(57)【要約】【課題】配置場所に関わらず、乾燥空気製造処理で生じるドレンの排出処分を可能にするとともに、回収したドレンを十分に処理することで、排出したドレンによる周囲の機器への影響を抑える。【解決手段】乾燥空気製造装置（４）で発生したドレン（Ｄ（Ｌ））を回収するドレン回収手段（８）と、一端側が外気に開放された開放部（開口部１２）を備えており、ドレン回収手段を通じて取り込んだドレンを気化処理するドレン処理槽（１０）と、ドレン処理槽に設置され、少なくともドレン処理槽の一部を、ドレンが気化する温度に加熱するヒーター（１６）と、ドレン処理槽の内部に向けて送風し、気化したドレンを開放部から外気に放出させる送風機（１８）と、ドレンの加熱温度を検出する温度センサ（１９）と、温度センサの検出温度情報に基づいて、ヒーターの動作を切替える制御部（２０）を備える。【選択図】    図１
2020000996.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
乾燥空気製造装置で発生したドレンを回収するドレン回収手段と、
一端側が外気に開放された開放部を備えており、前記ドレン回収手段を通じて取り込んだ前記ドレンを気化処理するドレン処理槽と、
前記ドレン処理槽に設置され、少なくとも前記ドレン処理槽の一部を、前記ドレンが気化する温度に加熱するヒーターと、
前記ドレン処理槽の内部に向けて送風し、気化した前記ドレンを前記開放部から外気に放出させる送風機と、
前記ドレンの加熱温度を検出する温度センサと、
前記温度センサの検出温度情報に基づいて、前記ヒーターの動作を切替える制御部と、
を備えることを特徴とするドレン処理装置。
【請求項２】
さらに、前記ドレン処理槽の前記開放部に対向する端部側を封止する封止部材と、
前記ドレン処理槽内部に前記送風機を配置させる支持部材と、
を備え、前記送風機から送られた風が前記ドレン処理槽内に面した前記封止部材の壁面に接触して反射または拡散して、気化した前記ドレンとともに前記開放部から排出されることを特徴とする請求項１に記載のドレン処理装置。
【請求項３】
前記温度センサは、前記ドレン処理槽内の温度、前記ヒーターの温度または前記封止部材の所定位置のいずれかまたは２以上の温度を検出し、
前記制御部は、検出温度が基準値未満の場合に前記ヒーターを動作させて、検出温度が該基準値またはそれ以上の温度に達したときに前記ヒーターを停止させることを特徴とする請求項２に記載のドレン処理装置。
【請求項４】
前記封止部材は、前記ドレン処理槽内側の一部にドレンを収集するドレン収集部が形成されており、
前記ヒーターは、少なくとも前記ドレン収集部を加熱して、前記ドレン収集部にあるドレンを気化させることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のドレン処理装置。
【請求項５】
さらに、載置部を含む筐体と、
前記載置部と前記封止部材または前記ドレン処理槽との間を所定間隔に維持して支持する弾性支持部材と、
を備えることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のドレン処理装置。
【請求項６】
前記ドレン回収手段は、前記乾燥空気製造装置から排出される前記ドレンを含む圧縮気体を取込み、該圧縮気体を衝突させて少なくとも前記ドレンを分離させる分離壁を含むことを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のドレン処理装置。
【請求項７】
所定の圧力下で、吸着剤により特定ガスを分離させる乾燥空気製造装置であって、
発生したドレンを回収するドレン回収手段と、
一端側が外気に開放された開放部を備えており、前記ドレン回収手段を通じて取り込んだ前記ドレンを気化処理するドレン処理槽と、
前記ドレン処理槽に設置され、少なくとも前記ドレン処理槽の一部を、前記ドレンが気化する温度に加熱するヒーターと、
前記ドレン処理槽の内部側に向けて送風し、気化した前記ドレンを前記開放部から外気に放出させる送風機と、
前記ドレンの加熱温度を検出する温度センサと、
前記温度センサの検出温度情報に基づいて、前記ヒーターの動作を切替える制御部と、
を備えることを特徴とする乾燥空気製造装置。
【請求項８】
前記ドレン回収手段は、前記ドレンを含む圧縮気体を取込み、該圧縮気体を衝突させて少なくとも前記ドレンを分離させる分離壁を含むことを特徴とする請求項７に記載の乾燥空気製造装置。
【請求項９】
所定の圧力下で、吸着剤により特定ガスを分離させる乾燥空気製造装置と、
前記乾燥空気製造装置で発生したドレンを回収するドレン回収手段と、
一端側が外気に開放された開放部を備えており、前記ドレン回収手段を通じて取り込んだ前記ドレンを気化処理するドレン処理槽、少なくとも前記ドレン処理槽の一部を、前記ドレンが気化する温度に加熱するヒーター、前記ドレン処理槽の内部側に向けて送風し、気化した前記ドレンを前記開放部から外気に放出させる送風機、前記ドレンの加熱温度を検出する温度センサ、前記温度センサの検出温度情報に基づいて、前記ヒーターの動作を切替える制御部を含むドレン処理装置と、
を含むことを特徴とするドレン処理システム。
【請求項１０】
前記ドレン回収手段は、前記乾燥空気製造装置から排出される前記ドレンを含む圧縮気体を取込み、該圧縮気体を衝突させて少なくとも前記ドレンを分離させる分離壁を含むことを特徴とする請求項９に記載のドレン処理システム。
【請求項１１】
発生したドレンを回収する処理と、
回収した前記ドレンをドレン処理槽に取り込む処理と、
少なくとも前記ドレン処理槽の一部を、ヒーターにより前記ドレンが気化する温度に加熱する処理と、
前記ドレン処理槽の内部側に向けて送風機で送風し、気化した前記ドレンを前記ドレン処理槽の一端に形成されている開放部から外気に放出させる処理と、
前記ドレンの加熱温度を検出する温度センサの検出温度情報に基づいて、前記ヒーターの動作を切替える処理と、
を含むことを特徴とするドレン処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス製造において発生するドレンの処理技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種製造業においては、たとえばパージガス、乾燥用ガス、キャリアガスなどに、一般的に乾燥圧縮空気が使用されている。この乾燥圧縮空気は、大気中の空気をコンプレッサなどで圧縮して生成される。大気中の空気には、水蒸気が含まれている。大気中の空気は、加圧して圧力が上昇すると飽和水蒸気量が減少する。また、空気は高温になるほど飽和水蒸気量が増加する。つまり、空気に圧力をかけると、気体成分は圧縮されるが水蒸気成分は圧縮されず、飽和した水分が析出する。さらに圧縮によって高温化した空気を所定温度まで冷却すると、水蒸気が凝縮される。このように析出した液状の水分がドレンとなる。
このように発生したドレンは、所定の箇所に回収して排出させたり、または加熱して蒸発させたりすることが知られている。
【０００３】
ドレンの処理に関し、たとえば乾燥圧縮空気を冷却する冷却部を備える除湿装置本体の底部に、結露した水を排出する排水路を設けるものが知られている（たとえば、特許文献１）。また、空気を圧縮する圧縮機本体に対して密閉型の蒸発器が接続され、その内部にドレンが所定の水位で貯められるとともに、この蒸発器で蒸発したドレンが排出煙突を通じて排気されるものが知られている（たとえば、特許文献２）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−  ５２６１１号公報
【特許文献２】特開２０１７−１６１１７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、排水管などを通じてドレンを液状のまま排水孔まで流す場合、設備の配置状態に応じた配管設計や配管処理が必要になり、設置コストや設置処理の手間がかかるという課題がある。また、発生したドレンを貯めておき、たとえば設備が稼動していないタイミングで一括して廃棄する手段をとる場合、ドレンを貯めるタンクやその配管設備の準備が必要なほか、圧縮空気の生成処理とは別にドレンの排出処理のタイミング設定やその排出作業が必要となり、手間がかかるという課題がある。
そのほか、回収したドレンをガス製造装置外に放出して排出する場合、設備内部や周囲に設置される機器などに影響を与えないようにする必要がある。つまり、ドレンを液状のまま大気中に噴射すると、設備内の空気の密度や温度に影響を与え、たとえば設備において処理の対象外の物質が混在させるおそれがあるという課題がある。そのため、大気中にドレンを排出する場合には、十分な処理を施す必要がある。
【０００６】
斯かる課題について、特許文献１、２には開示や示唆はなく、これらの文献に開示された構成では斯かる課題を解決することができない。
【０００７】
そこで、本発明の目的は上記課題に鑑み、配置場所に関わらず、乾燥空気製造処理で生じるドレンの排出処分を可能にすることにある。
また、本発明の他の目的は、回収したドレンを十分に処理することで、排出したドレンによる周囲の機器への影響を抑えることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明のドレン処理装置の一側面は、乾燥空気製造装置で発生したドレンを回収するドレン回収手段と、一端側が外気に開放された開放部を備えており、前記ドレン回収手段を通じて取り込んだ前記ドレンを気化処理するドレン処理槽と、前記ドレン処理槽に設置され、少なくとも前記ドレン処理槽の一部を、前記ドレンが気化する温度に加熱するヒーターと、前記ドレン処理槽の内部に向けて送風し、気化した前記ドレンを前記開放部から外気に放出させる送風機と、前記ドレンの加熱温度を検出する温度センサと、前記温度センサの検出温度情報に基づいて、前記ヒーターの動作を切替える制御部とを備える。
【０００９】
上記ドレン処理装置において、さらに、前記ドレン処理槽の前記開放部に対向する端部側を封止する封止部材と、前記ドレン処理槽内部に前記送風機を配置させる支持部材とを備え、前記送風機から送られた風が前記ドレン処理槽内に面した前記封止部材の壁面に接触して反射または拡散して、気化した前記ドレンとともに前記開放部から排出させてよい。
上記ドレン処理装置において、前記温度センサは、前記ドレン処理槽内の温度、前記ヒーターの温度または前記封止部材の所定位置のいずれかまたは２以上の温度を検出し、前記制御部は、検出温度が基準値未満の場合に前記ヒーターを動作させて、検出温度が該基準値またはそれ以上の温度に達したときに前記ヒーターを停止させてよい。
上記ドレン処理装置において、前記封止部材は、前記ドレン処理槽内側の一部にドレンを収集するドレン収集部が形成されており、前記ヒーターは、少なくとも前記ドレン収集部を加熱して、前記ドレン収集部にあるドレンを気化させてよい。
【００１０】
上記ドレン処理装置において、さらに、載置部を含む筐体と、前記載置部と前記封止部材または前記ドレン処理槽との間を所定間隔に維持して支持する弾性支持部材とを備えてよい。
上記ドレン処理装置において、前記ドレン回収手段は、前記乾燥空気製造装置から排出される前記ドレンを含む圧縮気体を取込み、該圧縮気体を衝突させて少なくとも前記ドレンを分離させる分離壁を含んでよい。
【００１１】
上記目的を達成するため、本発明の乾燥空気製造装置の一側面は、所定の圧力下で、吸着剤により特定ガスを分離させる乾燥空気製造装置あって、発生したドレンを回収するドレン回収手段と、一端側が外気に開放された開放部を備えており、前記ドレン回収手段を通じて取り込んだ前記ドレンを気化処理するドレン処理槽と、前記ドレン処理槽に設置され、少なくとも前記ドレン処理槽の一部を、前記ドレンが気化する温度に加熱するヒーターと、前記ドレン処理槽の内部側に向けて送風し、気化した前記ドレンを前記開放部から外気に放出させる送風機と、前記ドレンの加熱温度を検出する温度センサと、前記温度センサの検出温度情報に基づいて、前記ヒーターの動作を切替える制御部とを備える。
上記乾燥空気製造装置において、前記ドレン回収手段は、前記ドレンを含む圧縮気体を取込み、該圧縮気体を衝突させて少なくとも前記ドレンを分離させる分離壁を含んでよい。
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明のドレン処理システムの一側面は、所定の圧力下で、吸着剤により特定ガスを分離させる乾燥空気製造装置と、前記乾燥空気製造装置で発生したドレンを回収するドレン回収手段と、一端側が外気に開放された開放部を備えており、前記ドレン回収手段を通じて取り込んだ前記ドレンを気化処理するドレン処理槽、少なくとも前記ドレン処理槽の一部を、前記ドレンが気化する温度に加熱するヒーター、前記ドレン処理槽の内部側に向けて送風し、気化した前記ドレンを前記開放部から外気に放出させる送風機、前記ドレンの加熱温度を検出する温度センサ、前記温度センサの検出温度情報に基づいて、前記ヒーターの動作を切替える制御部を含むドレン処理装置とを含む。
上記ドレン処理システムにおいて、前記ドレン回収手段は、前記乾燥空気製造装置から排出される前記ドレンを含む圧縮気体を取込み、該圧縮気体を衝突させて少なくとも前記ドレンを分離させる分離壁を含んでよい。
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明のドレン処理方法の一側面は、発生したドレンを回収する処理と、回収した前記ドレンをドレン処理槽に取り込む処理と、少なくとも前記ドレン処理槽の一部を、ヒーターにより前記ドレンが気化する温度に加熱する処理と、前記ドレン処理槽の内部側に向けて送風機で送風し、気化した前記ドレンを前記ドレン処理槽の一端に形成されている開放部から外気に放出させる処理と、前記ドレンの加熱温度を検出する温度センサの検出温度情報に基づいて、前記ヒーターの動作を切替える処理と、を含む。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、次のいずれかのような効果が得られる。
【００１５】
(1) ドレン処理槽の内部に向けて送風し、ドレン処理槽内に流されたドレンをヒーターにより加熱された空間や壁面などに向けて押し流すことで、ドレン処理槽内に流入したドレンを液状のまま外部に排出させず、十分に気化処理させることができる。
(2) さらにドレン処理槽の壁面などで反射し、または接触して拡散した風によって、気化したドレンをドレン処理槽の開放部側に流して排出させることで、構造の単純化や部品数の減少が図れる。
(3) 送風によってドレンが接触する部分などのドレンの加熱温度を計測し、この温度に基づいて、ヒーターの動作を制御することで、ドレンの気化処理に必要な状態を維持できるとともに、ヒーターの過剰動作を防止でき、省電力化や効率的な加熱処理が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１の実施の形態に係るドレン処理装置の構成例を示す図である。
【図２】ドレン処理の一例を示すフローチャートである。
【図３】第２の実施の形態に係るドレン処理装置の構成例を示す図である。
【図４】気化装置の外観構成例を示している。
【図５】気化装置の内部構成例を示す分解斜視図である。
【図６】気化装置の天井パネルを外した内部構成例を示す図である。
【図７】図６のＡ−Ａ線断面を示す図である。
【図８】Ａは載置板の表面側の構成例を示す図、Ｂは載置板の背面側の構成例を示す図である。
【図９】Ａは気液分離装置の外観構成例を示す図、ＢはＡの部分断面を示す図である。
【図１０】ドレン処理装置の制御装置の構成例を示している。
【図１１】ドレン処理の一例を示すフローチャートである。
【図１２】乾燥空気製造装置の構成例を示す図である。
【図１３】乾燥空気製造装置の機能構成例を示すブロック図である。
【図１４】乾燥空気製造装置の制御部の構成例を示す図である。
【図１５】乾燥空気製造処理の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
〔第１の実施形態〕
図１は、第１の実施の形態に係るドレン処理装置の構成例を示している。図１に示す構成は一例であり、本発明が斯かる構成に限定されない。
このドレン処理装置２は、たとえば図１に示すように、乾燥空気製造装置４で発生した液状のドレンＤ（Ｌ）をドレン管６およびドレン回収装置８を通じて回収し、加熱により気化させて外部に排出する手段の一例である。ドレン処理装置２は、たとえば乾燥空気製造装置４側に対して独立して動作させてもよく、または乾燥空気製造装置４側の製造処理に連動して動作させてもよい。このドレン処理装置２は、少なくとも流入するドレンＤ（Ｌ）を十分に気化させるように加熱し、気化させる処理を実行すればよい。
乾燥空気製造装置４は、大気中の空気から原料ガスである圧縮空気を生成する機能部や、この圧縮空気から特定成分のガスを生成する機能部などを含んでおり、加圧や冷却により圧縮空気が凝縮することでドレンＤ（Ｌ）が発生する。このドレンＤ（Ｌ）の発生により圧縮空気が除湿される。そして乾燥空気製造装置では、たとえば圧縮空気を特定の圧力状態で吸着剤に流し、分離したいガス成分を吸着させるＰＳＡ（Pressure Swing Adsorption：圧力変動吸着）方式を利用している。
ドレン管６は、乾燥空気製造装置４で生じたドレンＤ（Ｌ）をドレン処理装置２側に流す排水路の一例であり、たとえば乾燥空気製造装置４内の原料ガスを流す配管に接続されてもよい。ドレン管６は、たとえばゴムなどの樹脂材料、またはプラスチックや塩化ビニル製の管などが用いられる。また、ドレン管６は、排水路上にドレン回収装置８を備えている。
このドレン回収装置８は、乾燥空気製造装置４で発生したドレンＤ（Ｌ）を収集してドレン管６側に流すほか、ドレンＤ（Ｌ）とともに流入する圧縮空気を分離する手段などが含まれる。ドレン回収装置８は、たとえば乾燥空気製造装置４の内部に設置されてもよく、または乾燥空気製造装置４の外部に設置されてもよい。そのほか、ドレン回収装置８は、たとえば乾燥空気製造装置４側から強制的にドレンＤ（Ｌ）を流出させるポンプなどの動力を備えてもよい。
【００１８】
＜ドレン処理装置２の構成＞
ドレン処理装置２は、ドレン処理槽１０、蓋部１４、ヒーター１６、送風機１８、センサ１９、制御装置２０を含む。
ドレン処理槽１０は、ドレン管６を通じて流されたドレンＤ（Ｌ）を内部に取り込み、加熱して気化させる手段の一例であり、その内部にドレンを処理する処理空間１１が形成されている。このドレン処理槽１０は、たとえば円筒状である。ドレン処理槽１０の一端側は外部に開放された開口部１２を有しており、この開口部１２に対向する反対側の端部には、蓋部１４が設置されている。この開口部１２は、ドレン処理槽１０からドレンを放出させる本開示の開放部の一例である。そして、ドレン処理槽１０は、開口部１２を天井方向に向け、蓋部１４を底部側に向けて配置される。ドレン処理装置２は、たとえば外部筐体を備えており、この外部筐体の内部にドレン処理装置１０が収納される。
蓋部１４は、ドレン処理槽１０の底部側の開口端を封止する封止部材の一例であるとともに、処理空間１１内のドレンＤ（Ｌ）を加熱する手段の一例である。この蓋部１４は、たとえば一部または全部がドレン処理槽１０の開口径と同等に形成されており、処理空間１１内のドレンＤ（Ｌ）、圧縮空気、さらに、気化したドレンＤ（Ａ）の通過を阻止している。また蓋部１４は、処理空間１１内に向けられた面に対して反対側の面にヒーター１６が設置されている。そして蓋部１４は、ヒーター１６の熱を伝熱する。これにより、処理空間１１は、蓋部１４の表面を通じて加熱されて、内部温度が上昇する。
ヒーター１６は、ドレンＤ（Ｌ）を気化処理させる熱源の一例である。ヒーター１６は、たとえば制御装置２０の制御によって動作制御され、ドレン処理制御に従ってＯＮ／ＯＦＦ制御が行われる。ヒーター１６は、たとえば電熱器などを用いればよい。
【００１９】
ドレン処理槽１０の内部には、回収したドレンＤ（Ｌ）を所定の方向に導くための空気（Ａｉｒ）を発生させる送風機１８を備える。この送風機１８は、たとえば処理空間１１の中央部またはそれよりも上方に配置される。そして送風機１８は、ドレン処理槽１０の内部側、すなわち、処理空間１１内に面した蓋部１４の壁面に向けて所定の流量の空気（Ａｉｒ）を発生させる。また送風機１８は、ドレン処理槽１０の内径よりも径小である。これにより、ドレン処理槽１０の中央側から発生した空気（Ａｉｒ）およびドレンＤ（Ｌ）は、たとえば送風機１８に対向位置にある蓋部１４の一部と接触したのち、その蓋部１４に対して反射または拡散する。このとき、ドレンＤ（Ｌ）は、蓋部１４の壁面との接触または壁面周囲の熱によって加熱され、気化したドレンＤ（Ａ）となる。そして、空気（Ａｉｒ）およびドレンＤ（Ａ）は、送風機１８の周囲を通過して上昇し、開口部１２から外部に排出される。
ドレン処理装置２には、ドレンの加熱温度を検出するセンサ１９を備えている。センサ１９は、たとえばドレン処理槽１０の壁面や蓋部１４の表面などに設置される。センサ１９は、たとえばサーミスタ温度計や熱電対などが用いられる。そしてセンサ１９は、たとえば処理空間１１内の温度や蓋部１４の表面温度などを検出し、この検出温度情報を制御装置２０に通知する。
制御装置２０は、ドレン処理を制御する手段の一例であり、ドレン処理槽１０内の温度情報に基づいてヒーター１６や送風機１８の動作を制御する。
【００２０】
＜ドレン処理について＞
図２は、ドレン処理の一例を示している。図２に示す処理手順や処理内容は一例であり、本発明が斯かる構成に限定されない。このドレン処理は、本発明のドレン処理方法の一例である。
ドレン処理では、ドレン管６およびドレン回収装置８を通じて乾燥空気製造装置４からドレンＤ（Ｌ）の回収処理を行う（Ｓ１１）。回収したドレンＤ（Ｌ）は、ドレン処理槽１０内に流され（Ｓ１２）、加熱処理される（Ｓ１３）。このとき、ドレン処理装置２では、送風機１８による送風処理により（Ｓ１４）、ドレンＤ（Ｌ）を、ドレン処理槽１０内の所定の方向に流動させながら加熱させる。そして、気化したドレンＤ（Ａ）を空気（Ａ）とともにドレン処理槽１０外へ排出処理する（Ｓ１５）。また、制御装置２０では、ドレン処理槽１０内部の状態管理として、ヒーターの温度管理処理を行う（Ｓ１６）。
【００２１】
〔第１の実施の形態の効果〕
斯かる構成によれば、次のいずれかのような効果が期待できる
(1) 送風機１８がドレン処理槽１０の内部に向けて送風して、処理空間１１内の高温領域である蓋部１４側にドレンＤ（Ｌ）を通過させるので、ドレンを効率的に加熱することができる。
(2) ドレン処理槽１０内に流入したドレンＤ（Ｌ）を外部に排出させず、十分に気化処理させることができる。
(3) 蓋部１４を通じてドレン処理槽１０の内部を加熱して、ドレンＤ（Ｌ）をヒーター１６に接触させることが無いので、ヒーターの防水処理などの構造が不要であり、構造の単純化が図れる。
(4) また、液状のドレンＤ（Ｌ）を蓋部１４の一面側のみに接触させることで、ドレンの気化により生じる堆積物などのメンテナンス処理が容易となる。
(5) ドレンＤ（Ｌ）を気化させる蓋部１４の表面またはその周辺部分の温度を監視して、ヒーター１６の動作を制御することで、ヒーターの過剰動作を防止でき、省電力化や効率的な加熱処理が実現できる。
【００２２】
〔第２の実施の形態〕
図３は、第２の実施の形態に係るドレン処理装置構成例を示している。図３に示す構成は一例である。
このドレン処理装置３０は、たとえば図３に示すように、加熱によってドレンＤ（Ｌ）を気化処理する気化装置３２と乾燥空気製造装置４から流入するドレンＤ（Ｌ）と圧縮空気とを分離する気液分離装置３４を備える。この気化装置３２は、ドレン管６を通じて気液分離装置３４と接続されており、分離されたドレンＤ（Ｌ）のみを取り込む。乾燥空気製造装置４は、たとえば原料ガスの生成において生じるドレンＤ（Ｌ）を原料ガスの一部とともに連続して、または所定のタイミング毎にドレン処理装置３０側に排出する。気液分離装置３４は、本開示のドレン回収装置の一例であり、乾燥空気製造装置４側から排出されたドレンＤ（Ｌ）を気化装置３２側に流し、圧縮空気を外部に放出する。乾燥空気製造装置４とドレン処理装置３０との間には、たとえばドレンの排出タイミングを調整する開閉弁を備えてもよい。
【００２３】
＜気化装置３２の外観構成について＞
図４は、気化装置の外観構成例を示している。
気化装置３２は、たとえば図４に示すように、外装筐体として、側面周囲を覆う側面パネル３６、装置の天井側を覆う天井パネル３８、前面パネル４０および底板６４（図５）を備える。この気化装置３２は、たとえば外形形状が直方体またはそれに近い形状である。そして天井パネル３８には、たとえば所定の径の窓部４２が形成されている。この窓部４２は、装置内部にある処理部４４と同等の形状および径で開口しており、処理部４４を外部に開放している。すなわち、窓部４２は、気化したドレンＤ（Ａ）や空気を外気に排出する排出部として機能する。またこの窓部４２には、たとえば液状のドレンＤ（Ｌ）や処理部４４内にある固形物などの排出を阻止するストッパ４６を備える。このストッパ４６は、たとえばドレンＤ（Ａ）や空気の流れを阻害せず、かつ異物の排出を阻止するために、円形や多角形状および直線状の金属部品を組み合せた網状に形成されている。
【００２４】
前面パネル４０には、たとえば表示部４８、接続端子部５０、電源スイッチ５２を備える。
表示部４８は、たとえばＬＣＤ（Liquid Crystal Display）パネルなどを備えており、気化装置３２の動作状態や検出温度情報を表示する。そのほか、表示部４８には、ヒーター１６の温度設定画面やタイマ設定画面などを表示させてもよい。
接続端子部５０は、気化装置３２を動作させる電源装置や制御装置に設置させる部品を接続する孔や接続端子の一例であり、たとえば電源装置のケーブルの貫通孔や電源回路基板に設置するヒューズなどの電子部品などを設置する端子などが含まれる。
そのほか前面パネル４０には、たとえばドレン処理のタイミングやヒーターの温度設定、タイマ設定などを行うための操作部、気化装置の異常状態を監視して報知する報知部などを備えてもよい。
【００２５】
＜気化装置３２の内部構成について＞
図５は、気化装置３２の内部構成を示す分解斜視図である。
気化装置３２には、たとえば図５に示すように、外装筐体内部に処理部４４を形成するドレン処理槽６０やこの処理部４４内に送風する送風ファン７０などが配置される。
ドレン処理槽６０は、中空の円筒形状であり、その周壁面の一部に円形の開口部６２がある。この開口部６２は、処理部４４内にドレンＤ（Ｌ）を流入させるドレン流入孔の一例であり、側面パネル３６の一部にあるドレン管接続部５６が挿入、または接続される。ドレン管接続部５６は、側面パネル３６の背面側に配置されたドレン管６と接続され、ドレンＤ（Ｌ）を取り込む管接続コネクタの一例である。
【００２６】
気化装置３２の底部側には、ドレン処理槽６０や送風ファン７０、その他の部品を載置させる底板６４を備える。この底板６４上には、たとえばドレン処理槽６０の一端側を載置させる載置板６６が、支持部材６８を介して設置されている。
この載置板６６上には、たとえばドレン処理槽６０の開口部の形状および径と同等に形成された封止部７６を備える。また封止部７６の周面には、ゴムなどの樹脂材料、その他の弾性部材で形成されたパッキン７８を備える。つまり、封止部７６およびパッキン７８は、ドレン処理槽６０の一端側の開口部を封止する本開示の封止部材の一例である。
この封止部７６の上面側には、送風ファン７０を所定の高さに配置させる複数の支持脚部７２が立設されている。
そのほか、底板６４には、前面パネル４０側の一部に制御装置７４が形成される。
【００２７】
気化装置３２は、たとえば図６に示すように、外装筐体内部にドレン処理槽６０が収納されるとともに、そのドレン処理槽６０の内部の中央に送風ファン７０が配置される。また、このドレン処理槽６０の内部には、載置板６６上の封止部７６の一部が配置される。気化装置３２の前面側には、たとえば制御装置７４として、動力源である電源装置のほか、複数の制御基板などが設置される。
【００２８】
載置板６６には、たとえば図７に示すように、封止部７６が形成される面に対して反対側の面、すなわち、底板６４に対向する面側にヒーター１６が設置される。また、載置板６６には、たとえばドレン処理槽６０の内部に面した部分の一部であって、少なくとも送風ファン７０と対向する部分に所定の深さの溝部８０を備える。この溝部８０は、送風ファンから送風された空気（Ａｉｒ）を接触させるとともに、ドレン処理槽６０内に流入したドレンＤ（Ｌ）を貯める領域である。さらに載置板６６は、上下面において、溝部８０の形成位置とヒーター１６の設置位置が同等に設定している。これにより、載置板６６は、少なくとも溝部８０の内部にヒーター１６から伝熱させることで、溝部８０内が最も高温状態になるようにしている。つまり、この溝部８０は、送風ファン７０からの風圧をかけながらドレンＤ（Ｌ）を加熱し、且つ溝部８０に接触して反射または拡散した空気によって気化したドレンを放出させる処理領域として機能する。
このとき支持部材６８は、載置板６６を底板６４から離間させることで、ヒーター１６の熱が底板６４を通じて気化装置の外部に放出されるのを阻止している。この支持部材６８は、たとえばバネやエラストマなどで構成されている。
【００２９】
＜載置板６６に設置される構成について＞
載置板６６の上面側には、たとえば図８のＡに示すように、ドレン処理槽６０や送風ファン７０などが設置される。送風ファン７０を支持する支持脚部７２は、たとえば載置板６６の一部に形成された封止部７６上に設置されている。この支持脚部７２は、たとえば送風ファン７０の４角を支持している。各支持脚部７２は、載置板６６上に接触した空気（Ａｉｒ）や気化したドレンＤ（Ａ）を通過させるために、所定の間隔をとって配置されている。
また、載置板６６の背面側には、たとえば図８のＢに示すように、ヒーター１６の一例として、複数の抵抗器８２Ａ〜８２Ｄが設置されるとともに電力供給端子８４との間で電気回路が形成されている。このヒーター１６は、たとえばそれぞれ５０〔Ω〕の抵抗器を２個ずつ並列接続するとともに、それらを直列に接続して５０〔Ω〕の合成抵抗を形成し、消費電力２００〔Ｗ〕の発熱部を形成している。なお、ヒーター１６は、たとえば載置板６６に対する加熱範囲に応じて、抵抗器８２Ａ〜８２Ｄの設置数や配置位置を設定すればよい。
そのほか、載置板６６には、温度センサ８６を備える。この温度センサ８６は、たとえば載置板６６の背面または上面の表面温度、もしくは載置板６６の内部温度を計測してもよい。測定された温度情報は、制御装置７４側に通知される。
【００３０】
＜気液分離装置３４について＞
図９は、気液分離装置の構成例を示している。図９に示す構成は一例である。
この気液分離装置３４は、たとえば図９のＡに示すように、気液分離部９０、気体排出管９２、ドレン排出管９４、ドレン管９６、サイレンサ９８を備える。
気液分離部９０は、乾燥空気製造装置４側から流入したドレンＤ（Ｌ）と圧縮空気（Ａｉｒ）を分離する手段の一例である。この気液分離部９０は、たとえば図９のＢに示すように、Ｔ字管構造であって、乾燥空気製造装置４からの導入部に対向した分離板１００を備える。この分離板１００は、たとえば平板面であってもよく、または導入部側に向けて突出させた突起部や液体の通過を阻止する網状部材などを設置してもよい。また気液分離部９０は、鉛直上向きに気体排出管９２が接続されるとともに、鉛直下向きドレン排出管９４が接続されている。これにより分離板１００に衝突したことで圧縮空気（Ａｉｒ）の流速が低下すると、荷重の重い液状のドレンＤ（Ｌ）は重力の影響によってドレン排出管９４に流れ、荷重の軽い圧縮空気（Ａｉｒ）は上昇して気体排出管９２側に流れる。
気体排出管９４には、下流側にある排出部分に消音器であるサイレンサ９８を備える。乾燥空気製造装置４は、たとえば乾燥空気製造処理に連動してドレンの排出を行う。乾燥空気製造処理では、一定の間隔毎に圧縮空気の供給が行われる。このように、間隔を開けて空気を排出する場合、笛のような排出音が発生するおそれがあるため、サイレンサ９８により消音させる。
【００３１】
＜制御装置７４について＞
図１０は、制御装置の構成例を示している。
気化装置３２は、コンピュータで構成されており、その制御装置７４として、たとえば図１０に示すように、プロセッサ１０２、メモリ１０４、入出力部（Ｉ／Ｏ）１０６、表示部４８、操作部１１０、電源１１２などが含まれる。
プロセッサ１０２は、演算手段の一例であり、メモリ１０４に記憶されているドレン処理プログラムなどの演算処理を行う。また、プロセッサ１０２は、温度センサ８６からの検出温度に基づいてヒーター１６を構成する電気回路や送風ファン７０に対する制御支持をＩ／Ｏ１０６を通じて出力する。
メモリ１０４は、ドレン処理プログラムの記憶領域のほか、プロセッサ１０２が実行するプログラムのワークエリアとして機能する。
操作部１１０は、たとえば気化装置３２を起動または停止させる電源スイッチ５２のほか、ヒーター１６の温度を設定する設定入力部を含む。操作部１１０は、たとえば表示部４８の画面と一体に形成したタッチパネルで構成されてもよい。
【００３２】
＜ドレン処理について＞
図１１は、ドレン処理の一例を示している。
ドレン処理装置３０は、気液分離装置３４によりドレンＤ（Ｌ）と圧縮空気（Ａｉｒ）の分離処理を行い（Ｓ２１）、ドレンＤ（Ｌ）のみを気化装置３２に取り込む。気化装置３２では、たとえば乾燥空気製造装置４のドレン排出処理に連動してヒーター１６や送風ファン７０をＯＮさせる（Ｓ２２）。制御装置７４は、温度センサ８６の検出温度を取得して、ドレンの気化温度を監視し（Ｓ２３）、ヒーター１６の温度制御を行う（Ｓ２４）。このヒーター１６の温度制御では、たとえば温度センサ８６が検出した載置板６６の表面や内部の温度に基づいて処理槽内のドレン処理温度を判断し、処理槽内部が設定温度になるようにヒーター１６のオン／オフを制御すればよい。また制御装置７４は、たとえば表示部４８に検出温度を表示して、ドレン処理の状態を報知する（Ｓ２５）。
【００３３】
〔第２の実施の形態の効果〕
この実施の形態によれば、次のいずれかの効果が期待できる。
(1) 封止部７６およびパッキン７８により処理槽の下部側が封止されることで、気化が不十分なドレンが処理槽外部に漏れるのを防止できる。
(2) 載置板６６に形成された溝部８０にドレンを貯めるとともに、送風ファン７０からの風を当てる構造をとることで、ドレンを十分に気化させることができる。
(3) また、ドレンを貯める溝部８０の配置位置とヒーター１６の設置位置を対応させることで、効率良くドレンに対してヒーター１６の熱を伝えることができ、効率的に気化処理することができる。
(4) 外部筐体である底板に対して載置板６６を弾性支持させることで、底板と載置板６６との間隔を一定に保持させることができる。
(5) また載置板６６を弾性支持させることで、気化装置３２に対して外部から振動が加えられたとしても、外部筐体に対してヒーターが接触したり、処理槽６０が傾いてドレンが流出するのを防止でき、ドレン処理装置の安全性が向上する。
(6) ドレン処理槽６０が設置される載置板６６の温度に基づいてドレン気化温度を監視し、この温度からドレン処理槽内部の温度を判断することで、高温に対応した温度センサを用いずにドレンの適切な気化処理が実現できる。
【００３４】
〔第３の実施の形態〕
図１２は、乾燥空気製造装置の構成例を示している。図１２に示す構成は一例であり、本発明が斯かる構成に限定されない。
乾燥空気製造装置１２０は、原料ガスから所定の成分ガスを生成する装置の一例であるとともに、乾燥空気製造処理において発生するドレンを処理するドレン処理システムの一例である。この乾燥空気製造装置１２０は、たとえば図１２に示すように、乾燥空気生成部１２２と、気化装置３２および気液分離装置３４を含む。この気化装置３２および気液分離装置３４は、既述のドレン処理装置の一例である。乾燥空気生成部１２２は、ＰＳＡ方式により特定ガスを分離させる手段の一例であり、たとえば側面筐体１２４、載置部１２６を含む筐体部を備える。また乾燥空気生成部１２２は、載置部１２６上に振動吸収装置１２８を介して載置板１３０が設置され、その載置板１３０上に原料空気である圧縮空気を生成する原料ガス生成装置１３２が設置されている。この原料ガス生成装置１３２には、たとえば圧縮空気の出力側の管路の一部に接続されたドレン管１３４が備えられており、気液分離装置３４側に接続されている。
この乾燥空気製造装置１２０では、乾燥空気生成部１２２の内部に気液分離装置３４が設置される場合を示したが、これに限られない。気液分離装置３４は、たとえば筐体外部に設置されるほか、気化装置３２と一体化したドレン処理装置が形成されてもよい。
そのほか、乾燥空気生成部１２２には、特定のガス成分を分離させる処理タンクや生成されたガスを貯めるバッファタンクである複数のタンク１３６Ａ〜１３６Ｃを備える。また乾燥空気生成部１２２は、複数のガス管や開閉弁などを備える。
【００３５】
＜乾燥空気製造装置１２０の構成例について＞
図１３は、乾燥空気製造装置の機能構成例を示している。図１３に示す構成は一例である。
乾燥空気製造装置１２０は、たとえば図１３に示すように、複数のエアフィルター（ＡＦ１、ＡＦ２）やエアポンプ（Ｐ１、Ｐ２）を含む原料ガス生成装置１３２を備えている。この原料ガス生成装置１３２は、たとえば大気中の空気を圧縮して貯め、所定のタイミングで流す手段であり、たとえばコンプレッサを用いればよい。原料ガス生成装置１３２から供給された圧縮空気は、冷却管（ＣＣ１）側に流される。この冷却管（ＣＣ１）を通過した圧縮空気は冷却されることで空気中の水分が凝縮され、ドレンＤ（Ｌ）が発生する。冷却によって除湿された圧縮空気はガス供給管を通じてガス吸着処理を行う吸着タンク（ＡＴ１、ＡＴ２）側に流される。このガス供給管上には、液状のドレンＤ（Ｌ）を堰き止めて、圧縮空気のみをタンク側に流すドレントラップ（ＤＴ１）を備える。このドレントラップ（ＤＴ１）には、たとえばドレン管６が接続されており、ドレンＤ（Ｌ）と一部の圧縮空気（Ａｉｒ）がドレン分離機３４、気化装置３２側に流される。ドレン管６上には、ドレンの排出タイミングを調整する開閉弁（ＳＶ６）が設置される。
そのほか乾燥空気生成部１２２には、たとえば原料ガス生成装置１３２側から吸着タンク（ＡＴ１、ＡＴ２）側に原料ガスを流すガス供給路が分岐して接続されるほか、吸着タンク（ＡＴ１、ＡＴ２）で分離された排気ガスを排気する排気管などが接続される。これらのガス管路には、それぞれ開閉弁ＳＶ１、ＳＶ２、ＳＶ３、ＳＶ４が設置される。これにより各吸着タンク（ＡＴ１、ＡＴ２）では、内部に収納された吸着材によって、原料ガスを所定の圧力状態にさせながら特定のガス成分の吸着処理を行う。
そのほか、吸着タンク（ＡＴ１、ＡＴ２）には、ガスの流れ方向の下流側である、上蓋部に複数のガス管が接続されている。これらのガス管には、開閉弁（ＳＶ５）が設置される。これらの開閉弁（ＳＶ５）の開閉制御を行うことで、吸着タンク（ＡＴ１、ＡＴ２）は、たとえば交互に、生成されたガスをバッファタンク（ＢＴ１）側に流すほか、内部の均圧処理やガスの排気処理を行う。吸着タンク（ＡＴ１、ＡＴ２）およびバッファタンク（ＢＴ１）は、タンク１３６Ａ〜１３６Ｃで構成される。
また乾燥空気生成部１２２には、製品ガスが貯められるバッファタンク（ＢＴ１）から下流側の流路上に開閉弁（ＳＶ６）やガス流量計測手段、酸素濃度を計測する酸素センサーモジュールなどを備える。
【００３６】
乾燥空気生成部１２２では、このような構成において、吸着タンク（ＡＴ１、ＡＴ２）の一方に原料ガスを流して吸着処理を行うとともに、他方において、残留ガスの排気や吸着剤の再生処理などを行う。このような吸着処理、再生処理は、たとえば制御部１４０の指示により複数の開閉弁ＳＶ１〜ＳＶ６の開閉状態の制御によって切替えられる。開閉弁ＳＶ１〜ＳＶ６の切替え制御の具体的なタイミングについては、説明を省略する。
【００３７】
＜乾燥空気製造装置１２０の制御部１４０について＞
図１４は、乾燥空気製造装置の制御部の構成例を示している。
制御部１４０には、たとえばたとえばプロセッサ（Processor）１４２、メモリ１４４、タイマ１４６、Ｉ／Ｏ（Input／Output）１４８等が含まれる。
プロセッサ１４２は、乾燥空気生成部１２２の基本動作を制御するＯＳ（Operating System）や吸着・再生工程や均圧工程における原料ガス生成装置１３２や開閉弁ＳＶ１〜ＳＶ６等の動作を制御するプログラムの演算手段の一例である。
メモリ１４４は、記憶手段の一例であり、ＯＳや各種プログラムを格納するＲＯＭ（Read Only Memory）などの記憶領域や、プロセッサ１４２によるプログラムの演算処理を実行させるためのＲＡＭ（Random Access Memory）などの処理領域が含まれる。
タイマ１４６は、吸着・再生工程、均圧工程などの処理時間を計時する手段の一例であり、ハードウェアとしてのタイマのほか、プログラムの実行により計時するソフトウェアタイマであってもよい。
Ｉ／Ｏ１４８は、制御部１４０の外部インターフェースの一例であり、信号ケーブル用のコネクタや無線通信を利用する場合の送受信コネクタを備えてもよく、制御対象である開閉弁Ｖ１〜Ｖ６や原料ガス生成装置１３２を構成するポンプ（Ｐ１、Ｐ２）、気化装置３２を含むドレン処理装置３０と接続されており、各装置に対して動作指示を出力する。
【００３８】
＜乾燥空気製造処理について＞
図１５は、乾燥空気製造処理の一例を示している。図１５に示す処理手順や処理内容は一例であり、本発明が斯かる構成に限定されない。この乾燥空気製造処理は、本発明のドレン処理方法の一例である。
乾燥空気製造装置１２０は、たとえばポンプ（Ｐ１、Ｐ２）を含む原料ガス生成装置１３２を動作させて、原料空気を生成し（Ｓ３１）、ガス供給管に流す。吸着タンク（ＡＴ１、ＡＴ２）では、原料ガスを取込んで吸着・再生処理を行う。再生処理は、吸着処理が終了したタンク側において行われる処理であって、原料ガスから分離された不要ガスをタンクから排出するとともに、吸着材に付着した不要ガスの排気処理などが含まれる。
また乾燥空気製造装置１２０は、たとえば所定のタイミングで開閉弁（ＳＶ６）を開閉させて、ドレントラップ（ＤＴ１）で分離されたドレンＤ（Ｌ）および圧縮空気の排出処理を行う。
気液分離装置３４は、乾燥空気生成部１２２側から排出されたドレンＤ（Ｌ）と圧縮空気を分離させ（Ｓ３４）、ドレンＤ（Ｌ）を気化装置３２側に流し、圧縮空気を大気に放出させる。
気化装置３２は、たとえば制御部１４０からの制御指示に基づき、ドレンの排出に連動してヒーター１６や送風機をＯＮさせ（Ｓ３５）、気化したドレンＤ（Ａ）の排気処理を行う（Ｓ３６）。
【００３９】
気化装置３２は、たとえば乾燥空気生成部１２２側の原料ガス供給タイミングやドレントラップ（ＤＴ１）のドレン排出タイミングなどに連動して、ヒーター１６や送風ファン７０のＯＮ／ＯＦＦ制御、温度監視処理などを行ってもよい。
また、気化装置３２は、たとえば乾燥空気生成部１２２の制御部１４０の制御指示により直接制御されてもよい。
【００４０】
〔第３の実施の形態の効果〕
斯かる構成によれば、次のいずれかの効果が期待できる。
(1) ドレンが発生する乾燥空気生成部１２２側の運転状態に基づいて、ドレン処理装置３０側の動作制御を行うことで、ドレンが排出されるタイミングに合わせたヒーター１６や送風ファン７０の動作制御が行え、無駄な電力消費を抑えることができる。
(2) ガス生成処理で発生したドレンを気化して外部に排出させることができるので、設定されたドレンの排出部までドレンを流す管などの配置が不要であり、乾燥空気製造装置１２０の配置の自由度が高められる。
(3) 気化装置３２においてドレンを十分に加熱し、気化させることで、ドレン排出による周囲環境への影響が抑えられ、乾燥空気製造装置１２０の信頼性の向上が図れる。
【００４１】
〔その他の実施の形態〕
以上説明した実施の形態について、変形例を以下に列挙する。
(1) 上記実施の形態では、ヒーター１６が載置板６６の一部を加熱する場合を示したがこれに限らない。ヒーター１６は、たとえば処理槽内部全面を加熱してもよい。すなわち、ドレン処理装置では、たとえば載置板６６の一面側の全部とともに、ドレン処理槽１０の内壁面の全部にヒーター１６が設置され、ドレンＤが流される処理槽内の全体を加熱してもよい。
【００４２】
(2) 上記実施の形態では、ドレン処理槽として、天井側に開口部１２を備え、底部側に封止部材である蓋部１４や載置板６６が設置され、この蓋部１４または載置板６６の一面に対して送風機１８により風を当てて、反射した風によって気化したドレンを開口部側に排出する構成を示したがこれに限らない。ドレン処理槽１０は、たとえば横向きに形成してもよい。すなわち、ドレン処理槽１０は、たとえば左右方向に開口する筒状であり、一端側に開口部１２が形成され、他端側に蓋部１４や載置板６６が設置されてもよい。そして、ヒーター１６は、たとえば蓋部１４や載置板６６の一部または重力方向下方に配置されるドレン処理槽１０の一部を加熱してもよい。そして、送風機１８は、たとえばドレン処理槽１０内において、ヒーター１６が加熱する蓋部１４や載置板６６の一部に向けて風を当てて、その蓋部１４や載置板６６の一部で反射した風を気化したドレンとともに開口部側に流してもよい。
【００４３】
(3) 上記実施の形態では、ドレンを発生させる装置として、乾燥空気製造装置、または乾燥空気生成部の構成を示したが、これに限らない。特定成分のガスを生成するとともに、このガスの生成によりドレンが生じるものであればよい。そしてこのように生成されるガス成分には、たとえば酸素や窒素、二酸化炭素などが含まれる。
【００４４】
以上説明したように、本発明の最も好ましい実施の形態等について説明した。本発明は、上記記載に限定されるものではない。特許請求の範囲に記載され、または発明を実施するための形態に開示された発明の要旨に基づき、当業者において様々な変形や変更が可能である。斯かる変形や変更が、本発明の範囲に含まれることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明のドレン処理装置、その方法、乾燥空気製造装置、ドレン処理システムは、ガスの生成処理において発生するドレンを回収してドレン処理槽に流す。ドレン処理槽では、内部側に向けて送風機から送風することで、流入したドレンをヒーターによって加熱された部分に接触させるとともに、気化したドレンをこの風の流れに合せて開口部側に導くことで、ドレンを十分に気化させることができ、有用である。
【符号の説明】
【００４６】
２、３０  ドレン処理装置
４、１２０  乾燥空気製造装置
６、９６  ドレン管
８  ドレン回収装置
１０、６０  ドレン処理槽
１１  処理空間
１２、６２  開口部
１４  蓋部
１６  ヒーター
１８  送風機
１９  センサ
２０  制御装置
３２  気化装置
３４  気液分離装置
３６  側面パネル
３８  天井パネル
４０  前面パネル
４２  窓部
４４  処理部
４６  ストッパ
４８  表示部
５０  接続端子部
５２  電源スイッチ
５６  ドレン管接続部
６４  底板
６６  載置板
６８  支持部材
７０  送風ファン
７２  支持脚部
７４  制御装置
７６  封止部
７８  パッキン
８０  溝部
８２Ａ〜８２Ｄ  抵抗器
８４  電力供給端子
８６  温度センサ
９０  気液分離部
９２  気体排出管
９４  ドレン排出管
９８  サイレンサ
１００  分離板
１０２、１４２  プロセッサ
１０４、１４４  メモリ
１０６、１４８  Ｉ／Ｏ
１１０  操作部
１１２  電源
１２２  乾燥空気生成部
１２４  側面筐体
１２６  載置部
１２８  振動吸収装置
１３０  載置板
１３２  原料ガス生成装置
１３４  ドレン管
１３６Ａ〜１３６Ｃ  タンク
１４０  制御部
１４６  タイマ
【図１】
2020000996.tif 000003
【図２】
2020000996.tif 000004
【図３】
2020000996.tif 000005
【図４】
2020000996.tif 000006
【図５】
2020000996.tif 000007
【図６】
2020000996.tif 000008
【図７】
2020000996.tif 000009
【図８】
2020000996.tif 000010
【図９】
2020000996.tif 000011
【図１０】
2020000996.tif 000012
【図１１】
2020000996.tif 000013
【図１２】
2020000996.tif 000014
【図１３】
2020000996.tif 000015
【図１４】
2020000996.tif 000016
【図１５】
2020000996.tif 000017