(57)【要約】      （修正有）【課題】本発明は、焼却灰中のダイオキシン類、乾燥汚泥の臭気成分などの処理すべき物質を固形物の状態又は固形物に吸着させた状態で酸化分解処理することができ、さらには、密閉系において、系内に電気エネルギーの注入のみにより、前記処理すべき物質を酸化分解処理することができるオゾン・プラズマ装置及びこれを使用した酸化分解処理方法を提供する。【解決手段】処理すべき物質を放電により発生するオゾン及び窒素ラジカルなどの活性種を含む活性ガスにより酸化分解処理するオゾン・プラズマ装置１であって、放電によりオゾン及び窒素ラジカルなどの活性種を含む活性ガスを発生させる放電部５と、前記処理すべき物質を含む固形物を収容する通気性を有する収容部６と、前記放電部５での放電により発生した活性ガスが、前記収容部６を通過して循環する密閉経路を形成する循環ダクト２と、前記循環ダクト２内で気体を循環させるファン３と、を備える。【選択図】図１
2020116034.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理すべき物質を放電により発生するオゾン及び窒素ラジカルなどの活性種を含む活性ガスにより酸化分解処理するオゾン・プラズマ装置であって、放電によりオゾン及び窒素ラジカルなどの活性種を含む活性ガスを発生させる放電部と、前記処理すべき物質を含む固形物を収容する通気性を有する収容部と、前記放電部での放電により発生した活性ガスが、前記収容部を通過して循環する密閉経路を形成する循環ダクトと、前記循環ダクト内で気体を循環させるファンと、を備えることを特徴とするオゾン・プラズマ装置。
【請求項２】
前記処理すべき物質を含む固形物が、ダイオキシン類が含まれる液体を吸着させた固形物であることを特徴とする請求項１に記載のオゾン・プラズマ装置。
【請求項３】
前記循環ダクトに開口部が形成され、前記収容部は、前記開口部を密閉可能な蓋体と、前記開口部から出し入れ可能な通気性容器とを備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のオゾン・プラズマ装置。
【請求項４】
前記収容部から揮散あるいは飛散する前記処理対象物を捕捉し酸化分解処理を促進するための触媒部をさらに備えることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のオゾン・プラズマ装置。
【請求項５】
前記密閉経路内を流れる活性ガスを含む気体の温度を低下させるための冷却機構をさらに備えることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のオゾン・プラズマ装置。
【請求項６】
前記密閉経路内を流れる活性ガスを含む気体の流れが均一になるように整流板を配置したことを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のオゾン・プラズマ装置。
【請求項７】
請求項１〜６の何れかに記載のオゾン・プラズマ装置を使用して液状の前記処理すべき物質を酸化分解処理する方法であって、液状の前記処理すべき物質、或いは前記処理すべき物質を含む液体を固形触媒に吸着させた後、前記固形触媒を前記収容部に収容することを特徴とする前記処理すべき物質の酸化分解処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、焼却灰中のダイオキシン類等の有害物質や乾燥汚泥の臭気成分等の処理すべき物質を外部へ漏洩させることなく密閉系内で酸化分解処理することができるオゾン・プラズマ処理装置及びこれを使用した酸化分解処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、空気の脱臭のために図２に示されるような、臭気成分を含む気体に放電し、放電により発生するオゾンおよび窒素ラジカルによりその臭気成分を酸化分解するオゾン・プラズマ処理装置であって、臭気成分を含む気体が流れるメインダクト５１と、このメインダクト５１中を流れる臭気成分を含む気体に放電するための放電極５２と、この放電極５２により放電された気体が流れ込み再びメインダクト５１に戻るようにメインダクト５１と連通しているリターンダクト５３と、これらメインダクト５１およびリターンダクト５３中に気体を流すためのファン５４と、放電により発生するオゾンおよび窒素ラジカルによる臭気成分の酸化分解を促進するために設けられる触媒５５と、気体の流れを制御するためのダンパ５６を備えており、脱臭効率が良く、放電極５２への汚れの付着を防止できるオゾン・プラズマ処理装置が開示されている。
【０００３】
また、図３に示されるような、臭気成分のような処理すべき成分を含む気体を低湿度にし、維持するためのヒータ（除湿手段）５７、その湿度変化を検出し除湿手段を制御する湿度センサー（湿度検出手段）５８および湿度制御装置（湿度制御手段）５９を備えており、除湿された気体を循環することにより熱エネルギー損失を防止するためのリターンダクト６０と、放電極６１に付着した塩類を飛散除去するために、放電極部６２を通過する気体の線速度を調節する被処理気体量調整ダンパ６３、リターン量調整ダンパ６４または排気量調整ダンパ６５を備える構成であって、放電極表面の絶縁低下による放電停止や放電異常等を抑え放電を維持することにより、オゾン及びラジカルを高効率に発生させることができるオゾン・プラズマ処理装置が開示されている。
【０００４】
さらに、図４に示されるような、処理すべき成分を含む気体に対して放電部６６と、放電部６６で生じた活性ガスを反応させる触媒部６７とを有する装置であって、処理すべき成分を含む気体を導入する被処理気体導入路６８と、放電部６６、触媒部６７を通過した処理後の気体を放電部６６、触媒部６７に循環させるリターン気体導入路６９と、被処理気体導入路６８の開閉を行う被処理入口ダンパ７１と、リターン気体導入路６９の開閉を行うリターン口ダンパ７０と、処理後気体の排気路の開閉を行う排気口ダンパ７２と、被処理気体の濃度を検出するにおいセンサー７３と、このセンサーの値が濃度レベル以下に達した場合、被処理入口ダンパ７１と排気口ダンパ７２を閉じ、リターン口ダンパ７０を開放し、放電部６６、触媒部６７に被処理気体を循環させる制御部７４を備えており、ガス処理に伴う触媒劣化を抑制すると共に、安定したガス処理を継続させ、劣化した触媒性能を回復させて触媒の寿命を延ばすことができる放電式ガス処理装置が開示されている。
【０００５】
しかしながら、図２乃至図４に示される処理装置では、処理すべき物質は気体であり、固形物あるいは固形物に含まれた処理すべき物質を酸化分解処理することはできないという問題があった。
【０００６】
そのため、基準値を超える含有量のダイオキシン類が検出された焼却灰は適切な処理方法はなく通常、廃棄物処理法における特別管理廃棄物として処理しているが、処理コストが大きくなっていた。また、排水処理場から発生する汚泥を燃料として使用する場合には、脱水後乾燥処理した固形状乾燥汚泥では臭気が発生するため保管が難しく、一般的には、炭化処理まで行う必要があった。その場合、炭化処理された汚泥は乾燥処理のみの汚泥に比べて燃料としての発熱量が低いだけでなく、汚泥の炭化処理に必要な熱エネルギーは乾燥処理の場合に比べて大きく、処理コストも大きくなっていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平７−２８９６２１号
【特許文献２】特開平１０−１５０５１号
【特許文献３】特開２００６−１５９０４１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、焼却灰中のダイオキシン類、乾燥汚泥の臭気成分などの処理すべき物質を固形物の状態又は固形物に吸着させた状態で酸化分解処理することができ、さらには、密閉系において、系内に電気エネルギーの注入のみにより、前記処理すべき物質を酸化分解処理することができるオゾン・プラズマ装置及びこれを使用した酸化分解処理方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載のオゾン・プラズマ装置は、処理すべき物質を放電により発生するオゾン及び窒素ラジカルなどの活性種を含む活性ガスにより酸化分解処理するオゾン・プラズマ装置であって、放電によりオゾン及び窒素ラジカルなどの活性種を含む活性ガスを発生させる放電部と、前記処理すべき物質を含む固形物を収容する通気性を有する収容部と、前記放電部での放電により発生した活性ガスが、前記収容部を通過して循環する密閉経路を形成する循環ダクトと、前記循環ダクト内で気体を循環させるファンと、を備えることを特徴とするものである。
【００１０】
請求項２に記載のオゾン・プラズマ装置は、請求項１に記載のオゾン・プラズマ装置において、前記処理すべき物質を含む固形物が、ダイオキシン類を含む液体を吸着させた固形物であることを特徴とするものである。
【００１１】
請求項３に記載のオゾン・プラズマ装置は、請求項１又は請求項２に記載のオゾン・プラズマ装置において、前記循環ダクトに開口部が形成され、前記収容部は、前記開口部を密閉可能な蓋体と、前記開口部から出し入れ可能な通気性容器とを備えることを特徴とするものである。
【００１２】
請求項４に記載のオゾン・プラズマ装置は、請求項１〜３の何れかに記載のオゾン・プラズマ装置において、前記収容部から揮散あるいは蒸発した前記処理対象物を捕捉し酸化分解処理を促進するための触媒部をさらに備えることを特徴とするものである。
【００１３】
請求項５に記載のオゾン・プラズマ装置は、請求項１〜４の何れかに記載のオゾン・プラズマ装置において、前記密閉経路内を流れる活性ガスを含む気体の温度を低下させるための冷却機構をさらに備えることを特徴とするものである。
【００１４】
請求項６に記載のオゾン・プラズマ装置は、請求項１〜５の何れかに記載のオゾン・プラズマ装置において、前記密閉経路内を流れる活性ガスを含む気体を前記密閉経路内で均一に流れさせるための整流板を前記密閉経路内に配置したことを特徴とするものである。前記整流板は、前記収容部の下流側もしくは上流側、もしくは両側に設けることができる。
【００１５】
請求項７に記載の前記処理すべき物質の酸化分解処理方法は、請求項１〜６の何れかに記載のオゾン・プラズマ装置を使用して液状の前記処理すべき物質を酸化分解処理する方法であって、液状の前記処理すべき物質、或いは前記処理すべき物質を含む液体を固形触媒に吸着させた後、前記固形触媒を前記収容部に収容することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に基づくオゾン・プラズマ装置は、放電によりオゾン及び窒素ラジカルなどの活性種を含む活性ガスを発生させる放電部と、処理すべき物質を含む固形物を収容する通気性を有する収容部と、前記放電部から放電された活性ガスが、前記収容部を通過して循環する密閉経路を形成する循環ダクトと、を備え前記密閉経路内で活性ガス及び該活性ガスを含む気体を循環させることにより、前記収容部に収容された固形物に含まれる処理すべき物質、即ち焼却灰中のダイオキシン類、乾燥汚泥の臭気成分などの処理すべき物質を酸化分解処理することができる。
【００１７】
これにより、基準値以上のダイオキシン類を含有する焼却灰のダイオキシン類の含有量を基準値以下にすることができる。また、乾燥汚泥の臭気を軽減し、これを固形燃料として容易に保管使用することができる。
【００１８】
さらに、密閉系において、系内に電気エネルギーを注入するのみで前記処理すべき物質を酸化分解処理することができるため、これらの処理すべき物質の系外への漏出はなく、ダイオキシンのような毒性物質も安全に処理することができる。
【００１９】
また、前記処理すべき物質を含む固形物が収容された収容部を前記密閉経路内に配置し、この密閉経路内で活性ガス及び該活性ガスを含む気体を循環させているため、酸化分解処理に使用されていない未反応の活性ガスは、次回循環の際に使用できるため、効率よく酸化分解処理を行うことができる。さらに、活性ガス及び該活性ガスを含む気体の循環処理時間を調整すれば、焼却灰中のダイオキシン類、乾燥汚泥の臭気成分などの処理すべき物質の濃度、臭気成分の量の多少にかかわらず酸化分解処理を行うことができる。
【００２０】
また、前記処理すべき物質を含む固形物が、ダイオキシン類を含有する液体を吸着させた固形物である場合にも、上述と同様に、処理すべき物質を含む固形物を収容する通気性を有する収容部に収容して、液中のダイオキシン類を酸化分解処理することができるため、分析試験により発生するダイオキシン類分析廃液のような液状の場合であっても、系外への漏出はなく、安全に処理することができる。
【００２１】
そして、前記循環ダクトに開口部が形成され、前記収容部は、前記開口部を密閉可能な蓋体と、前記開口部から出し入れ可能な通気性容器とを備えている。すなわち、前記収容部を通過して循環する密閉経路を形成する循環ダクトに形成された開口部と密閉可能な蓋体を開口部から外して、開口部から前記通気性容器を出し入れすると共に、蓋体を取り付けた状態では密閉状態を保持することができる。したがって、蓋体を着脱することにより、酸化分解処理が終了した固形物と未処理の固形物とを容易に交換することができ、密閉系は保持できる。
【００２２】
また、前記密閉経路内を流れる活性ガスを含む気体の酸化分解処理を促進するための触媒部をさらに備えることにより、前記収容部から飛散又は揮散する前記処理すべき物質を酸化分解処理することができる。
【００２３】
さらに、前記密閉経路内を流れる活性ガスを含む気体の温度を低下させるための冷却機構をさらに備えることにより、前記経路内を循環する活性ガス及び該活性ガスを含む気体の膨張に伴う経路内圧力の上昇を防止することができる。これにより、前記密閉経路内から系外へ気体が漏れることを防止することができる。
【００２４】
また、前記密閉経路内に整流板を配置することにより前記収容部での活性ガスを含む気体の流れが均一になり、処理すべき物質の酸化分解処理を効率よく行うことができる。また、前記密閉経路内に前記触媒部を備える場合は、前記密閉経路内に整流板を配置することにより、前記触媒部においても活性ガスを含む気体の流れが均一になり、前記収容部から飛散又は揮散する前記処理すべき物質の酸化分解処理を前記触媒部において効率よく行うことができる。
【００２５】
さらに、液状の前記処理すべき物質、或いは前記処理すべき物質を含む液体を固形触媒に吸着させた後、前記固形触媒を前記収容部に収容することができる。この場合、液状のダイオキシン類などの処理すべき物質を前記固形触媒に吸着させた状態で前記活性ガスにより酸化分解処理するため、酸化分解処理が促進され、より効率的に酸化分解処理することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係るオゾン・プラズマ装置の実施形態を説明する模式図である。
【図２】従来の一のオゾン・プラズマ装置の構成を説明する模式図である。
【図３】従来の他のオゾン・プラズマ装置の構成を説明する模式図である。
【図４】従来の放電式ガス処理装置の構成を説明する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、図面に基づいて本発明の実施形態を説明する。
図１は、本発明に係るオゾン・プラズマ装置の実施形態を説明する模式図である。
本実施形態は、液状のダイオキシン類などの処理すべき物質、或いは前記処理すべき物質を含む液体を固形物、この実施形態では、多数の粒状の固形触媒（図示せず）に吸着させた後、該固形触媒を図１に示されるオゾン・プラズマ装置１の密閉経路における収容部６に収容して、放電により発生するオゾン及び窒素ラジカルなどの活性種を含む活性ガスにより、酸化分解処理するものであるが、ダイオキシン類を含む焼却灰、臭気成分を含む乾燥汚泥等の固形物を収容部６に収容して酸化分解処理することもできる。
【００２８】
オゾン・プラズマ装置１は、放電によりオゾン及び窒素ラジカルなどの活性種を含む活性ガスを発生させる放電極４を備えた放電部５と、処理すべき物質を含む固形触媒を収容する通気性を有する収容部６と、放電部５から放電された活性ガスが、収容部６を通過して循環する密閉経路を形成する循環ダクト２と、循環ダクト２内で気体を循環させるファン３とを備えている。また、前記活性ガスを含む気体が収容部６で均一に流れるようにさせるための整流板７を収容部６の下流側に配置し、さらにその下流側に触媒部１１を配置し、さらにその下流側に冷却機構１２を配置している。
【００２９】
ここで、処理すべき物質とは、焼却灰中のダイオキシン類、乾燥汚泥の臭気成分の他、土壌中の第一種特定有害物質（有機物）、細菌など酸化分解により処理できる微小成分、有機溶剤や合成樹脂の原料として使用されているスチレン、トルエンやキシレン等の芳香族炭化水素等があるが、これに限定されるものではない。
【００３０】
また、これらは、固体に限られず液体であってもよく、分析試験により発生するダイオキシン類分析廃液のような液状の場合であっても、これを固形触媒に吸着させた状態で、収容部６に収容することもできる。固形触媒は、この実施形態では、主としてシリカ、活性炭（カーボン）で構成されるが、これに限定されるものではなくマンガンを含有させたものでもよいし、マンガン化合物、あるいはマンガンなどの金属であってもよい。また、固形触媒は、この実施形態では、多数の粒状から構成されるものであるが、これに限定されるものではなく、単一の固形物であってもよい。
【００３１】
さらに、循環ダクト２に開口部８が設けられ、収容部６は、開口部８を密閉可能な蓋体９と開口部８から出し入れ可能な通気性容器１０とを備えることができ、開口部８を通じて通気性容器１０を出し入れすることができる構造になっている。また、通気性容器１０は流入してくる活性ガス及び該活性ガスを含む気体に抵抗を与えることなくスムーズに流れるよう網かごを使用することができ、不織布、ウールマット等の通気性のシートを介してその中に粒状の多数の固形触媒、又は乾燥汚泥等の固形物等を収容することができる。
【００３２】
整流板７は例えばパンチングメタルを使用することができる。これにより、収容部６内における活性ガスの流れが均一になり、未処理の前記焼却灰中のダイオキシン類、乾燥汚泥の臭気成分などの処理すべき物質の酸化分解処理を効率よく行うことができる。
【００３３】
触媒部１１には、前記固形触媒と同一材質の触媒が配置されているがこれに限られるものではない。そして、焼却灰中のダイオキシン類、乾燥汚泥の臭気成分などの処理すべき物質の中で、収容部６から飛散又は揮散する前記処理すべき物質を酸化分解処理することとしている。
【００３４】
冷却機構１２は、前記密閉経路内を流れる活性ガスを含む気体の温度を低下させ、前記経路内を循環する活性ガス及び該活性ガスを含む気体の膨張に伴う経路内圧力の上昇を防止し、前記密閉経路内から系外へ気体が漏れることを防止するものである。
【００３５】
オゾン・プラズマ装置１を使用する場合、まず、ダイオキシン類を含む焼却灰、ダイオキシン類などを含む液状の処理すべき物質を吸着させた多数の粒状の固形触媒からなる固形物、又は、臭気成分を含む乾燥汚泥等の固形物を通気性容器１０に収容する。次に、蓋体９を開口部８から外して、未処理の固形物が収容された通気性容器１０を循環ダクト２内の収容部６に収容する。次に、開口部８に蓋体９を取り付けて密閉系を保持する。
【００３６】
次に、放電部５に備えられた放電極４の放電により、オゾン及び窒素ラジカルなどの活性種を含む活性ガスが発生する。該活性ガスが通気性を有する収容部６を通過する際に、そこに収容された粒状の固形触媒からなる固形物、ダイオキシン類を含む焼却灰、又は、臭気成分を含む乾燥汚泥等の固形物と接触し、その後整流板７を通過する。その後、前記活性ガス及び該活性ガスを含む気体は、前記密閉経路を形成する循環ダクト２に沿って、触媒部１１を通過し、冷却機構１２を通過し、放電部５に到達し、これを繰り返す。
【００３７】
このように、前記密閉経路内でオゾン及び窒素ラジカルなどの活性種を含む活性ガスを循環させることにより、活性ガスが通気性を有する収容部６に収容された粒状の固形触媒からなる固形物、ダイオキシン類を含む焼却灰、又は乾燥汚泥等の固形物を通過する際に、固形物に含まれる前記処理すべき物質が上記活性ガスにより酸化分解処理される。
【００３８】
そして、焼却灰中のダイオキシン類、乾燥汚泥の臭気成分などの処理すべき物質の中で、収容部６から飛散又は揮散する前記処理すべき物質は、触媒部１１にて捕捉され最終的に酸化分解処理される。尚、触媒部１１は、活性ガス及び該活性ガスを含む気体の中に含まれる前記処理すべき物質の酸化分解処理を促進する。
【００３９】
次に、前記収容部６において酸化分解処理が終了した場合には、蓋体９を開口部８から外して、通気性容器１０を取り出し、酸化分解処理が終了した固形物と未処理の固形物を交換する。次に、開口部８に蓋体９を取り付けて密閉系を保持する。
【００４０】
以上により、固形物に含まれる処理すべき物質、即ち、焼却灰中のダイオキシン類、乾燥汚泥の臭気成分などの処理すべき物質を上記活性ガスにより酸化分解処理することができる。これにより、基準値以上のダイオキシン類を含有する焼却灰のダイオキシン類の含有量を基準値以下にすることができる。また、乾燥汚泥の臭気を軽減するので保管が容易となり固形燃料として使用可能とすることができる。
【００４１】
さらに、密閉系において、系内に電気エネルギーを注入することにより、焼却灰中のダイオキシン類、乾燥汚泥の臭気成分などの処理すべき物質を酸化分解処理することができるため、これらの処理すべき物質の系外への漏出はなく、ダイオキシンのような毒性物質も安全に処理することができる。
【００４２】
また、前記処理すべき物質を含む固形物が収容された収容部を前記密閉経路内に配置し、この密閉経路内で活性ガス及び該活性ガスを含む気体を循環させているため、未反応の活性ガスは、次回循環の際に使用でき、さらに効率よく酸化分解処理を行うことができる。
【００４３】
さらに、活性ガス及び該活性ガスを含む気体の循環処理時間を調整すれば、焼却灰中のダイオキシン類、乾燥汚泥の臭気成分などの処理すべき物質の濃度、臭気成分の量の多少にかかわらず酸化分解処理を行うことができる。
【符号の説明】
【００４４】
１  オゾン・プラズマ装置
２  循環ダクト
３  ファン
４  放電極
５  放電部
６  収容部
７  整流板
８  開口部
９  蓋体
１０  通気性容器
１１  触媒部
１２  冷却機構
【図１】
2020116034.tif 000003
【図２】
2020116034.tif 000004
【図３】
2020116034.tif 000005
【図４】
2020116034.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】令和1年5月14日(2019.5.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理すべき物質を放電により発生するオゾン及び窒素ラジカルなどの活性種を含む活性ガスにより酸化分解処理するオゾン・プラズマ装置であって、
放電によりオゾン及び窒素ラジカルなどの活性種を含む活性ガスを発生させる放電部と、
前記放電部の下流側に配置され、前記処理すべき物質を含む固形物を収容する通気性を有する収容部と、
前記収容部の下流側に配置され、前記収容部から揮散あるいは飛散する前記処理すべき物質を捕捉し酸化分解処理を促進するための触媒部と、
前記放電部での放電により発生した活性ガスが、前記収容部を通過して循環する密閉経路を形成する循環ダクトと、
前記密閉経路内を流れる活性ガスを含む気体の温度を低下させるための冷却機構と、
前記循環ダクト内で気体を循環させるファンと、を備え、
放電により発生した活性ガスが、前記収容部、前記触媒部、前記冷却機構、前記放電部を順に通過することにより、前記密閉経路内を繰り返し循環するような構成とされていることを特徴とするオゾン・プラズマ装置。
【請求項２】
前記循環ダクトに開口部が形成され、前記収容部は、前記開口部を密閉可能な蓋体と、前記開口部から出し入れ可能な通気性容器とを備え、前記通気性容器の直近下流側に前記密閉経路内を流れる活性ガスを含む気体の流れを均一にするような整流板を配置したことを特徴とする請求項１に記載のオゾン・プラズマ装置。
【請求項３】
前記整流板をパンチングメタルで構成したことを特徴とする請求項１又は２に記載のオゾン・プラズマ装置。
【請求項４】
前記処理すべき物質を含む固形物が、ダイオキシン類が含まれる液体を吸着させた固形触媒であることを特徴とする請求項１〜３に記載のオゾン・プラズマ装置。
【請求項５】
請求項１〜４の何れかに記載のオゾン・プラズマ装置を使用して液状の前記処理すべき物質を酸化分解処理する方法であって、液状の前記処理すべき物質、或いは前記処理すべき物質を含む液体を固形触媒に吸着させた後、前記固形触媒を前記収容部に収容することを特徴とする前記処理すべき物質の酸化分解処理方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項１に記載のオゾン・プラズマ装置は、処理すべき物質を放電により発生するオゾン及び窒素ラジカルなどの活性種を含む活性ガスにより酸化分解処理するオゾン・プラズマ装置であって、放電によりオゾン及び窒素ラジカルなどの活性種を含む活性ガスを発生させる放電部と、前記放電部の下流側に配置され、前記処理すべき物質を含む固形物を収容する通気性を有する収容部と、前記収容部の下流側に配置され、前記収容部から揮散あるいは飛散する前記処理すべき物質を捕捉し酸化分解処理を促進するための触媒部と、前記放電部での放電により発生した活性ガスが、前記収容部を通過して循環する密閉経路を形成する循環ダクトと、前記密閉経路内を流れる活性ガスを含む気体の温度を低下させるための冷却機構と、前記循環ダクト内で気体を循環させるファンと、を備え、放電により発生した活性ガスが、前記収容部、前記触媒部、前記冷却機構、前記放電部を順に通過することにより、前記密閉経路内を繰り返し循環するような構成とされていることを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項２に記載のオゾン・プラズマ装置は、請求項１に記載のオゾン・プラズマ装置において、前記循環ダクトに開口部が形成され、前記収容部は、前記開口部を密閉可能な蓋体と、前記開口部から出し入れ可能な通気性容器とを備え、前記通気性容器の直近下流側に前記密閉経路内を流れる活性ガスを含む気体の流れを均一にするような整流板を配置したことを特徴とするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項３に記載のオゾン・プラズマ装置は、請求項１又は請求項２に記載のオゾン・プラズマ装置において、前記整流板をパンチングメタルで構成したことを特徴とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項４に記載のオゾン・プラズマ装置は、請求項１〜３の何れかにに記載のオゾン・プラズマ装置において、前記処理すべき物質を含む固形物が、ダイオキシン類が含まれる液体を吸着させた固形触媒であることを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項５に記載の前記処理すべき物質の酸化分解処理方法は、請求項１〜４の何れかに記載のオゾン・プラズマ装置を使用して液状の前記処理すべき物質を酸化分解処理する方法であって、液状の前記処理すべき物質、或いは前記処理すべき物質を含む液体を固形触媒に吸着させた後、前記固形触媒を前記収容部に収容することを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、前記処理すべき物質を含む固形物が、ダイオキシン類を含有する液体を吸着させた固形触媒である場合にも、上述と同様に、処理すべき物質を含む固形物を収容する通気性を有する収容部に収容して、液状のダイオキシン類を酸化分解処理することができるため、分析試験により発生するダイオキシン類分析廃液にような液状の場合であっても、系外への漏出はなく、安全に処理することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、前記密閉経路内における前記通気性容器の直近下流側に整流板を配置することにより前記収容部での活性ガスを含む気体の流れが均一になり、処理すべき物質の酸化分解処理を効率よく行うことができる。また、前記触媒部においても活性ガスを含む気体の流れが均一になり、前記収容部から飛散又は揮散する前記処理すべき物質の酸化分解処理を前記触媒部において効率よく行うことができる。