(57)【要約】【課題】サブチャックテーブルで保持した板状物が切削時に動くのを防止すること【解決手段】サブチャックテーブル機構８が備えるサブチャックテーブル８０の保持面８００ａに板状物Ｗ２を載置し、クランプ８２を閉じて板状物Ｗ２の端部Ｗ２ｄを押さえ部８２１で押さえて、クランプ８２で板状物Ｗ２を固定しながら、サブチャックテーブル８０の下方に配設された吸引手段８４が発揮する吸引力を、吸引手段８４に接続された吸引路８３に通じさせて、吸引路８３に連通する保持面８００ａまで伝達させて、板状物Ｗ２を吸引保持し、回転する切削ブレード５３を板状物Ｗ２に切り込ませ、板状物Ｗ２を切削する。【選択図】図５
2020131319.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
切削装置であって、
被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルで保持された被加工物を切削する切削ブレードと、
該チャックテーブルに隣接して配設されたサブチャックテーブル機構と、を備え、
該サブチャックテーブル機構は、板状物を保持する保持面を含み、一端が該保持面に連通するとともに他端が吸引手段に接続された吸引路が形成されたサブチャックテーブルと、該保持面で吸引保持された板状物の端を固定するクランプと、を有した、切削装置。
【請求項２】
請求項１に記載の切削装置において該サブチャックテーブルで保持された板状物を該切削ブレードで切削する切削方法であって、
該サブチャックテーブル上に板状物を載置する載置ステップと、
該載置ステップを実施した後、該吸引路内の圧力から板状物を該サブチャックテーブルで吸引保持可能か判断する吸引保持可否判断ステップと、
該吸引保持可否判断ステップで吸引保持可能と判断された際は該クランプで板状物を固定することなく該サブチャックテーブルで板状物を吸引保持し、該吸引保持可否判断ステップで吸引保持不可能と判断された際は該クランプで板状物の端を固定するとともに該サブチャックテーブルで板状物を吸引保持する保持ステップと、
該サブチャックテーブルに保持された板状物を該切削ブレードで切削する切削ステップと、を備えた切削方法。
【請求項３】
該サブチャックテーブルで反りを有した板状物を吸引保持するとともに該クランプで板状物を固定する第１保持ステップと、
該第１保持ステップを実施した後、該クランプを避けて板状物を該切削ブレードで切削し板状物の反りを解消する第１切削ステップと、
該第１切削ステップの実施中または実施後に前記吸引保持可否判断ステップを実施し、
該吸引保持可否判断ステップで該クランプによる固定なしに吸引保持可能と判断された際に該クランプを開放するクランプ開放ステップと、
該クランプ開放ステップを実施した後、該サブチャックテーブルで吸引保持された板状物の少なくとも該クランプで固定していた領域を該切削ブレードで切削する第２切削ステップと、を備えた請求項２に記載の切削方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
切削加工においては、切削加工の実施前、実施途中等に、被加工物の所望位置に切削溝を形成するために切削ブレードの位置を調整するヘアライン合わせや、切削ブレードの刃先の状態を整えるドレッシングが行われている。ヘアライン合わせは、例えば、切削装置に備えられたサブチャックテーブルの上に保持されたヘアライン合わせ用のダミーワークに対して切削ブレードを切り込ませることで行われ、また、切削ブレードのドレッシングは、例えば、サブチャックテーブルの上に保持されたドレスボードを切削ブレードで切削することで行われる（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
サブチャックテーブルは、例えば金属等からなり、サブチャックテーブルの内部には吸引手段に接続された吸引路が形成されている。ヘアライン合わせやドレッシング等の際、ダミーワークやドレスボード等の板状物をサブチャックテーブルの保持面の上に載置して、吸引手段が発揮する吸引力をサブチャックテーブルの内部の吸引路を通じて保持面に伝達させることで、板状物を保持面の上で吸引保持することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−０４９１２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このとき、サブチャックテーブルの上に吸引保持する板状物は、板状物の種類によっては、板状物のサブチャックテーブルに対する反りが大きい場合等があり、サブチャックテーブルの下方に配設された吸引手段が発揮する吸引力では、十分に板状物の吸引保持ができず、切削ブレードによる切削中に板状物が動いてしまう場合がある。切削中に板状物が動くと、切削ブレードを破損させてしまうおそれがあるため、切削中に板状物が動かないようにする方法が切望されている。本発明の目的は、サブチャックテーブルで保持した板状物が動くのを防ぐことにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、切削装置であって、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された被加工物を切削する切削ブレードと、該チャックテーブルに隣接して配設されたサブチャックテーブル機構と、を備え、該サブチャックテーブル機構は、板状物を保持する保持面を含み、一端が該保持面に連通するとともに他端が吸引手段に接続された吸引路が形成されたサブチャックテーブルと、該保持面で吸引保持された板状物の端を固定するクランプと、を有した、切削装置である。
【０００７】
本発明は、上記の切削装置の該サブチャックテーブルで保持された板状物を該切削ブレードで切削する切削方法であって、該サブチャックテーブル上に板状物を載置する載置ステップと、該載置ステップを実施した後、該吸引路内の圧力から板状物を該サブチャックテーブルで吸引保持可能か判断する吸引保持可否判断ステップと、該吸引保持可否判断ステップで吸引保持可能と判断された際は該クランプで板状物を固定することなく該サブチャックテーブルで板状物を吸引保持し、該吸引保持可否判断ステップで吸引保持不可能と判断された際は該クランプで板状物の端を固定するとともに該サブチャックテーブルで板状物を吸引保持する保持ステップと、該サブチャックテーブルに保持された板状物を該切削ブレードで切削する切削ステップと、を備えた切削方法である。
【０００８】
上記の切削方法においては、該サブチャックテーブルで反りを有した板状物を吸引保持するとともに該クランプで板状物を固定する第１保持ステップと、該第１保持ステップを実施した後、該クランプを避けて板状物を該切削ブレードで切削し板状物の反りを解消する第１切削ステップと、該第１切削ステップの実施中または実施後に前記吸引保持可否判断ステップを実施し、該吸引保持可否判断ステップで該クランプによる固定なしに吸引保持可能と判断された際に該クランプを開放するクランプ開放ステップと、該クランプ開放ステップを実施した後、該サブチャックテーブルで吸引保持された板状物の少なくとも該クランプで固定していた領域を該切削ブレードで切削する第２切削ステップと、を備えていることが望ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の切削装置に備えるサブチャックテーブルは、クランプを有し、サブチャックテーブル上の板状物を吸引保持するとともにクランプで固定することができるため、板状物が動いてしまうことを防止できる。
【００１０】
また、吸引路の内部にかかる圧力を測定することで吸引手段が発揮する吸引力によって吸引保持可能か否かを判断し、クランプを使用すべきかどうかを判断することができる。
【００１１】
さらには、反りを有する板状物をクランプで固定して切削し、反りを解消した後にクランプを開放することにより、クランプを接触させていた部分の切削を実施することができ、これにより板状物の全面を切削することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】切削装置の装置全体を表す斜視図である。
【図２】サブチャックテーブル機構を表す断面図である。
【図３】（ａ）は、サブチャックテーブルに板状物を載置した様子を表す断面図であり、（ｂ）は、サブチャックテーブルにおいて板状物を吸引保持した様子を表す断面図であり、（ｃ）は、サブチャックテーブルにおいて板状物を吸引保持するとともにクランプにより固定した様子を表す断面図である。
【図４】クランプの別の例を表す斜視図である。
【図５】板状物を切削する様子を表す断面図である。
【図６】（ａ）は、反りを有する板状物をサブチャックテーブルに載置した状態を示す断面図であり、（ｂ）は、反りを有する板状物を吸引保持するとともにクランプによって固定した状態を表す断面図である。
【図７】反りを有する板状物を切削する様子を表す断面図である。
【図８】切削後にクランプを開放した様子を表す断面図である。
【図９】クランプ開放後、クランプを接触させていた部分を切削する様子を表す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
１  切削装置の構成
図１に示す切削装置１は、チャックテーブル３０の上に保持された半導体ウェーハ等の被加工物Ｗ１を切削手段５に備えられた切削ブレード５３によって切削する装置である。
【００１４】
被加工物Ｗ１の表面Ｗ１ａの分割予定ラインＬで区画された格子状の領域には、各々デバイスＤが備えられている。被加工物Ｗ１の裏面Ｗ１ｂは、ダイシングテープＴに貼着されている。ダイシングテープＴの粘着面の外周領域には円形の開口を備える環状フレームＦが貼着されており、被加工物Ｗ１は、ダイシングテープＴを介して環状フレームＦに支持されている。切削装置１は、切削装置１に備えられた切削ブレード５３を被加工物Ｗ１の表面Ｗ１ａの分割予定ラインＬに沿って切り込ませることで、被加工物Ｗ１を、デバイスＤが備えられた個々のチップごとに切削することができる。
【００１５】
切削装置１には、環状フレームＦに支持された被加工物Ｗ１を保持する保持手段３が配設されている。保持手段３はチャックテーブル３０を備えており、チャックテーブル３０の吸引部３００の保持面３００ａの上に被加工物Ｗ１を載置し、チャックテーブル３０の下方に配設された吸引手段８４の吸引力を発揮させることで、被加工物Ｗ１をチャックテーブル３０の保持面３００ａの上で吸引保持することができる。チャックテーブル３０は、チャックテーブル３０の四方に配設されたクランプ３１を備えており、チャックテーブル３０とクランプ３１とはともに、切削送りテーブル３２の上に固定されている。チャックテーブル３０は、チャックテーブル３０の下方に配設された回転手段３５によってＺ軸方向の回転軸３６を中心として回転可能となっている。
【００１６】
切削装置１のベース１０の上には、Ｙ軸方向に切削手段５を往復移動させる割り出し送り手段４が備えられている。割り出し送り手段４は、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ４１と、ボールネジ４１と平行に配設された一対のガイドレール４２と、ボールネジ４１を回動させるモータ４０と、内部のナットがボールネジ４１に螺合し底部がガイドレール４２に摺接する可動板４３とから構成される。モータ４０がボールネジ４１を回動させると、これに伴い可動板４３がガイドレール４２にガイドされてＹ軸方向に移動し、そして、可動板４３上に配設された切削手段５が可動板４３の移動に伴いＹ軸方向に移動することで、切削手段５が割り出し送りされる。
【００１７】
可動板４３の上には、壁部６４が一体的に立設されており、壁部６４の−Ｘ方向側の側面にはＺ軸方向に切削手段５を往復移動させる切り込み送り手段６が備えられている。切り込み送り手段６は、Ｚ方向の軸心を有するボールネジ６１と、ボールネジ６１と平行に配設された一対のガイドレール６２と、ボールネジ６１を回動させるモータ６０と、内部のナットがボールネジ６１に螺合し固定部がガイドレール６２に摺接するホルダ６３とを備える。モータ６０がボールネジ６１を回動させると、これに伴いホルダ６３がガイドレール６２にガイドされてＺ軸方向に移動し、ホルダ６３にハウジング５２を介して支持されている切削手段５がホルダ６３の移動に伴いＺ軸方向に移動する構成となっている。
【００１８】
切削手段５は、ホルダ６３によって支持されたハウジング５２と、ハウジング５２によって回転可能に支持されたスピンドル５１と、スピンドル５１をＹ軸方向の回転軸５５を中心として回転駆動させるモータ５０と、スピンドル５１の先端部に装着された切削ブレード５３とを備える。
【００１９】
スピンドル５１の前端側（−Ｙ側）には、切削ブレード５３が装着されている。モータ５０によりスピンドル５１がＹ軸方向の回転軸５５を中心として回転駆動されるのに伴って、切削ブレード５３も回転軸５５のまわりに回転する。
【００２０】
ハウジング５２の側面にはアライメント手段７が配設されている。アライメント手段７は、被加工物Ｗ１を撮像する撮像手段７０を備えており、撮像手段７０は、例えば、被加工物Ｗ１に光を照射する光照射部と、被加工物Ｗ１からの反射光を捕らえる光学系および反射光に対応した電気信号を出力する撮像素子（ＣＣＤ）等で構成されたカメラとを備えている。アライメント手段７は、撮像手段７０によって取得した画像に基づいて、被加工物Ｗ１の切削すべき分割予定ラインＬを検出することができる。アライメント手段７と切削手段５とは一体となって構成されており、両者は連動してＹ軸方向及びＺ軸方向へと移動する。
【００２１】
切削装置１のベース１０の上には、Ｘ軸方向にチャックテーブル３０を往復移動させる切削送り手段２が配設されている。切削送り手段２は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールネジ２１と、ボールネジ２１と平行に配設された一対のガイドレール２２と、ボールネジ２１を回動させるモータ２０と、内部のナットがボールネジ２１に螺合し底部がガイドレール２２に摺接する可動板２３とを備える。また、可動板２３に立設された４本の支柱２４によって上記の切削送りテーブル３２は支持されており、モータ２０がボールネジ２１を回動させると、これに伴い可動板２３がガイドレール２２にガイドされてＸ軸方向に移動し、可動板２３の上方に配設されたチャックテーブル３０が可動板２３の移動に伴ってＸ軸方向に移動することで、チャックテーブル３０に保持された被加工物Ｗ１が切削送りされる構成となっている。
【００２２】
切削送りテーブル３２の上には、チャックテーブル３０に隣接して配設されたサブチャックテーブル機構８が載置されている。サブチャックテーブル機構８には、切削ブレード５３の割り出し送り方向の位置合わせであるヘアライン合わせや切削ブレード５３の刃先の状態を整えるドレッシング等のために、切削ブレード５３を切り込ませるドレスボード等の板状物Ｗ２が載置される略直方体形状のサブチャックテーブル８０が備えられている。ヘアライン合わせでは、サブチャックテーブル８０においてダミーワークを保持し、ダミーワークに切削ブレード５３を切り込ませて形成した切削溝を撮像手段７０等で撮像し、切削ブレード５３の割り出し送り方向の位置を合わせる。ドレッシングでは、グリーンカーボランダム、アランダム系の砥粒をレジンボンド等で板状に固めたドレッサーボードをサブチャックテーブル８０において保持し、切削ブレード５３を切り込ませて切削ブレード５３の刃先の状態を整える。上記のダミーワークやドレッサーボードは、略長方形板状である。
【００２３】
図２に示すサブチャックテーブル８０は、その内部に、一端が保持面８００ａに連通するとともに、他端が開閉式のバルブ８１を介して上記の吸引手段８４に接続されている吸引路８３が形成されている。また、保持面８００ａには、吸引路８３に連通する溝８００ｂが縦横に形成されている。図３（ａ）に示すように、サブチャックテーブル８０は、略長方形状の薄板であるドレスボード等の板状物Ｗ２を、サブチャックテーブル８０の保持面８００ａの上に載置し、図３（ｂ）に示すように、バルブ８１を開放し、サブチャックテーブル８０の下方に配設された吸引手段８４が発揮する吸引力を、吸引路８３を通じて保持面８００ａに伝達することで、板状物Ｗ２を保持面８００ａの上で吸引保持することができる。なお、チャックテーブル３０とサブチャックテーブル８０とは、それぞれ同じ吸引手段８４によって下方から吸引されるとは限らず、例えば、それぞれ別々の吸引手段によって吸引される構成であってもよい。
【００２４】
サブチャックテーブル８０の側方には、互いに対峙する二組の開閉式のクランプ８２が配設されている。クランプ８２は、押さえ部８２１と固定部８２２とを有するＬ字型の形状である。図２に示したようなクランプ８２が開放されている状態において、サブチャックテーブル８０が切削送り方向（図１におけるＸ軸方向）に移動した際、切削ブレード５３とクランプ８２とが接触するのを避けるために、クランプ８２の押さえ部８２１の上端８２１ａの高さ位置は、サブチャックテーブル８０の保持面８００ａの高さ位置よりも低くなっている。
【００２５】
図３（ｂ）に示すように、サブチャックテーブル８０の保持面８００ａに板状物Ｗ２を載置して、吸引手段８４により発揮される吸引力で保持面８００ａの下方から板状物Ｗ２を吸引しながら、図３（ｃ）に示すように、両側のクランプ８２の押さえ部８２１で、略長方形形状の板状物Ｗ２の端（外周側）の領域のうちの向かい合う一組の端部Ｗ２ｄを押さえることで、被加工物Ｗ２を固定することができる。
【００２６】
図３（ａ）−（ｃ）に示すように、吸引路８３と吸引手段８４との間には、吸引路８３の内部にかかる圧力を測定する圧力計８５が備えられている。板状物Ｗ２を保持面８００ａの上に載置し、吸引手段８４によって板状物Ｗ２を吸引しながら、圧力計８５を用いて吸引路８３の内部の圧力を測定し、測定された圧力の値が板状物Ｗ２を保持面８００ａで保持するための下限値に達しているかどうかを調べることで、クランプ８２を用いずに板状物Ｗ２を保持面８００ａに吸引保持することができるか否かをオペレータ等が判断できる。測定された圧力の値が板状物Ｗ２を保持面８００ａで保持するための下限値に達していて、クランプ８２を用いずに板状物Ｗ２を保持面８００ａの上で吸引保持することが可能であると判断されれば、図３（ｂ）のようにクランプ８２を閉じずに吸引保持する。一方、測定された圧力の値が板状物Ｗ２を保持面８００ａで吸引保持するための既定の値に達せず、吸引保持できないと判断されれば、図３（ｃ）のように、クランプ８２を閉じて板状物Ｗ２を固定させて吸引保持することとなる。
【００２７】
なお、図４に示すように、サブチャックテーブル機構８は、開閉式のクランプ８２に代えて、スライド式クランプ８２Ａを備えていてもよい。スライド式クランプ８２Ａは、押さえ部８２０ａと固定部８２０ｂとから構成されており、スライド式クランプ８２Ａの固定部８２０ｂには、鉛直方向に延在させて形成された長穴８６が備わっている。
【００２８】
サブチャックテーブル機構８が上記のようにスライド式クランプ８２Ａを備えるものである場合、サブチャックテーブル機構８は、さらに、ねじ８７を備え、サブチャックテーブル８０Ａは、その側面８００ｄに上記のねじ８７に対応したねじ穴８００ｅを備える。保持面８００ａには、複数の吸引溝８００ｂを備えており、内部には吸引溝８００ｂと連通する吸引路８３が形成されている。サブチャックテーブル８０Ａの下方には、吸引手段８４が配設されており、吸引手段８４が発揮する吸引力によってサブチャックテーブル８０Ａの保持面８００ａに載置させた板状物Ｗ２を、吸引保持することができる。
【００２９】
スライド式クランプ８２Ａの固定部８２０ｂとサブチャックテーブル８０の側面８００ｄとを密着させ、固定クランプ８２Ａの押さえ部８２０ａを保持面８００ａから板状物Ｗ２の厚みに対応した所定の長さＳだけ上方にスライドさせた後、ねじ８７を長穴８６に通して、ねじ８７とねじ穴８００ｅとを螺合させることで、板状物Ｗ２の厚みに対応した所定の高さ位置に固定クランプ８２Ａを固定することができる。同様に、サブチャックテーブル８０Ａの側面８００ｄに向かい合う側面８００ｆにも、図示しないねじ穴が穿設されており、同様の構成によってサブチャックテーブル８０Ａの側面８００ｆに対してスライド式クランプ８２Ａを上下方向にスライド可能に配設している。二つのスライド式クランプ８２Ａを上昇させた後、スライド式クランプ８２Ａが配設されていないＹ軸方向から、スライド式クランプ８２Ａの押さえ部８２０ａとサブチャックテーブル８０Ａの保持面８００ａとの間に板状物Ｗ２を挿入し、保持面８００ａの上に載置して吸引保持する。そして、スライド式クランプ８２Ａを下降させ、板状物Ｗ２の長方形の二辺を固定することによって、切削時に板状物Ｗ２が動くのを防止できる。
【００３０】
２  切削装置の動作
以下では、図１に示した切削装置１によって被加工物Ｗ１を切削する際の切削装置１の動作について説明する。
【００３１】
まず、被加工物Ｗ１を、図１に示したチャックテーブル３０の中心と被加工物Ｗ１の中心とが合致するように、ダイシングテープＴ側を下にして保持面３００ａ上に載置する。そして、吸引手段８４により発揮される吸引力が保持面３００ａに伝達されることで、被加工物Ｗ１の表面Ｗ１ａと反対の面である裏面Ｗ１ｂをチャックテーブル３０の保持面３００ａに吸引保持する。また、チャックテーブル３０の四方に備えられたクランプ３１で環状フレームＦを挟持して、環状フレームＦをチャックテーブル３０の上に固定する。
【００３２】
次いで、切削送り手段２がチャックテーブル３０に保持された被加工物Ｗ１を−Ｘ方向に送り、チャックテーブル３０をアライメント手段７の下方に位置付けた後、撮像手段７０によって被加工物Ｗ１の表面Ｗ１ａを撮像する。撮像手段７０によって撮像された被加工物Ｗ１の表面Ｗ１ａの画像に、アライメント手段７によるパターンマッチング等の画像処理が行われ、切削ブレード５３を切り込ませるべき分割予定ラインＬが検出される。分割予定ラインＬが検出されるのに伴って、切削手段５が割り出し送り手段４によってＹ軸方向に駆動され、切削すべき分割予定ラインＬと切削ブレード５３とのＹ軸方向における位置合わせが行われる。
【００３３】
スピンドル５１及び切削ブレード５３を切削手段５に備えるモータ５０により駆動させて回転軸５５のまわりに回転させ、その状態で、切削手段５を切り込み送り手段６によって−Ｚ方向に切り込み送りさせ、切削ブレード５３を、被加工物Ｗ１に切り込ませるための所定の高さ位置に位置付ける。
【００３４】
切削ブレード５３と検出した分割予定ラインＬとのＹ軸方向の位置合わせがなされた状態で、被加工物Ｗ１を保持するチャックテーブル３０が所定の切削送り速度でさらに−Ｘ方向に送り出されることで、チャックテーブル３０と切削ブレード５３とが相対的に所定速度で切削送り方向（Ｘ軸方向）に移動し、切削ブレード５３が高速回転しながら被加工物Ｗ１の検出された分割予定ラインＬに切り込み、その分割予定ラインＬが切削される。
【００３５】
次に、隣り合う分割予定ラインＬの間隔だけ切削手段５をＹ軸方向に割り出し送りし、同様の切削を行うことにより、切削済みの分割予定ラインＬの隣の分割予定ラインＬを切削する。このようにして、割り出し送りと切削とを繰り返し行うことにより、同方向の分割予定ラインＬがすべて切削される。そして、回転手段３５によりチャックテーブル３０を９０度回転させてから同様の切削を行うことにより、すべての分割予定ラインＬが縦横に切削され、被加工物Ｗ１を個々のチップに分割することができる。
【００３６】
上記の切削装置１による被加工物Ｗ１の切削加工の実施前には、サブチャックテーブル８０において保持された板状物Ｗ２に対し、切削手段５のヘアライン合わせのための板状物Ｗ２の切削が行われ、切削加工中には、必要に応じて切削ブレード５３のドレッシングのための板状物Ｗ２の切削が行われる。以下では、切削装置１における板状物Ｗ２の切削方法について、クランプ８２を使用せずに板状物Ｗ２を保持することができる場合と、クランプ８２を使用しなければ板状物Ｗ２を保持することができない場合とに分けて説明する。
【００３７】
２−１  クランプを使用せずに板状物を保持することができる場合
（載置ステップ）
まず、図３（ａ）のように、クランプ８２を開いた状態で、サブチャックテーブル８０の保持面８００ａの上に板状物Ｗ２を載置する。このとき、バルブ８１は閉じた状態としておく。
【００３８】
（吸引保持可否判断ステップ）
サブチャックテーブル８０の上に板状物Ｗ２を載置した後、図３（ｂ）に示すように、バルブ８１を開放した状態とし、サブチャックテーブル８０の下方に配設された吸引手段８４が発揮する吸引力を、吸引手段８４から、吸引手段８４に接続した吸引路８３を通じさせ、吸引路８３に連通された保持面８００ａへと伝達させて、板状物Ｗ２を吸引する。このとき、吸引手段８４に吸引力を発揮させながら、サブチャックテーブル８０と吸引手段８４との間に配設された圧力計８５を用いて吸引路８３にかかる圧力を測定する。圧力計８５によって測定された圧力が板状物Ｗ２を保持面８００ａで吸引保持するための所定の下限値に達しているか否かを調べ、板状物Ｗ２をサブチャックテーブル８０の保持面８００ａの上に吸引保持することができるかどうかをオペレータ等が判断する。なお、切削装置１の動作を統括する制御手段が、圧力計８５の値を読み出し、読み出した値が所定の下限値に達しているか否かを判断するようにしてもよい。
【００３９】
（保持ステップ）
吸引手段８４による板状物Ｗ２の吸引中に圧力計８５で測定された吸引路８３にかかる圧力が、板状物Ｗ２を保持面８００ａで吸引保持するために必要な下限値に達しており、板状物Ｗ２を保持面８００ａの上で吸引保持することが可能と判断されたとする。この場合、板状物Ｗ２をクランプ８２で固定することなく、吸引手段８４により発揮される吸引力によって保持面８００ａで吸引保持する。
【００４０】
（切削ステップ）
保持ステップにおいて、図３（ｂ）に示したように、板状物Ｗ２をサブチャックテーブル８０の保持面８００ａで吸引保持した後、板状物Ｗ２が吸引保持されたサブチャックテーブル８０と切削ブレード５３との位置合わせが行われる。
【００４１】
板状物Ｗ２と切削ブレード５３との位置合わせにおいては、上述した被加工物Ｗ１の切削のための被加工物Ｗ１と切削ブレード５３との位置合わせと同様の構成で切削装置１を作動させる。
【００４２】
すなわち、板状物Ｗ２と切削ブレード５３とのＹ軸方向の位置合わせでは、まず、切削送り手段２を制御して、切削送りテーブル３２に載置されたサブチャックテーブル８０に吸引保持された板状物Ｗ２とをＸ軸方向に移動させながら、割り出し送り手段４を制御して切削手段５とともに移動するアライメント手段７の撮像手段７０をＹ軸方向に移動させて、撮像手段７０の下方に板状物Ｗ２を位置させる。そして、撮像された板状物Ｗ２の表面Ｗ２ａの画像に対して適宜の画像処理を行い、板状物Ｗ２の表面Ｗ２ａの切り込むべき位置を検出する。検出された位置に基づいて割り出し送り手段４を制御して、切削手段５をＹ軸方向に移動させ、切削手段５に備える切削ブレード５３を切削のための所定の位置に位置付ける。なお、サブチャックテーブル８０の座標位置に基づき撮像手段７０がサブチャックテーブル８０の上方に位置付けられ、オペレータが切削位置を指定してもよい。
【００４３】
モータ５０の駆動によってスピンドル５１が回転軸５５のまわりに回転し、スピンドル５１の回転に伴ってスピンドル５１に装着された切削ブレード５３も同じく回転軸５５のまわりに回転する。その状態で、切削手段５を切り込み送り手段６によって−Ｚ方向に切り込み送りし、切削ブレード５３を、被加工物Ｗ１に切り込ませるための所定の高さ位置に位置付けることで、板状物Ｗ２と切削ブレード５３とのＺ軸方向の位置合わせが完了する。
【００４４】
板状物Ｗ２と切削ブレード５３とのＹ軸方向及びＺ軸方向の位置合わせが完了した後、
板状物Ｗ２を保持するサブチャックテーブル８０が所定の切削送り速度でさらに−Ｘ方向に送り出されることで、サブチャックテーブル８０と切削ブレード５３とが相対的に所定速度で切削送り方向（Ｘ軸方向）に移動し、切削ブレード５３が高速回転しながら板状物Ｗ２に切り込み、板状物Ｗ２の所定の位置が切削される。
【００４５】
保持ステップにおいて、クランプ８２で板状物Ｗ２を固定することなく板状物を保持面８００ａに吸引保持しているため、図５（ａ）に示すように、板状物Ｗ２に切削ブレード５３を切り込ませることで、板状物Ｗ２の端部Ｗ２ｄを含んだ板状物Ｗ２全体を切削できる。
【００４６】
２−２  クランプ８２を使用しなければ板状物Ｗ２を保持することができない場合
まず、クランプ８２を使用せずに板状物Ｗ２を保持する場合と同様に、載置ステップ及び吸引保持可否判断ステップが実施される。なお、吸引保持可否判断ステップにおいて、被加工物Ｗ２に反りがある場合には、目視にて吸引保持が可能か否かを判断することもできる。
【００４７】
（第１保持ステップ）
例えば図６（ａ）に示すように、板状物Ｗ２に反りがあるために、吸引保持可否判断ステップにおいて、板状物Ｗ２の吸引中に測定された吸引路８３にかかる圧力が板状物Ｗ２を保持面８００ａで吸引保持するための既定の下限値に達しておらず、板状物Ｗ２を保持面８００ａの上で吸引保持することが可能ではないと判断されると、図６（ｂ）に示すように、バルブ８１を開放して吸引手段８４により発揮される吸引力を保持面８００ａに伝達させるとともに、クランプ８２を閉じ、クランプ８２の押さえ部８２１で板状物Ｗ２の端部Ｗ２ｄを押さえて、板状物Ｗ２を保持面８００ａに固定する。
【００４８】
このように、サブチャックテーブル機構８に圧力計８５を配設し、吸引路８３の内部にかかる圧力を測定することで、吸引手段８４による吸引力で吸引保持可能かどうかを判断することができる。したがって、吸引手段８４による吸引力のみでは吸引保持することができない板状物Ｗ２であっても、クランプ８２を用いて固定することで吸引保持が可能となる。
【００４９】
（第１切削ステップ）
上記の第１保持ステップを実施した後、図７に示すように、切削ブレード５３を板状物Ｗ２に切り込ませて板状物Ｗ２を切削する。このとき、板状物Ｗ２の端部Ｗ２ｄは、クランプ８２の押さえ部８２１によって上から押さえられており、板状物Ｗ２の端部Ｗ２ｄは切削することができない。従って、板状物Ｗ２の端部Ｗ２ｄの上に載置されたクランプ８２の押さえ部８２１を避けて切削する。
【００５０】
第１切削ステップにおいては、板状物Ｗ２を完全切断するフルカットではなく、板状物Ｗ２を完全切断はせず所定の深さまで切り込むハーフカットを実施する。ハーフカットを実施して複数の切削溝を形成すると、板状物Ｗ２がハーフカット実施前に備えていた反りが解消されていき、板状物Ｗ２が次第に保持面８００ａにならっていく。板状物Ｗ２が保持面８００ａにならっていくのに従い、吸引路８３の内部にかかる圧力は下降する。切削中または切削後に、吸引保持可否判断ステップを再度実施することにより圧力計８５を用いて吸引路８３の内部にかかる圧力を測定し、測定された圧力の値が、板状物Ｗ２を保持面８００ａに吸引保持することができる既定の下限値に達しているかどうかを確認する。
【００５１】
（クランプ開放ステップ）
上記の第１切削ステップで実施したハーフカットにより、クランプ８２による固定なしに板状物Ｗ２を吸引保持可能と判断されると、図８のようにクランプ８２を開放する。クランプ８２を開放することにより、クランプ８２の押さえ部８２１によって上から押さえられていた板状物Ｗ２の端部Ｗ２ｄの上面が露出し、これにより板状物Ｗ２の端部Ｗ２ｄを切削ブレード５３で切削することができる状態となる。
【００５２】
（第２切削ステップ）
クランプ８２を開放して、板状物Ｗ２の端部Ｗ２ｄを押さえていたクランプ８２の押さえ部８２１を板状物Ｗ２の側方に退避させた後、図９に示すように、板状物Ｗ２の端部Ｗ２ｄに切削ブレード５３を切り込ませる。
【００５３】
このように、ハーフカットにより反りを解消した後、クランプ８２を開放して、クランプ８２の押さえ部８２１により押さえられていた板状物Ｗ２の端部Ｗ２ｄを切削することができるようになるため、端部Ｗ２ｄの有効活用を図ることができ、これにより板状物Ｗ２の全体を切削することができる。
【符号の説明】
【００５４】
１：切削装置  １０：ベース
２：切削送り手段  ２０：モータ  ２１：ボールネジ
２２：ガイドレール  ２３：可動板
３：保持手段  ３０：チャックテーブル  ３１：クランプ  ３２：切削送りテーブル
３５：回転手段  ３６：回転軸
４：割り出し送り手段  ４０：モータ  ４１：ボールネジ  ４２：ガイドレール
４３：可動板
５：切削手段  ５０：モータ  ５１：スピンドル  ５２：ハウジング
５３：切削ブレード  ５４：ブレードケース  ５５：回転軸
６：切り込み送り手段  ６０：モータ  ６１：ボールネジ  ６２：ガイドレール
６３：ホルダ  ６４：壁部  ７：アライメント手段  ７０：撮像手段
Ｗ１：被加工物  Ｗ１ａ：表面  Ｗ１ｂ：裏面  Ｌ：分割予定ライン  Ｄ：デバイス
Ｗ２：板状物  Ｗ２ａ：表面  Ｗ２ｂ：裏面  Ｗ２ｄ：端部  Ｗ２ｇ：切削溝
８：サブチャックテーブル機構  ８０：サブチャックテーブル
８００ａ：保持面  ８００ｂ：吸引溝  ８００ｃ：他方の面
８００ｄ：側面  ８００ｅ：ねじ穴  ８００ｆ：側面  ８１：バルブ
８２：クランプ  ８２１：押さえ部  ８２１ａ：押さえ部の上端  ８２２：固定部  
８２Ａ：固定クランプ  ８２０ａ：押さえ部  ８２０ｂ：固定部  
８３：吸引路  ８４：吸引手段  ８５：圧力計  ８６：長穴  ８７：ねじ
Ｆ：環状フレーム  Ｔ：ダイシングテープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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