(57)【要約】【課題】一対の流体デバイスにガスケットを圧入するときに、その圧入作業を省力化することができる接続用工具を提供する。【解決手段】接続用工具１０は、一対の配管ブロック５側にそれぞれ着脱自在に係合される一対の係合部１３と、一対の配管ブロック５側のそれぞれに一対の係合部１３を係合させた状態で、互いに接近させるように握ることで、一対の係合部１３を介して一対の配管ブロック５同士を互いに引き寄せて一対の径内側圧入部２２をそれぞれ対応する径内側シール溝３に圧入させることが可能な一対の把持部１５と、一対の把持部１５同士を互いに接近させるのに必要な握力よりも小さい操作力で把持部１５同士を互いに接近させることが可能な省力機構１６と、を備える。【選択図】図９
2020116718.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の流体デバイスにそれぞれ形成されたシール溝に、ガスケットの軸方向両側に形成された一対の圧入部を圧入することで、前記一対の流体デバイスの流路孔同士を接続する流路継手構造に用いられ、前記シール溝に前記圧入部を圧入するための接続用工具であって、
前記一対の流体デバイス側にそれぞれ着脱自在に係合される一対の係合部と、
前記一対の流体デバイス側のそれぞれに前記一対の係合部を係合させた状態で、互いに接近させることで、前記一対の係合部を介して前記一対の流体デバイス同士を互いに引き寄せて前記一対の圧入部をそれぞれ対応する前記シール溝に圧入させることが可能な一対の把持部と、
前記一対の把持部同士を互いに接近させるのに必要な力よりも小さい操作力で前記把持部同士を互いに接近させることが可能な省力機構と、を備える接続用工具。
【請求項２】
前記省力機構は、
前記一対の把持部のうちの一方の第１把持部に一端部が連結された連結部材と、
前記連結部材の他端部において当該連結部材の長手方向に移動可能に設けられ、前記一対の把持部のうちの他方の第２把持部に引っ掛けられる引掛部材と、
前記連結部材の前記他端部側に回動可能に連結され、その回動中心部の外周面が前記引掛部材に当接するカム面とされているカムレバーと、を備え、
前記カム面は、前記第２把持部に前記引掛部材を引っ掛けた状態で前記カムレバーを回動操作することで、前記引掛部材を前記連結部材の前記一端部側に押し付けるように形成されている、請求項１に記載の接続用工具。
【請求項３】
前記省力機構は、
前記一対の把持部のうちの一方の第１把持部に一端部が連結され、少なくとも他端部に第１ねじ部を有する連結軸と、
前記連結軸の前記他端部において前記第１ねじ部に螺合された第２ねじ部、及び前記一対の把持部のうちの他方の第２把持部に引っ掛けられる端面を有する回転ノブと、を備え、
前記回転ノブの第２ねじ部は、前記端面を前記第２把持部に引っ掛けた状態で前記回転ノブを回転操作することで、前記第１ねじ部に対して前記連結軸の前記一端部側へ螺進可能に螺合されている、請求項１に記載の接続用工具。
【請求項４】
前記シール溝は、前記流路孔の接続端部の周面において、その軸方向内側から軸方向外端へ向かうにつれて徐々に拡径するように切り欠かれたテーパ溝とされ、
前記テーパ溝に圧入される前記圧入部の外周面は、前記テーパ溝の形状に沿って形成されたテーパ周面とされており、
前記省力機構は、前記テーパ周面が前記テーパ溝に接触した時点から前記圧入部を圧入させるときに、前記必要な力よりも小さい操作力で前記把持部同士を互いに接近させる、請求項１〜３のいずれか１項に記載の接続用工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接続用工具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体、液晶、有機ＥＬ等の各種技術分野の製造工程で取り扱われる薬液等の流体の配管経路において、ポンプ、バルブ、アキュムレータ、フィルタ、流量計、圧力センサ、及び配管ブロック等の２つの流体デバイスに形成された流路孔同士を接続する接続構造として、流体の漏洩を防止するガスケットを備えた流路継手構造が採用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１の流路継手構造におけるガスケットは、その軸方向両側に円筒状の圧入部を備えており、これらの圧入部は、専用の接続用工具を用いて、両流体デバイスの流路孔の接続端部に形成された円筒状のシール溝にそれぞれ圧入されるようになっている。
接続用工具は、一対のアームと、一対の柄とを備えており、両流体デバイスに一対のアームを係合させた状態で一対の柄を互いに接近させるように握ると、流体デバイス同士が互いに引き寄せられ、ガスケットの各圧入部が両流体デバイスのシール溝に圧入されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−４８３７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記接続用工具を用いた圧入作業では、例えば、流体デバイスのシール溝にガスケットの圧入部を変形させながら圧入する場合、その変形抵抗に抗して、一対の柄を強い握力で握る必要がある。このため、前記変形抵抗が生じる場合において、多量のガスケットを流体デバイスに圧入する作業を行うときに、作業者に多大な労力を強いることになる。
【０００６】
本発明は前記問題点に鑑みてなされたものであり、一対の流体デバイスにガスケットを圧入するときに、その圧入作業を省力化することができる接続用工具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明の接続用工具は、一対の流体デバイスにそれぞれ形成されたシール溝に、ガスケットの軸方向両側に形成された一対の圧入部を圧入することで、前記一対の流体デバイスの流路孔同士を接続する流路継手構造に用いられ、前記シール溝に前記圧入部を圧入するための接続用工具であって、前記一対の流体デバイス側にそれぞれ着脱自在に係合される一対の係合部と、前記一対の流体デバイス側のそれぞれに前記一対の係合部を係合させた状態で、互いに接近させることで、前記一対の係合部を介して前記一対の流体デバイス同士を互いに引き寄せて前記一対の圧入部をそれぞれ対応する前記シール溝に圧入させることが可能な一対の把持部と、前記一対の把持部同士を互いに接近させるのに必要な力よりも小さい操作力で前記把持部同士を互いに接近させることが可能な省力機構と、を備える。
【０００８】
本発明によれば、省力機構により、一対の把持部同士を互いに接近させるのに必要な力よりも小さい操作力で把持部同士を互いに接近させることで、一対の流体デバイス同士を互いに引き寄せて、ガスケットの一対の圧入部をそれぞれ対応する流体デバイスのシール溝に圧入させることができる。これにより、一対の流体デバイスにガスケットを圧入するときに、その圧入作業を省力化することができる。
【０００９】
（２）前記省力機構は、前記一対の把持部のうちの一方の第１把持部に一端部が連結された連結部材と、前記連結部材の他端部において当該連結部材の長手方向に移動可能に設けられ、前記一対の把持部のうちの他方の第２把持部に引っ掛けられる引掛部材と、前記連結部材の前記他端部側に回動可能に連結され、その回動中心部の外周面が前記引掛部材に当接するカム面とされているカムレバーと、を備え、前記カム面は、前記第２把持部に前記引掛部材を引っ掛けた状態で前記カムレバーを回動操作することで、前記引掛部材を前記連結部材の前記一端部側に押し付けるように形成されているのが好ましい。
【００１０】
この場合、第２把持部に引掛部材を引っ掛けた状態でカムレバーを回動操作することで、カムレバーのカム面により、引掛部材が連結部材の一端部側（第１把持部側）に押し付けられる。そうすると、一対の把持部同士が互いに接近するため、一対の流体デバイス同士を互いに引き寄せることができる。これにより、簡単な操作により一対の流体デバイスにガスケットを圧入することができ、かつその圧入作業を省力化することができる。
【００１１】
（３）前記省力機構は、前記一対の把持部のうちの一方の第１把持部に一端部が連結され、少なくとも他端部に第１ねじ部を有する連結軸と、前記連結軸の前記他端部において前記第１ねじ部に螺合された第２ねじ部、及び前記一対の把持部のうちの他方の第２把持部に引っ掛けられる端面を有する回転ノブと、を備え、前記回転ノブの第２ねじ部は、前記端面を前記第２把持部に引っ掛けた状態で前記回転ノブを回転操作することで、前記第１ねじ部に対して前記連結軸の前記一端部側へ螺進可能に螺合されていてもよい。
【００１２】
この場合、第２把持部に回転ノブの端面を引っ掛けた状態で回転ノブを回転操作することで、回転ノブの第２ねじ部は、連結軸の第１ねじ部に対して、連結軸の一端部側へ螺進する。これにより、第２把持部は、回転ノブの端面により連結軸の一端部側（第１把持部側）に押し付けられる。そうすると、一対の把持部同士が互いに接近するため、一対の流体デバイス同士を互いに引き寄せることができる。これにより、簡単な操作により一対の流体デバイスにガスケットを圧入することができ、かつその圧入作業を省力化することができる。
【００１３】
（４）前記シール溝は、前記流路孔の接続端部の周面において、その軸方向内側から軸方向外端へ向かうにつれて徐々に拡径するように切り欠かれたテーパ溝とされ、前記テーパ溝に圧入される前記圧入部の外周面は、前記テーパ溝の形状に沿って形成されたテーパ周面とされており、前記省力機構は、前記テーパ周面が前記テーパ溝に接触した時点から前記圧入部を圧入させるときに、前記必要な力よりも小さい操作力で前記把持部同士を互いに接近させるのが好ましい。
【００１４】
この場合、ガスケットの圧入部のテーパ周面が流体デバイスのテーパ溝に接触した時点から圧入部を圧入させると、圧入部は変形しながら圧入されることになる。その際、圧入部の変形抵抗に抗して一対の把持部を強い力で接近させる必要があるが、省力機構によりその力よりも小さい操作力で把持部同士を互いに接近させることができる。これにより、一対の流体デバイスにガスケットを圧入するときに前記変形抵抗が生じても、その圧入作業を省力化することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、一対の流体デバイスにガスケットを圧入するときに、その圧入作業を省力化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】流路継手構造を示す斜視図である。
【図２】流路継手構造を示す断面図である。
【図３】流路継手構造を分解した状態を示す断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る接続用工具を示す一部断面正面図である。
【図５】接続用工具の第１及び第２アームを示す一部断面斜視図である。
【図６】ガスケットを一方の配管ブロックに仮止めした状態で、接続用工具の一対の係合部を両配管ブロックにそれぞれ係合させている状態を示す一部断面正面図である。
【図７】ガスケットの径内側圧入部のテーパ周面が配管ブロックの径内側シール溝に接触した時点の状態を示す一部断面正面図である。
【図８】図７に示す状態から、連結部材の他端部を第２把持部の第２凹溝に係合させた状態を示す一部断面正面図である。
【図９】図８に示す状態から、カムレバーを回動操作した状態を示す一部断面正面図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係る接続用工具を示す一部断面正面図である。
【図１１】第２実施形態の接続用工具により、ガスケットの径内側圧入部のテーパ周面が配管ブロックの径内側シール溝に接触した時点の状態を示す一部断面正面図である。
【図１２】図１１に示す状態から、連結軸の他端部を第２把持部の第２凹溝に係合させた状態を示す一部断面正面図である。
【図１３】図１２に示す状態から、回転ノブを回転操作した状態を示す一部断面正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
次に、本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
［流路継手構造］
図１は、流路継手構造を示す斜視図である。図１において、本実施形態の流路継手構造１は、例えば、半導体製造装置で使用される薬液が流れる配管経路において、一対の配管ブロック（流体デバイス）５にそれぞれ形成された流路孔６同士を接続する接続構造として使用される。各配管ブロック５は、例えば、円筒状に形成されたブロック本体５１と、ブロック本体５１の軸方向一方側の外周に形成された円筒状のフランジ５２とを有する。
【００１８】
なお、本実施形態の流路継手構造１は、一対の配管ブロック５の流路孔６同士を接続する接続構造として使用しているが、ポンプ、バルブ、アキュムレータ、フィルタ等の他の流体デバイスにおける流路孔同士を接続するものであってもよい。また、ブロック本体５１及びフランジ５２は、円筒状に形成されているが、多角形状に形成されていてもよい。
【００１９】
図２は、流路継手構造１を示す断面図である。図３は、流路継手構造１を分解した状態を示す断面図である。図２及び図３において、流路継手構造１は、一対の配管ブロック５の流路孔６同士を接続するためのガスケット２と、各配管ブロック５の流路孔６の接続端部に形成された一対の径内側シール溝（シール溝）３と、各配管ブロック５のフランジ５２の内側面５２ａにおいて流路孔６よりも径方向外側に形成された一対の径外側シール溝４とを備えている。
【００２０】
図３において、各配管ブロック５の径内側シール溝３は、流路孔６の接続端部の周面において、軸方向内側から軸方向外端へ向かうにつれて徐々に拡径するように切り欠かれたテーパ溝とされている。各配管ブロック５の径外側シール溝４は、円筒状に形成されている。なお、流路継手構造１は、少なくとも一対の径内側シール溝３を備えていればよい。
【００２１】
［ガスケット］
図２及び図３において、ガスケット２は、本体部２１と、各配管ブロック５の径内側シール溝３に圧入される一対の径内側圧入部（圧入部）２２と、各配管ブロック５の径外側シール溝４に圧入される一対の径外側圧入部２３とを備えている。なお、ガスケット２は、少なくとも一対の径内側圧入部２２を備えていればよい。
【００２２】
本体部２１は、ガスケット２の軸方向中央部において環状、多角形状、Ｄ字状、または環状の一部に平坦な面が形成された形状などに形成されている。図２に示す状態において、本体部２１は、両配管ブロック５のフランジ５２の内側面５２ａ間に配置されている。
一対の径内側圧入部２２は、本体部２１の軸方向両端部それぞれの径内側から軸方向外側に突出して環状に形成される断面視三角形状の部分である。各径内側圧入部２２の内周面は、本体部２１の内周面と略同一径に形成され、且つ流路孔６と略同一径に形成されている。
【００２３】
従って、本体部２１の内周面と、一対の径内側圧入部２２の内周面と、流路孔６の周面とは、断面視において略面一に形成されている。これにより、本体部２１および一対の径内側圧入部２２の内側には、両配管ブロック５の流路孔６同士を接続し、軸方向から見たときの形状が円形の接続流路２４が形成されている。
【００２４】
各径内側圧入部２２の外周面は、対応する径内側シール溝（テーパ溝）３の形状に沿って形成されている。すなわち、各径内側圧入部２２の外周面は、その軸方向外端から軸方向内端へ向かうにつれて徐々に拡径するテーパ周面２２ａとされている。一対の径内側圧入部２２のテーパ周面２２ａは、両配管ブロック５の径内側シール溝３の周面にそれぞれ密着変形してシール機能を発揮するシール周面とされている。
【００２５】
これにより、ガスケット２の一対の径内側圧入部２２は、両配管ブロック５の径内側シール溝３にそれぞれ圧入されることにより、両配管ブロック５の流路孔６に最も近いシール（一次シール）として機能し、各流路孔６内の流体が外部に漏洩するのを防止する。
【００２６】
一対の径外側圧入部２３は、本体部２１の軸方向両端部それぞれの径外側から軸方向外側に突出して円筒状に形成されている。各径外側圧入部２３の軸方向の長さは、対応する径外側シール溝４の軸方向の長さ（溝深さ）よりも僅かに短く形成されている。
【００２７】
各径外側圧入部２３の内周面２３ａは、対応する径外側シール溝４の内周面に密着してシール機能を発揮するシール周面とされている。同様に、各径外側圧入部２３の外周面２３ｂは、対応する径外側シール溝４の外周面に密着してシール機能を発揮するシール周面とされている。これにより、ガスケット２の一対の径外側圧入部２３は、両配管ブロック５の径外側シール溝４にそれぞれ圧入されることにより、各配管ブロック５の流路孔６内の流体が外部に漏洩するのを防止する二次シールとして機能する。
【００２８】
なお、本実施形態の径外側圧入部２３は、円筒状に形成されているが、多角筒状に形成されていてもよい。この場合、径外側圧入部２３の形状に合わせて径外側シール溝４も多角筒状に形成すればよい。
【００２９】
［第１実施形態］
＜接続用工具の全体構成＞
図４は、本発明の第１実施形態に係る接続用工具を示す一部断面正面図である。接続用工具１０は、上記流路継手構造１において一対の配管ブロック５の流路孔６同士を接続するために用いられる工具である。図４において、本実施形態の接続用工具１０は、互いに回動可能な第１アーム１１及び第２アーム１２と、第１及び第２アーム１１，１２の長手方向の一端部（図４の上端部）にそれぞれ固定された一対の係合部１３と、第１アーム１１に設けられた省力機構１６とを備えている。
【００３０】
第１及び第２アーム１１，１２それぞれの長手方向の中間部は、互いに交差した状態で支持軸１４により回動可能に支持されている。第１及び第２アーム１１，１２それぞれの支持軸１４よりも長手方向の他端側（図４の下側）は、作業者が片手で把持する一対の把持部１５とされている。
【００３１】
図４に示す状態では、一対の把持部１５は互いに離反しており、かつ一対の係合部１３も互いに離反している。この状態から、作業者が一対の把持部１５を互いに接近させるように片手で握ると、係合部１３同士が互いに接近するように第１及び第２アーム１１，１２が回動する（図７参照）。
【００３２】
図５は、接続用工具１０の第１及び第２アーム１１，１２を示す一部断面斜視図である。図５において、第１及び第２アーム１１，１２の各係合部１３は、例えば平板部材からなり、その先端側には係合溝１３ａが形成されている。係合溝１３ａは、配管ブロック５のブロック本体５１に嵌め込み可能な形状に形成されている。本実施形態の係合溝１３ａは、例えば、係合部１３の先端側が開口するようにＵ字形状に形成されている。係合溝１３ａの円弧部分の直径は、配管ブロック５のブロック本体５１の外径よりも僅かに大きく形成されている。これにより、係合溝１３ａをブロック本体５１に嵌め込むことができる。
【００３３】
一対の係合部１３の互いに対向する面は、各配管ブロック５のフランジ５２の外側面５２ｂ（図６参照）に当接する当接面１３ｂとされている。これにより、一対の係合部１３それぞれは、係合溝１３ａをブロック本体５１に嵌め込むとともに、当接面１３ｂをフランジ５２の外側面５２ｂに当接させることで、各配管ブロック５に対して着脱自在に係合される（図６参照）。なお、各係合部１３は、配管ブロック５に直接係合しているが、別部材を介して間接的に配管ブロック５に係合してもよい。
【００３４】
図６は、ガスケット２を一方の配管ブロック５に仮止めした状態で、接続用工具１０の一対の係合部１３を両配管ブロック５にそれぞれ係合させている状態を示す一部断面正面図である。図６において、ガスケット２は、一方側（図中の左側）の径外側圧入部２３が一方の配管ブロック５の径外側シール溝４に少しだけ圧入することによって、当該配管ブロック５に仮止めされている。なお、本実施形態では、配管ブロック５にガスケット２を仮止めしているが、作業者の接続用工具１０を把持している手と反対の手により、ガスケット２を、その径外側圧入部２３が両配管ブロック５の径外側シール溝４に圧入される位置に保持するようにしてもよい。
【００３５】
図６に示す状態から、作業者が一対の把持部１５同士を互いに接近させるように握ると、一対の係合部１３同士が互いに接近するように第１及び第２アーム１１，１２が回動する。そうすると、各係合部１３の当接面１３ｂが対応するフランジ５２の外側面５２ｂを押し付けることにより、一対の配管ブロック５同士が互いに引き寄せられる。
【００３６】
作業者が一対の把持部１５同士を最接近させる直前まで握ると、図７に示すように、ガスケット２の一対の径外側圧入部２３のそれぞれは、両配管ブロック５の対応する径外側シール溝４に圧入される。また、ガスケット２の一対の径内側圧入部２２のそれぞれは、両配管ブロック５の対応する径内側シール溝３及び径外側シール溝４に挿入される。
【００３７】
図７に示す状態は、ガスケット２における一対の径内側圧入部２２のテーパ周面２２ａが、両配管ブロック５の対応する径内側シール溝（テーパ溝）３に接触した時点の状態を示している。図７に示す状態から、作業者が一対の把持部１５同士をさらに接近させるように握ると、テーパ周面２２ａが径内側シール溝３に押し付けられることにより、各径内側圧入部２２は、変形しながら径内側シール溝３に圧入される。
【００３８】
その際、作業者は、各径内側圧入部２２の変形抵抗に抗して、一対の把持部１５を強い握力で握る必要がある。このため、図６に示す状態から図７に示す状態までは、作業者の握力により一対の把持部１５同士を容易に接近させることはできるが、図７に示す状態から一対の把持部１５同士をさらに接近させる作業は、握力が弱い作業者には重労働となる。
【００３９】
そこで、本実施形態では、図７に示す状態から、すなわち径内側圧入部２２のテーパ周面２２ａが径外側シール溝４に接触した時点から、径内側圧入部２２を径外側シール溝４に圧入させるときに、接続用工具１０に設けた省力機構１６により、一対の把持部１５同士を互いに接近させるのに必要な握力よりも小さい操作力で把持部１５同士を互いに接近させることができるようしている。
【００４０】
＜省力機構＞
図４及び図５において、本実施形態の省力機構１６は、第１アーム１１の把持部１５（第１把持部１５Ａ）に連結された連結部材１６１と、連結部材１６１に設けられた引掛部材１６２及びカムレバー１６３とを備えている。
連結部材１６１は、例えば円柱状のピン部材からなる。連結部材１６１の長手方向の一端部１６１ａは、第１把持部１５Ａの端部に形成された第１凹溝１５１において、回転軸１５３を介して回動自在に連結されている。
【００４１】
連結部材１６１の長手方向の他端部１６１ｂは、第２アーム１２の把持部１５（第２把持部１５Ｂ）の端部に形成された第２凹溝１５２に挿入可能とされている。これにより、一対の把持部１５が図７に示す状態まで互いに接近したときに、連結部材１６１を回転軸１５３を中心に回動させることで、連結部材１６１の他端部１６１ｂを第２把持部１５Ｂの第２凹溝１５２に係合させることができる（図８参照）。
【００４２】
引掛部材１６２は、例えば円環状に形成されており、連結部材１６１の他端部１６１ｂにおいて連結部材１６１の長手方向に移動可能に挿入されている。引掛部材１６２の回転軸１５３側の端面は、連結部材１６１の他端部１６１ｂが第２凹溝１５２に係合された状態で、第２把持部１５Ｂの外側面１５４に引っ掛かる引掛面１６２ａとされている（図８参照）。
【００４３】
カムレバー１６３は、連結部材１６１の他端部１６１ｂ側に回動可能に連結された筒型のカム部１６４と、カム部１６４の外周に固定されたレバー部１６５とを有している。
カム部１６４は、連結部材１６１の他端部１６１ｂに固定された連結ピン１６６に対して、当該連結ピン１６６の中心軸線Ｃ回りに回動可能に挿入されている。カム部１６４の外周面は、曲面状に形成されたカム面１６４ａとされている。カム面１６４ａは、引掛部材１６２における引掛面１６２ａの反対側の端面である当接面１６２ｂに当接している。
【００４４】
レバー部１６５は、作業者によって把持される部材であり、作業者がレバー部１６５を把持して回動操作することで、カム部１６４を回動させるようになっている。本実施形態のレバー部１６５は、例えば、連結部材１６１と一直線状に配置される起立位置（図７参照）と、連結部材１６１に対して垂直に配置される倒伏位置（図８参照）との間の９０°の角度範囲で回動可能とされている。
【００４５】
レバー部１６５を回動操作するときの操作力は、レバー部１６５の長手方向の長さＬを長くするほど小さくすることができる。このため、レバー部１６５の長さＬは、図７に示す状態から一対の把持部１５同士を互いに接近させるのに必要な握力よりも、レバー部１６５の操作力が小さくなるように設定されている。
【００４６】
カム部１６４のカム面１６４ａは、引掛部材１６２を第２把持部１５Ｂの外側面１５４に引っ掛けた状態で、レバー部１６５を起立位置から倒伏位置へ回動操作することで、引掛部材１６２を連結部材１６１の一端部１６１ａ側に押し付けるように形成されている。具体的には、カム面１６４ａの曲面形状は、中心軸線Ｃから、カム面１６４ａと当接面１６２ｂとの当接点までの距離Ｒが、レバー部１６５を起立位置から倒伏位置へ回動するにつれて徐々に長くなるように形成されている。
【００４７】
以上の構成により、図７に示す状態から、省力機構１６を用いて一対の把持部１５同士を互いに接近させる場合には、まず、作業者は、把持部１５を把持している手と反対の手により、連結部材１６１を回転軸１５３を中心に回動させ、図８に示すように、連結部材１６１の他端部１６１ｂを第２把持部１５Ｂの第２凹溝１５２に係合させる。これにより、引掛部材１６２の引掛面１６２ａが第２把持部１５Ｂの外側面１５４に引っ掛かる。
【００４８】
次に、作業者は、前記反対の手によりカムレバー１６３のレバー部１６５を、図８に示す起立位置から倒伏位置まで回動操作する。この回動操作により前記距離Ｒが長くなるように変化することで、カムレバー１６３のカム部１６４は、引掛部材１６２を連結部材１６１の一端部１６１ａ側に押し付ける。
【００４９】
そうすると、第２把持部１５Ｂは、引掛部材１６２に押されることによって、支持軸１４を中心に図８の時計回り方向に回動する。同時に、第１把持部１５Ａは、回転軸１５３及び連結部材１６１を介して第２把持部１５側に引っ張られるため、支持軸１４を中心に図８の反時計回り方向に回動する。これにより、図９に示すように、一対の把持部１５同士がさらに接近し、一対の配管ブロック５同士が互いに引き寄せられるため、ガスケット２の径内側圧入部２２は、変形しながら両配管ブロック５の径内側シール溝３に圧入される。
【００５０】
なお、本実施形態では、連結部材１６１の一端部１６１ａを、第１把持部１５Ａに連結させているが、第２把持部１５Ｂに連結させてもよい。この場合、引掛部材１６２を第１把持部１５Ａに引っ掛けるようにすればよい。
【００５１】
＜作用効果＞
以上、本実施形態の接続用工具１０によれば、ガスケット２の一対の径内側圧入部２２のテーパ周面２２ａが両配管ブロック５の径内側シール溝３に接触した時点から、省力機構１６を用いることで、径内側圧入部２２の変形抵抗に抗して一対の把持部１５同士を互いに接近させるのに必要な握力よりも小さい操作力で、把持部１５同士を互いに接近させることができる。これにより、一対の係合部１３により一対の配管ブロック５同士が互いに引き寄せられるので、ガスケット２の一対の径内側圧入部２２が、それぞれ対応する配管ブロック５の径内側シール溝３に圧入される。従って、一対の配管ブロック５にガスケット２を圧入するときに変形抵抗が生じても、その圧入作業を省力化することができる。
【００５２】
また、第２把持部１５Ｂに引掛部材１６２を引っ掛けた状態でカムレバー１６３を回動操作することで、カムレバー１６３のカム面１６４ａにより、引掛部材１６２が連結部材１６１の一端部１６１ａ側（第１把持部１５Ａ側）に押し付けられる。そうすると、一対の把持部１５同士が互いに接近するため、一対の配管ブロック５同士を互いに引き寄せることができる。これにより、簡単な操作により一対の配管ブロック５にガスケット２を圧入することができ、かつその圧入作業を省力化することができる。
【００５３】
［第２実施形態］
図１０は、本発明の第２実施形態に係る接続用工具１０を示す一部断面正面図である。図１０において、第２実施形態の接続用工具１０は、省力機構１６の構成が第１実施形態と相違する。本実施形態の省力機構１６は、第１把持部１５Ａに連結された連結軸１６７と、連結軸１６７に設けられた回転ノブ１６８とを備えている。
【００５４】
連結軸１６７は、例えばねじ部材からなり、連結軸１６７の外周には、長手方向の全体にわたって雄ねじ部（第１ねじ部）１６７ｃが形成されている。連結軸１６７の長手方向の一端部１６７ａは、第１把持部１５Ａの第１凹溝１５１において回転軸１５３を介して回動自在に連結されている。連結軸１６７の長手方向の他端部１６７ｂは、第２把持部１５Ｂの第２凹溝１５２に挿入可能とされている。
【００５５】
これにより、図１１に示すように、ガスケット２の径内側圧入部２２のテーパ周面２２ａが両配管ブロック５の径外側シール溝４に接触した時点まで、一対の把持部１５が互いに接近したときに、連結軸１６７を回転軸１５３を中心に回動させることで、連結軸１６７の他端部１６７ｂを第２把持部１５Ｂの第２凹溝１５２に係合させることができる（図１２参照）。なお、雄ねじ部１６７ｃは、連結軸１６７の長手方向の全体にわたって形成されているが、連結軸１６７の少なくとも他端部１６７ｂに形成されていればよい。
【００５６】
回転ノブ１６８は、例えば、連結軸１６７の他端部１６７ｂに設けられた基台部１６９と、基台部１６９に固定された摘み部１７０とを有している。
基台部１６９は、例えば円柱状に形成されており、その中心部には軸方向一端側で開口する雌ねじ部（第２ねじ部）１６９ａが形成されている。雌ねじ部１６９ａは、連結軸１６７の他端部１６７ｂにおいて雄ねじ部１６７ｃに螺合されている。
【００５７】
基台部１６９における雌ねじ部１６９ａの開口端面は、連結軸１６７の他端部１６７ｂが第２凹溝１５２に係合された状態で、第２把持部１５Ｂの外側面１５４に引っ掛かる引掛面１６９ｂとされている（図１２参照）。引掛面１６９ｂが第２把持部１５の外側面１５４に引っ掛けられた状態において、雌ねじ部１６９ａは、雄ねじ部１６７ｃに対して連結軸１６７の一端部１６７ａ側へ螺進可能に螺合されている。
【００５８】
摘み部１７０は、例えば円柱状に形成されており、基台部１６９における引掛面１６９ｂの反対側の端面に、基台部１６９と同心状に固定されている。これにより、基台部１６９の引掛面１６９ｂを第２把持部１５Ｂに引っ掛けた状態で、作業者が摘み部１７０の外周面を把持して所定方向に回転操作することで、雌ねじ部１６９ａを雄ねじ部１６７ｃに対して連結軸１６７の一端部１６７ａ側へ螺進させることができる。
【００５９】
回転ノブ１６８の摘み部１７０を前記回転操作するときの操作力は、摘み部１７０の外径Ｄ（図１０参照）を大きくするほど小さくすることができる。このため、摘み部１７０の外径Ｄは、図１１に示す状態から一対の把持部１５同士を互いに接近させるのに必要な握力よりも、摘み部１７０の操作力が小さくなるように設定されている。本実施形態の他の構成は、第１実施形態と同様であるため、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００６０】
以上の構成により、図１１に示す状態から、省力機構１６を用いて一対の把持部１５同士を互いに接近させる場合には、まず、作業者は、把持部１５を把持している手と反対の手により、連結軸１６７を回転軸１５３を中心に回動させ、図１２に示すように、連結軸１６７の他端部１６７ｂを第２把持部１５Ｂの第２凹溝１５２に係合させる。これにより、回転ノブ１６８の基台部１６９の引掛面１６９ｂが第２把持部１５Ｂの外側面１５４に引っ掛かる。
【００６１】
次に、作業者は、前記反対の手により回転ノブ１６８の摘み部１７０を所定方向に回転操作する。この回転操作により、基台部１６９の雌ねじ部１６９ａは、雄ねじ部１６７ｃに対して連結軸１６７の一端部１６７ａ側へ螺進するため、基台部１６９の引掛面１６９ｂは、第２把持部１５Ｂの外側面１５４を連結軸１６７の一端部１６７ａ側に押し付ける。
【００６２】
そうすると、第２把持部１５Ｂは、回転ノブ１６８の基台部１６９により押されることによって、支持軸１４を中心に図１２の時計回り方向に回動する。同時に、第１把持部１５Ａは、回転軸１５３及び連結軸１６７を介して第２把持部１５側に引っ張られるため、支持軸１４を中心に図１２の反時計回り方向に回動する。これにより、図１３に示すように、一対の把持部１５同士がさらに接近し、一対の配管ブロック５同士が互いに引き寄せられるため、ガスケット２の径内側圧入部２２は、変形しながら両配管ブロック５の径内側シール溝３に圧入される。
【００６３】
なお、本実施形態では、連結軸１６７の一端部１６７ａを、第１把持部１５Ａに連結させているが、第２把持部１５Ｂに連結させてもよい。この場合、回転ノブ１６８の基台部１６９を第１把持部１５Ａに引っ掛けるようにすればよい。
また、連結軸１６７に雄ねじ部１６７ｃを形成し、回転ノブ１６８の基台部１６９に雌ねじ部１６９ａを形成しているが、連結軸１６７に雌ねじ部を形成し、基台部１６９に雄ねじ部を形成してもよい。
【００６４】
＜作用効果＞
以上、本実施形態の接続用工具１０によれば、ガスケット２の一対の径内側圧入部２２のテーパ周面２２ａが両配管ブロック５の径内側シール溝３に接触した時点から、省力機構１６を用いることで、径内側圧入部２２の変形抵抗に抗して一対の把持部１５同士を互いに接近させるのに必要な握力よりも小さい操作力で、把持部１５同士を互いに接近させることができる。これにより、一対の係合部１３により一対の配管ブロック５同士が互いに引き寄せられるので、ガスケット２の一対の径内側圧入部２２が、それぞれ対応する配管ブロック５の径内側シール溝３に圧入される。従って、一対の配管ブロック５にガスケット２を圧入するときに変形抵抗が生じても、その圧入作業を省力化することができる。
【００６５】
また、第２把持部１５Ｂに回転ノブ１６８の引掛面１６９ｂを引っ掛けた状態で回転ノブ１６８を回転操作することで、回転ノブ１６８の雌ねじ部１６９ａは、連結軸１６７の雄ねじ部１６７ｃに対して、連結軸１６７の一端部１６７ａ側へ螺進する。これにより、第２把持部１５Ｂは、回転ノブ１６８の引掛面１６９ｂにより連結軸１６７の一端部１６７ａ側（第１把持部１５Ａ側）に押し付けられる。そうすると、一対の把持部１５同士が互いに接近するため、一対の配管ブロック５同士を互いに引き寄せることができる。これにより、簡単な操作により一対の配管ブロック５にガスケット２を圧入することができ、かつその圧入作業を省力化することができる。
【００６６】
［その他］
上記実施形態の接続用工具１０は、半導体製造装置の流路継手構造に用いる場合について説明したが、液晶・有機ＥＬ分野、医療・医薬分野などの流路継手構造に用いてもよい。
また、接続用工具１０における省力機構１６以外の構成は、一対の係合部１３及び一対の把持部１５を備えていれば、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、特許文献１の図１、図２７又は図３６に記載されている接続用工具に、上記実施形態の省力機構１６を適用してもよい。
【００６７】
上記実施形態の省力機構１６は、一対の把持部１５同士を最接近させる直前まで握った状態から使用するように構成されているが、これに限定されるものではない。例えば、一対の把持部１５同士を接近させる把持操作を始める状態（図６に示す状態）から、省力機構１６を使用するように構成されていてもよい。
【００６８】
上記実施形態の省力機構１６は、ガスケット２の径内側圧入部２２のテーパ周面２２ａが、両配管ブロック５の径内側シール溝３（テーパ溝）に圧入する場合に用いられるが、圧入部がシール溝に変形しながら圧入されるようになっていれば、上記実施形態に限定されるものではない。
例えば、径内側圧入部２２の先端部、及び径内側シール溝３の底部をいずれも軸方向に垂直な面とし、径内側圧入部２２の先端部に形成した突出部を、径内側シール溝３の底部に押し付けて変形させながら圧入する場合に、省力機構１６を用いてもよい。また、ガスケット２の径外側圧入部２３の先端部に突出部を形成し、この突出部を径外側シール溝４の底部に押し付けて変形させながら圧入する場合にも、省力機構１６を用いてもよい。
【００６９】
今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００７０】
１  流路継手構造
２  ガスケット
３  径内側シール溝（シール溝，テーパ溝）
５  配管ブロック（流体デバイス）
６  流路孔
１０  接続用工具
１３  係合部
１５  把持部
１５Ａ  第１把持部
１５Ｂ  第２把持部
１６  省力機構
２２  径内側圧入部（圧入部）
２２ａ  テーパ周面
１６１  連結部材
１６１ａ  一端部
１６１ｂ  他端部
１６２  引掛部材
１６３  カムレバー
１６４ａ  カム面
１６７  連結軸
１６７ａ  一端部
１６７ｂ  他端部
１６７ｃ  雄ねじ部（第１ねじ部）
１６８  回転ノブ
１６９ａ  雌ねじ部（第２ねじ部）
１６９ｂ  引掛面（端面）
【図１】
2020116718.tif 000003
【図２】
2020116718.tif 000004
【図３】
2020116718.tif 000005
【図４】
2020116718.tif 000006
【図５】
2020116718.tif 000007
【図６】
2020116718.tif 000008
【図７】
2020116718.tif 000009
【図８】
2020116718.tif 000010
【図９】
2020116718.tif 000011
【図１０】
2020116718.tif 000012
【図１１】
2020116718.tif 000013
【図１２】
2020116718.tif 000014
【図１３】
2020116718.tif 000015