(57)【要約】      （修正有）【課題】主軸シャフトや円盤状回転部に静電気が生じても可動部材を通じてグランドに逃がすことができる安全性に優れた主軸装置を提供する。【解決手段】主軸装置２０では、主軸ハウジング２４に取り付けられ、円盤状回転部としてのチャック部３０の外周面を覆うカバー部材２８に可動部材９０が設けられる。可動部材９０は、カバー部材２８に形成される流路２８ａに流れるガスにより可動してチャック部３０に接触する。この可動部材９０は、グランドＧと電気的に接続される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
主軸ハウジングと、
前記主軸ハウジングの内部で回転可能に支持される導電性の主軸シャフトと、
前記主軸シャフトの一端に対して、前記主軸ハウジングにおける前記主軸シャフトの一端側の表面上で回転可能に設けられる導電性の円盤状回転部と、
前記主軸ハウジングに取り付けられ、前記円盤状回転部の外周面を覆うカバー部材と、
前記カバー部材に形成され、前記カバー部材の外部から前記円盤状回転部と前記カバー部材との間の隙間にガスを流すための流路と、
前記カバー部材または前記主軸ハウジングに設けられ、グランドと電気的に接続され、前記流路に流れる前記ガスにより可動して前記円盤状回転部に接触する導電性の可動部材と、
を備える主軸装置。
【請求項２】
請求項１に記載の主軸装置であって、
前記流路は、前記隙間をシールする前記ガスを流すための流路である、主軸装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の主軸装置であって、
前記可動部材は、可撓性を有し、前記流路に流れる前記ガスにより撓むことで、前記円盤状回転部に接触する、主軸装置。
【請求項４】
請求項１〜３いずれか１項に記載の主軸装置であって、
前記可動部材は、板状に形成され、前記可動部材の一端側が前記カバー部材に着脱可能に固定され、前記可動部材の他端側が前記流路に流れる前記ガスにより可動する、主軸装置。
【請求項５】
請求項４に記載の主軸装置であって、
前記可動部材の他端側は、前記流路の流出口の一部を塞ぐように配置される、主軸装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工具を用いて加工対象物を加工する旋盤機（工作機械）に用いられる主軸装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークに対する加工中に生じる熱に起因して主軸シャフトを収容する主軸ハウジングなどが熱変形し、その熱変形により加工精度が低下する場合がある。このため、熱変形を抑制する対策が重要となる。
【０００３】
例えば、下記の特許文献１には、ハウジングおよび主軸にそれぞれ冷却液流路を設け、ハウジング内の冷却液流路と主軸内の冷却液流路との間で冷却液を受け渡して、主軸内に冷却液を流すことで主軸を冷却する冷却構造が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−２４０４２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで特許文献１では、主軸ハウジングの内部で主軸シャフトが軸受により支持されている。この軸受が静圧軸受である場合、主軸ハウジングの内部で主軸シャフトが非接触で支持されており、当該主軸ハウジングと主軸シャフトとは絶縁状態にある。この場合、主軸シャフトに静電気が生じると、その主軸シャフトに静電気が蓄積され易いため、その静電気に起因する災害が懸念される。
【０００６】
そこで、本発明は、安全性に優れた主軸装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の態様は、主軸装置であって、主軸ハウジングと、前記主軸ハウジングの内部で回転可能に支持される導電性の主軸シャフトと、前記主軸シャフトの一端に対して、前記主軸ハウジングにおける前記主軸シャフトの一端側の表面上で回転可能に設けられる導電性の円盤状回転部と、前記主軸ハウジングに取り付けられ、前記円盤状回転部の外周面を覆うカバー部材と、前記カバー部材に形成され、前記カバー部材の外部から前記円盤状回転部と前記カバー部材との間の隙間にガスを流すための流路と、前記カバー部材または前記主軸ハウジングに設けられ、グランドと電気的に接続され、前記流路に流れる前記ガスにより可動して前記円盤状回転部に接触する導電性の可動部材と、を備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、主軸シャフトおよび円盤状回転部に対して可動部材が電気的に接続されるため、当該主軸シャフトや円盤状回転部に静電気が生じても可動部材を通じてグランドに逃がすことができる。これにより、安全性に優れた主軸装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施の形態の旋盤機の外観構成を示す概略図である。
【図２】図１の主軸装置の断面を示す概略図である。
【図３】図２の可動部材を示す図である。
【図４】図２の一部を拡大して示す図である。
【図５】可動部材により通電された状態を示す図である。
【図６】変形例１の可動部材を示す図である。
【図７】変形例２の可動部材を示す図である。
【図８】変形例３の主軸装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明について、好適な実施の形態を掲げ、添付の図面を参照しながら以下、詳細に説明する。
【００１１】
〔実施の形態〕
図１は、旋盤機１０の外観構成を示す概略図である。旋盤機１０は、工具を用いて加工対象物を加工するものであり、基礎ベッド１２、主軸支持部１４、テーブル支持部１６、テーブル１８および主軸装置２０を有する。
【００１２】
主軸支持部１４は、基礎ベッド１２上に設けられており、基礎ベッド１２に対して左右方向へ移動可能に主軸装置２０を支持するものである。なお、主軸装置２０における主軸シャフト２２が延びている方向（軸方向）を前後方向とし、当該主軸装置２０が載置される載置面Ｆに平行な面内で軸方向に対して直交する方向を左右方向とし、当該載置面Ｆおよび軸方向に対して直交する方向を上下方向とする。下方向は、重力が働く方向である。また、主軸装置２０においてチャック部３０が設けられる主軸シャフト２２の一端側を前側とし、当該主軸シャフト２２の他端側を後側とする。
【００１３】
主軸支持部１４は、基礎ベッド１２上に左右方向に沿って設けられる第１スライド部１４ａと、第１スライド部１４ａに沿って移動可能な主軸移動台１４ｂと、主軸移動台１４ｂを駆動する不図示の第１駆動機構とを有する。
【００１４】
第１駆動機構には、モータ、および、モータの回転力を直進運動に変換するボールねじ等の部材が含まれる。第１駆動機構によって主軸移動台１４ｂが第１スライド部１４ａに沿って移動することで、その主軸移動台１４ｂ上に設けられる主軸装置２０が基礎ベッド１２に対して左右方向へ移動する。
【００１５】
テーブル支持部１６は、基礎ベッド１２上に設けられており、基礎ベッド１２に対して前後方向へテーブル１８を移動可能に支持するものである。このテーブル支持部１６は、基礎ベッド１２上に前後方向に沿って設けられる第２スライド部１６ａと、第２スライド部１６ａに沿って移動可能なテーブル１８を駆動する不図示の第２駆動機構とを有する。
【００１６】
第２駆動機構には、モータ、および、モータの回転力を直進運動に変換するボールねじ等の部材が含まれる。第２駆動機構によってテーブル１８が第２スライド部１６ａを通じて基礎ベッド１２に対して前後方向へ移動する。テーブル１８は、上下方向の軸を回転軸として回転可能に設けられてもよい。
【００１７】
なお、本実施の形態では、主軸装置２０におけるチャック部３０に加工対象物が保持され、テーブル１８に工具が保持されるものとする。ただし、主軸装置２０におけるチャック部３０に工具が保持され、テーブル１８に加工対象物が保持されてもよい。
【００１８】
図２は、図１の主軸装置２０の断面を示す概略図である。本実施の形態の主軸装置２０は、加工対象物を回転可能に保持するものであり、加工対象物に対する加工をナノ単位で制御する場合などに使用される。この主軸装置２０は、主軸シャフト２２、主軸ハウジング２４、主軸取付台２６およびカバー部材２８を主な構成要素として備える。
【００１９】
主軸シャフト２２は、円筒状に形成された導電性の部材であり、軸方向に沿って貫通する円筒状の貫通孔２２Ｈを有する。図２に示す例では、貫通孔２２Ｈは、前側貫通孔２２Ｈａと、前側貫通孔２２Ｈａの直径よりも小さい直径となる後側貫通孔２２Ｈｂとを有している。この主軸シャフト２２の一端側（前側）にはチャック部３０が設けられ、他端側（後側）にはモータ４０が設けられる。
【００２０】
チャック部３０は、主軸シャフト２２の一端に対して、主軸シャフト２２の回転に連動して主軸ハウジング２４の前側の表面上で回転可能に設けられる導電性の円盤状回転部であり、本実施の形態では加工対象物を着脱する。このチャック部３０は、主軸シャフト２２の前側に固定されたベース３０ａと、ベース３０ａに対して着脱可能に取り付けられた吸着パッド３０ｂとを有する。吸着パッド３０ｂの吸着面には開口ＯＰが形成される。ベース３０ａおよび吸着パッド３０ｂには、開口ＯＰと主軸シャフト２２の貫通孔２２Ｈの一端とを連通する連通路３０ｃが形成される。チャック部３０では、不図示の真空ポンプによって開口ＯＰから連通路３０ｃを通じて、チャック部３０の外部の空気が貫通孔２２Ｈに吸引されることで、加工対象物が吸着面に密着した状態で保持される。
【００２１】
モータ４０は、主軸シャフト２２の駆動源であり、主軸ハウジング２４の後側に取り付けられるモータケース４０ａと、モータケース４０ａ内に設けられるロータ４０ｂおよびステータ４０ｃとを有する。ロータ４０ｂには主軸シャフト２２が固定される。したがって、ロータ４０ｂの回転に連動して主軸シャフト２２が回転する。
【００２２】
主軸ハウジング２４は、導電性の部材により形成されており、略円筒状のハウジング本体２４ａと、後側ハウジング蓋２４ｂとを有する。ハウジング本体２４ａには、ハウジング本体２４ａの外周面から外側に向かって突出する環状のフランジ部５０が設けられる。フランジ部５０は、ハウジング本体２４ａと一体に成形されていてもよく、ハウジング本体２４ａとは別体として所定の固定具によりハウジング本体２４ａに固定されていてもよい。
【００２３】
ハウジング本体２４ａの後側には、そのハウジング本体２４ａの後側の開口を覆うように後側ハウジング蓋２４ｂが着脱可能に取り付けられる。後側ハウジング蓋２４ｂの表面（後端面）側には、モータ４０のモータケース４０ａが固定される。
【００２４】
後側ハウジング蓋２４ｂとハウジング本体２４ａとには、前後方向に沿って貫通する略円筒状のシャフト配置空間が形成される。このシャフト配置空間に主軸シャフト２２が配置され、当該シャフト配置空間に配置された主軸シャフト２２は、軸受６０を介して回転可能に支持される。
【００２５】
軸受６０は、静圧軸受であり、本実の施形態では、スラスト軸受６０ａおよびラジアル軸受６０ｂを有する。スラスト軸受６０ａは、主軸シャフト２２の左側と右側とにそれぞれ設けられ、ラジアル軸受６０ｂは、スラスト軸受６０ａよりも主軸シャフト２２の前側において、当該主軸シャフト２２の前後にそれぞれ設けられる。
【００２６】
軸受６０には、主軸ハウジング２４に形成された不図示の流路を介して、軸受用流体が供給される。軸受用流体は、エアなどのガスが所定圧で圧縮された圧縮ガスであってもよく、油などの非圧縮性の液体であってもよい。軸受６０に供給された軸受用流体は、軸受６０からシャフト配置空間に流れて主軸シャフト２２の支持体として作用する。したがって、軸受６０と主軸シャフト２２とは軸受用流体を介して非接触の状態である。なお、シャフト配置空間に流れた軸受用ガスは、主軸ハウジング２４に形成された不図示の排出経路を通じて外部に排出される。
【００２７】
主軸取付台２６は、主軸移動台１４ｂの載置面Ｆ（図１）上に載置される。この主軸取付台２６は、主軸シャフト２２の軸方向に沿って主軸ハウジング２４が挿通される挿通孔２６Ｈを有する。挿通孔２６Ｈに挿通された主軸ハウジング２４の前側は、ハウジング本体２４ａに設けられるフランジ部５０を介して主軸取付台２６の前側に固定され、当該主軸ハウジング２４の後側は、主軸取付台２６の後側に設けられる支持部材７０を介して支持される。
【００２８】
具体的には、フランジ部５０は、主軸取付台２６における前側（挿通孔２６Ｈの一方の開口側）に対してボルトなどの棒状締結具で着脱可能に固定される。一方、支持部材７０は、主軸取付台２６における後側（挿通孔２６Ｈの他方の開口側）を基礎として主軸ハウジング２４を支持する。つまり、主軸ハウジング２４は、主軸取付台２６に対して、当該主軸ハウジング２４の前後から両持ちで保持される。
【００２９】
カバー部材２８は、自身の温度が調整されるカバー部材である。このカバー部材２８は、主軸装置２０の前側に設けられる。具体的には、カバー部材２８は、フランジ部５０における前側の表面と、その表面から前側に延在するハウジング本体２４ａの外周面と、チャック部３０の外周面の一部とを覆うように設けられる。なお、カバー部材２８は、チャック部３０の外周面の一部を覆っているが、当該外周面の全体を覆っていてもよい。このカバー部材２８は、導電性を有しており、グランドＧに接地される。
【００３０】
カバー部材２８には、カバー部材２８の外周面側から、チャック部３０とカバー部材２８との間の隙間およびハウジング本体２４ａとカバー部材２８との間の隙間にシールガスを流すための流路２８ａが形成される。この流路２８ａの流入口には、コンプレッサ８０のホース８０ａが接続される。したがって、コンプレッサ８０から供給されたシールガスは、ホース８０ａおよび流路２８ａを順次経由し、ガス供給先であるチャック部３０とカバー部材２８との間の隙間に供給される。この隙間に流れたシールガスの一部は外部に排出される。なお、図１では、コンプレッサ８０および流路２８ａの開口は省略されている。
【００３１】
シールガスは、上記の隙間をシールするガスであり、例えば、エアなどのガスが所定圧にまで圧縮された圧縮ガスとされる。上記の隙間にシールガスが供給されることで、加工対象物の加工時に生じる屑、あるいは、加工時に用いられるクーラントなどが隙間を介して主軸ハウジング２４の内部（シャフト配置空間）に入ることが抑制される。
【００３２】
また、カバー部材２８には、主軸シャフト２２またはチャック部３０で生じる静電気をグランドＧに逃がすための可動部材９０が設けられる。図３は、可動部材９０を示す図である。可動部材９０は、略矩形の板状に形成され、可撓性を有する。この可動部材９０の一端側はカバー部材２８に固定する側とされ、当該可動部材９０の他端側はカバー部材２８に形成される流路２８ａに配置する側とされる。可動部材９０の一端側（固定端側）には貫通孔９０Ｈが形成される。
【００３３】
図４は、図２の一部を拡大して示す図である。具体的には、可動部材９０が設けられている部分が主として拡大されている。可動部材９０の一端側（固定端側）は、カバー部材２８のうちチャック部３０の外周面に対向する表面側に、貫通孔９０Ｈ（図３参照）に挿通されたねじなどの棒状締結具により着脱可能に固定される。
【００３４】
可動部材９０の他端側は、開放端であり、カバー部材２８に形成された流路２８ａ側に突出し、当該流路２８ａの流出口の一部を塞ぐように配置される。すなわち、板状に形成される可動部材９０の他端側の一面が流路２８ａを流れるシールガスの圧を受ける受圧面となるように、可動部材９０の他端側が流路２８ａに配置される。
【００３５】
図５は、可動部材９０により通電された状態を示す図である。流路２８ａにシールガスが流れると、その流路２８ａを流れるシールガスによって可動部材９０の他端側が押圧される。これにより、可撓性を有する可動部材９０は、シールガスが流れる方向に沿って撓んで、当該可動部材９０の他端側がチャック部３０と接触する。したがって、チャック部３０およびそのチャック部３０が連結される主軸シャフト２２と、グランドＧ（図２参照）に接続されるカバー部材２８とは、可動部材９０を介して電気的に接続される。このため、チャック部３０または主軸シャフト２２に生じる静電気は、カバー部材２８を通じてグランドＧに流れることになる。
【００３６】
〔変形例〕
以上、本発明の一例として上記の実施の形態が説明されたが、本発明の技術的範囲は上記の実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記の実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることはもちろんである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。上記の実施の形態に変更または改良を加えた例を以下に記載する。
【００３７】
（変形例１）
図６は、変形例１の可動部材９１を示す図である。変形例１の可動部材９１は、カバー部材２８に回転可能に固定される円盤部９１ａと、円盤部９１ａに連結される棒状部９１ｂとを有する。円盤部９１ａは、外周面から外側に突出する突出片を有し、その突出片と、カバー部材２８においてストッパとして形成される部位との間にはばねＳが設けられる。
【００３８】
棒状部９１ｂは、その一部が流路２８ａに突出するように配置され、当該流路２８ａを流れるシールガスに押圧されることで、シールガスが流れる方向に向かって可動してチャック部３０と接触する。円盤部９１ａは、この棒状部９１ｂの可動に応じて、ばねＳを圧縮して第１の方向Ｄ１に回動する。一方、流路２８ａをシールガスが流れなくなると、ばねＳが自然長に戻ることで、第１の方向Ｄ１とは逆の第２の方向Ｄ２に円盤部９１ａが回動し、この回動に応じて棒状部９１ｂは元の位置に復帰する。
【００３９】
このような変形例１の可動部材９１が採用されても、上記実施の形態と同様に、チャック部３０または主軸シャフト２２に生じる静電気を、カバー部材２８を通じてグランドＧに流すことができる。
【００４０】
（変形例２）
図７は、変形例２の可動部材９２を示す図である。変形例２の可動部材９２は、ハウジング本体２４ａと一体に成形される。この可動部材９２は、流路２８ａを流れるシールガスの圧を受けるように、チャック部３０とカバー部材２８との間の隙間に突出する板状の部材であり、当該シールガスに押圧されることにより撓んでチャック部３０と接触する。これにより、チャック部３０およびそのチャック部３０が設けられる主軸シャフト２２と、グランドＧに接続されるハウジング本体２４ａとは、可動部材９２を介して電気的に接続される。
【００４１】
したがって、変形例２の可動部材９２が採用されても、上記実施の形態と同様に、チャック部３０または主軸シャフト２２に生じる静電気を、カバー部材２８を通じてグランドＧに流すことができる。なお、可動部材９２は、ハウジング本体２４ａとは別体とし、所定の固定具によりハウジング本体２４ａに固定されていてもよい。
【００４２】
（変形例３）
図８は、変形例３の主軸装置２０を示す図である。変形例３の主軸装置２０では、シールガスを流すための流路２８ａとは別に、可動部材９０を可動するガスを流すための流路２８ｂがカバー部材２８に形成される。流路２８ｂの流入口には、可動部材９０を可動するガスを供給する専用のコンプレッサ１００が、連通管１０２を介して接続される。また、可動部材９０の他端側が流路２８ｂの流出口の一部を塞ぐように、カバー部材２８に可動部材９０が設けられる。
【００４３】
この変形例３の主軸装置２０では、コンプレッサ１００から供給されるガスは、連通管１０２を介して流路２８ｂに流入し、その流路２８ｂを流れるガスによって可動部材９０の他端側が押圧されることにより、可動部材９０が撓んでチャック部３０と接触する。このように、シールガスとは別のガスを用いて、可動部材９０を可動させてもよい。
【００４４】
（変形例４）
上記実施の形態では、棒状締結具により可動部材９０がカバー部材２８に固定されることで可動部材９０がカバー部材２８に設けられた。しかし、可動部材９０のうち流路２８ａに配置される部位以外の部位についてはカバー部材２８として一体に成形されていてもよい。
【００４５】
（変形例５）
上記実施の形態では、可動部材９０が、導電性を有するカバー部材２８を介してグランドＧと電気的に接続された。しかし、カバー部材２８が非金属の部材で形成される場合などでは、可動部材９０は、配線を通じてグランドＧと電気的に接続されていてもよい。
【００４６】
（変形例６）
上記実施の形態では、コンプレッサ８０から供給されるシールガスの流速または流量を制御する制御部が設けられていなかったが、当該制御部が設けられていてもよい。制御部は、シールガスの流速または流量を制御することでチャック部３０に対する可動部材９０の接触抵抗を可変する。このようにすれば、チャック部３０に対する可動部材９０の接触抵抗を適度に調整することができる。
【００４７】
（変形例７）
上記の実施の形態および上記変形例は、矛盾の生じない範囲で任意に組み合わされてもよい。
【００４８】
〔技術的思想〕
上記の実施の形態および変形例から把握し得る技術的思想について、以下に記載する。
【００４９】
主軸装置（２０）は、主軸ハウジング（２４）と、主軸ハウジング（２４）の内部で回転可能に支持される導電性の主軸シャフト（２２）と、主軸シャフト（２２）の一端に対して、主軸ハウジング（２４）における主軸シャフト（２２）の一端側の表面上で回転可能に設けられる導電性の円盤状回転部（３０）と、主軸ハウジング（２４）に取り付けられ、円盤状回転部（３０）の外周面を覆うカバー部材（２８）とを備える。
カバー部材（２８）には、カバー部材（２８）の外部から円盤状回転部（３０）とカバー部材（２８）との間の隙間にガスを流すための流路（２８ａ、２８ｂ）が形成される。
カバー部材（２８）または主軸ハウジング（２４）には、流路（２８ａ、２８ｂ）に流れるガスにより可動して円盤状回転部（３０）に接触する導電性の可動部材（９０〜９２）が設けられる。可動部材（９０〜９２）は、グランド（Ｇ）と電気的に接続される。
このような主軸装置（２０）では、主軸シャフト（２２）および円盤状回転部（３０）に対して可動部材（９０〜９２）が電気的に接続されるため、当該主軸シャフト（２２）や円盤状回転部（３０）に静電気が生じても可動部材（９０〜９２）を通じてグランド（Ｇ）に逃がすことができる。これにより、安全性に優れた主軸装置（２０）を提供することができる。
【００５０】
流路（２８ａ）は、円盤状回転部（３０）とカバー部材（２８）との間の隙間をシールするガスを流すための流路であってもよい。このようにすれば、円盤状回転部（３０）とカバー部材（２８）との間の隙間をシールするガスを、円盤状回転部（３０）に対して可動部材（９０〜９２）を接触させるためのガスとして利用することができる。このため、隙間をシールするガスと、円盤状回転部（３０）に対して可動部材（９０〜９２）を接触させるためのガスとを別々に用いる場合に比べて、消費ガス量を大幅に抑えることができる。
【００５１】
可動部材（９０、９２）は、可撓性を有し、流路（２８ａ、２８ｂ）に流れるガスにより撓むことで、円盤状回転部（３０）に接触するようにしてもよい。このようにすれば、可動部材（９０、９２）が煩雑な可動機構を有していなくても、円盤状回転部（３０）に対して可動部材（９０、９２）を接触させることができる。したがって、主軸装置（２０）を小型化が可能となる。
【００５２】
可動部材（９０）は、板状に形成され、可動部材（９０）の一端側がカバー部材（２８）に着脱可能に固定され、可動部材（９０）の他端側が流路（２８ａ、２８ｂ）に流れるガスにより可動するようにしてもよい。このようにすれば、可動部材（９０）を交換することが可能となる。
【００５３】
可動部材（９０）の他端側は、流路（２８ａ、２８ｂ）の流出口の一部を塞ぐように配置されるようにしてもよい。このようにすれば、流路（２８ａ、２８ｂ）を流れるより多くのガスを受けることが可能となるため、当該ガスにより可動し易くなる。
【符号の説明】
【００５４】
１０…旋盤機                            ２０…主軸装置
２２…主軸シャフト                      ２４…主軸ハウジング
２６…主軸取付台                        ２８…カバー部材
３０…チャック部                        ４０…モータ
５０…フランジ部                        ６０…軸受
７０…支持部材                          ８０…コンプレッサ
９０…可動部材
【図１】
2020032515.tif 000003
【図２】
2020032515.tif 000004
【図３】
2020032515.tif 000005
【図４】
2020032515.tif 000006
【図５】
2020032515.tif 000007
【図６】
2020032515.tif 000008
【図７】
2020032515.tif 000009
【図８】
2020032515.tif 000010