(57)【要約】【課題】流体の温度分布に起因する計測誤差を軽減する。【解決手段】金属薄板１〜５を積層して層流素子１００とする。金属薄板２には、通過する流体の流れを層流とする層流流路ＬＡを構成するチャネル２−３を形成し、金属薄板４には、通過する流体の流れを層流とする層流流路ＬＢを構成するチャネル４−３を形成する。層流流路ＬＡおよび層流流路ＬＢに、層流流路ＬＡに流れる流体の方向と層流流路ＬＢに流れる流体の方向とが互いに逆となるように、流体を導く。これにより、層流流路ＬＡと層流流路ＬＢとで圧力降下に伴って発生する温度分布が逆となり、層流素子１００の上下流で生じる温度差の発生が抑制される。【選択図】  図１
2020148485.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
積層されて流路を形成する複数の板状部材を備え、
前記複数の板状部材は、
外側の一方に位置して、流体の第１の流入口となる第１の貫通孔および第２の流入口となる第２の貫通孔を有する第１の外側板状部材と、
外側の他方に位置して、前記流体の第１の流出口となる第１の貫通孔および第２の流出口となる第２の貫通孔を有する第２の外側板状部材と、
前記第１の外側板状部材と前記第２の外側板状部材との間に配置され、隣接する２つの板状部材の間に挟まれて、前記第１の流入口と前記第１の流出口との間の第１の流路の一部となるとともに、通過する流体の流れを層流とする第１の層流流路を形成するチャネルと、前記第２の流入口と前記第２の流出口との間の第２の流路の一部を形成する貫通孔とを有する第１の中間板状部材と、
前記第１の外側板状部材と前記第２の板状部材との間に配置され、隣接する２つの板状部材の間に挟まれて、前記第２の流路の一部となるとともに、通過する流体の流れを層流とする第２の層流流路を形成するチャネルと、前記第１の流路の一部を形成する貫通孔とを有する第２の中間板状部材と、
前記第１の中間板状部材と前記第２の中間板状部材との間に配置され、前記第１の中間板状部材および前記第２の中間板状部材の少なくとも一方と隣接し、前記第１の流路の一部を形成する第１の貫通孔と、前記第２の流路の一部を形成する第２の貫通孔とを有する第３の中間板状部材とを含み、
前記第１の層流流路と前記第２の層流流路とは、
前記第１の層流流路に流れる流体の方向と前記第２の層流流路に流れる流体の方向とが互いに逆となるように構成されている
ことを特徴とする層流素子。
【請求項２】
請求項１に記載された層流素子において、
前記複数の板状部材は、
前記第１の中間板状部材に形成されたチャネルと、前記第２の中間板状部材に形成されたチャネルとが互いに平行になるように積層される
ことを特徴とする層流素子。
【請求項３】
請求項１または２に記載された層流素子において、
前記第１の層流流路と前記第２の層流流路とは、
前記第１の外側板状部材または前記第２の外側板状部材の方向から見たときに互いに重なり合うように形成されている
ことを特徴とする層流素子。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載された層流素子において、
前記第１の中間板状部材は、さらに、
前記第１の流路の一部を形成する２つの貫通孔を備え、
前記第１の層流流路を構成するチャネルは、
その端部において前記第１の流路の一部を形成する２つの貫通孔とそれぞれつながっており、
前記第２の中間板状部材は、さらに、
前記第２の流路の一部を形成する２つの貫通孔を備え、
前記第２の層流流路を構成するチャネルは、
その端部において前記第２の流路の一部を形成する２つの貫通孔とそれぞれつながっている
ことを特徴とする層流素子。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載された層流素子において、
前記第１の中間板状部材と前記第２の中間板状部材とは、互いに表裏の関係にある
ことを特徴とする層流素子。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載された層流素子において、
前記複数の板状部材は、
前記第１の中間板状部材、前記第２の中間板状部材および第３の中間板状部材をそれぞれ複数含む
ことを特徴とする層流素子。
【請求項７】
通過する流体の流れを層流とする層流素子と、
前記層流素子の上流側と下流側の圧力の差を差圧として取得するように構成された差圧取得部と、
前記層流素子の温度を検出するように構成された温度検出部と、
前記差圧取得部によって取得された差圧と前記温度検出部によって検出された温度とに基づいて前記層流素子を流れる流体の流量を求めるように構成された流量算出部とを備え、
前記層流素子は、
請求項１から６のいずれか１項に記載された層流素子である
ことを特徴とする層流型流量計。
【請求項８】
請求項７に記載された層流型流量計において、
前記温度検出部によって検出された温度に基づいて前記流体の密度を補正するように構成された密度補正部と、
前記温度検出部によって検出された温度に基づいて前記流体の粘度を補正するように構成された粘度補正部とをさらに備え、
前記流量算出部は、
前記差圧取得部によって取得された差圧と前記密度補正部によって補正された密度と前記粘度補正部によって補正された粘度とから前記層流素子を流れる流体の質量流量を求めるように構成されている
ことを特徴とする層流型流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、層流素子およびこの層流素子を用いた層流型流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、流路を流れる流体の流量を計測する流量計の１つとして、層流型流量計が用いられている。この層流型流量計は、通過する流体の流れを層流、すなわちその流体の流線が常に管軸と平行な流れとする層流素子を備えており、この層流素子の上流側と下流側の流体の圧力の差から流路を流れる流体の流量を計測する（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
層流型流量計は、流路内を流体が層流状態で流れた場合、ハーゲンポアズイユの法則により、流体の移動に伴う圧力降下が体積流量に比例する現象を利用した流量計である。この層流型流量計において、質量流量と差圧との関係は次式で表される。
Ｑｍ＝ΔＰ・Ｋ・（ρ／（μ・Ｌ））  ・・・・（１）
但し、Ｑｍ：質量流量、ΔＰ：層流素子の上流側と下流側の流体の圧力の差（差圧）、Ｋ：比例定数、ρ：流体の密度、μ：流体の粘性係数（流体の粘度）、Ｌ：流路長。
【０００４】
この（１）式において、流体の密度ρや流体の粘度μは温度に依存する。このため、層流素子の温度を計測し、流体の密度ρや流体の粘度μの補正を行う必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１７−１９１０９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、層流素子の流路内を流体が通過すると、圧力降下に伴って流体に温度変化が生じる。例えば、ガスの場合、流体の流れ方向に沿って温度が低くなる。
【０００７】
このように、従来の層流素子では、流体の流れ方向に温度分布ができるため、流体の密度ρや流体の粘度μの補正を精度よく行うことができず、質量流量の計測に誤差を生じるという問題があった。
【０００８】
なお、層流素子の上下流で複数の温度を計測して演算することも考えられるが、余計なコストを要したり、小型化の障害となる。
【０００９】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、流体の温度分布に起因する計測誤差を軽減することができる層流素子および層流型流量計を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような目的を達成するために、本発明に係る層流素子（１００）は、積層されて流路を形成する複数の板状部材を備え、前記複数の板状部材は、外側の一方に位置して、流体の第１の流入口となる第１の貫通孔（１−１）および第２の流入口となる第２の貫通孔（１−２）を有する第１の外側板状部材（１）と、外側の他方に位置して、前記流体の第１の流出口となる第１の貫通孔（５−１）および第２の流出口となる第２の貫通孔（５−２）を有する第２の外側板状部材（５）と、前記第１の外側板状部材と前記第２の外側板状部材との間に配置され、隣接する２つの板状部材（１，３）の間に挟まれて、前記第１の流入口と前記第１の流出口との間の第１の流路（Ｌ１）の一部となるとともに、通過する流体の流れを層流とする第１の層流流路（ＬＡ）を形成するチャネル（２−３）と、前記第２の流入口と前記第２の流出口との間の第２の流路（Ｌ２）の一部を形成する貫通孔（２−２）とを有する第１の中間板状部材（２）と、前記第１の外側板状部材と前記第２の板状部材との間に配置され、隣接する２つの板状部材（３，５）の間に挟まれて、前記第２の流路（Ｌ２）の一部となるとともに、通過する流体の流れを層流とする第２の層流流路（ＬＢ）を形成するチャネル（４−３）と、前記第１の流路の一部を形成する貫通孔（４−２）とを有する第２の中間板状部材（４）と、前記第１の中間板状部材と前記第２の中間板状部材との間に配置され、前記第１の中間板状部材および前記第２の中間板状部材の少なくとも一方と隣接し、前記第１の流路の一部を形成する第１の貫通孔（３−４）と、前記第２の流路の一部を形成する第２の貫通孔（３−２）とを有する第３の中間板状部材（３）とを含み、前記第１の層流流路と前記第２の層流流路とは、前記第１の層流流路に流れる流体の方向と前記第２の層流流路に流れる流体の方向とが互いに逆となるように構成されていることを特徴とする。
【００１１】
本発明に係る層流素子において、第１の中間板状部材は、通過する流体の流れを層流とする第１の層流流路を形成するチャネルを有し、第２の中間板状部材は、通過する流体の流れを層流とする第２の層流流路を形成するチャネルを有しており、第１の層流流路および第２の層流流路には、第１の層流流路に流れる流体の方向と第２の層流流路に流れる流体の方向とが互いに逆となるように流体が導かれる。これにより、第１の層流流路と第２の層流流路とで圧力降下に伴って発生する温度分布が逆となり、層流素子の上下流で生じる温度差の発生が抑制される。
【００１２】
また、本発明に係る層流型流量計（２００）は、通過する流体の流れを層流とする本発明に係る層流素子（１００）と、前記層流素子の上流側と下流側の圧力の差を差圧として取得するように構成された差圧取得部（１５、１９）と、前記層流素子の温度を検出するように構成された温度検出部（１３）と、前記差圧取得部によって取得された差圧と前記温度検出部によって検出された温度とに基づいて前記層流素子を流れる流体の流量を求めるように構成された流量算出部（１８）とを備えることを特徴とする。
【００１３】
本発明に係る層流型流量計において、層流素子の第１の層流流路および第２の層流流路には、第１の層流流路に流れる流体の方向と第２の層流流路に流れる流体の方向とが互いに逆となるように流体が導かれる。これにより、層流素子の上下流で生じる温度差の発生が抑制され、層流素子の流路内の流体温度を正確に計測することが可能となり、流体の密度や流体の粘度の補正を精度よく行って、流体の温度分布に起因する計測誤差を軽減することができるようになる。
【００１４】
なお、上記説明では、一例として、発明の構成要素に対応する図面上の構成要素を、括弧を付した参照符号によって示している。
【発明の効果】
【００１５】
以上説明したように、本発明によれば、層流素子の第１の層流流路および第２の層流流路に、第１の層流流路に流れる流体の方向と第２の層流流路に流れる流体の方向とが互いに逆となるように流体を導くようにしたので、第１の層流流路と第２の層流流路とで圧力降下に伴って発生する温度分布を逆とし、層流素子の上下流で生じる温度差の発生を抑制するようにして、流体の温度分布に起因する計測誤差を軽減することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係る層流素子の要部を示す分解斜視図である。
【図２】図２は、金属薄板の枚数を増やした例を示す図である。
【図３】図３は、図１に示した層流素子における金属薄板が積層された状態を示す断面図である。
【図４】図４は、図２示した層流素子における金属薄板が積層された状態を示す断面図である。
【図５】図５は、本発明に係る層流素子を用いた層流型流量計の要部の構成を示す図である。
【図６】図６は、上流側の圧力センサおよび下流側の圧力センサに代えて差圧センサを設けるようにした例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１８】
〔層流素子〕
図１は、本発明の実施の形態に係る層流素子の要部を示す分解斜視図である。この層流素子１００（１００Ａ）は、板面を重ね合わせるようにして積層される金属製の薄板（以下、「金属薄板」と呼ぶ。）１〜５から構成されている。これらの金属薄板１〜５のそれぞれが本発明でいう「板状部材」に相当する。図３に、金属薄板１〜５が積層された状態を示す。
【００１９】
この層流素子１００Ａにおいて、金属薄板１は外側の一方に位置し、金属薄板５は外側の他方に位置する。金属薄板２〜４は、金属薄板１と金属薄板５との間に挟まれており、金属薄板１と金属薄板３との間に金属薄板２が挟まれ、金属薄板３と金属薄板５との間に金属薄板４が挟まれている。
【００２０】
金属薄板１には、その板面の後方左側に第１の流入口となる貫通孔１−１が形成され、後方右側に第２の流入口となる貫通孔１−２が形成されている。この金属薄板１が本発明でいう第１の外側板状部材に相当する。
【００２１】
金属薄板２には、その板面の前方左側に貫通孔２−１が形成され、後方右側に貫通孔２−２が形成されている。また、金属薄板２の板面には、この金属薄板２の幅方向（Ｘ方向）の中央部に、この金属薄板２の長手方向（Ｙ方向）に延びたチャネル２−３が形成されている。
【００２２】
このチャネル２−３は、金属薄板２の板面を貫いた細長い孔（スリット）とされており、金属薄板１と金属薄板３との間に挟まれて、通過する流体の流れを層流とする層流流路ＬＡを形成する。
【００２３】
チャネル２−３の一方側の端部は、後方左側に設けられた貫通孔２−４とつながっており、チャネル２−３の他方側の端部は、前方右側に設けられた貫通孔２−５とつながっている。この金属薄板２が本発明でいう第１の中間板状部材に相当する。
【００２４】
金属薄板３には、その板面の後方左側に貫通孔３−１が形成され、後方右側に貫通孔３−２が形成されている。また、前方左側に貫通孔３−３が形成され、前方右側に貫通孔３−４が形成されている。この金属薄板２が本発明でいう第３の中間板状部材に相当する。
【００２５】
金属薄板４には、その板面の後方左側に貫通孔４−１が形成され、前方右側に貫通孔４−２が形成されている。また、金属薄板４の板面には、この金属薄板４の幅方向（Ｘ方向）の中央部に、金属薄板４の長手方向（Ｙ方向）に延びたチャネル４−３が形成されている。
【００２６】
このチャネル４−３は、金属薄板４の板面を貫いた細長い孔（スリット）とされており、金属薄板３と金属薄板４との間に挟まれて、通過する流体の流れを層流とする層流流路ＬＢを形成する。
【００２７】
チャネル４−３の一方側の端部は、前方左側に設けられた貫通孔４−５とつながっており、チャネル４−３の他方側の端部は、後方右側に設けられた貫通孔４−４とつながっている。この金属薄板４が本発明でいう第２の中間板状部材に相当する。なお、この例では、金属薄板４を金属薄板２と共通部品とし、その向きを変えて配置しているが、金属薄板４と金属薄板２とを別部品としてもよい。
【００２８】
金属薄板５には、その板面の前方右側に第１の流出口となる貫通孔５−１が形成され、前方左側に第２の流出口となる貫通孔５−２が形成されている。この金属薄板５が本発明でいう第２の外側板状部材に相当する。
【００２９】
この層流素子１００Ａにおいて、金属薄板１には角孔１ａ〜１ｄが形成され、金属薄板２には角孔２ａ〜２ｄが形成されている。また、金属薄板３には角孔３ａ〜３ｄが形成され、金属薄板４には角孔４ａ〜４ｄが形成されている。金属薄板１〜５は、角孔１ａ〜１ｄ、２ａ〜２ｄ、３ａ〜３ｄ、４ａ〜４ｄを位置決め用の孔として積層される。
【００３０】
この金属薄板１〜５を積層した状態において、金属薄板２に形成されたチャネル２−３と、金属薄板４に形成されたチャネル４−３とは互いに平行とされ、層流流路ＬＡと層流流路ＬＢとは、金属薄板１または金属薄板５の方向から見たときに互いに重なり合うものされる。
【００３１】
また、この金属薄板１〜５を積層した状態において、金属薄板１の貫通孔１−１は金属薄板２の貫通孔２−４とつながり、金属薄板２の貫通孔２−４は金属薄板２のチャネル２−３，貫通孔２−５を通して金属薄板３の貫通孔３−４とつながり、金属薄板３の貫通孔３−４は金属薄板４の貫通孔４−２につながり、金属薄板４の貫通孔４−２は金属薄板５の貫通孔５−１につながって、第１の流入口（貫通孔１−１）から第１の流出口（貫通孔５−１）に至る第１の流路Ｌ１を形成する。
【００３２】
また、金属薄板１の貫通孔１−２は金属薄板２の貫通孔２−２とつながり、金属薄板２の貫通孔２−２は金属薄板３の貫通孔３−２とつながり、金属薄板３の貫通孔３−２は金属薄板４の貫通孔４−４とつながり、金属薄板４の貫通孔４−４は金属薄板４のチャネル４−３，貫通孔４−５を通して金属薄板５の貫通孔５−２とつながって、第２の流入口（貫通孔１−２）から第２の流出口（貫通孔５−２）に至る第２の流路Ｌ２を形成する。
【００３３】
この層流素子１００Ａにおいて、金属薄板１の貫通孔１−１から流入した流体は、金属薄板２に形成されている貫通孔２−４に入り、層流流路ＬＡを通って貫通孔２−５へ至り、金属薄板３の貫通孔３−４、金属薄板４の貫通孔４−２を通って、金属薄板５の貫通孔５−１から流出する。すなわち、金属薄板１の貫通孔１−１から流入した流体は、第１の流路Ｌ１を通って流出する。
【００３４】
また、金属薄板１の貫通孔１−２から流入した流体は、金属薄板２の貫通孔２−２、金属薄板３の貫通孔３−２を通って金属薄板４に形成されている貫通孔４−４に入り、層流流路ＬＢを通って貫通孔４−５へ至り、金属薄板５の貫通孔５−２から流出する。すなわち、金属薄板１の貫通孔１−２から流入した流体は、第２の流路Ｌ２を通って流出する。
【００３５】
この層流素子１００Ａにおいて、金属薄板１と金属薄板３との間に挟まれた金属薄板２の層流流路ＬＡには、金属薄板１の貫通孔１−１、金属薄板２の貫通孔２−４、層流流路ＬＡ、金属薄板２の貫通孔２−５、金属薄板３の貫通孔３−４、金属薄板４の貫通孔４−２および金属薄板５の貫通孔５−１を流路Ｌ１として、層流流路ＬＡの一方側から他方側へ向かって流体が流れる。
【００３６】
これに対し、金属薄板３と金属薄板５との間に挟まれた金属薄板４の層流流路ＬＢには、金属薄板１の貫通孔１−２、金属薄板２の貫通孔２−２、金属薄板３の貫通孔３−２，金属薄板４の貫通孔４−４、層流流路ＬＢ、金属薄板４の貫通孔４−５および金属薄板５の貫通孔５−２を流路Ｌ２の一部として、層流流路ＬＢの他方側から一方側へ向かって流体が流れる。
【００３７】
この層流素子１００Ａにおいて、層流流路ＬＡは、通過する流体の流れを層流とする役割を果たし、この層流流路ＬＡを流体が流れる際の圧力降下に伴って、流体の流れ方向に温度分布が生じる。同様に、層流流路ＬＢも、通過する流体の流れを層流とする役割を果たし、この層流流路ＬＢを流体が流れる際の圧力降下に伴って、流体の流れ方向に温度分布が生じる。この層流素子１００Ａでは、層流流路ＬＡを流れる流体の方向と層流流路ＬＢを流れる流体の方向とが互いに逆となるので、層流流路ＬＡと層流流路ＬＢとで圧力降下に伴って発生する温度分布が逆となり、層流素子１００Ａの上下流で生じる温度差の発生が抑制される。
【００３８】
図１には、金属薄板を５枚積層した例を示したが、金属薄板の枚数をさらに増やすことによって、流量レンジの調整が容易に可能となる。図２に、金属薄板を９枚積層した例を示す。
【００３９】
図２に示した層流素子１００（１００Ｂ）では、チャネル２−３が形成された金属薄板２1を金属薄板１と金属薄板３1との間に挟み、チャネル４−３が形成された金属薄板４1を金属薄板３1と金属薄板３2との間に挟み、チャネル２−３が形成された金属薄板２2を金属薄板３2と金属薄板３3との間に挟み、チャネル４−３が形成された金属薄板４2を金属薄板３3と金属薄板５の間に挟んでいる。
【００４０】
この層流素子１００Ｂにおいて、金属薄板２1および２2の層流流路ＬＡに流れる流体の方向と、金属薄板４1および４2の層流流路ＬＢに流れる流体の方向とは互いに逆とされる（図４参照）。
【００４１】
これにより、金属薄板２1および２2の層流流路ＬＡと金属薄板４1および４2の層流流路ＬＢとで圧力降下によって発生する温度分布が逆となり、層流素子１００Ｂの上下流で生じる温度差の発生が抑制される。また、流体が流れる流路が増えることから、流量レンジが拡大される。
【００４２】
〔層流型流量計〕
図５に、本発明に係る層流素子を用いた層流型流量計の要部の構成を示す。なお、この層流型流量計２００では、流体の流れ方向を互いに逆とした層流流路ＬＡと層流流路ＬＢとの組を３つとした層流素子１００（１００Ｃ）を用いている。
【００４３】
図５において、１０は流体が流れる主流路であり、主流路１０内に層流素子１００Ｃが設けられている。層流素子１００Ｃの上流側には、この層流素子１００Ｃの上流側の流体の圧力を上流側圧力Ｐ１として検出する圧力センサ１１が設けられ、層流素子１００Ｃの下流側には、この層流素子１００Ｃの下流側の流体の圧力を下流側圧力Ｐ２として検出する圧力センサ１２が設けられている。
【００４４】
なお、圧力センサ１１は、層流流路ＬＡの上流側の流体の圧力と層流流路ＬＢの上流側の流体の圧力とを均した圧力を上流側圧力Ｐ１として検出し、圧力センサ１２は、層流流路ＬＡの下流の流体の圧力と層流流路ＬＢの下流側の流体の圧力とを均した圧力を下流側圧力Ｐ２として検出する。
【００４５】
また、層流素子１００Ｃには、層流素子１００Ｃの温度を検出する温度センサ１３が設けられている。この例では、層流素子１００Ｃのボディを貫いて、層流素子１００Ｃの内部に温度センサ１３を設け、層流素子１００Ｃ内の金属部分の温度を層流素子１００Ｃの温度として検出するようにしている。なお、温度センサ１３が検出する温度は、層流素子１００Ｃの真ん中あたりが望ましい。
【００４６】
また、この層流型流量計２００には、圧力センサ１１が検出する層流素子１００Ｃの上流側圧力Ｐ１と、圧力センサ１２が検出する層流素子１００Ｃの下流側圧力Ｐ２とから、層流素子１００Ｃを流れる流体の質量流量Ｑｍを演算する流量演算部１４が設けられている。
【００４７】
流量演算部１４は、プロセッサや記憶装置からなるハードウェアと、これらのハードウェアと協働して各種機能を実現させるプログラムとによって実現され、差圧測定部１５と密度補正部１６と粘度補正部１７と質量流量算出部１８とを備えている。
【００４８】
流量演算部１４において、差圧測定部１５は、圧力センサ１１からの層流素子１００Ｃの上流側圧力Ｐ１と圧力センサ１２からの層流素子１００Ｃの下流側圧力Ｐ２とを入力とし、この上流側圧力Ｐ１と下流側圧力Ｐ２との差を差圧ΔＰとして求める。
【００４９】
密度補正部１６は、温度センサ１３が検出する層流素子１００Ｃの温度Ｔを入力とし、この層流素子１００Ｃの温度Ｔに基づいて層流素子１００Ｃを流れる流体の密度ρを補正する。粘度補正部１７は、温度センサ１３が検出する層流素子１００Ｃの温度Ｔを入力とし、この層流素子１００Ｃの温度Ｔに基づいて層流素子１００Ｃを流れる流体の粘度μを補正する。
【００５０】
質量流量算出部１８は、差圧測定部１５からの差圧ΔＰと密度補正部１６からの補正された密度ρと粘度補正部１７からの補正された粘度μとを入力とし、前記の（１）式より、層流素子１００Ｃを流れる流体の質量流量Ｑｍを算出する。
【００５１】
この層流型流量計２００において、層流素子１００Ｃの層流流路ＬＡおよび層流流路ＬＢには、層流流路ＬＡに流れる流体の方向と層流流路ＬＢに流れる流体の方向とが互いに逆となるように、流体が導かれる。これにより、層流素子１００Ｃの上下流で生じる温度差の発生が抑制され、層流素子１００Ｃの流路内の流体温度を正確に計測することが可能となり、流体の密度や流体の粘度の補正を精度よく行って、流体の温度分布に起因する計測誤差を軽減することができるようになる。
【００５２】
なお、この層流型流量計２００では、圧力センサ１１が検出する上流側圧力Ｐ１と圧力センサ１２が検出する下流側圧力Ｐ２との差を差圧測定部１５において差圧ΔＰとして求めるようにしたが、図６に示すように、層流素子１００Ｃの上流側と下流側の流体の圧力の差を差圧ΔＰとして検出する差圧センサ１９を設け、この差圧センサ１９が検出する差圧ΔＰを質量流量算出部１８に送るようにしてもよい。図６では、図５に示した層流型流量計２００と区別するために、層流型流量計を２００’として示し、流量演算部を１４’として示している。
【００５３】
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【符号の説明】
【００５４】
１〜５…金属薄板、１−１，１−２…貫通孔、２−３，４−３…チャネル、５−１，５−２…貫通孔、ＬＡ，ＬＢ…層流流路、１１，１２…圧力センサ、１３…温度センサ、１４，１４’…流量演算部、１５…差圧測定部、１６…密度補正部、１７…粘度補正部、１８…質量流量算出部、１９…差圧センサ、１００（１００Ａ〜１００Ｃ）…層流素子、２００，２００’…層流型流量計。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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