(57)【要約】【課題】スタックの性能を均一化させることが可能となる製造方法を提供する。【解決手段】スタックの製造方法は、複数の板材４４それぞれの予め定められた位置に微細な貫通孔をエッチングにより多数形成する板材加工工程と、前記貫通孔同士が繋がるように複数の板材４４を重ね、当該複数の板材４４を一体化し、当該貫通孔が繋がることで構成された微細流路２１を多数有するブロック４４を形成する組み立て工程と、研磨粒を含む液５０にブロック４４を浸し当該研磨粒を振動させて微細流路２１の表面を研磨する研磨工程とを含む。【選択図】      図４
2020012606.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の板材それぞれの予め定められた位置に微細な貫通孔をエッチングにより多数形成する板材加工工程と、
前記貫通孔同士が繋がるように前記複数の板材を重ね、当該複数の板材を一体化し、当該貫通孔が繋がることで構成された微細流路を多数有するブロックを形成する組み立て工程と、
研磨粒を含む液に前記ブロックを浸し当該研磨粒を振動させて前記微細流路の表面を研磨する研磨工程と、
を含む、スタックの製造方法。
【請求項２】
前記研磨工程の後、前記ブロックの一方側の端の前記板材及び他方側の端の前記板材を、当該ブロックから外す、請求項１に記載のスタックの製造方法。
【請求項３】
前記組み立て工程では、前記ブロックの前記端の前記板材とその隣りの前記板材との固定を、前記ブロックの中央で積層されている前記板材同士の固定力よりも弱い仮止めとする、請求項２に記載のスタックの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱音響装置に用いられるスタックの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
熱エネルギーと音エネルギーとの変換現象である熱音響効果を利用した熱音響装置が知られている。熱音響装置は、ループ管内に第一スタックと第二スタックとが配置されて構成される。第一スタックにおいて温度勾配を生じさせると自励の音波が発生する。この音波によって第二スタック側に設けられた熱交換器を介して冷却対象を冷却することができる。
【０００３】
スタックは、柱状の部材であり、貫通した孔からなる微細流路が多数形成されている。スタックは、軸方向の熱伝達性が低い特性を有するのが好ましい。そのために、従来、スタックはセラミックス製とされていた。しかし、セラミックス製の場合、加工が困難であり、微細流路の径（孔径）を小さくするのに限界がある。そこで、複数の金属板それぞれにエッチングによって微細な貫通孔を形成し、貫通孔同士が繋がるように前記金属板を重ねることでスタックを製造する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１５２１８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記のように、複数の金属板それぞれにエッチングによって貫通孔を形成し、これら金属板を重ねることにより、貫通孔が繋がって微細流路が構成される。このようにしてスタックを製造する場合、次に説明するように、完成したスタックの性能にばらつきが生じる可能性がある。なお、スタックの性能を表す指標として、微細流路の流路半径と、微細流路内の温度境界層の範囲とによるパラメータが用いられる。
【０００６】
エッチングは溶液による金属板の溶解による方法であるため、図８（Ａ）に示されるように金属板９０に形成される貫通孔９１は、直線状の孔とならない。このため、図８（Ｂ）に示されるように金属板９０を重ねて得たスタック９９において、微細流路９２の表面は棘のある形状となり、表面粗さが大きくなる。また、微細流路９２の表面粗さが大きくなる他の原因として、金属板９０を積層する際に貫通孔９１の位置ずれが生じるという点がある。微細流路９２の表面粗さが大きくなると、流路半径及び温度境界層の範囲が微細流路９２の長手方向に沿って様々な値となる。すると、スタック９９の性能を表す前記パラメータが定まらず、スタック９９の性能にばらつきが発生してしまう。
【０００７】
そこで、本発明は、スタックの性能を均一化させることが可能となる製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のスタックの製造方法は、複数の板材それぞれの予め定められた位置に微細な貫通孔をエッチングにより多数形成する板材加工工程と、前記貫通孔同士が繋がるように前記複数の板材を重ね、当該複数の板材を一体化し、当該貫通孔が繋がることで構成された微細流路を多数有するブロックを形成する組み立て工程と、研磨粒を含む液に前記ブロックを浸し当該研磨粒を振動させて前記微細流路の表面を研磨する研磨工程と、を含む。
【０００９】
このスタックの製造方法によれば、微細流路の表面粗さが整えられ、微細流路の流路半径及び温度境界層の範囲が微細流路の長手方向に沿って安定する。このため、製造されるスタックの性能を均一化させることが可能となる。
【００１０】
スタックの両端面は、例えば熱交換器との接触面となることから、表面粗さが小さいのが好ましい。そこで、前記研磨工程の後、前記ブロックの一方側の端の前記板材及び他方側の端の前記板材を、当該ブロックから外すのが好ましい。この方法によれば、研磨工程によってブロックの両端面が荒くなっても、ブロックから両端の板材を外すことで、スタックの両端面の表面粗さを、板材が元から有していた表面粗さとすることが可能となる。
また、この製造方法において、前記組み立て工程では、前記ブロックの前記端の前記板材とその隣りの前記板材との固定を、前記ブロックの中央で積層されている前記板材同士の固定力よりも弱い仮止めとするのが好ましい。この場合、研磨工程の後、ブロックの端の板材を、ブロックから外す作業が容易となる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、製造されるスタックの性能を均一化させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】熱音響装置の一例を示す概略構成図である。
【図２】微細な貫通孔が多数形成された板材の斜視図である。
【図３】ブロックの斜視図である。
【図４】研磨工程の説明図である。
【図５】研磨工程に含まれる洗浄処理の説明図である。
【図６】ブロックから両端の剥離用の板材を剥がした状態を示す説明図である。
【図７】（Ａ）は研磨工程前の微細流路のイメージ図であり、（Ｂ）は研磨工程後の微細流路のイメージ図である。
【図８】従来のスタックの説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
〔熱音響装置の全体構成〕
図１は、熱音響装置１０の一例を示す概略構成図である。熱音響装置１０は、１つのループ管１１と、ループ管１１内に設けられた第一スタック２０及び第二スタック３０を備える。ループ管１１には、作動流体が封入される。作動流体は、例えば、空気、窒素、ヘリウム、アルゴン、又はこれらのうち少なくとも２つの混合気である。
【００１４】
第一スタック２０は、柱状の部材であり、ループ管１１の長さ方向に貫通する多数の微細流路２１を有する。第二スタック３０も、柱状の部材であり、ループ管１１の長さ方向に貫通する多数の微細流路３１を有する。微細流路２１，３１は、作動流体の通路となる。ループ管１１の長さ方向は、軸方向とも称される。微細流路２１，３１は軸方向に沿って長い流路となる。つまり、微細流路２１，３１の長手方向は軸方向と一致する。
【００１５】
第一スタック２０において、軸方向の一方端２２と他方端２３との間に温度勾配を生じさせる。本実施形態では、第一スタック２０の一方端２２の温度が他方端２３の温度より高くなる。この温度勾配が臨界点を越えると、第一スタック２０内の作動流体が振動する。作動流体の振動は音波を発生させる。この結果、ループ管１１内の作動流体に定在波を含む音波が発生する。この音波によって、第二スタック３０の微細流路３１内の作動流体が振動する。すると、第二スタック３０において温度勾配が発生する。本実施形態では、第二スタック３０の一方端３２の温度が他方端３３の温度より高くなる温度勾配が発生する。このように、第一スタック２０によって、熱エネルギーが音エネルギーに変換される。第二スタック３０によって音エネルギーが熱エネルギーに変換される。
【００１６】
第一スタック２０と第二スタック３０とは異なる構成（例えば、軸方向の長さが異なる構成等）であってもよいが、本実施形態では同じ構成である。第一スタック２０を例に説明すると、第一スタック２０は、後に説明するが、微細な貫通孔４１（図２参照）が多数形成された板材４０を積層して得たブロック４４（図６参照）により構成される。積層した板材４０の貫通孔４１同士が繋がることで、微細流路２１が形成される。板材４０は金属製であり、本実施形態ではステンレス鋼製である。完成した第一スタック２０はハニカム構造を有する。第一スタック２０（第二スタック３０）の製造方法については、後に説明する。
【００１７】
第一スタック２０において（図１参照）、温度勾配により高温となる一方端２２側に、第一高温側熱交換器２４が設けられる。第一スタック２０において、温度勾配により低温となる他方端２３側に、第一低温側熱交換器２５が設けられる。熱交換器２４，２５は、ループ管１１の外部と第一スタック２０との間で熱を交換する。第二スタック３０において、温度勾配により高温となる一方端３２側に、第二高温側熱交換器３４が設けられる。第二スタック３０において、温度勾配により低温となる他方端３３に、第二低温側熱交換器３５が設けられる。熱交換器３４，３５は、ループ管１１の外部と第二スタック３０との間で熱を交換する。
【００１８】
第一高温側熱交換器２４は、ループ管１１内に配置される管内部分と、ループ管１１外に配置される管外部分とを含む。管内部分は、ループ管１１内の第一スタック２０の一方端２２に接触する。ただし、管内部分は、多数の微細流路２１を塞がない。管外部分は、ループ管１１の外周面の第一スタック２０の一方端２２に対応する位置に設けられる。第一高温側熱交換器２４は、外部の熱源２９より熱（熱エネルギー）を受ける。この熱が第一スタック２０の一方端２２へ伝わる。このように、第一高温側熱交換器２４は、ループ管１１の外部から、第一スタック２０の一方端２２を加熱し、一方端２２を（他方端２３よりも）高温とする。
【００１９】
第一低温側熱交換器２５は、例えば、ループ管１１内に配置される管内部分と、ループ管１１外に配置される管外部分とを含む。管内部分は、ループ管１１内の第一スタック２０の他方端２３に接触する。ただし、管内部分は、多数の微細流路２１を塞がない。管外部分は、ループ管１１の外周面の第一スタック２０の他方端２３に対応する位置に設けられる。第一低温側熱交換器２５は、ループ管１１の外部と第一スタック２０の他方端２３との間で熱を伝導することにより、他方端２３側の温度を調整する。具体的に説明すると、第一低温側熱交換器２５は、第一スタック２０の他方端２３の温度が所定の基準温度（第一基準温度）を超えないように調整する機能を有する。前記第一基準温度は、第一スタック２０の一方端２２の温度よりも低い温度である。
【００２０】
第一高温側熱交換器２４及び第一低温側熱交換器２５によって、第一スタック２０の一方端２２と他方端２３との間の温度勾配（温度差）を制御することができる。第一低温側熱交換器２５、第一スタック２０、及び第一高温側熱交換器２４は、熱源２９の熱を、ループ管１１内の作動流体の振動に変換して音波を発生させる熱音響原動機（熱音響エンジン）を構成する。
【００２１】
前記のとおり、第一スタック２０に生じた温度勾配によって音波を発生させ、発生した音波により第二スタック３０に温度勾配を生じさせる。第二スタック３０の一方端３２の温度を他方端３３の温度よりも高くする。
【００２２】
第二高温側熱交換器３４は、第二スタック３０に温度勾配が生じた際に、高温となる一方端３２側に設けられる。第二低温側熱交換器３５は、第二スタック３０に温度勾配が生じた際に、低温となる他方端３３側に設けられる。
【００２３】
第二高温側熱交換器３４は、例えば、ループ管１１内に配置される管内部分と、ループ管１１外に配置される管外部分とを含む。管内部分は、ループ管１１内の第二スタック３０の一方端３２に接触する。ただし、管内部分は、多数の微細流路３１を塞がない。管外部分は、ループ管１１の外周面の第二スタック３０の一方端３２に対応する位置に設けられる。第二高温側熱交換器３４は、ループ管１１の外部と第二スタック３０の一方端３２との間で熱を伝導することにより、一方端３２側の温度を調整する機能を有する。例えば、第二高温側熱交換器３４は、第二スタック３０の一方端３２の温度を一定（例えば、室温）に保つ。
【００２４】
第二低温側熱交換器３５は、第二スタック３０の他方端３３側に設けられる。第二低温側熱交換器３５は、例えば、ループ管１１内に配置される管内部分と、ループ管１１外に配置される管外部分とを含む。管内部分は、ループ管１１内の第二スタック３０の他方端３３に接触する。ただし、管内部分は、多数の微細流路３１を塞がない。管外部分は、ループ管１１の外周面の第二スタック３０の他方端３３に対応する位置に設けられる。第二低温側熱交換器３５は、ループ管１１の外部の冷却対象３９に熱伝導可能に接続される。第二低温側熱交換器３５は、ループ管１１の外部（冷却対象３９）の熱を吸収し、第二スタック３０の他方端３３へ取り込む。これにより、冷却対象３９を冷却することができる。言い換えれば、第二低温側熱交換器３５は、第二スタック３０内に生じた温度勾配によって温度が低い第二スタック３０の他方端３３の冷熱を取り出し、ループ管１１の外部（冷却対象３９）へ伝える。
【００２５】
第二低温側熱交換器３５、第二スタック３０、及び第二高温側熱交換器３４は、音波（作動流体の振動）から温度勾配を発生させる熱音響ヒートポンプを構成する。
【００２６】
以上より、本実施形態の熱音響装置１０が備える機能は、次のとおりとなる。熱源２９の熱は、第一高温側熱交換器２４を介して、第一スタック２０の一方端２２に伝えられる。これにより、第一スタック２０の一方端２２が加熱される。第一低温側熱交換器２５は、ループ管１１の外部と第一スタック２０の他方端２３との間で熱を伝導することにより、第一スタック２０の他方端２３を所定の第一基準温度（例えば、室温）以下に維持する。これにより、第一スタック２０の一方端２２の温度は他方端２３の温度より高くなる。
【００２７】
第一スタック２０内の温度勾配が臨界点を超えると、第一スタック２０内の作動流体が振動して音波が生じる。第一スタック２０内の作動流体の振動は、ループ管１１内の作動流体に伝わる。これにより、ループ管１１内には、音波が発生する。音波の振動により、第二スタック３０の作動流体が振動する。第二スタック３０内の作動流体が振動すると、第二スタック３０内に温度勾配（温度勾配）が生じる。本実施形態では、第二スタック３０の一方端３２の温度が、他方端３３の温度より高くなる。第二高温側熱交換器３４は、ループ管１１の外部と第二スタック３０の一方端３２との間で熱を伝導することにより、第二スタック３０の一方端３２を所定の第二基準温度（例えば、室温）に維持する。このため、第二スタック３０内に温度勾配が生じると、第二スタック３０の他方端３３の温度は、第二基準温度より低くなる。すなわち、第二スタック３０の他方端３３は冷却される。第二低温側熱交換器３５は、第二スタック３０の他方端３３の冷熱をループ管１１の外部の冷却対象３９へ伝える。これにより、冷却対象３９が冷却される。
【００２８】
〔スタックの製造方法〕
第一スタック２０の製造方法と、第二スタック３０の製造方法とは同じである。以下において、第一スタック２０（単に「スタック２０」と称する。）の製造方法について説明する。スタック２０の製造方法には、板材加工工程と、組み立て工程と、研磨工程とが含まれ、この順で行われる。以下、各工程について説明する。
【００２９】
〔板材加工工程〕
図２に示されるように、薄い板材４０に微細な貫通孔４１をエッチング処理により多数形成する。貫通孔の直径は、例えば１００マイクロメートル以上、１０００マイクロメートルである。本実施形態では、板材４０はステンレス鋼製である。多数の貫通孔４１は予め定められた位置に形成される。エッチング処理は複数の板材４０それぞれに対して個別に行われる。形成される貫通孔４１の配置は、一つのスタック２０に含まれるすべての板材４０において同じである。つまり、各板材４０には、多数の貫通孔４１が同じパターン（同じ配置）で形成される。板材４０の必要数は、製造するスタック２０の軸方向の寸法に応じて変更される。なお、スタック２０の軸方向の寸法は、例えば３０ミリメートル〜６０ミリメートルである。板材４０の厚さは、例えば１ミリメートル未満である。スタック２０は、例えば円柱状であり、その場合、直径は例えば２０ミリメートル〜６０ミリメートルである。スタック２０は、円柱状以外であってもよく、角柱状であってもよい。板材４０の材質は他（他の金属）であってもよい。
【００３０】
本実施形態では、貫通孔４１はフォトエッチング処理により形成される。具体的に説明すると次のとおりである。平板薄板状の板材４０を洗浄する。板材４０の一面側にフォトレジスト膜を形成し、このフォトレジスト膜の上に原版を密着させる。この原版は、フィルム等の薄板部材であり、完成品となるスタック２０の微細流路３１の配置パターンと同じパターンを有する多数の開口が形成されている。この原版を載せた板材４０に対して、露光、現像を行うことで板材４０上にマスクを形成する。マスクが形成された板材４０に対してエッチング液を塗布して、エッチングを行い、板材４０に多数の貫通孔４１を形成する。以上より、貫通孔４１が多数形成された板材４０が得られる（図２参照）。他の板材４０についても、同様にフォトエッチング処理が行われる。
【００３１】
〔組み立て工程〕
板材加工工程により貫通孔４１が多数形成された板材４０を積層し、柱状の積層体４２とする（図３参照）。この際、貫通孔４１同士が繋がるように複数の板材４０を重ねる。貫通孔４１が繋がることで微細流路２１が形成される。板材４０を重ねる際、図示しないが、ピン等の拘束部材によって複数の板材４０が拘束されかつ位置合わせが行われる。所定数の板材４０が積層されると、積層体４２の外周面４３を溶接し、これら板材４０を一体化する。外周面４３の全体を溶接するのではなく、周方向の複数箇所について溶接する（部分溶接とする）。本実施形態では、外周面４３の四箇所に軸方向に沿って溶接を行う。図３における符号４７が溶接ビードである。これにより、積層された複数枚の板材４０が一体化されたブロック４４が構成される。なお、板材４０を固定する固定手段は、溶接以外であってもよい。
【００３２】
本実施形態では、ブロック４４の両端の板材４０は、剥離用の部材である。剥離用の板材４０は、後に行う研磨工程の後、ブロック本体４４ａから剥がされる。ブロック本体４４ａは、ブロック４４のうちの両端の剥離用の板材４０を除く部分である。このため、ブロック４４の両端の板材４０は、ブロック本体４４ａに含まれる板材４０と異なる材質（例えば、より安価な材質）であってもよい。ただし、同じパターンで貫通孔４１は形成されていて、積層体４２の状態で、この貫通孔４１を含めて微細流路２１が形成されている。
【００３３】
ブロック本体４４ａに含まれる板材４０は分解されない。このため、ブロック本体４４ａに含まれる板材４０については溶接等により強固に（つまり、容易に分解できないように）固定される。これに対して、剥離用の板材４０は、その隣りの板材４０から剥がされる。そこで、剥離用の板材４０と、その隣りの板材４０との固定手段は、ブロック本体４４ａにおける固定手段（溶接）と異なっていてもよい。例えば、剥離用の板材４０と、その隣りの板材４０との固定手段は、ブロック本体４４ａにおける固定手段（溶接）よりも弱い固定力による手段とする。具体例を説明すると、接着剤により、剥離用の板材４０をその隣りの板材４０に接着する。この場合、後に接着部分を破壊（溶解）することで、剥離用の板材４０のみを容易に剥がすことができる。熱可塑性の接着剤とすれば、接着部分を加熱すればよい。または、剥離用の板材４０と、その隣りの板材４０との固定手段を、ブロック本体４４ａにおける固定手段と同じ溶接とするが、ブロック本体４４ａの溶接箇所（四箇所の溶接ビード）よりも少ない溶接箇所（例えば二箇所の溶接ビード）で、剥離用の板材４０を固定してもよい。
【００３４】
〔研磨工程〕
図４に示されるように、複数の板材４０を積層して一体化したブロック４４を、研磨粒（砥粒）を含む液５０に浸す。このブロック４４には、両端に剥離用の板材４０が含まれる。研磨粒を含む液５０は多数の微細流路２１それぞれに浸入する。そして、水槽４８内で研磨粒を振動させ、微細流路２１の表面を研磨する。本実施形態の場合、水槽４８内の研磨粒を含む水にブロック４４を浸し、超音波洗浄を行う。研磨粒は、例えば炭化ケイ素研磨材であり、この研磨粒を水と混合させる。微細流路２１の直径は、例えば１００マイクロメートル以上、１０００マイクロメートル以下である。この場合、研磨粒を＃５００００以上とするのが好ましい。
【００３５】
所定時間について水槽４８内で研磨粒を振動させた後、図５に示されるように、ブロック４４を洗浄する。つまり、微細流路２１の表面に付着する研磨粒を洗い流す。本実施形態の場合、水槽４９内の研磨粒を含まない水（例えば、純水）５１にブロック４４を浸し、超音波洗浄を行う。その後、図６に示されるように、両端の剥離用の板材４０を剥がす。剥離用の板材４０が剥がされたブロック４４により、スタック２０が得られる。
【００３６】
〔本実施形態のスタック２０の製造方法〕
以上のように、本実施形態のスタック２０の製造方法は次のとおりである。スタック２０の製造方法には、板材加工工程と、組み立て工程と、研磨工程とが含まれる。板材加工工程では、複数の板材４０それぞれの予め定められた位置に微細な貫通孔４１をエッチングにより多数形成する（図２参照）。組み立て工程では、貫通孔４１同士が繋がるように複数の板材４０を重ね（図３参照）、これら複数の板材４０を一体化し、貫通孔４１が繋がることで構成された微細流路２１を多数有するブロック４４を形成する。研磨工程では、研磨粒を含む液５０にブロック４４を浸し（図４参照）、研磨粒を振動させて微細流路２１の表面を研磨する。
【００３７】
ここで、スタック２０の性能を表す指標として、微細流路２１の流路半径と、微細流路２１内の温度境界層の範囲とによるパラメータが用いられる。前記のように、複数の板材４０を重ねて得たブロック４４では、研磨工程の前において、微細流路２１の表面は棘のある形状となり、各微細流路２１の表面粗さが大きくなる。すると、各微細流路２１において流路半径及び温度境界層の範囲が微細流路２１の長手方向（軸方向）に沿って様々な値となる。すると、スタック２０の性能を表す前記パラメータが定まらず、スタック２０の性能にばらつきが発生してしまう。しかし、本実施形態の前記製造方法によれば、研磨工程によって、微細流路２１の表面粗さが整えられる。図７（Ａ）は研磨工程前の微細流路２１のイメージ図であり、図７（Ｂ）は研磨工程後の微細流路２１のイメージ図である。研磨工程が行われることで、微細流路２１の流路半径及び温度境界層の範囲が微細流路２１の長手方向（軸方向）に沿って安定する。このため、製造されるスタック２０の性能を均一化させることが可能となる。この結果、スタック２０における熱音響効果によるエネルギー変換の効率を向上させることが可能となる。
【００３８】
また、微細流路２１の直径は、例えば１００〜１０００マイクロメートルであり小さく、また、微細流路２１の数は多いことから、微細流路２１の表面粗さを小さくする作業は困難であるが、前記製造方法（研磨工程）によれば、その作業は容易である。
【００３９】
前記の熱音響装置１０の全体構成で説明したように（図１参照）、スタック２０の両端面、つまり、一方端２２及び他方端２３は、熱交換器２４，２５の一部（前記館内部分）との接触面となることから、熱伝導の観点より、表面粗さは小さいのが好ましい。そこで、本実施形態では、研磨工程の後、図６に示されるように、ブロック４４の一方側の端の板材４０及び他方側の端の板材４０を、ブロック４４から外す。このため、研磨工程によってブロック４４の一方側及び他方側の両端面が荒くなっても、ブロック４４から両端の板材４０，４０を外すことで、完成したスタック２０の両端面（２２，２３）の表面粗さを、板材４０が元から有していた表面粗さとすることが可能となる。つまり、完成したスタック２０の両端面（２２，２３）の表面粗さを、低くすることが可能となる。
【００４０】
このように、研磨工程の後、両端の板材４０，４０を、ブロック４４から外す作業が容易となるように、組み立て工程では、次のように処理している。すなわち、組み立て工程では（図３参照）、ブロック４４の一方側の端の板材４０とその隣りの板材４０との固定を、ブロック４４の中央（つまり、ブロック本体４４ａ）で積層されている板材４０同士の固定力よりも弱い仮止めとする。この仮止めを、研磨工程の後に解消することで、両端の剥離用の板材４０を容易に剥がすことができる。
【００４１】
〔その他〕
研磨工程で用いられる研磨粒の粒度を変更することで、微細流路２１の表面の粗さを調整することができる。
【００４２】
今回開示した実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の権利範囲は、上述の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された構成と均等の範囲内でのすべての変更が含まれる。
【符号の説明】
【００４３】
２０：第一スタック（スタック）        ２１：微細流路
４０：板材                            ４１：貫通孔
４２：積層体                          ４３：外周面
４４：ブロック                        ５０：研磨粒を含む液
【図１】
2020012606.tif 000003
【図２】
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【図３】
2020012606.tif 000005
【図４】
2020012606.tif 000006
【図５】
2020012606.tif 000007
【図６】
2020012606.tif 000008
【図７】
2020012606.tif 000009
【図８】
2020012606.tif 000010