(57)【要約】      （修正有）【課題】高出力特性を維持しつつ、導電性ペーストの使用量を削減することができ、かつバスバー電極と配線部材との接続性を向上することができる太陽電池セルを提供する。【解決手段】太陽電池セル１０は、シリコン基板２０と、シリコン基板２０上に設けられる半導体層８０ｎと、半導体層８０ｎ上に設けられる複数本の集電電極とを備える。複数本の集電電極は、複数本のフィンガー電極４１と、複数本のフィンガー電極４１に接続して設けられるバスバー電極４２とを有する。そして、バスバー電極４２は、凹部４５と凹部４５より厚みが厚い凸部４６とが第１の方向に交互に複数設けられた凹凸部４４を有し、凸部４６の幅ｗ２は、シリコン基板２０に垂直かつ第１の方向を含む断面において、凹部４５の幅ｗ１より広い。【選択図】図３
2020057694.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板と、
前記半導体基板上に設けられる半導体層と、
前記半導体層上に設けられる複数本の集電電極とを備え、
前記複数本の集電電極は、複数本のフィンガー電極と、当該複数本のフィンガー電極に接続して設けられるバスバー電極とを有し、
前記バスバー電極は、凹部と前記凹部より厚みが厚い凸部とが第１の方向に交互に複数設けられた凹凸部を有し、
前記凸部の幅は、前記半導体基板に垂直かつ前記第１の方向を含む断面において、前記凹部の幅より広い
太陽電池セル。
【請求項２】
前記凹部及び前記凸部のそれぞれは、前記複数本のフィンガー電極のうち隣り合うフィンガー電極との間に複数設けられる
請求項１に記載の太陽電池セル。
【請求項３】
前記複数本のフィンガー電極は、前記半導体基板の平面視において、第２の方向に延在して形成されており、
前記凹部及び前記凸部は、前記半導体基板の平面視において、前記第２の方向と交差する第３の方向に延在して形成されている
請求項１又は２に記載の太陽電池セル。
【請求項４】
前記複数本のフィンガー電極は、前記半導体基板の平面視において、第２の方向に延在して形成されており、
前記凹部及び前記凸部は、前記半導体基板の平面視において、前記第２の方向と直交する第３の方向に延在して形成されている
請求項１又は２に記載の太陽電池セル。
【請求項５】
前記複数本のフィンガー電極は、前記半導体基板の平面視において、第２の方向に延在して形成されており、
前記凹部及び前記凸部は、前記半導体基板の平面視において、前記第２の方向と平行な第３の方向に延在して形成されている
請求項１又は２に記載の太陽電池セル。
【請求項６】
前記バスバー電極は、前記第１の方向に延在して設けられ、前記第３の方向に延在する複数の前記凹部及び複数の前記凸部の一端のそれぞれ及び他端のそれぞれと電気的に接続される一対のバスバー部を有する
請求項３〜５のいずれか１項に記載の太陽電池セル。
【請求項７】
前記凹凸部は、前記バスバー電極と前記複数本のフィンガー電極とが交差する交差部に設けられる
請求項１〜６のいずれか１項に記載の太陽電池セル。
【請求項８】
前記バスバー電極は、前記太陽電池セル同士を電気的に接続するための配線部材に接続され、
前記凹凸部は、前記配線部材と前記バスバー電極とが接続される接続部に設けられる
請求項１〜６のいずれか１項に記載の太陽電池セル。
【請求項９】
前記凹部において、前記半導体層は、前記バスバー電極を構成する導電性材料で覆われている
請求項１〜８のいずれか１項に記載の太陽電池セル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池セルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光エネルギーを電気エネルギーに変換する光電変換装置として、太陽電池セルの開発が進められている。太陽電池セルは、無尽蔵の太陽光を直接電気に変換できることから、また、化石燃料による発電と比べて環境負荷が小さくクリーンであることから、新しいエネルギー源として期待されている。
【０００３】
太陽電池セルは、半導体基板上に当該半導体基板で発生した受光電荷を集電する集電電極を備える。集電電極は、太陽電池セル同士を電気的に接続するための配線部材が接続されるバスバー電極を含む。特許文献１には、バスバー電極にスリットを入れることで、バスバー電極と半導体基板との接着強度を向上させる太陽電池セルが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１５０３５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の太陽電池セルのバスバー電極は、スリットを設けるため、抵抗増大を抑制することができない。
【０００６】
そこで、本発明は、高出力特性を維持しつつ、導電性ペーストの使用量を削減することができ、かつバスバー電極と配線部材との接続性を向上することができる太陽電池セルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る太陽電池セルは、半導体基板と、前記半導体基板上に設けられる半導体層と、前記半導体層上に設けられる複数本の集電電極とを備え、前記複数本の集電電極は、複数本のフィンガー電極と、当該複数本のフィンガー電極に接続して設けられるバスバー電極とを有し、前記バスバー電極は、凹部と前記凹部より厚みが厚い凸部とが第１の方向に交互に複数設けられた凹凸部を有し、前記凸部の幅は、前記半導体基板に垂直かつ前記第１の方向を含む断面において、前記凹部の幅より広い。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、高出力特性を維持しつつ、導電性ペーストの使用量を削減することができ、かつバスバー電極と配線部材との接続性を向上することができる太陽電池セルを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１Ａ】実施の形態に係る太陽電池セルの受光面側の平面図である。
【図１Ｂ】実施の形態に係る太陽電池セルの裏面側の平面図である。
【図２】図１ＡのＩＩ−ＩＩ線における、実施の形態に係る太陽電池セルの断面図である。
【図３】図１Ａの破線領域を拡大して示す平面図である。
【図４Ａ】図３のＩＶＡ−ＩＶＡ線における、実施の形態に係る太陽電池セルの断面図である。
【図４Ｂ】図３のＩＶＡ−ＩＶＡ線に対応する、実施の形態に係る太陽電池セルに配線部材が配置された状態を示す断面図である。
【図５】実施の形態に係る太陽電池セルのバスバー電極の他の第一例を示す平面図である。
【図６】実施の形態に係る太陽電池セルのバスバー電極の他の第二例を示す平面図である。
【図７】実施の形態に係る太陽電池セルのバスバー電極の他の第三例を示す平面図である。
【図８】実施の形態に係る太陽電池セルのバスバー電極の他の第四例を示す平面図である。
【図９】実施の形態に係る太陽電池セルのバスバー電極の他の第五例を示す平面図である。
【図１０】実施の形態に係る太陽電池セルのバスバー電極の他の第六例を示す平面図である。
【図１１】実施の形態に係る太陽電池セルのバスバー電極の他の第七例を示す平面図である。
【図１２】実施の形態に係る太陽電池セルのバスバー電極の他の第八例を示す平面図である。
【図１３】実施の形態に係る太陽電池セルのバスバー電極の他の第九例を示す平面図である。
【図１４】実施の形態に係る太陽電池セルのバスバー電極の他の第十例を示す平面図である。
【図１５】実施の形態に係る太陽電池セルの製造方法を示すフローチャートである。
【図１６】実施の形態に係る太陽電池セルの製造方法で用いるスクリーン版の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下では、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。以下に説明する実施の形態は、いずれも本発明の一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置、接続形態、工程（ステップ）、および、工程（ステップ）の順序などは、一例であり、本発明を限定する趣旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
【００１１】
なお、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略又は簡略化される場合がある。
【００１２】
また、本明細書において、平行などの要素間の関係性を示す用語、および、矩形などの要素の形状を示す用語、並びに、数値、および、数値範囲は、厳格な意味のみを表す表現ではなく、実質的に同等な範囲、例えば数％程度の差異をも含むことを意味する表現である。
【００１３】
また、各図において、Ｚ軸方向は、例えば、太陽電池セルの受光面に垂直な方向である。Ｘ軸方向及びＹ軸方向は互いに直交し、かつ、いずれもＺ軸方向に直交する方向である。例えば、以下の実施の形態において、「平面視」とは、Ｚ軸方向から見ることを意味する。
【００１４】
（実施の形態）
以下、本実施の形態に係る太陽電池セルについて、図１Ａ〜図１６を参照しながら説明する。
【００１５】
［１．太陽電池セルの構成］
まず、本実施の形態に係る太陽電池セルの構成について、図１Ａ〜図１４を参照しながら説明する。
【００１６】
図１Ａは、本実施の形態に係る太陽電池セル１０の受光面１１側の平面図である。図１Ｂは、本実施の形態に係る太陽電池セル１０の裏面１２側の平面図である。図２は、図１ＡのＩＩ−ＩＩ線における、本実施の形態に係る太陽電池セル１０の断面図である。
【００１７】
図１Ａ及び図１Ｂに示すように、太陽電池セル１０の平面視形状は、矩形状である。例えば、太陽電池セル１０は、１２５ｍｍ角の正方形の角が欠けた形状である。なお、太陽電池セル１０の形状は、矩形状に限定されない。
【００１８】
図２に示すように、太陽電池セル１０は、半導体ｐｎ接合を基本構造としており、一例として、シリコン基板２０と、当該シリコン基板２０の一方の主面側（Ｚ軸プラス側）に順次形成された、ｎ側電極３０ｎ及びｎ側集電電極４０ｎと、当該シリコン基板２０の他方の主面側（Ｚ軸マイナス側）に順次形成された、ｐ側電極３０ｐ及びｐ側集電電極５０ｐとを備える。なお、本実施の形態では、シリコン基板２０の一方の主面は太陽電池セル１０の主受光面側の面であり、以降において受光面１１とも記載する。主受光面とは、太陽電池セル１０を用いて太陽電池モジュールを構築したときに、当該太陽電池セル１０に入射する光のうち５０％より多い光が入射する面である。また、本実施の形態では、シリコン基板２０の他方の主面はシリコン基板２０の一方の主面と背向する面であり、以降において裏面１２とも記載する。裏面１２は、受光面１１と反対側の面である。また、シリコン基板２０は半導体基板の一例である。
【００１９】
シリコン基板２０は、結晶系シリコン基板であり、一例としてｎ型の単結晶シリコン基板である。なお、シリコン基板２０は、単結晶シリコン基板（ｎ型単結晶シリコン基板、又は、ｐ型単結晶シリコン基板）に限定されず、多結晶シリコン基板等の結晶系シリコン基板を含んで構成されてもよい。以降の説明において、シリコン基板２０は、ｎ型単結晶シリコン基板である例について説明する。また、例えば、シリコン基板２０の平面形状は矩形状であり、厚みは１５０μｍ以下である。
【００２０】
シリコン基板２０の受光面１１側及び裏面１２側の面の少なくとも一方には、複数の角錐が２次元状に配置されたテクスチャ構造と呼ばれる凹凸形状（図示しない）が形成されていてもよい。これにより、太陽電池セル１０は、シリコン基板２０内において実効的に光の光路長を長くすることができるので、シリコン基板２０の厚みを厚くすることなく発電に寄与する光の吸収を増やすことができる。太陽電池セル１０は、例えば、シリコン基板２０において吸収係数の小さい波長の光を、有効に発電に寄与させることができる。
【００２１】
また、シリコン基板２０には、ｎ型半導体層（図３及び図４Ａのｎ型半導体層８０ｎ参照）及びｐ型半導体層（図示しない）が形成されている。例えば、ｎ型半導体層８０ｎは、シリコン基板２０の受光面１１側の面に配置されており、ｐ型半導体層は、シリコン基板２０の裏面１２側の面に配置されている。
【００２２】
ｎ型半導体層８０ｎは、例えば、ｉ型非晶質シリコン層８１ｉ（真性非晶質シリコン層）とｎ型非晶質シリコン層８１ｎとを有する。ｉ型非晶質シリコン層８１ｉとｎ型非晶質シリコン層８１ｎとは、この順にシリコン基板２０の受光面１１側の面上に積層されている。なお、ここでの積層とは、Ｚ軸プラス方向に積層されていることを意味する。
【００２３】
ｉ型非晶質シリコン層８１ｉは、シリコン基板２０とｎ型非晶質シリコン層８１ｎとの間に配置されるパッシベーション層である。ｉ型非晶質シリコン層８１ｉは、ドーパントの含有率が１×１０１９ｃｍ−３未満であるアモルファスシリコンにより構成することができる。ｎ型非晶質シリコン層８１ｎは、シリコン基板２０と同じ導電型を有する半導体層である。ｎ型非晶質シリコン層８１ｎは、例えば、リン（Ｐ）、砒素（Ａｓ）などのｎ型ドーパントの含有率が５×１０１９ｃｍ−３以上であるアモルファスシリコンなどにより構成することができる。なお、ｎ型半導体層８０ｎは、例えば、少なくともｎ型非晶質シリコン層８１ｎを有していればよい。また、ｎ型半導体層８０ｎは、半導体層の一例である。
【００２４】
ｐ型半導体層は、例えば、ｉ型非晶質シリコン層（真性非晶質シリコン層）とｐ型非晶質シリコン層とを有する。ｉ型非晶質シリコン層とｐ型非晶質シリコン層とは、この順にシリコン基板２０の裏面１２側の面上に積層されている。なお、ここでの積層とは、Ｚ軸マイナス方向に積層されていることを意味する。
【００２５】
ｉ型非晶質シリコン層は、シリコン基板２０とｐ型非晶質シリコン層との間に配置されるパッシベーション層である。ｐ型非晶質シリコン層は、シリコン基板２０と異なる導電型を有する半導体層である。ｐ型非晶質シリコン層は、例えば、ボロン（Ｂ）などのｐ型ドーパントの含有率が５×１０１９ｃｍ−３以上であるアモルファスシリコンなどにより構成することができる。なお、ｐ型半導体層は、例えば、少なくともｐ型非晶質シリコン層を有していればよい。
【００２６】
ｎ側電極３０ｎ及びｐ側電極３０ｐは、例えば、透明な導電性材材料から構成される透明導電膜（ＴＣＯ膜）である。透明導電膜は、例えば、多結晶構造を有する酸化インジウム(Ｉｎ２Ｏ３)、酸化亜鉛(ＺｎＯ)、酸化錫(ＳｎＯ２)、及び酸化チタン（ＴｉＯ２）等の金属酸化物のうち少なくとも１種を含んで構成されることが好ましい。これらの金属酸化物に、錫(Ｓｎ)、亜鉛(Ｚｎ)、タングステン(Ｗ)、アンチモン(Ｓｂ)、チタン（Ｔｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、セリウム(Ｃｅ)、ガリウム(Ｇａ)などのドーパン卜がドープされていてもよく、例えば、Ｉｎ２Ｏ３にＳｎがドープされたＩＴＯが特に好ましい。ドーパン卜の濃度は、０〜２０質量％とすることができる。
【００２７】
ｎ側集電電極４０ｎは、ｎ型半導体層８０ｎ上に設けられ、シリコン基板２０の受光領域で発生した受光電荷（電子）を集電する電極である。ｎ側集電電極４０ｎは、例えば、配線部材（図１Ａに示す配線部材７０を参照）の延在方向と直交する方向に直線状に形成された複数本のフィンガー電極４１と、これらのフィンガー電極４１に接続して設けられる複数本のバスバー電極４２とを有する。複数本のフィンガー電極４１は、例えば、互いに平行に形成される。また、複数本のバスバー電極４２は、例えば、フィンガー電極４１に直交する方向（例えば、配線部材７０の延在する方向）に沿って直線状に形成される。複数本のバスバー電極４２のそれぞれは、例えば、配線部材７０と一対一に接続される。なお、フィンガー電極４１が延在する方向（Ｙ軸と平行な方向）は、第２の方向の一例である。また、ｎ型半導体層８０ｎ上に設けられるとは、ｎ側集電電極４０ｎがｎ側電極３０ｎ上に設けられていてもよいし、ｎ型半導体層８０ｎの上に直接設けられていてもよい。
【００２８】
ｐ側集電電極５０ｐは、ｐ型半導体層上に設けられ、シリコン基板２０の受光領域で発生した受光電荷（正孔）を集電する電極である。ｐ側集電電極５０ｐは、例えば、配線部材（図１Ｂの配線部材７１を参照）の延在方向と直交する方向に直線状に形成された複数本のフィンガー電極５１と、これらのフィンガー電極５１に接続して設けられる複数本のバスバー電極５２とを有する。複数本のフィンガー電極５１は、例えば、互いに平行に形成される。また、複数本のバスバー電極５２は、例えば、フィンガー電極５１に直交する方向（例えば、配線部材７１の延在する方向）に沿って直線状に形成される。複数本のバスバー電極５２のそれぞれは、例えば、配線部材７１と一対一に接続される。なお、ｐ型半導体層上に設けられるとは、ｐ側集電電極５０ｐがｐ側電極３０ｐ上に設けられていてもよいし、ｐ型半導体層の上に直接設けられていてもよい。
【００２９】
フィンガー電極４１とフィンガー電極５１とは、平面視において、平行である。また、バスバー電極４２とバスバー電極５２とは、平面視において、平行である。
【００３０】
なお、フィンガー電極４１及び５１、並びに、バスバー電極４２及び５２の本数は、特に限定されない。フィンガー電極４１及び５１はそれぞれ、２本以上設けられていればよい。また、バスバー電極４２及び５２はそれぞれ、１本以上設けられていればよい。例えば、バスバー電極４２及び５２の本数はそれぞれ、配線部材７０及び７１と同数であればよい。本実施の形態では、３本である。なお、配線部材７０及び７１は、太陽電池モジュールを形成する際、隣り合う２つの太陽電池セル１０同士を電気的に接続するタブ配線である。また、ｎ側集電電極４０ｎ及びｐ側集電電極５０ｐは、互いに同じ形状である場合を図示しているが、これに限定されない。
【００３１】
ｎ側集電電極４０ｎ及びｐ側集電電極５０ｐは、銀（Ａｇ）等の低抵抗導電材料から構成される。例えば、ｎ側集電電極４０ｎ及びｐ側集電電極５０ｐは、バインダ樹脂中に銀粒子等の導電性フィラーが分散した樹脂型導電性ペースト（銀ペースト等）を所定のパターンでスクリーン印刷することで形成することができる。なお、樹脂型導電性ペーストは、導電性材料の一例である。
【００３２】
配線部材７０及び７１は、長尺状の導電性配線であって、例えば、リボン状の金属箔である。配線部材７０及び７１は、例えば、銅箔又は銀箔などの金属箔の表面全体をはんだ又は銀などで被覆したものを所定の長さに短冊状に切断することによって作製することができる。配線部材７０及び７１は、はんだなどの導電性を有する接着剤、又は、樹脂接着材によりバスバー電極４２と接合される。はんだなどの導電性を有する接着剤、又は、樹脂接着材は、接合部材の一例である。本実施の形態では、接合部材は、はんだである例について説明する。
【００３３】
上記のように、本実施の形態に係る太陽電池セル１０は、例えば、ヘテロ接合型の太陽電池セルである。これにより、シリコン基板２０とｎ型半導体層８０ｎとの界面、及び、シリコン基板２０とｐ型半導体層との界面（ヘテロ接合界面）での欠陥が低減する。よって、太陽電池セル１０の光電変換効率を向上させることができる。
【００３４】
なお、パッシベーション層は、ｉ型非晶質シリコン層に限定されず、酸化シリコン層又は窒化シリコン層等でもよいし、設けられなくてもよい。
【００３５】
ここで、本実施の形態に係るバスバー電極の構成について、図３〜図１４を参照しながら説明する。なお、以降において、受光面１１側に形成されるバスバー電極４２について説明するが、バスバー電極５２においても同様のことがいえる。また、図３〜図１４におけるバスバー電極４２の形状は、導電性ペーストが印刷され、硬化した後の形状を示す。図３は、図１Ａの破線領域Ａを拡大して示す平面図である。
【００３６】
図３に示すように、バスバー電極４２は、バスバー部４３と凹凸部４４とを有する。バスバー部４３は、バスバー電極４２が延在する方向に延びて形成される。バスバー部４３は、交互に並ぶ凹部４５及び凸部４６の端部のそれぞれと電気的に接続される。図３では、凹凸部４４を挟むように一対のバスバー部４３が形成されている例を示している。つまり、バスバー電極４２は、複数の凹部４５及び複数の凸部４６の一端のそれぞれ及び他端のそれぞれと電気的に接続されるバスバー部４３を有する。図３の例では、バスバー部４３が延在する方向は、後述する第１の方向（例えば、Ｘ軸方向）に平行な方向である。なお、バスバー部４３の本数は特に限定されず、１本であってもよいし、３本以上であってもよい。
【００３７】
凹凸部４４は、凹部４５と凹部４５より厚みが厚い凸部４６とがバスバー電極４２が延在する方向に交互に複数設けられる。図３の例では、凹凸部４４は、バスバー部４３が延在する方向に沿って、交互に複数設けられている。凹部４５及び凸部４６が交互に並ぶ方向（図３の例では、Ｘ軸方向）は、第１の方向の一例である。また、凹部４５及び凸部４６は、例えば、平面視において、矩形状である。凹部４５及び凸部４６のそれぞれは、例えば、フィンガー電極４１が延在する方向（第２の方向の一例でありＹ軸方向）と平行な方向（第３の方向の一例）に延在して形成されている。
【００３８】
なお、凹部４５及び凸部４６の平面視形状は、矩形状であることに限定されない。例えば、凹部４５及び凸部４６の平面視形状は、楕円状であってもよいし、多角形状であってもよいし、その他の形状であってもよい。
【００３９】
また、図３に示すように、凹部４５及び凸部４６は、隣り合うフィンガー電極４１の間に複数設けられる。図３では、凹部４５及び凸部４６は、隣り合うフィンガー電極４１の間におよそ５個ずつ設けられる例を示しているが、これに限定されない。凹部４５及び凸部４６はそれぞれ、例えば、隣り合うフィンガー電極４１の間に１０個以上設けられていてもよい。つまり、凹部４５は、隣り合うフィンガー電極４１の間に１０個以上設けられていてもよい。このように、凹部４５の幅ｗ１は、フィンガー電極４１が設けられるピッチ（例えば、１〜３ｍｍ）に比べ、小さい。言い換えると、バスバー電極４２には、フィンガー電極４１のピッチより小さい幅ｗ１の凹部４５が複数設けられる。これにより、凹凸部４４においてバスバー電極４２の表面積をバスバー電極４２の厚みが均一である場合に比べ、大きくすることができる。
【００４０】
なお、凹部４５は、複数本のフィンガー電極４１のうち隣り合うフィンガー電極４１の間のそれぞれにおいて、複数設けられていてもよい。また、凹部４５は、例えば、フィンガー電極４１の本数より多く形成されていてもよい。
【００４１】
なお、図３に示すにじみ部４９は、フィンガー電極４１及びバスバー電極４２をスクリーン印刷により形成するときに、当該フィンガー電極４１及びバスバー電極４２の外側に向かう印刷にじみが生じた部分を示す。
【００４２】
ここで、凹部４５及び凸部４６について、さらに図４Ａ及び図４Ｂを参照しながら説明する。図４Ａは、図３のＩＶＡ−ＩＶＡ線における、本実施の形態に係る太陽電池セル１０の断面図である。図４Ｂは、図３のＩＶＡ−ＩＶＡ線に対応する、本実施の形態に係る太陽電池セル１０に配線部材７０が配置された状態を示す断面図である。
【００４３】
図４Ａに示すように、凹部４５は、凹凸部４４の頂部と谷部との差分で示される厚みｔ１の１０％に対応する厚みｔ２に対応する凹凸部４４の領域であると定義される。つまり、凹部４５は、凹凸部４４のうち、ｎ側電極３０ｎ表面から凹凸部４４の谷部における最下点から厚みｔ２の高さまでの領域である。また、凸部４６は、凹凸部４４のうち、凹凸部４４の谷部における最下点から厚みｔ２以上の高さを有する領域である。
【００４４】
このように定義される凸部４６の幅ｗ２は、シリコン基板２０に垂直かつ第１の方向を含む断面において、凹部４５の幅ｗ１より広い。例えば、凸部４６の幅ｗ２は、３００μｍ以下であってもよいし、２００μｍ以下であってもよいし、１００μｍ以下であってもよい。また、凹部４５の幅ｗ１は、幅ｗ２より小さく、例えば、１００μｍ以下であってもよい。図３に示すように、このような凹部４５及び凸部４６においては、凹部４５の方が平面視における面積が小さくなる。なお、凸部４６の頂部の厚み（ｎ側電極３０ｎと頂部との厚み）は、例えば、１０μｍである。また、バスバー部４３の厚みと、頂部の厚みとは、例えば、同じ厚みである。
【００４５】
図４Ｂに示すように、バスバー電極４２は、凹凸部４４を有することで、従来に比べバスバー電極４２の表面積が大きくなる。つまり、配線部材７０とバスバー電極４２とを接合するためのはんだ６０と、バスバー電極４２との接合面の面積を増やすことができる。さらに、従来であれば印刷時のサドル現象でバスバー電極の中央部が凹む形状となることがあり、配線部材７０とバスバー電極との接点が小さくなることがあった。一方、バスバー電極４２の中央部に凹凸部４４が形成されることで、配線部材７０は、凹凸部４４において複数の凸部４６と接触することができる。つまり、配線部材７０とバスバー電極４２とが直接接触する面積を増やすことができる。
【００４６】
これらにより、配線部材７０とバスバー電極４２との接続性を向上させることができる。具体的には、配線部材７０とバスバー電極４２との接着強度、及び、導通性を向上させることができる。
【００４７】
また、ｎ側電極３０ｎとはんだ６０とは、接合しない。つまり、ｎ側電極３０ｎとはんだ６０とは、直接接触しない方がよい。そのため、例えば、凹部４５においてｎ側電極３０ｎが露出する場合、露出する面積、つまりｎ側電極３０ｎとはんだ６０とが直接接触する面積は小さい方がよい。図４Ａに示すように、凹部４５において、凸部４６の幅ｗ２が凹部４５の幅ｗ１より広いことで、凹部４５においてｎ側電極３０ｎが露出する場合であっても露出する面積を小さくすることができるので、バスバー電極４２と配線部材７０との接着強度の低下を抑制することができる。
【００４８】
図４Ａに示すように、本実施の形態では、ｎ側電極３０ｎは、凹部４５において、バスバー電極４２を構成する導電性ペーストで覆われている、つまり平面視において露出していない。これにより、はんだ６０がｎ側電極３０ｎと直接接触することによる接着強度の低下を抑制することができる。なお、凹部４５においてｎ側電極３０ｎの少なくとも一部が露出していてもよい。つまり、はんだ６０は、配線部材７０が接続された状態で、凹部４５において、少なくとも一部がｎ側電極３０ｎと接触していてもよい。
【００４９】
なお、バスバー電極４２がｎ型半導体層８０ｎ上に直接設けられている場合、ｎ型半導体層８０ｎは、凹部４５において、バスバー電極４２を構成する導電性ペーストで覆われている、つまり平面視において露出していない。これにより、はんだ６０がｎ型半導体層８０ｎと直接接触することによる接着強度の低下を抑制することができる。なお、凹部４５においてｎ型半導体層８０ｎの少なくとも一部が露出していてもよい。つまり、はんだ６０は、配線部材７０が接続された状態で、凹部４５において、少なくとも一部がｎ型半導体層８０ｎと接触していてもよい。
【００５０】
また、凹部４５において、ｎ型半導体層８０ｎがバスバー電極４２を構成する導電性ペーストで覆われているとは、ｎ型半導体層８０ｎ上に導電性ペーストが設けられていることを意味する。例えば、ｎ型半導体層８０ｎがバスバー電極４２を構成する導電性ペーストで覆われているとは、ｎ側電極３０ｎを介してｎ型半導体層８０ｎが当該導電性ペーストで覆われている（例えば、図４Ａ）こと、及び、ｎ型半導体層８０ｎが当該導電性ペーストで直接覆われていることを含む。
【００５１】
従来の太陽電池セルにおけるバスバー電極は、凹凸部４４を有しておらず、例えば均一な厚みであった。この場合、スクリーン印刷により当該バスバー電極を形成する場合、印刷時にバスバー電極を構成する領域の全てに導電性ペーストが印刷されていた。
【００５２】
一方、本実施の形態に係るバスバー電極４２は、凹部４５に対応する位置に開口部（図１６に示すバスバー用孔部１１２を参照）が形成されていないスクリーン版を用いてスクリーン印刷により形成可能である。具体的には、凹部４５は、凸部４６に対応する位置に塗布された導電性ペーストの印刷にじみにより形成される。つまり、本実施の形態では、バスバー電極を構成する領域の全てに導電性ペーストが印刷されない。これにより、従来に比べ、導電性ペーストの使用量を削減することができる。なお、印刷にじみとは、導電性ペーストがシリコン基板２０上に塗布されてから、硬化するまでの間に周囲に漏れ広がる現象を意味する。
【００５３】
また、図４Ａに示すように、凹凸部４４の断面形状は、例えば、台形状である。これにより、図４Ｂに示すように、凸部４６の頂部と配線部材７０とは、例えば、直接面接触する。
【００５４】
なお、バスバー電極４２の形状は、上記に限定されない。バスバー電極４２の他の形状等について、図５〜図１４を参照しながら説明する。
【００５５】
図５は、本実施の形態に係る太陽電池セル１０のバスバー電極の他の第一例を示す平面図である。図５に示すように、バスバー電極４２ａは、バスバー部４３と凹凸部４４ａとを有する。他の第一例に係るバスバー電極４２ａは、凹凸部４４ａを構成する凹部４５ａ及び凸部４６ａが並ぶ方向が図３に示すバスバー電極４２と異なる。
【００５６】
凹凸部４４ａは、凹部４５ａと凹部４５ａより厚みが厚い凸部４６ａとがバスバー電極４２ａが延在する方向（Ｘ軸方向）と交差する方向に交互に複数設けられる。具体的には、凹部４５ａと凸部４６ａとがバスバー電極４２ａが延在する方向と直交する方向に交互に複数設けられる。凹部４５ａ及び凸部４６ａが交互に並ぶ方向（図５の例では、Ｙ軸方向）は、第１の方向の一例である。また、凹部４５ａ及び凸部４６ａは、例えば、平面視において、矩形状である。凹部４５ａ及び凸部４６ａは、例えば、フィンガー電極４１が延在する方向（第２の方向の一例）と直交する方向（第３の方向の一例であり、Ｘ軸方向）に延在して形成されている。また、凸部４６ａの幅ｗ２は、シリコン基板２０に垂直かつ凹部４５ａ及び凸部４６ａが交互に並ぶ方向（Ｙ軸方向）を含む断面において、凹部４５ａの幅ｗ１より広い。
【００５７】
図６は、本実施の形態に係る太陽電池セル１０のバスバー電極の他の第二例を示す平面図である。図６に示すように、バスバー電極４２ｂは、バスバー部４３と凹凸部４４ｂとを有する。他の第二例に係るバスバー電極４２ｂは、凹凸部４４ｂを構成する凹部４５ｂ及び凸部４６ｂが延在する方向が図３に示すバスバー電極４２と異なる。
【００５８】
凹凸部４４ｂは、凹部４５ｂと凹部４５ｂより厚みが厚い凸部４６ｂとがバスバー電極４２ｂが延在する方向（Ｘ軸方向）に交互に複数設けられる。凹部４５ｂ及び凸部４６ｂが交互に並ぶ方向（図６の例では、Ｘ軸方向）は、第１の方向の一例である。また、凹部４５ｂ及び凸部４６ｂは、例えば、平面視において、矩形状である。凹部４５ｂ及び凸部４６ｂは、例えば、フィンガー電極４１が延在する方向（第２の方向の一例）と交差する方向（第３の方向の一例）に延在して形成されている。なお、ここでの交差する方向とは、フィンガー電極４１が延在する方向と平行な方向及び直交する方向を除く方向である。つまり、交差するとは、フィンガー電極４１が延在する方向と凹部４５ｂ及び凸部４６ｂが延在する方向とが直角以外の角度で交わることを意味する。また、凸部４６ｂの幅ｗ２は、シリコン基板２０に垂直かつ凹部４５ｂ及び凸部４６ｂが交互に並ぶ方向（Ｘ軸方向）を含む断面において、凹部４５ｂの幅ｗ１より広い。
【００５９】
図７は、本実施の形態に係る太陽電池セル１０のバスバー電極の他の第三例を示す平面図である。図７に示すように、バスバー電極４２ｃは、バスバー部４３ｃと凹凸部４４ｃとを有する。他の第三例に係るバスバー電極４２ｃは、バスバー部４３ｃが設けられる位置が図３に示すバスバー電極４２と異なる。
【００６０】
バスバー部４３ｃは、バスバー電極４２ｃが延在する方向に複数形成される。バスバー部４３ｃは、隣り合う凸部４６ｃそれぞれを電気的に接続する。バスバー部４３ｃは、例えば、Ｙ軸方向に延在する凹部４５ｃをその中央部で分離するように形成される。これにより、バスバー部４３ｃが形成されていない場合に比べ、配線部材と７０とバスバー電極４２との接触面積を増やすことができるので、配線部材７０とバスバー電極４２との接続性を向上させることができる。また、バスバー部４３により凸部４６ｃ同士が電気的に接続されるので、集電効率を向上させることができる。なお、バスバー部４３ｃの本数は１本に限定されない。例えば、図７に示すバスバー電極４２ｃに、さらに図３に示すバスバー部４３が設けられてもよい。
【００６１】
凹凸部４４ｃは、凹部４５ｃと凹部４５ｃより厚みが厚い凸部４６ｃとがバスバー電極４２ｃが延在する方向（Ｘ軸方向）に交互に複数設けられる。凹部４５ｃ及び凸部４６ｃが交互に並ぶ方向（図７の例では、Ｘ軸方向）は、第１の方向の一例である。また、凹部４５ｃ及び凸部４６ｃは、例えば、平面視において、矩形状である。凹部４５ｃ及び凸部４６ｃは、例えば、フィンガー電極４１が延在する方向（第２の方向の一例）と平行な方向（第３の方向の一例）に延在して形成されている。また、凸部４６ｃの幅ｗ２は、シリコン基板２０に垂直かつ凹部４５ｃ及び凸部４６ｃが交互に並ぶ方向（Ｘ軸方向）を含む断面において、凹部４５ｃの幅ｗ１より広い。
【００６２】
なお、バスバー電極は、バスバー部を有していることに限定されない。例えば、図８に示すように、バスバー電極４２ｄは、図７に示すバスバー部４３ｃ及び凹凸部４４ｃのうち凹凸部４４ｃのみを有していてもよい。図８は、本実施の形態に係る太陽電池セル１０のバスバー電極の他の第四例を示す平面図である。他の第四例に係るバスバー電極４２ｄは、バスバー部４３ｃを有していない点が図７に示すバスバー電極４２ｃと異なる。
【００６３】
凹凸部４４ｃは、集電にはあまり寄与しないが、凹凸部４４ｃが平らである場合に比べ表面積が大きいので配線部材７０とバスバー電極４２ｄとの接続性を向上させることができる。
【００６４】
図９は、本実施の形態に係る太陽電池セル１０のバスバー電極の他の第五例を示す平面図である。図９は、図８に示す破線領域Ｂに対応する、バスバー電極４２ｅを示す平面図である。図９に示すように、バスバー電極４２ｅは、凹凸部４４ｅを有する。他の第五例に係るバスバー電極４２ｅは、凹部４５ｅにおいてｎ側電極３０ｎが露出している露出部４７ｅを有する点が図８に示すバスバー電極４２ｄと異なる。
【００６５】
平面視においてｎ側電極３０ｎが露出する露出部４７ｅは、凹部４５ｅ及び凸部４６ｅのうち凹部４５ｅのみに形成される。つまり、平面視において、露出部４７ｅの面積は、導電性ペーストが形成されている面積より狭い。このように露出部４７ｅが形成される場合であっても、凸部４６ｅの幅ｗ２は、シリコン基板２０に垂直かつ第１の方向（図９では、Ｘ軸方向）を含む断面において、凹部４５ｅの幅ｗ１より広いので、凸部４６ｅ及び凹部４５ｅの露出部４７ｅ以外の部分により配線部材７０とバスバー電極４２ｅとの接続性を向上させることができる。
【００６６】
図３及び図５〜図９では、凹凸部がバスバー電極の一端から他端にわたって形成されている例を示したが、これに限定されない。凹凸部は、バスバー電極の少なくとも一部に形成されていてもよく、この例について図１０〜図１２を参照しながら説明する。
【００６７】
図１０は、本実施の形態に係る太陽電池セル１０のバスバー電極の他の第六例を示す平面図である。図１０に示すように、バスバー電極４２ｆは、配線部材７０と接合する接合部４７ｆ（接続部の一例）と、配線部材７０と接合されない未接合部４８ｆとを有する。そして、凹凸部４４ｆは、接合部４７ｆ及び未接合部４８ｆのうち、接合部４７ｆのみに形成される。接合部４７ｆにおいては、配線部材７０との接着性を向上させる観点から、バスバー電極４２ｆの表面積を大きくするために凹凸部４４ｆが形成される。一方、未接合部４８ｆにおいては、導電性ペーストの使用量をさらに低減する観点から、バスバー部４３ｆが形成される。つまり、未接合部４８ｆにおいて、凹凸部４４ｆは形成されない。
【００６８】
このような構成であれば、接合部４７ｆにおいて配線部材７０との接続性を向上させつつ、未接合部４８ｆにおいてさらに導電性ペーストの使用量を削減することができる。また、さらに、温度サイクル試験時のセル割れを防止する効果もある。
【００６９】
未接合部４８ｆには、バスバー部４３ｆが形成される。バスバー部４３ｆは、隣り合うバスバー部４３ｆを電気的に接続するように設けられることで、バスバー部４３ｆが形成されていない場合に比べ、集電効率が向上する。
【００７０】
なお、図１０では、接合部４７ｆに形成される凹凸部４４は、図３に示す凹凸部４４と対応する形状を有する例を示しているが、凹凸部４４ｆの形状はこれに限定されず、例えば、図５〜図９のいずれかに示す凹凸部であってもよい。
【００７１】
図１１は、本実施の形態に係る太陽電池セル１０のバスバー電極の他の第七例を示す平面図である。図１１に示すように、バスバー電極４２ｇは、フィンガー電極４１とバスバー電極４２ｇとが交差する交差部４７ｇに凹凸部４４ｇを有する。交差部４７ｇにおいては、配線部材７０との接着性を向上させる観点から、バスバー電極４２ｇの表面積を大きくするために凹凸部４４ｇが形成される。バスバー部４４ｇは、例えば、フィンガー電極４１と直接接続される。一方、隣り合うフィンガー電極４１の間においては、導電性ペーストの使用量をさらに低減する観点から、バスバー部４３ｇが形成される。つまり、隣り合うフィンガー電極４１の間では、凹凸部４４ｇは形成されない。
【００７２】
交差部４７ｇにおいて配線部材７０とバスバー電極４２ｇとの接続性を向上させることで、例えば、フィンガー電極４１により集電された受光電荷（例えば、電子）を効率的に配線部材７０に流すことができる。また、交差部４７ｇごとに凹凸部４４ｇが形成されることで、複数本のフィンガー電極４１のそれぞれとバスバー電極４２ｇとの交差部４７ｇにおける接着強度を均一にすることができる。バスバー部４３ｇは、隣り合う凹凸部４４ｇを電気的に接続するように設けられる。なお、バスバー部４３ｇは、設けられなくてもよい。
【００７３】
なお、凹凸部４４ｇは、交差部４７ｇの全てに形成されることに限定されない。例えば、図１２に示すように、凹凸部４４ｇは、全ての交差部４７ｇに形成されていなくてもよい。図１２は、本実施の形態に係る太陽電池セル１０のバスバー電極の他の第八例を示す平面図である。他の第八例に係るバスバー電極４２ｈが有する凹凸部４４ｇは、複数の交差部４７ｇの少なくとも１つに設けられていればよい。凹凸部４４ｇは、例えば、複数の交差部４７ｇのうち１つ置きに設けられてもよい。バスバー部４３ｈは、隣り合う凹凸部４４ｇを電気的に接続するように設けられるが、隣り合う凹凸部４４ｇの間において少なくとも１つのフィンガー電極４１と交差する。これにより、さらに導電性ペーストの使用量を削減することができる。
【００７４】
なお、図１１及び図１２では、交差部４７ｇに形成される凹凸部４４ｇは、図３に示す凹凸部４４と対応する形状を有する例を示しているが、凹凸部４４ｇの形状はこれに限定されず、例えば、図５〜図９のいずれかに示す凹凸部であってもよい。
【００７５】
さらに、図３に示すように、バスバー電極４２がバスバー部４３と凹凸部４４とを有する場合において、バスバー部４３と凹凸部４４との厚みの関係について、図１３及び図１４を参照しながら説明する。
【００７６】
図１３は、本実施の形態に係る太陽電池セル１０のバスバー電極４２の他の第九例を示す平面図である。具体的には、図１３は、バスバー電極４２の幅ｗ３が配線部材７０の幅ｗ４より広い例を示している。
【００７７】
図１３に示すように、バスバー電極４２の幅ｗ３が配線部材７０の幅ｗ４より広い場合、凹凸部４４の厚みｔ４は、バスバー部４３の厚みｔ３より厚く形成されてもよいし、厚みｔ３より薄く形成されてもよいし、厚みｔ３と等しくてもよい。つまり、バスバー電極４２の幅ｗ３の方が配線部材７０の幅ｗ４より広い場合、厚みｔ３及び厚みｔ４の関係は特に限定されない。なお、凹凸部４４の厚みｔ４とは、具体的には、凸部４６の厚みを意味する。また、バスバー電極４２の幅ｗ３には、にじみ部４９は含まれない。
【００７８】
図１４は、本実施の形態に係る太陽電池セルのバスバー電極４２の他の第十例を示す平面図である。具体的には、図１４は、バスバー電極４２の幅ｗ３が配線部材７０の幅ｗ４より狭い例を示している。
【００７９】
図１４に示すように、配線部材７０の幅ｗ４がバスバー電極４２の幅ｗ３より広い場合、凹凸部４４の厚みｔ４は、バスバー部４３の厚みｔ３以上の厚みに形成される。バスバー部４３の厚みｔ３が凹凸部４４の厚みｔ４より厚い場合、凹凸部４４において配線部材７０と凸部４６とが直接接触しない可能性がある。そのため、凹凸部４４と配線部材７０との導通性を向上させる観点から、バスバー部４３の厚みｔ３を凸部４６の厚みｔ４より薄くするとよい。これにより、凹凸部４４と配線部材７０との接続性をさらに向上させることができる。
【００８０】
なお、厚みｔ３は、バスバー部４３における厚みの統計値であってもよい。厚みｔ３は、バスバー部４３における厚みの最大値、最小値、平均値、又は、中央値であってもよい。また、厚みｔ４は、凸部４６における厚みの統計値であってもよい。厚みｔ４は、複数の凸部４６における厚みの最大値、最小値、平均値、又は、中央値であってもよい。
【００８１】
［２．太陽電池セルの製造方法］
次に、本実施の形態に係る太陽電池セル１０の製造方法について、図１５及び図１６を参照しながら説明する。図１５は、本実施の形態に係る太陽電池セル１０の製造方法を示すフローチャートである。
【００８２】
図１５に示すように、まずシリコン基板２０を準備する（Ｓ１０）。そして、シリコン基板２０に透明電極層を形成する（Ｓ２０）。透明電極層は、ｎ側電極３０ｎ及びｐ側電極３０ｐを含む。そして、スクリーン版を用いて、透明電極層上に集電電極を形成する（Ｓ３０）。集電電極は、フィンガー電極及びバスバー電極を含む。例えば、フィンガー電極４１及びバスバー電極４２は一体形成され、フィンガー電極５１及びバスバー電極５２は一体形成される。
【００８３】
図１６は、本実施の形態に係る太陽電池セル１０の製造方法で用いるスクリーン版１００の一例を示す図である。なお、スクリーン版１００は、図３に示すバスバー電極４２を形成するためのスクリーン版である場合を説明する。図５〜図１２に示すバスバー電極を形成する場合は、当該バスバー電極の形状に応じたパターンがスクリーン版１００に形成される。
【００８４】
図１６に示すように、スクリーン版１００は、パターン孔部１１０と、乳剤１２０とを含んで構成される。なお、スクリーン版１００は、フレームにメッシュが張られて形成される。また、メッシュには乳剤（感光乳剤）１２０が塗布されており、乳剤１２０は露光により硬化する。このとき、乳剤１２０のうちマスキングされて硬化しなかった部分は、洗い流されてパターン孔部１１０となる。パターン孔部１１０は、太陽電池セルに印刷する集電電極の形状に合わせて形成され、パターン孔部１１０ではメッシュが露出している。
【００８５】
パターン孔部１１０は、フィンガー電極４１を形成するためのフィンガー用孔部１１１と、バスバー電極４２を形成するためのバスバー用孔部１１２とを有する。バスバー用孔部１１２は、乳剤１２１を含んで構成される。言い換えると、バスバー用孔部１１２は、梯子状に形成されている。
【００８６】
ステップＳ３０では、スクリーン版１００に導電性ペーストが供給され、例えば、スキージ等で塗り広げられることで、パターン孔部１１０に導電性ペーストが充填される。導電性ペーストは、太陽電池セルに塗布された後、例えば焼成等により太陽電池セルに固着する。
【００８７】
このようなスクリーン版１００を用いてシリコン基板２０に導電性ペーストを印刷すると、乳剤１２１に対応する領域には、導電性ペーストは塗布されない。つまり、導電性ペーストを印刷した瞬間は、乳剤１２１に対応する領域は、透明電極膜（例えば、ｎ側電極３０ｎ）が露出している。導電性ペーストを印刷してから焼成により硬化するまでの間に、導電性ペーストのにじみ（印刷にじみ）が発生する。具体的には、バスバー用孔部１１２により印刷された導電性ペーストが、乳剤１２１に対応する領域であって透明電極膜が露出している領域（未印刷領域とも記載する）に流れ込む。これにより、乳剤１２１により未塗布領域にも導電性ペーストの層が形成される。この状態で、導電性ペーストを硬化させることで、上記のバスバー電極４２が形成される。
【００８８】
乳剤１２１は、例えば、印刷にじみで未塗布領域の全てに導電性ペーストの層が形成される程度の大きさであるとよい。乳剤１２１の幅ｗ５は、導電性ペーストの印刷にじみのにじみ幅に応じて適宜決定されるとよい。例えば、印刷にじみ幅が５０μｍである場合、乳剤１２１の幅ｗ５は、１００μｍ以下とするとよい。乳剤１２１の幅ｗ５を１００μｍ以下と細かく設定することで、形成される凹部４５を導電性ペーストで埋めることができる。
【００８９】
上記のように、印刷にじみにより、未塗布領域を完全に埋めることができる。つまり、バスバー電極４２は、平面視において、ｎ側電極３０ｎが露出する露出部を有していない太陽電池セル１０を作製することができる。また、乳剤１２１の幅ｗ５をにじみ幅の２倍より大きくすることにより、図９に示すような露出部４７ｅを形成することも可能である。
【００９０】
上記のように、本実施の形態に係る太陽電池セル１０は、バスバー電極４２を形成するときに意図的にバスバー電極４２内において、導電性ペーストが塗布されない部分（乳剤１２１に対応する部分）を形成する。そして、当該部分の周囲に印刷された導電性ペーストの印刷にじみにより導電性ペーストが当該部分に流れ込むことで、当該部分の透明電極膜の少なくとも一部が導電性ペーストで覆われる。
【００９１】
［３．効果など］
以上のように、本実施の形態に係る太陽電池セル１０は、シリコン基板２０と、シリコン基板２０に設けられるｎ型半導体層８０ｎ（半導体層の一例）と、ｎ型半導体層８０ｎ上に設けられる複数本の集電電極（例えば、ｎ側集電電極４０ｎ）とを備える。複数本の集電電極は、複数本の互いに平行なフィンガー電極４１と、当該複数本のフィンガー電極４１に接続して設けられるバスバー電極４２とを有する。そして、バスバー電極４２は、凹部４５と凹部４５より厚みが厚い凸部４６とが第１の方向（例えば、Ｘ軸方向）に交互に複数設けられた凹凸部４４を有し、凸部４６の幅ｗ２は、シリコン基板２０に垂直かつ第１の方向を含む断面において、凹部４５の幅ｗ１より広い。
【００９２】
これにより、バスバー電極４２に凹部４５を形成することで、バスバー電極４２の厚みを均一となるように形成した場合に比べ、導電性ペーストの使用量を削減することができる。例えば、バスバー電極４２を印刷により形成するときに、凹部４５に対応する領域の導電ペーストの塗布量を凸部４６に対応する領域の導電性ペーストの塗布量より少なくすることで、凹部４５が形成され導電性ペーストの使用量を削減することができる。また、凸部４６の幅ｗ２が凹部４５の幅ｗ１より広い凹凸部４４が形成されることで、配線部材７０及びバスバー電極４２を接合する接合部材（例えば、はんだ６０）とバスバー電極４２との接触面積を、バスバー電極４２の厚みが均一である場合に比べ、増やすことができる。つまり、バスバー電極４２と配線部材７０との接続強度を向上させることができる。さらに、凸部４６の幅ｗ２が凹部４５の幅ｗ１より広い凹凸部４４が形成されることで、太陽電池セル１０の出力特性の低下の原因となるバスバー電極４２の抵抗値の増大を抑制するこができる。よって、本実施の形態に係る太陽電池セル１０は、高出力特性を維持しつつ、導電性ペーストの使用量を削減することができ、かつバスバー電極４２と配線部材７０との接続性を向上することができる。
【００９３】
また、凹部４５及び凸部４６のそれぞれは、複数本のフィンガー電極４１のうち隣り合うフィンガー電極４１との間に複数設けられる。
【００９４】
これにより、凹部４５は、フィンガー電極４１よりも細かいピッチで設けられる。凹部４５がスクリーン印刷により塗布された導電ペーストの印刷にじみで形成される場合、凹部４５を導電性ペーストで埋めることができる。言い換えると、凹部４５のピッチが細かいことで、凹部４５において、ｎ側電極３０ｎと配線部材７０及びバスバー電極４２を接合する接合部材（例えば、はんだ６０）とが直接接触することを抑制することができる。よって、ｎ側電極３０ｎと接合部材とが直接接触することでバスバー電極４２と配線部材７０との接着強度が低下することを抑制することができるので、さらに接続性が向上する。
【００９５】
また、複数本のフィンガー電極４１は、シリコン基板２０の平面視において、第２の方向（例えば、Ｘ軸方向）に延在して形成されており、凹部４５ｂ及び凸部４６ｂは、シリコン基板２０の平面視において、第２の方向と交差する第３の方向に延在して形成されていてもよい。また、凹部４５ａ及び凸部４６ａは、シリコン基板２０の平面視において、第２の方向と直交する第３の方向（例えば、Ｘ軸方向）に延在して形成されていてもよい。また、凹部４５及び凸部４６は、シリコン基板２０の平面視において、第２の方向と平行な第３の方向（例えば、Ｙ軸方向）に延在して形成されていてもよい。
【００９６】
これにより、第３の方向に延在する凹部及び凸部を有する凹凸部が形成されたバスバー電極により、導電性ペーストの使用量を削減することができ、かつバスバー電極と配線部材７０との接続性を向上することができる。
【００９７】
また、バスバー電極４２は、第１の方向に延在して設けられ、第３の方向に延在する複数の凹部４５及び複数の凸部４６の一端のそれぞれ及び他端のそれぞれと電気的に接続される一対のバスバー部４３を有する。
【００９８】
これにより、バスバー部４３が形成されていない場合に比べ、配線部材と７０とバスバー電極４２との接触面積をさらに増やすことができるので、配線部材７０とバスバー電極４２との接続性をさらに向上させることができる。
【００９９】
また、凹凸部４４ｇは、バスバー電極４２ｇと複数本のフィンガー電極４１とが交差する交差部４７ｇに設けられてもよい。
【０１００】
これにより、凹凸部４４ｇがバスバー電極４２ｇに亘って形成されている場合に比べ、導電性ペーストの使用量を削減することができる。
【０１０１】
また、バスバー電極４２ｆは、太陽電池セル１０同士を電気的に接続するための配線部材７０に接続され、凹凸部４４ｆは、配線部材７０とバスバー電極４２ｆとが接続される接合部４７ｆに設けられてもよい。
【０１０２】
これにより、配線部材７０とバスバー電極４２ｆとの接続性を効果的に向上させることができる。また、凹凸部４４ｆがバスバー電極４２ｆに亘って形成されている場合に比べ、導電性ペーストの使用量を削減することができる。
【０１０３】
また、凹部４５において、ｎ型半導体層８０ｎは、バスバー電極４２を構成する導電性材料で覆われている。
【０１０４】
これにより、バスバー電極４２と配線部材７０とを接合するはんだ６０がｎ側電極３０ｎと直接接触することによる接合強度の低下を抑制することができる。
【０１０５】
（他の実施の形態）
以上、本発明に係る太陽電池セルについて、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されない。
【０１０６】
例えば、上記実施の形態では、太陽電池セルの主受光面側の面にｎ型半導体層が形成される例について説明したが、これに限定されない。太陽電池セルの主受光面側の面にｐ型半導体層が形成されていてもよい。
【０１０７】
また、上記実施の形態では、隣り合う２つの太陽電池セル同士を配線部材により電気的に接続する例について説明したが、これに限定されない。例えば、一方の太陽電池セルの受光面側のバスバー電極が、他方の太陽電池セルの裏面側のバスバー電極に直接的に接続されてもよい。このような場合においても、上記実施の形態に係る太陽電池セルによれば、高出力特性を維持しつつ、導電性ペーストの使用量を削減することができ、かつ隣り合う２つの太陽電池セルの接続性を向上させることができる。
【０１０８】
また、上記実施の形態では、集電電極は、フィンガー電極及びバスバー電極の両方を含む例を示したが、これに限定されない。集電電極は、少なくともバスバー電極を含んでいればよい。
【０１０９】
また、上記実施の形態では、凹凸部において厚みｔ２までの部分を凹部としたが、これに限定されない。凹部は、例えば、硬化後において導電性ペーストが配置されていない部分であってもよい。この場合、凸部は、硬化後において導電性ペーストが配置されている部分と定義されてもよい。この場合であっても、凸部の幅は、シリコン基板に垂直かつ第１の方向を含む断面において、凹部の幅より広い。これにより、上記実施の形態と同様の効果を奏する。
【０１１０】
また、本発明は、複数の太陽電池セルと隣り合う太陽電池セルを電気的に接続する配線部材とを備える太陽電池モジュールとして実現されてもよい。この場合、太陽電池モジュールが備える複数の太陽電池セルのうち少なくとも１つは、上記実施の形態に記載した太陽電池セルである。
【０１１１】
また、上記実施の形態で説明した太陽電池セルの製造方法における各工程の順序は一例であり、これに限定されない。各工程の順序は入れ替えられてもよいし、各工程の一部は行われなくてもよい。
【０１１２】
また、上記実施の形態で説明した太陽電池セルの製造方法における各工程は、１つの工程で実施されてもよいし、別々の工程で実施されてもよい。なお、１つの工程で実施されるとは、各工程が１つの装置を用いて実施される、各工程が連続して実施される、又は、各工程が同じ場所で実施されることを含む意図である。また、別々の工程とは、各工程が別々の装置を用いて実施される、各工程が異なる時間（例えば、異なる日）に実施される、又は、各工程が異なる場所で実施されることを含む意図である。
【０１１３】
その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態等における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。
【符号の説明】
【０１１４】
１０    太陽電池セル
２０    シリコン基板（半導体基板）
４０ｎ    ｎ側集電電極（集電電極）
４１    フィンガー電極
４２、４２ａ〜４２ｈ    バスバー電極
４３、４３ｃ、４３ｆ、４３ｇ    バスバー部
４４、４４ａ〜４４ｃ、４４ｅ〜４４ｆ    凹凸部
４５、４５ａ〜４５ｃ、４５ｅ〜４５ｆ    凹部
４６、４６ａ〜４６ｃ、４６ｅ〜４６ｆ    凸部
４７ｆ    接合部（接続部）
４７ｇ    交差部
７０、７１    配線部材
８０ｎ    ｎ型半導体層（半導体層）
ｗ１、ｗ２、ｗ３、ｗ４    幅
ｔ３、ｔ４    厚み
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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