(57)【要約】【課題】接着シート基材から形成した接着シートと当該接着シートが切り抜かれた切断後の接着シート基材とを相対移動させても、接着シートを支持している内側支持手段に切断後の接着シート基材の切断部が接着することを防止すること。【解決手段】接着シート基材ＡＢの面内で当該接着シート基材ＡＢを支持する内側支持面１１Ａを有する内側支持手段１０と、内側支持手段１０で支持された接着シート基材ＡＢを内側支持面１１Ａの外縁に沿って切断し、当該接着シート基材ＡＢから所定形状の接着シートＡＳを形成するシート切断手段２０と、内側支持面１１Ａから接着シートＡＳに向かう方向に当該接着シートＡＳと、当該接着シートＡＳが切り抜かれた切断後の接着シート基材ＡＢとを相対移動させる移動手段３０とを備え、内側支持手段１０は、内側支持面１１Ａの外縁に連接し、当該内側支持面１１Ａとの交差角度が鋭角となる鋭角連接面１１Ｂを備えている。【選択図】図１
2020116701.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シート基材の面内で当該接着シート基材を支持する内側支持面を有する内側支持手段と、
前記内側支持手段で支持された前記接着シート基材を前記内側支持面の外縁に沿って切断し、当該接着シート基材から所定形状の接着シートを形成するシート切断手段と、
前記内側支持面から前記接着シートに向かう方向に当該接着シートと、当該接着シートが切り抜かれた切断後の前記接着シート基材とを相対移動させる移動手段とを備え、
前記内側支持手段は、前記内側支持面の外縁に連接し、当該内側支持面との交差角度が鋭角となる鋭角連接面を備えていることを特徴とするシート切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート切断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、接着シート基材から接着シートを形成し、当該接着シートと当該接着シートが切り抜かれた切断後の接着シート基材とを相対移動させるシート切断装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１４２９００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された従来のシート貼付装置１０（シート切断装置）では、ウエハＷ上に形成された接着シートＳ（接着シート）と、不要接着シートＳ１（切断後の接着シート基材）とを相対移動させると、内側テーブルＴ２（内側支持手段）の側壁に切断後の接着シート基材の切断部が接着し、内側支持手段が接着シート基材の接着剤で汚染されたり、内側支持手段に接着した接着シート基材が、移動する内側支持手段に巻き込まれて動作不良を起こしたりするといった不都合を発生する。
【０００５】
本発明の目的は、接着シート基材から形成した接着シートと当該接着シートが切り抜かれた切断後の接着シート基材とを相対移動させても、接着シートを支持している内側支持手段に切断後の接着シート基材の切断部が接着することを防止することができるシート切断装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、内側支持手段が鋭角連接面を備えているので、接着シート基材から形成した接着シートと当該接着シートが切り抜かれた切断後の接着シート基材とを相対移動させても、接着シートを支持している内側支持手段に切断後の接着シート基材の切断部が接着することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明のシート切断装置の説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。また、図１（Ｂ）〜（Ｅ）は、図１（Ａ）と同じ方向から観た図なので、方向を示す矢印は省略する。
【００１０】
本発明のシート切断装置ＥＡは、接着シート基材ＡＢの面内で当該接着シート基材ＡＢを支持する内側支持面１１Ａを有する内側支持手段１０と、内側支持手段１０で支持された接着シート基材ＡＢを内側支持面１１Ａの外縁に沿って切断し、当該接着シート基材ＡＢから所定形状の接着シートＡＳを形成するシート切断手段２０と、内側支持面１１Ａから接着シートＡＳに向かう方向に当該接着シートＡＳと、当該接着シートＡＳが切り抜かれた切断後の接着シート基材ＡＢとを相対移動させる移動手段３０とを備え、内側支持面１１Ａに対して所定の間隔ＤＴをおき、当該内側支持面１１Ａからはみ出した接着シート基材ＡＢ部分を支持する外側支持面４１Ａを有する外側支持手段４０と、接着シート基材ＡＢを被着体ＷＫに貼付するシート貼付手段５０と、被着体ＷＫを搬送する被着体搬送手段６０とでシート貼付装置ＥＡ１を構成している。
なお、本実施形態では、内側支持手段１０は、被着体ＷＫを介して接着シート基材ＡＢを支持する構成となっている。
【００１１】
内側支持手段１０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な内側支持面１１Ａと、当該内側支持面１１Ａの外縁に連接し、当該内側支持面１１Ａとの交差角度が鋭角となる鋭角連接面１１Ｂを有する内側支持テーブル１１と、内側支持面１１Ａに形成された凹部１１Ｃ内に支持された駆動機器としての直動モータ１２と、その出力軸１２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能なリフト支持面１３Ａを有するリフト台１３とを備えている。
なお、内側支持面１１Ａは、上方から見下ろした平面視において、被着体ＷＫの外縁と同じ大きさの外縁を有している。
【００１２】
シート切断手段２０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム２１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット２１と、ブラケット２２Ａを介して先端アーム２１Ａに着脱可能とされた切断部材としての切断刃２２とを備えている。
【００１３】
移動手段３０は、外側支持手段４０に支持され、その出力軸３１Ａで内側支持テーブル１１を支持する駆動機器としての直動モータ３１を備えている。
【００１４】
外側支持手段４０は、上面が外側支持面４１Ａとされ、当該外側支持面４１Ａに形成された凹部４１Ｂ内に移動手段３０が配置された外側支持テーブル４１を備えている。
なお、本実施形態の場合、所定の間隔ＤＴは、内側支持テーブル１１を囲う全域に形成されている。
【００１５】
シート貼付手段５０は、剥離シートＲＬの一方の面に接着シート基材ＡＢが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ５１と、支持ローラ５１から繰り出された原反ＲＳを案内する案内手段５２と、シート切断装置ＥＡの自動運転が行われている間、案内手段５２との間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ５３と、被着体ＷＫに貼付される前の接着シート基材ＡＢが当該被着体ＷＫの被着面ＷＫ１に対して傾斜した姿勢を維持する傾斜姿勢維持手段であって駆動機器としてのリニアモータ５４と、リニアモータ５４のスライダ５４Ａに支持され、そのスライダ５５Ａで案内手段５２を支持し、被着体ＷＫに貼付される接着シート基材ＡＢの張力を所定の値に維持する張力維持手段であって駆動機器としてのリニアモータ５５と、原反ＲＳに繰出力を付与する繰出力付与手段５６と、接着シート基材ＡＢを被着体に押圧して貼付する押圧手段５７とを備えている。
案内手段５２は、駆動機器としての直動モータ５２Ａの出力軸５２Ｂに支持され、原反ＲＳを案内するガイドローラ５２Ｃとの間に原反ＲＳを挟み込む押付部材５２Ｄと、原反ＲＳが掛け回され、接着シートＡＳの張力を検知可能な張力検知手段としてのロードセル５２Ｅの検知軸５２Ｆに回転可能に支持された張力検知ローラ５２Ｇと、剥離縁５２Ｈで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板５２Ｊと、駆動機器としての回動モータ５２Ｋの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ５２Ｌとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ５２Ｍと、上記の各部材５２Ａ〜５２Ｍを直接的または間接的に支持する案内フレーム５２Ｎとを備えている。
繰出力付与手段５６は、駆動機器としてのリニアモータ５６Ａの第１スライダ５６Ｂに支持された繰出フレーム５６Ｃと、繰出フレーム５６Ｃに支持された駆動機器としてのリニアモータ５６Ｄと、そのスライダ５６Ｅに支持された駆動機器としての回動モータ５６Ｆと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ５６Ｇとで接着シート基材ＡＢを挟み込む駆動ローラ５６Ｈと、繰出フレーム５６Ｃに支持され、シート切断装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ５６Ｇとの間に存在する接着シート基材ＡＢに常に所定の張力を付与し、当該接着シート基材ＡＢを回収する回収手段としての回収ローラ５６Ｊとを備えている。
押圧手段５７は、繰出力付与手段５６と共用されるリニアモータ５６Ａと、その第２スライダ５６Ｋに支持された駆動機器としてのリニアモータ５７Ａと、そのスライダ５７Ｂに回転自在に支持された押圧ローラ５７Ｃとを備えている。
【００１６】
被着体搬送手段６０は、シート切断手段２０と共用される多関節ロボット２１と、先端アーム２１Ａに着脱可能とされ、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）で吸着保持が可能な吸着保持面６１Ａを有する平面視Ｙ形状の搬送アーム６１とを備え、収容ケースＣＣに収容されて搬入台ＤＳ上に搬入された被着体ＷＫを内側支持手段１０に搬送する構成となっている。
【００１７】
以上のシート切断装置ＥＡが採用されたシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して運転開始の信号を入力する。すると、シート貼付手段５０が直動モータ５２Ａを駆動し、図１（Ｂ）に示すように、押付部材５２Ｄとガイドローラ５２Ｃとで原反ＲＳを挟み込んだ後、回動モータ５６Ｆを駆動し、ガイドローラ５２Ｃと駆動ローラ５６Ｈとの間に存在する接着シート基材ＡＢ部分である貼付前シート基材ＡＢ１が弛まない程度に張力を付与する。次いで、シート貼付手段５０が回動モータ５６Ｆの駆動を停止し、駆動ローラ５６Ｈが回転しないように当該回動モータ５６Ｆをロック状態とした後、リニアモータ５５を駆動し、案内手段５２を左右方向に移動させ、ロードセル５２Ｅの検知結果を基に、貼付前シート基材ＡＢ１に所定の張力を付与する。なお、案内手段５２内で原反ＲＳが繰り出されると、シート貼付手段５０が回動モータ５２Ｋを駆動し、剥離板５２Ｊで接着シート基材ＡＢから剥離された剥離シートＲＬに所定の張力を付与して当該剥離シートＲＬを回収ローラ５３方向に送る（以降も同じ）。
【００１８】
その後、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない運搬手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体ＷＫが収容された収容ケースＣＣを搬入台ＤＳ上に載置すると、被着体搬送手段６０が多関節ロボット２１を駆動し、先端アーム２１Ａで搬送アーム６１を支持する。次に、被着体搬送手段６０が多関節ロボット２１を駆動し、収容ケースＣＣ内の被着体ＷＫの下面に搬送アーム６１の吸着保持面６１Ａを当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、当該吸着保持面６１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。そして、内側支持手段１０が直動モータ１２を駆動し、リフト台１３を上昇させた後、被着体搬送手段６０が多関節ロボット２１を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、吸着保持面６１Ａで吸着保持している被着体ＷＫの下面をリフト支持面１３Ａに当接させる。次いで、内側支持手段１０が図示しない減圧手段を駆動し、リフト支持面１３Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始すると、被着体搬送手段６０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着保持面６１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除する。その後、被着体搬送手段６０が多関節ロボット２１を駆動し、搬送アーム６１を初期位置に復帰させ、先端アーム２１Ａでの当該搬送アーム６１の支持を解除すると、シート切断手段２０が多関節ロボット２１を駆動し、先端アーム２１Ａで切断刃２２を支持する。次に、内側支持手段１０が直動モータ１２を駆動し、リフト台１３を初期位置に復帰させた後、図示しない減圧手段を駆動し、内側支持面１１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。この際、リフト支持面１３Ａと内側支持面１１Ａとが同一平面内に位置し、被着体ＷＫの被着面ＷＫ１と外側支持面４１Ａとが同一平面内に位置する。
【００１９】
そして、シート貼付手段５０がリニアモータ５６Ｄ、５７Ａを駆動し、図１（Ｂ）に示すように、駆動ローラ５６Ｈおよび押圧ローラ５７Ｃを下降させ、当該駆動ローラ５６Ｈおよび押圧ローラ５７Ｃで外側支持面４１Ａに接着シート基材ＡＢを所定の押圧力で押圧する。次いで、シート貼付手段５０がリニアモータ５６Ａを駆動し、押圧ローラ５７Ｃを右方へ移動させ、被着体ＷＫの被着面ＷＫ１および外側支持面４１Ａに接着シート基材ＡＢを所定の押圧力で押圧して貼付する。この際、シート貼付手段５０がリニアモータ５４を駆動し、押圧ローラ５７Ｃの移動距離と案内手段５２の移動距離とが比例関係となるように、当該案内手段５２を下降させるとともに、リニアモータ５５を駆動し、ロードセル５２Ｅの検知結果を基に、貼付前シート基材ＡＢ１に所定の張力が付与されるように案内手段５２を左右方向に移動させる。その後、図１（Ｂ）に示すように、押圧ローラ５７Ｃが外側テーブル１１の右方所定位置に到達すると、シート貼付手段５０がリニアモータ５４、５６Ａの駆動を停止する。
【００２０】
次に、シート切断手段２０が多関節ロボット２１を駆動し、図１（Ｃ）に示すように、切断刃２２を接着シート基材ＡＢに突き刺した後、当該切断刃２２を内側支持面１１Ａの外縁に沿って移動させ、当該接着シート基材ＡＢから被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを形成し、被着体ＷＫに接着シートＡＳが貼付された一体物ＵＰを形成する。そして、シート切断手段２０が多関節ロボット２１を駆動し、切断刃２２を初期位置に復帰させ、先端アーム２１Ａでの当該切断刃２２の支持を解除すると、被着体搬送手段６０が多関節ロボット２１を駆動し、先端アーム２１Ａで搬送アーム６１を支持する。次いで、移動手段３０が直動モータ３１を駆動し、図１（Ｄ）に示すように、内側支持テーブル１１を上昇させる。この際、内側支持テーブル１１が鋭角連接面１１Ｂを備えているため、切断後の接着シート基材ＡＢの切断部が当該内側支持テーブル１１に接着することはない。
【００２１】
その後、被着体搬送手段６０が多関節ロボット２１を駆動し、図１（Ｄ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳ上に搬送アーム６１の吸着保持面６１Ａを当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、当該吸着保持面６１Ａでの一体物ＵＰの吸着保持を開始する。次に、内側支持手段１０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、内側支持面１１Ａおよびリフト支持面１３Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除すると、被着体搬送手段６０が多関節ロボット２１を駆動し、吸着保持面６１Ａで吸着保持している一体物ＵＰを内側支持テーブル１１から取り上げる。そして、被着体搬送手段６０が多関節ロボット２１を駆動し、吸着保持面６１Ａで吸着保持している一体物ＵＰを収容ケースＣＣの所定の位置に載置した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着保持面６１Ａでの一体物ＵＰの吸着保持を解除する。次いで、被着体搬送手段６０が多関節ロボット２１を駆動し、搬送アーム６１を初期位置に復帰させると、移動手段３０が直動モータ３１を駆動し、内側支持テーブル１１を初期位置に復帰させる。
【００２２】
その後、シート貼付手段５０がリニアモータ５６Ａおよび回動モータ５６Ｆを駆動し、図１（Ｅ）に示すように、駆動ローラ５６Ｈを転動させながら、ピンチローラ５６Ｇおよび駆動ローラ５６Ｈを右方へ移動させ、外側支持面４１Ａから切断後の接着シート基材ＡＢを剥離する。次に、切断後の接着シート基材ＡＢが外側支持面４１Ａから剥離されると、シート貼付手段５０がリニアモータ５６Ａおよび回動モータ５６Ｆの駆動を停止した後、リニアモータ５６Ｄ、５７Ａを駆動し、ピンチローラ５６Ｇ、駆動ローラ５６Ｈおよび押圧ローラ５７Ｃを上昇させる。そして、シート貼付手段５０が直動モータ５２Ａを駆動し、押付部材５２Ｄとガイドローラ５２Ｃとでの原反ＲＳの挟み込みを解除するとともに、駆動ローラ５６Ｈが回転しないように回動モータ５６Ｆをロック状態とする。次いで、シート貼付手段５０がリニアモータ５４およびリニアモータ５６Ａを駆動し、案内手段５２を初期位置に復帰させるとともに、ピンチローラ５６Ｇ、駆動ローラ５６Ｈおよび押圧ローラ５７Ｃを初期位置に復帰させることで、支持ローラ５１から新たな原反ＲＳを繰り出し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２３】
以上のような実施形態によれば、内側支持手段１０が鋭角連接面１１Ｂを備えているので、接着シート基材ＡＢから形成した接着シートＡＳと当該接着シートＡＳが切り抜かれた切断後の接着シート基材ＡＢとを相対移動させても、接着シートＡＳを支持している内側支持手段１０に切断後の接着シート基材ＡＢの切断部が接着することを防止することができる。
【００２４】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、シート切断手段は、内側支持手段で支持された接着シート基材を内側支持面の外縁に沿って切断し、当該接着シート基材から所定形状の接着シートを形成することが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【００２５】
内側支持手段１０は、平面視において、被着体ＷＫの外縁と同じ大きさを有している内側支持面１１Ａで被着体ＷＫを支持してもよいし、被着体ＷＫの外縁よりも大きな外縁を有している内側支持面１１Ａで被着体ＷＫを支持してもよいし、被着体ＷＫの外縁よりも小さな外縁を有している内側支持面１１Ａで被着体ＷＫを支持してもよいし、円形、楕円形または三角形以上の多角形等どのような形状の内側支持面１１Ａで被着体ＷＫを支持してもよいし、内側支持面１１Ａおよびリフト支持面１３Ａの少なくとも一方が、吸着保持ができなくてもよいし、直動モータ１２やリフト台１３が備わっていなくてもよいし、被着体ＷＫを支持した際、当該被着体ＷＫの被着面ＷＫ１と外側支持面４１Ａとが同一平面内に位置しなくてもよい。
内側支持手段１０は、シート貼付手段５０以外の装置や人手で、外縁からはみ出すように接着シート基材ＡＢが貼付された被着体ＷＫを支持してもよいし、被着体ＷＫを介することなく接着シート基材ＡＢを直接支持してもよい。
鋭角連接面１１Ｂは、内側支持面１１Ａとの交差角度が鋭角であればどのような角度でもよく、例えば、８９度でもよいし、４５度でもよいし、１度や０．５度でもよいし、例えば、Ｙ軸方向から観た側面視において、凹状または凸状となる曲面でもよい。
【００２６】
シート切断手段２０は、切断部材として接着シート基材ＡＢを切断可能なものであればどのようなものが採用されてもよく、例えば、切断刃２２の延出方向（図１（Ａ）の状態におけるＺ軸方向）に対し、峰が平行で刃先が傾斜した切断刃２２が採用されてもよいし、切断刃２２の延出方向に対し、刃先が平行で峰が傾斜した切断刃２２が採用されてもよいし、切断刃２２の延出方向に対し、刃先および峰の両方が傾斜した切断刃２２が採用されてもよいし、本来峰となる側にも刃が存在する所謂両刃を備えた切断刃２２が採用されてもよいし、丸刃や鋸刃等のその他の形状の切断刃２２が採用されてもよいし、ニクロム線や金属線等の電熱線や、ワイヤやベルト等の線状刃物等が採用されてもよいし、ブラケット２２Ａに支持されていなくてもよいし、切込刃２２を移動させずにまたは移動させつつ、内側支持手段１０を移動させて接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、図１（Ｃ）に示すように、切断刃２２における切先側が被着体ＷＫから遠ざかる方向に当該切断刃２２を傾斜させて接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、同切先側が被着体ＷＫに接近する方向に当該切断刃２２を傾斜させて接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、同切先側が被着体ＷＫから遠ざかる方向にも接近する方向にも傾斜させることなく接着シートＡＳを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁と同形状となるように接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁よりも被着体ＷＫから離れた位置で接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁の形状とは関係なく接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、接着シート基材ＡＢのみを切断してもよいし、接着シート基材ＡＢおよび被着体ＷＫの両方を切断してもよいし、切断刃２２を着脱可能または着脱不能な構成でもよいし、切断刃２２の着脱を自動で行ったり、人手で行ったり、他の装置で行ったりしてもよいし、被着体搬送手段６０としての機能がなくてもよい。
【００２７】
移動手段３０は、接着シートＡＳを移動させずにまたは移動させつつ、切断後の接着シート基材ＡＢを移動させてもよいし、内側支持面１１Ａから被着体ＷＫに向かう方向に接着シートＡＳと切断後の接着シート基材ＡＢとを相対移動させる際、それら接着シートＡＳと切断後の接着シート基材ＡＢとを相対回転させてもよい。
【００２８】
外側支持手段４０は、内側支持面１１Ａに対して所定の間隔ＤＴがなくてもよいし、本発明のシート切断装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
【００２９】
シート貼付手段５０は、剥離シートＲＬに所定間隔をおき複数の接着シート基材が仮着された原反を採用し、当該接着シート基材を被着体ＷＫに貼付する構成でもよいし、支持ローラ５１やガイドローラ５２Ｃ等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートＲＬを回収してもよいし、剥離シートＲＬを回収しなくてもよいし、ピンチローラ５６Ｇおよび駆動ローラ５６Ｈを移動させずにまたは移動させつつ、支持ローラ５１、案内手段５２、回収ローラ５３等を適宜移動させて接着シート基材ＡＢを繰り出してもよいし、チャックシリンダや吸着パッド等の保持手段で接着シートＡＳを保持して繰り出してもよいし、リニアモータ５６Ａ以外の駆動機器で押圧ローラ５７Ｃを左右方向に移動させてもよいし、押圧ローラ５７Ｃを移動させずにまたは移動させつつ、被着体ＷＫおよび接着シート基材ＡＢを移動させ、当該被着体ＷＫに接着シート基材ＡＢを押圧して貼付してもよいし、押圧ローラ５７Ｃを昇降させない構成としてもよいし、ピンチローラ５６Ｇおよび駆動ローラ５６Ｈを移動させずにまたは移動させつつ、内側支持手段１０を移動させて外側支持面４１Ａから切断後の接着シート基材ＡＢを剥離してもよいし、ピンチローラ５６Ｇおよび駆動ローラ５６Ｈを昇降させない構成としてもよいし、例えば、チャックシリンダや吸着パッド等の保持手段で切断後の接着シート基材ＡＢを保持し、当該保持手段と内側支持手段１０とを相対移動させて外側支持面４１Ａから切断後の接着シート基材ＡＢを剥離する構成としてもよいし、本発明のシート切断装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
【００３０】
被着体搬送手段６０は、シート切断手段２０と共用されることのない駆動機器で搬送アーム６１を支持し、被着体ＷＫを搬送してもよいし、搬送アーム７１を着脱可能または着脱不能な構成でもよいし、搬送アーム７１の着脱を自動で行ったり、人手で行ったり、他の装置で行ったりしてもよいし、本発明のシート切断装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
【００３１】
シート切断装置ＥＡは、接着シート基材ＡＢを介して被着体ＷＫを支持する内側支持面１１Ａを有する内側支持手段１０が採用されてもよく、この場合、当該シート切断装置ＥＡにシート貼付手段５０が備わっていなくてもよく、例えば、シート貼付手段５０以外の装置や人手で、外縁からはみ出すように接着シート基材ＡＢが貼付された被着体ＷＫが、当該接着シート基材ＡＢが内側支持面１１Ａ側となるように内側支持手段１０上に載置されればよい。
シート切断装置ＥＡは、シート貼付装置ＥＡ１以外に、例えば、接着シートＡＳを積層するシート積層装置や接着シートＡＳに印字や塗布を行う印刷装置等の他の装置に用いられてもよいし、シート貼付装置ＥＡ１や他の装置等に用いられることなく、単独で用いられてもよい。
接着シート基材ＡＢは、剥離シートＲＬが仮着されていなくてもよい。
【００３２】
本発明における接着シート基材ＡＢ、接着シートＡＳおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００３３】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【００３４】
ＥＡ…シート切断装置
１０…内側支持手段
１１Ａ…内側支持面
２０…シート切断手段
１１Ｂ…鋭角連接面
３０…移動手段
ＡＢ…接着シート基材
ＡＳ…接着シート
【図１】
2020116701.tif 000003