(57)【要約】      （修正有）【課題】測定精度及び耐食性が改善された電気化学センサ電極の提供を課題とする。【解決手段】電気伝導体からなる筒状体２ａと、その筒状体の両端の開口部に備えられた電気伝導体からなる網３ａと、筒状体の内部に備えられた電気伝導体からなる複数の粒状体４ａと、を備えた流体の特定成分の濃度を検出する電気化学センサ電極１であって、筒状体と網と粒状体の表面には１μｍ以上の厚さの連続した炭素緻密膜が被覆されていることを特徴とする電気化学センサ電極。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気伝導体からなる筒状体と、その筒状体の両端の開口部に備えられた電気伝導体からなる網と、筒状体の内部に備えられた電気伝導体からなる複数の粒状体と、を備えた流体の特定成分の濃度を検出する電気化学センサ電極であって、
筒状体と網と粒状体の表面には１μｍ以上の厚さの連続した炭素緻密膜が被覆されて
いることを特徴とする電気化学センサ電極。
【請求項２】
電気伝導体からなる筒状体と、その筒状体の両端の開口部に備えられた電気伝導体からなる網と、筒状体の内部に備えられた電気伝導体からなる複数の粒状体と、を備えた流体の特定成分の濃度を検出する電気化学センサ電極であって、
筒状体と網と粒状体の表面には１μｍ以上の厚さの連続した炭素緻密膜が被覆されており、
前記炭素緻密膜の表面には、検出対象の流体の特定成分の濃度を検知可能な感応物質が形成されていることを特徴とする電気化学センサ電極。
【請求項３】
前記感応物質が、酸化錫であることを特徴とする請求項２に記載の電気化学センサ電極。
【請求項４】
前記電気伝導体が、ステンレス鋼であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の電気化学センサ電極。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の電気化学センサ電極を２個使用した電気化学センサであって、
前記電気化学センサ電極の一方の開口部に、電気的絶縁体を介して、もう一方の電気化学センサ電極の開口部を配置して一体化した筒状体からなることを特徴とする電気化学センサ。
【請求項６】
電気伝導体からなる筒状体を準備する工程と、
筒状体の一方の開口部に電気伝導体からなる網を設置する工程と、
筒状体のもう一方の開口部から内部に電気伝導体からなる複数の粒状体を充填する工程と、
筒状体のもう一方の開口部に電気伝導体からなる網を設置する工程と、
筒状体と、その内部に充填した粒状体と、網と、に溶融塩電気化学プロセスによる炭素緻密膜を１μｍの厚さで形成する工程と、を備えていることを特徴とする電気化学センサ電極の製造方法。
【請求項７】
請求項５に記載の電気化学センサの製造方法であって、
前記電気化学センサ電極を準備する工程と、
２つの前記電気化学センサ電極を、電気絶縁体を介して連接して配置することにより、一体化した筒状体を形成する工程と、を備えていることを特徴とする電気化学センサの製造方法。
【請求項８】
請求項５に記載の電気化学センサの製造方法であって、
前記電気化学センサ電極を準備する工程と、
２つの前記電気化学センサ電極を、電気絶縁体を介して連接して配置することにより、一体化した筒状体を形成する工程と、
一体化した筒状体に感応物質を塗布する工程と、を備えていることを特徴とする電気化学センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気化学センサ電極と、それを使用した電気化学センサ、およびそれらの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、血液、呼気、河川の水、自動車の排気ガスなど様々な流体を、電気化学センサで測定することが行われている。例えば、血液中のグルコース濃度（特許文献１）、呼気中のアルコール濃度（特許文献２）、河川の水の溶存酸素濃度（特許文献３）、自動車の排気ガス中の一酸化炭素濃度（特許文献４）、などが電気化学センサで測定可能である。
【０００３】
電気化学センサにおいては、測定精度や耐食性の改善が求められている。例えば、測定精度の改善による解析の適正化や、耐食性の改善による腐食環境での連続使用を可能とする事など、が求められている。
【０００４】
例えば、特許文献５に記載されている電気化学センサにおいては、電極表面を１μｍ以上の厚さの連続した炭素緻密膜で被覆することにより、耐食性の向上は可能となったが、測定精度の向上については、何ら記載されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５４２６９１２号公報
【特許文献２】特許第３１６１０６５号公報
【特許文献３】特公平６−２３７１７号公報
【特許文献４】特許第４４５８７９５号公報
【特許文献５】特開２０１７−１２９５７２号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】第７６回応用物理学会秋季学術講演会  講演予稿集１３ｐ−１Ｂ−５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記の事情に鑑み、測定精度及び耐食性が改善されたセンサ電極の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決する手段として、本発明の第一の態様は、電気伝導体からなる筒状体と、その筒状体の両端の開口部に備えられた電気伝導体からなる網と、筒状体の内部に備えられた電気伝導体からなる複数の粒状体と、を備えた流体の特定成分の濃度を検出する電気化学センサ電極であって、
筒状体と網と粒状体の表面には１μｍ以上の厚さの連続した炭素緻密膜が被覆されて
いることを特徴とする電気化学センサ電極である。
【０００９】
また、第二の態様は、電気伝導体からなる筒状体と、その筒状体の両端の開口部に備えられた電気伝導体からなる網と、筒状体の内部に備えられた電気伝導体からなる複数の粒状体と、を備えた流体の特定成分の濃度を検出する電気化学センサ電極であって、
筒状体と網と粒状体の表面には１μｍ以上の厚さの連続した炭素緻密膜が被覆されており、
前記炭素緻密膜の表面には、検出対象の流体の特定成分の濃度を検知可能な感応物質が形成されていることを特徴とする電気化学センサ電極である。
【００１０】
また、第三の態様は、前記電気伝導体が、ステンレス鋼であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の電気化学センサ電極である。
【００１１】
また、第四の態様は、前記感応物質が、酸化錫であることを特徴とする請求項２または３に記載の電気化学センサ電極である。
【００１２】
また、第五の態様は、請求項１〜４のいずれかに記載の電気化学センサ電極を２個使用した電気化学センサであって、
前記電気化学センサ電極の一方の開口部に、電気的絶縁体を介して、もう一方の電気化学センサ電極の開口部を配置して一体化した筒状体からなることを特徴とする電気化学センサである。
【００１３】
また、第六の態様は、電気伝導体からなる筒状体を準備する工程と、
筒状体の一方の開口部に電気伝導体からなる網を設置する工程と、
筒状体のもう一方の開口部から内部に電気伝導体からなる複数の粒状体を充填する工程と、
筒状体のもう一方の開口部に電気伝導体からなる網を設置する工程と、
筒状体と、その内部に充填した粒状体と、網と、に溶融塩電気化学プロセスによる炭素緻密膜を１μｍの厚さで形成する工程と、を備えていることを特徴とする電気化学センサ電極の製造方法である。
【００１４】
また、第七の態様は、請求項５に記載の電気化学センサの製造方法であって、
前記電気化学センサ電極を準備する工程と、
２つの前記電気化学センサ電極を、電気絶縁体を介して連接して配置することにより、一体化した筒状体を形成する工程と、を備えていることを特徴とする電気化学センサの製造方法である。
【００１５】
また、第八の態様は、請求項５に記載の電気化学センサの製造方法であって、
前記電気化学センサ電極を準備する工程と、
２つの前記電気化学センサ電極を、電気絶縁体を介して連接して配置することにより、一体化した筒状体を形成する工程と、
一体化した筒状体に感応物質を塗布する工程と、を備えていることを特徴とする電気化学センサの製造方法である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の電気化学センサ電極によれば、電気伝導体からなる筒状体と、その筒状体の両端の開口部に備えられた電気伝導体からなる網と、筒状体の内部に備えられた電気伝導体からなる複数の粒状体と、を備えており、それらの筒状体と網と粒状体の表面には、少なくとも、１μｍ以上の厚さの連続した炭素緻密膜が被覆されており、粒状体が電気化学センサ電極として機能する。そのため、電極面積を大きくする事が可能となることにより測定精度を上げる事が可能であり、また炭素緻密膜の高い化学的安定性により、耐食性を改善することができる。
【００１７】
また、本発明の電気化学センサによれば、本発明の電気化学センサ電極を使用しているため、高い測定精度が得られると共に、高い耐食性を備えた電気化学センサとすることができる。
【００１８】
また、本発明の電気化学センサ電極の製造方法によれば、本発明の電気化学センサ電極を製造可能とすることができる。
【００１９】
また、本発明の電気化学センサの製造方法によれば、本発明の電気化学センサを製造可能とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の電気化学センサ電極を概略的に示す俯瞰図。
【図２】図１に示す電気化学センサ電極を概略的に示す断面俯瞰図。
【図３】図１に示す電気化学センサ電極の製造方法を概略的に示す一連の俯瞰図。
【図４】本発明の電気化学センサの製造方法を概略的に示す一連の俯瞰図。
【図５】本発明の電気化学センサを概略的に示す俯瞰図。
【図６】図５に示す電気化学センサを概略的に示す断面俯瞰図。
【図７】図１に示す電気化学センサ電極のサイクリックボルタモグラムを例示する説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図を参照しながら本発明の実施形態を説明する。なお、重複する説明を省略するべく、図では同一又は類似の機能を発揮する構成要素には同一の符号を付している。
また、説明中に示す各部の寸法は一例であり、使用目的や測定試料の種類等の各種条件によって適宜変更する。
【００２２】
本発明者が鋭意検討を重ねた結果、溶融塩炭素電気めっき法にて筒状の電気伝導体、網状の電気伝導体、及び複数の球状の電気伝導体の表面を１μｍ以上の厚さの連続した炭素緻密膜で被覆し、筒の内側に複数の球状の電気伝導体を詰め込み、筒の両端に網を設置して電気化学センサ電極とし、筒の一方の端から、もう一方の端へと筒の中に測定試料の液体を通すことにより、上記課題を解決できることを見出し、本発明に至った。
【００２３】
本発明の電気化学センサ電極においては、ステンレス板を丸めて筒を形成し、筒の一方の開口部にステンレス製の網を設置した後、前記網から漏れない寸法のステンレス製の複数の球を前記筒に詰め込み、前記筒の網が設置されていないもう一方の開口部にステンレス製の網を設置する。
【００２４】
前記ステンレス製の筒、２つの前記ステンレス製の網、及び複数の前記ステンレス製の球の表面に溶融塩炭素電気めっき法で１μｍ以上の厚さの連続した炭素緻密膜を形成する。
【００２５】
前記の筒と網と球の表面に１μｍ以上の厚さの連続した炭素緻密膜が形成され、複数の球が詰め込まれ、筒の両端の開口部に網が設置された筒状の電極を作製することで、安価で単位体積当りの反応面積が大きく、耐食性を有する電気化学センサ電極が得られる。
【００２６】
上記方法で作製した２つの電気化学センサ電極を、リング状の電気的絶縁体でつなぎ合わせて一体化した筒状体からなる電気化学センサの表面に、測定対象と接触することによって電気抵抗などが変化する感応性を持つ感応物質を塗布する。更に、２つの電気化学センサ電極それぞれに電気伝導線を接続し、それぞれの電気伝導線を電源装置に接続し、一方の電気化学センサ電極から他方の電気化学センサ電極へと測定試料である流体を流しながら、一方の電気化学センサ電極をアノード、他方の電気化学センサ電極をカソードとして測定試料である流体、又は感応物質に電圧を印加することによって流れる電流を測定し、その電流−電圧特性から、測定試料の特定成分の濃度を測定することができる。
【００２７】
上記感応物質は必ずしも必要ではなく、感応物質が無くても電気化学センサとして機能する。
【００２８】
また、溶融塩炭素電気めっき法にてステンレス製の筒、網、及び球の表面に１μｍ以上の厚さの連続した炭素緻密膜を形成した後、組み合わせても良い。
更に、ステンレス製の球は溶融塩炭素電気めっき法とバレルめっき法との組合せ（非特許文献１参照）で、ステンレス製の球の表面に１μｍ以上の厚さの連続した炭素緻密膜を形成してもよい。
【００２９】
次に、図を参照しながら、本発明の電気化学センサ電極と電気化学センサについて、詳しく説明する。
【００３０】
＜電気化学センサ電極＞
図１は本発明に係る電気化学センサ電極１を概略的に示す俯瞰図である。
図２は本発明に係る電気化学センサ電極１を概略的に示す断面俯瞰図である。
【００３１】
図１及び図２に示すように、電気化学センサ電極１は、炭素緻密膜で表面が被覆されたステンレス製の筒状体（以後、単に筒状体とも記す。）２ａと、炭素緻密膜で表面が被覆されたステンレス製の網（以後、単に網とも記す。）３ａと、炭素緻密膜で表面が被覆された複数のステンレス製の粒状体（以後、粒状体、球状体および単に球とも記す。）４ａと、から構成されている。
【００３２】
筒状体２ａと、その筒状体２ａの上面側と下面側に設けられた網３ａと、によって囲われた空間に球４ａが入れられている。
【００３３】
また、筒状体２ａ、網３ａ、粒状体４ａを被覆している炭素緻密膜は、内部のステンレス鋼が腐食されない様に、連続した１μｍ以上の厚さで形成されている。
【００３４】
上記のような構造である電気化学センサ電極１は、網３ａを介して測定試料である流体を、筒状体２ａの一方の開口部から内部へ流入し、他方の開口部から流出させることができる。
【００３５】
流体が筒状体２ａの内部を流れる間に、多数の粒状体４ａの表面と接することになるため、大きな表面積を備えた電極を使用したのと同じ効果が得られる。そのため、検出感度を高くでき、ひいては測定精度を向上させることができる。
【００３６】
ここで、炭素緻密膜とは、溶融塩電気化学プロセス（ＭＳＥＰ：Ｍｏｌｔｅｎ  Ｓａｌｔ  Ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓ）を利用した炭素めっき被膜である。この炭素めっき被膜は、カーバイドイオン（Ｃ２２−）を含有する溶融塩からなる電解浴を用いて、その電解浴中で炭素膜を生成させるための作用極（陽極）と対極（陰極）とを配置した状態で、カーバイドイオンが酸化される電位で通電することにより、作用極の表面に成膜される炭素めっき被膜である。この炭素めっき被膜は、高い耐食性と導電性を備えており、且つ、溶融塩からなる電解浴に耐えるステンレス鋼などの金属の表面に高い密着力で形成可能である。
【００３７】
本発明の電気化学センサ電極１の表面は、１μｍ以上の厚さの連続した炭素緻密膜で覆われているため、不活性であり、耐食性に優れており、またサイクリックボルタンメトリーにおける広い電位窓を有するなどの優れた特徴を持っている。
【００３８】
図７に本発明の電気化学センサ電極１のりん酸緩衝液中でのサイクリックボルタンメトリーの測定結果を例示する。
白金電極の電位窓の範囲は、＋０．３Ｖ〜＋１．０Ｖ  ｖｓ．  Ａｇ／ＡｇＣｌであり、電位窓の範囲の大きさは０．７Ｖである。
金電極の電位窓の範囲は、＋０．１Ｖ〜＋０．７Ｖ  ｖｓ．  Ａｇ／ＡｇＣｌであり、電位窓の範囲の大きさは０．６Ｖである。
本発明の電気化学センサ電極１の電位窓の範囲は、−０．１Ｖ〜＋０．８Ｖ  ｖｓ．  Ａｇ／ＡｇＣｌであり、電位窓の範囲の大きさは０．９Ｖである。
上記の通り、本発明の電気化学センサ電極１は、白金電極、及び金電極よりも広い電位窓を有しており、それらの電極より優れた特性を備えている。これは、本発明の電気化学センサ電極１が、白金電極や金電極より優れた測定精度を備えていることを示している。
【００３９】
本発明の電気化学センサ電極１の製造方法は、ステンレス製の筒状体２ｂを準備する工程（図３（Ａ））と、ステンレス製の網３ｂを、筒状体２ｂの片方の開口部に設置する工程（図３（Ｂ））と、ステンレスの粒状体４ｂを、筒状体２ｂ内部に詰め込む工程（図３（Ｃ））と、筒状体２ｂの網３ｂが設置されていない開口部に、２つ目の網３ｂを設置する工程（図３（Ｄ））と、筒状体２ｂと２つの網３ｂと複数の粒状体４ｂの表面に、溶融塩炭素電気めっき法で１μｍ以上の厚さの連続した緻密炭素膜を被覆する工程（図３（Ｅ））と、を備えている。
【００４０】
なお、ここでは、ステンレス製の、筒状体２ｂ、網３ｂ、粒状体４ｂを例にとって説明したが、これに限定する必要は無く、電気伝導体であれば良い。ただし、溶融塩電気化学プロセスの処理温度に耐え得る材料である必要がある。そのため、ステンレス鋼をはじめ、鉄、ニッケルなど各種の金属を好適に使用可能である。また、ガラスやセラミクスなどの高温に耐える材料の表面に、ステンレス鋼をはじめとする金属被膜を形成した材料を好適に使用可能である。
【００４１】
（電気化学センサ電極の製造方法）
また、本発明の電気化学センサ電極１は、図３のような工程で製造することができる。なお、以下の説明では電気伝導体としてステンレス鋼を使用した場合を説明するが、これに限定することを意味するものではない。
【００４２】
上記の製造工程において、ステンレス製の筒状体２ｂは、直径５ｍｍ、長さ１０ｍｍ、板厚０．３ｍｍのステンレス製の筒状体であっても良い。
【００４３】
また、ステンレス製の網３ｂは、直径５ｍｍ、板厚0．３ｍｍ、ピッチ１．０ｍｍ且つ網目０．８ｍｍのステンレス製の網であっても良い。
【００４４】
また、ステンレスの粒状体４ｂは、複数の直径１．０ｍｍのステンレス製の球であっても良い。
【００４５】
筒状体２ｂの寸法、及び網３ｂの寸法は上記に限定するものではない。
また、粒状体４ｂの寸法は上記に限られないが、網３ｂの網目をすり抜けないこと、且つ筒状体２ｂに詰め込める寸法であればよく、形状も球に限定されない。例えば立方体であってもよい。
また、筒状体２ｂは、その断面形状が円に限定されない。例えば三角形や四角形でもよい。
【００４６】
＜電気化学センサ＞
次に、本発明の電気化学センサについて説明する。
図５は、本発明の電気化学センサ５を概略的に示す斜視図である。
図６は、本発明の電気化学センサ５を概略的に示す断面図である。
【００４７】
図５及び図６に示すように、本発明の電気化学センサ５は、本発明の電気化学センサ電極１の表面に、感応物質を塗布した電気化学センサ電極１ｂを２つ使用して構成されている。具体的には、一方の電気化学センサ電極１ｂの一方の端面に、リング状の電気的絶縁体６ａを挟み込む様にして、もう一方の電気化学センサ電極１ｂを配置して構成され、一体となった筒状体を構成している。ここで一体となった筒状体とは、２つの電気化学センサ電極１ｂで挟み込まれたリング状の電気的絶縁体６ａの部分で、隙間などが生じることで、漏れることが無いという意味で使用している。従って、ここでは筒状の電気化学センサ電極１ｂに合わせて、リング状の電気的絶縁体６ａを使用しているが、一体の筒状体となっていれば良い。そのため、電気的絶縁体６ａの形状は、リング状に限定する必要は無い。また、筒状体とは、円筒に限定する必要は無く、三角筒、四角筒をはじめ、あらゆる形状の物体であって構わない。ただし、その物体の内部には、液体などの流体が外部に漏れることなく、一方の開口部から他方の開口部に向けて流動できる空間を備えていれば良い。
【００４８】
なお、上記の感応物質は、必要不可欠ではない。本発明の電気化学センサ電極１ｂは、感応物質が塗布されていない電気化学センサ電極１であっても使用可能である。
【００４９】
更には、図５及び図６に示すように、２つの電気化学センサ電極１ｂと、電源部８と、が電気伝導体７で接続されている。
【００５０】
その様な構成の電気化学センサ５の筒状体の内側に、測定試料である流体を、図６に例示した様に流体の方向９に流すことができる。そうする事によって、流体が電気化学センサ電極１ｂ、リング状の電気的絶縁体６ａ、電気化学センサ電極１ｂの順番に通過する。
【００５１】
その状態で、電源部８から感応物質が塗布された２つの電気化学センサ電極１ｂ間に、直線的に増減する電圧を印加し、その時に流れる応答電流を測定する、所謂サイクリックボルタンメトリーを実施することができる。
【００５２】
上記のように、測定試料である流体が、矢印９の方向に、電気化学センサ電極１ｂ、リング状の電気的絶縁体６ａ、電気化学センサ電極１ｂの順番に通り抜ける際に、電気化学センサ電極１ｂ、及びリング状の電気的絶縁体６ａに塗布された感応物質と反応して、電流変化、又は電圧変化が生じると、電源部８で検出され、測定試料の特定の成分の濃度を求める事ができる。測定試料が感応物質と反応する際は、感応物質に電圧又は電流が印加されていてもよい。
【００５３】
電源部８は、電気化学センサ電極１ｂに電圧、又は電流を印加する機能、電流又は電圧を検出する機能、測定結果を記録する機能、測定結果を表示する機能、外部との通信機能など、を備えてもよい。電源部８は上述した機能以外に、制御用ボタンなどを備えていてもよい。
【００５４】
＜電気化学センサの製造方法＞
次に、本発明の電気化学センサ５の製造方法を説明する。
図４に、本発明の電気化学センサ５の製造工程を例示する。
【００５５】
電気化学センサ電極１を準備する工程（図４（Ｆ））と、２つの電気化学センサ電極１を、リング状の電気的絶縁体６ｂを介して設置することにより、一体化した筒状体を形成する工程（図４（Ｇ））と、一体化した筒状体に感応物質を塗布する工程（図６（Ｈ））と、
感応物質が塗布された一体化した筒状体の２つの電気化学センサ電極１ｂにそれぞれ電
気伝導体７を電気的に接続する工程（図４（Ｉ））と、２つの電気伝導体をそれぞれ電気的に電源部８に接続する工程（図４（Ｊ））と、を有する工程で製造することができる。
【００５６】
リング状の電気的絶縁体６ｂは、流体である測定試料が通過できる開口部を有し、例えば、筒状体２ｂの内径と同じ寸法の円筒状の開口部を有していてもよい。
また、リング状の電気的絶縁体６ｂの開口部の形状は円でなくてもよく、例えば三角形や四角形でもよい。あるいは、任意の形状であっても構わない。
また、リング状の電気的絶縁体６ｂの素材としては、特に限定されないが、例えば絶縁性の樹脂を用いることができる。
【００５７】
感応物質の素材としては、特に限定されないが、例えば酸化スズを用いることができる。
感応物質の塗布方法は、特に限定されないが、例えば液状にした感応物質（または、感応物質を含む液体）に、２つの電気化学センサ電極１をリング状の電気的絶縁体６ｂを介して接合して一体化した筒状体を浸漬する方法を挙げることができる。
【００５８】
電気伝導体７の素材としては、特に限定されないが、例えば銅を用いることができる。
【００５９】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。また、各実施形態は適宜組み合わせて実施してもよく、その場合組み合わせた効果が得られる。更に、上記実施形態には種々の発明が含まれており、開示される複数の構成要件から選択された組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、課題が解決でき、効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
【符号の説明】
【００６０】
１…電気化学センサ電極、１ｂ…（感応物質が塗布された）電気化学センサ電極、２ａ…（炭素緻密膜で被覆されたステンレス製の）筒状体、２ｂ…（ステンレス製の）筒状体、２ｃ…（炭素緻密膜で被覆され感応物質が塗布されたステンレス製の）筒状体、３ａ…（炭素緻密膜で被覆されたステンレス製の）網、３ｂ…（ステンレス製の）網、３ｃ…（炭素緻密膜で被覆され感応物質が塗布されたステンレス製の）網、４ａ…（炭素緻密膜で被覆されたステンレス製の）粒状体、４ｂ…（ステンレス製の）粒状体、４ｃ…（炭素緻密膜で被覆され感応物質が塗布されたステンレス製の）粒状体、５…電気化学センサ、６ａ…（感応物質が塗布されたリング状の）電気的絶縁体、６ｂ…（リング状の）電気的絶縁体、７…電気伝導体、８…電源部、９…流体の移動方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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