(57)【要約】【課題】硬化時ないし硬化後に高温環境下に置かれてもアウトガスの発生を抑制でき、かつ解像性にも優れ、とりわけハレーションが生じにくく良好な開口形状が得られる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】（Ａ）カルボキシル基含有樹脂と、（Ｂ）光重合性モノマーと、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）熱硬化性成分と、を含んでなる感光性樹脂組成物であって、前記（Ｂ）光重合性モノマーが（メタ）アクリロイル基からなる光重合性基を有し、前記（Ｃ）光重合開始剤が、α−アミノアセトフェノン骨格を有する化合物と（メタ）アクリロイル基含有化合物とのマイケル付加反応物であることを特徴とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）カルボキシル基含有樹脂と、（Ｂ）光重合性モノマーと、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）熱硬化性成分と、を含んでなる感光性樹脂組成物であって、
前記（Ｂ）光重合性モノマーが（メタ）アクリロイル基からなる光重合性基を有し、
前記（Ｃ）光重合開始剤が、α−アミノアセトフェノン骨格を有する化合物と（メタ）アクリロイル基含有化合物とのマイケル付加反応物であることを特徴とする、感光性樹脂組成物。
【請求項２】
前記α−アミノアセトフェノン骨格を有する化合物が、下記式（Ｉ）：
【化１】
2020166271.tif 000009
（式中、
Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立して、炭素数１〜１２のアルキル基またはアリールアルキル基を表し、
Ｒ３およびＲ４は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数１〜６のアルキル基、または２つが結合した環状アルキルエーテル基を表し、
Ｙは、下記式（II）または（III）：
【化２】
2020166271.tif 000010
（式中、
Ｒ５およびＲ６は、それぞれ独立して、脂肪族基またはアリール基を表し、
Ｘ１およびＸ２は、それぞれ独立して、炭素原子数２〜６の直鎖状若しくは分岐状のアルキレン基またはオキシアルキレン基を表し、
Ｘ３は、置換基を有してもよい炭素原子数２〜６の直鎖状若しくは分岐状のアルキレン基またはオキシアルキレン基を表す。）
で表される基である。）
で表される基を有する化合物である、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物をフィルムに塗布、乾燥して得られる樹脂層を有する、ドライフィルム。
【請求項４】
請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物、または請求項３に記載のドライフィルムを硬化させて得られる硬化物。
【請求項５】
請求項４に記載の硬化物からなる被膜を備えたプリント配線板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物に関し、より詳細にはソルダーレジスト等の絶縁層の形成に好適に使用できる感光性樹脂組成物、感光性樹脂組成物を用いたドライフィルム、感光性樹脂組成物またはドライフィルムの硬化物、およびそれら硬化物を用いたプリント配線板に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、電子機器などに用いられるプリント配線板において、プリント配線板に電子部品を実装する際のはんだリフローなどの工程においてプリント配線板の不必要な部分にはんだが付着するのを防止するために、回路パターンの形成された基板上の接続孔を除く領域にソルダーレジスト層が形成されている。
【０００３】
近年の電子機器の軽薄短小化によるプリント配線板の高精度、高密度化に伴い、現在、ソルダーレジスト層は、基板に感光性樹脂組成物を塗布、乾燥し、露光、現像によりパターン形成した後、パターン形成された樹脂を加熱ないし光照射によって本硬化させる、いわゆるフォトソルダーレジストによって形成されるのが主流となっている。また、上記したような液状の感光性樹脂組成物を使用することなく、感光性のドライフィルムを使用してソルダーレジスト層を形成することも提案されている。これら感光性樹脂組成物や感光性ドライフィルムは、何れも露光、現像が可能なように、通常は、変性（メタ）アクリレート樹脂等のアルカリ可溶性の感光性樹脂成分および必要に応じて光重合開始剤が含まれている。
【０００４】
ところで、光重合性化合物と光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物においては、硬化時にアウトガスが発生する場合があり、アウトガスが感光性樹脂組成物の使用用途に悪影響を及ぼすことも考えられる。このような問題に対して、例えば特許文献１では、有機ＥＬディスプレイの封止に使用されるエポキシ樹脂等において、特定構造のオニウムポレート錯体を光カチオン光重合開始剤として使用することにより、速硬性を維持しながらアウトガスの発生を抑制できることが提案されている。
【０００５】
上記したように、ソルダーレジスト層の形成に用いられる感光性樹脂組成物やドライフィルムについても、本硬化時の加熱やはんだリフロー時の熱により光重合開始剤が揮発する恐れがあり、乾燥炉の汚染やはんだリフロー時の実装不良といった問題を引き起こす懸念がある。特に、はんだリフロー時のアウトガス発生が問題となっており、変性（メタ）アクリレート樹脂等のアルカリ可溶性感光性樹脂を含む感光性樹脂組成物においても、はんだリフロー時のアウトガス発生を抑制できる光ラジカル重合開始剤が求められている。このような問題に対し、特許文献２では、アルカリ可溶性感光性樹脂を含む光硬化性樹脂組成物において、光重合開始剤として、ポリエチレングリコール鎖を介して両末端にα−アミノアセトフェノンが結合した構造の化合物を使用することでアウトガスの発生を抑制できることが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−３３６３１４号公報
【特許文献２】特開２０１５−２８５８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のとおり、特許文献２において提案されている光重合開始剤を使用することで、硬化時のアウトガスは抑制されるものの、一般的に本硬化時の加熱温度よりもリフロー時の温度が高く、このような厳しい高温環境下でのアウトガス発生のさらなる抑制が求められていた。また、上記したような光重合開始剤は感光性樹脂組成物の感光度が高く、プリント配線板のソルダーレジスト層の形成に使用すると解像度が低下する、具体的にはソルダーレジスト層のパターン形成時にハレーションが生じ、良好な開口形状が得られない場合があった。
【０００８】
したがって、本発明の目的は、硬化後に高温環境下に置かれてもアウトガスの発生を抑制でき、かつ解像性にも優れ、とりわけハレーションが生じにくく良好な開口形状が得られる感光性樹脂組成物を提供することである。
【０００９】
また、本発明の別の目的は、当該感光性樹脂組成物を用いたドライフィルム、感光性樹脂組成物またはドライフィルムの硬化物、およびそれら硬化物を用いたプリント配線板を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは、（メタ）アクリレート系感光性樹脂を含む感光性樹脂組成物に使用されている光ラジカル重合開始剤であるα−アミノアセトフェノン系光重合開始剤に代えて、α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤を多官能アクリレートとマイケル付加反応させて得られる化合物を光重合開始剤として使用し、カルボキシル基含有樹脂および特定の光重合性モノマーと併用することにより、アウトガスの発生を抑制できるとともに解像性も改善できるとの知見を得た。本発明は係る知見によるものである。
【００１１】
すなわち、本発明による感光性樹脂組成物は、（Ａ）カルボキシル基含有樹脂と、（Ｂ）光重合性モノマーと、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）熱硬化性成分と、を含んでなる感光性樹脂組成物であって、
前記（Ｂ）光重合性モノマーが（メタ）アクリロイル基からなる光重合性基を有し、
前記（Ｃ）光重合開始剤が、α−アミノアセトフェノン骨格を有する化合物と（メタ）アクリロイル基含有化合物とのマイケル付加反応物であることを特徴とするものである。
【００１２】
本発明の実施態様においては、前記α−アミノアセトフェノン骨格を有する化合物が、下記式（Ｉ）：
【化１】
2020166271.tif 000002
（式中、
Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立して、炭素数１〜１２のアルキル基またはアリールアルキル基を表し、
Ｒ３およびＲ４は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数１〜６のアルキル基、または２つが結合した環状アルキルエーテル基を表し、
Ｙは、下記式（II）または（III）：
【化２】
2020166271.tif 000003
（式中、
Ｒ５およびＲ６は、それぞれ独立して、脂肪族基またはアリール基を表し、
Ｘ１およびＸ２は、それぞれ独立して、炭素原子数２〜６の直鎖状若しくは分岐状のアルキレン基またはオキシアルキレン基を表し、
Ｘ３は、置換基を有してもよい炭素原子数２〜６の直鎖状若しくは分岐状のアルキレン基またはオキシアルキレン基を表す。）
で表される基である。）
で表される基を有する化合物であることが好ましい。
【００１３】
また、本発明の別の実施態様によるドライフィルムは、上記感光性樹脂組成物をフィルムに塗布、乾燥して得られる樹脂層を有することを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明の別の実施態様による硬化物は、上記感光性樹脂組成物またはドライフィルムを硬化させて得られるものであることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の別の実施態様によるプリント配線板は、硬化物からなる被膜を備えたものであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、カルボキシル基含有樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤、および熱硬化性成分を含む感光性樹脂組成物において、従来使用されてきた光ラジカル開始剤であるα−アミノアセトフェノン系光重合開始剤に代えて、α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤と多官能アクリレートとをマイケル付加反応させた化合物を光重合開始剤として用いることにより、硬化後に高温環境下に置かれてもアウトガスの発生を抑制でき、かつ解像性にも優れ、とりわけハレーションが生じにくく良好な開口形状が得られる感光性樹脂組成物を実現できる。その結果、プリント配線基板のソルダーレジスト等に感光性樹脂組成物を使用した場合であっても、良好な解像性を維持しながら、乾燥炉の汚染やはんだリフロー時の実装不良を低減することができる。
【００１７】
さらに本発明の別の態様においては、当該感光性樹脂組成物を用いたドライフィルム、感光性樹脂組成物またはドライフィルムの硬化物、およびそれら硬化物を用いたプリント配線板を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明による感光性樹脂組成物は、（Ａ）カルボキシル基含有樹脂と、（Ｂ）光重合性モノマーと、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）熱硬化性成分とを必須成分として含むものである。以下、本発明による感光性樹脂組成物を構成する各成分について説明する。
【００１９】
＜（Ａ）カルボキシル基含有樹脂＞
（Ａ）カルボキシル基含有樹脂としては、分子中にカルボキシル基を有している従来公知の各種感光性樹脂を使用できる。感光性樹脂組成物が、カルボキシル基含有樹脂を含むことにより、感光性樹脂組成物に対しアルカリ現像性を付与することができる。特に、分子中に（メタ）アクリロイル基を有するカルボキシル基含有感光性樹脂が、光硬化性や耐現像性の面から好ましい。（メタ）アクリロイル基は、アクリル酸もしくはメタクリル酸またはそれらの誘導体由来であることが好ましい。（メタ）アクリロイル基を有さないカルボキシル基含有樹脂のみを用いる場合、組成物を光硬化性とするためには、後述する分子中に複数のエチレン性不飽和基を有する化合物、即ち光重合性モノマーを併用する必要がある。カルボキシル基含有樹脂の具体例としては、以下のような化合物（オリゴマーおよびポリマーのいずれでもよい）を挙げることができる。なお、本明細書において、（メタ）アクリロイル基とは、アクリロイル基、メタアクリロイル基およびそれらの混合物を総称する用語で他の類似の表現についても同様である。
【００２０】
（１）（メタ）アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル（メタ）アクリレート、イソブチレン等の不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有樹脂。
【００２１】
（２）脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基含有ジアルコール化合物およびポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールＡ系アルキレンオキサイド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基およびアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。
【００２２】
（３）ジイソシアネートと、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の２官能エポキシ樹脂の（メタ）アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物、カルボキシル基含有ジアルコール化合物およびジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。
【００２３】
（４）前記（２）または（３）の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート等の分子内に１つの水酸基と１つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物を加え、末端（メタ）アクリル化したカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。
【００２４】
（５）前記（２）または（３）の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物など、分子内に１つのイソシアネート基と１つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物を加え末端（メタ）アクリル化したカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。
【００２５】
（６）２官能またはそれ以上の多官能（固形）エポキシ樹脂に（メタ）アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に２塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。
【００２６】
（７）２官能（固形）エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に（メタ）アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に２塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。
【００２７】
（８）２官能オキセタン樹脂にアジピン酸、フタル酸、ヘキサヒドロフタル酸等のジカルボン酸を反応させ、生じた１級の水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の２塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有ポリエステル樹脂。
【００２８】
（９）１分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、ｐ−ヒドロキシフェネチルアルコール等の１分子中に少なくとも１個のアルコール性水酸基と１個のフェノール性水酸基を有する化合物と、（メタ）アクリル酸等の不飽和基含有モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。
【００２９】
（１０）１分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキサイド、プロピレンオキサイド等のアルキレンオキサイドとを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。
【００３０】
（１１）１分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。
【００３１】
（１２）前記（１）〜（１１）の樹脂にさらに１分子内に１つのエポキシ基と１つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有感光性樹脂。
【００３２】
本発明に使用できる（Ａ）カルボキシル基含有樹脂は、上記列挙したものに限られない。また。上記列挙した（Ａ）カルボキシル基含有樹脂は１種類を単独で用いてもよく、複数種を混合して用いてもよい。
【００３３】
（Ａ）カルボキシル基含有樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、一般的に２，０００〜１５０，０００の範囲であり、５，０００〜１００，０００の範囲にあるものが好ましい。重量平均分子量が２，０００以上の（Ａ）カルボキシル基含有樹脂を用いることにより、解像性やタックフリー性能を向上させることができる。また、重量平均分子量が１５０，０００以下の（Ａ）カルボキシル基含有樹脂を用いることにより現像性や貯蔵安定性を向上させることができる。
【００３４】
＜（Ｂ）光重合性モノマー＞
本発明の感光性樹脂組成物に含まれる（Ｂ）光重合性モノマーは、（メタ）アクリロイル基からなる光重合性基を有するモノマーである。このような光重合性モノマーとしては、例えば、慣用公知のポリエステル（メタ）アクリレート、ポリエーテル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、カーボネート（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。具体的には、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレートなどのヒドロキシアルキルアクリレート類；エチレングリコール、メトキシテトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコールなどのグリコールのジアクリレート類；Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピルアクリルアミドなどのアクリルアミド類；Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルアクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピルアクリレートなどのアミノアルキルアクリレート類；ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリス−ヒドロキシエチルイソシアヌレートなどの多価アルコールまたはこれらのエチレオキサイド付加物、プロピレンオキサイド付加物、もしくはε−カプロラクトン付加物などの多価アクリレート類；フェノキシアクリレート、ビスフェノールＡジアクリレート、およびこれらのフェノール類のエチレンオキサイド付加物もしくはプロピレンオキサイド付加物などの多価アクリレート類；グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレートなどのグリシジルエーテルの多価アクリレート類；前記に限らず、ポリエーテルポリオール、ポリカーボネートジオール、水酸基末端ポリブタジエン、ポリエステルポリオールなどのポリオールを直接アクリレート化、もしくは、ジイソシアネートを介してウレタンアクリレート化したアクリレート類およびメラミンアクリレート、および前記アクリレートに対応する各メタクリレート類のいずれか少なくとも１種から適宜選択して用いることができる。このような光重合性モノマーは、反応性希釈剤としても用いることができる。
【００３５】
上記した光重合性モノマーのなかでも、ハレーションをより抑制できる観点から多価アクリレート類を用いるのが好ましく、多価アクリレート類としてエチレオキサイド付加物、プロピレンオキサイド付加物またはε−カプロラクトン付加物がより好ましく、エチレンオキサイド付加物がさらに好ましい。エチレンオキサイド付加物として、具体的には、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド変性トリアクリレートが特に好ましい。また、多価アクリレート類として、エチレオキサイド付加物、プロピレンオキサイド付加物またはε−カプロラクトン付加物と他の多価アルコールとの組合せも好適に使用することができ、この場合、他の多価アルコールとして、具体的には、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートをより好ましく使用することができる。エチレオキサイド付加物、プロピレンオキサイド付加物またはε−カプロラクトン付加物と他の多価アルコールとの組合せで使用する場合、両者の配合比率（質量基準）は９：１〜１：９の範囲であることが好ましく、７：３〜３：７の範囲であることがより好ましく、６：４〜４：６の範囲であることがさらに好ましい。
【００３６】
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂などの多官能エポキシ樹脂に、アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート樹脂や、さらにそのエポキシアクリレート樹脂の水酸基に、ペンタエリスリトールトリアクリレートなどのヒドロキシアクリレートとイソホロンジイソシアネートなどのジイソシアネートのハーフウレタン化合物を反応させたエポキシウレタンアクリレート化合物などを光重合性モノマーとして用いてもよい。このようなエポキシアクリレート系樹脂は、指触乾燥性を低下させることなく、光硬化性を向上させることができる。
【００３７】
（Ｂ）光重合性モノマーの配合量は、固形分換算で、（Ａ）カルボキシル基含有樹脂１００質量部に対して好ましくは０．２〜６０質量部、より好ましくは０．２〜５０質量部である。光重合性モノマーの配合量を０．２質量部以上とすることにより、感光性樹脂組成物の光硬化性が向上する。また、配合量を６０質量部以下とすることにより、硬化被膜硬度を向上させることができる。
【００３８】
＜（Ｃ）光重合開始剤＞
本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｃ）光重合開始剤として、α−アミノアセトフェノン骨格を有する化合物と（メタ）アクリロイル基含有化合物とのマイケル付加反応物を含む。なお、本発明において、「マイケル付加反応物」とは、α、β−不飽和カルボニル化合物等の電子求引性基に対して求核剤を共役付加反応させることにより得られる反応物をいうものであり、電子求引性基を有する化合物をマイケル受容体、求核剤とマイケル供与体と呼ぶ場合がある。
【００３９】
上記したような（Ａ）カルボキシル基含有樹脂や（Ｂ）光重合性モノマーを含む感光性樹脂組成物においては、硬化物の耐薬品性や深部硬化性に優れる光重合開始剤として、光ラジカル重合開始剤であるα−アミノアセトフェノン系重合開始剤が使用される場合があったが、これら光重合開始剤は、感光性樹脂組成物の硬化時ないし硬化後の熱により揮発し、アウトガスが発生する場合があり、乾燥炉の汚染やはんだリフロー時の実装不良を起こすことが懸念されていた。本発明においては、上記したように（Ｂ）光重合性モノマーとして、（メタ）アクリロイル基からなる光重合性基を有する化合物を使用し、光重合開始剤としてα−アミノアセトフェノン骨格を有する化合物と（メタ）アクリロイル基含有化合物とのマイケル付加反応物を使用することにより、感光性樹脂組成物を露光した際（すなわち、重合時）に、（Ｂ）光重合性モノマーの（メタ）アクリロイル基とともに、光重合開始剤中の（メタ）アクリロイル基も重合反応に携わり重合体に組み込まれる（即ち、共重合される）ことにより、光重合開始剤が揮発しにくくなる。その結果、硬化時のみならず硬化後の熱（例えばはんだリフロー処理時の高温環境下）であってもアウトガスの発生を抑制できる。さらに、本発明においては、上記した光重合開始剤を使用することにより、露光してパターン形成する際にハレーションをも抑制できるという驚くべき効果を確認した。この理由は明らかではないが、次のように推測される。すなわち、従来の光重合開始剤ではハレーション抑制のために、光重合開始剤の種類の選定や、（メタ）アクリロイル基含有化合物等の光重合性モノマーとの配合比率の最適化に注意が払われていた。これに対し、本発明においては、光重合開始剤中の（メタ）アクリロイル基が重合反応に携わることにより、従来の光重合開始剤に比べて調整における裕度が向上し、その結果ハレーション発生をも制御しやすくなったものと推測される。しかしながら、あくまでも推測の域であって、この限りではない。
【００４０】
α−アミノアセトフェノン骨格を有する化合物としては、下記式（Ｉ）：
【化３】
2020166271.tif 000004
（式中、
Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立して、炭素数１〜１２のアルキル基またはアリールアルキル基を表し、
Ｒ３およびＲ４は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数１〜６のアルキル基、または２つが結合した環状アルキルエーテル基を表し、
Ｙは、下記式（II）または（III）：
【化４】
2020166271.tif 000005
（式中、
Ｒ５およびＲ６は、それぞれ独立して、脂肪族基またはアリール基を表し、
Ｘ１およびＸ２は、それぞれ独立して、炭素原子数２〜６の直鎖状若しくは分岐状のアルキレン基またはオキシアルキレン基を表し、
Ｘ３は、置換基を有してもよい炭素原子数２〜６の直鎖状若しくは分岐状のアルキレン基またはオキシアルキレン基を表す。）
で表される基である。）
で表される基を有する化合物を好適に使用することができる。
【００４１】
上記式（Ｉ）で表されるα−アミノアセトフェノン骨格を有する化合物としては、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノプロパノン−１、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタン−１−オン、２−（ジメチルアミノ）−２−［（４−メチルフェニル）メチル］−１−［４−（４−モルホリニル）フェニル］−１−ブタノン等が挙げられる。
【００４２】
上記したα−アミノアセトフェノン骨格を有する化合物とマイケル付加反応させる（メタ）アクリロイル基含有化合物としては、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、３−メチル−１，５−ペンタンジオールジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート等の二官能アクリレート類、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレートおよびそのエチレンオキサイドやプロピレンオキサイド等のアルキレンオキサイド変性物、ペンタエリスリトールトリまたはテトラ（メタ）アクリレートおよびそのエチレンオキサイドやプロピレンオキサイド等のアルキレンオキサイド変性物、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレートおよびそのエチレンオキサイドやプロピレンオキサイド等のアルキレンオキサイド変性物、ジペンタエリスリトールテトラまたはペンタまたはヘキサ（メタ）アクリレートおよびそのカプロラクトン変性物等の多官能（メタ）アクリレート類、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルやトリメチロールプロパントリグリシジルエーテル等のポリグリシジルエーテルと（メタ）アクリル酸との反応により得られるエポキシ（メタ）アクリレート類、イソホロンジイソシアネートやヘキサメチレンジイソシアネート三量体等のポリイソシアナート化合物と、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートやペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート等の水酸基を有するアクリレートとの反応により得られるウレタン（メタ）アクリレート類、トリメリット酸やコハク酸等の多塩基酸と、エチレングリコールやネオペンチルグリコール等のポリオールと、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートやペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート等の水酸基を有する（メタ）アクリレートとの反応により得られるポリエステル（メタ）アクリレート類、グリシジル（メタ）アクリレートと単官能（メタ）アクリレートとの重合物と、（メタ）アクリル酸との反応により得られる高分子量型のポリ（メタ）アクリレート等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。またこれらの反応性化合物は、単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。
【００４３】
上記した（メタ）アクリロイル基含有化合物のなかでも、３官能以上の（メタ）アクリレート化合物を好ましく使用することができる。マイケル受容体としての機能を有する（メタ）アクリロイル基含有化合物として、（メタ）アクリロイル基を３つ以上有する３官能以上の（メタ）アクリレートを使用すると、マイケル付加反応物である光重合開始剤が２個以上の（メタ）アクリロイル基となり、（Ｂ）光重合性モノマーの重合時に組み込まれやすくなる。
【００４４】
上記したα−アミノアセトフェノン骨格を有する化合物と（メタ）アクリロイル基含有化合物とのマイケル付加反応は、特に限定されることなく、公知慣用の反応条件で行うことができる。一般的な方法としては、α−アミノアセトフェノン骨格含有化合物と（メタ）アクリロイル基含有化合物とを、反応容器中、０〜１５０℃で混合する方法が挙げられ、触媒や溶媒を使用することもできる。
【００４５】
使用可能な触媒としては、例えば、テトラエチルアンモニウムフロライド、テトラブチ
ルアンモニウム水酸化物、水酸化カリウム、テトラメチルグアニジ、ジアザビシクロウン
デセン、ナトリウムｔ−ブチラート、トリ−ｎ−オクチルフォスフィン、トリフェニルホ
スフィン等が挙げられる。
【００４６】
有機溶媒としては例えば、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサン等の飽和炭化水素類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、メタノール、エタノール、イソプロパノール、２−ブタノール、ｔ−ブタノール、エチレングリコール、カルビトール等のアルコール類、ジメチルエーテル、ジエチルエーテル、１，４−ジオキサン、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）等のエーテル、ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）等のアミド類、クロロホルム、ジクロロメタン等のハロゲン系溶媒、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）等を挙げることができる。
【００４７】
上記したα−アミノアセトフェノン骨格を有する化合物と（メタ）アクリロイル基含有化合物とのマイケル付加反応物のなかでも、下記一般式で表される化合物を、光重合開始剤として好ましく使用することができる。
【化５】
2020166271.tif 000006
【００４８】
光重合開始剤の配合量としては、固形分換算で、（Ａ）カルボキシル基含有樹脂１００質量部に対して、０．２〜４０質量部であることが好ましい。０．２質量部以上の場合、感光性樹脂組成物の光硬化性が良好となり、被膜が剥離しにくく、耐薬品性等の被膜特性も良好となる。また、４０質量部以下の場合、アウトガスの発生がより一層抑制されるとともに、ソルダーレジストによる被膜表面での光吸収が良好となり、深部硬化性が低下しにくくなる。より好ましい配合量は１０〜３５質量部であり、さらに好ましい配合量は１５〜３０質量部である。
【００４９】
本発明の効果を妨げない範囲において、上記した光重合開始剤以外の光重合開始剤が含まれていてもよく、例えば、ビス−（２，６−ジクロロベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−（２，６−ジクロロベンゾイル）−２，５−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−（２，６−ジクロロベンゾイル）−４−プロピルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−（２，６−ジクロロベンゾイル）−１−ナフチルフォスフィンオキサイド、ビス−（２，６−ジメトキシベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、ビス−（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，５−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイド等のビスアシルフォスフィンオキサイド類；２，６−ジメトキシベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、２，６−ジクロロベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、２，４，６−トリメチルベンゾイルフェニルフォスフィン酸メチルエステル、２−メチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ピバロイルフェニルフォスフィン酸イソプロピルエステル、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド等のモノアシルフォスフィンオキサイド類；フェニル（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フォスフィン酸エチル、１−ヒドロキシ−シクロヘキシルフェニルケトン、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−１−｛４−［４−（２−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオニル）−ベンジル］フェニル｝−２−メチル−プロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン等のヒドロキシアセトフェノン類；ベンゾイン、ベンジル、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインｎ−プロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインｎ−ブチルエーテル等のベンゾイン類；ベンゾインアルキルエーテル類；ベンゾフェノン、ｐ−メチルベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、メチルベンゾフェノン、４，４’−ジクロロベンゾフェノン、４，４’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類；アセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシ−２−フェニルアセトフェノン、１，１−ジクロロアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プロパノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２−（ジメチルアミノ）−２−［（４−メチルフェニル）メチル）−１−［４−（４−モルホリニル）フェニル］−１−ブタノン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノアセトフェノン等のアセトフェノン類；チオキサントン、２−エチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類；アントラキノン、クロロアントラキノン、２−メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、１−クロロアントラキノン、２−アミルアントラキノン、２−アミノアントラキノン等のアントラキノン類；アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類；エチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、２−（ジメチルアミノ）エチルベンゾエート、ｐ−ジメチル安息香酸エチルエステル等の安息香酸エステル類；１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）等のオキシムエステル類；ビス（η５−２，４−シクロペンタジエン−１−イル）−ビス（２，６−ジフルオロ−３−（１Ｈ−ピロール−１−イル）フェニル）チタニウム、ビス（シクロペンタジエニル）−ビス［２，６−ジフルオロ−３−（２−（１−ピル−１−イル）エチル）フェニル］チタニウム等のチタノセン類；フェニルジスルフィド２−ニトロフルオレン、ブチロイン、アニソインエチルエーテル、アゾビスイソブチロニトリル、テトラメチルチウラムジスルフィド等を挙げることができる。
【００５０】
上記した（Ｃ）光重合開始剤と併用して、光開始助剤または増感剤を用いてもよい。光開始助剤または増感剤としては、ベンゾイン化合物、アントラキノン化合物、チオキサントン化合物、ケタール化合物、ベンゾフェノン化合物、３級アミン化合物、およびキサントン化合物などを挙げることができる。特に、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン等のチオキサントン化合物を用いることが好ましい。チオキサントン化合物が含まれることにより、深部硬化性を向上させることができる。これらの化合物は、光重合開始剤として用いることができる場合もあるが、光重合開始剤と併用して用いることが好ましい。また、光開始助剤または増感剤は１種類を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００５１】
なお、これら光重合開始剤、光開始助剤、および増感剤は、特定の波長を吸収するため、場合によっては感度が低くなり、紫外線吸収剤として機能することがある。しかしながら、これらは樹脂組成物の感度を向上させることだけの目的に用いられるものではない。必要に応じて特定の波長の光を吸収させて、表面の光反応性を高め、レジストパターンのライン形状および開口を垂直、テーパー状、逆テーパー状に変化させるとともに、ライン幅や開口径の精度を向上させることができる。
【００５２】
＜（Ｄ）熱硬化性成分＞
本発明の感光性樹脂組成物に含まれる（Ｄ）熱硬化性成分により、硬化被膜の耐熱性を向上させることができる。熱硬化性成分としては、公知のものをいずれも用いることができる。例えば、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、メラミン誘導体、ベンゾグアナミン誘導体等のアミノ樹脂、イソシアネート化合物、ブロックイソシアネート化合物、シクロカーボネート化合物、エポキシ化合物、オキセタン化合物、エピスルフィド樹脂、ビスマレイミド、カルボジイミド樹脂等の公知の熱硬化性成分を使用できる。特に好ましいのは、分子中に複数の環状エーテル基または環状チオエーテル基（以下、環状（チオ）エーテル基と略す）を有する熱硬化性成分である。これらの熱硬化性成分は、１種を単独または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００５３】
上記の分子中に複数の環状（チオ）エーテル基を有する熱硬化性成分は、分子中に３、４または５員環の環状（チオ）エーテル基を複数有する化合物であり、例えば、分子内に複数のエポキシ基を有する化合物、すなわち多官能エポキシ化合物、分子内に複数のオキセタニル基を有する化合物、すなわち多官能オキセタン化合物、分子内に複数のチオエーテル基を有する化合物、すなわちエピスルフィド樹脂等が挙げられる。
【００５４】
多官能エポキシ化合物としては、エポキシ化植物油；ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂；ハイドロキノン型エポキシ樹脂；ビスフェノール型エポキシ樹脂；チオエーテル型エポキシ樹脂；ブロム化エポキシ樹脂；ノボラック型エポキシ樹脂；ビフェノールノボラック型エポキシ樹脂；ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂；水添ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂；グリシジルアミン型エポキシ樹脂；ヒダントイン型エポキシ樹脂；脂環式エポキシ樹脂；トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂；ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂またはそれらの混合物；ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂；ビスフェノールＡノボラック型エポキシ樹脂；テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂；複素環式エポキシ樹脂；ジグリシジルフタレート樹脂；テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂；ナフタレン基含有エポキシ樹脂；ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂；グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂；シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂；エポキシ変性のポリブタジエンゴム誘導体；ＣＴＢＮ変性エポキシ樹脂等が挙げられるが、これらに限られるものではない。これらのエポキシ樹脂は、１種を単独または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００５５】
市販されるエポキシ樹脂としては、例えば、三菱ケミカル株式会社製のｊＥＲ  ８２８、８０６、８０７、ＹＸ８０００、ＹＸ８０３４、８３４、日鉄ケミカル＆マテリアル株式会社製のＹＤ−１２８、ＹＤＦ−１７０、ＺＸ−１０５９、ＳＴ−３０００、ＤＩＣ株式会社製のＥＰＩＣＬＯＮ  ８３０、８３５、８４０、８５０、Ｎ−７３０Ａ、Ｎ−６９５、および日本化薬株式会社製のＲＥ−３０６等が挙げられる。
【００５６】
多官能オキセタン化合物としては、例えば、ビス［（３−メチル−３−オキセタニルメトキシ）メチル］エーテル、ビス［（３−エチル−３−オキセタニルメトキシ）メチル］エーテル、１，４−ビス［（３−メチル−３−オキセタニルメトキシ）メチル］ベンゼン、１，４−ビス［（３−エチル−３−オキセタニルメトキシ）メチル］ベンゼン、（３−メチル−３−オキセタニル）メチルアクリレート、（３−エチル−３−オキセタニル）メチルアクリレート、（３−メチル−３−オキセタニル）メチルメタクリレート、（３−エチル−３−オキセタニル）メチルメタクリレートやそれらのオリゴマーまたは共重合体等の多官能オキセタン類の他、オキセタンアルコールとノボラック樹脂、ポリ（ｐ−ヒドロキシスチレン）、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、またはシルセスキオキサン等の水酸基を有する樹脂とのエーテル化物等が挙げられる。その他、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキル（メタ）アクリレートとの共重合体等も挙げられる。
【００５７】
分子中に複数の環状チオエーテル基を有する化合物としては、ビスフェノールＡ型エピスルフィド樹脂等が挙げられる。また、同様の合成方法を用いて、ノボラック型エポキシ樹脂のエポキシ基の酸素原子を硫黄原子に置き換えたエピスルフィド樹脂なども用いることができる。
【００５８】
メラミン誘導体、ベンゾグアナミン誘導体等のアミノ樹脂としては、メチロールメラミン化合物、メチロールベンゾグアナミン化合物、メチロールグリコールウリル化合物およびメチロール尿素化合物等が挙げられる。
【００５９】
イソシアネート化合物としては、ポリイソシアネート化合物を配合することができる。ポリイソシアネート化合物としては、４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート、ナフタレン−１，５−ジイソシアネート、ｏ−キシリレンジイソシアネート、ｍ−キシリレンジイソシアネートおよび２，４−トリレンダイマー等の芳香族ポリイソシアネート；テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、メチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、４，４−メチレンビス（シクロヘキシルイソシアネート）およびイソホロンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネート；ビシクロヘプタントリイソシアネート等の脂環式ポリイソシアネート；並びに先に挙げたイソシアネート化合物のアダクト体、ビューレット体およびイソシアヌレート体等が挙げられる。
【００６０】
ブロックイソシアネート化合物としては、イソシアネート化合物とイソシアネートブロック剤との付加反応生成物を用いることができる。イソシアネートブロック剤と反応し得るイソシアネート化合物としては、例えば、上述のポリイソシアネート化合物等が挙げられる。イソシアネートブロック剤としては、例えば、フェノール系ブロック剤；ラクタム系ブロック剤；活性メチレン系ブロック剤；アルコール系ブロック剤；オキシム系ブロック剤；メルカプタン系ブロック剤；酸アミド系ブロック剤；イミド系ブロック剤；アミン系ブロック剤；イミダゾール系ブロック剤；イミン系ブロック剤等が挙げられる。
【００６１】
特に、（Ｄ）熱硬化性成分としてエポキシ樹脂を使用する場合は、エポキシ樹脂の配合量は、固形分換算で、（Ａ）カルボキシル基含有樹脂１００質量部に対して１〜１００質量部であることが好ましい。エポキシ樹脂の配合量を１質量部以上とすることで、硬化被膜におけるカルボキシル基の残存を防止して、良好な耐熱性や耐アルカリ性、電気絶縁性等を得ることができる。また、エポキシ樹脂の配合量を１００質量部以下とすることで、低分子量の環状（チオ）エーテル基が硬化被膜に残存することを防止して、硬化被膜の強度等を良好に確保することができる。
【００６２】
＜熱硬化触媒＞
本発明の感光性樹脂組成物は、上記した（Ｄ）熱硬化性成分の硬化を促進するための熱硬化触媒を含んでいてもよい。熱硬化触媒としては、例えば、イミダゾール、２−メチルイミダゾール、２−エチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、２−フェニルイミダゾール、４−フェニルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、１−（２−シアノエチル）−２−エチル−４−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体；ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、４−（ジメチルアミノ）−Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン、４−メトキシ−Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン、４−メチル−Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等のヒドラジン化合物；トリフェニルフォスフィン等のリン化合物等が挙げられる。また、市販されているものとしては、例えば四国化成工業株式会社製の２ＭＺ−Ａ、２ＭＺ−ＯＫ、２ＰＨＺ、２Ｐ４ＢＨＺ、２Ｐ４ＭＨＺ（いずれもイミダゾール系化合物の商品名）、サンアプロ株式会社製のＵ−ＣＡＴ  ３５１３Ｎ（ジメチルアミン系化合物の商品名）、ＤＢＵ、ＤＢＮ、Ｕ−ＣＡＴ  ＳＡ  １０２（いずれも二環式アミジン化合物およびその塩）などが挙げられる。
【００６３】
上記した化合物に限られるものではなく、エポキシ樹脂やオキセタン化合物の熱硬化触媒、もしくはエポキシ基およびオキセタニル基の少なくとも何れか１種とカルボキシル基の反応を促進するものであればよく、単独でまたは２種以上を混合して使用してもよい。また、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、２，４−ジアミノ−６−メタクリロイルオキシエチル−Ｓ−トリアジン、２−ビニル−２，４−ジアミノ−Ｓ−トリアジン、２−ビニル−４，６−ジアミノ−Ｓ−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、２，４−ジアミノ−６−メタクリロイルオキシエチル−Ｓ−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のＳ−トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくはこれら密着性付与剤としても機能する化合物を熱硬化触媒と併用する。
【００６４】
上記した熱硬化触媒は、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて用いることができる。熱硬化触媒の配合量は、樹脂組成物の保存安定性や硬化被膜の耐熱性の観点から、固形分換算で、（Ａ）カルボキシル基含有樹脂１００質量部に対して０．０１〜１０質量部であることが好ましく、０．１〜５質量部であることがより好ましい。
【００６５】
＜その他の成分＞
本発明の感光性樹脂組成物は、硬化被膜の物理的強度等を上げるために、必要に応じてフィラーを配合することができる。フィラーとしては、公知の無機または有機フィラーが使用できるが、特に、硫酸バリウム、球状シリカ、ハイドロタルサイトおよびタルクが好ましく用いられる。また、難燃性を得るために金属酸化物や水酸化アルミ等の金属水酸化物を体質顔料フィラーとして使用することができる。
【００６６】
無機充填材の配合量は特に限定されるものではないが、粘度、塗布性、成形性等の観点から、固形分換算で、（Ａ）カルボキシル基含有樹脂１００質量部に対して３００質量部以下が好ましい。より好ましくは５０〜２００質量部である。
【００６７】
また、上記したフィラーは、感光性樹脂組成物中での分散性を高めるために表面処理されたものであってもよい。表面処理がされているフィラーを使用することで、凝集を抑制することができる。表面処理方法は特に限定されず、公知慣用の方法を用いればよいが、硬化性反応基を有する表面処理剤、例えば、硬化性反応基を有機基として有するカップリング剤等で無機フィラーの表面を処理することが好ましい。
【００６８】
カップリング剤としては、シラン系、チタネート系、アルミネート系およびジルコアルミネート系等のカップリング剤が使用できる。中でもシラン系カップリング剤が好ましい。かかるシラン系カップリング剤の例としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、Ｎ−（２−アミノメチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−アニリノプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等を挙げることができ、これらは単独で、あるいは併用して使用することができる。これらのシラン系カップリング剤は、あらかじめフィラーの表面に吸着あるいは反応により固定化されていることが好ましい。ここで、球状シリカ１００質量部に対するカップリング剤の処理量は、０．５〜１０質量部であることが好ましい。
【００６９】
本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて着色剤を含んでいてもよい。着色剤としては、赤、青、緑、黄等の公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよいが、環境負荷の低減や人体への影響が少ない観点からハロゲンを含有しない着色剤であることが好ましい。
【００７０】
赤色着色剤としてはモノアゾ系、ジスアゾ系、アゾレーキ系、ベンズイミダゾロン系、ペリレン系、ジケトピロロピロール系、縮合アゾ系、アントラキノン系、キナクリドン系等があり、具体的には以下のようなカラ−インデックス（Ｃ．Ｉ．；ザ  ソサイエティ  オブ  ダイヤーズ  アンド  カラリスツ（Ｔｈｅ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  ｏｆ  Ｄｙｅｒｓａｎｄ  Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ）発行）番号が付されているものが挙げられる。
【００７１】
モノアゾ系赤色着色剤としては、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １，２，３，４，５，６，８，９，１２，１４，１５，１６，１７，２１，２２，２３，３１，３２，１１２，１１４，１４６，１４７，１５１，１７０，１８４，１８７，１８８，１９３，２１０，２４５，２５３，２５８，２６６，２６７，２６８，２６９等が挙げられる。また、ジスアゾ系赤色着色剤としては、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ３７，３８，４１等が挙げられる。また、モノアゾレーキ系赤色着色剤としては、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９：１，４９：２，５０：１，５２：１，５２：２，５３：１，５３：２，５７：１，５８：４，６３：１，６３：２，６４：１，６８等が挙げられる。また、ベンズイミダゾロン系赤色着色剤としては、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １７１，１７５，１７６、１８５、２０８等が挙げられる。また、ぺリレン系赤色着色剤としては、Ｓｏｌｖｅｎｔ  Ｒｅｄ  １３５，１７９，Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １２３，１４９，１６６，１７８，１７９，１９０，１９４，２２４等が挙げられる。また、ジケトピロロピロール系赤色着色剤としては、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２５４，２５５，２６４，２７０，２７２等が挙げられる。また、縮合アゾ系赤色着色剤としては、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２２０，１４４，１６６，２１４，２２０，２２１，２４２等が挙げられる。また、アントラキノン系赤色着色剤としては、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １６８，１７７，２１６、Ｓｏｌｖｅｎｔ  Ｒｅｄ  １４９，１５０，５２，２０７等が挙げられる。また、キナクリドン系赤色着色剤としては、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １２２，２０２，２０６，２０７，２０９等が挙げられる。
【００７２】
青色着色剤としてはフタロシアニン系、アントラキノン系があり、顔料系はピグメント（Ｐｉｇｍｅｎｔ）に分類されている化合物が挙げられ、例えば、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，６０。染料系としては、Ｓｏｌｖｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  ３５，６３，６８，７０，８３，８７，９４，９７，１２２，１３６，６７，７０等を使用することができる。上記以外にも、金属置換もしくは無置換のフタロシアニン化合物も使用することができる。
【００７３】
黄色着色剤としてはモノアゾ系、ジスアゾ系、縮合アゾ系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、アントラキノン系等が挙げられ、例えば、アントラキノン系黄色着色剤としては、Ｓｏｌｖｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １６３，Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  ２４，１０８，１９３，１４７，１９９，２０２等が挙げられる。イソインドリノン系黄色着色剤としては、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １１０，１０９，１３９，１７９，１８５等が挙げられる。縮合アゾ系黄色着色剤としては、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ
９３，９４，９５，１２８，１５５，１６６，１８０等が挙げられる。ベンズイミダゾロン系黄色着色剤としては、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １２０，１５１，１５４，１５６，１７５，１８１等が挙げられる。また、モノアゾ系黄色着色剤としては、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １，２，３，４，５，６，９，１０，１２，６１，６２，６２：１，６５，７３，７４，７５，９７，１００，１０４，１０５，１１１，１１６，１６７，１６８，１６９，１８２，１８３等が挙げられる。また、ジスアゾ系黄色着色剤としては、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １２，１３，１４，１６，１７，５５，６３，８１，８３，８７，１２６，１２７，１５２，１７０，１７２，１７４，１７６，１８８，１９８等が挙げられる。
【００７４】
その他、紫、オレンジ、茶色、黒、白等の着色剤を加えてもよい。具体的には、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌａｃｋ  １，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１８，２０，２５，２６，２８，２９，３０，３１，３２、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １９、２３、２９、３２、３６、３８、４２、Ｓｏｌｖｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ１３，３６、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  １，５，１３，１４，１６，１７，２４，３４，３６，３８，４０，４３，４６，４９，５１，６１，６３，６４，７１，７３、ＰｉｇｍｅｎｔＢｒｏｗｎ  ２３，２５，カーボンブラック、酸化チタン等が挙げられる。
【００７５】
感光性樹脂組成物中の着色剤の配合量は特に限定されるものではないが、感光性樹脂組成物全体量の０．１〜５質量％であることが好ましい。
【００７６】
本発明の感光性樹脂組成物には、調製のし易さや塗布性の観点から有機溶剤を配合してもよい。有機溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類；トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類；セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類；酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、炭酸プロピレン等のエステル類；オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素類；石油エーテル、石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤など、公知慣用の有機溶剤が使用できる。これらの有機溶剤は、１種を単独または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００７７】
感光性樹脂組成物における有機溶剤の配合量は、感光性樹脂組成物を構成する材料に応じ適宜変更することができ、例えば、固形分換算で、（Ａ）カルボキシル基含有樹脂１００質量部に対して３０〜３００質量部とすることができる。
【００７８】
本発明の感光性樹脂組成物には、さらに必要に応じてエラストマー、メルカプト化合物、ウレタン化触媒、チキソ化剤、密着促進剤、ブロック共重合体、連鎖移動剤、重合禁止剤、銅害防止剤、酸化防止剤、防錆剤、有機ベントナイト、モンモリロナイト等の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系等の消泡剤およびレベリング剤の少なくともいずれか１種、フォスフィン酸塩、燐酸エステル誘導体、フォスファゼン化合物等のリン化合物等の難燃剤などの成分を配合することができる。これらは、電子材料の分野において公知の物を使用することができる。
【００７９】
本発明の感光性樹脂組成物は、ドライフィルム化して用いても液状として用いてもよい。また、液状として用いる場合は、１液性でも２液性以上でもよい。
【００８０】
［ドライフィルム］
本発明の感光性樹脂組成物は、支持フィルムと、支持フィルム上に形成された上記感光性樹脂組成物からなる樹脂層とを備えたドライフィルムの形態とすることもできる。ドライフィルム化に際しては、本発明の感光性樹脂組成物を有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整し、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等でキャリアフィルム上に均一な厚さに塗布し、通常、５０〜１３０℃の温度で１〜３０分間乾燥して膜を得ることができる。塗布膜厚については特に制限はないが、一般に、乾燥後の膜厚で、１〜１５０μｍ、好ましくは１０〜６０μｍの範囲で適宜選択される。
【００８１】
支持フィルムとしては、公知のものであれば特に制限なく使用することができ、例えば、ポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレート等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等の熱可塑性樹脂からなるフィルムを好適に使用することができる。これらの中でも、耐熱性、機械的強度、取扱性等の観点から、ポリエステルフィルムが好ましい。また、これらフィルムの積層体を支持フィルムとして使用することもできる。
【００８２】
また、上記したような熱可塑性樹脂フィルムは、機械的強度向上の観点から、一軸方向または二軸方向に延伸されたフィルムであることが好ましい。
【００８３】
支持フィルムの厚さは、特に制限されるものではないが、例えば、１０μｍ〜１５０μｍとすることができる。
【００８４】
支持フィルム上に本発明の感光性樹脂組成物の樹脂層を形成した後、さらに、樹脂層の表面に塵が付着するのを防ぐなどの目的で、樹脂層の表面に剥離可能な保護（カバー）フィルムを積層することが好ましい。剥離可能な保護フィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができ、保護フィルムを剥離するときに樹脂層と支持フィルムとの接着力よりも樹脂層と保護フィルムとの接着力がより小さいものであればよい。
【００８５】
保護フィルムの厚さは、特に限定されるものではないが、例えば、１０μｍ〜１５０μｍとすることができる。
【００８６】
［硬化物］
本発明の硬化物は、上記した感光性樹脂組成物、または上記したドライフィルムの樹脂層を硬化して得られるものである。
【００８７】
［プリント配線板］
本発明のプリント配線板は、本発明の感光性樹脂組成物またはドライフィルムの樹脂層から得られる硬化物を有するものである。本発明のプリント配線板の製造方法としては、例えば、本発明の感光性樹脂組成物を、上記有機溶剤を用いて塗布方法に適した粘度に調整して、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の方法により塗布した後、６０〜１００℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥（仮乾燥）させることで、タックフリーの樹脂層を形成する。また、ドライフィルムの場合、ラミネーター等により樹脂層が基材と接触するように基材上に貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥がすことにより、基材上に樹脂層を形成する。
【００８８】
上記基材としては、あらかじめ銅等により回路形成されたプリント配線板やフレキシブルプリント配線板の他、紙フェノール、紙エポキシ、ガラス布エポキシ、ガラスポリイミド、ガラス布／不繊布エポキシ、ガラス布／紙エポキシ、合成繊維エポキシ、フッ素樹脂・ポリエチレン・ポリフェニレンエーテル，ポリフェニレンオキサイド・シアネート等を用いた高周波回路用銅張積層板等の材質を用いたもので、全てのグレード（ＦＲ−４等）の銅張積層板、その他、金属基板、ポリイミドフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）フィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を挙げることができる。
【００８９】
ドライフィルムの形態である場合には、基材上への貼合は、真空ラミネーター等を用いて、加圧および加熱下で行うことが好ましい。このような真空ラミネーターを使用することにより、回路形成された基板を用いた場合に、回路基板表面に凹凸があっても、ドライフィルムが回路基板に密着するため、気泡の混入がなく、また、基板表面の凹部の穴埋め性も向上する。加圧条件は、０．１〜２．０ＭＰａ程度であることが好ましく、また、加熱条件は、４０〜１２０℃であることが好ましい。
【００９０】
本発明の感光性樹脂組成物が有機溶剤を含む場合、感光性樹脂組成物を塗布した後、揮発乾燥を行うことが好ましい。揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、ＩＲ炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等（蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用いて乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法およびノズルより支持体に吹き付ける方式）を用いて行うことができる。
【００９１】
基材上に樹脂層を形成後、所定のパターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光し、未露光部を希アルカリ水溶液（例えば、０．３〜３質量％炭酸ソーダ水溶液）により現像して硬化物のパターンを形成する。ドライフィルムの場合には、露光後、ドライフィルムから支持フィルムを剥離して現像を行うことにより、基材上にパターニングされた硬化物を形成する。なお、ドライフィルムの形態である場合、特性を損なわない範囲であれば、露光前にドライフィルムから支持フィルムを剥離して、露出した樹脂層を露光および現像しても良い。さらに、硬化物に活性エネルギー線を照射後に加熱硬化（例えば、１００〜２２０℃）、もしくは加熱硬化後に活性エネルギー線を照射、または、加熱硬化のみで最終仕上げ硬化（本硬化） させることにより、密着性、硬度等の諸特性に優れた硬化被膜を形成することができる。
【００９２】
上記活性エネルギー線照射に用いられる露光機としては、高圧水銀灯ランプ、超高圧水銀灯ランプ、メタルハライドランプ、水銀ショートアークランプ等を搭載し、３５０〜４５０ｎｍの範囲で紫外線を照射する装置であればよく、さらに、直接描画装置（例えば、コンピューターからのＣＡＤデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置）も用いることができる。直描機のランプ光源またはレーザー光源としては、最大波長が３５０〜４５０ｎｍの範囲にあるものでよい。画像形成のための露光量は膜厚等によって異なるが、一般には１０〜１０００ｍＪ／ｃｍ２、好ましくは２０〜８００ｍＪ／ｃｍ２の範囲内とすることができる。
【００９３】
上記現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができ、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類等のアルカリ水溶液が使用できる。
【００９４】
上記のようにして基材上に硬化被膜を形成した後、基材上に電子素子等の部品がはんだリフロー処理により実装される。はんだリフロー処理は従来公知の方法により行うことができる。また、はんだリフローは、例えば２４５〜２６０℃で５〜１０秒の処理条件により行うのが一般的である。
【００９５】
本発明の感光性樹脂組成物またはドライフィルムは、プリント配線板等の電子部品製造用として好適に使用され、より好適には、永久被膜を形成するために使用される。その際、本発明の感光性樹脂組成物またはドライフィルムを用いて、上記した方法等により硬化物を形成する。本発明の感光性樹脂組成物またはドライフィルムの樹脂層が絶縁性である場合、好適には、ソルダーレジストまたはカバーレイまたは層間絶縁層を形成するために使用される。なお、本発明による感光性樹脂組成物は、ソルダーダムを形成するために使用してもよい。
【実施例】
【００９６】
以下に実施例および比較例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものではないことはもとよりである。なお、以下において「部」および「％」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。
【００９７】
＜合成例１（カルボキシル基含有樹脂溶液１の合成）＞
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂（ＤＩＣ株式会社製、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６９５、エポキシ当量：２２０）２２０質量部を撹拌機および還流冷却器の付いた四つ口フラスコに投入し、カルビトールアセテート２１４質量部を加え、加熱溶解した。次に、重合禁止剤としてハイドロキノン０．１質量部と、反応触媒としてジメチルベンジルアミン２．０質量部を加えた。この混合物を９５〜１０５℃に加熱し、アクリル酸７２質量部を徐々に滴下し、１６時間反応させた。この反応生成物を８０〜９０℃まで冷却し、テトラヒドロフタル酸無水物１０６質量部を加え、８時間反応させ、冷却後フラスコから取り出した。このようにして得られたエチレン性不飽和結合およびカルボキシル基を併せ持つ感光性樹脂は、固形分６５％、固形物の酸価１００ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量Ｍｗ約３，５００であった。以下、この樹脂溶液をカルボキシル基含有樹脂溶液１と称す。なお、得られた樹脂の重量平均分子量はＧＰＣにより測定した。
【００９８】
［感光性樹脂組成物の調製］
下記表１に記載の各成分を配合し、３本ロールミルを用いて室温にて混合することにより、同表に記載の各感光性樹脂組成物を得た。なお、表中の各数値は質量部を示す。
【００９９】
なお、下記表１中の各成分＊１〜＊１２は、以下のとおりである。
＊１：合成例１で得られたカルボキシル基含有樹脂溶液１（固形分６５％）
＊２：トリメチロールプロパンエチレンオキサイド変性トリアクリレート（東亜合成株式会社）、多価アクリレート類、トリメチロールプロパンのエチレンオキサイド付加物
＊３：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（日本化薬株式会社）、多価アクリレート類
＊４：下記式で表される光重合開始剤１
【化６】
2020166271.tif 000007
＊５：２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モリフォリノフェニル）−ブタノン（ＩＧＭ  Ｒｅｓｉｎｓ社製）
＊６：ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（ｊＥＲ  ８２８、三菱ケミカル株式会社）
＊７：２，４，６−トリアミノ−１，３，５−トリアジン
＊８：含水珪酸マグネシウム（ＬＭＰ−１００/ＦＧ１０５タルク、富士タルク工業株式会社）
＊９：シリカ（ＳＦＰ−１３０ＭＣ、デンカ株式会社製）
＊１０：青色着色剤（フタロシアニンブルー）
＊１１：黄色着色剤（Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ１４７）
【０１００】
［感光性樹脂組成物の評価］
＜錫めっき耐性評価＞
表面をメック株式会社製のＣＺ８１０１を用いて化学研磨した基板（材質：ＦＲ−４、Ｌ／Ｓ＝１００μｍ／１００μｍの銅パターン配線有り）の研磨面に、上記のようにして得られた各感光性樹脂組成物をスクリーン印刷により乾燥後の膜厚が２０〜２５μｍになるように全面塗布し、８０℃で３０分乾燥し、室温まで放冷した。この基板の塗布面にメタルハライドランプ搭載の露光装置を用いて、最適露光量でパターン露光して、３０℃の１質量％炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧０．２ＭＰａの条件で６０秒間現像を行った。この基板を、１５０℃で６０分加熱して硬化した後、ＵＶコンベア炉にて積算露光量１０００ｍＪ／ｃｍ２の条件で紫外線照射し、評価基板とした。
得られた評価基板の硬化膜形成面に所定の前処理（酸性脱脂＋ソフトエッチ＋硫酸処理）を行い、無電解錫めっき液を用いて、めっき厚が１．１μｍとなるような条件で錫めっきを行った。錫めっき後の評価基板について、硬化膜のテープピールによる剥がれの有無を評価した。評価基準は以下のとおりとした。
○：染み込み、剥がれが見られない。
×：錫めっき後に剥がれが見られる。
評価結果は下記表１に示されるとおりであった。
【０１０１】
＜金めっき耐性評価＞
化学研磨した基板した基板に代えてバフロール研磨した基板を用いた以外は、上記の錫めっき耐性評価で使用した評価基板と同様にして評価基板を作製した。
得られた評価基板の硬化膜形成面に所定の前処理（酸性脱脂＋ソフトエッチ＋硫酸処理）を行い、無電解ニッケルめっき浴および無電解金めっき浴を用いて、ニッケル３μｍ、金０．０３μｍの条件で金めっきを行い、硬化膜の剥がれの有無やめっき液の染み込みの有無を評価した後、テープピールにより硬化膜の剥がれの有無を評価した。評価基準は以下のとおりとした。
○：染み込み、剥がれが見られない。
×：金めっき後に剥がれが見られる。
評価結果は下記表１に示されるとおりであった。
【０１０２】
＜アウトガス評価＞
金めっき耐性評価に使用した評価基板と同じ評価基板を作製し、評価基板の硬化膜から粉末サンプルを採取し、加熱脱着装置（ＴＤＵ）にて、２６０℃の熱抽出温度でアウトガス成分を発生させ、液体窒素を用いて−６０℃で捕集した。捕集されたアウトガス成分はアジレント社製ガスクロマトグラフィー質量分析装置（６８９０Ｎ／５９７３Ｎ）で分離分析をして、ｎ−ドデカン換算で定量した。判定基準は以下のとおりとした。
〇：アウトガス成分が検出限界以上で確認できなかった（検出限界未満）。
×：アウトガス成分が検出限界以上で確認できた。
評価結果は下記表１に示されるとおりであった。
【０１０３】
＜解像性評価＞
バフロール研磨した基板（材質：ＦＲ−４、Ｌ／Ｓ＝１００μｍ／１００μｍの銅パターン配線有り)の研磨面に、各感光性樹脂組成物をスクリーン印刷により乾燥後の膜厚が２０〜２５μｍになるように全面塗布し、８０℃で３０分乾燥し、塗布膜を形成した。
続いて、塗布膜を形成した基板に、１００μｍφのネガパターンを介して高圧水銀灯（ショートアークランプ）搭載の露光装置を用いて基準露光量で露光を行った後、スプレー圧０．２Ｍｐａの１質量％Ｎａ２ＣＯ３水溶液で現像した。露光、現像処理後、ＵＶコンベア炉にて積算露光量１０００ｍＪ／ｃｍ２の条件で紫外線照射し、次いで１７０℃で６０分間加熱して硬化させることにより硬化被膜を形成し、評価基板とした。
上記のようにして作製した評価基板の開口１００μｍの開口部を、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）により５００倍にて観察し、以下の基準にて評価した。
〇：ハレーションが発生せず、良好な開口形状が得られる。
×：ハレーションが発生し、良好な開口形状が得られない。
評価結果は下記表１に示されるとおりであった。
【０１０４】
【表１】
2020166271.tif 000008
【０１０５】
表１からも明らかなように、光重合開始剤としてα−アミノアセトフェノン骨格を有する化合物と（メタ）アクリロイル基含有化合物とのマイケル付加反応物を含む感光性樹脂組成物（実施例１〜３）は、従来のα−アミノアセトフェノン系光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物（比較例１）に対して、２６０℃の熱抽出温度におけるアウトガスの発生が大幅に抑制されており、解像性に関しても、ハレーションが抑制され、良好な開口形状が得られているのがわかる。一方、実施例１〜３と比較例１とでは、錫めっき耐性や金めっき耐性に大きな違いはないことがわかる。