(57)【要約】      （修正有）【課題】溝の位置ずれを低減可能なバッキングプレートの製造方法の提供。【解決手段】溝２が長手方向に延在する少なくとも２つの第１部分５、７を含み、本体１と蓋部材３との被接合領域が長手方向に延在し、かつ、少なくとも２つの第１部分において対向する各２つの側面に対応する少なくとも４つの第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂを含み、少なくとも４つの第１被接合領域における本体と蓋部材との接合を、工程（ａ）：１つの第１部分における１つの側面に対応する１つの第１被接合領域において本体と蓋部材とを接合する工程、工程（ｂ）：残りの被接合領域のうち、別の第１部分における１つの側面に対応する１つの被接合領域において本体と蓋部材とを接合する工程、および、工程（ｃ）：工程（ｂ）を繰り返す工程によって実施するバッキングプレートの製造方法。【選択図】図１
2020084327.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が通過する溝を片面に有する板状の本体と、該本体の該溝を覆うように該本体に配置される板状の蓋部材とを接合することを含むバッキングプレートの製造方法であって、
前記溝が、前記本体の長手方向に延在する少なくとも２つの第１部分を含み、
前記本体と前記蓋部材との被接合領域が、前記本体の長手方向に延在し、かつ、前記少なくとも２つの第１部分において対向する各２つの側面に対応する少なくとも４つの第１被接合領域を含み、
前記少なくとも４つの第１被接合領域における前記本体と前記蓋部材との接合を、
工程（ａ）：１つの第１部分における１つの側面に対応する１つの第１被接合領域において前記本体と前記蓋部材とを接合する工程、
工程（ｂ）：残りの被接合領域のうち、１つ前の工程において接合した第１部分とは別の第１部分における１つの側面に対応する１つの被接合領域において前記本体と前記蓋部材とを接合する工程であって、該接合の始点が、１つ前の工程における接合の終点に対して離間した位置にある工程、および、
工程（ｃ）：前記工程（ｂ）を繰り返す工程
によって実施する、バッキングプレートの製造方法。
【請求項２】
前記少なくとも４つの第１被接合領域における前記本体と前記蓋部材との接合が、同じ方向に実施される、請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
前記同じ方向は、前記少なくとも４つの第１被接合領域の一端側から他端側に向かって正方向および逆方向のいずれか一方または双方の組み合わせである、請求項２に記載の製造方法。
【請求項４】
前記少なくとも４つの第１被接合領域における前記本体と前記蓋部材との接合を、平面視にて前記本体の長手方向に沿った中心線に対して対称になる順序で１つずつ実施する、請求項１〜３のいずれかに記載の製造方法。
【請求項５】
前記溝が、前記本体の幅方向に延在し、かつ、隣接する２つの前記第１部分を接続する少なくとも１つの第２部分を含み、
前記本体と前記蓋部材との被接合領域が、前記本体の幅方向に延在し、かつ、前記少なくとも１つの第２部分において対向する２つの側面に対応する少なくとも２つの第２被接合領域を含み、
前記少なくとも４つの第１被接合領域における前記本体と前記蓋部材との接合を実施する前または後に、前記少なくとも２つの第２被接合領域における前記本体と前記蓋部材との接合を実施する、請求項１〜４のいずれかに記載の製造方法。
【請求項６】
前記本体と前記蓋部材とを電子ビーム溶接または摩擦撹拌接合により接合する、請求項１〜５のいずれかに記載の製造方法。
【請求項７】
流体が通過する溝を片面に有する板状の本体と、該本体の該溝を覆うように該本体に配置される板状の蓋部材とを含む接合体であって、前記接合体の長さが１０００ｍｍ以上であり、前記本体と前記蓋部材とが接合により一体化されており、前記溝が、前記本体の長手方向に延在する少なくとも２つの第１部分を含み、前記溝の長手方向側面の最大歪みが１ｍｍ未満である、接合体。
【請求項８】
流体が通過する溝を片面に有する板状の本体と、該本体の該溝を覆うように該本体に配置される板状の蓋部材とを含む接合体であって、前記接合体の幅に対する長さの比が３．１以上であり、前記本体と前記蓋部材とが接合により一体化されており、前記溝が、前記本体の長手方向に延在する少なくとも２つの第１部分を含み、前記溝の長手方向側面の最大歪みが１ｍｍ未満である、接合体。
【請求項９】
流体が通過する溝を片面に有する板状の本体と、該本体の該溝を覆うように該本体に配置される板状の蓋部材とを含むバッキングプレートであって、前記バッキングプレートの長さが１０００ｍｍ以上であり、前記本体と前記蓋部材とが接合により一体化されており、前記溝が、前記本体の長手方向に延在する少なくとも２つの第１部分を含み、前記本体の長手方向側面から、前記第１部分の最も近い長手方向側面までの距離の最大値と最小値との差が１ｍｍ未満である、バッキングプレート。
【請求項１０】
流体が通過する溝を片面に有する板状の本体と、該本体の該溝を覆うように該本体に配置される板状の蓋部材とを含むバッキングプレートであって、前記バッキングプレートの幅に対する長さの比が３．１以上であり、前記本体と前記蓋部材とが接合により一体化されており、前記溝が、前記本体の長手方向に延在する少なくとも２つの第１部分を含み、前記本体の長手方向側面から、前記第１部分の最も近い長手方向側面までの距離の最大値と最小値との差が１ｍｍ未満である、バッキングプレート。
【請求項１１】
前記バッキングプレートが、２０００ｍｍを超える長さを有する、請求項９または１０に記載のバッキングプレート。
【請求項１２】
前記バッキングプレートが、２０００ｍｍを超え５０００ｍｍ以下の長さを有する、請求項１１に記載のバッキングプレート。
【請求項１３】
前記バッキングプレートの幅に対する長さの比が、６．０以上である、請求項９〜１２のいずれかに記載のバッキングプレート。
【請求項１４】
前記バッキングプレートの幅に対する長さの比が、７．０以上４０．０以下である、請求項１３に記載のバッキングプレート。
【請求項１５】
請求項１〜６のいずれかに記載の製造方法によって製造されたバッキングプレートにターゲット材を結合することを含むスパッタリングターゲットの製造方法。
【請求項１６】
請求項９〜１４のいずれかに記載のバッキングプレート上にターゲット材が結合されている、スパッタリングターゲット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バッキングプレート、スパッタリングターゲットおよびそれらの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
バッキングプレートは、スパッタリングに用いられるスパッタリングターゲットのターゲット材を支持するとともに、スパッタリングターゲットをスパッタリング装置に固定するために用いられる部材である。また、バッキングプレートは、スパッタリング時に発生する熱を放散する役割をも担っている。
【０００３】
集積回路（ＩＣ）の形成に使用されるスパッタリング装置用のバッキングプレートは、例えば、直径が最大で５００ｍｍ〜６００ｍｍ程度の円盤形の形状を有しており、一般的に銅合金やアルミニウム合金などの板材から作製される。
【０００４】
また、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の製造に使用されるスパッタリング装置用のバッキングプレートは、例えば板状（またはパネル状、直方体状）の形状を有しており、一般的に銅または銅合金などの板材から作製される。
【０００５】
また、ＬＣＤ製造用のスパッタリング装置に用いられるターゲット材は、通常、ＩＣ用のものよりも大型であり、スパッタリング時に発生する熱量も非常に大きい。スパッタリング時に発生する熱は、スパッタリングによって形成される薄膜の特性に影響を及ぼすため、ＬＣＤ製造用のスパッタリング装置には効率的にターゲット材を冷却することができる大型のバッキングプレートが用いられる。ＬＣＤ製造に用いられるバッキングプレートが板状の形状を有する場合、その長さが３ｍを超える場合もある。
【０００６】
例えば、特許文献１〜２に記載される通り、ＬＣＤ製造などに用いられるバッキングプレートは、一般に、放熱性能および冷却性能の向上を目的として、その内部に冷媒用の流体が通過するための流路が形成されていることが多い。このような流路は、例えば、バッキングプレートを構成する本体に予め流路用の溝を形成し、この溝を覆うように作製された蓋部材を、例えば、本体の溝に係合した状態で、溶接により接合することによって形成することができる。接合には、摩擦撹拌接合（Ｆｒｉｃｔｉｏｎ  Ｓｔｉｒ  Ｗｅｌｄｉｎｇ）や、電子ビーム溶接（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｂｅａｍ  Ｗｅｌｄｉｎｇ）などの溶接が利用され得る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−２４８５８４号公報
【特許文献２】特開２０１７−１９３７７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ＬＣＤ製造に用いられるバッキングプレートとしては、一般的に大型で長尺の寸法を有しており、また、銅および銅合金などの比較的硬い金属が用いられ得る。
【０００９】
かかるバッキングプレート内に冷媒用の流路を形成する際、本体と蓋部材とを溶接によって接合すると、その熱によって、接合後の蓋部材を含めた本体全体に歪みや撓みが発生するなどの問題が生じる。電子ビーム溶接により接合する場合、電子ビームが接合部に照射される際に、接合部には大きな熱量が付加されるため、また摩擦攪拌接合により接合する場合、高速回転するツールが接合部に押し込まれ、接合部に大きな負荷がかかるため、歪みや撓みが発生する可能性が高くなる。なお、本明細書において、本体の溝の上側に蓋部材が配置されて接合された状態で、本体の溝と、蓋部材とによって形成される空間を流路と呼ぶ。
【００１０】
従来、本体と蓋部材とを接合した後、接合体に発生した歪みを修正するため、プレス機による矯正作業や切削加工による歪みの除去作業が行われていた。
【００１１】
かかる状況下、本出願人による従前の研究により、本体と蓋部材とを接合した後、接合体の厚さ方向において、接合体の接合面側に反りが生じ得、かかる接合体を一般的な方法で厚さ方向に矯正して切削加工すると、蓋部材の厚さが不均一になり得るという問題が見出された。本出願人は、かかる問題に対処するために、本体と蓋部材とを接合して一体化した後、本体と蓋部材との接合面を上面として、蓋部材の表面において測定される高さの最大値と最小値との差が０．５ｍｍ未満となるように本体を固定し、接合面の少なくとも一部を切削により加工することを提案した（特許文献２参照）。
【００１２】
そして、本発明者らの更なる研究の結果、本体と蓋部材とを接合した後、接合体の面内方向においても、接合体の互いに対向する２つの長手方向側面の一方側に反りが生じ得、かかる接合体を一般的な方法で厚さ方向に矯正して切削加工すると、本体に形成された溝部分（より詳細には溝および蓋部材、ひいては流路、以下も同様）が、所望の位置から幅方向にずれ得るということが新たに見出された。
【００１３】
ここで、本体と蓋部材とを接合した後、厚さ方向および面内方向に反った接合体は、接合体が全体として板状の形状を有していることから、厚さ方向に矯正することはできるが、面内方向に矯正することは実際的に不可能である。従って、厚さ方向に矯正した後、面内方向において反ったままの接合体を接合面、台座面および外周側面にて切削加工により外観だけ所望の形状に仕上げても、本体に形成された溝部分は、長手方向側面の一方側への反りに起因して幅方向に（湾曲して）位置ずれしたままで、接合体中に、ひいてはバッキングプレート中に、存在することとなる。
【００１４】
このように、バッキングプレートにおいて溝部分の幅方向での位置ずれ（以下、単に「位置ずれ」とも言う）が生じると、スパッタリング時に、流路が、ターゲットに対して所望される位置からずれた位置に存在することとなり、よって、十分な冷却効率が得られないという問題が生じることがわかった。ターゲット材はバッキングプレートに低融点はんだ材料で結合され得、かかる場合、冷却効率が十分でないと、ターゲット材がバッキングプレートから剥がれる可能性もある。
【００１５】
本発明は、溝部分の位置ずれを低減することができるバッキングプレートの製造方法および溝部分の位置ずれが低減されたバッキングプレートを提供することを目的とする。また、本発明は、かかるバッキングプレートの製造方法およびバッキングプレートをそれぞれ用いたスパッタリングターゲットの製造方法およびスパッタリングターゲットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の１つの要旨によれば、流体が通過する溝を片面に有する板状の本体と、該本体の該溝を覆うように該本体に配置される板状の蓋部材とを接合することを含むバッキングプレートの製造方法であって、
前記溝が、前記本体の長手方向に延在する少なくとも２つの第１部分を含み、
前記本体と前記蓋部材との被接合領域が、前記本体の長手方向に延在し、かつ、前記少なくとも２つの第１部分において対向する各２つの側面に対応する少なくとも４つの第１被接合領域を含み、
前記少なくとも４つの第１被接合領域における前記本体と前記蓋部材との接合を、
工程（ａ）：１つの第１部分における１つの側面に対応する１つの第１被接合領域において前記本体と前記蓋部材とを接合する工程、
工程（ｂ）：残りの被接合領域のうち、１つ前の工程において接合した第１部分とは別の第１部分における１つの側面に対応する１つの被接合領域において前記本体と前記蓋部材とを接合する工程であって、該接合の始点が、１つ前の工程における接合の終点に対して離間した位置にある工程、および、
工程（ｃ）：前記工程（ｂ）を繰り返す工程
によって実施する、バッキングプレートの製造方法が提供される。
【００１７】
本発明の１つの態様において、前記少なくとも４つの第１被接合領域における前記本体と前記蓋部材との接合は、同じ方向に実施され得る。
【００１８】
本発明の１つの態様において、前記同じ方向は、前記少なくとも４つの第１被接合領域の一端側から他端側に向かって正方向および逆方向のいずれか一方または双方の組み合わせであり得る。
【００１９】
本発明の１つの態様において、前記少なくとも４つの第１被接合領域における前記本体と前記蓋部材との接合を、平面視にて前記本体の長手方向に沿った中心線に対して対称になる順序で１つずつ実施してよい。
【００２０】
本発明の１つの態様において、前記溝が、前記本体の幅方向に延在し、かつ、隣接する２つの前記第１部分を接続する少なくとも１つの第２部分を含み、
前記本体と前記蓋部材との被接合領域が、前記本体の幅方向に延在し、かつ、前記少なくとも１つの第２部分において対向する２つの側面に対応する少なくとも２つの第２被接合領域を含み、
前記少なくとも４つの第１被接合領域における前記本体と前記蓋部材との接合を実施する前または後に、前記少なくとも２つの第２被接合領域における前記本体と前記蓋部材との接合を実施してよい。
【００２１】
本発明の１つの態様において、前記本体と前記蓋部材とを電子ビーム溶接または摩擦撹拌接合により接合してよい。
【００２２】
本発明のもう１つの要旨によれば、流体が通過する溝を片面に有する板状の本体と、該本体の該溝を覆うように該本体に配置される板状の蓋部材とを含む接合体であって、前記接合体の長さが１０００ｍｍ以上であり、前記本体と前記蓋部材とが接合により一体化されており、前記溝が、前記本体の長手方向に延在する少なくとも２つの第１部分を含み、前記溝の長手方向側面の最大歪みが１ｍｍ未満である、接合体が提供される。
【００２３】
本発明のもう１つの要旨によれば、流体が通過する溝を片面に有する板状の本体と、該本体の該溝を覆うように該本体に配置される板状の蓋部材とを含む接合体であって、前記接合体の幅に対する長さの比が３．１以上であり、前記本体と前記蓋部材とが接合により一体化されており、前記溝が、前記本体の長手方向に延在する少なくとも２つの第１部分を含み、前記溝の長手方向側面の最大歪みが１ｍｍ未満である、接合体が提供される。
【００２４】
本発明のもう１つの要旨によれば、流体が通過する溝を片面に有する板状の本体と、該本体の該溝を覆うように該本体に配置される板状の蓋部材とを含むバッキングプレートであって、前記バッキングプレートの長さが１０００ｍｍ以上であり、前記本体と前記蓋部材とが接合により一体化されており、前記溝が、前記本体の長手方向に延在する少なくとも２つの第１部分を含み、前記本体の長手方向側面から、前記第１部分の最も近い長手方向側面までの距離の最大値と最小値との差が１ｍｍ未満である、バッキングプレートが提供される。
【００２５】
本発明のもう１つの要旨によれば、流体が通過する溝を片面に有する板状の本体と、該本体の該溝を覆うように該本体に配置される板状の蓋部材とを含むバッキングプレートであって、前記バッキングプレートの幅に対する長さの比が３．１以上であり、前記本体と前記蓋部材とが接合により一体化されており、前記溝が、前記本体の長手方向に延在する少なくとも２つの第１部分を含み、前記本体の長手方向側面から、前記第１部分の最も近い長手方向側面までの距離の最大値と最小値との差が１ｍｍ未満である、バッキングプレートが提供される。
【００２６】
本発明の１つの態様において、前記バッキングプレートは、２０００ｍｍを超える長さを有し得る。
【００２７】
本発明の１つの態様において、前記バッキングプレートは、２０００ｍｍを超え５０００ｍｍ以下の長さを有し得る。
【００２８】
本発明の１つの態様において、前記バッキングプレートの幅に対する長さの比は、６．０以上であり得る。
【００２９】
本発明の１つの態様において、前記バッキングプレートの幅に対する長さの比は、７．０以上４０．０以下であり得る。
【００３０】
本発明のもう１つの要旨によれば、上記本発明のバッキングプレートの製造方法によって製造されたバッキングプレートにターゲット材を結合することを含むスパッタリングターゲットの製造方法が提供される。
【００３１】
本発明のもう１つの要旨によれば、上記本発明のバッキングプレート上にターゲット材が結合されている、スパッタリングターゲットが提供される。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、溝部分の位置ずれを低減することができるバッキングプレートの製造方法および溝部分の位置ずれが低減されたバッキングプレート（およびその前駆体である接合体）が提供される。また、本発明によれば、かかるバッキングプレートの製造方法およびバッキングプレートをそれぞれ用いたスパッタリングターゲットの製造方法およびスパッタリングターゲットも提供される。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の１つの実施形態におけるバッキングプレートの製造方法を説明するための概略模式図であって、（ａ）は本体に蓋部材を配置した状態の上面図（接合面側から見た図）であり、（ｂ）は（ａ）に示すＡ−Ａ線に沿って見た断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＢ−Ｂ線に沿って見た断面図である。
【図２】本体と蓋部材との被接合領域を説明する図であって、（ａ）は図１（ａ）に対応する図に被接合領域を細かい点線にて重ね合わせて示した図であり、（ｂ）は（ａ）から被接合領域を抽出して示した図である。
【図３】４つの第１被接合領域において本体と蓋部材との接合方向を説明する図であって、（ａ）は４つの第１被接合領域の一端側から他端側に向かって正方向または逆方向に接合する場合の１つの例を示し、（ｂ）は正方向および逆方向を組み合わせて接合する場合の１つの例を示す。
【図４】接合後に後処理されたバッキングプレートの１つの例を示す概略模式図であって、（ａ）は上面図（接合面側から見た図）であり、（ｂ）は（ａ）に示すＡ−Ａ線に沿って見た断面図である。
【図５】接合後に後処理されたバッキングプレートのもう１つの例を示す概略模式下面図（台座面側から見た図）である。
【図６】バッキングプレートの製造方法を模式的に示す概略斜視図であって、図１（ａ）のＡ−Ａ線において仮想的に切断して示す図である。
【図７】実施例１のバッキングプレートについて、長手方向に沿った複数の位置において距離ｄ１、ｄ２、ｄ３を測定した値を示すグラフである。
【図８】比較例１のバッキングプレートについて、長手方向に沿った複数の位置において距離ｄ１、ｄ２、ｄ３を測定した値を示すグラフである。
【図９】比較例１の接合後の接合体と後処理されたバッキングプレートを示す概略模式図であって、（ａ）は比較例１の機械加工前の接合体を示す上面図（接合面側から見た図、但し、蓋部材を省略して示す）であり、（ｂ）は比較例１の機械加工にて仕上げたバッキングプレートを示す上面図（接合面側から見た図、但し、蓋部材を省略して示す）である。
【図１０】実施例２のバッキングプレートについて、長手方向に沿った複数の位置において距離ｄ１、ｄ２、ｄ３を測定した値を示すグラフである。
【図１１】比較例２のバッキングプレートについて、長手方向に沿った複数の位置において距離ｄ１、ｄ２、ｄ３を測定した値を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
本発明の２つの実施形態について図面を参照しながら以下に詳述するが、本発明はこれら実施形態に限定されるものではない。
【００３５】
（実施形態１）
本実施形態は、流体が通過する溝を片面に有する板状の本体と、本体の溝を覆うように本体に配置される板状の蓋部材とを含むバッキングプレートに関する。以下、まず、このバッキングプレートの製造方法について詳述する。
【００３６】
本実施形態のバッキングプレート２０または２１の製造方法は、図１〜６に示すように、流体が通過する溝２を片面に有する板状の本体１と、本体１の溝２を覆うように本体１に配置される板状の蓋部材３とを接合することを含む。
【００３７】
＜本体＞
図６に示すように、本体１は、本体用の材料１’を切削、研削などの方法により加工することによって形成することができる。
【００３８】
本体用の材料１’としては、導電性の材料から構成されていればよく、金属またはその合金などから作製された板状（またはパネル状、直方体状）の材料を使用することが好ましい。
【００３９】
金属としては、例えば、銅、銅合金（Ｃｕ−Ｃｒ合金等）、アルミニウム、アルミニウム合金（Ａ２０２４、Ａ５０５２等）、チタン、チタン合金、タングステン、タングステン合金、モリブデン、モリブデン合金、タンタル、タンタル合金、ニオブ、ニオブ合金、ステンレスが挙げられ、加工性、機械的強度、耐久性、放熱性などの観点から、銅を使用することが好ましく、そのなかでも特に高熱伝導性と高電気導電性との観点から、無酸素銅（純度９９．９６％以上、酸素濃度１０ｐｐｍ以下）を使用することが好ましい。
【００４０】
本発明において、本体１の寸法に特に制限はないが、機械加工によってバッキングプレートの外観形状を所望のサイズに仕上げやすい観点から、最終的に製造されるバッキングプレートの寸法よりも大きいサイズであることが好ましい。
【００４１】
例えば、接合体が板状（またはパネル状、直方体状）の形状を有する場合、本体１の長さは、バッキングプレートの長さよりも好ましくは＋１０ｍｍ以上、より好ましくは＋２０ｍｍ以上、さらに好ましくは＋３０ｍｍ以上大きいことが好ましい。本体１の長さの上限値は特に限定されないが、製造コストの観点から、バッキングプレートの長さよりも好ましくは＋５００ｍｍ以下、より好ましくは＋３００ｍｍ以下、さらに好ましくは＋２００ｍｍ以下、特に好ましくは＋１２０ｍｍ以下の寸法であることが好ましい。具体的には、本体１の長さは、例えば４１０ｍｍ以上５５００ｍｍ以下、好ましくは１０００ｍｍ以上５５００ｍｍ以下、より好ましくは１０２０ｍｍ以上５０００ｍｍ以下、さらに好ましくは２０２０ｍｍ以上４５００ｍｍ以下、さらにより好ましくは２０７０ｍｍ以上４０００ｍｍ以下、とりわけ好ましくは２４５０ｍｍ以上３７００ｍｍ以下である。本体１の幅は、バッキングプレートの幅よりも好ましくは＋３ｍｍ以上、より好ましくは＋５ｍｍ以上、さらに好ましくは＋７ｍｍ以上、特に好ましくは＋１０ｍｍ以上大きいことが好ましい。本体１の幅の上限値は特に限定されないが、製造コストの観点から、バッキングプレートの幅よりも好ましくは＋５０ｍｍ以下、より好ましくは＋３０ｍｍ以下、さらに好ましくは＋２５ｍｍ以下の寸法であることが好ましい。具体的には、本体１の幅は、例えば１００ｍｍ以上２０５０ｍｍ以下、好ましくは１５０ｍｍ以上１５５０ｍｍ以下、より好ましくは１８５ｍｍ以上５５０ｍｍ以下、さらに好ましくは２１０ｍｍ以上４５０ｍｍ以下、さらにより好ましくは２２０ｍｍ以上３３０ｍｍ以下、特に好ましくは２３０ｍｍ以上３００ｍｍ以下である。なお、長さおよび幅は、同一であっても、異なっていてもよいが、幅が小さい場合に、本発明の効果を奏しやすい。
【００４２】
本体１の厚さは、バッキングプレートの厚さよりも好ましくは＋１ｍｍ以上＋１０ｍｍ以下、より好ましくは＋２ｍｍ以上＋８ｍｍ以下、さらに好ましくは＋３ｍｍ以上７ｍｍ以下、特に好ましくは＋４ｍｍ以上＋６ｍｍ以下である。
【００４３】
なお、本発明において物体等（例えば接合体、バッキングプレート、本体、被接合領域等）の「長さ」、「幅」および「厚さ」は、当該物体等の長手方向の寸法、長手方向に直行する幅方向の寸法、ならびに長手方向および幅方向に直行する厚さ方向の寸法を意味する。
【００４４】
本体１は、以下にて詳細に説明する蓋部材３との接合後に液体冷媒（例えば、水、エタノール、エチレングリコールまたはそれら二種以上の混合液などの流体）などが通過することができるように、その片面に流路を形成し得る溝２を有する。
【００４５】
溝２は、例えば図１（ｂ）に示される通り、以下にて詳細に説明する蓋部材３を支持（または載置）することのできる形状、例えば段差部を有し得る。溝２は、蓋部材と本体１との接合後に蓋部材３の表面と本体１の表面とが面一になるような形状や寸法を有することが好ましい。また、一般にターゲット材はバッキングプレートの幅方向中央部に結合（またはボンディング）されるため、ターゲット材を均一に冷却し、冷却効率を高める観点から、溝２は、例えば図１（ａ）に示される通り、本体１の長手方向に沿った、幅方向中心線に対し、略線対称、好ましくは線対称となるように設けられることが好ましい。さらには、前記中心線に対し、溝２の長手方向側面が略平行、好ましくは平行であるように設けられることが好ましい。
【００４６】
ここで、図６に示す通り、溝２を有する本体１は、例えば、適切な寸法の板状（またはパネル状、直方体状）の材料１’を、まず、台座面となる側の面（接合後に接合面となる面と反対側の面）を上面として、例えばバイス、真空チャックなどを用いて力学的に固定し、例えばフェイスミルやカッタなどの回転工具を用いるフライス加工によって面削を行う。次いで、この台座面を下面として、例えばバイス、真空チャックなどを用いて力学的に固定し、必要に応じて、例えばフェイスミルやカッタなどの回転工具を用いるフライス加工によって面削を行った後、例えばフェイスミルやカッタなどを用いる切削加工によって、溝２を有する本体１を作製することができる。作製された本体１は、厚さがほぼ一定であり、台座面、接合面となる側の面および溝２の底面が略平行、好ましくは平行であればよい。また、必要に応じて、任意の段階で、本体１の外周面を切削または研磨により加工してもよい。
【００４７】
なお、材料１’に反りや歪み、ねじれなどがなく、水平面が確保されている場合、その面をそのまま台座面とすることができ、その反対側の面に上述のように溝２を形成してもよい。
【００４８】
＜蓋部材＞
蓋部材３は、例えば図１および図６に示す通り、本体１の溝２を覆うように（または塞ぐように）本体１に配置され得る部材であり、通常２ｍｍ〜６ｍｍの厚さの板状（またはパネル状）の部材である。蓋部材３の本体１への設置のしやすさから、図１（ｂ）に示される本体１の段差部に蓋部材３を載置させるように、蓋部材３の幅は溝２の幅よりも大きい方がよい。蓋部材３の厚さを５ｍｍ以下、特に３．５ｍｍ以下に設計した場合には、流路への加圧で蓋部材３の変形が生じやすいため、蓋部材３の幅は溝２の幅＋３０ｍｍ以下、好ましくは＋２０ｍｍ以下、より好ましくは＋１５ｍｍ以下のサイズとすることが好ましい。また、蓋部材３の厚さは適宜決定すればよく、蓋部材３は、１ｍｍ以上１０ｍｍ以下、好ましくは２ｍｍ以上８ｍｍ以下、より好ましくは２．２ｍｍ以上５ｍｍ以下、さらに好ましくは２．５ｍｍ以上４ｍｍ以下、さらにより好ましくは２．７ｍｍ以上３．５ｍｍ以下、特に好ましくは３ｍｍ以上３．３ｍｍ以下の厚さを有し得る。蓋部材３の厚さが上記下限値以上であると、前記流路への加圧時の蓋部材３の変形を抑制したり、変形量を低減できる。また、蓋部材３の厚さが上記上限値以下であると、蓋部材３と本体１との被接合領域の深さ（接合深さ）を比較的浅くできるため接合時の入熱量を低減しやすく、接合時の溝部分の変形を抑制することができる。
【００４９】
蓋部材３を形成することのできる蓋部材用の材料３’としては、導電性の材料から構成されていればよく、金属またはその合金などから作製された板状（またはパネル状）の材料を使用することが好ましい。
【００５０】
金属としては、例えば、銅、銅合金（Ｃｕ−Ｃｒ合金等）、アルミニウム、アルミニウム合金（Ａ２０２４、Ａ５０５２等）、チタン、チタン合金、タングステン、タングステン合金、モリブデン、モリブデン合金、タンタル、タンタル合金、ニオブ、ニオブ合金、ステンレスが挙げられ、加工性、機械的強度、耐久性、放熱性などの観点から、銅を使用することが好ましく、そのなかでも特に高熱伝導性と高電気導電性との観点から、無酸素銅（純度９９．９６％以上、酸素濃度１０ｐｐｍ以下）を使用することが好ましい。無酸素銅の中でも強度の高い質別１／４Ｈ〜Ｈの無酸素銅を使用することがさらに好ましい。
【００５１】
材料３’は、材料１’と同一であっても、異なっていてもよいが、蓋部材３と本体１とを接合により一体化し、接合部の強度を高く保つという観点から、同一の材料、もしくは同一組成、純度からなる材料であることが好ましい。
【００５２】
蓋部材３は、適切な寸法の材料３’を、例えばバイス、クランプ、真空チャックなどの拘束具を用いて力学的に固定し、例えばバンドソー、ワイヤーソー、丸鋸、旋盤、フライス盤、帯鋸、グラインダー、ウォータージェットなどを用いて切断または切削することによって形成することができる。形成した蓋部材は、厚さがほぼ一定であり、表裏面が略平行、好ましくは平行であればよい。また、必要に応じて、任意の段階で、蓋部材３の外周面を切削または研磨により加工してもよい。
【００５３】
さらに、任意の段階で、必要に応じて、蓋部材３の任意の場所に、流体が通過することのできる孔、例えば図１（ａ）に示す孔１１ａ、１１ｂを形成し得る。なお、孔１１ａ、１１ｂの数に特に制限はないが、溝２において流体につき所望される流れに応じて形成される（例えば、孔１１ａ、１１ｂの一方を流体の入口として、他方を流体の出口として利用され得る）。特に本体１への接合の前に蓋部材３に孔１１ａ、１１ｂを形成しておくと、本体１に蓋部材３をはめ込む際や、それらの接合時に本体１と蓋部材３とで囲まれた空気が孔１１ａ、１１ｂを通して抜けることができ、接合部におけるずれの発生を抑えることができるので好ましい。
【００５４】
Ａ．本体と蓋部材との接合
上述したような本体１と蓋部材３とを接合して、これらを一体化する。例えば、図１および図６に示す通り、蓋部材３が本体１の溝２を覆うように蓋部材３を本体１に配置し、好ましくは本体１の表面と蓋部材３の表面とが面一になるように、これらの部材を配置する。
【００５５】
本体１と蓋部材３との接合方法には、特に制限はなく、例えば、電子ビーム溶接（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｂｅａｍ  Ｗｅｌｄｉｎｇ（ＥＢＷ））、摩擦撹拌接合（Ｆｒｉｃｔｉｏｎ  Ｓｔｉｒ  Ｗｅｌｄｉｎｇ（ＦＳＷ））、ＴＩＧ溶接、レーザービーム溶接、ＭＩＧ溶接、ＭＡＧ溶接などの溶接を適用することができる。なかでも、溶接ビードが小さい、溶接歪みが小さいなどの観点から、電子ビーム溶接や摩擦撹拌接合が好ましい。電子ビーム溶接は、摩擦撹拌接合に比べて、歪みが発生し易いので、本実施形態の効果を特に顕著に得ることができる。
【００５６】
なお、本体１と蓋部材３とを接合することにより一体化して得られる接合体４（ひいてはバッキングプレート２０または２１）は、その接合部において優れた気密性を有する。例えば、０．１ＭＰａ〜０．８ＭＰａに加圧した空気を流路内に注入しても、その空気は漏れずに、その気密性を維持することができる。
【００５７】
ここで、接合の具体的な工程について詳述する。図２は、本体１と蓋部材３との被接合領域を説明する図であって、図２（ａ）は図１（ａ）に対応する図に被接合領域を細かい点線にて重ね合わせて示した図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）から被接合領域を抽出して示した図である。図１および図２に示すように、本実施形態において、溝２は、本体１の長手方向Ｘに延在する２つの第１部分５、７を含む。また、本実施形態において、本体１と蓋部材３との被接合領域（より詳細には、本体１とこれに配置された蓋部材３とにより形成される外表面のうち、互いに接合されることが予定されている領域）は、本体１の長手方向Ｘに延在し、かつ、２つの第１部分５、７において対向する各２つの側面５ａ、５ｂ、７ａ、７ｂに対応する４つの第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂを含む。第１部分５、７において対向する各２つの側面５ａ、５ｂ、７ａ、７ｂの形状は特に限定されないが、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）などのフラットパネルディスプレイの製造に使用され得るスパッタリング装置用の大型のバッキングプレートの場合、流路での液体冷媒の流れをスムーズにし、冷却効率を上げる観点から、側面５ａ、５ｂ、７ａ、７ｂはそれぞれが略平面、好ましくは平面であり、また好ましくは略平行、より好ましくは平行であるとよい。また、側面５ａと７ｂ、５ｂと７ａは、平面視にて（または上面から見て）本体１の長手方向Ｘに沿った中心線Ｍに対して、それぞれが等距離の関係にあることが好ましい。第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂも、対応する側面と同様の位置関係にあることが好ましい。
また、本実施形態において、溝２は、本体１の幅方向Ｙに延在し、かつ、隣接する２つの第１部分５、７を接続する１つの第２部分６を含む。本体１と蓋部材３との被接合領域は、本体１の幅方向Ｙに延在し、かつ、１つの第２部分６において対向する２つの側面６ａ、６ｂに対応する２つの第２被接合領域１６ａ、１６ｂを含む。
加えて、本体１と蓋部材３との被接合領域は、本体１の幅方向Ｙに延在し、かつ、溝２の両端部に位置する各側面８ａ、８ｂに対応する２つの第３被接合領域１８ａ、１８ｂを含む。通常、長手方向Ｘと幅方向Ｙは互いに直交する軸である。
このように、本体１と蓋部材３との被接合領域は、第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂ、第２被接合領域１６ａ、１６ｂ、および第３被接合領域１８ａ、１８ｂを含む。
【００５８】
本実施形態において、４つの第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂにおける本体１と蓋部材３との接合を、
工程（ａ）：１つの第１部分（例えば第１部分５）における１つの側面（例えば側面５ａ、５ｂのうち側面５ａ）に対応する１つの第１被接合領域（例えば第１被接合領域１５ａ）において本体１と蓋部材３とを接合する工程、
工程（ｂ）：残りの被接合領域のうち、１つ前の工程において接合した第１部分とは別の第１部分（例えば第１部分７）における１つの側面（例えば側面７ａ、７ｂのうち側面７ｂ）に対応する１つの被接合領域（例えば第１被接合領域１７ｂ）において本体１と蓋部材３とを接合する工程であって、接合の始点（例えばｃ）が、１つ前の工程における接合の終点（例えばｂ）に対して離間した位置にある工程、および、
工程（ｃ）：前記工程（ｂ）を繰り返す工程
によって実施する。
【００５９】
本実施形態によれば、上記工程（ａ）〜（ｃ）のうち、連続する任意の２つの工程により、１つの第１部分において対向する２つの側面にそれぞれ対応する２つの第１被接合領域が連続して接合されることを防止でき（より詳細には、第１被接合領域１５ａ、１５ｂが連続して接合されることを防止でき、かつ、第１被接合領域１７ａ、１７ｂが連続して接合されることを防止できる）、かつ、工程（ｂ）および（ｃ）における接合の始点が、１つ前の工程における接合の終点に対して離間した位置にあるので、接合時の入熱に起因して、接合後に得られる接合体４が長手方向側面１ａおよび１ｂの一方側に反ることを効果的に低減することができ、かつ、接合体４ひいてはバッキングプレート２０または２１における溝２の幅方向での位置ずれを低減することができる。１つの第１部分において対向する２つの側面にそれぞれ対応する２つの第１被接合領域を連続して接合したり、接合の始点が１つ前の工程における接合の終点に対して近接した位置にあると、接合体４（本体１）への入熱が一部分に偏ったり、温度が上がった箇所付近へのさらなる入熱によって接合体４（本体１）に温度勾配が生じ、材料の伸び量が偏り、反りが発生する。また、本体１と蓋部材３との突き合わせ部は密着状態であることが好ましいが、加工精度や嵌め合わせ時のずれにより、完全に密着状態とはならず、一般的に空間が生じるため、接合の際に蓋部材３と本体１の一部がその空間を埋めるように移動し、それぞれが接合部側に引っ張られる現象が生じる。よって、１つの第１部分において対向する２つの側面にそれぞれ対応する２つの第１被接合領域を連続して接合したり、接合の始点が１つ前の工程における接合の終点に対して近接した位置にあると、本体１と蓋部材３との突き合わせ部の空間による反りが一方向に発生しやすく、特に被接合領域の長手方向中央部にて反りが発生しやすくなる。
【００６０】
より詳細には、本実施形態を限定するものではないが、接合の始点が、１つ前の工程において接合した第１部分とは別の第１部分であり、かつ、１つ前の工程における接合の終点に対して離間した位置にあればよい。
すなわち、例えば表１に示す例１〜８のような接合順序としてよい。なお、表１中、代表的に、例１は、第１番目に第１被接合領域１５ａを接合し、第２番目に第１被接合領域１７ｂを接合し、第３番目に第１被接合領域１５ｂを接合し、第４番目に第１被接合領域１７ａを接合することを意味している。
【００６１】
【表１】
2020084327.tif 000003
【００６２】
本発明において「接合の始点が、１つ前の工程における接合の終点に対して離間した位置にある」とは、工程（ｂ）および（ｃ）における接合の始点と、その１つ前の工程における接合の終点とが、被接合領域において互いに隣接していないことを意味する。換言すれば、１つ前の工程における接合の終点に対して、接合の始点が、被接合領域において最小（またはほぼ最小）の距離にある場合が除外される。工程（ｂ）および（ｃ）における接合の始点と、その１つ前の工程における接合の終点とは、例えば、その１つ前の工程において接合した第１被接合領域の長さの１／４以上、好ましくは１／３以上の距離で離れていればよい。
【００６３】
本実施形態を限定するものではないが、４つの第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂにおける本体１と蓋部材３との接合は、同じ方向に実施され得る。これにより、接合の始点と、その１つ前の工程における接合の終点との間の距離が大きくなり、接合時の入熱による本体１での温度勾配の発生を抑制できる。特に、冷却時間を設けずに各第１被接合領域を連続して接合する場合に、接合体４の変形、つまりは溝部分の変形を抑制する効果は顕著である。また、各第１被接合領域での接合を同様に実施することができるので、作業性を向上させることができる。ここで、「同じ方向」とは、ある第１被接合領域に対して実施する接合方向が、全体として、他の第１被接合領域に対して実施する接合方向と同様であることを意味する。
【００６４】
例えば、「同じ方向」は、４つの第１被接合領域の一端側から他端側に向かって正方向および逆方向のいずれか一方であっても、または双方の組み合わせであってもよい。
【００６５】
正方向および逆方向のいずれか一方とする場合、例えば、図３（ａ）に示すように、４つの第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂの一端側を点ａ、ｅ、ｇ、ｃとし、他端側を点ｂ、ｆ、ｈ、ｄとすると、第１被接合領域１５ａは点ａから点ｂに向かう正方向に接合され得、第１被接合領域１５ｂは点ｅから点ｆに向かう正方向に接合され得、第１被接合領域１７ａは点ｇから点ｈに向かう正方向に接合され得、第１被接合領域１７ｂは点ｃから点ｄに向かう正方向に接合され得、あるいは、これら全てが逆方向に接合されてもよい。例えば第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂを、表１に示す例１の順序で接合する場合には、点ａから点ｂ、点ｃから点ｄ、点ｅから点ｆ、点ｇから点ｈの順で接合され得る。
【００６６】
正方向と逆方向とを組み合わせる場合、例えば、図３（ｂ）に示すように、４つの第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂの一端側を点ａ、ｅ、ｇ、ｃとし、他端側を点ｂ、ｆ、ｈ、ｄとすると、第１被接合領域１５ａは点ｉから点ｂに向かう正方向に、次いで点ｊから点ａに向かう逆方向に接合され得、第１被接合領域１５ｂは点ｍから点ｆに向かう正方向に、次いで点ｎから点ｅに向かう逆方向に接合され得、第１被接合領域１７ａは点ｏから点ｈに向かう正方向に、次いで点ｐから点ｇに向かう逆方向に接合され得、第１被接合領域１７ｂは点ｋから点ｄに向かう正方向に、次いで点ｌから点ｃに向かう逆方向に接合され得る。例えば第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂを、表１に示す例１の順序で接合する場合には、点ｉから点ｂ、点ｊから点ａ、点ｋから点ｄ、点ｌから点ｃ、点ｍから点ｆ、点ｎから点ｅ、点ｏから点ｈ、点ｐから点ｇの順で接合され得る。また、例４の順序で接合する場合には、点ｍから点ｆ、点ｎから点ｅ、点ｏから点ｈ、点ｐから点ｇ、点ｉから点ｂ、点ｊから点ａ、点ｋから点ｄ、点ｌから点ｃの順で接合され得る。
【００６７】
本実施形態を限定するものではないが、４つの第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂにおける本体１と蓋部材３との接合は、平面視にて（または上面から見て）本体１の長手方向Ｘに沿った中心線Ｍに対して対称になる順序で１つずつ実施され得る。なお、「中心線に対して対称になる順序」とは、任意の１つの第１被接合領域を接合し、次いで、これと中心線に対して対称な被接合領域を接合することを、存在する第１被接合領域の数に応じて適宜繰り返すことを意味する。代表的には、表１に示す例１のように、第１被接合領域１５ａを接合し、次いでこれと中心線Ｍに対して対称な第１被接合領域１７ｂを接合し、その後、第１被接合領域１５ｂを接合し、次いでこれと中心線Ｍに対して対称な第１被接合領域１７ａを接合し得る。これにより、接合時の入熱に起因して、接合後に得られる接合体４が長手方向側面１ａおよび１ｂの一方側に反ることをより一層効果的に低減することができ、かつ、接合体４ひいてはバッキングプレート２０または２１における溝（より広範な意味では溝部分）の幅方向での位置ずれをより一層低減することができる。
【００６８】
加えて、本実施形態において、４つの第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂにおける本体１と蓋部材３との接合を実施する前または後に、上述した２つの第２被接合領域１６ａ、１６ｂにおける本体１と蓋部材３との接合を実施し、また、上述した２つの第３被接合領域１８ａ、１８ｂにおける本体１と蓋部材３との接合を実施する。第２被接合領域１６ａ、１６ｂおよび第３被接合領域１８ａ、１８ｂにおける接合を実施する順序は特に限定されない。例えば、第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂにおける接合を実施する前または後に、第２被接合領域１６ａ、１６ｂおよび第３被接合領域１８ａ、１８ｂをこの順に任意の方向で接合してよい。
【００６９】
上記接合工程において、接合時に本体１が反ったり、歪んだりすることによる被接合領域の位置ずれを防ぐため、本体１はバイスやクランプで接合装置や溶接機の平面台に固定されていることが好ましい。また、接合時の入熱によって発生する本体１、蓋部材３もしくは接合体４の内部応力による蓋部材の反りや位置ずれを防ぐために、本体１と蓋部材３は仮止めされていることが好ましい。仮止めは、例示した前記接合方法によって行うことができる。
【００７０】
以上のようにして、本体１と蓋部材３とが接合された接合体４が得られる。
【００７１】
上記で得られた接合体４においては、例えば第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂをこの順序またはこの逆の順で接合した場合に比べて、長手方向側面１ａ、１ｂの一方側に反ることを低減することができる。なお、本発明において、接合体の「長手方向側面の一方側への反り」とは、接合体４を、その接合面を上側に（よって、台座面を下側に）して、任意の水平な平面上に静置した際、その上面から見たときに、接合体４の長手方向側面１ａまたは１ｂの両端部が、長手方向側面１ａまたは１ｂの中央部分よりも幅方向にずれていることを意味する。具体的には、歪みのない接合体４の長手方向側面１ａまたは１ｂを仮想線で示したとき、長手方向側面１ａまたは１ｂがこの仮想線からずれていることを意味する。接合体４の長手方向側面１ａ、１ｂの一方側への反り、つまりは長手方向側面１ａまたは１ｂの両端部を結ぶ直線（仮想線）を基準にその直線（仮想線）と接合体４の長手方向側面１ａ、１ｂとの最大距離（接合体の長手方向側面の最大歪み）Ｔ１は、好ましくは１．２ｍｍ以下、より好ましくは１．０ｍｍ以下、さらに好ましくは０．７ｍｍ以下、さらにより好ましくは０．５ｍｍ以下である。また、接合体４の長さに対する最大距離Ｔ１の割合は０．３５×１０−３以下であり、好ましくは０．３０×１０−３以下、より好ましくは０．２５×１０−３以下、さらに好ましくは０．２０×１０−３以下、特に好ましくは０．１０×１０−３以下である。また、接合体４の長さ／幅（アスペクト比）に対する最大距離Ｔ１の割合は０．１以下であり、好ましくは０．７０以下、より好ましくは０．５０以下、さらに好ましくは０．３０以下である。最大距離Ｔ１は、例えば、加工機上で、拘束具を外した接合体４の長手方向側面１ａもしくは１ｂの両端を加工機の走査軸に平行な直線（仮想線）上に載るように設置し、加工機に取り付けたダイヤルゲージ等の測定器を用いて、接合体４の長手方向側面１ａもしくは１ｂの端部を原点とし、加工機を直線的に動かし、前記長手方向側面１ａ、１ｂと仮想線の距離を測定することで求められる。なお、接合体４が長尺の場合には、幅方向側面１ｃ、１ｄの一方側へは反りが発生し難く、実質的に無視可能な程度であり得る。
【００７２】
また、上記で得られた接合体４においては、例えば第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂをこの順序またはこの逆の順で接合した場合に比べて、溝２の幅方向での位置ずれを低減することができる。なお、本発明において、接合体またはバッキングプレートにおける溝の「（幅方向での）位置ずれ」とは、接合体４（実施する場合には、任意の後処理工程を経た後であってよく、バッキングプレートであってよい、以下も同様）を、その接合面を上側に（よって、台座面を下側に）して、任意の水平な平面上に静置した際、その上面から見たときに、例えば、歪みのない接合体４の溝２の第１部分５の長手方向側面５ａまたは第１部分７の長手方向側面７ｂを仮想線で示したとき、溝２の第１部分５の長手方向側面５ａまたは第１部分７の長手方向側面７ｂがこの仮想線からずれていることを意味する。例えば、接合体４の溝２の第１部分５の長手方向側面５ａ、または第１部分７の長手方向側面７ｂの位置ずれ、つまりは溝２の第１部分５の長手方向側面５ａまたは第１部分７の長手方向側面７ｂの両端部を結ぶ直線（仮想線）を基準に、その直線（仮想線）と溝２の第１部分５の長手方向側面５ａまたは第１部分７の長手方向側面７ｂとの最大距離（溝（流路）の長手方向側面の最大歪み）Ｔ２は、１ｍｍ未満、好ましくは０．８ｍｍ以下、より好ましくは０．５ｍｍ以下、さらに好ましくは０．３ｍｍ未満、さらにより好ましくは０．２５ｍｍ以下である。また、接合体４の長さに対する最大距離Ｔ２の割合は０．３５×１０−３以下であり、好ましくは０．３０×１０−３以下、より好ましくは０．２５×１０−３以下、さらに好ましくは０．２０×１０−３以下、特に好ましくは０．１０×１０−３以下である。また、接合体４の長さ／幅（アスペクト比）に対する最大距離Ｔ２の割合は０．１以下であり、好ましくは０．７０以下、より好ましくは０．５０以下、さらに好ましくは０．３０以下である。最大距離Ｔ２は、接合体４に接合された蓋部材３を切削加工により除去したうえで、最大距離Ｔ１と同様の方法にて求めることができる。最大距離Ｔ２の下限値は特に限定されないが、好ましくは０．００５ｍｍ以上、より好ましくは０．０１ｍｍ以上、さらに好ましくは０．０４ｍｍ以上、特に好ましくは０．０５ｍｍ以上である。下限値が上記範囲であると、後述するターゲット材とバッキングプレートの結合によって製造されるスパッタリングターゲットにおいて、ターゲット材とバッキングプレートが異なる材料である場合、特にターゲット材の融点がバッキングプレートの材料の融点より高い場合に、スパッタリングターゲットの反り量を低減しやすくなる。材料間の線膨張係数が異なる場合に、ターゲット材とバッキングプレートとの結合時の反りは、加熱時の伸び量と冷却時の収縮量とに差が生じることで発生するが、バッキングプレート内部の流路を僅かに歪ませておくことで、バッキングプレートの加熱時の伸びの方向が直線方向から僅かに変わり、ターゲット材がバッキングプレートの材料より高融点な場合に、ターゲット材の直線方向の伸びとの差が小さくなり、冷却時の収縮量の差が生じにくく、スパッタリングターゲットの反りが発生し難くなる。
また、少なくとも接合体４の側面（１ａ、１ｂ）の外周加工を行い、外観上の反り（幅方向の反り）を無くすように成形した接合体４やバッキングプレートにおいては、本体１の長手方向側面１ａ、１ｂから、溝２の第１部分５、７の最も近い長手方向側面までの距離（例えば本体１の長手方向側面１ａと溝２の第１部分５の長手方向側面５ａとの間の距離ｄ１、および本体１の長手方向側面１ｂと溝２の第１部分７の長手方向側面７ｂとの間の距離ｄ３）が一定でない場合、溝の位置ずれが生じていることを意味し、長手方向Ｘに沿って、１ｍｍを超える大きさで変動していることを意味する。側面に外周加工を施し、側面に機械的加工痕を有する接合体４（ひいてはバッキングプレート）における溝２の位置ずれ、より詳細にはかかる距離の最大値と最小値との差（つまりは、距離ｄ１における最大値と最小値との差、および距離ｄ３における最大値と最小値との差）は、いずれも１ｍｍ未満、好ましくは０．８ｍｍ以下、より好ましくは０．５ｍｍ以下、さらに好ましくは０．３ｍｍ未満、さらにより好ましくは０．２５ｍｍ以下である。さらに接合体４の長さに対する距離ｄ１の最大値と最小値との差の割合、および接合体４の長さに対する距離ｄ３の最大値と最小値との差の割合は、いずれも０．３５×１０−３以下であり、好ましくは０．３０×１０−３以下、より好ましくは０．２５×１０−３以下、さらに好ましくは０．２０×１０−３以下、特に好ましくは０．１０×１０−３以下である。また、接合体４の長さ／幅（アスペクト比）に対する距離ｄ１の最大値と最小値との差の割合、および接合体４の長さ／幅（アスペクト比）に対する距離ｄ３の最大値と最小値との差の割合は、いずれも０．１以下であり、好ましくは０．７０以下、より好ましくは０．５０以下、さらに好ましくは０．３０以下である。距離ｄ１および距離ｄ３のそれぞれの最大値と最小値の差の下限値は特に限定されないが、好ましくは０．００５ｍｍ以上、より好ましくは０．０１ｍｍ以上、さらに好ましくは０．０４ｍｍ以上、特に好ましくは０．０５ｍｍ以上である。下限値が上記範囲であると、前述の通り、ターゲット材とバッキングプレートが異なる材料である場合、特にターゲット材の融点がバッキングプレートの材料の融点より高い場合に、スパッタリングターゲットの反り量を低減しやすくなる。
ここで、上記に示した最大距離Ｔ２は、距離ｄ１または距離ｄ３における最大値と最小値との差と同等の数値を示すため、いずれかの数値を求めることで、接合体中の溝の位置ずれを評価することができる。
【００７３】
本実施形態の接合体４は、冷却水などの流体が通過することのできる流路をその内部に有することになるため、接合面と反対側の面は、冷却機能を有し、なおかつターゲット材を配置することのできる台座面として機能することができるので、スパッタリングターゲット用のバッキングプレートとして使用することができる。
【００７４】
接合体４は、そのままバッキングプレートとして使用してもよい。バッキングプレートについて後述する寸法の説明は、接合体４の寸法の説明としてもそのまま当て嵌まり得る。更に、接合体４を必要に応じて以下の後処理工程に付して、バッキングプレートを製造してもよい。
【００７５】
＜後処理工程＞
後処理工程としては、例えば、以下の工程などが挙げられる。
Ｂ．厚さ方向での反り矯正
Ｃ．外周面の機械加工
Ｄ．接合面の機械加工
Ｅ．台座面の機械加工
Ｆ．接合面の仕上げ加工
Ｇ．台座面の仕上げ加工
Ｈ．孔あけ加工
Ｉ．厚さ方向での反り矯正
【００７６】
後処理工程は、上記の工程Ｂ〜Ｉの順序で行うことが好ましいが、かかる順序に限定されない。また、上記の工程Ｂ〜Ｉは、いずれも任意の工程であり、任意の順番で行うことができる。以下、各工程について簡単に説明する。
【００７７】
Ｂ．厚さ方向での反り矯正
本実施形態の接合によって得られる接合体４においては、面内方向（幅方向）での反りは低減されているが、厚さ方向には依然として反りが発生し得、その場合（特に接合体４の長さが２０００ｍｍを超える長尺の場合などには）、例えば、矯正機などを用いて、蓋部材３が変形しないように注意しながら、反りの大きさが水平面上に接地するように固定できるレベルにまで、好ましくは５ｍｍ未満になるまで、接合体４を矯正することが好ましい。なお、本発明において、接合体４の「厚さ方向での反り」とは、接合体４を、その接合面を上側に（よって、台座面を下側に）して、任意の水平な平面上に静置した際、接合体４の長手方向または幅方向（長手方向を垂直に横切る幅方向）の少なくとも１つの端部の下方の縁部が、この水平な平面から離間して位置している場合や、全ての端部の下方の縁部が水平な面に接するが、接合体４の下方の中央部のみが水平な平面から離間していることなどを意味し、この離間した縁部や下方の中央部と、水平な平面との間の最大の距離を「厚さ方向での反り」の大きさとして表す。また、上記端部の下方の縁部が、上記の水平な平面に対して、波状に離間する場合もあり、その場合においても、かかる水平な平面と縁部との間の最大の距離を「厚さ方向での反り」の大きさとして表す。また、接合体４の下方中央部で生じた「厚さ方向での反り」は、直接測定することができないため、蓋部材３の表面において測定される接合体４の高さから接合体４の厚さを引いた差の最大値を「厚さ方向での反り」の大きさとして表す。
【００７８】
厚さ方向での反りを矯正することにより、例えば、長手方向の少なくとも一方の端部の厚さ方向での反りは、好ましくは５ｍｍ未満、より好ましくは１ｍｍ未満になる。また、幅方向の少なくとも一方の端部の厚さ方向での反りは、好ましくは５ｍｍ未満、より好ましくは１ｍｍ未満である。
【００７９】
Ｃ．外周面の機械加工
本実施形態の接合によって得られる接合体４においては、面内方向（幅方向）での反りが小さい。前述の最大距離Ｔ１が好ましくは１．０ｍｍ以下、より好ましくは０．５ｍｍ以下であれば、接合体４は、外周加工せずにバッキングプレートとして使用してもよいが、外観上の面内方向（幅方向）での反りを実質的に除去するために、外周面の機械加工を行うことが好ましい。外周面の機械加工を行う際は、溝２が接合体４の幅方向の略中央、例えば、第１部分５の側面５ａの両端と側面１ａの距離、および第１部分７の側面７ｂの両端と側面１ｂの距離がほぼ同一となるように加工する。例えば、電子ビーム溶接を行った場合、接合面の接合部には溶接線（溶接ビード）が確認できるため、この溶接線を基準として上記のように加工位置を決定することができる。
例えば水平な平面上に、接合体４の本体１と蓋部材３との接合面を上側にして固定する（例えば、図６に示す接合体４を参照のこと）。この水平な平面上に接合体４を固定する際、好ましくは接合体４の設置する側の面（台座面となる側の面）が、できる限りこの水平な平面に近接するように固定する。固定方法に制限はなく、例えば、バイス、クランプ、真空チャックなどの拘束具を用いて、力学的に固定することが好ましい。その後、所望の長さ、幅となるように、エンドミル、ラジアンカッター、Ｒカッターなどの削り工具を用いた切削加工や、砥石を用いた研削加工などの機械加工を行い、外周面の少なくとも一部、好ましくは長手方向側面の全面、より好ましくは全外周面（全側面）の全面を機械加工する。前記削り工具を軸回りに回転させながら、接合体４の側面に接触することで、接合体４の外周面を削り加工することができる。これにより、接合体４（ひいてはバッキングプレート）は、外観上の面内方向（幅方向）の反りが実質的にない形状に仕上げられる。具体的には、接合体４の長手方向側面が略平面、好ましくは平面であり、向かい合う長手方向側面同士が略平行、好ましくは平行であると外観上の面内方向（幅方向）の反りが実質的にないと言える。また、外周面は、切削面、研削面、研磨面等の機械的加工痕を有する面となり、さらに鏡面にまで仕上げ加工を行ってもよい。表面粗さが小さい鏡面にまで仕上げ加工を行うと、例えばハンダ材を用いたボンディングによってターゲット材を結合した後、加熱によって酸化した側面の研磨を短時間で行うことができる。
【００８０】
Ｄ．接合面の機械加工
例えば水平な平面上に、接合体４の本体１と蓋部材３との接合面を上側にして固定する（例えば、図６に示す接合体４を参照のこと）。そして、この水平な平面上に接合体４を固定する際、好ましくは接合体４の設置する側の面（台座面となる側の面）を、できる限りこの水平な平面に近接するように、好ましくは押さえつけて固定する。そして、蓋部材３の表面において測定される高さ（すなわち、この水平な平面から、蓋部材３の表面の測定点までの距離）の最大値と最小値との差が好ましくは０．５ｍｍ未満、より好ましくは０．４ｍｍ〜０ｍｍ、さらに好ましくは０．３ｍｍ〜０ｍｍとなるように固定し、必要に応じて蓋部材３とともに接合面の少なくとも一部、好ましくは接合面の全面を機械加工、例えば切削により水平に加工する。
【００８１】
また、接合面と台座面の互いの平行性が保証できる場合は、工程（Ｄ）における接合体４の固定方法としては、次の方法を用いてもよい。上記の水平な平面上に、接合体４の本体１と蓋部材３との接合面を上面（または上側）として、その台座面ができるだけ水平な平面と接地するように固定する。この水平な平面上に接合体４を固定する際、この水平な平面と、接合体４の底面（台座面となる側の面）との間の距離の最大値が、好ましくは０．５ｍｍ未満、より好ましくは０．４ｍｍ〜０ｍｍ、さらに好ましくは０．３ｍｍ〜０ｍｍとなるようにして、固定することが好ましく、その後、接合面の少なくとも一部、好ましくは全面を上記のように機械加工、例えば切削によって水平に加工する。
【００８２】
接合体４、特に本体１の固定方法に、特に制限はなく、例えば、バイス、クランプ、真空チャックなどの拘束具を用いて、力学的に固定することが好ましい。バイス、クランプなどの拘束具を用いて固定する場合、例えば、接合体４の長手方向に複数の拘束具を配置し、接合体の側部を挟み込むように押さえることで接合体４を水平な平面上に固定することができる。拘束具は、少なくとも接合体４の長手方向の両端部と中央部の３か所、好ましくはさらに長手方向の１／４、３／４の位置を追加した５か所以上に、均等に配置する。蓋部材３の表面において測定される高さ（水平面からの高さ）における最大値と最小値との差が０．５ｍｍ未満とならない場合には、接合体４が動かない程度にバイスで仮固定した後、木槌やプラスチックハンマー等で叩いて水平な平面上に接地させることで、蓋部材３の表面を水平な状態に固定することができる。また、真空チャックで固定する場合には、例えば、本体１と蓋部材３との接合前に、本体１の台座面側を切削加工して平坦な面を作製し、吸着面積が大きくなるように接合体の縁部から３０ｍｍ以内、好ましくは５ｍｍ〜２０ｍｍの場所に中心が位置するようにＯリングを接合体の周囲に配置し、台座面側を吸着面として−０．１ＭＰａの真空度（ゲージ圧）まで真空吸引して固定することで、蓋部材３の表面を水平な状態に固定することができる。
【００８３】
また、蓋部材３の表面において、その高さを測定する位置に特に制限はないが、例えば、溝２（より詳細には溝２の第１部分５、７）の上方で測定することが好ましく、溝２（より詳細には溝２の第１部分５、７）の中央部分の上方で測定することがさらに好ましい。
【００８４】
高さの測定方法に特に制限はないが、例えば、ハイトゲージ、ダイヤルゲージなどを用
いて測定することができる。
【００８５】
蓋部材３の表面において測定される高さの最大値と最小値との差が好ましくは０．５ｍｍ未満、より好ましくは０．４ｍｍ〜０ｍｍ、さらに好ましくは０．３ｍｍ〜０ｍｍとなるように接合体４を固定した状態で、接合面の少なくとも一部、好ましくは全面を機械加工、例えば切削により水平に加工することにより、好ましくは面削により水平に加工することにより、加工後の蓋部材の厚さを均一にすることができる。好ましくは、加工後の蓋部材の厚さの最大値と最小値との差を０．５ｍｍ以下、好ましくは０．４ｍｍ以下、より好ましくは０．３５ｍｍ〜０ｍｍ、さらに好ましくは０．３ｍｍ〜０ｍｍとすることができる。前記蓋部材の厚さの最大値と最小値との差は、前記蓋部材の長手方向の略全長にわたって溝の中央部分の上方を測定して求めることが好ましい。
【００８６】
なお、接合面の加工は、接合面を機械加工により処理することができれば特に制限はなく、例えば、フライス加工、平面研削加工、エンドミル加工、旋盤加工などで加工を行うことができる。これにより、接合面は、好ましくは全面が機械的加工痕を有する面、例えば、切削面、研削面、研磨面となる。
【００８７】
Ｅ．台座面の機械加工
接合体４をその台座面を上側に配置して、例えば真空チャックなどで固定し、接合体４の台座面を、例えば、フライス加工、研削加工、エンドミル加工、旋盤加工などを用いてさらに加工してもよい。
【００８８】
この切削による加工は、台座面を接合体４の接合面に対して略平行、好ましくは平行に加工するためのものである。
【００８９】
Ｆ．接合面の仕上げ加工
接合体４をその接合面を上側に配置して、例えば真空チャックなどで固定して、接合体４の接合面を例えばフライス加工、研削加工、エンドミル加工、旋盤加工、研磨加工などを用いて仕上げ加工してもよい。
【００９０】
この仕上げ加工は、接合体４の接合面を、その用途に応じて、表面粗さを調整したり、必要に応じて鏡面にまで切削や研削、または研磨して仕上げるためのものである。これにより、接合面は機械的加工痕を有する面、例えば、切削面、研削面、研磨面となる。接合面を表面粗さが小さい鏡面にまで仕上げ加工を行うと、例えばハンダ材を用いたボンディングによってターゲット材を結合した後、加熱によって酸化した接合面表面の研磨を短時間で行うことができる。
【００９１】
Ｇ．台座面の仕上げ加工
接合体４をその台座面を上側に配置して、例えば真空チャックなどで固定して、接合体４の台座面を、例えば、フライス加工、研削加工、エンドミル加工などを用いて仕上げ加工してもよい。
【００９２】
これにより得られるバッキングプレート２０を図４および図６に示す。また、台座面に仕上げ加工を行う前の任意の段階において、必要に応じて、台座面に台座部１９を形成してもよい。これにより得られるバッキングプレート２１を図５および図６に示す。台座部１９の形成方法に特に制限はなく、例えば、フライス加工、研削加工、エンドミル加工、旋盤加工、研磨加工などを用いることができる。
【００９３】
台座面の仕上げ加工は、上述の台座部１９とそれ以外の周囲の部分とを、それぞれ別々に行ってもよい。
【００９４】
この仕上げ加工は、接合体４の台座面（場合によっては、上述の台座部１９およびそれ以外の周囲部分の両方）をその用途に応じて、表面粗さを調整したり、必要に応じて鏡面にまで加工してもよい。前記仕上げ加工により、台座面は機械的加工痕を有する面、例えば、切削面、研削面、研磨面となる。台座面を機械的加工痕が残るように仕上げ加工を行うと、例えばハンダ材を用いたボンディングによってターゲット材を結合する際、ハンダ材の濡れ性を向上させることができる。
【００９５】
Ｈ．孔あけ加工
必要に応じて、バッキングプレートの本体１の溝２や台座部１９が形成されていない部分には貫通孔を形成してもよい。このような貫通孔にボルト等を通すことによって、本体１をスパッタリング装置に固定することができるようになる。貫通孔の形成方法に特に制限はなく、例えばドリル等を用いて形成することができる。また、貫通孔の寸法、位置、数などに特に制限はない。
【００９６】
Ｉ．厚さ方向での反り矯正
更に、必要に応じて、工程Ｂにて上述した厚さ方向での反り矯正を実施して、厚さ方向での反りの大きさが２ｍｍ未満、好ましくは１ｍｍ〜０ｍｍ、より好ましくは０．５ｍｍ〜０ｍｍになるまで、接合体４を矯正することが好ましい。
【００９７】
また、このような反りの矯正は、バッキングプレート製造のいずれの段階において行ってもよい。
【００９８】
以上のようにして、本実施形態のバッキングプレート２０または２１が製造される（図４および図５を参照のこと）。
【００９９】
本実施形態のバッキングプレートは、流体が通過する溝２を片面に有する板状の本体１と、本体１の溝２を覆うように本体１に配置される板状の蓋部材３とを含むバッキングプレートであって、本体１と蓋部材３とが接合により一体化されており、溝２が、本体１の長手方向に延在する２つの第１部分５、７を含み、本体１の長手方向側面１ａおよび１ｂから、第１部分５および７の最も近い長手方向側面５ａおよび７ｂまでの距離（図４に示すように、それぞれｄ１およびｄ３）の最大値と最小値との差が１ｍｍ以下未満となる。これにより、溝２の面内方向での位置ずれが低減されているバッキングプレートが提供される。
【０１００】
本発明において、バッキングプレートの形状に特に制限はなく、例えば、図４および図５に示されるような全体として板状（またはパネル状、直方体状）のものが好ましい。
【０１０１】
本発明において、バッキングプレートの寸法に特に制限はない（なお、上述したように、バッキングプレートの寸法に関する説明は、接合体４の寸法の説明としてもそのまま当て嵌まり得ることに留意されたい）。例えば、バッキングプレートが板状（またはパネル状、直方体状）の形状を有する場合、バッキングプレート（より具体的にはバッキングプレートにおける本体）の長さは、例えば４００ｍｍ〜５０００ｍｍ、好ましくは１０００ｍｍ〜４５００ｍｍ、より好ましくは２０００ｍｍ〜４０００ｍｍ、さらに好ましくは２０５０ｍｍ〜３８５０ｍｍ、さらにより好ましくは２４００ｍｍ〜３５００ｍｍである。また、バッキングプレート（より具体的にはバッキングプレートにおける本体）の幅は、例えば１００ｍｍ〜２０００ｍｍ、好ましくは１５０ｍｍ〜１５００ｍｍ、より好ましくは１８０ｍｍ〜５００ｍｍ、さらにより好ましくは２００ｍｍ〜４００ｍｍ、とりわけ好ましくは２００ｍｍ〜３００ｍｍ、特に好ましくは２００ｍｍ〜２８５ｍｍである。なお、長さおよび幅は、同一であっても、異なっていてもよいが、幅が小さい場合に、本発明の効果を奏し易い。
【０１０２】
本実施形態におけるバッキングプレートは、長尺の寸法を有するものであってよい。その場合、バッキングプレート（より具体的にはバッキングプレートにおける本体）の長さは、２０００ｍｍを超え得、例えば２０００ｍｍを超え５０００ｍｍ以下であり得る。また、バッキングプレート（より具体的にはバッキングプレートにおける本体）の幅に対する長さの比（長さ／幅、すなわちアスペクト比）は、３．１以上であり、好ましくは６．０以上、さらに好ましくは７．０以上、さらにより好ましくは７．０以上４０．０以下、さらに一層好ましくは７．５以上３０以下、殊更好ましくは８以上２０以下、特に好ましくは８．５以上１５以下である。バッキングプレートの幅に対する長さの比（アスペクト比）が上記範囲内であると、バッキングプレート内部の溝の位置ずれを低減する効果をより発揮しやすい。
【０１０３】
バッキングプレートの厚さ（すなわち、台座面（台座部を有する場合には、台座部の台座面）と接合面との間の距離の平均値）は、例えば５ｍｍ〜３０ｍｍ、好ましくは７ｍｍ〜２５ｍｍ、より好ましくは１０ｍｍ〜２０ｍｍである。ただし、その内部に流路を形成することができるのであれば、バッキングプレートの厚さに特に制限はない。
【０１０４】
バッキングプレートの蓋部材３の厚さ（すなわち、接合面と流路との間の距離の平均値）は、例えば１．５ｍｍ以上７ｍｍ以下、好ましくは２ｍｍ以上５ｍｍ以下、より好ましくは２．５ｍｍ以上４ｍｍ以下、さらに好ましくは２．７ｍｍ以上３．５ｍｍ以下、特に好ましく３ｍｍ以上３．３ｍｍ以下の厚さを有し得る。蓋部材３の厚さが上記下限値以上であると、前記流路への加圧時の変形を抑制したり、変形量を低減できる。また、蓋部材３の厚さが上記上限値以下であると、蓋部材３と本体１との被接合領域の深さ（接合深さ）を比較的浅くできるため接合時の入熱量を低減しやすく、接合時の溝部分の変形を抑制することができる。
【０１０５】
バッキングプレートの内部に形成される流路の形状は、溝が、本体の長手方向に延在する少なくとも２つの第１部分を含む限り、特に制限はなく、バッキングプレートの台座面に配置されるターゲット材を冷却することができるものであればよい。例えば、図示する実施形態のように、流路が矩形の断面を有する場合、その幅方向の寸法は、例えば１０ｍｍ〜１００ｍｍ、好ましくは２０ｍｍ〜８０ｍｍ、より好ましくは３０ｍｍ〜７０ｍｍ、さらに好ましくは４０ｍｍ〜６０ｍｍである。また、高さ方向の寸法は、例えば１ｍｍ〜２０ｍｍ、好ましくは２ｍｍ〜１５ｍｍ、より好ましくは３ｍｍ〜１０ｍｍ、さらに好ましくは４ｍｍ〜７ｍｍである。バッキングプレートにおいて、溝２の底面と、蓋部材３の裏面とは、略平行であることが好ましく、平行であることがより好ましい。バッキングプレートのサイズによっては、流路を複数形成してもよい。
【０１０６】
図４（ａ）に示すように、バッキングプレートの蓋部材３には、その任意の場所において、任意の寸法の孔１１ａ、１１ｂが形成されていてもよく、本体１に形成された溝（または流路）２との流体接続を可能としている。なお、孔１１ａ、１１ｂの数に特に制限はない。
【０１０７】
更に、バッキングプレートの本体１には、スパッタリング装置への取り付けを可能とするための複数の孔、好ましくは貫通孔（図示せず）が形成されていてもよい。
【０１０８】
また、図５および図６のバッキングプレート２１に示すように、その台座面には、ターゲット材を配置することのできる台座部１９が形成されていてもよい。
【０１０９】
本実施形態によれば、接合後に得られる接合体４ひいてはバッキングプレート２０または２１における溝２の位置ずれを低減することができる。特に、外周加工を行い、外観上の面内方向の反りを除去した接合体４ひいてはバッキングプレート２０または２１においては、本体１の長手方向側面１ａ、１ｂから、溝２の第１部分５、７の最も近い長手方向側面までの距離（図４に示すように、本体１の長手方向側面１ａと溝２の第１部分５の長手方向側面５ａとの間の距離ｄ１、および本体１の長手方向側面１ｂと溝２の第１部分７の長手方向側面７ｂとの間の距離ｄ３）の最大値と最小値との差を１ｍｍ未満にすることができる。
【０１１０】
（実施形態２）
本実施形態は、バッキングプレートを含むスパッタリングターゲットに関する。以下、まず、このスパッタリングターゲットの製造方法について詳述する。
【０１１１】
本実施形態のスパッタリングターゲットの製造方法は、実施形態１にて上述した製造方法によって製造されたバッキングプレートにターゲット材を結合することを含む。
【０１１２】
実施形態１にて上述したようにして得られるバッキングプレートに対して、ハンダ材やろう材を用いて、バッキングプレートの台座面にターゲット材を結合（あるいは接合もしくはボンディング）することにより、スパッタリングターゲットを製造することができる。
【０１１３】
ターゲット材としては、スパッタリング法による成膜に通常用いられ得るような金属や合金、酸化物、窒化物などのセラミックス又は焼結体から構成された材料であれば特に限定されず、用途や目的に応じて適宜ターゲット材を選択すればよい。このようなターゲット材としては、例えば、Ａｌ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｗ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ａｇ、Ｃｏ、Ｒｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｎｉ等の単体金属およびそれらを主成分とする合金からなる群より選択される金属材料や、スズドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）、アルミニウムドープ酸化亜鉛（ＡＺＯ）、ガリウムドープ酸化亜鉛（ＧＺＯ）、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系複合酸化物（ＩＧＺＯ）などが挙げられる。これらの中でも、アルミニウム（純度９９．９９％（４Ｎ）以上、好ましくは純度９９．９９９％（５Ｎ）以上の純Ａｌ）、アルミニウム合金（添加元素としてＳｉ、Ｃｕ、Ｎｄ、Ｍｇ、Ｆｅ、Ｔｉ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｗ、Ｎｉ、Ｃｏ等が挙げられ、好ましくはＳｉ、Ｃｕを添加元素として含む。また、添加元素を除く母材のＡｌ純度は、９９．９９％以上であり、好ましくは９９．９９９％以上である。）、または銅（純度９９．９９％（４Ｎ）以上）が好ましい。
【０１１４】
本実施形態の製造方法において、ターゲット材は略板状に加工され得るが、板状に加工する方法は特に限定されない。金属系のターゲット材料の場合は、例えば溶解、鋳造によって得られた直方体や円筒状のターゲット材料を、圧延加工や押出加工、鍛造加工などの塑性加工に供した後、切断加工やフライス加工、エンドミル加工などの機械加工を施すことによって、所望のサイズや表面状態になるように仕上げることで製造することができる。一方、高融点金属や酸化物の焼結体系のターゲット材料の場合は、板状となるような型にターゲット材料を充填して、ホットプレスや熱間等方圧加圧装置にて焼結する加圧焼結法や、冷間等方圧加圧や射出成形などによって圧粉体を得た後、大気圧下で焼結する常圧焼結法などにより板状の焼結体を得た後、切断加工やフライス加工、エンドミル加工などの機械加工、研削加工を施すことによって、所望のサイズや表面状態になるように仕上げることで製造することができる。
【０１１５】
ターゲットとバッキングプレートとの接合に用いるハンダ材としては、特に制限はなく、低融点（例えば７２３Ｋ以下）の金属または合金を含む材料が好ましく、例えば、インジウム（Ｉｎ）、スズ（Ｓｎ）、亜鉛（Ｚｎ）、鉛（Ｐｂ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、ビスマス（Ｂｉ）、カドミウム（Ｃｄ）およびアンチモン（Ｓｂ）からなる群から選択される金属またはその合金を含む材料などが挙げられる。より具体的には、Ｉｎ、Ｉｎ−Ｓｎ、Ｓｎ−Ｚｎ、Ｓｎ−Ｚｎ−Ｉｎ、Ｉｎ−Ａｇ、Ｓｎ−Ｐｂ、Ｓｎ−Ｐｂ−Ａｇ、Ｓｎ−Ｂｉ、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ、Ｐｂ−Ｓｎ、Ｐｂ−Ａｇ、Ｚｎ−Ｃｄ、Ｐｂ−Ｓｎ−Ｓｂ、Ｐｂ−Ｓｎ−Ｃｄ、Ｐｂ−Ｓｎ−Ｉｎ、Ｂｉ−Ｓｎ−Ｓｂなどが挙げられる。スパッタリングターゲットのハンダ材としては、一般的には低融点であるＩｎやＩｎ合金、Ｓｎ合金が広く使用され得る。
【０１１６】
一般に、ターゲット材やバッキングプレートに上記のハンダ材を乗せるだけでは、ターゲット材やバッキングプレートの表面に存在し得る酸化膜が影響して、十分な接合強度が得られない。そのため、それらの表面に対するハンダ材の濡れ性を向上させるためにメタライズ処理を行い、ターゲット材やバッキングプレートの表面に、メタライズ用のハンダ材とターゲット材やバッキングプレートに含まれる金属原子とからなるメタライズ層を設けてもよい。メタライズ処理は、例えば、超音波はんだごてを使用して行われる。
【０１１７】
メタライズに使用することのできるハンダ材は、例えば、インジウム（Ｉｎ）、スズ（Ｓｎ）、亜鉛（Ｚｎ）、鉛（Ｐｂ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、ビスマス（Ｂｉ）、カドミウム（Ｃｄ）およびアンチモン（Ｓｂ）からなる群から選択される金属またはその合金を含む材料などであり、より具体的には、Ｉｎ、Ｉｎ−Ｓｎ、Ｓｎ−Ｚｎ、Ｓｎ−Ｚｎ−Ｉｎ、Ｉｎ−Ａｇ、Ｓｎ−Ｐｂ−Ａｇ、Ｓｎ−Ｂｉ、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ、Ｐｂ−Ｓｎ、Ｐｂ−Ａｇ、Ｚｎ−Ｃｄ、Ｐｂ−Ｓｎ−Ｓｂ、Ｐｂ−Ｓｎ−Ｃｄ、Ｐｂ−Ｓｎ−Ｉｎ、Ｂｉ−Ｓｎ−Ｓｂなどが挙げられる。ターゲット材またはバッキングプレートと親和性の高い材料を適宜選択すればよい。
【０１１８】
以上のようにして、バッキングプレート上にターゲット材が結合されている、本実施形態のスパッタリングターゲットが製造される。
【０１１９】
本実施形態によれば、スパッタリングターゲットにおいて、バッキングプレートの溝の面内方向での位置ずれを低減することができる。溝の位置ずれがより大きくなると、局所的に伝熱効率が変化し、ターゲット材がハンダ材により結合されたスパッタリングターゲットにおいては、スパッタリング中にターゲット材の局所的な剥離が生じる恐れがあり得る。ターゲット材が剥離すると、その箇所において、ターゲット材と基板との間の距離が変化し、スパッタリングによって成膜される薄膜特性に悪影響を及ぼすなどの問題が発生する恐れがある。これに対して、本実施形態のスパッタリングターゲットでは、かかる恐れを実質的に解消することができる。
【０１２０】
以上、本発明の２つの実施形態について説明したが、これら実施形態は本発明の範囲内で種々の改変がなされ得る。例えば、上記実施形態においては、２つの第１部分およびこれらに対応する４つの第１被接合領域、隣接する２つの第１部分を接続する１つの第２部分およびこれに対応する２つの第２被接合領域、溝２の両端部に位置する２つの第３被接合領域が存在する場合について説明した。第１部分、第１被接合領域、第２部分および第２被接合領域、第３被接合領域の数はこれらに限定されず、より多く存在していてもよい。
【実施例】
【０１２１】
以下、実施例を挙げて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【０１２２】
（実施例１）
実施形態１に従って、図１および図６に示す形状の本体１および蓋部材３を用いて、図４に示すバッキングプレート２０を以下のようにして製造した。溝２は、略直方体の本体１の長手方向に沿った幅方向中心線に対して線対称であり、また溝２の長手方向側面の各々が、前記中心線に対して平行、かつ鉛直方向に平行な平面となるように設けた。
【０１２３】
Ａ．本体と蓋部材との接合
本体と蓋部材との接合は、シュタイガーバルト社製の電子ビーム溶接機を用いて、電子ビーム溶接により、本体をバイスで電子ビーム溶接機の固定台に固定した状態で実施した。本体と蓋部材との接合は、図３（ｂ）に示すように、まず第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂを、点ｉから点ｂ、点ｊから点ａ、点ｋから点ｄ、点ｌから点ｃ、点ｍから点ｆ、点ｎから点ｅ、点ｏから点ｈ、点ｐから点ｇの順で接合し、その後、第２被接合領域１６ａ、１６ｂおよび第３被接合領域１８ａ、１８ｂを、点ｂから点ｄ、点ｆから点ｈ、点ａから点ｅ、点ｇから点ｃの順に接合した。
【０１２４】
電子ビーム溶接は、接合面側に見られる本体と蓋部材との接合部に電子ビームの中心が当たるように電子ビームを走査し、接合領域の溶接深さが８〜１０ｍｍとなるように実施した（用いた蓋部材の厚みは５ｍｍ）。得られた接合体のサイズは、長さ２６００ｍｍ、幅２８０ｍｍ（アスペクト比：９．２９）、高さ２０ｍｍであった。
【０１２５】
各部材の材料および設計目標値は、以下の通りであった。
【０１２６】
本体：  無酸素銅板（三菱伸銅社製圧延板  Ｃ１０２０−１／２Ｈ）
ビッカース硬度  ９０
引張強度  ２８０ＭＰａ
導電率  ＞１０１％ＩＡＣＳ（２０℃）
【０１２７】
蓋部材：無酸素銅板（三菱伸銅社製圧延板  Ｃ１０２０−１／２Ｈ）
ビッカース硬度  ＞９０
引張強度  ２８０ＭＰａ
導電率  ＞１０１％ＩＡＣＳ（２０℃）
【０１２８】
バッキングプレートの設計目標値
バッキングプレートの長さ（＝本体の長さ）：２５００ｍｍ
バッキングプレートの幅（＝本体の幅）：２７０ｍｍ
バッキングプレートのアスペクト比：９．２６
バッキングプレートの厚さ（＝本体の溝部における厚さ＋蓋部材の厚さ＋流路の高さ）：１６ｍｍ
本体の溝部における厚さ：８ｍｍ
蓋部材の厚さ：３ｍｍ
蓋部材の長さ：２３５０ｍｍ
蓋部材の全幅：１７５ｍｍ（＝７０ｍｍ（長尺直線部分の幅方向の寸法）＋３５ｍｍ（中間部分の幅方向の寸法）＋７０ｍｍ（長尺直線部分の幅方向の寸法））
流路の全幅：１６５ｍｍ（＝６０ｍｍ（長尺直線部分の幅方向の寸法、すなわち、側面５ａと側面５ｂとの間の距離）＋４５ｍｍ（中間部分の幅方向の寸法、すなわち、側面５ｂと側面７ａとの間の距離）＋６０ｍｍ（長尺直線部分の幅方向の寸法、すなわち、側面７ａと側面７ｂとの間の距離））
流路の高さ（または厚さ）：５ｍｍ
流路の長さ：２３００ｍｍ
【０１２９】
Ｂ．厚さ方向での反り矯正
接合後の接合体は、長手方向および幅方向ともに接合面側に反っていたため、反りが１ｍｍ未満となるようにプレス成型を施すことにより矯正した。
【０１３０】
Ｃ．外周面の機械加工
その後、接合体をその接合面が上側となるようにバイスで固定して、その接合面を、門型マシニングセンタを用いてエンドミル加工を施した。この際、溶接線を基準とし、長辺側の側面の両端を結んだ直線が加工方向にほぼ平行となるように接合体を固定し、流路が接合体の幅方向中央に配置されるようにエンドミル加工を行った。
【０１３１】
Ｄ．接合面の機械加工
次いで、接合体をその接合面が上側となるようにバイスで固定（接合面で測定した高さの最大値と最小値との差が０．５ｍｍ未満となるように）して、その接合面を、門型マシニングセンタを用いてフライス加工を施した。
【０１３２】
Ｅ．台座面の機械加工
次いで、上記フライス加工後の接合体をその台座面が上側となるように真空チャックで固定して、その台座面を、門型マシニングセンタを用いてフライス加工を施した。
【０１３３】
このようにして製造した本実施例のバッキングプレート２０を、長手方向Ｘに沿った複数の位置（幅方向側面１ｃ側の流路側面における位置をゼロとして、もう一方の幅方向側面１ｄに向かう方向における複数の位置までの距離に相当する）において幅方向Ｙにて切断し、本体１における１つの長手方向側面１ａから、溝２の第１部分５、７の最も近い長手方向側面５ａまでの距離ｄ１と、溝２の第１部分５、７の互いに隣接する長手方向側面５ｂおよび７ａの間の距離ｄ２と、本体１のもう１つの長手方向側面１ｂから、溝２の第１部分５、７の最も近い長手方向側面７ｂまでの距離ｄ３とを、ノギスを用いて測定した。結果を図７および表２に示す（流路の長手方向の中心が１１６５ｍｍの位置）。なお、本実施例の機械加工前の接合体においては、長手方向側面１ａ、１ｂの一方側への反り（すなわち、接合体の長手方向側面の最大歪み（最大距離Ｔ１））は、０．１ｍｍであり、接合体の長さに対する最大距離Ｔ１の割合は、０．０４×１０−３であり、接合体のアスペクト比に対する最大距離Ｔ１の割合は、０．０１であった。また、機械加工にて仕上げたバッキングプレートにおいては、反り（すなわち、接合体の長手方向側面の最大歪み（最大距離Ｔ１））は実質的に認められなかった。長手方向側面１ａ、１ｂの一方側への反りは、門型マシニングセンタに取り付けたダイヤルゲージによって測定した。
【０１３４】
【表２】
2020084327.tif 000004
【０１３５】
図７および表２に示す通り、距離ｄ１における最大値と最小値との差、ならびに、距離ｄ３における最大値と最小値との差は、いずれも１ｍｍ未満（０．１ｍｍ）であり、溝（流路）の長手方向側面の最大歪み（最大距離Ｔ２）は１ｍｍ未満（０．１ｍｍ程度）であった。バッキングプレートの長さに対する距離ｄ１の最大値と最小値との差の割合、およびバッキングプレートの長さに対する距離ｄ３の最大値と最小値との差の割合は、いずれも０．０４×１０−３であり、バッキングプレートのアスペクト比に対する距離ｄ１の最大値と最小値との差の割合、およびバッキングプレートのアスペクト比に対する距離ｄ３の最大値と最小値との差の割合は、いずれも０．０１であった。なお、距離ｄ２における最大値と最小値との差も、１ｍｍ未満（０．１ｍｍ未満）であった。
また、前記蓋部材の溝の中央部分でバッキングプレートを切断し、蓋部材の厚みをノギスで測定した。前記蓋部材の長手方向の略全長にわたって溝中央の上方を測定して求めた前記蓋部材の厚さの最大値と最小値との差は、０．３ｍｍ（蓋部材の平均厚さは３．０ｍｍ）であり、厚み方向のばらつきも均一であった。
また、工程（Ｄ）において、接合体を固定した状態で接合面の少なくとも一部を切削によって加工したが、このような固定によって、製造後のバッキングプレートへの反りや歪みへの影響は、ほとんど見受けられず、機械加工後に矯正を施していないにもかかわらず、製造後のバッキングプレートの反り量は０．５ｍｍ未満であった。
【０１３６】
（比較例１）
本体と蓋部材との接合を、図３（ｂ）を参照して、まず第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂを、点ｉから点ｂ、点ｊから点ａ、点ｍから点ｆ、点ｎから点ｅ、点ｏから点ｈ、点ｐから点ｇ、点ｋから点ｄ、点ｌから点ｃの順で接合し、その後、第２被接合領域１６ａ、１６ｂおよび第３被接合領域１８ａ、１８ｂを、点ｂから点ｄ、点ｆから点ｈ、点ａから点ｅ、点ｇから点ｃの順に接合したこと以外は、実施例１と同様にして、バッキングプレートを製造した。
【０１３７】
このようにして製造した本比較例のバッキングプレートを、実施例１と同様に、長手方向Ｘに沿った複数の位置において、距離ｄ１、ｄ２およびｄ３を測定した。結果を図８および表３に示す。なお、図９（ａ）に模式的に示すように、本比較例の機械加工前の接合体３０は、長手方向側面１ａ、１ｂのうち長手方向側面１ｂの側が凸となるように、約１ｍｍ反っており（すなわち、接合体の長手方向側面の最大歪み（最大距離Ｔ１）は１ｍｍであり、接合体の長さに対する最大距離Ｔ１の割合は、０．３８×１０−３であり、接合体のアスペクト比に対する最大距離Ｔ１の割合は、０．１１であった）、反りの中心は流路の長手方向中央部付近であった。また、図９（ｂ）に模式的に示すように、本比較例の機械加工にて仕上げたバッキングプレート３１においては、反り（すなわち、接合体の長手方向側面の最大歪み（最大距離Ｔ１））は実質的に認められなかった。
【０１３８】
【表３】
2020084327.tif 000005
【０１３９】
図８および表３に示す通り、距離ｄ１における最大値と最小値との差は１ｍｍであり、ならびに、距離ｄ３における最大値と最小値との差は１ｍｍを超えており、溝（流路）の長手方向側面の最大歪み（最大距離Ｔ２）は１ｍｍ以上（１．１ｍｍ程度）であった。バッキングプレートの長さに対する距離ｄ１の最大値と最小値との差の割合、およびバッキングプレートの長さに対する距離ｄ３の最大値と最小値との差の割合は、それぞれ０．４０×１０−３および０．４４×１０−３であり、バッキングプレートのアスペクト比に対する距離ｄ１の最大値と最小値との差の割合、およびバッキングプレートのアスペクト比に対する距離ｄ３の最大値と最小値との差の割合は、それぞれ０．１１および０．１２であった。なお、距離ｄ２における最大値と最小値との差は、１ｍｍ未満（０．１ｍｍ）であった。
【０１４０】
よって、上述した実施例１で製造したバッキングプレートでは、比較例１で製造したバッキングプレートに比べて、溝の位置ずれが低減されていることがわかった。
【０１４１】
（実施例２）
本体と蓋部材との接合を、図３（ａ）に示すように、まず第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂを、点ａから点ｂ、点ｃから点ｄ、点ｅから点ｆ、点ｇから点ｈの順で接合し、その後、第２被接合領域１６ａ、１６ｂおよび第３被接合領域１８ａ、１８ｂを、点ｂから点ｄ、点ｆから点ｈ、点ａから点ｅ、点ｇから点ｃの順に接合し、接合領域の溶接深さを７〜９ｍｍとなるように設定したこと以外は、実施例１と同様にして、バッキングプレートを製造した。
【０１４２】
このようにして製造した本実施例のバッキングプレートを、実施例１と同様に、長手方向Ｘに沿った複数の位置において、距離ｄ１、ｄ２およびｄ３を測定した。結果を図１０および表４に示す。なお、本実施例の機械加工前の接合体においては、長手方向側面１ａ、１ｂの一方側への反り（すなわち、接合体の長手方向側面の最大歪み（最大距離Ｔ１））は、０．３ｍｍ程度であり、接合体の長さに対する最大距離Ｔ１の割合は、０．１２×１０−３であり、接合体のアスペクト比に対する最大距離Ｔ１の割合は、０．０３であった。また、反りの中心は流路の長手方向中央部付近であった。また、機械加工にて仕上げたバッキングプレートにおいては、反り（すなわち、接合体の長手方向側面の最大歪み（最大距離Ｔ１））は実質的に認められなかった。
【０１４３】
【表４】
2020084327.tif 000006
【０１４４】
図１０および表４に示す通り、距離ｄ１における最大値と最小値との差、ならびに、距離ｄ３における最大値と最小値との差は、いずれも１ｍｍ未満（０．３ｍｍ）であり、溝（流路）の長手方向側面の最大歪み（最大距離Ｔ２）は１ｍｍ未満（０．３ｍｍ程度）であった。バッキングプレートの長さに対する距離ｄ１の最大値と最小値との差の割合、およびバッキングプレートの長さに対する距離ｄ３の最大値と最小値との差の割合は、いずれも０．１２×１０−３であり、バッキングプレートのアスペクト比に対する距離ｄ１の最大値と最小値との差の割合、およびバッキングプレートのアスペクト比に対する距離ｄ３の最大値と最小値との差の割合は、いずれも０．０３であった。なお、距離ｄ２における最大値と最小値との差も、１ｍｍ未満（０．１ｍｍ）であった。
また、前記蓋部材の溝の中央部分でバッキングプレートを切断し、蓋部材の厚みをノギスで測定した。前記蓋部材の長手方向の略全長にわたって溝中央の上方を測定して求めた前記蓋部材の厚さの最大値と最小値との差は、０．２ｍｍ（蓋部材の平均厚さは３．０ｍｍ）であり、厚み方向のばらつきも均一であった。
【０１４５】
よって、実施例２で製造したバッキングプレートも、上述した実施例１で製造したバッキングプレートと同様に、比較例１で製造したバッキングプレートに比べて、溝の位置ずれが低減されていることがわかった。
【０１４６】
（実施例３）
実施例１と同様にして、バッキングプレートを作製し、流路につながる蓋部材に設けた孔より０．５ＭＰａの水圧をバッキングプレート内の流路に印加し、耐圧テストを行った。加圧状態で３０分間保持した後、除荷状態で蓋部材が変形しているか確認したところ、変形した箇所は見られなかった。また、耐圧テスト後に、アルバック製のＨｅリーク装置を用い、流路のＨｅリークテストを行ったが、リークレートが５．０×１０−１０Ｐａ・ｍ３／ｓ以下であり、漏洩は見られなかった。
【０１４７】
前記耐圧テスト及び流路のＨｅリークテストにより変形やリークの無いことを確認したバッキングプレート上に、２２５０ｍｍ×２００ｍｍ×厚さ１５ｍｍのアルミニウムターゲットをインジウムはんだを用いてボンディングし、スパッタリングターゲットを作製した。ボンディング作業時は、バッキングプレートを２４０℃に加熱したが、大きな反りは生じず、超音波探傷装置により接合率検査を行ったところ、接合率が９９％以上であり、ターゲット材全面が均一にボンディングされているスパッタリングターゲットを作製することができた。
【０１４８】
（比較例２）
以下に示す設計目標値でバッキングプレートを製造した。各部材の材料は実施例１と同様の材料を使用した。
【０１４９】
バッキングプレートの設計目標値
バッキングプレートの長さ：８００ｍｍ
バッキングプレートの幅：２７０ｍｍ
バッキングプレートのアスペクト比：２．９６
バッキングプレートの厚さ（＝本体の溝部における厚さ＋蓋部材の厚さ＋流路の高さ）：１８ｍｍ
本体の溝部における厚さ：８ｍｍ
蓋部材の厚さ：５ｍｍ
蓋部材の長さ：７１０ｍｍ
蓋部材の全幅：１７５ｍｍ（＝７０ｍｍ（長尺直線部分の幅方向の寸法）＋３５ｍｍ（中間部分の幅方向の寸法）＋７０ｍｍ（長尺直線部分の幅方向の寸法））
流路の全幅：１６５ｍｍ（＝６０ｍｍ（長尺直線部分の幅方向の寸法、すなわち、側面５ａと側面５ｂとの間の距離）＋４５ｍｍ（中間部分の幅方向の寸法、すなわち、側面５ｂと側面７ａとの間の距離）＋６０ｍｍ（長尺直線部分の幅方向の寸法、すなわち、側面７ａと側面７ｂとの間の距離））
流路の高さ（または厚さ）：５ｍｍ
流路の長さ：７００ｍｍ
【０１５０】
本体と蓋部材との接合を、図３（ａ）を参照して、まず第１被接合領域１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂを点ｇから点ｈ、点ｆから点ｅ、点ａから点ｂ、点ｄから点ｃの順で接合し、その後、第２被接合領域１６ａ、１６ｂおよび第３被接合領域１８ａ、１８ｂを、点ｂから点ｄ、点ｆから点ｈ、点ａから点ｅ、点ｇから点ｃの順に接合し、長さ８２０ｍｍ、幅２８０ｍｍ（アスペクト比：２．９３）、高さ２０ｍｍの接合体を製造したこと以外は、実施例１と同様にして、上記に示す設計目標のバッキングプレートを製造した。
【０１５１】
このようにして製造した本比較例のバッキングプレートを、実施例１と同様に、長手方向Ｘに沿った複数の位置において、距離ｄ１、ｄ２およびｄ３を測定した。結果を図１１および表５に示す。なお、本比較例の機械加工前の接合体３０は、長手方向側面１ａ、１ｂのうち長手方向側面１ａの側が凸となるように、０．４ｍｍ反っており（すなわち、接合体の長手方向側面の最大歪み（最大距離Ｔ１）は０．４ｍｍであり、接合体の長さに対する最大距離Ｔ１の割合は、０．４９×１０−３であり、接合体のアスペクト比に対する最大距離Ｔ１の割合は、０．１４であった）、反りの中心は流路の長手方向中央部付近であった。また、本比較例の機械加工にて仕上げたバッキングプレートにおいては、反り（すなわち、接合体の長手方向側面の最大歪み（最大距離Ｔ１））は実質的に認められなかった。
【０１５２】
【表５】
2020084327.tif 000007
【０１５３】
図１１および表５に示す通り、距離ｄ１における最大値と最小値との差、ならびに、距離ｄ３における最大値と最小値との差は、いずれも０．４ｍｍであり、溝（流路）の長手方向側面の最大歪み（最大距離Ｔ２）は０．５ｍｍ程度であった。バッキングプレートの長さに対する距離ｄ１の最大値と最小値との差の割合、およびバッキングプレートの長さに対する距離ｄ３の最大値と最小値との差の割合は、いずれも０．５０×１０−３であり、バッキングプレートのアスペクト比に対する距離ｄ１の最大値と最小値との差の割合、およびバッキングプレートのアスペクト比に対する距離ｄ３の最大値と最小値との差の割合は、いずれも０．１４であった。なお、距離ｄ２における最大値と最小値との差は、１ｍｍ未満であった。
【産業上の利用可能性】
【０１５４】
本発明のバッキングプレートおよびその製造方法は、スパッタリングターゲット、特に液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）などのフラットパネルディスプレイの製造で使用され得るスパッタリングターゲットにおいて利用することができる。
【符号の説明】
【０１５５】
１  本体
２  溝
３  蓋部材
４  接合体
５、７  第１部分
５ａ、５ｂ、７ａ、７ｂ  （長手方向）側面
６  第２部分
６ａ、６ｂ、８ａ、８ｂ  （幅方向）側面
１１ａ、１１ｂ  孔
１５ａ、１５ｂ、１７ａ、１７ｂ  第１被接合領域
１６ａ、１６ｂ  第２被接合領域
１８ａ、１８ｂ  第３被接合領域
１９  台座部
２０、２１  バッキングプレート
Ｘ  長手方向
Ｙ  幅方向
ｄ１、ｄ２、ｄ３  距離
【図１】
2020084327.tif 000008
【図２】
2020084327.tif 000009
【図３】
2020084327.tif 000010
【図４】
2020084327.tif 000011
【図５】
2020084327.tif 000012
【図６】
2020084327.tif 000013
【図７】
2020084327.tif 000014
【図８】
2020084327.tif 000015
【図９】
2020084327.tif 000016
【図１０】
2020084327.tif 000017
【図１１】
2020084327.tif 000018
【手続補正書】
【提出日】令和2年1月28日(2020.1.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が通過する溝を片面に有する板状の本体と、該本体の該溝を覆うように該本体に配置される板状の蓋部材とを接合することを含むバッキングプレートの製造方法であって、
前記溝が、前記本体の長手方向に延在する少なくとも２つの第１部分を含み、
前記本体と前記蓋部材との被接合領域が、前記本体の長手方向に延在し、かつ、前記少なくとも２つの第１部分において対向する各２つの側面に対応する少なくとも４つの第１被接合領域を含み、
前記少なくとも４つの第１被接合領域における前記本体と前記蓋部材との接合を、
工程（ａ）：１つの第１部分における１つの側面に対応する１つの第１被接合領域において前記本体と前記蓋部材とを接合する工程、
工程（ｂ）：残りの被接合領域のうち、１つ前の工程において接合した第１部分とは別の第１部分における１つの側面に対応する１つの被接合領域において前記本体と前記蓋部材とを接合する工程であって、該接合の始点が、１つ前の工程における接合の終点に対して離間した位置にある工程、および、
工程（ｃ）：前記工程（ｂ）を繰り返す工程
によって実施する、バッキングプレートの製造方法。
【請求項２】
前記少なくとも４つの第１被接合領域における前記本体と前記蓋部材との接合が、同じ方向に実施される、請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
前記同じ方向は、前記少なくとも４つの第１被接合領域の一端側から他端側に向かって正方向および逆方向のいずれか一方または双方の組み合わせである、請求項２に記載の製造方法。
【請求項４】
前記少なくとも４つの第１被接合領域における前記本体と前記蓋部材との接合を、平面視にて前記本体の長手方向に沿った中心線に対して対称になる順序で１つずつ実施する、請求項１〜３のいずれかに記載の製造方法。
【請求項５】
前記溝が、前記本体の幅方向に延在し、かつ、隣接する２つの前記第１部分を接続する少なくとも１つの第２部分を含み、
前記本体と前記蓋部材との被接合領域が、前記本体の幅方向に延在し、かつ、前記少なくとも１つの第２部分において対向する２つの側面に対応する少なくとも２つの第２被接合領域を含み、
前記少なくとも４つの第１被接合領域における前記本体と前記蓋部材との接合を実施する前または後に、前記少なくとも２つの第２被接合領域における前記本体と前記蓋部材との接合を実施する、請求項１〜４のいずれかに記載の製造方法。
【請求項６】
前記本体と前記蓋部材とを電子ビーム溶接または摩擦撹拌接合により接合する、請求項１〜５のいずれかに記載の製造方法。
【請求項７】
流体が通過する溝を片面に有する板状の本体と、該本体の該溝を覆うように該本体に配置される板状の蓋部材とを含むバッキングプレートであって、前記バッキングプレートの長さが１０００ｍｍ以上であり、前記本体と前記蓋部材とが接合により一体化されており、前記溝が、前記本体の長手方向に延在する少なくとも２つの第１部分を含み、前記本体の長手方向側面から、前記第１部分の最も近い長手方向側面までの距離の最大値と最小値との差が１ｍｍ未満である、バッキングプレート。
【請求項８】
流体が通過する溝を片面に有する板状の本体と、該本体の該溝を覆うように該本体に配置される板状の蓋部材とを含むバッキングプレートであって、前記バッキングプレートの幅に対する長さの比が３．１以上であり、前記本体と前記蓋部材とが接合により一体化されており、前記溝が、前記本体の長手方向に延在する少なくとも２つの第１部分を含み、前記本体の長手方向側面から、前記第１部分の最も近い長手方向側面までの距離の最大値と最小値との差が１ｍｍ未満である、バッキングプレート。
【請求項９】
前記バッキングプレートが、２０００ｍｍを超える長さを有する、請求項７または８に記載のバッキングプレート。
【請求項１０】
前記バッキングプレートが、２０００ｍｍを超え５０００ｍｍ以下の長さを有する、請求項９に記載のバッキングプレート。
【請求項１１】
前記バッキングプレートの幅に対する長さの比が、６．０以上である、請求項７〜１０のいずれかに記載のバッキングプレート。
【請求項１２】
前記バッキングプレートの幅に対する長さの比が、７．０以上４０．０以下である、請求項１１に記載のバッキングプレート。
【請求項１３】
請求項１〜６のいずれかに記載の製造方法によって製造されたバッキングプレートにターゲット材を結合することを含むスパッタリングターゲットの製造方法。
【請求項１４】
請求項７〜１２のいずれかに記載のバッキングプレート上にターゲット材が結合されている、スパッタリングターゲット。