(57)【要約】【課題】  熱バランスの収束を早め、熱応答性を向上させることができる赤外線センサを提供すること。【解決手段】  絶縁性フィルム２と、第１〜第３の感熱素子３Ａ，３Ｂ，３Ｃと、接続配線４と、第１〜第４の端子電極５Ａ〜５Ｄと、第１の受光領域及び第２の受光領域と、第２の感熱素子の直上を覆う赤外線遮蔽部とを備え、第１の感熱素子，第２の感熱素子，第３の感熱素子の順に並んで配され、接続配線が、第１の感熱素子と第１の端子電極とを接続する第１の配線部８Ａと、第１の感熱素子と第２の端子電極とを接続する第２の配線部８Ｂと、第２の感熱素子と第３の端子電極とを接続する第３の配線部８Ｃと、第３の感熱素子と第４の端子電極とを接続する第４の配線部８Ｄと、第１の感熱素子と第２の感熱素子とを接続する第５の配線部８Ｅと、第３の感熱素子と第２の感熱素子とを接続する第６の配線部８Ｆとを備えている。【選択図】図１
2020148469.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性フィルムと、
前記絶縁性フィルムの一方の面に設けられ一対の電極を有した第１〜第３の感熱素子と、
前記第１〜第３の感熱素子に接続され前記絶縁性フィルムの一方の面に形成された接続配線と、
前記絶縁性フィルムの一方の面に形成された第１〜第４の端子電極と、
前記絶縁性フィルムの他方の面に設けられ前記第１の感熱素子に対向した第１の受光領域及び前記第３の感熱素子に対向した第２の受光領域と、
前記絶縁性フィルムの他方の面に形成され前記第１の受光領域及び前記第２の受光領域を避けて少なくとも前記第２の感熱素子の直上を覆う赤外線遮蔽部とを備え、
前記第１〜第３の感熱素子が、前記第１の感熱素子，前記第２の感熱素子，前記第３の感熱素子の順に並んで配され、
前記接続配線が、前記第１の感熱素子と前記第１の端子電極とを接続する第１の配線部と、
前記第１の感熱素子と前記第２の端子電極とを接続する第２の配線部と、
前記第２の感熱素子と前記第３の端子電極とを接続する第３の配線部と、
前記第３の感熱素子と前記第４の端子電極とを接続する第４の配線部と、
前記第１の感熱素子と前記第２の感熱素子とを接続する第５の配線部と、
前記第３の感熱素子と前記第２の感熱素子とを接続する第６の配線部とを備えていることを特徴とする赤外線センサ。
【請求項２】
請求項１に記載の赤外線センサにおいて、
前記第１〜第３の感熱素子が、両端部に一対の前記電極を有するチップサーミスタであり、互いに一対の前記電極のうち一方を同一方向に向けて互いに平行に並んで配置され、
前記第５の配線部が、前記第１の感熱素子の一対の前記電極のうち前記一方と前記第２の感熱素子の一対の前記電極のうち他方とを接続し、
前記第６の配線部が、前記第２の感熱素子の一対の前記電極のうち他方と前記第３の感熱素子の一対の前記電極のうち前記一方とを接続していることを特徴とする赤外線センサ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の赤外線センサにおいて、
前記第１の感熱素子及び前記第３の感熱素子が、両端部に一対の前記電極を有するチップサーミスタであり、互いに一対の前記電極のうち一方を同一方向に向けて互いに平行に並んで配置され、
前記接続配線が、前記第１の感熱素子の前記電極に接続され前記第１の受光領域の直下に拡がった幅広伝熱部と、前記第３の感熱素子の前記電極に接続され前記第２の受光領域の直下に拡がった幅広伝熱部を有し、
前記第１の受光領域の直下の前記幅広伝熱部と、前記第２の受光領域の直下の前記幅広伝熱部とが、前記第２の感熱素子を中心にして互いに左右対称に形成されていることを特徴とする赤外線センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複写機やプリンタ等の加熱ローラの温度を測定することに好適で応答性に優れた赤外線センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、複写機やプリンタ等の画像形成装置に使用されている定着ローラ等の測定対象物の温度を測定するために、測定対象物に対向配置させ、その輻射熱を受けて温度を測定する赤外線センサが設置されている。
このような赤外線センサとしては、近年、柔軟性に優れると共に全体を薄くすることができる絶縁性フィルム上に薄膜サーミスタを形成したフィルム型赤外線センサが開発されている。
【０００３】
例えば、特許文献１及び２には、絶縁性フィルムと、該絶縁性フィルムの一方の面に互いに離間させて設けられた第１の感熱素子及び第２の感熱素子と、絶縁性フィルムの一方の面に形成され第１の感熱素子に接続された導電性の第１の配線膜及び第２の感熱素子に接続された導電性の第２の配線膜と、第２の感熱素子に対向して絶縁性フィルムの他方の面に設けられた赤外線反射膜とを備えた赤外線センサが記載されている。
また、特許文献３には、検出用の２つの感熱素子と補償用の１つの感熱素子との３つの感熱素子を備え、１つで２つの測定領域の温度を別々に測定することが可能な赤外線センサが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１６０６３５号公報
【特許文献２】特開２０１８−１６９１９２号公報
【特許文献３】特開２０１６−１６９９７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来の技術には、以下の課題が残されている。
すなわち、近年、上記特許文献３に記載されている赤外線センサのように、２つの検出用と１つの補償用との３つの感熱素子を用いる赤外線センサが検討されている。しかしながら、３つの感熱素子の場合、２つの感熱素子を用いる場合に比べて素子間で熱バランスの収束が悪くなってしまう場合がある。特に、検出側と補償側との熱バランスの収束が遅くなってしまうと、熱応答性が低下してしまう不都合があった。
【０００６】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、３つの感熱素子を用いた場合でも熱バランスの収束を早め、熱応答性を向上させることができる赤外線センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、第１の発明に係る赤外線センサは、絶縁性フィルムと、前記絶縁性フィルムの一方の面に設けられ一対の電極を有した第１〜第３の感熱素子と、前記第１〜第３の感熱素子に接続され前記絶縁性フィルムの一方の面に形成された接続配線と、前記絶縁性フィルムの一方の面に形成された第１〜第４の端子電極と、前記絶縁性フィルムの他方の面に設けられ前記第１の感熱素子に対向した第１の受光領域及び前記第３の感熱素子に対向した第２の受光領域と、前記絶縁性フィルムの他方の面に形成され前記第１の受光領域及び前記第２の受光領域を避けて少なくとも前記第２の感熱素子の直上を覆う赤外線遮蔽部とを備え、前記第１〜第３の感熱素子が、前記第１の感熱素子，前記第２の感熱素子，前記第３の感熱素子の順に並んで配され、前記接続配線が、前記第１の感熱素子と前記第１の端子電極とを接続する第１の配線部と、前記第２の感熱素子と前記第２の端子電極とを接続する第２の配線部と、前記第３の感熱素子と前記第３の端子電極とを接続する第３の配線部と、前記第３の感熱素子と前記第４の端子電極とを接続する第４の配線部と、前記第１の感熱素子と前記第２の感熱素子とを接続する第５の配線部と、前記第３の感熱素子と前記第２の感熱素子とを接続する第６の配線部とを備えていることを特徴とする。
【０００８】
この赤外線センサでは、接続配線が、第１の感熱素子と第１の端子電極とを接続する第１の配線部と、第１の感熱素子と第２の端子電極とを接続する第２の配線部と、第２の感熱素子と第３の端子電極とを接続する第３の配線部と、第３の感熱素子と第４の端子電極とを接続する第４の配線部と、第１の感熱素子と第２の感熱素子とを接続する第５の配線部と、第３の感熱素子と第２の感熱素子とを接続する第６の配線部とを備えているので、第４の端子電極をコモン端子とすると、第４の配線部と第５の配線部と第６の配線部とが共通のコモン配線となる。したがって、第５の配線部と第６の配線部とのコモン配線を介して並んだ第１〜第３の感熱素子が互いに接続されることで、第５の配線部と第６の配線部とを介して３つの感熱素子にそれぞれ熱が伝わり、各素子間で並んだ方向における熱バランスの収束が早くなる。
【０００９】
第２の発明に係る赤外線センサは、第１の発明において、前記第１〜第３の感熱素子が、両端部に一対の前記電極を有するチップサーミスタであり、互いに一対の前記電極のうち一方を同一方向に向けて互いに平行に並んで配置され、前記第５の配線部が、前記第１の感熱素子の一対の前記電極のうち前記一方と前記第２の感熱素子の一対の前記電極のうち他方とを接続し、前記第６の配線部が、前記第２の感熱素子の一対の前記電極のうち他方と前記第３の感熱素子の一対の前記電極のうち前記一方とを接続していることを特徴とする。
すなわち、この赤外線センサでは、第５の配線部が、第１の感熱素子の一対の電極のうち前記一方と第２の感熱素子の一対の電極のうち他方とを接続し、第６の配線部が、第２の感熱素子の一対の電極のうち他方と第３の感熱素子の一対の電極のうち前記一方とを接続しているので、互いに電極の前記一方を同一方向に向けた第１〜第３の感熱素子の前記向いた方向における熱バランスの収束も早くなる。
【００１０】
第３の発明に係る赤外線センサは、第１又は第２の発明において、前記第１の感熱素子及び前記第３の感熱素子が、両端部に一対の前記電極を有するチップサーミスタであり、互いに一対の前記電極のうち一方を同一方向に向けて互いに平行に並んで配置され、前記接続配線が、前記第１の感熱素子の前記電極に接続され前記第１の受光領域の直下に拡がった幅広伝熱部と、前記第３の感熱素子の前記電極に接続され前記第２の受光領域の直下に拡がった幅広伝熱部を有し、前記第１の受光領域の直下の前記幅広伝熱部と、前記第２の受光領域の直下の前記幅広伝熱部とが、前記第２の感熱素子を中心にして互いに左右対称に形成されていることを特徴とする。
すなわち、この赤外線センサでは、第１の受光領域の直下の幅広伝熱部と、第２の受光領域の直下の幅広伝熱部とが、第２の感熱素子を中心にして互いに左右対称に形成されているので、検出用である左右の第１の感熱素子と第３の感熱素子とで互いに対称的な幅広伝熱部によって同様の伝熱効果を得ると共に、中心の第２の感熱素子に対しても左右で同様の熱バランスの収束を得ることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明に係る赤外線センサによれば、接続配線が、第１の感熱素子と第１の端子電極とを接続する第１の配線部と、第１の感熱素子と第２の端子電極とを接続する第２の配線部と、第２の感熱素子と第３の端子電極とを接続する第３の配線部と、第３の感熱素子と第４の端子電極とを接続する第４の配線部と、第１の感熱素子と第２の感熱素子とを接続する第５の配線部と、第３の感熱素子と第２の感熱素子とを接続する第６の配線部とを備えているので、コモン配線の第５の配線部と第６の配線部とを介して３つの感熱素子にそれぞれ熱が伝わり、各素子間で並んだ方向における熱バランスの収束が早くなる。
したがって、本発明の赤外線センサによれば、熱応答性が高く、複写機やプリンタ等の加熱ローラの温度測定用として好適である。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る赤外線センサの一実施形態を示す平面図である。
【図２】本実施形態において、感熱素子実装前の状態の赤外線センサを示す裏面図である。
【図３】本実施形態において、赤外線センサを示す表面側を透視した裏面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明に係る赤外線センサにおける一実施形態を、図１から図３を参照しながら説明する。
【００１４】
本実施形態の赤外線センサ１は、図１から図３に示すように、絶縁性フィルム２と、絶縁性フィルム２の一方の面（表面）に設けられ一対の電極（図示略）を有した第１〜第３の感熱素子３Ａ，３Ｂ，３Ｃと、第１〜第３の感熱素子３Ａ，３Ｂ，３Ｃに接続され絶縁性フィルム２の一方の面に形成された接続配線４と、絶縁性フィルム２の一方の面に形成された第１〜第４の端子電極５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄと、絶縁性フィルム２の他方の面（受光側の面、裏面）に設けられ第１の感熱素子３Ａに対向した第１の受光領域６Ａ及び第３の感熱素子３Ｃに対向した第２の受光領域６Ｂと、絶縁性フィルム２の他方の面に形成され第１の受光領域６Ａ及び第２の受光領域６Ｂを避けて少なくとも第２の感熱素子３Ｂの直上を覆う赤外線遮蔽部７とを備えている。
【００１５】
上記第１〜第３の感熱素子３Ａ，３Ｂ，３Ｃが、第１の感熱素子３Ａ，第２の感熱素子３Ｂ，第３の感熱素子３Ｃの順に並んで配されている。
上記接続配線４は、第１の感熱素子３Ａと第１の端子電極５Ａとを接続する第１の配線部８Ａと、第１の感熱素子３Ａと第２の端子電極５Ｂとを接続する第２の配線部８Ｂと、第２の感熱素子３Ｂと第３の端子電極５Ｃとを接続する第３の配線部８Ｃと、第３の感熱素子３Ｃと第４の端子電極５Ｄとを接続する第４の配線部８Ｄと、第１の感熱素子３Ａと第２の感熱素子３Ｂとを接続する第５の配線部８Ｅと、第３の感熱素子３Ｃと第２の感熱素子３Ｂとを接続する第６の配線部８Ｆとを備えている。
【００１６】
第１〜第３の感熱素子３Ａ，３Ｂ，３Ｃは、両端部に一対の電極を有するチップサーミスタであり、互いに一対の電極のうち一方を同一方向に向けて互いに平行に並んで配置されている。
上記第５の配線部８Ｅは、第１の感熱素子３Ａの一対の電極のうち前記一方と第２の感熱素子３Ｂの一対の電極のうち他方とを接続している。
上記第６の配線部８Ｆは、第２の感熱素子３Ｂの一対の電極のうち他方と第３の感熱素子３Ｃの一対の電極のうち前記一方とを接続している。
【００１７】
すなわち、第５の配線部８Ｅは、第１の感熱素子３Ａの前記一方の電極と第２の感熱素子３Ｂの他方の電極とを接続するために、屈曲又は蛇行して延在している。
また、第６の配線部８Ｆは、第２の感熱素子３Ｂの他方の電極と第３の感熱素子３Ｃの前記一方の電極とを接続するために、屈曲又は蛇行して延在している。
なお、本実施形態では、第１〜第３の感熱素子３Ａ，３Ｂ，３Ｃの一対の電極のうち前記一方は、図１における上方の端部に形成された電極であり、他方は図１における下方の端部に形成された電極である。
【００１８】
上記接続配線４は、第１の感熱素子３Ａの電極に接続され第１の受光領域６Ａの直下に拡がった幅広伝熱部９Ａ，９Ｂと、第３の感熱素子３Ｃの電極に接続され第２の受光領域６Ｂの直下に拡がった幅広伝熱部９Ｃ，９Ｄを有し、第１の受光領域６Ａの直下の幅広伝熱部９Ａ，９Ｂと、第２の受光領域６Ｂの直下の幅広伝熱部９Ｃ，９Ｄとが、第２の感熱素子３Ｂを中心にして互いに左右対称に形成されている。
すなわち、上記第１の配線部８Ａは、第１の受光領域６Ａの直下で拡がった第１の幅広伝熱部９Ａを有している。すなわち、第１の幅広伝熱部９Ａは、第１の配線部８Ａの第１の感熱素子３Ａ側に配されて第１の配線部８Ａの第１の端子電極５Ａ側よりも幅広に形成されている。
上記第２の配線部８Ｂは、第１の受光領域６Ａの直下で拡がった第２の幅広伝熱部９Ｂを有している。すなわち、第２の幅広伝熱部９Ｂは、第２の配線部８Ｂの第１の感熱素子３Ａ側に配されて第２の配線部８Ｂの第２の端子電極５Ｂ側よりも幅広に形成されている。
【００１９】
上記第６の配線部８Ｆは、第２の受光領域６Ｂの直下で拡がった第３の幅広伝熱部９Ｃを有している。すなわち、第３の幅広伝熱部９Ｃは、第６の配線部８Ｆの第３の感熱素子３Ｃ側に配されて第６の配線部８Ｆの第２の感熱素子３Ｂ側よりも幅広に形成されている。
上記第４の配線部８Ｄは、第２の受光領域６Ｂの直下で拡がった第４の幅広伝熱部９Ｄを有している。すなわち、第４の幅広伝熱部９Ｄは、第４の配線部８Ｄの第３の感熱素子３Ｃ側に配されて第４の配線部８Ｄの第４の端子電極５Ｄ側よりも幅広に形成されている。
【００２０】
上記第１の受光領域６Ａと第２の受光領域６Ｂとは、第２の感熱素子３Ｂを中心にして互いに左右対称に形成されている。
上記第１の幅広伝熱部９Ａと第３の幅広伝熱部９Ｃとは、第２の感熱素子３Ｂを中心にして互いに左右対称に形成されている。
また、上記第２の幅広伝熱部９Ｂと第４の幅広伝熱部９Ｄとは、第２の感熱素子３Ｂを中心にして互いに左右対称に形成されている。
さらに、第５の配線部８Ｅと第６の配線部８Ｆとは、第２の感熱素子３Ｂを中心にして互いに左右対称に形成されている。
【００２１】
上記第１〜第４の配線部８Ａ〜８Ｄは、それぞれ対応する第１〜第３の感熱素子３Ａ，３Ｂ，３Ｃの一対の電極が接合され第１〜第３の感熱素子３Ａ，３Ｂ，３Ｃが実装される接着電極１０を有している。
上記赤外線遮蔽部７は、赤外線反射膜であって、絶縁性フィルム２の中央（第１の受光領域６Ａと第２の受光領域６Ｂとの間）で第２の感熱素子３Ｂ直上に配された幅広帯状部と、第１の受光領域６Ａ及び第２の受光領域６Ｂのそれぞれの周囲を覆って形成された細帯状部とを有している。
【００２２】
絶縁性フィルム２の一方の面には、４つのダミー端子１１がパターン形成されている。
すなわち、第１の端子電極５Ａと第３の端子電極５Ｃとの間に間隔を空けて２つのダミー端子１１が配置され、第２の端子電極５Ｂと第４の端子電極５Ｄとの間に間隔を空けて２つのダミー端子１１が配置されている。
なお、ダミー端子１１のうち１つは、第３の配線部８Ｃの途中に接続されている。
【００２３】
上記第１の配線部８Ａ，第２の配線部８Ｂ及び第４の配線部８Ｄは、第１の幅広伝熱部９Ａ，第２の幅広伝熱部９Ｂ及び第４の幅広伝熱部９Ｄから複数回折り返して蛇行した部分を介してそれぞれ対応する第１の端子電極５Ａ，第２の端子電極５Ｂ及び第４の端子電極５Ｄに達している。このように第１の配線部８Ａ，第２の配線部８Ｂ及び第４の配線部８Ｄが蛇行した部分を有しているので、対応する第１の端子電極５Ａ，第２の端子電極５Ｂ及び第４の端子電極５Ｄまでの熱抵抗を大きくすることが可能になる。
なお、第３の配線部８Ｃは、赤外線遮蔽部７の直下に配されて各幅広伝熱部よりも細い配線で第３の端子電極５Ｃに達している。
【００２４】
矩形状とされた各接着電極１０の各４辺のうち、３辺にくびれ部を介して部分的に対応する第１の配線部８Ａ〜第６の配線部８Ｆが接続されている。
なお、第１の配線部８Ａ〜第６の配線部８Ｆの接続部分に上記くびれ部を形成しているので、くびれ部がサーマルランドとして機能し、ハンダ時に熱が必要以上に周囲に逃げてハンダが溶け難くなってハンダ不良となることを抑制することができる。
【００２５】
本実施形態では、第１の受光領域６Ａ及び第２の受光領域６Ｂの直下に配された第１の感熱素子３Ａ及び第３の感熱素子３Ｃが赤外線の検出用素子とされ、赤外線遮蔽部７直下に配された第２の感熱素子３Ｂが補償用素子とされている。
なお、図１及び図２において、各端子電極、各接着電極１０、各配線部及び赤外線遮蔽部７をハッチングで図示している。また、図３において、表面側の各端子電極、各接着電極１０及び各配線部を破線で図示している。
【００２６】
上記絶縁性フィルム２は、ポリイミド樹脂シートで略長方形状に形成され、赤外線遮蔽部７，各配線部，各端子電極及び各接着電極１０が銅箔で形成されている。すなわち、これらは、絶縁性フィルム２とされるポリイミド基板の両面に、赤外線遮蔽部７，各配線部，各端子電極及び各接着電極が銅箔でパターン形成された両面フレキシブル基板によって作製されたものである。
なお、各幅広伝熱部は、上述したように銅箔で形成されているが、銅箔等の金属膜のように絶縁性フィルム２よりも熱伝導率が高い薄膜で形成されることが好ましい。
上記第１の端子電極５Ａ〜第４の端子電極５Ｄは、絶縁性フィルム２の角部近傍に配設されている。
【００２７】
上記赤外線遮蔽部７は、上述した銅箔と、該銅箔上に積層された金メッキ膜とで構成されている。
この赤外線遮蔽部７は、絶縁性フィルム２よりも高い赤外線反射率を有する材料で形成され、上述したように、銅箔上に金メッキ膜が施されて形成されている。なお、金メッキ膜の他に、例えば鏡面のアルミニウム蒸着膜やアルミニウム箔等で形成しても構わない。
【００２８】
上記第１〜第３の感熱素子３Ａ，３Ｂ，３Ｃは、両端部に電極（図示略）が形成されたチップサーミスタである。このサーミスタとしては、ＮＴＣ型、ＰＴＣ型、ＣＴＲ型等のサーミスタがあるが、本実施形態では、第１〜第３の感熱素子３Ａ，３Ｂ，３Ｃとして、例えばＮＴＣ型サーミスタを採用している。このサーミスタは、Ｍｎ−Ｃｏ−Ｃｕ系材料、Ｍｎ−Ｃｏ−Ｆｅ系材料等のサーミスタ材料で形成されている。
上記各接着電極１０には、それぞれ対応する第１〜第３の感熱素子３Ａ，３Ｂ，３Ｃの電極が半田等の導電性接着剤で接着されている。
【００２９】
このように本実施形態の赤外線センサ１では、接続配線４が、第１の感熱素子３Ａと第１の端子電極５Ａとを接続する第１の配線部８Ａと、第１の感熱素子３Ａと第２の端子電極５Ｂとを接続する第２の配線部８Ｂと、第２の感熱素子３Ｂと第３の端子電極５Ｃとを接続する第３の配線部８Ｃと、第３の感熱素子３Ｃと第４の端子電極５Ｄとを接続する第４の配線部８Ｄと、第１の感熱素子３Ａと第２の感熱素子３Ｂとを接続する第５の配線部８Ｅと、第３の感熱素子３Ｃと第２の感熱素子３Ｂとを接続する第６の配線部８Ｆとを備えているので、第１の端子電極５Ａをコモン端子とすると、第１の配線部８Ａと第５の配線部８Ｅと第６の配線部８Ｆとが共通のコモン配線となる。
【００３０】
したがって、第５の配線部８Ｅと第６の配線部８Ｆとのコモン配線を介して並んだ第１〜第３の感熱素子３Ａ，３Ｂ，３Ｃが互いに接続されることで、第５の配線部８Ｅと第６の配線部８Ｆとを介して３つの感熱素子にそれぞれ熱が伝わり、各素子間で並んだ方向における熱バランスの収束が早くなる。
【００３１】
また、第５の配線部８Ｅが、第１の感熱素子３Ａの一対の電極のうち前記一方と第２の感熱素子３Ｂの一対の電極のうち他方とを接続し、第６の配線部８Ｆが、第２の感熱素子３Ｂの一対の電極のうち他方と第３の感熱素子３Ｃの一対の電極のうち前記一方とを接続しているので、互いに電極の前記一方を同一方向に向けた第１〜第３の感熱素子３Ａ，３Ｂ，３Ｃの前記向いた方向における熱バランスの収束も早くなる。
【００３２】
さらに、第１の受光領域６Ａの直下の幅広伝熱部９Ａ，９Ｂと、第２の受光領域６Ｂの直下の幅広伝熱部９Ｃ，９Ｄとが、第２の感熱素子３Ｂを中心にして互いに左右対称に形成されているので、検出用である左右の第１の感熱素子３Ａと第３の感熱素子３Ｃとで互いに対称的な幅広伝熱部によって同様の伝熱効果を得ると共に、中心の第２の感熱素子３Ｂに対しても左右で同様の熱バランスの収束を得ることができる。
【００３３】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００３４】
例えば、上記実施形態では、第１の感熱素子及び第３の感熱素子が赤外線を直接吸収した絶縁性フィルムから伝導される熱を検出しているが、第１の感熱素子及び第３の感熱素子の直上であって絶縁性フィルムの一方の面（第１及び第２の受光領域）上に絶縁性フィルムよりも赤外線吸収性が高い赤外線吸収膜を形成しても構わない。この場合、さらに第１の感熱素子及び第３の感熱素子における赤外線吸収効果が向上して、第１及び第３の感熱素子と第２の感熱素子とのより良好な温度差分を得ることができる。すなわち、この赤外線吸収膜によって測定対象物からの輻射による赤外線を吸収するようにし、赤外線を吸収し発熱した赤外線吸収膜から絶縁性フィルムを介した熱伝導によって、直下の第１及び第３の感熱素子の温度が変化するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００３５】
１…赤外線センサ、２…絶縁性フィルム、３Ａ，３Ｂ，３Ｃ…第１〜第３の感熱素子、
４…接続配線、５Ａ〜５Ｄ…第１〜第４の端子電極、６Ａ…第１の受光領域、６Ｂ…第２の受光領域、７…赤外線遮蔽部、８Ａ…第１の配線部、８Ｂ…第２の配線部、８Ｃ…第３の配線部、８Ｄ…第４の配線部、８Ｅ…第５の配線部、８Ｆ…第６の配線部、９Ａ…第１の幅広伝熱部、９Ｂ…第２の幅広伝熱部、９Ｃ…第３の幅広伝熱部、９Ｄ…第４の幅広伝熱部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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