(57)【要約】      （修正有）【課題】駆動モータにより駆動されるピニオンギアを有する搬送ユニットを複数平面設置する搬送方式において、被駆動体の停止位置精度向上を図ることができる搬送装置及び搬送方法を提供する。【解決手段】平面ギア４を有する被駆動体１と、互いに隣接配置するように設けられて該被駆動体１を所定方向に搬送する複数の搬送ユニット２とを具備し、搬送ユニット２の各々は、平面ギア４と噛み合って動力を伝達するピニオンギア５と、ピニオンギア５を駆動する駆動機構６と、回転を制御する制御部７とを具備し、制御部７は、互いに隣接配置される一の搬送ユニット２（２Ａ）及び他の搬送ユニット２（２Ｂ）について、これらが停止した状態で、他の搬送ユニット２（２Ｂ）の駆動機構６を他の搬送ユニット２（２Ｂ）のピニオンギア５両側に形成されるいずれか一方のバックラッシを減少させる方向へ回転させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
底面に平面ギアを有する被駆動体と、互いに隣接配置するように設けられて該被駆動体を所定方向に搬送する複数の搬送ユニットと、を具備し、
前記搬送ユニットの各々は、前記平面ギアと噛み合って動力を伝達するピニオンギアと、該ピニオンギアを駆動する駆動機構と、該駆動機構の回転を制御する制御部と、を具備し、
前記制御部は、互いに隣接配置される一の搬送ユニット及び他の搬送ユニットについて、前記被駆動体が停止した状態で、前記他の搬送ユニットの駆動機構を、該他の搬送ユニットのピニオンギア両側に形成されるいずれか一方のバックラッシを減少させる方向へ回転させることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記被駆動体が停止した状態で、前記他の搬送ユニットのピニオンギア後方に形成されるバックラッシを減少させるために、該他の搬送ユニットの駆動機構を逆方向に回転させることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記被駆動体が停止した状態で、前記一の搬送ユニットのバックラッシをピニオンギアの前方側で減少させ、かつ前記他の搬送ユニットのバックラッシをピニオンギアの後方側で減少させるように、これら搬送ユニットの駆動機構を制御することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記被駆動体は、互いに隣接配置される少なくとも２つの前記搬送ユニット間に跨るように、該搬送ユニットに対して相対的に大きな寸法設定がされていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記被駆動体の停止時に、前記他の搬送ユニットの駆動機構に駆動源として設けられた駆動モータを既定の回転量だけ正転又は逆転制御することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記駆動機構には、駆動源となる駆動モータの回転を減速して前記ピニオンギアの回転角度を調整する減速ギアが設けられることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記搬送ユニットは平面内にてマトリックスを形成するように複数が隣接配置されることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項８】
底面に平面ギアを有する被駆動体と、互いに隣接配置するように設けられて該被駆動体を所定方向に搬送する複数の搬送ユニットと、を具備し、前記搬送ユニットの各々は、前記平面ギアと噛み合って動力を伝達するピニオンギアと、該ピニオンギアを駆動する駆動機構とを具備する搬送装置において、
一の搬送ユニット及び他の搬送ユニットを互いに隣接配置した上で、前記被駆動体が停止した場合に、前記他の搬送ユニットの駆動機構を、該他の搬送ユニットのピニオンギア両側に形成されるいずれか一方のバックラッシを減少させる方向へ回転させることを特徴とする搬送方法。
【請求項９】
互いに隣接配置される少なくとも２つの前記搬送ユニット間に跨る位置に、前記被駆動体を停止させることを特徴とする請求項８に記載の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多軸搬送テーブルに適用されて、被駆動体の停止位置の精度向上を図ることができる搬送装置及び搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
工場等の生産ラインでは、被搬送体となるワークを搬送する搬送装置が設置されている。例えば、特許文献１に示される直線移動装置は、ステージ上面の直線状ラックと、ラックの歯と噛み合う主動ピニオン及び従動ピニオンを有する移動台車と、主動ピニオンを回転駆動させる主動モータと、従動ピニオンを回転駆動させる従動モータと、これらモータの駆動を制御するコントローラと、を具備する。
【０００３】
そして、上記直線移動装置では、移動台車上の主動モータ及び従動モータを駆動することで、該移動台車がステージ上を直線往復運動するとともに、停止時において、主動ピニオンに正回転の駆動力を与え、従動ピニオンに逆回転の駆動力を与える。
これにより、上記直線移動装置では、主動ピニオンとラックの間、さらに従動ピニオンとラックの間にバックラッシが設けられていても、主動ピニオンと従動ピニオンがそれぞれ逆向きの力を受けることにより、停止後に移動台車が動くことが防止される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２０９９７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１では、主動ピニオン及び従動ピニオンに互いに逆向きの駆動力を与えることで、部分的にバックラッシを無くし、移動台車の停止位置の精度向上を図ることができる。
【０００６】
しかしながら、近年においては、台車側に駆動機構を設けるのではなく、搬送ユニットの搬送床面上に駆動モータにより駆動されるピニオンギアを設け、かつ該ピニオンギアに噛み合いかつ歯を下向きにした平面ギアを有する被駆動体を設けた搬送装置が開発されつつある。
そして、このような搬送装置では、ＸＹ平面にて複数の搬送ユニットをマトリックス状に配置する形態がとられる場合があり、このような形態の搬送装置において、如何にして被駆動体の停止位置精度向上を図ることができるかについて、新たな技術提供が期待されていた。
【０００７】
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、駆動モータにより駆動されるピニオンギアを有する搬送ユニットを複数設置する搬送方式において、被駆動体の停止位置精度向上を図ることができる搬送装置及び搬送方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明の第1態様に示される搬送装置では、底面に平面ギアを有する被駆動体と、互いに隣接配置するように設けられて該被駆動体を所定方向に搬送する複数の搬送ユニットと、を具備し、前記搬送ユニットの各々は、前記平面ギアと噛み合って動力を伝達するピニオンギアと、該ピニオンギアを駆動する駆動機構と、該駆動機構の回転を制御する制御部と、を具備し、前記制御部は、互いに隣接配置される一の搬送ユニット及び他の搬送ユニットについて、前記被駆動体が停止した状態で、前記他の搬送ユニットの駆動機構を、該他の搬送ユニットのピニオンギア両側に形成されるいずれか一方のバックラッシを減少させる方向へ回転させることを特徴とする。
【０００９】
本発明の第２態様に示される搬送方法では、底面に平面ギアを有する被駆動体と、互いに隣接配置するように設けられて該被駆動体を所定方向に搬送する複数の搬送ユニットと、を具備し、前記搬送ユニットの各々は、前記平面ギアと噛み合って動力を伝達するピニオンギアと、該ピニオンギアを駆動する駆動機構とを具備する搬送装置において、一の搬送ユニット及び他の搬送ユニットを互いに隣接配置した上で、前記被駆動体が停止した場合に、前記他の搬送ユニットの駆動機構を、該他の搬送ユニットのピニオンギア両側に形成されるいずれか一方のバックラッシを減少させる方向へ回転させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、互いに隣接配置される２つ以上の搬送ユニット間に跨るように被駆動体が停止していたとしても、該被駆動体が位置ずれすることなく高い精度で停止状態を維持させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る搬送装置を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）はピニオンギアのバックラッシ制御を説明するための説明図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る搬送装置の外観図である。
【図３】被駆動体の外観図である。
【図４】第１実施形態における搬送開始時の説明図であって、（ａ）は搬送ユニットの平面図、（ｂ）は（ａ）に示されるギアＡ，Ｂのバックラッシの状態を示す図である。
【図５】第１実施形態における搬送停止時の説明図であって、（ａ）は搬送ユニットの平面図、（ｂ）は（ａ）に示されるギアＡ，Ｂのバックラッシの状態を示す図である。
【図６】第２実施形態における搬送開始時の説明図であって、（ａ）は搬送ユニットの平面図、（ｂ）は（ａ）に示されるギアＡ，Ｂのバックラッシの状態を示す図である。
【図７】第２実施形態における搬送停止時の説明図であって、（ａ）は搬送ユニットの平面図、（ｂ）は（ａ）に示されるギアＡ，Ｂのバックラッシの状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の最小構成に係る搬送装置１００について図１（ａ）及び（ｂ）を参照して説明する。
この搬送装置１００は、図１（ａ）に示されるように、移動体となる被駆動体１と、互いに隣接配置するように設けられて該被駆動体１を所定方向（矢印Ｍ方向）に搬送する複数の搬送ユニット２（２Ａ，２Ｂ）と、を具備する。
なお、本例では、一例として２台の搬送ユニット２Ａ及び２Ｂが直列に隣接配置された例が示されている。
【００１３】
被駆動体１は、下向きの歯３が底面に設けられた平面ギア４を有する。
搬送ユニット２の各々は、平面ギア４と噛み合って動力を伝達するピニオンギア５と、該ピニオンギア５を駆動する駆動機構６と、該駆動機構６の回転を制御する制御部７と、から構成される。
制御部７は、互いに隣接配置される一の搬送ユニット２Ａ及び他の搬送ユニット２Ｂの駆動機構６が停止した状態で、他の搬送ユニット２Ｂの駆動機構６を、該搬送ユニット２Ｂのピニオンギア５の両側に形成されるいずれか一方のバックラッシ（図１（ｂ）に符号Ｓで示すバックラッシ）を減少させる方向へ回転させる。  
【００１４】
なお、図１（ｂ）では、搬送ユニット２が停止した場合における、一の搬送ユニット２Ａ内でのピニオンギア５（ギアＡ）のバックラッシの状態（図１（ｂ）右図）を示し、他の搬送ユニット２Ｂ内でのピニオンギア５（ギアＢ）のバックラッシの状態（図１（ｂ）左図）を示している。
そして、本発明の制御部７では、図１（ｂ）の左図に示されるように、特に、後方に位置する他の搬送ユニット２Ｂにて、ピニオンギア５（ギアＢ）の両側に形成されるいずれか一方のバックラッシＳを減少させる方向（矢印ｍ方向）へ意図的に回転させて、当該バックラッシＳをゼロとする制御をしている。
【００１５】
以上のように構成された本発明の搬送装置１００では、搬送ユニット２（２Ａ，２Ｂ）が停止した状態で、他の搬送ユニット２Ｂの駆動機構６を、ピニオンギア５（図１のギアＢ）の両側に形成されるいずれか一方のバックラッシＳを減少させる方向（矢印ｍ方向）に向けて回転させる制御をした。
これにより、本発明の搬送装置１００では、互いに隣接配置される２つ以上の搬送ユニット２（２Ａ，２Ｂ）間に跨るように被駆動体１が停止していたとしても、該被駆動体１がガタつかず、該被駆動体１の停止状態を高い精度で維持させることができる。
その結果、本発明の搬送装置１００では、被駆動体１の停止位置が不用意にずれることがないので、被駆動体１上で作業や荷物の出入れの際のトラブル発生、及び次の搬送開始時に引っ掛かるなどのトラブル発生を未然に防止可能となる。
【００１６】
なお、上記例では、他の搬送ユニット２Ｂにおいて、図１（ｂ）に示されるように、ピニオンギア５（図１のギアＢ）の後方側に形成されるバックラッシＳを減少させる方向（矢印ｍ方向）に向けて回転制御したが、これに限定されず、当該ピニオンギア５（ギアＢ）の前方側に形成されるバックラッシを減少させる回転制御をしても良い。
【００１７】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態に係る搬送装置１０１について図２〜図５を参照して説明する。
図２は実施形態に係る駆動装置１０１の全体構成を示す図であって、符号１１は被駆動体となる搬送トレイである。
この搬送トレイ１１は上面の収納部１１Ａにて被搬送物（図示略）が載置可能とされるものであって、その下面には、所定方向に歯１２Ａが配列された平面ギア１２が設けられている。
【００１８】
この平面ギア１２の歯１２Ａは、図３に示されるように、ＸＹ平面内で互いに直交する方向に沿いマトリックス状に配置されている。
また、平面ギア１２の歯１２Ａは、全体として先端部に小平面の歯先１２Ｂを有する四角錐状に形成されている。
【００１９】
また、搬送トレイ１１は、平面ギア１２に噛合されるピニオンギア１３を有する複数台の搬送ユニット２０により、所定方向となるＸ軸方向、Ｙ軸方向又は斜め方向に移送される。なお、本実施形態では、搬送ユニット２０の上面に水平な支持板２２（後述する）が形成されており、この支持板（支持面）２２に沿って搬送トレイ１１が移送される。
【００２０】
搬送ユニット２０は、図２に示されるように、所定の搬送方向（矢印Ｘ−Ｙ方向）に沿って複数台がマトリックス状に隣接配置される。
各搬送ユニット２０内には、Ｘ軸方向又はＹ軸方向に沿う回転軸１３Ａを中心に回転する４つのピニオンギア１３が設けられており、搬送トレイ１１上の平面ギア１２と噛み合って動力を伝達することで、該搬送トレイ１１を矢印Ｘ−Ｙ方向に搬送する。
【００２１】
上述した搬送ユニット２０の具体的構成について説明する。
各搬送ユニット２０は、図２に示されるように、台座２１上に水平に設けられかつその各縁部に４つの開口を有する支持板２２と、台座２１に回転軸１３Ａを中心として回転自在に支持された４つのピニオンギア１３と、ピニオンギア１３をそれぞれ個別に回転駆動する駆動機構２３と、駆動機構２３の駆動を制御する制御部２４とを具備する。
【００２２】
ピニオンギア１３は、平面内で直交する位置関係にあるＸ軸方向又はＹ軸方向に沿う回転軸１３Ａを中心として台座２１に回転自在に支持されるものであって、搬送ユニット２０内のＸ軸方向又はＹ軸方向に２組が間隔をおいて配置されている。  
各組のピニオンギア１３の上部は、支持板２２の開口から露出して、搬送トレイ１１の平面ギア１２と噛み合うことで、該搬送トレイ１１をＸ方向、Ｙ方向又は斜め方向に移送する。
また、駆動機構２３は、搬送ユニット２０の支持面２２の直下に配置されており、駆動モータと、該駆動モータの動力をピニオンギア１３に伝達するため伝動歯車、プーリ、ベルト等（図示略）を有している。
【００２３】
なお、各搬送ユニット２０の制御部２４は、図２では個別に位置させているが、個別に設けるのではなく１つのユニットとしても良いし、数珠繋ぎで電気的に接続しても良い。また、駆動機構２３の駆動モータとしてピニオンギア１３を個別に駆動するパルスモータを使用することもできる。
【００２４】
次に、第１実施形態に係る搬送装置１０１のバックラッシ制御について、図４（ａ）（ｂ）及び図５（ａ）（ｂ）を参照して説明する。
なお、これらの図において図４（ａ）は搬送開始時の搬送トレイ１１の位置を示す平面図であり、図４（ｂ）は搬送開始時におけるピニオンギア１３のバックラッシの状態を示す図である。
また、図５（ａ）は搬送停止時の搬送トレイ１１の位置を示す平面図であり、図５（ｂ）は搬送停止時におけるピニオンギア１３のバックラッシの状態を示す図である。
【００２５】
また、これらの図４及び図５において、「ギアＡ」は前方の搬送ユニット２０に位置するピニオンギア１３を意味し、「ギアＢ」は「ギアＡ」に隣接する後方の搬送ユニット２０に位置するピニオンギア１３を意味している。
なお、ここで前方及び後方とは、搬送トレイ１１が移動するＸ軸に沿う搬送方向（矢印Ｍ１方向）に沿う方向を基準としている。
【００２６】
以上のような搬送装置１０１の制御部２４では、図４（ａ）（ｂ）に示される搬送開始時に、搬送ユニット２０内の「ギアＡ」のバックラッシを前方側（符号Ｓ１で示す）で減少させる方向ｍ１に駆動制御し、かつ「ギアＢ」のバックラッシを前後同等（符号Ｓ２，Ｓ３で示す）となるように制御している。
その後、搬送トレイ１１は、各搬送ユニット２０の駆動機構２３が駆動されることで、例えばＸ軸に沿う矢印Ｍ１方向に搬送された後、図５（ａ）で示される位置に停止される。
【００２７】
図５（ａ）に示される停止位置は、搬送トレイ１１が２つの搬送ユニット２０に跨る位置である。これは、搬送トレイ１１が搬送ユニット２０に対して相対的に大きく設定される場合がほとんどであるので、２つの搬送ユニット２０に跨る停止位置となる。
【００２８】
そして、搬送トレイ１１が図５（ａ）の停止位置にまで移動した場合には、図５（ｂ）に示されるように、前方に位置する搬送ユニット２０の「ギアＡ」のバックラッシを前方側（符号Ｓ４で示す）で減少させる方向ｍ１に回転制御し、かつ後方に位置する搬送ユニット２０の「ギアＢ」のバックラッシを後方側（符号Ｓ５で示す）で減少させる方向ｍ２に回転制御している。
【００２９】
なお、このときの「ギアＢ」の移動は図５（ａ）（ｂ）に「ギアＢ（Ｂ→Ｄ）」で示す。また、上述したバックラッシの調整は、駆動機構２３の駆動モータとなるパルスモータを既定パルス分、正転又は逆転させることで行うことができる。
【００３０】
以上のように構成された第１実施形態の搬送装置１０１では、搬送トレイ１１の矢印Ｍ１方向への移動が停止した状態で、後方側に位置する搬送ユニット２０の「ギアＢ」について、ピニオンギア１３の後方側バックラッシ（図５（ｂ）に符号Ｓ５で示す）を減少させる方向（矢印ｍ２方向）に回転させる制御をした。
これにより、後方側に位置する搬送ユニット２０の「ギアＢ」について、後方側バックラッシＳ５をゼロとすることができる。
【００３１】
その結果、本実施形態の搬送装置１０１では、互いに隣接配置される２つ以上の搬送ユニット２０間に跨るように搬送トレイ１１が停止していたとしても、該搬送トレイ１１がガタつかず、該搬送トレイ１１の停止状態を高い精度で維持させることができる。
これにより、本実施形態の搬送装置１０１では、搬送トレイ１１の停止位置が不用意にずれることがないので、搬送トレイ１１上で作業や荷物の出入れの際のトラブル発生、及び次の搬送開始時に引っ掛かるなどのトラブル発生を未然に防止可能となる。
【００３２】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態に係る搬送装置１０２について図６（ａ）（ｂ）及び図７（ａ）（ｂ）を参照して説明する。
第２実施形態に係る搬送装置１０２が、第１実施形態に係る搬送装置１０１と構成を異にする点は、ピニオンギア１３のＸ軸方向（矢印Ｍ１方向）に沿う「ギアＡ」及び「ギアＢ」のバックラッシ制御に加えて、ピニオンギア１３のＹ軸方向に沿う「ギアＡ」及び「ギアＢ」のバックラッシ制御を同時行うようにした点である。
【００３３】
なお、第２実施形態において図６（ａ）は搬送開始時の搬送トレイ１１の位置を示す平面図であり、図６（ｂ）は搬送開始時におけるピニオンギア１３のバックラッシの状態を示す図である。
また、図７（ａ）は搬送停止時の搬送トレイ１１の位置を示す平面図であり、図７（ｂ）は搬送停止時におけるピニオンギア１３のバックラッシの状態を示す図である。
【００３４】
また、これらの図６及び図７において、「ギアＡ」は前方の搬送ユニット２０に位置するピニオンギア１３を意味し、「ギアＢ」は「ギアＡ」に隣接する後方の搬送ユニット２０に位置するピニオンギア１３を意味している。
なお、第２実施形態で示される前方及び後方とは、搬送トレイ１１が移動する平面２方向の搬送方向（Ｘ軸及びＹ軸方向）に沿う方向を基準としている。
【００３５】
すなわち、第２実施形態の搬送装置１０２に含まれる制御部２４では、図６（ａ）（ｂ）に示される搬送開始時に、搬送ユニット２０内における２箇所の「ギアＡ」のバックラッシを、前方側（符号Ｓ１，Ｓ１´で示す）で減少させる方向ｍ１，ｍ１´に回転制御する。これと同時に、当該制御部２４では、同じ搬送ユニット２０内における２箇所の「ギアＢ」のバックラッシを、前後同等（符号Ｓ２，Ｓ３及びＳ２´，Ｓ３´で示す）となるように回転制御している。
その後、搬送トレイ１１は、各搬送ユニット２０の駆動機構２３が駆動されることで、例えばＸＹ平面内の矢印Ｍ２及びＭ３方向に搬送された後、図７（ａ）で示される位置に停止される。
【００３６】
図７（ａ）に示される停止位置は、搬送トレイ１１が４つの搬送ユニット２０に跨る位置である。これは、搬送トレイ１１が搬送ユニット２０に対して相対的に大きく設定される場合がほとんどであるので、４つの搬送ユニット２０に跨る停止位置となることがある。
【００３７】
そして、搬送トレイ１１が図７（ａ）の停止位置にまで移動した場合には、図７（ｂ）に示されるように、前方側に位置する搬送ユニット２０の「ギアＡ」のバックラッシを、前方側（符号Ｓ４，Ｓ４´で示す）で減少させる方向ｍ１，ｍ１´への回転制御をする。これと同時に、当該停止位置では、後方に位置する搬送ユニット２０の「ギアＢ」のバックラッシについても、後方側（符号Ｓ５，Ｓ５´で示す）で減少させる方向ｍ２，ｍ２´への回転制御をしている。なお、このときの「ギアＢ」の移動は図７（ａ）（ｂ）に「ギアＢ（Ｂ→Ｄ）」で示す。
【００３８】
以上のように構成された第２実施形態の搬送装置１０２では、搬送ユニット２０の矢印Ｍ２及びＭ３方向への移動が停止した状態で、後方に位置する搬送ユニット２０の「ギアＢ」について、ピニオンギア１３の後方側バックラッシ（図７（ｂ）に符号Ｓ５，Ｓ５´で示す）を減少させる方向（矢印ｍ２，ｍ２´方向）に向けて回転させる制御をした。
これにより、後方側に位置する搬送ユニット２０の「ギアＢ」について、後方側バックラッシＳ５，Ｓ５´をゼロとすることができる。
【００３９】
その結果、本実施形態の搬送装置１０２では、平面内で互いに隣接配置される４つ以上の搬送ユニット２０間に跨るように、搬送トレイ１１が停止したとしても、該搬送トレイ１１がガタつかず、該搬送トレイ１１の停止状態を高い精度で維持でき、搬送トレイ１１上で作業や荷物の出入れの際のトラブル発生を未然に防止可能となる。
また、本実施形態の搬送装置１０２では、搬送トレイ１１の停止位置が不用意にずれることがなく、次の搬送開始時に引っ掛かりなどのトラブルが発生することも未然に防止可能となる。
【００４０】
なお、上記実施形態では、バックラッシの調整は、駆動機構２３の駆動モータとなるパルスモータを既定パルス分、正転又は逆転させることで行うようにした。
このとき、駆動機構２３では、ピニオンギア１３の「ギアＡ」又は「ギアＢ」の最小の回転角度が規定値より大きい場合には、当該回転角度を調整する減速ギアを介在させるようにしても良い。
また、上記実施形態では、駆動機構２３の駆動モータにパルスモータを使用したが、これに限定されず、ＤＣ（direct-current motor）モータやＡＣ（alternating-current motor）モータ等の他のモータを使用しても良い。
その際、上記実施形態に示されるバックラッシの調整は、ＤＣモータ、ＡＣモータ等にエンコーダを付けてフィードバック制御する方式や、ＤＣモータ、ＡＣモータ等に供給する駆動電流の値を小さくしてトルクを弱くすることで正転又は逆転制御を行う方式などが適用可能である。
【００４１】
また、上記実施形態では、図５（ａ）及び図７（ａ）に示される「ギアＡ」、「ギアＢ」のバックラッシを制御するに際して、搬送トレイ１１に接触する箇所の「ギアＡ」、「ギアＢ」のみバックラッシ制御しても良いし、これら図に示される全ての「ギアＡ」、「ギアＢ」をバックラッシ制御しても良い。
【００４２】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明は、多軸搬送テーブルに適用されて、被駆動体の停止位置精度向上を図ることができる搬送装置及び搬送方法に関する。
【符号の説明】
【００４４】
１  被駆動体
２  搬送ユニット
３  歯
４  平面ギア
５  ピニオンギア
６  駆動機構
７  制御部
１１  搬送トレイ
１２  平面ギア
１３  ピニオンギア
２０  搬送ユニット
２１  台座
２２  支持板（支持面）
２３  駆動機構
２４  制御部  
１００  搬送装置
１０１  搬送装置
１０２  搬送装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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