(57)【要約】【課題】不要シートの剥離不良を極力防止することができる不要シート除去装置および不要シート除去方法を提供する。【解決手段】不要シート除去装置ＥＡは、複数の接着シートＡＳと不要シートＵＳとが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１０と、剥離シートＲＬから不要シートＵＳを剥離する剥離手段２０とを備え、剥離手段２０は、不要シートＵＳをその外周面２１Ａで吸引可能な第１吸引ローラ２１と、当該第１吸引ローラ２１を回転させる第１回転力付与手段２２とを備え、第１吸引ローラ２１の外周面２１Ａで不要シートＵＳを吸引しつつ、当該外周面２１Ａを原反ＲＳの繰出速度と同じ速度で回転させ、不要シートＵＳを剥離シートＲＬから剥離する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の接着シートと帯状の不要シートとが帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記剥離シートから前記不要シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記剥離手段は、前記不要シートをその外周面で吸引可能な第１吸引ローラと、当該第１吸引ローラを回転させる第１回転力付与手段とを備え、前記第１吸引ローラの外周面で前記不要シートを吸引しつつ、当該外周面を前記原反の繰出速度と同じ速度で回転させ、前記不要シートを前記剥離シートから剥離することを特徴とする不要シート除去装置。
【請求項２】
前記繰出手段は、前記不要シートが剥離された前記原反をその外周面で吸引可能な第２吸引ローラと、当該第２吸引ローラを回転させる第２回転力付与手段と、前記第２吸引ローラと前記第１吸引ローラとを相互に付勢する付勢手段とを備え、前記第２吸引ローラの外周面で前記原反を吸引しつつ、当該外周面を当該原反の繰出速度と同じ速度で回転させることを特徴とする請求項１に記載の不要シート除去装置。
【請求項３】
複数の接着シートと帯状の不要シートとが帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記剥離シートから前記不要シートを剥離する剥離工程とを実施し、
前記剥離工程では、第１吸引ローラの外周面で前記不要シートを吸引しつつ、当該外周面を前記原反の繰出速度と同じ速度で回転させ、前記不要シートを前記剥離シートから剥離することを特徴とする不要シート除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、不要シート除去装置および不要シート除去方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の接着シートと帯状の不要シートとが帯状の剥離シートに仮着された原反から、当該不要シートを剥離する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−５５６６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された連続ラベル製造装置１１（不要シート除去装置）では、ラベルカス２１Ａ（不要シート）は、当該不要シートの長手方向に張力が付与されて剥離紙２３（剥離シート）から剥離されるため、剥離シートから剥離された不要シートが切断され、不要シートの剥離不良が生じるという不都合がある。このような不都合は、不要シートが軟弱または脆弱であったり、幅が細かったりした場合等において顕著化する。
【０００５】
本発明の目的は、不要シートの剥離不良を極力防止することができる不要シート除去装置および不要シート除去方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、第１吸引ローラの外周面で不要シートを吸引しつつ、当該外周面を原反の繰出速度と同じ速度で回転させ、不要シートを剥離シートから剥離するので、不要シートは、当該不要シートの長手方向に交差する方向に張力が付与されて剥離シートから剥離されることとなる。従って、剥離シートから剥離した不要シートが当該不要シートの長手方向に張力が付与されることが極力抑制され、不要シートの剥離不良を極力防止することができる。
また、第２吸引ローラを設ければ、原反を所定の方向に誘導し易くなる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態に係る不要シート除去装置の説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
図１において、不要シート除去装置ＥＡは、複数の接着シートＡＳと帯状の不要シートＵＳとが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１０と、剥離シートＲＬから不要シートＵＳを剥離する剥離手段２０とを備え、被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段３０と、ウエハＷＦを支持する支持手段４０とでシート貼付装置ＥＡ１を形成している。
【００１１】
繰出手段１０は、剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材ＢＳが仮着され、当該接着シート基材ＢＳ上にカバーシートＣＳが仮着された接着シート積層体ＲＳ１を支持する支持ローラ１１と、接着シート積層体ＲＳ１等を案内する第１、第２ガイドローラ１２Ａ、１２Ｂと、第２ガイドローラ１２Ｂに掛け回されて接着シート基材ＢＳから剥離されたカバーシートＣＳに、常に所定の張力を付与して当該カバーシートＣＳを巻回して回収するカバーシート回収ローラ１３と、接着シート基材ＢＳに閉ループ状の切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に位置する接着シートＡＳと、当該切込ＣＵの外側に位置する不要シートＵＳとを形成する切断手段１４と、不要シートＵＳが剥離された原反ＲＳをその外周面１５Ａで吸引可能な第２吸引ローラ１５と、出力軸１６Ａで第２吸引ローラ１５を支持し、当該第２吸引ローラ１５を回転させる第２回転力付与手段であって駆動機器としての回動モータ１６と、第２吸引ローラ１５と第１吸引ローラ２１とを相互に付勢する図示しない付勢手段と、不要シートＵＳが剥離された原反ＲＳに繰出力を付与する繰出力付与手段１７とを備え、原反ＲＳを繰り出す構成となっている。なお、第２吸引ローラ１５の外周面１５Ａは、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって、吸着保持が可能となっている。
切断手段１４は、駆動機器としての回動モータ１４Ａの出力軸１４Ｂに支持され、円周面に閉ループ状の切断部材としての切断刃１４Ｃが設けられたダイカットローラ１４Ｄと、ダイカットローラ１４Ｄと同期回転するアンビルローラ１４Ｅとを備えている。
繰出力付与手段１７は、駆動機器としてのリニアモータ１７Ａのスライダ１７Ｂに支持された支持プレート１７Ｃと、支持プレート１７Ｃに支持された駆動機器としての回動モータ１７Ｄと、回動モータ１７Ｄの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１７Ｅとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１７Ｆと、ピンチローラ１７Ｅとの間に存在する剥離シートＲＬに、常に所定の張力を付与して当該剥離シートＲＬを巻回して回収する剥離シート回収ローラ１７Ｇとを備えている。
【００１２】
剥離手段２０は、不要シートＵＳをその外周面２１Ａで吸引可能な第１吸引ローラ２１と、出力軸２２Ａで第１吸引ローラ２１を支持し、当該第１吸引ローラ２１を回転させる第１回転力付与手段であって駆動機器としての回動モータ２２と、不要シートＵＳを案内する案内ローラ２３と、第１吸引ローラ２１との間に存在する不要シートＵＳに、常に所定の張力を付与して当該不要シートＵＳを巻回して回収する不要シート回収ローラ２４とを備えている。なお、第１吸引ローラ２１の外周面２１Ａは、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって、吸着保持が可能となっている。
【００１３】
押圧手段３０は、全部が繰出手段１０と共用されており、リニアモータ１７Ａ、スライダ１７Ｂ、支持プレート１７Ｃ、回動モータ１７Ｄ、ピンチローラ１７Ｅ、駆動ローラ１７Ｆおよび剥離シート回収ローラ１７Ｇを備えている。
【００１４】
支持手段４０は、駆動機器としての直動モータ４１と、直動モータ４１の出力軸４１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって、吸着保持が可能な保持面４２Ａを有するテーブル４２とを備えている。
【００１５】
以上の不要シート除去装置ＥＡを備えたシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が接着シート積層体ＲＳ１を同図に示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段１０および剥離手段２０が回動モータ１４Ａ、１６、１７Ｄ、２２および図示しない減圧手段を駆動し、接着シート積層体ＲＳ１を繰り出しつつ、ダイカットローラ１４Ｄを回転させて接着シート基材ＢＳに閉ループ状の切込ＣＵを形成することにより、剥離シートＲＬに接着シートＡＳと不要シートＵＳとが仮着された原反ＲＳを形成し、当該原反ＲＳを繰り出す。
【００１６】
次いで、図１に示すように、剥離シートＲＬに仮着された先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が第２吸引ローラ１５の下方所定位置に到達したことを、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等からなる図示しないシート先端検知機器が検知すると、繰出手段１０および剥離手段２０が回動モータ１４Ａ、１６、１７Ｄ、２２の駆動を停止する。
ここで、上記のようにして原反ＲＳが繰り出されると、繰出手段１０は、第２吸引ローラ１５の外周面１５Ａで原反ＲＳを吸引しつつ、当該外周面１５Ａを当該原反ＲＳの繰出速度と同じ速度で回転させ、原反ＲＳを繰出力付与手段１７方向に誘導する。一方、剥離手段２０は、第１吸引ローラ２１の外周面２１Ａで不要シートＵＳを吸引しつつ、当該外周面２１Ａを原反ＲＳの繰出速度と同じ速度で回転させ、不要シートＵＳを剥離シートＲＬから剥離し、剥離した不要シートＵＳを不要シート回収ローラ２４方向に誘導する。これにより、原反ＲＳは、当該原反ＲＳの長手方向に交差する方向Ｄ２に張力が付与され、不要シートＵＳは、当該不要シートＵＳの長手方向に交差する方向Ｄ１に張力が付与されて、不要シートＵＳが剥離シートＲＬから剥離される。そして、不要シート回収ローラ２４方向に誘導された不要シートＵＳは、不要シート回収ローラ２４に巻回されて回収される。
なお、カバーシートＣＳは、第２ガイドローラ１２Ｂで接着シート基材ＢＳから剥離され、カバーシート回収ローラ１３に巻回されて回収される。
【００１７】
その後、使用者または、ベルトコンベアや多関節ロボット等の図示しない搬送手段が、図１に示すように、保持面４２Ａ上にウエハＷＦを載置すると、支持手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面４２ＡでのウエハＷＦの吸着保持を開始する。次に、繰出手段１０が回動モータ１７Ｄの駆動をロックした状態でリニアモータ１７Ａを駆動し、図１中二点鎖線で示すように、支持プレート１７Ｃを右方へ移動させて原反ＲＳを繰り出す。この際も、繰出手段１０および剥離手段２０が回動モータ１４Ａ、１６、２２を駆動し、カバーシート回収ローラ１３でカバーシートＣＳを回収し、接着シート基材ＢＳに切込ＣＵを形成して原反ＲＳを形成するとともに、第２吸引ローラ１５の外周面１５Ａで原反ＲＳを吸引しつつ、当該原反ＲＳを繰出力付与手段１７方向に誘導し、第１吸引ローラ２１の外周面２１Ａで不要シートＵＳを吸引しつつ、当該不要シートＵＳを不要シート回収ローラ２４方向に誘導する。そして、先頭の接着シートＡＳに次ぐ次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が第２吸引ローラ１５の下方所定位置に到達したことを、図示しないシート先端検知機器が検知すると、繰出手段１０および剥離手段２０がリニアモータ１７Ａ、回動モータ１４Ａ、１６、２２の駆動を停止する。
【００１８】
次いで、支持手段４０が直動モータ４１を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、テーブル４２を上昇させた後、押圧手段３０がリニアモータ１７Ａおよび回動モータ１７Ｄを駆動し、駆動ローラ１７Ｆを転動させて原反ＲＳをウエハＷＦに押圧しながら支持プレート１７Ｃを左方に移動させる。これにより、ウエハＷＦの上面に接着シートＡＳが貼付されるとともに、当該接着シートＡＳから剥離シートＲＬが剥離され、剥離された剥離シートＲＬが剥離シート回収ローラ１７Ｇに回収される。その後、接着シートＡＳから剥離シートＲＬが完全に剥離され、支持プレート１７Ｃが初期位置に復帰すると、押圧手段３０がリニアモータ１７Ａおよび回動モータ１７Ｄの駆動を停止する。
【００１９】
次に、支持手段４０が直動モータ４１を駆動し、テーブル４２を初期位置に復帰させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面４２ＡでのウエハＷＦの吸着保持を解除する。そして、使用者または図示しない搬送手段が、保持面４２Ａ上のウエハＷＦを次の工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２０】
以上のような実施形態によれば、第１吸引ローラ２１の外周面２１Ａで不要シートＵＳを吸引しつつ、当該外周面２１Ａを原反ＲＳの繰出速度と同じ速度で回転させ、不要シートＵＳを剥離シートＲＬから剥離するので、不要シートＵＳは、当該不要シートＵＳの長手方向に交差する方向Ｄ１に張力が付与されて剥離シートＲＬから剥離されることとなる。従って、剥離シートＲＬから剥離した不要シートＵＳが当該不要シートＵＳの長手方向に張力が付与されることが極力抑制され、不要シートＵＳの剥離不良を極力防止することができる。
【００２１】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２２】
例えば、繰出手段１０は、接着シート基材ＢＳに予め切込ＣＵが形成されることで剥離シートＲＬに接着シートＡＳと不要シートＵＳとが仮着された原反ＲＳを支持ローラ１１で支持し、当該原反ＲＳを繰り出してもよく、この場合、当該繰出手段１０に切断手段１４が備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
繰出手段１０は、支持プレート１７Ｃを移動させずにまたは移動させつつ、支持ローラ１１、第１、第２ガイドローラ１２Ａ、１２Ｂ、カバーシート回収ローラ１３、切断手段１４等を移動させ、原反ＲＳを繰り出してもよいし、チャックシリンダや吸着パッド等の保持手段で原反ＲＳを保持して繰り出してもよいし、外周面１５Ａのうち原反ＲＳが当接する原反当接領域Ｅ２のみが吸引可能な第２吸引ローラ１５を採用してもよいし、外周面１５Ａの全面が吸引可能な第２吸引ローラ１５を採用してもよいし、巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持した接着シート積層体ＲＳ１や原反ＲＳを繰り出してもよいし、カバーシートＣＳや剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、カバーシートＣＳや剥離シートＲＬを巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して回収してもよい。
切断手段１４は、接着シート積層体ＲＳ１を移動させずにまたは移動させつつ切断部材を移動させ、接着シート基材ＢＳに切込ＣＵを形成して原反ＲＳを形成してもよいし、接着シート基材ＢＳからカバーシートＣＳを剥離する前に当該カバーシートＣＳを貫通し、接着シート基材ＢＳに切込ＣＵを形成して原反ＲＳを形成してもよいし、切断部材として、例えば、接着シート基材ＢＳに離間接近することで、当該接着シート基材ＢＳに所定形状の切込ＣＵを形成する所謂平刃を採用してもよいし、切断刃１４Ｃがダイカットローラ１４Ｄに対して着脱可能でもよいし、着脱不能でもよいし、第２吸引ローラ１５、回動モータ１６、図示しない付勢手段および図示しない減圧手段が備わっていなくてもよい。
第２回転力付与手段は、回動モータ１６に代えてまたは併用して、例えば、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボットやロータリシリンダ等の駆動機器を採用してもよい。
【００２３】
剥離手段２０は、外周面２１Ａのうち不要シートＵＳが当接する不要シート当接領域Ｅ１のみが吸引可能な第１吸引ローラ２１を採用してもよいし、外周面２１Ａの全面が吸引可能な第１吸引ローラ２１を採用してもよいし、例えば、ファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして不要シートＵＳを回収してもよい。
第１回転力付与手段は、回動モータ２２に代えてまたは併用して、例えば、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボットやロータリシリンダ等の駆動機器を採用してもよい。
【００２４】
押圧手段３０は、リニアモータ１７Ａ、スライダ１７Ｂ、支持プレート１７Ｃ、回動モータ１７Ｄ、ピンチローラ１７Ｅ、駆動ローラ１７Ｆおよび剥離シート回収ローラ１７Ｇの一部または全部に代えて、繰出手段１０と共用することのない部材を採用してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持された押圧部材で剥離シートＲＬ上から原反ＲＳをウエハＷＦに押圧し、接着シートＡＳを当該ウエハＷＦに貼付してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で剥離シートＲＬを保持し、当該保持部材で保持した剥離シートＲＬを接着シートＡＳから離間させて剥離する構成を採用してもよい。
【００２５】
支持手段４０は、保持手段がなくてもよいし、テーブル４２を上昇させた際、ウエハＷＦを接着シートＡＳに当接させてもよいし、当接させなくてもよいし、他の装置でウエハＷＦを支持する場合、シート貼付装置ＥＡ１に備わっていなくてもよい。
【００２６】
不要シート除去装置ＥＡは、シート貼付装置ＥＡ１以外に、例えば、帯状の剥離シートＲＬに所定の間隔を隔てて複数の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳであって、不要シートＵＳのない原反ＲＳを形成する原反製造装置や、接着シートＡＳに所定の印刷や印字を行う印刷機械やプリンタ等、どのようなものに採用されてもよい。
不要シートＵＳは、剥離シートＲＬにおける接着シートＡＳが仮着された面に仮着されていてもよいし、剥離シートＲＬにおける接着シートＡＳが仮着されていない面に仮着されていてもよいし、剥離シートＲＬにおける接着シートＡＳが仮着された面に仮着されている場合、接着シートＡＳと重ならないように当該接着シートＡＳに隣接して仮着されていてもよいし、接着シートＡＳと重ならないように当該接着シートＡＳから離れるようにして仮着されていてもよいし、接着シートＡＳと重なるように仮着されていてもよい。
【００２７】
本発明における接着シートＡＳ、不要シートＵＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とを有するもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの等１層または２層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００２８】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、複数の接着シートと帯状の不要シートとが帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出すことが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂等で構成してもよい。
【符号の説明】
【００２９】
ＥＡ…不要シート除去装置
１０…繰出手段
１５…第２吸引ローラ
１５Ａ…外周面
１６…回動モータ（第２回転力付与手段）
２０…剥離手段
２１…第１吸引ローラ
２１Ａ…外周面
２２…回動モータ（第１回転力付与手段）
ＡＳ…接着シート
ＲＬ…剥離シート
ＲＳ…原反
ＵＳ…不要シート
【図１】
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