(57)【要約】【課題】  より小型の装置にて多様な欠陥をより高精度で検出するための技術を提供すること。【解決手段】  光学評価装置は、光が透過する透過部と、透過部よりも光の透過率が低い非透過部と、を有する照明部であって、光源が照明部において透過部以外の箇所に設けられている照明部を有する。また光学評価装置は、光源によって照明されている被検物を透過部を介して撮影する撮影部と、照明部における複数の光源の少なくとも一部を発光させる制御部と、を備え、被検物と照明部との間の相対的な位置関係は変更可能である。【選択図】  図１
2020094877.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光が透過する透過部と、該透過部よりも光の透過率が低い非透過部と、を有する照明部であって、光源が該照明部において該透過部以外の箇所に設けられている前記照明部と、
前記光源によって照明されている被検物を、前記透過部を介して撮影する撮影部と、
前記照明部における複数の光源の少なくとも一部を発光させる制御部と、
を備え、
前記被検物と前記照明部との間の相対的な位置関係は変更可能である
ことを特徴とする光学評価装置。
【請求項２】
前記撮影部は、前記照明部より上方から、前記透過部を介して前記被検物を撮影することを特徴とする請求項１に記載の光学評価装置。
【請求項３】
前記照明部は、ライン状の前記透過部とライン状の前記非透過部とが交互に配置された部材を有し、
前記光源は前記非透過部に設けられており、前記被検物に対して光を照射する
ことを特徴とする請求項１または２に記載の光学評価装置。
【請求項４】
前記照明部は、光を散乱する特性を有する素材を用いて印刷されたドット状のパターンが配されている箇所を非透過部として有し、該箇所以外を透過部として有する導光板を有し、
前記光源は、前記導光板の周辺から該導光板に向けて光を照射し、
前記光源からの光は前記導光板の内部を全反射しながら進み、該光の一部が前記非透過部において散乱されて前記被検物に向けて照射される
ことを特徴とする請求項１または２に記載の光学評価装置。
【請求項５】
更に、
前記被検物と前記照明部との間の相対的な位置関係を変える駆動部を備えることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の光学評価装置。
【請求項６】
更に、前記照明部における複数の光源の一部を前記制御部により発光させて前記被検物と前記照明部との間の相対的な位置関係を前記駆動部により変えて前記撮影部が撮影した複数の画像から合成画像を生成する生成部を備えることを特徴とする請求項５に記載の光学評価装置。
【請求項７】
前記生成部は、前記照明部における複数の光源のそれぞれを前記制御部により単独発光させて前記被検物と前記照明部との間の相対的な位置関係を前記駆動部により変えて前記撮影部が撮影した複数の画像から合成画像を生成することを特徴とする請求項６に記載の光学評価装置。
【請求項８】
前記生成部は、前記照明部における複数の光源において隣接しない光源を前記制御部により発光させて前記被検物と前記照明部との間の相対的な位置関係を前記駆動部により変えて前記撮影部が撮影した複数の画像から合成画像を生成することを特徴とする請求項６に記載の光学評価装置。
【請求項９】
前記生成部は、前記複数の画像において画素位置ごとの最大の輝度値、最小の輝度値の少なくとも一方に基づいて合成画像を生成することを特徴とする請求項６乃至８の何れか１項に記載の光学評価装置。
【請求項１０】
前記生成部は、前記複数の画像のそれぞれに対してシェーディング補正を実施し、シェーディング補正後の画像について画素毎の最小値、最大値、平均値を用いて合成画像を生成することを特徴とする請求項６乃至８の何れか１項に記載の光学評価装置。
【請求項１１】
光が透過する透過部と、該透過部よりも光の透過率が低い非透過部と、を有する照明部に含まれる、該透過部とは異なる位置に設けられた複数の光源を用いて、被検物を照明する照明ステップと、
前記複数の光源によって照明されている前記被検物を、前記透過部を介して撮影する撮影ステップと、
前記撮影ステップにおいて、前記複数の光源のうちの少なくとも一部を発光させる制御ステップと、
を備え、
前記被検物と前記照明部との間の相対的な位置関係は変更可能である
ことを特徴とする光学評価方法。
【請求項１２】
光が透過する透過部と、該透過部よりも光の透過率が低い非透過部と、を有する照明部に含まれる、該透過部とは異なる位置に設けられた複数の光源を用いて、被検物を照明する照明ステップと、
前記複数の光源によって照明されている前記被検物を、前記透過部を介して撮影する撮影ステップと、
前記撮影ステップにおいて、前記複数の光源のうちの少なくとも一部を発光させる制御ステップと、
前記撮影ステップにおいて撮影された画像に基づいて、前記被検物の搬送先を切り替える搬送ステップと
を備える被検物搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検物の光学的な評価を行うための技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
被検物であるワークに存在する欠陥には、キズ、凹凸、表面粗さのムラ等の多様な種類が存在する。それらの多様な種類の欠陥を目視して判定する目視検査員は、それぞれの欠陥種に対して、目視の上で最も欠陥が見やすい配置にて目視した結果から欠陥か否かの判定を下す。つまり、それぞれの欠陥種に対する最適な照明方位と撮像方位が欠陥種毎に異なるため、多様な欠陥種を検出するためには、照明と撮像の方位自由度向上が課題となる。その課題の解決策として、半球状（ドーム）照明と同軸落射照明の部分的な発光ができる構成が採用しうる（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−００３５４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の構成では、半球状照明及び同軸落射照明を実現するハーフミラーを有する関係上、撮像光軸方向に長い距離を確保する必要があり、装置全体が大型化してしまうという課題がある。さらに、撮像がハーフミラーを介してなされることから、撮像視野範囲がハーフミラー内に全て含まれている必要があり、撮像方位の自由度が低くなるという課題がある。本発明では、より小型の装置にて多様な欠陥をより高精度で検出するための技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一様態は、光が透過する透過部と、該透過部よりも光の透過率が低い非透過部と、を有する照明部であって、光源が該照明部において該透過部以外の箇所に設けられている前記照明部と、前記光源によって照明されている被検物を、前記透過部を介して撮影する撮影部と、前記照明部における複数の光源の少なくとも一部を発光させる制御部と、を備え、前記被検物と前記照明部との間の相対的な位置関係は変更可能であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の構成によれば、より小型の装置にて多様な欠陥をより高精度で検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】光学評価装置の構成例を示す図。
【図２】照明部１０１の構成例を示す図。
【図３】照明部１０１の断面図。
【図４】ワーク１１の表面を光学的に評価する処理のフローチャート。
【図５】ライン状の明暗ノイズの断面イメージを示す図。
【図６】光学評価装置の構成例を示す図。
【図７】照明部１１０の構成例を示す図。
【図８】照明部１１０の断面図。
【図９】ワーク１２の表面を光学的に評価する処理のフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、添付図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。なお、以下説明する実施形態は、本発明を具体的に実施した場合の一例を示すもので、特許請求の範囲に記載した構成の具体的な実施例の１つである。
【０００９】
［第１の実施形態］
先ず、本実施形態に係る光学評価装置の構成例について、図１を用いて説明する。光学評価装置１は、光沢性を有するワーク１１（被検物）の表面を光学的に評価する。ワーク１１は、例えば、工業製品に利用される、表面が研磨された金属部品や樹脂部品などである。ワーク１１の表面には、形状（キズ、凹凸など）に関わる欠陥（以降、形状性欠陥と呼ぶ）、散乱（表面粗さのムラなど）に関わる欠陥（以降、散乱性欠陥と呼ぶ）、反射率に関わる欠陥、などの表面性状に起因する多様な欠陥が発生しうる。光学評価装置１は、ワーク１１の表面の画像を取得し、該画像から生成する合成画像を評価することにより、これらの欠陥を検出し、該検出の結果に基づいて、例えば該ワーク１１が良品であるのか、それとも不良品であるのかを判定する。良品であるのか不良品であるのかの判定の手法には様々な手法がある。例えば、画像から計測された表面性状と、良品の表面性状として予め設定されている表面形状と、の差異が閾値よりも小さい場合には良品であると判定し、該差異が閾値よりも大きい場合は不良品であると判定する。
【００１０】
さらに光学評価装置１は、ワーク１１を規定の位置に搬送する不図示の搬送装置（例えば、コンベアやロボット、スライダ、手動ステージなど）を含みうる。搬送装置は、ワーク１１に対する良品／不良品の判定結果に応じて該ワーク１１の搬送先を変えることができる。例えば、ワーク１１に対する判定結果が「良品」の場合には、該ワーク１１は次の工程へと送られる。以降の工程においてワーク１１は、例えば別の様々な部品と組み合わせられ、最終的には製品として完成する。一方、ワーク１１に対する判定結果が「不良品」の場合には、該ワーク１１は再生のための工程へと送られる。その工程においてワーク１１には表面の欠陥を除去するための処理（例えば表面を研磨するなどの処理）が施される。この処理が完了した後、光学評価装置１による良品／不良品の再評価が再度行われる。
【００１１】
さらに光学評価装置１は、ワーク１１を照明する照明部１０１と、照明部１０１よりも上方からワーク１１を照明部１０１越しに撮影する撮影部であるカメラ１０２と、を含みうる。カメラ１０２は、例えばＣＣＤイメージセンサやＣＭＯＳイメージセンサなど、画素が２次元状に配置されたイメージセンサを使用しうる。このようなエリアセンサカメラを用いることにより、ラインセンサカメラと比べて広い領域の画像を一括に取得することができるため、ワーク表面の広い範囲について高速に表面を評価することが可能となる。またカメラ１０２には、被写体側テレセントリック光学系を用いてもよい。
【００１２】
ここで、本実施形態に係る照明部１０１の構成例を図２に示す。図２に示す如く、照明部１０１は、少なくとも部分的に光を透過する複数のライン状の透過部１０１１と、少なくとも透過部１０１１よりは光の透過率が小さい複数のライン状の非透過部１０１２と、が規定方向に一定の周期Ｐで交互に配置された部材を有する。この「規定方向」は図２ではＸ方向である。この部材は、透過部１０１１が開口ないし空間、非透過部１０１２が遮光マスクから成り得て、それぞれＸ方向よりもＹ方向に長く、Ｘ方向に沿って間隔を空けつつ周期Ｐで配置されている。さらに透過部１０１１と非透過部１０１２とを含む部材は、枠部１０１３によって保持されている。つまり、図２の照明部１０１は、透過部１０１１と非透過部１０１２とがライン方向（Ｙ方向）と直交する方向（Ｘ方向）に一定の周期Ｐで交互に配置されたパターン（ライン状パターン）の部材を有する。
【００１３】
照明部１０１の断面図を図３に示す。照明部１０１はさらに、光源であるＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈを含みうる。ＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈのそれぞれは、複数のＬＥＤ素子及び拡散板を有しており、ライン状の発光部材として機能する。ＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈのそれぞれは、複数の非透過部１０１２のうち対応する非透過部１０１２に設けられており（Ｙ方向に並んでおり）、ワーク１１に向けて（図３中の−Ｚ方向）光を照射する。図３の例では、例えばＬＥＤ１０１４ａは、Ｘ方向において左端の非透過部１０１２上に設けられている。
【００１４】
照明部１０１により、ワーク１１には縞状のパターン光が照射される。ワーク１１で反射または散乱された光の一部は照明部１０１の非透過部１０１２によって遮光され、一部は照明部１０１の透過部１０１１を透過する。照明部１０１の透過部１０１１を透過した光の一部はカメラ１０２に到達し、カメラ１０２はこの到達した光を撮影するで、照明部１０１を介したワーク１１の撮影を可能にする。
【００１５】
なお、本実施形態では、光源を複数のＬＥＤ素子及び拡散板によるライン状の発光部材であるＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈとしているが、照明部１０１の構成はこのような構成に限らない。例えば、光を散乱する特性を有する素材でフィルム上に印刷された縞状のパターンによって照明部１０１を実現しても良い。
【００１６】
図１に示されるように、照明部１０１は、該照明部１０１の駆動部である可動機構１０３によって保持されている。可動機構１０３は、透過部１０１１及び非透過部１０１２のライン方向（Ｙ方向）と直交する方向（Ｘ方向）に照明部１０１を移動させる。本実施形態では、可動機構１０３によって照明部１０１をＸ方向に移動させることで、ワーク１１と照明部１０１との間の相対的な位置関係を変化させているが、同様の目的を達成できるのであれば、他の手法を採用しても良い。例えば、照明部１０１に対してワーク１１を動かすことで、照明部１０１とワーク１１との間の相対的な位置関係を変化させても良い。また、照明部１０１の全体は動かさずに、透過部１０１１及び非透過部１０１２だけを動かすようにしても良い。
【００１７】
可動機構１０３は制御部１０４と接続されている。制御部１０４は例えば、ＣＰＵ等のプロセッサやメモリ等を有する基板として実装され、プロセッサはメモリに格納されているコンピュータプログラムやデータを用いて処理を実行することで照明部１０１、カメラ１０２、可動機構１０３を同期して制御する。制御部１０４は、照明部１０１、カメラ１０２、可動機構１０３を制御することで、照明部１０１を発光させ、可動機構１０３に照明部１０１を移動させ、複数の画像をカメラ１０２に撮影させることができる。なお、同様の目的を達成できるのであれば、このような構成に限るものではない。例えば、手動で可動機構１０３を操作して照明部１０１を移動させた後、マニュアルトリガーで照明部１０１とカメラ１０２を制御してワーク１１の複数の画像をカメラ１０２に撮影させるようにしても良い。
【００１８】
光学評価装置１は更に、画像処理部としてのＰＣ（パーソナルコンピュータ）１０５と、表示部としてのディスプレイ１０６と、を含みうる。本実施形態に係るＰＣ１０５は、カメラ１０２で得られた複数の画像に基づいてワーク１１の表面を評価する（ワーク１１の光学的な評価を行う）。ここで、ＰＣ１０５のハードウェア構成例について説明する。
【００１９】
ＣＰＵ１９１は、ＲＡＭ１９２やＲＯＭ１９３に格納されているコンピュータプログラムやデータを用いて処理を実行する。これによりＣＰＵ１９１は、ＰＣ１０５全体の動作制御を行うと共に、ＰＣ１０５が行うものとして説明する各処理を実行若しくは制御する。
【００２０】
ＲＡＭ１９２は、ＲＯＭ１９３や外部記憶装置１９５からロードされたコンピュータプログラムやデータ、Ｉ／Ｆ（インターフェース）１９６を介して外部（制御部１０４など）から受信したデータ、を格納するためのエリアを有する。さらにＲＡＭ１９２は、ＣＰＵ１９１が各種の処理を実行する際に用いるワークエリアを有する。このようにＲＡＭ１９２は、各種のエリアを適宜提供することができる。ＲＯＭ１９３には、ＰＣ１０５の設定データや起動プログラムなど、書換不要の情報が格納されている。
【００２１】
操作部１９４は、キーボード、マウス、タッチパネルなどのユーザインターフェースにより構成されており、ユーザが操作することで各種の指示をＣＰＵ１９１に対して入力することができる。
【００２２】
外部記憶装置１９５は、ハードディスクドライブ装置に代表される大容量情報記憶装置である。外部記憶装置１９５には、ＯＳ（オペレーティングシステム）、ＰＣ１０５が行うものとして説明する各処理をＣＰＵ１９１に実行若しくは制御させるためのコンピュータプログラムやデータが保存されている。外部記憶装置１９５に保存されているデータには、ＰＣ１０５が既知のデータとして使用するデータも含まれている。外部記憶装置１９５に保存されているコンピュータプログラムやデータは、ＣＰＵ１９１による制御に従って適宜ＲＡＭ１９２にロードされ、ＣＰＵ１９１による処理対象となる。
【００２３】
Ｉ／Ｆ１９６は、外部の機器をＰＣ１０５に接続するためのもので、このＩ／Ｆ１９６には、制御部１０４やディスプレイ１０６などが接続される。例えば、カメラ１０２によって撮影された画像は、制御部１０４およびＩ／Ｆ１９６を介してＰＣ１０５に入力され、ＲＡＭ１９２や外部記憶装置１９５に格納される。
【００２４】
ＣＰＵ１９１、ＲＡＭ１９２、ＲＯＭ１９３、操作部１９４、外部記憶装置１９５、Ｉ／Ｆ１９６は何れも、バス１９７に接続されている。なお、画像処理部に適用可能な装置はＰＣ１０５に限らず、例えば、画像処理専用の装置（基盤など）であっても構わない。また、図１では、制御部１０４とＰＣ１０５とを別個の装置としているが、制御部１０４とＰＣ１０５とを一体化させても良い。
【００２５】
次に、本実施形態に係る光学評価装置１を用いて実施する、ワーク１１の表面を光学的に評価する処理について、図４のフローチャートに従って説明する。ステップＳ１１では、ＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈの光量を調整する。ＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈの光量調整は、照明部１０１を介してワーク１１をカメラ１０２によって撮影した画像の階調値分布に基づいて実施する。まず、階調値分布のピーク位置における階調値が飽和状態とならない範囲内で、階調値範囲の目標を設定する。次に、階調値分布のピーク位置のそれぞれが該設定した目標内に入るように、ＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈのそれぞれの光量を調節する。この光量調節は制御部１０４が行っても良いし、ＰＣ１０５が行っても良い。
【００２６】
次に、合成画像を作成するために必要な複数の画像を取得するべく、ステップＳ１２〜Ｓ１５の処理（撮影ループ１）を複数回（ここではＮ回：Ｎは３以上の整数）行う。撮影ループ１をＮ回繰り返すことで、Ｎ枚の画像を取得することができる。
【００２７】
ステップＳ１３では、制御部１０４は可動機構１０３を制御して照明部１０１を、基準位置からＸ方向にΔＸｉ（１≦ｉ≦Ｎ）だけ移動させることで、照明部１０１とワーク１１との間の相対的な位置関係を変化させる。制御部１０４は可動機構１０３を制御し、照明部１０１の移動の完了後、照明部１０１の移動を停止させる。
【００２８】
ステップＳ１４では、制御部１０４は、照明部１０１内のＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈを同時発光させてから、カメラ１０２により撮影を行わせる。カメラ１０２は、照明部１０１により照明されているワーク１１からの光（ワーク１１で反射または散乱された光の一部）のうち透過部１０１１を透過してカメラ１０２に届いた光を撮影する。以下では、ｉ回目の撮影により得られる画像をＩｉと表記する。また以下では、画像Ｉｉ中の画素位置（ｘ、ｙ）における輝度値をＩｉ（ｘ、ｙ）と表記する。なお、上記の基準位置は特定の位置に限らず、例えば、ΔＸ１＝０として、１回目の撮影の位置を基準位置としても良い。カメラ１０２により撮影された画像は制御部１０４を介してＰＣ１０５に送出され、ＲＡＭ１９２や外部記憶装置１９５に格納される。
【００２９】
ステップＳ１６ではＣＰＵ１９１は、次のような処理を実行する。つまり照明部１０１とワーク１１との相対的な位置（Ｘ方向の位置）がΔＸｉだけ変化したとき、位相が４πΔＸｉ／Ｐラジアンでシフトする周波数成分の強度変化に関する情報を用いてＮ枚の画像から合成画像または処理画像を生成する。この周波数成分は、画像上に発生する、例えば周期Ｐ／２の縞状パターンに対応する周波数成分である。
【００３０】
合成画像の一例は、位相が４πΔＸｉ／Ｐラジアンでシフトする周波数成分の振幅画像である。照明部１０１とワーク１１との相対的なＸ方向の位置をＰ／Ｎ（等間隔）幅のステップでシフトさせた場合、ΔＸｉ（ｉ＝１，２，…Ｎ）は以下の式で表される。
【００３１】
【数１】
2020094877.tif 000003
【００３２】
この式はΔＸ１＝０の場合を含むものである。最初に撮影される画像（Ｉ１）が基準位置から変化した位置で撮影された画像である場合には、ΔＸｉは以下の式で表される。
【００３３】
【数２】
2020094877.tif 000004
【００３４】
このとき、振幅画像Ａ（ｘ，ｙ）は、以下の式により算出できる。
【００３５】
【数３】
2020094877.tif 000005
【００３６】
これが、Ｎ枚（Ｎ≧３）の画像を処理することで得られる、被検物の表面に関する情報を含む処理画像である。また、位相が４πΔＸｉ／Ｐラジアンでシフトする周波数成分（例えば、周期Ｐ／２の縞状パターンに対応する周波数成分）の強度変化に関する情報を用いて生成された処理画像である。
【００３７】
照明部１０１を移動させると、カメラ１０２の画素上の１点では、強度の明暗が変化する。光沢性を有するワーク１１に関し、表面が正常な光沢を有する部分では、この明暗の差に相当する振幅が発生する。一方、キズや微小な凹凸などの欠陥がある部分では、明暗の差が小さくなり、振幅の値も小さくなる。このため、振幅画像では、形状性欠陥や散乱性欠陥を可視化することができる。
【００３８】
また、合成画像の別の例は、位相が４πΔＸｉ／Ｐラジアンでシフトする周波数成分の位相画像である。位相画像θ（ｘ，ｙ）は、以下の式により算出できる。
【００３９】
【数４】
2020094877.tif 000006
【００４０】
ここで、位相は−π〜πの値で算出されるため、それ以上に位相が変化する場合は、位相画像では非連続な位相の飛びが発生する。このため、必要に応じて位相接続（位相アンラップ）が必要である。
【００４１】
位相接続（位相アンラップ）には、種々のアルゴリズムが提案されているが、画像のノイズが大きい場合には、誤差が生じうる。位相接続を回避するための手法として、位相の微分に相当する位相差を算出しても良い。位相差Δθｘ（ｘ，ｙ）及びΔθｙ（ｘ，ｙ）は、以下の式により算出できる。
【００４２】
【数５】
2020094877.tif 000007
【００４３】
さらなる合成画像の例は、平均画像である。平均画像Ｉａｖｅ（ｘ，ｙ）は、以下の式により算出できる。
【００４４】
【数６】
2020094877.tif 000008
【００４５】
ステップＳ１６の開始時点で、ワーク１１に対するＸ方向のＮ箇所の相対位置のそれぞれについて、該相対位置における照明部１０１により照射されたワーク１１からの光のうち透過部１０１１を透過してカメラ１０２に届いた光を撮影した画像が得られている。つまり、Ｎ枚の画像が得られている。そしてステップＳ１６の処理が完了した時点で、このＮ枚の画像の合成画像が得られる。
【００４６】
前述の位相画像では、ワーク１１の表面性状としてワーク１１の表面の傾きを評価することができる。したがって、位相画像ではワーク１１の表面の凹みのような緩やかな形状変化に起因する形状性欠陥の情報を得ることができ、可視化することもできる。さらに、平均画像では、ワーク１１の表面性状として反射率の分布を評価できる。したがって、平均画像では、色抜けや汚れ、吸収性の異物など、正常な部分と反射率に違いがある欠陥の情報を得ることができ、反射率に関わる欠陥を可視化することもできる。
【００４７】
しかしながら、欠陥の種類によっては、その反射特性などの影響により、可視化可能な照明方位が限定的な場合があり、前述の合成画像では欠陥が検出できない場合がある。この場合、各欠陥に適した照明にて、可視化をさらに行うことが必要になる。特に散乱性欠陥は、検査員よる目視において、暗視野照明にて欠陥を目視し、判定を行っているのに対して、前述の合成画像では、暗視野照明相当の画像が無く、欠陥の判定結果に、目視検査員との齟齬が発生してしまう課題がある。
【００４８】
そこで、ステップＳ１７以降では、前述の合成画像では検出が困難な散乱性欠陥を検出するための合成画像の生成に係る処理を行う。ステップＳ１７では、制御部１０４は、ＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈのそれぞれの光量を調整する。光量調整の指標は、画像上の暗視野領域にて、検出したい欠陥部の階調値が、周辺の階調値に対して十分高くなるように光量調整を実施する。この場合、照明部１０１を介してワーク１１をカメラ１０２によって撮影した画像中の明視野領域が飽和状態となっても良い。明視野領域とは、ＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈからの光がワーク１１を正反射し、該正反射した光が照明部１０１を介してカメラ１０２に到達した領域である。また、暗視野領域とは、明視野領域外の、ワーク１１を正反射した光が到達しない領域である。
【００４９】
そして、暗視野画像からなる合成画像を作成するために必要な複数の画像を取得するべく、ステップＳ１８〜Ｓ２０の処理（撮影ループ２）を複数回（ＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈのそれぞれについて）行う。撮影ループ２をＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈのそれぞれについて行うことで、ＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈのそれぞれに対応する画像を取得することができる。
【００５０】
ステップＳ１９では、制御部１０４は、照明部１０１内のＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈのうち今回発光させるＬＥＤ（発光対象ＬＥＤ）を発光させて（発光対象ＬＥＤ以外のＬＥＤは発光させない）、カメラ１０２によりワーク１１の撮影を行わせる。本実施形態では、第１回目の撮影ループ２では、ＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈのうちＬＥＤ１０１４ａを発光対象ＬＥＤとして発光させて（発光対象ＬＥＤ以外のＬＥＤは発光させない）、カメラ１０２によりワーク１１の撮影を行わせる。第２回目の撮影ループ２では、ＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈのうちＬＥＤ１０１４ｂを発光対象ＬＥＤとして発光させて（発光対象ＬＥＤ以外のＬＥＤは発光させない）、カメラ１０２によりワーク１１の撮影を行わせる。カメラ１０２は、照明部１０１により照明されているワーク１１からの光（ワーク１１で反射または散乱された光の一部）のうち透過部１０１１を透過してカメラ１０２に届いた光を撮影する。
【００５１】
このように、ＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈのそれぞれを順次発光させて撮影を行う。これにより、ＬＥＤ１０１４ａを発光させたときのワーク１１の撮影画像、ＬＥＤ１０１４ｂを発光させたときのワーク１１の撮影画像、…というように、ＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈのそれぞれに対応するワーク１１の撮影画像を取得することができる。
【００５２】
以下では、ＬＥＤ１０１４ｗ（ｗ＝ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇ，ｈ）を発光させたときにカメラ１０２により撮影されたワーク１１の画像をＩｗと表記する。また以下では、画像Ｉｗ中の画素位置（ｘ、ｙ）における輝度値をＩｗ（ｘ、ｙ）と表記する。
【００５３】
この撮影した画像には、前述の明視野領域とそれ以外の暗視野領域が存在する。画像Ｉａを例に取ると、画像Ｉａの暗視野領域に散乱性欠陥が存在すると、ＬＥＤ１０１４ａからの光が散乱され、正反射と異なる方向にも光が向かい、この光をカメラ１０２でとらえることで周囲に対して欠陥部を明るく撮影できる。このように散乱性欠陥からの光を暗視野領域にて可視化できる。
【００５４】
なお、本実施形態ではＬＥＤ１０１４ａ〜１０１４ｈのそれぞれを単独発光させてワーク１１の撮影を行った。しかし例えば、暗視野領域が取得できるように、隣接しないＬＥＤ（例えば、ＬＥＤ１０１４ａ、ＬＥＤ１０１４ｄ、ＬＥＤ１０１４ｇ）を同時発光させて、ワーク１１の撮影を行うようにしても良い。このような構成によれば、ワーク１１の撮影回数が少なくなり、撮影や画像処理に要する時間を本実施形態よりも短縮することができる。
【００５５】
なお、前述のステップＳ１９の処理については、さらなる課題がある。その課題とは、発光させたＬＥＤからの一部の光が、ワーク１１や照明部１０１などで反射、散乱し、再び照明部１０１に到達し、さらに反射、散乱することで、ワーク１１を照明してしまうことである。そのため、カメラ１０２で撮影される画像上に照明部１０１の像がライン状の明暗ノイズとなって撮影されてしまう。例えば、ＬＥＤ１０１４ａを発光させた場合、その光の一部がワーク１１や照明部１０１などで反射、散乱し、ＬＥＤ１０１４ｂ〜１０１４ｈに到達する。ＬＥＤ１０１４ｂ〜１０１４ｈに到達した光が再びワーク１１を照明してしまうため、ＬＥＤ１０１４ｂ〜１０１４ｈの像が画像内に写り込み、明暗ノイズとなる。その対策に関して、図１、図２、図３、図５を用いて詳細に述べる。
【００５６】
ライン状の明暗ノイズの断面イメージを図５に示す。図５において横軸は、図１におけるワーク１１上のＸ座標と等価な、カメラ１０２のＸ座標であり、縦軸は、カメラ１０２で得た画像の階調値をプロットした断面イメージを示したものである。図５で示すように、明暗ノイズは、周期的（空間周期Ｌ）な階調値の変化として表れる。明暗ノイズの空間周期Ｌは、カメラ１０２の光学系の開口数（ＮＡ）、透過部と非透過部とを含む照明部１０１の透過部のデューティ、カメラ１０２の光学系のフォーカス位置、などにより決まる。この明暗ノイズの空間周期Ｌは、予め測定により求めたり、装置の設計値から理論的に計算したりすることができる。
【００５７】
上記のライン状の明暗ノイズの対策として、カメラ１０２で撮影する際に、前述の可動機構１０３により、透過部１０１１及び非透過部１０１２のラインと直交する方向（図２中のＸ方向）に、照明部１０１を等速移動させる。制御部１０４は、照明部１０１の等速速度Ｖ［ｍ／ｓ］、明暗ノイズの空間周期Ｌ［ｍ］、カメラ１０２の露光時間Ｔ［ｓ］の関係を、以下の式に示す関係が成り立つように設定する。
【００５８】
【数７】
2020094877.tif 000009
【００５９】
つまり、一部のＬＥＤによりワーク１１を照明する時に、カメラ１０２が画像の撮影に要する露光時間内に相対的な位置が変化する距離を、透過部１０１１と非透過部１０１２とを含む部材の存在により画像に発生する明暗パターンの周期の整数倍とする。整数倍であることが望ましいが、誤差が５％以下（より好ましくは３％以下）であれば、整数倍からずれていても構わない。
【００６０】
こうした測定方法によると、照明部１０１により発生する明暗ノイズをｍ周期分平均化することができ、その平均化効果により明暗ノイズを低減することが可能となる。本実施形態では、可動機構１０３によって、照明部１０１を等速移動させる構成としたが、部材は移動させないで、カメラ１０２とワーク１１の位置を同時に等速変化させる構成としても同様の効果が得られる。
【００６１】
また、本実施形態では、カメラ１０２の露光時間内に照明部１０１を等速移動させる構成としたが、明暗ノイズの空間周期Ｌを複数分割したステップ移動を行ってもよい。この場合は、ステップ移動毎に複数の撮影画像を取得し、これらの画像を平均化処理することで同様の効果が得られる。さらに可動機構１０３によって照明部１０１を移動させているが、照明部１０１に対してワーク１１を動かすことで、照明部１０１とワーク１１との相対的な位置を変えても良い。この場合、複数の撮影画像の平均化は、画像上のワーク１１の位置が同一となるように画像処理を行った後に平均化を実施することで実施可能である。このような画像の平均化等の画像処理についてはＰＣ１０５のＣＰＵ１９１が行う。
【００６２】
図４に戻って、次に、ステップＳ２１では、ＣＰＵ１９１（生成部）は、画像Ｉａ，Ｉｂ，Ｉｃ，Ｉｄ，Ｉｅ，Ｉｆ，Ｉｇ，Ｉｈから、暗視野画像に相当する合成画像を生成する。
【００６３】
先ず、画像Ｉａ，Ｉｂ，Ｉｃ，Ｉｄ，Ｉｅ，Ｉｆ，Ｉｇ，Ｉｈにおいて明視野領域内の画素には、無効データを意味するＮａＮ（Ｎｏｔ  ａ  Ｎｕｍｂｅｒ）を設定する。画像Ｉａ（ｘ、ｙ），Ｉｂ（ｘ、ｙ），Ｉｃ（ｘ、ｙ），Ｉｄ（ｘ、ｙ），Ｉｅ（ｘ、ｙ），Ｉｆ（ｘ、ｙ），Ｉｇ（ｘ、ｙ），ＩｈのうちＮａＮが設定されていない画素の輝度値において最大の輝度値を合成画像における画素位置（ｘ、ｙ）の輝度値とする。
【００６４】
明視野領域と暗視野領域の分割は、画像から得られた階調値に基づいて実施しても良いし、予め光学シミュレーション等で予測した領域で分割することで実施しても良い。さらに、形状性欠陥を暗視野画像に可視化したく無い場合には、明視野領域近傍の領域の画素にも無効データを設定すればよい。その理由は、形状性欠陥が、明視野領域の近傍のみで、欠陥以外の正常部に対して、欠陥部が高い階調値で検出できる、一方、散乱性欠陥が、暗視野領域全域にわたって、欠陥以外の正常部に対して、欠陥部が高い階調値で検出できるという違いがあるためである。
【００６５】
ステップＳ２２では、ＣＰＵ１９１は、ステップＳ１６において生成した合成画像、ステップＳ２１において生成した合成画像、を基にして、ワーク１１の表面上の欠陥を検出する。
【００６６】
本実施形態においては、明視野領域に無効データを設定する処理を実施したのちに、画素毎の最大値を取ることで暗視野画像を作成したが、画素毎の（最大値−最小値）、標準偏差などの演算結果を利用しても良い。さらに、明視野領域に無効データを設定する工程を削減するために、画素毎の最小値を利用しても良い。
【００６７】
本実施形態に係る光学評価装置１は、ワーク１１の表面に関する情報を含む合成画像を生成し、合成画像から欠陥を検出し、例えば、ワーク１１の良否判定検査を実施する。しかし、光学評価装置１などの装置の用途は、ワーク１１の表面上の欠陥検出に限定されず、例えば、ワーク１１の表面の傾きの情報を含む位相画像の情報を用いて、ワーク表面の形状計測に使用しても良い。ここで、ステップＳ２２では、それぞれの合成画像をディスプレイ１０６に表示しても良いし、Ｉ／Ｆ１９６を介して外部の機器に対して送信しても良いし、外部記憶装置１９５に保存しても良い。
【００６８】
本実施形態では振幅画像、位相画像、平均画像といった、結果の種別に応じた様々な合成画像の生成方法を述べたが、これら全ての合成画像を生成しても良いし、一部の合成画像を生成しても良い。また、ユーザが操作部１９４を操作して指定した「検出する欠陥の種別」に対応する合成画像（例えば、指定された欠陥の検出や可視化に適した合成画像）を生成するようにしても良い。
【００６９】
このように欠陥を可視化するため、パターン照明を用いた位相シフト法による合成画像とパターン照明の部分発光を用いた暗視野画像からなる合成画像によって、光学的に評価可能な表面性状が異なる結果、可視化される多様な欠陥を検出することが可能となる。特に、暗視野画像からなる合成画像を用いた欠陥検出は、検査員が主に使用する暗視野照明時の目視と同等の画像から欠陥を検出できるため、検査員に近い検査が可能となり、高精度に欠陥を検出することができる。
【００７０】
このように、本実施形態によれば、透過型のパターン照明を用い、撮影系と各種照明の配置の自由度が高く、装置の小型化が可能な装置において、さらに、高精度で多様な欠陥を検出することができる。
【００７１】
［第２の実施形態］
以下では、第１の実施形態との差分について説明し、以下で特に触れない限りは、第１の実施形態と同様である。先ず、本実施形態に係る光学評価装置の構成例について、図６を用いて説明する。図６の光学評価装置２は、散乱性を有するワーク１２（被検物）の表面を光学的に評価する。ワーク１２の表面には、形状性欠陥、散乱性欠陥や表面性状に起因する多様な欠陥が発生しうる。光学評価装置２は、ワーク１２の表面の画像を取得し、該画像から生成する合成画像を評価することにより、これらの欠陥を検出し、該検出の結果に基づいて、例えば該ワーク１２を良品であるのか、それとも不良品であるのかを判定する。
【００７２】
光学評価装置１と光学評価装置２の相違点は、図１の照明部１０１と図６の照明部１１０である。ここで、照明部１１０を用いて画像を撮影する方法を図６、図７、図８を用いて説明する。
【００７３】
照明部１１０の構成例を図７に示す。図７に示す如く、照明部１１０はドット状パターンを有する。照明部１１０は、少なくとも部分的に光を透過する透過部１１０１と、少なくとも透過部１１０１よりは光の透過率が小さい複数のドット状の非透過部１１０２と、を有する。複数のドット（非透過部１１０２）は、規定の間隔で配置されている。また透過部１１０１と非透過部１１０２とを含む部材は、枠１１０３によって保持されている。さらに、枠１１０３の左右には、光源であるＬＥＤ１１０４Ｙ１〜１１０４Ｙ７がＹ方向に並んで配置されており、枠１１０３の上下には、ＬＥＤ１１０４Ｘ１〜１１０４Ｘ７がＸ方向に並んで配置されている。なお、同時に点灯させるＬＥＤには同一符号を付している。さらに本実施形態で使用するＬＥＤは、指向性の高いＬＥＤが好ましい。指向性の高いＬＥＤを使用することの効果は、ワーク１２に対する照明方位範囲を小さくすることができることにあり、さらに、指向性の高いＬＥＤを多数配置することで多様な照明方位を実現できることにある。また、本実施形態では、散乱性を有するワーク１２を照明するために、ドット状パターンを有する照明部１１０を用いた方法について述べるが、ライン状パターンを有する照明部１０１を用いても良く、同様の効果が得られる。
【００７４】
照明部１１０の断面図を図８に示す。照明部１１０はさらに、導光板１１０５を含みうる。導光板１１０５は、例えば、アクリルやガラスの平面板である。非透過部１１０２は、例えば、光を散乱する特性を有する素材を用いて、フィルム上にドット状のパターンを印刷することで実現しうる。こうした場合、光を散乱する素材で印刷されないフィルム部分が透過部１１０１となる。ドット状のパターンが印刷されたフィルムは、導光板１１０５に密着して貼り付けられる。なお、光を散乱する特性を有する素材を用いて直接、導光板１１０５上にドット状のパターンを印刷するようにしても良い。つまり、光を散乱する特性を有する素材を用いて印刷されたドット状のパターンが配されている箇所を非透過部として有し、該箇所以外を透過部として有する導光板であれば良い。
【００７５】
導光板１１０５の周辺に設けられたＬＥＤのうちの１つであるＬＥＤ１１０４Ｙ１から射出された指向性の高い光は、導光板１１０５の内部を全反射しながら進む。非透過部１１０２には光を散乱する特性を有する素材が用いられているため、入射された光の一部がワーク１２に向けて散乱される。この時、指向性の高いＬＥＤを使用しているため、左右のＬＥＤ１１０４Ｙ１を直線で結んだ周辺の非透過部１１０２のみにしか光が到達しない。そのため、ワーク１２に対して照明方位とその範囲を限定することができる。一方、透過部１１０１では殆ど光が散乱されないため、透過部１１０１からワーク１２に向けて照射される光は殆ど発生しない。このため、照明部１１０によって、ワーク１２にはドット状のパターン光が投影される。ワーク１２で散乱された光の一部は、照明部１１０の非透過部１１０２で遮光され、ワーク１２で散乱された光の一部は、照明部１１０の透過部１１０１を透過する。透過した光をカメラ１０２で撮影することにより、カメラ１０２は照明部１１０を介してワーク１２を撮影することができる。
【００７６】
図６に示されるように、照明部１１０は可動機構１０３によって保持されている。可動機構１０３は、カメラ１０２の光軸と垂直な２次元平面（ＸＹ平面）内で照明部１１０を移動させる。本実施形態では、可動機構１０３によって照明部１１０を移動させているが、照明部１１０に対してワーク１２を動かすことで、照明部１１０とワーク１２との間の相対的な位置関係を変えても良い。また、公知の透過型ディスプレイなどを用いて照明部１１０の全体は動かさずに、透過部１１０１及び非透過部１１０２だけを動かすようにしても良い。
【００７７】
制御部１０４は、照明部１１０、カメラ１０２、可動機構１０３を同期して制御する。制御部１０４は、照明部１１０、カメラ１０２、可動機構１０３を制御することで、照明部１１０を発光させ、可動機構１０３に照明部１１０を移動させ、複数の画像をカメラ１０２に撮影させることができる。本実施形態に係るＰＣ１０５は、カメラ１０２で得られた複数の画像に係る情報に基づいてワーク１２の表面を評価する（ワーク１２の光学的な評価を行う）。
【００７８】
前述の方法で撮影した画像には第１の実施形態と同様にさらなる課題がある。その課題とは、照明部１１０が２次元光源（２次元状に配されている光源）となり、カメラ１０２で撮影される画像上にドット状の明暗ノイズとなって撮影されてしまう。その対策として、照明部１１０をＸＹ平面内で移動させて撮影し、撮影したそれぞれの画像を平均化することで、ドット状の明暗ノイズを平均化する。
【００７９】
次に、本実施形態に係る光学評価装置２を用いて実施する、ワーク１２の表面を光学的に評価する処理について、図９のフローチャートに従って説明する。ステップＳ１０１〜Ｓ１１０の照明ループは、変数ｉｉがＸ１，Ｘ２，Ｘ３，…，Ｘ７，Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３，…，Ｙ７のそれぞれの場合について行う。
【００８０】
ステップＳ１０２〜Ｓ１０８のＹ駆動グループは、Ｙ方向の明暗ノイズを平均化するために必要な撮影をするための駆動ループであり、変数ｊｊが１，２，３，…，Ｎのそれぞれの場合について行う。
【００８１】
ステップＳ１０４〜Ｓ１０７のＸ駆動グループは、Ｘ方向の明暗ノイズを平均化するために必要な撮影をするためのＸ駆動ループであり、変数ｋｋが１，２，３，…，Ｎのそれぞれの場合について行う。
【００８２】
ステップＳ１０３では、制御部１０４は可動機構１０３を制御して照明部１１０を、基準位置からＹ方向にΔＹｊｊだけ移動させることで、照明部１１０とワーク１２との間の相対的な位置関係を変化させる。
【００８３】
ステップＳ１０５では、制御部１０４は可動機構１０３を制御して照明部１１０を、基準位置からＸ方向にΔＸｋｋだけ移動させることで、照明部１１０とワーク１２との間の相対的な位置関係を変化させる。
【００８４】
ステップＳ１０６では、制御部１０４はＬＥＤ１１０４ｉｉを発光させてから、カメラ１０２により撮影を行わせることで、画像Ｉｊｊ，ｋｋを取得する。この画像は制御部１０４を介してＰＣ１０５に送出され、ＲＡＭ１９２や外部記憶装置１９５に格納される。
【００８５】
ステップＳ１０４〜Ｓ１０７のＸ駆動グループを変数ｋｋが１，２，３，…，Ｎのそれぞれの場合について行って、Ｘ方向の駆動量の総和がドット状の明暗ノイズの整数倍とすることで、ドット状の明暗ノイズをＸ方向に平均化できる画像を撮影する。なお、最大の平均効果を出すために、Ｘ,Ｙ方向の駆動量はそれぞれ一定であることが望ましい。
【００８６】
ステップＳ１０９では、ＣＰＵ１９１は、Ｉ１，１（ｘ、ｙ）〜ＩＮ，Ｎ（ｘ，ｙ）の平均値を求め、該平均値を、「ＬＥＤ１１０４ｉｉを発光した場合に得られる合成画像Ｉｉｉ」の画素位置（ｘ、ｙ）における輝度値とする。
【００８７】
ステップＳ１１１では、ＣＰＵ１９１は、画像ＩＸ１，ＩＸ２，ＩＸ３，…，ＩＸ７，ＩＹ１，ＩＹ２，ＩＹ３，…，ＩＹ７から合成画像を生成する。合成画像の生成方法については特定の生成方法に限らないが、例えば、各画像に対してシェーディング補正を実施し、シェーディング補正後の画像について画素毎の最小値、最大値、平均値を用いた合成画像を上記の如く生成する。
【００８８】
前述の最小値を利用した合成画像である最小画像、最大値を利用した合成画像である最大画像では、キズなどの照明方位によって階調値が変化する欠陥の情報を得ることができ、可視化することもできる。さらに、平均値を利用した合成画像である平均画像では、表面性状として反射率の分布を評価できる。したがって、平均画像では、色抜けや汚れ、吸収性の異物など、正常な部分と反射率に違いがある欠陥の情報を得ることができ、反射率に関わる欠陥を可視化することもできる。このように、欠陥を可視化するため、パターン照明の部分発光を用いた画像からなる合成画像によって、可視化される多様な欠陥を検出することができる。
【００８９】
ステップＳ１２２では、ＣＰＵ１９１は、ステップＳ１０９において生成した合成画像やステップＳ１１１において生成した合成画像を基にして、ワーク１２の表面上の欠陥を検出する。
【００９０】
このように、本実施形態によれば、透過型のパターン照明を用い、撮影系と各種照明の配置の自由度が高く、装置の小型化が可能な装置において、さらに、高精度で多様な欠陥を検出することができる。
【００９１】
なお、第１の実施形態における照明部１０１とカメラ１０２とのセット、第２の実施形態における照明部１１０とカメラ１０２とのセット、は次のような構成を有する撮影装置の一例に過ぎない。
【００９２】
つまり撮影装置は、光が透過する透過部と、該透過部よりも光の透過率が低い非透過部と、を有する照明部であって、光源が該照明部において該透過部以外の箇所に設けられている該照明部を有する。さらに撮影装置は、該光源によって照明されている被検物を該透過部を介して撮影する撮影部と、該照明部における複数の光源の少なくとも一部を発光させる制御部と、を有し、被検物と照明部との間の相対的な位置関係は変更可能である。このような撮影装置の使用用途は上記の例に限らず、よって、このような撮影装置を有する装置（システム）の構成も上記の例に限らない。例えば、上記の各実施形態では、欠陥を検出する目的で複数の画像から合成画像を生成していたが、他の目的の場合には、合成画像を生成することは必須ではなく、場合によっては撮影した個々の画像をその目的のために使用するようにしても良い。
【００９３】
また、上記の光学評価方法は、次のような光学評価方法の一例に過ぎない。つまり、光学評価方法は、光が透過する透過部と、該透過部よりも光の透過率が低い非透過部と、を有する照明部に含まれる、該透過部とは異なる位置に設けられた複数の光源を用いて、被検物を照明する照明ステップを有する。さらに光学評価方法は、複数の光源によって照明されている被検物を、該透過部を介して撮影する撮影ステップと、撮影ステップにおいて、複数の光源のうちの少なくとも一部を発光させる制御ステップと、を備える。また、光学評価方法では、被検物と照明部との間の相対的な位置関係は変更可能である。
【００９４】
また、上記の被検物搬送方法は、次のような被検物搬送方法の一例に過ぎない。つまり、被検物搬送方法は、光が透過する透過部と、該透過部よりも光の透過率が低い非透過部と、を有する照明部に含まれる、該透過部とは異なる位置に設けられた複数の光源を用いて、被検物を照明する照明ステップを有する。さらに被検物搬送方法は、複数の光源によって照明されている被検物を、該透過部を介して撮影する撮影ステップと、撮影ステップにおいて、複数の光源のうちの少なくとも一部を発光させる制御ステップと、を有する。さらに被検物搬送方法は、撮影ステップにおいて撮影された画像に基づいて、被検物の搬送先を切り替える搬送ステップを有する。
【００９５】
なお、上記の各実施形態における説明は一例であって、種々の変形や変更が可能である。例えば、振幅画像、位相画像、平均画像等の、複数の画像から１枚の画像を生成するための処理（被検物について評価する内容に応じた画像生成処理）には、様々な処理が考えられ、上記の生成方法に限るものではない。また、上記の説明において登場した数（ＬＥＤの数、透過部や非透過部の数、撮影する画像の枚数など）は具体的な説明を行うために例として使用したものであって、この数に限定することを意図したものではない。
【００９６】
また、以上説明した各実施形態の一部若しくは全部を適宜組み合わせて使用しても構わない。また、以上説明した各実施形態の一部若しくは全部を選択的に使用しても構わない。
【００９７】
（その他の実施例）
本発明は、上述の実施形態の１以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。
【符号の説明】
【００９８】
１：光学評価装置  １０１：照明部  １０２：カメラ  １０３：可動機構  １０４：制御部  １０５：ＰＣ  １０６：ディスプレイ
【図１】
2020094877.tif 000010
【図２】
2020094877.tif 000011
【図３】
2020094877.tif 000012
【図４】
2020094877.tif 000013
【図５】
2020094877.tif 000014
【図６】
2020094877.tif 000015
【図７】
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【図８】
2020094877.tif 000017
【図９】
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