(57)【要約】【課題】絶縁破壊が生じにくく、好適にプラズマを発生することができるプラズマリアクタを提供すること。【解決手段】プラズマリアクタ７は、複数の電極パネルＤＰを有し、第１の電極パネル２１側から第２の電極パネル２２側にガスを供給可能な流路を有している。ガスの流路として、第１の電極パネル２１には第１の電極パネル２１を貫く第１の流路５１を備えるとともに、第２の電極パネル２２には第２の電極パネル２２を貫く第２の流路５９を備える。電極パネルＤＰの配置方向から見た場合に、第１の電極パネル２１には、第１の流路５１を挟んで自身の電極部４５が配置されており、第２の電極パネル２２には、第１の流路５１に対向する領域に、自身の電極部５７が存在する。つまり、間隔を空けて配置された各電極パネルＤＰに、それぞれ電極部４５、５７が配置されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体に電極が配置された電極部を有する電極パネルを複数備えるとともに、前記複数の電極パネルは間隔を空けて並列に配置されており、前記複数の電極パネル間に誘電体バリア放電によるプラズマを発生させるプラズマリアクタであって、
前記複数の電極パネルは、第１の電極パネル側から第２の電極パネル側にガスを供給可能な流路を有しており、
前記ガスの流路として、前記第１の電極パネルには該第１の電極パネルを貫く第１の流路を備えるとともに、前記第２の電極パネルには該第２の電極パネルを貫く第２の流路を備え、
前記第１の電極パネル及び前記第２の電極パネルを配置した配置方向から見た場合に、
前記第１の電極パネルには、前記第１の流路を挟んで自身の前記電極部が配置されており、且つ、第２の電極パネルには、前記第１の流路に対向する領域に、自身の前記電極部が存在する、
プラズマリアクタ。
【請求項２】
前記第１の電極パネルの第１の流路及び／又は前記第２の電極パネルの第２の流路は、貫通孔である、
請求項１に記載のプラズマリアクタ。
【請求項３】
前記配置方向から見た場合に、
前記第１の電極パネルの第１の流路及び／又は前記第２の電極パネルの第２の流路の周囲の角部は、Ｒ面取りされている、
請求項１又は２に記載のプラズマリアクタ。
【請求項４】
前記複数の電極パネルは、外部に露出する端子を備え、該端子は前記電極に電気的に接続されている、
請求項１〜３のいずれか１項に記載のプラズマリアクタ。
【請求項５】
前記第１の電極パネルの電極と前記第２の電極パネルの電極との間に、交流電圧を印加する、
請求項１〜４のいずれか１項に記載のプラズマリアクタ。
【請求項６】
前記第１の電極パネル及び前記第２の電極パネルを複数対備えた、
請求項１〜５のいずれか１項に記載のプラズマリアクタ。
【請求項７】
前記電極部として、一方の端部が固定され且つ他方の端部が自由端の片持ち式である電極部を備えた、
請求項１〜６のいずれか１項に記載のプラズマリアクタ。
【請求項８】
前記第１の電極パネルに前記片持ち式の第１の電極部を備えるとともに、前記第２の電極パネルに前記片持ち式の第２の電極部を備えており、
前記配置方向から見た場合に、
前記第１の電極部と前記第２の電極部とは、平行に配置されるとともに、互いの自由端側が相手の電極部の固定側に向かうように配置されおり、
且つ、前記第１の電極部と前記第２の電極部との自由端側の部分は、前記平行に延びる方向における位置が重なっている、
請求項７に記載のプラズマリアクタ。
【請求項９】
前記複数の電極パネルは、該複数の電極パネルの表面に沿った一方向において、一端側又は両端側が、固定部材によって固定されている、
請求項１〜８のいずれか１項に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１０】
前記配置方向から見た場合に、
前記複数の電極パネルの前記ガスの流路の形状は、短冊形状である、
請求項１〜９のいずれか１項に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１１】
前記配置方向から見た場合に、
前記複数の電極パネルの前記ガスの流路の形状は、四角形である、
請求項１〜１０のいずれか１項に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１２】
前記配置方向から見た場合に、
前記複数の電極パネルの前記ガスの流路は、湾曲した外周を有する、
請求項１〜９のいずれか１項に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１３】
前記誘電体は、セラミックを主成分とする材料からなる、
請求項１〜１２のいずれか１項に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１４】
前記電極は、導電材料としてタングステンを主成分とする材料からなる、
請求項１〜１３のいずれか１項に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１５】
前記電極部は、長手方向に延びる形状を有し、前記電極部を前記長手方向に垂直に破断した場合の形状は円形である、
請求項１〜１４のいずれか１項に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１６】
前記電極部は、長手方向に延びる形状を有し、前記電極部を前記長手方向に垂直に破断した形状は菱形であり、且つ、菱形の対向する頂点が前記ガスの流路に沿って配置されている、
請求項１〜１４のいずれか１項に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１７】
前記配置方向から見た場合に、
長手方向に延びる形状の複数の前記電極部を備えるとともに、前記複数の電極部は短手方向に間隔を空けて複数配列されており、
前記間隔が複数ある場合には、少なくとも２つの間隔の寸法が異なる、
請求項１〜１６のいずれか１項に記載のプラズマリアクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、通電によってプラズマを発生させるプラズマリアクタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、内燃機関（エンジン）の排ガスを浄化する装置として、プラズマリアクタが知られている。
例えば、誘電体に電極を設けるとともに、電極間に電圧を印加して低温プラズマ（非平衡プラズマ）を発生させることにより、電極間を流れる排ガス中のＰＭ（Particulate Matter：粒子状物質）を酸化して除去する技術が知られている。
【０００３】
また、プラズマリアクタによってオゾンを発生させ、このオゾンを用いて、農作物を保管する貯蔵倉庫、ビニールハウスなどの屋内、農作物を輸送するコンテナ内などにおいて、カビ菌を殺菌して農作物の腐敗を抑制する技術が知られている。
【０００４】
上述したプラズマリアクタの技術として、例えば誘電体バリア放電を用いた装置が提案されている（特許文献１参照）。
この装置とは、平板形状の誘電体からなる基板（即ちパネル）に、ガスが流れる貫通孔（即ち放電孔）を複数設け、各貫通孔をそれぞれ挟むように、基板内にそれぞれ一対の電極（即ち駆動電圧を印加する駆動電極）を配置したものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５６６４７９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、特許文献１に記載の従来技術では、同一の基板に、＋と−となる一対の電極が存在するので、例えば基板作製の不良などによって絶縁が十分でない場合には、絶縁破壊が発生して装置が破損する恐れがあった。
【０００７】
この対策として、例えば、両電極の間隔を十分に大きくすることが考えられるが、その場合には、プラズマの発生量が少なくなるという問題や、パネルが大きくなってしまうなどの問題が生じる。
【０００８】
本開示は、前記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、絶縁破壊が生じにくく、好適にプラズマを発生することができるプラズマリアクタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）本開示の第１局面は、誘電体に電極が配置された電極部を有する電極パネルを複数備えるとともに、複数の電極パネルは間隔を空けて並列に配置されており、複数の電極パネル間に誘電体バリア放電によるプラズマを発生させるプラズマリアクタに関するものである。
【００１０】
このプラズマリアクタでは、複数の電極パネルは、第１の電極パネル側から第２の電極パネル側にガスを供給可能な流路を有している。さらに、ガスの流路として、第１の電極パネルには第１の電極パネルを貫く第１の流路を備えるとともに、第２の電極パネルには第２の電極パネルを貫く第２の流路を備えている。
【００１１】
しかも、第１の電極パネル及び第２の電極パネルを配置した配置方向から見た場合に、第１の電極パネルには、第１の流路を挟んで自身の電極部が配置されており、且つ、第２の電極パネルには、第１の流路に対向する領域に、自身の電極部が存在する。
【００１２】
このように、本第１局面では、間隔を空けて配置された第１の電極パネルと第２の電極パネルとに、それぞれ電極部が配置されている。そのため、各電極部（詳しくはその電極）間に電圧を印加してプラズマを発生させる場合には、従来の１枚の電極パネルに一対の電極を設けた場合のような、一つの電極パネルにおける絶縁破壊の発生を好適に抑制できる。
【００１３】
つまり、本第１局面では、並列に配置された異なる電極パネルに、＋か−のどちらか一方の電極（即ち異なる電極）が設けられており、その各電極間に電圧を印加するので、すなわち個々の電極パネルの電極における電位はそれぞれ同じであるので、各電極パネル自体における絶縁破壊が発生しにくいという効果がある。なお、一対の電極間に交流電圧が印加される場合には、各電極の＋／−が交互に変化する。
【００１４】
また、量産時に、各電極パネルに作製不良による寸法バラツキ等があった場合でも、各電極は異なる電極パネルに形成されているので、この点からも、絶縁破壊を抑制できる。例えば、ガスの流路の寸法が設計より小さくなった場合でも、各電極は異なる電極パネルに形成されているので、従来のような絶縁破壊が生じにくいという利点がある。
【００１５】
さらに、本第１局面では、１つの電極パネルに、＋／−の両方の電極を配置する必要がないので、１つの電極パネルにおける配線の構成を簡易化できる。
しかも、本第１局面では、並列に配置された電極パネル間の絶縁距離（従って電極間の絶縁距離）が足りなかった場合でも、単に電極パネル間の距離を調整すれば済むという利点がある。
【００１６】
その上、本第１局面では、電極パネルを複数配列することにより、例えばガスの流路を流れるＰＭがプラズマ中を通過し易くなるので、ＰＭの浄化能力が高いという効果がある。
また、プラズマリアクタによって、例えば空気からオゾンを発生させることができる。この場合に、発生オゾン量やオゾンによる浄化性能を上げるためには、前記従来技術では電極パネルの平面形状を大きくする必要があるが、本第１局面では、電極パネルの数を増やせばよいので、装置をコンパクトにすることが可能である。
【００１７】
（２）本開示の第２局面では、第１の電極パネルの第１の流路及び／又は第２の電極パネルの第２の流路として、貫通孔を採用してもよい。
つまり、各電極パネルのガスの流路としては、各電極パネルをそれぞれ貫くような貫通孔を採用できる。例えば電極パネルが板状である場合には、電極パネルを厚み方向に貫く貫通孔を採用できる。
【００１８】
このような構成の場合には、貫通孔の周囲は貫通孔の周囲を囲むような枠状の構成であるので、電極パネルの強度が大きく、歪みや破損が生じ難いという利点がある。
（３）本開示の第３局面では、配置方向（即ち各電極パネルを配置する方向）から見た場合に、第１の電極パネルの第１の流路及び／又は第２の電極パネルの第２の流路の周囲の角部は、Ｒ面取りされていてもよい。
【００１９】
このように、ガスの流路を構成する周囲の部材のうち、ガスの流路に面した角部がＲ面取りされている場合（従ってガスの流路の断面が丸くなっている場合）には、その周囲の部材（従って電極パネル）が、破損し難いという効果がある。
【００２０】
（４）本開示の第４局面では、複数の電極パネルは、外部に露出する端子を備え、その端子は電極に電気的に接続されていてもよい。
このように、電極パネルに端子を備えている場合には、この端子から電極に電力を供給することができる。また、電極に電力を供給する構成を簡易化できる。
【００２１】
（５）本開示の第５局面では、第１の電極パネルの電極と第２の電極パネルの電極との間に、交流電圧を印加してよい。
このように、第１の電極パネルの電極と第２の電極パネルの電極との間に、交流電圧を印加することにより、両電極間（詳しくは両電極部間）にプラズマを発生させることができる。
【００２２】
（６）本開示の第６局面では、第１の電極パネル及び第２の電極パネルを複数対備えていてもよい。
この構成により、例えば多くのプラズマを発生させることができるので、例えば排ガス中から効果的にＰＭ等を除去することができる。
【００２３】
（７）本開示の第７局面では、電極部として、一方の端部が固定され且つ他方の端部が自由端の片持ち式である電極部を備えていてもよい。
このような場合には、温度変化があった場合に、電極パネルが破損しにくいという効果がある。
【００２４】
（８）本開示の第８局面では、第１の電極パネルに片持ち式の第１の電極部を備えるとともに、第２の電極パネルに片持ち式の第２の電極部を備えており、配置方向から見た場合に、第１の電極部と第２の電極部とは、平行に配置されるとともに、互いの自由端側が相手の電極部の固定側に向かうように配置されおり、且つ、第１の電極部と第２の電極部との自由端側の部分は、平行に延びる方向における位置が重なっていてもよい。
【００２５】
本第８局面では、配置方向から見た場合に、第１の電極部と第２の電極部とは、平行に配置され、互いの自由端側（即ち先端側）が相手の電極部の固定側に向かうように配置されている。しかも、第１の電極部と第２の電極部とは、平行に延びる方向（即ち固定側から先端側に向かう方向）において、その自由端側の部分（即ち先端部分）の位置が重なっている。
【００２６】
このような構成の場合には、ガスの流れが複雑になるので、例えば排ガス中にＰＭが含まれているときには、ＰＭはプラズマに晒され易くなる。よって、効果的にＰＭ等を除去できるという利点がある。
【００２７】
ここで、「互いの自由端側が相手の電極部の固定側に向かう」とは、両電極部の先端側が向き合うように（即ち同一軸上で）伸びている場合に限らず、配置方向から見た場合に、両電極部が延びる方向（即ち平行な方向）に対する垂直方向において、両電極部が一部又は完全にずれている場合も含む。例えば、配線方向から見た場合に、両電極部が重なっていない状態であってもよい。
【００２８】
また、「第１の電極部と第２の電極部との自由端側の部分は、平行に延びる方向における位置が重なっている」とは、「配線方向から見た場合に、両電極部が重なっている」ということではなく、「両電極部が延びる平行な方向における位置が重なっていること」を示している。例えば、両電極部がＸ軸方向に延びている場合には、両電極部に同じＸ座標の部分があることを示している。
【００２９】
（９）本開示の第９局面では、複数の電極パネルは、複数の電極パネルの表面に沿った一方向において、一端側又は両端側が、固定部材によって固定されていてもよい。
ここでは、電極パネルの固定方法を例示している。電極パネルの一端側を固定する場合には、固定する構成を簡易化できる。また、温度変化があった場合に、電極パネルが破損しにくい。一方、電極パネルの両端側（即ち反対方向にある両端）を固定する場合には、電極パネルをしっかりと固定できるという利点がある。
【００３０】
（１０）本開示の第１０局面では、配置方向から見た場合に、複数の電極パネルのガスの流路の形状は、短冊形状であってもよい。
ここでは、ガスの流路の形状を例示している。なお、短冊形状とは、長方形のうち短辺よりも長い長辺を有する形状の長方形のような細長い形状を示している。例えば最も長い所定方向の寸法（長方形の場合は長辺）は、所定方向と直交する方向（長方形の場合は短辺）よりも、例えば１０倍以上の長さのものを採用できる。
【００３１】
（１１）本開示の第１１局面では、配置方向から見た場合に、複数の電極パネルのガスの流路の形状は、四角形であってもよい。
ここでは、ガスの流路の形状を例示している。
【００３２】
（１２）本開示の第１２局面では、配置方向から見た場合に、複数の電極パネルのガスの流路は、湾曲した外周を有していてもよい。
ここでは、ガスの流路の形状を例示している。ガスの流路の形状としては、円形や楕円形等の湾曲した形状を採用できる。
【００３３】
（１３）本開示の第１３局面では、誘電体は、セラミックを主成分とする材料からなっていてもよい。
ここでは、誘電体の材料を例示している。セラミックとしては、例えばＡｌ２Ｏ３、ＡｌＮ、Ｙ２Ｏ３、Ｓｉ３Ｎ４、ＺｒＯ２等を採用できる。この誘電体の材料としては、他の周知の誘電体の材料を採用できる。例えばガラスやプラスチック等を採用できる。なお、主成分以外には、例えばＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｉＯ２などを含んでいてもよい。
【００３４】
なお、主成分とは最も多い成分量（例えば体積％、重量％等）を示している（以下同様）。
（１４）本開示の第１４局面では、電極は、導電材料としてタングステンを主成分とする材料からなっていてもよい。
【００３５】
ここでは、電極の材料を例示している。導電材料としては、タングステン（Ｗ）以外に、Ｃｕ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｍｏ、ＲｕＯ２等を採用できる。なお、主成分以外には、ＷとＭｏの混合物などを含んでいてもよい。
【００３６】
（１５）本開示の第１５局面では、電極部は、長手方向に延びる形状を有し、電極部を長手方向に垂直に破断した場合の形状は円形であってよい。
ここでは、電極部の形状（即ち断面形状）を例示している。電極部の断面形状が円形である場合には、例えば排ガス中にＰＭが含まれている場合には、ＰＭは電極部の表面に付着し易い。よって、電極部の表面に付着したＰＭを、発生したプラズマによって好適に燃焼（即ち酸化）させることができる。
【００３７】
（１６）本開示の第１６局面では、電極部は、長手方向に延びる形状を有し、電極部を長手方向に垂直に破断した形状は菱形であり、且つ、菱形の対向する頂点がガスの流路に沿って配置されていてもよい。
【００３８】
ここでは、電極部の形状（即ち断面形状）を例示している。電極部の断面形状が上述した向きの菱形である場合には、例えば排ガス中にＰＭが含まれている場合には、ＰＭは電極部の表面に付着し易い。よって、電極部の表面に付着したＰＭを、発生したプラズマによって好適に燃焼（即ち酸化）させることができる。
【００３９】
（１７）本開示の第１７局面では、配置方向から見た場合に、長手方向に延びる形状の複数の電極部を備えるとともに、複数の電極部は短手方向に間隔を空けて複数配列されており、間隔が複数ある場合には、少なくとも２つの間隔の寸法が異なっていてもよい。
【００４０】
ここでは、電極パネルに設けられた電極部や間隙の形状を例示している。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】第１実施形態のＰＭ除去装置の一部を破断しその内部の構成等を示す説明図である。
【図２】図２Ａは第１実施形態の第１及び第２の電極パネルを上流側から見た状態を示す正面図、図２Ｂはその第１及び第２の電極パネルを下流側から見た状態を示す裏面図である。
【図３】第１実施形態の第１及び第２の電極パネル等のＡ−Ａ断面の一部を拡大して示す断面図である。
【図４】第１実施形態のＰＭ除去装置の動作を示す説明図である。
【図５】図５Ａは変形例１の第１及び第２の電極パネルの一部を上流側から見た状態を示す正面図、図５Ｂはその第１及び第２の電極パネルの一部を下流側から見た状態を示す裏面図である。
【図６】図６Ａは変形例２の第１及び第２の電極パネルの一部を上流側から見た状態を示す正面図、図６Ｂはその第１及び第２の電極パネルの一部を下流側から見た状態を示す裏面図である。
【図７】変形例３の第１及び第２の電極パネルの一部を上流側から見た状態を示す正面図である。
【図８】図８Ａは変形例４の電極パネルのＹＺ平面に沿ったＡ−Ａ断面の一部を示す断面図、図８Ｂは変形例５の電極パネルのＡ−Ａ断面の一部を示す断面図である。
【図９】図９Ａは第２実施形態の第１及び第２の電極パネルの一部を上流側から見た状態を示す正面図、図９Ｂはその第１及び第２の電極パネルの一部を下流側から見た状態を示す裏面図である。
【図１０】図１０Ａは第３実施形態の第１及び第２の電極パネルの一部を上流側から見た状態を示す正面図、図１０Ｂはその第１及び第２の電極パネルの一部を下流側から見た状態を示す裏面図である。
【図１１】図１１Ａは第４実施形態の第１及び第２の電極パネルの一部を上流側から見た状態を示す正面図、図１１Ｂはその第１及び第２の電極パネルの一部をＹ軸方向の上方から見た状態を示す説明図である。
【図１２】図１２Ａは第４実施形態の実施例の第１の電極パネルを上流側から見た状態を示す正面図、図１２Ｂはその第１の電極パネルの第１の電極の配置を示す説明図である。
【図１３】第５実施形態のオゾン発生装置を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００４２】
次に、本開示のプラズマリアクタの実施形態について説明する。
［１．実施形態］
［１−１．ＰＭ除去装置］
まず、本実施形態のプラズマリアクタを備えたＰＭ除去装置について説明する。
【００４３】
図１に示すように、本実施形態におけるＰＭ除去装置１は、自動車のエンジン（図示略）の排ガス（Ｇ）に含まれているＰＭを除去する装置であり、排気管３に取り付けられている。このＰＭ除去装置１は、流通管５とプラズマリアクタ７と交流電源９とを備えている。なお、図１では、Ｘ、Ｙ、Ｚの直交座標系において、Ｘ軸方向から見た形状を示している。
【００４４】
流通管５は、例えばステンレス鋼を用いて形成されており、一端部及び他端部にそれぞれ排ガス流入口１１及び排ガス流出口１３を有する管状（筒状）をなしている。排ガス流入口１１は、排気管３におけるエンジン側の部分３ａに接続され、排ガス流出口１３は、排気管３におけるエンジン側とは反対側の部分３ｂに接続されている。
【００４５】
エンジンからの排ガスは、排気管３におけるエンジン側の部分３ａを流れ、排ガス流入口１１から流通管５に流入して、流通管５を通過して、排ガス流出口１３から排気管３のエンジン側とは反対側の部分３ｂに流出する。つまり、排ガスは図１の矢印に示すように、同図左側（即ち上流側）から右側（即ち下流側）に流れる。
【００４６】
プラズマリアクタ７は、交流電源９からの交流電圧を用いて、誘電体バリア放電によってプラズマを発生させるプラズマ発生装置である。
このプラズマリアクタ７は、流通管５内に配置されており、複数の電極パネルＤＰ（詳しくは第１〜第６の電極パネル２１、２２、２３、２４、２５、２６）と、各電極パネルＤＰを固定する一対の固定部材２７、２９と、を備えている。
【００４７】
各電極パネルＤＰは、平板形状であり、それぞれ流通管５における排ガスの流通方向、即ち排ガス流入口３ａから排ガス流出口３ｂに向かう方向（配置方向：Ｚ軸方向）に沿って、所定の間隔（例えば０．５ｍｍの間隔）を開けて平行に配置されている（即ち並列に配置されている）。
【００４８】
各電極パネルＤＰは、Ｚ軸方向から見た形状が長方形（図２参照）であり、Ｚ軸方向と直交する方向（即ちＸＹ平面）に沿って長方形の平面が広がるように配置されている。なお、ここでは、短辺と長辺とを有する長方形を例示しているが、正方形であってもよい。
【００４９】
また、各電極パネルＤＰの上方と下方（即ち図１の上方と下方）には、それぞれ平板形状の第１の固定部材２７と第２の固定部材２９とが、ＸＺ平面に沿って配置されている。  各固定部材２７、２９の一方の表面（即ち電極パネルＤＰ側の表面）には、Ｘ軸方向に延びる溝３１がそれぞれ設けられている。この上下の各溝３１に、各電極パネルＤＰの上部と下部とが嵌めこまれることによって、各電極パネルＤＰが位置決めされて固定されている。
【００５０】
そして、図示しないが、両固定部材２７、２９は、流通管５に固定され、これによって、プラズマリアクタ７が流通管５に固定されている。なお、ここでは、説明の便宜上、６枚の電極パネルＤＰを並列に設けた構造を図示したが、これに限定されるものではなく、例えば更に多くの電極パネルＤＰを配置してもよい。
【００５１】
［１−２．電極パネル］
次に、プラズマリアクタ７の要部である電極パネルＤＰについて説明する。
前記６個の電極パネル２１〜２６は、隣り合う一対の電極パネルＤＰ間でプラズマを発生させるように構成されている。つまり、６個の電極パネル２１〜２６は、３対の電極パネルＤＰによって構成されている。
【００５２】
詳しくは、第１の電極パネル２１と第３の電極パネル２３と第５の電極パネル２５の構成は同一であり、第２の電極パネル２２と第４の電極パネル２４と第６の電極パネル２６との構成は同一である。
【００５３】
そして、第１の電極パネル２１と第３の電極パネル２３と第５の電極パネル２５とは、交流電源９から同一の電圧が印加されるように、交流電源９の一方の出力端子９ａに電気的に接続されている。一方、第２の電極パネル２２と第４の電極パネル２４と第６の電極パネル２６とは、交流電源９から同一の電圧が印加されるように、交流電源２９の他方の出力端子９ｂに電気的に接続されている。
【００５４】
これにより、第１の電極パネル２１と第２の電極パネル２２との間と、第２の電極パネル２２と第３の電極パネル２３との間と、第３の電極パネル２３と第４の電極パネル２４との間と、第４の電極パネル２４と第５の電極パネル２５との間と、第５の電極パネル２５と第６の電極パネル２６との間とにおいて、同様にプラズマを発生させることができる。
【００５５】
つまり、本第１実施形態では、第１の電極パネル２１及び第２の電極パネル２２と同様な構成の一対の電極パネルＤＰを、複数対（ここでは３対）備えた構成を有しており、上述のように、６枚の電極パネルＤＰのうち隣り合う一対の電極パネルＤＰ間において、同様にプラズマを発生させることができる。
【００５６】
よって、以下では、第１の電極パネル２１と第２の電極パネル２２とを例に挙げて説明する。
図１に示すように、第１の電極パネル２１は、第１の基板３３に第１の電極３５が埋設されたものであり、第２の電極パネル２２は第２の基板３７に第２の電極３９が埋設されたものである。
【００５７】
詳しくは、図２に示すように、例えば第１の電極パネル２１（即ち同図で白色で示すパネル）は、Ｚ軸方向から見た形状が長方形であり、同方向から見た形状が長方形の第１の基板３３に、線状の第１の電極３５が埋設されたものである。
【００５８】
第１の基板３３は、例えばアルミナを主成分（例えばアルミナ９２体積％）とするセラミックである誘電体からなり、第１の電極３５はタングステンを主成分（例えばタングステン９５体積％）とする材料からなる。
【００５９】
この第１の基板３３は、Ｙ軸方向に延びる左右一対の縦枠部４１と、左右の縦枠部４１をつなぐように、Ｘ軸方向に延びる複数の横枠部４３と、を備えている。
第１の電極３５は、一方（図２Ａの左側）の縦枠部４１に沿ってＹ軸方向に延びる縦電極３５ａと、縦電極３５ａから分岐してＸ軸方向に沿って図２Ａの右側に延びる横電極３５ｂと、を備えている。横電極３５ｂはＹ軸方向に沿って一定の間隔で、複数本が平行に配列されている。この構成により、第１の電極３５は、いわゆる櫛歯電極の構成となっている。
【００６０】
そして、第１の電極パネル２１のうち、誘電体である横枠部４３と横枠部４３に埋設された横電極３５ｂとによって、プラズマを発生させる電極部４５が構成されている。従って、電極部４５の配置や形状は、横枠部４３と同様である。
【００６１】
第１の電極パネル２１の角部（図２Ａの左上の角部）の表面（図２Ａの手前の表面：即ち上流側）には、正方形の切り欠き４７が設けられており、この切り欠き４７にて、第１の電極３５が露出する部分（即ち第１の露出端子）４９が設けられている。
【００６２】
また、第１の電極パネル２１には、排ガスの流路Ｒとして、第１の電極パネル２１を厚み方向に貫く貫通孔（即ち第１の流路５１）が設けられている。つまり、左右一対の縦枠部４１と上下一対の隣り合う横枠部４３（従って電極部４５）とによって囲まれた空間が第１の流路５１である。
【００６３】
この第１の流路５１は、Ｚ軸方向から見た場合の形状は、四角形のうちの長方形（詳しくは短冊形状）である。
一方、図２Ｂに示すように、第２の電極パネル２２（即ち同図で灰色で示すパネル）は、第１の電極パネル２１と同様な構成であり、Ｚ軸方向から見た形状が長方形の第２の基板３７に、線状の第２の電極３９が埋設されたものである。
【００６４】
つまり、第２の電極パネル２２は、第１の電極パネル２１をＸＹ平面上にて１８０度回転させて（即ち上下を逆にして）配置した構成となっている。なお、第２の電極３９の露出する部分（即ち第２の露出端子）５３は、上流側（紙面の裏側）となっている。
【００６５】
また、第２の電極３９は、第１の電極３５と同様に、縦電極３９ａと横電極３９ｂとを備えており、誘電体である横枠部５５と横枠部５５に埋設された横電極３９ｂとによって、第２の電極３９の電極部５７が構成されている。
【００６６】
さらに、第２の電極パネル２２にも、排ガスの流路Ｒとして、第２の電極パネル２２を厚み方向に貫く貫通孔（即ち第２の流路５９）が設けられている。この第２の流路５９の形状は、第１の流路５１と同様である。
【００６７】
なお、各電極部４５、５７のＹＺ平面に沿った断面形状は、長方形（例えば正方形）である。つまり、図３に示すように、長方形の上下の辺はＺ軸方向に平行であり、左右の辺はＹ軸方向に平行である。
【００６８】
特に本第１実施形態では、図２Ａに示すように、Ｚ軸方向から見た場合に、第１の電極パネル２１には、第１の流路５１を挟んで自身の電極部４５が配置されており、且つ、第２の電極パネル２２には、第１の流路５１に向き合う領域である対向する領域（即ち第１の流路５１を下流側に投影した領域）に、自身の電極部５７が存在する。
【００６９】
しかも、第１の流路５１の上下方向の寸法は、第２の電極パネル２２の電極部５７の上下方向の寸法よりも長いので、Ｚ軸方向から見た場合に、第２の電極パネル２２の電極部４５の上下には、それぞれ短冊形状の僅かな隙間６０がある。
【００７０】
従って、本第１実施形態では、図３に示すように、図３の左側の上流側から供給される排ガスは、第１の電極パネル２１の第１の流路５１を通過した後に、第２の電極パネル２２の第２の流路５９を通過し、以後、同様に、第３〜第６の電極パネル２３〜２６のガスの流路Ｒを下流側に通過するように構成されている。
【００７１】
なお、第１の電極３５の第１の露出端子４９に、交流電源９の一方の出力端子９ａが電気的に接続され、第２の電極３９の第２の露出端子５３に、交流電源９の他方の出力端子９ｂが電気的に接続されている。
【００７２】
そして、後述するように、隣り合う一対の電極パネルＤＰの電極３５、３９間には交流電圧が印加されるので、それによって、隣り合う一対の電極パネルＤＰの電極部４５、５７間に、プラズマが発生する。例えば、図３に示すように、第１の電極パネル２１の上端の電極部４５の右下の角部と、第２の電極パネル２２の上端の電極部５７の左上の角部との間や、第１の電極パネル２１の上から２番目の電極部４５の右上の角部と、第２の電極パネル２２の上端の電極部５７の左下の角部との間のように、両電極部４５、５７間を最短距離でつなぐ領域等に、プラズマが発生する。
【００７３】
［１−３．電極パネルの製造方法］
次に、電極パネルの製造方法について、第１の電極パネル２１を例に挙げて簡単に説明する。なお、他の電極パネルＤＰの製造方法も同様である。
【００７４】
まず、誘電体である第１の基板３３の材料として、図示しないが、周知のように、アルミナなどのセラミックを主成分とするセラミックグリーンシートを作製する。
次に、第１の電極３５を形成するために、周知のように、スクリーン印刷等を用いて、セラミックグリーンシートの表面上に、タングステンペーストなどの導電性ペーストを印刷することにより、第１の電極３５のパターンを形成する。
【００７５】
次に、導電性ペーストを印刷したセラミックグリーンシートの上に別のセラミックグリーンシートを積層することによって、グリーンシート積層体を形成する。なお、別のセラミックグリーンシートには、第１の露出端子４９を露出するための切り欠きを形成しておく。
【００７６】
次に、グリーンシート積層体を焼成することによって、第１の電極パネル２１を作製する。なお、第１の電極３５の第１の露出端子４９には、Ｎｉ等のめっきを施す。
［１−４．ＰＭ除去装置の動作］
次に、ＰＭ除去装置１の動作について、図４に基づいて簡単に説明する。
【００７７】
図４に示すように、ＰＭ除去装置１が作動状態の場合には、交流電源９から、各電極パネルＤＰに対して、交流の電圧が印加される。つまり、隣り合う電極パネルＤＰに、＋／−が逆の電圧が印加される。例えば周波数２０ｋＨｚ、最大電圧５ｋＶの交流電圧が印加される。
【００７８】
そして、この状態で、上流側から排ガスが供給された場合に、排ガス中にＰＭが含まれているときには、ＰＭは排ガスの流れに沿って下流側に流れる。
詳しくは、排ガスは、ガスの流路Ｒに沿って、第１の電極パネル２１の第１の流路５１から第２の電極パネル２２の第２の流路５９を通過し、以後同様に、第３の電極パネル２３以降のガスの流路Ｒを経て、下流側に流れる。
【００７９】
このとき、各電極パネルＤＰの各電極３５、３９（従って各電極部４５、５７）には、交流電圧が印加されているので、その電圧によって排ガス中のＰＭが帯電して、各電極部４５、５７の表面に付着するとともに、ＰＭは各電極パネルＤＰの各電極部４５、５７間に発生するプラズマによって燃焼して、例えばＣＯ２やＣＯ等のガスとなる。つまり、ＰＭの酸化によるＰＭの除去が行われる。
【００８０】
［１−５．効果］
次に、本第１実施形態の効果について説明する。
（１）本第１実施形態では、間隔を空けて配置された各電極パネルＤＰに、それぞれ電極部が配置されている。そのため、各電極部４５、５７（詳しくはその電極３５、３９）間に電圧を印加してプラズマを発生させる場合には、従来の１枚の電極パネルに一対の電極を設けた場合のような絶縁破壊の発生を好適に抑制できる。
【００８１】
また、量産時に、各電極パネルＤＰに作製不良による寸法バラツキ等があった場合でも、各電極３５、３９は異なる電極パネルＤＰに形成されているので、この点からも、絶縁破壊を抑制できる。
【００８２】
さらに、１枚の電極パネルＤＰに、＋／−の両方の電極３５、３９を配置する必要がないので、電極パネル１枚における配線の構成を簡易化できる。
しかも、並列に配置された電極パネルＤＰ間の絶縁距離（従って電極間の絶縁距離）が足りなかった場合でも、単に電極パネルＤＰ間の距離を調整すれば済むという利点がある。
【００８３】
その上、電極パネルＤＰを複数配列することにより、ガスの流路を流れるＰＭがプラズマ中を通過し易くなるので、ＰＭの浄化能力が高いという効果がある。
（２）本第１実施形態では、第１の電極パネル２１の第１の流路５１と第２の電極パネルの第２の流路５９は、貫通孔である。よって、電極パネルＤＰが貫通孔の周囲は枠状の構成であるので、電極パネルＤＰの強度が大きく、歪みや破損が生じ難いという利点がある。
【００８４】
（３）本第１実施形態では、各電極パネルＤＰに各露出端子４９、５３を備えているので、この露出端子４９、５３から、電極３５、３９に電力を供給することができる。また、電極３５、３９に電力を供給する構成を簡易化できる。
【００８５】
（４）本第１実施形態では、第１の電極パネル２１及び第２の電極パネル２２と同様な構成を、複数対備えている。よって、排ガス中から効果的にＰＭ等を除去することができる。
【００８６】
（５）本第１実施形態では、電極パネルＤＰの上端及び下端は、それぞれ固定部材２７、２９によって固定されている。この構成によって、容易に電極パネルＤＰを固定できる。
［１−６．変形例］
次に、本第１実施形態の変形例について説明する。なお、第１実施形態と同様な構成については、同じ番号を用いて説明する。
【００８７】
（１）変形例１では、図５に示すように、第１の電極パネル２１の第１の露出端子４９と第２の電極パネル２２の第２の露出端子５３とを、ともに、各電極パネルＤＰの同じ側（例えば同図上方）に配置してよい。
【００８８】
つまり、図５Ａに示すように、第１の露出端子４９を第１の電極パネル２１の上流側の表面に配置するとともに、図５Ｂに示すように、第２の露出端子５３を第２の電極パネル２２の下流側の表面に配置してもよい。なお、両露出端子４９、５３は、電極パネルＤＰの上流側の表面又は下流側の表面に配置できる（他の実施形態等でも同様である）。
【００８９】
（２）変形例２では、図６Ａに示すように、第１の電極パネル２１の第１の露出端子４９を、縦電極３５ａの上端又は下端ではなく、縦電極３５ａの上端と下端に間に配置してもよい。
【００９０】
同様に、図６Ｂに示すように、第２の電極パネル２２の第２の露出端子５３を、縦電極３９ａの上端又は下端ではなく、縦電極３９ａの上端と下端に間に配置してもよい。
（３）変形例３では、図７に示すように、第１の電極パネル２１の長方形の第１の流路５１の角部５２、即ち長方形の頂点に当たる部分は、滑らかに湾曲するＲ形状となっている。
【００９１】
これによって、第１の電極パネル２１の強度が向上するという利点がある。なお、他の電極パネルＤＰの構成も同様である。
（４）変形例４では、図８Ａに示すように、電極パネルＤＰの電極部４５、５７のＹＺ平面に沿った断面形状は、湾曲した外周円を有する形状（例えば円形）である。
【００９２】
従って、電極部４５、５７の表面にＰＭが付着し易いので、ＰＭの浄化能力が高いという利点がある。
（５）同様に、変形例５では、図８Ｂに示すように、電極パネルＤＰの電極部４５、５７のＹＺ平面に沿った断面形状は、長方形（例えば正方形）が斜めになった形状、例えば正方形が例えば４５度回転して（例えば菱形の形状となって）、その頂点が上流側と下流側とに向いた形状である。
【００９３】
従って、電極部４５、５７の表面にＰＭが付着し易いので、ＰＭの浄化能力が高いという利点がある。
（６）変形例６では、図示しないが、一対の固定部材２７、２９のうちの一方を用いて、電極パネルＤＰの位置決めや固定を行ってもよい。
【００９４】
（７）変形例８では、図示しないが、第１の流路５１等のガスの流路Ｒの形状（Ｚ軸方向から見た形状）として、四角形以外の多角形の形状を採用できる。また、円形や楕円形等の滑らかに湾曲した形状を採用できる。さらに、多角形と湾曲した形状を組み合わせてもよい。
【００９５】
（８）なお、図示しないが、複数の第１の流路５１等のガスの流路Ｒの形状（Ｚ軸方向から見た形状）は、全て同じであってもよいが、一部又は全部が異なっていてもよい。例えば、同じ又は異なる電極パネルＤＰにおいて、複数のガスの流路Ｒの上下方向（即ちＹ軸方向）の寸法が、一部又は全部が異なっていてもよい。
【００９６】
［２．第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明するが、第１実施形態と同様な内容については、その説明を省略又は簡略化する。
【００９７】
図９に示すように、本第２実施形態では、各電極パネルＤＰ（例えば第１の電極パネル６１と第２の電極パネル６３）において、第１の電極部６５及び第２の電極部６７は、一方の端部が固定され且つ他方の端部が自由端の片持ち式である。
【００９８】
詳しくは、図９Ａに示すように、例えば第１の電極パネル６１は、同図の左側に、Ｙ軸方向に延びる縦枠部６９を備えている。そして、縦枠部６９から同図の右側に向かって、片持ち式の横枠部７１（従って第１の電極部６５）が複数本延びている。つまり、同図の右側には、縦枠部が無いので、横枠部７１（従って第１の電極部６５）の先端は中空に突出した状態となっている。
【００９９】
第１の電極７３は、第１実施形態と同様に配置されている（即ち櫛歯状である）ので、横枠部７１に横電極７３ｂが配置された第１の電極部６５も片持ち式となっている。従って、第１の電極パネル６１は、Ｚ軸方向から見た場合に、櫛歯状の形状となっている。
【０１００】
また、第２の電極パネル６３についても、第１実施形態と同様に、第１の電極パネル６１とは配置（即ち上下）が異なるものの、第１の電極パネル６１と同様の構成である。
本第２実施形態は、第１実施形態と同様な効果を奏する。また、温度変化があった場合に、例えば電極部６５、６７等が膨張や収縮しても、電極パネルＤＰが破損しにくいという利点がある。
【０１０１】
［３．第３実施形態］
次に、第３実施形態について説明するが、第２実施形態と同様な内容については、その説明を省略又は簡略化する。
【０１０２】
図１０に示すように、本第３実施形態では、各電極パネルＤＰ（例えば第１の電極パネル８１と第２の電極パネル８３）において、第１の電極部８５及び第２の電極部８７は、一方の端部が固定され且つ他方の端部が自由端の片持ち式である。
【０１０３】
詳しくは、図１０Ａに示すように、例えば第１の電極パネル８１は、同図の左右に、Ｙ軸方向に延びる一対の縦枠部９１、９３と、縦枠部９１、９３の上端部分を接続するようにＸ軸方向に延びる上端枠部９４を備えている。
【０１０４】
また、上端枠部９４より下方にて、左右の縦枠部９１、９３から同図の左右方向における中央側に向かって、それぞれ片持ち式の横枠部９５、９７（従って左電極部９９及び右電極部１０１）が複数本延びている。
【０１０５】
つまり、一対の左右の電極部（即ち左電極部９９及び右電極部１０１）は、上下方向における同じ位置にて、先端側が対向するように突出している。すなわち、一対の左右の電極部９９、１０１は、Ｘ軸方向における同一線上に配置されており、左右の電極部９９、１０１の先端には隙間１０３がある。
【０１０６】
なお、第１の電極１０５は、両縦枠部９１、９３と上端枠部９４とに沿って埋設されている。そして、縦枠部９１、９３中の各縦電極１０７、１０９から分岐して、左右の各電極部９９、１０１に沿って、各横電極１１１、１１３が延びている。
【０１０７】
なお、第２の電極パネル８３は、図１０Ｂに示すように、第１の電極パネル８１を上下逆にして配置したものである。
本第３実施形態は、第２実施形態と同様な効果を奏する。
【０１０８】
［４．第４実施形態］
次に、第４実施形態について説明するが、第３実施形態と同様な内容については、その説明を省略又は簡略化する。
【０１０９】
本第４実施形態は、基本的には第３実施形態と同様であるが、対向する左右の電極部の長さが異なっている。
図１１Ａに示すように、第４実施形態では、第１の電極パネル１２１は、Ｘ軸方向に延びる片持ち式の第１の電極部１２３を備えている。第１の電極部１２３は、同図左側の片持ち式の左電極部１２５と、同図右側の片持ち式の右電極部１２７とから構成されており、左電極部１２５は右電極部１２７より短くなっている。左右の電極部１２５、１２７は、第３実施形態と同様に、先端側が対向するように延びており、先端側には第１の隙間１２９がある。
【０１１０】
同様に、第２の電極パネル１３１は、Ｘ軸方向に延びる片持ち式の第２の電極部１３３を備えている。第２の電極部１３３は、同図左側の片持ち式の左電極部１３５と、同図右側の片持ち式の右電極部１３７とから構成されており、左電極部１３５は右電極部１３７よりも長くなっている。左右の電極部１３５、１３７は、第３実施形態と同様に、先端側が対向するように延びており、先端側には第２の隙間１３９がある。
【０１１１】
なお、第２の電極パネル１３１は、第１の電極パネル１２１を上下逆にして配置したものである。
本第４実施形態では、上述のように、第１の電極パネル１２１の左電極部１２５は右電極部１２７より短くなっており、一方、第２の電極パネル１３１の左電極部１３５は右電極部１３７よりも長くなっているので、図１１Ｂに示すように、第１の隙間１２９と第２の隙間１３９の位置は、Ｘ軸方向においてずれている。
【０１１２】
つまり、第１の電極部１２３（例えば右電極部１２７）と第２の電極部１３３（例えば左電極部１３５）とは、平行に配置されるとともに、互いの自由端側が相手の電極部１２７、１３５の固定側に向かうように配置されている。ここでは、Ｚ軸方向から見た場合に、隣り合う右電極部１２７と左電極部１３５とは、重なっていない。
【０１１３】
しかも、第１の電極部（例えば右電極部１２７）と第２の電極部（例えば左電極部１３５）との自由端側の部分は、平行に延びる方向（Ｘ軸方向）における位置が重なっている。つまり、Ｘ軸方向において、隣り合う右電極部１２７と左電極部１３５との先端のＸ座標は異なるが、その右電極部１２７と左電極部１３５との先端部分（即ち先端の近傍の部分）には、同じＸ座標の部分がある。
【０１１４】
本第４実施形態は、第３実施形態と同様な効果を奏する。また、本第４実施形態では、第１の隙間１２９と第２の隙間１３９の位置が、Ｘ軸方向においてずれているので、ガスの流路Ｒを流れるＰＭは、プラズマに晒される可能性が高くなるので、ＰＭの浄化能力が高いという利点がある。
【０１１５】
（実施例）
ここで、本第４実施形態のより詳細な実施例について説明する。
図１２Ａに示すように、本実施例では、第１の電極パネル１４１は、第１の基板１４３を構成する外周が長方形の枠部１４４を備えている。この枠部１４４は、Ｙ軸方向に延びる左右一対の縦枠部１４５、１４７と、Ｘ軸方向に延びる上横枠部１４９及び下横枠部１５１を備えている。
【０１１６】
左右の縦枠部１４５、１４７からは、前記図１１Ａと同様に、それぞれ長さが異なる（即ち左側と右側とで長さが異なる）左電極部１５３と右電極部１５５とが、対向するように、左右方向における中央側に突出している。従って、左電極部１５３と右電極部１５５との間の隙間１５７の位置は、中央からやや右側にずれている。なお、各左電極部１５３の長さは全て同じであり、各右電極部１５５の長さも全て同じである。
【０１１７】
また、左電極部１５３と右電極部１５５とは、複数本配置されているが、左電極部１５３及び右電極部１５５（第１の電極部１５９と総称する）の幅（Ｙ軸方向の寸法）は、同じである。また、各第１の電極部１５９間の幅も、同じである。なお、第１の電極部１５９間の幅は、第１の電極部１５９の幅と同じであるが、異なっていてもよい。
【０１１８】
なお、第１の電極パネル１４１に埋設された第１の電極１６１は、図１２Ｂに示すように配置されている。なお、同図では、第１の電極１６１の位置が分かり易いように、実線で示している。
【０１１９】
また、図示しないが、第２の電極パネルは、第１の電極パネル１４１の上下を逆にして配置したものである。
ここでは、上横枠部１４９と下横枠部１５１との幅（Ｙ軸方向の寸法）は異なるように設定されている。つまり、下横枠部１５１の幅は上横枠部１４９の幅より、例えば１本の第１の電極部１５９の幅分だけ長く設定されている。よって、第２の電極パネルを第１の電極パネル１４１の下流側に配置した場合には、第１の電極パネル１４１の第１の電極部１５９の間に、第２の電極パネルの第２の電極部が位置することになる。
【０１２０】
［５．第５実施形態］
次に、第５実施形態について説明するが、第１実施形態と同様な内容については、その説明を省略又は簡略化する。
【０１２１】
本第５実施形態は、第１実施形態等のプラズマリアクタをオゾン発生装置に用いたものである。
図１３に示すように、本第５実施形態のオゾン発生装置１６１は、第１実施形態と同様な構成のプラズマリアクタ１６３と、プラズマリアクタに空気を供給する（即ち送風する）ファン１６５とを備えている。
【０１２２】
このオゾン発生装置１６１は、ファンによって送られた空気（即ち酸素）を、プラズマによって反応させてオゾンを生成するものである。
つまり、交流電源１６７によって、並列に配置された電極パネルＤＰに交流電圧を印加し、それによって、電極パネルＤＰ間に発生したプラズマによって、効率良くオゾンを発生させることができる。
【０１２３】
［６．他の実施形態］
本開示は前記実施形態になんら限定されるものではなく、本開示を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
【０１２４】
（１）例えば、電極パネル、電極、電極部等の形状は、上述した実施形態等に限定されるものではない。
（２）また、プラズマリアクタの用途も、ＰＭ除去装置やオゾン発生装置に限定されるものではない。
【０１２５】
（３）なお、上記各実施形態における１つの構成要素が有する機能を複数の構成要素に分担させたり、複数の構成要素が有する機能を１つの構成要素に発揮させたりしてもよい。また、上記各実施形態の構成の一部を、省略してもよい。また、上記各実施形態の構成の少なくとも一部を、他の実施形態の構成に対して付加、置換等してもよい。なお、特許請求の範囲に記載の文言から特定される技術思想に含まれるあらゆる態様が本開示の実施形態である。
【符号の説明】
【０１２６】
７、１６３…プラズマリアクタ
２１、６６、８１、１２１、１４１…第１の電極パネル
２２、６３、８３、１３１…第２の電極パネル
２７…第１の固定部材
２９…第２の固定部材
３５、７３…第１の電極
３９…第２の電極
４５、６５、８５、１２５、１５９…第１の電極部
４９…第１の露出端子
５１…第１の流路
５３…第２の露出端子
５７、６７、８７、１３３…第２の電極部
５９…第２の流路
ＤＰ…電極パネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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