(57)【要約】      （修正有）【課題】端子を清掃するシートに洗浄液を均一に浸透させることができる端子清掃装置を提供する。【解決手段】基板Ｓの端子を清掃するための第１のシートＣ１を支持するシート支持部３００と、第２のシートＣ２を第１のシートＣ１に押し付ける押付面４１１を有し、押付面４１１をシート支持部３００に対して相対移動させることにより、洗浄液が浸透した第２のシートＣ２を第１のシートＣ１に押し付けて、第１のシートＣ１に洗浄液を浸透させる押付部４００と、基板Ｓを支持し、基板Ｓをシート支持部３００に対して相対移動させることにより、端子を、洗浄液が浸透した第１のシートＣ１に接触させて清掃する基板支持部２００と、を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の端子を清掃するための第１のシートを支持するシート支持部と、
第２のシートを前記第１のシートに押し付ける押付面を有し、前記押付面を前記シート支持部に対して相対移動させることにより、洗浄液が浸透した前記第２のシートを前記第１のシートに押し付けて、前記第１のシートに前記洗浄液を浸透させる押付部と、
前記基板を支持し、前記基板を前記シート支持部に対して相対移動させることにより、複数の前記端子を、前記洗浄液が浸透した前記第１のシートに接触させて清掃する基板支持部と、
を有することを特徴とする端子清掃装置。
【請求項２】
前記第２のシートのうち、前記第１のシートに押し付けられる押付領域以外の領域から、洗浄液を供給する洗浄液供給部を有することを特徴とする請求項１記載の端子清掃装置。
【請求項３】
前記洗浄液供給部は、前記洗浄液を貯留可能であり、前記洗浄液に前記第２のシートの一部が浸漬されることにより、前記第２のシートに前記洗浄液が供給される浸漬槽を有することを特徴とする請求項２記載の端子清掃装置。
【請求項４】
前記第１のシートが前記端子に接触する接触位置と、前記第１のシートに前記第２のシートが押し付けられる押付位置とが共通であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の端子清掃装置。
【請求項５】
前記シート支持部は、前記押付部により前記第２のシートが押し付けられた前記第１のシートの濡れ量を検出する検出部を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の端子清掃装置。
【請求項６】
前記基板支持部は、前記第１のシートに複数の前記端子を接触させながら、前記基板を、複数の前記端子の並設方向に交差する方向に相対移動させることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の端子清掃装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、端子清掃装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等の表示装置は、ガラス板の上に回路及び信号線を形成するアレイ工程、一対のガラス板を貼り合せて表示領域を構成する基板としてのパネルを形成するセル工程、パネルにおける表示領域の外側の端子に、駆動用のドライバＩＣ等を取り付けるモジュール工程を経て製造される。
【０００３】
ドライバＩＣの実装方法として、従来から、ＣＯＦ（ｃｈｉｐ  ｏｎ  ｆｉｌｍ）等のドライバＩＣを搭載したフレキシブルなフィルム状の電子部品を用いた方法が行われている。これは、パネルの表示領域の周囲から、表示面と平行な水平方向に露出して形成された端子に対して、電子部品の端子を圧着して接続する方法である。さらに、以上のような電子部品に対して、水平状態でプリント基板を圧着することにより、外部との接続を確保する配線を電気的に接続し、表示装置を製造していた（特許文献１参照）。
【０００４】
このような基板と電子部品との端子同士の接続や電子部品とプリント基板との接続には、加熱圧着により、それぞれの部品の電極間の導電性が確保される異方性導電フィルム（ＡＣＦ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ）が用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０９−１８５０６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
以上のような基板の端子と電子部品の端子との接続の前に、端子に不要物が付着していると、接続不良を引き起こす。不要物としては、空気中の埃や、製造工程で発生するシリコン、金属などの残留物が含まれる。このような不要物をあらかじめ除去するために、基板の端子を清掃することが行われている。
【０００７】
基板の端子を清掃する装置としては、洗浄液を付着させた清掃テープによって、端子の表面を拭き取る装置がある。但し、拭き取り後、端子側に洗浄液が残留したり、洗浄液が十分でなく不要物が拭き取れなかったりする場合、接続不良の原因となるので、清掃テープには拭き取り面に対して洗浄液が過不足無く均一に付着していることが好ましい。しかし、ノズル等により清掃テープに洗浄液を付着させると、ノズルによる滴下部分とそれ以外の部分との間で、洗浄液の付着量にムラが生じやすい。また、広い範囲に少量の洗浄液を付着させる場合、均一に付着させることが困難であった。
【０００８】
本発明は、上述のような課題を解決するために提案されたものであり、端子を清掃するシートに洗浄液を過不足無く均一に浸透させることができる清掃装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために、本発明の端子清掃装置は、基板の端子を清掃するための第１のシートを支持するシート支持部と、第２のシートを前記第１のシートに押し付ける押付面を有し、前記押付面を前記シート支持部に対して相対移動させることにより、洗浄液が浸透した前記第２のシートを前記第１のシートに押し付けて、前記第１のシートに前記洗浄液を浸透させる押付部と、前記基板を支持し、前記基板を前記シート支持部に対して相対移動させることにより、複数の前記端子を、前記洗浄液が浸透した前記第１のシートに接触させて清掃する基板支持部と、を有する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、端子を清掃するシートに洗浄液を過不足無く均一に浸透させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施形態により清掃される基板と第１のシートを示す平面図である。
【図２】実施形態の端子清掃装置を示す正面図である。
【図３】張設部の対向面を示す底面図である。
【図４】押付部を示す平面図である。
【図５】押付部の第２のシートをセットする前の斜視図（Ａ）、第２のシートをセットした斜視図（Ｂ）である。
【図６】制御装置を示すブロック図である。
【図７】実施形態の端子清掃動作を示す説明図である。
【図８】実施形態の端子清掃手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の実施の形態（以下、本実施形態と呼ぶ）について、図面を参照して具体的に説明する。
【００１３】
［清掃対象］
図１を参照して、清掃対象となる基板Ｓを説明する。基板Ｓは、端子Ｔを有する部材である。本実施形態の基板Ｓは、表示装置用の平板形状のパネルである。端子Ｔは導電性の部材であり、基板Ｓの一方の面に、外縁を構成する辺に沿う方向に並べて配置されている。各端子Ｔは、複数の端子Ｔの並び方向に直交する方向に延びて、互いに平行となっている。このような基板Ｓの端子Ｔには、例えば、ＣＯＦ等のドライバＩＣを搭載したフレキシブルなフィルム状の電子部品が、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を介した加熱圧着により接続される。本実施形態の端子清掃装置１００は、このような接続の前に、端子Ｔを清掃するための装置である。
【００１４】
［第１のシート］
図１に示すように、本実施形態に使用される第１のシートＣ１は、端子Ｔを清掃するための清掃シートである。第１のシートＣ１は、合成繊維からなり、清掃対象を清拭するための織布又は不織布である。第１のシートＣ１は、帯状の長尺の部材であり、複数の端子Ｔの並設方向の長さＴＷ以上の幅Ｗを有する。本実施形態では、第１のシートＣ１の幅Ｗは、基板Ｓの端子が設けられている辺の幅ＳＷよりも長い。第１のシートＣ１は、後述するシート支持部３００に設けられた給排機構３３０によって、送り出し、巻き取りが行われる（図２参照）。
【００１５】
［第２のシート］
図５に示すように、本実施形態に使用される第２のシートＣ２は、洗浄液が浸透され、第１のシートＣ１に接触することにより洗浄液を第１のシートＣ１に浸透させるための転液シートである。第２のシートＣ２は、第１のシートＣ１と同様の織布又は不織布を用いることができる。第２のシートＣ２は、後述する押付部４００の押付面４１１に搭載され、洗浄液供給部５００からの洗浄液が浸透する。
【００１６】
［概要］
次に、図２を参照して、端子清掃装置１００の構成を説明する。端子清掃装置１００は、基板支持部２００、シート支持部３００、押付部４００、洗浄液供給部５００を有する。基板支持部２００は、清掃対象となる基板Ｓを支持する。シート支持部３００は、基板Ｓの端子Ｔを清掃するための第１のシートＣ１を支持する。押付部４００は、第２のシートＣ２を第１のシートＣ１に押し付ける平坦な押付面４１１を有する。
【００１７】
押付部４００は、押付面４１１をシート支持部３００に対して移動させることにより、洗浄液が浸透した第２のシートＣ２を、第１のシートＣ１に押し付けて、第１のシートＣ１に洗浄液を浸透させる。基板支持部２００は、基板Ｓをシート支持部３００に対して移動させることにより、端子Ｔを洗浄液が浸透した第１のシートＣ１に接触させながら移動させる。これにより、端子Ｔの表面が拭き取られて清掃される。洗浄液供給部５００は、第２のシートＣ２に、洗浄液を浸透させる。
【００１８】
ここで、本実施形態では、押付面４１１に直交する方向に第２のシートＣ２を移動させて、第２のシートＣ２を第１のシートＣ１に押し付ける。この押し付けのために押付面４１１が移動する方向を押付方向として、押付方向に沿う方向をＺ軸方向とする。この押付方向は、端子Ｔが第１のシートＣ１に接触する際に移動する接触方向でもある。押付面４１１に平行な平面において、端子Ｔが、第１のシートＣ１によって拭き取られる際に相対移動する方向を拭取方向として、拭取方向に沿う方向をＸ軸方向とする。さらに、押付面４１１に平行な平面において、拭取方向に直交する方向を端子Ｔの並設方向として、並設方向に沿う方向をＹ軸方向とする。なお、本実施形態では、押付部４００は、押付面４１１が水平方向と平行となるように設けられている。したがって、Ｚ軸方向は鉛直方向となっている。以下の説明では、鉛直方向において、端子清掃装置１００の設置面側を下、その反対側を上とする。
【００１９】
［基板支持部］
基板支持部２００は、図２に示すように、テーブル２１０、駆動機構２２０を有する。テーブル２１０は、平板状の部材であり、一方の面である載置面２１１に基板Ｓの裏面を支持する。載置面２１１は、押付面４１１に平行な面である。テーブル２１０の載置面２１１には、図示しない空気圧回路に接続された吸引穴が設けられ、負圧によって基板Ｓを吸着保持する。駆動機構２２０は、支柱２２１、移動台２２２、シリンダ２２３、リニアガイド２２４、駆動源２２５を有する。支柱２２１は、図示しない架台に立設されている。架台は、設置面に設置されている。移動台２２２は、押付面４１１に平行な板状体であり、支柱２２１に対してＺ軸に沿う方向に移動可能に設けられている。シリンダ２２３は、移動台２２２をＺ軸方向に沿って移動させる。リニアガイド２２４は、移動台２２２に設けられ、テーブル２１０をＸ軸方向に沿って移動可能に支持する。駆動源２２５は、例えば、モータであり、ボールねじを回動させることによってテーブル２１０をＸ軸方向に沿って移動させる。
【００２０】
つまり、シリンダ２２３は、テーブル２１０に支持された基板Ｓの端子Ｔを接触方向及びこれと反対方向に移動させる接触移動機構として機能する。また、リニアガイド２２４、駆動源２２５は、テーブル２１０に支持された基板Ｓの端子Ｔを拭取方向及びこれと反対方向に移動させる拭取移動機構として機能する。
【００２１】
［シート支持部］
シート支持部３００は、図２及び図３に示すように、本体部３１０、張設部３２０、給排機構３３０を有する。本体部３１０は、略直方体形状の箱体であり、架台上の基板支持部２００にＸ軸方向において隣接する位置に立設されている。本体部３１０は、Ｚ軸方向及びＸ軸方向に平行な一側面を構成するプレート３１１を有する。このプレート３１１側を、端子清掃装置１００の正面側とする。プレート３１１の上端には、Ｘ軸方向に沿った一方向（基板支持部２００側）に突出した突出部３１１ａが設けられている。
【００２２】
張設部３２０は、第１のシートＣ１が張設される部材である。張設部３２０は、直方体の箱形であり、プレート３１１において、基板支持部２００に隣接する側の側縁に取り付けられている。
【００２３】
張設部３２０の架台側の面は、清掃時に基板Ｓに対向する対向面３２１である。この対向面３２１には、基板支持部２００側の縁部の近傍に、バックアップ３２２が設けられている。バックアップ３２２は、図２及び図３に示すように、Ｙ軸方向に延びた直方体形状の部材である。バックアップ３２２の長辺方向の長さＢＷは、第１のシートＣ１の幅Ｗよりも長い。バックアップ３２２の架台側の面は、バックアップ面３２２ａであり、テーブル２１０の載置面２１１と平行になるように設けられている。ここで、基板支持部２００の載置面２１１には、基板Ｓを、端子Ｔの設けられた側がプレート３１１側を向き、端子Ｔの並び方向がＹ軸方向に沿うように載置するようになっている。したがって、テーブル２１０をリニアガイド２２４に沿ってプレート３１１に向けて移動させることで、基板Ｓを対向面３２１の下に挿入し、端子Ｔをバックアップ３２２に対向させることができる。
【００２４】
バックアップ面３２２ａの長辺方向の両端近傍には、それぞれ検出部３２３が設けられている。検出部３２３は、第１のシートＣ１の濡れ量を検出する。濡れ量は、第１のシートＣ１にどの程度の洗浄液が浸透したかを示す値である。また、検出部３２３は、この濡れ量の値によって、第１のシートＣ１の有無も検出できる。検出部３２３としては、例えば、バックアップ３２２に形成された孔に挿入され、光源からの光の反射光を検出する光ファイバセンサを用いる。光ファイバセンサは受光量に応じた数値を出力する。この数値は、第１のシートＣ１の有無、第１のシートＣ１の濡れ量に応じて異なる。一対の検出部３２３の間隔ＳＤは、両者によって第１のシートＣ１の有無を検出することにより、第１のシートＣ１のずれについても検出できるように、第１のシートＣ１の幅Ｗよりも僅かに短い。このため、一方の検出部３２３が第１のシートＣ１を検出できていない場合には、第１のシートＣ１がずれていることになる。
【００２５】
第１のシートＣ１において、バックアップ面３２２ａと接している面とは反対側の面、つまり、下側の面であってバックアップ面３２２ａ上の領域が、端子Ｔと接触する接触領域ＣＡである。但し、端子Ｔは、上記のように複数間隔を空けて配置されるとともに、基板Ｓの端子Ｔの周囲にはマージンが設けられているため、接触領域ＣＡの全てが端子Ｔに接触する必要はない。
【００２６】
バックアップ面３２２ａには、一対の検出部３２３の間に、複数の噴出孔３２４が形成されている。噴出孔３２４は、図示しない空気圧回路に接続され、空気を第１のシートＣ１に対して噴出可能に構成されている。なお、このようなバックアップ３２２は、基板Ｓの端子Ｔを第１のシートＣ１に接触させる際に、第１のシートＣ１を裏から支える機能と、押付面４１１によって第２のシートＣ２を第１のシートＣ１に押し付ける際に、第１のシートＣ１を裏から支える機能とを有する。
【００２７】
さらに、張設部３２０の挿入側の側面は、対向面３２１に直交し、第１のシートＣ１が沿う案内面３２５となっている。この案内面３２５には、対向面３２１との境界を含む下端部に、第１のシートＣ１の移動をガイドするガイド部材３２６が設けられている。ガイド部材３２６は、第１のシートＣ１が通過可能なガイド溝３２６ａが形成され、このガイド溝３２６ａのＹ軸方向に対向する一対の内壁に、第１のシートＣ１の両縁が接することにより、第１のシートＣ１の幅方向の変位が規制される。また、ガイド部材３２６には、対向面３２１との境界の近傍に、第１のシートＣ１を送り出す方向をＺ軸方向からＸ軸方向に変換する角部３２６ｂが、第１のシートＣ１の幅方向に形成されている。この角部３２６ｂには、第１のシートＣ１の摺動を円滑にする丸みが形成されている。
【００２８】
給排機構３３０は、供給部３３１、排出部３３２を有する。供給部３３１は、Ｙ軸方向に平行な回動軸を有する供給リール３３１ａ、経路ローラ３３１ｂ、３３１ｃを有する。供給リール３３１ａは、第１のシートＣ１が巻回され、回動により第１のシートＣ１が送り出されるリールである。供給リール３３１ａは、プレート３１１の上側に設けられ、図示しないモータによって回動することにより、第１のシートＣ１を所定長ずつ送出可能に設けられている。
【００２９】
経路ローラ３３１ｂ、３３１ｃは、供給リール３３１ａから送り出された第１のシートＣ１の移動をガイドするとともに、第１のシートＣ１の移動方向を変換することにより、張設部３２０の案内面３２５に沿う方向に、第１のシートＣ１を送り出す。経路ローラ３３１ｂの軸は、プレート３１１に対する位置が固定である。経路ローラ３３１ｃの軸は、図示しないガイド機構によって、Ｚ軸方向の所定の範囲内で可動に設けられている。経路ローラ３３１ｃは、軸に対して、図示しない重り等によって、供給リール３３１ａの送り出し方向とは反対方向に荷重がかけられている。これにより、供給リール３３１ａは、第１のシートＣ１に張力を付与している。
【００３０】
排出部３３２は、Ｙ軸方向に平行な回動軸を有する送りローラ３３２ａ、ニップローラ３３２ｂ、経路ローラ３３２ｃを有する。送りローラ３３２ａは、プレート３１１の設置側に設けられ、図示しないモータにより回動可能に設けられている。ニップローラ３３２ｂは、送りローラ３３２ａとの間で第１のシートＣ１を挟み、送りローラ３３２ａの回動とともに回動して、第１のシートＣ１を排出する。ニップローラ３３２ｂは、シリンダ３３２ｄによって、送りローラ３３２ａに付勢されている。経路ローラ３３２ｃは、張設部３２０からの第１のシートＣ１の移動をガイドするとともに、移動方向を変換して送りローラ３３２ａに送り出す。
【００３１】
［押付部］
押付部４００は、図２、図４及び図５に示すように、押付部材４１０、基体部４２０、駆動部４３０を有する。押付部材４１０は、略直方体形の部材である。押付部材４１０は、張設部３２０のバックアップ３２２に対向する長方形状の平坦な面が、押付面４１１となっている。押付面４１１の長辺は、Ｙ軸方向に沿う方向、つまり第１のシートＣ１及び第２のシートＣ２の幅方向、端子Ｔの並設方向である。押付部材４１０には、押付面４１１の一方の長辺に沿って、平坦に面取りされた傾斜面４１２が形成されている。
【００３２】
このような押付面４１１の長辺方向の長さＰＷは、バックアップ３２２の長辺方向の長さＢＷよりも長い。また、押付面４１１の短辺方向の長さＰＬは、端子Ｔの長辺方向の長さＴＬと同等である。このような押付面４１１及び傾斜面４１２の全体を覆うとともに、押付面４１１及び傾斜面４１２の長辺に沿う押付部材４１０の２側面の一部を覆い、後述する浸漬槽５１０に貯留された洗浄液Ｌに浸かるように、第２のシートＣ２がセットされる。第２のシートＣ２の押付面４１１を覆う領域を、押付領域ＰＡとする。押付領域ＰＡは、接触領域ＣＡに押し付けられるが、押付領域ＰＡと接触領域ＣＡの面積は一致している必要はない。
【００３３】
第２のシートＣ２は、シート押えＣＰによって、押付部材４１０に固定される。シート押えＣＰは、第２のシートＣ２を挟みつつ、押付部材４１０の側面に沿って嵌るように、板状体を矩形状に屈曲した枠である。シート押えＣＰは、一つの長辺部分の一部が破断しているため、押付部材４１０との間に第２のシートＣ２を挟んで嵌め込む際に、弾性変形することにより挿入し易くなる。
【００３４】
基体部４２０は、押付部材４１０が設けられた直方体形のブロック状の部材である。基体部４２０は、張設部３２０の対向面３２１に離隔して対向する位置に設けられている。押付部材４１０は、押付面４１１がバックアップ３２２に対向するように、基体部４２０に設けられている。基体部４２０は、本体部３１０に対して、Ｚ軸方向に沿う方向に移動可能に設けられている。駆動部４３０は、基体部４２０を移動させることにより、押付部材４１０にセットされた第２のシートＣ２を、第１のシートＣ１に接離させる。駆動部４３０は、例えば、シリンダによって構成する。
【００３５】
［洗浄液供給部］
洗浄液供給部５００は、図２に示すように、浸漬槽５１０、洗浄液流路５２０、水位検出部５３０を有する。浸漬槽５１０は、基体部４２０に形成され、洗浄液Ｌを貯留可能な空間である。洗浄液Ｌとしては、本実施形態では、エタノールを用いる。本実施形態の浸漬槽５１０は、基体部４２０の押付部材４１０の根本近傍を、直方体形状に穿設することにより形成されている。洗浄液Ｌには、第２のシートの一部が浸漬される。つまり、浸漬槽５１０の開口に、押付部材４１０にセットされた第２のシートＣ２の辺縁部が入り、貯留された洗浄液Ｌに浸漬される。なお、洗浄液Ｌに浸漬される第２のシートＣ２の辺縁部の長さは、第２のシートＣ２の幅の全長である。このように、第２のシートＣ２の辺縁部が洗浄液Ｌに浸漬されることにより、毛細管現象によって、第２のシートＣ２の押付面４１１を覆う領域に、洗浄液Ｌが均一に供給される。
【００３６】
洗浄液流路５２０は、浸漬槽５１０に洗浄液Ｌを供給する流路である。洗浄液流路５２０は、供給配管５２１、液面検知用配管５２２、復帰配管５２３を有する。供給配管５２１は、図示しない洗浄液の供給源から、浸漬槽５１０の底部に接続された配管である。液面検知用配管５２２は、浸漬槽５１０の底部から、水位検出部５３０に接続された配管である。復帰配管５２３は、水位検出部５３０から浸漬槽５１０の開口側に接続された配管である。
【００３７】
水位検出部５３０は、浸漬槽５１０内の洗浄液Ｌの液面と同水位となるように設定された透明な配管と、この配管内の水位を検知する光ファイバセンサによって構成されている。浸漬槽５１０には、供給源からの洗浄液Ｌが、供給配管５２１を介して供給される。水位検出部５３０による水位の検出位置は、第２のシートＣ２の端部が洗浄液Ｌに十分に浸漬される水位に対応する位置とする。水位検出部５３０は、検出位置における洗浄液Ｌの有無に応じて異なる数値を出力する。なお、突発的な水位上昇があった場合には、水位検出部５３０からの洗浄液Ｌは、復帰配管５２３を介して浸漬槽５１０に復帰する。
【００３８】
［制御装置］
制御装置６００は、図２に示すように、端子清掃装置１００の各部を制御する装置である。この制御装置６００は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって構成できる。つまり、基板支持部２００の駆動機構２２０、シート支持部３００の給排機構３３０、押付部４００の駆動部４３０、洗浄液供給部５００の洗浄液の供給源の制御などに関しては、その制御内容がプログラムされており、ＰＬＣやＣＰＵなどの処理装置により実行される。
【００３９】
このような制御装置６００の構成を、機能ブロック図である図６を参照して説明する。すなわち、制御装置６００は、機構制御部６１、濡れ判定部６２、水位判定部６３、位置判定部６４、記憶部６５、入出力制御部６６を有する。機構制御部６１は、駆動機構２２０、給排機構３３０、駆動部４３０の駆動、洗浄液の供給源による洗浄液の供給等を制御する。
【００４０】
濡れ判定部６２は、検出部３２３により検出される第１のシートＣ１の濡れ量を示す数値が、しきい値以上となったか否かを判定することにより、拭き取りに適した濡れ量に達したか否かを判定する。水位判定部６３は、水位検出部５３０が検出した数値が、洗浄液Ｌの存在を示すしきい値を超えるか否かにより、浸漬槽５１０の洗浄液Ｌの水位が、第２のシートＣ２の濡れを維持するに十分な水位か否かを判定する。
【００４１】
位置判定部６４は、検出部３２３が第１のシートＣ１の有無を検出することにより、第１のシートＣ１のずれを判定する。つまり、位置判定部６４は、一対の検出部３２３の双方が、第１のシートＣ１の存在を示すしきい値以上となっている場合には、第１のシートＣ１が正常な位置にあると判定する。位置判定部６４は、一対の検出部３２３の少なくとも一方が、第１のシートＣ１の存在を示すしきい値未満となっている場合には、第１のシートＣ１がずれていると判定する。
【００４２】
記憶部６５は、本実施形態の制御に必要な情報を記憶する構成部である。例えば、上記のようなプログラムとともに、拭き取りに適した濡れ量を示すしきい値、検出位置における洗浄液Ｌの存在を示すしきい値、第１のシートＣ１の存在を示すしきい値が、記憶部６５に記憶されている。入出力制御部６６は、制御対象となる各部との間での信号の変換や入出力を制御するインタフェースである。
【００４３】
さらに、制御装置６００には、入力装置７１、出力装置７２が接続されている。入力装置７１は、オペレータが、制御装置６００を介して端子清掃装置１００を操作するためのスイッチ、タッチパネル、キーボード、マウス等の入力手段である。上記の各種のしきい値は、入力装置７１から所望の値を入力して設定することができる。
【００４４】
出力装置７２は、装置の状態を確認するための情報を、オペレータが認識可能な状態とするディスプレイ、ランプ、メータ、スピーカ、ブザー等の出力手段である。例えば、上記のしきい値、第１のシートＣ１の濡れ量、洗浄液Ｌの水位、第１のシートＣ１のずれの有無等は、ディスプレイに表示され、ランプの点灯等により報知される。第１のシートＣ１にずれがある場合に、スピーカ、ブザーからの音声により報知してもよい。つまり、出力装置７２は、濡れ量、水位、ずれの報知手段として機能する。
【００４５】
［動作］
以上のような本実施形態の動作を、上記の図１〜図６に加えて、図７及び図８を参照して以下に説明する。まず、図２に示すように、基板Ｓはテーブル２１０に載置され、負圧により吸着保持されている。また、バックアップ３２２を覆うように、張設部３２０に、第１のシートＣ１が張設されている。
【００４６】
さらに、図５（Ａ）、（Ｂ）に示すように、第２のシートＣ２で押付面４１１を覆うように、押付部材４１０に被せて、シート押えＣＰを嵌めることにより、第２のシートＣ２をセットする。第２のシートＣ２の一部は、浸漬槽５１０内の洗浄液Ｌに浸漬されているため、第２のシートＣ２の他の領域に洗浄液Ｌが毛細管現象により浸透して行くので、押付面４１１に対応する第２のシートＣ２の押付領域ＰＡにも、全体に洗浄液Ｌが浸透する。なお、第２のシートＣ２は、浸漬槽５１０側に垂らした辺縁部が、洗浄液Ｌに浸漬されているので、端子Ｔの並設方向に交差する方向、つまり押付面４１１の長辺方向に交差する方向から、洗浄液Ｌが浸透する。
【００４７】
この初期状態から、基板Ｓの端子Ｔの拭き取りを行う手順を、図７の説明図、図８のフローチャートを参照して説明する。上記の初期状態では、図７（Ａ）に示すように、第２のシートＣ２の押付領域ＰＡ（図５（Ｂ）参照）は、第１のシートＣ１のバックアップ３２２を覆う部分に対向している。
【００４８】
図７（Ｂ）に示すように、押付面４１１が、バックアップ３２２に接近する方向に、駆動部４３０が基体部４２０とともに押付部材４１０を移動させて、押付領域ＰＡを、第１のシートＣ１に押し付ける（ステップＳ０１）。すると、第２のシートＣ２の押付領域ＰＡに浸透している洗浄液Ｌが、第１のシートＣ１に毛細管現象によって浸透していく。そして、濡れ判定部６２が、検出部３２３により検出される第１のシートＣ１の濡れ量を示す数値が、しきい値未満であると判定している間は（ステップＳ０２のＮＯ）、押付領域ＰＡの押し付けを継続する。
【００４９】
第１のシートＣ１の濡れ量を示す数値が、しきい値以上と判定された場合（ステップＳ０２のＹＥＳ）。図７（Ｃ）に示すように、駆動部４３０が基体部４２０とともに押付部材４１０を移動させて、押付面４１１をバックアップ３２２から離す（ステップＳ０３）。これにより、第１のシートＣ１と第２のシートＣ２との間に、基板Ｓを挿入可能な空間が形成される。
【００５０】
図７（Ｄ）に示すように、駆動機構２２０の駆動源２２５（図２参照）が、テーブル２１０をＸ軸方向に沿って張設部３２０側、つまり図中左方向に移動させることにより、テーブル２１０に支持された基板Ｓを、第１のシートＣ１と第２のシートＣ２との間に挿入する（ステップＳ０４）。このとき、基板Ｓの端子Ｔは、第１のシートＣ１を挟んでバックアップ３２２に対向する位置に来る。
【００５１】
図７（Ｅ）に示すように、駆動機構２２０のシリンダ２２３（図２参照）が、テーブル２１０を基板Ｓとともに接触方向に移動させることにより、基板Ｓの端子Ｔを、第１のシートＣ１に接触させる（ステップＳ０５）。そして、図７（Ｆ）に示すように、駆動機構２２０の駆動源２２５が、テーブル２１０を基板Ｓとともに拭取方向、つまりＸ軸方向に沿って図中右方向に移動させることにより、基板Ｓの端子Ｔの表面が、第１のシートＣ１によって拭き取られる（ステップＳ０６）。このまま移動を継続することにより、基板Ｓを、第１のシートＣ１と第２のシートＣ２との間から退避させる。
【００５２】
以上の動作は、一つの基板Ｓの端子Ｔを清掃する手順であるが、テーブル２１０に載置された基板Ｓを交換して、上記の手順を行うことにより、順次、基板Ｓの端子Ｔを清掃することができる。水位判定部６３によって、水位が検出位置に達していないと判定された場合には、供給源から洗浄液Ｌを浸漬槽５１０に供給する。水位が検出位置に達したら、洗浄液Ｌの供給を停止する。また、位置判定部６４によって、第１のシートＣ１がずれていると判定された場合には、出力装置７２によってオペレータに報知される。オペレータは、端子清掃装置１００を停止して、ずれを修正する。また、第１のシートＣ１の濡れ量を示す数値が過大であることを判断するためのしきい値を超えた場合には、噴出孔３２４から第１のシートＣ１に対して空気を噴出することにより、濡れ量を低減させる。
【００５３】
［作用効果］
（１）本実施形態の端子清掃装置１００は、基板Ｓの端子Ｔを清掃するための第１のシートＣ１を支持するシート支持部３００と、第２のシートＣ２を第１のシートＣ１に押し付ける押付面４１１を有し、押付面４１１をシート支持部３００に対して相対移動させることにより、洗浄液が浸透した第２のシートＣ２を第１のシートＣ１に押し付けて、第１のシートＣ１に洗浄液を浸透させる押付部４００と、基板Ｓを支持し、基板Ｓをシート支持部３００に対して相対移動させることにより、端子Ｔを、洗浄液が浸透した第１のシートＣ１に接触させて清掃する基板支持部２００と、を有する。
【００５４】
このように、洗浄液Ｌを浸透させた第２のシートＣ２を、第１のシートＣ１に押付面で押し付けることにより、第１のシートＣ１に洗浄液を浸透させるので、ノズル等により点で洗浄液を付着させる場合に比べて、第１のシートＣ１に洗浄液が過不足なく均一に付着することになる。このため、複数の端子Ｔの表面をムラなく拭き取って、確実に清掃することができる。
【００５５】
ここで、複数の端子Ｔの表面を清掃するためには、第１のシートＣ１の比較的広い範囲によって、複数の端子Ｔにまとめて接触させて拭き取ることが効率がよい。しかし、清掃テープの拭き取り面が広くなると、洗浄液を均一に付着させることが困難となる。特に、ノズルによって洗浄液を滴下する場合には、面積が広くなると、均一に付着させることはより困難となる。本実施形態では、第１のシートＣ１の広い範囲に過不足なく均一に洗浄液を浸透させることができるので、複数の端子Ｔをまとめて清掃することに適している。また、第１のシートＣ１の比較的広い領域に、１回の動作で短時間に洗浄液を過不足なく均一に供給することができるので、少量の洗浄液を付着させる場合にも対応できる。
【００５６】
（２）第２のシートＣ２のうち、第１のシートＣ１に押し付けられる押付領域ＰＡ以外の領域から、洗浄液を供給する洗浄液供給部５００を有する。このため、押付領域ＰＡには毛細管現象により洗浄液が浸透して行くことになるので、押付領域ＰＡに直接洗浄液を滴下したり塗布したりする場合に比べて、洗浄液の浸透が均一となる。従って、押付領域ＰＡが押し付けられる第１のシートＣ１に対しても、洗浄液を均一に浸透させることができる。なお、本実施形態では、第２のシートＣ２の辺縁部から、押付面４１１の長辺方向に交差する方向に洗浄液が浸透していく。このため、押付面４１１の長辺方向の一端又は両端から洗浄液が浸透していく場合に比べて、端子Ｔの並設方向のムラが生じ難い。
【００５７】
（３）洗浄液供給部５００は、洗浄液を貯留可能であり、洗浄液に第２のシートＣ２の一部が浸漬されることにより、第２のシートＣ２に洗浄液が供給される浸漬槽５１０を有する。このため、第２のシートＣ２の一部が浸漬されるように、浸漬槽５１０に洗浄液を貯留しておけばよいので、管理が容易となる。
【００５８】
（４）第１のシートＣ１が端子Ｔに接触する接触位置と、第１のシートＣ１に第２のシートＣ２が押し付けられる押付位置と、が共通である。このため、あらかじめ第１のシートＣ１に洗浄液を浸透させた後に、第１のシートを移動させて拭き取りを行う場合に比べて、乾燥し難く、拭き取りの位置合わせがし易い。
【００５９】
（５）シート支持部３００は、押付部４００により第２のシートＣ２が押し付けられた第１のシートＣ１の濡れ量を検出する検出部３２３を有する。このため、拭き取りに十分な濡れ量となったことを検出してから、拭き取り動作をさせることができる。
【００６０】
（６）基板支持部２００は、第１のシートＣ１に複数の端子Ｔを接触させながら、基板Ｓを、複数の端子Ｔの並設方向に交差する方向に相対移動させる。このため、洗浄液が均一に浸透した第１のシートＣ１によって、複数の端子Ｔをまとめて清掃できる。端子Ｔは、帯状のものが長手方向に直交する方向に多数並設されているが、並設方向に直交する方向、つまり長手方向に拭き取ることにより、端子Ｔの並設による凹凸の影響に関係無く、第１のシートＣ１の拭き取り動作を行えるので、端子Ｔにダメージを与えることなく清掃することができる。
【００６１】
［他の実施形態］
本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような態様も含む。
（１）基板Ｓは、側辺に電極を有する平板状であればよい。表示装置用の部材、その他の部材に広く適用できる。例えば、液晶パネルには限定されず、有機ＥＬパネルであってもよい。また、表示装置用の基板Ｓには限定されず、配線済の基板、電子部品を実装済の基板等であってもよい。さらに、基板Ｓの材質は、ガラスには限定されず、樹脂等、他の材質であってもよい。
【００６２】
（２）押付部４００のシート支持部３００に対する移動は、相対移動であればよい。つまり、シート支持部３００側が第１のシートＣ１を移動させることにより、又は双方が移動することにより、第２のシートＣ２を第１のシートＣ１に押し付けてもよい。基板支持部２００のシート支持部３００に対する移動も、相対移動であればよい。つまり、シート支持部３００側が第１のシートＣ１を移動させることにより、又は双方が移動することにより、端子Ｔを清掃する構成であってもよい。押付部４００を移動させる駆動部４３０、基板支持部２００の駆動機構２２０等、各部を移動させる機構も、上記の態様には限定されない。なお、押付部４００や基板支持部２００を固定として、シート支持部３００を移動させる場合、シート支持部３００を移動させる駆動機構等の移動装置は、押付部４００や基板支持部２００の一部を兼ねる装置として捉えることもできる。
【００６３】
（３）洗浄液供給部５００は、第２のシートＣ２の押付領域ＰＡに洗浄液を浸透させることができればよく、第２のシートＣ２に洗浄液を浸漬させる構成には限定されない。押付領域ＰＡの周囲から、ノズルやスプレー等によって洗浄液Ｌを供給し、これにより、押付領域ＰＡに洗浄液が浸透するようにしてもよい。また、押付部材４１０の一方の側面側に浸漬槽５１０を設けたが、これに限られるものではなく、押付部材４１０の２側面の両側に浸漬槽５１０を設けるようにしてもよい。この場合、押付部材４１０の２側面のそれぞれに垂らした第２のシートＣ２の端部が洗浄液Ｌに浸漬される。要は、洗浄液供給部５００は、押付領域ＰＡに洗浄液Ｌが浸透することによって行き渡るよう構成されていればよい。
【００６４】
（４）洗浄液が浸透した第２のシートＣ２を第１のシートＣ１に押し付けるとは、押し付ける前に、洗浄液が押付領域ＰＡにまで浸透している必要はない。つまり、上記の態様では、第２のシートＣ２の押付領域ＰＡに洗浄液が浸透してから、押付動作を行っていたが、押付領域ＰＡに対する洗浄液の浸透がない場合又は不十分な場合であっても、第１のシートＣ１に押し付けてもよい。その後、第２のシートＣ２の押付領域ＰＡに洗浄液が浸透して、さらに第１のシートＣ１へ洗浄液が浸透すればよい。
【００６５】
（５）第１のシートＣ１の濡れ量の検出をしなくても、第２のシートＣ２の押し付けから過不足ない濡れ量となる時間を実験等により取得しておき、その時間を、押し付ける時間として設定としてもよい。
【００６６】
（６）押付面４１１の長辺方向の長さが異なる押付部材４１０を複数用意しておき、又はこれらを備えた押付部４００を複数用意しておき、交換可能とすることにより、端子Ｔの並設方向の長さが異なる基板Ｓに対応できるようにしてもよい。なお、上記の態様のように、作業効率からは、一つの基板Ｓの全ての端子Ｔを包含するように、第１のシートＣ１により拭き取ることが好ましい。但し、複数の端子Ｔの一部を拭き取る構成であってもよい。また、長さが異なる基板Ｓや押付面４１１に対応させる場合、異なる長さに対応した幅の第１のシートＣ１、第２のシートＣ２を用意しておき、適宜交換することになる。さらに、清掃する端子Ｔの長手方向の長さの違いに対応させて、押付面４１１の短辺方向の長さＰＬを変えた押付部材４１０も用意しておき、適宜交換して使用する。
【００６７】
（７）第１のシートＣ１と第２のシートＣ２とは、同じものを用いてもよいし、異なる種類のものを用いてもよい。但し、同じものを用いる方が、浸透の速度等が共通であるため、装置の設定管理が容易となる。また、第２のシートＣ２は、洗浄液Ｌを浸透させることができるシートであればよく、特定のものには限定されない。しかしながら、生産性や作業効率の観点から、第２のシートＣ２は、第１のシートＣ１に対して概ね２秒以内、より好ましくは、１秒以内に適正量の洗浄液Ｌを浸透（転写）させることができる程度の単位体積当たりの保水量（保水能力）を有しているとよい。そのためには、第２のシートＣ２は、浸漬槽５１０側からの浸透を待つ必要なく、押付領域ＰＡ内で第２のシートＣ２内に保水された洗浄液Ｌのみで、第１のシートＣ１の押し付けによって、第１のシートＣ１に清掃に必要な量（適正量）の洗浄液Ｌを浸透させることができる保水能力を有しているとよい。また、第２のシートＣ２は、押付部材４１０の２側面の一部を覆うように設けるようにしたが、浸漬槽５１０に浸漬される側は押付部材４１０の側面の全部を覆う長さであってもよい。要は、第２のシートＣ２は、浸漬槽５１０に貯留された洗浄液Ｌに浸漬可能な長さを有していればよい。
【００６８】
（８）以上、本発明の実施形態及び各部の変形例を説明したが、この実施形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。
【符号の説明】
【００６９】
１００  端子清掃装置
２００  基板支持部
２１０  テーブル
２１１  載置面
２２０  駆動機構
２２１  支柱
２２２  移動台
２２３  シリンダ
２２４  リニアガイド
２２５  駆動源
３００  シート支持部
３１０  本体部
３１１  プレート
３１１ａ  突出部
３２０  張設部
３２１  対向面
３２２  バックアップ
３２２ａ  バックアップ面
３２３  検出部
３２４  噴出孔
３２５  案内面
３２６  ガイド部材
３２６ａ  ガイド溝
３２６ｂ  角部
３３０  給排機構
３３１  供給部
３３１ａ  供給リール
３３１ｂ  経路ローラ
３３１ｃ  経路ローラ
３３２  排出部
３３２ａ  送りローラ
３３２ｂ  ニップローラ
３３２ｃ  経路ローラ
３３２ｄ  シリンダ
４００  押付部
４１０  押付部材
４１１  押付面
４１２  傾斜面
４２０  基体部
４３０  駆動部
５００  洗浄液供給部
５１０  浸漬槽
５２０  洗浄液流路
５２１  供給配管
５２２  液面検知用配管
５２３  復帰配管
５３０  水位検出部
６００  制御装置
６１  機構制御部
６２  濡れ判定部
６３  水位判定部
６４  位置判定部
６５  記憶部
６６  入出力制御部
７１  入力装置
７２  出力装置
Ｃ１  第１のシート
Ｃ２  第２のシート
ＣＡ  接触領域
ＣＰ  シート押え
Ｌ  洗浄液
ＰＡ  押付領域
Ｓ  基板
Ｔ  端子
【図１】
2020127913.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2020127913.tif 000007
【図６】
2020127913.tif 000008
【図７】
2020127913.tif 000009
【図８】
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