(57)【要約】【課題】干渉による放射線源や放射線検出器の破損を回避しつつ、最適な拡大率で鮮明な画像を得る放射線透視検査装置を提供する。【解決手段】Ｘ線源１３からのＸ線ビーム１７を空間分解能をもって検出するＸ線検出器１４と、Ｘ線ビーム１７内で張設状態または屈設状態で被検体１２を載置する曲成可能な薄シート１５を有する放射線透視検査装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線源と、前記放射線源からの放射線ビームを空間分解能をもって検出する放射線検出器と、
前記放射線ビーム内で張設状態または屈設状態で被検体を載置する曲成可能な薄シートと、を有することを特徴とする放射線透視検査装置。
【請求項２】
前記放射線源と前記放射線検出器に対し前記放射線ビーム内で前記被検体を相対回転させる回転機構と、前記放射線源と前記放射線検出器及び前記被検体とを相対的に移動させる移動機構とを備えた試料テーブルと、
前記試料テーブルは枠状で中抜き構造になっており、この枠状部に前記薄シートを取り付け、前記放射線ビーム内で前記薄シートに載置された前記被検体の透過データを取得する請求項１に記載の放射線透視検査装置。
【請求項３】
前記回転機構による回転中に前記放射線検出器で前記被検体の複数方向からの透過像を得るＣＴ撮影を行い、得られた透過像から前記被検体のＣＴ撮影領域内の３次元データを再構成する請求項２に記載の放射線透視検査装置。
【請求項４】
前記試料テーブルの前記枠状部は、取り外し可能であって前記枠状部に取り付けられた前記薄シートを交換できる請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の放射線透視検査装置。
【請求項５】
前記試料テーブルの前記枠状部は、前記薄シートを送り出す第１のロール部と、前記第１のロール部から送り出された前記薄シートを巻き取る第２のロール部を備える請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の放射線透視検査装置。
【請求項６】
前記薄シートは、前記薄シートを通して前記被検体を可視光域において認識できる程度に透明度が高い材料から成る請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の放射線透視検査装置。
【請求項７】
前記薄シートに載置してある前記被検体を、前記薄シートの前記被検体の載置面の反対側より前記被検体を外観検査できる請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の放射線透視検査装置。
【請求項８】
前記薄シートは、上層と、中層と、下層の多重層構成で形成されており、上層は、絶縁シートで形成され、中層は、近接する物体を非接触状態で検出する近接センサで形成され、下層は、中層を保護するシートで形成された請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の放射線透視検査装置。
【請求項９】
前記薄シートの前記中層において、前記近接センサの出力は、近接する物体の近接距離と相関関係にあり、前記近接距離を算出する距離計算部を備える請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の放射線透視検査装置。
【請求項１０】
前記距離計算部にて算出した前記近接距離より、近接する前記物体を相対的な目的位置まで移動させる制御手段を備える請求項９に記載の放射線透視検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明の実施形態は、マイクロ波、赤外線、可視光、紫外線、Ｘ線、γ線、中性子線などの放射線を用いて被検体の検査を行う放射線透視検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  従来から放射線撮影装置には、ＣＴ（Ｃｏｍｐｕｔｅｄ  Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）装置やラミノグラフィ（傾斜型ＣＴ装置と呼ばれている）、Ｘ線ＴＶ（テレビジョン）システムがあり、鋳物、電池、基板、ＩＣチップ、金属や樹脂などの部品、または、組み込んだ状態において、Ｘ線などの放射線を用いた検査が行われている。【０００３】  Ｘ線などの放射線を用いた検査は、Ｘ線などの透過ビームによって可視像をつくり観測する検査、または、被検体により反射または、散乱されたＸ線などの放射線、または、被検体から放射されたＸ線などの放射線を検出することで行われる。検査は、寸法、形状、面積、体積、質量、員数、配置、構造、材質、色彩、形状、異物、キズ、または、その他の物理量である。【０００４】  例えばＸ線などの放射線を用いた検査装置において、Ｘ線源焦点から被検体の検査面までの距離をＦＯＤ（Ｆｏｃｕｓ  Ｔｏ  Ｏｂｊｅｃｔ  Ｄｉｓｔａｎｃｅ）とし、Ｘ線源焦点からＸ線受像面までの距離をＦＤＤ（Ｆｏｃｕｓ  Ｔｏ  Ｄｅｔｅｃｔｏｒ  Ｄｉｓｔａｎｃｅ）とする。これらからの拡大率はＦＤＤ／ＦＯＤで求まる。微小欠陥を検出しようとすると拡大率を大きくしなければならない。【０００５】  また、Ｘ線源焦点から被検体までの距離ＦＯＤを一定に保ちながら、Ｘ線受像面からＸ線源焦点までの距離ＦＤＤを大きくすると、Ｘ線受像面におけるＸ線量率は距離の二乗に逆比例して減少する。例えば、ＦＤＤを１．５倍にすれば、Ｘ線量率は２．２５分の１となる。Ｘ線管電流を２．２５倍に大きくすれば同じ明るさの画像が得られる。電流値が元のままであれば、画像は暗く、且つ、雑音分が増加して大きく見えてもかえって細部が見えにくくなる。拡大率を２倍にするとＸ線管電流を４倍にしなければならないことから、明るさやコントラストを考慮すると被検体の観察部分に対して最大のＳＮ比（信号対雑音比）を与えなければならない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−２０２２７２号公報
【特許文献２】特開２００５−２２１３１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】  放射線透視検査装置において、最適な拡大率で鮮明な画像を得るようにするには、試料テーブルをできるだけ薄く、撓みがなく、試料テーブルと放射線源の照射口を近づけることであったが、干渉して試料テーブルや放射線源や放射線検出器を破損することがあり、干渉を避け距離を取ると最適な拡大率が得られなくなるという課題がある。【０００８】  本実施形態は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものである。本実施形態の目的は、試料テーブルに被検体を載せる薄シートを用いることにより、干渉による放射線源や放射線検出器の破損を回避しつつ、最適な拡大率で鮮明な画像を得る放射線透視検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】  前記目的を達成するため、請求項１記載の放射線透視検査装置は、放射線源と、前記放射線源からの放射線ビームを空間分解能をもって検出する放射線検出器と、前記放射線ビーム内で張設状態または屈設状態で被検体を載置する曲成可能な薄シートと、を有することを要旨とする。【００１０】  このような構成によれば、被検体を載置する試料テーブルを張設状態または、屈設状態の曲成可能な薄シートにすることで被検体の検査範囲が広がり詳細な検査が可能となる。【００１１】  前記目的を達成するため、請求項２記載の放射線透視検査装置は、請求項１に記載の放射線透視検査装置において、前記放射線源と前記放射線源に対し前記放射線ビーム内で前記被検体を相対回転させる回転機構と、前記放射線源と前記放射線検出器及び前記被検体とを相対的に移動させる移動機構とを備えた試料テーブルと、前記試料テーブルは枠状で中抜き構造になっており、この枠状部に前記薄シートを取り付け、前記放射線ビーム内で前記薄シートに載置された前記被検体の透過データを取得することを要旨とする。【００１２】  このような構成によれば、曲成可能な薄シート上の被検体を、放射線源からの放射線ビーム内で任意の拡大率の透過データを収集する放射線検出器にて可視像を作り検査を行うことができる。【００１３】  前記目的を達成するため、請求項３記載の放射線透視検査装置は、請求項２に記載の放射線透視検査装置において、前記回転機構による回転中に前記放射線検出器で前記被検体の複数方向からの透過像を得るＣＴ撮影を行い、得られた透過像から前記被検体のＣＴ撮影領域内の３次元データを再構成することを要旨とする。【００１４】  このような構成によれば、回転テーブルの曲成可能な薄シートに載置した被検体を、放射線源からの扇状の放射線ビームにより載置面に垂直な回転軸に対し回転させながら、回転軸に直交する３６０度方向からの多方面のＸ線透過データを収集し、収集した透過データから被検体の断層画像を再構成するＣＴ装置と、ラミノグラフィの場合も同様であるが、回転軸から傾斜し、さらに回転軸と非直交の３６０度方向（円錐に沿った方向）からＸ線透過データを収集するＣＴ装置となることが可能となる。【００１５】  また、ＣＴ装置と、ラミノグラフィと、Ｘ線ＴＶ（テレビジョン）などにおいて、近い距離にある２つの物体を２つのものとして区別できる最小の距離である空間分解能が高く、微細な透視画像が可能であることと、被検体の観察部分に対して最大のＳＮ比（信号対雑音比）を与えることができる。【００１６】  前記目的を達成するため、請求項４記載の放射線透視検査装置は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の放射線透視検査装置において、前記試料テーブルの前記枠状部は、取り外し可能であって前記枠状部に取り付けられた前記薄シートを交換できることを要旨とする。【００１７】  このような構成によれば、曲成可能な薄シートにキズ、汚れ、破損などを生じた場合は、張設状態と屈設状態のどちらか一方の曲成可能な薄シート枠をそれぞれ容易に着脱し、交換することができる。これは、例えば、試料テーブル側にテーパー穴付き金具があり、着脱側の曲成可能な薄シートがある試料テーブの薄シート枠には着脱用取手がある公正にすれば良い。試料テーブルのテーパー穴に挿入する曲成可能な薄シート枠の着脱用取手の先端にはテーパーピンの先端に引っ掛り軸があり、試料テーブルのテーパー穴に挿入後、９０度時計回りに回転して締結する。取外しは、着脱用取手を９０度反時計回りに回転して取り外すことができる。【００１８】  前記目的を達成するため、請求項５記載の放射線透視検査装置は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の放射線透視検査装置において、前記試料テーブルの前記枠状部は、前記薄シートを送り出す第１のロール部と、前記第１のロール部から送り出された前記薄シートを巻き取る第２のロール部を備えることを要旨とする。【００１９】  このような構成によれば、前記曲成可能な薄シートは手動、または自動で曲成可能な薄シートを繰り出すような機構を備えており、前記曲成可能な薄シートは、常に放射線ビーム内からキズ、汚れなどが無い状態で鮮明な画像を得るための試料テーブルとして使用することができる。【００２０】  例えば、一定長さの曲成可能な薄シートを繰り出す搬送装置と位置決め機構もあるが、ここでは曲成可能な薄シート巻取り機構のハンドルを回転させることで未使用部分の曲成可能な薄シートを繰り出す機構を例に挙げて説明する。この機構によると、曲成可能な薄シートが巻かれた太い部分のシャフトの先端で、一段細い部分にウォームホイールがあり、ウォームと組合せた機構になる。この組合せは特有のセルフロック機構になり、ウォームホイール側からウォームを回すことができない状態になり、ウォームに付いている手動ハンドルか、モータなどの回転機構の時計回りか反時計回りの回転で張設状態と屈設状態の曲成可能な薄シートを自由に設定でき、放射線撮影領域を最適にすることができる。【００２１】  前記目的を達成するため、請求項６記載の放射線透視検査装置は、請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の放射線透視検査装置において、前記薄シートは、前記薄シートを通して前記被検体を可視光域において認識できる程度に透明度が高い材料から成ることを要旨とする。【００２２】  この構成は、可視光域において、例えば、形と色などを認識できる透明度の高い材料で透明な絶縁ポリカーボネート（ＩＴＯ）と透明な導電性高分子（ポリアセチレン）の静電容量センサと透明な導電性ポリエチレンテレフタレ（ＰＥＴ）から構成することができ、被検体が薄シートに包まれた状態になっても外観上で被検体の様子を確認することができる。【００２３】  前記目的を達成するため、請求項７記載の放射線透視検査装置は、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の放射線透視検査装置において、前記薄シートに載置してある前記被検体を、前記薄シートの前記被検体の載置面の反対側より前記被検体を外観検査できることを要旨とする。【００２４】  このような構成によれば、薄シートは、可視光域において透明度は高く、Ｘ線などの放射線照射中、または停止中でも、いつでも、被検体の観察姿勢を肉眼、ミラー、または、カメラで外観検査ができる。【００２５】  前記目的を達成するため、請求項８記載の放射線透視検査装置は、請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の放射線透視検査装置において、��記薄シートは、上層と、中層と、下層の多重層構成で形成されており、上層は、絶縁シートで形成され、中層は、近接する物体を非接触状態で検出する近接センサで形成され、下層は、中層を保護するシートで形成されたことを要旨とする。【００２６】  このような構成によれば、試料テーブルの曲成可能な薄シートは多重層構造であり、例えば、３重構造の場合は、被検体を載せる上層は透明な絶縁保護シート（ポリカーボネート：ＩＴＯ）、中層は透明な導電性高分子（ポリアセチレン）で、例えば、静電容量を応用した近接センサとなる。下層は保護シートで透明な導電性シート（ポリエチレンテレフタレート：ＰＥＴ）であり、中層の薄シートを保護する。また、この前記薄シートの耐荷重は５０ｇ／ｃｍ２（ｃｍ２：平方センチメートル）程度であり実用上、十分な値である。【００２７】  前記目的を達成するため、請求項９記載の放射線透視検査装置は、請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の放射線透視検査装置において、前記薄シートの前記中層において、前記近接センサの出力は、近接する物体の近接距離と相関関係にあり、前記近接距離を算出する距離計算部を備えることを要旨とする。【００２８】  このような構成によれば、近接する物体（機器）が、試料テーブルの電極となる曲成可能な薄シートから遠く離れれば電極の静電容量が減少し、接近すれば静電容量が増加することを応用して、干渉前の微小距離の非接触状態で近接距離を距離計算部で算出する。また、電極となる曲成可能な薄シートを、近接する物体（機器）の頭面（被検体側）に貼り付けても同様に、静電容量の減少と増加により非接触状態で近接距離を算出することができる。【００２９】  前記目的を達成するため、請求項１０記載の放射線透視検査装置は、請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の放射線透視検査装置において、前記距離計算部にて算出した前記近接距離より、近接する前記物体を相対的な目的位置まで移動させる制御手段を備えることを要旨とする。【００３０】  このような構成によれば、スライド機構を持つＸ線などの放射線源とＸ線などの放射線検出器を、制御手段を介して移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施形態によるＸ線検査装置の構成図。
【図２】本実施形態の薄シート図。
【図３】本実施形態の試料テーブルと薄シートの状態を示す図。
【図４】本実施形態の薄シート巻取り機構を示す図。
【図５】本実施形態の薄シートの張設状態での検査図。
【図６】本実施形態の薄シートの屈設状態での検査図。
【発明を実施するための形態】
【００３２】  （実施形態の構成）
図１は、本発明の実施形態によるＸ線検査装置１０（放射線透視検査装置）の構成図である。図１（ａ）は上面図で、被検体１２に対し、旋回フレーム１６上のＸ線源１３（放射線源）とＸ線検出器１４（放射線検出器）が水平状態にある図で、図１（ｂ）は図１（ａ）の側面図である。
【００３３】  図１（ｃ）は正面図で、被検体１２に対し、旋回フレーム１６上のＸ線源１３とＸ線検出器１４が垂直状態にある図である。図１（ｄ）は、図１（ｃ）の側面図である。
【００３４】  図２は、本実施形態によるＸ線検査装置１０の試料テーブル１１の薄シート１５を示す図であり、図１（ｃ）の断面Ａ−Ａで、被検体１２を載置した状態図である。
【００３５】  図３は、本実施形態による薄シート１５を試料テーブル１１に取り付けた状態の一例を示す図である。試料テーブル１１は枠状になっており、その枠に薄シートを取り付ける構造になっている。張設状態の曲成可能な薄シート１５を使用した場合（図３（ｂ））と、屈設状態の曲成可能な薄シート１５を使用した場合（図３（ｃ））のユニット図で、使用時は、どちらか一方を使用する。
【００３６】  図３（ａ）は、試料テーブル１１の曲成可能な薄シート１５の正面図を示す。図３（ｂ）は、図３（ａ）のＥ−Ｅ断面の試料テーブル１１の曲成可能な薄シート１５の張設状態図である。図３（ｃ）は、図３（ａ）のＥ−Ｅ断面の試料テーブル１１の曲成可能な薄シート１５の屈設状態図である。図３（ｄ）は、図３（ａ）のＦ−Ｆ断面図で、容易に着脱できる着脱用取手３９、曲成可能な薄シート枠４０、試料テーブル１１と周辺の機器を示す。
【００３７】  図４は、図３の変形例で、本実施形態の試料テーブル１１で曲成可能な薄シート１５を巻き取る巻取り機構２５を示す図である。図４（ａ）は、図１（ｃ）の断面Ｂ−Ｂの正面図ある。図４（ｂ）は、図４（ａ）の断面Ｃ−Ｃで、曲成可能な薄シート巻取り機構２５である。曲成可能な薄シート１５を巻き込んでいるシャフト３２と、ウォーム３０とウォームホイール３１とベアリング大３３を示す。このシャフト３２は薄シートが予め巻き取られた送り出し側（第１のロール部）と、送り出し側から送り出された薄シートを巻き取る巻取り側（第２のロール部）にそれぞれ設置されている。
【００３８】  図４（ｃ）は、図４（ｂ）の断面Ｄ−Ｄで、ウォーム３０とウォームホイール３１とハンドル２９とベアリング小３４を示す。
【００３９】  図５は、本実施形態の薄シート１５の張設状態での検査図である。図５（ａ）は、Ｘ線源１３が下、Ｘ線検出器１４が上の垂直図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）の傾斜図である。
【００４０】  図６は、本実施形態の薄シート１５の屈設状態での検査図である。図６（ａ）は、Ｘ線源１３が下、Ｘ線検出器１４が上の垂直図である。図６（ｂ）は、Ｘ線源１３が上、Ｘ線検出器１４が下の垂直図である。図６（ｃ）は、図６（ｂ）の傾斜図である。図６（ｄ）は、曲成可能な薄シート１５の深い屈設状態で、図６（ａ）の傾斜図である。図６（ｅ）は、曲成可能な薄シート１５の深い屈設状態で、図６（ａ）の水平図であり、試料テーブル１１が曲成可能な薄シート１５と共に回転可能であることを示す図である。
【００４１】  （実施形態の作用、効果）
本実施形態の作用について図１から図６を用いて説明する。
【００４２】  図１において、Ｘ線検査装置１０の試料テーブル１１があり、曲成可能な薄シート１５には被検体１２載置される。旋回フレーム１６は、旋回機構２１（回転機構）により、Ｘ線源１３とＸ線検出器１４に対しＸ線ビーム１７（放射線ビーム）内で被検体１２を相対的に回転され、Ｘ線源１３とＸ線源スライド機構１８（移動機構）の組合せとＸ線検出器１４とＸ線検出器スライド機構１９（移動機構）の組合せを設置している。試料テーブル１１には、曲成可能な薄シート１５を載設してあり、移動機構と回転機構により、試料テーブルにはＸ軸（Ｘ方向）・Ｙ軸（Ｙ方向）・Ｚ軸（上下）・θ軸（回転）２０がある。被検体１２は、試料テーブル１１に載設してある張設状態の曲成可能な薄シート１５の上にあるか、屈設状態の曲成可能な薄シート１５に包み込まれているかのどちらかである。被検体１２はＸ線源１３とＸ線検出器１４に挟み込みこまれ、さらに試料テーブルＸ軸（Ｘ方向）・Ｙ軸（Ｙ方向）・Ｚ軸（上下）・θ軸（回転）２０と旋回フレーム１６の垂直から傾斜と水平により位置を確保し、透過データを収集することができる。さらに、透過データを再構成するＣＴ装置、ラミノグラフィ（傾斜型ＣＴ装置）やＸ線ＴＶ（テレビジョン）システムにおいても適用できる。
【００４３】  被検体１２の拡大率はＸ線焦点２４から被検体１２までを（ＦＯＤ）として、Ｘ線源焦点２４からＸ線受像面２３を（ＦＤＤ）とすると、拡大率は（ＦＤＤ／ＦＯＤ）となり、Ｘ線源１３のスライド機構１８、Ｘ線検出器スライド機構１９を移動させて拡大率を決定する。
【００４４】  制御手段２２は、制御処理部、スキャン制御部、位置決め制御部、再構成部、表示部、距離計算部などがあり、通常のコンピュータで、ＣＰＵ、メモリ、キーボード・マウス等の入力部、表示部、インターフェース、機構制御基板、ディスク（メモリ）、通信部等を持つ。
【００４５】  また、制御手段２２は、ＣＰＵが実施する機能として、被検体１２をセット後、旋回機構２１、Ｘ線源スライド機構１８、Ｘ線検出器スライド機構１９、試料テーブルＸ軸（Ｘ方向）・Ｙ軸（Ｙ方向）・Ｚ軸（上下）・θ軸（回転）２０、図示しないＸ線や検出器の絞りやシャッターなどをプログラムで定められたシーケンスで制御する機構制御機能がある。また、Ｘ線検出器１４から取り込んだ透過データを処理し、Ｘ線源１３に対して、Ｘ線のＯＮ／ＯＦＦ等の指令を出すＸ線制御機能を持っている。
【００４６】  なお、機構要素として、他に、Ｘ線を外部に漏らさないためのＸ線遮蔽箱等を有すが、図示省略している。
【００４７】  図２について説明する。被検体１２を載せる上層は保護シート１５ａで透明な絶縁シート（ポリカーボネート：ＩＴＯ）となっている。中層は透明な導電性高分子（ポリアセチレン）１５ｂで静電容量センサとなる。下層は保護シートで透明な導電性シート（ポリエチレンテレフタレート：ＰＥＴ）１５ｃである。
【００４８】  導電性高分子ポリアセチレン１５ｂは、Ｘ線源１３のＸ線照射口２６または、Ｘ線受像面２３、図示しないＸシャッター、Ｘ線絞り、被検体１２の把持ハンドなどの機器が微小距離の非接触で導電性高分子ポリアセチレン１５ｂの近接センサは、例えば、静電容量を応用して検知して制御手段２２内の図示しない制御機器を介して信号を発する。
【００４９】  次に、この信号は、Ｘ線源１３、Ｘ線検出器１４、または、試料テーブル１１、さらには、図示しないＸ線シャッター、Ｘ線絞り、被検体１２の把持ハンドなど透視画像に不必要なものはさせ放射線光軸内から移動させることができる。
【００５０】  また、近接センサを備えた曲成可能な薄シート１５の中層により、曲成可能な薄シート１５の下層の外側の形状に倣って、Ｘ線源１３とＸ線検出器１４は、被検体１２に対して相対的に移動し、その移動間にＸ線源１３より、連続的と、断続的と、一部分的にＸ線を照射し、Ｘ線ビーム１７内の被検体１２の透過データを１つ、または、２つ以上収集し、透視画像を作成することができる。これは、下層の外側の前記曲成可能な薄シートに倣ってＸ線源１３が移動できるため、連続的と、断続的と、一部分的においても安定した透視画像を得ることが可能となる。
【００５１】  図３について説明する。図３（ａ）は、図１の試料テーブル１１の正面図であり、試料テーブル１１の曲成可能な薄シート１５と周辺部品を示す。図３（ｂ）は、張設状態の曲成可能な薄シート１５であり、被検体１２が載置した状態でＸ線源１３が下にあり、Ｘ線検出器１４が上の垂直状態図を示す。また、図３（ｃ）は、屈設状態の曲成可能な薄シート１５であり、Ｘ線源１３とＸ線検出器１４は、旋回フレーム１６の旋回により、図３（ｂ）の傾斜図になる。
【００５２】  また、曲成可能な薄シート枠４０に曲成可能な薄シート固定ネジ３８（８個）で固定された曲成可能な薄シート１５の張設状態の曲成可能な薄シート１５と屈設状態の曲成可能な薄シート１５はユニット機器であり、使用時は張設状態の曲成可能な薄シート１５か屈設状態の曲成可能な薄シート１５の一方になる。微調整は、曲成可能な薄シート調整ネジ３５とロックナット３６で行うが詳細は、図３（ａ）の上の曲成可能な薄シート調整ネジ３５ａと下の曲成可能な薄シート調整ネジ３５ｂを回転させて、曲成可能な薄シートの張状態の微調整を行い、最終的には上ロックナット３６ａと下ロックナット３６ｂを締める。
【００５３】  試料テーブル１１に載設されている張設状態か屈設状態の曲成可能な薄シート１５のそれぞれのユニットの交換方法は、図３（ａ）試料テーブル１１の曲成可能な薄シート１５の正面図と図３（ｄ）のＦ矢視図の容易に着脱できる連結部品の着脱用取手３９を中心に説明する。着脱側の曲成可能な薄シート１５がある曲成可能な薄シート枠４０には、上の着脱用取手３９ａ（２個）と下の着脱用取手３９ｂ（２個）あり、試料テーブル１１には、テーパー穴付き金具４２（４個）がある。
【００５４】  テーパー穴に挿入する先端テーパーピン４１（４個）の先端に引っ掛り軸４４があり、テーパー穴付き金具４２（４個）に挿入後、９０度時計周りに回転して締結する。取外しは、上の着脱用取手３９ａ（２個）と下の着脱用取手３９ｂ（２個）を９０度反時計回りに回転して取り外す。上の着脱用取手３９ａ（２個）と下の着脱用取手３９ｂ（２個）の先端テーパーピンは、挿入する試料テーブル１１のテーパー穴付き金具４２（４個）により位置決めされるためガタつきがない状態で締結される。
【００５５】  以上の構成により容易に薄シート１５を試料テーブル１１から着脱ができる。
【００５６】  図４は図３の実施形態の変形例である。はじめに、図示しないが、新たな未使用部分の曲成可能なシートを搬送部と位置決め部により、一定長さで繰り出す機構もあるが、本実施形態では、図１（ｃ）の断面Ｂ−Ｂの試料テーブル１１の曲成可能な薄シート巻取り機構２５について説明する。
【００５７】  図４（ａ）は、曲成可能な薄シート巻き取り機構２５の正面図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）の断面Ｃ−Ｃである。図４（ｃ）は、図４（ｂ）の断面Ｄ−Ｄである。
【００５８】  図４の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）を使って説明する。曲成可能な薄シート１５を張設状態か屈設状態にするには、曲成可能な薄シート１５はシャフト３２の太い部分に巻き込まれており、支持しているハウジング２８にあるハンドル２９の回転によるものである。詳細を以下に述べる。
【００５９】  図４（ａ）のハウジング２８ａに組み込まれたシャフト３２の細い部分に連結されている右ハンドル２９ａの（２個）を同時に時計回りに回転することで、曲成可能な薄シート１５が巻き込まれているシャフト３２が回転して曲成可能な薄シート１５は張設状態の曲成可能な薄シート１５になる。
【００６０】  また、右ハンドル２９ａの（２個）を同時に反時計回りに回転することで、曲成可能な薄シート１５が巻き込まれているシャフト３２が回転して、曲成可能な薄シート１５は屈設状態の曲成可能な薄シート１５になる。
【００６１】  以上の動作を左側の丸ハンドル２９ｂ（２個）同時に回転することでも同じ状態を形成することができる。
【００６２】  注意したいことは、丸ハンドル２９ａ（２個）と２９ｂ（２個）をそれぞれ回転中に薄シート１５がシワにならないようにすることである。
【００６３】  図４（ｂ）と図４（ｃ）より、右丸ハンドル２９ａ（２個）と左丸ハンドル２９ｂ（２個）は、右ハウジング２８ａ（２個）と左ハウジング２８ｂ（２個）のそれぞれのウォーム３０のシャフト部分に固定され、それぞれの左右のベアリング小３４で支持されている。また、この構成はウォーム３０とウォームホイール３１の組合せであり、ウォームホイール３１側から回すことができない特有のセルフロック機構を利用している。
【００６４】  ウォーム３０に付いている手動ハンドル２９か、または、モータ（図示しない）などの回転機側の時計回りか反時計周りの回転で張設状態と屈設状態の曲成可能な薄シートを自由に設定することができる。
【００６５】  また、曲成可能な薄シート１５はシャフト３２に強力な接着剤か両面テープ等の固定剤で固定されており、使用途中で外れないようになっている。交換方法は、右丸ハンドル２９ａ（２個）と左丸ハンドル２９ｂ（２個）を回して屈設状態にして交換するか、シャフト３２を分解して交換する。
【００６６】  図５について説明する。図５は、試料テーブル１１の曲成可能な薄シート１５が張設状態において、図５（ａ）は、Ｘ線源１３が下にあり、Ｘ線検出器１４が上の垂直状態の検査図を示す。
【００６７】  また、図５（ｂ）は、図５（ａ）の傾斜検査図であり、図５（ａ）と図５（ｂ）は一般的な検査状態図を示す。
【００６８】  図６について説明する。図６は、図１の試料テーブル１１の曲成可能な薄シート１５が屈設状態において、図６（ａ）はＸ線源１３が下にあり、Ｘ線検出器１４が上の垂直状態の検査図を示す。
【００６９】  図６（ｂ）は、Ｘ線源１３が上にあり、Ｘ線検出器１４が下の垂直状態の検査図を示す。屈設状態の曲成可能な薄シート１５にすることで被検体１２の多方面の姿勢の透過データを得ることができる。また、図６（ｃ）は、図６（ｂ）の傾斜検査図を示す。
【００７０】  また、図６（ｄ）は、図６（ａ）の傾斜検査図であり、被検体１２を曲成可能な薄シート１５が深く包み込み、被検体１２の端部を検査し易いようにした形状図である。
【００７１】  図６（ｅ）は、図６（ｄ）の状態でさらに図１の試料テーブルＸ軸（Ｘ方向）・Ｙ軸（Ｙ方向）・Ｚ軸（上下）・θ軸（回転）２０を使用して、一旦試料テーブル１１を移動してその後、図１旋回機構２１により、旋回フレーム１６の垂直から傾斜と水平までの任意の位置まで旋回して、再び試料テーブル１１を戻す。その後、Ｘ線源１３とＸ線検出器１４が被検体１２を挟んで、試料テーブル１１と共に曲成可能な薄シート１５を０度から３６０度以上回転して、透過データを再構成するＣＴ装置、ラミノグラフィ（傾斜型ＣＴ装置）やＸ線ＴＶ（テレビジョン）システムにより連続的と、断続的と、一部分的に透過データを得て透視画像を作成することができる。
【００７２】  また、これらは工業製品以外にも小動物の医療用、研究用として、下層の外側の曲成可能な薄シート１５に倣って移動しながら連続的と断続的と一部分的に透過データを得て透視画像を作成することができる。
【００７３】  本実施形態によれば、Ｘ線ビーム１７内で被検体１２を載置する曲成可能な薄シート１５を張設状態、または、屈設状態にすることにより、平面状のテーブルに被検体を載置する場合に比べて、Ｘ線源１３、およびＸ線検出器１４などのＸ線撮影系の構成要素が、被検体１２の周囲へ近づける領域が広がり被検体１２の検査範囲を広くすることができる。また、Ｘ線源１３、およびＸ線検出器１４などのＸ線撮影系の構成要素と被検体１２が接触を回避できることにより、その部分の破損を避けることができる。
【００７４】  以上、本発明の実施形態を説明したが、実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００７５】１０  Ｘ線検査装置
１１  試料テーブル
１２  被検体、
１３  Ｘ線源
１４  Ｘ線検出器
１５  曲成可能な薄シート
１５ａ  透明絶縁保護シート（ポリカーボネート：ＩＴＯ）
１５ｂ  導電性高分子（ポロアセチレン）
１５ｃ  透明導電性保護シート（ポリエチレンテレフタレート：ＰＥＴ）
１６  旋回フレーム
１７  Ｘ線ビーム
１８  Ｘ線源スライド機構
１９  Ｘ線検出器スライド機構
２０  試料テーブルＸ軸（Ｘ方向）・Ｙ軸（Ｙ方向）・Ｚ軸（上下）・θ軸（回転）
２１  旋回機構
２２  制御手段
２３  Ｘ線受像面
２４  Ｘ線焦点
２５  曲成可能な薄シート巻取り機構
２６  Ｘ線照射口
２７  ケーブル
２８、２８ａ、２８ｂ  ハウジング
２９、２９ａ、２９ｂ  ハンドル
３０  ウォーム
３１  ウォームホイール
３２  シャフト
３３  ベアリング大
３４  ベアリング小
３５、３５ａ、３５ｂ  薄シート調整ネジ
３６、３６ａ、３６ｂ  ロックナット
３７  薄シート固定プレート
３８  薄シート固定ネジ
３９、３９ａ、３９ｂ  着脱用取手
４０  薄シート枠
４１  先端テーパーピン
４２  テーパー穴付き金具
４３  フレーム
４４  引っ掛り軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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