(57)【要約】【課題】速やかに補正を開始し、検査の精度を高めることができる漏れ検査装置を提供することを課題とする。【解決手段】気体が供給された基準品と被検査物との間の差圧に基づき、前記被検査物の良否の判定を行う漏れ検査装置であって、前記被検査物の検査前に行われた検査のうち、前記被検査物の検査の直近に行われた検査において検出された差圧を重み付け平均することで補正値を算出する算出部と、前記補正値を用いて前記被検査物から得られた前記差圧を補正する補正部と、を具備する漏れ検査装置。【選択図】図３
2020003394.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体が供給された基準品と被検査物との間の差圧に基づき、前記被検査物の良否の判定を行う漏れ検査装置であって、
前記被検査物の検査前に行われた検査のうち、前記被検査物の検査の直近に行われた検査において検出された差圧を重み付け平均することで補正値を算出する算出部と、
前記補正値を用いて前記被検査物から得られた前記差圧を補正する補正部と、を具備する漏れ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は漏れ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
漏洩を検査する方法として、基準となるマスター容器と検査の対象となる被検査品とに気体を供給し、マスター容器と被検査品との間の差圧を測定する方法がある。差圧は温度など環境の影響を受けて変化するため、環境に応じて補正を行う技術が開発されている（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−１４５５２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
補正では、温度範囲ごとに測定データを複数個取得し、それらの平均値を補正値とすることがある。しかし各温度範囲における補正値を算出するまでに、複数の測定データを取得する。このため補正を開始するまでに時間がかかり、環境変化への対応が遅れる。この結果、検査の精度も向上しにくい。そこで、速やかに補正を開始し、検査の精度を高めることができる漏れ検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的は、気体が供給された基準品と被検査物との間の差圧に基づき、前記被検査物の良否の判定を行う漏れ検査装置であって、前記被検査物の検査前に行われた検査のうち、前記被検査物の検査の直近に行われた検査において検出された差圧を重み付け平均することで補正値を算出する算出部と、前記補正値を用いて前記被検査物から得られた前記差圧を補正する補正部と、を具備する漏れ検査装置によって達成できる。
【発明の効果】
【０００６】
速やかに補正を開始し、検査の精度を高めることができる漏れ検査装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図１は実施形態に係る漏れ検査装置を例示する模式図である。
【図２】図２は検査の制御を例示するフローチャートである。
【図３】図３は補正の制御を例示するフローチャートである。
【図４】図４（ａ）は補正値を例示する図である。図４（ｂ）は補正後の差圧を例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
（漏れ検査装置）
以下、図面を参照して本実施形態の漏れ検査装置１００について説明する。図１は漏れ検査装置１００を例示する模式図である。漏れ検査装置１００は被検査物３２からの空気の漏れを検査する装置である。被検査物３２は例えば金属で鋳造された容器などであり、液体および気体を収納するため、気密性が要求される。図１に示すように、漏れ検査装置１００は、エア源１０、バルブ１２、１４および１６、経路２４、２６および２８、差圧センサ１８を備える。
【０００９】
経路２４の一端にはエア源１０が接続され、途中にバルブ１２が設けられ、エア源１０の下流側から経路２６および２８が分岐する。経路２６の下流側の一端はマスターチャンバ３０に接続され、途中にはバルブ１４が設けられている。経路２８の下流側の一端は検査対象である被検査物３２に接続され、途中にはバルブ１６が設けられている。経路２６のバルブ１４とマスターチャンバ３０との間、および経路２８のバルブ１６と被検査物３２との間に差圧センサ１８が接続されている。
【００１０】
制御部２０は例えばコンピュータなどであり、バルブ１２、１４および１６の開度を制御する。制御部２０は差圧センサ１８から差圧を取得し、記憶部２２に記憶させる。制御部２０は、過去の検査で得られた差圧のデータから補正値を算出する算出部、および補正値を用いて差圧を補正する補正部として機能する。
【００１１】
記憶部２２は例えばハードディスクドライブ（ＨＤＤ）または半導体メモリ（ＳＳＤ）などであり、過去に行われた漏れ検査における差圧のデータなどを記憶する。記憶された差圧のデータをデータバッファと表記することがある。モニタ２１は制御部２０に接続された表示装置であり、被検査物３２の良否判定の結果などを表示する。制御部２０、記憶部２２およびモニタ２１は１つの制御装置に組み込まれてもよい。
【００１２】
（検査）
被検査物３２には鋳巣などによるリークが生じる恐れがある。漏れ検査装置１００は、マスターチャンバ３０と被検査物３２との間の差圧により漏れを検査する。被検査物３２の気密性が完全ならば差圧はゼロであり、漏れがあると差圧が検出される。
【００１３】
図２は検査の制御を例示するフローチャートである。制御部２０はバルブ１２、１４および１６を開く（ステップＳ１０）。エア源１０は経路２４に例えば大気圧より高圧のエアを供給する（ステップＳ１２）。エアは経路２６を通じてマスターチャンバ３０に充填され、かつ経路２８を通じて被検査物３２に充填される。制御部２０はバルブ１２を閉じる（ステップＳ１４）。
【００１４】
バルブ１２の閉弁から一定時間が経過すると圧力が安定し、マスターチャンバ３０の内圧と経路２６の圧力とが同一になり、被検査物３２の内圧と経路２８の圧力とが同一になる。制御部２０は、バルブ１４および１６を閉じる（ステップＳ１５）。その後、差圧センサ１８はマスターチャンバ３０の内圧と被検査物３２との間の差圧Ｐ０を検出する（ステップＳ１６）。制御部２０は、後述の制御で得られた補正値Ｃを用いて差圧Ｐ０を補正する（ステップＳ１８）。具体的には、次式のように、測定された差圧Ｐ０から補正値Ｃを引くことで、補正後の差圧Ｐ１を算出する。
【数１】
2020003394.tif 000003
【００１５】
制御部２０は補正後の差圧Ｐ１が閾値Ｐｔｈ以下であるか否かを判定する（ステップＳ２０）。否定判定（Ｎｏ）の場合、制御部２０は被検査物３２が不良品であると判定する（ステップＳ２２）。肯定判定（Ｙｅｓ）の場合、制御部２０は被検査物３２が良品であると判定する（ステップＳ２４）。以上で制御は終了する。制御部２０は検査の結果をモニタ２１に表示させる。
【００１６】
差圧は、例えば漏れ検査装置１００の周囲の温度、マスターチャンバ３０および被検査物３２の温度など環境に応じて変化する。本実施形態では、以下のように、環境を考慮した補正を行い、検査の精度を向上させる。
【００１７】
（補正）
図３は補正値の制御を例示するフローチャートである。ここでは、図２のステップＳ１６で取得される差圧Ｐ０を補正対象とし、補正対象の検査よりも過去の検査で得られた差圧Ｘ（１）〜Ｘ（ｋ）を用いて補正を行う。
【００１８】
図３に示すように、制御部２０は、データバッファをリセットするか否かを判定する（ステップＳ３０）。例えば被検査物３２の仕様変更があったとき、漏れ検査装置１００にトラブルが生じ正常なデータが取り込めなかったときなどに、記憶部２２内のデータバッファをリセットする。肯定判定の場合、カウンタｋに１を代入する（ステップＳ３２）。ステップＳ３２の後、またはステップＳ３０で否定判定の場合、制御部２０は差圧Ｘ（ｋ）を取得する（ステップＳ３４）。
【００１９】
制御部２０はＸ（ｋ）が閾値Ｘ０以下であるか否かを判定する（ステップＳ３６）。例えば被検査物３２を良品として許容できるときの差圧に比べて極端に大きなＸ（ｋ）を補正に含めると、補正の精度が低下する恐れがある。そこで、良品許容値以下の閾値Ｘ０を用いて、Ｘ（ｋ）を補正に含めるか否か判定する。ステップＳ３６において否定判定の場合（Ｘ（ｋ）＞Ｘ０の場合）、当該Ｘ（ｋ）は補正に利用されず、ステップＳ３４が再度行われる。
【００２０】
ステップＳ３６で肯定判定の場合、制御部２０は次式を用いて補正値Ｃを算出する（ステップＳ３８）。
【数２】
2020003394.tif 000004
数２のように、補正値Ｃは、直近ｋ回の検査における差圧Ｘ（１）〜Ｘ（ｋ）と係数Ａ１〜Ａｋとから算出される加重平均である。番号１〜ｋのうち番号が大きいものほど、補正対象となる（ｋ＋１）番目の検査に時間的に近い。係数Ａ１〜Ａｋの関係はＡ１＜Ａ２＜・・・＜Ａｋであり、番号が大きいほど大きい。すなわちｋ個のデータＸ（１）〜Ｘ（ｋ）のうち、補正対象の検査に時間的に近いものに大きな重みをつける。これにより測定時の環境を補正に反映することができる。制御部２０は補正値Ｃを用い、数１に示したように補正を行う。
【００２１】
制御部２０は、カウンタｋを１つ更新する（ステップＳ４０）。制御部２０はｋが上限値ｎより大きいか否かを判定する（ステップＳ４２）。否定判定の場合、制御は終了する。この場合、記憶部２２に記憶されているデータはｎ個以下であり、補正ではこれらのデータが数２に代入される。
【００２２】
一方、肯定判定の場合、制御部２０はｋにｎを代入し（ステップＳ４４）、データバッファを更新する（ステップＳ４６）。すなわち、Ｘ（２）はＸ（１）に、Ｘ（３）はＸ（２）に、Ｘ（ｎ）はＸ（ｎ−１）などのように、データの番号が１つずつ更新され、記憶部２２に記憶される。記憶部２２に記憶されているデータはｎ個より多く、そのうち検査に時間的に近いｎ個のデータが補正に使用され、それ以外は使用されない。係数Ａ（１）〜Ａ（ｋ）はいったん設定されると固定され、ステップＳ３４においても変化しない。ただし作業者が係数Ａ（１）〜Ａ（ｋ）を変更することは可能である。ステップＳ４６の後、制御は終了する。
【００２３】
図４（ａ）は補正値を例示する図である。横軸は実施された検査の回数、縦軸は補正値である。円は実施形態の補正値を示し、三角は比較例の補正値を示す。比較例とは、重み付き平均ではなく、過去のデータの平均値を補正値とする例である。比較例および実施形態において、７回分のデータを用いて補正値を算出している。図４（ａ）に示すように、比較例における補正値Ｃｒは回数とともに増加傾向を示す。一方、実施形態における補正値Ｃは、補正値Ｃｒと同様に増加傾向を示し、かつＣｒに比べて細かく増減する。補正値Ｃは、検査時の環境変化に追従して変化するためである。
【００２４】
図４（ｂ）は補正後の差圧を例示する図である。横軸は実施された検査の回数であり、縦軸は補正後の差圧Ｐ１である。Ｐｔｈは良品／不良品の判定（図２のステップＳ２０）に用いられる閾値であり、差圧Ｐ１がＰｔｈ以下ならば良品、Ｐｔｈより大きければ不良品と判定される。図４（ｂ）に示すように、比較例においては５台が不良品と判定され、実施形態では２台が不良品と判定される。
【００２５】
以上のように、本実施形態によれば、制御部２０は、被検査物３２の検査前に行われた直近ｋ回の検査における差圧Ｘ（１）〜Ｘ（ｋ）を重み付け平均することで補正値Ｃを算出し、補正値Ｃを用いて補正を行う。これにより検査時の気温など環境に対応した補正が可能となり、検査の精度が向上する。
【００２６】
補正値Ｃの算出に用いる係数Ａ（１）〜Ａ（ｋ）は、Ａ（１）＜Ａ（２）＜・・・＜Ａ（ｋ）の関係を有する。すなわち、データＸ（１）〜Ｘ（ｋ）のうち、補正の対象である検査と時間的に遠いデータには小さな重みをつけ、近いデータに大きな重みをつける。この結果、当該検査時の環境をより強く補正に反映し、検査の精度を高めることができる。記憶部２２にｎ個以上のデータが記憶されている場合、そのうち直近ｎ個のデータを用いる。つまり、補正対象の検査に対して、時間的に遠いデータは考慮せず、時間的に近いデータを考慮して補正を行う。
【００２７】
記憶部２２が記憶する差圧のデータの数に関わらず補正を実施することができる。例えば記憶されたデータが１つであっても補正が可能である。このためデータの蓄積を待たず、補正を速やかに開始し、検査の精度を高めることができる。なお、本実施形態によれば、複数の被検査物３２を順に検査する際に、最新の被検査物３２のデータを補正してもよい。また、１つの被検査物３２を複数回検査する際に、最新のデータを補正してもよい。
【００２８】
温度の影響を受けた差圧Ｘ（１）〜Ｘ（ｋ）を用いることで、温度を測定しなくとも温度を考慮した補正が可能である。したがって構成が簡単になり、かつデータが少なくなることで制御部２０への処理の負担が低減される。
【００２９】
以上本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【符号の説明】
【００３０】
１０                エア源
１２、１４、１６    バルブ
１８                差圧センサ
２０                制御部
２１                モニタ
２２                記憶部
２４、２６、２８    経路
３０                マスターチャンバ
３２                被検査物
１００              漏れ検査装置
【図１】
2020003394.tif 000005
【図２】
2020003394.tif 000006
【図３】
2020003394.tif 000007
【図４】
2020003394.tif 000008