(57)【要約】【課題】加工装置のログによる解析を容易に実行すること。【解決手段】本発明に係る加工装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、加工状況を監視するための項目として事前に設定された監視項目ごとに時系列で記録された該加工状況を示す情報をログ情報として記録する記録部と、データ処理部とを備える。該データ処理部は、該記録部に記録された該ログ情報を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換する変換部を備えることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、加工状況を監視するための項目として事前に設定された監視項目ごとに時系列で記録された該加工状況を示す情報をログ情報として記録する記録部と、データ処理部と
を備える加工装置であって、
該データ処理部は、
該記録部に記録された該ログ情報を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換する変換部を備えることを特徴とする加工装置。
【請求項２】
該変換部は、
該ログ情報をグラフまたは表に変換することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
該監視項目は、
加工装置の稼働状況、被加工物、加工手段、及び加工装置にて発生したエラー信号のうちの少なくともいずれか一つに関することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項４】
該加工装置は、
外部記録媒体を該加工装置に接続可能にする接続部を更に備え、
該データ処理部は、
該解析用データを該外部記録媒体に出力する出力部を
更に備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の加工装置。
【請求項５】
該加工装置は、任意の情報機器にネットワークを経由して接続され、
該データ処理部は、
該解析用データの送信先を登録する送信先登録部と、
該送信先に該解析用データを送信する自動送信部と
を更に備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の加工装置。
【請求項６】
該データ処理部は、
該解析用データの送信要求日時と、該解析用データの解析対象期間と、該解析用データの解析対象項目とを自動送信設定情報として事前に登録する自動送信設定登録部と、
該自動送信設定登録部に登録されている該自動送信設定情報に従って、該記録部に記録された該ログ情報を該解析用データに変換する自動変換部とを更に備え、
該自動送信部は、
該自動変換部により変換された該解析用データを該送信先登録部に登録された該送信先へ送信することを特徴とする請求項５に記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハやパッケージ基板等の被加工物をチャックテーブルで保持し、切削、レーザー加工、研削などを行う加工装置が各種存在する。これらの加工装置において、作業の効率化を図ることを目的として、装置の稼働状況などを示す文字及び数値データ等をログとして記録する技術が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１８−４１１３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した技術では、加工装置の稼働状況などを解析するために、オペレータ自らが、ログから解析用のデータを作成する必要があり、手間が発生する。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、加工装置のログによる解析を容易に実行できる加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、加工状況を監視するための項目として事前に設定された監視項目ごとに時系列で記録された該加工状況を示す情報をログ情報として記録する記録部と、データ処理部とを備える加工装置であって、該データ処理部は、該記録部に記録された該ログ情報を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換する変換部を備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明の構成によれば、記録されたログ情報（文字及び数値データ）を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換するので、オペレータ自らが解析用のデータを作成する必要がなく、加工装置のログによる解析を容易に実行できる。
【０００８】
また、本発明に係る加工装置は、ログ情報（文字及び数値データ）をグラフまたは表に変換してもよい。この構成によれば、監視項目に対応する加工装置の状況をオペレータに容易に把握させることができる。
【０００９】
また、本発明に係る加工装置において、監視項目は、加工装置の稼働状況、被加工物、加工手段、及び加工装置にて発生したエラー信号のうちの少なくともいずれか一つに関するものであってよい。この構成によれば、加工装置の稼働状況、被加工物、加工手段、エラーに関する解析用データをオペレータに提供できる。
【００１０】
また、本発明に係る加工装置は、外部記録媒体を該加工装置に接続可能にする接続部を更に備え、データ処理部は、解析用データを外部記録媒体に出力する出力部をさらに備えてもよい。この構成によれば、加工装置のログによる解析用データを持ち運び容易な状態でオペレータに提供できる。
【００１１】
また、本発明に係る加工装置は、任意の情報機器にネットワークを経由して接続され、データ処理部は、解析用データの送信先を登録する送信先登録部と、該送信先に該解析用データを送信する自動送信部とを更に備えてもよい。この構成によれば、加工装置のログによる解析用データを、オペレータが希望する送信先に提供できる。
【００１２】
また、本発明に係る加工装置において、データ処理部は、該解析用データの送信要求日時と、該解析用データの解析対象期間と、該解析用データの解析対象項目とを自動送信設定情報として事前に登録する自動送信設定登録部と、該自動送信設定登録部に登録されている該自動送信設定情報に従って、該記録部に記録された該ログ情報を該解析用データに変換する自動変換部とを更に備えてもよい。そして、該自動送信部は、該自動変換部により変換された該解析用データを該送信先登録部に登録された該送信先へ送信してもよい。この構成によれば、加工装置のログによる解析用データを、オペレータが希望する日時に、オペレータが希望する内容で自動的に提供できる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、加工装置のログによる解析を容易に実行できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、実施形態に係る加工装置を示す斜視図である。
【図２】図２は、実施形態に係る加工装置の機能構成の一例を模式的に示す図である。
【図３】図３は、実施形態に係る加工状況格納部に記憶される加工状況ログ情報の一例を示す図である。
【図４】図４は、実施形態に係るエラー発生状況格納部に記憶されるエラーログ情報の一例を示す図である。
【図５】図５は、実施形態に係るログ解析ウィンドウの構成例を示す図である。
【図６】図６は、実施形態に係る解析用データの一例を示す図である。
【図７】図７は、実施形態に係る解析用データの一例を示す図である。
【図８】図８は、実施形態に係る解析用データの一例を示す図である。
【図９】図９は、実施形態に係る解析用データの一例を示す図である。
【図１０】図１０は、実施形態に係る解析用データの一例を示す図である。
【図１１】図１１は、実施形態に係る送信先情報の一例を示す図である。
【図１２】図１２は、実施形態に係る加工装置による処理の手順の一例を示すフローチャートである。
【図１３】図１３は、変形例に係る加工装置の機能構成の一例を模式的に示す図である。
【図１４】図１４は、変形例に係る自動送信設定情報の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態を詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１６】
以下に説明する実施形態において、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。水平面内の一方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向をＺ軸方向とする。Ｘ軸及びＹ軸を含むＸＹ平面は、水平面と平行である。ＸＹ平面と直交するＺ軸方向は、鉛直方向である。
【００１７】
図面を参照しつつ、実施形態に係る加工装置１の概要を説明する。図１は、実施形態に係る加工装置１を示す斜視図である。図２は、実施形態に係る加工装置１の機能構成の一例を模式的に示す図である。
【００１８】
図１に示すように、実施形態に係る複数の加工装置１は、チャックテーブル１０と、切削ブレード２１を有する加工ユニット２０と、加工送り手段（移動ユニット）３０と、割り出し送り手段（移動ユニット）４０と、切り込み送り手段（移動ユニット）５０と、カセットエレベータ６０と、洗浄ユニット７０と、制御ユニット８０とを備えて構成される。加工装置１は、チャックテーブル１０で被加工物３０１を保持し、この被加工物３０１を加工ユニット２０で切削加工する。
【００１９】
被加工物３０１は、たとえばシリコン、サファイア、ガリウムなどを基板とする半導体ウエーハや光デバイスウエーハであり、図１に示すように、例えば、円板形状に形成される。被加工物３０１の表面（上面）側は格子状に配列された分割予定ラインにより複数の領域に区画されており、各領域にデバイスが形成されている。また、被加工物３０１の裏面（下面）側には、被加工物３０１より径の大きいテープ３０３が貼り付けられている。テープ３０３の外周部分は、環状のフレーム３０５に固定されている。すなわち、被加工物３０１は、テープ３０３を介してフレーム３０５に支持されている。
【００２０】
チャックテーブル１０は、図１に示すように、装置本体２の上面に設けられた開口部２ａをＸ軸方向に沿って移動可能に配設されている。チャックテーブル１０は、保持面１１と、複数（４つ）のクランプ１２とを備えている。チャックテーブル１０は円板状に形成され、図示しない回転手段によりＺ軸方向（鉛直方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。保持面１１は、チャックテーブル１０の鉛直方向の上端面であり、水平面に対して平坦に形成されている。保持面１１は、例えばポーラスセラミック等で構成されており、図示しない真空吸引源の負圧により被加工物３０１を吸引保持する。複数のクランプ１２は、保持面１１の周囲に４箇所配設され、フレーム３０５を挟持して固定する。
【００２１】
加工ユニット２０は、たとえば切削ユニットであり、チャックテーブル１０に保持された被加工物３０１を切削加工する。装置本体２の上面には開口部２ａをＹ軸方向に跨ぐように支持構造３が設けられる。加工ユニット２０は、支持構造３に割り出し送り手段４０及び切り込み送り手段５０を介して固定されている。
【００２２】
加工ユニット２０は、回転駆動される図示しないスピンドルに装着された切削ブレード２１を備える。加工ユニット２０は、この切削ブレード２１が回転しつつ、チャックテーブル１０をＸ軸方向に加工送りすることにより、チャックテーブル１０に保持された被加工物３０１をＸ軸方向に沿って切削する。その後、加工ユニット２０は、割り出し送り手段４０によって、Ｙ軸方向に所定ピッチで順次割り出し送りされ、このピッチ間隔で被加工物３０１をＸ軸方向に沿って切削することを繰り返し実行する。
【００２３】
切削ブレード２１は、例えば、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic  Boron  Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材とからなり所定厚みに形成された切り刃を有する。被加工物３０１の種別（密度や硬さなど）によって、チッピングやクラックが適正値内の適切な切り刃（例えば、樹脂ボンドやメタルボンド、ポーラスボンドなど）を有する切削ブレード２１が選択される。
【００２４】
また、加工ユニット２０には、被加工物３０１を撮像する撮像部２２が一体的に移動するように固定されている。撮像部２２は、チャックテーブル１０に保持された被加工物３０１の上面を撮像するＣＣＤカメラを備えて構成され、例えば、被加工物３０１の切削予定ラインと切削ブレード２１とのアライメントを行うための画像を取得する。加工ユニット２０は、加工手段の一例である。
【００２５】
加工送り手段３０は、チャックテーブル１０と加工ユニット２０とをＸ軸方向に相対移動させるものである。加工送り手段３０は、Ｘ軸方向に延在される図示しないボールねじやモータ等の駆動源を有しており、チャックテーブル１０を支持する移動基台３１をＸ軸方向に移動させる。また、加工送り手段３０は、開口部２ａに配設されて移動基台３１の前後に連結されてＸ軸方向に延在する蛇腹部材３２と備える。また、移動基台３１には、切削ブレード２１の刃先の切り込み送り方向での先端位置（下端位置）を検出する刃先検出ユニット３３が設けられている。
【００２６】
割り出し送り手段４０は、チャックテーブル１０と加工ユニット２０とをＹ軸方向に相対移動させるものである。割り出し送り手段４０は、Ｙ軸方向に延在された一対のガイドレール４１と、ガイドレール４１と平行に配設されたボールねじ４２と、ボールねじ４２に螺合された図示しないナットに固定され、ガイドレール４１にスライド自在に配設されたＹ軸移動基台４３と、ボールねじ４２を回転させる図示しないモータとを備えている。割り出し送り手段４０は、モータによりボールねじ４２を回転させることにより、加工ユニット２０及び切り込み送り手段５０を支持するＹ軸移動基台４３をＹ軸方向に移動させる。
【００２７】
切り込み送り手段５０は、チャックテーブル１０の保持面１１と直交するＺ軸方向に加工ユニット２０を移動させるものである。切り込み送り手段５０は、Ｚ軸方向に延在され、Ｙ軸移動基台４３に固定された一対のガイドレール５１と、ガイドレール５１と平行に配設されたボールねじ５２と、ボールねじ５２に螺合された図示しないナットに固定され、ガイドレール５１にスライド自在に配設されたＺ軸移動基台５３と、ボールねじ５２を回転させるモータ５４とを備えている。切り込み送り手段５０は、モータ５４によりボールねじ５２を回転させることにより、加工ユニット２０を支持するＺ軸移動基台５３をＺ軸方向に移動させる。
【００２８】
カセットエレベータ６０は、装置本体２に対して、複数の被加工物３０１が収容されるカセット６１を鉛直方向に昇降可能に支持している。洗浄ユニット７０は、加工ユニット２０により切削加工された被加工物３０１をスピンナテーブル７１で保持して洗浄する。
【００２９】
制御ユニット８０は、プロセッサと、記憶装置と、入出力インタフェース装置とを備え、コンピュータプログラムを実行可能なコンピュータである。制御ユニット８０は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、ＤＳＰ（Digital  Signal  Processor）、システムＬＳＩ（Large  Scale  Integration）などのプロセッサを有する。制御ユニット８０は、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）、フラッシュメモリ、ＥＰＲＯＭ（Erasable  Programmable  Read  Only  Memory）、ＥＥＰＲＯＭ（登録商標）（Electrically  Erasable  Programmable  Read  Only  Memory）などの不揮発性または揮発性の半導体メモリなどの記憶装置を有する。
【００３０】
制御ユニット８０は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）やＭＰＵ（Micro  Processing  Unit）等によって、各種プログラムがＲＡＭを作業領域として実行されることにより実現される。制御ユニット８０は、各種プログラムにより提供される機能により、後述するデータ記録部８１及びデータ処理部８２による各種処理を実現又は実行する。各種プログラムは、制御ユニット８０が備える記憶装置に記憶される。各種プログラムは、後述する解析用データの変換ツールを含む。なお、制御ユニット８０は、例えば、ＡＳＩＣ（Application  Specific  Integrated  Circuit）やＦＰＧＡ（Field  Programmable  Gate  Array）等の集積回路により実現されてもよい。
【００３１】
制御ユニット８０は、図１に示すように、データ記録部８１とデータ処理部８２とを備え、以下に説明する加工装置１の処理の機能や作用を実現または実行する。
【００３２】
データ記録部８１は、加工装置１における加工に関する監視項目の状況を時系列で記録する。すなわち、データ記録部８１は、加工装置１の加工状況を監視するための項目としてオペレータにより事前に設定された監視項目ごとに、時系列で記録された加工状況を示す情報をログ情報として記録する。監視項目は、加工装置１にオペレータなどにより予め設定される。監視項目は、たとえば加工装置１の稼働状況、被加工物３０１、加工ユニット２０、及び加工装置１にて発生したエラー信号のうちの少なくともいずれか一つに関する。ログ情報は、以下に説明するように、日時と、監視項目に対応する装置が行った動作や監視項目に関して測定した数値データ、並びに加工装置１において発生したエラー内容を示す文字データとが紐付いて、加工状況を示す情報として記録される。データ記録部８１は、記録部の一例である。
【００３３】
データ記録部８１は、図２に示すように、加工状況格納部８１１と、エラー発生状況格納部８１２とを備える。
【００３４】
加工状況格納部８１１は、加工装置１の加工状況を示す情報として、稼働状況に関するログ情報、被加工物３０１に関するログ情報、加工ユニット２０に関するログ情報を記憶する。図３は、実施形態に係る加工状況格納部８１１に記憶される加工状況ログ情報の一例を示す図である。
【００３５】
図３に示す加工状況ログ情報は、たとえばログ情報ＬＧ１−１，ＬＧ１−２、ログ情報ＬＧ２−１、及びログ情報ＬＧ３−１，ＬＧ３−２を含む。図３に示すように、ログ情報ＬＧ１−１，ＬＧ１−２、ログ情報ＬＧ２−１、及びログ情報ＬＧ３−１，ＬＧ３−２は、記録された日時と、かかる日時に紐付く文字データ及び数値データで構成される。
【００３６】
ログ情報ＬＧ１−１，ＬＧ１−２は、加工装置１の稼働状況に関するログ情報の一例である。ログ情報ＬＧ１−１，ＬＧ１−２は、加工装置１の稼働状況を監視項目として設定することにより記録される。稼働状況に関するログ情報は、生産時間、スタンバイ時間、アンスケジュールダウン時間、スケジュールダウン時間、並びにエラーによる稼働停止時間及びエラーからの復旧時間等の各情報で構成される。ログ情報ＬＧ１−１に含まれる生産時間は、例えば被加工物３０１の加工開始から加工終了までの時間を示す。ログ情報ＬＧ１−１に含まれるスタンバイ時間は、加工開始までに要した時間を示す。ログ情報ＬＧ１−１に含まれるアンスケジュールダウン時間は、予期せずに加工処理が停止した時間を示す。ログ情報ＬＧ１−１に含まれるスケジュールダウン時間は、予定された装置点検等によって、加工処理が停止した時間を示す。
【００３７】
ログ情報ＬＧ２−１は、被加工物３０１に関するログ情報の一例である。ログ情報ＬＧ２−１は、被加工物３０１を監視項目として設定することにより記録される。ログ情報ＬＧ２−１は、たとえば被加工物３０１の枚数、並びに被加工物３０１を収容するカセットの個数の情報等で構成される。被加工物３０１に関するログ情報は、被加工物３０１の種類を含んでよい。
【００３８】
ログ情報ＬＧ３−１，ＬＧ３−２は、加工ユニット２０に関するログ情報の一例である。ログ情報ＬＧ２−１は、加工ユニット２０を監視項目として設定することにより記録される。ログ情報ＬＧ３−１，ＬＧ３−２は、ブレード交換回数、切削長さ、切削ライン数、並びに切削ブレード２１の使用開始時間及び使用終了時間等の情報で構成される。加工ユニット２０に関するログ情報は、所定の頻度で計測される切削ブレード２１の刃先出し量や、切削ブレード２１の交換開始時間及び交換終了時間等を含んでよい。
【００３９】
エラー発生状況格納部８１２は、加工装置１の加工状況を示す情報として、加工装置１におけるエラー発生状況を時系列で記録する。図４は、実施形態に係るエラー発生状況格納部８１２に記憶されるエラーログ情報の一例を示す図である。
【００４０】
図４に示すエラーログ情報は、日付の項目と、エラー名の項目とを備え、これらの項目が互いに対応付けられている。図４に示すエラーログ情報は、エラー内容に応じて異なるエラー信号の種類およびその時間を監視項目として設定することにより記録される。日付の項目には、エラー信号の発生日時が記憶される。エラー名の項目には、エラー信号が示すエラーの内容が記憶される。図４に示すように、エラー発生状況格納部８１２に記憶されるエラーログ情報は、エラー信号が発生した日時と、かかる日時に紐付くエラーの内容（文字データ）とで構成される。図４に示す例によれば、「２０１８年１２月１日１６時１４分１３秒」に「カーフ幅エラー（広い）」が発生したことがエラーログ情報として記録されている。
【００４１】
図２に戻り、データ処理部８２は、変換部８２１と、出力部８２２と、送信先登録部８２３と、自動送信部８２４とを備える。
【００４２】
変換部８２１は、データ記録部８１に記録されたログ情報（文字データ及び数値データ）を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換する。変換部８２１は、オペレータの操作に応じて、タッチパネル１００にログ解析ウィンドウ１００Ｗを表示する。続いて、変換部８２１は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗを介して、たとえば解析用データの出力を要求する解析対象項目の選択をオペレータから受け付ける。そして、変換部８２１は、かかる解析対象項目に対応するログ情報（文字データ及び数値データ）をデータ記録部８１から取得し、オペレータによる解析が可能な解析用データに変換する。
【００４３】
図５は、実施形態に係るログ解析ウィンドウ１００Ｗの構成例を示す図である。図５に示すように、ログ解析ウィンドウ１００Ｗは、項目選択領域１０１と、期間設定領域１０２と、出力データ形式選択領域１０３と、実行ボタン１０４と、キャンセルボタン１０５とを備える。
【００４４】
項目選択領域１０１は、解析用データの出力を要求する解析対象項目の選択をオペレータから受け付けるための領域である。解析対象項目は、加工装置１の加工状況を監視するための項目としてオペレータにより事前に設定された監視項目にそれぞれ対応している。項目選択領域１０１は、解析対象項目ごとに、オペレータからの選択を受け付けるためのチェックボックスｂ１〜ｂ４をそれぞれ有する。たとえば、加工装置１の稼働状況に関する解析用データの出力を要求する場合、オペレータは、チェックボックスｂ１にチェックを入れる。解析用データの出力を実行する際、ログ情報からどのデータを抽出するかについては、解析用データの変換ツールの作成時にオペレータが任意に設定できる。たとえば、オペレータの設定により、生産時間、スタンバイ時間、アンスケジュールダウン時間、スケジュールダウン時間、エラーによる稼働停止時間及びエラーからの復旧時間を、稼働状況に関する解析用データに変換するログ情報として抽出できる。
【００４５】
期間設定領域１０２は、オペレータから解析用データの出力を要求する解析対象期間の設定を受け付けるための領域である。期間設定領域１０２は、解析期間の設定を実施する場合にオペレータが指定するチェックボックスｂ５と、開始日時入力ボックスｋ１と、終了日時入力ボックスｋ２とを有する。オペレータは、解析対象期間の設定を行う場合、チェックボックスｂ５にチェックを入れ、開始日時入力ボックスｋ１に期間の開始日時を入力し、終了日時入力ボックスｋ２に期間の終了日時を入力する。期間の設定は、日単位や月単位などの任意の単位で設定できる。期間の設定は、たとえば日を最小単位とすることができる。
【００４６】
出力データ形式選択領域１０３は、オペレータから解析用データの出力データ形式の選択を受け付けるための領域である。出力データ形式選択領域１０３は、出力データ形式ごとに、出力データ形式を選択するためのチェックボックスｂ６〜ｂ８をそれぞれ有する。たとえば、円グラフでの出力を要求する場合、オペレータは、オペレータは、チェックボックスｂ６にチェックを入れる。
【００４７】
実行ボタン１０４は、解析用データの変換処理を開始させるためのボタンである。変換部８２１は、少なくとも項目選択領域１０１における解析対象項目の選択、及び出力データ形式選択領域１０３における出力データ形式の選択が完了していることを、実行ボタン１０４を操作可能な状態に制御するための条件とできる。また、変換部８２１は、解析用データの変換を行う際、解析対象期間の設定が必要であるとき、期間の設定が必要である旨のポップアップを表示できる。たとえば解析対象項目として「稼働状況」が選択されている場合、期間の設定が必要である旨を表示できる。また、変換部８２１は、解析用データの変換を行う際、解析対象期間の設定が行われていない場合、記録された全期間のログを解析用データに変換してもよい。キャンセルボタン１０５は、解析用データの変換処理をキャンセルするためのボタンである。
【００４８】
変換部８２１は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて実行ボタン１１４の操作を検出すると、データ記録部８１から対応するログ情報（文字データ及び数値データ）を読み込み、読み込んだログ情報を解析して、解析用データに変換する。図６〜図１０は、実施形態に係る解析用データの一例を示す図である。
【００４９】
図６は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて、解析対象項目として「稼働状況」が選択され、期間として２０１８年８月１日から２０１８年８月３１日が設定され、出力データ形式として円グラフが選択された場合の解析用データの例を示している。変換部８２１は、加工状況格納部８１１から、たとえば２０１８年８月１日から８月３１日に記録された生産時間、スタンバイ時間、アンスケジュールダウン時間、スケジュールダウン時間のログ情報を読み込む。そして、変換部８２１は、読み込んだログ情報（文字データ及び数値データ）を解析し、生産時間、スタンバイ時間、アンスケジュールダウン時間、及びスケジュールダウン時間を円グラフのデータ形式に変換する。図６に示す例では、２０１８年の８月１日〜８月３１までにおける各時間の占める割合が円グラフとして示されている。
【００５０】
図７は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて、解析対象項目として「稼働状況」が選択され、期間として２０１８年１２月１日から１２月３日が設定され、出力データ形式として棒グラフが選択された場合の解析用データの例を示している。変換部８２１は、加工状況格納部８１１から、たとえば２０１８年１２月１日から１２月３日に記録されたエラーからの復旧時間のログ情報を読み込む。そして、変換部８２１は、読み込んだログ情報（文字データ及び数値データ）を解析し、エラーからの復旧時間を棒グラフのデータ形式に変換する。図７に示す例では、日付ごとにエラーからの復旧時間が示されている。
【００５１】
なお、図６及び図７に示す解析用データは、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおける設定期間が同一である場合、対応するログ情報が記録されていれば、変換部８２１においてそれぞれ変換される場合も想定される。
【００５２】
図８は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて、解析対象項目として「被加工物」が選択され、期間として２０１８年１２月１日から１２月３日が設定され、出力データ形式として棒グラフが選択された場合の解析用データの例を示している。変換部８２１は、加工状況格納部８１１から、たとえば２０１８年１２月１日から１２月３日に記録された処理枚数のログ情報を読み込む。そして、変換部８２１は、読み込んだログ情報（文字データ及び数値データ）を解析し、処理枚数を棒グラフのデータ形式に変換する。図８に示す例では、日付ごとに被加工物３０１の処理枚数が示されている。
【００５３】
図９は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて、解析対象項目として「加工ユニット」が選択され、期間として２０１８年１２月１日から１２月３日が設定され、出力データ形式として棒グラフが選択された場合の解析用データの例を示している。変換部８２１は、加工状況格納部８１１から、たとえば２０１８年１２月１日から１２月３日に記録されたブレード交換回数のログ情報を読み込む。そして、変換部８２１は、読み込んだログ情報（文字データ及び数値データ）を解析し、ブレード交換回数を棒グラフのデータ形式に変換する。図８に示す例では、日付ごとにブレード交換回数が示されている。
【００５４】
図７〜図９に示す解析用データは、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて設定された解析対象期間が同一である。このため、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて、仮に、「稼働状況」、「被加工物」、及び「加工ユニット」がそれぞれ解析対象項目として選択された場合、加工装置１は、各解析対象項目に対応する解析用データを出力可能である。このとき、解析対象期間が同一であること、及び選択された解析対象項目に対応するログ情報が記録されていることを各解析対象項目に対応する解析用データを出力するための条件とできる。なお、加工装置１は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて解析対象項目ごとに解析対象期間を設定できるようにしてもよい。この場合、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて選択された複数の解析対象項目について、それぞれ異なる解析対象期間の解析用データを出力することも可能となる。
【００５５】
図１０は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて、解析対象項目として「エラー情報」が選択され、期間として２０１８年８月１日から１２月１日が設定され、出力データ形式として棒グラフが選択された場合の解析用データの例を示している。変換部８２１は、エラー発生状況格納部８１２から、たとえば２０１８年８月１日から１２月１日に記録されたエラーログ情報を読み込む。そして、変換部８２１は、読み込んだエラーログ情報（文字データ及び数値データ）を解析し、たとえばカーフチェックに関するエラー情報を棒グラフのデータ形式に変換する。図１０に示す例では、対象期間（２０１８年８月１日から１２月１日）における各エラーの発生回数が示されている。変換部８２１は、エラーログ情報に種類の異なるエラー情報が含まれる場合、エラー種別ＩＤに基づいて、エラー種別ごとにエラーログ情報の解析を行い、エラーログ情報をエラー種別ごとの解析用データに変換できる。
【００５６】
図２に戻り、出力部８２２は、変換部８２１により変換された解析用データを出力する。出力部８２２は、コネクタ１１０を介して、外部記憶装置２００が接続中である場合、オペレータからの指示に応じて、外部記憶装置２００に解析用データを出力する。
【００５７】
送信先登録部８２３は、オペレータにより予め設定される解析用データの送信先情報を登録する。図１１は、実施形態に係る送信先情報の一例を示す図である。図１１に示すように、送信先登録部８２３に登録される送信先情報は、オペレータＩＤの項目と、送信先の項目と、電子メールアドレスの項目とを備え、これらの項目が互いに対応付けられている。
【００５８】
オペレータＩＤの項目には、オペレータに一意に付与される識別情報を記憶される。送信先の項目には、オペレータが解析用データの送信先として設定するデバイスの種類が記憶される。電子メールアドレスの項目には、オペレータが解析用データの送信先として設定する電子メールのアドレスが記憶される。図１１に示す例によれば、オペレータＩＤが「ＯＰ００１」であるオペレータにより、ＰＣとタブレットの電子メールアドレスが送信先の電子メールアドレスが設定されている。
【００５９】
自動送信部８２４は、変換部８２１により変換された解析用データを自動送信する。自動送信部８２４は、送信先登録部８２３から、送信先情報を取得し、取得した送信先情報を宛先として解析用データを送信する。たとえば自動送信部８２４は、送信先情報により示される電子メールアドレスを送信先とする電子メールを生成し、生成した電子メールの添付ファイルとして解析用データを送信する。
【００６０】
通信ユニット９０は、通信ネットワークを介して、各種データの送受信を行う。通信ユニット９０は、解析用データを自動送信するための通信規格をサポートする。通信ネットワークは、例えば、被加工物３０１を量産する工場内及び事業所内の通信回線、公衆通信回線、及び専用通信回線等を含む。なお、通信ユニット９０は、無線または有線により通信ネットワークに接続して、情報を送受信できる。
【００６１】
タッチパネル１００は、表示面を外側に向けた状態で加工装置１に設置される。タッチパネル１００は、加工装置１に関する各種情報を表示する。タッチパネル１００は、上述したログ解析ウィンドウ１００Ｗ（図５）が表示できる。タッチパネル１００は、加工条件の設定入力など、加工装置１に関する各種操作入力をオペレータから受け付ける。タッチパネル１００は、上述したログ解析ウィンドウ１００Ｗ（図５）の操作をオペレータから受け付けることができる。タッチパネル１００は、表示手段の一例である。
【００６２】
コネクタ１１０は、外部記憶装置（外部記録媒体の一例）２００などの他の装置と物理的に接続するための接続機能を提供できる。加工装置１は、コネクタ１１０を介して接続される外部記憶装置２００に対して読み書きを実行できる。加工装置１は、たとえばコネクタ１１０を介して接続される外部記憶装置２００に対して解析用データを出力できる。オペレータは、たとえば解析用データを記録させる外部記憶装置２００をコネクタ１１０に接続した後、ログ解析ウィンドウ１００Ｗをタッチパネル１００に表示させて操作する。コネクタ１１０は、ＵＳＢ（Universal  Serial  Bus）、ＨＤＭＩ（登録商標）（High-Definition  Multimedia  Interface）などの汎用的な端子により構成できる。コネクタ１１０は、接続部の一例である。
【００６３】
図１２を用いて、実施形態に係る加工装置１による処理の手順を説明する。図１２は、実施形態に係る加工装置１による処理の手順の一例を示すフローチャートである。図１２に示す加工装置１による処理は、制御ユニット８０のデータ処理部８２の各部により実行される。
【００６４】
図１２に示すように、変換部８２１は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗ（図５参照）における実行ボタン１１４の操作を検出すると、データ記録部８１からログ情報を読み込む（ステップＳ１０１）。すなわち、変換部８２１は、データ記録部８１に記録されたログ情報（文字データ及び数値データ）の中から、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて選択された項目及び設定された期間に対応するログ情報を読み込む。
【００６５】
続いて、変換部８２１は、ログ情報を解析用データに変換する（ステップＳ１０２）。すなわち、変換部８２１は、データ記録部８１から読み込んだログ情報（文字データ及び数値データ）を解析し、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおける出力データ形式の設定に従って、ログ情報を解析用データに変換する。
【００６６】
変換部８２１においてログ情報が解析用データに変換されると、出力部８２２は、オペレータからの指示に応じて、接続中の外部記憶装置２００に解析用データを出力する（ステップＳ１０３）。
【００６７】
続いて、自動送信部８２４は、登録された送信先へ解析用データを自動送信して（ステップＳ１０４）、図１２に示す処理を終了する。自動送信部８２４は、たとえば加工装置１の制御ユニット８０のシステムにログイン中のオペレータＩＤに基づいて、送信先登録部８２３から送信先情報を取得する。そして、自動送信部８２４は、取得した送信先情報を宛先として、解析用データを添付した電子メールを自動的に送信する。
【００６８】
上述してきたように、実施形態に係る加工装置１は、チャックテーブル１０と、加工ユニット２０（加工手段の一例）と、データ記録部８１（記録部の一例）と、データ処理部８２（データ処理部の一例）とを備える。そして、データ処理部８２は、データ記録部８１に記録されたログ情報（文字データ及び数値データ）を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換する変換部８２１を備えることを特徴とする。
【００６９】
このように、実施形態に係る加工装置１は、記録されたログ情報（文字データ及び数値データ）を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換するので、オペレータ自らが解析用のデータを作成する必要がなく、加工装置１のログ情報に基づく解析を容易に実行できる。このため、オペレータの作業の効率化が図られる。
【００７０】
また、実施形態に係る加工装置１は、ログ情報（文字データ及び数値データ）をグラフまたは表に変換できる。このため、実施形態に係る加工装置１は、監視項目に対応する加工装置１の状況をオペレータに容易に把握させることができる。
【００７１】
また、ログ情報を記録するために予め設定される監視項目は、加工装置１の稼働状況、被加工物３０１、加工ユニット２０、及び加工装置１にて発生したエラー信号のうちの少なくともいずれか一つに関するものであってよい。このため、実施形態に係る加工装置１は、オペレータに対して、加工装置１の稼働状況、被加工物３０１、加工ユニット２０、及びエラーに関する解析をオペレータに提供できる。
【００７２】
また、実施形態に加工装置１は、外部記憶装置２００（外部記録媒体の一例）を加工装置１に接続可能にするコネクタ１１０（接続部の一例）を更に備え、データ処理部８２は、解析用データを外部記憶装置２００に出力する出力部８２２をさらに備えてもよい。このため、実施形態に係る加工装置１は、加工装置１のログ情報による解析用データを持ち運び容易な状態でオペレータに提供できる。
【００７３】
また、実施形態に係る加工装置１は、通信ユニット９０を介して、任意の情報機器にネットワークを経由して接続されてもよい。そして、データ処理部８２は、送信先登録部８２３と、自動送信部８２４とを更に備えてもよい。送信先登録部８２３は解析用データの送信先を登録する。自動送信部８２４は、送信先登録部８２３に登録された送信先に対して、解析用データを自動送信する。このため、実施形態に係る加工装置１は、加工装置１のログ情報による解析用データを、オペレータの手動操作により変換されたタイミングで、オペレータが希望する送信先に自動的に提供できる。
【００７４】
また、上述した実施形態において、加工装置１は、外部記憶装置２００が接続されている場合、外部記憶装置２００に対する解析用データの出力とともに、解析用データの自動送信を行うか否かをオペレータに問い合わせてもよい。また、加工装置１は、外部記憶装置２００が接続されていない場合、外部記憶装置２００を接続するか否かをオペレータに問い合わせてもよい。また、加工装置１は、外部記憶装置２００が接続されていないことを条件として、オペレータが事前に設定した送信先に解析用データを自動的に送信する制御を実行してもよい。
【００７５】
また、上述した実施形態において、データ処理部８２は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗを介して、解析用データの出力を要求する項目の選択、解析対象期間の設定、及び出力データ形式の選択を受け付ける例を説明したが、この例に特に限定される必要はない。たとえばデータ処理部８２は、解析対象項目が、稼働状況、被加工物３０１、加工ユニット２０、又はエラー情報のいずれかであるかに応じて、解析対象期間及び出力データ形式がオペレータにより事前に設定されていてもよい。
【００７６】
また、図５に示すログ解析ウィンドウ１００Ｗの構成は一例であり、出力データ形式設定領域において、折れ線グラフや散布図、回帰直線など、他のデータ形式が選択できてもよい。
【００７７】
また、自動送信部８２４は、解析用データを自動送信する際、解析用データを暗号化してもよい。自動送信部８２４は、解析用データの全てを暗号化するのではなく、秘匿性の高いデータなど、解析用データの一部を暗号化してもよい。また、自動送信部８２４が解析用データを自動送信する送信先として、オペレータは、ＰＣやタブレットなどの装置以外に、クラウドサーバなどを設定することもできる。
【００７８】
［実施形態の変形例］
上述した実施形態では、オペレータによる操作に従って、加工装置１のログ情報による解析用データを外部記憶装置２００に出力するとともに、オペレータが事前に登録した送信先へ自動送信する例を説明した。しかしながら、本発明に係る加工装置１は、この例に特に限定される必要はなく、たとえば、オペレータが事前に登録した設定に従って、解析用データを自動的に変換し、送信するようにしてもよい。
【００７９】
図１３は、変形例に係る加工装置１の機能構成の一例を模式的に示す図である。図１３に示すように、変形例に係る加工装置１は、自動送信設定登録部８２５と自動変換部８２６とを備える。
【００８０】
自動送信設定登録部８２５は、オペレータにより事前に設定される解析用データの自動送信設定情報を登録する。図１４は、変形例に係る自動送信設定情報の一例を示す図である。図１４に示すように、自動送信設定情報は、オペレータＩＤの項目と、送信要求日時の項目と、解析対象期間の項目と、解析対象項目の項目とを備え、これらの項目が互いに対応付けられている。
【００８１】
送信要求日時には、オペレータが解析用データの自動送信を要求する日時が登録される。解析対象期間には、オペレータが解析用データの出力を要求する期間、すなわち解析用データへの変換を要求するログ情報の記録期間が登録される。解析対象項目には、オペレータが解析用データの出力を要求する項目、すなわち解析用データへの変換を要求する監視項目が登録される。図１４に示す例によれば、オペレータＩＤが「ＯＰ００１」であるオペレータにより、前月の初日から末日までを解析対象期間とし、エラー情報を解析対象項目とする解析用データを、毎月１日に送信するように要求する自動送信設定情報が登録されている。
【００８２】
自動変換部８２６は、自動送信設定登録部８２５に登録された自動送信設定情報に基づいて、解析用データを自動変換する。自動変換部８２６は、自動送信設定登録部８２５の送信要求日時に合わせて、解析対象項目に対応するログ情報をデータ記録部８１から取得し、取得したログ情報を解析用データに自動変換する。自動変換部８２６は、変換した解析用データの送信を自動送信部８２４に依頼する。自動変換部８２６は、解析用データの送信を自動送信部８２４に依頼する際、オペレータＩＤを合わせて送付する。
【００８３】
自動送信部８２４は、自動変換部８２６からの依頼を受けて、送信先登録部８２３に登録された送信先へ解析用データを送信する。自動送信部８２４は、自動変換部８２６からの依頼に含まれるオペレータＩＤに基づいて、送信先登録部８２３から送信先情報を取得できる。
【００８４】
このように、変形例に係る加工装置１によれば、たとえば毎月１日に前月一ヶ月分の解析データを自動で変換し、送信するというように、解析用データの変換から送信までが自動で行われる。すなわち、変形例に係る加工装置１は、加工装置１のログ情報による解析用データを、オペレータが希望するスケジュール及び希望する内容で自動的に提供できる。このため、変形例に係る加工装置１によれば、オペレータがログ解析ウィンドウ１００Ｗなどを使って解析用データの出力操作を行わずに、解析用データを取得することができ、オペレータの作業効率をさらに向上できる。
【００８５】
なお、上述した変形例において、自動変換部８２６により実現される処理機能は、変換部８２１により実行されてもよい。この場合、変換部８２１は、自動送信設定登録部８２５に登録された自動送信設定情報に基づいて、解析用データを自動変換する。すなわち、変換部８２１は、自動送信設定登録部８２５の送信要求日時に合わせて、解析対象項目に対応するログ情報をデータ記録部８１から取得し、取得したログ情報を解析用データに自動変換する。そして、変換部８２１は、変換した解析用データの送信を自動送信部８２４に依頼する。
【００８６】
［その他の実施形態］
なお、本発明に係る加工装置１は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。たとえば、加工装置１は、切削装置以外の研削装置やレーザー加工装置であってもよい。
【００８７】
また、上記の実施形態において説明した加工装置１の各構成要素は機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、加工装置１の分散・統合の具体的形態は図示のものに限られず、その全部または一部を、各種の負荷や使用状況などに応じて、任意の単位で機能的または物理的に分散・統合して構成することができる。たとえばデータ処理部８２の変換部８２１と出力部８２２と自動送信部８２４とが機能的または物理的に統合されていてもよい。
【符号の説明】
【００８８】
１  加工装置
１０  チャックテーブル
２０  加工ユニット
８０  制御ユニット
８１  データ記録部
８２  データ処理部
８２１  変換部
８２２  出力部
８２３  送信先登録部
８２４  自動送信部
８２５  自動送信設定登録部
８２６  自動変換部
９０  通信ユニット
１００  タッチパネル
１１０  コネクタ
【図１】
2020170411.tif 000003
【図２】
2020170411.tif 000004
【図３】
2020170411.tif 000005
【図４】
2020170411.tif 000006
【図５】
2020170411.tif 000007
【図６】
2020170411.tif 000008
【図７】
2020170411.tif 000009
【図８】
2020170411.tif 000010
【図９】
2020170411.tif 000011
【図１０】
2020170411.tif 000012
【図１１】
2020170411.tif 000013
【図１２】
2020170411.tif 000014
【図１３】
2020170411.tif 000015
【図１４】
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