(57)【要約】【課題】シートのしわを取る際に静電気の発生を抑制する。【解決手段】ステージ２０上にシート１を載置するシート載置ステップと、シート１と同材質で形成されたローラー３３でシート１を押し広げるシートしわ取りステップと、シート１の上面に所定量の液状樹脂を供給する樹脂供給ステップと、液状樹脂を介してシート１上に配置されたウエーハを、シート１に向けて押圧することにより、ウエーハとシート１との間に液状樹脂を押し広げ該ウエーハを被覆する被覆ステップと、液状樹脂を硬化させて保護部材を形成する硬化ステップとを備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエーハの一方の面に樹脂を被覆する保護部材の形成方法であって、
ステージ上にシートを載置するシート載置ステップと、
該シートをローラーで押し広げるシートしわ取りステップと、
該シートの上面に所定量の液状樹脂を供給する樹脂供給ステップと、
該液状樹脂を介して該シート上に配置されたウエーハを、該シートに向けて押圧することにより、該ウエーハと該シートとの間に該液状樹脂を押し広げ該ウエーハを被覆する被覆ステップと、
該液状樹脂を硬化させる硬化ステップと、を備え、
該ローラーは少なくとも外周面が該シートと同材質であることを特徴とする保護部材の形成方法。
【請求項２】
該ローラーは弾性部材から構成された芯材と、
該芯材を被覆するローラー被覆部材と、を備え、
該ローラー被覆部材は、該シートと同材質であることを特徴とする請求項１に記載の保護部材の形成方法。
【請求項３】
ウエーハの一方の面に樹脂を被覆する保護部材の形成方法であって、
ステージ上にシートを載置するシート載置ステップと、
該シートをローラーで力分散用パッドを介して押し広げるシートしわ取りステップと、
該シートの上面に所定量の液状樹脂を供給する樹脂供給ステップと、
該液状樹脂を介して該シート上に配置されたウエーハを、該シートに向けて押圧することにより、該ウエーハと該シートとの間に該液状樹脂を押し広げ該ウエーハを被覆する被覆ステップと、
該液状樹脂を硬化させる硬化ステップと、を備え、
該力分散用パッドの少なくとも下面は、該シートと同材質であることを特徴とする保護部材の形成方法。
【請求項４】
該力分散用パッドは弾性部材から構成されるパッド本体と、
該パッド本体の下部に固定されている力分散パッド被覆部材と、を備え、
該力分散パッド被覆部材は、該シートと同材質であることを特徴とする請求項３に記載の保護部材の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエーハの一方の面に保護部材を形成する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
円柱状のインゴットをワイヤーソーによってスライスして円板状のウエーハを形成する場合、スライスする際にウエーハに反りやうねりが発生する。これらの反りやうねりを除去するため、従来、ウエーハの一方の面に樹脂を塗布し、これを硬化させて保護部材を形成した後、ウエーハを研削して平坦に形成する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。この種の技術では、ステージ上に載置されたシートの上に樹脂を供給（滴下）し、この樹脂に向けてウエーハを押圧することによってウエーハの下面（一方の面）に樹脂を均一に塗布している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１６７５４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、ステージ上に載置されたシートにしわがあると該シート上の樹脂の厚みが異なってしまう。このため、樹脂を供給する前に、シート上にローラーを転動させて該シートのしわを取る工程が実施される。ここで、シートにかかる力を分散させるためにローラーを弾性部材（例えばゴム）で形成したり、シート上に弾性部材で形成されたパッドを積層し、このパッド越しに金属製のローラーを転動させたりする構成が用いられる。
【０００５】
しかし、上記した構成では、弾性部材で形成されたローラーやパッドがシートから離れる際にシート上に静電気が発生するため、静電気が生じた状態で樹脂をシート上に供給すると樹脂が円形状に均等に広がらずウエーハ全面に均一に塗付できないという問題が生じた。また、発生した静電気をイオナイザなどの除去手段で除去する方法もあるが、この方法は時間がかかり効率的ではない。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、シートのしわを取る際に静電気の発生を抑制した保護部材の形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、ウエーハの一方の面に樹脂を被覆する保護部材の形成方法であって、ステージ上にシートを載置するシート載置ステップと、該シートをローラーで押し広げるシートしわ取りステップと、該シートの上面に所定量の液状樹脂を供給する樹脂供給ステップと、該液状樹脂を介して該シート上に配置されたウエーハを、該シートに向けて押圧することにより、該ウエーハと該シートとの間に該液状樹脂を押し広げ該ウエーハを被覆する被覆ステップと、該液状樹脂を硬化させる硬化ステップと、を備え、該ローラーは少なくとも外周面が該シートと同材質としたものである。
【０００８】
この構成によれば、シートしわ取りステップで使用するローラーの少なくとも外周面をシートと同材質としたため、ローラーをシートから剥離する際の剥離帯電を低減することができ、シートのしわを取る際の静電気の発生を抑制することができる。
【０００９】
この構成において、該ローラーは弾性部材から構成された芯材と、該芯材を被覆するローラー被覆部材と、を備え、該ローラー被覆部材は、該シートと同材質であってもよい。この構成によれば、弾性部材で形成されるローラーの芯材によって、シートにかかる力を分散させてシートに均等に力を付加できるため、シートのしわ取りを効果的に行うことができる。
【００１０】
また、本発明は、ウエーハの一方の面に樹脂を被覆する保護部材の形成方法であって、ステージ上にシートを載置するシート載置ステップと、該シートをローラーで力分散用パッドを介して押し広げるシートしわ取りステップと、該シートの上面に所定量の液状樹脂を供給する樹脂供給ステップと、該液状樹脂を介して該シート上に配置されたウエーハを、該シートに向けて押圧することにより、該ウエーハと該シートとの間に該液状樹脂を押し広げ該ウエーハを被覆する被覆ステップと、該液状樹脂を硬化させる硬化ステップと、を備え、該力分散用パッドの少なくとも下面を該シートと同材質としたものである。
【００１１】
この構成によれば、シートしわ取りステップで使用する力分散用パッドの少なくとも下面をシートと同材質としたため、力分散用パッドをシートから剥離する際の剥離帯電を低減することができ、シートのしわを取る際の静電気の発生を抑制することができる。
【００１２】
この構成において、該力分散用パッドは弾性部材から構成されるパッド本体と、該パッド本体の下部に固定されている力分散パッド被覆部材と、を備え、該力分散パッド被覆部材は、該シートと同材質であってもよい。この構成によれば、弾性部材から構成されるパッド本体をシートと接触しない面に備えることにより、力分散用パッドが丈夫になるとともに、パッド本体がローラーの圧力を分散させてシートに均等に力を付加できるため、シートのしわ取りを効果的に行うことができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、シートのしわを取る際の静電気の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本実施形態に係る保護部材の形成方法の手順を示すフローチャートである。
【図２】図２は、シート載置ステップを説明する模式図である。
【図３】図３は、シート載置ステップを説明する模式図である。
【図４】図４は、シートしわ取りステップを説明する模式図である。
【図５】図５は、樹脂供給ステップを説明する模式図である。
【図６】図６は、シート上に供給された樹脂を示す模式図である。
【図７】図７は、被覆ステップを説明する模式図である。
【図８】図８は、硬化ステップを説明する模式図である。
【図９】図９は、別の実施形態に係るシートしわ取りステップを説明する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１６】
図１は、本実施形態に係る保護部材の形成方法の手順を示すフローチャートである。本実施形態に係る保護部材の形成方法が適用されるウエーハは、デバイスパターンが形成される前のものであり、例えば、シリコン（Ｓｉ）、ガリウムヒ素（ＧａＡｓ）、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）等の円柱状のインゴットをワイヤーソーによって円板状にスライス（切断）することにより得られるアズスライスウエーハである。ウエーハの下面（一方の面）には、ワイヤーソーによる切断時にうねりや反りが発生する。これらのうねりや反りを除去するため、ウエーハの下面に樹脂を塗布して保護部材を形成した後、ウエーハの両面を順次研削することで平坦化される。本実施形態に係る保護部材の形成方法は、図１に示すように、シート載置ステップＳＴ１と、シートしわ取りステップＳＴ２と、樹脂供給ステップＳＴ３と、被覆ステップＳＴ４と、硬化ステップＳＴ５とを備えて構成される。以下、各ステップについて説明する。
【００１７】
［シート載置ステップＳＴ１］
図２及び図３は、シート載置ステップを説明する模式図である。シート載置ステップＳＴ１では、図２及び図３に示すように、搬送装置１０を用いて、液状樹脂が供給（滴下）されるシート１をステージ２０上に載置する。シート１は、ステージ２０上に直接、液状樹脂が滴下されることを防止して、ステージ２０の上面に傷がつかないように守るためや掃除の手間を防ぐものである。また、シート１は、液状樹脂が塗布されたウエーハのハンドリング（取扱い）を容易にするものでもある。シート１は、ある程度の柔軟性を備え、ステージ２０と同等もしくは僅かに小さく形成されている。シート１の形状は、ステージ２０と同様に矩形（四角形）に形成されているが、これに限るものではなく円形などに形成されていてもよい。また、シート１の材質はポリオレフィン（polyolefin）が用いられている。
【００１８】
搬送装置１０は、搬送アーム１１と、この搬送アーム１１の下面に設けられてシート１を吸着する吸着パッド１２と、搬送アーム１１をステージ２０に対して昇降する昇降ユニット１３と、昇降ユニット１３を水平方向に移動する水平移動機構（不図示）とを備える。水平移動機構は、昇降ユニット１３に支持された搬送アーム１１をステージ２０上の搬送位置と、ステージ２０から離れた退避位置との間で移動させる。吸着パッド１２には、吸引源（不図示）が接続されシート１の吸引または解除を行う。昇降ユニット１３は、搬送アーム１１の一端側を支持して搬送アーム１１を上下方向に移動する。
【００１９】
ステージ２０は、ステージ本体２１と、このステージ本体２１の上部に設けられたガラステーブル２２と、ステージ本体２１内に配置された複数のＵＶ（紫外線）ランプ２３とを備える。ステージ本体２１は、平面視で矩形状に形成され、中央部に例えば円形のガラステーブル２２が設けられている。ガラステーブル２２は、上面が平坦に形成されており、シート１の載置面となる。また、ガラステーブル２２は、紫外線を透過する材質であればガラスでなくてもよい。ステージ２０は、吸引源（不図示）の吸引力を載置面に作用させてシート１を吸引保持する構成としてもよい。
【００２０】
シート１は、図２に示すように、搬送装置１０の吸着パッド１２に吸着されて搬送アーム１１に保持され、ステージ２０の上方に搬送される。次に、搬送装置１０は、昇降ユニット１３の動作により搬送アーム１１を降下させて、図３に示すように、シート１をステージ２０のガラステーブル２２上に載置する。シート１をステージ２０のガラステーブル２２上に載置すると、搬送装置１０はステージ２０上から退避する。この場合、ガラステーブル２２上に載置されたシート１には、多少のしわ１Ａが寄った状態となることがある。しわ１Ａが寄った状態でシート１上に樹脂を供給すると、シート１上の樹脂の厚みにバラつきが生じるため、シート１のしわ取りが行われる。
【００２１】
［シートしわ取りステップＳＴ２］
図４は、シートしわ取りステップを説明する模式図である。シートしわ取りステップＳＴ２は、図４に示すように、ガラステーブル２２に載置されたシート１上を転動するローラーユニット３０を用いて実行される。ローラーユニット３０は、ユニット本体３１と、ユニット本体３１内に設けられた移動機構によって水平方向に移動自在なアーム部３２と、アーム部３２に回転自在に取り付けられたローラー３３と、ユニット本体３１をステージ２０に対して昇降する昇降ユニット３４と、昇降ユニット３４を水平方向に移動する水平移動機構（不図示）とを備える。水平移動機構は、昇降ユニット３４に支持されたユニット本体３１をステージ２０上の転動位置と、ステージ２０から離れた退避位置との間で移動させる。
【００２２】
ローラー３３は、アーム部３２に回転自在に支持される回転軸３５と、この回転軸３５に固定された円柱状のローラー部（芯材）３６と、このローラー部３６の外周面を被覆するローラー被覆部材３７とを備えて構成される。ローラー部３６は、回転軸３５と一体に回転し、例えばゴム材などの弾性材料によって形成されている。ローラー部３６の長手方向（軸方向）の長さは、シート１の直径よりも大きく形成されるのが好ましい。ローラー被覆部材３７は、ローラー部３６の外周面に接着され、ローラー部３６の弾性変形に追従する。ローラー被覆部材３７は、シート１と同一の材質であるポリオレフィンで形成されている。このポリオレフィンは、加熱することでローラー部３６の外周面に接着（溶着）することができるため、接着剤を用いることなく容易にローラー被覆部材３７を設けることができる。
【００２３】
昇降ユニット３４は、図４に示すように、ローラー３３がガラステーブル２２上のシート１に接触する位置まで、ユニット本体３１を降下させる。そして、ユニット本体３１内の移動機構（不図示）を駆動させることにより、アーム部３２を介して、ローラー３３を破線位置から実線位置までの間を移動させる。ローラー３３は、移動する際にシート１上を転動するため、この転動によりシート１がガラステーブル２２に密着され、該シート１のしわ１Ａ（図３）が取れる（消える）。また、本実施形態では、ローラー３３のローラー部３６は弾性部材で形成されるため、シート１にかかる力を分散させてシート１に均等に力を付加できるため、シート１のしわ取りを効果的に行うことができる。
【００２４】
しわ取りが完了すると、昇降ユニット３４は、ユニット本体３１を上昇させてローラー３３とシート１とを離反させる。この場合、ローラー３３の外周面であるローラー被覆部材３７は、シート１と同一の材質で形成されているため、シート１とローラー３３とを剥離する際の剥離帯電を低減することができ、シート１に発生する静電気を抑制できる。
【００２５】
［樹脂供給ステップＳＴ３］
図５は、樹脂供給ステップを説明する模式図であり、図６は、シート上に供給された樹脂を示す模式図である。樹脂供給ステップＳＴ３は、図５に示す樹脂供給ユニット４０を用いて実行される。樹脂供給ユニット４０は、ステージ２０（シート１）上に配置される供給ノズル４１と、この供給ノズル４１に液状樹脂４２を送るポンプ（不図示）とを備え、供給ノズル４１から所定量の液状樹脂４２をシート１の上面１Ｂの中心に供給（滴下）する。液状樹脂４２は、ウエーハの一方の面を保護する保護部材となるもので、例えば紫外線硬化樹脂を使用する。
【００２６】
上記のように、本実施形態では、ローラー３３のローラー被覆部材３７とシート１とを同一の材質で形成することでシート１に発生する静電気を抑制している。シート１に静電気が発生している状態で液状樹脂を滴下した場合には、液状樹脂が静電気の影響によって放射状に均一に広がらずに円形状とはならない。これに対して、本実施形態では、シート１に発生する静電気を抑制しているため、シート１上に滴下された液状樹脂は、図６に示すように、シート１上を放射状に広がって円形状となる。シート１上に所定量の液状樹脂４２が溜まった時点で、供給ノズル４１からシート１に液状樹脂４２を供給（滴下）するのを停止する。液状樹脂４２の供給量は、後に液状樹脂が硬化して保護部材となる部分の厚さとウエーハの面積とにより求められる。
【００２７】
［被覆ステップＳＴ４］
図７は、被覆ステップを説明する模式図である。本実施形態では、被覆ステップＳＴ４は、上記したウエーハ（アズスライスウエーハ）２を保持してステージ２０上に搬送するウエーハ搬送ユニット５０を用いて実行される。ウエーハ搬送ユニット５０は、ユニット本体５１と、このユニット本体５１の下面に設けられてウエーハ２を保持する保持部５２と、ユニット本体５１をステージ２０に対して昇降する昇降ユニット５３と、昇降ユニット５３を水平方向に移動する水平移動機構（不図示）とを備える。水平移動機構は、昇降ユニット５３に支持されたユニット本体５１をステージ２０上の搬送位置と、ステージ２０から離れた退避位置との間で移動させる。保持部５２は、例えばポーラスセラミック等で構成されており、図示しない真空吸引源の負圧により、保持部５２の下面（保持面）にウエーハ２を吸引して保持する。
【００２８】
水平移動機構を動作させて、ステージ２０の中心の平面方向の位置と保持部５２に保持されるウエーハ２の中心の平面方向の位置とを一致させた後、昇降ユニット５３によってユニット本体５１をステージ２０に接近させる方向に降下させる。ユニット本体５１が降下すると、ウエーハ２を保持する保持部５２とステージ２０上のシート１とが接近して液状樹脂４２を押圧することにより、ウエーハ２とシート１との間の液状樹脂４２は、ウエーハ２の径方向に拡張する。このため、液状樹脂４２は、ウエーハ２の下面２Ａの全面に押し広げられ、ウエーハ２の下面２Ａの全面を被覆する。
【００２９】
なお、本実施形態では、ウエーハ２を搬送するウエーハ搬送ユニット５０がそのままウエーハ２を降下させることで、液状樹脂４２を押圧して押し広げているが、ウエーハ２を液状樹脂４２上に搬送した後、ウエーハ搬送ユニット５０を退避させて、ウエーハ２をシート１に向けて押圧する押圧ユニット（不図示）が液状樹脂４２を押し広げてもよい。すなわち、液状樹脂４２を介してシート１上に位置するウエーハ２がシート１に向けて押圧される構成であれば、ウエーハ２を押圧する手段は何でもよい。
【００３０】
［硬化ステップＳＴ５］
図８は、硬化ステップを説明する模式図である。被覆ステップＳＴ４を実行した後、図８に示すように、ステージ本体２１内に配置された複数のＵＶ（紫外線）ランプ２３を点灯し、液状樹脂４２に向けて紫外光２３Ａを照射する。この紫外光２３Ａの刺激により液状樹脂４２が硬化することにより、ウエーハ２の下面２Ａの全面を保護する保護部材が形成される。次に、保持部５２は、ウエーハ２に対する吸引保持を解除し、昇降ユニット５３によってユニット本体５１を上昇させ、ウエーハ２から保持部５２を離反させる。
【００３１】
その後は、例えば研削砥石などによって、保護部材を設けた側と反対側に位置するウエーハ２の上面側から研削を行い、その後、保護部材を剥離してから研削した上面側を保持し、ウエーハ２の下面２Ａを研削する。これにより、ウエーハ２のうねりや反りを除去して平坦なウエーハ２や、例えばバンプの凹凸に影響されない平坦なウエーハを形成することができる。
【００３２】
このように、本実施形態に係る保護部材の形成方法は、ステージ２０のガラステーブル２２上にシート１を載置するシート載置ステップＳＴ１と、シート１と同材質で形成されたローラー３３で押し広げるシートしわ取りステップＳＴ２と、シート１の上面１Ｂに所定量の液状樹脂４２を供給する樹脂供給ステップＳＴ３と、液状樹脂４２を介してシート１上に配置されたウエーハ２を、シート１に向けて押圧することにより、ウエーハ２とシート１との間に液状樹脂４２を押し広げてウエーハ２を被覆する被覆ステップＳＴ４と、液状樹脂４２を硬化させて保護部材を形成する硬化ステップＳＴ５とを備え、シートしわ取りステップＳＴ２で使用するローラー３３の少なくとも外周面をシート１と同材質としたため、ローラー３３をシート１から剥離する際の剥離帯電を低減することができ、シート１のしわ１Ａを取る際の静電気の発生を抑制することができる。
【００３３】
また、本実施形態によれば、ローラー３３は、弾性部材で形成されたローラー部３６の外周面をシート１と同材質のローラー被覆部材３７で被覆した構成としたため、弾性部材で形成されるローラー部３６によって、シート１にかかる力を分散させてシート１に均等に力を付加できるため、シート１のしわ取りを効果的に行うことができる。
【００３４】
次に、シートしわ取りステップＳＴ２の別の実施形態について説明する。図９は、別の実施形態に係るシートしわ取りステップを説明する模式図である。この別の実施形態では、シートしわ取りステップＳＴ２以外の他のステップは、上記した実施形態と同一であるため説明を省略する。
【００３５】
別の実施形態のシートしわ取りステップＳＴ２は、図９に示すように、ローラーユニット６０を用いて実行される。ローラーユニット６０は、ユニット本体６１と、ユニット本体６１内に設けられた移動機構によって水平方向に移動自在なアーム部６２と、アーム部６２に回転自在に取り付けられたローラー６３と、ユニット本体６１をステージ２０に対して昇降する昇降ユニット６４と、昇降ユニット６４を水平方向に移動する水平移動機構（不図示）とを備える。また、ローラーユニット６０は、ユニット本体３１の下方に設けられる力分散用パッド６６と、この力分散用パッド６６の周囲を囲んで支持するパッドフレーム６５とを備える。このパッドフレーム６５は、昇降ユニット６４に昇降自在に支持されている。
【００３６】
ローラー６３は、例えば金属などの剛性の材質によって円柱状に形成され、アーム部３２に回転自在に支持される。力分散用パッド６６は、シート１上に配置されるものであり、例えばゴム材などの弾性材料によって形成されているパッド本体６７と、このパッド本体６７の下面６７Ａに固定されて、該下面６７Ａを被覆する力分散用パッド被覆部材６８とを備える。力分散用パッド被覆部材６８は、パッド本体６７の下面６７Ａに接着され、パッド本体６７の弾性変形に追従する。この実施形態でも、力分散用パッド被覆部材６８は、シート１と同一の材質であるポリオレフィンで形成されている。このポリオレフィンは、加熱することでパッド本体６７の下面６７Ａに接着（溶着）することができるため、接着剤を用いることなく容易に力分散用パッド被覆部材６８を設けることができる。
【００３７】
昇降ユニット６４は、図９に示すように、力分散用パッド６６がガラステーブル２２上のシート１に接触する位置まで、パッドフレーム６５を降下させる。続いて、昇降ユニット６４は、ローラー６３が力分散用パッド６６に接触する位置までユニット本体６１を効果させる。なお、パッドフレーム６５とユニット本体６１とを独立して昇降してもよいし、ローラー６３が力分散用パッド６６に接触した状態でパッドフレーム６５とユニット本体６１とを連動させて昇降してもよい。
【００３８】
次に、ユニット本体６１内の移動機構（不図示）を駆動させることにより、アーム部６２を介して、ローラー６３を破線位置から実線位置までの間を移動させる。ローラー６３は、移動する際に力分散用パッド６６上を転動するため、この転動により、力分散用パッド６６を介して、シート１がガラステーブル２２に密着され、該シート１のしわ１Ａ（図３）が取れる（消える）。また、本実施形態では、力分散用パッド６６のパッド本体６７は弾性部材で形成されるため、力分散用パッド６６がシート１にかかる力を分散させてシート１に均等に力を付加できるため、シート１のしわ取りを効果的に行うことができる。
【００３９】
しわ取りが完了すると、昇降ユニット６４は、ユニット本体６１及びパッドフレーム６５をそれぞれ上昇させて力分散用パッド６６とシート１とを離反させる。この場合、力分散用パッド６６の力分散用パッド被覆部材６８は、シート１と同一の材質で形成されているため、シート１と力分散用パッド６６とを剥離する際の剥離帯電を低減することができ、シート１に発生する静電気を抑制できる。
【００４０】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。上記実施形態の保護部材の形成方法は、切り出されたウエーハに発生するうねりや反りなどを除去するために、ウエーハの一方の面に樹脂を塗布して保護部材を形成するだけでなく、例えば、表面（一方の面）にバンプ等の凹凸のあるウエーハを研削する際に、表面に樹脂を塗布して保護部材を形成した後、ウエーハの裏面（他の面）を研削する構成に用いることもできる。
【符号の説明】
【００４１】
１  シート
１Ｂ  上面
２  ウエーハ
１０  搬送装置
１２  吸着パッド
１３  昇降ユニット
２０  ステージ
２１  ステージ本体
２２  ガラステーブル
２３  ＵＶランプ
２３Ａ  紫外光
３３  ローラー
３４  昇降ユニット
３６  ローラー部（芯材）
３７  ローラー被覆部材
４１  供給ノズル
４２  液状樹脂
５２  保持部
５３  昇降ユニット
６３  ローラー
６４  昇降ユニット
６６  力分散用パッド
６７  パッド本体
６７Ａ  下面
６８  力分散用パッド被覆部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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