(57)【要約】【課題】電動機や発電機といった回転電気機械に係る振動を検出するための新たな検出器の技術を提案すること。【解決手段】検出器１１０は、回転電気機械（主電動機）に固定される台座部１２１と、回転電気機械の歯車２０に対向配置され、歯車２０の回転時に歯先と歯底とが交互に対向することによる磁束変化によって回転数に応じた電力を発生させるコイル部１２２とを有する非接触式の速度発電機本体装置と、台座部１２１に固定された振動センサ１３０と、を備える。コイル部１２２の発生電力を外部出力するための第１信号線１６１と、振動センサ１３０の検出信号を外部出力するための第２信号線１６２と、振動センサ１３０の動作電力を供給するための電源線１６３とは、束として一体のケーブル１６０とされる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転電気機械に固定される台座部と、前記回転電気機械の歯車に対向配置され、前記歯車の回転時に歯先と歯底とが交互に対向することによる磁束変化によって回転数に応じた電力を発生させるコイル部とを有する非接触式の速度発電機本体装置と、
前記速度発電機本体装置に固定された振動センサと、
を備えた検出器。
【請求項２】
前記振動センサは、前記台座部の前記歯車側に固定された、
請求項１に記載の検出器。
【請求項３】
前記振動センサは、前記コイル部の発生電力を動力源として動作するための整流平滑回路を有する、
請求項１又は２に記載の検出器。
【請求項４】
前記振動センサはＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）センサである、
請求項３に記載の検出器。
【請求項５】
前記コイル部の発生電力を外部出力するための第１の信号線と、前記振動センサの検出信号を外部出力するための第２の信号線とが、束として一体に纏められたケーブル、
を更に備えた請求項１〜４の何れか一項に記載の検出器。
【請求項６】
前記コイル部の発生電力を動力源として動作するための整流平滑回路を有し、前記振動センサの検出結果を無線で送信する無線通信機、
を更に備えた請求項１〜４の何れか一項に記載の検出器。
【請求項７】
前記無線通信機は、前記コイル部の発生周波数に応じた信号を無線で送信する、
請求項６に記載の検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転電気機械の振動を検出する検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
状態監視システムの一例として、例えば特許文献１には、ギヤモータに振動センサを配置し、振動センサが検出した振動情報に基づいて故障を診断する装置の技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−１８１３０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されているように、ある機械の状態を監視するシステムを実用化する場合には、その機械の振動等を検出するためのセンサを追加する必要がある。しかし、こうしたセンサは、監視対象の機械にとっては、本来の動作や制御自体には必要とされていないものであり、追加することによって監視対象の機械本来の動作や制御に影響を与えてはならない。そのため、完成し、設置された機械の外側に後付けでセンサを取り付ける形態が多く用いられてきた。また、当然ながら、センサを動作させるための電源線や、センサからの検出信号が流れる信号線を配線する必要もあった。
【０００５】
より具体的に説明すると、例えば、鉄道車両において主電動機を監視対象とする場合には、主電動機の筐体外面にセンサを固定し、センサの電源線やセンサからの信号線を配線する形態を採用することができる。しかし、監視対象の主電動機は台車に設置され、粉塵や風雨等を受ける厳しい環境下にあるため、センサにとっても厳しい環境下となる。また、主電動機を制御する制御装置が鉄道車両の車体に設置されており、車体に対して台車が旋回するため、主電動機と制御装置との間を結ぶ電力ケーブル等には曲げ／伸ばしの力が加わる。従って、電力ケーブル等はある程度の余裕長を含めた長さとされ、配線の取り回しにも知見が求められている。なお、ケーブル自体が耐環境性・長寿命・高信頼性の仕様であるのは勿論である。状態監視システムの装置本体も鉄道車両の車体に設置されることから、主電動機に取り付けたセンサとの間を結ぶ電源線や信号線にも、耐環境性や長寿命、高信頼性が求められる。また、センサに係る電源線や信号線の配線の取り回しや、配線を固定する金具の取り付け、取り付けスペースの確保にも設計上の配慮や作業の手間が発生する。加えて、これらの配線に関する追加的な保守点検も必要になる。
【０００６】
こうした課題は、鉄道に限らず、非鉄道の分野においても、例えば輸送機械、工作機械、プラント設備などにおいても同様である。
本発明は、特に、電動機や発電機といった回転電気機械に係る振動を検出する場合を課題の対象として考案されたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決するための第１の発明は、回転電気機械に固定される台座部と、前記回転電気機械の歯車に対向配置され、前記歯車の回転時に歯先と歯底とが交互に対向することによる磁束変化によって回転数に応じた電力を発生させるコイル部とを有する非接触式の速度発電機本体装置と、前記速度発電機本体装置に固定された振動センサと、を備えた検出器である。
【０００８】
また、第２の発明は、前記振動センサが、前記台座部の前記歯車側に固定された、
第１の発明の検出器である。
【０００９】
第１又は第２の発明によれば、回転電気機械の回転数と振動の２つを１つの検出器で検出することができる。具体的には、速度発電機としての機能と、振動検出器としての機能と、を１つの検出器で実現できる。例えば、回転電気機械を制御する上で回転数を検出する速度発電機が必要な場合には、速度発電機を設置する代わりに第１の発明の検出器を設置することで、回転電気機械の制御に必要となる回転数に加えて、状態監視のための振動も検出できることとなり、上述した課題を解決することができる。すなわち、配線を含め、速度発電機と振動センサとを別々に設置する場合に比べて、格段に効率的に設置することができる。また、振動センサは速度発電機本体装置に比べて小さいため、振動センサを速度発電機本体装置内に一体に設けることで、回転電気機械の振動を直に検出することが可能となる。また、外部環境から受ける粉塵や風雨等をできるだけ避ける位置に振動センサを設けることが可能となり、第２の発明によれば、その効果が顕著となる。
【００１０】
第３の発明は、前記振動センサが、前記コイル部の発生電力を動力源として動作するための整流平滑回路を有する、第１又は第２の発明の検出器である。
【００１１】
第３の発明によれば、振動センサの動作電源を自給できる検出器とすることができる。よって、検出器に電力を供給するための電源線を省略できる。
【００１２】
第４の発明は、前記振動センサはＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）センサである、第３の発明の検出器である。
【００１３】
第４の発明によれば、振動センサの小型化・軽量化・低消費電力化を図ることができる。
【００１４】
第５の発明は、前記コイル部の発生電力を外部出力するための第１の信号線と、前記振動センサの検出信号を外部出力するための第２の信号線とが、束として一体に纏められたケーブル、を更に備えた第１〜第４の何れかの発明の検出器である。
【００１５】
第５の発明によれば、速度発電機に係る第１の信号線と、振動センサに係る第２の信号線とを一体に纏めたケーブルとすることができる。第１の信号線を配線することで、第２の信号線の配線も完了するため、第２の信号線の配線の手間を低減することができる。また、従来の速度発電機の出力ケーブルと同じ被覆を用いて本発明のケーブルの被覆を構成することで、耐環境性や信頼性の点で従来の速度発電機の出力ケーブルに近づけることができる。
【００１６】
第６の発明は、前記コイル部の発生電力を動力源として動作するための整流平滑回路を有し、前記振動センサの検出結果を無線で送信する無線通信機、を更に備えた第１〜第４の何れかの発明の検出器である。
【００１７】
第６の発明によれば、振動センサの動作電源を自給できる検出器とすることができ、更には振動センサに係る信号線が不要となる。
【００１８】
第７の発明は、前記無線通信機が、前記コイル部の発生周波数に応じた信号を無線で送信する、第６の発明の検出器である。
【００１９】
第７の発明によれば、コイル部の発生周波数に応じた信号、すなわち速度発電機本体装置が発生した回転電気機械の回転数に応じた信号を外部出力するための信号線が不要となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１実施形態の状態監視システムの構成例を示す図。
【図２】第１実施形態の検出器の構成例を示す図。
【図３】第２実施形態の検出器の構成例を示す図。
【図４】第３実施形態の状態監視システムの構成例を示す図。
【図５】第３実施形態の検出器の構成例を示す図。
【図６】検出器の変形例における構成例を示す図。
【図７】検出器の変形例における構成例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を適用した実施形態の例を説明するが、本発明を適用可能な形態が以下の実施形態に限られないことは勿論である。
【００２２】
〔第１実施形態〕
図１は、本発明が適用された第１実施形態の回転電気機械の状態監視システムの構成例を示す図である。状態監視システム１００は、継続的に鉄道車両の主電動機２の振動を計測して主電動機２の状態を監視するシステムであって、検出器１１０と、状態監視装置１５０と、検出器１１０と状態監視装置１５０との間を有線接続するケーブル１６０と、を有する。なお、ケーブル１６０は、途中、台車車体間コネクタ１６１で切断／接続可能に構成されており、状態監視装置１５０を備える主電動機制御装置１６に接続される。また、検出器１１０は、主電動機２の回転数を常時検出しており、検出した回転数に応じた信号を、ケーブル１６０を介して主電動機制御装置１６に出力している。
【００２３】
主電動機２は、主変換装置４から電力ケーブル６を介して電力が供給されることで車軸８を回転駆動させる電動機（回転電気機械）であり、例えば三相誘導電動機で実現される。主電動機２の出力軸は、継手装置１０を介して歯車装置１２に接続される。歯車装置１２は、複数の歯車の組み合わせによって主電動機２の出力軸の回転を減速して車軸８に伝達する。
【００２４】
電力ケーブル６は、鉄道車両の車体に対する台車の旋回を考慮して余裕長を設けて配線される。電力ケーブル６の主電動機２側は、主電動機２の外面に配線金具１４により固定されている。
【００２５】
主変換装置４は、主電動機２を駆動・制御するための電力変換装置であり、架線やバッテリーから供給される電力を変換して主電動機２へ供給する。主変換装置４は、例えば、交流電気車であれば変圧器、コンバータ、インバータ等から構成することができ、直流電気車であればインバータ等から構成することができる。主変換装置４は、鉄道車両の車体に配置される。
【００２６】
そして、主変換装置４は、主電動機２を制御する主電動機制御装置１６を内蔵している。
主電動機制御装置１６は、例えば運転台等からの指令信号や、検出器１１０で検出された主電動機２の回転数（回転速度に相当）等に基づいて、主電動機２への供給電圧を制御することで主電動機２をベクトル制御する。なお、主電動機制御装置１６は、制御ボードとして主変換装置４に内蔵することとしてもよいし、別体として設けることとしてもよい。
【００２７】
状態監視装置１５０は、監視対象である主電動機２に関して検出された振動や、回転数に基づいて主電動機２の状態を判定処理し、判定された状態に関する情報や警報発生制御信号を外部出力する装置である。
【００２８】
状態監視装置１５０は、ＣＰＵやＲＯＭ、ＲＡＭ等から構成される一種のコンピュータとも言える演算処理装置で実現され、所定のプログラムを実行することにより状態監視に係る制御を行う。状態監視装置１５０は、例えばＣＰＵボードとして主電動機制御装置１６の一部として実装したり、主電動機制御装置１６とは別体の装置としてもよい。更には、主変換装置４とは別体として設けることとしてもよい。
【００２９】
検出器１１０は、主電動機２の回転数の検出と振動の検出との２つの検出を行うマルチ検出器である。
【００３０】
図２は、本実施形態の検出器１１０の構成例を示す図である。検出器１１０は、大きく、速度発電機本体装置と、台座部１２１に固定された振動センサ１３０との２つを有している。しかし、振動センサ１３０はＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）センサであり、振動センサ１３０と、第２信号線１６２と、電源線１６３との他は、速度発電機本体装置であることから、全体としてみれば、検出器１１０は、速度発電機本体装置に、振動センサ１３０が固定されて設けられた構成、ということができる。
【００３１】
速度発電機本体装置は、主電動機２（回転電気機械）に固定される台座部１２１と、主電動機２の出力軸に取り付けられた歯車２０に対向配置され、歯車２０の回転時に歯先と歯底とが交互に対向することによる磁束変化によって回転数に応じた電力を発生させるコイル部１２２と、を有する非接触式の速度発電機である。台座部１２１の歯車２０側には収納部１１９が設けられ、この収納部１１９内にコイル部１２２と、振動センサ１３０とが設置されている。特に、振動センサ１３０は、台座部１２１の歯車２０側に固定されている。
【００３２】
台座部１２１には、ケーブル１６０を固定するためのケーブルグランド１６７が設けられている。台座部１２１は、主電動機２の筐体に固定されるため、主電動機２の振動は台座部１２１に直接伝達される。
【００３３】
ケーブル１６０は、コイル部１２２の発生電力を外部出力するための第１信号線１６１と、振動センサ１３０の検出信号を外部出力するための第２信号線１６２と、振動センサ１３０の動作電力を供給するための電源線１６３と、が、束として一体に纏められたケーブルである。ケーブル１６０は、従来の速度発電機の出力ケーブルと同様の被覆で覆われている。
【００３４】
振動センサ１３０は、振動を検出するＭＥＭＳセンサであり、台座部１２１の歯車２０側に（より具体的には収納部１１９内に）固定されているため、主電動機２外部の粉塵や風雨から防護されている。台座部１２１が主電動機２に固定されているため、振動センサ１３０は主電動機２の振動をほぼダイレクトに検出することが可能となっている。
【００３５】
収納部１１９は、内蔵する各要素を覆う部材又は樹脂モールドにより実現される。
【００３６】
主電動機２の回転軸が回転すると歯車２０も回転し、コイル部１２２に生じる磁束変化により誘導起電力が発生する。そして、主電動機２の回転数（回転速度とも言える）に応じた信号が第１信号線１６１を通じて主電動機制御装置１６及び状態監視装置１５０へ出力される。主電動機制御装置１６は、第１信号線１６１を通じて入力される信号に基づく主電動機２の回転数を主電動機２の制御に用いる。状態監視装置１５０は、当該信号に基づく主電動機２の回転数を状態監視に用いる。
【００３７】
また、主電動機２で発生する振動は、主電動機２に固定された台座部１２１を通じて振動センサ１３０に伝わる。振動センサ１３０による検出信号は、第２信号線１６２を通じて主電動機制御装置１６及び状態監視装置１５０へ出力される。そして、状態監視装置１５０は第２信号線１６２を通じて入力される振動検出結果を状態監視に用いる。
【００３８】
以上、本実施形態によれば、速度発電機としての機能と振動検出器としての機能とを１つの検出器１１０で実現することができる。例えば、回転電気機械を制御する上で回転数を検出する速度発電機が必要な場合には、速度発電機を設置する代わりに検出器１１０を設置することで、回転電気機械の制御に必要となる回転数に加えて、状態監視のための振動も検出できる。また、配線を含め、速度発電機と振動センサとを別々に設置する場合に比べて、格段に効率的に設置することができる。また、振動センサ１３０は速度発電機本体装置に比べて小さいＭＥＭＳセンサであるため、振動センサ１３０を速度発電機本体装置内に一体に設けることができ、回転電気機械の振動を直に検出することが可能となる。また、外部環境から受ける粉塵や風雨等を避ける位置に振動センサ１３０を設けることができる。
【００３９】
また、本実施形態では、速度発電機本体装置のコイル部１２２に係る第１信号線１６１と、振動センサ１３０に係る第２信号線１６２とを、一本のケーブル１６０に纏めている。第１信号線１６１は、従来の速度発電機の出力ケーブルに相当し、これに第２信号線１６２を加えるようにして一体に纏めたのがケーブル１６０である。したがって、第２信号線１６２を別に配線する際の取り回しの手間などを削減することができる。また、追加的な保守点検を低減することもできる。
【００４０】
〔第２実施形態〕
次に、本発明を適用した第２実施形態について説明する。本実施形態は、基本的には第１実施形態と同様に実現されるが、振動センサ１３０への電力供給の形態が異なる。なお、本実施形態の説明においては、主に第１実施形態との差異について述べることとし、第１実施形態と同様の構成要素については同じ符号を付して重複する説明は省略する。
【００４１】
本実施形態の状態監視システム１００の構成は第１実施形態と同様であるが検出器の構成が異なる。
【００４２】
図３は、本実施形態における検出器１１０Ｂの構成例を示す図である。検出器１１０Ｂは電源線を有さず、第１信号線１６１からの分岐線１６３Ｂが一種の電源線として機能する。すなわち、本実施形態では、振動センサ１３０Ｂは、コイル部１２２の発生電力を電源として動作し、振動センサ１３０Ｂの動作電力を検出器１１０Ｂ自身で自給する。
【００４３】
これに伴い、本実施形態のケーブル１６０には電源線が内包されていない。また、振動センサ１３０Ｂは、第１信号線１６１（より詳細には分岐線１６３Ｂ）から供給される交流を整流及び平滑化し、振動センサ１３０の動作電源となる直流に変換する整流平滑回路１３２を有する。なお、整流平滑回路１３２は、振動センサ１３０Ｂと別体として、収納部１１９に別途設置するとしてもよい。
【００４４】
速度発電機本体装置の発電電力と、検出器１１０Ｂの消費電力との関係は、例えば次の様になる。すなわち、本実施形態の速度発電機本体装置は、従来の速度発電機と同様の発電出力が可能な構成であるため、２ｋΩの抵抗をつないだ状態で電圧が２０Ｖ程度、電流が０．１Ａ程度の０．２Ｗ程度の電力をコイル部１２２で発電することができる。一方、振動センサ１３０Ｂは、第１実施形態と同様にＭＥＭＳセンサのために消費電力は１ｍＷ以下である。よって、速度発電機本体装置（より具体的にはコイル部１２２）が発電する１％以下の電力で振動センサ１３０Ｂが動作可能であるため、速度発電機本体装置が発生する回転数に応じた信号への影響はほぼない。当該信号にとっては誤差の範囲内である。なお、速度発電機本体装置の発電電力と、検出器の消費電力との関係は、他の実施形態も同様である。
【００４５】
本実施形態によれば、第１実施形態と同様の作用効果を発揮することができる。
また、第１実施形態の作用効果に加えて、本実施形態では、振動センサ１３０Ｂの動作電源をコイル部１２２の発生電力で自給できるので、検出器１１０Ｂのケーブル１６０に電源線を含める必要がない。
【００４６】
〔第３実施形態〕
次に、本発明を適用した第３実施形態について説明する。本実施形態は、基本的には第２実施形態と同様に実現されるが、振動センサ１３０から状態監視装置１５０への信号伝達の形態が異なる。なお、本実施形態の説明においては、主に第２実施形態との差異について述べることとし、第１実施形態や第２実施形態と同様の構成要素については同じ符号を付して重複する説明は省略する。
【００４７】
図４は、本実施形態における状態監視システム１００Ｃの構成例を示す図である。
状態監視システム１００Ｃは、振動センサＢで検出された振動検出結果を無線で送信するための無線通信機１７０及びアンテナ１７１を有する検出器１１０Ｃと、検出器１１０Ｃから無線送信された振動検出結果を受信する状態監視装置１５０側に設けられた受信機１５２と、を有する。図４では、受信機１５２を状態監視装置１５０とは別体として示したが、状態監視装置１５０の一部に組み込んで構成することとしてもよい。
【００４８】
図５は、本実施形態における検出器１１０Ｃの構成例を示す図である。
【００４９】
アンテナ１７１は、台座部１２１の上面に設けられており、無線通信機１７０は、収納部１１９内に設けられている。両者は、アンテナ線１７３で接続されている。
【００５０】
無線通信機１７０で使用される電力は、コイル部１２２から供給される。すなわち、コイル部１２２の第１信号線１６１から分岐された分岐線１６３Ｃが無線通信機１７０に接続されており、内蔵される整流平滑回路１７４で直流化される。そして、無線通信機１７０はコイル部１２２の発生電力を電力源として動作する。
【００５１】
また、本実施形態では、振動センサ１３０Ｂから無線通信機１７０へ、信号線１６２Ｃが接続されている。無線通信機１７０は、信号線１６２Ｃを通じて振動センサ１３０Ｂから入力される振動検出結果を、アンテナ１７１を介して受信機１５２へ送信する。従って、第１実施形態及び第２実施形態で説明した第２信号線１６２は不要となり、ケーブル１６０に含める必要がない。
【００５２】
速度発電機本体装置の発電電力と、検出器１１０Ｃ及び無線通信機１７０による消費電力との関係は、例えば次の様になる。すなわち、本実施形態の速度発電機本体装置は、従来の速度発電機と同様の発電出力が可能な構成であるため、２ｋΩの抵抗をつないだ状態で電圧が２０Ｖ程度、電流が０．１Ａ程度の０．２Ｗ程度の電力をコイル部１２２で発電することができる。一方、振動センサ１３０Ｂは、第２実施形態と同様なので消費電力は１ｍＷ以下である。無線通信機１７０は、ＩＥＥＥ８０２．１５．４準拠の無線通信モジュールとすると、動作時の消費電力は６０ｍＷ程度である。よって、速度発電機本体装置（より具体的にはコイル部１２２）が発電する３０％の電力で振動センサ１３０Ｂが動作可能であるため、振動センサ１３０Ｂ及び無線通信機１７０は動作可能と言える。
【００５３】
本実施形態によれば、第２実施形態と同様の作用効果を発揮することができる。また、第２実施形態の作用効果に加えて、本実施形態では、振動センサ１３０Ｂの振動検出結果を無線で状態監視装置１５０へ送信することができるため、ケーブル１６０に振動センサ１３０Ｂに係る信号線を含める必要がない。
【００５４】
〔変形例〕
以上、本発明を適用した実施形態について説明したが、本発明を適用可能な形態は上記形態に限定されるものではなく適宜構成要素の追加・省略・変更を施すことができる。
【００５５】
［変形例その１］
上記実施形態の速度発電機本体装置では、コイル部１２２のコイル軸を歯車２０の径方向に沿う向きに配置する構成としたが、コイル部１２２と歯車２０の歯との対向関係は、歯車２０の歯の接近と離隔によりコイル部１２２に起電力が生じるのであれば、コイル部１２２のコイル軸が歯車２０の径方向対して交差する配置構成であってもよい。
【００５６】
［変形例その２］
また、上記実施形態では、コイル部１２２の発生周波数に応じた信号は、ケーブル１６０により主電動機制御装置１６や状態監視装置１５０へ出力されているが、これを無線で送信する構成とすることもできる。
【００５７】
例えば、図６に示す検出器１１０Ｄのように、ケーブル１６０と、検出器側コネクタ１６７とを省略し、第１信号線１６１の代わりとなる信号線１６１Ｄを無線通信機１７０に接続する。そして、無線通信機１７０にて、コイル部１２２の発生周波数に応じた信号を示す情報と、振動センサ１３０により検出した振動検出信号を示す情報と、の両方を無線送信する構成とすればよい。
【００５８】
［変形例その３］
また、上記実施形態では、検出器１１０（１１０Ｂ、１１０Ｃ、１１０Ｄを含む）を、主電動機２の回転数の検出と振動の検出との両方に用いる例を示したが、回転数の検出結果の外部出力を省略する構成としてもよい。例えば、図７に示すように、第３実施形態の検出器１１０Ｃを改変した構成を採用することができる。すなわち、ケーブルグランド１６７にケーブル１６０を接続する代わりに、封止キャップ１６９を取り付けて使用することもできる。
【００５９】
［変形例その４］
また、上記実施形態は、本発明を鉄道車両の主電動機２の状態監視に適用した例を示したが適用先は鉄道に限らない。例えば、非鉄道の輸送機械、工作機械、プラント設備、などの電動機に適用することもできる。また、電動機ではなく発電機にも同様に適用可能である。
【符号の説明】
【００６０】
２…主電動機
２０…歯車
１００、１００Ｃ…状態監視システム
１１０、１１０Ｂ、１１０Ｃ、１１０Ｄ…検出器
１１９…収納部
１２１…台座部
１２２…コイル部
１３０、１３０Ｂ…振動センサ
１３２…整流平滑回路
１５０…状態監視装置
１５２…受信機
１６０…ケーブル
１６１…第１信号線
１６２…第２信号線
１６３…電源線
１７０…無線通信機
１７１…アンテナ
１７４…整流平滑回路
【図１】
2020008477.tif 000003
【図２】
2020008477.tif 000004
【図３】
2020008477.tif 000005
【図４】
2020008477.tif 000006
【図５】
2020008477.tif 000007
【図６】
2020008477.tif 000008
【図７】
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