(57)【要約】【課題】本発明は、摩耗計測の分解能を向上させることの可能な摩耗センサ、摩耗センサ装置、軸受、及び軸受のセッティング方法を提供することを目的とする。【解決手段】絶縁基板１１の側面１１ｂから側面１１ｃに向かうＸ方向に間隔を空けて配置された第１の導通検査用配線２１〜２５及び第１のグラウンド用配線２６を含む第１の配線群１２と、絶縁基板１１の第１の配線形成面１１ｄに形成され、絶縁基板１１の先端面１１ａ側に位置する第１の導通検査用配線２１〜２５の先端２１Ａ〜２５Ａ及び第１のグラウンド用配線２６の先端２６Ａを連結する第１の摩耗検知用配線１３と、を備え、側面１１ｂから側面１１ｃに向かうにつれて、先端２１Ａ〜２６Ａが先端面１１ａから絶縁基板１１の後端側に徐々に後退するように配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
摩耗進行方向が長さ方向とされ、摩耗される側に配置された先端面、前記長さ方向に対して直交する幅方向に配置され、前記先端面と接続された一対の側面、前記先端面及び前記一対の側面で囲まれており、前記長さ方向に延びる第１の配線形成面を有する絶縁基板と、
前記摩耗進行方向に延びて前記第１の配線形成面に形成され、一方の前記側面から他方の前記側面に向かう方向に間隔を空けて配置された複数の第１の導通検査用配線及び少なくとも１つの第１のグラウンド用配線を含む第１の配線群と、
前記第１の配線形成面に形成され、前記先端面側に位置する前記複数の第１の導通検査用配線の先端及び前記第１のグラウンド用配線の先端を連結する第１の摩耗検知用配線と、
を備え、
前記複数の第１の導通検査用配線の先端及び前記第１のグラウンド用配線の先端は、前記一方の側面から前記他方の側面に向かうにつれて、前記先端面から前記絶縁基板の後端側に徐々に後退するように配置されており、
前記第１の摩耗検知用配線は、前記複数の第１の導通検査用配線及び前記第１のグラウンド用配線のうち、互いに隣り合う２つの配線の先端と電気的に接続された検知配線部を複数有する摩耗センサ。
【請求項２】
前記複数の検知配線部は、前記摩耗進行方向に対して直交する方向にそれぞれ延びており、
前記第１の摩耗検知用配線の形状は、階段形状である請求項１記載の摩耗センサ。
【請求項３】
前記複数の検知配線部は、前記先端面に対して傾斜して配置されている請求項１記載の摩耗センサ。
【請求項４】
前記複数の検知配線部は、前記先端面に対して一定の角度で傾斜する請求項３記載の摩耗センサ。
【請求項５】
前記検知配線部は、前記幅方向において、互いに隣り合う位置に配置された２つの前記第１の導通検査用配線のうち、前記他方の側面側に配置された前記第１の導通検査用配線の先端の角と点接触する請求項４記載の摩耗センサ。
【請求項６】
前記複数の検知配線部は、前記先端面からの距離が同じ検知配線部を複数含み、
前記先端面からの距離が同じ複数の前記検知配線部は、前記第１のグラウンド用配線に対して電気的に並列接続されている請求項１記載の摩耗センサ。
【請求項７】
前記第１のグラウンド用配線は、前記絶縁基板の中央に配置されており、
前記先端面からの距離が同じ複数の前記検知配線部は、前記第１のグラウンド用配線の両側に配置されている請求項６記載の摩耗センサ。
【請求項８】
前記複数の検知配線部は、前記一対の側面から前記絶縁基板の中央に向かう方向に階段を形成するように配置されている請求項７記載の摩耗センサ。
【請求項９】
前記絶縁基板は、前記第１の配線形成面の反対側に配置された第２の配線形成面を有し、
前記摩耗進行方向に延びて前記第２の配線形成面に形成され、一方の前記側面から他方の前記側面に向かう方向に間隔を空けて配置された複数の第２の導通検査用配線及び少なくとも１つの第２のグラウンド用配線を含む第２の配線群と、
前記第２の配線形成面に形成され、前記先端面側に位置する前記複数の第２の導通検査用配線の先端及び前記第２のグラウンド用配線の先端を連結する第２の摩耗検知用配線と、
を備え、
少なくとも前記第２の配線群の先端部は、前記絶縁基板を介して、前記第１の配線群の先端部と向かい合うように配置されており、
前記第２の摩耗検知用配線の全体は、前記絶縁基板を介して、前記第２の配線群と向かい合うように配置されており、
前記絶縁基板を介して互いに向かい合う前記第１の導通検査用配線と前記第２の導通検査用配線とは電気的に接続されており、
前記絶縁基板を介して互いに向かい合う前記第１のグラウンド用配線と前記第２のグラウンド用配線とは電気的に接続されている請求項１から５のうち、いずれか一項記載の摩耗センサ。
【請求項１０】
前記複数の第１の導通検査用配線及び前記第１のグラウンド用配線は、第１の配線本体と、前記絶縁基板の後端側に位置する前記第１の配線本体の端と接続された第１のランド部と、をそれぞれ有し、
前記複数の第２の導通検査用配線及び前記第２のグラウンド用配線は、第２の配線本体をそれぞれ有し、
前記絶縁基板を貫通して設けられ、互いに向かい合う前記第１の配線本体と前記第２の配線本体とを電気的に接続する貫通電極を有する請求項９記載の摩耗センサ。
【請求項１１】
前記複数の第１の導通検査用配線及び前記第１のグラウンド用配線は、第１の配線本体と、前記絶縁基板の後端側に位置する前記第１の配線本体の端と接続された第１のランド部と、をそれぞれ有し、
前記複数の第２の導通検査用配線及び前記第２のグラウンド用配線は、前記絶縁基板を介して、全体が前記第１の配線本体と向かい合う第２の配線本体と、前記第２の配線本体の端と接続され、前記絶縁基板を介して、前記第１のランド部と向かい合う第２のランド部と、をそれぞれ有し、
前記絶縁基板を貫通して設けられ、前記絶縁基板を介して互いに向かい合う前記第１のランド部と前記第２のランド部とを電気的に接続する貫通電極を有する請求項９記載の摩耗センサ。
【請求項１２】
摩耗進行方向が長さ方向とされ、摩耗される側に配置された先端面、前記長さ方向に対して直交する幅方向に配置され、前記先端面と接続された一対の側面、前記先端面及び前記一対の側面で囲まれており、前記長さ方向に延びる第１の配線形成面、及び前記先端面と接続された一対の側面、前記先端面及び前記一対の側面で囲まれており、前記長さ方向に延び、前記第１の配線形成面の反対側に配置された第２の配線形成面を有する絶縁基板と、
前記摩耗進行方向に延びて前記第１の配線形成面に形成された第１の導通検査用配線と、
前記摩耗進行方向に延びて前記第１の配線形成面に形成され、前記長さ方向に対して直交する幅方向に前記第１の導通検査用配線から離れて配置された第１のグラウンド用配線と、
前記第１の配線形成面に形成され、前記先端面側に位置する前記第１の導通検査用配線の先端及び前記第１のグラウンド用配線の先端を連結する第１の摩耗検知用配線と、
前記摩耗進行方向に延びて前記第２の配線形成面に形成され、前記絶縁基板を介して、少なくとも先端部側が前記第１の導通検査用配線と向かい合うとともに、前記第１の導通検査用配線と電気的に接続された第２の導通検査用配線と、
前記摩耗進行方向に延びて前記第２の配線形成面に形成され、前記絶縁基板を介して、少なくとも先端部側が前記第１のグラウンド用配線と向かい合うとともに、前記第１のグラウンド用配線と電気的に接続された第２のグラウンド用配線と、
前記第２の配線形成面に形成され、前記先端面側に位置する前記第１の導通検査用配線の先端及び前記第１のグラウンド用配線の先端を連結するとともに、前記絶縁基板を介して全体が前記第１の導通検査用配線と向かい合う第２の摩耗検知用配線と、
を備える摩耗センサ。
【請求項１３】
前記第１及び第２のグラウンド用配線の先端から前記絶縁基板の先端面までの距離は、前記第１及び第２の導通検査用配線の先端から前記絶縁基板の先端面までの距離と等しい請求項１２記載の摩耗センサ。
【請求項１４】
前記第１及び第２のグラウンド用配線の先端から前記絶縁基板の先端面までの距離は、前記第１及び第２の導通検査用配線の先端から前記絶縁基板の先端面までの距離と異なる請求項１２記載の摩耗センサ。
【請求項１５】
前記第１及び第２の導通検査用配線は、第１の配線本体と、前記絶縁基板の後端側に位置する前記第１の配線本体の端と接続された第１のランド部と、をそれぞれ有し、
前記第１及び第２のグラウンド用配線は、第２の配線本体をそれぞれ有し、
前記絶縁基板を貫通して設けられ、互いに向かい合う前記第１の配線本体同士、及び互いに向かい合う前記第２の配線本体同士を電気的に接続する貫通電極を有する請求項１２から１４のうち、いずれか一項記載の摩耗センサ。
【請求項１６】
前記第１及び第２の導通検査用配線は、第１の配線本体と、前記絶縁基板の後端側に位置する前記第１の配線本体の端と接続された第１のランド部と、をそれぞれ有し、
前記第１及び第２のグラウンド用配線は、第２の配線本体と、前記絶縁基板の後端側に位置する前記第２の配線本体の端と接続された第２のランド部と、をそれぞれ有し、
前記絶縁基板を貫通して設けられ、互いに向かい合う前記第１のランド同士、及び互いに向かい合う前記第２のランド同士を電気的に接続する貫通電極を有する請求項１２から１４のうち、いずれか一項記載の摩耗センサ。
【請求項１７】
請求項１から１６のうち、いずれか一項記載の摩耗センサと、
前記第１の導通検査用配線と前記第１のグラウンド用配線との間に電圧を印加して導通状態を検知する導通検知部、前記導通状態に対する前記摩耗センサの摩耗量に関するデータが格納された記憶部、及び前記導通検知部が検知した前記導通状態と前記データとに基づいて、前記摩耗センサの摩耗量を取得する摩耗量取得部を有する摩耗量取得装置と、
を備える摩耗センサ装置。
【請求項１８】
請求項１７に記載の摩耗センサ装置と、
回転体により摩耗する摩耗面、及び前記摩耗センサを収容する収容部を有する軸受本体と、
を備え、
前記摩耗量取得部は、前記摩耗センサの摩耗量に基づいて、前記軸受本体の摩耗量を取得する軸受。
【請求項１９】
請求項１８に記載の軸受のセッティング方法であって、
前記軸受本体の摩耗面から前記摩耗センサの先端の一部が突出するように、前記軸受本体の収容部に前記摩耗センサを配置させるセンサ配置工程と、
前記摩耗センサの先端側及び前記軸受本体の前記摩耗面側を削ることで、前記摩耗センサの先端面と前記摩耗面とを面一にする加工工程と、
前記加工工程後、前記摩耗量取得装置により、導通検査を行うことで、複数の検知配線部のうち、除去された前記検知配線部を特定する導通検査工程と、
を備え、
前記センサ配置工程では、前記複数の検知配線部のうち、一部を前記収容部内に配置させるとともに、残部を前記収容部の外側に配置させる軸受のセッティング方法。
【請求項２０】
筒状とされ、回転体を回転可能に支持する内周面が摩耗面とされ、前記摩耗面から径方向外側に凹む方向に切り欠かれた第１の切り欠き部が形成された軸受本体と、
前記第１の切り欠き部内に形成され、絶縁層と、配線パターンと、が交互に積層された積層体と、
前記配線パターンと接続された導通検査用ランドと、
導通検査時に使用されるグラウンド用ランドと、
を備え、
前記配線パターンは、前記絶縁層を介して、前記軸受本体のうち、前記摩耗面以外の領域まで引き出されており、
前記導通検査用ランドは、前記領域において、前記配線パターンと接続されており、
前記グラウンド用ランドは、前記導通検査用ランドから離れた状態で、前記領域に配置されている軸受。
【請求項２１】
筒状とされた軸受バックメタル部、及び筒状とされ、前記軸受バックメタル部の内周面に配置され、回転体を回転可能に支持する内周面が摩耗面とされた軸受メタル部を有する軸受本体と、
前記軸受バックメタル部の内周面に形成され、絶縁層と、配線パターンと、が交互に積層された積層体と、
前記配線パターンと接続された導通検査用ランドと、
導通検査時に使用されるグラウンド用ランドと、
を備え、
前記軸受メタル部は、前記積層体を覆う金属膜で構成されており、
前記内周面は、段差のない平滑な曲面とされており、
前記配線パターンは、前記絶縁層を介して、前記軸受本体のうち、前記摩耗面以外の領域まで引き出されており、
前記導通検査用ランドは、前記領域において、前記配線パターンと接続されており、
前記グラウンド用ランドは、前記導通検査用ランドから離れた状態で、前記領域に配置されている軸受。
【請求項２２】
前記領域は、前記軸受本体の端面である請求項２０または２１記載の軸受。
【請求項２３】
前記領域は、前記軸受本体の長さ方向において前記第１の切り欠き部の外側に形成され、前記摩耗面を基準としたときの深さが前記第１の切り欠き部よりも深さの深い第２の切り欠き部である請求項２０記載の軸受。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、摩耗センサ、摩耗センサ装置、軸受、及び軸受のセッティング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
産業機械の摩耗面の摩耗を検知するセンサとして、摩耗センサが用いられている（特許文献１，２参照）。
特許文献１には、階段形状とされたブロックに摩耗検知用配線となる導電膜を形成した摩耗センサが開示されている。
【０００３】
特許文献２には、複数の基板の一面に摩耗検知用配線をそれぞれ形成し、摩耗検知用配線が形成された複数の基板を積層させることで構成された摩耗センサが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４０７２９１４号公報
【特許文献２】特許第６０８３９６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された摩耗センサの場合、摩耗計測の分解能がブロックの加工精度に依存するため、摩耗計測の分解能を向上させることが困難であった。
【０００６】
また、特許文献２に開示された摩耗センサの場合、複数の基板を積層させる際の積層誤差が発生するため、摩耗計測の分解能を向上させることが困難であった。
【０００７】
そこで、本発明は、摩耗計測の分解能を向上させることの可能な摩耗センサ、摩耗センサ装置、軸受、及び軸受のセッティング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明の一態様に係る摩耗センサは、摩耗進行方向が長さ方向とされ、摩耗される側に配置された先端面、前記長さ方向に対して直交する幅方向に配置され、前記先端面と接続された一対の側面、前記先端面及び前記一対の側面で囲まれており、前記長さ方向に延びる第１の配線形成面を有する絶縁基板と、前記摩耗進行方向に延びて前記第１の配線形成面に形成され、一方の前記側面から他方の前記側面に向かう方向に間隔を空けて配置された複数の第１の導通検査用配線及び少なくとも１つの第１のグラウンド用配線を含む第１の配線群と、前記第１の配線形成面に形成され、前記先端面側に位置する前記複数の第１の導通検査用配線の先端及び前記第１のグラウンド用配線の先端を連結する第１の摩耗検知用配線と、を備え、前記複数の第１の導通検査用配線の先端及び前記第１のグラウンド用配線の先端は、前記一方の側面から前記他方の側面に向かうにつれて、前記先端面から前記絶縁基板の後端側に徐々に後退するように配置されており、前記第１の摩耗検知用配線は、前記複数の第１の導通検査用配線及び前記第１のグラウンド用配線のうち、互いに隣り合う２つの配線の先端と電気的に接続された検知配線部を複数有する。
【０００９】
本発明によれば、絶縁基板の一方の側面から他方の側面に向かう方向に間隔を空けて配置された複数の第１の導通検査用配線及び少なくとも１つの第１のグラウンド用配線を含む第１の配線群と、絶縁基板の第１の配線形成面に形成され、絶縁基板の先端面側に位置する複数の第１の導通検査用配線の先端及び第１のグラウンド用配線の先端を連結する第１の摩耗検知用配線と、を備えるとともに、複数の第１の導通検査用配線の先端及び第１のグラウンド用配線の先端が、一方の側面から他方の側面に向かうにつれて、複数の第１の導通検査用配線の先端及び第１のグラウンド用配線の先端が先端面から絶縁基板の後端側に徐々に後退するように配置され、第１の摩耗検知用配線が複数の第１の導通検査用配線及び第１のグラウンド用配線のうち、互いに隣り合う２つの配線の先端と電気的に接続された検知配線部を複数有することで、摩耗進行方向において、検知配線部同士を電気的に絶縁するための隙間を形成する必要がなくなる。
【００１０】
これにより、摩耗により１つの検知配線部が除去された位置から次の検知配線部が除去される位置までの絶縁基板の長さ方向の距離を小さくすることが可能となるので、摩耗計測の分解能を向上させることができる。
また、摩擦進行方向において、互いに隣り合う検知配線部の一部を重ねて配置させることが可能となるので、摩耗計測の分解能を検知配線部の幅よりも小さくすることができる。
【００１１】
また、上記本発明の一態様に係る摩耗センサにおいて、前記複数の検知配線部は、前記摩耗進行方向に対して直交する方向にそれぞれ延びており、前記第１の摩耗検知用配線の形状は、階段形状であってもよい。
【００１２】
このように、摩耗進行方向に対して直交する方向にそれぞれ延びる複数の検知配線部により、第１の摩耗検知用配線の形状を階段形状にすることで、摩耗進行方向に隙間を形成することなく、摩耗により各検知配線部が完全に除去されるタイミングをずらすことができる。
【００１３】
また、上記本発明の一態様に係る摩耗センサにおいて、前記複数の検知配線部は、前記先端面に対して傾斜して配置されていてもよい。
【００１４】
このように、先端面に対して複数の検知配線部を傾斜して配置させることで、摩耗進行方向に隙間を形成することなく、摩耗により各検知配線部が完全に除去されるタイミングをずらすことができる。
【００１５】
また、上記本発明の一態様に係る摩耗センサにおいて、前記複数の検知配線部は、前記先端面に対して一定の角度で傾斜してもよい。
【００１６】
このように、先端面に対して一定の角度で複数の検知配線部を傾斜させることで、摩擦進行方向における摩耗分解能を一定にすることができる。
【００１７】
また、上記本発明の一態様に係る摩耗センサにおいて、前記検知配線部は、前記幅方向において、互いに隣り合う位置に配置された２つの前記第１の導通検査用配線のうち、前記他方の側面側に配置された前記第１の導通検査用配線の先端の角と点接触してもよい。
【００１８】
このように、幅方向において、互いに隣り合う位置に配置された２つの第１の導通検査用配線のうち、他方の側面側に配置された第１の導通検査用配線の先端の角と点接触させることで、互いに隣りあう位置に配置された２つの第１の導通検査用配線の断線を点で行うことが可能となるため、摩耗の計測精度を向上させることができる。
【００１９】
また、他方の側面側に配置された第１の導通検査用配線の先端の角に向かうにつれて、第１の導通検査用配線の配線幅が減少する領域が小さくなるため、断線時において急激な抵抗値変化を発生させることが可能となる。これにより、Ｓ／Ｎ比が向上するため、摩耗の計測精度を向上させることができる。
【００２０】
また、上記本発明の一態様に係る摩耗センサにおいて、前記複数の検知配線部は、前記先端面からの距離が同じ検知配線部を複数含み、前記先端面からの距離が同じ複数の前記検知配線部は、前記第１のグラウンド用配線に対して電気的に並列接続されていてもよい。
【００２１】
このように、先端面からの距離が同じ複数の検知配線部を第１のグラウンド用配線に対して電気的に並列接続させることで、先端面からの距離が同じ複数の検知配線部の全てが切断されたときに、摩耗を検知することが可能となる。これにより、１つの検知配線部が切断されたときに摩耗を検知する場合と比較して、摩耗計測の精度を向上させることができる。
【００２２】
また、上記本発明の一態様に係る摩耗センサにおいて、前記第１のグラウンド用配線は、前記絶縁基板の中央に配置されており、前記先端面からの距離が同じ複数の前記検知配線部は、前記第１のグラウンド用配線の両側に配置されていてもよい。
【００２３】
このような構成とすることで、先端面からの距離が同じ複数の検知配線部を第１のグラウンド用配線に対して容易に並列接続させることができる。
【００２４】
また、上記本発明の一態様に係る摩耗センサにおいて、前記複数の検知配線部は、前記一対の側面から前記絶縁基板の中央に向かう方向に階段を形成するように配置されていてもよい。
【００２５】
このような構成とすることで、先端面から異なる距離に検知配線部を配置させた上で、複数の検知配線部を第１のグラウンド用配線に対して容易に並列接続させることができる。
【００２６】
また、上記本発明の一態様に係る摩耗センサにおいて、前記絶縁基板は、前記第１の配線形成面の反対側に配置された第２の配線形成面を有し、前記摩耗進行方向に延びて前記第２の配線形成面に形成され、一方の前記側面から他方の前記側面に向かう方向に間隔を空けて配置された複数の第２の導通検査用配線及び少なくとも１つの第２のグラウンド用配線を含む第２の配線群と、前記第２の配線形成面に形成され、前記先端面側に位置する前記複数の第２の導通検査用配線の先端及び前記第２のグラウンド用配線の先端を連結する第２の摩耗検知用配線と、を備え、少なくとも前記第２の配線群の先端部は、前記絶縁基板を介して、前記第１の配線群の先端部と向かい合うように配置されており、前記第２の摩耗検知用配線の全体は、前記絶縁基板を介して、前記第２の配線群と向かい合うように配置されており、前記絶縁基板を介して互いに向かい合う前記第１の導通検査用配線と前記第２の導通検査用配線とは電気的に接続されており、前記絶縁基板を介して互いに向かい合う前記第１のグラウンド用配線と前記第２のグラウンド用配線とが電気的に接続されていてもよい。
【００２７】
このような構成とすることで、第１及び第２の摩耗検知用配線のうち、一方の摩耗検知用配線に不具合が生じた場合でも他方の摩耗検知用配線を用いて、摩耗を計測することができる。
また、第１及び第２の摩耗検知用配線の両方に不具合が無い場合、第１及び第２の摩耗検知用配線の両方の摩耗検知用配線が切断された際、摩耗を検知することが可能となるので、摩耗計測の精度を向上させることができる。
【００２８】
また、上記本発明の一態様に係る摩耗センサにおいて、前記複数の第１の導通検査用配線及び前記第１のグラウンド用配線は、第１の配線本体と、前記絶縁基板の後端側に位置する前記第１の配線本体の端と接続された第１のランド部と、をそれぞれ有し、前記複数の第２の導通検査用配線及び前記第２のグラウンド用配線は、第２の配線本体をそれぞれ有し、前記絶縁基板を貫通して設けられ、互いに向かい合う前記第１の配線本体と前記第２の配線本体とを電気的に接続する貫通電極を有してもよい。
【００２９】
このような構成とされた貫通電極を設けることで、絶縁基板を介して互いに向かい合う第１の導通検査用配線と第２の導通検査用配線とを電気的に接続することができるとともに、絶縁基板を介して互いに向かい合う第１のグラウンド用配線と第２のグラウンド用配線とを電気的に接続することができる。
【００３０】
また、上記本発明の一態様に係る摩耗センサにおいて、前記複数の第１の導通検査用配線及び前記第１のグラウンド用配線は、第１の配線本体と、前記絶縁基板の後端側に位置する前記第１の配線本体の端と接続された第１のランド部と、をそれぞれ有し、前記複数の第２の導通検査用配線及び前記第２のグラウンド用配線は、前記絶縁基板を介して、全体が前記第１の配線本体と向かい合う第２の配線本体と、前記第２の配線本体の端と接続され、前記絶縁基板を介して、前記第１のランド部と向かい合う第２のランド部と、をそれぞれ有し、前記絶縁基板を貫通して設けられ、前記絶縁基板を介して互いに向かい合う前記第１のランド部と前記第２のランド部とを電気的に接続する貫通電極を有してもよい。
【００３１】
このような構成とされた貫通電極を設けることで、絶縁基板を介して互いに向かい合う第１の導通検査用配線と第２の導通検査用配線とを電気的に接続することができるとともに、絶縁基板を介して互いに向かい合う第１のグラウンド用配線と第２のグラウンド用配線とを電気的に接続することができる。
【００３２】
上記課題を解決するため、本発明の一態様に係る摩耗センサは、摩耗進行方向が長さ方向とされ、摩耗される側に配置された先端面、前記長さ方向に対して直交する幅方向に配置され、前記先端面と接続された一対の側面、前記先端面及び前記一対の側面で囲まれており、前記長さ方向に延びる第１の配線形成面、及び前記先端面と接続された一対の側面、前記先端面及び前記一対の側面で囲まれており、前記長さ方向に延び、前記第１の配線形成面の反対側に配置された第２の配線形成面を有する絶縁基板と、前記摩耗進行方向に延びて前記第１の配線形成面に形成された第１の導通検査用配線と、前記摩耗進行方向に延びて前記第１の配線形成面に形成され、前記長さ方向に対して直交する幅方向に前記第１の導通検査用配線から離れて配置された第１のグラウンド用配線と、前記第１の配線形成面に形成され、前記先端面側に位置する前記第１の導通検査用配線の先端及び前記第１のグラウンド用配線の先端を連結する第１の摩耗検知用配線と、前記摩耗進行方向に延びて前記第２の配線形成面に形成され、前記絶縁基板を介して、少なくとも先端部側が前記第１の導通検査用配線と向かい合うとともに、前記第１の導通検査用配線と電気的に接続された第２の導通検査用配線と、前記摩耗進行方向に延びて前記第２の配線形成面に形成され、前記絶縁基板を介して、少なくとも先端部側が前記第１のグラウンド用配線と向かい合うとともに、前記第１のグラウンド用配線と電気的に接続された第２のグラウンド用配線と、前記第２の配線形成面に形成され、前記先端面側に位置する前記第１の導通検査用配線の先端及び前記第１のグラウンド用配線の先端を連結するとともに、前記絶縁基板を介して全体が前記第１の摩耗検知用配線と向かい合う第２の摩耗検知用配線と、を備える。
【００３３】
このような構成とすることで、第１及び第２の摩耗検知用配線のうち、一方の摩耗検知用配線に不具合が生じた場合でも他方の摩耗検知用配線を用いて、摩耗を計測することができる。
また、第１及び第２の摩耗検知用配線の両方に不具合が無い場合、第１及び第２の摩耗検知用配線の両方の摩耗検知用配線が切断された際、摩耗を検知することが可能となるので、摩耗計測の精度を向上させることができる。
【００３４】
また、上記本発明の一態様に係る摩耗センサにおいて、前記第１及び第２のグラウンド用配線の先端から前記絶縁基板の先端面までの距離は、前記第１及び第２の導通検査用配線の先端から前記絶縁基板の先端面までの距離と等しくしてもよい。
【００３５】
このように、第１及び第２のグラウンド用配線の先端から絶縁基板の先端面までの距離は、第１及び第２の導通検査用配線の先端から絶縁基板の先端面までの距離と等しくしてもよい。
【００３６】
また、上記本発明の一態様に係る摩耗センサにおいて、前記第１及び第２のグラウンド用配線の先端から前記絶縁基板の先端面までの距離は、前記第１及び第２の導通検査用配線の先端から前記絶縁基板の先端面までの距離と異なっていてもよい。
【００３７】
このように、第１及び第２のグラウンド用配線の先端から絶縁基板の先端面までの距離は、第１及び第２の導通検査用配線の先端から絶縁基板の先端面までの距離と異なっていてもよい。
【００３８】
また、上記本発明の一態様に係る摩耗センサにおいて、前記第１の導通検査用配線及び前記第１のグラウンド用配線は、第１の配線本体と、前記絶縁基板の後端側に位置する前記第１の配線本体の端と接続された第１のランド部と、をそれぞれ有し、前記第２の導通検査用配線及び前記第２のグラウンド用配線は、第２の配線本体をそれぞれ有し、前記絶縁基板を貫通して形成され、前記絶縁基板を介して互いに向かい合う前記第１の配線本体と前記第２の配線本体とを接続する貫通電極を有してもよい。
【００３９】
このような構成とされた貫通電極を有することで、第１の導通検査用配線と第２の導通検査用配線とを電気的に接続することができるとともに、第１のグラウンド用配線と第２のグラウンド用配線とを電気的に接続することができる。
【００４０】
また、上記本発明の一態様に係る摩耗センサにおいて、前記第１及び第２の導通検査用配線は、第１の配線本体と、前記絶縁基板の後端側に位置する前記第１の配線本体の端と接続された第１のランド部と、をそれぞれ有し、前記第１及び第２のグラウンド用配線は、第２の配線本体と、前記絶縁基板の後端側に位置する前記第２の配線本体の端と接続された第２のランド部と、をそれぞれ有し、前記絶縁基板を貫通して設けられ、互いに向かい合う前記第１のランド同士、及び互いに向かい合う前記第２のランド同士を電気的に接続する貫通電極を有してもよい。
【００４１】
このような構成とされた貫通電極を有することで、第１の導通検査用配線と第２の導通検査用配線とを電気的に接続することができるとともに、第１のグラウンド用配線と第２のグラウンド用配線とを電気的に接続することができる。
【００４２】
上記課題を解決するため、本発明の一態様に係る摩耗センサ装置は、上記摩耗センサと、前記第１の導通検査用配線と前記第１のグラウンド用配線との間に電圧を印加して導通状態を検知する導通検知部、前記導通状態に対する前記摩耗センサの摩耗量に関するデータが格納された記憶部、及び前記導通検知部が検知した前記導通状態と前記データとに基づいて、前記摩耗センサの摩耗量を取得する摩耗量取得部を有する摩耗量取得装置と、を備える。
【００４３】
本発明によれば、上記構成とされた摩耗センサ及び摩耗取得装置を備えることで、摩耗センサの摩耗量に基づいて、摩耗対象物の摩耗量を取得することができる。
【００４４】
上記課題を解決するため、本発明の一態様に係る軸受は、上記摩耗センサ装置と、回転体により摩耗する摩耗面、及び前記摩耗センサを収容する収容部を有する軸受本体と、を備え、前記摩耗量取得部は、前記摩耗センサの摩耗量に基づいて、前記軸受本体の摩耗量を取得する。
【００４５】
本発明によれば、上記構成とされた摩耗センサ装置、及び軸受本体を備えることで、軸受本体の摩耗量を取得することができる。
【００４６】
上記課題を解決するため、本発明の一態様に係る軸受のセッティング方法は、前記軸受本体の摩耗面から前記摩耗センサの先端の一部が突出するように、前記軸受本体の収容部に前記摩耗センサを配置させるセンサ配置工程と、前記摩耗センサの先端側及び前記軸受本体の前記摩耗面側を削ることで、前記摩耗センサの先端面と前記摩耗面とを面一にする加工工程と、前記加工工程後、前記摩耗量取得装置により、導通検査を行うことで、複数の検知配線部のうち、除去された前記検知配線部を特定する導通検査工程と、を備え、前記センサ配置工程では、前記複数の検知配線部のうち、一部を前記収容部内に配置させるとともに、残部を前記収容部の外側に配置させる。
【００４７】
本発明によれば、上記センサ配置工程、加工工程、及び導通検査工程を備えることで、摩耗量を検知できない領域（絶縁基板の先端面から絶縁基板の先端面に最も近い検知配線部までの領域）を無くすことが可能になるとともに、削られることで除去された検知配線部を特定することが可能となる。
これにより、軸受本体の摩耗面の摩耗量が少ない場合でも該摩耗量を取得することができる。
【００４８】
上記課題を解決するため、本発明の一態様に係る軸受は、筒状とされ、回転体を回転可能に支持する内周面が摩耗面とされ、前記摩耗面から径方向外側に凹む方向に切り欠かれた第１の切り欠き部が形成された軸受本体と、前記第１の切り欠き部内に形成され、絶縁層と、配線パターンと、が交互に積層された積層体と、前記配線パターンと接続された導通検査用ランドと、導通検査時に使用されるグラウンド用ランドと、を備え、前記配線パターンは、前記絶縁層を介して、前記軸受本体のうち、前記摩耗面以外の領域まで引き出されており、前記導通検査用ランドは、前記領域において、前記配線パターンと接続されており、前記グラウンド用ランドは、前記導通検査用ランドから離れた状態で、前記領域に配置されている。
【００４９】
本発明によれば、軸受本体に形成された第１の切り欠き部に、絶縁層と、導通検査用ランドと接続された配線パターンと、を交互に積層させた積層体を設けるとともに、積層体の外面を軸受本体の摩耗面に対して面一とすることで、例えば、フォトリソグラフィ技術、スパッタリング法、ＣＶＤ法、蒸着法、ドライエッチング法等の半導体デバイス製造技術を用いて、絶縁層及び配線パターンを加工することで、軸受本体の径方向における絶縁層の厚さ及び配線パターンの厚さを薄くすることが可能となる。
これにより、摩耗により摩耗面側に位置する１つの配線パターンが破壊された位置から次の配線パターンが破壊される位置までの深さ（距離）である摩耗分解能を小さくすることが可能となるので、摩耗計測の分解能を向上させることができる。
【００５０】
また、絶縁層を介して、軸受本体のうち、摩耗面以外の領域まで配線パターンを引き出すとともに、摩耗面以外の領域において、導通検査用ランドと配線パターンとを接続し、導通検査用ランドから離れた状態で、摩耗面以外の領域にグラウンド用ランドを配置させることで、導通検査時に使用する配線を導通検査用ランド及びグラウンド用ランドに対して容易に接続させることが可能となる。これにより、導通検査を容易に行うことができる。
【００５１】
上記課題を解決するため、本発明の一態様に係る軸受は、筒状とされた軸受バックメタル部、及び筒状とされ、前記軸受バックメタル部の内周面に配置され、回転体を回転可能に支持する内周面が摩耗面とされた軸受メタル部を有する軸受本体と、前記軸受バックメタル部の内周面に形成され、絶縁層と、配線パターンと、が交互に積層された積層体と、前記配線パターンと接続された導通検査用ランドと、導通検査時に使用されるグラウンド用ランドと、を備え、前記軸受メタル部は、前記積層体を覆う金属膜で構成されており、前記内周面は、段差のない平滑な曲面とされており、前記配線パターンは、前記絶縁層を介して、前記軸受本体のうち、前記摩耗面以外の領域まで引き出されており、前記導通検査用ランドは、前記領域において、前記配線パターンと接続されており、前記グラウンド用ランドは、前記導通検査用ランドから離れた状態で、前記領域に配置されている。
【００５２】
本発明によれば、軸受バックメタル部の内周面に、絶縁層と、導通検査用ランドと接続された配線パターンと、を交互に積層させた積層体を設けるとともに、積層体の外面を軸受本体の摩耗面に対して面一とすることで、例えば、フォトリソグラフィ技術、スパッタリング法、ＣＶＤ法、蒸着法、ドライエッチング法等の半導体デバイス製造技術を用いて、絶縁層及び配線パターンを加工することで、軸受本体の径方向における絶縁層の厚さ及び配線パターンの厚さを薄くすることが可能となる。
これにより、摩耗により摩耗面側に位置する１つの配線パターンが破壊された位置から次の配線パターンが破壊される位置までの深さ（距離）である摩耗分解能を小さくすることが可能となるので、摩耗計測の分解能を向上させることができる。
【００５３】
また、絶縁層を介して、軸受本体のうち、摩耗面以外の領域まで配線パターンを引き出すとともに、摩耗面以外の領域において、導通検査用ランドと配線パターンとを接続し、導通検査用ランドから離れた状態で、摩耗面以外の領域にグラウンド用ランドを配置させることで、導通検査時に使用する配線を導通検査用ランド及びグラウンド用ランドに対して容易に接続させることが可能となる。これにより、導通検査を容易に行うことができる。
さらに、軸受バックメタル部の内周面に積層体を形成し、その後、金属膜で構成された軸受メタル部を形成することで、軸受メタル部に積層体が収容される凹部や切欠き部を形成する工程を削除することができる。
【００５４】
また、上記本発明の一態様に係る軸受において、前記領域は、前記軸受本体の端面であってもよい。
【００５５】
このように、軸受本体の端面に、導通検査用ランド及びグラウンド用ランドを配置させることで、導通検査時に使用する配線を導通検査用ランド及びグラウンド用ランドに対して容易に接続させることができる。
【００５６】
また、上記本発明の一態様に係る軸受において、前記領域は、前記軸受本体の長さ方向において前記第１の切り欠き部の外側に形成され、前記摩耗面を基準としたときの深さが前記第１の切り欠き部よりも深さの深い第２の切り欠き部であってもよい。
【００５７】
このように、摩耗面を基準としたときの深さが第１の切り欠き部よりも深さの深い第２の切り欠き部に、導通検査用ランド及びグラウンド用ランドを配置させることで、導通検査時に使用する配線を導通検査用ランド及びグラウンド用ランドに対して容易に接続させることができる。
【発明の効果】
【００５８】
本発明によれば、摩耗計測の分解能を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る軸受の主要部を示す図である。
【図２】図１に示す軸受本体の摩耗面が摩耗することで、摩耗センサの１つの検知配線部が除去された状態を模式的に示す図である。
【図３】本発明の第１の実施形態の変形例に係る摩耗センサを示す図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る軸受のセッティング方法を説明するための図（その１）であり、センサ配置工程を説明するための図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る軸受のセッティング方法を説明するための図（その２）であり、加工工程及び導通検査工程を説明するための図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る軸受の側面図である。
【図７】図６に示す軸受の一方の端面をＫ視した図である。
【図８】図７に示す軸受のＮ１−Ｎ２線方向の断面図である。
【図９】図７に示す軸受のＮ３−Ｎ４線方向の断面図である。
【図１０】図７に示す軸受のＮ５−Ｎ６線方向の断面図である。
【図１１】図７に示す軸受のＮ７−Ｎ８線方向の断面図である。
【図１２】図８〜図１０に示す複数の配線パターンを軸受本体の内周面側から視た図であり、各配線パターンの模式的な図である。
【図１３】本発明の第４の実施形態に係る軸受の断面図（その１）である。
【図１４】本発明の第４の実施形態に係る軸受の断面図（その２）である。
【図１５】図１３及び図１４に示す複数の配線パターン、複数の導通検査用ランド、及びグラウンド用ランドを軸受本体の径方向内側から視た模式的な図である。
【図１６】本発明の第５の実施形態に係る軸受の主要部の断面図である。
【図１７】本発明の第６の実施形態に係る摩耗センサ装置を示す図である。
【図１８】本発明の第７の実施形態に係る摩耗センサ装置を示す図であり、第１の配線形成面側から視た摩耗センサを示している。
【図１９】図１８に示す摩耗センサを第２の配線形成面側から視た図である。
【図２０】本発明の第７の実施形態の変形例に係る摩耗センサを第２の配線形成面側から視た図である。
【図２１】本発明の第８の実施形態の摩耗センサ装置を示す図であり、第１の配線形成面側から視た摩耗センサを示している。
【図２２】図２１に示す摩耗センサを第２の配線形成面側から視た図である。
【発明を実施するための形態】
【００６０】
以下、図面を参照して本発明を適用した実施形態について詳細に説明する。
【００６１】
（第１の実施形態）
図１及び図２を参照して、第１の実施形態に係る軸受５について説明する。図１では、説明の便宜上、軸受５の構成要素ではない回転体４を図示するとともに、軸受本体６のみを断面で図示する。
図１において、Ｂは複数の検知配線部３１〜３５のうち、Ｙ方向において先端面１１ａから最も近い位置に配置された検知配線部３１全体が除去された際の第１の摩耗量（以下、「第１の摩耗量Ｂ」という）、Ｃは検知配線部３２〜３５のうち、１つの検知配線部全体が除去されてから次の検知配線部全体が除去されるまでの摩耗量（以下、「第２の摩耗量Ｃ」という）、Ｄは第１の摩耗検知用配線１３が形成された部分における摩耗センサ８の分解能（以下、「分解能Ｄ」という）をそれぞれ示している。分解能Ｄは、第２の摩耗量Ｃと等しい。
【００６２】
また、図１及び図２において、Ａは回転体４の外周面４ａと接触することによる軸受本体６及び摩耗センサ８の摩耗が進行する方向（以下、「摩耗進行方向Ａ」という）、Ｘ方向は絶縁基板１１の幅方向、Ｙ方向はＸ方向に対して直交する絶縁基板１１の長さ方向（摩耗進行方向Ａと摩耗進行方向Ａの逆方向とを含む方向）をそれぞれ示している。
図１及び図２において、紙面の上方側が絶縁基板１１の先端側、紙面の下方側が絶縁基板１１の後端側を示している。図１及び図２では、一例として、配線４１の他端と第１の導通検査用配線２１とを接続し、配線４６の他端と第１のグラウンド用配線２６とを接続させた状態を図示する。
【００６３】
なお、第１の実施形態では、一例として、絶縁基板１１の先端面１１ａが軸受本体６の摩耗面６ａに対して面一となるように、軸受本体６に摩耗センサ８をセッティングした場合を例に挙げて以下の説明を行う。
【００６４】
軸受５は、軸受本体６と、摩耗センサ装置７と、を有する。
軸受本体６は、円柱形状とされた回転体４の外周面４ａの外側に設けられている。軸受本体６は、回転体４の外周面４ａを囲む筒形状とされている。
軸受本体６は、回転体４を回転可能に支持する摩耗面６ａ（内周面）を有する。摩耗面６ａは、回転体４の外周面４ａと接触する面である。
【００６５】
摩耗センサ装置７は、摩耗センサ８と、摩耗量取得装置９と、を有する。
摩耗センサ８は、絶縁基板１１と、第１の配線群１２と、第１の摩耗検知用配線１３と、を有する。
絶縁基板１１は、矩形とされた板状の基板である。絶縁基板１１は、先端面１１ａと、後端面（図示せず）と、一対の側面１１ｂ，１１ｃと、第１の配線形成面１１ｄと、を有する。
【００６６】
先端面１１ａは、Ｙ方向に対して直交するとともに、回転体４の外周面４ａと対向する面である。つまり、先端面１１ａは、摩耗される側に配置された面であり、軸受本体６から露出されている。
摩耗センサ８を軸受本体６に取り付けた直後において、先端面１１ａは、軸受本体６の摩耗面６ａに対して面一とされている。
【００６７】
先端面１１ａは、回転体４の外周面４ａと接触することで、摩耗面６ａとともに摩耗する。先端面１１ａは、摩耗することで、摩耗面６ａとともに、摩耗する前の位置から軸受本体６の径方向外側に後退する。
後端面（図示せず）は、Ｙ方向において、先端面１１ａとは反対側に配置されている。
【００６８】
側面１１ｂは、Ｘ方向一方側に配置された側面（一方の側面）である。側面１１ｂは、Ｘ方向他方側に配置された側面（他方の側面）である。側面１１ｂ，１１ｃは、Ｘ方向に配置された面であり、先端面１１ａと接続されている。
【００６９】
第１の配線形成面１１ｄは、先端面１１ａ、後端面（図示せず）、及び一対の側面１１ｂ，１１ｃで囲まれた２つの面のうち、一方の面である。第１の配線形成面１１ｄは、Ｘ方向及びＹ方向に対して直交する面である。第１の配線形成面１１ｄは、Ｙ方向が長手方向とされており、Ｙ方向に延びている。
【００７０】
第１の配線群１２は、第１の導通検査用配線２１〜２５（複数の導通検査用配線）と、１つの第１のグラウンド用配線２６と、を含む構成されている。
第１の導通検査用配線２１〜２５及び第１のグラウンド用配線２６は、Ｙ方向に延びる配線であり、第１の配線形成面１１ｄに形成されている。
第１の導通検査用配線２１〜２５及び第１のグラウンド用配線２６は、側面１１ｂから側面１１ｃに向かう方向に間隔を空けた状態で、第１の導通検査用配線２１、第１の導通検査用配線２２、第１の導通検査用配線２３、第１の導通検査用配線２４、第１の導通検査用配線２５、第１のグラウンド用配線２６の順で配置されている。
【００７１】
第１の導通検査用配線２１〜２５の先端２１Ａ〜２５Ａ及び第１のグラウンド用配線２６の先端２６Ａは、先端面１１ａ側に配置されている。先端２１Ａ〜２６Ａは、先端面１１ａに対して平行な形状とされている。つまり、先端２１Ａ〜２６Ａは、Ｘ方向に対して平行で、かつＹ方向に対して直交している。
先端２１Ａ〜先端２６Ａは、側面１１ｂから側面１１ｃに向かうにつれて、先端面１１ａから先端２１Ａ〜２６Ａまでの距離が大きくなるように、先端面１１ａから後端側に徐々に後退して配置されている。
【００７２】
第１の摩耗検知用配線１３は、第１の導通検査用配線２１〜２５の先端２１Ａ〜２５Ａ及び第１のグラウンド用配線２６の先端２６Ａを連結するように、第１の配線形成面１１ｄに形成されている。
第１の摩耗検知用配線１３は、第１の導通検査用配線２１〜２５及び第１のグラウンド用配線２６の形成位置よりも先端面１１ａ側に配置されている。
【００７３】
第１の摩耗検知用配線１３は、複数の検知配線部３１〜３５を有する。
検知配線部３１は、摩耗進行方向Ａに対して直交するＸ方向に延びている。検知配線部３１は、側面１１ｂ側に配置された端部３１Ａと、側面１１ｃ側に配置された端部３１Ｂを有する。端部３１Ａは、第１の導通検査用配線２１の先端２１Ａと接続されている。
【００７４】
検知配線部３２は、摩耗進行方向Ａに対して直交するＸ方向に延びており、第１の導通検査用配線２２の先端２２Ａと接続されている。検知配線部３２は、側面１１ｂ側に配置された端部３２Ａと、側面１１ｃ側に配置された端部３２Ｂと、を有する。
【００７５】
端部３２Ａは、Ｙ方向の幅が端部３２Ｂよりも狭い部分を有する。端部３２Ａは、検知配線部３１の端部３１Ｂと接続されている。これにより、検知配線部３１は、端部３２Ａを介して、第１の導通検査用配線２２と電気的に接続されている。
検知配線部３２は、Ｙ方向において検知配線部３１の形成位置よりも先端面１１ａから後端側に離れた位置に配置されている。
【００７６】
検知配線部３３は、摩耗進行方向Ａに対して直交するＸ方向に延びており、第１の導通検査用配線２３の先端２３Ａと接続されている。検知配線部３３は、側面１１ｂ側に配置された端部３３Ａと、側面１１ｃ側に配置された端部３３Ｂと、を有する。
【００７７】
端部３３Ａは、Ｙ方向の幅が端部３３Ｂよりも狭い部分を有する。端部３３Ａは、検知配線部３２の端部３２Ｂと接続されている。これにより、検知配線部３２は、端部３３Ａを介して、第１の導通検査用配線２３と電気的に接続されている。
検知配線部３３は、Ｙ方向において検知配線部３２の形成位置よりも先端面１１ａから後端側に離れた位置に配置されている。
【００７８】
検知配線部３４は、摩耗進行方向Ａに対して直交するＸ方向に延びており、第１の導通検査用配線２４の先端２４Ａと接続されている。検知配線部３４は、側面１１ｂ側に配置された端部３４Ａと、側面１１ｃ側に配置された端部３４Ｂと、を有する。
【００７９】
端部３４Ａは、Ｙ方向の幅が端部３４Ｂよりも狭い部分を有する。端部３４Ａは、検知配線部３３の端部３３Ｂと接続されている。これにより、検知配線部３３は、端部３３Ａを介して、第１の導通検査用配線２４と電気的に接続されている。
検知配線部３４は、Ｙ方向において検知配線部３３の形成位置よりも先端面１１ａから後端側に離れた位置に配置されている。
【００８０】
検知配線部３５は、摩耗進行方向Ａに対して直交するＸ方向に延びており、第１の導通検査用配線２５の先端２５Ａと接続されている。検知配線部３４は、側面１１ｂ側に配置された端部３５Ａと、側面１１ｃ側に配置された端部３５Ｂと、を有する。
【００８１】
端部３５Ａは、Ｙ方向の幅が端部３５Ｂよりも狭い部分を有する。端部３５Ａは、検知配線部３４の端部３４Ｂと接続されている。これにより、検知配線部３４は、端部３４Ａを介して、第１の導通検査用配線２５と電気的に接続されている。端部３５Ｂは、第１のグラウンド用配線２６の先端２６Ａと接続されている。
検知配線部３５は、Ｙ方向において検知配線部３３の形成位置よりも先端面１１ａから後端側に離れた位置に配置されている。
【００８２】
摩耗量取得装置９は、配線４１〜４６と、摩耗量取得装置本体４８と、を有する。
配線４１は、一端が摩耗量取得装置本体４８と電気的に接続されている。配線４１の他端は、第１の導通検査用配線２１と第１のグラウンド用配線２６との間が導通するか否かを確認する際、第１の導通検査用配線２１と接続される（図１及び図２に示す状態）。
第１の導通検査用配線２１と第１のグラウンド用配線２６との間が導通する場合には、検知配線部３１が残存していると判定される。一方、第１の導通検査用配線２１と第１のグラウンド用配線２６との間が導通しない場合には、摩耗により検知配線部３１全体が削り取られたと判定される。
【００８３】
配線４２は、一端が摩耗量取得装置本体４８と電気的に接続されている。配線４２の他端は、第１の導通検査用配線２２と第１のグラウンド用配線２６との間が導通するか否かを確認する際、第１の導通検査用配線２２と接続される。
【００８４】
配線４３は、一端が摩耗量取得装置本体４８と電気的に接続されている。配線４３の他端は、第１の導通検査用配線２３と第１のグラウンド用配線２６との間が導通するか否かを確認する際、第１の導通検査用配線２３と接続される。
【００８５】
配線４４は、一端が摩耗量取得装置本体４８と電気的に接続されている。配線４４の他端は、第１の導通検査用配線２４と第１のグラウンド用配線２６との間が導通するか否かを確認する際、第１の導通検査用配線２４と接続される。
【００８６】
配線４５は、一端が摩耗量取得装置本体４８と電気的に接続されている。配線４５の他端は、第１の導通検査用配線２５と第１のグラウンド用配線２６との間が導通するか否かを確認する際、第１の導通検査用配線２５と接続される。
【００８７】
配線４６は、一端が摩耗量取得装置本体４８と電気的に接続されている。配線４６の他端は、第１の導通検査用配線２１〜２５と第１のグラウンド用配線２６との間が導通するか否かを確認する際、第１の導通検査用配線２１〜２５のうち、いずれか１つの配線と接続される。
【００８８】
摩耗量取得装置本体４８は、記憶部４８Ａと、導通検知部４８Ｂと、摩耗量取得部４８Ｃと、を有する。
記憶部４８Ａには、第１及び第２の摩耗量Ｂ，Ｃに関する情報が格納されている。第１及び第２の摩耗量Ｂ，Ｃは、第１の配線群１２の導通状態に対する摩耗センサ８の摩耗量に関するデータである。
【００８９】
導通検知部４８Ｂは、各第１の導通検査用配線２１〜２５と第１のグラウンド用配線２６との間に電圧を印加して導通状態を検知し、導通状態に関する情報を摩耗量取得部４８Ｃに送信する。
【００９０】
摩耗量取得部４８Ｃは、導通検知部４８Ｂが検知した導通状態に関する情報と第１及び第２の摩耗量Ｂ，Ｃとに基づいて、摩耗センサ８の摩耗量（以下、「摩耗量Ｘ」という）を取得する。
例えば、第１の導通検査用配線２１と第１のグラウンド用配線２６との間が導通しない場合で、かつ第１の導通検査用配線２２と第１のグラウンド用配線２６との間が導通する場合（図２に示す状態）には、下記（１）式に示すように、第１の摩耗量Ｂと第２の摩耗量Ｃとを加えたものを摩耗量Ｅとして取得する。
Ｅ＝Ｂ＋Ｃ  ・・・（１）
【００９１】
また、第１の導通検査用配線２１，２２と第１のグラウンド用配線２６との間が導通しない場合で、かつ第１の導通検査用配線２３と第１のグラウンド用配線２６との間が導通する場合には、下記（２）式に示すように、第１の摩耗量Ｂと第２の摩耗量Ｃの２倍の値とを加えたものを摩耗量Ｅとして取得する。
Ｅ＝Ｂ＋２×Ｃ  ・・・（２）
【００９２】
また、第１の導通検査用配線２１〜２３と第１のグラウンド用配線２６との間が導通しない場合で、かつ第１の導通検査用配線２４と第１のグラウンド用配線２６との間が導通する場合には、下記（３）式に示すように、第１の摩耗量Ｂと第２の摩耗量Ｃの３倍の値とを加えたものを摩耗量Ｅとして取得する。
Ｅ＝Ｂ＋３×Ｃ  ・・・（３）
このようにして、摩耗量取得部４８Ｃは、初期状態（絶縁基板１１の先端面１１ａが回転体４により摩耗していない状態）からの摩耗センサ８の摩耗量Ｅを取得する。
【００９３】
また、摩耗量取得部４８Ｃは、摩耗センサ８の摩耗量Ｅに基づいて、摩耗面６ａ側における軸受本体６の摩耗量Ｆを取得する。
第１の実施形態の場合、軸受本体６の摩耗面６ａと摩耗センサ８の先端面１１ａとが面一となるように、軸受本体６の収容部６Ａに摩耗センサ８をセッティングしている。このため、軸受本体６の摩耗量Ｆは、摩耗センサ８の摩耗量Ｅと等しくなる。したがって、摩耗センサ８の摩耗量Ｅを取得することで、軸受本体６の摩耗量Ｆを取得することができる。
【００９４】
第１の実施形態の摩耗センサ８によれば、絶縁基板１１の側面１１ｂから側面１１ｃに向かうＸ方向に間隔を空けて配置された第１の導通検査用配線２１〜２５及び第１のグラウンド用配線２６を含む第１の配線群１２と、絶縁基板１１の第１の配線形成面１１ｄに形成され、絶縁基板１１の先端面１１ａ側に位置する第１の導通検査用配線２１〜２５の先端２１Ａ〜２５Ａ及び第１のグラウンド用配線２６の先端２６Ａを連結する第１の摩耗検知用配線１３と、を備えるとともに、側面１１ｂから側面１１ｃに向かうにつれて、先端２１Ａ〜２６Ａが先端面１１ａから絶縁基板１１の後端側に徐々に後退するように配置されており、第１の摩耗検知用配線１３が第１の導通検査用配線２１〜２５及び第１のグラウンド用配線２６のうち、互いに隣り合う２つの配線の先端と電気的に接続された検知配線部３１〜３５を有することで、摩耗進行方向Ａにおいて、検知配線部同士を電気的に絶縁するための隙間を形成する必要がなくなる。
【００９５】
これにより、摩耗により１つの検知配線部が除去された位置から次の検知配線部が除去される位置までの絶縁基板１１の長さ方向（Ｙ方向）の距離を小さくすることが可能となるので、摩耗計測の分解能Ｄを向上させることができる。
また、摩擦進行方向Ａにおいて、互いに隣り合う検知配線部３１〜３５の一部を重ねて配置させることが可能となるので、摩耗計測の分解能Ｄを検知配線部の幅（Ｙ方向の幅）よりも小さくすることができる。
【００９６】
また、検知配線部３１〜３５を摩耗進行方向Ａに対して直交する方向に延びて配置させるとともに、第１の摩耗検知用配線１３の形状を階段形状とすることで、摩耗進行方向Ａに隙間を形成することなく、摩耗により各検知配線部３１〜３５が除去されるタイミングをずらすことができる。
【００９７】
また、第１の実施形態の摩耗センサ装置７によれば、上記摩耗センサ８と、第１の導通検査用配線２１〜２５と第１のグラウンド用配線２６との間に電圧を印加して導通状態を検知する導通検知部４８Ｂ、導通状態に対する摩耗センサの第１及び第２の摩耗量Ｂ，Ｃに関するデータが格納された記憶部４８Ａ、及び導通検知部４８Ｂが検知した導通状態と第１及び第２の摩耗量Ｂ，Ｃとに基づいて、摩耗センサ８の摩耗量Ｅを取得する摩耗量取得部４８Ｃを有する摩耗量取得装置９と、を備えることで、摩耗センサ８の摩耗量Ｅに基づいて、摩耗対象物の摩耗量Ｆを取得することができる。
【００９８】
さらに、第１の実施形態の軸受５によれば、上記摩耗センサ装置７と、回転体４により摩耗する摩耗面６ａ、及び摩耗センサ８を収容する収容部６Ａを有する軸受本体６と、を備えることで、軸受本体６の摩耗量Ｆを取得することができる。
【００９９】
なお、第１の実施形態では、一例として、５本の第１の導通検査用配線２１〜２５、１本の第１のグラウンド用配線２６、及び５つの検知配線部３１〜３５を設けた場合を例に挙げて説明したが、導通検査用配線、第１のグラウンド用配線２６、及び検知配線部は、それぞれ少なくとも１つ以上設けられていればよく、図１及び図２に示す数に限定されない。
【０１００】
次に、図３を参照して、第１の実施形態の変形例に係る摩耗センサ５５について説明する。図３において、図１に示す構造体と同一構成部分には同一符号を付す。
【０１０１】
摩耗センサ５５は、第１の実施形態の摩耗センサ８を構成する第１の配線群１２に替えて、絶縁基板１１の第１の配線形成面１１ｄに形成された第１の配線群５６を有すること以外は、摩耗センサ８と同様に構成されている。
【０１０２】
第１の配線群５６は、第１の導通検査用配線６１〜６５（複数の導通検査用配線）と、１つの第１のグラウンド用配線６６と、を含む構成されている。
第１の導通検査用配線６１〜６５及び第１のグラウンド用配線６６は、側面１１ｂから側面１１ｃに向かう方向に間隔を空けた状態で、第１の導通検査用配線６１、第１の導通検査用配線６２、第１の導通検査用配線６３、第１の導通検査用配線６４、第１の導通検査用配線６５、第１のグラウンド用配線６６の順で配置されている。
【０１０３】
第１の導通検査用配線６１〜６５及び第１のグラウンド用配線６６は、先端面１１ａ側に配置された先端６１Ａ〜６６Ａが先端面１１ａに対して傾斜していること以外は、先に説明した第１の導通検査用配線２１〜２５及び第１のグラウンド用配線２６と同様に構成されている。
【０１０４】
先端６１Ａ〜６６Ａは、同じ方向（図３の紙面において、右下方向）に傾斜している。先端６１Ａ〜６６Ａは、先端面１１ａに対して同じ角度で傾斜している。
先端６１Ａ〜先端６６Ａは、側面１１ｂから側面１１ｃに向かうにつれて、先端面１１ａから先端６１Ａ〜６６Ａまでの距離が大きくなるように、先端面１１ａから後退して配置されている。
【０１０５】
第１の摩耗検知用配線５９は、第１の導通検査用配線６１〜６５の先端６１Ａ〜６５Ａ及び第１のグラウンド用配線６６の先端６６Ａを連結するように、第１の配線形成面１１ｄに形成されている。
第１の摩耗検知用配線５９は、先端６１Ａ〜６５Ａと同じ傾斜角度で傾斜しており、一方向に延びている。第１の摩耗検知用配線５９は、第１の導通検査用配線６１〜６５及び第１のグラウンド用配線６６の形成位置よりも先端面１１ａ側に配置されている。
【０１０６】
第１の摩耗検知用配線５９は、検知配線部７１〜７５（複数の検知配線部）を有する。
検知配線部７１〜７５は、第１の摩耗検知用配線５９が延びる方向に直線状に配列されている。検知配線部７１〜７５は、側面１１ｂから側面１１ｃに向かう方向に対して、検知配線部７１、検知配線部７２、検知配線部７３、検知配線部７４、検知配線部７５の順で配列されている。
【０１０７】
このように、第１の摩耗検知用配線５９が延びる方向に直線状に検知配線部７１〜７５を配置させることで、摩耗進行方向Ａに隙間を形成することなく、摩耗により各検知配線部７１〜７５が完全に除去されるタイミングをずらすことができる。
【０１０８】
検知配線部７１〜７５は、先端面１１ａに対して一定の角度で傾斜している。このように、先端面１１ａに対して一定の角度で複数の検知配線部７１〜７５を傾斜させることで、摩擦進行方向Ａにおける摩耗性能の分解能を一定にすることができる。
【０１０９】
検知配線部７１は、側面１１ｂ側に位置する第１の摩耗検知用配線５９の端部を構成している。検知配線部７１は、側面１１ｂ側に配置された端部７１Ａと、側面１１ｃ側に配置された端部７１Ｂと、を有する。
端部７１Ａは、第１の導通検査用配線６１の先端６１Ａ全体と接続されている。端部７１Ｂは、第１の導通検査用配線６２の先端６２Ａのうち、側面１１ｂ側に位置する角と点で接触している。
上記構成とされた検知配線部７１は、第１の導通検査用配線６１，６２と接続されている。
【０１１０】
検知配線部７２は、側面１１ｂ側に配置された端部７２Ａと、側面１１ｃ側に配置された端部７２Ｂと、を有する。
端部７２Ａは、検知配線部７１の端部７１Ａ、及び第１の導通検査用配線６２の先端６２Ａのうち、端部７１Ｂが接触していない部分と接続されている。
端部７２Ｂは、第１の導通検査用配線６３の先端６３Ａのうち、側面１１ｂ側に位置する角と点で接触している。
上記構成とされた検知配線部７２は、第１の導通検査用配線６２，６３と接続されている。
【０１１１】
検知配線部７３は、側面１１ｂ側に配置された端部７３Ａと、側面１１ｃ側に配置された端部７３Ｂと、を有する。
【０１１２】
端部７３Ａは、検知配線部７２の端部７２Ａ、及び第１の導通検査用配線６３の先端６３Ａのうち、端部７２Ｂが接触していない部分と接続されている。
端部７３Ｂは、第１の導通検査用配線６４の先端６４Ａのうち、側面１１ｂ側に位置する角と点で接触している。
上記構成とされた検知配線部７３は、第１の導通検査用配線６３，６４と接続されている。
【０１１３】
検知配線部７４は、側面１１ｂ側に配置された端部７４Ａと、側面１１ｃ側に配置された端部７４Ｂと、を有する。
端部７４Ａは、検知配線部７３の端部７３Ａ、及び第１の導通検査用配線６４の先端６４Ａのうち、端部７３Ｂが接触していない部分と接続されている。
端部７４Ｂは、第１の導通検査用配線６５の先端６５Ａのうち、側面１１ｂ側に位置する角と点で接触している。
上記構成とされた検知配線部７４は、第１の導通検査用配線６４，６５と接続されている。
【０１１４】
検知配線部７５は、側面１１ｂ側に配置された端部７５Ａと、側面１１ｃ側に配置された端部７５Ｂと、を有する。
端部７５Ａは、検知配線部７４の端部７４Ａ、及び第１の導通検査用配線６５の先端６５Ａのうち、端部７４Ｂが接触していない部分と接続されている。端部７４Ｂは、第１のグラウンド用配線６６の先端６６Ａ全体と接触している。
上記構成とされた検知配線部７５は、第１の導通検査用配線６５及び第１のグラウンド用配線６６と接続されている。
【０１１５】
検知配線部７１〜７５は、先端６１Ａ〜６６Ａと同じ方向に先端６１Ａ〜６６Ａと同じ角度で傾斜している。
【０１１６】
第１の実施形態の変形例に係る摩耗センサ５５によれば、先端面１１ａに対して一方向に傾斜する複数の検知配線部７１〜７５を含む第１の摩耗検知用配線５９を備えるとともに、Ｘ方向において、互いに隣り合う位置に配置された２つの第１の導通検査用配線６１〜６５のうち、側面１１ｃ側に配置された第１の導通検査用配線６２〜６５の先端６２Ａ〜６５Ａの角と検知配線部７１〜７４とを点接触させることで、互いに隣りあう位置に配置された２つの第１の導通検査用配線６１〜６５の断線を点で行うことが可能となるため、摩耗の計測精度を向上させることができる。
【０１１７】
また、側面１１ｃ側に配置された第１の導通検査用配線６１〜６５の先端６１Ａ〜６５Ａの角に向かうにつれて、第１の導通検査用配線６１〜６５の配線幅が減少する領域が小さくなるため、断線時において急激な抵抗値変化を発生させることが可能となる。これにより、Ｓ／Ｎ比が向上するため、摩耗の計測精度を向上させることができる。
【０１１８】
（第２の実施形態）
図４及び図５を参照して、第２の実施形態の軸受５のセッティング方法について説明する。第２の実施形態では、一例として、軸受本体６に第１の実施形態の摩耗センサ８をセッティングする場合を例に挙げる。
図４に示すＪは、摩耗量を検知できない領域（以下、「領域Ｊ」という）を示している。図４及び図５において、図１及び図２に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。
【０１１９】
初めに、図４に示す工程では、軸受本体６の摩耗面６ａから摩耗センサ８の先端の一部が突出するように、軸受本体６の収容部６Ａに摩耗センサ８を配置させる（センサ配置工程）。
センサ配置工程では、検知配線部３１〜３５のうち、一部（図４の場合、一例として、検知配線部３２〜３５）を収容部６Ａ内に配置させるとともに、残部（図４の場合、一例として、検知配線部３１）を収容部６Ａの外側に配置させる。
【０１２０】
次いで、図５に示す工程では、摩耗面６ａから突出した摩耗センサ８の先端側、及び軸受本体６の摩耗面６ａ側を削ることで、摩耗センサ８の先端面１１ａと摩耗面６ａとを面一にする（加工工程）。加工工程では、絶縁基板１１だけでなく、第１の配線群１２の一部も削られる。
摩耗センサ８及び軸受本体６の一部を削る方法としては、例えば、切削法や研削法等の手法を用いることが可能である。
【０１２１】
次いで、摩耗量取得装置９を用いて、導通検査用配線とグラウンド用配線との間の導通状態を検査することで、除去された検知配線部（図５の場合、検知配線部３１）を特定する（導通検査工程）。
導通検査工程では、第１の導通検査用配線２１〜２５と第１のグラウンド用配線２６との間に順次電圧を加えて、電流が流れるか否かの検査を行うことで、除去された検知配線部を特定する。
【０１２２】
図５の場合、第１の導通検査用配線２１と、残存する第１の摩耗検知用配線１３及び第１の導通検査用配線２２〜２５からなる構造体と、は分離されているため、第１の導通検査用配線２１と第１のグラウンド用配線２６との間には電流が流れない。よって、この場合、検知配線部３１が除去されていると判定される。
【０１２３】
一方、図５の場合、残存する第１の摩耗検知用配線１３及び第１の導通検査用配線２２〜２５からなる構造体は一体とされているため、第１の導通検査用配線２２と第１のグラウンド用配線２６との間には電流が流れる。よって、この場合、第１の導通検査用配線２２と第１の導通検査用配線２３とを接続可能な状態で検知配線部３２が残存していると判定される。
【０１２４】
したがって、軸受本体６への摩耗センサ８のセッティングが完了した時点で、摩耗面６ａの摩耗量を検知可能な検知配線部は、検知配線部３１を除く、検知配線部３２〜３５となる。そして、図５に示す摩耗面６ａが回転体による摩耗を検知する際の基準面となる。
【０１２５】
第２の実施形態の軸受５のセッティング方法によれば、上述したセンサ配置工程、加工工程、及び導通検査工程を備えることで、摩耗量を検知できない領域Ｊ（絶縁基板１１の先端面１１ａから先端面１１ａに最も近い検知配線部３１までの領域）を無くすことが可能になるとともに、削られることで除去された検知配線部３１を特定することが可能となる。
これにより、軸受本体６の摩耗面６ａの摩耗量が少ない場合でも該摩耗量を取得することができる。
【０１２６】
なお、第２の実施形態では、一例として、第１の実施形態の摩耗センサ８を軸受本体６にセッティングする場合を例に挙げて説明したが、摩耗センサ８に替えて、第１の実施形態の変形例の摩耗センサ５５を軸受本体６にセッティングする場合も第２の実施形態と同様な効果得ることができる。
【０１２７】
（第３の実施形態）
図６〜図１２を参照して、第３の実施形態の軸受８０について説明する。図６及び図７において、Ｏは軸受８０の軸線（以下、「軸線Ｏ」という）を示している。図６〜図１２において、同一構成部分には同一符号を付す。
【０１２８】
第３の実施形態の軸受８０は、軸受本体７６と、積層体７８と、導通検査用ランド８１〜８３と、グラウンド用ランド８４と、を有する。
【０１２９】
軸受本体７６は、軸受メタル部８７と、軸受バックメタル部８８と、を有する。軸受メタル部８７は、筒状とされている。軸受メタル部８７は、回転体が挿入される中空部８７Ａと、中空部８７Ａを区画する内周面８７ａと、外周面８７ｂと、端面８７ｃと、第１の切り欠き部８７Ｂと、を有する。
【０１３０】
内周面８７ａは、軸受本体７６の摩耗面７６ａを構成している。摩耗面７６ａは、回転体（図示せず）と接触することで摩耗する面である。
端面８７ｃは、軸線Ｏ方向一方側に配置されている。端面８７ｃは、軸線Ｏ方向一方側に配置された軸受本体７６の端面７６ｂの一部を構成している。
第１の切り欠き部８７Ｂは、摩耗面７６ａから径方向外側に凹む方向に軸受メタル部８７を切り欠くことで形成されている。
【０１３１】
軸受バックメタル部８８は、金属材料で構成されている。軸受バックメタル部８８は、筒状とされている。軸受バックメタル部８８は、軸受メタル部８７の外周面８７ｂを覆うように、軸受メタル部８７の外側に設けられている。
軸受バックメタル部８８は、軸線Ｏ方向一方側に配置された端面８８ａを有する。端面８８ａは、端面８７ｃに対して面一となるように配置されている。端面８８ａは、端面７６ｂの残部を構成している。つまり、端面７６ｂは、端面８７ｃ及び端面８８ａにより構成されている。
【０１３２】
積層体７８は、第１の切り欠き部８７Ｂに設けられている。積層体７８は、絶縁層９１，９３，９５，９７と、配線パターン９２，９４，９６と、を有する。
【０１３３】
絶縁層９１，９３，９５，９７及び配線パターン９２，９４，９６は、第１の切り欠き部８７Ｂの底面８７Ｂａに、絶縁層９１、配線パターン９２、絶縁層９３、配線パターン９４、絶縁層９５、配線パターン９６、絶縁層９７の順で積層されている。つまり、積層体７８は、絶縁層９１，９３，９５，９７と、配線パターン９２，９４，９６と、を交互に積層することで構成されている。
絶縁層９１は、積層体７８の最下層を構成している。絶縁層９７は、積層体７８の最上層を構成している。絶縁層９７の外面９７ａは、摩耗面７６ａと面一となるように構成されている。
【０１３４】
絶縁層９１，９３，９５，９７としては、例えば、半導体デバイス製造技術のうちの１つであるＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法等の手法により形成されたＳｉＯ２層やＳｉＮ層等を用いることが可能である。
【０１３５】
配線パターン９２，９４，９６は、導通検査用配線であり、曲がりくねった形状とされている。このように、配線パターン９２，９４，９６の形状を曲がりくねった形状とすることで、第１の切り欠き部８７Ｂにおける各配線パターン９２，９４，９６の面積を増加させることが可能となる。これにより、摩耗面７６ａが摩耗した際、各配線パターン９２，９４，９６が摩耗する領域を増加させることが可能となるので、摩耗面７６ａの摩耗量の精度を高めることができる。
【０１３６】
配線パターン９２は、絶縁層９１，９３で覆われた部分と、絶縁層９３から露出された一端９２Ａ及び他端９２Ｂと、を有する。一端９２Ａ及び他端９２Ｂは、軸受本体７６の端面７６ｂ側に配置されている。
【０１３７】
配線パターン９４は、絶縁層９３，９５で覆われた部分と、絶縁層９５から露出された一端９４Ａ及び他端９４Ｂと、を有する。一端９４Ａ及び他端９４Ｂは、軸受本体７６の端面７６ｂ側に配置されている。
【０１３８】
配線パターン９６は、絶縁層９５，９７で覆われた部分と、絶縁層９７から露出された一端９６Ａ及び他端９６Ｂと、を有する。一端９６Ａ及び他端９６Ｂは、軸受本体７６の端面７６ｂ側に配置されている。
【０１３９】
配線パターン９２，９４，９６としては、例えば、フォトリソグラフィ技術、スパッタリング法、蒸着法、ドライエッチング法等の半導体デバイス製造技術（微細加工技術）を用いて形成することが可能である。
【０１４０】
導通検査用ランド８１は、絶縁層９１を介して、軸受本体７６の端面７６ｂに設けられている。導通検査用ランド８１は、配線パターン９２の一端９２Ａと接続されている。導通検査用ランド８１は、配線パターン９２の導通検査を行う際にグラウンド用ランド８４とともに使用するランドである。
【０１４１】
導通検査用ランド８２は、絶縁層９３を介して、軸受本体７６の端面７６ｂに設けられている。導通検査用ランド８２は、配線パターン９４の一端９４Ａと接続されている。導通検査用ランド８２は、配線パターン９４の導通検査を行う際にグラウンド用ランド８４とともに使用するランドである。
【０１４２】
導通検査用ランド８３は、絶縁層９５を介して、軸受本体７６の端面７６ｂに設けられている。導通検査用ランド８３は、配線パターン９６の一端９６Ａと接続されている。導通検査用ランド８３は、配線パターン９６の導通検査を行う際にグラウンド用ランド８４とともに使用するランドである。
【０１４３】
グラウンド用ランド８４は、絶縁層９１を介して、軸受本体７６の端面７６ｂに設けられている。グラウンド用ランド８４は、配線パターン９２，９４，９６の他端９２Ｂ，９４Ｂ，９６Ｂと接続されている。
【０１４４】
導通検査用ランド８１〜８３及びグラウンド用ランド８４は、各ランドが重ならないように、軸受本体７６の周方向に配置されている。
【０１４５】
第３の実施形態の軸受８０によれば、上述した半導体デバイス製造技術を用いて、絶縁層９１，９３，９５，９７及び配線パターン９２，９４，９６を形成することで、軸受本体７６の径方向における絶縁層９１，９３，９５，９７の厚さ及び配線パターン９２，９４，９６の厚さを薄くすることが可能となる。
これにより、摩耗面７６ａ側に位置する１つの配線パターン９４，９６が破壊された位置から次の配線パターン９２，９４が破壊される位置までの深さ（距離）である摩耗分解能を小さくすることが可能となるので、摩耗計測の分解能を向上させることができる。
【０１４６】
また、摩耗面７６ａ以外の領域である端面７６ｂにおいて、導通検査用ランド８１〜８３と配線パターン９２，９４，９６の一端９２Ａ，９４Ａ、９６Ａとを接続させるとともに、グラウンド用ランド８４と配線パターン９２，９４，９６の他端９２Ｂ，９４Ｂ、９６Ｂとを接続させることで、導通検査時に使用する配線を導通検査用ランド８１〜８３及びグラウンド用ランド８４に対して容易に接続させることが可能となる。これにより、導通検査を容易に行うことができる。
【０１４７】
（第４の実施形態）
図１３〜図１５を参照して、第４の実施形態の軸受１０５について説明する。図１３において、ＤＥ１は摩耗面７６ａを基準としたときの第１の切り欠き部８７Ｂの深さ（以下、「深さＤＥ１」という）、ＤＥ２は摩耗面７６ａを基準としたときの第２の切り欠き部７６Ａの深さ（以下、「深さＤＥ２」という）をそれぞれ示している。図１３は、図１５に示すＰ１−Ｐ２線の断面に対応する図である。図１４は、図１５に示すＱ１−Ｑ２線の断面に対応する図である。
図１３〜図１５において、図７〜図１２に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。
【０１４８】
軸受１０５は、第３の実施形態の軸受８０を構成する軸受本体７６に第２の切り欠き部７６Ａを形成するとともに、第２の切り欠き部７６Ａまで配線パターン９２，９４，９６を引き出し、第２の切り欠き部７６Ａ内において導通検査用ランド８１〜８３及びグラウンド用ランド８４を配置させたこと以外は、軸受８０と同様に構成されている。
【０１４９】
第２の切り欠き部７６Ａは、軸受本体６の長さ方向において、第１の切り欠き部８７Ｂの外側に位置する軸受メタル部８７及び軸受バックメタル部８８に形成されている。第２の切り欠き部７６Ａは、軸受バックメタル部８８の端面８８ａまで延びて形成されている。第１及び第２の切り欠き部８７Ｂ，７６Ａは、連続する切り欠き部である。
第２の切り欠き部７６Ａの深さＤＥ２は、第１の切り欠き部８７Ｂの深さＤＥ１よりも深くなるように構成されている。
【０１５０】
配線パターン９２，９４の他端９２Ｂ，９４Ｂは、第１の切り欠き部８７Ｂと第２の切り欠き部７６Ａとの境界部分において配線パターン９６と接続されている。
【０１５１】
第４の実施形態の軸受１０５によれば、摩耗面７６ａを基準としたときの深さＤＥ２が第１の切り欠き部の深さＤＥ１よりも深い第２の切り欠き部７６Ａに、導通検査用ランド８１〜８３及びグラウンド用ランド８４を配置させることで、導通検査時に使用する配線を導通検査用ランド８１〜８３及びグラウンド用ランド８４に対して容易に接続させることができる。つまり、第３の実施形態の軸受８０と同様な効果を得ることができる。
【０１５２】
（第５の実施形態）
図１６を参照して、第５の実施形態の軸受１１５について説明する。図１６では、軸受１１５を構成する導通検査用ランド８１〜８３及びグラウンド用ランド８４の図示を省略する。
【０１５３】
軸受１１５は、第３の実施形態の軸受８０を構成する軸受本体７６に替えて、軸受本体１１６を有するとともに、軸受本体１１６を構成する軸受バックメタル部８８の内周面８８ｂに積層体７８を形成したこと以外は、軸受８０と同様に構成されている。
【０１５４】
軸受本体１１６は、筒状とされた軸受バックメタル部８８と、筒状とされ、軸受バックメタル部８８の内周面８８ｂに配置され、回転体を回転可能に支持する内周面１１７ａが摩耗面１１６ａとされた軸受メタル部１１７と、を有する。
軸受メタル部１１７は、軸受バックメタル部８８の内周面８８ｂに積層体７８を形成後、積層体７８を覆うように、内周面８８ｂに金属膜を成膜し、その後、金属膜の表面を研磨加工することで形成される。
内周面は１１７ａ、段差のない平滑な曲面とされている。
【０１５５】
なお、図示していないが、配線パターン９２，９４，９６は、絶縁層９１，９３，９５を介して、軸受本体１１６のうち、摩耗面１１６ａ以外の領域まで引き出されており、各導通検査用ランドは、上記領域において、配線パターン９２，９４，９６のうちの１つと接続されており、グラウンド用ランドは、導通検査用ランドから離れた状態で、上記領域に配置されている。
【０１５６】
第５の実施形態の軸受１１５によれば、先に説明した第３の実施形態の軸受８０と同様な効果を得ることができる。
また、軸受バックメタル部８８の内周面８８ｂに積層体７８を形成し、その後、金属膜で構成された軸受メタル部１１７を形成することで、軸受メタル部１１７に積層体７８が収容される凹部や切欠き部を形成する工程を削除することができる。
【０１５７】
（第６の実施形態）
図１７を参照して、第６の実施形態の摩耗センサ装置１２０について説明する。図１７において、図１に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。
【０１５８】
摩耗センサ装置１２０は、摩耗センサ１２１と、摩耗量取得装置１２２と、を有する。
摩耗センサ１２１は、第１の実施形態で説明した摩耗センサ８を構成する第１の配線群１２及び第１の摩耗検知用配線１３に替えて、第１の配線群１２３及び第１の摩耗検知用配線１２４を有すること以外は、摩耗センサ８と同様に構成されている。
【０１５９】
第１の配線群１２３は、第１の配線形成面１１ｄに形成されており、第１の導通検査用配線２１〜２４と、第１のグラウンド用配線２６と、を有する。
第１の配線群１２３は、第１の実施形態で説明した第１の配線群１２の構成要素から第１の導通検査用配線２５を除くとともに、第１の導通検査用配線２１〜２４及び第１のグラウンド用配線２６の配列位置、及び先端面１１ａから第１の導通検査用配線２１〜２４及び第１のグラウンド用配線２６の先端２１Ａ〜２４Ａ，２６Ａまでの距離を異ならせたこと以外は、第１の配線群１２と同様に構成されている。
【０１６０】
第１のグラウンド用配線２６は、Ｙ方向に延びた状態で、絶縁基板１１の中央に配置されている。
第１の導通検査用配線２１は、第１のグラウンド用配線２６からＸ方向に離れた側面１１ｂ側に配置されている。第１の導通検査用配線２１の先端２１Ａは、Ｙ方向において、第１のグラウンド用配線２６の先端２６Ａよりも先端面１１ａに近い位置に配置されている。
第１の導通検査用配線２２は、第１のグラウンド用配線２６からＸ方向に離れた側面１１ｃ側に配置されている。第１の導通検査用配線２２の先端２２Ａは、Ｙ方向において、第１のグラウンド用配線２６の先端２６Ａよりも先端面１１ａに近い位置に配置されている。Ｙ方向において、先端面１１ａから先端２２Ａまでの距離は、先端面１１ａから先端２１Ａまでの距離と等しくなるように構成されている。
【０１６１】
第１の導通検査用配線２３は、Ｙ方向に延びた状態で、第１のグラウンド用配線２６と第１のグラウンド用配線２６との間に配置されている。第１の導通検査用配線２３の先端２３Ａは、先端面１１ａから先端２３Ａまでの距離が先端面１１ａから先端２６Ａまでの距離と等しくなる位置に配置されている。
【０１６２】
第１の導通検査用配線２４は、Ｙ方向に延びた状態で、第１のグラウンド用配線２６と第１のグラウンド用配線２６との間に配置されている。第１の導通検査用配線２４の先端２４Ａは、先端面１１ａから先端２４Ａまでの距離が先端面１１ａから先端２６Ａまでの距離と等しくなる位置に配置されている。
【０１６３】
第１の摩耗検知用配線１２４は、第１の導通検査用配線２１〜２４の先端２１Ａ〜２４Ａ及び第１のグラウンド用配線２６の先端２６Ａを連結するように、第１の配線形成面１１ｄに形成されている。
第１の摩耗検知用配線。１２４は、第１の導通検査用配線２１〜２４及び第１のグラウンド用配線２６の形成位置よりも先端面１１ａ側に配置されている。
【０１６４】
第１の摩耗検知用配線１２４は、検知配線部１２５〜１２８を有する。
検知配線部１２５，１２６は、Ｘ方向に延びている。検知配線部１２５は、先端２３Ａ、及び先端２６Ａの一部と接続されている。検知配線部１２６は、先端２４Ａ、及び先端２６Ａの残部と接続されている。側面１１ｂ側に位置する検知配線部１２６の端は、側面１１ｃ側に位置する検知配線部１２６の端と一体に構成されている。
検知配線部１２５，１２６は、側面１１ｂから側面１１ｃに向かうＸ方向に対して、検知配線部１２５、検知配線部１２６の順で直線状に配列されている。
上記構成とされた検知配線部１２５，１２６（先端面１１ａからの距離が同じ複数の検知配線部）は、第１のグラウンド用配線２６に対して電気的に並列接続されている。
【０１６５】
検知配線部１２７，１２８（先端面１１ａからの距離が同じ複数の検知配線部）は、Ｘ方向に延びている。検知配線部１２７は、先端２１Ａ、及び側面１１ｂ側に位置する検知配線部１２５の端部と接続されている。検知配線部１２８は、先端２２Ａ、及び側面１１ｃ側に位置する検知配線部１２６の端部と接続されている。
検知配線部１２７，１２８は、側面１１ｂから側面１１ｃに向かうＸ方向に対して、間隔をあけた状態で、検知配線部１２７、検知配線部１２８の順で直線状に配列されている。
上記構成とされた検知配線部１２７，１２８は、第１のグラウンド用配線２６に対して電気的に並列接続されている。
【０１６６】
第６の実施形態の摩耗センサ装置１２０によれば、絶縁基板１１の中央に配置された第１のグラウンド用配線２６と、第１のグラウンド用配線２６の両側に配置された第１の導通検査用配線２１〜２４と、一対の側面１１ｂ，１１ｃから絶縁基板１１の中央に向かう方向に階段を形成するともに、先端面１１ａからの距離が同じ複数の検知配線部（第６の実施形態の場合、検知配線部１２５，１２６または検知配線部１２７，１２８）を有する第１の摩耗検知用配線１２４と、を備え、複数の検知配線部（第６の実施形態の場合、検知配線部１２５，１２６または検知配線部１２７，１２８）を第１のグラウンド用配線２６に対して電気的に並列接続することで、複数の検知配線部の全てが切断されたときに、摩耗を検知することが可能となる。これにより、１つの検知配線部が切断されたときに摩耗を検知する場合と比較して、摩耗計測の精度を向上させることができる。
【０１６７】
また、第６の実施形態のように、絶縁基板１１の中央に第１のグラウンド用配線２６を配置させ、先端面１１ａからの距離が同じ複数の検知配線部を第１のグラウンド用配線２６の両側に配置させることで、先端面１１ａからの距離が同じ複数の検知配線部を第１のグラウンド用配線２６に対して容易に並列接続させることができる。
【０１６８】
また、複数の検知配線部１２５〜１２８を、一対の側面１１ｂ，１１ｃから絶縁基板１１の中央に向かう方向に階段を形成するように配置させることで、先端面１１ａから異なる距離に検知配線部を配置させた上で、複数の検知配線部１２５〜１２８を第１のグラウンド用配線２６に対して容易に並列接続させることができる。
【０１６９】
なお、第６の実施形態では、一例として、第１の摩耗検知用配線１２４を２段で構成した場合を例に挙げて説明したが、第１の摩耗検知用配線１２４を構成する段数は、複数であればよく、２段に限定されない。
【０１７０】
（第７の実施形態）
図１８及び図１９を参照して、第７の実施形態の摩耗センサ装置１３０について説明する。図１８及び図１９において、図１に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。
【０１７１】
摩耗センサ装置１３０は、第１の実施形態の摩耗センサ装置７を構成する摩耗センサ８に替えて、摩耗センサ１３１を有すること以外は、摩耗センサ装置７と同様に構成されている。
【０１７２】
摩耗センサ１３１は、第１の実施形態で説明した摩耗センサ８の構成に、さらに、第２の配線群１３２と、第２の摩耗検知用配線１３３と、貫通電極１３４〜１３９と、を有すること以外は、摩耗センサ８と同様に構成されている。
【０１７３】
絶縁基板１１は、第１の配線形成面１１ｄの反対側に配置された第２の配線形成面１１ｆを有する。
ここで、図１８に示す第１の導通検査用配線２１〜２５及び第１のグラウンド用配線２６の構成について説明する。
【０１７４】
第１の導通検査用配線２１は、Ｙ方向に延びる第１の配線本体２１Ｂと、第１のランド部２１Ｃと、を有する。第１のランド部２１Ｃは、絶縁基板１１の後端（後端面１１ｅ）側に位置する第１の配線本体２１Ｂの端と接続されている。
第１の導通検査用配線２２は、Ｙ方向に延びる第１の配線本体２２Ｂと、第１のランド部２２Ｃと、を有する。第１のランド部２２Ｃは、絶縁基板１１の後端（後端面１１ｅ）側に位置する第１の配線本体２２Ｂの端と接続されている。
【０１７５】
第１の導通検査用配線２３は、Ｙ方向に延びる第１の配線本体２３Ｂと、第１のランド部２３Ｃと、を有する。第１のランド部２３Ｃは、絶縁基板１１の後端（後端面１１ｅ）側に位置する第１の配線本体２３Ｂの端と接続されている。
第１の導通検査用配線２４は、Ｙ方向に延びる第１の配線本体２４Ｂと、第１のランド部２４Ｃと、を有する。第１のランド部２４Ｃは、絶縁基板１１の後端（後端面１１ｅ）側に位置する第１の配線本体２４Ｂの端と接続されている。
【０１７６】
第１の導通検査用配線２５は、Ｙ方向に延びる第１の配線本体２５Ｂと、第１のランド部２５Ｃと、を有する。第１のランド部２５Ｃは、絶縁基板１１の後端（後端面１１ｅ）側に位置する第１の配線本体２５Ｂの端と接続されている。
第１のグラウンド用配線２６は、Ｙ方向に延びる第１の配線本体２６Ｂと、第１のランド部２６Ｃと、を有する。第１のランド部２６Ｃは、絶縁基板１１の後端（後端面１１ｅ）側に位置する第１の配線本体２６Ｂの端と接続されている。
【０１７７】
第２の配線群１３２は、第２の配線形成面１１ｆに形成されており、第２の導通検査用配線１４１〜１４５（複数の第２の導通検査用配線）と、第２のグラウンド用配線１４６（少なくとも１つの第２のグラウンド用配線）と、を有する。
【０１７８】
第２の導通検査用配線１４１〜１４５及び第２のグラウンド用配線１４６は、それぞれ摩耗進行方向Ａに延びている。
第２の導通検査用配線１４１〜１４５及び第２のグラウンド用配線１４６は、側面１１ｂから側面１１ｃに向かう方向に間隔を空けて、第２の導通検査用配線１４１、第２の導通検査用配線１４２、第２の導通検査用配線１４３、第２の導通検査用配線１４４、第２の導通検査用配線１４５、第２のグラウンド用配線１４６の順で配置されている。
【０１７９】
第２の導通検査用配線１４１は、Ｙ方向に延びる第２の配線本体１４１Ａのみで構成されている。第２の配線本体１４１Ａは、先端面１１ａ側に配置された先端１４１ＡＢを有する。
先端面１１ａから先端１４１ＡＢまでの距離は、先端面１１ａから先端２１Ａまでの距離と等しくなるように構成されている。第２の配線本体１４１Ａは、絶縁基板１１を介して、全体が第１の配線本体２１Ｂと向かい合うように配置されている。第２の配線本体１４１Ａの長さは、第１の配線本体２１Ｂの長さよりも短い。
【０１８０】
第２の導通検査用配線１４２は、Ｙ方向に延びる第２の配線本体１４２Ａのみで構成されている。第２の配線本体１４２Ａは、先端面１１ａ側に配置された先端１４２ＡＢを有する。
先端面１１ａから先端１４２ＡＢまでの距離は、先端面１１ａから先端２２Ａまでの距離と等しくなるように構成されている。第２の配線本体１４２Ａは、絶縁基板１１を介して、全体が第１の配線本体２２Ｂと向かい合うように配置されている。第２の配線本体１４２Ａの長さは、第１の配線本体２２Ｂの長さよりも短い。
【０１８１】
第２の導通検査用配線１４３は、Ｙ方向に延びる第２の配線本体１４３Ａのみで構成されている。第２の配線本体１４３Ａは、先端面１１ａ側に配置された先端１４３ＡＢを有する。
先端面１１ａから先端１４３ＡＢまでの距離は、先端面１１ａから先端２３Ａまでの距離と等しくなるように構成されている。第２の配線本体１４３Ａは、絶縁基板１１を介して、全体が第１の配線本体２３Ｂと向かい合うように配置されている。第２の配線本体１４３Ａの長さは、第１の配線本体２３Ｂの長さよりも短い。
【０１８２】
第２の導通検査用配線１４４は、Ｙ方向に延びる第２の配線本体１４４Ａのみで構成されている。第２の配線本体１４４Ａは、先端面１１ａ側に配置された先端１４４ＡＢを有する。
先端面１１ａから先端１４４ＡＢまでの距離は、先端面１１ａから先端２４Ａまでの距離と等しくなるように構成されている。第２の配線本体１４４Ａは、絶縁基板１１を介して、全体が第１の配線本体２４Ｂと向かい合うように配置されている。第２の配線本体１４４Ａの長さは、第１の配線本体２４Ｂの長さよりも短い。
【０１８３】
第２の導通検査用配線１４５は、Ｙ方向に延びる第２の配線本体１４５Ａのみで構成されている。第２の配線本体１４５Ａは、先端面１１ａ側に配置された先端１４５ＡＢを有する。
先端面１１ａから先端１４５ＡＢまでの距離は、先端面１１ａから先端２５Ａまでの距離と等しくなるように構成されている。第２の配線本体１４５Ａは、絶縁基板１１を介して、全体が第１の配線本体２５Ｂと向かい合うように配置されている。第２の配線本体１４５Ａの長さは、第１の配線本体２５Ｂの長さよりも短い。
【０１８４】
第２のグラウンド用配線１４６は、Ｙ方向に延びる第２の配線本体１４６Ａのみで構成されている。第２の配線本体１４６Ａは、先端面１１ａ側に配置された先端１４６ＡＢを有する。
先端面１１ａから先端１４６ＡＢまでの距離は、先端面１１ａから先端２６Ａまでの距離と等しくなるように構成されている。第２の配線本体１４６Ａは、絶縁基板１１を介して、全体が第１の配線本体２６Ｂと向かい合うように配置されている。第２の配線本体１４６Ａの長さは、第１の配線本体２６Ｂの長さよりも短い。
【０１８５】
第２の摩耗検知用配線１３３は、第２の導通検査用配線１４１〜１４５の先端１４１ＡＢ〜１４５ＡＢ及び第２のグラウンド用配線１４６の先端１４６ＡＢを連結するように、第２の配線形成面１１ｆに形成されている。
第２の摩耗検知用配線１３３は、第２の導通検査用配線１４１〜１４５及び第２のグラウンド用配線１４６の形成位置よりも先端面１１ａ側に配置されている。
【０１８６】
第２の摩耗検知用配線１３３は、検知配線部１５１〜１５５（複数の検知配線部）を有する。検知配線部１５１〜１５５は、側面１１ｂから側面１１ｃに向かう方向に、検知配線部１５１、検知配線部１５２、検知配線部１５３、検知配線部１５４、検知配線部１５５の順で配置されている。検知配線部１５１〜１５５は、摩耗進行方向Ａに対して直交するＸ方向に延びている。
【０１８７】
検知配線部１５１は、先に説明した検知配線部３１と同様な形状とされている。検知配線部１５１は、先端１４１ＡＢと接続されるとともに、絶縁基板１１を介して、全体が検知配線部３１と向かい合うように配置されている。
【０１８８】
検知配線部１５２は、先に説明した検知配線部３２と同様な形状とされている。検知配線部１５２は、側面１１ｃ側に位置する検知配線部１５１の端部、及び先端１４２ＡＢと接続されている。検知配線部１５２は、絶縁基板１１を介して、全体が検知配線部３２と向かい合うように配置されている。
【０１８９】
検知配線部１５３は、先に説明した検知配線部３３と同様な形状とされている。検知配線部１５３は、側面１１ｃ側に位置する検知配線部１５２の端部、及び先端１４３ＡＢと接続されている。検知配線部１５３は、絶縁基板１１を介して、全体が検知配線部３３と向かい合うように配置されている。
【０１９０】
検知配線部１５４は、先に説明した検知配線部３４と同様な形状とされている。検知配線部１５４は、側面１１ｃ側に位置する検知配線部１５３の端部、及び先端１４４ＡＢと接続されている。検知配線部１５４は、絶縁基板１１を介して、全体が検知配線部３４と向かい合うように配置されている。
【０１９１】
検知配線部１５５は、先に説明した検知配線部３５と同様な形状とされている。検知配線部１５５は、側面１１ｃ側に位置する検知配線部１５４の端部、及び先端１４５ＡＢ，１４６ＡＢと接続されている。検知配線部１５５は、絶縁基板１１を介して、全体が検知配線部３５と向かい合うように配置されている。
【０１９２】
貫通電極１３４は、第２の配線本体１４１Ａの下端部と第１の配線本体２１Ｂとの間に位置する絶縁基板１１を貫通するように形成されている。貫通電極１３４は、一方の端が第１の配線本体２１Ｂと接続されており、他方の端が第２の配線本体１４１Ａの下端部と接続されている。貫通電極１３４は、第１の配線本体２１Ｂと第２の配線本体１４１Ａとを電気的に接続している。
【０１９３】
貫通電極１３５は、第２の配線本体１４２Ａの下端部と第１の配線本体２２Ｂとの間に位置する絶縁基板１１を貫通するように形成されている。貫通電極１３５は、一方の端が第１の配線本体２２Ｂと接続されており、他方の端が第２の配線本体１４２Ａの下端部と接続されている。貫通電極１３５は、第１の配線本体２２Ｂと第２の配線本体１４２Ａとを電気的に接続している。
【０１９４】
貫通電極１３６は、第２の配線本体１４３Ａの下端部と第１の配線本体２３Ｂとの間に位置する絶縁基板１１を貫通するように形成されている。貫通電極１３６は、一方の端が第１の配線本体２３Ｂと接続されており、他方の端が第２の配線本体１４３Ａの下端部と接続されている。貫通電極１３６は、第１の配線本体２３Ｂと第２の配線本体１４３Ａとを電気的に接続している。
【０１９５】
貫通電極１３７は、第２の配線本体１４４Ａの下端部と第１の配線本体２４Ｂとの間に位置する絶縁基板１１を貫通するように形成されている。貫通電極１３７は、一方の端が第１の配線本体２４Ｂと接続されており、他方の端が第２の配線本体１４４Ａの下端部と接続されている。貫通電極１３７は、第１の配線本体２４Ｂと第２の配線本体１４４Ａとを電気的に接続している。
【０１９６】
貫通電極１３８は、第２の配線本体１４５Ａの下端部と第１の配線本体２５Ｂとの間に位置する絶縁基板１１を貫通するように形成されている。貫通電極１３８は、一方の端が第１の配線本体２５Ｂと接続されており、他方の端が第２の配線本体１４５Ａの下端部と接続されている。貫通電極１３８は、第１の配線本体２５Ｂと第２の配線本体１４５Ａとを電気的に接続している。
【０１９７】
貫通電極１３９は、第２の配線本体１４６Ａの下端部と第１の配線本体２６Ｂとの間に位置する絶縁基板１１を貫通するように形成されている。貫通電極１３９は、一方の端が第１の配線本体２６Ｂと接続されており、他方の端が第２の配線本体１４６Ａの下端部と接続されている。貫通電極１３９は、第１の配線本体２６Ｂと第２の配線本体１４６Ａとを電気的に接続している。
【０１９８】
第７の実施形態の摩耗センサ装置１３０によれば、第１及び第２の摩耗検知用配線１３，１３３のうち、一方の摩耗検知用配線に不具合が生じた場合でも他方の摩耗検知用配線を用いて、摩耗を計測することができる。
また、第１及び第２の摩耗検知用配線１３，１３３の両方に不具合が無い場合、第１及び第２の摩耗検知用配線１３，１３３の両方の摩耗検知用配線が切断された際、摩耗を検知することが可能となるので、摩耗計測の精度を向上させることができる。
【０１９９】
なお、第７の実施形態では、第１及び第２の摩耗検知用配線１３，１３３の一例として、階段形状とされた摩耗検知用配線を用いた場合を例に挙げて説明したが、これに替えて、例えば、図３に示す第１の摩耗検知用配線５９を用いてもよい。
【０２００】
次に、図２０を参照して、第７の実施形態の変形例に係る摩耗センサ１６０について説明する。図２０において、図１９に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。
【０２０１】
摩耗センサ１６０は、第７の実施形態の摩耗センサ１３１を構成する第２の配線群１３２に替えて、第２の配線群１６１を有することと、貫通電極１３４〜１３９の位置を異ならせたこと以外は、摩耗センサ１３１と同様に構成されている。
【０２０２】
第２の配線群１６１は、第２の配線形成面１１ｆに形成されており、第２の導通検査用配線１７１〜１７５（複数の第２の導通検査用配線）と、第２のグラウンド用配線１７６（少なくとも１つの第２のグラウンド用配線）と、を有する。
【０２０３】
第２の導通検査用配線１７１〜１７５及び第２のグラウンド用配線１７６は、それぞれ摩耗進行方向Ａに延びている。
第２の導通検査用配線１７１〜１７５及び第２のグラウンド用配線１７６は、側面１１ｂから側面１１ｃに向かう方向に間隔を空けて、第２の導通検査用配線１７１、第２の導通検査用配線１７２、第２の導通検査用配線１７３、第２の導通検査用配線１７４、第２の導通検査用配線１７５、第２のグラウンド用配線１７６の順で配置されている。
【０２０４】
第２の導通検査用配線１７１は、先端１７１Ａを含む第２の配線本体１７１Ｂと、第２のランド部１７１Ｃと、を有する。第２の配線本体１７１Ｂは、第１の配線本体２１Ｂと同じ長さとされている。第２の配線本体１７１Ｂは、絶縁基板１１を介して、全体が第１の配線本体２１Ｂと向かい合うように配置されている。
第２のランド部１７１Ｃは、絶縁基板１１の後端（後端面１１ｅ）側に位置する第２の配線本体１７１Ｂの端と接続されている。第２のランド部１７１Ｃは、絶縁基板１１を介して、第１のランド部２１Ｃと向かい合うように配置されている。
【０２０５】
第２の導通検査用配線１７２は、先端１７２Ａを含む第２の配線本体１７２Ｂと、第２のランド部１７２Ｃと、を有する。
第２の配線本体１７２Ｂは、第１の配線本体２２Ｂと同じ長さとされている。第２の配線本体１７２Ｂは、絶縁基板１１を介して、全体が第１の配線本体２２Ｂと向かい合うように配置されている。
第２のランド部１７２Ｃは、絶縁基板１１の後端（後端面１１ｅ）側に位置する第２の配線本体１７２Ｂの端と接続されている。第２のランド部１７２Ｃは、絶縁基板１１を介して、第１のランド部２２Ｃと向かい合うように配置されている。
【０２０６】
第２の導通検査用配線１７３は、先端１７３Ａを含む第２の配線本体１７３Ｂと、第２のランド部１７３Ｃと、を有する。
第２の配線本体１７３Ｂは、第１の配線本体２３Ｂと同じ長さとされている。第２の配線本体１７３Ｂは、絶縁基板１１を介して、全体が第１の配線本体２３Ｂと向かい合うように配置されている。
第２のランド部１７３Ｃは、絶縁基板１１の後端（後端面１１ｅ）側に位置する第２の配線本体１７３Ｂの端と接続されている。第２のランド部１７３Ｃは、絶縁基板１１を介して、第１のランド部２３Ｃと向かい合うように配置されている。
【０２０７】
第２の導通検査用配線１７４は、先端１７４Ａを含む第２の配線本体１７４Ｂと、第２のランド部１７４Ｃと、を有する。
第２の配線本体１７４Ｂは、第１の配線本体２４Ｂと同じ長さとされている。第２の配線本体１７４Ｂは、絶縁基板１１を介して、全体が第１の配線本体２４Ｂと向かい合うように配置されている。
第２のランド部１７４Ｃは、絶縁基板１１の後端（後端面１１ｅ）側に位置する第２の配線本体１７４Ｂの端と接続されている。第２のランド部１７４Ｃは、絶縁基板１１を介して、第１のランド部２４Ｃと向かい合うように配置されている。
【０２０８】
第２の導通検査用配線１７５は、先端１７５Ａを含む第２の配線本体１７５Ｂと、第２のランド部１７５Ｃと、を有する。
第２の配線本体１７５Ｂは、第１の配線本体２５Ｂと同じ長さとされている。第２の配線本体１７５Ｂは、絶縁基板１１を介して、全体が第１の配線本体２５Ｂと向かい合うように配置されている。
第２のランド部１７５Ｃは、絶縁基板１１の後端（後端面１１ｅ）側に位置する第２の配線本体１７５Ｂの端と接続されている。第２のランド部１７５Ｃは、絶縁基板１１を介して、第１のランド部２５Ｃと向かい合うように配置されている。
【０２０９】
第２のグラウンド用配線１７６は、先端１７６Ａを含む第２の配線本体１７６Ｂと、第２のランド部１７６Ｃと、を有する。
第２の配線本体１７６Ｂは、第１の配線本体２６Ｂと同じ長さとされている。第２の配線本体１７６Ｂは、絶縁基板１１を介して、全体が第１の配線本体２６Ｂと向かい合うように配置されている。
第２のランド部１７６Ｃは、絶縁基板１１の後端（後端面１１ｅ）側に位置する第２の配線本体１７６Ｂの端と接続されている。第２のランド部１７６Ｃは、絶縁基板１１を介して、第１のランド部２６Ｃと向かい合うように配置されている。
【０２１０】
貫通電極１３４は、第２のランド部１７１Ｃと第１のランド部２１Ｃとの間に位置する絶縁基板１１を貫通するように配置されている。貫通電極１３４は、第２のランド部１７１Ｃと第１のランド部２１Ｃとを電気的に接続している。
【０２１１】
貫通電極１３５は、第２のランド部１７２Ｃと第１のランド部２２Ｃとの間に位置する絶縁基板１１を貫通するように配置されている。貫通電極１３５は、第２のランド部１７２Ｃと第１のランド部２２Ｃとを電気的に接続している。
【０２１２】
貫通電極１３６は、第２のランド部１７３Ｃと第１のランド部２３Ｃとの間に位置する絶縁基板１１を貫通するように配置されている。貫通電極１３６は、第２のランド部１７３Ｃと第１のランド部２３Ｃとを電気的に接続している。
【０２１３】
貫通電極１３７は、第２のランド部１７４Ｃと第１のランド部２４Ｃとの間に位置する絶縁基板１１を貫通するように配置されている。貫通電極１３７は、第２のランド部１７４Ｃと第１のランド部２４Ｃとを電気的に接続している。
【０２１４】
貫通電極１３８は、第２のランド部１７５Ｃと第１のランド部２５Ｃとの間に位置する絶縁基板１１を貫通するように配置されている。貫通電極１３８は、第２のランド部１７５Ｃと第１のランド部２５Ｃとを電気的に接続している。
【０２１５】
貫通電極１３９は、第２のランド部１７６Ｃと第１のランド部２６Ｃとの間に位置する絶縁基板１１を貫通するように配置されている。貫通電極１３９は、第２のランド部１７６Ｃと第１のランド部２６Ｃとを電気的に接続している。
【０２１６】
このような構成とされた第７の実施形態の変形例に係る摩耗センサ１６０は、先に説明した第７の実施形態の摩耗センサ１３１と同様な効果を得ることができる。
【０２１７】
（第８の実施形態）
図２１及び図２２を参照して、第８の実施形態の摩耗センサ装置１８０について説明する。図２１及び図２２において、図１８及び図１９に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。
【０２１８】
摩耗センサ装置１８０は、摩耗センサ１８０Ａと、摩耗量取得装置１８０Ｂと、を有する。
摩耗センサ１８０Ａは、第７の実施形態で説明した摩耗センサ１３１を構成する第１の配線群１２、第１の摩耗検知用配線１３、第２の配線群１３２、第２の摩耗検知用配線１３３、及び貫通電極１３４〜１３９に替えて、第１の導通検査用配線１８１、第１のグラウンド用配線１８２、第１の摩耗検知用配線１８３、第２の導通検査用配線１８５、第２のグラウンド用配線１８６、第２の摩耗検知用配線１８７、及び貫通電極１８８，１８９を有すること以外は、摩耗センサ１３１と同様に構成されている。
【０２１９】
第１の導通検査用配線１８１、第１のグラウンド用配線１８２、及び第１の摩耗検知用配線１８３は、第１の配線形成面１１ｄに形成されている。
第１の導通検査用配線１８１は、側面１１ｂ側に配置されている。第１の導通検査用配線１８１は、Ｙ方向に延びる第１の配線本体１９１と、後端面１１ｅ側に配置された第１の配線本体１９１の端と接続された第１のランド部１９２と、を有する。
【０２２０】
第１のグラウンド用配線１８２は、側面１１ｃ側に配置されている。第１のグラウンド用配線１８２は、Ｘ方向に第１の導通検査用配線１８１から離れた位置に配置されている。
第１のグラウンド用配線１８２は、Ｙ方向に延びる第１の配線本体１９４と、後端面１１ｅ側に配置された第１の配線本体１９４の端と接続された第１のランド部１９５と、を有する。
【０２２１】
第１の導通検査用配線１８１は、Ｘ方向に延びており、第１の配線本体１９１，１９４の先端１９１Ａ，１９４Ａと接続されている。
【０２２２】
第２の導通検査用配線１８５、第２のグラウンド用配線１８６、及び第２の摩耗検知用配線１８７は、第２の配線形成面１１ｆに形成されている。
第２の導通検査用配線１８５は、側面１１ｂ側に配置されている。第２の導通検査用配線１８５は、Ｙ方向に延びる第２の配線本体１９７のみで構成されている。先端面１１ａから第２の導通検査用配線１８５の先端１８５Ａまでの距離は、先端面１１ａから第１の配線本体１９１の先端１９１Ａまでの距離と等しい。第２の導通検査用配線１８５は、絶縁基板１１を介して、全体が第１の導通検査用配線１８１と向かい合うように配置されている。
【０２２３】
第２のグラウンド用配線１８６は、側面１１ｃ側に配置されている。第２のグラウンド用配線１８６は、Ｘ方向に第２の導通検査用配線１８５から離れた位置に配置されている。
第２のグラウンド用配線１８６は、Ｙ方向に延びる第２の配線本体２０１のみで構成されている。先端面１１ａから第２のグラウンド用配線１８６の先端１８６Ａまでの距離は、先端面１１ａから第１の配線本体１９４の先端１９４Ａまでの距離と等しい。第２のグラウンド用配線１８６は、絶縁基板１１を介して、全体が第１のグラウンド用配線１８２と向かい合うように配置されている。
【０２２４】
第２の摩耗検知用配線１８７は、Ｘ方向に延びており、第２の導通検査用配線１８５及び第２のグラウンド用配線１８６の先端１８５Ａ，１８６Ａと接続されている。
【０２２５】
貫通電極１８８は、第２の導通検査用配線１８５の下端部と第１の配線本体１９１とを接続するように絶縁基板１１に形成されている。
貫通電極１８９は、第２のグラウンド用配線１８６の下端部と第１の配線本体１９４とを接続するように絶縁基板１１に形成されている。
【０２２６】
摩耗量取得装置１８０Ｂは、摩耗量取得装置９の構成から配線４２〜４５を構成から除いたこと以外は、摩耗量取得装置９と同様に構成されている。
【０２２７】
第８の実施形態の摩耗センサ装置１８０によれば、第１及び第２の摩耗検知用配線１８３，１８７のうち、一方の摩耗検知用配線に不具合が生じた場合でも他方の摩耗検知用配線を用いて、摩耗を計測することができる。
また、第１及び第２の摩耗検知用配線１８３，１８７の両方に不具合が無い場合、第１及び第２の摩耗検知用配線１８３，１８７の両方の摩耗検知用配線が切断された際、摩耗を検知することが可能となるので、摩耗計測の精度を向上させることができる。
【０２２８】
なお、第８の実施形態では、一例として、第１及び第２の摩耗検知用配線１８３，１８７がＸ方向に延びる場合を例に挙げて説明したが、第１及び第２の摩耗検知用配線１８３，１８７は、Ｘ方向に対して傾斜する方向に延びていてもよい。
また、第８の実施形態では、一例として、第２の導通検査用配線１８５及び第２のグラウンド用配線１８６が第２の配線本体１９７，２０１のみで構成されている場合を例に挙げて説明したが、第２の導通検査用配線１８５及び第２のグラウンド用配線１８６を第２の配線本体１９７，２０１と第２のランド部とで構成してもよい。この場合、第１のランド部１９２，１９５と第２のランド部とを接続するように貫通電極１８８，１８９を配置させてもよい。
【０２２９】
以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明はかかる特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【０２３０】
なお、第３の実施形態では、摩耗面７６ａ以外の領域の一例として、軸受本体７６の端面７６ｂを例に挙げ、第４の実施形態では、摩耗面７６ａ以外の領域の一例として、第２の切り欠き部７６Ａを例に挙げて説明したが、摩耗面７６ａ以外の領域は、これらに限定されない。
【符号の説明】
【０２３１】
４…回転体
４ａ，８７ｂ…外周面
５，８０，１０５，１１５…軸受
６，７６，１１６…軸受本体
６ａ，７６ａ，１１６ａ…摩耗面
６Ａ…収容部
７，１２０，１３０，１８０…摩耗センサ装置
８，５５，１２１，１３１，１６０，１８０Ａ…摩耗センサ
９，１２２，１８０Ｂ…摩耗量取得装置
１１…絶縁基板
１１ａ…先端面
１１ｂ，１１ｃ…側面
１１ｄ…第１の配線形成面
１１ｅ…後端面
１１ｆ…第２の配線形成面
１２，５６，１２３…第１の配線群
１３，５９，１２４，１８３…第１の摩耗検知用配線
２１〜２５，６１〜６５，１８１…第１の導通検査用配線
２１Ａ〜２６Ａ，６１Ａ〜６６Ａ，１４１ＡＢ〜１４６ＡＢ，１７１Ａ〜１７６Ａ，１８５Ａ，１８６Ａ，１９１Ａ，１９４Ａ…先端
２１Ｂ〜２６Ｂ，１９１，１９４…第１の配線本体
２１Ｃ〜２６Ｃ，１９２，１９５…第１のランド部
２６，６６，１８２…第１のグラウンド用配線
３１〜３５，７１〜７５，１２５〜１２８，１５１〜１５５…検知配線部
３１Ａ〜３５Ａ，３１Ｂ〜３５Ｂ，７１Ａ〜７５Ａ，７１Ｂ〜７５Ｂ…端部
４１〜４６…配線
４８…摩耗量取得装置本体
４８Ａ…記憶部
４８Ｂ…導通検知部
４８Ｃ…摩耗量取得部
７６ｂ，８７ｃ，８８ａ…端面
７６Ａ…第２の切り欠き部
７８…積層体
８１〜８３…導通検査用ランド
８４…グラウンド用ランド
８７，１１７…軸受メタル部
８７ａ，８８ｂ，１１７ａ…内周面
８７Ａ…中空部
８７Ｂ…第１の切り欠き部
８８…軸受バックメタル部
９１，９３，９５，９７…絶縁層
９２，９４，９６…配線パターン
９２Ａ，９４Ａ，９６Ａ…一端
９２Ｂ，９４Ｂ，９６Ｂ…他端
１３２，１６１…第２の配線群
１３３，１８７…第２の摩耗検知用配線
１３４〜１３９，１８８，１８９…貫通電極
１４１〜１４５，１７１〜１７５，１８５…第２の導通検査用配線
１４６，１７６，１８６…第２のグラウンド用配線
１４１Ａ〜１４６Ａ，１７１Ｂ〜１７６Ｂ，１９７，２０１…第２の配線本体
１７１Ｃ〜１７６Ｃ…第２のランド部
Ａ…摩耗進行方向
Ｂ…第１の摩耗量
Ｃ…第２の摩耗量
Ｄ…分解能
ＤＥ１，ＤＥ２…深さ
Ｊ…領域
Ｏ…軸線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
2020148774.tif 000022
【図２１】
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【図２２】
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