(57)【要約】【課題】  太陽光によって環境の照度が大きく、かつ、天候によって環境の照度が変動する昼間であっても、漏油を正確に検出することができる漏油検出システムおよび漏油検出方法を提供する。【解決手段】  本発明の漏油検出システム（１００）は、被測定対象物（１）が設置されている環境の照度を測定する環境照度測定装置（６）と、被測定対象物に紫外光を照射する光源（４）と、紫外光の強度を測定する紫外光強度測定装置（５）と、紫外光が照射された被測定対象物（１）の画像を取得する撮像機（３）と、上記装置を制御する制御装置（１０）とを備え、制御装置（１０）は、環境照度測定装置（６）によって測定された環境の照度が基準値以上である場合、環境の照度に影響されない手段を用いて被測定対象物（１）の漏油の有無を診断することを特徴とする。【選択図】図１
2020003350.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定対象物が設置されている環境の照度を測定する環境照度測定装置と、
前記被測定対象物に紫外光を照射する光源と、
前記紫外光の強度を測定する紫外光強度測定装置と、
前記紫外光が照射された前記被測定対象物の画像を取得する撮像機と、
前記環境照度測定装置、前記光源、前記紫外光強度測定装置および前記撮像機を制御する制御装置とを備え、
前記制御装置は、前記環境照度測定装置によって測定された前記環境の照度が基準値以上である場合、前記環境の照度に影響されない手段を用いて前記被測定対象物の漏油の有無を診断することを特徴とする漏油検出システム。
【請求項２】
前記環境の照度に影響されない手段は、前記撮像機で取得された前記被測定対象物の画像の青色成分に基づいて前記被測定対象物の漏油の有無を診断することを特徴とする請求項１に記載の漏油検出システム。
【請求項３】
前記環境の照度に影響されない手段は、前記被測定対象物の漏油が付着している部位の画像の画素から青色成分の強度ＩＢ１の紫外光強度に対する変化率ＫＢ１と、前記被測定対象物の漏油が付着していない部位の画像の画素から青色成分の強度ＩＢ２の紫外光強度に対する変化率ＫＢ２とを算出し、
前記ＫＢ１と前記ＫＢ２の比率ＫＢ１／ＫＢ２または所定の紫外光強度での前記ＫＢ１と前記ＫＢ２の差分ＫＢ１−ＫＢ２から前記被測定対象物の漏油の有無を判断することを特徴とする請求項２に記載の漏油検出システム。
【請求項４】
前記環境の照度に影響されない手段は、前記被測定対象物の漏油が付着している部位の画像の画素から所定の紫外光強度を照射した時の青色成分の強度ＩＢ１、緑色成分の強度ＩＧ１および赤色成分の強度ＩＲ１を算出し、前記被測定対象物の漏油が付着していない部位の画像の画素から青色成分の強度ＩＢ２、緑色成分の強度ＩＧ２および赤色成分の強度ＩＲ２を算出し、
前記ＩＢ１と前記ＩＧ１の比率ＩＢ１／ＩＧ１、前記ＩＢ１と前記ＩＲ１の比率ＩＢ１／ＩＲ１、前記ＩＢ２と前記ＩＧ２の比率ＩＢ２／ＩＧ２、前記ＩＢ２と前記ＩＲ２の比率ＩＢ２／ＩＲ２、前記ＩＢ１と前記ＩＢ２の比率ＩＢ１／ＩＢ２、前記ＩＢ１と前記ＩＧ１の差分ＩＢ１−ＩＧ１、前記ＩＢ１と前記ＩＲ１の差分ＩＢ１−ＩＲ１、前記ＩＢ２と前記ＩＧ２の差分ＩＢ２−ＩＧ２、前記ＩＢ２と前記ＩＲ２の差分ＩＢ２−ＩＲ２または前記ＩＢ１と前記ＩＢ２の差分ＩＢ１−ＩＢ２から前記被測定対象物の漏油の有無を判断することを特徴とする請求項２に記載の漏油検出システム。
【請求項５】
前記環境の照度に影響されない手段は、前記被測定対象物の漏油が付着している部位の画像の画素から青色成分の強度ＩＢ１の前記環境の照度に対する変化率ＫＢ１´と、前記被測定対象物の漏油が付着していない部位の画像の画素から青色成分の強度ＩＢ２の前記環境の照度に対する変化率ＫＢ２´とを算出し、
前記ＫＢ１´と前記ＫＢ２´の比率ＫＢ１´／ＫＢ２´または前記ＫＢ１´と前記ＫＢ２´の差分ＫＢ１´−ＫＢ２´から前記被測定対象物の漏油の有無を判断することを特徴とする請求項２に記載の漏油検出システム。
【請求項６】
前記環境の照度に影響されない手段は、前記環境の照度を低くする手段を有することを特徴とする請求項１に記載の漏油検出システム。
【請求項７】
前記光源および前記撮像機が収納された箱を有し、
前記環境の照度を低くする手段は、前記被測定対象物の測定部位を含む表面を前記箱で覆うことを特徴とする請求項６に記載の漏油検出システム。
【請求項８】
前記箱に伸縮自在な棒が設けられていることを特徴とする請求項７に記載の漏油検出システム。
【請求項９】
前記環境の照度を低くする手段は、作業員または前記漏油検出システムを構成する機器によって、前記被測定対象物の測定部位を含む表面に影を作ることを特徴とする請求項６に記載の漏油検出システム。
【請求項１０】
前記環境の照度に影響されない手段は、前記光源からの紫外光の強度を、紫外光反射凹面鏡または紫外光透過凸レンズによって高めることを特徴とする請求項１に記載の漏油検出システム。
【請求項１１】
前記光源は太陽であり、前記太陽と前記被測定対象物との間に光フィルターが設けられており、前記太陽の光が前記光フィルターを通って紫外光として前記被測定対象物に照射されることを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の漏油検出システム。
【請求項１２】
前記光源は太陽であり、前記箱の表面に光フィルターが設けられており、前記太陽の光が前記光フィルターを通って紫外光として前記被測定対象物に照射されることを特徴とする請求項７に記載の漏油検出システム。
【請求項１３】
前記光源はＬＥＤライトであり、前記光源と前記被測定対象物との間に光フィルターが設けられ、前記光源の光が前記光フィルターを通って紫外光として前記被測定対象物に照射されることを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の漏油検出システム。
【請求項１４】
前記被測定対象物と前記撮像機との間に中心波長が４０５ｎｍ光フィルターが設けられ、前記被測定対象物から放出される蛍光が前記被測定対象物と前記撮像機との間の前記光フィルターを通って前記撮像機に入射することを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の漏油検出システム。
【請求項１５】
前記被測定対象物の油または前記被測定対象物の表面に蛍光の強度を増加させる材料が含まれていることを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の漏油検出システム。
【請求項１６】
前記環境の照度に影響されない手段は、前記紫外光が前記被測定対象物に照射された際の干渉縞を観測することによって前記被測定対象物の漏油の有無を判断することを特徴とする請求項１に記載の漏油検出システム。
【請求項１７】
前記光源に信号発生器が設けられ、前記信号発生器によって前記光源からパルス光が生成され、
前記環境の照度に影響されない手段は、前記被測定対象物にパルス光を照射した際の前記被測定対象物の温度変化によって漏油の有無を診断することを特徴とする請求項１に記載の漏油検出システム。
【請求項１８】
前記光源に信号発生器が設けられ、前記信号発生器によって前記光源からパルス光が生成され、
前記環境の照度に影響されない手段は、前記被測定対象物にパルス光を照射した際の前記撮像機で取得された画像から、青色成分と時間との関係をグラフとし、前記青色成分の強度の時間変化と、前記パルス光の強度の時間変化とを比較して漏油の有無を診断することを特徴とする請求項１に記載の漏油検出システム。
【請求項１９】
臭気測定装置をさらに備え、
前記環境の照度に影響されない手段は、前記臭気測定装置で測定された臭気から漏油の有無を診断することを特徴とする請求項１に記載の漏油検出システム。
【請求項２０】
被測定対象物が設置されている環境の照度を測定する工程と、
前記被測定対象物に紫外光を照射し、前記紫外光が照射された前記被測定対象物の画像を撮像機によって取得する工程と、
前記紫外光の強度を測定する工程とを有し、
前記環境の照度が基準値以上である場合、前記環境の照度に影響されない手段を用いて前記被測定対象物の漏油の有無を診断することを特徴とする漏油検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、漏油検出システムおよび漏油検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、貯油タンクや変圧器等の油入機器では、劣化或いは事故等により、油漏れ（漏油）が発生する懸念があった。漏油は、環境汚染や災害につながる可能性があるため、初期段階の漏油を簡易、かつ、高精度に検出する技術が求められてきた。
【０００３】
この問題を解決する従来技術として、特許文献１に記載されたものがある。この文献には、漏油の吸収波長を含む紫外光を被測定対象物（変圧器などの検査対象物）に照射した際に、漏油が反射する蛍光を検出することで漏油を検出する技術が記載されている。より具体的には、紫外光照射中の撮影画像の各ピクセルを画像処理することで各ピクセルの明度と彩度を演算し、明度−彩度グラフおよび明度−彩度特性曲線を作成するとともに、この明度−彩度特性曲線から所定値以上乖離したピクセルを蛍光箇所、すなわち、漏油箇所と認識する技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−９０５６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した特許文献１に記載の技術は、夜間などの環境の照度が低い時間帯における漏油の検出には有効である。一方、太陽光による環境の照度が大きい昼間はバックグランドノイズが大きくなる。さらに、天候によって照度が変動するため、漏油の検出精度が低下する課題があった。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑み、太陽光によって環境の照度が大きく、かつ、天候によって環境の照度が変動する昼間であっても、漏油を正確に検出することができる漏油検出システムおよび漏油検出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明の一態様は、被測定対象物が設置されている環境の照度を測定する環境照度測定装置と、被測定対象物に紫外光を照射する光源と、紫外光の強度を測定する紫外光強度測定装置と、紫外光が照射された前記被測定対象物の画像を取得する撮像機と、環境照度測定装置、光源、紫外光強度測定装置および撮像機を制御する制御装置とを備え、制御装置は、環境照度測定装置によって測定された環境の照度が基準値以上である場合、環境の照度に影響されない手段を用いて被測定対象物の漏油の有無を診断することを特徴とする漏油検出システムである。
【０００８】
また、本発明の他の態様は、被測定対象物が設置されている環境の照度を測定する工程と、被測定対象物に紫外光を照射し、紫外光が照射された被測定対象物の画像を撮像機によって取得する工程と、紫外光の強度を測定する工程とを有し、環境の照度が基準値以上である場合、環境の照度に影響されない手段を用いて被測定対象物の漏油の有無を診断することを特徴とする漏油検出方法である。
【０００９】
本発明のより具体的な構成は、特許請求の範囲に記載される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、太陽光によって環境の照度が大きく、かつ、天候によって環境の照度が変動する昼間であっても、漏油を正確に検出することができる漏油検出システムおよび漏油検出方法を提供することができる。
【００１１】
上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施例１の漏油検出システムの構成を示すブロック図。
【図２】実施例１の漏油検出方法のフロー図。
【図３】実施例１の漏油検出システムの被測定対象物、紫外光源および撮像機の配置の一例を示す模式図。
【図４】実施例１の漏油検出システムにおいて、紫外光源および撮像機を一体化してポータブル装置とした例を示す模式図。
【図５】被測定対象物に紫外光を照射して得られた画像のＲ、Ｇ、Ｂ成分の強度と紫外光の強度との関係を示すグラフである。
【図６】被測定対象物に紫外光を照射して得られた画像のＢ成分の強度と環境照度との関係を示すグラフである。
【図７】被測定対象物に紫外光を照射して得られた画像のＲ、Ｇ、Ｂ成分の強度と紫外光の強度との関係を示すグラフである。
【図８】スイッチを備えた紫外光源の一例を示す模式図
【図９】紫外光源と被測定対象物の配置の一例を示す模式図
【図１０】実施例２の漏油付着部位の画像解析において周波数変換を用いる態様を示す模式図
【図１１】実施例３の漏油検出システムの模式図
【図１２】実施例４の漏油検出システムを示す模式図
【図１３】実施例５の漏油検出システムの一部を示す模式図
【図１４】実施例６の漏油検出システムの撮像機と光源の模式図
【図１５】実施例６の撮像機と紫外光源の動作の経時変化を示すグラフ
【図１６】実施例７の漏油検出システムの光源と撮像機を示す模式図である。
【図１７】実施例７の干渉縞の測定原理を示す模式図
【図１８】実施例８の漏油検出システムの光源と撮像機の模式図
【図１９】実施例９の漏油検出システムの光源と撮像機の模式図
【図２０】実施例１０の漏油検出システムの光源と撮像機の模式図
【図２１】実施例１１の漏油検出システムの光源と撮像機の模式図
【図２２】実施例１２の漏油検出システムの信号発生器、光源と撮像機の模式図
【図２３】被測定対象物の温度の時間変化を示すグラフ
【図２４】実施例１３の漏油検出システムの信号発生器、光源と撮像機の模式図
【図２５】実施例１３の漏油付着部位のＢ成分の経時変化を示すグラフ
【図２６】実施例１３の被測定対象物表面部位のＢ成分の経時変化を示すグラフ
【図２７】実施例１３の漏油付着部位の成分Ｂの経時変化を示すグラフ
【図２８】実施例１３の漏油付着部位の成分Ｂの経時変化を示すグラフ
【図２９】実施例１３の検出信号Ｓ（ｔ）およびＳ´（ｔ）の圧縮パルス波形を得る方法のフロー図
【図３０】実施例１４の漏油検出システムの信号発生器、光源および撮像機の模式図
【図３１】実施例１においてＢ成分から漏油を診断する方法のフロー図の一例
【図３２】被測定対象物に紫外光を照射して得られた画像のＢ成分の強度と照度との関係および蛍光のＢ成分の強度と外乱光（環境ノイズ光）のＢ成分の強度の比率とを示すグラフ
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を用いながら、本発明の漏油検出システム及び漏油検出方法の実施例を説明する。なお、各実施例において、同一構成部品には同符号を使用する。なお、以下の実施例では、被測定対象物として変電所内の油入変圧器を例にするが、変圧器の他に、コンデンサー、ＧＩＳ（ガス絶縁開閉装置）の油圧操作器、整流器、コンバーターおよびインバーター等の油入機器にも適用可能である。
【実施例１】
【００１４】
図１は実施例１の漏油検出システムの構成を示すブロック図である。図１は、被測定対象物１を変電所に設置される油入変圧器とした例である。図１に示すように、実施例１の漏油検出システム１００は、被測定対象物１が設置されている環境の照度を測定する環境照度測定装置６と、被測定対象物１に紫外光を照射するための紫外光源４と、被測定対象物１に照射する紫外光の強度を測定する紫外光強度測定装置５と、紫外光が照射された被測定対象物１を撮影する撮像機３と、被測定対象物１の臭気を測定する臭気測定装置２を備える。
【００１５】
漏油検出システム１００は、さらに、表示装置７と、上述した各装置で得られたデータを転送する通信装置８と、撮像機３で撮影した画像の保存および処理を行う画像保存・処理装置９と、各機器を制御する制御装置１０とを備えている。表示装置７は、環境照度測定装置６で測定された照度値、紫外光源５の紫外光強度値、撮像機３で撮影した画像の番号、臭気測定装置２で測定された臭気の濃度、漏油の有無の診断頻度または時刻および診断結果等のデータを表示することができる。さらに、上記表示装置７、通信装置８、画像保存・処理装置９および制御装置１０を一体化していてもよい。
【００１６】
紫外光源４は、ブラックライトやＬＥＤ紫外光源及び高輝度キセノンランプなどを利用することができる。撮像機３は、可視光を撮影するデジタルカメラや監視カメラ等の汎用品を利用することができ、カラー撮像機能を有するのが望ましい。
【００１７】
表示装置７の表示画面では、照度測定装置６で測定した照度値、紫外光強度測定装置５で測定した紫外光強度値、撮像機３で得られた画像番号入力、臭気測定装置２で測定した臭気濃度値、作業員が設定した診断頻度または診断の時刻、画像保存・処理装置９で処理した結果診断結果表示などの表示欄を有する。これらの測定値は、照度測定装置６、紫外光強度測定装置５、撮像機３および臭気測定装置２から自動で入力される。無論、作業員が手動で入力しても良い。一方、上記内容はすべて表示する必要は無く、必要な内容のみ表示することもできる。また、すべての内容を同じ画面に表示するのではなく、多数画面で分割表示しても良い。
【００１８】
図２は実施例１の漏油検出方法のフロー図である。図２に沿って、本実施例の漏油診断のプロセスを説明する。
【００１９】
まず始めに、照度測定装置６で被測定対象物１が設置されている環境の照度を測定し、測定された環境照度が基準値未満であるか、それとも基準値以上であるかを判断する（ＳＴＥＰ１）。これは、上述した特許文献１等に記載の従来の漏油検出方法が適用できる環境照度であるか否かを調べるものである。環境照度の基準値は、紫外光の強度によって定められる。例えば、紫外光の強度が５０００μＷ／ｃｍ２未満の時、１０００ｌｕｘ以上の環境照度では従来の方法では漏油の有無を判断することが難しくなる。すなわち、紫外光の強度が５０００μＷ／ｃｍ２未満の時は、環境照度の基準値が１０００ｌｕｘこれを本実施例での基準値とする。１０００ｌｕｘは、おおよそ、太陽光が照射される昼間の時間帯の照度である。照度測定装置６での測定結果は、通信装置８を通して制御装置１０に送信される。
【００２０】
測定した環境照度が基準値未満である場合には、従来の漏油検出方法を実施する。すなわち、制御装置１０による自動遠隔操作で紫外光源４から被測定対象物１に紫外光を照射し、撮像機３で写真を撮影する（ＳＴＥＰ３ａ）。例えば、夕方から夜間の照明がない環境では、照度が１００ｌｕｘ以下となり、本実施例の基準値未満となる。この時間帯では、作業員の作業時間外であるため、制御装置１０で自動撮影を行う。このような自動遠隔測定の頻度として、一般的に１回／１日でよいが、無論、作業員が自由に設定可能である。
【００２１】
図３は実施例１の漏油検出システムの被測定対象物、紫外光源および撮像機の配置の一例を示す模式図である。図３に示すように、紫外光源４は被測定対象物１の測定部位１１に紫外光を照射できる位置であれば、被測定対象物１の近傍に配置しても遠方に配置してもよい。遠方に設置する場合、できれば強度の強い紫外光源４を利用したほうが良い。漏油検出精度と高くするために、漏油部位に当たる紫外光の強度は５０μＷ／ｃｍ２以上とすることが望ましい。
【００２２】
撮像機３は測定部位１１の画像を取得できる位置に設置されていればよく、紫外光源４よりも遠方に配置することもできる。例えば、変電所の監視カメラを撮像機３として利用することができる。このようにすることで、既設装置の利用が可能なため、システムの構成として装置を新設することなく、コストを削減できる。撮像機３と紫外光源４と一体化して、測定部位１１の近傍または遠方に設置しても良い。
【００２３】
ＳＴＥＰ３ａで撮影した画像は、画像保存・処理装置９によって画像解析を行い、漏油の状況と場所を確認し、結果を保存する（ＳＴＥＰ４ａ）。この処理は、上述した特許文献１等に記載された従来の漏油の検出方法と同様である。すなわち、被測定対象物１に紫外光を照射した際に放出される蛍光を画像解析し、漏油の有無を診断する。
【００２４】
一方、環境照度が基準値以上の場合は、従来の画像解析による漏油の診断では、精度が低くなる恐れがある。本実施例では、環境照度が基準値以上の場合は、環境照度に影響されない手段を用いて漏油の有無を診断する（ＳＴＥＰ３ｂ）。環境照度に影響されない手段の１つとして、以下に、測定部位１１に紫外光を照射した際に放出される蛍光の青色（Ｂ）成分に基づく漏油の診断方法について説明する。
【００２５】
基準値以上の環境照度として、本実施例では１０００〜１００００ｌｕｘを想定する。この照度は、おおよそ、作業員変電所に入って作業ができる昼間の時間帯であり、太陽光が直接照射しない日陰のところや曇りの日等の照度である。環境照度が基準値以上の場合、作業員を派遣し、漏油の精密検査を行うことが好ましい。これは、環境照度が基準値以上である場合、漏油以外の蛍光物質や外乱光等を漏油と誤認識する懸念があり、作業員による精密点検が必要となるためである。
【００２６】
まず始めに、被測定対象物１に紫外光源４によって紫外光を照射し、このときの画像を撮像機３によって撮影する。従来のように被測定対象物に紫外光を照射したときの画像を取得し、解析するものであるが、解析方法が従来と異なる。
【００２７】
図４は実施例１の漏油検出システムにおいて、紫外光源および撮像機を一体化してポータブル装置とした例を示す模式図である。作業員１２は、精密点検をする際に、例えば、図４に示すポータブル測定装置を利用することができる。ポータブル測定装置１３は、撮像機３と紫外光源４と表示部１４が含まれる。撮像機３で撮影された画像が無線通信装置１５を通して、画像保存・処理装置９に転送される。処理した結果は表示部１４に表示され、作業員が現場で診断結果を確認し、そのまま被測定対象物１の修理作業を行うことができる。
【００２８】
また、図４では撮像機３と紫外光源４と表示部１４は一体化しているが、別々の装置として作業員が手で持ったり、首や肩にかけて携帯していてもよい。
次に、得られた画像の青色成分に基づき、漏油の有無を診断する。図５は被測定対象物に紫外光を照射して得られた画像のＲ、Ｇ、Ｂ成分の強度と紫外光の強度との関係を示すグラフであり、図３２は被測定対象物に紫外光を照射して得られた画像のＢ成分の強度と照度との関係および蛍光のＢ成分の強度と外乱光（環境ノイズ光）のＢ成分の強度の比率とを示すグラフである。油入変圧器に用いられる油は、鉱油やエステル油等が一般的である。変圧器の表面に漏れた鉱油やエステル油等に紫外光（中心波長：３６５ｎｍ）を照射して放出される蛍光の中心波長は４０５ｎｍである。この波長は、カラー撮像機で撮影された場合、青色（Ｂ）成分として観察される。
【００２９】
図３２に示すように、環境照度が高くなるにつれて蛍光のＢ成分の強度と外乱光（環境ノイズ光）のＢ成分の強度の比率は低下する。図３２において、紫外高強度は、紫外光強度１＞紫外光強度２＞紫外高強度３の関係を有する。同じ照度の時は、紫外光強度が高いほど蛍光のＢ成分の強度と外乱光（環境ノイズ光）のＢ成分の強度の比率は高くなる。
【００３０】
そのため、撮像機３で撮影した画像では、漏油付着部位と漏油が付着していない被測定対象物表面部位の各画素の赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）成分の数値を見ると、図５に示すように、紫外光を高めるとともにＢ成分の強度（ＩＢ１およびＩＢ２）が増し、Ｇ成分およびＲ成分の強度（ＩＧおよびＩＲ）は、紫外高強度によらずほぼ一定の値となる特徴がある。なお、Ｒ、Ｇ、Ｂ成分の正確な数値を得るために、カメラの露光値が飽和値を超えないように調整する必要がある。
【００３１】
図５に示すように、ある一定の環境照度の時に、被測定対象物１の同じ部位（画素）に対して紫外光の強度を増加すると、漏油付着部位のＢ成分の変化率ＫＢ１と、漏油が付着していない部位（すなわち、被測定対象物１の表面部位）のＢ成分の変化率ＫＢ２とを比較すると、ＫＢ１＞ＫＢ２の関係となる。また、ある紫外光強度Ｕ１において、漏油付着部位の強度ＩＢ１と漏油が付着していない部位の強度ＩＢ２とを比較すると、ＩＢ１＞ＩＢ２となる。
【００３２】
一方、漏油付着部位のＲ成分の変化率ＫＲ１と漏油が付着していない部位のＲ成分の変化率ＫＲ２とを比べると、ＫＲ１とＫＲ２はほぼ同じとなる。また、ある紫外光強度Ｕ１において、漏油付着部位の強度ＩＲ１と漏油が付着していない部位のＩＲ２とを比較すると、ＩＲ１とＩＲ２はほぼ同じとなる。Ｇ成分に関しても、Ｒ成分と同じ傾向である。
【００３３】
以上の傾向から、比率１：ＫＢ１／ＫＢ２、比率２：ＩＢ１／ＩＧまたはＩＢ１／ＩＲ、比率３：ＩＢ２／ＩＧまたはＩＢ２／ＩＲ、比率４：ＩＢ１／ＩＢ２、差分１：ＫＢ１−ＫＢ２、差分２：ＩＢ１―ＩＧまたはＩＢ１―ＩＲ、差分３：ＩＢ２―ＩＧまたはＩＢ２―ＩＲまたは差分４：ＩＢ１―ＩＢ２等を利用して、漏油の検出が可能となる。
【００３４】
図６は被測定対象物に紫外光を照射して得られた画像のＢ成分の強度と環境照度との関係を示すグラフである。環境照度が変化した場合は、図６に示す関係がある。すなわち、撮像機３で撮影した画像では、漏油付着部位と漏油が付着していない部位の各画素のＢ成分は、照度の増加と共に増加していくが、漏油付着部位の増加率ＫＢ１´は、漏油が付着していない部位のＫＢ２´より小さい。したがって、比率５：ＫＢ１´／ＫＢ２´または差分５：ＫＢ１´―ＫＢ２´を利用すれば、漏油付着部位の検出が可能となる。
【００３５】
以上のように、Ｂ成分を解析することで、紫外光の強度及び天候により照度が変動する場合でも、正確に漏油を検出することができる。なお、無論、漏油付着部位と漏油が付着していない被測定対象物表面部位のそれぞれに含まれるすべて画素値のＲ成分の平均、Ｂ成分の平均および赤Ｇ成分の平均から、または、ある画素のＲ、Ｇ、Ｂ成分から輝度値を算出し、輝度を利用しても前記手法を適用可能となる。輝度値を算出するには、たとえば、一般的に、（Ｒ＋Ｇ＋Ｂ）／３が利用される。
【００３６】
図７は被測定対象物に紫外光を照射して得られた画像のＲ、Ｇ、Ｂ成分の強度と紫外光の強度との関係を示すグラフである。図７では、付着量の異なるグラフを併記している。図７のＫＢ１、ＫＢ２およびＫＢ３が示すように、漏油付着量が少ない場合の変化率ＫＢ３は、漏油の付着量が多い場合の変化率ＫＢ１より小さいが、漏油が付着していない場合の変化率ＫＢ２より大きい。また、ある紫外光強度の時、ＩＢ１＞ＩＢ３＞ＩＢ２となる。したがって、変化率や強度の差分の関係から、漏油の量もわかる。図７のグラフを予め作成しておくことで、漏油の付着量を予測することができる。
【００３７】
ＫＢ２およびＫＢ３の具体例として、例えば照度が７０００ｌｕｘの環境で１．５ｍｌの油に紫外光を照射する場合、ＫＢ３は約０．００３であり、ＫＢ２は０．０００５となる。
【００３８】
図３１は実施例１においてＢ成分から漏油を診断する方法のフロー図の一例である。図３１に示すように、Ｂ成分からの漏油の検出は、（ｉ）環境照度計６で照度Ｌ１を測定、（ｉｉ）被測定対象物１に紫外光源４から紫外光を照射、（ｉｉｉ）撮像機３によって画像を取得し、分析部位各ピクセルのＢ成分を抽出し、強度Ｉを算出、（ｉｖ）必ず漏油がない部位のＩ０を算出し、分析部位のＩとＩ０の比率Ｒｘを算出、（ｖ）蛍光信号と外乱光のＢ成分の比率Ｒ＝ｋＬを呼び出し、照度Ｌ１の時のＲ１を算出する、（ｖｉ）ＲｘとＲ１とを比較し、Ｒｘ＝Ｒ１を漏油部位と認識する。
【００３９】
なお、図５および図７では紫外光の強度を変化させているが、例えば以下の方法により紫外光の強度を変化させることができる。図８はスイッチを備えた紫外光源の一例を示す模式図である。紫外光源４として、例えばＬＥＤライトを使用する場合、スイッチ８０によってＬＥＤライトの発光本数や強度を変更することで被測定対象物１に照射する紫外光の強度を変化させることができる。
【００４０】
図９は紫外光源と被測定対象物の配置の一例を示す模式図である。図９に示すように、紫外光源４と被測定対象物１の測定部位１１との間の相対距離ｄを変更して（ｄ１、ｄ２等）、測定部位１１に照射する紫外光の強度を変化させることができる。紫外光源の強度Ｕと距離ｄは、一般的にＵ＝α／ｄ２（αは比例定数）の関係がある。
【００４１】
なお、熟練した作業員等の場合、紫外光源４を漏油に照射した際の青色の蛍光を目で確認しても良いので、このような場合、画像処理が必要なく、撮像機３と無線通信装置１５を利用しなくても良い。
【００４２】
また、本実施例では鉱油を例として、Ｂ成分に基づく画像解析によって漏油の有無を判定する例を説明しているが、他の油を利用する場合または紫外光源４の波長を変化させる場合、Ｂ成分ではなくて、Ｒ成分またはＧ成分にも上述したＢ成分のような傾向を持つ場合があるので、Ｒ成分またはＧ成分に基づく画像解析によって漏油の有無を判定してもよい。
【００４３】
ＳＴＥＰ４ａおよびＳＴＥＰ３ｂの診断後、漏油の程度を知らせるアラームや、メンテナンスのスケジュール指示等を表示装置７に画面や音声で表示することができる。
【００４４】
本実施例によれば、太陽光によって環境の照度が大きく、かつ、天候によって環境の照度が変動する昼間であっても、照度の影響を受けない方法で漏油を正確に検出することができる漏油検出システムおよび漏油検出方法を提供することができる。
【実施例２】
【００４５】
図１０は実施例２の漏油付着部位の画像解析において周波数変換を用いる態様を示す模式図である。本実施例は、図２の環境照度に影響されない手段として、画像解析で漏油付着部位を周波数変換している。基準値以上の環境照度下で、環境照度に対して紫外光源の強度が十分ではない場合、漏油付着部位と漏油が付着しない部位の差分が小さくなる。この場合、周波数変換を利用して、漏油付着部位を鮮明にすることができる。周波数を変換後、上述した画像解析を行うことで、環境照度が基準値以上の環境であっても、環境照度に影響を受けることなく精度の高い診断を行うことができる。なお、この手法は、環境照度が従来の基準値未満である時の画像解析（ＳＴＥＰ４ａ）の際に用いてもよい。
【実施例３】
【００４６】
図１１は実施例３の漏油検出システムの模式図である。本実施例では、図２の環境照度に影響されない手段として、環境照度を低くして画像解析を実施している。図１１に示すように、本実施例の漏油検出システム２００は、撮像機３と紫外光源４が箱１６の内部に配置されている。作業員１２は、伸縮可能な棒１７を通して、箱１６の配置位置を制御することが可能となっている。このような構成とすることで、作業員が日中、変電所内で作業するのに便利なポータブル測定装置とすることができる。
【００４７】
箱１６は柔軟性を持つ材料で構成されることが好ましい。例えば、ゴム製が好ましい。このような箱１６を被測定対象物１の測定部位１１を含む表面の形に沿ってカバーする。このようにすることで、箱１６の内部の環境照度を低くし、従来の画像解析（ＳＴＥＰ３ａ，４ａ）によって漏油の有無を診断することができる。
【００４８】
箱１６も伸縮可能な棒１７も、絶縁性の高い材料であることが好ましい。特に、変圧器のブッシングと変圧器タンクとの間のフランジ付近は高電圧であるため、十分な絶縁性を確保する必要がある。
【００４９】
本実施例では、箱１６によって環境照度を低くしていることから、測定部位１１の周辺の照度値が低いため、撮像機３と紫外光源４は、市販のウェブカメラや照射強度低い紫外光源も利用することができる。
【００５０】
撮像機３と紫外光源４と制御・表示・保存装置１８との間の通信は有線でもよいし、無線でも可能である。制御・表示・保存装置１８は一般的に使われているタブレット、スマートフォンなどのスマート端末を使用することができる。この制御・表示・保存装置１８は、ポータブルな漏油検出システム２００の他の構成とは一体化していなくても良い。
【００５１】
上記の通り、本実施例では、環境照度はもちろん、雨等の天候の影響を受けることなく、精度の高い漏油の診断ができる。
【実施例４】
【００５２】
図１２は実施例４の漏油検出システムの模式図である。本実施例では、図２の環境照度に影響されない手段として、環境照度を低くして画像解析を実施している。具体的な構成として、実施例３の漏油検出システム２００の箱１６の一部に、３６５ｎｍの中心波長を有するバンドパスフィルター１９を設けており、紫外光源を取り出している。太陽光の中には３６５ｎｍの光があるので、その成分を紫外光源として利用することができる。したがって、本実施例では紫外光源４を設ける必要が無い。
【００５３】
上記の通り、本実施例では、実施例３と同様な効果が得られることは勿論、紫外光源を省略することができる。
【実施例５】
【００５４】
図１３は実施例５の漏油検出システムの一部を示す模式図である。本実施例では、図２の環境照度に影響されない手段として、環境照度を低くして画像解析を実施している。具体的な構成として、作業員１２が測定作業を実施する時に、被測定対象物１の測定部位１１と太陽光との間に立ち、測定部位１１の周辺に影２０を作る。このように影２０を作れば、実施例３および実施例４と同様に環境照度を低くすることができるため、従来の被測定対象物１に紫外光照射した際の画像解析で漏油を検出することができる。漏油検出システムのその他の構成は、実施例１〜４と同様である。
【００５５】
影２０は、作業員１２によって作る他、傘や漏油検出システムの構成機器の一部を利用して作り出してもよい。また、ドローン等を利用して影２０を作り、さらにドローンで測定を行ってもよい。
【００５６】
上記の通り、本実施例の方法を利用すれば、環境照度の影響を受けずに、簡単に精度高く漏油を診断することができる。
【実施例６】
【００５７】
図１４は実施例６の漏油検出システムの撮像機と紫外光源の模式図である。本実施例では、図２の環境照度に影響されない手段として、被測定対象物１に紫外光を照射した際に放出される蛍光のＢ成分に基づいて漏油の有無を診断するものである。具体的な構成として、本実施例は撮像機３として高速度カメラを利用し、紫外光源４は高輝度パルス光源を利用する。高輝度パルス光源は、一般的に、すべての波長が含まれる。そのため、紫外光源４の照射部に中心波長３６５ｎｍのバンドパスフィルター２１を配置し、高速度カメラの撮像部に中心波長４０５ｎｍのバンドパスフィルター２２を配置する。なお、中心波長が３６５ｎｍの高輝度レーザー光源を利用する場合、３６５ｎｍのバンドパスフィルター２１の利用を省略できる。
【００５８】
図１５は実施例６の撮像機と紫外光源の動作の経時変化を示すグラフである。紫外光源４の発光開始時刻をｔ１、撮像機３のシャッターオープン時刻をｔ１´、紫外光源４の発光完了時刻をｔ２および撮像機３のシャッタークローズ時刻をｔ２´とする。基本的に、Δｔ＝ｔ２―ｔ１、Δｔ´＝ｔ２´―ｔ１´、Δｔ≧Δｔ´を満たすとき、外乱ノイズ光を減らせる。たとえば、図９のように、ｔ１＝ｔ１´、ｔ２≧ｔ２´とする。
【００５９】
本実施例の方法を利用すれば、環境照度の影響を受けずに、バンドパスフィルターによって光源から紫外光を、被測定対象物１から青色成分を取り出し、簡単に精度高く漏油の有無を診断することができる。
【実施例７】
【００６０】
図１６は実施例７の漏油検出システムの光源と撮像機を示す模式図である。本実施例では、図２の環境照度に影響されない手段として、被測定対象物１に光を照射した際に観測される干渉縞に基づいて漏油の有無を診断するものである。本実施例の光源２４は、一般的なＬＥＤライトでよい。このＬＥＤライトは、様々な波長λ１…λｎの光を放出する。この光源２４の発光部に光フィルター２３を設け、単一波長（λ１）の光が被測定対象物１の測定部位１１に照射されるようにする。
【００６１】
図１７は実施例７の干渉縞の測定原理を示す模式図である。図１７に示すように、λ１の波長の光が油に照射するときに、入射した光は油と被測定対象物１の塗装面の界面で反射され、空気と油の界面に干渉現象が発生する。光の波のピークは、同位相の場合強め合い、逆位相の場合弱めあう。カメラで撮影すると、油が付着した部位に油の干渉縞が観察される。
【００６２】
このような油の干渉縞は、塗装面の屈折率が油の屈折率より小さく、油膜が薄い場合に適用可能である。油の屈折率は、一般的に１．４−１．５程度であり、屈折率がそれより小さいフッ素樹脂およびフッ化リチウムなどが塗装面の材料として利用されている場合、干渉縞の観察によって漏油の検出が可能である。干渉縞を利用する漏油の検出方法は、油膜が薄い場合に特に有効である。
【００６３】
本実施例の方法を利用すれば、環境照度の影響を受けずに、遠隔で簡単に精度高く漏油を診断することができる。
【実施例８】
【００６４】
図１８は実施例８の漏油検出システムの光源と撮像機の模式図である。実施例７では光源２４として複数の波長を持つＬＥＤライトを使用し、バンドパスフィルター２３によって単色光を得ている。本実施例では、単色光を放出するレーザー光源を利用する。レーザー光源を使用すれば、バンドパスフィルター等の光フィルターを利用しなくても、同じ効果が得られる。
【００６５】
上記の通り、本実施例では、実施例７の効果に加えて、装置構成の簡略化を図ることができる。
【実施例９】
【００６６】
図１９は実施例９の漏油検出システムの光源と撮像機の模式図である。実施例７および８では、ＬＥＤライトやレーザー光の光源を設けているが、本実施例は太陽光を直接利用し、太陽光と測定部位１１との間に、光フィルタを設ける。このような構成によって、太陽光から単一波長（λ１）の光を取り出し、被測定対象物１に照射することができる。
【００６７】
上記構成によって、光源を省略することができるため、実施例７および実施例８と比べて装置構成の簡略化を図ることができる。
【実施例１０】
【００６８】
図２０は実施例１０の漏油検出システムの光源と撮像機の模式図である。本実施例では、図２の環境照度に影響されない手段として、紫外高強度を環境照度に対して十分に高くして漏油の有無を診断するものである。具体的な構成として、紫外光源４から照射した紫外光を、紫外光反射凹面鏡２５を利用して、測定部位１１に集中して照射する。反射材として、たとえば、一般的に使用されているアルミニウム板を使用することができる。
【００６９】
本実施例によれば、一般の市販の紫外光源でも高強度な紫外光を作れるため、強い太陽光による環境照度の場合でも漏油の検出が可能である。
【実施例１１】
【００７０】
図２１は実施例１１の漏油検出システムの光源と撮像機の模式図である。本実施例では、実施例１０の紫外光反射凹面鏡２５に代えて、紫外光透過凸レンズ２６を用いて測定部位１１に紫外光を集中して照射する。紫外光透過凸レンズ２６としては、紫外線を透過する結晶材料を用いることができる。具体的には、例えば、一般的に使用されている蛍石（フローライト）及び光学石英ガラス等が使用可能である。
【００７１】
本実施例によれば、実施例１０と同様に、一般の市販の紫外光源でも高強度な紫外光を作れるため、強い太陽光による環境照度の場合でも漏油の検出が可能である。
【実施例１２】
【００７２】
図２２は実施例１２の漏油検出システムの信号発生器、光源と撮像機の模式図である。本実施例では、図２の環境照度に影響されない手段として、被測定対象物にパルス光を与えた時の温度変化を観察して漏油の有無を診断するものである。具体的な構成として信号発生器２７を備え、光源２８にパルス信号、たとえば、チャープ信号を送信し、パルス光を作る。このパルス光は、測定部位１１の表面を振動させ、測定部位１１の表面温度を変化させる。油と被測定対象物１の表面部位は同じ振動に対して、温度の変化が異なるため、この温度の変化をＩＲ（Ｉｎｆｒａｒｅｄ）撮像機２９を利用して、漏油の有無を診断することができる。光源２８は普通のハロゲンランプでよい。
【００７３】
温度の変化は、一フレームの画像上、各ピクセルの温度の分布を見ることで観測することができる。例えば、漏油部位の温度をＴ、ある閾値Ｔ０とすると、Ｔ＞Ｔ０またはＴ＜Ｔ０の場合は漏油と認識する。この関係は、被測定対象物１の表面材料特性に依存する。
【００７４】
図２３は被測定対象物の温度の時間変化を示すグラフである。温度の変化を見るために、例えば、各フレームの同じピクセルの温度変化グラフを作ればよい。図２３はその一例である。図２３に示すように、漏油付着部位の温度は、漏油が付着していない被測定対象物表面部位と比べて、温度の増加が遅い。
【００７５】
本実施例によれば、基準値以上の高い環境照度の場合でも、精度の高い漏油の検出が可能である。
【実施例１３】
【００７６】
図２４は実施例１３の漏油検出システムの信号発生器、光源と撮像機の模式図である。本実施例は、図２の環境照度に影響されない手段として、被測定対象物に光を照射した際に放出される蛍光を観察して漏油の有無を診断するものの全てに適用可能である。具体的な構成として、本実施例では、紫外光源４から紫外光を照射し、蛍光の撮影は高速度撮像機３０を利用する。
【００７７】
図２５は実施例１３の漏油付着部位のＢ成分の経時変化を示すグラフであり、図２６は実施例１３の被測定対象物の表面部位のＢ成分の経時変化を示すグラフである。図２５および図２６は、高速度撮像機３０で撮影された画像から解析された、各フレームの同じピクセルのＢ成分の強度と時間の関係を示すグラフである。図２５に示すように、漏油付着部位のピクセルのＢ成分の強度変化は、入射光源と同じような周波数で変化する。一方、図２６に示すように、漏油が付着していない被測定対象物表面部位では、基本的には太陽光による反射光のため、Ｂ成分の強度は大きく変化しない。
【００７８】
図２７および図２８は実施例１３の漏油付着部位の成分Ｂの経時変化を示すグラフである。図２７に示すように、得られたＢ成分の強度Ｓ´（ｔ）は、蛍光の信号と太陽光の反射によるバックグラウンド光信号の両方が含まれる。蛍光の信号はバックグランド光信号より強い場合、Ｓ´（ｔ）で漏油の検出が可能である。
【００７９】
しかし、図２８に示すように、蛍光の信号がバックグラウンド光信号の強度とほぼ同程度の場合、Ｓ´（ｔ）で漏油の検出が困難である。このような場合、次の手法を利用することで、漏油の検出Ｓ／Ｎ比を向上することができる。
【００８０】
図２９は実施例１３の検出信号Ｓ（ｔ）およびＳ´（ｔ）の圧縮パルス波形を得る方法のフロー図である。パルス光を作製するための信号発生器２７の波形と時間の関係はＳ（ｔ）とする。図２９に示すように、Ｓ（ｔ）とＳ´（ｔ）の相関関係を計算することで、圧縮パルス波形が得られる。この圧縮パルス波形から、ノイズ信号に埋めた蛍光の信号が明らかにすることができる。このような手法を利用すると、漏油付着部位のピクセルのＢ成分の強度はＳ／Ｎ比を向上することが可能となる。状況によって、計算時にフーリエ変換を利用しても良い。また、油の種類により、Ｒ成分、Ｇ成分または輝度を利用することも可能である。
【００８１】
本実施例によれば、被測定対象物に光を照射した際に放出される蛍光を観測することで漏油の有無を診断する方法において、精度をより高めることができる。
【実施例１４】
【００８２】
図３０は実施例１４の漏油検出システムの信号発生器、光源および撮像機の模式図である。本実施例は、実施例１６と同様に、被測定対象物に光を照射した際に放出される蛍光を観測することで漏油の有無を診断する方法において、漏油の場所を特定できるものである。具体的な構成として、紫外光源４は被測定対象物の表面をスキャンしながら、反射光の信号を取得する。たとえば、まず漏油が付着していない部位３５に紫外光を照射し、次に漏油付着部位３６に照射する。それぞれを照射した場合の光信号は光電変換素子３１に通して、電気信号に変換し、得られた電気信号の強度を時間軸に対する波形を取得する波形測定素子３２を通して、検出信号Ｓ´（ｔ）が得られる。信号処理装置３３で送信信号Ｓ（ｔ）と検出信号Ｓ´（ｔ）の相関を取得し、漏油があるかどうかを判断する。スキャンする場所の強度から画像生成装置３４で画像を生成し、漏油の場所を特定することができる。
【実施例１５】
【００８３】
本実施例は、図２の環境照度に影響されない手段として、臭気測定装置２によって被測定対象物周辺の臭気を測定し、漏油の有無を診断するものである。例えば、環境照度が１００００ｌｕｘを超えるような場合は、高い紫外光強度が必要となり、紫外光を利用する画像解析では診断が難しい場合がある。漏油の有無は臭気によっても診断することができる。このような方法によれば、高い環境照度でも、漏油の有無を検出することができる。
【実施例１６】
【００８４】
本実施例は、図２の環境照度に影響されない手段として、被測定対象物に光を照射した際に放出される蛍光を観察して漏油の有無を診断するものの全てに適用可能である。一般的に、変圧器の流動帯電及び油の酸化を防止するために、１Ｈ−Ｂｅｎｚｏｔｒｉａｚｏｌｅ（ＢＴＡ）とＢｕｔｙｌｈｙｄｒｏｘｙｔｏｌｕｅｎｅ（ＢＨＴ）が油の中に添加されている。上記２種類の材料の添加により、蛍光の強度を増加させることが本発明者の実験で確認されている。そのため、変圧器に絶縁特性を影響しない程度で、油入機器の油の中にこのような蛍光放出物質の量を多めに添加することにより、同じ強度の紫外光源でも蛍光を放出する強度が増加するため、漏油検出感度を増加することが可能である。
【００８５】
無論、他の蛍光を増強する材料の添加も可能である。油入機器の性能を影響されない程度添加すればよい。
【００８６】
本実施例では、被測定対象物から放出される蛍光の強度を高めることができるため、漏油の検出の診断の精度を向上することができる。
【実施例１７】
【００８７】
本実施例は、図２の環境照度に影響されない手段として、被測定対象物に光を照射した際に放出される蛍光を観察して漏油の有無を診断するものの全てに適用可能である。作業員は、一般的に使われている蛍光増強材を被測定対象物の表面に散布する。蛍光増強材は、粉末状のものが良い。漏油があれば、粉末は油の表面に粘着する。紫外光で当たるときに、蛍光の強度の増強が可能となるため、漏油検出感度を増加することが可能である。この蛍光増強材の粉末は実施例１６で説明したＢＴＡとＢＨＴを入れた粉末であってもよい。
【００８８】
本実施例では、実施例１６と同様に、被測定対象物から放出される蛍光の強度を高めることができるため、漏油の検出の診断の精度を向上することができる。
【００８９】
以上、説明したように、本発明によれば、漏油を正確に検出することができる漏油検出システムおよび漏油検出方法を提供することができる。
【００９０】
なお、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かり易く説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
【００９１】
例えば、上述した各実施例に記載の方法を２以上組み合わせてもよい。また、本発明の対象は、絶縁油のみではなく、他の絶縁物（ガスおよび樹脂等）の劣化度の検出にも適用できる。さらに、紫外光を照射した際の蛍光を観察する実施例は、蛍光を発する物質と、蛍光を発しない物質を識別する検査装置一般に適用することもできる。
【符号の説明】
【００９２】
１００…漏油検出装置、１…被測定対象物、２…臭気測定装置、３…撮像機、４…紫外光源、５…紫外光強度測定装置、６…照度測定装置、７…表示装置、８…通信装置、９…画像保存・処理装置、１０…制御装置、１１…測定部位、１２…作業員、１３…ポータブル測定装置、１４…表示部、１５…無線通信装置、１６…箱、１７…棒、１８…制御・表示・保存装置、２０…影、１９，２１，２２，２３…バンドパスフィルター、２４…光源、２５…紫外光反射凹面鏡、２６…紫外光透過凸レンズ、２７…信号発生器、２８…光源、２９…ＩＲ撮像機、３０…高速度撮像機、３１…光電変換素子、３２…波形測定素子、３３…信号処理装置、３４…画像生成装置、３５…漏油が付着していない部位、３６…漏油付着部位、８０…スイッチ。
【図１】
2020003350.tif 000003
【図２】
2020003350.tif 000004
【図３】
2020003350.tif 000005
【図４】
2020003350.tif 000006
【図５】
2020003350.tif 000007
【図６】
2020003350.tif 000008
【図７】
2020003350.tif 000009
【図８】
2020003350.tif 000010
【図９】
2020003350.tif 000011
【図１０】
2020003350.tif 000012
【図１１】
2020003350.tif 000013
【図１２】
2020003350.tif 000014
【図１３】
2020003350.tif 000015
【図１４】
2020003350.tif 000016
【図１５】
2020003350.tif 000017
【図１６】
2020003350.tif 000018
【図１７】
2020003350.tif 000019
【図１８】
2020003350.tif 000020
【図１９】
2020003350.tif 000021
【図２０】
2020003350.tif 000022
【図２１】
2020003350.tif 000023
【図２２】
2020003350.tif 000024
【図２３】
2020003350.tif 000025
【図２４】
2020003350.tif 000026
【図２５】
2020003350.tif 000027
【図２６】
2020003350.tif 000028
【図２７】
2020003350.tif 000029
【図２８】
2020003350.tif 000030
【図２９】
2020003350.tif 000031
【図３０】
2020003350.tif 000032
【図３１】
2020003350.tif 000033
【図３２】
2020003350.tif 000034