(57)【要約】【課題】センサ装置を薄型化する。【解決手段】被観察体をセンシングするセンサ装置であって、光源と、透明部材と、透明部材の一面側にある被観察体において反射した光を、受光する受光部と、を備える。光源は、透明部材の一面の反対面に設けられた透明電極と、透明電極に対向する対向電極と、透明電極と対向電極との間に設けられた発光部と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被観察体をセンシングするセンサ装置であって、
光源と、
透明部材と、
前記透明部材の一面側にある被観察体において反射した光を、受光する受光部と、を備え、
前記光源は、前記透明部材の前記一面の反対面に設けられた透明電極と、前記透明電極に対向する対向電極と、前記透明電極と前記対向電極との間に設けられた発光部と、を備える
ことを特徴とするセンサ装置。
【請求項２】
前記対向電極が光を反射する反射電極であることを特徴とする、請求項１に記載のセンサ装置。
【請求項３】
前記光源が発光ダイオードであることを特徴とする、請求項１又は２に記載のセンサ装置。
【請求項４】
前記被観察体において反射した光を前記受光部へと集光させる集光部をさらに備えることを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載のセンサ装置。
【請求項５】
前記集光部が前記透明部材上に設けられていることを特徴とする、請求項４に記載のセンサ装置。
【請求項６】
被観察体をセンシングするセンサ装置であって、
光源と、
透明部材と、
前記透明部材の一面側にある被観察体において反射した光を、受光する受光部と、
前記透明部材上に設けられた、前記被観察体において反射した光を前記受光部へと集光させる集光部と、
を備えることを特徴するセンサ装置。
【請求項７】
前記集光部が、前記透明部材の前記一面の反対面に設けられていることを特徴とする、請求項５又は６に記載のセンサ装置。
【請求項８】
前記集光部が、前記透明部材の前記一面に設けられていることを特徴とする、請求項５又は６に記載のセンサ装置。
【請求項９】
前記透明部材の前記一面に設けられた、前記被観察体と触れる平坦面を有する透明材をさらに備え、
前記集光部は前記透明材に埋まっていることを特徴とする、請求項８に記載のセンサ装置。
【請求項１０】
前記集光部が、前記透明部材の前記反対面から離れて配置されており、前記反対面と前記集光部の間には透明材が配置されていることを特徴とする、請求項４に記載のセンサ装置。
【請求項１１】
前記集光部は凸レンズ又は凹レンズであることを特徴とする、請求項４から１０のいずれか１項に記載のセンサ装置。
【請求項１２】
複数の前記集光部を備えることを特徴とする、請求項１１に記載のセンサ装置。
【請求項１３】
前記複数の集光部が一方向に配列していることを特徴とする、請求項１２に記載のセンサ装置。
【請求項１４】
前記複数の集光部が面方向に配列していることを特徴とする、請求項１２に記載のセンサ装置。
【請求項１５】
前記光源に接続されたフレキシブル配線基板をさらに備えることを特徴とする、請求項１から１４のいずれか１項に記載のセンサ装置。
【請求項１６】
前記受光部が載置されているフレキシブル配線基板をさらに備えることを特徴とする、請求項１から１４のいずれか１項に記載のセンサ装置。
【請求項１７】
前記受光部が載置されており、かつ前記光源に接続されているフレキシブル配線基板をさらに備えることを特徴とする、請求項１から１４のいずれか１項に記載のセンサ装置。
【請求項１８】
請求項１から１７のいずれか１項に記載のセンサ装置を備える携帯型撮像装置。
【請求項１９】
請求項１から１７のいずれか１項に記載のセンサ装置を備える医療機器。
【請求項２０】
請求項１から１７のいずれか１項に記載のセンサ装置を備える画像読取装置。
【請求項２１】
請求項１から１７のいずれか１項に記載のセンサ装置を備える検知装置。
【請求項２２】
請求項２１に記載の検知装置を備え、前記検知装置は前記被観察体である硬貨を検知して前記硬貨の種類を判別することを特徴とする、硬貨種類判別装置。
【請求項２３】
請求項１から１７のいずれか１項に記載のセンサ装置を備える製膜装置であって、前記センサ装置は膜の表面状態をスキャンすることを特徴とする、製膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサ装置、携帯型撮像装置、医療機器、画像読取装置、検知装置、硬貨種類判別装置、及び製膜装置に関し、特に、例えばカメラ及びスキャナに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、画像読み取り装置を開示している。特許文献１に係る画像読み取り装置においては、透明板２には原稿Ｄが載置され、基板５が有する光源６が原稿Ｄを照らす。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１１５４８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に係る画像読み取り装置においては、光源６からの光が通る照明用光路１６が必要であり、装置の薄型化に制約があった。
【０００５】
本発明は、センサ装置を薄型化することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の目的を達成するために、例えば、本発明のセンサ装置は以下の構成を備える。すなわち、
被観察体をセンシングするセンサ装置であって、
光源と、
透明部材と、
前記透明部材の一面側にある被観察体において反射した光を、受光する受光部と、を備え、
前記光源は、前記透明部材の前記一面の反対面に設けられた透明電極と、前記透明電極に対向する対向電極と、前記透明電極と前記対向電極との間に設けられた発光部と、を備える
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
センサ装置を薄型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】一実施形態に係るセンサ装置を示す模式図。
【図２】集光部と受光部を説明する模式図。
【図３】保護部材を有するセンサ装置を示す模式図。
【図４】集光部を透明部材の一面に配置したセンサ装置を示す模式図。
【図５】集光部を透明部材の一面に配置したセンサ装置を示す模式図。
【図６】屈折率分布型の集光部を透明部材内に配置したセンサ装置を示す模式図。
【図７】集光部を透明材の面に配置したセンサ装置を示す模式図。
【図８】センサ装置を搭載した携帯型撮像装置の一例を示す模式図である。図１，３〜７の断面方向を示す。
【図９】光源が配置される透明部材が曲面を有するセンサ装置を示す模式図。
【図１０】ロール紙に画像形成する画像形成装置の模式図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また実施形態で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明に必須のものとは限らない。実施形態で説明されている複数の特徴のうち二つ以上の特徴は任意に組み合わされてもよい。また、同一若しくは同様の構成には同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
【００１０】
本発明の一実施形態に係るセンサ装置において、光源は、透明部材の一面の反対面に設けられた透明電極と、透明電極に対向する対向電極と、透明電極と対向電極との間に設けられた発光部と、を備える。このように、透明部材の一面側にある被観察体をセンシングするセンサ装置において、透明部材の反対面に光源を設けることにより、光源を被観察体の近くに設けることが可能となる。このような構成によれば、光源からの光を被観察体に導くための導光路を短く又は不要にすることが可能となるため、センサ装置を小型化することができる。さらに、導光路を短く又は不要にすることにより、被観察体において反射した光を受光部へと集光させる集光部を被観察体又は透明部材に近づけることが可能となるため、センサ装置をさらに小型化することができる。
【００１１】
図１は、本発明の一実施形態に係るセンサ装置をしめす模式図である。符号１はセンサ装置、２は透明部材、３は光源、４は集光部、５は受光部である。
【００１２】
透明部材２は、可視光に対して透明な部材であり、たとえばポリカーボネートのようなプラスチックである。透明部材２の材料はほかには例えばメチルメタクリレート、エポキシ、アクリル、等を含むものでもよい。透明部材は無色のものを用いることができる。透明部材２の一面６には、被観察体７を載置する。被観察体７は、センサ装置１によるセンシングの対象であり、例えば文字や画像が記された紙である。この例において、透明部材は平坦な表面である一面６を有することができる。本実施形態において透明部材２はプラスチックであるが、別の実施形態において透明部材２はガラスでもよい。透明部材２は、紙をスキャンする際に紙が載置されるプラテンガラス又はプラテン透明部材でもよい。
【００１３】
光源３は、被観察体７に光を照射する。光源３は、透明部材２の一面６の反対面８に設けられた透明電極３ａと、透明電極３ａに対向する対向電極３ｃと、透明電極３ａと対向電極３ｃとの間に設けられた発光部３ｂと、を備える。光源３は、例えば白色ＬＥＤ（発光ダイオード）である。ＬＥＤは、一対の電極（透明電極と反射電極）が対向した構造を有し、透明部材側から離れる方向に、少なくとも透明電極、発光層、反射電極がこの順で積層した構成である。ＬＥＤは、電極に直流が流れ、発光層が発光するダイオード構造を有している。
【００１４】
透明電極３ａは例えばＩＴＯである。また、対向電極３ｃは光を反射する反射電極であってもよく、例えばＡｇ、Ａｌ、Ｃｒ等である。このように、透明電極３ａが透明部材側に配置され、そこから離れた対向側に反射電極が設けられる。発光部３ｂは、透明部材２上に設けられた透明電極３ａと、対向電極３ｃと、を介して電力を受けることができる。発光ダイオードが発した光は、透明部材２を介して、透明部材２の一面６の側にある被観察体７（例えば紙）を照射する。
【００１５】
白色ＬＥＤは、ＲＧＢ三色の、計３つの発光素子が一組であるものである。３つの発光素子は面内に並んで配置されている。本実施形態で光源３は、一対の電極の間に発光層のほかにホール輸送層や電子輸送層等の層を有してもよい。材料が異なる２層の界面（例えば電子輸送層とホール輸送層との界面）が光る場合には、これらの２層を発光層と呼ぶことができる。発光素子は、本実施形態では有機ＥＬ素子である。
【００１６】
本実施形態において光源３が発する光は可視光である。しかしながら、光には電磁波が含まれ、別の実施形態において、光源３は可視光、紫外光、赤外光、又はｘ線等を発してもよいし、これらを少なくとも２つ有する光を発してもよい。例えば、光源３は紫外光を含む可視光を発してもよい。
【００１７】
本実施形態に係るセンサ装置１は、被観察体７において反射した光を受光部５へと集光させる集光部４を有していてもよい。光源３からの光は被観察体７（例えば紙）において反射し、集光部４はこの反射光を集光して受光部５へ届ける。すなわち集光部４は、反射光の、受光部５までの経路途中に配置されている。
【００１８】
図１の例において、集光部４は透明部材上に設けられている。このように、集光部４を透明部材２又は被観察体７に近づけて配置することにより、センサ装置１をより小型化することができる。図１の例において、集光部４は、曲面形状の凸レンズである。しかしながら、集光部４の構成は特に限定されない。例えば、図５に示すように集光部４は凹レンズであってもよい。また、図６に示すように、センサ装置１は、成分の濃度分布により、形状によらないで屈折率分布を利用したタイプのレンズである集光部４を有していてもよい。
【００１９】
図１の例において、光源３と受光部５の間は離間している。透明部材２と配線基材１１は、不図示のスペーサ、それぞれを支持するフレーム、あるいは両者を支持するフレームにより支持されている。そのため、透明部材２と配線基材１１はへだてられている。
【００２０】
光源３は、薄く、各層が数十〜数百μｍ程度であってもよい。図面において、各部の大きさは必ずしも実際の大きさを反映しているわけではないが、図１に示されるように、凸レンズである集光部４は光源３よりも高くてもよい。
【００２１】
本実施形態に係るセンサ装置１は、透明材９を有していてもよい。透明材９は、光源３（例えば対向電極３ｃ）の酸化を防止する、又は水分から保護することができる。例えば、光源３は透明材９に埋まっていてもよい。また、透明材９は、凸レンズである集光部４を覆い埋めていてもよい。図１の例において、透明材９は、光源３及び集光部４を埋めるように、透明部材２の反対面８に設けられている。図１の例において、透明材９の表面１０は平坦である。透明材９及び集光部４の材料は、例えばメチルメタクリレート、エポキシ、アクリル、等を含むものでよい。本実施形態において透明材９や集光部４は無色透明であるが、必要に応じ着色されていてもよい。
【００２２】
受光部５は、透明部材２の一面６側にある被観察体７において反射した光を受光する。受光部５は例えば光センサである。受光部５は、複数の受光素子で構成されていてもよい。また、集光部４は受光部５に対応する形状又は配置を有していてもよい。例えば、本実施形態に係るセンサ装置１は、１つの集光部４を有していてもよいが、複数の集光部４（例えば複数のレンズ群）を有していてもよい。
【００２３】
一実施形態において、受光部５はエリアセンサである。図２（Ｂ）はエリアセンサの一例を模式的に示す。図２（Ｂ）に示すように、エリアセンサにおいては、受光部５を構成する複数の受光素子が面方向に（二次元に）配列している。受光素子は、たとえばＣＭＯＳのような光電変換素子であってもよい。各素子が画素を構成していてもよいし、あるいは複数の素子（サブピクセルに対応した複数の素子）により一画素が構成されていてもよい。この場合、図２（Ｂ）に示すように、それぞれが例えばレンズである複数の集光部４が面方向に（二次元）に配列していてもよい。例えば、二次元に配列したレンズ群である複数の集光部４は、フライアイレンズでもよい。
【００２４】
別の実施形態において、受光部５はラインセンサであってもよい。図２（Ａ）はラインセンサの一例を模式的に示す。図２（Ａ）に示すように、受光部５は、ＣＭＯＳ等の複数の受光素子が一方向に配列しているアレイ状のセンサ、すなわちラインセンサアレイであってもよい。ラインセンサとは複数の受光素子が一方向に配置されている構成を指す。この場合、図２（Ａ）に示すように、それぞれが例えばレンズである複数の集光部４が一方向に配列していてもよい。
【００２５】
図１の例において、センサ装置１は、受光部５が載置されている配線基材１１を備えている。配線基材１１は、例えばガラスエポキシを有する、リジッドなプリント配線基板であってもよい。配線基材１１は、外部から電力の供給を受けることができる。また、配線基材１１は、受光部５が光電変換して得た信号を、外部に送出することができる。さらに、配線基材１１は、光源３に電流を供給することができる。例えば、センサ装置１は、光源３に接続された、不図示のフレキシブル配線基板をさらに有していてもよい。配線基材１１にこのようなフレキシブル配線基材を接続することにより、配線基材１１はその先に接続されている光源３へ電流を供給することができる。また、センサ装置１は、受光部５が光電変換して得た信号を受光部５から外（例えば配線基材１１）へ伝達するフレキシブル配線基材を有していてもよい。
【００２６】
一方で、配線基材１１は、リジッドなプリント配線基板のほかに、ポリイミド樹脂等を成分として有するいわゆるフレキシブル配線基材であってもよい。配線基材１１がフレキシブル配線基材である場合、透明部材２の光源３へ電力や制御信号を伝えるためのフレキシブル配線を配線基材１１が有してもよい。言い換えると、センサ装置１は、受光部５が載置されており、かつ光源３に接続されているフレキシブル配線基板をさらに有していてもよい。この場合、受光部５を搭載している配線基材１１の一部が曲げられて光源３と接続していてもよい。
【００２７】
本実施形態によれば、薄型の発光部３を透明部材２に設けることができるため、発光部３を被観察体７の至近に設けることができる。また、受光部５も集光部４を介して透明部材２の近くへ配置することができる。このため、薄いセンサ装置１を提供することができる。
【００２８】
本実施形態に係るセンサ装置１は透明材９を有しているが、別の実施形態に係るセンサ装置１には透明材９を設けなくてもよい。この場合、センサ装置１は、酸素や水分から光源３を保護するための保護部材１２を有していてもよい。図３はこのような構成を示す。保護部材１２は、光源３を収容する缶又は格納容器であってもよい。また、保護部材１２は、透明材９と同様の成分を有していてもよく、光源３を封止することができる。
【００２９】
本発明の別の実施形態に係るセンサ装置１は、光源３と、透明部材２と、透明部材２の一面６側にある被観察体７において反射した光を受光する受光部５と、を備えている。そして、センサ装置１は、透明部材２上に設けられた、被観察体７において反射した光を受光部５へと集光させる集光部４と、を有している。このように、被観察体７において反射した光を受光部５へと集光させる集光部４を透明部材２上に設けることにより、センサ装置１を小型化することができる。この場合、光源３を透明部材２上に設けることは必須ではない。
【００３０】
図１に示す上述の実施形態において、集光部４は透明部材２上に、すなわち透明部材２の反対面８に設けられている。一方で、集光部４は透明部材２に設けることができ、その位置は特に限定されない。例えば図４に示すように、透明部材２の中に集光部４が設けられていてもよい。また、図５に示すように、透明部材２の一面６に集光部４が設けられていてもよい。図５の例において、集光部４は、一面６に設けられた別の透明材に埋まっていてもよい。すなわち、センサ装置１は、透明部材２の一面６に設けられた、被観察体７と触れる平坦面を有する透明材をさらに有していてもよく、ここで集光部４は透明材に埋まっていてもよい。
【００３１】
さらに、集光部４が、透明部材２の反対面８から離れて配置されていてもよい。例えば、図７に示すように、集光部４は透明部材２の反対面８側に設けられていてもよい。図７の例では、集光部４は、光源３を覆う透明材９の表面に設けられており、集光部４と透明部材２とは離間している。このように、反対面８と集光部４の間には透明材９が配置されていてもよい。さらなる別の例として、集光部４は透明部材２の一面６側に設けられていてもよい。例えば、集光部４が、透明部材２の一面６に設けられ、被観察体７と触れる平坦面を有する透明材に埋まっていてもよく、ここで集光部４と透明部材２とが離間していてもよい。このように、一面６と集光部４の間に透明材９が配置されていてもよい。
【００３２】
図８（ａ）は、本実施形態に係るセンサ装置１を内蔵する携帯型撮像装置（スマートフォン等の携帯電話）を示す模式図である。上面に対する裏面（不図示）はディスプレイが設けられた面である。集光部４は、デジタルカメラの撮像レンズを兼ねる。光源３、集光部４、受光部５はいずれも携帯型撮像装置に内蔵されている。受光部５は光源３や集光部４と比べて奥に内蔵されているので点線で示されている。図８（ｂ）は、受光部５が先述のラインセンサアレイである場合を示した模式図である。
【００３３】
また、センサ装置は、紙とセンサ装置の少なくともいずれか一方を移動させる移動部を有してもよい。たとえば、紙を搬送ベルトに乗せて移動させてもよいし、センサ装置をキャリッジによって移動させてもよい。紙とセンサ装置の少なくともいずれか一方が移動することで紙とセンサ装置の相対位置が変化する。これにより、ラインセンサアレイである受光部５も二次元画像を読み取ることができる。
【００３４】
本実施形態において被観察体は紙であるが、本発明における被観察体は、ほかにも生体、真贋判定が必要な紙幣や有価証券やチケットやくじなどであってもよい。ほかには、センサ装置は、たとえば被観察体における化学反応を可視又は不可視を問わず検出してもよい。被観察体は、それが有する像を本実施形態のセンサ装置によって撮像されてもよい。被観察体においては、上記の化学反応を検出する場合のように、色が変化したり、不可視なものが紫外線を照射されることで可視化されたりするような現象の有無だけが検出されてもよい。本実施形態において被観察体は紙等の固体であるが、本発明における被観察体は、ほかにも流れる流体でもよく、流体は気体でも固体でも液体でもよい。例えば、液体が流れる流路に、流体に含まれる成分やｐＨ等の流体の性質により化学変化により色が変わる色素等を配置し、その色が着色するあるいは別の色に変わるのを本発明のセンサ装置が検知してもよい。他にも被観察体はプラスチックや金属でもよい。
【００３５】
本発明に係るセンサ装置は、被観察体を検知する検知装置において用いることもできる。あるいは被観察体は硬貨でもよく、本発明に係るセンサ装置は、センサ装置を通過する硬貨を検知する検知装置において用いることができる。さらには、検知された硬貨の枚数をカウントする硬貨センサにおいて本発明に係るセンサ装置を用いることもできる。また、本発明に係るセンサ装置は、硬貨種類判別装置において、被観察体である硬貨を検知して硬貨の種類を判別する検知装置として本発明に係るセンサ装置を用いることもできる。センサ装置を通過するとは、センサ装置と被観察体（例えば硬貨）の少なくともいずれか一方が動くことで相対的に両者の位置が変化し、センサ装置が被観察体をセンシングできることを意味する。
【００３６】
センサ装置は検知された被観察体の記録（画像を含む）や、判別結果、判別指標等を、検討、記録、又は保存するメモリーやプロセッサ等を内蔵していてもよい。あるいはそれらがセンサ装置外部にある場合は、センサ装置はインターフェースや無線によりそれらと接続されてもよい。
【００３７】
図９は、本実施形態に係るセンサ装置１を曲面に配置する場合を説明する模式図である。本図において、透明部材２は曲面を有している。光源３に接続する配線基材はフレキシブル配線基材であることが狭い空間に配線基材をはいまわすことができるので好ましい。フレキシブル配線基材ははいまわすことができるので、配線基材１１の受光部５が設けられている面の裏面において配線基材と接続できる。図９の例では、フレキシブル配線基材２０が配線基材１１と光源３とを接続している。
【００３８】
配線基材１１が細長く、配線基材１１の短手の辺の長さよりもフレキシブル配線の幅が広い場合、配線基材１１の長手の辺へとフレキシブル配線基材が接続するほうが接続しやすく、接続信頼性が高い。一方で、フレキシブル配線基材の長手辺の方向とは異なる方向とフレキシブル配線基材の幅の方向がそろうように透明部材２へ接続する場合であっても、フレキシブル配線は捻ることができるので、フレキシブル配線基材は好ましく用いることができる。
【００３９】
図１０は本発明に係るセンサ装置を画像形成装置に用いる場合を示す模式図である。例えばローラー紙１６を巻き流す際に、画像形成部１５の、上流と下流に、本実施形態に係るセンサ装置１３，１４を設けることができる。画像形成装置は、被観察体であるローラー紙に画像形成を施すほかに、被観察体である枚葉紙に画像形成を施してもよい。画像形成装置が用いる画像形成方式は、インクジェット方式、電子写真方式、液体現像方式、昇華方式などでもよい。画像形成装置は、コンシューマ用、オフィス用、商業印刷用のどれでもよい。
【００４０】
センサ装置は、画像形成部１５の上流と下流のいずれか一方に設けてもよい。上流にあるセンサ装置１３は、記録媒体である紙等を観察し、その色味、汚れ、位置などを観察することができる。下流にあるセンサ装置１４は、記録された紙等の被観察体の、記録状態、上記の色味、汚れ、位置などを観察することができる。
【００４１】
他にも本発明に係るセンサ装置は、画像読取装置に用いることができ、例えば患者のカルテやタグ、患者に渡す薬を収容した袋等を読み取るための携帯読取装置に用いることができる。さらには、本発明に係るセンサ装置は医療機器に用いることができ、例えば検体の撮像を行うために用いることができる。医療機器に搭載される場合、光源は白色光等の可視光の波長以外の電磁波を発してもよい。具体的には、光源は、青色〜赤色より短いあるいは長い波長、例えばＸ線、高周波、ラジオ波、例えば１〜５０ＭＨｚ、より具体的には１〜２０ＭＨｚの電磁波を発してもよい。医療機器は、例えばエコー又はマンモグラフィ装置である。一実施形態に係るセンサ装置においては、透明部材が光源等の電磁波発生源を有し、被観察体の至近から電磁波を被観察体へ届ける。そして、被観察体からの電磁波をセンサ（例えば受光部５）が受け取ることができる。このようなセンサ装置は、電磁波発生源へ電力を供給するフレキシブル配線基材を有していてもよい。フレキシブル配線基材は母材がポリイミド等であるためフレキシブルであり、このため、センサ装置内の狭い空間であってもフレキシブル配線基材を収容することができる。他にも本発明に係るセンサ装置は、名刺等の小さな面をスキャンするドキュメントスキャナである携帯型撮像装置に用いてもよい。
【００４２】
他にも本発明に係るセンサ装置は、製造装置に搭載することもできる。この場合、特定の被観察体の仕上がり具合をチェックするためにスキャンすることを目的とする部分として製造装置に搭載することができる。例えば、本発明に係るセンサ装置は、製膜装置に搭載されてもよく、このセンサ装置は膜の表面状態をスキャンすることができる。より具体的には、センサ装置は、製膜した膜の表面状態、具体例としては無電解めっき等の製造方法を利用して得られる金メッキ膜の仕上がり具合をスキャンするための部分として、用いることができる。表面状態とは例えば、製膜された膜の色味や金属光沢等である。
【００４３】
発明は上記の実施形態に制限されるものではなく、発明の要旨の範囲内で、種々の変形・変更が可能である。
【符号の説明】
【００４４】
１  センサ装置、２  透明部材、３  光源、４  集光部、５  受光部、６  一面、７  被観察体、８  一面の反対面、９  透明材、１０  透明材９の表面、１１  配線基材
【図１】
2020108016.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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