(57)【要約】【課題】様々なサイズや形状の試料等を環境試験装置内において簡単に設置することが可能な環境試験用治具を提供する。【解決手段】環境試験用治具は、試験槽を有し、前記試験槽内に試料を設置するために用いられると共に互いに間隔を空けて配置された複数のワイヤを有する試料固定部材を備え得る環境試験装置において用いられる治具である。この環境試験用治具は、前記複数のワイヤのうち少なくとも１本のワイヤを挟持することにより、前記少なくとも１本のワイヤに取付可能な形状に形成された取付台パーツと、前記取付台パーツに取り付けられ、試験を支援するために用いられる被取付パーツと、を備えている。【選択図】図８
2020038161.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試験槽を有し、前記試験槽内に試料を設置するために用いられると共に互いに間隔を空けて配置された複数のワイヤを有する試料固定部材を備え得る環境試験装置において用いられる治具であって、
前記複数のワイヤのうち少なくとも１本のワイヤを挟持することにより、前記少なくとも１本のワイヤに取付可能な形状に形成された取付台パーツと、
前記取付台パーツに取り付けられ、試験を支援するために用いられる被取付パーツと、を備えた、環境試験用治具。
【請求項２】
前記被取付パーツは、前記試料を支持するために用いられる試料用パーツ、前記試料に通電する配線を支持するために用いられる配線用パーツ、及び、前記試料に通電する電極パーツのうち少なくとも１つのパーツである、請求項１に記載の環境試験用治具。
【請求項３】
前記取付台パーツは、弾性変形可能な材料からなり、弾性力により前記少なくとも１本のワイヤを挟持するように構成されている、請求項１又は２に記載の環境試験用治具。
【請求項４】
前記取付台パーツは、
前記被取付パーツが差し込まれる差込口が設けられた基部と、
前記基部に片持ち支持され、互いに間隔を空けて配置された一対の板と、を含み、
前記一対の板は、弾性力により前記複数のワイヤのうち２本のワイヤを挟持するように構成されている、請求項３に記載の環境試験用治具。
【請求項５】
前記取付台パーツは、
前記被取付パーツが差し込まれる差込口が設けられた基部と、
前記ワイヤの外周面に沿って延びる形状を有し、前記少なくとも１本のワイヤに係止される係止爪と、
前記係止爪を前記基部に対して支持する支持部と、を含む、請求項１〜３のいずれか１項に記載の環境試験用治具。
【請求項６】
前記取付台パーツは、前記複数のワイヤのうち２本のワイヤを、その配列方向の両側から挟持するように構成されている、請求項１〜３、５のいずれか１項に記載の環境試験用治具。
【請求項７】
前記取付台パーツは、
前記被取付パーツが差し込まれる差込口が設けられた基部と、
前記基部に取り付けられると共に互いに間隔を空けて配置され、前記間隔を小さくすることが可能なように構成された一対の板と、を含む、請求項１又は２に記載の環境試験用治具。
【請求項８】
前記取付台パーツ及び前記被取付パーツをそれぞれ収納するケースであって、前記試験槽に固定するための固定部材を含む前記ケースをさらに備えた、請求項１〜７のいずれか１項に記載の環境試験用治具。
【請求項９】
試験槽を有し、前記試験槽内に試料を設置するために用いられると共に互いに間隔を空けて配置された複数のワイヤを有する試料固定部材を備え得る環境試験装置において用いられる治具の取付台パーツであって、
前記複数のワイヤのうち少なくとも１本のワイヤを挟持することにより、前記少なくとも１本のワイヤに取付可能な形状に形成され、
試験を支援するために用いられる被取付パーツを取付可能な形状に形成された、環境試験用治具の取付台パーツ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、環境試験用治具及びその取付台パーツに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献１に記載されているように、環境試験装置内において試料を固定するために用いられる治具が知られている。特許文献１に記載された環境試験用治具は、平板状の治具基材と、当該治具基材に形成された穴に挿入された線状の挟持体と、を備えるものである。この環境試験用治具によれば、試料である半導体装置の配線基板の周面を複数の挟持体によって挟持することにより、試料を設置することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１０１８４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された環境試験用治具では、試料のサイズや形状が変わると、その都度、挟持体同士の間隔や位置を調整する必要がある。このため、環境試験装置内に設置する試料のサイズや形状が変わる場合において、柔軟に対応することができないという課題がある。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、様々なサイズや形状の試料等を環境試験装置内において簡単に設置することが可能な環境試験用治具及びその取付台パーツを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一局面に係る環境試験用治具は、試験槽を有し、前記試験槽内に試料を設置するために用いられると共に互いに間隔を空けて配置された複数のワイヤを有する試料固定部材を備え得る環境試験装置において用いられる治具である。この環境試験用治具は、前記複数のワイヤのうち少なくとも１本のワイヤを挟持することにより、前記少なくとも１本のワイヤに取付可能な形状に形成された取付台パーツと、前記取付台パーツに取り付けられ、試験を支援するために用いられる被取付パーツと、を備えている。
【０００７】
この環境試験用治具によれば、試料固定部材を構成するワイヤを挟持することにより、取付台パーツをワイヤに簡単に取り付けることができる。そして、当該取付台パーツに被取付パーツを取り付け、当該被取付パーツにより試料、配線、電極等の試験に用いられる物品を支持することができる。この環境試験用治具によれば、試料等の物品のサイズや形状が変わる場合や、支持する対象の物品の種類が変わる場合でも、それに応じて取付台パーツの位置や間隔を調整するだけで容易に物品を支持可能であり、様々なサイズや形状の試料等を環境試験装置内において簡単に設置することができる。
【０００８】
なお、ここでいう「挟持」とは、１本のワイヤをその両側から挟み込む場合に限られる意味ではなく、複数本のワイヤをその配列方向の両側から挟み込む場合も含まれることを意味する。
【０００９】
上記環境試験用治具の前記被取付パーツは、前記試料を支持するために用いられる試料用パーツ、前記試料に通電する配線を支持するために用いられる配線用パーツ、及び、前記試料に通電する電極パーツのうち少なくとも１つのパーツであってもよい。
【００１０】
この構成によれば、試料用パーツ、配線用パーツ及び電極パーツを適宜付け替えることにより、試料、配線及び電極のうち任意のものを試料固定部材に固定することができる。
【００１１】
上記環境試験用治具において、前記取付台パーツは、弾性変形可能な材料からなり、弾性力により前記少なくとも１本のワイヤを挟持するように構成されていてもよい。
【００１２】
この構成によれば、ネジ止めなどにより取付台パーツをワイヤに取り付ける場合に比べて、取付作業をより簡易化することができる。
【００１３】
上記環境試験用治具において、前記取付台パーツは、前記被取付パーツが差し込まれる差込口が設けられた基部と、前記基部に片持ち支持され、互いに間隔を空けて配置された一対の板と、を含んでいてもよい。前記一対の板は、弾性力により前記複数のワイヤのうち２本のワイヤを挟持するように構成されていてもよい。
【００１４】
この構成によれば、一方の板をワイヤに押さえ付けることにより、基部を支点として当該一方の板を湾曲させ、取付台パーツを２本のワイヤ間に嵌め込むことができる。この状態で、一対の板の弾性力によってワイヤを挟持することにより、取付台パーツをワイヤに対して簡単且つ確実に固定することができる。
【００１５】
上記環境試験用治具において、前記取付台パーツは、前記被取付パーツが差し込まれる差込口が設けられた基部と、前記ワイヤの外周面に沿って延びる形状を有し、前記少なくとも１本のワイヤに係止される係止爪と、前記係止爪を前記基部に対して支持する支持部と、を含んでいてもよい。
【００１６】
この構成によれば、係止爪により取付台パーツをワイヤに対して簡単且つ確実に取り付けることができる。
【００１７】
上記環境試験用治具において、前記取付台パーツは、前記複数のワイヤのうち２本のワイヤを、その配列方向の両側から挟持するように構成されていてもよい。
【００１８】
この構成によれば、複数のワイヤを１本ずつ挟持する構成に比べて、取付台パーツの形状をより簡易化することができる。
【００１９】
上記環境試験用治具において、前記取付台パーツは、前記被取付パーツが差し込まれる差込口が設けられた基部と、前記基部に取り付けられると共に互いに間隔を空けて配置され、前記間隔を小さくすることが可能なように構成された一対の板と、を含んでいてもよい。
【００２０】
この構成によれば、取付台パーツを２本のワイヤ間に嵌め込んだ後、一対の板の間隔を小さくすることにより、ワイヤを簡単に挟持することができる。
【００２１】
上記環境試験用治具は、前記取付台パーツ及び前記被取付パーツをそれぞれ収納するケースであって、前記試験槽に固定するための固定部材を含む前記ケースをさらに備えていてもよい。
【００２２】
この構成によれば、取付台パーツ及び被取付パーツの紛失を防ぐことができ、且つ両パーツを試験槽の近くに備え付けることにより作業性も向上する。しかも、各パーツをケースに収納することにより埃の堆積を防ぐことも可能であり、各パーツを清潔に保つことができる。
【００２３】
本発明の他局面に係る環境試験用治具の取付台パーツは、試験槽を有し、前記試験槽内に試料を設置するために用いられると共に互いに間隔を空けて配置された複数のワイヤを有する試料固定部材を備え得る環境試験装置において用いられる治具の取付台パーツである。この取付台パーツは、前記複数のワイヤのうち少なくとも１本のワイヤを挟持することにより、前記少なくとも１本のワイヤに取付可能な形状に形成されると共に、試験を支援するために用いられる被取付パーツを取付可能な形状に形成されている。
【００２４】
この取付台パーツによれば、試料固定部材を構成するワイヤを挟持することにより、ワイヤに簡単に取り付けることができる。そして、当該取付台パーツに被取付パーツを取り付け、当該被取付パーツにより試料、配線、電極等の試験に関する物品を支持することができる。この構成によれば、試料等のサイズや形状が変わる場合や、取り付ける物品の種類が変わる場合でも、それに応じて取付台パーツの位置や間隔を調整するだけで容易に物品を支持可能であり、様々なサイズや形状の試料等を環境試験装置内において簡単に設置することができる。
【発明の効果】
【００２５】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、様々なサイズや形状の試料等を環境試験装置内において簡単に設置することが可能な環境試験用治具及びその取付台パーツを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】試験槽の構成を模式的に示す図である。
【図２】棚板の構成を模式的に示す図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る環境試験用治具の取付台パーツの構成を模式的に示す平面図である。
【図４】図３中の線分ＩＶ−ＩＶに沿った取付台パーツの断面を模式的に示す図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る環境試験用治具の試料用パーツの構成を模式的に示す正面図である。
【図６】試料用パーツの構成を模式的に示す平面図である。
【図７】取付台パーツを棚板に設置する様子を模式的に示す斜視図である。
【図８】取付台パーツに試料用パーツを取り付ける様子を模式的に示す斜視図である。
【図９】試料用パーツを取付台パーツの差込口に差し込む様子を模式的に示す図である。
【図１０】試料を棚板に設置する様子を模式的に示す斜視図である。
【図１１】本発明の実施形態２に係る環境試験用治具の取付台パーツの構成を模式的に示す平面図である。
【図１２】図１１中の線分ＸＩＩ−ＸＩＩに沿った取付台パーツの断面を模式的に示す図である。
【図１３】本発明の実施形態２に係る環境試験用治具の試料用パーツの構成を模式的に示す正面図である。
【図１４】試料用パーツの構成を模式的に示す平面図である。
【図１５】本発明の実施形態３に係る環境試験用治具の構成を説明するための模式図である。
【図１６】本発明の実施形態４に係る環境試験用治具の構成を説明するための模式図である。
【図１７】本発明の実施形態５に係る環境試験用治具の構成を説明するための模式図である。
【図１８】本発明の実施形態６に係る環境試験用治具の構成を説明するための平面図である。
【図１９】本発明の実施形態６に係る環境試験用治具の構成を説明するための平面図である。
【図２０】本発明の実施形態６に係る環境試験用治具の構成を説明するための平面図である。
【図２１】本発明の実施形態６に係る環境試験用治具の構成を説明するための平面図である。
【図２２】本発明の実施形態６に係る環境試験用治具の構成を説明するための側面図である。
【図２３】本発明の実施形態６に係る環境試験用治具の構成を説明するための側面図である。
【図２４】本発明の実施形態６に係る環境試験用治具の構成を説明するための側面図である。
【図２５】本発明の実施形態６に係る環境試験用治具の構成を説明するための側面図である。
【図２６】本発明の実施形態７に係る環境試験用治具の構成を説明するための平面図である。
【図２７】本発明の実施形態７に係る環境試験用治具の構成を説明するための側面図である。
【図２８】本発明の実施形態７の変形例に係る環境試験用治具の構成を説明するための側面図である。
【図２９】本発明の実施形態７の変形例に係る環境試験用治具の構成を説明するための側面図である。
【図３０】本発明の実施形態８に係る環境試験用治具の取付台ケースの構成を示す模式図である。
【図３１】取付台ケースが試験槽に固定された状態を示す模式図である。
【図３２】本発明の実施形態８に係る環境試験用治具の試料用パーツケースの構成を示す模式図である。
【図３３】試料用パーツケースが試験槽に固定された状態を示す模式図である。
【図３４】本発明のその他実施形態を説明するための模式図である。
【図３５】本発明のその他実施形態を説明するための模式図である。
【図３６】本発明のその他実施形態を説明するための模式図である。
【図３７】本発明のその他実施形態を説明するための模式図である。
【図３８】本発明のその他実施形態を説明するための模式図である。
【図３９】本発明のその他実施形態を説明するための模式図である。
【図４０】本発明のその他実施形態を説明するための模式図である。
【図４１】本発明のその他実施形態を説明するための模式図である。
【図４２】本発明のその他実施形態を説明するための模式図である。
【図４３】本発明のその他実施形態を説明するための模式図である。
【図４４】本発明のその他実施形態を説明するための模式図である。
【図４５】本発明のその他実施形態を説明するための模式図である。
【図４６】本発明のその他実施形態を説明するための模式図である。
【図４７】本発明のその他実施形態を説明するための模式図である。
【図４８】本発明のその他実施形態を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、図面に基づいて、本発明の実施形態に係る環境試験用治具を詳細に説明する。
【００２８】
（実施形態１）
まず、本発明の実施形態１に係る環境試験用治具１００の構成を説明する。環境試験用治具１００は、試験槽１（図１）と、試験槽１内で試料を固定するために用いられる棚板２（試料固定部材、図１、図２）と、を備えた環境試験装置において用いられる治具である。図１に示すように、試験槽１は、試料が収容される空間１Ａを有し、当該空間１Ａ内の温度及び湿度を制御可能な恒温恒湿槽、当該空間１Ａ内の温度を制御可能な恒温槽、各種温度試験装置、各種温湿度試験装置、又はその他の試料収容空間を有する試験装置である。
【００２９】
図２に示すように、棚板２は、矩形枠状のフレーム３と、フレーム３の内側において互いに間隔を空けて配置された複数の横ワイヤ４と、フレーム３の内側において横ワイヤ４と直交するように配置された縦ワイヤ５と、を有する。横ワイヤ４は、フレーム３の短手方向（図２中の横方向）に平行であり、且つフレーム３の長手方向（図２中の縦方向）において等間隔で配置されている。横ワイヤ４及び縦ワイヤ５は、例えばＳＵＳ製の丸いワイヤであり、フレーム３に対して溶接されている。なお、棚板２としては、試験槽１のサイズに合わせて様々なサイズのものを用いることができる。
【００３０】
環境試験用治具１００は、取付台パーツ１０と、取付台パーツ１０に取り付けられる試料用パーツ２０（被取付パーツ）と、を備えている。図３及び図４は、それぞれ取付台パーツ１０の平面図及び断面図である。図５及び図６は、それぞれ試料用パーツ２０の正面図及び平面図である。
【００３１】
取付台パーツ１０は、複数の横ワイヤ４のうち少なくとも１本の横ワイヤ４を挟持することにより、横ワイヤ４に取付可能な形状に形成されている。具体的には、取付台パーツ１０は、隣接する２本の横ワイヤ４を挟持することにより、当該２本の横ワイヤ４に取付可能な形状に形成されている。図３及び図４に示すように、取付台パーツ１０は、基部１４と、基部１４に片持ち支持され、互いに間隔を空けて配置された一対の板１１（上面板１２、下面板１３）と、を有する。なお、取付台パーツ１０としては、種々のサイズのものを用いることができる。
【００３２】
基部１４は、中空状の角筒部（四角筒部）であり、試料用パーツ２０が差し込まれる差込口１６が設けられている。図４に示すように、基部１４は、下面板１３から上面板１２の表面よりも上側まで延びている。
【００３３】
上面板１２及び下面板１３は、それぞれ平面視四角形状（正方形状）を有し、下面板１３が上面板１２よりも小さくなっている。図４に示すように、上面板１２及び下面板１３は、隣接する２本の横ワイヤ４の間隔よりも大きい幅を有する。
【００３４】
なお、上面板１２及び下面板１３の形状は、平面視四角形状に限定されず、例えば平面視円形状、平面視三角形状、又は平面視五角形状などの任意の形状であってもよい。また下面板１３は、上面板１２と同じ大きさであってもよいし、上面板１２よりも大きくなっていてもよい。
【００３５】
取付台パーツ１０は、弾性変形可能な材料（例えば樹脂）からなり、隣接する２本の横ワイヤ４を弾性力により挟持するように構成されている。具体的には、図４に示すように、一対の板１１（上面板１２及び下面板１３）は、２本の横ワイヤ４を弾性力により上下方向に挟持するように構成されている。
【００３６】
また取付台パーツ１０は、電気的な絶縁材料からなるため、試料を電気的な絶縁状態にすることを要する試験において有効に用いることができる。また取付台パーツ１０の材料は、耐熱性及び耐寒性にも優れるものである。
【００３７】
取付台パーツ１０は、上面板１２の角部に設けられた突起部１５をさらに有する。突起部１５は、図４に示すように上面板１２の表面から上向きに突出しており、上面板１２の四隅にそれぞれ設けられている。なお、突起部１５は、本発明の環境試験用治具において必須の構成要素ではなく、省略されてもよい。
【００３８】
試料用パーツ２０は、試験を支援するために用いられる被取付パーツの１つであり、具体的には試料を支持するために用いられる部材である。図５及び図６に示すように、試料用パーツ２０は、三角柱状の棒部材であり、その１つの側面が、試料を所定の姿勢で立て掛けるための立掛け部２０Ａとなっている。
【００３９】
試料用パーツ２０は、取付台パーツ１０と同様に、電気的な絶縁材料により構成されている。また試料用パーツ２０の高さは、試料のサイズや形状に応じて適宜選択される。
【００４０】
次に、環境試験用治具１００の使用方法の一例について、図７〜図１０を参照して説明する。
【００４１】
まず、図７に示すように、複数の取付台パーツ１０のそれぞれを、棚板２における所望の位置に取り付ける。具体的には、取付台パーツ１０の下面板１３（図４）を、隣接する２本の横ワイヤ４に対して上側から押さえ付ける。これにより、下面板１３が下向きに凸となるように湾曲し、取付台パーツ１０が隣接する２本の横ワイヤ４の間に嵌め込まれる。この状態で、図４に示すように、上面板１２と下面板１３とによって横ワイヤ４を挟持することにより、取付台パーツ１０を棚板２に固定することができる。
【００４２】
この時、取付台パーツ１０の取付位置や取付個数は、試料のサイズや形状に応じて適宜選択される。本実施形態では、１つの試料に対して２つの取付台パーツ１０を準備し、当該２つの取付台パーツ１０を試料の幅に合わせて互いに離間した状態で取り付ける。
【００４３】
次に、図８に示すように、棚板２に取り付けられた取付台パーツ１０に、試料用パーツ２０をそれぞれ取り付ける。具体的には、図９に示すように、試料用パーツ２０の下端部を、取付台パーツ１０の差込口１６に対して上方から差し込む。この時、試料の向きを考慮して、試料用パーツ２０を差し込む向き（立掛け部２０Ａの向き）を調整する。
【００４４】
次に、図１０に示すように、試料Ｓ１（例えば基板）を棚板２上に設置する。具体的には、試料Ｓ１の下端部を取付台パーツ１０の上面板１２（図３）の表面に載置すると共に、試料Ｓ１の上端部を試料用パーツ２０の立掛け部２０Ａに立て掛ける。この時、試料Ｓ１の下端部が突起部１５（図３，図４）に係止されることにより、試料Ｓ１の位置ずれが防止される。
【００４５】
以上のような手順で試料Ｓ１を棚板２上に設置した後、当該棚板２を試験槽１（図１）内に配置する。そして、試験槽１を所定の設定温度及び設定湿度等の条件で運転し、試料Ｓ１に対する環境試験を開始する。
【００４６】
以上の通り、本実施形態に係る環境試験用治具１００によれば、棚板２の横ワイヤ４を挟持することにより、取付台パーツ１０を棚板２に簡単に取り付けることができる（図７）。そして、取付台パーツ１０に試料用パーツ２０を取り付け（図８）、試料用パーツ２０により試料Ｓ１を支持することができる（図１０）。この環境試験用治具１００によれば、試料Ｓ１のサイズや形状が変わる場合であっても、それに応じて取付台パーツ１０の位置や間隔を変えるだけで容易に対応することが可能であり、様々なサイズや形状の試料Ｓ１を環境試験装置内において簡単に設置することができる。
【００４７】
（実施形態２）
次に、本発明の実施形態２に係る環境試験用治具１００Ａを、図１１〜図１４を参照して説明する。実施形態２に係る環境試験用治具１００Ａは、基本的に実施形態１と同様の構成を備えるものであるが、試料用パーツ２１の形状及び取付台パーツ１０Ａの差込口１６Ａの形状が実施形態１と異なっている。以下、実施形態１と異なる点についてのみ説明する。
【００４８】
図１１及び図１２に示すように、実施形態２における取付台パーツ１０Ａの基部１４Ａは、上下方向に延びる中空状の円筒部である。このため、差込口１６Ａは、平面視円形状を有している（図１１）。図１３及び図１４に示すように、実施形態２における試料用パーツ２１は、半円柱状の棒部材であり、その平坦な側面が立掛け部２１Ａとなっている。また試料用パーツ２１の下端部には挿入突起部２１Ｂが設けられており（図１３）、一方で取付台パーツ１０Ａの差込口１６Ａ内には挿入突起部２１Ｂが挿入される挿入孔１６ＡＡが形成されている（図１１、図１２）。
【００４９】
実施形態１に係る環境試験用治具１００では、試料用パーツ２０を差し込む向きが４方向に限られるのに対し、実施形態２に係る環境試験用治具１００Ａでは、試料用パーツ２１を差し込む向きをより細かく調整することができる。これにより、試験槽１内における空調風の向きを考慮して、試料Ｓ１の向きをより細かく調整することができる。しかも、挿入突起部２１Ｂを挿入孔１６ＡＡに挿入することにより、立掛け部２１Ａの向きを確実に固定することができる。これにより、試料の向きを揃えることができる。
【００５０】
なお、挿入突起部２１Ｂを挿入孔１６ＡＡに挿入することにより両パーツを固定する場合に限定されず、例えば両パーツに磁石を配置し、その磁力により立掛け部２１Ａの向きを保持するように構成されてもよい。また立掛け部２１Ａが平坦面ではなくてもよく、この場合でも、複数の試料用パーツ２１を用いることにより試料を設置する際の向きを規定することができる。
【００５１】
（実施形態３）
次に、本発明の実施形態３に係る環境試験用治具１００Ｂを、図１５を参照して説明する。実施形態３に係る環境試験用治具１００Ｂは、基本的に実施形態２と同様の構成を備えるものであるが、試料用パーツ２１に代えて配線用パーツ２２を備えている点で実施形態２と異なっている。以下、実施形態２と異なる点についてのみ説明する。
【００５２】
実施形態３に係る環境試験用治具１００Ｂは、取付台パーツ１０Ａ及び、試料用パーツ２１に代えて又は試料用パーツ２１に加えて、試料に通電する配線Ｗ１を支持するために用いられる配線用パーツ２２（被取付パーツ）を備えている。図１５に示すように、配線用パーツ２２は、取付台パーツ１０Ａの差込口１６Ａに下端部が挿入された支持棒２４と、支持棒２４の上端部に取り付けられたリング状の配線固定端子２３と、により構成されている。支持棒２４及び配線固定端子２３は、互いに別体であるがこれに限定されず、一体で構成されていてもよい。試料用パーツ２１及び配線用パーツ２２は、取付台パーツ１０Ａに対して選択的に取り付け可能である。
【００５３】
なお、支持棒２４として、試料用パーツ２１（又は試料用パーツ２０）が用いられてもよいがこれに限定されず、例えば円柱状の別部材が用いられてもよい。
【００５４】
試料用パーツ２１に代えて、配線用パーツ２２（支持棒２４）を差込口１６Ａに差し込み、配線固定端子２３のリング孔に配線Ｗ１を通すことにより、配線Ｗ１を棚板２に固定することができる。これにより、試験槽１内における空調風の流れにより配線Ｗ１が動くのを防止することができる。また、本実施形態では配線Ｗ１を棚板２に固定することにより、配線Ｗ１の重みにより試料が倒れるという事態が生じるおそれを抑制することができる。このように、実施形態３に係る環境試験用治具１００Ｂは、試料の設置だけでなく、配線Ｗ１を棚板２に固定する際の治具としても利用することができる。
【００５５】
また配線固定端子２３は突起部を有し、当該突起部を支持棒２４の上端部に形成された孔に挿入可能となっていてもよい。当該突起部は平面視円形状を有し、配線固定端子２３を回転させることによりその向きを自在に調整することができる。なお、当該突起部の形状は、平面視円形状には限定されず、他の形状であってもよい。また突起部を孔に挿入する構成にも限定されず、例えば配線固定端子２３及び支持棒２４に磁石を配置し、その磁力により両部材が固定されてもよい。なお、支持棒２４に試料が立て掛けられてもよい。また取付台パーツにおける差込口の形状は、図３に示した四角形状であってもよい。
【００５６】
（実施形態４）
次に、本発明の実施形態４に係る環境試験用治具１００Ｃを、図１６を参照して説明する。実施形態４に係る環境試験用治具１００Ｃは、基本的に実施形態２と同様の構成を備えるものであるが、試料用パーツ２１に代えて電極パーツ２５を備えている点、又は、試料用パーツ２１に加えて電極パーツ２５をさらに備えている点で実施形態２と異なっている。以下、実施形態２と異なる点についてのみ説明する。
【００５７】
図１６に示すように、実施形態４に係る環境試験用治具１００Ｃは、取付台パーツ１０Ａ及び、試料に通電する電極パーツ２５（被取付パーツ）を備えている。電極パーツ２５は、例えば金属などの導電性材料からなる棒部材であり、下端部が取付台パーツ１０Ａの差込口１６Ａに差し込まれている。試料用パーツ２１及び電極パーツ２５は、取付台パーツ１０Ａに対して選択的に取り付け可能である。
【００５８】
なお、試料用パーツ２１の内部が導電性材料で構成されていてもよく、その場合は、試料用パーツと電極パーツとを１つの部材で兼用することができる。したがって、試料用パーツ２１及び電極パーツ２５が取付台パーツ１０Ａに対して選択的に取り付け可能である場合に限定されない。
【００５９】
取付台パーツ１０Ａの下面には、外部電源（図示しない）に接続された通電端子３０が取り付けられ、当該通電端子３０と電極パーツ２５とが電気的に接続される。より具体的には、外部電源（図示しない）から延びる配線がコネクタ部３０Ａを介して通電端子３０に接続されており、電極パーツ２５に給電可能となっている。これにより、外部電源から電極パーツ２５を介して試料に通電することができる。このように、実施形態４に係る環境試験用治具１００Ｃは、電極を棚板２に固定する際の治具としても利用することができる。
【００６０】
なお、図１６では、試料Ｓ１が電極パーツ２５に立て掛けられている状態を示しているが、試料Ｓ１が電極パーツ２５に立て掛けられなくてもよい。また取付台パーツの差込口の形状は、図３に示した四角形状であってもよい。なお、電極パーツは、棒形状のものに限定されず、端子台形状のものでもよい。例えば、バナナソケット、ねじ端子、各種コネクタであってもよい。また、電極部は単数でも複数でもよい。
【００６１】
（実施形態５）
次に、本発明の実施形態５に係る環境試験用治具１００Ｄを、図１７を参照して説明する。実施形態５に係る環境試験用治具１００Ｄは、基本的に実施形態２と同様の構成を備えるものであるが、試料用パーツの構成において実施形態２と異なっている。以下、実施形態２と異なる点についてのみ説明する。
【００６２】
図１７に示すように、実施形態５における取付台パーツ１０Ａは、実施形態２と異なり、横ワイヤ４に対して下側から押さえ付けることにより、隣接する２本の横ワイヤ４の間に嵌め込まれている。このため、差込口１６Ａは、実施形態２と反対向き（下向き）に開口した状態となる。
【００６３】
実施形態５における試料用パーツ２６は、棚板２の下側に試料を設置するための部材であり、図１７に示すように、試料を吊り下げ可能なように先端が上向きに折り返されたフック状の部材である。このように、実施形態５に係る環境試験用治具１００Ｄは、棚板２の下側に試料を吊り下げる際の治具として利用することができる。なお、本実施形態において、取付台パーツの差込口の形状は、図３に示した四角形状であってもよい。また試料用パーツ２６は、取付台パーツ１０Ａの差込口１６Ａに嵌合させる時の弾性力により保持されてもよいし、差込口１６Ａにねじ込むことによる摩擦力で保持されてもよいし、磁力により保持されてもよい。
【００６４】
また本実施形態において、取付台パーツ１０Ａの下面板１３側に開口する差込口１６Ａが設けられていてもよい。この場合、実施形態２と同様に取付台パーツ１０Ａを横ワイヤ４の上側から嵌め込み、取付台パーツ１０Ａの下側から試料用パーツ２６を差し込むことができる。さらに、取付台パーツ１０Ａには、上側及び下側の両方に開口する差込口が設けられていてもよい。この場合、取付台パーツ１０Ａを横ワイヤ４の上側及び下側のどちらから嵌め込んだ場合でも、吊り下げ用の試料用パーツ２６を取り付けることができる。
【００６５】
（実施形態６）
次に、本発明の実施形態６に係る環境試験用治具１００Ｅを、図１８〜図２５を参照して説明する。実施形態６に係る環境試験用治具１００Ｅは、基本的に実施形態２と同様の構成を備えるものであるが、取付台パーツ１０Ｅの構成において実施形態２と異なっている。以下、実施形態２と異なる点についてのみ説明する。
【００６６】
図１８及び図２２に示すように、取付台パーツ１０Ｅは、試料用パーツが差し込まれる差込口１９Ａが設けられた基部１９と、基部１９に取り付けられた一対の板１８（上面板１６、下面板１７）と、を有する。基部１９は、中空状の円筒部であり、下面板１７から上面板１６の表面よりも上側まで延びている。
【００６７】
上面板１６と下面板１７は、上下方向に互いに間隔を空けて配置されている。図１８に示すように、上面板１６は、平面視円形状を有し、その直径が隣接する２本の横ワイヤ４の間隔よりも大きくなっている。一方、下面板１７は、平面視矩形状を有し、幅が横ワイヤ４の間隔よりも小さく、長さが横ワイヤ４の間隔よりも大きくなっている。
【００６８】
上面板１６の下面１６Ａ（下面板１７側を向く面）及び下面板１７の上面１７Ａ（上面板１６側を向く面）の少なくとも一方に、周方向の高低差が形成されている。例えば、上面板１６の下面１６Ａに周方向の高低差が形成されている。具体的には、図１８中で斜線を付した高領域Ｒ１では、斜線を付さない低領域Ｒ２（周方向において高領域Ｒ１に隣接する領域）に比べて、上面板１６の下面１６Ａが下面板１７側に張り出しており、上面板１６と下面板１７との間隔が小さくなっている。
【００６９】
また上面板１６及び下面板１７は、基部１９を中心として回転可能となっている。上面板１６を回転させることにより、周方向の任意の点において高領域Ｒ１と低領域Ｒ２が交互に通過するため、上面板１６と下面板１７との間隔を小さくし、又は大きくすることができる。
【００７０】
図１８〜図２１は、取付台パーツ１０Ｅを横ワイヤ４に取り付ける手順を順に示しており、図２２〜図２５は、図１８〜図２１の各々に対応する側面図である。
【００７１】
まず、図１８に示すように、下面板１７の長手方向が横ワイヤ４に平行な状態とする。そして、図２２に示すように、下面板１７及び基部１９を隣接する２本の横ワイヤ４の間に挿入し、上面板１６の下面１６Ａを隣接する２本の横ワイヤ４の上に載せる。この状態では、図１８に示すように、低領域Ｒ２が横ワイヤ４の上に位置している。このため、上面板１６と下面板１７との間隔が横ワイヤ４の径よりも大きく、横ワイヤ４は挟持されていない。
【００７２】
次に、図１８〜図２１において順に示すように、上面板１６及び下面板１７を時計回りに回転させる。これにより、図２２〜図２５に示すように、上面板１６と下面板１７との間隔が次第に狭まり、回転終了時には、上面板１６の下面１６Ａが横ワイヤ４の上部に接触すると共に下面板１７の上面１７Ａが横ワイヤ４の下部に接触する。これにより、弾性力を用いることなく、上面板１６と下面板１７とにより、横ワイヤ４を上下方向に挟持することができる。なお、上面板１６及び下面板１７は、図１８〜図２１中において時計回りに回転可能である場合に限定されず、同図中において反時計回りに回転可能であってもよい。この場合、高領域Ｒ１における高低差の向き（図１８における斜線領域中の矢印の向き）が逆になる。
【００７３】
なお、上面板１６が回転せず、下面板１７のみを回転させることにより、横ワイヤ４を上下方向に挟持可能な構成となっていてもよい。また下面板１７が回転せず、上面板１６のみを回転させることにより、横ワイヤ４を上下方向に挟持可能な構成となっていてもよい。なお、上面板１６と下面板１７とは一体で回転してもよいし、別々に回転することにより横ワイヤ４を挟持するように構成されていてもよい。
【００７４】
（実施形態７）
次に、本発明の実施形態７に係る環境試験用治具１００Ｆを、図２６及び図２７を参照して説明する。実施形態７に係る環境試験用治具１００Ｆは、基本的に実施形態２と同様の構成を備えるものであるが、取付台パーツ１０Ｆの構成において実施形態２と異なっている。以下、実施形態２と異なる点についてのみ説明する。
【００７５】
図２６及び図２７に示すように、取付台パーツ１０Ｆは、試料用パーツが差し込まれる差込口４１Ａが設けられた基部４１と、横ワイヤ４の外周面に沿って延びる形状を有すると共に横ワイヤ４に係止される一対の係止爪４２と、当該一対の係止爪４２を基部４１に対して支持する支持部４３と、を有する。取付台パーツ１０Ｆは、弾性変形可能な材料（例えば樹脂）からなるものである。
【００７６】
基部４１は、中空状の円筒部であり、上下方向に延びている。図２６に示すように、支持部４３は、平面視四角形状（正方形状）を有する板であり、その幅が隣接する２本の横ワイヤ４の間隔よりも大きくなっている。
【００７７】
一対の係止爪４２は、支持部４３の幅方向両側にそれぞれ設けられており、支持部４３の下面から下方に向かって円弧状に延びている。図２７に示すように、各係止爪４２は、横ワイヤ４の外周面に沿って延びる円弧形状を有すると共に互いに対向する一対の係止片４４を有し、弾性力により２本の横ワイヤ４を挟持するように構成されている。具体的には、係止爪４２を横ワイヤ４に対して上方から押し付けることにより、一対の係止片４４同士が押し広げられ、この時に生じる弾性力により横ワイヤ４を挟持することができる。
【００７８】
なお、係止爪は、図２７に示す形状のものに限定されず、例えば図２８に示すように、支持部４３の幅方向両端部から、下方且つ内方に向かって円弧状（曲線状）に延びる係止爪４２Ａが採用されてもよい。この場合、一対の係止爪４２Ａの弾性力により、複数の横ワイヤ４のうち２本の横ワイヤ４を、その配列方向の両側から挟持することができる。なお、この係止爪４２Ａは、図２８に示すような円弧状のものに限定されず、例えば支持部４３の幅方向両端部において、支持部４３の下面から当該支持部４３に対して垂直に延びていてもよい。
【００７９】
なお、係止爪４２は、樹脂からなる場合に限定されず、例えば金属を曲げ加工したものでもよい。この場合でも、弾性力により横ワイヤ４を挟持することができる。
【００８０】
また本実施形態のように横ワイヤ４の上方から係止爪４２を係止させる場合に限定されず、例えば横ワイヤ４に対して横方向から係止爪を係止させてもよい。具体的には、図２９に示すように係止爪４２Ｂを横向きに開口する形状とし、取付台パーツを横ワイヤ４間に嵌め込んだ後に横方向にスライドさせることにより、係止爪４２Ｂを横ワイヤ４に係止させてもよい。この場合、係止爪４２Ｂの弾性力により横ワイヤ４を挟持してもよいし、係止爪４２Ｂから横ワイヤ４に弾性力が加わらなくてもよい。なお、弾性力が加わらない場合は、支持部４３の下面に微小突起（図２９）を設け、横ワイヤ４から係止爪４２Ｂが外れるのを防止するのが望ましい。
【００８１】
（実施形態８）
次に、本発明の実施形態８に係る環境試験用治具の各パーツを収容するケースについて、図３０〜図３３を参照して説明する。図３０は、取付台パーツ１０等を収納する取付台ケース１２０の構成を示しており、図３１は、当該取付台ケース１２０が試験槽１の外面１Ｂに固定された状態を示している。以下の説明において、「上下方向」、「左右方向」及び「前後方向」は、図３０及び図３１に示す方向に準じるものとする。
【００８２】
取付台ケース１２０は、直方体形状の収納ケースであり、上部、前部及び右側部をそれぞれ開放可能に構成されている。図３０は、取付台ケース１２０の上部、前部及び右側部がそれぞれ開放された展開状態を示している。取付台パーツ１０は、取付台ケース１２０の長手方向に重なった状態で収納される。
【００８３】
図３０に示すように、取付台ケース１２０は、底面部１０６と後面部１０７と左側面部１０８とを一体化したケース本体１０３と、後面部１０７の上縁に接続された上面部１０１と、上面部１０１の前縁に接続された前面部１０２と、後面部１０７の右縁に接続された右側面部１０４と、を有する。前面部１０２には、複数の磁石１０２Ａが設けられ、これらをケース本体１０３の前部に設けられた磁石１０３Ｂに合わせることにより、取付台ケース１２０を閉じることができる（図３１）。
【００８４】
後面部１０７には、取付台ケース１２０を試験槽１に固定するための複数の磁石１０３Ａ（固定部材）が設けられている。図３１に示すように、磁石１０３Ａを試験槽１の外面１Ｂに付けることにより、取付台ケース１２０は、後面部１０７が外面１Ｂに接触した状態で試験槽１に固定される。
【００８５】
また図３１中の二点鎖線で示すように、取付台ケース１２０を試験槽１に固定した状態でケースを開く場合には、磁石１０２Ａを試験槽１の外面１Ｂに付けることができる。これにより、取付台ケース１２０が開いた状態が維持されるため、取付台パーツ１０を出し入れし易くなる。
【００８６】
図３２は、試料用パーツ２１等を収納する試料用パーツケース１１０の構成を示しており、図３３は、当該試料用パーツケース１１０が試験槽１の外面１Ｂに固定された状態を示している。以下の説明において、「上下方向」、「左右方向」及び「前後方向」は、図３２及び図３３に示す方向に準じるものとする。
【００８７】
試料用パーツケース１１０は、取付台ケース１２０と同様に直方体形状の収納ケースであり、上部及び前部の一部がそれぞれ開放可能に構成されている。図３２は、試料用パーツケース１１０の上部及び前部の一部がそれぞれ開放された展開状態を示している。
【００８８】
図３２に示すように、試料用パーツケース１１０は、底面部１１６と後面部１１７と左側面部１１８と右側面部１１４とを一体化したケース本体１１３と、後面部１１７の上縁に接続された上面部１１１と、上面部１１１の前縁に接続された前面部１１２と、を有する。前面部１１２には、複数の磁石１１２Ａが設けられ、これらをケース本体１１３の前部に設けられた磁石１１３Ｂに合わせることにより、試料用パーツケース１１０を閉じることができる（図３３）。
【００８９】
後面部１１７には、試料用パーツケース１１０を試験槽１に固定するための複数の磁石１１３Ａ（固定部材）が設けられている。図３３に示すように、磁石１１３Ａを試験槽１の外面１Ｂに付けることにより、試料用パーツケース１１０は、後面部１１７が外面１Ｂに接触した状態で試験槽１に固定される。
【００９０】
また図３３中の二点鎖線で示すように、試料用パーツケース１１０を試験槽１に固定した状態でケースを開く場合には、磁石１１２Ａを試験槽１の外面１Ｂに付けることができる。これにより、試料用パーツケース１１０が開いた状態が維持されるため、試料用パーツ２１を出し入れし易くなる。
【００９１】
（その他実施形態）
最後に、本発明のその他実施形態について説明する。
【００９２】
試料固定部材は、棚板２に限定されるものではなく、例えば棚板２上に配置されると共に互いに間隔を空けて配置された複数のワイヤを有する試料カゴであってもよい。そして、取付台パーツを試料カゴのワイヤを挟持するように取り付けてもよい。
【００９３】
また試料固定部材は、図３４に示すような網目状の棚板であってもよい。この場合、図３５に示すように、上面板１２に４本のワイヤ６が接触し、且つ１〜４本のワイヤ６が挟持されてもよい。また図３６に示すように、上面板１２に２本のワイヤ６が接触し、且つ１〜２本のワイヤ６が挟持されてもよい。また図３７に示すように、上面板１２に３本のワイヤ６が接触し、且つ１〜３本のワイヤ６が挟持されてもよい。
【００９４】
１つの取付台パーツに１つの差込口が設けられる場合に限られず、１つの取付台パーツに複数の差込口が設けられてもよい。
【００９５】
取付台パーツ上において、複数本の試料用パーツを長さ方向に重ねて接続することにより、様々な高さの立て掛け棒を作製してもよい。
【００９６】
配線用パーツや電極パーツを収納するためのケースがさらに設けられてもよい。
【００９７】
取付台パーツにより挟持されるワイヤの本数は、１本でもよいし、３本以上でもよい。具体的には、図３８に示すように、隣接する２本の横ワイヤ４のうち一方の横ワイヤ４のみを上面板１２と下面板１３とにより挟持し、他方の横ワイヤ４に上面板１２を載せる構成としてもよい。また図３９に示すように、隣接する２本の横ワイヤ４のうち一方の横ワイヤ４のみを係止爪４２により挟持し、他方の横ワイヤ４に支持部４３を載せる構成としてもよい。また図４０に示すように、隣接する３本の横ワイヤ４のうち真ん中の横ワイヤ４のみを係止爪４２により挟持し、残り２本の横ワイヤ４に支持部４３を載せる構成としてもよい。
【００９８】
また２本のワイヤを挟持する場合において、以下の変形例が挙げられる。図４１に示すように、支持部４３の下面に３つの係止爪４２が設けられ、当該３つの係止爪４２のうち幅方向両端側の２つの係止爪４２により横ワイヤ４を挟持してもよい。つまり、設けられた全ての係止爪４２が横ワイヤ４を挟持する場合には限定されない。また図４２に示すように、隣接する３本の横ワイヤ４のうち真ん中の横ワイヤ４を除いた２本の横ワイヤ４を係止爪４２により挟持するように構成してもよい。つまり、取付台パーツは、隣接しない複数の横ワイヤ４を挟持してもよい。
【００９９】
また取付台パーツは、異なる間隔で配置されたワイヤを挟持可能なように構成されていてもよい。つまり、取付台パーツは、ワイヤ間隔の規定値が異なる別種類の棚板や、一枚の棚板においてワイヤ間隔が均等でない場合でも、対応可能に構成されていてもよい。
【０１００】
具体的には、図４３に示すように、基部１４から図中右方に延びる上面板１２及び下面板１３が、基部１４から図中左方に延びる上面板１２及び下面板１３より長くてもよい。また図４４に示すように、図中右側の係止爪４２Ｂが図中左側の係止爪４２Ｂよりも横方向に長くてもよい。また図４５に示すように、支持部４３は、横方向に開口する側面視コの字形状の第１部分４３Ａと、当該第１部分４３Ａの溝内を横方向にスライド可能な第２部分４３Ｂと、を含み、第１部分４３Ａ及び第２部分４３Ｂの各々の下面に係止爪４２が設けられていてもよい。この場合、ワイヤ間隔に応じて係止爪４２同士の間の距離を調整することができる。また図４６に示すように、取付台パーツは、隣接する２本の横ワイヤ４のうち一方の横ワイヤ４の側部に接触する固定部４３Ｃと、当該固定部４３Ｃに対してバネなどの弾性部材４３Ｅにより接続された可動部４３Ｄと、を有していてもよい。
【０１０１】
また取付台パーツは、異なる太さのワイヤを挟持可能なように構成されていてもよい。具体的には、図４７に示すように、下面板１３を上面板１２に向かって移動させることにより両板の間隔を横ワイヤ４の太さに応じて調整し、横ワイヤ４が上下に挟持された状態でネジなどの締結部材９０により上面板１２と下面板１３とを互いに締結するように構成されてもよい。また図４８に示すように、取付台パーツは、水平板９１と、当該水平板９１の下面に取り付けられた側面視Ｌ字形状の一対の挟持片９２と、当該挟持片９２に対して回動自在に取り付けられたクランプ９３と、を有するものであってもよい。この構成によれば、挟持片９２とクランプ９３とにより横ワイヤ４を挟持し、その状態でネジなどの締結部材９４により挟持片９２とクランプ９３とを互いに固定することができる。
【０１０２】
取付台パーツは、上述したように平面視正方形状のものに限定されず、例えば平面視円形状、平面視長方形状などの任意の形状のものを採用することができる。また取付台パーツは、図４に示すように隣接する横ワイヤ４の中間点を基準に左右対称なものに限定されず、左右非対称なものでもよい。また上面板１２及び下面板１３の形状が互いに異なっていてもよい（例えば、上面板１２が正方形状であり、下面板１３が長方形状）。
【０１０３】
取付台パーツの取付方向と、被取付パーツの取付方向が、異なる方向であってもよい。例えば、取付台パーツが下方から取り付けられるものであって、当該取付台パーツの上方に被取付パーツが取り付けられる等の構成であってもよい。
【０１０４】
また取付台パーツは、上面板１２と下面板１３との間隔が横ワイヤ４の外径よりも大きく、取付台パーツを試料固定部材に取り付けた際に、横ワイヤ４と下面板１３との間に隙間が形成されるようなものでもよい。この場合、ネジ等により上面板１２と下面板１３とを締め付ける構成とするのが望ましい。
【０１０５】
今回開示された実施形態は、全ての点で例示であって、制限的なものではないと解されるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなくて特許請求の範囲により示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【０１０６】
１  試験槽
２  棚板（試料固定部材）
４  横ワイヤ
１０，１０Ａ，１０Ｅ，１０Ｆ  取付台パーツ
１１，１８  一対の板
１２，１６  上面板
１３，１７  下面板
１４，１４Ａ，１９，４１  基部
２０，２１，２６  試料用パーツ（被取付パーツ）
２２  配線用パーツ（被取付パーツ）
２５  電極パーツ（被取付パーツ）
４２  係止爪
４３  支持部
１００，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ，１００Ｅ，１００Ｆ  環境試験用治具
１０３Ａ  磁石（固定部材）
１１０  試料用パーツケース
１１３Ａ  磁石（固定部材）
１２０  取付台ケース
Ｓ１  試料
Ｗ１  配線
【図１】
2020038161.tif 000003
【図２】
2020038161.tif 000004
【図３】
2020038161.tif 000005
【図４】
2020038161.tif 000006
【図５】
2020038161.tif 000007
【図６】
2020038161.tif 000008
【図７】
2020038161.tif 000009
【図８】
2020038161.tif 000010
【図９】
2020038161.tif 000011
【図１０】
2020038161.tif 000012
【図１１】
2020038161.tif 000013
【図１２】
2020038161.tif 000014
【図１３】
2020038161.tif 000015
【図１４】
2020038161.tif 000016
【図１５】
2020038161.tif 000017
【図１６】
2020038161.tif 000018
【図１７】
2020038161.tif 000019
【図１８】
2020038161.tif 000020
【図１９】
2020038161.tif 000021
【図２０】
2020038161.tif 000022
【図２１】
2020038161.tif 000023
【図２２】
2020038161.tif 000024
【図２３】
2020038161.tif 000025
【図２４】
2020038161.tif 000026
【図２５】
2020038161.tif 000027
【図２６】
2020038161.tif 000028
【図２７】
2020038161.tif 000029
【図２８】
2020038161.tif 000030
【図２９】
2020038161.tif 000031
【図３０】
2020038161.tif 000032
【図３１】
2020038161.tif 000033
【図３２】
2020038161.tif 000034
【図３３】
2020038161.tif 000035
【図３４】
2020038161.tif 000036
【図３５】
2020038161.tif 000037
【図３６】
2020038161.tif 000038
【図３７】
2020038161.tif 000039
【図３８】
2020038161.tif 000040
【図３９】
2020038161.tif 000041
【図４０】
2020038161.tif 000042
【図４１】
2020038161.tif 000043
【図４２】
2020038161.tif 000044
【図４３】
2020038161.tif 000045
【図４４】
2020038161.tif 000046
【図４５】
2020038161.tif 000047
【図４６】
2020038161.tif 000048
【図４７】
2020038161.tif 000049
【図４８】
2020038161.tif 000050