(57)【要約】【課題】作業機に生ずる振動とこれに起因して床面に生ずる振動との双方を同時に低減することができる作業機の防振装置およびこの防振装置を備えた作業機を提供することを目的とする。【解決手段】作業部としての実装ヘッド１６を備える基台１１が脚部２１によって床面ＦＬ上に支持されている作業機１の防振装置２２が、脚部２１と床面ＦＬとの間に設置されるベース部３１と、基台下面１１Ｍから下方に張り出して設けられた基台側ガイド３２と、ベース部３１から上方に張り出して設けられたベース部側ガイド３３とを備える。ベース部側ガイド３３は、基台側ガイド３２に横方向から接触した状態で、基台側ガイド３２のベース部３１に対する横方向への相対移動を規制しつつ、基台側ガイド３２のベース部３１に対する上下方向への相対移動を許容する。【選択図】図３
2020169668.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作業部を備える基台が脚部によって床面上に支持されている作業機の防振装置であって、
前記脚部と前記床面との間に設置されるベース部と、
前記基台の前記床面と対向する基台下面から下方に張り出して設けられた基台側ガイドと、
前記ベース部から上方に張り出して設けられ、前記基台側ガイドに横方向から接触した状態で前記基台側ガイドの前記ベース部に対する横方向への相対移動を規制しつつ、前記基台側ガイドの前記ベース部に対する上下方向への相対移動を許容するベース部側ガイドとを備えた作業機の防振装置。
【請求項２】
前記基台側ガイドと前記ベース部側ガイドは、一方に設けられた転動部材が他方に上下方向に延びて設けられた壁面に対して転動自在に当接しており、これにより前記ベース部側ガイドは、前記基台側ガイドの前記ベース部に対する横方向への相対移動を規制しつつ、前記基台側ガイドの前記ベース部に対する上下方向への相対移動が許容する請求項１に記載の作業機の防振装置。
【請求項３】
前記基台側ガイドと前記ベース部側ガイドは、双方に上下方向に延びて設けられた摺接面同士が摺動自在に接触しており、これにより前記ベース部側ガイドは、前記基台側ガイドの前記ベース部に対する横方向への相対移動を規制しつつ、前記基台側ガイドの前記ベース部に対する上下方向への相対移動を許容する請求項１に記載の作業機の防振装置。
【請求項４】
前記ベース部を前記基台側ガイドに対して上下方向に相対移動自在に連結する連結部を備えた請求項１〜３のいずれかに記載の作業機の防振装置。
【請求項５】
前記脚部は弾性部材を介して前記ベース部に接触する請求項１〜４のいずれかに記載の作業機の防振装置。
【請求項６】
作業部を備える基台が脚部によって床面上に支持されている作業機であって、
前記脚部と前記床面との間に設置されるベース部と、
前記基台の前記床面と対向する基台下面から下方に張り出して設けられた基台側ガイドと、
前記ベース部から上方に張り出して設けられ、前記基台側ガイドに横方向から接触した状態で前記基台側ガイドの前記ベース部に対する横方向への相対移動を規制しつつ、前記基台側ガイドの前記ベース部に対する上下方向への相対移動を許容するベース部側ガイドと、
前記ベース部を前記基台側ガイドに対して上下方向に相対移動自在に連結する連結部とを備えた作業機。
【請求項７】
前記基台側ガイドと前記ベース部側ガイドは、一方に設けられた転動部材が他方に上下方向に延びて設けられた壁面に対して転動自在に当接しており、これにより前記ベース部側ガイドは、前記基台側ガイドの前記ベース部に対する横方向への相対移動を規制しつつ、前記基台側ガイドの前記ベース部に対する上下方向への相対移動を許容する請求項６に記載の作業機。
【請求項８】
前記基台側ガイドと前記ベース部側ガイドは、双方に上下方向に延びて設けられた摺接面同士が摺動自在に接触しており、これにより前記ベース部側ガイドは、前記基台側ガイドの前記ベース部に対する横方向への相対移動を規制しつつ、前記基台側ガイドの前記ベース部に対する上下方向への相対移動を許容する請求項６に記載の作業機。
【請求項９】
前記脚部は弾性部材を介して前記ベース部に接触する請求項６〜８のいずれかに記載の作業機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品実装機等の作業機の防振装置およびこの防振装置を備えた作業機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、作業部により所定の作業を行う作業機のひとつとして、基板に部品を実装する部品実装機が知られている。部品実装機は、脚部によって床面上に支持されている基台に対して作業部である実装ヘッドが移動し、部品供給部が供給する部品をピックアップして基板に実装する動作を繰り返し実行する。このような作業機では作業部が一定の動作を繰り返すため、この作業部の繰返し動作が加振源となって基台に振動が生じ得る。基台に生じた振動は作業機の作業そのものに悪影響を与えるほか、床面に伝達されて作業者に不快感を覚えさせる場合がある。
【０００３】
このような振動の問題を解決する手段として、従来、脚部の下面（床面との接触面）に防振ゴムを設置し、その防振ゴムの弾性によって基台側の振動を低減して床面側に伝達する方法が知られている（例えば、下記の特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１７／０８５８４０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のような防振ゴムが比較的軟質である場合には、床面側の振動を低減することができる一方で作業機の振動が大きくなり、防振ゴムが比較的硬質である場合には、作業機の振動が低減できる一方で床側の振動が大きくなるため、防振ゴムを用いた防振対策では、作業機に生ずる振動とこれに起因して床面に生ずる振動との双方を同時に低減できるものではなかった。
【０００６】
そこで本発明は、作業機に生ずる振動とこれに起因して床面に生ずる振動との双方を同時に低減することができる作業機の防振装置およびこの防振装置を備えた作業機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の作業機の防振装置は、作業部を備える基台が脚部によって床面上に支持されている作業機の防振装置であって、前記脚部と前記床面との間に設置されるベース部と、前記基台の前記床面と対向する基台下面から下方に張り出して設けられた基台側ガイドと、前記ベース部から上方に張り出して設けられ、前記基台側ガイドに横方向から接触した状態で前記基台側ガイドの前記ベース部に対する横方向への相対移動を規制しつつ、前記基台側ガイドの前記ベース部に対する上下方向への相対移動を許容するベース部側ガイドとを備えた。
【０００８】
本発明の作業機は、作業部を備える基台が脚部によって床面上に支持されている作業機であって、前記脚部と前記床面との間に設置されるベース部と、前記基台の前記床面と対向する基台下面から下方に張り出して設けられた基台側ガイドと、前記ベース部から上方に張り出して設けられ、前記基台側ガイドに横方向から接触した状態で前記基台側ガイドの前記ベース部に対する横方向への相対移動を規制しつつ、前記基台側ガイドの前記ベース部に対する上下方向への相対移動を許容するベース部側ガイドと、前記ベース部を前記基台側ガイドに対して上下方向に相対移動自在に連結する連結部とを備えた。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、作業機に生ずる振動とこれに起因して床面に生ずる振動との双方を同時に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態１における作業機の側面図
【図２】本発明の実施の形態１における作業機が備える防振装置の斜視図
【図３】本発明の実施の形態１における防振装置の側面図
【図４】本発明の実施の形態１における防振装置の一部分解斜視図
【図５】本発明の実施の形態１における防振装置の側面図
【図６】本発明の実施の形態２における作業機が備える防振装置の側面図
【図７】本発明の実施の形態３における作業機が備える防振装置の斜視図
【図８】本発明の実施の形態３における防振装置の一部断面側面図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１における作業機１を示している。作業機１は、上流工程側から供給された基板ＫＢに部品ＢＨを実装して下流工程側に搬出する部品実装機であり、基台１１、基板搬送部１２、フィーダ台車１３、パーツフィーダ１４、ヘッド移動機構１５、実装ヘッド１６、部品カメラ１７、制御装置１８等を備えている。実施の形態１では説明の便宜上、基板ＫＢの流れ方向をＸ軸方向、Ｘ軸方向と直交する水平方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とする。また、作業機１のＹ軸方向に沿った方向の一方側をフロント側とし、他方側をリア側とする。
【００１２】
図１および図２において、作業機１の基台１１の下部には下方に延びた複数の脚部２１が設けられており、基台１１はこれら複数の脚部２１によって床面ＦＬ上に支持されている。各脚部２１の下面には弾性部材である防振ゴム２１Ｇが設置されており、基台１１は各脚部２１の防振ゴム２１Ｇを介して床面ＦＬ上に支持された状態となっている。複数の脚部２１のそれぞれには防振装置２２が取り付けられている。防振装置２２の詳細については後述する。
【００１３】
基板搬送部１２はコンベア装置から構成されており、基台１１の上面側をＸ軸方向に延びて設けられている。基板搬送部１２は、上流工程側から供給される基板ＫＢをＸ軸方向に搬送して所定の作業位置に位置決めする。
【００１４】
図１において、フィーダ台車１３は基台１１のフロント側とリア側のそれぞれに連結されている。フィーダ台車１３の上部には水平面内に広がった平板状のフィーダベース部１３Ｂが設けられている。複数のパーツフィーダ１４はフィーダ台車１３のフィーダベース部１３Ｂに取り付けられており、それぞれ部品供給位置１４Ｋに部品ＢＨを供給する。
【００１５】
図１において、ヘッド移動機構１５は、基台１１の上方をＹ軸方向に延びて設けられた固定ビーム１５ａと、Ｘ軸方向に延びて一端側が固定ビーム１５ａに支持された移動ビーム１５ｂと、移動ビーム１５ｂに沿ってＸ軸方向に移動自在な移動プレート１５ｃから構成されている。実装ヘッド１６は移動プレート１５ｃに取り付けられており、固定ビーム１５ａに対する移動ビーム１５ｂのＹ軸方向への移動と、移動ビーム１５ｂに対する移動プレート１５ｃのＸ軸方向への移動とによって水平面内で移動される。
【００１６】
図１において、実装ヘッド１６には複数のノズル１６ａが下向きに取り付けられている。複数のノズル１６ａはそれぞれ、実装ヘッド１６に対して上下方向（Ｚ軸方向）への移動とＺ軸まわりの回転が可能である。各ノズルの下端には真空吸着力を発生させることができる。
【００１７】
図１において、部品カメラ１７は基台１１上のフロント領域とリア領域のそれぞれに設けられている。各部品カメラ１７は撮像視野を上方に向けており、実装ヘッド１６がノズル１６ａによって吸着保持した部品ＢＨを下方から撮像する。
【００１８】
制御装置１８は作業機１の基台１１内に備えられており（図１）、作業機１の各部の動作を制御する。作業機１が基板ＫＢに部品ＢＨを実装する部品実装作業を行うときには先ず、基板搬送部１２が作動して上流工程側から送られてきた基板ＫＢを搬入し、所定の作業位置に基板ＫＢを位置決めする。基板搬送部１２が基板ＫＢを作業位置に位置決めしたら、各パーツフィーダ１４が部品供給位置１４Ｋに部品ＢＨを供給し、その部品ＢＨを実装ヘッド１６がノズル１６ａにより吸着保持する。
【００１９】
ノズル１６ａが部品ＢＨを吸着保持したら、実装ヘッド１６は部品カメラ１７の上方へ移動し、部品カメラ１７は部品ＢＨを撮像する。制御装置１８は部品カメラ１７で撮像した画像に基づいて部品ＢＨの位置を検出し、その検出結果を利用して実装ヘッド１６を移動させ、部品ＢＨを基板ＫＢの目標位置の上方に位置させる。制御装置１８は、部品ＢＨを基板ＫＢの目標位置の上方に位置させたらノズル１６ａを昇降させ、ノズル１６ａが保持した部品ＢＨを基板ＫＢに実装させる。このように実施の形態１の作業機１において、実装ヘッド１６は、基台１１上で所定の作業（部品実装作業）を行う作業部となっている。上記のような基板ＫＢへの部品ＢＨの実装動作が繰り返し実行されてその基板ＫＢへの部品ＢＨの実装作業が終了したら、基板搬送部１２が作動して、基板ＫＢを下流工程側に搬出する。
【００２０】
次に、作業機１の脚部２１に取り付けられた防振装置２２について説明する。図２、図３および図４において、防振装置２２は、ベース部３１、２つの基台側ガイド３２、２つのベース部側ガイド３３および４つの連結部材３４を備えている。
【００２１】
図２、図３および図４において、ベース部３１は上面と下面がそれぞれ平らな板状の部材から構成されている。ベース部３１は床面ＦＬ上に設置され、脚部２１との間に介装される。前述のように、脚部２１の下面には防振ゴム２１Ｇが設置されているので、基台１１は防振ゴム２１Ｇを介して、脚部２１により、床面ＦＬ上に支持された状態となっている。
【００２２】
図２、図３および図４において、２つの基台側ガイド３２はそれぞれ基台１１の下面（床面ＦＬと上下に対向する面であり、「基台下面１１Ｍ」と称する）に取り付けられている。２つの基台側ガイド３２は脚部２１を横方向から挟む位置に配置されており、それぞれ下方（すなわち床面ＦＬ側）に張り出した形状を有している。
【００２３】
２つの基台側ガイド３２それぞれの下端には、転動部材としてのローラ４２が設けられている。２つのローラ４２それぞれは水平方向に延びて設けられた回動軸４１に取り付けられており、回動軸４１の中心軸線である回動軸線４１Ｊまわりに回動自在となっている。２つの基台側ガイド３２が有する２つのローラ４２は、回動軸線４１Ｊ同士が互いに平行になるように配置されている（図２および図３）。
【００２４】
図２、図３および図４において、２つのベース部側ガイド３３はそれぞれベース部３１に設けられている。２つのベース部側ガイド３３は２つの基台側ガイド３２を横方向から挟む位置に配置されており、それぞれ上方に張り出した形状を有している。２つのベース部側ガイド３３はそれぞれ、２つのベース部側ガイド３３を挟んで対向する垂直な壁面３３Ｔを有している。２つのベース部側ガイド３３それぞれの壁面３３Ｔにはローラ４２が横方向から当接している。
【００２５】
図２、図３および図４において、４つの連結部材３４はそれぞれベース部３１の上面に取り付けられている。連結部材３４は１つの基台側ガイド３２に対応して２つ、その基台側ガイド３２が有するローラ４２をその回動軸線４１Ｊの延びる方向から挟む位置に設けられている。各連結部材３４はその上部に上下方向に延びた長孔３５を有しており、基台側ガイド３２を挟んで配置された２つの連結部材３４が有する２つの長孔３５に、その基台側ガイド３２が備えるローラ４２の回動軸４１の両端が挿通されている。このようにベース部３１は、２つのローラ４２の回動軸４１および４つの連結部材３４を介して基台１１に連結された状態となっている。
【００２６】
ここで、各連結部材３４の長孔３５の下側端部３５ａは、ベース部３１を踏み付けた脚部２１によって基台１１が床面ＦＬ上に支持されている状態（床面設置状態）において、長孔３５内の回動軸４１が上方から接触しない位置に設けられている（図３）。このため床面設置状態にある基台１１の重量は専ら複数の脚部２１によって支持され、連結部材３４は基台１１の重量の支持には寄与しない。
【００２７】
床面設置状態にある基台１１を工場内のクレーン等によって上方に引き上げていった場合には、複数の脚部２１はいずれもベース部３１の上面から離間する（この間、２つのローラ４２それぞれは、対応する壁面３３Ｔ上を相対的に上方に移動する）。そして、その後、２つのローラ４２の回動軸４１それぞれの両端は、対応する２つの連結部材３４のそれぞれの長孔３５の上側端部３５ｂに当接し、ベース部３１は４つの連結部材３４および２つの基台側ガイド３２の２つのローラ４２の回動軸４１を介して基台１１からぶら下がった状態となる（図５）。このためベース部３１は、基台１１を上方に引き上げて基台１１を移動させるときであっても基台１１から分離しない。
【００２８】
ここで、各ベース部側ガイド３３の壁面３３Ｔの上端３３Ｊは、ベース部３１が４つの連結部材３４を介して基台１１にぶら下がった状態となったときの各ローラ４２の回動軸４１の高さよりも高い位置に位置している（図５）。このため、上記のように、工場内のクレーン等によって基台１１を上方に引き上げた場合であっても、基台側ガイド３２のローラ４２はベース部側ガイド３３の壁面３３Ｔに当接する状態を維持する。よって、基台１１を床面ＦＬに下せば、２つの基台側ガイド３２と２つのベース部側ガイド３３との位置関係はもとの状態に復旧する。
【００２９】
次に、防振装置２２の作用について説明する。実施の形態１における防振装置２２は、その防振装置２２を構成する２つの基台側ガイド３２が向かい合う横方向（図３中に示す矢印Ｓ。「所定の横方向」と称する）への振動に対して防振機能を発揮する。すなわち、２つの基台側ガイド３２は、２つのローラ４２を介して２つのベース部側ガイド３３によって挟まれているので、基台１１に上記所定の横方向への振動が生じた場合、２つの基台側ガイド３２のベース部３１に対する（すなわち床面ＦＬに対する）所定の横方向への相対移動が規制され、基台１１の床面ＦＬに対する所定の横方向の振動が抑えられる。このとき基台１１に生じた所定の横方向の振動は、基台側ガイド３２およびベース部側ガイド３３を通じて床面ＦＬに伝達されるが、床面ＦＬはその構造上、横方向（床面ＦＬに平行な方向）には振動しにくいので、基台１１は横に振動することなく保持される。
【００３０】
一方、基台１１に上下方向への振動が生じた場合には、２つの基台側ガイド３２の各ローラ４２が２つのベース部側ガイド３３の壁面３３Ｔ上を上下方向に転動することによって、基台１１がベース部３１に対して上下方向に相対移動する。このため、基台１１に生じた上下方向の振動は基台側ガイド３２およびベース部側ガイド３３を通じては床面ＦＬに伝達されず、基台１１の脚部２１（詳細には防振ゴム２１Ｇ）を通じて床面ＦＬに伝達される。従って、防振ゴム２１Ｇを振動吸収能力の高いものとしておくことにより、基台１１から床面ＦＬに伝達される上下方向の振動を大きく低減することができる。
【００３１】
このように、実施の形態１における作業機１の防振装置２２は、作業機１の基台１１の脚部２１と床面ＦＬとの間に設置されるベース部３１と、基台１１の床面ＦＬと対向する面である基台下面１１Ｍから張り出して設けられた基台側ガイド３２と、ベース部３１から上方に張り出して設けられたベース部側ガイド３３を備えた構成となっている。そして、ベース部側ガイド３３は、基台側ガイド３２に横方向から接触した状態で、基台側ガイド３２のベース部３１に対する横方向への相対移動を規制しつつ、基台側ガイド３２のベース部３１に対する上下方向への相対移動を許容するようになっている。より詳細には、基台側ガイド３２とベース部側ガイド３３は、基台側ガイド３２に設けられた転動部材であるローラ４２がベース部側ガイド３３に上下方向に延びて設けられた壁面３３Ｔに対して転動自在に当接しており、これによりベース部側ガイド３３は、基台側ガイド３２のベース部３１に対する横方向への相対移動を規制しつつ、基台側ガイド３２のベース部３１に対する上下方向への相対移動を許容するようになっている。
【００３２】
前述したように、１つの防振装置２２は、その防振装置２２が備える２つの基台側ガイド３２が対向する方向の振動のみを抑制する。このため、複数の脚部２１それぞれに取り付けられた防振装置２２が抑制する振動の方向を、一部の防振装置２２についてはＸ軸方向、他の一部の防振装置２２についてはＹ軸方向、とすることにより、作業機１に生ずるあらゆる横方向への振動を抑制することができる。
【００３３】
（実施の形態２）
図６は、本発明の実施の形態２における作業機の防振装置１２２を示している。作業機の構成は、防振装置１２２を除いて実施の形態１の作業機１と同様である。
【００３４】
図６において、防振装置１２２は、ベース部１３１、２つの基台側ガイド１３２、１つのベース部側ガイド１３３および２つの連結部材１３４を備えている。実施の形態２におけるベース部１３１の構成は実施の形態１におけるベース部３１と同様であり、実施の形態２におけるベース部側ガイド１３３および連結部材１３４の構成は、実施の形態１におけるベース部側ガイド３３および連結部材１３４とほぼ同様である。
【００３５】
図６において、実施の形態２における２つの基台側ガイド１３２は、ベース部側ガイド１３３を挟む位置に配置されている。ベース部側ガイド１３３は互いに平行な面となる２つの壁面１３３Ｔを有しており、これら２つの壁面１３３Ｔには、２つの基台側ガイド１３２それぞれが備えるローラ１４２が横方向から当接している。２つの連結部材１３４は、２つの基台側ガイド１３２のうちの一方が備えるローラ１４２の回動軸１４１をその回動軸線の延びる方向から挟む位置に配置されている。
【００３６】
実施の形態２においても、防振装置１２２は、その防振装置１２２を構成する２つの基台側ガイド１３２が向かい合う方向（所定の横方向。図６中に示す矢印Ｓ）への振動に対して防振機能を発揮する。すなわち、２つの基台側ガイド１３２は、２つのローラ１４２を介して１つのベース部側ガイド１３３を挟んでいるので、基台１１に上記所定の横方向への振動が生じた場合、２つの基台側ガイド１３２のベース部１３１に対する（すなわち床面ＦＬに対する）所定の横方向への移動が規制され、基台１１の床面ＦＬに対する所定の横方向への振動が抑えられる。このとき基台１１に生じた所定の横方向への振動は、基台側ガイド１３２およびベース部側ガイド１３３を通じて床面ＦＬに伝達されるが、床面ＦＬは前述したようにその構造上、横方向（床面ＦＬに平行な方向）には振動しにくいので、基台１１は横に振動することなく保持される。
【００３７】
一方、基台１１に上下方向への振動が生じた場合には、２つの基台側ガイド１３２の各ローラ１４２はベース部側ガイド１３３の２つの壁面１３３Ｔそれぞれの上を上下方向に転動することによって、基台１１がベース部１３１に対して上下方向に相対移動する。このため、基台１１に生じた上下方向の振動は基台側ガイド３２およびベース部側ガイド１３３を通じては床面ＦＬに伝達されず、基台１１の脚部２１（防振ゴム２１Ｇ）を通じて床面ＦＬに伝達される。従って、実施の形態１の場合と同様、防振ゴム２１Ｇを比較的軟質のものとしておくことにより、基台１１から床面ＦＬに伝達される上下方向の振動を大きく低減することができる。
【００３８】
このように、実施の形態２における作業機１の防振装置１２２は、実施の形態１における作業機１の防振装置２２と同様、作業機１の基台１１の脚部２１と床面ＦＬとの間に設置されるベース部１３１と、基台下面１１Ｍから張り出して設けられた基台側ガイド１３２と、ベース部１３１から上方に張り出して設けられたベース部側ガイド１３３を備えた構成となっている。そして、ベース部側ガイド１３３は、基台側ガイド１３２に横方向から接触した状態で、基台側ガイド１３２のベース部１３１に対する横方向への相対移動を規制しつつ、基台側ガイド１３２のベース部１３１に対する上下方向への相対移動を許容するようになっている。より詳細には、基台側ガイド１３２とベース部側ガイド１３３は、基台側ガイド１３２に設けられた転動部材であるローラ１４２がベース部側ガイド１３３に上下方向に延びて設けられた壁面１３３Ｔに対して転動自在に当接しており、これによりベース部側ガイド１３３は、基台側ガイド１３２のベース部１３１に対する横方向への相対移動を規制しつつ、基台側ガイド１３２のベース部１３１に対する上下方向への相対移動を許容するようになっている。
【００３９】
実施の形態２における防振装置１２２においても、実施の形態１における防振装置２２の場合と同様、１つの防振装置１２２は、その防振装置１２２が備える２つの基台側ガイド１３２が対向する方向の振動のみを抑制する。このため、複数の脚部２１それぞれに取り付けられた防振装置１２２が抑制する振動の方向を、一部の防振装置１２２についてはＸ軸方向、他の一部の防振装置１２２についてはＹ軸方向、とすることにより、作業機１に生ずるあらゆる横方向への振動を抑制することができる。
【００４０】
（実施の形態３）
図７および図８は、本発明の実施の形態３における作業機の防振装置２２２を示している。作業機の構成は、防振装置２２２を除いて実施の形態１の作業機１と同様である。
【００４１】
図７および図８において、防振装置２２２は、ベース部２３１、１つの基台側ガイド２３２、ベース部側ガイド２３３および２つの連結部材２３４を備えている。実施の形態３におけるベース部２３１の構成は実施の形態１の場合と同様である。基台側ガイド２３２は基台下面１１Ｍに設けられており、ベース部側ガイド２３３はベース部２３１の上面に設けられている。基台側ガイド２３２は下方に向けて延びた円柱または円筒状の部材から成り、円筒状の外面２３２Ｍを有している。ベース部側ガイド２３３は上方に向けて延びており、円筒状の内面２３３Ｍを有する筒状部２３３Ｓを内部に有している。基台側ガイド２３２はベース部側ガイド２３３（筒状部２３３Ｓ）に上方から嵌入しており、基台側ガイド２３２はその円筒状の外面２３２Ｍをベース部側ガイド２３３の（筒状部２３３Ｓの）円筒状の内面２３３Ｍに摺動させながら相対的に上下方向に移動できるようになっている。
【００４２】
図７および図８において、２つの連結部材２３４は基台下面１１Ｍに取り付けられている。２つの連結部材２３４はベース部側ガイド２３３を挟む位置に位置しており、それぞれ上下方向に延びた長孔２３５を有している。これら２つの長孔２３５には、ベース部側ガイド２３３の側面から横方向に突出して延びた２つの突起２３３Ｂが挿通している。このためベース部２３１は、２つの連結部材２３４およびベース部側ガイド２３３を介して基台１１に連結された状態となっている。
【００４３】
実施の形態３の防振装置２２２では、基台側ガイド２３２の円筒状の外面２３２Ｍがベース部側ガイド２３３の円筒状の内面２３３Ｍに接触しており、基台側ガイド２３２のベース部２３１に対する（すなわち床面ＦＬに対する）横方向への相対移動が規制される。このため、基台１１に生じたあらゆる横方向の振動が抑えられる。このとき基台１１に生じた横方向への振動は、基台側ガイド２３２およびベース部側ガイド２３３を通じて床面ＦＬに伝達されるが、床面ＦＬは横方向（床面ＦＬに平行な方向）には振動しにくいので、床面ＦＬの横方向への揺れは小さい。
【００４４】
一方、基台１１に上下方向への振動が生じた場合には、基台側ガイド２３２がその円筒状の外面２３２Ｍをベース部側ガイド２３３の円筒状の内面２３３Ｍに対して摺動させることによって、基台１１がベース部２３１に対して上下方向に相対移動する。このため、基台１１に生じた上下方向の振動は基台側ガイド２３２およびベース部側ガイド２３３を通じては床面ＦＬに伝達されず、基台１１の脚部２１（防振ゴム２１Ｇ）を通じて床面ＦＬに伝達される。従って、実施の形態１および実施の形態２の場合と同様、防振ゴム２１Ｇを比較的軟質のものとしておくことにより、基台１１から床面ＦＬに伝達される上下方向の振動を大きく低減することができる。
【００４５】
このように、実施の形態３における作業機１の防振装置２２２は、作業機１の基台１１の脚部２１と床面ＦＬとの間に設置されるベース部２３１と、基台下面１１Ｍに設けられた基台側ガイド２３２と、ベース部２３１から上方に張り出して設けられたベース部側ガイド２３３を備えた構成となっている。そして、ベース部側ガイド２３３は、基台側ガイド２３２に横方向から接触した状態で、基台側ガイド２３２のベース部２３１に対する横方向への相対移動を規制しつつ、基台側ガイド２３２のベース部２３１に対する上下方向への相対移動を許容するようになっている。より詳細には、基台側ガイド２３２とベース部側ガイド２３３は、双方に上下方向に延びて設けられた摺接面（基台側ガイド２３２の外面２３２Ｍとベース部側ガイド２３３の内面２３３Ｍ）同士が摺動自在に接触しており、これによりベース部側ガイド２３３は、基台側ガイド２３２のベース部２３１に対する横方向への相対移動を規制しつつ、基台側ガイド２３２のベース部２３１に対する上下方向への相対移動を許容するようになっている。
【００４６】
なお、上述したように、実施の形態３で示した防振装置２２２は、作業機１の基台１１に生じる水平面内のあらゆる方向（横方向）への振動を抑制することができるが、基台１１が備える複数の脚部２１のそれぞれに防振装置２２２を設けることで、基台１１の防振効果をより一層高めることができる。
【００４７】
以上説明したように、実施の形態１における作業機１では、その防振装置２２、１２２、２２２が、いずれも、作業機１の基台１１の脚部２１と床面ＦＬとの間に設置されるベース部３１，１３１，２３１と、基台１１の床面ＦＬと対向する面である基台下面１１Ｍから下方に張り出して設けられた基台側ガイド３２，１３２，２３２と、ベース部３１，１３１，２３１から上方に張り出して設けられたベース部側ガイド３３，１３３，２３３とを備えている。そして、ベース部側ガイド３３，１３３，２３３は、基台側ガイド３２，１３２，２３２に横方向から接触した状態で、基台側ガイド３２，１３２，２３２のベース部３１，１３１，２３１に対する横方向への相対移動を規制しつつ、基台側ガイド３２，１３２，２３２のベース部３１，１３１，２３１に対する上下方向への相対移動を許容する構成となっている。
【００４８】
このように、実施の形態１、実施の形態２および実施の形態３では、ベース部側ガイド３３，１３３，２３３が、基台側ガイド３２，１３２，２３２に横方向から接触して基台側ガイド３２，１３２，２３２のベース部３１，１３１，２３１に対する横方向への相対移動を規制することで、基台１１に生じた横方向の振動は小さく抑えられる。このとき、基台１１の横方向の振動は床面ＦＬ側に伝達されるが、床面ＦＬは一般に横方向（床面ＦＬの面内方向）へは振動しにくいため、床面ＦＬが横方向への振動によって作業者に与える影響は小さい。作業機１に生じた上下方向の振動は、脚部２１を通じて床面ＦＬに伝達されるが、脚部２１の下面に設けられた防振ゴムを比較的軟質のものとすることにより、床面ＦＬ側の上下方向の振動を小さく抑えることができる。このため本実施の形態１、実施の形態２および実施の形態３における作業機１（作業機１の防振装置２２，１２２，２２２）によれば、作業機１に生ずる振動とこれに起因して床面ＦＬに生ずる振動との双方を同時に低減することができる。
【００４９】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されず、種々の変形等が可能である。例えば、上述の実施の形態１および実施の形態２において、基台側ガイド３２，１３２はローラ４２，１４２をベース部側ガイド３３，１３３の壁面３３Ｔ，１３３Ｔに当接させる構成となっていたが、ローラ４２，１４２は転動部材であればよく、ボール部材等であってもよい。また、転動部材（ローラ４２，１４２）は基台側ガイド３２，１３２に設けられていたが、ベース部側ガイド３３，１３３に設けられていてもよい。この場合には、基台側ガイド３２，１３２に、転動部材が当接される壁面が形成される。すなわち、基台側ガイド３２，１３２とベース部側ガイド３３，１３３は、一方に設けられた転動部材が他方に上下方向に延びて設けられた壁面に対して転動自在に当接しており、これにより基台側ガイド３２，１３２はベース部３１，１３１に対する横方向への相対移動が規制され、かつ、ベース部３１，１３１に対する上下方向への相対移動が許容されるようになっていればよい。
【００５０】
また、実施の形態３では、基台側ガイド２３２が下方に向けて延びた円筒または円柱状の部材から成り、ベース部側ガイド２３３が上方に向けて延びた円筒状の内面を有する部材から成り、基台側ガイド２３２がベース部側ガイド２３３に上方から嵌入した構成であったが、これらは反対であってもよい。すなわち、ベース部側ガイド２３３が上方に向けて延びた円筒または円柱状の部材から成り、基台側ガイド２３２が下方に向けて延びた円筒状の内面を有する部材から成り、ベース部側ガイド２３３が基台側ガイド２３２に下方から嵌入する構成であってもよい。
【００５１】
また、前述の実施の形態１、実施の形態２および実施の形態３では、ベース部が連結部である連結部材によって基台側ガイドに対して上下方向に相対移動自在に連結された構成となっていたが、連結部を備えず、ベース部が基台側ガイドに対して分離可能になっていてもよい。この場合、基台を床面に設置するときは、先ず複数のベース部を基台が備える複数の脚の配置に応じて床面上に設置し、そのうえで各脚部が各ベース部を踏み付けるように基台を床面上に設置するようにする。また、防振装置は必ずしも基台が備える複数の脚部の全てに設けられる必要はなく、基台の防振を効果的に行うことができるのであれば、複数の脚部のうちの一部にのみ設けられるのであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
作業機に生ずる振動とこれに起因して床面に生ずる振動との双方を同時に低減することができる作業機の防振装置およびこの防振装置を備えた作業機を提供する。
【符号の説明】
【００５３】
１  作業機
１１  基台
１１Ｍ  基台下面
１６  実装ヘッド（作業部）
２１  脚部
２１Ｇ  防振ゴム（弾性部材）
２２，１２２，２２２  防振装置
３１，１３１，２３１  ベース部
３２，１３２，２３２  基台側ガイド
２３２Ｍ  外面（摺接面）
３３，１３３，２３３  ベース部側ガイド
３４，１３４，２３４  連結部材（連結部）
２３３Ｍ  内面（摺接面）
３３Ｔ，１３３Ｔ  壁面
４２，１４２  ローラ（転動部材）
ＦＬ  床面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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