(57)【要約】【課題】制御信号に対する応答性や安全性に優れた流量調整弁を提供する。【解決手段】弁装置本体１００とその内部に配設されている弁体１１０と弁体１１０に接触しその位置を調整する駆動部材１３０とを備えた流量調整弁において、駆動部材１３０がエアベアリング機構により弁装置本体１００内に保持され、かつ、空気圧によって駆動されて弁体１１０の位置を調整する。【選択図】図３
2020163361.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁装置本体とその内部に配設されている弁体と前記弁体に接触しその位置を調整する駆動部材とを備えた流量調整弁において、前記駆動部材がエアベアリング機構により前記弁装置本体内に保持され、かつ、空気圧によって駆動されて前記弁体の位置を調整することを特徴とする流量調整弁。
【請求項２】
前記弁装置本体は筒状の周壁により形成された弁室と弁口を有し、
前記弁体は前記弁室内において弁口の流路を閉鎖させる閉位置と流路を開放させる開位置との間で移動可能であってこれらの一方の位置に向けて付勢力を受けており、
前記駆動部材は前記弁装置本体内において前記弁体の位置を前記開閉位置間で調整し、
前記駆動部材はエアベアリング機構により前記筒状の周壁内面との間に空隙をもって保持され、かつ、空気圧によって駆動されて前記弁体に接触し前記付勢力に抗してその位置を調整することを特徴とする請求項１に記載の流量調整弁。
【請求項３】
前記筒状の周壁は円筒状の周壁であり
前記弁体は、前記弁室内に前記開閉位置間においてバネ部材により開位置に向けて付勢力を受けている軸状部材であり、
前記駆動部材は前記軸状部材の延長上に中心軸を有し弁室内において前記弁体と反対側に空間を有する円筒部材であり、
前記円筒部材は、前記空間内の空気圧を増大させることにより前記弁室内を移動して前記軸状部材に当接してこれを閉位置に向けて移動させる一方、前記空間内の空気圧を低減することにより前記軸状部材が前記付勢力により開位置に向けて移動することを許容するものである請求項２に記載の流量調整弁。
【請求項４】
前記駆動部材と前記軸状部材の接触がフローティング構造である請求項３に記載の流量調整弁。
【請求項５】
塗工膜厚の制御に用いる請求項１〜４のいずれかに記載の流量調整弁。
【請求項６】
請求項５に記載の流量調整弁を塗工膜厚の制御に用いることを特徴とする塗工装置。
【請求項７】
幅方向に長くスラリーを溜める空間からなる第１のマニホールドと、当該幅方向に広いスリットを経由して当該第１のマニホールドと繋がり、スラリーを基材に対して吐出する吐出口とが形成されたダイと、
前記第１のマニホールドに連通している流入部から前記第１のマニホールドにスラリーを供給する供給手段と、を備え、
前記スリットの前記第１のマニホールドと前記吐出口との間には、スラリーを流出させ、もしくは流入させることにより前記吐出口からのスラリーの吐出量を調整する調整部が、前記幅方向にわたって複数設けられている、基材に活物質を含むスラリーを塗布し電池用極板を製造する装置において、
前記調整部が請求項５に記載の流量調整弁を含むことを特徴とする電池用極板の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、流量調整弁及び電池用極板の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  流量調整弁としては、（１）弁室及び弁座付き弁口（オリフィス）が設けられた弁装置本体と（２）弁座からの離間量に応じて弁口を流れる流体の流量を変化させる弁体とを備えた弁装置がよく知られている。
ここで、弁体は、例えば、雄ねじが切られた弁軸であり、ステッピングモータ等で、雌ねじが刻まれた軸受部材内に挿入し、または軸受部材内から引き出し、この動きによって弁軸端−弁座間の離間量を調整する（例えば、特許文献１、２等）。【０００３】  しかし、一般にこうした電動弁では螺合部等での摩擦が大きく迅速な流量調整が難しい。また、使用の継続によりヒステリシスが発生しやすい。
また、こうした電動弁は、可燃性流体の存在下では必ずしも安全ではない。モータ等の内外の電気配線から火花や過熱部を生じ、炎上等のおそれがあるためである。このため、可燃性ガスや可燃性液体の液量制御に用いる流量調整弁、例えば、塗工装置に用いる流量調整弁は、従来、モータ等の電気配線部分を耐圧防爆化するなど重厚な構造のものとなっており、製造にも大きなコストを要していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２８９９０１号公報
【特許文献２】特開２００６−７０９８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  本発明は上記の問題の解決を意図したものであり、制御信号に対する応答性や安全性に優れた流量調整弁の提供を目的とする。本発明の他の目的は、制御信号に対する応答性や安全性に優れ、かつ、流量制御の安定性に優れた流量調整弁の提供を目的とする。本発明のさらに他の目的は、膜厚制御の安定性に優れた塗工装置用流量調整弁及び塗工装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  前記目的を達成すべく、本発明は以下の構造に係る流量調整弁、塗工装置用流量調整弁及び塗工装置を提供する。
［１］弁装置本体とその内部に配設されている弁体と前記弁体に接触しその位置を調整する駆動部材とを備えた流量調整弁において、前記駆動部材がエアベアリング機構により前記弁装置本体内に保持され、かつ、空気圧によって駆動されて前記弁体の位置を調整することを特徴とする流量調整弁。
［２］前記弁装置本体は筒状の周壁により形成された弁室と弁口を有し、
前記弁体は前記弁室内において弁口の流路を閉鎖させる閉位置と流路を開放させる開位置との間で移動可能であってこれらの一方の位置に向けて付勢力を受けており、
前記駆動部材は前記弁装置本体内において前記弁体の位置を前記開閉位置間で調整し、
前記駆動部材はエアベアリング機構により前記筒状の周壁内面との間に空隙をもって保持され、かつ、空気圧によって駆動されて前記弁体に接触し前記付勢力に抗してその位置を調整することを特徴とする前記［１］に記載の流量調整弁。【０００７】［３］前記筒状の周壁は円筒状の周壁であり
前記弁体は、前記弁室内に前記開閉位置間においてバネ部材により開位置に向けて付勢力を受けている軸状部材であり、
前記駆動部材は前記軸状部材の延長上に中心軸を有し弁室内において前記弁体と反対側に空間を有する円筒部材であり、
前記円筒部材は、前記空間内の空気圧を増大させることにより前記弁室内を移動して前記軸状部材に当接してこれを閉位置に向けて移動させる一方、前記空間内の空気圧を低減することにより前記軸状部材が前記付勢力により開位置に向けて移動することを許容するものである前記［２］に記載の流量調整弁。【０００８】［４］前記駆動部材と前記軸状部材の接触がフローティング構造である前記［３］に記載の流量調整弁。
［５］塗工膜厚の制御に用いる前記［１］〜［４］のいずれかに記載の流量調整弁。
［６］前記［５］に記載の流量調整弁を塗工膜厚の制御に用いることを特徴とする塗工装置。【０００９】［７］幅方向に長くスラリーを溜める空間からなる第１のマニホールドと、当該幅方向に広いスリットを経由して当該第１のマニホールドと繋がり、スラリーを基材に対して吐出する吐出口とが形成されたダイと、
前記第１のマニホールドに連通している流入部から前記第１のマニホールドにスラリーを供給する供給手段と、を備え、
前記スリットの前記第１のマニホールドと前記吐出口との間には、スラリーを流出させ、もしくは流入させることにより前記吐出口からのスラリーの吐出量を調整する調整部が、前記幅方向にわたって複数設けられている、基材に活物質を含むスラリーを塗布し電池用極板を製造する装置において、
前記調整部が前記［５］に記載の流量調整弁を含むことを特徴とする電池用極板の製造装置。
【発明の効果】
【００１０】  本発明による流量調整弁は弁体の位置を調整する駆動部材がエアベアリング機構によって弁室内に保持されているため摺動摩擦やヒステリシスが小さいか発生しない。このため、空気圧導入を介して行われる制御に対する応答性や安定性に優れている。従来の電空ポジショナー付き流量調節弁は摺動摩擦やヒステリシスが大きいバルブの開度をフィードバック制御する方式であり応答性が遅いが、本発明による流量調整弁の応答性の方が優れる。さらに電動部を有しないため、有機溶媒等可燃性液体を含む流体の液量制御に適しているとともに、従来の耐圧防爆化した流量調整弁と比較して軽量で簡便な構造であり、製造コストも低い。また、塗膜層の厚さを安定的に均一にすることが可能となるため塗工装置や電池用極板の製造装置として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の電池用極板の製造装置の概略構成を示す説明図である。
【図２】図１のａ矢視の断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る流量調整弁の縦断面図。
【図４】他の実施形態における電池用極板の製造装置の概略構成を示す説明図である。
【図５】（Ａ）は、図１のｂ矢視の断面図であり、（Ｂ）は、シム板１５の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】  以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、本明細書および図面においては、機能が実質的に同様の構成要素には、同じ符号を使用することにより重複した説明を省略する。
図３に本発明の一実施形態に係る流量調整弁１００の構成を示す。
【００１３】  この図においては、流量調整弁は全開時の状態を示している。図３において、１００は弁装置本体、１１０は弁体、１１５は弁座、１２０は周壁、１２５は弁室、１３０は駆動部材、１４０は弁口、１５０はコイルばね、を示している。また、１７０はエアベアリング機構によって形成されたクリアランスであり、１８０はエアベアリング機構を実現するための空気圧導入口、１８５は空気排出口、１９０は駆動部材を移動させるための空気圧導入口である。１９５は弁室（加圧ガス室）である。
【００１４】  好ましくは、これらの部材は以下の構成を有する。
前記弁装置本体は概ね筒状の周壁により形成された弁室と弁口を有し、
前記弁体は前記弁室内において弁口の流路を閉鎖させる閉位置と流路を開放させる開位置との間で移動可能であってこれらの一方の位置に向けて付勢力を受けており、
前記駆動部材は前記弁装置本体内において前記弁体の位置を前記開閉位置間で調整し、
前記駆動部材はエアベアリング機構により前記筒状の周壁内面との間に空隙をもって保持され、空気圧によって前記弁体に接触し前記付勢力に抗してその位置を調整する。
【００１５】  すなわち、弁装置本体１００の周壁１２０は、好ましくは筒状の、より好ましくは円筒状の周壁であり、弁体１１０は、弁室１２５内に前記開閉位置間において移動自在に配設される軸状部材である。
周壁１２０は、後述のエアベアリング機構部を除き、概ね筒状の一または複数の部材により形成されており、弁室１２０の底面には、弁座１１５が嵌合固定されている。
【００１６】  弁体１１０は、周壁１２０によって形成される弁室１２５内において（軸方向に）移動可能であるため、弁座１１５と弁体１１０との間の空隙の広さは弁体１１０の動きにより変化し、これにより流体の流れが調整される。
また、弁体１１０は、開位置と閉位置の一方に向けて付勢されている。図示する態様では開位置に向けて付勢力を受けている。付勢は典型的にはバネ部材１５０を設けることにより行われる。
【００１７】  駆動部材１３０はエアベアリング機構により前記筒状の周壁１２０の内面との間に一定の空隙をもって保持される。この空隙内には、周壁１２０の内面を通して空気圧導入口１８０から空気圧が導入されており、これによりエアベアリング機構が実現されている。すなわち、駆動部材１３０の移動部分に関しては、前記筒状の周壁１２０に多孔体１６０が配置されており、多孔体１６０の内面各部から駆動部材１３０とのクリアランス１７０に向けて空気が噴き出している。これにより、駆動部材１３０は、周壁１２０の内面に接触することなく、軸状の弁体１１０の延長上に中心軸を有するように保持されている。
【００１８】  駆動部材１３０は弁室内において前記弁体１１０と反対側に空間１９５を有する概ね円筒状の部材である。
ここで、図３の開状態から閉状態に至る本発明の弁装置本体１００の動きについて説明する。
まず、空間１９５内に空気圧導入口１９０から加圧ガスを導入する。これにより空間１９５内の空気圧が増大するため、駆動部材１３０は前記弁室内を弁体１１０に向けて（すなわち、図で下方に）移動して弁体上部に当接してこれを閉位置に向けて移動させる。
【００１９】  一方、閉状態から図３の開状態に弁体１１０を移動させるためには前記空間１９５内の空気圧を低減する。軸状の弁体１１０は開位置に向けて付勢力を受けているので、駆動部材１３０を介した空気圧による応力が解消されると、弁体１１０は開位置に向けて（すなわち、図で上方に）移動する。
【００２０】  なお、以上において空気圧を導入しない状態において開状態、すなわち常時開型の組合せとして説明しているが、駆動部材１３０とコイルばね１５０の位置を逆転させた、空気圧を導入しない状態において閉状態、すなわち常時閉型の組合せとしても、当然、本発明の効果は同様である。
【００２１】  ここで、駆動部材１３０による軸状の弁体１１０の位置調整は好ましくはフローティング構造を介して行われる。すなわち、駆動部材１３０と軸状の弁体１１０とはどの段階でも結合しておらず、駆動部材１３０が弁体１１０に当接している状態でも、両者の接触部位は軸に対する垂直面内において相対的に自由に動き得る構造となっている。両者の接触部位は小面積であることが好ましく、このため、駆動部材１３０の（図中での）下端は錘状の頂点または球状ないし半球状とし、弁体１１０の上面は平面とすることが好ましい。あるいは、駆動部材１３０の（図中での）下端は平面とし、弁体１１０の上面を錘状の頂点または球状ないし半球状とする。
【００２２】  なお、ここで、弁体等の説明における上方・下方は、流量調整弁の軸を垂直とし弁口を下にした状態における上下であり、流量調整弁を、軸を水平に設置した場合は、弁体は水平方向における左右方向である。
【００２３】  駆動部材１３０による軸状の弁体１１０の位置調整をフローティング構造を介したことにより、流量調整機能の安定性が高まる。
【００２４】  上記の構成による流量調整弁は、電気を用いないため、特別な防爆構造を採ることなく火災や爆発の危険がない。また、空気圧導入を介して行われる制御の応答性や安定性に優れているため、有機溶媒等の可燃性液体や可燃性ガスの流量調整弁として有用である。このため、例えば、有機溶媒を用いた塗工装置の膜厚の制御に用いることができる。例えば、以下に説明する「基材に活物質を含むスラリーを塗布して電池用極板を製造するための製造装置」において有用である。
【００２５】  図１は、電池用極板の製造装置の概略構成を示す説明図である。この製造装置１は、ロールツーロールで送られる金属箔からなる基材２に、活物質、バインダー、導電助剤及び溶媒を含むスラリー３を塗布するための装置である。この製造装置によれば、塗布したスラリー３を乾燥させることで基材２上に活物質を含む層が形成され、この基材２が所定形状に切断され電池用極板となる。基材２上に形成される活物質を含む層の厚さは、電池の充放電量に直接影響を与えることから、基材２に塗布するスラリー３によって形成される塗膜層の膜厚管理は非常に重要であり、この製造装置１によれば、以下の実施形態において説明するように、スラリー３は、基材２の送り方向に沿って均一な厚さ（均一な塗膜量）で塗布される。なお、基材２の幅方向は、基材２の送り方向に直交する方向であり、図１におけるＹ軸方向がこれに相当する。
【００２６】  製造装置１は、基材２の幅方向に沿って長く構成されたダイ１０と、このダイ１０にスラリー３を供給する供給手段２０とを備えている。ダイ１０において、その長手方向（図１におけるＹ軸方向）を幅方向という。この製造装置１では、ダイ１０に対向するローラ５が設置されており、ダイ１０の幅方向とローラ５の回転中心線の方向とは平行である。基材２は、このローラ５に案内され、基材２とダイ１０（後述のスリット１２の先端）との間隔（隙間）が一定に保たれ、この状態でスラリー３の塗布が行われる。
【００２７】  本実施形態のダイ１０は、先細り形状である第一リップ１３ａを有する第一分割体１３と、先細り形状である第二リップ１４ａを有する第二分割体１４とを、これらの間にシム板１５を挟んで、組み合わせた構成からなる。図２は、図１のａ矢視の断面図である。図５（Ａ）は、図１のｂ矢視の断面図であり、シム板１５を、図５（Ｂ）に示している。ダイ１０は、その内部に、幅方向に長い空間からなる第１のマニホールド１１と、この第１のマニホールド１１と繋がるスリット１２とが形成され、また、第一リップ１３ａと第二リップ１４ａとの間には、スリット１２の解放端である吐出口１８が形成されている。すなわち、第１のマニホールド１１と吐出口１８とは、スリット１２を経由して繋がっている。
【００２８】  この構成により、供給手段２０により供給されたスラリー３は、先ず第１のマニホールド１１に溜められ、次に、スリット１２を経由して吐出口１８から吐出される。
【００２９】  スリット１２は、第１のマニホールド１１と同様に幅方向に長く形成されており、スリット１２の幅方向寸法は、後述するシム板１５の内寸Ｗ（図５（Ｂ）参照）によって決定され、スリット１２の幅方向寸法と略同一の幅方向寸法のスラリー３を、基材２上に塗布することができる。スリット１２の隙間寸法（高さ寸法）は、例えば０．４〜１．５ｍｍである。本実施形態では、スリット１２の隙間方向が上下方向であり、幅方向が水平方向となる姿勢でダイ１０は設置されている。つまり、第１のマニホールド１１とスリット１２とが水平方向に並んで配置される姿勢でダイ１０は設置されている。したがって、第１のマニホールド１１に溜められているスラリー３をスリット１２および吐出口１８を通じて基材２へと流す方向は水平方向となる。
【００３０】  なお、シム板１５の厚さを変更することにより、第１のマニホールド１１内部の圧力（塗工圧力）を調整することができ、この調整によって、様々な特性を有するスラリー３で均一な膜厚の塗工を行うことが可能となる。
【００３１】  ダイ１０の幅方向の中央部には、流入部１６が設けられており、この流入部１６は、ダイ１０の外部から第１のマニホールド１１へ繋がる貫通孔（流入口）からなる。供給手段２０は、この流入部１６に一端部が接続されている流入パイプ２１と、スラリー３を貯留しているタンク２２と、このタンク２２内のスラリー３を、パイプ２１を通じてダイ１０へ供給するためのポンプ２３とを有している。以上より、供給手段２０は、第１のマニホールド１１に流入部１６からスラリー３を供給することができる。なお、本実施形態では、図１に示すように、流入部１６は、第１のマニホールド１１の底部１７と繋がっており、この底部１７からスラリー３を流入させる構成としている。
【００３２】  そして、第１のマニホールド１１は、供給手段２０から供給されたスラリー３を溜めることができ、第１のマニホールド１１に溜められているスラリー３を、スリット１２を通って吐出口１８からロールツーロールで送られる基材２に対して吐出し、この基材２に対してスラリー３を連続的に塗布することができる。スリット１２の隙間寸法はその幅方向に一定であり、基材２上に塗布されるスラリー３の厚さは幅方向に一定となる。
【００３３】  また、ダイ１０には圧力センサ（図示せず）が設けられており、この圧力センサは、第１のマニホールド１１のスラリー３の内圧を計測する。そして、この計測結果に基づいて供給手段２０によるスラリー３の供給が制御され、第１のマニホールド１１のスラリー３の内圧を一定に保つ。第１のマニホールド１１で内圧が一定とされるスラリー３は、スリット１２から幅方向全長にわたって均等の量で吐出され、また、前記圧力センサの計測結果に基づいて、スリット１２から吐出されるスラリー３の量が変動しないように制御され、基材２上に塗布されるスラリー３の送り方向の厚さを一定とする。また、図示しないが、パイプ２１の途中にはスラリー３用のフィルタが設けられている。
【００３４】  そして、スリット１２には、第１のマニホールド１１のスラリー３を吐出口１８以外からダイ１０の外部へ流出させたり、第１のマニホールド１１の流入部１６からスラリー３を流入させる調整部３１，３２，３３，３４が設けられている。本実施形態では、スリット１２の幅方向の両端部１２ａ，１２ｂに、第１と第２の調整部３１，３２が設けられ、この両端部１２ａ，１２ｂの間の途中部１２ｃ，１２ｄに、第３と第４の調整部３３，３４が設けられている。
【００３５】  調整部３１，３２，３３，３４は、スリット１２とダイ１０の外部とを繋ぐ貫通孔と、貫通孔に接続されているパイプ５１，５２，５３，５４とからなる。本実施形態では、パイプ５１，５２，５３，５４の一端はタンク２２に繋がれており、タンク２２に貯留されるスラリー３が流入部１６から第１のマニホールド１１に流入するのとは別に、調整部３１，３２，３３，３４からスリット１２に流入する。もしくは、これら調整部３１，３２，３３，３４から流出したスラリー３は、タンク２２へ戻される。なお、パイプ５１，５２，５３，５４の途中に、図示しないがフィルタが設けられているのが好ましい。
【００３６】  このように、ダイ１０のスリット１２には、第１のマニホールド１１のスラリー３を流入部１６以外から流入、もしくは吐出口１８以外からダイ１０の外部へ流出させる調整部３１，３２，３３，３４が、スリット１２の幅方向に設けられていることから、たとえばマニホールド１１の両端部においてスラリー３が流れ難くなる（滞留する）ことによってマニホールド１１からスリット１２に流入するスラリー３の量が幅方向に不均一になったとしても、調整部３１，３２，３３，３４によって吐出口１８へ流出するスラリー３の量を調節することにより、吐出口１８から吐出されるスラリー３の量が幅方向に不均一になることを防ぐことができる。
【００３７】  なお、第１のマニホールド１１の両端部において、スラリー３の固形成分が沈殿や凝集し易くなる理由は、これら両端部には、第１のマニホールド１１の幅方向端面を構成する壁が存在していることから、第１のマニホールド１１の中央部から供給され幅方向両側へ広がるスラリー３は、両端部において流速が低下しやすく、スラリー３が滞留しやすいためである。特に、スラリー３は粘度（粘性）が高いため、両端部において滞留しやすく固形成分が沈殿や凝集しやすい。
【００３８】  また、本実施形態の製造装置１のダイ１０から吐出されるスラリー３として、粘度が数千から数万ｃＰ（剪断速度＝１の場合）のものを採用することができる。
【００３９】  ここで、本発明では、調整部３１，３２，３３，３４は第１のマニホールドではなく、スリット１２に設けられている。これは、第１のマニホールド１１は流入部１６から流入したスラリー３を第１のマニホールド１１全体に行き渡らせるために幅方向の断面積を大きく、すなわち容積を大きく形成されているためであり、仮に第１にマニホールドに調整部３１，３２，３３，３４を設けた場合、各調整部による局所的なスラリー量の調整を行っても、感度が悪く十分に調整の効果が得られにくい。
【００４０】  これに対し、第１のマニホールド１１よりも幅方向の断面積が十分に小さいスリット１２に調整部３１，３２，３３，３４を設けることにより、各調整部における調整を感度良く吐出口１８からの吐出量に反映させることが可能である。
【００４１】  さらに、本実施形態では、この調整部３１，３２，３３，３４それぞれには、スリット１２に流入もしくはスリット１２から流出させるスラリー３の量の調整を行う制御装置が設けられている。具体的に説明すると、図２に示すように、流出パイブ５１，５２，５３，５４それぞれに、前記制御装置として本発明である流量調整弁６１，６２，６３，６４が接続されている。これら流量調整弁６１，６２，６３，６４それぞれは、調整部３１，３２，３３，３４それぞれから流出するスラリー３の流量を調整する機能を有している。なお、流量調整弁６１，６２，６３，６４それぞれは、調整部３１，３２，３３，３４それぞれから流入もしくは流出するスラリー３の圧力を調整してもよい。または、調整部３１，３２，３３，３４とタンク２２とを繋ぐパイプ５１，５２，５３，５４の途中に、スラリー３の流量管理（流出量調整）を行う機器（例えば、ポンプ）が設けられていてもよく、この場合、この機器が、スリット１２に流入もしくはスリット１２から流出させるスラリー３の排出調整を行う制御装置として機能する。
【００４２】  また、この製造装置１は、基材２上へ塗布したスラリー３の膜厚を測定するセンサ３６を備えている（図１参照）。センサ３６は、幅方向に沿って複数設けられていてもよい。センサ３６は、非接触式であり、基材２上のスラリー３の膜厚を、幅方向に沿って複数カ所、又は、幅方向の全長にわたって計測可能であり、計測結果は、製造装置１が備えている制御装置（コンピュータ）３７に出力される。制御装置３７はセンサ３６からの計測結果に基づくフィードバック制御を行い、流量調整弁６１，６２，６３，６４の開度を調整する。つまり、スラリー３の膜厚の計測結果に応じて、制御装置３７は、流量調整弁６１，６２，６３，６４それぞれに対して制御信号を出力し、流量調整弁６１，６２，６３，６４それぞれの開度を調整する。これにより、スラリー３の膜厚を幅方向に一定に保つことが可能となる。
【００４３】  なお、センサ３６の代わりに制御装置３７が有するタイマ機能により、流量調整弁６１，６２，６３，６４の開度を制御してもよい。つまり、塗布開始からある時間が経過するとスラリー３の固形成分の沈殿や凝集が問題となることから、この時間が経過する前の所定時間をタイマで計測し、その所定時間が経過すると、制御装置３７は流量調整弁６１，６２，６３，６４の開度を大きくする制御を行ってもよい。
【００４４】  さらに、本実施形態では、スリット１２の両端部１２ａ，１２ｂの間の途中部１２ｃ，１２ｄにも、調整部３３，３４が設けられており、両端部１２ａ，１２ｂのみでスラリー３の流量が多くなることを抑えている。そして、この途中部１２ｃ，１２ｄに接続されている流量調整弁６３，６４の開度を調整することで、スラリー３の吐出作業を長時間継続して行っていても、基材２上に形成されるスラリー３の膜厚を均一にすることが可能となる。
【００４５】  例えば、このダイ１０を用いた塗布作業を開始してからある時間までは、第１のマニホールド１１では、両端部を含めて、スラリー３の固形成分の沈殿や凝集は発生しにくく、吐出口１８の全幅において均一な吐出量を得ることができる。このため、流量調整弁６１，６２，６３，６４の開度は、すべて同じ程度（開度がゼロであってもよい）とされる。
【００４６】  しかし、ある時間を超え、第１のマニホールド１１の両端部において、スラリー３の固形成分の沈殿や凝集が多く発生しそうになると、両端部に対応する流量調整弁６１，６２の開度を大きく変更する。これにより、両端部においてスラリー３が補充され、スリット１２の両端部において、スラリー３の吐出量が減少してしまうのを抑えることができる。
【００４７】  そして、両側の弁装置６１，６２の開度を大きく変更した際、吐出口１８の幅方向両端部では、スラリー３の吐出量が変化する傾向にあり、これが原因となって、スリット１２の幅方向の中央側に隣り合う途中部１２ｃ，１２ｄでも、スラリー３の流量が一時的に変化する現象が起こる。
【００４８】  そこで、第１のマニホールド１１の両端部において、固形成分の沈殿や凝集が多く発生しそうになると、スリット１２の両端部１２ａ，１２ｂに対応する流量調整弁６１，６２の開度を（徐々に）大きく変更すると共に、途中部１２ｃ，１２ｄに対応する流量調整弁６３，６４の開度も（徐々に）大きく変更する制御が行われる。なお、開度変更中の流量調整弁６３，６４の開度を、開度変更中の流量調整弁６１，６２の開度よりも小さくし、途中に設けられている調整部３３，３４からのスラリー３の流入量を、両端の調整部３１，３２からのスラリー３の流入量よりも少なくしている。さらに、この際、第１のマニホールド１１のスラリー３の内圧も一定となるように制御される。
【００４９】  以上の制御によれば、調整部３１，３２，３３，３４を通じてスリット１２に流入もしくはスリット１２から流出させるスラリー３の流量を調整することにより、吐出口１８から吐出させるスラリー３の量が変更される。このため、スラリー３を吐出口１８から幅方向の全長にわたって均等に吐出させるためのより厳密な制御が可能となり、基材２上に形成されるスラリー３の膜厚を、幅方向及び送り方向について、均一にすることが可能となる。
【００５０】  また、さらに他の実施形態として、図４に示すように、スリット１２の途中（第１のマニホールド１１と吐出口１８の間）に第２のマニホールド２４が設けられ、この第２のマニホールド２４に調整部３１，３２，３３，３４が設けられていても良い。
【００５１】  この実施形態においても、上記の通り、第２のマニホールド２４は、幅方向の長さは第１のマニホールド１１およびスリット１２と同等であり、幅方向の断面積は第１のマニホールド１１よりも小さい。すなわち、第２のマニホールドよりも容積が小さい。
【００５２】  このような第２のマニホールド２４に調整部３１，３２，３３，３４が設けられることにより、スリット１２に直接調整部３１，３２，３３，３４を設ければ調整の感度が良すぎて吐出口１８からのスラリー３の吐出量の制御が困難であるときに、適度に調整感度を緩めてスラリー３の吐出量の制御を容易にすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５３】  本発明の流量調整弁は弁体の位置を制御する駆動部材がエアベアリング機構によって弁室内に支持されているため摺動摩擦やヒステリシスが小さいか全く発生しない。このため、空気圧導入を介して行われる制御に対する応答性や安定性に優れており、幅広い分野の流量調整に用いることができる。さらに電動部を有しないため、有機溶媒等可燃性液体を含む流体の液量制御に適しているとともに、従来の耐圧防爆化した流量調整弁と比較して軽量で簡便な構造であり、製造コストも低い。したがって、有機溶媒を用いる塗工装置や電池用極板の製造装置として有用である。
【符号の説明】
【００５４】１：電池用極板の製造装置    ２：基材    ３：スラリー
１０：ダイ    １１：第１のマニホールド    １１ａ：端部    １１ｂ：端部
１１ｃ：途中部    １１ｄ：途中部    １２：スリット
１６：流入部    １７：底部    １８：吐出口    ２０：供給手段
３１：調整部    ３２：調整部    ３３：調整部    ３４：調整部
６１：流量調整弁    ６２：流量調整弁    ６３：流量調整弁    ６４：流量調整弁
１００：流量調整弁本体    １１０：弁体    １１５：弁座    １２０：周壁
１２５：弁室    １３０：駆動部材    １４０：弁口    １５０：コイルばね
１６０：シール部材    １７０：クリアランス    １８０：ガス導入口
１８５：ガス排出口    １９０：加圧ガス導入口    １９５：弁室（加圧ガス室）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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