(57)【要約】【課題】ＤＣバイアス特性の極性を改善することができるキャパシタユニットを提供する。【解決手段】誘電体３と、誘電体３に形成された第１電極４と、誘電体３に形成された第２電極５とを有する一対又は複数対のキャパシタ２Ａ，２Ｂを備えたキャパシタユニット１Ａにおいて、互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５との間には、それぞれ逆方向の電圧が印加される。このため、互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２ＢのＤＣバイアス特性の極性が互いに相殺され、ＤＣバイアス特性の極性を改善することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体と、
前記誘電体に形成された第１電極と、
前記誘電体に形成された第２電極と、
を有する一対又は複数対のキャパシタを備え、
互いに対をなす２つの前記キャパシタのそれぞれの前記第１電極と前記第２電極との間には、それぞれ逆方向の電圧が印加される、キャパシタユニット。
【請求項２】
前記キャパシタの中で互いに対をなす２つの前記キャパシタのそれぞれの前記第１電極と前記第２電極とが、それぞれ並列となるように接続されている、請求項１に記載のキャパシタユニット。
【請求項３】
複数対の前記キャパシタを備え、
互いに並列となるように接続された複数対の前記キャパシタのそれぞれの前記第１電極と前記第２電極とが、それぞれ並列となるように接続されている、請求項２に記載のキャパシタユニット。
【請求項４】
前記キャパシタの中で互いに対をなす２つの前記キャパシタのそれぞれの前記第１電極と前記第２電極とが、それぞれ直列となるように接続されている、請求項１に記載のキャパシタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャパシタユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器内に許容される電子部品の実装スペースは、電子機器の小型化と共に縮小の傾向にある。キャパシタ（我が国では多くの場合「コンデンサ」と称する。）は、多くの電子機器に搭載される電子部品であるところ、やはり小型化や薄型化が必須である。薄膜キャパシタは、従来の厚膜法による積層セラミックキャパシタと比べ、誘電体が形成される基材や、誘電体層や、絶縁膜が薄く、より薄型化・低背化が可能である。そのため、薄膜キャパシタは低背かつ小スペースへ実装される電子部品として期待されている。さらに、電子部品基板に埋め込むといったキャパシタも近年になり開発されてきている。
【０００３】
薄膜キャパシタは従来からある積層セラミックキャパシタと比較して電気容量が小さいものが多かった。電気容量の向上の方法の一つとして、誘電体層の膜厚を薄くする方法があるが、誘電体層の膜厚を薄くすると、実際の使用時に印加される直流電圧が変わらなくても、直流電界強度は大きくなるため、ＢａＴｉＯ３などの強誘電体を用いる場合、直流電圧による比誘電率の変化が大きく、実効的な静電容量が大きく変化する（以後、ＤＣバイアス特性と記載する）という問題がある。この問題を解決するための方法として、例えば、特許文献１には、誘電体層に、Ｋ、Ｓｒ、ＭｇおよびＮｂを含むタングステンブロンズ型複合酸化物を用いることにより、直流電圧による誘電率の低下を抑制することが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００‐４９０４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年、キャパシタのＤＣバイアス特性に極性があることが問題になっている。ＤＣバイアス特性の極性は、例えば、キャパシタの製造プロセスに起因する結晶の偏りや電極と誘電体層との界面状態などに起因して生じるものである。ＤＣバイアス特性の極性により実装時の動作が不安定になる問題及び印加電圧方向を指定する必要があるためコスト・手間がかかってしまうといった問題を抱えている。
【０００６】
本発明は、上述する課題を解決すべくなされたものであり、ＤＣバイアス特性の極性を改善することができるキャパシタユニットを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、誘電体と、誘電体に形成された第１電極と、誘電体に形成された第２電極とを有する一対又は複数対のキャパシタを備え、互いに対をなす２つのキャパシタのそれぞれの第１電極と第２電極との間には、それぞれ逆方向の電圧が印加されるキャパシタユニットである。
【０００８】
この構成によれば、誘電体と、誘電体に形成された第１電極と、誘電体に形成された第２電極とを有する一対又は複数対のキャパシタを備えたキャパシタユニットにおいて、互いに対をなす２つのキャパシタのそれぞれの第１電極と第２電極との間には、それぞれ逆方向の電圧が印加される。このため、互いに対をなす２つのキャパシタのＤＣバイアス特性の極性が互いに相殺され、ＤＣバイアス特性の極性を改善することができる。
【０００９】
この場合、キャパシタの中で一部の互いに対をなす２つのキャパシタのそれぞれの第１電極と第２電極とが、それぞれ並列となるように接続されていてもよい。
【００１０】
この構成によれば、キャパシタの中で互いに対をなす２つのキャパシタのそれぞれの第１電極と第２電極とが、それぞれ並列となるように接続されているため、容量を増大させることができる。
【００１１】
この場合、複数対のキャパシタを備え、互いに並列となるように接続された複数対のキャパシタのそれぞれの第１電極と第２電極とが、それぞれ並列となるように接続されていてもよい。
【００１２】
この構成によれば、複数対のキャパシタを備え、互いに並列となるように接続された複数対のキャパシタのそれぞれの第１電極と第２電極とが、それぞれ並列となるように接続されているため、容量をさらに増大させることができる。
【００１３】
また、キャパシタの中で互いに対をなす２つのキャパシタのそれぞれの第１電極と第２電極とが、それぞれ直列となるように接続されていてもよい。
【００１４】
この構成によれば、キャパシタの中で互いに対をなす２つのキャパシタのそれぞれの第１電極と第２電極とが、それぞれ直列となるように接続されているため、信頼性を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のキャパシタユニットによれば、ＤＣバイアス特性の極性を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】（Ａ）は第１実施形態に係るキャパシタユニットのキャパシタの接続の概念を示す図であり、（Ｂ）は（Ａ）の実際の構造の概略を示す図である。
【図２】（Ａ）はキャパシタに直流電圧が印加されている状態を示す図であり、（Ｂ）は（Ａ）におけるＤＣバイアス特性を示すグラフであり、（Ｃ）は（Ａ）とは逆方向にキャパシタに直流電圧が印加されている状態を示す図であり、（Ｄ）は（Ｃ）におけるＤＣバイアス特性を示すグラフである。
【図３】第１実施形態のキャパシタユニットにおいてＤＣバイアス特性の極性を改善する概念を示す図である。
【図４】（Ａ）は第２実施形態に係るキャパシタユニットのキャパシタの接続の概念を示す図であり、（Ｂ）は（Ａ）の実際の構造の概略を示す図である。
【図５】（Ａ）は第３実施形態に係るキャパシタユニットのキャパシタの接続の概念を示す図であり、（Ｂ）は（Ａ）の実際の構造の概略を示す図である。
【図６】（Ａ）は第４実施形態に係るキャパシタユニットのキャパシタの接続の概念を示す図であり、（Ｂ）は（Ａ）の実際の構造の概略を示す図である。
【図７】（Ａ）は第５実施形態に係るキャパシタユニットのキャパシタの接続の概念を示す図であり、（Ｂ）は（Ａ）の実際の構造の概略を示す図である。
【図８】（Ａ）は第６実施形態に係るキャパシタユニットのキャパシタの接続の概念を示す図であり、（Ｂ）は（Ａ）の実際の構造の概略を示す図である。
【図９】（Ａ）は第７実施形態に係るキャパシタユニットのキャパシタの接続の概念を示す図であり、（Ｂ）は（Ａ）の実際の構造の概略を示す図である。
【図１０】実験例における第７実施形態に係るキャパシタユニットのＤＣバイアス特性を示すグラフである。
【図１１】実験例における第３実施形態に係るキャパシタユニットのＤＣバイアス特性を示すグラフである。
【図１２】（Ａ）は比較例におけるキャパシタユニットのキャパシタの接続の概念を示す図であり、（Ｂ）は（Ａ）におけるＤＣバイアス特性を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示すように、本実施形態のキャパシタユニット１Ａは、誘電体３と、誘電体に形成された第１電極４と、誘電体３に形成された第２電極５とを有する一対又は複数対のキャパシタ２Ａ，２Ｂを備える。本実施形態では、キャパシタユニット１Ａは、一対のキャパシタ２Ａ及びキャパシタ２Ｂを備える。キャパシタ２Ａ，２Ｂは、薄膜キャパシタである。誘電体３は、例えば、ＡＢＯ３で表されるペロブスカイト結晶構造であって、例えば、Ａ元素はＢａ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｐｂ等の少なくとも一つであり、Ｂ元素は、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｓｎ等の少なくとも一つである誘電体を含む薄膜層である。第１電極４及び第２電極５は、例えば、Ｐｔ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ等の金属、又は、それらの合金等を含む金属層である。
【００１８】
キャパシタ２Ａ，２Ｂの構造及び組成は、同一であることが好ましい。キャパシタ２Ａ，２Ｂの構造及び組成が同一であることにより、ＤＣバイアス特性の極性が無くなり易い。キャパシタ２Ａ，２Ｂの構造及び組成は必ずしも同一でなくてもよいが、本実施形態ではキャパシタ２Ａ，２Ｂの構造及び組成は同一である。本実施形態では、説明の便宜のために、互いに対をなすキャパシタ２Ａとキャパシタ２Ｂとを区別して呼称する。しかし、後述するように、キャパシタ２Ａとキャパシタ２Ｂとにおいて、第１電極４から第２電極５の方向に直流電圧が印加されたときのＤＣバイアス特性は同一である。また、キャパシタ２Ａとキャパシタ２Ｂとにおいて、第２電極５から第１電極４の方向に直流電圧が印加されたときのＤＣバイアス特性は同一である。
【００１９】
図１（Ａ）に示すように、本実施形態では、キャパシタ２Ａ，２Ｂの中で互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが、それぞれ並列となるように接続されている。互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが反対向きになるように並列に接続されている。そのため、互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５との間には、それぞれ逆方向の電圧が印加される。
【００２０】
本実施形態のキャパシタユニット１Ａでは、例えば、キャパシタ２Ａに第１電極４から第２電極５の方向に直流電圧が印加されると、キャパシタ２Ｂには第２電極５から第１電極４の方向に直流電圧が印加される。なお、以下の説明では、原則として、キャパシタ２Ａには、第１電極４から第２電極５の方向に直流電圧が印加され、キャパシタ２Ｂには第２電極５から第１電極４の方向に直流電圧が印加されるものとする。
【００２１】
図１（Ｂ）に示すように、キャパシタユニット１Ａの実際の構造では、一層の誘電体３が、キャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの誘電体３を兼ねている。キャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４及び第２電極５は、一層の誘電体３の表裏面にそれぞれ分割されつつ形成されている。しかし、誘電体３にビア等を介して形成された配線により、互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５との間には、それぞれ逆方向の電圧が印加される。
【００２２】
本実施形態では、誘電体３と、誘電体３に形成された第１電極４と、誘電体３に形成された第２電極５とを有する一対又は複数対のキャパシタ２Ａ，２Ｂを備えたキャパシタユニット１Ａにおいて、互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５との間には、それぞれ逆方向の電圧が印加される。このため、互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２ＢのＤＣバイアス特性の極性が互いに相殺され、ＤＣバイアス特性の極性を改善することができる。
【００２３】
図２（Ａ）に示すように、キャパシタ２Ａに第１電極４から第２電極５の方向に直流電圧が印加されると、図２（Ｂ）に示すようなＤＣバイアス特性の極性が生じる。一方、図２（Ｃ）に示すように、キャパシタ２Ｂに第２電極５から第１電極４の方向に直流電圧が印加されると、図２（Ｄ）に示すような図２（Ｃ）とは逆のＤＣバイアス特性の極性が生じる。そこで、図３に示すように、本実施形態では、互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５との間には、それぞれ逆方向の電圧が印加されることとした。これにより、互いに対をなす２つのキャパシタのＤＣバイアス特性の極性が互いに相殺され、ＤＣバイアス特性の極性を改善することができる。
【００２４】
また、本実施形態では、キャパシタ２Ａ，２Ｂの中で互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが、それぞれ並列となるように接続されているため、容量を増大させることができる。
【００２５】
以下、本発明の第２実施形態について説明する。図４（Ａ）に示すように、本実施形態のキャパシタユニット１Ｂのキャパシタ２Ａ，２Ｂの接続の概念は、上記第１実施形態のキャパシタユニット１Ａと同様である。図４（Ｂ）に示すように、本実施形態のキャパシタユニット１Ｂの実際の構造では、互いに対をなすキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれが別個の薄膜である誘電体３を有している。
【００２６】
キャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４及び第２電極５は、別個の薄膜である誘電体３の表裏面にそれぞれ形成されている。その一部が誘電体３、第１電極４及び第２電極５の外部を通る配線により、互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５との間には、それぞれ逆方向の電圧が印加される。本実施形態のように、互いに対をなすキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれが別個に構成されてもよい。
【００２７】
以下、本発明の第３実施形態について説明する。図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示すように、本実施形態のキャパシタユニット１Ｃは、複数対のキャパシタ２Ａ及びキャパシタ２Ｂを備える。図５（Ａ）及び図５（Ｂ）の例では、本実施形態のキャパシタユニット１Ｃは、二対のキャパシタ２Ａ及びキャパシタ２Ｂを備えるが、二対以上のキャパシタ２Ａ及びキャパシタ２Ｂを備えていてもよい。
【００２８】
本実施形態では、二対のキャパシタ２Ａ，２Ｂの中で互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが、それぞれ並列となるように接続されている。二対のキャパシタ２Ａ，２Ｂの中で互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが反対向きになるように並列に接続されている。
【００２９】
また、本実施形態では、互いに並列となるように接続された二対のキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが、それぞれ並列となるように接続されている。そのため、本実施形態では、全部の互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５との間には、それぞれ逆方向の電圧が印加される。
【００３０】
本実施形態のキャパシタユニット１Ｃの実際の構造では、図５（Ｂ）に示すように、キャパシタユニット１Ｃは、図中の下から、第２電極５、誘電体３、第１電極４（第２電極５）、誘電体３及び第１電極４が順次５層に積層された積層体を一対備える。両方の積層体にキャパシタ２Ａとキャパシタ２Ｂとがそれぞれ形成される。一対の積層体のそれぞれの図中の下から３層目は、キャパシタ２Ａ及びキャパシタ２Ｂの第１電極４及び第２電極５を兼ねている。誘電体３、第１電極４及び第２電極５の外部を通る配線により、互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５との間には、それぞれ逆方向の電圧が印加される。
【００３１】
本実施形態では、複数対のキャパシタ２Ａ，２Ｂを備え、互いに並列となるように接続された複数対のキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが、それぞれ並列となるように接続されているため、容量をさらに増大させることができる。
【００３２】
以下、本発明の第４実施形態について説明する。図６（Ａ）に示すように、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に示すように、本実施形態のキャパシタユニット１Ｄは、二対のキャパシタ２Ａ及びキャパシタ２Ｂを備える。本実施形態では、二対のキャパシタ２Ａ，２Ｂの中で互いに対をなすキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが、それぞれ並列となるように接続されている。二対のキャパシタ２Ａ，２Ｂの中で互いに対をなすキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが反対向きになるように並列に接続されている。
【００３３】
互いに並列に接続されている一方のキャパシタ２Ａ，２Ｂのキャパシタ２Ａと、互いに並列に接続されている他方のキャパシタ２Ａ，２Ｂのキャパシタ２Ａとは、それぞれの第１電極４と第２電極５とが、それぞれ直列となるように接続されている。互いに並列に接続されている一方のキャパシタ２Ａ，２Ｂのキャパシタ２Ｂと、互いに並列に接続されている他方のキャパシタ２Ａ，２Ｂのキャパシタ２Ｂとは、それぞれの第１電極４と第２電極５とが、それぞれ直列となるように接続されている。直列に接続された２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とは、同じ向きになるように並列に接続されている。
【００３４】
本実施形態のキャパシタユニット１Ｄの実際の構造では、図６（Ｂ）に示すように、キャパシタユニット１Ｄは、図中の下から、第２電極５、誘電体３、第１電極４（第２電極５）、誘電体３及び第１電極４が順次５層に積層された積層体を一対備える。一方の積層体に２つのキャパシタ２Ａが形成され、他方の積層体に２つのキャパシタ２Ｂが形成される。一方の積層体の図中の下から３層目は、２つのキャパシタ２Ａの第１電極４及び第２電極５を兼ねている。他方の積層体の図中の下から３層目は、２つのキャパシタ２Ｂの第１電極４及び第２電極５を兼ねている。
【００３５】
誘電体３、第１電極４及び第２電極５の外部を通る配線により、互いに対をなしつつ並列に接続された２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５との間には、それぞれ逆方向の電圧が印加される。直列に接続された２つのキャパシタ２Ａ及び２つのキャパシタ２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５との間には、それぞれ同じ方向の電圧が印加される。なお、本実施形態において、直列に接続された２つのキャパシタ２Ａ及び２つのキャパシタ２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５との間には、それぞれ逆方向の電圧が印加されてもよい。
【００３６】
本実施形態では、複数対のキャパシタ２Ａ，２Ｂの中で一部の互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが、それぞれ並列となるように接続されているため、容量を増大させることができる。
【００３７】
以下、本発明の第５実施形態について説明する。図７（Ａ）に示すように、本実施形態のキャパシタユニット１Ｅは、一対のキャパシタ２Ａ及びキャパシタ２Ｂを備える。本実施形態では、キャパシタ２Ａ，２Ｂの中で互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが、それぞれ直列となるように接続されている。一対のキャパシタ２Ａ，２Ｂの中で互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが反対向きになるように並列に接続されている。そのため、本実施形態では、互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５との間には、それぞれ逆方向の電圧が印加される。
【００３８】
本実施形態のキャパシタユニット１Ｅの実際の構造では、図７（Ｂ）に示すように、一層の第２電極５及び一層の誘電体３が、キャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第２電極５及び誘電体３を兼ねている。一層の薄膜である誘電体３の裏面に一層の薄膜である第２電極５が形成され、一層の薄膜である誘電体３の表面に２つに分割された第１電極４が形成されている。
【００３９】
本実施形態では、キャパシタ２Ａ，２Ｂの中で互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが、それぞれ直列となるように接続されているため、信頼性を向上させることができる。
【００４０】
以下、本発明の第６実施形態について説明する。図８（Ａ）に示すように、本実施形態のキャパシタユニット１Ｆのキャパシタ２Ａ，２Ｂの接続の概念は、上記第５実施形態のキャパシタユニット１Ｅと同様である。図８（Ｂ）に示すように、本実施形態のキャパシタユニット１Ｆの実際の構造では、互いに対をなすキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれが別個の薄膜である誘電体３を有している。上記第５実施形態のキャパシタユニット１Ｅと同様に、一層の第２電極５が、キャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第２電極５を兼ねている。本実施形態のように、互いに対をなすキャパシタ２Ａ，２Ｂの誘電体３のそれぞれが別個に構成されてもよい。
【００４１】
以下、本発明の第７実施形態について説明する。図９（Ａ）及び図９（Ｂ）に示すように、本実施形態のキャパシタユニット１Ｇは、二対のキャパシタ２Ａ及びキャパシタ２Ｂを備える。本実施形態では、二対のキャパシタ２Ａ，２Ｂの中で互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが、それぞれ直列となるように接続されている。
【００４２】
二対のキャパシタ２Ａ，２Ｂの中で互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが反対向きになるように直列に接続されている。また、本実施形態では、互いに直列となるように接続された二対のキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが、それぞれ直列となるように接続されている。そのため、本実施形態では、全部の互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５との間には、それぞれ逆方向の電圧が印加される。
【００４３】
本実施形態のキャパシタユニット１Ｇの実際の構造では、図９（Ｂ）に示すように、キャパシタユニット１Ｆは、図中の下から、共通の第２電極５の上に、２つに分割された誘電体３、第１電極４（第２電極５）、誘電体３及び第１電極４が順次５層に積層された積層体である。積層体の図中の最下層は、キャパシタ２Ａ及びキャパシタ２Ｂの第２電極５を兼ねている。また、２つに分割された積層体の図中の下から３層目の一方は、２つのキャパシタ２Ａの第１電極４及び第２電極５を兼ねている。２つに分割された積層体の図中の下から３層目の他方は、２つのキャパシタ２Ｂの第１電極４及び第２電極５を兼ねている。このような構成により、互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５との間には、それぞれ逆方向の電圧が印加される。
【００４４】
本実施形態では、複数対のキャパシタ２Ａ，２Ｂの中で全部の互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが、それぞれ直列となるように接続されているため、信頼性をさらに向上させることができる。
【００４５】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されることなく様々な形態で実施される。例えば、上述したキャパシタユニット１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆ，１Ｇにおいて、互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５との間には、それぞれ逆方向の電圧が印加される限りにおいて、キャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの誘電体２、第１電極４及び第２電極５の構造、配置及び配線は適宜変更可能である。
【００４６】
（実験例）
以下、本発明の実験例について説明する。図９（Ａ）及び図９（Ｂ）に示す本発明の第７実施形態に係るキャパシタユニット１ＧのＤＣバイアス特性が測定された。図１０に示すように、第７実施形態に係るキャパシタユニット１Ｇには、バイアス特性の極性はほとんど認められなかった。次に、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示す本発明の第３実施形態に係るキャパシタユニット１ＣのＤＣバイアス特性が測定された。図１１に示すように、第３実施形態に係るキャパシタユニット１Ｃには、バイアス特性の極性はほとんど認められなかった。
【００４７】
一方、比較例として、図１２（Ａ）に示すようなキャパシタユニット１０のＤＣバイアス特性が測定された。キャパシタユニット１０では、一対のキャパシタ２Ａ，２Ｂの中で全部の互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが、それぞれ直列となるように接続されている。一対のキャパシタ２Ａ，２Ｂの中で互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５とが同じ向きになるように並列に接続されている。そのため、キャパシタユニット１０では、互いに対をなす２つのキャパシタ２Ａ，２Ｂのそれぞれの第１電極４と第２電極５との間には、それぞれ同じ方向の電圧が印加される。図１２（Ｂ）に示すように、比較例のキャパシタユニット１０には、大きなバイアス特性の極性が認められた。
【符号の説明】
【００４８】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆ，１Ｇ…キャパシタユニット、２Ａ，２Ｂ…キャパシタ、３…誘電体、４…第１電極、５…第２電極、１０…キャパシタユニット。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2020102505.tif 000008
【図７】
2020102505.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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