(57)【要約】【課題】スラッジ乾燥装置において、ヒータを用いずスラッジ乾燥し、乾燥室内を汚さずにスラッジ回収する。【解決手段】搬送されるスラッジを乾燥する手段６は、液槽２から出されたスラッジを回収手段７へ搬送するベルト５１上面を包囲しベルトと同方向に延在する乾燥ボックス６０と、乾燥ボックス６０一端側のスラッジ投入口６０４と、乾燥ボックス他端側に配設された回収手段７と、ブロアファン９０により乾燥ボックス内から外に吸われた空気を乾燥ボックス一端側から戻し空気を循環させる戻し口６０６とを備え、回収手段７は、排気口７０に隣接させベルト延在方向と交差しベルト５１に接触させるロールブラシ７７と、ブラシ回転手段７８と、ブラシ７７でベルト５１から離反されたスラッジを回収するボックス７３と、排気口７０と回収ボックス７３とを連通する第１連通路７１と、回収ボックス７３とブロアファン９０とを連通する第２連通路７２とを備えるスラッジ乾燥装置１。【選択図】図５
2020131142.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工水を供給しつつ砥石で被加工物を削ることにより排出される被加工物の粉を含んだ廃液から、水分を多く含んだスラッジを回収して該スラッジを乾燥させるスラッジ乾燥装置であって、
廃液を貯める廃液槽と、該廃液槽から該スラッジを取り出す取り出し手段と、該取り出し手段によって取り出された該スラッジを載せて回収手段へと搬送する搬送ベルトと、該搬送ベルトで搬送される該スラッジを乾燥させる乾燥手段とを備え、
該乾燥手段は、少なくとも該搬送ベルトの上面を包囲して該搬送ベルトの延在方向に延在する乾燥ボックスと、該乾燥ボックスの一方の端側に配設され該スラッジを該搬送ベルトに投下する投入口と、該乾燥ボックスの他方の端側に配設され排気口を有する該回収手段と、該乾燥ボックスの外に配設されるブロアファンが作動することで該乾燥ボックス内から該排気口を介して吸われた空気を該乾燥ボックスの一方の端側から該乾燥ボックスの中に戻し入れて空気を循環させるための戻し入口と、を備え、
該回収手段は、該排気口と、該排気口に隣接させ該搬送ベルトの延在方向に対し交差する方向に延在するロールブラシと、該搬送ベルトに毛先を接触させる該ロールブラシを回転させる回転手段と、該ロールブラシで該搬送ベルトから離反された乾燥した該スラッジを回収する回収ボックスと、該排気口と該回収ボックスとを連通する第１の連通路と、該回収ボックスと該ブロアファンとを連通する第２の連通路とを備えるスラッジ乾燥装置。
【請求項２】
前記乾燥ボックスの一方の端側に外気を吸気する吸気口を備え、
前記ブロアファンによる前記排気口を介した前記回収ボックスからの排気の流量を２つに分割する分割部を備えた請求項１記載のスラッジ乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物の粉を含んだ廃液から水分を多く含んだスラッジを回収し、該スラッジを乾燥させる装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、加工水を供給しつつ被加工物を砥石で加工することで発生した加工屑を含んだ加工廃液から、加工屑を沈殿させたり、加工廃液に陽極板と陰極板とを着水させ電荷を付加して加工屑を陽極板に吸着させたりして、水分を多く含んだ加工屑（スラッジ）を回収し、スラッジを取り除いた加工廃液を再利用している（例えば、特許文献１参照）。
また、例えば特許文献２に開示されているように、回収したスラッジを利用するためにスラッジを乾燥させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１１９０５０号公報
【特許文献２】特開２０１６−０４９５０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし特許文献２に開示されているスラッジ回収装置では、スラッジの乾燥にヒータを用いているため、メンテナンスが必要になったらスラッジを乾燥させている装置部位が冷却されるまで、作業者が待機する必要がある。また、ヒータを発熱させるための電力を必要とする。さらに、スラッジは細かい粉であるため、乾燥室内に舞い乾燥室内を汚したり、スラッジを乾燥させ搬送する搬送ベルトに熱で溶けて付着して汚してしまったりする。
【０００５】
よって、スラッジを回収して乾燥させるスラッジ乾燥装置においては、ヒータを用いないでスラッジを乾燥させ、また、乾燥室内を汚さないで、細かくなったスラッジを回収するという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための本発明は、加工水を供給しつつ砥石で被加工物を削ることにより排出される被加工物の粉を含んだ廃液から、水分を多く含んだスラッジを回収して該スラッジを乾燥させるスラッジ乾燥装置であって、廃液を貯める廃液槽と、該廃液槽から該スラッジを取り出す取り出し手段と、該取り出し手段によって取り出された該スラッジを載せて回収手段へと搬送する搬送ベルトと、該搬送ベルトで搬送される該スラッジを乾燥させる乾燥手段とを備え、該乾燥手段は、少なくとも該搬送ベルトの上面を包囲して該搬送ベルトの延在方向に延在する乾燥ボックスと、該乾燥ボックスの一方の端側に配設され該スラッジを該搬送ベルトに投下する投入口と、該乾燥ボックスの他方の端側に配設され排気口を有する該回収手段と、該乾燥ボックスの外に配設されるブロアファンが作動することで該乾燥ボックス内から該排気口を介して吸われた空気を該乾燥ボックスの一方の端側から該乾燥ボックスの中に戻し入れて空気を循環させるための戻し入口と、を備え、該回収手段は、該排気口と、該排気口に隣接させ該搬送ベルトの延在方向に対し交差する方向に延在するロールブラシと、該搬送ベルトに毛先を接触させる該ロールブラシを回転させる回転手段と、該ロールブラシで該搬送ベルトから離反された乾燥した該スラッジを回収する回収ボックスと、該排気口と該回収ボックスとを連通する第１の連通路と、該回収ボックスと該ブロアファンとを連通する第２の連通路とを備えるスラッジ乾燥装置である。
【０００７】
本発明に係るスラッジ乾燥装置は、前記乾燥ボックスの一方の端側に外気を吸気する吸気口を備え、前記ブロアファンによる前記排気口を介した前記回収ボックスからの排気の流量を２つに分割する分割部を備えると好ましい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係るスラッジ乾燥装置は、廃液槽と、廃液槽からスラッジを取り出す取り出し手段と、取り出されたスラッジを載せて回収手段へと搬送する搬送ベルトと、搬送ベルトで搬送されるスラッジを乾燥させる乾燥手段とを備え、乾燥手段は、少なくとも搬送ベルトの上面を包囲して搬送ベルトの延在方向に延在する乾燥ボックスと、乾燥ボックスの一方の端側に配設されスラッジを搬送ベルトに投下する投入口と、乾燥ボックスの他方の端側に配設され排気口を有する回収手段と、乾燥ボックスの外に配設されるブロアファンが作動することで乾燥ボックス内から排気口を介して吸われた空気を乾燥ボックスの一方の端側から乾燥ボックスの中に戻し入れて空気を循環させるための戻し入口と、を備え、回収手段は、排気口と、排気口に隣接させ搬送ベルトの延在方向に対し交差する方向に延在するロールブラシと、搬送ベルトに毛先を接触させるロールブラシを回転させる回転手段と、ロールブラシで搬送ベルトから離反された乾燥したスラッジを回収する回収ボックスと、排気口と回収ボックスとを連通する第１の連通路と、回収ボックスとブロアファンとを連通する第２の連通路とを備えることで、乾燥した細かいスラッジをロールブラシで搬送ベルトから離反させつつブロアファンによる吸引力で吸って回収しているので、乾燥ボックス内に乾燥したスラッジが長時間舞うことが無い様にして、乾燥ボックス内を汚さないようにすることが可能となる。また、ヒータを用いないでスラッジを乾燥させるため、スラッジ乾燥装置の消費電力を抑え、融点が低いスラッジをヒータの熱で搬送ベルト上で溶かすことなく乾燥でき、且つ、搬送ベルトの交換や乾燥ボックス内の清掃を行うときにヒータが冷却されるまでの作業者の待ち時間を発生させることがない。
【０００９】
本発明に係るスラッジ乾燥装置は、乾燥ボックスの一方の端側に外気を吸気する吸気口を備え、ブロアファンによる排気口を介した回収ボックスからの排気の流量を２つに分割する分割部を備えることで、例えば、分割部で分割した排気を乾燥ボックスに戻し入口から戻すことで、搬送ベルトで搬送されているスラッジを効率よく乾燥させることができる。また、スラッジを乾燥させるときに、乾燥ボックス内には空気とスラッジとの接触により水素が発生するが、ヒータ乾燥の場合と異なり、発生した水素が乾燥ボックス内に溜まらないようになる、即ち、乾燥ボックス内の水素の濃度を抑えることができるため、水素爆発を防止することが可能である。また、例えば工場設備の排気装置側へ流す排気の量も分割部によって減らすことができるため、工場設備の排気装置の負担も低減される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】研削装置及びスラッジ乾燥装置の構造の一例を示す断面図である。
【図２】陽極板及び陰極板を収容した廃液槽と、抜き差し手段との一例を示す斜視図である。
【図３】廃液槽内の陽極板と陰極板との配置を拡大して示す断面図である。
【図４】水分を含んだスラッジが付着し取り出し手段で取り出された陽極板から乾燥ボックス内に水分を含んだスラッジを落下させる状態を説明する断面図である。
【図５】乾燥した細かいスラッジをロールブラシで搬送ベルトから離反させつつブロアファンによる吸引力で吸って回収ボックスに回収している状態を説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１に示す本発明に係るスラッジ乾燥装置１は、研削装置４において加工水が供給されつつ固体の被加工物Ｓが砥石４０４ｂで削られて排出される被加工物Ｓの粉Ｐを含んだ廃液Ｌから、水分を多く含んだ被加工物Ｓの粉Ｐ、即ち、水分を多く含んだスラッジＰを回収して、該スラッジＰを乾燥させる装置である。スラッジ乾燥装置１は研削装置４内に組み込まれていてもよいし、研削装置４とは別体となっていてもよい。
なお、スラッジ乾燥装置１は、回転する切削ブレードで固体のシリコンウェーハ等を切削加工する切削装置が生み出す廃液からスラッジＰを回収して乾燥させるものであってもよい。
【００１２】
図１に示す研削装置４は、固体の被加工物Ｓを保持する保持テーブル４１と、被加工物Ｓを回転する砥石４０４ｂで研削する研削手段４０とを少なくとも備えている。
本実施形態において固体の被加工物Ｓはシリコンウェーハであるが、円柱状のシリコンインゴット等であってもよい。
【００１３】
研削装置４の基台４９上に配設された保持テーブル４１は、例えば、ポーラス部材等からなり図示しない吸引源に連通する保持面４１ａを備えている。保持テーブル４１は、Ｚ軸方向の軸心周りに回転可能であると共に、テーブル支持台４２によって支持されている。基台４９の上面に形成された開口４９ａ内に配設されているテーブル支持台４２は、モータ及びボールネジ機構等からなる図示しないＸ軸移動手段によってＸ軸方向（紙面手前奥方向）に往復移動可能となっている。
【００１４】
保持テーブル４１の移動経路両脇には、箱状のウォーターケース４８が配設されている。ウォーターケース４８は、図１のテーブル支持台４２の左右２箇所の位置に図示しているが、図１中紙面手前奥方向にも形成されており、平面視では矩形の箱状に形成され、一体となる桶部４８４を有している。即ち、ウォーターケース４８は、保持テーブル４１をＸ軸方向に往復移動させるために、箱状の部材の底板４８０の中央部に矩形状の開口部４８１を設けており、底板４８０、内側壁４８２及び外側壁４８３により構成されて加工水を受け止める桶部４８４と、底板４８０に形成された排液口４８５とから構成される。排液口４８５には、ウォーターケース４８の外部に延びる給液管４８５ａの一端が接続されている。ウォーターケース４８は、砥石４０４ｂで被加工物Ｓが削られて排出される被加工物Ｓの粉Ｐを含み保持テーブル４１から流下する加工水（廃液Ｌ）を受け止めて、図１に示すタンク１２へと送る。
【００１５】
図１に示す研削手段４０は、軸方向が保持テーブル４１の保持面４１ａと直交するＺ軸方向である回転軸４００と、回転軸４００を回転駆動させるモータ４０２と、回転軸４００の下端に取り付けられたマウント４０３と、マウント４０３に着脱可能に接続された研削ホイール４０４とを備える。研削ホイール４０４は、円環状のホイール基台４０４ａと、略直方体形状の外形を備えホイール基台４０４ａの下面に複数環状に配設された砥石４０４ｂとを備えている。砥石４０４ｂは、適宜のボンド剤でダイヤモンド砥粒等が固着されて成形されている。
そして、研削手段４０は、Ｚ軸方向（鉛直方向）に上下動可能となっている。
【００１６】
例えば、回転軸４００内部には、加工水供給源に連通し加工水の通り道となる図示しない流路が、回転軸４００の軸方向（Ｚ軸方向）に貫通して設けられており、該流路は、ホイール基台４０４ａの底面において砥石４０４ｂに向かって加工水を噴出可能に開口している。なお、被加工物Ｓを研削する位置まで降下した状態の研削手段４０の研削ホイール４０４に隣接する位置に加工水ノズルが配設されており、該加工水ノズルから砥石４０４ｂと被加工物Ｓとの接触部位に加工水が直接供給されるものとしてもよい。
【００１７】
図１に示すように、スラッジ乾燥装置１は、廃液Ｌを貯める廃液槽２と、廃液槽２から水分を多く含んだスラッジＰを取り出す取り出し手段３と、取り出し手段３によって取り出されたスラッジＰを載せて回収手段７へと搬送する搬送ベルト５１と、搬送ベルト５１で搬送されるスラッジＰを乾燥させる乾燥手段６とを少なくとも備えている。
【００１８】
図１に示すウォーターケース４８の排液口４８５より低い位置には、例えば、廃液Ｌを収容するタンク１２が配設されており、該タンク１２は、給液管４８５ａの他端が接続された供給口１２０を備えている。タンク１２は、タンク１２内から被加工物Ｗの粉Ｐを含む廃液Ｌを汲み上げて廃液槽２へと送出する送出ポンプ１２１を備えており、送出ポンプ１２１は送出管１２１ａを介して廃液槽２の流入口２０に向けて該廃液Ｌを送出する。
【００１９】
略直方体の箱状の廃液槽２は、例えば、合成樹脂等の絶縁部材によって形成されており、平面視矩形の底板２１と、底板２１の外周から一体的に＋Ｚ方向に立ち上がる４枚の側壁とからなり、底板２１と各側壁とで囲まれた空間に被加工物Ｗの粉Ｐを含む廃液Ｌを溜めることができる。図１、２でＸ軸方向において対向する２枚の側壁を側壁２２ａとして、Ｙ軸方向において対向する２枚の側壁を側壁２２ｂとする。
また、廃液槽２の上部には、廃液Ｌが溢れることを防止する図示しないオーバーフロー管が設けられている。オーバーフロー管は、タンク１２に連通しており、廃液槽２から溢れようとした廃液Ｌを再びタンク１２に導く。
【００２０】
廃液槽２内の廃液Ｌから水分を含むスラッジＰを取り出す取り出し手段３は、例えば、廃液槽２に配設しマイナスに帯電させる陰極板３０（図２には不図示）と、陰極板３０に対面させ廃液槽２から抜き差し可能としプラスに帯電させ水分を含むスラッジＰを吸着させる陽極板３１と、陽極板３１を保持する保持部３２０を上下方向に移動させ陽極板３１を廃液槽２から抜き取り又は廃液槽２に差し込みする抜き差し手段３２と、抜き差し手段３２で廃液槽２から抜き取った陽極板３１を挟んで付着しているスラッジＰを剥ぎ取る剥ぎ取り手段３６と、を備えている。
【００２１】
陽極板３１は、電気化学的に貴となる材料で構成され、平面形状が矩形状の平板状に形成されている。例えば、陽極板３１は、銅、銀、白金、又は金などの材料で構成することができる。本実施形態では、陽極板３１としてＳＵＳを適用している。
【００２２】
例えば、廃液槽２のＸ軸方向において対向する二枚の側壁２２ａの内側面には、図示しない複数の支持溝が形成されており、陽極板３１は、Ｘ軸方向に所定間隔を空けて該支持溝に挿嵌された状態で、廃液槽２内に配設されている。即ち、複数の陽極板３１は、その表面が廃液槽２の長手方向（Ｙ軸方向）と直交する状態、言い換えると、廃液槽２の幅方向（Ｘ軸方向）と平行な状態で、互いに間隔をあけて配置されている。陽極板３１の上端面には、例えば、幅方向（Ｘ軸方向）の中央部から互いに間隔をあけて上方に突出した二つの被係合部３１０が設けられている。被係合部３１０は、矩形状の板状に形成され、中央にＸ軸方向に貫通した被係合孔３１０ａが設けられている。被係合孔３１０ａには、抜き差し手段３２の保持部３２０の係合ピン３２０ａが進入して係合する。
【００２３】
陰極板３０は、互いに隣り合う陽極板３１の間に設けられている。即ち、陰極板３０は、陽極板３１にＹ軸方向において対向して、陽極板３１と離間して交互に複数配設されており、陽極板３１と平行な状態になっている。
【００２４】
陰極板３０は、例えば、図１に示すように、側面視矩形状の筐体３３ａにより支持されており、筐体３３ａには排出部３３ｂが形成されている。排出部３３ｂは、例えば、筐体３３ａ内に流入したスラッジＰが除去された浄水を図示しない浄水貯水タンクへと送給する配管である。そして、陰極板３０は筐体３３ａの両側開口面を塞ぐように互いに間隔をあけて平行をなすように配設されている。
【００２５】
陰極板３０は、陽極板３１と同様に、電気化学的に貴となる材料で構成され、平面形状が矩形の平板状に形成されている。例えば、陰極板３０は、銅、銀、白金、又は金などの材料で構成することができる。本実施形態では、陰極板３０としてＳＵＳを適用している。陰極板３０は、網目を備える板状に形成されており、網目でスラッジＰを引っ掛ける機能を有することなく、マイナスに帯電されることでスラッジＰに対して斥力を発生させる。即ち、陰極板３０は、マイナスに帯電されることで、廃液Ｌの液体としての浄水のみの通過を許容し、マイナスに帯電したスラッジＰとの間に斥力を生じて、スラッジＰの通過を規制する。これによって、筐体３３ａと陰極板３０とは、陰極板３０を通過した浄水が存在する領域を内側に形成し、陰極板３０がスラッジＰとの間に斥力を生じることで、浄水が存在する領域を廃液槽２内の廃液Ｌから区画する。
なお、陰極板３０の形状等は本実施形態に限定されるものではない。
【００２６】
各陰極板３０及び各陽極板３１の下端と廃液槽２の底板２１との間には所定幅の隙間が設けられており、廃液槽２に流入した廃液Ｌは、該隙間を通り陰極板３０と陽極板３１との間を上昇していく。
【００２７】
本実施形態において、陽極板３１と陰極板３０との間には直流電圧が印加される（図３参照）。すなわち、陽極板３１に直流電源ＤＣのプラス（＋）側が電気的に接続されて廃液Ｌ中でプラスに帯電される。陽極板３１は、廃液Ｌ中でプラスに帯電されて、廃液Ｌ中でマイナスに帯電したスラッジＰを吸着する。一方、陰極板３０に直流電源ＤＣのマイナス（−）側が電気的に接続されて廃液Ｌ中でマイナスに帯電される。この結果、陽極板３１と陰極板３０との間には電界が形成される。そして、廃液Ｌに混入されてマイナス（−）に帯電されているスラッジＰは、電気泳動によって、マイナス（−）に帯電された陰極板３０から反発し、プラス（＋）に帯電された陽極板３１に吸着される。
【００２８】
図１、２に示す陽極板３１の上部を保持し廃液槽２から陽極板３１を抜き出し又は廃液槽２に差し込みする抜き差し手段３２は、Ｙ軸方向移動手段３４によって、廃液槽２の上方を水平にＹ軸方向に往復移動可能となっている。図２に詳しく示すＹ軸方向移動手段３４は、廃液槽２の長手方向（Ｙ軸方向）と平行に設けられた水平ボールネジ３４０と、水平ボールネジ３４０を回転駆動するモータ３４３と、Ｙ軸方向に延在する一対の水平移動用のガイドレール３４１と、内部のナットが水平ボールネジ３４０に螺合し両端下面がガイドレール３４１に摺接する可動部材３４２と、を備えている。そして、モータ３４３の駆動により水平ボールネジ３４０が回動することにより可動部材３４２に固定された抜き差し手段３２がガイドレール３４１にガイドされてＹ軸方向に移動する構成となっている。水平ボールネジ３４０及びガイドレール３４１は、廃液槽２の上方から乾燥手段６の上方にわたる長さを有しており、抜き差し手段３２をＹ軸方向に移動させることにより、抜き差し手段３２の保持部３２０が保持した陽極板３１を廃液槽２から乾燥手段６の上方に移動させることができる。
【００２９】
抜き差し手段３２は、可動部材３４２に上端が固定された鉛直板３２９と、廃液槽２の深さ方向（Ｚ軸方向）と平行に鉛直板３２９の側面に設けられた鉛直ボールネジ３２１と、鉛直ボールネジ３２１を回転駆動するモータ３２３と、Ｚ軸方向に延在する一対のガイドレール３２２と、内部のナットが鉛直ボールネジ３２１に螺合し側面がガイドレール３２２に摺接する保持部３２０と、を備えている。そして、モータの駆動により鉛直ボールネジ３２１が回動することにより保持部３２０がガイドレール３２２にガイドされてＺ軸方向に移動する構成となっている。
【００３０】
抜き差し手段３２の陽極板３１を保持する保持部３２０は、例えば、内部のナットが鉛直ボールネジ３２１に螺合し陽極板３１の幅方向に延在する板状部材３２０ｄと、板状部材３２０ｄの下面に配設された一対のチャックシリンダ３２０ｃとを備えている。一対のチャックシリンダ３２０ｃは、廃液槽２の幅方向（Ｘ軸方向）に互いに間隔をあけて配設されている。一対のチャックシリンダ３２０ｃは、板状部材３２０ｄに取り付けられたシリンダ本体３２０ｂと、シリンダ本体３２０ｂから廃液槽２の幅方向（Ｘ軸方向）に突没自在に設けられた係合ピン３２０ａとを備えている。一対のチャックシリンダ３２０ｃは、例えば、シリンダ本体３２０ｂから突出する係合ピン３２０ａがＸ軸方向において互いに近づく状態となっている。各係合ピン３２０ａは、下降する保持部３２０が陽極板３１の上方に位置付けられた状態でシリンダ本体３２０ｂから突出すると、陽極板３１の各被係合部３１０の被係合孔３１０ａにそれぞれ挿嵌される。これによって、抜き差し手段３２の保持部３２０が陽極板３１を保持した状態になる。
【００３１】
抜き差し手段３２で廃液槽２から抜き取った陽極板３１を挟んで付着しているスラッジＰを剥ぎ取る剥ぎ取り手段３６は、図１においては簡略化して示しており、図４において詳しく示している。剥ぎ取り手段３６は、乾燥手段６の乾燥ボックス６０の一方の端側（−Ｙ方向側）に設けられた投入口６０４の上方近傍に配設されている。剥ぎ取り手段３６は、一対の開閉シリンダ３６０（電動シリンダまたはエアシリンダ）と、一対の開閉シリンダ３６０を支持する一対の支持板部３６１と、一対の開閉シリンダ３６０によってＹ軸方向に移動する一対の剥ぎ取りプレート３６２とを備えている。
【００３２】
一対の開閉シリンダ３６０は、内部に図示しないピストンを備える筒状のシリンダチューブ３６０ａと、シリンダチューブ３６０ａに挿入され外側端がピストンに取り付けられたピストンロッド３６０ｂとを備える。ピストンロッド３６０ｂの内側端に剥ぎ取りプレート３６２は固定されており、剥ぎ取りプレート３６２は、例えば陽極板３１の幅（Ｘ軸方向長さ）よりも僅かに長い長さでＸ軸方向に延在している。
【００３３】
このような構成である剥ぎ取り手段３６は、陽極板３１の表面を剥ぎ取りプレート３６２で挟み込むことができる。陽極板３１の表面を挟み込んだ状態で、抜き差し手段３２の陽極板３１を保持した保持部３２０が例えば上方に引き上げられることで、剥ぎ取りプレート３６２は陽極板３１に吸着された水分を含むスラッジＰを剥ぎ取ることができる。
【００３４】
例えば、廃液槽２に隣接する位置に、図４に示す搬送ベルト５１で搬送されるスラッジＰから水分を除去する乾燥手段６が配設されており、取り出し手段３によって取り出された水分を含むスラッジＰを載せて回収手段７へと搬送する搬送ベルト５１が、乾燥手段６を構成する乾燥ボックス６０内にＹ軸方向に延在するように配設されている。
【００３５】
乾燥手段６は、少なくとも搬送ベルト５１の上面を包囲して搬送ベルト５１の延在方向（Ｙ軸方向）に延在する乾燥ボックス６０と、乾燥ボックス６０の一方の端側（−Ｙ方向側）に配設されスラッジＰを搬送ベルト５１に投下する投入口６０４と、乾燥ボックス６０の他方の端側（＋Ｙ方向側）に配設され排気口７０を有する回収手段７と、乾燥ボックス６０の外に配設されるブロアファン９０が作動することで乾燥ボックス６０内から排気口７０を介して吸われた空気を乾燥ボックス６０の一方の端側から乾燥ボックス６０の中に戻し入れて空気を循環させるための戻し入口６０６と、を備えている。
【００３６】
乾燥ボックス６０は、例えば、平面視略直方体状の外形を備えており、矩形の底板６０１と、底板６０１の外周から一体的に＋Ｚ方向に立ち上がる４枚の側壁と、側壁の上端に連結され搬送ベルト５１の上面に対面する天板６０３とで構成されている。図４でＸ軸方向において対向する２枚の側壁（紙面奥側のみ図示）を側壁６０２ａとして、Ｙ軸方向において対向する２枚の側壁を側壁６０２ｂ、６０２ｃとする。乾燥ボックス６０の内部の搬送ベルト５１上方は、スラッジＰの搬送方向に気体を流す通気路６００となっている。
【００３７】
天板６０３の一方の端側（−Ｙ方向側）には、スラッジＰを搬送ベルト５１に投下する投入口６０４が厚み方向に貫通形成されている。図４に示すように、投入口６０４の上方には、ヒンジによって開閉可能な蓋６０４ａが配設されている。例えば、投入口６０４の下方には、剥ぎ取られ落下した水分を含むスラッジＰを搬送ベルト５１上にガイドするように搬送ベルト５１に対して傾けられたガイド板６０４ｂが配設されている。
本実施形態において、投入口６０４は、乾燥ボックス６０の一方の端側（−Ｙ方向側）に外気を吸気する吸気口としての役割も果す。
【００３８】
例えば、天板６０３の下面には、複数の凸部６０３ａが形成されていてもよい。凸部６０３ａは、図４に示すように半球体状の外形を備えているが、これに限定されず、円柱状や角柱状の外形を備えていてもよい。凸部６０３ａは、例えば、天板６０３の下面にＸ軸方向及びＹ軸方向に所定の等間隔を空けて複数配設されているが、天板６０３の下面にランダムに複数配設されていてもよい。また、凸部６０３ａが円柱状や角柱状の外形の場合には、Ｘ軸方向に延在させＹ軸方向に所定の等間隔を空けて複数配設させてもよい。
乾燥ボックス６０内の通気路６００を搬送方向に流れる気体は、乾燥ボックス６０の天板６０３の下面の凸部６０３ａに衝突することで乱気流となる。即ち、不規則な気体の渦が搬送ベルト５１上で発生すると共に、搬送方向に気体が流れていく。その結果、搬送ベルト５１の上面の水分を多く含むスラッジＰに乱気流が噴き付けられることで、スラッジＰの水分がより蒸発しやすくなる。なお、凸部６０３ａは天板６０３の下面に形成されていなくてもよい。
【００３９】
搬送ベルト５１は、例えば、側壁６０２ａに固定されたモータ５４０により回動可能となっている。モータ５４０のシャフトには、駆動ローラ５４１が取り付けられており、駆動ローラ５４１には無端の搬送ベルト５１が巻回されている。側壁６０２ａの内側面においてモータ５４０から所定距離だけ＋Ｙ方向に離した位置には従動ローラ５４２が取り付けられており、搬送ベルト５１は、この従動ローラ５４２にも巻回されている。モータ５４０が駆動ローラ５４１を回転駆動することで、駆動ローラ５４１及び従動ローラ５４２の回転に伴って搬送ベルト５１が回動する。
【００４０】
乾燥ボックス６０内には、例えば、搬送ベルト５１の上に載置された水分を含むスラッジＰを搬送ベルト５１の上で所定の厚みに引き延ばす厚み調整手段５５が配設されている。本実施形態における厚み調整手段５５は、例えば、搬送ベルト５１のスラッジＰが投下される位置の近傍において搬送ベルト５１を上下方向から挟み込むように配設され、搬送ベルト５１から受ける摩擦力により回転する一対の挟み込みローラである。厚み調整手段５５の該一対の挟み込みローラのＸ軸方向の各両端は、例えば、各側壁６０２ａに固定されている。厚み調整手段５５の該一対の挟み込みローラは、例えば、搬送ベルト５１の幅以上の長さでＸ軸方向に延在している。なお、厚み調整手段５５は、スキージ等であってもよい。
【００４１】
回収手段７は、排気口７０と、排気口７０に隣接させ搬送ベルト５１の延在方向（Ｙ軸方向）に対し交差する方向（Ｘ軸方向）に延在するロールブラシ７７と、搬送ベルト５１に毛先を接触させるロールブラシ７７を回転させる回転手段７８と、ロールブラシ７７で搬送ベルト５１から離反された乾燥したスラッジＰを回収する回収ボックス７３と、排気口７０と回収ボックス７３とを連通する第１の連通路７１と、回収ボックス７３とブロアファン９０とを連通する第２の連通路７２とを少なくとも備える。
【００４２】
本実施形態において、乾燥ボックス６０の他方の端側（＋Ｙ方向側）の側壁６０２ｃの上端側は−Ｙ方向側に略水平に延在している。
本実施形態において、回収手段７は、例えば断面Ｒ状に乾燥ボックス６０の側壁６０２ｃ上方において湾曲し乾燥ボックス６０の天板６０３及びＸ軸方向において対向する２枚の側壁６０２ａに連結される外側壁７４０と、２枚の側壁６０２ａに連結されると共に外側壁７４０の下方に位置しその下面の一部が乾燥ボックス６０の側壁６０２ｃの上端面に対向する内側壁７４１とを備えている。
【００４３】
内側壁７４１は、Ｘ軸方向に延びる略半円柱状の空洞７４１ｂを作るように切り欠かれており、該切欠き部分にロールブラシ７７が収容されている。また、図４に示す内側壁７４１の下面と乾燥ボックス６０の側壁６０２ｃの上端面との間の隙間が、排気口７０を構成する第二の排気口７０ｂとなる。
【００４４】
外側壁７４０の上部のＲ状の下面と内側壁７４１の上面との間の隙間が、排気口７０を構成する第一の排気口７０ａとなる。第一の排気口７０ａの口径は、第二の排気口７０ｂの口径よりも例えば大きく設定されている。そして、図４に示すように、第一の排気口７０ａ及び第二の排気口７０ｂは、乾燥ボックス６０の側壁６０２ｃの外側面と外側壁７４０の内側面との間に形成される第１の連通路７１によって回収ボックス７３と連通可能となっている。なお、排気口７０は、第二の排気口７０ｂのみで構成されていてもよい。
第１の連通路７１の下端側は、例えば乾燥ボックス６０の底板６０１の隣に開口している。
なお、第一の排気口７０ａは搬送ベルト５１の上で乾燥した大きなスラッジＰを吸引し、第二の排気口７０ｂは、ロールブラシ７７で剥ぎとった搬送ベルト５１に固着していたスラッジＰを吸引する役目を成している。
【００４５】
本実施形態においては、図４に示すように、乾燥ボックス６０の底板６０１下面には、ジャッキベース等の複数の脚部６９が配設されており、乾燥ボックス６０は、研削装置４やスラッジ乾燥装置１が配置されているクリーンルーム等の加工室の床上に底板６０１と床との間に所定の空間を空けて配置されている。そして、該所定の空間に回収ボックス７３が配置されている。
【００４６】
回収ボックス７３は、例えば、略直方体状の外形を備えており、底板７３０と、底板７３０の外周から一体的に＋Ｚ方向に立ち上がる側壁７３１と、各側壁７３１の上端に連結された天板７３２とからなり、底板７３０と側壁７３１と天板７３２とで囲まれた空間に乾燥させたスラッジＰを収容することができる。天板７３２にはスラッジ導入口７３２ａが貫通形成されている。
【００４７】
本実施形態において回収ボックス７３内部には、例えば、回収ボックス７３の内側面等にスラッジＰが固着することを防ぎスラッジＰに直に接する交換可能な回収袋７３５と、回収袋７３５と回収ボックス７３の内側面等との間に空気を通過させるための隙間を設けるためのメッシュプレート７３６とが配設されている。
【００４８】
回収袋７３５の外側に位置するメッシュプレート７３６は、例えば、金網、又は金属板や樹脂板に複数の細孔がパンチングされたパンチングプレートであり、回収ボックス７３の底板７３０や側壁７３１との間に隙間を設けるようにして回収ボックス７３の内部で箱を形成している。
メッシュプレート７３６の内側に収容され交換可能な回収袋７３５は、乾いたスラッジＰを回収すると共に空気の通過を可能とする乾式又は湿式の不織布等からなり、スラッジ導入口７３２ａから導入されたスラッジＰが溜められていく。
【００４９】
回収ボックス７３は、例えば、図４に示すように、キャスター付き台車１９に載せられた状態で、乾燥ボックス６０の下方に移動可能に配設されていてもよい。例えば、作業者が加工室の床面に形成された台車設置箇所を示す表示にキャスター付き台車１９を押して又は引いて位置付けることで、回収ボックス７３のスラッジ導入口７３２ａと第１の連通路７１の下端側とを連通させることができる。
【００５０】
例えば第１の連通路７１の下端側の周囲には、回収ボックス７３のスラッジ導入口７３２ａと第１の連通路７１の下端側とをスラッジＰの漏れを生じさせることなく連通させるための連通部材７１３が配設されていてもよい。連通部材７１３は、例えば、底板６０１の下面に固定されており、スラッジ導入口７３２ａに連結可能な継手等を有する蛇腹筒やドレンホース等である。
【００５１】
ロールブラシ７７は、例えば、その外形が略円柱状であり、例えばナイロン等の弾力性を備える樹脂繊維等を直毛状に形成し密集させたものであり、樹脂繊維の毛先がブラシシャフト７７ａから外側へ向くようにしてブラシシャフト７７ａの外周面に植設されている。
【００５２】
ロールブラシ７７を回転させる図４に拡大して示す回転手段７８は、例えば、ブラシシャフト７７ａを軸にロールブラシ７７を回転させる駆動源となるモータ７８０を備えたプーリ機構である。モータ７８０には、主動プーリ７８１が取り付けられており、主動プーリ７８１には無端ベルト７８２が巻回されている。ブラシシャフト７７ａには従動プーリ７８３が取り付けられており、無端ベルト７８２は、この従動プーリ７８３にも巻回されている。モータ７８０が主動プーリ７８１を回転駆動することで、主動プーリ７８１の回転に伴って無端ベルト７８２が回動し、無端ベルト７８２が回動することで従動プーリ７８３及びロールブラシ７７がＸ軸方向の軸心周りに回転する。
なお、無端ベルト７８２は、回収手段７の外側壁７４０及び内側壁７４１に設けられた通過孔を通されており、該通過孔には図示しないシール部材が配設されている。
【００５３】
回収ボックス７３の側壁には、金属配管又は可撓性を有する樹脂パイプ等からなる第２の連通路７２の一端が接続されており、第２の連通路７２の他端は、ブロアファン９０の図示しない吸い込み口が連通している。
本実施形態においては、例えば、ブロアファン９０の吐出口９０ａには、配管９３０の一端が接続されており、配管９３０の他端にはブロアファン９０による排気の流量を２つに分割する分割部９３が接続されている。分割部９３は、例えば、排気管９４１と導入管９４２との２流路への流量調整が可能である三方バルブである。なお、分割部９３は、分割管と、排気管９４１と導入管９４２とのどちらか一方の流量調整が可能である調整バルブとで構成してもよい。また、排気管９４１と導入管９４２との配管径で排気の流量が分割されるようにしてもよい。
【００５４】
分割部９３には、吸引手段を備える工場設備の排気装置に連通する上記排気管９４１と、分割部９３で分割された一方の流量の排気を乾燥ボックス６０内に戻し入れるための導入管９４２の一端とが接続されている。
天板６０３の投入口６０４の近傍には、戻し入口６０６が厚み方向に貫通形成されており、導入管９４２の他端が接続されている。
【００５５】
以下に、加工水を供給しつつ図１に示す固体の被加工物Ｓが砥石４０４ｂで削られることで排出される被加工物Ｓの粉Ｐを含んだ廃液Ｌから、水分を含んだスラッジＰを回収して乾燥させる場合のスラッジ乾燥装置１の動作について説明する。
【００５６】
まず、被加工物Ｓが保持テーブル４１の保持面４１ａで吸引保持された後、テーブル支持台４２が駆動して保持テーブル４１上の被加工物Ｓが砥石４０４ｂと対向する研削位置で位置決めされた状態になる。そして、モータ４０２が回転軸４００をＺ軸方向の軸心周りに回転駆動し、これに伴って研削ホイール４０４が回転する。さらに、研削手段４０が降下していき、回転する砥石４０４ｂが保持テーブル４１で保持された被加工物Ｓの上面に当接することで研削が行われる。また、保持テーブル４１が所定速度で回転するのに伴い保持面４１ａ上の被加工物Ｓも回転するので、砥石４０４ｂが被加工物Ｓの上面全面の研削加工を行う。研削中は、砥石４０４ｂと被加工物Ｓの上面との接触部位に加工水が供給され、接触部位が冷却・洗浄される。
【００５７】
この研削加工によって被加工物Ｓが研削されて微細な被加工物Ｓの粉が形成されると共に、該粉Ｐが加工水に混入してスラッジＰを含む廃液Ｌが生成される。生成された廃液Ｌは、開口４９ａを介してウォーターケース４８に流れ込んだ後、給液管４８５ａ、タンク１２、及び送出管１２１ａを経て廃液槽２に流入して溜められる。
【００５８】
このように廃液Ｌが廃液槽２に貯液された状態において、図３に示すように、廃液Ｌに陽極板３１及び陰極板３０を着液させ、陽極板３１に直流電源ＤＣのプラス（＋）を通電する一方、陰極板３０に直流電源ＤＣのマイナス（−）を通電する。この結果、陽極板３１と陰極板３０との間には電界が形成される。そして、廃液Ｌに混入されてマイナス（−）に帯電されているスラッジＰは、電気泳動によって、マイナス（−）に帯電された陰極板３０から反発し、プラス（＋）に帯電された陽極板３１に吸着される。
陽極板３１にスラッジＰが吸着されたことによりスラッジＰがおおまかに除去され浄水となった廃液Ｌは、図３に示す排出部３３ｂによって取水されて図示しない浄水貯水タンクへ送給される。
【００５９】
一定量のスラッジＰを陽極板３１が吸着した後、図１に示すＹ軸方向移動手段３４が抜き差し手段３２の保持部３２０を１枚の陽極板３１の上方に位置付ける。次いで、保持部３２０が降下して陽極板３１を保持し、陽極板３１を廃液槽２内の廃液Ｌから引き上げる。そして、Ｙ軸方向移動手段３４が、図４に示すように、陽極板３１を保持した保持部３２０を乾燥ボックス６０の投入口６０４上方まで移動させる。
【００６０】
その後、図４に示すように、剥ぎ取り手段３６の一対の開閉シリンダ３６０で一対の剥ぎ取りプレート３６２を水平移動させて、剥ぎ取りプレート３６２で陽極板３１を挟み込む。この状態から保持部３２０が上昇することで固定された剥ぎ取りプレート３６２に対して挟み込まれた陽極板３１が引き上げられる。これにより、陽極板３１から水分を含むスラッジＰが剥ぎ取られ、塊となって乾燥ボックス６０の投入口６０４からボックス内部のガイド板６０４ｂに落下して、さらに、搬送ベルト５１上へと移動する。
【００６１】
次いで、モータ５４０、駆動ローラ５４１、及び従動ローラ５４２により搬送ベルト５１を回動させて水分を含んだスラッジＰを−Ｙ方向側から＋Ｙ方向側に搬送する。図５に示すように、搬送ベルト５１の上方には厚み調整手段５５である一対の挟み込みローラが配設されているため、搬送ベルト５１上の水分を含んだスラッジＰは、厚み調整手段５５によって上下方向から挟み込まれつつ厚み調整手段５５を通過することで、搬送ベルト５１上で所定の厚み（極薄の厚み）に引き延ばされる。
【００６２】
上記搬送ベルト５１による水分を多く含んだスラッジＰの搬送が行われると共に、乾燥ボックス６０外に配設されたブロアファン９０が駆動し、生み出された吸引力が、第２の連通路７２、回収ボックス７３、第１の連通路７１、並びに、第一の排気口７０ａ及び第二の排気口７０ｂを通り乾燥ボックス６０の通気路６００に伝達される。そのため、同様の流路を通り乾燥ボックス６０内の空気が吸引される。そして、吸気口としても作用する投入口６０４から乾燥ボックス６０内に外気（空気）が吸気され、通気路６００を搬送方向（−Ｙ方向から＋Ｙ方向）に空気が流れる。その結果、搬送ベルト５１上のスラッジＰの水分が蒸発し、スラッジＰが乾燥する。
【００６３】
本実施形態においては、乾燥ボックス６０内の通気路６００を搬送方向に流れる気体は、乾燥ボックス６０の天板６０３の下面に配設された凸部６０３ａに衝突することで乱気流となる。即ち、不規則な気体の渦が搬送ベルト５１上で発生すると共に、搬送方向に気体が流れていく。その結果、搬送ベルト５１の上面の水分を含むスラッジＰの上面に乱気流が噴き付けられることで、水分を含んだスラッジＰの水分がより蒸発し、スラッジＰがより乾燥する。
【００６４】
本実施形態においては、図５に示すように、ブロアファン９０の風量は、例えば１０ｍ３／分に設定される。そして、乾燥ボックス６０内から吸気されブロアファン９０の吐出口９０ａから配管９３０に吐出された排気Ｇは、例えば、分割部９３で工場設備の排気装置側へと流される他方の流量（例えば、風量５ｍ３／分）の排気Ｇ２と、乾燥ボックス６０内に戻される一方の流量（例えば、風量５ｍ３／分）の排気Ｇ１との２つに分割される。なお、排気Ｇは、ブロアファン９０の図示しないモータが発生する熱を吸収するため、ブロアファン９０内で５度〜６度その温度が上昇する。したがって、一方の排気Ｇ１の温度も、乾燥ボックス６０に投入口６０４から吸気される外気よりも５度〜６度温度が高い。そして、一方の排気Ｇ１は導入管９４２及び戻し入口６０６を介して乾燥ボックス６０内に戻される。なお、一方の排気Ｇ１の流量と他方の排気Ｇ２の流量との比は上記のように１：１に限定されるものではない。
【００６５】
分割部９３で分割された一方の流量の排気Ｇ１を戻し入口６０６から乾燥ボックス６０内に戻し入れるとともに、ブロアファン９０による乾燥ボックス６０内からの吸気を続ける。そして、乾燥ボックス６０内の気圧は一定に保たれるため、分割部９３で分割された他方の流量の排気Ｇ２と同じ量（例えば、風量５ｍ３／分）の外気が投入口６０４から乾燥ボックス６０内に吸気される。そして、一方の流量の排気Ｇ１と投入口６０４から吸気された外気とが混合され、通気路６００を搬送方向（−Ｙ方向から＋Ｙ方向）に流れ、それによって搬送ベルト５１上のスラッジＰの水分が蒸発し、スラッジＰが乾燥する。このように、乾燥ボックス６０の外に配設されるブロアファン９０が作動することで乾燥ボックス６０内から回収手段７の第一の排気口７０ａ及び第二の排気口７０ｂを介して吸われた空気を乾燥ボックス６０の一方の端側（−Ｙ方向側）から乾燥ボックス６０の中に戻し入れて空気が循環せしめられる。
【００６６】
このように、水分を含んだスラッジＰから水分が除去されることで、搬送ベルト５１上の回収手段７に接近したスラッジＰはそのほとんどが乾燥した状態になっている。回収手段７は、該乾燥したスラッジＰを回収していく。
即ち、回転手段７８によってロールブラシ７７がＸ軸方向の軸心周りに所定の回転速度で回転する。
搬送ベルト５１上の乾燥したスラッジＰは、まず、回収手段７の第一の排気口７０ａから第１の連通路７１に向かって吸引される。ここで、第一の排気口７０ａからは、スラッジＰの中でもロールブラシ７７によって引っ掻かれなくとも搬送ベルト５１上から取り除くことができる比較的大きなサイズのスラッジＰが吸引される。
【００６７】
第一の排気口７０ａで吸引されなかった乾燥したスラッジＰは、さらに搬送ベルト５１によってロールブラシ７７側に向かって搬送される。そして、回転しつつ毛先が搬送ベルト５１に接触するロールブラシ７７によって、搬送ベルト５１上で引っ掻かれて空中に細かな粉状に巻き上げられることで、第二の排気口７０ｂ内に吸い込まれていく。
【００６８】
第一の排気口７０ａ又は第二の排気口７０ｂから吸引されたスラッジＰは、第１の連通路７１を通りスラッジ導入口７３２ａから回収ボックス７３内の回収袋７３５に溜められていく。そして、所定量の乾燥したスラッジＰが回収袋７３５に溜められると、例えば作業者がキャスター付き台車１９を乾燥ボックス６０の下方から引き出し、所定量の乾燥したスラッジＰが溜められた回収袋７３５を回収ボックス７３ごと乾燥ボックス６０の下方から移動させる。
例えば、キャスター付き台車１９の隣には、回収袋７３５が空の別途の回収ボックス７３が載置されている別のキャスター付き台車１９が待機しており、作業者によって新たな別のキャスター付き台車１９が乾燥ボックス６０の下方の所定の位置に移動されて、新たな回収ボックス７３のスラッジ導入口７３２ａと第１の連通路７１の下端側とを連通させる。その結果、スラッジ乾燥装置１をほとんど停止させることなく、乾燥したスラッジＰの継続した回収が可能となる。
【００６９】
本発明に係るスラッジ乾燥装置１は、廃液槽２と、廃液槽２からスラッジＰを取り出す取り出し手段３と、取り出されたスラッジＰを載せて回収手段７へと搬送する搬送ベルト５１と、搬送ベルト５１で搬送されるスラッジＰを乾燥させる乾燥手段６とを備え、乾燥手段６は、少なくとも搬送ベルト５１の上面を包囲して搬送ベルト５１の延在方向に延在する乾燥ボックス６０と、乾燥ボックス６０の一方の端側（−Ｙ方向側）に配設されスラッジＰを搬送ベルト５１に投下する投入口６０４と、乾燥ボックス６０の他方の端側（＋Ｙ方向）に配設され第一の排気口７０ａ及び第二の排気口７０ｂを有する回収手段７と、乾燥ボックス６０の外に配設されるブロアファン９０が作動することで乾燥ボックス６０内から第一の排気口７０ａ及び第二の排気口７０ｂを介して吸われた空気を乾燥ボックス６０の一方の端側（−Ｙ方向側）から乾燥ボックス６０の中に戻し入れて空気を循環させるための戻し入口６０６と、を備え、回収手段７は、第一の排気口７０ａ及び第二の排気口７０ｂに隣接させ搬送ベルト５１の延在方向に対し交差する方向に延在するロールブラシ７７と、搬送ベルト５１に毛先を接触させるロールブラシ７７を回転させる回転手段７８と、ロールブラシ７７で搬送ベルト５１から離反された乾燥したスラッジＰを回収する回収ボックス７３と、第一の排気口７０ａ及び第二の排気口７０ｂと回収ボックス７３とを連通する第１の連通路７１と、回収ボックス７３とブロアファン９０とを連通する第２の連通路７２とを備えることで、乾燥した細かいスラッジＰをロールブラシ７７で搬送ベルト５１から離反させつつブロアファン９０による吸引力で吸って回収しているので、乾燥ボックス６０内に乾燥したスラッジＰが長時間舞うことが無くなり、乾燥ボックス６０内を汚さないようにすることが可能となる。また、ヒータを用いないでスラッジＰを乾燥させるため、スラッジ乾燥装置１の消費電力を抑え、融点が低いスラッジＰをヒータの熱で搬送ベルト５１上で溶かすことなく乾燥でき、且つ、搬送ベルト５１の交換や乾燥ボックス６０内の清掃を行うときにヒータが冷却されるまでの作業者の待ち時間を発生させることがない。
【００７０】
本発明に係るスラッジ乾燥装置１は、乾燥ボックス６０の一方の端側（−Ｙ方向側）に外気を吸気する吸気口（投入口６０４）を備え、ブロアファン９０による第一の排気口７０ａ及び第二の排気口７０ｂを介した回収ボックス７３からの排気の流量を２つに分割する分割部９３を備えることで、例えば、分割部９３で分割した排気を乾燥ボックス６０に戻し入口６０６から戻すことで、搬送ベルト５１で搬送されているスラッジＰを効率よく乾燥させることができる。また、スラッジＰを乾燥させるときに、乾燥ボックス６０内には空気とスラッジＰとの接触により水素が発生するが、ヒータ乾燥の場合と異なり、発生した水素が乾燥ボックス６０内に溜まらないようになる、即ち、乾燥ボックス６０内の水素の濃度を抑えることができるため、水素爆発を防止することが可能である。また、例えば工場設備の排気装置側へ流す排気の量も分割部９３によって減らすことができるため、工場設備の排気装置の負担も低減される。
【００７１】
本発明に係るスラッジ乾燥装置１は本実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。また、添付図面に図示されているスラッジ乾燥装置１や研削装置４の各構成の形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。
【符号の説明】
【００７２】
Ｓ：被加工物  Ｐ：スラッジ（被加工物の粉）
４：研削装置  ４９：基台  ４９ａ：開口
４０：研削手段  ４００：回転軸  ４０４：研削ホイール  ４０４ｂ：砥石
４１：保持テーブル  ４１ａ：保持面  ４２：テーブル支持台
４８：ウォーターケース  ４８４：桶部  ４８６：排液口  ４８５ａ：給液管
１２：タンク  １２１：送出ポンプ
１：スラッジ乾燥装置
２：廃液槽
３：取り出し手段  ３０：陰極板  ３３ａ：筐体  ３３ｂ：排出部
３１：陽極板  ３１０：被係合部  ３１０ａ：被係合孔
３２：抜き差し手段  ３２０：保持部  ３４：Ｙ軸方向移動手段  
３６：剥ぎ取り手段  ３６０：一対の開閉シリンダ  ３６２：一対の剥ぎ取りプレート
５１：搬送ベルト  ５４０：モータ  ５５：厚み調整手段
６：乾燥手段
６０：乾燥ボックス  ６００：通気路  ６０１：底板  ６０３：天板  ６０３ａ：凸部  ６０４：投入口  ６０４ｂ：ガイド板  ６０６：投入口
６９：脚部
７：回収手段  ７０ａ：第一の排気口  ７０ｂ：第二の排気口
７１：第１の連通路  ７２：第２の連通路
７４０：外側壁  ７４１：内側壁
７３：回収ボックス  ７３２ａ：スラッジ導入口  ７３５：回収袋  ７３６：メッシュプレート
７７：ロールブラシ
７８：回転手段  ７８０：モータ
１９：キャスター付き台車
９０：ブロアファン  ９３：分割部  ９４１：排気管  ９４２：導入管
【図１】
2020131142.tif 000003
【図２】
2020131142.tif 000004
【図３】
2020131142.tif 000005
【図４】
2020131142.tif 000006
【図５】
2020131142.tif 000007