(57)【要約】【課題】プローブの一端部と検査対象の被検査部とを正確に位置合わせすることが可能な検査治具、及びこれを備えた基板検査装置の生産性を向上させる。【解決手段】一端部が検査対象に圧接される棒状のプローブ３と、前記プローブ３を支持する支持孔５１を有する板状の第一支持体（検査側支持体５）とを備え、前記支持孔５１は、前記第一支持体（検査側支持体５）の一壁面（対向壁面５Ａ）側から前記第一支持体（検査側支持体５）の板厚方向中間部５Ｃ側に近づくにしたがって拡径する第一テーパ孔部５３を備えている。【選択図】図４
2020101427.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端部が検査対象に圧接される棒状のプローブと、
前記プローブを支持する支持孔を有する板状の第一支持体とを備え、
前記支持孔は、前記第一支持体の一壁面側から前記第一支持体の板厚方向中間部側に近づくにしたがって拡径する第一テーパ孔部を備えている検査治具。
【請求項２】
前記支持孔は、前記一壁面の反対側に位置する他壁面側から前記板厚方向中間部側に近づくにしたがって拡径する第二テーパ孔部を、さらに備えている請求項１に記載の検査治具。
【請求項３】
前記支持孔は、前記一壁面側の反対側に位置する他壁面側から前記板厚方向中間部側に均一な口径で延びるストレート孔部を、さらに備えている請求項１に記載の検査治具。
【請求項４】
前記第一支持体は、前記一壁面側に位置する第一支持板と、前記他壁面側に位置する第二支持板とを有し、
前記第一テーパ孔部が、前記第一支持板に設けられている請求項２又は３に記載の検査治具。
【請求項５】
前記検査治具は、前記プローブを支持する第二支持体を、さらに備え、
前記第一支持体は、前記検査対象への対向配置が予定されている請求項１〜４の何れか１項に記載の検査治具。
【請求項６】
前記プローブは、導電性部材からなる棒状体と、前記棒状体が挿入される導電性部材からなる筒状体とを有し、
前記筒状体には、螺旋状のばね部が設けられ、
前記一壁面側に位置する前記第一テーパ孔部の直径は、前記棒状体の外径よりも大きく、前記筒状体の外径より小さい請求項５に記載の検査治具。
【請求項７】
請求項４に記載の検査治具の製造方法であって、
前記第一支持板に前記第一テーパ孔部を形成する第一テーパ孔部形成工程と、
前記第一支持板と前記第二支持板とを重ね合わせて接合する接合工程とを含む検査治具の製造方法。
【請求項８】
前記第一テーパ孔部形成工程は、前記一壁面側にレーザ加工機を配置し、前記レーザ加工機から照射されるレーザ光の照射方向を第一テーパ孔部の周壁面に沿わせるようにセットした後、前記レーザ加工機から前記第一支持板にレーザ光を照射しつつ、前記第一テーパ孔部の軸心を中心に、前記レーザ加工機を旋回させることにより、前記第一テーパ孔部を形成する請求項７に記載の検査治具の製造方法。
【請求項９】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の検査治具と、前記プローブの後端部に対して電気的に接続されるとともに、前記プローブの後端部に電気信号を与えて検査対象の検査を行う検査部とを備えている検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象の検査に用いられる検査治具、この検査治具の製造方法、及び検査治具を備えた検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、先端が検査対象に接触するとともに、ワイヤ状に形成され屈曲可能で弾性を有する複数のプローブと、上記プローブの先端側部分を支持する先端側支持体と、上記先端側支持体の後方に所定の隙間を介して配置された後端側支持体とを備えた検査治具が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この検査治具は、先端側支持体に形成された先端側挿通孔を貫通したプローブの一端部を、基板の被検査部に当接させるとともに、後端側支持体に支持されたプローブの後端部を、電極板の電極に当接させた状態で、検査対象の電気的特性を測定することにより、その良否判定を行うように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−４７５１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のプローブを被検査部に正しく接触させるためには、先端側支持体及び後端側支持体によりプローブを安定して支持させる必要がある。特に、先端側支持体にはプローブから大きな力が作用するため、先端側支持体の板厚を十分に大きくすることにより、先端側支持体の変形を抑制し、プローブを安定して支持させることが望ましい。
【０００６】
プローブの直径は極めて小さいので、これに対応した細径のドリルを使用して先端側支持体に細径のプローブ支持孔を形成しなければならない。この場合に、先端側支持体の板厚が大きいと、ドリルを貫通させることは困難であった。
【０００７】
このため、例えば図９に示すように、複数枚の支持板５２１，５２２に下部ドリル孔５１１及び上部ドリル孔５１２をそれぞれ個別に形成し、これらを重ね合わせてプローブの先端側部分を支持する支持体５を形成することが行われている。これにより、ドリルの曲り等を抑制しつつ、板厚Ｔの大きい支持体５に細径のプローブ支持孔を形成することができる。しかし、複数枚の支持板５２１，５２２を重ね合わせて支持体５を構成する際に、下部ドリル孔５１１及び上部ドリル孔５１２の軸心に位置ずれが発生する可能性がある。したがって、支持体５にプローブを支持させる際に、プローブの引っ掛かり等が生じ易い。
【０００８】
なお、下部ドリル孔５１１及び上部ドリル孔５１２の軸心に位置ずれが生じることに起因したプローブの引っ掛かり等を防止するため、例えば図１０に示すように、下方に位置する支持板５２１に、大径の中間部ドリル孔５１３を、さらに設けることも考えられる。
【０００９】
すなわち、上方の支持板５２２に小径の上部ドリル孔５１２の加工を施すとともに、下方の支持板５２１に小径の下部ドリル孔５１１と、大径の中間部ドリル孔５１３の加工とを別々に施すことも考えられる。しかし、この場合には、三回の孔加工が必要となって、検査治具の生産性を向上させることができないという懸念がある。
【００１０】
本発明の目的は、生産性を向上することが可能な検査治具、この検査治具の製造方法、及び検査治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一例に係る検査治具は、一端部が検査対象に圧接される棒状のプローブと、前記プローブを支持する支持孔を有する板状の第一支持体とを備え、前記支持孔は、前記第一支持体の一壁面側から前記第一支持体の板厚方向中間部側に近づくにしたがって拡径する第一テーパ孔部を備えている。
【００１２】
また、本発明の一例に係る検査治具の製造方法は、前記第一支持板に前記第一テーパ孔部を形成する第一テーパ孔部形成工程と、前記第一支持板と前記第二支持板とを重ね合わせて接合する接合工程とを含んでいる。
【００１３】
また、本発明の一例に係る検査装置は、上述の検査治具と、プローブの後端部に対して電気的に接続されるとともに、このプローブの後端部に電気信号を与えて検査対象の検査を行う検査部とを備えている。
【発明の効果】
【００１４】
このような構成の検査治具、この検査治具の製造方法、及び検査治具を備えた検査装置は、検査治具及び検査装置の生産性を向上することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一例に係る検査治具を備えた検査装置の全体構成を示す説明図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る検査治具の具体的構成を示す断面図である。
【図３】検査治具に支持されるプローブの構成を示す説明図である。
【図４】検査治具の要部の構造を示す断面図である。
【図５】第一テーパ孔部の形成工程を示す説明図である。
【図６】第二テーパ孔部の形成工程を示す説明図である。
【図７】電極板を電極側支持体に接合した状態を示す断面図である。
【図８】プローブの一端部を被検査部に当接させた検査状態を示す断面図である。
【図９】プローブの支持体の第一参考例を示す断面図である。
【図１０】プローブの支持体の第二参考例を示す断面図である。
【図１１】プローブの一端部を検査側支持体に支持させた状態を示す断面図である。
【図１２】本発明の第一実施形態に係る検査治具の変形例を示す断面図である。
【図１３】検査治具の変形例における第一テーパ孔部の形成工程を示す説明図である。
【図１４】検査治具の変形例に第一テーパ孔部を形成した状態を示す説明図である。
【図１５】検査治具の変形例における第二テーパ孔部の形成工程を示す説明図である。
【図１６】本発明の第二実施形態に係る検査治具の要部を示す断面図である。
【図１７】本発明の第三実施形態に係る検査治具の要部を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。
（第一実施形態）
【００１７】
図１に示す検査装置１は、筐体１１を有している。筐体１１の内部空間には、検査対象固定装置１２と、第一検査部１３と、第二検査部１４とが設けられている。検査対象固定装置１２は、基板等からなる検査対象１００を所定の位置に固定するように構成されている。
【００１８】
検査対象１００は、例えばガラスエポキシ基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、タッチパネル用等の透明導電板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリア等種々の基板であってもよい。検査対象１００には、配線パターンや半田バンプ等の被検査部が形成されている。
【００１９】
第一検査部１３は、検査対象固定装置１２に固定された検査対象１００の上方に位置する。第二検査部１４は、検査対象固定装置１２に固定された検査対象１００の下方に位置する。第一検査部１３及び第二検査部１４は、検査対象１００に形成された回路パターンを検査するための検査治具４Ｕ，４Ｌを備えている。検査治具４Ｕ，４Ｌには、複数のプローブ３が取り付けられている。また、第一検査部１３及び第二検査部１４は、筐体１１内で適宜移動するための検査部移動機構１５を備えている。
【００２０】
検査装置１は、検査対象固定装置１２、第一検査部１３、及び第二検査部１４等の動作を制御する制御部２０を備えている。制御部２０は、例えばマイクロコンピュータを用いて構成されている。制御部２０は、第一検査部１３及び第二検査部１４を適宜移動させ、検査対象固定装置１２に固定された検査対象１００に検査治具４Ｕ，４Ｌのプローブ３を接触させることにより、検査対象１００の回路パターンを検査するように構成されている。検査治具４Ｕ，４Ｌは、同様に構成されているので、以下、検査治具４Ｕ，４Ｌを総称して検査治具４と称する。
【００２１】
なお、検査装置１は、基板を検査する基板検査装置に限られず、例えばシリコンなどの半導体基板に、複数の半導体チップに対応する回路が形成された半導体ウェハ、半導体チップ、CSP(Chip size package)、半導体素子（ＩＣ：Integrated Circuit）等の電子部品を検査するための半導体検査装置であってもよい。また、検査治具４は、半導体ウェハに複数のプローブ３を接触させて検査するためのいわゆるプローブカードであってもよい。
【００２２】
検査治具４は、図２に示すように、導電性を有する棒状のプローブ３と、複数本のプローブ３を支持する支持部材１０とを備えている。プローブ３は、図３に示すように、例えば３０μｍ程度の外径ｄ１を有する棒状に形成された導電性部材からなる棒状体３１と、この棒状体３１に外嵌される導電性部材からなる筒状体３２とを備えている。
【００２３】
棒状体３１の一端部３１ａには、検査対象１００の被検査部１０１に当接する半球状の先端接触部３１ｃが形成されている。なお、先端接触部３１ｃは、半球状に限られず、先窄まりの円錐台状、もしくは円錐状、又は平坦面状等であってもよい。
【００２４】
筒状体３２は、円筒形状の一端部３２ａと、円筒形状の他端部３２ｂとを有している。また、筒状体３２の一端部３２ａと他端部３２ｂとの間には、螺旋形状のばね部３２ｃが設けられている。
【００２５】
棒状体３１の本体部分が筒状体３２内に挿入されるとともに、筒状体３２の一端部３２ａが棒状体３１の一端部にカシメ加工される等により固着されている。そして、図２に示すように、筒状体３２外に突出する棒状体３１の一端部３１ａの突出長さｌａが一定となった状態で、棒状体３１の一端部３１ａと筒状体３２の一端部３２ａとが相連結されている。なお、棒状体３１の一端部３１ａに設けられた大径の膨出部が、筒状体３２の一端部３２ａ内に圧入される等により、棒状体３１と筒状体３２とが相連結された構成であってもよい。
【００２６】
図２の上方側に位置する棒状体３１の他端部３１ｂは、筒状体３２の他端部３２ｂから所定距離だけ筒状体３２内に入り込んだ位置に配置されている。棒状体３１の他端部３１ｂの入り込み量は、後述する検査対象１００の検査時に圧縮されて弾性変形する筒状体３２の変形量よりも大きな値に設定されている。これにより、検査対象１００の検査時に筒状体３２が圧縮されて変形した場合においても、棒状体３１の他端部３１ｂが筒状体３２から突出した状態となることが防止されている。
【００２７】
支持部材１０は、図２の下方部に位置する検査対象１００に対向して配置される検査側支持体５からなる第一支持体を有している。また、支持部材１０は、図２の上方側に配置される電極側支持体６と、検査側支持体５及び電極側支持体６の間に配置される中間部支持体７とからなる第二支持体を有している。検査側支持体５、電極側支持体６及び中間部支持体７は、それぞれ所定距離を隔てて相対向した状態で、例えば図略の連結部材を介して互いに連結されている。
【００２８】
検査側支持体５には、電極側支持体６及び中間部支持体７に比べてプローブ３から大きな力が作用する。このため、検査側支持体５の板厚は、電極側支持体６及び中間部支持体７よりも大きな値とされている。
【００２９】
検査側支持体５は、検査対象１００に対向した対向壁面５Ａを有する第一支持板５０１と、対向壁面５Ａの反対側、つまり図２の上方側に位置する反対壁面５Ｂを有する第二支持板５０２とを備えている。第一支持板５０１と第二支持板５０２とが、互いに接着もしくは溶着され、又は連結ボルト等を介して一体に接合されることにより、検査側支持体５が構成される。
【００３０】
なお、当実施形態では、第一支持板５０１の板厚が、第二支持板５０２よりも大きく形成された例について説明したが、逆に第二支持板５０２の板厚が、第一支持板５０１よりも大きくてもよい。また、第一支持板５０１の板厚と、第二支持板５０２の板厚とが同一であってもよい。
【００３１】
図４に示すように、第一支持板５０１には、検査側支持体５の一壁面、つまり対向壁面５Ａ側から、検査側支持体５の板厚方向中間部５Ｃ側に近づくにしたがって拡径する第一テーパ孔部５３が形成されている。一方、第二支持板５０２には、上述の一壁面の反対側に位置する検査側支持体５の他壁面、つまり反対壁面５Ｂ側から、検査側支持体５の板厚方向中間部５Ｃ側に近づくにしたがって拡径する第二テーパ孔部５４が形成されている。
【００３２】
そして、第一支持板５０１と第二支持板５０２とを重ね合わせて検査側支持体５を構成する際に、第一テーパ孔部５３の軸心Ｊ１と、第二テーパ孔部５４の軸心Ｊ２とを一致させるように位置合わせして、第一支持板５０１と第二支持板５０２とを接合する。これにより、第一テーパ孔部５３と第二テーパ孔部５４とを備えた支持孔５１が検査側支持体５に形成される。
【００３３】
検査側支持体５の対向壁面５Ａに位置する支持孔５１の開口部、つまり第一テーパ孔部５３の下端開口部５５は、検査対象１００の被検査部１０１に対向した位置に配置されている。また、第一テーパ孔部５３の下端開口部５５の直径Ｄ１は、棒状体３１の外径ｄ１よりもやや大きい。
【００３４】
検査側支持体５の反対壁面５Ｂに位置する支持孔５１の開口部の直径、つまり第二テーパ孔部５４の上端開口部５６の直径Ｄ２は、棒状体３１の外径ｄ１よりもやや大きく、かつプローブ３の筒状体３２の外径ｄ２よりも小さい。
【００３５】
例えば、棒状体３１の外径ｄ１が３０μｍで、筒状体３２の外径ｄ２が４５μｍである場合に、上端開口部５６の直径Ｄ２は、３５μｍ程度に形成されている。これにより、棒状体３１の一端部３１ａが、支持孔５１に挿入可能に構成されている。また、筒状体３２の一端部３２ａが、検査側支持体５の反対壁面５Ｂに当接して係止され、支持孔５１内に入り込むことが防止されている。
【００３６】
検査側支持体５の板厚方向中間部５Ｃに位置する支持孔５１の直径、具体的には、第一支持板５０１と第二支持板５０２との合わせ面に位置する第一テーパ孔部５３及び第二テーパ孔部５４の境界部の直径Ｄ３は、相隣接する支持孔５１，５１の設置間隔、つまり複数の支持孔５１，５１の配列ピッチＰよりも小さい値とされている。
【００３７】
例えば、支持孔５１，５１の配列ピッチＰが５０μｍである場合に、板厚方向中間部５Ｃに位置する支持孔５１の直径Ｄ３は、この配列ピッチＰよりも小さい値である４５μｍ程度に設定されている。これにより、相隣接する支持孔５１，５１が互いに干渉することが防止され、各支持孔５１の間に隔離壁５７が設けられるようになっている。
【００３８】
検査側支持体５に複数の支持孔５１，５１を形成する際に、相隣接する支持孔５１，５１の間には、例えば４μｍ程度の設置誤差が生じる可能性がある。この場合においても、相隣接する支持孔５１，５１が互いに干渉しないようにするには、板厚方向中間部５Ｃに位置する支持孔５１の直径Ｄ３を、支持孔５１，５１の配列ピッチＰよりも４μｍ以上小さい値とする必要がある。
【００３９】
なお、第一テーパ孔部５３が形成された第一支持板５０１と、第二テーパ孔部５４が形成された第二支持板５０２とを重ね合わせる際に、位置合わせ誤差が生じる可能性がある。この位置合わせ誤差に起因して、第一テーパ孔部５３の軸心Ｊ１と第二テーパ孔部５４の軸心Ｊ２との間に位置ずれが生じる場合がある（図１１参照）。この場合においても、棒状体３１の一端部３１ａを支持孔５１に挿入する際に引っ掛かり等が生じないように、板厚方向中間部５Ｃに位置する支持孔５１の直径Ｄ３が、下端開口部５５の直径Ｄ１及び上端開口部５６のＤ２よりもそれぞれ大きく形成されている。
【００４０】
第一支持板５０１は、例えば３２０μｍ程度の厚みを有している。一方、第二支持板５０２は、例えば５００μｍ程度の厚みを有している。また、検査側支持体５の板厚Ｔは、筒状体３２外に突出した棒状体３１の一端部３１ａの突出長さｌａよりも小さい値、例えば突出長さｌａの８０％前後に設定されている。すなわち、棒状体３１の一端部３１ａの突出長さｌａが１０００μｍである場合に、検査側支持体５の板厚Ｔが、８２０μｍ程度に設定されている。
【００４１】
これにより、プローブ３を支持部材１０に支持させた際に、図２に示すように、検査側支持体５の対向壁面５Ａから突出した棒状体３１の一端部３１ａの突出距離ｌｂが、１８０μｍとなる。また、上述のように検査側支持体５の板厚Ｔが、一端部３１ａの突出長さｌａの８０％程度に設定されることにより、検査側支持体５の板厚Ｔが十分な値に確保されている。この結果、後述のように検査側支持体５に圧接される筒状体３２の一端部３２ａが安定して支持される。
【００４２】
第一テーパ孔部５３及び第二テーパ孔部５４を備えた検査治具の製造方法を、図５及び図６に基づいて以下に説明する。この検査治具の製造方法は、第一支持板５０１に第一テーパ孔部５３を形成する第一テーパ孔部形成工程と、第二支持板５０２に第二テーパ孔部５４を形成する第二テーパ孔部形成工程と、第一支持板５０１と第二支持板５０２とを重ね合わせて接合する接合工程とを含んでいる。
【００４３】
第一テーパ孔部形成工程では、まず、図５に示すように、第一支持板５０１の下方側にレーザ加工機ＬＰＭを配置し、レーザ加工機ＬＰＭから照射されるレーザ光ＬＲの照射方向を、第一テーパ孔部５３の周壁面に沿わせるようにセットする。
【００４４】
そして、レーザ加工機ＬＰＭから第一支持板５０１の下面（対向壁面５Ａ）に向けてレーザ光ＬＲを照射しつつ、第一テーパ孔部５３の軸心Ｊ１を中心に、レーザ加工機ＬＰＭを一回転以上、旋回させる。これにより、対向壁面５Ａ側から検査側支持体５の板厚方向中間部５Ｃ側に近づくにしたがって拡径する第一テーパ孔部５３が第一支持板５０１に形成される（図４参照）。
【００４５】
第二テーパ孔部形成工程では、図６に示すように、第二支持板５０２の上方側にレーザ加工機ＬＰＭを配置し、レーザ加工機ＬＰＭから照射されるレーザ光ＬＲの照射方向を、第二テーパ孔部５４の周壁面に沿わせるようにセットする。
【００４６】
そして、第一テーパ孔部５３の形成方法と同様にして、レーザ加工機ＬＰＭからレーザ光ＬＲを、第二支持板５０２の上面（反対壁面５Ｂ）に向けて照射つつ、支持孔５１の軸心Ｊ２を中心に、レーザ加工機ＬＰＭを旋回させる。これにより、反対壁面５Ｂ側から検査側支持体５の板厚方向中間部５Ｃ側に近づくにしたがって拡径する第二テーパ孔部５４が第二支持板５０２に形成される。
【００４７】
次いで、接合工程において、第一テーパ孔部５３の軸心Ｊ１と、第二テーパ孔部５４の軸心Ｊ２とを一致させるように位置合わせした後、第一支持板５０１と第二支持板５０２とを重ね合わせて接合することにより、図４に示すように、検査側支持体５が構成される。
【００４８】
なお、第一テーパ孔部５３及び第二テーパ孔部５４の形成方法は、上述のレーザ加工機ＬＰＭを使用した加工方法に限られない。例えば、テーパリーマ等を使用して、第一支持板５０１に第一テーパ孔部５３を形成し、かつ第二支持板５０２に第二テーパ孔部５４を形成してもよい。また、３Ｄプリンタを使用して検査側支持体５を形成する際に、第一テーパ孔部５３及び第二テーパ孔部５４を同時に形成することも可能である。
【００４９】
上述の実施形態では、第一支持板５０１の板厚を５００μｍに設定し、かつ第二支持板５０２の板厚を３２０μｍに設定しているが、これには限られない。第一支持板５０１及び第二支持板５０２の板厚を同じ値、例えば４００μｍとしてもよい。
【００５０】
支持部材１０を構成する電極側支持体６は、図２の上方部に位置する電極板９と対向するように設置された板状体からなっている。電極側支持体６には、その板厚方向に貫通するストレート孔からなるプローブ支持孔６１が形成されている。このプローブ支持孔６１は、その口径が筒状体の３２の外径ｄ２よりも大きな値に設定されている。そして、プローブ３の後端部、具体的には筒状体３２の他端部３２ｂが、プローブ支持孔６１に挿入されて、支持されるように構成されている。
【００５１】
なお、電極板９には、導電線９０が設けられ、その端面によりプローブ３の後端部が当接する電極９１が構成されている。
【００５２】
中間部支持体７は、検査側支持体５と電極側支持体６との間に配置された板状体からなっている。中間部支持体７には、その板厚方向に貫通するストレート孔からなる中間部支持孔７１が形成されている。この中間部支持孔７１は、その口径が筒状体３２の外径ｄ２よりも大きな値に設定されている。そして、筒状体３２の軸方向中間部近傍が、中間部支持孔７１に挿入されて、支持されるように構成されている。
【００５３】
図２に示すように、検査側支持体５の対向壁面５Ａから電極側支持体６の外壁面６０までの距離Ｌ１は、荷重が加わっていない状態におけるプローブ３の全長より短く設定されている。この結果、支持部材１０にプローブ３を支持させた際に、棒状体３１の一端部３１ａは、支持部材１０から一定の突出距離ｌｂをもって突出した状態となる。
【００５４】
また、検査側支持体５の反対壁面５Ｂから電極側支持体６の外壁面６０までの距離Ｌ２は、荷重が加わっていない状態における筒状体３２の全長よりも短く設定されている。この結果、支持部材１０にプローブ３を支持させた際に、筒状体３２の他端部３２ｂが、電極側支持体６の外壁面６０から一定距離だけ突出した状態となる。
【００５５】
上述の構成を有する検査治具４を組み立てる際には、棒状体３１の一端部３１ａを、プローブ支持孔６１内から中間部支持孔７１に挿入した後、検査側支持体５の支持孔５１内に挿入する。これにより、筒状体３２の他端部３２ｂ及び軸方向中間部近傍が、電極側支持体６及び中間部支持体７にそれぞれ支持される。また、棒状体３１の一端部３１ａが、検査側支持体５に支持される。
【００５６】
次いで、電極板９と検査治具４との水平方向における位置決めを行った後、図７に示すように、電極板９を電極側支持体６の外壁面６０に当接させて接合することにより、筒状体３２のばね部３２ｃを圧縮させて弾性変形させる。この結果、筒状体３２の他端部３２ｂが所定の押圧力で電極９１に圧接されて、互いに導通接続される。
【００５７】
上述の検査治具４を用いて検査対象１００の検査を行うには、検査対象１００と検査治具４との水平方向における位置決めを行った後、図略の駆動機構により、検査治具４を昇降駆動する。そして、図８に示すように、プローブ３の一端部、具体的には棒状体３１の一端部３１ａが、検査対象１００の被検査部１０１に圧接されて、互いに導通接続される。また、筒状体３２のばね部３２ｃが、図７に示す状態から、さらに圧縮されて弾性変形することにより、棒状体３１の一端部３１ａが、十分な押圧力で被検査部１０１に圧接される。
【００５８】
このようにして、棒状体３１の一端部３１ａからなるプローブ３の一端部が、検査対象１００の被検査部１０１に導通接続され、かつ筒状体３２の他端部３２ｂからなるプローブ３の後端部が、電極９１に導通接続される。この状態で、プローブ３の後端部に電気信号が与えられることにより、検査対象１００の検査が行われる。
【００５９】
本発明の第一実施形態に係る検査治具４は、図４に示すように、検査対象１００への対向配置が予定されている第一支持体、具体的には検査対象１００に対向した対向壁面５Ａと、その反対側に位置する反対壁面５Ｂと有する検査側支持体５を備えている。この検査側支持体５には、対向壁面５Ａから検査側支持体５の板厚方向中間部５Ｃ側に近づくにしたがって拡径する第一テーパ孔部５３と、反対壁面５Ｂ側から検査側支持体５の板厚方向中間部５Ｃ側に近づくにしたがって拡径する第二テーパ孔部５４とが設けられている。
【００６０】
また、検査側支持体５の反対壁面５Ｂ側に位置する支持孔５１の上端開口部５６の直径Ｄ２が、棒状体３１の外径ｄ１よりも大きく、かつ筒状体３２の外径ｄ２よりも小さい値に設定されている（図４参照）。さらに、検査側支持体５の対向壁面５Ａ側に位置する支持孔５１の下端開口部５５の直径Ｄ１が、棒状体３１の外径ｄ１よりもやや大きい値とされている。
【００６１】
したがって、棒状体３１の一端部３１ａを、上端開口部５６から支持孔５１内に挿入して、検査側支持体５に支持させる際に、支持孔５１の下端開口部５５等により棒状体３１の一端部３１ａが適正に拘束される。これにより、プローブ３の一端部と検査対象１００の被検査部１０１とを正確に位置合わせすることが可能となる。
【００６２】
プローブ３の棒状体３１は、その外径ｄ２が例えば３０μｍ程度の極めて小さい値に形成されている。また、検査側支持体５の板厚Ｔは、検査側支持体５に圧接される筒状体３２に一端部３２ａを安定して支持し得るように大きな値に設定されている。このため、検査側支持体５の板厚Ｔが、例えば棒状体３１の外径ｄ２の３０倍以上に設定されている場合には、細径のドリルを使用して検査側支持体５に所定長さの孔加工を一度で施そうとすると、ドリルに折れ曲り等が生じ易い。
【００６３】
なお、ドリルの折れ曲り等を防止するために孔径を大きくすることも考えられるが、この場合には、プローブ３の一端部を安定して支持することが困難である。したがって、プローブ３のぐらつきが生じ易く、プローブ３の一端部と検査対象１００の被検査部１０１との正確な位置合わせが困難となる。
【００６４】
一方、図９に示す第一参考例では、支持体５を構成する下方の支持板５２１及び上方の支持板５２２にそれぞれストレート孔からなる下部ドリル孔５１１及び上部ドリル孔５１２がそれぞれ別々に設けられている。この構成によれば、支持体５の板厚Ｔが大きい場合であっても、ドリルＤＲの折れ曲がり等を防止しつつ、細径の下部ドリル孔５１１及び上部ドリル孔５１２を形成することが可能である。
【００６５】
しかし、図９に示すように構成した場合には、下方の支持板５２１に形成された下部ドリル孔５１１と、上方の支持板５２２に形成された上部ドリル孔５１２との間に位置ずれが生じ易い。このため、図９に示す第一参考例では、プローブの一端部を下部ドリル孔５１１及び上部ドリル孔５１２内に挿入する際に、上述の位置ずれ部において引っ掛かりが生じたり、プローブの摺動不良が生じたりし易かった。
【００６６】
これに対して本発明の第一実施形態では、図４に示すように、対向壁面５Ａ側から板厚方向中間部５Ｃ側に近づくにしたがって拡径する第一テーパ孔部５３と、反対壁面５Ｂ側から板厚方向中間部５Ｃ側に近づくにしたがって拡径する第二テーパ孔部５４とを検査側支持体５に設けている。この結果、板厚方向中間部５Ｃに位置する棒状体支持孔の直径Ｄ３は、対向壁面５Ａに位置する下端開口部５５の直径Ｄ１及び反対壁面５Ｂに位置する上端開口部５６の直径Ｄ２よりも大きな値に形成される。
【００６７】
したがって、第一テーパ孔部５３が形成された第一支持板５０１と、第二テーパ孔部５４が形成された第二支持板５０２とを重ね合わせる際に、第一テーパ孔部５３と第二テーパ孔部５４との間に多少の位置ずれが生じた場合でも、この位置ずれ部においてプローブ３の引っ掛かり等が生じにくい。このため、棒状体３１の一端部３１ａを、第二テーパ孔部５４から第一テーパ孔部５３へとスムーズに挿入することが可能である。
【００６８】
しかも、対向壁面５Ａに位置ずる下端開口部５５の直径Ｄ１が、板厚方向中間部５Ｃに位置する支持孔５１の直径Ｄ３よりも小さな値に形成されるため、棒状体３１の一端部３１ａからなるプローブ３の一端部を、下端開口部５５により適正に拘束して、プローブ３のぐらつきを効果的に防止することができる。
【００６９】
さらに、プローブの引っ掛かりを防止するため、図１０に示す第二参考例のように、大径の中間部ドリル孔５１３及び小径の下部ドリル孔５１１を下方の支持板５２１に設けるとともに、小径の上部ドリル孔５１２を支持板５２２に設ける構成を採用した場合には、三回のドリル孔加工が必要となる。これに対して、本発明の第一実施形態に係る検査治具４では、ドリル等を使用した孔加工の回数を減らすことが可能である。このため、検査治具４の生産性を効果的に向上させることができる。
【００７０】
上述の第一実施形態では、図４等に示すように、プローブ３が、導電性部材からなる棒状体３１と、この棒状体３１に外嵌される導電性部材からなる筒状体３２とを有し、かつ筒状体３２に、螺旋状のばね部３２ｃが設けられた構成としている。そして、対向壁面５Ａ側に位置する支持孔５１の下端開口部５５の直径Ｄ３を、棒状体３１の外径ｄ１よりもやや大きい値とすることにより、棒状体３１一端部３１ａを、下端開口部５５により拘束している。これにより、プローブ３の一端部と、検査対象１００の被検査部１０１とを正確に位置合わせすることができる。
【００７１】
また、反対壁面５Ｂ側に位置する上端開口部５６の直径Ｄ２が、筒状体３２の外径ｄ２よりも小さい値に設定されているので、筒状体３２の一端部３２ａが、検査側支持体５の反対壁面５Ｂに圧接されて係止される。その結果、検査側支持体５には、筒状体３２から大きな圧接力が作用する。しかしながら、上述のように検査側支持体５の板厚Ｔを、十分な強度が得られる厚さに設定することができるため、筒状体３２の一端部３２ａを安定して支持することができる。
【００７２】
なお、上述の第一実施形態では、検査対象１００への対向配置が予定されている検査側支持体５からなる第一支持体に、第一テーパ孔部５３及び第二テーパ孔部５４を備えた支持孔５１を形成した例について説明した。これに限られず、プローブ３を支持する他の支持体、例えば電極側支持体６又は中間部支持体７からなる第二支持体に、その一壁面側から板厚方向中間部側に近づくにしたがって拡径する第一テーパ孔部等を設けた構成としてもよい。
【００７３】
また、導電性部材からなる棒状体３１と、この棒状体３１が挿入される導電性部材からなる筒状体３２とを有するプローブ３を備えた上述の第一実施形態に代え、導電性部材により所定長さの針状に形成されたニードルタイプのプローブを備えた検査治具４、及びこの検査治具４を備えた検査装置１についても本発明を適用可能である。
【００７４】
なお、図１２に示す第一実施形態の変形例に係る検査治具４１は、一枚の板材からなる検査側支持体５ａを備えている。そして、検査側支持体５ａの対向壁面５Ａ側部分に第一テーパ孔部５３が設けられるとともに、反対壁面５Ｂ側部分に第二テーパ孔部５４が設けられている。
【００７５】
第一テーパ孔部５３を形成するには、図１３に示すように、対向壁面５Ａの下方側にレーザ加工機ＬＰＭを配置し、レーザ加工機ＬＰＭから照射されるレーザ光ＬＲの照射方向を、第一テーパ孔部５３の周壁面に沿わせる。また、レーザ光ＬＲの焦点Ｓを、検査側支持体５の板厚方向中間部５Ｃに合わせるようにセットする。
【００７６】
そして、レーザ加工機ＬＰＭから検査側支持体５ａの対向壁面５Ａに向けてレーザ光ＬＲを照射しつつ、第一テーパ孔部５３の軸心Ｊ１を中心に、レーザ加工機ＬＰＭを一回転以上、旋回させる。これにより、図１４に示すように、対向壁面５Ａ側から検査側支持体５ａの板厚方向中間部５Ｃ側に至るにしたがって拡径する第一テーパ孔部５３が形成される。
【００７７】
次いで、図１５に示すように、反対壁面５Ｂの上方側にレーザ加工機ＬＰＭを配置し、レーザ加工機ＬＰＭから照射されるレーザ光ＬＲの照射方向を、第二テーパ孔部５４の周壁面に沿わせる。また、レーザ光ＬＲの焦点Ｓを、検査側支持体５ａの板厚方向中間部５Ｃに合わせるようにセットする。
【００７８】
そして、第一テーパ孔部５３の形成方法と同様にして、レーザ加工機ＬＰＭからレーザ光ＬＲを、検査側支持体５ａの反対壁面５Ｂに向けて照射つつ、第二テーパ孔部５４の軸心Ｊ２を中心に、レーザ加工機ＬＰＭを旋回させる。これにより、図１２に示すように、反対壁面５Ｂ側から検査側支持体５ａの板厚方向中間部５Ｃ側に至るにしたがって拡径する第二テーパ孔部５４が形成される。
【００７９】
なお、上述の第一実施形態では、図４及び図１１等に示すように、第一支持板５０１及び第二支持板５０２に、第一テーパ孔部５３及び第二テーパ孔部５４をそれぞれ個別に形成している。このため、第一支持板５０１及び第二支持板５０２を位置合わせして重ね合わせる際に、位置合わせ誤差が生じる可能性があった。これに対して、図１２に示す変形例の検査治具４１では、一枚の板材からなる検査側支持体５ａに、第一テーパ孔部５３ａ及び第二テーパ孔部５４ａの両方が設けられているため、第一テーパ孔部５３ａの軸心Ｊ１と第二テーパ孔部５４ａの軸心Ｊ２とのずれを、効果的に小さくすることができる。
【００８０】
また、３Ｄプリンタを用いて上述の検査側支持体５ａを形成してもよい。この場合、第一テーパ孔部５３及び第二テーパ孔部５４を検査側支持体５ａに連続して形成することができる。
【００８１】
なお、第一テーパ孔部５３及び第二テーパ孔部５４の両方を検査側支持体５，５ａに形成してなる上述の第一実施形態に代え、後述の第二実施形態及び第三実施形態に示すように、対向壁面５Ａ又は反対壁面５Ｂの何れか一方側にのみ、第一テーパ孔部５３を設けた構成としてもよい。
（第二実施形態）
【００８２】
図１６は、本発明に係る検査治具４２の第二実施形態を示している。この検査治具４２は、対向壁面５Ａ側から検査側支持体５ｂの板厚方向中間部５Ｃ側に近づくにしたがって拡径する第一テーパ孔部５３と、反対壁面５Ｂ側から検査側支持体５ｂの板厚方向中間部５Ｃ側に均一な口径Ｄ４で延びるストレート孔部５８とを備えている。そして、第一テーパ孔部５３及びストレート孔部５８により、棒状体３１の一端部３１ａを支持する支持孔５１ｂが構成されている。
【００８３】
検査側支持体５ｂの対向壁面Ａ側に位置する第一テーパ孔部５３の直径Ｄ１は、棒状体３１の外径ｄ１よりもやや大きい値とされている。また、検査側支持体５ｂの反対壁面Ｂ側に位置するストレート孔部５８の口径Ｄ４は、棒状体３１の外径ｄ１よりもやや大きく、かつプローブ３の筒状体３２の外径ｄ２よりも小さい値とされている。
【００８４】
この構成においても、第一支持板５０１及び第二支持板５０２からなる検査側支持体５ｂの板厚を十分な値に設定することにより、検査側支持体５ｂの反対壁面５Ｂにおいてプローブ３の筒状体３２を安定して支持することができる。そして、対向壁面５Ａ側の第一テーパ孔部５３と、反対壁面５Ｂのストレート孔部５８との間に位置ずれが生じた場合においても、棒状体３１の一端部３１ａをストレート孔部５８から第一テーパ孔部５３へと挿入する際に、上述の位置ずれ部において引っ掛かり等が生じにくいという利点がある。
【００８５】
しかも、対向壁面５Ａ側に位置する第一テーパ孔部５３の下端部の直径Ｄ１が、板厚方向中間部５Ｃ側に位置する第一テーパ孔部５３の上端部に比べて小さくなっている。このため、棒状体３１の一端部３１ａが、第一テーパ孔部５３の下端開口部５５により効果的に拘束されて、プローブ３のぐらつきが抑制される。したがって、プローブ３の一端部と検査対象の被検査部とを正確に位置合わせすることができる。
【００８６】
上述の第二実施形態においても、図４等に示す第一実施形態に係る検査治具４と同様に、検査側支持体５ｂが、対向壁面５Ａ側に位置する第一支持板５０１と、反対壁面５Ｂ側に位置する第二支持板５０２とを有する構成としている。この構成によれば、テーパリーマ又はレーザ加工機等を利用して、第一支持板５０１に第一テーパ孔部５３を容易に形成できる。また、ストレートドリル又はレーザ加工機等を使用して、第二支持板５０２にストレート孔部５８を容易に形成できるという利点がある。
【００８７】
なお、本発明の第二実施形態に係る検査治具４２においても、３Ｄプリンタにより一枚板からなる検査側支持体５を形成してもよい。この場合には、検査側支持体５を３Ｄプリンタにより形成する際に、第一テーパ孔部５３及びストレート孔部５８を連続して形成することができる。
（第三実施形態）
【００８８】
図１７は、本発明の第三実施形態に係る検査治具４３を示している。この検査治具４３は、反対壁面５Ｂ側に配設された第一支持板５３１と、対向壁面５Ａ側に配設された第二支持板５３２とにより検査側支持体５ｃが構成されている。
【００８９】
そして、第一支持板５３１には、反対壁面５Ｂから検査側支持体５ｃの板厚方向中間部５Ｃ側に近づくにしたがって拡径する第一テーパ孔部５３が形成されている。また、第二支持板５３２には、対向壁面５Ａ側から検査側支持体５ｃの板厚方向中間部５Ｃ側に均一な口径で延びるストレート孔部５８が形成されている。そして、第一テーパ孔部５３及びストレート孔部５８により、棒状体３１の一端部３１ａを支持する支持孔５１ｃが形成されている。また、ストレート孔部５８の口径Ｄ５は、棒状体３１の外径ｄ１よりも大きい値とされている。
【００９０】
この構成においても、検査側支持体５ｃの板厚を十分な値に設定して、この検査側支持体５ｃによりプローブ３の筒状体３２を安定して支持することができる。そして、ストレート孔部５８の口径Ｄ５が、棒状体３１の外径ｄ１よりも十分に大きい値としている。これにより、第一テーパ孔部５３とストレート孔部５８との間に軸心の位置ずれが生じた場合でも、この位置ずれ部において引っ掛かり等を生じることなく、棒状体３１の一端部３１ａを第一テーパ孔部５３からストレート孔部５８へとスムーズに挿入することができる。
【００９１】
しかも、検査側支持体５ｃの反対壁面５Ｂ側に位置する第一テーパ孔部５３の上端開口部５６の直径Ｄ２が、検査側支持体５ｃの板厚方向中間部５Ｃ側に位置する第一テーパ孔部５３の下端部に比べて小さく形成される。このため、棒状体３１の一端部３１ａが、第一テーパ孔部５３の上端開口部５６により拘束されて、プローブ３のぐらつきが防止される。したがって、プローブ３の一端部と検査対象の被検査部とを正確に位置合わせすることができる。
【００９２】
また、上述の第三実施形態では、検査側支持体５ｃが、反対壁面５Ｂ側に位置する第一支持板５３１と、対向壁面５Ａ側に位置する第二支持板５３２とを有する構成としている。この構成によれば、テーパリーマ又はレーザ加工機等を使用して、第一支持板５３１に第一テーパ孔部５３を容易に形成できる。また、ストレートドリル又はレーザ加工機等を使用して、第二支持板５３２にストレート孔部５８を容易に形成できるという利点がある。
【００９３】
上述の第三実施形態に係る検査治具４３においても、３Ｄプリンタにより一枚板からなる検査側支持体５を形成することが可能である。
【００９４】
上述のように本発明の一例に係る検査治具は、一端部が検査対象に圧接される棒状のプローブと、前記プローブを支持する支持孔を有する板状の第一支持体とを備え、前記支持孔は、前記第一支持体の一壁面側から前記第一支持体の板厚方向中間部側に近づくにしたがって拡径する第一テーパ孔部を備えている。
【００９５】
この構成によれば、第一支持体の板厚が大きい場合においても、煩雑な孔加工作業を要することなく、プローブを安定して支持することができる。このため、プローブと検査対象の被検査部等とを正確に位置合わせすることが可能な検査治具を効率よく生産することができる。
【００９６】
また、前記支持孔は、前記一壁面側の反対側に位置する他壁面側から前記板厚方向中間部側に近づくにしたがって拡径する第二テーパ孔部を、さらに備えた構成とすることが好ましい。
【００９７】
この構成によれば、一壁面側の第一テーパ孔部と、他壁面側の第二テーパ孔部とを別々に形成する際に、両者の間に多少の位置ずれが生じた場合でも、プローブの一端部を第二テーパ孔部から第一テーパ孔部へと挿入する際に、上述の位置ずれ部において引っ掛かりが生じること等を効果的に防止できる。しかも、一壁面側に位置する第一テーパ孔部の開口部により、プローブを拘束して、そのぐらつきを防止できるため、プローブと、検査対象の被検査部等とを正確に位置合わせすることが可能である。
【００９８】
また、前記支持孔は、前記一壁面側の反対側に位置する他壁面側から前記板厚方向中間部側に均一な口径で延びるストレート孔部を、さらに備えた構成としてもよい。
【００９９】
この構成によれば、第一支持体の板厚を十分な値に設定することにより、プローブを安定して支持することができる。そして、上述のテーパ孔部とストレート孔部との間に位置ずれが生じ場合においても、この位置ずれ部において引っ掛かり等を生じることなく、プローブを支持孔内へスムーズに挿入することができる。しかも、第一支持体の一壁面側に位置する第一テーパ孔部の開口部により、プローブを拘束して、そのぐらつきを防止できるため、プローブと検査対象の被検査部とを正確に位置合わせすることができる。
【０１００】
また、前記第一支持体は、前記一壁面側に位置する第一支持板と、前記他壁面側に位置する第二支持板とを有し、前記第一テーパ孔部が、前記第一支持板に設けられた構成としてもよい。
【０１０１】
この構成によれば、テーパリーマ等を使用して、第一支持板に第一テーパ孔部を容易に形成することができる。そして、第一支持板と第二支持板とを重ね合わせて接合することにより、第一テーパ孔部を備えた支持孔が第一支持体に設けられることになる。
【０１０２】
また、前記検査治具は、前記プローブを支持する第二支持体を、さらに備え、前記第一支持体は、前記検査対象への対向配置が予定されていることが好ましい。
【０１０３】
この構成によれば、第一の板厚が大きい場合においても、煩雑な孔加工作業を要することなく、検査対象に近接したプローブの一端部を支持体により安定して支持することができる。このため、プローブの一端部と検査対象の被検査部とを正確に位置合わせすることができる。
【０１０４】
また、前記プローブは、前記支持孔に一端部が支持される導電性部材からなる棒状体と、前記棒状体に外嵌される導電性部材からなる筒状体とを有し、前記筒状体には、螺旋状のばね部が設けられ、前記一壁面側に位置する前記第一テーパ孔部の直径は、前記棒状体の外径よりも大きく、前記筒状体の外径より小さいことが好ましい。
【０１０５】
この構成によれば、一壁面側に位置する第一テーパ孔部の開口部により、プローブの棒状体を拘束して、そのぐらつきを防止できるため、棒状体の一端部と、検査対象の被検査部とを正確に位置合わせすることが可能である。
【０１０６】
本発明の一例に係る検査治具の製造方法は、前記第一支持板に前記第一テーパ孔部を形成する第一テーパ孔部形成工程と、前記第一支持板と前記第二支持板とを重ね合わせて接合する接合工程とを含むものである。
【０１０７】
この構成によれば、テーパリーマ等を使用して、第一支持板に第一テーパ孔部を容易に形成することができる。そして、第一支持板と第二支持板とを重ね合わせて接合することにより、第一テーパ孔部を備えた支持孔が支持体に設けられる。
【０１０８】
また、前記テーパ孔部形成工程は、前記一壁面側にレーザ加工機を配置し、前記レーザ加工機から照射されるレーザ光の照射方向を前記第一テーパ孔部の周壁面に沿わせるようにセットした後、前記レーザ加工機から前記第一支持板にレーザ光を照射しつつ、前記第一テーパ孔部の軸心を中心に、前記レーザ加工機を旋回させることにより、前記第一テーパ孔部を形成することが好ましい。
【０１０９】
この構成によれば、レーザ加工機を使用して、第一支持板に第一テーパ孔部を容易かつ適正に形成することができる。
【０１１０】
また、本発明の一例に係る検査装置は、前記検査治具と、前記プローブの後端部に対して電気的に接続されるとともに、前記プローブの後端部に電気信号を与えて検査対象の検査を行う検査部とを備えている。
【０１１１】
この構成によれば、第一支持体の板厚が大きい場合においても、煩雑な加工作業を要することなく、プローブを安定して支持することにより、プローブの一端部と検査対象の被検査部とを正確に位置合わせした状態で、検査対象の検査を適正に行うことができる。
【符号の説明】
【０１１２】
１  検査装置
３  プローブ
４，４Ｕ，４Ｌ，４１，４２，４３  検査治具
５，５ａ，５ｂ，５ｃ  検査側支持体（第一支持体）
５Ａ  対向壁面
５Ｂ  反対壁面
５Ｃ  板厚方向中間部
６  電極側支持体（第二支持体）
７  中間部支持体（第二支持体）
９  電極板
１０  支持部材
１１  筐体
１２  検査対象固定装置
１３  第一検査部
１４  第二検査部
１５  検査部移動機構
２０  制御部
３１  棒状体
３１ａ  棒状体の一端部
３１ｂ  棒状体の他端部
３１ｃ  棒状体の先端接触部
３２  筒状体
３２ａ  筒状体の一端部
３２ｂ  筒状体の他端部
３２ｃ  ばね部
５１，５１ｂ，５１ｃ  支持孔
５３  第一テーパ孔部
５４  第二テーパ孔部
５５  下端開口部
５６  上端開口部
５７  隔離壁
５８  ストレート孔部
６０  支持部材の外壁面
６１  プローブ支持孔
７１  中間部支持孔
９０  導電線
９１  電極
１００  検査対象
１０１  被検査部
５０１，５３１  第一支持板
５０２，５３２  第二支持板
ｄ１  棒状体の外径
Ｄ１  開口部の直径
ｄ２  筒状体の外径
Ｄ２  開口部の直径
Ｄ３  板厚方向中間部の直径
Ｄ４  ストレート孔部の口径
Ｄ５  ストレート孔部の口径
ＤＲ  ドリル
Ｊ１，Ｊ２  軸心
ｌａ  棒状体の突出長さ
ｌｂ  棒状体の突出距離
ＬＰＭ  レーザ加工機
ＬＲ  レーザ光
Ｐ  棒状体支持孔の配列ピッチ
Ｓ  レーザ光の焦点
Ｔ  検査側支持体の板厚
【図１】
2020101427.tif 000003
【図２】
2020101427.tif 000004
【図３】
2020101427.tif 000005
【図４】
2020101427.tif 000006
【図５】
2020101427.tif 000007
【図６】
2020101427.tif 000008
【図７】
2020101427.tif 000009
【図８】
2020101427.tif 000010
【図９】
2020101427.tif 000011
【図１０】
2020101427.tif 000012
【図１１】
2020101427.tif 000013
【図１２】
2020101427.tif 000014
【図１３】
2020101427.tif 000015
【図１４】
2020101427.tif 000016
【図１５】
2020101427.tif 000017
【図１６】
2020101427.tif 000018
【図１７】
2020101427.tif 000019