(57)【要約】【課題】設定開度と実開度との関係のみで、簡単に、出力空気圧の漏れなどの異常を知る。【解決手段】テストパターンの発生期間中のバルブの実開度θｐｖを測定し、設定開度θｓｐを第１の設定開度θ１ｓｐから第２の設定開度θ２ｓｐへ変化させた際のマイナス側の誤差δUMとプラス側の誤差δUPを求め、設定開度θｓｐを第２の設定開度θ２ｓｐから第１の設定開度θ１ｓｐへ変化させた際のプラス側の誤差δDPとマイナス側の誤差δDMを求め、テストパターンの発生期間中のマイナス側の誤差の積算値ＳＭ＝Σ（δUM＋δDM）とプラス側の誤差の積算値ＳＰ＝Σ（δUP＋δDP）とに基づいて調節弁が異常な状態にあるか否かを診断する。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
バルブの実開度が設定開度と一致するように前記バルブの弁開度制御を行う調節弁の異常診断方法であって、
前記設定開度のテストパターンとして、前記設定開度を第１の設定開度から第２の設定開度へステップ状に変化させ、所定時間経過後、前記設定開度を前記第２の設定開度から前記第１の設定開度へステップ状に変化させるパターンを所定回数発生するテストパターン発生ステップと、
前記テストパターンの発生期間中の前記バルブの実開度を測定し、前記設定開度を前記第１の設定開度から前記第２の設定開度へ変化させた際の前記第２の設定開度に対する前記実開度の前記第１の設定開度の方向への誤差をマイナス側の誤差、前記第１の設定開度とは反対の方向への誤差をプラス側の誤差として求め、前記設定開度を前記第２の設定開度から前記第１の設定開度へ変化させた際の前記第１の設定開度に対する前記実開度の前記第２の設定開度の方向への誤差をプラス側の誤差、前記第２の設定開度とは反対の方向への誤差をマイナス側の誤差として求める誤差算出ステップと、
前記誤差算出ステップによって求められた前記テストパターンの発生期間中の前記マイナス側の誤差の積算値と前記プラス側の誤差の積算値とに基づいて前記調節弁が異常な状態にあるか否かを診断する異常診断ステップと
を備えることを特徴とする調節弁の異常診断方法。
【請求項２】
請求項１に記載された調節弁の異常診断方法において、
前記異常診断ステップは、
前記テストパターンの発生期間中の前記マイナス側の誤差の積算値と前記プラス側の誤差の積算値との比を評価値とし、この評価値に基づいて前記調節弁が異常な状態にあるか否かを診断する
ことを特徴とする調節弁の異常診断方法。
【請求項３】
請求項１に記載された調節弁の異常診断方法において、
前記異常診断ステップは、
前記テストパターンの発生期間中の前記マイナス側の誤差の積算値と前記プラス側の誤差の積算値との差を評価値とし、この評価値に基づいて前記調節弁が異常な状態にあるか否かを診断する
ことを特徴とする調節弁の異常診断方法。
【請求項４】
請求項２又は３に記載された調節弁の異常診断方法において、
前記異常診断ステップは、
前記評価値が予め定められている正常範囲から逸脱した場合に前記調節弁が異常な状態にあると判定する
ことを特徴とする調節弁の異常診断方法。
【請求項５】
請求項２又は３に記載された調節弁の異常診断方法において、
前記調節弁が正常である時の前記評価値を正常基準値として求める正常基準値算出ステップと、
前記正常基準値を起点として定められた所定の範囲を正常範囲として設定する正常範囲設定ステップとを備え、
前記異常診断ステップは、
前記評価値が前記設定されている正常範囲から逸脱した場合に前記調節弁が異常な状態にあると判定する
ことを特徴とする調節弁の異常診断方法。
【請求項６】
バルブの実開度が設定開度と一致するように前記バルブの弁開度制御を行う調節弁の異常診断装置であって、
前記設定開度のテストパターンとして、前記設定開度を第１の設定開度から第２の設定開度へステップ状に変化させ、所定時間経過後、前記設定開度を前記第２の設定開度から前記第１の設定開度へステップ状に変化させるパターンを所定回数発生するように構成されたテストパターン発生部と、
前記テストパターンの発生期間中の前記バルブの実開度を測定し、前記設定開度を前記第１の設定開度から前記第２の設定開度へ変化させた際の前記第２の設定開度に対する前記実開度の前記第１の設定開度の方向への誤差をマイナス側の誤差、前記第１の設定開度とは反対の方向への誤差をプラス側の誤差として求め、前記設定開度を前記第２の設定開度から前記第１の設定開度へ変化させた際の前記第１の設定開度に対する前記実開度の前記第２の設定開度の方向への誤差をプラス側の誤差、前記第２の設定開度とは反対の方向への誤差をマイナス側の誤差として求めるように構成された誤差算出部と、
前記誤差算出部によって求められた前記テストパターンの発生期間中の前記マイナス側の誤差の積算値と前記プラス側の誤差の積算値とに基づいて前記調節弁が異常な状態にあるか否かを診断するように構成された異常診断部と
を備えることを特徴とする調節弁の異常診断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バルブの実開度が設定開度と一致するようにバルブの弁開度制御を行う調節弁の異常診断方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、バルブに対してポジショナを設け、このポジショナによってバルブの弁開度を制御するようにしている。本明細書では、このポジショナとバルブとの組み合わせを調節弁と呼ぶ。
【０００３】
ポジショナは、上位装置から送られてくる設定開度とバルブからフィードバックされてくる実開度との偏差を求め、この偏差に所定の演算を施して得られる電気信号を制御出力として出力する制御部と、この制御部からの制御出力を空気圧信号に変換する電空変換器と、この電空変換器が変換した空気圧信号を増幅しバルブの操作器へ出力するパイロットリレーとを備えている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
図１０に調節弁の要部の構成を示す。この調節弁１００は、ポジショナ１とバルブ２とを備え、バルブ２は操作器２１とバルブ本体２２とを備えている。ポジショナ１は、制御部１１と、電空変換器（ＥＰＭ）１２と、パイロットリレー１３と、開度センサ１４とを備えており、開度センサ１４が検出するバルブ２の弁開度が実開度θｐｖとして制御部１１へフィードバックされるようになっている。
【０００５】
ポジショナ１において、制御部１１は、上位装置（図示せず）からの設定開度θｓｐと開度センサ１４からの実開度θｐｖとの偏差を求め、この偏差にＰＩＤ制御演算を施して得られる電気信号を制御出力ＭＶとして出力する。
【０００６】
電空変換器１２は、制御部１１からの制御出力ＭＶを空気圧信号（ノズル背圧）Ｐｎに変換する。パイロットリレー１３は、電空変換器１２からの空気圧信号Ｐｎを増幅し、空気圧Ｐｏとしてバルブ２の操作器２１へ出力する。これにより、操作器２１内のダイアフラム室に空気圧Ｐｏの空気が流入し、バルブ本体２２に設けられている弁の開度が調整される。
【０００７】
なお、ポジショナ１において、電空変換器１２とパイロットリレー１３とによって、制御部１１からの制御出力ＭＶをバルブ２への空気圧（出力空気圧）Ｐｏに変換する電空変換部１５が構成されている。また、電空変換器１２およびパイロットリレー１３には、外部からの供給空気圧（計装空気）Ｐｓが供給される。
【０００８】
また、バルブ２には、正作動形と逆作動形とがある。正作動形のバルブ２は、ばねの力で常に開とされ、空気圧Ｐｏの加圧時にバルブが閉方向へ駆動される。逆作動形のバルブ２は、ばねの力で常に閉とされ、空気圧Ｐｏの加圧時にバルブが開方向へ駆動される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】実開昭６２−２８１１８号公報
【特許文献２】特表２００１−５２２４８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、従来の調節弁において、運転中にポジショナや操作器に出力空気圧の漏れが発生した場合、漏れ量が多ければ異音などで気づくが、少ない場合は定修時のオフライン診断などが必要となる。
【００１１】
なお、設定値、開度、圧力の変化を監視して、推定ルールから逸した場合に異常と判断する技術はあるが（例えば、特許文献２参照）、そのためには圧力情報が必要であることや推定ルール設定の煩雑さなどの問題がある。
【００１２】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、設定開度と実開度との関係のみで、簡単に、出力空気圧の漏れなどの異常を知ることが可能な調節弁の異常診断方法および装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような目的を達成するために本発明は、バルブの実開度（θｐｖ）が設定開度（θｓｐ）と一致するようにバルブ（２）の弁開度制御を行う調節弁（１００）の異常診断方法であって、設定開度のテストパターン（ＰＴ）として、設定開度を第１の設定開度（θ１ｓｐ）から第２の設定開度（θ２ｓｐ）へステップ状に変化させ、所定時間（Ｔ）経過後、設定開度を第２の設定開度から第１の設定開度へステップ状に変化させるパターンを所定回数（Ｎ）発生するテストパターン発生ステップ（Ｓ１０１）と、テストパターンの発生期間中のバルブの実開度を測定し、設定開度を第１の設定開度から第２の設定開度へ変化させた際の第２の設定開度に対する実開度の第１の設定開度の方向への誤差をマイナス側の誤差（δUM）、第１の設定開度とは反対の方向への誤差をプラス側の誤差（δUP）として求め、設定開度を第２の設定開度から第１の設定開度へ変化させた際の第１の設定開度に対する実開度の第２の設定開度の方向への誤差をプラス側の誤差（δDP）、第２の設定開度とは反対の方向への誤差をマイナス側の誤差（δDM）として求める誤差算出ステップ（Ｓ１０２〜Ｓ１０４）と、誤差算出ステップによって求められたテストパターンの発生期間中のマイナス側の誤差の積算値（ＳＭ）とプラス側の誤差の積算値（ＳＰ）とに基づいて調節弁が異常な状態にあるか否かを診断する異常診断ステップ（Ｓ１０５〜Ｓ１１０）とを備えることを特徴とする。
【００１４】
この発明では、先ず、設定開度のテストパターンを発生させる。これにより、設定開度が第１の設定開度から第２の設定開度へステップ状に変化し、所定時間経過後、設定開度が第２の設定開度から第１の設定開度へステップ状に変化し、このパターンが所定回数繰り返される。そして、テストパターンの発生期間中のバルブの実開度を測定し、設定開度を第１の設定開度から第２の設定開度へ変化させた際のマイナス側の誤差とプラス側の誤差を求め、設定開度を第２の設定開度から第１の設定開度へ変化させた際のプラス側の誤差とマイナス側の誤差を求め、テストパターンの発生期間中のマイナス側の誤差の積算値とプラス側の誤差の積算値とに基づいて調節弁が異常な状態にあるか否かを診断する。
【００１５】
例えば、テストパターンの発生期間中のマイナス側の誤差の積算値とプラス側の誤差の積算値との比を評価値としたり、テストパターンの発生期間中のマイナス側の誤差の積算値とプラス側の誤差の積算値との差を評価値としたりし、この評価値に基づいて調節弁が異常な状態にあるか否かを診断する。
【００１６】
本発明において、テストパターンの発生期間中のマイナス側の誤差の積算値とプラス側の誤差の積算値とは、吸排気のバランスを示す。本発明では、この吸排気のバランスの変化から、設定開度と実開度との関係のみで、出力空気圧の漏れなどの異常を知ることが可能である。
【００１７】
なお、上記説明では、一例として、発明の構成要素に対応する図面上の構成要素を、括弧を付した参照符号によって示している。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、本発明によれば、テストパターンの発生期間中のバルブの実開度を測定し、設定開度を第１の設定開度から第２の設定開度へ変化させた際のマイナス側の誤差とプラス側の誤差を求め、設定開度を第２の設定開度から第１の設定開度へ変化させた際のプラス側の誤差とマイナス側の誤差を求め、テストパターンの発生期間中のマイナス側の誤差の積算値とプラス側の誤差の積算値とに基づいて調節弁が異常な状態にあるか否かを診断するようにしたので、設定開度と実開度との関係のみで、簡単に、出力空気圧の漏れなどの異常を知ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、本発明に係る調節弁の異常診断装置の一実施の形態の要部の構成を示す図である。
【図２】図２は、この異常診断装置におけるＣＰＵが発生する設定開度のテストパターンを例示する図である。
【図３】図３は、この異常診断装置におけるＣＰＵの機能ブロック図である。
【図４】図４は、この異常診断装置におけるＣＰＵが行う異常診断時の処理動作の一例を示すフローチャートである。
【図５】図５は、調節弁の正常時の設定開度に対する実開度の変化を示す図である。
【図６】図６は、調節弁の空気漏れ発生時の設定開度に対する実開度の変化を示す図である。
【図７】図７は、調節弁が正常である時の評価値αを正常基準値として閾値αｔｈを定めるようにした場合のＣＰＵの処理動作を示すフローチャートである。
【図８】図８は、この異常診断装置におけるＣＰＵが行う異常診断時の処理動作の他の例を示すフローチャートである。
【図９】図９は、調節弁が正常である時の評価値ΔＳを正常基準値として閾値ΔＳｔｈを定めるようにした場合のＣＰＵの処理動作を示すフローチャートである。
【図１０】図１０は、調節弁の要部の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２１】
図１に、本発明に係る調節弁の異常診断装置の一実施の形態の要部の構成を示す。この異常診断装置２００は、調節弁１００に付設されており、ＣＰＵ３と、ＲＯＭやＲＡＭなどの記憶部４と、インタフェース５および６を備えている。
【００２２】
なお、この例では、異常診断装置２００を調節弁１００の外部に設けているが、調節弁１００の内部に設けるようにしてもよい。また、本実施の形態において、調節弁１００は正作動形であるとする。
【００２３】
異常診断装置２００のＣＰＵ３には、インタフェース５を介して、開度センサ１４からのバルブ２の実開度θｐｖが分岐して入力される。また、ＣＰＵ３は、設定開度のテストパターンＰＴを発生し、インタフェース６を介してポジショナ１の制御部１１へ出力する。また、ＣＰＵ３は、記憶部４に格納されているプログラムＰＧに従って動作する。
【００２４】
図２に、ＣＰＵ３が発生する設定開度のテストパターンＰＴを例示する。ＣＰＵ３は、設定開度のテストパターンＰＴとして、設定開度θｓｐを第１の設定開度θ１ｓｐから第２の設定開度θ２ｓｐへステップ状に変化させ、所定時間Ｔ経過後、設定開度θｓｐを第２の設定開度θ２ｓｐから第１の設定開度θ１ｓｐへステップ状に変化させるパターンを所定回数Ｎ発生させる。なお、所定回数Ｎは１以上であればよいが、多いほどよい。
【００２５】
図４に、ＣＰＵ３が行う異常診断時の処理動作の一例を示す。ＣＰＵ３は、異常診断時、設定開度のテストパターンＰＴを発生する（ステップＳ１０１）。すなわち、図２に示すように、設定開度θｓｐを第１の設定開度θ１ｓｐから第２の設定開度θ２ｓｐへステップ状に変化させ、所定時間Ｔ経過後、設定開度θｓｐを第２の設定開度θ２ｓｐから第１の設定開度θ１ｓｐへステップ状に変化させるパターンを１パターンとし、このパターンを所定回数Ｎ繰り返す。
【００２６】
これにより、調節弁１００において、ポジショナ１の制御部１１は、テストパターンＰに従って、バルブ２の実開度θｐｖが設定開度θｓｐと一致するように、バルブ２の弁開度制御を繰り返し行う。
【００２７】
ＣＰＵ３は、このテストパターンＰＴの発生期間中のバルブ２の実開度θｐｖを取り込み（ステップＳ１０２）、設定開度θｓｐを第１の設定開度θ１ｓｐから第２の設定開度θ２ｓｐへ変化させた際の第２の設定開度θ２ｓｐに対する実開度θｐｖの第１の設定開度θ１ｓｐの方向への誤差をマイナス側の誤差δUM、第１の設定開度θ１ｓｐとは反対の方向への誤差をプラス側の誤差δUPとして求める（ステップＳ１０３）。
【００２８】
また、設定開度θｓｐを第２の設定開度θ２ｓｐから第１の設定開度θ１ｓｐへ変化させた際の第１の設定開度θ１ｓｐに対する実開度θｐｖの第２の設定開度θ２ｓｐの方向への誤差をプラス側の誤差δDP、第２の設定開度θ２ｓｐとは反対の方向への誤差をマイナス側の誤差δDMとして求める（ステップＳ１０４）。
【００２９】
図５に、調節弁１００の正常時の設定開度θｓｐに対する実開度θｐｖの変化を示す。この場合、設定開度θｓｐを第１の設定開度θ１ｓｐから第２の設定開度θ２ｓｐへ変化させた際の第２の設定開度θ２ｓｐに対する実開度θｐｖの第１の設定開度θ１ｓｐの方向への誤差（θ２ｓｐ−θｐｖ）は、すなわちマイナス側の誤差δUMは、実開度θｐｖが設定開度θ２ｓｐに近づくにつれて減少して行く。なお、この例において、第１の設定開度θ１ｓｐとは反対の方向への誤差（θｐｖ−θ２ｓｐ）、すなわちプラス側の誤差δUPは生じていない。
【００３０】
また、設定開度θｓｐを第２の設定開度θ２ｓｐから第１の設定開度θ１ｓｐへ変化させた際の第１の設定開度θ１ｓｐに対する実開度θｐｖの第２の設定開度θ２ｓｐの方向への誤差（θｐｖ−θ１ｓｐ）は、すなわちプラス側の誤差δDPは、実開度θｐｖが設定開度θ１ｓｐに近づくにつれて減少して行く。なお、この例において、第２の設定開度θ２ｓｐとは反対の方向への誤差（θｐｖ−θ１ｓｐ）、すなわちマイナス側の誤差δDMは生じていない。
【００３１】
次に、ＣＰＵ３は、テストパターンＰＴの発生期間中のマイナス側の誤差の積算値ＳＭ＝Σ（δUM＋δDM）を求める（ステップＳ１０５）。また、テストパターンＰＴの発生期間中のプラス側の誤差の積算値ＳＰ＝Σ（δUP＋δDP）を求める（ステップＳ１０６）。
【００３２】
そして、ＣＰＵ３は、テストパターンＰＴの発生期間中のマイナス側の誤差の積算値ＳＭとプラス側の誤差の積算値ＳＰとの比α＝ＳＭ／ＳＰを評価値として求め（ステップＳ１０７）、この評価値αと予め定められている閾値αｔｈとを比較する（ステップＳ１０８）。この閾値αｔｈは、予め定められた設定値として記憶部４に記憶されている。
【００３３】
調節弁１００が正常である場合、すなわちポジショナ１や操作器２１に出力空気圧の漏れが発生していない場合、吸排気のバランスがとれているため、評価値αは閾値αｔｈ以下となる（ステップＳ１０８のＹＥＳ）。この場合、ＣＰＵ３は、調節弁１００は正常であると判断する（ステップＳ１０９）。
【００３４】
これに対し、ポジショナ１や操作器２１に出力空気圧の漏れが発生している場合、吸気能力の低下により、吸排気のバランスが変化して制御特性（設定開度θｓｐに対する実開度θｐｖの偏差）にも変化が生じる。本実施の形態において、バルブ２は正作動形であるため、正常時に対して空気漏れ発生時は、設定開度θｓｐに対する実開度の偏差がマイナス側（逆作動形の場合はプラス側）に大きくなる（図６参照）。
【００３５】
なお、図６に示した例において、設定開度θｓｐを第１の設定開度θ１ｓｐから第２の設定開度θ２ｓｐへ変化させた際のプラス側の誤差δUPは生じていない。また、設定開度θｓｐを第２の設定開度θ２ｓｐから第１の設定開度θ１ｓｐへ変化させた際、オーバシュートの発生によって、マイナス側の誤差δDMが生じている。
【００３６】
これにより、ポジショナ１や操作器２１に出力空気圧の漏れが発生している場合、評価値αが閾値αｔｈを超えるものとなり（ステップＳ１０８のＮＯ）、ＣＰＵ３は、調節弁１００が異常な状態にあると判断する（ステップＳ１１０）。
【００３７】
図３に、上述した処理動作を行うＣＰＵ３の機能ブロック図を示す。ＣＰＵ３は、設定開度のテストパターンＰＴを発生するテストパターン発生部３１と、テストパターンＰＴの発生期間中のバルブ２の実開度θｐｖを測定し、設定開度θｓｐを第１の設定開度θ１ｓｐから第２の設定開度θ２ｓｐへ変化させた際のマイナス側の誤差δUMおよびプラス側の誤差δUPを求め、設定開度θｓｐを第２の設定開度θ２ｓｐから第１の設定開度θ１ｓｐへ変化させた際のプラス側の誤差δDPおよびマイナス側の誤差δDMを求める誤差算出部３２と、誤差算出部３２によって求められたマイナス側の誤差δUM，δDMの積算値ＳＭ＝Σ（δUM＋δDM）とプラス側の誤差δUP，δDPの積算値ＳＰ＝Σ（δUP＋δDP）とから評価値αを求め、この評価値αを閾値αｔｈと比較することによって調節弁１００が異常な状態にあるか否かを診断する異常診断部３３とを備えている。
【００３８】
なお、上述した実施の形態では、予め定められた設定値として閾値αｔｈを記憶部４に記憶させるようにしているが、調節弁１００が正常である時の評価値αを求め、この正常である時の評価値αから求めた閾値αｔｈを記憶部４に記憶させるようしてもよい。例えば、図７に示すように、調節弁１００が正常である時の評価値αを正常基準値として求め（ステップＳ２０１〜Ｓ２０８）、この正常基準値を起点とする正常範囲の上限値として閾値αｔｈを定め（ステップＳ２０９）、この閾値αｔｈを記憶部４に記憶させるようにする（ステップＳ２１０）。
【００３９】
また、異常診断時の処理動作の他の例として、図４に対応するフローチャートを図８に示すように、テストパターンＰＴの発生期間中のマイナス側の誤差の積算値ＳＭ＝Σ（δUM＋δDM）とプラス側の誤差の積算値ＳＰ＝Σ（δUP＋δDP）との差ΔＳ＝ＳＭ−ＳＰを評価値として求め（ステップＳ１０７’）、この評価値ΔＳと予め定められている閾値ΔＳｔｈとを比較し（ステップＳ１０８’）、ΔＳが閾値ΔＳｔｈを超えた場合に（ステップＳ１０８’のＮＯ）、調節弁１００が異常な状態にあると判断するようにしてもよい。
【００４０】
この例においても、図７に対応するフローチャートを図９に示すように、調節弁１００が正常である時の評価値ΔＳを正常基準値として求め（ステップＳ２０７’，Ｓ２０８’）、この正常基準値を起点とする正常範囲の上限値として閾値ΔＳｔｈを定め（ステップＳ２０９’）、この閾値ΔＳｔｈを記憶部４に記憶させるようにしてもよい（ステップＳ２１０’）。
【００４１】
また、上述した実施の形態では、調節弁１００の異常な状態として、ポジショナ１や操作器２１に出力空気圧の漏れが発生している場合を想定したが、空気配管の詰まりなどへの応用も可能であり、バルブ、ポジショナに加え、そのバルブ周辺の環境劣化などの診断として一括管理することもできる。
【００４２】
このようにして、本発明では、調節弁１００における吸排気のバランスを示す評価値αやΔＳの変化から、設定開度θｓｐと実開度θｐｖとの関係のみで、簡単に、出力空気圧の漏れなどの異常を知ることができるようになる。
【００４３】
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【符号の説明】
【００４４】
１…ポジショナ、２…バルブ、３…ＣＰＵ、４…記憶部、１１…制御部、１２…電空変換器、１３…パイロットリレー、１４…開度センサ、２１…操作器、２２…バルブ本体、３１…テストパターン発生部、３２…誤差算出部、３３…異常診断部、１００…調節弁、２００…異常診断装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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