(57)【要約】      （修正有）【課題】超純水製造装置が備える限外濾過膜装置の液体流通用の配管の連結部が、外的要因による汚染防止可能であり、配管と限外濾過膜装置とを簡易に着脱することが可能な、超純水製造装置の提供。【解決手段】限外濾過膜装置１０へ被処理水を流入させる流入配管２１と限外濾過膜装置１０の流入口１２とを連結する第一連結部３１と、限外濾過膜装置１０から濃縮水を排出するための排出配管２２と限外濾過膜装置１０の排出口１３とを連結する第二連結部３２と、限外濾過膜装置１０から処理水を流出させるための流出配管２３と限外濾過膜装置１０の流出口１４とを連結する第三連結部３３とを備え、第一連結部３１、第二連結部３２及び第三連結部３３の連結部分に雄形状部３１ａ、３２ａ、３３ａと雌形状部３１ｂ、３２ｂ、３３ｂとが形成され、嵌合溝に嵌合させ雄形状部と雌形状部とを連結する。【選択図】図１
2020116496.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
限外濾過膜装置を備える超純水製造装置であって、
前記限外濾過膜装置へ被処理水を流入させるための流入配管と前記限外濾過膜装置の流入口とを連結する第一連結部と、
前記限外濾過膜装置から濃縮水を排出するための排出配管と前記限外濾過膜装置の排出口とを連結する第二連結部と、
前記限外濾過膜装置から処理水を流出させるための流出配管と前記限外濾過膜装置の流出口とを連結する第三連結部とを備え、
前記第一連結部、前記第二連結部及び前記第三連結部それぞれの連結部分に雄形状部と雌形状部とが形成され、
前記雌形状部と前記雄形状部とをその軸方向に互いに接近させて押し付けると、
前記雄形状部及び前記雌形状部のうち一方に設けられた嵌合部材が、前記雄形状部及び前記雌形状部のうち他方に設けられた嵌合溝に嵌合することにより、前記雄形状部と前記雌形状部とが連結するよう構成されている超純水製造装置。
【請求項２】
前記嵌合部材が前記雄形状部の外周面に径方向外側へ突出可能かつ没入可能に設けられたものであり、前記嵌合溝が前記雌形状部の内周面に設けられたものである請求項１に記載の超純水製造装置。
【請求項３】
前記嵌合部材が前記雌形状部の内周面に径方向内側へ突出可能かつ没入可能に設けられたものであり、前記嵌合溝が前記雄形状部の外周面に設けられたものである請求項１に記載の超純水製造装置。
【請求項４】
前記第一連結部、前記第二連結部及び前記第三連結部において、前記雌形状部が前記限外濾過膜装置側に配置される請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の超純水製造装置。
【請求項５】
限外濾過膜装置を備える超純水製造装置であって、
前記限外濾過膜装置へ被処理水を流入させるための流入配管と前記限外濾過膜装置の流入口とを連結する第一連結部材と、
前記限外濾過膜装置から濃縮水を排出するための排出配管と前記限外濾過膜装置の排出口とを連結する第二連結部材と、
前記限外濾過膜装置から処理水を流出させるための流出配管と前記限外濾過膜装置の流出口とを連結する第三連結部材とを備え、
前記第一連結部材、前記第二連結部材及び前記第三連結部材それぞれの連結部分に雄形状部と雌形状部とが形成され、
前記雌形状部と前記雄形状部とをその軸方向に互いに接近させて押し付けると、
前記雄形状部及び前記雌形状部のうち一方に設けられた嵌合部材が、前記雄形状部及び前記雌形状部のうち他方に設けられた嵌合溝に嵌合することにより、前記雄形状部と前記雌形状部とが連結するよう構成されている超純水製造装置。
【請求項６】
前記嵌合部材が前記雄形状部の外周面に径方向外側へ突出可能かつ没入可能に設けられたものであり、前記嵌合溝が前記雌形状部の内周面に設けられたものである請求項５に記載の超純水製造装置。
【請求項７】
前記嵌合部材が前記雌形状部の内周面に径方向内側へ突出可能かつ没入可能に設けられたものであり、前記嵌合溝が前記雄形状部の外周面に設けられたものである請求項５に記載の超純水製造装置。
【請求項８】
前記第一連結部材、前記第二連結部材及び前記第三連結部材において、前記雌形状部が前記限外濾過膜装置側に配置される請求項５から請求項７のいずれか一項に記載の超純水製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は超純水製造装置に関し、特に限外濾過膜装置を備える超純水製造装置における限外濾過膜装置の連結方式に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、半導体や液晶ディスプレイの製造工程に使用される超純水は、前処理システム、一次純水システム、サブシステム（二次純水システム）をこの順に備える超純水製造装置により、原水（工業用水、市水、井水等）を処理することで製造される。各システムの役割は次の通りである。
【０００３】
前処理システムは、凝集、加圧浮上（沈殿）、濾過（膜濾過）などによる除濁処理装置を備え、原水を除濁するためのものである。前処理システムは、原水に含まれる懸濁物質やコロイド物質を除去するとともに、高分子系有機物、疎水性有機物なども除去する。
【０００４】
一次純水システムは、前処理水を一時的に貯留するタンク、低圧もしくは超低圧型の逆浸透膜分離装置（ＲＯ装置）、電気脱イオン装置、脱気膜装置をこの順に備え、前処理水に含まれるイオン成分やＴＯＣ成分などの不純物を除去するためのものである。逆浸透膜分離装置は、塩類を除去するとともにイオン性、コロイド性のＴＯＣ成分を除去する。電気脱イオン装置は、塩類を除去するとともにイオン交換作用によりＴＯＣ成分を除去する。脱気装置は、二酸化炭素や酸素などの溶存ガスを除去する。なお、一次純水システムは、必要に応じて再生式のイオン交換装置などを備えていてもよい。
【０００５】
サブシステムは、低圧紫外線酸化装置（ＵＶ装置）、イオン交換装置、限外濾過膜装置（ＵＦ装置）などを備え、一次純水に含まれる極微量の微粒子や微量イオン、特に低分子の微量有機物のような不純物を除去し、より純度の高い超純水を製造するためのものである。低圧紫外線酸化装置は、低圧紫外線ランプより放出される波長１８５ｎｍの紫外線によってＴＯＣ成分を有機酸、さらにはＣＯ２まで分解する。分解により生成した有機物及びＣＯ２は、後段のイオン交換装置のイオン交換樹脂によって除去される。限外濾過膜装置は、微粒子を除去するとともに前段のイオン交換装置から流出したイオン交換樹脂の粒子も除去するものであって、通常、サブシステムの末端に配置される。
【０００６】
近年、半導体や液晶ディスプレイ製造分野において製品の微細化、高機能化及び高性能化が進んでおり、これに伴い、製品の洗浄等に用いる超純水の水質は極めて高清浄なものが要求されるようになっている。例えば、超純水中に存在することが許容される微粒子の粒径は２０ｎｍオーダーである。このため、超純水製造装置が備える限外濾過膜装置に対しても、低溶出性、微粒子高除去能が要求されている。とりわけ、外的要因によって限外濾過膜装置内が汚染することは極力回避する必要がある。
【０００７】
従来、限外濾過膜装置と液体流通用の配管との連結方式には、いわゆるユニオンソケット方式が採用されている。ユニオンソケット方式とは、雌管の環状溝に対して雄管の環状溝をねじ込むことにより連結するものであるため、着脱にはある程度の時間を要する。したがって、超純水製造装置のメンテナンスにおける限外濾過膜の着脱時に、限外濾過膜装置の内部が一時的に大気に暴露される状態となり、大気中の浮遊物質（微量金属や微粒子）により内部が汚染されるおそれがある。また、限外濾過膜の着脱は非常に手間がかかるため、使用水量の多い現場など、限外濾過膜の着脱本数が多い場合には、膜の立ち上げ時間、膜の交換時間及び膜の交換費用が増大してしまうという問題がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は上述のような事情に基づいてなされたものであり、超純水製造装置が備える限外濾過膜装置の内部が、液体流通用の配管との連結部から外的要因によって汚染されるのを防ぐことができるとともに、液体流通用の配管と限外濾過膜装置とを簡易に着脱することが可能な連結方式を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は第一に、限外濾過膜装置を備える超純水製造装置であって、前記限外濾過膜装置へ被処理水を流入させるための流入配管と前記限外濾過膜装置の流入口とを連結する第一連結部と、前記限外濾過膜装置から濃縮水を排出するための排出配管と前記限外濾過膜装置の排出口とを連結する第二連結部と、前記限外濾過膜装置から処理水を流出させるための流出配管と前記限外濾過膜装置の流出口とを連結する第三連結部とを備え、前記第一連結部、前記第二連結部及び前記第三連結部それぞれの連結部分に雄形状部と雌形状部とが形成され、前記雌形状部と前記雄形状部とをその軸方向に互いに接近させて押し付けると、前記雄形状部及び前記雌形状部のうち一方に設けられた嵌合部材が、前記雄形状部及び前記雌形状部のうち他方に設けられた嵌合溝に嵌合することにより、前記雄形状部と前記雌形状部とが連結するよう構成されている超純水製造装置を提供する（発明１）。
【００１０】
かかる発明（発明１）によれば、第一連結部、第二連結部及び第三連結部それぞれについて、雌形状部と雄形状部とをその軸方向に互いに接近させて押し付けるだけで、雄形状部及び雌形状部のうち一方に設けられた嵌合部材が、雄形状部及び雌形状部のうち他方に設けられた嵌合溝に嵌合することにより、雄形状部と雌形状部とが連結するよう構成されているので、ねじ込み式のユニオンソケット方式に比べて、超純水製造装置のメンテナンスの際、限外濾過膜の着脱を迅速かつ簡易に行うことができ、もって、限外濾過膜装置の内部が大気中の浮遊物質（微量金属や微粒子）により汚染されるのを防ぐことができる。また、限外濾過膜の着脱を極めて簡易に行うことができるので、使用水量の多い現場など、限外濾過膜の着脱本数が多い場合であっても、膜の立ち上げ時間、膜の交換時間及び膜の交換費用を低減させることができる。
【００１１】
上記発明（発明１）においては、前記嵌合部材が前記雄形状部の外周面に径方向外側へ突出可能かつ没入可能に設けられたものであり、前記嵌合溝が前記雌形状部の内周面に設けられたものであってもよい（発明２）。
【００１２】
かかる発明（発明２）によれば、雄形状部の外周面に径方向へ移動可能に設けられた嵌合部材が、径方向外側へ突出した状態で、雌形状部の内周面に設けられた嵌合溝に嵌合することにより、雄形状部と雌形状部とが連結するよう構成されているので、雄形状部と雌形状部とをより強固に連結することができる。
【００１３】
上記発明（発明１）においては、前記嵌合部材が前記雌形状部の内周面に径方向内側へ突出可能かつ没入可能に設けられたものであり、前記嵌合溝が前記雄形状部の外周面に設けられたものであってもよい（発明３）。
【００１４】
かかる発明（発明３）によれば、雌形状部の内周面に径方向へ移動可能に設けられた嵌合部材が、径方向内側へ突出した状態で、雄形状部の外周面に設けられた嵌合溝に嵌合することにより、雄形状部と雌形状部とが連結するよう構成されているので、雄形状部と雌形状部とをより強固に連結することができる。
【００１５】
上記発明（発明１−３）においては、前記第一連結部、前記第二連結部及び前記第三連結部において、前記雌形状部が前記限外濾過膜装置側に配置されるのが好ましい（発明４）。
【００１６】
かかる発明（発明４）によれば、第一連結部、第二連結部及び第三連結部において、限外濾過膜装置側に配置される雌形状部に向かって、配管側に配置される雄形状部を押し付けるだけで両者を連結することができるので、超純水製造装置のメンテナンスの際、限外濾過膜装置の内部が着脱直前まで大気に暴露されることはなく、装置内部が大気中の浮遊物質（微量金属や微粒子）により汚染されるのをより一層防ぐことができる。
【００１７】
また、本発明は第二に、限外濾過膜装置を備える超純水製造装置であって、前記限外濾過膜装置へ被処理水を流入させるための流入配管と前記限外濾過膜装置の流入口とを連結する第一連結部材と、前記限外濾過膜装置から濃縮水を排出するための排出配管と前記限外濾過膜装置の排出口とを連結する第二連結部材と、前記限外濾過膜装置から処理水を流出させるための流出配管と前記限外濾過膜装置の流出口とを連結する第三連結部材とを備え、前記第一連結部材、前記第二連結部材及び前記第三連結部材それぞれの連結部分に雄形状部と雌形状部とが形成され、前記雌形状部と前記雄形状部とをその軸方向に互いに接近させて押し付けると、前記雄形状部及び前記雌形状部のうち一方に設けられた嵌合部材が、前記雄形状部及び前記雌形状部のうち他方に設けられた嵌合溝に嵌合することにより、前記雄形状部と前記雌形状部とが連結するよう構成されている超純水製造装置を提供する（発明５）。
【００１８】
かかる発明（発明５）によれば、第一連結部材、第二連結部材及び第三連結部材それぞれについて、雌形状部と雄形状部とをその軸方向に互いに接近させて押し付けるだけで、雄形状部及び雌形状部のうち一方に設けられた嵌合部材が、雄形状部及び雌形状部のうち他方に設けられた嵌合溝に嵌合することにより、雄形状部と雌形状部とが連結するよう構成されているので、ねじ込み式のユニオンソケット方式に比べて、超純水製造装置のメンテナンスの際、限外濾過膜の着脱を迅速かつ簡易に行うことができ、もって、限外濾過膜装置の内部が大気中の浮遊物質（微量金属や微粒子）により汚染されるのを防ぐことができる。また、限外濾過膜の着脱を極めて簡易に行うことができるので、使用水量の多い現場など、限外濾過膜の着脱本数が多い場合であっても、膜の立ち上げ時間、膜の交換時間及び膜の交換費用を低減させることができる。さらに、第一連結部材を流入配管と限外濾過膜装置の流入口に、第二連結部材を排出配管と限外濾過膜装置の排出口に、第三連結部材を流出配管と限外濾過膜装置の流出口に、それぞれ取り付けるだけでいいので、液体流通配管及び限外濾過膜装置そのものの構造を変更する必要がなく、装置全体の設置費用を抑制することができる。
【００１９】
上記発明（発明５）においては、前記嵌合部材が前記雄形状部の外周面に径方向外側へ突出可能かつ没入可能に設けられたものであり、前記嵌合溝が前記雌形状部の内周面に設けられたものであってもよい（発明６）。
【００２０】
かかる発明（発明６）によれば、雄形状部の外周面に径方向へ移動可能に設けられた嵌合部材が、径方向外側へ突出した状態で、雌形状部の内周面に設けられた嵌合溝に嵌合することにより、雄形状部と雌形状部とが連結するよう構成されているので、雄形状部と雌形状部とをより強固に連結することができる。
【００２１】
上記発明（発明５）においては、前記嵌合部材が前記雌形状部の内周面に径方向内側へ突出可能かつ没入可能に設けられたものであり、前記嵌合溝が前記雄形状部の外周面に設けられたものであってもよい（発明７）。
【００２２】
かかる発明（発明７）によれば、雌形状部の内周面に径方向へ移動可能に設けられた嵌合部材が、径方向内側へ突出した状態で、雄形状部の外周面に設けられた嵌合溝に嵌合することにより、雄形状部と雌形状部とが連結するよう構成されているので、雄形状部と雌形状部とをより強固に連結することができる。
【００２３】
上記発明（発明５−７）においては、前記第一連結部材、前記第二連結部材及び前記第三連結部材において、前記雌形状部が前記限外濾過膜装置側に配置されるのが好ましい（発明８）。
【００２４】
かかる発明（発明８）によれば、第一連結部材、第二連結部材及び第三連結部材において、限外濾過膜装置側に配置される雌形状部に向かって、配管側に配置される雄形状部を押し付けるだけで両者を連結することができるので、超純水製造装置のメンテナンスの際、限外濾過膜装置の内部が着脱直前まで大気に暴露されることはなく、装置内部が大気中の浮遊物質（微量金属や微粒子）により汚染されるのをより一層防ぐことができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の超純水製造装置によれば、第一連結部、第二連結部及び第三連結部それぞれについて、雌形状部と雄形状部とをその軸方向に互いに接近させて押し付けるだけで、雄形状部及び雌形状部のうち一方に設けられた嵌合部材が、雄形状部及び雌形状部のうち他方に設けられた嵌合溝に嵌合することにより、雄形状部と雌形状部とが連結するよう構成されているので、ねじ込み式のユニオンソケット方式に比べて、超純水製造装置のメンテナンスの際、限外濾過膜の着脱を迅速かつ簡易に行うことができ、もって、限外濾過膜装置の内部が大気中の浮遊物質（微量金属や微粒子）により汚染されるのを防ぐことができる。また、限外濾過膜の着脱を極めて簡易に行うことができるので、使用水量の多い現場など、限外濾過膜の着脱本数が多い場合であっても、膜の立ち上げ時間、膜の交換時間及び膜の交換費用を低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は、本発明の第一実施形態に係る超純水製造装置が備える限外濾過膜装置の連結方式を示す模式図である。
【図２】図２は、本発明の第二実施形態に係る超純水製造装置が備える限外濾過膜装置の連結方式を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の超純水製造装置の実施の形態について、適宜図面を参照して説明する。以下に説明する実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであって、何ら本発明を限定するものではない。
【００２８】
〔第一実施形態〕
図１は本発明の第一実施形態に係る超純水製造装置が備える限外濾過膜装置１０の連結方式を示す模式図である。第一実施形態に係る超純水製造装置は、末端に限外濾過膜装置１０が連結されている。本実施形態において、限外濾過膜装置１０は、一方向に引き揃えられる複数本の中空糸膜（不図示）及びこれらの複数本の中空糸膜が収容されるケース１１とを備える。本実施形態において、限外濾過膜装置１０のケース１１は、一端に設けられる被処理水の流入口１２と、他端に設けられる濃縮水の排出口１３と、排出口１３寄りの側面に設けられる処理水（超純水）の流出口１４とを有する。なお、ケース１１の材質としては特に限定されず、例えば塩化ビニル樹脂、プロピレン樹脂、エチレン樹脂、エーテルスルホン樹脂、エポキシ樹脂、ＡＢＳ樹脂、シリコーン樹脂等を好適に用いることができる。
【００２９】
また、本実施形態に係る超純水製造装置は、限外濾過膜装置１０へ被処理水を流入させるための流入配管２１と、限外濾過膜装置１０から濃縮水を排出するための排出配管２２と、限外濾過膜装置１０から処理水である超純水を流出させるための流出配管２３とを備える。そして、流入配管２１と限外濾過膜装置１０の流入口１２とを連結する第一連結部３１と、排出配管２２と限外濾過膜装置１０の排出口１３とを連結する第二連結部３２と、流出配管２３と限外濾過膜装置１０の流出口１４とを連結する第三連結部３３とを備え、これら連結部３１、３２、３３それぞれの連結部分には、雄形状部３１ａ、３２ａ、３３ａと雌形状部３１ｂ、３２ｂ、３３ｂとが形成されている。
【００３０】
雄形状部３１ａ、３２ａ、３３ａと雌形状部３１ｂ、３２ｂ、３３ｂとは、その軸方向に互いに接近させて押し付けると、雄形状部及び雌形状部のうち一方に設けられた嵌合部材（不図示）が、雄形状部及び雌形状部のうち他方に設けられた嵌合溝（不図示）に嵌合することによって、いわゆるクイックジョイント方式により、雄形状部と雌形状部とが連結するよう構成されている。嵌合部材は、雄形状部と雌形状部をその軸方向に互いに接近させて押し付けた際に、嵌合溝に嵌合することによって、雄形状部と雌形状部とが連結するよう構成されていればよく、特に制限されるものではない。例えば、雄形状部又は雌形状部の外周面に形成された貫通孔を通じて径方向へ移動可能に設けられたボールやＯリング等の弾性部材が挙げられるが、超純水製造という用途を考慮すると、特に前者が好ましい。
【００３１】
例えば、連結部３１、３２、３３において、嵌合部材は、雄形状部３１ａ、３２ａ、３３ａの外周面に径方向へ移動可能に設けられたボールであり、嵌合溝は雌形状部３１ｂ、３２ｂ、３３ｂの内周面に設けられた溝であってもよい。この場合、嵌合部材としてのボールが、嵌合溝に嵌合するよう構成するためには、バネ等の付勢部材を用いることができる。
【００３２】
雄形状部と雌形状部がこのように構成されていることにより、雄形状部と雌形状部をその軸方向に互いに接近させて押し付けた際に、雄形状部の外周面に設けられた嵌合部材としてのボールが径方向の外側へ移動してその一部が雌形状部の内周面に設けられた嵌合溝に収容されることにより、雄形状部と雌形状部とが嵌合し、嵌合部材と嵌合溝の嵌合が解除されることによって嵌合状態が解除される。
【００３３】
または、嵌合部材は雌形状部３１ｂ、３２ｂ、３３ｂの内周面に径方向へ移動可能に設けられたボールであり、嵌合溝は雄形状部３１ａ、３２ａ、３３ａの外周面に設けられたものであってもよい。この場合、嵌合部材としてのボールが、嵌合溝に嵌合するよう構成するためには、バネ等の付勢部材を用いることができる。
【００３４】
雄形状部と雌形状部がこのように構成されていることにより、雄形状部と雌形状部をその軸方向に互いに接近させて押し付けた際に、雄形状部の内周面に設けられた嵌合部材としてのボールが径方向の内側へ移動してその一部が雄形状部の外周面に設けられた嵌合溝に収容されることにより、雄形状部と雌形状部とが嵌合し、嵌合部材と嵌合溝の嵌合が解除されることによって嵌合状態が解除される。
【００３５】
本実施形態においては、第一連結部３１、第二連結部３２及び第三連結部３３において、雌形状部３１ｂ、３２ｂ、３３ｂが限外濾過膜装置１０側に配置されている。雌形状部３１ｂ、３２ｂ、３３ｂが限外濾過膜装置１０側に配置されていることにより、第一連結部３１、第二連結部３２及び第三連結部３３において、限外濾過膜装置１０側に配置される雌形状部３１ｂ、３２ｂ、３３ｂに向かって、配管側に配置される雄形状部３１ａ、３２ａ、３３ａを押し付けるだけで両者を連結することができる。
【００３６】
このように、本実施形態の超純水製造装置によれば、第一連結部３１、第二連結部３２及び第三連結部３３それぞれについて、雄形状部３１ａ、３２ａ、３３ａと雌形状部３１ｂ、３２ｂ、３３ｂとをその軸方向に互いに接近させて押し付けるだけで、雄形状部及び雌形状部のうち一方に設けられた嵌合部材が、雄形状部及び雌形状部のうち他方に設けられた嵌合溝に嵌合することにより、雄形状部と雌形状部とが連結するよう構成されているので、ねじ込み式のユニオンソケット方式に比べて、超純水製造装置のメンテナンスの際、限外濾過膜の着脱を迅速かつ簡易に行うことができる。
【００３７】
なお、限外濾過膜装置１０へ連結される流入配管２１、排出配管２２及び流出配管２３の材質としては、製造される超純水への材質の溶出を防ぐために、Ｃ−ＰＶＣ（塩素化ポリ塩化ビニル）であることが好ましく、超純水製造装置が温超純水製造装置の場合には、特にＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）であることが好ましい。第一連結部３１、第二連結部３２及び第三連結部３３の材質としても、製造される超純水への材質の溶出を防ぐために、Ｃ−ＰＶＣ（塩素化ポリ塩化ビニル）であることが好ましく、超純水製造装置が温超純水製造装置の場合には、特にＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）であることが好ましい。限外濾過膜装置１０の接続ポートの材質としては、ポリスルホン系が一般的である。
【００３８】
〔第二実施形態〕
図２は本発明の第二実施形態に係る超純水製造装置が備える限外濾過膜装置１０’の連結方式を示す模式図である。第二実施形態に係る超純水製造装置は、末端に限外濾過膜装置１０’が連結されている。本実施形態において、限外濾過膜装置１０’は、一方向に引き揃えられる複数本の中空糸膜（不図示）及びこれらの複数本の中空糸膜が収容されるケース１１’とを備える。本実施形態において、限外濾過膜装置１０’のケース１１’は、一端に設けられる被処理水の流入口１２と、他端に設けられる濃縮水の排出口１３と、排出口１３寄りの側面に設けられる処理水（超純水）の流出口１４と、流入口１２寄りの側面に設けられる処理水（超純水）の流出口１４’とを有する。なお、ケース１１’の材質としては特に限定されず、例えば塩化ビニル樹脂、プロピレン樹脂、エチレン樹脂、エーテルスルホン樹脂、エポキシ樹脂、ＡＢＳ樹脂、シリコーン樹脂等を好適に用いることができる。
【００３９】
また、本実施形態に係る超純水製造装置は、限外濾過膜装置１０’へ被処理水を流入させるための流入配管２１と、限外濾過膜装置１０から濃縮水を排出するための排出配管２２と、限外濾過膜装置１０’から処理水である超純水を流出させるための流出配管２３及び２３’とを備える。そして、流入配管２１と限外濾過膜装置１０’の流入口１２とを連結する第一連結部３１と、排出配管２２と限外濾過膜装置１０’の排出口１３とを連結する第二連結部３２と、流出配管２３と限外濾過膜装置１０の流出口１４とを連結する第三連結部３３と、流出配管２３’と限外濾過膜装置１０の流出口１４’とを連結する第四連結部３３’とを備え、これら連結部３１、３２、３３、３３’それぞれの連結部分には、雄形状部３１ａ、３２ａ、３３ａ、３３’ａと雌形状部３１ｂ、３２ｂ、３３ｂ、３３’ｂが形成されている。
【００４０】
雌形状部３１ｂ、３２ｂ、３３ｂ、３３’ｂと雄形状部３１ａ、３２ａ、３３ａ、３３’ａとは、その軸方向に互いに接近させて押し付けると、雄形状部及び雌形状部のうち一方に設けられた嵌合部材が、雄形状部及び雌形状部のうち他方に設けられた嵌合溝に嵌合することによって、いわゆるクイックジョイント方式により、雄形状部と雌形状部とが連結するよう構成されている。嵌合部材としては、第一実施形態と同様のものが好ましい。
【００４１】
本実施形態においては、第一実施形態と同様に、第一連結部３１、第二連結部３２、第三連結部３３及び第四連結部３３’において、雌形状部３１ｂ、３２ｂ、３３ｂ、３３’ｂが限外濾過膜装置１０側に配置されている。
【００４２】
なお、限外濾過膜装置１０’へ連結される流入配管２１、排出配管２２及び流出配管２３、２３’の材質及び、第一連結部３１、第二連結部３２、第三連結部３３及び第四連結部３３’の材質としても、第一実施形態と同様のものが好ましい。
【００４３】
〔第三実施形態〕
第三実施形態に係る超純水製造装置は、第一実施形態に係る超純水製造装置と同様に、末端に限外濾過膜装置が連結されており、限外濾過膜装置へ被処理水を流入させるための流入配管と、限外濾過膜装置から濃縮水を排出するための排出配管と、限外濾過膜装置から処理水である超純水を流出させるための流出配管とを備える。そして、第三実施形態に係る超純水製造装置は、流入配管と限外濾過膜装置の流入口とを連結する第一連結部材と、排出配管と限外濾過膜装置の排出口とを連結する第二連結部材と、流出配管と限外濾過膜装置の流出口とを連結する第三連結部材とを備え、これら連結部材それぞれの連結部分には、雄形状部と雌形状部とが形成されている。雄形状部と雌形状部との連結方式は、第一実施形態と同様である。
【００４４】
このように、第三実施形態は、第一実施形態における第一連結部３１、第二連結部３２、第三連結部３３がそれぞれ、第一連結部材、第二連結部材、第三連結部材という、液体流通配管及び限外濾過膜装置と連続しない別個の部材により構成されている以外は、第一実施形態と同様であるため、図面及び詳細な説明を省略する。
【００４５】
第三実施形態に係る超純水製造装置によれば、第一連結部材を流入配管と限外濾過膜装置の流入口に、第二連結部材を排出配管と限外濾過膜装置の排出口に、第三連結部材を流出配管と限外濾過膜装置の流出口に、それぞれ取り付けるだけでいいので、液体流通配管及び限外濾過膜装置そのものの構造を変更する必要がなく、装置全体の設置費用を抑制することができる。
【００４６】
〔第四実施形態〕
第四実施形態に係る超純水製造装置は、第二実施形態に係る超純水製造装置と同様に、末端に限外濾過膜装置が連結されており、限外濾過膜装置へ被処理水を流入させるための流入配管と、限外濾過膜装置から濃縮水を排出するための排出配管と、限外濾過膜装置から処理水である超純水を流出させるための二本の流出配管とを備える。そして、第四実施形態に係る超純水製造装置は、流入配管と限外濾過膜装置の流入口とを連結する第一連結部材と、排出配管と限外濾過膜装置の排出口とを連結する第二連結部材と、一方の流出配管と限外濾過膜装置の一方の流出口とを連結する第三連結部材と、もう一方の流出配管と限外濾過膜装置のもう一方の流出口とを連結する第四連結部材とを備え、これら連結部材それぞれの連結部分には、雄形状部と雌形状部とが形成されている。雄形状部と雌形状部との連結方式は、第二実施形態と同様である。
【００４７】
このように、第四実施形態は、第二実施形態における第一連結部３１、第二連結部３２、第三連結部３３、第四連結部３３’がそれぞれ、第一連結部材、第二連結部材、第三連結部材、第四連結部材という、液体流通配管及び限外濾過膜装置と連続しない別個の部材により構成されている以外は、第二実施形態と同様であるため、図面及び詳細な説明を省略する。
【００４８】
第四実施形態に係る超純水製造装置によれば、第一連結部材を流入配管と限外濾過膜装置の流入口に、第二連結部材を排出配管と限外濾過膜装置の排出口に、第三連結部材を一方の流出配管と限外濾過膜装置の一方の流出口に、第四連結部材をもう一方の流出配管と限外濾過膜装置のもう一方の流出口に、それぞれ取り付けるだけでいいので、液体流通配管及び限外濾過膜装置そのものの構造を変更する必要がなく、装置全体の設置費用を抑制することができる。
【００４９】
以上、本発明について添付図面を参照して説明してきたが、本発明は上記実施形態に限らず種々の変更実施が可能である。例えば、上記実施形態においては、限外濾過膜装置として、中空糸膜によるものを用いているがこれに限られるものではなく、スパイラル膜やチューブラー膜、平膜によるものであってもよい。また、限外濾過膜装置の数は１つに限定されるものではなく、複数であってもよい。
【符号の説明】
【００５０】
１０、１０’  限外濾過膜装置
１１、１１’  ケース
１２  流入口
１３  排出口
１４、１４’  流出口
２１  流入配管
２２  排出配管
２３、２３’  流出配管
３１  第一連結部
３１ａ  雄形状部
３１ｂ  雌形状部
３２  第二連結部
３２ａ  雄形状部
３２ｂ  雌形状部
３３  第三連結部
３３ａ  雄形状部
３３ｂ  雌形状部
３３’  第四連結部
３３’ａ  雄形状部
３３’ｂ  雌形状部
【図１】
2020116496.tif 000003
【図２】
2020116496.tif 000004