(57)【要約】【課題】走行時における防振の有効化及び移載時における移載の安定化を確実に実現することができる天井搬送車を提供する。【解決手段】天井搬送車１は、軌道１００に沿って走行する走行ユニット３と、ＦＯＵＰ２００を保持する保持部７０を有する保持ユニット７と、保持ユニット７を昇降させる昇降駆動部６０を有する昇降駆動ユニット６と、保持ユニット７が上昇端に位置する際に保持部７０をフローティング状態にし、保持ユニット７が上昇端よりも下側に位置する際に保持部７０をロック状態にする切替機構９と、フローティング状態にある保持部７０を支持する弾性部材１１と、を備える。切替機構９は、保持ユニット７が昇降する動作に連動して保持部７０をフローティング状態又はロック状態にする。【選択図】図３
2020169090.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道に沿って走行する走行ユニットと、
搬送対象物を保持する保持部を有する保持ユニットと、
前記保持ユニットを昇降させる昇降駆動部を有する昇降駆動ユニットと、
前記保持ユニットが上昇端に位置する際に前記保持部をフローティング状態にし、前記保持ユニットが前記上昇端よりも下側に位置する際に前記保持部をロック状態にする切替機構と、
前記フローティング状態にある前記保持部を支持する弾性部材と、を備え、
前記切替機構は、前記保持ユニットが昇降する動作に連動して前記保持部を前記フローティング状態又は前記ロック状態にする、天井搬送車。
【請求項２】
前記昇降駆動部は、前記保持ユニットが吊り下げられたベルトと、前記ベルトを巻き取るドラムと、を含み、
前記切替機構は、前記昇降駆動ユニットに設けられた支持アームを有し、
前記支持アームは、前記保持ユニットが前記上昇端よりも下側に位置する際に前記昇降駆動部を支持することで、前記昇降駆動部及び前記保持ユニットを前記ロック状態にし、前記保持ユニットが上昇する際に前記ドラムにおいて巻径が増加する前記ベルトに操作されることで、前記昇降駆動部及び前記保持ユニットを前記フローティング状態にし、
前記弾性部材は、前記昇降駆動ユニットに設けられており、前記フローティング状態にある前記昇降駆動部を支持する、請求項１に記載の天井搬送車。
【請求項３】
前記弾性部材は、前記昇降駆動ユニットに複数設けられており、前記昇降駆動部における前記昇降駆動部及び前記保持ユニットの重心位置に対して均等に配置されている、請求項２に記載の天井搬送車。
【請求項４】
前記切替機構は、前記昇降駆動ユニットに設けられたプッシュロッドと、前記保持ユニットに設けられた支持プレートと、を有し、
前記支持プレートは、前記保持ユニットが前記上昇端よりも下側に位置する際に前記保持部を支持することで、前記保持部を前記ロック状態にし、前記保持ユニットが上昇する際に前記プッシュロッドに押されることで、前記保持部を前記フローティング状態にし、
前記弾性部材は、前記保持ユニットに設けられており、前記フローティング状態にある前記保持部を支持する、請求項１に記載の天井搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天井搬送車に関する。
【背景技術】
【０００２】
搬送対象物を保持する保持部を有する保持ユニットにおいて、保持部の状態が専用のアクチュエータによって防振状態又はロック状態に切り替えられる天井搬送車が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような天井搬送車においては、搬送対象物を保持して走行する際に、保持部の状態が、保持部が弾性部材によって支持される防振状態に切り替えられて、搬送対象物に伝わる振動を低減するための防振の有効化が図られる、一方、搬送対象物を移載先に対して移載する際に、保持部の状態が、保持部の位置がロックされるロック状態に切り替えられて、搬送対象物の移載の安定化が図られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１８−３９６５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述したような天井搬送車では、アクチュエータによって保持部の状態が切り替えられるため、アクチュエータの制御に不具合が生じると、所定のタイミングで保持部の状態が切り替えられず、走行時における防振の有効化及び移載時における移載の安定化が実現されないおそれがある。
【０００５】
そこで、本発明は、走行時における防振の有効化及び移載時における移載の安定化を確実に実現することができる天井搬送車を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の天井搬送車は、軌道に沿って走行する走行ユニットと、搬送対象物を保持する保持部を有する保持ユニットと、保持ユニットを昇降させる昇降駆動部を有する昇降駆動ユニットと、保持ユニットが上昇端に位置する際に保持部をフローティング状態にし、保持ユニットが上昇端よりも下側に位置する際に保持部をロック状態にする切替機構と、フローティング状態にある保持部を支持する弾性部材と、を備え、切替機構は、保持ユニットが昇降する動作に連動して保持部をフローティング状態又はロック状態にする。
【０００７】
本発明の天井搬送車では、保持ユニットが上昇端に位置する際に、保持部が切替機構によってフローティング状態にされ、フローティング状態にある保持部が弾性部材によって支持される。これにより、搬送対象物を保持して走行する際に、搬送対象物に伝わる振動を低減するための防振の有効化が図られる。また、保持ユニットが上昇端よりも下側に位置する際に、保持部が切替機構によってロック状態にされる。これにより、搬送対象物を移載先に対して移載する際に、搬送対象物の移載の安定化が図られる。ここで、本発明の天井搬送車では、保持部をフローティング状態又はロック状態にする切替機構が、保持ユニットが昇降する動作に連動して保持部の状態を切り替える。つまり、切替機構においては、保持部の状態を切り替えるために、専用のアクチュエータを採用する必要がない。以上により、本発明の天井搬送車によれば、走行時における防振の有効化及び移載時における移載の安定化を確実に実現することができる。
【０００８】
本発明の天井搬送車では、昇降駆動部は、保持ユニットが吊り下げられたベルトと、ベルトを巻き取るドラムと、を含み、切替機構は、昇降駆動ユニットに設けられた支持アームを有し、支持アームは、保持ユニットが上昇端よりも下側に位置する際に昇降駆動部を支持することで、昇降駆動部及び保持ユニットをロック状態にし、保持ユニットが上昇する際にドラムにおいて巻径が増加するベルトによって操作されることで、昇降駆動部及び保持ユニットをフローティング状態にし、弾性部材は、昇降駆動ユニットに設けられており、フローティング状態にある昇降駆動部を支持してもよい。このように、保持ユニットが上昇する際にドラムにおいて巻径が増加するベルトに操作されるように支持アームを構成することで、減速比を大きくしてドラムの駆動モータに生じる負荷を小さくすることができる。また、フローティング状態にある昇降駆動部及び保持ユニットを支持するように昇降駆動ユニットに弾性部材を設けることで、重量が大きい搬送対象物に対しても防振の有効化を図ることができ、搬送対象物の重量が変化しても同程度の防振効果を期待することができる。
【０００９】
本発明の天井搬送車では、弾性部材は、昇降駆動ユニットに複数設けられており、昇降駆動部における昇降駆動部及び保持ユニットの重心位置に対して均等に配置されていてもよい。これにより、フローティング状態にあり且つ複数の弾性部材によって支持される昇降駆動部を鉛直方向に案内するガイドが必要になったとしても、当該ガイドの設計（例えば、曲げに対する強さ、設置位置、個数等の設定）の自由度を向上させることができる。
【００１０】
本発明の天井搬送車では、切替機構は、昇降駆動ユニットに設けられたプッシュロッドと、保持ユニットに設けられた支持プレートと、を有し、支持プレートは、保持ユニットが上昇端よりも下側に位置する際に保持部を支持することで、保持部をロック状態にし、保持ユニットが上昇する際にプッシュロッドに押されることで、保持部をフローティング状態にし、弾性部材は、保持ユニットに設けられており、フローティング状態にある保持部を支持してもよい。これにより、昇降駆動ユニットの構成の複雑化を防止することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、走行時における防振の有効化及び移載時における移載の安定化を確実に実現することができる天井搬送車を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１実施形態の天井搬送車の側面図である。
【図２】第１実施形態の天井搬送車において保持部がロック状態にある場合の昇降駆動ユニット及び保持ユニットの構成図である。
【図３】第１実施形態の天井搬送車において保持部がフローティング状態にある場合の昇降駆動ユニット及び保持ユニットの構成図である。
【図４】第２実施形態の天井搬送車において保持部がロック状態にある場合の昇降駆動ユニット及び保持ユニットの構成図である。
【図５】第２実施形態の天井搬送車において保持部がフローティング状態にある場合の昇降駆動ユニット及び保持ユニットの構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［第１実施形態］
【００１４】
図１に示されるように、第１実施形態の天井搬送車１は、半導体デバイスが製造されるクリーンルームの天井付近に敷設された軌道１００に沿って走行する。第１実施形態の天井搬送車１は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front  Opening  Unified  Pod）（搬送対象物）２００の搬送、及び、半導体ウェハに各種処理を施す処理装置に設けられたロードポート３００に対するＦＯＵＰ２００の移載を行う。
【００１５】
天井搬送車１は、フレームユニット２と、走行ユニット３と、ラテラルユニット４と、シータユニット５と、昇降駆動ユニット６と、保持ユニット７と、コントローラ８と、を備えている。フレームユニット２は、センターフレーム２１と、フロントフレーム２２と、リアフレーム２３と、を有している。フロントフレーム２２は、センターフレーム２１における前側（天井搬送車１の走行方向における前側）の端部から下側に延在している。リアフレーム２３は、センターフレーム２１における後側（天井搬送車１の走行方向における後側）の端部から下側に延在している。
【００１６】
走行ユニット３は、センターフレーム２１の上側に配置されている。走行ユニット３は、例えば、軌道１００に沿って敷設された高周波電流線から無接触で電力の供給を受けることで、軌道１００に沿って走行する。ラテラルユニット４は、センターフレーム２１の下側に配置されている。ラテラルユニット４は、シータユニット５、昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７を横方向（天井搬送車１の走行方向における側方）に移動させる。シータユニット５は、ラテラルユニット４の下側に配置されている。シータユニット５は、昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７を水平面内において回動させる。
【００１７】
昇降駆動ユニット６は、シータユニット５の下側に配置されている。昇降駆動ユニット６は、保持ユニット７を昇降させる昇降駆動部６０を有している。保持ユニット７は、昇降駆動ユニット６の下側に配置されている。保持ユニット７は、ＦＯＵＰ２００のフランジ部２０１を保持する保持部７０を有している。コントローラ８は、センターフレーム２１に配置されている。コントローラ８は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等によって構成された電子制御ユニットである。コントローラ８は、天井搬送車１の各部を制御する。
【００１８】
以上のように構成された天井搬送車１は、一例として、次のように動作する。ロードポート３００から天井搬送車１にＦＯＵＰ２００を移載する場合には、ＦＯＵＰ２００を保持していない天井搬送車１がロードポート３００の上方に停止する。続いて、昇降駆動部６０が保持ユニット７を下降させ、保持部７０が、ロードポート３００に載置されているＦＯＵＰ２００のフランジ部２０１を保持する。続いて、昇降駆動部６０が保持ユニット７を上昇端まで上昇させて、フロントフレーム２２とリアフレーム２３との間にＦＯＵＰ２００を配置する。続いて、ＦＯＵＰ２００を保持した天井搬送車１が走行を開始する。
【００１９】
一方、天井搬送車１からロードポート３００にＦＯＵＰ２００を移載する場合には、ＦＯＵＰ２００を保持した天井搬送車１がロードポート３００の上方に停止する。続いて、昇降駆動部６０が保持ユニット７を下降させて、ロードポート３００にＦＯＵＰ２００を載置し、保持部７０がＦＯＵＰ２００のフランジ部２０１の保持を解放する。続いて、昇降駆動部６０が保持ユニット７を上昇端まで上昇させる。続いて、ＦＯＵＰ２００を保持していない天井搬送車１が走行を開始する。
【００２０】
次に、昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７の構成について詳細に説明する。図２及び図３に示されるように、昇降駆動ユニット６の昇降駆動部６０は、ベース６１と、複数のベルト６２と、複数のドラム６３と、駆動モータ６４と、を有している。各ドラム６３は、回転可能となるようにベース６１によって支持されている。駆動モータ６４は、各ドラム６３を回転させるための駆動源であり、ベース６１に固定されている。各ベルト６２の一端部は各ドラム６３に接続されており、各ベルト６２の他端部は保持ユニット７に接続されている。各ベルト６２は、昇降駆動部６０に設けられた複数のガイドプーリ６５によって所定位置に案内されている。以上のように構成された昇降駆動部６０は、保持ユニット７が吊り下げられた複数のベルト６２をドラム６３が巻き取ることで、保持ユニット７を上昇させ、保持ユニット７が吊り下げられた複数のベルト６２をドラム６３が繰り出すことで、保持ユニット７を下降させる。
【００２１】
昇降駆動ユニット６において、ベース６１は、筐体６６内に配置されている。筐体６６は、底壁６６ａと、天壁６６ｂと、側壁６６ｃと、を有している。ベース６１は、筐体６６内に設けられた直動機構６７によって、鉛直方向のみに沿って移動可能とされている。直動機構６７は、例えば、ＬＦガイド機構、ボールスプライン機構等である。底壁６６ａとベース６１との間には、複数の弾性部材１１が配置されている。各弾性部材１１は、例えば、ゲル材、ゴム材、圧縮ばね等である。天壁６６ｂには、ベース６１の上側への移動を停止させる複数のストッパ６８が設けられている。
【００２２】
保持ユニット７の保持部７０は、ベース７１と、１対の把持部７２と、を有している。１対の把持部７２は、水平方向に沿って開閉可能となるようにベース７１によって支持されている。１対の把持部７２は、駆動モータ（図示省略）及びリンク機構（図示省略）によって開閉させられる。保持ユニット７において、ベース７１は、筐体７３の底壁を構成しており、筐体７３に対する位置が固定されている。ベース７１、各ベルト６２の他端部が接続されている。
【００２３】
昇降駆動ユニット６には、切替機構９が設けられている。切替機構９は、保持ユニット７が上昇端に位置する際に保持部７０をフローティング状態（図３に示される状態）にし、保持ユニット７が上昇端よりも下側に位置する際に保持部７０をロック状態（図２に示される状態）にする。フローティング状態は、複数の弾性部材１１によって保持部７０が直接的に又は間接的に支持された状態である。ロック状態は、複数の弾性部材１１よりも鉛直方向における支持力が大きい何らかの支持部によって保持部７０が直接的に又は間接的に支持された状態である。切替機構９は、保持ユニット７が昇降する動作に連動して保持部７０をフローティング状態又はロック状態にする。
【００２４】
第１実施形態では、切替機構９は、支持アーム９１と、付勢部材９２と、を有している。支持アーム９１の中間部は、ベース６１に設けられた軸６１ａによって支持されており、支持アーム９１の一端部９１ａ及び他端部９１ｂは、鉛直面内において揺動可能とされている。一端部９１ａは、例えばローラとして構成されており、１つのドラム６３の近傍に位置している。他端部９１ｂは、例えばローラとして構成されており、底壁６６ａとベース６１との間に位置している。付勢部材９２は、例えば軸６１ａに取り付けられた捩りコイルばねであり、他端部９１ｂが底壁６６ａ側に移動するように支持アーム９１を付勢している。
【００２５】
図２に示されるように、保持ユニット７が上昇端よりも下側に位置する際には、保持ユニット７が上昇しているか下降しているかにかかわらず、付勢部材９２によって付勢された支持アーム９１の他端部９１ｂが底壁６６ａに押し付けられることで、支持アーム９１が、保持ユニット７と共に昇降駆動部６０を支持する。このとき、ベース６１が複数のストッパ６８に接触することで、昇降駆動部６０の位置が固定される。このように、支持アーム９１は、昇降駆動部６０を支持することで、昇降駆動部６０及び保持ユニット７をロック状態にする。
【００２６】
図３に示されるように、保持ユニット７が上昇端に位置する際には、ドラム６３において巻径が増加したベルト６２によって一端部９１ａが押された支持アーム９１の他端部９１ｂが底壁６６ａから離れることで、支持アーム９１が、保持ユニット７と共に昇降駆動部６０をフローティング状態にする。このとき、昇降駆動ユニット６に設けられた複数の弾性部材１１が、フローティング状態にある昇降駆動部６０を支持する。このように、支持アーム９１は、保持ユニット７が上昇する際にドラム６３において巻径が増加するベルト６２に操作されることで、昇降駆動部６０及び保持ユニット７をフローティング状態にする。フローティング状態にある保持部７０は、昇降駆動部６０を介して、複数の弾性部材１１によって支持される。
【００２７】
第１実施形態では、図２に示されるように、昇降駆動部６０及び保持ユニット７を切替機構９が支持することで、昇降駆動部６０及び保持ユニット７がロック状態にされる。つまり、付勢部材９２によって付勢された支持アーム９１の他端部９１ｂが底壁６６ａに押し付けられることで切替機構９が昇降駆動部６０及び保持ユニット７を支持する力（鉛直方向における切替機構９の支持力）は、複数の弾性部材１１が昇降駆動部６０及び保持ユニット７を支持する力（鉛直方向における複数の弾性部材１１の支持力）よりも大きい。
【００２８】
第１実施形態では、複数の弾性部材１１は、昇降駆動部６０における昇降駆動部６０及び保持ユニット７の重心位置に対して均等に配置されている。昇降駆動部６０における昇降駆動部６０及び保持ユニット７の重心位置は、昇降駆動部６０及び保持ユニット７の合計重量についての重量中心（質量中心）の位置であって、水平面内における位置である。複数の弾性部材１１は、当該重心位置に対して均等に（つまり、昇降駆動部６０及び保持ユニット７の合計重量によって各弾性部材１１に生じる圧力が均一になるように）配置されている。
【００２９】
以上説明したように、第１実施形態の天井搬送車１では、保持ユニット７が上昇端に位置する際に、保持部７０が切替機構９によって間接的にフローティング状態にされ、フローティング状態にある保持部７０が複数の弾性部材１１によって間接的に支持される。これにより、ＦＯＵＰ２００を保持して走行する際に、ＦＯＵＰ２００に伝わる振動を低減するための防振の有効化が図られる。また、保持ユニット７が上昇端よりも下側に位置する際に、保持部７０が切替機構９によって間接的にロック状態にされる。これにより、ＦＯＵＰ２００をロードポート３００に対して移載する際に、ＦＯＵＰ２００の移載の安定化が図られる。ここで、第１実施形態の天井搬送車１では、保持部７０をフローティング状態又はロック状態にする切替機構９が、保持ユニット７が昇降する動作に連動して保持部７０の状態を切り替える。つまり、切替機構９においては、保持部７０の状態を切り替えるために、専用のアクチュエータを採用する必要がない。以上により、第１実施形態の天井搬送車１によれば、走行時における防振の有効化及び移載時における移載の安定化を確実に実現することができる。
【００３０】
また、第１実施形態の天井搬送車１では、切替機構９の支持アーム９１が、保持ユニット７が上昇端よりも下側に位置する際に昇降駆動部６０を支持することで、昇降駆動部６０及び保持ユニット７をロック状態にし、保持ユニット７が上昇する際にドラム６３において巻径が増加するベルト６２によって操作されることで、昇降駆動部６０及び保持ユニット７をフローティング状態にする。切替機構９の支持アーム９１が昇降駆動部６０及び保持ユニット７をフローティング状態にした際には、複数の弾性部材１１が、フローティング状態にある昇降駆動部６０を支持する。このように、保持ユニット７が上昇する際にドラム６３において巻径が増加するベルト６２に操作されるように支持アーム９１を構成することで、減速比を大きくしてドラム６３の駆動モータに生じる負荷を小さくすることができる。また、フローティング状態にある昇降駆動部６０及び保持ユニット７を支持するように昇降駆動ユニット６に複数の弾性部材１１を設けることで、重量が大きいＦＯＵＰ２００に対しても防振の有効化を図ることができ、ＦＯＵＰ２００の重量が変化しても同程度の防振効果を期待することができる。
【００３１】
また、第１実施形態の天井搬送車１では、複数の弾性部材１１が、昇降駆動部６０における昇降駆動部６０及び保持ユニット７の重心位置に対して均等に配置されていている。これにより、フローティング状態にあり且つ複数の弾性部材１１によって支持される昇降駆動部６０を鉛直方向に案内するガイドである直動機構６７の設計（例えば、曲げに対する強さ、設置位置、個数等の設定）の自由度を向上させることができる。
［第２実施形態］
【００３２】
第２実施形態の天井搬送車１は、第１実施形態の天井搬送車１と同様に、軌道１００に沿って走行し、ＦＯＵＰ２００の搬送、及び、ロードポート３００に対するＦＯＵＰ２００の移載を行う。第２実施形態の天井搬送車１は、昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７の構成において、第１実施形態の天井搬送車１と相違している。以下、第２実施形態の天井搬送車１における昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７の構成について詳細に説明する。
【００３３】
図４及び図５に示されるように、昇降駆動ユニット６の昇降駆動部６０は、ベース６１と、複数のベルト６２と、複数のドラム６３と、駆動モータ６４と、を有している。ベース６１は、筐体６６内に配置されており、筐体６６に対する位置が固定されている。保持ユニット７の保持部７０は、ベース７１と、１対の把持部７２と、を有している。１対の把持部７２は、駆動モータ（図示省略）及びリンク機構（図示省略）によって開閉させられる。筐体７３の底壁７３ａには、各ベルト６２の他端部が接続されている。底壁７３ａとベース７１との間には、複数の弾性部材１１が配置されている。各弾性部材１１は、例えば、ゲル材、ゴム材、圧縮ばね等である。なお、ベース７１は、筐体７３内に設けられた直動機構（例えば、ＬＦガイド機構、ボールスプライン機構等）によって、鉛直方向のみに沿って移動可能とされていてもよい。
【００３４】
昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７には、切替機構９が設けられている。切替機構９は、保持ユニット７が上昇端に位置する際に保持部７０をフローティング状態（図５に示される状態）にし、保持ユニット７が上昇端よりも下側に位置する際に保持部７０をロック状態（図４に示される状態）にする。切替機構９は、保持ユニット７が昇降する動作に連動して保持部７０をフローティング状態又はロック状態にする。
【００３５】
第２実施形態では、切替機構９は、プッシュロッド９３と、支持プレート９４と、付勢部材９５と、を有している。プッシュロッド９３は、昇降駆動ユニット６に設けられており、筐体６６から下側に延在している。支持プレート９４は、保持ユニット７に設けられている。より詳細には、支持プレート９４は、底壁７３ａとベース７１との間に配置されており、ベース７１に形成された開口７１ａの周囲部分に接触可能とされている。開口７１ａは、鉛直方向においてプッシュロッド９３と向かい合っている。付勢部材９５は、底壁７３ａと支持プレート９４との間に配置された例えば圧縮ばねであり、支持プレート９４が開口７１ａの周囲部分側に移動するように支持プレート９４を付勢している。
【００３６】
図４に示されるように、保持ユニット７が上昇端よりも下側に位置する際には、保持ユニット７が上昇しているか下降しているかにかかわらず、付勢部材９５によって付勢された支持プレート９４がベース７１における開口７１ａの周囲部分に押し付けられることで、支持プレート９４が保持部７０を支持する。このように、支持プレート９４は、保持部７０を支持することで、保持部７０をロック状態にする。
【００３７】
図５に示されるように、保持ユニット７が上昇端に位置する際には、プッシュロッド９３によって下側に押された支持プレート９４がベース７１における開口７１ａの周囲部分から離れることで、支持プレート９４が保持部７０をフローティング状態にする。このとき、保持ユニット７に設けられた複数の弾性部材１１が、フローティング状態にある保持部７０を支持する。このように、支持プレート９４は、保持ユニット７が上昇する際にプッシュロッド９３に押されることで、保持部７０をフローティング状態にする。
【００３８】
第２実施形態では、図４に示されるように、保持部７０を切替機構９が支持することで、保持部７０がロック状態にされる。つまり、付勢部材９５によって付勢された支持プレート９４がベース７１における開口７１ａの周囲部分に押し付けられることで切替機構９が保持部７０を支持する力（鉛直方向における切替機構９の支持力）は、複数の弾性部材１１が保持部７０を支持する力（鉛直方向における複数の弾性部材１１の支持力）よりも大きい。
【００３９】
以上説明したように、第２実施形態の天井搬送車１では、保持ユニット７が上昇端に位置する際に、保持部７０が切替機構９によって直接的にフローティング状態にされ、フローティング状態にある保持部７０が複数の弾性部材１１によって直接的に支持される。これにより、ＦＯＵＰ２００を保持して走行する際に、ＦＯＵＰ２００に伝わる振動を低減するための防振の有効化が図られる。また、保持ユニット７が上昇端よりも下側に位置する際に、保持部７０が切替機構９によって直接的にロック状態にされる。これにより、ＦＯＵＰ２００をロードポート３００に対して移載する際に、ＦＯＵＰ２００の移載の安定化が図られる。ここで、第２実施形態の天井搬送車１では、保持部７０をフローティング状態又はロック状態にする切替機構９が、保持ユニット７が昇降する動作に連動して保持部７０の状態を切り替える。つまり、切替機構９においては、保持部７０の状態を切り替えるために、専用のアクチュエータを採用する必要がない。以上により、第２実施形態の天井搬送車１によれば、走行時における防振の有効化及び移載時における移載の安定化を確実に実現することができる。
【００４０】
また、第２実施形態の天井搬送車１では、切替機構９の支持プレート９４が、保持ユニット７が上昇端よりも下側に位置する際に保持部７０を支持することで、保持部７０をロック状態にし、保持ユニット７が上昇する際に切替機構９のプッシュロッド９３に押されることで、保持部７０をフローティング状態にする。切替機構９の支持プレート９４が、保持部７０をフローティング状態にした際には、複数の弾性部材１１が、フローティング状態にある保持部７０を支持する。これにより、昇降駆動ユニット６の構成の複雑化を防止することができる。
［変形例］
【００４１】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されない。例えば、本発明の搬送対象物は、ＦＯＵＰ２００に限定されず、複数のガラス基板が収容されたレチクルポッド等、その他の物品であってもよい。また、本発明の天井搬送車が走行する軌道は、半導体デバイスが製造されるクリーンルームの天井付近に敷設された軌道１００に限定されず、その他の施設の天井付近に敷設された軌道であってもよい。また、本発明の弾性部材は、複数の弾性部材１１に限定されず、少なくとも１つの弾性部材であればよい。
【符号の説明】
【００４２】
１…天井搬送車、３…走行ユニット、６…昇降駆動ユニット、７…保持ユニット、９…切替機構、１１…弾性部材、６０…昇降駆動部、６２…ベルト、６３…ドラム、７０…保持部、９１…支持アーム、９３…プッシュロッド、９４…支持プレート、１００…軌道、２００…ＦＯＵＰ（搬送対象物）。
【図１】
2020169090.tif 000003
【図２】
2020169090.tif 000004
【図３】
2020169090.tif 000005
【図４】
2020169090.tif 000006
【図５】
2020169090.tif 000007