(57)【要約】【課題】配向分布を３次元的に測定できる繊維配向分布測定方法及び繊維配向分布測定システムを提供すること。【解決手段】繊維配向分布測定方法は、小角Ｘ線散乱装置によって散乱Ｘ線を取得する散乱Ｘ線取得工程Ｓ１と、散乱Ｘ線取得工程Ｓ１の後に行われ、散乱Ｘ線の３次元での散乱強度を算出し、方位角φ’と散乱強度との関係を取得する取得工程Ｓ２と、を含む。さらに、繊維配向分布測定方法は、取得工程Ｓ２で取得した方位角φ’と散乱強度との関係から繊維強化複合材における強化繊維の配向分布を算出する配向分布算出工程Ｓ３と、を含む。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
強化繊維を含む繊維強化複合材に対するＸ線の照射によって散乱するＸ線のうち、散乱角の小さい散乱Ｘ線を検出して前記繊維強化複合材における前記強化繊維の配向分布を測定する繊維配向分布測定方法であって、
前記散乱Ｘ線を取得する散乱Ｘ線取得工程と、
前記強化繊維の配向軸に直交する１軸をｘ軸、前記ｘ軸と前記配向軸の交点を原点とし、前記原点から距離ｓの位置にある点について前記配向軸に対する方位角をφ、前記配向軸の周りでの角度をα、前記配向軸の周りで前記角度αずれた位置での前記方位角をφ’とし、
前記散乱Ｘ線取得工程の後に行われ、前記散乱Ｘ線の３次元での散乱強度を下記の（式１）から算出し、前記方位角φ’と前記散乱強度との関係を取得する取得工程と、
前記取得工程の後に行われ、取得した前記関係から前記繊維強化複合材における前記強化繊維の配向分布を算出する配向分布算出工程と、を含むことを特徴とする繊維配向分布測定方法。
【数１】
2020169852.tif 000012
【請求項２】
前記取得工程では、前記方位角φ’と前記散乱強度との関係を示すプロファイルを取得し、前記配向分布算出工程では、前記方位角φ’を異ならせた前記プロファイルを複数作成し、各プロファイルのピーク幅の増加量と前記配向分布との関係を表す検量線を作成し、前記検量線から前記配向分布を算出する請求項１に記載の繊維配向分布測定方法。
【請求項３】
強化繊維を含む繊維強化複合材に対するＸ線の照射によって散乱するＸ線のうち、散乱角の小さい散乱Ｘ線を検出する小角Ｘ線散乱装置と、
前記強化繊維の配向軸に直交する１軸をｘ軸、前記ｘ軸と前記配向軸の交点を原点とし、原点から距離ｓの位置にある点について前記配向軸に対する方位角をφ、前記配向軸の周りでの角度をα、前記配向軸の周りで前記角度αずれた位置での前記方位角をφ’とした場合、
前記小角Ｘ線散乱装置から取得される前記散乱Ｘ線の３次元での散乱強度を下記の（式１）から算出し、前記方位角φ’と前記散乱強度との関係を示すプロファイルを取得するプロファイル取得部と、
取得した前記プロファイルのピーク幅を測定するとともに、前記方位角φ’を異ならせた前記プロファイルを複数作成し、各プロファイルのピーク幅の増加量と配向分布との関係を表す検量線を作成するプロファイル計算部と、
前記検量線から前記配向分布を算出する配向分布演算部と、を有することを特徴とする繊維配向分布測定システム。
【数２】
2020169852.tif 000013
【請求項４】
前記配向分布演算部によって算出された配向分布を表示する表示部を備える請求項３に記載の繊維配向分布測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、繊維配向分布測定方法及び繊維配向分布測定システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
軽量、高強度の材料として繊維強化複合材が使用されている。繊維強化複合材は、強化繊維（強化基材）が樹脂、セラミックス等のマトリックス材料中に複合化されることにより、マトリックス材料自体に比べて力学的特性（機械的特性）が向上するため、構造部品として好ましい。このような繊維強化複合材においては、強化繊維の配向状態は、力学物性に大きな影響を与える。したがって、繊維強化複合材においては、強化繊維の配向分布を把握することが重要である。例えば、特許文献１に開示の繊維配向度算出装置は、プロファイル取得部を備え、このプロファイル取得部は、繊維強化複合材にＸ線が照射されることによって生じる円状の回折像の中心周りの角度と、回折像の回折強度との関係を示すプロファイルを取得する。また、繊維配向度算出装置は、結晶配向度算出部を備え、この結晶配向度算出部は、取得されたプロファイルに基づき、結晶配向度を算出する。プロファイル取得部は、強化繊維が１方向に引き揃えられた状態の繊維複合材料について、プロファイルを取得する。結晶配向度算出部は、取得されたプロファイルに基づき、繊維強化複合材の結晶配向度を算出する。繊維配向度算出装置の繊維配向度算出部は、結晶配向度に基づき、繊維複合材料の繊維配向度を算出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−９０２５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、特許文献１の繊維配向度算出装置においては、繊維強化複合材の２次元での繊維の配向分布しか算出できない。
本発明の目的は、配向分布を３次元的に測定できる繊維配向分布測定方法及び繊維配向分布測定システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するための繊維配向分布測定方法は、強化繊維を含む繊維強化複合材に対するＸ線の照射によって散乱するＸ線のうち、散乱角の小さい散乱Ｘ線を検出して前記繊維強化複合材における前記強化繊維の配向分布を測定する繊維配向分布測定方法であって、前記散乱Ｘ線を取得する散乱Ｘ線取得工程と、前記強化繊維の配向軸に直交する１軸をｘ軸、前記ｘ軸と前記配向軸の交点を原点とし、前記原点から距離ｓの位置にある点について前記配向軸に対する方位角をφ、前記配向軸の周りでの角度をα、前記配向軸の周りで前記角度αずれた位置での前記方位角をφ’とし、前記散乱Ｘ線取得工程の後に行われ、前記散乱Ｘ線の３次元での散乱強度を下記の（式１）から算出し、前記方位角φ’と前記散乱強度との関係を取得する取得工程と、前記取得工程の後に行われ、取得した前記関係から前記繊維強化複合材における前記強化繊維の配向分布を算出する配向分布算出工程と、を含むことを要旨とする。
【０００６】
【数１】
2020169852.tif 000003
これによれば、散乱Ｘ線取得工程の後の取得工程において、（式１）を用いることで、小角Ｘ線散乱によって得られる散乱Ｘ線の３次元での散乱強度を算出でき、その散乱強度と方位角φ’との関係を取得できる。このため、（式１）を用いることで、強化繊維の配向分布を３次元的に捉えることができる。そして、配向分布算出工程で配向分布を算出することにより、繊維強化複合材において、強化繊維の配向分布を３次元的に測定できる。
【０００７】
また、繊維配向分布測定方法について、前記取得工程では、前記方位角φ’と前記散乱強度との関係を示すプロファイルを取得し、前記配向分布算出工程では、前記方位角φ’を異ならせた前記プロファイルを複数作成し、各プロファイルのピーク幅の増加量と前記配向分布との関係を表す検量線を作成し、前記検量線から前記配向分布を算出してもよい。
【０００８】
これによれば、配向分布算出工程において、検量線を作成することで、配向分布を速やかに得ることができる。なお、ピーク幅が大きく増加して、増加量が定義できない場合は、強化繊維の配向分布は無配向に相当する。
【０００９】
上記課題を解決するための繊維配向分布測定システムは、強化繊維を含む繊維強化複合材に対するＸ線の照射によって散乱するＸ線のうち、散乱角の小さい散乱Ｘ線を検出する小角Ｘ線散乱装置と、前記強化繊維の配向軸に直交する１軸をｘ軸、前記ｘ軸と前記配向軸の交点を原点とし、原点から距離ｓの位置にある点について前記配向軸に対する方位角をφ、前記配向軸の周りでの角度をα、前記配向軸の周りで前記角度αずれた位置での前記方位角をφ’とした場合、前記小角Ｘ線散乱装置から取得される前記散乱Ｘ線の３次元での散乱強度を下記の（式１）から算出し、前記方位角φ’と前記散乱強度との関係を示すプロファイルを取得するプロファイル取得部と、取得した前記プロファイルのピーク幅を測定するとともに、前記方位角φ’を異ならせた前記プロファイルを複数作成し、各プロファイルのピーク幅の増加量と配向分布との関係を表す検量線を作成するプロファイル計算部と、前記検量線から前記配向分布を算出する配向分布演算部と、を有することを要旨とする。
【００１０】
【数２】
2020169852.tif 000004
これによれば、小角Ｘ線散乱装置によって散乱Ｘ線を検出した後、プロファイル取得部は、（式１）を用いることで、小角Ｘ線散乱によって得られる散乱Ｘ線の３次元での散乱強度を算出でき、その散乱強度からプロファイルを取得できる。このため、（式１）を用いることで、強化繊維の配向分布を３次元的に捉えたプロファイルを取得できる。そして、プロファイル計算部によって検量線を作成し、配向分布演算部によって、検量線を用いて配向分布を算出することにより、強化繊維の配向分布を３次元的に測定できる。
【００１１】
また、繊維配向分布測定システムについて、前記配向分布演算部によって算出された配向分布を表示する表示部を備えていてもよい。
これによれば、配向分布を表示部で確認することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、配向分布を３次元的に測定できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】繊維配向分布測定システムを模式的に示す図。
【図２】小角Ｘ線散乱装置を模式的に示す図。
【図３】極座標を説明するための図。
【図４】微小面積を説明するための図。
【図５】（ａ）は完全配向した炭素繊維を模式的に示す図、（ｂ）は散乱パターンを模式的に示す図、（ｃ）は方位角と散乱強度を示すグラフ。
【図６】（ａ）は配向した炭素繊維を模式的に示す図、（ｂ）は散乱パターンを模式的に示す図、（ｃ）は方位角と散乱強度を示すグラフ。
【図７】繊維配向分布測定方法を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、繊維配向分布測定方法及び繊維配向分布測定システムを具体化した一実施形態を図１〜図７にしたがって説明する。
図１に示すように、繊維配向分布測定システム１００は、小角Ｘ線散乱装置１０と、繊維配向分布を測定する測定部２０と、測定部２０による測定結果を表示する表示部３０と、を備える。
【００１５】
図２に示すように、小角Ｘ線散乱装置１０は、Ｘ線を評価対象としての繊維強化複合材Ｈに照射して散乱するＸ線のうち、散乱角が小さいもの（以下、散乱Ｘ線という）を検出する装置である。小角Ｘ線散乱装置１０は、Ｘ線照射部１１と、散乱Ｘ線を検出する検出部１２と、を有する。なお、散乱角が小さいとは、散乱角が５度以下のことである。図２は小角Ｘ線散乱装置１０を模式的に示すため、散乱角が５度より大きくなっている。また、繊維強化複合材Ｈから検出部１２までの距離Ｌは、繊維強化複合材Ｈの厚さに応じて変化する。
【００１６】
図１において、測定部２０は、図示しないＣＰＵと、ＲＡＭ及びＲＯＭ等からなる記憶部と、を備える。ＣＰＵと記憶部は信号接続されている。記憶部には、繊維の配向分布を測定するためのプログラム等が記憶されている。ＣＰＵは、各種処理のうち少なくとも一部の処理を実行する専用のハードウェア、例えば、特定用途向け集積回路：ＡＳＩＣを備えていてもよい。ＣＰＵは、コンピュータプログラムに従って動作する１つ以上のプロセッサ、ＡＳＩＣ等の１つ以上の専用のハードウェア回路、あるいは、それらの組み合わせを含む回路として構成し得る。プロセッサは、ＣＰＵ、並びに、ＲＡＭ及びＲＯＭ等のメモリを含む。メモリは、処理をＣＰＵに実行させるように構成されたプログラムコードまたは指令を格納している。メモリ、即ち、コンピュータ可読媒体は、汎用または専用のコンピュータでアクセスできるあらゆるものを含む。そして、測定部２０のＣＰＵは、プロファイル取得部２１、プロファイル計算部２２、及び配向分布演算部２３として機能する。
【００１７】
配向分布が測定される繊維強化複合材Ｈは、強化繊維からなる強化基材にマトリクス材料を含浸して構成されている。なお、図示しないが、繊維強化複合材Ｈの強化基材は、任意の角度で糸が配列されるとともに、任意の層数に積層して形成される。強化基材は、例えば、第１の糸と第２の糸を平織り、綾織り、又は繻子織りして形成されていてもよい。さらに、強化基材は、単層織物を複数積層し、結合糸で積層方向に結合して形成されていてもよいし、多層織りして形成されていてもよい。
【００１８】
繊維配向分布測定システム１００は、繊維強化複合材Ｈにおける強化繊維の配向分布を測定する。配向分布を測定できる強化繊維は、小角Ｘ線散乱装置１０によって検出される散乱Ｘ線のパターンが、中心の円を挟んで水平方向に延びるストリークが生じる繊維材料であればよい。
【００１９】
このような繊維材料としては、ナノボイド構造を有するPAN系炭素繊維、Pitch系炭素繊維等の異方性炭素繊維、ナノボイド又はフィブリル構造を有する有機繊維（ポリエステル、ナイロン、ケブラー（登録商標）、ザイロン、ポリアリレート繊維、アラミド繊維）、セラミックス繊維（炭化ケイ素繊維）が挙げられる。また、ガラスウィスカー、カーボンナノファイバー、カーボンナノチューブ、アルミナウィスカー、炭化ケイ素ウィスカーが挙げられる。これら繊維材料は、長繊維、短繊維、ミルド状繊維のいずれでもよい。
【００２０】
次に、繊維配向分布測定システム１００を用いた繊維配向分布測定方法について説明する。本実施形態では、炭素繊維を強化繊維とした繊維強化複合材Ｈの繊維配向分布を測定する。
【００２１】
図７に示すように、繊維配向分布測定方法は、小角Ｘ線散乱によって生じる散乱Ｘ線を取得する散乱Ｘ線取得工程Ｓ１と、散乱Ｘ線取得工程Ｓ１の後に行われ、散乱Ｘ線の方位角と散乱強度との関係を取得する取得工程Ｓ２と、取得工程Ｓ２の後に行われ、取得した関係に基づいて炭素繊維の配向分布を算出する配向分布算出工程Ｓ３とを含む。
【００２２】
散乱Ｘ線取得工程Ｓ１において、小角Ｘ線散乱装置１０を用いて炭素繊維にＸ線を照射すると、炭素繊維の繊維軸方向に延びるナノボイドを反映して、繊維軸方向に直交する方向へのストリークが生じる散乱パターンが得られる。
【００２３】
取得工程Ｓ２では、散乱パターンを測定する。この散乱パターンを測定するにあたり、炭素繊維の電子密度分布のフーリエ変換の絶対値の二乗によって得られる逆空間を考え、エバルトの反射球で横切られるパターンを考える。小角Ｘ線散乱は、散乱角が小さいことから、エバルトの反射球は平面で近似する。このため、逆空間での原点を通過する平面での切断面が小角Ｘ線の散乱パターンを与えることになる。その結果として、炭素繊維の場合は、散乱パターンは、ナノボイドを反映して、逆空間では繊維軸方向が法線方向に一致する円筒対象の円盤形状になる。
【００２４】
図３に示すように、散乱パターンの逆空間での極座標は（ｓ、φ）となる。なお、極座標を設定するにあたり、炭素繊維の配向軸ｚに対し、直交する１軸をｘ軸とし、配向軸ｚとｘ軸が直交する点を原点Ｏとする。そして、ｓは原点Ｏからの距離、φは配向軸ｚからの方位角である。
【００２５】
この極座標における散乱強度Ｉ（ｓ）は、以下の（式２）で表される。
【００２６】
【数３】
2020169852.tif 000005
なお、この散乱強度Ｉ（ｓ）は炭素繊維が１本の場合である。ここで、繊維強化複合材Ｈには、３次元の配向分布があるため、その３次元配向分布も考慮する。３次元配向分布関数をｆ（φ’、α）とする。なお、極座標に対し、配向軸ｚ周りに角度αずれた位置での方位角をφ’とすると、３次元配向分布を考慮した散乱強度Ｉは、以下の（式１）で表される。
【００２７】
【数４】
2020169852.tif 000006
なお、上記した（式２）は、三角関数を用いると以下の（式３）で表される。
【００２８】
【数５】
2020169852.tif 000007
また、上記（式１）において、以下の（式４）で示す部分は、図４に示すように、エバルトの反射球上に形成される微小面積である。この微小面積は、一辺ｓｉｎφ’ｄαと、その一辺に交差する他辺ｄαとの積で算出される。そして、上記（式１）では、この微小面積も積分することで３次元方向での炭素繊維の配向分布が加味されることになる。
【００２９】
【数６】
2020169852.tif 000008
したがって、（式１）では、３次元配向分布関数ｆ（φ’、α）と、微小面積と、から、３次元配向分布を考慮した散乱強度Ｉ（φ）を算出することができる。
【００３０】
取得工程Ｓ２において、測定部２０のプロファイル取得部２１は、（式１）から散乱強度Ｉ（φ）を算出し、算出した散乱強度Ｉ（φ）から散乱パターンに基づくプロファイルを取得する。
【００３１】
図５（ａ）に示すように、炭素繊維が配向軸ｚに引き揃っている場合、図５（ｂ）に示すように、検出部１２によって検出される散乱パターンは、中心の円を挟んで水平方向に延びるストリークＰが生じるようになる。この散乱パターンを、横軸に方位角、縦軸に散乱強度としたプロファイルとすると、図５（ｃ）に示すようなプロファイルとなる。なお、方位角は０°〜１８０°である。図５（ｃ）に示すように、炭素繊維が配向軸ｚに引き揃っている場合のプロファイルでは、ピーク幅Ｗが狭く、配向分布が小さいことが示される。つまり、方位角φが９０°付近に炭素繊維が集中していることが示される。
【００３２】
図６（ａ）に示すように、配向軸ｚに対して配向分布がある場合、図６（ｂ）に示すように、散乱パターンは、水平方向に加え、上下方向に延びるストリークＰが生じるようになる。図６（ｃ）では、炭素繊維が配向軸ｚに引き揃っている場合のプロファイルを１点鎖線で示し、配向軸ｚに対して配向分布がある場合のプロファイルを実線で示している。配向軸ｚに対して配向分布がある場合は、散乱強度Ｉは、方位角φの範囲が広がり、ピーク幅Ｗが広がっている。このことから、配向分布が大きくなることが示される。
【００３３】
配向軸ｚに対して配向分布がある場合、プロファイルのピーク幅Ｗの広がりは、単純に配向分布の分、広がるわけではなく、炭素繊維が配向軸ｚに引き揃っている場合のピーク幅Ｗと、配向分布がある場合のピーク幅Ｗの二つに依存する。そこで、予測される配向分布関数、例えば正規分布関数から予め数点の方位角φ’での散乱強度Ｉを算出し、プロファイルのピーク幅Ｗの広がりを表す標準偏差σを複数算出し、ピーク幅Ｗの広がりと、実際の配向分布の関係を示す検量線を作成する。
【００３４】
検量線はプロファイル計算部２２によって作成される。プロファイル計算部２２は、取得したプロファイルのピーク幅Ｗを測定するとともに、方位角φ’を異ならせた複数のプロファイルを作成し、各プロファイルのピーク幅Ｗの増加量と標準偏差σとの関係を表す検量線を作成する。
【００３５】
まず、配向分布の広がりを標準偏差σで換算できるように散乱強度Ｉ（φ）を（式５）に変換する。
【００３６】
【数７】
2020169852.tif 000009
なお、（式５）において、ｆσ（φ’ｉ，αｊ）は、予測される配向分布関数、例えば正規分布関数である。
【００３７】
そして、（式５）を用いて散乱強度Ｉ（φｋ）を算出する。
次に、算出した散乱強度Ｉ（φｋ）に基づくプロファイルについて、そのピーク幅Ｗを、積分幅を用いた（式６）によって算出する。なお、ピーク幅Ｗは、半値幅を用いて算出してもよい。
【００３８】
【数８】
2020169852.tif 000010
次に、ピーク幅Ｗの広がりを表すピーク幅Ｗの増加量Δｂσを（式７）に基づいて算出する。（式７）において、ピーク幅Ｗの増加量Δｂσは、算出した散乱強度Ｉに基づくピーク幅Ｗ（ｂσ）から、１本の炭素繊維の完全配向でのプロファイルにおけるピーク幅Ｗ（ｂ０）を差し引いて算出される。
【００３９】
【数９】
2020169852.tif 000011
そして、ピーク幅Ｗの増加量Δｂσと標準偏差σとの関係を、累乗の式を用いて近似式を算出して検量線を作成する。配向分布算出工程Ｓ３では、作成された検量線にピーク幅Ｗの増加量Δｂσを代入することで、配向分布の標準偏差σを算出できる。この標準偏差σの算出は、配向分布演算部２３によって行われる。配向分布において、標準偏差σの値が小さいほど、炭素繊維は、配向軸ｚに沿っており、３次元配向へのばらつきが小さいことを示す。標準偏差σの値が大きいほど、炭素繊維は、配向軸ｚに対し、３次元方向に大きくばらついていることを示す。そして、測定部２０は、算出された標準偏差σを表示部３０に表示させる。なお、取得されたプロファイルにおいて、ピーク幅Ｗが大きく増加して、増加量が定義できない場合は、炭素繊維の配向分布は無配向に相当する。
【００４０】
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）取得工程Ｓ２において、プロファイル取得部２１は（式１）を用いることで、小角Ｘ線散乱によって得られる散乱Ｘ線の３次元での散乱強度を算出でき、その散乱強度からプロファイルを取得できる。このため、（式１）を用いることで、炭素繊維の配向分布を３次元的に捉えたプロファイルを取得できる。そして、配向分布算出工程Ｓ３で配向分布演算部２３が配向分布を算出することにより、繊維強化複合材Ｈにおいて、炭素繊維の３次元的な配向分布を測定できる。
【００４１】
（２）配向分布算出工程Ｓ３では、配向分布演算部２３は検量線を作成し、検量線に積分幅の増加量を代入することで、炭素繊維の３次元的な配向分布を迅速に得ることができる。
【００４２】
（３）繊維配向分布測定システム１００は、表示部３０を備える。測定部２０は、表示部３０に配向分布を表示させるため、作業者は配向分布を容易に確認できる。
（４）小角Ｘ線散乱装置１０において、検出部１２で検出される散乱パターンはＸ線照射部１１と検出部１２との距離Ｌに依存し、繊維強化複合材Ｈの厚さの影響も受ける。広角Ｘ線回折の場合は、繊維強化複合材Ｈの厚さが厚いと距離Ｌに対する影響が大きいため、精度が低下しやすいが、小角Ｘ線散乱を用いるため、距離Ｌが長く、繊維強化複合材Ｈの厚さの影響が小さくなり、より高精度な配向分布の評価が可能になる。
【００４３】
実施形態は、以下のように変更して実施することができる。実施形態及び以下の変形例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
○  繊維配向分布測定システム１００は、表示部３０を備えていなくてもよい。この場合、測定部２０は、配向分布演算部２３によって算出された配向分布を繊維強化複合材Ｈにおける強化基材の製造装置にフィードバックしてもよい。そして、強化基材の製造装置は、フィードバックされた配向分布に従って、炭素繊維の配向を調整してもよい。
【００４４】
○  繊維配向分布測定システム１００において、配向分布算出工程Ｓ３では、配向分布演算部２３は、検量線を用いることなく配向分布を算出してもよい。この場合、完全配向したプロファイルのピーク幅Ｗに対して、測定した繊維強化複合材Ｈのプロファイルのピーク幅Ｗを比較して配向分布を算出する。
【００４５】
○  取得工程Ｓ２でプロファイルを取得せず、配向分布算出工程Ｓ３では、（式１）を用いて算出した散乱強度と方位角φ’との関係から配向分布を算出してもよい。
○  （式１）の配向分布関数に２次元の配向分布関数を代入して、２次元での配向分布を算出してもよい。
【００４６】
次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について以下に追記する。
（１）前記強化繊維は炭素繊維である。
【符号の説明】
【００４７】
Ｈ…繊維強化複合材、１０…小角Ｘ線散乱装置、２１…プロファイル取得部、２２…プロファイル計算部、２３…配向分布演算部、３０…表示部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2020169852.tif 000018
【図６】
2020169852.tif 000019
【図７】
2020169852.tif 000020