(57)【要約】【課題】吐出の均一性を高めることが可能なヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供する。【解決手段】本開示の一実施の形態に係るヘッドチップは、液体に圧力を印加するアクチュエータプレートを備えており、前記液体を噴射する。前記アクチュエータプレートは、第１面および前記第１面と反対を向く第２面と、前記第１面に設けられた複数の第１開口各々に連通するとともに、前記第１面から前記第２面に向かう方向に深さ方向を有するチャネルと、隣り合う前記チャネルの間に設けられ、かつ、前記第１面側から第１駆動部と、非駆動部とがこの順に積層された壁部分と、前記深さ方向にわたって、複数の前記チャネル各々に露出された前記第１駆動部を覆うとともに、前記非駆動部の少なくとも一部を覆う第１電極膜を有する電極とを含んでいる。【選択図】図６Ｂ
2020100000.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体に圧力を印加するアクチュエータプレートを備え、前記液体を噴射するヘッドチップであって、
前記アクチュエータプレートは、
第１面および前記第１面と反対を向く第２面と、
前記第１面に設けられた複数の第１開口各々に連通するとともに、前記第１面から前記第２面に向かう方向に深さ方向を有するチャネルと、
隣り合う前記チャネルの間に設けられ、かつ、前記第１面側から第１駆動部と、非駆動部とがこの順に積層された壁部分と、
前記深さ方向にわたって、複数の前記チャネル各々に露出された前記第１駆動部を覆うとともに、前記非駆動部の少なくとも一部を覆う第１電極膜を有する電極とを含む
ヘッドチップ。
【請求項２】
前記第１駆動部は、
第１圧電基板と、
前記第１圧電基板と前記非駆動部との間に設けられるとともに、前記第１圧電基板と逆の分極方向を有する第２圧電基板とを有する
請求項１に記載のヘッドチップ。
【請求項３】
前記アクチュエータプレートは、更に、前記第２面に設けられるとともに、前記複数のチャネルが各々連通された第２開口を有し、
前記壁部分は、更に、前記非駆動部を間にして前記第１駆動部に対向する第２駆動部を有し、
前記電極は、更に、前記深さ方向にわたって、前記複数のチャネル各々に露出された前記第２駆動部を覆うとともに、前記非駆動部の少なくとも一部を覆う第２電極膜を含む
請求項１に記載のヘッドチップ。
【請求項４】
前記複数のチャネルの少なくとも一部では、前記電極が、前記第１電極膜および前記第２電極膜の重なる重なり部を有している
請求項３に記載のヘッドチップ。
【請求項５】
前記複数のチャネルは吐出チャネルを含み、
前記電極は、前記吐出チャネルを間にして対向する一対の前記壁部分のうち、前記吐出チャネルに露出された部分に設けられた一対の共通電極を含み、
前記一対の共通電極の少なくとも一方が、前記重なり部を有する
請求項４に記載のヘッドチップ。
【請求項６】
前記複数のチャネルは交互に配置された吐出チャネルおよび非吐出チャネルを含み、
前記電極は、前記吐出チャネルを間にして対向する一対の壁部分のうち、前記吐出チャネルを間にして隣り合う前記非吐出チャネル各々に露出された部分に設けられた一対の個別電極を含み、
前記一対の個別電極の少なくとも一方が、前記重なり部を有する
請求項４または請求項５に記載のヘッドチップ。
【請求項７】
前記非駆動部は、前記第１駆動部の構成材料と同じ材料を含む
請求項１ないし請求項６のうちいずれか１項に記載のヘッドチップ。
【請求項８】
前記非駆動部の構成材料の誘電率は、前記第１駆動部の構成材料の誘電率よりも低くなっている
請求項１ないし請求項６のうちいずれか１項に記載のヘッドチップ。
【請求項９】
前記第１電極膜は、蒸着膜である
請求項１ないし請求項８のうちいずれか１つに記載のヘッドチップ。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載のヘッドチップと、
前記ヘッドチップに前記液体を供給する供給機構と
を備えた液体噴射ヘッド。
【請求項１１】
請求項１０に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体を収容する収容部と
を備えた液体噴射記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射記録装置の１つとして、記録紙等の被記録媒体にインク（液体）を吐出（噴射）して画像や文字等の記録を行う、インクジェット方式の記録装置が提供されている（例えば、特許文献１参照）。この方式の液体噴射記録装置では、インクタンクからインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）へインクを供給し、このインクジェットヘッドのノズル孔から被記録媒体に対してインクを吐出することで、画像や文字等の記録が行われるようになっている。また、このようなインクジェットヘッドには、インクを吐出するヘッドチップが設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−３３４６５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このようなヘッドチップ等では、インクの吐出量のばらつきや吐出速度のばらつきを小さくし、吐出の均一性を高めることが望ましい。よって、吐出の均一性を高めることが可能なヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供することが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一実施の形態に係るヘッドチップは、液体に圧力を印加するアクチュエータプレートを備え、液体を噴射するヘッドチップであって、アクチュエータプレートは、第１面および第１面と反対を向く第２面と、第１面に設けられた複数の第１開口各々に連通するとともに、第１面から第２面に向かう方向に深さ方向を有するチャネルと、隣り合うチャネルの間に設けられ、かつ、第１面側から第１駆動部と、非駆動部とがこの順に積層された壁部分と、深さ方向にわたって、複数のチャネル各々に露出された第１駆動部を覆うとともに、非駆動部の少なくとも一部を覆う第１電極膜を有する電極とを含むものである。
【０００６】
本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドは、液体を噴射するヘッドチップと、そのヘッドチップに液体を供給する供給機構と備え、そのヘッドチップが上記した本開示の一実施形態のヘッドチップと同様の構成を有するものである。
【０００７】
本開示の一実施形態の液体噴射記録装置は、被記録媒体に液体を噴射する液体噴射ヘッドと、その液体を収容する収容部とを備え、その液体噴射ヘッドが上記した本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドと同様の構成を有するものである。
【発明の効果】
【０００８】
本開示の一実施の形態に係るヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置によれば、インクの吐出量のばらつきや吐出速度のばらつきを小さくし、吐出の均一性を高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置の概略構成例を表す模式斜視図である。
【図２】図１に示した液体噴射ヘッドおよびインク循環機構の概略構成例を表す模式図である。
【図３】図１に示した液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
【図４】図１に示した液体噴射ヘッドの断面模式図である。
【図５】図１に示した液体噴射ヘッドの他の断面模式図である。
【図６Ａ】図１に示した液体噴射ヘッドのアクチュエータプレートにおける、吐出チャネルの延在方向と直交する断面を表す断面模式図である。
【図６Ｂ】図６Ａに示した液体噴射ヘッドのアクチュエータプレートを拡大して表す拡大断面図である。
【図７Ａ】図６Ｂに示したアクチュエータプレートの第１面の構成の一例を表す平面模式図である。
【図７Ｂ】図６Ｂに示したアクチュエータプレートの第２面の構成の一例を表す平面模式図である。
【図８】図３に示したカバープレートを拡大して表す斜視図である。
【図９Ａ】図１に示した液体噴射ヘッドの製造方法の一工程を表す断面模式図である。
【図９Ｂ】図９Ａに続く一工程を表す断面模式図である。
【図９Ｃ】図９Ｂに続く一工程を表す断面模式図である。
【図９Ｄ】図９Ｃに続く一工程を表す断面模式図である。
【図９Ｅ】図９Ｄに続く一工程を表す断面模式図である。
【図９Ｆ】図９Ｅに続く一工程を表す断面模式図である。
【図９Ｇ】図９Ｆに続く一工程を表す断面模式図である。
【図９Ｈ】図９Ｇに続く一工程を表す断面模式図である。
【図１０】図１に示した液体噴射ヘッドの製造方法のうちのカバープレートを形成する一工程を表す平面模式図である。
【図１１】図１０に続く一工程を表す断面模式図である。
【図１２】図１に示した液体噴射ヘッドの製造方法のうちの流路プレート作製工程を表す平面模式図である。
【図１３】比較例に係る液体噴射ヘッドの要部の構成を表す断面模式図である。
【図１４】変形例１に係る液体噴射ヘッドの断面模式図である。
【図１５】変形例２に係る液体噴射ヘッドの断面模式図である。
【図１６Ａ】変形例３に係る液体噴射ヘッドの断面模式図である。
【図１６Ｂ】図１６Ａに示した液体噴射ヘッドのアクチュエータプレートを拡大して表す拡大断面図である。
【図１７Ａ】図１６Ａに示した液体噴射ヘッドの断面構成の他の例を表す模式図である。
【図１７Ｂ】図１７Ａに示した液体噴射ヘッドのアクチュエータプレートを拡大して表す拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
１．実施の形態（第１面および第２面に開口が設けられたアクチュエータプレートを有するインクジェットヘッドの例。）
２．変形例
変形例１（インク非循環の例。）
変形例２（流路プレートの片側にヘッドチップが配置される例。）
変形例３（第１面に開口が設けられたアクチュエータプレートの例。）
３．その他の変形例
【００１１】
＜１．実施の形態＞
［プリンタ１の全体構成］
図１は、本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置としてのプリンタ１の概略構成例を、模式的に斜視図にて表したものである。このプリンタ１は、インクを利用して、被記録媒体としての記録紙Ｐに対して、画像や文字等の記録（印刷）を行うインクジェットプリンタである。
【００１２】
プリンタ１は、図１に示したように、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、供給チューブ５０と、走査機構６と、インク循環機構８とを備えている。これらの各部材は、所定形状を有する筺体１０内に収容されている。なお、本明細書の説明に用いられる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１３】
ここで、プリンタ１は、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例に対応し、インクジェットヘッド４（後述するインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋ）は、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。
【００１４】
搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、図１に示したように、記録紙Ｐを搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送する機構である。これらの搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、グリッドローラ２１、ピンチローラ２２および駆動機構（不図示）を有している。グリッドローラ２１およびピンチローラ２２はそれぞれ、Ｙ軸方向（記録紙Ｐの幅方向）に沿って延設されている。駆動機構は、グリッドローラ２１を軸周りに回転させる（Ｚ−Ｘ面内で回転させる）機構であり、例えばモータ等によって構成されている。
【００１５】
（インクタンク３）
インクタンク３は、インクを内部に収容するタンクである。このインクタンク３としては、この例では図１に示したように、イエロー（Ｙ），マゼンダ（Ｍ），シアン（Ｃ），ブラック（Ｋ）の４色のインクを個別に収容する、４種類のタンクが設けられている。すなわち、イエローのインクを収容するインクタンク３Ｙと、マゼンダのインクを収容するインクタンク３Ｍと、シアンのインクを収容するインクタンク３Ｃと、ブラックのインクを収容するインクタンク３Ｋとが設けられている。これらのインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋは、筺体１０内において、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。ここでインクタンク３が、本開示の「収容部」の一具体例に対応する。
【００１６】
なお、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋはそれぞれ、収容するインクの色以外については同一の構成であるので、以下ではインクタンク３と総称して説明する。
【００１７】
（インクジェットヘッド４）
インクジェットヘッド４は、後述する複数のノズル７８から記録紙Ｐに対して液滴状のインクを噴射（吐出）して、画像や文字等の記録を行うヘッドである。このインクジェットヘッド４としても、この例では図１に示したように、上記したインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋにそれぞれ収容されている４色のインクを個別に噴射する、４種類のヘッドが設けられている。すなわち、イエローのインクを噴射するインクジェットヘッド４Ｙと、マゼンダのインクを噴射するインクジェットヘッド４Ｍと、シアンのインクを噴射するインクジェットヘッド４Ｃと、ブラックのインクを噴射するインクジェットヘッド４Ｋとが設けられている。これらのインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋは、筺体１０内において、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。
【００１８】
なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋはそれぞれ、利用するインクの色以外については同一の構成であるので、以下ではインクジェットヘッド４と総称して説明する。また、このインクジェットヘッド４の詳細構成については、後述する（図２など参照）。
【００１９】
供給チューブ５０は、インクタンク３内からインクジェットヘッド４内へとインクを供給するためのチューブである。
【００２０】
（走査機構６）
走査機構６は、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って、インクジェットヘッド４を走査させる機構である。この走査機構６は、図１に示したように、Ｙ軸方向に沿って延設された一対のガイドレール３１，３２と、これらのガイドレール３１，３２に移動可能に支持されたキャリッジ３３と、このキャリッジ３３をＹ軸方向に沿って移動させる駆動機構３４と、を有している。また、駆動機構３４は、ガイドレール３１，３２の間に配置された一対のプーリ３５，３６と、これらのプーリ３５，３６間に巻回された無端ベルト３７と、プーリ３５を回転駆動させる駆動モータ３８と、を有している。
【００２１】
プーリ３５，３６はそれぞれ、Ｙ軸方向に沿って、各ガイドレール３１，３２における両端付近に対応する領域に配置されている。無端ベルト３７には、キャリッジ３３が連結されている。このキャリッジ３３は、前述した４種類のインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋを載置する平板状の基台３３ａと、この基台３３ａから垂直（Ｚ軸方向）に立ち上げられた壁部３３ｂとを有している。基台３３ａ上には、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋが、Ｙ軸方向に沿って並んで載置されている。
【００２２】
なお、このような走査機構６と前述した搬送機構２ａ，２ｂとにより、インクジェットヘッド４と記録紙Ｐとを相対的に移動させる、移動機構が構成されるようになっている。
【００２３】
（インク循環機構８）
図２は、インク循環機構８の概略構成例を表した模式図である。インク循環機構８は、インクタンク３とインクジェットヘッド４との間でインクを循環させる機構であり、インク供給管８１およびインク排出管８２により構成される循環流路８３と、インク供給管８１に設けられた加圧ポンプ８４と、インク排出管８２に設けられた吸引ポンプ８５とを備える。インク供給管８１およびインク排出管８２は、例えば、インクジェットヘッド４を支持する走査機構６の動作に追従可能な程度に可撓性を有するフレキシブルホースにより構成されている。
【００２４】
加圧ポンプ８４は、インク供給管８１内を加圧し、インク供給管８１を通してインクジェットヘッド４にインクを送り出すものである。加圧ポンプ８４の機能により、インクジェットヘッド４に対し、加圧ポンプ８４とインクジェットヘッド４との間のインク供給管８１内は正圧となっている。
【００２５】
吸引ポンプ８５は、インク排出管８２内を減圧し、インク排出管８２を通してインクジェットヘッド４からインクを吸引するものである。吸引ポンプ８５の機能により、インクジェットヘッド４に対して、吸引ポンプ８５とインクジェットヘッド４との間のインク排出管８２内は負圧となっている。インクは、加圧ポンプ８４および吸引ポンプ８５の駆動により、インクジェットヘッド４とインクタンク３との間を、循環流路８３を通して循環可能となっている。なお、インク循環機構８は上述の構成に限定されず、他の構成を有していてもよい。
【００２６】
［インクジェットヘッド４の詳細構成］
次に、図１に加えて図３〜図８を参照して、インクジェットヘッド４の詳細構成例について説明する。図３は、インクジェットヘッド４の詳細構成例を、斜視図で表したものである。図４は、インクジェットヘッド４における、ヘッドチップ４０Ａ（後出）の吐出チャネル５４（後出）とヘッドチップ４０Ｂ（後出）のダミーチャネル５５（後出）とを含むＹ−Ｚ断面の構成例を表す断面図である。図５は、インクジェットヘッド４における、ヘッドチップ４０Ａのダミーチャネル５５（後出）とヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネル５４（後出）とを含むＹ-Ｚ断面の構成例を表す断面図である。図６Ａは、インクジェットヘッド４における、吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５の延在方向（Ｚ軸方向）と直交する断面（Ｘ−Ｙ断面）を表す断面図である。図６Ｂは、図６Ａに示したインクジェットヘッド４の断面を拡大して表す拡大断面図である。但し、図６Ｂでは、インクジェットヘッド４のうち、Ｘ軸方向の両端部（端部Ｒ４，Ｌ４）と、Ｘ軸方向の中央部Ｃ４とを表しており、端部Ｒ４と中央部Ｃ４との間の部分および端部Ｌ４と中央部Ｃ４との間の部分については図示を省略している。図６Ｂにおいて、一点鎖線で表した中心線ＣＬは、インクジェットヘッド４におけるＸ軸方向の中心位置を示している。なお、後出の図９Ａ〜９Ｈにおいても同様に、各製造過程における、インクジェットヘッド４のＸ軸方向の両端部（端部Ｒ４，Ｌ４）とＸ軸方向の中央部Ｃ４とを表しており、両端部（端部Ｒ４，Ｌ４）と中央部Ｃ４との間の部分については図示を省略している。図７Ａは、図６Ｂに示した、インクジェットヘッド４のうちの端部Ｌ４の第１面５１ｆ１（後出）の構成の一例を表し、図７Ｂは、図６Ｂに示した、インクジェットヘッド４のうちの端部Ｌ４の第２面５１ｆ２（後出）の構成の一例を表している。なお、インクジェットヘッド４のうちの端部Ｒ４は、中心線ＣＬ（図６Ｂ）を対称軸として端部Ｌ４と実質的に線対称の断面構成を有するので、本明細書では端部Ｒ４の説明および図示を省略する。図８は、図３に示したカバープレート５２（後出）の構成の一例を表す斜視図である。
【００２７】
図３に示したように、インクジェットヘッド４は、一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂと、流路プレート４１と、入口マニホールド４２と、出口マニホールド（不図示）と、帰還プレート４３と、ノズルプレート（噴射プレート）４４とを備える。インクジェットヘッド４は、吐出チャネル５４の延在方向（Ｚ軸方向）の先端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのうち、インクジェットヘッド４とインクタンク３との間でインクを循環させる循環式（エッジシュート循環式）のものである。
【００２８】
（ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂ）
一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂは互いに実質的に同一の構成を有しており、Ｙ軸方向において流路プレート４１を挟んで実質的に対称の姿勢をなすように実質的に対称の位置に設けられている。以下では、特に区別が必要のない場合は、一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂをヘッドチップ４０と総称して説明する。なお、ヘッドチップ４０は本開示における「ヘッドチップ」の一具体例に対する。ヘッドチップ４０は、流路プレート４１に近い位置から順にカバープレート５２と、アクチュエータプレート５１と、封止プレート５３とを備える。
【００２９】
（アクチュエータプレート５１）
アクチュエータプレート５１は、インクを吐出させるため、電気的に駆動される部材である。このアクチュエータプレート５１は、Ｘ軸方向を長手方向とすると共にＺ軸方向を短手方向とする、Ｘ−Ｚ面に沿って広がる板状部材であり、カバープレート５２に貼り合わされた第１面５１ｆ１と、第１面５１ｆ１と反対を向く第２面５１ｆ２とを有している。第２面５１ｆ２は、封止プレート５３に貼り合わされている。ここで、第１面５１ｆ１は本開示の「第１面」に対応する一具体例であり、第２面５１ｆ２は本開示の「第２面」に対応する一具体例である。図７Ｂに示したように、第２面５１ｆ２は、端部領域Ｒ１とチャネル形成領域Ｒ２とを含んでいる。端部領域Ｒ１は封止プレート５３と重なることなく外部に露出する部分であり、チャネル形成領域Ｒ２は吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５が形成されると共に封止プレート５３と重なり合う部分である。
【００３０】
このアクチュエータプレート５１は、第１面５１ｆ１と第２面５１ｆ２とを繋ぐ厚さ方向（Ｙ軸方向）において互いに異なる分極方向を有する２枚の圧電基板５１ａおよび圧電基板５１ｂを含んでいる。本実施の形態では、このアクチュエータプレート５１が、圧電基板５１ａ，５１ｂに加えて、圧電基板５１ａと圧電基板５１ｂとの間に中間基板５１ｃを有している。圧電基板５１ａ，５１ｂは、電界を印加すると変形する基板、即ち、逆圧電効果を有する基板であるのに対し、中間基板５１ｃは、逆圧電効果を示さない基板である。本実施の形態では、このようにアクチュエータプレート５１が、逆圧電効果を示さない中間基板５１ｃを含んでいるので、吐出チャネル５４とダミーチャネル５５との間の駆動壁５６（後出）に、電圧を印加しても駆動に寄与しない（変形しない）部分、即ち、非駆動部が形成される。なお、中間基板５１ｃは、実質的に逆圧電効果を示さない基板により構成されていればよく、例えば、本開示の効果を奏する範囲で微小な逆圧電効果を有する基板により構成されていてもよい。
【００３１】
アクチュエータプレート５１は、例えば、第１面５１ｆ１側から、圧電基板５１ａ、中間基板５１ｃおよび圧電基板５１ｂをこの順に有している。圧電基板５１ｂは、中間基板５１ｃを間にして圧電基板５１ａに対向している。圧電基板５１ａおよび圧電基板５１ｂは、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料により構成されたプレートである。例えば、圧電基板５１ａは、Ｙ軸に沿った一方の分極方向（例えば、図６Ａの上向き方向）を有し、圧電基板５１ｂは、Ｙ軸に沿った他方の分極方向（例えば、図６Ａの下向き方向）を有している。
【００３２】
圧電基板５１ａと圧電基板５１ｂとの間に設けられた中間基板５１ｃは、例えば、圧電基板５１ａ，５１ｂの構成材料と同じ材料により構成されている。例えば、中間基板５１ｃは未分極のＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等により構成されている。中間基板５１ｃを、圧電基板５１ａ，５１ｂの構成材料と同じ材料により構成すると、圧電基板５１ａ，５１ｂおよび中間基板５１ｃの物理的および化学的特性が、略同じになる。このため、例えば、圧電基板５１ａ、中間基板５１ｃおよび圧電基板５１ｂにわたる溝（後述の吐出チャネル５４，ダミーチャネル５５）を、機械加工を用いて、容易に形成することができる。また、圧電基板５１ａ，５１ｂおよび中間基板５１ｃの熱膨張率が、互いに同じになるので、例えば、ヘッドチップ４０を駆動させた際に熱応力が発生しても、この熱応力に起因した圧電基板５１ａ，５１ｂと中間基板５１ｃとの間での剥がれが生じにくくなる。
【００３３】
中間基板５１ｃは、圧電基板５１ａ，５１ｂの構成材料と、異なる材料により構成されていてもよい。例えば、中間基板５１ｃは、圧電基板５１ａ，５１ｂの構成材料の誘電率よりも低い誘電率を有する材料により構成されていることが好ましい。これにより、アクチュエータプレート５１に生じる静電容量が小さくなる。したがって、アクチュエータプレート５１の電気的な駆動に必要なエネルギーが低減され、ヘッドチップ４０の発熱を抑えることが可能となる。このような中間基板５１ｃの構成材料としては、例えば、ガラス，セラミックおよび樹脂材料等が挙げられる。
【００３４】
圧電基板５１ａ、中間基板５１ｃおよび圧電基板５１ｂには、複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５が設けられている。複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５は、圧電基板５１ａ、中間基板５１ｃおよび圧電基板５１ｂの積層体を、厚さ方向（Ｙ軸方向）に貫通しており（図６Ａ）、第１面５１ｆ１から第２面５１ｆ２に向かう方向（Ｙ軸方向）に深さ方向を有している。第１面５１ｆ１には、複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５それぞれに連通された開口Ｍ１が設けられ、第２面５１ｆ２には、複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５それぞれに連通された開口Ｍ２が設けられている。複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５（開口Ｍ１，Ｍ２）は、共にそれぞれＺ軸方向へ直線状に延在している（図７Ａ，図７Ｂ）。ここで、開口Ｍ１は本開示の「第１開口」の一具体例に対応し、開口Ｍ２は本開示の「第２開口」の一具体例に対応する。
【００３５】
吐出チャネル５４とダミーチャネル５５とは、Ｘ軸方向において互いに離間して交互に配置されている。吐出チャネル５４とダミーチャネル５５とは、駆動壁５６によって仕切られている。このため、アクチュエータプレート５１は、Ｚ軸方向と直交する断面（Ｘ−Ｙ断面）において、スリット状のチャネルが複数並ぶ構造となっている（図６Ａ参照）。換言すれば、吐出チャネル５４とダミーチャネル５５との間には、第１面５１ｆ１側から圧電基板５１ａ、中間基板５１ｃおよび圧電基板５１ｂがこの順に積層された駆動壁５６が設けられている。ここで、吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５は本開示の「チャネル」に対応する一具体例であり、吐出チャネル５４は本開示の「吐出チャネル」、ダミーチャネル５５は本開示の「非吐出チャネル」に対応する一具体例である。「駆動壁５６」は、本開示の「壁部分」に対応する一具体例である。駆動壁５６のうち、圧電基板５１ａにより構成された部分、中間基板５１ｃにより構成された部分および圧電基板５１ｂにより構成された部分が、それぞれ、本開示の「第１駆動部」、「非駆動部」および「第２駆動部」の一具体例に対応する。
【００３６】
吐出チャネル５４は、インクに対して圧力を印加するための圧力室として機能する部分であり、Ｘ軸方向において対向する一対の内面５４１を有している。内面５４１は、駆動壁５６のうち、吐出チャネル５４側に露出された面であり、例えば、Ｙ−Ｚ平面に平行な平面により構成されている。一対の内面５４１は、それぞれ、圧電基板５１ａにより構成された内面５４１ａと、中間基板５１ｃにより構成された内面５４１ｃと、圧電基板５１ｂにより構成された内面５４１ｂとを含んでいる。一対の内面５４１各々が、第１面５１ｆ１側から順に内面５４１ａ、内面５４１ｃおよび内面５４１ｂを含んでいる。吐出チャネル５４の一対の内面５４１には、共通電極６１が設けられている。吐出チャネル５４の一対の内面５４１に設けられた共通電極６１は、第２面５１ｆ２に設けられた共通電極パッド６２（図４，図５，図７Ｂ）により電気的に接続されている。
【００３７】
吐出チャネル５４の下端部は、図７Ａに示したようにアクチュエータプレート５１の下端面５１１（帰還プレート４３に貼り合わされた面）に至るまで延在し、帰還プレート４３と対向する開口を形成している。この下端面５１１に設けられた開口は、インクが吐出される吐出端である。これに対し、吐出チャネル５４の上端部はアクチュエータプレート５１の上端面（下端面５１１と反対の面）５１２に至らずにアクチュエータプレート５１内で終端している。すなわち、吐出チャネル５４の上端部近傍は、下端面５１１と上端面５１２との間に位置すると共に傾斜面５４ｂを含む閉塞端となっており、上端面５１２に向かうに従って深さ（Ｙ軸方向の寸法）が徐々に減少するように形成されている。換言すれば、吐出チャネル５４におけるＺ軸方向の端部である閉塞端５４Ｔ（図７Ａ）は、カバープレート５２に対して傾斜して向き合う傾斜面５４ｂを含んでいる。このため、傾斜面５４ｂと第２面５１ｆ２との交差位置から吐出端である下端面５１１までの第１の距離Ｌ１は、傾斜面５４ｂと第１面５１ｆ１との交差位置から下端面５１１までの第２の距離Ｌ２よりも短い（図４参照）。
【００３８】
図６Ｂに示したように、吐出チャネル５４の一対の内面５４１に設けられた共通電極６１は、第１共通電極部分６１Ａと第２共通電極部分６１Ｂとを有している。第１共通電極部分６１Ａは、内面５４１を第１面５１ｆ１から第２面５１ｆ２に向けて連続的に覆うように設けられ、第２共通電極部分６１Ｂは、内面５４１を第２面５１ｆ２から第１面５１ｆ１に向けて連続的に覆うように設けられている。第１共通電極部分６１Ａは、内面５４１ａ全面を覆うととともに、内面５４１ｃの少なくとも一部を覆っている。第１共通電極部分６１Ａは、内面５４１ａから内面５４１ｃを介して内面５４１ｂを覆うように、内面５４１全てを覆っていてもよい。第２共通電極部分６１Ｂは、内面５４１ｂ全面を覆うととともに、内面５４１ｃの少なくとも一部を覆っている。第２共通電極部分６１Ｂは、内面５４１ｂから内面５４１ｃを介して内面５４１ａを覆うように、内面５４１全てを覆っていてもよい。各内面５４１では、第１共通電極部分６１Ａおよび第２共通電極部分６１Ｂが電気的に接続され、一体的に機能するようになっている。
【００３９】
第１共通電極部分６１Ａは、例えば、第１面５１ｆ１の開口Ｍ１側からの斜方蒸着により形成されたものであり、第２共通電極部分６１Ｂは、例えば、第２面５１ｆ２の開口Ｍ２側からの斜方蒸着により形成されたものである。即ち、第１共通電極部分６１Ａおよび第２共通電極部分６１Ｂは、蒸着膜により構成されている。このような第１共通電極部分６１Ａおよび第２共通電極部分６１Ｂの吐出チャネル５４の深さ方向（Ｙ軸方向）の大きさは、吐出チャネル５４のＸ軸方向の位置（端部Ｌ４，Ｒ４，中央部Ｃ４）に応じて、所定の傾向を有している。
【００４０】
例えば、端部Ｌ４，Ｒ４では、各吐出チャネル５４の一対の内面５４１に設けられた第１共通電極部分６１Ａおよび第２共通電極部分６１ＢのＹ軸方向の大きさは以下のような傾向を有している。各吐出チャネル５４の一対の内面５４１のうち、一方の内面５４１（例えば、端部Ｌ４では中心線ＣＬ側の内面５４１）に設けられた第１共通電極部分６１Ａおよび第２共通電極部分６１ＢそれぞれのＹ軸方向の大きさは、他方の内面５４１に設けられた第１共通電極部分６１Ａおよび第２共通電極部分６１ＢそれぞれのＹ軸方向の大きさよりも小さい。各吐出チャネル５４の一対の内面５４１のうち、一方の内面５４１では、例えば、第１共通電極部分６１Ａと第２共通電極部分６１Ｂとの間に間隙が設けられている。換言すれば、各吐出チャネル５４の一対の内面５４１ｃのうち、一方の内面５４１ｃの一部は第１共通電極部分６１Ａおよび第２共通電極部分６１Ｂのいずれにも覆われていない。各吐出チャネル５４の一対の内面５４１のうち、他方の内面５４１には、例えば、第１共通電極部分６１Ａと第２共通電極部分６１Ｂとが重なる部分が設けられている。換言すれば、端部Ｌ４では、共通電極６１が、各吐出チャネル５４の一対の内面５４１のうち、少なくとも他方の内面５４１に第１共通電極部分６１Ａと第２共通電極部分６１Ｂとが重なる重なり部を有している。
【００４１】
例えば、中央部Ｃ４では、各吐出チャネル５４の一対の内面５４１に設けられた第１共通電極部分６１Ａおよび第２共通電極部分６１ＢのＹ軸方向の大きさは以下のような傾向を有している。各吐出チャネル５４の一対の内面５４１のうち、一方の内面５４１に設けられた第１共通電極部分６１Ａおよび第２共通電極部分６１ＢそれぞれのＹ軸方向の大きさは、他方の内面５４１に設けられた第１共通電極部分６１Ａおよび第２共通電極部分６１ＢそれぞれのＹ軸方向の大きさと略同じである。例えば、各吐出チャネル５４の一対の内面５４１両方に、第１共通電極部分６１Ａと第２共通電極部分６１Ｂとが重なる部分が設けられている。換言すれば、中央部Ｃ４では、共通電極６１が、各吐出チャネル５４の一対の内面５４１両方に第１共通電極部分６１Ａと第２共通電極部分６１Ｂとが重なる重なり部を有している。
【００４２】
複数の共通電極６１それぞれは、第２面５１ｆ２に設けられた共通電極パッド６２に接続されている。共通電極パッド６２は、図７Ｂに示したように、第２面５１ｆ２のうち吐出チャネル５４の上端部の周辺部分の一部を覆うように形成されている。共通電極パッド６２は、第２面５１ｆ２のうち、吐出チャネル５４の周辺部分から端部領域Ｒ１に至るまで延在している。共通電極パッド６２には、外部配線基板４５が接続される。
【００４３】
上記のように、端部Ｌ４，Ｒ４では、吐出チャネル５４の一方の内面５４１に設けられた第１共通電極部分６１Ａおよび第２共通電極部分６１Ｂが内面５４１上で接続されていなくてもよい。一方の内面５４１に設けられた第１共通電極部分６１Ａは、傾斜面５４ｂを含む閉塞端５４Ａにより他方の内面５４１に設けられた第１共通電極部分６１Ａに接続され、一方の内面５４１に設けられた第２共通電極部分６１Ｂは、共通電極パッド６２により他方の内面５４１に設けられた第２共通電極部分６１Ｂに接続される。したがって、共通電極６１が、吐出チャネル５４の一対の内面５４１のうち、少なくとも他方の内面５４１に、第１共通電極部分６１Ａおよび第２共通電極部分６１Ｂの重なり部を有することにより、一対の内面５４１各々に設けられた共通電極６１の電気的な接続を維持することができる。
【００４４】
吐出チャネル５４には、インクが充填されるのに対し、ダミーチャネル５５にはインクが充填されないようになっている。図７Ａに示したように、このダミーチャネル５５の上端部は、上端面５１２で開口しており、ダミーチャネル５５の下端部は、下端面５１１で開口している。
【００４５】
図６Ａおよび図６Ｂに示したように、ダミーチャネル５５はＸ軸方向において対向する一対の内面５５１を有している。内面５５１は、駆動壁５６のうち、ダミーチャネル５５側に露出された面であり、例えば、Ｙ−Ｚ平面に平行な平面により構成されている。一対の内面５５１は、それぞれ、圧電基板５１ａにより構成された内面５５１ａと、中間基板５１ｃにより構成された内面５５１ｃと、圧電基板５１ｂにより構成された内面５５１ｂとを含んでいる。一対の内面５５１各々が、第１面５１ｆ１側から順に、内面５５１ａ、内面５５１ｃおよび内面５５１ｂを有している。ダミーチャネル５５の一対の内面５５１各々には、個別電極６３が設けられている。ダミーチャネル５５の一対の内面５５１各々に設けられた個別電極６３同士は互いに絶縁されている。吐出チャネル５４を間にして隣り合う個別電極６３は、第２面５１ｆ２の端部領域Ｒ１に設けられた個別電極パッド６４に接続されている。
【００４６】
図６Ｂに示したように、ダミーチャネル５５の一対の内面５５１に設けられた個別電極６３は、第１個別電極部分６３Ａと第２個別電極部分６３Ｂとを有している。第１個別電極部分６３Ａは、内面５５１を第１面５１ｆ１から第２面５１ｆ２に向けて連続的に覆うように設けられ、第２個別電極部分６３Ｂは、内面５５１を第２面５１ｆ２から第１面５１ｆ１に向けて連続的に覆うように設けられている。第１個別電極部分６３Ａは、内面５５１ａ全面を覆うととともに、内面５５１ｃの少なくとも一部を覆っている。第１個別電極部分６３Ａは、内面５５１ａから内面５５１ｃを介して内面５５１ｂを覆うように、内面５５１全てを覆っていてもよい。第２個別電極部分６３Ｂは、内面５５１ｂ全面を覆うととともに、内面５５１ｃの少なくとも一部を覆っている。第２個別電極部分６３Ｂは、内面５５１ｂから内面５５１ｃを介して内面５５１ａを覆うように、内面５５１全てを覆っていてもよい。各内面５５１では、第１個別電極部分６３Ａおよび第２個別電極部分６３Ｂが電気的に接続され、一体的に機能するようになっている。
【００４７】
第１個別電極部分６３Ａは、例えば、第１面５１ｆ１の開口Ｍ１側からの斜方蒸着により形成されたものであり、第２個別電極部分６３Ｂは、例えば、第２面５１ｆ２の開口Ｍ２側からの斜方蒸着により形成されたものである。即ち、第１個別電極部分６３Ａおよび第２個別電極部分６３Ｂは、蒸着膜により構成されている。このような第１個別電極部分６３Ａおよび第２個別電極部分６３Ｂのダミーチャネル５５の深さ方向（Ｙ軸方向）の大きさは、ダミーチャネル５５のＸ軸方向の位置（端部Ｌ４，Ｒ４，中央部Ｃ４）に応じて、所定の傾向を有している。
【００４８】
例えば、端部Ｌ４，Ｒ４では、各ダミーチャネル５５の一対の内面５５１に形成された第１個別電極部分６３Ａおよび第２個別電極部分６３ＢのＹ軸方向の大きさは以下のような傾向を有している。各ダミーチャネル５５の一対の内面５５１のうち、一方の内面５５１（例えば、端部Ｌ４では中心線ＣＬ側の内面５５１）に形成される第１個別電極部分６３Ａおよび第２個別電極部分６３ＢそれぞれのＹ軸方向の大きさは、他方の内面５５１に形成される第１個別電極部分６３Ａおよび第２個別電極部分６３ＢそれぞれのＹ軸方向の大きさよりも小さい。各ダミーチャネル５５の一対の内面５５１のうち、一方の内面５５１では、例えば、第１個別電極部分６３Ａと第２個別電極部分６３Ｂとの間に間隙が設けられている。換言すれば、各ダミーチャネル５５の一対の内面５５１ｃのうち、一方の内面５５１ｃの一部は第１個別電極部分６３Ａおよび第２個別電極部分６３Ｂのいずれにも覆われていない。各ダミーチャネル５５の一対の内面５５１のうち、他方の内面５５１には、例えば、第１個別電極部分６３Ａと第２個別電極部分６３Ｂとが重なる部分が設けられている。換言すれば、端部Ｌ４では、個別電極６３が、各ダミーチャネル５５の一対の内面５５１のうち、他方の内面５５１に第１個別電極部分６３Ａと第２個別電極部分６３Ｂとが重なる重なり部を有している。
【００４９】
例えば、中央部Ｃ４では、各ダミーチャネル５５の一対の内面５５１に形成された第１個別電極部分６３Ａおよび第２個別電極部分６３ＢのＹ軸方向の大きさは以下のような傾向を有している。各ダミーチャネル５５の一対の内面５５１のうち、一方の内面５５１に形成される第１個別電極部分６３Ａおよび第２個別電極部分６３ＢそれぞれのＹ軸方向の大きさは、他方の内面５５１に形成される第１個別電極部分６３Ａおよび第２個別電極部分６３ＢそれぞれのＹ軸方向の大きさと略同じである。各ダミーチャネル５５の一対の内面５５１両方に、例えば、第１個別電極部分６３Ａと第２個別電極部分６３Ｂとが重なる部分が設けられている。換言すれば、中央部Ｃ４では、個別電極６３が、各ダミーチャネル５５の一対の内面５５１両方に第１個別電極部分６３Ａと第２個別電極部分６３Ｂとが重なる重なり部を有している。
【００５０】
複数の個別電極６３各々は、第２面５１ｆ２に設けられた個別電極パッド６４に接続されている。個別電極パッド６４は、共通電極パッド６２と電気的に分離されており、例えば、周辺部分のうち共通電極パッド６２よりも上方に位置する部分をＸ軸方向に延在するように設けられている（図７Ｂ）。個別電極パッド６４は、吐出チャネル５４を間に挟んで隣り合う一対の個別電極６３同士を接続している。この個別電極パッド６４には、外部配線基板４５が接続される。
【００５１】
図７Ａに示したように、第１面５１ｆ１には、吐出チャネル５４を間に挟んで隣り合う一対の個別電極６３同士を接続する配線６３ｆが設けられている。この配線６３ｆは、例えば、吐出チャネル５４の閉塞端５４Ｔよりも上方に設けられている。第１面５１ｆ１の個別電極パッド６４に加えて、第２面５１ｆ２に配線６３ｆを設けることにより、仮に、個別電極パッド６４が断線した場合にも、吐出チャネル５４を間に挟んで隣り合う一対の個別電極６３同士の電気的な接続を維持することができる。後述のように、配線６３ｆおよび個別電極パッド６４により、内面５５１に分離して設けられた第１個別電極部分６３Ａと第２個別電極部分６３Ｂとが電気的に接続されていてもよい。
【００５２】
上記のように、端部Ｌ４，Ｒ４では、ダミーチャネル５５の一方の内面５５１に設けられた第１個別電極部分６３Ａおよび第２個別電極部分６３Ｂが接続されていなくてもよい。一方の内面５５１に設けられた第１個別電極部分６３Ａは、配線６３ｆにより、吐出チャネル５４を間にして隣り合うダミーチャネル５５の他方の内面５５１に設けられた第１個別電極部分６３Ａに接続され、一方の内面５５１に設けられた第２個別電極部分６３Ｂは、個別電極パッド６４により、吐出チャネル５４を間にして隣り合うダミーチャネル５５の他方の内面５５１に設けられた第２個別電極部分６３Ｂに接続される。したがって、吐出チャネル５４を間にして隣り合う一対の個別電極６３のうち、少なくとも一方（例えば、ダミーチャネル５５の他方の内面５５１に設けられた個別電極６３）が、第１個別電極部分６３Ａおよび第２個別電極部分６３Ｂの重なり部を有することにより、吐出チャネル５４を間にして隣り合う一対の個別電極６３の電気的な接続を維持することができる。
【００５３】
このように、ヘッドチップ４０では、第１共通電極部分６１Ａおよび第２共通電極部分６１Ｂが接続されていない内面５４１が設けられていてもよく、第１個別電極部分６３Ａおよび第２個別電極部分６３Ｂが接続されていない内面５５１が設けられていてもよい。したがって、本開示は、アスペクト比の高い駆動壁５６を有するアクチュエータプレート５１に好適に用いられる。
【００５４】
ここでは、共通電極６１および個別電極６３が本開示の「電極」の一具体例に対応する。また、第１共通電極部分６１Ａおよび第１個別電極部分６３Ａが、本開示の「第１電極膜」の一具体例に対応し、第２共通電極部分６１Ｂおよび第２個別電極部分６３Ｂが、本開示の「第２電極膜」の一具体例に対応する。
【００５５】
（カバープレート５２）
カバープレート５２は、Ｘ軸方向を長手方向とすると共にＺ軸方向を短手方向とする、ＸＺ面に沿って広がる板状部材である。カバープレート５２は、アクチュエータプレート５１の第１面５１ｆ１に貼り合わされた対向面５２ｆ１と、対向面５２ｆ１と反対を向く対向面５２ｆ２とを有している。
【００５６】
図８は、カバープレート５２を流路プレート４１側から眺めた斜視図である。カバープレート５２には、カバープレート５２をＹ軸方向（厚さ方向）に貫通するとともに、吐出チャネル５４に連通する液体供給路７０が形成されている。液体供給路７０は、Ｙ軸方向の流路プレート４１側に開口する共通インク室７１と、共通インク室７１とそれぞれ連通すると共にＹ軸方向のアクチュエータプレート５１側に開口する複数のスリット７２とを含んでいる。複数のスリット７２は、複数の吐出チャネル５４と対応する位置に設けられている。共通インク室７１は、複数のスリット７２に対し共通に設けられており、複数のスリット７２を通じて各吐出チャネル５４と連通している。共通インク室７１は、ダミーチャネル５５には連通していない。
【００５７】
共通インク室７１は、カバープレート５２における流路プレート４１と対向する対向面５２ｆ２に形成されている。共通インク室７１は、Ｚ軸方向において、吐出チャネル５４の傾斜面５４ｂと実質的に同じ位置に配置されている。共通インク室７１は、対向面５２ｆ１側に向けて窪むと共にＸ軸方向に延在する溝状に形成されている。共通インク室７１には、流路プレート４１を通じてインクが流入するようになっている。
【００５８】
複数のスリット７２は、アクチュエータプレート５１と対向する対向面５２ｆ１に形成されている。複数のスリット７２は、Ｙ軸方向において共通インク室７１の一部とそれぞれ重なり合う位置に配置されている。複数のスリット７２は、共通インク室７１と複数の吐出チャネル５４とに連通している。各スリット７２のＸ軸方向の幅は、各吐出チャネル５４のＸ軸方向の幅と実質的に同じであることが望ましい。
【００５９】
なお、カバープレート５２は、絶縁性を有し、かつアクチュエータプレート５１を形成する材料の熱伝導率と同等以上の熱伝導率を有する材料により形成されているとよい。例えば、アクチュエータプレート５１をＰＺＴにより形成した場合、カバープレート５２は、ＰＺＴまたはシリコンにより形成することが好ましい。これにより、ヘッドチップ４０Ａのカバープレート５２の温度とヘッドチップ４０Ｂのカバープレート５２の温度との差が低減され、インクジェットヘッド４内におけるインク温度の均一化を図ることができるからである。その結果、インクの吐出速度のばらつきが低減され、印字安定性が向上する。
【００６０】
（封止プレート５３）
封止プレート５３は、カバープレート５２と同様、Ｘ軸方向を長手方向とすると共にＺ軸方向を短手方向とする、ＸＺ面に沿って広がる板状部材である。封止プレート５３は、アクチュエータプレート５１の下端面５１１およびカバープレート５２の下端面５２１とＺ軸方向において一致する下端面５３１と、Ｚ軸方向において下端面５３１と反対側に位置する上端面５３２とを有している。上端面５３２は、Ｚ軸方向において上端面５１２および上端面５２２の位置から後退した位置にある。封止プレート５３は、アクチュエータプレート５１の第２面５１ｆ２と対向する対向面５３ｆ１をさらに有する。封止プレート５３は、対向面５３ｆ１がアクチュエータプレート５１の第２面５１ｆ２のうちのチャネル形成領域Ｒ２と対向するように配置される。したがって、封止プレート５３とカバープレート５２とによって複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５が閉塞されるようになっている。封止プレート５３は、開口や切り欠き、溝などを有しなくともよい。すなわち、単純な直方体でよいので、その構成材料として加工の困難な機能性材料や、高い加工精度が得にくい低価格材料を用いることもできる。すなわち、材料種の選択の自由度が向上する。
【００６１】
（一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂの配置関係）
図３に示したように、一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂは、各々の対向面５２ｆ２同士をＹ方向で対向させた状態で、Ｙ軸方向に流路プレート４１を挟んで配置されている。
【００６２】
ヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５は、ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５の配列ピッチに対してＸ軸方向に半ピッチずれて配列されている。すなわち、ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５と、ヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５とが千鳥状に配列されている。
【００６３】
このため、図４に示したように、ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネル５４と、ヘッドチップ４０Ｂのダミーチャネル５５とがＹ軸方向で対向している。同様に、図５に示したように、ヘッドチップ４０Ａのダミーチャネル５５と、ヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネル５４とがＹ軸方向で対向している。なお、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂにおける各々の吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５のピッチは適宜変更可能である。
【００６４】
（流路プレート４１）
流路プレート４１は、Ｙ軸方向においてヘッドチップ４０Ａとヘッドチップ４０Ｂとの間に挟持されている。流路プレート４１は、同一の部材により一体に形成されているとよい。図３に示したように、流路プレート４１は、Ｘ軸方向を長手方向としＹ軸方向を短手方向とする矩形板状をなしている。Ｙ軸方向から見て、流路プレート４１の外形は、カバープレート５２の外形と実質的に同じである。ここでは、流路プレート４１が本開示の「供給機構」の一具体例に対応する。
【００６５】
流路プレート４１のＹ軸方向における主面４１ｆ１（ヘッドチップ４０Ａと対向する面）には、ヘッドチップ４０Ａにおける対向面５２ｆ２が接合されている。流路プレート４１のＹ軸方向における主面４１ｆ２（ヘッドチップ４０Ｂと対向する面）には、ヘッドチップ４０Ｂにおける対向面５２ｆ２が接合されている。
【００６６】
図４および図５に示したように、流路プレート４１の各主面４１ｆ１，４１ｆ２には、共通インク室７１に各別に連通する入口流路７４と、帰還プレート４３の循環路７６に各別に連通する出口流路７５とが形成されている。
【００６７】
図３に示したように、出口流路７５は、流路プレート４１の各主面４１ｆ１，４１ｆ２からＹ軸方向の内側に向けて窪むとともに、流路プレート４１の下端面４１１から上端面４１２へ向かうように窪んでいる。各出口流路７５の一端部は、流路プレート４１のＸ軸方向の他端面で開口している。各出口流路７５は、流路プレート４１のＸ軸方向の他端面から下方にクランク状に屈曲した後、Ｘ軸方向の一端側に向けて直線状に延びている。図４に示したように、出口流路７５のＺ軸方向の幅は、入口流路７４のＺ軸方向の幅よりも小さいとよい。また、出口流路７５のＹ軸方向の深さは、入口流路７４のＹ軸方向の深さと実質的に同じである。出口流路７５は、流路プレート４１のＸ軸方向の他端面において出口マニホールド（図示せず）に接続されている。出口マニホールドは、インク排出管８２（図１参照）に接続されている。
【００６８】
（入口マニホールド４２）
図３に示したように、入口マニホールド４２は、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂおよび流路プレート４１のＸ軸方向の一端面に接合されている。入口マニホールド４２には、一対の入口流路７４に連通する供給路７７が形成されている。供給路７７における流路プレート４１と反対側の端部はインク供給管８１（図２参照）に接続されている。
【００６９】
（帰還プレート４３）
帰還プレート４３は、Ｘ軸方向を長手方向としＹ軸方向を短手方向とする矩形板状をなしている。帰還プレート４３は、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂの下端面５１１，５２１，５３１および流路プレート４１の下端面４１１にまとめて接合されている。すなわち、帰還プレート４３は、ヘッドチップ４０Ａおよびヘッドチップ４０Ｂにおける吐出チャネル５４の開口５４Ｋ側に配設されている。帰還プレート４３は、ヘッドチップ４０Ａとヘッドチップ４０Ｂとにおける吐出チャネル５４の開口５４Ｋと、ノズルプレート４４の上面との間に介在するスペーサプレートである。帰還プレート４３には、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂの吐出チャネル５４と出口流路７５との間を接続する複数の循環路７６が形成されている。複数の循環路７６は、第１循環路７６ａおよび第２循環路７６ｂを含んでいる。複数の循環路７６は、帰還プレート４３をＺ軸方向に貫通している。
【００７０】
（ノズルプレート４４）
図３に示したように、ノズルプレート４４の外形は、Ｘ軸方向を長手方向としＹ軸方向を短手方向とする矩形板状をなしている。ノズルプレート４４は、帰還プレート４３の下端面に接合されている。ノズルプレート４４には、ノズルプレート４４をＺ軸方向に貫通する複数のノズル７８（噴射孔）が配列されている。複数のノズル７８は、第１ノズル７８ａおよび第２ノズル７８ｂを含む。複数のノズル７８は、ノズルプレート４４をＺ軸方向に貫通している。
【００７１】
図４に示したように、第１ノズル７８ａは、ノズルプレート４４のうち、帰還プレート４３の各第１循環路７６ａとＺ軸方向で対向する部分にそれぞれ形成されている。すなわち、第１ノズル７８ａは、第１循環路７６ａと同ピッチで、Ｘ軸方向に間隔をあけて一直線上に配列されている。第１ノズル７８ａは、第１循環路７６ａにおけるＹ軸方向の外端部で第１循環路７６ａ内に連通している。これにより、各第１ノズル７８ａは、第１循環路７６ａを介してヘッドチップ４０Ａの対応する吐出チャネル５４にそれぞれ連通している。
【００７２】
図５に示したように、第２ノズル７８ｂは、ノズルプレート４４のうち、帰還プレート４３の各第２循環路７６ｂとＺ軸方向で対向する部分にそれぞれ形成されている。すなわち、第２ノズル７８ｂは、第２循環路７６ｂと同ピッチで、Ｘ軸方向に間隔をあけて一直線上に配列されている。第２ノズル７８ｂは、第２循環路７６ｂにおけるＹ軸方向の外側端部で第２循環路７６ｂ内に連通している。これにより、各第２ノズル７８ｂは、第２循環路７６ｂを介してヘッドチップ４０Ｂの対応する吐出チャネル５４にそれぞれ連通している。ダミーチャネル５５は、第１ノズル７８ａおよび第２ノズル７８ｂには連通しておらず、帰還プレート４３により下方から覆われている。
【００７３】
（外部配線基板４５）
外部配線基板４５は、共通電極パッド６２，個別電極パッド６４各々と駆動回路とを電気的に接続する。外部配線基板４５には、例えば、複数の共通電極パッド６２のそれぞれに接続された複数の端子と、複数の個別電極パッド６４のそれぞれに接続された複数の端子とが設けられている。駆動回路は、例えば、集積回路（ＩＣ：Integrated Circuit）等により構成されている。集積回路は、外部配線基板４５に搭載されていてもよい。
【００７４】
［インクジェットヘッド４の製造方法］
次に、インクジェットヘッド４の製造方法について説明する。本実施形態のインクジェットヘッド４の製造方法は、ヘッドチップ作製工程と、流路プレート作製工程と、プレート接合工程と、帰還プレート等接合工程と、を含む。なお、ヘッドチップ作製工程は、ヘッドチップ４０Ａとヘッドチップ４０Ｂとで同様の方法により行うことが可能である。したがって、以下の説明ではヘッドチップ４０Ａにおけるヘッドチップ作製工程について説明する。
【００７５】
（ヘッドチップ作製工程）
本実施の形態のインクジェットヘッド４の製造方法におけるヘッドチップ作製工程は、主に、アクチュエータプレート５１に係る工程と、カバープレート５２に係る工程とを含んでいる。これらのうち、アクチュエータプレート５１に係る工程は、例えばウエハ準備工程、マスクパターン形成工程、チャネル形成工程および電極形成工程を含む。以下、図９Ａ〜図９Ｈを参照して、主にアクチュエータプレート５１に係る工程を説明する。
【００７６】
ウエハ準備工程では、図９Ａに示したように、厚さ方向（Ｙ軸方向）に分極処理された２枚の圧電ウエハ５１ａＺおよび圧電ウエハ５１ｂＺと、例えば、未分極の中間ウエハ５１ｃＺとを用意する。圧電ウエハ５１ａＺの分極方向と、圧電ウエハ５１ｂＺの分極方向とが逆向きとなるように配置し、圧電ウエハ５１ａＺと圧電ウエハ５１ｂＺとの間に中間ウエハ５１ｃＺを介在させる。そののち、必要に応じて圧電ウエハ５１ａＺに対しグラインダ加工を行い、圧電ウエハ５１ａＺの厚さを調整する。このときの圧電ウエハ５１ａＺの表面が第１面５１ｆ１となる。これにより、アクチュエータウエハ５１Ｚが形成される。
【００７７】
続くマスクパターン形成工程により、図９Ｂに示したように、共通電極６１等を形成する際にマスクとして利用するレジストパターンＲＰ１を上述のアクチュエータウエハ５１Ｚの第１面５１ｆ１上に形成する。レジストパターンＲＰ１は、第１共通電極部分６１Ａ、第１個別電極部分６３Ａおよび配線６３ｆを形成するためのものであり、これらに応じた開口を有している。なお、レジストパターンＲＰ１はドライレジストにより形成してもよいし、ウェットレジストにより形成してもよい。
【００７８】
続くチャネル形成工程では、図示しないダイシングブレード等により、上述のアクチュエータウエハ５１Ｚの第１面５１ｆ１から切削加工を行う。これにより、第１面５１ｆ１には、複数の開口Ｍ１が形成されるとともに、アクチュエータウエハ５１Ｚに、開口Ｍ１に連通された複数のトレンチ５４Ｕ，５５Ｕが形成される。複数のトレンチ５４Ｕおよび複数のトレンチ５５Ｕは、Ｘ軸方向に間隔をあけて平行をなすように、かつ交互に並ぶように形成する（図９Ｂ参照）。なお、トレンチ５４Ｕおよびトレンチ５５Ｕは、それぞれ、のちに吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５となる部分である。
【００７９】
続く第１の電極形成工程では、図９Ｃに示したように、例えば蒸着法により、第１面５１ｆ１、複数のトレンチ５４Ｕの内面５４１Ｕおよび複数のトレンチ５５Ｕの内面５５１Ｕを覆うように金属被膜ＭＦ１を形成する。このとき、金属被膜ＭＦ１の蒸着深さ（Ｙ軸方向の大きさ）は、内面５４１Ｕ，５５１Ｕのうち圧電ウエハ５１ａＺにより構成された部分全部を覆い、かつ、中間ウエハ５１ｃＺにより構成された部分の少なくとも一部を覆うように調整する。蒸着法としては、第１面５１ｆ１に対する法線方向から傾斜した方向から金属被膜ＭＦ１の構成材料を付着させる斜方蒸着を行うことが望ましい。これにより、深い位置まで各トレンチ５４Ｕの内面５４１Ｕおよび各トレンチ５５Ｕの内面５５１Ｕが覆われる。なお、金属被膜ＭＦ１を形成する前段階において、各トレンチ５４Ｕの内面５４１Ｕおよび各トレンチ５５Ｕの内面５５１Ｕに付着したレジストなどの残渣を除去するディスカム処理を適宜行うようにしてもよい。
【００８０】
続いてレジストパターンＲＰ１を除去することによりアクチュエータウエハ５１Ｚの第１面５１ｆ１を露出させたのち、図９Ｄに示したように、第１面５１ｆ１に対向面５２ｆ１を重ね合わせるようにカバープレート５２を接合する。その際、液体供給路７０が吐出チャネル５４と対向するようにカバープレート５２の対向面５２ｆ１を第１面５１ｆ１に接合する。ここでレジストパターンＲＰ１とともに、レジストパターンＲＰ１に付着した金属被膜ＭＦ１が除去される（リフトオフ法）。これにより、トレンチ５４Ｕの内面５４１Ｕに第１共通電極部分６１Ａが形成され、トレンチ５５Ｕの内面５５１Ｕに第１個別電極部分６３Ａが形成される。第１面５１ｆ１には、配線６３ｆが形成される（図７Ａ参照）。
【００８１】
次に、図９Ｅに示したように、圧電ウエハ５１ｂＺを裏面（圧電ウエハ５１ａＺと反対側の面）からグラインダ加工を行い、圧電ウエハ５１ｂＺの厚さを調整する。その際、複数のトレンチ５４Ｕ，５５Ｕを露出させる。このときの圧電ウエハ５１ｂＺの裏面が第２面５１ｆ２となり、この第２面５１ｆ２には複数のトレンチ５４Ｕ，５５Ｕ各々に連通された開口Ｍ２が形成される。即ち、圧電基板５１ａ、中間基板５１ｃおよび圧電基板５１ｂの積層体と、開口Ｍ１，Ｍ２に連通された吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５が形成される。
【００８２】
次に、図９Ｆに示したように、第２面５１ｆ２に選択的にレジストパターンＲＰ２を形成する。レジストパターンＲＰ２は、第２共通電極部分６１Ｂ、第２個別電極部分６３Ｂ、共通電極パッド６２および個別電極パッド６４を形成するためのものであり、これらに応じた開口を有している。
【００８３】
続く第２の電極形成工程では、図９Ｇに示したように、例えば蒸着法により、第２面５１ｆ２、複数の吐出チャネル５４の内面５４１および複数のダミーチャネル５５の内面５５１を覆う金属被膜ＭＦ２を形成する。このとき、金属被膜ＭＦ２の蒸着深さ（Ｙ軸方向の大きさ）は、内面５４１，５５１のうち内面５４１ｂ，５５１ｂ全部を覆い、かつ、内面５４１ｃ，５５１ｃの少なくとも一部を覆うように調整する（図６Ｂ参照）。蒸着法としては、第１の電極形成工程と同様に、斜方蒸着を行うことが望ましい。
【００８４】
次に、図９Ｈに示したように、レジストパターンＲＰ２を除去する。これにより、レジストパターンＲＰ２とともに、レジストパターンＲＰ２に付着した金属被膜ＭＦ２が除去される（リフトオフ法）。これにより、内面５４１に第２共通電極部分６１Ｂが形成され、内面５５１に第２個別電極部分６３Ｂが形成される。第２面５１ｆ２には、共通電極パッド６２および個別電極パッド６４が形成される。
【００８５】
上記のように、フォトリソグラフィ法により金属被膜ＭＦ２をパターニングして共通電極パッド６２および個別電極パッド６４等を形成する方法の他、第２面５１ｆ２にレーザ照射を行い、金属被膜ＭＦ２をパターニングするようにしてもよい。レーザ照射による金属被膜ＭＦ２をパターニングすることにより、フォトリソグラフィ法に起因した第２面５１ｆ２でのバリの発生を抑えることが可能となる。また、レーザ照射法では、バリ取りの工程等も省略可能であり、フォトリソグラフィ法に比べて、パターニング工程を簡略化することができる。
【００８６】
最後に、第２面５１ｆ２に封止プレート５３の対向面５３ｆ１を貼り合わせることにより、アクチュエータプレート５１と封止プレート５３とを接合する。以上により、ヘッドチップ４０Ａの作製が完了する。ヘッドチップ４０Ｂについても同様に作製可能である。
【００８７】
ここで、カバープレート５２に係る工程について、主に図１０および図１１を参照して説明する。図１０は、共通インク室７１の形成工程を表す平面図であり、図１１は、図１０に続くスリット７２の形成工程を表す断面図である。なお、図１１は、図１０に示したＸＩ−ＸＩ切断線に沿った矢視方向の断面を表している。
【００８８】
図１０に示したように、共通インク室７１の形成工程では、まず、用意されたカバーウエハ１２０に対して表面側から図示しないマスクを通してサンドブラスト等を行い、共通インク室７１を形成する。続いて、図１１に示すように、スリット形成工程において、カバーウエハ１２０に対して裏面側から図示しないマスクを通してサンドブラスト等を行い、共通インク室７１内に各別に連通するスリット７２を形成する。なお、共通インク室７１の形成工程およびスリット７２の形成工程は、それぞれサンドブラストに限らず、ダイシング、切削等により行っても構わない。最後に、図１０に示した、Ｘ軸方向に延びる一点鎖線に沿ってカバーウエハ１２０を個片化する。これにより、カバープレート５２が完成する。
【００８９】
（流路プレート作製工程）
本実施の形態のインクジェットヘッド４の製造方法における流路プレート作製工程は、流路形成工程および個片化工程を含むものである。
【００９０】
図１２は、流路プレート作製工程を表す平面図である。図１２に示したように、流路形成工程では、まず流路ウエハ１３０に対して表面側から図示しないマスクを通してサンドブラスト等を行い、表面側の入口流路７４および表面側の出口流路７５をそれぞれ形成する。
【００９１】
加えて、流路形成工程では、流路ウエハ１３０に対して裏面側から図示しないマスクを通してサンドブラスト等を行い、裏面側の入口流路７４および裏面側の出口流路７５を形成する。なお、流路形成工程の各工程は、サンドブラストに限らず、ダイシング、切削等により行っても構わない。
【００９２】
流路形成工程に続く個片化工程では、ダイサー等を用いて出口流路７５におけるＸ軸方向直線部の軸線（図１２に示した仮想線Ｄ）に沿って流路ウエハ１３０を個片化する。これにより、流路プレート４１（図３参照）が完成する。
【００９３】
（各種プレート接合工程）
図３に示したように、各種プレート接合工程では、ヘッドチップ４０Ａのカバープレート５２およびヘッドチップ４０Ｂのカバープレート５２のそれぞれと流路プレート４１とを接合する。具体的に、流路プレート４１の主面４１ｆ１をヘッドチップ４０Ａの対向面５２ｆ２に貼り付けると共に、流路プレート４１の主面４１ｆ２をヘッドチップ４０Ｂの対向面５２ｆ２に貼り付ける。これにより、プレート接合体を作製する。なお、流路ウエハ１３０の両面にカバーウエハ１２０を１枚ずつ貼り合わせてからチップ分割（個片化）を行うことにより、ヘッドチップ４０Ａのカバープレート５２と流路プレート４１とヘッドチップ４０Ｂのカバープレート５２とが順に貼り合わされたプレート接合体を作製するようにしてもよい。
【００９４】
（帰還プレート等接合工程）
次いで、上述のプレート接合体に対して帰還プレート４３およびノズルプレート４４を接合する。そののち、共通電極パッド６２および個別電極パッド６４に対し外部配線基板４５を実装する（図４，図５参照）。
【００９５】
以上により、本実施形態のインクジェットヘッド４が完成する。
【００９６】
［動作および作用・効果］
（Ａ．プリンタ１の基本動作）
このプリンタ１では、以下のようにして、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作（印刷動作）が行われる。なお、初期状態として、図１に示した４種類のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋ）にはそれぞれ、対応する色（４色）のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク３内のインクがインク循環機構８を介してインクジェットヘッド４内に充填された状態となっている。より具体的には、所定量のインクが、インク供給管８１および流路プレート４１を介してヘッドチップ４０に供給され、液体供給路７０を経て吐出チャネル５４内に充填された状態となっている。
【００９７】
このような初期状態において、プリンタ１を作動させると、搬送機構２ａ，２ｂにおけるグリッドローラ２１がそれぞれ回転することで、グリッドローラ２１とピンチローラ２２と間に記録紙Ｐが挟持されつつ搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送される。また、このような搬送動作と同時に、駆動機構３４における駆動モータ３８が、プーリ３５，３６をそれぞれ回転させることにより無端ベルト３７を動作させる。これにより、キャリッジ３３がガイドレール３１，３２にガイドされながら、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って往復移動する。そしてこの際に、各インクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋ）によって、４色のインクを記録紙Ｐに適宜吐出させることで、この記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作がなされる。
【００９８】
（Ｂ．インクジェットヘッド４における詳細動作）
続いて、図１〜図８を参照して、インクジェットヘッド４における詳細動作（インクの噴射動作）について説明する。すなわち、本実施の形態のインクジェットヘッド４（エッジシュートタイプ）では、以下のようにして、せん断（シェア）モードを用いたインクの噴射動作が行われる。なお、以下の噴射動作はインクジェットヘッド４に搭載された駆動回路（図示せず）により実行される。
【００９９】
本実施形態のような、エッジシュートタイプであって縦循環式のインクジェットヘッド４では、まず、図２に示した加圧ポンプ８４および吸引ポンプ８５を作動させることにより、循環流路８３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管８１を流通するインクは、図３に示したす入口マニホールド４２の供給路７７を通り、流路プレート４１の入口流路７４内へ流入する。入口流路７４内へ流入したインクは、共通インク室７１を通過した後、スリット７２を通って吐出チャネル５４内に供給される。吐出チャネル５４内に流入したインクは、帰還プレート４３の循環路７６を経由して出口流路７５内で再集合したのち、出口マニホールドを通過して図２に示したインク排出管８２に排出される。インク排出管８２に排出されたインクは、インクタンク３に戻されたのち、再びインク供給管８１に供給される。これにより、インクジェットヘッド４とインクタンク３との間でインクが循環する。
【０１００】
そして、キャリッジ３３（図１参照）によって往復移動が開始されると、外部配線基板４５を介して共通電極６１と個別電極６３との間に駆動電圧を印加する。この際、例えば個別電極６３を駆動電位Ｖｄｄとし、共通電極６１を基準電位ＧＮＤとする。共通電極６１と個別電極６３との間に駆動電圧を印加すると、吐出チャネル５４を画成する２つ駆動壁５６に厚み滑り変形が生じ、これら２つの駆動壁５６がダミーチャネル５５側へ突出するように変形する。すなわち、アクチュエータプレート５１は、厚さ方向（Ｙ軸方向）に分極処理された２枚の圧電基板５１ａ，５１ｂが積層された構造を有するので、上記の駆動電圧を印加することで、駆動壁５６におけるＹ軸方向の中間位置を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル５４があたかも膨らむように変形する。このとき、駆動壁５６のうち、中間基板５１ｃにより構成された部分は変形しない、
【０１０１】
吐出チャネル５４を画成する２つの駆動壁５６の変形によって吐出チャネル５４の容積が増大すると、共通インク室７１内のインクがスリット７２を通って吐出チャネル５４内に誘導される。そして、吐出チャネル５４の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル５４の内部に伝搬する。この圧力波がノズル７８に到達したタイミングで、共通電極６１と個別電極６３との間の駆動電圧をゼロにする。そうすることにより、２つの駆動壁５６の形状が復元し、一旦増大した吐出チャネル５４の容積が元の容積に戻る。この動作によって吐出チャネル５４の内部の圧力が増加し、吐出チャネル５４内のインクが加圧される。その結果、インクをノズル７８から吐出させることができる。この際、インクはノズル７８を通過する際に液滴状のインク滴となって吐出される。これにより、上述したように記録紙Ｐに文字や画像等を記録することができる。
【０１０２】
なお、インクジェットヘッド４の動作方法は上述した内容に限られない。例えば、通常状態の駆動壁５６が吐出チャネル５４の内側に変形し、吐出チャネル５４があたかも内側に凹むように構成しても構わない。この場合は、共通電極６１と個別電極６３との間に印加する駆動電圧を上述した電圧とは正負逆の電圧にするか、電圧の正負は変えずにアクチュエータプレート５１の分極方向を逆にすることで実現可能である。また、吐出チャネル５４が外側に膨らむように変形させた後で、吐出チャネル５４が内側に凹むように変形させ、吐出時のインクの加圧力を高めるようにしても構わない。
【０１０３】
（Ｃ．作用・効果）
次に、本実施の形態のヘッドチップ４０、インクジェットヘッド４およびプリンタ１における作用および効果について詳細に説明する。
【０１０４】
本実施の形態のヘッドチップ４０では、アクチュエータプレート５１が、圧電基板５１ａと圧電基板５１ｂとの間に中間基板５１ｃを有しているので、駆動壁５６に電圧を印加しても駆動に寄与しない部分（非駆動部）が形成される。これにより、圧電基板５１ａと圧電基板５１ｂとの間に中間基板５１ｃを設けずに、駆動壁５６を全て駆動部により構成した場合に比べて、内面５４１，５５１のうち駆動に寄与する部分（図６Ｂの内面５４１ａ，５４１ｂ，５５１ａ，５５１ｂ）全面に共通電極６１および個別電極６３を形成し易くなる。したがって、複数の共通電極６１および複数の個別電極６３の形成面積および膜質等のばらつきに起因したインクの吐出量および吐出速度等のばらつきが抑えられる。以下、この作用および効果について、比較例を用いて説明する。
【０１０５】
図１３は、比較例に係るヘッドチップ１４０のＸ−Ｙ断面の構成を模式的に表したものである。図１３は、ヘッドチップ４０を表す図６Ｂに対応している。このヘッドチップ１４０のアクチュエータプレート５１は、互いに分極方向が逆の圧電基板５１ａおよび圧電基板５１ｂの積層構造を有するシェブロンタイプのアクチュエータプレートである。圧電基板５１ａと圧電基板５１ｂとは、直接接合されており、これらの間に中間基板（図６Ｂの中間基板５１ｃ）は介在していない。このようなアクチュエータプレート５１では、駆動壁５６全部が駆動に寄与する。したがって、複数の内面５４１各々に設けられる共通電極６１の形成面積および複数の内面５５１各々に設けられる個別電極６３の形成面積がばらつくと、駆動壁５６の駆動がばらつき、インクの吐出量およびインクの吐出速度等に大きく影響を及ぼす。即ち、共通電極６１および個別電極６３の形成面積のばらつきが、吐出の均一性に大きく影響を及ぼす。
【０１０６】
特に、斜方蒸着法を用いて、例えば、第１面５１ｆ１のみから、共通電極６１および個別電極６３を形成する場合、即ち、第１共通電極部分６１Ａおよび第１個別電極部分６３Ａのみを形成する場合には、複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５に形成される共通電極６１および個別電極６３の形成面積を揃えることは困難である。これは、上述のように、内面５４１，５５１のＸ軸方向の位置により、形成される第１共通電極部分６１Ａおよび第１個別電極部分６３ＡのＹ軸方向の大きさが異なるためである。例えば、中央部Ｃ４では、内面５４１全面が第１共通電極部分６１Ａおよび第２共通電極部分６１Ｂに覆われ、内面５５１全面が第１個別電極部分６３Ａおよび第２個別電極部分６３Ｂに覆われる。これに対し、端部Ｌ４，Ｒ４では、内面５４１の一部（例えば、吐出チャネル５４の深さ方向の中央部）が第１共通電極部分６１Ａおよび第２共通電極部分６１Ｂ５から露出され、内面５５１の一部（例えば、ダミーチャネル５５の深さ方向の中央部）が第１個別電極部分６３Ａおよび第２個別電極部分６３Ｂから露出される。したがって、端部Ｌ４，Ｒ４では駆動壁５６の一部が機能せず、中央部Ｃ４に比べて吐出速度が低下する。
【０１０７】
例えば、共通電極６１および個別電極６３の形成面積のばらつきを、駆動電圧および駆動波形により補正する方法も考え得る。しかし、この方法では、吐出の均一性を十分に高めることが困難である。また、駆動壁５６のアスペクト比を低くすることにより、共通電極６１および個別電極６３の形成面積のばらつきを小さくすることは可能である。しかし、この場合にも、アクチュエータプレート５１を形成する際の位置精度およびウエハ間の貼合せ精度等に起因して吐出の均一性が低下するおそれがある。
【０１０８】
ヘッドチップ１４０では、ヘッドチップ４０と同様に、第１面５１ｆ１からの斜方蒸着により第１共通電極部分６１Ａおよび第１個別電極部分６３Ａを形成し、かつ、第２面５１ｆ２からの斜方蒸着により、第２共通電極部分６１Ｂおよび第２個別電極部分６３Ｂを形成している。これにより、内面５４１，５５１に形成される共通電極６１，個別電極６３の面積が大きくなり、複数の吐出チャネル５４におよび複数のダミーチャネル５５での共通電極６１および個別電極６３の形成面積のばらつきが緩和される。したがって、第１共通電極部分６１Ａおよび第１個別電極部分６３Ａのみを形成する場合に比べて、吐出の均一性の低下を抑えることが可能である。
【０１０９】
しかし、ヘッドチップ１４０のアクチュエータプレート５１全体の厚みが、ヘッドチップ４０のアクチュエータプレート５１全体の厚みと略同じであるとすると、ヘッドチップ１４０では、ヘッドチップ４０に比べて、共通電極６１および個別電極６３のＹ軸方向の大きさを大きくしなければ、複数の駆動壁５６の駆動のばらつきを抑えることができない。ヘッドチップ１４０では、駆動壁５６に非駆動部が設けられていないため、複数の駆動壁５６の駆動のばらつきを十分に小さくするためには、複数の内面５４１，５５１それぞれの全面に共通電極６１，個別電極６３を形成する必要がある。
【０１１０】
例えば、内面５４１，５５１全面に共通電極６１，個別電極６３を形成するため、蒸着方向を第１面５１ｆ１および第２面５１ｆ２に対して垂直方向に近づけることが考え得る。蒸着方向を第１面５１ｆ１および第２面５１ｆ２に対して垂直方向に近づけると、吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５の深さ方向（Ｙ軸方向）にわたってより大きく蒸着膜が形成されるが、この蒸着膜の膜質は低下しやすい。これにより、複数の吐出チャネル５４、複数のダミーチャネル５５で、共通電極６１、個別電極６３の膜質のばらつきが発生し、吐出の均一性に影響を及ぼすおそれがある。
【０１１１】
また、このように、吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５の深さ方向にわたって大きく蒸着膜を形成する場合には、第１面５１ｆ１および第２面５１ｆ２に堆積される蒸着膜の厚みが大きくなる。これにより、例えば、共通電極パッド６２および個別電極パッド６４等を形成する際のパターニングに不具合が発生しやすくなる。例えば、フォトリソグラフィ法を用いると、第２面５１ｆ２に大きなバリが発生するおそれがある。また、第２面５１ｆ２に堆積される蒸着膜の厚みが大きいと、レーザ照射によるパターニングが困難となる。
【０１１２】
例えば、ヘッドチップ１４０の圧電基板５１ａ，５１ｂの厚みを小さくすることにより、蒸着方向を第１面５１ｆ１および第２面５１ｆ２に対してより小さい角度にすることも考え得る。しかし、この場合には、吐出チャネル５４の深さ（Ｙ軸方向の大きさ）が小さくなるので、吐出チャネル５４の変形量、即ち、吐出効率が大きく低下する。
【０１１３】
これに対し、本実施の形態のヘッドチップ４０では、駆動壁５６の一部が非駆動部により構成されているので、ヘッドチップ１４０の駆動壁５６に比べて駆動に寄与する部分が小さくなる。換言すれば、内面５４１および内面５５１のうち、内面５４１ａ，５４１ｂおよび内面５４１ａ，５４１ｂの全面に共通電極６１および個別電極６３を形成することにより、駆動壁５６が十分に駆動される。即ち、ヘッドチップ１４０に比べて、Ｙ軸方向に形成する共通電極６１および個別電極６３の面積を小さくしても、中央部Ｃ４および端部Ｌ４，Ｒ４ともに、内面５４１ａ，５４１ｂおよび内面５４１ａ，５４１ｂの全面に共通電極６１および個別電極６３が形成される。よって、複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５間での駆動のばらつきを抑えることができる。
【０１１４】
また、ヘッドチップ４０では、ヘッドチップ１４０に比べて、蒸着方向を第１面５１ｆ１および第２面５１ｆ２に対してより小さい角度にすることができ、共通電極６１および個別電極６３の膜質の低下が抑えられる。よって、複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５間で、共通電極６１、個別電極６３の膜質のばらつきの低下に起因した吐出のばらつきを抑えることができる。
【０１１５】
また、ヘッドチップ１４０に比べて、吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５の深さ方向にわたって形成する共通電極６１および個別電極６３の面積が小さくなるので、第１面５１ｆ１および第２面５１ｆ２に成膜される蒸着膜の厚みを小さくすることができる。したがって、共通電極パッド６２および個別電極パッド６４等を形成する際のパターニングでの不具合の発生が抑えられる。特に、このようなヘッドチップ４０の製造工程では、レーザパターニングを好適に用いることができる。
【０１１６】
更に、ヘッドチップ４０では、ヘッドチップ１４０に比べて共通電極６１および個別電極６３を形成する際の成膜材料を少なくし、コストを抑えることが可能となる。
【０１１７】
また、圧電基板５１ａと圧電基板５１ｂとの間に中間基板５１ｃが設けられているので、駆動壁５６の駆動に寄与する部分を小さくしつつ、吐出チャネル５４の深さ（駆動壁５６の高さ）が維持される。したがって、吐出効率の低下が抑えられる。
【０１１８】
また、ヘッドチップ４０では、上記のように、駆動壁５６の一部を非駆動部により構成しているので、ヘッドチップ１４０に比べて、よりアスペクト比の高い駆動壁５６に共通電極６１および個別電極６３を形成することが可能となる。同じアスペクト比を有する駆動壁５６であれば、この駆動壁５６の一部を非駆動部により構成することにより、蒸着方向の角度を第１面５１ｆ１および第２面５１ｆ２に対してより小さくできるためである。
【０１１９】
以上のように本実施の形態のヘッドチップ４０、インクジェットヘッド４およびプリンタ１では、吐出チャネル５４とダミーチャネル５５との間の駆動壁５６が、非駆動部を含んでいるので、駆動壁５６を全て駆動部により構成した場合に比べて、駆動壁５６のうち、駆動に寄与する部分が小さくなる。これにより、駆動壁５６のうち、駆動に寄与する部分の全面に共通電極６１および個別電極６３を容易に形成することができる。よって、複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５での電極面積のばらつきおよび膜質のばらつき等を小さくし、吐出の均一性を向上させることが可能となる。
【０１２０】
また、ヘッドチップ４０は、共通電極６１が第１共通電極部分６１Ａおよび第２共通電極部分６１Ｂを含み、個別電極６３が第１個別電極部分６３Ａおよび第２個別電極部分６３Ｂを含んでいる。即ち、駆動壁５６では、非駆動部の第１面５１ｆ１側および第２面５１ｆ２側に駆動部が形成される。これにより、駆動壁５６が非駆動部の第１面５１ｆ１側のみに駆動部を有する場合（後述の図１６Ａ，図１６Ｂ参照）に比べて、吐出効率を向上させることができる。
【０１２１】
＜２．変形例＞
続いて、上記実施の形態の変形例（変形例１〜３）について説明する。なお、実施の形態における構成要素と実質的に同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
【０１２２】
［変形例１］
図１４は、変形例１に係るインクジェットヘッド４Ａにおける、吐出チャネル５４に延在方向に沿った断面を表している。図１３は、上記実施の形態のインクジェットヘッド４を表す図４に対応している。上記実施の形態のインクジェットヘッド４は、ヘッドチップ４０とノズルプレート４４との間に帰還プレート４３が挿入され、インクタンク３とインクジェットヘッド４との間においてインク循環を行う構造を有している。これに対し、図１３に示した変形例１に係るインクジェットヘッド４Ａは、帰還プレート４３を有していない。すなわち、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂの下端面５１１，５２１，５３１および流路プレート４１の下端面４１１に、ノズルプレート４４が接着剤等により接合されている。また、流路プレート４１には、入口流路７４が設けられているものの、出口流路７５は設けられていない。したがって、インクジェットヘッド４Ａでは、その内部におけるインク循環が行われずに、吐出チャネル５４の開口（吐出端）から吐出されるインクがノズルプレート４４へ向かい、ノズル７８から吐出されるようになっている。変形例１に係るインクジェットヘッド４Ａは、上記の点を除き、他は上記実施の形態のインクジェットヘッド４と実質的に同じ構成を有するので、上記実施の形態のインクジェットヘッド４と同様の効果が期待できる。
【０１２３】
［変形例２］
図１５は、変形例２に係るインクジェットヘッド４Ｂにおける、吐出チャネル５４に延在方向に沿った断面を表している。図１４は、上記実施の形態のインクジェットヘッド４を表す図４に対応している。上記実施の形態のインクジェットヘッド４は、１つの流路プレート４１の両側にヘッドチップ４０Ａおよびヘッドチップ４０Ｂが設けられた構造を有する。これに対し、図１４に示した変形例２に係るインクジェットヘッド４Ｂは、１つの流路プレート４１Ｂの片側のみにヘッドチップ４０が設けられた構造を有している。変形例２に係るインクジェットヘッド４Ｂは、上記の点を除き、他は上記実施の形態のインクジェットヘッド４と実質的に同じ構成を有する。
【０１２４】
［変形例３］
図１６Ａは、変形例３に係るインクジェットヘッド４Ｄにおける、吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５の延在方向と直交する断面を表す断面図である。図１６Ｂは、図１６Ａに示したインクジェットヘッド４Ｄの断面を拡大して表す拡大断面図である。図１６Ａ，図１６Ｂはそれぞれ、上記実施の形態のインクジェットヘッド４を表す図６Ａ，図６Ｂに対応している。上記実施の形態のインクジェットヘッド４では、アクチュエータプレート５１が第１面５１ｆ１側から、圧電基板５１ａ、中間基板５１ｃおよび圧電基板５１ｂをこの順に有している。これに対し、図１６Ａ，図１６Ｂに示した変形例３に係るインクジェットヘッド４Ｄでは、アクチュエータプレート５１が第１面５１ｆ１側から、圧電基板５１ａ、圧電基板５１ｂおよび中間基板５１ｃをこの順に有している。このように、駆動壁５６が、非駆動部の第１面５１ｆ１側のみに駆動部を有していてもよい。変形例３に係るインクジェットヘッド４Ｄは、上記の点を除き、他は上記実施の形態のインクジェットヘッド４と実質的に同じ構成を有する。
【０１２５】
ここでは、駆動壁５６のうち、圧電基板５１ａおよび圧電基板５１ｂにより構成された部分が、本開示の「第１駆動部」に対応する一具体例である。
【０１２６】
このアクチュエータプレート５１では、例えば、吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５が非貫通溝により構成されている。第１面５１ｆ１には、吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５に連通された開口Ｍ１が設けられている。吐出チャネル５４の一対の内面５４１は、第１面５１ｆ１側から順に、内面５４１ａ、内面５４１ｂおよび内面５４１ｃを有している。ダミーチャネル５５の一対の内面５５１は、第１面５１ｆ１側から順に、内面５４１ａ、内面５４１ｂおよび内面５４１ｃを有している。
【０１２７】
吐出チャネル５４に設けられた共通電極６１は、例えば、第１面５１ｆ１側からの斜方蒸着により形成されたものであり、内面５４１を第１面５１ｆ１から第２面５１ｆ２に向けて連続的に覆うように設けられている。この共通電極６１は、内面５４１ａ全面および内面５４１ｂ全面を覆うとともに、内面５４１ｃの少なくとも一部を覆っている。共通電極６１は、内面５４１全てを覆っていてもよい。
【０１２８】
ダミーチャネル５５に設けられた個別電極６３は、例えば、第１面５１ｆ１側からの斜方蒸着により形成されたものであり、内面５５１を第１面５１ｆ１から第２面５１ｆ２に向けて連続的に覆うように設けられている。この個別電極６３は、内面５５１ａ全面および内面５５１ｂ全面を覆うとともに、内面５５１ｃの少なくとも一部を覆っている。個別電極６３は、内面５５１全てを覆っていてもよい。
【０１２９】
ここでは、共通電極６１および個別電極６３が、本開示の「第１電極膜」の一具体例に対応する。
【０１３０】
図１７Ａ，図１７Ｂはそれぞれ、図１６Ａ，図１６Ｂに示したインクジェットヘッド４Ｄの断面構成の他の例を表している。このように、アクチュエータプレート５１が、分極方向が厚み方向に沿って一方向に設定された１枚の圧電基板（圧電基板５１ａ）と中間基板５１ｃとにより構成されていてもよい。即ち、アクチュエータプレート５１は、モノポールタイプ（あるいは、カンチレバータイプ）のアクチュエータプレートにより構成されていてもよい。ここでは、駆動壁５６のうち、圧電基板５１ａにより構成された部分が、本開示の「第１駆動部」の一具体例に対応する。
【０１３１】
＜３．その他の変形例＞
以上、実施の形態および変形例をいくつか挙げて本開示を説明したが、本開示はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。
【０１３２】
例えば、上記実施の形態等では、プリンタ、インクジェットヘッドおよびヘッドチップにおける各部材の構成例（形状、配置、個数等）を具体的に挙げて説明したが、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。
【０１３３】
上記実施の形態等では、吐出チャネルの延在方向における端部である吐出端からインクを吐出させる、いわゆるエッジシュートタイプのインクジェットヘッドを例示して説明したが、本開示の液体噴射ヘッドはこれに限定されない。具体的には、アクチュエータプレートの厚さ方向、すなわち、吐出チャネルの深さ方向にインクが通過する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドであってもよい。
【０１３４】
また、上記実施の形態等では、アクチュエータプレート５１の第２面５１ｆ２に共通電極パッド６２および個別電極パッド６４を設ける場合について説明したが、共通電極パッド６２および個別電極パッド６４は、アクチュエータプレート５１の第１面５１ｆ１に設けられていてもよい。
【０１３５】
また、上記実施の形態等では、主に、アクチュエータプレート５１に中間基板５１ｃを設けることにより、インクジェットヘッド４，４Ａ，４Ｂ，４Ｄの吐出の均一性が向上することについて説明したが、インクジェットヘッド４，４Ａ，４Ｂ，４Ｄは、更に、吐出の均一性を向上させるための構成を備えていてもよい。例えば、インクジェットヘッド４，４Ａ，４Ｂ，４Ｄでは、更に吐出の均一性を向上させるために、駆動電圧および駆動波形の補正がなされていてもよい。
【０１３６】
さらに、上記実施の形態等では、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例として、プリンタ１（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、この例には限られず、インクジェットプリンタ以外の他の装置にも、本開示を適用することが可能である。換言すると、本開示の「ヘッドチップ」（ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂ）および「液体噴射ヘッド」（インクジェットヘッド４）を、インクジェットプリンタ以外の他の装置に適用するようにしてもよい。具体的には、例えば、ファクシミリやオンデマンド印刷機などの装置に、本開示の「ヘッドチップ」および「液体噴射ヘッド」を適用するようにしてもよい。
【０１３７】
なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。
【０１３８】
また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
液体に圧力を印加するアクチュエータプレートを備え、前記液体を噴射するヘッドチップであって、
前記アクチュエータプレートは、
第１面および前記第１面と反対を向く第２面と、
前記第１面に設けられた複数の第１開口各々に連通するとともに、前記第１面から前記第２面に向かう方向に深さ方向を有するチャネルと、
隣り合う前記チャネルの間に設けられ、かつ、前記第１面側から第１駆動部と、非駆動部とがこの順に積層された壁部分と、
前記深さ方向にわたって、複数の前記チャネル各々に露出された前記第１駆動部を覆うとともに、前記非駆動部の少なくとも一部を覆う第１電極膜を有する電極とを含む
ヘッドチップ。
（２）
前記第１駆動部は、
第１圧電基板と、
前記第１圧電基板と前記非駆動部との間に設けられるとともに、前記第１圧電基板と逆の分極方向を有する第２圧電基板とを有する
前記（１）に記載のヘッドチップ。
（３）
前記アクチュエータプレートは、更に、前記第２面に設けられるとともに、前記複数のチャネルが各々連通された第２開口を有し、
前記壁部分は、更に、前記非駆動部を間にして前記第１駆動部に対向する第２駆動部を有し、
前記電極は、更に、前記深さ方向にわたって、前記複数のチャネル各々に露出された前記第２駆動部を覆うとともに、前記非駆動部の少なくとも一部を覆う第２電極膜を含む
前記（１）に記載のヘッドチップ。
（４）
前記複数のチャネルの少なくとも一部では、前記電極が、前記第１電極膜および前記第２電極膜の重なる重なり部を有している
前記（３）に記載のヘッドチップ。
（５）
前記複数のチャネルは吐出チャネルを含み、
前記電極は、前記吐出チャネルを間にして対向する一対の前記壁部分のうち、前記吐出チャネルに露出された部分に設けられた一対の共通電極を含み、
前記一対の共通電極の少なくとも一方が、前記重なり部を有する
前記（４）に記載のヘッドチップ。
（６）
前記複数のチャネルは交互に配置された吐出チャネルおよび非吐出チャネルを含み、
前記電極は、前記吐出チャネルを間にして対向する一対の壁部分のうち、前記吐出チャネルを間にして隣り合う前記非吐出チャネル各々に露出された部分に設けられた一対の個別電極を含み、
前記一対の個別電極の少なくとも一方が、前記重なり部を有する
前記（４）または前記（５）に記載のヘッドチップ。
（７）
前記非駆動部は、前記第１駆動部の構成材料と同じ材料を含む
前記（１）ないし前記（６）のうちいずれか１つに記載のヘッドチップ。
（８）
前記非駆動部の構成材料の誘電率は、前記第１駆動部の構成材料の誘電率よりも低くなっている
前記（１）ないし前記（６）のうちいずれか１つに記載のヘッドチップ。
（９）
前記第１電極膜は、蒸着膜である
前記（１）ないし前記（８）のうちいずれか１つに記載のヘッドチップ。
（１０）
前記（１）ないし前記（９）のいずれか１つに記載のヘッドチップと、
前記ヘッドチップに前記液体を供給する供給機構と
を備えた液体噴射ヘッド。
（１１）
前記（１０）に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体を収容する収容部と
を備えた液体噴射記録装置。
【符号の説明】
【０１３９】
１…プリンタ、１０…筺体、２ａ，２ｂ…搬送機構、２１…グリッドローラ、２２…ピンチローラ、３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋ）…インクタンク、４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋ）…インクジェットヘッド、４０（４０Ａ，４０Ｂ）…ヘッドチップ、４１…流路プレート、４２…入口マニホールド、４３…帰還プレート、４４…ノズルプレート、５０…供給チューブ、５１…アクチュエータプレート、５１ａ，５１ｂ…圧電基板、５１ｃ…中間基板、５１ｆ１…第１面、５１ｆ２…第２面、５１１…下端面、５１２…上端面、５２…カバープレート、５３…封止プレート、５４…吐出チャネル、５４１，５４１ａ，５４１ｂ，５４１ｃ…内面、５５…ダミーチャネル、５５１，５５１ａ，５５１ｂ，５５１ｃ…内面、６…走査機構、３１，３２…ガイドレール、３３…キャリッジ、３３ａ…基台、３３ｂ…壁部、３４…駆動機構、３５，３６…プーリ、３７…無端ベルト、３８…駆動モータ、６１…共通電極、６１Ａ…第１共通電極部分、６１Ｂ…第２共通電極部分、６２…共通電極パッド、６３…個別電極、６３Ａ…第１個別電極部分、６３Ｂ…第２個別電極部分、６４…個別電極パッド、７０…液体供給路、７１…共通インク室、７２…スリット、７４…入口流路、７５…出口流路、７６…循環路、７７…供給路、７８…ノズル、８…インク循環機構、８１…インク供給管、８２…インク排出管、８３…循環流路、８４…加圧ポンプ、８５…吸引ポンプ、Ｍ１，Ｍ２…開口、Ｐ…記録紙、Ｒ１…端部領域、Ｒ２…チャネル形成領域、ｄ…搬送方向。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
2020100000.tif 000008
【図６Ｂ】
2020100000.tif 000009
【図７Ａ】
2020100000.tif 000010
【図７Ｂ】
2020100000.tif 000011
【図８】
2020100000.tif 000012
【図９Ａ】
2020100000.tif 000013
【図９Ｂ】
2020100000.tif 000014
【図９Ｃ】
2020100000.tif 000015
【図９Ｄ】
2020100000.tif 000016
【図９Ｅ】
2020100000.tif 000017
【図９Ｆ】
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【図９Ｇ】
2020100000.tif 000019
【図９Ｈ】
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【図１０】
2020100000.tif 000021
【図１１】
2020100000.tif 000022
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１７Ａ】
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【図１７Ｂ】
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