(57)【要約】【課題】特に、ナノメートルオーダーでの濾過の信頼性を高めると共に、濾過効率を高める。【解決手段】フィルタ１０は、複数の溝２２と、これらの溝２２の両端開口部に、流体が出入りする複数の第１出入口１４Ａ，１４Ｂが形成された板状の一方のプレート１４と、一方のプレート１４に重ねて結合され、一方のプレート１４の厚さ方向において複数の第１出入口１４Ａ，１４Ｂと重ならない位置に、流体が出入りする複数の第２出入口１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃが形成された板状の他方のプレート１２と、を有し、一方のプレート１４の溝２２と他方のプレート１２とで形成される空間を濾過流路１６としたものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の溝と、これらの溝の両端開口部に、流体が出入りする複数の第１出入口が形成された板状の一方のプレートと、
前記一方のプレートに重ねて結合され、前記一方のプレートの厚さ方向において前記複数の第１出入口と重ならない位置に、前記流体が出入りする複数の第２出入口が形成された板状の他方のプレートと、
を有し、
前記一方のプレートの前記溝と前記他方のプレートとで形成される空間を濾過流路としたフィルタ。
【請求項２】
前記溝の深さがナノメートルオーダーである請求項１に記載のフィルタ。
【請求項３】
前記溝は、該溝の延在方向において前記第２出入口に隣接する一方の前記第１出入口側から他方の前記第１出入口側まで連続して形成されている請求項１に記載のフィルタ。
【請求項４】
前記溝は、該溝の延在方向において前記第２出入口に隣接する一方の前記第１出入口側から他方の前記第１出入口側にそれぞれ独立して形成されている請求項１に記載のフィルタ。
【請求項５】
前記溝の幅は、上流側から下流側に向かって拡大している請求項１〜請求項４の何れか１項に記載のフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、濾過用のフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
濾過用フィルタの製造方法が開示されている（特許文献１参照）。これは、基板上に流路形成膜を形成し、流路形成膜へ基板の表面に沿う複数の溝をエッチングで形成し、各溝を犠牲膜で充填し、犠牲膜を研磨して流路形成膜の表面及び犠牲膜の表面を平坦化し、平坦化された流路形成膜及び犠牲膜の上に流路封止膜を形成し、基板及び流路封止膜のそれぞれの一部にエッチングで流入孔及び流出孔を形成し、流入孔及び流出孔に犠牲膜の一部を露出させ、流入孔及び流出孔を介して犠牲膜を除去し、各濾過用流路を各溝で形成して濾過用フィルタを製造する、という方法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−５７９３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した従来例では、基板上に流路形成膜をＣＶＤ、ＰＶＤ又はＡＬＤにより形成し、該流路形成膜に対するエッチングによりフィルタの溝（濾過用流路）を形成している。流路形成膜の一部をエッチングにより除去して溝を形成するため、流路形成膜の厚さは溝（濾過用流路）の深さに対応する。しかしながら、上記ＣＶＤ等により、流路形成膜の厚さ（溝の深さ）を特にナノメートルオーダーでコントロールすることは難しいと考えられる。
【０００５】
また、このフィルタでは、流入孔と流出孔が１つずつであるため、濾過効率を高めることは難しいと考えられる。
【０００６】
本発明は、特にナノメートルオーダーの粒子を選別する濾過の信頼性を高めると共に、濾過効率を高めることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の態様に係るフィルタは、複数の溝と、これらの溝の両端開口部に、流体が出入りする複数の第１出入口が形成された板状の一方のプレートと、前記一方のプレートに重ねて結合され、前記一方のプレートの厚さ方向において前記複数の第１出入口と重ならない位置に、前記流体が出入りする複数の第２出入口が形成された板状の他方のプレートと、を有し、前記一方のプレートの前記溝と前記他方のプレートとで形成される空間を濾過流路としたものである。
【０００８】
このフィルタでは、濾過対象の流体が、第２出入口から第１出入口へ、又は第１出入口から第２出入口へ流される。このとき、第１出入口と第２出入口とがそれぞれ複数設けられているので、濾過効率を高めることができる。
【０００９】
第２の態様は、前記溝の深さをナノメートルオーダーとしたものである。従って、ナノメートルオーダーの高さを有する濾過流路により、濾過流路の高さよりも大きい粒子が捕捉される。これにより、濾過流路の高さよりも小さいナノメートルオーダーの粒子が排出され、ナノメートルオーダーの大きさを基準とした濾過を行うことができる。
【００１０】
第３の態様は、第１の態様に係るフィルタにおいて、前記溝は、該溝の延在方向において前記第２出入口に隣接する一方の前記第１出入口側から他方の前記第１出入口側まで連続して形成されている。
【００１１】
このフィルタでは、第２出入口から流体を入れた場合、該流体は直ちに溝に入り、該溝に沿って一方の第１出入口側と他方の第１出入口側とに分岐し、各々の溝に対応する濾過流路を通り、一方の第１出入口と他方の第１出入口とからそれぞれ流出する。
【００１２】
また、第１出入口から流体を入れた場合、溝の延在方向において該第１出入口に隣接する一方の第２出入口側と他方の第２出入口側とに分岐し、各々の溝に対応する濾過流路を通り、一方の第２出入口と他方の第２出入口とからそれぞれ流出する。このように、流体が分岐して流れるため、濾過効率を更に高めることができる。
【００１３】
第４の態様は、第１の態様に係るフィルタにおいて、前記溝は、該溝の延在方向において前記第２出入口に隣接する一方の前記第１出入口側から他方の前記第１出入口側にそれぞれ独立して形成されている。
【００１４】
このフィルタでは、第２出入口から流体を入れた場合、該流体は一方の第１出入口側の溝と、他方の第１出入口側の溝との間の領域に入ってから各々の溝に対応する濾過流路に分岐して流入し、該濾過流路を通り、一方の第１出入口と他方の第１出入口とからそれぞれ流出する。溝が第２出入口に隣接する一方の第１出入口側と、他方の第１出入口側にそれぞれ独立して形成されているので、溝内粒子の排出効率を高め、且つ、流入する流体の圧力損失を低減することができる。
【００１５】
また、第１出入口から流体を入れた場合、該流体は一方の第２出入口側の溝と、他方の第２出入口側の溝との間の領域に入ってから各々の溝に対応する濾過流路に分岐して流入し、該濾過流路を通り、一方の第２出入口と他方の第２出入口とからそれぞれ流出する。このように、流体が分岐して流れるため、濾過効率を更に高めることができる。
【００１６】
第５の態様は、第１〜第４の態様の何れか１態様に係るフィルタにおいて、前記溝の幅が、上流側から下流側に向かって拡大している。
【００１７】
このフィルタでは、溝の幅が、上流側から下流側に向かって拡大しているので、濾過流路における溝の幅が狭い部分を通過した物体を、その後円滑に流すことができる。このため、濾過流路における詰まりが抑制される。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、特にナノメートルオーダーでの濾過の信頼性を高めると共に、濾過効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１実施形態に係る矩形状のフィルタを示す分解斜視図である。
【図２】矩形状のフィルタを示す斜視図である。
【図３】（Ａ）は、図２における３Ａ−３Ａ矢視断面図である。（Ｂ）は、図２における３Ｂ−３Ｂ矢視断面図である。（Ｃ）は、図２における３Ｃ−３Ｃ矢視断面図である。（Ｄ）は、図２における３Ｄ−３Ｄ矢視断面図である。
【図４】矩形状のフィルタにおいて、濾過時における流体の流れを示す斜視図である。
【図５】第１実施形態において、矩形状のフィルタの変形例１を示す分解斜視図である。
【図６】矩形状のフィルタの変形例１を示す斜視図である。
【図７】矩形状のフィルタの変形例１において、濾過時における流体の流れを示す斜視図である。
【図８】第１実施形態において、矩形状のフィルタの変形例２を示す分解斜視図である。
【図９】矩形状のフィルタの変形例２を示す斜視図である。
【図１０】（Ａ）は、矩形状のフィルタの変形例２において、濾過時における流体の流れを示す斜視図である。（Ｂ）は、溝を通過する物体を示す拡大平面図である。
【図１１】第２実施形態に係る円盤状のフィルタを示す分解斜視図である。
【図１２】円盤状のフィルタを示す斜視図である。
【図１３】第３実施形態に係る円盤状のフィルタにおいて、一方のプレートと他方のプレートを示す平面図である。
【図１４】円盤状のフィルタを示す平面図である。
【図１５】図１４における１５−１５矢視拡大断面図である。
【図１６】一方のプレートを示す部分拡大平面図である。
【図１７】円盤状のフィルタの変形例を示す断面図である。
【図１８】円盤状のフィルタの変形例において、一方のプレートを示す、図１５に相当する部分拡大斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明を実施するための形態を図面に基づき説明する。
【００２１】
［第１実施形態］
図１から図１０において、本実施形態に係るフィルタ１０は、一方のプレート１４と、他方のプレート１２とを有し、一方のプレート１４の溝と他方のプレート１２とで形成される空間が、例えばナノメートルオーダーの高さｈを有する濾過流路１６（図３（Ｃ））とされている。図１から図１０には、矩形状のフィルタ１０が示されている。これらの図において、一方のプレート１４は下側に位置し、他方のプレート１２は上側に位置している。
【００２２】
一方のプレート１４は、板状に形成され、例えばナノメートルオーダーの深さの溝２２が電鋳金属を用いて断続的に形成されている。電鋳金属の素材は、例えばニッケル、ニッケル合金、銅、金、白金、パラジウムである。
【００２３】
一方のプレート１４における溝２２の端部には、該一方のプレート１４の厚さ方向に貫通し、流体が出入りする複数の第１出入口、例えば２箇所の第１出入口１４Ａ，１４Ｂが形成されている。溝２２は、例えばLIGA(Lithogaphie Galvanoformung Abfomung)技術を利用することによって作製することができる（服部正、表面技術、Vol. 62, No. 12, 619-624, 2011; W. Elufeld and H. Lhe, Radiat. Phys. Chem., 45(3): 340-365, 1995）。
【００２４】
溝２２としては、例えば一端側の溝２２Ａ，中央の溝２２Ｂ，他端側の溝２２Ｃが形成されている。この溝２２は、断面矩形に形成されている。溝２２の深さ及び幅は、例えばそれぞれ一定とされている。第１出入口１４Ａは、一端側の溝２２Ａと中央の溝２２Ｂとの間に形成されている。また、第１出入口１４Ｂは、中央の溝２２Ｂと他端側の溝２２Ｃとの間に形成されている。
【００２５】
一方のプレート１４には、溝２２Ａによって区画された陸部２４Ａと、溝２２Ｂによって区画された陸部２４Ｂと、溝２２Ｃによって区画された陸部２４Ｃと、一方のプレート１４の幅方向の両側に形成された陸部２６とがそれぞれ形成されている。陸部２６は、長手方向の全長に渡って連続して延びている。第１出入口１４Ａ，１４Ｂは、両側の陸部２６より一方のプレート１４の幅方向の内側に形成されている。溝２２は、陸部２４Ａ〜２４Ｃと陸部２６との間にも形成されている。陸部２４Ａ〜２４Ｃ，２６の上面は、同一平面上に位置する平面状にそれぞれ形成されている。
【００２６】
尚、一方のプレート１４の全体がLIGA技術により作製されていてもよいし、溝２２の部分がLIGA技術により作製されていてもよい。後者の場合、第１出入口１４Ａ，１４Ｂが形成された基板（図示せず）に、溝２２に相当する部分以外に電鋳金属を積層することで、溝２２を形成することができる。この基板の材質は、導電性のある金属であればよく、電鋳金属に限られない。例えば、ＭＥＭＳ技術によるシリコン樹脂又はＰＭＭＡアクリル樹脂でも良い。
【００２７】
図１から図３に示されるように、他方のプレート１２は、一方のプレート１４に重ねて結合されている。具体的には、他方のプレート１２の平面的な外形寸法は、例えば一方のプレート１４と同一である。他方のプレート１２は、一方のプレート１４における陸部２４Ａ〜２４Ｃ，２６の上面に、接着等により接合されている。他方のプレート１２においては、一方のプレート１４の厚さ方向において該一方のプレート１４の第１出入口１４Ａ，１４Ｂと重ならない位置に、該厚さ方向に貫通し、流体が出入りする複数の第２出入口、例えば３箇所の第２出入口１２Ａ〜１２Ｃが形成されている。他方のプレート１２の長手方向において、第２出入口１２Ａ，１２Ｂの間と、第２出入口１２Ｂ，１２Ｃの間は、それぞれ非貫通部１２Ｄ，１２Ｅである。図３（Ａ），（Ｂ）に示されるように、非貫通部１２Ｄは第１出入口１４Ａを覆い、非貫通部１２Ｅは第１出入口１４Ｂを覆っている。非貫通部１２Ｄは、陸部２４Ａの第１出入口１４Ａ側の端部と、陸部２４Ｂの第１出入口１４Ａ側の端部とにそれぞれ重なっている。非貫通部１２Ｅは、陸部２４Ｂの第１出入口１４Ｂ側の端部と、陸部２４Ｃの第１出入口１４Ｂ側の端部とにそれぞれ重なっている。この重なり部分に、濾過流路１６が形成されている。
【００２８】
尚、他方のプレート１２の材質は、金属であっても樹脂であってもよい。金属の場合、電鋳金属であってもよいし、電鋳金属でなくてもよい。樹脂の場合、ＭＥＭＳ技術によるシリコン樹脂又はＰＭＭＡアクリル樹脂が好ましい。
【００２９】
第１出入口１４Ａ，１４Ｂ及び第２出入口１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃは、それぞれ例えば矩形に形成され、フィルタ１０の長手方向にそれぞれ一列に配置されている。第１出入口１４Ａ，１４Ｂの形状及び開口面積は、例えば互いに同一とされている。また、第２出入口１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃの形状及び開口面積も、例えば互いに同一とされている。
【００３０】
溝２２は、該溝２２の延在方向において、例えば中央の第２出入口１２Ｂに隣接する一方の第１出入口１４Ａ側と他方の第１出入口１４Ｂ側との間で連続的に形成されている。第２出入口１２Ａ，１２Ｃよりも長手方向の端部側には第１出入口が存在しないので、流体は溝２２（濾過流路１６）の端部から流出可能となっている。なお、流体がこの端部から流出することを抑制するために、フィルタ１０の長手方向の両端において、濾過流路１６が閉塞されていてもよい。
【００３１】
（作用）
本実施形態は、上記のように構成されており、以下その作用について説明する。図４において、本実施形態に係るフィルタ１０では、濾過対象の流体が、第２出入口１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃから第１出入口１４Ａ，１４Ｂへ、又は第１出入口１４Ａ，１４Ｂから第２出入口１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃへ流される。このとき、ナノメートルオーダーの高さを有する濾過流路１６により、濾過流路１６の高さｈ（図３（Ｃ））よりも大きい物体（図示せず）が捕捉される。これにより、ナノメートルオーダーの大きさを基準とした濾過を行うことができ、ナノメートルオーダーでの濾過の信頼性を高めることができる。また、第２出入口１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃと第１出入口１４Ａ，１４Ｂとがそれぞれ複数設けられているので、濾過効率を高めることができる。
【００３２】
具体的には、中央の第２出入口１２Ｂから流体を入れた場合、該流体は直ちに中央の溝２２Ｂに入り、該溝２２Ｂに沿って一方の第１出入口１４Ａ側と他方の第１出入口１４Ｂ側とに分岐し、各々の溝２２Ｂに対応する濾過流路１６を通り、一方の第１出入口１４Ａと他方の第１出入口１４Ｂとからそれぞれ流出する（矢印ＦＢ１方向及び矢印ＦＢ２方向）。
【００３３】
第２出入口１２Ａから流体を入れた場合、該流体は直ちに一端側の溝２２Ａに入り、該溝２２Ａに対応する濾過流路１６を通り、第１出入口１４Ａから流出する（矢印ＦＡ方向）。このとき、第２出入口１２Ａに対して第１出入口１４Ａ側と反対側にも濾過流路１６が形成されているので、該濾過流路１６から流体が流出してもよい。この端部の濾過流路１６が塞がれている場合には、第２出入口１２Ａから入れられた流体は、第１出入口１４Ａから流出する。
【００３４】
第２出入口１２Ｃから流体を入れた場合、該流体は直ちに他端側の溝２２Ｃに入り、該溝２２Ｃに対応する濾過流路１６を通り、第１出入口１４Ｂから流出する（矢印ＦＣ方向）。このとき、第２出入口１２Ｃに対して第１出入口１４Ｂ側と反対側にも濾過流路１６が形成されているので、該濾過流路１６から流体が流出してもよい。この端部の濾過流路１６が塞がれている場合には、第２出入口１２Ｃから入れられた流体は、第１出入口１４Ｂから流出する。
【００３５】
逆に、第１出入口１４Ａから流体を入れた場合、溝２２の延在方向において該第１出入口１４Ａに隣接する一方の第２出入口１２Ａ側と他方の第２出入口１２Ｂ側とに分岐し、各々の溝２２Ａ，２２Ｂに対応する濾過流路１６を通り、一方の第２出入口１２Ａと他方の第２出入口１２Ｂとからそれぞれ流出する（矢印ＲＡ方向及び矢印ＲＢ１方向）。
【００３６】
第１出入口１４Ｂから流体を入れた場合、溝２２の延在方向において該第１出入口１４Ｂに隣接する一方の第２出入口１２Ｂ側と他方の第２出入口１２Ｃ側とに分岐し、各々の溝２２Ｂ，２２Ｃに対応する濾過流路１６を通り、一方の第２出入口１２Ｂと他方の第２出入口１２Ｃとからそれぞれ流出する（矢印ＲＢ２方向及び矢印ＲＣ方向）。第２出入口１２Ｂでは、第１出入口１４Ａから流れて来た流体と、第１出入口１４Ｂから流れてきた流体とが合流する（矢印ＲＢ１方向及び矢印ＲＢ２方向）。
【００３７】
本実施形態では、このように流体が分岐したり合流したりしながら流れるため、濾過効率を更に高めることができる。また、フィルタ１０には、使用上の表裏がなく、どちらからでも流体を流して濾過を行うことが可能である。
【００３８】
（変形例１）
図５から図７において、変形例１に係るフィルタ１０では、第２出入口１２Ｂに対応する中央の溝２２Ｂが、該溝２２Ｂの延在方向において第２出入口１２Ｂに隣接する一方の第１出入口１４Ａ側と、他方の第１出入口１４Ｂ側にそれぞれ独立して形成されている。具体的には、陸部２４Ｂが第１出入口１４Ａ側と他方の第１出入口１４Ｂ側とに分断されており、双方の陸部２４Ｂの間の領域には溝２２Ｂが形成されていない。この領域には、溝２２Ｂの深さと同じ高さ位置にある平面２８Ｂが形成されている。換言すれば、溝２２Ｂの底と平面２８Ｂとは、互いに連続している。
【００３９】
第２出入口１２Ａに対応する一端側の溝２２Ａは、該溝２２Ａの延在方向において第２出入口１２Ａに隣接する第１出入口１４Ａ側と、その反対側にそれぞれ独立して形成されている。具体的には、陸部２４Ａが第１出入口１４Ａ側とその反対側とに分断されており、双方の陸部２４Ａの間の領域には溝２２Ａが形成されていない。この領域には、溝２２Ａの深さと同じ高さ位置にある平面２８Ａが形成されている。換言すれば、溝２２Ａの底と平面２８Ａとは、互いに連続している。
【００４０】
第２出入口１２Ｃに対応する他端側の溝２２Ｃは、該溝２２Ｃの延在方向において第２出入口１２Ｃに隣接する第１出入口１４Ｂ側と、その反対側にそれぞれ独立して形成されている。具体的には、陸部２４Ｃが第１出入口１４Ｂ側とその反対側とに分断されており、双方の陸部２４Ｃの間には溝２２Ｃが形成されていない。双方の陸部２４Ｃの間の領域には、溝２２Ｃの深さと同じ高さ位置にある平面２８Ｃが形成されている。換言すれば、溝２２Ｃの底と平面２８Ｃとは、互いに連続している。
【００４１】
図７において、変形例１に係るフィルタ１０では、中央の第２出入口１２Ｂから流体を入れた場合、該流体は、一方の第１出入口１４Ａ側の溝２２Ｂと、他方の第１出入口１４Ｂ側の溝２２Ｂとの間の領域（平面２８Ｂ）に入ってから、各々の溝２２Ｂに対応する濾過流路１６に分岐して流入し、該濾過流路１６を通り、一方の第１出入口１４Ａと他方の第１出入口１４Ｂとからそれぞれ流出する（矢印ＦＢ１方向及び矢印ＦＢ２方向）。溝２２Ｂが第２出入口１２Ｂに隣接する一方の第１出入口１４Ａ側と、他方の第１出入口１４Ｂ側にそれぞれ独立して形成されているので、溝内粒子の排出効率を高め、且つ、流入する流体の圧力損失を低減することができる。
【００４２】
第２出入口１２Ａから流体を入れた場合、該流体は平面２８Ｂから中央の溝２２Ａに入り、該溝２２Ａに対応する濾過流路１６を通り、第１出入口１４Ａから流出する（矢印ＦＡ方向）。このとき、第２出入口１２Ａに対して第１出入口１４Ａ側と反対側にも濾過流路１６が形成されているので、該濾過流路１６から流体が流出してもよい。この端部の濾過流路１６が塞がれている場合には、第２出入口１２Ａから入れられた流体は、第１出入口１４Ａから流出する。
【００４３】
第２出入口１２Ｃから流体を入れた場合、該流体は平面２８Ｃから一端側の溝２２Ｃに入り、該溝２２Ｃに対応する濾過流路１６を通り、第１出入口１４Ｂから流出する（矢印ＦＣ方向）。このとき、第２出入口１２Ｃに対して第１出入口１４Ｂ側と反対側にも濾過流路１６が形成されているので、該濾過流路１６から流体が流出してもよい。この端部の濾過流路１６が塞がれている場合には、第２出入口１２Ｃから入れられた流体は、第１出入口１４Ｂから流出する。
【００４４】
逆に、第１出入口１４Ａから流体を入れた場合、溝２２の延在方向において該第１出入口１４Ａに隣接する一方の第２出入口１２Ａ側と他方の第２出入口１２Ｂ側とに分岐し、各々の溝２２Ａ，２２Ｂに対応する濾過流路１６を通り、一方の第２出入口１２Ａと他方の第２出入口１２Ｂとからそれぞれ流出する（矢印ＲＡ方向及び矢印ＲＢ１方向）。
【００４５】
第１出入口１４Ｂから流体を入れた場合、溝２２の延在方向において該第１出入口１４Ｂに隣接する一方の第２出入口１２Ｂ側と他方の第２出入口１２Ｃ側とに分岐し、各々の溝２２Ｂ，２２Ｃに対応する濾過流路１６を通り、一方の第２出入口１２Ｂと他方の第２出入口１２Ｃとからそれぞれ流出する（矢印ＲＢ２方向及び矢印ＲＣ方向）。第２出入口１２Ｂでは、第１出入口１４Ａから流れて来た流体と、第１出入口１４Ｂから流れてきた流体とが合流する（矢印ＲＢ１方向及び矢印ＲＢ２方向）。
【００４６】
（変形例２）
図８から図１０において、変形例２に係るフィルタ１０では、変形例１に係るフィルタ１０において、中央の溝２２Ｂの幅が、上流側から下流側、具体的には第２出入口１２Ｂ側から第１出入口１４Ａ，１４Ｂ側に向かってそれぞれ拡大している。本変形例では、第２出入口１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃが上流側であり、第１出入口１４Ａ，１４Ｂが下流側である。平面２８Ｂより第１出入口１４Ａ側の溝２２Ｂの幅は、平面２８Ｂ側から第１出入口１４Ａ側に向かって漸増している。また、平面２８Ｂより第１出入口１４Ｂ側の溝２２Ｂの幅は、平面２８Ｂ側から第１出入口１４Ｂに向かって漸増している。なお、溝２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの溝壁は、直線状に限られず、曲線状であってもよい。
【００４７】
同様に、溝２２Ａの幅も、第２出入口１２Ａ側から第１出入口１４Ａ側及びその反対側に向かってそれぞれ拡大している。溝２２Ｃの幅も、第２出入口１２Ｃ側から第１出入口１４Ｂ側及びその反対側に向かってそれぞれ拡大している。
【００４８】
本変形例では、溝２２の幅が上流側から下流側に向かって拡大しているので、図１０（Ｂ）において中央の溝２２Ｂを例に挙げると、濾過流路１６における溝２２Ｂの幅が最も狭い部分を通過した物体１８を、その後円滑に流すことができる。溝２２Ｂの幅が拡大することで、物体１８と溝２２Ｂの溝壁との接触が抑制されるので、摩擦が低減される。このため、濾過流路１６における詰まりが抑制される。
【００４９】
尚、溝２２の最小幅と、溝２２の深さとは、同一に設定されていてもよい。
【００５０】
［第２実施形態］
図１１、図１２において、本実施形態に係るフィルタ２０は、円盤状に形成されている。フィルタ２０は、一方のプレート３４の上に他方のプレート３２を重ねて接合して構成されている。他方のプレート３２及び一方のプレート３４は、例えば互いに同一外径の円盤状に形成されている。他方のプレート３２には、第２出入口３２Ａが行列状に配置されている。第２出入口３２Ａは、第１実施形態の第２出入口１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃを更に多数配列したものに相当する。また、一方のプレート３４には、第１出入口３４Ａが行列状に配置されている。第１出入口３４Ａは、第１実施形態の第１出入口１４Ａ，１４Ｂを更に多数配列したものに相当する。一方のプレート３４には、第１実施形態と同様に、溝２２が第１出入口３４Ａの幅方向に直線状に形成されている。
【００５１】
このフィルタ２０では、第１出入口３４Ａ及び第２出入口３２Ａを高密度に配置できるので、濾過効率を更に高めることができる。
【００５２】
他の部分については、第１実施形態と同様であるので、同一の部分には図面に同一の符号を付し、説明を省略する。
【００５３】
［第３実施形態］
図１３、図１４において、本実施形態に係るフィルタ３０は円盤状に形成されている。フィルタ３０は、一方のプレート４４の上に他方のプレート４２を重ねて接合して構成されている。他方のプレート４２及び一方のプレート４４は、例えば互いに同一外径の円盤状に形成されている。
【００５４】
他方のプレート４２には、第２出入口４２Ａが略同心の円弧状に配置されている。他方のプレート４２には、例えば２本の桟４２Ｂが一体的に形成されている。２本の桟４２Ｂは、他方のプレート４２の中心において互いに直交している。この桟４２Ｂにより、同一曲率半径の第２出入口４２Ａが、周方向の４か所で分断されている。これによって４か所の第２出入口４２Ａが、周方向に断続的に形成されている。第２出入口４２Ａは、第１実施形態の第２出入口１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃを他方のプレート４２の径方向に更に多く配列したものに相当する。
【００５５】
一方のプレート４４には、第１出入口４４Ａが略同心の円弧状に配置されている。一方のプレート４４には、例えば２本の桟４４Ｂが一体的に形成されている。２本の桟４４Ｂは、一方のプレート４４の中心において互いに直交している。この桟４４Ｂにより、同一曲率半径の第１出入口４４Ａが、周方向の４か所で分断されている。これによって４か所の第１出入口４４Ａが、周方向に断続的に形成されている。第１出入口４４Ａは、第１実施形態の第１出入口１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃを一方のプレート４４の径方向に更に多く配列したものに相当する。
【００５６】
一方のプレート４４には、第１実施形態と同様の溝２２が、第１出入口４４Ａの幅方向に直線状に形成されている。換言すれば、溝２２は、一方のプレート４４の径方向に放射状に形成されている。
【００５７】
図１５に示されるように、第２出入口４２Ａは、第１出入口４４Ａと重ならない位置に形成されている。換言すれば、第２出入口４２Ａは、溝２２と重なる位置に形成されている。他方のプレート４２の非貫通部４２Ｃが、第１出入口４４Ａに重なっている。この非貫通部４２Ｃは、該第１出入口４４Ａの径方向内側の陸部４４Ｃと、径方向外側の陸部４４Ｃとに跨っている。
【００５８】
互いに径方向に隣り合う第１出入口４４Ａの間に位置する溝２２の幅Ｗは、図１６に示されるように、例えば一定である。この溝２２の幅については、最も径方向内側の第１出入口４４Ａより更に径方向内側に位置する溝２２や、最も径方向外側の第１出入口４４Ａより更に径方向外側に位置する溝２２についても同様である。
【００５９】
図１５において、第２出入口４２Ａから流体を入れた場合、該流体は直ちに溝２２に入り、該溝２２に沿って一方の第１出入口４４Ａ側と他方の第１出入口４４Ａ側とに分岐し、各々の溝２２に対応する濾過流路１６を通り、一方の第１出入口４４Ａと他方の第１出入口４４Ａとからそれぞれ流出する（矢印Ｆ方向）。
【００６０】
逆に、第１出入口４４Ａから流体を入れた場合、溝２２の延在方向において該第１出入口４４Ａに隣接する一方の第２出入口４２Ａ側と他方の第２出入口４２Ａ側とに分岐し、各々の溝２２に対応する濾過流路１６を通り、一方の第２出入口４２Ａと他方の第２出入口４２Ａとからそれぞれ流出する（矢印Ｒ方向）。
【００６１】
本実施形態でも、このように流体が分岐したり合流したりしながら流れるため、濾過効率を更に高めることができる。
【００６２】
（変形例）
尚、図１７に示されるように、一方のプレート４６における溝２２の幅が、径方向外側に向かって拡大していてもよい。この溝２２の構成は、図８から図１０における溝２２と同様である。溝２２の最小幅と溝２２の深さとが、互いに同一に設定されていてもよい。溝２２と、該溝２２により区画される陸部４８は、一方のプレート４６のうち径方向に互いに隣接する２箇所の第１出入口４６Ａの間の領域において、径方向外側に位置する。当該領域の径方向内側には、陸部４６Ｂが周方向に延設されている。陸部４６Ｂ，４８の間の領域には、溝２２の深さと同じ高さ位置にある平面５０が形成されている。換言すれば、溝２２の底と平面５０とは、互いに連続している。
【００６３】
陸部４６Ｂ，４８の高さは例えば同一であるので、陸部４６Ｂ，４８の双方が、平板状の他方のプレート４２の下面に当接することができる（図１８）。他方のプレート４２の非貫通部４２Ｃを基準にすると、該非貫通部４２Ｃの径方向内側端は陸部４８に当接し、径方向外側端は陸部４６Ｂに当接する。なお、第１出入口４６Ａの構成は、図１３における第１出入口４２Ａと同様である。
【００６４】
図１８において、第２出入口４２Ａから流体を入れた場合、該流体は平面５０からその径方向外側の溝２２に入り、該溝２２に対応する濾過流路１６を通り、第１出入口４６Ａから流出する（矢印Ｆ方向）。陸部４６Ｂにより平面５０から径方向内側への流体の流れは妨げられるので、合流や分岐はない。
【００６５】
本変形例は、第１実施形態の変形例２と同様に、溝２２の幅が拡大することで、物体１８と溝２２の溝壁との接触が抑制されるので（図１０参照）、摩擦が低減される。このため、濾過流路１６における詰まりが抑制される。
【００６６】
尚、一方のプレート４６の径方向における溝２２（陸部４８）と陸部４６Ｂの配置は、上記と逆であってもよい。つまり、溝２２（陸部４８）が径方向内側に位置し、陸部４６Ｂが径方向外側に位置してもよい。その場合、溝２２の幅は、径方向内側に向かって拡大する。
【００６７】
他の部分については、第１実施形態と同様であるので、同一の部分には図面に同一の符号を付し、説明を省略する。
【００６８】
［他の実施形態］
以上、本発明の実施形態の一例について説明したが、本発明の実施形態は、上記に限定されるものでなく、上記以外にも、その主旨を逸脱しない範囲内において種々変形して実施可能であることは勿論である。
【符号の説明】
【００６９】
１０    フィルタ
１２    他方のプレート
１２Ａ  第２出入口
１２Ｂ  第２出入口
１２Ｃ  第２出入口
１４    一方のプレート
１４Ａ  第１出入口
１４Ｂ  第１出入口
１６    濾過流路
２０    フィルタ
２２    溝
２２Ａ  一端側の溝
２２Ｂ  中央の溝
２２Ｃ  他端側の溝
３０    フィルタ
３２    他方のプレート
３２Ａ  第２出入口
３４    一方のプレート
３４Ａ  第１出入口
４２    他方のプレート
４２Ａ  第２出入口
４４    一方のプレート
４４Ａ  第１出入口
４６    一方のプレート
４６Ａ  第１出入口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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