(57)【要約】【課題】表示装置の製造装置、及び該製造装置を用いた表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】表示装置の製造装置は、チャンバと、チャンバ外部に配置され、蒸着物質が収納され、蒸着物質を気体に変換させる複数個のソース部と、チャンバ内部に配置され、複数個のソース部と連結され、複数個のソース部のうち少なくとも一つから供給される蒸着物質を、チャンバ内部に噴射するノズル部と、複数個のソース部の各々とノズル部との間に配置され、複数個のソース部の各々からノズル部に供給される蒸着物質を断続させ、複数個のソース部とノズル部とを選択的に連結する断続部と、を含む。【選択図】図１
2020020035.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバと、
前記チャンバの外部に配置され、蒸着物質が収納され、前記蒸着物質を気体に変換する複数個のソース部と、
前記チャンバ内部に配置され、複数個の前記ソース部と連結され、複数個の前記ソース部のうち少なくとも一つから供給される蒸着物質を、前記チャンバ内部に噴射するノズル部と、
前記複数個のソース部の各々と前記ノズル部との間に配置され、前記複数のソース部の各々から前記ノズル部に供給される蒸着物質を断続させ、前記複数個のソース部と前記ノズル部とを選択的に連結する断続部と、を含む表示装置の製造装置。
【請求項２】
前記複数個のソース部の各々の内部に配置され、前記複数個のソース部の各々の内部の内部温度を測定するセンサ部をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項３】
前記断続部は、前記複数個のソース部のうち、前記内部温度が既設定温度を超えるソース部と、前記ノズル部との連結を遮断し、前記複数個のソース部のうち、前記内部温度が既設定温度以下であるソース部を、前記ノズル部に連結することを特徴とする請求項２に記載の表示装置の製造装置。
【請求項４】
前記複数個のソース部の各々は、交換可能であることを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項５】
前記複数個のソース部のうち少なくとも一部が内部に配置されるソースチャンバ部を含むことを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項６】
前記ノズル部は、
前季複数個のソース部のうち一部と連結される第１ノズル部と、
前記第１ノズル部と分離され、前記複数個のソース部のうち他の一部と連結される第２ノズル部と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項７】
前記第１ノズル部の第１ノズルと、前記第２ノズル部の第２ノズルは、前記第１ノズル部の中心と、前記第２ノズル部の中心との間に配置されることを特徴とする請求項６に記載の表示装置の製造装置。
【請求項８】
前記第１ノズルと前記第２ノズルは、一列に配置されることを特徴とする請求項７に記載の表示装置の製造装置。
【請求項９】
前記第１ノズルまたは前記第２ノズルのうち一つは、前記第１ノズルまたは前記第２ノズルのうち他の１つの内部に配置されることを特徴とする請求項７に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１０】
前記第１ノズル及び前記第２ノズルのうち少なくとも一つは、傾くように配置されることを特徴とする請求項７に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１１】
前記第１ノズル部から噴射される蒸着物質と、前記第２ノズル部から噴射される蒸着物質は、互いに異なる物質であることを特徴とする請求項７に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１２】
前記ノズル部を複数個含み、
前記数個のノズル部のうち少なくとも一つに配置されるか、又は前記複数個のノズル部のうち少なくとも一つから離隔されるように配置され、前記複数のノズル部から噴射される蒸着物質の噴射角度を制限する角度制限ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１３】
前記角度制限ユニットのうち少なくとも一部に配置され、前記角度制限ユニットのうち少なくとも一部を加熱する加熱部をさらに含むことを特徴とする請求項１２に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１４】
前記角度制限ユニットは、
角度制限ベルトと、
前記角度制限ベルトを回転させるベルト駆動部と、を含むことを特徴とする請求項１２に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１５】
前記角度制限ユニットは、
前記角度制限ベルトの一面を冷却させるベルト冷却部をさらに含むことを特徴とする請求項１４に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１６】
前記角度制限ユニットは、
前記角度制限ベルトの一面を加熱するベルト加熱部をさらに含むことを特徴とする請求項１４に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１７】
前記角度制限ベルトから離隔されるように配置され、前記ベルト加熱部の加熱により、前記角度制限ベルトから離脱する蒸着物質の少なくとも一部分を捕集する蒸着物質捕集部をさらに含むことを特徴とする請求項１６に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１８】
前記ノズル部から噴射される蒸着物質の濃度を測定するセンサ部をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１９】
前記センサ部と連結され、前記センサ部を回転させる回転駆動部と、
前記センサ部に熱を加え、前記センサ部の蒸着物質を除去するセンサ加熱部と、をさらに含むことを特徴とする請求項１８に記載の表示装置の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置の製造装置、及び表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
持ち運び可能な携帯型電子機器が幅広く使用されている。携帯型電子機器としては、モバイルフォンのような小型電子機器以外にも、最近になり、タブレットＰＣ（personal computer）が汎用されている。
【０００３】
そのような携帯型電子機器は、多様な機能を実現するために、イメージまたは映像のような視覚情報をユーザに提供するための表示装置を含む。最近、該表示装置を駆動するためのその他部品が小型化されることにより、該表示装置が電子機器で占める比重が増大しており、平らな状態で所定の角度を有するように折り曲げることができる構造も開発されている。
【０００４】
前述のような表示装置を製造するための製造装置は、一般的に１回の稼動時、複数個の表示装置を製造する。該表示装置の製造装置は、内部構成品などを交換するために、一定時間経過後に整備した後、さらに稼動することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−０７０９６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、表示装置の製造装置を稼動して、表示装置を製造する場合、各構成品を交換するために、表示装置の製造装置の稼動を中止する場合、製造効率が低下してしまう。本発明の実施形態は、構成品の交換時、表示装置の製造装置の稼動を中止する必要がない、又は構成品のリサイクルが可能な表示装置の製造装置、及び表示装置の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一実施形態に係る表示装置の製造装置は、チャンバと、前記チャンバ外部に配置され、蒸着物質が収納され、前記蒸着物質を気体に変換させる複数個のソース部と、前記チャンバ内部に配置され、前記複数個のソース部と連結され、前記複数個のソース部のうち少なくとも一つから供給される蒸着物質を、前記チャンバ内部に噴射するノズル部と、前記複数個のソース部の各々と前記ノズル部との間に配置され、前記複数個のソース部の各々から前記ノズル部に供給される蒸着物質を断続させ、前記複数個のソース部と前記ノズル部とを選択的に連結する断続部と、を含む。
【０００８】
本実施形態において、前記複数個のソース部の各々の内部に配置され、前記複数個のソース部の各々の内部の内部温度を測定するセンサ部をさらに含んでもよい。
【０００９】
本実施形態において、前記断続部は、前記複数個のソース部のうち、前記内部温度が既設定温度を超えるソース部と前記ノズル部との連結を遮断し、前記複数個のソース部のうち、前記内部温度が既設定温度以下であるソース部を、前記ノズル部に連結してもよい。
【００１０】
本実施形態において、前記複数個のソース部の各々は、交換可能であってもよい。
【００１１】
本実施形態において、前記複数個のソース部のうち少なくとも一部が内部に配置されるソースチャンバ部が含まれてもよい。
【００１２】
本実施形態において、前記ノズル部は、前記複数個のソース部のうち一部と連結される第１ノズル部と、前記第１ノズル部と分離され、前記複数個のソース部のうち他の一部と連結される第２ノズル部を含んでもよい。
【００１３】
本実施形態において、前記第１ノズル部の第１ノズルと、前記第２ノズル部の第２ノズルとは、前記第１ノズル部の中心と、前記第２ノズル部の中心との間に配置されてもよい。
【００１４】
本実施形態において、前記第１ノズルと前記第２ノズルは、一列に配置されてもよい。
【００１５】
本実施形態において、前記第１ノズルまたは前記第２ノズルのうち一つは、前記第１ノズルまたは前記第２ノズルのうち他の一つの内部に配置されてもよい。
【００１６】
本実施形態において、前記第１ノズル及び前記第２ノズルのうち少なくとも一つは、傾くように配置されてもよい。
【００１７】
本実施形態において、前記第１ノズル部から噴射される蒸着物質と、前記第２ノズル部から噴射される蒸着物質は、互いに異なる物質であってもよい。
【００１８】
本実施形態において、前記ノズル部を複数個含み、前記複数個のノズル部のうち少なくとも一つに配置されるか、あるいは前記複数個のノズル部のうち少なくとも一つから離隔されるように配置され、前記複数個のノズル部から噴射される蒸着物質の噴射角度を制限する角度制限ユニットをさらに含んでもよい。
【００１９】
本実施形態において、前記角度制限ユニットのうち少なくとも一部に配置され、前記角度制限ユニットのうち少なくとも一部を加熱させる加熱部をさらに含んでもよい。
【００２０】
本実施形態において、前記角度制限ユニットは、角度制限ベルトと、前記角度制限ベルトを回転させるベルト駆動部と、を含んでもよい。
【００２１】
本実施形態において、前記角度制限ユニットは、前記角度制限ベルトの一面を冷却させるベルト冷却部をさらに含んでもよい。
【００２２】
本実施形態において、前記角度制限ユニットは、前記角度制限ベルトの一面を加熱させるベルト加熱部をさらに含んでもよい。
【００２３】
本実施形態において、前記角度制限ベルトから離隔されるように配置され、前記ベルト加熱部の加熱により、前記角度制限ベルトから離脱する蒸着物質の少なくとも一部分を捕集する蒸着物質捕集部をさらに含んでもよい。
【００２４】
本実施形態において、前記ノズル部から噴射される蒸着物質の濃度を測定するセンサ部をさらに含んでもよい。
【００２５】
本実施形態において、前記センサ部と連結され、前記センサ部を回転させる回転駆動部と、前記センサ部に熱を加え、前記センサ部の蒸着物質を除去するセンサ加熱部と、をさらに含んでもよい。
【００２６】
本発明の他の実施形態に係る表示装置の製造装置は、チャンバと、第１蒸着物質が収納され、前記チャンバ内部に前記第１蒸着物質を供給する第１ノズルを含む第１ソース部と、第２蒸着物質が収納され、前記チャンバ内部に前記第２蒸着物質を供給する第２ノズルを含む第２ソース部と、を含み、前記第１ノズルと前記第２ノズルとは、前記第１ソース部の中心と、前記第２ソース部の中心との間に配置される。
【００２７】
本実施形態において、前記第１ノズルと前記第２ノズルとのうち少なくとも一つは、傾いていてもよい。
【００２８】
本実施形態において、前記第１ノズルと前記第２ノズルとは、一列に配列されてもよい。
【００２９】
本実施形態において、前記第１ノズルまたは前記第２ノズルのうち一つは、前記第１ノズルまたは前記第２ノズルのうち他の一つの内部に配置されてもよい。
【００３０】
本実施形態において、前記第１ソース部及び前記第２ソース部のうち少なくとも一つに配置されるか、あるいは前記第１ノズル及び前記第２ノズルのうち少なくとも一つから離隔されるように配置され、前記第１ノズルから噴射される前記第１蒸着物質、及び前記第２ノズルから噴射される前記第２蒸着物質のうち少なくとも一つの噴射角度を制限する角度制限ユニットをさらに含んでもよい。
【００３１】
本実施形態において、前記角度制限ユニットに吸着された前記第１蒸着物質及び前記第２蒸着物質のうち少なくとも一つを除去する加熱部をさらに含んでもよい。
【００３２】
本実施形態において、前記ノズル部から噴射される蒸着物質の濃度を測定するセンサ部をさらに含んでもよい。
【００３３】
本実施形態において、前記センサ部と連結され、前記センサ部を回転させる回転駆動部と、前記センサ部に熱を加え、前記センサ部の蒸着物質を除去するセンサ加熱部と、をさらに含んでもよい。
【００３４】
本発明のさらに他の実施形態に係る表示装置の製造装置は、チャンバと、前記チャンバ内部に配置され、前記チャンバ内部に蒸着物質を供給するソース部と、前記ソース部に配置されるか、あるいは前記ソース部から離隔されるように配置されて回転し、前記ソース部から噴射される蒸着物質の噴射角度を制限する角度制限ベルトと、前記角度制限ベルトを回転させるベルト駆動部と、前記角度制限ベルトの一面を冷却させるベルト冷却部と、前記角度制限ベルトの一面を加熱させるベルト加熱部と、を含む。
【００３５】
本実施形態において、前記角度制限ベルトから離隔されるように配置され、前記ベルト加熱部の加熱により、前記角度制限ベルトから離脱する蒸着物質の少なくとも一部分を捕集する蒸着物質捕集部をさらに含んでもよい。
【００３６】
本実施形態において、前記ソース部から噴射される蒸着物質の濃度を測定するセンサ部をさらに含んでもよい。
【００３７】
本実施形態において、前記センサ部と連結され、前記センサ部を回転させる回転駆動部と、前記センサ部に熱を加え、前記センサ部の蒸着物質を除去するセンサ加熱部と、をさらに含んでもよい。
【００３８】
本発明のさらに他の実施形態に係る表示装置の製造装置は、チャンバと、前記チャンバ内部に配置され、前記チャンバ内部に蒸着物質を供給するソース部と、前記ソース部から噴射される蒸着物質の濃度を測定するセンサ部と、前記センサ部と連結され、前記センサ部を回転させる回転駆動部と、前記センサ部に熱を加え、前記センサ部の蒸着物質を除去するセンサ加熱部と、を含んでもよい。
【００３９】
本発明のさらに他の実施形態に係る表示装置の製造方法は、ディスプレイパネル及びマスク組立体を、チャンバ内部に配置し、複数個のソース部のうち一部から蒸着物質を、前記チャンバ内部に供給し、前記ディスプレイ基板に前記蒸着物質を蒸着させ、前記複数個のソース部のうち一部の内部温度を測定し、測定された前記ソース部の内部温度と、既設定温度とを比較し、前記複数個のソース部のうち一部から前記チャンバ内部に供給される蒸着物質を遮断して、前記複数個のソース部のうち他の一部から前記チャンバ内部に蒸着物質を供給すること、を含む。
【００４０】
本実施形態において、前記複数個のソース部は、前記チャンバと区分されるソースチャンバ部にも収納される。
【００４１】
本実施形態において、前記複数個のソース部は、前記チャンバ外部に配置され、前記チャンバ内部に配置され、前記複数個のソース部と連結されるノズル部によって、前記蒸着物質を、前記チャンバ内部に噴射してもよい。
【００４２】
本実施形態において、前記複数個のソース部のうち一部と、前記複数個のソース部のうち他の一部は、互いに異なる種類の蒸着物質を、前記チャンバ内部に供給してもよい。
【００４３】
本実施形態において、前記複数個のソース部の各々は、前記蒸着物質を案内するノズル部を含み、互いに隣接する前記複数個のソース部の各々に対応するノズル部は、互いに隣接するソース部の中心の間に配置されてもよい。
【００４４】
本実施形態において、前記複数個のソース部の各々は、前記蒸着物質を案内するノズル部を含み、互いに隣接する前記複数個のソース部の各々に対応するノズル部は、一列に配列されてもよい。
【００４５】
本実施形態において、前記複数個のソース部の各々は、前記蒸着物質を案内するノズル部を含み、互いに隣接する前記複数個のソース部の各々に対応するノズル部のうち一つは、互いに隣接するソース部のノズル部のうち他の一つ内部に配置されてもよい。
【００４６】
本実施形態において、前記複数個のソース部の各々から排出された蒸着物質の角度は、前記複数個のソース部のうち少なくとも一つに配置されるか、あるいは前記複数個のソース部のうち少なくとも一つから離隔された角度制限ユニットによって制限されてもよい。
【００４７】
本実施形態において、前記角度制限ユニットに熱を加え、前記角度制限ユニットに吸着された前記蒸着物質を除去すること、をさらに含んでもよい。
【００４８】
本実施形態において、前記角度制限ユニットの熱を吸収し、前記角度制限ユニットに、前記蒸着物質を吸着させること、をさらに含んでもよい。
【００４９】
本実施形態において、前記複数個のソース部のうち少なくとも一つから放出される前記蒸着物質の蒸発率を、第１センサ部で測定すること、をさらに含んでもよい。
【００５０】
本実施形態において、一定時間経過後、前記第１センサ部を、前記第１センサ部と異なる第２センサ部の交換すること、をさらに含んでもよい。
【００５１】
本実施形態において、前記第１センサ部を加熱し、前記第１センサ部に吸着された前記蒸着物質を除去すること、をさらに含んでもよい。
【００５２】
本発明のさらに他の実施形態に係る表示装置の製造方法は、ディスプレイパネル及びマスク組立体を、チャンバ内部に配置し、第１ソース部から第１蒸着物質を、前記チャンバ内部に供給し、第２ソース部から第２蒸着物質を、前記チャンバ内部に供給し、前記ディスプレイ基板に、前記第１蒸着物質及び前記第２蒸着物質を蒸着させること、を含む。前記第１ソース部は、前記第１蒸着物質を案内する第１ノズルを含み、前記第２ソース部は、前記第２蒸着物質を案内する第２ノズルを含み、前記第１ノズルと前記第２ノズルとは、前記第１ソース部の中心と前記第２ソース部の中心との間に配置される。
【００５３】
本実施形態において、前記第１ノズルと前記第２ノズルとは、一列に配置されてもよい。
【００５４】
本実施形態において、前記第１ノズルまたは前記第２ノズルのうち一つは、前記第１ノズルまたは前記第２ノズルのうち他の一つの内部に配置されてもよい。
【００５５】
本実施形態において、前記第１ノズル及び前記第２ノズルのうち少なくとも一つに配置されるか、あるいは前記第１ノズル及び前記第２ノズルのうち少なくとも一つから離隔された角度制限ユニットにより、前記第１蒸着物質及び前記第２蒸着物質の噴射角度を制限すること、をさらに含んでもよい。
【００５６】
本実施形態において、前記角度制限ユニットに熱を加え、前記角度制限ユニットに吸着された前記蒸着物質を除去すること、をさらに含んでもよい。
【００５７】
本実施形態において、前記角度制限ユニットの熱を吸収し、前記角度制限ユニットに、前記蒸着物質を吸着させること、をさらに含んでもよい。
【００５８】
本実施形態において、前記複数個のソース部のうち少なくとも一つから放出される前記蒸着物質の蒸発率を、第１センサ部で測定すること、をさらに含んでもよい。
【００５９】
本実施形態において、一定時間経過後、前記第１センサ部を、前記第１センサ部と異なる第２センサ部に交換すること、をさらに含んでもよい。
【００６０】
本実施形態において、前記第１センサ部を加熱し、前記第１センサ部に吸着された前記蒸着物質を除去すること、をさらに含んでもよい。
【００６１】
本発明のさらに他の実施形態に係る表示装置の製造方法は、ディスプレイパネル及びマスク組立体を、チャンバ内部に配置し、ソース部から蒸着物質を、前記チャンバ内部に供給し、前記ディスプレイ基板に、前記蒸着物質を蒸着させ、前記ソース部から噴射される蒸着物質の蒸発率を、第１センサ部で測定し、一定時間経過後、前記第１センサ部を、前記第１センサ部と異なる第２センサ部に交換すること、を含む。
【００６２】
本実施形態において、交換された前記第１センサ部を加熱し、前記第１センサ部に吸着された蒸着物質を除去すること、をさらに含んでもよい。
【００６３】
前述のところ以外の他の携帯、特徴、利点は、以下の図面、特許請求の範囲、及び発明の詳細な説明から明確になるであろう。
【発明の効果】
【００６４】
本発明による表示装置の製造装置、及び表示装置の製造方法は、表示装置の製造効率を向上させることができる。
【００６５】
本発明による表示装置の製造装置、及び表示装置の製造方法は、精密な画像を実現する表示装置を製造することができる。
【００６６】
本発明による表示装置の製造装置、及び表示装置の製造方法は、連続稼動が可能になることにより、製造時間を延長させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の一実施形態による表示装置の製造装置を示す断面図である。
【図２】図１に図示されたノズル部と角度制限ユニットとを示す断面図である。
【図３】図２に図示されたノズル部を示す平面図である。
【図４】本発明の他の実施形態によるノズル部と角度制限ユニットとを示す断面図である。
【図５】図４に図示されたノズル部を示す平面図である。
【図６】本発明のさらに他の実施形態によるノズル部と角度制限ユニットとを示す断面図である。
【図７】図６に図示されたノズル部を示す平面図である。
【図８】本発明のさらに他の実施形態によるノズル部と角度制限ユニットとを示す断面図である。
【図９】図８に図示されたノズル部を示す平面図である。
【図１０】本発明のさらに他の実施形態によるノズル部と角度制限ユニットとを示す断面図である。
【図１１】図１０に図示されたノズル部を示す平面図である。
【図１２】本発明のさらに他の実施形態による表示装置の製造装置の一部を示す断面図である。
【図１３】本発明のさらに他の実施形態による表示装置の製造装置を示す断面図である。
【図１４】本発明のさらに他の実施形態による表示装置の製造装置を示す断面図である。
【図１５】本発明のさらに他の実施形態による表示装置の製造装置を示す断面図である。
【図１６】図１〜図１５による表示装置の製造装置を介して製造された表示装置を示す平面図である。
【図１７】図１６のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００６８】
本発明は、多様な変更を加えることができ、さまざまな実施形態を有することができるが、以下では、特定の実施形態を図面に例示し、詳細な説明によって詳細に説明する。本発明の効果、特徴、及びそれらを達成する方法は、図面と共に詳細に説明する実施形態を参照すれば、明確になるであろう。しかし、本発明は、以下で開示される実施形態に限定されるものではなく、多様な形態で実現される。
【００６９】
以下、添付された図面を参照し、本発明の実施形態について詳細に説明する。図面において、同一であるか、あるいは類似の構成要素は、同一の図面符号を付し、それに係わる重複説明は、省略する。
【００７０】
以下の実施形態において、第１、第２のような用語は、限定的な意味ではなく、１つの構成要素を他の構成要素と区別する目的に使用する。
【００７１】
以下の実施形態において、単数の表現は、文脈上明白に矛盾しない限り、複数の表現を含む。
【００７２】
以下の実施形態において、「含む」または「有する」というような用語は、明細書上に記載された特徴または構成要素が存在するということを意味するものであり、１以上の他の特徴または構成要素が付加される可能性をあらかじめ排除するものではない。
【００７３】
以下の実施形態において、膜、領域、構成要素などの部分が、他の部分の上または上部にあるとするとき、他の部分の真上にある場合だけではなく、その中間に、他の膜、領域、構成要素などが介在されている場合も含む。
【００７４】
図面においては、説明の便宜のために、構成要素がその大きさが誇張又は縮小されて示される。例えば、図面に示された各構成の大きさ及び厚みは、説明の便宜のために任意に示されているので、本発明は、必ずしも図示されたところに限定されるものではない。
【００７５】
ある実施形態が異なる形態で実現可能である場合、特定の工程順序は、説明される順序と異なって実行されてもよい。例えば、連続して説明される２つの工程が実質的に同時にも実行されてもよく、説明される順序と反対の順序で実行されてもよい。
【００７６】
以下の実施形態において、膜、領域、構成要素などが連結（接続）されているとするとき、膜、領域、構成要素が直接に連結（接続）されている場合だけではなく、膜、領域、構成要素の中間に、他の膜、領域、構成要素が介在され、間接的に連結された場合も含む。例えば、本明細書において、膜、領域、構成要素などが電気的に接続されているとするとき、膜、領域、構成要素などが直接電気的に接続されている場合だけではなく、その中間に、他の膜、領域、構成要素などが介在され、間接的に電気的に接続されている場合も含む。
【００７７】
図１は、本発明の一実施形態に係る表示装置の製造装置を示す断面図である。図２は、図１に示されたノズル部と角度制限ユニットとを示す断面図である。図３は、図２に示されたノズル部を示す平面図である。
【００７８】
図１〜図３を参照すると、表示装置の製造装置１００は、チャンバ１１０、第１支持部１２１、第２支持部１２２、マスク組立体１２３、ソース部１３０、ノズル部１４０、断続部１５０、角度制限ユニット１６１、加熱部１６２、センサ部１７１、回転駆動部１７２、センサ加熱部１７３、第１圧力調節部１８０、ソースチャンバ部１９１、第２圧力調節部１９２、第３圧力調節部１９３及びビジョン部１９４を含んでもよい。
【００７９】
チャンバ１１０は、内部に空間が設けられている。チャンバ１１０は、一部分が開口され、開口されたチャンバ１１０部分には、ゲート弁１１１などが配置される。ゲート弁１１１は、チャンバ１１０の開口された部分を開放するか、あるいは遮蔽させることができる。
【００８０】
第１支持部１２１は、チャンバ１１０内部に配置され、ディスプレイ基板Ｄを支持することができる。第１支持部１２１は、多様な形態を含んでもよい。一実施形態として、第１支持部１２１は、クランプを含み、ディスプレイ基板Ｄを把持することができる。他の実施形態として、第１支持部１２１は、チャンバ１１０内部に固定されるように配置され、ディスプレイ基板Ｄを支持することも可能である。他の実施形態として、第１支持部１２１は、チャンバ１１０の上部に配置され、ディスプレイ基板Ｄを固定させる静電チャック、真空チャックまたは粘着チャックを含んでもよい。さらに他の実施形態として、第１支持部１２１は、ディスプレイ基板Ｄが載置されるか、あるいは固定され、ディスプレイ基板Ｄを一方向に線形運動させるシャトルを含んでもよい。第１支持部１２１は、前述のところに限定されるものではなく、ディスプレイ基板Ｄを固定させるか、あるいはディスプレイ基板Ｄを線形運動させる全ての装置、及び全ての構造を含んでもよい。ただし、以下では、説明の便宜のために、第１支持部１２１は、チャンバ１１０に固定されるように配置され、ディスプレイ基板Ｄが載置される場合を例に詳細に説明する。
【００８１】
第２支持部１２２は、マスク組立体１２３を支持することができる。そのとき、第２支持部１２２は、第１支持部１２１と同一であるか、あるいは類似であり、マスク組立体１２３を固定させることができる。また、第２支持部１２２は、マスク組立体１２３を一定距離範囲において、昇降させるか、あるいは一定角度範囲で回転させてもよい。これに限定されず、第２支持部１２２は、マスク組立体１２３を、多様な方向に、一定距離範囲で線形運動させてもよい。
【００８２】
マスク組立体１２３は、マスクフレーム１２３ａ及びマスク１２３ｂを含んでもよい。マスクフレーム１２３ａは、格子形態中央に開口領域が形成される。そのような場合、該開口領域は、一つであってもよい、あるいは複数であってもよい。該開口領域が複数である場合、該開口領域を区分するように、該開口領域には、少なくとも１以上の支持フレーム１２３ｃが配置される。そのとき、支持フレーム１２３ｃは、マスクフレーム１２３ａの長手方向または幅方向に配列される。マスク１２３ｂは、マスクフレーム１２３ａの上部に配置される。マスク１２３ｂは、マスクフレーム１２３ａに一つ配置されるか、あるいは複数個配置される。複数個のマスク１２３ｂがマスクフレーム１２３ａに配置される場合、複数個のマスク１２３ｂは、一方向に配列されることにより、マスクフレーム１２３ａの開口領域を遮蔽することができる。以下では、説明の便宜のために、マスクフレーム１２３ａにマスク１２３ｂが一つ配置され、マスクフレーム１２３ａの開口領域を遮蔽する場合を例に詳細に説明する。前述のようなマスク１２３ｂは、少なくとも１以上の開口を含んでもよい。該開口が複数個含まれる場合、複数個の開口は、マスク１２３ｂの一領域にパターンを形成するように配置される。また、該開口が複数個含まれる場合、複数個の開口は、マスク１２３ｂの複数個の領域に互いに区分されるようにも配置され、各領域において、パターンを形成するように配置されることも可能である。
【００８３】
ソース部１３０は、チャンバ１１０の外部に配置される。ソース部１３０は、複数個具備されてもよい。例えば、ソース部１３０は、第１蒸着物質が収納される第１ソース部１３１と、第２蒸着物質が収納される第２ソース部１３２と、を含んでもよい。このような場合、第１蒸着物質と第２蒸着物質は、互いに異なる物質であってもよい。例えば、第１蒸着物質または第２蒸着物質のうち一つは、ホスト材料を含んでもよく、第１蒸着物質または第２蒸着物質のうち他の一つは、ドーパント材料を含んでもよい。前述のような第１ソース部１３１と第２ソース部１３２は、互いに類似しているため、以下では、説明の便宜のために、第１ソース部１３１を詳細に説明する。
【００８４】
第１ソース部１３１内部には、第１蒸着物質が収納される。第１ソース部１３１は、第１蒸着物質を加熱するように、ヒータを含んでもよい。前述のような第１ソース部１３１は、複数個具備されてもよい。複数個の第１ソース部１３１は、第１供給配管１９５ａに連結され、交換可能である。また、複数個の第１ソース部１３１は、各第１ソース部１３１の状態により、作動が停止される。そのとき、各第１ソース部１３１には、第１温度センサ１９６ａが配置される。第１温度センサ１９６ａは、各第１ソース部１３１内部の温度を測定することができる。第１温度センサ１９６ａで測定された温度と、既設定温度とを比較し、各第１ソース部１３１の交換時期を判断することができる。例えば、第１温度センサ１９６ａで測定された温度が、既設定温度を超えたと判断されれば、第１ソース部１３１は、交換が必要であると判断することができる。
【００８５】
第２ソース部１３２も、第１ソース部１３１と類似し、少なくとも１以上具備され、少なくとも１以上の第２ソース部１３２は、第１供給配管１９５ａとは異なる第２供給配管１９５ｂと連結される。また、各第２ソース部１３２には、別途の第２温度センサ１９６ｂが個別に配置され、各第２ソース部１３２内部の温度を測定することができる。
【００８６】
ノズル部１４０は、第１ソース部１３１と連結される第１ノズル部１４１と、第２ソース部１３２と連結される第２ノズル部１４２と、を含んでもよい。第１ノズル部１４１と第２ノズル部１４２との間には、断熱部材が配置される。第１ノズル部１４１は、第１蒸着物質をチャンバ１１０内部に噴射する。第２ノズル部１４２は、第２蒸着物質をチャンバ１１０内部に噴射する。第１ノズル部１４１と第２ノズル部１４２は、互いに分離されるように配置されてもよく、第１蒸着物質と第２蒸着物質とは、第１ノズル部１４１及び第２ノズル部１４２からそれぞれ外部に排出された後、互いに混合される。第１ノズル部１４１は、第１供給配管１９５ａを介して、第１ソース部１３１と連結され、第２ノズル部１４２は、第２供給配管１９５ｂを介して、第２ソース部１３２と連結される。前述のような第１ノズル部１４１と第２ノズル部１４２とは、ディスプレイ基板Ｄの一方向に延長される。例えば、第１ノズル部１４１の上面と、第２ノズル部１４２の上面とは、長辺と短辺とを有する直方形であってもよい。このとき、第１ノズル部１４１の長手方向と、第２ノズル部１４２の長手方向は、第１ノズル部１４１の長辺、及び第２ノズル部１４２の長辺と同一方向である。
【００８７】
前述のような第１ノズル部１４１と第２ノズル部１４２は、それぞれ第１蒸着物質及び第２蒸着物質を、チャンバ１１０内部に噴射する第１ノズル１４１ａ及び第２ノズル１４２ａを含んでもよい。第１ノズル１４１ａと第２ノズル１４２ａは、第１ノズル部１４１の第１中心Ｃ１と、及び第２ノズル部１４２の第２中心Ｃ２との間に配置されてもよい。すなわち、第１ノズル１４１ａは、第１ノズル部１４１の長手方向（例えば、図１のＹ方向）と平行であり、且つ第１中心Ｃ１を通過する直線を中心に偏心されるように配置される。第２ノズル１４２ａは、第２ノズル部１４２の長手方向（例えば、図１のＹ方向）と平行であり、且つ第２中心Ｃ２を通過する直線を中心に偏心されるように配置される。このような場合、第１ノズル１４１ａと第２ノズル１４２ａは、互いに近接することにより、第１ノズル１４１ａから噴射される第１蒸着物質と、第２ノズル１４２ａから噴射される第２蒸着物質とが互いに重畳される領域が増大する。
【００８８】
それだけではなく、第１ノズル１４１ａから噴射される第１蒸着物質は、第１ノズル１４１ａの中心を基準に、正規分布（normal distribution）することができる。また、第２ノズル７３２ａから噴射される第２蒸着物質は、第２ノズル１４２ａの中心を基準に、正規分布することができる。このような場合、第１ノズル１４１ａから噴射される第１蒸着物質が最大である部分と、第２ノズル１４２ａから噴射される第２蒸着物質が最大である部分との間隔が離れることにより、第１ノズル１４１ａと第２ノズル１４２ａとの間において第１蒸着物質の量と、第２蒸着物質の量とが、他の部分より少なくなってしまう。しかし、前述のように、第１ノズル１４１ａ及び第２ノズル１４２ａを配置することにより、第１蒸着物質が最大である部分と、第２蒸着物質が最大である部分とを、第１ノズル１４１ａと第２ノズル１４２ａとの間に設けることができる。この場合、蒸着実行時、蒸着物質の比率を一定に維持することが可能である。
【００８９】
従って、表示装置の製造装置１００、及び表示装置の製造方法は、該第１蒸着物質と該第２蒸着物質とが蒸着される領域がほぼ同一であるとにより、該第１蒸着物質と該第２蒸着物質との混合比が均一な領域を作ることが可能である。
【００９０】
断続部１５０は、第１供給配管１９５ａと第２供給配管１９５ｂとのうち少なくとも一つに配置される。具体的には、断続部１５０は、第１供給配管１９５ａに配置される第１断続部１５１と、第２供給配管１９５ｂに配置される第２断続部１５２と、を含んでもよい。
【００９１】
第１断続部１５１は、第１供給配管１９５ａから第１ノズル部１４１に供給される第１蒸着物質を遮断することができる。例えば、第１断続部１５１は、複数個具備されてもよい。複数個の第１断続部１５１は、各第１ソース部１３１と連結される第１供給配管１９５ａに配置され、各第１ソース部１３１を、選択的に、第１ノズル部１４１に連結する少なくとも１以上の第１サブ断続部１５１ａを含んでもよい。また、複数個の第１断続部１５１は、第１ノズル部１４１に連結される第１供給配管１９５ａに配置され、複数個の第１ソース部１３１と、第１ノズル部１４１との間を選択的に開放するか、あるいは遮蔽する第１メイン断続部１５１ｂを含んでもよい。この場合、第１サブ断続部１５１ａと第１メイン断続部１５１ｂとは、第１供給配管１９５ａを選択的に開放するか、あるいは遮蔽するだけではなく、第１供給配管１９５ａ内部を通過する第１蒸着物質の量を制御することも可能である。
【００９２】
第２断続部１５２は、第１断続部１５１と類似するところがある。例えば、第２断続部１５２は、各第２ソース部１３２と連結される第２連結配管１９２ａに配置される第２サブ断続部１５２ａと、第２ノズル部１４２と連結される第２連結配管１９２ａに配置される第２メイン断続部１５２ｂと、を含んでもよい。
【００９３】
角度制限ユニット１６１は、第１ノズル部１４１及び第２ノズル部１４２のうち少なくとも一つに配置され、第１ノズル部１４１及び第２ノズル部１４２のうち少なくとも一つから噴射される蒸着物質の噴射角度を調節することができる。このとき、該蒸着物質の噴射角度は、該蒸着物質が、第１ノズル部１４１及び第２ノズル部１４２のうち少なくとも１つの端で広がる範囲を意味する。以下では、説明の便宜上、角度制限ユニット１６１は、第１ノズル部１４１及び第２ノズル部１４２から噴射される蒸着物質の噴射角度を制限する場合を例に詳細に説明する。
【００９４】
角度制限ユニット１６１は、プレート形態であり、第１ノズル部１４１及び第２ノズル部１４２に配置されてもよい。そのとき、角度制限ユニット１６１は、第１ノズル部１４１及び第２ノズル部１４２の間に配置される第１角度制限板１６１ａ、第１ノズル部１４１の側面に配置される第２角度制限板１６１ｂ、並びに第２ノズル部１４２の側面に配置される第３角度制限板１６１ｃを含んでもよい。
【００９５】
加熱部１６２は、角度制限ユニット１６１に配置され、角度制限ユニット１６１に熱を加えることができる。加熱部１６２は、第１角度制限板１６１ａ〜第３角度制限板１６１ｃのうち少なくとも一つにも配置される。以下では、説明の便宜のために、加熱部１６２が第２角度制限板１６１ｂ及び第３角度制限板１６１ｃに配置される場合を例に詳細に説明する。
【００９６】
加熱部１６２は、第３角度制限板１６１ｂに取り付けられる第１加熱部１６２ａ、及び第３角度制限板１６１ｃに取り付けられる第２加熱部１６２ｂを含んでもよい。第１加熱部１６２ａと第２加熱部１６２ｂとは、ヒータを含んでもよい。そのとき、第１加熱部１６２ａと第２加熱部１６２ｂとは、それぞれ第２角度制限板１６１ｂ及び第３角度制限板１６１ｃに熱を加えることにより、第２角度制限板１６１ｂ及び第３角度制限板１６１ｃに吸着された蒸着物質を除去することができる。
【００９７】
センサ部１７１は、第１ノズル部１４１及び第２ノズル部１４２から噴射される蒸着物質の蒸発量、またはディスプレイ基板Ｄに蒸着される蒸着物質の蒸着量を測定することができる。センサ部１７１は、ＱＣＭセンサ（quartz crystal microbalance sensor）を含んでもよい。センサ部１７１は、複数個具備されてもよい。この場合、複数個のセンサ部１７１は、互いに対向するように配置されてもよい。
【００９８】
回転駆動部１７２は、センサ部１７１を固定し、センサ部１７１の位置を変更することができる。回転駆動部１７２は、センサ部１７１と連結される連結部１７２ａ、及び連結部１７２ａと連結され、連結部１７２ａを回転させる回転力生成部１７２ｂを含んでもよい。連結部１７２ａは、バー形態であってもよく、回転力生成部１７２ｂは、連結部１７２ａと連結される減速器、及び該減速器と連結されるモータを含んでもよい。回転力生成部１７２ｂは、前述のところに限定されるものではなく、連結部１７２ａと連結され、連結部１７２ａを回転させる全ての装置、及び全ての構造を含んでもよい。
【００９９】
センサ加熱部１７３は、センサ部１７１と対向するように配置され、センサ部１７１を加熱することができる。センサ加熱部１７３は、熱を加えるヒータを含んでもよい。他の実施形態として、センサ加熱部１７３は、センサ部１７１と対向し、センサ部１７１に光エネルギーを提供し、センサ部１７１を加熱させるランプを含んでもよい。
【０１００】
第１圧力調節部１８０は、チャンバ１１０と連結され、チャンバ１１０内部の圧力を調節することができる。そのとき、第１圧力調節部１８０は、チャンバ１１０と連結される第１連結配管１８１、及び第１連結配管１８１に連結される第１真空ポンプ１８２を含んでもよい。第１連結配管１８１は、外部の汚染物質除去を行うことができる別途の装置にも連結されてもよい。
【０１０１】
ソースチャンバ部１９１は、内部に空間が設けられ、ソース部１３０が内部にも配置される。ソースチャンバ部１９１は、チャンバ１１０とは別途に具備され、チャンバ１１０から独立した空間を形成することができる。
【０１０２】
ソースチャンバ部１９１は、第１ソース部１３１が内部に配置される第１ソースチャンバ１９１ａ、及び第２ソース部１３２が内部に配置される第２ソースチャンバ１９１ｂを含んでもよい。第１ソースチャンバ１９１ａと第２ソースチャンバ１９１ｂとは、互いに分離され、別途の空間を形成する。複数個の第１ソース部１３１のうち少なくとも一つが破損した場合にも、第１ソース部１３１内部の第１蒸着物質が、第１ソースチャンバ１９１ａの内部から外部へ流出することを防止することができる。また、複数個の第２ソース部１３２のうち少なくとも一つが破損した場合にも、第２蒸着物質が第２ソースチャンバ１９１ｂによって外部から遮断される。
【０１０３】
第２圧力調節部１９２は、第１ソースチャンバ１９１ａに連結される。第２圧力調節部１９２は、第１ソースチャンバ１９１ａと連結される第２連結配管１９２ａ、及び第２連結配管１９２ａに配置される第２真空ポンプ１９２ｂを含んでもよい。
【０１０４】
第３圧力調節部１９３は、第２ソースチャンバ１９１ｂに連結される。第３圧力調節部１９３は、第２ソースチャンバ１９１ｂと連結される第３連結配管１９３ａ、及び第３連結配管１９３ａに配置される第３真空ポンプ１９３ｂを含んでもよい。第２圧力調節部１９２と第３圧力調節部１９３とは、互いに独立して動作することができる。そのような場合、第２圧力調節部１９２と第３圧力調節部１９３とは、チャンバ１１０外部に配置された別途の汚染物質除去装置に連結されてもよい。
【０１０５】
ビジョン部１９４は、チャンバ１１０に配置され、ディスプレイ基板Ｄとマスク組立体１２３との位置を撮影することができる。ビジョン部１９４で撮影されたディスプレイ基板Ｄとマスク組立体１２３との位置に基づいて、ディスプレイ基板Ｄとマスク組立体１２３とを整列させることができる。
【０１０６】
一方、前述のような表示装置の製造装置１００を介して、表示装置（図示せず）を製造する方法について説明すれば、チャンバ１１０内部に、ディスプレイ基板Ｄとマスク組立体１２３とを挿入することができる。そのとき、第１圧力調節部１８０は、チャンバ１１０内部の圧力を大気圧と同一であるか、あるいはほぼ同一に維持させることができる。
【０１０７】
その後、ビジョン部１９４は、ディスプレイ基板Ｄのアラインマークと、マスク組立体１２３のアラインマークとを撮影し、撮影された結果を基に、ディスプレイ基板Ｄとマスク組立体１２３とを整列させることができる。特に、第２支持部１２２を介して、マスク組立体１２３の位置を微細調整することができる。
【０１０８】
前述のような過程が完了すると、ソース部１３０から蒸着物質が供給されて、ディスプレイ基板Ｄに蒸着物質を蒸着させることができる。第１ソース部１３１と第２ソース部１３２は、順次または同時に、第１ノズル部１４１及び第２ノズル部１４２に、第１蒸着物質及び第２蒸着物質を供給し、ディスプレイ基板Ｄに蒸着することができる。そのような場合、一実施形態として、第１蒸着物質及び第２蒸着物質は、互いに異なる層を形成することができる。他の実施形態として、第１蒸着物質及び第２蒸着物質は、ディスプレイ基板Ｄに蒸着され、１層を形成することも可能である。以下では、説明の便宜のために、第１蒸着物質及び第２蒸着物質は、互いに同一層を形成する場合を例に詳細に説明する。
【０１０９】
前述のように、ディスプレイ基板Ｄに、第１蒸着物質及び第２蒸着物質が蒸着される場合、第１温度センサ１９６ａは、複数個の第１ソース部１３１の各々の内部温度を測定し、第２温度センサ１９６ｂは、複数個の第２ソース部１３２の各々の内部温度を測定することができる。測定された各第１ソース部１３１の内部温度は、前述のように、既設定の第１設定温度と比較される。また、測定された第２ソース部１３２の内部温度は、既設定の第２設定温度と比較される。第１設定温度と第２設定温度は、互いに同一であっても異なっていてもよい。以下では、説明の便宜のために、第１設定温度と第２設定温度とが互いに異なる場合を例に詳細に説明する。
【０１１０】
測定された第１ソース部１３１の内部温度が第１設定温度を超える場合、第１サブ断続部１５１ａを介して、第１設定温度を越えた内部温度が測定された第１ソース部１３１と第１ノズル部１４１との連結が遮断される。第１サブ断続部１５１ａは、ソレノイド弁を含んでもよい。また、第１メイン断続部１５１ｂと第２メイン断続部１５２ｂとを介して、第１供給配管１９５ａ及び第２供給配管１９５ｂが遮断されることにより、蒸着工程が一時的に中止されてもよい。
【０１１１】
その後、第１サブ断続部１５１ａは、複数個の第１ソース部１３１のうち、遮断されていない第１ソース部１３１のうち一つと、第１ノズル部１４１とを連結することができる。このとき、第１サブ断続部１５１ａは、遮断されていない第１ソース部１３１のうち１つの内部温度が、既設定温度範囲である第１ソース部１３１を、第１ノズル部１４１と連結することができる。そのような場合、第１メイン断続部１５１ｂと第２メイン断続部１５２ｂは、開放されることにより、ディスプレイ基板Ｄに蒸着物質をさらに蒸着させることができる。
【０１１２】
第２温度センサ１９６ｂで測定された複数個の第２ソース部１３２の各々の内部温度と、第２設定温度とを比較する場合も、前述の方法と同様である。
【０１１３】
この場合、第１ノズル部１４１又は第２ノズル部１４２と連結される第１ソース部１３１及び第２ソース部１３２を交替させるための時間が節減され、連続的な蒸着が可能であるだけではなく、作業時間を短縮させることができる。
【０１１４】
一方、前述のように、材料が使い果たされた第１ソース部１３１または第２ソース部１３２は、蒸着工程の停止なしに交換することが可能である。交換方法は、前述のように、蒸着が進められる間に材料が使い果たされて作動しない第１ソース部１３１または第２ソース部１３２を、第１ソースチャンバ１９１ａまたは第２ソースチャンバ１９１ｂを開放して外部に引き出した後、材料を充填し、さらに第１ソースチャンバ１９１ａまたは第２ソースチャンバ１９１ｂに配置することができる。このとき、第１サブ断続部１５１ａ及び第２サブ断続部１５２ａは、当該第１ソースチャンバ１９１ａ及び当該第２ソースチャンバ１９１ｂと連結される第１供給配管１９５ａ部分と、第２供給配管１９５ｂ部分とを遮断することができる。
【０１１５】
前述のような過程が進められる間、第１圧力調節部１８０が作動し、それぞれチャンバ１１０内部の気体を外部に排出することにより、チャンバ１１０内部の圧力をほぼ真空同一に維持させることができる。
【０１１６】
第２圧力調節部１９２及び第３圧力調節部１９３は、それぞれ第１ソースチャンバ１９１ａ及び第２ソースチャンバ１９１ｂの内部気体を外部に排出することができる。このような場合、複数個の第１ソースチャンバ１９１ａのうち少なくとも一つが破損された場合にも、第１蒸着物質が第１ソースチャンバ１９１ａ外部に流出することを防止することができる。また、複数個の第２ソースチャンバ１９１ｂのうち少なくとも一つが破損された場合、第２蒸着物質が第２ソースチャンバ１９１ｂ外部に流出することを防止することができる。
【０１１７】
第２圧力調節部１９２及び第３圧力調節部１９３は、それぞれ第１ソースチャンバ１９１ａ及び第２ソースチャンバ１９１ｂが開放される場合、第１ソースチャンバ１９１ａの内部圧力、及び第２ソースチャンバ１９１ｂの内部圧力を大気圧と略同一に維持させることができる。
【０１１８】
一方、前述のように、第１蒸着物質及び第２蒸着物質をディスプレイ基板Ｄに蒸着させる場合、第１蒸着物質及び第２蒸着物質は、第１角度制限板１６１ａ及び第３角度制限板１６１ｃにも吸着される。このとき、第１加熱部１６２ａ及び第２加熱部１６２ｂは、第２角度制限板１６１ｂ及び第３角度制限板１６１ｃを加熱することにより、第２角度制限板１６１ｂ及び第３角度制限板１６１ｃから第１蒸着物質及び第２蒸着物質を除去することができる。特に、前述のような場合、第２角度制限板１６１ｂ及び第３角度制限板１６１ｃに、第１蒸着物質及び第２蒸着物質が過度に蒸着される場合、第２角度制限板１６１ｂ及び第３角度制限板１６１ｃに過度な荷重が発生することにより、第２角度制限板１６１ｂ及び第３角度制限板１６１ｃの位置が変更されてしまう虞がある。また、第２角度制限板１６１ｂ及び第３角度制限板１６１ｃに吸着された第１蒸着物質及び第２蒸着物質が落下することにより、第１ノズル部１４１及び第２ノズル部１４２が汚染されてしまう虞がある。しかし、前述のように、第２角度制限板１６１ｂ及び第３角度制限板１６１ｃを、第１加熱部１６２ａ及び第２加熱部１６２ｂを介して加熱して、第２角度制限板１６１ｂ及び第３角度制限板１６１ｃから第１蒸着物質及び第２蒸着物質を除去することにより場合、前述のような問題を解決することができる。また、前述のように、第１加熱部１６２ａ及び第２加熱部１６２ｂによって加熱された第１蒸着物質及び第２蒸着物質は、ディスプレイ基板Ｄに供給されて蒸着されることにより、材料の損失を防止することができる。
【０１１９】
センサ部１７１は、前述のように、ディスプレイ基板Ｄに、第１蒸着物質及び第２蒸着物質が蒸着される間、第１蒸着物質及び第２蒸着物質がディスプレイ基板Ｄに蒸着され、層を形成する速度（例えば、成膜速度）を測定することができる。このとき、センサ部１７１には、ディスプレイ基板Ｄの一面と同一であるか、あるいは同程度、第１蒸着物質及び第２蒸着物質が蒸着されてしまう。
【０１２０】
前述のような場合、センサ部１７１は、一定時間が経過する場合、第１蒸着物質及び第２蒸着物質が一定厚以上蒸着されることにより、前述のような速度を測定することができないか、あるいは正確に測定することができなくなる。
【０１２１】
このような場合、回転駆動部１７２が作動し、第１蒸着物質及び第２蒸着物質が一定厚以上蒸着されたセンサ部１７１を新たなセンサ部１７１に交換することができる。このとき、センサ部１７１は、ディスプレイ基板Ｄとノズル部１４０との間に配置され、センサ部１７１の測定部位は、ノズル部１４０に向かうように配置されてもよい。
【０１２２】
或は、センサ部１７１に第１蒸着物質及び第２蒸着物質が一定厚以上蒸着された場合、センサ加熱部１７３は、第１蒸着物質及び第２蒸着物質が蒸着されたセンサ部１７１を加熱し、第１蒸着物質及び第２蒸着物質をセンサ部１７１から除去することができる。この場合、センサ部１７１は、交換されることなくリサイクルが可能である。
【０１２３】
センサ部を交換する場合は、蒸着工程全体を停止させ、チャンバ１１０を開放するか、あるいはセンサ部をチャンバから分離する。このような場合、チャンバ１１０を停止させるために、工程自体を停止させ、チャンバ１１０を大気圧状態に維持させることにより、工程を再稼動するために、多くのエネルギー及び長い時間が必要となることにより、表示装置の製造効率が低下してしまう。
【０１２４】
しかし、前述のように、センサ部１７１をリサイクルすることにより、表示装置の製造時間を短縮させ、表示装置の製造効率を上昇させることが可能である。
【０１２５】
従って、表示装置の製造装置１００、及び製造装置１００を用いた表示装置の製造方法は、蒸着工程において、材料が使い果たされたソース部１３０を、蒸着工程を中止することなく交替可能であるため、表示装置の製造時間を短縮させることができ、表示装置の製造効率を上昇させることができる。
【０１２６】
表示装置の製造装置１００、及び製造追装置１００を用いた表示装置の製造方法は、ソース部１３０をソースチャンバ部１９１に配置することにより、ソース部１３０の破損時、蒸着物質の流出を防止することができる。
【０１２７】
表示装置の製造装置１００、及び製造装置１００を用いた表示装置の製造方法は、角度制限ユニット１６１に吸着された蒸着物質を、加熱部１６２で除去し、ディスプレイ基板Ｄに案内することにより、蒸着物質の損失を最小化することができる。
【０１２８】
表示装置の製造装置１００、及び製造装置１００を用いた表示装置の製造方法は、センサ部１７１の交替時、蒸着工程を停止させる必要がないので、表示装置の製造装置１００の稼動時間を延長させることが可能である。
【０１２９】
表示装置の製造装置１００、及び製造装置１００を用いた表示装置の製造方法は、各ソース部１３０の内部温度に応じて、材料が使い果たされたソース部１３０から、材料が使い果たされていない別のソース部１３０に交替させて、蒸着工程の実行が可能である。
【０１３０】
表示装置の製造装置１００、及び製造装置１００を用いた表示装置の製造方法は、製造装置１００の連続稼動時間を延長させることが可能である。
【０１３１】
図４は、本発明の他の実施形態によるノズル部と角度制限ユニットとを示す断面図である。図５は、図４に示されたノズル部を示す平面図である。
【０１３２】
図４及び図５を参照すると、本実施形態に係る表示装置の製造装置は、チャンバ（図示せず）、第１支持部（図示せず）、第２支持部（図示せず）、マスク組立体（図示せず）、ソース部（図示せず）、ノズル部（２４０）、断続部（図示せず）、角度制限ユニット２６１、加熱部２６２、センサ部（図示せず）、回転駆動部（図示せず）、センサ加熱部（図示せず）、第１圧力調節部（図示せず）、ソースチャンバ部（図示せず）、第２圧力調節部（図示せず）、第３圧力調節部（図示せず）及びビジョン部（図示せず）を含んでもよい。、チャンバ、第１支持部、第２支持部、マスク組立体、ソース部、断続部、センサ部、回転駆動部、センサ加熱部、第１圧力調節部、ソースチャンバ部、第２圧力調節部、第３圧力調節部及びビジョン部は、前述の製造装置１００と同一であるか、あるいは類似であるため、詳細な説明は、省略する。
【０１３３】
ノズル部２４０は、第１ノズル部２４１と第２ノズル部２４２とを含んでもよい。第１ノズル部２４１は、第１ノズル２４１ａを含み、第２ノズル部２４２は、第２ノズル２４２ａを含んでもよい。第１ノズル２４１ａ及び第２ノズル２４２ａは、それぞれ複数個具備され、複数個の第１ノズル２４１ａは、第１ノズル部２４１の長手方向（例えば、図４のＹ方向）に沿って、互いに離隔されるように配置され、複数個の第２ノズル２４２ａは、第２ノズル部２４２の長手方向に沿って、互いに離隔されるように配置される。本実施形態において、各第１ノズル２４１ａと各第２ノズル２４２ａは、傾くように配置される。例えば、第１ノズル２４１ａは、第１ノズル部２４１の上面から、第２ノズル部２４２側に傾くように配置される。また、第２ノズル２４２ａは、第２ノズル部２４２の上面から、第１ノズル部２４１側に傾くように配置される。第１ノズル２４１ａと第２ノズル２４２ａとは、第１ノズル部２４１と第２ノズル部２４２との間に配置されてもよい。
【０１３４】
角度制限ユニット２６１は、第１ノズル部２４１と第２ノズル部２４２との側面にも、それぞれ配置される。角度制限ユニット２６１は、第１ノズル２４１ａ及び第２ノズル２４２ａから噴射される蒸着物質の噴射角度を制限することができる。
【０１３５】
加熱部２６２は、前述のように、角度制限ユニット２６１に配置され、角度制限ユニット２６１に吸着された蒸着物質を除去することができる。
【０１３６】
前述のような表示装置の製造装置を用いた、表示装置を製造する方法は、前述の製造装置１００を用いた表示装置の製造方法と同一であるか、あるいは類似しているため、以下では、説明の便宜のために、詳細な説明は省略する。
【０１３７】
前述のように、第１ノズル２４１ａ及び第２ノズル２４２ａが配置される場合、第１ノズル２４１ａから噴射される第１蒸着物質と、第２ノズル２４２ａから噴射される第２蒸着物質は、各ノズルの蒸着物質の噴射範囲で互いに重畳されることにより、ディスプレイ基板（図示せず）の全領域において、第１蒸着物質及び第２蒸着物質の均一な濃度を維持することが可能である。
【０１３８】
本実施形態に係る表示装置の製造装置、及び該製造装置を用いた表示装置の製造方法は、精密な蒸着が可能になるため、表示装置の品質を向上させることができる。
【０１３９】
本実施形態に係る表示装置の製造装置、及び該製造装置を用いた表示装置の製造方法は、蒸着物質の損失を最小化させることができ、連続的な蒸着が可能である。
【０１４０】
図６は、本発明のさらに他の実施形態によるノズル部と角度制限ユニットとを示す断面図である。図７は、図６に示されたノズル部を示す平面図である。
【０１４１】
図６及び図７を参照すると、本実施形態に係る表示装置の製造装置は、チャンバ（図示せず）、第１支持部（図示せず）、第２支持部（図示せず）、マスク組立体（図示せず）、ソース部（図示せず）、ノズル部３４０、断続部（図示せず）、角度制限ユニット３６１、加熱部３６２、センサ部（図示せず）、回転駆動部（図示せず）、センサ加熱部（図示せず）、第１圧力調節部（図示せず）、ソースチャンバ部（図示せず）、第２圧力調節部（図示せず）、第３圧力調節部（図示せず）及びビジョン部（図示せず）を含んでもよい。チャンバ、第１支持部、第２支持部、マスク組立体、ソース部、断続部、センサ部、回転駆動部、センサ加熱部、第１圧力調節部、ソースチャンバ部、第２圧力調節部、第３圧力調節部及びビジョン部は、前述の製造装置１００と同一であるか、あるいは類似であるため、詳細な説明は、省略する。
【０１４２】
第１ノズル部３４１と第２ノズル部３４２は、互いに隣接するように配置され、第１ノズル部３４１は、第１蒸着物質を噴射する第１ノズル３４１ａを含み、第２ノズル部３４２は、第２蒸着物質を噴射する第２ノズル３４２ａを含んでもよい。第１ノズル３４１ａと第２ノズル３４２ａは、前述の図１〜図３で説明したように、第１ノズル部３４１の第１中心Ｃ１と、第２ノズル部３４２の第２中心Ｃ２との間に配置される。本実施形態において、第１ノズル３４１ａと第２ノズル３４２ａとは、第１蒸着物質を噴射する吐出口及び第２蒸着物質を噴射する吐出口付近の少なくとも一部が互いに連結される。第１ノズル３４１ａと第２ノズル３４２ａとが互いに連結された部分を除いた第１ノズル３４１ａの他の部分と、第２ノズル３４２ａの他の部分は、互いに分離された状態であってもよい。
【０１４３】
前述のような場合、第１ノズル３４１ａと第２ノズル３４２ａは、互いに連結され、第１ノズル部３４１と第２ノズル部３４２との間に配置される。このような場合、第１ノズル３４１ａから噴射される第１蒸着物質と、第２ノズル３４２ａから噴射される第２蒸着物質とが、互いに重畳されない領域が最小化される。
【０１４４】
角度制限ユニット３６１は、第１ノズル部３４１と第２ノズル部３４２との側面にもそれぞれ配置される。そのとき、角度制限ユニット３６１は、第１ノズル３４１ａ及び第２ノズル３４２ａから噴射される蒸着物質の噴射角度を制限することができる。
【０１４５】
加熱部３６２は、前述のように、角度制限ユニット３６１に配置され、角度制限ユニット３６１に吸着された蒸着物質を除去することができる。
【０１４６】
前述のような表示装置の製造装置を用いて表示装置（図示せず）を製造する方法は、製造装置１００を用いた表示装置の製造方法と同一であるか、あるいは類似しているため、以下では、説明の便宜のために、詳細な説明は省略する。
【０１４７】
前述のように、第１ノズル３４１ａと第２ノズル３４２ａとが配置される場合、第１ノズル３４１ａから噴射される第１蒸着物質と、第２ノズル３４２ａから噴射される第２蒸着物質は、各ノズルの蒸着物質の噴射範囲で互いに重畳されることにより、ディスプレイ基板（図示せず）の全領域において、第１蒸着物質及び第２蒸着物質の均一な濃度を維持することが可能である。
【０１４８】
本実施形態に係る表示装置の製造装置、及び該製造装置を用いた表示装置の製造方法は、精密な蒸着が可能であるため、表示装置の品質を向上させることができる。
【０１４９】
本実施形態に係る表示装置の製造装置、及び該製造装置を用いた表示装置の製造方法は、蒸着物質の損失を最小化させることができ、連続的な蒸着が可能である。
【０１５０】
図８は、本発明のさらに他の実施形態によるノズル部と角度制限ユニットとを示す断面図である。図９は、図８に示されたノズル部を示す平面図である。
【０１５１】
図８及び図９を参照すると、表示装置の製造装置（図示せず）は、チャンバ（図示せず）、第１支持部（図示せず）、第２支持部（図示せず）、マスク組立体（図示せず）、ソース部（図示せず）、ノズル部４４０、断続部（図示せず）、角度制限ユニット４６１、加熱部４６２、センサ部（図示せず）、回転駆動部（図示せず）、センサ加熱部（図示せず）、第１圧力調節部（図示せず）、ソースチャンバ部（図示せず）、第２圧力調節部（図示せず）、第３圧力調節部（図示せず）及びビジョン部（図示せず）を含んでもよい。チャンバ、第１支持部、第２支持部、マスク組立体、ソース部、断続部、センサ部、回転駆動部、センサ加熱部、第１圧力調節部、ソースチャンバ部、第２圧力調節部、第３圧力調節部及びビジョン部は、前述の製造装置１００と同一であるか、あるいは類似であるため、詳細な説明は、省略する。
【０１５２】
第１ノズル部４４１は、第１蒸着物質を案内する第１ノズル４４１ａを含み、第２ノズル部４４２は、第２蒸着物質を案内する第２ノズル４４２ａを含んでもよい。第１ノズル４４１ａと第２ノズル４４２ａは、互いに同一であるか、あるいは類似しているため、第１ノズル４４１ａを詳細に説明する。
【０１５３】
第１ノズル４４１ａは、第１ノズル部４４１側から、第２ノズル部４４２側に折り曲げられる。このとき、第１ノズル４４１ａの一部は、傾くように形成され、第１ノズル４４１ａの他の一部は、ディスプレイ基板（図示せず）の表面に対して垂直に形成される。第１ノズル４４１ａの端は、第１ノズル部４４１と第２ノズル部４４２との間に配置される。
【０１５４】
第１蒸着物質を噴射する第１ノズル４４１ａの吐出口と、第２蒸着物質を噴射する第２ノズル４４２ａの吐出口とは、互いに一列にも配列される。このとき、第１ノズル４４１ａと第２ノズル４４２ａとは、それぞれ複数個具備され、複数個の第１ノズル４４１ａと複数個の第２ノズル４４２ａは、第１ノズル部４４１の長手方向に沿って、互いに離隔されるように配置される。また、第１ノズル４４１ａと第２ノズル４４２ａは、互いに隣接するように配置されてもよい。特に、第１ノズル４４１ａと第２ノズル４４２ａは、第１ノズル部４４１の長手方向に沿って互いに連結され、１つのグループを形成することができる。そのようなグループは、複数個具備され、複数個のグループは、前述のように、第１ノズル部４４１の長手方向に沿って、互いに離隔されるように配置されてもよい。このような場合、第１ノズル４４１ａから噴射される第１蒸着物質と、第２ノズル４４２ａから噴射される第２蒸着物質は、互いに最大限広い範囲で重畳され、ディスプレイ基板（図示せず）に供給される。
【０１５５】
角度制限ユニット４６１は、第１ノズル部４４１と第２ノズル部４４２との側面にそれぞれ配置される。そのとき、角度制限ユニット４６１は、第１ノズル４４１ａ及び第２ノズル４４２ａから噴射される蒸着物質の噴射角度を制限することができる。
【０１５６】
加熱部４６２は、前述のように、角度制限ユニット４６１に配置され、角度制限ユニット４６１に吸着された蒸着物質を除去することができる。
【０１５７】
一方、前述のような表示装置の製造装置を用いて、表示装置（図示せず）を製造する方法は、製造装置１００を用いた表示装置の製造方法と同一であるか、あるいは類似しているため、以下では、説明の便宜のために、詳細な説明は省略する。
【０１５８】
前述のように、第１ノズル４４１ａと第２ノズル４４２ａとが配置される場合、第１ノズル４４１ａから噴射される第１蒸着物質と、第２ノズル４４２ａから噴射される第２蒸着物質は、各ノズルの蒸着物質の噴射範囲で互いに重畳されることにより、ディスプレイ基板（図示せず）の全領域において、第１蒸着物質及び第２蒸着物質の均一な濃度を維持することが可能である。
【０１５９】
本実施形態に係る表示装置の製造装置、及び該製造装置を用いた表示装置の製造方法は、精密な蒸着が可能であるので、表示装置の品質を向上させることができる。
【０１６０】
本実施形態に係る表示装置の製造装置、及び該製造装置を用いた表示装置の製造方法は、蒸着物質の浪費を最小化させることができ、連続的な蒸着が可能である。
【０１６１】
図１０は、本発明のさらに他の実施形態によるノズル部と角度制限ユニットとを示す断面図である。図１１は、図１０に示されたノズル部を示す平面図である。
【０１６２】
図１０及び図１１を参照すると、本実施形態に係る表示装置の製造装置（図示せず）は、チャンバ（図示せず）、第１支持部（図示せず）、第２支持部（図示せず）、マスク組立体（図示せず）、ソース部（図示せず）、ノズル部５４０、断続部（図示せず）、角度制限ユニット５６１、加熱部５６２、センサ部（図示せず）、回転駆動部（図示せず）、センサ加熱部（図示せず）、第１圧力調節部（図示せず）、ソースチャンバ部（図示せず）、第２圧力調節部（図示せず）、第３圧力調節部（図示せず）及びビジョン部（図示せず）を含んでもよい。チャンバ、第１支持部、第２支持部、マスク組立体、ソース部、断続部、センサ部、回転駆動部、センサ加熱部、第１圧力調節部、ソースチャンバ部、第２圧力調節部、第３圧力調節部及びビジョン部は、前述の製造装置１００と同一であるか、あるいは類似しているため、詳細な説明は、省略する。
【０１６３】
第１ノズル部５４１は、第１蒸着物質を案内する第１ノズル５４１ａを含み、第２ノズル部５４２は、第２蒸着物質を案内する第２ノズル５４２ａを含んでもよい。第１ノズル５４１ａまたは第２ノズル５４２ａのうち一つは、第１ノズル５４１ａまたは第２ノズル５４２ａのうち他の１つの内部に配置される。この場合、第１ノズル５４１ａの吐出口、及び第２ノズル５４２ａの吐出口は、円形であり、第１ノズル５４１ａの吐出口、及び第２ノズル５４２ａの吐出口は、互いに重畳している。以下では、説明の便宜のために、第２ノズル５４２ａが、第１ノズル５４１ａの内部に配置される場合を例に詳細に説明する。
【０１６４】
本実施形態では、ディスプレイ基板（図示せず）に蒸着物質を蒸着する場合、第２ノズル５４２ａから噴射された第２蒸着物質の噴射範囲は、第１ノズル５４１ａから噴射された第１蒸着物質の噴射範囲と重畳される。このような場合、第１蒸着物質及び第２蒸着物質が互いに重畳されない領域を最小化させることが可能である。
【０１６５】
角度制限ユニット５６１は、第１ノズル部５４１と第２ノズル部５４２との側面に、それぞれ配置される。角度制限ユニット５６１は、第１ノズル５４１ａ及び第２ノズル５４２ａから噴射される蒸着物質の噴射角度を制限することができる。
【０１６６】
加熱部５６２は、前述のように、角度制限ユニット５６１に配置され、角度制限ユニット５６１に吸着された蒸着物質を除去することができる。
【０１６７】
一方、本実施形態に係る表示装置の製造装置を用いて表示装置（図示せず）を製造する方法は、製造装置１００を用いた表示装置の製造方法と同一であるか、あるいは類似しているため、以下では、説明の便宜のために、詳細な説明は省略する。
【０１６８】
前述のように、第１ノズル５４１ａと第２ノズル５４２ａとが配置される場合、第１ノズル５４１ａから噴射される第１蒸着物質と、第２ノズル５４２ａから噴射される第２蒸着物質は、各ノズルの蒸着物質の噴射範囲で互いに重畳されることにより、ディスプレイ基板（図示せず）の全領域において、第１蒸着物質及び第２蒸着物質の均一な濃度を維持することが可能である。
【０１６９】
本実施液体に係る表示装置の製造装置、及び該製造装置を用いた表示装置の製造方法は、精密な蒸着が可能であるので、表示装置の品質を向上させることができる。
【０１７０】
本実施形態に係る表示装置の製造装置、及び該製造装置を用いた表示装置の製造方法は、蒸着物質の損失を最小化させることができ、連続的な蒸着が可能である。
【０１７１】
図１２は、本発明のさらに他の実施形態による表示装置の製造装置の一部を示す断面図である。
【０１７２】
図１２を参照すると、表示装置の製造装置（図示せず）は、チャンバ（図示せず）、第１支持部（図示せず）、第２支持部（図示せず）、マスク組立体（図示せず）、ソース部（図示せず）、ノズル部６４０、断続部（図示せず）、角度制限ユニット６６１、センサ部（図示せず）、回転駆動部（図示せず）、センサ加熱部（図示せず）、第１圧力調節部（図示せず）、ソースチャンバ部（図示せず）、第２圧力調節部（図示せず）、第３圧力調節部（図示せず）、ビジョン部（図示せず）及び蒸着物質捕集部６９７を含んでもよい。チャンバ、第１支持部、第２支持部、マスク組立体、ソース部、断続部、センサ部、回転駆動部、センサ加熱部、第１圧力調節部、ソースチャンバ部、第２圧力調節部、第３圧力調節部及びビジョン部は、前述の製造装置１００と同一であるか、あるいは類似しているため、詳細な説明は、省略する。
【０１７３】
ノズル部６４０は、前述の図１〜図１１で説明したところと同一または類似した形態である。ノズル部６４０は、第１ノズル部６４１と第２ノズル部６４２とを含み、第１ノズル部６４１は、第１蒸着物質を噴射する第１ノズル６４１ａを含み、第２ノズル部６４２は、第２蒸着物質を噴射する第２ノズル６４２ａを含んでもよい。
【０１７４】
角度制限ユニット６６１は、第１ノズル部６４１の一側に配置される第１角度制限ユニット６６１ａと、第２ノズル部６４２の一側に配置される第２角度制限ユニット６６１ｂとを含んでもよい。第１角度制限ユニット６６１ａと第２角度制限ユニット６６１ｂとは、互いに対向するように配置される。第１角度制限ユニット６６１ａと第２角度制限ユニット６６１ｂとの間には、第１ノズル６４１ａと第２ノズル６４２ａとが配置される。第１角度制限ユニット６６１ａと第２角度制限ユニット６６１ｂは、互いに同一であるか、あるいは類似しているため、以下では、説明の便宜のために、第１角度制限ユニット６６１ａを詳細に説明する。
【０１７５】
第１角度制限ユニット６６１ａは、第１角度制限ベルト６６１ａ−１、第１ベルト駆動部６６１ａ−２、第１ベルト冷却部６６１ａ−３、第１断熱部６６１ａ−４及び第１ベルト加熱部６６１ａ−５を含む。
【０１７６】
第１角度制限ベルト６６１ａ−１は、環状ベルトであってもよい。第１角度制限ベルト６６１ａ−１は、クローズループ（closed loop）形態であってもよい。また、第１角度制限ベルト６６１ａ−１は、第１ノズル部６４１の長手方向（例えば、図１２のＹ方向）に沿って、第１ノズル部６４１の側面側を完全に遮蔽することができる。
【０１７７】
第１ベルト駆動部６６１ａ−２は、第１角度制限ベルト６６１ａ−１と接続され、第１角度制限ベルト６６１ａ−１を回転させることができる。第１ベルト駆動部６６１ａ−２は、第１角度制限ベルト６６１ａ−１と接触して回転する複数個の第１ローラ６６１ａ−２ａと、複数個の第１ローラ６６１ａ−２ａとのうち少なくとも一つと接続され、第１ローラ６６１ａ−２ａを回転させる第１モータ６６１ａ−２ｂを含んでもよい。
【０１７８】
第１ベルト冷却部６６１ａ−３は、第１角度制限ベルト６６１ａ−１の一面を冷却する。第１ベルト冷却部６６１ａ−３は、内部に冷媒が循環することができる。該冷媒の循環により、第１角度制限ベルト６６１ａ−１の一面の温度は、冷却される。冷却される第１角度制限ベルト６６１ａ−１の一面は、第１ノズル部６４１側に配置される。
【０１７９】
第１断熱部６６１ａ−４は、第１ベルト冷却部６６１ａ−３と第１角度制限ベルト６６１ａ−１との間に配置される。第１断熱部６６１ａ−４は、断熱部材を含むことにより、第１ベルト冷却部６６１ａ−３により、第１角度制限ベルト６６１ａ−１の他面の温度が下降することを防止することができる。第１断熱部６６１ａ−４は、第１ベルト加熱部６６１ａ−５と対向するように配置される。また、第１断熱部６６１ａ−４は、多様な形態に形成される。一実施形態として、第１断熱部６６１ａ−４は、プレート形態であってもよい。他の実施形態として、第１断熱部６６１ａ−４は、キャップ（cap）形態であってもよく、第１ベルト冷却部６６１ａ−３の一部を覆い包むうに配置されてもよい。すなわち、第１断熱部６６１ａ−４は、一部が開口されいてもよく、第１ベルト冷却部６６１ａ−３が、第１断熱部６６１ａ−４の開口内部に配置されてもよい。この場合、第１断熱部６６１ａ−４の開口された部分は、第１ノズル部６４１側を向くように配置される。
【０１８０】
第１ベルト加熱部６６１ａ−５は、第１角度制限ベルト６６１ａ−１を加熱し、第１角度制限ベルト６６１ａ−１に付着された蒸着物質を除去することができる。第１ベルト加熱部６６１ａ−５は、第１角度制限ベルト６６１ａ−１に熱エネルギーを供給するヒータ、または光エネルギーを供給するランプを含んでもよい。
【０１８１】
本実施形態に係る第１角度制限ユニット６６１ａの動作について説明すると、第１角度制限ユニット６６１ａは、蒸着が行われる間、第１ノズル６４１ａ及び第２ノズル６４２ａから噴射される蒸着物質の角度を制限することができる。蒸着の過程で第１角度制限ベルト６６１ａ−１の一面には、第１ノズル６４１ａ及び第２ノズル６４２ａのそれぞれから噴射される蒸着物質が吸着される。第１ノズル６４１ａと第２ノズル６４２ａは、前述の図１〜図１１で説明したように配列される。
【０１８２】
本実施形態においては、第１ベルト冷却部６６１ａ−３は、第１角度制限ベルト６６１ａ−１の一面を冷却させることにより、第１角度制限ベルト６６１ａ−１の一面の温度を下げて、蒸着物質がさらに迅速に第１角度制限ベルト６６１ａ−１の一面に吸着するようにする。また、第１断熱部６６１ａ−４は、第１ベルト冷却部６６１ａ−３により、第１角度制限ベルト６６１ａ−１の他面が冷却されることを防止することができる。
【０１８３】
蒸着が続けて進められた後、一定時間が経過する場合、第１モータ６６１ａ−２ｂが作動し、複数個の第１ローラ６６１ａ−２ａのうち少なくとも一つを回転させれば、第１角度制限ベルト６６１ａ−１が回転する。このとき、蒸着物質が吸着された第１角度制限ベルト６６１ａ−１の一面は、第１ベルト加熱部６６１ａ−５に対向するように配置され、第１ベルト加熱部６６１ａ−５に対向していた第１角度制限ベルト６６１ａ−１の他面を含む新たな部分が第１ノズル部６４１に対向するように配置される。第１ノズル部６４１及び第２ノズル部６４２から噴射された蒸着物質は、第１角度制限ベルト６６１ａ−１の新たな部分に吸着される。一方、第１ベルト加熱部６６１ａ−５から、蒸着物質が吸着された第１角度制限ベルト６６１ａ−１の一面に熱を加えられ、第１角度制限ベルト６６１ａ−１の一面から蒸着物質を除去することができる。
【０１８４】
蒸着物質捕集部６９７は、角度制限ユニット６６１の上部に配置される。特に蒸着物質捕集部６９７は、角度制限ユニット６６１で除去される蒸着物質を捕集することができる。蒸着物質捕集部６９７は、蒸着物質を捕集する捕集プレート６９７ａと、捕集プレート６９７ａの温度を下げるプレート冷却部６９７ｂと、を含んでもよい。プレート冷却部６９７ｂは、捕集プレート６９７ａに配置され、冷媒を循環させることができる。
【０１８５】
前述のような角度制限ユニット６６１から除去される蒸着物質が、チャンバ内部を移動するとき、捕集プレート６９７ａに衝突する。このとき、捕集プレート６９７ａの表面温度が、プレート冷却部６９７ｂにより、チャンバ６１０内部温度よりも低い温度にを維持されることにより該蒸着物質は、捕集プレート６９７ａに吸着される。
【０１８６】
前述のような表示装置の製造装置６００の動作について説明すれば、前述のような表示装置の製造装置を用いて、表示装置（図示せず）を製造する方法は、製造装置１００を用いた表示装置の製造方法と同一であるか、あるいは類似しているため、以下では、説明の便宜のために、詳細な説明は、省略する。本実施形態においては、角度制限ユニット６６１と蒸着物質捕集部６９７は、前述のように、蒸着物質を除去することができる。
【０１８７】
従って、本実施形態に係る表示装置の製造装置、及び該製造装置を用いた表示装置の製造方法は、角度制限ユニット６６１を介して、ディスプレイ基板Ｄに入射する蒸着物質の角度が小さい蒸着物質を効果的に除去することができる。また、本実施形態に係る表示装置の製造装置、及び該製造装置を用いた表示装置の製造方法は、角度制限ユニット６６１を、蒸着工程において持続的に使用することができるため、表示装置（図示せず）の製造時、該表示装置の製造装置の稼動を停止させずに、持続的に使用することが可能である。
【０１８８】
本実施形態に係る表示装置の製造装置、及び該製造装置を用いた表示装置の製造方法は、精密な蒸着が可能であるため、表示装置の品質を向上させることができる。
【０１８９】
本実施形態に係る表示装置の製造装置、及び該製造装置を用いた表示装置の製造方法は、蒸着物質の損失を最小化させることができ、連続的な蒸着が可能である。
【０１９０】
図１３は、本発明のさらに他の実施形態による表示装置の製造装置を示す断面図である。
【０１９１】
図１３を参照すると、表示装置の製造装置７００は、チャンバ７１０、第１支持部７２１、第２支持部７２２、マスク組立体７２３、ソース部７３０、角度制限ユニット７６１、加熱部７６２、センサ部７７１、回転駆動部７７２、センサ加熱部７７３、第１圧力調節部７８０及びビジョン部７９４を含んでもよい。チャンバ７１０、第１支持部７２１、第２支持部７２２、マスク組立体７２３、角度制限ユニット７６１、加熱部７６２、センサ部７７１、回転駆動部７７２、センサ加熱部７７３、第１圧力調節部７８０及びビジョン部７９４は、前述の図１〜図３で説明した製造装置１００と同一であるか、あるいは類似しているため、詳細な説明は、省略する。
【０１９２】
本実施形態において、ソース部７３０は、前述のノズル部（図示せず）を含む。すなわち、ソース部７３０は、蒸着物質が内部に配置され、蒸着物質を気化させるか、あるいは昇華させることにより、チャンバ７１０内部に供給することができる。ソース部７３０は、第１ソース部７３１と第２ソース部７３２とを含んでもよい。第１ソース部７３１は、第１蒸着物質を収納し、第１蒸着物質をチャンバ７１０に供給することができ、第２ソース部７３２は、第２蒸着物質を収納し、第２蒸着物質をチャンバ７１０に供給することができる。第１ソース部７３１は、第１ノズル７３１ａを含んでもよく、第２ソース部７３２は、第２ノズル７３２ａを含んでもよい。第１ノズル７３１ａと第２ノズル７３２ａは、前述の図１〜図１１で説明したようにも配置される。
【０１９３】
一方、前述のような表示装置の製造装置７００を用いて表示装置（図示せず）を製造する方法について述べれば、マスク組立体７２３とディスプレイ基板Ｄとをチャンバ７１０内部に挿入し、マスク組立体７２３とディスプレイ基板Ｄとを整列させた後、ソース部７３０から蒸着物質を供給し、ディスプレイ基板Ｄに蒸着物質を蒸着させる。
【０１９４】
前述のような場合、角度制限ユニット７６１は、第１ノズル部７４１及び第２ノズル部７４２から噴射される蒸着物質の噴射角度を制限することができる。また、加熱部７６２は、角度制限ユニット７６１を加熱することにより、角度制限ユニット７６１に吸着された蒸着物質を除去することができる。
【０１９５】
一方、前述のような過程が進められる間、センサ部７７１（例えば、第１センサ部）は、ディスプレイ基板Ｄに蒸着される蒸着物質の蒸着量を測定することができる。
【０１９６】
前述のような過程は、一定時間反復して実行される。この場合、該一定時間は、ディスプレイ基板Ｄを蒸着する回数であり、一定時間の間、複数個のディスプレイ基板Ｄに蒸着物質を蒸着することができる。
【０１９７】
該一定時間が経過すると、回転駆動部７７２が作動し、新たなセンサ部７７１（例えば、第２センサ部）に交換させることができる。また、既存の使用されたセンサ部７７１は、センサ加熱部７７３に対向するように配置されてもよく、この場合、センサ加熱部７７３は、センサ部７７１を加熱することにより、センサ部７７１に吸着された蒸着物質を除去することができる。そのため、センサ部７７１の交換することなく、そのまま連続して使用することができる。
【０１９８】
表示装置の製造装置７００、及び製造装置７００を用いた表示装置の製造方法は、角度制限ユニット７６１に吸着された蒸着物質を、加熱部７６２で除去し、ディスプレイ基板Ｄに案内することにより、蒸着物質の損失を最小化させることができる。
【０１９９】
表示装置の製造装置７００、及び製造装置７００を用いた表示装置の製造方法は、センサ部７７１の交換時、蒸着工程を停止させる必要がないため、表示装置の製造装置７００の稼動時間を延長させることが可能である。
【０２００】
表示装置の製造装置７００、及び製造装置７００を用いた表示装置の製造方法は、連続稼動時間を延長させることが可能である。
【０２０１】
図１４は、本発明のさらに他の実施形態による表示装置の製造装置を示す断面図である。
【０２０２】
図１４を参照すると、表示装置の製造装置８００は、チャンバ８１０、第１支持部８２１、第２支持部８２２、マスク組立体８２３、ソース部８３０、角度制限ユニット８６１、センサ部８７１、回転駆動部８７２、センサ加熱部８７３、第１圧力調節部８８０、ビジョン部８９４及び蒸着物質捕集部８９７を含んでもよい。そのとき、チャンバ８１０、第１支持部８２１、第２支持部８２２、マスク組立体８２３、センサ部８７１、回転駆動部８７２、センサ加熱部８７３、第１圧力調節部８８０及びビジョン部８９４は、前述の図１〜図３で説明したところと同一であるか、あるいは類似しているため、詳細な説明は、省略する。
【０２０３】
ソース部８３０は、前述の図１３で説明したソース部７３０と類似している。ソース部８３０は、蒸着物質が収納され、該蒸着物質を気化させるか、あるいは昇華させることができる。
【０２０４】
角度制限ユニット８６１は、第１角度制限ユニット８６１と第２角度制限ユニット８６１とを含んでもよい。そのとき、第１角度制限ユニット８６１と第２角度制限ユニット８６１は、互いに類似している。第１角度制限ユニット８６１は、第１角度制限ベルト８６１ａ−１、第１ベルト冷却部８６１ａ−３、第１断熱部８６１ａ−４及び第１ベルト加熱部８６１ａ−５を含んでもよい。第１角度制限ユニット８６１と第２角度制限ユニット８６１は、前述の図１２で説明した第１角度制限ユニット６６１と第２角度制限ユニット６６１と同一であるか、あるいは類似であるため、詳細な説明は、省略する。
【０２０５】
蒸着物質捕集部８９７は、捕集プレート８９７ａ及びプレート冷却部８９７ｂを含んでもよい。蒸着物質捕集部８９７は、前述の図１２で説明した蒸着物質捕集部６９７と同一であるか、あるいは類似であるため、詳細な説明は、省略する。
【０２０６】
前述のような表示装置の製造装置８００を用いて表示装置（図示せず）を製造する方法は、前述の製造装置１００、７００と同一であるか、あるいは類似である。
【０２０７】
具体的には、ソース部８３０の作動により、蒸着物質がマスク組立体８２３を通過し、ディスプレイ基板Ｄの一領域に蒸着される。そのとき、角度制限ユニット８６１は、ソース部８３０から噴射される蒸着物質の角度を制限することができ、蒸着物質のうち一部を除去することができる。また、角度制限ユニット８６１の作動により、角度制限ユニット８６１に吸着された蒸着物質が除去されることができ、除去された蒸着物質は、蒸着物質捕集部８９７に吸着される。
【０２０８】
また、センサ部８７１は、前述のような工程が進められる間、ディスプレイ基板Ｄに蒸着される蒸着物質の蒸着量をモニタリングすることができる。それだけではなく、一定時間が経過した後、新たなセンサ部８７１に交換することにより、表示装置の製造装置８００の稼動時間を延長させることができる。
【０２０９】
従って、表示装置の製造装置８００、及び製造装置８００を用いた表示装置の製造方法は、精密な蒸着が可能であるので、前記表示装置の品質を向上させることができる。
【０２１０】
表示装置の製造装置８００、及び製造装置８００を用いた表示装置の製造方法は、蒸着物質の損失を最小化させることができ、連続的な蒸着が可能である。
【０２１１】
図１５は、本発明のさらに他の実施形態による表示装置の製造装置を示す断面図である。
【０２１２】
図１５を参照すると、表示装置の製造装置９００は、チャンバ９１０、第１支持部９２１、第２支持部９２２、マスク組立体９２３、ソース部９３０、角度制限ユニット９６１、加熱部９６２、センサ部９７１、回転駆動部９７２、センサ加熱部９７３、第１圧力調節部９８０及びビジョン部９９４を含んでもよい。チャンバ９１０、第２支持部９２２、マスク組立体９２３、角度制限ユニット９６１、加熱部９６２、センサ部９７１、回転駆動部９７２、センサ加熱部９７３、第１圧力調節部９８０及びビジョン部９９４は、前述の図１３で説明した製造装置７００と同一であるか、あるいは類似であるため、詳細な説明は、省略する。
【０２１３】
第１支持部９２１は、ディスプレイ基板Ｄの一面を固定させることができる。第１支持部９２１は、真空チャック、静電チャックまたは粘着チャックを含んでもよい。
【０２１４】
前述のような表示装置の製造装置９００の作動について説明すると、ソース部９３０からチャンバ９１０内部に供給される蒸着物質は、マスク組立体９２３を通過し、ディスプレイ基板Ｄに蒸着される。センサ部９７１は、ディスプレイ基板Ｄに蒸着される蒸着物質の蒸着量を測定することができる。
【０２１５】
前述のような工程が進められる間、角度制限ユニット９６１は、ソース部９３０から噴射される蒸着物質の噴射角度を制限することができ、加熱部９６２は、角度制限ユニット９６１で蒸着された蒸着物質を除去することができる。
【０２１６】
センサ部９７１は、前述のように一定時間が経過すると、新たなセンサ部９７１に交替されてもよい。また、使用されたセンサ部９７１は、センサ加熱部９７３によって蒸着物質が除去されて再利用されてもよい。
【０２１７】
従って、表示装置の製造装置９００、及び製造装置９００を用いた表示装置の製造方法は、精密な蒸着が可能であるため、表示装置の品質を向上させることができる。
【０２１８】
表示装置の製造装置９００、及び製造装置９００を用いた表示装置の製造方法は、蒸着物質の損失を最小化させることができ、連続的な蒸着が可能である。
【０２１９】
図１６は、図１〜図１５による表示装置の製造装置を用いて製造された表示装置を示す平面図である。図１７は、図１６のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【０２２０】
図１６及び図１７を参照すると、表示装置２０は、基板２１上において、表示領域ＤＡと、表示領域ＤＡの周囲に位置する非表示領域ＮＤＡとを有する。表示領域ＤＡには、発光部が配置され、非表示領域には、電源配線（図示せず）などが配置される。また、非表示領域には、パッド部Ｃが配置される。
【０２２１】
表示装置２０は、ディスプレイ基板Ｄ及び薄膜封止層Ｅを含んでもよい。ディスプレイ基板Ｄは、基板２１、薄膜トランジスタＴＦＴ、パッシベーション膜２７及び画素電極２８−１を含んでもよい。他の実施形態として、ディスプレイ基板Ｄは、基板２１、薄膜トランジスタＴＦＴ、パッシベーション膜２７、画素電極２８−１及び中間層２８−２のうち一部を含んでよい。さらに他の実施形態として、ディスプレイ基板Ｄは、基板２１、薄膜トランジスタＴＦＴ、パッシベーション膜２７、画素電極２８−１、中間層２８−２及び対向電極２８−３のうち一部を含んでもよい。以下では、説明の便宜のために、ディスプレイ基板Ｄが、基板２１、薄膜トランジスタＴＦＴ、パッシベーション膜２７及び画素電極２８−１を含む場合を例に詳細に説明する。
【０２２２】
基板２１は、プラスチック材を使用してもよく、ＳＵＳ（steel use stainless）、Ｔｉのような金属材を使用してもよい。また、基板２１は、ポリイミド（ＰＩ）を使用してもよい。以下では、説明の便宜のために、基板２１がポリイミドによって形成される場合を例に詳細に説明する。
【０２２３】
基板２１上に、薄膜トランジスタＴＦＴが形成され、薄膜トランジスタＴＦＴを覆うように、パッシベーション膜２７が形成され、該パッシベーション膜２７上に、有機発光素子２８が形成される。
【０２２４】
基板２１の上面には、有機化合物及び／または無機化合物からなるバッファ層２２がさらに形成されてもよい。バッファ層２２は、ＳｉＯｘ（ｘ≧１、ＳｉＮｘ（ｘ≧１）によって形成されてもよい。
【０２２５】
該バッファ層２２上に、所定パターンに配列された活性層２３が形成された後、活性層２３を覆うゲート絶縁層２４が形成される。活性層２３は、ソース領域２３−１、ドレイン領域２３−３、及びそれらの間のチャンネル領域２３−２を含む。
【０２２６】
活性層２３は、多様な物質を含んでもよい。例えば、活性層２３は、アモルファスシリコンまたは結晶質シリコンのような無機半導体物質を含んでもよい。他の例として、活性層２３は、酸化物半導体を含んでもよい。さらに他の例として、活性層２３は、有機半導体物質を含んでもよい。ただし、以下では、説明の便宜のために、活性層２３がアモルファスシリコンによって形成される場合を例に詳細に説明する。
【０２２７】
活性層２３は、バッファ層２２上に、アモルファスシルリコン膜を形成した後、それを結晶化させて多結晶質シリコン膜を形成し、該多結晶質シリコン膜をパターニングして形成することができる。活性層２３は、駆動ＴＦＴ（図示せず）、スイッチングＴＦＴ（図示せず）のようなＴＦＴの種類により、そのソース領域２３−１及びドレイン領域２３−３が不純物によってドーピングされる。
【０２２８】
ゲート絶縁層２４の上面には、活性層２３と対応するゲート電極２５と、それを覆う層間絶縁層２６とが形成される。
【０２２９】
層間絶縁層２６とゲート絶縁層２４とにコンタクトホールＨ１を形成した後、層間絶縁層２６上に、ソース電極２７−１及びドレイン電極２７−２を、それぞれソース領域２３−１及びドレイン領域２３−３に接続するように形成する。
【０２３０】
薄膜トランジスタの上部には、パッシベーション膜２７が形成され、該パッシベーション膜２７上部に、有機発光素子２８（ＯＬＥＤ）の画素電極２８−１が形成される。該画素電極２８−１は、パッシベーション膜２７に形成されたビアホールＨ２により、該薄膜トランジスタＴＦＴのドレイン電極２７−２に接続される。パッシベーション膜２７は、無機物及び／または有機物、単層または２層以上で形成されてもよい。パッシベーション膜２７は、下部膜により形成された凹凸を平坦化するための平坦化膜として形成され、平坦な上面を有してもよい。一方、パッシベーション膜２７は、下部に位値した膜による凹凸によって表面の応答を有してもよい。該パッシベーション膜２７は、共振効果を実現するように、透明絶縁体によって形成されることが望ましい。
【０２３１】
パッシベーション膜２７上に、画素電極２８−１を形成した後、該画素電極２８−１及びパッシベーション膜２７を覆うように、画素定義膜２９が、有機物及び／または無機物によって形成され、画素電極２８−１が露出されるように開口される。
【０２３２】
少なくとも、画素電極２８−１上に、中間層２８−２及び対向電極２８−３が形成される。他の実施形態として、対向電極２８−３は、ディスプレイ基板Ｄの全面に形成されてもよい。そのような場合、対向電極２８−３は、中間層２８−２、画素定義膜２９の上に形成される。以下では、説明の便宜のために、対向電極２８−３が、中間層２８−２、画素定義膜２９の上に形成される場合を例に詳細に説明する。
【０２３３】
画素電極２８−１は、アノード電極として機能し、対向電極２８−３は、カソード電極として機能するが、ここで、画素電極２８−１と対向電極２８−３との極性が反対になってもよいことは言うまでもない。
【０２３４】
画素電極２８−１と対向電極２８−３とは、中間層２８−２によって互いに絶縁されており、中間層２８−２に互いに異なる極性の電圧を加え、有機発光層が発光する。
【０２３５】
中間層２８−２は、有機発光層を具備する。選択的な他の例として、中間層２８−２は、有機発光層（organic emission layer）を具備し、それ以外に、正孔注入層（ＨＩＬ：hole injection layer）、正孔輸送層（hole transport layer）、電子輸送層（electron transport layer）及び電子注入層（electron injection layer）のうち少なくとも１層をさらに具備してもよい。本実施形態は、これらに限定されるものではなく、中間層２８−２が有機発光層を具備し、その他多様な機能層（図示せず）をさらに具備してもよい。
【０２３６】
前述のような中間層２８−２は、複数層個具備され、複数層の中間層２８−２は、表示領域ＤＡを定義してもよい。複数層の中間層２８−２は、表示領域ＤＡ内部に互いに離隔されるように配置されてもよい。
【０２３７】
一方、１つの単位画素は、複数の副画素から構成されるが、該複数の副画素は、多様な色の光を放出することができる。例えば、複数の副画素は、それぞれ赤色、緑色及び青色の光を放出する副画素を具備してもよく、赤色、緑色、青色及び白色の光を放出する副画素を具備してもよい。
【０２３８】
前述の図１〜図１５に示された表示装置の製造装置（図示せず）は、ディスプレイ基板Ｄに多様な層を形成することができる。例えば、表示装置の製造装置は、ディスプレイ基板Ｄに、中間層２８−２のうち少なくとも１層、又は対向電極２８−３を形成することができる。表示装置の製造装置は、中間層２８−２のうち、正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、電子輸送層及び機能層のうち少なくとも１層を形成することができる。特に、表示装置の製造装置が、ディスプレイ基板Ｄに、中間層２８−２のうち少なくとも１層を形成する場合、表示装置の製造装置は、１層を複数個の蒸着物質を介して製造するか、あるいは複数層を同時に製造することも可能である。
【０２３９】
一方、前述のような薄膜封止層Ｅは、複数の無機層を含んでよく、あるいは無機層及び有機層を含んでもよい。
【０２４０】
薄膜封止層Ｅの有機層は、高分子によって形成され、望ましくは、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリカーボネート、エポキシ、ポリエチレン及びポリアクリレートのうちいずれか一つによって形成される単一膜または積層膜である。さらに望ましくは、有機層は、ポリアクリレートによって形成され、具体的には、ジアクリレート系モノマーとトリアクリレート系モノマーとを含むモノマー組成物が高分子化されたものを含んでもよい。モノマー組成物に、モノアクリレート系モノマーがさらに含まれてもよい。また、モノマー組成物に、ＴＰＯのような公知の光開始剤がさらに含まれてもよいが、これに限定されるものではない。
【０２４１】
薄膜封止層Ｅの無機層は、金属酸化物または金属窒化物を含む単一膜または積層膜である。具体的には、無機層は、ＳｉＮｘ、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２のうちいずれか一つを含んでもよい。
【０２４２】
薄膜封止層Ｅにおいて、外部に露出された最上層は、有機発光素子に対する透湿を防止するために、無機層で形成される。
【０２４３】
薄膜封止層Ｅは、少なくとも２個の無機層間に、少なくとも１つの有機層が挿入されたサンドイッチ構造を、含んでもよい。他の例として、薄膜封止層Ｅは、少なくとも２層の有機層間に、少なくとも１層の無機層が挿入されたサンドイッチ構造を、含んでもよい。他の例として、薄膜封止層Ｅは、少なくとも２層の無機層間に、少なくとも１層の有機層が挿入されたサンドイッチ構造、及び少なくとも２層の有機層間に、少なくとも１層の無機層が挿入されたサンドイッチ構造を含んでもよい。
【０２４４】
薄膜封止層Ｅは、有機発光素子（ＯＬＥＤ）の上部から、順次に第１無機層、第１有機層、第２無機層を含んでもよい。
【０２４５】
他の例として、薄膜封止層Ｅは、有機発光素子（ＯＬＥＤ）の上部から、順次に第１無機層、第１有機層、第２無機層、第２有機層、第３無機層を含んでもよい。
【０２４６】
さらに他の例として、薄膜封止層Ｅは、有機発光素子（ＯＬＥＤ）の上部から、順次に第１無機層、第１有機層、第２無機層、第２有機層、第３無機層、第３有機層、第４無機層を含んでもよい。
【０２４７】
有機発光素子（ＯＬＥＤ）と第１無機層との間に、ＬｉＦを含むハロゲン化金属層が追加して含まれてもよい。ハロゲン化金属層は、第１無機層をスパッタリングで形成すれば、有機発光素子（ＯＬＥＤ）の損傷を防止することができる。
【０２４８】
該第１有機層は、該第２無機層より面積が狭く、該第２有機層も、該第３無機層より面積が狭い。
【０２４９】
従って、表示装置２０は、精密なイメージを実現することができる。
【０２５０】
以上のように、本発明は、図面に示された一実施形態を参照して説明したが、それらは、例示的なものに過ぎず、当該分野において当業者であるならば、それらから、多様な変更、及び実施形態の変形が可能であるという点を理解するであろう。従って、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲によって決められるものである。
【産業上の利用可能性】
【０２５１】
本発明の、表示装置の製造装置、及び表示装置の製造方法は、例えば、携帯用電子機器関連の技術分野に効果的に適用可能である。
【符号の説明】
【０２５２】
２０・・・表示装置
２５・・・ゲート電極
２１・・・基板
２６・・・層間絶縁層
２２・・・バッファ層
２７・・・パッシベーション膜
２３・・・活性層
２８・・・有機発光素子
２４・・・ゲート絶縁層
２９・・・・画素定義膜
１００，７００，８００，９００・・・表示装置の製造装置
１１０，７１０，８１０，９１０・・・チャンバ
１２１，７２１，８２１，９２１・・・第１支持部
１２２，７２２，８２２，９２２・・・第２支持部
１２３，７２３，８２３，９２３・・・マスク組立体
１３０，７３０，８３０，９３０・・・ソース部
１４０，２４０，３４０，４４０，５４０，６４０，７４０，８４０，９４０・・・ノズル部
１５０・・・断続部
１６１，２６１，３６１，４６１，５６１，６６１，７６１，８６１，９６１・・・角度制限ユニット
１６２，２６２，３６２，４６２，５６２，９６２・・・加熱部
１７１，９７１・・・センサ部
１７２，９７２・・・回転駆動部
１７３，９７３・・・センサ加熱部
１８０，７７０，８７０，９７０・・・第１圧力調節部
１９１・・・ソースチャンバ部
１９２・・・第２圧力調節部
１９３・・・第３圧力調節部
１９４・・・ビジョン部
１９６ａ・・・第１温度センサ
１９６ｂ・・・第２温度センサ
６９７，８９７・・・蒸着物質捕集部
【図１】
2020020035.tif 000003
【図２】
2020020035.tif 000004
【図３】
2020020035.tif 000005
【図４】
2020020035.tif 000006
【図５】
2020020035.tif 000007
【図６】
2020020035.tif 000008
【図７】
2020020035.tif 000009
【図８】
2020020035.tif 000010
【図９】
2020020035.tif 000011
【図１０】
2020020035.tif 000012
【図１１】
2020020035.tif 000013
【図１２】
2020020035.tif 000014
【図１３】
2020020035.tif 000015
【図１４】
2020020035.tif 000016
【図１５】
2020020035.tif 000017
【図１６】
2020020035.tif 000018
【図１７】
2020020035.tif 000019