(57)【要約】      （修正有）【課題】常に緊密な密閉状態を維持することができる真空バルブ用開閉プレートを提供する。【解決手段】密閉プレート１００とシャフトブレード２００の間に弾性材質の緩衝パッド部材３００をボンディング結合して、密閉プレートとシャープトブレードが弾性的に連結されるように構成することにより、駆動部またはシャフトの機械的な離隔誤差が発生するとか、駆動部の作動する力の不均衡によって発生する密閉プレートの垂直面上の位置変更に対して緩衝パッド部材が可変的に対応して密閉プレートが移動路を閉鎖する場合に、密閉プレートが移動路に精巧に密着して、常に緊密な密閉状態を維持することができる。【選択図】図３
2020008164.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空バルブ（10）の内側に具備して駆動部（20）の作動可否によって、移動路（11）を開閉する真空バルブ用開閉プレート（1）において、
板形状に形成され、前面が移動路（11）と接触する密閉プレート（100）と、
前記密閉プレート（100）の後面側に結合し、前記駆動部（20）のシャフト（21）が結合するシャフトブレード（200）と、
前記密閉プレート（100）と前記シャフトブレード（200）の間に形成される弾性材質の緩衝パッド部材（300）と、で構成され、
前記緩衝パッド部材（300）の前面中央側に横断ロッド（311、311`）と縦断ロッド（312）で形成された十字形態のねじれ防止突出部（310）が突出し形成され、
前記密閉プレート（100）の後面中央側に、前記緩衝パッド部材（300）の前面が、前記密閉プレート（100）の後面に接触した状態で、前記ねじれ防止突出部（310）が停止する決着陥没部（110）が陥没し形成され、
前記緩衝パッド部材（300）は、前記緩衝パッド部材（300）の中央から両側に漸次的にそれぞれ厚く形成されて、両方側端の厚さ（D1）が、中央側の厚さ（D2）より厚く形成されることを特徴とする真空バルブ用開閉プレート（1）。
【請求項２】
前記横断ロッドの長さ（311、311`）は、前記縦断ロッド（312）の長さ（L2）より長く形成されることを特徴とする請求項1に記載の真空バルブ用開閉プレート（1）。
【請求項３】
前記緩衝パッド部材（300）の前面及び、前記ねじれ防止突出部（310）の前面には、凹凸形状の凹凸部（320）が形成されることを特徴とする請求項1に記載の真空バルブ用開閉プレート（1）。
【請求項４】
前記緩衝パッド部材（300）の前面及び、前記ねじれ防止突出部（310）の前面には、横方向に突出バー（330）が多数個突出し形成されることを特徴とする請求項1に記載の真空バルブ用開閉プレート（1）。
【請求項５】
前記密閉プレート（100）の後面両側には、ボルティング結合溝（120、120`）が垂直方向にそれぞれ形成され、
前記シャフトブレード（200）の両側には、ボルティング挿入孔（210、210`）が垂直方向にそれぞれ形成され、
前記シャフトブレード（200）の前面には、前記ボルティング挿入孔（210、210`）と連通する通過孔（221、221`）を含む支持突出部（220）がそれぞれ突出し形成され、
前記緩衝パッド部材（300）の両側には、それぞれの前記支持突出部（220）と接触する接触突起部（340）がそれぞれ形成され、
それぞれの前記ボルティング挿入孔（210、210`）に挿入された状態で、それぞれの前記ボルティング結合溝（120、120`）に結合し、前記密閉プレート（100）と前記シャフトブレード（200）を連結する連結ボルト（400）が形成されることを特徴とする請求項1に記載の真空バルブ用開閉プレート（1）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空バルブ用開閉プレートに関し、真空バルブ（10）の内側に具備して駆動部（20）の作動可否によって移動路（11）を開閉する真空バルブ用開閉プレート（1）において、
板形状に形成され、前面が移動路（11）と接触する密閉プレート（100）と、
前記密閉プレート（100）の後面側に結合し、前記駆動部（20）のシャープト（21）が結合するシャフトブレード（200）と、
前記密閉プレート（100）と前記シャフトブレード（200）の間に形成される弾性材質の緩衝パッド部材（300）と、で構成されることを特徴とする真空バルブ用開閉プレートに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、半導体工程で使用する真空バルブは、半導体製造用工程チャンバと真空ポンプの間の真空配管に設置して、半導体の製造又は真空配管や真空ポンプなど、工程設備の補修、維持のために真空配管内の流路を遮断するために使用するバルブをいう。
【０００３】
このような真空バルブの構成の中で駆動部材と連結され、駆動部材の駆動力により移動通路を開閉する開閉プレート又はブレードは駆動部材の作動可否によって、垂直及び水平移動し、移動通路を開閉する役割をすることにより、工程チャンバ内の真空度を維持させ、作業の効率性を増進させるのに非常に重要な役割をする。
【０００４】
このため、ブレードは、移動通路を閉鎖する場合に、移動通路と密閉力が高いように設計することが好ましい。
【０００５】
このようなブレードは、多様な実施例を介して公開されており、その中に下記特許文献1の「真空バルブ（大韓民国登録特許公報第10-1726452号）」が掲示されている。
【０００６】
前記特許文献1の「真空バルブ」は、真空領域に配置された少なくとも一つのバルブプレート（5）、バルブプレート（5）を持っている少なくとも一つのバルブロッド（12）、真空バルブの真空領域の外部に配置された縦―ドライブ装置（15、15'）、及び、真空バルブの真空領域の外部に配置された横―ドライブ装置（16、16'）を含む真空バルブにおいて、前記バルブプレートは、バルブプレートがバルブ開口部（2）を開放する開放位置から縦方向（6）に移動すると、バルブプレートは、バルブ開口部（2）を包んでいるものの、バルブシート（4）から持ち出されている中間位置に移動することができるし、バルブプレートの中間位置から、縦方向（6）に対して直角である横方向（7）に移動すると、バルブプレートは、バルブシートに下ろし押され、バルブ開口部（2）を閉鎖する閉鎖位置に移動することができ、前記バルブロッドは、真空バルブの真空領域外に案内されており、そして壁（1）に対して、バルブロッド（12）の縦軸（14）に対して平行に置かれている、縦方向（6）に移動することができ、また、前記壁に対して横方向（7）に平行に移動することができるし、前記縦-ドライブ装置によりバルブロッド（12）は、バルブプレート（5）をその開放位置とその中間位置の間で移動させるために、縦方向（6）に移動することができるし、前記横-ドライブ装置によりバルブロッド（12）は、バルブプレート（5）を、その中間位置とその閉鎖位置の間で移動させるために横方向（7）に平行に移動することができるし、ガイドユニット（20、20'）は、真空バルブの真空領域の外部に位置しており、バルブロッド（12）を縦方向（6）に移動できるように案内し、ベアリングユニット（17、17'）は、真空バルブの真空領域外に位置しており、壁（1）にしっかりと連結されており、ベアリングユニット（17、17'）は、ガイドユニット（20、20'）を横方向（7）に移動できるように案内し、横-ドライブ装置（16、16'）によってバルブロッド（12）を横方向（7）に移動させるために加えられた力はガイドユニット（20、20'）を介してバルブロッド（12）に作用する。この場合に、ガイドユニット（20、20'）は、バルブロッド（12）と一緒に横方向（7）にベアリングユニット（17、17'）に対して移動させることが特徴である。
【０００７】
しかし、前記特許文献1の「真空バルブ」は、バルブ開口部の開閉のために、水平方向に移動するバルブプレートがシリンダーを作動する圧縮空気の量、ピストンの上昇出力、バルブプレートに加えられる回転力は、各構成要素の連結支店などの微細な差によって、バルブ開口部に対して水平状態ではない一側が食い違って移動することにより、バルブプレートとバルブ開口部が会う面に離隔現象が発生する。これにより、密閉力が低下して工程チャンバ内に使用するバルブとしての機能が失われるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
（特許文献0001）特許文献1：大韓民国登録特許公報第10-1726452号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上述した問題点を解決するために考案されたもので、本発明の目的は、密閉プレートとシャフトブレードの間に弾性材質の緩衝パッド部材をボンディング結合して密閉プレートとシャフトブレードが弾性的に連結されるように構成することにより、駆動部またはシャフトの機械的な離隔誤差が発生するとか、駆動部の作動される力の不均衡によって発生する密閉プレートの垂直面上の位置変更に対して、緩衝パッド部材が可変的に対応して密閉プレートが移動路を閉鎖する場合に、密閉プレートが移動路に精巧に密着して、常に緊密な密閉状態を維持することができる真空バルブ用開閉プレートを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記のような問題点を解決するために、本発明に係る真空バルブ用開閉プレートは、真空バルブ（10）の内側に具備して駆動部（20）の作動可否によって、移動路（11）を開閉する真空バルブ用開閉プレート（1）において、
板形状に形成され、前面が移動路（11）と接触する密閉プレート（100）と、
前記密閉プレート（100）の後面側に結合し、前記駆動部（20）のシャフト（21）が結合するシャフトブレード（200）と、
前記密閉プレート（100）と前記シャフトブレード（200）の間に形成される弾性材質の緩衝パッド部材（300）と、で構成されることを特徴とする。
【００１１】
また、前記緩衝パッド部材（300）の前面中央側には横断ロッド（311、311`）と縦断ロッド（312）で形成された十字形態のねじれ防止突出部（310）が突出し形成され、前記密閉プレート（100）の後面中央側には前記緩衝パッド部材（300）の前面が前記密閉プレート（100）の後面に接触した状態で、前記ねじれ防止突出部（310）が停止する決着陥没部（110）が陥没し形成されることを特徴とする。
【００１２】
また、前記横断ロッドの長さ（311、311`）は、前記縦断ロッド（312）の長さ（L2）より長く形成されることを特徴とする。
【００１３】
また、前記緩衝パッド部材（300）は、前記緩衝パッド部材（300）の中央から両側に漸次的にそれぞれ厚く形成されて、両方側端の厚さ（D1）が、中央側の厚さ（D2）より厚く形成されることを特徴とする。
【００１４】
また、前記緩衝パッド部材（300）の前面及び、前記ねじれ防止突出部（310）の前面には、凹凸形状の凹凸部（320）が形成されることを特徴とする。
【００１５】
また、前記緩衝パッド部材（300）の前面及び、前記ねじれ防止突出部（310）の前面には、横方向に突出バー（330）が多数個突出し形成されることを特徴とする。
【００１６】
また、前記密閉プレート（100）の後面両側には、ボルティング結合溝（120、120`）が垂直方向にそれぞれ形成され、前記シャフトブレード（200）の両側には、ボルティング挿入孔（210、210`）が垂直方向にそれぞれ形成され、前記シャフトブレード（200）の前面には、前記ボルティング挿入孔（210、210`）と連通する通過孔（221、221`）を含む支持突出部（220）が、それぞれ突出し形成され、前記緩衝パッド部材（300）の両側には、それぞれの前記支持突出部（220）と接触する接触突起部（340）がそれぞれ形成され、それぞれの前記ボルティング挿入孔（210、210`）に挿入した状態で、それぞれの前記ボルティング結合溝（120、120`）に結合して、前記密閉プレート（100）と前記シャフトブレード（200）を連結する連結ボルト（400）が形成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように、本発明によれば、密閉プレートとシャフトブレードの間に弾性材質の緩衝パッド部材をボンディング結合して密閉プレートとシャフトブレードが弾性的に連結されるように構成することにより、駆動部またはシャフトの機械的な離隔誤差が発生するとか、駆動部の作動される力の不均衡によって発生する密閉プレートの垂直面上の位置変更に対して緩衝パッド部材が可変的に対応して密閉プレートが移動路を閉鎖する場合に、密閉プレートが移動路に精巧に密着して、常に緊密な密閉状態を維持することができるという長所がある。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの開閉プレートが真空バルブに具備した姿を示す斜視図である。
【図２】本発明の好ましい実施例に係る真空バルブ用開閉プレートの全体姿を示す斜視図である。
【図３】本発明の好ましい実施例に係る真空バルブ用開閉プレートの分解された姿を前面方向から示す分解斜視図である。
【図４】本発明の好ましい実施例に係る真空バルブ用開閉プレートの分解された姿を後面方向から示す分解斜視図である。
【図５】本発明の好ましい実施例に係る真空バルブ用開閉プレートの構成の中で緩衝パッド部材の平面姿を示す平面図である。
【図６】本発明の好ましい実施例に係る真空バルブ用開閉プレートの構成の中で緩衝パッド部材の正面姿を示す正面図である。
【図７】本発明の好ましい他の実施例に係る真空バルブ用開閉プレートの構成の中でシャフトブレード及び緩衝パッド部材の姿を示す斜視図である。
【図８】本発明の好ましい他の実施例に係る真空バルブ用開閉プレートの構成の中でシャフトブレードと緩衝パッド部材の正面姿を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下では、添付された図面を参照し、本発明の一実施例に係る真空バルブ用開閉プレート（1）を詳細に説明する。まず、図面の中で、同一の構成要素または部品は、できる限り同一の参照符号で示していることに留意しなければならない。本発明の説明において、係わる公知機能あるいは構成に関する具体的な説明は、本発明の要旨を曖昧ではないようにするために略する。
【００２０】
図2または図3を参照すると、本発明の一実施例に係る真空バルブ用開閉プレート（1）は大きく密閉プレート（100）、シャフトブレード（200）及び緩衝パッド部材（300）で構成される。
【００２１】
説明に先立って、真空バルブ用開閉プレート（1）は、その作動が円滑に行われるように、真空バルブ（10）に構成される駆動部（20）、エアフィッティング部（未図示）または外部の電源印加装置などの構成要素と連動するものとして、前記駆動要素を構成して作動する原理は、本発明が属する分野で広く知られた水準の技術水準に当たるので、詳細な説明は略する。
【００２２】
まず、密閉プレート（100）について説明する。前記密閉プレート（100）は、図1、図2または図3に示すように、真空バルブ（10）内部に形成された空間に具備して駆動部（20）の作動可否によって、前、後方向に移動し、移動路（11）を閉鎖するとか、開放する構成要素として、決着陥没部（110）、ボルティング結合溝（120、120`）、嵌溝（130）及び弾性リング部材（140）で構成される。
【００２３】
前記決着陥没部（110）は、前記密閉プレート（100）の後面中央側に十字（+）の形態で陥没し形成される構成要素として、縦方向に縦溝部（112）が形成され、前記縦溝部（112）の両側に横溝部（111、111`）がそれぞれ形成される。
【００２４】
このような前記決着陥没部（110）は、後述する緩衝パッド部材（300）の前面が、前記密閉プレート（100）の後面に接触した状態で、後述するねじれ防止突出部（310）が停止することにより、駆動部（20）の駆動によってシャフト（21）が上、下移動または前、後方向に移動する場合に、駆動の時に揺れで発生する振動または駆動部（20）の中心から発生するモーメントによるねじれ現象が、前記密閉プレート（100）に伝達されることを最小化し、一体化構造を図って耐久性を向上させることができる。
【００２５】
前記ボルティング結合溝（120、210`）は、前記密閉プレート（100）の後面両側に対称を成し、それぞれ陥没形成される一種のボルト連結溝として、後述するシャフトブレード（200）と連結される、後述する連結ボルト（400）を結合して、前記密閉プレイト（10）と、前記シャフトブレード（200）を連結する役割をする。
【００２６】
このとき、前記ボルティング結合溝（120、120`）は、図4に示すように、一側に上、下方向に一対を成すことができるし、一側に一つだけ形成されることもできる。
【００２７】
前記嵌溝（130）は、前記密閉プレート（100）の前面周囲に形成される一種の溝として、後述する弾性リング部材（140）が挿入される。
【００２８】
前記弾性リング部材（140）は、前記嵌溝（130）に挿入された状態で、前記密閉プレート（100）が移動路（11）の閉鎖のために移動路（11）に接触する場合に、移動路（11）の接触面に接触して緊密な密閉をガイドする役割をする。
【００２９】
一方、前記弾性リング部材（140）は、前記嵌溝（130）に抑止嵌を介して前記密閉プレート（100）に結合することができるし、他の実施例では、未加硫（加黄）されたゴム（例えばコンパウンドなど）で構成された、前記弾性リング部材（140）を接着剤が塗布された金属材質の前記密閉プレート（100）と一緒に金型に入れ、熱と圧力を加えて化学的反応を介して、前記弾性リング部材（140）と、前記密閉プレート（100）が接着される加硫接着方式を使用して結合することもできる。
【００３０】
次に、シャフトブレード（200）について説明する。前記シャフトブレード（200）は、図3または図4に示すように、前記密閉プレート（100）の後面側に結合し、駆動部（20）に形成されるシャフト（21）と結合して、前記駆動部（20）の駆動力を前記密閉プレート（100）に伝達する構成要素として、ボルティング挿入孔（210、210`）、支持突出部（220）及び、シャフト結合孔（230）で構成される。
【００３１】
前記ボルティング挿入孔（210、210`）は、前記シャフトブレード（200）の両側に1つまたは2つ以上、それぞれ打孔し形成されて前記連結ボルト（400）が挿入される構成要素である。
【００３２】
前記支持突出部（220）は、前記シャフトブレード（200）の前面に突出し形成され、内側にそれぞれの前記ボルティング挿入孔（210、210`）と連通する通過孔（221、221`）が打孔し形成される構成要素として、前記支持突出部（220）は、前記緩衝パッド部材（300）の後面が、前記シャフトブレード（200）の前面に当接した状態で、後述する接触突起部（340、340`）が水平方向に支持されることにより、駆動部（20）の駆動によってシャフト（21）が上、下移動または前、後方向に移動する場合に、機械的な誤差、駆動の時に揺れで発生する振動、駆動力の力伝達不均衡または駆動部（20）の中心から発生するモーメントによるねじれ現象などにより、前記緩衝パッド部材（300）が水平方向のいずれか一方に偏って位置されることを防止することにより、前記緩衝パッド部材（300）がより安定的に可変して前記移動路（11）を前記密閉プレート（100）が緊密な閉鎖することができる。
【００３３】
前記シャフト結合孔（230）は、前記シャフトブレード（200）に打孔し形成され、前記シャフト（21）が挿入される構成要素である。
【００３４】
次に、緩衝パッド部材（300）について説明する。前記緩衝パッド部材（300）は、図4、図5または図6に示すように、前記密閉プレート（100）と前記シャフトブレード（200）の間に形成される弾性材質の構成要素として、振動バルブ（10）の駆動の時に、機械的な誤差、揺れで発生する振動、駆動力の力伝達不均衡または駆動部（20）の中心から発生するモーメントによるねじれ現象などの不均衡的な駆動力を伝達受けて可変的に変化し、前記密閉プレート（100）に駆動力を最大限に均衡的な力で伝達して、前記移動路（11）を前記密閉プレート（100）が緊密な閉鎖することをガイドする役割をする。
【００３５】
このような前記緩衝パッド部材（300）は、ねじれ防止突出部（310）、凹凸部（320）、突出バー（330）及び、接触突起部（340、340`）で構成される。
【００３６】
前記ねじれ防止突出部（310）は、前記緩衝パッド部材（300）の前面中央側に横断ロッド（311、311`）と縦断ロッド（312）で形成された十字形状の突起として、前記緩衝パッド部材（300）の前面が、前記密閉プレート（100）の後面に当接した状態で、前記ねじれ防止突出部（310）が前記決着陥没部（110）に位置することにより、駆動部（20）の駆動によってシャープト（21）が上、下移動または前、後方向に移動する場合に、駆動の時に揺れで発生する振動または駆動部（20）の中心から発生するモーメントによるねじれ現象が、前記密閉プレート（100）に伝達されることを最小化し、一体化構造を図って耐久性を向上させることができる。
【００３７】
この時、前記横断ロッドの長さ（311、311`）は、前記縦断ロッド（312）の長さ（L2）より長く形成することにより、製品特性の上に、横方向に長く形成される密閉プレート（100）に駆動力伝達をより安定的に対応することができる。
【００３８】
前記凹凸部（320）は、前記緩衝パッド部材（300）の前面及び、前記ねじれ防止突出部（310）の前面に凹凸形状のエンボス形態で構成された構成要素として、前記凹凸部（320）は、駆動部（20）の駆動により発生する駆動力を伝達受ける前記シャフトブレード（200）が、その駆動力を前記密閉プレート（100）に均一に伝達することをガイドし、低圧状態で前記密閉プレート（100）が移動路（11）を閉鎖する場合に、高い密閉性を維持することができる。
【００３９】
一方、前記凹凸部（320）の他の実施例では、図7または図8に示すように、前記緩衝パッド部材（300）の前面及び、前記ねじれ防止突出部（310）の前面に横方向に長く形成される突出バー（330）が多数個突出し形成されることにより、製品特性の上に、横方向に長く形成される密閉プレート（100）に駆動力伝達をより安定的に対応することができる。
【００４０】
前記接触突起部（340、340`）は、前記緩衝パッド部材（300）の両側に形成されて、前記支持突出部（220）と接触する構成要素として、真空バルブ（10）の駆動の時に発生する機械的な誤差、揺れで発生する振動、駆動力の力伝達不均衡、駆動部（20）の中心から発生するモーメントによるねじれ現象、純粋な駆動力等により、前記緩衝パッド部材（300）が可変の時に、前記緩衝パッド部材（300）が水平方向のいずれか一方に偏って位置されることを防止することにより、前記緩衝パッド部材（300）がより安定的に可変して、前記移動路（11）を前記密閉プレート（100）が緊密な閉鎖するこたができる。
【００４１】
一方、前記緩衝パッド部材（300）は、前記緩衝パッド部材（300）の中央から両側に漸次的にそれぞれ厚く形成されて、両方側端の厚さ（D1）が、中央側の厚さ（D2）より厚く形成されることにより、駆動部（20）を介して前記シャフトブレード（200）に伝達する駆動力を前記緩衝パッド部材（300）の両側端に均一に伝達することができる。
【００４２】
一方、前記緩衝パッド部材（300）は、前記密閉プレート（100）と前記シャフトブレード（200）の間に位置されて、前記連結ボルト（400）を介して抑止嵌形式で結合することもできるし、前記密閉プレート（100）及び、前記シャフトブレード（200）の間に接着剤を利用したボンディング結合方式を介して結合することもできる。
【００４３】
図面と明細書で最適の実施例を開示した。ここで特定の用語を用いたが、これは単に本発明を説明するための目的で用いたものであり、意味の限定や特許請求の範囲に記載された本発明の範囲を制限するために用いたものではない。従って、当該技術分野の通常の知識を有する者であれば、多様な変形および均等な他の実施例が可能であることを理解すべきである。また、本発明の真の技術的保護範囲は、添付された特許請求の範囲の技術的思想によって定められる。
符号の説明
[0050]
1：真空バルブ用開閉プレート
10：真空バルブ                  11：移動路
20：駆動部                      21：シャフト
100：密閉プレート
110：決着陥没部                  111、111`：横溝部
112：縦溝部                      120、120`：ボルティング結合溝
130：嵌溝                        140：弾性リング部材
200：シャフトブレード
210、210`：ボルティング挿入孔    220：支持突出部
221、221`：通過孔                230：シャフト結合孔
300：緩衝パッド部材
310：ねじれ防止突出部            311、311`：横断ロッド
312：縦断ロッド                  320：凹凸部
330：突出バー                    340：接触突起部
400：連結ボルト
【図１】
2020008164.tif 000003
【図２】
2020008164.tif 000004
【図３】
2020008164.tif 000005
【図４】
2020008164.tif 000006
【図５】
2020008164.tif 000007
【図６】
2020008164.tif 000008
【図７】
2020008164.tif 000009
【図８】
2020008164.tif 000010