(57)【要約】【課題】基板の生産効率を低下させることなく高い精度で基板の検査を行うことが可能な基板処理装置を提供する。【解決手段】基板処理装置１００においては、処理ユニットにより複数の基板が順次処理される。処理ユニットによる基板の処理中に検査ユニット１３０は、パイロットモードおよび検査モードで動作する。検査ユニット１３０がパイロットモードにある状態で、パイロットデータ取得部９５が、処理ユニットにより処理される複数の基板を撮像することにより得られる複数の撮像情報に基づいて検査条件を決定するためのデータをパイロットデータとして取得する。レシピ生成装置２００は、取得されたパイロットデータに基づいて検査レシピを生成する。検査ユニット１３０が検査モードにある状態で、処理ユニットにより処理される複数の基板の画像データと検査レシピとに基づいて基板の検査が行われる。【選択図】図４
2020012665.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を順次処理する処理ユニットと、
前記処理ユニットによる基板の処理中にパイロットモードおよび検査モードで動作可能に構成された検査ユニットと、
前記検査ユニットの動作モードを切り替える切替装置と、
基板の検査条件を示す検査レシピを生成する検査レシピ生成装置とを備え、
前記検査ユニットは、
前記パイロットモードにおいて、前記処理ユニットにより処理される複数の基板を撮像することにより得られる複数の撮像情報に基づいて検査条件を決定するためのデータをパイロットデータとして取得するパイロットデータ取得部と、
前記検査モードにおいて、前記処理ユニットにより処理される複数の基板を撮像することにより複数の画像データを取得する画像データ取得部と、
前記検査モードにおいて、前記画像データ取得部により取得された各画像データと前記検査レシピ生成装置により生成された前記検査レシピとに基づいて各基板の検査を行う検査部とを含み、
前記検査レシピ生成装置は、前記パイロットデータ取得部により取得されたパイロットデータに基づいて前記検査レシピを生成する、基板処理装置。
【請求項２】
前記検査レシピ生成装置は、
前記パイロットデータ取得部により取得されたパイロットデータを蓄積するパイロットデータ蓄積部と、
予め定められた抽出条件に基づいて、前記パイロットデータ蓄積部に蓄積されたパイロットデータのうち少なくとも一部のパイロットデータを抽出するパイロットデータ抽出部と、
予め定められた代表生成条件に基づいて、前記パイロットデータ抽出部により抽出されたパイロットデータを代表する代表データを生成する代表データ生成部と、
前記生成された代表データに基づいて前記検査レシピを生成するレシピ生成部とを含む、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記検査レシピ生成装置は、予め定められた蓄積条件に基づいて、前記パイロットデータ蓄積部へのパイロットデータの蓄積が開始された後、当該蓄積を終了すべきか否かを判定する終了判定部をさらに含み、
前記レシピ生成部は、前記終了判定部による前記蓄積を終了すべきという判定に応答して、前記パイロットデータの蓄積が開始されてから終了されるまでの間に蓄積されたパイロットデータに基づいて前記検査レシピを生成し、
前記切替装置は、前記終了判定部による前記蓄積を終了すべきという判定に応答して、前記検査ユニットの動作モードを前記パイロットモードから前記検査モードに切り替える、請求項２記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記検査レシピは、前記処理ユニットにより処理される複数の基板の画像に対して基準となる画像を示す基準画像データを含み、
前記パイロットデータ取得部は、前記パイロットモードにおいて、前記複数の撮像情報に基づいて前記処理ユニットにより処理される複数の基板の画像データを前記パイロットデータとして取得し、
前記検査レシピ生成装置は、前記パイロットモードにおいて、前記パイロットデータ取得部により取得されたパイロットデータに基づいて前記基準画像データを生成し、
前記検査部は、前記検査モードにおいて、前記画像データ取得部により取得された各画像データと前記検査レシピ生成装置により生成された前記基準画像データとに基づいて基板の検査を行う、請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記検査レシピは、前記処理ユニットにより処理される複数の基板について欠陥の有無を判定するための判定条件を示す判定情報を含み、
前記パイロットデータ取得部は、前記パイロットモードにおいて、前記複数の撮像情報に基づいて前記判定条件を決定するためのデータを前記パイロットデータとして取得し、
前記検査レシピ生成装置は、前記パイロットモードにおいて、前記パイロットデータ取得部により取得されたパイロットデータに基づいて前記判定情報を生成し、
前記検査部は、前記検査モードにおいて、前記画像データ取得部により取得された各画像データと前記検査レシピ生成装置により生成された前記判定情報とに基づいて基板上の欠陥の有無を判定する、請求項１〜４のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記検査レシピは、前記画像データ取得部による複数の基板の撮像条件に関する設定情報を含み、
前記パイロットデータ取得部は、前記パイロットモードにおいて、前記複数の撮像情報に基づいて前記撮像条件を決定するためのデータを前記パイロットデータとして取得し、
前記検査レシピ生成装置は、前記パイロットモードにおいて、前記パイロットデータ取得部により取得されたパイロットデータに基づいて前記設定情報を生成し、
前記画像データ取得部は、前記検査モードにおいて、前記検査レシピ生成装置により生成された前記設定情報に基づいて複数の基板の撮像条件を設定する、請求項１〜５のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項７】
処理ユニットにより複数の基板を順次処理するステップと、
前記処理ユニットによる基板の処理中に、前記処理ユニットにより処理される複数の基板を撮像することにより得られる複数の撮像情報に基づいて検査条件を決定するためのデータをパイロットデータとして取得するステップと、
前記処理ユニットによる基板の処理中に、前記取得されたパイロットデータに基づいて基板の検査条件を示す検査レシピを生成するステップと、
前記処理ユニットによる基板の処理中でかつ前記検査レシピの生成後に、前記処理ユニットにより処理される複数の基板を撮像することにより複数の画像データを取得するステップと、
前記処理ユニットによる基板の処理中に、前記取得された各画像データと前記生成された前記検査レシピとに基づいて各基板の検査を行うステップとを含む、基板処理方法。
【請求項８】
前記検査レシピを生成するステップは、
前記取得されたパイロットデータを蓄積するステップと、
予め定められた抽出条件に基づいて、前記蓄積されたパイロットデータのうち少なくとも一部のパイロットデータを抽出するステップと、
予め定められた代表生成条件に基づいて、前記抽出されたパイロットデータを代表する代表データを生成するステップと、
前記生成された代表データに基づいて前記検査レシピを生成するステップとを含む、請求項７記載の基板処理方法。
【請求項９】
予め定められた蓄積条件に基づいて、前記パイロットデータの蓄積が開始された後、当該蓄積を終了すべきか否かを判定するステップをさらに含み、
前記検査レシピを生成するステップは、前記蓄積を終了すべきという判定に応答して、前記パイロットデータの蓄積が開始されてから終了されるまでの間に蓄積されたパイロットデータに基づいて前記検査レシピを生成するステップを含み、
前記基板処理方法は、
前記パイロットデータの取得時における前記蓄積を終了すべきという判定に応答して、前記パイロットデータの取得を終了して前記基板の検査を開始するステップをさらに含む、請求項７または８記載の基板処理方法。
【請求項１０】
前記検査レシピは、前記処理ユニットにより処理される複数の基板の画像に対して基準となる画像を示す基準画像データを含み、
前記パイロットデータを取得するステップは、前記複数の撮像情報に基づいて前記処理ユニットにより処理される複数の基板の画像データを前記パイロットデータとして取得するステップを含み、
前記検査レシピを生成するステップは、前記取得されたパイロットデータに基づいて前記基準画像データを生成するステップを含み、
前記検査を行うステップは、前記取得された各画像データと前記生成された前記基準画像データとに基づいて基板の検査を行うステップを含む、請求項７〜９のいずれか一項に記載の基板処理方法。
【請求項１１】
前記検査レシピは、前記処理ユニットにより処理される複数の基板について欠陥の有無を判定するための判定条件を示す判定情報を含み、
前記パイロットデータを取得するステップは、前記複数の撮像情報に基づいて前記判定条件を決定するためのデータを前記パイロットデータとして取得するステップを含み、
前記検査レシピを生成するステップは、前記取得されたパイロットデータに基づいて前記判定情報を生成するステップを含み、
前記検査を行うステップは、前記取得された各画像データと前記生成された前記判定情報とに基づいて基板上の欠陥の有無を判定するステップを含む、請求項７〜１０のいずれか一項に記載の基板処理方法。
【請求項１２】
前記検査レシピは、前記複数の画像データを取得するステップにおける複数の基板の撮像条件に関する設定情報を含み、
前記パイロットデータを取得するステップは、前記複数の撮像情報に基づいて前記撮像条件を決定するためのデータを前記パイロットデータとして取得するステップを含み、
前記検査レシピを生成するステップは、前記取得されたパイロットデータに基づいて前記設定情報を生成するステップを含み、
前記複数の画像データを取得するステップは、前記生成された前記設定情報に基づいて複数の基板の撮像条件を設定するステップを含む、請求項７〜１１のいずれか一項に記載の基板処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の処理を行うとともに基板の検査を行う基板処理装置および基板処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス、液晶ディスプレイ等の製造工程では、例えば半導体ウェハ、ガラス基板等の基板に対して各種処理が行われる。また、各種処理が行われた基板を検出するために検査装置が用いられる。検査装置は、例えば基板に処理を行う複数の処理ユニットとともに基板処理装置に設けられる。特許文献１に記載された検査装置では、レジスト膜が形成された基板に露光処理および現像処理が順次行われた後、基板の外観検査が行われる。具体的には、検査対象の基板の表面が撮像部によって撮像されることにより表面画像データ（以下、検査画像データと呼ぶ。）が取得される。一方、外観上の欠陥がないサンプル基板が予め用意され、そのサンプル基板の表面画像データ（以下、基準画像データと呼ぶ。）が取得される。検査画像データの各画素の階調値と基準画像データの各画素の階調値との比較に基づいて、検査対象の基板の欠陥が検出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−２０６４５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
基板に対する一連の処理において、例えば一の処理で発生した不良基板に対して後続の処理が行われると、当該後続の処理は無駄になる。そのため、各処理工程においては、当該処理工程で発生した不良基板の少なくとも一部を検出することが望まれる。検出された少なくとも一部の不良基板を基板の生産ラインから回収することにより、不良基板に対する無駄な処理が低減される。
【０００５】
上記の検査装置においては、検査対象となる基板に形成されているダイパターンの種類ごとにサンプル基板を用意し、基準画像データを取得する必要がある。
【０００６】
複数の処理ユニットとともに検査装置を備える基板処理装置においては、一般に、複数の処理ユニットによる処理および検査装置による検査が一連の流れで行われる。そのため、処理対象となる基板の種類が変更されると、当該基板処理装置における基板の処理を一時的に停止させた上で、検査装置において新たな基準画像データを取得しなければならない。この場合、基板の生産効率が低下する。
【０００７】
また、サンプル基板の個体差によっては、適切な基準画像データが得られない場合がある。この場合、検査装置による欠陥の検出精度が低下する。そのため、基準画像データは、例えば多数のサンプル基板の表面画像データを取得した上で、それらの表面画像データに基づいて作成されることが望ましい。しかしながら、多数のサンプル基板の表面画像データを取得するためには、基板処理装置における基板の処理を長時間にわたって停止させる必要がある。その結果、基板の生産効率がさらに低下する。
【０００８】
本発明の目的は、基板の生産効率を低下させることなく高い精度で基板の検査を行うことが可能な基板処理装置および基板処理方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）第１の発明に係る基板処理装置は、複数の基板を順次処理する処理ユニットと、処理ユニットによる基板の処理中にパイロットモードおよび検査モードで動作可能に構成された検査ユニットと、検査ユニットの動作モードを切り替える切替装置と、基板の検査条件を示す検査レシピを生成する検査レシピ生成装置とを備え、検査ユニットは、パイロットモードにおいて、処理ユニットにより処理される複数の基板を撮像することにより得られる複数の撮像情報に基づいて検査条件を決定するためのデータをパイロットデータとして取得するパイロットデータ取得部と、検査モードにおいて、処理ユニットにより処理される複数の基板を撮像することにより複数の画像データを取得する画像データ取得部と、検査モードにおいて、画像データ取得部により取得された各画像データと検査レシピ生成装置により生成された検査レシピとに基づいて各基板の検査を行う検査部とを含み、検査レシピ生成装置は、パイロットデータ取得部により取得されたパイロットデータに基づいて検査レシピを生成する。
【００１０】
その基板処理装置においては、処理ユニットによる基板の処理中に、検査ユニットが例えばパイロットモードで動作する。パイロットモードでは、処理ユニットにより処理される複数の基板が撮像され、撮像により得られる複数の撮像情報に基づいてパイロットデータが取得される。取得されたパイロットデータに基づいて検査レシピが生成される。
【００１１】
その後、検査ユニットの動作モードがパイロットモードから検査モードに切り替えられる。検査モードにおいては、処理ユニットにより処理される複数の基板が撮像され、複数の画像データが取得される。取得された各画像データと生成された検査レシピとに基づいて各基板の検査が行われる。
【００１２】
上記の構成によれば、処理ユニットによる基板の処理中に、検査レシピが作成される。したがって、検査条件を決定するために基板の処理を停止する必要がない。また、上記の構成によれば、検査レシピは、複数の基板の複数の撮像情報に基づいて生成される。それにより、１枚の基板から得られる１つの撮像情報に基づいて生成される検査レシピに比べて、適切な検査レシピを得ることができる。さらに、上記の構成によれば、検査ユニットが検査モードにあるときに処理ユニットにおいて発生した不良基板を検出することができる。したがって、検出された不良基板を回収することにより、不良基板に対する無駄な処理が行われることを低減することができる。これらの結果、基板の生産効率を低下させることなく高い精度で基板の検査を行うことが可能になる。
【００１３】
（２）検査レシピ生成装置は、パイロットデータ取得部により取得されたパイロットデータを蓄積するパイロットデータ蓄積部と、予め定められた抽出条件に基づいて、パイロットデータ蓄積部に蓄積されたパイロットデータのうち少なくとも一部のパイロットデータを抽出するパイロットデータ抽出部と、予め定められた代表生成条件に基づいて、パイロットデータ抽出部により抽出されたパイロットデータを代表する代表データを生成する代表データ生成部と、生成された代表データに基づいて検査レシピを生成するレシピ生成部とを含んでもよい。
【００１４】
この場合、抽出条件に基づいて、蓄積されたパイロットデータのうち検査レシピの生成に不適切なパイロットデータを排除することができる。また、代表生成条件に基づいて、抽出されたパイロットデータから代表データを生成することができる。したがって、代表データに基づいて、より適切な検査レシピを得ることができるので、より高い精度で基板の検査を行うことが可能になる。
【００１５】
（３）検査レシピ生成装置は、予め定められた蓄積条件に基づいて、パイロットデータ蓄積部へのパイロットデータの蓄積が開始された後、当該蓄積を終了すべきか否かを判定する終了判定部をさらに含み、レシピ生成部は、終了判定部による蓄積を終了すべきという判定に応答して、パイロットデータの蓄積が開始されてから終了されるまでの間に蓄積されたパイロットデータに基づいて検査レシピを生成し、切替装置は、終了判定部による蓄積を終了すべきという判定に応答して、検査ユニットの動作モードをパイロットモードから検査モードに切り替えてもよい。
【００１６】
この場合、蓄積条件に基づいて、検査レシピの生成に必要なパイロットデータが蓄積された時点で、蓄積されたパイロットデータに基づいて検査レシピが生成される。また、検査ユニットの動作モードがパイロットモードから検査モードに切り替えられる。それにより、パイロットモードの終了後に、使用者による指令を要することなく、生成された検査レシピに基づく基板の検査が開始される。
【００１７】
（４）検査レシピは、処理ユニットにより処理される複数の基板の画像に対して基準となる画像を示す基準画像データを含み、パイロットデータ取得部は、パイロットモードにおいて、複数の撮像情報に基づいて処理ユニットにより処理される複数の基板の画像データをパイロットデータとして取得し、検査レシピ生成装置は、パイロットモードにおいて、パイロットデータ取得部により取得されたパイロットデータに基づいて基準画像データを生成し、検査部は、検査モードにおいて、画像データ取得部により取得された各画像データと検査レシピ生成装置により生成された基準画像データとに基づいて基板の検査を行ってもよい。
【００１８】
この場合、複数の基板の画像データに基づいて適切な基準画像データが生成される。したがって、検査モードにおいて、高い精度で基板の検査が行われる。
【００１９】
（５）検査レシピは、処理ユニットにより処理される複数の基板について欠陥の有無を判定するための判定条件を示す判定情報を含み、パイロットデータ取得部は、パイロットモードにおいて、複数の撮像情報に基づいて判定条件を決定するためのデータをパイロットデータとして取得し、検査レシピ生成装置は、パイロットモードにおいて、パイロットデータ取得部により取得されたパイロットデータに基づいて判定情報を生成し、検査部は、検査モードにおいて、画像データ取得部により取得された各画像データと検査レシピ生成装置により生成された判定情報とに基づいて基板上の欠陥の有無を判定してもよい。
【００２０】
この場合、複数の基板を撮像することにより得られる複数の撮像情報に基づいて適切な判定情報が生成される。したがって、検査モードにおいて、高い精度で基板上の欠陥の有無が判定される。
【００２１】
（６）検査レシピは、画像データ取得部による複数の基板の撮像条件に関する設定情報を含み、パイロットデータ取得部は、パイロットモードにおいて、複数の撮像情報に基づいて撮像条件を決定するためのデータをパイロットデータとして取得し、検査レシピ生成装置は、パイロットモードにおいて、パイロットデータ取得部により取得されたパイロットデータに基づいて設定情報を生成し、画像データ取得部は、検査モードにおいて、検査レシピ生成装置により生成された設定情報に基づいて複数の基板の撮像条件を設定してもよい。
【００２２】
この場合、複数の基板を撮像することにより得られる複数の撮像情報に基づいて適切な設定情報が生成される。したがって、検査モードにおいて、適切な撮像条件で検査対象となる基板が撮像される。それにより、検査に適切な画像データを取得することが可能になる。
【００２３】
（７）第２の発明に係る基板処理方法は、処理ユニットにより複数の基板を順次処理するステップと、処理ユニットによる基板の処理中に、処理ユニットにより処理される複数の基板を撮像することにより得られる複数の撮像情報に基づいて検査条件を決定するためのデータをパイロットデータとして取得するステップと、処理ユニットによる基板の処理中に、取得されたパイロットデータに基づいて基板の検査条件を示す検査レシピを生成するステップと、処理ユニットによる基板の処理中でかつ検査レシピの生成後に、処理ユニットにより処理される複数の基板を撮像することにより複数の画像データを取得するステップと、処理ユニットによる基板の処理中に、取得された各画像データと生成された検査レシピとに基づいて各基板の検査を行うステップとを含む。
【００２４】
その基板処理方法においては、処理ユニットによる基板の処理中に、処理ユニットにより処理される複数の基板が撮像され、撮像により得られる複数の撮像情報に基づいてパイロットデータが取得される。取得されたパイロットデータに基づいて検査レシピが生成される。
【００２５】
その後、処理ユニットにより処理される複数の基板が撮像され、複数の画像データが取得される。取得された各画像データと生成された検査レシピとに基づいて各基板の検査が行われる。
【００２６】
上記の方法によれば、処理ユニットによる基板の処理中に、検査レシピが作成される。したがって、検査条件を決定するために基板の処理を停止する必要がない。また、上記の方法によれば、検査レシピは、複数の基板の複数の撮像情報に基づいて生成される。それにより、１枚の基板から得られる１つの撮像情報に基づいて生成される検査レシピに比べて、適切な検査レシピを得ることができる。さらに、上記の方法によれば、検査レシピに基づく基板の検査時に、処理ユニットにおいて発生した不良基板を検出することができる。したがって、検出された不良基板を回収することにより、不良基板に対する無駄な処理が行われることを低減することができる。これらの結果、基板の生産効率を低下させることなく高い精度で基板の検査を行うことが可能になる。
【００２７】
（８）検査レシピを生成するステップは、取得されたパイロットデータを蓄積するステップと、予め定められた抽出条件に基づいて、蓄積されたパイロットデータのうち少なくとも一部のパイロットデータを抽出するステップと、予め定められた代表生成条件に基づいて、抽出されたパイロットデータを代表する代表データを生成するステップと、生成された代表データに基づいて検査レシピを生成するステップとを含んでもよい。
【００２８】
この場合、抽出条件に基づいて、蓄積されたパイロットデータのうち検査レシピの生成に不適切なパイロットデータを排除することができる。また、代表生成条件に基づいて、抽出されたパイロットデータから代表データを生成することができる。したがって、代表データに基づいて、より適切な検査レシピを得ることができるので、より高い精度で基板の検査を行うことが可能になる。
【００２９】
（９）基板処理方法は、予め定められた蓄積条件に基づいて、パイロットデータの蓄積が開始された後、当該蓄積を終了すべきか否かを判定するステップをさらに含み、検査レシピを生成するステップは、蓄積を終了すべきという判定に応答して、パイロットデータの蓄積が開始されてから終了されるまでの間に蓄積されたパイロットデータに基づいて検査レシピを生成するステップを含み、基板処理方法は、パイロットデータの取得時における蓄積を終了すべきという判定に応答して、パイロットデータの取得を終了して基板の検査を開始するステップをさらに含んでもよい。
【００３０】
この場合、蓄積条件に基づいて、検査レシピの生成に必要なパイロットデータが蓄積された時点で、蓄積されたパイロットデータに基づいて検査レシピが生成される。また、パイロットデータの蓄積終了後に、使用者による指令を要することなく、生成された検査レシピに基づく基板の検査が開始される。
【００３１】
（１０）検査レシピは、処理ユニットにより処理される複数の基板の画像に対して基準となる画像を示す基準画像データを含み、パイロットデータを取得するステップは、複数の撮像情報に基づいて処理ユニットにより処理される複数の基板の画像データをパイロットデータとして取得するステップを含み、検査レシピを生成するステップは、取得されたパイロットデータに基づいて基準画像データを生成するステップを含み、検査を行うステップは、取得された各画像データと生成された基準画像データとに基づいて基板の検査を行うステップを含んでもよい。
【００３２】
この場合、複数の基板の画像データに基づいて適切な基準画像データが生成される。したがって、高い精度で基板の検査が行われる。
【００３３】
（１１）検査レシピは、処理ユニットにより処理される複数の基板について欠陥の有無を判定するための判定条件を示す判定情報を含み、パイロットデータを取得するステップは、複数の撮像情報に基づいて判定条件を決定するためのデータをパイロットデータとして取得するステップを含み、検査レシピを生成するステップは、取得されたパイロットデータに基づいて判定情報を生成するステップを含み、検査を行うステップは、取得された各画像データと生成された判定情報とに基づいて基板上の欠陥の有無を判定するステップを含んでもよい。
【００３４】
この場合、複数の基板を撮像することにより得られる複数の撮像情報に基づいて適切な判定情報が生成される。したがって、高い精度で基板上の欠陥の有無が判定される。
【００３５】
（１２）検査レシピは、複数の画像データを取得するステップにおける複数の基板の撮像条件に関する設定情報を含み、パイロットデータを取得するステップは、複数の撮像情報に基づいて撮像条件を決定するためのデータをパイロットデータとして取得するステップを含み、検査レシピを生成するステップは、取得されたパイロットデータに基づいて設定情報を生成するステップを含み、複数の画像データを取得するステップは、生成された設定情報に基づいて複数の基板の撮像条件を設定するステップを含んでもよい。
【００３６】
この場合、複数の基板を撮像することにより得られる複数の撮像情報に基づいて適切な設定情報が生成される。したがって、適切な撮像条件で検査対象となる基板が撮像される。それにより、検査に適切な画像データを取得することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施の形態に係る基板処理システムの構成を示すブロック図である。
【図２】図１の検査ユニットの外観斜視図である。
【図３】図１の検査ユニットの内部構成を示す模式的側面図である。
【図４】図１の基板処理システムの機能的な構成を示すブロック図である。
【図５】レシピ生成情報の構成の一例を示す図である。
【図６】図４の制御部において行われるパイロットデータの取得処理を示すフローチャートである。
【図７】図４のレシピ生成装置において行われる検査レシピの生成処理を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、本発明の一実施の形態に係る基板処理装置および基板処理方法について図面を用いて説明する。以下の説明において、基板とは、半導体基板、液晶表示装置もしくは有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置等のＦＰＤ（Flat Panel Display）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板または太陽電池用基板等をいう。
【００３９】
また、以下の説明では、本発明の基板処理装置の一例として、基板処理システムを説明する。本例の基板処理システムにおいては、基板の検査条件を示す検査レシピが生成された上で、所定の処理が施された基板に対して生成された検査レシピに基づく外観検査が行われる。検査対象となる基板は、一面（主面）および他面（裏面）を有し、その一面上には製品となる複数のチップをそれぞれ形成するための複数のパターンが二次元配列される。複数のパターンは、当該基板を露光する露光装置において１ショットで露光することが可能なエリアの大きさに対応して周期的に配列される。以下の説明では、露光装置において１ショットで露光することが可能なエリア内に形成される１または複数のパターンをダイパターンと呼ぶ。ダイパターンは、例えばレジスト膜、反射防止膜、レジストカバー膜等の少なくとも１つの膜により構成される。
【００４０】
［１］基板処理システムの構成
図１は、本発明の一実施の形態に係る基板処理システムの構成を示すブロック図である。図１に示すように、基板処理システム５００は、１または複数（本例では２つ）の基板処理装置１００、レシピ生成装置２００および１または複数（本例では１つ）の管理装置３００を含む。２つの基板処理装置１００、レシピ生成装置２００および管理装置３００は、互いに通信可能にネットワーク５１０に接続されている。
【００４１】
各基板処理装置１００は、制御装置１１０、１または複数の処理ユニット１２０、１または複数の検査ユニット１３０および１または複数の搬送装置（搬送ロボット）１４０を含む。なお、図１では、基板処理装置１００の構成として、１つの処理ユニット１２０、１つの検査ユニット１３０、および１つの搬送装置１４０が示される。
【００４２】
処理ユニット１２０は、基板に対して、処理液の塗布処理、温度調整処理または現像処理等の所定の処理を行う。検査ユニット１３０は、パイロットモードおよび検査モードで動作可能に構成される。
【００４３】
パイロットモードは、検査レシピを生成するための動作モードである。パイロットモードにある検査ユニット１３０は、基板を撮像することにより得られる撮像情報に基づいて検査条件を決定するためのデータをパイロットデータとして取得する。
【００４４】
検査モードは、検査レシピに基づいて処理ユニット１２０による処理後の基板の外観検査を行うための動作モードである。基板の外観検査では、基板の外観上の欠陥の有無が判定される。検査ユニット１３０の構成および動作の詳細は後述する。搬送装置１４０は、処理ユニット１２０と、検査ユニット１３０と、基板処理装置１００の外部装置との間で基板を搬送する。
【００４５】
制御装置１１０は、例えばＣＰＵ（中央演算処理装置）およびメモリ、またはマイクロコンピュータを含み、処理ユニット１２０、検査ユニット１３０および搬送装置１４０の動作を制御する。また、制御装置１１０は、後述する管理装置３００から与えられる指令を検査ユニット１３０の制御部９０（図２）に与える。この指令には、検査ユニット１３０の動作モードの切り替え指令が含まれる。
【００４６】
レシピ生成装置２００は、例えばサーバであり、ＣＰＵおよびメモリ、またはマイクロコンピュータを含む。レシピ生成装置２００は、パイロットモードにある検査ユニット１３０により取得されたパイロットデータを蓄積する。また、レシピ生成装置２００は、蓄積されたパイロットデータと後述するレシピ生成情報とに基づいて検査レシピを生成し、生成された検査レシピをパイロットデータを取得した検査ユニット１３０に与える。レシピ生成装置２００の構成および動作の詳細については後述する。
【００４７】
管理装置３００は、例えばパーソナルコンピュータであり、ＣＰＵおよびメモリ、またはマイクロコンピュータを含むとともに表示部３１０および操作部３２０を備える。管理装置３００は、使用者による操作部３２０の操作に基づいて、レシピ生成情報をレシピ生成装置２００に与える。また、管理装置３００は、使用者による操作部３２０の操作、またはレシピ生成装置２００からの検査レシピの作成完了通知に基づいて、基板処理装置１００の検査ユニット１３０に動作モードの切り替えを指令する。管理装置３００の構成および動作の詳細については後述する。
【００４８】
［２］検査ユニット１３０の構成
図２は図１の検査ユニット１３０の外観斜視図であり、図３は図１の検査ユニット１３０の内部構成を示す模式的側面図である。図２に示すように、検査ユニット１３０は、筐体１０、投光部２０、反射部３０、撮像部４０、基板保持装置５０、移動部６０、ノッチ検出部７０および制御部９０を含む。
【００４９】
筐体１０の側部には基板Ｗを搬送するためのスリット状の開口部１６が形成されている。投光部２０、反射部３０、撮像部４０、基板保持装置５０、移動部６０およびノッチ検出部７０は、筐体１０内に収容されている。
【００５０】
投光部２０は、例えば１または複数の光源を含み、基板Ｗの直径よりも大きい帯状の光を斜め下方に出射する。反射部３０は、例えばミラーを含む。撮像部４０は、複数の画素が直線状に並ぶように配置された撮像素子、ならびに１または複数の集光レンズを含む。本例では、撮像素子としてＣＣＤ（電荷結合素子）ラインセンサが用いられる。なお、撮像素子としてＣＭＯＳ（相補性金属酸化膜半導体）ラインセンサが用いられてもよい。
【００５１】
図３に示すように、基板保持装置５０は、例えばスピンチャックであり、駆動装置５１および回転保持部５２を含む。駆動装置５１は、例えば電動モータであり、回転軸５１ａを有する。回転保持部５２は、駆動装置５１の回転軸５１ａの先端に取り付けられ、検査対象の基板Ｗを保持した状態で鉛直軸の周りで回転駆動される。
【００５２】
移動部６０は、一対のガイド部材６１（図２）および移動保持部６２を含む。一対のガイド部材６１は、互いに隣り合うようにかつ互いに平行に延びるように設けられる。一対のガイド部材６１が延びる方向と、撮像部４０の複数の画素が並ぶ方向とは直交する。移動保持部６２は、基板保持装置５０を保持しつつ一対のガイド部材６１に沿って移動可能に構成される。基板保持装置５０が基板Ｗを保持する状態で移動保持部６２が一対のガイド部材６１に沿って移動することにより、基板Ｗが投光部２０および反射部３０の下方を通過する。
【００５３】
ノッチ検出部７０は、例えば投光素子および受光素子を含む反射型光電センサであり、検査対象の基板Ｗが基板保持装置５０により回転される状態で、基板Ｗの外周部に向けて光を出射するとともに基板Ｗからの反射光を受光する。ノッチ検出部７０は、基板Ｗからの反射光の受光量に基づいて基板Ｗのノッチを検出する。ノッチ検出部７０として透過型光電センサが用いられてもよい。
【００５４】
制御部９０（図２）は、例えばＣＰＵおよびメモリ、またはマイクロコンピュータを含み、投光部２０、撮像部４０、基板保持装置５０、移動部６０およびノッチ検出部７０を制御する。制御部９０の詳細は後述する。
【００５５】
検査ユニット１３０は、パイロットモードおよび検査モードの各モードで基板Ｗの撮像動作を行う。検査モードにおける基板Ｗの撮像動作について説明する。検査対象の基板Ｗは、開口部１６を通して筐体１０内に搬入され、基板保持装置５０により保持される。続いて、基板保持装置５０により基板Ｗが回転されつつノッチ検出部７０により基板Ｗの周縁部に光が出射され、その反射光がノッチ検出部７０により受光される。これにより、基板Ｗのノッチが検出され、基板Ｗの向きが判定される。その後、基板保持装置５０により基板Ｗのノッチが一定の方向を向くように基板Ｗの回転位置が調整される。
【００５６】
次に、投光部２０から斜め下方に帯状の光が出射されつつ移動部６０により基板Ｗが投光部２０の下方を通るように移動される。投光部２０からの光の照射範囲は基板Ｗの直径よりも大きい。これにより、基板Ｗの一面の全体に投光部２０からの光が順次照射される。基板Ｗから反射される光は反射部３０によりさらに反射されて撮像部４０に導かれる。撮像部４０の撮像素子は、基板Ｗの一面から反射される光を所定のサンプリング周期で受光することにより、基板Ｗの一面上の複数の部分を順次撮像する。撮像素子を構成する各画素は受光量に応じた値を示す画素データを出力する。撮像部４０から出力される複数の画素データに基づいて、基板Ｗの一面上の全体の画像を表す画像データが生成される。その後、移動部６０により基板Ｗが搬入時の位置に戻され、基板Ｗが開口部１６を通して筐体１０の外部に搬出される。
【００５７】
パイロットモードにおける基板Ｗの撮像動作は、以下に示す点を除いて検査モード時における基板Ｗの撮像動作と同じである。パイロットモードでは、筐体１０内に基板Ｗが搬入され、基板Ｗの回転位置が調整された後、投光部２０から出射される光の明るさ（光の出力）が調整される。
【００５８】
具体的には、基板Ｗの中心を通る直線上の領域に投光部２０から出射される帯状の光が入射するように、移動部６０により基板Ｗが投光部２０の下方まで移動される。この状態で、投光部２０から基板Ｗに光が照射され、基板Ｗの一面で反射される光が撮像部４０の撮像素子により受光される。
【００５９】
そこで、撮像素子から出力される複数の画素データに基づく値（例えば複数の画素データの値の合計値または平均値等）が予め定められた目標値に近づくように、投光部２０の光の明るさが調整される。この動作は、基板Ｗを撮像する際に、適切な画素値を示す画像データを得るため、すなわち撮像により得られる基板Ｗの画像の明るさを適切な明るさに調整するために行われる。
【００６０】
その後、投光部２０から調整された明るさの光が出射されつつ移動部６０により基板Ｗが投光部２０の下方を通るように移動される。それにより、基板Ｗの一面の全体に投光部２０からの光が順次照射され、基板Ｗの一面上の全体の画像を表す画像データが生成される。
【００６１】
パイロットモードにおける基板Ｗの撮像動作時に、基板Ｗごとに調整される投光部２０の光の明るさおよび基板Ｗごとに生成される画像データは、上記の撮像情報の例である。
【００６２】
［３］基板処理システム５００の機能的な構成
図４は、図１の基板処理システム５００の機能的な構成を示すブロック図である。図４では、管理装置３００およびレシピ生成装置２００の機能的な構成とともに、基板処理装置１００に設けられる検査ユニット１３０の機能的な構成が示される。
【００６３】
図４に示すように、管理装置３００は、機能部として、動作モード指令部３５０および生成情報設定部３６０を含む。これらの機能部は、管理装置３００のＣＰＵがメモリに記憶されたコンピュータプログラムを実行することにより実現される。なお、上記の構成の一部または全てが電子回路等のハードウェアにより実現されてもよい。
【００６４】
管理装置３００においては、使用者による図１の操作部３２０の操作に基づいて検査レシピの生成対象となる基板処理装置１００および検査ユニット１３０が指定される。動作モード指令部３５０は、指定された基板処理装置１００に対して、指定された検査ユニット１３０の動作モードをパイロットモードに切り替えるべき切り替え指令を与える。また、動作モード指令部３５０は、指定された検査ユニット１３０に対応する検査レシピの作成完了通知をレシピ生成装置２００から受け付ける。この場合、動作モード指令部３５０は、指定された検査ユニット１３０の動作モードを検査モードに切り替えるべき切り替え指令を指定された基板処理装置１００に与える。
【００６５】
生成情報設定部３６０は、使用者による図１の操作部３２０の操作に基づいて、検査レシピを生成するためのレシピ生成情報をレシピ生成装置２００に与える。レシピ生成情報の具体例を説明する。図５は、レシピ生成情報の構成の一例を示す図である。図５に示すように、本例のレシピ生成情報は、データ蓄積条件、データ抽出条件および代表生成条件から構成される。
【００６６】
データ蓄積条件は、レシピ生成装置２００において、検査レシピを生成するためのパイロットデータを蓄積するための条件であり、「終了日時またはデータ数」、「対象となる基板処理装置」、「対象となる検査ユニット」および「基板情報」を含む。
【００６７】
「終了日時」は、一の検査レシピを生成するために、パイロットデータの蓄積が開始されてからその蓄積を終了すべき日時を表す情報である。「データ数」は、一の検査レシピを生成するために、パイロットデータとして蓄積されるべきデータ数を表す情報である。「対象となる基板処理装置」は、検査レシピの生成対象となる基板処理装置１００を表す識別情報である。「対象となる検査ユニット」は、検査レシピの生成対象となる検査ユニット１３０を表す識別情報である。「基板情報」は、検査レシピを用いた検査対象となる基板Ｗ上に形成されたダイパターンの種類およびサイズを表す情報である。
【００６８】
データ抽出条件は、一の検査レシピを生成するために、蓄積された複数のパイロットデータから適切なパイロットデータを抽出するための情報である。ここで、データ蓄積条件に従って蓄積された複数のパイロットデータが正規分布に従うものとし、それらの複数のパイロットデータの平均をμとし、複数のパイロットデータの標準偏差をσとする。この場合、抽出されるべきパイロットデータの区間は、例えば「μ−σからμ＋σまでの１σ区間」、「μ−２σからμ＋２σまでの２σ区間」または「μ−３σからμ＋３σまでの３σ区間」のいずれかで規定することができる。
【００６９】
代表生成条件は、データ抽出条件に基づいて抽出された複数のパイロットデータから代表データを生成するための情報であり、例えば「平均値」、「最頻値」、「中央値」、「最大値」または「最小値」等の代表値の種類に基づいて規定することができる。
【００７０】
図４の基板処理装置１００において、制御装置１１０は、管理装置３００から与えられる動作モードの切り替え指令を検査ユニット１３０の制御部９０に与える。検査ユニット１３０の制御部９０は、機能部として、制御部９０、指令受付部９１、移動制御部９２、光調整部９３、明るさ決定部９４、パイロットデータ取得部９５、画像データ取得部９６、欠陥判定部９７および検査レシピ記憶部９８を含む。これらの機能部は、制御部９０のＣＰＵがメモリに記憶されたコンピュータプログラムを実行することにより実現される。なお、上記の構成の一部または全てが電子回路等のハードウェアにより実現されてもよい。
【００７１】
制御部９０においては、指令受付部９１が管理装置３００から与えられる切り替え指令を受け付ける。移動制御部９２、光調整部９３、明るさ決定部９４、パイロットデータ取得部９５および画像データ取得部９６の各々は、指令受付部９１により受け付けられた切り替え指令に基づいて、指令された動作モードに応じた動作を行う。
【００７２】
移動制御部９２は、パイロットモードにおいて、投光部２０の明るさ調整時に、基板Ｗの中心が投光部２０の下方に位置するように移動部６０を制御する。また、移動制御部９２は、パイロットモードおよび検査モードにおいて、基板Ｗの一面全体の画像データの生成時に、基板Ｗの一面全体が投光部２０の下方を移動するように、移動部６０を制御する。
【００７３】
明るさ決定部９４は、パイロットモードにおいて、撮像部４０から出力される複数の画素データに基づいて投光部２０から出射されるべき光の明るさを決定する。また、明るさ決定部９４は、検査モードにおいて、検査レシピ記憶部９８に記憶される検査レシピに基づいて基板Ｗの外観検査時に投光部２０から出射されるべき光の明るさを決定する。光調整部９３は、パイロットモードおよび検査モードにおいて、明るさ決定部９４により決定される明るさで光が出射されるように投光部２０の明るさを調整する。
【００７４】
画像データ取得部９６は、パイロットモードおよび検査モードにおいて、撮像部４０から出力される複数の画素データに基づいて、基板Ｗの一面上の全体の画像を表す画像データを生成する。
【００７５】
パイロットデータ取得部９５は、パイロットモードにおいて、１または複数種類のパイロットデータを取得する。具体的には、本例のパイロットデータ取得部９５は、パイロットモードにおいて、明るさ決定部９４により基板Ｗごとに決定される投光部２０の明るさをパイロットデータとして取得する。以下の説明では、投光部２０の明るさのパイロットデータを第１のパイロットデータと呼ぶ。
【００７６】
また、本例のパイロットデータ取得部９５は、パイロットモードにおいて、画像データ取得部９６により生成された基板Ｗの画像データをパイロットデータとして取得する。以下の説明では、画像データのパイロットデータを第２のパイロットデータと呼ぶ。
【００７７】
また、本例のパイロットデータ取得部９５は、パイロットモードにおいて、画像データ取得部９６により生成された各基板Ｗの画像データについて、以下の処理を行う。
【００７８】
まず、パイロットデータ取得部９５は、生成された画像データの予め定められた複数の対象画素の各々について、当該対象画素とその対象画素を含む一定領域内の複数の画素との間の画素値（画素データの値）の差分を算出する。本実施の形態においては、複数の対象画素は、例えば基板Ｗの画像データを構成する全ての画素である。なお、複数の対象画素は、ダイパターンが形成された基板Ｗの中央部に位置する画素であってもよいし、基板Ｗの外周端部近傍に位置する画素であってもよい。
【００７９】
さらに、パイロットデータ取得部９５は、算出された複数の差分値の最大値および最小値をそれぞれパイロットデータとして取得する。以下の説明では、画像データごとに算出される複数の差分値の最大値を示すパイロットデータを第３のパイロットデータと呼び、複数の差分値の最小値を示すパイロットデータを第４のパイロットデータと呼ぶ。
【００８０】
検査レシピ記憶部９８には、レシピ生成装置２００から与えられる検査レシピが記憶される。本実施の形態に係る検査レシピには、基板Ｗの外観検査時に投光部２０から出射されるべき光の明るさが含まれる。この明るさは、パイロットモードで取得される複数の第１のパイロットデータに基づいて生成される。
【００８１】
また、本実施の形態に係る検査レシピには、基板Ｗの外観検査に用いる基準画像データが含まれる。基準画像データは、パイロットモードで取得される複数の第２のパイロットデータに基づいて生成される。基準画像データは、外観上の欠陥がない基板Ｗの画像データを仮想的に表した画像データである。
【００８２】
さらに、本実施の形態に係る検査レシピには、基板Ｗの外観検査時に、検査対象となる基板Ｗに欠陥があるか否かを判定するための判定情報が含まれる。判定情報は、パイロットモードで取得される複数の第３および第４のパイロットデータに基づいて生成される。
【００８３】
欠陥判定部９７は、検査モードにおいて、画像データ取得部９６により生成される検査対象となる基板Ｗの画像データと検査レシピの基準画像データおよび判定情報とに基づいて、基板Ｗの外観上の欠陥の有無を判定する。
【００８４】
具体的には、欠陥判定部９７は、検査対象となる基板Ｗの画像データおよび基準画像データの互いに対応する画素について画素値の差分値を算出する。また、欠陥判定部９７は、その差分値が予め定められた許容範囲内にある場合に、欠陥がないと判定し、その差分値が予め定められた許容範囲外にある場合に、欠陥があると判定する。この許容範囲が、上記の判定情報である。許容範囲の上限値は上記の第３のパイロットデータに基づいて定められ、許容範囲の下限値は上記の第４のパイロットデータに基づいて定められる。
【００８５】
図４に示すように、レシピ生成装置２００は、機能部として、終了判定部２１０、パイロットデータ蓄積部２２０、データ抽出部２３０、代表データ決定部２４０、検査レシピ生成部２５０および生成情報記憶部２６０を含む。これらの機能部は、レシピ生成装置２００のＣＰＵがメモリに記憶されたコンピュータプログラムを実行することにより実現される。なお、上記の構成の一部または全てが電子回路等のハードウェアにより実現されてもよい。
【００８６】
生成情報記憶部２６０には、管理装置３００の生成情報設定部３６０から与えられるレシピ生成情報が記憶される。パイロットデータ蓄積部２２０は、検査ユニット１３０のパイロットデータ取得部９５により取得された複数のパイロットデータ（上記の例では複数の第１〜第４のパイロットデータ）を蓄積する。
【００８７】
終了判定部２１０は、生成情報記憶部２６０に記憶されたレシピ生成情報のデータ蓄積条件に基づいて、パイロットデータの蓄積を終了すべきか否かを判定する。終了判定部２１０によりパイロットデータの蓄積を終了すべきことが判定されると、パイロットデータ蓄積部２２０はパイロットデータの蓄積を終了する。
【００８８】
この場合、データ抽出部２３０は、取得された複数のパイロットデータの種類ごとに、データ抽出条件に基づくパイロットデータの抽出を行う。なお、上記の第２のパイロットデータのように、複数の画素データを含む画像データがパイロットデータとなる場合には、例えば基板ごとに画像データについての評価値（例えば全ての画素の画素値の平均値等）が算出された上で当該評価値に基づいてデータ抽出条件が定められる。
【００８９】
代表データ決定部２４０は、パイロットデータの種類ごとに、データ抽出部２３０により抽出されたパイロットデータから代表生成条件に基づく代表データの決定を行う。ここで、複数の第２のパイロットデータに基づく代表データの生成時には、例えば抽出された複数の第２のパイロットデータの互いに対応する画素について、代表生成条件に従う値（平均値または最頻値等）を示す画素データが生成される。生成された複数の画素データから構成される画像データが、代表データとして決定される。決定された代表データが基準画像データとなる。
【００９０】
検査レシピ生成部２５０は、代表データ決定部２４０において決定された各種代表データを含む検査レシピを生成する。検査レシピが生成されると、検査レシピ生成部２５０は、生成された検査レシピを、対象となる検査ユニット１３０の検査レシピ記憶部９８に与える。また、検査レシピ生成部２５０は、検査レシピの生成が完了したことを示す信号を管理装置３００の動作モード指令部３５０に通知する（検査レシピの作成完了通知）。そこで、動作モード指令部３５０は、生成された検査レシピを用いて外観検査が行われるように、検査ユニット１３０の動作モードを検査モードに切り替えるべき切り替え指令を基板処理装置１００に与える。
【００９１】
［４］パイロットデータの取得処理
図６は、図４の制御部９０において行われるパイロットデータの取得処理を示すフローチャートである。パイロットデータの取得処理は、例えば、管理装置３００からのパイロットモードへの切り替え指令に応答して開始される。
【００９２】
パイロットデータの取得処理が開始されると、図４の移動制御部９２は、基板Ｗの搬入処理を行う（ステップＳ１１）。移動制御部９２による基板Ｗの搬入処理は、図２の筐体１０内に搬入される基板Ｗが基板保持装置５０によって受け取られるように、図２の移動保持部６２を移動させる処理である。
【００９３】
その後、基板Ｗが基板保持装置５０により保持された状態で、図４のパイロットデータ取得部は、当該基板Ｗについて予め定められた１または複数種類のパイロットデータを取得し、取得した各パイロットデータを図４のレシピ生成装置２００に出力する（ステップＳ１２）。
【００９４】
次に、図４の移動制御部９２は、基板Ｗの搬出処理を行う（ステップＳ１３）。移動制御部９２による基板Ｗの搬出処理は、図２の筐体１０内で基板保持装置５０によって保持される基板Ｗが検査ユニット１３０の外部の搬送装置１４０に渡されるように、図２の移動保持部６２を移動させる処理である。
【００９５】
その後、図４の指令受付部９１は、管理装置３００からの検査モードへの切り替え指令があるか否かを判定する（ステップＳ１４）。指令受付部９１は、検査モードへの切り替え指令があったときに、検査ユニット１３０の動作モードをパイロットモードから検査モードに切り替え、パイロットデータの取得処理を終了する。一方、指令受付部９１は、検査モードへの切り替え指令がないときに、ステップＳ１１の処理に戻る。
【００９６】
［５］検査レシピの生成処理
図７は、図４のレシピ生成装置２００において行われる検査レシピの生成処理を示すフローチャートである。本例では、初期状態で図４の生成情報記憶部２６０にレシピ生成情報が記憶されているものとする。検査レシピの生成処理は、基板処理装置１００からパイロットデータが入力されることにより開始される。
【００９７】
まず、図４のパイロットデータ蓄積部２２０は、入力された１または複数のパイロットデータを蓄積する（ステップＳ２１）。次に、図４の終了判定部２１０は、レシピ生成情報のうちのデータ蓄積条件に基づいて、パイロットデータの蓄積を終了すべきか否かを判定する（ステップＳ２２）。
【００９８】
パイロットデータの蓄積を終了すべきでない場合、パイロットデータ蓄積部２２０はステップＳ２１の処理に戻る。一方、パイロットデータの蓄積を終了すべき場合、パイロットデータ蓄積部２２０はパイロットデータの蓄積を終了する（ステップＳ２３）。
【００９９】
また、図４のデータ抽出部２３０は、データ抽出条件に基づくパイロットデータの抽出を行う（ステップＳ２４）。その後、図４の代表データ決定部２４０は、代表生成条件と、抽出された１または複数のパイロットデータとに基づいて、代表データの生成を行う（ステップＳ２５）。
【０１００】
次に、図４の検査レシピ生成部２５０は、生成された代表データに基づいて検査レシピを生成する（ステップＳ２６）。また、検査レシピ生成部２５０は、生成された検査レシピを基板処理装置１００に与えるとともに、検査レシピの生成が完了したことを管理装置３００に通知する（ステップＳ２７）。その後、検査レシピ生成部２５０は、検査レシピの生成処理を終了する。
【０１０１】
［６］効果
（ａ）上記の基板処理装置１００においては、処理ユニット１２０による基板Ｗの処理中に、検査ユニット１３０が例えばパイロットモードで動作する。パイロットモードでは、検査ユニット１３０により処理される複数の基板Ｗが撮像され、撮像により得られる複数の撮像情報に基づいてパイロットデータが取得される。取得されたパイロットデータに基づいて検査レシピが生成される。
【０１０２】
その後、検査ユニット１３０がパイロットモードから検査モードに切り替えられる。検査モードにおいては、検査ユニット１３０により処理される複数の基板Ｗが撮像され、複数の画像データが取得される。取得された各画像データと生成された検査レシピとに基づいて各基板Ｗの検査が行われる。
【０１０３】
上記の構成によれば、処理ユニット１２０による複数の基板Ｗの処理中に、検査レシピが作成される。したがって、検査レシピを生成するために基板Ｗの処理を停止する必要がない。また、上記の構成によれば、検査レシピは、複数の基板Ｗの複数の撮像情報に基づいて生成される。それにより、１枚の基板Ｗから得られる１つの撮像情報に基づいて生成される検査レシピに比べて、適切な検査レシピを得ることができる。さらに、上記の構成によれば、検査ユニット１３０が検査モードにあるときに処理ユニット１２０において発生した不良基板を検出することができる。したがって、検出された不良基板を回収することにより、不良基板に対する無駄な処理が行われることを低減することができる。これらの結果、基板Ｗの生産効率を低下させることなく高い精度で基板Ｗの検査を行うことが可能になる。
【０１０４】
（ｂ）さらに、上記の構成によれば、例えば検査ユニット１３０による複数の基板Ｗの検査中に欠陥の誤検出が確認された場合でも、使用者は過去に設定されたレシピ生成情報を参照しつつ新たなレシピ生成情報を生成することができる。レシピ生成装置２００に新たなレシピ生成情報が設定された状態で、検査ユニット１３０の動作モードがパイロットモードに切り替えられることにより、適切な検査レシピが自動で作成される。したがって、使用者は、検査結果に応じて、より適切な検査レシピを容易に取得することができる。
【０１０５】
（ｃ）上記のレシピ生成装置２００においては、検査レシピの生成時にデータ抽出条件に基づくパイロットデータの抽出が行われる。この場合、蓄積された複数のパイロットデータのうち検査レシピの生成に不適切な一部のパイロットデータを排除することができる。
【０１０６】
その後、代表生成条件に基づいて、抽出されたパイロットデータから代表データが生成される。したがって、代表データに基づいて、より適切な検査レシピを得ることができるので、より高い精度で基板の検査を行うことが可能になる。
【０１０７】
（ｄ）上記のレシピ生成装置２００においては、データ蓄積条件に基づいて、検査レシピの生成に必要なパイロットデータが蓄積された時点で、蓄積されたパイロットデータに基づいて検査レシピが生成される。
【０１０８】
検査レシピが生成されることにより、検査ユニット１３０の移動モードがパイロットモードから検査モードに切り替えられる。それにより、パイロットモードの終了後に、使用者による指令を要することなく、生成された検査レシピに基づく基板Ｗの検査が円滑に開始される。
【０１０９】
［７］他の実施の形態
（ａ）上記実施の形態において、撮像部４０の撮像素子に設けられる各画素は、赤色光を受光するＲ画素、緑色光を受光するＧ画素および青色光を受光するＢ画素により構成されてもよい。この場合、パイロットモードでは、画素の種類ごとに上記の第３および第４のパイロットデータが生成されてもよい。それにより、検査レシピにおいて、画素の種類ごとに外観検査時に用いられる許容範囲を定めることができる。したがって、より高い精度で基板Ｗの検査を行うことができる。
【０１１０】
（ｂ）上記実施の形態では、基板処理装置１００、レシピ生成装置２００および管理装置３００がそれぞれ個別に設けられるが、本発明はこれに限定されない。レシピ生成装置２００および管理装置３００が１つの基板処理装置１００に設けられてもよい。
【０１１１】
（ｃ）上記の基板処理装置１００においては、検査ユニット１３０の制御部９０にパイロットデータを取得するための各種機能部が設けられる代わりに、基板処理装置１００の制御装置１１０にパイロットデータを取得するための各種機能部が設けられてもよい。
【０１１２】
［８］請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
【０１１３】
上記実施の形態では、基板処理システム５００が基板処理装置の例であり、管理装置３００が切替装置の例であり、レシピ生成装置２００が検査レシピ生成装置の例であり、パイロットデータ取得部９５がパイロットデータ取得部の例であり、画像データ取得部が画像データ取得部の例であり、欠陥判定部９７が検査部の例であり、パイロットデータ蓄積部２２０がパイロットデータ蓄積部の例である。
【０１１４】
また、データ抽出部２３０がパイロットデータ抽出部の例であり、代表データ決定部２４０が代表データ生成部の例であり、検査レシピ生成部２５０がレシピ生成部の例であり、終了判定部２１０が終了判定部の例であり、基板Ｗの外観検査時に投光部２０から出射されるべき光の明るさが設定情報の例である。
【０１１５】
請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。
【符号の説明】
【０１１６】
１０…筐体，１６…開口部，２０…投光部，３０…反射部，４０…撮像部，５０…基板保持装置，５１…駆動装置，５１ａ…回転軸，５２…回転保持部，６０…移動部，６１…ガイド部材，６２…移動保持部，７０…ノッチ検出部，９０…制御部，９１…指令受付部，９２…移動制御部，９３…光調整部，９４…明るさ決定部，９５…パイロットデータ取得部，９６…画像データ取得部，９７…欠陥判定部，９８…検査レシピ記憶部，１００…基板処理装置，１１０…制御装置，１２０…処理ユニット，１３０…検査ユニット，１４０…搬送装置，２００…レシピ生成装置，２１０…終了判定部，２２０…パイロットデータ蓄積部，２３０…データ抽出部，２４０…代表データ決定部，２５０…検査レシピ生成部，２６０…生成情報記憶部，３００…管理装置，３１０…表示部，３２０…操作部，３５０…動作モード指令部，３６０…生成情報設定部，５００…基板処理システム，５１０…ネットワーク，Ｗ…基板
【図１】
2020012665.tif 000003
【図２】
2020012665.tif 000004
【図３】
2020012665.tif 000005
【図４】
2020012665.tif 000006
【図５】
2020012665.tif 000007
【図６】
2020012665.tif 000008
【図７】
2020012665.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】令和1年5月24日(2019.5.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を順次処理する処理ユニットと、
前記処理ユニットによる基板の処理中にパイロットモードおよび検査モードで動作可能に構成された検査ユニットと、
前記検査ユニットの動作モードを切り替える切替装置と、
基板の検査条件を示す検査レシピを生成する検査レシピ生成装置とを備え、
前記検査ユニットは、
前記パイロットモードにおいて、前記処理ユニットにより処理される複数の基板を撮像することにより得られる複数の撮像情報に基づいて検査条件を決定するためのデータをパイロットデータとして取得するパイロットデータ取得部と、
前記検査モードにおいて、前記処理ユニットにより処理される複数の基板を撮像することにより複数の画像データを取得する画像データ取得部と、
前記検査モードにおいて、前記画像データ取得部により取得された各画像データと前記検査レシピ生成装置により生成された前記検査レシピとに基づいて各基板の検査を行う検査部とを含み、
前記検査レシピ生成装置は、前記パイロットデータ取得部により取得されたパイロットデータに基づいて前記検査レシピを生成する、基板処理装置。
【請求項２】
前記検査レシピ生成装置は、
前記パイロットデータ取得部により取得されたパイロットデータを蓄積するパイロットデータ蓄積部と、
予め定められた抽出条件に基づいて、前記パイロットデータ蓄積部に蓄積されたパイロットデータのうち少なくとも一部のパイロットデータを抽出するパイロットデータ抽出部と、
予め定められた代表生成条件に基づいて、前記パイロットデータ抽出部により抽出されたパイロットデータを代表する代表データを生成する代表データ生成部と、
前記生成された代表データに基づいて前記検査レシピを生成するレシピ生成部とを含む、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記検査レシピ生成装置は、予め定められた蓄積条件に基づいて、前記パイロットデータ蓄積部へのパイロットデータの蓄積が開始された後、当該蓄積を終了すべきか否かを判定する終了判定部をさらに含み、
前記レシピ生成部は、前記終了判定部による前記蓄積を終了すべきという判定に応答して、前記パイロットデータの蓄積が開始されてから終了されるまでの間に蓄積されたパイロットデータに基づいて前記検査レシピを生成し、
前記切替装置は、前記終了判定部による前記蓄積を終了すべきという判定に応答して、前記検査ユニットの動作モードを前記パイロットモードから前記検査モードに切り替える、請求項２記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記検査レシピは、前記処理ユニットにより処理される複数の基板の画像に対して基準となる画像を示す基準画像データを含み、
前記パイロットデータ取得部は、前記パイロットモードにおいて、前記複数の撮像情報に基づいて前記処理ユニットにより処理される複数の基板の画像データを前記パイロットデータとして取得し、
前記検査レシピ生成装置は、前記パイロットモードにおいて、前記パイロットデータ取得部により取得されたパイロットデータに基づいて前記基準画像データを生成し、
前記検査部は、前記検査モードにおいて、前記画像データ取得部により取得された各画像データと前記検査レシピ生成装置により生成された前記基準画像データとに基づいて基板の検査を行う、請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記検査レシピは、前記処理ユニットにより処理される複数の基板について欠陥の有無を判定するための判定条件を示す判定情報を含み、
前記パイロットデータ取得部は、前記パイロットモードにおいて、前記複数の撮像情報に基づいて前記判定条件を決定するためのデータを前記パイロットデータとして取得し、
前記検査レシピ生成装置は、前記パイロットモードにおいて、前記パイロットデータ取得部により取得されたパイロットデータに基づいて前記判定情報を生成し、
前記検査部は、前記検査モードにおいて、前記画像データ取得部により取得された各画像データと前記検査レシピ生成装置により生成された前記判定情報とに基づいて基板上の欠陥の有無を判定する、請求項１〜４のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記検査レシピは、前記画像データ取得部による複数の基板の撮像条件に関する設定情報を含み、
前記パイロットデータ取得部は、前記パイロットモードにおいて、前記複数の撮像情報に基づいて前記撮像条件を決定するためのデータを前記パイロットデータとして取得し、
前記検査レシピ生成装置は、前記パイロットモードにおいて、前記パイロットデータ取得部により取得されたパイロットデータに基づいて前記設定情報を生成し、
前記画像データ取得部は、前記検査モードにおいて、前記検査レシピ生成装置により生成された前記設定情報に基づいて複数の基板の撮像条件を設定する、請求項１〜５のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項７】
処理ユニットにより複数の基板を順次処理するステップと、
前記処理ユニットによる基板の処理中に、前記処理ユニットにより処理される複数の基板を撮像することにより得られる複数の撮像情報に基づいて検査条件を決定するためのデータをパイロットデータとして取得するステップと、
前記処理ユニットによる基板の処理中に、前記取得されたパイロットデータに基づいて基板の検査条件を示す検査レシピを生成するステップと、
前記処理ユニットによる基板の処理中でかつ前記検査レシピの生成後に、前記処理ユニットにより処理される複数の基板を撮像することにより複数の画像データを取得するステップと、
前記処理ユニットによる基板の処理中に、前記取得された各画像データと前記生成された前記検査レシピとに基づいて各基板の検査を行うステップとを含む、基板処理方法。
【請求項８】
前記検査レシピを生成するステップは、
前記取得されたパイロットデータを蓄積するステップと、
予め定められた抽出条件に基づいて、前記蓄積されたパイロットデータのうち少なくとも一部のパイロットデータを抽出するステップと、
予め定められた代表生成条件に基づいて、前記抽出されたパイロットデータを代表する代表データを生成するステップと、
前記生成された代表データに基づいて前記検査レシピを生成するステップとを含む、請求項７記載の基板処理方法。
【請求項９】
予め定められた蓄積条件に基づいて、前記パイロットデータの蓄積が開始された後、当該蓄積を終了すべきか否かを判定するステップをさらに含み、
前記検査レシピを生成するステップは、前記蓄積を終了すべきという判定に応答して、前記パイロットデータの蓄積が開始されてから終了されるまでの間に蓄積されたパイロットデータに基づいて前記検査レシピを生成するステップを含み、
前記基板処理方法は、
前記パイロットデータの取得時における前記蓄積を終了すべきという判定に応答して、前記パイロットデータの取得を終了して前記基板の検査を開始するステップをさらに含む、請求項８記載の基板処理方法。
【請求項１０】
前記検査レシピは、前記処理ユニットにより処理される複数の基板の画像に対して基準となる画像を示す基準画像データを含み、
前記パイロットデータを取得するステップは、前記複数の撮像情報に基づいて前記処理ユニットにより処理される複数の基板の画像データを前記パイロットデータとして取得するステップを含み、
前記検査レシピを生成するステップは、前記取得されたパイロットデータに基づいて前記基準画像データを生成するステップを含み、
前記検査を行うステップは、前記取得された各画像データと前記生成された前記基準画像データとに基づいて基板の検査を行うステップを含む、請求項７〜９のいずれか一項に記載の基板処理方法。
【請求項１１】
前記検査レシピは、前記処理ユニットにより処理される複数の基板について欠陥の有無を判定するための判定条件を示す判定情報を含み、
前記パイロットデータを取得するステップは、前記複数の撮像情報に基づいて前記判定条件を決定するためのデータを前記パイロットデータとして取得するステップを含み、
前記検査レシピを生成するステップは、前記取得されたパイロットデータに基づいて前記判定情報を生成するステップを含み、
前記検査を行うステップは、前記取得された各画像データと前記生成された前記判定情報とに基づいて基板上の欠陥の有無を判定するステップを含む、請求項７〜１０のいずれか一項に記載の基板処理方法。
【請求項１２】
前記検査レシピは、前記複数の画像データを取得するステップにおける複数の基板の撮像条件に関する設定情報を含み、
前記パイロットデータを取得するステップは、前記複数の撮像情報に基づいて前記撮像条件を決定するためのデータを前記パイロットデータとして取得するステップを含み、
前記検査レシピを生成するステップは、前記取得されたパイロットデータに基づいて前記設定情報を生成するステップを含み、
前記複数の画像データを取得するステップは、前記生成された前記設定情報に基づいて複数の基板の撮像条件を設定するステップを含む、請求項７〜１１のいずれか一項に記載の基板処理方法。