(57)【要約】【課題】筋状バリを適切に検出することが可能なフィルムの表面検査装置およびフィルムの表面検査方法を提供する。【解決手段】フィルムの表面検査装置は、２本の支持ローラ１２と、４つのニップローラ１３と、テンション付与機構とを有している。２本の支持ローラ１２は、フィルム１１の幅方向（Ｘ方向）に延び、長手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて配置され、フィルム１１を支持する。ニップローラ１３は、２本の支持ローラ１２とともに、フィルム１１の幅方向の端部をニップする。テンション付与機構は、測定箇所ＭＡに対して長手方向のテンションＴＹのみを付与する。この状態で、フィルム１１の表面形状が測定される。【選択図】図３
2020148634.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムの長手方向において間隔を空けて配置され、前記フィルムを支持する２本の支持ローラであって、軸方向が、前記長手方向と直交するフィルムの幅方向に沿って延びる２本の支持ローラと、
前記支持ローラのそれぞれと対向して配置され、前記支持ローラとともに前記フィルムの幅方向の端部をニップする複数のニップ部材と、
前記ニップ部材によってニップされた状態の前記フィルムに対してテンションを付与するテンション付与機構であって、２本の前記支持ローラの間に位置する測定箇所に対して前記長手方向のテンションのみを付与するテンション付与機構と、
前記測定箇所の表面形状を測定する測定部とを備えているフィルムの表面検査装置。
【請求項２】
前記ニップ部材は、前記フィルムの全幅が自然長に保たれている状態で前記フィルムをニップする請求項１に記載のフィルムの表面検査装置。
【請求項３】
前記ニップ部材は、前記テンションが付与された場合に、前記フィルムの前記長手方向の伸長に従動して回転可能なローラであり、かつ、前記フィルムの幅方向における位置は固定されている請求項１または２に記載のフィルムの表面検査装置。
【請求項４】
前記ニップ部材は、前記フィルムと接触する接触部分の材質がゴムである請求項１から３のいずれか１項に記載のフィルムの表面検査装置。
【請求項５】
前記ニップ部材は、前記フィルムの幅方向の長さが、前記フィルムの全幅の０．６％以上２０％以下である請求項１〜４のいずれか１項に記載のフィルムの表面検査装置。
【請求項６】
前記測定部は、前記フィルムの表面の凹凸を角度または変位量として検出する検出部を備えている請求項１〜５のいずれか１項に記載のフィルムの表面検査装置。
【請求項７】
前記検出部は、前記フィルムの表面の凹凸を角度として検出する角度検出器であり、
前記測定部は、前記角度検出器が検出した角度データを、前記凹凸の変位量を示す変位量データに変換する変換部を有している請求項６に記載のフィルムの表面検査装置。
【請求項８】
前記角度データには、異なる周期を持つ複数の凹凸を表す複数の周期成分が含まれており、
前記測定部は、前記角度検出器が検出した角度データから、複数の前記周期成分のうちの任意の周期成分を除去する周波数処理部を有している請求項７に記載のフィルムの表面検査装置。
【請求項９】
前記測定部は、少なくとも前記測定箇所について搬送が停止された静止状態で、前記表面形状を測定する請求項８に記載のフィルムの表面検査装置。
【請求項１０】
フィルムの幅方向に沿って延びる２本の支持ローラと、複数のニップ部材とによって、前記フィルムの幅方向の両端部をニップする第１ステップと、
２本の前記支持ローラの間に位置する測定箇所に対して、前記フィルムの長手方向のテンションのみを付与する第２ステップと、
前記測定箇所の表面形状を測定する第３ステップとを備えているフィルムの表面検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示の技術は、フィルムの表面検査装置、およびフィルムの表面検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ポリエステルフィルムなどの電気絶縁用途または光学用途に適用される樹脂製のフィルムが知られている。こうしたフィルムの製造時において、フィルムの表面を検査するフィルムの表面検査装置が知られている（特許文献１及び特許文献２に参照）。
【０００３】
特許文献１及び特許文献２に記載のフィルムの表面検査装置は、フィルムの表面に生じる微細な傷を欠陥として検出することを主な目的としている。こうしたフィルムの表面検査装置においては、欠陥を検出するに際して、フィルムの平面性を確保するために、フィルムの長手方向（搬送方向）および幅方向の両方に張力（テンション）を付与するテンション付与機構が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２４４０２４号公報
【特許文献２】特開２００９−２７１００２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１および特許文献２などの従来のフィルムの表面検査装置では、以下のような問題があった。すなわち、フィルムの表面には、上述の傷の他に、筋状バリ（streaky burr）と呼ばれるシワが発生することがある。筋状バリとは、フィルムの長手方向に沿って筋状に延び、かつ、フィルムの幅方向においては凹凸として現れるシワであり、製造後においても不可逆的に残存するシワをいう。筋状バリは、フィルムの製造時の熱処理において生じる波状のシワに由来し、この波状のシワが、熱処理後の冷却により固化したものである。
【０００６】
従来のフィルムの表面検査装置では、検査時に、フィルムの搬送方向と幅方向との両方にテンションが付与される。フィルムの長手方向と幅方向との両方にテンションが付与されると、フィルムが長手方向と幅方向の両方に伸長するため、フィルムの表面に生じる余計なシワを抑制することができる。この方法は、フィルムの表面に生じる傷を検出する場合には有効であるが、筋状バリについては、付与されたテンションによって消失してしまう場合があり、筋状バリを適切に検出することができないという問題があった。
【０００７】
本開示の技術は、筋状バリを適切に検出することが可能なフィルムの表面検査装置およびフィルムの表面検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本開示のフィルムの表面検査装置は、フィルムの長手方向において間隔を空けて配置され、フィルムを支持する２本の支持ローラであって、軸方向が、長手方向と直交するフィルムの幅方向に沿って延びる２本の支持ローラと、支持ローラのそれぞれと対向して配置され、支持ローラとともにフィルムの幅方向の端部をニップする複数のニップ部材と、ニップ部材によってニップされた状態のフィルムに対してテンションを付与するテンション付与機構であって、２本の支持ローラの間に位置する測定箇所に対して長手方向のテンションのみを付与するテンション付与機構と、測定箇所の表面形状を測定する測定部とを備えている。
【０００９】
ニップ部材は、フィルムの全幅が自然長に保たれている状態でフィルムをニップすることが好ましい。
【００１０】
ニップ部材は、テンションが付与された場合に、フィルムの長手方向の伸長に従動して回転可能なローラであり、かつ、フィルムの幅方向における位置は固定されていることが好ましい。
【００１１】
ニップ部材は、フィルムと接触する接触部分の材質がゴムであることが好ましい。
【００１２】
ニップ部材は、フィルムの幅方向の長さが、フィルムの全幅の０．６％以上２０％以下であることが好ましい。
【００１３】
測定部は、フィルムの表面の凹凸を角度または変位量として検出する検出部を備えていることが好ましい。
【００１４】
検出部は、フィルムの表面の凹凸を角度として検出する角度検出器であり、測定部は、角度検出器が検出した角度データを、凹凸の変位量を示す変位量データに変換する変換部を有していることが好ましい。
【００１５】
角度データには、異なる周期を持つ複数の凹凸を表す複数の周期成分が含まれており、測定部は、角度検出器が検出した角度データから、複数の周期成分のうちの任意の周期成分を除去する周波数処理部を有していることが好ましい。
【００１６】
測定部は、少なくとも測定箇所について搬送が停止された静止状態で、表面形状を測定することが好ましい。
【００１７】
本開示の技術に係るフィルムの表面検査方法は、フィルムの幅方向に沿って延びる２本の支持ローラと、複数のニップ部材とによって、フィルムの幅方向の両端部をニップする第１ステップと、２本の支持ローラの間に位置する測定箇所に対して、フィルムの長手方向のテンションのみを付与する第２ステップと、測定箇所の表面形状を測定する第３ステップとを備えている。
【発明の効果】
【００１８】
本開示の技術によれば、筋状バリの検査を適切に行うことが可能なフィルムの表面検査装置およびフィルムの表面検査方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】フィルムの表面検査装置の概要図である。
【図２】筋状バリＳＢの説明図である。
【図３】フィルムのニップ状態およびテンションの付与方向を示す平面図である。
【図４】ニップローラがニップ位置と退避位置との間を移動する様子を示す説明図である。
【図５】フィルムに対するテンションの付与方向を示す側面図である。
【図６】検出部のフィルムに対するスキャン方向を示す説明図である。
【図７】角度検出器の構成図である。
【図８】表面の凹凸に応じた反射光軸の角度変化を示す説明図である。
【図９】角度データを示すグラフである。
【図１０】データ処理部の説明図である。
【図１１】角度データに対するデータ処理の説明図である。
【図１２】フィルムの表面形状の検査の全体の流れを示すフローチャートである。
【図１３】表面形状測定のサブルーチンを示すフローチャートである。
【図１４】本例のフィルムの支持方法の説明図である。
【図１５】比較例１のフィルムの支持方法の説明図である。
【図１６】比較例２のフィルムの支持方法の説明図である。
【図１７】フィルムの幅方向の弛みの説明図である。
【図１８】ゴム製のニップローラの説明図である。
【図１９】金属製のニップローラの説明図である。
【図２０】変位量検出器の説明図である。
【図２１】ニップローラの変形例である。
【図２２】第２実施形態の検査装置の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
［第１実施形態］
図１に一例として示すように、フィルムの表面検査装置（以下、単に検査装置という）１０は、フィルム１１の表面形状を検査する装置である。フィルム１１は、一例として、ポリエステルフィルムなどの電気絶縁用途または光学用途に適用される樹脂製のフィルムである。
【００２１】
本例の検査装置１０は、検査対象のフィルム１１の搬送を停止した静止状態で、フィルム１１の表面形状を検査する。検査装置１０は、製造時にフィルム１１の表面に生じた凹凸を検査する装置である。凹凸としては、特に筋状バリＳＢを好適に検査することができる。上述したとおり、筋状バリＳＢとは、図２に示すように、フィルム１１の長手方向（Ｙ方向）に沿って筋状に延び、かつ、フィルム１１の幅方向（Ｘ方向）においては凹凸として現れるシワであり、製造後においても不可逆的に残存するシワをいう。
【００２２】
図１および図３において、検査装置１０は、２本の支持ローラ１２と、４つのニップローラ１３と、テンション付与機構１４と、測定部１６とを備えている。支持ローラ１２およびニップローラ１３は、例えば、テーブル１７の天板１７Ａ上に設置される。
【００２３】
支持ローラ１２は、断面が円形のシャフト状の部材である。支持ローラ１２は、軸方向がフィルム１１の幅方向（Ｘ方向）に沿って延びている。支持ローラ１２の長さは、フィルム１１の全福Ｗ０以上の長さを有している。支持ローラ１２は、一例として金属製である。支持ローラ１２の両端にはホルダ１８が設けられている。ホルダ１８は、天板１７Ａに固定されており、支持ローラ１２を回転自在に保持する。
【００２４】
ニップローラ１３は、各支持ローラ１２のそれぞれと対向して配置される。ニップローラ１３は、支持ローラ１２とともにフィルム１１の幅方向の端部をニップする。ニップローラ１３は、１本の支持ローラ１２に対して２つずつ設けられており、支持ローラ１２が２本有るため、合計４つ設けられている。
【００２５】
ニップローラ１３は、ニップ部材の一例であり、断面が円形のローラである。ニップローラ１３は、フィルム１１を支持ローラ１２に向けて、予め設定された押圧力で押圧する。この押圧により、フィルム１１は支持ローラ１２とニップローラ１３との間で挟持される。
【００２６】
フィルム１１において、２本の支持ローラ１２の間に位置する部分が、表面形状の測定箇所ＭＡ（図３参照）となる。フィルム１１は、支持ローラ１２およびニップローラ１３に支持されることによって、フィルム１１の測定箇所ＭＡは、天板１７Ａから浮いた状態で支持される。
【００２７】
ニップローラ１３は、フィルム１１と接触する接触部分の材質がゴムである。ニップローラ１３は、フィルム１１の幅方向の長さである幅ＬＮ（図３参照）が、例えば、フィルム１１の全幅Ｗ０（図３参照）の０．６％以上２０％以下であることが好ましい。幅ＬＮの範囲の下限値は、検査の際に必要なニップ圧を確保することを考慮した値であり、上限値はフィルム１１に対するニップ痕を抑制することを考慮した値である。シャフト１９は、ニップローラ１３を支持する。シャフト１９の両端は、支持ローラ１２と同様にホルダ１８に回転自在に保持される。
【００２８】
図４に示すように、ニップローラ１３は、フィルム１１の長手方向（Ｙ方向）と交差する方向、本例では、フィルム１１の厚み方向（Ｚ方向）に移動自在に設けられている。ニップローラ１３は、ニップ位置と解除位置（図４において破線で示す）との間で移動する。ニップ位置は、フィルム１１の裏面と接触して支持ローラ１２とともにフィルム１１をニップする位置である。解除位置は、ニップ位置からＺ方向に移動することにより、フィルム１１から離間してニップを解除する位置である。ニップローラ１３の移動により、フィルム１１のニップおよびニップの解除が行われる。
【００２９】
検査装置１０には、ニップローラ１３に対するフィルム１１の幅方向（Ｘ方向）の位置を案内するガイド部材（図示せず）が設けられている。フィルム１１は、ニップローラ１３が解除位置にある状態で、支持ローラ１２とニップローラ１３との隙間に挿通させることにより、検査装置１０にセットされる。この際に図示しないガイド部材に案内されることにより、フィルム１１の幅方向（Ｘ方向）の位置が位置決めされる。これにより、フィルム１１がセットされた状態では、フィルム１１の幅方向（Ｘ方向）の両端にニップローラ１３が位置する。この状態で、ニップローラ１３を解除位置からニップ位置に移動すると、フィルム１１がニップされる。
【００３０】
図１および図３に示すように、フィルム１１は、テンション付与機構１４によって長手方向（Ｙ方向）の両側にテンションＴＹが付与される。これにより、２本の支持ローラ１２の間に位置するフィルム１１の測定箇所ＭＡは長手方向に伸長する。ニップローラ１３は、長手方向（Ｙ方向）にテンションＴＹが付与された場合のフィルム１１の伸長に従動して回転可能である。
【００３１】
また、ニップローラ１３は、フィルム１１の幅方向（Ｘ方向）の位置が固定されている。ニップローラ１３は、フィルム１１の幅が自然長に保たれている状態でフィルム１１をニップする。ここで、自然長とは、フィルム１１に外力が加わっていない無負荷の状態の長さをいう。フィルム１１の全幅Ｗ０は、無負荷の状態のフィルム１１の幅方向の自然長である。なお、フィルム１１は検査装置１０にセットされる以上、フィルム１１に対して完全に負荷が掛らないことは実際にはあり得ない。例えば、検査装置１０において、フィルム１１を支持するための外力は必然的に加わる。そのため、ここでいうフィルム１１の自然長とは、フィルム１１に対して積極的に幅方向（Ｘ方向）のテンションを付与していない状態の幅であり、完全に無負荷状態のフィルム１１の幅に対して、±５％程度の誤差を含む概念である。
【００３２】
ニップローラ１３は、フィルム１１の幅方向に対するテンションＴＸ（図１６参照）は付与しない。より具体的には、ニップローラ１３は、フィルム１１の幅を拡張する方向に対するテンションＴＸ（図１６参照）も付与せず、また、フィルム１１の幅を狭める方向に対するテンションも付与しない。
【００３３】
また、ニップローラ１３と支持ローラ１２とによるフィルム１１のニップ力は、フィルム１１の長手方向（Ｙ方向）にテンションが付与された場合でも、フィルム１１の幅方向（Ｘ方向）の収縮力に抗してニップ状態を維持し、フィルム１１の幅方向（Ｘ方向）の収縮を抑制することができる程度の力である。
【００３４】
図１および図５に示すように、テンション付与機構１４は、支持ローラ１２とニップローラ１３とによってニップされた状態のフィルム１１に対して、長手方向（Ｙ方向）のテンションＴＹのみを付与する。つまり、テンション付与機構１４も、幅方向（Ｘ方向）のテンションＴＸを付与しない。上述のとおり、テンション付与機構１４は、２本の支持ローラ１２の間に位置する、フィルム１１の表面形状の測定箇所ＭＡに対して、フィルム１１の長手方向（Ｙ方向）のテンションＴＹのみを付与する。テンション付与機構１４は、フィルム１１の長手方向（Ｙ方向）の両側に１つずつ設けられている。テンション付与機構１４は、検査装置１０において搬送が停止された静止状態のフィルム１１に対してテンションＴＹを付与する。
【００３５】
テンション付与機構１４は、端部側ローラ２１と重り２２とを含んで構成される。テンション付与機構１４は、支持ローラ１２およびニップローラ１３とともに、テーブル１７の天板１７Ａ上に設置されている。テンション付与機構１４は、２組設けられており、フィルム１１の測定箇所を基準として、支持ローラ１２よりもさらに長手方向の両側にそれぞれ配置される。
【００３６】
端部側ローラ２１は、支持ローラ１２とほぼ同様であり、軸方向の長さは、フィルム１１の全福Ｗ０以上の長さを持つ。端部側ローラ２１は、ホルダ１８と同様のホルダ２３によって回転自在に保持される。フィルム１１は、端部側ローラ２１の周面に対して、フィルム１１の測定箇所ＭＡとなる表面とは反対側の裏面が接する状態で巻きかけられる。フィルム１１の長手方向の端部は、端部側ローラ２１からテーブル１７の下方に向けて垂れ下がる。
【００３７】
重り２２は、一例としてローラ形状をしている。重り２２は、端部側ローラ２１から垂れ下がるフィルム１１の長手方向の両端部にそれぞれ設けられる。重り２２は、フィルム１１に対して適切なテンションＴＹを付与するのに必要な重さを有している。筋状バリＳＢを適切に検出するためのテンションＴＹの好ましい範囲としては、一例として、０．４５ＭＰａ〜１．１ＭＰａであり、より好ましくは、０．６ＭＰａ〜０．７８ＭＰａの範囲である。
【００３８】
図１に示すように、測定部１６は、検出ユニット２６と制御ユニット２７とを含んで構成される。検出ユニット２６は、検出部２６Ａ、移動機構２６Ｂ、および収容筐体２６Ｃを有する。検出器制御部２７Ａ、データ処理部２７Ｂ、およびディスプレイ２７Ｃを有する。
【００３９】
検出ユニット２６において、収容筐体２６Ｃは、テーブル１７の天板１７Ａの上方においてフィルム１１の幅方向（Ｘ方向）に延びる梁と、梁の両端を支持する支柱とを有する。収容筐体２６Ｃは、２本の支持ローラ１２の間の測定箇所ＭＡの上方に検出部２６Ａが配置されるように検出部２６Ａを保持する。移動機構２６Ｂは、収容筐体２６Ｃに内蔵されており、検出部２６Ａを幅方向（Ｘ方向）に移動する。移動機構２６Ｂの動作は、制御ユニット２６によって制御される。
【００４０】
図６に示すように、検出部２６Ａは、フィルム１１の幅方向（Ｘ方向）に移動しながら、フィルム１１の表面を光学的にスキャンすることにより、フィルム１１の表面の凹凸を検出する。
【００４１】
図７に示すように、検出部２６Ａは、光源２６１と受光部２６２とを備えている。光源２６１は、フィルム１１の表面にレーザ光を照射するレーザ光源である。光源２６１は、フィルム１１の法線Ｈに対して、入射するレーザ光の入射光軸ＩＡを傾けた姿勢で配置されている。受光部２６２は、フィルム１１の表面に照射されたレーザ光の反射光を受光する。
【００４２】
図８に示すように、フィルム１１の表面に凹凸があると、レーザ光の反射角が変化する。そうすると、反射光の反射光軸ＲＡの角度も変化する。受光部２６２は、例えば、フォトダイオードなどの受光素子がライン状に複数個配列されたラインセンサである。反射光軸ＲＡの角度が変化すると、受光部２６２における反射光の受光位置が変化する。検出部２６Ａは、受光位置の変化に基づいて、フィルム１１の表面の凹凸を角度として検出する角度検出器２６０である。
【００４３】
例えば、フィルム１１の表面に凹凸が無い場合の入射光軸ＩＡと反射光軸ＲＡとの角度を基準角度θ０とする。そして、反射光軸ＲＡは、凹凸によって反射光軸ＲＡ１またはＲＡ２というように変化する。例えば、入射光軸ＩＡと、反射光軸ＲＡ１およびＲＡ２のそれぞれとの角度をθ１およびθ２とする。検出部２６Ａは、基準角度θ０と、各角度θ１およびθ２などとの差分（例えば、＋２°、＋１°、０°、−１°、−２°など）を、凹凸を表す角度として検出する。検出部２６Ａは、フィルム１１の表面を幅方向（Ｘ方向）にスキャンすることにより、検出結果として、フィルム１１の表面のＸ方向における凹凸を示す角度データを出力する。
【００４４】
図９は、角度データの一例である。図９において、横軸は、フィルム１１の幅方向（Ｘ方向）の一端を基準とした他端までの距離（単位はｍｍ：millimeter）である。図９は、約１４００ｍｍの全幅Ｗ０を持つフィルム１１の角度データの例である。縦軸は、基準角度θ０に対する差分の角度である。図９に示す角度データの例では、フィルム１１の一端から約１０００ｍｍから１４００ｍｍ付近において、Ｙ方向に延びる筋状の複数本のシワが発生していることが分かる。また、この角度データは、複数本の微細なシワに相当する短周期成分の他に、約１００ｍｍから約８００ｍｍまでの範囲において、比較的長い周期の全体的なうねりに相当する長周期成分を含んでいる。このように、角度データには、異なる周期を持つ複数の凹凸を表す複数の周期成分が含まれている。
【００４５】
検出部２６Ａは、フィルム１１の幅方向（Ｘ方向）に１ライン分スキャンすると、１ライン分の角度データを出力する。フィルム１１と検出部２６Ａとの長手方向（Ｙ方向）における相対的な位置を変化させながら、検出部２６ＡがＸ方向のスキャンを繰り返すことで、測定箇所ＭＡの２次元平面の凹凸を示す角度データが得られる。フィルム１１と検出部２６Ａとの長手方向における相対位置の変化は、例えば、検出器ユニット２６をフィルム１１に対して１ライン分ずつ移動させるか、あるいは、フィルム１１を長手方向に１ライン分ずつ搬送させることにより行われる。
【００４６】
図１０に示すように、制御ユニット２７において、検出器制御部２７Ａは、検出部２６Ａの動作を制御し、かつ、検出部２６Ａから出力される角度データを取得する。検出器制御部２７Ａは、取得した角度データをデータ処理部２７Ｂに出力する。
【００４７】
データ処理部２７Ｂは、周波数処理部２７１、変換部２７２、およびメモリ２７３を備えている。周波数処理部２７１は、角度データから、複数の周期成分のうちの任意の周期成分を除去する。周波数処理部２７１は、例えば、角度データをフーリエ変換して、角度データに含まれる異なる周期成分（周波数成分）の分布を表す周波数スペクトルを得る。
【００４８】
周波数処理部２７１は、周波数スペクトルから、フィルム１１の全体的なうねりまたはフィルム１１の弛みに相当する長周期成分など、筋状バリＳＢの周期成分とは異なる周期成分を除去する。筋状バリＳＢの周期は、例えば、約３０ｍｍ〜約８０ｍｍ程度である。周波数処理部２７１は、筋状バリＳＢの周期成分とは異なる周期成分として、例えば、約１００ｍｍ以上の周期成分を角度データから除去する。周波数処理部２７１は、こうして一部の周期成分が除去された周波数スペクトルを、逆フーリエ変換して、角度データに戻す。そして、周波数処理部２７１は、この補正済みの角度データを、変換部２７２に出力する。
【００４９】
変換部２７２は、角度データを、凹凸の変位量を示す変位量データに変換する。凹凸の変位量は、フィルム１１の表面の凹凸の高低差を示すため、変位量データの山谷は、目視で確認する表面の凹凸の状態とほぼ一致する。このように変位量データは、目視の印象と相関が高いため、直感的に把握しやすい。
【００５０】
変換部２７２は、変換後の変位量データをメモリ２７３に格納する。この変位量データおよび変位量データに基づいて加工された加工データを含むデータが、フィルム１１の表面形状を表す測定結果として、ディスプレイ２７Ｃに表示される。
【００５１】
図１１は、データ処理部２７Ｂが実行する処理の一例である。図１１Ａに示す角度データは、図９に示した角度データと同様であり、検出部２６Ａから検出器制御部２７Ａが取得する角度データである。上述したとおり、この角度データには、筋状バリＳＢの凹凸を表す周期成分が含まれている。この角度データが周波数処理部２７１に入力される。周波数処理部２７１は、この角度データから、筋状バリＳＢの周期成分よりも周期が長い長周期成分を除去する。そうすると、例えば、図１１Ｂに示すような補正済み角度データが得られる。図１１Ｂに示す補正済み角度データでは、長周期成分が除去されているため、図１１Ａに示す角度データに見られるような長周期のうねりが除去されている。これにより、筋状バリＳＢに対応する周期成分が顕在化される。
【００５２】
変換部２７２は、図１１Ｂに示す補正済み角度データを、図１１Ｃに示す変位量データに変換する。図１１Ｂに示す補正済み角度データにおいても、筋状バリＳＢに対応する凹凸が顕在化されている。しかし、角度データは凹凸を、変位量に応じた高低差ではなく、角度として検出しているため、目視で確認できる凹凸の状態と比較すると、見た目の印象が一致しない。例えば、目視で確認できる凹凸の山谷は変位量に応じた高低差と一致するが、角度データの場合は急峻な角度変化がある場所がピークとなり、このピークは変位量の一番高い部分と一致しない。図１１Ｃに示す変位量データに変換することで、目視で確認できる状態と相関が高いデータが得られる。
【００５３】
制御ユニット２７において、検出器制御部２７Ａおよびデータ処理部２７Ｂは、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）およびＣＰＵによって実行される作動プログラムによって実現される。
【００５４】
以下、上記構成による作用について、図１２および図１３のフローチャートを参照しながら説明する。ステップＳ１１００において、検査装置１０には、例えば製造ラインから移送されたフィルム１１がセットされる。ステップＳ１２００において、まず、２本の支持ローラ１２と４つのニップローラ１３とによって、フィルム１１の幅方向（Ｘ方向）の両端をニップする。ニップローラ１３は、フィルム１１の幅が自然長Ｗ０に保たれている状態、すなわち、無負荷状態のフィルム１１の幅方向（Ｘ方向）の両端部をニップする。ニップローラ１３は、固定されており、フィルム１１に対して幅方向のテンションＴＸを付与しない。ステップＳ１２００は、第１ステップに相当する。
【００５５】
次に、ステップＳ１３００において、重り２２を設置するなど、テンション付与機構１４を用いて、ニップローラ１３によってニップされた状態のフィルム１１に対して、フィルム１１の長手方向（Ｙ方向）にテンションＴＹを付与する。より具体的には、２本の支持ローラ１２の間に位置する測定箇所ＭＡに対して長手方向（Ｙ方向）にテンションＴＹを付与する。ステップＳ１３００は第２ステップに相当する。
【００５６】
そして、フィルム１１の幅方向がニップされ、かつ、フィルム１１の長手方向に対してテンションＴＹが付与された状態で、ステップＳ１４００において、検査装置１０は、フィルム１１の表面形状を測定する。ステップＳ１４００は第３ステップに相当する。
【００５７】
図１３に示すように、ステップＳ１４１０において、検出部２６Ａがフィルム１１の幅方向（Ｘ方向）に沿ってフィルム１１の表面をスキャンすることにより、表面の凹凸を角度として検出する。検出部２６Ａは検出した角度データを制御ユニット２７に出力する。検出部２６Ａとフィルム１１との長手方向（Ｙ方向）の相対位置を変化させながら、測定箇所ＭＡの角度データの取得が繰り返される。
【００５８】
制御ユニット２７は、図１１において示したとおり、ステップＳ１４２０において、角度データから長周期成分を除去する。そして、ステップＳ１４３０において、長周期成分を除去した補正済みの角度データを変位量データに変換する。
【００５９】
そして、検査装置１０は、図１２に示すステップＳ１５００において、変位量データを測定結果として出力する。この測定結果は、メモリ２７３に格納され、かつ、ディスプレイ２７Ｃに表示される。ユーザは、ディスプレイ２７Ｃの測定結果を見ながら、フィルム１１の筋状バリＳＢの発生状況を確認して、検査の合否を決めるなど、フィルム１１の表面形状を評価する。
【００６０】
本開示の技術に係る検査装置１０および検査装置１０を用いたフィルム１１の表面検査方法の要点をまとめると、図１４のようになる。すなわち、上述したとおり、検査装置１０は、表面形状の測定に際して、２本の支持ローラ１２と４つのニップローラ１３とによって、フィルム１１の幅方向（Ｘ方向）の両端部をニップする。そして、ニップされた状態のフィルム１１の測定箇所ＭＡに対して長手方向（Ｙ方向）にのみテンションＴＹを付与する。
【００６１】
図１５に比較例１を、図１６に比較例２を示す。図１５に示す比較例１は、フィルム１１の幅方向（Ｘ方向）の両端部のニップを行わない状態で、フィルム１１の測定箇所ＭＡに対して長手方向（Ｙ方向）のテンションＴＹを付与する。この場合、フィルム１１にテンションＴＹが付与されることにより、フィルム１１が幅方向（Ｘ方向）に収縮することになる。具体的には、フィルム１１の幅が、無負荷状態の幅Ｗ０よりも狭い幅Ｗ１に収縮する。フィルム１１が幅方向に収縮すると、筋状バリＳＢとは別に、収縮に起因する帯状のシワＳＬが発生する。シワＳＬは、筋状バリＳＢとは異なり、収縮時にのみ生じるシワである。こうしたシワＳＬが発生すると、筋状バリＳＢとの区別がしにくく、シワＳＬが筋状バリＳＢと誤検出されるおそれがある。
【００６２】
図１４に示す本開示の技術に係る検査装置１０においては、フィルム１１の幅方向（Ｘ方向）の両端部をニップした状態で、フィルム１１の測定箇所ＭＡに長手方向（Ｙ方向）のテンションＴＹを付与するため、図１５に示すようなシワＳＬの発生が抑制される。シワＳＬの発生が抑制されることにより、シワＳＬの誤検出も抑制されるため、検査装置１０によれば、筋状バリＳＢを適切に検出することができる。
【００６３】
また、図１６に示す比較例２は、検査装置１０と同様に、フィルム１１の幅方向（Ｘ方向）の両端部を、ニップローラ１３を用いてニップする。その状態で、フィルム１１の長手方向（Ｙ方向）のテンションＴＹを加えて、フィルム１１の幅方向（Ｘ方向）のテンションＴＸも付与する。この場合、フィルム１１の幅Ｗ０が、幅Ｗ０よりも広い幅Ｗ２に拡張される。フィルム１１の幅が拡張されると、フィルム１１の測定箇所ＭＡが幅方向（Ｘ方向）に伸長することによって、筋状バリＳＢが消失するおそれがある。
【００６４】
図１４に示す本開示の検査装置１０においては、フィルム１１の測定箇所ＭＡに対して、フィルム１１の幅方向（Ｘ方向）にはテンションＴＸを付与せずに、フィルム１１の長手方向（Ｙ方向）のテンションＴＹのみを付与する。このため、測定箇所ＭＡが幅方向（Ｘ方向）に伸長することはなく、筋状バリＳＢが消失する懸念はない。そのため、筋状バリＳＢを適切に検出することができる。
【００６５】
また、フィルム１１は搬送が停止された静止状態で、表面形状が測定されるため、フィルム１１の搬送の際に生じる振動等の外乱の影響が少ない。そのため、測定結果においては、外乱に起因するノイズの混入が抑制されるので、精度の高い表面形状の測定が可能となる。
【００６６】
また、図１１および図１３のステップＳ１４２０に示したように、検査装置１０において、データ処理部２７Ｂの周波数処理部２７１は、検出部２６Ａが取得した角度データから、筋状バリＳＢの周期よりも長い長周期成分を除去している。上述したとおり、このような処理を行うことで、測定結果において、筋状バリＳＢを顕在化させることができる。
【００６７】
特に、検査装置１０は、フィルム１１に対して幅方向（Ｘ方向）のテンションＴＸを付与しない。そのため、例えば、図１７に示すように、フィルム１１の幅方向（Ｘ方向）の中央部分のギャップＣに示すように、フィルム１１の自重による弛みが生じやすい懸念もある。こうした弛みは、検出部２６Ａが検出した角度データにおいては長周期成分のノイズに相当する。長周期成分を除去する周波数処理部２７１は、本開示の技術に係る検査装置１０のように、フィルム１１に対して幅方向（Ｘ方向）のテンションＴＸを付与しない場合に特に有効な構成である。
【００６８】
また、本例の検査装置１０においては、ニップローラ１３は、テンションＴＹが付与された場合に、フィルム１１の長手方向（Ｙ方向）の伸長に従動して回転し、かつ、フィルム１１の幅方向の位置は固定されている。こうした構成により、ニップローラ１３は、長手方向（Ｙ方向）のフィルム１１の伸長によって生じる摩擦力によって回転する。そのため、テンション付与機構１４によるテンションＴＹを測定箇所ＭＡに伝達することができるので、測定箇所ＭＡの平面性が確保される。また、テンションＴＹが付与された場合でも、ニップローラ１３の幅方向（Ｘ方向）の位置は固定されているため、ニップローラ１３が幅方向（Ｘ方向）に移動することはなく、筋状バリＳＢ以外のシワの発生が抑制される。これにより、筋状バリＳＢのみが顕在化されやすく、筋状バリＳＢを適切に検出することができる。
【００６９】
なお、ニップローラ１３は、ニップ部材の一例であるが、ニップ部材としては、ローラの形状でなくてもよい。例えば断面形状が多角形等でもよいし、回転しなくてもよい。もちろん、ニップ部材を回転可能なニップローラ１３とすることで、上述のメリットがあるため、ニップ部材としては、ニップローラ１３であることが好ましい。
【００７０】
また、本例の検査装置１０において、支持ローラ１２は、フィルム１１の全幅Ｗ０以上の長さを有する。支持ローラ１２が全幅Ｗ０以上の長さを有することで、支持ローラ１２がフィルム１１の幅方向（Ｘ方向）の全域に渡って接触するため、テンションＴＹがフィルム１１の幅方向（Ｘ方向）の全域に均等に作用しやすい。そのため、フィルム１１の測定箇所ＭＡの平面性が確保されやすく、平面性確保の結果、筋状バリＳＢに対しては長周期成分となる凹凸が生じにくく、筋状バリＳＢを検出しやすい。
【００７１】
また、本例の検査装置１０においては、１本の支持ローラ１２に対して、その両端部に１つずつニップローラ１３が設けられている。２つのニップローラ１３の幅ＬＮを合計しても、合計した幅は、フィルム１１の全幅Ｗ０よりも狭い。このように、本例の検査装置１０においては、幅ＬＮの合計が、フィルム１１の全幅Ｗ０に満たない２つのニップローラ１３でフィルム１１の両端部をニップする。このため、支持ローラ１２と同様に、フィルム１１の全幅Ｗ０以上の幅ＬＮを有する１つのニップローラ１３を用いる場合、または幅ＬＮの合計がフィルム１１の全幅Ｗ０以上有る２つのニップローラ１３を用いる場合と比べて、フィルム１１とニップローラ１３との接触面積が減るため、ニップ痕の発生を抑制することができる。
【００７２】
また、本例においては、ニップローラ１３の幅ＬＮは、フィルム１１の全幅Ｗ０の０．６％以上２０％以下である。幅ＬＮを全幅Ｗ０の０．６％以上とすることにより、検査の際に、フィルム１１に対して長手方向（Ｙ方向）のテンションＴＹが付与された場合でも、ニップローラ１３がフィルム１１を保持可能なニップ圧を確保することができる。これにより、テンションＴＹが付与された場合でも、ニップローラ１３からフィルム１１が外れてしまうことがないため、フィルム１１の幅方向の収縮を抑制することが可能となる。また、幅ＬＮを全幅Ｗ０の２０％以下とすることにより、ニップローラ１３に起因するフィルム１１に対するニップ痕の発生を抑制することができる。
【００７３】
また、本例においては、ニップローラ１３は、フィルム１１と接触する接触部分の材質がゴムである。こうした構成の効果について、図１８および図１９を用いて説明する。図１９に示すニップローラ３３は金属製である。
【００７４】
図１８に示すように、ゴム製のニップローラ１３とした場合、ニップローラ１３をフィルム１１に押圧接触させた場合に、ゴムがつぶれるため、接触部分１３Ａは、幅方向（Ｘ方向）に延びる線状になる。
【００７５】
これに対して、図１９に示すように、ニップローラ３３を金属製とした場合、ゴム製の場合と比較すると、接触部分３３Ａは、点状になりやすい。このように接触部分３３Ａが点状の場合は、ニップローラ３３とフィルム１１との接触が局所的な接触となりやすい。そうすると、点状の各接触部分３３Ａ間にテンションが作用し、テンションＴＹ以外の方向に余計な力が加わることになる。この場合は、筋状バリＳＢ以外の余計なシワが生じやすい。
【００７６】
図１８に示すように、接触部分１３Ａが線状の場合は、図１９に示す点状の接触部分３３Ａと比較して、ニップローラ１３とフィルム１１との接触状態が安定する。そのため、測定箇所ＭＡに対して、テンションＴＹの方向と異なる余計な力が加わりにくく、余計なシワが生じにくい。テンションＴＹも、図１９の例と比較して、測定箇所ＭＡの幅方向（Ｘ方向）のほぼ全域に渡って均等に作用する。このため、測定箇所ＭＡの幅方向（Ｘ方向）において、条件が均等になるため、図１９の例と比較して、適正に測定できる適正範囲の幅が広がる。図１８の例では、適正範囲は、フィルム１１の幅方向のほぼ全域に広がっている。
【００７７】
また、図１８に示すゴム製のニップローラ１３は、図１９に示す金属製のニップローラ３３と比較して、静止摩擦係数が高いので、金属製と比較して少ない力でフィルム１１をニップすることができる。これにより、ニップ痕も抑制される。
【００７８】
なお、本例においてはゴム製のニップローラ１３を使用した例で説明したが、検査装置１０に対して、金属製のニップローラ３３を使用してもよい。もちろん、上述のとおり、金属製と比較して、ゴム製のニップローラ１３の方が、メリットが多いので、ゴム製のニップローラ１３を使用することが好ましい。
【００７９】
また、本例においては、検出部２６Ａとして、図７に示すように、フィルム１１の表面の凹凸を角度として検出する角度検出器２６０を使用した例で説明したが、検出部２６Ａとしては、角度検出器２６０の代わりに、図２０に示すような変位量検出器４６０を使用してもよい。変位量検出器４６０は、光源４６１、受光センサ４６２および集光レンズ４６３を備えており、例えば、三角測距法に基づいて、対象物との距離を測定する。光源４６１が照射する光は、集光レンズ４６３を介してフィルム１１の表面に照射され、その反射光が集光レンズ４６４を介して受光センサ４６２に入射する。
【００８０】
フィルム１１を対象物として捉えると、フィルム１１の距離がＤ１からＤ２に変化すると、物体距離が変化するため、集光レンズ４６４による結像位置が変化する。具体的には、物体距離が短くなるほど、結像の公式に基づいて、結像位置は集光レンズ４６４から遠ざかる。例えば、物体距離がＤ１からＤ２のように短くなると、反射光の受光位置Ｐ１がＰ２に変化する。フィルム１１の表面に凹凸がある場合は、凹凸の位置によって物体距離が変化していると捉えることができる。このように、変位量検出器４６０は、受光センサ４６２における反射光の受光位置に基づいて、表面の凹凸を変位量として検出することができる。
【００８１】
検出部２６Ａとしては、こうした変位量検出器４６０を用いてもよいが、図７で説明した上述の角度検出器２６０の方が好ましい。角度検出器２６０の方が、変位量検出器４６０と比較して、表面の凹凸に関して、Ｓ／Ｎ（Signal/Noise）比を高く検出できるためである。というのも、変位量検出器４６０の場合は、物体距離に対して、検出対象となる凹凸の高低差が小さすぎるため、検出対象の信号がノイズに埋もれてしまいやすい。
【００８２】
これに対して、角度検出器２６０は、表面の凹凸における局所的な角度変化を信号として検出するため、変位量検出器４６０と比較して、Ｓ／Ｎ比が高くなる。また、角度検出器２６０は、Ｓ／Ｎ比が高いため、変位量検出器４６０よりも、フィルム１１の全体的な弛みなど長周期成分を検出しやすい。
【００８３】
また、図２１に示すように、支持ローラ１２およびニップローラ１３の配置については、図１および図５に示す例とは異なり、ニップローラ１３を上方に、支持ローラ１２を下方に配置してもよい。図２１に示す例では、必ずしも端部側ローラ２１（図１および図５参照）を設けなくてもよい。
【００８４】
また、ニップローラ１３として、１本の支持ローラ１２に対して２つずつ設けた例で説明したが、ニップローラ１３としては、例えば、１本の支持ローラ１２に対して１本ずつでもよい。この場合には、支持ローラ１２が２本であるため、ニップローラ１３は、合計２つになる。この場合のニップローラ１３は、１本でフィルム１１の幅方向の両端部を支持する必要があるため、支持ローラ１２と同程度の長さを持つ。もちろん、上記例のように、ニップローラ１３は、１本の支持ローラ１２に対して２つずつ設けた方が好ましい。というのもニップローラ１３とフィルム１１との接触面積が減り、その結果ニップ痕が抑制されるためである。
【００８５】
「第２実施形態」
第１実施形態の検査装置１０は、フィルム１１の製造ラインとは独立している例で説明したが、図２２に示す第２実施形態の検査装置１０１のように、フィルム１１の製造ラインに組み込まれたインラインタイプでもよい。製造ラインには、フィルム１１の製造装置４１が有り、検査装置１０１は、製造ライン内において、製造装置４１の後段に配置されている。また、製造装置４１と検査装置１０１との間には、アキューム装置４２が配置されている。
【００８６】
アキューム装置４２は、製造装置４１側のフィルム１１の送り側速度と、検査装置１０の後段に配置された、フィルム１１を巻き取る巻き取りロール４３の巻き取り速度との速度差を吸収する。アキューム装置４２は、例えば、Ｚ方向に移動してフィルム１１の弛み量を調節するダンサーローラ４２Ａを有している。アキューム装置４２は、ダンサーローラ４２Ａの移動により、フィルム１１の弛み量を調節することで、フィルム１１の送り側速度と巻き取り速度との速度差を吸収する。
【００８７】
検査装置１０１は、製造装置４１から供給されるフィルム１１に対して、フィルム１１の表面形状を検査する。アキューム装置４２を用いて、フィルム１１の弛み量を多くすることで、検査装置１０１に供給されるフィルム１１について、少なくとも、２本の支持ローラ１２の間のフィルム１１の測定箇所ＭＡの搬送を停止させることができる。これにより、測定箇所ＭＡを静止状態にして、フィルム１１の表面形状を測定することができる。
【００８８】
検査装置１０１は、静止状態の測定箇所ＭＡについてニップローラ１３と支持ローラ１２でニップを行う。そして、検査装置１０１は、フィルム１１をニップした状態で、フィルム１１の長手方向の両側から測定箇所ＭＡに対してテンションＴＹを付与する。テンションＴＹは、例えば、巻き取りロール４３の回転力、およびアキューム装置４２のダンサーローラ４２Ａの移動量を調節することによって付与される。すなわち、第２実施形態においては、巻き取りロール４３およびアキューム装置４２が、テンション付与機構として機能する。このように、本開示の技術に係る検査装置は、第１実施形態のように製造ラインから独立して設けてもよいし、第２実施形態のように製造ラインに組み込むことも可能である。
【００８９】
なお、フィルム１１を搬送させながら検査を行ってもよい。ただし、フィルム１１を搬送させると振動等により表面の凹凸の検出が困難になるため、上記各実施形態のように、静止状態で行うことが好ましい。
【００９０】
上記各実施形態において、例えば、検出器制御部２７Ａ、データ処理部２７Ｂといった各種の処理を実行する処理部（Processing Unit）のハードウェア的な構造としては、次に示す各種のプロセッサ（Processor）を用いることができる。各種のプロセッサには、ソフトウェアを実行して各種の処理部として機能する汎用的なプロセッサであるＣＰＵ（Central Processing Unit)に加えて、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の製造後に回路構成を変更可能なプロセッサであるプログラマブルロジックデバイス（Programmable Logic Device :ＰＬＤ）、及び／又はＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等の特定の処理を実行させるために専用に設計された回路構成を有するプロセッサである専用電気回路等が含まれる。
【００９１】
１つの処理部は、これらの各種のプロセッサのうちの１つで構成されてもよいし、同種または異種の２つ以上のプロセッサの組み合わせ（例えば、複数のＦＰＧＡの組み合わせ、及び／又は、ＣＰＵとＦＰＧＡとの組み合わせ）で構成されてもよい。また、複数の処理部を１つのプロセッサで構成してもよい。
【００９２】
複数の処理部を１つのプロセッサで構成する例としては、１つ以上のＣＰＵとソフトウェアの組み合わせで１つのプロセッサを構成し、このプロセッサが複数の処理部として機能する形態がある。第２に、システムオンチップ（System On Chip:ＳｏＣ）等に代表されるように、複数の処理部を含むシステム全体の機能を１つのＩＣ（Integrated Circuit）チップで実現するプロセッサを使用する形態がある。このように、各種の処理部は、ハードウェア的な構造として、上記各種のプロセッサの１つ以上を用いて構成される。
【００９３】
さらに、これらの各種のプロセッサのハードウェア的な構造としては、より具体的には、半導体素子等の回路素子を組み合わせた電気回路（circuitry）を用いることができる。
【００９４】
本明細書において、「Ａ及び／又はＢ」は、「Ａ及びＢのうちの少なくとも１つ」と同義である。つまり、「Ａ及び／又はＢ」は、Ａだけであってもよいし、Ｂだけであってもよいし、Ａ及びＢの組み合わせであってもよい、という意味である。また、本明細書において、３つ以上の事柄を「及び／又は」で結び付けて表現する場合も、「Ａ及び／又はＢ」と同様の考え方が適用される。
【００９５】
以上に示した記載内容および図示内容は、本開示の技術に係る部分についての詳細な説明であり、本開示の技術の一例に過ぎない。例えば、上記の構成、機能、作用、および効果に関する説明は、本開示の技術に係る部分の構成、機能、作用、および効果の一例に関する説明である。よって、本開示の技術の主旨を逸脱しない範囲内において、以上に示した記載内容および図示内容に対して、不要な部分を削除したり、新たな要素を追加したり、置き換えたりしてもよいことはいうまでもない。また、錯綜を回避し、本開示の技術に係る部分の理解を容易にするために、以上に示した記載内容および図示内容では、本開示の技術の実施を可能にする上で特に説明を要しない技術常識等に関する説明は省略されている。
【符号の説明】
【００９６】
１０、１０１  検査装置（フィルムの表面検査装置）
１１   フィルム
１２   支持ローラ
１３   ニップローラ
１３Ａ 接触部分
１４   テンション付与機構
１６   測定部
１７   テーブル
１７Ａ 天板
１８   ホルダ
１９   シャフト
２１   端部側ローラ
２３   ホルダ
２６   検出器ユニット
２６   検出ユニット
２６Ａ 検出部
２６Ｂ 移動機構
２６Ｃ 収容筐体
２７   制御ユニット
２７Ａ 検出器制御部
２７Ｂ データ処理部
２７Ｃ ディスプレイ
３３   ニップローラ
３３Ａ 接触部分
４１   製造装置
４２   アキューム装置
４２Ａ ダンサーローラ
２６０ 角度検出器
２６１ 光源
２６２ 受光部
２７１ 周波数処理部
２７２ 変換部
２７３ メモリ
４６０ 変位量検出器
４６１ 光源
４６２ 受光センサ
４６３、４６４       集光レンズ
θ０   基準角度
θ１、θ２    角度
Ｃ     ギャップ
Ｈ     法線
ＩＡ   入射光軸
ＬＮ   幅
ＭＡ   測定箇所
Ｐ１、Ｐ２    受光位置
ＲＡ、ＲＡ１、ＲＡ２ 反射光軸
ＳＢ   筋状バリ
ＳＬ   シワ
ＴＹ   長手方向のテンション
ＴＸ   幅方向のテンション
Ｗ０、Ｗ１、Ｗ２  幅
【図１】
2020148634.tif 000003
【図２】
2020148634.tif 000004
【図３】
2020148634.tif 000005
【図４】
2020148634.tif 000006
【図５】
2020148634.tif 000007
【図６】
2020148634.tif 000008
【図７】
2020148634.tif 000009
【図８】
2020148634.tif 000010
【図９】
2020148634.tif 000011
【図１０】
2020148634.tif 000012
【図１１】
2020148634.tif 000013
【図１２】
2020148634.tif 000014
【図１３】
2020148634.tif 000015
【図１４】
2020148634.tif 000016
【図１５】
2020148634.tif 000017
【図１６】
2020148634.tif 000018
【図１７】
2020148634.tif 000019
【図１８】
2020148634.tif 000020
【図１９】
2020148634.tif 000021
【図２０】
2020148634.tif 000022
【図２１】
2020148634.tif 000023
【図２２】
2020148634.tif 000024