(57)【要約】      （修正有）【課題】可撓性部品を支持するための支持具および発光装置を提供する。【解決手段】第１の基板１１０と、第２の基板１２０と、ラックと１５０、ピニオン１６０と、蝶番と、を有し、第２の基板を動かすことにより、ピニオンの回転力を第１の基板のラックに伝達させ、第１の基板を蝶番の一方の蝶番片１３２と重なる状態で水平方向に移動させることで、可撓性部品を第１の基板および第２の基板に固定しつつ、蝶番部近傍において許容される曲率半径を維持しながら可撓性部品を曲げることができる。【選択図】図１
2020038381.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板と、第２の基板と、ラックと、ピニオンと、蝶番と、可撓性発光装置と、を有し、
前記ラックは前記第１の基板上における角部に固定され、
前記ピニオンは前記蝶番の軸に中心が固定され、
前記蝶番の一方の蝶番片にはスライド機構が設けられ、
前記蝶番の軸は前記蝶番の他方の蝶番片に固定され、
前記第２の基板を、前記第１の基板のラックが固定された角部側に隣接させた状態において、
前記ラックの歯と前記ピニオンの歯が噛み合うように、前記第１の基板上および前記第２の基板上に前記蝶番が配置され、
前記スライド機構によって前記第１の基板と前記蝶番の一方の蝶番片とが重なる状態で水平方向に移動する機能を有した状態で固定され、
前記第２の基板と前記蝶番の他方の蝶番片とが固定され、
前記可撓性発光装置は、前記第１の基板および前記第２の基板に渡って固定され、
前記可撓性発光装置は、前記第１の基板および前記第２の基板の前記蝶番が設けられた面に配置される発光装置。
【請求項２】
第１の基板と、第２の基板と、第３の基板と、第１のラックと、第２のラックと、第１のピニオンと、第２のピニオンと、第３のピニオンと、中間歯車と、第１の蝶番と、第２の蝶番と、可撓性発光装置と、を有し、
前記第１のラックは前記第２の基板上における角部に固定され、
前記第１のピニオンは前記第１の蝶番の軸に中心が固定され、
前記第１の蝶番の軸は前記第１の蝶番の一方の蝶番片に固定され、
前記第１の蝶番の他方の蝶番片には第１のスライド機構が設けられ、
前記第１の基板を、前記第２の基板の第１のラックが固定された角部側に隣接させた状態において、
前記第１のラックの歯と前記第１のピニオンの歯が噛み合うように、前記第１の基板上および前記第２の基板上に前記第１の蝶番が配置され、
前記第１のスライド機構によって前記第２の基板と前記第１の蝶番の他方の蝶番片とが重なる状態で水平方向に移動する機能を有した状態で固定され、
前記第１の基板と前記第１の蝶番の一方の蝶番片とが固定され、
前記第２のラックは前記第３の基板上における角部に固定され、
前記第２のピニオンは前記第２の蝶番の一方の蝶番片に固定された軸に中心が固定され、
前記第３のピニオンは前記第２の蝶番の他方の蝶番片に固定された軸に中心が固定され、
前記第２のピニオンおよび前記第３のピニオンは前記中間歯車を介して歯が噛み合っており、
前記中間歯車は前記第２の蝶番の一方の蝶番片に固定された軸に中心が固定され、
前記第２の蝶番の一方の蝶番片には第２のスライド機構が設けられ、
前記第２の基板の前記第１の蝶番を固定した側とは逆側を、前記第３の基板の第２のラックが固定された角部側に隣接させた状態において、
前記第２のラックの歯と前記第２のピニオンの歯が噛み合うように、前記第２の基板上および前記第３の基板上に前記第２の蝶番が配置され、
前記第２のスライド機構によって前記第３の基板と前記第２の蝶番の一方の蝶番片とが重なる状態で水平方向に移動する機能を有した状態で固定され、
前記第２の基板と前記第２の蝶番の他方の蝶番片とが固定され、
前記可撓性発光装置は前記第１の基板、前記第２の基板、および前記第３の基板に渡って固定され、
前記可撓性発光装置は、前記第１の基板および前記第２の基板の前記第１の蝶番が設けられた面、並びに、前記第３の基板の前記第２の蝶番が設けられた反対側の面に配置される発光装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
前記可撓性発光装置は有機ＥＬ素子を有する発光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の一態様は、可撓性部品の支持具、および発光装置に関する。
【０００２】
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する発明の
一態様の技術分野は、物、方法、または、製造方法に関するものである。または、本発明
の一態様は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物（コンポジション・
オブ・マター）に関するものである。そのため、より具体的に本明細書で開示する本発明
の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、液晶表示装置、発光装置、照明装
置、蓄電装置、記憶装置、撮像装置、それらの駆動方法、または、それらの製造方法、を
一例として挙げることができる。
【０００３】
なお、本明細書等において半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能しうる装置
全般を指す。トランジスタ、半導体回路は半導体装置の一態様である。また、記憶装置、
表示装置、撮像装置、電子機器は、半導体装置を有する場合がある。
【背景技術】
【０００４】
近年、エレクトロルミネッセンス（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ：ＥＬ）を
利用した発光素子の研究開発が盛んに行われている。これら発光素子の基本的な構成は、
一対の電極間に発光性の物質を含む層を挟んだものである。この素子に電圧を印加するこ
とにより、発光性の物質からの発光が得られる。
【０００５】
上述の発光素子は自発光型であるため、これを用いた発光装置は、視認性に優れ、バック
ライトが不要であり、消費電力が少ない等の利点を有する。さらに、薄型軽量に作製でき
、応答速度が高いなどの利点も有する。
【０００６】
また、上述の発光素子を有する発光装置としては、可撓性が図れることから、可撓性を有
する基板の採用が検討されている。
【０００７】
可撓性を有する基板を用いた発光装置の作製方法としては、ガラス基板や石英基板などの
基板上に剥離層を形成し、当該剥離層上に薄膜トランジスタなどの半導体素子を作製した
後、他の基板（例えば可撓性を有する基板）へと半導体素子を転置する技術が開発されて
いる（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−１７４１５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
可撓性基板上に形成された発光装置等の部品は、可撓性の特徴を活かして、折り畳んで携
帯性を向上させることができる。一方で、薄型であることによって機械的強度が十分に確
保できないことが問題となっている。そのため、当該可撓性の部品の携帯時にかかる外力
や予期せぬ衝撃から保護するには機械的強度を有する支持具を設けることが好ましい。
【００１０】
ところが、可撓性の部品はある程度曲げ撓めることは可能であるが、曲率半径が極めて小
さくなるように折ってしまうと、内部構造が物理的に破壊されてしまう。したがって、保
護のために支持具を使用したとしても当該可撓性の部品が曲げられる領域は、許容される
曲率半径を維持しなければならない。
【００１１】
例えば、蝶番でつながれた二枚の板を有する折り畳み式の支持具があり、当該支持具が開
いた状態で一つの可撓性の部品（例えば発光装置等）が二枚の板に渡って設置されている
とする。ここで、可撓性の部品を破壊することなく安全に支持具を折りたたむには、蝶番
部近傍において可撓性の部品に許容される曲率半径を維持する工夫が必要となる。
【００１２】
当該曲率半径の維持は、蝶番でつながれた二枚の板のうちの一方のみに可撓性の部品を固
定し、他方の板とは水平方向に滑るように固定する構成にすれば蝶番の工夫なしに容易に
達成し得るが、デザイン性や信頼性を低下させてしまう。
【００１３】
したがって、本発明の一態様は、可撓性部品を支持するための支持具を提供することを目
的の一つとする。または、可撓性部品の信頼性を損なうことなく曲げ動作を行うための支
持具を提供することを目的の一つとする。または、可撓性部品に許容される曲率半径を維
持するための支持具を提供することを目的の一つとする。または、可撓性部品の信頼性を
向上させる支持具を提供することを目的の一つとする。または、可撓性部品の電気特性の
低下を抑える支持具を提供することを目的の一つとする。または、可撓性部品の新規な支
持具を提供することを目的の一つとする。または、新規な発光装置を提供することを目的
の一つとする。
【００１４】
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一
態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題
は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図
面、請求項などの記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、可撓性部品の支持具であり、当該可撓性部品を破壊することなく安定した曲げ
動作を行うための可撓性部品の支持具、および当該可撓性部品を有する発光装置に関する
。なお、当該可撓性部品の支持具は用途または状況によっては可撓性部品の保護具として
も作用する。
【００１６】
本発明の一態様は、第１の基板と、第２の基板と、ラックと、ピニオンと、蝶番と、を有
し、ラックは第１の基板上における角部に固定され、ピニオンは蝶番の軸に中心が固定さ
れ、蝶番の一方の蝶番片にはスライド機構が設けられ、蝶番の軸は蝶番の他方の蝶番片に
固定され、第２の基板を、第１の基板のラックが固定された角部側に隣接させた状態にお
いて、ラックの歯とピニオンの歯が噛み合うように、第１の基板および第２の基板上に蝶
番が配置され、スライド機構によって第１の基板と蝶番の一方の蝶番片とが重なる状態で
水平方向に移動する機能を有した状態で固定され、第２の基板と蝶番の他方の蝶番片とが
固定され、第２の基板を動かすことにより、ピニオンの回転力をラックに伝達させ、第１
の基板を蝶番の一方の蝶番片と重なる状態で水平方向に移動させることを特徴とする可撓
性部品の支持具である。
【００１７】
なお、本明細書等における「第１」、「第２」などの序数詞は、構成要素の混同を避ける
ために付すものであり、数的に限定するものではないことを付記する。
【００１８】
上記可撓性部品の支持具には、一つの可撓性部品を第１の基板および第２の基板に渡って
固定することができ、可撓性部品を破壊することなく曲げ動作を行うことができる。
【００１９】
また、上記第１の基板および第２の基板とは、蝶番および周辺要素（ラック、ピニオン等
）を二組用いて接続された構成とすることができる。
【００２０】
本発明の他の一態様は、第１の基板と、第２の基板と、第３の基板と、第１のラックと、
第２のラックと、第１のピニオンと、第２のピニオンと、第３のピニオンと、中間歯車と
、第１の蝶番と、第２の蝶番と、を有し、第１のラックは第２の基板上における角部に固
定され、第１のピニオンは第１の蝶番の軸に中心が固定され、第１の蝶番の軸は第１の蝶
番の一方の蝶番片に固定され、第１の蝶番の他方の蝶番片には第１のスライド機構が設け
られ、第１の基板を、第２の基板の第１のラックが固定された角部側に隣接させた状態に
おいて、第１のラックの歯と第２のピニオンの歯が噛み合うように、第１の基板および第
２の基板上に第１の蝶番が配置され、第１のスライド機構によって第２の基板と第１の蝶
番の他方の蝶番片とが重なる状態で水平方向に移動する機能を有した状態で固定され、第
１の基板と第１の蝶番の一方の蝶番片とが固定され、第２のラックは第３の基板上におけ
る角部に固定され、第２のピニオンは第２の蝶番の一方の蝶番片に固定された軸に中心が
固定され、第３のピニオンは第２の蝶番の他方の蝶番片に固定された軸に中心が固定され
、第２のピニオンおよび第３のピニオンは中間歯車を介して歯が噛み合っており、中間歯
車は第２の蝶番の一方の蝶番片に固定された軸に中心が固定され、第２の蝶番の一方の蝶
番片には第２のスライド機構が設けられ、第２の基板の第１の蝶番を固定した側とは逆側
を、第３の基板の第２のラックが固定された角部側に隣接させた状態において、第２のラ
ックの歯と第２のピニオンの歯が噛み合うように、第２の基板および第３の基板上に第２
の蝶番が配置され、第２のスライド機構によって第３の基板と第２の蝶番の一方の蝶番片
とが重なる状態で水平方向に移動する機能を有した状態で固定され、第２の基板と第２の
蝶番の他方の蝶番片とが固定され、第１の基板を動かすことにより、第１のピニオンの回
転力を第１のラックに伝達させ、第２の基板を第１の蝶番の他方の蝶番片と重なる状態で
水平方向に移動させ、第２の基板を動かすことにより、第３のピニオンの回転力を中間歯
車および第２のピニオンを介して第２のラックに伝達させ、第３の基板を第２の蝶番の一
方の蝶番片と重なる状態で水平方向に移動させることを特徴とする可撓性部品の支持具で
ある。
【００２１】
上記可撓性部品の支持具には、一つの可撓性部品を第１の基板、第２の基板、および第３
の基板に渡って固定することができ、可撓性部品を破壊することなく曲げ動作を行うこと
ができる。
【００２２】
また、上記第１の基板および第２の基板とは、第１の蝶番および周辺要素（第１のラック
、第１のピニオン等）を二組用いて接続され、上記第２の基板および第３の基板とは、第
２の蝶番および周辺要素（第２のラック、第２のピニオン、第３のピニオン等）を二組用
いて接続された構成とすることができる。
【００２３】
また、本発明の他の一態様は、第１の基板と、第２の基板と、ラックと、ピニオンと、蝶
番と、可撓性発光装置と、を有し、ラックは第１の基板上における角部に固定され、ピニ
オンは蝶番の軸に中心が固定され、蝶番の一方の蝶番片にはスライド機構が設けられ、蝶
番の軸は蝶番の他方の蝶番片に固定され、第２の基板を、第１の基板のラックが固定され
た角部側に隣接させた状態において、ラックの歯とピニオンの歯が噛み合うように、第１
の基板および第２の基板上に蝶番が配置され、スライド機構によって第１の基板と蝶番の
一方の蝶番片とが重なる状態で水平方向に移動する機能を有した状態で固定され、第２の
基板と蝶番の他方の蝶番片とが固定され、可撓性発光装置は第１の基板および第２の基板
に渡って固定され、第２の基板を動かすことにより、ピニオンの回転力をラックに伝達さ
せ、第１の基板を蝶番の一方の蝶番片と重なる状態で水平方向に移動させることにより、
可撓性発光装置の曲げ部の曲率半径を維持することを特徴とする発光装置である。
【００２４】
また、本発明の他の一態様は、第１の基板と、第２の基板と、第３の基板と、第１のラッ
クと、第２のラックと、第１のピニオンと、第２のピニオンと、第３のピニオンと、中間
歯車と、第１の蝶番と、第２の蝶番と、可撓性発光装置と、を有し、第１のラックは第２
の基板上における角部に固定され、第１のピニオンは第１の蝶番の軸に中心が固定され、
第１の蝶番の軸は第１の蝶番の一方の蝶番片に固定され、第１の蝶番の他方の蝶番片には
第１のスライド機構が設けられ、第１の基板を、第２の基板の第１のラックが固定された
角部側に隣接させた状態において、第１のラックの歯と第２のピニオンの歯が噛み合うよ
うに、第１の基板および第２の基板上に第１の蝶番が配置され、第１のスライド機構によ
って第２の基板と第１の蝶番の他方の蝶番片とが重なる状態で水平方向に移動する機能を
有した状態で固定され、第１の基板と第１の蝶番の一方の蝶番片とが固定され、第２のラ
ックは第３の基板上における角部に固定され、第２のピニオンは第２の蝶番の一方の蝶番
片に固定された軸に中心が固定され、第３のピニオンは第２の蝶番の他方の蝶番片に固定
された軸に中心が固定され、第２のピニオンおよび第３のピニオンは中間歯車を介して歯
が噛み合っており、中間歯車は第２の蝶番の一方の蝶番片に固定された軸に中心が固定さ
れ、第２の蝶番の一方の蝶番片には第２のスライド機構が設けられ、第２の基板の第１の
蝶番を固定した側とは逆側を、第３の基板の第２のラックが固定された角部側に隣接させ
た状態において、第２のラックの歯と第２のピニオンの歯が噛み合うように、第２の基板
および第３の基板上に第２の蝶番が配置され、第２のスライド機構によって第３の基板と
第２の蝶番の一方の蝶番片とが重なる状態で水平方向に移動する機能を有した状態で固定
され、第２の基板と第２の蝶番の他方の蝶番片とが固定され、可撓性発光装置は第１の基
板、第２の基板、および第３の基板に渡って固定され、第１の基板を動かすことにより、
第１のピニオンの回転力を第１のラックに伝達させ、第２の基板を第１の蝶番の他方の蝶
番片と重なる状態で水平方向に移動させ、第２の基板を動かすことにより、第３のピニオ
ンの回転力を中間歯車および第２のピニオンを介して第２のラックに伝達させ、第３の基
板を第２の蝶番の一方の蝶番片と重なる状態で水平方向に移動させることを特徴とする発
光装置である。
【００２５】
上記可撓性発光装置としては有機ＥＬ素子を用いた表示装置や照明装置などを用いること
ができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の一態様を用いることにより、可撓性部品を支持するための支持具を提供すること
ができる。または、可撓性部品の信頼性を損なうことなく曲げ動作を行うための支持具を
提供することができる。または、可撓性部品に許容される曲率半径を維持するための支持
具を提供することができる。または、可撓性部品の信頼性を向上させる支持具を提供する
ことができる。または、可撓性部品の電気特性の低下を抑える支持具を提供することがで
きる。または、可撓性部品の新規な支持具を提供することができる。または、新規な発光
装置を提供することができる。
【００２７】
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一
態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は
、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面
、請求項などの記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】可撓性部品を支持するための支持具を説明する斜視図。
【図２】可撓性部品を支持するための支持具を説明する上面図および断面図。
【図３】可撓性部品を支持するための支持具を説明する上面図および断面図。
【図４】可撓性部品を支持するための支持具を説明する断面図。
【図５】可撓性部品を支持するための支持具を説明する断面図。
【図６】可撓性部品を支持するための支持具を説明する斜視図。
【図７】可撓性部品を支持するための支持具を説明する上面図および断面図。
【図８】可撓性部品を支持するための支持具を説明する上面図および断面図。
【図９】可撓性部品を支持するための支持具を説明する断面図。
【図１０】発光パネルを説明する図。
【図１１】発光パネルを説明する図。
【図１２】発光パネルを説明する図。
【図１３】発光パネルを説明する図。
【図１４】発光パネルの作製方法を説明する図。
【図１５】発光パネルの作製方法を説明する図。
【図１６】歯車を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定さ
れず、本発明の趣旨およびその範囲から逸脱することなくその形態および詳細を様々に変
更し得ることは当業者であれば容易に理解される。したがって、本発明は以下に示す実施
の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に説明する発明の構成
において、同一部分または同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通
して用い、その繰り返しの説明は省略することがある。
【００３０】
（実施の形態１）
本実施の形態では、本発明の一態様の可撓性部品の支持具について説明する。なお、本発
明の一態様の支持具は、曲げに対して敏感な部品全般に対して適用可能であり、当該部品
は電気部品に限定されない。
【００３１】
図１は、本発明の一態様である開閉可能な可撓性部品の支持具において、蝶番が鈍角をな
すように開いたときの斜視図である。また、図２（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）は、可
撓性部品が平坦となるように支持具を開いた状態を図示したものである。図２（Ａ）は上
面図（可撓性部品を設置する側）であり、図２（Ａ）に示すＡ１−Ａ２の断面図を図２（
Ｂ）、Ａ３−Ａ４の断面図を図２（Ｃ）、Ａ５−Ａ６の断面図を図２（Ｄ）にそれぞれ示
す。
【００３２】
本発明の一態様の可撓性部品の支持具は、第１の基板１１０、第２の基板１２０、蝶番１
３０、ラック１５０、ピニオン１６０を有している。なお、図２（Ａ）においては、第１
の基板１１０と第２の基板１２０とをＡ１−Ａ２（図の上下方向を分割する中心線）を対
称軸として線対称の位置に置かれた二つの蝶番で接続する構成を示している。当該二つの
蝶番は互いに鏡像の関係の構成とすること以外の構成は同じである。したがって、以下に
おいて、蝶番等の詳細な説明は一方に対して行うこととする。
【００３３】
ラック１５０は第１の基板１１０上における角部に固定され、ピニオン１６０は蝶番１３
０の軸１４０に中心が固定される。また、軸１４０は蝶番１３０の蝶番片１３２に固定さ
れる。すなわち、ピニオン１６０には、蝶番片１３２の動作が軸１４０を介して伝達され
る。
【００３４】
第２の基板１２０を、第１の基板１１０のラック１５０が固定された角部側に隣接させた
状態とし、ラック１５０の歯とピニオン１６０の歯が噛み合うように（図２（Ｄ）参照）
、第１の基板１１０および第２の基板１２０上に蝶番１３０が配置される。
【００３５】
蝶番１３０の蝶番片１３１にはスライド機構が設けられ、当該スライド機構によって第１
の基板１１０と蝶番１３０の蝶番片１３１とが重なる状態で水平方向に移動可能な状態で
固定される（図２（Ｃ）参照）。そして、第２の基板１２０と蝶番１３０の蝶番片１３２
とが固定される。
【００３６】
本発明の一態様において、上記スライド機構の構成は限定されない。例えば、図示するよ
うに蝶番１３０の蝶番片１３１に形成された長穴１７０と、当該長穴に挿入され、第１の
基板と固定される治具１８０（ねじ等）によって構成することができる。また、上記長穴
は第１の基板側に形成されていてもよい。さらに上記スライド機構としては、上下のテー
ブルがベアリングや低摩擦材料などを介して重なる機構などを用いることもできる。
【００３７】
なお、蝶番１３０の蝶番片１３１には２つの長穴１７０が設けられた構成を例示したが、
長穴１７０は一つであってもよい。
【００３８】
また、可撓性部品１９０は、図２（Ａ）、（Ｂ）に示す領域Ｆ１を除く領域を第１の基板
１１０および第２の基板１２０に固定することができる。領域Ｆ１は、可撓性部品１９０
の曲げられる領域に相当し、領域Ｆ１において、第１の基板１１０と可撓性部品１９０は
固定されていない必要がある。
【００３９】
図３（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）は、図１に示す支持具の閉じた状態を図示したもの
である。図３（Ａ）は上面図であり、図３（Ａ）に示すＢ１−Ｂ２の断面図を図３（Ｂ）
、Ｂ３−Ｂ４の断面図を図３（Ｃ）、Ｂ５−Ｂ６の断面図を図３（Ｄ）にそれぞれ示す。
【００４０】
上記構成の支持具においては、第２の基板１２０を動かすことにより、ピニオン１６０の
回転力をラック１５０に伝達させ、第１の基板１１０を蝶番１３０の蝶番片１３１と重な
る状態で水平方向に移動させることができる。また、第１の基板１１０を動かす、または
両方の基板を動かすことによっても、上記と同様の動作をさせることができる。
【００４１】
したがって、図２（Ｂ）に示すように、可撓性部品１９０が第１の基板１１０および第２
の基板１２０に固定された状態であっても、図３（Ｂ）に示すように曲げ部の曲率半径を
一定に維持したまま支持具を曲げることができる。なお、可撓性部品１９０に許容される
曲げ部の曲率半径は、蝶番１３０の軸１４０を覆う管の径およびピニオン１６０の径を選
択することにより調整することができる。
【００４２】
また、図４（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、本発明の一態様の支持具を閉じた状態から開いた
状態にするまでの過程を示す側面図である。ここで、可撓性部品１９０の第１の基板１１
０側の端部をＥ１、第２の基板１２０側の端部をＥ２としたとき、開閉によって端部Ｅ１
および端部Ｅ２の位置が変化しないことがわかる。
【００４３】
つまり、本発明の一態様の支持具では、可撓性部品１９０が第１の基板１１０および第２
の基板１２０に曲げ部を除いて固定できる状態である。したがって、可撓性部品１９０に
強い機械的強度を付与することができ、信頼性を向上させることができる。また、第１の
基板１１０および第２の基板１２０の面形状を可撓性部品１９０に反映させることができ
、機能性やデザイン性を向上させることができる。例えば、可撓性部品１９０が表示装置
である場合、第１の基板１１０および第２の基板１２０の面形状を平坦とすることで視認
性を向上させることができる。
【００４４】
一方、比較例として本発明の一態様を用いない支持具の開閉の様子を図５に示す。図５（
Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は支持具を閉じた状態から開いた状態にするまでの過程を示す側面
図である。図５に示す支持具はラック、ピニオン、およびスライド機構を有さず、本発明
の一態様とは第１の基板１１０が水平方向に移動できない点が異なる。
【００４５】
図５に示す支持具において、可撓性部品１９０は第１の基板１１０に固定し、第２の基板
１２０には固定しない状態とする。ここで、開閉の動作において、可撓性部品１９０の端
部Ｅ１の位置は変化しないが、端部Ｅ２の位置は開閉の度合いによって逐次変化する。
【００４６】
これは図５（Ａ）に示すように、可撓性部品１９０の一部の領域１９１が曲げ部に確保さ
れるためである。図５（Ｂ）の形態から図５（Ａ）の形態に変化させると、第２の基板１
２０上で可撓性部品１９０が蝶番の方向に引っ張られるように移動し、端部Ｅ２の位置が
変化する。また、図５（Ｂ）の形態から図５（Ｃ）の形態に変化させると、第２の基板１
２０上で可撓性部品１９０は蝶番とは逆方向に移動し、端部Ｅ２の位置が変化する。
【００４７】
そのため、図５に示す支持具では、第２の基板１２０に可撓性部品１９０を固定できない
ため、機械的強度を向上させることが困難である。また、第２の基板１２０と可撓性部品
との間で摩擦が発生するため、機械的または電気的な信頼性を損なうことがある。また、
第２の基板１２０の面形状を可撓性部品１９０に反映させることができないため、機能性
やデザイン性を十分に向上させることが困難である。
【００４８】
したがって、本発明の一態様を用いることで、可撓性部品に優れた信頼性、機能性、およ
びデザイン性を付与することができる。
【００４９】
なお、本明細書において説明する歯車や蝶番などの部品は一例を示したものであり、その
形状や数等は限定されない。また、本明細書で説明する歯車や蝶番が有する作用と同様の
作用を有する他の部品を当該歯車および当該蝶番の替わりに用いることもできる。
【００５０】
本実施の形態は、他の実施の形態に記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能
である。
【００５１】
（実施の形態２）
本実施の形態では、実施の形態１とは異なる本発明の一態様の可撓性部品の支持具につい
て説明する。実施の形態１では二つ折りの支持具を説明したが、本実施の形態では三つ折
りの支持具について説明する。
【００５２】
図６（Ａ）、（Ｂ）は本発明の一態様である開閉可能な可撓性部品の支持具において、各
蝶番が鈍角をなすように開いたときの斜視図である。図６（Ａ）は可撓性部品が設置され
る側であり、図６（Ｂ）は図６（Ａ）の逆側である。また、図７（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）
、（Ｄ）は、本発明の一態様である開閉可能な可撓性部品の支持具の開いた状態を図示し
たものである。図７（Ａ）は上面図（可撓性部品を設置する側）であり、図７（Ａ）に示
すＣ１−Ｃ２の断面図を図７（Ｂ）、Ｃ３−Ｃ４の断面図を図７（Ｃ）、Ｃ５−Ｃ６の断
面図を図７（Ｄ）にそれぞれ示す。
【００５３】
本発明の一態様の可撓性部品の支持具は、第１の基板２１１、第２の基板２１２、第３の
基板２１３、第１の蝶番２２０、第１のラック２５１、第２のラック２５２、第１のピニ
オン２６１、第２のピニオン２６２、第３のピニオン２６３、および中間歯車２６４を有
している。なお、図７（Ａ）においては、第１の基板２１１、第２の基板２１２、および
第３の基板２１３をＣ１−Ｃ２（図の上下方向を分割する中心線）を対称軸として線対称
の位置に置かれた二組（計四個）の蝶番で接続する構成を示している。第１の基板２１１
と第２の基板２１２とを接続する二つ蝶番は互いに鏡像の関係の構成とすること以外の構
成は同じである。また、第２の基板２１２と第３の基板２１３とを接続する二つ蝶番は互
いに鏡像の関係の構成とすること以外の構成は同じである。したがって、以下において、
種類が同じ蝶番等の詳細な説明は一方に対して行うこととする。
【００５４】
第１のラック２５１は第２の基板２１２上における角部に固定され、第１のピニオン２６
１は第１の蝶番２２０の軸２４１に中心が固定される。また、軸２４１は第１の蝶番２２
０の蝶番片２２１に固定される。すなわち、第１のピニオン２６１には、蝶番片２２１の
動作が軸２４１を介して伝達される。
【００５５】
第１の基板２１１を、第２の基板２１２の第１のラック２５１が固定された角部側に隣接
させた状態とし、第１のラック２５１の歯と第１のピニオン２６１の歯が噛み合うように
（図７（Ｄ）参照）、第１の基板２１１および第２の基板２１２上に第１の蝶番２２０が
配置される。
【００５６】
第１の蝶番２２０の蝶番片２２２には第１のスライド機構が設けられ、当該第１のスライ
ド機構によって第２の基板２１２と第１の蝶番２２０の蝶番片２２２とが重なる状態で水
平方向に移動可能な状態で固定される（図７（Ｃ）参照）。そして、第１の基板２１１と
第１の蝶番２２０の蝶番片２２１とが固定される。
【００５７】
本発明の一態様において、上記第１のスライド機構の構成は限定されない。例えば、図示
するように、第１の蝶番２２０の蝶番片２２２には長穴２７１が形成され、当該長穴に挿
入された治具２８０（ねじ等）によって構成することができる。なお、第１のスライド機
構に関しては、実施の形態１のスライド機構の説明を参酌できる。
【００５８】
なお、第１の蝶番２２０の蝶番片２２２には２つの長穴２７１が設けられた構成を例示し
たが、長穴２７１は一つであってもよい。
【００５９】
また、可撓性部品２９０は、図７（Ａ）、（Ｂ）に示す領域Ｆ２を除く領域を第１の基板
２１１、第２の基板２１２、および第３の基板２１３に固定することができる。領域Ｆ２
は、可撓性部品２９０の曲げられる領域に相当し、領域Ｆ２において、第２の基板２１２
と可撓性部品２９０は固定されていない必要がある。
【００６０】
第２のラック２５２は第３の基板２１３上における角部に固定され、第２のピニオン２６
２は第２の蝶番２３０の蝶番片２３２に固定された軸２４２に中心が固定される。また、
第３のピニオン２６３は第２の蝶番２３０の蝶番片２３１に固定された軸２４３に中心が
固定される。そして、第２のピニオン２６２および第３のピニオン２６３は中間歯車２６
４を介して歯が噛み合っている。また、中間歯車は第２の蝶番２３０の蝶番片２３２に固
定された軸に中心が固定される。この構成により、第３のピニオン２６３には蝶番片２３
１の動作が軸２４３を介して伝達され、第３のピニオン２６３の動作は中間歯車２４４を
介して第２のピニオン２６２に伝達される。
【００６１】
第２の基板２１２の第１の蝶番２２０を固定した側とは逆側を、第３の基板２１３の第２
のラック２５２が固定された角部側に隣接させた状態とし、第２のラック２５２の歯と第
２のピニオン２６２の歯が噛み合うように（図７（Ｄ）参照）、第２の基板２１２および
第３の基板２１３上に第２の蝶番２３０が配置される。
【００６２】
第２の蝶番２３０の蝶番片２３２には第２のスライド機構が設けられ、当該第２のスライ
ド機構によって第３の基板２１３と第２の蝶番２３０の蝶番片２３２とが重なる状態で水
平方向に移動可能な状態で固定される（図７（Ｃ）参照）。そして、第２の基板２１２と
第２の蝶番２３０の蝶番片２３１とが固定される。
【００６３】
本発明の一態様において、上記第２のスライド機構の構成は限定されない。例えば、図示
するように、第２の蝶番２３０の蝶番片２３２には長穴２７２が形成され、当該長穴に挿
入された治具２８０（ねじ等）によって構成することができる。なお、第２のスライド機
構に関しては、実施の形態１のスライド機構の説明を参酌できる。
【００６４】
なお、第２の蝶番２３０の蝶番片２３２には１つの長穴２７２が設けられた構成を例示し
たが、長穴２７２は二つであってもよい。
【００６５】
また、第３の基板２１３には第４の基板２１４が固定されており、実際には可撓性部品２
９０は第４の基板２１４に固定される。ただし、第３の基板２１３と第４の基板２１４は
同一物とすれば、可撓性部品２９０は第３の基板２１３に固定されるものとして説明する
ことができる。
【００６６】
また、第２の基板２１２の角部には、折り畳んだ時に第２のピニオン２６２、第３のピニ
オン２６３、および中間歯車２６４が干渉しないように切欠きが設けてある。
【００６７】
また、図７において、第２の蝶番２３０の蝶番片２３１は第２の基板２１２に作り込まれ
た構成を図示しているが、前述の説明のように、蝶番片２３１を第２の基板２１２に固定
する構成であってもよい。
【００６８】
また、第２のピニオン２６２、第３のピニオン２６３および中間歯車２６４は、図１６に
示す構成であってもよい。図１６（Ａ）は上面図、図１６（Ｂ）は側面図である。
【００６９】
第３のピニオン２６３は歯車２６３ａおよび歯車２６３ｂを有する。第２のピニオン２６
２および歯車２６３ｂは中間歯車２６４を介して互いに噛み合っている。また、第２のラ
ック２５２には歯車２６３ａのみが噛み合う構成となっている。
【００７０】
図８（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）は、図６に示す支持具の閉じた状態を図示したもの
である。図８（Ａ）は上面図であり、図８（Ａ）に示すＤ１−Ｄ２の断面図を図８（Ｂ）
、Ｄ３−Ｄ４の断面図を図８（Ｃ）、Ｄ５−Ｄ６の断面図を図８（Ｄ）にそれぞれ示す。
【００７１】
上記構成の支持具においては、第１の基板２１１を動かすことにより、第１のピニオン２
６１の回転力を第１のラック２５１に伝達させ、第２の基板２１２を第１の蝶番２２０の
蝶番片２２２と重なる状態で水平方向に移動させることができる。
【００７２】
また、第２の基板２１２を動かすことにより、第３のピニオン２６３の回転力を中間歯車
２６４および第２のピニオン２６２を介して第２のラック２５２に伝達させ、第３の基板
２１３を第２の蝶番２３０の蝶番片２３２と重なる状態で水平方向に移動させることがで
きる。なお、基板を動かす動作は支持具の開閉動作であり、当該開閉動作はいずれの基板
を動かすことによっても可能である。
【００７３】
したがって、図７（Ｂ）に示すように、可撓性部品２９０が第１の基板２１１、第２の基
板２１２、および第３の基板２１３（第４の基板２１４）に固定された状態であっても、
図８（Ｂ）に示すように曲げ部の曲率半径を一定に維持したまま支持具を曲げることがで
きる。なお、可撓性部品２９０に許容される曲げ部の曲率半径は、第１の蝶番２２０の軸
２４１を覆う管の径、第１のピニオン２６１の径、第２の蝶番２３０の軸２４３を覆う管
の径、および第３のピニオン２６３の径を選択することにより調整することができる。
【００７４】
また、図９（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）は、本発明に一態様の支持具を閉じた状態か
ら開いた状態にするまでの過程を示す側面図である。なお、第３の基板２１３の一部を透
過させて図示している。ここで、可撓性部品２９０の第１の基板２１１側の端部をＥ１、
第３の基板２１３側の端部をＥ２としたとき、開閉によって端部Ｅ１および端部Ｅ２の位
置が変化しないことがわかる。
【００７５】
つまり、本発明の一態様の支持具では、可撓性部品２９０が第１の基板２１１、第２の基
板２１２、および第３の基板２１３（第４の基板２１４）に固定された状態であるため、
可撓性部品２９０に強い機械的強度を付与することができ、信頼性を向上させることがで
きる。また、第１の基板２１１、第２の基板２１２、および第３の基板２１３（第４の基
板２１４）の面形状を可撓性部品２９０に反映させることができ、機能性やデザイン性を
向上させることができる。例えば、可撓性部品２９０が表示装置である場合、第１の基板
２１１、第２の基板２１２、および第３の基板２１３（第４の基板２１４）の面形状を平
坦とすることで視認性を向上させることができる。
【００７６】
したがって、本発明の一態様を用いることで、可撓性部品に優れた信頼性、機能性、およ
びデザイン性を付与することができる。また、本発明の一態様を用いることで、可撓性部
品を小さく折り畳むことができ、可撓性部品に優れた携帯性を付与することができる。
【００７７】
本実施の形態は、他の実施の形態に記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能
である。
【００７８】
（実施の形態３）
本実施の形態では、実施の形態１および２で説明した可撓性部品として用いることができ
る発光装置（発光パネル）の例について説明する。
【００７９】
＜具体例１＞
図１０（Ａ）に可撓性部品の一例として用いることができる発光パネルの平面図を示し、
図１０（Ａ）における一点鎖線Ｇ１−Ｇ２間の断面図の一例を図１０（Ｂ）に示す。
【００８０】
図１０（Ｂ）に示す発光パネルは、素子層３０１、接着層３０５、基板３０３を有する。
素子層３０１は、基板４０１、接着層４０３、絶縁層４０５、トランジスタ４４０、導電
層３５７、絶縁層４０７、絶縁層４０９、発光素子４３０、絶縁層４１１、封止層４１３
、絶縁層４６１、着色層４５９、遮光層４５７、および絶縁層４５５を有する。
【００８１】
導電層３５７は、接続体４１５を介してＦＰＣ３０８と電気的に接続する。
【００８２】
発光素子４３０は、下部電極４３１、ＥＬ層４３３、および上部電極４３５を有する。下
部電極４３１は、トランジスタ４４０のソース電極またはドレイン電極と電気的に接続す
る。下部電極４３１の端部は、絶縁層４１１で覆われている。発光素子４３０はトップエ
ミッション構造である。上部電極４３５は透光性を有し、ＥＬ層４３３が発する光を透過
する。
【００８３】
発光素子４３０と重なる位置に、着色層４５９が設けられ、絶縁層４１１と重なる位置に
遮光層４５７が設けられている。着色層４５９および遮光層４５７は絶縁層４６１で覆わ
れている。発光素子４３０と絶縁層４６１の間は封止層４１３で充填されている。
【００８４】
発光パネルは、光取り出し部３０４および駆動回路部３０６に、複数のトランジスタを有
する。トランジスタ４４０は、絶縁層４０５上に設けられている。絶縁層４０５と基板４
０１は接着層４０３によって貼り合わされている。また、絶縁層４５５と基板３０３は接
着層３０５によって貼り合わされている。絶縁層４０５や絶縁層４５５に透水性の低い膜
を用いると、発光素子４３０やトランジスタ４４０に水等の不純物が侵入することを抑制
でき、発光パネルの信頼性が高くなるため好ましい。接着層４０３は、接着層３０５と同
様の材料を用いることができる。
【００８５】
具体例１では、耐熱性の高い作製基板上で絶縁層４０５やトランジスタ４４０、発光素子
４３０を作製し、該作製基板を剥離し、接着層４０３を用いて基板４０１上に絶縁層４０
５やトランジスタ４４０、発光素子４３０を転置することで作製できる発光パネルを示し
ている。また、具体例１では、耐熱性の高い作製基板上で絶縁層４５５、着色層４５９お
よび遮光層４５７を作製し、該作製基板を剥離し、接着層３０５を用いて基板３０３上に
絶縁層４５５、着色層４５９および遮光層４５７を転置することで作製できる発光パネル
を示している。
【００８６】
基板に、透水性が高く耐熱性が低い材料（樹脂など）を用いる場合、作製工程で基板に高
温をかけることができないため、該基板上にトランジスタや絶縁膜を作製する条件に制限
がある。本実施の形態の作製方法では、耐熱性の高い作製基板上でトランジスタ等の作製
を行えるため、信頼性の高いトランジスタや十分に透水性の低い絶縁膜を形成することが
できる。そして、それらを基板３０３や基板４０１へと転置することで、信頼性の高い発
光パネルを作製できる。これにより、本発明の一態様では、軽量または薄型であり、且つ
信頼性の高い発光装置を実現できる。作製方法の詳細は後述する。
【００８７】
基板３０３および基板４０１には、それぞれ、靱性が高い材料を用いることが好ましい。
これにより、耐衝撃性に優れ、破損しにくい表示装置を実現できる。例えば、基板３０３
を有機樹脂基板とし、基板４０１を厚さの薄い金属材料や合金材料を用いた基板とするこ
とで、基板にガラス基板を用いる場合に比べて、軽量であり、破損しにくい発光パネルを
実現できる。
【００８８】
金属材料や合金材料は熱伝導性が高く、基板全体に熱を容易に伝導できるため、発光パネ
ルの局所的な温度上昇を抑制することができ、好ましい。金属材料や合金材料を用いた基
板の厚さは、１０μｍ以上２００μｍ以下が好ましく、２０μｍ以上５０μｍ以下である
ことがより好ましい。
【００８９】
また、基板４０１に、熱放射率が高い材料を用いると発光パネルの表面温度が高くなるこ
とを抑制でき、発光パネルの破壊や信頼性の低下を抑制できる。例えば、基板４０１を金
属基板と熱放射率の高い層（例えば、金属酸化物やセラミック材料を用いることができる
）の積層構造としてもよい。
【００９０】
＜具体例２＞
図１１（Ａ）に発光パネルにおける光取り出し部３０４の別の例を示す。図１１（Ａ）の
発光パネルは、タッチ操作が可能な発光パネルである。なお、以下の各具体例では、具体
例１と同様の構成については説明を省略する。
【００９１】
図１１（Ａ）に示す発光パネルは、素子層３０１、接着層３０５、基板３０３を有する。
素子層３０１は、基板４０１、接着層４０３、絶縁層４０５、トランジスタ４４０、絶縁
層４０７、絶縁層４０９、発光素子４３０、絶縁層４１１、絶縁層４１７、封止層４１３
、絶縁層４６１、着色層４５９、遮光層４５７、受光素子、導電層４８１、導電層４８３
、絶縁層４９１、絶縁層４９３、絶縁層４９５、および絶縁層４５５を有する。
【００９２】
具体例２では、絶縁層４１１上に絶縁層４１７を有する。絶縁層４１７を設けることで、
基板３０３と基板４０１の間隔を調整することができる。
【００９３】
図１１（Ａ）では、絶縁層４５５および封止層４１３の間に受光素子を有する例を示す。
基板４０１側の非発光領域（例えばトランジスタ４４０や配線が設けられた領域）に重ね
て受光素子を配置することができるため、画素（発光素子）の開口率を低下させることな
く発光パネルにタッチセンサを設けることができる。
【００９４】
発光パネルが有する受光素子には、例えば、ｐｎ型またはｐｉｎ型のフォトダイオードを
用いることができる。本実施の形態では、受光素子として、ｐ型半導体層４７１、ｉ型半
導体層４７３、およびｎ型半導体層４７５を有するｐｉｎ型のフォトダイオードを用いる
。
【００９５】
なお、ｉ型半導体層４７３は、含まれるｐ型を付与する不純物およびｎ型を付与する不純
物がそれぞれ１×１０２０ｃｍ−３以下の濃度であり、暗伝導度に対して光伝導度が１０
０倍以上である。ｉ型半導体層４７３には、周期表第１３族もしくは第１５族の不純物元
素を有するものもその範疇に含む。すなわち、ｉ型の半導体は、価電子制御を目的とした
不純物元素を意図的に添加しないときに弱いｎ型の電気伝導性を示すので、ｉ型半導体層
４７３は、ｐ型を付与する不純物元素を、成膜時或いは成膜後に、意図的もしくは非意図
的に添加されたものをその範疇に含む。
【００９６】
遮光層４５７は、受光素子よりも基板３０３側に位置しており、受光素子と重なる。受光
素子と封止層４１３との間に位置する遮光層４５７によって、発光素子４３０の発する光
が受光素子に照射されることを抑制できる。
【００９７】
導電層４８１および導電層４８３は、それぞれ受光素子と電気的に接続する。導電層４８
１は、受光素子に入射する光を透過する導電層を用いることが好ましい。導電層４８３は
、受光素子に入射する光を遮光する導電層を用いることが好ましい。
【００９８】
光学式タッチセンサを基板３０３と封止層４１３の間に有すると、発光素子４３０の発光
の影響を受けにくく、Ｓ／Ｎ比を向上させることができるため、好ましい。
【００９９】
＜具体例３＞
図１１（Ｂ）に発光パネルにおける光取り出し部３０４の別の例を示す。図１１（Ｂ）の
発光パネルは、タッチ操作が可能な発光パネルである。
【０１００】
図１１（Ｂ）に示す発光パネルは、素子層３０１、接着層３０５、基板３０３を有する。
素子層３０１は、基板４０１、接着層４０３、絶縁層４０５、トランジスタ４４０、絶縁
層４０７、絶縁層４０９ａ、絶縁層４０９ｂ、発光素子４３０、絶縁層４１１、絶縁層４
１７、封止層４１３、着色層４５９、遮光層４５７、受光素子、導電層４８０、導電層４
８１、および絶縁層４５５を有する。
【０１０１】
図１１（Ｂ）では、絶縁層４０５および封止層４１３の間に受光素子を有する例を示す。
受光素子を絶縁層４０５および封止層４１３の間に設けることで、トランジスタ４４０を
構成する導電層や半導体層と同一の材料、同一の工程で、受光素子と電気的に接続する導
電層や受光素子を構成する光電変換層を作製できる。したがって、作製工程を大きく増加
させることなく、タッチ操作が可能な発光パネルを作製できる。
【０１０２】
＜具体例４＞
図１２（Ａ）に発光パネルの別の例を示す。図１２（Ａ）の発光パネルは、タッチ操作が
可能な発光パネルである。
【０１０３】
図１２（Ａ）に示す発光パネルは、素子層３０１、接着層３０５、基板３０３を有する。
素子層３０１は、基板４０１、接着層４０３、絶縁層４０５、トランジスタ４４０、導電
層３５６、導電層３５７、絶縁層４０７、絶縁層４０９、発光素子４３０、絶縁層４１１
、絶縁層４１７、封止層４１３、着色層４５９、遮光層４５７、絶縁層４５５、導電層４
７２、導電層４７４、絶縁層４７６、絶縁層４７８、導電層４９４および導電層４９６を
有する。
【０１０４】
図１２（Ａ）では、絶縁層４５５および封止層４１３の間に静電容量式のタッチセンサを
有する例を示す。静電容量式のタッチセンサは、導電層４７２および導電層４７４を有す
る。
【０１０５】
導電層３５６および導電層３５７は、接続体４１５を介してＦＰＣ３０８と電気的に接続
する。導電層４９４および導電層４９６は、導電性粒子４９２を介して導電層４７４と電
気的に接続する。したがって、ＦＰＣ３０８を介して静電容量式のタッチセンサを駆動す
ることができる。
【０１０６】
＜具体例５＞
図１２（Ｂ）に発光パネルの別の例を示す。図１２（Ｂ）の発光パネルは、タッチ操作が
可能な発光パネルである。
【０１０７】
図１２（Ｂ）に示す発光パネルは、素子層３０１、接着層３０５、基板３０３を有する。
素子層３０１は、基板４０１、接着層４０３、絶縁層４０５、トランジスタ４４０、導電
層３５６、導電層３５７、絶縁層４０７、絶縁層４０９、発光素子４３０、絶縁層４１１
、絶縁層４１７、封止層４１３、着色層４５９、遮光層４５７、絶縁層４５５、導電層４
７０、導電層４７２、導電層４７４、絶縁層４７６、および絶縁層４７８を有する。
【０１０８】
図１２（Ｂ）では、絶縁層４５５および封止層４１３の間に静電容量式のタッチセンサを
有する例を示す。静電容量式のタッチセンサは、導電層４７２および導電層４７４を有す
る。
【０１０９】
導電層３５６および導電層３５７は、接続体４１５ａを介してＦＰＣ３０８ａと電気的に
接続する。導電層４７０は、接続体４１５ｂを介してＦＰＣ３０８ｂと電気的に接続する
。したがって、ＦＰＣ３０８ａを介して発光素子４３０やトランジスタ４４０を駆動し、
ＦＰＣ３０８ｂを介して静電容量式のタッチセンサを駆動することができる。
【０１１０】
＜具体例６＞
図１３（Ａ）に発光パネルにおける光取り出し部３０４の別の例を示す。
【０１１１】
図１３（Ａ）に示す光取り出し部３０４は、基板３０３、接着層３０５、基板４０２、絶
縁層４０５、トランジスタ４４０、絶縁層４０７、導電層４０８、絶縁層４０９ａ、絶縁
層４０９ｂ、発光素子４３０、絶縁層４１１、封止層４１３、および着色層４５９を有す
る。
【０１１２】
発光素子４３０は、下部電極４３１、ＥＬ層４３３、および上部電極４３５を有する。下
部電極４３１は、導電層４０８を介してトランジスタ４４０のソース電極またはドレイン
電極と電気的に接続する。下部電極４３１の端部は、絶縁層４１１で覆われている。発光
素子４３０はボトムエミッション構造である。下部電極４３１は透光性を有し、ＥＬ層４
３３が発する光を透過する。
【０１１３】
発光素子４３０と重なる位置に、着色層４５９が設けられ、発光素子４３０が発する光は
、着色層４５９を介して基板３０３側に取り出される。発光素子４３０と基板４０２の間
は封止層４１３で充填されている。基板４０２は、前述の基板４０１と同様の材料を用い
て作製できる。
【０１１４】
＜具体例７＞
図１３（Ｂ）に発光パネルの別の例を示す。
【０１１５】
図１３（Ｂ）に示す発光パネルは、素子層３０１、接着層３０５、基板３０３を有する。
素子層３０１は、基板４０２、絶縁層４０５、導電層５１０ａ、導電層５１０ｂ、複数の
発光素子、絶縁層４１１、導電層４１２、および封止層４１３を有する。
【０１１６】
導電層５１０ａおよび導電層５１０ｂは、発光パネルの外部接続電極であり、ＦＰＣ等と
電気的に接続させることができる。
【０１１７】
発光素子４３０は、下部電極４３１、ＥＬ層４３３、および上部電極４３５を有する。下
部電極４３１の端部は、絶縁層４１１で覆われている。発光素子４３０はボトムエミッシ
ョン構造である。下部電極４３１は透光性を有し、ＥＬ層４３３が発する光を透過する。
導電層４１２は、下部電極４３１と電気的に接続する。
【０１１８】
基板３０３は、光取り出し構造として、半球レンズ、マイクロレンズアレイ、凹凸構造が
施されたフィルム、光拡散フィルム等を有していてもよい。例えば、樹脂基板上に上記レ
ンズやフィルムを、該基板または該レンズもしくはフィルムと同程度の屈折率を有する接
着剤等を用いて接着することで、光取り出し構造を形成することができる。
【０１１９】
導電層４１２は必ずしも設ける必要は無いが、下部電極４３１の抵抗に起因する電圧降下
を抑制できるため、設けることが好ましい。また、同様の目的で、上部電極４３５と電気
的に接続する導電層を絶縁層４１１上に設けてもよい。
【０１２０】
導電層４１２は、銅、チタン、タンタル、タングステン、モリブデン、クロム、ネオジム
、スカンジウム、ニッケル、アルミニウムから選ばれた材料またはこれらを主成分とする
合金材料を用いて、単層でまたは積層して形成することができる。導電層４１２の膜厚は
、０．１μｍ以上３μｍ以下とすることができ、好ましくは、０．１μｍ以上０．５μｍ
以下である。
【０１２１】
上部電極４３５と電気的に接続する導電層の材料にペースト（銀ペーストなど）を用いる
と、該導電層を構成する金属が粒状になって凝集する。そのため、該導電層の表面が粗く
隙間の多い構成となり、ＥＬ層４３３が該導電層を完全に覆うことが難しく、上部電極と
該導電層との電気的な接続をとることが容易になり好ましい。
【０１２２】
＜材料の一例＞
次に、発光パネルに用いることができる材料等を説明する。なお、本実施の形態中で先に
説明した構成については説明を省略する。
【０１２３】
素子層３０１は、少なくとも発光素子を有する。発光素子としては、自発光が可能な素子
を用いることができ、電流または電圧によって輝度が制御される素子をその範疇に含んで
いる。例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）、有機ＥＬ素子、無機ＥＬ素子等を用いること
ができる。
【０１２４】
素子層３０１は、発光素子を駆動するためのトランジスタや、タッチセンサ等をさらに有
していてもよい。
【０１２５】
発光パネルが有するトランジスタの構造は特に限定されない。例えば、スタガ型のトラン
ジスタとしてもよいし、逆スタガ型のトランジスタとしてもよい。また、トップゲート型
またはボトムゲート型のいずれのトランジスタ構造としてもよい。トランジスタに用いる
半導体材料は特に限定されず、例えば、シリコン、ゲルマニウム等が挙げられる。または
、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系金属酸化物などの、インジウム、ガリウム、亜鉛のうち少なくとも
一つを含む酸化物半導体を用いてもよい。
【０１２６】
トランジスタに用いる半導体材料の結晶性についても特に限定されず、非晶質半導体、結
晶性を有する半導体（微結晶半導体、多結晶半導体、単結晶半導体、または一部に結晶領
域を有する半導体）のいずれを用いてもよい。結晶性を有する半導体を用いると、トラン
ジスタ特性の劣化を抑制できるため好ましい。
【０１２７】
発光パネルが有する発光素子は、一対の電極（下部電極４３１および上部電極４３５）と
、該一対の電極間に設けられたＥＬ層４３３とを有する。該一対の電極の一方は陽極とし
て機能し、他方は陰極として機能する。
【０１２８】
発光素子は、トップエミッション構造、ボトムエミッション構造、デュアルエミッション
構造のいずれであってもよい。光を取り出す側の電極には、可視光を透過する導電膜を用
いる。また、光を取り出さない側の電極には、可視光を反射する導電膜を用いることが好
ましい。
【０１２９】
可視光を透過する導電膜は、例えば、酸化インジウム、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ：Ｉ
ｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを添加
した酸化亜鉛などを用いて形成することができる。また、金、銀、白金、マグネシウム、
ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、もしく
はチタン等の金属材料、これら金属材料を含む合金、またはこれら金属材料の窒化物（例
えば、窒化チタン）等も、透光性を有する程度に薄く形成することで用いることができる
。また、上記材料の積層膜を導電膜として用いることができる。例えば、銀とマグネシウ
ムの合金とＩＴＯの積層膜などを用いると、導電性を高めることができるため好ましい。
また、グラフェン等を用いてもよい。
【０１３０】
可視光を反射する導電膜は、例えば、アルミニウム、金、白金、銀、ニッケル、タングス
テン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、もしくはパラジウム等の金属材料、また
はこれら金属材料を含む合金を用いることができる。また、上記金属材料や合金に、ラン
タン、ネオジム、またはゲルマニウム等が添加されていてもよい。また、アルミニウムと
チタンの合金、アルミニウムとニッケルの合金、アルミニウムとネオジムの合金等のアル
ミニウムを含む合金（アルミニウム合金）や、銀と銅の合金、銀とパラジウムと銅の合金
、銀とマグネシウムの合金等の銀を含む合金を用いて形成することができる。銀と銅を含
む合金は、耐熱性が高いため好ましい。さらに、アルミニウム合金膜に接する金属膜また
は金属酸化物膜を積層することで、アルミニウム合金膜の酸化を抑制することができる。
該金属膜、金属酸化物膜の材料としては、チタン、酸化チタンなどが挙げられる。また、
上記可視光を透過する導電膜と金属材料からなる膜とを積層してもよい。例えば、銀とＩ
ＴＯの積層膜、銀とマグネシウムの合金とＩＴＯの積層膜などを用いることができる。
【０１３１】
電極は、それぞれ、蒸着法やスパッタリング法を用いて形成すればよい。そのほか、イン
クジェット法などの吐出法、スクリーン印刷法などの印刷法、またはメッキ法を用いて形
成することができる。
【０１３２】
下部電極４３１および上部電極４３５の間に、発光素子の閾値電圧より高い電圧を印加す
ると、ＥＬ層４３３に陽極側から正孔が注入され、陰極側から電子が注入される。注入さ
れた電子と正孔はＥＬ層４３３において再結合し、ＥＬ層４３３に含まれる発光物質が発
光する。
【０１３３】
ＥＬ層４３３は少なくとも発光層を有する。ＥＬ層４３３は、発光層以外の層として、正
孔注入性の高い物質、正孔輸送性の高い物質、正孔ブロック材料、電子輸送性の高い物質
、電子注入性の高い物質、またはバイポーラ性の物質（電子輸送性および正孔輸送性が高
い物質）等を含む層をさらに有していてもよい。
【０１３４】
ＥＬ層４３３には低分子系化合物および高分子系化合物のいずれを用いることもでき、無
機化合物を含んでいてもよい。ＥＬ層４３３を構成する層は、それぞれ、蒸着法（真空蒸
着法を含む）、転写法、印刷法、インクジェット法、塗布法等の方法で形成することがで
きる。
【０１３５】
素子層３０１において、発光素子は、一対の透水性の低い絶縁膜の間に設けられているこ
とが好ましい。これにより、発光素子に水等の不純物が侵入することを抑制でき、発光装
置の信頼性の低下を抑制できる。
【０１３６】
透水性の低い絶縁膜としては、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜等の窒素と珪素を含
む膜や、窒化アルミニウム膜等の窒素とアルミニウムを含む膜等が挙げられる。また、酸
化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜等を用いてもよい。
【０１３７】
例えば、透水性の低い絶縁膜の水蒸気透過量は、１×１０−５［ｇ／ｍ２・ｄａｙ］以下
、好ましくは１×１０−６［ｇ／ｍ２・ｄａｙ］以下、より好ましくは１×１０−７［ｇ
／ｍ２・ｄａｙ］以下、さらに好ましくは１×１０−８［ｇ／ｍ２・ｄａｙ］以下とする
。
【０１３８】
基板３０３は透光性を有し、少なくとも素子層３０１が有する発光素子の発する光を透過
する。基板３０３は可撓性を有する。また、基板３０３の屈折率は、大気の屈折率よりも
高い。
【０１３９】
ガラスに比べて有機樹脂は比重が小さいため、基板３０３として有機樹脂を用いると、ガ
ラスを用いる場合に比べて発光装置を軽量化でき、好ましい。
【０１４０】
可撓性および可視光に対する透過性を有する材料としては、例えば、可撓性を有する程度
の厚さのガラスや、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート
（ＰＥＮ）等のポリエステル樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリメ
チルメタクリレート樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）樹脂、ポリエーテルスルホン（ＰＥ
Ｓ）樹脂、ポリアミド樹脂、シクロオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミドイミ
ド樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂等が挙げられる。特に、熱膨張係数の低い材料を用いること
が好ましく、例えば、ポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂、ＰＥＴ等を好適に用いる
ことができる。また、ガラス繊維に有機樹脂を含浸した基板や、無機フィラーを有機樹脂
に混ぜて熱膨張係数を下げた基板を使用することもできる。
【０１４１】
基板３０３としては、上記材料を用いた層が、発光装置の表面を傷などから保護するハー
ドコート層（例えば、窒化シリコン層など）や、押圧を分散可能な材質の層（例えば、ア
ラミド樹脂層など）等と積層されて構成されていてもよい。また、水分等による発光素子
の寿命の低下等を抑制するために、前述の透水性の低い絶縁膜を有していてもよい。
【０１４２】
接着層３０５は、透光性を有し、少なくとも素子層３０１が有する発光素子の発する光を
透過する。また、接着層３０５の屈折率は、大気の屈折率よりも高い。
【０１４３】
接着層３０５には、二液混合型の樹脂などの常温で硬化する硬化樹脂、光硬化性の樹脂、
熱硬化性の樹脂などの樹脂を用いることができる。例えば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂
、シリコーン樹脂、フェノール樹脂等が挙げられる。特に、エポキシ樹脂等の透湿性が低
い材料が好ましい。
【０１４４】
また、上記樹脂に乾燥剤を含んでいてもよい。例えば、アルカリ土類金属の酸化物（酸化
カルシウムや酸化バリウム等）のように、化学吸着によって水分を吸着する物質を用いる
ことができる。または、ゼオライトやシリカゲル等のように、物理吸着によって水分を吸
着する物質を用いてもよい。乾燥剤が含まれていると、水分などの不純物が発光素子に侵
入することを抑制でき、発光装置の信頼性が向上するため好ましい。
【０１４５】
また、上記樹脂に屈折率の高いフィラー（酸化チタン等）を混合することにより、発光素
子からの光取り出し効率を向上させることができ、好ましい。
【０１４６】
また、接着層３０５には、光を散乱させる散乱部材を有していてもよい。例えば、接着層
３０５には、上記樹脂と上記樹脂と屈折率が異なる粒子との混合物を用いることもできる
。該粒子は光の散乱部材として機能する。
【０１４７】
樹脂と、該樹脂と屈折率の異なる粒子は、屈折率の差が０．１以上あることが好ましく、
０．３以上あることがより好ましい。具体的には樹脂としては、エポキシ樹脂、アクリル
樹脂、イミド樹脂、シリコーン樹脂等を用いることができる。また粒子としては、酸化チ
タン、酸化バリウム、ゼオライト等を用いることができる。
【０１４８】
酸化チタンおよび酸化バリウムの粒子は、光を散乱させる性質が強く好ましい。またゼオ
ライトを用いると、樹脂等の有する水を吸着することができ、発光素子の信頼性を向上さ
せることができる。
【０１４９】
絶縁層４０５、絶縁層４５５には、無機絶縁材料を用いることができる。特に、前述の透
水性の低い絶縁膜を用いると、信頼性の高い発光パネルを実現できるため好ましい。
【０１５０】
絶縁層４０７は、トランジスタを構成する半導体への不純物の拡散を抑制する効果を奏す
る。絶縁層４０７としては、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜
などの無機絶縁膜を用いることができる。
【０１５１】
絶縁層４０９、絶縁層４０９ａ、および絶縁層４０９ｂとしては、それぞれ、トランジス
タ起因等の表面凹凸を低減するために平坦化機能を有する絶縁膜を選択するのが好適であ
る。例えば、ポリイミド、アクリル、ベンゾシクロブテン系樹脂等の有機材料を用いるこ
とができる。また、上記有機材料の他に、低誘電率材料（ｌｏｗ−ｋ材料）等を用いるこ
とができる。なお、これらの材料で形成される絶縁膜や無機絶縁膜を複数積層させてもよ
い。
【０１５２】
絶縁層４１１は、下部電極４３１の端部を覆って設けられている。絶縁層４１１の上層に
形成されるＥＬ層４３３や上部電極４３５の被覆性を良好なものとするため、絶縁層４１
１の側壁が連続した曲率を持って形成される傾斜面となることが好ましい。
【０１５３】
絶縁層４１１の材料としては、樹脂または無機絶縁材料を用いることができる。樹脂とし
ては、例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、アクリル樹脂、シロキサン樹脂、エポ
キシ樹脂、またはフェノール樹脂等を用いることができる。特に、絶縁層４１１の作製が
容易となるため、ネガ型の感光性樹脂、あるいはポジ型の感光性樹脂を用いることが好ま
しい。
【０１５４】
絶縁層４１１の形成方法は、特に限定されないが、フォトリソグラフィ法、スパッタ法、
蒸着法、液滴吐出法（インクジェット法等）、印刷法（スクリーン印刷、オフセット印刷
等）等を用いればよい。
【０１５５】
絶縁層４１７は、無機絶縁材料、有機絶縁材料、または金属材料等を用いて形成すること
ができる。例えば、有機絶縁材料としては、ネガ型やポジ型の感光性樹脂、非感光性樹脂
などを用いることができる。また、金属材料としては、チタン、アルミニウムなどを用い
ることができる。絶縁層４１７に導電材料を用い、絶縁層４１７と上部電極４３５とを電
気的に接続させる構成とすることで、上部電極４３５の抵抗に起因した電位降下を抑制で
きる。また、絶縁層４１７は、順テーパ形状であっても逆テーパ形状であってもよい。
【０１５６】
絶縁層４７６、絶縁層４７８、絶縁層４９１、絶縁層４９３、絶縁層４９５は、それぞれ
、無機絶縁材料または有機絶縁材料を用いて形成できる。特に絶縁層４７８や絶縁層４９
５は、センサ素子起因の表面凹凸を低減するために平坦化機能を有する絶縁層を用いるこ
とが好ましい。
【０１５７】
封止層４１３には、二液混合型の樹脂などの常温で硬化する硬化樹脂、光硬化性の樹脂、
熱硬化性の樹脂などの樹脂を用いることができる。例えば、ＰＶＣ（ポリビニルクロライ
ド）樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ＰＶＢ（ポ
リビニルブチラル）樹脂、ＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）樹脂等を用いることがで
きる。封止層４１３に乾燥剤が含まれていてもよい。また、封止層４１３を通過して発光
素子４３０の光が発光パネルの外に取り出される場合は、封止層４１３に屈折率の高いフ
ィラーや散乱部材を含むことが好ましい。乾燥剤、屈折率の高いフィラー、散乱部材につ
いては、接着層３０５に用いることができる材料と同様の材料が挙げられる。
【０１５８】
導電層３５６、導電層３５７、導電層４９４、および導電層４９６は、それぞれ、トラン
ジスタまたは発光素子を構成する導電層と同一の材料、同一の工程で形成できる。また、
導電層４８０は、トランジスタを構成する導電層と同一の材料、同一の工程で形成できる
。
【０１５９】
例えば、上記導電層は、それぞれ、モリブデン、チタン、クロム、タンタル、タングステ
ン、アルミニウム、銅、ネオジム、スカンジウム等の金属材料またはこれらの元素を含む
合金材料を用いて、単層でまたは積層して形成することができる。また、上記導電層は、
それぞれ、導電性の金属酸化物を用いて形成しても良い。導電性の金属酸化物としては酸
化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３等）、酸化スズ（ＳｎＯ２等）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、インジ
ウムスズ酸化物（ＩＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物（Ｉｎ２Ｏ３−ＺｎＯ等）またはこれ
らの金属酸化物材料に酸化シリコンを含ませたものを用いることができる。
【０１６０】
また、導電層４０８、導電層４１２、導電層５１０ａおよび導電層５１０ｂも、それぞれ
、上記金属材料、合金材料、または導電性の金属酸化物等を用いて形成できる。
【０１６１】
導電層４７２および導電層４７４、並びに、導電層４８１および導電層４８３は、透光性
を有する導電層である。例えば、酸化インジウム、ＩＴＯ、インジウム亜鉛酸化物、酸化
亜鉛、ガリウムを添加した酸化亜鉛等を用いることができる。また、導電層４７０は導電
層４７２と同一の材料、同一の工程で形成できる。
【０１６２】
導電性粒子４９２は、有機樹脂またはシリカなどの粒子の表面を金属材料で被覆したもの
を用いる。金属材料としてニッケルや金を用いると接触抵抗を低減できるため好ましい。
またニッケルをさらに金で被覆するなど、２種類以上の金属材料を層状に被覆させた粒子
を用いることが好ましい。
【０１６３】
接続体４１５としては、熱硬化性の樹脂に金属粒子を混ぜ合わせたペースト状またはシー
ト状の材料を用い、熱圧着によって異方性の導電性を示す材料を用いることができる。金
属粒子としては、例えばニッケル粒子を金で被覆したものなど、２種類以上の金属が層状
となった粒子を用いることが好ましい。
【０１６４】
着色層４５９は特定の波長帯域の光を透過する有色層である。例えば、赤色の波長帯域の
光を透過する赤色（Ｒ）のカラーフィルタ、緑色の波長帯域の光を透過する緑色（Ｇ）の
カラーフィルタ、青色の波長帯域の光を透過する青色（Ｂ）のカラーフィルタなどを用い
ることができる。各着色層は、様々な材料を用いて、印刷法、インクジェット法、フォト
リソグラフィ法を用いたエッチング方法などでそれぞれ所望の位置に形成する。
【０１６５】
また、隣接する着色層４５９の間に、遮光層４５７が設けられている。遮光層４５７は隣
接する発光素子から回り込む光を遮光し、隣接画素間における混色を抑制する。ここで、
着色層４５９の端部を、遮光層４５７と重なるように設けることにより、光漏れを抑制す
ることができる。遮光層４５７は、発光素子の発光を遮光する材料を用いることができ、
金属材料や顔料や染料を含む樹脂材料などを用いて形成することができる。なお、図１０
（Ｂ）に示すように、遮光層４５７を駆動回路部３０６などの光取り出し部３０４以外の
領域に設けると、導波光などによる意図しない光漏れを抑制できるため好ましい。
【０１６６】
また、着色層４５９と遮光層４５７を覆う絶縁層４６１を設けると、着色層４５９や遮光
層４５７に含まれる顔料などの不純物が発光素子等に拡散することを抑制できるため好ま
しい。絶縁層４６１は透光性の材料を用い、無機絶縁材料や有機絶縁材料を用いることが
できる。絶縁層４６１に前述の透水性の低い絶縁膜を用いてもよい。
【０１６７】
＜作製方法例＞
次に、発光パネルの作製方法を図１４および図１５を用いて例示する。ここでは、具体例
１（図１０（Ｂ））の構成の発光パネルを例に挙げて説明する。
【０１６８】
まず、作製基板５０１上に剥離層５０３を形成し、剥離層５０３上に絶縁層４０５を形成
する。次に、絶縁層４０５上にトランジスタ４４０、導電層３５７、絶縁層４０７、絶縁
層４０９、発光素子４３０、および絶縁層４１１を形成する。なお、導電層３５７が露出
するように、絶縁層４１１、絶縁層４０９、および絶縁層４０７は開口する（図１４（Ａ
）参照）。
【０１６９】
また、作製基板５０５上に剥離層５０７を形成し、剥離層５０７上に絶縁層４５５を形成
する。次に、絶縁層４５５上に遮光層４５７、着色層４５９、および絶縁層４６１を形成
する（図１４（Ｂ）参照）。
【０１７０】
作製基板５０１および作製基板５０５としては、それぞれ、ガラス基板、石英基板、サフ
ァイア基板、セラミック基板、金属基板などを用いることができる。
【０１７１】
また、ガラス基板には、例えば、アルミノシリケートガラス、アルミノホウケイ酸ガラス
、バリウムホウケイ酸ガラス等のガラス材料を用いることができる。後の加熱処理の温度
が高い場合には、歪み点が７３０℃以上のものを用いるとよい。なお、酸化バリウム（Ｂ
ａＯ）を多く含ませることで、より実用的な耐熱ガラスが得られる。他にも、結晶化ガラ
スなどを用いることができる。
【０１７２】
作製基板にガラス基板を用いる場合、作製基板と剥離層との間に、酸化シリコン膜、酸化
窒化シリコン膜、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜等の絶縁膜を形成すると、ガラス
基板からの汚染を防止でき、好ましい。
【０１７３】
剥離層５０３および剥離層５０７としては、それぞれ、タングステン、モリブデン、チタ
ン、タンタル、ニオブ、ニッケル、コバルト、ジルコニウム、亜鉛、ルテニウム、ロジウ
ム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、シリコンから選択された元素、該元素を含む
合金材料、または該元素を含む化合物材料からなり、単層または積層された層である。シ
リコンを含む層の結晶構造は、非晶質、微結晶、多結晶のいずれでもよい。
【０１７４】
剥離層は、スパッタリング法、プラズマＣＶＤ法、塗布法、印刷法等により形成できる。
なお、塗布法は、スピンコーティング法、液滴吐出法、ディスペンス法を含む。
【０１７５】
剥離層が単層構造の場合、タングステン層、モリブデン層、またはタングステンとモリブ
デンの混合物を含む層を形成することが好ましい。また、タングステンの酸化物もしくは
酸化窒化物を含む層、モリブデンの酸化物もしくは酸化窒化物を含む層、またはタングス
テンとモリブデンの混合物の酸化物もしくは酸化窒化物を含む層を形成してもよい。なお
、タングステンとモリブデンの混合物とは、例えば、タングステンとモリブデンの合金に
相当する。
【０１７６】
また、剥離層として、タングステンを含む層とタングステンの酸化物を含む層の積層構造
を形成する場合、タングステンを含む層を形成し、その上層に酸化物で形成される絶縁膜
を形成することで、タングステン層と絶縁膜との界面に、タングステンの酸化物を含む層
が形成されることを活用してもよい。また、タングステンを含む層の表面を、熱酸化処理
、酸素プラズマ処理、亜酸化窒素（Ｎ２Ｏ）プラズマ処理、オゾン水等の酸化力の強い溶
液での処理等を行ってタングステンの酸化物を含む層を形成してもよい。またプラズマ処
理や加熱処理は、酸素、窒素、亜酸化窒素単独、あるいは該ガスとその他のガスとの混合
気体雰囲気下で行ってもよい。上記プラズマ処理や加熱処理により、剥離層の表面状態を
変えることにより、剥離層と後に形成される絶縁膜との密着性を制御することが可能であ
る。
【０１７７】
各絶縁膜は、スパッタリング法、プラズマＣＶＤ法、塗布法、印刷法等を用いて形成する
ことが可能であり、例えば、プラズマＣＶＤ法によって成膜温度を２５０℃以上４００℃
以下として形成することで、緻密で非常に透水性の低い膜とすることができる。
【０１７８】
その後、作製基板５０５の着色層４５９等が設けられた面または作製基板５０１の発光素
子４３０等が設けられた面に封止層４１３となる材料を塗布し、封止層４１３を介して該
面同士を貼り合わせる（図１４（Ｃ）参照）。
【０１７９】
そして、作製基板５０１を剥離し、露出した絶縁層４０５と基板４０１を、接着層４０３
を用いて貼り合わせる。また、作製基板５０５を剥離し、露出した絶縁層４５５と基板３
０３を、接着層３０５を用いて貼り合わせる。図１５（Ａ）では、基板３０３が導電層３
５７と重ならない構成としたが、導電層３５７と基板３０３が重なっていてもよい。
【０１８０】
なお、剥離工程は、様々な方法を適宜用いることができる。例えば、剥離層として、被剥
離層と接する側に金属酸化膜を含む層を形成した場合は、当該金属酸化膜を結晶化により
脆弱化して、被剥離層を作製基板から剥離することができる。また、耐熱性の高い作製基
板と被剥離層の間に、剥離層として水素を含む非晶質珪素膜を形成した場合はレーザ光の
照射またはエッチングにより当該非晶質珪素膜を除去することで、被剥離層を作製基板か
ら剥離することができる。また、剥離層として、被剥離層と接する側に金属酸化膜を含む
層を形成し、当該金属酸化膜を結晶化により脆弱化し、さらに剥離層の一部を溶液やＮＦ
３、ＢｒＦ３、ＣｌＦ３等のフッ化ガスを用いたエッチングで除去した後、脆弱化された
金属酸化膜において剥離することができる。さらには、剥離層として窒素、酸素や水素等
を含む膜（例えば、水素を含む非晶質珪素膜、水素含有合金膜、酸素含有合金膜など）を
用い、剥離層にレーザ光を照射して剥離層内に含有する窒素、酸素や水素をガスとして放
出させ被剥離層と基板との剥離を促進する方法を用いてもよい。また、被剥離層が形成さ
れた作製基板を機械的に削除または溶液やＮＦ３、ＢｒＦ３、ＣｌＦ３等のフッ化ガスに
よるエッチングで除去する方法等を用いることができる。この場合、剥離層を設けなくと
もよい。
【０１８１】
また、上記剥離方法を複数組み合わせることでより容易に剥離工程を行うことができる。
つまり、レーザ光の照射、ガスや溶液などによる剥離層へのエッチング、鋭いナイフやメ
スなどによる機械的な削除を行い、剥離層と被剥離層とを剥離しやすい状態にしてから、
物理的な力（機械等による）によって剥離を行うこともできる。
【０１８２】
また、剥離層と被剥離層との界面に液体を浸透させて作製基板から被剥離層を剥離しても
よい。また、剥離を行う際に水などの液体をかけながら剥離してもよい。
【０１８３】
その他の剥離方法としては、剥離層をタングステンで形成した場合は、アンモニア水と過
酸化水素水の混合溶液により剥離層をエッチングしながら剥離を行うとよい。
【０１８４】
なお、作製基板と被剥離層の界面で剥離が可能な場合には、剥離層を設けなくてもよい。
例えば、作製基板としてガラスを用い、ガラスに接してポリイミド等の有機樹脂を形成し
、有機樹脂上に絶縁膜やトランジスタ等を形成する。この場合、有機樹脂を加熱すること
により、作製基板と有機樹脂の界面で剥離することができる。または、作製基板と有機樹
脂の間に金属層を設け、該金属層に電流を流すことで該金属層を加熱し、金属層と有機樹
脂の界面で剥離を行ってもよい。
【０１８５】
最後に、絶縁層４５５および封止層４１３を開口することで、導電層３５７を露出させる
（図１５（Ｂ）参照）。なお、基板３０３が導電層３５７と重なる構成の場合は、基板３
０３および接着層３０５も開口する（図１５（Ｃ）参照）。開口の手段は特に限定されず
、例えばレーザアブレーション法、エッチング法、イオンビームスパッタリング法などを
用いればよい。また、導電層３５７上の膜に鋭利な刃物等を用いて切り込みを入れ、物理
的な力で膜の一部を引き剥がしてもよい。
【０１８６】
以上により、発光パネルを作製することができる。
【０１８７】
以上に示したように、本実施の形態の発光パネルは、基板３０３と、基板４０１または基
板４０２と、の２枚の基板で構成される。さらにタッチセンサを含む構成であっても、２
枚の基板で構成することができる。基板の数を最低限とすることで、光の取り出し効率や
表示の鮮明さの向上が容易となる。
【０１８８】
また、可撓性を有する発光装置を適用した電子機器として、例えば、テレビジョン装置（
テレビ、またはテレビジョン受信機ともいう）、コンピュータ用などのモニタ、デジタル
カメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機（携帯電話、携帯
電話装置ともいう）、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、パチンコ機などの
大型ゲーム機などが挙げられる。
【０１８９】
本実施の形態は、他の実施の形態に記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能
である。
【符号の説明】
【０１９０】
１１０    第１の基板
１２０    第２の基板
１３０    蝶番
１３１    蝶番片
１３２    蝶番片
１４０    軸
１５０    ラック
１６０    ピニオン
１７０    長穴
１８０    治具
１９０    可撓性部品
１９１    領域
２１１    第１の基板
２１２    第２の基板
２１３    第３の基板
２１４    第４の基板
２２０    第１の蝶番
２２１    蝶番片
２２２    蝶番片
２３０    第２の蝶番
２３１    蝶番片
２３２    蝶番片
２４１    軸
２４２    軸
２４３    軸
２４４    中間歯車
２５１    第１のラック
２５２    第２のラック
２６１    第１のピニオン
２６２    第２のピニオン
２６３    第３のピニオン
２６４    中間歯車
２７１    長穴
２７２    長穴
２８０    治具
２９０    可撓性部品
３０１    素子層
３０３    基板
３０４    光取り出し部
３０５    接着層
３０６    駆動回路部
３０８    ＦＰＣ
３０８ａ    ＦＰＣ
３０８ｂ    ＦＰＣ
３５６    導電層
３５７    導電層
４０１    基板
４０２    基板
４０３    接着層
４０５    絶縁層
４０７    絶縁層
４０８    導電層
４０９    絶縁層
４０９ａ    絶縁層
４０９ｂ    絶縁層
４１１    絶縁層
４１２    導電層
４１３    封止層
４１５    接続体
４１５ａ    接続体
４１５ｂ    接続体
４１７    絶縁層
４３０    発光素子
４３１    下部電極
４３３    ＥＬ層
４３５    上部電極
４４０    トランジスタ
４５５    絶縁層
４５７    遮光層
４５９    着色層
４６１    絶縁層
４７０    導電層
４７１    ｐ型半導体層
４７２    導電層
４７３    ｉ型半導体層
４７４    導電層
４７５    ｎ型半導体層
４７６    絶縁層
４７８    絶縁層
４８０    導電層
４８１    導電層
４８３    導電層
４９１    絶縁層
４９２    導電性粒子
４９３    絶縁層
４９４    導電層
４９５    絶縁層
４９６    導電層
５０１    作製基板
５０３    剥離層
５０５    作製基板
５０７    剥離層
５１０ａ    導電層
５１０ｂ    導電層
【図１】
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【図２】
2020038381.tif 000004
【図３】
2020038381.tif 000005
【図４】
2020038381.tif 000006
【図５】
2020038381.tif 000007
【図６】
2020038381.tif 000008
【図７】
2020038381.tif 000009
【図８】
2020038381.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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