(57)【要約】【課題】複数の物体検査装置間で、撮像した画像、又は検査対象物体の表面検査に用いる検査用パラメータを共有することが求められている。【解決手段】物体検査装置２０Ｂは、カメラ２６Ｂと、物体とカメラ２６Ｂとを相対的に位置決めするロボット２４Ｂと、カメラ２６Ｂが撮像できる指標５２Ｂと、カメラ２６Ｂ及びロボット２４Ｂを制御する制御装置２２Ｂとを備える。制御装置２２Ｂは、ロボット２４Ｂを制御して指標５２Ｂとカメラ２６Ｂとを任意の相対位置に位置決めし、指標５２Ｂをカメラ２６Ｂに撮像させて、撮像座標系ＣＣＢにおける指標５２Ｂの撮像データを取得し、撮像データと、撮像座標系ＣＣＢに設定された指標参照点の座標データとに基づいて、撮像座標系ＣＣＢにおいて指標５２Ｂが指標参照点に配置される位置にロボット２４Ｂを保持し、このときのロボット２４Ｂの位置を用いて検査位置を調整する。【選択図】図３
2020012669.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体の画像データを用いて物体の表面を検査する物体検査装置であって、
前記画像データを取得するカメラと、
前記表面の検査を行う検査位置に前記物体と前記カメラとを相対的に位置決めするロボットと、
前記ロボットが前記カメラに対し位置決めできるとともに前記カメラが撮像できる指標であって、前記カメラに対する該指標の位置を前記カメラの撮像座標系に表すための指標と、
前記カメラ及び前記ロボットを制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
前記ロボットを制御して前記指標と前記カメラとを任意の相対位置に位置決めし、
前記相対位置に位置決めした前記指標を前記カメラに撮像させて、前記撮像座標系における前記指標の撮像データを取得し、
前記撮像データと、前記撮像座標系に設定された指標参照点の座標データとに基づいて、前記撮像座標系において前記指標が前記指標参照点に配置される位置に前記ロボットを保持し、
前記指標が前記指標参照点に配置されているときの前記ロボットの前記位置を用いて前記検査位置を調整する、物体検査装置。
【請求項２】
前記制御装置は、
前記検査位置を前記相対位置として、前記指標を前記カメラに対し前記検査位置に予備的に位置決めし、
前記検査位置に予備的に位置決めした前記指標を前記カメラに撮像させて前記撮像データを取得する、請求項１に記載の物体検査装置。
【請求項３】
前記制御装置は、前記撮像座標系において前記指標が前記指標参照点に配置されているか否かを判断する、請求項１又は２に記載の物体検査装置。
【請求項４】
前記制御装置は、前記撮像座標系において前記指標が前記指標参照点に配置されていないと判断したときに、前記指標と前記カメラとの相対位置を変位させて変位後に前記指標の撮像データを取得する制御を、前記指標が前記指標参照点に配置されていると判断されるまで繰り返す、請求項３に記載の物体検査装置。
【請求項５】
前記制御装置は、前記撮像データと前記座標データとのずれ量を所定の閾値と比較し、前記ずれ量が前記閾値よりも小さいときに、前記指標が前記指標参照点に配置されていると判断する、請求項３又は４に記載の物体検査装置。
【請求項６】
物体の画像データを用いて物体の表面を検査する物体検査装置を複数備えた物体検査システムであって、
第１の物体検査装置は、
前記画像データを取得する第１のカメラと、
前記表面の検査を行う第１の検査位置に前記物体と前記第１のカメラとを相対的に位置決めする第１のロボットと、
前記第１のロボットが前記第１のカメラに対し位置決めできるとともに前記第１のカメラが撮像できる第１の指標であって、前記第１のカメラに対する該第１の指標の位置を前記第１のカメラの第１の撮像座標系に表すための第１の指標と、
前記第１のカメラ及び前記第１のロボットを制御する第１の制御装置と、を備え、
前記第１の制御装置は、
前記第１のロボットを制御して前記第１の指標と前記第１のカメラとを第１の相対位置に位置決めし、
前記第１の相対位置に位置決めした前記第１の指標を前記第１のカメラに撮像させて、前記第１の撮像座標系における前記第１の指標の撮像データを取得するとともに、該撮像データを指標参照点の座標データとして記憶し、
第２の物体検査装置は、
前記画像データを取得する第２のカメラと、
前記表面の検査を行う第２の検査位置であって前記第１の検査位置に対応する第２の検査位置に前記物体と前記第２のカメラとを相対的に位置決めする第２のロボットと、
前記第２のロボットが前記第２のカメラに対し位置決めできるとともに前記第２のカメラが撮像できる第２の指標であって、前記第２のカメラに対する該第２の指標の位置を前記第１の撮像座標系に対応する前記第２のカメラの第２の撮像座標系に表すための第２の指標と、
前記第２のカメラ及び前記第２のロボットを制御する第２の制御装置と、を備え、
前記第２の制御装置は、
前記第２のロボットを制御して前記第２の指標と前記第２のカメラとを前記第１の相対位置に対応する第２の相対位置に位置決めし、
前記第２の相対位置に位置決めした前記第２の指標を前記第２のカメラに撮像させて、前記第２の撮像座標系における前記第２の指標の撮像データを取得し、
前記第２の指標の撮像データと、前記第１の制御装置が記憶した前記指標参照点の座標データとに基づいて、前記第２の撮像座標系において前記第２の指標が前記指標参照点に配置される位置に前記第２のロボットを保持し、
前記第２の指標が前記指標参照点に配置されているときの前記第２のロボットの前記位置を用いて前記第２の検査位置を調整する、物体検査システム。
【請求項７】
前記第１の制御装置は、前記第１の検査位置で前記物体を前記第１のカメラに撮像させて、前記第１の撮像座標系における前記物体の撮像データを取得するとともに、該撮像データに基づいて前記検査を行うときの諸条件として設定された検査用パラメータを取得して記憶し、
前記第２の制御装置は、前記第１の制御装置から前記検査用パラメータを入手する、請求項６に記載の物体検査システム。
【請求項８】
前記第２の制御装置は、前記第２の検査位置で前記物体を前記第２のカメラに撮像させて、前記第２の撮像座標系における前記物体の撮像データを取得するとともに、該撮像データに基づいて前記検査用パラメータを調整することで再設定された新検査用パラメータを取得して記憶し、
前記第１の制御装置は、前記第２の制御装置から前記新検査用パラメータを入手して前記検査用パラメータを更新する、請求項７に記載の物体検査システム。
【請求項９】
前記第２の制御装置は、
前記第２の検査位置を前記第２の相対位置として、前記第２の指標を前記第２のカメラに対し前記第２の検査位置に予備的に位置決めし、
前記第２の検査位置に予備的に位置決めした前記第２の指標を前記第２のカメラに撮像させて前記第２の指標の前記撮像データを取得する、請求項７又は８に記載の物体検査システム。
【請求項１０】
物体の画像データを用いて物体の表面を検査する物体検査装置において、該表面の検査を行う検査位置を調整する方法であって、
前記物体検査装置は、
前記画像データを取得するカメラと、
前記表面の検査を行う検査位置に前記物体と前記カメラとを相対的に位置決めするロボットと、
前記ロボットが前記カメラに対し位置決めできるとともに前記カメラが撮像できる指標であって、前記カメラに対する該指標の位置を前記カメラの撮像座標系に表すための指標と、を備え、
前記ロボットを制御して前記指標と前記カメラとを任意の相対位置に位置決めし、
前記相対位置に位置決めした前記指標を前記カメラに撮像させて、前記撮像座標系における前記指標の撮像データを取得し、
前記撮像データと、前記撮像座標系に設定された指標参照点の座標データとに基づいて、前記撮像座標系において前記指標が前記指標参照点に配置される位置に前記ロボットを保持し、
前記指標が前記指標参照点に配置されているときの前記ロボットの前記位置を用いて前記検査位置を調整する、方法。
【請求項１１】
物体の画像データを用いて物体の表面を検査する物体検査装置を複数備えた物体検査システムにおいて、該表面の検査を行う検査位置を調整する方法であって、
第１の物体検査装置は、
前記画像データを取得する第１のカメラと、
前記表面の検査を行う第１の検査位置に前記物体と前記第１のカメラとを相対的に位置決めする第１のロボットと、
前記第１のロボットが前記第１のカメラに対し位置決めできるとともに前記第１のカメラが撮像できる第１の指標であって、前記第１のカメラに対する該指標の位置を前記第１のカメラの第１の撮像座標系に表すための第１の指標と、を備え、
第２の物体検査装置は、
前記画像データを取得する第２のカメラと、
前記表面の検査を行う第２の検査位置であって前記第１の検査位置に対応する第２の検査位置に前記物体と前記第２のカメラとを相対的に位置決めする第２のロボットと、
前記第２のロボットが前記第２のカメラに対し位置決めできるとともに前記第２のカメラが撮像できる第２の指標であって、前記第２のカメラに対する該第２の指標の位置を前記第１の撮像座標系に対応する前記第２のカメラの第２の撮像座標系に表すための第２の指標と、を備え、
前記第１のロボットを制御して前記第１の指標と前記第１のカメラとを第１の相対位置に位置決めし、
前記第１の相対位置に位置決めした前記第１の指標を前記第１のカメラに撮像させて、前記第１の撮像座標系における前記第１の指標の撮像データを取得するとともに、該撮像データを指標参照点の座標データとして記憶し、
前記第２のロボットを制御して前記第２の指標と前記第２のカメラとを前記第１の相対位置に対応する第２の相対位置に位置決めし、
前記第２の相対位置に位置決めした前記第２の指標を前記第２のカメラに撮像させて、前記第２の撮像座標系における前記第２の指標の撮像データを取得し、
前記第２の指標の撮像データと、記憶した前記指標参照点の座標データとに基づいて、前記第２の撮像座標系において前記第２の指標が前記指標参照点に配置される位置に前記第２のロボットを保持し、
前記第２の指標が前記指標参照点に配置されているときの前記第２のロボットの前記位置を用いて前記第２の検査位置を調整する、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物体検査装置、物体検査システム、及び検査位置を調整する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
物体の画像データを用いて物体の表面を検査する物体検査装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−０１５３９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
複数の物体検査装置間で、撮像した画像、又は検査対象物体の表面検査に用いる検査用パラメータを共有することが求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様において、物体の画像データを用いて物体の表面を検査する物体検査装置は、画像データを取得するカメラと、表面の検査を行う検査位置に物体とカメラとを相対的に位置決めするロボットと、ロボットがカメラに対し位置決めできるとともにカメラが撮像できる指標であって、カメラに対する該指標の位置をカメラの撮像座標系に表すための指標と、カメラ及びロボットを制御する制御装置とを備える。
【０００６】
制御装置は、ロボットを制御して指標とカメラとを任意の相対位置に位置決めし、相対位置に位置決めした指標をカメラに撮像させて、撮像座標系における指標の撮像データを取得し、撮像データと、撮像座標系に設定された指標参照点の座標データとに基づいて、撮像座標系において指標が指標参照点に配置される位置にロボットを保持し、指標が指標参照点に配置されているときのロボットの位置を用いて検査位置を調整する。
【０００７】
本開示の他の態様において、物体の画像データを用いて物体の表面を検査する物体検査装置を複数備えた物体検査システムであって、第１の物体検査装置は、画像データを取得する第１のカメラと、表面の検査を行う第１の検査位置に物体と第１のカメラとを相対的に位置決めする第１のロボットと、第１のロボットが第１のカメラに対し位置決めできるとともに第１のカメラが撮像できる第１の指標であって、第１のカメラに対する該指標の位置を第１のカメラの第１の撮像座標系に表すための第１の指標と、第１のカメラ及び第１のロボットを制御する第１の制御装置とを備える。
【０００８】
第１の制御装置は、第１のロボットを制御して第１の指標と第１のカメラとを第１の相対位置に位置決めし、第１の相対位置に位置決めした第１の指標を第１のカメラに撮像させて、第１の撮像座標系における第１の指標の撮像データを取得するとともに、該撮像データを指標参照点の座標データとして記憶する。
【０００９】
第２の物体検査装置は、画像データを取得する第２のカメラと、表面の検査を行う第２の検査位置であって第１の検査位置に対応する第２の検査位置に物体と第２のカメラとを相対的に位置決めする第２のロボットと、第２のロボットが第２のカメラに対し位置決めできるとともに第２のカメラが撮像できる第２の指標であって、第２のカメラに対する該第２の指標の位置を第１の撮像座標系に対応する第２のカメラの第２の撮像座標系に表すための第２の指標と、第２のカメラ及び第２のロボットを制御する第２の制御装置とを備える。
【００１０】
第２の制御装置は、第２のロボットを制御して第２の指標と第２のカメラとを第１の相対位置に対応する第２の相対位置に位置決めし、第２の相対位置に位置決めした第２の指標を第２のカメラに撮像させて、第２の撮像座標系における第２の指標の撮像データを取得し、第２の指標の撮像データと、第１の制御装置が記憶した指標参照点の座標データとに基づいて、第２の撮像座標系において第２の指標が指標参照点に配置される位置に第２のロボットを保持し、第２の指標が指標参照点に配置されているときの第２のロボットの位置を用いて第２の検査位置を調整する。
【００１１】
本開示のさらに他の態様において、物体の画像データを用いて物体の表面を検査する物体検査装置において、該表面の検査を行う検査位置を調整する方法は、ロボットを制御して指標とカメラとを任意の相対位置に位置決めし、相対位置に位置決めした指標をカメラに撮像させて、撮像座標系における指標の撮像データを取得し、撮像データと、撮像座標系に設定された指標参照点の座標データとに基づいて、撮像座標系において指標が指標参照点に配置される位置にロボットを保持し、指標が指標参照点に配置されているときのロボットの位置を用いて検査位置を調整する。
【００１２】
本開示のさらに他の態様において、物体の画像データを用いて物体の表面を検査する物体検査装置を複数備えた物体検査システムにおいて、該表面の検査を行う検査位置を調整する方法は、第１のロボットを制御して第１の指標と第１のカメラとを第１の相対位置に位置決めし、第１の相対位置に位置決めした第１の指標を第１のカメラに撮像させて、第１の撮像座標系における第１の指標の撮像データを取得するとともに、該撮像データを指標参照点の座標データとして記憶し、第２のロボットを制御して第２の指標と第２のカメラとを第１の相対位置に対応する第２の相対位置に位置決めし、第２の相対位置に位置決めした第２の指標を第２のカメラに撮像させて、第２の撮像座標系における第２の指標の撮像データを取得し、第２の指標の撮像データと、第１の制御装置が記憶した指標参照点の座標データとに基づいて、第２の撮像座標系において第２の指標が指標参照点に配置される位置に第２のロボットを保持し、第２の指標が指標参照点に配置されているときの第２のロボットの位置を用いて第２の検査位置を調整する。
【発明の効果】
【００１３】
本開示によれば、複数の物体検査装置間で、検査用パラメータを共有することができる。また、複数の物体検査装置において撮像した画像データを、該複数の物体検査装置間で共有し、例えば、機械学習に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】一実施形態に係る物体検査システムのブロック図である。
【図２】図１に示す物体検査装置のブロック図である。
【図３】図２に示す物体検査装置の斜視図である。
【図４】図３に示す物体検査装置の一部を拡大した拡大図である。
【図５】第１の物体検査装置の動作フローの一例を示すフローチャートである。
【図６】第１の物体検査装置の動作フローの一例を示すフローチャートである。
【図７】第２の物体検査装置の動作フローの一例を示すフローチャートである。
【図８】図７中のステップＳ２６の一例を示すフローチャートである。
【図９】図７中のステップＳ２６の他の例を示すフローチャートである。
【図１０】第２の物体検査装置の動作フローの一例を示すフローチャートである。
【図１１】図５中のステップＳ２でカメラが撮像した画像の一例である。
【図１２】物体検査装置において検査対象物体をカメラに対して位置決めしている状態を示す。
【図１３】図６中のステップＳ１２でカメラが撮像した画像の一例を示す。
【図１４】図７中のステップＳ２３でカメラが撮像した画像の一例を示す。
【図１５】図７中のステップＳ２３でカメラが撮像した画像の一例を示す。
【図１６】図７中のステップＳ２３でカメラが撮像した画像の一例を示す。
【図１７】他の実施形態に係る指標物体の図である。
【図１８】他の実施形態に係る物体検査装置の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本開示の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に説明する種々の実施形態において、同様の要素には同じ符号を付し、重複する説明を省略する。まず、図１を参照して、一実施形態に係る物体検査システム１０について説明する。
【００１６】
物体検査システム１０は、複数の物体検査装置２０Ａ及び２０Ｂを備える。物体検査装置２０Ａ及び２０Ｂの各々は、後述するように、検査対象物体をカメラで撮像した画像データを用いて、該検査対象物体の表面検査を行う。物体検査装置２０Ａ及び２０Ｂは、同じ工場内（例えば同じ製造ライン）に設置されてもよいし、又は、別々の工場内にそれぞれ設置されてもよい。
【００１７】
次に、図１〜図４を参照して、（第１の）物体検査装置２０Ａについて説明する。物体検査装置２０Ａは、制御装置２２Ａ、ロボット２４Ａ、カメラ２６Ａ、照明装置２８Ａ、及び指標物体５０Ａを有する。制御装置２２Ａは、プロセッサ（ＣＰＵ、ＧＰＵ）及びメモリ（ＲＡＭ、ＲＯＭ）等を有し、ロボット２４Ａ、カメラ２６Ａ、及び照明装置２８Ａを制御する。
【００１８】
本実施形態においては、ロボット２４Ａは、垂直多関節ロボットであって、ロボットベース３０、旋回胴３２、ロボットアーム３４、手首部３６、及びロボットハンド３８を有する。ロボットベース３０は、作業セルの床の上に固定されている。旋回胴３２は、鉛直軸周りに旋回可能となるように、ロボットベース３０に設けられている。
【００１９】
ロボットアーム３４は、旋回胴３２に回動可能に連結された下腕部４０と、該下腕部４０の先端に回動可能に連結された上腕部４２とを有する。手首部３６は、上腕部４２の先端に取り付けられ、ロボットハンド３８を回動可能に支持している。
【００２０】
図３に示すように、ロボットハンド３８は、ハンドベース４４、複数の指部４６、及び指部駆動部（図示せず）を有する。ハンドベース４４は、手首部３６に連結されている。複数の指部４６は、ハンドベース４４に開閉可能に設けられている。指部駆動部は、例えばエアシリンダであって、ハンドベース４４に内蔵されている。指部駆動部は、制御装置２２Ａからの指令に応じて、指部４６を開閉させる。
【００２１】
ロボット２４Ａは、複数のサーボモータ４８（図２）を有する。サーボモータ４８は、ロボット２４Ａのロボットベース３０、旋回胴３２、ロボットアーム３４、及び手首部３６にそれぞれ内蔵され、制御装置２２Ａからの指令に応じて、ロボット２４Ａの可動要素（旋回胴３２、ロボットアーム３４、及び手首部３６）を駆動する。
【００２２】
ロボット２４Ａの各可動要素を制御するための座標系として、ロボット座標系ＣＲＡ（図３）が設定される。制御装置２２Ａは、ロボット座標系ＣＲＡを基準としてロボット２４Ａの各可動要素を動作させ、ロボットハンド３８を、ロボット座標系ＣＲＡにおける任意の位置に配置する。なお、本稿において「位置」とは、位置及び姿勢を表すことがある。
【００２３】
例えば、ロボット座標系ＣＲＡの原点が、ロボットベース３０の中心に配置され、ロボット座標系ＣＲＡのｚ軸が、実空間の鉛直方向に平行であり、旋回胴３２が、ロボット座標系ＣＲＡのｚ軸周りに回動されるように、ロボット座標系ＣＲＡがロボット２４Ａに対して設定される。
【００２４】
カメラ２６Ａは、フォーカスレンズ等の光学系と、ＣＣＤセンサ又はＣＭＯＳセンサ等の撮像センサとを有する。本実施形態においては、カメラ２６Ａは、ロボット座標系ＣＲＡにおける予め定められた位置に、ロボット２４Ａから離隔して固定されている。カメラ２６Ａは、制御装置２２Ａからの指令に応じて、ロボット２４Ａが把持する物体を撮像し、撮像した画像データを制御装置２２Ａへ送信する。
【００２５】
カメラ２６Ａに対しては、撮像座標系ＣＣＡが設定されている。撮像座標系ＣＣＡは、カメラ２６Ａの視野を規定する座標系であって、カメラ２６Ａによって撮像された画像データの各画素は、該撮像座標系ＣＣＡで座標化される。ロボット座標系ＣＲＡと撮像座標系ＣＣＡとは、予め校正されており、ロボット座標系ＣＲＡの座標と、撮像座標系ＣＣＡの座標とは、変換行列（例えばヤコビ行列）を介して、相互に変換できる。
【００２６】
したがって、カメラ２６Ａの固定位置、及び該カメラ２６Ａの光軸Ｏ（すなわち、カメラ２６Ａの光学系に入射する被写体像の光路）は、ロボット座標系ＣＲにおいて座標化され、制御装置２２Ａは、ロボット座標系ＣＲにおけるカメラ２６Ａ及び光軸Ｏの位置を、認識できる。
【００２７】
本実施形態においては、撮像座標系ＣＣＡの光軸Ｏと、ロボット座標系ＣＲＡのｘ軸とは、平行である。後述するように、物体検査装置２０Ａにおいて検査対象物体の表面検査を行うとき、該検査対象物体とカメラ２６Ａとは、ロボット２４Ａによって、所定の第１の検査位置に位置決めされる。
【００２８】
照明装置２８Ａは、白熱灯、蛍光灯、又はＬＥＤ等を有し、予め定められた位置に固定される。照明装置２８Ａは、制御装置２２Ａからの指令に応じてＯＮ／ＯＦＦし、ＯＮとなっているときに、ロボット２４Ａに把持された物体へ光を照射する。
【００２９】
指標物体５０Ａは、図３、図４、及び図１１に示すように、略矩形の平板部材であって、その表面５６上に指標５２Ａを有する。本実施形態においては、指標５２Ａは、計３個の円形のドットＤ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａを有する。指標５２Ａは、例えば、塗料によって表面５６に描かれた印でもよいし、表面５６に形成された刻印であってもよい。後述するように、この指標５２Ａは、カメラ２６Ａに対する指標５２Ａの位置を撮像座標系ＣＣＡに表すためのものである。
【００３０】
（第２の）物体検査装置２０Ｂは、物体検査装置２０Ａと同様の構成を有する。具体的には、物体検査装置２０Ｂは、制御装置２２Ｂ、ロボット２４Ｂ、カメラ２６Ｂ、及び照明装置２８Ｂを有する。制御装置２２Ｂは、プロセッサ及びメモリ（図示せず）等を有し、ロボット２４Ｂ、カメラ２６Ｂ、及び照明装置２８Ｂを制御する。制御装置２２Ｂは、上述の制御装置２２Ａと、有線又は無線で通信可能に接続されてもよい。
【００３１】
ロボット２４Ｂは、ロボット２４Ａと同様に、ロボットベース３０、旋回胴３２、ロボットアーム３４、手首部３６、ロボットハンド３８、及びサーボモータ４８を有する。ロボット２４Ｂに対しては、ロボット座標系ＣＲＢ（図３）が設定されている。制御装置２２Ｂは、ロボット座標系ＣＲＢを基準としてロボット２４Ｂの各可動要素を動作させ、ロボットハンド３８を、ロボット座標系ＣＲＢにおける任意の位置に配置する。
【００３２】
本実施形態においては、ロボット２４Ａに対するロボット座標系ＣＲＡの位置関係（原点の位置及び各軸の方向）と、ロボット２４Ｂに対するロボット座標系ＣＲＢの位置関係とが互いに同じとなるように、ロボット座標系ＣＲＢがロボット２４Ｂに対して設定される。
【００３３】
具体的には、ロボット座標系ＣＲＢの原点が、ロボット２４Ｂのロボットベース３０の中心に配置され、ロボット座標系ＣＲＢのｚ軸が、実空間の鉛直方向に平行であり、ロボット２４Ｂの旋回胴３２が、ロボット座標系ＣＲＢのｚ軸周りに回動されるように、ロボット座標系ＣＲＢがロボット２４Ｂに対して設定される。また、ロボット座標系ＣＲＢのｘ軸と、カメラ２６Ｂの光軸とは、平行である。
【００３４】
ロボット２４Ａに対するロボット座標系ＣＲＡの位置関係と、ロボット２４Ｂに対するロボット座標系ＣＲＢの位置関係とを同じに設定するために、例えば、ロボット２４Ａのロボットハンド３８と、ロボット２４Ｂのロボットハンド３８とで、同じ位置をタッチアップさせる。このときのロボット座標系ＣＲＡ及びＣＲＢの位置データと、ロボット２４Ａ及び２４Ｂの各可動要素の位置データとを用いて、ロボット２４Ａに対するロボット座標系ＣＲＡの位置関係と、ロボット２４Ｂに対するロボット座標系ＣＲＢの位置関係とが同じとなるように、ロボット座標系ＣＲＡ及びＣＲＢを設定できる。
【００３５】
カメラ２６Ｂは、カメラ２６Ａと同じ光学的仕様を有する。光学的仕様は、視野角、視野高さ、解像度（撮像センサの画素数）等を含む。例えば、カメラ２６Ａと２６Ｂとは、同じタイプのカメラである。カメラ２６Ｂに対しては、撮像座標系ＣＣＢが設定されている。
【００３６】
カメラ２６Ｂによって撮像された画像データの各画素は、該撮像座標系ＣＣＢで座標化される。カメラ２６Ｂの撮像座標系ＣＣＢは、カメラ２６Ａの撮像座標系ＣＣＡに対応している。ロボット座標系ＣＲＢと撮像座標系ＣＣＢとは、予め校正され、ロボット座標系ＣＲＢの座標と、撮像座標系ＣＣＢの座標とは、変換行列（例えばヤコビ行列）を介して、相互に変換できる。
【００３７】
ここで、ロボット座標系ＣＲＢと撮像座標系ＣＣＢとの位置関係（すなわち、ロボット座標系ＣＲＢに対する、撮像座標系ＣＣＢの原点位置及び各軸の方向）は、上述のロボット座標系ＣＲＡと撮像座標系ＣＣＡとの位置関係（ロボット座標系ＣＲＡに対する、撮像座標系ＣＣＡの原点位置及び各軸の方向）と同じである。後述するように、物体検査装置２０Ｂにおいて検査対象物体の表面検査を行うとき、該検査対象物体とカメラ２６Ｂとは、ロボット２４Ｂによって、上記第１の検査位置に対応する第２の検査位置に位置決めされる。
【００３８】
指標物体５０Ｂは、上記の指標物体５０Ａと同じ外形を有し、図３及び図４に示すように、その表面５６上に指標５２Ｂを有する。指標５２Ｂは、計３個の円形のドットＤ１Ｂ、Ｄ２Ｂ、及びＤ３Ｂを有する。指標物体５０Ｂの表面５６におけるドットＤ１Ｂ、Ｄ２Ｂ、及びＤ３Ｂの位置は、それぞれ、指標物体５０Ａの表面５６におけるドットＤ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａの位置と同じである。指標５２Ｂは、塗料によって表面５６に描かれた印でもよいし、表面５６に形成された刻印であってもよい。この指標５２Ｂは、カメラ２６Ｂに対する指標５２Ｂの位置を撮像座標系ＣＣＢに表すためのものである。
【００３９】
次に、図５〜図１０を参照して、物体検査システム１０の動作について説明する。まず、物体検査装置２０Ａにおいて、図５に示すフローが実行される。図５に示すフローは、物体検査装置２０Ａの制御装置２２Ａが、上位コントローラ、オペレータ、又はコンピュータプログラムから座標データ取得指令を受け付けたときに、開始する。
【００４０】
ステップＳ１において、制御装置２２Ａは、ロボット２４Ａを動作させて、指標物体５０Ａとカメラ２６Ａとを第１の相対位置に位置決めする。具体的には、制御装置２２Ａは、ロボット２４Ａを動作させて、所定の保管場所に保管された指標物体５０Ａをロボットハンド３８によって、予め定められた指標把持位置で把持する。この指標把持位置は、例えば、指標物体５０Ａの上面５８の中央部分である。
【００４１】
次いで、制御装置２２Ａは、ロボット２４Ａを動作させて指標物体５０Ａを移動させ、該指標物体５０Ａをカメラ２６Ａに対して、第１の相対位置に位置決めする。この第１の相対位置は、オペレータによって予め定められる。制御装置２２Ａは、指標物体５０Ａをカメラ２６Ａに対して第１の相対位置に位置決めするための相対位置指令をメモリに予め記憶し、該相対位置指令をロボット２４Ａのサーボモータ４８に送信してロボット２４Ａを動作させる。
【００４２】
本実施形態においては、指標物体５０Ａとカメラ２６Ａとが第１の相対位置に配置されたとき、指標物体５０Ａの全体がカメラ２６Ａの視野内に入る。しかしながら、指標物体５０Ａとカメラ２６Ａとが第１の相対位置に配置されたとき、少なくとも、指標物体５０Ａ上のドットＤ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａがカメラ２６Ａの視野内に入ればよい。
【００４３】
ステップＳ２において、制御装置２２Ａは、カメラ２６Ａに指標物体５０Ａを撮像させる。具体的には、制御装置２２Ａは、照明装置２８Ａに指令を送り、該照明装置２８ＡをＯＮとする。これにより、ロボット２４Ａに把持された指標物体５０Ａは、照明装置２８Ａによって照らされることになる。
【００４４】
次いで、制御装置２２Ａは、カメラ２６Ａに撮像指令を送る。カメラ２６Ａは、制御装置２２Ａから撮像指令を受信すると、指標物体５０Ａを撮像し、指標５２Ａの撮像データを取得する。このときに撮像される画像データを画像化したものを、図１１に示す。図１１に示す画像５４には、指標５２Ａ（ドットＤ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａ）を含む、指標物体５０Ａの全体像が写っている。画像５４の基となる画像データには、ドットＤ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａの各々を写す画素の、撮像座標系ＣＣＡの座標が含まれている。
【００４５】
ステップＳ３において、制御装置２２Ａは、指標参照点の座標データを取得する。具体的には、制御装置２２Ａは、図１１に示す画像５４中のドットＤ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａの各々の領域内の所定の点（例えば、１つの画素）をそれぞれ指標参照点とし、該指標参照点の撮像座標系ＣＣＡの座標をそれぞれ算出する。
【００４６】
例えば、指標参照点は、画像５４中のドットＤ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａの各々の領域の中心点として定められる。以下、理解の容易のために、ドットＤ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａの指標参照点を、それぞれ、指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａとして言及する。制御装置２２Ａは、取得した指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａの座標データをメモリに記憶する。
【００４７】
図５に示すフローを実行して指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａの座標データを取得した後、物体検査装置２０Ａにおいて、図６に示すフローが実行される。図６に示すフローは、物体検査装置２０Ａの制御装置２２Ａが、上位コントローラ、オペレータ、又はコンピュータプログラムから表面検査指令を受け付けたときに開始する。
【００４８】
ステップＳ１１において、制御装置２２Ａは、ロボット２４Ａを動作させて、図１２に示すように、検査対象物体６０とカメラ２６Ａとを第１の検査位置に位置決めする。本実施形態においては、この第１の検査位置は、上記の第１の相対位置とは異なる。この場合、制御装置２２Ａは、第１の相対位置におけるロボット２４Ａの手先（例えば、ＴＣＰ：Ｔｏｏｌ  Ｃｅｎｔｅｒ  Ｐｏｉｎｔ）の位置から、第１の検査位置におけるロボット２４Ａの手先の位置へロボット座標系ＣＲＡにおいてシフトするためのパラメータＰ（例えば、座標変換行列）をメモリに記憶する。
【００４９】
このステップＳ１１において、制御装置２２Ａは、ロボット２４Ａを動作させて、所定の保管場所に保管された検査対象物体６０をロボットハンド３８によって、予め定められた検査把持位置で把持する。例えば、この検査把持位置は、検査対象物体６０の上面６０ｂの中央部分である。
【００５０】
次いで、制御装置２２Ａは、ロボット２４Ａを動作させて検査対象物体６０を移動させ、検査対象物体６０をカメラ２６Ａに対して、第１の検査位置に位置決めする。検査対象物体６０とカメラ２６Ａとが第１の検査位置に配置されたとき、少なくとも、検査対象物体６０の表面６０ａにおける検査対象区域がカメラ２６Ａの視野内に入る。本実施形態においては、検査対象物体６０とカメラ２６Ａとが第１の検査位置に配置されたとき、検査対象物体６０の全体がカメラ２６Ａの視野内に入る。
【００５１】
ステップＳ１２において、制御装置２２Ａは、カメラ２６Ａに検査対象物体６０を撮像させる。具体的には、制御装置２２Ａは、照明装置２８Ａに指令を送り、該照明装置２８ＡをＯＮとする。次いで、制御装置２２Ａは、カメラ２６Ａに撮像指令を送り、検査対象物体６０をカメラ２６Ａによって撮像する。このときにカメラ２６Ａによって撮像される画像データを画像化した画像６２を、図１３に示す。
【００５２】
ステップＳ１３において、制御装置２２Ａは、検査用パラメータを取得する。この検査用パラメータは、後述するステップＳ１４で検査対象物体６０の表面６０ａの検査を行うときの諸条件として設定されるパラメータであって、画像中の特徴（傷痕、エッジ、孔等）を抽出するときのパターンマッチングの一致度、傷痕等の欠陥の有無を判定するための該一致度の閾値、撮像時の露光時間、検査用ウィンドウのサイズ、該検査用ウィンドウ内のヒストグラムの閾値、フィルタリング条件等の諸条件を含む。
【００５３】
一例として、オペレータは、制御装置２２Ａに設けられた入力部（例えば、キーボード、マウス、タッチパネル等）を操作し、図１３に示す画像６２に基づいて、検査用パラメータの諸条件を設定する。こうして、制御装置２２Ａは、検査用パラメータを取得し、メモリに記憶する。
【００５４】
ステップＳ１４において、制御装置２２Ａは、検査対象物体６０の表面検査を実行する。具体的には、制御装置２２Ａは、ステップＳ１３で取得した検査用パラメータに含まれる露光時間で、カメラ２６Ａによって検査対象物体６０を撮像し、撮像した画像データ（例えば画像６２）と、ステップＳ１３で設定した検査用パラメータとを用いて、検査対象物体６０の表面検査を行う。例えば、制御装置２２Ａは、検査対象物体６０の表面６０ａに傷痕等の欠陥があるか否かを検査する。
【００５５】
こうして、物体検査装置２０Ａにおいて、複数の検査対象物体６０に対して表面検査を順次実行することができる。図６のステップＳ１３で検査用パラメータを取得した後、物体検査装置２０Ｂにおいて、図７に示すフローが実行される。図７に示すフローは、物体検査装置２０Ｂの制御装置２２Ｂが、上位コントローラ、オペレータ、又はコンピュータプログラムから検査位置調整指令を受け付けたときに、開始する。
【００５６】
ステップＳ２１において、制御装置２２Ｂは、指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａの座標データを受け付ける。例えば、制御装置２２Ｂは、制御装置２２Ａと通信し、該制御装置２２Ａから、上述のステップＳ３で取得した指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａの座標データを受け付ける。又は、オペレータが、ＥＥＰＲＯＭ等の携帯メモリを用いて、制御装置２２Ａから制御装置２２Ｂへ、指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａの座標データを手動でダウンロードしてもよい。
【００５７】
ステップＳ２２において、制御装置２２Ｂは、ロボット２４Ｂを動作させて、指標物体５０Ｂとカメラ２６Ｂとを第２の相対位置に位置決めする。具体的には、制御装置２２Ｂは、ロボット２４Ｂを動作させて、所定の保管場所に保管された指標物体５０Ｂをロボットハンド３８によって指標把持位置で把持する。このときの指標把持位置は、上述のステップＳ１における指標把持位置と同じである。換言すれば、ロボット２４Ｂの手先に対する指標５２Ｂの位置と、ロボット２４Ａの手先に対する指標５２Ａの位置とは、同じである。
【００５８】
次いで、制御装置２２Ｂは、ロボット２４Ｂを動作させて指標物体５０Ｂを移動させ、該指標物体５０Ｂをカメラ２６Ｂに対して、第２の相対位置に位置決めする。この第２の相対位置は、上記の第１の相対位置に対応している。したがって、第２の相対位置は、第２の検査位置と異なっている。例えば、制御装置２２Ｂは、上述のステップＳ１で制御装置２２Ａが送信した相対位置指令と同じ指令を、ロボット２４Ｂのサーボモータ４８に送信し、ロボット２４Ｂを動作させる。これにより、図３及び図４に示すように、指標物体５０Ｂは、カメラ２６Ｂに対して第２の相対位置に配置される。
【００５９】
ステップＳ２３において、制御装置２２Ｂは、カメラ２６Ｂに指標５２Ｂを撮像させる。具体的には、制御装置２２Ｂは、照明装置２８Ｂに指令を送り、該照明装置２８ＢをＯＮとする。次いで、制御装置２２Ｂは、カメラ２６Ｂに撮像指令を送り、指標物体５０Ｂ上の指標５２Ｂをカメラ２６Ｂによって撮像する。
【００６０】
ここで、ステップＳ２２で制御装置２２Ｂが、ステップＳ１と同じ相対位置指令に従ってロボット２４Ｂを動作させて指標物体５０Ｂを位置決めしたとしても、ステップＳ２２の終了時におけるカメラ２６Ｂと指標物体５０Ｂとの第２の相対位置と、ステップＳ１の終了時におけるカメラ２６Ａと指標物体５０Ａとの第１の相対位置との間で、ずれが生じ得る。
【００６１】
このような相対位置のずれは、ロボット２４Ａの構成要素とロボット２４Ｂの構成要素との間の寸法誤差、若しくは取付状態の誤差、カメラ２６Ａの固定位置とカメラ２６Ｂの固定位置との誤差、カメラ２６Ａとカメラ２６Ｂとの光学性能の誤差等に起因して、生じ得る。
【００６２】
図１４〜図１６に、このステップＳ２３でカメラ２６Ｂが撮像した画像データを画像化した画像の例をそれぞれ示す。なお、図１４〜図１６においては、比較のために、図１１に示す画像５４に写る指標物体５０Ａを、撮像座標系ＣＣＡと撮像座標系ＣＣＢとが一致するように重ね合わせて、点線表示している。
【００６３】
図１４に示す画像７０においては、指標物体５０Ｂの位置が、指標物体５０Ａの位置から、撮像座標系ＣＣＢのｘ軸マイナス方向へ距離δだけずれている。このようなずれδは、ステップＳ２２の終了時におけるカメラ２６Ｂに対する指標物体５０Ｂの位置が、ステップＳ１の終了時におけるカメラ２６Ａに対する指標物体５０Ａの位置よりも、撮像座標系ＣＣＢのｘ軸マイナス方向へずれていた場合に生じる。
【００６４】
また、図１５に示す画像７２においては、指標物体５０Ｂが、指標物体５０Ａの位置から、撮像座標系ＣＣＢのｘ−ｙ平面と直交する仮想軸線（すなわち、光軸Ｏ）の周りに、角度θだけ回転している。このようなずれ量θは、ステップＳ２２の終了時におけるカメラ２６Ｂに対する指標物体５０Ｂの位置が、ステップＳ１の終了時におけるカメラ２６Ａに対する指標物体５０Ａの位置から、光軸Ｏ周りにずれていた場合に生じる。
【００６５】
また、図１６に示す画像７４においては、指標物体５０Ｂが、指標物体５０Ａと比べて、倍率αで縮小されている。このようなずれ量αは、ステップＳ２２の終了時におけるカメラ２６Ｂに対する指標物体５０Ｂの位置が、ステップＳ１の終了時におけるカメラ２６Ａに対する指標物体５０Ａの位置よりも、光軸Ｏの方向へカメラ２６Ｂから離反していた場合に生じる。
【００６６】
本実施形態においては、制御装置２２Ｂは、後述するステップＳ２４〜Ｓ２７を実行することによって、カメラ２６Ｂが撮像する画像データ（画像７０、７２、７４）中の指標５２Ｂ（ドットＤ１Ｂ、Ｄ２Ｂ、及びＤ３Ｂ）が、指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａに配置される、ロボット２４Ｂの位置を取得する。
【００６７】
ステップＳ２４において、制御装置２２Ｂは、ステップＳ２３で撮像した指標５２Ｂの撮像データと、ステップＳ２１で受け付けた指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａの座標データとのずれ量を算出する。具体的には、制御装置２２Ｂは、ステップＳ２３で撮像した画像データ（画像７０、７２、又は７４）中のドットＤ１Ｂ、Ｄ２Ｂ、及びＤ３Ｂの各々の領域内の所定の点（例えば、１つの画素）をそれぞれ検出点とし、該検出点の撮像座標系ＣＣＢの座標をそれぞれ算出する。
【００６８】
ここで、ドットＤ１Ｂ、Ｄ２Ｂ、及びＤ３Ｂの領域における検出点の位置が、ドットＤ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａの領域における指標参照点の位置とそれぞれ同じとなるように、各検出点は、設定される。すなわち、指標参照点が、ドットＤ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａの領域の中心点としてそれぞれ定められた場合、検出点は、ドットＤ１Ｂ、Ｄ２Ｂ、及びＤ３Ｂの中心点としてそれぞれ定められる。
【００６９】
以下、理解の容易のために、ドットＤ１Ｂ、Ｄ２Ｂ、及びＤ３Ｂの検出点を、それぞれ、検出点Ｄ１Ｂ、Ｄ２Ｂ、及びＤ３Ｂとして言及する。そして、制御装置２２Ｂは、ずれ量として、指標参照点Ｄ１Ａの座標と検出点Ｄ１Ｂの座標との第１の差Δ１、指標参照点Ｄ２Ａの座標と検出点Ｄ２Ｂの座標との第２の差Δ２、及び、指標参照点Ｄ３Ａの座標と検出点Ｄ３Ｂの座標との第３の差Δ３を、それぞれ算出する。
【００７０】
ステップＳ２５において、制御装置２２Ｂは、ステップＳ２３で撮像した指標５２Ｂが撮像座標系ＣＣＢにおいて指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３Ａに配置されているか否を判定する。具体的には、制御装置２２Ｂは、第１の差Δ１、第２の差Δ２、及び第３の差Δ３が、予め定められた閾値Δｔｈ以下（すなわち、Δ１≦Δｔｈ、Δ２≦Δｔｈ、且つ、Δ３≦Δｔｈ）であるか否かを判定する。制御装置２２Ｂは、差Δ１、Δ２及びΔ３が閾値Δｔｈ以下である場合に、指標５２Ｂが指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３Ａに配置されている（すなわち、ＹＥＳ）と判定し、ロボット２４Ｂを保持したまま、ステップＳ２７へ進む。
【００７１】
一方、制御装置２２Ｂは、差Δ１、Δ２又はΔ３が閾値Δｔｈよりも大きい（すなわち、Δ１＞Δｔｈ、Δ２＞Δｔｈ、又は、Δ３＞Δｔｈ）場合に、指標５２Ｂが指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３Ａに配置されていない（すなわち、ＮＯ）と判定し、ステップＳ２６へ進む。
【００７２】
ステップＳ２６において、制御装置２２Ｂは、指標５２Ｂが指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３Ａに配置されるロボット２４Ｂの位置を検索する。このステップＳ２６について、図８を参照して説明する。なお、図８に示すフローにおいて、図７と同様のプロセスには同じステップ番号を付し、詳細な説明を省略する。
【００７３】
ステップＳ３１において、制御装置２２Ｂは、指標物体５０Ｂとカメラ２６Ｂとの相対位置を変位させる。具体的には、制御装置２２Ｂは、ロボット２４Ｂを動作させて、指標物体５０Ｂを、ロボット座標系ＣＲＢにおいて、所定の方向へ所定の移動量だけ、移動させる。このときに指標物体５０Ｂを移動させる方向は、例えば、ロボット座標系ＣＲＢのｘ軸（すなわち、光軸Ｏ）、ｙ軸、及びｚ軸の方向と、該ｘ軸、該ｙ軸、及び該ｚ軸の周りの方向とを含む。このときの移動方向及び移動量は、オペレータによって予め定められる。
【００７４】
ステップＳ３１の後、制御装置２２Ｂは、上述のステップＳ２３〜Ｓ２５を順次実行する。制御装置２２Ｂは、図８中のステップＳ２５でＹＥＳと判定した場合、ロボット２４Ｂを保持したまま、図７中のステップＳ２７へ進む。一方、制御装置２２Ｂは、図８中のステップＳ２５でＮＯと判定した場合、ステップＳ３１へ戻る。
【００７５】
このように、制御装置２２Ｂは、図８中のステップＳ２５でＹＥＳと判定するまで、ステップＳ３１、Ｓ２３〜Ｓ２５を繰り返し実行する。なお、ステップＳ３１を実行した後ステップＳ２５でＮＯと判定した場合、制御装置２２Ｂは、該ステップＳ３１で移動した指標物体５０Ｂの位置を該ステップＳ３１の実行前の位置に戻してもよい。
【００７６】
また、制御装置２２Ｂは、ステップＳ３１を実行する毎に、指標物体５０Ｂの移動方向を、予め定められた順番に従って変化させてもよい。この順番は、例えば、ロボット座標系ＣＲＢのｘ軸プラス方向→ｘ軸マイナス方向→ｙ軸プラス方向→ｙ軸マイナス方向→ｚ軸プラス方向→ｚ軸マイナス方向→ｘ軸周り方向→ｙ軸周り方向→ｚ軸周り方向の順番として定められてもよい。こうして、制御装置２２Ｂは、指標５２Ｂが指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３Ａに配置されるロボット２４Ｂの位置を検索する。
【００７７】
次に、図９を参照して、ステップＳ２６の他の例について説明する。ステップＳ４１において、制御装置２２Ｂは、ステップＳ２３で撮像した指標５２Ｂの撮像データと指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａの座標データとのずれ量（差Δ１、Δ２、Δ３）を、ロボット座標系ＣＲＢへ変換する。ここで、上記したように、撮像座標系ＣＣＢの座標は、ロボット座標系ＣＲＢの座標へ変換できる。
【００７８】
制御装置２２Ｂは、上述のステップＳ２４で取得した検出点Ｄ１Ｂ、Ｄ２Ｂ、及びＤ３Ｂの撮像座標系ＣＣＢの座標を、それぞれ、ロボット座標系ＣＲＢの座標Ｃ１Ｂ、Ｃ２Ｂ、及びＣ３Ｂに変換する。また、制御装置２２Ｂは、上述のステップＳ２１で受け付けた指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａの撮像座標系ＣＣＡの座標（すなわち、撮像座標系ＣＣＢの座標）を、それぞれ、ロボット座標系ＣＲＢの座標Ｃ１Ａ、Ｃ２Ａ、及びＣ３Ａに変換する。
【００７９】
そして、制御装置２２Ｂは、ロボット座標系ＣＲＢにおける座標Ｃ１ＢとＣ１Ａとの第１の差Δ１＿Ｒ、座標Ｃ２ＢとＣ２Ａとの第２の差Δ２＿Ｒ、及び、座標Ｃ３ＢとＣ３Ａとの第３の差Δ３＿Ｒをそれぞれ算出する。こうして、制御装置２２Ｂは、撮像座標系ＣＣＢの差Δ１、Δ２、Δ３を、ロボット座標系ＲＣＢの差Δ１＿Ｒ、Δ２＿Ｒ、Δ３＿Ｒへ変換することができる。
【００８０】
ステップＳ４２において、制御装置２２Ｂは、ステップＳ４１で取得したロボット座標系ＲＣＢの差Δ１＿Ｒ、Δ２＿Ｒ、Δ３＿Ｒがゼロとなるように、ロボット２４Ｂを動作させる。具体的には、制御装置２２Ｂは、ステップＳ４１で取得した差Δ１＿Ｒ、Δ２＿Ｒ、及びΔ３＿Ｒに基づいて、これら差Δ１＿Ｒ、Δ２＿Ｒ、及びΔ３＿Ｒをゼロとするために指標物体５０Ｂ（つまり、ロボットハンド３８）を配置すべきロボット座標系ＲＣＢの位置を決定する。
【００８１】
そして、制御装置２２Ｂは、決定した位置に指標物体５０Ｂを配置させるための各サーボモータ４８への指令を生成し、各サーボモータ４８へ送信する。こうして、制御装置２２Ｂは、差Δ１＿Ｒ、Δ２＿Ｒ、及びΔ３＿Ｒがゼロとなる位置に指標物体５０Ｂを配置することができる。
【００８２】
差Δ１＿Ｒ、Δ２＿Ｒ、及びΔ３＿Ｒがゼロとなる位置に指標物体５０Ｂを配置した場合、この時点でカメラ２６Ｂが撮像する指標５２Ｂは、指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３Ａに配置されるものと見做すことができる。制御装置２２Ｂは、このステップＳ４２の終了後、ロボット２４Ｂを保持したまま、図７中のステップＳ２７へ進む。
【００８３】
再度、図７を参照して、ステップＳ２７において、制御装置２２Ｂは、ロボット２４Ｂの位置を取得する。例えば、制御装置２２Ｂは、ロボット２４Ｂの位置として、各サーボモータ４８の回転角度を取得する。このときに取得するロボット２４Ｂの位置は、図７中のステップＳ２５でＹＥＳと判定した時点、図８中のステップＳ２５でＹＥＳと判定した時点、又は、図９中のステップＳ４２の終了時点でのロボット２４Ｂの位置である。
【００８４】
ステップＳ２８において、制御装置２２Ｂは、第２の検査位置を調整する。上述したように、物体検査装置２０Ｂにおいて検査対象物体６０の表面検査を行うとき、検査対象物体６０とカメラ２６Ｂとは、ロボット２４Ｂによって、第２の検査位置に位置決めされる。制御装置２２Ｂは、第２の検査位置に対応するロボット２４Ｂの位置を予めメモリに記憶している。
【００８５】
このステップＳ２８において、制御装置２２Ｂは、ステップＳ２７で取得したロボット２４Ｂの位置を用いて、予め設定されていた第２の検査位置を調整する。具体的には、制御装置２２Ｂは、制御装置２２Ａから、上述のパラメータＰを取得する。
【００８６】
そして、制御装置２２Ｂは、ステップＳ２７で取得したロボット２４Ｂの位置とパラメータＰとを用いて、ステップＳ２８の開始時点で設定されていた第２の検査位置を、ステップＳ２７で取得した位置をパラメータＰによってシフトさせた位置へと調整する。この調整後の第２の検査位置においては、ロボット２４Ｂは、ステップＳ２７で取得した位置から、さらに、該ロボット２４Ｂの手先位置をロボット座標系ＣＲＢにおいてパラメータＰによってシフトさせた位置に、配置されることになる。
【００８７】
本実施形態においては、上述したように、ロボット２４Ａに対するロボット座標系ＣＲＡの位置関係と、ロボット２４Ｂに対するロボット座標系ＣＲＢの位置関係とが互いに同じとなっている。この場合、制御装置２２Ｂは、第２の検査位置を調整するときに、制御装置２２Ａから取得したパラメータＰを用いて、ステップＳ２７で取得した位置をロボット座標系ＣＲＢにおいてシフトすることができる。
【００８８】
他の例として、ロボット２４Ａ及び２４Ｂに対して共通のロボット座標系を設定することができる。この場合、上述のパラメータＰは、該共通のロボット座標系の値として取得される。そして、制御装置２２Ｂは、このステップＳ２８で第２の検査位置を調整するときに、ステップＳ２７で取得した位置を、該共通のロボット座標系においてパラメータＰによってシフトする。
【００８９】
さらに他の例として、ロボット２４Ａに対するロボット座標系ＣＲＡの位置関係と、ロボット２４Ｂに対するロボット座標系ＣＲＢの位置関係とが互いに異なるように、ロボット座標系ＣＲＡ及びＣＲＢを設定することができる。この場合、ロボット２４Ａに対するロボット座標系ＣＲＡの位置関係と、ロボット２４Ｂに対するロボット座標系ＣＲＢの位置関係との差βを予め既知とする。
【００９０】
そして、制御装置２２Ｂは、このステップＳ２８で第２の検査位置を調整するときに、ロボット座標系ＣＲＡの値として取得したパラメータＰを、差βを用いて、ロボット座標系ＣＲＢのパラメータＰ’に変換し、ステップＳ２７で取得した位置を該パラメータＰ’によってシフトする。
【００９１】
図７のフローを終了した後、物体検査装置２０Ｂにおいて、図１０に示すフローが実行される。図１０に示すフローは、物体検査装置２０Ｂの制御装置２２Ｂが、上位コントローラ、オペレータ、又はコンピュータプログラムから表面検査指令を受け付けたときに開始する。
【００９２】
ステップＳ５１において、制御装置２２Ｂは、物体検査装置２０Ａの制御装置２２Ａから検査用パラメータを取得する。例えば、制御装置２２Ｂは、制御装置２２Ａと通信し、該制御装置２２Ａから、上述のステップＳ１３で設定した検査用パラメータをダウンロードする。又は、オペレータが、ＥＥＰＲＯＭ等の携帯メモリを用いて、制御装置２２Ａから制御装置２２Ｂへ、検査用パラメータを手動でダウンロードしてもよい。
【００９３】
ステップＳ５２において、制御装置２２Ｂは、上述のステップＳ２８で調整した第２の検査位置に、検査対象物体６０とカメラ２６Ｂとを位置決めする。具体的には、制御装置２２Ｂは、ロボット２４Ｂを動作させて、予め定められた保管場所に保管された検査対象物体６０をロボットハンド３８によって、上述のステップＳ１１及びＳ１４でロボット２４Ａが検査対象物体６０を把持する検査把持位置と同じ位置で、把持する。
【００９４】
次いで、制御装置２２Ｂは、検査対象物体６０を把持したロボット２４Ｂを、ステップＳ２８で調整した第２の検査位置に配置する。その結果、この時点でロボット２４Ｂが把持する検査対象物体６０とカメラ２６Ｂとの相対位置と、上述のステップＳ１１及びＳ１４でロボット２４Ａが把持する検査対象物体６０とカメラ２６Ａとの相対位置とを、一致させることができる。
【００９５】
ステップＳ５３において、制御装置２２Ｂは、ロボット２４Ｂが把持する検査対象物体６０をカメラ２６Ｂに撮像させる。このときカメラ２６Ｂが撮像した検査対象物体６０の画像上の位置は、上述のステップＳ１４でカメラ２６Ａが撮像した画像６２（図１３）上の検査対象物体６０の位置に位置合わせされることになる。換言すれば、このステップＳ５３でカメラ２６Ｂが撮像する画像は、画像６２と実質同じとなる。
【００９６】
ステップＳ５４において、制御装置２２Ｂは、検査対象物体６０の表面検査を行う。具体的には、制御装置２２Ｂは、ステップＳ５１で取得した検査用パラメータと、ステップＳ５３で撮像した検査対象物体６０の画像データとを用いて、検査対象物体６０の表面検査（例えば、傷痕等の欠陥の有無の検査）を行う。
【００９７】
以上のように、本実施形態によれば、物体検査装置２０Ａにおいて表面検査のためにカメラ２６Ａが撮像する検査対象物体６０の画像上の位置と、物体検査装置２０Ｂにおいて表面検査のために撮像する検査対象物体６０の画像上の位置とを位置合わせできる。この構成によれば、複数の物体検査装置２０Ａ及び２０Ｂの間で、検査用パラメータを共有することができる。また、複数の物体検査装置２０Ａ及び２０Ｂにおいて撮像した画像データを、複数の物体検査装置２０Ａ及び２０Ｂの間で共有し、例えば、機械学習に用いることができる。
【００９８】
また、制御装置２２Ｂは、ステップＳ２５でＮＯと判定した場合に、ステップＳ２６において、図８中のステップＳ３１、Ｓ２３〜Ｓ２５を繰り返し実行することで、指標５２Ｂが指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３Ａに配置されるロボット２４Ｂの位置を検索している。この構成によれば、指標５２Ｂが指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３Ａに配置されるロボット２４Ｂの位置を、自動的に検索できる。
【００９９】
代替的には、制御装置２２Ｂは、図７中のステップＳ２５でＮＯと判定した場合に、図９に示すステップＳ４１及びＳ４２を実行することで、指標５２Ｂが指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３Ａに配置されるロボット２４Ｂの位置を検索している。この構成によれば、制御装置２２Ｂは、ステップＳ２４で求めた撮像座標系ＣＣＢのずれ量（差Δ１、Δ２、Δ３）から、ロボット座標系ＣＲＢにおいて指標物体５０Ｂを配置すべき位置を決定できる。このため、指標５２Ｂが指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３Ａに配置されるロボット２４Ｂの位置を、自動的且つ迅速に検索できる。
【０１００】
また、本実施形態においては、制御装置２２Ｂは、ステップＳ２５において、ずれ量Δ１、Δ２、Δ３を所定の閾値Δｔｈと比較し、ずれ量が閾値よりも小さいときにＹＥＳと判定している。この構成によれば、指標５２Ｂが指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３Ａに配置されているか否かを、自動的且つ比較的簡単なアルゴリズムで判定することができる。
【０１０１】
なお、上述の実施形態においては、第１の相対位置が、第１の検査位置と異なり、また、第２の相対位置が、ステップＳ２８の調整前の第２の検査位置と異なっている場合について述べた。しかしながら、第１の相対位置と第１の検査位置、及び、第２の相対位置と調整前の第２の検査位置とは、同じ位置関係であってもよい。
【０１０２】
この場合、制御装置２２Ａは、ステップＳ１において、ロボット２４Ａに、検査対象物体６０の代わりに指標物体５０Ａを把持させて、該指標物体５０Ａとカメラ２６Ａとを第１の検査位置に予備的に位置決めする。また、ステップＳ２２において、制御装置２２Ｂは、検査対象物体６０の代わりに指標物体５０Ｂを把持させて、該指標物体５０Ｂとカメラ２６Ｂとを第２の検査位置に予備的に位置決めする。
【０１０３】
この構成によれば、ステップＳ２７で取得したロボット２４Ｂの位置を第２の検査位置とすることができる。したがって、ステップＳ２８において、ステップＳ２７で取得したロボット２４Ｂの位置をパラメータＰによってシフトさせる演算処理を不要にすることができる。
【０１０４】
また、上述の実施形態において、制御装置２２Ｂは、上述のステップＳ５４において、表面検査のためにカメラ２６Ｂが撮像した検査対象物体６０の画像データに基づいて、ステップＳ５１で取得した検査用パラメータを調整することによって、新たな検査用パラメータを設定してもよい。
【０１０５】
例えば、オペレータは、制御装置２２Ｂに設けられた入力部（キーボード、マウス、タッチパネル等）を操作し、ステップＳ５４で撮像した画像に基づいて、ステップＳ５１で取得した検査用パラメータの諸条件を再設定する。こうして、制御装置２２Ｂは、新たな検査用パラメータを取得し、メモリに記憶する。そして、制御装置２２Ａは、新たな検査用パラメータを制御装置２２Ｂからダウンロードして更新し、該新たな検査用パラメータを用いて、検査対象物体６０の表面検査を行ってもよい。
【０１０６】
また、上述の実施形態においては、図１１に示す画像５４中のドットＤ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａの各々の領域内の１つの点（中心点）を指標参照点とする場合について述べた。しかしながら、これに限らず、ドットＤ１Ａ、Ｄ２Ａ、及びＤ３Ａの各々の領域内において複数の点を指標参照点として設定してもよい。
【０１０７】
この場合、ステップＳ２３で撮像した画像データ（画像７０、７２、又は７４）中のドットＤ１Ｂ、Ｄ２Ｂ、及びＤ３Ｂの各々の領域内において、複数の指標参照点に対応する複数の点を検出点として取得する。そして、ステップＳ２４において、制御装置２２Ｂは、ドット領域に対して互いに同じ位置関係にある指標参照点と検出点とのずれ量を、それぞれ算出する。
【０１０８】
また、図７に示すフローから、ステップＳ２４〜Ｓ２６を省略することもできる。例えば、制御装置２２Ｂは、図７中のステップＳ２３でカメラ２６Ｂが撮像した画像７０、７２、又は７４を、制御装置２２Ｂに設けられた表示部（図示せず）に表示する。また、制御装置２２Ｂは、表示部に表示した画像７０、７２、又は７４に、指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３Ａ（又は、ドットＤ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３Ａ）を重ねて表示させる。
【０１０９】
オペレータは、例えば教示ペンダントを操作してロボット２４Ｂをジョグし、該ロボット２４Ｂの手先を、ロボット座標系ＣＲＢのｘ軸（光軸Ｏ）、ｙ軸、若しくはｚ軸の方向、又は、ｘ軸、ｙ軸、若しくはｚ軸周りの方向へ、手動で移動させる。オペレータは、表示部に表示された画像７０、７２、又は７４中の指標５２Ｂ（ドットＤ１Ｂ、Ｄ２Ｂ、Ｄ３Ｂ）が指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３Ａ（又は、ドットＤ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３Ａ）に配置されたか否か、目視により判断する。
【０１１０】
そして、オペレータは、指標５２Ｂが指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３Ａに配置されたと判断したときに、制御装置２２Ｂに指令を送り、ステップＳ２７及びＳ２８を実行させる。このように、オペレータは、手動で、指標５２Ｂが指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３Ａに配置されるロボット２４Ｂの位置を検索することもできる。
【０１１１】
また、図８に示すフローにおいて、ステップＳ３１をオペレータが手動で行うことができる。具体的には、ステップＳ３１において、オペレータは、制御装置２２Ｂの表示部に表示された画像７０、７２、又は７４を目視しつつ、教示ペンダント等を操作して、ロボット２４Ｂの手先を手動で移動させる。オペレータの操作が終了した後、制御装置２２Ｂは、ステップＳ２３〜Ｓ２５を実行する。
【０１１２】
この場合において、図８中のステップＳ２５でＮＯと判定した場合、制御装置２２Ｂは、指標５２Ｂが指標参照点Ｄ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３Ａに配置されていない旨をオペレータに報知するための警告を出力してもよい。例えば、この警告は、「指標が指標参照点に配置されていません」という音声又は画像の形式で、生成され得る。
【０１１３】
また、図９に示すステップＳ２６において、制御装置２２Ｂは、ステップＳ４２の後に、上述のステップＳ２３〜Ｓ２５をさらに実行してもよい。この場合において、制御装置２２Ｂは、ステップＳ４２の後に実行したステップＳ２５でＹＥＳと判定した場合は、図７中のステップＳ２７へ進む一方、ＮＯと判定した場合は、ステップＳ４１に戻る。
【０１１４】
また、上述の実施形態においては、カメラ２６Ａが検査対象物体６０の全体を撮像可能である場合について述べた。しかしながら、これに限らず、検査対象物体６０の表面６０ａをｎ個（ｎは、２以上の整数）の区域に分け、カメラ２６Ａと検査対象物体６０とが第ｎの検査位置に配置されたときに、カメラ２６Ａが検査対象物体６０の表面６０ａの第ｎの区域を撮像するように構成されてもよい。この場合、制御装置２２Ａは、ステップＳ１４で検査対象物体６０の表面検査を実行するとき、カメラ２６Ａと検査対象物体６０とを第ｎの検査位置に配置し、カメラ２６Ａで第ｎの区域を撮像する動作を、ｎ＝１〜ｎについて、繰り返し実行する。
【０１１５】
同様に、物体検査装置２０Ｂにおいて、検査対象物体６０の表面６０ａをｎ個（ｎは、２以上の整数）の区域に分け、制御装置２２Ｂは、ステップＳ５４で検査対象物体６０の表面検査を実行するとき、カメラ２６Ｂと検査対象物体６０とを第ｎの検査位置に配置し、カメラ２６Ｂで第ｎの区域を撮像する動作を、ｎ＝１〜ｎについて繰り返し実行してもよい。
【０１１６】
また、図５中のステップＳ２で、実機のカメラ２６Ａに指標５２Ａを撮像させる代わりに、制御装置２２Ａは、例えばシミュレーションによって、カメラ２６Ａをモデル化したカメラモデルで、指標５２Ａをモデル化した指標モデルを仮想空間内で模擬的に撮像した仮想撮像データを生成し、該仮想撮像データを指標参照点の座標データとして記憶してもよい。この場合、制御装置２２Ｂは、制御装置２２Ａが生成した仮想撮像データから得られた指標参照点の座標データに基づいて、上述のステップＳ２４及びＳ２５を実行する。
【０１１７】
また、上述の実施形態においては、指標５２Ａ、５２Ｂが、３個のドットＤ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ３ＡＤ１Ｂ、Ｄ２Ｂ、Ｄ３Ｂである場合について述べた。しかしながら、これに限らず、指標は、５２Ａ、５２Ｂは、４個以上のドットを有してもよい。このような実施形態を図１７に示す。
【０１１８】
図１７に示す指標物体９０Ａ及び９０Ｂは、指標９２Ａ及び９２Ｂをそれぞれ有し、指標９２Ａ及び９２Ｂの各々は、正方格子状に配設された計１２０個のドットＤを含む。この指標物体９０Ａ及び９０Ｂは、それぞれ、上述の指標物体５０Ａ及び５０Ｂの代わりに適用できる。この場合において、制御装置２２Ａは、上述のステップＳ３において、ステップＳ２で撮像した指標物体９０ＡのドットＤｎＡ（ｎ＝１〜１２０）の各々の領域内の所定の点（中心点）を、それぞれ指標参照点ＤｎＡとしてもよい。
【０１１９】
また、制御装置２２Ｂは、上述のステップＳ２４において、ステップＳ２３で撮像した指標物体９０ＢのドットＤｎＢ（ｎ＝１〜１２０）の各々の領域内の所定の点（中心点）をそれぞれ検出点とし、指標参照点ＤｎＡの座標と検出点ＤｎＢの座標との第ｎの差Δｎを、それぞれ算出してもよい。ここで、指標物体９０ＡにおけるドットＤｎＡ（指標参照点ＤｎＡ）の位置と、指標物体９０ＢにおけるドットＤｎＢ（検査点ＤｎＢ）の位置は、同じである。
【０１２０】
また、指標５２Ａ、５２Ｂは、例えば、物体の角、物体に形成された孔、又は、エッジ等、視覚的な特徴点として検出可能であれば、如何なるものであってもよい。例えば、制御装置２２Ａは、上述のステップＳ３において、カメラ２６Ａ、２６Ｂが撮像した撮像データにおける物体の角、又は孔の中心点を指標参照点とし、該指標参照点の撮像座標系ＣＣＡの座標を算出してもよい。また、指標５２Ａ，５２Ｂを有する指標物体５０Ａ，５０Ｂは、図示したものに限らず、如何なる外形を有していてもよい。
【０１２１】
また、ロボット２４Ａが指標物体５０Ａを指標把持位置で把持したときのロボット手先に対する指標５２Ａの位置と、ロボット２４Ｂが指標物体５０Ｂを指標把持位置で把持したときのロボット手先に対する指標５２Ｂの位置とが同じであれば、指標物体５０Ａ及び５０Ｂは、互いに異なる外形を有してもよい。また、指標物体５０Ａ又は５０Ｂは、検査対象物体６０と同じ外形を有してもよいし、又は、異なる外形を有してもよい。
【０１２２】
また、上述の物体検査装置２０Ａ又は２０Ｂから、照明装置２８Ａ又は２８Ｂを省略し、例えば自然光によって物体５０Ａ、５０Ｂ、又は６０を照らしてもよい。また、上述の実施形態においては、ロボット２４Ａ及び２４Ｂが垂直多関節ロボットである場合について述べたが、これに限らず、水平多関節ロボット、パラレルリンクロボット、又は、ローダ等、如何なるタイプのロボットであってもよい。また、物体検査システム１０は、物体検査装置２０Ａ及び２０Ｂに加えて、さらなる物体検査装置を備えてもよい。この場合、該さらなる物体検査装置の制御装置は、物体検査装置２０Ｂと同様に、図７〜図１０に示すフローを実行する。
【０１２３】
また、上述の実施形態においては、カメラ２６Ａ及び２６Ｂが所定位置に固定され、ロボット２４Ａ及び２４Ｂによって指標物体５０Ａ及び５０Ｂ、並びに検査対象物体６０を移動させる場合について述べた。しかしながら、これに限らず、指標物体５０Ａ及び５０Ｂ、並びに検査対象物体６０を所定位置に固定して、ロボット２４Ａ及び２４Ｂによってカメラ２６Ａ及び２６Ｂを移動させてもよい。
【０１２４】
このような実施形態を、図１８に示す。図１８に示す物体検査装置２０Ａ’においては、カメラ２６Ａは、ロボット２４Ａの手首部３６に固定されている。その一方で、指標物体５０Ａ、及び検査対象物体６０は、保持部８０に固定され、ロボット座標系ＣＲＡにおける予め定められた位置に、ロボット２４Ａから離隔して配置される。ロボット座標系ＣＲＡにおける物体５０Ａ、６０の固定位置の情報は、制御装置２２Ａのメモリに予め記憶される。
【０１２５】
ロボット２４Ａの手先（ＴＣＰ）に対するカメラ座標系ＣＣＡの位置は、既知である。したがって、ロボット２４Ａの手先を任意の位置に配置したときのカメラ座標系ＣＣＡの座標と、ロボット座標系ＣＣＡとの座標は、変換行列（例えばヤコビ行列）を介して、相互に変換できる。
【０１２６】
同様に、物体検査装置２０Ｂ’においては、カメラ２６Ｂは、ロボット２４Ｂの手首部３６に固定されている一方、指標物体５０Ｂ、及び検査対象物体６０は、保持部８０に固定され、ロボット座標系ＣＲＢにおける物体５０Ｂ、６０の固定位置の情報は、制御装置２２Ｂのメモリに予め記憶される。
【０１２７】
また、ロボット２４Ｂの手先（ＴＣＰ）に対するカメラ座標系ＣＣＢの位置は、既知であるので、ロボット２４Ｂの手先を任意の位置に配置したときのカメラ座標系ＣＣＢの座標と、ロボット座標系ＣＣＢとの座標は、変換行列（例えばヤコビ行列）を介して、相互に変換できる。
【０１２８】
物体検査装置２０Ａ’において図５及び図６を実行する場合、制御装置２２Ａは、上述のステップＳ１及びＳ１１において、ロボット２４Ａを動作させて、カメラ２６Ａを物体５０Ａ又は６０に対して移動させる。また、物体検査装置２０Ｂ’において、図７〜図１０を実行する場合、制御装置２２Ｂは、上述のステップＳ２２、Ｓ３１、Ｓ４２、及びＳ５２において、ロボット２４Ｂを動作させて、カメラ２６Ｂを物体５０Ａ又は６０に対して移動させる。物体検査装置２０Ａ’及び２０Ｂ’においても、図５〜図１０に示すフローを実行することによって、検査用パラメータ及び撮像した画像データを共有することができる。
【０１２９】
以上、実施形態を通じて本開示を説明したが、上述の実施形態は、特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。
【符号の説明】
【０１３０】
１０    物体検査システム
２０Ａ，２０Ｂ，２０Ａ’，２０Ｂ’    物体検査装置
２２Ａ，２２Ｂ    制御装置
２４Ａ，２４Ｂ    ロボット
２６Ａ，２６Ｂ    カメラ
５０Ａ，５０Ｂ、９０Ａ，９０Ｂ    指標物体
５２Ａ，５２Ｂ，９２Ａ，９２Ｂ    指標
【図１】
2020012669.tif 000003
【図２】
2020012669.tif 000004
【図３】
2020012669.tif 000005
【図４】
2020012669.tif 000006
【図５】
2020012669.tif 000007
【図６】
2020012669.tif 000008
【図７】
2020012669.tif 000009
【図８】
2020012669.tif 000010
【図９】
2020012669.tif 000011
【図１０】
2020012669.tif 000012
【図１１】
2020012669.tif 000013
【図１２】
2020012669.tif 000014
【図１３】
2020012669.tif 000015
【図１４】
2020012669.tif 000016
【図１５】
2020012669.tif 000017
【図１６】
2020012669.tif 000018
【図１７】
2020012669.tif 000019
【図１８】
2020012669.tif 000020