(57)【要約】【課題】より高い耐食性を有するテーブル装置を提供する。【解決手段】テーブル装置は、板状部材と、板状部材の第１面側に配置され第１引力発生部を有する第１テーブルと、板状部材の第２面側に配置されると共に、第１引力発生部に吸引可能な第２引力発生部を有し第１テーブルの移動に追従して第２面上を移動可能な第２テーブルと、を備える。第２テーブルは、第２ベース（ベース）と、第２ベースに固定された第２引力発生部と、を含む。第２引力発生部は、表面にフッ素コート層が設けられた磁石と、磁石を第２ベースに固定するフッ素樹脂製の磁石カバー（固定部材）と、を有する。【選択図】図２
2020027014.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面と、前記第１面と反対側の第２面とを有し、前記第１面側の第１空間と、前記第２面側の第２空間とを区切る板状部材と、
前記板状部材の前記第１面側に配置され第１引力発生部を有すると共に、前記第１面上を移動可能な第１テーブルと、
前記板状部材の前記第２面側に配置されると共に、前記第１引力発生部に吸引可能な第２引力発生部を有し前記第１テーブルの移動に追従して前記第２面上を移動可能な第２テーブルと、を備え、
前記第２テーブルは、ベースと、前記ベースを移動可能に支持する支持部と、前記ベースに固定された前記第２引力発生部と、を含み、
前記第２引力発生部は、表面の少なくとも一部にフッ素コート層が設けられた磁石と、前記磁石を前記ベースに固定するフッ素樹脂製の固定部材と、を有する、
テーブル装置。
【請求項２】
前記固定部材は、前記磁石を収容して保持するカバー部材であり、
前記カバー部材は、ステンレス製のねじ部材を介して前記ベースに固定される、
請求項１に記載のテーブル装置。
【請求項３】
前記ベースには、前記磁石の少なくとも一部が収納可能な凹部が設けられた、
請求項１又は２に記載のテーブル装置。
【請求項４】
前記第２テーブルの前記支持部は、ステンレス製のボールローラである、
請求項１から３のいずれか１項に記載のテーブル装置。
【請求項５】
前記ベースは、ステンレス製である、
請求項１から４のいずれか１項に記載のテーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、テーブル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
搬送装置等には、真空雰囲気や特殊ガス雰囲気のプロセス室内で、テーブルをスライド移動させて位置決めするテーブル装置が用いられる。特許文献１に記載されたステージ装置（テーブル装置）は、ステージと、ステージの両サイドに設けられた固定子移動ユニットと、ステージと連結された移動型固定子と、を有する。
【０００３】
特許文献１のステージ装置では、固定子移動ユニットにコイルが配置され、移動型固定子に磁石が配置される。コイルと磁石との間に発生する引力により、固定子移動ユニットの移動に伴って移動型固定子及びステージが移動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２８７８８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
例えば、バイオ用途で腐食性ガスを用いて減菌を行って除菌環境とする場合、当該除菌環境の空間内で用いる部品には耐食性が必要となる。
【０００６】
本開示は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、より高い耐食性を有するテーブル装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一態様に係るテーブル装置は、第１面と、前記第１面と反対側の第２面とを有し、前記第１面側の第１空間と、前記第２面側の第２空間とを区切る板状部材と、前記板状部材の前記第１面側に配置され第１引力発生部を有すると共に、前記第１面上を移動可能な第１テーブルと、前記板状部材の前記第２面側に配置されると共に、前記第１引力発生部に吸引可能な第２引力発生部を有し前記第１テーブルの移動に追従して前記第２面上を移動可能な第２テーブルと、を備え、前記第２テーブルは、ベースと、前記ベースを移動可能に支持する支持部と、前記ベースに固定された前記第２引力発生部と、を含み、前記第２引力発生部は、表面の少なくとも一部にフッ素コート層が設けられた磁石と、前記磁石を前記ベースに固定するフッ素樹脂製の固定部材と、を有する。
【０００８】
テーブル装置が、腐食性ガス等の特殊ガス雰囲気のプロセス室内などで用いられる場合がある。この場合、特殊ガスによって磁石が腐食することが考えられる。従って、磁石の腐食を抑制するために、磁石の表面に、耐食性を有するフッ素コート層を設けている。ここで、フッ素コート層は、接着剤で接合しにくいため、表面にフッ素コート層を設けた磁石は、接着剤を用いてベースに固定されにくい。従って、耐食性の高いフッ素樹脂製の固定部材を介して前記磁石をベースに固定した。これにより、腐食性ガス等の特殊ガス雰囲気のプロセス室内などで用いられる場合でも、より高い耐食性を有するテーブル装置を提供することができる。
【０００９】
テーブル装置の望ましい態様として、前記固定部材は、前記磁石を収容して保持するカバー部材であり、前記カバー部材は、ステンレス製のねじ部材を介して前記ベースに固定される。このように、カバー部材で磁石を収容して保持し、ねじ部材を介して前記ベースに固定するため、磁石をより強固にベースに固定することができる。また、ねじ部材がステンレス製であるため、ねじ部材も高い耐食性を有する。
【００１０】
テーブル装置の望ましい態様として、前記ベースには、前記磁石の少なくとも一部が収納可能な凹部が設けられた。これによれば、磁石を凹部に収容することで磁石の位置決めが容易になる。
【００１１】
テーブル装置の望ましい態様として、前記第２テーブルの前記支持部は、ステンレス製のボールローラである。これによれば、支持部も高い耐食性を有する。
【００１２】
テーブル装置の望ましい態様として、前記第２ベースは、ステンレス製である。これによれば、第２ベースも高い耐食性を有する。
【発明の効果】
【００１３】
本開示によれば、より高い耐食性を有するテーブル装置を提供することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、実施形態に係るテーブル装置の斜視図である。
【図２】図２は、図１におけるＡ−Ａ断面図である。
【図３】図３は、第２テーブルの斜視図である。
【図４】図４は、図３の第２テーブルの底面図である。
【図５】図５は、第２テーブルの底面図であり、第２引力発生部及び第２斥力発生部を外した状態を示している。
【図６】図６は、第２引力発生部及び第２斥力発生部の斜視図である。
【図７】図７は、変形例に係るテーブル装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、下記の発明を実施するための形態（以下、実施形態という）により本発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、下記実施形態で開示した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。なお、実施形態において、水平面内の一方向をＸ方向とし、水平面内においてＸ方向と交差する方向をＹ方向とし、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれと交差する方向（即ち、鉛直方向）をＺ方向とする。
【００１６】
図１は、実施形態に係るテーブル装置の斜視図である。図２は、図１におけるＡ−Ａ断面図である。
【００１７】
図１に示すように、テーブル装置１は、筐体２と、第１テーブル３と、第２テーブル４と、第１移動機構６と、第２移動機構７とを含む。第１テーブル３、第１移動機構６及び第２移動機構７は、筐体２の内側の第１空間Ｐに設けられる。第２テーブル４は、筐体２の外側の第２空間Ｒに設けられる。第２空間Ｒは、特定の環境を維持し、操作対象物の位置決めや、加工、検査等を行うための空間である。第２空間Ｒは、作業に適した特定の環境を維持できる空間であればよい。第２空間Ｒは、真空、減圧、ガス置換（減圧又は陽圧）、温度の異なる空間、クリーン環境、異物環境等の様々な環境に適用可能である。例えば、テーブル装置１は、細胞等のサンプルの採取や各種検査等を行うバイオ用途に用いられる。この場合、第２空間Ｒはクリーン環境であり、第２空間Ｒ内の第２テーブル４は、例えば腐食性ガスを用いて滅菌処理が施される。
【００１８】
筐体２は、板状部材２１を含む。板状部材２１は、筐体２の側面に対して垂直な方向に延出する板状の部材であり、筐体２と一体に設けられる。第１空間Ｐと第２空間Ｒとは板状部材２１によって区切られている。本実施形態では、板状部材２１は非磁性体であり、非磁性ステンレス等が用いられる。非磁性ステンレスとして、オーステナイト系ステンレス（例えばＳＵＳ３１６等）が挙げられる。
【００１９】
図２に示すように、板状部材２１は、第１面２１ａと、第１面２１ａと反対側の第２面２１ｂとを有する。第１空間Ｐは、第１面２１ａ側の空間である。第２空間Ｒは、第２面２１ｂ側の空間である。第１空間Ｐは、筐体２の内部の空間である。板状部材２１によって、第１空間Ｐと第２空間Ｒとが分離されている。板状部材２１は、第１空間Ｐと第２空間Ｒとを連通する孔部等が設けられていない連続した板状の部材である。これにより、第１移動機構６及び第２移動機構７の動作により発生する異物を含む気体が、第１空間Ｐから第２空間Ｒに流入することを抑制できる。従って、第２空間Ｒの環境を維持することができる。
【００２０】
第１テーブル３は、第１ベース３１と、第１引力発生部３２と、第１斥力発生部３３と、第１支持部３４と、を含む。第１ベース３１は、第１主面３１ａと、第１主面３１ａと反対側の第２主面３１ｂとを有する板状の部材である。第１ベース３１の第２主面３１ｂは、第２移動機構７の連結部７７と連結される。第１ベース３１は、第１移動機構６及び第２移動機構７の動作により、板状部材２１の第１面２１ａと平行な面内を移動する。
【００２１】
第１引力発生部３２、第１斥力発生部３３及び第１支持部３４は、第１ベース３１の第１主面３１ａに設けられる。言い換えると、第１引力発生部３２、第１斥力発生部３３及び第１支持部３４は、第１ベース３１と板状部材２１との間に設けられる。本実施形態において、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３は、磁石であり、例えば耐熱ネオジム磁石やコバルト磁石を用いることができる。耐熱ネオジム磁石の耐熱温度は、１５０℃程度である。コバルト磁石の耐熱温度は２００℃程度である。第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３は、それぞれ、Ｎ極が第１主面３１ａに接している。また、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３は、それぞれ、Ｓ極が板状部材２１とＺ方向に離隔して対向する。
【００２２】
第１支持部３４は、ボールローラである。具体的には、第１支持部３４は、ハウジング３４１と、ボール３４２とを含む。ハウジング３４１は第１ベース３１に固定される。ボール３４２は、ハウジング３４１の凹部内に回転可能に設けられている。ボール３４２は、板状部材２１の第１面２１ａと接している。第１ベース３１は、板状部材２１の第１面２１ａに沿って自由に移動可能になっている。第１支持部３４が設けられているため、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３が板状部材２１に接触することを抑制でき、第１ベース３１がスムーズに移動できる。
【００２３】
なお、本実施形態及び後述する変形例では、ボール３４２が板状部材２１の第１面２１ａと接している態様を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、ボール３４２が板状部材２１の第１面２１ａから上下方向で離隔していてもよい。また、第１支持部３４自体が必ずしも必要でなくてもよい。即ち、第１テーブル３の移動に追従して第２テーブル４が第２面２１ｂ上を移動可能であればよい。このためには、（１）第１引力発生部３２と第２引力発生部４２とで作用する引力Ｆ１が適正な値に設定されていること、（２）第１斥力発生部３３と第２斥力発生部４３とで作用する斥力Ｆ２が適正な値に設定されていること、（３）板状部材２１の剛性が十分であること、が満たされることが好ましい。ただし、（１）〜（３）の要件は、必須でない。
【００２４】
図３は、第２テーブルの斜視図である。図４は、図３の第２テーブルの底面図である。図５は、第２テーブルの底面図であり、第２引力発生部及び第２斥力発生部を外した状態を示している。図６は、第２引力発生部及び第２斥力発生部の斜視図である。
【００２５】
図２に示すように、第２テーブル４は、第２ベース４１（ベース）と、第２引力発生部４２と、第２斥力発生部４３と、第２支持部４４（支持部）と、を含む。
【００２６】
図３，５に示すように、第２ベース４１（ベース）は、平面視でロ字状の形状を有する。四隅の角部には、それぞれ第１保持部４１１、第２保持部４１２、第３保持部４１３、及び第４保持部４１４が設けられている。また、それぞれの隣接する保持部同士は、第１連結部４１５、第２連結部４１６、第３連結部４１７、及び第４連結部４１８で連結されている。本実施形態では、第２ベース４１の材質はステンレスである。具体的には、ステンレスのうち、例えばＳＵＳ３０３、ＳＵＳ３０４、及びＳＵＳ３１６等のオーステナイト系ステンレスが適用できる。
【００２７】
第１保持部４１１、第２保持部４１２、第３保持部４１３、及び第４保持部４１４の構造は同一であるため、本実施形態では、第３保持部４１３を例にとって説明する。
図３に示すように、第３保持部４１３は、一方側縦壁部４１３１と、横壁部４１３３と、他方側縦壁部４１３４と、突起部４１３５と、を有する。一方側縦壁部４１３１は、第２連結部４１６のＸ方向の反対方向の端部４１６ａからＺ方向に延びる。横壁部４１３３は、一方側縦壁部４１３１のＺ方向の端部４１３２から板状部材２１の第２面２１ｂに沿って（ＸＹ平面に沿って）延びる。他方側縦壁部４１３４は、横壁部４１３３の端部４１３３ａからＺ方向の反対方向に延びて第３連結部４１７のＹ方向の反対方向の端部４１７ａと連結される。
【００２８】
突起部４１３５は、横壁部４１３３の上面４１３３ｂからＺ方向に突出する。突起部４１３５は、平面視Ｌ字状の形状を有する。また、第３保持部４１３には、Ｚ方向の反対側に設けられてＺ方向に向けて凹む空間４１３６が設けられている。詳細には、図３に示すように、第３保持部４１３には、段差４１３１ａにより第２面２１ｂとの距離が他の部位よりも大きい底面４１３３ｃが設けられ、段差４１３１ａ及び底面４１３３ｃで形成された空間４１３６内に第２支持部４４（支持部）が配置されている。空間４１３６の縁は、一方側縦壁部４１３１のＸ方向の反対方向側の段差４１３１ａと、他方側縦壁部４１３４のＹ方向の反対方向側の側面４１３４ａと、横壁部４１３３の底面４１３３ｃと、を有する。
【００２９】
また、第３保持部４１３の空間４１３６内には、第２支持部４４（支持部）が配置されている。第２支持部４４は、本実施形態では、ボールローラである。具体的には、第２支持部４４は、ハウジング４４１と、ボール４４２と、雄ねじ部４４３（図３参照）と、を含む。本実施形態では、ハウジング４４１、ボール４４２、及び雄ねじ部４４３は、全てステンレス製である。ステンレスのうち、例えばＳＵＳ３０３、ＳＵＳ３０４、及びＳＵＳ３１６等のオーステナイト系ステンレスが適用できる。
【００３０】
ボール４４２は、ハウジング４４１の凹部内に回転可能に設けられている。ハウジング４４１には、Ｚ方向に延びる雄ねじ部４４３が設けられている。横壁部４１３３には、Ｚ方向に貫通する雌ねじ部（図３参照）が設けられている。横壁部４１３３に設けられた雌ねじ部に雄ねじ部４４３を締結することにより、第２支持部４４を横壁部４１３３に固定することができる。ボール４４２は、板状部材２１の第２面２１ｂと接している。ボール４４２の回転により、第２ベース４１は、板状部材２１の第２面２１ｂに沿って自由に移動可能になっている。
【００３１】
図２，４に示すように、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３は、連結部（第１連結部４１５、第２連結部４１６、第３連結部４１７及び第４連結部４１８）の下面（Ｚ方向の反対方向側の面）に設けられる。図２には、第２連結部４１６の下面４１６ｃに設けられた状態を示す。言い換えると、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３は、第２ベース４１と板状部材２１との間に設けられる。第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３は、図６に示す磁石４２７である。第２引力発生部４２は、Ｓ極が第２連結部４１６の下面４１６ｃに接し、Ｎ極が板状部材２１とＺ方向に離隔して対向する。第２斥力発生部４３は、Ｎ極が第２連結部４１６の下面４１６ｃに接し、Ｓ極が板状部材２１とＺ方向に離隔して対向する。
【００３２】
本実施形態では、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３の磁石４２７は、磁極の向きを除いて、同一構造を有する。以下に、図６を参照して具体的に説明する。
【００３３】
図６に示すように、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３は、磁石４２７と、磁石カバー４２５（固定部材、カバー部材）と、を有する。
【００３４】
磁石は、例えば、耐熱ネオジム磁石やコバルト磁石を用いることができる。耐熱ネオジム磁石の耐熱温度は、１５０℃程度である。コバルト磁石の耐熱温度は２００℃程度である。また、磁石の表面には、フッ素コート層が設けられている。フッ素コート層は、例えば、磁石の表面に液状のフッ素樹脂をスプレー塗布したのちに加熱することで設けられる。フッ素コート層は、耐食性を有する。なお、本実施形態では、磁石の表面の全てにフッ素コート層を設けたが、表面の少なくとも一部であればよい。
【００３５】
磁石カバー４２５（固定部材、カバー部材）は、磁石４２７を保持する。磁石カバー４２５は、フッ素樹脂製である。フッ素樹脂として、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）やポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）などが適用可能である。磁石カバー４２５は、フランジ４２２，４２３と、突出部４２４と、を有する。フランジ４２２は、突出部４２４のＸ方向側に設けられる。フランジ４２３は、突出部４２４のＸ方向の反対方向側に設けられる。突出部４２４は、Ｚ方向の反対方向に向けて突出する。突出部４２４の内部には、磁石４２７が収納される。突出部４２４は、略角筒状の形状を有する。Ｚ方向の反対方向側の端部に、磁石４２７のＺ方向の反対方向側の端部を支持する屈曲部４２４ａ及び三角片４２６が設けられている。
【００３６】
ボルト５００は、頭部５００ａと、雄ねじ部５００ｂと、を有する。ボルト５００の材質は、ステンレスである。具体的には、ステンレスのうち、例えばＳＵＳ３０３、ＳＵＳ３０４、及びＳＵＳ３１６等のオーステナイト系ステンレスが適用できる。フランジ４２２，４２３には、図示しない貫通孔が設けられ、当該貫通孔にボルト５００の雄ねじ部５００ｂが挿通される。なお、図６に示すように、磁石４２７におけるＺ方向の端部４２７ａは、フランジ４２２，４２３よりもＺ方向側に突出している。
【００３７】
図５に示すように、連結部（第１連結部４１５、第２連結部４１６、第３連結部４１７及び第４連結部４１８）におけるＺ方向の反対方向側の底面には、凹部８０と、雌ねじ穴８１とが設けられている。凹部８０は、連結部の底面からＺ方向に向けて凹む。また、凹部８０は、底面視が矩形状の形状を有する。凹部８０には、磁石４２７の端部４２７ａ（磁石の一部）が収納可能である。雌ねじ穴８１は、凹部８０に隣接して配置される。雌ねじ穴８１には、ボルト５００の雄ねじ部５００ｂが締結される。従って、図６に示す磁石４２７の端部４２７ａを図５に示す凹部８０に収納させたのち、ボルト５００の雄ねじ部５００ｂを雌ねじ穴８１に締結することにより、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３を連結部の底面に固定することができる。
【００３８】
以上説明したように、テーブル装置１における第２テーブル４は、第２ベース４１（ベース）と、第２ベース４１に固定された第２引力発生部４２と、を含む。第２引力発生部４２は、表面にフッ素コート層が設けられた磁石４２７と、磁石４２７を第２ベース４１に固定するフッ素樹脂製の磁石カバー４２５（固定部材）と、を有する。
【００３９】
テーブル装置１が、腐食性ガス等の特殊ガス雰囲気のプロセス室内などで用いられる場合がある。この場合、特殊ガスによって磁石が腐食することが考えられる。従って、磁石の腐食を抑制するために、磁石の表面に、耐食性を有するフッ素コート層を設けている。ここで、フッ素コート層は、接着剤で接合しにくい。このため、表面にフッ素コート層を設けた磁石４２７は、接着剤を用いて第２ベース４１に固定されにくい。従って、耐食性の高いフッ素樹脂製の磁石カバー４２５（固定部材）を介して前記磁石４２７を第２ベース４１に固定した。これにより、腐食性ガス等の特殊ガス雰囲気のプロセス室内などで用いられる場合でも、より高い耐食性を有するテーブル装置１を提供することができる。
【００４０】
テーブル装置１の望ましい態様として、磁石カバー４２５（固定部材）は、磁石４２７を収容して保持するカバー部材であり、磁石カバー４２５は、ステンレス製のボルト５００（ねじ部材）を介して第２ベース４１に固定される。このように、磁石カバー４２５で磁石４２７を収容して保持し、ボルト５００を介して第２ベース４１に固定するため、磁石４２７をより強固に第２ベース４１に固定することができる。また、ボルト５００（ねじ部材）がステンレス製であるため、ボルト５００も高い耐食性を有する。
【００４１】
テーブル装置１の望ましい態様として、第２ベース４１には、磁石４２７の端部４２７ａ（磁石の一部）が収納可能な凹部８０が設けられた。これによれば、磁石４２７を凹部８０に収容することで磁石４２７の位置決めが容易になる。
【００４２】
テーブル装置１の望ましい態様として、第２テーブル４の第２支持部４４（支持部）は、ステンレス製のボールローラである。これによれば、第２支持部４４（支持部）も高い耐食性を有する。
【００４３】
テーブル装置１の望ましい態様として、第２ベース４１は、ステンレス製である。これによれば、第２ベース４１も高い耐食性を有する。
【００４４】
（変形例）
図７は、変形例に係るテーブル装置の断面図である。図７に示すように、本変形例のテーブル装置１Ａは、筐体２Ａと、第１テーブル３と、第２テーブル４と、移動機構（第１移動機構６及び第２移動機構７（図１参照））とを有する。筐体２Ａの外側の空間が第１空間Ｐであり、筐体２Ａの内側の空間が第２空間Ｒである。第２空間Ｒは、例えば真空、減圧、クリーン環境等、様々な環境に対応可能である。筐体２Ａの底板が、板状部材２１Ａである。なお、図示はしていないが、筐体２Ａは、床面等に固定されて移動しない。即ち、筐体２Ａは固定され、筐体２Ａに対して第１テーブル３及び第２テーブル４が移動可能である。
【００４５】
第１テーブル３は、板状部材２１Ａの第１面２１Ａａ側、即ち第１空間Ｐに配置される。また、第２テーブル４は、板状部材２１Ａの第２面２１Ａｂ側、即ち第２空間Ｒに配置される。つまり、筐体２Ａの外側に、第１ベース３１及び第１引力発生部３２を含む第１テーブル３と、移動機構（第１移動機構６及び第２移動機構７（図７では図示を省略する））と、が設けられる。また筐体２Ａの内側に、第２ベース４１、第２引力発生部４２及び第２支持部４４を含む第２テーブル４が設けられる。第１テーブル３及び第２テーブル４の構成は、図２から図５に示したものと同様であり、詳細な説明は省略する。
【００４６】
本変形例においても、磁石の腐食を抑制するために、磁石の表面にフッ素コート層を設け、フッ素樹脂製の磁石カバー４２５（固定部材）を介して磁石４２７を第２ベース４１に固定した。これにより、腐食性ガス等の特殊ガス雰囲気のプロセス室内などで用いられる場合でも、より高い耐食性を有するテーブル装置１を提供することができる。
【００４７】
以上、実施形態及び変形例を説明したが、前述した内容により実施形態及び変形例が限定されるものではない。例えば、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３の磁石の磁極の向きは実施形態及び変形例の例に限定されない。即ち、実施形態及び変形例では、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３においては、それぞれ、Ｎ極が第１主面３１ａに接し、第２引力発生部４２においては、Ｓ極が第２連結部４１６の下面４１６ｃに接し、第２斥力発生部４３においては、Ｎ極が第２連結部４１６の下面４１６ｃに接するように磁極を配置した。
【００４８】
しかし、例えば、第１引力発生部３２、第１斥力発生部３３、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３の磁石の磁極の向きを全て逆に配置してもよい。また、例えば、第１引力発生部３２及び第２引力発生部４２における磁極の向きをそれぞれ逆にしてもよい。更に、引力発生部及び斥力発生部の配置数や配置箇所は、特に限定されず、さまざまな配置数や配置箇所とすることができる。
【符号の説明】
【００４９】
１，１Ａ  テーブル装置
２１，２１Ａ  板状部材
２１ａ，２１Ａａ  第１面
２１ｂ，２１Ａｂ  第２面
３  第１テーブル
３２  第１引力発生部
４  第２テーブル
４１  第２ベース（ベース）
４２  第２引力発生部
４２５  磁石カバー（カバー部材、固定部材）
４２７  磁石
４４  第２支持部（支持部）
５００  ボルト（ねじ部材）
８０  凹部
Ｐ  第１空間
Ｒ  第２空間
【図１】
2020027014.tif 000003
【図２】
2020027014.tif 000004
【図３】
2020027014.tif 000005
【図４】
2020027014.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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