(57)【要約】【課題】欠陥判定用の１つ以上の閾値をより容易に決定できる環境を実現できる検査結果提示装置を提供する。【解決手段】検査結果提示装置は、被検査物の被検査面の画像データに基づき、前記被検査面の各位置における所定の特徴量を求め、求めた各位置における前記特徴量と１つ以上の閾値とを比較することで前記被検査面に存在する各欠陥の第１方向位置及び前記特徴量を特定し、特定した各欠陥の前記第１方向位置及び前記特徴量と前記１つ以上の閾値とを含む検査結果情報を生成する検査結果情報生成処理により生成された検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記１つ以上の閾値を示すグラフを生成してユーザに提示する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物の被検査面の画像データに基づき、前記被検査面の各位置における所定の特徴量を求め、求めた各位置における前記特徴量と１つ以上の閾値とを比較することで前記被検査面に存在する各欠陥の第１方向位置及び前記特徴量を特定し、特定した各欠陥の前記第１方向位置及び前記特徴量と前記１つ以上の閾値とを含む検査結果情報を生成する検査結果情報生成処理により生成された前記検査結果情報を取得する取得部と、
前記取得部により取得された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記１つ以上の閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成部と、
を備えることを特徴とする検査結果提示装置。
【請求項２】
前記グラフ生成部は、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係と、前記１つ以上の閾値と、前記被検査面の前記欠陥以外の領域である地合領域の前記特徴量の前記第１方向位置依存性とを示すグラフを生成してユーザに提示する、
ことを特徴とする請求項１に記載の検査結果提示装置。
【請求項３】
前記検査結果情報は、前記画像データを含み、
前記検査結果情報に含まれる前記画像データに基づき、前記ユーザにより前記グラフから選択された欠陥の拡大した画像をユーザに提示する拡大画像提示部をさらに備える、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の検査結果提示装置。
【請求項４】
前記グラフ生成部は、複数の前記検査結果情報のそれぞれについて前記グラフを生成し、生成した複数の前記グラフを同時にユーザに提示する機能を有する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の検査結果提示装置。
【請求項５】
前記取得部により取得された前記検査結果情報に基づき、前記被検査面に存在する欠陥の個数を前記特徴量別に示した頻度ヒストグラムを生成してユーザに提示するヒストグラム生成部を、さらに備える、
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の検査結果提示装置。
【請求項６】
前記被検査物がシート状の部材であり、
前記被検査物の前記被検査面の前記画像データが、カメラと前記被検査物とを前記第１方向に相対的に移動させることにより得られるデータである、
ことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の検査結果提示装置。
【請求項７】
被検査物の被検査面の画像データに基づき、前記被検査面の各位置における所定の特徴量を求め、求めた各位置における前記特徴量と１つ以上の閾値とを比較することで前記被検査面に存在する各欠陥の第１方向位置及び前記特徴量を特定し、特定した各欠陥の前記第１方向位置及び前記特徴量と前記１つ以上の閾値とを含む検査結果情報を生成する検査結果情報生成処理により生成された前記検査結果情報を取得する取得ステップと、
前記取得ステップにより取得された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成ステップと、
を含むことを特徴とする検査結果提示方法。
【請求項８】
コンピュータに、
被検査物の被検査面の画像データに基づき、前記被検査面の各位置における所定の特徴量を求め、求めた各位置における前記特徴量と１つ以上の閾値とを比較することで前記被検査面に存在する各欠陥の第１方向位置及び前記特徴量を特定し、特定した各欠陥の前記
第１方向位置及び前記特徴量と前記閾値とを含む検査結果情報を生成する検査結果情報生成処理により生成された前記検査結果情報を取得する取得ステップと、
前記取得ステップにより取得された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記１つ以上の閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成ステップと、
を実行させることを特徴とする検査結果提示プログラム。
【請求項９】
被検査物の被検査面の画像データに基づき、前記被検査面の各位置における所定の特徴量を求め、求めた各位置における前記特徴量と１つ以上の閾値とを比較することで前記被検査面に存在する各欠陥の第１方向位置及び前記特徴量を特定し、特定した各欠陥の前記第１方向位置及び前記特徴量と前記閾値とを含む検査結果情報を生成する検査結果情報生成部と、
前記検査結果情報生成部により生成された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成部と、
を備えることを特徴とする検査結果提示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物の外観検査結果をユーザに提示する検査結果提示装置、検査結果提示方法及び検査結果提示プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
製品が正常に製造されているか否か等を判定するために、製品表面のカメラによる撮影結果から製品表面の各所の特徴量（通常、輝度値）を求め、求めた特徴量と幾つかの閾値とを比較することで欠陥を検出する装置（以下、外観検査装置と表記する）が用いられている。
【０００３】
欠陥の上記検出手順から明らかなように、既存の外観検査装置では、閾値が適切な値となっていなかった場合、誤った検査結果が得られてしまうが、既存の外観検査装置は、欠陥の総数や欠陥のサイズ別の数を出力する機能しか有していない（例えば、特許文献１参照）。そのため、閾値が適切な値となっていなかった場合、既存の外観検査装置では、各欠陥の特徴量を順々にチェックしてチェック結果から適切な閾値を決定するといった煩雑な作業を行わなければならなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−９８１１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記現状に鑑みてなされたものであり、欠陥判定用の１つ以上の閾値をより容易に決定できる環境を実現できる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一観点に係る検査結果提示装置は、被検査物の被検査面の画像データに基づき、前記被検査面の各位置における所定の特徴量を求め、求めた各位置における前記特徴量と１つ以上の閾値とを比較することで前記被検査面に存在する各欠陥の第１方向位置及び前記特徴量を特定し、特定した各欠陥の前記第１方向位置及び前記特徴量と前記１つ以上の閾値とを含む検査結果情報を生成する検査結果情報生成処理により生成された前記検査結果情報を取得する取得部と、前記取得部により取得された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記１つ以上の閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成部とを備える。
【０００７】
すなわち、本発明の上記観点に係る検査結果提示装置は、その表示内容から、欠陥ごとに特徴量と閾値の関係性が分かるグラフをユーザに提示する構成を有する。従って、検査結果提示装置によれば、特徴量が閾値に近い各欠陥が実際に欠陥であるか否かを判定するだけで、適正値を調整することが可能となる。
【０００８】
グラフ生成部がユーザに提示するグラフは、各欠陥の第１方向位置と特徴量との関係、及び、１つ以上の閾値を示すものであれば良い。従って、グラフ生成部は、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係と、前記１つ以上の閾値と、前記被検査面の前記欠陥以外の領域である地合領域の前記特徴量の前記第１方向位置依存性とを示すグラフを生成してユーザに提示しても良い。
【０００９】
また、特徴量が閾値に近い各欠陥が実際に欠陥であるか否かの判定を容易に行えるようにするために、検査結果提示装置に、『前記検査結果情報は、前記画像データを含み、前記検査結果情報に含まれる前記画像データに基づき、前記ユーザにより前記グラフから選択された欠陥の拡大した画像をユーザに提示する拡大画像提示部をさらに備える』構成を採用しておいても良い。
【００１０】
また、グラフ生成部に、複数の前記検査結果情報のそれぞれについて前記グラフを生成し、生成した複数の前記グラフを同時にユーザに提示する機能を付与しておいても良く、検査結果提示装置に、『前記取得部により取得された前記検査結果情報に基づき、前記被検査面に存在する欠陥の個数を前記特徴量別に示した頻度ヒストグラムを生成してユーザに提示するヒストグラム生成部』を付加しておいても良い。
【００１１】
また、特徴量が閾値に近い各欠陥が実際に欠陥であるか否かの判定を容易に行えるようにするために、検査結果提示装置に、『前記検査結果情報は、前記画像データを含み、前記検査結果情報に含まれる前記画像データに基づき、前記ユーザにより前記グラフから選択された欠陥の拡大した画像をユーザに提示する拡大画像提示部をさらに備える』構成を採用しておいても良い。
【００１２】
検査結果提示装置は、『前記被検査物がシート状の部材であり、前記被検査物の前記被検査面の前記画像データが、カメラと前記被検査物とを前記第１方向に相対的に移動させることにより得られるデータである』装置であっても良い。
【００１３】
また、本発明の一観点に係る検査結果提示方法は、被検査物の被検査面の画像データに基づき、前記被検査面の各位置における所定の特徴量を求め、求めた各位置における前記特徴量と１つ以上の閾値とを比較することで前記被検査面に存在する各欠陥の第１方向位置及び前記特徴量を特定し、特定した各欠陥の前記第１方向位置及び前記特徴量と前記１つ以上の閾値とを含む検査結果情報を生成する検査結果情報生成処理により生成された前記検査結果情報を取得する取得ステップと、前記取得ステップにより取得された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成ステップと、を含む。
【００１４】
また、本発明の一観点に係る検査結果提示プログラムは、コンピュータに、被検査物の被検査面の画像データに基づき、前記被検査面の各位置における所定の特徴量を求め、求めた各位置における前記特徴量と１つ以上の閾値とを比較することで前記被検査面に存在する各欠陥の第１方向位置及び前記特徴量を特定し、特定した各欠陥の前記第１方向位置及び前記特徴量と前記閾値とを含む検査結果情報を生成する検査結果情報生成処理により生成された前記検査結果情報を取得する取得ステップと、前記取得ステップにより取得された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記１つ以上の閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成ステップと、を実行させる。
【００１５】
また、本発明の一観点に係る検査結果提示装置は、被検査物の被検査面の画像データに基づき、前記被検査面の各位置における所定の特徴量を求め、求めた各位置における前記特徴量と１つ以上の閾値とを比較することで前記被検査面に存在する各欠陥の第１方向位置及び前記特徴量を特定し、特定した各欠陥の前記第１方向位置及び前記特徴量と前記閾値とを含む検査結果情報を生成する検査結果情報生成部と、前記検査結果情報生成部により生成された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成部と、を備える。
【００１６】
これらの技術を用いても、欠陥判定用の１つ以上の閾値をより容易に決定できる環境を実現することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、欠陥判定用の１つ以上の閾値をより容易に決定できる環境を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る検査結果提示装置の概略構成及び使用形態の説明図である。
【図２】図２は、第１表示処理による検査結果の表示例の説明図である。
【図３】図３は、頻度ヒストグラム付き第１表示処理による検査結果の表示例の説明図である。
【図４】図４は、第２表示処理による検査結果の表示例の説明図である。
【図５】図５は、第２表示処理による検査結果の表示例の説明図である。
【図６】図６は、第２表示処理による検査結果の表示例の説明図である。
【図７】図７は、頻度ヒストグラム付き第２表示処理による検査結果の表示例の説明図である。
【図８】図８は、拡大表示処理により表示される拡大表示ウィンドウの説明図である。
【図９】図９は、欠陥種別ヒストグラム表示処理により表示される情報の説明図である。
【図１０】図１０は、カメラ別輝度グラフ表示処理により表示される情報の説明図である。
【図１１】図１１は、実施形態に係る検査結果提示装置の変形例の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図１に、本発明の一実施形態に係る検査結果提示装置１０の概略構成及び使用形態を示す。
【００２０】
本実施形態に係る検査結果提示装置１０は、１台以上（図１では、１台）の外観検査装置２０と接続されて使用される装置である。
【００２１】
《外観検査装置２０》
外観検査装置２０は、搬送ローラ３１等からなる搬送機構により搬送されるシート状の被検査物３０の外観検査を行う装置である。図示してあるように、外観検査装置２０は、被検査物３０の所定領域に光を照射するための光源２１と、当該光源２１から照射されて被検査物３０の被検査面（図１におけるカメラ２２側の面）で反射した光が入射されるよう配置されたカメラ２２と、信号処理装置２５とを備える。なお、本実施形態に係る外観検査装置２０のカメラ２２は、カラーラインセンサと光学系とを組み合わせたものである。
【００２２】
外観検査装置２０は、検査結果情報生成処理を行う検査結果情報生成部２６と、検査結果情報生成処理により生成される検査結果情報を、削除が指示されるまで記憶しておくための記憶部２７とを備えた装置である。通常、外観検査装置２０の検査結果情報生成部２６、記憶部２７は、それぞれ、プロセッサ（ＣＰＵ、マイクロコントローラ）を中心としたユニット（信号処理用のハードウェア）、ハードディスクドライブ等の不揮発性記憶装置で実現される。
【００２３】
外観検査装置２０の検査結果情報生成部２６が行う検査結果情報生成処理は、以下の処
理が組み合わせされた処理である。なお、以下の説明において、位置（"被検査面の各位
置"、"各領域の中心位置"等）とは、カメラ２２から入力される画像データの解像度単位
での位置のことである。また、検査結果情報生成処理の開始前に、検査結果情報生成部２６には、検査結果情報生成処理の処理対象となる被検査物３０の識別情報（製品名、ロット番号等）が入力される。
【００２４】
・カメラ２２から入力される、被検査物３０の被検査面の画像データに基づき、被検査面の各位置の輝度値を求める処理
・求めた各位置の輝度値に基づき、被検査物３０の被検査面から、輝度値が明側検出閾値（詳細は後述）以上となっている領域である明側欠陥を探索し、探索された明側欠陥毎に、その範囲、中心位置及び中心位置輝度値を含む明側欠陥情報を生成する明側欠陥情報生成処理
・求めた各位置の輝度値に基づき、被検査物３０の被検査面から、輝度値が暗側検出閾値（詳細は後述）以下となっている領域である暗側欠陥を探索し、探索された暗側欠陥毎に、その範囲、中心位置及び中心位置輝度値を含む暗側欠陥情報を生成する明側欠陥情報生成処理
・各欠陥情報生成処理にて生成された及び暗側及び明側欠陥情報と被検査物３０の被検査面の画像データとを含む検査結果情報を、検査結果情報の生成に用いた明側検出閾値及び明側検出閾値と外観検査装置２０の装置識別情報と被検査物３０の識別情報と被検査面の画像データの生成日時とを含む検査結果識別情報に対応づけた形で記憶部２７に記憶（保存）する処理
【００２５】
明側検出閾値、暗側検出閾値は、外観検査装置２０の実際の運用前に、被検査物３０の標準的な幾つかのサンプル（以下、閾値決定用サンプルと表記する）の外観を外観検査装置２０により検査することにより定められる値である。外観検査装置２０は、記憶部２７に、各閾値決定用サンプルに関する検査結果情報及び検査結果識別情報が記憶された状態で運用が開始される装置となっている。なお、閾値決定用サンプルに関する検査結果識別情報には、自情報が、閾値決定用サンプルに関するものであることを示す情報が含まれている。
【００２６】
また、外観検査装置２０は、被検査物３０の搬送方向と直交する直線状に配置された複数台のカメラ２２を接続することも可能な装置として構成されている。そのように配置された複数台のカメラ２２が接続されている場合、外観検査装置２０（検査結果情報生成部２６）は、各カメラ２２から出力された画像データが、検査結果情報中の画像データのどの部分のデータであるかを示す情報を含む検査結果識別情報を記憶部２７に記憶する。
【００２７】
《検査結果提示装置１０》
検査結果提示装置１０は、コンピュータ本体１０ａ、入力装置１０ｂ、ディスプレイ１０ｃを備えたコンピュータ（デスクトップＰＣ、ラップトップＰＣ等）に、当該コンピュータを、図１に示してあるような構成の装置、すなわち、取得部１１、地合輝度情報算出部１２、指示応答部１３及び記憶部１５を備えた装置として動作させるための検査結果提示プログラムをインストールした装置である。
【００２８】
取得部１１は、検査結果提示装置１０に接続されている各外観検査装置２０から、各検査結果情報と各検査結果情報に対応づけられている検査結果識別情報とを取得して記憶部１５に記憶するユニットである。
【００２９】
地合輝度情報算出部１２は、記憶部１５内の各検査結果情報に基づき、地合領域の輝度値の平均値と標準偏差σの搬送方向位置依存性を示す地合輝度情報を算出して、記憶部１５内の各検査結果情報に追加するユニットである。なお、地合領域とは、暗側欠陥でも明
側欠陥でもない被検査面の領域（換言すれば、正常な領域）のことである。
【００３０】
本実施形態に係る地合輝度情報算出部１２は、検査結果情報に含まれる、被検査物３０の搬送方向に垂直な方向の１ライン分の画像データから、暗側欠陥及び明側欠陥に関する各画素値を除去し、残りの画素値から輝度値の平均値と標準偏差σとを算出する処理を、輝度値の平均値等の算出対象となる部分が略等間隔となるように繰り返すことで、上記地合輝度情報を算出するユニットである。ただし、地合輝度情報は、地合領域の輝度値の搬送方向位置依存性を示す情報であれば良い。従って、地合輝度情報は、地合領域の輝度値の平均値の搬送方向位置依存性を示す情報であっても、地合領域の輝度値の標準偏差σの搬送方向位置依存性を示す情報であっても、地合領域の輝度値の代表値（例えば、ランダムに選択した輝度値や、輝度値の最頻値）の搬送方向位置依存性を示す情報であっても良い。
【００３１】
指示応答部１３は、入力装置１０ｂに対する操作を通じてユーザから各種の指示を受け付けて、受け付けた指示に応じた処理を行うユニットである。
【００３２】
指示応答部１３が実行可能な処理には、第１表示処理、頻度ヒスグラム付き第１表示処理、第２頻度ヒスグラム付き第２表示処理、拡大画像表示処理、閾値算出・設定処理、欠陥種別ヒストグラム表示処理、カメラ別輝度グラフ表示処理等がある。
【００３３】
第１表示処理は、ユーザにより、装置識別情報の指定を伴う第１表示処理の実行指示操作がなされたときに、指示応答部１３が実行する処理である。
【００３４】
第１表示処理を開始した指示応答部１３は、まず、ユーザにより指定された装置識別情報（以下、指定装置識別情報と表記する）を含む閾値決定用サンプルに関する検査結果識別情報と、指定装置識別情報を含む検査対象サンプルに関する最新の検査結果識別情報とを記憶部１５から検索する。なお、検査対象サンプルとは、閾値決定用サンプルではない被検査物３０のことである。
【００３５】
そして、指示応答部１３は、検索された各検査結果識別情報に対応づけられて記憶部１５に記憶されている各検査結果情報に基づき、図２に示したような画像情報をディスプレイ１０ｃに表示する。なお、この図２の左側、中央部、右側に示してあるグラフ（以下、輝度グラフと表記する）は、それぞれ、カットサンプルテスト（"サンプルテスト"）、ロールサンプルテスト（"ロールテスト"）、検査対象サンプル（"運用"）の検査結果情報に基づき表示されるグラフである。
【００３６】
すなわち、指示応答部１３は、検査対象サンプルの検査結果情報については、当該検査結果情報に含まれる明側欠陥情報、暗側欠陥情報、地合輝度情報に基づき、図２の右側に示してあるような、輝度値を縦軸とし、搬送方向位置（図では、時間・距離）を横軸としたグラフであって、各明側欠陥を示すポイント４１ｂと、各暗側欠陥を示すポイント４１ｄと、地合領域内の各部の輝度値の平均値を示すポイント４３と、ポイント４３を近似する近似曲線４４と、２本の３σ曲線４５と、明側検出閾値を示すライン５１ｂと、暗側検出閾値を示すライン５１ｂとが示された輝度グラフを、ディスプレイ１０ｃに表示する。
【００３７】
さらに、指示応答部１３は、各検査対象サンプルの検査結果情報についても、同様の輝度グラフをディスプレイ１０ｃに表示する。
【００３８】
頻度ヒスグラム付き第１表示処理は、第１表示処理と同じ輝度グラフがディスプレイ１０ｃに表示される処理である。ただし、頻度ヒスグラム付き第１表示処理では、図３に示してあるように、各検査結果情報の内容を表す頻度ヒストグラムもディスプレイ１０ｃに
表示される。なお、この際、表示される各頻度ヒストグラムにも、輝度グラフと同様に、明側検出閾値を示すライン５２ｂと暗側検出閾値を示すライン５２ｂとが示される。
【００３９】
第２表示処理は、ユーザにより、記憶部１５内の２つ以上の検査結果識別情報を指定を伴う第２表示処理の実行指示操作がなされたときに、指示応答部１３が実行する処理である。
【００４０】
ユーザにより２つの検査結果識別情報が指定された場合、第２表示処理では、一方の検査結果識別情報に対応づけられて記憶部１５に記憶されている検査結果情報の内容を示す輝度グラフと他方の検査結果識別情報に対応づけられて記憶部１５に記憶されている検査結果情報の内容を示す輝度グラフとがディスプレイ１０ｃに表示される。具体的には、例えば、ロットＡの検査結果識別情報とロットＢの検査結果識別情報とがユーザにより指定された場合、第２表示処理では、図４に示したように、ロットＡに関する輝度グラフとロットＢに関する輝度グラフとがディスプレイ１０ｃに表示される。また、製品Ａの検査結果識別情報と製品Ｂの検査結果識別情報とがユーザにより指定された場合、第２表示処理では、図５に示したように、製品Ａに関する輝度グラフと製品Ｂに関する輝度グラフとがディスプレイ１０ｃに表示される。
【００４１】
ユーザによりＮ（≧３）個の検査結果識別情報が指定された場合、第２表示処理では、図６に示したように、タブ操作によりＮ種の輝度グラフの中から表示する輝度グラフを選択可能な輝度グラフ用ＧＵＩウィジェット６１が２個ディスプレイ１０ｃに表示される。
【００４２】
頻度ヒスグラム付き第２表示処理は、頻度ヒスグラム付き第１表示処理（図３参照）と同様に、頻度ヒスグラムもディスプレイ１０ｃに表示されることになる処理である。なお、ユーザによりＮ（≧３）個の検査結果識別情報が指定された場合、頻度ヒスグラム付き第２表示処理では、図７に示してあるように、タブ操作によりＮ種の頻度ヒスグラムの中から表示する頻度ヒスグラムを選択可能な頻度ヒスグラム用ＧＵＩウィジェット６２が２個ディスプレイ１０ｃに表示される。
【００４３】
拡大画像表示処理は、表示中の輝度グラフ上の１つのポイント４１（４１ｂ又は４１ｄ）を選択する操作がなされたときに、指示応答部１３が実行する処理である。この拡大画像表示処理時、指示応答部１３は、或るポイント４１が選択された輝度グラフの元となった検査結果情報中の画像データから、当該ポイント４１を中心とした所定サイズの画像データを抽出する。そして、指示応答部１３は、図８に示したような拡大表示ウィンドウ、すなわち、抽出した画像データを拡大表示した画像５５と、地合領域の、選択されたポイント４１と搬送方向位置が一致している部分の頻度ヒストグラムとを含む拡大表示ウィンドウを輝度グラフ上に表示する。
【００４４】
そして、指示応答部１３は、拡大表示ウィンドウに対して所定の除外操作がなされた場合には、拡大表示を行ったポイント４１を、欠陥とすべきではないことを記憶してから、拡大表示ウィンドウをディスプレイ１０ｃ上から消去する。
【００４５】
閾値算出・設定処理は、所定の操作がなされたときに、指示応答部１３が開始する処理である。閾値算出・設定処理時、指示応答部１３は、まず、ユーザに提示する推奨閾値（暗側検出閾値及び明側検出閾値の奨値）を算出するための推奨閾値算出処理を行う。この推奨閾値算出処理としては、具体的な内容の異なる様々なものを採用することが出来る。例えば、推奨閾値算出処理は、欠陥とすべきではないことを記憶している各ポイント４１の部分も地合領域であると見なして、地合領域の輝度値の平均値及び標準偏差σを算出し、平均値±ｋ・σ（ｋは予め定められている定数）を推奨閾値として算出する処理であっても良い。また、推奨閾値算出処理は、欠陥とすべきではないことを記憶している各ポイ
ント４１が欠陥として特定されない暗側検出閾値及び明側検出閾値を推奨閾値として算出する処理であっても良い。
【００４６】
推奨閾値算出処理を終えた指示応答部１３は、表示中の輝度グラフ上に算出した各推奨閾値を表示する。そして、指示応答部１３は、ユーザにより各閾値の設定を指示する操作がなされた場合には、算出した各閾値を外観検査装置２０に設定してから、閾値算出・設定処理を終了する。
【００４７】
また、指示応答部１３は、ユーザにより各閾値のマニュアル設定を指示する操作がなされた場合には、暗側検出閾値及び明側検出閾値をユーザに入力させるためのダイアログボックスをディスプレイ１０ｃ上に表示する。そして、指示応答部１３は、ダイアログボックスに入力された暗側検出閾値及び明側検出閾値を外観検査装置２０に設定してから、閾値算出・設定処理を終了する。
【００４８】
以上、説明したように、検査結果提示装置１０の指示応答部１３は、輝度値が、各検出閾値（暗側検出閾値、明側検出閾値）に近い各欠陥が分かるグラフ（輝度グラフ、頻度グラフ）をユーザに提示する機能を有している。そのため、検査結果提示装置１０のユーザは、拡大表示処理等を利用することにより、輝度値が各検出閾値に近い欠陥が実際に欠陥であるか否かを判定するだけで、閾値が適正値であるか否かを判定することが出来る。そして、その結果として、検査結果提示装置１０によれば、各検出閾値の適正値への調整作業を容易なものとすることが出来る。
【００４９】
以下、指示応答部１３について幾つかの事項を補足する。
【００５０】
指示応答部１３は、上記した各種処理に加えて、欠陥種別ヒストグラム表示処理及びカメラ別輝度グラフ表示処理も実行可能なようにプログラミングされている。
【００５１】
欠陥種別ヒストグラム表示処理は、装置識別情報の指定を伴う欠陥種別ヒストグラム表示処理の実行指示操作がなされたときに、指示応答部１３が実行する、以下の内容の処理である。
【００５２】
欠陥種別ヒストグラム表示処理を開始した指示応答部１３は、まず、ユーザにより指定された装置識別情報を含む検査結果識別情報を記憶部１５から検索する。次いで、指示応答部１３は、検索された各検査結果識別情報に対応づけられて記憶部１５に記憶されている各検査結果情報に基づき、各検査対象（ロット）の暗側欠陥数及び暗側欠陥数を特定する。そして、指示応答部１３は、各欠陥数の特定結果に基づき、図９に示したような画像情報、すなわち、各検査対象の明側欠陥数を検査日時順に示したヒストグラム及び各検査対象の暗側欠陥数を検査日時順に示したヒストグラムを、ディスプレイ１０ｃに表示する。
【００５３】
なお、欠陥種別ヒストグラム表示処理によるヒストグラムの表示を高速に行えるようにするために、外観検査装置２０からの検査結果情報及び検査結果識別情報の取得時に、暗側欠陥数及び暗側欠陥数が算出されて、算出結果が検査結果識別情報に対応づけられて記憶部１５に記憶されるようにしておいても良い。
【００５４】
この欠陥種別ヒストグラム表示処理によりディスプレイ１０ｃに表示される情報を、被検査物３０の製造プロセスに関する情報（原料の追加・削減、装置の交換、機器のメンテナンス時期など）を参照して解析すれば、製造プロセスに潜在する問題を特定することが出来る。
【００５５】
カメラ別輝度グラフ表示処理は、複数台のカメラ２２が接続された外観検査装置２０の装置識別情報と、当該外観検査装置２０により検査された被検査物３０の識別情報の指定を伴うカメラ別輝度グラフ表示処理の実行指示操作がなされたときに、指示応答部１３が実行する処理である。
【００５６】
このカメラ別輝度グラフ表示処理時、指示応答部１３は、まず、ユーザにより指定された装置識別情報及び被検査物３０の識別情報を含む検査結果識別情報を記憶部１５から検索する。次いで、指示応答部１３は、検索した検査結果識別情報と、検査結果識別情報に対応づけられて記憶部１５に記憶されている検査結果識別情報とに基づき、カメラ２２毎の輝度グラフ（“カメラ１”からの画像データに基づく輝度グラフ、“カメラ２”からの画像データに基づく輝度グラフ等）を生成して、図１０に示したような形でディスプレイ１０ｃに表示する。このカメラ別輝度グラフ表示処理によれば、異常状態となっているカメラ２２を簡単に特定することが可能となる。
【００５７】
《変形例》
上記した実施形態に係る検査結果提示装置１０は、各種の変形を行えるものである。例えば、第１表示処理を、図１１に示したような画像情報を表示する処理に変形しても良い。すなわち、第１表示処理を、各検査対象サンプル（図では、ロットＡ、Ｂ、Ｃ）についての輝度グラフがタブ表示される処理に変形しても良い。各表示処理を、表示中の或る輝度グラフ（以下、注目輝度グラフと表記する）に対して所定の操作（例えば、輝度グラフを右クリックする操作）がなされたときに、被検査物３０の識別情報等を選択するためのリストボックスを表示し、注目輝度グラフを、当該リストボックスで選択された識別情報等で識別される被検査物３０の検査結果に関する輝度グラフに変更する処理に変形しても良い。
【００５８】
検査結果提示装置１０を、輝度グラフの表示に必要とされる情報（地合領域の各部の輝度値の平均値及び標準偏差σ）を予め算出しない装置に変形しても良い。すなわち、検査結果提示装置１０を、或る輝度グラフの表示が指示されたときに、当該輝度グラフの表示に必要とされる情報を算出し、算出した情報を利用して輝度グラフを表示する装置に変形しても良い。また、検査結果提示装置１０が表示する輝度グラフは、各欠陥の第１方向位置と輝度値との関係と、欠陥であるか否かの判定に使用された１つ以上の閾値とを示すものでありさえすれば良い。なお、第１方向位置とは、被検査物３０の被検査面に対して定められた直交座標系における一方の座標値のことである。従って、輝度グラフを、ポイント４３、近似曲線４４、３σ曲線４５のいずれか又は全てが示されないグラフとしておいても良い。
【００５９】
また、被検査物３０が、暗側又は明側欠陥が全く（又は殆ど）発生しないものである場合には、当然、輝度グラフを、暗側又は明側欠陥に関する情報が示されないものとすることが出来る。
【００６０】
検査結果提示装置１０を、輝度値以外の特徴量（色相、彩度、明度等）に基づき、欠陥被検査物３０の被検査面に存在する各欠陥を特定する外観検査装置２０が出力する検査結果情報を処理する装置に変形しても良い。また、検査結果提示装置１０を、Ｗｅｂブラウズ機能を有する機器（ＰＣ，スマートフォン等）から利用できる装置（つまり、各種グラフが表示されるＷｅｂウェブページを、Ｗｅｂブラウズ機能を有する機器に提供可能な装置）に変形しても良い。
【００６１】
検査結果提示装置１０を、外観検査装置２０としても動作可能な装置に変形しても良い。なお、検査結果提示装置１０を、外観検査装置２０としても動作可能な装置に変形する場合には、検査結果提示装置１０に、輝度グラフ等をリアルタイムで表示する機能（被検
査物３０のカメラ２２からの画像データを取り込みながら、輝度グラフ内にポイント４１ｂ、４１ｄ、４３を追加していく機能）を付与しておいても良い。また、上記技術を、シート状ではない被検査物３０の検査に利用しても良い。
【００６２】
《付記》
１．  被検査物（３０）の被検査面の画像データに基づき、前記被検査面の各位置における所定の特徴量を求め、求めた各位置における前記特徴量と１つ以上の閾値とを比較することで前記被検査面に存在する各欠陥の第１方向位置及び前記特徴量を特定し、特定した各欠陥の前記第１方向位置及び前記特徴量と前記１つ以上の閾値とを含む検査結果情報を生成する検査結果情報生成処理により生成された前記検査結果情報を取得する取得部（１１）と、
前記取得部（１１）により取得された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記１つ以上の閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成部（１２、１３）と、
を備えることを特徴とする検査結果提示装置（１０）。
【００６３】
２．  被検査物（３０）の被検査面の画像データに基づき、前記被検査面の各位置における所定の特徴量を求め、求めた各位置における前記特徴量と１つ以上の閾値とを比較することで前記被検査面に存在する各欠陥の第１方向位置及び前記特徴量を特定し、特定した各欠陥の前記第１方向位置及び前記特徴量と前記閾値とを含む検査結果情報を生成する検査結果情報生成部（１１、１２、２６）と、
前記検査結果情報生成部により生成された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成部（１３）と、
を備えることを特徴とする検査結果提示装置。
【符号の説明】
【００６４】
１０  検査結果提示装置
１０ａ  コンピュータ本体
１０ｂ  入力装置
１０ｃ  ディスプレイ
１１  取得部
１２  地合輝度情報算出部
１３  指示応答部
１５、２７  記憶部
２０  外観検査装置
２１  光源
２２  カメラ
２５  信号処理装置
２６  検査結果情報生成部
３０  被検査物
３１  搬送ローラ
４４  近似曲線
４５  ３σ曲線
６１  輝度グラフ用ＧＵＩウィジェット
６２  頻度ヒスグラム用ＧＵＩウィジェット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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