(57)【要約】【課題】固着の抑制をさらに図ることが可能な噴霧ノズルを提供する。【解決手段】噴霧口１０ａから原料溶液をミスト状に加熱炉２０内に向って噴霧する噴霧ノズル１０は、噴霧口１０ａの周囲に向って圧縮空気を供給する第１の圧縮空気供給路Ｓ１と、第１の圧縮空気供給路Ｓ１の周囲に設けられ、圧縮空気が内部を流れる第２の圧縮空気供給路Ｓ１とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
噴霧口から溶液をミスト状に加熱炉内に向って噴霧する噴霧ノズルであって、
前記噴霧口の周囲に向って気体を供給する気体供給路と、
前記気体供給路の周囲に設けられ、気体が内部を流れる気体流通路とを備えたことを特徴とする噴霧ノズル。
【請求項２】
前記気体流通路を流れる気体は前記加熱炉内に供給されることを特徴とする請求項１に記載の噴霧ノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、噴霧ノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
微小粒子を製造する装置として、噴霧熱分解法を用いた装置がある。この噴霧熱分解装置は、金属塩化物などの化合物の混合水溶液や混合有機溶液などからなる原料溶液をミスト状（霧状）に噴射し、これを加熱炉内にて加熱処理して乾燥や焼成することにより、複合酸化物などの微小粒子を製造する装置である。
【０００３】
噴霧熱分解装置には、原料溶液を加熱炉内に噴霧するために、噴霧ノズルが設置されている。噴霧ノズルは、原料溶液を圧縮空気と混合させて噴霧口（ノズル穴）からミスト状に噴霧する。
【０００４】
噴霧ノズルを用いて長時間に亘って噴霧を継続すると、その先端の噴霧口の周辺に原料溶液に含有された固形分や溶解している化合物が加熱により析出する固形分が徐々に固着する。この固着が大きくなると、良好なミストの形成が阻害され、製造品である微小粒子の粒径や密度などが所望のものとならなくなる。そのため固着を除去する清掃が必要となるので、長時間に亘って微小粒子の製造を継続することができなかった。
【０００５】
そこで、特許文献１には、噴霧ノズルの先端部を流線形状とし、さらに、先端部の周囲に空気を導入することにより、噴霧口周囲の渦流を防止することによって、固着を抑制することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−１７１４４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１に記載された技術では、噴霧口周囲の渦流の発生は抑制されるが、固着の抑制は十分ではなかった。本願発明者は、その原因は、噴霧ノズルの先端部の周囲に導入される空気が加熱炉内に熱によって加熱され、この加熱された空気が直接的にミスト状の液滴に当たるので、液滴の乾燥が促進され過ぎて、液滴に含有されている固形分が固着されるためであることを見い出した。
【０００８】
本発明は、固着の抑制をさらに図ることが可能な噴霧ノズルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の噴霧ノズルは、噴霧口から溶液をミスト状に加熱炉内に向って噴霧する噴霧ノズルであって、前記噴霧口の周囲に向って気体を供給する気体供給路と、前記気体供給路の周囲に設けられ、気体が内部を流れる気体流通路とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
本発明の噴霧ノズルによれば、噴霧口は加熱炉内又はその近傍に位置しており高温化するが、気体供給路を介して気体が噴霧口の周囲に供給されるので、噴霧口及びその周囲の高温化が抑制される。さらに、気体供給路を流れる気体はその周囲に設けられた気体流通路を流れる気体によって高温化が抑制される。これらにより、噴霧口の周囲の高温化を効果的に抑制することが可能となり、ミスト状の液滴から溶液が蒸発して液滴に含まれる固形分や溶解している化合物が加熱により析出する固形分が析出して噴霧口の周囲に堆積して固着することの長期間に亘る抑制を図ることが可能となる。
【００１１】
本発明の噴霧ノズルにおいて、前記気体流通路を流れる気体は前記加熱炉内に供給されることが好ましい。
【００１２】
この場合、気体供給路から供給された気体の流れによって噴霧口の周囲が負圧となって、良好なミストを形成が困難となるおそれを、気体流通路を流れる気体を加熱炉内に供給することに抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係る噴霧ノズルを備えた微小粒子製造装置を示す概略図。
【図２】本発明の実施形態に係る噴霧ノズルを示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施形態に係る噴霧ノズル１０について説明する。この噴霧ノズル１０は、図１を参照して、噴霧熱分解法を用いて微小粒子を製造する微小粒子製造装置１００に設置される。
【００１５】
微小粒子製造装置１００は、ここでは、炉芯管２１及びその外周に加熱源２２が配置された加熱炉２０と、炉芯管２１内に原料溶液をミスト状（霧状）に噴霧する噴霧ノズル１０と、噴霧ノズル１０に原料溶液を供給する原料供給部３０と、炉芯管２１の下部に接続され、製造品である微小粒子を回収する回収部４０とを備えている。
【００１６】
炉芯管２１は、管状の炉であり、ムライト、アルミナ、窒化珪素等のセラミックスや金属、耐熱レンガなどから形成されている。加熱源２２は、炉壁２３に配置され、炉芯管２１内を加熱する。加熱源２２は、ここでは、電気ヒータや熱風ヒータなどの外熱式であるが、ガスバーナなどの内燃式であってもよい。
【００１７】
噴霧ノズル１０は、図２も参照して、上記特許文献１に記載されたものを用いてもよいが、その噴霧口１０ａを先端に有する突出部１０ｂは流線形状でなくともよい。噴霧ノズル１０は、市販品などの従来品であってもよい。なお、図２において、噴霧ノズル１０の具体的な内部構成は省略されている。
【００１８】
噴霧ノズル１０は、原料供給部３０から原料溶液が供給される溶液ライン１１と、圧縮空気が供給される圧縮空気ライン１２とを備えている。圧縮空気ライン１２は、一端で外気と連通した圧縮空気供給路５１の他端に接続されており、圧縮空気供給路５１の途中にはファン５２が接続されている。ファン５２を作動させることによって、外気から圧縮空気供給路５１を介して圧縮空気を圧縮空気ライン１２に供給することができる。さらに、ファン５２の回転速度を制御することによって、圧縮空気ライン１２を介して噴霧ノズル１０に供給される空気量を調整することができる。
【００１９】
なお、噴霧ノズル１０は、例えば、溶液ライン１１と圧縮空気ライン１２が共に１本の２流体ノズル、溶液ライン１１が２本で圧縮空気ライン１２が１本の３流体ノズル、溶液ライン１１と圧縮空気ライン１２が共に２本の４流体ノズルなどであってもよい。さらに、噴霧ノズル１０は、溶液と圧縮空気をノズル内部で混合する内部混合方式、ノズル外部で混合する外部混合方式の何れもであってもよい。
【００２０】
そして、噴霧ノズル１０の外周には、第１の環状壁１３と、第１の環状壁１３との間に隙間を介してさらに外周に位置する第２の環状壁１４とが形成されており、二重壁構造となっている。これにより、噴霧ノズル１０のボディと第１の環状壁１３との間に第１の圧縮空気供給路Ｓ１が、第１の環状壁１３と第２の環状壁１４との間に第２の圧縮空気供給路Ｓ２がそれぞれ形成されている。
【００２１】
ここでは、噴霧ノズル１０の外周形状は円筒状であり、この噴霧ノズル１０と外側周面と円環筒状の第１の環状壁１３との間に円環筒状の第１の圧縮空気供給路Ｓ１が形成されており、さらに、この第１の環状壁１３と円環筒状の第２の環状壁１４との間に円環筒状の第２の圧縮空気供給路Ｓ２が形成されている。なお、第１の圧縮空気供給路Ｓ１が本発明の気体供給路に相当し、第２の圧縮空気供給路Ｓ２が本発明の気体流通路に相当する。
【００２２】
そして、第１の圧縮空気供給路Ｓ１は、炉芯管２１と反対側（図２では上部）において、一端で外気と連通した圧縮空気供給路６１の他端に接続されており、圧縮空気供給路６１の途中にはファン６２が接続されている。また、第２の圧縮空気供給路Ｓ２は、炉芯管２１と反対側（図２では上部）において、一端で外気と連通した圧縮空気供給路６３の他端に接続されており、圧縮空気供給路６３の途中にはファン６４が接続されている。
【００２３】
ファン６２，６４を作動することによって、外気から圧縮空気供給路６１，６３を介して圧縮空気を第１及び第２の圧縮空気供給路Ｓ１，Ｓ２にそれぞれ供給することができる。そして、ファン６２，６４の回転速度をそれぞれ制御することによって、第１及び第２の圧縮空気供給路Ｓ１，Ｓ２に供給される空気量をそれぞれ独立して調整することができる。
【００２４】
さらに、炉芯管２１に近い側（図２では下部）において、噴霧ノズル１０の炉芯管２１側の面（図２では下面）と間に一定間隔の隙間を開けるようにして、第１の環状壁１３の端部から延出する底壁１５が形成されている。これにより、この噴霧ノズル１０の下面と底壁１５との隙間も、第１の圧縮空気供給路Ｓ１の一部を構成する。そして、底壁１５は、噴霧ノズル１０の噴霧口１０ａを先端に有して上面の中央部から上方に突出してなる突出部１０ｂとの間に少なくとも水平方向に隙間を有するように開口１５ａが形成されている。
【００２５】
これにより、圧縮空気供給路６１から供給される圧縮空気は、噴霧ノズル１０と第１の環状壁１３との間に位置する第１の圧縮空気供給路Ｓ１の部分、及び、噴霧ノズル１０と底壁１５との間に位置する第１の圧縮空気供給路Ｓ１の部分を経て、開口１５ａから炉芯管２１内に供給される。このとき、圧縮空気は突出部１０ｂに当たり、突出部１０ｂを冷却する。また、この圧縮空気によって、上記特許文献１に記載されているように、突出部１０ｂの周囲に発生する渦流の抑制を図ることが可能となる。
【００２６】
一方、第２の圧縮空気供給路Ｓ２は、第１の圧縮空気供給路Ｓ１のような底壁は備えておらず、炉芯管２１側が円環状に開口している。
【００２７】
これにより、圧縮空気供給路６３から供給される圧縮空気は、第１の環状壁１３と第２の環状壁１４との間に位置する第２の圧縮空気供給路Ｓ２を経て、炉芯管２１に放出される。
【００２８】
原料供給部３０は、噴霧ノズル１０に一端が接続された原料供給管３１と、原料供給管３１の他端が接続され、原料溶液を貯留する原料タンク３２と、原料供給管３１の途中に設けられたポンプ３３とを備えている。ポンプ３３を作動させることによって、原料タンク３３から原料供給管３１を介して噴霧ノズル１０に原料溶液を供給することができる。そして、ポンプ３３の吐出量を制御することによって、溶液ライン１１を介して噴霧ノズル１０に供給される原料溶液の量を調整することができる。
【００２９】
なお、ポンプ３３より下流の原料供給管３１に流量計３４を設け、この流量計３４によって噴霧ノズル１０に供給される原料溶液の量を計測してもよい。ただし、本実施形態においては、後述するように、噴霧口１０ａの周囲の固着の抑制が図られるので、固着によって噴霧ノズル１０に供給される原料溶液の量が減少するような事態は生じ難い。そのため、従来にように固着の有無を推測するために、実際に噴霧ノズル１０に供給される原料溶液の量の変化を流量計３４を用いて計測する必要がないので、流量計３４を設ける必要はない。
【００３０】
噴霧される液滴の平均粒子径は、噴霧ノズル１０の噴霧口１０ａの直径や圧縮空気の圧力などによって調整することができるが、０．５〜１５０μｍが好ましく、１〜１００μｍがより好ましく、１〜５０μｍがさらに好ましい。なお、圧縮空気の圧力は、圧縮空気ライン１２から供給される圧縮空気の圧力だけではなく、第１及び第２の圧縮空気供給路Ｓ１，Ｓ２から供給される圧縮空気の圧力にも依存する。
【００３１】
原料溶液は、製造物である微小粒子を構成する元素を含有する溶液からなる。製造物である微小粒子が無機酸化物微小粒子の場合、原料溶液は、無機酸化物微小粒子を構成する元素を含有する溶液であり、水などの溶媒に溶解する化合物があることが好ましい。このような化合物としては、無機塩、金属アルコキシドなどが挙げられる。より具体的には、アルミニウム塩、チタン塩、マグネシウム塩、アルミノケイ酸塩、アルミニウムアルコキシド、テトラエトキシシラン、テトラメトキシシラン等が挙げられる。
【００３２】
また、原料溶液として、アルミニウム酸化物、ケイ素酸化物を溶媒に分散した溶液、アルミニウム酸化物、ケイ素酸化物のゾル溶液なども用いることができる。さらに、溶融温度、耐熱性、粒子強度を調整するために他の元素を原料溶液に添加してもよい。
【００３３】
さらに、原料化合物から得られる酸化物としては、無機酸化物、例えば金属酸化物、アルミナ、シリカ、アルミニウム及びケイ素からなる酸化物などが挙げられ、より具体的には、アルミナ、シリカ、アルミニウム及びケイ素からなる酸化物、チタン酸化物、マグネシウム酸化物、ジルコニウム酸化物、バリウム酸化物、セリウム酸化物、イットリウム酸化物などが挙げられ、これら酸化物を組み合わせた複合酸化物も挙げられる。
【００３４】
これらの酸化物を構成する元素の原料を溶解あるいは分散する溶媒としては、水及び有機溶媒が挙げられるが、環境への影響、製造コストの点から水が好ましい。
【００３５】
原料溶液中の酸化物を構成する元素の原料濃度は、製造物である酸化物粒子の密度、強度などを考慮し、０．０１ｍｏｌ／Ｌ〜飽和濃度が好ましく、０．１ｍｏｌ／Ｌ〜２．０ｍｏｌ／Ｌがより好ましい。なお、元素の原料濃度を高くすれば、得られる酸化物粒子の粒子径が大きくなるので、粒子径の大きい粒子を得るためには元素濃度を０．３ｍｏｌ／Ｌ〜１．５ｍｏｌ／Ｌとするのが好ましい。
【００３６】
炉芯管２１の内において、噴霧ノズル１０から噴霧されたミスト状の原料溶液の液滴は、加熱されることにより乾燥され、その後、熱分解される。
【００３７】
乾燥工程は、原料溶液のミスト状の液滴から溶媒を除去する工程であり、ここでは、液滴から溶媒が蒸発し、液滴粒子表面に無機塩が析出し、粒子内部に空隙が形成される。この乾燥工程が生じる部分の炉芯管２１内の温度は、原料溶液のミスト状の液滴から、溶媒が蒸発する温度であればよいが、例えば、室温〜６００℃の範囲内であって０．１秒から１分程度で析出が生じる温度である。炉芯管２１内の温度は、好ましくは１００℃〜６００℃、より好ましくは１５０℃〜５００℃、さらに好ましくは１５０〜４５０℃である。
【００３８】
次に、乾燥された粒子は、乾燥工程が生じる部分の下方の炉芯管２１にてさらに加熱されて熱分解される。この熱分解工程は、乾燥された液滴及び粒子を熱分解して酸化物粒子を形成する工程であり、ここでは、液滴及び粒子表面の無機塩が熱分解及び酸化されて酸化物粒子が生成する。
【００３９】
熱分解工程が生じる部分の炉芯管２１内の温度は、熱分解及び酸化反応が進行する温度であればよいが、熱分解工程で酸化反応が終了する必要性から、１５０℃〜１２００℃であることが好ましい。さらに、０．１秒〜１分程度で酸化反応が終了する温度が好ましく、具体的には、４００℃〜１２００℃が好ましく、５００℃〜１２００℃がより好ましい。
【００４０】
また、微小粒子製造装置１００を用いて、微小粒子として中空粒子も製造することが可能である。中空粒子を製造する場合、酸化物粒子の表面を溶融し、粒子強度の高い中空粒子を得るため、熱分解工程後に、粒子の外殻表面の孔を閉塞させて、さらに溶融工程を行うことが好ましい。
【００４１】
溶融工程は、形成された酸化物粒子の表面を溶融する工程であり、酸化物粒子の表面を溶融し、表面に存在する孔を閉塞させる工程である。溶融工程が生じる部分の炉芯管２１内の温度は、酸化物粒子の表面が溶融する温度であればよいが、溶融工程で溶融により酸化物粒子表面の孔が閉塞する点から６００℃以上が好ましい。また、０．１秒〜１分程度で酸化物粒子表面が溶融するように、７００℃以上が好ましく、８００℃以上がより好ましく、９００℃以上がさらに好ましく、１２００℃以上がさらに好ましい。なお、経済性の点から１５００℃以下が好ましい。また、溶融温度が６００〜１２００℃と低い酸化物であれば、熱分解ゾーンと溶融ゾーンの加熱温度を同じにしてもよい。
【００４２】
溶融工程が終了した酸化物中空粒子は、表面の孔が閉塞されていることから外殻に孔がなく、粒子強度の高い酸化物中空粒子となっている。
【００４３】
熱分解工程、さらに必要により溶融工程を行った酸化物中空粒子を冷却後回収すれば、製造物である酸化物中空粒子を得ることができる。
【００４４】
回収部４０は、炉芯管２１の下部に一端が接続された排出管４１と、排出管４１の他端に接続された回収装置４２とを備えている。回収装置４２は、ここでは、バグフィルタを用いた粉体回収装置である。そして、この回収装置４２には、吸引ファン４３が接続されており、これにより、炉芯管２１の内圧を減圧し、炉芯管２１内部から空気と共に微小粒子を吸引することができる。このとき、炉芯管２１の内力は−５Ｐａ〜−４０Ｐａが好ましく、−１０Ｐａ〜−３０Ｐａがより好ましい。また、フィルタを通過させて微小粒子を回収することにより、微小粒子の粒子径を調整することができる。
【００４５】
なお、回収装置４２として、バグフィルタの代わりに、サイクロン粉体回収機などを用いることもでき、この場合、回収装置４２自体の作動により炉芯管２１の内圧を減圧することができる。
【００４６】
以上説明した微小粒子製造装置１００においては、突出部１０ｂは、炉芯管２１の内部に位置しており、高温化する。特に突出部１０ｂの周囲の温度が１００℃を超えると、ミスト状の液滴から水分が蒸発して液滴に含まれる固形分が析出して突出部１０ｂの表面に堆積して固着するおそれがある。この固形分の堆積が噴霧口１０ａ又はその近傍に及ぶと、好適なミストの形成が困難となる。そこで、第１の圧縮空気供給路Ｓ１から供給される圧縮空気を直接的に当てることにより、突出部１０ｂを冷却することによって、このような固着の抑制を図ることが可能となる。
【００４７】
なお、開口１５ａから供給される圧縮空気は、噴霧ノズル１０からミスト状に噴霧された原料溶液には、直接的に当たらないことが好ましい。圧縮空気がミスト状の原料溶液に直接的に当たると、好適なミストの形成を阻害するおそれがあるためである。そのため、圧縮空気は、噴霧口１０ａに直接的に向うように供給するのではなく、噴霧口１０ａの周囲に向けて供給する必要がある。本実施形態では、圧縮空気は、先端に噴霧口１０ａを有する突出部１０ｂの外周面に当てている。なお、圧縮空気は、噴霧口１０ａ又はミスト状の原料溶液に間接的には当たってもよい。間接的であれば、好適なミストの形成を左程阻害しないからである。
【００４８】
さらに、噴霧口１０ａの位置やその周囲の形状などに応じて、第１の圧縮空気供給路Ｓ１の位置や形状を定めればよい。例えば、突出部１０ｂが存在せず、噴霧ノズル１０の上面に噴霧口１０ａが形成されている場合、噴霧口１０ａの噴霧ノズル１０の上面の部分に圧縮空気が供給されるように第１の圧縮空気供給路Ｓ１の形状を定めればよい。
【００４９】
また、前述したように、突出部１０ｂを含む噴霧ノズル１０の先端部は高温化する。この高温化した先端部からの伝熱によって、噴霧ノズル１０全体が高温化し、さらに、これにより、第１の圧縮空気供給路Ｓ１を介して供給される圧縮空気も徐々に高温化する。そのため、第１の圧縮空気供給路Ｓ１を介した圧縮空気による突出部１０ｂの冷却効果は徐々に低下するので、長時間に亘って微小粒子を連続的に製造することができないおそれがある。
【００５０】
そこで、第２の圧縮空気供給路Ｓ２を流れる圧縮空気によって、第１の圧縮空気供給路Ｓ１を流れる圧縮空気を冷却することによって、噴霧ノズル１０全体、ひいては突出部１０ｂに備わる噴霧口１０ａの周囲の環境温度の高温化の抑制を図ることが可能となる。さらに、噴霧ノズル１０全体を冷却することもできるので、噴霧ノズル２０を耐熱温度以下に長時間に亘って維持することが可能となる。これらにより、微小粒子製造装置１００を長時間に亘って連続的に稼働することが可能となる。
【００５１】
なお、第１の圧縮空気供給路Ｓ１から炉芯管２１内に供給される圧縮空気の流速が速過ぎる又は流量が大き過ぎると、良好なミストの形成が阻害され微小粒子の粒径にばらつきが生じるなどの不具合が生じる。一方、この圧縮空気の流速が遅過ぎる又は流量が小き過ぎると、噴霧口１０ａの周囲に生じる渦流を十分に解消できずに良好なミストの形成が阻害される、また、噴霧口１０ａの周囲を十分に冷却する解消することができず、固着が生じるなどの不具合が生じる。
【００５２】
そのため、これらを考慮して、第１の圧縮空気供給路Ｓ１から炉芯管２１内に供給される圧縮空気の流速や流量などを定める必要がある。このような流速は、噴霧口１０ａからミスト状（霧状）に噴霧される原料溶液の流速に対して、およそ０．１倍〜３．０倍の範囲であり、例えば０．５ｍ／ｓ〜３０．０ｍ／ｓである。そして、流量は、例えば１Ｌ／ｍｉｎ〜５００Ｌ／ｍｉｎである。
【００５３】
さらに、第１の圧縮空気供給路Ｓ１を供給された圧縮空気は、開口１５ａを噴霧口１０ａの周囲から炉芯管２１内に供給される。このため、噴霧口１０ａの周囲が負圧となり過ぎると、良好なミストを形成が困難となるおそれがあり得る。しかし、第２の圧縮空気供給路Ｓ２を介して炉芯管２１内に圧縮空気を供給することにより、この負圧の抑制を図ることが可能となる。
【００５４】
ただし、第２の圧縮空気供給路Ｓ２を介して供給される圧縮空気が炉芯管２１内に開放されるものに限定されない。例えば、第２の圧縮空気供給路Ｓ２を介して供給される圧縮空気は、加熱炉２０の外部に放出するものであってもよく、さらに、第２の圧縮空気供給路Ｓ２内を循環するものであってもよい。これらの場合、炉芯管２１内に供給される圧縮空気の量が抑制されるので、炉芯管２１内に原料液滴が滞留する時間の長期化を図ることが可能となる。
【００５５】
なお、第２の圧縮空気供給路Ｓ２を流れる圧縮空気の流速が速過ぎる又は流量が大き過ぎると、液滴が炉芯管２１に滞在する時間が短すぎて、粒径がばらつくなど、製造品である微小粒子に不具合が生じる。一方、この圧縮空気の流速が遅過ぎる又は流量が小き過ぎると、第１の圧縮空気供給路Ｓ１を流れる圧縮空気を十分に冷却することができず、これに起因する不具合が生じる。
【００５６】
そのため、これらを考慮して、第２の圧縮空気供給路Ｓ２を流れる圧縮空気の流速や流量などを定める必要がある。このような流速は例えば４．０ｍ／ｓ〜１０ｍ／ｓであり、流量は例えば８０Ｌ／ｍｉｎ〜５００Ｌ／ｍｉｎである。
【００５７】
そこで、例えば、第２の圧縮空気供給路Ｓ２を流れる圧縮空気の流速又は流量は、第１の圧縮空気供給路Ｓ１を流れる圧縮空気の温度が所定の温度以下となるように調整することが好ましい。ここで、所定温度とは、液滴に含まれる溶液が水の場合は、噴霧口１０ａの周囲の温度が１００℃以下となるように、例えば、９０℃、好ましくは６０℃、より好ましくは５０℃や４０℃に設定すればよい。
【００５８】
そして、この場合、開口１５ａの近傍で第１の圧縮空気供給路Ｓ１を流れる圧縮空気の温度を測定するために、熱電対などの温度測定手段６５を設け、この温度測定手段６５が測定する温度が所定の温度以下とさせるために、ファン６４を制御して、第２の圧縮空気供給路Ｓ２を流れる圧縮空気を増加させればよい。なお、ファン６４を調整する代わりに、又はファン６４を調整すると共に、ファン６２を制御して、第２の圧縮空気供給路Ｓ２を流れる圧縮空気を増加させてもよい。
【００５９】
なお、本発明は、上述した実施形態に具体的に記載した微小粒子製造装置１００に備わる噴霧ノズル１０に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内であれば適宜変更することができる。
【００６０】
例えば、上述した実施形態においては、第１及び第２の圧縮空気供給路Ｓ１，Ｓ２に対してそれぞれ独立にファン６２，６４を接続して流れる圧縮空気の量を独立して制御する場合について説明した。しかし、これに限定されず、第１及び第２の圧縮空気供給路Ｓ１，Ｓ２に対して１個のファンを接続して、これらを流れる圧縮空気の量が所定の比率で一定となるようにしてもよい。
【００６１】
また、噴霧ノズル１０のボディ、第１及び第２の環状壁１３，１４、底壁１５並びに第１及び第２の圧縮空気供給路Ｓ１，Ｓ２は、上述した形状や構成に限定されない。例えば、これらの厚さや幅などは場所によって変動してもよい。
【００６２】
特に、噴霧ノズル１０の炉芯管２１側の面（図２では下面）は図２のように水平面であることに限定されず、傾斜面であって曲面であってもよく、部分的に凹凸などが形成されていてもよい。これらの場合であっても、噴霧ノズル１０のこのような面と少なくとも所定の間隔の隙間を開けるようにして、第１の環状壁１３の端部から延出する底壁１５が形成されることにより、第１の圧縮空気供給路Ｓ１の一部が構成されていればよい。
【００６３】
さらに、上述した実施形態においては、第１及び第２の圧縮空気供給路Ｓ１，Ｓ２に外気を取り込んだ常温の圧縮空気を流す場合について説明した。しかし、これに限定されず、冷却した圧縮空気を流してもよく、さらに、窒素やアルゴンなどの不活性ガスを流してもよい。
【符号の説明】
【００６４】
１０…噴霧ノズル、  １０ａ…噴霧口、  １０ｂ…突出部、  １１…溶液ライン、  １２…圧縮空気ライン、  １３…第１の環状壁、  １４…第２の環状壁、  １５…底壁、  １５ａ…開口、  ２０…加熱炉、  ２１…炉芯管、  ２２…加熱源、  ２３…炉壁、  ３０…原料供給部、  ３１…原料供給管、  ３２…原料タンク、  ３３…ポンプ、  ３４…流量計、  ４０…回収部、  ４１…排出管、  ４２…回収装置、  ４３…吸引ファン、  ５１…圧縮空気供給路、  ５２…ファン、  ６１，６３…圧縮空気供給路、  ６２，６４…ファン、  ６５…温度測定手段、  １００…微小粒子製造装置、  Ｓ１…第１の圧縮空気供給路（気体供給路）、  Ｓ２…第２の圧縮空気供給路（気体流通路）。
【図１】
2020131124.tif 000003
【図２】
2020131124.tif 000004