(57)【要約】【課題】止水トルクを軽減することが可能なダイヤフラムバルブを提供すること。【解決手段】ダイヤフラムバルブ１０では、ダイヤフラム１２は、コンプレッサ６１と接触する面１２０ｂに弾性を有する。コンプレッサ６１は、中央に配置された押圧中央部６１１と、押圧中央部６１１の周縁に配置された押圧周縁部６１９と、を有する。ダイヤフラム１２は、流路２４の閉塞時に押圧中央部６１１に押圧される隔膜中央部７１０と、流路２４の閉塞時に押圧周縁部６１９に押圧される隔膜周縁部７２０と、を有する。隔膜中央部７１０が当接部３３ａと押圧中央部６１１に当接し且つ圧縮されていない未圧縮状態において、押圧周縁部６１９と隔膜周縁部７２０の間には空間Ｓが形成されている。【選択図】図１４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に形成された流路と、前記流路に設けられた当接部と、を有する弁本体と、
前記弁本体に配置され、前記当接部に接触することにより前記流路を閉塞可能な隔膜と、
前記隔膜を前記当接部に押圧する押圧部と、
前記押圧部を駆動して前記隔膜を前記当接部に押圧または前記当接部から離間する駆動部と、を備え、
前記隔膜は、前記押圧部に接触する面に弾性を有し、
前記押圧部は、中央に配置された押圧中央部と、前記押圧中央部の周縁に配置された押圧周縁部と、を有し、
前記隔膜は、前記流路の閉塞時に前記押圧中央部に押圧される隔膜中央部と、前記流路の閉塞時に前記押圧周縁部に押圧される隔膜周縁部と、を有し、
前記隔膜中央部が前記当接部と前記押圧中央部に当接し且つ圧縮されていない未圧縮状態において、前記押圧周縁部と前記隔膜周縁部の間には空間が形成されている、
ダイヤフラムバルブ。
【請求項２】
前記未圧縮状態における前記隔膜の前記当接部に当接する部分の形状は、前記当接部と同じ形状に形成されている、
請求項１に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項３】
前記押圧周縁部の前記隔膜を押圧する押圧周縁面は、前記流路の流通方向に対して垂直な平面において前記押圧中央部を挟んで２つの湾曲線を有し、
各々の前記湾曲線は、第１変曲点と前記第１変曲点より外側に配置された第２変曲点を有する、
請求項１または２に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項４】
前記空間のうち前記第２変曲点から外側の外側部分における前記押圧周縁部と前記隔膜の間隔は、前記空間のうち前記第１変曲点より内側の内側部分における前記押圧周縁部と前記隔膜の間隔より小さい、
請求項３に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項５】
前記押圧周縁部と前記隔膜の間隔は、
前記空間の前記内側部分において一定であり、
前記空間の前記外側部分において一定であり、
前記内側部分から前記外側部分に向かうに従って除々に小さくなる、
請求項４に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項６】
前記押圧周縁面のうち前記第１変曲点より内側の部分は、前記当接部側に凸に湾曲しており、
前記押圧周縁面のうち前記第２変曲点より外側の部分は、前記当接部と反対側に凸に湾曲している、
請求項４に記載のダイヤフラムバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイヤフラムバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
水処理、化学、食品などのプラントにおける配管ラインには、ダイヤフラムバルブが設けられており、ダイヤフラムバルブによって、配管を流れる流体の制御が行われる。
【０００３】
ダイヤフラムバルブでは、両端に配管が接続されてプラントに設置される。ダイヤフラムバルブは、ダイヤフラムが仕切壁の湾曲面部に圧接されることにより流路が閉鎖した状態とされ、ダイヤフラムが仕切壁から離間されることにより流路が開放された状態となる（例えば、特許文献１の図２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２７８３０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に示すダイヤフラムバルブでは、コンプレッサの湾曲面の形状によって止水トルクが大きくなる場合があった。
【０００６】
本発明の目的は、上記従来の課題を考慮して、止水トルクを軽減することが可能なダイヤフラムバルブを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、第１の発明にかかるダイヤフラムバルブは、弁本体と、隔膜と、押圧部と、駆動部と、を備える。弁本体は、内部に形成された流路と、流路に設けられた当接部と、を有する。隔膜は、弁本体に配置され、当接部に接触することにより流路を閉塞可能である。押圧部は、隔膜を当接部に押圧する。駆動部は、押圧部を駆動して隔膜を当接部に押圧または当接部から離間する。隔膜は、押圧部と接触する面に弾性を有する。押圧部は、中央に配置された押圧中央部と、押圧中央部の周縁に配置された押圧周縁部と、を有する。隔膜は、流路の閉塞時に押圧中央部に押圧される隔膜中央部と、流路の閉塞時に押圧周縁部に押圧される隔膜周縁部と、を有する。隔膜中央部が当接部と押圧中央部に当接し且つ圧縮されていない未圧縮状態において、押圧周縁部と隔膜周縁部の間には空間が形成されている。
【０００８】
これにより、低いトルクで止水が可能となるため、止水トルクを軽減することができる。止水性能を向上することができる。
【０００９】
第２の発明にかかるダイヤフラムバルブは、第１の発明にかかるダイヤフラムバルブであって、未圧縮状態における隔膜の当接部に当接する部分の形状は、当接部と同じ形状に形成されている。
【００１０】
このように同じ形状とすることによって、隔膜が当接する当接部における応力集中箇所の発生を抑制することができる。
このため、押圧部から隔膜へ力が上手く伝達され止水性能を向上することができる。
【００１１】
第３の発明にかかるダイヤフラムバルブは、第１または第２の発明にかかるダイヤフラムバルブであって、押圧周縁部の当接部を押圧する押圧周縁面は、流路の流通方向に対して垂直な平面において押圧中央部を挟んで２つの湾曲線を有する。各々の湾曲線は、第１変曲点と第１変曲点より外側に配置された第２変曲点を有する。
これにより押圧部の隔膜と接触する面を湾曲して形成することができる。
【００１２】
第４の発明にかかるダイヤフラムバルブは、第３の発明にかかるダイヤフラムバルブであって、空間のうち第２変曲点から外側の外側部分における押圧周縁部と隔膜の間隔は、空間のうち第１変曲点より内側の内側部分における押圧周縁部と隔膜の間隔より小さい。
これにより、低いトルクで止水が可能となるため、止水トルクを軽減することができる。止水性能を向上することができる。
【００１３】
第５の発明にかかるダイヤフラムバルブは、第４の発明にかかるダイヤフラムバルブであって、押圧周縁部と隔膜の間隔は、空間の内側部分において一定であり、空間の外側部分において一定であり、内側部分から外側部分に向かうに従って除々に小さくなる。
【００１４】
これにより、低いトルクで止水が可能となるため、止水トルクを軽減することができる。止水性能を向上することができる。
【００１５】
第６の発明にかかるダイヤフラムバルブは、第４の発明にかかるダイヤフラムバルブであって、押圧周縁面のうち第１変曲点より内側の部分は、当接部側に凸に湾曲しており、押圧周縁面のうち第２変曲点より外側の部分は、当接部と反対側に凸に湾曲している。
【００１６】
これにより、当接部の形状に合わせて隔膜を押圧することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、止水トルクを軽減することが可能なダイヤフラムバルブを提供することである。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明にかかる実施の形態のダイヤフラムバルブの斜視図。
【図２】図１のダイヤフラムバルブの部分断面図。
【図３】図１の弁本体を上方から視た斜視図。
【図４】図３のＢＢ´間の矢示断面図。
【図５】図１のダイヤフラム、コンプレッサ、ステムおよびスリーブの関係を示す図。
【図６】図１のダイヤフラムユニットを隔膜ボルト側から視た斜視図。
【図７】図１のダイヤフラムユニットを隔膜ボルトの反対側から視た斜視図。
【図８Ａ】図１のダイヤフラムの底面図
【図８Ｂ】図８ＡのＦＦ´間の矢視断面図。
【図９】図１のＡＡ´間の矢示断面図。
【図１０】（ａ）図３の弁本体の開口部近傍を示す平面図、（ｂ）図９（ａ）の弁本体にダイヤフラムを載置した状態を示す平面図。
【図１１】（ａ）図１のボンネットを上方から視た斜視図、（ｂ）図１１（ａ）のボンネットを下方から視た斜視図。
【図１２】（ａ）図５のコンプレッサを下方から視た底面図、（ｂ）図１１（ａ）のＣＣ´間の矢示断面図。
【図１３】（ａ）流路が閉鎖された状態を示す模式断面図、（ｂ）流路が開放された状態を示す模式断面図。
【図１４】弁本体の当接部、ダイヤフラム、およびコンプレッサを示す断面図。
【図１５】図１４に示す当接部とダイヤフラムを説明のために離間させた状態を示す図。
【図１６】図１４の弁本体の当接部とダイヤフラムを示す図。
【図１７】ダイヤフラムの部分断面図。
【図１８】ダイヤフラムの隔膜周縁面とコンプレッサ６１の押圧周縁面を示す模式図。
【図１９】比較例１のコンプレッサとダイヤフラムと弁本体の当接部を示す断面図。
【図２０】実施例１〜３および比較例１の結果の表を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明にかかる実施の形態におけるダイヤフラムバルブ１０について説明する。
＜１．構造＞
（１−１．ダイヤフラムバルブの概要）
図１は、本発明にかかる実施の形態のダイヤフラムバルブ１０の外観斜視図である。図２は、本実施の形態のダイヤフラムバルブ１０の部分断面構成図である。
【００２０】
本実施の形態のダイヤフラムバルブ１０は、図１および図２に示すように、弁本体１１と、ダイヤフラム１２（隔膜の一例）と、ボンネット１３（蓋部の一例）と、駆動機構１４と、を備えている。弁本体１１の両端に配管が接続される。弁本体１１には、流体が流れる流路２４が形成されている。ダイヤフラム１２は、流路２４を開放または遮断する。ボンネット１３は、ダイヤフラム１２を覆うように弁本体１１に取付けられている。駆動機構１４は、その一部がボンネット１３内に配置されており、ダイヤフラム１２を駆動する。
【００２１】
（１−２．弁本体１１）
図３は、弁本体１１を後述する第１面３１側から視た斜視図である。図４は、図３のＢＢ´間における弁本体１１の矢示断面図である。
【００２２】
弁本体１１は、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＨＴ（耐熱塩化ビニル管）、ＰＰ（ポリプロピレン）、またはＰＶＣＦ（ポリフッ化ブニリデン）、ポリスチレン、ＡＢＳ樹脂、ポリテトラフルオロエチレン、パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、ポリクロロトリフロオロエチレン等の樹脂、または、鉄、銅、銅合金、真鍮、アルミニウム、ステンレス等の金属、または磁器などによって形成することができる。
【００２３】
弁本体１１は、図３に示すように、第１端部２１と、第２端部２２と、中央部２３と、流路２４と、を有する。
【００２４】
第１端部２１と第２端部２２と中央部２３は、一体的に形成されており、流路２４は、図４に示すように、第１端部２１、中央部２３および第２端部２２にわたって形成されている。
【００２５】
（１−２−１．第１端部２１、第２端部２２）
第１端部２１と第２端部２２は、図３および図４に示すように、中央部２３を挟むように配置されており、中央部２３と繋がっている。
【００２６】
第１端部２１は、図３に示すように、流体が弁本体１１に流入する入口２４ａが形成されたフランジ２１３を有し、配管が接続可能である。
【００２７】
また、第２端部２２は、図４に示すように、弁本体１１から流体が排出される出口２４ｂが形成されたフランジ２２３を有し、配管が接続可能である。
【００２８】
フランジ２１３とフランジ２２３は、互いに対向して平行になるように形成されている。また、入口２４ａの位置と出口２４ｂの位置も対向している。
【００２９】
（１−２−２．中央部２３）
中央部２３は、図３に示すように、第１端部２１と第２端部２２の間に設けられている。中央部２３は、第１面３１と、第２面３２（図４参照）と、壁部３３（図４参照）と、第１リブ３５と、複数のボルト孔３７と、を有する。
【００３０】
第１面３１は、図３に示すように、略平面状であり、フランジ２１３とフランジ２２３に対して垂直に形成されている。第１面３１の中央には、開口部３１ａが形成されている。開口部３１ａは、その周縁が湾曲して形成されている。
【００３１】
第１リブ３５は、図３および図４に示すように、ダイヤフラム１２の外周に沿うように第１面３１から突出して形成されている。第１リブ３５は、開口部３１ａの外周縁全体に亘って形成されている。
【００３２】
第１リブ３５は、図３に示すように、円形状部３５１と、突出形状部３５２を有する。円形状部３５１は、開口部３１ａの外側であって開口部３１ａから所定の距離を空けて開口部３１ａの縁３１ａｅに沿って形成されている。突出形状部３５２は、円形状部３５１から外側に突出しており、概ね四角形状の外周をなぞるように形成されている。この突出形状部３５２の内側には、後述する図６に示すダイヤフラム１２の突出部１２５が配置される。
【００３３】
第１面３１は、図３に示すように、リブ３５と開口部３１ａの間に、ダイヤフラム１２の外周縁部１２１（後述する）が載置される載置部３１１を有する。
【００３４】
ボルト孔３７は、第１面３１の開口部３１ａの周囲に４つ形成されており、後述するボンネット１３のボルト孔１３４（図１１（ｂ）参照）と対向し、ボルト１００（図１参照）が挿入され、ボンネット１３が弁本体１１に固定される。
【００３５】
なお、入口２４ａから出口２４ｂを結ぶ線に沿った方向を第１方向Ｘ（流体の流通方向Ｘともいえる）とし、第１方向Ｘに対して垂直且つ第１面３１と平行な方向を第２方向Ｙ（幅方向Ｙともいえる）とする。第１方向Ｘは、フランジ２１３とフランジ２２３に対して垂直な直線に沿った方向ともいえる。また、後述するステム６３、コンプレッサ６１またはダイヤフラム１２の移動方向が矢印Ｚ（第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに垂直な方向）で示されている。
【００３６】
第２面３２は、図４に示すように、流路２４を挟んで第１面３１に対向する面である。第２面３２は、流路２４の形状に沿って形成されている。第２面３２は、中央部２３のボンネット１３が配置される側とは反対側の面である。
【００３７】
（１−２−３．流路２４）
流路２４は、図４に示すように、入口２４ａから出口２４ｂまで形成されている、壁部３３は、流路２４の中央に第１面３１に向かって突出して形成されている。壁部３３は、流路２４に傾斜を形成するように、流路２４の内面が第１面３１に向かって緩やかに盛り上がって形成されている。上述の開口部３１ａは、流路２４の途中に設けられている。また、開口部３１ａは、壁部３３に対応する位置に形成されている。
【００３８】
壁部３３の第１面３１側の先端である当接部３３ａには、後述するダイヤフラム１２が圧接する。当接部３３ａは、後述する図９に示すように、流通方向Ｘに対して垂直な平面において開口部３１ａ側に凹状に湾曲して形成されている。なお、当接部３３ａの形状については、後段にて詳述する。
【００３９】
流路２４は、図４に示すように、第１端部２１の入口２４ａから当接部３３ａまで形成されている入口側流路２４１と、第２端部２２の出口２４ｂから当接部３３ａまで形成されている出口側流路２４２と、入口側流路２４１と出口側流路２４２を連通する連通部２４３とを有する。
【００４０】
入口側流路２４１は、その内周面は湾曲して形成されており、図４に示すように、第１面３１と垂直な方向（駆動方向Ｚ）の幅が壁部３３に向かうに従って狭くなっている。一方、入口側流路２４１は、第１面３１と平行な方向の幅（図４における紙面に対して垂直な方向）は壁部３３に向かうに従って広くなっている。
【００４１】
出口側流路２４２は、その内周面は湾曲して形成されており、図４に示すように、第１面３１と垂直な方向の幅が壁部３３に向かうに従って狭くなっている。一方、出口側流路２４２は、第１面３１と平行な方向の幅（図４における紙面に対して垂直な方向）は壁部３３に向かうに従って広くなっている。
【００４２】
連通部２４３は、流路２４のうち壁部３３の第１面３１側の部分であり、入口側流路２４１と出口側流路２４２とを連通する。
【００４３】
第２面３２は、図４に示すように、入口側流路２４１に沿った入口側湾曲部３２１と、出口側流路２４２に沿った出口側湾曲部３２２とを有する。この入口側湾曲部３２１と出口側湾曲部３２２によって図４に示す壁部３３の第１面３１側への突出が形成されている。
なお、第２面３２には、補強用のリブ３４（図４参照）が設けられている。
【００４４】
（１−３．ダイヤフラムユニット１５）
図５は、ダイヤフラムユニット１５、ならびに後述するコンプレッサ６１、スリーブ６２およびステム６３等を示す斜視図である。図５には、ダイヤフラムユニット１５、コンプレッサ６１、スリーブ６２およびステム６３の中心軸Ｏが示されている。この中心軸Ｏは、第１面３１に対して垂直であり、後述するダイヤフラム１２、コンプレッサ６１およびステム６３の駆動方向と一致する。
【００４５】
図６は、ダイヤフラムユニット１５を隔膜ボルト６５側から視た斜視図である。図７は、ダイヤフラムユニット１５を隔膜ボルト６５の反対側から視た斜視図である。図８Ａはダイヤフラムユニット１５の底面図であり、図８Ｂは、図８ＡのＦＦ´間の矢示断面図である。
【００４６】
ダイヤフラムユニット１５は、ダイヤフラム１２と、隔膜ボルト６５を有している。ダイヤフラム１２は、駆動機構１４によって駆動され、流路２４を開閉する。隔膜ボルト６５は、ダイヤフラム１２に固定されており、駆動機構１４に連結されている。
【００４７】
（１−３−１．ダイヤフラム１２）
ダイヤフラム１２は、図２に示すように、開口部３１ａを塞ぐように第１面３１に配置されている。
【００４８】
図６および図７に示すように、ダイヤフラム１２は、隔膜部１２０と、外周縁部１２１と、突出部１２５と、リブ１２６と、を有する。
【００４９】
隔膜部１２０は、駆動機構１４によって上下動される。隔膜部１２０は、円形状であり、弁本体１１の開口部３１ａに対応する。
【００５０】
隔膜部１２０の当接部３３ａ側の面１２０ａには、図８Ａおよび図８Ｂに示すように、弁本体１１の壁部３３の当接部３３ａに向かって突出するように形成された突条部１２２が形成されている。突条部１２２は、第２方向Ｙに沿って形成されており、当接部３３ａに沿っている。隔膜部１２０の面１２０ａと反対側の面１２０ｂの中央部には、図８Ｂに示すように、ボンネット１３側に向かって突出した凸部１２４が形成されている。凸部１２４には、後述する隔膜ボルト６５がインサートされている。
【００５１】
隔膜部１２０は、隔膜中央部７１０と、隔膜周縁部７２０と、を有する。隔膜中央部７１０は、隔膜部１２０のうち中央に配置されている部分である。隔膜中央部７１０に、隔膜ボルト６５が挿入されて固定されている。隔膜周縁部７２０は、隔膜中央部７１０の周縁に設けられている。
【００５２】
図９は、図１のＡＡ´間の矢示断面図である。外周縁部１２１は、円環状であり、隔膜部１２０の外周に形成されており、図２および図９に示すように、後述するボンネット１３と弁本体１１によって挟まれている。
【００５３】
突出部１２５は、図６および図７に示すように、概ね直方体形状であり、外周縁部１２１から外側に向かって突出して形成されている。
【００５４】
リブ１２６は、図６および図８Ｂに示すように、外周縁部１２１の当接部３３ａとは反対側の面１２１ｂに周方向に沿って一周に亘って形成されており、図９に示すように、後述するボンネット１３の溝部１３８に嵌る。
【００５５】
また、リブ３５が設けられていることによって、ダイヤフラム１２が弁本体１１とボンネット１３に圧縮された場合であってもダイヤフラム１２の外側へのフローが規制される。
【００５６】
なお、リブ３５の高さは、ダイヤフラム１２の膜厚よりも低く設定されている。これにより、弁本体１１とボンネット１３の間でダイヤフラム１２の外周縁部１２１を圧縮することができる。
【００５７】
図１０（ａ）は、弁本体１１の第１面３１を示す平面図である。図１０（ｂ）は、弁本体１１にダイヤフラムユニット１５を載置した状態を示す平面図である。ダイヤフラム１２の外周縁部１２１がリブ３５の内側の載置部３１１に配置される。また、突出部１２５が、リブ３５の突出形状部３５２の内側に配置されるようにダイヤフラム１２が載置される。これにより、ダイヤフラム１２の周方向における位置ズレが防止され、ダイヤフラム１２の突条部１２２を当接部３３ａに沿った位置に合わせることができる。
【００５８】
ダイヤフラム１２が後述する駆動機構１４によって下方に移動し、壁部３３の当接部３３ａに当接することによって連通部２４３を閉鎖して流路２４が閉じられる。また、ダイヤフラム１２が駆動機構１４によって上方に移動し、当接部３３ａからダイヤフラム１２が離間することによって流路２４が開放される。
【００５９】
また、ダイヤフラム１２は、図８Ｂに示すように、第１隔膜部材２１０と第２隔膜部材２２０が積層されて形成されている。第１隔膜部材２１０は、ダイヤフラム１２の当接部３３ａ側を形成している。第２隔膜部材２２０は、ダイヤフラム１２の当接部３３ａと反対側を形成している。
【００６０】
第１隔膜部材２１０は、第２隔膜部材２２０の隔膜ボルト６５が突出している面とは反対側の面に配置されているともいえる。第２隔膜部材２２０を貫通して第１隔膜部材２１０に隔膜ボルト６５が挿入されている。第２隔膜部材２２０から隔膜ボルト６５が駆動機構１４側（当接部３３ａと反対側）に突出している。
【００６１】
第１隔膜部材２１０の材質はフッ素系樹脂であればよく、例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）またはＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）を用いることができる。上述した突条部１２２は、第１隔膜部材２１０に形成されており、当接部３３ａに接触する面（液と接触する面）が、フッ素系樹脂によって形成されている。
【００６２】
第２隔膜部材２２０の材質は、ゴム状の弾性体であれば良く、特に限定されるものではない。例えば、エチレンプロピレンゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、クロロスルフォン化ゴム、ニトリルゴム、スチレンブタジエンゴム、塩素化ポリエチレン、フッ素ゴム、ＥＰＤＭ（エチレン・プロピレン・ジエンゴム）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等が好適な材料として挙げられる。
【００６３】
このように、ダイヤフラム１２のコンプレッサ６１に接触する面１２０ｂが、弾性体によって形成されている。
【００６４】
また、第２隔膜部材２２０には強度の高い補強布がインサートされていても良く、補強布はナイロン製であることが望ましい。これは、ダイヤフラムバルブの閉時にダイヤフラム１２に流体圧がかかったときにダイヤフラム１２の変形や破損を防止することが可能となるため好ましい。
【００６５】
（１−３−２．隔膜ボルト６５）
隔膜ボルト６５は、例えば金属製であり、ダイヤフラム１２を駆動機構１４に連結する。隔膜ボルト６５は、一端がダイヤフラム１２の凸部１２４に埋め込まれており、他端がコンプレッサ６１に係止可能である。
【００６６】
隔膜ボルト６５は、図８Ｂに示すように、柱状部６５１と、挿入部６５２と、一対の係止ピン６５３と、を有する。
【００６７】
柱状部６５１は、円柱形状であり、中心軸Ｏに沿って配置される。中心軸Ｏは、ダイヤフラム１２、コンプレッサ６１またはステム６３の駆動方向（後述する図１３（ａ）および図１３（ｂ）参照）に沿っているため、柱状部６５１は、ダイヤフラム１２、コンプレッサ６１またはステム６３の駆動方向に沿って配置されているともいえる。
【００６８】
挿入部６５２は、図８Ｂに示すように、ダイヤフラム１２の凸部１２４に挿入されている。挿入部６５２は、第１隔膜部材２１０にインサートされている。
【００６９】
一対の係止ピン６５３は、柱状部６５１のダイヤフラム１２から露出している部分に設けられている。一対の係止ピン６５３は、柱状部６５１の側面から互いに反対側に突出している。一対の係止ピン６５３がコンプレッサ６１の一対の切り欠き部６１６ｂ（図１２（ａ）参照）を通過するように、隔膜ボルト６５が、貫通孔６１６に挿入される。
【００７０】
その後、中心軸Ｏを中心にして隔膜ボルト６５を回転させてコンプレッサ６１に隔膜ボルト６５が取り付けられる。
【００７１】
（１−４．ボンネット１３）
ボンネット１３は、弁本体１１と同様に、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＨＴ（耐熱塩化ビニル管）、ＰＰ（ポリプロピレン）、またはＰＶＣＦ（ポリフッ化ブニリデン）、ポリスチレン、ＡＢＳ樹脂、ポリテトラフルオロエチレン、パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、ポリクロロトリフロオロエチレン等の樹脂、または、鉄、銅、銅合金、真鍮、アルミニウム、ステンレス等の金属、または磁器などによって形成することができる。
【００７２】
図１１（ａ）は、ボンネット１３の外観を示す斜視図である。図１１（ｂ）は、ボンネット１３を下方から視た斜視図である。図に示すように、ボンネット１３は、本体部１３１と、弁本体１１に固定される固定部１３２と、を有する。
【００７３】
本体部１３１は、ドーム状であって、図１１（ｂ）に示すように、その広がった端１３１ａを縁とする開口１３ａを有する。開口１３ａは、第１面３１の開口部３１ａに対応する。また、本体部１３１は、図１１（ａ）に示すように、その窄まった部分に貫通孔１３ｂを有する。貫通孔１３ｂは、開口１３ａに対向して形成されており、後述するスリーブ６２およびステム６３が配置される。
【００７４】
固定部１３２は、端１３１ａから外側に向かって突出するように形成されており、図１１（ｂ）および図９に示すように、複数のボルト孔１３４と、外側面１３５と、内側面１３６と、段差面１３７と、溝部１３８とを有する。
【００７５】
ボルト孔１３４は、固定部１３２に４つ形成されており、弁本体１１のボルト孔３７と対向し、ボルト１００（図１参照）が挿入され、ボンネット１３が弁本体１１に固定される。
【００７６】
外側面１３５は、固定部１３２の弁本体１１側の面であって、外周に沿った部分である。内側面１３６は、外側面１３５の内側であって外側面１３５と開口１３ａの間に設けられている。内側面１３６は、外側面１３５よりもＺ方向において貫通孔１３ｂ側に位置しており、内側面１３６と外側面１３５の間には段差面１３７が形成されている。段差面１３７は、外側面１３５に対して概ね垂直に形成されている。外側面１３５は、図９に示すように、第１面３１と対向し、第１面３１上に配置される。リブ３５は、段差面１３７の内側に位置する。内側面１３６は、図９に示すように、リブ３５および載置部３１１に対向する。
【００７７】
段差面１３７がリブ３５の外側に位置しているため、外側面１３５の内側縁１３５ａ（外側面１３５と段差面１３７の角ともいえる）は、図１１（ｂ）に示すように、円形状部１３５ｂと、突出形状部１３５ｃと、を有する。円形状部１３５ｂは、リブ３５の円形状部３５１（図３参照）の外側に位置し、突出形状部１３５ｃは、リブ３５の突出形状部３５２（図３参照）の外側に位置する。
【００７８】
溝部１３８は、内側面１３６に開口１３ａに沿って周方向に一周にわたって形成されている。溝部１３８には、図９に示すように、ダイヤフラム１２のリブ１２６が嵌っており、ダイヤフラム１２の移動が規制される。
【００７９】
（１−５．駆動機構１４）
駆動機構１４は、図２に示すように、コンプレッサ６１と、スリーブ６２と、ステム６３と、ハンドル６４と、を有する。
【００８０】
（１−５−１．コンプレッサ６１）
コンプレッサ６１は、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）等によって形成されており、ダイヤフラムユニット１５の隔膜ボルト６５と連結されている。隔膜ボルト６５は、弁本体１１の反対側（非接液面側）に突出している。隔膜ボルト６５の突出した部分がコンプレッサ６１に係合されて、コンプレッサ６１とダイヤフラム１２は連結されている。
【００８１】
図１２（ａ）は、コンプレッサ６１の底面図である。図１２（ｂ）は、コンプレッサ６１のＣＣ´間の矢示断面図である。
【００８２】
コンプレッサ６１は、図１２（ａ）に示すように、底面から見て円状の押圧中央部６１１と、押圧周縁部６１９と、を有する。押圧中央部６１１は、ダイヤフラム１２の凸部１２４の先端面に接触し、ダイヤフラム１２の隔膜中央部７１０を当接部３３ａに押圧する。押圧中央部６１１のダイヤフラム１２の凸部１２４に接触する押圧中央面６１１ａが示されている。
【００８３】
押圧周縁部６１９は、押圧中央部６１１の周縁に設けられており、円環部６２０と、円環部６２０から外側に向かって突出した複数の突出部６１２ａ、６１２ｂ、６１３ａ、６１３ｂ、６１４ａ、６１４ｂ、６１５ａ、６１５ｂを有している。押圧周縁部６１９のダイヤフラム１２の隔膜周縁部７２０に接触する押圧周縁面６１９ａが示されている。
【００８４】
押圧中央部６１１と、その周囲の円環部６２０によって、図１２（ｂ）に示すように、孔部６１７と、凹部６１８と、貫通孔６１６が形成されている。孔部６１７は、円柱状の空間であり、中心軸Ｏを軸として形成されている。
【００８５】
孔部６１７には、隔膜ボルト６５の係止ピン６５３が配置される。また、孔部６１７には、後述するステム６３の先端部６３１が配置される。
【００８６】
また、凹部６１８は、図１２（ｂ）に示すように、コンプレッサ６１の当接部３３ａ側の面の中央に形成されている。凹部６１８は、底面視において略円柱形状の空間であり、中心軸Ｏを軸として形成されている。凹部６１８には、図９に示すように、ダイヤフラム１２の凸部１２４が挿入される。
【００８７】
貫通孔６１６は、図１２（ｂ）に示すように、孔部６１７と凹部６１８を連通する。貫通孔６１６は、隔膜ボルト６５が挿入される。貫通孔６１６は、ダイヤフラム１２の駆動方向（中心軸Ｏ方向）に沿って形成されている。
【００８８】
貫通孔６１６は、図１２（ａ）に示すように、円形孔部６１６ａと、円形孔部６１６ａの縁６１６ａｅから外側に向かって形成された一対の切り欠き部６１６ｂとを有する、一対の切り欠き部６１６ｂは、隔膜ボルト６５の係止ピン６５３が挿入可能なように対向して形成されている。
【００８９】
複数の突出部６１２ａ、６１２ｂ、６１３ａ、６１３ｂ、６１４ａ、６１４ｂ、６１５ａ、６１５ｂは、図１２（ａ）では、８個形成されており、等角度（約４５度）で形成されているため、２つずつが直径方向に対向する。すなわち、一対の突出部６１２ａと突出部６１２ｂが、円形孔部６１６ａの中心軸Ｏを通る直線に沿って押圧中央部６１１を挟んで設けられている。また、一対の突出部６１３ａと突出部６１３ｂが、円形孔部６１６ａの中心軸Ｏを通る直線に沿って押圧中央部６１１を挟んで設けられている。また、一対の突出部６１４ａと突出部６１４ｂが、円形孔部６１６ａの中心軸Ｏを通る直線に沿って押圧中央部６１１を挟んで設けられている。また、一対の突出部６１５ａと突出部６１５ｂが、円形孔部６１６ａの中心軸Ｏを通る直線に沿って押圧中央部６１１を挟んで設けられている。
【００９０】
突出部６１２ａ、６１２ｂ、６１４ａ、６１４ｂは、押圧中央部６１１から同じ長さ突出している。突出部６１３ａ、６１３ｂ、６１５ａ、６１５ｂは、押圧中央部６１１から同じ長さ突出している。突出部６１２ａ、６１２ｂ、６１４ａ、６１４ｂの長さは、突出部６１３ａ、６１３ｂ、６１５ａ、６１５ｂの長さよりも長く形成されている。
【００９１】
（１−５−２．スリーブ６２、ステム６３、ハンドル６４）
スリーブ６２は、図２に示すように、ボンネット１３の貫通孔１３ｂに支持されている。スリーブ６２の内側にはネジ形状が形成されている。
【００９２】
ステム６３は、スリーブ６２の内側に配置されており、スリーブ６２の内側に形成されたネジ形状と螺合している。図９に示すように、ステム６３のボンネット１３の内側に配置される先端部６３１は、コンプレッサ６１に固定されている。先端部６３１は、コンプレッサ６１の孔部６１７に配置されており、ピン１０１によってコンプレッサ６１に固定されている。
【００９３】
このように、ステム６３は、コンプレッサ６１と弁本体１１と反対側において固定されている。
【００９４】
ハンドル６４は、図２に示すように、ステム６３のボンネット１３の外側に位置する部分の外周部に嵌合されている。
【００９５】
＜２．動作＞
次に、本実施の形態のダイヤフラムバルブ１０の動作について説明する。図１３（ａ）および図１３（ｂ）は、ダイヤフラム１２の動作を模式的に示す図である。
【００９６】
図１３（ａ）に示すような流路２４が開放されている状態から、流路２４を閉じる方向にハンドル６４を回転させると、ハンドル６４の回転に従ってスリーブ６２も回転し、ステム６３が下降する。ステム６３の下降とともに、ステム６３の端に固定されたコンプレッサ６１も下降する。
【００９７】
コンプレッサ６１の下降により、ダイヤフラム１２は、図１３（ｂ）に示すように、第２面３２側に凸に湾曲し、壁部３３の当接部３３ａに圧接される。
【００９８】
これによって、ダイヤフラムバルブ１０の流路２４が遮断された状態となる。
一方、ハンドル６４を開方向に回転させると、ハンドル６４およびスリーブ６２の回転に従ってステム６３が上昇する。ステム６３の上昇とともにコンプレッサ６１も上昇し、隔膜ボルト６５の係止ピン６５３によってコンプレッサ６１と係合されたダイヤフラム１２の中央部が図１３（ａ）に示すように上昇する。
これによって、ダイヤフラムバルブ１０の流路２４が開放された状態となる。
【００９９】
＜３．当接部３３ａ、ダイヤフラム１２及びコンプレッサ６１の形状＞
図１４は、弁本体１１の当接部３３ａ、ダイヤフラム１２、およびコンプレッサ６１を示す断面図である。図１４では、ダイヤフラム１２の隔膜中央部７１０は、コンプレッサ６１の押圧中央部６１１と当接部３３ａに接触しており、且つ圧縮されていない状態を示している。
【０１００】
このような未圧縮状態において、当接部３３ａ、ダイヤフラム１２およびコンプレッサ６１の形状について説明する。
【０１０１】
（３−１．当接部３３ａとダイヤフラム１２の形状）
図１５は、図１４の当接部３３ａとダイヤフラム１２を離間させた状態を示す図であり、図１６は、図１４の当接部３３ａとダイヤフラム１２のみを示す図である。
【０１０２】
図１５に示すように、当接部３３ａは、流路２４に対して垂直な平面において、幅方向Ｙの中央から一方の側（図１５では左側）において、異なる中心を有する第１本体側湾曲部７１と第２本体側湾曲部７２を有する。
【０１０３】
第１本体側湾曲部７１は、図１５において当接部３３ａの中心７０から外側に向かって形成されている。第２本体側湾曲部７２は、第１本体側湾曲部７１の幅方向Ｙの外側に設けられ、第１本体側湾曲部７１と繋がって形成されている。第１本体側湾曲部７１および第２本体側湾曲部７２は、第２面３２側に向かって凸状に湾曲している。
【０１０４】
第１本体側湾曲部７１は、円周上に形成されており、その円の中心が７１ａとして示されている。中心７１ａは、第１本体側湾曲部７１の上方（ステム６３側）に設けられている。第１本体側湾曲部７１は、中心７１ａを通る点線（半径Ｒ１）の範囲で示されている。
【０１０５】
第２本体側湾曲部７２は、円周上に形成されており、その円の中心が７２ａとして示されている。中心７２ａは、第２本体側湾曲部７２の上方（ステム６３側）に設けられている。第２本体側湾曲部７２は、中心７２ａを通る点線（半径ｒ１）の範囲で示されている。
【０１０６】
一方、ダイヤフラム１２の隔膜周縁部７２０の当接部３３ａ側の隔膜周縁面７２０ａは、流路２４に対して垂直な平面において、異なる中心を有する第１隔膜側湾曲部８１と第２隔膜側湾曲部８２を有する。第１隔膜側湾曲部８１は、図１５において幅方向の中心８０から外側に向かって形成されている。
【０１０７】
第２隔膜側湾曲部８２は、第１隔膜側湾曲部８１の幅方向Ｙの外側に設けられ、第１隔膜側湾曲部８１と繋がって形成されている。第１隔膜側湾曲部８１および第２隔膜側湾曲部８２は、未圧縮状態において当接部３３ａに向かって凸状に湾曲している。
【０１０８】
第１隔膜側湾曲部８１は、円周上に形成されており、その円の中心が８１ａとして示されている。中心８１ａは、第１隔膜側湾曲部８１の上方（ステム６３側）に設けられている。第１隔膜側湾曲部８１は、中心８１ａを通る点線（半径Ｒ１）の範囲で示されている。
【０１０９】
第２隔膜側湾曲部８２は、円周上に形成されており、その円の中心が８２ａとして示されている。中心８２ａは、第２隔膜側湾曲部８２の上方（ステム６３側）に設けられている。第２隔膜側湾曲部８２は、中心８２ａを通る点線（半径ｒ１）の範囲で示されている。
【０１１０】
第１隔膜側湾曲部８１は、図１６に示すように、第１本体側湾曲部７１に対向して配置されており、第２隔膜側湾曲部８２は、第２本体側湾曲部７２に対向して配置されている。
【０１１１】
図１６に示すように、ダイヤフラム１２を当接部３３ａに接触させた状態において、ダイヤフラム１２の第１隔膜側湾曲部８１の中心８１ａは、当接部３３ａの第１本体側湾曲部７１の中心７１ａと一致する。また、ダイヤフラム１２の第２隔膜側湾曲部８２の中心８２ａは、当接部３３ａの第２本体側湾曲部７２の中心７２ａと一致する。なお、本明細書における一致とは、概ね一致していればよく、機械的誤差も含む。
【０１１２】
また、当接部３３ａは、幅方向Ｙにおいて左右対称であるため、幅方向Ｙの中央から他方の側（図１５では右側）においても同様である。
【０１１３】
このように、ダイヤフラム１２の隔膜周縁部７２０の隔膜周縁面７２０ａの形状は、弁本体１１の当接部３３ａの形状と一致している。なお、隔膜周縁面７２０ａは、突条部１２２の先端面に沿った面のことである。
【０１１４】
以上のように、コンプレッサ６１によってダイヤフラム１２が当接部３３ａに押圧された状態において中心７１ａ、７２ａが中心８１ａ、８２ａと一致することによって、コンプレッサ６１によって当接部３３ａを押圧する際に応力集中箇所の発生を抑制することができる。このため、コンプレッサ６１からダイヤフラム１２へ力が上手く伝達され止水性能を向上することができる。
【０１１５】
（３−２．ダイヤフラム１２とコンプレッサ６１の形状）
図１７は、ダイヤフラム１２を示す断面図である。ダイヤフラム１２の隔膜周縁部７２０のコンプレッサ６１側の隔膜周縁面７２０ｂは、流路２４に対して垂直な平面において、異なる中心を有する第３隔膜側湾曲部８３と第４隔膜側湾曲部８４を有する。第３隔膜側湾曲部８３と第４隔膜側湾曲部８４は、図１４に示す未圧縮状態において当接部３３ａ側に凸状に湾曲している。
【０１１６】
第３隔膜側湾曲部８３は、第１隔膜側湾曲部８１と同じ中心８１ａを通る点線（半径Ｒ１´）で示している。また、第４隔膜側湾曲部８４は、第２隔膜側湾曲部８２と同じ中心８２ａを通る点線（半径ｒ１´）で示されている。
【０１１７】
このため、ダイヤフラム１２のコンプレッサ６１側の第３隔膜側湾曲部８３と第４隔膜側湾曲部８４の形状も当接部３３ａの形状と一致している。
【０１１８】
また、第４隔膜側湾曲部８４と外周縁部１２１の間には、第５隔膜側湾曲部８５が設けられている。第５隔膜側湾曲部８５は図１４の未接触状態においてコンプレッサ６１側に凸状に湾曲している。
【０１１９】
第３隔膜側湾曲部８３と第４隔膜側湾曲部８４の間には、第１変曲点８６が設けられている。また、第４隔膜側湾曲部８４と第５隔膜側湾曲部８５の間には、第２変曲点８７が設けられている。
【０１２０】
図１８は、ダイヤフラム１２（一点鎖線で示す）の隔膜周縁面７２０ｂとコンプレッサ６１（実線で示す）の押圧周縁面６１９ａを示す模式図である。
【０１２１】
図１８に示すように、隔膜周縁面７２０ｂと押圧周縁面６１９ａの間には、空間Ｓが設けられている。すなわち、ダイヤフラム１２の隔膜中央部７１０がコンプレッサ６１の押圧中央部６１１と当接部３３ａに接触しており、且つ圧縮されていない未圧縮状態において、隔膜周縁面７２０ｂと押圧周縁面６１９ａは未接触であり、それらの間には、空間Ｓが設けられている。
【０１２２】
図１８では一方のみを示しているが、コンプレッサ６１の押圧周縁面６１９ａは、流路２４に対して垂直な平面において、幅方向Ｙにおいて押圧中央部６１０を挟んで２つ湾曲部９０（図１８では左側のみを示しており、右側は左側と左右対称となっている）を有している。各々の湾曲部９０は、流路２４に対して垂直な平面において、第１押圧側湾曲部９１と、第２押圧側湾曲部９２と、第３押圧側湾曲部９３と、を有する。
【０１２３】
第１押圧側湾曲部９１、第２押圧側湾曲部９２、および第３押圧側湾曲部９３は、押圧中央部６１１から外側に向かって順に設けられている。第１押圧側湾曲部９１と第２押圧側湾曲部９２の間に第１変曲点９４が設けられており、第１変曲点８６に対向している。また、第２押圧側湾曲部９２と第３押圧側湾曲部９３の間に第２変曲点９５が設けられており、第２変曲点８７に対向している。
【０１２４】
第１押圧側湾曲部９１および第２押圧側湾曲部９２は、当接部３３ａに向かって凸状に湾曲している。また、第３押圧側湾曲部９３は、当接部３３ａと反対側に向かって凸状に湾曲している。
【０１２５】
第１押圧側湾曲部９１は、第３隔膜側湾曲部８３に対向して設けられている。空間Ｓのうち第１押圧側湾曲部９１と第３隔膜側湾曲部８３の間の空間Ｓ１の間隔ａは一定となっている。
【０１２６】
第２押圧側湾曲部９２は、第４隔膜側湾曲部８４に対向して設けられている。空間Ｓのうち第２押圧側湾曲部９２と第４隔膜側湾曲部８４の間の空間Ｓ２の間隔は外側に向かうに従って徐々に小さくなっている。
【０１２７】
第３押圧側湾曲部９３は、第５隔膜側湾曲部８５に対向して設けられている。空間Ｓのうち第３押圧側湾曲部９３と第５隔膜側湾曲部８５の間の空間Ｓ３の間隔ｂは一定となっている。
【０１２８】
間隔ａは間隔ｂよりも小さくなっており、空間Ｓ２の間隔は、外側に向かって間隔ａから間隔ｂになるように除々に小さくなっている。
【０１２９】
＜４．実施例＞
次に、実施例を用いて実施の形態のダイヤフラムバルブについて説明する。
【０１３０】
本実施例１〜３では、空間Ｓの空間Ｓ１の間隔ａと空間Ｓ３の間隔ｂを変化させた場合の止水トルクについて検討を行った。また、比較例１では、空間Ｓを設けないようなコンプレッサ１０６１を用いて止水トルクの実験を行った。図１９に示すように、コンプレッサ１０６１の押圧周縁部１６１９の押圧周縁面１６１９ａは、隔膜周縁面７２０ｂの形状と一致しており、図１４で説明したように未圧縮状態において、隔膜周縁面７２０ｂと押圧周縁面１６１９ａの間には、空間Ｓが形成されていない。
【０１３１】
止水トルクの実験では、５０００Ｎのトルクを加えた状態から徐々にトルクを緩め、水漏れが発生した値を計測した。また、実施例１〜３および比較例１のダイヤフラムバルブに接続した配管は５０Ａである。
【０１３２】
図２０は、実施例１〜３および比較例１の結果の表を示す図である。
実施例１では、間隔ａを０．３６０ｍｍとし、間隔ｂを０．２３０ｍｍとした。この場合、１４００Ｎで液漏れが発生した。
【０１３３】
実施例２では、間隔ａを０．４８９ｍｍとし、間隔ｂを０．３１３ｍｍとした。この場合、１８００Ｎで液漏れが発生した。
【０１３４】
実施例３では、間隔ａを０．９７８ｍｍとし、間隔ｂを０．６２５ｍｍとした。この場合、２０００Ｎで液漏れが発生した。
【０１３５】
また、比較例１では、３４００Ｎで液漏れが発生した。
以上より、隔膜周縁面７２０ｂと押圧周縁面６１９ａの間に空間Ｓ（隙間ともいえる）を設けることにより、低いトルクでも水漏れの発生を防げることがわかる。
【０１３６】
＜５．特徴等＞
（５−１）
本実施の形態のダイヤフラムバルブ１０は、弁本体１１と、ダイヤフラム１２（隔膜の一例）と、コンプレッサ６１（押圧部の一例）と、スリーブ６２、ステム６３、およびハンドル６４（駆動部の一例）と、を備える。弁本体１１は、内部に形成された流路２４と、流路２４に設けられた当接部３３ａと、を有する。ダイヤフラム１２は、弁本体１１に配置され、当接部３３ａに接触することにより流路２４を閉塞可能である。コンプレッサ６１は、ダイヤフラム１２を当接部３３ａに押圧する。スリーブ６２、ステム６３、およびハンドル６４は、コンプレッサ６１を駆動してダイヤフラム１２を当接部３３ａに押圧または当接部３３ａから離間する。ダイヤフラム１２は、コンプレッサ６１と接触する面１２０ｂに弾性を有する。コンプレッサ６１は、中央に配置された押圧中央部６１１と、押圧中央部６１１の周縁に配置された押圧周縁部６１９と、を有する。ダイヤフラム１２は、流路２４の閉塞時に押圧中央部６１１に押圧される隔膜中央部７１０と、流路２４の閉塞時に押圧周縁部６１９に押圧される隔膜周縁部７２０と、を有する。隔膜中央部７１０が当接部３３ａと押圧中央部６１１に当接し且つ圧縮されていない未圧縮状態において、押圧周縁部６１９と隔膜周縁部７２０の間には空間Ｓが形成されている。
【０１３７】
これにより、低いトルクで止水が可能となるため、止水トルクを軽減することができる。止水性能を向上することができる。
【０１３８】
（５−２）
本実施の形態のダイヤフラムバルブ１０は、未圧縮状態におけるダイヤフラム１２の当接部３３ａに当接する第１隔膜側湾曲部８１および第２隔膜側湾曲部８２（部分の一例）の形状は、当接部３３ａと同じ形状に形成されている。
【０１３９】
このように同じ形状とすることによって、ダイヤフラム１２が当接する当接部３３ａにおける応力集中箇所の発生を抑制することができる。
【０１４０】
このため、コンプレッサ６１からダイヤフラム１２へ力が上手く伝達され止水性能を向上することができる。
【０１４１】
（５−３）
本実施の形態のダイヤフラムバルブ１０では、押圧周縁部６１９のダイヤフラム１２を押圧する押圧周縁面６１９ａは、流路２４の流通方向に対して垂直な平面において押圧中央部６１１を挟んで２つの湾曲部９０（湾曲線の一例）を有する。各々の湾曲部９０は、第１変曲点９４と第１変曲点９４より外側に配置された第２変曲点９５を有する。
【０１４２】
これによりコンプレッサ６１のダイヤフラム１２と接触する面を湾曲して形成することができる。
【０１４３】
（５−４）
本実施の形態のダイヤフラムバルブ１０では、空間Ｓのうち第２変曲点９５から外側の空間Ｓ３（外側部分の一例）における押圧周縁部６１９とダイヤフラム１２の間隔ｂは、空間Ｓのうち第１変曲点９４より内側の空間Ｓ１（内側部分の一例）における押圧周縁部６１９とダイヤフラム１２の間隔ａより小さい。
【０１４４】
これにより、低いトルクで止水が可能となるため、止水トルクを軽減することができる。止水性能を向上することができる。
【０１４５】
（５−５）
本実施の形態のダイヤフラムバルブ１０では、押圧周縁部６１９とダイヤフラム１２の間隔は、空間Ｓの空間Ｓ１において一定であり、空間Ｓの空間Ｓ３において一定であり、空間Ｓ１から空間Ｓ３に向かうに従って除々に小さくなる。
【０１４６】
これにより、低いトルクで止水が可能となるため、止水トルクを軽減することができる。止水性能を向上することができる。
【０１４７】
（５−６）
本実施の形態のダイヤフラムバルブ１０では、押圧周縁面６１９ａのうち第１変曲点９４より内側の第１押圧側湾曲部９１（部分の一例）は、当接部３３ａ側に凸に湾曲しており、押圧周縁面６１９ａのうち第２変曲点９５より外側の第３押圧側湾曲部９３（部分の一例）は、当接部３３ａと反対側に凸に湾曲している。
【０１４８】
これにより、当接部３３ａの形状に合わせてダイヤフラム１２を押圧することができる。
【０１４９】
［他の実施形態］
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【０１５０】
（Ａ）
上記実施の形態では、当接部３３ａの中心から双方の側に２つの湾曲部（第１本体側湾曲部７１、第２本体側湾曲部７２）が設けられているが、３つ以上であってもよいし、円でなく湾曲しているだけでもよい。
【０１５１】
（Ｂ）
上記実施の形態では、流路方向Ａに対して垂直な断面においてコンプレッサ６１の押圧周縁面６１９ａには、２つの変曲点（第１変曲点９４と第２変曲点９５）が設けられているが、２つに限らなくてもよく、１つまたは３つ以上であってもよい。
【０１５２】
（Ｃ）
上記実施の形態では、隔膜ボルト６５は、ダイヤフラム１２の挿入部６５２は第１隔膜部材２１０にインサートされているが、第２隔膜部材２２０にインサートされていてもよい。その場合、第１隔膜部材２１０と第２隔膜部材２２０は接着するほうが好ましい。
【０１５３】
（Ｄ）
上記実施の形態では、ダイヤフラム１２は、第１隔膜部材２１０と第２隔膜部材２２０が積層されて形成されているが、１つの部材から形成されていてもよい。その場合、第２隔膜部材２２０に用いられているゴム状の弾性体が用いられるほうが好ましい。
【０１５４】
（Ｅ）
上記実施の形態のダイヤフラムバルブ１０では、駆動部の一例として手動式のハンドル６４が設けられているが、空気駆動式または電気駆動式の駆動部によってステム６３が駆動されてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１５５】
本発明のダイヤフラムバルブは、止水性能を向上させることが可能な効果を発揮し、プラント等に利用可能である。
【符号の説明】
【０１５６】
１０        ：ダイヤフラムバルブ
１２        ：ダイヤフラム
２４        ：流路
３３ａ      ：当接部
６１        ：コンプレッサ
１２０ｂ    ：面
６１１      ：押圧中央部
６１９      ：押圧周縁部
７１０      ：隔膜中央部
７２０      ：隔膜周縁部
Ｓ          ：空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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