(57)【要約】【課題】キーとキー溝とを容易に合わせることができる流体移送用コネクタのプラグを提供する。【解決手段】流体移送用コネクタのプラグ３は、基端部にホースが固定されると共に先端部がソケットに対して着脱可能に接続され、ホースに連通する流体流路が形成されたプラグ本体と、プラグ本体の外周に設けられ、プラグ本体に対して回動自在とされたキープレート３０と、キープレート３０に設けられた２以上のキー３２とを備えている。他のキー３２に対して、円周方向の幅が大きいメインキー３２ａを備えている。【選択図】図６
2020012477.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基端部にホースが固定されると共に先端部がソケットに対して着脱可能に接続され、該ホースに連通する流体流路が形成されたプラグ本体と、
前記プラグ本体の外周に設けられ、該プラグ本体に対して回動自在とされたリング体と、
前記リング体に設けられた２以上のキー又はキー溝と、
を備えている流体移送用コネクタのプラグ。
【請求項２】
他の前記キー又は前記キー溝に対して、前記回動方向の幅が大きいメインキー又はメインキー溝を備えている請求項１に記載の流体移送用コネクタのプラグ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の流体移送用コネクタのプラグが接続され、該プラグの前記キー又は前記キー溝に対応するキー溝又はキーが設けられている流体移送用コネクタのソケット。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の流体移送用コネクタのプラグと、
請求項３に記載の流体移送用コネクタのソケットと、
を備えている流体移送用コネクタ。
【請求項５】
基端部にホースが固定されると共に先端部がソケットに対して着脱可能に接続され、該ホースに連通する流体流路が形成されたプラグ本体と、
前記プラグ本体の外周に設けられ、該プラグ本体に対して回動自在とされたリング体と、
前記リング体に設けられた２以上のキー又はキー溝と、
を備えている流体移送用コネクタのプラグに対して、
前記プラグの前記キー又は前記キー溝に対応するキー溝又はキーが設けられた前記ソケットを接続する流体移送用コネクタの接続方法であって、
前記リング体を回動させて前記プラグの前記キー又は前記キー溝と、前記ソケットの前記キー溝又は前記キーとを合わせた後に、
前記プラグと前記ソケットとを接続する流体移送用コネクタの接続方法。
【請求項６】
前記プラグは、前記キー又は前記キー溝に対して、前記回動方向の幅が大きいメインキー又はメインキー溝を備え、
前記ソケットは、前記メインキー又は前記メインキー溝に対応したメインキー溝又はメインキーを備え、
前記プラグの前記メインキー又は前記メインキー溝が鉛直上方に位置するように前記リング体を回動させた後に、
前記プラグと前記ソケットとを接続する請求項５に記載の流体移送用コネクタの接続方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体製造装置に用いる薬液やガスを移送するための流体移送用コネクタのプラグ、流体移送用コネクタのソケット及び流体移送用コネクタ並びに流体移送用コネクタの接続方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１に示されているように、半導体製造装置に用いる流体（薬液やガス）を移送するために流体移送用コネクタが用いられる。流体移送用コネクタは、例えば、流体を一時的に貯蔵するバッファタンクが設けられた建屋側に固定設置されたソケットと、タンクローリから導かれたホースの先端に固定されたプラグとを備えている。ソケットに対してプラグを接続することによって、タンクローリからバッファタンクへと流体が移送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５０４６９５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
半導体製造装置に用いる流体には様々な種類があり、それぞれの流体に対して個別にプラグとソケットとの組み合わせがある。この固有のプラグとソケットの組み合わせを間違えずに接続するために、誤接続防止用のキーとキー溝が用いられる。一般に、キー又はキー溝はプラグ及びソケットの所定の位置に固定して設ければその機能としては十分である。しかし、プラグに固定されるホースの剛性が大きい場合（例えばホース内径が２５ｍｍ以上となる場合）には、キーとキー溝とを合わせるためにプラグをホースと共に回動する際に大きな力を要し、作業者に負担をかけてしまう。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、キーとキー溝とを容易に合わせることができる流体移送用コネクタのプラグ、流体移送用コネクタのソケット及び流体移送用コネクタ並びに流体移送用コネクタの接続方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る液体移送用コネクタのプラグは、基端部にホースが固定されると共に先端部がソケットに対して着脱可能に接続され、該ホースに連通する流体流路が形成されたプラグ本体と、前記プラグ本体の外周に設けられ、該プラグ本体に対して回動自在とされたリング体と、前記リング体に設けられた２以上のキー又はキー溝と、を備えている。
【０００７】
プラグをソケットに対して差し込むことによって接続し、流体流路がプラグとソケットとの間で連通される。
リング体には、２以上のキー又はキー溝が設けられている。２以上のキー又はキー溝を設けることによって、プラグとソケットとを１対１に対応させることができ、誤接続を防止することができる。
プラグ本体の外周にはプラグ本体に対して回動自在とされたリング体が設けられているので、キー又はキー溝をソケット側のキー溝又はキーと位置合わせする際に、プラグ本体を回動させる必要がなく、ひいてはプラグ本体に固定されたホースをも回動させる必要がない。これにより、キーとキー溝との位置合わせの際にホースと共にプラグを回動させるという重労働を作業者に課す必要がない。特に、タンクローリから薬液を移送する際に用いるホースは太い（例えば内径が２５ｍｍ以上）ので作業が極めて容易となる。
リング体は、所定範囲の角度にわたって回動自在とされていれば良いが、３６０°にわたって回転自在としても良い。
【０００８】
さらに、本発明の一態様に係る液体移送用コネクタのプラグでは、他の前記キー又は前記キー溝に対して、前記回動方向の幅が大きいメインキー又はメインキー溝を備えている。
【０００９】
他よりも回動方向の幅が大きいキー又はキー溝を設けることによって、これをメインキー又はメインキー溝として認識することができる。これにより、メインキー又はメインキー溝を目印としてリング体の回動方向の位置合わせを容易に行うことができる。
【００１０】
また、本発明の一態様に係る液体移送用コネクタのソケットは、上記の流体移送用コネクタのプラグが接続され、該プラグの前記キー又は前記キー溝に対応するキー溝又はキーが設けられている。
【００１１】
上記のプラグのキー又はキー溝に対応するキー溝又はキーを設けることで、上記のプラグに対応したソケットが提供される。
【００１２】
また、本発明の一態様に係る液体移送用コネクタは、上記の流体移送用コネクタのプラグと、上記の流体移送用コネクタのソケットと、を備えている。
【００１３】
回動するリング体に設けたキー又はキー溝を用いることによってプラグとソケットを接続することとした。これにより、接続の際に容易にキーとキー溝とを合わせることによって誤接続を防止することができる流体移送用コネクタが提供される。
【００１４】
また、本発明の一態様に係る液体移送用コネクタの接続方法は、基端部にホースが固定されると共に先端部がソケットに対して着脱可能に接続され、該ホースに連通する流体流路が形成されたプラグ本体と、前記プラグ本体の外周に設けられ、該プラグ本体に対して回動自在とされたリング体と、前記リング体に設けられた２以上のキー又はキー溝と、を備えている流体移送用コネクタのプラグに対して、前記プラグの前記キー又は前記キー溝に対応するキー溝又はキーが設けられた前記ソケットを接続する流体移送用コネクタの接続方法であって、前記リング体を回動させて前記プラグの前記キー又は前記キー溝と、前記ソケットの前記キー溝又は前記キーとを合わせた後に、前記プラグと前記ソケットとを接続する。
【００１５】
リング体を回動させてキーとキー溝とを合わせた後にプラグとソケットを接続することとしたので、接続の際に容易にキーとキー溝とを合わせることができる。
【００１６】
さらに、本発明の一態様に係る液体移送用コネクタの接続方法では、前記プラグは、前記キー又は前記キー溝に対して、前記回動方向の幅が大きいメインキー又はメインキー溝を備え、前記ソケットは、前記メインキー又は前記メインキー溝に対応したメインキー溝又はメインキーを備え、前記プラグの前記メインキー又は前記メインキー溝が鉛直上方に位置するように前記リング体を回動させた後に、前記プラグと前記ソケットとを接続する。
【００１７】
他よりも回動方向の幅が大きいキー又はキー溝を設けることによって、これをメインキー又はメインキー溝として認識することができる。これにより、メインキー又はメインキー溝を目印としてリング体の回動方向の位置合わせを容易に行うことができる。また、メインキー又はメインキー溝を鉛直上方に位置させることで、作業者が上方からメインキー又はメインキー溝を容易に視認することができるので、作業者に負担を強いずに接続作業を行うことができる。
【発明の効果】
【００１８】
プラグ本体の外周にプラグ本体に対して回動自在とされたリング体を設け、リング体にキー又はキー溝を設けることとしたので、キーとキー溝とを容易に合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係る流体移送用コネクタを示した斜視図である。
【図２】蓋部を閉じた状態のソケットを示した斜視図である。
【図３】プラグのキープレートを回動させた状態を示した斜視図である。
【図４】プラグを示した縦断面図である。
【図５Ａ】スリーブがロックボールの移動を規制した状態を示した縦断面図である。
【図５Ｂ】スリーブがロックボールの移動を解除した状態を示した縦断面図である。
【図６】図４のプラグに設けたキーの位置を示した正面図である。
【図７】キーの位置の使用例を示した正面図である。
【図８】プラグの先端をソケットの差込口に挿入した状態を示した斜視図である。
【図９】プラグのキーとソケットのキー溝とを合致させた状態を示した斜視図である。
【図１０】プラグを第１前進位置まで変位させ、前洗浄工程を行っている状態を示した斜視図である。
【図１１】プラグを第２前進位置まで変位させ、流体移送工程を行っている状態を示した斜視図である。
【図１２】プラグを第１前進位置まで変位させ、後洗浄工程を行っている状態を示した斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に、本発明にかかる実施形態について、図面を参照して説明する。
図１には、本実施形態にかかるプラグ３とソケット５が示されている。プラグ３及びソケット５は、流体移送用コネクタ１として用いられる。用いられる流体としては、例えば半導体製造装置に用いられる薬液やガスである。
【００２１】
ソケット５は、建屋の壁部に固定されており、後端に配管６の一端が接続されている。配管６の他端は、建屋内に設置されたバッファタンク（図示せず）に接続されている。ソケット５は、前端（図１において左端）にプラグ３を受け入れる差込口８を備えている。差込口８は、円筒状の差込筒体１０の内部に形成されている。差込筒体１０の先端には、一部が切り欠かれて形成された複数のキー溝１１が設けられている。キー溝１１は、差込筒体１０の円周方向に所定の間隔をおいて複数設けられている。鉛直上方に位置するキー溝１１ａは、メインキー溝とされており、他のキー溝１１よりも円周方向の幅が大きい溝となっている。
【００２２】
差込筒体１０は、円周方向に離間して配置された複数のロックボール９（図４参照）を保持している。各ロックボール９は、プラグ３とソケット５とを固定する際に用いられる。
【００２３】
差込筒体１０の後方（図１において右方）には、ソケット本体１３が設けられている。ソケット本体１３は、水平方向に中心軸線を有する円筒形状とされており、内部に流路の開閉を行う弁体１３ａ（図５Ａ等参照）を備えている。ソケット本体１３の前後には、前側固定板１５と後側固定板１６が固定されている。両固定板１５，１６は、鉛直方向に立設された矩形の板状体とされている。両固定板１５，１６の下方には、設置面に対して固定するための脚部１７が設けられている。両固定板１５，１６の四隅を貫通するように４つの支持軸体１８が水平方向に延在して設けられている。
【００２４】
各支持軸体１８の前端及び後端は、前側支持板２０と後側支持板２１に固定されている。両支持板２０，２１は、鉛直方向に立設された矩形の板状体とされている。前側支持板２０は、前述した差込筒体１０を支持している。
【００２５】
各支持軸体１８には、シリンダ２３が取り付けられている。各シリンダ２３は、前側固定板１５と後側固定板１６との間に固定されている。各シリンダ２３には、エア供給配管２４が接続されており、エア供給配管２４から供給された空気圧によって支持軸体１８がシリンダ２３に対して軸線方向に往復動するようになっている。これにより、ソケット本体１３に対して、前側支持板２０に支持された差込筒体１０が接近離間するようになっている。
【００２６】
上方の一方の第１支持軸体１８ａには、蓋部２７が取り付けられている。具体的には、第１支持軸体１８ａの中心軸線上に沿って貫通するように内部に蓋部駆動用軸体１８ａ１が設けられている。蓋部駆動用軸体１８ａ１の先端に蓋部２７が固定されている。蓋部駆動用軸体１８ａ１は、第１支持軸体１８ａの後端に設けられた第１アクチュエータ２９ａによって、前後方向（軸線方向）における往復動作と、軸線回りの回動動作が行われるようになっている。第１アクチュエータ２９ａの動作は、図示しない制御部によって行われる。
【００２７】
蓋部２７は、流体移送用コネクタ１が未使用状態で、プラグ３がソケット５から取り外されているときに差込口８を塞ぐために用いられる。図２には、蓋部２７を閉とした状態が示されている。蓋部２７が差込口８を塞ぐことによって流体の汚染が防止されるだけでなく、非使用時に蓋部２７で差込口８を塞ぐことで、蓋部２７からソケット本体１３内の弁体までの流路の汚染を防止することができる。
【００２８】
図１に示すように、上方の他方の第２支持軸体１８ｂと、第２支持軸体１８ｂに対して差込筒体１０を挟んで対角線上に位置する第３支持軸体１８ｃとには、スリーブ駆動板１９が取り付けられている。具体的には、第２支持軸体１８ｂの中心軸線上に沿って貫通するように設けられたスリーブ駆動板用軸体１８ｂ１の先端と、第３支持軸体１８ｃの中心軸線上に沿って貫通するように設けられたスリーブ駆動板用軸体１８ｃ１の先端とに、スリーブ駆動板１９が固定されている。各スリーブ駆動板用軸体１８ｂ１，１８ｃ１は、各支持軸体１８ｂ，１８ｃの後端に設けられた第２アクチュエータ２９ｂ及び第３アクチュエータ２９ｃによって、前後方向（軸線方向）に往復動されるようになっている。アクチュエータ２９ｂ，２９ｃの動作は、図示しない制御部によって行われる。
【００２９】
スリーブ駆動板１９は、中央に開口が形成された略菱形形状の板状体とされている。スリーブ駆動板１９の開口には、円筒形状とされたスリーブ２２の先端２２ａが挿入されている。スリーブ２２は、図４の下半部に部分的に示すように、差込筒体１０の外周を覆うように配置されており、差込筒体１０に対して軸線方向に往復動する。スリーブ駆動板１９は、ソケット５に対して固定されたプラグ３を外すときに、スリーブ２２を変位させるように動作させられる。具体的には、図５Ａに示すように、スリーブ２２でロックボール９の半径方向外側の移動を規制した状態から、図５Ｂに示すように、スリーブ駆動板１９を前側支持板２０側（同図において右側）に引き寄せてスリーブ２２を変位させることによってロックボール９の半径方向外側への移動を許容し、ロック解除を行う。ソケット５に対してプラグ３の固定するときは、プラグ３を差込筒体１０に挿入する動作に応じて、ロックボール９を転動させて第１固定リング３９の凹所３９ａに対して係合させることによって行われる。このとき、スリーブ駆動板１９は動作しない。このように、ロックボール９やスリーブ２２等によって、プラグ３を差込筒体１０すなわちソケット５に対してロックするロック機構が構成される。
【００３０】
図１に示すように、第２支持軸体１８ｂの下方かつ第３支持軸体１８ｃの側方には、第４支持軸体１８ｄが設けられている。第４支持軸体１８ｄの内部からスリーブ２２の内側にかけて、センサ線１８ｄ１が設けられている。センサ線１８ｄ１の先端には投光素子（例えばＬＥＤ）と受光素子とが対とされたセンサ（図示せず）が設けられている。このセンサによって差込筒体１０内にプラグ３が適正位置まで挿入されたか否かが検出される。センサの出力は、センサ線１８ｄ１を介して図示しない制御部へと伝送される。
【００３１】
制御部は、例えば、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）、及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体等から構成されている。そして、各種機能を実現するための一連の処理は、一例として、プログラムの形式で記憶媒体等に記憶されており、このプログラムをＣＰＵがＲＡＭ等に読み出して、情報の加工・演算処理を実行することにより、各種機能が実現される。なお、プログラムは、ＲＯＭやその他の記憶媒体に予めインストールしておく形態や、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体に記憶された状態で提供される形態、有線又は無線による通信手段を介して配信される形態等が適用されてもよい。コンピュータ読み取り可能な記憶媒体とは、磁気ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、半導体メモリ等である。
【００３２】
図１に示すように、プラグ３は、略円筒形状とされており、内部に流体が流通する流路を備えている。プラグ３の基端部（図１において左方）には、ホース４の一端が固定されている。ホース４の他端は、タンクローリ（図示せず）に固定されている。ホース４の内径は、２５ｍｍ以上、好ましくは５０ｍｍ以上とされている。
【００３３】
プラグ３の後方位置には、キープレート（リング体）３０が取り付けられている。キープレート３０は、無端状のリング形状とされている。キープレート３０の円周方向における複数ヶ所には、先端側（図１において右側）に突出するキー３２が設けられている。複数あるキー３２の内の１つは、他のキー３２よりも円周方向における幅が大きいメインキー３２ａとされている。キープレート３０は、プラグ本体３Ａに対して軸線回りに相対的に回転可能となっている。これにより、図３に示すように、作業者は手動によってキープレート３０を回動させてメインキー３２ａを所望の位置である鉛直上方位置に移動させることができる。
【００３４】
図４には、プラグ３の縦断面図が示されている。なお、図４の下半部には、ソケット５側のロックボール９、差込筒体１０、スリーブ２２及びスリーブ駆動板１９が示されている。
【００３５】
プラグ本体３Ａは、先端側（図４において右側）から、先端筒部３３、中間筒部３４及び基端筒部３５を備えている。これら筒部３３，３４，３５は、共通のプラグ中心軸線Ｌ１を有して接続され、内部に流体が流れる流路が形成される。
【００３６】
先端筒部３３内には、弁体３３ａが収納されている。弁体３３ａは、先端筒部３３の先端側に向かってバネ３３ｂによって付勢されている。これにより、弁体３３ａは、先端筒部３３の先端開口を閉じている。弁体３３ａの先端側の中央には、プラグ中心軸線Ｌ１上に沿って先端側に突出する突出部３３ｃが設けられている。突出部３３ｃは、プラグ３とソケット５とが接続された際に、対向するソケット５側の弁体の突出部（図示せず）に突き当たるようになっている。ソケット５側の弁体の突出部とプラグ３の突出部３３ｃとが突き当たり、バネ３３ｂによる付勢力に打ち勝つことで、弁体３３ａが基端部側に退避し、プラグ３内の流路が開とされる。
【００３７】
先端筒部３３の基端側（左側）と中間筒部３４の先端側とが付き合わされた状態でインローにて接続されている。先端筒部３３と中間筒部３４との間には、Ｏリング３７が設けられており、液密又は気密に接続されている。
【００３８】
先端筒部３３の基端側の外周を覆うように第１固定リング３９が設けられている。第１固定リング３９の外周には、凹所３９ａが円周方向にわたって設けられている。プラグ３をソケット５側に対して接続した際に、差込筒体１０に保持されたロックボール９がスリーブ２２によって半径方向内側へ移動して凹所３９ａに入り込むようになっている。ロックボール９が凹所３９ａ内に嵌合することで、プラグ３がソケット５に対して固定されるようになっている。第１固定リング３９の内周側には、段付きとされた肩部３９ｂが形成されており、この肩部３９ｂに対して先端筒部３３の基端部に設けた大径部が係合するようになっている。第１固定リング３９の基端側の内周には雌ネジ部３９ｃが形成されている。
【００３９】
中間筒部３４の外周の略全体を覆うように第２固定リング４１が設けられている。第２固定リング４１の内周側には、段付きとされた肩部４１ｂが形成されており、この肩部４１ｂに対して中間筒部３４の先端側に設けた大径部が係合するようになっている。第２固定リング４１の先端側の外周には雄ネジ部４１ｃが形成されている。第２固定リング４１の雄ネジ部４１ｃと第１固定リング３９の雌ネジ部３９ｃとを螺合することによって、先端筒部３３と中間筒部３４とが互いに固定される。
【００４０】
第２固定リング４１の雄ネジ部４１ｃには基端部側から止めナット４３が螺結されている。止めナット４３は、第１固定リング３９の基端側の端部に突き当たった位置にて固定されている。止めナット４３は、キープレート３０の内周側に収納されている。止めナット４３の基端部は、キープレート３０の基端部よりも先端側に位置している。これにより、止めナット４３は、キープレート３０の内部に収納されており、キープレート３０の基端部側から突出していない。
【００４１】
止めナット４３の先端側の外周は、基端側よりも小径とされている。これにより、止めナット４３と第１固定リング３９の基端側の端部との間に溝が形成され、この溝内にキープレート３０の先端側の内周側に突出した小径部３０ａが挿入されている。小径部３０ａのプラグ中心軸線Ｌ１方向の寸法は、挿入される溝よりも小さくされている。このようにキープレート３０の小径部３０ａを溝内に遊嵌することで、キープレート３０が回転方向に自由に移動することができる一方で、プラグ中心軸線Ｌ１方向の位置が規制されている。
【００４２】
各キー３２は、それぞれ、キープレート３０に対してボルト４５によって固定されている。ボルト４５は、基端側から先端側に向かってキープレート３０及びキー３２に差し込まれている。なお、キー３２の固定方法は、ボルト４５による固定に限定されるものではなく、例えば、キープレート３０とキー３２とを一体的に形成しても良い。
【００４３】
中間筒部３４の基端側と基端筒部３５の先端側とが付き合わされた状態でインローにて接続されている。中間筒部３４と基端筒部３５との間には、Ｏリング４７が設けられており、液密又は気密に接続されている。
【００４４】
第２固定リング４１の基端側のフランジ４１ａが基端側フランジ４９に対してボルト５０によって固定されている。基端側フランジ４９は、基端筒部３５の基端部の外周に係合された状態で固定されている。ボルト５０は、基端側フランジ４９に対して螺結されている。これにより、基端筒部３５は、中間筒部３４及び先端筒部３３に対して固定される。
【００４５】
基端側フランジ４９の基端側の面には、複数の固定ボルト５２が固定されている。各固定ボルト５２は、ホース４を固定するためのホース用フランジ５３を貫通し、先端にナット５１が螺結される。これにより、ホース用フランジ５３と基端側フランジ４９とが固定されることで、プラグ３に対してホース４が固定される。
【００４６】
図６には、複数のキー３２の円周方向における角度位置が示されている。同図では、３つのキー３２が示されている。鉛直上方すなわち１２時に位置にはメインキー３２ａがキープレート３０に対して固定されている。なお、図６では、回転自在とされたキープレート３０の円周方向の位置を、メインキー３２ａが１２時の位置となるように位置させたときの状態である。
【００４７】
第１サブキー３２ｂは、９時と１２時との中間位置にキープレート３０に対して固定されている。第２サブキー３２ｃは、６時の位置にキープレート３０に対して固定されている。メインキー３２ａの円周方向の幅は、第１サブキー３２ｂや第２サブキー３２ｃよりも大きくされており、約２倍の寸法となっている。第１サブキー３２ｂと第２サブキー３２ｃの円周方向の幅は、同等とされている。なお、第１サブキー３２ｂと第２サブキー３２ｃの幅方向の寸法を異ならせても良い。
【００４８】
メインキー３２ａに対する第１サブキー３２ｂ及び第２サブキー３２ｃの角度位置は、用いられる流体の種類に応じて変更することができるようになっている。具体的には、図７に示すように、プラグ３及びソケット５の流体が流れる流路に面する部材の材質（金属、樹脂等）に応じて第１サブキー３２ｂの位置を（Ａ）〜（Ｃ）で選択できるようになっており、かつ、第２サブキー３２ｃの位置を流体の種類（化学種）に応じて（０１）から（１５）まで選択できるようになっている。このように、プラグ３及びソケット５に用いる材質と流体の種類に応じて１つずつキー３２の配置が選定できるようになっている。
【００４９】
次に、上述したプラグ３をソケット５に接続・解除する動作について説明する。
＜接続前準備工程＞
先ず、図１に示したように、ソケット５に対向した位置にプラグ３を位置される。そして、図３に示したように、キープレート３０を作業者の手動によって回動させて、作業者が上方から視認しやすい位置、すなわちメインキー３２ａが鉛直上方に位置するように位置決めする。
【００５０】
＜挿入工程＞
キープレート３０を位置決めした後に、図８に示すように、プラグ３の先端をソケット５の差込口８に挿入する。そのままプラグ３をソケット５に対して軸線方向に挿入していくと、図９に示すように、ソケット５の差込筒体１０に設けたキー溝１１にキー３２が合致して嵌合される。キー３２とキー溝１１が合致して嵌合すると、ソケット５に対応したプラグ３であることが確認され誤接続が防止される。もし、キー３２に対してキー溝１１が合致していない場合には、プラグ３をソケット５に対して接続位置まで押し込むことができないので、作業者はプラグ３とソケット５とが対応していないことが分かる。
【００５１】
＜ロック工程＞
キー３２とキー溝１１が合致して差込筒体１０に対してプラグ３が適正に挿入されると、プラグ３を差込筒体１０に対して軸線方向に押し込む動作に応じて、図４の下半部に示すように、差込筒体１０に保持された各ロックボール９がプラグ３の第１固定リング３９に設けた凹所３９ａ内に挿入され、プラグ３とソケット５との固定が行われる。
【００５２】
＜前洗浄工程＞
図１０に示すように、図９の状態からプラグ３をソケット本体１３側に引き寄せて第１前進位置Ｐ１まで変位させる。具体的には、制御部の指示により、エア供給配管２４から各シリンダ２３に供給した空気を用いて各支持軸体１８を軸線方向に動作させることによって自動的に行う。そして、図１０に矢印Ａ１及びＡ２で示すように、プラグ３の先端とソケット５との間の空間を純水によって洗浄し、その後、窒素等の不活性ガスで乾燥を行う。この前洗浄工程では、プラグ３の弁体３３ａ（図４参照）及びソケット５の弁体１３ａは閉位置となっており、それぞれの流路を遮断している。
【００５３】
＜流体移送工程＞
次に、図１１に示すように、図１０の第１前進位置Ｐ１から更にプラグ３をソケット本体１３側に引き寄せて第２前進位置Ｐ２まで変位させる。具体的には、制御部の指示により、エア供給配管２４から各シリンダ２３に供給した空気を用いて各支持軸体１８を軸線方向に動作させることによって自動的に行う。このように、プラグ３は、図９に示した初期位置Ｐ０に対して、図１０の第１前進位置Ｐ１および図１１の第２前進位置Ｐ２の２段階に分けて前進させられるようになっている。
【００５４】
第２前進位置Ｐ２までプラグ３が位置すると、プラグ３の弁体３３ａの突出部３３ｃ（図４参照）とソケット５の弁体１３ａの突出部とが突き当たり、互いを押圧して開位置まで変位させることによってそれぞれの流路を解放する。これにより、矢印Ａ３及びＡ４で示すように、流体移送用コネクタ１を介してタンクローリから建屋内のバッファタンクへと流体を移送する。
【００５５】
＜後洗浄工程＞
流体の移送が終了すると、図１２に示すように、図１０と同様の第１前進位置Ｐ１まで後退させる。そして、図１２に矢印Ａ１及びＡ２で示すように、プラグ３の先端とソケット５との間の空間を純水によって洗浄し、その後、窒素等の不活性ガスで乾燥を行う。この後洗浄工程では、プラグ３の弁体３３ａ（図４参照）及びソケット５の弁体１３ａは閉位置となっており、それぞれの流路を遮断している。
【００５６】
＜取り外し工程＞
図１２に示した後洗浄工程が終了すると、図９に示した初期位置Ｐ０までプラグ３を後退させ、制御部の指示により、スリーブ駆動板１９を動作させてスリーブ２２をプラグ３の先端方向（図１２において右方向）に移動させてロックボール９によるロックを解除した後に、プラグ３をソケット５から取り外す。
【００５７】
本実施形態によれば、以下の作用効果を奏する。
図６に示したように、キープレート３０に、２以上のキー３２を設けることによって、プラグ３とソケット５とを１対１に対応させることができ、誤接続を防止することができる。
【００５８】
図４に示したように、第１固定リング３９の外周にプラグ本体３Ａに対して回転自在とされたキープレート３０を設けることとしたので、キー３２をソケット５側のキー溝１１と位置合わせする際に、プラグ本体３Ａを回動させる必要がなく、ひいてはプラグ本体３Ａに固定されたホース４をも回動させる必要がない。これにより、キー３２とキー溝１１との位置合わせの際にホース４と共にプラグ３を回動させるという重労働を作業者に課す必要がない。特に、タンクローリから薬液を移送する際に用いるホース４は太く（例えば内径が２５ｍｍ以上）、剛性を有するので作業が極めて容易となる。
【００５９】
他よりも円周方向の幅が大きいキー３２を設けることによって、これをメインキー３２ａとして認識することができる。これにより、メインキー３２ａを目印としてキープレート３０の回動方向の位置合わせを容易に行うことができる。
【００６０】
メインキー３２ａを鉛直上方に位置させることで、作業者が上方からメインキー３２ａを容易に視認することができるので、作業者に負担を強いずに接続作業を行うことができる。
【００６１】
なお、本実施形態では、キープレート３０を回転自在とすることとしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、キー３２の位置合わせに必要な角度範囲だけ回動できるようになっていればよく、３６０°未満の所定範囲の角度にわたって回動自在とされていれば良い。
【００６２】
また、本実施形態では、プラグ３側にキー３２を設け、ソケット５側にキー溝１１を設ける構成としたが、この逆、すなわちプラグ３側にキー溝を設け、ソケット５側にキーを設ける構成としても良い。
【００６３】
また、移送する流体としては、ホース４の剛性が大きいのでガスよりも液体の方が好ましいが、本発明はこれに限定されるものではなく、ガスにも適用できる。
【符号の説明】
【００６４】
１  流体移送用コネクタ
３  プラグ
３Ａ  プラグ本体
４  ホース
５  ソケット
６  配管
８  差込口
９  ロックボール
１０  差込筒体
１１  キー溝
１１ａ  メインキー溝
１３  ソケット本体
１３ａ  弁体
１５  前側固定板
１６  後側固定板
１７  脚部
１８  支持軸体
１８ａ  第１支持軸体
１８ａ１  蓋部駆動用軸体
１８ｂ  第２支持軸体
１８ｂ１  スリーブ駆動板用軸体
１８ｃ  第３支持軸体
１８ｃ１  スリーブ駆動板用軸体
１８ｄ  第４支持軸体
１８ｄ１  センサ線
１９  スリーブ駆動板
２０  前側支持板
２１  後側支持板
２２  スリーブ
２２ａ  先端
２３  シリンダ
２４  エア供給配管
２７  蓋部
２９ａ  第１アクチュエータ
２９ｂ  第２アクチュエータ
２９ｃ  第３アクチュエータ
３０  キープレート（リング体）
３０ａ  小径部
３２  キー
３２ａ  メインキー
３３  先端筒部
３３ａ  弁体
３３ｂ  バネ
３３ｃ  突出部
３４  中間筒部
３５  基端筒部
３７  Ｏリング
３９  第１固定リング
３９ａ  凹所
３９ｂ  肩部
３９ｃ  雌ねじ部
４１  第２固定リング
４１ａ  フランジ
４１ｂ  肩部
４１ｃ  雄ネジ部
４３  止めナット
４５  ボルト
４７  Ｏリング
４９  基端側フランジ
５０  ボルト
５１  ナット
５２  固定ボルト
５３  ホース用フランジ
Ｌ１  プラグ中心軸線
Ｐ０  初期位置
Ｐ１  第１前進位置
Ｐ２  第２前進位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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