(57)【要約】【課題】着弾したインク滴を乾燥させるレーザー光を効率良く照射する。【解決手段】媒体に対して相対移動しながらノズルから液体を吐出する液体吐出ヘッドは、液体を貯留するための貯留室が形成される第１基板と、貯留室に連通した圧力室に変位を与える圧電素子と、レーザー光を出射する発光部を有し、圧電素子に対し第１基板と反対側に設けられた第２基板と、第１基板を貫通し、第２基板から出射されたレーザー光を導くための導波部と、を備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒体に対して相対移動しながらノズルから液体を吐出する液体吐出ヘッドであって、
前記液体を貯留するための貯留室が形成される第１基板と、
前記貯留室に連通した圧力室に変位を与える圧電素子と、
レーザー光を出射する発光部を有し、前記圧電素子に対し前記第１基板と反対側に設けられた第２基板と、
前記第１基板を貫通し、前記第２基板から出射されたレーザー光を導くための導波部と、
を備える液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記導波部は、
平面視したときに前記ノズルに対して前記相対移動の逆方向の位置で開口する
請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第２基板は、基板垂直方向にレーザー光を出射する面発光半導体レーザー基板である
請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記圧電素子を覆うように、前記圧電素子と前記第２基板との間に設けられた保護基板を有する
請求項１、２または３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記封止基板と前記第２基板との間に、前記圧電素子を駆動する駆動信号を供給する駆動回路基板を有する
請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第２基板は、
平面視したときに前記ノズルに対して前記相対移動の逆方向となる地点に向けて強度の異なる２以上のレーザー光を出射する
請求項１乃至５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記第２基板は、
平面視したときに前記ノズルに対して前記相対移動となる地点および前記相対移動の逆方向となる地点に向けてそれぞれレーザー光を出射する
請求項１乃至５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを具備する液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インク滴のような液体を媒体に吐出して、文字や、線図、絵柄等の画像を形成する液体吐出装置が知られている。液体吐出装置は、複数のヘッドユニットからなる液体吐出ヘッドを有し、各ヘッドユニットは、インクをノズルから吐出させる複数の圧電素子を含む。各圧電素子は、駆動信号によって変位して、ノズルから所定のタイミングで目的とする量のインク滴を吐出させる。
【０００３】
このような液体吐出装置では、液体吐出ヘッドが媒体に対して相対移動しながら、ノズルからインクが吐出されるが、媒体にインク滴が着弾した付近に、次のインク滴が着弾すると、漏れ拡がったインク同士で混色または滲みが発生して、印刷品位を低下させる。
そこで、ノズルに近接して開口部を設けるとともに、該開口部に光ファイバーの一端を接続し、媒体に着弾したインクに光ファイバーで導波したレーザー光を照射することによって、着弾したインク滴を瞬時に乾燥させる技術が提案されている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−４４３６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、光ファイバーを上記開口部に接続する際に、該光ファイバーに屈曲が生じると、導波される光に損失が発生する。液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる一方、固定側に設けられたレーザー光源に光ファイバーの他端を接続した構成では、液体吐出ヘッドの移動に伴って光ファイバーが屈曲を繰り返すので、損失がより顕著となる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題の一つを解決するために、本発明の一態様に係る液体吐出装置は、媒体に対して相対移動しながらノズルから液体を吐出する液体吐出ヘッドであって、前記液体を貯留するための貯留室が形成される第１基板と、前記貯留室に連通した圧力室に変位を与える圧電素子と、レーザー光を出射する発光部を有し、前記圧電素子に対し前記第１基板と反対側に設けられた第２基板と、前記第１基板を貫通し、前記第２基板から出射されたレーザー光を導く導波部と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】第１実施形態に係る液体吐出ヘッドを適用したインクジェットプリンターを示す斜視図である。
【図２】インクジェットプリンターの内部構成を示す図である。
【図３】インクジェットプリンターにおけるノズルの配列の一例を示す図である。
【図４】インクジェットプリンターにおけるヘッドユニットの構成を示す断面図である。
【図５】液体吐出ヘッドにおける媒体への液体の吐出および乾燥を示す図である。
【図６】第２実施形態に係る液体吐出ヘッドのヘッドユニットを示す図である。
【図７】第３実施形態に係る液体吐出ヘッドのヘッドユニットを示す図である。
【図８】第４実施形態に係る液体吐出ヘッドのヘッドユニットを示す図である。
【図９】第４実施形態の第１変形例を示す図である。
【図１０】第４実施形態の第２変形例を示す図である。
【図１１】第５実施形態に係る液体吐出ヘッドのヘッドユニットを示す図である。
【図１２】第６実施形態に係る液体吐出ヘッドのヘッドユニットを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。なお、各図において、各部の寸法および縮尺は、実際のものと適宜に異ならせてある。また、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【０００９】
図１は、実施形態に係る液体吐出ヘッドを適用したインクジェットプリンター１の構成を示す図である。なお、インクジェットプリンター１は、液体吐出装置の一例である。
このインクジェットプリンター１は、液体の一例であるインク滴を媒体Ｐに吐出することで、媒体Ｐの表面に画像を印刷する。媒体Ｐは、インクの吐出対象であり、具体的には、紙などである。
【００１０】
図１に示されるように、インクジェットプリンター１は、筐体１２と脚部１４とを有する。筐体１２は、媒体Ｐの幅方向に相当するＸ方向に沿って長尺な構造体である。筐体１２には、本実施形態では、相異なる種類のインクを貯留する複数の液体容器１６が装着される。脚部１４は、筐体１２を所定の高さに支持する。なお、複数の液体容器１６には、同種類のインクを貯留する構成としてもよい。
【００１１】
以下の説明では、鉛直方向、すなわち重力の作用方向をＺ方向と表記し、ＸＺ平面に垂直で、媒体Ｐの送り方向をＹ方向と表記する。また、図において、蓋部材２２は、Ｘ方向に平行な回転軸２３に軸支されたカバーであり、利用者は蓋部材２２を手動で開閉可能である。
【００１２】
図２は、インクジェットプリンター１の内部構成を示す図である。
この図に示されるように、インクジェットプリンター１の内部では、制御モジュール１０と、キャリッジ１８と、搬送機構８０と、移動機構９０とが収容される。キャリッジ１８には、本実施形態では、複数個のヘッドユニット３０からなる液体吐出ヘッド２０が搭載される。
制御モジュール１０は、筐体１２に固定され、外部のホストコンピューター等から印刷すべき画像を示す画像データが供給されたとき、該画像データで規定された画像を媒体Ｐに印刷するために、インクジェットプリンター１における各要素を制御する。
なお、インクジェットプリンター１における各要素とは、具体的にはヘッドユニット３０、搬送機構８０および移動機構９０である。
【００１３】
搬送機構８０は、媒体ＰをＹ方向に搬送する。具体的には、搬送機構８０は、回転軸がＸ方向に平行な搬送ローラー８１と、搬送ローラー８１を制御モジュール１０による制御のもとで回転させる例えばモーターのような駆動部８２とを具備する。なお、媒体Ｐが巻回されたロールを回転させて、筐体１２の内部に供給する機構としてもよいし、筐体１２から排出された媒体Ｐを巻取る機構としてもよい。
【００１４】
キャリッジ１８は、液体吐出ヘッド２０を搭載し、移動機構９０によってＸ方向およびＸ方向の逆方向に往復動する。具体的には、移動機構９０は、Ｘ方向に沿って架設された無端ベルト９４と、キャリッジ１８の移動をＸ方向とほぼ平行な方向に規制するガイド軸９６と、無端ベルト９４を制御モジュール１０による制御のもとで駆動する例えばモーターのような駆動部９２とを具備する。
【００１５】
なお、液体吐出ヘッド２０には、制御モジュール１０から各種の駆動信号や制御信号などが、可撓性を有するＦＦＣ１９０を介して供給される。ＦＦＣは、Flexible Flat Cableの略語であり、ＦＦＣ１９０の一端が制御モジュール１０に接続され、ＦＦＣ１９０の他端が液体吐出ヘッド２０の例えば図示省略された中継基板に接続される。
また、液体吐出ヘッド２０には、ＦＦＣ１９０のほか、液体容器１６から各色のインクがチューブ等を介して供給されるが、該チューブ等については図示が省略されている。
【００１６】
図３は、液体吐出ヘッド２０におけるインクの吐出面を、媒体Ｐからみた場合の図である。この図に示されるように、液体吐出ヘッド２０は、Ｘ方向に沿って並んで配列した複数個のヘッドユニット３０を有する。１個のヘッドユニット３０は、媒体Ｐからみた場合に、Ｙ方向に長尺であり、複数個のノズルＮが一列に配列している。
なお、図３では、ノズルＮの一列分がノズル列Ｌとして表記されている。ノズル列Ｌにおいて、各ノズルＮは、Ｙ方向に沿ってピッチＰyにて配列している。
【００１７】
また、ヘッドユニット３０には、各ノズルＮに対してＸ方向の負側には、レーザー光が出射するための開口部ＡがノズルＮに対応してそれぞれ設けられている。このため、ヘッドユニット３０では、ノズルＮと同数の開口部Ａが設けられている。
なお、開口部Ａの形状は、図３では、平面視した場合に丸形であるが、正多角形であってもよい。また、ノズルＮ毎に開口部Ａを設けるのではなく、開口を繋げた長円（オーバル）または長尺の多角形であってよい。
【００１８】
複数個のヘッドユニット３０には、例えばブラック、シアン、マゼンタ、イエローのうち１つの色が割り当てられ、１個のヘッドユニット３０は、割り当てられた一色のインクをノズルＮから吐出する。
なお、同じノズル列Ｌに属するノズルＮから異なる色のインクが吐出される構成でもよい。
【００１９】
図４は、ヘッドユニットの構造を示す断面図である。詳細には図３におけるヘッドユニット３０をｇ−ｇ線で破断した場合の断面、すなわちＸＺ面に沿って破断した断面を示す図である。
図４に示されるように、ヘッドユニット３０では、流路基板４２のＺ方向の負側の面上において、圧力室基板４４と振動板４６と封止体５２と支持体５４と半導体基板６１０とが設けられる。また、ヘッドユニット３０では、流路基板４２のＺ方向の負側の面上には、ノズル板６２とコンプライアンス部６４とが設けられている。
これらの部材は、例えば、接着剤によって互いに固定される。また、流路基板４２および圧力室基板４４は、例えばシリコンの単結晶基板で形成される。
【００２０】
ノズルＮは、ノズル板６２に形成され、開口部Ａは、コンプライアンス部６４に形成される。
【００２１】
第１基板の一例である流路基板４２は、インクの流路が形成された平板材であり、開口部４２２と供給流路４２４と連通流路４２６と貫通路４２８とが形成される。供給流路４２４および連通流路４２６は、ノズル毎に形成され、開口部４２２は、同色のインクを吐出する複数のノズルにわたって連続するように形成される。貫通路４２８は、ノズルＮ毎に設けられ、流路基板４２８をＺ方向に貫通して、該ノズルＮに対応する開口部Ａに連通する。
【００２２】
流路基板４２のうちＺ方向の負側の表面には、支持体５４が固定される。この支持体５４には、収容部５４２と導入流路５４４と貫通路５４８とが形成される。収容部５４２は、Ｚ方向からみた平面視で、流路基板４２の開口部４２２に対応した外形の凹部であり、導入流路５４４は、収容部５４２に連通する流路である。流路基板４２の開口部４２２と支持体５４の収容部５４２とを互いに連通させた空間が、液体貯留室、すなわちリザーバーＳｒとして機能する。液体貯留室Ｓｒは、図１における液体容器１６および導入流路５４４を通過したインクを貯留する。
なお、導入流路５４４には、図示を途中省略したチューブ等を介して、液体容器１６からインクが供給される。また、液体貯留室Ｓｒは、インクの色毎に互いに独立して形成される場合もあるが、本実施形態では簡略化のため、１個のヘッドユニット３０では、同色のインクを吐出する構成として説明しているので、各ノズルＮにわたって共通のインクが貯留される。
貫通路５４８は、ノズルＮ毎に設けられ、支持体５４をＺ方向に貫通して、開口部Ａ、貫通路４２８および後述する貫通路４４８に連通する。
【００２３】
液体貯留室Ｓｒの底面を構成し、当該液体貯留室Ｓｒと内部流路とにおけるインクの圧力変動を抑制または吸収する要素がコンプライアンス部６４である。コンプライアンス部６４は、例えばシート状に形成された可撓性の部材を含んで構成され、具体的には、流路基板４２における開口部４２２と各供給流路４２４とを閉塞するように流路基板４２の表面に固定される。
【００２４】
圧力室基板４４のうち流路基板４２とは反対側の表面に振動板４６が設置される。振動板４６は、弾性的に振動可能な平板状の部材であり、例えば酸化シリコン等の弾性材料で形成された弾性膜と、酸化ジルコニウム等の絶縁材料で形成された絶縁膜との積層で構成される。振動板４６と流路基板４２とは、圧力室基板４４の各開口部４４２の内側で互い間隔をあけて対向する。各開口部４４２の内側で流路基板４２と振動板４６とに挟まれた空間は、インクに圧力を付与する圧力室Ｓｃとして機能する。各圧力室Ｓｃは、流路基板４２の連通流路４２６を介してノズルＮに連通する。また、圧力室基板４４には、開口部４２２および収容部５４２に連通する連通路４４３と、貫通路４２８および５４８に貫通する貫通路４４８とが設けられる。
【００２５】
開口部Ａ、貫通路４２８、４４８および５４８は、いずれもＸＹ平面で見たときの断面がほぼ丸形であり、互いにＺ軸方向にほぼ同軸となるような位置関係となっている。
【００２６】
振動板４６のうち圧力室基板４４とは反対側の表面には、ノズルＮおよび圧力室Ｓｃに対応する圧電素子Ｐztが形成される。
圧電素子Ｐztは、振動板４６の面上に圧電素子Ｐzt毎に個別に形成された駆動電極７２と、当該駆動電極７２の面上に形成された圧電体７４と、当該圧電体７４の面上に形成された共通の駆動電極７６とを包含する。なお、駆動電極７２、７６によって圧電体７４を挟んで対向する領域が圧電素子Ｐztとして機能する。
【００２７】
圧電体７４は、例えば焼成処理を含む工程で形成される。具体的には、複数の駆動電極７２が形成された振動板４６の表面に塗布された圧電材料を、焼成炉内での加熱処理により焼成してから圧電素子Ｐzt毎に成形することにより、例えばプラズマを利用したミーリンにより圧電体７４が形成される。
【００２８】
なお、説明の便宜上、圧電素子Ｐzt、振動板４６、圧力室基板４４、流路基板４２、ノズルプレート６２およびコンプライアンス部６４をアクチュエーター基板４０と称することにする。
【００２９】
封止体５２は、圧電素子Ｐztを覆うように設けられる。
なお、封止体５２と支持体５４とは、図４では個別部品として説明しているが、圧電素子Ｐztを含むアクチェーター基板４０を保護するという観点からいえば、両者を区別する必要がない。このため、以下の説明では、封止体５２と支持体５４とを区別することなく、保護基板５６として説明する。
【００３０】
駆動電極７２の一部は、保護基板５６から露出しており、この露出部分において、配線基板３４の一端が接着材で固着される。
配線基板３４は、ポリイミドなどの絶縁性および可撓性を有するベースフィルム３４２に、複数の配線３４４をパターニングしたものであって、図４では省略された半導体回路が実装されている。
この半導体回路は、制御モジュール１０からＦＦＣ１９０を介して供給された駆動信号を、ノズルから吐出させるインクの量を規定する印刷データにしたがって選択し、圧電素子Ｐztの駆動電極７２に転送する。
詳細には、駆動電極７２は、配線基板３４の配線３４４に電気的に接続され、この接続によって、圧電素子Ｐztの一端には、半導体回路によって転送された駆動信号が個別に印加される構成となっている。
一方、駆動電極７６は、図４では示されていないが、複数の圧電素子Ｐztにわたって共通接続されるとともに、保護基板５６からの露出部分まで引き回されて、配線基板３４における別の配線３４４に電気的に共通接続される。この接続によって、複数の圧電素子Ｐztの他端には、共通の電圧が印加される構成となっている。
【００３１】
このような圧電素子Ｐztにあっては、駆動電極７２、７６で印加された電圧に応じて、当該駆動電極７２、７６および振動板４６とともに、図４において、中央部分が両端部分に対して下方向に撓む。具体的には、本実施形態において圧電素子Ｐztは、駆動電極７６に印加された電圧を基準にして駆動電極７２に印加された電圧の差、すなわち印加電圧がゼロであれば、フラットであり、印加電圧が高くなるにつれて、下方向に撓む。
ここで、圧電素子Ｐztが下方向に撓めば、圧力室Ｓｃの内部容積が縮小するので、縮小の程度によっては、インク滴がノズルＮから吐出される一方、下方向に撓んだ状態からフラット方向に戻れば、圧力室Ｓｃの内部容積が相対的に拡大するので、インクが液体貯留室Ｓｒから引き込まれる。このように、圧電素子Ｐztへの適切な印加電圧によって、当該圧電素子Ｐztが変位して、インクがノズルＮから吐出されたり、圧力室Ｓｃに液体貯留室Ｓｒからインクが引き込まれたりする。
【００３２】
第２基板の一例である半導体基板６１０は、保護基板５６に対しＺ方向の負側に搭載される。半導体基板６１０は、基板面（ＸＹ平面）のうち、Ｙ方向側の面において、ノズルＮ毎に対応して発光部６１２が設けられる。詳細には、発光部６１２は、該基板面において、Ｙ方向に沿ってピッチＰyにて配列するとともに、該垂直方向に図示省略した共振構造を有する光共振器によってＺ方向にレーザー光を出射する。端的にいえば、半導体基板６１０は、基板垂直方向にレーザー光をピッチＰyの一次元配列で出射する面発光レーザー光装置である。
なお、半導体基板６１０は、支持体５４に対して密着しておらず、バンプ６６によって間隙を保った状態で固定される。
【００３３】
半導体基板６１０は、Ｚ方向でみたときに保護基板５６に間隙を保って固定されるが、ＸＹ平面でみたときには、次のような位置関係で保護基板５６に搭載される。すなわち、発光部６１２から出射されたレーザー光がそれぞれ貫通路５４８、４４８、４２８および開口部Ａからなる導波部Ｃｗを通過して、媒体Ｐを照射するような位置に、半導体基板６１０が保護基板５６に搭載される。
ここで、保護基板５６に図示省略の配線を形成して、例えば半導体基板６１０における電源を、これらの配線およびバンプ６６を介して供給する構成としてもよい。
【００３４】
図５は、液体吐出ヘッド２０における媒体Ｐへの液体の吐出を示す図である。液体吐出ヘッド２０では、複数個のヘッドユニット３０がＸ方向に沿って並んで配列しているので、ヘッドユニット３０を便宜的に区別するために、Ｘ方向の正側から順番に、１番目、２番目、３番目、…、と表記している。
【００３５】
図５に示されるように液体吐出ヘッド２０が主走査方向であるＸ方向に移動しながら、各ヘッドユニット３０におけるノズルＮから、インク滴が吐出されて、媒体Ｐに着弾する。詳細には、１番目のヘッドユニット３０におけるノズルＮから連続して吐出されるとともに、媒体Ｐにそれぞれインク滴Ｑ１が着弾する。着弾したインク滴Ｑ１の近傍に、２番目のヘッドユニット３０のノズルＮから吐出されたインク滴Ｑ２がそれぞれ着弾する。同様に、媒体Ｐに着弾したインク滴Ｑ１、Ｑ２の近傍に、３番目のヘッドユニット３０のノズルＮから吐出されたインク滴Ｑ３がそれぞれ着弾する。
【００３６】
本実施形態では、１番目のヘッドユニット３０から吐出されて、媒体Ｐに着弾したインク滴Ｑ１は、２番目のヘッドユニット３０からインク滴が吐出される前に、１番目のヘッドユニット３０の発光部６１２から出射されて導波部Ｃｗを通過したレーザー光Ｂの照射によって強制的に乾燥させられる。
なお、レーザー光Ｂとしては、インク滴を乾燥させるという観点からいえば、１０００ｎｍ以上の赤外域の波長を有することが好ましい。
【００３７】
本実施形態では、光ファイバーを用いていないので、該光ファイバーによる損失が発生しない。このため、発光部６１２から出射されたレーザー光Ｂを効率良く、媒体Ｐまたはインク滴に照射することが可能になる。
【００３８】
また、本実施形態では、媒体Ｐにインク滴Ｑ２が着弾したとき、インク滴Ｑ１はすでに乾燥しているので、インク滴Ｑ１が媒体Ｐに着弾したときに漏れ拡がったとしても、また、位置ズレなどの何らかの理由によって、インク滴Ｑ１の一部または全部に重なってインク滴Ｑ２が着弾したとしても、滲みや混色等の発生が抑えられる。媒体Ｐにインク滴Ｑ３が着弾したときについても、インク滴Ｑ１、Ｑ２はすでに乾燥しているので、同様に、滲みや混色等の発生が抑えられる。
【００３９】
なお、本実施形態では、インク滴Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３、…がレーザー光Ｂによって乾燥させられて、滲みや混色等の発生が抑えられるので、キャリッジ１８を高速に移動させることができる。このため、本実施形態では、高速印刷が可能となる。
また、本実施形態では、複数のヘッドユニット２０から吐出されるインク滴のＸ方向のピッチを狭くしても、滲みや混色等の発生が抑えられるので、高精細な印刷が可能となる。
【００４０】
図６は、第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を簡略化して示す図である。
第１実施形態では、図４をみても判るように、１個のノズルＮに対して１個の発光部６１２が設けられていたが、第２実施形態では、１個のノズルＮに対して複数個、図６では４個の発光部６１２が設けられている。また、第２実施形態では、発光部６１２の各々に対応して、保護基板５６および流路基板４２を貫通する導波部Ｃｗが設けられている。このため、第２実施形態において、発光部６１２および導波部Ｃｗは、ＸＹ平面でみた場合に、４列で配列することになる。
【００４１】
第２実施形態によれば、１個のノズルＮに対して４個の発光部６１２が設けられるので、１個のノズルＮに対して１個の発光部６１２が設けられた第１実施形態と比較して、ノズルＮから吐出されて媒体Ｐに着弾したインク滴における乾燥の度合いを高めることができる。
【００４２】
なお、４列における発光部６１２から出射されるレーザー光Ｂの波長は各列で同じであってもよいし、各列で異なっていてもよい。各列でレーザー光Ｂの波長を異ならせると、媒体Ｐに着弾したインク滴の乾燥過程においてインクの化学的な特性を段階的に改質することができる。
４列における発光部６１２から出射されるレーザー光Ｂの強度は各列で同じであってもよいし、各列で異なっていてもよい。
【００４３】
また一般に、インクジェットプリンター１において、用いられるインクが多種類にわたる場合がある。インクには、例えば、比較的低温であっても乾燥しやすい種類もあれば、乾燥しにくい種類もある。
このような場合に、１個のノズルＮに対して１個の発光部６１２では、他種類のインクに対応できないか、あるいは照射するレーザー光Ｂの強度が過大になりやすい。そこで、液体容器１６にセットされるインクの種類に応じて、４列のうち、レーザー光Ｂを照射する発光部６１２の列数を段階的に設定する構成としても良い。
第２実施形態では、１個のノズルＮに対して４個の発光部６１２が設けられていたが、２以上であればよい。
なお、保護基板５６は、アクチュエーター基板４０を保護すれば良いので、図６に示されるように浮いた状態となっていてもよい。この状態において、駆動信号を保護基板５６に供給して、バンプ６８を介してアクチュエーター基板４０における圧電素子Ｐztに供給する構成としてもよい。
【００４４】
図７は、第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を簡略化して示す図である。
第３実施形態に係る液体吐出ヘッドが図６に示した第２実施形態と相違する点は、１個のノズルＮに対応する４個の発光部６１２に対して設けられていた導波部Ｃｗが、１個の共通の導波部Ｃｃとなった点である。
第３実施形態によれば、第２実施形態と同様に、ノズルＮから吐出されて媒体Ｐに着弾したインク滴を段階的に改質することができる。
なお、第３実施形態においても、第２実施形態と同様に、発光部６１２から出射されるレーザー光Ｂの波長は各列で同じであってもよいし、各列で異なっていてもよい。また、発光部６１２から出射されるレーザー光Ｂの強度についても各列で同じであってもよいし、各列で異なっていてもよい。
【００４５】
図８は、第４実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を簡略化して示す図である。
第４実施形態に係る液体吐出ヘッドが図４に示した第１実施形態と相違する点は、保護基板５６と半導体基板６１０との間に、さらに駆動回路基板６２０が設けられるとともに、該駆動回路基板６２０に、発光部６１２に対応した貫通路６２８が設けられている点である。
ここで、駆動回路基板６２０とは、第１実施形態において配線基板３４に実装された半導体回路である。すなわち、第４実施形態は、上記半導体回路を配線基板３４ではなく、保護基板５６に直接実装されたものである。
【００４６】
図９は、第４実施形態に係る液体吐出ヘッドの第１変形例の構成を簡略化して示す図であり、駆動回路基板６２０を図８に示した構成と比較して小型化して、貫通路６２８を不要とした構成である。
【００４７】
図１０は、第４実施形態に係る液体吐出ヘッドの第２変形例の構成を簡略化して示す図であり、保護基板５６を図９に示した構成と比較して小型化して、貫通路５４８を不要とした構成である。
【００４８】
図１１は、第５実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を簡略化して示す図である。
第５実施形態に係る液体吐出ヘッドが図１０に示した第４実施形態の第２変形例と相違する点は、インク滴の乾燥用レーザー光Ｂを出射する半導体基板６１０とは別に、媒体Ｐの記録面のセンシング用レーザー光Ｗを出射する発光部６３２を有する半導体基板６３０が設けられている点、および、保護基板５６にレーザー光Ｅを貫通させる導波部Ｃｅが設けられている点である。
なお、記録面のセンシングは、媒体Ｐに照射されたレーザー光Ｅの反射による戻り光を入射するエタロンによって実行される。エタロンは、波長可変干渉フィルターによって入射光のうち、特定の波長の光の強度を検出する。
【００４９】
図１２は、第６実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を簡略化して示す図である。
第６実施形態に係る液体吐出ヘッドが図１０に示した第４実施形態の第２変形例と相違する点は、半導体基板６１０においてＸ方向の正側に、レーザー光Ｗを出射する発光部６１４が設けられている点、および、保護基板５６にレーザー光Ｗを貫通させる導波部Ｃｆが設けられている点である。
第６実施形態によれば、液体吐出ヘッドが主走査方向（Ｘ方向）に移動しているときに、インク滴が吐出される直前にレーザー光Ｗが照射されることで、媒体Ｐの記録面が改質されるので、耐摩擦性を向上させることができる。詳細には、媒体Ｐがプロピレンでなどであれば、レーザー光Ｗの照射によって、媒体Ｐの表面にＯＨ基が出現して活性化するので、該媒体Ｐの耐摩擦性を向上させることができる。
【００５０】
なお、レーザー光Ｗとしては、媒体Ｐの表面を活性化させるという観点からいえば、４００ｎｍ以下の紫外域の波長を有することが好ましい。
また、レーザー光Ｗを、媒体Ｐの表面活性化ではなく、インク滴の乾燥として用いると、キャリッジ１８の往復の双方向でインクを吐出させることによる高速印刷にも対応可能となる。
【００５１】
なお、インクジェットプリンター１は、紙や、プラスティックシート、ポリエチレンシート、捺染などに対してインク滴を吐出して、二次元の画像を印刷するものに限られず、吐出したインク滴を積み重ねる、いわゆる３Ｄプリンターであってもよい。
また、吐出するインク量がゼロの場合、いわゆる非記録の場合には、レーザー光Ｂを照射する必要がないので、発光部６１２をオフとしても良い。あるいは、吐出するインク量が増えるにしたがって、レーザー光Ｂの強度を高めたり、１個のノズルＮに複数の発光部６１２を有する場合にはオンさせる発光部６１２の個数を増やしたりする構成でもよい。
【００５２】
半導体基板６１０、６２０には、基板垂直方向にレーザー光を出射する面発光タイプに限られず、基板端面からレーザー光を出射する端面出射タイプも適用可能である。ただし、端面出射タイプでは、Ｚ方向に反射させるマイクロミラーが必要となる点、および、狭ピッチ化が困難である点において、面発光タイプと比較して不利である。
【符号の説明】
【００５３】
１…インクジェットプリンター、２０…液体吐出ヘッド、３０…ヘッドユニット、４２…流路基板、５６…保護基板、６１０…半導体基板、６１２…発光部、６２０…駆動回路基板、Ｎ…ノズル、Ｐzt…圧電素子、Ｓｃ…圧力室、Ｃｗ…導波部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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