(57)【要約】      （修正有）【課題】フレームクランプユニットの高さの異常を検知することのできる加工装置を提供する。【解決手段】チャックテーブル１４と、フレームクランプユニット１６と、加工ユニットと、カメラユニット１８ｃと、フレームユニットを保持していない状態のチャックテーブルの保持面を該カメラユニットで撮像することにより得られた保持面の画像に基づいて、カメラユニットの高さ位置の基準高さを登録する基準高さ登録部５２と、環状フレームをフレームクランプユニットで固定した状態で、押さえ部材の上面にカメラユニットの焦点が合ったときのカメラユニットの高さ位置の測定高さを記録する測定高さ記録部５４と、基準高さと測定高さとを比較する判定部５６とを有する情報処理部５０ａと、判定部によって、測定高さが基準高さより高いと判定された場合、判定結果を報知する報知部と、を備える加工装置を提供する。【選択図】図５
2020116685.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
環状フレームの開口を覆う粘着テープによって、該開口に配置された被加工物が支持されたフレームユニットの該被加工物を、該粘着テープを介して保持面で保持するチャックテーブルと、
該環状フレームを上方から押圧して固定する押さえ部材と、該環状フレームを押圧する押圧位置と該環状フレームから該押さえ部材が退避した退避位置とに該押さえ部材を移動させる押さえ部材駆動部とを有し、該チャックテーブルの外周に配置され、該環状フレームを固定可能なフレームクランプユニットと、
該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
該被加工物を撮像するカメラユニットと、
該フレームユニットを保持していない状態の該チャックテーブルの該保持面を該カメラユニットで撮像することにより得られた該保持面の画像に基づいて、該カメラユニットの高さ位置の基準高さを登録する基準高さ登録部と、該環状フレームを該フレームクランプユニットで固定した状態で、該押さえ部材の上面に該カメラユニットの焦点が合ったときの該カメラユニットの高さ位置の測定高さを記録する測定高さ記録部と、該基準高さと該測定高さとを比較する判定部とを有する情報処理部と、
該判定部によって、該測定高さが該基準高さより高いと判定された場合、判定結果を報知する報知部と、
を備えることを特徴とする加工装置。
【請求項２】
該基準高さは、該保持面に該カメラユニットの焦点が合ったときの該カメラユニットの高さであることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
環状フレームの開口を覆う粘着テープによって、該開口に配置された被加工物が支持されたフレームユニットの該被加工物を、該粘着テープを介して保持面で保持するチャックテーブルと、
該環状フレームを上方から押圧して固定する押さえ部材と、該環状フレームを押圧する押圧位置と、該環状フレームから該押さえ部材が退避した退避位置とに該押さえ部材を移動させる押さえ部材駆動部とを有し、該チャックテーブルの外周に配置され、該環状フレームを固定可能なフレームクランプユニットと、
該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
該被加工物を撮像するカメラユニットと、
該カメラユニットから得られた情報を処理する情報処理部と、を備える加工装置において、該カメラユニットを用いて、該フレームクランプユニットの該押さえ部材の高さ位置と、該保持面の高さ位置とを比較するフレームクランプユニットの検査方法であって、
該検査方法は、
該カメラユニットが、該フレームユニットを保持していない状態の該チャックテーブルの該保持面を撮像する保持面撮像ステップと、
該保持面撮像ステップで得られた該保持面の画像に基づいて、該情報処理部が、該保持面撮像ステップでの該カメラユニットの高さ位置の基準高さを登録する基準高さ登録ステップと、
該フレームクランプユニットが該フレームユニットの該環状フレームを固定する固定ステップと、
該フレームユニットの該環状フレームを該フレームクランプユニットで固定した状態で、該カメラユニットの焦点が該押さえ部材の上面に合ったときの該上面を、該カメラユニットが撮像する押さえ部材撮像ステップと、
該情報処理部が、該押さえ部材撮像ステップで該カメラユニットの焦点が該押さえ部材の該上面に合ったときの該カメラユニットの高さ位置の測定高さを記録する測定高さ記録ステップと、
該情報処理部が、該基準高さと該測定高さとを比較する比較ステップと、
該比較ステップで該測定高さが該基準高さより高いと判定された場合、該情報処理部が、加工装置の報知部に判定結果を報知させる報知ステップと、
を備えることを特徴とするフレームクランプユニットの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレームクランプユニットを有する加工装置、及び、フレームクランプユニットの押さえ部材の高さ位置を検査する検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large-Scale Integrated circuit）等の複数のデバイスが表面側に形成された被加工物は、例えば、裏面側が研削されて所定の厚さに加工された後、ダイシング装置やレーザー加工装置等の加工装置によって個々のデバイスチップに分割される。
【０００３】
加工装置で被加工物を加工する前には、円盤状の被加工物の外径よりも大きい径の開口を有する環状フレームと被加工物とにダイシングテープを貼り付けて、フレームユニットを形成する。これにより、被加工物は、ダイシングテープを介して環状フレームと一体化される。
【０００４】
その後、加工装置のチャックテーブルに搬送されたフレームユニットは、チャックテーブルの外周部分に設けられた複数のフレームクランプユニットにより把持される。このとき、加工の妨げにならない様に、チャックテーブルの保持面よりも低い高さ位置で、環状フレームの外周部分が把持される。
【０００５】
フレームクランプユニットは、例えば、環状フレームの下方を支持するフレーム支持部と、環状フレームを上方から押さえる板状の押さえ部材とを有する。押さえ部材の側方の一部には一対の腕部が設けられており、この腕部は、エアアクチュエータ等の駆動機構の回転軸に接続している。
【０００６】
駆動機構が回転軸を所定方向に回転させることにより、押さえ部材は環状フレームの上方を押さえ込んで固定する固定位置に移動する。また、駆動機構が回転軸を所定方向とは反対方向に回転させることにより、押さえ部材は環状フレームの上方を開放する開放位置に移動する。
【０００７】
仮に、押さえ部材が固定位置に適切に移動されず、環状フレームを完全には押さえていない場合には、押さえ部材が固定位置から上方に突出して保持面より高い位置に位置付けられる可能性がある。
【０００８】
押さえ部材が保持面より突出した状態でダイシング装置により被加工物の加工が行われると、ダイシング装置の切削ブレード、切削ブレードの近傍に配置されたカメラユニット等が、フレームクランプユニットに接触する恐れがある。仮に接触が生じた場合、切削ブレード及びフレームクランプユニット等が損傷する。
【０００９】
また、押さえ部材が保持面より突出した状態でレーザー加工装置により被加工物の加工が行われると、レーザー加工装置のレーザー加工ユニット、レーザー加工ユニットの近傍に配置されたカメラユニット等が、フレームクランプユニットに接触する恐れがある。仮に接触が生じた場合、レーザー加工ユニット及びフレームクランプユニット等が損傷する。
【００１０】
この様な損傷を防ぐために、フレームクランプユニットの開閉状態を検知する技術が知られている。例えば、フレームクランプユニットを動作させるためのエアーが流れる様に構成されたエアー流入部及びエアー流出部を有する確認手段が知られている（特許文献１参照）。押さえ部材が固定位置にある場合にエアー流入部とエアー流出部とが連通状態となるとなる様にフレームクランプユニットを構成することで、押さえ部材が環状フレームを押さえる固定位置に位置付けられているか否かが確認される。
【００１１】
また、フレームクランプユニットは、押さえ部材が開放位置にある場合に確認手段のエアー流入部とエアー流出部とが遮断状態となる様に構成されている。それゆえ、エアー流入部とエアー流出部とが連通状態であるか又は遮断状態であるかに基づいて、押さえ部材の位置が検知される。
【００１２】
また例えば、フレーム支持部の側方の一部に、負圧発生源に接続された吸引孔を設け、押さえ部材が固定位置に移動すると腕部が吸引孔を塞ぎ、押さえ部材が開放位置に移動すると腕部が吸引孔を開放する様に構成されたフレームクランプユニットが知られている（特許文献２参照）。このフレームクランプユニットでは、吸引孔と負圧発生源との間の圧力を検知することにより、フレームクランプユニットの開閉状態が検知される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００１−３４１０４０号公報
【特許文献２】特開２０１５−７９８２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかし、フレームクランプユニットの調整作業等に起因して、フレームクランプユニット自体が変形する場合がある。例えば、腕部に接続している側とは反対側の押さえ部材の先端（即ち、自由端）側が変形して、上方に反った形状になっている場合がある。
【００１５】
本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、フレームクランプユニットの高さの異常を検知することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の一態様によれば、環状フレームの開口を覆う粘着テープによって、該開口に配置された被加工物が支持されたフレームユニットの該被加工物を、該粘着テープを介して保持面で保持するチャックテーブルと、該環状フレームを上方から押圧して固定する押さえ部材と、該環状フレームを押圧する押圧位置と該環状フレームから該押さえ部材が退避した退避位置とに該押さえ部材を移動させる押さえ部材駆動部とを有し、該チャックテーブルの外周に配置され、該環状フレームを固定可能なフレームクランプユニットと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、該被加工物を撮像するカメラユニットと、該フレームユニットを保持していない状態の該チャックテーブルの該保持面を該カメラユニットで撮像することにより得られた該保持面の画像に基づいて、該カメラユニットの高さ位置の基準高さを登録する基準高さ登録部と、該環状フレームを該フレームクランプユニットで固定した状態で、該押さえ部材の上面に該カメラユニットの焦点が合ったときの該カメラユニットの高さ位置の測定高さを記録する測定高さ記録部と、該基準高さと該測定高さとを比較する判定部とを有する情報処理部と、該判定部によって、該測定高さが該基準高さより高いと判定された場合、判定結果を報知する報知部と、を備える加工装置が提供される。
【００１７】
好ましくは、該基準高さは、該保持面に該カメラユニットの焦点が合ったときの該カメラユニットの高さである。
【００１８】
本発明の他の態様によれば、環状フレームの開口を覆う粘着テープによって、該開口に配置された被加工物が支持されたフレームユニットの該被加工物を、該粘着テープを介して保持面で保持するチャックテーブルと、該環状フレームを上方から押圧して固定する押さえ部材と、該環状フレームを押圧する押圧位置と、該環状フレームから該押さえ部材が退避した退避位置とに該押さえ部材を移動させる押さえ部材駆動部とを有し、該チャックテーブルの外周に配置され、該環状フレームを固定可能なフレームクランプユニットと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、該被加工物を撮像するカメラユニットと、該カメラユニットから得られた情報を処理する情報処理部と、を備える加工装置において、該カメラユニットを用いて、該フレームクランプユニットの該押さえ部材の高さ位置と、該保持面の高さ位置とを比較するフレームクランプユニットの検査方法であって、該検査方法は、該カメラユニットが、該フレームユニットを保持していない状態の該チャックテーブルの該保持面を撮像する保持面撮像ステップと、該保持面撮像ステップで得られた該保持面の画像に基づいて、該情報処理部が、該保持面撮像ステップでの該カメラユニットの高さ位置の基準高さを登録する基準高さ登録ステップと、該フレームクランプユニットが該フレームユニットの該環状フレームを固定する固定ステップと、該フレームユニットの該環状フレームを該フレームクランプユニットで固定した状態で、該カメラユニットの焦点が該押さえ部材の上面に合ったときの該上面を、該カメラユニットが撮像する押さえ部材撮像ステップと、該情報処理部が、該押さえ部材撮像ステップで該カメラユニットの焦点が該押さえ部材の該上面に合ったときの該カメラユニットの高さ位置の測定高さを記録する測定高さ記録ステップと、該情報処理部が、該基準高さと該測定高さとを比較する比較ステップと、該比較ステップで該測定高さが該基準高さより高いと判定された場合、該情報処理部が、加工装置の報知部に判定結果を報知させる報知ステップと、を備えるフレームクランプユニットの検査方法が提供される。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の一態様に係る加工装置では、まず、フレームユニットを保持していない状態のチャックテーブルの保持面をカメラユニットで撮像する。そして、得られた保持面の画像に基づいて、基準高さ登録部が、カメラユニットの高さ位置の基準高さを登録する。
【００２０】
そして、環状フレームをフレームクランプユニットで固定した状態で、押さえ部材の上面にカメラユニットの焦点が合ったときのカメラユニットの高さ位置を、測定高さ記録部が測定高さとして記録する。更に、判定部が、基準高さと測定高さとを比較し、測定高さが基準高さより高いか否かを判定する。これにより、フレームクランプユニットの高さの異常を検知できる。
【００２１】
加えて、測定高さが基準高さより高いと判定された場合、報知部が判定結果を報知する。判定結果の報知を受けたオペレーターは、フレームユニットの位置を修正した上で環状フレームをフレームクランプユニットで再度クランプできる。仮に、再度クランプしても、測定高さが基準高さよりも高い場合、フレームクランプユニット自体を交換又は修理することにより、フレームクランプユニットの不具合を解消できる。
【００２２】
また、カメラユニットは、被加工物のアライメントや加工位置の検出等に利用される通常装備されているカメラユニットである。それゆえ、高さ測定用の別途のセンサ等を追加的に設置する必要が無く、別途のセンサ等のためのコストやスペースが不要である。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】加工装置の斜視図である。
【図２】切削時のチャックテーブル及び加工ユニットの側面図である。
【図３】保持面撮像ステップ及び基準高さ登録ステップを説明する図である。
【図４】固定ステップを説明する図である。
【図５】図５（Ａ）は、押さえ部材の上面が保持面よりも低い位置にある場合を示す図であり、図５（Ｂ）は、押さえ部材の上面が保持面よりも高い位置にある場合を示す図である。
【図６】フレームクランプユニットの検査方法のフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、加工装置２の斜視図である。なお、図１においては、一部の構成要素をブロックにて示す。加工装置２は、各構成要素を支持する基台４を備える。
【００２５】
基台４の前方の角部には、開口４ａが形成されており、この開口４ａ内には、昇降機構（不図示）によって昇降するカセットエレベータ６が設けられている。カセットエレベータ６の上面には、複数の被加工物１１を収容するためのカセット８が載せられる。なお、図１ではカセット８の輪郭を二点鎖線で示している。
【００２６】
被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハである。この被加工物１１の表面側は、格子状に配列された分割予定ライン（ストリート）によって複数の領域に区画されており、各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが形成されている。
【００２７】
なお、本実施形態では、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハを被加工物１１としているが、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、シリコン以外の他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる被加工物１１を用いてもよい。また、デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。
【００２８】
被加工物１１の外周よりも外側には金属製の環状フレーム１５が配置されている。環状フレーム１５は、被加工物１１よりも大きな径の開口１５ａを有しており、被加工物１１はこの開口１５ａに配置されている。
【００２９】
環状フレーム１５の第１面と被加工物１１の裏面とには、開口１５ａを覆う粘着テープ（ダイシングテープ）１３が貼り付けられており、被加工物１１は、この粘着テープ１３によって支持されている。粘着テープ１３及び環状フレーム１５は、例えば、被加工物１１の搬送を容易にするために用いられる。
【００３０】
被加工物１１、粘着テープ１３及び環状フレーム１５を一体化してフレームユニット１７を構成することにより、搬送ユニット（不図示）は、被加工物１１に直接接触することなく、環状フレーム１５に接触した状態で被加工物１１を搬送できる。複数の被加工物１１の各々は、フレームユニット１７の形態で、上述のカセット８に収容されている。
【００３１】
カセットエレベータ６の側方には、Ｘ軸方向（加工送り方向）に長い開口４ｂが形成されている。開口４ｂ内には、ボールネジ式のＸ軸移動機構（加工送りユニット）（不図示）が配置されている。
【００３２】
Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸移動テーブル（不図示）を備えており、このＸ軸移動テーブルはＸ軸方向に移動可能である。なお、このＸ軸移動テーブルの上部には、テーブルカバー１０が設けられており、Ｘ軸移動テーブル以外のＸ軸移動機構の上部は、蛇腹状カバー１２によって覆われている。
【００３３】
Ｘ軸移動テーブル上には、円筒状のテーブル基台１２ａが設けられている（図２参照）。テーブル基台１２ａの一部はテーブルカバー１０から露出している。テーブル基台１２ａは、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に概ね平行な直線を回転軸として回転できる。
【００３４】
テーブル基台１２ａ上には、テーブル基台１２ａよりも大きな径を有する円盤状のチャックテーブル（保持テーブル）１４が、着脱自在に装着されている。チャックテーブル１４は、上述したＸ軸移動機構によってＸ軸移動テーブル及びテーブル基台１２ａと共にＸ軸方向に移動する。チャックテーブル１４の上面側には、多孔質部材で形成された円盤状のポーラス板が設けられている。
【００３５】
ポーラス板の表面は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向（割り出し送り方向）に対して概ね平行に形成されており、ポーラス板の孔は、チャックテーブル１４の内部に形成された吸引路（不図示）等を介して真空ポンプ等の吸引源（不図示）に接続されている。
【００３６】
粘着テープ１３が保持面１４ａに接する様に被加工物１１をチャックテーブル１４上に配置した状態で、吸引源を動作させる。これにより、吸引路を介して保持面１４ａに発生する負圧により、粘着テープ１３は保持面１４ａで吸引され、被加工物１１は粘着テープ１３を介して保持面１４ａで保持される。
【００３７】
テーブル基台１２ａの側部の周方向の異なる位置には、複数対のロッド１２ｂ（図２参照）がテーブル基台１２ａの外周から突出する態様で配置されている。複数対のロッド１２ｂは、チャックテーブル１４の外周よりも外側に突出している。テーブル基台１２ａとは反対側の各対のロッド１２ｂの端部には、１つのフレームクランプユニット１６が連結されている。
【００３８】
本実施形態では、チャックテーブル１４を上面視した場合に、時計の０時、３時、６時及び９時の各位置に一対のロッド１２ｂと、１つのフレームクランプユニット１６とが設けられている。つまり、チャックテーブル１４には、合計４つのフレームクランプユニット１６が連結されている。
【００３９】
但し、０時及び６時の各位置、又は、３時及び９時の各位置に一対のロッド１２ｂと１つのフレームクランプユニット１６とが設けられてもよい。つまり、チャックテーブル１４には合計２つのフレームクランプユニット１６が設けられてもよい。
【００４０】
ここで、図２を用いて、フレームクランプユニット１６の構造について説明する。図２は、切削時のチャックテーブル１４及び加工ユニット１８の側面図である。フレームクランプユニット１６は、略直方体状であり平坦な上面を有する金属製のフレーム支持部１６ａを備える。
【００４１】
チャックテーブル１４とは反対側のフレーム支持部１６ａの側面には、略円柱形状の筐体を有するエアアクチュエータ（押さえ部材駆動部）１６ｂが、円柱の高さ方向がロッド１２ｂの延伸方向と直交する態様で固定されている。なお、エアアクチュエータ１６ｂに代えて、他の駆動機構が採用されてもよい。
【００４２】
エアアクチュエータ１６ｂは、回転可能な態様でエアアクチュエータ１６ｂの筐体に収容されている回転軸を有する。この回転軸は、筐体の高さ方向の両側で筐体から突出しているが、フレーム支持部１６ａには固定されていない。
【００４３】
筐体から突出している回転軸の両側の各々には、金属で形成された腕部１６ｃが固定されている。回転軸とは反対側の腕部１６ｃの端部には、板状の押さえ部材１６ｄが、腕部１６ｃの長手方向と直交する態様で接続されている。押さえ部材１６ｄは、例えば、金属で形成されており、エアアクチュエータ１６ｂ側の一面と、この一面とは反対側に位置する他面（即ち、上面１６ｅ）とを有する。
【００４４】
エアアクチュエータ１６ｂが駆動されると、押さえ部材１６ｄは、エアアクチュエータ１６ｂの回転軸の周りで回転する。例えば、押さえ部材１６ｄの一面は、チャックテーブル１４の側面に対向する位置と、フレーム支持部１６ａの上面に対向する位置とに位置する様に、回転軸の周りで略９０度回転される。
【００４５】
エアアクチュエータ１６ｂにより押さえ部材１６ｄの一面がチャックテーブル１４の側面に対向する位置に移動されると、押さえ部材１６ｄの一面は、フレーム支持部１６ａの上面に対向する位置から退避する（図３参照）。押さえ部材１６ｄがこの退避位置（即ち、開放位置）にある場合に、フレーム支持部１６ａの上面にフレームユニット１７の環状フレーム１５の一部を載置できる。
【００４６】
フレームユニット１７の一部がフレーム支持部１６ａの上面に載置された状態で、エアアクチュエータ１６ｂにより押さえ部材１６ｄの一面がフレーム支持部１６ａの上面に対向する位置に移動されると、押さえ部材１６ｄの一面は、環状フレーム１５を上方から押圧する。
【００４７】
この様に、押さえ部材１６ｄが環状フレーム１５を押圧可能な押圧位置にある場合に、環状フレーム１５は、押さえ部材１６ｄとフレーム支持部１６ａとの間に固定される。つまり、フレームクランプユニット１６は、環状フレーム１５を固定可能である。
【００４８】
また、フレーム支持部１６ａの上面にフレームユニット１７の環状フレーム１５の一部が載置された状態で、押さえ部材１６ｄが退避位置に移動すると、押さえ部材１６ｄは環状フレーム１５の上面に対向する位置から退避できる。この様に、押さえ部材１６ｄが退避位置にある場合に、フレームユニット１７は、フレームクランプユニット１６から取り外し可能である。
【００４９】
再び、図１の説明に戻る。開口４ｂの上方には、フレームユニット１７をチャックテーブル１４等へと搬送するための搬送ユニット（不図示）が設けられている。搬送ユニットは、例えば、被加工物１１の表面側が上方を向く様にフレームユニット１７を保持面１４ａに載せる。
【００５０】
開口４ｂに隣接する位置には、片持ち梁状の支持構造２０が配置されている。支持構造２０の上部の表面（前面）側には、加工ユニット（切削ユニット）１８をＹ軸方向（加工送り方向）に移動させるＹ軸移動機構２２が設けられている。
【００５１】
Ｙ軸移動機構２２は、支持構造２０の表面に配置されＹ軸方向に概ね平行な一対のＹ軸ガイドレール２４を備える。Ｙ軸ガイドレール２４には、Ｙ軸移動機構２２を構成するＹ軸移動プレート２６がスライド可能に取り付けられている。
【００５２】
Ｙ軸移動プレート２６の裏面（後面）側には、ナット部（不図示）が設けられている。このナット部には、一対のＹ軸ガイドレール２４の間でＹ軸ガイドレール２４に沿って設けられたＹ軸ボールネジ２８が回転可能な態様で連結している。
【００５３】
Ｙ軸ボールネジ２８の一端部には、Ｙ軸パルスモータ（不図示）が連結されており、Ｙ軸パルスモータでＹ軸ボールネジ２８を回転させれば、Ｙ軸移動プレート２６がＹ軸ガイドレール２４に沿ってＹ軸方向に移動する。
【００５４】
Ｙ軸移動プレート２６の表面（前面）側には、加工ユニット１８をＺ軸方向（加工送り方向）に移動させるＺ軸移動機構３０が設けられている。Ｚ軸移動機構３０は、Ｙ軸移動プレート２６の表面に配置されＺ軸方向に概ね平行な一対のＺ軸ガイドレール３２を備える。
【００５５】
Ｚ軸ガイドレール３２には、Ｚ軸移動プレート３４がスライド可能に取り付けられている。Ｚ軸移動プレート３４の裏面側には、ナット部（不図示）が設けられている。このナット部には、一対のＺ軸ガイドレール３２の間でＺ軸ガイドレール３２に沿って設けられたＺ軸ボールネジ３６が回転可能な態様で連結している。
【００５６】
Ｚ軸ボールネジ３６の一端部には、Ｚ軸パルスモータ３８が連結されており、Ｚ軸パルスモータ３８でＺ軸ボールネジ３６を回転させれば、Ｚ軸移動プレート３４は、Ｚ軸ガイドレール３２に沿ってＺ軸方向に移動する。
【００５７】
Ｚ軸パルスモータ３８の動作は、後述する制御部５０（図３参照）により制御される。Ｚ軸パルスモータ３８を駆動するための駆動パルスの数（パルス数）を制御部５０がカウントすることにより、Ｚ軸移動プレート３４の高さ位置（例えば、所定の基準位置に対する相対的なＺ軸移動プレート３４の高さ位置）は特定される。
【００５８】
Ｚ軸移動プレート３４の下部には、加工ユニット１８が連結されている。加工ユニット１８は、Ｙ軸方向に対して平行な回転軸となるスピンドル（不図示）と、スピンドルを部分的に収容する筒状のスピンドルハウジング１８ａとを備える。
【００５９】
スピンドルハウジング１８ａは、いわゆるエアベアリングによってスピンドルを回転可能な態様で支持できる。スピンドルハウジング１８ａの外部に露出するスピンドルの一端側には、切削ブレード１８ｂが装着される。
【００６０】
加工ユニット１８は、スピンドルの他端側に連結されたモータ等の回転駆動源（不図示）を更に備える。回転駆動源により高速に回転させた切削ブレード１８ｂをチャックテーブル１４に保持された被加工物１１に対して切り込ませながら、切削ブレード１８ｂとチャックテーブル１４とを相対的に移動させることで、被加工物１１は、この移動の経路に沿って切削加工される（図２参照）。
【００６１】
Ｘ軸方向において加工ユニット１８に隣接する位置には、スピンドルハウジング１８ａに対して固定されたカメラユニット１８ｃが設けられている。なお、スピンドルハウジング１８ａ及びカメラユニット１８ｃは、Ｚ軸移動プレート３４に対して固定されている。
【００６２】
カメラユニット１８ｃは、チャックテーブル１４に保持された被加工物１１を撮像するために用いられるが、本実施形態では、フレームユニット１７を保持していない状態の保持面１４ａ、フレームクランプユニット１６等を撮像するためにも用いられる。
【００６３】
開口４ｂに対して開口４ａと反対側の位置には、開口４ｃが設けられている。開口４ｃ内には、洗浄ユニット４２が配置されている。加工ユニット１８により加工された後の被加工物１１は、洗浄ユニット４２で洗浄される。
【００６４】
基台４の上方には、基台４の上面及び側面を覆うカバー４ｄが設けられている。カバー４ｄの側面には、タッチパネル４４が設けられている。タッチパネル４４は、オペレーターが加工装置２に指示を入力する入力装置と、被加工物１１や環状フレーム１５を撮像して得られる画像、加工条件等を表示する表示装置とを兼ねている。また、加工装置２に異常が生じた場合に、タッチパネル４４には警告及びエラーを示す表示（例えば、文字、記号、画像等）が表示される。
【００６５】
カバー４ｄの上面には、警告灯４６が設けられている。警告灯４６の所定の色のランプが点灯又は点滅することにより、加工装置２の異常がオペレーターに通知される。なお、本実施形態では、タッチパネル４４及び警告灯４６をまとめて報知部４８と称する。
【００６６】
但し、報知部４８は、加工装置２に異常が生じた場合に警報を発するスピーカー（不図示）を更に含んでもよい。また、報知部４８は、タッチパネル４４、警告灯４６及びスピーカーのいずれか一つであってもよい。
【００６７】
加工装置２は、コンピュータ等の制御部５０を有する。制御部５０は、例えば、相互に電気的に接続されるＣＰＵと、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスクドライブ等の記憶部分とを有する。ＣＰＵは、記憶部分に格納されたプログラム、データ等に基づいて演算処理等を行う。
【００６８】
制御部５０は、ＣＰＵが記憶部分に格納されたプログラムを読み込むことにより、ソフトウェアと上述のハードウェア資源とが協働した具体的手段として機能できる。制御部５０は、例えば、Ｘ軸移動機構、Ｙ軸移動機構２２、Ｚ軸移動機構３０、Ｚ軸パルスモータ３８、フレームクランプユニット１６等の動きを制御する駆動部（不図示）として機能する。駆動部は、例えば、Ｚ軸移動機構３０を動かすことによりカメラユニット１８ｃを上下方向に移動させて、カメラユニット１８ｃの高さ位置を調整する。
【００６９】
また、制御部５０は、カメラユニット１８ｃの撮像動作を制御する撮像部（不図示）としても機能する。更に、制御部５０は、カメラユニット１８ｃから受信した電気信号から画像を生成する画像生成部としても機能する。撮像素子で受光された光は光電変換された後、電気信号として画像生成部へ送られる。画像生成部は、受信した電気信号に基づいて画像を生成する。
【００７０】
制御部５０は、カメラユニット１８ｃから得られた情報を処理する情報処理部５０ａとしても機能する。なお、情報処理部５０ａは、必ずしも制御部５０と一体でなくてよく、制御部５０と電気的に接続された別のコンピュータにより実現されてもよい。
【００７１】
情報処理部５０ａは、保持面１４ａの画像に基づいて、撮像時のカメラユニット１８ｃの高さ位置の情報を基準高さとして登録する基準高さ登録部５２を含む。基準高さは、例えば、保持面１４ａにカメラユニット１８ｃの焦点が合ったときのカメラユニット１８ｃの高さである。焦点が保持面１４ａに合う高さ位置にカメラユニット１８ｃが位置付けられると、基準高さ登録部５２は、上述のパルス数から、カメラユニット１８ｃの高さ位置を特定する。
【００７２】
その後、基準高さ登録部５２は、カメラユニット１８ｃの高さ位置を上述の記憶部分に設定されている一の所定領域に登録する。この基準高さの登録は、例えば、チャックテーブル１４の点検、清掃又は交換のために、チャックテーブル１４を取り外した後、チャックテーブル１４を取り付けて加工を開始する前に行われる。
【００７３】
被加工物１１を保持面１４ａに載置した状態でカメラユニット１８ｃの焦点位置を被加工物１１の表面に合わせる場合に、基準高さを利用することで、基準高さを利用しない場合に比べて、比較的短時間で焦点位置を被加工物１１の表面に合わせることができる。
【００７４】
情報処理部５０ａは、環状フレーム１５をフレームクランプユニット１６で固定した状態で、押さえ部材１６ｄの上面１６ｅ（図２等参照）にカメラユニット１８ｃの焦点が合ったときのカメラユニット１８ｃの高さ位置の情報を測定高さとして記録する測定高さ記録部５４を更に含む。
【００７５】
焦点が上面１６ｅに合う高さ位置にカメラユニット１８ｃが位置付けられると、測定高さ記録部５４は、上述のパルス数から、カメラユニット１８ｃの高さ位置を特定する。その後、測定高さ記録部５４は、カメラユニット１８ｃの高さ位置を上述の記憶部分に設定されている他の所定領域に記録する。
【００７６】
なお、カメラユニット１８ｃの焦点を上面１６ｅに合わせるときには、例えば、金属製の押さえ部材１６ｄの上面１６ｅに形成されている傷等の凹凸が利用される。傷に代えて、押さえ部材１６ｄの輪郭や任意の形状に形成されたターゲットパターンが利用されてもよい。また、ターゲットパターンは、所定の記号、文字等が印刷された平坦な表面を有する印刷物であってもよい。
【００７７】
情報処理部５０ａは、基準高さと測定高さとを比較する判定部５６としても機能する。測定高さが基準高さよりも高いと判定された場合に、情報処理部５０ａは上述の報知部４８の動作を制御して、加工装置２に異常がある旨の判定結果を報知部４８に報知させる。
【００７８】
具体的には、情報処理部５０ａは、タッチパネル４４に警告及びエラーを示す表示を出させてよく、警告灯４６の所定の色のランプを点灯又は点滅させてよく、スピーカーから警報を出させてもよい。
【００７９】
次に、図３から図６を用いて、フレームクランプユニット１６の第１の検査方法について説明する。図３は、保持面撮像ステップ（Ｓ１０）及び基準高さ登録ステップ（Ｓ２０）を説明する図である。なお、図６は、フレームクランプユニット１６の検査方法のフロー図である。
【００８０】
まず、チャックテーブル１４にフレームユニット１７が保持されていない状態で、カメラユニット１８ｃによりチャックテーブル１４の保持面１４ａを撮像する（保持面撮像ステップ（Ｓ１０））。
【００８１】
次いで、保持面撮像ステップ（Ｓ１０）で得られた保持面１４ａの画像に基づいて、基準高さ登録部５２が、保持面撮像ステップ（Ｓ１０）でのカメラユニット１８ｃの高さ位置の基準高さを登録する（基準高さ登録ステップ（Ｓ２０））。
【００８２】
なお、第１の検査方法では、保持面撮像ステップ（Ｓ１０）で撮像された１又は複数の画像のうち、カメラユニット１８ｃの焦点が保持面１４ａに合わされた画像に対応するカメラユニット１８ｃの高さ位置を、基準高さ登録ステップ（Ｓ２０）において基準高さとして登録する。
【００８３】
基準高さ登録ステップ（Ｓ２０）の後、保持面１４ａ上にフレームユニット１７を載置し、フレームクランプユニット１６でフレームユニット１７の環状フレーム１５を固定する（固定ステップ（Ｓ３０））。図４は、固定ステップ（Ｓ３０）を説明する図である。図４では、フレームユニット１７の断面図とチャックテーブル１４の側面図とを示す。
【００８４】
固定ステップ（Ｓ３０）の後、環状フレーム１５をフレームクランプユニット１６で固定した状態で、カメラユニット１８ｃの焦点が押さえ部材１６ｄの上面１６ｅに合ったときの上面１６ｅを、カメラユニット１８ｃで撮像する（押さえ部材撮像ステップ（Ｓ４０））。
【００８５】
保持面撮像ステップ（Ｓ１０）だけでなく、押さえ部材撮像ステップ（Ｓ４０）でも、カメラユニット１８ｃを用いる。カメラユニット１８ｃは、被加工物１１のアライメントや被加工物１１の加工位置の検出等に利用されるカメラユニットであり、加工装置２には通常装備されている。それゆえ、押さえ部材撮像ステップ（Ｓ４０）用の別途のセンサ等を追加的に設置する必要が無く、別途のセンサ等のためのコストやスペースは不要である。
【００８６】
なお、腕部１６ｃに接続している押さえ部材１６ｄの固定端よりも、押さえ部材１６ｄの先端（即ち、自由端）側の方が変形しやすいので、カメラユニット１８ｃは、先端側の上面１６ｅを撮像する方が好ましい。
【００８７】
押さえ部材撮像ステップ（Ｓ４０）の後、押さえ部材撮像ステップ（Ｓ４０）でカメラユニット１８ｃの焦点が押さえ部材１６ｄの上面１６ｅに合ったときのカメラユニット１８ｃの高さ位置の測定高さを測定高さ記録部５４が記録する（測定高さ記録ステップ（Ｓ５０））。測定高さ記録ステップ（Ｓ５０）の後、判定部５６が、基準高さと測定高さとを比較する（比較ステップ（Ｓ６０））。
【００８８】
図５（Ａ）は、押さえ部材１６ｄの上面１６ｅが保持面１４ａよりも低い位置にある場合を示す図である。図５（Ａ）では、測定高さ（即ち、フレームクランプユニット１６の上面１６ｅの高さ位置）が、基準高さ（即ち、保持面１４ａの高さ位置）よりも低くなる。
【００８９】
測定高さが基準高さよりも低い位置にある場合（Ｓ６０でＹＥＳ）、フレームクランプユニット１６は正常に動作しており、且つ、押さえ部材１６ｄの形状は加工動作に支障がない形状（例えば、正常な形状）である。それゆえ、加工ステップ（Ｓ９０）に進む。
【００９０】
これに対して、比較ステップ（Ｓ６０）で測定高さが基準高さより高いと判定された場合（Ｓ６０でＮＯ）、情報処理部５０ａは、報知部４８に対して、加工装置２に異常がある旨の判定結果を報知させる（報知ステップ（Ｓ７０））。図５（Ｂ）は、押さえ部材１６ｄの上面１６ｅが保持面１４ａよりも高い位置にある場合を示す図である。図５（Ｂ）では、測定高さが基準高さよりも高くなる。
【００９１】
報知ステップ（Ｓ７０）を経て、オペレーターはフレームクランプユニット１６に異常があることが分かる。この場合、オペレーターは、タッチパネル４４等を介して制御部５０を操作してフレームクランプユニット１６の押さえ部材１６ｄを開放位置に移動させる。
【００９２】
その後、フレームユニット１７のＸ軸及びＹ軸方向の位置を修正した上で（修正・交換ステップ（Ｓ８０））、フレームクランプユニット１６に環状フレーム１５を再度クランプさせる（固定ステップ（Ｓ３０））。
【００９３】
そして、Ｓ４０、Ｓ５０及びＳ６０を経て、測定高さが基準高さよりも低い位置にある場合（Ｓ６０でＹＥＳ）、加工ステップ（Ｓ９０）に進む。しかしながら、エアアクチュエータ１６ｂに動作異常がある場合や、腕部１６ｃ、押さえ部材１６ｄ等自体が変形している場合には、固定ステップ（Ｓ３０）で再度クランプを行っても、測定高さが基準高さより高い場合（Ｓ６０でＮＯ）がある。
【００９４】
この場合、フレームクランプユニット１６自体を交換又は修理する（修正・交換ステップ（Ｓ８０））。そして、再度、固定ステップ（Ｓ３０）に進む。そして、Ｓ４０、Ｓ５０及びＳ６０を経て、測定高さが基準高さよりも低い位置にある場合（Ｓ６０でＹＥＳ）、加工ステップ（Ｓ９０）に進む。
【００９５】
この様に、測定高さと基準高さとを比較することで、エアアクチュエータ１６ｂ自体に異常はないが、押さえ部材１６ｄの高さ位置が保持面１４ａの高さ位置以下に収まっていない場合であっても、フレームクランプユニット１６の異常を検知できる。
【００９６】
また、被加工物１１を実際に加工する前に、エアアクチュエータ１６ｂの異常の有無を検査することにより、切削加工中に、フレームクランプユニット１６の異常が発生し、被加工物１１の加工を中断する事態を防ぐことができる。
【００９７】
次に、フレームクランプユニット１６の第２の検査方法について説明する。第２の検査方法では、基準高さ登録ステップ（Ｓ２０）で登録されるカメラユニット１８ｃの高さ位置の基準高さを、カメラユニット１８ｃの焦点が保持面１４ａに合ったときのカメラユニット１８ｃの高さ位置から所定長さ（例えば、０．５ｍｍ）だけ低い高さとする。係る点が、第１の検査方法と異なる。
【００９８】
第２の検査方法の比較ステップ（Ｓ６０）では、押さえ部材１６ｄの上面１６ｅの高さ位置と、保持面１４ａの高さ位置から所定長さだけ低い高さ位置とが比較される。それゆえ、押さえ部材１６ｄの上面１６ｅの高さ位置と、保持面１４ａの高さ位置とを比較する第１の検査方法に比べて、切削ブレード１８ｂ及びカメラユニット１８ｃがフレームクランプユニット１６に接触する危険性をより確実に排除できる。
【００９９】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。例えば、１つのフレームクランプユニット１６に限らず、複数又は全てのフレームクランプユニット１６の高さ位置を検査してもよい。
【０１００】
この場合、押さえ部材撮像ステップ（Ｓ４０）で、チャックテーブル１４を回転させることで、各押さえ部材１６ｄの上面１６ｅの高さ位置を撮像できる。つまり、Ｘ軸移動機構及びＹ軸移動機構２２を用いてカメラユニット１８ｃと押さえ部材１６ｄとの相対位置を調整する必要はない。
【符号の説明】
【０１０１】
２  加工装置
４  基台
４ａ，４ｂ，４ｃ  開口
４ｄ  カバー
６  カセットエレベータ
８  カセット
１０  テーブルカバー
１１  被加工物
１２  蛇腹状カバー
１２ａ  テーブル基台
１２ｂ  ロッド
１３  粘着テープ（ダイシングテープ）
１４  チャックテーブル
１４ａ  保持面
１５  環状フレーム
１５ａ  開口
１６  フレームクランプユニット
１６ａ  フレーム支持部
１６ｂ  エアアクチュエータ
１６ｃ  腕部
１６ｄ  押さえ部材
１６ｅ  上面
１７  フレームユニット
１８  加工ユニット
１８ａ  スピンドルハウジング
１８ｂ  切削ブレード
１８ｃ  カメラユニット
２０  支持構造
２２  Ｙ軸移動機構（割り出し送りユニット）
２４  Ｙ軸ガイドレール
２６  Ｙ軸移動プレート
２８  Ｙ軸ボールネジ
３０  Ｚ軸移動機構
３２  Ｚ軸ガイドレール
３４  Ｚ軸移動プレート
３６  Ｚ軸ボールネジ
３８  Ｚ軸パルスモータ
４２  洗浄ユニット
４４  タッチパネル
４６  警告灯
４８  報知部
５０  制御部
５０ａ  情報処理部
５２  基準高さ登録部
５４  測定高さ記録部
５６  判定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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