(57)【要約】【課題】出力シャフトの回転角度を検出する際、その回転角度を安定して正確に検出することができる電動アクチュエータを提供すること。【解決手段】電動アクチュエータ１０は、モータと、モータに接続され、出力中心軸Ｊ３回りに回転して、モータの動力を出力する出力シャフト６１と、出力シャフト６１に同心的に取り付けられ、出力シャフト６１とともに回転するリング状の出力部用センサマグネット６３とを備える。出力部用センサマグネット６３は、その周方向に沿って１つのＮ極と１つのＳ極とが配置された２極マグネットであり、出力シャフト６１は、出力部用センサマグネット６３の内周面６３２に対向する部分において、出力中心軸Ｊ３に沿った長さＬ６４ｂが出力シャフト６１の周方向に沿って変化する変化部６４ｂを有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータと、
前記モータに接続され、軸線回りに回転して、前記モータの動力を出力する出力シャフトと、
前記出力シャフトに同心的に取り付けられ、前記出力シャフトとともに回転するリング状のマグネットとを備える電動アクチュエータであって、
前記マグネットは、その周方向に沿って１つのＮ極と１つのＳ極とが配置された２極マグネットであり、
前記出力シャフトは、前記マグネットの内周面に対向する部分において、前記軸線に沿った長さが前記出力シャフトの周方向に沿って変化する変化部を有することを特徴とする電動アクチュエータ。
【請求項２】
前記出力シャフトは、前記軸線から外周面までの距離が第１外径である第１外径部を有し、
前記変化部は、前記距離が前記第１外径よりも長い部分を有する請求項１に記載の電動アクチュエータ。
【請求項３】
前記変化部は、前記Ｎ極の頂部および前記Ｓ極の頂部にそれぞれ対向する第１対向部と、前記Ｎ極と前記Ｓ極との境界部にそれぞれ対向する第２対向部とを有し、
各前記第１対向部の前記軸線に沿った長さは、各前記第２対向部の前記軸線に沿った長さよりも短い請求項１または２に記載の電動アクチュエータ。
【請求項４】
前記第１対向部と前記第２対向部とは、前記軸線回りに９０°ズレて配置されている請求項３に記載の電動アクチュエータ。
【請求項５】
前記第１対向部と前記第２対向部との間では、前記軸線に沿った長さが前記第２対向部から前記第１対向部に向かって連続的または段階的に減少している請求項３または４に記載の電動アクチュエータ。
【請求項６】
さらに、前記第１外径部から径方向外側に外れた位置に、前記マグネットと対向して配置され、前記マグネットの回転による磁束密度の変化を検出する検出素子を備える請求項１ないし５のいずれか１項に記載の電動アクチュエータ。
【請求項７】
前記出力シャフトは、前記モータの動力を減速して出力する請求項１ないし６のいずれか１項に記載の電動アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電動アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から自動車に搭載されるワイパ装置の駆動源としては、例えば、特許文献１に記載されている減速機付きモータが知られている。この減速機付きモータは、電動モータと、電動モータに連結された減速機と、を備えている。減速機は、電動モータの出力を所定の減速比で減速して、出力軸から出力することができる。
【０００３】
また、特許文献１に記載の減速機付きモータは、出力軸の回転位置、すなわち回転角度を検出する回転位置検出センサを備えている。回転位置検出センサは、出力軸と同心的に配置され、出力軸とともに回転する円環状のセンサマグネットと、センサマグネットから離間して配置され、例えばケース等に固定された磁気センサと、を有している。磁気センサは、センサマグネットが回転して磁気センサに対向する部分の磁極が変化したときに、検出信号を出力する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−２４４５６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の減速機付きモータのセンサマグネットでは、センサマグネットと磁気センサとが互いに離間する離間方向の磁束密度Ｂｚに対して、センサマグネットの周方向の磁束密度Ｂｙが小さく、磁束密度Ｂｚと磁束密度Ｂｙとの間に差異が生じている。そして、この差異の程度によっては、検出信号が比較的大きく歪んでしまい、結果として、出力軸の回転角度を正確に検出することができなかった。
本発明の目的は、出力シャフトの回転角度を検出する際、その回転角度を安定して正確に検出することができる電動アクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の電動アクチュエータの一つの態様は、モータと、モータに接続され、軸線回りに回転して、モータの動力を出力する出力シャフトと、出力シャフトに同心的に取り付けられ、出力シャフトとともに回転するリング状のマグネットとを備え、マグネットは、その周方向に沿って１つのＮ極と１つのＳ極とが配置された２極マグネットであり、出力シャフトは、マグネットの内周面に対向する部分において、軸線に沿った長さが出力シャフトの周方向に沿って変化する変化部を有する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の電動アクチュエータの一つの態様によれば、出力シャフトの回転角度を検出する際、その回転角度を安定して正確に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、本発明の電動アクチュエータの実施形態を示す断面図である。
【図２】図２は、図１中の磁気センサの斜視図である。
【図３】図３は、図２中のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図４は、図２中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】図５は、図２に示す磁気センサにおける回転角度と磁束密度との関係を示すグラフである。
【図６】図６は、図２に示す磁気センサにおける回転角度と逆正接の値との関係を示すグラフである。
【図７】図７は、従来の磁気センサの縦断面図である。
【図８】図８は、従来の磁気センサにおける回転角度と磁束密度との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の電動アクチュエータを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１〜図８を参照して本発明の電動アクチュエータの実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を設定している。Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直となっている。また、軸線を中心とする径方向を単に「径方向」と呼び、軸線を中心とする周方向を単に「周方向」と呼ぶ。本明細書中において、上下方向、水平方向、上側および下側とは、単に各部の相対位置関係を説明するための名称であり、実際の配置関係等は、これらの名称で示される配置関係等以外の配置関係等であってもよい。
【００１０】
図１に示す本実施形態の電動アクチュエータ１０は、車両に取り付けられる。より詳細には、本実施形態の電動アクチュエータ１０は、運転者のシフト操作に基づいて駆動されるシフト・バイ・ワイヤ方式のアクチュエータとして車両に搭載される。図１に示すように、電動アクチュエータ１０は、モータ部（モータ）４０と、減速機構５０と、出力部６０と、回路基板７０と、モータ部センサ７１と、出力部センサ（検出素子）７２と、ハウジング１１と、バスバーホルダ９０と、図示しないバスバーと、を備える。
【００１１】
モータ部４０は、モータシャフト４１と、第１ベアリング４４ａと、第２ベアリング４４ｂと、第３ベアリング４４ｃと、第４ベアリング４４ｄと、ロータ本体４２と、ステータ４３と、モータ部用センサマグネット４５と、マグネットホルダ４６と、を有する。
モータシャフト４１は、Ｚ軸方向に延びる。第１ベアリング４４ａと第２ベアリング４４ｂと第３ベアリング４４ｃと第４ベアリング４４ｄとは、モータシャフト４１を中心軸Ｊ１回りに回転可能に支持する。本実施形態において、第１ベアリング４４ａ、第２ベアリング４４ｂ、第３ベアリング４４ｃ、および第４ベアリング４４ｄは、例えば、ボールベアリングである。
【００１２】
モータシャフト４１のうち第３ベアリング４４ｃに支持される部分である偏心軸部４１ａは、中心軸Ｊ１と平行で中心軸Ｊ１に対して偏心した偏心軸Ｊ２を中心として延びる円柱状である。モータシャフト４１のうち偏心軸部４１ａ以外の部分は、中心軸Ｊ１を中心として延びる円柱状である。
ロータ本体４２は、モータシャフト４１に固定される。より詳細には、ロータ本体４２は、モータシャフト４１の下側の部分に固定される。ロータ本体４２は、ロータコア４２ａと、ロータマグネット４２ｂと、を有する。ロータコア４２ａは、モータシャフト４１のうち偏心軸部４１ａよりも下側の部分の外周面に固定される。ロータマグネット４２ｂは、ロータコア４２ａの外周面に固定される。
【００１３】
ステータ４３は、ロータ本体４２の径方向外側に隙間を介して配置される。ステータ４３は、ロータ本体４２の径方向外側を囲む環状である。ステータ４３は、ステータコア４３ａと、インシュレータ４３ｂと、複数のコイル４３ｃと、を有する。コイル４３ｃは、インシュレータ４３ｂを介してステータコア４３ａに装着される。
マグネットホルダ４６は、中心軸Ｊ１を中心とする円環状である。マグネットホルダ４６は、例えば、金属製である。本実施形態においてマグネットホルダ４６は、金属製の板部材をプレス加工することによって作られる単一の部材である。マグネットホルダ４６は、モータシャフト４１に取り付けられる。より詳細には、マグネットホルダ４６は、モータシャフト４１の上側の端部における外周面に固定される。また、マグネットホルダ４６は、回路基板７０よりも上側に配置される。
【００１４】
モータ部用センサマグネット４５は、中心軸Ｊ１を中心とする円環板状である。モータ部用センサマグネット４５の板面は、Ｚ軸方向と直交する。モータ部用センサマグネット４５は、マグネットホルダ４６に固定される。
上述したように、マグネットホルダ４６は、回路基板７０よりも上側に配置される。これにより、本実施形態においてモータ部用センサマグネット４５は、モータシャフト４１のうち回路基板７０よりも上側に突出した部分に取り付けられる。モータ部用センサマグネット４５は、回路基板７０の上側の面と隙間を介してＺ軸方向に対向する。
【００１５】
減速機構５０は、モータシャフト４１の上側に連結される。減速機構５０は、ロータ本体４２およびステータ４３の上側に配置される。減速機構５０は、外歯ギア５１と、内歯ギア５２と、出力ギア５３と、を有する。
図示は省略するが、外歯ギア５１は、偏心軸部４１ａの偏心軸Ｊ２を中心として、偏心軸Ｊ２の径方向に拡がる円環板状である。外歯ギア５１の径方向外側面には、歯車部が設けられる。外歯ギア５１は、モータシャフト４１に第３ベアリング４４ｃを介して接続される。これにより、減速機構５０は、モータシャフト４１に連結される。外歯ギア５１は、第３ベアリング４４ｃの外輪に径方向外側から嵌め合わされる。これにより、第３ベアリング４４ｃはモータシャフト４１と外歯ギア５１とを、偏心軸Ｊ２回りに相対的に回転可能に連結する。
【００１６】
外歯ギア５１は、外歯ギア５１をＺ軸方向に貫通する複数の孔５１ａを有する。図示は省略するが、複数の孔５１ａは、偏心軸Ｊ２を中心とする周方向に沿って一周に亘って等間隔に配置される。孔５１ａのＺ軸方向に沿って視た形状は、円形状である。
内歯ギア５２は、外歯ギア５１の径方向外側を囲んで回路基板ケース２０に固定され、外歯ギア５１と噛み合う。内歯ギア５２は、ハウジング１１の金属部材２２に保持される。内歯ギア５２は、中心軸Ｊ１を中心とする円環状である。内歯ギア５２の内周面には、歯車部が設けられる。内歯ギア５２の歯車部は、外歯ギア５１の歯車部と噛み合う。
出力ギア５３は、出力ギア本体５３ａと、複数のピン５３ｂと、を有する。出力ギア本体５３ａは、外歯ギア５１および内歯ギア５２の下側に配置される。出力ギア本体５３ａは、中心軸Ｊ１を中心として径方向に拡がる円環板状である。出力ギア本体５３ａの径方向外側面には、歯車部が設けられる。出力ギア本体５３ａは、モータシャフト４１に第４ベアリング４４ｄを介して接続される。
【００１７】
複数のピン５３ｂは、出力ギア本体５３ａの上面から上側に突出する円筒状である。図示は省略するが、複数のピン５３ｂは、周方向に沿って一周に亘って等間隔に配置される。ピン５３ｂの外径は、孔５１ａの内径よりも小さい。複数のピン５３ｂは、複数の孔５１ａのそれぞれに下側から通される。ピン５３ｂの外周面は、孔５１ａの内周面と内接する。孔５１ａの内周面は、ピン５３ｂを介して、外歯ギア５１を中心軸Ｊ１周りに揺動可能に支持する。
【００１８】
出力部６０は、減速機構５０を介してモータ部４０に接続され、モータ部４０の動力を出力する部分である。出力部６０は、モータ部４０の径方向外側に配置される。出力部６０は、出力シャフト６１と、駆動ギア６２と、出力部用センサマグネット（マグネット）６３と、を有する。
出力シャフト６１は、モータシャフト４１のＺ軸方向に延びる筒状である。このように、出力シャフト６１がモータシャフト４１と同じ方向に延びるため、モータシャフト４１の回転を出力シャフト６１に伝達する減速機構５０の構造を簡単化できる。そして、減速機構５０により、出力シャフト６１は、モータ部４０の動力を減速して出力することができる。これにより、電動アクチュエータ１０を減速機として用いることができる。本実施形態において出力シャフト６１は、仮想軸である出力中心軸（軸線）Ｊ３を中心とする円筒状である。出力中心軸Ｊ３は、中心軸Ｊ１と平行であり、中心軸Ｊ１から径方向に離れて配置される。すなわち、モータシャフト４１と出力シャフト６１とは、モータシャフト４１の径方向に離れて配置される。
【００１９】
出力シャフト６１は、下側に開口する開口部６１ｄを有する。本実施形態において出力シャフト６１は、軸方向両側に開口する。出力シャフト６１は、内周面の下部にスプライン溝を有する。出力シャフト６１は、円筒状の出力シャフト本体６１ａと、出力シャフト本体６１ａから出力中心軸Ｊ３の径方向外側に突出するフランジ部６１ｂと、を有する。出力シャフト６１は、モータシャフト４１の径方向においてロータ本体４２と重なる位置に配置される。出力シャフト６１の下側の端部、すなわち開口部６１ｄは、モータ部４０の下側の端部よりも上側に配置される。本実施形態においてモータ部４０の下側の端部とは、モータシャフト４１の下側の端部である。
【００２０】
出力シャフト６１には、下側から開口部６１ｄを介して被駆動シャフトＤＳが挿入されて連結される。より詳細には、被駆動シャフトＤＳの外周面に設けられたスプライン部が、出力シャフト６１の内周面に設けられたスプライン溝に嵌め合わされることで、出力シャフト６１と被駆動シャフトＤＳとが連結される。被駆動シャフトＤＳには、出力シャフト６１を介して電動アクチュエータ１０の駆動力が伝達される。これにより、電動アクチュエータ１０は、被駆動シャフトＤＳを出力中心軸Ｊ３回りに回転させる。
【００２１】
駆動ギア６２は、出力シャフト６１に固定され出力ギア５３と噛み合う。本実施形態において駆動ギア６２は、出力シャフト本体６１ａの外周面のうちフランジ部６１ｂよりも上側の部分に固定される。駆動ギア６２は、フランジ部６１ｂの上面と接触する。図示は省略するが、駆動ギア６２は、出力シャフト６１から出力ギア５３に向かって延び、出力ギア５３に近づくに従って幅が大きくなる扇形ギアである。駆動ギア６２の出力ギア５３側の端部には、歯車部が設けられる。駆動ギア６２の歯車部は、出力ギア５３の歯車部と噛み合う。
【００２２】
出力シャフト６１は、出力部用センサマグネット６３を保持するマグネットホルダ６４を有する。マグネットホルダ６４は、出力シャフト６１の出力中心軸Ｊ３を中心としてＺ軸方向に延びる略円筒状の部材である。また、図３に示すように、マグネットホルダ６４（出力シャフト６１）は、出力中心軸Ｊ３から外周面までの距離が第１外径Ｒ１である第１外径部６４ａと、第１外径部６４ａのＺ軸方向正側に円板状に突出して設けられたフランジ部６４ｃとを有する。第１外径部６４ａは、出力部用センサマグネット６３を貫いている。フランジ部６４ｃは、出力部用センサマグネット６３にＺ軸方向正側から接する。これにより、出力部用センサマグネット６３の出力中心軸Ｊ３方向の位置決めがなされる。また、マグネットホルダ６４は、Ｚ軸方向両側に開口する略円筒状の部材（図１参照）であるが、図２〜図４では、図面の複雑化を避けるために略円柱状の部材として示してある。マグネットホルダ６４は、出力シャフト６１の上側、かつ、減速機構５０の径方向外側に配置される。マグネットホルダ６４は、回路基板７０をＺ軸方向に貫通する。マグネットホルダ６４の内部は、出力シャフト６１の内部と繋がる。マグネットホルダ６４には、出力シャフト６１に挿入された被駆動シャフトＤＳの上端部が圧入される。これにより、マグネットホルダ６４は、被駆動シャフトＤＳに固定される。
【００２３】
出力部用センサマグネット６３は、図２に示すように、出力中心軸Ｊ３を中心とするリング状、特に円環状をなすリング磁石である。出力部用センサマグネット６３は、マグネットホルダ６４を介して、出力シャフト６１に同心的に取り付けられている。これにより、出力部用センサマグネット６３は、出力シャフト６１が出力中心軸Ｊ３回りに回転した際、出力シャフト６１とともに回転することができる。また、図４に示すように、出力部用センサマグネット６３は、その周方向に沿って、幅Ｗ６３、すなわち、出力中心軸Ｊ３と直交する方向（径方向）の長さが一定であり、厚さｔ６３、すなわち、出力中心軸Ｊ３方向の長さも一定である。出力部用センサマグネット６３は、マグネットホルダ６４の上側の端部における外周面に固定される。被駆動シャフトＤＳにマグネットホルダ６４が固定されることで、出力部用センサマグネット６３は、マグネットホルダ６４を介して被駆動シャフトＤＳに固定される。出力部用センサマグネット６３は、回路基板７０の上側の面と隙間を介して対向する。出力部用センサマグネット６３は、例えば、磁性粉末を含む樹脂材料を射出成形して得られる。樹脂材料としては、例えば、ポリアミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリプロピレンが挙げられる。また、磁性粉末の構成材料としては、例えば、フェライト系、アルニコ系、サマリウム−コバルト系、ネオジウム−鉄−ボロン系の磁性材料が挙げられる。
【００２４】
モータシャフト４１が中心軸Ｊ１回りに回転されると、偏心軸部４１ａは、中心軸Ｊ１を中心として周方向に公転する。偏心軸部４１ａの公転は第３ベアリング４４ｃを介して外歯ギア５１に伝達され、外歯ギア５１は、孔５１ａの内周面とピン５３ｂの外周面との内接する位置が変化しつつ、揺動する。これにより、外歯ギア５１の歯車部と内歯ギア５２の歯車部との噛み合う位置が、周方向に変化する。したがって、内歯ギア５２に、外歯ギア５１を介してモータシャフト４１の回転力が伝達される。
【００２５】
ここで、本実施形態では、内歯ギア５２は固定されているため回転しない。そのため、内歯ギア５２に伝達される回転力の反力によって、外歯ギア５１が偏心軸Ｊ２回りに回転する。このとき外歯ギア５１の回転する向きは、モータシャフト４１の回転する向きと反対向きとなる。外歯ギア５１の偏心軸Ｊ２回りの回転は、孔５１ａとピン５３ｂとを介して、出力ギア５３に伝達される。これにより、出力ギア５３が中心軸Ｊ１回りに回転する。出力ギア５３には、モータシャフト４１の回転が減速されて伝達される。
【００２６】
出力ギア５３が回転すると、出力ギア５３に噛み合う駆動ギア６２が出力中心軸Ｊ３回りに回転する。これにより、駆動ギア６２に固定された出力シャフト６１が出力中心軸Ｊ３回りに回転する。このようにして、出力シャフト６１には、減速機構５０を介してモータシャフト４１の回転が伝達される。
回路基板７０は、ロータ本体４２よりも上側に配置される。回路基板７０は、減速機構５０の上側に配置される。回路基板７０は、板面がＺ軸方向と直交する板状である。回路基板７０は、回路基板７０をＺ軸方向に貫通する貫通孔７０ａを有する。貫通孔７０ａには、モータシャフト４１が通される。これにより、モータシャフト４１は、回路基板７０をＺ軸方向に貫通する。回路基板７０は、図示しないバスバーを介して、ステータ４３と電気的に接続される。すなわち、回路基板７０は、モータ部４０と電気的に接続される。
【００２７】
モータ部センサ７１は、回路基板７０の上面に固定される。より詳細には、モータ部センサ７１は、回路基板７０の上側の面のうちモータ部用センサマグネット４５と隙間を介してＺ軸方向に対向する部分に固定される。モータ部センサ７１は、モータ部用センサマグネット４５の磁界を検出する磁気センサである。モータ部センサ７１は、例えば、ホール素子である。図示は省略するが、モータ部センサ７１は、例えば、周方向に沿って３つ設けられる。モータ部センサ７１は、モータ部用センサマグネット４５の磁界を検出することでモータ部用センサマグネット４５の回転位置を検出してモータシャフト４１の回転を検出する。
【００２８】
本実施形態では、減速機構５０がモータシャフト４１の上側に連結され、回路基板７０がロータ本体４２よりも上側かつ減速機構５０の上側に配置される。そのため、回路基板７０とロータ本体４２とのＺ軸方向の間に減速機構５０が配置される。これにより、回路基板７０に固定されるモータ部センサ７１を、ロータ本体４２およびステータ４３から離して配置することができる。したがって、モータ部センサ７１がロータ本体４２およびステータ４３から生じる磁界の影響を受けにくくでき、モータ部センサ７１の検出精度を向上できる。
【００２９】
出力部センサ７２は、回路基板７０の上面に固定される。より詳細には、出力部センサ７２は、回路基板７０の上側の面のうち、出力部用センサマグネット６３と隙間を介してＺ軸方向に対向する部分に配置、固定される。また、出力部センサ７２は、出力中心軸Ｊ３（第１外径部６４ａ）から径方向外側に外れた位置に配置されている。このように出力部センサ７２は、配置態様として、いわゆる「サイドシャフト方式」を採用している。出力部センサ７２は、出力部用センサマグネット６３の回転による磁束密度の変化を検出する検出素子である。出力部センサ７２は、例えば、ホール素子である。図３、図４に示すように、出力部センサ７２は、マグネットホルダ６４に固定され、出力中心軸Ｊ３を中心に回転する出力部用センサマグネット６３とともに磁気センサ８０Ａを構成する。この出力部センサ７２は、出力部用センサマグネット６３の回転による磁束密度の変化を検出することにより、出力部用センサマグネット６３の回転位置を検出して、被駆動シャフトＤＳの回転角度を検出する。そして、出力部センサ７２による検出結果、すなわち、出力部用センサマグネット６３の回転による磁束密度の変化に基づいて、出力シャフト６１に連結された被駆動シャフトＤＳの回転角度を正確に求めることができる。
【００３０】
本実施形態によれば、減速機構５０がモータ部４０よりも回路基板７０側に配置される構成により、出力ギア５３に回転駆動力を伝達する駆動ギア６２を出力部用センサマグネット６３に近づけて配置できる。そのため、出力ギア５３における回転駆動力が伝達される部分から出力部用センサマグネット６３が固定される部分までのＺ軸方向の距離を短くでき、出力部用センサマグネット６３が固定される部分における被駆動シャフトＤＳの軸ぶれを抑制できる。これにより、出力部センサ７２による被駆動シャフトＤＳの回転検出精度を向上できる。
【００３１】
ハウジング１１は、モータ部４０、減速機構５０、出力部６０、回路基板７０、モータ部センサ７１、出力部センサ７２、バスバーホルダ９０および図示しないバスバーを収容する。ハウジング１１は、モータケース３０と、回路基板ケース２０と、を有する。モータケース３０は、上側に開口する。モータケース３０は、モータケース本体３１と、ステータ固定部材３７と、を有する。回路基板ケース２０は、略直方体の箱状である。回路基板ケース２０は、モータケース３０の上側に取り付けられてモータケース３０の開口を塞ぐ。回路基板ケース２０は、回路基板７０を収容する。回路基板ケース２０は、回路基板ケース本体２１と、金属部材２２と、回路基板ケースカバー２６と、を有する。
【００３２】
回路基板ケース本体２１とモータケース本体３１とは、樹脂製である。本実施形態においては、回路基板ケース本体２１とモータケース本体３１とによってハウジング本体１１ａが構成される。すなわち、ハウジング１１は、樹脂製のハウジング本体１１ａを有する。
回路基板ケース本体２１は、上側に開口する箱状である。回路基板ケース本体２１は、底壁２１ａと、側壁２１ｂと、を有する。底壁２１ａは、Ｚ軸方向と直交する平面に沿って拡がる。底壁２１ａは、Ｚ軸方向に沿って視て、モータケース本体３１よりも径方向外側に拡がる。底壁２１ａは、モータケース３０の上側の開口を塞ぐ。底壁２１ａは、ステータ４３の上側を覆う。
【００３３】
底壁２１ａは、底壁２１ａの下側の面から上側に窪む凹部２１ｃを有する。底壁２１ａは、底壁２１ａをＺ軸方向に貫通する中央貫通孔２１ｄを有する。中央貫通孔２１ｄは、凹部２１ｃの底面から底壁２１ａの上側の面まで底壁２１ａを貫通する。中央貫通孔２１ｄは、Ｚ軸方向に沿って視て、中心軸Ｊ１を中心とする円形状である。中央貫通孔２１ｄには、モータシャフト４１が通される。
【００３４】
側壁２１ｂは、底壁２１ａの外縁部から上側に突出する角筒状である。側壁２１ｂの内側には、回路基板７０が収容される。すなわち、回路基板ケース２０は、底壁２１ａよりも上側において回路基板７０を収容する。側壁２１ｂは、上側に開口する。側壁２１ｂの上側の開口、すなわち回路基板ケース２０の上側の開口は、回路基板ケースカバー２６によって塞がれる。回路基板ケースカバー２６は、例えば、金属製である。
【００３５】
金属部材２２は、金属製である。金属部材２２は、回路基板ケース本体２１に保持される。すなわち、金属部材２２は、ハウジング本体１１ａに保持される。金属部材２２は、凹部２１ｃ内に収容されて保持される。本実施形態において金属部材２２の一部は、ハウジング本体１１ａに埋め込まれる。そのため、金型に金属部材２２を挿入して樹脂を流し込むインサート成形を用いて、ハウジング本体１１ａの一部または全体を作ることができる。したがって、ハウジング１１の作製が容易である。本実施形態では、ハウジング本体１１ａのうち回路基板ケース本体２１が、金型に金属部材２２を挿入して樹脂を流し込むインサート成形によって作られる。
【００３６】
金属部材２２は、円環板部２３ａ、外側筒部２３ｂ、内側筒部２３ｃおよび天板部２３ｄを有するベアリング保持部と、腕部２５と、出力シャフト支持部２４と、を備える。円環板部２３ａは、中心軸Ｊ１を中心とする円環板状である。円環板部２３ａの板面は、Ｚ軸方向と直交する。
外側筒部２３ｂは、円環板部２３ａの外周縁部から下側に突出する円筒状である。外側筒部２３ｂの径方向内側には、内歯ギア５２が保持される。これにより、減速機構５０は、金属部材２２を介して底壁２１ａの下側の面に保持される。外側筒部２３ｂは、中央貫通孔２１ｄの径方向内側に埋め込まれて保持される。
【００３７】
内側筒部２３ｃは、円環板部２３ａの内周縁部から上側に突出する円筒状である。内側筒部２３ｃの径方向内側には、第１ベアリング４４ａが保持される。これにより、前記ベアリング保持部は、第１ベアリング４４ａを保持する。内側筒部２３ｃは、底壁２１ａよりも上側に突出する。内側筒部２３ｃは、側壁２１ｂの径方向内側に配置される。内側筒部２３ｃは、貫通孔７０ａを介して回路基板７０をＺ軸方向に貫通し、回路基板７０よりも上側に突出する。
【００３８】
これにより、内側筒部２３ｃに保持される第１ベアリング４４ａの少なくとも一部は、貫通孔７０ａに挿入される。そのため、第１ベアリング４４ａによって、モータシャフト４１のうちモータ部用センサマグネット４５が取り付けられる部分に近い位置で、モータシャフト４１を支持することができる。これにより、モータシャフト４１のうちモータ部用センサマグネット４５が取り付けられる部分の軸がぶれることを抑制でき、モータ部用センサマグネット４５の位置がぶれることを抑制できる。したがって、モータ部センサ７１によるモータシャフト４１の回転検出精度が低下することを抑制できる。また、径方向に沿って視て、第１ベアリング４４ａと回路基板７０とを重ねて配置できるため、電動アクチュエータ１０をＺ軸方向に小型化し易い。
【００３９】
天板部２３ｄは、内側筒部２３ｃの上側の端部から径方向内側に突出する。天板部２３ｄは、中心軸Ｊ１を中心とする円環状であり、板面がＺ軸方向と直交する板状である。天板部２３ｄの内側には、モータシャフト４１の上側の端部が通される。天板部２３ｄの内周縁部は、下側に湾曲する。天板部２３ｄは、第１ベアリング４４ａの上側を覆う。
天板部２３ｄと第１ベアリング４４ａとのＺ軸方向の間には、予圧部材４７が配置される。すなわち、電動アクチュエータ１０は、予圧部材４７を備える。予圧部材４７は、周方向に沿って延びる円環状のウェーブワッシャである。予圧部材４７は、天板部２３ｄの下側の面と第１ベアリング４４ａの外輪の上側の端部とに接触する。予圧部材４７は、第１ベアリング４４ａの外輪に対して下向きの予圧を加える。これにより、予圧部材４７は、第１ベアリング４４ａに下側向きに予圧を加え、第１ベアリング４４ａを介してモータシャフト４１に下側向きに予圧を加える。
【００４０】
予圧部材４７によって下側向きに予圧を受けるモータシャフト４１は、図１に示す第２ベアリング４４ｂによって下側から支持される。より詳細には、第２ベアリング４４ｂは、外輪がモータ収容部３２の環状凸部３２ａによって下側から支持され、モータシャフト４１の外周面に固定された内輪によってモータシャフト４１を下側から支持する。
第２ベアリング４４ｂが設けられることで、予圧部材４７によってモータシャフト４１に下側向きの予圧を加えても、モータシャフト４１が下側に移動することを抑制できる。予圧部材４７は、モータシャフト４１に下側向きの予圧を加え、モータシャフト４１を支持部としての第２ベアリング４４ｂに押し付ける。これにより、電動アクチュエータ１０に振動が加えられていない状態において、モータシャフト４１のＺ軸方向の位置を最も下側の位置に維持することができる。したがって、電動アクチュエータ１０に振動が加えられてモータシャフト４１がＺ軸方向に移動する場合であっても、モータシャフト４１が下側に移動することを抑制でき、モータシャフト４１が移動する向きを上側向きとすることができる。
【００４１】
そして、モータ部用センサマグネット４５は回路基板７０の上側の面と隙間を介してＺ軸方向に対向し、かつ、モータ部センサ７１は回路基板７０の上側の面のうちモータ部用センサマグネット４５と隙間を介してＺ軸方向に対向する部分に固定される。すなわち、モータシャフト４１に取り付けられるモータ部用センサマグネット４５は、モータ部センサ７１の上側に配置される。これにより、電動アクチュエータ１０に振動が加えられた際のモータシャフト４１の移動する向きを上側向きにできることで、モータシャフト４１が移動しても、モータ部用センサマグネット４５がモータ部センサ７１から離れる向きに移動する。したがって、モータ部用センサマグネット４５がモータ部センサ７１に接触することを抑制できる。なお、モータシャフト４１が上側に移動する際、予圧部材４７は、軸方向Ｚに圧縮弾性変形する。
【００４２】
以上に説明したように、本実施形態によれば、予圧部材４７がモータシャフト４１に予圧を加える向きをモータ部用センサマグネット４５からモータ部センサ７１に向かう向きとすることで、モータ部用センサマグネット４５がモータ部センサ７１に接触することを抑制できる。これにより、モータ部用センサマグネット４５およびモータ部センサ７１が損傷することを抑制できる構造を有する電動アクチュエータ１０が得られる。
【００４３】
出力シャフト支持部２４は、出力シャフト支持部２４をＺ軸方向に貫通する貫通孔２４ａを有する。貫通孔２４ａには、出力シャフト本体６１ａの上側の端部である嵌合部６１ｃが嵌め合わされる。すなわち、出力シャフト６１は、貫通孔２４ａに嵌め合わされる嵌合部６１ｃを有する。これにより、出力シャフト支持部２４は、出力シャフト６１を支持する。
【００４４】
モータケース本体３１は、モータ収容部３２と、出力部保持部３３と、を有する。モータ収容部３２は、底部を有し上側に開口する筒状である。モータ収容部３２は、中心軸Ｊ１を中心とする円筒状である。モータ収容部３２は、モータ部４０を収容する。すなわち、モータケース本体３１は、モータ部４０を収容する。
モータ収容部３２は、モータ収容部３２の底面から上側に突出する環状凸部３２ａを有する。図示は省略するが、環状凸部３２ａは、中心軸Ｊ１を中心とする円環状である。環状凸部３２ａは、第２ベアリング４４ｂの外輪を下側から支持する。環状凸部３２ａの径方向内側部分は、Ｚ軸方向に沿って視て、第２ベアリング４４ｂの内輪およびモータシャフト４１の下側の端部と重なる。そのため、モータシャフト４１に下側向きの予圧が加えられて、第２ベアリング４４ｂの内輪およびモータシャフト４１の下側の端部が、第２ベアリング４４ｂの外輪より下側に突出して配置される場合であっても、第２ベアリング４４ｂの内輪およびモータシャフト４１の下側の端部がモータ収容部３２の底面と接触することを抑制できる。
【００４５】
出力部保持部３３は、モータ収容部３２から径方向外側に突出する。出力部保持部３３は、基部３３ａと、出力シャフト保持部３３ｂと、を有する。基部３３ａは、モータ収容部３２から径方向外側に突出する。出力シャフト保持部３３ｂは、基部３３ａの径方向外側の端部から軸方向両側に突出する。出力シャフト保持部３３ｂは、出力中心軸Ｊ３を中心とする円筒状である。出力シャフト保持部３３ｂは、軸方向両側に開口する。出力シャフト保持部３３ｂの内部は、基部３３ａをＺ軸方向に貫通する。
【００４６】
出力シャフト保持部３３ｂの内側には、円筒状のブッシュ６５が嵌め合わされる。ブッシュ６５の上側の端部には、出力中心軸Ｊ３を中心とする径方向の外側に突出するフランジ部が設けられる。ブッシュ６５のフランジ部は、出力シャフト保持部３３ｂの上側の端部によって下側から支持される。ブッシュ６５の内側には、出力シャフト本体６１ａのうちフランジ部６１ｂよりも下側の部分が嵌め合わされる。ブッシュ６５は、出力シャフト６１を出力中心軸Ｊ３回りに回転可能に支持する。フランジ部６１ｂは、ブッシュ６５のフランジ部を介して出力シャフト保持部３３ｂの上側の端部によって下側から支持される。出力シャフト６１の下側の開口部６１ｄは、ブッシュ６５よりも下側に配置される。
【００４７】
ステータ固定部材３７は、底部を有し上側に開口する筒状である。ステータ固定部材３７は、中心軸Ｊ１を中心とする円筒状である。ステータ固定部材３７は、モータ収容部３２の内側に嵌め合わされる。ステータ固定部材３７の底部には周方向に沿って配置される複数の貫通孔が設けられる。ステータ固定部材３７の貫通孔には、モータ収容部３２の底部に設けられた複数の突起がそれぞれ嵌め合わされる。
【００４８】
ステータ固定部材３７の上側の端部は、モータ収容部３２よりも上側に突出する。ステータ固定部材３７の底部には、第２ベアリング４４ｂが保持される。ステータ固定部材３７の内周面には、ステータ４３の外周面が固定される。ステータ固定部材３７は、金属製である。モータケース３０は、例えば、金型にステータ固定部材３７が挿入された状態で樹脂が流し込まれるインサート成形によって作られる。
【００４９】
バスバーホルダ９０は、ステータ固定部材３７の上側の開口に配置される。バスバーホルダ９０は、中心軸Ｊ１を中心とする円環状であり、板面がＺ軸方向と直交する板状である。バスバーホルダ９０は、図示しないバスバーを保持する。バスバーホルダ９０は、ステータ４３の上側を覆う。
【００５０】
前述したように、本実施形態では、出力部用センサマグネット６３と出力部センサ７２とにより、磁気センサ８０Ａが構成されている。出力部用センサマグネット６３は、被駆動シャフトＤＳが回転した際、被駆動シャフトＤＳとともに回転する。磁気センサ８０Ａは、出力部用センサマグネット６３の回転による磁束密度の変化を出力部センサ７２で検出することにより、出力部用センサマグネット６３の回転位置を検出して、被駆動シャフトＤＳの回転角度を検出することができる。
【００５１】
図２に示すように、出力部用センサマグネット６３は、円環状をなしている。この出力部用センサマグネット６３は、出力中心軸Ｊ３方向に直交する平面、すなわち、出力中心軸Ｊ３をＺ軸と平行としたときのＸＹ平面において、周方向に沿って配置されたＮ極とＳ極とを有している。本実施形態では、出力部用センサマグネット６３は、その周方向に沿って１つの半円弧状のＮ極と１つの半円弧状のＳ極とが配置された２極マグネットである。したがって、出力部用センサマグネット６３は、出力中心軸Ｊ３方向に直交する方向を磁化方向（着磁方向）とする。
【００５２】
出力部センサ７２で検出可能な磁束密度としては、出力中心軸Ｊ３（Ｚ軸）方向の磁束密度Ｂｚ（Ｓｉｎ）と、出力部用センサマグネット６３の周方向の磁束密度Ｂｙ（Ｃｏｓ）とがある。磁気センサ８０Ａでは、出力部センサ７２によって磁束密度Ｂｚと磁束密度Ｂｙとの２相信号を検出して、逆正接（Ｓｉｎ／Ｃｏｓ）の値を演算することにより、被駆動シャフトＤＳの回転角度を検出することができる（図５参照）。
逆正接の値と回転角度との理想的（理論的）な関係は、図６中の一点鎖線で示す直線グラフになる。以下、このグラフを「グラフＧ０」という。
【００５３】
出力部用センサマグネット６３の磁場角度の変化に伴って、出力部センサ７２で検出される磁束密度Ｂｙの変化量は、磁束密度Ｂｚの変化量よりも小さく、これらの間に差異がある。そのため、逆正接（ＡＴＡＮ）の値と回転角度との実際の関係は、図６中の実線で示す曲線グラフや破線で示す曲線グラフのようになる。なお、実線で示す曲線グラフは、発明品で得られるグラフである。以下、このグラフを「グラフＧ１」という。これに対し、破線で示す曲線グラフは、従来品で得られるグラフである。以下、このグラフを「グラフＧ２」という。
【００５４】
グラフＧ２は、グラフＧ０から大きくズレており、グラフＧ０との間に大きな誤差が生じている。
これに対し、グラフＧ１は、グラフＧ２よりもグラフＧ０に近づいており、グラフＧ０との間で生じる大きな誤差が解消している。この原因としては、図２〜図４に示すように、マグネットホルダ６４（出力シャフト６１）が変化部６４ｂを有することが挙げられる。この変化部６４ｂも磁気センサ８０Ａの一部として機能する。変化部６４ｂは、マグネットホルダ６４の中で、出力部用センサマグネット６３の内周面６３２に対向する部分である。また、変化部６４ｂは、出力中心軸Ｊ３に沿った長さ（以下、「厚さＬ６４ｂ」と記載する。）が出力シャフト６１の周方向に沿って変化している。
【００５５】
ここで、従来品として、図７に示す構成の磁気センサ８０Ｂの場合を考える。磁気センサ８０Ｂは、磁気センサ８０Ａと異なり、変化部６４ｂが省略されている。この場合、出力部用センサマグネット６３の磁場角度が変化すると、図８に示すように、磁束密度Ｂｚが磁束密度Ｂｙより大きい振幅で変動する。このため、磁束密度Ｂｚと磁束密度Ｂｙとから逆正接の値を演算すると、出力部センサ７２からの検出信号（ＡＴＡＮ信号）が大きく歪んでしまう。図６に示すグラフにおいて、例えば「arctan(deg)」が「１２０」の箇所に着目すると、「回転角度(deg)」は、理論上は「１２０」と検出される筈であるが、従来品では約「１００」と検出される。
【００５６】
一方、発明品では、磁気センサ８０Ａは、厚さＬ６４ｂが出力シャフト６１の周方向に沿って変化した変化部６４ｂを有する。図３に示すように、変化部６４ｂは、出力中心軸Ｊ３から外周面までの距離が第２外径Ｒ２となっている部分である。第２外径Ｒ２は、第１外径Ｒ１よりも長い。なお、第２外径Ｒ２の大きさは、出力部用センサマグネット６３の内径の大きさにもよるが、第１外径Ｒ１の１．１倍以上１０倍以下であるのが好ましく、第１外径Ｒ１の１．２倍以上７．５倍以下であるのがより好ましく、２倍以上５倍以下であるのがさらに好ましい。例えば、第１外径Ｒ１は、好ましくは３０〜３５ｍｍ程度、より好ましくは３３ｍｍ前後に設定され、第２外径Ｒ２は、好ましくは３５〜４５ｍｍ程度、より好ましくは４０ｍｍ前後に設定される。
【００５７】
そして、図５に示すグラフと図８に示すグラフとを比較してみると、図５に示すグラフでは、出力部センサ７２で検出される磁束密度Ｂｚが減少しているとともに、磁束密度Ｂｙが増大している。このように発明品では、変化部６４ｂは、出力部用センサマグネット６３の磁場角度の変化に伴って、出力部センサ７２で検出される磁束密度Ｂｚの変化量と磁束密度Ｂｙの変化量との差異を少なくする機能を有する。以下、この機能を「差異減少機能」という。図６に示すグラフにおいて、例えば「arctan(deg)」が「１２０」の箇所に着目すると、「回転角度(deg)」は、理論上は「１２０」と検出されるところ、発明品では約「１１０」と検出される。前述したように、従来品では約「１００」と検出されるため、発明品で「１２０」により近い約「１１０」と検出さるということは、磁気センサ８０Ａでの検出精度が向上したことを示す。
【００５８】
したがって、磁気センサ８０Ａによれば、出力シャフト６１（被駆動シャフトＤＳ）の回転角度を検出する際、その回転角度を安定して正確に検出することができる。
図２に示すように、変化部６４ｂは、Ｎ極の頂部６３ＮおよびＳ極の頂部６３Ｓにそれぞれ対向する第１対向部６６１と、Ｎ極とＳ極との境界部６３Ｂにそれぞれ対向する第２対向部６６２とを有する。各第１対向部６６１の厚さＬ６４ｂは、各第２対向部６６２の厚さＬ６４ｂよりも小さい（出力中心軸Ｊ３に沿った長さＬ６４ｂが短い）。本実施形態では、変化部６４ｂの中で、各第１対向部６６１の厚さＬ６４ｂが最小であり、各第２対向部６６２の厚さＬ６４ｂが最大である。これにより、変化部６４ｂの差異減少機能が向上するとともに、出力シャフト６１の回転角度の大小にかかわらず、その回転角度を安定して正確に検出することができる。
【００５９】
なお、第１対向部６６１の厚さＬ６４ｂは、特に限定されず、０ｍｍ以上、第２対向部６６２の厚さＬ６４ｂの９／１０倍以下であるのが好ましく、０ｍｍ以上、第２対向部６６２の厚さＬ６４ｂの１／２倍以下であるのがより好ましく、０ｍｍ以上、第２対向部６６２の厚さＬ６４ｂの１／１０倍以下であるのがさらに好ましい。例えば、第１対向部６６１の厚さＬ６４ｂは、好ましくは４〜５ｍｍ程度、より好ましくは４．５ｍｍ前後に設定され、第２対向部６６２の厚さＬ６４ｂは、好ましくは４．５〜５．５ｍｍ程度、より好ましくは５ｍｍ前後に設定される。また、第２対向部６６２の厚さＬ６４ｂは、好ましくは出力部用センサマグネット６３の厚さｔ６３と同じであるのが、これに限定されない。
【００６０】
図３および図４に示すように、第１対向部６６１と第２対向部６６２とは、出力中心軸Ｊ３回りに９０°ズレて配置されている。これにより、例えば出力シャフト６１の回転角度が９０°を超える場合、その回転角度を安定して正確に検出することができる。
また、図４に示すように、第１対向部６６１と第２対向部６６２との間では、厚さＬ６４ｂが第２対向部６６２から第１対向部６６１に向かって連続的に減少している。これにより、第１対向部６６１と第２対向部６６２との間でも磁束密度に変化を生じさせて、出力シャフト６１の精度の高い回転角度検出に寄与することができる。なお、第１対向部６６１と第２対向部６６２との間での厚さＬ６４ｂは、連続的に減少するのではなく、段階的に減少していてもよい。
【００６１】
また、変化部６４ｂは、本実施形態では出力部用センサマグネット６３の内側に接触しているが、若干離間していてもよい。変化部６４ｂが出力部用センサマグネット６３から離間する場合、その離間距離は、第２外径Ｒ２の１／２０倍以上２／３倍以下であるのが好ましく、１／２０倍以上１／５倍以下であるのがより好ましい。
さらに、本実施形態では変化部６４ｂの幅、すなわち、出力中心軸Ｊ３と直交する方向（径方向）の長さが一定であるが、周方向の途中で変化していてもよい。
また、出力シャフト６１（マグネットホルダ６４）では、フランジ部６４ｃを省略してもよい。この場合、出力シャフト６１の一端部（図１では上端部）に出力部用センサマグネット６３を固定し、その一端面の外周側（出力部用センサマグネット６３側）を波状に加工することで、変化部６４ｂとすることができる。
また、第１外径部６４ａと変化部６４ｂとは、単一の部材で構成されていてもよいし、それぞれ別部材で構成され、当該別部材同士が接続されていてもよい。後者の場合、変化部６４ｂに、第１外径部６４ａが嵌め合わされる貫通孔を設けることにより、第１外径部６４ａと変化部６４ｂとを接続する構成とすることができる。
なお、出力シャフト６１（マグネットホルダ６４）の構成材料としては、例えば、電磁鋼（ケイ素鋼）、炭素鋼、構造鋼、純鉄、軟鉄、ステンレスパーマロイ等の軟質磁性材料が挙げられる。
以上、本発明の電動アクチュエータを図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、電動アクチュエータを構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【符号の説明】
【００６２】
１０…電動アクチュエータ、１１…ハウジング、１１ａ…ハウジング本体、２０…回路基板ケース、２１…回路基板ケース本体、２１ａ…底壁、２１ｂ…側壁、２１ｃ…凹部、２１ｄ…中央貫通孔、２２…金属部材、２３ａ…円環板部、２３ｂ…外側筒部、２３ｃ…内側筒部、２３ｄ…天板部、２４…出力シャフト支持部、２４ａ…貫通孔、２５…腕部、２６…回路基板ケースカバー、３０…モータケース、３１…モータケース本体、３２…モータ収容部、３２ａ…環状凸部、３３…出力部保持部、３３ａ…基部、３３ｂ…出力シャフト保持部、３７…ステータ固定部材、４０…モータ部（モータ）、４１…モータシャフト、４１ａ…偏心軸部、４２…ロータ本体、４２ａ…ロータコア、４２ｂ…ロータマグネット、４３…ステータ、４３ａ…ステータコア、４３ｂ…インシュレータ、４３ｃ…コイル、４４ａ…第１ベアリング、４４ｂ…第２ベアリング、４４ｃ…第３ベアリング、４４ｄ…第４ベアリング、４５…モータ部用センサマグネット、４６…マグネットホルダ、４７…予圧部材、５０…減速機構、５１…外歯ギア、５１ａ…孔、５２…内歯ギア、５３…出力ギア、５３ａ…出力ギア本体、５３ｂ…ピン、６０…出力部、６１…出力シャフト、６１ａ…出力シャフト本体、６１ｂ…フランジ部、６１ｃ…嵌合部、６１ｄ…開口部、６２…駆動ギア、６３…出力部用センサマグネット（マグネット）、６３２…内周面、６３Ｂ…境界部、６３Ｎ…頂部、６３Ｓ…頂部、６４…マグネットホルダ、６４ａ…第１外径部、６４ｂ…変化部、６４ｃ…フランジ部、６５…ブッシュ、６６１…第１対向部、６６２…第２対向部、７０…回路基板、７０ａ…貫通孔、７１…モータ部センサ、７２…出力部センサ（検出素子）、８０Ａ…磁気センサ、８０Ｂ…磁気センサ、９０…バスバーホルダ、Ｂｙ…磁束密度、Ｂｚ…磁束密度、ＤＳ…被駆動シャフト、Ｇ０…グラフ、Ｇ１…グラフ、Ｇ２…グラフ、Ｊ１…中心軸、Ｊ２…偏心軸、Ｊ３…出力中心軸（軸線）、Ｌ６４ｂ…長さ（高さ）、Ｒ１…第１外径、Ｒ２…第２外径、ｔ６３…厚さ、Ｗ６３…幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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