(57)【要約】      （修正有）【課題】ダイシングされたチップ部品が保持されているチップ保持領域にエア噛みやしわを生じさせず、吸着完了までの時間が短くでき、シンプルな構造の保持テーブルを提供する。【解決手段】ダイシングされたチップ部品Ｄを保持するウエハリングＷｒに取り付けられたエキスパンドシートＷｓの保持テーブル１であって、エキスパンドシートは、粘着性の第１面と、非粘着性の第２面とを有し、チップ部品が保持されるチップ保持領域Ｒｄよりも外周部分を、所定の姿勢で支える外周支持部２と、エキスパンドシートにおけるチップ保持領域を含む内周部分を、第２面側から当接させて平坦な姿勢で支える内周支持部３と、外周支持部及び内周支持部がエキスパンドシートの第２面と当接する領域を負圧にする負圧吸引部４とを備え、外周支持部は、ウエハリングが配置される領域よりも内側に、内周支持部よりも突出した突出部５を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイシングされたチップ部品を保持するための、環状のウエハリングに取り付けられた伸縮性を有するエキスパンドシートを、所定の姿勢で保持する保持テーブルであって、
前記エキスパンドシートは、前記チップ部品を保持するための粘着性を有する第１面と、当該第１面とは表裏の関係にあって非粘着性を有する第２面とを有し、
前記エキスパンドシートにおける前記チップ部品が保持されるチップ保持領域よりも外側の外周部分を、前記第２面側から当接させて所定の姿勢で支える外周支持部と、
前記エキスパンドシートにおける前記チップ保持領域を含む内周部分を、前記第２面側から当接させて平坦な姿勢で支える内周支持部と、
前記外周支持部及び前記内周支持部が前記エキスパンドシートの第２面と当接する領域を負圧にする負圧吸引部とを備え、
前記外周支持部は、前記ウエハリングが配置される領域よりも内側に、前記内周支持部よりも上方に突出した突出部を備えた
ことを特徴とする、保持テーブル。
【請求項２】
前記突出部は、前記内周支持部の中心に対して、同じ間隔で複数配置されている
ことを特徴とする、請求項１に記載の保持テーブル。
【請求項３】
前記突出部は、互いに所定の間隔で離隔配置された円弧島状の突出部を複数備え、
前記所定の間隔が、前記内周支持部の中心側に向かって放射状に延びている
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の保持テーブル。
【請求項４】
前記突出部は、前記内周支持部の中心に対して、同心円の環島状に配置されている
ことを特徴とする、請求項１に記載の保持テーブル。
【請求項５】
前記突出部の表面には、前記内周支持部の中心側に向かって放射状に延びた溝部を備えたことを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の保持テーブル。
【請求項６】
前記内周支持部は、前記エキスパンドシートの第２面と当接する部位が、粗面で構成されており、
前記突出部は、前記粗面の各山の頭頂部よりも上方に突出している
ことを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載の保持テーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシングされたチップ部品を保持するための、環状のウエハリングに取り付けられた伸縮性を有するエキスパンドシートを、所定の姿勢で保持する保持テーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスは、１枚の半導体ウエハ上に多数の半導体デバイス回路が形成され、個々のチップ部品に個片化され、当該チップ部品がパッケージングされて、電子部品として単体で出荷されたり電気製品に組み込まれたりする。
【０００３】
そして、１枚の半導体ウエハは、環状のウエハリング（エキスパンドリング、ダイシングフレームとも言う）に取り付けられた伸縮性を有するエキスパンドシート（ダイシングテープとも言う）に貼り付け固定された状態でハンドリングされ、当該半導体ウエハをダイシングして多数のチップ部品に個片化される（例えば、特許文献１）。
【０００４】
そして、ダイシングされたチップ部品は、エキスパンドシートに貼り付けられた状態で、検査された後に良品がピックアップされ、パッケージング等される（例えば、特許文献２，３）。
【０００５】
この環状のウエハリングには、略円環状の金属板にエキスパンドシートを貼り付け固定したものや、刺繍フレームのような二重の環状枠体でエキスパンドシートを挟み込んで固定したもの等がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２０１８／０７９５３６号
【特許文献２】特許第５９１７４９２号
【特許文献３】特開２００６−３３２４６８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
環状のウエハリングに取り付けられたエキスパンドシートは、ウエハがダイシングされた後は剛性が失われ、弛みやしわが生じ易い。そのため、エキスパンドシートを平坦な面からなる保持テーブルに載置して吸着保持しようとすると、ダイシングされたチップ部品が保持されているチップ保持領域にエア噛み（密着領域内に排出されなエア溜まりが点在すること）が発生したり、しわが残ったままになったりして、エキスパンドシートを所定の姿勢で保持できない等の課題があった。
【０００８】
一方、ウエハリングの空洞部にあたる部位を、ウエハリングを支える部位よりも上方に持ち上げる機構により、予めエキスパンドシートを押し上げて張力を付与させる構成では、構造や機構が複雑であったり、張力を付与するための動作時間が余分にかかったりするなどの課題があった。
【０００９】
そこで本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、
ダイシングされたチップ部品が保持されているチップ保持領域にエア噛みやしわを生じさせず、吸着完了までの時間が短くでき、比較的シンプルな構造の保持テーブルを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
以上の課題を解決するために、本発明に係る一態様は、
ダイシングされたチップ部品を保持するための、環状のウエハリングに取り付けられた伸縮性を有するエキスパンドシートを、所定の姿勢で保持する保持テーブルであって、
エキスパンドシートは、チップ部品を保持するための粘着性を有する第１面と、当該第１面とは表裏の関係にあって非粘着性を有する第２面とを有し、
エキスパンドシートにおけるチップ部品が保持されるチップ保持領域よりも外側の外周部分を、第２面側から当接させて所定の姿勢で支える外周支持部と、
エキスパンドシートにおけるチップ保持領域を含む内周部分を、第２面側から当接させて平坦な姿勢で支える内周支持部と、
外周支持部及び内周支持部がエキスパンドシートの第２面と当接する領域を負圧にする負圧吸引部とを備え、
外周支持部は、ウエハリングが配置される領域よりも内側に、内周支持部よりも突出した突出部を備えたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ダイシングされたチップ部品が保持されているチップ保持領域にエア噛みやしわを生じさせず、吸着完了までの時間が短くできる。さらに、比較的シンプルな構造の保持テーブルを具現化できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明を具現化する形態の一例を示す斜視図である。
【図２】本発明を具現化する形態の一例の要部を示す断面図である。
【図３】本発明を具現化する形態の変形例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、本発明を実施するための形態について、図を用いながら説明する。
【００１４】
なお、以下の説明では、直交座標系の３軸をＸ、Ｙ、Ｚとし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向と表現し、ＸＹ平面に垂直な方向（つまり、重力方向）をＺ方向と表現する。また、Ｚ方向は、重力に逆らう方向を上、重力がはたらく方向を下と表現する。また、Ｚ方向を中心軸として回転する方向をθ方向とする。
【００１５】
図１は、本発明を具現化する形態の一例を示す斜視図である。図１には、本発明に係る保持テーブル１の外観が斜視図で示されている。
【００１６】
保持テーブル１は、ダイシングされたチップ部品Ｄを保持するための、環状のウエハリングＷｒに取り付けられた伸縮性を有するエキスパンドシートＷｓ（単にワークＷと呼ぶ）を所定の姿勢で保持するものである。具体的には、保持テーブル１は、外周支持部２、内周支持部３、負圧吸引部４等を備えている。
【００１７】
エキスパンドシートＷｓは、チップ部品Ｄを保持する第１面（例えば上面）Ｓ１側が粘着性を有し、第１面Ｓ１と表裏の関係にある第２面（例えば下面）Ｓ２側が非粘着性を有する構成をしている。そして、粘着性を有する第１面Ｓ１側にダイシングされたチップ部品Ｄが貼り付けられている（つまり、保持されている）。さらに、エキスパンドシートＷｓは、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ），ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ），ポリオレフィン（ＰＯ）等の可とう性に優れた材料が配合された樹脂フィルムで構成されており、伸縮性を有する。
【００１８】
ウエハリングＷｒは、エキスパンドシートＷｓの外周を固定するものである。具体的には、ウエハリングＷｒは、円形の外周縁Ｗｘと内周縁Ｗｎとを有する、内側がくり抜かれた環状の形状をしており、アルミやステンレス、樹脂等の薄板で構成されている。より具体的には、ウエハリングＷｒの下面側はに、エキスパンドシートＷｓが貼り付けられており、エキスパンドシートＷｓの外周縁Ｗｔは、ウエハリングＷｒの外周縁Ｗｘと同じかそれより内側に配置されている。
【００１９】
外周支持部２は、エキスパンドシートＷｓにおけるチップ部品Ｄが保持されるチップ保持領域Ｒｄよりも外側の外周部分を、非粘着性を有する第２面Ｓ２側から当接させて支持し、ワークＷを所定の姿勢で支持するものである。
具体的には、外周支持部２は、当接面２１と、詳細を後述する穴溝部４１と、突出部５を備えている。
【００２０】
当接面２１は、エキスパンドシートＷｓの外周部分を第２面Ｓ２側から当接させて支持する部位である。具体的には、当接面２１は、上面が平滑な面で構成されており、環状のウエハリングＷｒの内周縁Ｗｎが配置される部位（破線Ｃｎで示す）よりも外側かつ、貼り付けられエキスパンドシートＷｓの外周縁Ｗｔが配置される部位（破線Ｃｔで示す）よりも内側の環状領域Ｒｗに負圧を作用させて、エキスパンドシートＷｓを密着保持するものである。
【００２１】
なお、当接面２１に求められる平滑さとは、研磨された状態（狭義の平滑な面）のみならず、環状領域Ｒｗに所定の負圧が作用して、エキスパンドシートＷｓを密着保持させることができる程度に成形加工や切削加工等された状態（広義の平滑な面）を含む。
【００２２】
内周支持部３は、エキスパンドシートＷｓにおけるチップ部品Ｄが保持されるチップ保持領域Ｒを含む内周部分を、非粘着性を有する第２面Ｓ２側から当接させて平坦な姿勢で支えるものである。
【００２３】
具体的には、内周支持部３は、エキスパンドシートＷｓのチップ保持領域Ｒと当接する部位（つまり、当接面３１）が、粗面（非平滑面とも言う）で構成されており、粗面の各山の頭頂部分がＸＹ方向に概ね平坦な構成をしている。
【００２４】
より具体的には、この粗面は、平滑な板状部材の表面にサンドブラスト、切削、熱プレス等の物理的処理や、エッチング等の化学的処理を施して、ダイシングされたチップ部品Ｄの外形寸法よりも細かな繰り返しピッチで凹凸加工されたものである。そのため、内周支持部３において、エキスパンドシートＷｓのチップ保持領域Ｒとの当接面３１は、マクロ的にみれば、粗面の各山の頭頂部分が、概ね平坦で、各チップ部品Ｄを水平な状態で支えることができる形状をしている。
【００２５】
負圧吸引部４は、エキスパンドシートＷｓの非粘着層側の面（つまり下面）Ｓ２と外周支持部２とが当接する部位を負圧（減圧とも言い、大気圧よりも低い状態）にするものである。
【００２６】
具体的には、負圧吸引部４は、穴溝部４１、負圧発生手段４２、切換バルブ４４等を含んで構成されている。
【００２７】
穴溝部４１は、エキスパンドシートＷｓが当接する当接面２１の所定領域に負圧を作用させるものである。具体的には、穴溝部４１は、当接面２１に点在させた穴や円弧状の溝で構成されており、負圧発生手段等と接続されている。そして、穴溝部４１は、これら穴や溝の上部にエキスパンドシートＷｓが覆い被さった状態で内部を負圧にすることで、当接面２１の環状領域Ｒｗに負圧を作用させることができる。
【００２８】
負圧発生手段４２は、穴溝部４１を負圧にするものである。具体的には、負圧発生手段４２は、保持テーブル１の外部に設置された真空ポンプやエジェクタ等のほか、内部を負圧にした容器（いわゆる、真空タンク）が例示できる。より具体的には、負圧発生手段４２は、穴溝部４１と連通した接続ポート４３に、不図示の圧力調整器（いわゆる、真空レギュレータ）や切換バルブ４４を介して、接続されている。
【００２９】
接続ポート４３は、切換バルブ４４の切り換え操作により、穴溝部４１を負圧状態にさせたり、真空破壊や大気解放と呼ばれる状態にさせたりできる。
【００３０】
切換バルブ４４は、手動バルブや電磁弁が例示できる。
【００３１】
突出部５は、内周支持部３でエキスパンドシートＷｓを支える際に、エキスパンドシートＷｓに張力を付与するものである。そして、突出部５は、外周支持部２におけるウエハリングＷｒが配置される領域よりも内側に、内周支持部３よりも上方に突出した位置に配置されている。
【００３２】
具体的には、突出部５は、保持テーブル１を平面視した（つまり、上方から見下ろした）際に、外周支持部２において、ウエハリングＷｒの内周縁Ｗｎが配置される領域よりも内側かつ、エキスパンドシートＷｓのチップ部品Ｄが保持されているチップ保持領域Ｒｄよりも外側に配置されており、側方から見たとき（或いは、断面視したときとも言う）、内周支持部３の当接面３１（具体的には、粗面の各山の頭頂部分）よりも突出して配置されている。
【００３３】
より具体的には、突出部５は、同心円状の段差ｄで構成されている。そして、この段差ｄの角部が、円周状に３６０度連続して配置されている。換言すれば、保持テーブル１は、外周支持部２に対して、内周支持部３が同心円状の段差ｄ分だけ凹んだ状態になっており、外周支持部２の段差ｄの角部が突出部５を構成している。
【００３４】
図２は、本発明を具現化する形態の一例の要部を示す断面図である。図２（ａ）〜（ｄ）には、本発明に係る保持テーブル１にワークＷを載置し保持させる様子が、時系列的に図示されている。
【００３５】
まず、図２（ａ）には、保持テーブル１にワークＷを載置する直前の状態が示されている。ワークＷは、作業者や移載ロボット等によりハンドリングされ、図示する様な保持テーブル１と対向する位置に運ばれる。そして、ワークＷを保持テーブル１に直接載置したり、不図示のリフトピンと呼ばれる昇降装置にて上下する棒状の支持部材にワークＷを仮置きした後、リフトピンを下降させてワークＷを保持テーブル１に載置したりする。
【００３６】
図２（ｂ）には、保持テーブル１にワークＷを載置した直後の状態が示されている。このとき、エキスパンドシートＷｓの下面Ｓ２は、外周部分が外周支持部２の当接面２１と当接している。一方、エキスパンドシートＷｓのチップ保持領域Ｒｄの下面Ｓ２は、内周支持部３と当接していない状態か、中央部付近の一部が内周支持部３と当接した状態となる。
【００３７】
そのため、突出部５は、外周支持部２でエキスパンドシートＷｓを支えたとき、エキスパンドシートＷｓの第２面Ｓ２が内周支持部３に全体的に当接させるのではなく、突出部５の段差ｄで少しエキスパンドシートＷｓを内周支持部３から遠ざけ、エア溜まりＰができるようにすることができる。
【００３８】
図２（ｃ）には、負圧吸引部４を負圧状態にし、エキスパンドシートＷｓの下面Ｓ２が内周支持部３に当接している状態が示されている。
【００３９】
この後、負圧吸引部４を負圧状態にし、エキスパンドシートＷｓの下面Ｓ２、外周支持部２の突出部５および壁面、ならびに、内周支持部３の表面で囲まれた空間を減圧（大気圧より低い圧力に）する。このとき、エキスパンドシートＷｓは、上面Ｓ１にかかる大気圧と、下面Ｓ２にかかる圧力との差と、エキスパンドシートＷｓの弾性変形（伸びが生じる）により、チップ保持領域Ｒｄの中央部が下方に垂れ下がった状態となり、中央部付近から徐々に内周支持部３の表面と当接する面積が増えてゆく。そして、突出部５付近には、エア溜まりＰが形成されるが、減圧がすすむにつれて、エキスパンドシートＷｓの密着領域が外周部へと広がる。
【００４０】
つまり、エキスパンドシートＷｓを負圧吸引するにつれて、突出部５から遠いチップ保持領域Ｒｄの中央部から内周支持部３の表面に倣いながら密着し、密着する部位が中央部から外周側へと徐々に広がり、エア溜まりＰの体積が徐々に減少して行く。このとき、エキスパンドシートＷｓは、張力が付与されながら内周支持部３の表面に倣って密着してゆくので、弛みやしわが生じるのを防ぐことができる。また、エア噛みの発生を防ぎつつ、効率よく吸引排気できる。
【００４１】
図２（ｄ）には、負圧吸引部４による減圧をし続け、エキスパンドシートＷｓの下面Ｓ２が内周支持部３に当接し終わった状態が示されている。
【００４２】
このとき、エキスパンドシートＷｓの下面Ｓ２、外周支持部２の突出部５および壁面、ならびに、内周支持部３の表面で囲まれた空間がより真空に近い状態となり、エキスパンドシートＷｓがもつ伸縮性と相まって、エキスパンドシートＷｓが内周支持部３の表面に倣う。そして、突出部５付近のエア溜まりＰは小さくなり、エキスパンドシートＷｓの下面Ｓ２は、チップ保持領域Ｒｄの全域のみならず、突出部５の側面付近まで、内周支持部３の表面に密着した状態となる。このとき、エキスパンドシートＷｓは、内周支持部３の表面および突出部５の段差部分に密着することで伸ばされた状態となっており、張力が生じている。
【００４３】
この後、ワークＷは、保持テーブル１に保持されたまま、所定の処理が行われる。そして、所定の処理が終われば、負圧吸引部４からの負圧吸引を解除する。
【００４４】
そうすると、突出部５付近のエア溜まりＰが負圧から大気圧に戻り、エキスパンドシートＷｓに作用している張力により、エキスパンドシートＷｓの下面Ｓ２が内周支持部３から剥離してゆく。この剥離は、外周側（つまり、突出部５付近）からチップ保持領域Ｒｄの中心Ｒｃ側へと徐々に広がってゆく。このとき、突出部５があることで、エキスパンドシートＷｓが内周支持部３に密着しているときに作用している張力が、エキスパンドシートＷｓを伸びた状態から元の状態に戻そうとする復元力としてはたらくので、剥離が速やかに進む。
【００４５】
本発明に係る保持テーブル１は、上述の様な構成をしているため、ダイシングされたチップ部品Ｄが保持されているチップ保持領域Ｒｄにエア噛みやしわを生じさせず、吸着完了までの時間が短くできる。さらに、比較的シンプルな構造の保持テーブルを具現化できる。さらに、吸着解除させる際も、突出部５があることで、エキスパンドシートＷｓの復元力がはたらくので、速やかに剥離が進み、吸着解除が完了するまでの時間を短縮できる。
【００４６】
［内周支持部３について］
上述では、内周支持部３において、エキスパンドシートＷｓのチップ保持領域Ｒと当接する部位（当接面とも言う）３１が、粗面で構成されている例を示した。そうすることで、吸着させる際や、吸着解除させる際に、面接触でなく点接触に近い状態となるため、エキスパンドシートＷｓの伸縮を妨げず、しわや弛みの発生を防ぐことができる。さらに、この当接面３１が粗面で構成されていることで、エキスパンドシートＷｓと密着させる際の空気の澱みを減らし、エア噛み等の発生を防ぎ、平滑面よりも効率よく空気を排除できるので、吸引完了までの時間をより短くできるので、好ましい。。また、負圧吸引を解除する際、真空破壊のエアが回り込みやすくなるので、内周支持部３からエキスパンドシートＷｓを剥離できる状態まで時間を短くすることができる。
【００４７】
しかし、この当接面３１は、粗面に限らず、チップ部品Ｄの外形寸法よりも細かな溝が、放射状やランダム方向に刻まれた構成であっても良い。そうすることで、多数あるチップ部品Ｄそれぞれをほぼ同一平面に水平な状態で支えることができる。
【００４８】
一方、内周支持部３からエキスパンドシートＷｓを剥離しやすい場合、当接面３１は平滑な面で構成されていても良い。
【００４９】
［突出部５について］
本発明を具現化する上で、突出部５は、図１，２を示しつつ説明した上述の構成に限定されず、種々の形状や配置からなる構成を採用しうる。以下に、突出部５の変形例を示す。
【００５０】
図３は、本発明を具現化する形態の変形例を示す斜視図である。図３（ａ）〜（ｄ）には、本発明に係る保持テーブル１Ａ〜１Ｄの外観が斜視図で例示されており、それぞれが形状や配置が異なる突出部５Ａ〜５Ｄを備えた構成をしている。
【００５１】
例えば、図３（ａ）に例示するように、保持テーブル１Ａは、内周支持部３の中心に対して同じ間隔で複数配置された突出部５Ａを備えた構成をしている。    
突出部５Ａは、円筒状の部材が３つ、外周支持部２においてウエハリングＷｒが配置される領域よりも内側かつ、内周支持部３におけるチップ保持領域Ｒｄよりも外側に、チップ保持領域Ｒｄの中心Ｒｃから同じ距離で、互いに均等な間隔（均等な角度とも言う）で配置されている。そして、突出部５Ａは、内周支持部３よりも上方に突出した位置に配置されている。
【００５２】
なお、突出部５Ａを構成する円筒状の部材は、２つでも良いし、４つ以上でも良い。例えば、円筒状の部材は、図３（ａ）中に破線で示す様な位置の３つを含めて６つ配置しても良いし。また、突出部５Ａの形状は、円筒状に限らず、半球状、角柱状、扇型等であっても良い。
【００５３】
なお、保持テーブル１Ａにおいて、外周支持部２の当接面２１と内周支持部３の当接面３１は、同じ高さ（つまり、同一平面）で構成しても良いし、段差があっても（同一平面で無くても）良い。
【００５４】
一方、図３（ｂ）に例示するように、保持テーブル１Ｂは、互いに所定の間隔で離隔配置された円弧島状の突出部５Ｂを複数備え、当該所定の間隔が、内周支持部３の中心Ｒｃ側に向かって放射状に延びている構成をしている。      
突出部５Ｂは、外周支持部２においてウエハリングＷｒが配置される領域よりも内側かつ、内周支持部３におけるチップ保持領域Ｒｄよりも外側に、内周支持部３よりも上方に突出した位置に配置されている。
【００５５】
なお、円弧島状の突出部５Ｂは、同じ形状のものがそれぞれ、同じ間隔５ｇで複数配置されていても良いし、異なる形状のものが不等ピッチで配置されていても良い。
【００５６】
なお、保持テーブル１Ｂにおいて、外周支持部２の当接面２１と内周支持部３の当接面３１は、同じ高さ（つまり、同一平面）で構成しても良いし、段差があっても（同一平面で無くても）良い。
【００５７】
一方、図３（ｃ）に例示するように、保持テーブル１Ｃは、内周支持部３の中心Ｒｃに対して、同心円の環島状に配置された突出部５Ｃを備えた構成をしている。        
突出部５Ｃは、外周支持部２においてウエハリングＷｒが配置される領域よりも内側かつ、内周支持部３におけるチップ保持領域Ｒｄよりも外側に、内周支持部３よりも上方に突出した位置に配置されている。
【００５８】
なお、保持テーブル１Ｃにおいて、外周支持部２の当接面２１と内周支持部３の当接面３１は、同じ高さ（つまり、同一平面）で構成しても良いし、段差があっても（同一平面で無くても）良い。
【００５９】
一方、図３（ｄ）に例示するように、保持テーブル１Ｄは、複数の不連続な凹凸内周形状をした突出部５Ｄを備えた構成をしている。
突出部５Ｄは、外周支持部２においてウエハリングＷｒが配置される領域よりも内側かつ、内周支持部３におけるチップ保持領域Ｒｄよりも外側に設けられた、内周支持部３よりも上方に突出した段差で構成されている。突出部５Ｄの表面は、外周支持部２の当接面２１と概ね同一平面で構成されている。
【００６０】
なお、突出部５，５Ａ〜５Ｄは、表面を平滑な面で構成しても良いが、粗面で構成しても良い。粗面であれば、負圧吸引する際のエアの往き来が速やかにできるので、吸着完了までの時間が短くでき、好ましい。また、吸引解除する際も同様である。
【００６１】
或いは、突出部５，５Ａ〜５Ｄの表面には、内周支持部３の中心Ｒｃ側に向かって放射状に延びた溝部５ｇを有する構成であっても良い。          
具体的には、図３（ｂ）に例示するような突出部５Ｂに対して、図３（ｃ）に例示する突出部５Ｃのような溝部５ｇを設けて構成としても良い。或いは、図１に例示するような突出部５に対して、図３（ｄ）に例示する突出部５Ｄのような溝部５ｇを設けた構成としても良い。
【００６２】
このように、突出部の表面に設けた溝部５ｇが、内周支持部３の中心Ｒｃ側に向かって放射状に延び構成をしていることで、負圧吸引する際のエアの往き来が速やかにできるので、吸着完了までの時間が短くでき、好ましい。また、吸引解除する際も同様である。
【００６３】
この様な構成をしているので、突出部５Ａ〜５Ｄを備えた保持テーブル１Ａ〜１Ｄは、外周支持部２でエキスパンドシートＷｓを支えたとき、エキスパンドシートＷｓの第２面Ｓ２が内周支持部３に全体的に当接させるのではなく、突出部５の段差ｄで少しエキスパンドシートＷｓを内周支持部３から遠ざけ、エア溜まりＰができるようにすることができる。そのため、内周支持部３でエキスパンドシートＷｓを支える際に、エキスパンドシートＷｓに張力を付与することができる。
【００６４】
［ワークＷについて］
なお上述では、ワークＷの一例として、円形のウエハリングＷｒを図示して詳細な説明をした。しかし、ウエハリングＷｒの実施例として、この様な構成に限定されず、例えば外周の一部に方向付けのための直線部（オリエンテーションフラット）を有する略円環状や、四角形や八角形等の環状をした薄板部材からなる構成であっても良い。
【００６５】
また上述では、ワークＷの一例として、ウエハリングＷｒが環状の薄板部材からなるものを図示し、エキスパンドシートＷｓがウエハリングＷｒの下面に貼り付け固定された構成を例示した。しかし、ワークＷの実施例として、この様な構成に限定されず、例えば円形や角形の２重フレーム（インナーリングと呼ばれる内枠と、アウターリングと呼ばれる外枠）からなり、これらの部材でエキスパンドシートＷｓを挟み込んで固定される構成であっても良い。
【００６６】
［外周支持部２について］
なお上述では、外周支持部２として、負圧吸引部４による負圧で、当接面２１にエキスパンドシートＷｓを密着保持させる構成を例示した。しかし、本発明に係る保持テーブル１は、この様な構成に限定されず、ウエハリングＷｒを上方から下方へ押さえ付ける構成（いわゆる、クランプ機構）を備えても良い。この場合、大気圧状態で当接面２１にエキスパンドシートＷｓを密着保持させ、その後にエア溜まりＰを負圧吸引して、内周支持部３にエキスパンドシートＷｓを密着させる。
【００６７】
［保持テーブルについて］
本発明に係る保持テーブルは、ワークＷを保持するために単体で用いる形態のほか、ワークＷを搬送、加工、処理、観察、検査などを行う種々の装置や形態に組み込んで用いることができる。
【符号の説明】
【００６８】
１    保持テーブル
２    外周支持部
３    内周支持部
４    負圧吸引部
５    突出部
５ｇ  溝部（間隔）
２１  当接面
３１  当接面
４１  穴溝部
４２  負圧発生手段
４３  接続ポート
４４  切換バルブ
Ｗ    ワーク
Ｗｒ  ウエハリング
Ｗｎ  ウエハリングの内周縁
Ｗｘ  ウエハリングの外周縁
Ｗｓ  エキスパンドシート
Ｗｔ  エキスパンドシートの外周縁
Ｓ１  粘着層側の面
Ｓ２  非粘着層側の面
Ｄ    チップ部品
ｄ    段差
Ｒｄ  チップ保持領域
Ｒｃ  中心
Ｐ    空気溜まり
【図１】
2020102569.tif 000003
【図２】
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【図３】
2020102569.tif 000005