる異物を捕捉するフィルタとして機能する。各供給路５には少なくとも一つの柱状部材１３、好ましくは複数の柱状部材１３が設けられている。一つの供給路５に複数の柱状部材１３を設けることで、異物の捕捉性能を向上させることができる。インクを圧力室１２に円滑に供給するため、柱状部材１３は円筒形状であることが好ましい。円筒形状であれば、流抵抗が少ないためである。柱状部材１３の径、配置、本数、間隔は、捕捉すべき異物の大きさや形状に合わせて適宜設定することができるが、各柱状部材１３は可能な限り、供給路５の第１の開口７の吐出口１０側の縁部１９に近接配置されることが好ましい。換言すれば、柱状部材１３は供給路５の流路断面の中央２０より吐出口１０側に位置することが好ましい。柱状部材１３の一端は、供給路５と対向する位置で天板８に固定され、他端は供給路５に位置する自由端となっている。
【００１３】
自由端の端面１４、すなわち天板８からみて柱状部材１３の裏側の面は、吐出口１０から離れる方向において、天板８に向かって傾斜している。吐出口１０から離れる方向は図２（ａ），（ｃ）において符号Ｆで示されている。このため、図２（ａ）に示すように、異物Ｐは柱状部材１３の端面１４の傾斜に沿って吐出口１０から離れる方向に誘導され、供給路５内のインク吐出への影響の少ない位置で捕捉される。柱状部材１３の端面１４は、当該柱状部材１３に最も近接する供給路５の壁面６Ａに向かって凹の凹曲面となっており、先端部はエッジ状になっている。換言すれば、端面１４の傾斜角Ａは、供給路５の流路断面の中央２０から離れるに従い小さくなる。ここで、端面１４の傾斜角Ａとは、柱状部材１３の長手軸Ｇを通る断面において、湾曲した端面１４に引いた接線１５が柱状部材１３の長手軸Ｇないし長手軸Ｇと平行な側面１６との間でなす角度である。端面１４の傾斜角Ａは端面１４のどの位置でも９０度未満である。傾斜角Ａが９０度の場合、柱状部材１３の端面１４は平坦面またはそれに近い構造となるため、異物を吐出口１０から離れる方向に誘導する効果は期待できない。角度が９０度より大きい場合、異物は逆に吐出口１０側に近づく方向に誘導されやすくなる。ただし、後述するように、柱状部材１３の端面１４の形状は、製造工程中に供給路５に形成される樹脂の垂れ込み部２４の形状に依存する。このため、供給路５内に複数の柱状部材１３が形成される場合、各柱状部材１３の端面１４の傾斜角Ａは供給路５内での配置位置によって異なることがある。
【００１４】
流路形成部材３の側壁９と柱状部材１３は共通の型材から形成されるため、これらの材料は同一である。これらの部材はポジ型感光性樹脂またはネガ型感光性樹脂で形成されるが、耐光性やパターニング性の観点から、より好ましくはネガ型感光性樹脂で形成される。また、製造工程の自由度や製品の信頼性を考慮した場合、熱や薬品への耐性が高い樹脂を用いることが好ましい。このような樹脂として例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、フッ素樹脂等が挙げられる。樹脂としては１種類の感光性樹脂を単独で用いてもよく、２種類以上の感光性樹脂を併用してもよい。感光性樹脂は、光酸発生剤、増感剤、還元剤、密着向上添加剤、撥水剤、電磁波吸収部材等を含んでいてもよい。感光性樹脂には、熱可塑性樹脂や軟化点制御用樹脂や強度を高める樹脂等が添加されていてもよい。流路形成部材３の天板８も上記と同様の理由によりネガ型感光性樹脂で形成することが好ましく、本段落の上記記載は天板８にもあてはまる。
【００１５】
図３は、本実施形態の変形例を示す図１（ｂ）と同様の図である。図３（ａ）を参照すると、複数の第１の柱状部材１３１と複数の第２の柱状部材（他の柱状部材）１３２が供給路５の壁面６に沿って配置されている。図１に示す実施形態と比べて柱状部材１３１，１３２の本数が多く、供給路５及び流路１１における異物の捕捉性能が向上する。第１の柱状部材１３１と第２の柱状部材１３２の端面１４は供給路５の流路断面の中央２０を向く方向において、天板８に向かって傾斜している。換言すれば、第１の柱状部材１３１と第２の柱状部材１３２の傾斜した端面１４はすべて供給路５の流路断面の中央２０を向いている。また、第１の柱状部材１３１は図１，２に示す実施形態の柱状部材１３と同一の構成を有しており、自由端の端面１４は吐出口１０から離れる方向において、天板８に向かって傾斜している。これらのことから、異物を吐出口１０から離れる方向、且つ供給路５の流路断面の中央２０に誘導できるため、異物が圧力室１２に流出する可能性が低減し、記録品位がさらに向上する。
【００１６】
図３（ｂ）を参照すると、複数の第１の柱状部材２３１と複数の第２の柱状部材（他の柱状部材）２３２と中央の第３の柱状部材（他の柱状部材）２３３が設けられている。複数の柱状部材２３１，２３２，２３３は互いに直交する２方向（Ｘ方向及びＹ方向）において同一間隔で配置されている。図示の例では一つの第３の柱状部材２３３が設けられているが、複数の第３の柱状部材２３３が設けられてもよい。図３（ａ）に示す変形例よりも柱状部材２３１，２３２，２３３の本数が多く、且つ、全ての柱状部材２３１，２３２，２３３が同一間隔で配置されている。このため、柱状部材２３１，２３２，２３３間の隙間より大きい異物が圧力室１２に流出する可能性が低減し、記録品位がさらに向上する。第１の柱状部材２３１は上記実施形態における柱状部材１３，１３１と同じ構成を有し、第２の柱状部材２３２は上記実施形態おける柱状部材１３２と同じ構成を有している。すなわち、本変形例は図３（ａ）に示す変形例に第３の柱状部材２３３を追加したものとなっている。なお、供給路５の流路断面の中央２０に配置される第３の柱状部材２３３の端面１４はほぼ水平面となる。これらの変形例は、後述する製造方法において柱状部材の露光パターンを変更するだけで製造することができる。
【００１７】
図４は、本実施形態のさらに他の変形例を示す、図２（ａ）と同様の図である。本実施形態では、図２（ａ）に示す実施形態と比べて柱状部材１３が吐出口１０から離れた位置に配置されている。本実施形態も柱状部材１３の端面１４が、吐出口１０から離れる方向において、天板８に向かって傾斜しているため、異物の圧力室１２ないし吐出口１０への流入を抑制することができる。ただし、生産性の観点からは、パターニングが容易である図２（ａ）に示す実施形態のほうが好ましい。
【００１８】
次に、以上説明した液体吐出ヘッド１の製造方法の一例を、図５を参照して、具体的な例を実施例として示しつつ説明する。図５（ａ）〜（ｉ）は図１のＸ方向の一部断面を示す図である。
まず、図５（ａ）に示すように、ＴａＳｉＮ膜を用いたエネルギー発生素子４、ＳｉＮからなる保護膜（図示せず）、エネルギー発生素子４の駆動回路（図示せず）、接続端子（図示せず）などを基板２の第１の面２Ａに形成する。基板２としてはシリコンの（１００）基板を用いる。
次に、図５（ｂ）に示すように、基板２に、基板２の第１の面２Ａから第２の面２Ｂまで貫通するインクの供給路５を設ける。供給路５は、レーザー加工、反応性イオンエッチング、サンドブラスト、ウェットエッチング等の方法で形成することができる。複数の方法を組み合わせて供給路５を形成することもできるし、複数の製造工程に渡って供給路５を段階的に形成してもよい。実施例では、基板２の第１の面２Ａに対して垂直な壁面６が形成されるように、反応性イオンエッチングで供給路５を形成した。実施例における供給路５の開口幅Ｗは、５０μｍであった。
【００１９】
次に、図５（ｃ）に示すように、第１の支持体２２に支持され、ネガ型感光性樹脂からなる第１のドライフィルム２１を用意する。第１のドライフィルム２１は流路１１及び圧力室１２を形成するための型材２３として利用されるほか、残存する部分、すなわち露光によって非溶解性となった部分が流路形成部材３の側壁９及び柱状部材１３となる。第１の支持体２２の第１のドライフィルム２１が形成される面には離型処理が施される。実施例では、エポキシ樹脂と光酸発生剤をＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールメチルエーテルアセテート）に溶解させた溶液を第１の支持体２２の離型処理面に塗布した後、１００℃で熱処理することによって第１のドライフィルム２１を形成した。エポキシ樹脂として大日本インキ製、商品名「Ｎ−６９５」を、光酸発生剤としてサンアプロ製、商品名「ＣＰＩ−２１０Ｓ」を用いた。第１の支持体２２としては、厚さ１００μｍのＰＥＴからなる単層膜を用いた。
【００２０】
次に、図５（ｄ）に示すように、基板２の第１の面２Ａに型材２３を形成する。実施例では、ロール式ラミネーター（タカトリ製、商品名「ＶＴＭ−２００」）を用いて、第１の支持体２２で支持された第１のドライフィルム２１を基板２の第１の面２Ａに転写した。転写は、転写温度９０℃、ローラー速度０．１ｍｍ／ｓｅｃ、ローラー圧力０．４ＭＰａの条件で行った。型材２３である第１のドライフィルム２１は第１のドライフィルム２１の軟化点以上の温度で転写され、且つローラーで押圧されるため、その一部が第１の開口７から供給路５の壁面６に沿って供給路５に垂れ込む。垂れ込むとは、第１のドライフィルム２１が供給路５の壁面６に沿って下降する現象を意味し、第１のドライフィルム２１から分離した部分が供給路５内を落下する現象は実質的に生じない。これによって、供給路５に型材２３の垂れ込み部２４が形成される。垂れ込み部２４は供給路５の第１の面２Ａ側の部分に充填されるとともに、少なくとも供給路５の第１の開口７を埋めるように形成される。従って、供給路５を第１の面２Ａから第２の面２Ｂに向かってみたときに、供給路５のいずれの位置にも型材２３が形成されることになる。型材２３は供給路５の壁面６に沿って下降するため、垂れ込み長さＬは壁面６で最も大きく、かつ壁面６に近いほど深く垂れ込む。また、垂れ込みは供給路５の流路断面の中央２０の周りで全方位に渡ってほぼ均等に生じる。この結果、垂れ込み部２４の先端面はＸ方向ないしＹ方向からみたときに椀状の凹曲面或いは放物線状の形状となる。第１の面２Ａに形成される型材２３の膜厚は、０．５μｍ以上１００μｍ以下が好ましい。実施例では第１の面２Ａに形成される型材２３の膜厚は３０μｍ、供給路５の壁面６における型材２３の垂れ込み長さＬは３０μｍであった。
【００２１】
垂れ込み部２４の一部は露光及び現像によって柱状部材１３となるため、型材２３を意図的且つ安定的に供給路５内へ垂れ込ませることが重要になる。そのためには、型材２３となる樹脂で形成された第１のドライフィルム２１を、第１の支持体２２を介して、型材２３の軟化点以上の温度で軟化させつつ、適正なローラー速度とローラー圧力で基板２の第１の面２Ａに転写することが好ましい。型材２３の垂れ込みを促進させる場合は転写温度を高く、ローラー速度を遅く、ローラー圧力を高くすればよい。これらの転写条件は使用する型材２３、液体吐出ヘッド１の構造などを考慮して選択される。なお、型材２３の形成は、カーテンコート法、ロールコート法などの塗布によって行うこともできる。
【００２２】
次に、図５（ｅ）に示すように、第１のドライフィルム２１から第１の支持体２２を剥離する。実施例では２５℃の環境で剥離を行った。
次に、図５（ｆ）に示すように、型材２３を所定のパターンで露光する。ネガ型感光性樹脂を用いた場合、型材２３に柱状部材１３のパターンの潜像２８が形成される。ポジ型感光性樹脂を用いた場合、型材２３に流路１１及び圧力室１２のパターンの潜像が形成される。パターンの変形を抑制するため、供給路５内とその外周に反射物質を存在させないことが好ましい。型材２３（第１のドライフィルム２１）は、後工程で天板８に吐出口１０を形成するための露光の際に感光しないように、感度や露光波長の選択性を有することが好ましい。本実施形態では、柱状部材１３のパターンの潜像形成を天板８の形成前に行っているが、天板８の形成後に行ってもよい。なお、型材２３の柱状部材１３の潜像２８が形成された部分は基板２に直接支持されていないため、この時点で現像を行うと型材２３の流路１１及び圧力室１２となる部分とともに流出してしまう。従って、この時点では型材２３の現像は行われない。実施例では、露光装置（キヤノン製、商品名「ＦＰＡ−５５１０ｉＶ」）を用い、光の波長３６５ｎｍ、露光量１００００Ｊ／ｍ２の露光条件で第１のマスク２５を用いて型材２３を露光した。その後９０℃で５分間の熱処理を行い、柱状部材１３のパターンの潜像２８を形成した。
【００２３】
次に、図５（ｇ）に示すように、第２の支持体３２に支持され、ネガ型感光性樹脂からなる第２のドライフィルム３１を用意する。第２の支持体３２の第２のドライフィルム３１が形成される面には離型処理が施される。実施例では、エポキシ樹脂と光酸発生剤をＰＧＭＥＡに溶解させた溶液を第２の支持体３２の離型処理面に塗布した後、８０℃で熱処理することによって第２のドライフィルム３１を形成した。エポキシ樹脂としてはジャパンエポキシレジン製、商品名「１５７Ｓ７０」を、光酸発生剤としてはサンアプロ製、商品名「ＬＷ−Ｓ１」を用いた。第２のドライフィルム３１は、第１のドライフィルム２１よりも露光感度が高くなるように処方した。
【００２４】
次に、図５（ｈ）に示すように、天板８となる感光性樹脂の層である第２のドライフィルム３１を型材２３に転写する。天板８の形成にドライフィルムを用いているため、型材２３の軟化および溶解を抑制することができる。第２のドライフィルム３１は、柱状部材１３のパターンの潜像２８が形成された部分が後述の現像工程で剥離しない程度の接着力で、型材２３に接着される。実施例では、ロール式ラミネーター（タカトリ製、商品名「ＶＴＭ−２００」）を用いて、第２の支持体３２で支持された第２のドライフィルム３１を型材２３上に転写した。転写は、転写温度５０℃、ローラー速度１０．０ｍｍ／ｓｅｃ、ローラー圧力０．２ＭＰａの条件で実施した。型材２３上に形成された第２のドライフィルム３１の膜厚は１５μｍであった。その後、２５℃の環境で第２のドライフィルム３１から第２の支持体３２を剥離した。
【００２５】
次に、図５（ｉ）に示すように、第２のドライフィルム３１を所定のパターンで露光し、吐出口１０以外の部分のパターンの潜像３３を形成する。実施例では、露光装置（キヤノン製、商品名「ＦＰＡ−５５１０ｉＶ」）を用い、光の波長３６５ｎｍ、露光量１０００Ｊ／ｍ２の露光条件で第２のマスク３４を用いて第２のドライフィルム３１を露光し、９０℃で５分間の熱処理を行い、潜像３３を形成した。その後、ＰＧＭＥＡに浸すことで現像を行う。柱状部材１３のパターンの潜像２８から柱状部材１３が形成され、潜像３３から吐出口１０が形成される。柱状部材１３の供給路５に位置する端面１４は、供給路５の流路断面の中央２０で天板８に向けて突き出した椀状の仮想面１７に沿った形状となる。その後、熱処理を行い、型材２３と第２のドライフィルム３１を硬化させる。実施例では２００℃、６０分の熱処理を行った。最後に電気的接続を行うことで、液体吐出ヘッド１が完成する。型材２３と第２のドライフィルム３１の現像液としては、上述のＰＧＭＥＡ以外にシクロヘキサノン、メチルエチルケトン、キシレン等を用いることができる。型材２３と第２のドライフィルム３１の現像選択性が高い場合は、型材２３と第２のドライフィルム３１を個別に現像してもよいが、現像選択性が低い場合は、型材２３と第２のドライフィルム３１を一括して現像するほうが生産性の観点から好ましい。
【００２６】
上記実施例において、図１，２に示す構成の液体吐出ヘッド１を作成した。柱状部材１３は各供給路５に対して同一間隔で３本作成した。柱状部材１３の径は１０μｍ、供給路５の第１の開口７の吐出口１０側の縁部１９から各柱状部材１３の長手軸までの距離は１０μｍ、互いに隣接する柱状部材１３の長手軸同士の間隔は１５μｍであった。傾斜角Ａは９０度未満であり、柱状部材１３の端面１４が、吐出口１０から離れる方向において、天板８に向かって傾斜していることが確認された。電気的接続を行い、完成した液体吐出ヘッド１で印字を行ったところ、長期に渡って印字品位の低下はほとんど確認されなかった。これに対し、柱状部材１３の端面１４が平坦であることを除き上記実施例と同じ比較例の液体吐出ヘッドを作成し同様の評価を行ったところ、印字品位の低下が確認された。比較例のヘッドを解析したところ、実施例のヘッドよりも、供給路５の吐出口１０側の領域で異物が多く捕捉されていることが確認された。
【符号の説明】
【００２７】
１  液体吐出ヘッド
２  基板
５  供給路
８  天板
１０  吐出口
１１  流路
１３  柱状部材
１４  柱状部材の端面
２４  垂れ込み部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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