(57)【要約】【課題】粘着テープを引き出して供給する際に供給リールへの巻き付きを防止する。【解決手段】粘着テープＴを巻き回した供給リール１０から前記粘着テープＴを引き出して案内する粘着テープ供給装置１である。前記粘着テープ供給装置１は、供給リール１０の固定手段２３と、供給リール１０からの粘着テープＴの供給に追従して昇降する昇降ローラ１２と、昇降ローラ１２の下流側で前記粘着テープＴを挟持して固定するテープ固定手段１１ｃと、粘着テープＴを引き出す引き出し手段３０とを備えて構成されている。そして、前記引き出し手段３０で粘着テープＴを引き出した後、前記リール固定手段２３と前記テープ固定手段１１ｃで前記粘着テープＴを固定した状態で、前記粘着テープＴの引き出しによって追従移動した前記昇降ローラ１２を粘着テープＴの引き出し方向に引っ張るように強制的に移動させることで供給リールに巻き付いた粘着テープを引き剥がす。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着テープを巻き回した供給リールから前記粘着テープを引き出して案内する粘着テープの供給装置において、
前記供給リールの固定手段と、
前記供給リールからの粘着テープの供給に追従して昇降する昇降ローラと、
前記昇降ローラの下流側で前記粘着テープを挟持して固定するテープ固定手段と、
前記粘着テープを引き出す引き出し手段と、を備え、
前記引き出し手段で粘着テープを引き出した後、前記リール固定手段と前記テープ固定手段で前記粘着テープを固定した状態で、前記粘着テープの引き出しによって追従移動した前記昇降ローラを粘着テープの引き出し方向に引っ張るように強制的に移動させるようにしたことを特徴とする粘着テープの供給装置。
【請求項２】
被着体の表面に仮着されたシート材に粘着テープを供給する供給リールと、前記シート材を表面にして保持する保持テーブルと、前記供給リールから供給された前記粘着テープを折り返す剥離板とを備え、前記シート材に前記粘着テープを貼り付けて、前記保持テーブルと剥離板とを相対的に移動させることで、前記粘着テープを前記剥離板で折り返すことにより、前記シート材を前記粘着テープと一体に剥離するシート材の剥離装置において、
前記供給リールの固定手段と、
前記供給ロールからの粘着テープの供給に追従して昇降する昇降ローラと、
前記昇降ローラの下流側で前記粘着テープを挟持して固定するテープ固定手段と、
前記前記シート材と対向するように前記粘着テープを引き出す引き出し手段と、を備え、
前記引き出し手段で、前記粘着テープを引き出した後、前記リール固定手段と前記テープ固定手段で前記粘着テープを固定した状態で、前記粘着テープの引き出し方向に引っ張るように前記昇降ローラを強制的に移動させるようにしたことを特徴とするシート材の剥離装置。
【請求項３】
粘着テープを巻き回した供給リールから粘着テープを引き出して案内する粘着テープの供給方法において、
前記供給リールから粘着テープを隣接するガイドローラを経由して前記粘着テープに追従して昇降自在な昇降ローラに巻き掛け、
前記供給リールから粘着テープを引き出すことで、前記粘着テープに追従して移動した昇降ローラを、
前記供給リールの回転を固定すると共に前記昇降ローラの下流側で前記粘着テープを固定した後、前記粘着テープの引き出し方向に引っ張るように前記昇降ローラを強制的に移動させるようにしたことを特徴とする粘着テープの供給方法。
【請求項４】
供給リールに巻回された粘着テープを剥離板上に引き出し、シート材が仮着された被着体を保持テーブルに保持した状態で前記剥離板上の粘着テープと前記シート材を貼り付けた後、前記保持テーブルと剥離板とを相対的に移動させることで、前記粘着テープを前記剥離板で折り返すことにより、前記シート材を前記粘着テープと一体に剥離するシート材の剥離方法において、
前記供給リールから粘着テープを隣接するガイドローラを経由して前記粘着テープに追従して昇降自在な昇降ローラに巻き掛けた後、前記粘着テープを剥離板上に引き出すようにしておき、
前記供給リールから粘着テープを引き出し、前記粘着テープに追従して移動した昇降ローラを、前記供給リールの回転を固定すると共に前記昇降ローラの下流側で前記粘着テープを固定した後、前記粘着テープの引き出し方向に引っ張るように前記昇降ローラを強制的に移動させるようにしたことを特徴とするシート材の剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種の基板やシート材に粘着テープを貼り付けるために基板やシート材上に粘着テープを供給する粘着テープの供給装置及び供給方法に関する。さらに、偏光板や有機ＥＬ（以下、ＯＬＥＤという。）等の被着体表面に仮着された保護シート上に粘着テープを供給して、前記保護シート上に粘着テープを貼り付け、前記粘着テープと一体に保護シートを剥離するシート材の剥離装置及び剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体ウエハ（以下、ウエハという。）等の基板の表面に貼り付けられた保護シートや偏光板の表面を保護する保護シートに剥離テープを貼り付けて、この剥離テープと一体に前記保護シートを剥離することが行われている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
最近では、ＯＬＥＤパネルの製造に当たり、ＯＬＥＤ表面に仮着されている保護シートを剥離し、ＯＬＥＤ表面に偏光板等の光学シートを貼り付けることが行われている。
しかし、前記ＯＬＥＤは、柔軟性があり、また、その表面に仮着されている保護シートは剛性を有する樹脂材料で形成されているため、前記保護シートは、剥離が困難となっている。
【０００４】
従って、粘着性のある剥離テープで被着体から前記保護シートを剥離する場合、粘着力が低い剥離テープを用いると、前記保護シートの剛性に負けて、剥離テープが保護シートから剥がれて剥離ミスが発生する問題があった。そこで、前記保護シートを剥離するに当たり、粘着力が強い剥離テープが用いられるようになってきている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１１４３８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記のように被着体から保護シートを剥離するに当たり、粘着力が強い剥離テープを用いた場合、前記剥離テープを供給する際に、前記剥離テープの粘着力により、供給リールに剥離テープが貼り付いた状態で送り出される。そのため、粘着テープの供給不良が生じ、装置を停止させて剥離テープの貼り付きを解消する必要があり、装置の稼働率が低下する問題がある。そこで、このように粘着力の強い剥離テープを用いた場合であっても、剥離テープを円滑に供給し、装置の停止時間を最小限にする必要がある。また、適宜の粘着力を有する剥離テープを保護シート上に貼り付けることにより、前記保護シートを円滑に剥離させる必要もある。
【０００７】
上記のような課題に鑑み、本発明は、各種粘着テープを円滑に供給するテープの供給装置及び供給方法を提供すると共に各種シート材の剥離装置及び剥離方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１の発明は、粘着テープを巻き回した供給リールから前記粘着テープを引き出して案内する粘着テープの供給装置において、
前記供給リールの固定手段と、
前記供給リールからの粘着テープの供給に追従して昇降する昇降ローラと、
前記昇降ローラの下流側で前記粘着テープを挟持して固定するテープ固定手段と、
前記粘着テープを引き出す引き出し手段と、を備え、
前記引き出し手段で粘着テープを引き出した後、前記リール固定手段と前記テープ固定手段で前記粘着テープを固定した状態で、前記粘着テープの引き出しによって追従移動した前記昇降ローラを粘着テープの引き出し方向に引っ張るように強制的に移動させるようにした構成を採用する粘着テープの供給装置である。
【０００９】
請求項２の発明は、被着体の表面に仮着されたシート材に粘着テープを供給する供給リールと、前記シート材を表面にして保持する保持テーブルと、前記供給リールから供給された前記粘着テープを折り返す剥離板とを備え、前記シート材に前記粘着テープを貼り付けて、前記保持テーブルと剥離板とを相対的に移動させることで、前記粘着テープを前記剥離板で折り返すことにより、前記シート材を前記粘着テープと一体に剥離するシート材の剥離装置において、
前記供給リールの固定手段と、
前記供給ロールからの粘着テープの供給に追従して昇降する昇降ローラと、
前記昇降ローラの下流側で前記粘着テープを挟持して固定するテープ固定手段と、
前記前記シート材と対向するように前記粘着テープを引き出す引き出し手段と、を備え、
前記引き出し手段で、前記粘着テープを引き出した後、前記リール固定手段と前記テープ固定手段で前記粘着テープを固定した状態で、前記粘着テープの引き出し方向に引っ張るように前記昇降ローラを強制的に移動させるようにした構成を採用するシート材の剥離装置である。
【００１０】
請求項３の発明は、粘着テープを巻き回した供給リールから粘着テープを引き出して案内する粘着テープの供給方法において、
前記供給リールから粘着テープを隣接するガイドローラを経由して前記粘着テープに追従して昇降自在な昇降ローラに巻き掛け、
前記供給リールから粘着テープを引き出すことで、前記粘着テープに追従して移動した昇降ローラを、
前記供給リールの回転を固定すると共に前記昇降ローラの下流側で前記粘着テープを固定した後、前記粘着テープの引き出し方向に引っ張るように前記昇降ローラを強制的に移動させるようにした構成を採用する粘着テープの供給方法である。
【００１１】
請求項４の発明は、供給リールに巻回された粘着テープを剥離板上に引き出し、シート材が仮着された被着体を保持テーブルに保持した状態で前記剥離板上の粘着テープと前記シート材を貼り付けた後、前記保持テーブルと剥離板とを相対的に移動させることで、前記粘着テープを前記剥離板で折り返すことにより、前記シート材を前記粘着テープと一体に剥離するシート材の剥離方法において、
前記供給リールから粘着テープを隣接するガイドローラを経由して前記粘着テープに追従して昇降自在な昇降ローラに巻き掛けた後、前記粘着テープを剥離板上に引き出すようにしておき、
前記供給リールから粘着テープを引き出し、前記粘着テープに追従して移動した昇降ローラを、前記供給リールの回転を固定すると共に前記昇降ローラの下流側で前記粘着テープを固定した後、前記粘着テープの引き出し方向に引っ張るように前記昇降ローラを強制的に移動させるようにした構成を採用するシート材の剥離方法である。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１及び３の発明によれば、粘着テープを繰り出す際にその粘着力により、供給リールに粘着テープが巻き付いた場合であっても、昇降ローラを粘着テープの引き出し方向に引っ張るように移動させるので、巻き付いた部分の粘着テープが引き剥がされ、供給不良が解消される。
【００１３】
請求項２及び４の発明によれば、被着体に強固に貼り付いたシート材を剥離する際に、粘着力の強い粘着テープを用いても、供給リールに巻き付いた粘着テープを引き剥がすことができるので、シート材剥離に適した各種の粘着テープを使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】は、本発明の粘着テープ供給装置を適用したシート材剥離装置の平面図である。
【図２】は、図１のＡ−Ａ方向断面矢視図である。
【図３】は、図１の右側面図である。
【図４】は、図２のＢ−Ｂ方向矢視図である。
【図５】は、本発明の粘着テープ供給装置及びシート材剥離装置の動作説明図である。
【図６】は、本発明の粘着テープ供給装置及びシート材剥離装置の動作説明図である。
【図７】は、本発明の粘着テープ供給装置及びシート材剥離装置の動作説明図である。
【図８】は、本発明の粘着テープ供給装置及びシート材剥離装置の動作説明図である。
【図９】は、本発明の粘着テープ供給装置及びシート材剥離装置の動作説明図である。
【図１０】は、本発明のシート材剥離装置の動作説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態である粘着テープ供給装置を適用したシート材剥離装置について図１から図４に基づいて説明する。
図示のように、シート材剥離装置２は、剥離テープとなる粘着テープＴを供給する粘着テープ供給装置１と、剥離ユニット３０等を備えて構成されている。
【００１６】
図２から図４のように前記粘着テープ供給装置１は、機台３と、前記機台３の幅方向に所定の間隔を空けて立設された支持枠４、４と、両支持枠４、４上に水平に設けられた支持台５に囲まれて形成されている。
【００１７】
また、前記粘着テープ供給装置１は、前記粘着テープＴが巻回された供給リール１０と、前記粘着テープＴを案内するガイドローラ１１ａと、前記ガイドローラ１１ａで案内された粘着テープＴが巻き掛けられると共に粘着テープＴの供給に追従して昇降自在な供給側昇降ローラ１２と、前記供給側昇降ローラ１２を経由した後、前記粘着テープＴが巻き掛けられるガイドローラ１１ｂと、テープ引き出し手段となる剥離ユニット３０等を備えて構成されている。
【００１８】
前記供給リール１０は、一方の支持枠４に軸支され、前記支持枠４に設けられたモータ１５が、適宜のプーリとベルトを介して接続されている。前記モータ１５は、前記供給リール１０に適宜の引っ張り力を付与し、前記粘着テープＴの繰り出しを制限すると共に、前記粘着テープＴに適宜の張力を付与するようになっている。また、前記供給リール１０の軸を押圧することで前記軸を固定する固定手段２３が設けられ、前記固定手段２３に接続されたシリンダ２４の作用で前記回収リール１４の軸を押圧して回転を防止するようになっている。
【００１９】
前記供給リール１０は、本実施形態においては、細幅で比較的粘着力が強い剥離テープとしての粘着テープＴが巻回されている。前記粘着力は、例えば有機ＥＬパネル（以下ＯＬＥＤという。）の表面保護として仮着されているセパレータ（シート材に相当。）を剥離できる程度あれば良いが、セパレータの剛性が高い場合やＯＬＥＤの柔軟性が高く、セパレータが剥がれ難い場合は、粘着力を上げても良い。
【００２０】
前記粘着テープＴは、ガイドローラ１１ｂ、１１ｃを経由し、支持板５の開口５ａを介してガイドローラ３１ａに導かれた後、剥離ユニット３０に供給されるようになっている。前記剥離ユニット３０に導かれた粘着テープＴは、ガイドローラ３１ｄを経由し、開口５ｂを介して回収側昇降ローラ１３に巻き掛けられ、ガイドローラ１１ｄを経て回収リール１４に巻き取られるようになっている。
【００２１】
前記供給側昇降ローラ１２は、スライダ１６に固定された支持板に軸支され、前記スライダ１６は、前記支持枠４の上下方向に沿って立設された昇降ユニット１７に接続されている。前記昇降ユニット１７は、上下方向のレール１７ａが設けられ、適宜の駆動源（例えばシリンダやモータ。）で前記スライダ１６を強制的に下降させることが可能になっている。従って、前記スライダ１６の下降により、前記供給側昇降ローラ１２が下降して前記粘着テープＴを引き出し方向に引っ張るようになっている。また、前記供給側昇降ローラ１２は、上昇時に自由状態となり、掛け渡された粘着テープＴの供給に追従して上昇可能になっている。
【００２２】
前記ガイドローラ１１ｃは、前記供給側昇降ローラ１２の下流側に位置し、前記ガイドローラ１１ｃの近傍に粘着テープＴを挟持して固定するテープチャック１８（本発明のテープ固定手段に相当。）が設けられている。前記テープチャック１８は、シリンダ１９が接続され、前記シリンダ１９により開閉可能になっている。
【００２３】
前記回収側昇降ローラ１３は、スライダ２０に固定された支持板に軸支され、前記スライダ２０は、支持枠４の上下方向に沿って設けられた軸２１に昇降可能に軸支されている。また、前記スライダ２０は、掛け渡された粘着テープＴの供給に追従して昇降動するようになっている。従って、前記スライダ２０の昇降動に伴って、前記回収側昇降ローラ１３は昇降動するようになっている。
【００２４】
前記回収リール１４は、モータ２２が接続され、粘着テープＴと剥離されたシート材Ｓを巻き取るようになっている。また、前記回収リール１４の軸を押圧することで前記軸を固定する固定手段２５が設けられ、前記固定手段２５に接続されたシリンダ２６の作用で前記回収リール１４の軸を押圧することで回転を防止するようになっている。
【００２５】
本発明のテープ引き出し手段を兼ねる剥離ユニット３０についての詳細は後述する。本発明におけるテープ引き出し手段は、前記供給側昇降ローラ１３の下流側で、粘着テープＴを引き出せる機構であれば各種のものが採用できる。例えば、粘着テープＴを挟持して前記粘着テープＴを供給する方向に移動して引き出すものや、前記粘着テープＴを巻き取ることによって引き出すものを採用できる。
【００２６】
以上が、本発明の粘着テープ供給装置１の構成であり、次にこの粘着テープ供給装置１を適用したシート材剥離装置２について以下に説明する。
本実施形態においては、ＯＬＥＤの表面に保護シートとしてのシート材Ｓが仮着された被着体６から前記シート材Ｓを剥離する場合を例として説明する。
【００２７】
前記シート材剥離装置２は、前記粘着テープ供給装置１の上部となる支持板５上に立設されている。また、前記シート材剥離装置２は、前記被着体６をその下面で吸着保持する保持テーブル２７と、前記被着体６に仮着されたシート材Ｓに粘着テープＴを貼り付けて前記粘着テープＴと一体にシート材Ｓを剥離する剥離ユニット３０と、複数のガイドローラ３１ａ、３１ｄ等を備えて構成されている。
【００２８】
前記支持板５上には、その幅方向と垂直に適宜の間隔を空けて２枚の側板３７、３７が立設されている。前記側板３７、３７の内側上部には、それぞれ対向するようにレール３８、３８が、前後方向（図示左右方向）に沿って敷設されている。
【００２９】
前記保持テーブル２７は、裏面側に図示しない適宜の吸着孔が穿設され、前記被着体６を吸着保持するようになっている。また、前記保持テーブル２７は、図示しない適宜の駆動機構により水平動自在に構成され、前記被着体６を剥離ユニット３０上に搬送するようになっている。
【００３０】
本発明のテープ引き出し手段も兼ねる前記剥離ユニット３０は、支持枠３５、３５間に形成され、前記支持枠３５、３５の外側側面には、スライダ３９、３９が設けられている。前記スライダ３９、３９は、それぞれ前記レール３８、３８に嵌合し、前記レール３８、３８に沿って移動可能になっている。また、一方の側板３７には、前記レール３８に沿ってボールネジ４０が設けられ、前記ボールネジ４０の一端にモータ４１が接続されている。また、前記支持枠３５の一方には、ナット部材４２が設けられ、前記ナット部材４２は、前記ボールネジ４０に螺合している。従って、前記モータ４１を正逆駆動することで前記剥離ユニット３０は、前記レール３８に沿って水平動自在になっており、その前進の際に前記粘着テープＴを引っ張って引き出すようになっている。
【００３１】
また、前記剥離ユニット３０は、前記粘着テープＴに貼り付けられたシート材Ｓを急激に折り返すことにより、前記シート材Ｓを粘着テープＴと一体に剥離させる剥離板３２と、粘着テープＴを案内する２つのガイドローラ３１ｂ、３１ｃと、前記ガイドローラ３１ｃに掛け渡された粘着テープＴを挟持して固定するテープチャック３３等を備えて構成されている。
【００３２】
前記剥離板３２は、矩形状の薄板で形成され、両側面が支持枠３５、３５に支持されている。また、前記剥離板３２の下面の前方先端部は鋭角に形成され、粘着テープＴを急激に折り返すことにより、前記粘着テープＴに貼り付いたシート材Ｓを被着体６から剥離するようになっている。
【００３３】
前記ガイドローラ３１ａは、支持板５上に立設された２本の支柱７、７間に軸支され、供給された粘着テープＴを剥離板３２上に水平に案内するようになっている。
【００３４】
また、前記支持枠３５、３５間の前方部で前記剥離板３２の下方にガイドローラ３１ｂが軸支され、後方に向けて前記粘着テープＴを案内するようになっている。また、前記ガイドローラ３１ｂの後方には、ガイドローラ３１ｃが前記支持枠３５、３５間に軸支され、前記粘着テープＴを前方のガイドローラ３１ｄへと案内するようになっている。
【００３５】
前記ガイドローラ３１ｃの後方には、支持板３６が、前記支持枠３５、３５間に懸架
され、前記支持板３６にシリンダ３４が固定されている。前記シリンダ３４にはテープチャック３３が、前記ガイドローラ３１ｃと対向するように設けられ、前記テープチャック３３は、前記シリンダ３４の作用により、前記粘着テープＴをガイドローラ３１ｃとの間で挟持して固定するようになっている。
【００３６】
前記ガイドローラ３１ｄは、支持板５の前方に立設された２本の支柱８、８の上部に軸支されており、前記ガイドローラ３１ｃから案内された粘着テープＴを下方の回収側昇降ローラ１３に案内するようになっている。またガイドローラ３１ｄの前方側にはテープチャック４３が設けられ、前記支柱８、８間の支持枠に設けられたシリンダ４４に接続されている。前記テープチャック４３は、前記シリンダ４４の作用により、前記粘着テープＴを前記ガイドローラ３１ｄとの間で挟持して固定するようになっている。
【００３７】
前記粘着テープＴは、前記テープチャック３３を閉じて前記粘着テープＴを固定した状態で前記剥離ユニット３０を前進させることにより、引き出されるようになっている。
【００３８】
以上が、本発明の粘着テープ供給装置及びシート材剥離装置の構成であり、次に図５から図１０に基づいて粘着テープＴの供給動作及びシート材の剥離動作について説明する。
【００３９】
図５は、前記シート材剥離装置２での剥離動作の初期状態を表し、前記剥離ユニット３０が前進位置に位置する。なお、この初期状態に先立ち保持テーブル２７の下面に被着体６を吸着保持し、剥離板３２上に前記被着体６を搬送する。前記被着体６は、図１０のように頂点部の一つが先端となるように剥離板３２上の粘着テープＴ上に位置させられ、前記被着体６の対角線方向と粘着テープＴの供給方向が一致するように被着体６が粘着テープＴ上に押し付けられ、貼り付けされる。このとき、テープチャック１８及び４３は、閉じられ粘着テープＴが固定される。また、供給側の固定手段２３及び回収側の固定手段２５も閉じられ、供給リール１０及び回収リール１４が固定される。また、供給側の昇降ローラ１６は、下降位置に位置し、回収側昇降ローラ１３は、上昇位置に位置する。
【００４０】
次に図６のように保持テーブル２７を固定状態で剥離ユニット３０を後退させると、前記被着体６は、保持テーブル２７に保持されたままであるので、粘着テープＴが引っ張られて剥離板３２の先端部分で急激に折り返され、シート材Ｓが粘着テープＴと一体に剥離される。
【００４１】
図７のように前記テープチャック１８及び４３が解放され、前記テープチャック３３が閉じられる。また、前記固定手段２３が解放される（前記固定手段２５は閉じた状態）。この状態で前記剥離ユニット３０二点鎖線位置から実線位置へと前進する。これにより、供給リール１０から粘着テープＴが引っ張られ、供給側昇降ローラ１２が追従して上昇する。このとき、前記粘着テープＴの粘着力が高いときは、モータ１５でバックテンションを付与していても、粘着テープＴが剥がれずに図示のごとく巻き付いた状態となる場合がある。なお、図示の粘着テープＴの弛みは、理解を容易にするため、誇張して描いていることに留意されたい。一方、回収側の供給側昇降ローラ１２は、粘着テープＴに追従して下降していく。
【００４２】
次に図８のようにテープチャック１８及び４５が閉じてガイドローラ１１ｃ及び３１ｄ間の粘着テープＴが固定され、テープチャック３３が解放される。
【００４３】
図９のように固定手段２５が解放され、回収リール１４が巻き取り駆動されることにより、回収側昇降ローラ１３が粘着テープＴに追従して上昇する。前記回収側昇降ローラ１３が所定量上昇すると、図示しない適宜のセンサが検知して、巻き取りを停止する。一方、供給リール１０は、固定手段２３が閉じて固定され、この状態で、供給側昇降ローラ１２が強制的に下降端に下降され、供給リール１０に巻き付いた粘着テープＴが剥離されて弛みが解消される。このように、強制的に供給リール１０に巻き付いた粘着テープＴを剥離するので、特に被着体６から剥離し難いシート材Ｓであっても粘着テープＴの粘着力を上げて、剥離することができる。
【００４４】
上記により、シート材剥離装置２が初期状態に復帰し、次の被着体６が搬送されてシート材Ｓの剥離に供される。前記工程を繰り返し行うことで連続して被着体６からシート材Ｓが剥離される。
【００４５】
以上が、本発明の一実施形態に係る粘着テープ供給装置及びシート材剥離装置であるが、本発明は上記の実施形態に限定されず、発明の範囲内で適宜の変更ができる。例えば、本実施形態においては、シート材の剥離装置として粘着テープ供給装置を適用したが、粘着テープを各種基板に貼り付けることに適用することもできる。また、本実施形態においては、細幅の粘着テープを用いたが、粘着テープの幅は、適宜変更できる。その他、強粘着で供給時に供給リールからテープが剥がれ難い各種の粘着テープや接着テープに好ましく利用できる。なお、本発明は、強粘着のテープに限らず、各種のテープに広く適用できる。
【符号の説明】
【００４６】
Ｓ    シート材
Ｔ    粘着テープ
１    粘着テープ供給装置
２    シート材剥離装置
３    機台
４    支持枠
５    支持台
５ａ  開口
５ｂ  開口
６    被着体
７    支柱
８    支柱
１０    供給リール
１１ａ  ガイドローラ
１１ｂ  ガイドローラ
１１ｃ  ガイドローラ
１１ｄ  ガイドローラ
１２    昇降ローラ
１３    昇降ローラ
１４    回収リール
１５    モータ
１６    スライダ
１７    昇降ユニット
１７ａ  レール
１８    テープチャック
１９    シリンダ
２０    スライダ
２２    モータ
２３    固定手段
２４    シリンダ
２５    固定手段
２６    シリンダ
２７    保持テーブル
３０    剥離ユニット
３１ａ  ガイドローラ
３１ｂ  ガイドローラ
３１ｃ  ガイドローラ
３１ｄ  ガイドローラ
３２    剥離板
３３    テープチャック
３４    シリンダ
３５    支持枠
３６    支持板
３７    側板
３８    レール
３９    スライダ
４０    ボールネジ
４１    モータ
４２    ナット部材
４３    テープチャック
４４    シリンダ
【図１】
2020047767.tif 000003
【図２】
2020047767.tif 000004
【図３】
2020047767.tif 000005
【図４】
2020047767.tif 000006
【図５】
2020047767.tif 000007
【図６】
2020047767.tif 000008
【図７】
2020047767.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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