(57)【要約】【課題】不要シートの回収不良を極力防止することができる不要シート除去装置および不要シート除去方法を提供すること。【解決手段】不要シート除去装置ＥＡは、複数の接着シートＡＳと帯状の不要シートＵＳとが帯状の第１剥離シートＲＬ１に仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１０と、不要シートＵＳを補強する不要シート補強手段２０と、第１剥離シートＲＬ１から不要シートＵＳを剥離して回収する、または第１剥離シートＲＬ１から剥離して不要シート補強手段２０で補強された不要シートＵＳを回収する回収手段３０とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の接着シートと帯状の不要シートとが帯状の第１剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記不要シートを補強する不要シート補強手段と、
前記不要シート補強手段で補強された前記不要シートを前記第１剥離シートから剥離して回収する、または前記第１剥離シートから剥離して前記不要シート補強手段で補強された前記不要シートを回収する回収手段とを備えていることを特徴とする不要シート除去装置。
【請求項２】
前記繰出手段は、第１剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着され、当該接着シート基材上に第２剥離シートが仮着された接着シート積層体を繰り出すとともに、当該接着シート積層体における前記接着シート基材に閉ループ状の接着シート形成用切込を形成し、前記接着シートと不要シートとを形成する切断手段を備え、
前記不要シート補強手段は、前記第２剥離シートに前記原反の繰出方向に沿う補強シート形成用切込を形成し、当該補強シート形成用切込を境にして前記第２剥離シートを除去シートと補強シートとに分ける剥離シート切断手段と、前記接着シート基材から前記除去シートを剥離する除去シート剥離手段とを備え、
前記切断手段は、前記除去シートが剥離されて表出した前記接着シート基材に前記接着シート形成用切込を形成することを特徴とする請求項１に記載の不要シート除去装置。
【請求項３】
前記不要シートは、所定のエネルギーが付与されることで硬化する構成とされ、
前記不要シート補強手段は、前記不要シートに前記エネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えている請求項１または請求項２に記載の不要シート除去装置。
【請求項４】
複数の接着シートと帯状の不要シートとが帯状の第１剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記不要シートを補強する不要シート補強工程と、
前記不要シート補強工程で補強された前記不要シートを前記第１剥離シートから剥離して回収する、または前記第１剥離シートから剥離して前記不要シート補強工程で補強された前記不要シートを回収する回収工程とを実施することを特徴とする不要シート除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、不要シート除去装置および不要シート除去方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の接着シートと帯状の不要シートとが帯状の剥離シートに仮着された原反から、当該不要シートを剥離して回収する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−５５６６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された連続ラベル製造装置１１（不要シート除去装置）では、ラベル連続体１２（原反）から剥離したラベルカス２１Ａ（不要シート）をカス巻取ローラ１８（回収手段）で引っ張りながら回収するため、剥離紙２３（第１剥離シート）から剥離した不要シートが回収手段の張力によって切断され、不要シートの回収不良が生じるという不都合がある。このような不都合は、不要シートが軟弱または脆弱であったり、幅が細かったりした場合等において顕著化する。
【０００５】
本発明の目的は、不要シートの回収不良を極力防止することができる不要シート除去装置および不要シート除去方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、不要シートを補強して回収するので、第１剥離シートから剥離した不要シートが回収手段の張力によって切断されることが極力抑制され、不要シートの回収不良を極力防止することができる。
また、第２剥離シートから形成した補強シートで不要シートを補強すれば、第２剥離シートを有効利用することができる。
また、不要シートを硬化させて補強すれば、不要シートの性質や特性等に応じて当該不要シートを補強することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態に係る不要シート除去装置の説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
図１において、不要シート除去装置ＥＡは、複数の接着シートＡＳと帯状の不要シートＵＳとが帯状の第１剥離シートＲＬ１に仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１０と、不要シートＵＳを補強する不要シート補強手段２０と、不要シート補強手段２０で補強された不要シートＵＳを第１剥離シートＲＬ１から剥離して回収する回収手段３０とを備え、被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段４０と、ウエハＷＦを支持する支持手段５０とでシート貼付装置ＥＡ１を形成している。
【００１１】
繰出手段１０は、第１剥離シートＲＬ１に帯状の接着シート基材ＢＳが仮着され、当該接着シート基材ＢＳ上に第２剥離シートＲＬ２が仮着された接着シート積層体ＲＳ１を支持する支持ローラ１１と、接着シート積層体ＲＳ１等を案内する第１〜第４ガイドローラ１２Ａ〜１２Ｄと、接着シート積層体ＲＳ１を繰り出すとともに、当該接着シート積層体ＲＳ１における接着シート基材ＢＳに閉ループ状の接着シート形成用切込ＣＵ１を形成し、当該接着シート形成用切込ＣＵ１の内側に位置する接着シートＡＳと、当該接着シート形成用切込ＣＵ１の外側に位置する不要シートＵＳとを形成する切断手段１３と、原反ＲＳに繰出力を付与する繰出力付与手段１４とを備え、原反ＲＳを繰り出す構成となっている。
切断手段１３は、駆動機器としての回動モータ１３Ａの出力軸１３Ｂに支持され、円周面に平ループ状の切断部材としての切断刃１３Ｃが設けられたダイカットローラ１３Ｄと、ダイカットローラ１３Ｄと同期回転するアンビルローラ１３Ｅとを備えている。
繰出力付与手段１４は、駆動機器としてのリニアモータ１４Ａのスライダ１４Ｂに支持された支持プレート１４Ｃと、支持プレート１４Ｃに支持された駆動機器としての回動モータ１４Ｄと、回動モータ１４Ｄの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１４Ｅとで第１剥離シートＲＬ１を挟み込む駆動ローラ１４Ｆと、ピンチローラ１４Ｅとの間に存在する第１剥離シートＲＬ１に、常に所定の張力を付与して当該第１剥離シートＲＬ１を巻回して回収する剥離シート回収ローラ１４Ｇとを備えている。
【００１２】
不要シート補強手段２０は、第２剥離シートＲＬ２に原反ＲＳの繰出方向に沿う補強シート形成用切込ＣＵ２を形成し、当該補強シート形成用切込ＣＵ２を境にして第２剥離シートＲＬ２を除去シートＥＳと補強シートＬＳとに分ける剥離シート切断手段２１と、接着シート基材ＢＳから除去シートＥＳを剥離する除去シート剥離手段２２とを備えている。なお、切断手段１３は、除去シートＥＳが剥離されて表出した接着シート基材ＢＳに接着シート形成用切込ＣＵ１を形成するようになっている。
剥離シート切断手段２１は、複数の駆動機器としての直動モータ２１Ａと、各々の直動モータ２１Ａの出力軸２１Ｂに支持された切断部材としての切断刃２１Ｃとを備えている。
除去シート剥離手段２２は、駆動機器としての回動モータ２２Ａによって駆動され、除去シートＥＳに常に所定の張力を付与して回収する除去シート回収ローラ２２Ｂとを備えている。
【００１３】
回収手段３０は、駆動機器としての回動モータ３１Ａによって駆動され、第４ガイドローラ１２Ｄに掛け回されて第１剥離シートＲＬ１から剥離された不要シートＵＳに常に所定の張力を付与して回収する不要シート回収ローラ３１を備えている。
【００１４】
押圧手段４０は、全部が繰出手段１０と共用されており、リニアモータ１４Ａ、スライダ１４Ｂ、支持プレート１４Ｃ、回動モータ１４Ｄ、ピンチローラ１４Ｅ、駆動ローラ１４Ｆおよび剥離シート回収ローラ１４Ｇを備えている。
【００１５】
支持手段５０は、駆動機器としての直動モータ５１と、直動モータ５１の出力軸５１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって、吸着保持が可能な保持面５２Ａを有するテーブル５２とを備えている。
【００１６】
以上の不要シート除去装置ＥＡを備えたシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が接着シート積層体ＲＳ１を同図に示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、不要シート補強手段２０が直動モータ２１Ａを駆動し、接着シート積層体ＲＳ１の第２剥離シートＲＬ２に接着シート基材ＢＳを貫通しないように切断刃２１Ｃを突き刺す。その後、繰出手段１０、不要シート補強手段２０および回収手段３０が回動モータ１３Ａ、１４Ｄ、２２Ａ、３１Ａを駆動し、接着シート積層体ＲＳ１を繰り出しつつ、ダイカットローラ１３Ｄを回転させて接着シート基材ＢＳに閉ループ状の接着シート形成用切込ＣＵ１を形成することにより、第１剥離シートＲＬ１に接着シートＡＳと不要シートＵＳとが仮着された原反ＲＳを形成し、当該原反ＲＳを繰り出す。
【００１７】
次いで、図１に示すように、第１剥離シートＲＬ１に仮着された先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が第３ガイドローラ１２Ｃの下方所定位置に到達したことを、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等からなる図示しないシート先端検知機器が検知すると、繰出手段１０、不要シート補強手段２０および回収手段３０が回動モータ１３Ａ、１４Ｄ、２２Ａ、３１Ａの駆動を停止する。
ここで、上記のようにして原反ＲＳが繰り出されると、図１中のＢＢ−ＢＢ断面のＣＣ矢視図である符号ＡＡの図に示すように、第２剥離シートＲＬ２は、切断刃２１Ｃで形成された補強シート形成用切込ＣＵ２を境にして内側の除去シートＥＳと外側の補強シートＬＳとに分けられ、除去シートＥＳは、第２ガイドローラ１２Ｂで接着シート基材ＢＳから剥離され、除去シート回収ローラ２２Ｂによって巻き取られて回収される。
一方、補強シートＬＳは、不要シートＵＳに仮着された状態で当該不要シートＵＳを補強し、当該補強シートＬＳで補強された不要シートＵＳは、第４ガイドローラ１２Ｄで第１剥離シートＲＬ１から剥離され、不要シート回収ローラ３１に巻回されて回収される。
【００１８】
その後、使用者または、ベルトコンベアや多関節ロボット等の図示しない搬送手段が、図１に示すように、保持面５２Ａ上にウエハＷＦを載置すると、支持手段５０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面５２ＡでのウエハＷＦの吸着保持を開始する。次に、繰出手段１０が回動モータ１４Ｄの駆動をロックした状態でリニアモータ１４Ａを駆動し、図１中二点鎖線で示すように、支持プレート１４Ｃを右方へ移動させて原反ＲＳを繰り出す。この際も、繰出手段１０、不要シート補強手段２０および回収手段３０が回動モータ１３Ａ、２２Ａ、３１Ａを駆動し、除去シート回収ローラ２２Ｂで除去シートＥＳを回収し、接着シート基材ＢＳに接着シート形成用切込ＣＵ１を形成して原反ＲＳを形成するとともに、補強シートＬＳで補強された不要シートＵＳを不要シート回収ローラ３１で回収する。そして、先頭の接着シートＡＳに次ぐ次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が第３ガイドローラ１２Ｃの下方所定位置に到達したことを、図示しないシート先端検知機器が検知すると、繰出手段１０、不要シート補強手段２０および回収手段３０がリニアモータ１４Ａ、回動モータ１３Ａ、２２Ａ、３１Ａの駆動を停止する。
【００１９】
次いで、支持手段５０が直動モータ５１を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、テーブル５２を上昇させた後、押圧手段４０がリニアモータ１４Ａおよび回動モータ１４Ｄを駆動し、駆動ローラ１４Ｆを転動させて原反ＲＳをウエハＷＦに押圧しながら支持プレート１４Ｃを左方に移動させる。これにより、ウエハＷＦの上面に接着シートＡＳが貼付されるとともに、当該接着シートＡＳから第１剥離シートＲＬ１が剥離され、剥離された第１剥離シートＲＬ１が剥離シート回収ローラ１４Ｇに回収される。その後、接着シートＡＳから第１剥離シートＲＬ１が完全に剥離され、支持プレート１４Ｃが初期位置に復帰すると、押圧手段４０がリニアモータ１４Ａおよび回動モータ１４Ｄの駆動を停止する。
【００２０】
次に、支持手段５０が直動モータ５１を駆動し、テーブル５２を初期位置に復帰させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面５２ＡでのウエハＷＦの吸着保持を解除する。そして、使用者または図示しない搬送手段が、保持面５２Ａ上のウエハＷＦを次の工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２１】
以上のような実施形態によれば、不要シートＵＳを補強して回収するので、第１剥離シートＲＬ１から剥離した不要シートＵＳが回収手段３０の張力によって切断されることが極力抑制され、不要シートＵＳの回収不良を極力防止することができる。
【００２２】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２３】
例えば、繰出手段１０は、予め第１剥離シートＲＬ１に接着シートＡＳと不要シートＵＳとが仮着され、接着シートＡＳおよび不要シートＵＳの両方のシート上に帯状の第２剥離シートＲＬ２が仮着された原反を支持ローラ１１で支持し、当該原反を繰り出してもよく、この場合、当該繰出手段１０に切断手段１３が備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
繰出手段１０は、支持プレート１４Ｃを移動させずにまたは移動させつつ、支持ローラ１１、第１〜第４ガイドローラ１２Ａ〜１２Ｄ、除去シート回収ローラ２２Ｂ、切断手段１３等を移動させ、原反ＲＳを繰り出してもよいし、チャックシリンダや吸着パッド等の保持手段で原反ＲＳを保持して繰り出してもよいし、巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持した接着シート積層体ＲＳ１や原反ＲＳを繰り出してもよいし、除去シートＥＳや第１剥離シートＲＬ１を巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、除去シートＥＳや第１剥離シートＲＬ１を巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して回収してもよい。
切断手段１３は、接着シート積層体ＲＳ１を移動させずにまたは移動させつつ切断部材を移動させ、接着シート基材ＢＳに接着シート形成用切込ＣＵ１を形成して原反ＲＳを形成してもよいし、接着シート基材ＢＳから除去シートＥＳを剥離する前に当該除去シートＥＳを貫通させて接着シート基材ＢＳに接着シート形成用切込ＣＵ１を形成してもよいし、切断部材として、例えば、接着シート基材ＢＳに離間接近することで、当該接着シート基材ＢＳに所定形状の接着シート形成用切込ＣＵ１を形成する所謂平刃を採用してもよいし、切断刃１３Ｃがダイカットローラ１３Ｄに対して着脱可能でもよいし、着脱不能でもよい。
【００２４】
不要シート補強手段２０は、例えば、不要シートＵＳに原反ＲＳの繰出方向に延びる帯状の接着テープ、樹脂シート、紙、布等の長尺体を貼付し、当該不要シートＵＳを補強してもよいし、不要シートＵＳが所定のエネルギーが付与されることで硬化するように構成されている場合、剥離シート切断手段２１および除去シート剥離手段２２に代えてまたは併用して、図１中二点鎖線で示すように、不要シートＵＳに所定のエネルギーとしての紫外線を付与するエネルギー付与手段２３を備え、所定のエネルギーで不要シートＵＳを硬化させて補強してもよい。エネルギー付与手段２３が付与するエネルギーは、Ｘ線、ガンマ線、可視光線、赤外線等どのようなエネルギーでもよいし、単波長でもよいし複波長でもよいし、冷却エネルギーや熱湯、熱風等を付与するものでもよく、不要シートＵＳを硬化させるものであれば、不要シートＵＳの性質、材質、素質、組成等に応じて適宜なものを採用することができる。
剥離シート切断手段２１は、第２剥離シートＲＬ２における短寸幅方向の一方の端部にのみ補強シート形成用切込ＣＵ２を形成してもよいし、第２剥離シートＲＬ２に原反ＲＳの繰出方向に沿った正弦波形や矩形波形等の非直線形状の補強シート形成用切込ＣＵ２を形成してもよいし、単一の直動モータ２１Ａで複数の切断刃２１Ｃを支持してもよいし、予め第２剥離シートＲＬ２が除去シートＥＳと補強シートＬＳとに分かれている場合、不要シート除去装置ＥＡ（シート貼付装置ＥＡ１）に備わっていなくてもよい。
剥離シート切断手段２１は、駆動機器によって駆動されるローラ本体と、当該ローラ本体の外周面に設けられ、第２剥離シートＲＬ２における短寸幅方向の少なくとも一方の端部に直線形状または非直線形状の補強シート形成用切込ＣＵ２を形成可能な切断刃と、ローラ本体と同期回転するプラテンローラとで構成されてもよい。
除去シート剥離手段２２は、第２ガイドローラ１２Ｂに掛け回されることなく接着シート基材ＢＳから剥離された除去シートＥＳを回収してもよいし、例えば、ファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして除去シートＥＳを回収してもよい。
【００２５】
回収手段３０は、第１剥離シートＲＬ１から剥離して不要シート補強手段２０で補強された不要シートＵＳを回収してもよく、この場合、不要シート補強手段２０は、例えば、第１剥離シートＲＬ１から剥離された不要シートＵＳに長尺体を貼付して当該不要シートＵＳを補強してもよいし、第１剥離シートＲＬ１から剥離された不要シートＵＳに所定のエネルギーを付与して当該不要シートＵＳを硬化して補強してもよいし、予め第１剥離シートＲＬ１に接着シートＡＳと不要シートＵＳとが仮着され、接着シートＡＳおよび不要シートＵＳの両方のシート上に帯状の第２剥離シートＲＬ２が仮着された原反が繰り出される場合、不要シートＵＳに仮着された第２剥離シートＲＬ２を補強シートとして不要シートＵＳを補強するものであってもよい。
回収手段３０は、第４ガイドローラ１２Ｄに掛け回されることなく第１剥離シートＲＬ１から剥離された不要シートＵＳを回収してもよいし、例えば、ファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして不要シートＵＳを回収してもよい。
回収手段３０は、不要シート回収ローラ３１と、駆動機器としての回動モータによって駆動される駆動ローラと、不要シートＵＳを間に挟んで不要シート回収ローラ３１を駆動ローラ方向に付勢し、当該不要シート回収ローラ３１に不要シートＵＳを巻回させる付勢手段としてのばねとを備えるようにしてもよく、この場合、回動モータ３１Ａはなくてもよい。
【００２６】
押圧手段４０は、リニアモータ１４Ａ、スライダ１４Ｂ、支持プレート１４Ｃ、回動モータ１４Ｄ、ピンチローラ１４Ｅ、駆動ローラ１４Ｆおよび剥離シート回収ローラ１４Ｇの一部または全部に代えて、繰出手段１０と共用することのない部材を採用してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持された押圧部材で第１剥離シートＲＬ１上から原反ＲＳをウエハＷＦに押圧し、接着シートＡＳを当該ウエハＷＦに貼付してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で第１剥離シートＲＬ１を保持し、当該保持部材で保持した第１剥離シートＲＬ１を接着シートＡＳから離間させて剥離する構成を採用してもよい。
【００２７】
支持手段５０は、保持手段がなくてもよいし、テーブル５２を上昇させた際、ウエハＷＦを接着シートＡＳに当接させてもよいし、当接させなくてもよいし、他の装置でウエハＷＦを支持する場合、シート貼付装置ＥＡ１に備わっていなくてもよい。
【００２８】
不要シート除去装置ＥＡは、シート貼付装置ＥＡ１以外に、例えば、帯状の第１剥離シートＲＬ１に所定の間隔を隔てて複数の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳであって、不要シートＵＳのない原反ＲＳを形成する原反製造装置や、接着シートＡＳに所定の印刷や印字を行う印刷機械やプリンタ等、どのようなものに採用されてもよい。
補強シートＬＳで不要シートＵＳを補強しない場合、接着シート積層体ＲＳ１や原反ＲＳに第２剥離シートＲＬ２が仮着されていなくてもよい。
予め第１剥離シートＲＬ１に接着シートＡＳと不要シートＵＳとが仮着されている場合、不要シートＵＳは、第１剥離シートＲＬにおける接着シートＡＳが仮着された面に仮着されていてもよいし、第１剥離シートＲＬにおける接着シートＡＳが仮着されていない面に仮着されていてもよいし、第１剥離シートＲＬにおける接着シートＡＳが仮着された面に仮着されている場合、接着シートＡＳと重ならないように当該接着シートＡＳに隣接して仮着されていてもよいし、接着シートＡＳと重ならないように当該接着シートＡＳから離れるようにして仮着されていてもよいし、接着シートＡＳと重なるように仮着されていてもよい。
【００２９】
本発明における接着シートＡＳ、不要シートＵＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とを有するもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの等１層または２層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００３０】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、複数の接着シートと帯状の不要シートとが帯状の第１剥離シートに仮着された原反を繰り出すことが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂等で構成してもよい。
【符号の説明】
【００３１】
ＥＡ…不要シート除去装置
１０…繰出手段
１３…切断手段
２０…不要シート補強手段
２１…剥離シート切断手段
２２…除去シート剥離手段
３０…回収手段
ＡＳ…接着シート
ＢＳ…接着シート基材
ＣＵ１…接着シート形成用切込
ＣＵ２…補強シート形成用切込
ＥＳ…除去シート
ＬＳ…補強シート
ＲＬ１…第１剥離シート
ＲＬ２…第２剥離シート
ＲＳ…原反
ＲＳ１…接着シート積層体
ＵＳ…不要シート
【図１】
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