(57)【要約】【課題】２つ以上の圧力室に対応する１つの個別電極を設けた場合においても、個別電極の、圧力室の間に対応する部分と共通電極との間の電気的信頼性を向上させることができる液体吐出ヘッドを提供することである。【解決手段】個別電極１４１は、２つの幅広部１４２Ｌ、１４２Ｒと、これらを連結する連結部１４３とを有する。中間共通電極２４１の、積層方向において連結部１４３と重なる位置に、貫通孔２４８を形成する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧電層が積層された圧電体であって、前記複数の圧電層の積層方向と直交する第１方向に離れた第１端と第２端とを有する圧電体と、
前記積層方向と直交する面である第１面に沿って形成された複数の個別電極と、
前記積層方向と直交する面であって、前記積層方向における位置が前記第１面の前記積層方向における位置と異なる第２面に沿って形成された第１共通電極と、を備え、
前記各個別電極は、前記第１方向に間隙をあけて配置された第１部分及び第２部分と、前記第１部分及び前記第２部分を連結する第３部分とを有し、前記第１部分は前記第１方向において前記第１端と前記第３部分との間に位置し、前記第３部分は前記第１方向において前記第１部分と前記第２部分の間に位置し、前記第２部分は前記第１方向において、前記第３部分と前記第２端の間に位置し、
前記複数の個別電極の前記第１部分、前記第２部分、前記第３部分は、それぞれ、前記第１端と前記第２端との間において、前記積層方向と直交する方向であって、且つ、前記第１方向と交差する第２方向に沿って列状に配置されて、第１部分の列、第２部分の列、第３部分の列を構成し、
前記第１共通電極は、前記第１部分の列と前記第２部分の列との、前記第１方向における間の位置を通過するように前記第２方向に沿って延びる第１延在部と、前記第１延在部から前記第１端に向かって突出した複数の第１突出部と、前記第１延在部から前記第２端に向かって突出した複数の第２突出部と、を備え、
各第１突出部は、前記第１部分の列を構成する前記複数の個別電極の前記第１部分の一つと、前記積層方向において部分的に重なり、
各第２突出部は、前記第２部分の列を構成する前記複数の個別電極の前記第２部分の一つと、前記積層方向において部分的に重なり、
前記第１延在部の、前記積層方向において前記第３部分と重なる部分には、それぞれ、第１共通電極を前記積層方向に貫通する貫通孔が形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記積層方向と直交する面であって、前記積層方向における位置が前記第１面および前記第２面と異なる第３面に沿って形成された第２共通電極を備え、
前記第２共通電極は、
前記第２共通電極は、前記第２方向に沿って延びる第２延在部と、前記第２延在部から前記第１端及び前記第２端に向かって突出した複数の突出部を有し、
前記突出部は、前記第１部分及び前記第２部分と前記積層方向において部分的に重なることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第２延在部には貫通孔が形成されていないことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記複数の第１部分に対応する複数の第１圧力室及び前記複数の第２部分に対応する複数の第２圧力室を有する複数の圧力室、前記複数の圧力室に対応する複数のノズル、及び、前記複数の圧力室と前記複数のノズルとをそれぞれ連通する複数の流路とが形成された流路ユニットを備える請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記複数のノズルは、前記複数の第１圧力室にそれぞれ対応する複数の第１ノズルと、前記複数の第２圧力室にそれぞれ対応する複数の第２ノズルとを備え、
前記複数の流路は、対応する前記複数の第１圧力室と前記複数の第１ノズルとをそれぞれ連通する複数の第１流路と、対応する前記複数の第２圧力室と前記複数の第２ノズルとをそれぞれ連通する複数の第２流路とを備えることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記各流路は、前記個別電極の一つの前記第１部分に対応する前記の第１圧力室の一つと前記個別電極の一つの前記第２部分に対応する前記第２圧力室の一つとを連通し、且つ、前記複数のノズルの一つに連通していることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記各第１突出部及び各第２突出部は、それぞれ、幅広部と幅狭部を有し、前記幅広部の前記第２方向の幅は、前記幅狭部の前記第２方向の幅よりも広く、
前記各貫通孔は、前記第１突出部の前記幅広部の一部及び前記第２突出部の前記幅広部の一部にわたって形成されていることを特徴とする請求項４〜６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記幅広部の、前記第２方向の長さは、前記圧力室の前記第２方向の長さよりも大きく、
前記幅狭部の前記第２方向の長さは、前記圧力室の前記第２方向の前記長さよりも小さいことを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記幅広部の一部は、前記圧力室と前記積層方向において重なっており、且つ、前記幅広部は、前記第１部分及ぶ前記第２部分と前記積層方向において重なっていないことを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記各幅広部の、前記貫通孔が形成された部分における前記第２方向の長さの総和は、前記各第２部分の前記第２方向の幅よりも大きいことを特徴とする請求項７〜９のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記各幅広部の前記貫通孔が形成された部分は、前記第２方向の一方側にずれていることを特徴とする請求項７〜１０のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記各幅広部の、前記第２方向における位置が前記貫通孔の第２方向における位置と同じである部分の、前記積層方向の厚さは、前記各幅狭部の厚さよりも厚いことを特徴とする請求項７〜１１のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記各第１部分は、前記第１圧力室と前記積層方向において重なる第１重複部分と、前記第１圧力室と前記積層方向において重ならない第１非重複部分とを備え、前記第１非重複部分は前記第１方向において前記第１端と前記第１重複部分の間に位置し、
前記各第２部分は、前記第２圧力室と前記積層方向において重なる第２重複部分と、前記第２圧力室と前記積層方向において重ならない第２非重複部分とを備え、前記第２非重複部分は前記第１方向において前記第２重複部分と前記第２端の間に位置し、
さらに、前記複数の個別電極の複数の前記第１非重複部分と電気的に接合される複数の第１端子を備え、前記積層方向において前記圧電体に重ねて配置された配線部材と、
前記第１非重複部分と前記第１端子との前記積層方向の間に配置された複数の導電性材料層とを備える４〜１２のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記第２非重複部分と前記配線部材との、前記積層方向の間には、前記導電性材料層は配置されていないことを特徴とする請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
前記各導電性材料層の前記第２方向の長さは、前記各貫通孔の前記第２方向の長さよりも大きい請求項１３又は１４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１６】
前記各個別電極は、前記第１方向に間隙をあけて配置された第４部分及び第５部分と、前記第１部分及び前記第２部分を連結する第６部分とを有し、前記第４部分は前記第１方向において前記第２部分と前記第６部分との間に位置し、前記第６部分は前記第１方向において前記第４部分と前記第５部分の間に位置し、前記第５部分は前記第１方向において、前記第６部分と前記第２端の間に位置し、
前記複数の個別電極の前記第４部分、前記第５部分、前記第６部分は、それぞれ、前記第２方向に沿って列状に配置されて、第４部分の列、第５部分の列、第６部分の列を構成し、
前記第１共通電極は、前記第４部分の列と前記第５部分の列との、前記第１方向における間の位置を通過するように前記第２方向に沿って延びる第２延在部と、前記第２延在部から前記第１端に向かって突出した複数の第３突出部と、前記第１延在部から前記第２端に向かって突出した複数の第４突出部と、を備え、
各第３突出部は、前記第４部分の列を構成する前記複数の個別電極の前記第４部分の一つと、前記積層方向において部分的に重なり、
各第４突出部は、前記第５部分の列を構成する前記複数の個別電極の前記第５部分の一つと、前記積層方向において部分的に重なり、
前記第２延在部の、前記積層方向において前記第４部分と重なる部分には、それぞれ、第１共通電極を前記積層方向に貫通する貫通孔が形成されており、
前記複数の圧力室は、前記複数の第４部分に対応する複数の第３圧力室及び前記複数の第５部分に対応する複数の第４圧力室を有する
前記各第４部分は、前記第３圧力室と前記積層方向において重なる第３重複部分と、前記第３圧力室と前記積層方向において重ならない第３非重複部分とを備え、前記第３非重複部分は前記第１方向において前記２非重複部分と前記第３重複部分の間に位置し、
前記各第５部分は、前記第４圧力室と前記積層方向において重なる第４重複部分と、前記第４圧力室と前記積層方向において重ならない第４非重複部分とを備え、前記第２非重複部分は前記第１方向において前記第４重複部分と前記第２端の間に位置し、
前記配線部材は、前記複数の個別電極の複数の前記第３非重複部分と電気的に接合される複数の第２端子を備え、
前記複数の導電性材料層の一部は、前記第３非重複部分と前記第２端子との前記積層方向の間に配置されていることを特徴とする請求項１３〜１５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクなどの液体を媒体に向けて吐出する液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出装置として、記録媒体に対して相対的に移動しつつ、記録媒体にインクを吐出して画像を形成するインクジェットプリンタのインクジェットヘッドが知られている。例えば、特許文献１に示されるインクジェットプリンタにおいては、複数の圧電材料層（セラミックスシート）が積層された圧電体を有するインクジェットヘッドが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−３１１９５６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のインクジェットヘッドは、複数の圧電材料層が積層された圧電体を有するアクチュエータユニットと、複数の圧力室などが形成された流路ユニットとを有している。ある圧電材料層の表面には、複数の個別電極が形成され、別の圧電材料層の表面には共通電極が形成されている。複数の個別電極は、複数の圧力室に対応して設けられている。特許文献１のインクジェットヘッドにおいては、隣り合う２つの圧力室に対応する２つの個別電極に同時に所定電圧を印加するように制御される。隣り合う２つの圧力室から同時にインクがノズルに向けて排出されるように制御することにより、十分なインク吐出量を確保している。
【０００５】
インクジェットヘッドの製造過程において、流路ユニットとアクチュエータユニットとの間に小さなゴミなどの異物が挟まった状態で、アクチュエータユニットと流路ユニットとを接着してしまうことがある。そのような場合には、アクチュエータユニットの圧電体に小さなクラックが入ることがある。例えば、２つの圧力室を隔てる壁の上方においては、アクチュエータユニットと流路ユニットを接着する際に圧電体に加えられた圧力の逃げ場がないため、圧電体にクラックが入りやすい。ここで、隣り合う２つの圧力室から同時にインクがノズルに向けて排出されるようにするためには、隣り合う２つの圧力室に対応する２つの個別電極を連結して、１つの個別電極にすることが考えられる。この場合には、２つの個別電極を連結する連結部分は、２つの圧力室を隔てる壁の上方に位置するため、上述のように圧電体にクラックが入りやすい。クラックが入った状態で個別電極に電圧を印加した場合には、連結部分と共通電極との間でショートする恐れがある。
【０００６】
本発明の目的は、２つ以上の圧力室に対応する１つの個別電極を設けた場合においても、個別電極の、圧力室の間に対応する部分と共通電極との間の電気的信頼性を向上させることができる液体吐出ヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の態様に従えば、複数の圧電層が積層された圧電体であって、前記複数の圧電層の積層方向と直交する第１方向に離れた第１端と第２端とを有する圧電体と、
前記積層方向と直交する面である第１面に沿って形成された複数の個別電極と、
前記積層方向と直交する面であって、前記積層方向における位置が前記第１面の前記積層方向における位置と異なる第２面に沿って形成された第１共通電極と、を備え、
前記各個別電極は、前記第１方向に間隙をあけて配置された第１部分及び第２部分と、前記第１部分及び前記第２部分を連結する第３部分とを有し、前記第１部分は前記第１方向において前記第１端と前記第３部分との間に位置し、前記第３部分は前記第１方向において前記第１部分と前記第２部分の間に位置し、前記第２部分は前記第１方向において、前記第３部分と前記第２端の間に位置し、
前記複数の個別電極の前記第１部分、前記第２部分、前記第３部分は、それぞれ、前記第１端と前記第２端との間において、前記積層方向と直交する方向であって、且つ、前記第１方向と交差する第２方向に沿って列状に配置されて、第１部分の列、第２部分の列、第３部分の列を構成し、
前記第１共通電極は、前記第１部分の列と前記第２部分の列との、前記第１方向における間の位置を通過するように前記第２方向に沿って延びる第１延在部と、前記第１延在部から前記第１端に向かって突出した複数の第１突出部と、前記第１延在部から前記第２端に向かって突出した複数の第２突出部と、を備え、
各第１突出部は、前記第１部分の列を構成する前記複数の個別電極の前記第１部分の一つと、前記積層方向において部分的に重なり、
各第２突出部は、前記第２部分の列を構成する前記複数の個別電極の前記第２部分の一つと、前記積層方向において部分的に重なり、
前記第１延在部の、前記積層方向において前記第３部分と重なる部分には、それぞれ、第１共通電極を前記積層方向に貫通する貫通孔が形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッドが提供される。
【発明の効果】
【０００８】
上記構成によれば、第１共通電極の、個別電極の第３部分と積層方向において重なる領域に貫通孔が形成されているので、個別電極の第３部分と第１共通電極とが、積層方向において重なっていない。そのため、個別電極に所定の電圧を印加した場合にも、個別電極の第３部分と第１共通電極との間において、積層方向に電界が生じる恐れがない。これにより、圧電体の、個別電極の第３部分と第１共通電極との間においてショートすることを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施形態に係るインクジェットプリンタ１の概略を示す平面図である。
【図２】本実施形態に係るインクジェットヘッド５と配線部材５０の概略図である。
【図３】本実施形態に係る積層体の概略分解図である。
【図４】（ａ）は本実施形態に係るインクジェットヘッドの走査方向の概略断面図であり、（ｂ）は本実施形態に係るインクジェットヘッドの搬送方向の概略断面図である。
【図５】本実施形態に係る上部圧電層１４０の上面図である。
【図６】本実施形態に係る中間圧電層２４０の上面図である。
【図７】本実施形態に係る下部圧電層３４０の上面図である。
【図８】（ａ）は本実施形態に係る上部圧電層１４０と中間圧電層２４０の重なりを示す概略図であり、（ｂ）はその一部拡大図である。
【図９】本実施形態に係る上部圧電層１４０と下部圧電層３４０の重なりを示す概略図である。
【図１０】（ａ）は、一部のバンプ１９１が幅狭部１４４Ｌに設けられ、別の一部のバンプ１９１が幅狭部１４４Ｒに設けられている場合におけるＣＯＦ５１の変形を示す概略図であり、（ｂ）は、バンプ１９１が２つの幅狭部１４４Ｌ、１４４Ｒのうちの一方の幅狭部に設けられている場合におけるＣＯＦ５１の変形を示す概略図である。
【図１１】中間共通電極２４１の一部の厚さを厚くした場合を示す概略図である。
【図１２】突出部１２４５の幅広部１２４６の搬送方向の長さＷ１１を、圧力室２６の搬送方向の長さよりも長くした場合の概略説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
＜プリンタの概略構成＞
本発明の実施形態について説明する。図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、プラテン２と、キャリッジ３と、キャリッジ駆動機構４と、インクジェットヘッド５と、搬送機構６と、コントローラ７と、インク供給ユニット８とを主に備えている。
【００１１】
プラテン２の上面には、記録媒体である記録用紙１００が載置される。キャリッジ３は、キャリッジ駆動機構４により、プラテン２と対向する領域において２本のガイドレール１０，１１に沿って左右方向（以下、走査方向ともいう）に往復移動するように構成されている。キャリッジ駆動機構４は、ベルト１２と、プラテン２の走査方向両側においてプラテン２を挟むように配置された２つのコロ１３と、キャリッジ駆動モータ１４とを備える。キャリッジ３にはベルト１２が連結されている。ベルト１２は、走査方向に離れて配置されている２つのコロ１３の間を、上から見て、走査方向に長い長円状の環になるように張り回されている。図１に示されるように、右側のコロ１３はキャリッジ駆動モータ１４の回転軸に連結されている。キャリッジ駆動モータ１４を回転させることにより、ベルト１２を２つのコロ１３の周りで周回させることができる。これに伴ってベルト１２に連結されたキャリッジ３を走査方向に往復移動させることができる。
【００１２】
インクジェットヘッド５は、キャリッジ３に取り付けられており、キャリッジ３とともに走査方向に往復移動する。インク供給ユニット８は、４色（ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）のインクがそれぞれ貯留された４つのインクカートリッジ１７と、４つのインクカートリッジ１７が装着されるカートリッジホルダ１８と、不図示のチューブとを備える。インクジェットヘッド５と４つのインクカートリッジ１７とは、不図示のチューブを通じて接続されている。これにより、４色のインクがインク供給ユニット８からインクジェットヘッド５へ供給される。
【００１３】
インクジェットヘッド５の下面（図１の紙面向こう側の面）には、複数のノズル２３が形成されている（図３参照）。複数のノズル２３は、インクカートリッジ１７から供給されたインクを、プラテン２に載置された記録用紙１００に向けて吐出する。
【００１４】
搬送機構６は、前後方向にプラテン２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１８、１９を有する。搬送機構６は、２つの搬送ローラ１８、１９によって、プラテン２に載置された記録用紙１００を前方（以下、搬送方向ともいう）に搬送する。
【００１５】
コントローラ７は、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）、及び、制御回路を含むＡＳＩＣ（Application  Specific  Integrated  Circuit）等を備える。コントローラ７は、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、ＡＳＩＣにより、記録用紙１００への印刷等の各種処理を実行する。例えば、印刷処理においては、コントローラ７は、ＰＣ等の外部装置から入力された印刷指令に基づいて、インクジェットヘッド５やキャリッジ駆動モータ１４等を制御して、記録用紙１００に画像を印刷させる。具体的には、キャリッジ３とともにインクジェットヘッド５を走査方向に移動させながらインクを吐出させるインク吐出動作と、搬送ローラ１８、１９によって記録用紙１００を搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。
【００１６】
インクジェットヘッド５は、流路ユニット２０、振動板３０、圧電体４０、配線部材５０を主に備えている（図２参照）。流路ユニット２０は、図３に示すように、５枚の金属プレート２１Ａ〜２１Ｅと、ノズルプレート２２を含む。また、流路ユニット２０の金属プレート２１Ａの上には、振動板３０が接合されている。以下の説明においては、流路ユニット２０と振動板３０とを合わせたものを、積層体６０と呼ぶ。つまり、積層体６０は、図３に示すように、振動板３０と、５枚の金属製のプレート２１Ａ〜２１Ｅと、ノズルプレート２２を有し、これらのプレートをこの順に積層し、接合したものである。以下の説明においては、積層体６０においてこれらのプレートが積層された方向を積層方向と呼ぶ。
【００１７】
振動板３０は、搬送方向に長尺な略矩形状の金属プレートである。なお、金属プレート２１Ａ〜２１Ｅ及びノズルプレート２２も同様の平面形状を有する略矩形状のプレートである。図２、図３に示されるように、振動板３０の、搬送方向の端部には、後述のマニホールドにインクを供給するためのインク供給口となる４つの開口３１ａ〜３１ｄが形成されている。４つの開口３１ａ〜３１ｄは走査方向（左右方向）に並んで配置されている。開口３１ａはイエローインク用のインク供給口であり、開口３１ｂはマゼンタインク用のインク供給口であり、開口３１ｃはシアンインク用のインク供給口であり、開口３１ｄは、ブラックインク用のインク供給口である。実施形態において、４つの開口３１ａ〜３１ｄの面積は同じである。
【００１８】
プレート２１Ａは、複数の圧力室２６として機能する開口が、規則的に形成された金属プレートである。また、振動板３０の４つの開口３１ａ〜３１ｄと重なる位置には、それぞれ開口が形成されている。複数の圧力室２６は、配列ピッチＰで搬送方向に配列された圧力室列２５を構成している。図３においては、圧力室列２５の一部しか示されていないが、後述のように、圧力室列２５は８列形成されており、走査方向（左右方向）に並んで配置されている（図２参照）。
【００１９】
８列の圧力室列２５のうち、６列はカラーインク用の圧力室列２５であり、残りの２列はブラックインク用の圧力室列２５である。図２に示されるように、２列のブラックインク用の圧力室列２５は、搬送方向において、開口３１ｄと並ぶように設けられている。６列のカラーインク用の圧力室列２５は、２列のシアンインク用の圧力室列２５、２列のマゼンタインク用の圧力室列２５、２列のイエローインク用の圧力室列２５を有している。２列のシアンインク用の圧力室列２５は、搬送方向において、開口３１ｃと並ぶように設けられている。２列のマゼンタインク用の圧力室列２５は、搬送方向において、開口３１ｂと並ぶように設けられている。２列のイエローインク用の圧力室列２５は、搬送方向において、開口３１ａと並ぶように設けられている。
【００２０】
２列のブラックインク用の圧力室列２５の間では、搬送方向における圧力室２６の位置が同じである。２列のシアンインク用圧力室列２５、２列のマゼンタインク用の圧力室列２５、２列のイエローインク用の圧力室列２５についても同様である。各インク用の２列の圧力室列２５を構成する複数の圧力室２６において、搬送方向における位置が同じである２つの圧力室２６を、圧力室２６のペアと呼ぶことがある。
【００２１】
図３、図４（ａ）に示されるように、プレート２１Ｂには、後述のマニホールド２７（共通インク室）から各圧力室２６へ通じる流路を形成する連通孔２８ａ及び各圧力室２６から後述の各ノズル２３へ通じる流路を形成する連通孔２８ｂが形成されている。プレート２１Ｃの上面には、圧力室２６とマニホールド２７とを連通する連通路２８ｃが凹部として形成されている。さらに、プレート２１Ｃには、マニホールド２７から圧力室２６へ通じる流路を形成する連通穴２８ｄ及び圧力室２６からノズル２３へ通じる流路を形成する連通穴２８ｅがそれぞれ形成されている。また、プレート２１Ｂ、２１Ｃの、振動板３０の４つの開口３１ａ〜３１ｄと重なる位置には、それぞれ開口が形成されている。プレート２１Ｄ，２１Ｅには、マニホールド２７を形成する貫通孔２９ａ，２９ｂが形成されている。さらに、プレート２１Ｄには、圧力室２６からノズル２３へ通じる流路の一部を形成する連通穴２９ｃが形成されており、プレート２１Ｅには連通孔２９ｃと連通して圧力室２６からノズル２３へ通じる流路の一部を形成する連通穴２９ｄが形成されている。プレート２１Ｅの下面には、２つの連通孔２９ｄとノズル２３とを接続する連通路２９ｅが凹部として形成されている。連通路２９ｅは、搬送方向において同じ位置にある２つの連通孔２９ｄを繋いでおり、２つの連通孔２９ｄは、圧力室２６のペアを構成する２つの圧力室２６とそれぞれ連通している。そのため、圧力室２６のペアを構成する２つの圧力室２６からノズル２３に向かって延びる２つの流路は連通路２９ｅにより合流し、１つのノズル２３に連通する。
【００２２】
ノズルプレート２２は合成樹脂（例えばポリイミド樹脂）のプレートであり、プレート２１Ａに形成された圧力室２６に対応して、ノズル２３が形成されている。上述のように、圧力室２６のペアを構成する２つの圧力室２６に対応して、１つのノズル２３が形成されている。
【００２３】
振動板３０、プレート２１Ａ〜２１Ｅ及びノズルプレート２２が積層されて接合されることにより、図４（ａ）、（ｂ）に示されるような、マニホールドから圧力室２６を経てノズル２３に至る複数の流路が形成されている。同時に、マニホールド２７に対してインクを供給するためのインク供給流路も形成される。
【００２４】
振動板３０及びプレート２１Ａ〜２１Ｅは金属プレートであるため、金属拡散接合により接合できる。また、ノズルプレート２２は樹脂製のプレートであるため、金属拡散接合ではなく、接着剤などによりプレート２１Ｅに接合される。なお、ノズルプレート２２は金属プレートであってもよく、その場合には、他のプレートと同様に金属拡散接合により接合することができる。あるいは、全てのプレートを接着剤などにより接合してもよい。
【００２５】
＜圧電体４０＞
例えば図２、３に示されるように、振動板３０の上には、圧電体４０が配置されている。圧電体４０は略矩形状の平面形状を有している。図４（ａ）、（ｂ）に示されるように、圧電体４０には複数の圧電素子４０１が形成されている。各圧電素子４０１は、搬送方向において同じ位置にある２つの圧力室２６に対応して設けられている。各圧電素子４０１は振動板３０と協働して、対応する２つの圧力室２６の容積を同時に変える。これにより、各圧電素子４０１は振動板３０と協働して、対応する２つの圧力室２６内のインクに同時に圧力を加えて、当該２つの圧力室２６に連通するノズル２３からインクを吐出させるためのエネルギーをインクに付与している。
【００２６】
以下、圧電体４０の構成について説明する。図４（ａ）、（ｂ）に示されるように、圧電体４０は、３つの圧電層（上部圧電層１４０、中間圧電層２４０、下部圧電層３４０）、個別電極（上部電極）１４１、中間共通電極（中間電極）２４１、及び下部共通電極（下部電極）３４１を有する。振動板３０の上には、下部圧電層３４０、中間圧電層２４０、上部圧電層１４０がこの順に積層されている。３つの圧電層１４０、２４０、３４０は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料で構成されている。あるいは、３つの圧電層１４０、２４０、３４０は、鉛が含有されていない非鉛系の圧電材料で形成されていてもよい。下部圧電層３４０の上面には、下部共通電極３４１が配置され、中間圧電層２４０の上面には、中間共通電極２４１が配置され、上部圧電層１４０の上面には個別電極１４１などが配置されている。
【００２７】
以下の説明において、上部圧電層１４０の走査方向の両端部を端部１４０Ｌ、１４０Ｒと呼び、搬送方向の両端部を端部１４０Ｕ、１４０Ｄと呼ぶ（図５参照）。中間圧電層２４０の走査方向の両端部を端部２４０Ｌ、２４０Ｒと呼び、搬送方向の両端部を端部２４０Ｕ、２４０Ｄと呼ぶ（図６参照）。下部圧電層３４０の走査方向の両端部を端部３４０Ｌ、３４０Ｒと呼び、搬送方向の両端部を端部３４０Ｕ、３４０Ｄと呼ぶ（図７参照）。
【００２８】
図５に示されるように、上部圧電層１４０の走査方向の端部１４０Ｒには、搬送方向に並ぶ２つの端子１８０Ｒが形成されている。図７に示されるように、中間圧電層２４０の走査方向の端部２４０Ｒの、積層方向において２つの端子１８０Ｒと重なる位置には、それぞれ、端子２８０Ｒが形成されている。端子１８０Ｒ、２８０Ｒは、後述の個別電極１４１と同じ導電性材料（銀パラジウム（ＡｇＰｄ））により形成されている。さらに、上部圧電層１４０の各端子１８０Ｒと重なる位置には、それぞれ２つのスルーホール１８１Ｒが形成されている。中間圧電層２４０の各端子２８０Ｒと重なる位置には、それぞれ２つのスルーホール２８１Ｒが形成されている。なお、スルーホール１８１Ｒとスルーホール２８１Ｒとは、積層方向において連続するように位置づけられている。連続する２つのスルーホール１８１Ｒ、２８１Ｒは、上部圧電層１４０及び中間圧電層２４０を貫くスルーホールを画成している。スルーホール１８１Ｒ、２８１Ｒの内部には、端子１８０Ｒ、２８０Ｒと同じ導電性材料（銀パラジウム（ＡｇＰｄ））が充填されている。スルーホール１８１Ｒ、２８１Ｒの内部に導電性材料を充填する工程と、スクリーン印刷等の手法で端子１８０Ｒ、２８０Ｒを形成する工程とが一連の工程として実行することができる。スルーホール２８１Ｒに充填された導電性材料は下部共通電極３４１（後述の延在部３４３（図８参照））と導通している。つまり、下部共通電極３４１はスルーホール２８１Ｒ、１８１Ｒ内の導電性材料を通じて上部圧電層１４０の上面の端子１８０Ｒまで引き出されている。
【００２９】
図５に示されるように、上部圧電層１４０の走査方向の端部１４０Ｌには、搬送方向に並ぶ２つの端子１８０Ｌが形成されている。端子１８０Ｌは、後述の個別電極１４１及び端子１８０Ｒと同じ導電性材料（銀パラジウム（ＡｇＰｄ））により形成されている。上部圧電層１４０の各端子１８０Ｌと重なる位置には、それぞれ２つのスルーホール１８１Ｌが形成されている。スルーホール１８１Ｌの内部には、端子１８０Ｌと同じ導電性材料（銀パラジウム（ＡｇＰｄ））が充填されている。スルーホール１８１Ｌに充填された導電性材料は中間共通電極２４１（後述の延在部２４３（図６参照））と導通している。つまり、中間共通電極２４１はスルーホール１８１Ｌ内の導電性材料を通じて上部圧電層１４０の上面の端子１８０Ｌまで引き出されている。
【００３０】
各端子１８０Ｌ、１８０Ｒには、それぞれ、後述のＣＯＦ５１の不図示の端子と接続されるバンプ１８２Ｌ、１８２Ｒが形成されている。バンプ１８２Ｌ、１８２ＲがＣＯＦ５１に接続されることにより、中間共通電極２４１及び下部共通電極３４１に対して、ＣＯＦ５１を通じてドライバＩＣ５８から所定の電位（例えば０Ｖ）を供給することができる。
【００３１】
＜個別電極１４１＞
図４（ａ）、（ｂ）に示されるように、上部圧電層１４０の上面の、圧力室２６のペアにそれぞれ対応した位置には、複数の個別電極１４１が形成されている。つまり、圧力室２６のペアを構成する２つの圧力室２６に対応して、一つの個別電極１４１が形成されている（図８（ａ）参照）。個別電極１４１は、例えば、銀パラジウム（ＡｇＰｄ）、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）などの導電性材料で形成することができる。本実施形態の個別電極１４１は銀パラジウム（ＡｇＰｄ）で形成されている。図５に示されるように、８列の圧力室列２５に対応して、４列の個別電極列１５０が形成されている。４列の個別電極列１５０は走査方向に並んでいる。各個別電極列の各個別電極列１５０は、搬送方向に所定のピッチＰで並んだ１２個の個別電極１４１を含んでいる。なお、以下の説明においては、走査方向において、上部圧電層１４０の端部１４０Ｌに近いものから数えてｎ番目にあるものを、単に左からｎ番目と呼んでいる。中間圧電層２４０及び下部圧電層３４０においても同様に、走査方向において、中間圧電層２４０の端部２４０Ｌ（図６参照）に近いものから数えてｎ番目にあるもの、及び、下部圧電層３４０の端部３４０Ｌ（図７参照）に近いものから数えてｎ番目にあるもの、をいずれも左からｎ番目と呼んでいる。
【００３２】
４列の個別電極列１５０のうち、左から１番目の個別電極列２５は、ブラックインク用の２つの圧力室列２５に対応している。左から２番目の個別電極列２５は、シアンインク用の２つの圧力室列２５に対応している。左から３番目の個別電極列１５０は、マゼンタインク用の２つの圧力室列２５に対応している。また、左から４番目の個別電極列２５は、イエローインク用の２つの圧力室列２５に対応している。
【００３３】
図５、８（ａ）、８（ｂ）に示されるように、各個別電極１４１は、左右方向（走査方向）に離れて配置された２つの幅広部１４２Ｌ、１４２Ｒを有する。幅広部１４２Ｌは、走査方向において端部１４０Ｌと幅広部１４２Ｒとの間に位置する。幅広部１４２Ｌ、１４２Ｒはいずれも略矩形の形状を有する。各個別電極１４１は、さらに、幅広部１４２Ｌと幅広部１４２Ｒを走査方向に連結する連結部１４３と、幅広部１４２Ｌから端部１４０Ｌに向かって走査方向に延びる幅狭部１４４Ｌと、幅広部１４２Ｒから端部１４０Ｒに向かって走査方向に延びる幅狭部１４４Ｒとを備える。幅狭部１４４Ｌには、後述の配線部材５０のＣＯＦ５１に設けられた不図示の接点と電気的に接合されるバンプ１９１が形成されている。なお、幅狭部１４４Ｒには、バンプ１９１が形成されていない。幅広部１４２Ｌと幅広部１４２Ｒとは左右対称であり、幅狭部１４４Ｌと幅狭部１４４Ｒも左右対称である。以下の説明において、左右の区別をしなくてもよい場合には、幅広部１４２Ｌと幅広部１４２Ｒとをまとめて幅広部１４２と称し、幅狭部１４４Ｌと幅狭部１４４Ｒとをまとめて幅狭部１４４と称することがある。
【００３４】
＜中間共通電極２４１＞
図４（ａ）、（ｂ）に示されるように、中間圧電層２４０の上面には、中間共通電極２４１が形成されている。図７に示されるように、中間共通電極２４１は、中間圧電層２４０の搬送方向の端部２４０Ｕを覆うように走査方向（左右方向）に延在する延在部２４２と、中間圧電層２４０の走査方向の端部２４０Ｌを覆うように搬送方向に延在する延在部２４３と、延在部２４２から、中間圧電層２４０の搬送方向の端部２４０Ｄに向かって搬送方向に延在する４本の延在部２４４と、各延在部２４４から端部２４０Ｌに向かって走査方向に突出する複数の突出部２４５Ｌと、各延在部２４４から端部２４０Ｒに向かって走査方向に突出する複数の突出部２４５Ｒとを有する。さらに、中間共通電極２４１の、延在部２４４の一部及び幅広部２４６Ｌ、２４６Ｒの一部には、略矩形の貫通孔２４８が形成されている（図８（ａ）参照）。
【００３５】
延在部２４２及び延在部２４３は、積層方向において圧力室２６及び個別電極１４１と重ならない位置にある。図８（ａ）に示されるように、延在部２４４は、個別電極１４１の幅広部１４２Ｌ、１４２Ｒと積層方向において重ならないように、走査方向において隣り合う幅広部１４２Ｌと幅広部１４２Ｒとの間を、搬送方向に延びている。図６において、４つの延在部２４４のうち、左から１番目の延在部２４４は、左から１番目の個別電極列１５０を構成する個別電極１４１の幅広部１４２Ｌと幅広部１４２Ｒとの走査方向における間を通るように搬送方向に延在している。同様に、左側から２番目の延在部２４４は、左から２番目の個別電極列１５０を構成する個別電極１４１の幅広部１４２Ｌと幅広部１４２Ｒとの走査方向における間を通るように搬送方向に延在している。左側から３番目の延在部２４４は、左から３番目の個別電極列１５０を構成する個別電極１４１の幅広部１４２Ｌと幅広部１４２Ｒとの走査方向における間を通るように搬送方向に延在している。左側から４番目の延在部２４４は、左から４番目の個別電極列１５０を構成する個別電極１４１の幅広部１４２Ｌと幅広部１４２Ｒとの走査方向における間を通るように搬送方向に延在している。なお、４つの延在部２４４の幅は同じである。
【００３６】
突出部２４５Ｌは、幅広部２４６Ｌと幅狭部２４７Ｌとを有する。突出部２４５Ｒは、幅広部２４６Ｒと幅狭部２４７Ｒとを有する。突出部２４５Ｌと突出部２４５Ｒは左右対称であり、幅広部２４６Ｌと幅広部２４６Ｒとは左右対称であり、幅狭部２４７Ｌと幅狭部２４７Ｒも左右対称である。以下の説明において、左右の区別をしなくてもよい場合には、突出部２４５Ｌと突出部２４５Ｒとをまとめて突出部２４５と称し、幅広部２４６Ｌと幅広部２４６Ｒとをまとめて幅広部２４６と称し、幅狭部２４７Ｌと幅狭部２４７Ｒとをまとめて幅狭部２４７と称することがある。
【００３７】
＜下部共通電極３４１＞
図４（ａ）、（ｂ）に示されるように、下部圧電層３４０の上面には、下部共通電極３４１が形成されている。図７に示されるように、下部共通電極３４１は、下部圧電層３４０の搬送方向の端部３４０Ｄを覆うように走査方向（左右方向）に延在する延在部３４２と、下部圧電層３４０の走査方向の端部３４０Ｒを覆うように搬送方向に延在する延在部３４３と、延在部３４２から下部圧電層３４０の搬送方向の端部３４０Ｕに向かって搬送方向に延在する４本の延在部３４４と、各延在部３４４から走査方向に突出する複数の突出部３４５とを有する。４本の延在部３４４のうち、走査方向において端部３４０Ｌに最も近い延在部３４４からは、端部３４０Ｒに向かって走査方向に複数の突出部３４５が突出している。残りの３つの延在部３４４からは、走査方向の両側に向かって複数の突出部３４５が突出している。また、延在部３４３からも複数の突出部３４５が下部圧電層３４０の走査方向の端部３４０Ｌに向かって走査方向に突出している。なお、延在部３４２は、積層方向において圧力室２６及び個別電極１４１と重ならない位置にある。また、延在部３４２は、積層方向において、中間共通電極２４１とも重ならない位置にある。
【００３８】
４本の延在部３４４は、それぞれ、個別電極列１５０を構成する個別電極１４１の幅広部１４２と積層方向において重ならないように、走査方向において隣り合う２つの個別電極列１５０を構成する個別電極１４１の間を、搬送方向に延びている（図９参照）。
【００３９】
次に、図８（ａ）及び図８（ｂ）を参照しつつ、圧力室２６、個別電極１４１及び中間共通電極２４１の位置関係について説明する。図８（ｂ）は図８（ａ）の領域Ａの部分拡大図である。なお、図面を見やすくするために、中間圧電層２４０に形成されている中間共通電極２４１を実線で示し、圧力室２６、個別電極１４１、バンプ１９１などを点線で表している。
【００４０】
圧力室２６の走査方向の長さは、個別電極１４１の幅広部１４２（幅広部１４２Ｌ及び幅広部１４２Ｒ）の走査方向の長さよりも長い。なお、幅広部１４２と幅狭部１４４を合わせた走査方向の長さは、圧力室２６の走査方向の長さよりも長い。中間共通電極２４１の突出部２４５の走査方向の長さは、個別電極１４１の幅広部１４２の走査方向の長さとほぼ同じである。
【００４１】
図８（ｂ）に示されるように、突出部２４５の幅広部２４６の搬送方向の長さ（Ｗ１）は、圧力室２６の搬送方向の長さとほぼ同じである。突出部２４５の幅狭部２４７の搬送方向の長さ（Ｗ２）は、幅広部２４６の搬送方向の長さ（Ｗ１）よりも小さい（Ｗ２＜Ｗ１）。個別電極１４１の連結部１４３の搬送方向の長さＬ１は、貫通孔２４８の搬送方向の長さＬ２よりも小さい（Ｌ１＜Ｌ２）。なお、個別電極１４１の連結部１４３の走査方向の長さは、貫通孔２４８の走査方向の長さとほぼ同じである。そのため、個別電極１４１の連結部１４３は積層方向において貫通孔２４８と重なっており、個別電極１４１の連結部１４３は積層方向において中間共通電極２４１とは重なっていない。
【００４２】
図８（ｂ）に示されるように、貫通孔２４８の端部２４０Ｕに近い端と幅広部２４６の端部２４０Ｕに近い端との距離Ｌａと、貫通孔２４８の端部２４０Ｄに近い端と幅広部２４６の端部２４０Ｄに近い端との距離Ｌｂとは同じである（Ｌａ＝Ｌｂ）。また、距離Ｌａと距離Ｌｂとの和（Ｌａ＋Ｌｂ＝２Ｌａ）は、連結部１４３の搬送方向の長さＬ１よりも大きい。バンプ１９１の搬送方向の長さＤは、開口１４３の搬送方向の長さＬ２よりも大きい。
【００４３】
ノズル２３は、走査方向において、個別電極１４１の略中央（個別電極１４１の連結部１４３の略中央）に位置している。言い換えると、ノズル２３は、１つの個別電極１４１に対応する２つの圧力室２６の走査方向の間に位置している。搬送方向に関して、ノズル２３は、個別電極１４１の略中央（個別電極１４１の連結部１４３の略中央）に位置している。
【００４４】
中間共通電極２４１の突出部２４５の搬送方向の中央位置と、圧力室２６の搬送方向の中央位置と、個別電極１４１の幅広部１４２の搬送方向の中央位置は、搬送方向においてほぼ一致している。圧力室２６の搬送方向の長さは、中間共通電極２４１の幅狭部２４７の搬送方向の長さよりも長く、これらの長さの比は約２：１となっている。そのため、圧力室２６の搬送方向の両端部分（圧力室の搬送方向の長さの１／４程度）は、積層方向において、中間共通電極２４１の突出部２４５と重なっていない。また、個別電極１４１の幅広部１４２の、搬送方向の長さは、圧力室２６の搬送方向の長さよりも長い。
【００４５】
次に、図９を参照しつつ、圧力室２６、個別電極１４１及び下部共通電極３４１の位置関係について説明する。図面を見やすくするために、下部導体層３４０に形成されている下部共通電極３４１及び貫通孔３６０を実線で示し、圧力室２６、個別電極１４１、バンプ１９１などを点線で表している。
【００４６】
下部共通電極３４１の突出部３４５の走査方向の長さは、個別電極１４１の幅広部１４２の走査方向の長さとほぼ同じである。１つの個別電極１４１に対応する２つの圧力室２６の内側の端部は、いずれも、下部共通電極３４１の突出部３４５の走査方向の先端と走査方向においてほぼ同じ位置にある。１つの個別電極１４１に対応する２つの圧力室２６の外側の端部は、下部共通電極３４１の延在部３４４の走査方向の端部と走査方向においてほぼ同じ位置にある。
【００４７】
なお、幅広部１４２の走査方向の先端は、中間共通電極２４１の突出部２４５の走査方向の先端と、走査方向においてほぼ同じ位置にある（図８（ａ）参照）。そのため、中間共通電極２４１の突出部２４５と、下部共通電極３４１の延在部３４４とは、積層方向において重なっていないことがわかる。また、下部共通電極３４１の突出部３４５と、中間共通電極２４１の延在部２４４とが走査方向において重なっていることが分かる。
【００４８】
下部共通電極３４１の突出部３４５の搬送方向の中央位置は、搬送方向に隣り合う２つの圧力室２６の間の間隙の中央位置と、搬送方向においてほぼ一致している。搬送方向に隣り合う２つの圧力室２６の間の間隙の、搬送方向の長さは、下部共通電極３４１の突出部３４５の搬送方向の長さよりも短い。そのため、圧力室２６の搬送方向の両端部分は、積層方向において、下部共通電極３４１の突出部３４５と重なっている。なお、圧力室２６と下部共通電極３４１の突出部３４５との積層方向における重なり部分の、搬送方向の長さは、圧力室２６の搬送方向の長さの１／４よりも短い。上述のように、圧力室２６の搬送方向の両端部分において、圧力室２６の搬送方向の長さの１／４程度は、積層方向において、中間共通電極２４１の突出部２４５と重なっていない。そのため、下部共通電極３４１の突出部３４５と中間共通電極２４１の突出部２４５とは積層方向において重なっていない。
【００４９】
なお、上述のように、圧力室２６の搬送方向の中央位置と、個別電極１４１の幅広部１４２の搬送方向の中央位置は、搬送方向においてほぼ一致しており、且つ、個別電極１４１の幅広部１４２の、搬送方向の長さは、圧力室２６の搬送方向の長さよりも長い。そのため、幅広部１４２の搬送方向の両端部分は、積層方向において、下部共通電極３４１の突出部３４５と重なっている。幅広部１４２と下部共通電極３４１の突出部３４５との積層方向における重なり部分の、搬送方向の長さは、圧力室２６と下部共通電極３４１の突出部３４５との積層方向における重なり部分の、搬送方向の長さよりも長い。
【００５０】
＜配線部材５０＞
図２に示されるように、配線部材５０は、ＣＯＦ５１（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）と、ＣＯＦ５１に配置されたドライバＩＣ５８とを備える。ＣＯＦ５１に形成された不図示の接点は、各個別電極１４１の幅狭部１４４Ｌに設けられたバンプ１９１（例えば図５参照）と電気的に接続されており、各個別電極１４１に対して、個別に電位を設定できる。また、上述のように、ドライバＩＣ５８は、中間共通電極２４１及び下部共通電極３４１に対して、所定の定電位を設定することができる。
【００５１】
＜圧電素子４０１の駆動＞
上述のように圧電体４０は、複数の圧力室２６を覆うように振動板３０の上に配置された、平面視で略矩形状の板状の部材である（例えば図２参照）。圧電体４０には、２つの圧力室２６に対応して設けられた圧電素子４０１が複数個形成されている。以下、圧電素子４０１の駆動について説明する。上部圧電層１４０の、積層方向において個別電極１４１と中間共通電極２４１とに挟まれた部分（以下、第１活性部４１という（図４（ａ）、（ｂ）参照））は、積層方向に分極している。また、上部圧電層１４０と中間圧電層２４０の、積層方向において個別電極１４１と下部共通電極３４１とに挟まれた部分（以下、第２活性部４２という（図４（ａ）、（ｂ）参照））も、積層方向に分極している。ここで、ドライバＩＣ５８が通電されている状態において、中間共通電極２４１には常に所定の第１電位（例えば２４Ｖ）が印加され、下部共通電極３４１には常に所定の第２電位（例えば０Ｖ）が印加されている。また、各個別電極１４１には第１電位と第２電位とが選択的に印加される。具体的には、ある個別電極１４１に対応する２つの圧力室２６からインクを吐出しないときには、個別電極１４１には第２電位が付与されている。このとき、個別電極１４１と下部共通電極３４１との間には電位差が生じないので、第２活性部４２は変形しない。しかしながら、個別電極１４１と中間共通電極２４１との間には、第１電位と第２電位の電位差（ここでは２４Ｖ）が生じている。これにより、第１活性部４１は下側（圧力室２６側）に凸になるように変形している。
【００５２】
ある個別電極１４１に対応する２つの圧力室２６からインクを吐出するときには、個別電極１４１に第１電位が付与された後、第２電位に戻される。つまり、第２電位から第１電位に上がり、所定時間経過後に第２電位に戻るようなパルス状の電圧信号が個別電極１４１に付与される。個別電極１４１に第１電位が付与されるときには、個別電極１４１と中間共通電極２４１との間の電位差がなくなるので、下側（圧力室２６側）に凸になるように変形していた第１活性部４１が、元に戻ろうとする。このとき、第１活性部４１は上に向かって変位するので、これにより、圧力室２６の体積が増大する。このとき、個別電極１４１と下部共通電極３４１との間には電位差（ここでは２４Ｖ）が生じ、第２活性部４２は圧力室２６の中央部分を上に持ち上げるように変形するので、圧力室２６の体積の増加を大きくすることができる。次に、個別電極１４１の電位が第２電位に戻ると、上述のように、個別電極１４１と下部共通電極３４１との間には電位差がなくなるので、第２活性部４２はもとにもどるが、個別電極１４１と中間共通電極２４１との間には、再び第１電位と第２電位の電位差（ここでは２４Ｖ）が生じる。これにより、第１活性部４１は下側（圧力室２６側）に凸になるように変形する。このときに２つの圧力室２６に加えられた圧力により、２つの圧力室２６内のインクが２つの圧力室２６に連通するノズル２３から吐出される。
【００５３】
＜本実施形態の作用効果について＞
上記実施形態においては、２つの圧力室２６に対応して１つの個別電極１４１が設けられている。個別電極１４１の２つの幅広部１４２Ｌ、１４２Ｒは２つの圧力室２６と積層方向において重なるように配置されている。個別電極１４１の２つの幅広部１４２Ｌ、１４２Ｒは、連結部１４３により連結されているので、１つの個別電極１４１に所定の電圧を印加することにより、２つの圧力室２６からノズル２３に向かって同時にインクを排出させることができる。これにより、十分なインク量を確保することができる。
【００５４】
ここで、図４（ａ）に示されるように、連結部１４３は、２つの圧力室２６を隔てる壁と積層方向において重なっている。圧電体４０と積層体６０とを積層方向に重ねて接合する際に、圧電体４０と積層体６０との間に、小さなゴミなどの異物が挟まることがある。連結部１４３の上に、そのような異物が挟まった状態で、圧電体４０と積層体６０とが接合されることも考えられる。そのような場合には、連結部１４３の下方には２つの圧力室２６を隔てる壁があるため積層体６０を圧電体４０に押しつけたときの圧力が下方に逃げることができず、連結部１４３の下方において圧電材料層にクラックが入ることがある。仮に、中間共通電極２４１に貫通孔２４８が設けられていなかった場合には、個別電極１４１に所定の電圧を印加した場合に、連結部１４３においても中間共通電極２４１との間で積層方向に高い電界が生じてしまう。連結部１４３の下方において圧電材料層にクラックが入っていると、クラックを介して連結部１４３と中間共通電極２４１とがショートする恐れがある。
【００５５】
これに対して、本実施形態においては、中間共通電極２４１の、連結部１４３と積層方向において重なる領域に貫通孔２４８が形成されており、連結部１４３と中間共通電極２４１とは、積層方向において重なっていない。そのため、個別電極１４１に所定の電圧を印加した場合にも、連結部１４３と中間共通電極２４１との間において、積層方向に高い電界が生じる恐れがない。仮に、上記のように連結部１４３の下方において圧電材料層にクラックが入っていたとしても、クラックを介して絶縁破壊が生じる可能性を低減させることができ、圧電体４０とＣＯＦ５１との間の電気的接続の信頼性を向上させることができる。
【００５６】
一般に、圧電体４０に個別電極１４１のような金属膜を形成した場合には、焼成した後に圧電材料層に残る残留応力の大きさよりも金属膜に残る残留応力の方が大きくなるため、圧電体４０に反りが発生することが知られている。特に、個別電極１４１のように、圧電体４０の表面にある金属膜の面積が大きくなると、圧電体４０の反りが大きくなってしまう。そのような観点からは、連結部１４３の搬送方向の長さＬ１は、小さい方が好ましい。また、中間共通電極における電荷供給の観点からは、貫通孔２４８の端部２４０Ｕに近い端と幅広部２４６の端部２４０Ｕに近い端との距離Ｌａと、貫通孔２４８の端部２４０Ｄに近い端と幅広部２４６の端部２４０Ｄに近い端との距離Ｌｂとの和（Ｌａ＋Ｌｂ）を大きくすることが好ましい。そこで、本実施形態においては、距離Ｌａと距離Ｌｂとの和が、連結部１４３の搬送方向の長さＬ１よりも大きくなるように設定されている（Ｌ１＜Ｌａ＋Ｌｂ、Ｌ１＜２Ｌａ）。これにより、圧電体４０の反りを抑えつつ、中間共通電極における電荷供給を安定に行うことができる。なお、マスクを使った印刷により個別電極１４１を形成する場合には、製造上の理由により連結部１４３の搬送方向の長さＬ１を６０μｍ以上にすることが好ましい。
【００５７】
上記実施形態においては、個別電極１４１は２つの幅狭部１４４Ｌ、１４４Ｒを有しており、図１０（ｂ）に示されるように、バンプ１９１は２つの幅狭部１４４Ｌ、１４４Ｒのうちの一方の幅狭部（本実施形態では幅狭部１４４Ｌ）に設けられている。なお、図１０（ａ），１０（ｂ）において、ＣＯＦ５１を積層方向に直交する方向から見たときのＣＯＦ５１の変形の様子が一点鎖線で模式的に表されている。図１０（ａ）に示されるように、一部のバンプ１９１が幅狭部１４４Ｌに設けられ、別の一部のバンプ１９１が幅狭部１４４Ｒに設けられている場合を想定する。この場合、走査方向において隣り合うバンプ１９１の距離が長い部分と、走査方向において隣り合うバンプ１９１の距離が短い部分が生じる。バンプ１９１は積層方向に所定の高さを有しているため、ＣＯＦ５１をバンプ１９１に接合した際に、ＣＯＦ５１の、バンプ１９１と重なる部分においては、ＣＯＦ５１と圧電体４０との間に積層方向の隙間が確保される。しかしながら、走査方向において隣り合う２つのバンプ１９１の間においては、ＣＯＦ５１は圧電体４０に近づくように下に向かって変形する。走査方向において隣り合うバンプ１９１の距離が長い部分においては、走査方向において隣り合うバンプ１９１の距離が短い部分と比べて、ＣＯＦ５１が圧電体４０に近づくように変形する程度が大きくなるため、ＣＯＦ５１が圧電体４０に接触して圧電素子４０１の変形を阻害する恐れがある。
【００５８】
これに対して、図１０（ｂ）に示されるように、バンプ１９１が２つの幅狭部１４４Ｌ、１４４Ｒのうちの一方の幅狭部に設けられている場合には、図１０（ａ）に示されるような、走査方向において隣り合うバンプ１９１の距離が長くなる部分がない。そのため、ＣＯＦ５１が圧電体４０に接触して圧電素子４０１の変形を阻害することを低減させることができる。
【００５９】
なお、上記実施形態においては、上述のように、一方の幅狭部１４４（例えば幅狭部１４４Ｒ）にはバンプ１９１が形成されていない。そのため、２つの幅狭部１４４のうち、バンプ１９１が形成されていない方の幅狭部１４４を取り除くこともできる。しかしながら、本実施形態においては、バンプ１９１が形成されていない方にも幅狭部１４４が設けられているため、個別電極１４１を左右対称にすることができる。これにより、１つの個別電極１４１に対応する２つの圧力室２６に対して、同じように圧電素子４０１を変形させることができ、インクジェットヘッドの吐出特性を向上させることができる。
【００６０】
上記実施形態においては、バンプ１９１は幅狭部１４４の一つに設けられており、個別電極１４１の重心位置には配置されていない。個別電極１４１の重心位置にバンプ１９１を設けた場合には、個別電極１４１の、走査方向に離れた２つの幅広部１４２に均等に電荷を供給しやすくなる。しかしながら、本実施形態においては、個別電極１４１の重心位置は、接続部１４３にある。ここにバンプ１９１を設ける場合には、接続部１４３と中間共通電極２４１とが積層方向において重ならないようにしたのと同様の理由により、バンプ１９１が中間共通電極２４１と積層方向に重ならないようにすることが好ましい。つまり、バンプ１９１の搬送方向の長さＤを、開口１４３の搬送方向の長さＬ２より小さくすることが好ましい。しかしながら、バンプ１９１の製造ばらつきによっては、バンプ１９１の搬送方向の長さＤが、開口１４３の搬送方向の長さＬ２より大きくなることがあり得る。その場合には、バンプ１９１が中間共通電極２４１と積層方向において重なることになる。そこで、本実施形態においては、バンプ１９１は、個別電極１４１の重心位置ではなく、幅狭部１４４の一つに設けられている。なお、バンプ１９１が幅狭部１４４の一つに設けられているので、前述のようにバンプ１９１の搬送方向の長さＤは、開口１４３の搬送方向の長さＬ２よりも大きくすることができる。これにより、圧電体４０とＣＯＦ５１との間の電気的接続の信頼性を向上させることができる。
＜変更形態＞
上記実施形態においては、貫通孔２４８の端部２４０Ｕに近い端と幅広部２４６の端部２４０Ｕに近い端との距離Ｌａと、貫通孔２４８の端部２４０Ｄに近い端と幅広部２４６の端部２４０Ｄに近い端との距離Ｌｂとは同じであった（Ｌａ＝Ｌｂ）。しかしながら、本開示はそのような形態には限られず、距離Ｌａと距離Ｌｂとが異なっていてもよい。本実施形態のように、中間共通電極２４１に対して、端部２４０Ｕに近い側から電荷が供給される場合には、貫通孔２４８の端部２４０Ｕに近い端と幅広部２４６の端部２４０Ｕに近い端との距離Ｌａを貫通孔２４８の端部２４０Ｄに近い端と幅広部２４６の端部２４０Ｄに近い端との距離Ｌｂよりも大きくすることができる（Ｌａ＞Ｌｂ）。この場合には、延在部２４４を、端部２４０Ｕから端部２４０Ｄに向かう方向に流れる電荷を、効率よく突出部２４５に供給することができる。
【００６１】
上記実施形態においては、中間共通電極２４１の積層方向の厚さは均一であったが、本開示はそのような形態には限られない。例えば、図１１に示されるように、中間共通電極２４１の、貫通孔２４８の端部２４０Ｕに近い端と幅広部２４６の端部２４０Ｕに近い端との間の部分（図１１の領域Ｔ１）と、貫通孔２４８の端部２４０Ｄに近い端と幅広部２４６の端部２４０Ｄに近い端との間の部分（図１１の領域Ｔ２）の、積層方向の厚さを、中間共通電極２４１の他の部分の厚さよりも厚くすることができる。これにより、延在部２４４を流れる電荷を、効率よく突出部２４５に供給することができる。なお、中間共通電極２４１をスクリーン印刷により形成する場合には、領域Ｔ１、Ｔ２の部分を二度塗りすることにより、領域Ｔ１、Ｔ２の厚さを他の部分の厚さよりも厚くすることができる。
【００６２】
上記実施形態においては、幅広部２４６の搬送方向の長さＷ１は、圧力室２６の搬送方向の長さとほぼ同じであった。しかしながら、本開示はそのような形態には限られない。例えば、図１２に示されるように、突出部１２４５の幅広部１２４６の搬送方向の長さＷ１１を、圧力室２６の搬送方向の長さよりも長くすることができる。幅広部１２４６の、搬送方向において圧力室２６からはみ出した部分が、積層方向において個別電極１４１と重なる場合には、上述と同様の理由により、幅広部１２４６の、搬送方向において圧力室２６からはみ出した部分と個別電極１４１との間でショートする恐れがある。そこで、図１２においては、幅広部１２４６の、搬送方向において圧力室２６からはみ出した部分が、個別電極１４１と積層方向において重ならないように、個別電極１４１の幅広部１４２の走査方向の長さを短くしている。これにより、搬送方向において圧力室２６からはみ出した部分と個別電極１４１との間でショートすることを抑制しつつ、延在部２４４を流れる電荷を、幅広部１２４６を介して効率よく突出部１２４５に供給することができる。なお、個別電極１４１の幅広部１４２の走査方向の長さは、圧力室２６の走査方向の長さの９０％程度まで短くすることができる。
【００６３】
上記実施形態においては、圧電体４０は３層の圧電層を有しており、各圧電層の上面に電極が形成されていた。しかしながら、本教示はこのような態様には限られない。圧電体は２層または３層以上の圧電層を有してもよく、各圧電層において、下面に電極が形成されていてもよい。上記実施形態において、圧電体は２つの共通電極（中間共通電極及び下部共通電極）を有していたが、本教示はそのような態様には限られず、１つの共通電極のみを有していてもよい。また、共通電極の形状（延在部及び突出部の形状）も必要に応じて任意に設定しうる。上記実施形態において、個別電極１４１は幅広部１４２と幅狭部１４４とを有していたが、個別電極の形状は必ずしもそのような態様には限られない。例えば、個別電極の搬送方向の幅が、走査方向において一様であってもよい。また、個別電極列の数、一つの個別電極列当たりの個別電極の数、個別電極の走査方向におけるピッチ、及び隣り合う個別電極列の走査方向におけるシフトの大きさなども、上記実施形態の例には限られず、任意に設定しうる。言い換えると、圧力室の数、一つの圧力室列当たりの圧力室の数、圧力室の走査方向におけるピッチ、及び隣り合う圧力室列の走査方向におけるシフトの大きさなども、上記実施形態の例には限られず、任意に設定しうる。
【００６４】
上記実施形態においては、２つの圧力室に対応して１つの個別電極が設けられていたが、３つ以上の圧力室に対応して１つの個別電極を設けることもできる。また、上記実施形態では、２つの圧力室に対応して１つのノズルが設けられていたが、１つの圧力室に対応して１つのノズルが設けられていてもよい。さらに、上記実施形態では、１つの個別電極に対応する２つの圧力室に対して、同じマニホールドからインクが供給されていた。しかしながら、１つの個別電極に対応する２つの圧力室に対して、それぞれ別のマニホールドからインクが供給されてもよい。その場合において、２つの圧力室にインクを供給する複数のマニホールドに対して、１つのインクカートリッジからインクを供給してもよく、別々のインクカートリッジからインクを供給してもよい。あるいは、複数のマニホールドに供給するインクを循環させてもよい。
【００６５】
以上説明した実施形態及び変更形態は適宜組み合わせることもできる。上記実施形態及び変更形態は、本教示を、記録用紙にインクを吐出して画像等を印刷するインクジェットヘッド５に適用したものである。上記実施形態において、インクジェットヘッド５はいわゆるシリアル式のインクジェットヘッドであったが、本教示はこれに限られず、いわゆるライン式のインクジェットヘッドにも適用しうる。また、本教示はインクを吐出するインクジェットヘッドには限られない。画像等の印刷以外の様々な用途で使用される液体吐出装置においても本教示は適用されうる。例えば、基板に導電性の液体を吐出して、基板表面に導電パターンを形成する液体吐出装置にも、本教示を適用することは可能である。
【００６６】
５  インクジェットヘッド
４０  圧電体
１４０  上部圧電層
１４１  個別電極
２４０  中間圧電層
２４１  中間共通電極
３４０  下部圧電層
３４１  下部共通電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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