(57)【要約】【課題】高温環境下での電気的試験に対応でき、確実に位置決めできるようにする。【解決手段】本発明の電気的接触子は、本体部と、本体部から連続して上方に延出した上部基部と、上部基部から横方向に延出した上部支持部と、上部支持部から上方に延出して第１の接触対象と電気的に接触する第１の先端部とを有する片持ち梁構造の上部アーム部と、本体部から連続して下方に延出した下部基部と、下部基部から横方向に延出した下部支持部と、下部支持から下方に延出して第２の接触対象と電気的に接触する第２の先端部とを有する片持ち梁構造の下部アーム部と、本体部の一方端部から上方に延出した第１の位置決め部と、本体部の他方端部付近から上方に延出した第２の位置決め部とを備える。【選択図】      図１
2020169928.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電部材で形成された板状の本体部と、
前記本体部から一体的に連続して上方に延出した上部基部と、前記上部基部から前記本体部に沿って横方向に延出した上部支持部と、前記上部支持部から垂直上方に延出して第１の接触対象と電気的に接触する第１の先端部とを有する片持ち梁構造の上部アーム部と、
前記本体部から一体的に連続して下方に延出した下部基部と、前記下部基部から前記本体部に沿って横方向に延出した下部支持部と、前記下部支持から垂直下方に延出して第２の接触対象と電気的に接触する第２の先端部とを有する片持ち梁構造の下部アーム部と、
前記本体部の一方の端部から上方に延出した第１の位置決め部と、
前記本体部の他方の端部付近から上方に延出した第２の位置決め部と
を備えることを特徴とする電気的接触子。
【請求項２】
前記上部アーム部が、前記本体部の長手方向の中央部よりも前記一方の端部側に設けられており、
前記下部アーム部が、前記本体部の長手方向の中央部よりも前記他方の端部側に設けられており、
前記上部アーム部の前記第１の先端部が、前記下部アーム部の前記第２の先端部の位置よりも前記一方の端部側に位置している
ことを特徴とする請求項１に記載の電気的接触子。
【請求項３】
前記上部アーム部が、前記本体部の長手方向の中央部よりも前記他方の端部側に設けられており、
前記下部アーム部が、前記本体部の長手方向の中央部よりも前記他方の端部側に設けられており、
前記上部アーム部の前記第１の先端部が、前記下部アーム部の前記第２の先端部の位置の上方に位置している
ことを特徴とする請求項１に記載の電気的接触子。
【請求項４】
前記上部アーム部が、前記本体部の長手方向の中央部よりも前記一方の端部側に設けられており、
前記下部アーム部が、前記本体部の長手方向の中央部よりも前記他方の端部側に設けられており、
前記上部アーム部の前記第１の先端部が、前記本体部の前記一方の端部に設けた前記第１の位置決め部の位置よりも外側に位置している
ことを特徴とする請求項１に記載の電気的接触子。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の複数の電気的接触子と
前記複数の電気的接触子の間に挟まれた絶縁部材と
を備えることを特徴とする電気的接触子。
【請求項６】
配線が形成された基板と、前記基板上に請求項１〜５のいずれかに記載の複数の電気的接触子を収容するハウジング部と、前記ハウジング部に収容される前記複数の電気的接触子と接触可能な位置に被検査体を収容する被検査体収容部とを備え、前記各電気的接触子を介して、前記被検査体の電極部と前記基板の前記配線との間を電気的に接続させる電気的接続装置において、
前記ハウジング部が、前記複数の電気的接触子を収容する収容内部の上面に、前記各電気的接触子の一方の端部にある第１の位置決め部を収容する第１の穴部と、前記各電気的接触子の他方の端部側にある第２の位置決め部を収容する第２の穴部とを備えることを特徴とする電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気的接続装置に関し、例えば、被検査体の通電試験に用いる電気的接触子及び電気的接続装置に適用し得るものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、集積回路の製造過程では、パッケージされた集積回路について、例えばパッケージテスト、ファイナルテスト等と呼ばれる電気的特性の検査が行なわれる。そのような検査では、被検査体である集積回路を着脱可能に保持した状態で、その保持した集積回路の電極端子に電気的接触子を電気的接触させる電気的接続装置（いわゆるテストソケット等）が用いられる。電気的接続装置に装着された集積回路は、この電気的接続装置を介して検査装置（テスタ）に電気的に接続され、電気的特性の検査が行われる。
【０００３】
特許文献１には、ＩＣデバイスの検査に使用される電気相互接続アッセンブリーが開示されている。電気相互接続アッセンブリーは複数の検査接点（電気的接触子）を有しており、各電気的接触子は、被検査体の電極端子を電気的に接続する第１電気接続部と、配線基板上の検査端子を電気的に接続するための第２電気接続部とを有する。複数の電気的接触子は、その配列方向に沿って、例えばエラストマ等で形成された、略円筒形状の付勢部材で支持されており、付勢部材は、第１電気接続部と第２電気接続部に弾性力を作用させることで、第１電気接続部と被検査体の電極端子との電気的接続性、第２電気接続部と配線基板の検査端子との電気的接続性を保持している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−５１６１５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、高温対応の集積回路の電気的特性を検査するためには、高温環境下で集積回路を検査することが要求されるが、特許文献１の記載技術のように、エラストマ等の付勢部材を有しているものは、高温環境下で当該部材が劣化し、電気的接触子と被検査体の電極端子との接触荷重が低下してしまうおそれがある。したがって、高温環境下で、電気的接触子と、被検査体の電極端子及び検査端子とが高荷重で電気的に接触させることが望まれる。
【０００６】
また、被検査体の電極端子と基板の端子とのそれぞれに電気的に接触させる複数の電気的接触子を電気的接続装置に装着する際、各電気的接触子の位置合わせの精度を向上させることが望まれる。
【０００７】
そのため、本発明は、高温環境下での電気的試験に対応可能であり、簡単かつ確実に位置決めすることができる電気的接触子及び電気的接続装置が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
かかる課題を解決するために、第１の本発明の電気的接触子は、（１）導電部材で形成された板状の本体部と、（２）本体部から一体的に連続して上方に延出した上部基部と、上部基部から本体部に沿って横方向に延出した上部支持部と、上部支持部から垂直上方に延出して第１の接触対象と電気的に接触する第１の先端部とを有する片持ち梁構造の上部アーム部と、（３）本体部から一体的に連続して下方に延出した下部基部と、下部基部から本体部に沿って横方向に延出した下部支持部と、下部支持から垂直下方に延出して第２の接触対象と電気的に接触する第２の先端部とを有する片持ち梁構造の下部アーム部と、（４）本体部の一方の端部から上方に延出した第１の位置決め部と、（５）本体部の他方の端部付近から上方に延出した第２の位置決め部とを備えることを特徴とする。
【０００９】
第２の本発明の電気的接触子は、第１の本発明の２個の電気的接触子と、複数の電気的接触子の間に挟まれた絶縁部材とを備えることを特徴とする。
【００１０】
第３の本発明の電気的接続装置は、配線が形成された基板と、基板上に第１の本発明の複数の電気的接触子を収容するハウジング部と、ハウジング部に収容される前記複数の電気的接触子と接触可能な位置に被検査体を収容する被検査体収容部とを備え、各電気的接触子を介して、被検査体の電極部と前記基板の配線との間を電気的に接続させる電気的接続装置において、ハウジング部が、複数の電気的接触子を収容する収容内部の上面に、各電気的接触子の一方の端部にある第１の位置決め部を収容する第１の穴部と、各電気的接触子の他方の端部側にある第２の位置決め部を収容する第２の穴部とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、高温環境下での電気的試験に対応可能であり、簡単かつ確実に位置決めすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施形態に係る電気的接続装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図３】実施形態の上部ハウジング部の上面構成を示す構成図である。
【図４】実施形態の上部ハウジング部の上面にフローティングガイド部を設けた状態の構成を示す構成図である。
【図５】実施形態の下部ハウジング部の下面の構成を示す構成図である。
【図６】実施形態の上部ハウジング部と下部ハウジング部に収容される電気的接触子の構成を示す構成図である。
【図７】電気的接触子の構成の変形例（その１）を示す構成図である。
【図８】電気的接触子の構成の変形例（その２）を示す構成図である。
【図９】変形実施形態の電気的接触子の構成を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
（Ａ）主たる実施形態
以下では、本発明に係る電気的接続子及び電気的接続装置の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１４】
（Ａ−１）実施形態の構成
［電気的接続装置］
以下では、図１〜図５を参照して、電気的接続装置の構成を説明する。
【００１５】
図１は、この実施形態に係る電気的接続装置の全体構成を示す斜視図である。図２は、図１のＡ−Ａ矢視断面図である。図２の被検査体２のうち左側半分は被検査体２の電極端子２１が電気的接触子１３に接触していない状態を示しており、被検査体２の右側半分は被検査体２が押し込まれて、被検査体２の電極端子２１が電気的接触子１３に接触している状態を示している。図３は、上部ハウジング部１１１の上面構成を示す構成図であり、図４は、上部ハウジング部１１１の上面にフローティングガイド部１１３を設けた状態の構成を示す構成図であり、図５は、下部ハウジング部１１２の下面の構成を示す構成図である。
【００１６】
図１に示すように、電気的接続装置１は、テスト基板に固定される基台１１と、基台１１に収容された被検査体２を固定すると共に、基台１１に対して開閉自在に設けられたカバー１２とを有する。
【００１７】
電気的接続装置１は、例えばＩＣパッケージ等の被検査体２の電気的特性の試験に用いられる。より具体的に、電気的接続装置１は、被検査体２としての集積回路の電気的試験（例えばパッケージテストやファイナルテスト等）に用いる試験用ＩＣソケットとして用いられる。
【００１８】
電気的接続装置１の基台１１には、被検査体２の電極端子２１（第１の接触対象）と接触する複数の電気的接触子１３（図２参照）が搭載されており、基台１１の中央部に被検査体２が装着され、カバー１２が閉状態となることで、被検査体２が押し込まれ、被検査体２の電極端子２１が各電気的接触子１３の先端部５４に電気的接触した状態となる。そして、電気的接続装置１の基台１１側が基板３上に設けられ、電気的接触子１３の下端部が配線パターン３１（第２の接触対象）と電気的に接触して、被検査体２の電気的特性が試験される。
【００１９】
図２に示すように、電気的接続装置１が取り付けられる基板３は、例えば電気絶縁部材で形成された配線基板である。基板３の上面には、例えば印刷配線技術により導電性を有する金属材料からなる配線パターン３１が形成されている。配線パターン３１は、検査装置（図示省略）の配線パターンと接続しており、配線パターン３１が形成された基板３の表面上に、電気的接続装置１の基台１１が固定される。
【００２０】
配線パターン３１は、電気的接続装置１の基台１１に搭載される各電気的接触子１３の位置と対応する位置に形成される。すなわち、配線パターン３１は、基板３上であって、各電気的接触子１３の下部アーム部１３５の先端部６３と電気的に接続するように形成されている。
【００２１】
図２に示すように、基台１１は、下部ハウジング部１１２と、下部ハウジング部１１２の上面に設けられる上部ハウジング部１１１と、上部ハウジング部１１１の中央部に設けられるフローティングガイド部１１３と、フレーム部１１４とを有する。
【００２２】
フレーム部１１４は、電気絶縁部材で形成されており、上部ハウジング部１１１の上面に設けられるフローティングガイド部１１３の上面周縁を係止した状態で、上部ハウジング部１１１の上面に固定されている。
【００２３】
図４に示すように、フローティングガイド部１１３の中央部には、被検査体２を脱着可能に装着する凹形状の被検査体収容部１１３ｂがある。この被検査体収容部１１３ｂは、収容された被検査体２の位置決めを確実にするため、基板３に対して垂直な収容壁面を有する。また、フローティングガイド部１１３には、凹形状の被検査体収容部１１３ｂの両サイドには、被検査体収容部１１３ｂの凹形状と連なって形成された凹部１１３ｃがある。被検査体収容部１１３ｂの両サイドに設けられた各凹部１１３ｃの底部には、複数のスリット１１３ａが設けられている。
【００２４】
複数のスリット１１３ａの下側には、電気的接触子１３が配置されており、電気的接触子１３の先端部５４が各スリット１１３ａから突出し、電気的接触子１３の先端部５４が被検査体２の電極端子２１と電気的に接触する。複数のスリット１１３ａは、被検査体２の複数の電極端子２１の位置と対応する位置に配列されており、隣り合うスリット１１３ａ同士は、隔壁によって区画されている。
【００２５】
上部ハウジング部１１１と下部ハウジング部１１２とは、電気的絶縁部材で形成されており、複数の電気的接触子１３を収容する部材である。より具体的には、上部ハウジング部１１１と下部ハウジング部１１２との間に複数の電気的接触子１３を配列させて、複数の電気的接触子１３を収容した状態で、上部ハウジング部１１１と下部ハウジング部１１２とを固定部材（例えばネジ等）で固定する。このようにして、上部ハウジング部１１１と下部ハウジング部１１２との間に複数の電気的接触子１３を収容する。
【００２６】
図２に示すように、上部ハウジング部１１１の下面には、複数の電気的接触子１３を収容するために第１の窪み部４０が設けられている。さらに、上部ハウジング部１１１の第１の窪み部４０の上面には、下方から上方に向けて設けられた穴部４１及び穴部４２が設けられている。
【００２７】
穴部４１と穴部４２は、収容される各電気的接触子１３の２つの位置決め部である第１の位置決め部１３２と第２の位置決め部１３３の位置と対応する位置にあり、各電気的接触子１３が収容される際に、各電気的接触子１３の２つの第１の位置決め部１３２と第２の位置決め部１３３が穴部４１と穴部４２とに差し込まれる。これにより、収容する各電気的接触子１３の位置決めを確実にすることができ、各電気的接触子１３の位置精度を高めることができる。また、各電気的接触子１３の第１の位置決め部１３２と第２の位置決め部１３３を、それぞれ対応する穴部４１と穴部４２に差し込むだけでよいため、簡単に各電気的接触子１３をセットすることができると共に、各電気的接触子１３の姿勢を安定化でき、被検査体２の電極端子２１と各電気的接触子１３の先端部５４との電気的接触を確実にすることができる。
【００２８】
なお、上部ハウジング部１１１の第１の窪み部４０に設ける穴部４１と穴部４２は、上部ハウジング部１１１の厚さ方向に貫通していない穴部である場合を例示するが、穴部４１と穴部４２は、上部ハウジング部１１１の厚さ方向に貫通している貫通孔としてもよい。換言すると、各電気的接触子１３の位置決めを確実にするために、各電気的接触子１３の第１の位置決め部１３２と第２の位置決め部１３３を差し込むことができる構造であれば、穴部４１と穴部４２は、貫通孔であっても良いし、非貫通孔であってもよい。
【００２９】
図３に示すように、上部ハウジング部１１１の上面には、略四角形の開口である１対の開口部１１１ａが設けられている。各開口部１１１ａは、被検査体２の電極端子２１の位置と対応する位置に設けられ、各開口部１１１ａの下側には、位置決めされた複数の電気的接触子１３が配置されている。つまり、位置決めされた各電気的接触子１３の上部アーム部１３４が開口部１１１ａから突出し、その上部アーム部１３４の先端部５４が被検査体２の電極端子２１と電気的に接触する。被検査体２が押し下げられ、被検査体２の電極端子２１が各電気的接触子１３の先端部５４に接触する際、各電気的接触子１３の上部アーム部１３４が上下方向に弾性的に被検査体２を支持するため、上部アーム部１３４が変形する。このように変形した上部アーム部１３４と周辺部材との接触を回避するために、各開口部１１１ａが設けられている。
【００３０】
図２に示すように、下部ハウジング部１１２には、厚さ方向に窪んだ第２の窪み部４５が設けられている。下部ハウジング部１１２の上面のうち、第２の窪み部４５の周囲部分は、セットされた各電気的接触子１３の本体部１３１を下方から支持する支持部４６として作用し、第２の窪み部４５には、各電気的接触子１３の下部アーム部１３５が収容される。
【００３１】
つまり、下部ハウジング部１１２の第２の窪み部４５の周囲部分である支持部４６に電気的接触子１３の左右端部が引っ掛かるように、電気的接触子１３が置かれた状態となり、電気的接触子１３が収容される。したがって、第２の窪み部４５の左右方向の長さは、各電気的接触子１３の本体部１３１の左右方向の長さよりも短くなっており、位置決めされた各電気的接触子１３の両端部を、下部ハウジング部１１２の支持部４６が支持できるようになっている。
【００３２】
下部ハウジング部１１２の第２の窪み部４５の底部には、複数の孔部１１２ａが設けられている。図５に示すように、複数の孔部１１２ａから、各電気的接触子１３の下部アーム部１３５の先端部６３が突出するようになっている。各孔部１１２ａは、基板３上の配線パターン３１の位置と対応する位置に設けられており、各孔部１１２ａから突出する各電気的接触子１３の先端部６３と配線パターン３１とが確実に電気的に接触する。
【００３３】
［電気的接触子］
次に、図６を参照して、電気的接触子１３の構成を説明する。図６は、上部ハウジング部１１１と下部ハウジング部１１２に収容される電気的接触子１３の構成を示す構成図である。
【００３４】
電気的接触子１３は、板状の本体部１３１と、被検査体２の電極端子２１と電気的に接触する上部アーム部１３４と、基板３の配線パターン３１と電気的に接触する下部アーム部１３５と、本体部１３１の一方の端部（図６では、左端部）に設けられた第１の位置決め部１３２と、本体部１３１の他方の端部（図６では、右端部）側に設けられた第２の位置決め部１３３とを有する。
【００３５】
電気的接触子１３は、例えば全体が薄い板状の導電性部材で形成されている。電気的接触子１３は、全体が金属部材で形成されても良いし、基材の表面に金属材でメッキ加工されていてもよい。
【００３６】
電気的接触子１３が、被検査体２側と電気的に接触する上部アーム部１３４と、基板３側と電気的に接触する下部アーム部１３５とを備え、電気的接触子１３全体が、金属部材等の導電性部材で形成されることにより、被検査体２の高温環境（例えば、１５０℃以上の環境）での電気的試験にも対応できる。つまり、従来、エラストマ等の付勢部材を用いて、複数の電気的接触子を支持するような構造もあったが、高温環境下でこのような付勢部材を用いた場合には、付勢部材が劣化してしまい対応できないことがあったが、この実施形態の電気的接触子１３とすることで、高温環境下での電気的試験にも対応できる。
【００３７】
本体部１３１は、板状の部材であり、上部ハウジング部１１１の下面に設けられた第１の窪み部４０に収容される。本体部１３１の上下方向（高さ方向）の長さは、第１の窪み部４０の上下方向（上部ハウジング部１１１の厚さ方向）の長さと同程度若しくはわずかに小さく形成されている。
【００３８】
第１の位置決め部１３２は、本体部１３１の一方の端部（左端部）に位置しており、本体部１３１の端部から垂直上方に延びた凸形状の部分である。第２の位置決め部１３３は、本体部１３１の他方の端部（右端部）から、わずかに本体部１３１の中央部に寄った位置にあり、垂直上方に延びた凸形状の部分である。
【００３９】
第１の位置決め部１３２と第２の位置決め部１３３の径は、穴部４１と穴部４２の径よりもわずかに小さく形成されており、電気的接触子１３が収容される際には、第１の位置決め部１３２が上部ハウジング部１１１の穴部４１に差し込まれ、第２の位置決め部１３３が上部ハウジング部１１１の穴部４２に差し込まれることで、電気的接触子１３の位置決めを確実にすることができる。
【００４０】
つまり、電気的接触子１３の両端部側に、２つの位置決め部として第１の位置決め部１３２と第２の位置決め部１３３とを備え、第１の位置決め部１３２と第２の位置決め部１３３とを穴部４１及び穴部４２に差し込むだけで、電気的接触子１３の位置決めを簡単かつ確実にすることができる。
【００４１】
第１の位置決め部１３２の下方である本体部１３１の下面は、下部ハウジング部１１２の上面である支持部４６と接触して、当該支持部４６により支持される第１の下部接触部１３８がある。また、本体部１３１の他方の端部の下方には、下部ハウジング部１１２の上面である支持部４６と接触して、当該支持部４６に支持される第２の下部接触部１３９がある。
【００４２】
第１の下部接触部１３８と第２の下部接触部１３９が、下部ハウジング部１１２の上面である支持部４６に支持されることにより、収容された電気的接触子１３の姿勢（収容状態）を安定して保持すると共に、精度良く位置決めされた電気的接触子１３の状態を維持することができる。また、被検査体２が押し込まれ、被検査体２の電極端子２１が上部アーム部１３４の先端部５４に接触したときに、電気的接触子１３には下向き荷重がかかるが、第１の下部接触部１３８及び第２の下部接触部１３９が支持部４６に支持されることで、下向き荷重に対応することができる。
【００４３】
第１の位置決め部１３２と上部アーム部１３４の上部基部５１との間の本体部１３１の上部には、上部ハウジング部１１１の第１の窪み部４０の下面と接触可能な第１の上部接触部１３６がある。また、本体部１３１の他方の端部（右端部）の上部には、第１の窪み部４０の下面と接触可能な第２の上部接触部１３７がある。
【００４４】
被検査体２の押し込み荷重が電気的接触子１３に生じたときに、第１の上部接触部１３６と第２の上部接触部１３７が上部ハウジング部１１１の上面に当たることで、電気的接触子１３の浮き上がりを抑えることができる。つまり、後述するように、上部アーム部１３４の先端部５４は、電気的接触子１３の第１の位置決め部１３２の位置の上方に位置しているので、被検査体２の押し込み荷重が作用したときには、電気的接触子１３の右側端部の浮き上がりが生じ得るが、第１の上部接触部１３６及び第２の上部接触部１３７が上部ハウジング部１１１の上面と当たることで、電気的接触子１３の右側端部の浮き上がりを抑える。
【００４５】
上部アーム部１３４は、本体部１３１から垂直上方に延びる上部基部５１と、上部基部５１から横方向（図６の右方向）に延びて円弧状に湾曲する湾曲部５２と、湾曲部５２から横方向（図６の左方向）に延びる支持部５３と、支持部５３の端部が垂直上方に向けて延びる先端部５４とを有する。
【００４６】
上部アーム部１３４は、片持ち梁構造で形成されている。したがって、被検査体２が押しこまれ、被検査体２の電極端子２１が先端部５４と接触すると、先端部５４が下がり、支持部５３が上下方向に撓むので、上部アーム部１３４は上下方向に弾性を有する。これにより、被検査体２の電極端子２１と先端部５４とが確実に電気的接触することになる。
【００４７】
下部アーム部１３５は、本体部１３１から垂直下方に延びかつ円弧状に湾曲する下部基部６１と、湾曲している下部基部６１から横方向（図６の左方向）に延びる支持部６２と、支持部６２の端部が垂直下方に向けて延びる先端部６３とを有する。
【００４８】
下部アーム部１３５は、片持ち梁構造で形成されている。したがって、被検査体２が押し下げられ、被検査体２が上部アーム部１３４と接触すると、荷重が下部アーム部１３５にもかかるが、支持部６２が上下方向に撓むので、下部アーム部１３５が弾性を有する。そのため、先端部６３が基板３の配線パターン３１に確実に電気的に接触することになる。
【００４９】
［電気的接触子の変形例（その１）］
図７は、電気的接触子の構成の変形例（その１）を示す構成図である。
【００５０】
図７に示す電気的接触子を「電気的接触子１３Ａ」と呼んで説明する。また、以下では、図７の電気的接触子１３Ａと、図６の電気的接触子１３とを比較しながら異なる点を中心に説明する。
【００５１】
図７の電気的接触子１３Ａの基本的な構成は、図６の電気的接触子１３の構成と同じであるが、図７の電気的接触子１３Ａの先端部５４の位置が、図６の電気的接触子１３の先端部５４の位置と異なる。
【００５２】
図６の電気的接触子１３は、上部アーム部１３４の先端部５４が、下部アーム部１３５の先端部６３の位置よりも、左側（すなわち、被検査体２の電極端子２１側）に位置している。
【００５３】
これに対して、図７の電気的接触子１３Ａは、上部アーム部１３４の先端部５４が、下部アーム部１３５の先端部６３の位置とほぼ同じ位置に位置している。
【００５４】
図６の電気的接触子１３は、比較的サイズが小さい被検査体２に対応することができる。これに対して、図７の電気的接触子１３は、図６の電気的接触子１３が対応可能な被検査体２よりもサイズの大きい被検査体２に対応することができる。
【００５５】
被検査体２のサイズが小さい場合、被検査体収容部１１３ｂに収容される被検査体２の電極端子２１の位置が、被検査体収容部１１３ｂの中央部に寄った位置にあるので、上部アーム部１３４の先端部５４の位置を、被検査体収容部１１３ｂの中央部側（被検査体２側）に引き出すことが必要となる。したがって、図６の電気的接触子１３は、上部アーム部１３４の位置を基台１１の中央部側、すなわち本体部１３１の中央部よりも左側側としている。これにより、上部アーム部１３４の先端部５４の位置が、下部アーム部１３５の先端部６３の位置よりも左側となるようにしている。
【００５６】
これに対して、被検査体２のサイズが大きくなれば、被検査体収容部１１３ｂに主要される被検査体２の電極端子２１の位置が、被検査体収容部１１３ｂの中央部よりも外側に位置することになる。したがって、図７の電気的接触子１３Ａは、上部アーム部１３４の位置を本体部１３１の中央部付近としているので、上部アーム部１３４の先端部５４の位置が、下部アーム部１３５の先端部６３の位置とほぼ同じ位置としている。
【００５７】
いずれにしても、実施形態のように、上部アーム部１３４と下部アーム部１３５とを備える電気的接触子１３及び１３Ａによれば、被検査体２の大きさに応じて、上部アーム部１３４の位置を調整することにより、被検査体２の電極端子２１と接触する先端部５４の位置を調整することができる。
【００５８】
なお、図６及び図７では、被検査体２の電極端子２１と電気的に接触させる上部アーム部１３４の先端部５４の位置を調整する場合を例示したが、下部アーム部１３５の位置についても調整するようにしてもよい。
【００５９】
［電気的接触子の変形例（その２）］
図８は、電気的接触子の構成の変形例（その２）を示す構成図である。
【００６０】
図８に示す電気的接触子を「電気的接触子１３Ｂ」と呼んで説明する。また、以下では、図８の電気的接触子１３Ｂと、図６及び図７の電気的接触子１３及び１３Ａとを比較しながら異なる点を中心に説明する。
【００６１】
図８の電気的接触子１３Ｂの上部アーム部１３４Ｂが、本体部１３１の垂直上方に延びる上部基部５５と、上部基部５５から円弧状に湾曲して横方向（図８の左方向）に延びる支持部５３と、支持部５３の端部が垂直上方に向けて延びる先端部５４とを有する。
【００６２】
図８の電気的接触子１３Ｂは、上部アーム部１３４の先端部５４の位置を、図６の電気的接触子１３の先端部５４の位置よりも、更に被検査体収容部１１３ｂの中央部側に位置させることができる。換言すると、図８の電気的接触子１３Ｂは、図６の電気的接触子１３が対応可能なサイズの被検査体２よりも、さらに小さなサイズの被検査体２にも対応することができる。
【００６３】
また、図８の電気的接触子１３Ｂは、上部アーム部１３４Ｂが、本体部１３１に対して垂直上方に延びる上部基部５５と、支持部５３と、支持部５３に対して垂直上方に延びる先端部５４とからなるので、スリット１１３ａから突出させる先端部５４の位置精度がより向上する。つまり、スリット１１３ａから突出する先端部５４の位置精度が高くあり、かつ、被検査体２の電極端子２１が先端部５４に接触すると、先端部５４が垂直下方にまっすぐ下がるので、被検査体２の電極端子２１に接触させる電気的接触子１３Ｂの先端部５４の位置精度が確実になる。
【００６４】
（Ａ−２）実施形態の効果
以上のように、この実施形態によれば、電気的接触子が、被検査体側と電気的に接触させる片持ち梁構造の上部アーム部と、基板端子側と電気的に接触させる片持ち梁構造の下部アーム部とを有する構造としたことで、高温環境下での被検査体の電気的試験に対応することができる。
【００６５】
また、この実施形態によれば、導電性部材を加工して、片持ち梁構造の上部アーム部と片持ち梁構造の下部アーム部とを有する電気的接触子とすることで、上部アーム部と被検査体の電極端子の接触抵抗、下部アーム部と基板端子との接触抵抗を安定化させることができる。
【００６６】
さらに、この実施形態によれば、電気的接触子が２つの位置決め部を備えることとしたので、被検査体の電極端子に対する先端部の位置決め精度を高めることができる。その結果、被検査体の電極端子と電気的接触子の先端部との電気的接触を確実にすることができる。
【００６７】
（Ｂ）他の実施形態
上述した実施形態においても種々の変形実施形態を言及したが、本発明は、以下の変形実施形態にも適用できる。
【００６８】
図９は、変形実施形態に係る電気的接触子の構成を示す構成図である。
【００６９】
図９において、変形実施形態の電気的接触子１３Ｃは、２個の電気的接触子１３と、２個の電気的接触子１３の間に設けた絶縁部材７とを有する。
【００７０】
絶縁部材７は、例えば絶縁性のフィルム、板状の絶縁部材等を用いることができる。絶縁部材７の形状は、電気的接触子１３の形状に応じて適宜設計することができるが、例えば図９の場合、２個の電気的接触子１３の本体部１３１、上部アーム部１３４、下部アーム部１３５との間で導通しないような形状とする。
【００７１】
２個の電気的接触子１３はそれぞれ、図６の電気的接触子１３と同じ構造である。２個の電気的接触子１３のうち、一方の電気的接触子１３と、他方の電気的接触子１３との間に、絶縁部材７を挟み込んだ構造としている。つまり、２個の電気的接触子１３の間に絶縁部材７を挟み込むことで、２個の電気的接触子１３はそれぞれ互いに導通しないようにしている。
【００７２】
これにより、例えば、被検査体２について４端子測定（例えばケルビン接続測定）を行なう場合に、被検査体２が４端子測定用の各電極端子２１に、電気的接触子１３Ｃを構成する各電気的接触子１３の上部アーム部１３４の先端部５４を接触させて測定することができる。
【００７３】
なお、図９では、図６の電気的接触子１３を用いた場合を例示しているが、これら電気的接触子１３に代えて、図７の電気的接触子１３Ａ、図８の電気的接触子１３Ｂを用いるようにしてもよい。
【００７４】
図９のような電気的接触子１３Ｃの構造とすることで、被検査体２のケルビン測定の際に電気的接触子１３Ｃを用いることができる。
【符号の説明】
【００７５】
１…電気的接続装置、１１…基台、１２…カバー、１１１…上部ハウジング部、１１１ａ…開口部、１１２…下部ハウジング部、１１２ａ…孔部、１１３…フローティングガイド部、１１３ａ…スリット、１１３ｂ…被検査体収容部、１１３ｃ…凹部、１１４…フレーム部、
１３、１３Ａ、１３Ｂ及び１３Ｃ…電気的接触子、１３１…本体部、１３２…第１の位置決め部、１３３…第２の位置決め部、１３４、１３４Ａ及び１３４Ｂ…上部アーム部１３４…下部アーム部、１３６…第１の上部接触部、１３７…第２の上部接触部、１３８…第１の下部接触部、１３９…第２の下部接触部、
５１及び５５…上部基部、５２…湾曲部、５３…支持部、５４…先端部、６１…下部基部、６２…支持部、６３…先端部、
２…被検査体、２１…電極端子、３…基板、３１…配線パターン、
４０…第１の窪み部、４１…穴部、４２…穴部、４５…第２の窪み部、４６…支持部、７…絶縁部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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