(57)【要約】【課題】半導体チップサイズの更なる縮小化を実現して小型な固体撮像装置、及びその固体撮像装置を搭載した電子機器を提供すること。【解決手段】画素領域を有する第１半導体チップと、バンプを介して該第１半導体チップに接合される第２半導体チップと、該第１半導体チップと該第２半導体チップとの間に形成されるアンダーフィル樹脂と、該画素領域への該アンダーフィル樹脂の流出を防止して該第２半導体チップを囲むように形成されるダムと、を備え、該第２半導体チップが長辺と短辺とを有する矩形形状を有し、該第１半導体チップの該第２半導体に対応する領域以外の領域であって該ダムの内側に、アンダーフィル樹脂滴下領域が形成され、該アンダーフィル樹脂滴下領域の該第２半導体チップの該長辺と略平行である長さが、該第２半導体チップの該長辺の長さよりも短い、固体撮像装置、及びその固体撮像装置を搭載した電子機器を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
画素領域を有する第１半導体チップと、
バンプを介して該第１半導体チップに接合される第２半導体チップと、
該第１半導体チップと該第２半導体チップとの間に形成されるアンダーフィル樹脂と、
少なくとも該画素領域への該アンダーフィル樹脂の流出を防止して該第２半導体チップを囲むように形成されるダムと、を備え、
該第２半導体チップが長辺と短辺とを有する矩形形状を有し、
該第１半導体チップの該第２半導体に対応する領域以外の領域であって該ダムの内側に、アンダーフィル樹脂滴下領域が形成され、
該アンダーフィル樹脂滴下領域の該第２半導体チップの該長辺と略平行である長さが、該第２半導体チップの該長辺の長さよりも短い、固体撮像装置。
【請求項２】
前記アンダーフィル樹脂滴下領域が、前記第２半導体チップの前記短辺と前記ダムとの間に形成される、請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記第２半導体チップが第１短辺と第２短辺とを有し、
前記アンダーフィル樹脂滴下領域が、前記第２半導体チップの第１短辺と前記ダムとの間、及び前記第２半導体チップの第２短辺と前記ダムとの間に、それぞれ形成される、請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記アンダーフィル樹脂滴下領域が、前記画素領域の方向に張り出すように形成される、請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項５】
少なくとも２つの前記第２半導体チップを備え、
該少なくとも２つの第２半導体チップが、該少なくとも２つの第２半導体チップのそれぞれの短辺が対向するように配置され、
前記アンダーフィル樹脂滴下領域が、該少なくとも２つの第２半導体チップの間に形成される、請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項６】
前記第１半導体チップが、半導体基板と、該半導体基板上の前記バンプ以外の領域に形成されるレンズ材とを含み、
前記第１半導体チップと前記第２半導体チップとの間の領域は、レンズ材が形成された領域とレンズ材が形成されていない領域とを有する、請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項７】
前記レンズ材が形成された領域には、前記レンズ材の厚みが非連続的に異なる領域が形成されている、請求項６に記載の固体撮像装置。
【請求項８】
前記レンズ材が形成された領域には、前記レンズ材の厚みが連続的に異なる領域が形成されている、請求項６に記載の固体撮像装置。
【請求項９】
前記第１半導体チップが、半導体基板と、該半導体基板上の前記バンプ以外の領域に形成されるレンズ材とを含み、
前記第１半導体チップと前記第２半導体チップとの間の領域は、レンズ材が形成された領域とレンズ材が形成されていない領域とを有し、
レンズ材が形成されていない領域の前記第２半導体チップの前記短辺と略平行である長さは、前記アンダーフィル樹脂滴下領域に近づくにしたがって短くなる、請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項１０】
固体撮像装置が搭載されて、
該固体撮像装置が、
画素領域を有する第１半導体チップと、
バンプを介して該第１半導体チップに接合される第２半導体チップと、
該第１半導体チップと該第２半導体チップとの間に形成されるアンダーフィル樹脂と、
該画素領域への該アンダーフィル樹脂の流出を防止して該第２半導体チップを囲むように形成されるダムと、を備え、
該第２半導体チップが長辺と短辺とを有する矩形形状を有し、
該第１半導体チップの該第２半導体に対応する領域以外の領域であって該ダムの内側に、アンダーフィル樹脂滴下領域が形成され、
該アンダーフィル樹脂滴下領域の該第２半導体チップの該長辺と略平行である長さが、該第２半導体チップの該長辺の長さよりも短い、
電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、固体撮像装置及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサやＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）などの固体撮像装置は、デジタルスチルカメラやデジタルビデオカメラなどに広く用いられている。
【０００３】
固体撮像装置は、例えば、光電変換素子、オンチップレンズ等が形成される第１半導体チップと、Ａ／Ｄ変換回路や信号処理回路、論理演算回路などと接続用電極とが形成される第２半導体チップとを対向させてバンプで接合すること（フリップチップボンディング）により電気的に接続させて製造される。
【０００４】
例えば、半導体チップの接合を容易に行なうことによって半導体装置（固体撮像装置）を得ることができる技術が提案されている（特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１６−１６３０１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１で提案された技術では、半導体チップサイズの更なる縮小を図れないおそれがある。
【０００７】
そこで、本技術は、このような状況に鑑みてなされたものであり、半導体チップサイズの更なる縮小化を実現して小型な固体撮像装置、及びその固体撮像装置を搭載した電子機器を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、上述の目的を解決するために鋭意研究を行った結果、半導体チップサイズの更なる縮小化を実現して固体撮像装置の更なる小型化に成功し、本技術を完成するに至った。
【０００９】
すなわち、本技術では、画素領域を有する第１半導体チップと、バンプを介して該第１半導体チップに接合される第２半導体チップと、該第１半導体チップと該第２半導体チップとの間に形成されるアンダーフィル樹脂と、少なくとも該画素領域への該アンダーフィル樹脂の流出を防止して該第２半導体チップを囲むように形成されるダムと、を備え、該第２半導体チップが長辺と短辺とを有する矩形形状を有し、該第１半導体チップの該第２半導体に対応する領域以外の領域であって該ダムの内側に、アンダーフィル樹脂滴下領域が形成され、該アンダーフィル樹脂滴下領域の該第２半導体チップの該長辺と略平行である長さが、該第２半導体チップの該長辺の長さよりも短い、固体撮像装置を提供する。
【００１０】
本技術に係る固体撮像装置において、前記アンダーフィル樹脂滴下領域が、前記第２半導体チップの前記短辺と前記ダムとの間に形成されてよい。
本技術に係る固体撮像装置において、前記第２半導体チップが第１短辺と第２短辺とを有してよく、前記アンダーフィル樹脂滴下領域が、前記第２半導体チップの第１短辺と前記ダムとの間、及び前記第２半導体チップの第２短辺と前記ダムとの間に、それぞれ形成されてよい。
本技術に係る固体撮像装置において、前記アンダーフィル樹脂滴下領域が、前記画素領域の方向に張り出すように形成されてよい。
【００１１】
本技術に係る固体撮像装置は、少なくとも２つの前記第２半導体チップを備えてよく、該少なくとも２つの第２半導体チップは、該少なくとも２つの第２半導体チップのそれぞれの短辺が対向するように配置されてよく、前記アンダーフィル樹脂滴下領域が、該少なくとも２つの第２半導体チップの間に形成されてよい。
【００１２】
本技術に係る固体撮像装置において、前記第１半導体チップが、半導体基板と、該半導体基板上の前記バンプ以外の領域に形成されるレンズ材とを含んでよく、前記第１半導体チップと前記第２半導体チップとの間の領域は、レンズ材が形成された領域とレンズ材が形成されていない領域とを有してよい。
本技術に係る固体撮像装置において、前記レンズ材が形成された領域には、前記レンズ材の厚みが非連続的に異なる領域が形成されてよく、また、前記レンズ材が形成された領域には、前記レンズ材の厚みが連続的に異なる領域が形成されてよい。
【００１３】
本技術に係る固体撮像装置において、前記第１半導体チップが、半導体基板と、該半導体基板上の前記バンプ以外の領域に形成されるレンズ材とを含んでよく、前記第１半導体チップと前記第２半導体チップとの間の領域は、レンズ材が形成された領域とレンズ材が形成されていない領域とを有してよく、レンズ材が形成されていない領域の前記第２半導体チップの前記短辺と略平行である長さは、前記アンダーフィル樹脂滴下領域に近づくに従って短くなってよい。
【００１４】
また、本技術では、固体撮像装置が搭載されて、該固体撮像装置が、画素領域を有する第１半導体チップと、バンプを介して該第１半導体チップに接合される第２半導体チップと、該第１半導体チップと該第２半導体チップとの間に形成されるアンダーフィル樹脂と、該画素領域への該アンダーフィル樹脂の流出を防止して該第２半導体チップを囲むように形成されるダムと、を備え、該第２半導体チップが長辺と短辺とを有する矩形形状を有し、該第１半導体チップの該第２半導体に対応する領域以外の領域であって該ダムの内側に、アンダーフィル樹脂滴下領域が形成され、該アンダーフィル樹脂滴下領域の該第２半導体チップの該長辺と略平行である長さが、該第２半導体チップの該長辺の長さよりも短い、電子機器を提供する。また、本技術では、本技術に係る固体撮像装置が搭載された電子機器を提供する。
【００１５】
本技術によれば、半導体チップサイズの更なる縮小化を実現して小型な固体撮像装置、及びその固体撮像装置を搭載した電子機器が提供され得る。なお、ここに記載された効果は、必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれかの効果であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本技術を適用した固体撮像装置の構成例を示す図である。
【図２】本技術を適用した固体撮像装置の構成例を示す図である。
【図３】本技術を適用した固体撮像装置の回路構成例を示すブロック図である。
【図４】本技術を適用した固体撮像装置の構成例を示す図である。
【図５】レンズ材の掘り込みエリアと、アンダーフィル樹脂を滴下したときのアンダーフィル樹脂の浸透の様子と、を説明するための図である。
【図６】本技術を適用した固体撮像装置の構成例を示す図である。
【図７】本技術を適用した固体撮像装置の構成例を示す図である。
【図８】本技術を適用した固体撮像装置の構成例を示す図である。
【図９】アンダーフィル樹脂滴下領域とレンズ材の掘り込みパターンとを説明するための図である。
【図１０】アンダーフィル樹脂滴下領域とレンズ材の掘り込みパターンとを説明するための図である。
【図１１】固体撮像装置の構成例を示す図である。
【図１２】固体撮像装置の構成例を示す図である。
【図１３】本技術を適用した第１〜第５の実施形態の固体撮像装置の使用例を示す図である。
【図１４】本技術を適用した第６の実施形態に係る電子機器の一例の機能ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本技術を実施するための好適な形態について説明する。以下に説明する実施形態は、本技術の代表的な実施形態の一例を示したものであり、これにより本技術の範囲が狭く解釈されることはない。なお、特に断りがない限り、図面において、「上」とは図中の上方向又は上側を意味し、「下」とは、図中の下方向又は下側を意味し、「左」とは図中の左方向又は左側を意味し、「右」とは図中の右方向又は右側を意味する。また、図面については、同一又は同等の要素又は部材には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１８】
説明は以下の順序で行う。
１．本技術の概要
２．第１の実施形態（固体撮像装置の例１）
３．第２の実施形態（固体撮像装置の例２）
４．第３の実施形態（固体撮像装置の例３）
５．第４の実施形態（固体撮像装置の例４）
６．第５の実施形態（電子機器の例）
７．本技術を適用した固体撮像装置の使用例
【００１９】
＜１．本技術の概要＞
まず、本技術の概要について説明をする。
【００２０】
チップオンウエハ積層技術を採用したイメージセンサ（例えば、図１１に示される固体撮像装置７００）が開発されている。このイメージセンサは、受光面側に別のチップを積層するセンサである。
【００２１】
図１１を用いて、上記イメージセンサについて説明をする。図１１に示されるように、固体撮像装置７００は、第１半導体チップ２、２つの第２半導体チップ３及びコレット接触可能領域１６及び１７から主に構成されている。第１半導体チップ２に積層される第２半導体チップ（例えば、ロジックチップ、メモリチップ等）３は第１半導体チップ２が有する画素領域６に沿った形状となるため、図１１中では図１１中の左右方向に２つの長辺と図１１中の上下方向に短辺とを有する細長い形状（矩形形状）となっている。第２半導体チップ（例えばロジックチップ）３は、アンダーフィル樹脂がパッドや画素領域６へと漏れ出すことを防ぐためにダム５と呼ばれる構造で囲われている。アンダーフィル樹脂は第２半導体チップ（例えば、ロジックチップ、メモリチップ等）３の画素領域６側に広く設けられたダム５と第２半導体チップ（例えば、ロジックチップ、メモリチップ等）３の間のスペースから塗布される。
【００２２】
イメージセンサの受光面側にフリップチップ接続を行う場合、接続するチップは画素領域に沿った細長い構造をとる場合がある。このような構造では、チップ間隙全体にアンダーフィル樹脂を満たす際、アンダーフィル樹脂領域をチップの長辺に沿って細長く取り、線状または複数点でアンダーフィル樹脂の塗布を行い、スループットの向上（生産効率の向上）やボイド・ダムの決壊などを防いでいる。一方で、アンダーフィル樹脂滴下領域は第２半導体チップ（上チップ）からダムまでの幅を広くとる必要があるため、ダムまで領域の面積が広くなり、チップサイズを律速する要因になっている。
【００２３】
以上のことは、図１２を用いて具体的に説明をすることができる。図１２に示されるように、固体撮像装置８００において、アンダーフィル樹脂滴下領域１−６は、第１半導体チップ２の第２半導体チップ３に対応する領域以外の領域であって、ダム５の内側に形成されている。より詳しくは、アンダーフィル樹脂滴下領域１−６は、第２半導体チップ３の下部に第２半導体チップの長辺ｈ（又は長辺ｆ）全域に渡って形成され、アンダーフィル樹脂滴下領域１−６の第２半導体チップ３の長辺ｈ（又は長辺ｆ）と略平行である長さは、第２半導体チップ３の長辺ｈ（又は長辺ｆ）の長さよりも長くなっている。したがって、上記で説明をしたように、第２半導体チップ３からダム５まで領域の面積が広くなり、第１半導体チップ２のサイズを律速する要因になっている。
【００２４】
本技術は上記の事情を鑑みてなされたものである。本技術は、アンダーフィル樹脂滴下領域の大きさ（例えば面積）を必要最小限に抑えることによって、第１半導体チップ（センサチップ）のサイズを縮小して、固体撮像装置の小型化を図ることができる。なお、本技術は、裏面照射型の固体撮像装置にも適用できるし、表面照射型の固体撮像装置にも適用できるし、固体撮像装置以外の半導体装置にも適用可能である。
【００２５】
以下に、本技術に係る実施の形態について詳細に説明をする。
【００２６】
＜２．第１の実施形態（固体撮像装置の例１）＞
まず、本技術に係る第１の実施形態（固体撮像装置の例１）の固体撮像装置について、説明する。
【００２７】
本技術に係る第１の実施形態（固体撮像装置の例１）の固体撮像装置は、画素領域を有する第１半導体チップと、バンプを介して該第１半導体チップに接合される第２半導体チップと、該第１半導体チップと該第２半導体チップとの間に形成されるアンダーフィル樹脂と、少なくとも該画素領域への該アンダーフィル樹脂の流出を防止して該第２半導体チップを囲むように形成されるダムと、を備え、該第２半導体チップが長辺と短辺とを有する矩形形状を有し、該第１半導体チップの該第２半導体に対応する領域以外の領域であって該ダムの内側に、アンダーフィル樹脂滴下領域が形成され、該アンダーフィル樹脂滴下領域の該第２半導体チップの該長辺と略平行である長さが、該第２半導体チップの該長辺の長さよりも短い、固体撮像装置である。そして、本技術に係る第１の実施形態の固体撮像装置においては、アンダーフィル樹脂滴下領域は、前記第２半導体チップの該短辺と前記ダムとの間に形成されている。
【００２８】
本技術に係る第１の実施形態の固体撮像装置によれば、アンダーフィル樹脂滴下領域の大きさ（例えば面積）を必要最小限に抑えて、第１半導体チップのサイズを縮小して、固体撮像装置の小型化を図ることができる。
【００２９】
以下、本技術に係る第１の実施形態の固体撮像装置について、図１〜図５及び図９〜図１０を用いて更に詳細に説明をする。
【００３０】
図１は、本技術に係る第１の実施形態の固体撮像装置の構成例を示す図であり、固体撮像装置１００を光照射側から見た平面図である。図２は、本技術に係る第１の実施形態の固体撮像装置の構成例を示す図であり、図２（ａ）は、図１と同様に、固体撮像装置１００を光照射側から見た平面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）に示されるＣＣ’線における固体撮像装置１００の断面図である。図３は、本技術に係る第１の実施形態の固体撮像装置の構成例を示す図であり、固体撮像装置１００の回路構成を示すブロック図である。図４は、本技術に係る第１の実施形態の固体撮像装置の構成例を示す図であり、図４（ａ）は、図１と同様に、固体撮像装置１００を光照射側から見た平面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）に示されるＡＡ’線における固体撮像装置１００の断面図であり、図４（ｃ）は、図４（ａ）に示されるＢＢ’線における固体撮像装置１００の断面図である。図５（ａ）は、固体撮像装置１００について、レンズ材の掘り込みエリアを説明するための図であり、図５（ｂ）は、固体撮像装置１００について、アンダーフィル樹脂を滴下したときのアンダーフィル樹脂の浸透の様子を説明するための図である。
【００３１】
図９は、本技術に係る第１の実施形態の固体撮像装置の構成例を示す図であり、固体撮像装置５００について、アンダーフィル樹脂滴下領域とレンズ材の掘り込みパターンとを説明するための図である。図１０は、本技術に係る第１の実施形態の固体撮像装置の構成例を示す図であり、固体撮像装置６００について、アンダーフィル樹脂滴下領域とレンズ材の掘り込みパターンとを説明するための図である。
【００３２】
まず、図１を用いて、本技術に係る第１の実施形態の固体撮像装置を説明する。
【００３３】
固体撮像装置１００は、第１半導体チップ（下チップ）２と第２半導体チップ（上チップ）３がバンプ（図１では不図示）を介して接続することにより構成される。固体撮像装置１００において、第２半導体チップ３は、バンプ（不図示）を介して、第１半導体チップ２の光の照射側（受光面側）にフリップチップボンディングされる。固体撮像装置１００は、パッド（ＰＡＤ）領域Ｐと、画素部Ｑと、水平駆動領域Ｒと、ダム領域・第２半導体チップ領域Ｓとから構成されている。以下に固体撮像装置１００について詳細に説明をする。
【００３４】
第１半導体チップ２には、画素領域６、画素領域６の右外側に配される水平駆動部８等が形成される。また、第１半導体チップ２の第２半導体チップ３に対応する領域には、図１では図示されていないが、カラム処理部及びシステム制御部からなる周辺回路部が形成されている。さらに、第１半導体チップ２には、ワイヤボンディング用電極パッド７が形成されている。そして、第２半導体チップ３は、長辺ｆ（図１中の上側の長辺）と長辺ｈ（図１中の下側の長辺）と短辺ｅ（図１中の左側の短辺）と短辺ｇ（図１中の右側の短辺）とを有する矩形形状を有している。
【００３５】
第１半導体チップ２が有する画素領域と第２半導体チップ３との間には、機械強度を保つためにアンダーフィル樹脂４が充填されている。第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の外周囲であり、第２半導体チップ３を囲むようにして、アンダーフィル樹脂４の充填時の接合領域以外の領域（画素領域６）へのアンダーフィル樹脂４の流出を防止するダム５が形成されている。したがって、アンダーフィル樹脂４は第２半導体チップ３の外側であって、ダム５の内側に広がって配されている。
【００３６】
図１に示されるように、アンダーフィル樹脂滴下領域１−１は、第１半導体チップ２の第２半導体チップ３に対応する領域以外の領域であって、ダム５の内側に形成されている。より詳しくは、固体撮像装置１００では、アンダーフィル樹脂滴下領域１−１は、第２半導体チップ３の右短辺ｇ（図１中の右側）とダム５との間に形成されている。アンダーフィル樹脂滴下領域１−１の第２半導体チップ３の長辺ｆ又は長辺ｈと略平行である長さは、第２半導体チップ３の長辺ｆ又は長辺ｈの長さよりも短い。
【００３７】
アンダーフィル樹脂滴下領域１−１の領域の大きさは任意の大きさでよいが、例えば、アンダーフィル樹脂を、ニードルを用いて滴下する場合は、アンダーフィル樹脂滴下領域１−１の領域の大きさは、アンダーフィル樹脂の円滑な滴下ができるように、ニードルの外径寸法（面積）よりも大きいことが好ましい。なお、アンダーフィル樹脂滴下領域１−１は、第２半導体チップ３の左短辺ｅ（図１中の左側）とダム５との間に形成されてもよい。
【００３８】
図２を用いて、本技術に係る第１の実施形態の固体撮像装置を説明する。
【００３９】
図２（ａ）に示される固体撮像装置１００は、図１で説明をしたとおりであるので、ここでは説明を省略する。図２（ｂ）は、図２（ａ）に示されるＣＣ´線に従った断面図である。すなわち、図２（ｂ）においては、固体撮像装置１００の右側が図２（ａ）に示されるＣ部に対応し、左側が図２（ａ）に示されるＣ´部に対応する。
【００４０】
図２（ｂ）に示されるように、固体撮像装置１００は、第１半導体チップ（下チップ）２と第２半導体チップ（上チップ）３とがバンプ１１を介して接続することにより構成されている。固体撮像装置１００において、第２半導体チップ３は、バンプ１１を介して、第１半導体チップ２の光の照射側（受光面側、図２（ｂ）中の上側）にフリップチップボンディングされる。
【００４１】
第１半導体チップ２は、半導体基板９とレンズ材１０と備え、レンズ材１０は、第１半導体チップ２の光の照射側（図２（ｂ）中の上側）で、バンプ１１以外の領域に有機物等から形成される。レンズ材１０は、１種類の有機物により構成されてもよいし、２種類以上の有機物が積層されることにより構成されてもよい。レンズ材１０を構成する有機物の上には、図示はされていないが、反射防止膜として、ＳｉＯ２、ＳｉＮなどの薄い無機膜が積層されるようにしてもよい。
【００４２】
そして、レンズ材１０は、画素領域６においてオンチップレンズとして機能し、照射された光を画素領域６に集光させる。
【００４３】
第１半導体チップ２と第２半導体チップ３との間（図２（ｂ）中の上下方向の間）には、機械強度を保つためにアンダーフィル樹脂４が充填されている。アンダーフィル樹脂４は、第２半導体チップ３の外周部の左右に裾拡がり状にフィレット４ｂ及び４ｃを形成している。
【００４４】
第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左右の外側には、アンダーフィル樹脂４の接合領域以外の領域（画素領域６）へのアンダーフィル樹脂４の流出を防止するダム５が形成されている。より詳しくは、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左の外側には、２つのダム５−１及び５−２がレンズ材１０を掘り込んで凹部上に形成され、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の右の外側には、２つのダム５−３及び５−４がレンズ材１０を掘り込んで凹部上に形成されている。なお、ダム５は、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左右の外側のそれぞれに少なくとも１つのダム５が形成されればよく、上記で述べた、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左右の外側のそれぞれに２つのダム５（ダム５−１〜５−４）が形成されることは１つの例である。
【００４５】
図３を用いて、本技術に係る第１の実施形態の固体撮像装置を説明する。
【００４６】
固体撮像装置１０００は、第１半導体チップ（下チップ）２と第２半導体チップ（上チップ）３がバンプ（不図示）を介して接続することにより構成される。第１半導体チップ２と第２半導体チップ３とは、それぞれ、シリコン基板等の半導体基板とＣｕやＡｌなどの金属配線層とからなる
【００４７】
図３に示されるように、第１半導体チップ２は、画素領域６と、水平駆動部８と、カラム処理部１４と、システム制御部１５とから形成されている。画素領域６また、第２半導体チップ３は、垂直駆動部・信号処理部１３が形成されている。
【００４８】
画素領域６には、入射光の光量に応じた電荷量の電荷を発生して内部に蓄積する光電変換素子を有する画素が、行列状に２次元配置され、撮像を行う。また、画素領域６と水平駆動部８とは行ごとに形成された画素駆動線を介して接続されている。画素領域６とカラム処理部１４とは、列ごとに形成された垂直信号線を介して接続されている。カラム処理部１４及びシステム駆動部１５と垂直駆動部・信号処理部１３とはバンプ（不図示）を介して接続されている。
【００４９】
図３で説明した上記の内容（固体撮像装置１０００）は、後述の第２〜第４の実施形態の固体撮像装置にもそのまま適用することができる。
【００５０】
図４を用いて、本技術に係る第１の実施形態の固体撮像装置を説明する。
【００５１】
図４（ａ）に示される固体撮像装置１００は、図１で説明をしたとおりであるので、ここでは説明を省略する。図４（ｂ）は、図２（ａ）に示されるＡＡ´線に従った断面図である。すなわち、図４（ｂ）においては、固体撮像装置１００の右側が図４（ａ）に示されるＡ部に対応し、左側が図４（ａ）に示されるＡ´部に対応する。図４（ｃ）は、図４（ａ）に示されるＢＢ´線に従った断面図である。すなわち、図４（ｃ）においては、固体撮像装置１００の右側が図４（ａ）に示されるＢ部に対応し、左側が図４（ａ）に示されるＢ´部に対応する。
【００５２】
図４（ｂ）に示されるように、固体撮像装置１００は、第１半導体チップ（下チップ）２と第２半導体チップ（上チップ）３とがバンプ１１を介して接続することにより構成されている。固体撮像装置１００において、第２半導体チップ３は、バンプ１１を介して、第１半導体チップ２の光の照射側（受光面側、図４（ｂ）中の上側）にフリップチップボンディングされる。
【００５３】
第１半導体チップ２は、半導体基板９とレンズ材１０とを備え、レンズ材１０は、第１半導体チップ２の光の照射側（図４（ｂ）中の上側）で半導体基板９上に、バンプ１１以外の領域に有機物等から形成される。レンズ材１０は、１種類の有機物により構成されてもよいし、２種類以上の有機物が積層されることにより構成されてもよい。レンズ材１０を構成する有機物の上には、図示はされていないが、反射防止膜として、ＳｉＯ２、ＳｉＮなどの薄い無機膜が積層されるようにしてもよい。
【００５４】
そして、レンズ材１０は、画素領域６においてオンチップレンズとして機能し、照射された光を画素領域６に集光させる。
【００５５】
図４（ｂ）では、アンダーフィル樹脂４が充填される前を図示しているが、第１半導体チップ２と第２半導体チップ３との間（図４（ｂ）中の上下方向の間）には、機械強度を保つためにアンダーフィル樹脂４が充填されてよい。
【００５６】
第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左右の外側には、アンダーフィル樹脂４の接合領域以外の領域（画素領域６）へのアンダーフィル樹脂４の流出を防止するダム５が形成されている。より詳しくは、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左の外側には、２つのダム５−５及び５−６がレンズ材１０を掘り込んで凹部上に形成され、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の右の外側には、２つのダム５−７及び５−８がレンズ材１０を掘り込んで凹部上に形成されている。なお、ダム５は、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左右の外側のそれぞれに少なくとも１つのダム５が形成されればよく、上記で述べた、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左右の外側のそれぞれに２つのダム５（ダム５−５〜５−８）が形成されることは１つの例である。
【００５７】
図４（ｃ）中の固体撮像装置１００は、第１半導体チップ（下チップ）２と第２半導体チップ（上チップ）３とがバンプ１１を介して接続することにより構成されている。固体撮像装置１００において、第２半導体チップ３は、バンプ１１を介して、第１半導体チップ２の光の照射側（受光面側、図４（ｃ）中の上側）にフリップチップボンディングされる。
【００５８】
第１半導体チップ２は、半導体基板９とレンズ材１０とを備え、レンズ材１０は、第１半導体チップ２の光の照射側（図４（ｃ）中の上側）で半導体基板９上に、バンプ１１以外の領域に有機物等から形成される。レンズ材１０は、１種類の有機物により構成されてもよいし、２種類以上の有機物が積層されることにより構成されてもよい。レンズ材１０を構成する有機物の上には、図示はされていないが、反射防止膜として、ＳｉＯ２、ＳｉＮなどの薄い無機膜が積層されるようにしてもよい。
【００５９】
そして、レンズ材１０は、画素領域６においてオンチップレンズとして機能し、照射された光を画素領域６に集光させる。
【００６０】
図４（ｃ）では、アンダーフィル樹脂４が充填される前を図示しているが、第１半導体チップ２と第２半導体チップ３との間（図４（ｃ）中の上下方向の間）には、機械強度を保つためにアンダーフィル樹脂４が充填されてよい。
【００６１】
第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左右の外側には、アンダーフィル樹脂４の接合領域以外の領域（画素領域６）へのアンダーフィル樹脂４の流出を防止するダム５が形成されている。より詳しくは、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左の外側には、２つのダム５−９及び５−１０がレンズ材１０を掘り込んで凹部上に形成され、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の右の外側には、２つのダム５−１１及び５−１２がレンズ材１０を掘り込んで凹部上に形成されている。なお、ダム５は、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左右の外側のそれぞれに少なくとも１つのダム５が形成されればよく、上記で述べた、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左右の外側のそれぞれに２つのダム５（ダム５−９〜５−１２）が形成されることは１つの例である。
【００６２】
図４（ｂ）を参照する。第１半導体チップ２と第２半導体チップ３との間の領域には、４つのバンプ１１が形成されている領域と、４つのバンプ１１が形成されている領域以外の領域（すなわち、４つのバンプ１１が形成されていない領域）とがあり、４つのバンプ１１が形成されている領域以外の領域には、レンズ材１０−１が形成された領域ｄ１及びｄ３とレンズ材１０−１が形成されていない領域ｄ２とがある。領域ｄ１及びｄ３ではレンズ材１０−１が半導体基板９上に形成されているため、第１半導体チップ２と第２半導体チップ３との間のギャップ（距離）ｄａ及びｄｃは、レンズ材１０−１が形成されていない領域ｄ２の第１半導体チップ２と第２半導体チップ３との間のギャップ（距離）ｄｂに対して小さくなっている。ところで、レンズ材１０−１の厚み（図４（ｂ）中の上下方向）が略同等であるため、ギャップ（距離）ｄａ及びｄｃは略同じでよいし、レンズ材１０−１の厚み（図４（ｂ）中の上下方向）が非連続的に異なるため、ギャップ（距離）ｄａ及びｄｃが異なっていてもよい。
【００６３】
図４（ｃ）を参照する。第１半導体チップ２と第２半導体チップ３との間の領域には、４つのバンプ１１が形成されている領域と、４つのバンプ１１が形成されている領域以外の領域（すなわち、４つのバンプ１１が形成されていない領域）とがあり、４つのバンプ１１が形成されている領域以外の領域には、レンズ材１０−１が形成された領域ｄ４及びｄ６とレンズ材１０−１が形成されていない領域（掘り込まない領域）ｄ５とがある。領域ｄ４及びｄ６ではレンズ材１０−１が半導体基板９上に形成されているため、第１半導体チップ２と第２半導体チップ３との間のギャップ（距離）ｄｄ及びｄｆは、レンズ材１０−１が形成されていない領域ｄ５の第１半導体チップ２と第２半導体チップ３との間のギャップ（距離）ｄｅに対して小さくなっている。ところで、レンズ材１０−１の厚み（図４（ｃ）中の上下方向）が略同等であるため、ギャップ（距離）ｄｄ及びｄｆは略同じでよいし、レンズ材１０−１の厚み（図４（ｃ）中の上下方向）が非連続的に異なるため、ギャップ（距離）ｄｄ及びｄｆが異なっていてもよい。
【００６４】
図４（ｃ）に示される固体撮像装置１００の断面図（ＢＢ´線断面）は、図４（ｂ）に示される固体撮像装置１００の断面図（ＡＡ´）と比べて、アンダーフィル樹脂滴下領域１−１が近いところにある図である。図４（ｂ）及び図４（ｃ）を参照するに、図４（ｃ）に示される、レンズ材１０−１が形成されているためギャップ（距離）が小さいｄ４及びｄ６の幅（図４（ｃ）中の左右方向）は、図４（ｂ）に示される、レンズ材１０−１が形成されている、ギャップ（距離）が小さいｄ１及びｄ３の幅（図４（ｂ）中の左右方向）に対して大きくなっている。すなわち、レンズ材１０−１が形成されている領域（ｄ１及びｄ３〜ｄ４及びｄ６）の第２半導体チップ３の短辺と略平行である長さは、アンダーフィル樹脂滴下領域１−１に近づくにしたがって長くなっている。逆に、図４（ｃ）に示される、レンズ材１０−１が形成されていない、ギャップ（距離）が大きいｄ５の幅（図４（ｃ）中の左右方向）は、図４（ｂ）に示される、レンズ材１０−１が形成されていない、ギャップ（距離）が大きいｄ２の幅（図４（ｂ）中の左右方向）に対して小さくなっている。すなわち、レンズ材１０−１が形成されていない領域（ｄ２〜ｄ５）の第２半導体チップ３の短辺と略平行である長さは、アンダーフィル樹脂滴下領域１−１に近づくにしたがって短くなっている。以上のことは、図５を用いて更に詳細に説明をする。
【００６５】
図５は、レンズ材の掘り込みエリア（レンズ材が形成されていない領域）と、アンダーフィル樹脂を滴下したときのアンダーフィル樹脂の浸透の様子と、を説明するための図である。
【００６６】
図５（ａ）は第１半導体チップ２と第２半導体チップ３とを光入射側から見た図である。第１半導体チップ２は、レンズ材１０−１が形成されていない領域５０ａとレンズ材１０−１が形成されている領域５１ａとから構成され、アンダーフィル樹脂滴下領域５３ａに近づくに従って（図５（ａ）中の左から右にいくに従って）、領域５０ａの幅（第２半導体チップ３の短辺と略平行の長さであり、図５（ａ）中の上下方向の長さ）は小さくなり、逆に、領域５１ａの幅（第２半導体チップ３の短辺と略平行の長さであり、図５（ａ）中の上下方向の長さ）は大きくなっている。
【００６７】
次に、図５（ｂ）を参照する。図５（ｂ）は、アンダーフィル樹脂５４をニードル５５で滴下したときのアンダーフィル樹脂５４の浸透の様子を示した図である。図５（ｂ）に示されるように、第１半導体チップ２（第２半導体チップ３）の中心部は浸透速度が速く（矢印Ｘ１〜Ｘ５）、第２半導体チップ２の端部では滴下時は、浸透速度は遅く、レンズ材１０−１が形成されていない領域５０ｂが広がるに浸透速度は速くなる（矢印Ｙ１〜Ｙ５及び矢印Ｚ１〜Ｚ５）。これにより、第１半導体チップ２（第２半導体チップ３）の全体にアンダーフィル樹脂が浸透する前に一部にアンダーフィル樹脂が過剰に流れ込んでダムが決壊することを防ぐことができる。ところで、図５（ｂ）中の矢印Ｘ１〜Ｘ５、Ｙ１〜Ｙ５及びＺ１〜Ｚ５の太さは浸透速度を示す。矢印の太さが太い場合は浸透速度が速いこと示し、矢印の太さが細い場合は浸透速度が遅いことを示す。以上のことは、第１半導体チップ２と第２半導体チップとのギャップ（距離）が大きいほどアンダーフィル樹脂の浸透速度が速いからである。レンズ材の掘り込みエリアのパターンを自由に変更することでアンダーフィル樹脂の浸透速度を自由に調整することができる。これにより、一部分への過剰なアンダーフィル樹脂の供給を防ぐことができ、スループットの向上（生産効率の向上）やダムの決壊の防止が可能になる。
【００６８】
図９を用いて、本技術に係る第１の実施形態の固体撮像装置を更に説明する。
【００６９】
図９に示されるように、固体撮像装置５００は、第１半導体チップ（下チップ）２と第２半導体チップ（上チップ）３とがバンプ１１を介して接続することにより構成されている。固体撮像装置５００において、第２半導体チップ３は、バンプ１１を介して、第１半導体チップ２の光の照射側（受光面側、図９の上側）にフリップチップボンディングされる。
【００７０】
第１半導体チップ２は、半導体基板９とレンズ材１０とを備え、レンズ材１０は、第１半導体チップ２の光の照射側（図４（ｂ）中の上側）で半導体基板９上に、バンプ１１以外の領域に有機物等から形成される。レンズ材１０は、１種類の有機物により構成されてもよいし、２種類以上の有機物が積層されることにより構成されてもよい。レンズ材１０を構成する有機物の上には、図示はされていないが、反射防止膜として、ＳｉＯ２、ＳｉＮなどの薄い無機膜が積層されるようにしてもよい。
【００７１】
そして、レンズ材１０は、画素領域６においてオンチップレンズとして機能し、照射された光を画素領域６に集光させる。
【００７２】
図９では、アンダーフィル樹脂４が充填される前を図示しているが、第１半導体チップ２と第２半導体チップ３との間（図９中の上下方向の間）には、機械強度を保つためにアンダーフィル樹脂４が充填されてよい。
【００７３】
第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左右の外側には、アンダーフィル樹脂４の接合領域以外の領域（画素領域６）へのアンダーフィル樹脂４の流出を防止するダム５が形成されている。より詳しくは、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左の外側には、２つのダム５−１３及び５−１４がレンズ材１０を掘り込んで凹部上に形成され、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の右の外側には、２つのダム５−１５及び５−１６がレンズ材１０を掘り込んで凹部上に形成されている。なお、ダム５は、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左右の外側のそれぞれに少なくとも１つのダム５が形成されればよく、上記で述べた、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左右の外側のそれぞれに２つのダム５（ダム５−１３〜５−１６）が形成されることは１つの例である。
【００７４】
図９に示されるように、第１半導体チップ２と第２半導体チップ３との間の領域には、４つのバンプ１１が形成されている領域と、４つのバンプ１１が形成されている領域以外の領域（すなわち、４つのバンプ１１が形成されていない領域）とがあり、４つのバンプ１１が形成されている領域以外の領域には、レンズ材１０−１が形成された領域ｄ７、ｄ８、ｄ１０及びｄ１１とレンズ材１０−１が形成されていない領域ｄ９とがある。領域ｄ７、ｄ８、ｄ１０及びｄ１１ではレンズ材１０−１が半導体基板９上に形成されているため、第１半導体チップ２と第２半導体チップ３との間のギャップ（距離）ｄｇ、ｄｈ、ｄｊ及びｄｋは、レンズ材１０−１が形成されていない領域ｄ９の第１半導体チップ２と第２半導体チップ３との間のギャップ（距離）ｄｉに対して小さくなっている。また、ｄ７の領域であって、第２半導体チップ３の左端部には下凸部が形成されているため、レンズ材１０−１の厚みが同じであっても、ギャップ（距離）ｄｇはギャップ（距離）ｄｈより小さくなっている。同様に、ｄ１１の領域であって、第２半導体チップ３の右端部には下凸部が形成されているため、レンズ材１０−１の厚みが同じであっても、ギャップ（距離）ｄｋはギャップ（距離）ｄｊより小さくなっている。このように、第２半導体チップ３に下凸部を設けることにより、アンダーフィル樹脂の浸透速度を細かく調整することができる。図示はされていないが、第２半導体チップ３に上凹部を設けることによっても、下凸部を設けることと同様に、アンダーフィル樹脂の浸透速度を細かく調整することができる。ところで、レンズ材１０−１の厚み（図９中の上下方向）が略同等であるため、ギャップ（距離）ｄｇ及びｄｋ、並びにｄｈ及びｄｊは略同じでよいし、レンズ材１０の厚み（図９中の上下方向）が非連続的に異なるため、ギャップ（距離）ｄｇ及びｄｋ、並びにｄｈ及びｄｊが異なっていてもよい。
【００７５】
図１０を用いて、本技術に係る第１の実施形態の固体撮像装置を更に説明する。
【００７６】
図１０に示されるように、固体撮像装置６００は、第１半導体チップ（下チップ）２と第２半導体チップ（上チップ）３とがバンプ１１を介して接続することにより構成されている。固体撮像装置６００において、第２半導体チップ３は、バンプ１１を介して、第１半導体チップ２の光の照射側（受光面側、図１０の上側）にフリップチップボンディングされる。
【００７７】
第１半導体チップ２は、半導体基板９とレンズ材１０とを備え、レンズ材１０は、第１半導体チップ２の光の照射側（図４（ｂ）中の上側）で半導体基板９上に、バンプ１１以外の領域に有機物等から形成される。レンズ材１０は、１種類の有機物により構成されてもよいし、２種類以上の有機物が積層されることにより構成されてもよい。レンズ材１０を構成する有機物の上には、図示はされていないが、反射防止膜として、ＳｉＯ２、ＳｉＮなどの薄い無機膜が積層されるようにしてもよい。
【００７８】
そして、レンズ材１０は、画素領域６においてオンチップレンズとして機能し、照射された光を画素領域６に集光させる。
【００７９】
図１０では、アンダーフィル樹脂４が充填される前を図示しているが、第１半導体チップ２と第２半導体チップ３との間（図１０中の上下方向の間）には、機械強度を保つためにアンダーフィル樹脂４が充填されてよい。
【００８０】
第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左右の外側には、アンダーフィル樹脂４の接合領域以外の領域（画素領域６）へのアンダーフィル樹脂４の流出を防止するダム５が形成されている。より詳しくは、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左の外側には、２つのダム５−１７及び５−１８がレンズ材１０を掘り込んで凹部上に形成され、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の右の外側には、２つのダム５−１９及び５−２０がレンズ材１０を掘り込んで凹部上に形成されている。なお、ダム５は、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左右の外側のそれぞれに少なくとも１つのダム５が形成されればよく、上記で述べた、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の左右の外側のそれぞれに２つのダム５（ダム５−１７〜５−２０）が形成されることは１つの例である。
【００８１】
図１０に示されるように、第１半導体チップ２と第２半導体チップ３との間の領域には、４つのバンプ１１が形成されている領域と、４つのバンプ１１が形成されている領域以外の領域（すなわち、４つのバンプ１１が形成されていない領域）とがあり、４つのバンプ１１が形成されている領域以外の領域には、レンズ材１０−１が形成された領域とレンズ材１０−１が形成されていない領域とがある。第１半導体チップ２と第２半導体チップ３との間の領域中のレンズ材１０−１が形成された領域の左側では、図１０中で左上方向に向かう斜め破線Ｔ−１に従って、レンズ材１０−１が形成されていない領域から、レンズ１０−１の厚みが連続的に増して、ギャップ（距離）ｄｌ２がギャップ（距離）ｄｌ１よりも小さくなっている。一方、第１半導体チップ２と第２半導体チップ３との間の領域中のレンズ材１０−１が形成された領域の右側では、図１０中で右上方向に向かう斜め破線Ｔ−２に従って、レンズ材１０−１が形成されていない領域から、レンズ１０−１の厚みが連続的に増して、ギャップ（距離）ｄｍ２がギャップ（距離）ｄｍ１よりも小さくなっている。このように、レンズ材１０−１の傾斜（レンズ材１０−１の厚みの連続的な変化）を設けることにより、アンダーフィル樹脂の浸透速度を細かく調整することができる。
【００８２】
＜３．第２の実施形態（固体撮像装置の例２）＞
本技術に係る第２の実施形態（固体撮像装置の例２）の固体撮像装置について、説明する。
【００８３】
本技術に係る第２の実施形態（固体撮像装置の例２）の固体撮像装置は、画素領域を有する第１半導体チップと、バンプを介して該第１半導体チップに接合される第２半導体チップと、該第１半導体チップと該第２半導体チップとの間に形成されるアンダーフィル樹脂と、少なくとも該画素領域への該アンダーフィル樹脂の流出を防止して該第２半導体チップを囲むように形成されるダムと、を備え、該第２半導体チップが長辺と短辺とを有する矩形形状を有し、該第１半導体チップの該第２半導体に対応する領域以外の領域であって該ダムの内側に、アンダーフィル樹脂滴下領域が形成され、該アンダーフィル樹脂滴下領域の該第２半導体チップの該長辺と略平行である長さが、該第２半導体チップの該長辺の長さよりも短い、固体撮像装置である。そして、本技術に係る第２の実施形態の固体撮像装置においては、前記第２半導体チップが第１短辺と第２短辺とを有し、前記アンダーフィル樹脂滴下領域が、前記第２半導体チップの第１短辺と前記ダムとの間と、前記第２半導体チップの第２短辺と前記ダムとの間とに、それぞれ形成されている。
【００８４】
本技術に係る第２の実施形態の固体撮像装置によれば、アンダーフィル樹脂滴下領域の大きさ（例えば面積）を必要最小限に抑えて、第１半導体チップのサイズを縮小して、固体撮像装置の小型化を図ることができる。
【００８５】
以下、本技術に係る第２の実施形態の固体撮像装置について、図６を用いて更に詳細に説明をする。
【００８６】
図６は、本技術に係る第２の実施形態の固体撮像装置の構成例を示す図であり、図６（ａ）は、固体撮像装置２００を光照射側から見た平面図であり、図６（ｂ）は、固体撮像装置２００について、レンズ材の掘り込みエリアを説明するための図である。
【００８７】
まず、図６（ａ）を用いて、本技術に係る第２の実施形態の固体撮像装置を説明する。
【００８８】
固体撮像装置２００は、第１半導体チップ（下チップ）２と第２半導体チップ（上チップ）３がバンプ（図６（ａ）では不図示）を介して接続することにより構成される。固体撮像装置２００において、第２半導体チップ３は、バンプ（不図示）を介して、第１半導体チップ２の光の照射側（受光面側）にフリップチップボンディングされる。固体撮像装置２００は、パッド（ＰＡＤ）領域と、画素部と、水平駆動領域と、ダム領域・第２半導体チップ領域とから構成されている。以下に固体撮像装置２００について詳細に説明をする。
【００８９】
第１半導体チップ２には、画素領域６、画素領域６の右外側に配される水平駆動部８等が形成される。また、第１半導体チップ２の第２半導体チップ３に対応する領域には、図６（ａ）では図示されていないが、カラム処理部及びシステム制御部からなる周辺回路部が形成されている。さらに、第１半導体チップ２には、ワイヤボンディング用電極パッド７が形成されている。そして、第２半導体チップ３は、長辺ｆ（図６（ａ）中の上側の長辺）と長辺ｈ（図６（ａ）中の下側の長辺）と短辺ｅ（図６（ａ）中の左側の短辺）と短辺ｇ（図６（ａ）中の右側の短辺）とを有する矩形形状を有している。
【００９０】
第１半導体チップ２が有する画素領域と第２半導体チップ３との間には、機械強度を保つためにアンダーフィル樹脂４が充填されている。第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の外周囲であり、第２半導体チップ３を囲むようにして、アンダーフィル樹脂４の充填時の接合領域以外の領域（画素領域６）へのアンダーフィル樹脂４の流出を防止するダム５が形成されている。したがって、アンダーフィル樹脂４は第２半導体チップ３の外側であって、ダム５の内側に広がって配されている。
【００９１】
図６（ａ）に示されるように、２つのアンダーフィル樹脂滴下領域１−２及び１−３は、第１半導体チップ２の第２半導体チップ３に対応する領域以外の領域であって、ダム５の内側に形成されている。より詳しくは、固体撮像装置２００では、アンダーフィル樹脂滴下領域１−２は、第２半導体チップ３の左短辺ｅ（図６中の左側）とダム５との間に形成され、アンダーフィル樹脂滴下領域１−３は、第２半導体チップ３の右短辺ｇ（図６中の右側）とダム５との間に形成されている。アンダーフィル樹脂滴下領域１−２の第２半導体チップ３の長辺ｆ及び長辺ｈと略平行である長さは、第２半導体チップ３の長辺ｆ又は長辺ｈの長さよりも短く、アンダーフィル樹脂滴下領域１−３の第２半導体チップ３の長辺ｆ又は長辺ｈと略平行である長さは、第２半導体チップ３の長辺ｆ又は長辺ｈの長さよりも短い。
【００９２】
アンダーフィル樹脂滴下領域１−２及び１−３のそれぞれの領域の大きさは任意の大きさでよいが、例えば、アンダーフィル樹脂を、ニードルを用いて滴下する場合は、アンダーフィル樹脂滴下領域１−２及び１−３のそれぞれの領域の大きさは、アンダーフィル樹脂の円滑な滴下ができるように、ニードルの外径寸法よりも大きいことが好ましい。
【００９３】
図６（ｂ）は、レンズ材の掘り込みエリア（レンズ材が形成されていない領域）を説明するための図である。
【００９４】
図６（ｂ）は第１半導体チップ２と第２半導体チップ３とを光入射側から見た図である。第１半導体チップ２は、レンズ材１０−１が形成されていない領域５７とレンズ材１０−１が形成されている領域５６とから構成されている。第１半導体チップ２の中心部からアンダーフィル樹脂滴下領域５８−１に近づくに従って（図６（ｂ）中の右から左にいくに従って）、領域５７の幅（第２半導体チップ３の短辺と略平行の長さであり、図６（ｂ）中の上下方向の長さ）は小さくなり、逆に、領域５６の幅（第２半導体チップ３の短辺と略平行の長さであり、図６（ｂ）中の上下方向の長さ）は大きくなっている。また、第１半導体チップ２の中心部からアンダーフィル樹脂滴下領域５８−２に近づくに従って（図６（ｂ）中の左から右にいくに従って）、領域５７の幅（第２半導体チップ３の短辺と略平行の長さであり、図６（ｂ）中の上下方向の長さ）は小さくなり、逆に、領域５６の幅（第２半導体チップ３の短辺と略平行の長さであり、図６（ｂ）中の上下方向の長さ）は大きくなっている。
【００９５】
これにより、図５（ｂ）で説明をしたように、図６（ｂ）に示されるレンズ材の掘り込みパターンは、第１半導体チップ２（第２半導体チップ３）の全体にアンダーフィル樹脂が浸透する前に一部にアンダーフィル樹脂が過剰に流れ込んでダムが決壊することを防ぐことができる。
【００９６】
＜４．第３の実施形態（固体撮像装置の例３）＞
本技術に係る第３の実施形態（固体撮像装置の例３）の固体撮像装置について、説明する。
【００９７】
本技術に係る第３の実施形態（固体撮像装置の例３）の固体撮像装置は、画素領域を有する第１半導体チップと、バンプを介して該第１半導体チップに接合される第２半導体チップと、該第１半導体チップと該第２半導体チップとの間に形成されるアンダーフィル樹脂と、少なくとも該画素領域への該アンダーフィル樹脂の流出を防止して該第２半導体チップを囲むように形成されるダムと、を備え、該第２半導体チップが長辺と短辺とを有する矩形形状を有し、該第１半導体チップの該第２半導体に対応する領域以外の領域であって該ダムの内側に、アンダーフィル樹脂滴下領域が形成され、該アンダーフィル樹脂滴下領域の該第２半導体チップの該長辺と略平行である長さが、該第２半導体チップの該長辺の長さよりも短い、固体撮像装置である。そして、本技術に係る第３の実施形態の固体撮像装置においては、前記アンダーフィル樹脂滴下領域は、前記画素領域の方向に張り出すように形成されている。
【００９８】
本技術に係る第３の実施形態の固体撮像装置によれば、アンダーフィル樹脂滴下領域の大きさ（例えば面積）を必要最小限に抑えて、第１半導体チップのサイズを縮小して、固体撮像装置の小型化を図ることができる。
【００９９】
以下、本技術に係る第３の実施形態の固体撮像装置について、図７を用いて更に詳細に説明をする。
【０１００】
図７は、本技術に係る第３の実施形態の固体撮像装置の構成例を示す図であり、図７（ａ）は、固体撮像装置３００を光照射側から見た平面図であり、図７（ｂ）は、固体撮像装置３００について、レンズ材の掘り込みエリアを説明するための図である。
【０１０１】
まず、図７（ａ）を用いて、本技術に係る第３の実施形態の固体撮像装置を説明する。
【０１０２】
固体撮像装置３００は、第１半導体チップ（下チップ）２と第２半導体チップ（上チップ）３がバンプ（図７（ａ）では不図示）を介して接続することにより構成される。固体撮像装置３００において、第２半導体チップ３は、バンプ（不図示）を介して、第１半導体チップ２の光の照射側（受光面側）にフリップチップボンディングされる。固体撮像装置３００は、パッド（ＰＡＤ）領域と、画素部と、水平駆動領域と、ダム領域・第２半導体チップ領域とから構成されている。以下に固体撮像装置３００について詳細に説明をする。
【０１０３】
第１半導体チップ２には、画素領域６、画素領域６の右外側に配される水平駆動部８等が形成される。また、第１半導体チップ２の第２半導体チップ３に対応する領域には、図７（ａ）では図示されていないが、カラム処理部及びシステム制御部からなる周辺回路部が形成されている。さらに、第１半導体チップ２には、ワイヤボンディング用電極パッド７が形成されている。そして、第２半導体チップ３は、長辺ｆ（図７（ａ）中の上側の長辺）と長辺ｈ（図７（ａ）中の下側の長辺）と短辺ｅ（図７（ａ）中の左側の短辺）と短辺ｇ（図７（ａ）中の右側の短辺）とを有する矩形形状を有している。
【０１０４】
第１半導体チップ２が有する画素領域と第２半導体チップ３との間には、機械強度を保つためにアンダーフィル樹脂４が充填されている。第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３の接合領域の外周囲であり、第２半導体チップ３を囲むようにして、アンダーフィル樹脂４の充填時の接合領域以外の領域（画素領域６）へのアンダーフィル樹脂４の流出を防止するダム５が形成されている。したがって、アンダーフィル樹脂４は第２半導体チップ３の外側であって、ダム５の内側に広がって配されている。
【０１０５】
図７（ａ）に示されるように、アンダーフィル樹脂滴下領域１−４は、第１半導体チップ２の第２半導体チップ３に対応する領域以外の領域であって、ダム５の内側に形成されている。より詳しくは、固体撮像装置３００では、アンダーフィル樹脂滴下領域１−４は、第２半導体チップ３の右端部側であり、第２半導体チップとダム５との間であり、画素領域６の方向（図７（ａ）中の下方向）に張り出すように形成されている。アンダーフィル樹脂滴下領域１−４の第２半導体チップ３の長辺ｆ又は長辺ｈと略平行である長さは、第２半導体チップ３の長辺ｆ又は長辺ｈの長さよりも短い。
【０１０６】
アンダーフィル樹脂滴下領域１−４の領域の大きさは任意の大きさでよいが、例えば、アンダーフィル樹脂を、ニードルを用いて滴下する場合は、アンダーフィル樹脂滴下領域１−４の領域の大きさは、アンダーフィル樹脂の円滑な滴下ができるように、ニードルの外径寸法よりも大きいことが好ましい。なお、アンダーフィル樹脂滴下領域１−４は、第２半導体チップ３の左端部側であり、第２半導体チップとダム５との間であり、画素領域６の方向（図７（ａ）中の下方向）に張り出すように形成されていてもよい。
【０１０７】
図７（ｂ）は第１半導体チップ２と第２半導体チップ３とを光入射側から見た図である。第１半導体チップ２は、レンズ材１０−１が形成されていない領域５９とレンズ材１０−１が形成されている領域６０とから構成されている。アンダーフィル樹脂滴下領域６１に近づくに従って（図７（ｂ）中の左から右にいくに従って）、領域５９の幅（第２半導体チップ３の短辺と略平行の長さであり、図７（ｂ）中の上下方向の長さ）は小さくなり、逆に、領域６０の幅（第２半導体チップ３の短辺と略平行の長さであり、図６（ｂ）中の上下方向の長さ）は大きくなっている。
【０１０８】
これにより、図５（ｂ）で説明をしたように、図７（ｂ）に示されるレンズ材の掘り込みパターンは、第１半導体チップ２（第２半導体チップ３）の全体にアンダーフィル樹脂が浸透する前に一部にアンダーフィル樹脂が過剰に流れ込んでダムが決壊することを防ぐことができる。
【０１０９】
＜５．第４の実施形態（固体撮像装置の例４）＞
本技術に係る第４の実施形態（固体撮像装置の例４）の固体撮像装置について、説明する。
【０１１０】
本技術に係る第４の実施形態（固体撮像装置の例４）の固体撮像装置は、画素領域を有する第１半導体チップと、バンプを介して該第１半導体チップに接合される第２半導体チップと、該第１半導体チップと該第２半導体チップとの間に形成されるアンダーフィル樹脂と、少なくとも該画素領域への該アンダーフィル樹脂の流出を防止して該第２半導体チップを囲むように形成されるダムと、を備え、該第２半導体チップが長辺と短辺とを有する矩形形状を有し、該第１半導体チップの該第２半導体に対応する領域以外の領域であって該ダムの内側に、アンダーフィル樹脂滴下領域が形成され、該アンダーフィル樹脂滴下領域の該第２半導体チップの該長辺と略平行である長さが、該第２半導体チップの該長辺の長さよりも短い、固体撮像装置である。そして、本技術に係る第４の実施形態の固体撮像装置においては、少なくとも２つの前記第２半導体チップが備えられ、該少なくとも２つの第２半導体チップは、該少なくとも２つの第２半導体チップのそれぞれの短辺が対向するように配置され、前記アンダーフィル樹脂滴下領域は、該少なくとも２つの第２半導体チップの間に形成されている。
【０１１１】
本技術に係る第４の実施形態の固体撮像装置によれば、アンダーフィル樹脂滴下領域の大きさ（例えば面積）を必要最小限に抑えて、第１半導体チップのサイズを縮小して、固体撮像装置の小型化を図ることができる。
【０１１２】
以下、本技術に係る第４の実施形態の固体撮像装置について、図８を用いて更に詳細に説明をする。
【０１１３】
図８は、本技術に係る第４の実施形態の固体撮像装置の構成例を示す図であり、図８（ａ）は、固体撮像装置４００を光照射側から見た平面図であり、図８（ｂ）は、固体撮像装置４００について、レンズ材の掘り込みエリアを説明するための図である。
【０１１４】
まず、図８（ａ）を用いて、本技術に係る第４の実施形態の固体撮像装置を説明する。
【０１１５】
固体撮像装置４００は、第１半導体チップ（下チップ）２と４つの第２半導体チップ（上チップ）３−１〜３−４がバンプ（図８（ａ）では不図示）を介して接続することにより構成される。固体撮像装置４００において、第２半導体チップ３−１〜３−４のそれぞれの第２半導体チップは、バンプ（不図示）を介して、第１半導体チップ２の光の照射側（受光面側）にフリップチップボンディングされる。固体撮像装置４００は、パッド（ＰＡＤ）領域と、画素部と、水平駆動領域と、ダム領域・第２半導体チップ領域とから構成されている。以下に固体撮像装置４００について詳細に説明をする。
【０１１６】
第１半導体チップ２には、画素領域６、画素領域６の右外側に配される水平駆動部８等が形成される。また、第１半導体チップ２の第２半導体チップ３−１〜３−４に対応する領域には、図８（ａ）では図示されていないが、カラム処理部及びシステム制御部からなる周辺回路部が形成されている。さらに、第１半導体チップ２には、ワイヤボンディング用電極パッド７が形成されている。そして、第２半導体チップ３−１は、長辺ｆ（図８（ａ）中の左上側の長辺）と長辺ｈ（図８（ａ）中の左下側の長辺）と短辺ｅ（図８（ａ）中の左側の短辺）と短辺ｇ（図８（ａ）中の略真ん中の短辺）とを有する矩形形状を有している。第２半導体チップ３−２は、長辺ｆ（図８（ａ）中の右上側の長辺）と長辺ｈ（図８（ａ）中の右下側の長辺）と短辺ｅ（図８（ａ）中の略真ん中の短辺）と短辺ｇ（図８（ａ）中の右側の短辺）とを有する矩形形状を有している。第２半導体チップ３−３は、長辺ｆ（図８（ａ）中の左上側の長辺）と長辺ｈ（図８（ａ）中の左下側の長辺）と短辺ｅ（図８（ａ）中の左側の短辺）と短辺ｇ（図８（ａ）中の略真ん中の短辺）とを有する矩形形状を有している。第２半導体チップ３−４は、長辺ｆ（図８（ａ）中の右上側の長辺）と長辺ｈ（図８（ａ）中の右下側の長辺）と短辺ｅ（図８（ａ）中の略真ん中の短辺）と短辺ｇ（図８（ａ）中の右側の短辺）とを有する矩形形状を有している。
【０１１７】
第２半導体チップ３−１及び３−２は、固体撮像装置４００の上部（図８（ａ）中の上側）に、第２半導体チップ３−１の右短辺ｇと第２半導体チップ３−２の左短辺ｅとが、アンダーフィル樹脂滴下領域１−５を介して対向して配されている。第２半導体チップ３−３及び３−４は、固体撮像装置４００の下部（図８（ａ）中の下側）に、第２半導体チップ３−３の右短辺ｇと第２半導体チップ３−４の左短辺ｅとが、アンダーフィル樹脂滴下領域１−６を介して対向して配されている。なお、固体撮像装置４００では第１半導体チップ２に４つの第２半導体チップ３が配されているが、４つの第２半導体チップ３に限定されず、少なくとも２つの第２半導体チップ（好ましくは偶数個の第２半導体チップ）が配されていれば、本技術に係る第４の実施形態の固体撮像装置の適用範囲である。例えば、固体撮像装置４００の上部及び下部のどちらか一方に、２つの第２半導体チップ３が配されてもよい。
【０１１８】
第１半導体チップ２が有する画素領域と第２半導体チップ３−１〜３−４との間には、機械強度を保つためにアンダーフィル樹脂４が充填されている。第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３−１及び３−２の接合領域の外周囲であり、第２半導体チップ３−１及び３−２を囲むようにして、アンダーフィル樹脂４の充填時の接合領域以外の領域（画素領域６）へのアンダーフィル樹脂４の流出を防止するダム５が形成されている。また、第１半導体チップ２上の第２半導体チップ３−３及び３−４の接合領域の外周囲であり、第２半導体チップ３−３及び３−４を囲むようにして、アンダーフィル樹脂４の充填時の接合領域以外の領域（画素領域６）へのアンダーフィル樹脂４の流出を防止するダム５が形成されている。したがって、アンダーフィル樹脂４は、第２半導体チップ３−１及び３−２の外側及び第２半導体チップ３−３及び３−４の外側であって、２つのダム５の内側に広がって配されている。
【０１１９】
図８（ａ）に示されるように、アンダーフィル樹脂滴下領域１−５は、第１半導体チップ２の第２半導体チップ３−１及び３−２に対応する領域以外の領域であって、ダム５の内側で、固体撮像装置４００の上部に形成されている。アンダーフィル樹脂滴下領域１−６は、第１半導体チップ２の第２半導体チップ３−３及び３−４に対応する領域以外の領域であって、ダム５の内側で、固体撮像装置４００の下部に形成されている。
【０１２０】
より詳しくは、固体撮像装置４００では、アンダーフィル樹脂滴下領域１−５は、第２半導体チップ３−１と第２半導体チップ３−２との間、すなわち、第２半導体チップ３−１の右短辺部と第２半導体チップ３−２の左短辺部との間に形成されている。そして、アンダーフィル樹脂滴下領域１−６は、第２半導体チップ３−３と第２半導体チップ３−４との間、すなわち、第２半導体チップ３−３の右短辺部と第２半導体チップ３−４の左短辺部との間に形成されている。アンダーフィル樹脂滴下領域１−５の第２半導体チップ３−１又は３−２の長辺と略平行である長さは、第２半導体チップ３−１又は３−２の長辺の長さよりも短く、アンダーフィル樹脂滴下領域１−６の第２半導体チップ３−３又は３−４の長辺と略平行である長さは、第２半導体チップ３−３又は３−４の長辺の長さよりも短い。アンダーフィル樹脂滴下領域１−５及び１−６のそれぞれの領域の大きさは任意の大きさでよいが、例えば、アンダーフィル樹脂４を、ニードルを用いて滴下する場合は、アンダーフィル樹脂滴下領域１−５及び１−６のそれぞれの領域の大きさは、アンダーフィル樹脂４の円滑な滴下ができるように、ニードルの外径寸法よりも大きいことが好ましい。
【０１２１】
図８（ｂ）は、レンズ材の掘り込みエリア（レンズ材が形成されていない領域）を説明するための図である。
【０１２２】
図８（ｂ）は第１半導体チップ２と第２半導体チップ３−１及び３−２とを光入射側から見た図であり、図７（ａ）中の固体撮像装置４００の上部に対応する。第１半導体チップ２は、レンズ材１０−１が形成されていない領域６２及び６３とレンズ材１０−１が形成されている領域６４及び６５とから構成されている。第１半導体チップ２の左端部からアンダーフィル滴下領域６６に近づくに従って（図８（ｂ）中の左から中心にいくに従って）、領域６２の幅（第２半導体チップ３の短辺と略平行の長さであり、図８（ｂ）中の上下方向の長さ）は小さくなり、逆に、領域６４及び６５の幅（第２半導体チップ３の短辺と略平行の長さであり、図８（ｂ）中の上下方向の長さ）は大きくなっている。また、第１半導体チップ２の右端部からアンダーフィル樹脂滴下領域６６に近づくに従って（図８（ｂ）中の右から中心にいくに従って）、領域６３の幅（第２半導体チップ３の短辺と略平行の長さであり、図８（ｂ）中の上下方向の長さ）は小さくなり、逆に、領域６４及び６５の幅（第２半導体チップ３の短辺と略平行の長さであり、図８（ｂ）中の上下方向の長さ）は大きくなっている。
【０１２３】
これにより、図５（ｂ）で説明をしたように、図８（ｂ）に示されるレンズ材の掘り込みパターンは、第１半導体チップ２（第２半導体チップ３）の全体にアンダーフィル樹脂が浸透する前に一部にアンダーフィル樹脂が過剰に流れ込んでダムが決壊することを防ぐことができる。
【０１２４】
＜６．第５の実施形態（電子機器の例）＞
本技術に係る第５の実施形態の電子機器について、説明する。
【０１２５】
本技術に係る第５の実施形態の電子機器は、本技術に係る固体撮像装置が搭載された電子機器であり、本技術に係る固体撮像装置は、画素領域を有する第１半導体チップと、バンプを介して該第１半導体チップに接合される第２半導体チップと、該第１半導体チップと該第２半導体チップとの間に形成されるアンダーフィル樹脂と、該画素領域への該アンダーフィル樹脂の流出を防止して該第２半導体チップを囲むように形成されるダムと、を備え、該第２半導体チップが長辺と短辺とを有する矩形形状を有し、該第１半導体チップの該第２半導体に対応する領域以外の領域であって該ダムの内側に、アンダーフィル樹脂滴下領域が形成され、該アンダーフィル樹脂滴下領域の該第２半導体チップの該長辺と略平行である長さが、該第２半導体チップの該長辺の長さよりも短い、固体撮像装置である。
【０１２６】
例えば、本技術に係る第５の実施形態の電子機器は、本技術に係る第１の実施形態〜第４の実施形態の固体撮像装置のうち、いずれか一つ実施形態の固体撮像装置が搭載された電子機器である。
【０１２７】
＜７．本技術を適用した固体撮像装置の使用例＞
図１３は、イメージセンサとしての本技術に係る第１〜第４の実施形態の固体撮像装置の使用例を示す図である。
【０１２８】
上述した第１〜第４の実施形態の固体撮像装置は、例えば、以下のように、可視光や、赤外光、紫外光、Ｘ線等の光をセンシングするさまざまなケースに使用することができる。すなわち、図１３に示すように、例えば、鑑賞の用に供される画像を撮影する鑑賞の分野、交通の分野、家電の分野、医療・ヘルスケアの分野、セキュリティの分野、美容の分野、スポーツの分野、農業の分野等において用いられる装置（例えば、上述した第５の実施形態の電子機器）に、第１〜第４の実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置を使用することができる。
【０１２９】
具体的には、鑑賞の分野においては、例えば、デジタルカメラやスマートフォン、カメラ機能付きの携帯電話機等の、鑑賞の用に供される画像を撮影するための装置に、第１〜第４の実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置を使用することができる。
【０１３０】
交通の分野においては、例えば、自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通の用に供される装置に、第１〜第４の実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置を使用することができる。
【０１３１】
家電の分野においては、例えば、ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、テレビ受像機や冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置で、第１〜第４の実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置を使用することができる。
【０１３２】
医療・ヘルスケアの分野においては、例えば、内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケアの用に供される装置に、第１〜第４の実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置を使用することができる。
【０１３３】
セキュリティの分野においては、例えば、防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティの用に供される装置に、第１〜第４の実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像素子を使用することができる。
【０１３４】
美容の分野においては、例えば、肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容の用に供される装置に、第１〜第４の実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置を使用することができる。
【０１３５】
スポーツの分野において、例えば、スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラプルカメラ等の、スポーツの用に供される装置に、第１〜第４の実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置を使用することができる。
【０１３６】
農業の分野においては、例えば、畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業の用に供される装置に、第１〜第４の実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置を使用することができる。
【０１３７】
次に、本技術に係る第１〜第４の実施形態の固体撮像装置の使用例を具体的に説明する。例えば、上述で説明をした第１〜第４の実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置は、固体撮像装置１０１として、例えばデジタルスチルカメラやビデオカメラ等のカメラシステムや、撮像機能を有する携帯電話など、撮像機能を備えたあらゆるタイプの電子機器に適用することができる。図１４に、その一例として、電子機器１０２（カメラ）の概略構成を示す。この電子機器１０２は、例えば静止画または動画を撮影可能なビデオカメラであり、固体撮像素子１０１と、光学系（光学レンズ）３１０と、シャッタ装置３１１と、固体撮像装置１０１およびシャッタ装置３１１を駆動する駆動部３１３と、信号処理部３１２とを有する。
【０１３８】
光学系３１０は、被写体からの像光（入射光）を固体撮像装置１０１の画素部１０１ａへ導くものである。この光学系３１０は、複数の光学レンズから構成されていてもよい。シャッタ装置３１１は、固体撮像装置１０１への光照射期間および遮光期間を制御するものである。駆動部３１３は、固体撮像装置１０１の転送動作およびシャッタ装置３１１のシャッタ動作を制御するものである。信号処理部３１２は、固体撮像装置１０１から出力された信号に対し、各種の信号処理を行うものである。信号処理後の映像信号Ｄｏｕｔは、メモリなどの記憶媒体に記憶されるか、あるいは、モニタ等に出力される。
【０１３９】
なお、本技術に係る実施形態は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本技術の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
【０１４０】
また、本明細書に記載された効果はあくまでも例示であって限定されるものではなく、また他の効果があってもよい。
【０１４１】
また、本技術は、以下のような構成も取ることができる。
［１］
画素領域を有する第１半導体チップと、
バンプを介して該第１半導体チップに接合される第２半導体チップと、
該第１半導体チップと該第２半導体チップとの間に形成されるアンダーフィル樹脂と、
少なくとも該画素領域への該アンダーフィル樹脂の流出を防止して該第２半導体チップを囲むように形成されるダムと、を備え、
該第２半導体チップが長辺と短辺とを有する矩形形状を有し、
該第１半導体チップの該第２半導体に対応する領域以外の領域であって該ダムの内側に、アンダーフィル樹脂滴下領域が形成され、
該アンダーフィル樹脂滴下領域の該第２半導体チップの該長辺と略平行である長さが、該第２半導体チップの該長辺の長さよりも短い、固体撮像装置。
［２］
前記アンダーフィル樹脂滴下領域が、前記第２半導体チップの前記短辺と前記ダムとの間に形成される、［１］に記載の固体撮像装置。
［３］
前記第２半導体チップが第１短辺と第２短辺とを有し、
前記アンダーフィル樹脂滴下領域が、前記第２半導体チップの第１短辺と前記ダムとの間、及び前記第２半導体チップの第２短辺と前記ダムとの間に、それぞれ形成される、［１］に記載の固体撮像装置。
［４］
前記アンダーフィル樹脂滴下領域が、前記画素領域の方向に張り出すように形成される、［１］に記載の固体撮像装置。
［５］
少なくとも２つの前記第２半導体チップを備え、
該少なくとも２つの第２半導体チップが、該少なくとも２つの第２半導体チップのそれぞれの短辺が対向するように配置され、
前記アンダーフィル樹脂滴下領域が、該少なくとも２つの第２半導体チップの間に形成される、［１］に記載の固体撮像装置。
［６］
前記第１半導体チップが、半導体基板と、該半導体基板上の前記バンプ以外の領域に形成されるレンズ材とを含み、
前記第１半導体チップと前記第２半導体チップとの間の領域は、レンズ材が形成された領域とレンズ材が形成されていない領域とを有する、［１］から［５］のいずれか１つに記載の固体撮像装置。
［７］
前記レンズ材が形成された領域には、前記レンズ材の厚みが非連続的に異なる領域が形成されている、［６］に記載の固体撮像装置。
［８］
前記レンズ材が形成された領域には、前記レンズ材の厚みが連続的に異なる領域が形成されている、［６］又は［７］に記載の固体撮像装置。
［９］
前記第１半導体チップが、半導体基板と、該半導体基板上の前記バンプ以外の領域に形成されるレンズ材とを含み、
前記第１半導体チップと前記第２半導体チップとの間の領域は、レンズ材が形成された領域とレンズ材が形成されていない領域とを有し、
レンズ材が形成されていない領域の前記第２半導体チップの前記短辺と略平行である長さは、前記アンダーフィル樹脂滴下領域に近づくにしたがって短くなる、［１］から［８］のいずれか１つに記載の固体撮像装置。
［１０］
固体撮像装置が搭載されて、
該固体撮像装置が、
画素領域を有する第１半導体チップと、
バンプを介して該第１半導体チップに接合される第２半導体チップと、
該第１半導体チップと該第２半導体チップとの間に形成されるアンダーフィル樹脂と、
該画素領域への該アンダーフィル樹脂の流出を防止して該第２半導体チップを囲むように形成されるダムと、を備え、
該第２半導体チップが長辺と短辺とを有する矩形形状を有し、
該第１半導体チップの該第２半導体に対応する領域以外の領域であって該ダムの内側に、アンダーフィル樹脂滴下領域が形成され、
該アンダーフィル樹脂滴下領域の該第２半導体チップの該長辺と略平行である長さが、該第２半導体チップの該長辺の長さよりも短い、
電子機器。
［１１］
［１］から［９］のいずれか１つに記載の固体撮像装置が搭載された、電子機器。
【符号の説明】
【０１４２】
１（１−１、１−２、１−３、１−４、１−５、１−５、１−６）・・・アンダーフィル樹脂滴下領域、２・・・第１半導体チップ（下チップ）、３・・第２半導体チップ（上チップ）、４・・・アンダーフィル樹脂、５（５−１、５−２、５−３、５−４、５−５、５−６、５−７、５−８、５−９、５−１０、５−１１、５−１２、５−１３、５−１４、５−１５、５−１６）・・・ダム、６・・・画素領域、７・・パッド（ＰＡＤ）、８・・水平駆動部、９・・半導体基板、１０（１０−１）・・レンズ材、１１・・バンプ、１３・・垂直駆動部・信号処理部、１４・・カラム処理部、１５・・システム駆動部、１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、１０００・・固体撮像装置
【図１】
2020047861.tif 000003
【図２】
2020047861.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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