(57)【要約】【課題】搬送ロボットのハンドがアクセスして基板を受け取る受渡し位置に基板を搬送し、高精度に位置決めする。【解決手段】第１水平方向に延設される回転軸に複数のローラ部材が互いに第１水平方向に離間して設けられる搬送ローラが複数個、第１水平方向と直交する第２水平方向に互いに平行に配列されるローラコンベアと、搬送ローラ毎に回転軸の端部に連結されて搬送ローラを回転軸の軸心まわりに回転させる、複数の駆動モータと、複数の駆動モータを同期して制御することでローラコンベアにより受渡し位置に向かって搬送される基板の速度を一定速度まで同一減速度で減速させた後で複数の駆動モータを同時に停止させて基板を受渡し位置に位置決めする搬送制御部と、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送ロボットのハンドがアクセスして基板を受け取る受渡し位置に前記基板を搬送して位置決めする基板搬送装置であって、
第１水平方向に延設される回転軸に複数のローラ部材が互いに前記第１水平方向に離間して設けられる搬送ローラが複数個、前記第１水平方向と直交する第２水平方向に互いに平行に配列されるローラコンベアと、
前記搬送ローラ毎に前記回転軸の端部に連結されて前記搬送ローラを前記回転軸の軸心まわりに回転させる、複数の駆動モータと、
前記複数の駆動モータを同期して制御することで前記ローラコンベアにより前記受渡し位置に向かって搬送される前記基板の速度を一定速度まで同一減速度で減速させた後で前記複数の駆動モータを同時に停止させて前記基板を前記受渡し位置に位置決めする搬送制御部と、
を備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送装置であって、
前記基板が前記受渡し位置に位置したことを検出したときに停止信号を出力する停止センサを備え、
前記搬送制御部は前記停止センサから前記停止信号を受けると、前記複数の駆動モータを同時に停止させる基板搬送装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板搬送装置であって、
前記第２水平方向において前記受渡し位置の上流側に配設されて前記基板を検出したときに減速開始信号を出力する減速開始センサを備え、
前記減速開始センサの配設位置は前記第２水平方向に変更可能であり、
前記搬送制御部は前記減速開始センサから前記減速開始信号を受けると、前記基板の減速を開始する基板搬送装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載の基板搬送装置であって、
前記第２水平方向において前記受渡し位置の上流側に配設されて前記基板を検出したときに減速基準信号を出力する減速基準センサを備え、
前記搬送制御部は、前記減速基準センサと、前記基板の種類に対応する減速遅延時間だけ遅延して前記基板の減速を開始する基板搬送装置。
【請求項５】
請求項４に記載の基板搬送装置であって、
前記基板の種類と前記減速遅延時間とを関連付けた複数のレシピを記憶する記憶部を備え、
前記搬送制御部は、前記減速基準センサにより検出された前記基板の種類に対応する前記レシピを前記記憶部から読み出し、読み出された前記レシピに基づき前記減速遅延時間を決定する基板搬送装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載の基板搬送装置であって、
前記第２水平方向における前記複数の回転軸の間隔は前記ローラ部材のローラ径よりも狭く、
互いに隣接する２つの前記搬送ローラでは、一方の前記搬送ローラに設けられる複数のローラ部材に対し、他方の前記搬送ローラに設けられる複数のローラ部材が前記第１水平方向にずれて設けられる基板搬送装置。
【請求項７】
請求項６に記載の基板搬送装置であって、
前記複数のローラ部材は、前記受渡し位置で前記複数のローラ部材により支持される前記基板と前記複数の回転軸との間に進入してくる前記ハンドのフィンガーを避けた位置に設けられる基板搬送装置。
【請求項８】
第１水平方向に延設される回転軸に複数のローラ部材が互いに前記第１水平方向に離間して設けられる搬送ローラを複数個前記第１水平方向と直交する第２水平方向に互いに平行に配列した、ローラコンベアにより基板を受渡し位置に搬送し、搬送ロボットへの受渡しを可能に位置決めする基板搬送方法であって、
前記各回転軸の端部に連結される駆動モータを同期して駆動させて前記複数の搬送ローラにより前記基板を前記受渡し位置に向けて搬送した後で前記基板の速度を一定速度まで同一減速度で減速させる工程と、
前記基板が前記一定速度で搬送されているときに前記複数の駆動モータを同時に停止させて前記基板を前記受渡し位置に位置決めする工程と、
を備えることを特徴とする基板搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、搬送ロボットのハンドがアクセスして基板を受け取る受渡し位置に、ローラコンベアを用いて基板を搬送して位置決めする基板搬送技術に関するものである。なお、上記基板には、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等のＦＰＤ用ガラス基板、半導体ウェハ、フォトマスク用ガラス基板、カラーフィルター用基板、記録ディスク用基板、太陽電池用基板、電子ペーパー用基板等の精密電子装置用基板、半導体パッケージなどが含まれる。
【背景技術】
【０００２】
基板に対して所定の処理を施す基板処理装置の一例として、例えば特許文献１に記載された装置がある。この装置は、水平姿勢で搬送される基板の上面に塗布液を塗布するスリットコータであり、塗布処理を受けた基板を外部装置に払い出す。この払い出し作業は基板処理装置に設けられたローラコンベアと例えば特許文献２に記載された搬送ロボットにより行われる。つまり、ローラコンベアは上記基板を搬送ロボットとの基板の受渡し位置に搬送して位置決めする。その後で搬送ロボットのハンドが受渡し位置にアクセスして上記基板を受け取り、次の基板処理装置に搬送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１８−１８７５９７号公報
【特許文献２】特開２０１３−１０３３３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１では、ローラコンベアを構成する複数の搬送ローラを回転駆動する回転駆動機構について具体的に記載されていないが、単一の駆動モータと駆動伝達機構とを組み合わせてローラコンベアを回転駆動している。しかしながら、近年、基板の大型化に伴って、次のような問題が発生している。
【０００５】
基板が大型化した分だけローラコンベアを構成する搬送ローラの個数を増やすとともに駆動伝達機構の部品点数も増やす必要がある。また、大型化した基板を搬送するために搬送ロボットのハンドも大型化せざるを得ず、それに対応してローラ部材のローラ径を大きくして上記ハンドから延設されるフィンガーのローラコンベアへの進入空間を確保しなければならない。その結果、ローラコンベアの回転駆動時に発生する慣性力（イナーシャ）が累積的に増大し、受渡し位置への位置決め精度を向上させることが難しくなっている。また、駆動伝達機構では、駆動伝達のために複数のギアが多用されることが多く、ギア連結でのバックラッシュなどが発生することで上記位置決め精度を低下させている。
【０００６】
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、搬送ロボットのハンドがアクセスして基板を受け取る受渡し位置に基板を搬送し、高精度に位置決めすることができる基板搬送装置および基板搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の一態様は、搬送ロボットのハンドがアクセスして基板を受け取る受渡し位置に基板を搬送して位置決めする基板搬送装置であって、第１水平方向に延設される回転軸に複数のローラ部材が互いに第１水平方向に離間して設けられる搬送ローラが複数個、第１水平方向と直交する第２水平方向に互いに平行に配列されるローラコンベアと、搬送ローラ毎に回転軸の端部に連結されて搬送ローラを回転軸の軸心まわりに回転させる、複数の駆動モータと、複数の駆動モータを同期して制御することでローラコンベアにより受渡し位置に向かって搬送される基板の速度を一定速度まで同一減速度で減速させた後で複数の駆動モータを同時に停止させて基板を受渡し位置に位置決めする搬送制御部と、を備えることを特徴としている。
【０００８】
また、この発明の他の態様は、第１水平方向に延設される回転軸に複数のローラ部材が互いに第１水平方向に離間して設けられる搬送ローラを複数個第１水平方向と直交する第２水平方向に互いに平行に配列した、ローラコンベアにより基板を受渡し位置に搬送し、搬送ロボットへの受渡しを可能に位置決めする基板搬送方法であって、各回転軸の端部に連結される駆動モータを同期して駆動させて複数の搬送ローラにより基板を受渡し位置に向けて搬送した後で基板の速度を一定速度まで同一減速度で減速させる工程と、基板が一定速度で搬送されているときに複数の駆動モータを同時に停止させて基板を受渡し位置に位置決めする工程と、を備えることを特徴としている。
【０００９】
このように構成された発明では、ローラコンベアが複数の搬送ローラにより構成されるとともに、各搬送ローラの回転軸の端部に駆動モータが連結されている。そして、ローラコンベアにより搬送される基板を受渡し位置に位置させるために、複数の駆動モータを次のように同期して制御する。すなわち、ローラコンベアにより搬送される基板の速度、つまり搬送速度が一定速度まで同一減速度で減速された後で複数の駆動モータが同時に停止される。これによって、基板は受渡し位置に正確に位置決めされる。なお、「減速度」とは、単位時間当たりの基板の速度の減少率であり、負の加速度（単位時間当たりの基板の速度の変化率）を意味している。
【発明の効果】
【００１０】
上記したようにローラコンベアを構成する搬送ローラ毎に駆動モータを連結するとともにそれらの駆動モータを同期して回転駆動するため、各搬送ローラで生じる慣性力（イナーシャ）は小さい。また、各搬送ローラの回転軸に対して駆動モータを連結している。このため、搬送ローラよりも少ない個数分の駆動モータで複数の搬送ローラを駆動していた従来装置に比べ、動力伝達経路が短く、複数の搬送ローラを同期制御しているため、位置決め精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る基板搬送装置の第１実施形態を装備する基板処理装置を示す図である。
【図２】基板搬送装置を構成する出力コンベアの部分構成を示す部分斜視図である。
【図３】出力コンベアによる基板の搬送態様の一例を示す図である。
【図４】本発明に係る基板搬送装置の第２実施形態を装備する基板処理装置における出力コンベアによる基板の搬送態様の一例を示す図である。
【図５】本発明に係る基板搬送装置の第３実施形態を装備する基板処理装置における出力コンベアの部分構成を示す部分斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１は本発明に係る基板搬送装置の第１実施形態を装備する基板処理装置を示す図であり、図２は基板搬送装置を構成する出力コンベアの部分構成を示す部分斜視図である。基板処理装置１は、出力コンベアおよび出力コンベアを回転駆動する回転駆動機構の構成および動作を除き、特許文献１に記載の装置と同一構成を有している。つまり、基板処理装置１では、水平姿勢で浮上搬送される基板Ｂの上面Ｂｆに対してノズル（図示省略）から塗布液が供給され、これによって基板Ｂに対する塗布処理が行われる。また、塗布処理を受けた基板Ｂは出力移載部２により出力コンベア３に移載される。この出力移載部２はコロコンベア２１と、これを回転駆動する機能および昇降させる機能を有する回転・昇降駆動機構２２とを備えている。装置全体を制御する制御ユニット９からの指令に応じて回転・昇降駆動機構２２が作動することでコロコンベア２１が回転する。これによって基板ＢにＸ方向への推進力が付与され、基板Ｂは出力コンベア３に向けて搬送される。また、コロコンベア２１が昇降することで基板Ｂの鉛直方向位置が変更され、出力コンベア３への基板Ｂの移載を円滑に行うことができる。
【００１３】
出力コンベア３は後で詳述するように構成され、基板ＢをＸ方向に搬送して搬送ロボット２００との受渡し位置Ｐに位置決めする。
【００１４】
搬送ロボット２００は例えば特許文献２に記載のロボットと同様に上下２段に配置されたハンド２１０、２２０を有している。そして、ロボット制御部２３０によりロボット本体２４０に装備される昇降機構（図示省略）および回転機構（図示省略）が作動することでハンド２１０、２２０の一方が受渡し位置Ｐにアクセスして基板Ｂを受け取り、別の基板処理装置に送り込む。なお、図１では、いわゆるダブルハンド型の搬送ロボット２００により基板Ｂが基板処理装置１から搬出されるが、シングルハンド型の搬送ロボットを用いてもよい。
【００１５】
次に、本発明に係る基板搬送装置の構成要素である出力コンベア３および回転駆動機構４の構成について説明する。出力コンベア３は、複数（本実施形態では９本）の搬送ローラ３１を互いにＸ方向に離間した状態で互いに平行に並設したものである。各搬送ローラ３１は、Ｘ方向と直交するＹ方向に延設される回転軸３１１と、回転軸３１１に対して互いにＹ方向に離間して設けられる複数のローラ部材３１２とを有している。各回転軸３１１はＹ方向に延びる軸心ＡＸ（図２）まわりに回転自在な状態でＸ方向に一定ピッチＰｘで軸支されている。本実施形態では、薄型でしかも大型の基板Ｂを下方から支持しながら安定的にローラ搬送し、また上記搬送ロボット２００への基板Ｂの受渡しにおけるハンド２１０、２２０との干渉を回避するために、比較的大きな外径を有するローラ部材３１２を用いるとともに搬送ローラ３１の回転軸３１１のピッチＰｘをローラ部材３１２の外径、つまりローラ径よりも短く設定している。
【００１６】
このような設定を可能とするために、図２に示すように、互いに隣接する２つの搬送ローラ３１において一方の搬送ローラ３１に設けられる複数のローラ部材３１２に対し、他方の搬送ローラ３１に設けられる複数のローラ部材３１２がＹ方向にずれて設けられている。このため、大型の基板Ｂの下面Ｂｂの数多くの箇所を下方から支持しながら搬送することができ、大型の基板Ｂを安定して搬送することが可能となっている。ただし、出力コンベア３では、受渡し位置Ｐで基板Ｂを搬送ロボット２００のハンド２１０（またはハンド２２０）に受け渡す必要があり、ローラ部材３１２がハンド２１０のフィンガー２１１（またはハンド２２０のフィンガー２２１）と干渉するのを防止する必要がある。
【００１７】
そこで、本実施形態では、図２に示すように、隣接する２つの搬送ローラ３１においてＹ方向でのローラ部材３１２のずれ量ΔＹがローラ部材３１２のピッチＰｙの半分（より好ましくは１／４）よりも小さい値に設定されている。このため、フィンガー２１１（またはフィンガー２２１）を挿入するための空間ＳＰが十分に広く形成され、基板Ｂの受渡しを円滑に行うことが可能となっている。換言すると、ローラ部材３１２は、受渡し位置Ｐで複数のローラ部材３１２により支持される基板Ｂと複数の回転軸３１１との間に進入してくるハンド２１０（またはハンド２２０）のフィンガー２１１（またはフィンガー２２１）を避けた位置に設けられている。また、このような空間ＳＰが設けられたことで基板Ｂの減速開始位置Ｐdsを検出する減速開始センサＳ１および基板Ｂを受渡し位置Ｐに停止させるための停止センサＳ２の配設作業が容易となる。
【００１８】
これらのセンサのうち停止センサＳ２は、基板Ｂが受渡し位置Ｐに位置すると停止信号を制御ユニット９に出力する。このため、停止センサＳ２の配設位置は受渡し位置Ｐに対応して一義的に決まっている。一方、減速開始センサＳ１はＸ方向において停止センサＳ２の上流側に配設され、基板Ｂが減速開始位置Ｐdsに位置すると減速開始信号を制御ユニット９に出力する。このため、減速開始センサＳ１の配設位置は基板Ｂのサイズ、特にＸ方向サイズの影響を強く受ける。そこで、本実施形態では、Ｘ方向において互いに異なる位置に減速開始センサＳ１を移動可能に構成されており、基板Ｂの種類に応じた位置に減速開始センサＳ１が配設される。なお、減速開始センサＳ１および停止センサＳ２としては反射タイプや静電容量タイプなどのセンサを好適に用いることができる。
【００１９】
このように構成された出力コンベア３を回転駆動するための回転駆動機構４は複数（本実施形態では９個）のブレーキ付のモータ４１を有している。つまり、各回転軸３１１の（＋Ｙ）側端部に対し、カップリング４２を介してモータ４１の回転軸が連結されている。また、各モータ４１にモータドライバ４３が電気的に接続されており、制御ユニット９からの与えられるプリセットデータ９２１に基づいてモータ４１を加減速駆動する。さらに、後で説明するように停止センサからの停止信号に基づいてモータ４１への給電が遮断するとともにブレーキの作動によりモータ４１の回転軸の回転を瞬時に停止可能となっている。なお、給電遮断のみにより基板Ｂを瞬時停止させることができる場合には、ブレーキ無のモータを用いてもよい。
【００２０】
制御ユニット９は、基板処理装置１の装置各部を制御するために、演算処理部９１および記憶部９２などを有している。特に、本実施形態では、記憶部９２にはモータ４１の加減速パターンを規定するプリセットデータ９２１が予め複数個記憶されている。そして、演算処理部９１はＣＰＵ（Central Processing Unit）等のような演算機能を有するものであり、記憶部９２に記憶されているプリセットデータ９２１のうち基板Ｂの種類に適合するプリセットデータ９２１を同時に全モータドライバ４３に与えて全モータ４１を同期制御する。これにより全搬送ローラ３１が同一の加減速パターンで回転して基板Ｂを搬送して受渡し位置Ｐに位置決めする。このように演算処理部９１は搬送制御部９１１として機能する。
【００２１】
図３は出力コンベアによる基板の搬送態様の一例を示す図である。同図における横軸は時刻であり、縦軸は各モータ４１の回転速度（単位時間当たりの回転数）である。出力移載部２のコロコンベア２１により基板Ｂが所定の搬送速度Ｖ１１で出力コンベア３に移載されてくる前のタイミングＴ０で搬送制御部９１１は全モータ４１の加速駆動を開始してコロコンベア２１から基板Ｂが移載される時点で全モータ４１は回転速度Ｖ１で定常回転し、コロコンベア２１からの基板Ｂの搬送速度Ｖ１１と同じ速度で基板Ｂを搬送可能となっている。このため、コロコンベア２１から出力コンベア３への基板Ｂの移載を安定して行うことができる。
【００２２】
コロコンベア２１から移載されてきた基板Ｂは出力コンベア３により一定の搬送速度Ｖ１１でＸ方向に搬送される。そして、図３中の右上図面に示すように、基板Ｂの（＋Ｘ）方向側の端部が減速開始位置Ｐdsに到達すると、減速開始センサＳ１から減速開始信号が制御ユニット９に送信される。この減速開始信号を受けたタイミングＴ１で搬送制御部９１１は全モータ４１の減速を開始する。この実施形態では、次式で示される減速度α（つまり負の加速度）、
減速度α＝（Ｖ２−Ｖ１）／（Ｔ２−Ｔ１）
で全モータ４１の回転速度が時間（Ｔ２−Ｔ１）をかけて瞬時停止可能な速度Ｖ２まで減速される。その後で、図３中の右中図面に示すように、搬送制御部９１１は全モータ４１を一定の回転速度Ｖ２で定常回転させ、基板Ｂを瞬時停止可能な搬送速度Ｖ２１で基板Ｂを搬送する。そして、基板Ｂの（＋Ｘ）方向側の端部が受渡し位置Ｐに到達すると、停止センサＳ２から停止信号が制御ユニット９に送信される。この停止信号を受けたタイミングＴ３で搬送制御部９１１は全モータ４１を瞬時停止させる（図３中の右下図面参照）。これによって、基板Ｂは受渡し位置Ｐに高精度に位置決めされる。
【００２３】
以上のように、本実施形態によれば、出力コンベア３を構成する複数の搬送ローラ３１の各々にモータ４１が連結され、それらを同期して制御することで、基板Ｂの搬送速度が一定速度Ｖ２１まで同一減速度で減速された後でモータ４１を同時に停止して基板Ｂを受渡し位置Ｐに位置決めしている。したがって、各搬送ローラ３１で生じる慣性力は小さく、しかも従来装置に比べて動力伝達経路が短いため、位置決め精度を向上させることができる。
【００２４】
上記した実施形態では、Ｙ方向およびＸ方向がそれぞれ本発明の「第１水平方向」および「第２水平方向」に相当している。また、出力コンベア３およびモータ４１がそれぞれ本発明の「ローラコンベア」および「駆動モータ」の一例に相当している。そして、出力コンベア３およびモータ４１ならびにモータ４１を駆動制御する搬送制御部９１１により本発明に係る基板搬送装置が構成されている。
【００２５】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば上記実施形態では、減速開始センサＳ１から減速開始信号をトリガーとして基板Ｂの減速を開始している。このため、基板Ｂの種類の変更に応じてオペレータが手動で減速開始センサＳ１の配設位置をＸ方向に変更する必要がある。この手動操作に代えて、例えばＸ方向において停止センサＳ２の上流側に減速基準センサＳ０を配設し、図４に示すように当該減速基準センサＳ０から減速基準信号が出力された時点（タイミングＴ０）から時間ΔＴだけ遅延して減速を開始するように構成してもよい。この場合、基板Ｂの種類の変更に応じた減速遅延時間ΔＴを予め基板Ｂの種類と減速遅延時間ΔＴとを関連付けたレシピを記憶部９２に記憶しておき、基板Ｂの種類の変更に伴いレシピを選択することで減速遅延時間ΔＴを最適化してもよい。これによって、いずれの種類の基板Ｂについても、常に適切なタイミングＴ１で基板Ｂの減速を開始して基板Ｂを受渡し位置Ｐに高精度に位置決めすることができる。また、基板Ｂの種類変更に伴うセンサ配設位置の調整が不要となり、作業性を高めることができる。
【００２６】
また、減速遅延時間ΔＴとともに、あるいは減速遅延時間ΔＴを変更させることなく、速度パターンを変更してよい。例えば図４中の領域Ｒに示すように減速開始時における減速度を徐々に増大させて所望の減速度αになった後で当該減速度αを維持するという速度パターンに変更してよい。もちろん、減速開始時とともに、あるいは減速開始時を除き、上記減速度が変化するような速度パターンに変更してよい。
【００２７】
また、図５に示すように、搬送ローラ３１毎に回転検知機構５を設けてもよい。回転検知機構５は、回転方向における位置検知用の突起部５１１を有するセンサ用ドグ５１と、突起部５１１を検知するフォト・マイクロセンサ５２で構成されている。センサ用ドグ５１は回転軸３１１の（−Ｙ）方向側の端部に取り付けられ、回転軸３１１の回転とともに軸心ＡＸまわりに回転する。各回転検知機構５では、フォト・マイクロセンサ５２が突起部５１１を検知する毎に、搬送ローラ３１の回転位置を示す回転位置信号が制御ユニット９に出力される。したがって、各回転検知機構５から出力される回転位置信号を参照することで搬送ローラ３１の同期状況を高精度に取得することができ、同期制御の精度を高めることができる。
【００２８】
また、上記実施形態では、搬送ローラ３１の同期制御を同一のプリセットデータ９２１を全モータドライバ４３に与えることで実行しているが、これ以外の方法により同期制御を行ってもよい。例えば制御ユニット９からの速度制御用信号により回転速度を可変できるモータ４１およびモータドライバ４３を用いた場合、次のようなモータ制御を行ってもよい。例えば、互いに異なる加減速パターンを有するテーブルを記憶部９２に記憶させておき、基板Ｂの種類などに対応する加減速パターンを選択し、当該加減速パターンに対応するパルス信号を速度制御用信号として全モータドライバ４３に同時に与えて全モータ４１を同期して制御してもよい。なお、上記パルス信号に替えて電流信号、電圧信号、周波数信号などの電気信号を速度制御用信号として用いてもよい。
【００２９】
さらに、上記実施形態では、基板処理装置１のうち出力コンベア３に対してのみ本発明を適用しているが、出力移載部２についても本発明を適用してもよい。これにより出力移載部２から出力コンベア３に移載される間においても基板Ｂを安定して搬送することができ、受渡し位置Ｐへの位置決め精度をさらに高めることができる。また、本発明の適用対象は、基板処理装置１の出力コンベア３に限定されるものではなく、ローラコンベアにより基板を搬送ロボットとの受渡し位置に搬送する基板搬送技術全般に適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
この発明は、搬送ロボットのハンドがアクセスして基板を受け取る受渡し位置に、ローラコンベアを用いて基板を搬送して位置決めする基板搬送技術全般に適用することができる。
【符号の説明】
【００３１】
１…基板処理装置
２…出力移載部
３…出力コンベア（ローラコンベア）
４…回転駆動機構
４１…（駆動）モータ
３１…搬送ローラ
９２…記憶部
２００…搬送ロボット
２１０，２２０…ハンド
２１１、２２１…（ハンドの）フィンガー
３１１…回転軸
３１２…ローラ部材
９１１…搬送制御部
９２１…プリセットデータ
ＡＸ…（回転軸の）軸心
Ｂ…基板
Ｂｂ…（基板の）下面
Ｂｆ…（基板の）上面
Ｐ…受渡し位置
Ｐｘ…ピッチ（Ｘ方向における回転軸の間隔）
Ｐｄｓ…減速開始位置
Ｓ０…減速基準センサ
Ｓ１…減速開始センサ
Ｓ２…停止センサ
ＳＰ…空間
Ｔ０…（減速基準センサから減速基準信号を受け取る）タイミング
Ｔ１…（減速開始センサから減速開始信号を受け取る）タイミング
Ｔ３…（停止センサから停止信号を受け取る）タイミング
Ｘ…第２水平方向
Ｙ…第１水平方向
α…減速度
ΔＴ…減速遅延時間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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