(57)【要約】【課題】建屋内の床の形状に関わらず、ワークの搬送時間が長くなることを抑制する。【解決手段】ワーク搬送装置１００は、飛行を行う機能を有する無人航空機３００を備える。建屋内の空間は、無人航空機３００が飛行を行う対象となる飛行空間である。無人航空機３００は、飛行を行って、飛行空間に存在するワークを、当該飛行空間における、当該ワークの搬送対象となる領域へ搬送する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送対象となる製品であるワークを取り扱うワーク搬送装置であって、
前記ワーク搬送装置は、建屋内の空間に存在し、
前記ワーク搬送装置は、飛行を行う機能を有する無人航空機を備え、
前記建屋内の空間は、前記無人航空機が飛行を行う対象となる飛行空間であり、
前記無人航空機は、飛行を行って、前記飛行空間に存在する前記ワークを、当該飛行空間における、当該ワークの搬送対象となる領域へ搬送する
ワーク搬送装置。
【請求項２】
前記無人航空機は、当該無人航空機が前記ワークを搬送する際に当該ワークを保持する保持機構を備える
請求項１に記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記ワークには、当該ワークを識別するための識別情報が付されており、
前記無人航空機は、前記ワークの位置を認識する機能、および、当該ワークに付された前記識別情報を読み取る機能を有するカメラを備える
請求項１または２に記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記無人航空機は、前記ワークの除電を行うための除電部を備える
請求項１から３のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
前記無人航空機は、前記飛行空間に存在する障害物を検知する機能を有するエリアセンサを備える
請求項１から４のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項６】
前記ワーク搬送装置は、さらに、
前記飛行空間において前記無人航空機が飛行を行う経路を制御する機能を有する測位システムを備える
請求項１から５のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項７】
前記飛行空間には、基準点センサが設けられており、
前記無人航空機には、機体センサが設けられており、
前記基準点センサおよび前記機体センサは、無線通信を行う機能を有し、
前記測位システムは、
（ａ１）当該測位システムが前記機体センサおよび前記基準点センサと無線通信を行なうこと、または、
（ａ２）前記機体センサと前記基準点センサとの間で無線通信が行なわれること
により、前記飛行空間における前記無人航空機の位置を認識する
請求項６に記載のワーク搬送装置。
【請求項８】
前記ワーク搬送装置は、さらに、ワーク搬送ユニットを備え、
前記ワーク搬送ユニットには、
前記ワークが収納されたトレイである実トレイを載置するための実トレイ領域と、
前記ワークが収納されていないトレイである空トレイを載置するための空トレイ領域と、
前記無人航空機が待機するための待機ステージとが設けられている
請求項１から７のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項９】
前記ワーク搬送装置は、第１プロセス装置と第２プロセス装置との間において、前記ワークを搬送する装置として機能し、
前記ワーク搬送装置は、さらに、ワーク搬送ユニットを備え、
前記ワーク搬送ユニットには、前記無人航空機が待機するための待機ステージが設けられている
請求項１から７のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項１０】
前記ワーク搬送装置は、さらに、
無線通信により前記無人航空機の動作を制御する機能を有するプログラマブルコントローラを備え、
前記プログラマブルコントローラは、三次元マトリクス座標を用いて、前記無人航空機の位置を制御する
請求項１から９のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項１１】
前記プログラマブルコントローラは、前記ワークの種類に対応したレシピデータに基づき、当該ワークの搬送対象となる装置に設けられた駆動機器を制御する
請求項１０に記載のワーク搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを搬送する機能を有するワーク搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
工場等の建屋内では、ワークを搬送するための搬送処理が行われる。当該工場は、例えば、半導体工場、液晶ディスプレイ工場等である。ワークとは、搬送対象となる製品である。ワークは、例えば、液晶パネル、ガラス基板等である。以下においては、液晶パネルまたはガラス基板を、「基板」ともいう。なお、ワークは、基板に限定されない。ワークは、例えば、トレイであってもよい。
【０００３】
搬送処理では、例えば、生産自動化の設備を備える工場において、基板等のワークが、プロセス装置へ移送される。また、搬送処理では、例えば、隣接する２台のプロセス装置間において、産業用ロボットが、枚葉方式により、ワークを取り出す。当該ワークは、例えば、段積みされた複数のトレイのいずれかのトレイである。また、当該ワークは、例えば、カセットに収納された基板である。
【０００４】
そして、産業用ロボットは、当該ワークを、プロセス装置へ移送する。２台のプロセス装置間における搬送処理では、一般的に、コンベア、スライダ等を用いて、基板が搬送される。
【０００５】
上記の手段を用いて、搬送処理が行われる場合、ワークの受取り対象となる装置のレイアウトにあわせて、ワーク搬送装置をレイアウトする必要がある。当該ワーク搬送装置は、例えば、産業用ロボット、コンベア、スライダ等を備える装置である。
【０００６】
工場等の建屋内の空間の利用効率を考慮すると、付加価値を生まないワーク搬送装置が、生産エリアを不必要に占有する状況は好ましくない。また、周辺設備等の影響により、レイアウトの制約もある。そのため、常に、省スペース化および作業動線を鑑みた、効率的なレイアウトを検討しなければならないという問題がある。
【０００７】
特許文献１では、工場において、可動式駆動ユニットがアイテム（ワーク）を搬送する構成(以下、「関連構成Ａ」ともいう)が開示されている。関連構成Ａでは、可動式駆動ユニットが、２つの駆動輪を使用して、工場の床を自在に移動する。そのため、関連構成Ａは、上記の問題を解決できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特表２００６−５１８３２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、関連構成Ａでは、建屋内の床の形状が、矩形以外の形状（例えば、Ｌ字状）である状況では、ワークの搬送経路が長くなる場合もある。一般的に、建屋内の床には、プロセス装置、周辺設備等が複数設置される。これにより、当該建屋内の床は、プロセス装置、周辺設備等により占有される。そのため、従来の搬送手段により利用される、建屋内の床の形状は、矩形以外の形状である場合が多い。このようにワークの搬送経路が長い状況では、当該ワークの搬送時間が長くなるという問題がある。
【００１０】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、建屋内の床の形状に関わらず、ワークの搬送時間が長くなることを抑制可能なワーク搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係るワーク搬送装置は、搬送対象となる製品であるワークを取り扱う。前記ワーク搬送装置は、建屋内の空間に存在し、前記ワーク搬送装置は、飛行を行う機能を有する無人航空機を備え、前記建屋内の空間は、前記無人航空機が飛行を行う対象となる飛行空間であり、前記無人航空機は、飛行を行って、前記飛行空間に存在する前記ワークを、当該飛行空間における、当該ワークの搬送対象となる領域へ搬送する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ワーク搬送装置は、飛行を行う機能を有する無人航空機を備える。建屋内の空間は、前記無人航空機が飛行を行う対象となる飛行空間である。前記無人航空機は、飛行を行って、前記飛行空間に存在するワークを、当該飛行空間における、当該ワークの搬送対象となる領域へ搬送する。
【００１３】
これにより、建屋内の床の形状に関わらず、ワークの搬送時間が長くなることを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施の形態１に係るワーク搬送装置を模式的に示す上面図である。
【図２】実施の形態１に係る無人航空機を模式的に示す上面図である。
【図３】実施の形態１に係る無人航空機を模式的に示す側面図である。
【図４】飛行空間の上面図である。
【図５】飛行空間の側面図である。
【図６】実施の形態２に係るワーク搬送装置を模式的に示す上面図である。
【図７】前提構成を有するワーク搬送装置を模式的に示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について説明する。以下の図面では、同一の各構成要素には同一の符号を付してある。同一の符号が付されている各構成要素の名称および機能は同じである。したがって、同一の符号が付されている各構成要素の一部についての詳細な説明を省略する場合がある。
【００１６】
なお、実施の形態において例示される各構成要素の寸法、材質、形状、当該各構成要素の相対配置などは、装置の構成、各種条件等により適宜変更されてもよい。また、各図における各構成要素の寸法は、実際の寸法と異なる場合がある。
【００１７】
＜前提構成＞
本実施の形態のワーク搬送装置について説明する前に、前提構成を有するワーク搬送装置について説明する。ワーク搬送装置は、ワーク搬送ローダとも呼ばれる。図７は、前提構成を有するワーク搬送装置１００Ｎを模式的に示す上面図である。なお、図７には、後述のプロセス装置２００も示される。ワーク搬送装置１００Ｎおよびプロセス装置２００の各々は、例えば、製造装置である。
【００１８】
図７において、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向は、互いに直交する。以下の図に示されるＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向も、互いに直交する。以下においては、Ｘ方向と、当該Ｘ方向の反対の方向（−Ｘ方向）とを含む方向を「Ｘ軸方向」ともいう。また、以下においては、Ｙ方向と、当該Ｙ方向の反対の方向（−Ｙ方向）とを含む方向を「Ｙ軸方向」ともいう。また、以下においては、Ｚ方向と、当該Ｚ方向の反対の方向（−Ｚ方向）とを含む方向を「Ｚ軸方向」ともいう。
【００１９】
また、以下においては、Ｘ軸方向およびＹ軸方向を含む平面を、「ＸＹ面」ともいう。また、以下においては、Ｘ軸方向およびＺ軸方向を含む平面を、「ＸＺ面」ともいう。また、以下においては、Ｙ軸方向およびＺ軸方向を含む平面を、「ＹＺ面」ともいう。
【００２０】
ワーク搬送装置１００Ｎは、ワークを取り扱う装置である。ワークは、搬送対象となる製品である。ワークは、例えば、基板Ｗ１である。ワーク搬送装置１００Ｎは、ワークとしての基板Ｗ１を、プロセス装置２００に搬送（投入）するための装置である。
【００２１】
なお、ワークは、基板Ｗ１に限定されない。ワークは、例えば、トレイＴ１であってもよい。トレイＴ１は、基板Ｗ１を収納する構成を有する。以下においては、ワークとしての基板Ｗ１が収納されたトレイＴ１を、「実トレイ」ともいう。また、以下においては、ワークとしての基板Ｗ１が収納されていないトレイＴ１を、「空トレイ」ともいう。
【００２２】
ワーク搬送装置１００Ｎは、建屋内に設置される。すなわち、ワーク搬送装置１００Ｎは、建屋内の空間に存在する。当該建屋は、例えば、工場である。当該工場は、例えば、半導体工場、液晶ディスプレイ工場等である。
【００２３】
図７を参照して、ワーク搬送装置１００Ｎは、ワーク搬送ユニット１０Ｎと、搬送ロボット３０Ｎとを備える。ワーク搬送ユニット１０Ｎは、台として機能する。ワーク搬送ユニット１０Ｎには、搬送ロボット３０Ｎが固定されている。
【００２４】
また、ワーク搬送ユニット１０Ｎには、実トレイ領域Ｒ１と、空トレイ領域Ｒ２とが設けられている。実トレイ領域Ｒ１は、実トレイを載置するための領域である。空トレイ領域Ｒ２は、空トレイを載置するための領域である。
【００２５】
以下においては、実トレイを実トレイ領域Ｒ１に載置する工程を、「実トレイ載置工程」ともいう。実トレイ載置工程は、例えば、作業者による手作業により行われる。また、実トレイ載置工程は、例えば、自動搬送車による自動運転により行われる。なお、複数の実トレイが積み重ねられた状態で、当該複数の実トレイのロット投入が行われる。
【００２６】
実トレイ領域Ｒ１の形状は、矩形である。実トレイ領域Ｒ１の周囲には、４つのガイド３が設けられている。当該４つのガイド３は、トレイＴ１の位置決めを行うための部材である。各ガイド３の形状は、Ｌ字形である。各ガイド３は、ガイド機構として機能する。
【００２７】
具体的には、実トレイ領域Ｒ１の４つの角部を４つのガイド３がそれぞれ囲むように、当該４つのガイド３が設けられている。なお、各ガイド３と、当該ガイド３に対応する角部との間には一定のクリアランスが設けられる。各ガイド３のＬ字形の二辺を用いて、トレイＴ１のＸ軸方向およびＹ軸方向の概略的な位置決めが行われる。
【００２８】
空トレイ領域Ｒ２についても、実トレイ領域Ｒ１と同様に、空トレイ領域Ｒ２の周囲には、４つのガイド３が設けられている。当該４つのガイド３により、トレイＴ１の概略的な位置決めが行われる。
【００２９】
搬送ロボット３０Ｎは、多関節で構成される駆動部を有する。当該駆動部の先端部には吸着ハンド３２が固定されている。搬送ロボット３０Ｎは、当該駆動部により、吸着ハンド３２が複雑な軌道を描くように、動作することができる。吸着ハンド３２は、真空吸着の構成を利用して、基板Ｗ１、トレイＴ１等を吸着して保持する。これにより、搬送ロボット３０Ｎは、吸着搬送（ピック＆プレイス）を行うことができる。
【００３０】
プロセス装置２００は、例えば、ワークに対し、所定のプロセス処理を行う機能を有する。プロセス装置２００には、図示していない各種機構、機器等が設けられている。プロセス装置２００には、受取ステージＳｔ２が設けられている。受取ステージＳｔ２は、ワークを載置（投入）するためのステージである。
【００３１】
以下においては、ワーク搬送装置１００Ｎが基板Ｗ１をプロセス装置２００に搬送（投入）する工程を、「基板搬送工程Ｎ」ともいう。基板搬送工程Ｎでは、まず、搬送ロボット３０Ｎが、吸着ハンド３２を利用して、実トレイ領域Ｒ１に載置された実トレイ上の基板Ｗ１を、吸着して保持する。
【００３２】
次に、搬送ロボット３０Ｎが、吸着ハンド３２を利用して、プロセス装置２００の受取ステージＳｔ２へ、基板Ｗ１の吸着搬送を行う。
【００３３】
次に、搬送ロボット３０Ｎが、吸着ハンド３２を利用して、基板Ｗ１が取り出された空トレイを、吸着して保持する。そして、搬送ロボット３０Ｎは、ワーク搬送ユニット１０Ｎの空トレイ領域Ｒ２へ、空トレイとしてのトレイＴ１の吸着搬送を行う。
【００３４】
なお、ワークとしての基板Ｗ１およびトレイＴ１の搬送経路は、予め搬送ロボット３０Ｎに教示された動作軌道に従った搬送経路である。そのため、一連の吸着搬送において、搬送ロボット３０Ｎは、毎回、同じ動作を繰り返して、ワークを同じ位置に搬送する。
【００３５】
従って、プロセス装置２００に対する、基板Ｗ１の搬送位置の精度を確保するためには、ワーク搬送装置１００Ｎ（ワーク搬送ユニット１０Ｎ）とプロセス装置２００との相対位置が固定される必要があり、変更できない。また、ワーク搬送装置１００Ｎ（ワーク搬送ユニット１０Ｎ）からプロセス装置２００までの距離は、搬送ロボット３０Ｎの動作可能範囲内の距離である必要がある。そのため、レイアウトの制約が生じる。
【００３６】
なお、実トレイ領域Ｒ１および空トレイ領域Ｒ２の各々には、図示していないリフターが設置されている。当該リフターは、トレイ昇降用の装置である。リフターは、搬送ロボット３０Ｎの繰り返し搬送動作に対し、常に、基板Ｗ１またはトレイＴ１の鉛直方向の位置が一定になるように動作を行う。当該リフターは、当該動作を行うようにプログラミングされている。
【００３７】
プロセス装置２００の受取ステージＳｔ２に載置された基板Ｗ１は、プロセス装置２００内の、図示していない各種機構、機器等によりプロセス処理が施される。
【００３８】
上記のような手段を用いて、基板Ｗ１の搬送を行う場合、搬送先の装置のレイアウトに合せて、ワーク搬送装置１００Ｎをレイアウトする必要がある。工場等の建屋内の空間の利用効率を考慮すると、付加価値を生まないワーク搬送装置１００Ｎが、生産エリアを不必要に占有する状況は好ましくない。また、周辺設備、通路確保などの影響により、レイアウトの制約もある。そのため、常に、省スペース化および作業動線を鑑みた、効率的なレイアウトを検討し、実現しなければならないという問題がある。
【００３９】
そこで、以下の実施の形態のワーク搬送装置は、上記の問題を解決するための構成を有する。
【００４０】
＜実施の形態１＞
図１は、実施の形態１に係るワーク搬送装置１００を模式的に示す上面図である。なお、図１には、プロセス装置２００も示される。ワーク搬送装置１００およびプロセス装置２００を含むシステムが、本実施の形態のワーク搬送システム１０００である。
【００４１】
ワーク搬送装置１００は、例えば、製造装置である。ワーク搬送装置１００は、ワークを取り扱う装置である。ワークは、搬送対象となる製品である。ワークは、例えば、基板Ｗ１である。ワーク搬送装置１００は、ワークとしての基板Ｗ１を、プロセス装置２００に搬送（投入）するための装置である。
【００４２】
ワーク搬送装置１００およびプロセス装置２００は、建屋内に設置される。すなわち、ワーク搬送装置１００およびプロセス装置２００は、建屋内の空間に存在する。本実施の形態における、建屋内の空間は、ＧＰＳ（Global Positioning System）を使用できない空間である。ＧＰＳは、一般的な無人航空機が、当該無人航空機の飛行位置を把握するために使用される。また、当該建屋は、例えば、工場である。なお、建屋は、工場に限定されない。建屋は、例えば、倉庫であってもよい。また、本実施の形態のワーク搬送装置１００は、無人航空機を利用したワーク搬送ローダである。
【００４３】
図１を参照して、ワーク搬送装置１００は、ワーク搬送装置１００Ｎと比較して、ワーク搬送ユニット１０Ｎの代わりにワーク搬送ユニット１０を備える点と、搬送ロボット３０Ｎを備えない点と、無人航空機３００および測位システム１５をさらに備える点とが異なる。ワーク搬送装置１００のそれ以外の構成は、ワーク搬送装置１００Ｎと同様なので詳細な説明は繰り返さない。
【００４４】
ワーク搬送ユニット１０は、ワーク搬送ユニット１０Ｎと比較して、搬送ロボット３０Ｎが固定されていない点と、ガイド３が設けられていない点と、待機ステージＳｔ１が設けられている点とが異なる。ワーク搬送ユニット１０のそれ以外の構成は、ワーク搬送ユニット１０Ｎと同様なので詳細な説明は繰り返さない。
【００４５】
待機ステージＳｔ１は、無人航空機３００が待機するためのステージである。無人航空機３００は、飛行を行う機能を有する。無人航空機３００は、例えば、ドローンである。
【００４６】
以下においては、無人航空機３００が飛行を行う対象となる空間を「飛行空間Ｓｐ１」または「飛行空間」ともいう。本実施の形態では、ワーク搬送装置１００が存在する、建屋内の空間は、飛行空間Ｓｐ１である。飛行空間Ｓｐ１は、無人航空機３００が着陸可能な場所も含む。なお、飛行空間Ｓｐ１は、ＧＰＳを使用できない空間である。
【００４７】
以下においては、飛行空間Ｓｐ１における、ワークの搬送対象となる領域を、「搬送対象領域」ともいう。搬送対象領域は、一例として、プロセス装置２００の受取ステージＳｔ２である。詳細は後述するが、無人航空機３００は、飛行を行って、飛行空間Ｓｐ１に存在するワークを、搬送対象領域へ搬送する。
【００４８】
図２は、実施の形態１に係る無人航空機３００を模式的に示す上面図である。図３は、実施の形態１に係る無人航空機３００を模式的に示す側面図である。なお、図２および図３において、複数の構成要素の一部の構成要素については、構成要素の位置を分かりやすくするために、当該構成要素（例えば、後述のカメラＣ１）の輪郭線を示している。
【００４９】
無人航空機３００は、胴体Ｂ１と、モータＭ１と、回転軸Ｒ１と、プロペラＰ１と、把持機構Ｈ１と、吸着機構Ｈ２と、除電部Ｄ１と、カメラＣ１と、エリアセンサＥ１と、機体センサＳ１とを備える。
【００５０】
平面視（ＸＹ面）における胴体Ｂ１の形状は、略菱形である。胴体Ｂ１は、４つの端部Ｂ１ｅを有する。平面視における胴体Ｂ１の中心に対する円形の四方に、それぞれ、４つのモータＭ１が設けられている。具体的には、胴体Ｂ１の各端部Ｂ１ｅの上方に、モータＭ１が設けられている。
【００５１】
各モータＭ１には、回転軸Ｒ１を介して、プロペラＰ１が接続されている。各モータＭ１は、プロペラＰ１が回転するように、回転軸Ｒ１を回転させる。各モータＭ１に対応するプロペラＰ１が回転することにより、無人航空機３００は浮力を得る。すなわち、モータＭ１、回転軸Ｒ１およびプロペラＰ１は、無人航空機３００が飛行を行うために必要な構成要素である。
【００５２】
詳細は後述するが、把持機構Ｈ１および吸着機構Ｈ２の各々は、無人航空機３００がワークを搬送する際に当該ワークを保持する保持機構である。当該ワークは、例えば、基板Ｗ１、トレイＴ１等である。
【００５３】
まず、把持機構Ｈ１について説明する。把持機構Ｈ１は、ワークを把持することにより、当該ワークを保持する機構である。把持機構Ｈ１は、ハンドＨ１ａ，Ｈ１ｂと、アクチュエータＡ１ａ，Ａ１ｂとを含む。アクチュエータＡ１ａ，Ａ１ｂは、胴体Ｂ１の下方に設けられている。アクチュエータＡ１ａは、胴体Ｂ１の左側に設けられている。アクチュエータＡ１ｂは、胴体Ｂ１の右側に設けられている。
【００５４】
ハンドＨ１ａ，Ｈ１ｂは、ワークを把持するための部材である。アクチュエータＡ１ａには、ハンドＨ１ａが取り付けられている。アクチュエータＡ１ａは、ハンドＨ１ａを水平方向に移動させる。ハンドＨ１ａは、爪部Ｔ１ａを有する。アクチュエータＡ１ｂには、ハンドＨ１ｂが取り付けられている。アクチュエータＡ１ｂは、ハンドＨ１ｂを水平方向に移動させる。ハンドＨ１ｂは、爪部Ｔ１ｂを有する。爪部Ｔ１ａ，Ｔ１ｂの各々の形状は、コの字形状である。
【００５５】
爪部Ｔ１ａおよび爪部Ｔ１ｂの間隔が変化するように、アクチュエータＡ１ａはハンドＨ１ａを移動させ、アクチュエータＡ１ｂはハンドＨ１ｂを移動させる。把持機構Ｈ１がワークを把持するためには、以下の把持処理が行われる。把持処理では、爪部Ｔ１ａおよび爪部Ｔ１ｂによりワークが把持されるように、アクチュエータＡ１ａはハンドＨ１ａを移動させ、アクチュエータＡ１ｂはハンドＨ１ｂを移動させる。前述したように、爪部Ｔ１ａ，Ｔ１ｂの各々の形状は、コの字形状であるため、把持されたワークは、振動、衝撃等により、安易に落下しない。
【００５６】
吸着機構Ｈ２は、吸着により、ワークを保持する機構である。吸着機構Ｈ２は、例えば、真空吸着を用いて、ワークを保持する。吸着機構Ｈ２は、４個の吸着パッドＫ１と、吸着動力源（図示せず）とを備える。４個の吸着パッドＫ１は、胴体Ｂ１の下方に設けられている。４個の吸着パッドＫ１は、吸着動力源（図示せず）に接続されている。４個の吸着パッドＫ１は、平面視における胴体Ｂ１の中心に対する円形の四方に、それぞれ、設けられている。
【００５７】
なお、吸着機構Ｈ２がワークを、略水平に吸着保持できる構成であれば、吸着パッドＫ１の配置状態は上記の配置状態に限定されず、かつ、吸着パッドＫ１の数は４に限定されない。
【００５８】
除電部Ｄ１は、例えば、イオナイザである。除電部Ｄ１は、除電を行う機能を有する。無人航空機３００が備える除電部Ｄ１は、ワークの除電を行うための構成要素である。除電部Ｄ１は、除電を行うためのイオン（以下、「除電イオン」ともいう）を発生させる。
【００５９】
なお、図２および図３には、除電部Ｄ１の一部である電極針が示されている。また、図２では、平面視における、除電部Ｄ１（電極針）の位置を、黒点で示している。除電部Ｄ１（電極針）は、４つのモータＭ１の一部のモータＭ１の下方に設けられている。以下においては、モータＭ１の下方に除電部Ｄ１の電極針が設けられている当該モータＭ１を、「対象モータ」ともいう。
【００６０】
無人航空機３００が備える４つのモータＭ１は、２つの対象モータを含む。２つの対象モータは、図２の４つのプロペラＰ１のうち、Ｙ軸方向において対向する２つのプロペラＰ１の下方にそれぞれ存在する２つのモータＭ１である。また、除電部Ｄ１の電極針の先端は、鉛直方向において、胴体Ｂ１より下の位置に存在する。除電部Ｄ１の電極針は、高電圧印加ユニット（図示せず）に接続されている。
【００６１】
無人航空機３００は、除電処理を行う。除電処理では、高電圧印加ユニット（図示せず）が、除電部Ｄ１の電極針に高電圧を印加する。これにより、除電部Ｄ１の電極針は、除電イオンを発生させる。以下においては、電極針の上方に存在するプロペラＰ１が回転することにより発生する気流を、「プロペラ気流」ともいう。プロペラ気流は、プロペラＰ１の下方において発生する風である。除電イオンは、プロペラ気流により、電極針（除電部Ｄ１）の下方に向かって照射される。
【００６２】
なお、無人航空機３００が備える除電部Ｄ１の数は２に限定されず、１または３以上であってもよい。
【００６３】
カメラＣ１は、画像を認識する機能を有する画像認識カメラである。具体的には、カメラＣ１は、ワークの位置を認識する機能を有する。カメラＣ１は、平面視における胴体Ｂ１の中央部に設けられる。また、カメラＣ１は、胴体Ｂ１の下部に設けられている。図３のカメラＣ１の下端には、レンズが存在する。カメラＣ１は、制御機器（図示せず）に接続されている。カメラＣ１は、無人航空機３００の下方の画像を認識出来る。
【００６４】
無人航空機３００は、上記のカメラＣ１を備える。そのため、無人航空機３００は、ワークの位置を確認することができる。また、無人航空機３００は、当該無人航空機３００自身の位置を確認することが出来る。無人航空機３００自身の位置は、例えば、設定された基準位置に対する相対位置である。
【００６５】
なお、ワークには、当該ワークを識別するための識別情報が付されている。識別情報は、例えば、数字、ローマ字等の記号、或いは、バーコード、二次元コード等のデータコードにより表現される個体識別用ＩＤである。カメラＣ１は、さらに、ワークに付された識別情報を読み取る機能を有する。
【００６６】
また、前述したように、カメラＣ１は、ワークの位置を認識する機能を有する。そのため、カメラＣ１は、例えば、ワークの外形位置、または、ワークに付されたアライメントマークの位置に基づいて、当該ワークの位置を特定することが可能である。
【００６７】
従って、カメラＣ１は、得られた画像において、ワークの外形位置を読み取る機能、或いは、ワークに付されたアライメントマークの位置を読み取る機能を有する。なお、カメラＣ１が認識するためのアライメントマークについては、通常、各プロセス装置内においてワークの位置合わせを行なうために、ワークに設けられるアライメントマークを転用することができる。
【００６８】
エリアセンサＥ１は、外界エリアとしての飛行空間Ｓｐ１に存在する障害物を検知する機能を有する。平面視における胴体Ｂ１の中心に対する円形の四方に、それぞれ、４つのエリアセンサＥ１が設けられている。また、４つのエリアセンサＥ１は、胴体Ｂ１の上方に設けられている。具体的には、無人航空機３００が備える４つのモータＭ１の各々の側面にエリアセンサＥ１は設けられている。
【００６９】
機体センサＳ１は、平面視における胴体Ｂ１の中心部の頂上に設けられている。すなわち、無人航空機３００には、機体センサＳ１が設けられている。
【００７０】
前述したように、ワーク搬送装置１００は、測位システム１５を備える。測位システム１５は、無人航空機３００の動作を制御する機能を有する。例えば、測位システム１５は、飛行空間Ｓｐ１において無人航空機３００が飛行を行う経路を制御する機能を有する。本実施の形態では、一例として、図１により、測位システム１５が、ワーク搬送ユニット１０に設けられている構成を示す。なお、測位システム１５は、ワーク搬送ユニット１０以外の位置に設けられてもよい。
【００７１】
測位システム１５は、プログラムを実行することにより、仮想的なマトリクス座標ＭＣを構築している。マトリクス座標ＭＣは、無人航空機３００の制御に使用される座標である。マトリクス座標ＭＣは、三次元マトリクス座標（空間座標）である。
【００７２】
次に、飛行空間Ｓｐ１およびマトリクス座標ＭＣについて説明する。図４は、飛行空間Ｓｐ１の上面図である。図４では、飛行空間Ｓｐ１の一部が示されている。なお、図４には、飛行空間Ｓｐ１に対応するマトリクス座標ＭＣも示されている。図４のマトリクス座標ＭＣは、一例として、格子状に配置される複数の点線で表現されている。また、図４には、無人航空機３００も示されている。飛行空間Ｓｐ１には、原点センサＳｎが設けられている。原点センサＳｎは、飛行空間Ｓｐ１における基準点としての基準点センサである。なお、飛行空間Ｓｐ１は建屋内の空間である。そのため、原点センサＳｎは、例えば、建屋内の壁面、建屋内の天井面などに設けられる。
【００７３】
図５は、飛行空間Ｓｐ１の側面図である。なお、図５には、飛行空間Ｓｐ１に対応するマトリクス座標ＭＣも示されている。
【００７４】
無人航空機３００の機体センサＳ１、および、原点センサＳｎは、無線通信を行う機能を有する。機体センサＳ１および原点センサＳｎは、前述の測位システム１５と無線通信を行っている。そのため、測位システム１５は、機体センサＳ１および原点センサＳｎの各々の相対的な位置を認識することが出来る。すなわち、測位システム１５は、当該測位システム１５が機体センサＳ１および基準点センサと無線通信を行なうことにより、飛行空間Ｓｐ１における無人航空機３００の位置を認識する。
【００７５】
また、センサの相対的な位置を認識するために以下の方法が行われてもよい。当該方法では、機体センサＳ１と原点センサＳｎとの間で無線通信が行なわれる。機体センサＳ１は、原点センサＳｎに対する当該機体センサＳ１の相対的な位置を認識する。その後、機体センサＳ１は、認識した当該位置を示す位置情報を測位システム１５へ送信する。これにより、測位システム１５は、原点センサＳｎに対する機体センサＳ１の相対的な位置を認識することが出来る。すなわち、測位システム１５は、機体センサＳ１と原点センサＳｎ（基準点センサ）との間で無線通信が行なわれることにより、飛行空間Ｓｐ１における無人航空機３００の位置を認識する。
【００７６】
なお、図４および図５において、マトリクス座標ＭＣの原点位置が、飛行空間Ｓｐ１の原点センサＳｎが存在する位置と一致するように、当該マトリクス座標ＭＣは構成される。
【００７７】
測位システム１５は、原点センサＳｎの位置に対する、機体センサＳ１の相対位置を認識する。これにより、測位システム１５は、マトリクス座標ＭＣにおける、無人航空機３００の位置（飛行位置）を認識することが出来る。
【００７８】
以上のように、測位システム１５は、原点センサＳｎおよび機体センサＳ１を使用した上記の処理を行う。そのため、測位システム１５は、無人航空機３００の位置（飛行位置）を制御できる。
【００７９】
ここで、仮に、同一の飛行空間Ｓｐ１において、複数の無人航空機３００が飛行を行ったと仮定する。この場合においても、測位システム１５は、各無人航空機３００の位置を認識できるため、複数の無人航空機３００は、衝突することなく、飛行を行うことができる。
【００８０】
衝突を回避する制御方法について具体的に説明する。例えば、複数の無人航空機３００が飛行動作を行うと仮定する。この場合、当該制御方法では、ある程度同じ時間帯に、水平方向（ＸＹ面内）における、複数の無人航空機３００の経路が交差しないように、測位システム１５は各無人航空機３００の飛行位置を制御する。
【００８１】
また、例えば、ある程度同じ時間帯に、ＸＹ面内における、一対の無人航空機３００の経路が交差すると仮定する。この場合、当該制御方法では、三次元マトリクス座標の垂直方向（Ｚ軸方向）における、一対の無人航空機３００の飛行位置が干渉しないように、測位システム１５は、垂直方向における当該一対の無人航空機３００の飛行位置を、互いに所定距離だけ離れた位置に設定する。
【００８２】
また、前述したように、無人航空機３００はエリアセンサＥ１を備える。そのため、飛行空間Ｓｐ１（マトリクス座標ＭＣ）における、無人航空機３００が飛行を行っている経路に予期しない障害物が存在する場合、測位システム１５は、当該無人航空機３００を緊急停止させる。これにより、無人航空機３００が障害物に衝突するというトラブルの発生を回避することができる。
【００８３】
また、以下の状況が存在すると仮定する。当該状況は、例えば、飛行空間Ｓｐ１（マトリクス座標ＭＣ）において、設備などの障害物の頂点が建屋内の天井面に近接する状況である。すなわち、当該状況は、飛行空間Ｓｐ１に、高さが大きい障害物が存在する状況である。また、当該状況は、無人航空機３００の垂直方向における飛行位置を、天井面の近傍という高い位置に設定しても、障害物との衝突が避けられない状況である。
【００８４】
このような状況では、測位システム１５は、予め、ＸＹ面内における、当該障害物が配置される領域を飛行禁止領域に設定する。また、測位システム１５は、無人航空機３００が、当該領域を避けて飛行を行うように、飛行位置を制御する。
【００８５】
以下においては、ワーク搬送装置１００が基板Ｗ１をプロセス装置２００に搬送（投入）する工程を、「基板搬送工程」ともいう。次に、基板搬送工程について説明する。基板搬送工程が行われる前には、無人航空機３００は、ワーク搬送ユニット１０の待機ステージＳｔ１に待機している。また、ワークとしての基板Ｗ１には、識別情報（基板ＩＤ）が付されている。
【００８６】
基板搬送工程では、まず、待機ステージＳｔ１に待機していた無人航空機３００が、マトリクス座標ＭＣを使用した測位システム１５の制御に従って、実トレイ領域Ｒ１の上空へ移動する。
【００８７】
次に、無人航空機３００のカメラＣ１は、トレイＴ１上の基板Ｗ１の位置を認識すると共に、当該基板Ｗ１に付されている識別情報（基板ＩＤ）を読み取る。なお、読み取られた当該識別情報は、上位コンピュータ（図示せず）へ送信され、次のプロセス工程の着手情報等として利用される。
【００８８】
次に、認識された基板Ｗ１の位置に基づき、無人航空機３００は、吸着機構Ｈ２（吸着パッドＫ１）が、吸着により、基板Ｗ１を保持可能な位置まで、移動する。
【００８９】
次に、無人航空機３００は、吸着機構Ｈ２（吸着パッドＫ１）が、吸着動力源（図示せず）を利用した吸着力（真空吸着力）により、基板Ｗ１を保持する。以下においては、吸着機構Ｈ２（吸着パッドＫ１）が基板Ｗ１を保持している状況における無人航空機３００の状態を、「吸着保持状態」ともいう。
【００９０】
次に、吸着保持状態の無人航空機３００が、マトリクス座標ＭＣを使用した測位システム１５の制御に従って、プロセス装置２００の受取ステージＳｔ２上の所定位置まで移動する。
【００９１】
受取ステージＳｔ２上の所定位置に基板Ｗ１（無人航空機３００）が到着した場合、吸着動力源（図示せず）を利用した吸着力がオフにされる。これにより、基板Ｗ１が受取ステージＳｔ２に載置される。以上の方法により、無人航空機３００は、基板Ｗ１の吸着搬送（ピック＆プレイス）を行う。すなわち、基板Ｗ１が、プロセス装置２００に搬送（投入）される。
【００９２】
なお、無人航空機３００は、基板Ｗ１に対し、除電処理を行う。除電処理では、高電圧印加ユニット（図示せず）による高電圧の印加により、除電部Ｄ１の電極針が、除電イオンを発生させる。除電イオンは、基板Ｗ１に照射される。これにより、例えば、吸着パッドＫ１が基板Ｗ１から離れる際の剥離帯電により発生した電荷を除電することができる。そのため、静電気により、基板Ｗ１が破壊されることを防ぐことができる。
【００９３】
次に、無人航空機３００は、吸着機構Ｈ２（吸着パッドＫ１）により、基板Ｗ１が取り出された空トレイを、吸着して保持する。次に、無人航空機３００は、ワーク搬送ユニット１０の空トレイ領域Ｒ２へ、空トレイの吸着搬送（ピック＆プレイス）を行う。
【００９４】
なお、把持機構Ｈ１を使用して、空トレイの把持搬送が行われてもよい。この場合、把持機構Ｈ１の爪部Ｔ１ａ（ハンドＨ１ａ）および爪部Ｔ１ｂ（ハンドＨ１ｂ）により空トレイが把持される。そして、無人航空機３００は、把持機構Ｈ１を使用して、ワーク搬送ユニット１０の空トレイ領域Ｒ２へ、空トレイの把持搬送（ピック＆プレイス）を行う。
【００９５】
以上説明したように、本実施の形態によれば、ワーク搬送装置１００は、飛行を行う機能を有する無人航空機３００を備える。建屋内の空間は、無人航空機３００が飛行を行う対象となる飛行空間である。無人航空機３００は、飛行を行って、飛行空間に存在するワークを、当該飛行空間における、当該ワークの搬送対象となる領域へ搬送する。
【００９６】
これにより、建屋内の床の形状に関わらず、ワークの搬送時間が長くなることを抑制できる。また、ワークの搬送のために、建屋内の空間（飛行空間）を有効に利用することが可能となる。そのため、ワークの搬送経路の自由度を向上させることができる。
【００９７】
したがって、ワークの搬送先の装置のレイアウトの自由度を向上させることができる。その結果、ワークの搬送に必要な領域の省スペース化を実現できる。以上から、建屋内の空間の利用効率を向上させることができる。
【００９８】
なお、ワーク（基板Ｗ１、トレイＴ１）の搬送経路に関する構成としては、最終到達点（搬送先の位置）を教示しておく構成、または、センサ等で当該最終到達点を認識可能な構成としてもよい。このような構成により、当該搬送経路において、無人航空機３００は決まった軌道を移動する必要はない。そのため、無人航空機３００は、自由に動作することが可能である。
【００９９】
したがって、本実施の形態では、前述の前提構成において存在するレイアウトの制約に縛られることなく、自由な装置レイアウトを実現することが可能となる。
【０１００】
また、本実施の形態では、吸着搬送、把持搬送等が行われる場合、カメラＣ１により、基板Ｗ１の位置を認識しながら搬送が行われる。そのため、本実施の形態の構成では、基板Ｗ１の位置決めを行うためのガイド３（ガイド機構）は不要である。
【０１０１】
また、カメラＣ１は、鉛直方向におけるワークの位置を認識できる。そのため、本実施の形態の構成では、ワーク搬送装置１００Ｎが備えるトレイ昇降用のリフターも不要である。
【０１０２】
以下においては、測位システム１５が、無人航空機３００の位置を認識するための構成を、「位置認識構成」ともいう。位置認識構成は、機体センサＳ１および原点センサＳｎ（基準点センサ）の各々の相対的な位置を認識するための構成である。
【０１０３】
本実施の形態の位置認識構成では、飛行空間Ｓｐ１に、基準点センサとしての１つの原点センサＳｎが設けられている。しかしながら、位置認識構成は、これに限定されない。
【０１０４】
例えば、飛行空間Ｓｐ１がある程度広い空間である状況、または、飛行空間Ｓｐ１のＸＹ面内における飛行位置の認識の精度を向上する必要がある状況を仮定する。当該状況が考慮された位置認識構成では、飛行空間Ｓｐ１のＸＹ面内に、複数の基準点センサ（原点センサＳｎ）が分散して配置される。当該位置認識構成では、測位システム１５が、各基準点センサに対する機体センサＳ１の相対位置を認識する。これにより、当該位置認識構成では、測位システム１５が、飛行空間Ｓｐ１に対応するマトリクス座標ＭＣにおける、機体センサＳ１の位置を認識する。
【０１０５】
また、飛行空間Ｓｐ１において、三次元的に、飛行位置の認識の精度を向上する必要がある状況を仮定する。当該状況が考慮された位置認識構成では、複数の基準点センサが、飛行空間Ｓｐ１内に、三次元的に分散して配置される。当該位置認識構成では、測位システム１５が、各基準点センサに対する機体センサＳ１の相対位置を認識する。これにより、当該位置認識構成では、測位システム１５が、飛行空間Ｓｐ１に対応するマトリクス座標ＭＣにおける、機体センサＳ１の位置を認識する。
【０１０６】
ここで、複数の基準点センサが、飛行空間Ｓｐ１内に、三次元的に分散して配置される位置認識構成の具体例について説明する。当該位置認識構成では、複数の基準点センサが飛行空間Ｓｐ１のＸＹ面内に分散して配置されることに加え、各基準点センサのＺ軸方向の位置が互いに異なるように、当該各基準点センサが配置される。
【０１０７】
なお、飛行空間Ｓｐ１は建屋内の空間である。そのため、例えば、複数の基準点センサは、建屋内の壁面における、互いに異なる高さの複数の位置に分散して配置されても良い。また、複数の基準点センサは、壁面および天井面の双方に分散して配置されても良い。
【０１０８】
上記の各位置認識構成により、ＧＰＳを使用できない建屋内の空間において、無人航空機３００の位置（飛行位置）を、より高い精度で制御することができる。
【０１０９】
なお、倉庫内でワークの搬送を行う状況では、ワークの収納スペースを立体的にレイアウトする場合がある。なお、本実施の形態における建屋は、前述したように、倉庫であってもよい。そのため、本実施の形態は、倉庫内でワークの搬送を行う状況にも適用でき、上記の効果と同様な効果が得られる。例えば、ワークの収納スペースのレイアウトの自由度を向上させることができる。その結果、ワークの搬送に必要な領域の省スペース化を実現できる。以上から、建屋内の空間の利用効率を向上させることができる。
【０１１０】
＜実施の形態２＞
図６は、実施の形態２に係るワーク搬送装置１００Ａを模式的に示す上面図である。なお、図６には、プロセス装置２０１，２０２も示される。ワーク搬送装置１００Ａおよびプロセス装置２０１，２０２を含むシステムが、本実施の形態のワーク搬送システム１０００Ａである。ワーク搬送装置１００Ａおよびプロセス装置２０１，２０２の各々は、例えば、製造装置である。
【０１１１】
プロセス装置２０１，２０２は、一例として、直線上に並んで配置される。プロセス装置２０１，２０２の各々は、前述のプロセス装置２００と同様な構成および機能を有する。プロセス装置２０１，２０２の各々は、例えば、ワークに対し、異なるプロセス処理を行う機能を有する。プロセス装置２０１には、受取ステージＳｔ２ａが設けられている。プロセス装置２０２には、受取ステージＳｔ２ｂが設けられている。本実施の形態では、受取ステージＳｔ２ｂは、搬送対象領域である。
【０１１２】
ワーク搬送装置１００Ａは、ワークを取り扱う装置である。ワーク搬送装置１００Ａは、プロセス装置２０１とプロセス装置２０２との間において、ワークを搬送する装置として機能する。ワーク搬送装置１００Ａは、装置間ワーク搬送装置とも呼ばれる。本実施の形態では、ワーク搬送装置１００Ａは、ワークとしての基板Ｗ１を、プロセス装置２０１から、プロセス装置２０２へ搬送する。
【０１１３】
図６を参照して、ワーク搬送装置１００Ａは、図１のワーク搬送装置１００と比較して、ワーク搬送ユニット１０の代わりにワーク搬送ユニット１０Ａを備える点が異なる。ワーク搬送装置１００Ａのそれ以外の構成は、ワーク搬送装置１００と同様なので詳細な説明は繰り返さない。すなわち、ワーク搬送装置１００Ａは、無人航空機３００およびワーク搬送ユニット１０Ａを備える。
【０１１４】
また、ワーク搬送装置１００Ａおよびプロセス装置２０１，２０２は、建屋内の空間である飛行空間Ｓｐ１に存在する。本実施の形態における、建屋内の空間は、ＧＰＳを使用できない空間である。当該建屋は、例えば、工場である。なお、建屋は、工場に限定されない。建屋は、例えば、倉庫であってもよい。
【０１１５】
ワーク搬送ユニット１０Ａは、台として機能する。ワーク搬送ユニット１０Ａの形状は、ワーク搬送ユニット１０の形状と異なる。
【０１１６】
また、ワーク搬送ユニット１０Ａは、ワーク搬送ユニット１０と比較して、実トレイ領域Ｒ１および空トレイ領域Ｒ２を備えない点が異なる。ワーク搬送ユニット１０Ａのそれ以外の構成は、ワーク搬送ユニット１０と同様なので詳細な説明は繰り返さない。
【０１１７】
ワーク搬送ユニット１０Ａは、プロセス装置２０１とプロセス装置２０２との間に設けられる。プロセス装置２０１、ワーク搬送ユニット１０Ａおよびプロセス装置２０２は、一例として、直線上に並んで配置される。ワーク搬送ユニット１０Ａには、待機ステージＳｔ１が設けられている。
【０１１８】
以下においては、ワーク搬送装置１００Ａが、基板Ｗ１をプロセス装置２０２に搬送する工程を、「基板搬送工程Ａ」ともいう。次に、基板搬送工程Ａについて説明する。基板搬送工程Ａが行われる前には、無人航空機３００は、ワーク搬送ユニット１０Ａの待機ステージＳｔ１に待機している。
【０１１９】
基板搬送工程Ａでは、まず、待機ステージＳｔ１に待機していた無人航空機３００が、マトリクス座標ＭＣを使用した測位システム１５の制御に従って、プロセス装置２０１の受取ステージＳｔ２ａの上空へ移動する。
【０１２０】
次に、無人航空機３００のカメラＣ１は、受取ステージＳｔ２ａ上の基板Ｗ１の位置を認識すると共に、当該基板Ｗ１に付されている識別情報（基板ＩＤ）を読み取る。なお、読み取られた当該識別情報は、上位コンピュータ（図示せず）へ送信され、プロセス工程の完了情報、または、次のプロセス工程の着手情報として利用される。
【０１２１】
次に、認識された基板Ｗ１の位置に基づき、無人航空機３００は、吸着機構Ｈ２（吸着パッドＫ１）が、吸着により、基板Ｗ１を保持可能な位置まで、移動する。次に、無人航空機３００は、吸着機構Ｈ２（吸着パッドＫ１）が、吸着動力源（図示せず）を利用した吸着力（真空吸着力）により、基板Ｗ１を保持する。
【０１２２】
次に、吸着保持状態の無人航空機３００が、マトリクス座標ＭＣを使用した測位システム１５の制御に従って、プロセス装置２０２の受取ステージＳｔ２ｂ上の所定位置まで移動する。
【０１２３】
受取ステージＳｔ２ｂ上の所定位置に基板Ｗ１（無人航空機３００）が到着した場合、吸着動力源（図示せず）を利用した吸着力がオフにされる。これにより、基板Ｗ１が受取ステージＳｔ２ｂに載置される。以上の方法により、無人航空機３００は、プロセス装置２０１とプロセス装置２０２との間において、基板Ｗ１の吸着搬送（ピック＆プレイス）を行う。
【０１２４】
なお、無人航空機３００は、実施の形態１と同様、基板Ｗ１に対し除電処理を行ってもよい。
【０１２５】
以上説明したように、本実施の形態によれば、プロセス装置２０１とプロセス装置２０２との間において、ワークを搬送する構成においても、実施の形態１と同様な効果が得られる。
【０１２６】
なお、実施の形態１と同様に、ワーク（基板Ｗ１）の搬送経路に関する構成としては、最終到達点（搬送先の位置）を教示しておく構成、または、センサ等で当該最終到達点を認識可能な構成としてもよい。このような構成により、当該搬送経路において、無人航空機３００は決まった軌道を移動する必要はない。そのため、無人航空機３００は、自由に動作することが可能である。
【０１２７】
そのため、プロセス装置２０１、ワーク搬送ユニット１０Ａおよびプロセス装置２０２は、図６のように、直線上に並んで配置されなくてもよい。すなわち、自由な装置レイアウトを実現することが可能となる。
【０１２８】
なお、コンベア、スライダ等を備えた一般的なワーク搬送装置は、当該ワーク搬送装置を挟む複数の装置のレイアウトにあわせて、当該ワーク搬送装置のレイアウトが決定される。
【０１２９】
一方、ワーク搬送装置１００Ａが備える無人航空機３００は、３次元の飛行空間Ｓｐ１において、自由に飛行を行うことができる。また、無人航空機３００（測位システム１５）は、三次元のマトリクス座標ＭＣ（空間座標）におけるプロセス装置２０１，２０２の各々の位置を認識できる。したがって、ワーク搬送装置１００Ａの無人航空機３００は、プロセス装置２０１，２０２のレイアウトが如何なる状態であっても、当該レイアウトに関わらず、装置間搬送を行うことができる。
【０１３０】
また、本実施の形態では、吸着搬送等が行われる場合、カメラＣ１により、基板Ｗ１の位置を認識しながら搬送が行われる。そのため、プロセス装置２０１の受取ステージＳｔ２ａ、および、プロセス装置２０２の受取ステージＳｔ２ｂには、基板Ｗ１の位置決めを行うための位置決め機構等は不要である。
【０１３１】
＜変形例１＞
実施の形態１のワーク搬送装置１００、または、実施の形態２のワーク搬送装置１００Ａは、プログラマブルコントローラを備えてもよい。プログラマブルコントローラは、例えば、シーケンサである。
【０１３２】
プログラマブルコントローラは、無線通信により無人航空機３００の動作を制御する機能を有する。プログラマブルコントローラは、例えば、ワーク搬送装置１００またはワーク搬送装置１００Ａが有する制御盤（図示せず）内に設けられる。プログラマブルコントローラは、前述のマトリクス座標ＭＣ（三次元マトリクス座標）を用いて、無人航空機３００の位置を制御する。
【０１３３】
なお、プログラマブルコントローラが無人航空機３００の動作を制御する処理は、測位システム１５が無人航空機３００の動作を制御する処理と同様であるので詳細な説明は省略する。なお、プログラマブルコントローラが無人航空機３００の動作を制御している期間は、測位システム１５は無人航空機３００の動作を制御しない。
【０１３４】
以下においては、ワークの搬送対象となる装置を、「搬送対象装置」ともいう。搬送対象装置は、例えば、図１のプロセス装置２００、図６のプロセス装置２０２等である。プログラマブルコントローラは、搬送対象装置と無線通信を行うことができる。なお、搬送対象装置には、例えば、制御系の駆動機器が設けられている。当該駆動機器は、例えば、ローダ部である。
【０１３５】
詳細は後述するが、プログラマブルコントローラは、ワークの種類に対応したレシピデータに基づき、搬送対象装置に設けられた駆動機器を制御する。
【０１３６】
レシピデータは、例えば、シーケンスプログラムである。レシピデータは、例えば、ワークの種類（機種情報）に対応して処理される各工程の種類、および、当該各工程の順番を示す。また、レシピデータは、例えば、当該各工程において使用される装置の種類を示す。また、レシピデータは、例えば、当該各工程において使用される装置で実行される動作シーケンスを決定するプログラムレシピ名を示す。
【０１３７】
なお、ワークの種類毎に、最適なレシピデータが予め作成される。プログラマブルコントローラには、予め作成された当該レシピデータが入力される。
【０１３８】
ここで、無人航空機３００が、ワークの機種情報（個体識別用ＩＤ）を入手していると仮定する。ワークの機種情報の入手は、無人航空機３００のカメラＣ１がワークの識別情報を読み取ることにより、実現される。
【０１３９】
この場合、無人航空機３００は、搬送対象のワークの機種情報に応じて、次の工程の種類と、当該工程において使用される装置の情報とに基づいて、搬送対象装置（搬送先の装置）を選択することができる。
【０１４０】
プログラマブルコントローラは、任意のタイミングで、搬送対象装置へ通知情報を送信する。通知情報は、例えば、無人航空機３００が、搬送対象装置に、もうすぐ到着する旨を示す情報である。また、通知情報は、例えば、無人航空機３００が搬送対象装置に到着した際に、ワークを搬入することが可能となるための準備処理を、搬送対象装置に開始させる指示を示す。
【０１４１】
搬送対象装置は上記の通知情報を受信した場合、当該通知情報に応じて、ワークの搬入のための準備処理を行なう。
【０１４２】
また、プログラマブルコントローラは、制御指示を、搬送対象装置へ送信する。当該制御指示は、無人航空機３００により搬送対象装置へのワークの受け渡しが完了した際に、駆動機器が、ワークに対し所定の処理を実行させるための指示を示す。所定の処理は、例えば、プロセス処理である。また、当該制御指示には、当該所定の処理を実行するためのプログラムレシピ名が示される。
【０１４３】
搬送対象装置は上記の制御指示を受信した場合、当該制御指示に応じて、駆動機器が上記の所定の処理を行うように、当該駆動機器を制御する。
【０１４４】
以上のようにして、プログラマブルコントローラは、各装置（搬送対象装置）に設けられた、各種の駆動機器を自動で制御することができる。
【０１４５】
以上説明したように、本変形例によれば、ワーク搬送装置１００、または、ワーク搬送装置１００Ａは、ワークの種類毎に、最適なレシピデータを入力可能なプログラマブルコントローラを備える。
【０１４６】
搬送対象装置は、プログラマブルコントローラの制御に従って、各種駆動機器を動作させる。これにより、安定したプロセス条件の下で、製品（ワーク）の品質が保たれると共に、簡単にジョブチェンジを行うことができる。そのため、多機種の対応も可能となる。
【０１４７】
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態、変形例を自由に組み合わせたり、各実施の形態、変形例を適宜、変形、省略することが可能である。
【０１４８】
なお、実施の形態１、実施の形態２等における、建屋内の飛行空間Ｓｐ１は、ＧＰＳを使用できない空間である。そのため、実施の形態１、実施の形態２および変形例１の構成は、ＧＰＳを使用できない飛行空間Ｓｐ１における、無人航空機３００の位置情報の管理、無人航空機３００の衝突防止等に有用である。
【０１４９】
また、実施の形態１、実施の形態２および変形例１の構成は、ＧＰＳを使用できない飛行空間Ｓｐ１におけるワーク搬送システム全般に適用することができる。
【符号の説明】
【０１５０】
１０，１０Ａ，１０Ｎ  ワーク搬送ユニット、１５  測位システム、１００，１００Ａ，１００Ｎ  ワーク搬送装置、２００，２０１，２０２  プロセス装置、３００  無人航空機、１０００，１０００Ａ  ワーク搬送システム、Ｃ１  カメラ、Ｄ１  除電部、Ｅ１  エリアセンサ、Ｈ１  把持機構、Ｈ２  吸着機構、Ｋ１  吸着パッド、Ｓｐ１  飛行空間、Ｓｔ１  待機ステージ、Ｓｔ２  受取ステージ、Ｔ１  トレイ、Ｗ１  基板。
【図１】
2020119122.tif 000003
【図２】
2020119122.tif 000004
【図３】
2020119122.tif 000005
【図４】
2020119122.tif 000006
【図５】
2020119122.tif 000007
【図６】
2020119122.tif 000008
【図７】
2020119122.tif 000009