(57)【要約】【課題】処理レシピの内容を視覚的に容易に把握できるレシピ表示装置、レシピ表示方法、およびレシピ表示プログラムを提供する。【解決手段】レシピ表示装置は、レシピ記憶部７１と、画像表示部７２と、内容反映部７３とを備える。レシピ記憶部７１は、処理レシピの内容が記述されたレシピファイルＲを記憶する。画像表示部７２は、処理レシピ中の複数の設定項目に対応する複数の画像を、ディスプレイ７０４の画面に表示する。内容反映部７３は、レシピファイルＲに記述された処理レシピの内容に応じて、複数の画像のそれぞれを変化させる。これにより、処理レシピの内容を、視覚的に容易に把握できる。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置において順次に実行される複数の処理の内容を示す処理レシピを画面に表示するレシピ表示装置であって、
前記処理レシピの内容が記述されたレシピファイルを記憶するレシピ記憶部と、
前記処理レシピ中の複数の設定項目に対応する複数の画像を、前記画面に表示する画像表示部と、
前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの内容に応じて、前記複数の画像のそれぞれを変化させる内容反映部と、
を備える、レシピ表示装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレシピ表示装置であって、
前記複数の画像は、前記基板処理装置の複数のハードウェア要素のうち、前記設定項目に対応するハードウェア要素の外観を模式的に示した複数のアイコンを含み、
前記内容反映部は、前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの内容に応じて、前記アイコンを変化させる、レシピ表示装置。
【請求項３】
請求項２に記載のレシピ表示装置であって、
前記画像表示部は、
基板を示す基板アイコンと、
前記基板に対して処理液を供給する複数の給液配管を示す複数の給液アイコンと、
前記基板の周囲から処理液を排出する複数の排液配管を示す複数の排液アイコンと、
を画面上に表示し、
前記内容反映部は、前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの内容に応じて、前記複数の給液アイコンの少なくとも１つと、前記複数の排液アイコンの少なくとも１つとを、強調表示する、レシピ表示装置。
【請求項４】
請求項３に記載のレシピ表示装置であって、
前記内容反映部は、前記処理レシピの内容に応じて、前記複数のアイコンを時間の経過とともに変化させるシミュレーション表示を実行可能である、レシピ表示装置。
【請求項５】
請求項２に記載のレシピ表示装置であって、
前記画像表示部は、
基板を示す基板アイコンと、
前記基板に対して処理液を吐出するノズルを示すノズルアイコンと、
を画面上に表示し、
前記内容反映部は、前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの内容に応じて、前記基板アイコンに対する前記ノズルアイコンの位置を変化させる、レシピ表示装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載のレシピ表示装置であって、
前記画像は、前記処理レシピ中の複数の設定項目に対応する図形を含み、
前記内容反映部は、前記レシピファイルに記述された動作タイミングに関する数値に応じて、前記図形の時間軸方向の位置および長さを変化させる、レシピ表示装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載のレシピ表示装置であって、
前記内容反映部は、前記レシピファイル中の前記設定項目に関する数値または文字列を、前記設定項目に対応する前記画像に併記する、レシピ表示装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載のレシピ表示装置であって、
ユーザの操作に基づいて前記レシピファイルを編集する編集処理部と、
をさらに備え、
前記ユーザの操作は、前記複数の画像が表示された前記画面において、前記画像を指定する操作と、数値を入力する操作とを含み、
前記編集処理部は、前記操作において指定された前記画像に対応する前記レシピファイル中の前記設定項目に対して、前記操作により入力された数値を適用する、レシピ表示装置。
【請求項９】
請求項８に記載のレシピ表示装置であって、
前記内容反映部は、前記編集処理部による前記数値の更新に応じて、前記画像を即時に変化させる、レシピ表示装置。
【請求項１０】
請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載のレシピ表示装置であって、
複数の表示モードの選択を受け付ける入力部
をさらに備え、
前記画像表示部は、前記入力部において選択された表示モードに応じた態様で、前記複数の画像を、前記画面に表示する、レシピ表示装置。
【請求項１１】
請求項１から請求項１０までのいずれか１項に記載のレシピ表示装置であって、
前記画像表示部は、前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの複数の工程のうち、ユーザにより指定された一部の工程に対応する画像のみを、前記画面に表示する、レシピ表示装置。
【請求項１２】
請求項２に記載のレシピ表示装置であって、
前記画像表示部は、前記基板処理装置が有する複数のハードウェア要素のうち、ユーザにより指定された一部のハードウェア要素に対応する画像のみを、前記画面に表示する、レシピ表示装置。
【請求項１３】
基板処理装置において順次に実行される複数の処理の内容を示す処理レシピを画面に表示するレシピ表示方法であって、
ａ）前記処理レシピの内容が記述されたレシピファイルを記憶する工程と、
ｂ）前記処理レシピ中の複数の設定項目に対応する複数の画像を、前記画面に表示する工程と、
ｃ）前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの内容に応じて、前記複数の画像のそれぞれを変化させる工程と、
を有する、レシピ表示方法。
【請求項１４】
基板処理装置において順次に実行される複数の処理の内容を示す処理レシピを画面に表示するためのレシピ表示プログラムであって、
コンピュータに、
ａ）前記処理レシピの内容が記述されたレシピファイルを記憶する処理と、
ｂ）前記処理レシピ中の複数の設定項目に対応する複数の画像を、前記画面に表示する処理と、
ｃ）前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの内容に応じて、前記複数の画像のそれぞれを変化させる処理と、
を実行させる、レシピ表示プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置において順次に実行される複数の処理の内容を示す処理レシピを画面に表示するレシピ表示装置、レシピ表示方法、およびレシピ表示プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハの製造工程においては、基板に対して種々の処理を行う基板処理装置が用いられる。基板処理装置は、チャンバの内部において基板を保持しつつ、当該基板に対して、フォトレジスト液、エッチング液、洗浄液、純水等の処理液を供給する。この種の基板処理装置は、順次に実行される複数の処理の内容および順序を示す「処理レシピ」と称されるデータに従って動作する。処理レシピに従って動作する従来の基板処理装置については、例えば、特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２３６５１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
基板処理装置の制御を行うコンピュータには、処理レシピの内容を示すレシピファイルが、予め入力される。基板処理装置のユーザは、コンピュータの画面にレシピファイルを表示し、必要に応じて、レシピファイルを編集することができる。しかしながら、レシピファイルは、基板処理装置内の各部を示す番号、各部の動作態様を示す番号、各部の動作に関するパラメータなどの数字が、羅列的に記述されたものである。このため、レシピファイルをそのまま画面に表示しても、処理レシピの内容を感覚的に把握することは難しい。また、レシピデータの編集作業において、入力ミスが発生しやすい。
【０００５】
特に、近年では、基板処理装置の処理レシピが、ますます複雑化している。このため、レシピファイルに記述された処理レシピの内容を、容易に把握できる技術が求められている。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、処理レシピの内容を視覚的に容易に把握できるレシピ表示装置、レシピ表示方法、およびレシピ表示プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本願の第１発明は、基板処理装置において順次に実行される複数の処理の内容を示す処理レシピを画面に表示するレシピ表示装置であって、前記処理レシピの内容が記述されたレシピファイルを記憶するレシピ記憶部と、前記処理レシピ中の複数の設定項目に対応する複数の画像を、前記画面に表示する画像表示部と、前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの内容に応じて、前記複数の画像のそれぞれを変化させる内容反映部と、を備える。
【０００８】
本願の第２発明は、第１発明のレシピ表示装置であって、前記複数の画像は、前記基板処理装置の複数のハードウェア要素のうち、前記設定項目に対応するハードウェア要素の外観を模式的に示した複数のアイコンを含み、前記内容反映部は、前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの内容に応じて、前記アイコンを変化させる。
【０００９】
本願の第３発明は、第２発明のレシピ表示装置であって、前記画像表示部は、基板を示す基板アイコンと、基板に対して処理液を供給する複数の給液配管を示す複数の給液アイコンと、基板の周囲から処理液を排出する複数の排液配管を示す複数の排液アイコンと、を画面上に表示し、前記内容反映部は、前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの内容に応じて、前記複数の給液アイコンの少なくとも１つと、前記複数の排液アイコンの少なくとも１つとを、強調表示する。
【００１０】
本願の第４発明は、第３発明のレシピ表示装置であって、前記内容反映部は、前記処理レシピの内容に応じて、前記複数のアイコンを時間の経過とともに変化させるシミュレーション表示を実行可能である。
【００１１】
本願の第５発明は、第２発明のレシピ表示装置であって、前記画像表示部は、基板を示す基板アイコンと、前記基板に対して処理液を吐出するノズルを示すノズルアイコンと、を画面上に表示し、前記内容反映部は、前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの内容に応じて、前記基板アイコンに対する前記ノズルアイコンの位置を変化させる。
【００１２】
本願の第６発明は、第１発明から第５発明までのいずれか１発明のレシピ表示装置であって、前記画像は、前記処理レシピ中の複数の設定項目に対応する図形を含み、前記内容反映部は、前記レシピファイルに記述された動作タイミングに関する数値に応じて、前記図形の時間軸方向の位置および長さを変化させる。
【００１３】
本願の第７発明は、第１発明から第６発明までのいずれか１発明のレシピ表示装置であって、前記内容反映部は、前記レシピファイル中の前記設定項目に関する数値または文字列を、前記設定項目に対応する前記画像に併記する。
【００１４】
本願の第８発明は、第１発明から第７発明までのいずれか１発明のレシピ表示装置であって、ユーザの操作に基づいて前記レシピファイルを編集する編集処理部と、をさらに備え、前記ユーザの操作は、前記複数の画像が表示された前記画面において、前記画像を指定する操作と、数値を入力する操作とを含み、前記編集処理部は、前記操作において指定された前記画像に対応する前記ハードウェア要素に関する前記レシピファイル中の項目に対して、前記操作により入力された数値を適用する。
【００１５】
本願の第９発明は、第８発明のレシピ表示装置であって、前記内容反映部は、前記編集処理部による前記数値の更新に応じて、前記画像を即時に変化させる。
【００１６】
本願の第１０発明は、第１発明から第９発明までのいずれか１発明のレシピ表示装置であって、複数の表示モードの選択を受け付ける入力部をさらに備え、前記画像表示部は、前記入力部において選択された表示モードに応じた態様で、前記複数の画像を、前記画面に表示する。
【００１７】
本願の第１１発明は、第１発明から第１０発明までのいずれか１発明のレシピ表示装置であって、前記画像表示部は、前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの複数の工程のうち、ユーザにより指定された一部の工程に対応する画像のみを、前記画面に表示する。
【００１８】
本願の第１２発明は、第２発明のレシピ表示装置であって、前記画像表示部は、前記基板処理装置が有する複数のハードウェア要素のうち、ユーザにより指定された一部のハードウェア要素に対応する画像のみを、前記画面に表示する。
【００１９】
本願の第１３発明は、基板処理装置において順次に実行される複数の処理の内容を示す処理レシピを画面に表示するレシピ表示方法であって、ａ）前記処理レシピの内容が記述されたレシピファイルを記憶する工程と、ｂ）前記基板処理装置が有する複数のハードウェア要素に対応する複数の画像を、前記画面に表示する工程と、ｃ）前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの内容に応じて、前記複数の画像のそれぞれを変化させる工程と、を有する。
【００２０】
本願の第１４発明は、基板処理装置において順次に実行される複数の処理の内容を示す処理レシピを画面に表示するためのレシピ表示プログラムであって、コンピュータに、ａ）前記処理レシピの内容が記述されたレシピファイルを記憶する処理と、ｂ）前記基板処理装置が有する複数のハードウェア要素に対応する複数の画像を、前記画面に表示する処理と、ｃ）前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの内容に応じて、前記複数の画像のそれぞれを変化させる処理と、を実行させる。
【発明の効果】
【００２１】
本願の第１発明〜第１４発明によれば、処理レシピ中の複数の設定項目に対応する複数の画像を、処理レシピの内容に応じて個別に変化させる。これにより、処理レシピの内容を、視覚的に容易に把握できる。
【００２２】
特に、本願の第２発明によれば、アイコンを用いることにより、ハードウェア要素と画像との対応関係を容易に把握できる。また、処理レシピの内容に応じて、アイコンを変化させる。これにより、処理レシピの内容を、より容易に把握できる。
【００２３】
特に、本願の第３発明によれば、処理レシピにおいて指定される給液経路および排液経路を、視覚的に容易に把握できる。
【００２４】
特に、本願の第４発明によれば、複数の処理の経時変化を、視覚的に容易に把握できる。
【００２５】
特に、本願の第５発明によれば、処理レシピにおいて指定されるノズルの位置を、視覚的に容易に把握できる。
【００２６】
特に、本願の第６発明によれば、レシピファイルに記述された各設定項目の動作タイミングを、視覚的に容易に把握できる。
【００２７】
特に、本願の第７発明によれば、レシピファイルに記述された正確な数値または文字列を、設定項目ごとに容易に把握できる。
【００２８】
特に、本願の第８発明および第９発明によれば、処理レシピの内容を視覚的に把握しながら、レシピファイルの編集作業を行うことができる。したがって、レシピファイルの編集作業を、効率よく行うことができる。また、レシピファイルの編集ミスを低減させることができる。
【００２９】
特に、本願の第１１発明および第１２発明によれば、ユーザにとって必要な情報のみを、画面に表示することができる。これにより、画面に表示される情報量を抑えることができる。その結果、処理レシピをより容易に把握できる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】基板処理装置の平面図である。
【図２】処理ユニットの平面図である。
【図３】処理ユニットの縦断面図である。
【図４】ノズルヘッドに接続される給液部の一例を示した図である。
【図５】コンピュータと処理ユニット内の各部との接続を示したブロック図である。
【図６】レシピファイルの記述内容の例を示した図である。
【図７】処理レシピの表示および編集のためのコンピュータの機能を概念的に示したブロック図である。
【図８】処理レシピの表示および編集の処理の流れを示したフローチャートである。
【図９】レシピチャート表示の例を示した図である。
【図１０】スキャンポジション表示の例を示した図である。
【図１１】チャンバイメージ表示の例を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態について詳細に説明する。
【００３２】
＜１．基板処理装置の全体構成＞
図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置１００の平面図である。この基板処理装置１００は、半導体ウェハの製造工程において、円板状の基板Ｗ（シリコンウェハ）の表面に処理液を供給して、基板Ｗの表面を処理する装置である。図１に示すように、基板処理装置１００は、インデクサ１０１と、複数の処理ユニット１０２と、主搬送ロボット１０３とを備えている。
【００３３】
インデクサ１０１は、処理前の基板Ｗを外部から搬入するとともに、処理後の基板Ｗを外部へ搬出するための部位である。インデクサ１０１には、複数の基板Ｗを収容するキャリアが、複数配置される。また、インデクサ１０１は、図示を省略した移送ロボットを有する。移送ロボットは、インデクサ１０１内のキャリアと、処理ユニット１０２または主搬送ロボット１０３との間で、基板Ｗを移送する。なお、キャリアには、例えば、基板Ｗを密閉空間に収納する公知のＦＯＵＰ(front opening unified pod)またはＳＭＩＦ(Standard Mechanical Inter Face)ポッド、或いは、収納基板Ｗが外気と接するＯＣ(open cassette)が用いられる。
【００３４】
処理ユニット１０２は、基板Ｗを１枚ずつ処理する、いわゆる枚様式の処理部である。複数の処理ユニット１０２は、主搬送ロボット１０３の周囲に配置されている。本実施形態では、主搬送ロボット１０３の周囲に配置された４つの処理ユニット１０２が、高さ方向に３段に積層されている。すなわち、本実施形態の基板処理装置１００は、全部で１２台の処理ユニット１０２を有する。複数の基板Ｗは、各処理ユニット１０２において、並列に処理される。ただし、基板処理装置１００が備える処理ユニット１０２の数は、１２台に限定されるものではなく、例えば、２４第、８台、４台、１台などであってもよい。
【００３５】
主搬送ロボット１０３は、インデクサ１０１と複数の処理ユニット１０２との間で、基板Ｗを搬送するための機構である。主搬送ロボット１０３は、例えば、基板Ｗを保持するハンドと、ハンドを移動させるアームとを有する。主搬送ロボット１０３は、インデクサ１０１から処理前の基板Ｗを取り出して、処理ユニット１０２へ搬送する。また、処理ユニット１０２における基板Ｗの処理が完了すると、主搬送ロボット１０３は、当該処理ユニット１０２から処理後の基板Ｗを取り出して、インデクサ１０１へ搬送する。
【００３６】
＜２．処理ユニットの構成＞
続いて、処理ユニット１０２の構成について説明する。以下では、基板処理装置１００が有する複数の処理ユニット１０２のうちの１つについて説明するが、他の処理ユニット１０２も同等の構成を有する。
【００３７】
図２は、処理ユニット１０２の平面図である。図３は、処理ユニット１０２の縦断面図である。図２および図３に示すように、処理ユニット１０２は、チャンバ１０、基板保持部２０、回転機構３０、処理液供給部４０、処理液捕集部５０、遮断板６０、およびコンピュータ７０を備えている。
【００３８】
チャンバ１０は、基板Ｗを処理するための処理空間１１を内包する筐体である。チャンバ１０は、処理空間１１の側部を取り囲む側壁１２と、処理空間１１の上部を覆う天板部１３と、処理空間１１の下部を覆う底板部１４と、を有する。基板保持部２０、回転機構３０、処理液供給部４０、処理液捕集部５０、および遮断板６０は、チャンバ１０の内部に収容される。側壁１２の一部には、チャンバ１０内への基板Ｗの搬入およびチャンバ１０から基板Ｗの搬出を行うための搬入出口と、搬入出口を開閉するシャッタとが、設けられている（いずれも図示省略）。
【００３９】
図３に示すように、チャンバ１０の天板部１３には、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）１５が設けられている。ファンフィルタユニット１５は、ＨＥＰＡフィルタ等の集塵フィルタと、気流を発生させるファンとを有する。ファンフィルタユニット１５を動作させると、基板処理装置１００が設置されるクリーンルーム内の空気が、ファンフィルタユニット１５に取り込まれ、集塵フィルタにより清浄化されて、チャンバ１０内の処理空間１１へ供給される。これにより、チャンバ１０内の処理空間１１に、清浄な空気のダウンフローが形成される。
【００４０】
また、側壁１２の下部の一部には、排気ダクト１６が接続されている。ファンフィルタユニット１５から供給された空気は、チャンバ１０の内部においてダウンフローを形成した後、排気ダクト１６を通ってチャンバ１０の外部へ排出される。
【００４１】
基板保持部２０は、チャンバ１０の内部において、基板Ｗを水平に（法線が鉛直方向を向く姿勢で）保持する機構である。図２および図３に示すように、基板保持部２０は、円板状のスピンベース２１と、複数のチャックピン２２とを有する。複数のチャックピン２２は、スピンベース２１の上面の外周部に沿って、等角度間隔で設けられている。基板Ｗは、パターンが形成される被処理面を上側に向けた状態で、複数のチャックピン２２に保持される。各チャックピン２２は、基板Ｗの周縁部の下面および外周端面に接触し、スピンベース２１の上面から僅かな空隙を介して上方の位置に、基板Ｗを支持する。
【００４２】
スピンベース２１の内部には、複数のチャックピン２２の位置を切り替えるためのチャックピン切替機構２３が設けられている。チャックピン切替機構２３は、複数のチャックピン２２を、基板Ｗを保持する保持位置と、基板Ｗの保持を解除する解除位置と、の間で切り替える。
【００４３】
回転機構３０は、基板保持部２０を回転させるための機構である。回転機構３０は、スピンベース２１の下方に設けられたモータカバー３１の内部に収容されている。図３中に破線で示したように、回転機構３０は、スピンモータ３２と支持軸３３とを有する。支持軸３３は、鉛直方向に延び、その下端部がスピンモータ３２に接続されるとともに、上端部がスピンベース２１の下面の中央に固定される。スピンモータ３２を駆動させると、支持軸３３がその軸芯３３０を中心として回転する。そして、支持軸３３とともに、基板保持部２０および基板保持部２０に保持された基板Ｗも、軸芯３３０を中心として回転する。
【００４４】
処理液供給部４０は、基板保持部２０に保持された基板Ｗの上面に、処理液を供給する機構である。図２および図３に示すように、処理液供給部４０は、３つの上面ノズル４１と、１つの下面ノズル４２とを有する。
【００４５】
３つの上面ノズル４１は、それぞれ、ノズルアーム４１１と、ノズルアーム４１１の先端に設けられたノズルヘッド４１２と、ノズルモータ４１３とを有する。各ノズルアーム４１１は、ノズルモータ４１３の駆動により、図２中の矢印のように、各ノズルアーム４１１の基端部を中心として、水平方向に個別に回動する。これにより、各ノズルヘッド４１２を、基板保持部２０に保持された基板Ｗの上方の処理位置と、処理液捕集部５０よりも外側の退避位置との間で、移動させることができる。
【００４６】
ノズルヘッド４１２には、処理液を供給するための給液部４３が接続されている。図４は、ノズルヘッド４１２に接続される給液部４３の一例を示した図である。図４に示すように、給液部４３は、給液配管４３１を有する。給液配管４３１の上流側の端部は、処理液供給源４３２に流路接続されている。給液配管４３１の下流側の端部は、ノズルヘッド４１２に流路接続されている。また、給液配管４３１の経路途中には、バルブ４３３が介挿されている。
【００４７】
ノズルヘッド４１２を処理位置に配置した状態で、バルブ４３３を開放すると、処理液供給源４３２から給液配管４３１を通ってノズルヘッド４１２へ、処理液が供給される。そして、ノズルヘッド４１２から、基板保持部２０に保持された基板Ｗの上面へ向けて、処理液が吐出される。
【００４８】
３つのノズルヘッド４１２には、それぞれ複数の給液部４３が接続されている。各給液部は、互いに異なる種類の処理液を供給する。処理液の例としては、オゾン水、ＤＨＦ処理液（希フッ酸）、ＳＣ−１処理液（アンモニア水、過酸化水素水、純水の混合液）、ＳＣ−２処理液（塩酸、過酸化水素水、純水の混合液）、ＳＰＭ処理液（硫酸，過酸化水素水の混合液）等の薬液や、純水（脱イオン水）を挙げることができる。
【００４９】
なお、３つのノズルヘッド４１２のうちの一部のノズルヘッド４１２は、処理液と加圧した気体とを混合して液滴を生成し、その液滴と気体との混合流体を基板Ｗに噴射する、いわゆる二流体ノズルであってもよい。また、処理ユニット１０２に設けられる上面ノズル４１の数は、３本に限定されるものではなく、１本、２本、または４本以上であってもよい。
【００５０】
下面ノズル４２は、スピンベース２１の中央に設けられた貫通孔の内側に配置されている。下面ノズル４２の吐出口は、基板保持部２０に保持された基板Ｗの下面に対向する。下面ノズル４２も、処理液を供給するための給液部に接続されている。給液部から下面ノズル４２に処理液が供給されると、当該処理液が、下面ノズル４２から基板Ｗの下面に向けて吐出される。
【００５１】
処理液捕集部５０は、使用後の処理液を捕集する部位である。図３に示すように、処理液捕集部５０は、内カップ５１、中カップ５２、および外カップ５３を有する。内カップ５１、中カップ５２、および外カップ５３は、図示を省略した昇降機構により、互いに独立して昇降移動することが可能である。
【００５２】
内カップ５１は、基板保持部２０の周囲を包囲する円環状の第１案内板５１０を有する。中カップ５２は、第１案内板５１０の外側かつ上側に位置する円環状の第２案内板５２０を有する。外カップ５３は、第２案内板５２０の外側かつ上側に位置する円環状の第３案内板５３０を有する。また、内カップ５１の底部は、中カップ５２および外カップ５３の下方まで広がっている。そして、当該底部の上面には、内側から順に、第１排液溝５１１、第２排液溝５１２、および第３排液溝５１３が設けられている。各排液溝５１１，５１２，５１３には、排液配管５４が接続されている。３つの排液配管５４の下流側の端部は、互いに異なるタンクに接続されている。
【００５３】
処理液供給部４０の各ノズル４１，４２から吐出された処理液は、基板Ｗに供給された後、基板Ｗの回転による遠心力で、外側へ飛散する。そして、基板Ｗから飛散した処理液は、第１案内板５１０、第２案内板５２０、および第３案内板５３０のいずれかに捕集される。第１案内板５１０に捕集された処理液は、第１排液溝５１１および第１排液溝５１１に接続された排液配管５４を通って、処理ユニット１０２の外部へ排出される。第２案内板５２０に捕集された処理液は、第２排液溝５１２および第２排液溝５１２に接続された排液配管５４を通って、処理ユニット１０２の外部へ排出される。第３案内板５３０に捕集された処理液は、第３排液溝５１３および第３排液溝５１３に接続された排液配管５４を通って、処理ユニット１０２の外部へ排出される。
【００５４】
このように、この処理ユニット１０２は、処理液の排出経路を複数有する。このため、基板Ｗに供給された処理液を、種類毎に分別して回収できる。したがって、回収された処理液の廃棄や再生処理も、各処理液の性質に応じて別々に行うことができる。
【００５５】
遮断板６０は、乾燥処理などの一部の処理を行うときに、基板Ｗの表面付近における気体の拡散を抑制するための部材である。遮断板６０は、円板状の外形を有し、基板保持部２０の上方に、水平に配置される。図３に示すように、遮断板６０は、昇降機構６１に接続されている。昇降機構６１を動作させると、遮断板６０は、基板保持部２０に保持される基板Ｗの上面から上方へ離れた上位置と、上位置よりも基板Ｗの上面に接近した下位置との間で、昇降移動する。昇降機構６１には、例えば、モータの回転運動をボールねじにより直進運動に変換する機構が用いられる。
【００５６】
また、遮断板６０の下面の中央には、乾燥用の気体（以下「乾燥気体」と称する）を吹き出す吹出口６２が設けられている。吹出口６２は、乾燥気体を供給する給気部（図示省略）と接続されている。乾燥気体には、例えば、加熱された窒素ガスが用いられる。
【００５７】
上面ノズル４１から、基板Ｗに対して処理液を供給するときには、遮断板６０は、上位置に退避する。処理液の供給後、基板Ｗの乾燥処理を行うときには、昇降機構６１により、遮断板６０が下位置に降下する。そして、吹出口６２から基板Ｗの上面に向けて、乾燥気体が吹き付けられる。このとき、遮断板６０により、基板Ｗの上面付近の空間が、乾燥気体に保護される。その結果、基板Ｗの上面における乾燥性能が向上し、処理不良の発生を抑制できる。
【００５８】
コンピュータ７０は、処理ユニット１０２内の各部を動作制御する制御部としての機能と、後述する処理レシピを表示するレシピ表示装置としての機能と、を有する。図５は、コンピュータ７０と、処理ユニット１０２内の各部との接続を示したブロック図である。図５中に概念的に示したように、コンピュータ７０は、ＣＰＵ等のプロセッサ７０１、ＲＡＭ等のメモリ７０２、およびハードディスクドライブ等の記憶部７０３を有する。記憶部７０３内には、制御プログラムＰ１と、レシピ表示プログラムＰ２と、レシピファイルＲとが、記憶されている。
【００５９】
制御プログラムＰ１は、処理ユニット１０２内の各部を動作制御するためのコンピュータプログラムである。レシピ表示プログラムＰ２は、後述する処理レシピの表示および編集を行うためのコンピュータプログラムである。制御プログラムＰ１およびレシピ表示プログラムＰ２は、例えば、これらのプログラムＰ１，Ｐ２が記憶された記憶媒体Ｍから読み出されて、コンピュータ７０の記憶部７０３に記憶される。記憶媒体Ｍの例としては、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、フラッシュメモリなどを挙げることができる。ただし、制御プログラムＰ１およびレシピ表示プログラムＰ２は、ネットワークを介してコンピュータ７０に入力されてもよい。
【００６０】
レシピファイルＲは、処理ユニット１０２において順次に実行される複数の処理の内容および順序を示す処理レシピを、所定の様式で記述したデータファイルである。図６は、レシピファイルＲの記述内容の例を示した図である。図６のように、レシピファイルＲには、処理ユニット１０２内の各部を示す番号（機能番号）が、動作の順序に沿って記述されているとともに、処理工程毎に各部の動作に関するパラメータが記述されている。レシピファイルＲは、処理対象となる基板Ｗの仕様に応じて、作成・編集され、記憶部７０３に記憶される。レシピファイルＲの作成および編集は、このコンピュータ７０において行われてもよく、他のコンピュータにおいて行われてもよい。
【００６１】
図５に示すように、コンピュータ７０は、上述したファンフィルタユニット１５、チャックピン切替機構２３、スピンモータ３２、ノズルモータ４１３、バルブ４３３、処理液捕集部５０の昇降機構、および遮断板６０の昇降機構６１と、それぞれ有線または無線により通信可能に接続されている。コンピュータ７０は、記憶部７０３に記憶された制御プログラムＰ１およびレシピファイルＲをメモリ７０２に一時的に読み出し、当該制御プログラムＰ１およびレシピファイルＲに基づいて、上記の各部を動作制御する。これにより、基板Ｗに対する一連の処理が進行する。
【００６２】
また、図５に示すように、コンピュータ７０は、ディスプレイ７０４と入力部７０５とを有する。ディスプレイ７０４は、基板Ｗの処理に関する種々の情報を画面上に表示するためのデバイスである。特に、この基板処理装置１００では、レシピファイルＲに記述された処理レシピの内容を、ディスプレイ７０４の画面上に、視覚的に把握しやすい態様で、表示することができる。ディスプレイ７０４には、例えば、液晶ディスプレイや、有機ＥＬディスプレイが用いられる。入力部７０５は、ユーザの操作入力を受け付けるためのデバイスである。入力部７０５には、例えば、キーボードやマウスが用いられる。基板処理装置１００のユーザは、ディスプレイ７０４の画面を確認しながら、入力部７０５を操作することにより、コンピュータ７０へ種々の情報を入力することができる。
【００６３】
なお、ディスプレイ７０４の機能と、入力部７０５の機能とが、タッチパネルディスプレイなどの単一のデバイスにより実現されていてもよい。
【００６４】
＜３．処理レシピの表示および編集について＞
続いて、コンピュータ７０における処理レシピの表示および編集について、説明する。
【００６５】
＜３−１．レシピ表示および編集のための機能について＞
図７は、処理レシピの表示および編集のためのコンピュータ７０の機能を概念的に示したブロック図である。図７に示すように、コンピュータ７０は、レシピ記憶部７１、画像表示部７２、内容反映部７３、および編集処理部７４を有する。これらの各部の機能は、レシピ表示プログラムＰ２に従って、コンピュータ７０が動作することにより実現される。
【００６６】
レシピ記憶部７１は、コンピュータ７０に入力されたレシピファイルＲを記憶する。レシピ記憶部７１の機能は、例えば、上述した記憶部７０３により実現される。画像表示部７２は、処理レシピ中の複数の設定項目に対応する複数の画像を、ディスプレイ７０４の画面に表示する。内容反映部７３は、レシピファイルＲに記述された処理レシピの内容に応じて、ディスプレイ７０４に表示された複数の画像を変化させる。編集処理部７４は、ユーザの操作により入力部７０５から入力された情報に基づいて、レシピファイルＲ内の記述を変更する。
【００６７】
図８は、処理レシピの表示および編集を行うときの処理の流れを示したフローチャートである。図８に示すように、処理レシピの表示および編集を行うときには、まず、処理レシピの内容を示すレシピファイルＲが、コンピュータ７０へ入力される。そして、コンピュータ７０のレシピ記憶部７１に、レシピファイルＲが記憶される（ステップＳ１）。次に、ユーザが、入力部７０５を操作することによって、所望の表示モードを選択する（ステップＳ２）。ステップＳ２では、例えば、後述のレシピチャート表示、スキャンポジション表示、およびチャンバイメージ表示のうちの１つを選択することができる。
【００６８】
表示モードが選択されると、画像表示部７２が、選択された表示モードに応じて、処理レシピ中の複数の設定項目に対応する複数の画像を、ディスプレイ７０４の画面に表示する。本実施形態では、画像表示部７２が、処理ユニット１０２が有する複数のハードウェア要素のうち、処理レシピ中の設定項目となっているハードウェア要素に対応する複数の画像を、ディスプレイ７０４の画面に表示する（ステップＳ３）。続いて、内容反映部７３が、レシピ記憶部７１からレシピファイルＲを読み出す。そして、内容反映部７３が、レシピファイルＲに記述された処理レシピの内容に応じて、複数の画像を個別に変化させる（ステップＳ４）。ステップＳ３〜Ｓ４の具体的な表示態様については、後述する。
【００６９】
その後、レシピファイルＲの編集が必要な場合は（ステップＳ５：ｙｅｓ）、ユーザが、入力部７０５を操作して、編集処理を行う（ステップＳ６）。編集処理部７４は、ユーザの操作により入力部７０５から入力された情報に基づいて、レシピファイルＲ内の数値を変更する。レシピファイルＲが編集されると、内容反映部７３は、編集後のレシピファイルＲ内の数値に応じて、画面に表示された画像を変化させる（ステップＳ４）。また、ユーザは、必要に応じて、入力部７０５を操作することにより、表示モードの切り替えを行うことができる。表示モードを切り替えるときには（ステップＳ７：ｙｅｓ）、ステップＳ２に戻って、表示モードを再選択する。
【００７０】
＜３−２．レシピチャート表示＞
図９は、処理レシピの表示モードの一つである「レシピチャート表示」の例を示した図である。このレシピチャート表示は、横軸を時間軸として、各ハードウェア要素の動作を、時間軸に沿って表したものである。ただし、レシピチャート表示は、縦軸を時間軸とするものであってもよい。図９のレシピチャート表示は、回転数表示部８１、ノズル表示部８２、および給液表示部８３を含んでいる。
【００７１】
回転数表示部８１は、回転機構３０による基板Ｗの回転数を、時間軸に沿って表した部分である。回転数表示部８１は、基板Ｗの回転数の変化を示す折れ線図形８１１を含む。コンピュータ７０の画像表示部７２は、処理ユニット１０２が有するハードウェア要素である回転機構３０に対応する画像として、この折れ線図形８１１を、回転数表示部８１に表示する。コンピュータ７０の内容反映部７３は、レシピファイルＲに記述された処理レシピの内容に応じて、折れ線図形８１１の形状を変化させる。具体的には、折れ線図形８１１の各時刻における高さ位置を、レシピファイルＲに記述された数値に応じて変化させる。
【００７２】
ノズル表示部８２は、処理液供給部４０の３つの上面ノズル４１のうちのどの上面ノズル４１を使用するかを、時間軸に沿って表した部分である。ノズル表示部８２は、各上面ノズル４１が処理位置に配置されることを示す帯状図形８２１を含む。コンピュータ７０の画像表示部７２は、処理ユニット１０２が有するハードウェア要素である上面ノズル４１に対応する要素として、この帯状図形８２１を、ノズル表示部８２に表示する。コンピュータ７０の内容反映部７３は、レシピファイルＲに記述された処理レシピの内容に応じて、帯状図形８２１の位置および長さを変更する。具体的には、帯状図形８２１の時間軸方向の位置と、帯状図形８２１の時間軸方向の長さとを、レシピファイルＲに記述された数値に応じて変化させる。
【００７３】
給液表示部８３は、各処理液の供給タイミングを、時間軸に沿って表した部分である。給液表示部８３は、各処理液が供給されていることを示す帯状図形８３１を含む。コンピュータ７０の画像表示部７２は、処理ユニット１０２が有するハードウェア要素である給液部４３に対応する要素として、この帯状図形８３１を、給液表示部８３に表示する。コンピュータ７０の内容反映部７３は、レシピファイルＲに記述された処理レシピの内容に応じて、帯状図形８３１の位置および長さを変更する。具体的には、帯状図形８３１の時間軸方向の位置と、帯状図形８３１の時間軸方向の長さとを、レシピファイルＲに記述された数値に応じて変化させる。
【００７４】
このように、レシピチャート表示では、処理ユニット１０２が有する複数のハードウェア要素に対応する複数の画像（折れ線図形８１１、複数の帯状図形８２１、および複数の帯状図形８３１）を、処理レシピの内容に応じて個別に変化させる。これにより、ユーザは、処理レシピの内容を、視覚的に容易に把握できる。特に、このレシピチャート表示によれば、ユーザは、各ハードウェア要素の動作タイミングを、時間軸に沿って、視覚的に容易に把握できる。また、本実施形態のレシピチャート表示では、回転数表示部８１と、ノズル表示部８２と、給液表示部８３とで、共通の時間軸が用いられている。このため、ユーザは、基板Ｗの回転数と、各上面ノズル４１の位置と、各処理液の供給との、相互のタイミングを、容易に把握できる。
【００７５】
なお、図９の例では、折れ線図形８１１、帯状図形８２１、および帯状図形８３１に、その図形に対応するハードウェア要素に関するレシピファイルＲ中の数値または文字列が、併記されている。この数値または文字列の表示は、コンピュータ７０の内容反映部７３が行う。数値または文字列は、各図形と重なるように、あるいはその図形の周辺に表示される。このようにすれば、ユーザは、レシピファイルＲに記述された正確な数値または文字列を、ハードウェア要素毎に、容易に把握できる。
【００７６】
また、この基板処理装置１００では、レシピチャート表示の画面において、レシピファイルＲの編集を行うことができる。レシピファイルＲを編集するときには、まず、ユーザが、入力部７０５を操作することにより、上記の折れ線図形８１１、帯状図形８２１、または帯状図形８３１を指定する。そして、入力部７０５を操作することにより、所望の数値を入力する。そうすると、コンピュータ７０の編集処理部７４は、指定された図形に対応するハードウェア要素に関するレシピファイルＲ中の設定項目に、入力された数値を適用する。また、レシピファイルＲ中の数値が更新されると、内容反映部７３は、その数値の更新に応じて、各図形８１１，８２１，８３１を即時に変化させる。
【００７７】
これにより、ユーザは、処理レシピの内容を視覚的に把握しながら、レシピファイルＲの編集作業を行うことができる。したがって、レシピファイルＲの編集作業を、効率よく行うことができる。また、レシピファイルＲ中に羅列された数値を直接編集する場合と比べて、編集ミスを低減させることができる。
【００７８】
なお、本実施形態のレシピチャート表示は、回転数表示部８１、ノズル表示部８２、および給液表示部８３の３つの表示部を含んでいた。しかしながら、レシピチャート表示に含まれる表示部は、これらの一部であってもよい。また、レシピチャート表示は、他のハードウェア要素の動作を示す他の表示部を含んでいてもよい。例えば、処理液捕集部５０の各カップ５１〜５３の位置を示す表示部が、レシピチャート表示に含まれていてもよい。
【００７９】
＜３−３．スキャンポジション表示＞
図１０は、処理レシピの表示モードの他の１つである「スキャンポジション表示」の例を示した図である。このスキャンポジション表示は、基板保持部２０に保持された基板Ｗに対する上面ノズル４１の位置を、動的なイメージとして表示するものである。
【００８０】
図１０のスキャンポジション表示は、スピンベースアイコン２１ｉ、基板アイコンＷｉ、およびノズルアイコン４１ｉを含む。コンピュータ７０の画像表示部７２は、処理ユニット１０２が有するハードウェア要素であるスピンベース２１および上面ノズル４１に対応する画像として、スピンベースアイコン２１ｉおよびノズルアイコン４１ｉを、ディスプレイ７０４の画面に表示する。また、コンピュータ７０の画像表示部７２は、基板Ｗに対応する画像として、基板アイコンＷｉをディスプレイ７０４の画面に表示する。また、コンピュータ７０の内容反映部７３は、レシピファイルＲに記述された処理レシピの内容に応じて、基板アイコンＷｉに対するノズルアイコン４１ｉの位置を変化させる。
【００８１】
上面ノズル４１は、基板Ｗの中央部の上部に配置される場合と、基板Ｗの周縁部の上部に配置される場合とがある。また、上面ノズル４１は、基板Ｗの上方において静止する場合と、基板Ｗの上面に沿って揺動する場合とがある。レシピファイルＲには、これらの各場合に対応する数値が、記述されている。コンピュータ７０の内容反映部７３は、レシピファイルＲに記述された当該数値に応じて、基板アイコンＷｉに対するノズルアイコン４１ｉの位置および動きを変化させる。
【００８２】
このように、スキャンポジション表示では、処理ユニット１０２が有するハードウェア要素に対応する画像（ノズルアイコン４１ｉ）を、処理レシピの内容に応じて変化させる。これにより、ユーザは、処理レシピの内容を、視覚的に容易に把握できる。特に、このスキャンポジション表示によれば、ユーザは、処理レシピにおいて指定される上面ノズル４１の位置を、視覚的に容易に把握できる。また、このスキャンポジション表示では、上面ノズル４１が揺動するときには、ノズルアイコン４１ｉも、左右に揺動するように動的に表示される。これにより、ユーザは、上面ノズル４１の位置だけではなく、上面ノズル４１の揺動の有無も容易に把握できる。
【００８３】
なお、図１０の例では、ノズルアイコン４１ｉの近傍に、上面ノズル４１の位置および動きに関する数値が、併記されている。この数値の表示は、コンピュータ７０の内容反映部７３が行う。数値は、ノズルアイコン４１ｉと重なるように表示されていてもよく、あるいは、ノズルアイコン４１ｉの周辺に表示されていてもよい。このようにすれば、ユーザは、上面ノズル４１の位置および動きに関する正確な数値を、容易に把握できる。
【００８４】
また、この基板処理装置１００では、スキャンポジション表示の画面において、レシピファイルＲの編集を行うことができる。レシピファイルＲを編集するときには、まず、ユーザが、入力部７０５を操作することにより、上記のノズルアイコン４１ｉを指定する。そして、入力部７０５を操作することにより、所望の数値を入力する。そうすると、コンピュータ７０の編集処理部７４は、上面ノズル４１の位置および動きに関するレシピファイルＲ中の設定項目に、入力された数値を適用する。また、レシピファイルＲ中の数値が更新されると、内容反映部７３は、その数値の更新に応じて、ノズルアイコン４１ｉの位置および動きを即時に変化させる。
【００８５】
これにより、ユーザは、処理レシピの内容を視覚的に把握しながら、レシピファイルＲの編集作業を行うことができる。したがって、レシピファイルＲの編集作業を、効率よく行うことができる。また、レシピファイルＲ中に羅列された数値を直接編集する場合と比べて、編集ミスを低減させることができる。
【００８６】
＜３−４．チャンバイメージ表示＞
図１１は、処理レシピの表示モードの他の１つである「チャンバイメージ表示」の例を示した図である。このチャンバイメージ表示は、基板Ｗに対する処理液の供給と処理液の排出とを、動的なイメージとして表示するものである。
【００８７】
図１１のチャンバイメージ表示は、スピンベースアイコン２１ｉ、基板アイコンＷｉ、内カップアイコン５１ｉ、中カップアイコン５２ｉ、外カップアイコン５３ｉ、複数の給液アイコン４３１ｉ、および複数の排液アイコン５４ｉを含む。コンピュータ７０の画像表示部７２は、処理ユニット１０２が有するハードウェア要素であるスピンベース２１、内カップ５１、中カップ５２、外カップ５３、複数の給液配管４３１、および複数の排液配管５４に対応する画像として、これらのアイコン２１ｉ，５１ｉ，５２ｉ，５３ｉ，４３１ｉ，５４ｉを、ディスプレイ７０４の画面に表示する。また、コンピュータ７０の画像表示部７２は、基板Ｗに対応する画像として、基板アイコンＷｉをディスプレイ７０４の画面に表示する。また、コンピュータ７０の内容反映部７３は、レシピファイルＲに記述された処理レシピの内容に応じて、処理工程ごとに、内カップアイコン５１ｉ、中カップアイコン５２ｉ、外カップアイコン５３ｉ、複数の給液アイコン４３１ｉ、および複数の排液アイコン５４ｉを個別に変化させる。
【００８８】
具体的には、複数の給液アイコン４３１ｉのうち、その工程で処理液が供給される給液配管４３１に対応する給液アイコン４３１ｉが、着色、太線化、点滅等により強調表示される。また、内カップアイコン５１ｉ、中カップアイコン５２ｉ、および外カップアイコン５３ｉのうち、その工程において処理液を捕集するカップに対応するアイコンが、着色、太線化、点滅等により強調表示される。また、複数の排液配管５４のうち、その工程で処理液が排出される排液配管５４に対応する排液アイコン５４ｉが、着色、太線化、点滅等により強調表示される。
【００８９】
このように、チャンバイメージ表示では、処理ユニット１０２が有する複数のハードウェア要素に対応する複数の画像（内カップアイコン５１ｉ、中カップアイコン５２ｉ、外カップアイコン５３ｉ、複数の給液アイコン４３１ｉ、および複数の排液アイコン５４ｉ）を、処理レシピの内容に応じて個別に変化させる。これにより、ユーザは、処理レシピの内容を、視覚的に容易に把握できる。特に、このチャンバイメージ表示によれば、処理レシピにおいて指定される各工程の給液経路および排液経路を、視覚的に容易に把握できる。また、このチャンバイメージ表示では、各ハードウェア要素に対応する画像を、当該ハードウェア要素の外観を模式的に示したアイコンとして表示する。このため、ユーザは、ハードウェア要素と画像との対応関係を容易に把握できる。
【００９０】
また、このチャンバイメージ表示では、レシピファイルＲに記述された処理レシピの内容に応じて、複数のアイコンを動的に変化させる、シミュレーション表示を実行可能である。具体的には、ユーザが入力部７０５を操作して、シミュレーション表示の実行を指示すると、複数の工程における上記の表示が、工程の順序に沿って、時間の経過とともに順次に表示される。このようなシミュレーション表示を実行すれば、ユーザは、複数の処理液がどのような順序で供給され、各工程において、処理液がどのような経路で排出されるかを、経時変化として、容易に把握することができる。
【００９１】
なお、図１１の例では、スピンベースアイコン２１ｉ、給液アイコン４３１ｉ、および排液アイコン５４ｉに、そのアイコンに対応するハードウェア要素に関するレシピファイルＲ中の数値または文字列が、併記されている。この数値または文字列の表示は、コンピュータ７０の内容反映部７３が行う。数値または文字列は、各アイコンと重なるように、あるいはそのアイコンの周辺に表示される。このようにすれば、ユーザは、レシピファイルＲに記述された正確な数値または文字列を、ハードウェア要素毎に、容易に把握できる。
【００９２】
また、この基板処理装置１００では、チャンバイメージ表示の画面において、レシピファイルＲの編集を行うことができる。レシピファイルＲを編集するときには、まず、ユーザが、入力部７０５を操作することにより、上記のスピンベースアイコン２１ｉ、内カップアイコン５１ｉ、中カップアイコン５２ｉ、外カップアイコン５３ｉ、給液アイコン４３１ｉ、または排液アイコン５４ｉを指定する。そして、入力部７０５を操作することにより、所望の数値を入力する。そうすると、コンピュータ７０の編集処理部７４は、指定されたアイコンに対応するハードウェア要素に関するレシピファイルＲ中の設定項目に、入力された数値を適用する。また、レシピファイルＲ中の数値が更新されると、内容反映部７３は、その数値の更新に応じて、各アイコン２１ｉ，４３１ｉ，５４ｉを即時に変化させる。
【００９３】
これにより、ユーザは、処理レシピの内容を視覚的に把握しながら、レシピファイルＲの編集作業を行うことができる。したがって、レシピファイルＲの編集作業を、効率よく行うことができる。また、レシピファイルＲ中に羅列された数値を直接編集する場合と比べて、編集ミスを低減させることができる。
【００９４】
なお、本実施形態のチャンバイメージ表示は、スピンベースアイコン２１ｉ、基板アイコンＷｉ、内カップアイコン５１ｉ、中カップアイコン５２ｉ、外カップアイコン５３ｉ、複数の給液アイコン４３１ｉ、および複数の排液アイコン５４ｉを含んでいた。しかしながら、チャンバイメージ表示に含まれるアイコンは、これらの一部であってもよい。また、チャンバイメージ表示は、他のハードウェア要素に対応する他のアイコンを含んでいてもよい。例えば、遮断板６０に対応するアイコンが、チャンバイメージ表示に含まれていてもよい。
【００９５】
＜４．変形例＞
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。
【００９６】
上記の実施形態では、処理レシピの内容に応じて、処理ユニット１０２が有するハードウェア要素に対応する図形またはアイコンそのものを変化させていた。しかしながら、処理レシピの内容に応じて、図形またはアイコンの周囲に配置される修飾用の図形（例えば、強調表示のための縁取り図形）を変化させてもよい。本発明における「画像の変化」は、このような修飾用の図形を変化させる場合も含むものとする。
【００９７】
また、画像表示部７２は、レシピファイルＲに記述された処理レシピの複数の工程のうち、ユーザにより指定された一部の工程に対応する画像のみを、ディスプレイ７０４の画面に表示してもよい。その場合、ユーザは、入力部７０５を操作することにより、処理レシピの複数の工程のうち、表示させたい工程を指定すればよい。このようにすれば、ユーザにとって必要な情報のみを、ディスプレイ７０４の画面に表示することができる。これにより、画面に表示される情報量を抑えることができる。その結果、処理レシピをより容易に把握できる。
【００９８】
また、画像表示部７２は、処理ユニット１０２が有する複数のハードウェア要素のうち、ユーザにより指定された一部のハードウェア要素に対応する画像のみを、ディスプレイ７０４の画面に表示してもよい。その場合、ユーザは、入力部７０５を操作することにより、画像として表示させたいハードウェア要素を、コンピュータ７０へ入力すればよい。このようにすれば、ユーザにとって必要な情報のみを、ディスプレイ７０４の画面に表示することができる。これにより、画面に表示される情報量を抑えることができる。その結果、処理レシピをより容易に把握できる。
【００９９】
また、上記の実施形態では、コンピュータ７０は、ディスプレイ７０４の画面に、複数の表示モードを択一的に表示していた。しかしながら、コンピュータ７０は、ディスプレイ７０４の画面に、２つ以上の表示モードを同時に表示してもよい。
【０１００】
また、コンピュータ７０は、上述したレシピチャート表示、スキャンポジション表示、およびチャンバイメージ表示の他に、他の表示モードを有していてもよい。また、コンピュータ７０は、図６のようなレシピファイルＲの記述内容を、そのままディスプレイ７０４の画面に表示する表示モードを、さらに有していてもよい。
【０１０１】
また、上記の実施形態では、基板処理装置１００が有するコンピュータ７０が、処理レシピを画面に表示するレシピ表示装置として機能していた。しかしながら、基板処理装置１００とは別のコンピュータにおいて、レシピファイルＲの作成や編集が行われる場合もある。その場合、基板処理装置１００とは別のコンピュータが、上記の実施形態と同様に、処理レシピを画面に表示してもよい。
【０１０２】
また、上記の実施形態では、処理対象となる基板Ｗが半導体用のシリコンウェハであった。しかしながら、基板処理装置において処理対象となる基板は、シリコンウェハに限定されるものではなく、液晶表示装置等のフラットパネルディスプレイ用のガラス基板、フォトマスク用のガラス基板、太陽電池用のガラス基板などの、他の精密電子装置用の基板であってもよい。
【０１０３】
また、基板処理装置の細部の形状については、本願の各図に示された形状と、相違していてもよい。また、上記の実施形態や変形例に登場した各要素を、矛盾が生じない範囲で、適宜に組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【０１０４】
１０  チャンバ
２０  基板保持部
２１  スピンベース
３０  回転機構
４０  処理液供給部
４１  上面ノズル
４２  下面ノズル
４３  給液部
５０  処理液捕集部
５１  内カップ
５２  中カップ
５３  外カップ
５４  排液配管
６０  遮断板
７０  コンピュータ
７１  レシピ記憶部
７２  画像表示部
７３  内容反映部
７４  編集処理部
８１  回転数表示部
８２  ノズル表示部
８３  給液表示部
１００  基板処理装置
１０１  インデクサ
１０２  処理ユニット
１０３  主搬送ロボット
４１１  ノズルアーム
４１２  ノズルヘッド
４１３  ノズルモータ
４３１  給液配管
４３２  処理液供給源
４３３  バルブ
５１０  第１案内板
５１１  第１排液溝
５１２  第２排液溝
５１３  第３排液溝
５２０  第２案内板
５３０  第３案内板
７０４  ディスプレイ
７０５  入力部
８１１  折れ線図形
８２１  帯状図形
８３１  帯状図形
Ｍ  記憶媒体
Ｐ１  制御プログラム
Ｐ２  レシピ表示プログラム
Ｒ  レシピファイル
Ｗ  基板
２１ｉ  スピンベースアイコン
４１ｉ  ノズルアイコン
５１ｉ  内カップアイコン
５２ｉ  中カップアイコン
５３ｉ  外カップアイコン
５４ｉ  排液アイコン
４３１ｉ  給液アイコン
Ｗｉ  基板アイコン
【図１】
2020047853.tif 000003
【図２】
2020047853.tif 000004
【図３】
2020047853.tif 000005
【図４】
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【図５】
2020047853.tif 000007
【図６】
2020047853.tif 000008
【図７】
2020047853.tif 000009
【図８】
2020047853.tif 000010
【図９】
2020047853.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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