(57)【要約】【課題】荷重センサを用いて荷重を適切に測定する。【解決手段】チャックテーブル２における第１センサ７１、第２センサ７２、および第３センサ７３のいずれの近傍に荷重がかかった場合でも、測定器８において算出される電圧値が同じ値となるように、電圧調整部９を調整する（第１〜第３調整工程）。そして、繰り返し工程では、このような第１〜第３調整工程を繰り返す。このように電圧調整部９を調整することにより、各センサ７１〜７３が所定の荷重を受けたとき、すなわち、チャックテーブル２における各センサ７１〜７３の近傍が所定の荷重を受けたときに、測定器８によって算出される合計電圧を等しくすることができるので、測定器８における荷重の測定値を等しくすることができる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
受けた荷重に応じた電圧を発生する少なくとも３つの荷重センサを三角形の頂点に配設し、該少なくとも３つの荷重センサによって荷重受け部を支持し、該少なくとも３つの荷重センサから発生した電圧に基づいて、該荷重受け部にかかる荷重を測定器によって測定する際、該各荷重センサが所定の荷重を受けたときに該測定器が同じ電圧を受電するように、該測定器が受電する各荷重センサからの電圧を、該各荷重センサと該測定器との間に配設される電圧調整部によって調整する、荷重センサの電圧調整方法であって、
該荷重受け部に所定の荷重をかける荷重付与手段と、該少なくとも３つの荷重センサとしての第１センサ、第２センサおよび第３センサのそれぞれから発生された電圧を受電して、それらの合計電圧を算出し、この合計電圧に基づいて該荷重受け部にかかる荷重を測定する該測定器と、を準備する準備工程と、
該荷重受け部における該第１センサの近傍に該荷重付与手段によって該所定の荷重を付与し、該測定器によって算出される該合計電圧が該所定の荷重に対応した電圧になるよう該第１センサ用の電圧調整部を調整する第１調整工程、該荷重受け部における該第２センサの近傍に該荷重付与手段によって該所定の荷重を付与し、該測定器によって算出される該合計電圧が該所定の荷重に対応した電圧になるよう該第２センサ用の電圧調整部を調整する第２調整工程、および、該荷重受け部における該第３センサの近傍に該荷重付与手段によって該所定の荷重を付与し、該測定器によって算出される該合計電圧が該所定の荷重に対応した電圧になるよう該第３センサ用の電圧調整部を調整する第３調整工程を含み、これら第１調整工程、第２調整工程および第３調整工程を繰り返す繰り返し工程と、
を備え、
該繰り返し工程を実施することで、該各荷重センサが所定の荷重を受けたときに同じ電圧を該測定器が受電できる、
荷重センサの電圧調整方法。
【請求項２】
該少なくとも３つの荷重センサは、正三角形の頂点に配設され、
該正三角形の重心と該荷重受け部の中心とが一致されている、
請求項１記載の荷重センサの電圧調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、荷重センサの電圧調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハの抗折強度を強化するために、たとえば、研削砥石による研削によってウェーハに形成された研削痕が、研磨パッドによる研磨工程によって除去される。研磨加工は、研磨パッドをウェーハに所定の荷重で押しつけて実施される。つまり、研磨除去量は、荷重の大きさに応じて変わる。複数の研磨装置においても、同じ荷重で研磨することにより、研磨除去量を同様にすることができる。
【０００３】
研磨パッドからウェーハが受ける荷重は、たとえば、特許文献１に示すように、以下のように検知される。圧電素子で構成される荷重センサを、チャックテーブルの中心を重心とする正三角形の頂点のそれぞれに配設する。これら３つの荷重センサを用いて測定した荷重の合算値を取得して、これを、ウェーハが受ける荷重であるとする。
荷重センサは、圧電素子に所定の圧縮圧力（与圧）が付与されてある程度圧縮された状態で、チャックテーブルもしくは研磨手段に配設される。また、荷重センサの出力値に関しては、無荷重の時にゼロとなるよう、ゼロ調整がなされている。そして、荷重センサは、荷重を受けて圧縮されると、プラスの電圧を発生する。この電圧を荷重に変換することにより、チャックテーブル上のウェーハにかかる荷重が測定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−０３６１６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のように、３つの荷重センサには、所定の与圧がかけられている。ここで、荷重センサごとに与圧が異なると、同じ荷重を受けても、各荷重センサから発生される電圧に差が生じる。このような差の発生を防止するためには、３つの荷重センサにかける与圧を均等にする必要がある。しかし、３つの荷重センサに均等に与圧をかけることは困難である。
本発明の目的は、このような荷重センサを用いて荷重を適切に測定することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明にかかる荷重センサの電圧調整方法（本調整方法）は、受けた荷重に応じた電圧を発生する少なくとも３つの荷重センサを三角形の頂点に配設し、該少なくとも３つの荷重センサによって荷重受け部を支持し、該少なくとも３つの荷重センサから発生した電圧に基づいて、該荷重受け部にかかる荷重を測定器によって測定する際、該各荷重センサが所定の荷重を受けたときに該測定器が同じ電圧を受電するように、該測定器が受電する各荷重センサからの電圧を、該各荷重センサと該測定器との間に配設される電圧調整部によって調整する、荷重センサの電圧調整方法であって、該荷重受け部に所定の荷重をかける荷重付与手段と、該少なくとも３つの荷重センサとしての第１センサ、第２センサおよび第３センサのそれぞれから発生された電圧を受電して、それらの合計電圧を算出し、この合計電圧に基づいて該荷重受け部にかかる荷重を測定する該測定器と、を準備する準備工程と、該荷重受け部における該第１センサの近傍に該荷重付与手段によって該所定の荷重を付与し、該測定器によって算出される該合計電圧が該所定の荷重に対応した電圧になるよう該第１センサ用の電圧調整部を調整する第１調整工程、該荷重受け部における該第２センサの近傍に該荷重付与手段によって該所定の荷重を付与し、該測定器によって算出される該合計電圧が該所定の荷重に対応した電圧になるよう該第２センサ用の電圧調整部を調整する第２調整工程、および、該荷重受け部における該第３センサの近傍に該荷重付与手段によって該所定の荷重を付与し、該測定器によって算出される該合計電圧が該所定の荷重に対応した電圧になるよう該第３センサ用の電圧調整部を調整する第３調整工程を含み、これら第１調整工程、第２調整工程および第３調整工程を繰り返す繰り返し工程と、
を備え、該繰り返し工程を実施することで、該各荷重センサが所定の荷重を受けたときに同じ電圧を該測定器が受電できる。
本調整方法では、該少なくとも３つの荷重センサは、正三角形の頂点に配設されてもよく、該正三角形の重心と該荷重受け部の中心とが一致されていてもよい。
【発明の効果】
【０００７】
本調整方法における繰り返し工程では、第１〜第３調整工程を実施し、荷重受け部における第１〜第３センサのいずれの近傍に荷重がかかった場合でも、測定器において算出される合計電圧が同じ値となるように、電圧調整部を調整する。そして、繰り返し工程では、このような第１〜第３調整工程を繰り返す。
このように電圧調整部を調整することにより、各荷重センサが所定の荷重を受けたとき、すなわち、荷重受け部における各荷重センサの近傍が所定の荷重を受けたときに、測定器によって算出される合計電圧を等しくすることができるので、測定器における荷重の測定値を等しくすることができる。
【０００８】
ここで、荷重受け部は、たとえば、研磨装置におけるチャックテーブル、あるいは、研磨パッドユニットを回転させるスピンドルである。したがって、本調整方法によって研磨装置を調整することにより、ウェーハを研磨加工する際に、ウェーハにかかる荷重を、より高精度に制御することが可能となる。その結果、研磨除去量の精度を高めることができる。
【０００９】
また、本調整方法によって複数の研磨装置を調整することにより、これら複数の研磨装置の荷重受け部に同じ荷重がかかる場合にも、測定器における荷重の測定値を等しくすることができる。これにより、複数の研磨装置を用いてウェーハを研磨加工する場合でも、研磨装置ごとの加工結果を略均一にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】研磨装置の構成を示す斜視図である。
【図２】チャックテーブルの近傍の構成を示す説明図である。
【図３】チャックテーブルの保持面と荷重センサとの位置関係を示す説明図である。
【図４】チャックテーブルに荷重付与手段が載置されている状態を示す説明図である。
【図５】繰り返し工程における第１〜第３調整工程による、測定器における荷重値の変化を示す説明図である。
【図６】ハウジングとホルダとの間に荷重センサが配設されている形態を示す断面図である。
【図７】スピンドルと荷重センサとの位置関係を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
１  研磨装置について
図１に示す研磨装置１は、チャックテーブル２に保持されたウェーハＷに研磨部材３４１を当接させてウェーハＷを研磨する研磨装置である。以下、研磨装置１について説明する。
【００１２】
図１に示すように、研磨装置１は、Ｙ軸方向に延設されたベース１０と、ベース１０の上における＋Ｙ方向側に立設されたコラム１１とを備える。
【００１３】
研磨装置１のベース１０の上には、チャックテーブル２が備えられている。チャックテーブル２は、ウェーハＷを保持する円板形状のテーブルであり、保持面２０ａを有する吸引部２０と、吸引部２０を支持する枠体２１とを備えている。保持面２０ａにウェーハＷが載置された状態で、図示しない吸引源によって発揮される吸引力を保持面２０ａに伝達することによって、ウェーハＷを、保持面２０ａによって吸引保持することができる。
【００１４】
チャックテーブル２の周囲には、カバー１２が配設されている。カバー１２には、蛇腹１３が伸縮自在に連結されている。カバー１２とチャックテーブル２とは、ウェーハＷの研磨加工の際に、ベース１０の内部に配設されているＹ軸方向への移動手段によって、Ｙ軸方向に一体的に往復移動する。蛇腹１３は、このカバー１２のＹ軸方向の移動に伴って伸縮する。
【００１５】
コラム１１の−Ｙ方向側の側面には、研磨手段３を昇降移動させる研磨送り手段４が備えられている。
研磨送り手段４は、Ｚ軸方向の回転軸を有するボールネジ４０と、ボールネジ４０に対して平行に配設された一対のガイドレール４１と、ボールネジ４０を回動させるモータ４２と、ガイドレール４１に摺接する昇降板４３と、昇降板４３に連結されたホルダ４４とを備えている。
【００１６】
昇降板４３の裏面には、ボールネジ４０に螺合するナット部４５（図２参照）が形成されている。モータ４２によってボールネジ４０が回転すると、昇降板４３が、ガイドレール４１に案内されてＺ軸方向に昇降移動する。そして、昇降板４３に連結されたホルダ４４が、Ｚ軸方向に昇降移動する。
研磨手段３は、ホルダ４４に支持されており、ホルダ４４とともにＺ軸方向に昇降移動する。
【００１７】
研磨手段３は、スピンドル３０と、スピンドル３０を支持するハウジング３１と、Ｚ軸方向の回転軸を中心にスピンドル３０を回転させるモータ３２とを備えている。スピンドル３０の下端には、マウント３３が連結されている。マウント３３の下面には、研磨パッドユニット３４が固定されている。研磨パッドユニット３４は、マウント３３の下面に連結された円板３４０と、円板３４０の下端に配設された研磨部材３４１とを含んでいる。研磨部材３４１は、たとえば、フェルト等の不織布からなる。
【００１８】
研磨加工時には、図２に示すように、チャックテーブル２の保持面２０ａに、保護テープＴを介して、ウェーハＷが吸引保持される。そして、スピンドル３０がＺ軸方向の回転軸を中心に回転し、これに伴って、マウント３３および研磨パッドユニット３４が回転する。回転する研磨パッドユニット３４の研磨部材３４１がウェーハＷの表面Ｗａに当接することにより、ウェーハＷの表面Ｗａが研磨される。
【００１９】
図２に示すように、チャックテーブル２の下方には、チャックテーブル２を支持する基台２２が配設されている。そして、チャックテーブル２と基台２２との間には、荷重センサとしての第１センサ７１、第２センサ７２（図３参照）、および第３センサ７３が配設されている。
【００２０】
図３に示すように、センサ７１〜７３は、それぞれ、チャックテーブル２の円形の保持面２０ａの外周部分に対応する位置に配置されている。センサ７１〜７３の配置位置を結ぶことによって形成される三角形は、保持面２０ａの中心Ｏ１に一致する重心を有する正三角形である。
【００２１】
図２に示すように、これらセンサ７１〜７３は、ネジ７４によって、チャックテーブル２と基台２２との間にねじ止めされている。したがって、センサ７１〜７３は、チャックテーブル２を支持しており、荷重受け部としてのチャックテーブル２にかかる荷重を受ける。
【００２２】
また、センサ７１〜７３は、圧電素子を有しており、受けた荷重に応じた電圧を発生する。すなわち、各センサ７１〜７３は、受ける荷重が大きいほど、大きい電圧を発生する。したがって、たとえば、チャックテーブル２における第１センサ７１の近傍に荷重がかかった際には、第１センサ７１から発生する電圧が、第２センサ７２および第３センサ７３から発生する電圧よりも大きくなる。
【００２３】
図３に示すように、第１センサ７１、第２センサ７２および第３センサ７３は、電圧調整部９を介して測定器８に接続されている。
測定器８は、チャックテーブル２に荷重がかかることによりセンサ７１〜７３が荷重を受け、各センサ７１〜７３から電圧が発生した場合に、各センサ７１〜７３からの電圧を受電する。さらに、測定器８は、受電した電圧を合計して合計電圧を算出し、算出した合計電圧に基づいてチャックテーブル２にかかる荷重を測定（算出）する。また、測定器８は、測定した荷重値を、図示しないモニタに表示することもできる。
【００２４】
電圧調整部９は、第１センサ７１用の電圧調整部である第１電圧調整器９１、第２センサ７２用の電圧調整部である第２電圧調整器９２、および、第３センサ７３用の電圧調整部である第３電圧調整器９３を備えている。
第１電圧調整器９１は、第１センサ７１と測定器８との間に介在されており、第１センサ７１から発生されて測定器８に受電される電圧を調整する。第２電圧調整器９２は、第２センサ７２と測定器８との間に介在されており、第２センサ７２から発生されて測定器８に受電される電圧を調整する。第３電圧調整器９３は、第３センサ７３と測定器８との間に介在されており、第３センサ７３から発生されて測定器８に受電される電圧を調整する。
【００２５】
そして、本実施形態では、各センサ７１〜７３が所定の同じ荷重を受けたとき、すなわち、チャックテーブル２における各センサ７１〜７３の近傍が所定の同じ荷重を受けたときに、測定器８が各センサ７１〜７３から同じ電圧を受電するように、電圧調整器９１〜９３による電圧調整が実施される。
【００２６】
２  荷重センサの電圧調整方法
次に、研磨装置１における荷重センサである第１センサ７１、第２センサ７２および第３センサ７３の電圧調整方法（本調整方法）について説明する。
本調整方法では、チャックテーブル２における各センサ７１〜７３の近傍が所定の同じ荷重を受けたときに、測定器８が各センサ７１〜７３から同じ電圧を受電するように、電圧調整器９１〜９３（具体的には、電圧調整器９１〜９３の増幅率）を調整する。本調整方法では、電圧調整器９１〜９３の増幅率を、１倍以上の値とすることも、１倍以下の値とすることもできる。
【００２７】
［準備工程］
本調整方法では、まず、上述した測定器８と、図４に示す荷重付与手段６とを準備する。荷重付与手段６は、荷重受け部としてのチャックテーブル２に荷重を付与するためのものであり、チャックテーブル２と研磨パッドユニット３４の研磨部材３４１との間に、着脱可能に配設される。
【００２８】
荷重付与手段６は、ピストン６１、および、ピストン６１を収容するシリンダ６０を有するエアシリンダである。シリンダ６０の内部の空間は、エア源６２に接続されている。
【００２９】
荷重付与手段６では、エア源６２からシリンダ６０の内部にエアが供給されることによって、ピストン６１を、下から付勢して、＋Ｚ方向に上昇させることができる。ピストン６１の上昇に伴って、ピストン６１が研磨部材３４１を上方へと押すとともに、シリンダ６０がチャックテーブル２を下方へと押して、チャックテーブル２における荷重付与手段６の設置部位に、荷重を付与することができる。
なお、チャックテーブル２の上に錘を載せることで、チャックテーブル２におけるセンサ７１〜７３に所定の荷重を付与させてもよい。
【００３０】
［第１回  繰り返し工程］
（第１調整工程）
第１調整工程では、荷重付与手段６を用いて、チャックテーブル２における第１センサ７１の近傍に、所定の荷重を付与する。具体的には、図４に示すように、まず、研磨パッドユニット３４の研磨部材３４１を、チャックテーブル２の上方に、チャックテーブル２から所定の距離だけ離れるように配置する。
【００３１】
次に、チャックテーブル２における第１センサ７１の近傍に、荷重付与手段６を位置付ける。その後、エア源６２からシリンダ６０の内部にエアを供給することにより、ピストン６１を上昇させる。これにより、ピストン６１が研磨部材３４１を上方へと押すとともに、シリンダ６０がチャックテーブル２を下方へと押す。その結果、チャックテーブル２における第１センサ７１の近傍に、荷重が付与される。
【００３２】
なお、本調整方法において荷重付与手段６からチャックテーブル２に付与される荷重は、予め定められた所定の荷重であり、本実施形態に示す例では３００Ｎである。
そして、チャックテーブル２におけるいずれか１つのセンサ（第１調整工程では第１センサ７１）の近傍に３００Ｎの荷重が付与された場合には、このセンサにかかる真の荷重値は２００Ｎであり、他の２つのセンサ（第１調整工程では、第２センサ７２および第３センサ７３）にかかる真の荷重値は、２００Ｎの１／４の５０Ｎである。
【００３３】
荷重の付与に伴い、第１センサ７１、第２センサ７２、および第３センサ７３のそれぞれから電圧が発生して、測定器８によって電圧の合計値が算出される。測定器８は、算出した合計電圧に基づいて、チャックテーブル２にかかる荷重値を測定し、図示しないモニタに表示する。
【００３４】
図５に、荷重値の測定結果の例を示している。この例では、図５の（ａ）に示すように、「第１回  繰り返し工程」における第１調整工程において、調整前に第１センサ７１、第２センサ７２、および第３センサ７３の受けた荷重に対し、１．１倍の荷重値を測定器８が測定する、という前提である。よって、付与した荷重（３００Ｎ）に対し、測定器８によって測定された３つのセンサ７１〜７３の合算値の荷重値は、３３０Ｎである。このため、測定値（３３０Ｎ）と真の荷重値（３００Ｎ）との間には、３０Ｎの差がある（第１調整前）。
例えば、第１センサ７１の直上に３００Ｎの荷重を付与させ、第１センサ７１と第２センサ７２と第３センサ７３とが正三角形の頂点に配置されていたら、第１センサ７１に関する荷重（第１センサ７１から発生される電圧に応じた荷重）は、２２０Ｎ（２００Ｎの１．１倍）であり、第２センサ７２および第３センサ７３に関する荷重は、５５Ｎ（５０Ｎの１．１倍）である。
なお、第１センサ７１と第２センサ７２と第３センサ７３とが正三角形の頂点に配置されていなかったら、測定器８は、上記の数値とは異なる荷重ではあるが、各センサ７１〜７３が受けた荷重の１．１倍の荷重を表示し、合算値は３３０Ｎを表示する。
【００３５】
第１調整工程では、測定器８によって算出される合計電圧が所定の荷重（３００Ｎ）に対応した電圧になるよう、第１電圧調整器９１を調整する。具体的には、３０Ｎ分だけ、第１センサ７１から発生する電圧の値を下げるように、第１電圧調整器９１の調整（第１電圧調整器９１の増幅率の変更）を実施する。これにより、測定器８によって測定される荷重値が、３００Ｎに調整される（第１調整後）。
この調整により、例えば、第１センサ７１に関する荷重は１９０Ｎ（２００Ｎの０．９５倍）であり、第２センサ７２および第３センサ７３に関する荷重は５５Ｎ（５０Ｎの１．１倍のまま）である。
【００３６】
（第２調整工程）
第２調整工程では、荷重付与手段６を用いて、チャックテーブル２における第２センサ７２の近傍に、所定の荷重（３００Ｎ）を付与する。図５（ｂ）に示す例では、この第２調整工程において測定器８によって測定された荷重値は、３２２．５Ｎである。このため、測定値と真の荷重値（３００Ｎ）との間には、２２．５Ｎの差がある（第２調整前）。
また、第１調整工程において第１電圧調整器９１が調整されていることを考慮すると、第１センサ７１に関する荷重は、４７．５Ｎ（５０Ｎの０．９５倍）である。また、第２センサ７２に関する荷重は２２０Ｎ（２００Ｎの１．１倍）であり、第３センサ７３に関する荷重は５５Ｎ（５０Ｎの１．１倍）である。
【００３７】
第２整工程では、測定器８によって算出される合計電圧が所定の荷重（３００Ｎ）に対応した電圧になるよう、第２電圧調整器９２を調整する。具体的には、２２．５Ｎ分だけ、第２センサ７２から発生する電圧の値を下げるように、第２電圧調整器９２の調整を実施する。これにより、測定器８によって測定される荷重値が、３００Ｎに調整される（第２調整後）。
この調整により、第２センサ７２に関する荷重は、１９７．５Ｎ（２００Ｎの０．９８８倍）となる。
【００３８】
（第３調整工程）
第３調整工程では、荷重付与手段６を用いて、チャックテーブル２における第３センサ７３の近傍に、所定の荷重（３００Ｎ）を付与する。図５（ｃ）に示す例では、この第３調整工程において測定器８によって測定された荷重値は、３１６．８７５Ｎである。このため、測定値と真の荷重値（３００Ｎ）との間には、１６．８７５Ｎの差がある（第３調整前）。
また、第２調整工程において第２電圧調整器９２が調整されていることを考慮すると、第２センサ７２に関する荷重は、４９．３７５Ｎ（５０Ｎの０．９８８倍）である。また、第１センサ７１に関する荷重は４７．５Ｎ（５０Ｎの０．９５倍）であり、第３センサ７３に関する荷重は２２０Ｎ（２００Ｎの１．１倍）である。
【００３９】
第３整工程では、測定器８によって算出される合計電圧が所定の荷重（３００Ｎ）に対応した電圧になるよう、第３電圧調整器９３を調整する。具体的には１６．８７５Ｎ分だけ、第３センサ７３から発生する電圧の値を下げるように、第３電圧調整器９３の調整を実施する。これにより、測定器８によって測定される荷重値が、３００Ｎに調整される（第３調整後）。
この調整により、第３センサ７３に関する荷重は、２０３．１２５Ｎ（２００Ｎの１．０１６倍）となる。
【００４０】
［第２回  繰り返し工程］
（第１調整工程）
「第２回  繰り返し工程」では、「第１回  繰り返し工程」における第１調整工程、第２調整工程、および第３調整工程を順次行った後、再び、同様に第１調整工程、第２調整工程、および第３調整工程を順次行う。
この第１調整工程でも、従前の第１調整工程と同様にして、荷重付与手段６を用いて、チャックテーブル２における第１センサ７１の近傍に、所定の荷重（３００Ｎ）を付与する。図５（ｄ）に示す例では、この第１調整工程において測定器８によって測定された荷重値は、２９０．１５６Ｎである。このため、測定値と真荷重値（３００Ｎ）との間には、９．８４４Ｎの差がある（第１調整前）。
また、「第１回  繰り返し工程」において電圧調整器９１〜９３が調整されていることを考慮すると、第１センサ７１に関する荷重は１９０Ｎ（２００Ｎの０．９５倍）であり、第２センサ７２に関する荷重は４９．３７５Ｎ（５０Ｎの０．９８８倍）であり、第３センサ７３に関する荷重は５０．７８１（５０Ｎの１．０１６倍）である。
【００４１】
この第１調整工程でも、測定器８によって算出される合計電圧が所定の荷重（３００Ｎ）に対応した電圧になるよう、第１電圧調整器９１を調整する。具体的には、９．８４４Ｎ分だけ、第１センサ７１から発生する電圧の値を上げるように、第１電圧調整器９１の調整を実施する。これにより、測定器８によって測定される荷重値が、３００Ｎに調整される（第１調整後）。
この調整により、第１センサ７１に関する荷重は、１９９．８４４Ｎ（２００Ｎの０．９９９倍）となる。
【００４２】
（第２調整工程）
この第２調整工程でも、従前の第２調整工程と同様にして、荷重付与手段６を用いて、チャックテーブル２における第２センサ７２の近傍に、所定の荷重（３００Ｎ）を付与する。図５（ｅ）に示す例では、この第２調整工程において測定器８によって測定された荷重値は、２９８．２４２Ｎである。このため、測定値と真の荷重値（３００Ｎ）との間には、１．７５８Ｎの差がある（第２調整前）。
また、第１調整工程において第１電圧調整器９１が調整されていることを考慮すると、第１センサ７１に関する荷重は、４９．９６１Ｎ（５０Ｎの０．９９９倍）である。また、第２センサ７２に関する荷重は１９７．５００Ｎ（２００Ｎの０．９８８倍）であり、第３センサ７３に関する荷重は５０．７８１Ｎ（５０Ｎの１．０１６倍）である。
【００４３】
この第２調整工程でも、測定器８によって算出される合計電圧が所定の荷重（３００Ｎ）に対応した電圧になるよう、第２電圧調整器９２を調整する。具体的には、１．７５８Ｎ分だけ、第２センサ７２から発生する電圧の値を上げるように、第２電圧調整器９２の調整を実施する。これにより、測定器８によって測定される荷重値が、３００Ｎに調整される（第２調整後）。
この調整により、第２センサ７２に関する荷重は、１９９．２５８Ｎ（２００Ｎの０．９９６倍）となる。
【００４４】
（第３調整工程）
この第３調整工程でも、従前の第３調整工程と同様にして、荷重付与手段６を用いて、チャックテーブル２における第３センサ７３の近傍に、所定の荷重（３００Ｎ）を付与する。図５（ｆ）に示す例では、この第３調整工程において測定器８によって測定された荷重値は、３０２．９００Ｎである。このため、測定値と真の荷重値（３００Ｎ）との間には、２．９００Ｎの差がある（第３調整前）。
また、第２調整工程において第２電圧調整器９２が調整されていることを考慮すると、第２センサ７２に関する荷重は、４９．８１４Ｎ（５０Ｎの０．９９６倍）である。また、第１センサ７１に関する荷重は４９．９６１Ｎ（５０Ｎの０．９９９倍）であり、第３センサ７３に関する荷重は２０３．１２５（２００Ｎの１．０１６倍）である。
【００４５】
この第３調整工程でも、測定器８によって算出される合計電圧が所定の荷重（３００Ｎ）に対応した電圧になるよう、第３電圧調整器９３を調整する。具体的には、２．９００Ｎ分だけ、第３センサ７３から発生する電圧の値を下げるように、第３電圧調整器９３の調整を実施する。これにより、測定器８によって測定される荷重値が、３００Ｎに調整される（第３調整後）。
この調整により、第３センサ７３に関する荷重は、２００．２２５Ｎ（２００Ｎの１．００１倍）となる。
この調整の後は、第１センサ７１は、０．９９９倍、第２センサ７２は０．９９６倍、第３センサ７３は、１．００１倍であるため、例えば、荷重付与手段６を用いて、チャックテーブル２における第１センサ７１の近傍に、所定の荷重（３００Ｎ）を付与すると、測定器８によって測定された荷重値は、２９９．６５０Ｎである。
所定の荷重と、測定器８が測定した荷重値との差が１Ｎ以内であったら繰り返し工程を実施しない、１Ｎより大きいときは繰り返し工程を実施するというように、繰り返し工程を実施する基準を設定しておき、その基準に達するまで繰り返し工程を実施するという制御部を備えてもよい。
また、所定の荷重と、測定器８が測定した荷重値との差は、予め設定した値では無く、所定の荷重に対し設定した割合としてもよく、例えば、予め設定した割合が０．２％であって、所定の荷重が３００Ｎであったら、制御部は、２９９．４Ｎ以上３００．６Ｎ以下の範囲に入るまで繰り返し工程を実施する。
【００４６】
以上のように、本調整方法における繰り返し工程では、第１〜第３調整工程を順に実施し、チャックテーブル２における第１センサ７１、第２センサ７２、および第３センサ７３のいずれの近傍に荷重がかかった場合でも、測定器８において算出される電圧値が同じ値となるように、電圧調整部９（第１電圧調整器９１、第２電圧調整器９２および第３電圧調整器９３）を調整する。そして、繰り返し工程では、このような第１〜第３調整工程を繰り返す。
このように電圧調整部９を調整することにより、各センサ７１〜７３が所定の荷重を受けたとき、すなわち、チャックテーブル２における各センサ７１〜７３の近傍が所定の荷重を受けたときに、測定器８によって算出される合計電圧を等しくすることができるので、測定器８における荷重の測定値を等しくすることができる。
したがって、本調整方法によって研磨装置１の電圧調整部９を調整することにより、ウェーハＷを研磨加工する際に、ウェーハＷにかかる荷重を、より高精度に制御することが可能となる。その結果、研磨除去量の精度を高めることができる。
また、本調整方法によって複数の研磨装置１を調整することにより、これら複数の研磨装置１のチャックテーブル２に同じ荷重がかかる場合にも、測定器８における荷重の測定値を等しくすることができる。これにより、複数の研磨装置１を用いてウェーハＷを研磨加工する場合でも、研磨装置１ごとの加工結果を略均一にすることができる。
【００４７】
なお、本調整方法では、第１調整工程、第２調整工程、および第３調整工程の一連の調整工程を、少なくとも２回繰り返している。この一連の調整工程を２回以上繰り返すことにより、測定器８における荷重の測定値の精度を高めることができる。
【００４８】
また、本実施形態では、測定器８における測定値をモニタに表示している。これにより、電圧調整部９の調整を、測定器８における測定値をモニタリングしながら、効率的に行うことができる。このため、調整に要するコストを抑えることができる。
【００４９】
また、研磨装置１には、３つのセンサ７１〜７３だけでなく、第４センサ、第５センサというように、さらに多くの荷重センサが配設されてもよい。この場合、第３センサ７３に関する第３調整工程を行った後に、同様に第４センサ、および第５センサに関する調整工程が実施される。
【００５０】
また、第１センサ７１、第２センサ７２および第３センサ７３は、チャックテーブル２と基台２２との間に配設されるかわりに、図６に示すように、スピンドル３０を囲む筒状のホルダ４４とホルダ４４の底板でスピンドル３０を支持する環状プレート４４ａとの間に配設され、ネジ７４によってねじ止めされていてもよい。かかる場合には、図７に示すように、センサ７１〜７３は、スピンドル３０の中心Ｏ２に一致する重心を有する正三角形の頂点に位置付けられる。この構成では、センサ７１〜７３は、荷重受け部としてのスピンドル３０にかかる荷重を測定している。
【符号の説明】
【００５１】
１：研磨装置、１０：ベース、１１：コラム、１２：カバー、１３：蛇腹
２：チャックテーブル、２０：吸引部、２０ａ：保持面、２１：枠体
２２：基台、３：研磨手段、３０：スピンドル、３１：ハウジング、３２：モータ
３３：マウント、３４：研磨パッドユニット、３４０：円板、３４１：研磨部材
４：研磨送り手段、４０：ボールネジ、４１：ガイドレール、４２：モータ
４３：昇降板、４４：ホルダ
６：荷重付与手段、６０：シリンダ、６１：ピストン、６２：エア源
７１：第１センサ、７２：第２センサ、７３：第３センサ
７４：ネジ、８：測定器
９：電圧調整部、９１：第１調整器、９２：第２調整器、９３：第３調整器
Ｗ：ウェーハ、Ｗａ：ウェーハの表面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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