(57)【要約】【課題】絶縁破壊を抑制しながら、圧電層を均一に分極させることのできる、透明導電性圧電フィルムの製造方法および製造装置を提供すること。【解決手段】透明導電性圧電フィルム２の製造方法は、透明導電層３および圧電層５を厚み方向一方側に向かって順に備える透明導電性圧電フィルム２を準備する第１工程と、圧電層５を分極させる第２工程とを備える。第２工程では、透明導電性圧電フィルム２をロール・トゥ・ロール方式で搬送して、圧電層５に対してその厚み方向一方側から第１の分極ロール１５を接触させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明導電層および圧電層を厚み方向一方側に向かって順に備える透明導電性圧電フィルムを準備する第１工程と、
前記圧電層を分極させる第２工程と
を備え、
前記第２工程では、前記透明導電性圧電フィルムをロール・トゥ・ロール方式で搬送して、前記圧電層に対してその厚み方向一方側から分極ロールを接触させることを特徴とする、透明導電性圧電フィルムの製造方法。
【請求項２】
前記第２工程では、前記透明導電層を、前記分極ロールの搬送方向上流側および下流側における少なくともいずれか一方に配置される接地ロールに接触させることを特徴とする、請求項１に記載の透明導電性圧電フィルムの製造方法。
【請求項３】
前記分極ロールは、前記圧電層に接触する表面において、
前記圧電層を分極させるための電圧印加部と、
前記電圧印加部に対して前記分極ロールの回転方向上流側および下流側のそれぞれに隣接する第１絶縁部および第２絶縁部のそれぞれとを備え、
前記第２工程では、前記電圧印加部の前記回転方向における全部と、前記第１絶縁部における前記下流側部分および前記第２絶縁部における上流側部分とが前記圧電層と接触しているときに、電圧を前記電圧印加部に印加することを特徴とする、請求項１または２に記載の透明導電性圧電フィルムの製造方法。
【請求項４】
前記第２工程では、前記圧電層を、搬送方向に隣接して複数配置される前記分極ロールに接触させることを特徴とする、請求項３に記載の透明導電性圧電フィルムの製造方法。
【請求項５】
前記第２工程は、
前記複数の分極ロールに含まれる第１の前記分極ロールによって、前記圧電層に、搬送方向に間隔を隔てて配置される第１の分極部を形成する第１分極工程と、
前記複数の分極ロールに含まれ、第１の前記分極ロールに対して搬送方向下流側に隣接する第２の前記分極ロールによって、前記圧電層における前記第１の分極部の間に、第２の分極部を形成する第２分極工程とを備え、
前記第２工程では、前記圧電層において、前記第１の分極部および前記第２の分極部を搬送方向に交互に配置することを特徴とする、請求項４に記載の透明導電性圧電フィルムの製造方法。
【請求項６】
前記分極ロールは、前記圧電層に接触する表面において、
前記圧電層を分極させるための電圧印加部と、
前記電圧印加部に対して前記分極ロールの軸方向一方側および他方側にそれぞれ隣接する第３絶縁部および第４絶縁部とを備え、
前記第２工程では、前記第３絶縁部および前記第４絶縁部のそれぞれが、前記圧電層の前記軸方向一端縁および他端縁のそれぞれに接触し、かつ、前記電圧印加部が前記圧電層における前記軸方向一端縁および他端縁間の中間部と接触しているときに、電圧を前記電圧印加部に印加することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載の透明導電性圧電フィルムの製造方法。
【請求項７】
前記第１工程では、前記透明導電層、透明基材および前記圧電層を厚み方向一方側に向かって順に備える前記透明導電性圧電フィルムを準備することを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載の透明導電性圧電フィルムの製造方法。
【請求項８】
透明導電層および圧電層を厚み方向一方側に向かって順に備える透明導電性圧電フィルムをロール・トゥ・ロール方式で搬送する搬送装置と、
前記圧電層をその厚み方向一方側から接触する分極ロールと、
前記分極ロールに対して搬送方向に間隔を隔てて配置される接地ロールと
を備えることを特徴とする、透明導電性圧電フィルムの製造装置。
【請求項９】
前記分極ロールは、表面において、
前記圧電層を分極させるための電圧印加部と、
前記電圧印加部に隣接する絶縁部と
を備えることを特徴とする、請求項８に記載の透明導電性圧電フィルムの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明導電性圧電フィルムの製造方法および製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電フィルムは、タッチ圧検出に用いられることが知られている。
【０００３】
圧電フィルムの製造方法として、重合体フィルムを２つの平板電極で厚み方向両側から挟み込んで、重合体フィルムに電圧を印加して、圧電フィルムを分極させる方法が提案されている（例えば、下記特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−２１９８０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかるに、２つの平板電極で重合体フィルムを挟み込む方法では、平板電極と重合体フィルムとの間に異物が入り込んだ場合には、２つの平板電極の挟圧によって、重合体フィルムにおいて異物に対向する部分が押しつぶされて、厚みが薄くなり、そのため、絶縁破壊を生じるという不具合がある。
【０００６】
一方、圧電フィルムでは、分極の均一性も求められる。
【０００７】
本発明は、絶縁破壊を抑制しながら、圧電層を均一に分極させることのできる、透明導電性圧電フィルムの製造方法および製造装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明（１）は、透明導電層および圧電層を厚み方向一方側に向かって順に備える透明導電性圧電フィルムを準備する第１工程と、前記圧電層を分極させる第２工程とを備え、前記第２工程では、前記透明導電性圧電フィルムをロール・トゥ・ロール方式で搬送して、前記圧電層に対してその厚み方向一方側から分極ロールを接触させる、透明導電性圧電フィルムの製造方法を含む。
【０００９】
この透明導電性圧電フィルムの製造方法では、第２工程において、圧電層を厚み方向両側から挟持せず、分極ロールがその厚み方向一方側から接触することができる。すると、第２工程において、異物が分極ロールと圧電層との間に入り込んでも、圧電層において異物に対向する部分は、厚み方向他方側に向かって変形でき、そのため、かかる部分が、薄くなることを抑制でき、その結果、上記した絶縁破壊を抑制することができる。
【００１０】
また、第２工程では、透明導電性圧電フィルムをロール・トゥ・ロール方式で搬送して、圧電層を分極ロールに接触させるので、圧電層表面に均一に電圧を印可することができるため、圧電層を均一に分極させることができる。
【００１１】
従って、この透明導電性圧電フィルムの製造方法では、絶縁破壊を抑制しながら、圧電層を均一に分極させることができる。
【００１２】
本発明（２）は、前記第２工程では、前記透明導電層を、前記分極ロールの搬送方向上流側および下流側における少なくともいずれか一方に配置される接地ロールに接触させる、（１）に記載の透明導電性圧電フィルムの製造方法を含む。
【００１３】
この透明導電性圧電フィルムの製造方法によれば、接地ロールによって、透明導電層を確実に接地しながら、透明導電性圧電フィルムをロール・トゥ・ロール方式で確実に搬送することができる。
【００１４】
本発明（３）は、前記分極ロールは、前記圧電層に接触する表面において、前記圧電層を分極させるための電圧印加部と、前記電圧印加部に対して前記分極ロールの回転方向上流側および下流側のそれぞれに隣接する第１絶縁部および第２絶縁部のそれぞれとを備え、前記第２工程では、前記電圧印加部の前記回転方向における全部と、前記第１絶縁部における前記下流側部分および前記第２絶縁部における上流側部分とが前記圧電層と接触しているときに、電圧を前記電圧印加部に印加する、（１）または（２）に記載の透明導電性圧電フィルムの製造方法を含む。
【００１５】
しかるに、第２工程では、電圧印加部が圧電層と微少の間隔が隔てられているときに、電圧を電圧印加部に印加すれば、かかる微少の間隔において、電圧印可部と最も近くに位置する透明導電層などに放電を生じ易い。
【００１６】
しかし、この透明導電性圧電フィルムの製造方法の第２工程では、電圧印加部の回転方向における全部が圧電層と接触し、さらに、第１絶縁部における下流側部分および第２絶縁部における上流側部分が圧電層と接触しているとき、換言すれば、第１絶縁部において圧電層と接触する下流側部分より回転方向上流側に位置する上流側部分、および、第２絶縁部において圧電層と接触する上流側部分より回転方向下流側に位置する下流側部分が、圧電層と微少の間隔が隔てられときに、電圧を電圧印加部に印加する。そのため、上記した放電を抑制することができる。
【００１７】
本発明（４）は、前記第２工程では、前記圧電層を、搬送方向に隣接して複数配置される前記分極ロールに接触させる、（３）に記載の透明導電性圧電フィルムの製造方法を含む。
【００１８】
この透明導電性圧電フィルムの製造方法の第２工程では、圧電層を、搬送方向に隣接して複数配置される分極ロールに接触させるので、電圧印加部と接触して分極された分極部の面積を大きくすることができる。
【００１９】
本発明（５）は、前記第２工程は、前記複数の分極ロールに含まれる第１の前記分極ロールによって、前記圧電層に、搬送方向に間隔を隔てて配置される第１の分極部を形成する第１分極工程と、前記複数の分極ロールに含まれ、第１の前記分極ロールに対して搬送方向下流側に隣接する第２の前記分極ロールによって、前記圧電層における前記第１の分極部の間に、第２の分極部を形成する第２分極工程とを備え、前記第２工程では、前記圧電層において、前記第１の分極部および前記第２の分極部を搬送方向に交互に配置する、（４）に記載の透明導電性圧電フィルムの製造方法を含む。
【００２０】
この透明導電性圧電フィルムの製造方法の第２工程では、圧電層において、第１の分極部および第２の分極部を搬送方向に交互に配置するので、第１の分極部および第２の分極部を確実に連続させることができる。
【００２１】
本発明（６）は、前記分極ロールは、前記圧電層に接触する表面において、前記圧電層を分極させるための電圧印加部と、前記電圧印加部に対して前記分極ロールの軸方向一方側および他方側にそれぞれ隣接する第３絶縁部および第４絶縁部とを備え、前記第２工程では、前記第３絶縁部および前記第４絶縁部のそれぞれが、前記圧電層の前記軸方向一端縁および他端縁のそれぞれに接触し、かつ、前記電圧印加部が前記圧電層における前記軸方向一端縁および他端縁間の中間部と接触しているときに、電圧を前記電圧印加部に印加する、（１）〜（５）いずれか一項に記載の透明導電性圧電フィルムの製造方法を含む。
【００２２】
しかるに、電圧印加部が圧電層の軸方向一端縁および他端縁と接触しているときに、電圧を電圧印加部に印加すれば、絶縁破壊が生じる。
【００２３】
しかし、この透明導電性圧電フィルムの製造方法の第２工程では、第３絶縁部および第４絶縁部のそれぞれが、圧電層の軸方向一端縁および他端縁のそれぞれに接触しているので、圧電層に接触する第３絶縁部および第４絶縁部のそれぞれの軸方向長さを、透明導電性圧電フィルムの軸方向一端縁および他端縁のそれぞれにおける絶縁破壊を抑制するための絶縁距離として確保することができる。そのため、電圧を電圧印加部に印加しても、上記した絶縁破壊を抑制することができる。
【００２４】
本発明（７）は、前記第１工程では、前記透明導電層、透明基材および前記圧電層を厚み方向一方側に向かって順に備える前記透明導電性圧電フィルムを準備することを特徴とする、（１）〜（６）のいずれか一項に記載の透明導電性圧電フィルムの製造方法。
【００２５】
この透明導電性圧電フィルムの製造方法によれば、第１工程で、透明導電層、透明基材および圧電層を厚み方向一方側に向かって順に備える透明導電性圧電フィルムを準備するので、第２工程におけるロール・トゥ・ロール方式で、透明導電性圧電フィルムを安定して搬送することができる。
【００２６】
本発明（８）は、透明導電層および圧電層を厚み方向一方側に向かって順に備える透明導電性圧電フィルムをロール・トゥ・ロール方式で搬送する搬送装置と、前記圧電層をその厚み方向一方側から接触する分極ロールと、前記分極ロールに対して搬送方向に間隔を隔てて配置される接地ロールとを備える、透明導電性圧電フィルムの製造装置を含む。
【００２７】
この透明導電性圧電フィルムの製造装置によれば、分極ロールが、圧電層を厚み方向両側から挟持せず、圧電層に対して厚み方向一方側から接触することができる。そのため、異物が分極ロールと圧電層との間に入り込んでも、圧電層において異物に対向する部分は、厚み方向他方側に向かって変形でき、そのため、かかる部分が、薄くなることを抑制でき、その結果、上記した絶縁破壊を抑制することができる。
【００２８】
また、圧電層を分極ロールに接触させることにより、圧電層を均一に分極させることができる。
【００２９】
さらに、接地ロールによって、透明導電層を確実に接地しながら、透明導電性圧電フィルムをロール・トゥ・ロール方式で確実に搬送することができる。
【００３０】
本発明（９）は、前記分極ロールは、表面において、前記圧電層を分極させるための電圧印加部と、前記電圧印加部に隣接する絶縁部とを備える、（８）に記載の透明導電性圧電フィルムの製造装置を含む。
【００３１】
この透明導電性圧電フィルムの製造装置によれば、絶縁部によって、上記した放電や絶縁破壊を抑制することができる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明の透明導電性圧電フィルムの製造方法および製造装置では、絶縁破壊を抑制しながら、圧電層を均一に分極させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】図１は、本発明の透明導電性圧電フィルムの製造装置の第１実施形態の概略側面図を示す。
【図２】図２は、図１に示す透明導電性圧電フィルムの製造装置に供される透明導電性圧電フィルムの断面図を示す。
【図３】図３Ａ〜図３Ｄは、第１の分極ロールの回転に伴う導通面への印加のＯＮ・ＯＦＦの状態を説明する断面図であり、図３Ａが、導通面への印加をＯＦＦしている状態（絶縁面の第１端部が圧電層と間隔が隔てられる態様）、図３Ｂが、導通面への印加をＯＮするとき（導通面の回転方向全部と、第１絶縁部の第１端部および第２絶縁部とが圧電層に接触し、第１絶縁部における第１端部の上流側部分が圧電層と間隔が隔てられる態様）、図３Ｃが、導通面への印加をＯＮしている状態であって、ＯＦＦする直前（導通面の回転方向全部と、第１絶縁部および第２絶縁部の第２端部とが圧電層に接触し、第２絶縁部における第２端部の下流側部分が圧電層と間隔が隔てられる態様）、図３Ｄが、導通面への印加をＯＦＦしている状態（絶縁面の第２端部が圧電層と間隔が隔てられる態様）を示す。
【図４】図４は、第１の分極装置と第２の分極装置との間の搬送方向途中における圧電層の平面図を示す。
【図５】図５は、第２の分極装置によって分極された圧電層の平面図を示す。
【図６】図６は、本発明の透明導電性圧電フィルムの製造装置の第２実施形態の概略側面図を示す。
【図７】図７は、図６に示す第１の分極ロールに接触する圧電層を厚み方向一方側から見た展開図を示す。
【図８】図８は、圧電層の平面図を示す。
【図９】図９は、参考例であって、導通面に接触する圧電層を厚み方向一方側から見た展開図を示す。
【図１０】図１０は、図７に示す第１の分極ロールおよび圧電層の変形例の展開図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
本発明の透明導電性圧電フィルムの製造装置の第１実施形態を、図１〜図５を参照して説明する。
【００３５】
なお、図４および図５において、第１の分極部２３（後述）は、実際にはその外縁が視認されないが、その配置および形状を明確に説明するために、第１の分極部２３をハッチングで描いている。
【００３６】
図１に示すように、この透明導電性圧電フィルムの製造装置１は、透明導電性圧電フィルム２をロール・トゥ・ロール方式で搬送しながら、透明導電性圧電フィルム２における後述する圧電層５（図２参照）を分極させる。
【００３７】
透明導電性圧電フィルム２は、搬送方向に延びるフィルム（シート）形状を有する。図２に示すように、透明導電性圧電フィルム２は、厚み方向に対向する一方面および他方面を有する。透明導電性圧電フィルム２は、透明導電層３、透明基材４および圧電層５を厚み方向一方側に向かって順に備える。詳しくは、透明導電性圧電フィルム２は、透明導電層３と、透明導電層３の厚み方向一方面に配置される透明基材４と、透明基材４の厚み方向一方面に配置される圧電層５とを備える。
【００３８】
透明導電層３は、搬送方向に延びる薄層形状を有する。透明導電層３は、厚み方向に対向する一方面および他方面を有する。透明導電層３の他方面は、厚み方向他方側に向かって露出する。透明導電層３は、透明導電性圧電フィルム２の他方面を形成する。透明導電層３の材料としては、透明性かつ導電性を有する材料が挙げられる。具体的には、例えば、インジウムスズ複合酸化物（ＩＴＯ）などのインジウム含有酸化物、例えば、アンチモンスズ複合酸化物（ＡＴＯ）などのアンチモン含有酸化物などが挙げられ、好ましくは、インジウム含有酸化物、より好ましくは、ＩＴＯが挙げられる。透明導電層３の表面抵抗は、例えば、１×１０３Ω／□以下、好ましくは、３×１０２Ω／□以下であり、また、例えば、１Ω／□以上、好ましくは、１０Ω／□以上である。透明導電層３の全光線透過率（ＪＩＳ  Ｋ  ７３７５−２００８）は、例えば、８０％以上、好ましくは、８５％以上である。透明導電層３の厚みは、例えば、１ｎｍ以上、例えば、３５ｎｍ以下である。
【００３９】
透明基材４は、透明導電層３の一方面全面に配置されている。透明基材４は、搬送方向に延びるフィルム形状を有する。透明基材４は、厚み方向に対向する一方面および他方面を有する。透明基材４の他方面は、透明導電層３の一方面と接触している。透明基材４の材料としては、透明性かつ絶縁性を有する材料が挙げられる。具体的には、樹脂（ポリマーを含む）が挙げられる。樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル樹脂、例えば、ポリメタクリレートなどの（メタ）アクリル樹脂（アクリル樹脂および／またはメタクリル樹脂）、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、シクロオレフィンポリマーなどのオレフィン樹脂、例えば、ポリカーボネート樹脂、例えば、ポリエーテルスルフォン樹脂、例えば、ポリアリレート樹脂、例えば、メラミン樹脂、例えば、ポリアミド樹脂、例えば、ポリイミド樹脂、例えば、セルロース樹脂、例えば、ポリスチレン樹脂、例えば、ノルボルネン樹脂などが挙げられる。好ましくは、機械特性の観点から、ポリエステル樹脂、より好ましくは、ＰＥＴが挙げられる。透明基材４の体積抵抗率は、１０×６Ω・ｃｍ以上、好ましくは、１０×８Ω・ｃｍ以上であり、また、例えば、１０×１５Ω・ｃｍ以下である。透明基材４の全光線透過率（ＪＩＳ  Ｋ  ７３７５−２００８）は、例えば、８０％以上、好ましくは、８５％以上である。透明基材４の厚みは、例えば、１μｍ以上、好ましくは、１０μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、６０μｍ以下である。
【００４０】
圧電層５は、透明基材４の厚み方向一方面全面に配置されている。圧電層５は、搬送方向に延びるフィルム形状を有する。圧電層５は、厚み方向に対向する一方面および他方面を有する。圧電層５の他方面は、透明基材４の一方面と接触している。圧電層５は、透明導電性圧電フィルム２の厚み方向一方面を形成する。圧電層５の一方面は、厚み方向一方側に露出する。
【００４１】
圧電層５の材料としては、圧電特性を有する材料であれば特に限定されず、例えば、フッ素を含有する有機化合物（含フッ素有機化合物）、例えば、ウルツ鉱構造を有する無機化合物（例えば、ＺｎＯ、ＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＺｎＴｅ、ＡｌＮ、ＧａＮ、ＣｄＳｅ、ＣｄＴｅ、ＳｉＣなど）などが挙げられる。
【００４２】
好ましくは、含フッ素有機化合物が挙げられる。含フッ素有機化合物としては、具体的には、フッ素樹脂が挙げられる。
【００４３】
フッ素樹脂としては、例えば、フッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレンおよびクロロトリフルオロエチレンからなる群から選択される少なくとも１つのモノマーが重合してなる重合体が挙げられる。具体的には、フッ素樹脂としては、例えば、ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレンなどの単独重合体、例えば、フッ化ビニリデン−トリフルオロエチレン共重合体（Ｐ（ＶＤＦ−ＴｒＦＥ））、フッ化ビニリデン−トリフルオロエチレン−クロロトリフルオロエチレン共重合体、ヘキサフルオロプロピレン−フッ化ビニリデン共重合体、パーフルオロビニルエーテル−フッ化ビニリデン共重合体、テトラフルオロエチレン−フッ化ビニリデン共重合体、ヘキサフルオロプロピレンオキシド−フッ化ビニリデン共重合体、ヘキサフルオロプロピレンオキシド−テトラフルオロエチレン−フッ化ビニリデン共重合体、ヘキサフルオロプロピレン−テトラフルオロエチレン−フッ化ビニリデン共重合体などの、上記モノマーを含むフッ素モノマーの共重合体が挙げられる。フッ素樹脂は、単独使用または併用することができる。好ましくは、共重合体、より好ましくは、Ｐ（ＶＤＦ−ＴｒＦＥ）が挙げられる。
【００４４】
圧電層５の厚みは、例えば、１０μｍ以下、好ましくは、７μｍ以下、より好ましくは、５μｍ以下であり、また、例えば、０．５μｍ以上である。圧電層５の厚みが上記した上限以下であれば、分極に必要な電圧を低減でき、絶縁破壊の発生を低減することができる。
【００４５】
透明導電性圧電フィルム２の厚みは、透明導電層３、透明基材４および圧電層５の合計厚みであり、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、２５μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、６０μｍ以下である。
【００４６】
図１に示すように、この透明導電性圧電フィルムの製造装置１は、搬送装置７と、分極装置８とを備える。
【００４７】
搬送装置７は、透明導電性圧電フィルムの製造装置１において、搬送方向における上流側（以下、単に上流側という場合がある。下流側についても同様。）端部に配置される操出ロール１０と、下流側端部に配置される巻取ロール１１とを備える。
【００４８】
操出ロール１０は、分極装置８で圧電層５が分極される前の透明導電性圧電フィルム２が巻回されており、分極装置８に対して透明導電性圧電フィルム２を操出可能に構成されている。
【００４９】
巻取ロール１１は、操出ロール１０に対して搬送方向下流側に後述する分極装置８が設けられる間隔を隔てて配置されている。巻取ロール１１は、分極装置８で圧電層５が分極された後の透明導電性圧電フィルム２が巻回されており、分極装置８から搬送された透明導電性圧電フィルム２を巻き取り可能に構成されている。
【００５０】
分極装置８は、透明導電性圧電フィルム２における圧電層５を分極する装置である。分極装置８は、操出ロール１０および巻取ロール１１の間における、搬送方向中間部に配置されている。分極装置８は、搬送方向に隣接して複数配置されている。具体的には、分極装置８は、第１の分極装置１３と第２の分極装置１４とを、搬送方向に隣接するように、備える。
【００５１】
第１の分極装置１３は、分極装置８における上流側部分に配置されている。第１の分極装置１３は、接地ロール６および第１の分極ロール１５を備える。
【００５２】
接地ロール６は、第１の分極装置１３において、間隔を隔てて複数備えられる。具体的には、接地ロール６は、第１の上流側接地ロール１６および第１の下流側接地ロール１７を備える。
【００５３】
図３Ａ〜図３Ｄに示すように、第１の上流側接地ロール１６は、第１の分極装置１３における上流側端部に配置されている。第１の上流側接地ロール１６は、透明導電性圧電フィルム２の厚み方向および搬送方向に直交するＴＤ方向（透明導電性圧電フィルム２の幅方向、図３Ａ〜図３Ｄにおける紙面奥行き方向）に沿って延びる略円柱形状を有する。第１の上流側接地ロール１６は、例えば、金属ロールであって、上流側接地線３１を介して接地されている。第１の上流側接地ロール１６は、その表面（周面）が、透明導電層３に接触可能となるように、配置されている。また、第１の上流側接地ロール１６は、透明導電性圧電フィルム２の搬送に伴って、回転可能な従動ロールである。
【００５４】
第１の下流側接地ロール１７は、第１の分極装置１３における下流側端部であって、具体的には、第１の上流側接地ロール１６の下流側に配置されている。第１の下流側接地ロール１７は、第１の上流側接地ロール１６と間隔を隔てて対向している。第１の下流側接地ロール１７は、その軸線が、第１の上流側接地ロール１６の軸線と平行する略円柱形状を有する。第１の下流側接地ロール１７は、例えば、金属ロールであって、下流側接地線３２を介して接地されている。第１の下流側接地ロール１７は、その表面（周面）が、透明導電層３と接触可能に配置されている。また、第１の下流側接地ロール１７は、透明導電性圧電フィルム２の搬送に伴って、回転可能な従動ロールである。
【００５５】
第１の分極ロール１５は、第１の分極装置１３における搬送方向中間部、具体的には、搬送方向における第１の上流側接地ロール１６および第１の下流側接地ロール１７の間に配置されている。詳しくは、第１の分極ロール１５は、透明導電性圧電フィルム２の第１の上流側接地ロール１６との接触位置、および、透明導電性圧電フィルム２の第１の下流側接地ロール１７との接触位置の間において、透明導電性圧電フィルム２と接触可能に配置されている。より具体的には、第１の分極ロール１５の軸線は、第１の上流側接地ロール１６の軸線および第１の下流側接地ロール１７の軸線を通過する仮想平面に対して、上記した仮想平面に対して直交する第１方向における他方側（図３Ａでは下側。透明導電性圧電フィルム２における厚み方向他方側に相当。）に間隔を隔てて配置されている。さらに、第１の分極ロール１５は、上記した仮想平面に重複せず、上記した仮想平面に対して他方側に間隔を隔てられている。
【００５６】
また、第１の分極ロール１５は、透明導電性圧電フィルム２の圧電層５に接触可能に配置されている。
【００５７】
そのため、この第１の分極装置１３を通過する透明導電性圧電フィルム２では、透明導電層３が第１の上流側接地ロール１６の表面および第１の下流側接地ロール１７の表面に接触し、圧電層５が第１の分極ロール１５の表面に接触する。
【００５８】
また、第１の分極ロール１５は、第１方向に投影したときに、第１の上流側接地ロール１６の一部および第１の下流側接地ロール１７の一部と重複する。さらには、第１の分極ロール１５の直径は、第１の上流側接地ロール１６の軸線および第１の下流側接地ロール１７の軸線の対向長さに対して、長い。
【００５９】
さらに、第１の分極ロール１５の軸線は、第１方向に投影したときに、第１の上流側接地ロール１６の軸線および第１の下流側接地ロール１７の軸線の間に配置されている。
【００６０】
第１の分極ロール１５は、例えば、金属ロール１８と、金属ロール１８の表面の一部に配置される絶縁層１９とを備える複合金属ロールである。
【００６１】
金属ロール１８は、配線３４を介して印加装置３３と電気的に接続されており、圧電層５を分極させる電圧印加ロールである。金属ロール１８は、表面の一部に凹部１２を有する。金属ロール１８の表面は、凹部１２が形成される部分を除き、周方向に沿って連続する略円弧形状を有する導通面２０を有する。導通面２０は、電圧印加部の一例であって、外側に露出する外面を形成する。なお、印加装置３３は、金属ロール１８に高電圧を印加できる高圧電源装置である。
【００６２】
導通面２０は、回転方向下流側部分に位置する第１導通部３６と、回転方向上流側部分に位置する第２導通部３５とを一体的に有する。
【００６３】
凹部１２は、金属面２０に対して径方向内側に向かってわずかに凹む形状を有する。
【００６４】
絶縁層１９は、凹部１２内に配置（充填）されており、周方向に延びる薄層である。絶縁層１９の材料は、例えば、絶縁性の樹脂などが挙げられる。絶縁層１９は、絶縁面２１を有する。絶縁面２１は、径方向外側に向かって露出する外面である。また、絶縁面２１は、第１の分極ロール１５の回転方向において導通面２０に隣接する。絶縁面２１は、周方向に沿って連続する略円弧形状を有する。絶縁面２１は、金属ロール１８の導通面２０と周方向に面一である。つまり、絶縁面２１と導通面２０とは、周方向に連続しており、そのため、絶縁面２１と導通面２０とは、１つの円周面を形成する。より具体的には、第１の分極ロール１５の軸線および導通面２０の間の長さと、上記軸線および絶縁面２１の間の長さとは、実質的に同一である。
【００６５】
また、絶縁層１９は、第１の分極ロール１５の周方向１８０度の範囲にわたって形成されている。
【００６６】
また、絶縁面２１は、導通面２０の回転方向上流側に隣接する第１絶縁部２８と、導通面２０の回転方向下流側に隣接する第２絶縁部３０とを一体的に有する。
【００６７】
第１絶縁部２８は、絶縁面２１における回転方向下流側部分である。第１絶縁部２８は、第２導通部３５の回転方向上流側直前に連続して配置される第１端部３９を有する。第１端部３９は、第１絶縁部２８における回転方向下流側に位置する下流側部分の一例である。なお、第１端部３９は、放電を抑制できる沿面距離Ｌ３（後述、図３Ｂ参照）を有する。
【００６８】
第２絶縁部３０は、絶縁面２１における回転方向上流側部分である。第２絶縁部３０は、第１導通部３６の回転方向下流側直後に連続して配置される第２端部３８を有する。第２端部３８は、第２絶縁部３０における回転方向上流側に位置する上流側部分の一例である。なお、第２端部３８は、放電を抑制できる沿面距離Ｌ４（後述、図３Ｃ参照）を有する。
【００６９】
また、第１の分極ロール１５をその軸線に直交する方向に沿って切断した切断面において、導通面２０の沿面距離Ｌ１（図３Ａ参照）の、絶縁面２１の沿面距離Ｌ２（図３Ａ参照）に対する比（Ｌ１／Ｌ２）は、例えば、０．６以上、好ましくは、０．８以上であり、また、例えば、１．４以下、好ましくは、１．２以下である。
【００７０】
第１の分極ロール１５は、図示しない駆動源に接続されており、駆動源の駆動力によって、回転する。これにより、透明導電性圧電フィルム２は、第１の分極装置１３内を搬送される。なお、第１の分極ロール１５の回転は、操出ロール１０および巻取ロール１１の回転と協働しており、これによって、透明導電性圧電フィルム２を円滑に搬送する。
【００７１】
図１に示すように、第２の分極装置１４は、第１の分極装置１３の下流側に隣接配置されている。第２の分極装置１４は、第１の分極装置１３と同様の構成を有する。具体的には、第２の分極装置１４は、第２の上流側接地ロール２６、第２の下流側接地ロール２７および第２の分極ロール２５を備える。第２の分極ロール２５は、図３Ａ〜図３Ｄに示すように、第１の分極ロール１５と同様の導通面２０および絶縁面２１を表面に有する。
【００７２】
また、分極装置８は、図示しないメモリおよびＣＰＵをさらに備える。メモリには、印加装置３３から第１の分極ロール１５および第２の分極ロール２５に印加するタイミングを制御するプログラムが格納されている。ＣＰＵは、上記プログラムを実行する。
【００７３】
次に、透明導電性圧電フィルムの製造装置１を用いて圧電層５を分極させて、透明導電性圧電フィルム２を製造する方法を説明する。
【００７４】
図１〜図３Ｄに示すように、透明導電性圧電フィルムの製造装置１は、ロール・トゥ・ロール方式で透明導電性圧電フィルム２を操出ロール１０から巻取ロール１１に向けて搬送しながら、分極装置８において、圧電層５を分極する。
【００７５】
まず、圧電層５がまだ分極されていない透明導電性圧電フィルム２を長尺シートとして準備して、第１工程を実施する。
【００７６】
続いて、透明導電性圧電フィルム２を、操出ロール１０および巻取ロール１１間の分極装置８に掛け渡す。この際、透明導電層３が接地ロール６（第１の上流側接地ロール１６および第１の下流側接地ロール１７）の表面に接触し、かつ、圧電層５が第１の分極ロール１５および第２の分極ロール２５の表面に接触するように、透明導電性圧電フィルム２を、第１の分極装置１３および第２の分極装置１４に掛け渡す。
【００７７】
第１の分極ロール１５および第２の分極ロール２５に対向する透明導電層３は、透明導電性圧電フィルム２の厚み方向他方側に向かって露出しており、他の部材と接触していない。つまり、第１の分極ロール１５および第２の分極ロール２５に対向する透明導電性圧電フィルム２では、圧電層５のみが第１の分極ロール１５および第２の分極ロール２５に接触し、透明導電層３は、厚み方向他方側に露出している。
【００７８】
なお、第１の分極ロール１５および第２の分極ロール２５に対向する透明導電性圧電フィルム２には、操出ロール１０および巻取ロール１１、さらには、２つの接地ロール６に基づく張力のみが作用され、第１の分極ロール１５および第２の分極ロール２５以外の他の部材との接触による力（応力）が作用されない。そのため、かりに、異物が第１の分極ロール１５（第１の分極ロール１５および第２の分極ロール２５のそれぞれ）と圧電層５との間に介在しても、圧電層５は、その厚みを維持しながら、透明導電層３（厚み方向他方側）に向けて変形可能である。
【００７９】
次いで、メモリに格納されたプログラムがＣＰＵによって実行されて、透明導電性圧電フィルム２を搬送しながら、印加装置３３から導通面２０に、所定のタイミングで、電圧を印加する。これにより、圧電層５を分極させる第２工程を実施する。
【００８０】
具体的には、図示しないが、導通面２０が、圧電層５と間隔が隔てられているときには、印加装置３３をＯＦＦして、導通面２０に電圧を印加しない。さらに、図３Ａおよび図３Ｄに示すように、導通面２０が圧電層５と接触しても、第１端部３９が圧電層５と間隔が隔てられているとき（図３Ａ参照）、または、第２端部３８が圧電層５と間隔が隔てられているとき（図３Ｄ参照）にも、導通面２０に電圧を印加しない。
【００８１】
一方、図３Ｂおよび図３Ｃに示すように、導通面２０の回転方向の全部と、絶縁面２１の第１端部３９および第２端部３８とが、圧電層５に接触しているときに、印加装置３３をＯＮして、導通面２０に電圧を印加する。
【００８２】
詳しくは、図３Ａに示すように、導通面２０における回転方向の全部が圧電層５に接触しても、絶縁面２１の第１端部３９が圧電層５とまだ接触していないとき、つまり、第１端部３９が圧電層５と間隔が隔てられているときには、導通面２０に電圧を印加しない（ＯＦＦ状態）。
【００８３】
続いて、図３Ｂに示すように、第１の分極ロール１５の回転、および、透明導電性圧電フィルム２の搬送が続行されて、絶縁面２１の第１端部３９および第２端部３８の両方が圧電層５と接触して初めて、導通面２０に電圧を印加する（印加ＯＮ）。なお、導通面２０の全部は、圧電層５とまだ接触している。
【００８４】
このとき、第１端部３９の沿面距離Ｌ３は、放電（後述）を抑制できる距離に設定されている。
【００８５】
一方、第１絶縁部２８における第１端部３９の上流側部分は、圧電層５と微少の間隔が隔てられている。
【００８６】
他方、第２絶縁部３０における第２端部３８の下流側部分は、圧電層５と接触している。
【００８７】
図３Ｂおよび図３Ｃに示すように、上記した導通面２０に対する電圧の印加は、導通面２０の回転方向における全部と、第１端部３９および第２端部３８とが圧電層５に接触している限り、継続される。
【００８８】
具体的には、図３Ｃに示すように、第１の分極ロール１５の回転、および、透明導電性圧電フィルム２の搬送が続行されると、第１絶縁部２８における第１端部３９の上流側部分が圧電層５に接触する。一方、第２絶縁部３０における第２端部３８の下流側部分は、圧電層５と微少の間隔が隔てられている。
【００８９】
このとき、第２端部３８の沿面距離Ｌ４は、放電（後述）を抑制できる距離に設定されている。
【００９０】
続いて、図３Ｄに示すように、第２端部３８が圧電層５と間隔が隔てられる直前に、導通面２０への電圧を印加を停止する（印加ＯＦＦ）。
【００９１】
この停止は、導通面２０の回転方向の全部と、絶縁面２１の第１端部３９および第２端部３８とが圧電層５に再び接触する直前まで継続される。図３Ｂに示すように、その後、導通面２０の回転方向の全部と、絶縁面２１の第１端部３９および第２端部３８とが圧電層５に再び接触すると、導通面２０への電圧を印加を開始する（印加ＯＮ）。
【００９２】
このようにして、導通面２０への印加のＯＮ・ＯＦＦ動作が、繰り返し実施される。
【００９３】
そして、上記した図３Ｂおよび図３Ｃに示すように、導通面２０に電圧を印加すると、圧電層５に、電圧が印加され、圧電層５が分極する。つまり、圧電層５が分極処理（ポーリング）される。圧電層５の分極処理では、接地ロール６（第１の上流側接地ロール１６および第１の下流側接地ロール１７）に接触する透明導電層３がゼロ電位となり、圧電層５の分極が迅速に進行する。
【００９４】
分極処理において、透明導電性圧電フィルム２にかかる電界強度は、例えば、５０ＭＶ／ｍ以上、４００ＭＶ／ｍ以下である。また、印加時間は、例えば、０．１秒以上、例えば、６０分以下となるように、第１の分極ロール１５の回転速度、および、透明導電性圧電フィルム２の搬送速度が調整される。
【００９５】
第１の分極装置１３では、ＣＰＵによるプログラムの実行に基づき、第１の分極ロール１５の回転、および、透明導電性圧電フィルム２の搬送を制御しながら、上記した導通面２０を介した圧電層５へのＯＮ・ＯＦＦ制御が実行されて、圧電層５が分極される。
【００９６】
なお、導通面２０への印加は、第１の分極ロール１５の回転を続行しながらでもよく、あるいは、第１の分極ロール１５の回転を適宜の時間だけ停止して、実施することもできる。
【００９７】
図４に示すように、第１の分極装置１３によって分極された第１の分極部２３は、圧電層５において、第１の分極ロール１５の導通面２０と接触した領域であって、搬送方向に間隔を隔てて縞状のパターンで形成される。
【００９８】
一方、隣り合う第１の分極部２３間の領域は、圧電層５が分極されていない非分極部２２となる。
【００９９】
第１の分極部２３の搬送方向長さＬ１は、導通面２０の沿面距離Ｌ１（図３Ａ参照）に相当する。また、非分極部２２の搬送方向長さＬ２は、絶縁面２１の沿面距離Ｌ２（図３Ａ参照）に相当する。
【０１００】
続いて、第２の分極装置１４の第２の分極ロール２５によっても、第１の分極装置１３の第１の分極ロール１５と同様の分極処理によって、図５に示すように、圧電層５において、隣り合う第１の分極部２３間の領域に、第２の分極部２９を形成する。第１の分極部２３および第２の分極部２９は、搬送方向において交互に配置される。
【０１０１】
その後、圧電層５が分極された透明導電性圧電フィルム２は、巻取ロール１１に巻き取られる。
【０１０２】
そして、この透明導電性圧電フィルム２の製造方法では、第２工程において、圧電層５を厚み方向両側から挟持せず、分極ロール（第１の分極ロール１５および第２の分極ロール２５のそれぞれ）が透明導電性圧電フィルム２の厚み方向一方側のみから接触することができる。つまり、透明導電性圧電フィルム２の厚み方向他方面には、他の部材との接触に基づく反力（応力）が作用されない。
【０１０３】
すると、第２工程において、異物が分極ロール（第１の分極ロール１５および第２の分極ロール２５）と圧電層５との間に入り込んでも、圧電層５において異物に対向する部分は、その厚みを維持しながら、厚み方向他方側（具体的には、第１の分極ロール１５の径方向外側）に向かって変形（逃げることが）でき、そのため、かかる部分が、薄くなることを抑制でき、その結果、絶縁破壊を抑制することができる。
【０１０４】
また、第２工程では、接地ロール６によって透明導電層３を確実に接地しながら、透明導電性圧電フィルム２をロール・トゥ・ロール方式で確実に搬送することができる。
【０１０５】
また、しかるに、図３Ａに示すように、第２工程では、導通面２０（図３Ａでは、第２導通部３５）が圧電層５と微少の間隔が隔てられているときに、電圧を導通面２０に印加すれば、かかる微少の間隔において、導通面２０から、圧電層５と厚み方向に隣接する透明導電層３に放電を生じ易い。
【０１０６】
しかし、この第１実施形態の第２工程では、図３Ｂおよび図３Ｃに示すように、導通面２０の回転方向における全部が圧電層５と接触し、さらに、第１絶縁部２８における第１端部３９および第２絶縁部３０における第２端部３８が圧電層５と接触しているとき、換言すれば、第１絶縁部２８において圧電層５と接触する第１端部３９より回転方向上流側に位置する上流側部分、および、第２絶縁部３０において圧電層５と接触する第２端部３８より回転方向下流側に位置する下流側部分が、圧電層５と微少の間隔が隔てられときに、電圧を導通面２０に印加する。そのため、上記した放電を抑制することができる。
【０１０７】
しかも、絶縁面２１は、第１端部３９の沿面距離Ｌ３（図３Ｂ参照）、および、第２端部３８の沿面距離Ｌ４（図３Ｃ参照）を、上記した放電を確実に抑制するための絶縁距離として確保することができる。そのため、上記した放電をより一層有効に抑制することができる。
【０１０８】
また、この透明導電性圧電フィルム２の製造方法の第２工程では、圧電層５を、搬送方向に隣接して配置される第１の分極ロール１５および第２の分極ロール２５に接触させるので、導通面２０と接触して分極された分極部の面積を、第１の分極部２３および第２の分極部２９の合計面積として大きく確保することができる。
【０１０９】
また、この透明導電性圧電フィルム２の製造方法の第２工程では、圧電層５において、第１の分極部２３および第２の分極部２９を搬送方向に交互に配置するので、図５に示すように、第１の分極部２３および第２の分極部２９を確実に連続させることができる。
【０１１０】
また、この透明導電性圧電フィルム２の製造方法によれば、第１工程で、透明導電層３、透明基材４および圧電層５を厚み方向一方側に向かって順に備える透明導電性圧電フィルム２を準備するので、第２工程におけるロール・トゥ・ロール方式で、透明導電性圧電フィルム２を安定して搬送することができる。
【０１１１】
また、この透明導電性圧電フィルムの製造装置１によれば、分極ロール（第１の分極ロール１５および第２の分極ロール２５のそれぞれ）が、圧電層５を厚み方向両側から挟持せず、圧電層５に対して厚み方向一方側から接触することができる。そのため、異物が分極ロールと圧電層５との間に入り込んでも、圧電層５において異物に対向する部分は、厚み方向他方側（具体的には、第１の分極ロール１５の径方向外側）に向かって変形（逃げることが）でき、そのため、かかる部分が、薄くなることを抑制でき、その結果、絶縁破壊を抑制することができる。
【０１１２】
また、圧電層５を分極ロール（第１の分極ロール１５および第２の分極ロール２５のそれぞれ）に接触させ、かつ、接地ロールに接地することにより、圧電層５表面に均一に電圧を印加することができるため、圧電層５を均一に分極させることができる。
【０１１３】
また、この透明導電性圧電フィルムの製造装置１によれば、絶縁面２１によって、上記した放電を抑制することができる。
【０１１４】
変形例
以下の各変形例において、上記した第１実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、各変形例は、特記する以外、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。さらに、第１実施形態および変形例を適宜組み合わせることができる。
【０１１５】
接地ロール６に代えて、接地ブラシ、接地カーテンなどを分極装置８に備えることもできる。好ましくは、接地ロール６を分極装置８に備える。接地ロール６であれば、透明導電層３を確実に接地しながら、透明導電性圧電フィルム２をロール・トゥ・ロール方式で確実に搬送することができる。
【０１１６】
図３Ａ〜図３Ｄに示すように、第１の分極装置１３は、２つの接地ロール６（第１の上流側接地ロール１６および第１の下流側接地ロール１７）を備えるが、いずれか一方のみを備えることもできる。
【０１１７】
さらに、図６が参照されるように、第１の分極ロール１５は、絶縁面２１を備えず、その表面を導通面２０のみから形成することもできる。つまり、第１の分極ロール１５では、金属ロール１８を備える一方、絶縁層１９を備えない。具体的には、金属ロール１８には、凹部１２が形成されておらず、金属ロール１８の表面は、周方向に連続する円周面である。
【０１１８】
第１実施形態および変形例のうち、好ましくは、絶縁層１９を備える第１実施形態である。第１実施形態であれば、上記したように、導通面２０から印加された電圧に基づく放電を有効に抑制することができる。
【０１１９】
また、第１実施形態では、図１に示すように、透明導電性圧電フィルムの製造装置１は、２つの分極装置８（第１の分極ロール１５および第２の分極ロール２５）を備えるが、その数（具体的には、分極ロールの数）、限定されず、例えば、３つ以上であってもよい。また、１つであってもよい。
【０１２０】
好ましくは、透明導電性圧電フィルムの製造装置１は、複数の分極装置８（例えば、第１の分極ロール１５および第２の分極ロール２５）を備える。そのため、第１の分極部２３および第２の分極部２９を、圧電層５に連続して形成することができる。
【０１２１】
透明導電性圧電フィルムの製造装置１が１つの分極装置８を備えていれば、上記した空気放電を有効に抑制するために、導通面２０および絶縁面２１が配置される場合には、図４に示すように、得られる透明導電性圧電フィルム２において、第１の分極部２３が縞状のパターンで形成される。
【０１２２】
これに対して、図１に示すように、透明導電性圧電フィルムの製造装置１が複数の分極装置８を備えれば、たとえ、第１の分極部２３が縞状のパターンで形成されても、それらの間に第２の分極部２９などを配置して、図５に示すように、圧電層５において第１の分極部２３よび第２の分極部２９を搬送方向に連続させることができる。そのため、搬送方向における圧電層５の歩留まりが高い。
【０１２３】
また、上記したように、複数の分極装置８によって、圧電層５に分極部を搬送方向に連続させるために、分極装置８が複数設けられる場合には、例えば、絶縁層１９を、第１の分極ロール１５の周方向［３６０／Ｎ］度の範囲にわたって形成する（Ｎは、分極装置８の数であって、複数）。具体的には、分極装置８の数が、３であれば、絶縁層１９を、第１の分極ロール１５の周方向１２０度（＝３６０度／３）の範囲にわたって形成する。また、分極装置８の数が、４であれば、絶縁層１９を、第１の分極ロール１５の周方向９０度（＝３６０度／４）の範囲にわたって形成する。
【０１２４】
また、絶縁層１９の数は、第１実施形態では、１であったが、例えば、図示しないが、複数であってもよい。なお、絶縁層１９が複数の場合には、絶縁面２１（第１絶縁部２８および第２絶縁部３０のそれぞれ）の数が複数となり、同時に、導通面２０（第１導通部３６および第２導通部３５）の数も複数であり、具体的には、絶縁面２１の数と同数となる。
【０１２５】
第２実施形態
以下の第２実施形態において、上記した第１実施形態およびその変形例と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、第２実施形態は、特記する以外、上記した第１実施形態およびその変形例と同様の作用効果を奏することができる。さらに、第１、第２実施形態および変形例を適宜組み合わせることができる。
【０１２６】
第１実施形態では、図３Ａ〜図３Ｄに示すように、導通面２０および絶縁面２１は、第１の分極ロール１５の回転方向において隣接している。これに対して、第２実施形態では、図７に示すように、導通面２０、および、第２絶縁面４１が、第１の分極ロール１５の軸方向に隣接している。
【０１２７】
第２絶縁面４１は、導通面２０に対して、第１の分極ロール１５の軸方向一方側および他方側のそれぞれに隣接する第３絶縁部４３および第４絶縁部４４を含む。好ましくは、第２絶縁面４１は、第３絶縁部４３および第４絶縁部４４のみからなる。
【０１２８】
図６に示すように、第２実施形態の透明導電性圧電フィルムの製造装置１は、例えば、１つの分極装置８（第１の分極装置１３）のみを備える。
【０１２９】
図７に示すように、導通面２０は、金属ロール１８の軸方向両端部の間の中間部における表面である。
【０１３０】
一方、金属ロール１８の軸方向両端部には、それぞれ、例えば、略円筒形状の絶縁層１９が嵌め込まれており、その絶縁層１９の表面が、第２絶縁面４１となる。導通面２０および第２絶縁面４１は、軸方向に面一に形成されている。
【０１３１】
この金属ロール１８では、導通面２０の軸方向の全部が圧電層５と接触でき、２つの第２絶縁面４１のそれぞれの軸方向内側部が透明導電性圧電フィルム２に圧電層５と接触できるように、金属ロール１８および絶縁層１９の軸方向長さが調整されている。
【０１３２】
具体的には、導通面２０の軸方向長さＬ５は、透明導電性圧電フィルム２の幅Ｗ０よりも短い。また、金属ロール１８の軸方向長さＬ６（導通面２０の軸方向長さＬ５と、第３絶縁部４３の軸方向長さＬ９と、第４絶縁部４４の軸方向長さＬ１０との合計）は、透明導電性圧電フィルム２のＴＤ方向長さ（幅）Ｗ０よりも長い。
【０１３３】
そして、第２実施形態の第２工程では、常に、導通面２０が、圧電層５のＴＤ方向（第１の分極ロール１５の軸方向に相当する方向）両端部の間の中間部に接触し、第３絶縁部４３および第４絶縁部４４のそれぞれの軸方向内側部が、圧電層５のＴＤ方向両端部のそれぞれに接触する。この状態において、導通面２０に電圧を印加して、圧電層５のＴＤ方向中間部を分極させる。
【０１３４】
詳しくは、圧電層５のＴＤ方向両端縁のそれぞれは、第３絶縁部４３および第４絶縁部４４のそれぞれにおける軸方向中間部に接触する。そのため、第３絶縁部４３において圧電層５に接触する軸方向長さ（Ｌ７）は、圧電層５のＴＤ方向一端縁における絶縁破壊を抑制できる絶縁長さとして確保される。第４絶縁部４４において圧電層５に接触する軸方向長さ（Ｌ８）は、圧電層５のＴＤ方向他端縁における絶縁破壊を抑制できる絶縁長さとして確保される。
【０１３５】
図７および図８に示すように、圧電層５のＴＤ方向両端部のそれぞれは、第３絶縁部４３および第４絶縁部４４のそれぞれに接触するので、分極されず、マージン部２４となる。
【０１３６】
この第２工程では、常に、印加装置３３からの電圧が導通面２０に印加される。
【０１３７】
第１の分極装置１３によって分極された第１の分極部２３は、圧電層５において、搬送方向に連続し、かつ、ＴＤ方向中間部に形成される。
【０１３８】
マージン部２４は、搬送方向に連続して形成される。
【０１３９】
その後、上記した第１の分極部２３が形成された圧電層５を備える透明導電性圧電フィルム２は、巻取ロール１１で巻き取られた後、必要により、後の工程で、マージン部２４を切り落とすことにより、第１の分極部２３がＴＤ方向に連続する圧電層５を形成することができる。
【０１４０】
しかるに、図９に示すように、導通面２０が圧電層５のＴＤ方向両端縁と接触しているときに、電圧を導通面２０に印加すれば、導通面２０と透明導電層３との距離が透明導電性圧電フィルム２の厚みと同一となることから、空気の絶縁破壊を生じ易い。
【０１４１】
しかし、図７に示すように、この透明導電性圧電フィルムの製造方法の第２工程では、第３絶縁部４３および第４絶縁部４４のそれぞれが圧電層５のＴＤ方向両端縁のそれぞれに接触しているので、圧電層５に接触する第３絶縁部４３および第４絶縁部４４のそれぞれの軸方向長さ（Ｌ７およびＬ８のそれぞれ）を、透明導電性圧電フィルム２の軸方向両端縁のそれぞれにおける絶縁破壊を抑制するための絶縁距離として確保することができる。そのため、電圧を導通面２０に印加しても、透明導電性圧電フィルム２のＴＤ方向両端縁における絶縁破壊を抑制することができる。
【０１４２】
変形例
以下の各変形例において、上記した第１および第２実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、各変形例は、特記する以外、第１および第２実施形態と同様の作用効果を奏することができる。さらに、第１、第２実施形態および変形例を適宜組み合わせることができる。
【０１４３】
図１０に示すように、金属ロール１８の軸方向長さＬ６は、透明導電性圧電フィルム２のＴＤ方向長さＷ０と同一であってもよい。
【０１４４】
この変形例であれば、導通面２０の回転方向の全部と、第３絶縁部４３および第４絶縁部４４の回転方向全部とが、圧電層５に接触するときに、印加装置３３をＯＮして、導通面２０に電圧を印加する。
【０１４５】
また、第１実施形態は、導通面２０および圧電層５の微少の間隔に起因する放電を第１絶縁部２８および第２絶縁部３０により抑制する態様である一方、第２実施形態では、透明導電性圧電フィルム２のＴＤ方向両端縁における絶縁破壊を第３絶縁部４３および第４絶縁部４４により抑制する態様である。
【０１４６】
（１）そのため、透明導電性圧電フィルム２のＴＤ方向両端縁における絶縁破壊を考慮しなくてもよいが、導通面２０および圧電層５の微少の間隔に起因する放電を抑制する必要がある場合には、第１実施形態が好適である。
【０１４７】
（２）一方、導通面２０および圧電層５の微少の間隔に起因する放電を考慮しなくてもよいが、透明導電性圧電フィルム２のＴＤ方向両端縁における絶縁破壊を抑制する必要がある場合には、第２実施形態が好適である。
【０１４８】
（３）他方、上記した透明導電性圧電フィルム２のＴＤ方向両端縁における絶縁破壊と、導通面２０および圧電層５の微少の間隔に起因する放電との両方を抑制したい場合には、第１絶縁部２８および第２絶縁部３０（第１実施形態）と、第３絶縁部４３および第４絶縁部４４（第２実施形態）が併用される。例えば、金属ロール１８の軸方向中間部に、第１実施形態の絶縁層１９を設け、これにより、導通面２０の回転方向上流側および下流側のそれぞれに隣接する第１絶縁部２８および第２絶縁部３０のそれぞれを配置し、また、金属ロール１８の軸方向一端部および他端部のそれぞれに、第２実施形態の第２絶縁面４１を設け、これにより、導通面２０のＴＤ方向一方側および他方側のそれぞれに隣接する
第３絶縁部４３および第４絶縁部４４のそれぞれを配置する。
【０１４９】
第１および第２実施形態では、透明導電性圧電フィルム２が透明基材４を備えるが、例えば、図示しないが、透明導電性圧電フィルム２が透明基材４を備えず、構成されていてもよい。この場合には、透明導電性圧電フィルム２は、透明導電層３および圧電層５を厚み方向一方側に向かって順に備える。透明導電層３は、圧電層５の厚み方向他方面全面に直接配置されている。
【符号の説明】
【０１５０】
１     透明導電性圧電フィルムの製造装置
２     透明導電性圧電フィルム
３     透明導電層
４     透明基材
５     圧電層
６     接地ロール
７     搬送装置
８     分極装置
１３   第１の分極装置
１４   第２の分極装置
１５   第１の分極ロール
１６   第１の上流側接地ロール
１７   第１の下流側接地ロール
２０   導通面
２８   第１絶縁部
３０   第２絶縁部
３８   第２端部
３９   第１端部
４３   第３絶縁部
４４   第４絶縁部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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