(57)【要約】【課題】分光波長を高速で切り替えることができる分光フィルターモジュールを提供する。【解決手段】分光フィルターモジュールは、入力される駆動電圧に応じた波長の光を入射光から分光して出力する分光フィルターと、入力される波長指令値に基づいて前記駆動電圧を出力する駆動部と、前記波長指令値を出力し、外部からトリガー信号が入力される毎に前記波長指令値を変更する駆動制御部と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力される駆動電圧に応じた波長の光を入射光から分光して出力する分光フィルターと、
入力される波長指令値に基づいて前記駆動電圧を出力する駆動部と、
前記波長指令値を出力し、外部からトリガー信号が入力される毎に前記波長指令値を変更する駆動制御部と、
を備えることを特徴とする分光フィルターモジュール。
【請求項２】
請求項１に記載の分光フィルターモジュールにおいて、
複数の前記波長指令値を一覧にした波長リストを記憶する記憶部をさらに備え、
前記駆動制御部は、前記波長リストから選択した前記波長指令値を出力し、前記トリガー信号が入力される毎に選択する前記波長指令値を切り替えることを特徴とする分光フィルターモジュール。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の分光フィルターモジュールと、
前記分光フィルターから分光された光を受光して当該光の強度に応じた受光信号を出力する受光部と、
前記トリガー信号を出力すると共に、前記トリガー信号の出力タイミングに応じて前記受光信号を取り込む受光制御部と、を備えることを特徴とする分光カメラ。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の分光フィルターモジュールと、
前記トリガー信号を出力するトリガー信号出力部と、を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分光フィルターモジュール、分光カメラおよび電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、入射光から所定波長の光を分光して出力する分光フィルターモジュールが知られている（例えば特許文献１参照）。
特許文献１に記載された分光フィルターモジュール（測色センサー）は、測定対象物で反射された反射光のうちの所定波長の光を透過させる分光フィルター（波長可変干渉フィルター）と、分光フィルターに駆動電圧を印加する駆動部（電圧印加部）とを備えている。この分光フィルターモジュールを制御する制御装置は、目的波長を指示する制御信号を駆動部に対して出力する。駆動部が制御信号に基づいて駆動電圧を分光フィルターに印加することにより、分光フィルターは目的波長の光を透過させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−５６０７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された分光フィルターモジュールは、分光フィルターの透過波長を複数の波長に切り替える場合、例えばＵＳＢなどの制御線を用いて制御信号を送信する必要がある。具体的には、分光フィルターモジュールは、制御装置から各目的波長を指示する制御信号を一つ一つ受信し、受信した制御信号に基づいた演算処理を行う必要がある。このため、分光フィルターモジュールの透過波長を高速で切り替えることが困難である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の分光フィルターモジュールは、入力される駆動電圧に応じた波長の光を入射光から分光して出力する分光フィルターと、入力される波長指令値に基づいて前記駆動電圧を出力する駆動部と、前記波長指令値を出力し、外部からトリガー信号が入力される毎に前記波長指令値を変更する駆動制御部と、を備えることを特徴とする。
【０００６】
本発明の分光フィルターモジュールは、複数の前記波長指令値を一覧にした波長リストを記憶する記憶部をさらに備え、前記駆動制御部は、前記波長リストから選択した前記波長指令値を出力し、前記トリガー信号が入力される毎に選択する前記波長指令値を切り替えることが好ましい。
【０００７】
本発明の分光カメラは、上述の分光フィルターモジュールと、前記分光フィルターから分光された光を受光して当該光の強度に応じた受光信号を出力する受光部と、前記トリガー信号を出力すると共に、前記トリガー信号の出力タイミングに応じて前記受光信号を取り込む受光制御部と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明の電子機器は、上述の分光フィルターモジュールと、前記トリガー信号を出力するトリガー信号出力部と、を備えることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係る分光測定装置の概略構成を示すブロック図。
【図２】前記実施形態の分光フィルターの概略構成を示す断面図。
【図３】前記実施形態の波長リストを例示する図。
【図４】前記実施形態の駆動制御部の処理を示すフローチャート。
【図５】トリガー信号と分光フィルターの透過波長とを示すタイムチャートの一例。
【図６】前記実施形態の受光制御部の処理を示すフローチャート。
【図７】前記実施形態の変形例に係る電子装置の概略構成を示すブロック図。
【図８】トリガー信号と分光フィルターの透過波長とを示すタイムチャートの他の例。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施形態に係る分光測定装置１００について説明する。
図１に示すように、本実施形態の分光測定装置１００は、所定波長の光を検出する分光カメラ１と、分光カメラ１を制御する制御部６とを備えている。分光カメラ１は、対象物で反射された反射光Ｌｒのうち、所定波長の光Ｌｓを分光し、分光された光Ｌｓに基づいて取得される受光値Ｄｉを制御部６に送信する。制御部６は、分光カメラ１から入力された受光値Ｄｉに基づいてスペクトル情報を分析する。これにより、分光測定装置１００は、対象物の色の測定や物質分析が可能である。このような分光測定装置１００は、例えばプリンターやプロジェクターなどの電子機器に組み込まれて利用可能である。
【００１１】
［分光カメラ１の構成］
分光カメラ１は、一点からの光に対する分光測定を実施するものでもよいし、分光画像を取得するものであってもよい。この分光カメラ１は、入射光から所定波長の光を分光する分光フィルターモジュール２と、分光フィルターモジュール２により分光された光を受光して受光信号Ｓｉを出力する受光センサー３とを備えている。
【００１２】
（分光フィルターモジュール２）
分光フィルターモジュール２は、分光フィルター５、記憶部２１、駆動制御部２２および駆動回路２３を備えている。
分光フィルター５は、例えば波長可変干渉フィルターである。この分光フィルター５は、図２に示すように、第一基板５１および第二基板５２を有する。第一基板５１は、第二基板５２に対向する面に、例えばエッチングにより形成された電極配置溝５１１と、反射膜設置部５１２とを有する。第二基板５２は、可動部５２１と、可動部５２１の外周に設けられ、可動部５２１よりも厚み寸法が小さいダイアフラム部５２２とを有している。この第二基板５２は、ダイアフラム部５２２の外周において、接着層５３を介して第一基板５１に固定されている。
【００１３】
分光フィルター５において、第一基板５１の反射膜設置部５１２に設けられた第一反射膜５４と、第二基板５２の可動部５２１に設けられた第二反射膜５５とは、ギャップＧを介して対向配置されている。第一反射膜５４および第二反射膜５５は、それぞれ導電性を有しており、ギャップＧの容量を検出するための容量検出部を構成する。
【００１４】
また、第一基板５１に設けられた第一電極５６１と、第二基板５２に設けられた第二電極５６２とは、互いに対向して配置され、静電アクチュエーター５６を構成している。第一電極５６１および第二電極５６２の間に駆動電圧Ｖが印加された場合、第二基板５２のダイアフラム部５２２が撓み、可動部５２１が第一基板５１側に変位する。これにより、ギャップＧの寸法が変動し、当該ギャップＧの寸法に応じた波長の光が分光フィルター５から透過する。ここで、分光フィルター５が透過させる光の波長（透過波長）は、印加される駆動電圧Ｖの値に対応している。
【００１５】
図１に戻って、記憶部２１は、分光フィルター５を制御するためのデータとして、波長リストＬを記憶している。
図３は、波長リストＬの例を示す図である。波長リストＬには、複数の測定波長にそれぞれ対応する複数の波長指令値Ｖｃ（１）〜Ｖｃ（ｎ）の一覧が、測定番号に対応付けられた状態で記憶されている。なお、本実施形態における波長指令値Ｖｃは、分光フィルター５のギャップＧで検出される静電容量に関する指令値である。
【００１６】
駆動制御部２２は、例えばマイコンによって構成され、駆動回路２３に対して波長指令信号Ｓｗを出力する。波長指令信号Ｓｗには、波長リストＬに記憶されている波長指令値Ｖｃ（１）〜Ｖｃ（ｎ）のうち、いずれかの波長指令値Ｖｃ（ｉ）が含まれる。この駆動制御部２２は、トリガー信号Ｓｔを入力される毎に、波長指令信号Ｓｗに含まれる波長指令値Ｖｃ（ｉ）を波長リストＬに従って切り替える。具体的には、駆動制御部２２は、トリガー信号Ｓｔを入力される毎に、波長リストＬにおいて、現在選択している波長指令値Ｖｃ（ｉ）の次の測定番号に位置する波長指令値Ｖｃ（ｉ＋１）を選択して波長指令信号Ｓｗとして出力する。
また、駆動制御部２２は、リセット信号Ｓｒを入力された場合、現在選択している波長指令値Ｖｃに関わらず、波長リストＬにおいて最初の測定番号に対応する波長指令値Ｖｃ（１）を選択して出力する。
【００１７】
駆動回路２３は、本発明の駆動部であり、駆動制御部２２から入力される波長指令信号Ｓｗに含まれる波長指令値Ｖｃに基づいて、静電アクチュエーター５６に駆動電圧Ｖを印加する。
また、駆動回路２３は、フィードバック制御系を構成しており、分光フィルター５のギャップＧで検出された静電容量が、波長指令値Ｖｃに対応する静電容量になるように、静電アクチュエーター５６に印加する駆動電圧Ｖを増減させる。これにより、分光フィルター５におけるギャップＧが測定波長に対応した寸法に調整される。
【００１８】
（受光センサー３）
受光センサー３は、受光部３１と、受光部３１を制御する受光制御部３２とを有している。
受光部３１は、分光フィルター５により分光された光Ｌｓを受光し、受光した光Ｌｓの光強度に応じた受光信号Ｓｉに変換して出力する。受光部３１は、例えばＣＭＯＳによって構成される。
【００１９】
受光制御部３２は、受光部３１から受光信号Ｓｉを取り込むタイミングを制御するために、図５の上部に示すようなパルス信号（トリガー信号Ｓｔ）を出力している。すなわち、受光制御部３２は、トリガー信号Ｓｔに応じたタイミングで受光部３１から受光信号Ｓｉを取り込み、取り込んだ受光信号Ｓｉの値（受光値Ｄｉ）を制御部６に出力する。本実施形態では、受光信号Ｓｉは、トリガー信号Ｓｔがローレベルからハイレベルに切り替わったタイミングで取り込まれる。
また、受光制御部３２は、トリガー信号Ｓｔを、自身で利用するだけでなく、分光フィルター５の駆動制御部２２に対して出力している。
【００２０】
なお、本実施形態において、受光制御部３２は、ローレベルまたはハイレベルのトリガー信号Ｓｔを継続して出力している。このため、本実施形態において「トリガー信号Ｓｔの出力（または入力）」とは、トリガー信号Ｓｔがローレベルからハイレベルに、または、ハイレベルからローレベルに切り替わることに相当する。
【００２１】
以上の構成を有する受光センサー３は、トリガー信号Ｓｔを送信するための信号線によって分光フィルターモジュール２と接続されており、また、受光値Ｄｉを送信するための制御線によって制御部６と接続されている。
【００２２】
［制御部６］
制御部６は、パーソナルコンピューターなどによって構成可能である。また、分光測定装置１００がプリンターまたはプロジェクターなどの電子機器に組み込まれる場合、制御部６は、当該電子機器の全体動作を制御するコントローラーとして構成されてもよい。
【００２３】
制御部６は、図１に示すように、リスト生成部６１、リセット部６２および受光値処理部６３を含んでいる。また、制御部６は、図示を省略するが、外部機器と接続するインターフェースまたはユーザーによる操作を受け付ける操作部を有してもよい。
【００２４】
リスト生成部６１は、外部機器または操作部を介してユーザーが測定を所望する波長情報を取得し、当該波長情報に基づいて波長リストＬを生成する。このリスト生成部６１は、生成した波長リストＬを分光カメラ１に送信し、記憶部２１に記憶させる。ここで、記憶部２１に波長リストＬが既に記憶されている場合、リスト生成部６１は、記憶部２１に記憶された波長リストＬを更新してもよい。
なお、リスト生成部６１は、分光カメラ１に送信した波長リストＬを、制御部６内の記憶部（図示省略）にも記憶させる。
【００２５】
リセット部６２は、所定条件が成立した場合、分光カメラ１に対してリセット信号Ｓｒを出力する。なお、所定条件は、任意に設定可能であるが、外部機器または操作部からリセットを指示する操作信号が入力されることや、受光値処理部６３が受光値Ｄｉを適切に取得できないことなどが挙げられる。また、リセット信号Ｓｒは、トリガー信号Ｓｔと同様、パルス信号であればよい。
【００２６】
受光値処理部６３は、制御部６内の記憶部に記憶された波長リストＬと、受光センサー３から入力される受光値Ｄｉとに基づいて、測定波長と受光値Ｄｉの組み合わせであるスペクトル情報を分析する。
【００２７】
以上の構成を有する制御部６は、リセット信号Ｓｒを送信するための信号線と、波長リストＬなどを送信するための制御線とによって、分光フィルターモジュール２と接続されている。
【００２８】
［分光測定装置１００の動作］
本実施形態の分光測定装置１００が分光測定動作を行う例について説明する。なお、以下の説明では、記憶部２１が波長リストＬを記憶しているものとする。
まず、制御部６は、外部機器または操作部から入力される操作信号に基づき、分光カメラ１に測定開始信号を出力する。これにより、分光カメラ１では、駆動制御部２２および受光制御部３２がそれぞれ処理を開始する。
【００２９】
図４を参照して、駆動制御部２２が行う波長切替処理を説明する。
まず、駆動制御部２２は、波長指令値Ｖｃを示す変数ｉを初期化（ｉ＝１）する（ステップＳ１１）。
その後、駆動制御部２２は、トリガー信号Ｓｔに基づく波長切替タイミングを検出する（ステップＳ１２）。なお、本実施形態において、波長切替タイミングは、トリガー信号Ｓｔがハイレベルからローレベルに立ち下がるタイミングに設定されている。
【００３０】
次いで、駆動制御部２２は、検出した波長切替タイミングにおいて、波長リストＬから波長指令値Ｖｃ（ｉ）を選択し、この波長指令値Ｖｃ（ｉ）を含む波長指令信号Ｓｗを駆動回路２３に出力する（ステップＳ１３）。
【００３１】
ここで、波長指令信号Ｓｗを入力された駆動回路２３は、波長指令値Ｖｃ（ｉ）に基づく駆動電圧Ｖを分光フィルター５に印加する。これにより、分光フィルター５は、波長指令値Ｖｃ（ｉ）が対応する測定波長λ（ｉ）の光を透過させ、受光センサー３は、測定波長λ（ｉ）の光強度に応じた受光値Ｄｉを出力する。
【００３２】
その後、駆動制御部２２は、変数ｉがｎであるか否かを判定し（ステップＳ１４）、Ｎｏと判定した場合は、変数ｉに「１」を加算してステップＳ１２に戻る。一方、Ｙｅｓの場合には、受光制御部３２に測定終了信号を出力し（ステップＳ１５）、フローを終了する。
【００３３】
以上の処理によれば、駆動制御部２２は、トリガー信号Ｓｔが入力される毎に（具体的にはトリガー信号Ｓｔがハイレベルからローレベルに立ち下がる毎に）、波長指令信号Ｓｗが含む波長指令値Ｖｃを、波長リストＬに記憶された波長指令値Ｖｃ（１）から波長指令値Ｖｃ（ｎ）まで順に切り替える。これにより、図５に示すように、分光フィルター５の透過波長は、波長指令値Ｖｃ（１）に対応する波長λ（１）から波長指令値Ｖｃ（ｎ）に対応する波長λ（ｎ）まで順に切り替えられる。
【００３４】
また、以上の処理において、駆動制御部２２は、図４に示すフローの途中でリセット信号Ｓｒが入力された場合には、ステップＳ１１に戻り、波長指令値Ｖｃを示す変数ｉを初期化（ｉ＝１）する。これにより、駆動制御部２２は、波長リストＬの最初から波長指令値Ｖｃの選択をやり直す。
【００３５】
次に、図６を参照して、受光制御部３２が行う受光制御処理を説明する。
まず、受光制御部３２は、トリガー信号Ｓｔを所定間隔で出力することを開始する（ステップＳ２１）。
次いで、受光制御部３２は、トリガー信号Ｓｔに基づく信号取込タイミングを検出する（ステップＳ２２）。なお、本実施形態において、信号取込タイミングは、トリガー信号Ｓｔがローレベルからハイレベルに立ち上がるタイミングに設定されている。これにより、トリガー信号Ｓｔの立ち下がりから立ち上がりまでの時間分、分光フィルター５の透過波長が変更されて安定することを待つことができる。
【００３６】
次いで、受光制御部３２は、検出した信号取込タイミングにおいて受光部３１から受光信号Ｓｉを取り込む（ステップＳ２３）。そして、受光制御部３２は、取り込んだ受光信号Ｓｉの出力値である受光値Ｄｉを制御部６に出力する（ステップＳ２４）。
【００３７】
その後、受光制御部３２は、ステップＳ２２に戻って処理を継続するが、駆動制御部２２から測定終了信号が入力された場合には、フローを終了する。
以上の処理によれば、分光フィルターモジュール２において、分光フィルター５の透過波長の変更タイミングと、受光信号Ｓｉの取り込みタイミングとが連携される。これにより、制御部６は、分光フィルター５の透過波長が安定しているときの受光値Ｄｉを取得できる。
【００３８】
［本実施形態の効果］
本実施形態の分光フィルターモジュール２は、入力される駆動電圧Ｖに応じた波長の光を透過させる分光フィルター５と、入力される波長指令値Ｖｃに基づいて駆動電圧Ｖを出力する駆動回路２３と、波長指令値Ｖｃを出力し、外部からトリガー信号Ｓｔが入力される毎に波長指令値Ｖｃを切り替える駆動制御部２２と、を備えている。ここで、分光フィルター５の透過波長を切り替えるためのトリガーとなるトリガー信号Ｓｔは、パルス信号などの１ビット信号でよい。すなわち、本実施形態の分光フィルターモジュール２では、分光フィルター５の透過波長を切り替えるために、単純なトリガー信号Ｓｔを受信するため、複雑な演算処理を必要としない。このため、分光フィルター５の透過波長を切り替えるためにかかる時間を短縮できる。また、分光フィルターモジュール２と外部との間で波長切替のための制御線を必要としないため、分光フィルターモジュール２の構成を簡素化することも可能である。
【００３９】
また、本実施形態の分光フィルターモジュール２において、駆動制御部２２は、記憶部２１に記憶された波長リストＬに従って波長指令値Ｖｃを切り替えるように構成されている。このため、ユーザーの所望する測定波長に対応する波長指令値Ｖｃを波長リストＬに記憶させておくことにより、分光フィルター５の透過波長をユーザーの所望する測定波長に容易に切り替えることができる。
【００４０】
本実施形態の分光カメラ１は、上述したような分光フィルターモジュール２と、分光フィルター５を透過した波長の光Ｌｓを受光して当該光Ｌｓの強度に応じた受光信号Ｓｉを出力する受光部３１と、トリガー信号Ｓｔを出力すると共にトリガー信号Ｓｔの出力タイミングに応じた信号取込タイミングで受光信号Ｓｉを取り込む受光制御部３２と、を備えている。
一般に、分光フィルターの透過波長が切り替えられた直後において、受光センサーから出力される受光信号は安定しない。このため、従来技術では、分光カメラを制御する制御装置において、波長指令値を切り替えるタイミングと、受光センサーから受光信号を取り込むタイミングとの連携を図ることで、安定した受光値を取得している。
これに対して、本実施形態では、受光制御部３２は、トリガー信号Ｓｔに応じた信号取込タイミングで受光信号Ｓｉを取り込むように構成されている。これにより、分光カメラ１を制御する制御部６は、自身の構成を簡素化しつつ、安定した受光値Ｄｉを取得することができる。
【００４１】
［変形例］
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
【００４２】
（変形例１）
前記実施形態では、分光測定装置１００について説明しているが、本発明の電子機器はこれに限定されず、分光測定装置１００を組み込まれたプロジェクターやプリンターなどであってもよい。
また、本発明の電子機器は、受光センサー３を備えなくてもよい。
図７は、例えば分光照明装置や可視光通信装置として構成される電子機器２００の概略構成を示す図である。なお、図７では、前記実施形態と同様の構成には同じ符号を付している。
図７に示すように、電子機器２００は、分光フィルターモジュール２と、光源７１と、トリガー信号出力部７２と、を備えている。この電子機器２００において、駆動制御部２２は、トリガー信号出力部７２からトリガー信号Ｓｔが入力される毎に波長指令値Ｖｃを切り替える。これにより、光源７１から出射された光は、分光フィルター５によって、順次、異なる波長に分光される。
このような電子機器２００においても、前記実施形態と同様、分光フィルター５が分光させる波長の切り替えにかかる時間を短縮できるという効果を奏することができる。
【００４３】
（変形例２）
前記実施形態において、トリガー信号Ｓｔとして、所定間隔で出力されるパルス信号が例示されているが、本発明はこれに限られず、任意の信号を利用可能である。例えば、任意の間隔でオン（ハイレベル）およびオフ（ローレベル）を切り替えられる１ビット信号を利用できる。
【００４４】
（変形例３）
前記実施形態において、駆動制御部２２は、波長リストＬに従って波長指令値Ｖｃを切り替えているが、本発明はこれに限られない。例えば、駆動制御部２２は、トリガー信号Ｓｔが入力される毎に、予め設定された波長ずつ波長指令値Ｖｃを段階的に増加または減少させてもよい。
【００４５】
（変形例４）
前記実施形態の波長指令値Ｖｃは、分光フィルター５のギャップＧにおける静電容量の値であるが、本発明はこれに限定されない。例えば、本発明の波長指令値は、静電アクチュエーター５６に印加される駆動電圧Ｖの値であってもよいし、測定を行う波長の値であってもよい。
具体的には、本発明の波長指令値が駆動電圧Ｖの値である場合、前記実施形態のようなフィードバック制御を行わずともよい。また、本発明の波長指令値が波長の値である場合、駆動制御部２２が波長の値から分光フィルター５のギャップＧにおける静電容量の値を計算（変換）して、当該値を駆動回路２３に送ってもよい。
【００４６】
また、波長リストＬは、測定番号１〜ｎおよび波長指令値Ｖｃだけでなく、他の様々な情報を含んでいてもよい。
例えば、本発明の分光フィルターにおいて、特開２０１７−１８７７９９号公報などに記載された２電極駆動を行う場合、波長リストＬは、駆動電圧Ｖに加算されるバイアス電圧を含んでいてもよい。
また、波長リストＬは、フィードバック制御の応答性を調節するパラメーター（具体的にはＰＩＤ制御のＰ、Ｉ、Ｄの数値）を含んでいてもよい。
また、波長リストＬは、制御には利用しないが、ユーザーに対して表示する値として、波長の値を含んでいてもよい。
【００４７】
（変形例５）
前記実施形態において、駆動制御部２２は、トリガー信号Ｓｔが立ち下がるタイミングを波長切替タイミングとして検出し、この波長切替タイミングで波長指令値Ｖｃを切り替えているが、本発明はこれに限られない。
例えば、駆動制御部２２は、図８に示すように、トリガー信号Ｓｔが立ち上がるタイミングを波長切替タイミングとして検出し、この波長切替タイミングで波長指令値Ｖｃを切り替えてもよい。このような例においても、駆動制御部２２は、トリガー信号Ｓｔが入力される毎に波長指令値Ｖｃを切り替えることになる。
また、図８に示す例において、受光制御部３２は、トリガー信号Ｓｔが立ち下がるタイミングを信号取込タイミングとして検出することが好ましい。これにより、トリガー信号Ｓｔの立ち上がりから立ち下がりまでの時間分、分光フィルター５の透過波長が変更されて安定することを待つことができる。
【００４８】
さらに、信号取込タイミングは、トリガー信号Ｓｔがローレベルからハイレベルに立ち上がってから指定した時間をあけたタイミングであってもよいし、トリガー信号Ｓｔがハイレベルからローレベルに立ち下がってから指定した時間をあけたタイミングであってもよい。
【００４９】
（変形例６）
前記実施形態において、駆動制御部２２は、波長リストＬの最後の波長指令値Ｖｃ（ｎ）を出力した後に波長切替処理を終了しているが、波長リストＬの最初の波長指令値Ｖｃ（１）に戻って、波長切替処理を繰り返してもよい。
【００５０】
（変形例７）
前記実施形態では、分光フィルター５として、所望の波長の光を透過させる透過型分光フィルターを例示しているが、所望の波長の光を反射させる反射型分光フィルターであってもよい。すなわち、前記実施形態における分光フィルター５の透過波長とは、反射型分光フィルターの反射波長であってもよい。
【符号の説明】
【００５１】
１…分光カメラ、２…分光フィルターモジュール、２１…記憶部、２２…駆動制御部、２３…駆動回路、３…受光センサー、３１…受光部、３２…受光制御部、５…分光フィルター、５１…第一基板、５２…第二基板、５２１…可動部、５２２…ダイアフラム部、５３…接着層、５４…第一反射膜、５５…第二反射膜、５６…静電アクチュエーター、５６１…第一電極、５６２…第二電極、６…制御部、６１…リスト生成部、６２…リセット部、６３…受光値処理部、７１…光源、７２…トリガー信号出力部、１００…分光測定装置、Ｄｉ…受光値、Ｇ…ギャップ、Ｌ…波長リスト、Ｓｉ…受光信号、Ｓｔ…トリガー信号、Ｓｗ…波長指令信号、Ｖ…駆動電圧、Ｖｃ…波長指令値。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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