(57)【要約】【課題】ビームスプリッタが移動可能な構成であっても、高い精度で観察を行うことができる走査型プローブ顕微を提供する。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡１における試料Ｓ及びカンチレバー４の位置を確認する場合には、ユーザは、筐体２の上面２１の第１開口部２１ａに光学顕微鏡１０を対向配置させ、筐体２の側面２２に設けられた操作部を把持して回転させることで、保持部に保持されているビームスプリッタ６を筐体２内において回転移動させ、光学顕微鏡１０の視野内から退避させる。そのため、ビームスプリッタ６を常に筐体２内に配置させておくことができ、ユーザがビームスプリッタ６に触れることを防止できる。その結果、ビームスプリッタ６が破損したり、ビームスプリッタ６に汚れが付着したりすることを防止できる。また、ビームスプリッタ６の移動距離を短くできる。そのため、ビームスプリッタ６の位置にずれが生じることを抑制できる。【選択図】  図１
2020012835.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の表面に沿って走査されるカンチレバーと、
前記カンチレバーに向けて光を照射する光源と、
前記カンチレバーからの反射光を受光する受光部と、
前記光源から前記受光部までの光路上に設けられ、当該光路上を通過する光を反射させるビームスプリッタと、
少なくとも前記カンチレバー及び前記ビームスプリッタを内部に収容する筐体と、
前記ビームスプリッタを回転移動させることにより前記筐体内で前記光路上から退避させる回転機構とを備え、
前記筐体の上面には、試料の表面を観察するための光学顕微鏡が対向配置される開口部が形成されており、
前記ビームスプリッタは、前記光路上に位置しているときには前記光学顕微鏡の視野内に配置され、前記回転機構により回転移動されて前記光路上から退避することにより、前記光学顕微鏡の視野内からも退避し、
前記回転機構には、前記筐体における上面以外の側面に設けられ、前記ビームスプリッタを回転移動させる際にユーザが把持するための操作部が備えられている設けられていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
【請求項２】
前記回転機構には、前記ビームスプリッタを保持する保持部と、前記保持部に連結された軸部とが備えられ、
前記操作部の操作に基づいて前記軸部が回転することにより、当該軸部に連結された前記保持部が前記ビームスプリッタとともに回転移動することを特徴とする請求項１に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項３】
前記軸部は、その延長線が前記ビームスプリッタの中心に対して偏心するように前記保持部に連結されていることを特徴とする請求項２に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項４】
前記回転機構と前記側面との間には、前記回転機構のがたつきを防止するための弾性部材が設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項５】
前記ビームスプリッタが前記光路上に位置する挿入位置と、前記ビームスプリッタが前記光路上から退避した退避位置とのそれぞれにおいて、前記操作部の回転位置を規制するストッパをさらに備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ビームスプリッタを移動させる機構を備える走査型プローブ顕微鏡に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、試料の微細な表面形状を検査する装置として、走査型プローブ顕微鏡が利用されている。走査型プローブ顕微鏡では、試料の表面に対して、プローブを相対移動させて走査することにより、その走査中にプローブと試料表面との間に作用する物理量（トンネル電流又は原子間力など）の変化が検出される。そして、走査中の上記物理量を一定に保つようにプローブの相対位置がフィードバック制御されることにより、そのフィードバック量に基づいて試料の表面形状を測定することができる。
【０００３】
このような走査型プローブ顕微鏡として、試料及びプローブの位置を確認するための観察窓が形成された装置が利用されている。この走査型プローブ顕微鏡では、観察窓に対向するように光学顕微鏡が設けられる。そして、光学顕微鏡を用いて試料及びプローブの位置を確認して、これらの位置決めを行っている（例えば、下記特許文献１参照）。
【０００４】
特許文献１に記載の走査型プローブ顕微鏡では、試料の表面形状を測定する場合には、光源から出射されたレーザ光が、ビームスプリッタで反射された後、プローブ及びミラーで反射され、フォトダイオードで受光される。一方、光学顕微鏡を用いて試料及びプローブの位置を確認する場合には、ビームスプリッタは、反射位置から移動される。そして、光学顕微鏡の光路上からビームスプリッタが退避された状態で、光学顕微鏡によって試料及びプローブの位置が確認される。これにより、試料及びプローブの位置決めを行う際の視認性を向上できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４０３２２７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のような従来の走査型プローブ顕微鏡では、光学顕微鏡を用いる際には、ビームスプリッタを筐体の外方に引き出すようにして移動させている。そのため、ビームスプリッタにユーザが触れる可能性がある。ユーザがビームスプリッタに触れると、ビームスプリッタが破損したり、ビームスプリッタに汚れが付着したりすることがある。また、ビームスプリッタの移動距離が大きくなるため、ビームスプリッタの位置にずれが生じる可能性が大きくなってしまう。すなわち、従来の走査型プローブ顕微鏡では、ビームスプリッタが移動可能な構成とすることにより、観察する際の精度が低下するおそれがある。
【０００７】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、ビームスプリッタが移動可能な構成であっても、高い精度で観察を行うことができる走査型プローブ顕微を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本発明に係る走査型プローブ顕微鏡は、カンチレバーと、光源と、受光部と、ビームスプリッタと、筐体と、回転機構とを備える。前記カンチレバーは、試料の表面に沿って走査される。前記光源は、前記カンチレバーに向けて光を照射する。前記受光部は、前記カンチレバーからの反射光を受光する。前記ビームスプリッタは、前記光源から前記受光部までの光路上に設けられ、当該光路上を通過する光を反射させる。前記筐体は、少なくとも前記カンチレバー及び前記ビームスプリッタを内部に収容する。前記回転機構は、前記ビームスプリッタを回転移動させることにより前記筐体内で前記光路上から退避させる。前記筐体の上面には、試料の表面を観察するための光学顕微鏡が対向配置される開口部が形成されている。前記ビームスプリッタは、前記光路上に位置しているときには前記光学顕微鏡の視野内に配置され、前記回転機構により回転移動されて前記光路上から退避することにより、前記光学顕微鏡の視野内からも退避する。前記回転機構には、操作部が備えられている。前記操作部は、前記筐体における上面以外の側面に設けられ、前記ビームスプリッタを回転移動させる際にユーザが把持する。
【０００９】
このような構成によれば、試料及びカンチレバーの位置を確認する際には、ユーザは、筐体の上面の開口部に光学顕微鏡を対向配置させ、筐体の側面に設けられた操作部を把持して所定の操作を行うことで、回転機構によりビームスプリッタを回転移動させて、ビームスプリッタを光学顕微鏡の視野内から退避させることができる。また、操作部は、筐体の側面に設けられているため、光学顕微鏡に干渉することがない。このとき、ビームスプリッタは、筐体内において回転移動する。
【００１０】
そのため、ビームスプリッタを回転移動させる場合でも、ビームスプリッタを常に筐体内に配置させておくことができ、ユーザがビームスプリッタに触れることを防止できる。
その結果、ビームスプリッタが破損したり、ビームスプリッタに汚れが付着したりすることを防止できる。
また、ビームスプリッタは、回転移動によって移動するため、その移動距離を短くできる。
そのため、ビームスプリッタの位置にずれが生じることを抑制できる。
このように、本発明に係る走査型プローブ顕微鏡によれば、ビームスプリッタが移動可能な構成であっても、高い精度で観察を行うことができる。
【００１１】
（２）また、前記回転機構には、保持部と、軸部とが備えられてもよい。前記保持部は、前記ビームスプリッタを保持する。前記軸部は、前記保持部に連結される。前記操作部の操作に基づいて前記軸部が回転することにより、当該軸部に連結された前記保持部が前記ビームスプリッタとともに回転移動してもよい。
【００１２】
このような構成によれば、ユーザによる操作部の操作に基づいて、操作部に軸部を介して連結されたビームスプリッタを安定的に回転移動させることができる。
【００１３】
（３）また、前記軸部は、その延長線が前記ビームスプリッタの中心に対して偏心するように前記保持部に連結されていてもよい。
【００１４】
このような構成によれば、ユーザによる操作部の操作に基づいて軸部が回転すると、ビームスプリッタが大きく回転移動する。
そのため、ビームスプリッタを移動させるためにユーザが行う操作部の操作を、小さな動作にすることができる。
【００１５】
（４）また、前記回転機構と前記側面との間には、弾性部材が設けられていてもよい。前記弾性部材は、前記回転機構のがたつきを防止する。
【００１６】
このような構成によれば、回転機構のがたつきによってビームスプリッタの位置にずれが生じることを抑制できる。
【００１７】
（５）また、前記走査型プローブ顕微鏡は、ストッパをさらに備えてもよい。前記ストッパは、前記ビームスプリッタが前記光路上に位置する挿入位置と、前記ビームスプリッタが前記光路上から退避した退避位置とのそれぞれにおいて、前記操作部の回転位置を規制する。
【００１８】
このような構成によれば、ストッパによって操作部の回転位置を規制することで、ビームスプリッタを挿入位置又は退避位置に確実に配置させることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、ビームスプリッタは、筐体内において回転移動する。そのため、ユーザがビームスプリッタに触れることを防止でき、ビームスプリッタが破損したり、ビームスプリッタに汚れが付着したりすることを防止できる。また、ビームスプリッタの移動距離を短くできる。そのため、ビームスプリッタの位置にずれが生じることを抑制できる。すなわち、ビームスプリッタが移動可能な構成であっても、高い精度で観察を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態に係る走査型プローブ顕微鏡の構成例を示した断面図である。
【図２】図１の走査型プローブ顕微鏡の回転機構を示した斜視図である。
【図３】図１の走査型プローブ顕微鏡を示した側面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
１．走査型プローブ顕微鏡の全体構成
図１は、本発明の一実施形態に係る走査型プローブ顕微鏡１の構成例を示した断面図である。走査型プローブ顕微鏡１は、例えば、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ：Atomic Force Microscope）である。走査型プローブ顕微鏡１は、筐体２と、ステージ３と、カンチレバー４と、光源５と、ビームスプリッタ６と、受光部７と、ミラー８とを備えている。
【００２２】
筐体２は、中空状の箱状に形成されている。筐体２は、上面２１と、側面２２と、底面２３とを備えている。上面２１には、開口部の一例としての第１開口部２１ａが形成されている。底面２３には、第２開口部２３ａが形成されている。上面２１の第１開口部２１ａ、及び、底面２３の第２開口部２３ａは、上下方向において対向するように配置されている。上面２１には、光学顕微鏡１０が載置されている。光学顕微鏡１０は、上面２１の第１開口部２１ａに対向配置されている。
【００２３】
ステージ３は、筐体２の下方に配置されており、具体的には、底面２３の第２開口部２３ａの下方に配置されている。ステージ３は、上下方向に延びる円柱状に形成されている。ステージ３の上端面には、試料Ｓが載置されている。ステージ３は、例えば、その外周面に圧電素子（図示せず）が取り付けられている。そして、この圧電素子に電圧が印加されることにより、ステージ３が適宜変形して、ステージ３上の試料Ｓの位置が変化する。
【００２４】
カンチレバー４は、筐体２内に配置されており、具体的には、筐体２の底面２３の第２開口部２３ａの近傍に配置されている。カンチレバー４は、例えば、片持ち支持される長尺状の部材であって、自由端側の先端部にプローブが設けられている。カンチレバー４（カンチレバー４のプローブ）は、ステージ３上の試料Ｓの表面に沿って走査される。
【００２５】
光源５は、筐体２内に配置されている。光源５は、レーザ光を出射するように構成されている。
ビームスプリッタ６は、筐体２内に配置されており、通常は、光源５の光路上に配置されている。詳しくは後述するが、ビームスプリッタ６は、光源５の光路上に配置される挿入位置Ｂと、光源５の光路上から退避される退避位置Ｃとの間で移動可能である。挿入位置Ｂ及び退避位置Ｃは、筐体２内の所定の位置である。ビームスプリッタ６は、挿入位置Ｂに配置された状態では、光源５からの光をカンチレバー４に向けて反射させる。このとき（挿入位置Ｂに配置されるとき）、ビームスプリッタ６は、光源５からの光路上に配置されるとともに、光学顕微鏡１０の視野内に配置される。
【００２６】
受光部７は、筐体２内に配置されている。受光部７は、例えば、フォトダイオードなどであって、カンチレバー４からの反射光を受光して検出するように構成されている。
ミラー８は、筐体２内において、カンチレバー４と受光部７との間に配置されている。
【００２７】
走査型プローブ顕微鏡１において、試料Ｓの観察を行う場合には、ビームスプリッタ６は、挿入位置Ｂに配置される。そして、ステージ３が適宜変形されて、ステージ３上の試料Ｓの位置が変化する。これにより、試料Ｓの表面に対して、カンチレバー４のプローブが相対移動されて、試料Ｓの表面に沿って走査される。この走査中にプローブと試料Ｓの表面との間に作用する原子間力が変化する。
【００２８】
また、光源５からは、レーザ光が照射される。光源５からの光は、ビームスプリッタ６で反射して、カンチレバー４のプローブに向かう。そして、カンチレバー４のプローブで反射された光（反射光）は、ミラー８で反射され、受光部７で受光される。
【００２９】
カンチレバー４のプローブは、試料Ｓの表面の凹凸に沿って相対移動されるため、凹凸の形状に応じて撓む。カンチレバー４のプローブが撓むと、受光部７では、反射光を受光する位置が変化する。したがって、受光部７における反射光の受光位置の変化に基づいて、走査中にカンチレバー４のプローブと試料Ｓの表面との間に作用する原子間力の変化を検出することができる。そして、この原子間力の変化に基づいて、試料Ｓの表面形状が測定される。
【００３０】
一方、試料Ｓ及びカンチレバー４の位置を確認する場合には、ビームスプリッタ６は、退避位置Ｃに配置される。そして、ビームスプリッタ６は、光源５の光路上から退避されるとともに、光学顕微鏡１０の視野内から退避される。この状態で、光学顕微鏡１０を用いて試料Ｓ及びカンチレバー４の位置が確認されて、これらの位置決めが行われる。このとき、光源５からのレーザ光の照射は停止される。
【００３１】
このように、走査型プローブ顕微鏡１において、ビームスプリッタ６は、試料Ｓの観察を行う場合には挿入位置Ｂに配置され、試料Ｓ及びカンチレバー４の位置を確認する場合には、退避位置Ｃに配置される。
【００３２】
２．回転機構の構成
上記したように、ビームスプリッタ６は、筐体２内において、挿入位置Ｂと退避位置Ｃとの間を移動する。そして、このビームスプリッタ６の移動は、回転機構１１の動作によって行われる。
【００３３】
図２は、回転機構１１を示した斜視図である。
回転機構１１は、ビームスプリッタ６を回転移動させることによって筐体２内で移動させるための機構であって、保持部１１１と、軸部１１２と、操作部１１３と、係止部１１４とを備えている。
【００３４】
保持部１１１は、板状に形成されている。保持部１１１の一端面には、ビームスプリッタ６が固定されている。すなわち、保持部１１１は、ビームスプリッタ６を保持している。
【００３５】
軸部１１２は、保持部１１１の他端面から他方側に向かって延びている。軸部１１２は、保持部１１１の他端面に対して直交方向に延びる円柱状に形成されている。軸部１１２の一端部は、例えば、接着により保持部１１１に固定（連結）されている。前記直交方向に見たときに、軸部１１２は、ビームスプリッタ６の中心と重ならない位置に配置されている。このように、軸部１１２は、その延長線がビームスプリッタ６の中心に対して偏心するように保持部１１１に連結されている。
【００３６】
操作部１１３は、軸部１１２の他端部に固定（連結）されている。操作部１１３は、側面視楕円形状の板状に形成されている。操作部１１３は、その長軸方向における一端部に軸部１１２が固定されている。
係止部１１４は、軸部１１４の中央部に固定されている。係止部１１４は、側面視円形状の板状に形成されている。係止部１１４は、その中心部が軸部１１３に固定されている。
このように、回転機構１１は、一体的に形成される保持部１１１、軸部１１２、操作部１１３及び係止部１１４によって構成される。
【００３７】
３．回転機構及びビームスプリッタの動作
図３は、走査型プローブ顕微鏡１を示した側面図である。図４は、図３のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
走査型プローブ顕微鏡１の筐体２の側面２２には、第１規制ピン２２１と、第２規制ピン２２２とが設けられている。
【００３８】
第１規制ピン２２１は、棒状に形成されており、側面２２から外方（側面２２と直交する方向であって筐体２の外方）に向かって延びている。図４に示すように、側面２２には、挿通孔２２ａが形成されている。第１規制ピン２２１は、挿通孔２２ａに対して水平方向に間隔を隔てて配置されている。
【００３９】
図３及び図４に示すように、第２規制ピン２２２は、棒状に形成されており、側面２２から外方（側面２２と直交する方向であって筐体２の外方）に向かって延びている。第２規制ピン２２２は、挿通孔２２ａの上方に間隔を隔てて配置されている。第２規制ピン２２２及び第１規制ピン２２１は、ストッパの一例である。
【００４０】
上記した回転機構１１は、筐体２の側面２２に取り付けられている。具体的には、図４に示すように、回転機構１１の軸部１１２が、筐体２の側面２２の挿通孔２２ａに回転可能な状態で挿通されている。この状態において、回転機構１１の操作部１１３は、筐体２（側面２２）の外方に配置されており、回転機構１１の保持部１１１（保持部１１１及びビームスプリッタ６）と、係止部１１４とは、筐体２（側面２２）の内方に配置されている。操作部１１３は、側面２２に隣接するように配置されている。係止部１１４は、側面２２と間隔を隔てて配置されている。係止部１１４と側面２２との間には、弾性部材３０が設けられている。
【００４１】
弾性部材３０は、例えば、波形状に湾曲した断面形状を有する板ばね（ウェーブワッシャー）であって、その中央部に軸部１１２が挿通されている。弾性部材３０は、圧縮された状態で、係止部１１４と側面２２との間に介在されている。これにより、回転機構１１には、側面２２から離れる方向（内方）に向かう付勢力が付与されている。
【００４２】
光学顕微鏡１０を用いて、走査型プローブ顕微鏡１における試料Ｓ及びカンチレバー４の位置を確認する場合には、ユーザは、図３に示す状態から、操作部１１３を把持して回転させる。この例では、ユーザは、操作部１１３を第２規制ピン２２２側に向かって側面視反時計回りに回転させ、操作部１１３を第２規制ピン２２２に当接させる。
【００４３】
これにより、操作部１１３とともに、軸部１１２及び保持部１１１が回転する。そして、保持部１１１に保持されているビームスプリッタ６が回転移動する。上記したように、軸部１１２は、その延長線がビームスプリッタ６の中心に対して偏心しているため、ビームスプリッタ６は大きく回転移動して、退避位置Ｃ（図１参照）に配置される。
【００４４】
このとき、操作部１１３が第２規制ピン２２２に当接するため、操作部１１３のさらなる移動（回転）が規制される。そして、弾性部材３０から回転機構１１に付与される付勢力によって、ビームスプリッタ６が退避位置Ｃに配置される状態が保持される。
【００４５】
また、この状態から、走査型プローブ顕微鏡１において、試料Ｓの観察を開始する場合には、ユーザは、操作部１１３を把持して、上記した方向と逆方向に回転させる。この例では、ユーザは、操作部１１３を第１規制ピン２２１側に向かって側面視時計回りに回転させ、図３に示すように、操作部１１３を第１規制ピン２２１に当接させる。
【００４６】
これにより、操作部１１３とともに、軸部１１２及び保持部１１１が回転する。そして、保持部１１１に保持されているビームスプリッタ６が回転移動して、挿入位置Ｂ（図１参照）に配置される。
【００４７】
このとき、操作部１１３が第１規制ピン２２１に当接するため、操作部１１３のさらなる移動（回転）が規制される。そして、弾性部材３０から回転機構１１に付与される付勢力によって、ビームスプリッタ６が挿入位置Ｂに配置される状態が保持される。
【００４８】
また、弾性部材３０から回転機構１１に付与される付勢力によって、操作部１１３（回転機構１１）のがたつきが防止される。さらに、ユーザが操作部１１３の把持状態を解除した場合など、操作部１１３に力が加えられない場合には、操作部１１３（回転機構１１）は、回転移動せずに、弾性部材３０の付勢力によって任意の位置に固定されて配置される。
【００４９】
以上のように、走査型プローブ顕微鏡１では、ユーザが操作部１１３を把持して回転させることにより、軸部１１２を介して保持部１１１が回転移動する。これにより、保持部１１１に保持されたビームスプリッタ６が、筐体２内において、挿入位置Ｂと退避位置Ｃとの間を回転移動する。
【００５０】
４．作用効果
（１）本実施形態では、図１に示すように、光学顕微鏡１０を用いて、走査型プローブ顕微鏡１における試料Ｓ及びカンチレバー４の位置を確認する場合には、ユーザは、筐体２の上面２１の第１開口部２１ａに光学顕微鏡１０を対向配置させ、筐体２の側面２２に設けられた操作部１１３を把持して回転させることで、軸部１１２及び保持部１１１を回転移動させる。そして、保持部１１１に保持されているビームスプリッタ６を筐体２内において回転移動させ、光学顕微鏡１０の視野内から退避させる。
【００５１】
そのため、ビームスプリッタ６を移動させる場合でも、ビームスプリッタ６を常に筐体２内に配置させておくことができ、ユーザがビームスプリッタ６に触れることを防止できる。
その結果、ビームスプリッタ６が破損したり、ビームスプリッタ６に汚れが付着したりすることを防止できる。
また、ビームスプリッタ６は、回転移動によって移動するため、その移動距離を短くできる。
そのため、ビームスプリッタ６の位置にずれが生じることを抑制できる。
このように、走査型プローブ顕微鏡１によれば、ビームスプリッタ６が移動可能な構成であっても、高い精度で観察を行うことができる。
【００５２】
（２）また、本実施形態では、図２に示すように、回転機構１１には、ビームスプリッタ６を保持する保持部１１１と、保持部１１１に連結される軸部１１２とが備えられている。そして、ユーザによる操作部１１３の操作に基づいて、軸部１１２が回転することにより、軸部１１２に連結された保持部１１１がビームスプリッタ６とともに回転移動する。
【００５３】
このような構成により、ユーザによる操作部１１３の操作に基づいて、操作部１１３に軸部１１２を介して連結されたビームスプリッタ６を安定的に回転移動させることができる。
【００５４】
（３）また、本実施形態では、図２に示すように、軸部１１２は、その延長線がビームスプリッタ６の中心に対して偏心するように保持部１１１に連結されている。
【００５５】
そのため、ユーザによる操作部１１３の操作に基づいて軸部１１２が回転すると、ビームスプリッタ６は大きく回転移動する。
その結果、ビームスプリッタ６を移動させるためにユーザが行う操作部１１３の操作（操作部１１３の回転動作）を、小さな動作にすることができる。
【００５６】
（４）また、本実施形態では、図４に示すように、係止部１１４と側面２２との間には、弾性部材３０が設けられている。そして、回転機構１１には、弾性部材３０によって、側面２２から離れる方向に向かう付勢力が付与されており、回転機構１１のがたつきが防止される。
【００５７】
そのため、回転機構１１のがたつきによってビームスプリッタ６の位置にずれが生じることを抑制できる。
【００５８】
（５）また、本実施形態では、図３に示すように、走査型プローブ顕微鏡１の筐体２の側面２２には、第１規制ピン２２１及び第２規制ピン２２２が設けられている。ビームスプリッタ６が挿入位置Ｂに配置された状態においては、操作部１１３は、第１規制ピン２２１に当接しており、その回転移動が規制される。また、ビームスプリッタ６が退避位置Ｃに配置された状態においては、操作部１１３は、第２規制ピン２２２に当接しており、その回転移動が規制される。
【００５９】
そのため、第１規制ピン２２１及び第２規制ピン２２２によって、操作部１１３の回転移動を規制することで、ビームスプリッタ６を挿入位置Ｂ又は退避位置Ｃに確実に配置させることができる。
５．変形例
【００６０】
上記の実施形態では、カンチレバー４を試料Ｓの表面に対して相対移動させるための機構として、圧電素子を備えたステージ３が用いられるとして説明した。しかし、カンチレバー４を試料Ｓの表面に対して相対移動させるための機構は、圧電素子に限られるものではなく、他の任意の機構を用いて、カンチレバー４に対するステージ３の位置を変化させることができる。また、カンチレバー４に対するステージ３の位置を変化させるのではなく、ステージ３に対するカンチレバー４の位置を変化させることにより、カンチレバー４を試料Ｓの表面に対して相対移動させるような機構であってもよい。
【００６１】
また、上記の実施形態では、走査型プローブ顕微鏡の一例である原子間力顕微鏡に、本発明が適用された構成について説明した。しかし、本発明は、原子間力顕微鏡に限らず、トンネル顕微鏡（ＳＴＭ：Scanning Tunneling Microscope）などの他の走査型プローブ顕微鏡にも適用可能である。
【００６２】
また、上記の実施形態では、弾性部材３０は、ウェーブワッシャーであるとして説明した。しかし、弾性部材３０は、ウェーブワッシャーに限らず、他の形状を有する板ばねであってもよいし、コイルばね又はゴムなどの他の弾性部材であってもよい。
【００６３】
また、上記の実施形態では、弾性部材３０は、係止部１１４と側面２２との間に配置されるとして説明した。しかし、弾性部材３０は、操作部１１３と側面２２との間に配置されてもよい。
【００６４】
また、上記の実施形態では、操作部１１３は、側面視楕円形状の板状であるとして説明した。しかし、操作部１１３は、その他の形状、例えば、棒状や円錐状であってもよい。
【００６５】
また、上記の実施形態では、操作部１１３の回転移動を規制するストッパは、第１規制ピン２２１及び第２規制ピン２２２であるとして説明した。しかし、操作部１１３の回転移動を規制するストッパは、側面２２から突出する凸状のものであればよく、棒状のピンに限られない。例えば、操作部１１３の回転移動を規制するストッパは、側面２２から突出する板状の部材であってもよい。
【符号の説明】
【００６６】
１        走査型プローブ顕微鏡
２        筐体
４        カンチレバー
５        光源
６        ビームスプリッタ
７        受光部
１０      光学顕微鏡
１１      回転機構
２１      上面
２１ａ    第１開口部
２２      側面
１１１    保持部
１１２    軸部
１１３    操作部
１１４    係止部
２２１    第１規制ピン
２２２    第２規制ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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