(57)【要約】【課題】  例え流体用の容器が絶縁性でも、スパークを防いで安全性を向上させることのできる流体用容器を提供する。【解決手段】  薬液濾過用のフィルター４を収納する樹脂シリンダ１と、樹脂シリンダ１の開口した下端部に取り付けられてフィルター４を樹脂シリンダ１内に挿入するキャップ１０と、樹脂シリンダ１とキャップ１０を固定する取付ナット２０とを備え、樹脂シリンダ１の周面に、スパーク防止用の帯電防止帯３０を巻き付けたハウジングであり、帯電防止帯３０を、樹脂シリンダ１に粘着される粘着層３１と、粘着層３１に積層される導電性高分子製の導電層３３と、導電層３３に積層されるポリエーテルエーテルケトン樹脂シート製の樹脂層３５とから形成し、帯電防止帯３０の巻き終わり部３６を折り返して接続領域３７とし、接続領域３７の導電層３３に、導電性のアース接続材４０を複数本の固定バンド４１で取り付ける。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体貯蔵容器に帯電防止帯を巻き付けた流体用容器であって、帯電防止帯は、絶縁性の流体貯蔵容器に粘着される粘着層と、この粘着層に積層される導電層と、この導電層に積層される樹脂層とを含み、巻き終わり部が折り返されて接続領域を形成させ、この接続領域の粘着層の少なくとも一部が除去されて導電層を露出させ、この露出した導電層に、アースされる導電性のアース接続材が固定バンドで固定されることを特徴とする流体用容器。
【請求項２】
流体貯蔵容器は、流体濾過用のフィルターを収納する容器である請求項１記載の流体用容器。
【請求項３】
帯電防止帯の導電層は、導電性高分子製である請求項１又は２記載の流体用容器。
【請求項４】
帯電防止帯の樹脂層は、ポリエーテルエーテルケトン樹脂シート、ポリテトラフルオロエチレン樹脂シート、及び耐溶剤性高純度高分子樹脂シートのいずれかである請求項１、２、又は３記載の流体用容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体の製造プロセスで薬液等を流通、貯蔵、濾過等する流体用容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年の半導体の製造プロセスでは、１０ｎｍ、７ｎｍ、５ｎｍの技術ノードでＩＣを製造する製造処理技術の進歩に伴い、ＥＵＶリソグラフィプロセスが採用され、様々な薬液（例えば、アルコール系、エーテル系、酸系、アルカリ系等）が使用されるが、この薬液の使用量を削減したり、安定した流量を確保したい場合、流体用容器が使用される（特許文献１、２、３、４参照）。
【０００３】
この種の流体用容器は、図示しないが、薬液濾過用のフィルターを収納するシリンダと、このシリンダの開口部に嵌合されてフィルターをシリンダ内に挿入するキャップとを備えて構成されている。これらシリンダとキャップとは、耐薬品性を有する樹脂含有の成形材料によりそれぞれ成形されている。キャップには、薬液をシリンダ内に流入させる流入路が設けられるとともに、シリンダ内のフィルターで濾過された薬液をフィルターから外部に流出させる流出路が設けられている。
【０００４】
このような流体用容器を使用して薬液の清浄度を向上させ、薬液の使用量を削減したり、薬液の安定した流量を確保したい場合には、薬液を外部からキャップの流入路に流入させる。すると、薬液は、外部からキャップの流入路、シリンダ、及びフィルターに順次流入し、フィルターに粒子等が除去されることで濾過され、その後、フィルターからキャップの流出路を経由して外部に流出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１７‐１１９７５０号公報
【特許文献２】特開２００５‐０００７６７号公報
【特許文献３】特開２０１２‐１７６４００号公報
【特許文献４】特開２００２‐１４３６４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来における流体用容器は、以上のように構成され、シリンダが樹脂含有の成形材料により単に成形され、導電性に乏しく、静電気を帯びやすいので、絶縁性の薬液を濾過する際には、摩擦等で少なからず帯電することとなる。その結果、流体用容器の絶縁性のシリンダに人体や物体が接触する場合には、これらの間に電流が一時的に流れてスパークを生じ、有機溶剤の蒸気が存在するときには、この蒸気に引火するおそれがあるので、安全性を向上させることができないという問題がある。
【０００７】
係る問題の解消には、（１）シリンダの材料を、金属等の導電材料に変更するという方法、（２）シリンダの材料を、散逸性炭素粉末とポリマー材料とが混合した材料に変更するという方法、（３）ＥＳＤ静電放電テープを使用するという方法が考えられる。しかしながら、（１）の方法を採用すると、スパークの発生を回避することができるものの、コンタミネーションにより薬液の清浄度が低下するという大きな問題が新たに発生することとなる。
【０００８】
（２）の方法は、１０ｎｍ以下の技術ノードでの使用には、適切とはいえないときがある。さらに、（３）の方法は、ＥＳＤ静電放電テープのフィルムに銅等の金属粒子を使用するので、超低粒子での使用、超高純度ＰＰＴレベル、あるいは低ＰＰＴレベル溶剤用途での使用には、不適切である。
【０００９】
本発明は上記に鑑みなされたもので、例え流体用の容器が絶縁性でも、スパークを防いで安全性を向上させることのできる流体用容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明においては上記課題を解決するため、流体貯蔵容器に帯電防止帯を巻き付けたものであって、
帯電防止帯は、絶縁性の流体貯蔵容器に粘着される粘着層と、この粘着層に積層される導電層と、この導電層に積層される樹脂層とを含み、巻き終わり部が折り返されて接続領域を形成させ、この接続領域の粘着層の少なくとも一部が除去されて導電層を露出させ、この露出した導電層に、アースされる導電性のアース接続材が固定バンドで固定されることを特徴としている。
【００１１】
なお、流体貯蔵容器は、流体濾過用のフィルターを収納する容器であると良い。
また、流体貯蔵容器の開口部に着脱自在に取り付けられて流体濾過用のフィルターを流体貯蔵容器内に挿入するキャップ部材と、流体貯蔵容器とキャップ部材とを固定する中空の取付具とを含み、キャップ部材と取付具とが樹脂含有の成形材料によりそれぞれ成形され、キャップ部材に、流体を流体貯蔵容器内に流入させる流入路が設けられるとともに、フィルターで濾過された流体をフィルターから外部に流出させる流出路が設けられ、流体貯蔵容器、キャップ部材の流入路、及びキャップ部材の流出路の少なくともいずれかに空気抜き部が形成されることが好ましい。
【００１２】
また、帯電防止帯の導電層は、導電性高分子製とすることができる。
また、帯電防止帯の樹脂層は、ポリエーテルエーテルケトン樹脂シート、ポリテトラフルオロエチレン樹脂シート、及び耐溶剤性高純度高分子樹脂シートのいずれかとすることができる。
【００１３】
また、耐溶剤性高純度高分子樹脂シートは、ポリエーテルエーテルケトン樹脂（ＰＥＥＫ）、ポリエチレンテレフタレート樹脂（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート樹脂（ＰＥＮ）、ポリプロピレン樹脂（ＰＰ）、ポリカーボネート樹脂（ＰＣ）、ポリイミド樹脂（ＰＩ）、ポリエーテルイミド樹脂（ＰＥＩ）、ポリエーテルスルホン樹脂（ＰＥＳ）、ポリフェニレンスルフィド樹脂（ＰＰＳ）製のシート又はフィルムとすることが可能である。
【００１４】
ここで、特許請求の範囲における流体貯蔵容器は、一端部が開口したり、一端部が閉塞した絶縁性の円筒形、角筒形、多角形の筒形容器やシリンダ等に形成することができる。この流体貯蔵容器は、液体や気体等の流体を一時的に貯蔵したり、長期に亘り継続して貯蔵する容器であると良い。また、帯電防止帯の粘着層は、両面粘着テープ等でも良いが、導電層上に液状の粘着材料を塗布して乾燥硬化させることにより、積層形成することもできる。
【００１５】
帯電防止帯の導電層は、導電性ポリマーの樹脂シートや樹脂フィルム等でも良いが、樹脂層の被積層面に液状の導電性高分子材料を塗布して乾燥硬化させることにより、積層することもできる。また、フィルターは、少なくとも電気、電子、半導体、精密部品等の製造分野で使用される純水、各種の薬液や溶液、処理液を濾過する液体用の濾材が含まれる。
【００１６】
本発明によれば、絶縁性の流体貯蔵容器に帯電防止帯により帯電防止機能を付与するので、流体貯蔵容器に帯電した静電気を逃がし、流体貯蔵容器の帯電を抑制することができる。したがって、流体用容器の流体貯蔵容器に人体や物体が接触しても、これらの間に電流が一時的に流れ、スパークするおそれを低減することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、例え流体用の容器が絶縁性でも、スパークを防いで安全性を向上させることができるという効果がある。また、帯電防止帯の巻き終わり部を折り返して接続領域を形成し、この接続領域の粘着層の少なくとも一部を除去して導電層を露出させ、この露出した導電層にアース接続材を固定バンドで取り付けるので、簡易な構成や取付作業により、適切なスパーク対策が期待できる。
【００１８】
また、請求項２記載の発明によれば、流体貯蔵容器に流体濾過用のフィルターを収納するので、これら流体貯蔵容器とフィルターとを一括して取り扱うことができる。また、流体貯蔵容器中の液体や気体をフィルターに流入させ、液体や気体の粒子等を除去することができる。
また、請求項３記載の発明によれば、導電層が導電性高分子製なので、曲げても折れないフレキシブルで低抵抗の導電層を形成することができ、しかも、湿度依存性のない静電気対策が期待できる。
【００１９】
また、請求項４記載の発明によれば、樹脂層がポリエーテルエーテルケトン樹脂シートの場合、優れた耐薬品性、耐熱性、耐摩耗性、摺動性を得ることができる。さらに、ポリエーテルエーテルケトン樹脂シートは、濃硫酸には酸化するが、溶かせる溶剤がないので、優れた耐溶剤性が期待でき、帯電防止帯を長期に亘り使用することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に係る流体用容器の実施形態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図２】本発明に係る流体用容器の実施形態を模式的に示す平面説明図である。
【図３】本発明に係る流体用容器の実施形態における流体貯蔵容器に帯電防止帯を巻着した状態を模式的に示す断面説明図である。
【図４】本発明に係る流体用容器の実施形態を模式的に示す断面説明図である。
【図５】本発明に係る流体用容器の実施形態における帯電防止帯の粘着層、導電層、及び樹脂層の関係を模式的に示す斜視分解説明図である。
【図６】本発明に係る流体用容器の実施形態における帯電防止帯の巻き終わり部を折り返した状態を模式的に示す斜視分解説明図である。
【図７】本発明に係る流体用容器の第２の実施形態を模式的に示す斜視説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における流体用容器は、図１ないし図６に示すように、液体濾過用のフィルター４を収納する縦長の樹脂シリンダ１と、この樹脂シリンダ１の開口部に取り付けられてフィルター４を樹脂シリンダ１内に挿入する樹脂製のキャップ１０と、樹脂シリンダ１とキャップ１０とを固定する樹脂製の取付ナット２０とを備え、樹脂シリンダ１の周面に、スパーク防止用の帯電防止帯３０が巻き付けられたハウジングであり、帯電防止帯３０の巻き終わり部３６が接続領域３７に形成され、この接続領域３７の導電層３３に、導電性のアース接続材４０が複数本の固定バンド４１で取り付けられる。
【００２２】
流体用容器の樹脂シリンダ１、キャップ１０、及び取付ナット２０のうち、少なくとも樹脂シリンダ１とキャップ１０とは、耐薬品性を有する樹脂含有の成形材料によりそれぞれ射出成形される。耐薬品性を有する樹脂としては、特に限定されるものではないが、例えば四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体（ＰＦＡ）、ポリプロピレン樹脂（ＰＰ）、四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）等があげられる。これらの中では、耐薬品性や耐熱性に優れ、化学的に不活性の四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体（ＰＦＡ）が最適である。
【００２３】
樹脂シリンダ１は、図１ないし図４に示すように、上部が閉塞し、下端部が開口した絶縁性で肉厚の円筒形に成形され、流体である薬液（図１、図３、図４の矢印参照）を濾過するフィルター４を収納包囲しており、薬液を一時的に貯蔵して濾過する。この樹脂シリンダ１は、例えば高さ（長さ）３００ｍｍ、直径１２０ｍｍ程度の大きさに形成され、内周面の下部２がキャップ１０との密着性を向上させる観点から、拡径に切り欠き形成されており、上部の中心から半径外方向に偏位した部分には、上方に突出する円筒形の空気抜き３が一体形成されるとともに、この空気抜き３の開口した上端部には、図示しない着脱自在のプラグが選択的に挿入される。
【００２４】
薬液は、特に限定されるものではないが、例えばメチルアルコールやイソプロピルアルコール等のアルコール系、エチルエーテルやメチルエーテル等のエーテル系、酢酸メチルや酢酸エチル等のエステル系、アセトンやメチルエチルケトン等のケトン系、トルエンやキシレン等の炭化水素系、ホルムアミドやジメチルホルムアミド等のアミド系、水や二硫化炭素等の無機物質、フランやアセトニトリル等の有機物質、アクリル酸等の酸系、ＴＭＡＨ水溶液等のアルカリ系等があげられる。この薬液は、必要に応じ、高温（例えば、１２０℃、１３０℃、１４０℃前後等）で使用されたり、常温で使用される。
【００２５】
フィルター４は、特に限定されるものではないが、例えば耐薬品性、耐熱性、耐候性、耐摩耗性等に優れる四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）等で多孔質の筒形に形成され、樹脂シリンダ１内に隙間を介し縦に収納される。このフィルター４は、四フッ化エチレン樹脂で上部が閉じた円筒形に形成されるのが主ではあるが、薬液が高濃度のケトン、アミン、エステル以外であれば、強度や柔軟性に優れるポリフッ化ビニリデン樹脂（ＰＶＤＦ）で多孔質の円柱形や筒形等に形成することが可能である。フィルター４の開口した下部には、四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体製の縮径の支持座５が一体的に設けられ、この支持座５の下部が開口してキャップ１０に支持される。
【００２６】
キャップ１０は、図１、図３、図４に示すように、例えば樹脂シリンダ１の開口した下端部に対応する大きさの肉厚の円板に成形され、表面の中心部に、背の低い円筒形の支持壁１１が立設されるとともに、この支持壁１１の内周面上下方向に、シール用の複数本のＯリング１２が間隔をおき並べて嵌合されており、支持壁１１内にフィルター４の支持座５が複数本のＯリング１２を介し交換可能に嵌合支持される。
【００２７】
キャップ１０の表面周縁部には、円筒形の嵌合壁１３が周設され、この嵌合壁１３の外周面上下方向には、シール用の複数本のＯリング１２が間隔をおき並べて嵌合されており、嵌合壁１３と樹脂シリンダ１の拡径の内周面の下部２とが複数本のＯリング１２を介して着脱自在に嵌合される。各Ｏリング１２は、例えば被覆フッ素ゴム、フッ素ゴム、ＥＰＤＭ等により弾性変形可能に形成される。
【００２８】
キャップ１０の周面には、締結用の螺子が螺刻形成され、この螺子が取付ナット２０と螺嵌する。また、キャップ１０の内部厚さ方向には、矢印で示す薬液を外部から樹脂シリンダ１内に流入させる流入路１４が屈曲して穿孔されるとともに、フィルター４で濾過された薬液をフィルター４の支持座５から外部に流出させる流出路１５が屈曲して穿孔される。
【００２９】
これら流入路１４と流出路１５とには、キャップ１０の裏面方向に伸びる空気抜き１６がそれぞれ連通形成され、各空気抜き１６の開口した下端部には、着脱自在のプラグ１７が挿入される。流出路１５は、支持壁１１の内部に連通してフィルター４の支持座５の開口した下部と対向し、濾過されたフィルター４内の薬液を外部に流通させるよう機能する。
【００３０】
取付ナット２０は、同図に示すように、例えば内周面に螺子が刻まれた四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体製の中空の雌螺子からなる。この取付ナット２０は、樹脂シリンダ１の外周面下部とキャップ１０の周面上部とに嵌合し、キャップ１０の螺子と螺嵌するよう機能する。
【００３１】
帯電防止帯３０は、図１ないし図３、図５、図６に示すように、樹脂シリンダ１の外周面周方向に粘着される粘着層３１と、この粘着層３１に積層粘着される薄い導電層３３と、この導電層３３に積層されて外部に露出する樹脂層３５とを三層構造に備え、樹脂シリンダ１の外周面に対する巻き終わり部３６が外側に折り返して接続領域３７に形成され、この接続領域３７の露出した導電層３３にアース接続材４０が重ねて装着される。この帯電防止帯３０の粘着層３１、導電層３３、及び樹脂層３５は、基本的には樹脂シリンダ１の外周面の上部から下部寄りまでの領域を一周して被包可能な長さの矩形に形成される。
【００３２】
粘着層３１は、特に限定されるものではないが、例えばアクリル系の両面粘着テープからなり、帯電防止帯３０の巻き終わり部３６が外側、換言すれば、樹脂シリンダ１の半径外方向に折り返される際、巻き終わり端部３２が溶剤で縦に除去され、この巻き終わり端部３２の除去により、導電層３３を露出させる。この粘着層３１の厚さは、特に限定されるものではないが、取り扱いの便宜を図る観点からすると、５μｍ以上１００μｍ以下、好ましくは１０μｍ以上３０μｍ以下、より好ましくは１５μｍ以上２５μｍ以下が良い。
【００３３】
導電層３３は、例えば樹脂層３５の対向する被積層面に導電性高分子分散液が塗工されて乾燥硬化することにより透明の薄膜に積層形成され、帯電防止帯３０の巻き終わり部３６が外側、換言すれば、樹脂シリンダ１の半径外方向に折り返される際、巻き終わり端部３４が露出する。導電性高分子分散液としては、特に制約されるものではないが、例えばπ共役系導電性高分子とポリアニオンを含有する導電性複合体と、２つ以上のケイ素原子を有するシリケートと、ポリビニルアルコールと、分散媒とを含む分散液があげられる。
【００３４】
導電層３３は、樹脂層３５の被積層面に直接積層された後、粘着層３１に直接積層して粘着される。この導電層３３の厚さは、導電性の確保と薄型化を図る観点から、０．０１μｍ以上０．５μｍ以下、好ましくは０．０２μｍ以上０．３μｍ以下、より好ましくは０．０５μｍ以上０．１５μｍ以下が最適である。また、導電層３３の表面抵抗値は、スパークを確実に防止するため、１×１０Ｅ＋８Ω以下、好ましくは１×１０Ｅ＋５Ω以下、より好ましくは１×１０Ｅ＋３Ω以下が良い。
【００３５】
樹脂層３５は、特に限定されるものではないが、例えばポリエーテルエーテルケトン樹脂（ＰＥＥＫ）フィルム、ポリテトラフルオロエチレン樹脂（ＰＴＦＥ）フィルム、ポリエチレンテレフタレート樹脂（ＰＥＴ）フィルム、ポリエチレンナフタレート樹脂（ＰＥＮ）フィルム、ポリプロピレン樹脂（ＰＰ）フィルム、ポリカーボネート樹脂（ＰＣ）フィルム、ポリイミド樹脂（ＰＩ）フィルム、ポリエーテルイミド樹脂（ＰＥＩ）フィルム、ポリエーテルスルホン樹脂（ＰＥＳ）フィルム、ポリフェニレンスルフィド樹脂（ＰＰＳ）フィルム等が使用される。
【００３６】
これらの中では、耐薬品性、耐熱性、耐摩耗性、摺動性等に優れるポリテトラフルオロエチレン樹脂（ＰＴＦＥ）フィルムが好ましく、ポリエーテルエーテルケトン樹脂（ＰＥＥＫ）フィルムが特に好ましい。樹脂層３５は、ポリエーテルエーテルケトン樹脂フィルムの場合、融点３４３℃、ガラス転移点が１４３℃であり、５００℃まで安定する優れた耐熱性を得ることができる。
【００３７】
また、樹脂層３５がポリエーテルエーテルケトン樹脂フィルムの場合、濃硫酸には酸化するものの、溶かせる溶剤がないので、耐溶剤性に優れ、超音波シールが容易であり、レーザにより溶着や印字が可能となる。さらに、難燃性に優れ、吸水率が低く（０．０５％）、純度が高いので、例え燃焼しても、毒性ガスの発生を防止することが可能となる。
【００３８】
樹脂層３５の厚さは、限定されるものではないが、取り扱いの便宜を図るため、２０μｍ以上２５０μｍ以下、好ましくは３０μｍ以上１５０μｍ以下、より好ましくは４５μｍ以上１００μｍ以下が良い。
【００３９】
アース接続材４０は、図１や図２に示すように、例えば金属製の棒や細長い板、導電性のシートや銅線等からなり、帯電防止帯３０の接続領域３７の露出した導電層３３の巻き終わり端部３４に外側から重ねて電気的に接続され、アース線を介してアース（接地）される。このアース接続材４０の接続には、樹脂シリンダ１に巻回して緊締される複数本の固定バンド４１等が利用される。この固定バンド４１は、絶縁性と導電性を特に問うものではないが、好ましくは導電性が良い。
【００４０】
なお、アース接続材４０は、露出した導電層３３の巻き終わり端部３４に外側から重ねられる絶縁性のシートと、このシートに貼着されて導電層３３の巻き終わり端部３４に接触する複数の電極とを備えたタイプ等でも良い。
【００４１】
上記構成において、流体用容器に帯電防止帯３０を巻き付ける場合には、先ず、流体用容器を組み立て、この流体用容器の樹脂シリンダ１の外周面周方向に帯電防止帯３０の粘着層３１を少しずつ重ねながら隙間なく巻着し、帯電防止帯３０の巻き終わり部３６を外側に折り返して接続領域３７に形成し、この接続領域３７の粘着層３１の巻き終わり端部３２を溶剤で除去することにより、導電層３３の巻き終わり端部３４を露出させる。
【００４２】
こうして導電層３３の巻き終わり端部３４を露出させたら、この露出した導電層３３の巻き終わり端部３４に導電性のアース接続材４０を複数本の固定バンド４１により重ねて接続し、アース接続材４０をアース線でアースして電荷を除去するようにすれば、流体用容器に帯電防止帯３０を巻き付け、帯電やスパークを防止する機能を付与することができる。
【００４３】
次に、流体用容器を使用して薬液の清浄度を向上させ、薬液の使用量を削減したり、薬液の安定した流量を確保したい場合には、薬液を外部からキャップ１０の流入路１４に流入させる。すると、薬液は、外部からキャップ１０の流入路１４、樹脂シリンダ１、及びフィルター４の内部に順次流入し、フィルター４に粒子等が除去されることで濾過される。こうして濾過された薬液は、フィルター４やその支持座５からからキャップ１０の流出路１５を経由して外部に流出する。これらの際、例え薬液の摩擦で樹脂シリンダ１に電荷が生じても、電荷は、樹脂シリンダ１から帯電防止帯３０の導電層３３とアース接続材４０とを経由して大地に瞬間的に流れ、失われる。
【００４４】
上記構成によれば、絶縁性の流体用容器に帯電防止帯３０で帯電防止機能を付与するので、樹脂シリンダ１の静電気を除電し、樹脂シリンダ１の帯電を抑制することができる。したがって、流体用容器の樹脂シリンダ１に人体や物体が接触しても、これらの間に電流が一時的に流れ、スパークするおそれを排除することができる。このスパークのおそれの排除により、例え有機溶剤の蒸気が存在しても、この蒸気に引火することがなく、安全性を大幅に向上させることができる。また、樹脂シリンダ１の材料を金属に変更する必要がないので、コンタミネーションにより薬液の清浄度が低下することがない。
【００４５】
また、樹脂シリンダ１の材料を、散逸性炭素粉末とポリマー材料とが混合した材料に変更する必要がないので、１０ｎｍ以下の技術ノードで容易に使用することができる。また、ＥＳＤ静電放電テープを省略することができるので、超低粒子での使用、超高純度ＰＰＴレベル、あるいは低ＰＰＴレベル溶剤用途での使用に最適である。
【００４６】
また、樹脂層３５に導電性高分子分散液を塗工して乾燥硬化させることで、柔軟性に優れる導電性高分子製の導電層３３を積層するので、曲げても折れないフレキシブルで低抵抗の導電層３３を形成することができ、しかも、湿度依存性のない静電気対策が期待できる。加えて、導電層３３と樹脂層３５とを両面粘着フィルム等で積層する必要がないので、帯電防止帯３０の薄型化を図ることが可能となる。
【００４７】
さらに、樹脂シリンダ１が四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体製の場合、樹脂シリンダ１の外周面に導電性ポリマーを塗布して帯電防止用の導電層３３を形成することはきわめて困難であるが、樹脂シリンダ１の外周面に帯電防止帯３０の粘着層３１を粘着しながら巻着するので、樹脂シリンダ１の外周面に帯電防止帯３０を確実に巻着することが可能となる。
【００４８】
次に、図７は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、絶縁性を有する有底円筒形の樹脂容器６と、この樹脂容器６の開口した上面に着脱自在に取り付けられる樹脂製のキャップ１０Ａとを備え、これら樹脂容器６とキャップ１０Ａのうち、少なくとも樹脂容器６の外周面に、スパーク防止用の帯電防止帯３０を巻き付け、この帯電防止帯３０の巻き終わり部３６を接続領域３７に形成し、この接続領域３７の導電層３３に、導電性のアース接続材４０を複数本の固定バンド４１で取り付けるようにしている。
【００４９】
樹脂容器６とキャップ１０Ａとは、絶縁性と耐薬品性を有する樹脂含有の成形材料によりそれぞれ成形される。耐薬品性を有する樹脂としては、特に限定されるものではないが、例えば四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体（ＰＦＡ）、ポリプロピレン樹脂（ＰＰ）、四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）等があげられる。これらの中では、耐薬品性や耐熱性に優れ、化学的に不活性の四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体（ＰＦＡ）が最適である。
【００５０】
樹脂容器６は、薬液を一時的あるいは継続して貯蔵する機能を有し、必要に応じ、フィルター４等を選択的に収納する。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、流体貯蔵容器の形状の多様化が期待できるのは明らかである。
【００５１】
なお、上記実施形態では薬液を貯蔵する樹脂シリンダ１を上向きとしたが、何らこれに限定されるものではなく、流体用容器を上下逆にして樹脂シリンダ１を下向きとしても良い。また、樹脂シリンダ１の内部を複数の空間に区画してフィルター４の内部に薬液が一定量ずつ流入したり、貯蔵されるようにしても良い。また、上記実施形態では帯電防止帯３０の接続領域３７における粘着層３１の巻き終わり端部３２を溶剤で全て除去して導電層３３を露出させたが、接続領域３７の粘着層３１の巻き終わり端部３２を部分的に除去して導電層３３の巻き終わり端部３４を一部露出させても良い。さらに、薬液ではなく、半導体の製造プロセスで使用する各種のプロセスガスを取り扱っても良い。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明に係る流体用容器は、電気、電子、半導体、精密部品等の製造分野で使用される。
【符号の説明】
【００５３】
１        樹脂シリンダ（流体貯蔵容器）
４        フィルター
５        支持座
６        樹脂容器（流体貯蔵容器）
１０      キャップ
１０Ａ    キャップ
２０      取付ナット
３０      帯電防止帯
３１      粘着層
３２      巻き終わり端部
３３      導電層
３４      巻き終わり端部
３５      樹脂層
３６      巻き終わり部
３７      接続領域
４０      アース接続材
４１      固定バンド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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