(57)【要約】【課題】ダイヤモンドパターンで形成されたセンサー部を有するタッチパネルであって、センサー部が目立ちにくい構造の静電容量タッチパネルを提供する。【解決手段】タッチパネルは、タッチ面を有するガラス基板と、ダイヤモンド形状のＸ軸格子１０Ａ、１０ＢをＸ軸方向に複数並べたパターンが、複数列、平行に設けられたＸ軸センサー部と、Ｙ軸格子１４Ａ、１４ＢをＹ軸方向に複数並べたパターンが、複数列、平行に設けられたＹ軸センサー部と、Ｘ軸センサー部とＹ軸センサー部との間に設けた絶縁層とが積層されており、タッチ面から見た平面視において、Ｘ軸格子とＹ軸格子とは重ならず、Ｘ軸格子の枠線１０ａとＹ軸格子の枠線１４ａの間に隙間１７が形成されており、隙間１７に、Ｘ軸格子１０Ａ、１０Ｂの枠線１０ａから微細格子の格子辺と平行に延びた突起部１２が設けられる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
タッチ面を有するガラス基板と、ダイヤモンド形状のＸ軸格子をＸ軸方向に複数並べたパターンが、複数列、平行に設けられたＸ軸センサー部と、前記Ｘ軸格子と同一形状のＹ軸格子を前記Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に複数並べたパターンが、複数列、平行に設けられたＹ軸センサー部と、前記Ｘ軸センサー部と前記Ｙ軸センサー部との間に設けた絶縁層とが積層された静電容量タッチパネルであって、
前記タッチ面から見た平面視において、前記Ｘ軸格子と前記Ｙ軸格子とは重ならずマトリックス状に配置され、前記Ｘ軸格子の枠線と前記Ｙ軸格子の枠線の間に隙間が形成されており、
前記Ｘ軸格子および前記Ｙ軸格子はそれぞれ微細格子からなる金属薄膜で形成され、前記隙間に、前記Ｘ軸格子の枠線または前記Ｙ軸格子の枠線から前記微細格子の格子辺と平行に延びた金属薄膜が設けられることを特徴とする静電容量タッチパネル。
【請求項２】
前記Ｘ軸センサー部において、Ｘ軸方向で隣接するＸ軸格子同士はＸ軸接続部によって接続され、前記Ｙ軸センサー部において、Ｙ軸方向で隣接するＹ軸格子同士はＹ軸接続部によって接続されており、
前記Ｘ軸接続部は、前記微細格子の格子辺と平行な金属薄膜で形成され、前記Ｙ軸接続部は、前記微細格子の格子辺と平行な金属薄膜で形成されることを特徴とする請求項１記載の静電容量タッチパネル。
【請求項３】
前記Ｘ軸格子は、前記Ｙ軸接続部と積層方向で重なる箇所に、前記微細格子の格子辺の少なくとも一部が欠損した欠損部を有することを特徴とする請求項２記載の静電容量タッチパネル。
【請求項４】
前記Ｙ軸格子は、前記Ｘ軸接続部と積層方向で重なる箇所に、前記微細格子の格子辺の少なくとも一部が欠損した欠損部を有することを特徴とする請求項２または請求項３記載の静電容量タッチパネル。
【請求項５】
前記隙間に設けられた金属薄膜は、前記微細格子を構成する金属薄膜と同一のピッチおよび同一の線幅で形成されることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項記載の静電容量タッチパネル。
【請求項６】
前記Ｘ軸格子または前記Ｙ軸格子の微細格子に、格子辺のうち少なくとも１つの辺の一部が切り離された切り離し部が複数設けられており、隣り合う微細格子の内部空間が連通していることを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか１項記載の静電容量タッチパネル。
【請求項７】
前記切り離し部は、Ｘ軸方向またはＹ軸方向の一方向に向かって、前記微細格子の内部空間の空気が流れ出るように形成されることを特徴とする請求項６記載の静電容量タッチパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチ面（ＸＹ平面）の任意の位置にユーザーの指などが接近したことを静電容量の変化により検出する静電容量タッチパネルに関し、特にガラス基板にセンサー電極を設けた静電容量タッチパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
家電機器、ＡＶ機器、ＰＣ／ＯＡ機器、産業機械、その他の電子デバイスにおいて、各機器への入力手段の１つとして投影型静電容量方式のタッチパネルが使用されている。投影型静電容量方式は、Ｘ軸方向とＹ軸方向にそれぞれ所定パターンで配列された複数のセンサー電極を有している。
【０００３】
従来のタッチパネルの具体的な構造として、一方のガラス基板にＸ軸方向の検知用のセンサー電極が形成され、他方のガラス基板にＹ軸方向の検知用のセンサー電極が形成され、Ｘ軸のセンサー電極およびＹ軸のセンサー電極が、２つのガラス基板間において、対向して挟み込まれた構造が知られている。センサー電極のパターンとしては、ダイヤモンド形の格子を縦（Ｙ）横（Ｘ）に並べた形状のパターン（以下、ダイヤモンドパターンとも言う。）が知られている（特許文献１参照）。
【０００４】
従来のダイヤモンドパターンのセンサー電極の構造について、図７および図８に基づいて説明する。図７には、タッチパネルをタッチ面から見た場合（平面視）のセンサー電極の拡大図を示す。図７に示すように、Ｘ軸方向に複数のＸ軸格子２１が並べられており、Ｙ軸方向に複数のＹ軸格子２２が並べられている。各格子２１、２２はそれぞれ、より微細な格子で形成されている。微細格子は金属薄膜で形成されている。なお、図７では、説明の便宜上、Ｙ軸格子２２を斜線で示している。このタッチパネルにおいて、Ｘ軸格子２１とＹ軸格子２２は電気的に分離する必要があるため、ある程度離す必要がある。そのため、図７に示すように、Ｘ軸格子２１およびＹ軸格子２２は積層方向で重なっておらず、Ｘ軸格子２１とＹ軸格子２２の間に隙間２３が設けられている。この隙間２３には金属薄膜は設けられていないため、各格子２１、２２に比べて透過率が高くなっている。
【０００５】
図７のＤ部拡大図を図８（ａ）に示し、図８（ａ）のうち、Ｘ軸センサー部を図８（ｂ）に示し、Ｙ軸センサー部を図８（ｃ）に示す。図８（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向で隣接するＸ軸格子２１Ａ、２１Ｂは、Ｘ軸方向と平行に延びた接続部２４によって接続されている。また、図８（ｃ）に示すように、Ｙ軸方向で隣接するＹ軸格子２２Ａ、２２Ｂは、Ｙ軸方向と平行に延びた接続部２５によって接続されている。接続部２４と接続部２５は、Ｘ軸格子およびＹ軸格子の格子辺の方向とは異なる方向で結線され、図８（ａ）に示すように、直交して交差している。図８（ａ）において、接続部が設けられる部分（β部）は、Ｘ軸格子２１およびＹ軸格子２２に比べて透過率が高く、かつ、隙間２３のうちβ部以外の部分（α部）に比べて透過率が低くなっている。
【０００６】
従来のダイヤモンドパターンのタッチパネルでは、上述のとおり、Ｘ軸格子２１およびＹ軸格子２２と、隙間２３のα部と、隙間２３のβ部との透過率がそれぞれ異なっている。そのため、接続部２４、２５などが目立ってしまい、センサー部の存在を感じてしまうことになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】国際公開第２０１５／１３７４７７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はこのような問題に対処するためになされたものであり、ダイヤモンドパターンで形成されたセンサー部を有するタッチパネルにおいて、センサー部が目立ちにくい構造の静電容量タッチパネルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の静電容量タッチパネルは、タッチ面を有するガラス基板と、ダイヤモンド形状のＸ軸格子をＸ軸方向に複数並べたパターンが、複数列、平行に設けられたＸ軸センサー部と、上記Ｘ軸格子と同一形状のＹ軸格子を上記Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に複数並べたパターンが、複数列、平行に設けられたＹ軸センサー部と、上記Ｘ軸センサー部と上記Ｙ軸センサー部との間に設けた絶縁層とが積層された静電容量タッチパネルであって、上記タッチ面から見た平面視において、上記Ｘ軸格子と上記Ｙ軸格子とは重ならずマトリックス状に配置され、上記Ｘ軸格子の枠線と上記Ｙ軸格子の枠線の間に隙間が形成されており、上記Ｘ軸格子および上記Ｙ軸格子はそれぞれ微細格子からなる金属薄膜で形成され、上記隙間に、上記Ｘ軸格子の枠線または上記Ｙ軸格子の枠線から上記微細格子の格子辺と平行に延びた金属薄膜が設けられることを特徴とする。
【００１０】
上記Ｘ軸センサー部において、Ｘ軸方向で隣接するＸ軸格子同士はＸ軸接続部によって接続され、上記Ｙ軸センサー部において、Ｙ軸方向で隣接するＹ軸格子同士はＹ軸接続部によって接続されており、上記Ｘ軸接続部は、上記微細格子の格子辺と平行な金属薄膜で形成され、上記Ｙ軸接続部は、上記微細格子の格子辺と平行な金属薄膜で形成されることを特徴とする。
【００１１】
上記Ｘ軸格子は、上記Ｙ軸接続部と積層方向で重なる箇所に、上記微細格子の格子辺の少なくとも一部が欠損した欠損部を有することを特徴とする。
【００１２】
上記Ｙ軸格子は、上記Ｘ軸接続部と積層方向で重なる箇所に、上記微細格子の格子辺の少なくとも一部が欠損した欠損部を有することを特徴とする。
【００１３】
上記隙間に設けられた金属薄膜は、上記微細格子を構成する金属薄膜と同一のピッチおよび同一の線幅で形成されることを特徴とする。
【００１４】
上記Ｘ軸格子または上記Ｙ軸格子の微細格子に、格子辺のうち少なくとも１つの辺の一部が切り離された切り離し部が複数設けられており、隣り合う微細格子の内部空間が連通していることを特徴とする。
【００１５】
上記切り離し部は、Ｘ軸方向またはＹ軸方向の一方向に向かって、上記微細格子の内部空間の空気が流れ出るように形成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の静電容量タッチパネルは、Ｘ軸方向に配列したダイヤモンド形状のＸ軸格子と、Ｙ軸方向に配列したダイヤモンド形状のＹ軸格子とがマトリックス状に配列されたタッチパネルであり、Ｘ軸格子の枠線とＹ軸格子の枠線の間に形成される隙間に、Ｘ軸格子の枠線またはＹ軸格子の枠線から微細格子の格子辺と平行に延びた金属薄膜が設けられるので、格子間の隙間が金属薄膜で埋まり、隙間の部分と格子の部分との透過率が略同一となる。その結果、センサー部全体の透過率が略均一になるため、センサー部の存在が目立ちにくく、品位を向上させることができる。
【００１７】
Ｘ軸接続部は、微細格子の格子辺と平行な金属薄膜で形成され、Ｙ軸接続部は、微細格子の格子辺と平行な金属薄膜で形成されるので、各接続部が格子辺の方向と異なる方向で結線される場合に比べて、接続部の存在を目立ちにくくできる。
【００１８】
Ｘ軸格子またはＹ軸格子は、Ｙ軸接続部またはＸ軸接続部と積層方向で重なる箇所に、微細格子の格子辺の少なくとも一部が欠損した欠損部を有するので、金属薄膜が積層方向で重なる部分が少なくなり、センサー部全体の透過率や反射率を均一にすることができる。
【００１９】
隙間に設けられた金属薄膜は、微細格子を構成する金属薄膜と同一のピッチおよび同一の線幅で形成されるので、隙間の部分をより目立ちにくくできる。
【００２０】
Ｘ軸格子またはＹ軸格子の微細格子に、格子辺のうち少なくとも１つの辺の一部が切り離された切り離し部が複数設けられており、隣り合う微細格子の内部空間が連通しているので、切り離し部が空気抜きの機能を果たし、センサー部やガラス基板の貼り合わせ時において微細格子内で気泡が発生することを抑制できる。その結果、気泡による動作不良などを回避できるとともに、センサー部全体を均一で高い透過率とすることができる。
【００２１】
切り離し部は、Ｘ軸方向またはＹ軸方向の一方向に向かって、微細格子の内部空間の空気が流れ出るように形成されるので、貼り合わせ後のローラー処理によって、空気がスムーズに抜けることで、気泡の発生を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の静電容量タッチパネルの一例を示す平面図および側面図である。
【図２】図１のタッチパネルの拡大断面を示す模式図である。
【図３】図１のＸ軸格子およびＹ軸格子の境界を示す拡大図などである。
【図４】図３のＸ軸格子を構成する微細格子の拡大図である。
【図５】タッチパネルのＸ軸方向端部におけるＸ軸格子の拡大図である。
【図６】図５の部分拡大図である。
【図７】従来のタッチパネルのＸ軸格子およびＹ軸格子の部分拡大図である。
【図８】図７のＸ軸格子およびＹ軸格子の境界を示す拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
本発明の静電容量タッチパネルの一例を図１に基づいて説明する。図１（ａ）は静電容量タッチパネルを示す平面図であり、図１（ｂ）はその側面図である。図１（ｂ）に示すように、静電容量タッチパネル１は、Ｘ軸方向検知用のＸ軸センサー部３を有する透光性の第１のガラス基板２と、Ｙ軸方向検知用のＹ軸センサー部５を有する透光性の第２のガラス基板４とを備えてなり、第１のガラス基板２および第２のガラス基板４とが貼り合わされた積層構造を有する。第１のガラス基板２の表面がタッチ面２ａとなり、このタッチ面２ａの反対面２ｂにＸ軸センサー部３が設けられている。また、第２のガラス基板４の片面にＹ軸センサー部５が設けられている。Ｘ軸センサー部３およびＹ軸センサー部５は、２つのガラス基板間において対向して挟み込まれている。２つのセンサー部間にガラス基板を介在させない構造であるため、介在させる場合と比較してセンサー部間のギャップが大幅に少ない。
【００２４】
各センサー部のセンサー電極と配線７で接続された外部接続端子８にフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）９が接続されている。ＦＰＣ９を介してタッチ検出を行なうコントロール部（図示省略）が接続される。また、耐環境特性を向上させるために、ＦＰＣ９に替えて金属製のリードフレームを設けてもよい。本発明の静電容量タッチパネルは、センサー電極と指との間で静電結合が起きて電極の静電容量が変化することを利用するものであり、コントロール部における具体的な検出手順などは公知の手順を採用できる。
【００２５】
図２にパネルの拡大断面の模式図を示す。図２に示すように、Ｘ軸センサー部３は、第１のガラス基板２のタッチ面２ａの反対面に形成された中間層３ｂと、その上に形成された金属薄膜からなるセンサー電極３ａとを有する。また、Ｙ軸センサー部５は、第２のガラス基板４の片面（第１のガラス基板側）に形成された金属薄膜からなるセンサー電極５ａと、その上に形成された中間層５ｂとを有する。タッチ面２ａから見ると、いずれのセンサー部においても、中間層の下に金属薄膜が位置するように形成されている。これにより、可視光の反射率を低減させて視認性を確保している。
【００２６】
センサー電極３ａ、５ａを構成する金属薄膜は、アルミニウム（Ａｌ）、Ａｌ合金、ニオビウム、モリブデン、金、銀、銅などの材料を用いて、公知の薄膜成形方法により形成される。これらの中でも、耐環境特性に優れ、低コストであることから、Ａｌ薄膜を採用することが好ましい。
【００２７】
中間層３ｂ、５ｂは、（１）Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗから選ばれる少なくとも１つの金属を含む薄膜である。また、中間層３ｂ、５ｂは、可視光の干渉により入射光を吸収して黒色に見える層（黒色層）である。タッチ面２ａからは、スイッチ部は黒色に見え、反射を抑制できる。中間層は、上述のＡｌ薄膜などの形成と同様に、スパッタリングなどにより形成できる。また、中間層には、（２）Ａｌの酸化物（Ａｌ２Ｏ３など）およびＴｉの酸化物（ＴｉＯ２など）から選ばれる少なくとも１つの酸化物を所定量含むことが好ましい。これら酸化物を所定量含むことで、反射率の更なる低減が図れる。中間層として、より好ましくはＭｏとＡｌ２Ｏ３の混合層である。また、中間層の膜厚は、５ｎｍ〜５００ｎｍが適当であり、より好ましくは２０ｎｍ〜２００ｎｍである。
【００２８】
第１のガラス基板２および第２のガラス基板４は、透光性の絶縁基板であり、ソーダライムガラス、石英ガラス、硼珪酸ガラス、アルカリ成分を含まない無アルカリガラスなどを採用できる。高い透過率を有し、かつ、一般建材の窓ガラスに使用され非常に安価であることから、ソーダライムガラスを用いることが好ましい。 また、各ガラス基板の厚みは、それぞれ０．５〜５ｍｍ程度、好ましくは０．５〜３．０ｍｍ程度である。
【００２９】
図２において、Ｘ軸センサー部３とＹ軸センサー部５との間、厳密にはＸ側のセンサー電極３ａとＹ側の中間層５ｂとの間には、各センサー電極を絶縁するために絶縁層６が形成されている。絶縁層の厚みは、５０μｍ〜５００μｍが適当である。絶縁層の厚みが５００μｍをこえると、センサー電極間のギャップが大きくなり、Ｘ軸センサー部とＹ軸センサー部に感度差が生じる。
【００３０】
また、図１および図２ではタッチ面側の第１のガラス基板にＸ軸センサー部を設けているが、第１のガラス基板にＹ軸センサー部を設け、第２のガラス基板にＸ軸センサー部を設ける形態としてもよい。
【００３１】
ここで、図１（ａ）に示すように、タッチパネル１の各センサー部３、５は、ダイヤモンドパターンでパターニングされている。具体的には、Ｘ軸センサー部３は、ダイヤモンド形のＸ軸格子１０をＸ軸方向に一直線上に複数並べたパターンが、複数列、平行に配列されて構成される。Ｙ軸センサー部５は、Ｘ軸格子１０と同一形状のＹ軸格子１４をＸ軸方向と直交するＹ軸方向に一直線上に複数並べたパターンが、複数列、平行に配列されて構成される。Ｘ軸センサー部３とＹ軸センサー部５とは、ＸＹ平面で見ると（平面視で）重ならない位置に配置され、Ｘ軸格子１０およびＹ軸格子１４がマトリックス状に配列されている。Ｘ軸格子１０およびＹ軸格子１４の格子内は、より微細な格子状部分（微細格子）で形成されている。
【００３２】
本発明のタッチパネルにおけるＸ軸格子とＹ軸格子の境界の拡大図を図３に示す。図３（ａ）は図１のＡ部拡大図であり、図３（ｂ）はＸ軸センサー部のみを示す図であり、図３（ｃ）はＹ軸センサー部のみを示す図である。図３（ａ）〜（ｃ）は、従来構成を示す図８（ａ）〜（ｃ）にそれぞれ対応している。
【００３３】
図３（ａ）に示すように、Ｘ軸格子（１０Ａ）とＹ軸格子（１４Ｂ）の格子間に隙間１７が設けられている。隙間１７の幅ＣＬ（Ｘ軸格子の枠線とＹ軸格子の枠線の距離）は、センサー部全体において一定となるように形成される。幅ＣＬは例えば、１０〜６００μｍの範囲に設定される。従来構成では、隙間の部分とダイヤモンド格子の部分とで透過率に差が生じることで、接続部や隙間などが目立ちやすい構成となっていた（図８参照）。これに対して、本発明では、この隙間を埋めるために、ダイヤモンド格子の枠線から格子辺と平行に延びた金属薄膜を設けることで、隙間の部分とダイヤモンド格子の部分との透過率を略同一にしている。
【００３４】
Ｘ軸格子について、図３（ｂ）に基づいて説明する。Ｘ軸格子１０ＡとＸ軸格子１０Ｂは、それぞれ枠線１０ａで囲まれたダイヤモンド形状をしている。枠線１０ａ内は微細格子で形成されており、該微細格子は、後述するように、所定のピッチ、所定の線幅の金属薄膜で形成される。Ｘ軸格子１０ＡおよびＸ軸格子１０Ｂには、枠線１０ａから外側に突き出した突起部１２が設けられている。突起部１２は、微細格子の格子辺の延長線として設けられており、微細格子の格子辺と平行に形成される。図３（ｂ）において、突起部１２は、後述の欠損部を除いて、微細格子と同一のピッチおよび同一の線幅で形成されている。突起部１２の突起長さＨは、特に限定されないが、隙間の幅ＣＬの６０〜９５％の長さであることが好ましく、７０〜９０％の長さであることがより好ましい。
【００３５】
図３（ｂ）において、Ｘ軸方向で隣接するＸ軸格子１０ＡおよびＸ軸格子１０Ｂは、接続部１１を介して接続されている。接続部１１は、微細格子の格子辺と平行な辺で形成されており、突起部１２の一部を用いている。接続部１１および突起部１２は、微細格子の構成と同様に、金属薄膜で構成される。具体的には、上述のセンサー電極と中間層で構成される。接続部１１は、Ｘ軸格子のＸ軸方向における中央線に対して非対称に設けられる。また、Ｘ軸格子１０Ａは、接続部１５（図３（ｃ）参照）と積層方向で重なる箇所に、微細格子の格子辺の一部が欠損した欠損部１３を有する。
【００３６】
Ｙ軸格子について、図３（ｃ）に基づいて説明する。Ｙ軸格子１４ＡとＹ軸格子１４Ｂは、それぞれ枠線１４ａに囲まれたダイヤモンド形状をしている。枠線１４ａ内は、Ｘ軸格子と同様に微細格子で形成されている。Ｙ軸方向で隣接するＹ軸格子１４ＡおよびＹ軸格子１４Ｂは、接続部１５を介して接続されている。接続部１５は、微細格子の格子辺と平行な辺で形成されており、微細格子の構成と同様に、金属薄膜で構成される。具体的には、上述のセンサー電極と中間層で構成される。接続部１５は、Ｙ軸格子のＹ軸方向における中央線に対して非対称に設けられる。また、Ｙ軸格子１４Ａは、接続部１１（図３（ｂ）参照）と積層方向で重なる箇所に、微細格子の格子辺の一部が欠損した欠損部１６を有する。図３（ｃ）では、欠損部１６は枠線１４ａ上に設けられている。
【００３７】
Ｘ軸センサー部とＹ軸センサー部の静電容量の検出を精度良く行うため、Ｘ軸のセンサー電極とＹ軸のセンサー電極とは積層方向において重ならない構成とすることが好ましい。このような観点から、図３（ｂ）、図３（ｃ）に示すように、Ｘ軸格子またはＹ軸格子がＹ軸接続部またはＸ軸接続部と積層方向で重なる箇所に、欠損部１３、１６を設けている。これにより、検出精度を高めるとともに、センサー部全体でよりムラのない透過率や反射率を実現できる。なお、図３（ａ）では、ＸＹ平面で互いに隣接し合う４つの格子（１０Ａ、１０Ｂ、１４Ａ、１４Ｂ）は、Ｘ軸格子１０Ａの枠線と接続部１５とが交差する交点Ｐ以外では重なっていない。また、Ｘ軸センサー部とＹ軸センサー部との交点は隙間１７上に位置しないことが好ましい。
【００３８】
図３の形態では、Ｘ軸センサー部のＸ軸格子１０Ａ、１０Ｂに突起部１２を設けたが、その突起部１２に代えて、Ｙ軸センサー部のＹ軸格子１４Ａ、１４Ｂに突起部を設けてもよい。
【００３９】
図４に微細格子の部分拡大図を示す。この格子状部分は、センサー電極と中間層が上記順序で重なったものである。格子間が開口部１８であり、この部分にはセンサー電極や中間層は形成されていない。格子状部分は、非常に微細な格子状であることから、一見して目視で透明に見える透光部となる。格子状部分は、通常、線幅Ｗとして３μｍ〜５０μｍ、線ピッチＰとして０．２ｍｍ〜１ｍｍ程度とする。
【００４０】
各センサー部のセンサー電極は、金属薄膜から構成される。例えば、金属薄膜がＡｌ薄膜である場合、Ａｌ薄膜は、Ａｌの固体ターゲット（蒸着材）を用いて、真空プロセスである、スパッタリングまたは真空蒸着により形成される。また、配線７（図１（ａ）参照）もセンサー電極と同時に一体に形成されている。真空プロセスとしては、均一な膜の形成が可能であることからスパッタリングを採用することがより好ましい。スパッタリングは、固体ターゲットに加速したアルゴンイオンを衝突させて、ターゲット表面から飛び出した原子または分子をガラス基板上に付着させて形成する方法である。
【００４１】
Ａｌ薄膜を格子状などの所定形状に加工する方法は特に限定されないが、センサー電極に接続される配線や、上述の微細格子部分を精度よく形成可能であることから、公知のフォト解像技術を用いることが好ましい。例えば、Ａｌ薄膜をスパッタリングまたは真空蒸着で形成した後、エッチングパタンのマスク層をレジスト材料を用いてスクリーン印刷により形成し、所定のエッチング液を用いて湿式エッチングにより湿式エッチングして微細配線を形成する。なお、Ａｌ薄膜の膜厚は、１００ｎｍ〜５０００ｎｍが適当である。
【００４２】
ここで、絶縁層６（図２参照）は、光学粘着フィルム（ＯＣＡ）や光学樹脂（ＯＣＲ）によって形成される。本発明のタッチパネルは、センサー電極３ａおよび中間層５ｂのいずれか一方の表面にＯＣＡを貼り、他方のセンサー基板を貼り合わせる方法や、センサー電極３ａおよび中間層５ｂのいずれか一方の表面にＯＣＲを充填して上記センサー基板を貼り合わせる方法などによって得られる。貼り合わせた後には、Ｘ軸方向またはＹ軸方向の一方向に向かってローラー処理が行われる。しかし、ＯＣＡの貼り付けやＯＣＲを充填する際には、Ａｌ薄膜の凹凸（段差）によって空気の逃げ場がなくなり、微細格子の内部に気泡を巻き込むおそれがある。その結果、気泡による不具合や動作不良などが生じる場合がある。
【００４３】
図５および図６の形態では、微細格子の内部が閉塞しないようにＸ軸センサー部３’に泡抜き部が形成された構造となっている。図５は、Ｘ軸方向の一方側端部におけるＸ軸格子１０ＣとＸ軸格子１０Ｄを示している。これらＸ軸格子についても、上述のように、枠線１０ａから隙間に向かって突き出した突起部１２が設けられている。また、Ｘ軸格子１０ＣとＸ軸格子１０Ｄは、微細格子の格子辺と平行な辺で構成された接続部１１によって接続されている。ここで、点線Ｌ１は接続配線を示しており、Ｘ軸方向に配列した各Ｘ軸格子を接続するための配線である。
【００４４】
図５のＣ部拡大図を図６に示す。図６に示すように、泡抜き部として、微細格子の格子辺の１つの辺の一部が切り離された切り離し部１９が設けられている。切り離し部１９を設けることで、隣り合う微細格子の内部空間が連通するので、ローラー処理の際に気泡が抜けやすくなる。その結果、格子内部の気泡の発生を防止でき、センサーエリア全体が均一で高い透過率を実現できる。
【００４５】
切り離し部１９の格子辺の切り離し距離（開口距離）は、特に限定されないが、２０〜５０μｍであることが好ましい。また、格子辺の一辺の長さとの関係でいうと、格子辺の一辺の長さの１／２０〜１／５であることが好ましく、格子辺の１／１０〜１／６であることがより好ましい。
【００４６】
切り離し部１９の形成位置は、特に限定されず、接続配線Ｌ１を構成する格子辺以外の格子辺に形成することができる。切り離し部１９は、Ｘ軸方向の一方向（図６では左側）に向かって、微細格子の内部空間の空気が流れるように形成されることが好ましい。また、空気の流れをスムーズにするため、切り離し部１９が格子辺と平行な直線状に連続して配置されることが好ましい。
【００４７】
図１〜図６の形態では、静電容量タッチパネルを、２つのガラス基板が重ね合わせてその間に各センサー部が挟み込まれた構造としたが、これに限らず、ガラス基板１枚の構造としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明の投影型静電容量タッチスイッチパネルは、センサー部が目立ちにくいので、家電機器、ＡＶ機器、ＰＣ／ＯＡ機器、産業機械、その他の電子デバイス等における各機器への入力手段として好適に利用できる。
【符号の説明】
【００４９】
１    静電容量タッチパネル
２    第１のガラス基板
３    Ｘ軸センサー部
４    第２のガラス基板
５    Ｙ軸センサー部
６    絶縁層
７    配線
８    外部接続端子
９    フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）
１０  Ｘ軸格子
１０ａ  枠線
１１  接続部
１２  突起部
１３  欠損部
１４  Ｙ軸格子
１４ａ  枠線
１５  接続部
１６  欠損部
１７  隙間
１８  開口部
１９  切り離し部
Ｌ１  接続配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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