(57)【要約】【課題】予め定められた経路通りにテープを容易に設置することが出来るテープ貼付装置を提供すること。【解決手段】テープ貼付装置１は、テープ２００を送り出す送り出しユニット２０と、テープ２００を被加工物１００に貼着する貼着ユニット４０と、テープ２００を切断する切断ユニット５０と、テープ２００を巻き取るテープ巻き取りユニット６０と、テープ２００を搬送する複数の搬送ローラー７０とを備える、テープ貼付装置１は、テープ２００を設置する経路７２には、テープ２００の有無を検出する複数のセンサと、制御ユニット９０によってセンサからの信号に伴い点灯する複数のライトとを備える。制御ユニット９０は、テープ２００を設置する際に、センサからの信号に伴い次にテープを通すべき位置に設置されたライトを点灯させる。【選択図】図１
2020047899.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物の一方の面にテープを貼着するテープ貼付装置であって、
ロール状に巻回された該テープを送り出す送り出しユニットと、
該送り出しユニットから供給された該テープを該被加工物に貼着する貼着ユニットと、
該テープを被加工物に貼着した後に該テープの不要部分を切断する切断ユニットと、
該切断ユニットによって切断された後の該テープを巻き取るテープ巻き取りユニットと、
該送り出しユニットから該テープ巻き取りユニットの間に配置され、該テープを搬送する複数の搬送ローラーと、を備え、
該送り出しユニットから該テープ巻き取りユニットまで複数の該搬送ローラーを経由して該テープを設置する経路には、テープの有無を検出する複数のセンサと、制御ユニットによって該センサからの信号に伴い点灯する複数のライトと、を更に備え、
該制御ユニットは、
作業者が該送り出しユニットから該テープ巻き取りユニットまでテープを設置する際に、該センサからの信号に伴い作業者が次にテープを通すべき位置に設置された該ライトを点灯させることを特徴とするテープ貼付装置。
【請求項２】
該センサは、投光部と受光部を備え、
受光量の変化によりテープのずれを検出することを特徴とする請求項１に記載のテープ貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物の一方の面に保護テープを貼り付けるテープ貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハ等の被加工物に保護テープ等のテープを貼る場合、テープにしわが発生しないように、テープにテンションをかけて貼り付けることが必要であるため、送り出しユニットから巻き取りユニットまで複数のローラーからなる搬送ユニットを通して貼る貼付装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−８２６４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に示された貼付装置は、テープが巻回されたロール自体を交換する際や、テープが破断した場合、作業者がテープを各搬送ユニットに予め定められた順序及び経路で通す必要が生じる。この場合、特許文献１に示された貼付装置は、経由する搬送ユニットが多いために、テープを予め定められた順番及び経路で通す作業が繁雑であり、テープを通す順番及び経路を間違える可能性がある。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、予め定められた経路通りにテープを容易に設置することが出来るテープ貼付装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のテープ貼付装置は、被加工物の一方の面にテープを貼着するテープ貼付装置であって、ロール状に巻回された該テープを送り出す送り出しユニットと、該送り出しユニットから供給された該テープを該被加工物に貼着する貼着ユニットと、該テープを被加工物に貼着した後に該テープの不要部分を切断する切断ユニットと、該切断ユニットによって切断された後の該テープを巻き取るテープ巻き取りユニットと、該送り出しユニットから該テープ巻き取りユニットの間に配置され、該テープを搬送する複数の搬送ローラーと、を備え、該送り出しユニットから該テープ巻き取りユニットまで複数の該搬送ローラーを経由して該テープを設置する経路には、テープの有無を検出する複数のセンサと、制御ユニットによって該センサからの信号に伴い点灯する複数のライトと、を更に備え、該制御ユニットは、作業者が該送り出しユニットから該テープ巻き取りユニットまでテープを設置する際に、該センサからの信号に伴い作業者が次にテープを通すべき位置に設置された該ライトを点灯させることを特徴とする。
【０００７】
前記テープ貼付装置において、該センサは、投光部と受光部を備え、受光量の変化によりテープのずれを検出しても良い。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、予め定められた経路通りにテープを容易に設置することが出来るという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、実施形態１に係るテープ貼付装置の概略構成を模式的に示す側断面図である。
【図２】図２は、実施形態１に係るテープ貼付装置により被加工物に貼り付けられるテープの斜視図である。
【図３】図３は、図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図４】図４は、図１に示されたテープ貼付装置の第２ローラー対等を模式的に示す斜視図である。
【図５】図５は、図１に示されたテープ貼付装置の検出表示ユニットを模式的に示す側断面図である。
【図６】図６は、図１に示されたテープ貼付装置の貼着ユニットがテープを被加工物及び環状フレームに貼着する状態を模式的に示す側断面図である。
【図７】図７は、図１に示されたテープ貼付装置の切断ユニットがテープを切断する状態を模式的に示す側断面図である。
【図８】図８は、実施形態２に係るテープ貼付装置の検出表示ユニットを模式的に示す側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１１】
〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るテープ貼付装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係るテープ貼付装置の概略構成を模式的に示す側断面図である。図２は、実施形態１に係るテープ貼付装置により被加工物に貼り付けられるテープの斜視図である。図３は、図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。図４は、図１に示されたテープ貼付装置の第２ローラー対等を模式的に示す斜視図である。図５は、図１に示されたテープ貼付装置の検出表示ユニットを模式的に示す側断面図である。
【００１２】
実施形態１に係る図１に示すテープ貼付装置１は、被加工物１００の一方の面である裏面１０１にテープ２００を貼着する装置である。実施形態１において、テープ貼付装置１によりテープ２００が貼着される被加工物１００は、シリコン、サファイア、又はガリウムヒ素などを基板とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物１００は、基板の他方の面である表面１０２の複数の分割予定ラインによって区画された領域にそれぞれデバイスが形成されている。デバイスは、例えば、ＩＣ（Integrated  Circuit）、又はＬＳＩ（Large  Scale  Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge  Coupled  Device）、又はＣＭＯＳ（Complementary  Metal  Oxide  Semiconductor）等のイメージセンサである。なお、実施形態１において、テープ貼付装置１は、被加工物１００の表面１０２の裏側の裏面にテープ２００を貼着するが、本発明では、被加工物１００の表面１０２にテープ２００を貼着しても良い。
【００１３】
実施形態１に係るテープ貼付装置１により被加工物１００の裏面１０１に貼着されるテープ２００は、遮光性を有する合成樹脂から構成された基材層と、基材層上に積層されかつ被加工物１００に貼着する粘着層とを備えている。実施形態１において、テープ２００は、図２及び図３に示すように、長尺なシート状の部材として成形され、粘着層に剥離紙２０１が貼着された状態で、ロール状に巻回されている。実施形態１では、テープ２００は、剥離紙２０１が内周側に位置するように、ロール状に巻回されている。なお、剥離紙２０１は、テープ２００の粘着層を保護するものである。実施形態１において、テープ２００は、テープ貼付装置１により端部から順に剥離紙２０１が剥がされて、被加工物１００の裏面１０１と被加工物１００よりも内径が大きな環状フレーム１０３に貼着されるとともに、環状フレーム１０３の内縁と外縁との間で切断させて、被加工物１００及び環状フレーム１０３に貼着される。
【００１４】
被加工物１００にテープ２００を貼着するテープ貼付装置１は、テープ２００を被加工物１００の裏面１０１と環状フレーム１０３とに貼着し、テープ２００を環状フレーム１０３の内縁と外縁との間で切断する装置である。テープ貼付装置１は、図１に示すように、装置基台２と、チャックテーブル１０と、送り出しユニット２０と、剥離紙巻き取りユニット３０と、貼着ユニット４０と、切断ユニット５０と、テープ巻き取りユニット６０と、複数の搬送ローラー７０と、制御ユニット９０とを備える。
【００１５】
装置基台２は、テープ貼付装置１の各部を支持する。実施形態１において、装置基台２の上面は、水平方向と平行なＸ軸方向と、水平方向と平行でかつＸ軸方向と直交するＹ軸方向との双方と平行に配置されている。
【００１６】
チャックテーブル１０は、装置基台２の上面のＸ軸方向の中央に設置され、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行であるとともに、被加工物１００及び環状フレーム１０３が載置される保持面１１を有している。チャックテーブル１０は、保持面１１に載置された被加工物１００及び環状フレーム１０３を図示しない吸引源により吸引保持する。また、チャックテーブル１０は、図示しないＺ軸移動機構によりＸ軸方向とＹ軸方向との双方に直交するＺ軸方向に沿って昇降自在に設けられている。
【００１７】
送り出しユニット２０は、ロール状に巻回されたテープ２００を端部から順に装置基台２に設置されたチャックテーブル１０の保持面１１上に送り出すものである。送り出しユニット２０は、実施形態１では、装置基台２のＸ軸方向の一端部上に配置されている。送り出しユニット２０は、軸心がＹ軸方向と平行な円柱状に形成され、軸心回りに回転自在に設けられている。送り出しユニット２０は、外周面上にロール状に巻回されたテープ２００が巻き付けられる状態で、テープ２００がセットされる。
【００１８】
剥離紙巻き取りユニット３０は、送り出しユニット２０から送り出されたテープ２００から剥がされた剥離紙２０１を巻き取るものである。剥離紙巻き取りユニット３０は、実施形態１では、送り出しユニット２０の下方に配置されている。剥離紙巻き取りユニット３０は、軸心がＹ軸方向と平行な円柱状に形成され、図示しないモータなどの駆動装置により軸心回りに回転されることで、外周面上にテープ２００から剥がされた剥離紙２０１を巻き取る。
【００１９】
貼着ユニット４０は、送り出しユニット２０からチャックテーブル１０の保持面１１上に供給されたテープ２００をチャックテーブル１０の保持面１１に吸引保持された被加工物１００及び環状フレーム１０３に貼着するものである。貼着ユニット４０は、チャックテーブル１０の保持面１１の上方に配置されている。貼着ユニット４０は、軸心がＹ軸方向と平行な円柱状に形成された貼着ローラー４１と、貼着ローラー４１を軸心回りに回転自在に支持すると共に図示しない移動機構によりＸ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたローラー支持部材４２とを備える。貼着ユニット４０は、移動機構により下降した状態でＸ軸方向に移動することで、Ｚ軸移動機構により上昇されたチャックテーブル１０に保持された環状フレーム１０３と被加工物１００とにテープ２００を貼着する。
【００２０】
切断ユニット５０は、テープ２００を被加工物１００及び環状フレーム１０３に貼着した後にテープ２００の不要部分を切断するものである。実施形態１において、テープ２００の不要部分は、環状フレーム１０３に貼着されたテープ２００の環状フレーム１０３の内縁と外縁との間よりも外周側の部分である。切断ユニット５０は、チャックテーブル１０の保持面１１の上方に配置され、図示しないＺ軸移動機構により貼着ユニット４０と独立してＺ軸方向に昇降自在に設けられている。
【００２１】
実施形態１において、切断ユニット５０は、チャックテーブル１０の保持面１１の中心上に配置されかつ図示しないモータ等の駆動装置により軸心回りに回転される回転軸５１と、回転軸５１からチャックテーブル１０の保持面１１と平行に外縁に向かって延びたアーム５２と、アーム５２の先端に取り付けられかつアーム５２から下方に向かって延びてテープ２００を環状フレーム１０３の内縁と外縁との間で切断可能なカッター５３とを備える。なお、回転軸５１の軸心は、Ｚ軸方向と平行である。
【００２２】
切断ユニット５０は、Ｚ軸移動機構により下降した状態で回転軸５１が軸心回りに回転されることで、Ｚ軸移動機構により上昇されたチャックテーブル１０に保持された環状フレーム１０３の内縁と外縁との間でテープ２００にカッター５３が切り込んで、テープ２００の被加工物１００及び環状フレーム１０３に貼着された部分を不要部分から切断する。なお、実施形態１では、テープ貼付装置１は、切断ユニット５０のカッター５３を回転軸５１の軸心回りに回転させて、テープ２００を切断するが、本発明では、カッター５３を環状フレーム１０３の内縁と外縁との間でテープ２００に切り込ませた状態で、チャックテーブル１０の保持面１１をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転させて、テープ２００を切断しても良い。
【００２３】
テープ巻き取りユニット６０は、切断ユニット５０によって被加工物１００及び環状フレーム１０３に貼着された部分が切断された後のテープ２００の不要部分を巻き取るものである。テープ巻き取りユニット６０は、実施形態１では、装置基台２のＸ軸方向の他端部上に配置されている。テープ巻き取りユニット６０は、軸心がＹ軸方向と平行な円柱状に形成され、図示しないモータなどの駆動装置により軸心回りに回転されることで、外周面上にテープ２００を巻き取る。
【００２４】
複数の搬送ローラー７０は、送り出しユニット２０からテープ巻き取りユニット６０の間に配置され、テープ２００を送り出しユニット２０からテープ巻き取りユニット６０に搬送するとともに、テープ２００に弛みが生じることを抑制するためにテープ２００にテンションを付与するものである。複数の搬送ローラー７０は、軸心がＹ軸方向と平行な円柱状に形成され、かつ軸心回りに回転自在に設けられている。
【００２５】
また、実施形態１において、搬送ローラー７０は、一対の搬送ローラー７０でローラー対７１を構成し、テープ貼付装置１は、ローラー対を複数（実施形態では、３つ）備えている。なお、以下、本明細書は、これら３つのローラー対７１を送り出しユニット２０側から順に第１ローラー対７１（以下、符号７１−１と記す）、第２ローラー対７２（以下、符号７１−２と記す）、第３ローラー対７１（以下、符号７１−３と記す）と示す。
【００２６】
第１ローラー対７１−１を構成する搬送ローラー７０は、送り出しユニット２０とチャックテーブル１０との間でかつ送り出しユニット２０よりも下方に配置されている。第１ローラー対を構成する搬送ローラー７０は、互いに外周面の間に送り出しユニット２０から送り出された剥離紙２０１が貼着された状態のテープ２００が通されて、テープ２００から剥離紙２０１を剥がす。第１ローラー対７１−１を構成する搬送ローラー７０は、テープ２００から剥がした剥離紙２０１を剥離紙巻き取りユニット３０に送り出し、剥離紙２０１が剥がされたテープ２００を粘着層を下方に向けた状態で第２ローラー対７１−２に向けて送り出す。
【００２７】
第２ローラー対７１−２を構成する搬送ローラー７０は、第１ローラー対７１−１とチャックテーブル１０との間でかつ第１ローラー対７１−１よりも下方に配置されている。第２ローラー対を構成する搬送ローラー７０は、図４に示すように、互いに外周面の間に第１ローラー対７１−１から送り出されたテープ２００が通されて、テープ２００をチャックテーブル１０の保持面１１と平行にＸ軸方向に沿って保持面１１上に送り出す。
【００２８】
第３ローラー対７１−３を構成する搬送ローラー７０は、チャックテーブル１０とテープ巻き取りユニット６０との間でかつテープ巻き取りユニット６０よりも下方に配置されている。第３ローラー対を構成する搬送ローラー７０は、互いに外周面の間に第３ローラー対７１−３から送り出されたテープ２００が通されて、テープ２００をテープ巻き取りユニット６０に向けて送り出す。
【００２９】
このように、テープ貼付装置１は、第１ローラー対７１−１、第２ローラー対７１−２、及び第３ローラー対７１−３を備えて、送り出しユニット２０からテープ巻き取りユニット６０まで複数の搬送ローラー７０を経由して、テープ２００を設置する経路７２が構成されている。図４は、第１ローラー対７１−１、第２ローラー対７１−２及び第３ローラー対７１−３のうちの第２ローラー対７１−２を代表して示しているが、第１ローラー対７１−１及び第３ローラー対７１−３は、第２ローラー対７１−２と構成が同等である。各ローラー対７１−１，７１−２，７１−３を構成する搬送ローラー７０は、図４に示すように、装置基台２により支持された円柱状の支持軸７３と、支持軸７３の外周面上を回転自在に設けられた円筒状の回転ローラー７４とを備えている。
【００３０】
また、テープ貼付装置１は、経路７２には、複数の検出表示ユニット８０を更に備えている。検出表示ユニット８０は、テープ２００を検出するとともに、テープ２００の検出結果を制御ユニット９０からの指示通りに表示するものである。検出表示ユニット８０は、前述した経路７２のテープ２００の移動方向に沿って間隔をあけて設置されている。実施形態１では、検出表示ユニット８０は、送り出しユニット２０と第１ローラー対７１−１との間でかつ第１ローラー対７１−１寄りの位置、第１ローラー対７１−１と剥離紙巻き取りユニット３０との間でかつ第１ローラー対７１−１寄りの位置、第１ローラー対７１−１と第２ローラー対７１−２との間、第２ローラー対７１−２と第３ローラー対７１−３との間でかつ第２ローラー対７１−２寄りの位置、第２ローラー対７１−２と第３ローラー対７１−３との間でかつ第３ローラー対７１−３寄りの位置、第３ローラー対７１−３とテープ巻き取りユニット６０との間でかつ第３ローラー対７１−３寄りの位置に設置されている。
【００３１】
各検出表示ユニット８０は、図４に示すように、搬送ローラー７０の支持軸７３に取り付けられた支持部材７５の先端に設置されたユニット本体８１を備える。実施形態１において、ユニット本体８１は、図５に示すように、テープ２００の断面方向からみて、一対の平行部８２と、平行部８２の一端部同士を連結した連結部８３とを備えて、コ字型に形成されている。ユニット本体８１は、テープ２００が経路７２の正規の位置に通されると、図５に示すように、一対の平行部８２間にテープ２００を位置付ける。
【００３２】
また、検出表示ユニット８０は、図５に示すように、ユニット本体８１に設置されたセンサ８４と、ユニット本体８１に設置されたライト８５とを備えている。センサ８４は、ユニット本体８１の平行部８２間即ち経路７２の正規の位置に対するテープ２００の有無を検出するものである。実施形態１において、センサ８４は、一対の平行部８２のうちの一方に設けられかつ他方に向けて光３００を照射する投光部であるの発光素子８６と、一対の平行部８２のうちの他方に設けられかつ発光素子８６から照射された光３００を受光する受光部である受光素子８７とを備える。なお、発光素子８６が照射した光３００は、経路７２の正規の位置のテープ２００により殆ど遮られ、受光素子８７に受光されることが規制される。センサ８４の受光素子８７は、発光素子８６から照射された光３００の受光量を示す信号（具体的には、光量に比例した電圧値）を制御ユニット９０に出力することで、経路７２の正規の位置のテープ２００の有無を検出する。
【００３３】
ライト８５は、ユニット本体８１の外表面上に設置され、制御ユニット９０によってセンサ８４の受光素子８７からの光３００の受光量を示す信号に伴い点灯するものである。実施形態１において、ライト８５は、周知のＬＥＤ（Light  Emitting  Diode）を含む所謂ＬＥＤランプである。ライト８５は、制御ユニット９０からの命令通りに、点灯、消灯、点滅することが可能である。こうして、テープ貼付装置１は、センサ８４とライト８５とを含む１組の検出表示ユニット８０をテープ２００の経路７２に沿って間隔をあけて複数配置している。
【００３４】
なお、以下、本明細書は、送り出しユニット２０と第１ローラー対７１−１との間に設置された検出表示ユニット８０を符号８０−１で示し、第１ローラー対７１−１と剥離紙巻き取りユニット３０との間に設置された検出表示ユニット８０を符号８０−２で示し、第１ローラー対７１−１と第２ローラー対７１−２との間に設置された検出表示ユニット８０を符号８０−３で示し、第２ローラー対７１−２と第３ローラー対７１−３との間でかつ第２ローラー対７１−２寄りの位置に設置された検出表示ユニット８０を符号８０−４で示し、第２ローラー対７１−２と第３ローラー対７１−３との間でかつ第３ローラー対７１−３寄りの位置に設置された検出表示ユニット８０を符号８０−５で示し、第３ローラー対７１−３とテープ巻き取りユニット６０との間に設置された検出表示ユニット８０を符号８０−６で示し、検出表示ユニット８０同士を区別しない場合には、符号８０で示す。
【００３５】
制御ユニット９０は、テープ貼付装置１の上述した構成要素をそれぞれ制御して、被加工物１００及び環状フレーム１０３に対するテープ２００の貼付動作をテープ貼付装置１に実施させるものである。なお、制御ユニット３６は、コンピュータである。制御ユニット３６は、ＣＰＵ（central  processing  unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read  only  memory）又はＲＡＭ（random  access  memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御ユニット３６の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、テープ貼付装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介してテープ貼付装置１の上述した構成要素に出力する。
【００３６】
また、制御ユニット９０は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット９１、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニット９２及びオペレータに音、光の少なくとも一方を用いて報知する報知ユニット９３と接続されている。入力ユニット９２は、表示ユニット９１に設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。
【００３７】
また、制御ユニット９０は、送り出しユニット２０のテープ２００の交換後等の作業員であるオペレータが送り出しユニット２０からテープ巻き取りユニット６０までテープ２００を前述した経路７２に沿って設置するテープセットタイミングにおいて、センサ８４の受光素子８７からの光３００の受光量を示す信号に伴いオペレータが次にテープ２００を通すべき位置に設置された検出表示ユニット８０のライト８５を順に点灯させる。なお、テープセットタイミングは、テープ貼付装置１が、オペレータにより前述した経路７２に沿って、送り出しユニット２０、各ローラー対７１−１，７１−２，７１−３の搬送ローラー７０及びテープ巻き取りユニット６０の順にテープ２００が設置されるタイミングである。即ち、制御ユニット９０は、テープ２００が平行部８２間に通される順番に通りに検出表示ユニット８０のライト８５を順に点灯させる。
【００３８】
具体的には、制御ユニット９０は、テープ２００を経路７２に設置する際の各ローラー対７１−１，７１−２，７１−３及び各巻き取りユニット３０，６０のテープ２００を通す順番に応じた情報、即ち、複数の検出表示ユニット８０のユニット本体８１の平行部８２間に通される順番を予め記憶している。制御ユニット９０は、テープセットタイミングにおいて、最初にテープ２００が平行部８２間に通される検出表示ユニット８０のライト８５を点灯する。制御ユニット９０は、ライト８５が点灯した検出表示ユニット８０の受光素子８７が受光した受光量を示す信号に基づいて、ライト８５が点灯した検出表示ユニット８０のユニット本体８１の平行部８２間の正規の位置にテープ２００が通されたと判定すると、平行部８２間にテープ２００が通された検出表示ユニット８０のライト８５を消灯し、次に、平行部８２間にテープ２００が通される検出表示ユニット８０のライト８５を点灯させる。
【００３９】
制御ユニット９０は、最後にテープ２００が平行部８２間に通される検出表示ユニット８０の平行部８２間にテープ２００が通されるまで、ライト８５の点灯、テープ２００の検出、ライト８５の消灯、次の検出表示ユニット８０のライト８５の点灯を繰り返す。なお、制御ユニット９０は、受光素子８７が受光した受光量を示す信号が予め定められた閾値を下回ると、図５に示すように、平行部８２間の正規の位置にテープ２００が通されたと判定する。
【００４０】
次に、本明細書は、テープセットタイミングにおけるテープ２００の経路７２への設置方法を説明する。テープセットタイミングでは、テープ貼付装置１の送り出しユニット２０にロール状に巻回されかつ剥離紙２０１が貼着されたテープ２００がセットされ、制御ユニット９０がオペレータからのテープ２００の設置開始指示の入力を受け付けると、テープ貼付装置１がテープ２００の設置動作を開始する。テープ２００の設置動作では、制御ユニット９０が、検出表示ユニット８０−１のライト８５を点灯させる。オペレータは、送り出しユニット２０にセットされたテープ２００の端部を引き出して、ライト８５が点灯した検出表示ユニット８０−１の平行部８２間に通した後、第１ローラー対７１−１の搬送ローラー７０間にテープ２００を通す。制御ユニット９０は、検出表示ユニット８０−１の平行部８２間の正規の位置にテープ２００が設置されたと判定すると、検出表示ユニット８０−１のライト８５を消灯し、検出表示ユニット８０−２のライト８５を点灯させる。
【００４１】
オペレータは、第１ローラー対７１−１の搬送ローラー７０間に通されたテープ２００の端部において、剥離紙２０１を剥がし、剥がした剥離紙２０１をライト８５が点灯した検出表示ユニット８０−２の平行部８２間に通した後、剥離紙巻き取りユニット３０にセットする。制御ユニット９０は、検出表示ユニット８０−２の平行部８２間の正規の位置にテープ２００が設置されたと判定すると、検出表示ユニット８０−２のライト８５を消灯し、検出表示ユニット８０−３のライト８５を点灯させる。
【００４２】
オペレータは、第１ローラー対７１−１の搬送ローラー７０間に通されかつ剥離紙２０１が剥がされたテープ２００をライト８５が点灯した検出表示ユニット８０−３の平行部８２間に通した後、第２ローラー対７１−２の搬送ローラー７０間にテープ２００を通す。制御ユニット９０は、検出表示ユニット８０−３の平行部８２間の正規の位置にテープ２００が設置されたと判定すると、検出表示ユニット８０−３のライト８５を消灯し、検出表示ユニット８０−４のライト８５を点灯させる。
【００４３】
オペレータは、第２ローラー対７１−２の搬送ローラー７０間に通されたテープ２００をライト８５が点灯した検出表示ユニット８０−４の平行部８２間に通す。制御ユニット９０は、検出表示ユニット８０−４の平行部８２間の正規の位置にテープ２００が設置されたと判定すると、検出表示ユニット８０−４のライト８５を消灯し、検出表示ユニット８０−５のライト８５を点灯させる。
【００４４】
オペレータは、検出表示ユニット８０−４の平行部８２間の正規の位置に通されたテープ２００をライト８５が点灯した検出表示ユニット８０−５の平行部８２間に通して、第３ローラー対７１−３の搬送ローラー７０間に通す。制御ユニット９０は、検出表示ユニット８０−５の平行部８２間の正規の位置にテープ２００が設置されたと判定すると、検出表示ユニット８０−５のライト８５を消灯し、検出表示ユニット８０−６のライト８５を点灯させる。
【００４５】
オペレータは、第３ローラー対７１−３の搬送ローラー７０間に通されたテープ２００をライト８５が点灯した検出表示ユニット８０−６の平行部８２間に通して、テープ巻き取りユニット６０にセットする。制御ユニット９０は、検出表示ユニット８０−６の平行部８２間の正規の位置にテープ２００が設置されたと判定すると、検出表示ユニット８０−６のライト８５を消灯して、テープ２００の設置動作を終了する。
【００４６】
次に、本明細書は、テープ貼付装置１のテープ２００を貼り付けるテープ２００の貼付動作を説明する。図６は、図１に示されたテープ貼付装置の貼着ユニットがテープを被加工物及び環状フレームに貼着する状態を模式的に示す側断面図である。図７は、図１に示されたテープ貼付装置の切断ユニットがテープを切断する状態を模式的に示す側断面図である。テープ２００の貼付動作では、まず、オペレータ等が下降した状態のチャックテーブル１０の保持面１１上に被加工物１００及び環状フレーム１０３を載置し、オペレータが制御ユニット９０に加工内容情報を登録し、制御ユニット９０がオペレータからの加工開始指示の入力を受け付けると、テープ貼付装置１が貼付動作を開始する。
【００４７】
テープ２００の貼付動作では、テープ貼付装置１は、図６に示すように、チャックテーブル１０を上昇させ、かつ貼着ユニット４０を下降させるとともにＸ軸方向に移動させて、テープ２００を被加工物１００及び環状フレーム１０３に貼着する。テープ貼付装置１は、チャックテーブル１０を上昇させた状態で、貼着ユニット４０を上昇させ、図７に示すように、切断ユニット５０を下降させて、カッター５３の先端を環状フレーム１０３の内縁と外縁との間でテープ２００に切り込ませる。テープ貼付装置１は、切断ユニット５０の回転軸５１を軸心回りに少なくとも１回転させて、全周に亘って環状フレーム１０３の内縁と外縁との間でテープ２００を切断する。テープ貼付装置１は、切断ユニット５０を上昇させてからチャックテーブル１０の保持面１１の吸引保持を解除して、テープ巻き取りユニット６０で１枚の被加工物１００及び環状フレーム１０３に貼着する分のテープを巻き取って、テープ２００を被加工物１００及び環状フレーム１０３の１枚分移動させた後、テープ２００の貼付動作を終了する。
【００４８】
実施形態１に係るテープ貼付装置１は、テープ２００が平行部８２間に通される順番に通りに検出表示ユニット８０のライト８５が点灯されるので、点灯したライト８５を頼りに容易にテープ２００を設置でき、予め定められた経路７２通りにテープ２００を容易に設置することが出来るという効果を奏する。
【００４９】
〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係るテープ貼付装置を図面に基づいて説明する。図８は、実施形態２に係るテープ貼付装置の検出表示ユニットを模式的に示す側断面図である。なお、図８は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【００５０】
実施形態２に係るテープ貼付装置１は、制御ユニット９０が、テープ２００の設置動作とテープ２００の貼付動作との双方において、受光素子８７が受光した光３００の受光量の変化である受光量を示す信号の変化により、テープ２００の検出表示ユニット８０即ち正規の経路７２からのずれを検出すること以外、実施形態１と同じある。具体的には、制御ユニット９０は、テープ２００の設置動作とテープ２００の貼付動作との双方において、いずれか１つの検出表示ユニット８０の受光素子８７が受光した光３００の受光量を示す信号が前述した閾値よりも大きい第２閾値を超えると、図８に示すように、テープ２００が経路７２に対して斜めになるなどして、テープ２００が平行部８２間の正規の位置から脱落する可能性が高いと判定して、報知ユニット９３を動作させて、オペレータに知らせる。
【００５１】
また、実施形態２では、制御ユニット９０は、報知ユニット９３を動作させると同時に、平行部８２間の正規の位置から脱落する可能性が高いと判定された検出表示ユニット８０のライト８５を点滅させても良い。また、実施形態２では、制御ユニット９０は、報知ユニット９３を動作させると同時に、テープ貼付装置１のテープ２００の設置動作及びテープ２００の貼付動作を停止させても良い。
【００５２】
実施形態２に係るテープ貼付装置１は、実施形態１と同様に、テープ２００が平行部８２間に通される順番に通りに検出表示ユニット８０のライト８５が点灯されるので、点灯したライト８５を頼りに容易にテープ２００を設置でき、予め定められた経路７２通りにテープ２００を容易に設置することが出来るという効果を奏する。
【００５３】
また、実施形態２に係るテープ貼付装置１は、テープ２００が斜めになるなどして経路７２から脱落する可能性が高いと判定した場合に、報知ユニット９３で報知するので、テープ２００が脱落する可能性が高い場合も検出でき、テープ２００の設置位置を修正することが出来る。
【００５４】
なお、実施形態２では、制御ユニット９０が、テープ２００の設置動作とテープ２００の貼付動作との双方において、受光素子８７が受光した光３００の受光量を示す信号の変化により、テープ２００の検出表示ユニット８０即ち正規の経路７２からのずれを検出している。しかしながら、本発明では、制御ユニット９０が、テープ２００の設置動作とテープ２００の貼付動作との少なくとも一方において、受光素子８７が受光した光３００の受光量を示す信号の変化により、テープ２００の検出表示ユニット８０即ち正規の経路７２からのずれを検出しても良い。
【００５５】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。上記実施形態では、発光素子８６と受光素子８７を備えるセンサ８４を用いて、ユニット本体８１に対するテープ２００の位置を検出したが、本発明では、センサとして、背圧センサ又は接触式センサを用いて、ユニット本体８１に対するテープ２００の位置を検出しても良い。
【符号の説明】
【００５６】
１  テープ貼付装置
２０  送り出しユニット
４０  貼着ユニット
５０  切断ユニット
６０  テープ巻き取りユニット
７０  搬送ローラー
７２  経路
８４  センサ
８５  ライト
８６  発光素子（投光部）
８７  受光素子（受光部）
９０  制御ユニット
１００  被加工物
１０１  裏面（一方の面）
２００  テープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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