(57)【要約】【課題】照射特性の変動を抑制する。【解決手段】実施形態の紫外線照射ユニットは、バリア放電ランプと、外部電極とを具備する。バリア放電ランプは、発光管および内部電極を有する。発光管は、ガスが封入され、紫外光を透過する。発光管は、円筒状である。内部電極は、発光管の内部に配置され、発光管の管軸方向に延在する。外部電極は、内部電極と対向するように発光管の外面側に設けられ、発光管の周方向に１８０°を超える範囲を覆う。外部電極は、周方向に１８０°以下の範囲で発光管を覆う第１部材と、発光管を挟んで互いに向かい合い、第１部材に対する相対的な位置または姿勢を変更可能な一対の第２部材とを有する。【選択図】図２
2020038751.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスが封入され紫外光を透過する円筒状の発光管および前記発光管の内部に配置され前記発光管の管軸方向に延在する内部電極を有するバリア放電ランプと；
前記内部電極と対向するように前記発光管の外面側に設けられ、前記発光管の周方向に１８０°を超える範囲を覆う外部電極と；
を具備し、
前記外部電極は、前記周方向に１８０°以下の範囲で前記発光管を覆う第１部材と、前記発光管を挟んで互いに向かい合い、前記第１部材に対する相対的な位置または姿勢を変更可能な一対の第２部材とを有する、紫外線照射ユニット。
【請求項２】
前記一対の第２部材は、前記第１部材の端面に沿ってスライド可能に配置される、請求項１に記載の紫外線照射ユニット。
【請求項３】
前記一対の第２部材は、前記第１部材の端面と接離可能に配置される、請求項１に記載の紫外線照射ユニット。
【請求項４】
前記一対の第２部材は、前記発光管を着脱可能な第１位置から、前記発光管を前記第１部材の近傍に配置させて前記発光管を支持する第２位置まで移動する、請求項１〜３のいずれか１つに記載の紫外線照射ユニット。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１つに記載の紫外線照射ユニットと；
前記紫外線照射ユニットの照射方向の位置を調整可能なアジャスタと；
を具備する、紫外線照射装置。
【請求項６】
ガスが封入され、紫外光を透過する円筒状の発光管と；
前記発光管の内部に配置され、前記発光管の管軸方向に延在する内部電極と；
前記内部電極と対向するように前記発光管の外面側に設けられ、前記発光管の周方向に１８０°を超える範囲を覆う外部電極と；
を具備し、
前記外部電極は、前記周方向に１８０°以下の範囲で前記発光管を覆う第１部材と、前記発光管を挟んで互いに向かい合い、前記第１部材に対する相対的な位置または姿勢を変更可能な一対の第２部材とを有する、バリア放電ランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、紫外線照射ユニット、紫外線照射装置およびバリア放電ランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板の洗浄や改質を目的として使用される紫外線照射装置が知られている。紫外線照射装置には、誘電体である発光管の内部に配置された内部電極と発光管の外部に配置された外部電極とを交流電源に接続することで発生する誘電体バリア放電により、発光管の内部に収容されたガスに応じた特定の波長を有する紫外光を放射するバリア放電ランプを備えるものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２１１１６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のようなバリア放電ランプにおいては、例えば発光管の製造精度に起因して紫外光の照射特性に変動が生じる場合があった。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、照射特性の変動を抑制することができる紫外線照射ユニット、紫外線照射装置およびバリア放電ランプを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態の紫外線照射ユニットは、バリア放電ランプと、外部電極とを具備する。バリア放電ランプは、発光管および内部電極を有する。発光管は、ガスが封入され、紫外光を透過する。発光管は、円筒状である。内部電極は、発光管の内部に配置され、発光管の管軸方向に延在する。外部電極は、内部電極と対向するように発光管の外面側に設けられ、発光管の周方向に１８０°を超える範囲を覆う。外部電極は、周方向に１８０°以下の範囲で発光管を覆う第１部材と、発光管を挟んで互いに向かい合い、第１部材に対する相対的な位置または姿勢を変更可能な一対の第２部材とを有する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、照射特性の変動を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施形態に係る紫外線照射ユニットを示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’断面図である。
【図３】一対の第２部材の間隔が固定の紫外線照射ユニットを示す断面図である。
【図４】実施形態に係る紫外線照射ユニットを示す断面図である。
【図５】実施形態に係る紫外線照射ユニットが有する第２部材の第１位置と第２位置とを示す断面図である。
【図６】実施形態の第１変形例に係る紫外線照射ユニットが有する第２部材の第１位置と第２位置とを示す断面図である。
【図７】実施形態の第２変形例に係る紫外線照射ユニットが有する第２部材の第１位置と第２位置とを示す断面図である。
【図８】紫外線照射ユニットのアジャスタを示す断面図である。
【図９】実施形態に係る紫外線照射装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に説明する実施形態に係る紫外線照射ユニット１は、バリア放電ランプと、外部電極６とを具備する。バリア放電ランプは、発光管２および内部電極３を有する。発光管２は、ガスが封入され、紫外光を透過する。発光管２は、円筒状である。内部電極３は、発光管２の内部に配置され、発光管２の管軸方向に延在する。外部電極６は、内部電極３と対向するように発光管２の外面側に設けられ、発光管２の周方向に１８０°を超える範囲を覆う。外部電極６は、周方向に１８０°以下の範囲で発光管２を覆う第１部材７と、発光管２を挟んで互いに向かい合い、第１部材７に対する相対的な位置または姿勢を変更可能な一対の第２部材８とを有する。
【００１０】
また、以下に説明する実施形態に係る一対の第２部材８は、第１部材７の端面に沿ってスライド可能に配置される。
【００１１】
また、以下に説明する実施形態に係る一対の第２部材８は、第１部材７の端面と接離可能に配置される。
【００１２】
また、以下に説明する実施形態に係る一対の第２部材８は、発光管２を着脱可能な第１位置から、発光管２と第１部材７とを接触させて発光管２を支持する第２位置まで移動する。
【００１３】
また、以下に説明する実施形態に係る紫外線照射装置１００は、紫外線照射ユニット１と、紫外線照射ユニット１の照射方向の位置を調整可能なアジャスタ５４とを具備する。
【００１４】
また、以下に説明する実施形態に係るバリア放電ランプ１は、発光管２と、内部電極３と、外部電極６とを具備する。発光管２は、ガスが封入され、紫外光を透過する。発光管２は、円筒状である。内部電極３は、発光管２の内部に配置され、発光管２の管軸方向に延在する。外部電極６は、内部電極３と対向するように発光管２の外面側に設けられ、発光管２の周方向に１８０°を超える範囲を覆う。外部電極６は、周方向に１８０°以下の範囲で発光管２を覆う第１部材７と、発光管２を挟んで互いに向かい合い、第１部材７に対する相対的な位置または姿勢を変更可能な一対の第２部材８とを有する。
【００１５】
以下に、本発明に係る実施形態を図面に基づき説明する。なお、以下に示す実施形態は、本発明が開示する技術を限定するものではない。
【００１６】
［実施形態］
図１は、実施形態に係る紫外線照射ユニットを示す平面図であり、図２は、図１のＡ−Ａ’断面図である。図１および図２に示すように、実施形態に係る紫外線照射ユニット１は、バリア放電ランプとしての発光管２、外部電極６を有する。発光管２は、内部電極３、反射膜４、リード線５、口金９を有する。なお、以降の説明では、バリア放電ランプを単に発光管２として説明する。また、本実施形態では紫外線照射ユニット１として、バリア放電ランプとしての発光管２の外部に外部電極６を有する構成としているが、紫外線照射ユニット１、より具体的にはバリア放電ランプとしての発光管２の外部に外部電極６が組み合わされた形態を「バリア放電ランプ」と称してもよい。
【００１７】
なお、説明を分かりやすくするために、図１および図２には、照射面側を正方向とし、背面側を負方向とするＺ軸を含む３次元の直交座標系を図示している。かかる直交座標系は、後出の説明に用いる他の図面でも示している。
【００１８】
発光管２は、紫外光を透過する円筒状の部材である。発光管２の材料としては、例えば波長２００ｎｍ以下の真空紫外線透過率が高い合成石英が例示される。また、発光管２は、管軸方向（Ｘ軸方向）の両端がステム構造を有する封着部材で保持され、気密に封着されている。発光管２は、紫外線照射に伴う応力割れを抑制する観点から、例えば外径Ｄを３０ｍｍ以上とすることができる。また、発光管２は、例えば管軸方向の長さＬＹを７５０ｍｍとすることができる。
【００１９】
また、発光管２の内部にはガスが封入されている。ガスは、例えば８０〜２００ｋＰａのキセノンガスである。なお、ガスは、例えば、クリプトン、キセノン、アルゴン、ネオン等のうち１種類、または複数種組み合わせたガスを含んで構成することができる。さらに、ガスは、必要に応じて、例えばハロゲンガスを含んでもよい。発光管２は、封入されたガスの種類に応じた特定のピーク波長を有する紫外光（エキシマ光）を発することができる。
【００２０】
内部電極３は、発光管２の内部に配置される。内部電極３は、螺旋状の導体が発光管２の管軸方向に延在している。内部電極３は、例えばタングステンを含む材料で形成される。具体的には、内部電極３は、全成分のうち５０％以上の成分がタングステンである。特に、タングステンにカリウムなどを添加したドープタングステンを内部電極３として適用すると、高温時でもより高い寸法安定性を保持することができる。内部電極３は、例えば、管軸方向のピッチＰを１０ｍｍ以上３０ｍｍ以下とすることができる。
【００２１】
反射膜４は、発光管２の内面に設けられ、紫外光を発光管２の内部へ反射する。反射膜４の材料としては、例えば、シリカが例示される。また、反射膜４は、シリカに限らず、例えばアルミナなどの紫外線散乱粒子を含む材料で構成されてもよい。反射膜４は、良好な反射率を保持する観点から、例えば厚さが１００μｍ以上３００μｍ以下となるように形成される。
【００２２】
また、反射膜４は、発光管２の周方向の角度θが例えば１８０°以上の範囲となるように配置される。これにより、発光管２で発生する紫外光を効率よく被照射体に向けて照射することができる。ただし、実施形態の変形例に係る紫外線照射ユニット１として、反射膜４を有しない態様も許容される。
【００２３】
外部電極６は、発光管２の外面側、具体的には発光管２の背面側に、内部電極３と対向するように設けられる。外部電極６は、発熱した発光管２を放熱させる放熱ブロックとしての機能を兼ねており、例えば、アルミニウム製またはステンレス製とすることができる。また、図２に示した例では、外部電極６に覆われる発光管２の周方向の角度は、反射膜４と接触する発光管２の周方向の角度θとほぼ同じであるように形成されたが、これに限らず、互いに異なってもよい。
【００２４】
外部電極６は、第１部材７と一対の第２部材８とを有する。第１部材７は、発光管２の周方向に１８０°以下の範囲で発光管２の背面側を覆う。また、第１部材７の内部には、液体または気体の冷媒を流通させる流路１０を有する。流路１０内に冷媒を流通させることにより、放熱性がさらに高まる。なお、図２では２つの流路１０を有する例について図示したが、流路１０は１つであってもよく、３つ以上であってもよい。
【００２５】
一対の第２部材８は、Ｘ軸方向に沿って発光管２を挟んで互いに向かい合うように配置されている。一対の第２部材８は、Ｚ軸方向に貫通する貫通穴１１をそれぞれ有しており、貫通穴１１に挿入された固定化部材１２を用いて第１部材７に固定される。これにより、第１部材７および第２部材８は協働して外部電極６として挙動する。このように、外部電極６が第２部材８を有することにより、第１部材７を単独で外部電極６として使用する場合と比較して紫外線照射ユニット１の設計上または性能上の自由度が増大する。なお、第１部材７および第２部材８は、接触により導通させることができるが、例えば導線など、図示しない導体を介して電気的に接続させてもよい。
【００２６】
リード線５は、内部電極３と電気的に接続されている。また、リード線５は、交流電源に接続されたここでは図示しない点灯装置に接続されており、発光管２の内部に設けられる内部電極３と外部電極６との電極間に所定の電圧を印加させて発光させることができる。なお、リード線５は、図１のように発光管２の両端に設けられている構成に限定されず、例えば、発光管２の一端側のみに設けられる構成であってもよい。
【００２７】
口金９は、リード線５の一端側を覆うように配置され、発光管２の管軸方向の両端を支持する。なお、口金９は、図１のように外部電極６と口金９とが接触して設けられる構成に限定されず、例えば外部電極６と口金９とが間隙を有して設けられていてもよい。
【００２８】
ここで、紫外線照射ユニット１における外部電極６と発光管２との配置関係について説明する。図３は、一対の第２部材の間隔が固定の紫外線照射ユニットを示す断面図である。なお、図３では、簡略化のために反射膜４の図示を省略しているが、反射膜４の有無は問わない。また、図４以降も同様である。
【００２９】
発光管２が、設計値として予め定められた外径Ｄを有するように製造される場合、外径Ｄには所定の誤差（公差）が許容される。以下、外径Ｄが最小値となる外径ＤＳを有する発光管２Ａと最大値となる外径ＤＬを有する発光管２Ｃとの間の任意の外径ＤＭをとりうる発光管２Ｂを例に挙げて説明する。
【００３０】
図３に示すように、一対の第２部材１８の間隔が固定の外部電極では、図３（ｃ）に示すように外径ＤＬを有する発光管２Ｃを基準に第１部材１７および第２部材１８が形成および配置される。このため、外径ＤＬを有しない発光管２Ｂでは、第１部材１７の周端面１７ａと発光管２Ｂの外面２ａとは接触せず、発光管２Ｂの外径ＤＭに応じて最大距離ｄａ以下の距離ｄｂを有するように離間する。このように発光管２の公差に基づいて内部電極３と外部電極である第１部材１７との間の距離ｄｂが安定せず、紫外線照射ユニットの照射特性が変動する可能性があった。
【００３１】
そこで、実施形態に係る紫外線照射ユニット１は、一対の第２部材８が、第１部材７の端面に沿ってスライド可能に配置される。図２に示すように、一対の第２部材８がそれぞれ有する貫通穴１１は、Ｘ軸方向に沿って長い長穴状を有している。また、貫通穴１１に挿入される固定化部材１２は、例えばねじである。一対の第２部材８は、固定化部材１２を緩めることで、互いの間隔を変化させるようにＸ軸方向にスライドさせることができ、固定化部材１２を再度締めることで、スライドさせた第２部材８の配置を保持することができる。
【００３２】
図４は、実施形態に係る紫外線照射ユニットを示す断面図である。なお、図４（ａ）〜（ｃ）における発光管２の外径Ｄはそれぞれ、図３（ａ）〜（ｃ）に対応しており、詳細な説明は省略する。
【００３３】
第１部材７は、図３に示す第１部材１７と同様に外径Ｄが最大の発光管２Ｃが配置可能となるように周壁面７ａの形状および間隔ｄ１が規定される。一方、一対の第２部材８は、図４（ｂ）に示すように、外径ＤＭが、例えば外径ＤＳと外径ＤＬとの間の平均値を有する発光管２Ｂに密着するように周壁面８ａの形状および間隔ｄ２を規定することができる。そして、外径Ｄが外径ＤＭよりも小さいときは間隔ｄ２が小さくなるように一対の第２部材８をＸ軸方向にスライドさせ（例えば、（ｂ）→（ａ））、外径ＤＭよりも大きいときは間隔ｄ２が大きくなるように一対の第２部材８をＸ軸方向にスライドさせる（例えば、（ｂ）→（ｃ））。これにより、外径Ｄの大きさにかかわらず第１部材７を発光管２の近傍に配置させることができる。なお、ここでいう「近傍に配置」とは、第１部材７と発光管２とが間隔を有して設けられる場合に限定されず、例えば、第１部材７と発光管２とが接触する場合も含む。このため、実施形態に係る紫外線照射ユニット１によれば、照射特性の変動を抑制することができる。なお、第２部材８をスライドさせることで発光管２を第１部材７の近傍に配置させることが可能であれば第２部材８の形状に制限はなく、例えば、第１部材７と同様に同じく発光管２Ｃの形状を基準として周壁面８ａの形状を規定してもよく、また発光管２の外面に沿わない形状の周壁面８ａを有してもよい。
【００３４】
ここで、実施形態に係る紫外線照射ユニット１における発光管２の着脱について説明する。図５は、実施形態に係る紫外線照射ユニットが有する第２部材の第１位置と第２位置とを示す断面図である。（ａ）は、第１位置を、（ｂ）は、第２位置をそれぞれ図示したものである。ここで、「第１位置」とは、第２部材８が、発光管２を着脱可能な位置に配置されていることをいう。また、「第２位置」とは、第２部材８が、発光管２と第１部材７とを接触させて発光管２を支持する位置に配置されていることをいう。
【００３５】
図５（ａ）に示すように、第１位置では、一対の第２部材８をＸ軸方向に十分に離間させ、Ｚ軸方向に近接させる発光管２と一対の第２部材８とが接触しないように配置させる（例えば、領域Ｒ１参照）。そして、図５（ｂ）に示すように、第２位置では、発光管２を第１部材７の周壁面７ａに接触させ（例えば、領域Ｒ２参照）、この状態を保持するように一対の第２部材８をＸ軸方向に近接させ、発光管２と一対の第２部材８の周壁面８ａとを十分に接触させる（例えば、領域Ｒ３参照）。このように第２部材８が第１位置と第２位置との間で移動可能となるように構成することにより、例えば発光管２の交換やメンテナンスなどの保守作業が容易になる。なお、図５（ｂ）に示すように、領域Ｒ２は発光管２と第１部材７とが接触した場合を示すが、これに限定されず、例えば、領域Ｒ２が発光管２と第１部材７とが間隔を有して設けられてもよい。
【００３６】
上記した実施形態では、一対の第２部材８がＸ軸方向にスライド可能に配置されるとして説明したが、これに限らない。例えば、図６、図７に示すように、一対の第２部材８が、第１部材７の端面に対して接離可能に配置されてもよい。
【００３７】
図６は、実施形態の第１変形例に係る紫外線照射ユニットが有する第２部材の第１位置と第２位置とを示す断面図である。すなわち、図６（ａ）に示す第１状態では、一対の第２部材８を第１部材７に対してＺ軸負方向側に十分に離間させ、Ｙ軸方向に近接させる発光管２と一対の第２部材８とが接触しないように配置させる（例えば、領域Ｒ４参照）。
【００３８】
そして、図６（ｂ）に示すように、第２位置では、発光管２を第１部材７の周壁面７ａに接触させ（例えば、領域Ｒ５参照）、この状態を保持するように一対の第２部材８をＺ軸正方向側に接触させ、発光管２と一対の第２部材８の周壁面８ａとを十分に接触させる（例えば、領域Ｒ６参照）。このように実施形態の第１変形例に係る紫外線照射ユニット１においても、第２部材８が第１位置と第２位置との間で移動可能となるように構成することにより、例えば発光管２の交換やメンテナンスなどの保守作業が容易になる。また、例えば照射方向（Ｚ軸方向）に発光管２の着脱スペースが設けられない場合であっても、発光管２の着脱を容易に行うことができる。なお、図６（ｂ）では、第２状態では第１部材７と第２部材８とが接触するとして説明したが、これに限らず、例えば第１部材７と第２部材８との固定が可能な程度に近接していればよい。また、図６（ｂ）に示すように、領域Ｒ５は発光管２が第１部材７と接触した場合を示すが、これに限定されず、例えば、領域Ｒ５が発光管２と第１部材７とが間隔を有して設けられてもよい。
【００３９】
図７は、実施形態の第２変形例に係る紫外線照射ユニットが有する第２部材の第１位置と第２位置とを示す断面図である。図７に示すように、一対の第２部材８が、Ｙ軸まわりに回転可能なヒンジ１３を介して第１部材７に対して接続されることにより、第１部材に対する相対的な位置および姿勢を変更可能に配置されてもよい。すなわち、図７（ａ）に示す第１状態では、一対の第２部材８の周壁面８ａを第１部材７に対してＸ軸方向に十分に離間させ、発光管２と一対の第２部材８とが接触しないように配置させる（例えば、領域Ｒ７参照）。
【００４０】
そして、図７（ｂ）に示すように、第２位置では、発光管２を第１部材７の周壁面７ａに接触させ（例えば、領域Ｒ８参照）、この状態を保持するように一対の第２部材８ヒンジ１３まわりに回転させて発光管２と一対の第２部材８の周壁面８ａとを十分に接触させる（例えば、領域Ｒ９参照）。このように実施形態の第２変形例に係る紫外線照射ユニット１においても、第２部材８が第１位置と第２位置との間で移動可能となるように構成することにより、例えば発光管２の交換やメンテナンスなどの保守作業が容易になる。なお、図７（ｂ）に示すように、領域Ｒ８は発光管２と第１部材７とが接触した場合を示すが、これに限定されず、例えば、領域Ｒ８が発光管２と第１部材７とが間隔を有して設けられてもよい。
【００４１】
なお、第２部材８の第１位置から第２位置への移動は、上記した実施形態および変形例に示したものに限らず、例えば、第１部材７に対して斜め方向、すなわちＸ軸方向およびＺ軸方向に移動する態様であっても構わない。
【００４２】
［アジャスタ］
上記したように、発光管２のサイズにかかわらず発光管２を第１部材７に接触させる態様では、照射距離、すなわち発光管２の表面と被照射面との最短距離が変動し、これに伴って照射特性が変動する場合が想定される。例えば、１または複数の紫外線照射ユニット１を有する紫外線照射装置においては、例えば数ｍｍ程度の照射距離のばらつきに伴う照射特性の変動が懸念される場合も想定される。かかる場合、紫外線照射ユニット１の照射方向の位置を調整可能なアジャスタを設けるとよい。
【００４３】
図８は、紫外線照射ユニットのアジャスタを示す断面図である。図８に示す収容部材５０は、上板５１および上板５１を支持する支持部５２で囲まれた収容部５３と、アジャスタ５４とを有する。アジャスタ５４は、収容部５３に収容される紫外線照射ユニット１Ａ〜１Ｃの照射方向の位置をそれぞれ調整可能なアジャスタ部材５４ａ〜５４ｃを有する。アジャスタ部材５４ａ〜５４ｃは、例えば対応する紫外線照射ユニット１Ａ〜１Ｃの第１部材７に固定されたねじを含み、かかるねじの回転により、紫外線照射ユニット１Ａ〜１Ｃの照射距離Ｌ３が一定となるように調整することができる。なお、アジャスタ５４が有するアジャスタ部材５４ａ〜５４ｃの数に制限はなく、例えば１または４以上であってもよい。
【００４４】
［紫外線照射装置］
図９は、実施形態に係る紫外線照射ユニットを有する紫外線照射装置を示す図である。（ａ）は、管軸方向（Ｙ軸方向）、（ｂ）はＸ軸方向からそれぞれ見た図である。図９に示すように、実施形態に係る紫外線照射装置１００は、収容部材５０と、点灯装置６０とを有する。収容部材５０には、１または複数の紫外線照射ユニット１が収容されている。なお、収容部材５０は、アジャスタ５４を有しなくてもよい。
【００４５】
点灯装置６０は、収容部材５０の背面側に配置されており、紫外線照射ユニット１の発光管２の内部に設けられる内部電極３および外部電極６と電気的に接続されている。このように収容部材５０の背面側に点灯装置６０を配置させることにより、点灯装置６０と紫外線照射ユニット１との間の配線長を短くすることができる。なお、点灯装置６０の配置については図９の様式に限定されず、例えば、点灯装置６０が、紫外線照射装置１００の外部に設けられてもよい。
【００４６】
また、点灯装置６０は、高電圧および高周波を出力可能なインバータを含み、図示しない交流電源からの電力を紫外線照射ユニット１に供給可能に構成されている。点灯装置６０は、例えば周波数１２０ｋＨｚの正弦波を印加し、１ｋＷ程度のランプ電力で紫外線照射ユニット１の発光管２を点灯させることができる。
【００４７】
上述したように、実施形態に係る紫外線照射ユニット１は、バリア放電ランプと、外部電極６とを具備する。バリア放電ランプは、発光管２および内部電極３を有する。発光管２は、ガスが封入され、紫外光を透過する。発光管２は、円筒状である。内部電極３は、発光管２の内部に配置され、発光管２の管軸方向に延在する。外部電極６は、内部電極３と対向するように発光管２の外面側に設けられ、発光管２の周方向に１８０°を超える範囲を覆う。外部電極６は、周方向に１８０°以下の範囲で発光管２を覆う第１部材７と、発光管２を挟んで互いに向かい合い、第１部材７に対する相対的な位置または姿勢を変更可能な一対の第２部材８とを有する。これにより、照射特性の変動を抑制することができる。
【００４８】
また、実施形態に係る一対の第２部材８は、発光管２を着脱可能な第１位置から、発光管２と第１部材７とを接触させて発光管２を支持する第２位置まで移動する。これにより、発光管２の交換やメンテナンスなどの保守作業が容易になる。
【００４９】
また、実施形態に係る紫外線照射装置１００は、紫外線照射ユニット１と、紫外線照射ユニット１の照射方向の位置を調整可能なアジャスタ５４とを具備する。これにより、発光管２のサイズにかかわらず照射距離を安定させることができる。
【００５０】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００５１】
１  紫外線照射ユニット
２  発光管
３  内部電極
４  反射膜
５  リード線
６  外部電極
７  第１部材
８  第２部材
９  口金
１０  流路
５０  収容部材
５４  アジャスタ
６０  点灯装置
１００  紫外線照射装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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