(57)【要約】      （修正有）【課題】有機溶剤と水とを含む混合液の受け入れまたは精製された有機溶剤の払出しを停止することなく、受入れる混合液または払い出す有機溶剤の品質を分析する。【解決手段】分析対象液を貯留可能な第１及び第２の容器１０１ａ，１０１ｂは分析対象液の供給ラインに切り替え可能に接続される。第１の容器１０１ａと共に分析対象液の循環経路を形成する第１の循環ラインと、第２の容器１０１ｂと共に分析対象液の循環経路を形成する第２の循環ラインとが切り替えされる。循環経路内の分析対象液は分析手段５０５，５０６，５０７によって分析される。第１の容器１０１ａと第２の容器１０１ｂの一方が供給ラインに接続される受入れ容器として、他方が循環経路を形成する分析容器として交互に切り替わるように、供給ラインと循環ライン形成手段が切り替えられる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機溶剤と水とを含む混合液の精製システムが受け入れる前記混合液、または前記精製システムから払い出される精製された有機溶剤を分析対象液として分析する分析装置であって、
前記分析対象液を貯留可能な第１及び第２の容器と、
前記第１の容器または前記第２の容器に切り替え可能に接続される、前記分析対象液の供給ラインと、
前記第１の容器と共に前記分析対象液の循環経路を形成する第１の循環ラインと、前記第２の容器と共に前記分析対象液の循環経路を形成する第２の循環ラインとに切り替え可能な循環ライン形成手段と、
前記循環ライン形成手段によって形成された前記循環経路内の前記分析対象液を分析する分析手段と、
前記第１の容器と前記第２の容器の一方が前記供給ラインに接続される受入れ容器として、他方が前記循環経路を形成する分析容器として交互に切り替わるように、前記供給ラインと前記循環ライン形成手段とを切り替え可能な切替手段と、を有する分析装置。
【請求項２】
前記循環ライン形成手段は、前記循環経路の前記分析対象液を循環させる循環ポンプを有している、請求項１に記載の分析装置。
【請求項３】
前記第１の循環ラインと前記第２の循環ラインは共通の流路を有し、前記分析手段は前記共通の流路に設けられている、請求項１または２に記載の分析装置。
【請求項４】
前記第１の容器または前記第２の容器に切り替え可能に接続される分析終了液の排出ラインを有し、前記切替手段は、前記分析の終了後、前記受入れ容器として機能している容器が前記供給ラインに接続された状態で、前記循環ライン形成手段によって形成された前記循環経路が遮断され、前記分析容器として機能している容器が前記排出ラインに接続されるように、前記循環ライン形成手段及び排出ラインを切り替え可能である、請求項１から３のいずれか１項に記載の分析装置。
【請求項５】
前記第１及び前記第２の容器は、前記分析と前記排出ラインからの排出に要する時間の間に前記受入れ容器が受入れる前記分析対象液の全量を受け入れる容量を有している、請求項４に記載の分析装置。
【請求項６】
前記第１の容器に接続された第１の不活性ガス供給ラインと、
前記第２の容器に接続された第２の不活性ガス供給ラインと、
前記第１及び第２の不活性ガス供給ラインに接続された母管と、
前記母管に接続された不活性ガスの供給手段及びブローラインと、を有し、
前記第１の不活性ガス供給ラインと、前記第２の不活性ガス供給ラインと、前記母管と、前記ブローラインは互いに連通している、請求項４または５に記載の分析装置。
【請求項７】
分析終了液を貯留可能な第３の容器と、前記第１〜第３の容器に切り替え可能に接続される前記分析終了液の排出ラインと、を有し、
前記供給ラインは前記第１〜第３の容器に切り替え可能に接続され、
前記循環ライン形成手段は、前記第１の循環ラインと、前記第２の循環ラインと、前記第３の容器と共に前記分析対象液の循環経路を形成する第３の循環ラインとを選択的に形成し、
前記切替手段は、前記第１〜第３の容器のうちの一つが前記受入れ容器として機能し、他の一つが前記分析容器として機能し、残りの一つが前記分析終了液を貯留するとともに前記排出ラインに接続される移送容器として交互に切り替わるように、前記供給ラインと前記排出ラインと前記循環ライン形成手段とを切り替え可能である、請求項１から３のいずれか１項に記載の分析装置。
【請求項８】
前記第１〜第３の容器は、前記分析が行われる間に前記受入れ容器が受入れる前記分析対象液の全量を受け入れる容量を有している、請求項７に記載の分析装置。
【請求項９】
前記第１の容器に接続された第１の不活性ガス供給ラインと、
前記第２の容器に接続された第２の不活性ガス供給ラインと、
前記第３の容器に接続された第３の不活性ガス供給ラインと、
前記第１〜第３の不活性ガス供給ラインに接続された母管と、
前記母管に接続された不活性ガスの供給手段及びブローラインと、を有し、
前記第１の不活性ガス供給ラインと、前記第２の不活性ガス供給ラインと、前記第３の不活性ガス供給ラインと、前記母管と、前記ブローラインは互いに連通している、請求項７または８に記載の分析装置。
【請求項１０】
請求項４から９のいずれか１項に記載の分析装置と、
前記分析の結果不良とされた不良液を貯留する不良液貯留容器と、
前記排出ラインから分岐して前記不良液貯留容器に接続される不良液移送ラインと、前記排出ラインと前記移送ラインの切替手段と、を有する、有機溶剤と水とを含む混合液の精製システム。
【請求項１１】
有機溶剤と水とを含む混合液の精製システムが受け入れる前記混合液、または前記精製システムから払い出される精製された有機溶剤を分析対象液として分析する分析装置を用いた分析方法であって、
前記分析装置は、
前記分析対象液を貯留可能な第１及び第２の容器と、
前記第１の容器または前記第２の容器に切り替え可能に接続される、前記分析対象液の供給ラインと、
前記第１の容器と共に前記分析対象液の循環経路を形成する第１の循環ラインと、前記第２の容器と共に前記分析対象液の循環経路を形成する第２の循環ラインとに切り替え可能な循環ライン形成手段と、
前記循環ライン形成手段によって形成された前記循環経路内の前記分析対象液を分析する分析手段と、を有し、
前記第１の容器と前記第２の容器の一方が前記供給ラインに接続される受入れ容器として、他方が前記循環経路を形成する分析容器として交互に切り替わるように、前記供給ラインと前記循環ライン形成手段を切り替えることを有する、分析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は有機溶剤と水とを含む混合液の精製システムにおける分析装置及び分析方法並びに精製システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（以下、ＮＭＰという）と水との混合液（以下、ＮＭＰ水溶液という）から、浸透気化法（ＰＶ法）を用いてＮＭＰを分離する方法が知られている。ＰＶ法はＮＭＰ水溶液を減圧して蒸留する方法（減圧蒸留法）と比べ、省エネルギー性能に優れている。ＰＶ法では水と親和性のある分離膜（浸透気化膜）を備えた浸透気化膜装置が用いられる。浸透気化膜の入口側にＮＭＰ水溶液を供給し透過側を減圧することで、ＮＭＰ水溶液を入口側から透過側へ移動させる駆動力が得られる。この際、ＮＭＰと水の透過速度差により、主に水が透過側に移動し、ＮＭＰと水の分離が行われる。
【０００３】
特許文献１には、ＮＭＰ水溶液の精製システムが開示されている。このＮＭＰ水溶液の精製システムは、リチウムイオン二次電池の製造システムとともに利用される。ＮＭＰ水溶液の精製システムは、リチウムイオン二次電池の製造システムから排出されるＮＭＰ水溶液の原液を受け入れ、微粒子や溶存酸素を除去し、浸透気化膜装置で水分を除去してＮＭＰ濃縮液を生成する。ＮＭＰ水溶液の精製システムはさらにＮＭＰ濃縮液を蒸留することによって、ＮＭＰ精製液を生成する。ＮＭＰ精製液はリチウムイオン二次電池の製造システムに払い出され、再利用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１８／２０７４３１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ＮＭＰ水溶液の精製システムが、精製が困難または不可能なレベルの品質のＮＭＰ水溶液を受入れると、リチウムイオン二次電池の製造システムでＮＭＰ精製液が再利用された際に、リチウムイオン二次電池の品質に重大な影響を及ぼす可能性がある。このため、ＮＭＰ水溶液を受入れる際には品質レベルを確認し、許容範囲の品質のＮＭＰ水溶液だけを受入れることが望まれる。しかし、ＮＭＰ水溶液の分析には一定の時間を要するため、特許文献１に記載のＮＭＰ水溶液の精製システムにおいてＮＭＰ水溶液の品質レベルを確認するためには、ＮＭＰ水溶液の受け入れを一時的に停止する必要がある。ＮＭＰ精製液をリチウムイオン二次電池の製造システムに払い出す際も同様であり、ＮＭＰ精製液の品質レベルを確認するためには、ＮＭＰ精製液の払出しを一時的に停止する必要がある。以上の点についてはＮＭＰ以外の有機溶剤と水とを含む混合液についても同様である。
【０００６】
本発明は、有機溶剤と水とを含む混合液の受け入れ、または精製された有機溶剤の払出しを停止することなく、受入れる混合液または払い出す有機溶剤の品質を分析することが可能な分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、有機溶剤と水とを含む混合液の精製システムが受け入れる混合液、または精製システムから払い出される精製された有機溶剤を分析対象液として分析する分析装置に関する。本発明の分析装置は、分析対象液を貯留可能な第１及び第２の容器と、第１の容器または第２の容器に切り替え可能に接続される、分析対象液の供給ラインと、第１の容器と共に分析対象液の循環経路を形成する第１の循環ラインと、第２の容器と共に分析対象液の循環経路を形成する第２の循環ラインとに切り替え可能な循環ライン形成手段と、循環ライン形成手段によって形成された循環経路内の分析対象液を分析する分析手段と、第１の容器と第２の容器の一方が供給ラインに接続される受入れ容器として、他方が循環経路を形成する分析容器として交互に切り替わるように、供給ラインと循環ライン形成手段を切り替え可能な切替手段と、を有する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、有機溶剤と水とを含む混合液の受け入れ、または精製された有機溶剤の払出しを停止することなく、受入れる混合液または払い出す有機溶剤の品質を分析することが可能な分析装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係るＮＭＰ水溶液の精製システムの概略構成図である。
【図２】第１の実施形態に係る分析装置の概略構成図である。
【図３】第１の実施形態に係る分析装置における、容器が切り替えられた状態を示す概略構成図である。
【図４】第１の実施形態に係る分析装置における、容器がさらに切り替えられた状態を示す概略構成図である。
【図５】第１〜第３の容器の切り替えパターンを示す模式図である。
【図６】第２の実施形態に係る分析装置の概略構成図である。
【図７】第２の実施形態に係る分析装置における、容器が切り替えられた状態を示す概略構成図である。
【図８】第２の実施形態に係る分析装置における、容器がさらに切り替えられた状態を示す概略構成図である。
【図９】第２の実施形態に係る分析装置における、容器がさらに切り替えられた状態を示す概略構成図である。
【図１０】第１及び第２の容器の切り替えパターンを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明に適用可能な有機溶剤としては、メタノール、エタノール、２−プロパノールなどのアルコール類の他、大気圧（０．１０１３Ｍｐａ）での沸点が水の沸点（１００℃）よりも高く、好ましくは大気圧下での沸点が浸透気化膜装置の一般的な運転温度である１２０℃であるかそれ以上である有機溶剤が挙げられる。このような有機溶剤の例を表１に示す。
【００１１】
【表１】
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【００１２】
図１は、本発明の一実施形態に係るＮＭＰ水溶液の精製システム１の概略構成図を示している。図中、ＣＷは冷却水を、ＢＲ１，ＢＲ２はブラインを、ＳＴは高温蒸気を意味する。
【００１３】
ＮＭＰは水に対して高い溶解度を有する有機溶剤の一つである。ＮＭＰは、例えば、リチウムイオン二次電池の製造工程において、電極活物質などの粒子を分散させたスラリーを電極集電体上に塗布し乾燥させて電極を形成する際に、スラリーの分散媒として広く用いられている。スラリーを乾燥させる際にＮＭＰが回収され、回収されたＮＭＰは精製した後に再利用することができる。ＮＭＰは、例えば水スクラバーを用いて、ＮＭＰと水とが混合した混合液（ＮＭＰ水溶液）として回収される。回収されたＮＭＰ水溶液におけるＮＭＰ濃度は、７０〜９９重量％程度である。
【００１４】
ＮＭＰ水溶液の精製システム１は、ＮＭＰ水溶液から微粒子、溶存酸素、イオン成分等を除去する第１のサブシステム１００と、微粒子、溶存酸素、イオン成分等が除去されたＮＭＰ水溶液から浸透気化膜装置によって水分のほとんどを除去してＮＭＰ濃縮液を生成する第２のサブシステム２００と、ＮＭＰ濃縮液を蒸留してＮＭＰ精製液を生成する第３のサブシステム３００と、を有している。以下、個々のサブシステムの構成を説明する。
【００１５】
（第１のサブシステム１００）
第１のサブシステム１００は、上述のようにして回収された処理対象のＮＭＰ水溶液を受け入れる受入部１０１を有している。ＮＭＰ水溶液は、水スクラバーなどのＮＭＰ回収手段（図示せず）と接続された第１のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０１によって、受入部１０１に供給される。受入部１０１は複数の容器（第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃ）を有し、これらの容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃは精製システム１に供給されるＮＭＰ水溶液の原液の受け入れ、分析、移送などの目的に応じて切替え可能とされている。分析の結果問題がなければ、ＮＭＰ水溶液は後段に移送されて精製処理を受け、精製処理に適さない場合は廃液槽（図示せず）に移送される。受入部１０１は第２のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０２を介して、ＮＭＰ水溶液に含まれる微粒子を除去する第１の精密ろ過膜装置１０２と接続されている。第２のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０２上にはＮＭＰ水溶液を圧送するポンプ１０７が設けられている。第１の精密ろ過膜装置１０２は膜脱気装置１０３（後述）の上流に設けられているが、膜脱気装置１０３の下流、すなわち膜脱気装置１０３とイオン交換装置１０４（後述）との間に設けられてもよく、あるいは、膜脱気装置１０３の上流と、膜脱気装置１０３とイオン交換装置１０４との間の両方に設けられてもよい。
【００１６】
第１の精密ろ過膜装置１０２は第３のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０３を介して、ＮＭＰ水溶液の溶存酸素を除去する膜脱気装置１０３と接続されている。後述するように、ＮＭＰ水溶液は浸透気化膜装置２０１に導入される前に１２０℃程度まで加熱される。１２０℃程度まで加熱されたＮＭＰ水溶液では、ＮＭＰ水溶液中に含まれる溶存酸素が過酸化水素になり、この過酸化水素がＮＭＰを酸化させ、劣化させる可能性がある。予めＮＭＰ水溶液中の溶存酸素を除去することによって、ＮＭＰの酸化を抑制することができる。溶存酸素の濃度を監視するため、膜脱気装置１０３の入口ラインＬ１０３と出口ラインＬ１０４には溶存酸素計（図示せず）が設けられている。また、膜脱気装置１０３の入口ラインＬ１０３には水分濃度計と比抵抗計（ともに図示せず）が設けられている。受入部１０１の下流のポンプ１０７と第１の精密ろ過膜装置１０２との間にはヒータ１０８が設けられている。ヒータ１０８には高温蒸気が供給され、高温蒸気によってＮＭＰ水溶液を加熱する。蒸気配管には高温蒸気の流量を調整する流量調整弁Ｖ１０３が設けられている。
【００１７】
膜脱気装置１０３の脱気膜は、ポリオレフィン、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、ポリウレタン、エポキシ樹脂などから形成することができる。ＮＭＰは一部の有機材料を溶解させる性質があるため、脱気膜はポリオレフィン、ＰＴＦＥまたはＰＦＡで形成することが好ましい。脱気膜は非多孔性であることが好ましい。中空糸状の脱気膜の内部を流れるＮＭＰ水溶液の溶存酸素が、真空ポンプ１０９によって負圧にされた脱気膜の外部に移動することによって、脱気、すなわち溶存酸素の除去が行われる。なお、脱気膜の外側（ガス透過側）に窒素ガス等の不活性ガスをスウィープして酸素分圧を下げてもよく、真空法とスウィープ法を併用してもよい。
【００１８】
膜脱気装置１０３は第４のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０４を介して、ＮＭＰ水溶液のイオン成分を除去するイオン交換装置１０４と接続されている。イオン交換装置１０４にはアニオン交換樹脂もしくはカチオン交換樹脂が単床で、または、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂が混床もしくは複層床で充填されている。なお、イオン交換樹脂の種類は、ゲル型、ＭＲ型のいずれでもよい。イオン交換装置１０４は第５のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０５を介して第２の精密ろ過膜装置１０５と接続されている。第２の精密ろ過膜装置１０５はイオン交換装置１０４から流出する可能性のある樹脂を捕捉し、樹脂の下流への流出を防止する。第２の精密ろ過膜装置１０５は第６のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０６を介して、１次処理液槽１０６と接続されている。１次処理液槽１０６は、第１の精密ろ過膜装置１０２、膜脱気装置１０３、イオン交換装置１０４及び第２の精密ろ過膜装置１０５で処理されたＮＭＰ水溶液を受け入れ、受け入れたＮＭＰ水溶液を浸透気化膜装置２０１に供給する。以下、１次処理液槽１０６に貯留され、浸透気化膜装置２０１に供給されるＮＭＰ水溶液を１次処理液という場合がある。
【００１９】
イオン交換装置１０４の入口ラインＬ１０４と出口ラインＬ１０５には比抵抗計（図示せず）が設けられている。イオン交換装置１０４で処理されたＮＭＰ水溶液の比抵抗が所定の値より小さい場合、すなわちイオン成分が十分に除去されないときは、イオン交換装置１０４を通るループに沿ってＮＭＰ水溶液を循環させることができる。具体的には、第５のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０５から分岐して受入部１０１に接続された戻りラインＬ１０７が設けられている。通常は第５のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０５の弁Ｖ１０１が開けられ、戻りラインＬ１０７の弁Ｖ１０２が閉じられているが、ＮＭＰ水溶液の比抵抗が所定の値より小さい場合は第５のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０５の弁Ｖ１０１を閉じ、戻りラインＬ１０７の弁Ｖ１０２を開く。これによって、受入部１０１、第１の精密ろ過膜装置１０２、膜脱気装置１０３、イオン交換装置１０４を通る循環ループが形成される。ＮＭＰ水溶液がこの循環ループに沿って流れることで、ＮＭＰ水溶液に含まれるイオン成分が十分に除去される。
【００２０】
なお、前述の膜脱気装置１０３で処理されたＮＭＰ水溶液の溶存酸素が所定の値より大きい場合、すなわち溶存酸素が十分に除去されないときも、前述のイオン交換装置１０４を通るループに沿ってＮＭＰ水溶液を循環させることができる。これにより、ＮＭＰ水溶液に含まれる溶存酸素も十分に除去される。
【００２１】
（第２のサブシステム２００）
微粒子と溶存酸素とイオン成分が除去され１次処理液槽１０６に貯蔵された１次処理液は次に第２のサブシステム２００に供給され、ほとんどの水分が除去されたＮＭＰ濃縮液が生成される。１次処理液槽１０６は第７のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ２０１を介して、浸透気化膜装置２０１に接続されている。第７のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ２０１にはポンプ２２４と弁Ｖ２０１が設けられている。第７のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ２０１には外部蒸気を用いた第１のヒータ２０５と、第１のヒータ２０５の上流（一次側）に位置する廃熱回収熱交換器２０６と、が設置されており、これらの第１のヒータ２０５及び廃熱回収熱交換器２０６によってＮＭＰ水溶液は１２０℃程度まで加熱される。浸透気化膜装置２０１に供給されるＮＭＰ水溶液を１２０℃程度まで加熱することで、浸透気化膜装置２０１の脱水性能を高めることができる。廃熱回収熱交換器２０６は、第７のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ２０１を流れるＮＭＰ水溶液と、ＮＭＰ濃縮液排出ラインＬ２０４を流れるＮＭＰ濃縮液との間で熱交換を行う。第１のヒータ２０５は外部の蒸気源（図示せず）から供給される高温蒸気によってＮＭＰ水溶液を加熱する。第１のヒータ２０５の蒸気供給ラインには蒸気供給量を調整するための弁Ｖ２０２が設けられている。第１のヒータ２０５の下流には温度警報表示器２２３が設けられている。温度警報表示器２２３で検出された温度に基づき弁Ｖ２０２の開度が調整され、ＮＭＰ水溶液の温度が１２０℃程度に制御される。第７のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ２０１の廃熱回収熱交換器２０６の上流には流量警報表示器２２５が設けられている。流量警報表示器２２５で検出された流量に基づき弁Ｖ２０１の開度が調整され、ＮＭＰ水溶液の流量が所定の範囲内に制御される。
【００２２】
浸透気化膜装置２０１は直列に接続された複数の浸透気化膜モジュール２０２〜２０４を有している。本実施形態では３台の浸透気化膜モジュール、すなわち上流から下流に向けて第１の浸透気化膜モジュール２０２、第２の浸透気化膜モジュール２０３、第３の浸透気化膜モジュール２０４が直列に接続されているが、台数は３台に限定されない。第１の浸透気化膜モジュール２０２は第１の接続ラインＬ２０２を介して第２の浸透気化膜モジュール２０３に接続されている。第２の浸透気化膜モジュール２０３は第２の接続ラインＬ２０３を介して第３の浸透気化膜モジュール２０４に接続されている。第１〜第３の浸透気化膜装置２０２，２０３，２０４は分離膜（浸透気化膜）２０２ｃ、２０３ｃ、２０４ｃによって、上流側の濃縮室２０２ａ，２０３ａ，２０４ａと下流側の透過室２０２ｂ，２０３ｂ，２０４ｂとに区画されている。分離膜２０２ｃ，２０３ｃ，２０４ｃは水に対する親和性を有しているため、水をＮＭＰよりも大きな透過速度で分離膜２０２ｃ，２０３ｃ，２０４ｃを透過させる。透過室２０２ｂ，２０３ｂ，２０４ｂ側を負圧とすることで、透過速度の大きい水が透過速度の小さい少量のＮＭＰともに蒸気（気相）の形態で透過室２０２ｂ，２０３ｂ，２０４ｂに移動し、ほとんどのＮＭＰは濃縮室２０２ａ，２０３ａ，２０４ａに残存する。この原理を用いてＮＭＰ水溶液から水分の一部が除去され、ＮＭＰ水溶液の濃縮液が生成される。第３の浸透気化膜モジュール２０４の出口では、ＮＭＰ濃度が９９．９９％程度まで高められたＮＭＰ濃縮液（水分は０．０１％未満）が得られる。
【００２３】
ＮＭＰ水溶液は第１〜第３の浸透気化膜モジュール２０２，２０３，２０４を順次流通し、徐々にＮＭＰ水溶液中の水分が除去される。水分の除去効率を維持するため、第１の接続ラインＬ２０２と第２の接続ラインＬ２０３にはそれぞれ、第２のヒータ２０７と第３のヒータ２０８が設けられている。第２及び第３のヒータ２０７，２０８は第１のヒータ２０５と同様、熱交換器であり、外部の蒸気源から供給される高温蒸気によってＮＭＰ水溶液を１２０℃程度まで加熱する。第２及び第３のヒータ２０７，２０８の蒸気供給ラインにはそれぞれ、蒸気供給量を調整するための弁Ｖ２０３，Ｖ２０４が設けられている。第３の浸透気化膜モジュール２０４から排出されたＮＭＰ濃縮水はＮＭＰ濃縮液排出ラインＬ２０４を通って第３のサブシステム３００の中継槽３０１に供給される。上述のように、ＮＭＰ濃縮液排出ラインＬ２０４を流れるＮＭＰ濃縮液は、廃熱回収式熱交換器２０６によって、第７のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ２０１を流れるＮＭＰ水溶液との間で熱交換を行い、ＮＭＰ水溶液を予熱する。
【００２４】
ＮＭＰ濃縮液排出ラインＬ２０４から分岐して１次処理液槽１０６に接続されるＮＭＰ濃縮液の戻りラインＬ２１５が設けられている。通常はＮＭＰ濃縮液排出ラインＬ２０４の弁Ｖ２０５が開かれ、戻りラインＬ２１５の弁Ｖ２０６が閉じられ、ＮＭＰ濃縮液は中継槽３０１に供給される。一方、中継槽３０１にＮＭＰ濃縮液を供給できない場合などは弁Ｖ２０５が閉じられ、弁Ｖ２０６が開かれて、ＮＭＰ濃縮液が１次処理液槽１０６に戻される。なお、ＮＭＰ濃縮液を１次処理液槽１０６に返送する場合は、戻りラインＬ２１５に設けられた冷却器２２６によって、ＮＭＰ濃縮液の温度がＮＭＰ水溶液（１次処理液）の温度と同程度になるように冷却水により冷却する。
【００２５】
第１〜第３の浸透気化膜モジュール２０２，２０３，２０４の透過室２０２ｂ，２０３ｂ，２０４ｂはそれぞれ第１〜第３の透過液排出ラインＬ２０６，Ｌ２０９，Ｌ２１２によって第１〜第３の透過液タンク２１４，２１５，２１６に接続されている。第１〜第３の透過液タンク２１４，２１５，２１６の上部には、透過室２０１ｂ，２０２ｂ，２０３ｂに負圧を印加し、透過室２０１ｂ，２０２ｂ，２０３ｂの内部を負圧に維持可能な第１〜第３の真空ポンプ２１７，２１８，２１９が設けられている。気相の水と少量のＮＭＰは冷却水またはブラインによって凝縮され、透過液となって第１〜第３の透過液タンク２１４，２１５，２１６の底部に収集される。第１〜第３の透過液タンク２１４，２１５，２１６は透過液を一時的に貯蔵することができる。具体的には、冷却水ＣＷ及びブラインＢＲ１，ＢＲ２はそれぞれ、第１〜第３の透過液タンク２１４，２１５，２１６の周囲を覆う冷却ジャケット（図示せず）を流れて気相の水及びＮＭＰを保冷し、さらに冷却ラインＬ２０７，Ｌ２１０、Ｌ２１３を通って、第１〜第３の透過液排出ラインＬ２０６，Ｌ２０９，Ｌ２１２に設けられた第１〜第３の熱交換器２１１，２１２，２１３に供給され、気相の水及びＮＭＰを凝縮する。ブラインＢＲ１，ＢＲ２の温度は０〜−２０℃程度が好ましい。
【００２６】
第１〜第３の熱交換器２１１，２１２，２１３はそれぞれ、第１〜第３の透過液排出ラインＬ２０６，Ｌ２０９，Ｌ２１２を介して第１〜第３の浸透気化膜モジュール２０２，２０３，２０４の透過室２０２ｂ，２０３ｂ，２０４ｂと連通している。第１〜第３の熱交換器２１１，２１２，２１３は、透過室２０２ｂ，２０３ｂ，２０４ｂに透過した透過蒸気を冷却し、凝縮して、透過液を生成する冷却器である。透過室２０２ｂ，２０３ｂ，２０４ｂは第１〜第３の熱交換器２１１，２１２，２１３の下流で第１〜第３の透過液タンク２１４，２１５，２１６と連通している。
【００２７】
第１〜第３の透過液タンク２１４，２１５，２１６の底部にはそれぞれ第１〜第３の透過水排出ラインＬ２０８，Ｌ２１１，Ｌ２１４が接続されている。第１〜第３の透過液タンク２１４，２１５，２１６の上部にはそれぞれ、後述する不活性ガス供給母管Ｌ４０１から分岐した不活性ガス供給ラインＬ４０６Ａ，４０６Ｂ，４０６Ｃが接続されている。凝縮された水と少量のＮＭＰは第１〜第３の透過液タンク２１４，２１５，２１６に一時的に貯蔵され、不活性ガス供給ラインＬ４０６Ａ，４０６Ｂ，４０６Ｃから供給される不活性ガスで第１〜第３の透過液タンク２１４，２１５，２１６の内部を加圧することによって、第１〜第３の透過液タンク２１４，２１５，２１６から排出される。第１の透過液タンク２１４から排出された透過水は廃液槽に排出され、第２〜第３の透過液タンク２１５，２１６から排出された透過水は後述するように再利用される。
【００２８】
第１の透過液タンク２１４に収集された気相の水と少量のＮＭＰを冷却した冷却水ＣＷは第１の冷却水排出ラインＬ２２０に排出される。第１の冷却水排出ラインＬ２２０を流れる冷却水の一部は、第１の冷却水排出ラインＬ２２０から分岐した冷却水排出ラインＬ２２１を通って、第２の透過水排出ラインＬ２１１に設けられた熱交換器２２０に供給され、第２の透過水排出ラインＬ２１１を流れるＮＭＰを含む透過水を加熱する。冷却水の残りは、第３の透過水排出ラインＬ２１４に設けられた熱交換器２２１に供給され、第３の透過水排出ラインＬ２１４を流れるＮＭＰを含む透過水を加熱する。第２及び第３の透過水排出ラインＬ２１１，Ｌ２１４の熱交換器２２０，２２１の下流には水分濃度、流量などを計測する計測器２２２，２２３が設けられている。
【００２９】
最上流の浸透気化膜モジュール、すなわち第１の浸透気化膜モジュール２０２はＣＨＡ型、Ｔ型、Ｙ型またはＭＯＲ型のゼオライトからなる浸透気化膜２０２ｃを有している。最上流の浸透気化膜モジュール以外の浸透気化膜モジュール、すなわち第２及び第３の浸透気化膜モジュール２０３，２０４はＡ型ゼオライトからなる浸透気化膜２０３ｃ，２０４ｃを有している。Ａ型ゼオライトは、比較的安価で脱水性能が高いものの、水分濃度が高いＮＭＰ水溶液を処理する場合に、リークや性能低下が生じやすい。これに対し、Ａ型以外のゼオライトは上述の環境でより長期間性能を保持することができる。このため、１０〜２０重量％の水を含有するＮＭＰ水溶液を処理する第１の浸透気化膜モジュール２０２の浸透気化膜２０２ｃはＣＨＡ型、Ｔ型、Ｙ型またはＭＯＲ型のゼオライトを用い、水分含有量の少ないＮＭＰ水溶液を処理する第２及び第３の浸透気化膜モジュール２０３，２０４の浸透気化膜２０３ｃ，２０４ｃはＡ型ゼオライトを用いている。なお、第１の浸透気化膜モジュール２０２を構成する複数の浸透気化膜のすべてがＣＨＡ型、Ｔ型、Ｙ型またはＭＯＲ型のゼオライトからなっている必要はなく、一部の膜がＡ型ゼオライトからなっていてもよい。
【００３０】
第３の透過液排出ラインＬ２１２には冷却器２０９とメカニカルブースターポンプ２１０が設けられている。冷却器２０９は第３の浸透気化膜モジュール２０４から排出された透過液を予冷する。メカニカルブースターポンプ２１０および冷却器２０９は第３の浸透気化膜モジュール２０４の透過室２０４ｂに大きな負圧を印加するために設けられている。第３の浸透気化膜モジュール２０４に供給されるＮＭＰ水溶液の水分含有量は非常に少ないため、第３の真空ポンプ２１９に加えてメカニカルブースターポンプ２１０で十分な負圧を印加することで、水をＮＭＰ水溶液から効率的に分離することができる。冷却器２０９及びメカニカルブースターポンプ２１０は省略することができる。また、冷却器２０９とメカニカルブースターポンプ２１０との間に、冷却器２０９で凝縮された透過水を貯留するためのポッド（図示せず）を設けることもできる。
【００３１】
第２及び第３の浸透気化膜モジュール２０３，２０４の透過液は浸透気化膜装置２０１の上流側に回収される。具体的には第２及び第３の透過液排出ラインＬ２１１，Ｌ２１４は透過液回収ラインＬ２０５に接続され、透過液回収ラインＬ２０５は１次処理液槽１０６に接続されている。第２及び第３の透過液排出ラインＬ２１１，Ｌ２１４から排出される透過液は第１の透過液排出ラインＬ２０８から排出される透過液と比べＮＭＰの含有量が高いため、これを回収することで、ＮＭＰの回収率を高めることができる。透過液が回収される浸透気化膜モジュールは第２及び第３の浸透気化膜モジュール２０３，２０４に限定されず、少なくとも最下流の浸透気化膜モジュール（第３の浸透気化膜モジュール２０４）の透過液が浸透気化膜装置２０１の上流側に回収されればよい。透過液は受入部１０１に回収してもよく、透過液回収ラインＬ２０５に分岐ライン（図示せず）を設けることによって、１次処理液槽１０６と受入部１０１とに選択的に回収してもよい。
【００３２】
（第３のサブシステム３００）
第２のサブシステム２００で生成されたＮＭＰ濃縮液は、ほとんどの水分が除去されている。しかし、ＮＭＰ濃縮液は色度成分や浸透気化膜モジュールから溶出した浸透気化膜２０２ｃ，２０３ｃ，２０４ｃの微粒子およびイオン成分をわずかに含むため、さらに浸透気化膜装置２０１の下流に位置する第３のサブシステム３００で蒸留されてＮＭＰ精製液が生成される。第３のサブシステム３００はＮＭＰ濃縮液を蒸留し凝縮することによってＮＭＰの精製液を生成することから、ＮＭＰ濃縮液の蒸留精製装置として機能する。なお、以下に述べる第３のサブシステム３００は単蒸留方式を用いているが、ＮＭＰ濃縮液を蒸留することが可能な限り蒸留方法は限定されない。例えば、精密蒸留方式を用いることもできる。ただし、エネルギー消費が少ないこと、装置サイズが小さいこと、操作が簡単であることなどの理由から単蒸留方式が好ましい。また、単蒸留方式の中でも、本実施形態で用いている減圧単蒸留方式は熱劣化を防止できる観点から特に望ましい。
【００３３】
前述のように、ＮＭＰ濃縮液は一旦中継槽３０１に貯留される。第３のサブシステム３００は第２のサブシステム２００から独立したサブシステムであり、例えば、第２のサブシステム２００の運転中に第３のサブシステム３００の運転を一時的に停止するといった運用がなされることがある。このため、中継槽３０１を設けることで、第２のサブシステム２００と第３のサブシステム３００を、互いの独立性を維持しながらより弾力的に運用することが可能となる。中継槽３０１は第１のＮＭＰ濃縮液供給ラインＬ３０１を介して再生器３０２に接続されている。第１のＮＭＰ濃縮液供給ラインＬ３０１にはポンプ３０６と弁Ｖ３０１が設けられている。再生器３０２は熱交換器であり、後述する蒸発缶３０３で蒸発したＮＭＰ濃縮液（以下、ＮＭＰ精製ガスという）との間で熱交換を行う。これによって、蒸発缶３０３の熱負荷を低減することができる。再生器３０２は第２のＮＭＰ濃縮液供給ラインＬ３０２を介して蒸発缶３０３に接続されている。蒸発缶３０３は外部の蒸気源（図示せず）から供給される高温蒸気によってＮＭＰ濃縮液を加熱し蒸発させる。蒸発缶３０３の蒸気供給ラインには蒸気供給量を調整するための弁Ｖ３０２が設けられている。蒸発缶３０３の底部には高温の液相のＮＭＰ濃縮液が滞留し、その上部に微粒子が除去された気相のＮＭＰ精製ガスが形成される。液相のＮＭＰ濃縮液に含まれる色度成分も蒸発しにくいため、蒸発缶３０３の底部に蓄積される。なお、本実施形態における蒸発缶３０３としては、液膜流下式の蒸発缶を例に挙げて以下に説明するが、液膜流下式以外の蒸発缶、例えばフラッシュ式、カランドリア式などの蒸発缶を用いてもよい。蒸発缶３０３の底部と頂部には循環ラインＬ３０３が接続されており、蒸発缶３０３を含む循環経路が循環ラインＬ３０３によって形成されている。循環経路上では、液相のＮＭＰ濃縮液を取り出して蒸発缶３０３に戻し、液膜流下にて再度加熱するサイクルが繰り返される。蒸気取り出し缶３０４（後述）の底部には、循環ラインＬ３０３と合流するＮＭＰ濃縮液取り出しラインＬ３０６が設けられている。蒸気取り出し缶３０４の底部に滞留するＮＭＰ濃縮液も、ＮＭＰ濃縮液取り出しラインＬ３０６と循環ラインＬ３０３を通って蒸発缶３０３に戻され、再度加熱される。循環ラインＬ３０３には循環ポンプ３０７と弁Ｖ３０３が設けられている。循環ラインＬ３０３からは、弁Ｖ３０４が設けられたＮＭＰ濃縮液の不純物排出ラインＬ３０９が分岐している。
【００３４】
蒸発缶３０３のＮＭＰ精製ガスは蒸発缶３０３の気相部から取り出され、第１のＮＭＰ精製ガス取り出しラインＬ３０４によって蒸気取り出し缶３０４に取り出される。蒸気取り出し缶３０４は第２のＮＭＰ精製ガス取り出しラインＬ３０５を介して再生器３０２と接続されている。ＮＭＰ精製ガスの熱は再生器３０２で液相のＮＭＰ濃縮液と熱交換される。再生器３０２を出たＮＭＰ精製ガスはさらに第３のＮＭＰ精製ガス取り出しラインＬ３０７によってコンデンサ３０５に導入され、冷却水ＣＷによって凝縮されてＮＭＰ精製液となる。コンデンサ３０５の内部では底部にＮＭＰ精製液が貯留され、その上はＮＭＰ精製ガスからなる気相部となっている。コンデンサ３０５の気相部は、負圧ラインＬ３１０によって真空ポンプ３０９と連通しており、コンデンサ３０５の気相部は真空ポンプ３０９によって負圧にされる。蒸発缶３０３を含む第３のサブシステム３００の気相部も真空ポンプ３０９によって負圧にされ、蒸発缶３０３において減圧蒸発が行われる。これによって、ＮＭＰ濃縮液の蒸発が促進される。負圧ラインＬ３１０のコンデンサ３０５と真空ポンプ３０９との間にはガスクーラ３１０が設けられ、コンデンサ３０５から真空ポンプ３０９に排出される、ＮＭＰ精製ガスを含む気体が冷却される。コンデンサ３０５の冷却水はコンデンサ３０５と接続された冷却水排水ラインＬ３１１に排出される。冷却水排水ラインＬ３１１には熱交換器３１１が設けられており、不純物排出ラインＬ３０９を流れるＮＭＰ濃縮液が、排出される前に熱交換器３１１で冷却される。
【００３５】
コンデンサ３０５の出口にはＮＭＰ精製液取り出し配管Ｌ３０８が接続されている。ＮＭＰ精製液は、ＮＭＰ精製液取り出し配管Ｌ３０８に設けられたポンプ３０８によって、払出し部３１１に送られる。払出し部３１１は受入部１０１と同様、複数の容器（第１〜第３の容器３１１ａ，３１１ｂ，３１１ｃ）を有し、これらの容器３１１ａ，３１１ｂ，３１１ｃは精製システム１から払い出されるＮＭＰ精製液の受け入れ、分析、移送などの目的に応じて切替え可能とされている。分析の結果問題がなければ、ＮＭＰ精製液は排出ラインＬ３１２を通ってリチウムイオン二次電池の製造システムに移送され、当該製造システムで再利用される。問題がある場合は、ＮＭＰ精製液は廃液槽（図示せず）に移送される。
【００３６】
（不活性ガス供給手段）
本実施形態のＮＭＰ水溶液の精製システム１はさらに、容器の気相部を不活性ガスで充填する不活性ガス供給手段を備えている。上述のように、浸透気化膜装置２０１の上流及び下流にはＮＭＰ水溶液、ＮＭＰ濃縮液またはＮＭＰ精製液が貯留される様々な容器が設けられている。これらの容器のいくつかは、内部にＮＭＰ水溶液、ＮＭＰ濃縮液またはＮＭＰ精製液と、気相部との界面が形成される。この条件を満たす容器として以下が挙げられる。
【００３７】
（１）ＮＭＰ水溶液の受入部１０１の第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃ
（２）１次処理液槽１０６
（３）中継槽３０１
（４）再生器３０２
（５）蒸発缶３０３
（６）蒸気取り出し缶３０４
（７）コンデンサ３０５
（８）ＮＭＰ精製液の払出し部３１１の第１〜第３の容器３１１ａ，３１１ｂ，３１１ｃ
従来の容器（不活性ガス供給手段に関する以下の記載では、容器は容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃ，１０６，３０１〜３０５，３１１ａ，３１１ｂ，３１１ｃを意味する）の気相部は空気で形成されていた。しかし、発明者はこれらの容器に空気が充填されている場合、ＮＭＰが気相部の空気と結合して、ＮＭＰの過酸化物（ＮＭＰ−Ｏ−Ｏ−Ｈ；５−ハイドロパーオキソ−１−メチル−２−ピロリドン）が生成されることを見出した。ＮＭＰの過酸化物は蓄積されると爆発の可能性がある。そこで、本実施形態ではこれらの容器に不活性ガス供給手段を設けている。不活性ガスとしては窒素ガスが好ましく、アルゴンガスを用いることもできる。不活性ガス供給手段は以下に述べる不活性ガス供給母管Ｌ４０１と、母管Ｌ４０１から分岐し各容器に不活性ガスを供給する不活性ガス供給ラインと、各不活性ガス供給ライン上に設置されたガスシールユニット、とから構成される。
【００３８】
具体的には不活性ガスの供給源（図示せず）に不活性ガス供給母管Ｌ４０１が接続され、不活性ガス供給母管Ｌ４０１と受入部１０１、１次処理液槽１０６、中継槽３０１、払出し部３１１がそれぞれ不活性ガス供給ラインＬ４０２，Ｌ４０３，Ｌ４０４，Ｌ４０７で接続されている。不活性ガス供給ラインＬ４０２，Ｌ４０３，Ｌ４０４，Ｌ４０７は容器の頂部に接続されている。不活性ガス供給ラインＬ４０２，Ｌ４０３，Ｌ４０４，Ｌ４０７にはそれぞれガスシールユニットＵ４０２，Ｕ４０３，Ｕ４０４，Ｕ４０５が設けられている。さらに、コンデンサ３０５（より正確にはガスクーラ３１０）と真空ポンプ３０９との間の負圧ラインＬ３１０にスウィープ用の不活性ガス供給ラインＬ４０５が接続されている。不活性ガスは不活性ガス供給ラインＬ４０５からコンデンサ３０５に供給され、さらにラインＬ３０７，Ｌ３０２，Ｌ３０４，Ｌ３０５を通って再生器３０２、蒸発缶３０３及び蒸気取り出し缶３０４にも不活性ガスが供給される。図示は省略するが、再生器３０２、蒸発缶３０３、蒸気取り出し缶３０４にも、同様の真空ポンプとスウィープ用の不活性ガス供給ラインを設けることができる。
【００３９】
不活性ガスはＮＭＰ水溶液の精製システム１が最初に稼動する際に容器に充填される。このとき、容器の内部は空気で満たされているため、ガスシールユニットＵ４０２，Ｕ４０３，Ｕ４０４，Ｕ４０５を通して不活性ガスを容器に送り込み、容器の内部の空気を強制的に不活性ガスに置換する。ガスシールユニットＵ４０２，Ｕ４０３，Ｕ４０４，Ｕ４０５は、下流側の容器の圧力が低下すると自動的に開き、不活性ガスを容器に充填するようにされている。従って、容器内のＮＭＰ水溶液、ＮＭＰ濃縮液及びＮＭＰ精製液の量が低下すると容器の圧力が下がり、ガスシールユニットＵ４０２，Ｕ４０３，Ｕ４０４，Ｕ４０５を介して不活性ガスが容器に補充される。他のガスシールユニットについても同様である。
【００４０】
容器に不活性ガスを充填することで、ＮＭＰ過酸化物の爆発の可能性を低減できるだけでなく、容器内のＮＭＰ水溶液、ＮＭＰ濃縮液及びＮＭＰ精製液に溶け込む水分量および溶存酸素量を抑えることができる。この結果、浸透気化膜モジュールの負荷を軽減することができる。また、容器内に酸素がほとんど存在しないため、ＮＭＰ水溶液、ＮＭＰ濃縮液及びＮＭＰ精製液の酸化を防止する効果も得られる。
【００４１】
（分析装置）
次に、ＮＭＰ水溶液の精製システムの分析装置について説明する。分析装置は受入部１０１と払出し部３１１の分析機能に着目した別称である。本実施形態では受入部１０１に対応する分析装置１０１と、払出し部３１１に対応する分析装置３１１とを備えており、両者は同じ構成を有している。受入部１０１に対応する分析装置と払出し部３１１に対応する分析装置のいずれかだけが設けられてもよい。また、受入部１０１に対応する分析装置と払出し部３１１に対応する分析装置が互いに異なる実施形態で構成されてもよい。各実施形態の分析装置は、ＮＭＰ精製システムが受け入れるＮＭＰ水溶液、またはＮＭＰ精製システムから払い出されるＮＭＰ精製液を分析対象液として分析する。しかし、分析対象液はＮＭＰ水溶液及びＮＭＰ精製液に限らず、有機溶剤と水とを含む混合液の精製システムが受け入れる混合液、または当該精製システムから払い出される精製された有機溶剤であってもよい。具体的な有機溶剤の種類は前述のとおりである。
【００４２】
（第１の実施形態）
図２を参照して、本発明の第１の実施形態に係る分析装置について説明する。本実施形態では受入部１０１に対応する分析装置１０１を例に説明する。分析装置は、分析対象液であるＮＭＰ水溶液を貯留可能な第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃを有している。第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃは同じ形状及び同じ容量を有している。後述するように、第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃには低品質のＮＭＰ水溶液が供給される可能性があるため、底部が円錐形の形状等、洗浄のしやすい形状であることが好ましい。有害なＮＭＰを貯蔵するため、第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃはタンクなどの密閉可能な容器で構成されている。第１のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０１から第１〜第３の個別供給ラインＬ５０１ａ，Ｌ５０１ｂ，Ｌ５０１ｃが分岐しており、第１〜第３の個別供給ラインＬ５０１ａ，Ｌ５０１ｂ，Ｌ５０１ｃがそれぞれ第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃに接続されている。第１〜第３の個別供給ラインＬ５０１ａ，Ｌ５０１ｂ，Ｌ５０１ｃにはそれぞれ弁Ｖ５０１ａ、Ｖ５０１ｂ，Ｖ５０１ｃが設けられている。従って、分析対象液の供給ラインである第１のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０１は、第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃに切り替え可能に接続されている。また、第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃに第１〜第３の個別排出ラインＬ５０５ａ，Ｌ５０５ｂ，Ｌ５０５ｃがそれぞれ接続されている。第１〜第３の個別排出ラインＬ５０５ａ，Ｌ５０５ｂ，Ｌ５０５ｃは第２のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０２に合流しており、個別排出ラインＬ５０５ａ，Ｌ５０５ｂ，Ｌ５０５ｃにはそれぞれ弁Ｖ５０２ａ、Ｖ５０２ｂ，Ｖ５０２ｃが設けられている。従って、分析終了液の排出ラインである第２のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０２は、第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃに切り替え可能に接続されている。
【００４３】
第１の容器１０１ａは、ラインＬ５０３−１，Ｌ５０３−２，Ｌ５０４ａ，Ｌ５０５ａ，Ｌ５０３−３からなる第１の循環ラインと共に分析対象液の第１の循環経路を形成する。ラインＬ５０４ａとラインＬ５０５ａにはそれぞれ弁Ｖ５０３ａ，Ｖ５０４ａが設けられている。第１の循環経路は第１の容器１０１ａと第１の循環ラインからなる。同様に、第２の容器１０１ｂは、ラインＬ５０３−１，Ｌ５０３−２，Ｌ５０４ｂ，Ｌ５０５ｂ，Ｌ５０３−３からなる第２の循環ラインと共に分析対象液の第２の循環経路を形成する。ラインＬ５０４ｂとラインＬ５０５ｂにはそれぞれ弁Ｖ５０３ｂ，Ｖ５０４ｂが設けられている。第２の循環経路は第２の容器１０１ｂと第２の循環ラインからなる。同様に、第３の容器１０１ｃは、ラインＬ５０３−１，Ｌ５０４ｃ，Ｌ５０５ｃからなる第３の循環ラインと共に分析対象液の第３の循環経路を形成する。ラインＬ５０４ｃとラインＬ５０５ｃにはそれぞれ弁Ｖ５０３ｃ，Ｖ５０４ｃが設けられている。第３の循環経路は第３の容器１０１ｃと第３の循環ラインからなる。ラインＬ５０３−１〜Ｌ５０３−３，Ｌ５０４ａ〜Ｌ５０４ｃ，Ｌ５０５ａ〜Ｌ５０５ｃは第１の循環ラインと、第２の循環ラインと、第３の循環ラインとに選択的に切り替え可能な循環ライン形成手段を構成する。第１〜第３の循環経路に共通する流路であるラインＬ５０３−１には循環経路の分析対象液を循環させる循環ポンプ５０４が設けられている。
【００４４】
第１〜第３の循環経路には、第１〜第３の循環経路内の分析対象液を分析する分析手段が設けられている。分析手段はサンプリング点５０５、水分濃度を測定する水分濃度計５０６、導電率（比抵抗）を測定する導電率計（比抵抗計）５０７を含んでいる。サンプリング点５０５はラインＬ５０３−１から分岐するサンプリングラインＬ５０６の端部に設けられ、弁Ｖ５０５を開けることによって試料を採取することができる。試料から分析対象液の純度や色度を測定することができる。水分濃度計５０６と導電率計５０７はインライン方式で設けられ、それぞれ水分濃度と導電率を連続的に測定することができる。これらの分析手段５０５，５０６，５０７はラインＬ５０３−１に設けることが好ましい。それによって、分析手段５０５，５０６，５０７の数を最小化することができる。しかし、分析手段５０５，５０６，５０７は第１〜第３の循環経路のそれぞれにおいて任意の場所に設けることもできる。例えばサンプリングラインＬ５０６を第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのそれぞれに設けることも可能である。
【００４５】
第２のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０２のポンプ１０７の下流側から不良液移送ラインＬ５０７が分岐している。不良液移送ラインＬ５０７は不良液を貯留する不良液貯留容器５０２に接続されている。不良液貯留容器５０２は分析の結果不良とされたＮＭＰ水溶液を貯留する。第２のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０２の不良液移送ラインＬ５０７との分岐部の下流側には弁Ｖ５０６が、不良液移送ラインＬ５０７には弁５０７が設けられている。これらの弁Ｖ５０６，Ｖ５０７は第２のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０２と不良液移送ラインＬ５０７の切替手段を構成する。
【００４６】
第１の容器１０１ａの上部には第１の不活性ガス供給ラインＬ５１２ａが、第２の容器１０１ｂの上部には第２の不活性ガス供給ラインＬ５１２ｂが、第３の容器１０１ｃの上部には第３の不活性ガス供給ラインＬ５１２ｃが、それぞれ接続されている。第１〜第３の不活性ガス供給ラインＬ５１２ａ〜Ｌ５１２ｃは母管Ｌ５１１に接続され、母管Ｌ５１１には不活性ガスの供給手段である不活性ガス供給母管Ｌ４０１が、ガスシールユニットＵ４０２を介して接続されている。また、母管Ｌ５１１にはブローラインＬ５１３が接続されている。第１〜第３の不活性ガス供給ラインＬ５１２ａ〜Ｌ５１２ｃと、母管Ｌ５１１と、ブローラインＬ５１３は互いに連通している。従って、第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃの上部気相部は第１〜第３の不活性ガス供給ラインＬ５１２ａ〜Ｌ５１２ｃと母管Ｌ５１１を介して互いに連通している。
【００４７】
弁Ｖ５０１ａ〜Ｖ５０１ｃ，Ｖ５０２ａ〜Ｖ５０２ｃ，Ｖ５０３ａ〜Ｖ５０３ｃ，Ｖ５０４ａ〜Ｖ５０４ｃは、供給ラインである第１のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０１と、排出ラインである第２のＮＭＰ水溶液供給ラインＬ１０２と、循環ライン形成手段と、を切り替え可能な切替手段を構成する。図２では、弁Ｖ５０１ａ，Ｖ５０２ｃ，Ｖ５０３ｂ、Ｖ５０４ｂが開かれ，弁Ｖ５０１ｂ，Ｖ５０１ｃ，Ｖ５０２ａ，Ｖ５０２ｂ，Ｖ５０３ａ，Ｖ５０３ｃ、Ｖ５０４ａ，Ｖ５０４ｃが閉じられている。これによって、第１の容器１０１ａが受入れ容器として機能し、第２の容器１０１ｂが分析容器として機能し、第３の容器１０１ｃが分析終了液を貯留するとともに排出ラインに接続される移送容器として機能する。図３では、弁Ｖ５０１ｃ，Ｖ５０２ｂ，Ｖ５０３ａ、Ｖ５０４ａが開かれ，弁Ｖ５０１ａ，Ｖ５０１ｂ，Ｖ５０２ａ，Ｖ５０２ｃ，Ｖ５０３ｂ，Ｖ５０３ｃ、Ｖ５０４ｂ，Ｖ５０４ｃが閉じられている。これによって、第２の容器１０１ｂが受入れ容器として機能し、第３の容器１０１ｃが分析容器として機能し、第１の容器１０１ａが分析終了液を貯留するとともに排出ラインに接続される移送容器として機能する。図４では、弁Ｖ５０１ｂ，Ｖ５０２ａ，Ｖ５０３ｃ、Ｖ５０４ｃが開かれ，弁Ｖ５０１ａ，Ｖ５０１ｃ，Ｖ５０２ｂ，Ｖ５０２ｃ，Ｖ５０３ａ，Ｖ５０３ｂ、Ｖ５０４ａ，Ｖ５０４ｂが閉じられている。これによって、第３の容器１０１ｃが受入れ容器として機能し、第１の容器１０１ａが分析容器として機能し、第２の容器１０１ｂが分析終了液を貯留するとともに排出ラインに接続される移送容器として機能する。すなわち、切替手段を操作することによって、第１の容器１０１ａと第２の容器１０１ｂと第３の容器１０１ｃが受入れ容器、分析容器及び移送容器として交互に切り替わる。
【００４８】
これらの切り替えは時間と共に順次行われる。図５は第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃの切り替えパターンを模式的に示している。図２に示す状態ではＮＭＰ水溶液の受け入れが第１の容器１０１ａで行われ、分析が第２の容器１０１ｂを含む循環経路で行われる。すなわち、第１の容器１０１ａは受入れ容器として機能し、第２の容器１０１ｂは分析容器として機能する。分析は２つのステップを含む。最初のステップでは、第２の容器１０１ｂを含む循環経路を形成した後、一定時間、循環ポンプ５０４で循環経路内のＮＭＰ水溶液を流動させる。これによって、ＮＭＰ水溶液を攪拌・均一化させ、ＮＭＰ水溶液の濃度ムラを緩和し、分析精度を高めることができる。次のステップではＮＭＰ水溶液の性状を、分析手段５０５，５０６，５０７を用いて測定する。上述のように、水分濃度や導電率（比抵抗）はインライン方式によって測定できるため、分析は短時間で終了するが、純度や色度の分析はサンプリングで行う必要があるため、より多くの時間を要する。インライン方式で測定する水分濃度や導電率（比抵抗）については、ＮＭＰ水溶液が流動している状態で測定することが望ましいため、測定中も循環ポンプ５０４は稼動し続けることが好ましい。第３の容器１０１ｃには既に分析が終了したＮＭＰ水溶液が貯留されており、第３の容器１０１ｃからは下流側に一定流量でＮＭＰ水溶液が供給される。すなわち、第３の容器１０１ｃは移送容器として機能する。
【００４９】
第１の容器１０１ａがＮＭＰ水溶液で一杯になると、第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃの切り替え操作をおこなう。第１の容器１０１ａは分析容器となり、第２の容器１０１ｂは移送容器となり、第３の容器１０１ｃは受入れ容器となる。分析の結果所定の品質を満たしていないと判断されたＮＭＰ水溶液は、弁Ｖ５０７を開き、弁Ｖ５０６を閉じることにより、不良液貯留容器５０２に移送される。以上の切り替え操作によって図３に示す状態となり、ＮＭＰ水溶液の受け入れと分析と払出しが新たに開始される。受入れ容器として機能する第３の容器１０１ｃがＮＭＰ水溶液で一杯になると、図４に示すように、第１の容器１０１ａは移送容器となり、第２の容器１０１ｂは受入れ容器となり、第３の容器１０１ｃは分析容器となり、同様のプロセスが繰り返される。
【００５０】
第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃの容量は、受入量と分析に要する時間とを勘案して決定する。本実施形態では第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃの上流側に廃液受槽５０１が設けられており、廃液受槽５０１からＮＭＰ水溶液が供給されるため、一定流量での受入れが可能である。この場合、一定時間（例えば分析の所要時間）に受入れるＮＭＰ水溶液の量を第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃの容量とすることも可能である。しかし、廃液の発生量は変動する可能性があること、廃液受槽５０１が設けられない場合もあること、廃液がバッチ処理によって一気に受入れ容器に流入する可能性もあることなどを考慮すると、受入れ容器が一杯になった時点で切り替えを行うことが望ましい。分析は一定の時間を要するため、一定の時間を経過しないと分析容器の移送容器への切り替えはできないが、分析が終了した時点で受入れ容器が一杯になっていない場合は、受入れ容器が一杯になるまで待機させることができる。払出しについては、受入れ容器が一杯になったときに払出しが終わっていないと、移送容器の受入れ容器への切り替えができない。しかし、払出し流量の調整はポンプ１０７の制御によって可能であること、精製システムの処理容量は受入量に対して余裕をもって決められていることなどを考慮すれば、払出しが容器の容量の決定要因となる可能性は小さい。
【００５１】
以上を勘案すると、第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃは、分析が行われる間に受入れ容器が受入れる分析対象液の全量、あるいは供給ラインから供給される分析対象液の全量を受け入れる容量を有していればよい。例えば、第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃの容量をＱ、分析が行われる間に受入れ容器が受入れる分析対象液の量をＱ１とすれば、Ｑ≧Ｑ１であればよい。Ｑ＝Ｑ１であれば分析が終わると同時に受け入れ容器が一杯になり、Ｑ＞Ｑ１であれば、分析が終わったときに受入れ容器はまだ一杯になっていない。この場合は、上述のように受入れ容器が一杯になるまで分析容器が待機する。なお、払出しが完了していることを条件にこの時点で容器の切り替えを行ってもよい。払出しについてはできるだけ定流量で且つ連続的に行うことが好ましいため、切り替えのタイミングに合わせて移送容器が丁度空になるように払出し流量を調整してもよい。
【００５２】
第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃには前述した理由により窒素ガスなどの不活性ガスが導入される。図２に示す運転モードでは第１の容器１０１ａにＮＭＰ水溶液が供給されるため、第１の容器１０１ａに充填された不活性ガスはパージされる。第２の容器１０１ｂはＮＭＰ水溶液の出入りがないため、内部に充填された不活性ガスの量はほぼ不変である。第３の容器１０１ｃはＮＭＰ水溶液が放出されるため、第３の容器１０１ｃには不活性ガスが充填される。第３の容器１０１ｃには第１の容器１０１ａからパージされた不活性ガスが母管Ｌ５１１を通して供給される。第１の容器１０１ａに導入されるＭＮＰ水溶液の流量（または、第１の容器１０１ａの気相部容積の単位時間当たりの増分）が第３の容器１０１ｃから排出されるＮＭＰ水溶液の流量（または、第３の容器１０１ｃの気相部容積の単位時間当たりの減分）より少ないときは、不足分の不活性ガスが不活性ガス供給母管Ｌ４０１から導入され、多いときは、余分な不活性ガスがブローラインＬ５１３から放出される。以上により、本実施形態では不活性ガス供給母管Ｌ４０１から供給する不活性ガスの量を削減することができる。図３，４に示す運転モードでも、不活性ガスがパージされる容器と、不活性ガスが導入される容器と、不活性ガスの出入りがほぼない容器が順次切り替わり、図２と同様の現象が生じる。
【００５３】
図示は省略するが、本実施形態は払出し部３１１に適用することも可能である。この場合、図１に示す払出し部３１１の第１〜第３の容器３１１ａ，３１１ｂ，３１１ｃがそれぞれ本実施形態の第１〜第３の容器１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃに対応する。
【００５４】
（第２の実施形態）
図６を参照して、本発明の第２の実施形態に係る分析装置について説明する。本実施形態では払出し部３１１に対応する分析装置を例に説明する。本実施形態では相互に切り替え可能な第１及び第２の容器３１１ａ，３１１ｂと、回収機能だけを有するＮＭＰの回収容器５０８と、が設けられている。第１及び第２の容器３１１ａ，３１１ｂは受入れ容器として機能するとともに、分析・移送容器として機能する。すなわち、本実施形態では第１の実施形態における分析容器と移送容器の機能が一つの容器に集約されている。また、本実施形態では循環経路と下流側への移送ラインの一部が共用化されている。以下、第１の実施形態との差異を中心に説明する。第１の実施形態と同じ機能を有するライン、弁等については第１の実施形態と同じ符号を用い、適宜説明を省略する。
【００５５】
ＮＭＰ精製液取り出し配管Ｌ３０８から第１及び第２の個別供給ラインＬ５０１ａ，Ｌ５０１ｂが分岐しており、第１及び第２の個別供給ラインＬ５０１ａ，Ｌ５０１ｂがそれぞれ第１及び第２の容器３１１ａ，３１１ｂに接続されている。第１及び第２の個別供給ラインＬ５０１ａ，Ｌ５０１ｂにはそれぞれ弁Ｖ５０１ａ、Ｖ５０１ｂが設けられている。従って、分析対象液の供給ラインであるＮＭＰ精製液取り出し配管Ｌ３０８は第１及び第２の容器３１１ａ，３１１ｂに切り替え可能に接続されている。また、第１及び第２の容器３１１ａ，３１１ｂに第１及び第２の個別排出ラインＬ５０２ａ，Ｌ５０２ｂがそれぞれ接続されている。第１及び第２の個別排出ラインＬ５０２ａ，Ｌ５０２ｂはラインＬ５０８に合流しており、第１及び第２の個別排出ラインＬ５０２ａ，Ｌ５０２ｂにはそれぞれ弁Ｖ５０２ａ、Ｖ５０２ｂが設けられている。ラインＬ５０８からラインＬ５０９が分岐し、ラインＬ５０９は回収容器５０８に接続されている。回収容器５０８は排出ラインＬ３１２に接続されている。ラインＬ５０９からラインＬ５０７が分岐し、ラインＬ５０７は不良液貯留容器５０２に接続されている。従って、分析終了液の排出ラインである排出ラインＬ３１２は、第１及び第２の容器３１１ａ，３１１ｂに切り替え可能に接続されている。
【００５６】
第１及び第２の容器３１１ａ，３１１ｂに接続された第１及び第２の個別供給ラインＬ５０１ａ，Ｌ５０１ｂ及び第１及び第２の個別排出ラインＬ５０２ａ，Ｌ５０２ｂは循環ラインの一部をなしている。第１の循環ラインは、ラインＬ５０８，ラインＬ５０４ａ、第１の個別排出ラインＬ５０２ａからなり、第２の循環ラインは、ラインＬ５０８，ラインＬ５０４ｂ、第２の個別排出ラインＬ５０２ｂからなっている。ラインＬ５０２ａ，Ｌ５０２ｂ，Ｌ５０４ａ，Ｌ５０４ｂ，Ｌ５０８は第１の循環ラインと、第２の循環ラインとに選択的に切り替え可能な循環ライン形成手段を構成する。弁Ｖ５０１ａ，Ｖ５０１ｂ，Ｖ５０２ａ，Ｖ５０２ｂ，Ｖ５０３ａ，Ｖ５０３ｂは、供給ラインであるＮＭＰ精製液取り出し配管Ｌ３０８と、排出ラインであるラインＬ５０８と、循環ライン形成手段を切り替え可能な切替手段を構成する。図６では、弁Ｖ５０１ａ，５０２ｂ，５０３ｂが開かれ，弁Ｖ５０１ｂ，Ｖ５０２ａ，Ｖ５０３ａが閉じられている。これによって、第１の容器１０１ａが受入れ容器として機能し、第２の容器１０１ｂが分析容器として機能する。
【００５７】
図１０は第１及び第２の容器３１１ａ，３１１ｂの切り替えパターンを模式的に示している。前述のように、回収容器５０８はＮＭＰ精製液の回収機能だけを有しているため、時間によって機能が切り替わることはない。図６に示す状態では、ＮＭＰ精製液の受け入れが第１の容器３１１ａで行われ、分析が第２の容器３１１ｂを含む循環経路で行われる。すなわち、第１の容器３１１ａは受入れ容器として機能し、第２の容器３１１ｂは分析容器として機能する。分析が終了すると第２の容器３１１ｂのＮＭＰ精製液は回収容器５０８に移送される。具体的には図７に示すように弁Ｖ５０１ａ，Ｖ５０２ｂが開かれ，弁Ｖ５０１ｂ，Ｖ５０２ａ，Ｖ５０３ａ，Ｖ５０３ｂが閉じられる。これによって、循環ライン形成手段によって形成された循環経路が遮断され、第２の容器３１１ｂが移送容器として機能する。この間、第１の容器３１１ａは受入れ容器として機能している。分析の結果所定の品質を満たしていないと判断されたＮＭＰ精製液は、弁Ｖ５０７を開き、弁Ｖ５０６を閉じることにより、不良液貯留容器５０２に移送される。
【００５８】
第１の容器３１１ａがＮＭＰ精製液で一杯になると、第１及び第２の容器３１１ａ，３１１ｂの切り替え操作をおこなう。具体的には、弁Ｖ５０１ｂ，Ｖ５０２ａ，Ｖ５０３ａが開かれ，弁Ｖ５０１ａ，Ｖ５０２ｂ，Ｖ５０３ｂが閉じられる。第１の容器３１１ａは分析容器となり、第２の容器３１１ｂは受入れ容器となる。従って、第１及び第２の容器３１１ａ，３１１ｂの容量は、分析と排出ラインからの排出に要する時間の間に前記受入れ容器が受入れる分析対象液の全量、あるいは供給ラインから供給される分析対象液の全量を受け入れ可能に設定することが望ましい。以上の切り替え操作によって図８に示す状態となり、ＮＭＰ精製液の受け入れが第２の容器３１１ｂで行われ、分析が第１の容器３１１ａを含む循環経路で行われる。すなわち、第１の容器３１１ａは分析容器として機能し、第２の容器３１１ｂは受入れ容器として機能する。分析が終了すると第１の容器３１１ａのＮＭＰ精製液は回収容器５０８に移送される。具体的には図９に示すように弁Ｖ５０１ｂ，５０２ａが開かれ，弁Ｖ５０１ａ，Ｖ５０２ｂ，Ｖ５０３ａ，Ｖ５０３ｂが閉じられる。これによって、第１の容器３１１ａが移送容器として機能する。この間、第２の容器３１１ｂは受入れ容器として機能している。受入れ容器として機能する第２の容器３１１ｂが一杯になると、図６に示すように、第１の容器３１１ａは受入れ容器となり、第２の容器３１１ｂは分析容器となり、同様のプロセスが繰り返される。
【００５９】
以上説明したように、切替手段は、第１の容器３１１ａと第２の容器３１１ｂの一方が、供給ラインであるＮＭＰ精製液取り出し配管Ｌ３０８に接続される受入れ容器として、他方が循環経路を形成する分析容器として交互に切り替わるように、供給ラインと循環ライン形成手段を切り替えることができる。また、切替手段は、分析の終了後、受入れ容器として機能している容器が供給ラインに接続された状態で、分析容器として機能している容器が排出ラインに接続されるように、循環ライン形成手段及び排出ラインである排出ラインＬ３１２を切り替えることができる。
【００６０】
回収容器５０８は削除することも可能である。例えば、リチウムイオン二次電池の製造システムはＮＭＰ精製液の受入れ槽を有していることがある。受入れ槽にはリサイクルされたＮＭＰだけでなく新たなＮＭＰが補充される。このような受入れ槽では、一定流量で継続的にＮＭＰ精製液を供給する代わりに、大流量で一気に供給できる場合がある。分析装置を払出し部３１１に適用する場合、ポンプの容量を増やし、分析の終わったＮＭＰ精製液を一気に払い出すようにすれば、回収容器５０８を設ける必要はない。この場合、移送の終わった移送タンクは次の切り替えのタイミングまで空となるが、それによって運用上のメリットが生じることも考えられる。分析装置を受入れ部１０１に適用する場合も、ＮＭＰ精製システムが同様の受入れ槽を備えていれば回収容器５０８を省略することができる。
【００６１】
分析の結果不良と判定され、不良液貯留容器５０２に貯留されたＮＭＰ精製液の処理は、分析結果に応じて決定することができる。再度処理を行うことで判断基準を満たす可能性が高い品質レベルの場合、不良ＮＭＰ精製液は受入部１０１に戻すことができる。水分量が過多であり、その他の判断基準を満たす場合は脱水処理を行うことで判断基準を満たす可能性が高い。そこで、このような場合は第１のサブシステム１００での再処理を省略し、１次処理液槽１０６に不良ＮＭＰ精製液を移送することができる。純度が規定値を満たしていない不良ＮＭＰ精製液はイオン交換装置１０４の入口側に戻すことができる。また、不良の程度が高く再度処理を行うことで判断基準を満たす可能性が低い場合は、廃棄処分とすることもできる。
【符号の説明】
【００６２】
１  ＮＭＰ水溶液の精製システム
１００  第１のサブシステム
１０１  受入部
１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃ  受入部の第１〜第３の容器
１０２  第１の精密ろ過膜装置
１０３  膜脱気装置
１０４  イオン交換装置
１０５  第２の精密ろ過膜装置
１０６  １次処理液槽
１０７  ポンプ
１０８  ヒータ
Ｌ１０１〜Ｌ１０６  第１〜第６のＮＭＰ水溶液供給ライン
Ｌ１０７  戻りライン
Ｖ１０１，Ｖ１０２  弁
２００  第２のサブシステム
２０１  浸透気化膜装置
２０２〜２０４  第１〜第３の浸透気化膜モジュール
２０２ａ，２０３ａ，２０４ａ  濃縮室
２０２ｂ，２０３ｂ，２０４ｂ  透過室
２０２ｃ，２０３ｃ，２０４ｃ  分離膜（浸透気化膜）
２０５  第１のヒータ
２０６  再生式熱交換器
２０７  第２のヒータ
２０８  第３のヒータ
２０９  冷却器
２１０  メカニカルブースターポンプ
２１１，２１２，２１３  第１〜第３の熱交換器
２１４，２１５，２１６  第１〜第３の透過液タンク
２１７，２１８，２１９  第１〜第３の真空ポンプ
２２０，２２１  第４，第５の熱交換器
２２３  温度警報表示器
２２４  ポンプ
２２５  流量警報表示器
２２６  冷却器
Ｌ２０１  第７のＮＭＰ水溶液供給ライン
Ｌ２０２，Ｌ２０３  第１，第２の接続ライン
Ｌ２０４  ＮＭＰ濃縮液排出ライン
Ｌ２０５  透過液回収ライン
Ｌ２０６，Ｌ２０９，Ｌ２１２  第１〜第３の透過液排出ライン
Ｌ２０７，Ｌ２１０，Ｌ２１３  冷却ライン
Ｌ２０８，Ｌ２１１，Ｌ２１４  第１〜第３の透過水排出ライン
Ｌ２１５  ＮＭＰ濃縮液の戻りライン
Ｌ２２０  第１の冷却水排出ライン
Ｖ２０１〜Ｖ２０６  弁
３００  第３のサブシステム
３０１  中継槽
３０２  再生器
３０３  蒸発缶
３０４  蒸気取り出し缶
３０５  コンデンサ
３０６  ポンプ
３０７  循環ポンプ
３０８  ポンプ
３０９  真空ポンプ
３１０  ガスクーラ
３１１  払出し部
３１１ａ，３１１ｂ，３１１ｃ  払出し部の第１〜第３の容器
Ｌ３０１  第１のＮＭＰ濃縮液供給ライン
Ｌ３０２  第２のＮＭＰ濃縮液供給ライン
Ｌ３０３  循環ライン
Ｌ３０４  第１のＮＭＰ精製ガス取り出しライン
Ｌ３０５  第２のＮＭＰ精製ガス取り出しライン
Ｌ３０６  ＮＭＰ濃縮液取り出しライン
Ｌ３０７  第３のＮＭＰ精製ガス取り出しライン
Ｌ３０８  ＮＭＰ精製液取り出し配管
Ｌ３０９  ＮＭＰ濃縮液の不純物排出ライン
Ｌ３１０  負圧ライン
Ｌ３１１  冷却水排水ライン
Ｖ３０１〜Ｖ３０４  弁
Ｌ４０１  不活性ガス供給母管
Ｌ４０２〜Ｌ４０７  不活性ガス供給ライン
Ｕ４０２，Ｕ４０３，Ｕ４０４，Ｕ４０５  ガスシールユニット
５０１  廃液受槽
５０２  不良液貯留容器
５０４  循環ポンプ
５０５  サンプリング点
５０６  水分濃度計
５０７  導電率計（比抵抗計）
５０８  回収容器
Ｌ５０１ａ，Ｌ５０１ｂ，Ｌ５０１ｃ  第１〜第３の個別供給ライン
Ｌ５０５ａ，Ｌ５０５ｂ，Ｌ５０５ｃ  第１〜第３の個別排出ライン
Ｌ５１２ａ〜Ｌ５１２ｃ  第１〜第３の不活性ガス供給ライン
Ｌ５１１  母管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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