(57)【要約】【課題】所定の形状に切断されたシート状粘着材を、ワークに対して高い精度で貼り付けることができるシート状粘着材の貼付け方法およびシート状粘着材の貼付け装置を提供する【解決手段】切断検査機構４９は、粘着材片Ｔｐを光学的に認識する。切断判定部５２は、切断検査機構４９の情報に基づいて、粘着材片Ｔｐのサイズおよび形状を検査する。すなわち、切断判定部５２はシート状粘着材の切断における異常の有無を検査する。貼付け検査機構５０は、ワークＷを光学的に認識する。貼付け判定部５３は、貼付け検査機構５０の情報に基づいて、ワークＷに対して粘着材片Ｔｐが正常に貼り付けられたか否かを検査する。貼付け過程または切断過程における異常の有無を検査することにより、貼付け位置が想定される位置からズレる要因となる異常の発生を看過することを回避できるので、貼付け精度を向上できる。【選択図】図１７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに対して、所定形状のシート状粘着材を貼り付けるシート状粘着材の貼付け方法であって、
粘着材保持部材により前記シート状粘着材を保持した状態で前記シート状粘着材を前記ワークに貼り付ける貼付け過程と、
前記貼付け過程の前および後の少なくとも一方において、前記ワークの所定部分および前記シート状粘着材の所定部分のうち少なくとも一方を認識機構により光学的に認識し、前記認識機構により得られた情報に基づいて、異常の有無の検査を行う検査過程と、
を備えることを特徴とするシート状粘着材の貼付け方法。
【請求項２】
請求項１に記載のシート状粘着材の貼付け方法であって、
前記検査過程は、前記シート状粘着材のサイズおよび形状のうち少なくとも一方について異常の有無の検査を行う
ことを特徴とするシート状粘着材の貼付け方法。
【請求項３】
請求項１に記載のシート状粘着材の貼付け方法であって、
前記検査過程は、前記ワークに対して前記シート状粘着材が貼り付けられた位置について異常の有無の検査を行う
ことを特徴とするシート状粘着材の貼付け方法。
【請求項４】
請求項３に記載のシート状粘着材の貼付け方法であって、
前記検査過程において、前記ワークに対して前記シート状粘着材が貼り付けられた位置に異常があると判断された場合、前記ワークから前記シート状粘着材を剥離させる剥離過程を備える
ことを特徴とするシート状粘着材の貼付け方法。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のシート状粘着材の貼付け方法であって、
入力部を用いて検査の判断基準に関する情報を入力し、前記判断基準に関する情報を記憶部に記憶させる記憶過程を備え、
前記検査過程は、前記認識機構により得られた情報と前記記憶部に記憶されている前記判断基準に関する情報とを比較することによって、異常の有無の検査を行う
ことを特徴とするシート状粘着材の貼付け方法。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のシート状粘着材の貼付け方法であって、
前記検査過程において異常があると判断された場合、前記異常の発生を報知する報知過程を備える
ことを特徴とするシート状粘着材の貼付け方法。
【請求項７】
請求項６に記載のシート状粘着材の貼付け方法であって、
前記異常の存在が報知された場合、前記貼付け過程を中断させる中断過程を備える
ことを特徴とするシート状粘着材の貼付け方法。
【請求項８】
ワークに対して、所定形状のシート状粘着材を貼り付けるシート状粘着材の貼付け装置であって、
粘着材保持部材により前記シート状粘着材を保持した状態で前記シート状粘着材を前記ワークに貼り付ける貼付け機構と、
前記貼付け過程の前および後の少なくとも一方において、前記ワークの所定部分および前記シート状粘着材の所定部分のうち少なくとも一方を光学的に認識する認識機構と、
前記認識機構により得られた情報に基づいて、異常の有無の検査を行う検査機構と、
を備えることを特徴とするシート状粘着材の貼付け装置。
【請求項９】
請求項８に記載のシート状粘着材の貼付け装置であって、
前記検査機構は、前記シート状粘着材のサイズおよび形状のうち少なくとも一方について異常の有無の検査を行う
ことを特徴とするシート状粘着材の貼付け装置。
【請求項１０】
請求項８に記載のシート状粘着材の貼付け装置であって、
前記検査機構は、前記ワークに対して前記シート状粘着材が貼り付けられた位置について異常の有無の検査を行う
ことを特徴とするシート状粘着材の貼付け装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載のシート状粘着材の貼付け装置であって、
前記ワークに対して前記シート状粘着材が貼り付けられた位置に異常があると前記検査機構が判断した場合、前記ワークから前記シート状粘着材を剥離させる剥離機構を備える
ことを特徴とするシート状粘着材の貼付け装置。
【請求項１２】
請求項８ないし請求項１１のいずれかに記載のシート状粘着材の貼付け装置であって、
検査の判断基準に関する情報を入力する入力部と、
前記入力部によって入力された、前記判断基準に関する情報を記憶する記憶部と、
を備え、
前記検査機構は、前記認識機構により得られた情報と前記記憶部に記憶されている前記判断基準に関する情報とを比較することによって、異常の有無の検査を行う
ことを特徴とするシート状粘着材の貼付け装置。
【請求項１３】
請求項８ないし請求項１２のいずれかに記載のシート状粘着材の貼付け装置であって、
異常があると前記検査機構に判断された場合、前記異常の発生を報知する報知機構を備える
ことを特徴とするシート状粘着材の貼付け装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載のシート状粘着材の貼付け装置であって、
前記異常の存在が報知された場合、前記貼付け過程を中断させる中断機構を備える
ことを特徴とするシート状粘着材の貼付け装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）を例とするワークに対して、粘着テープを例とするシート状粘着材を貼り付けるために用いるシート状粘着材の貼付け方法およびシート状粘着材の貼付け装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエハの表面に回路パターンが形成された後、バックグラインド工程によってウエハの裏面を研削し、さらにダイシング工程によって当該ウエハを多数のチップ部品に分断する。この場合、ウエハの回路保護を目的とする粘着テープ（保護テープ）、または、分断されたチップ部品の飛散防止を目的とする粘着テープ（ダイシングテープ）を例とするシート状粘着材が各工程においてウエハに貼り付けられる。
【０００３】
シート状粘着材をウエハに貼り付ける方法の一例としては、帯状のシート状粘着材をウエハに貼り付けた後に切断機構を用いてウエハの形状に沿ってシート状粘着材を切断する方法の他、予めウエハの形状にシート状粘着材を切断して粘着材片を作成し、当該粘着材片をウエハに貼り付ける方法が考案されている。
【０００４】
粘着材片をウエハに貼り付けるための具体的な構成として、以下のようなものが挙げられる。まず、キャリアテープが添設された帯状のシート状粘着材に対して、環状の切断刃を有する切断ローラを押圧転動させることにより、キャリアテープ上でシート状粘着材をウエハの形状に切断して粘着材片を形成する。その後、粘着材片の周囲のシート状粘着材を除去することで、キャリアテープ上に整列配備された粘着材片が作成される。そして、エッジ部材でキャリアテープを折り返し走行させることにより、粘着材片をキャリアテープから剥離していく。エッジ部材の先端においてキャリアテープから剥離されて前方に押し出し移動される粘着材片は、貼付けローラに押圧されてウエハに貼り付けられる（特許文献１を参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−０１７３５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来装置では次のような問題がある。
【０００７】
近年ではシート状粘着材を貼り付ける対象であるワークとして、主に円形状のウエハの他に、矩形状の半導体基板を用いる方法が提案されている。さらに近年ではワークが大型化する傾向にある。ワークが矩形状である場合、ワークにシート状粘着材を貼り付けてから切断する方法では切断機構がワークと干渉してワークに欠損または歪みなどが発生するおそれが高くなるといる観点から、粘着材片を形成させてから当該粘着材片をワークに貼り付ける方法がより好ましい。
【０００８】
しかしながら、矩形状の半導体基板やより大型のウエハをワークとする近年の方法では、ワークに粘着材片が貼り付けられる位置について、従来と比べて非常に高い精度が要求される。従来における粘着材片をワークに貼り付ける方法では、ウエハに対して粘着材片が実際に貼り付けられる位置と、想定される貼付け位置とのズレが大きい。そのため、従来において粘着材片を貼り付ける方法では、近年において要求される高い貼付け精度を確実に満たすことが難しいという問題が懸念される。
【０００９】
従来の構成において、ワークに対して粘着材片が実際に貼り付けられる位置が想定される貼付け位置からズレる原因として、以下のようなものが考えられる。すなわち、ウエハに長尺状のシート状粘着材を貼り付けてからウエハの形状に当該シート状粘着材を切り抜く貼付け方法と比べて、予めウエハの形状に応じた所定形状にシート状粘着材を切断してからウエハに貼り付ける貼付け方法は、貼付け位置の精度に影響を与える要因が非常に多いと考えられる。
【００１０】
要因の一例として、温度や湿度など各種条件の変化に起因してシート状粘着材を切断する位置が想定される位置からわずかにズレることが挙げられる。シート状粘着材を切断する位置が予め想定される位置からズレている場合、粘着材片のサイズまたは形状が想定されるサイズまたは形状と異なることとなる。サイズまたは形状が想定と異なる粘着材片をそのままワークに貼り付けることにより、ワークに粘着材片が貼り付けられる位置は想定される貼付け位置から外れる。すなわち、貼付け精度が低下することとなる。
【００１１】
また、貼付け位置の精度に影響を与える要因として、振動などによって機械的なブレが発生する結果、粘着材片およびワークに対して搬送や載置などの各種ハンドリングを行う際に、粘着材片およびワークの位置が徐々に想定位置からずれていくことも要因としてあげられる。このような位置ズレの発生は、貼付け処理を行うために必要な各工程において発生すると考えられる。
【００１２】
さらに、粘着材片がキャリアテープから剥離されて前方に押し出し移動される際に、キャリアテープから剥離された部分の粘着材片が、自重によって鉛直方向に垂れ下がること、または遊離状態となっている粘着材片が理想上の移動軌跡から水平方向などにズレることも考えられる。粘着材片またはワークを搬送する際に位置ズレが発生すると、粘着材片とワークとが正確に対向していない状態で粘着材片がワークに貼り付けられる。その結果、ワークに粘着材片が貼り付けられる位置は想定される貼付け位置から外れることとなる。
【００１３】
従来の構成では、シート状粘着材を切断する位置のズレ、および、搬送等のハンドリングにおいて発生する粘着材片またはワークの位置ズレを考慮することなく、粘着材片をワークに貼り付けている。その結果、ワークに対して粘着材片を高い精度で貼り付けることが困難になっていると考えられる。
【００１４】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、所定の形状に切断されたシート状粘着材を、ワークに対して高い精度で貼り付けることができるシート状粘着材の貼付け方法およびシート状粘着材の貼付け装置を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、ワークに対して、所定形状のシート状粘着材を貼り付けるシート状粘着材の貼付け方法であって、
粘着材保持部材により前記シート状粘着材を保持した状態で前記シート状粘着材を前記ワークに貼り付ける貼付け過程と、
前記貼付け過程の前および後の少なくとも一方において、前記ワークの所定部分および前記シート状粘着材の所定部分のうち少なくとも一方を認識機構により光学的に認識し、前記認識機構により得られた情報に基づいて異常の有無の検査を行う検査過程と、
を備えることを特徴とするものである。  
【００１６】
（作用・効果）この構成によれば、
【００１７】
また、上述した発明において、前記検査過程は、前記シート状粘着材のサイズおよび形状のうち少なくとも一方について異常の有無の検査を行うことが好ましい。
【００１８】
（作用・効果）この構成によれば、シート状粘着材のサイズおよび形状のうち少なくとも一方について異常の有無の検査を行う。シート状粘着材のサイズまたは形状に異常がある場合、当該シート状粘着材をワークに精度良く貼り付けることは困難である。よって、シート状粘着材のサイズまたは形状が想定されるサイズまたは形状と異なるといった異常を予め判別することにより、シート状粘着材の貼付け精度が低下する事態を事前に回避できる。
【００１９】
また、上述した発明において、前記検査過程は、前記ワークに対して前記シート状粘着材が貼り付けられた位置について異常の有無の検査を行うことが好ましい。
【００２０】
（作用・効果）この構成によれば、ワークに対してシート状粘着材が貼り付けられた位置について異常の有無の検査を行う。そのため、ワークに対してシート状粘着材が貼り付けられた位置が想定される位置から外れている事態が発生しても、当該事態の発生を早期に発見できる。よって、シート状粘着材が貼付けられた位置が想定されている位置からズレているようなワークが製品として混入する事態を確実に回避できるので、製品におけるシート状粘着材の貼付け精度を向上できる。
【００２１】
また、上述した発明において、前記検査過程において、前記ワークに対して前記シート状粘着材が貼り付けられた位置に異常があると判断された場合、前記ワークから前記シート状粘着材を剥離させる剥離過程を備えることが好ましい。
【００２２】
（作用・効果）この構成によれば、ワークに対して前記シート状粘着材が貼り付けられた位置に異常があると検査過程において判断された場合、剥離過程によってワークからシート状粘着材を剥離させる。この場合、シート状粘着材が貼付けられた位置がズレているワークから当該シート状粘着材を剥離した後、ワークまたはシート状粘着材を再利用することもできる。よって、ワークに対してシート状粘着材が不適切な位置に貼り付けられた場合であっても、ワークまたはシート状粘着材を有効に活用できる。
【００２３】
また、上述した発明において、入力部を用いて検査の判断基準に関する情報を入力し、前記判断基準に関する情報を記憶部に記憶させる記憶過程を備え、
前記検査過程は、前記認識機構により得られた情報と前記記憶部に記憶されている前記判断基準に関する情報とを比較することによって、異常の有無の検査を行うことが好ましい。
【００２４】
（作用・効果）この構成によれば、記憶過程によって検査の判断基準に関する情報が記憶部に記憶される。検査過程は、認識機構により得られた情報と記憶部に記憶されている判断基準に関する情報とを比較することによって、異常の有無の検査を行う。予め検査の判断基準に関する情報を取得しておくことにより、検査過程において異常の有無を容易かつ正確に判定できる。よって、シート状粘着材の貼付け精度を低下させる原因となる異常の発生を回避できるので、シート状粘着材の貼付け精度を向上できる。
【００２５】
また、上述した発明において、前記検査過程において異常があると判断された場合、前記異常の発生を報知する報知過程を備えることが好ましい。
【００２６】
（作用・効果）この構成によれば、異常があると判断された場合、当該異常の発生が報知される。そのため、オペレータなどは速やかに異常の発生を認識して当該異常に対応することができる。
【００２７】
また、上述した発明において、前記異常の発生が報知された場合、前記貼付け過程を中断させる中断過程を備えることが好ましい。
【００２８】
（作用・効果）この構成によれば、異常の発生が報知された場合、中断過程によって貼付け過程が中断される。この場合、異常が発生しているにも関わらず貼付け過程を実行することによってシート状粘着材が不適切な位置に貼り付けられる、という事態を確実に回避できる。
【００２９】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとってもよい。
すなわち、ワークに対して、所定形状のシート状粘着材を貼り付けるシート状粘着材の貼付け装置であって、
粘着材保持部材により前記シート状粘着材を保持した状態で前記シート状粘着材を前記ワークに貼り付ける貼付け機構と、
前記貼付け過程の前および後の少なくとも一方において、前記ワークの所定部分および前記シート状粘着材の所定部分のうち少なくとも一方を光学的に認識する認識機構と、
前記認識機構により得られた情報に基づいて、異常の有無の検査を行う検査機構と、
を備えることを特徴とするものである。
【００３０】
（作用・効果）この構成によれば、粘着材保持部材によりシート状粘着材を保持した状態でシート状粘着材をワークに貼り付ける貼付け機構と、貼付け過程の前および後の少なくとも一方において、ワークの所定部分およびシート状粘着材の所定部分のうち少なくとも一方を光学的に認識する認識機構と、認識機構により得られた情報に基づいて、異常の有無の検査を行う検査機構とを備える。この場合、シート状粘着材の貼付け精度が低下するような異常は検査過程によって検知されるので、上記方法を好適に実施することができる。
【００３１】
また、上述した発明において、前記検査機構は、前記シート状粘着材のサイズおよび形状のうち少なくとも一方について異常の有無の検査を行うことが好ましい。
【００３２】
（作用・効果）この構成によれば、シート状粘着材のサイズおよび形状のうち少なくとも一方について異常の有無の検査を行う。シート状粘着材のサイズまたは形状に異常がある場合、当該シート状粘着材をワークに精度良く貼り付けることは困難である。よって、シート状粘着材のサイズまたは形状が想定されるサイズまたは形状と異なるといった異常を予め判別することにより、シート状粘着材の貼付け精度が低下する事態を事前に回避できる。
【００３３】
また、上述した発明において、前記検査機構は、前記ワークに対して前記シート状粘着材が貼り付けられた位置について異常の有無の検査を行うことが好ましい。
【００３４】
（作用・効果）この構成によれば、ワークに対してシート状粘着材が貼り付けられた位置について異常の有無の検査を行う。そのため、ワークに対してシート状粘着材が貼り付けられた位置が想定される位置から外れている事態が発生しても、当該事態の発生を早期に発見できる。よって、シート状粘着材が貼付けられた位置が想定されている位置からズレているようなワークが製品として混入する事態を確実に回避できるので、製品におけるシート状粘着材の貼付け精度を向上できる。
【００３５】
また、上述した発明において、前記ワークに対して前記シート状粘着材が貼り付けられた位置に異常があると前記検査機構が判断した場合、前記ワークから前記シート状粘着材を剥離させる剥離機構を備えることが好ましい。
【００３６】
（作用・効果）この構成によれば、ワークに対して前記シート状粘着材が貼り付けられた位置に異常があると検査機構によって判断された場合、剥離機構によってワークからシート状粘着材を剥離させる。この場合、シート状粘着材が貼付けられた位置がズレているワークから当該シート状粘着材を剥離した後、ワークまたはシート状粘着材を再利用することもできる。よって、ワークに対してシート状粘着材が不適切な位置に貼り付けられた場合であっても、ワークまたはシート状粘着材を有効に活用できる。
【００３７】
また、上述した発明において、検査の判断基準に関する情報を入力する入力部と、前記入力部によって入力された、前記判断基準に関する情報を記憶する記憶部と、を備え、前記検査機構は、前記認識機構により得られた情報と前記記憶部に記憶されている前記判断基準に関する情報とを比較することによって、異常の有無の検査を行うことが好ましい。
【００３８】
（作用・効果）この構成によれば、検査の判断基準に関する情報が入力部によって入力され、当該情報は記憶部に記憶される。検査機構は、認識機構により得られた情報と記憶部に記憶されている判断基準に関する情報とを比較することによって、異常の有無の検査を行う。予め検査の判断基準に関する情報を取得しておくことにより、検査機構は異常の有無を容易かつ正確に判定できる。よって、シート状粘着材の貼付け精度を低下させる原因となる異常の発生を回避できるので、シート状粘着材の貼付け精度を向上できる。
【００３９】
また、上述した発明において、異常があると前記検査機構に判断された場合、前記異常の発生を報知する報知機構を備えることが好ましい。
【００４０】
（作用・効果）この構成によれば、異常があると判断された場合、当該異常の発生が報知される。そのため、オペレータなどは速やかに異常の発生を認識して当該異常に対応することができる。
【００４１】
また、上述した発明において、前記異常の存在が報知された場合、前記貼付け過程を中断させる中断機構を備えることが好ましい。
【００４２】
（作用・効果）この構成によれば、異常の発生が報知された場合、中断過程によって貼付け過程が中断される。この場合、異常が発生しているにも関わらず貼付け過程を実行することによってシート状粘着材が不適切な位置に貼り付けられる、という事態を確実に回避できる。
【発明の効果】
【００４３】
本発明のシート状粘着材の貼付け方法およびシート状粘着材の貼付け装置によれば、シート状粘着材をワークに貼り付ける貼付け過程の前および後の少なくとも一方において、検査過程を行う。貼付け過程の前および後の少なくとも一方において検査過程を行うので、貼付け過程における異常が看過されるという事態の発生をより確実に回避できる。そのため、シート状粘着材が貼り付けられたワークを作製する場合において、当該ワークにおけるシート状粘着材の貼付け精度を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】実施例に係るシート状粘着材の貼付け装置の基本構成を示す斜視図である。
【図２】実施例に係るシート状粘着材の貼付け装置の基本構成を示す正面図である。
【図３】実施例に係るシート状粘着材の貼付け装置の基本構成を示す平面図である。
【図４】実施例に係るシート状粘着材の貼付け装置を説明する図である。  （ａ）は実施例に係るシート状粘着材の貼付け装置の動作を示すフローチャートであり、（ｂ）は実施例に用いられるシート状粘着材の構成を説明する縦断面図である。
【図５】実施例に係る粘着材切断機構の構成を示す図である。（ａ）は粘着材切断機構の斜視図であり、（ｂ）は粘着材切断機構の縦断面図であり、（ｃ）は粘着材切断機構の要部を示す底面斜視図である。
【図６】実施例に係るワーク保持テーブルの構成を示す図である。
【図７】実施例に係るステップＳ１を説明する図である。（ａ）は吸着パッドがワークを受け取る状態を示す図であり、（ｂ）はワーク載置部の載置面にワークを載置させた状態を示す図である。
【図８】実施例に係るステップＳ２を説明する図である。（ａ）は粘着材切断機構がシート状粘着材のテンションを調整する前の状態を示す図であり、（ｂ）は粘着材切断機構がシート状粘着材のテンションを調整している状態を示す図であり、（ｃ）は切断ユニットが下降してシート状粘着材の切断を開始する状態を示す図である。
【図９】実施例に係るステップＳ３を説明する図である。（ａ）は粘着材片が分離される前の状態を示す平面図（上）および正面図（下）であり、（ｂ）は粘着材片以外の部分のシート状粘着材と、粘着材片とが分離されている状態を示す平面図（上）および正面図（下）であり、（ｃ）は粘着材片以外の部分のシート状粘着材と、粘着材片とが分離された状態を示す平面図（上）および正面図（下）であり、（ｄ）は粘着材片の上流において、新たに粘着材片が形成された状態を示す平面図（上）および正面図（下）である。
【図１０】実施例に係るステップＳ４を説明する図である。（ａ）は切断検査機構が粘着材片を撮影する動作を示す正面図であり、（ｂ）はステップＳ４に係る構成を示す機能ブロック図であり、（ｃ）は切断検査機構によって得られる情報を説明する概略図であり、（ｄ）は切断判定部が粘着材片の全体像を算出する構成を説明する図である。
【図１１】実施例に係るステップＳ５を説明する正面図である。（ａ）は保持テープの貼付けを開始する前の状態を示す図であり、（ｂ）は保持テープが粘着材片の一端に貼り付けられた状態を示す図であり、（ｃ）は保持テープが粘着材片の一端から他端にわたって貼り付けられた状態を示す図である。
【図１２】実施例に係るステップＳ７を説明する正面図である。（ａ）は粘着材片およびワークを撮影する動作を示す図であり、（ｂ）はステップＳ７に係る構成を示す機能ブロック図であり、（ｃ）はワーク保持テーブルが貼付け領域へ移動する状態を示す図である。
【図１３】実施例に係るステップＳ７を説明する正面図である。（ａ）は貼付け領域においてワークと粘着材片との位置関係を調整している状態を示す図であり、（ｂ）は貼付け領域に移動した直後におけるワークと粘着材片との位置関係を例示する平面図であり、（ｃ）ワークと粘着材片との位置関係を調整した後における、ワークと粘着材片との位置関係を例示する平面図である。
【図１４】実施例に係るステップＳ８の動作を説明する正面図である。
【図１５】実施例に係るステップＳ９を説明する正面図である。（ａ）は粘着材片がワークの一端に貼り付けられた状態を示す図であり、（ｃ）は粘着材片がワークの一端から他端にわたって貼り付けられた状態を示す図である。
【図１６】実施例に係るステップＳ１０を説明する正面図である。（ａ）は保持テープが粘着材片から分離される前の状態を示す図であり、（ｂ）は保持テープが粘着材片から分離された後の状態を示す図である。
【図１７】実施例に係るステップＳ１１を説明する正面図である。（ａ）は粘着材片およびワークを撮影する動作を示す図であり、（ｂ）はステップＳ７に係る構成を示す機能ブロック図であり、（ｃ）はは貼付け検査機構によって得られる情報を説明する図である。
【図１８】変形例に係るシート状粘着材の貼付け装置の基本構成を示す斜視図である。
【図１９】変形例に係るシート状粘着材の貼付け装置の基本構成を示す正面図である。
【図２０】変形例に係るステップＳ５の動作を説明する図である。（ａ）は保持プレートが粘着材片の上方へ搬送される状態を示す図であり、（ｂ）は保持プレートが粘着材片を保持する状態を示す図であり、（ｃ）は保持プレートが粘着材片を保持しつつ搬送する状態を示す図である。
【図２１】変形例に係るステップＳ７の動作を説明する図である。
【図２２】変形例に係るステップＳ８の動作を説明する図である。
【図２３】変形例に係るステップＳ９の動作を説明する図である。
【図２４】変形例に係るステップＳ１０の動作を説明する図である。
【図２５】シート状粘着材のテンションを調整する構成の変形例を説明する図である。（ａ）は把持部材によって幅方向におけるシート状粘着材のテンションを調整する構成を示す図であり、（ｂ）はローラの転動によってシート状粘着材のテンションを調整する構成を示す図である。
【図２６】変形例に係る粘着材切断機構の構成を説明する図である。（ａ）は粘着材切断機構の要部を示す底面斜視図であり、（ｂ）は粘着材切断機構の縦断面図であり、（ｃ）は切断刃による切断軌跡を示す平面図である。
【図２７】変形例に係る粘着材切断機構の構成を説明する図である。（ａ）は変形例に係る切断刃の効果を示す縦断面図であり、（ｂ）は粘着材切断機構の要部を示す底面斜視図であり、（ｃ）は繰り出し方向に平行な方向へ余剰粘着材を剥離する場合における、切断刃による切断軌跡と剥離開始箇所の位置を示す平面図であり、（ｄ）は繰り出し方向に傾斜する方向へ余剰粘着材を剥離する場合における、切断刃による切断軌跡と剥離開始箇所の位置を示す平面図である。
【図２８】変形例に係る粘着材切断機構の構成を説明する図である。（ａ）は粘着材切断機構の要部を示す底面斜視図であり、（ｂ）は粘着材片が形成された状態を示す平面図であり、（ｃ）は選択された一の粘着材片と、選択された当該粘着材片以外の部分のシート状粘着材とが分離された状態を示す平面図（上）および正面図（下）である。
【図２９】変形例に係るワーク位置認識機構および粘着材位置認識機構の構成を説明する図である。（ａ）は粘着材位置認識機構が配設される位置の変形例を示す側面図であり、（ｂ）は共通の位置認識機構によりワークおよび粘着材片を検知する変形例を示す側面図であり、（ｃ）はワークまたは粘着材片を検知する対象の変形例を示す平面図である。
【図３０】粘着材剥離機構を備える変形例を説明する図である。（ａ）は粘着材剥離機構の構成を説明する側面図であり、（ｂ）は不適切に貼り付けられた粘着材片をワークから剥離する状態を説明する斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００４５】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。図１ないし図３は、実施例に係るシート状粘着材の貼付け装置１の基本構成を示す図である。なおシート状粘着材の貼付け装置１を示す各図において、各種構成を支持する支持手段、および各種構成を駆動させる駆動手段などについては適宜図示を省略している。
【００４６】
本実施例に係るシート状粘着材の貼付け装置では、シート状粘着材Ｔとして回路保護用の粘着テープを用いるものとする。シート状粘着材Ｔを貼り付ける対象であるワークＷとして、矩形の半導体基板を用いるものとする。
【００４７】
本実施例に用いられるシート状粘着材Ｔは図４（ｂ）に示すように、非粘着性の基材Ｔａと、粘着性を有する粘着材Ｔｂとが積層した構造を備えている。粘着材ＴｂにはセパレータＳが添設されている。すなわちシート状粘着材Ｔの粘着面にセパレータＳが添設されており、セパレータＳをシート状粘着材Ｔから剥離することによってシート状粘着材Ｔの粘着面が露出する。セパレータＳの例として、長尺状の紙材やプラスチックなどが挙げられる。
【００４８】
本実施例において「上流」および「下流」とはシート状粘着材Ｔの繰り出し方向に沿うものとして定義される。すなわち「上流」とはシート状粘着材Ｔの繰り出し方向において、後述する粘着材供給機構２に近い側を意味するものとする。本実施例において、シート状粘着材Ｔは図１などに示すように、符号Ｌｎで示す方向へ繰り出されているものとする。なお、繰り出し方向Ｌｎはｘ方向と平行であるものとする。
【００４９】
＜全体構成の説明＞
シート状粘着材の貼付け装置１は、粘着材供給機構２と、粘着材切断機構３と、粘着材回収機構４と、粘着材保持機構５と、セパレータ回収機構６と、ワーク収納部７と、ワーク保持テーブル８と、ワーク搬送機構９と、粘着材貼付け機構１０と、保持部材分離機構１１と、保持部材回収機構１２と、を備えている。
【００５０】
粘着材供給機構２は、原反ロール２ａを装着するボビンを備えている。原反ロール２ａは、セパレータＳが添設された長尺のシート状粘着材Ｔをロール巻きした構成となっている。シート状粘着材ＴはセパレータＳが添設された状態で粘着材供給機構２から繰り出し供給され、粘着材切断機構３などを経由して粘着材貼付け機構１０へと案内される。原反ロール２ａから繰り出されたシート状粘着材Ｔは、図示しないガイドローラなどによって繰り出し方向にテンションが付与されており、皺が発生しないよう調整されている。
【００５１】
粘着材切断機構３は、図５（ａ）に示すように、下板１３と、支柱１４と、切断ユニット１５と、上部固定板１６とを備えている。下板１３は、粘着材供給機構２から繰り出し供給されたシート状粘着材Ｔを水平に受け止めるように配設されている。支柱１４は、下板１３に立設されており、切断ユニット１５を貫通している。上部固定板１６は支柱１４に横架されており、上部固定板１６の上面にはモータ１６ａが配設されている。
【００５２】
切断ユニット１５は図５（ｂ）に示すように、可動台１７と、切断刃１９とを備えている。可動台１７は平坦な板状部材であり、支柱１５に横架されている。可動台１７は上部固定板１６と下板１３との間において、支柱１４に沿って上下方向（ｚ方向）へ往復移動が可能となるように構成されている。すなわち、可動台１７は、モータ１６ａを正逆回転駆動することにより、支柱１４に沿ってネジ送り昇降されるようになっている。粘着材切断機構３は可動台１７を上下移動させる構成を備えていればよく、モータ１６ａの代わりにシリンダを例とする他の駆動機構を採用してもよい。
【００５３】
切断刃１９は図５（ｂ）に示すように可動台１７の下面に配設されており、可動台１７とともに昇降移動する。可動台１７が下降することにより、切断ユニット１５はシート状粘着材Ｔを切断する切断位置へと移動する。切断ユニット１５は本発明における切断機構に相当する。
【００５４】
下板１３の所定の位置には、受け止めピン１８が立設されている。受け止めピン１８は可動台１７の下面を受け止めることにより、切断ユニット１５が必要以上に下降することを防止する。受け止めピン１８の高さは、切断刃１９の長さに応じて設定される。すなわち図８（ｄ）に示すように、受け止めピン１８が可動台１７を受け止める状態において、切断刃１９が確実にシート状粘着材Ｔを完全に切断し、かつ、セパレータＳを完全に切断することがないように設定される。切断刃１９がシート状粘着材ＴおよびセパレータＳの両方を厚み方向へ完全に切断するという事態は、受け止めピン１８によって防止される。
【００５５】
切断刃１９は図５（ｃ）に示すように環状の刃で構成されている。切断刃１９は図１などに示すように、環状の切断軌跡Ｋに沿ってシート状粘着材Ｔを切断し、切断軌跡Ｋに応じた形状の粘着材片Ｔｐを形成させる。切断刃１９の形状はワークＷの形状に応じて適宜変更可能であるが、本実施例では矩形状の環状刃、具体的には長方形状の環状刃となっている。可動基台１７の両端には支柱１４が貫通する貫通孔Ｈが設けられている。粘着材片Ｔｐは、本発明における所定形状のシート状粘着材に相当する。
【００５６】
なお、本発明において「環状」とは、一端と他端とが繋がっており、全体として閉じている線の形状を全て含むものとして定義づけられる。一例として、矩形状、円形状（円環状）、多角形状の他、波形を少なくとも一部に有する波形状、略円形状なども含まれる。略円形状の一例として、ノッチやオリエンテーションフラットが設けられている基板の外形に沿った形状、すなわち円の一部に凹みや直線を含む形状が挙げられる。また、切断軌跡Ｋが矩形状または多角形状である場合、角部の角度は適宜変更してよく、角部が丸みを帯びていてもよい。
【００５７】
実施例において、図５（ｂ）に示すように、可動台１７と切断刃１９とは一体形成されている。一体形成されることにより、可動台１７と切断刃１９との相対的位置関係をより確実に維持できる。すなわち、可動台１７と切断刃１９とが別の部材である場合と比べて、切断ユニット１６がシート状粘着材Ｔを押圧して切断する際に、切断刃１９の位置が可動台１７に対してズレることを確実に防止できる。その結果、可動台１７に対する切断刃１９のズレに起因して粘着材片Ｔｐの形状が想定される形状と異なる、という事態を回避できる。切断刃１９を可動台１７と一体形成できるとともに、切断軌跡Ｋの精度を向上できるという点で、切断刃１９の好ましい構成としてピナクル刃（登録商標）が挙げられる。
【００５８】
粘着材回収機構４は、切断軌跡Ｋの形状に切断された粘着材片Ｔｐの周囲に残るシート状粘着材Ｔ、すなわち余剰粘着材Ｔｎを回収する。余剰粘着材Ｔｎは図１などに示すように、粘着材切断機構３から下流へ送られた後、セパレータＳから剥離される。剥離された余剰粘着材Ｔｎは図示しない案内ローラによって回収ボビン２１へと案内される。
【００５９】
回収ボビン２１は、セパレータＳから剥離された余剰粘着材Ｔｎを巻き取り回収する。巻き取り回収の結果、セパレータＳおよび粘着材片Ｔｐが粘着材保持機構５へと案内される。
【００６０】
粘着材切断機構３と粘着材回収機構４との間には図示しないダンサローラが設けられている。粘着材切断機構３におけるシート材粘着材Ｔのテンションの大きさと、粘着材回収機構４より下流におけるシート材粘着材Ｔのテンションの大きさとの差は、当該ダンサローラにより吸収される。
【００６１】
そのため、粘着材回収機構４より下流では、シート状粘着材Ｔに対して確実に皺が発生しないようなテンションを付与し、シート状粘着材Ｔのテンションを比較的大きく調整することができる。その一方で、粘着材切断機構３においては、シート状粘着材Ｔに弛みが発生することなく、かつ過度なテンションの付与に起因するシート状粘着材Ｔの伸張も発生しない程度に、シート状粘着材Ｔのテンションを比較的小さく調整できる。
【００６２】
粘着材保持機構５は、粘着材片Ｔｐを保持部材によって保持させるものである。本実施例において、保持部材として粘着性を有する保持テープＦを用いるものとする。すなわち、粘着材片Ｔｐに保持テープＦを貼り付けることにより粘着材片Ｔｐを安定に保持させる。保持テープＦは透明な材料を例とする、光透過性を有する材料で構成されることが好ましい。本実施例において、保持テープＦは本発明における粘着材保持部材に相当する。
【００６３】
本実施例において、粘着材保持機構５は供給ボビン２３と、支持テーブル２４と、貼付けユニット２５とを備えている。供給ボビン２３は長尺状の保持テープＦをロール巻きした構成となっている。保持テープＦは供給ボビン２３から繰り出し供給され、粘着材回収機構４から下流へと供給されている粘着材片Ｔｐへと案内される。支持テーブル２４は、粘着材回収機構４から下流へと供給されている粘着材片ＴｐおよびセパレータＳを水平に受け止めるように配設されている。
【００６４】
貼付けユニット２５は、貼付けローラ２７と駆動シリンダ２９とを備えている。貼付けユニット２５は、図３に示す案内レール３０に沿って、支持テーブル２４の上方を往復移動するように構成されている。貼付けローラ２７は駆動シリンダ２９によって昇降可能に構成されている。すなわち、供給ボビン２３から案内されてきた保持テープＦは、貼付けローラ２７によって上方から押圧され、支持テーブル２４によって受け止められている粘着材片Ｔｐに貼り付けられる。
【００６５】
セパレータ回収機構６は、ガイドローラ３１と、送りローラ３２と、回収ボビン３３とを備えている。保持テープＦが貼り付けられた粘着材片ＴｐおよびセパレータＳは、ガイドローラ３４によって保持テープＦ付きの粘着材片Ｔｐと、セパレータＳとに剥離される。剥離されたセパレータＳは、送りローラ３２を経由して回収ボビン３３に巻き取り回収される。
【００６６】
ワーク収納部７は、一例としてワークＷを収納するマガジンＣ１およびマガジンＣ２を備えている。マガジンＣ１には多数枚のワークＷが、水平姿勢で多段に差込み収納されている。マガジンＣ２には所定形状のシート状粘着材Ｔが貼り付けられたワークＷが、水平姿勢で多段に差込み収納可能となっている。
【００６７】
ワーク保持テーブル８は図６に示すように、可動台３５と、昇降台３６と、ワーク載置部３７と、気体供給ノズルＮｚとを備えている。可動台３５は、前後可動台３５ａと左右可動台３５ｂと回転可動台３５ｃとを備えている。前後可動台３５ａはガイドレールＲ１に沿って前後方向（図ではｙ方向）へ水平移動するように構成される。前後可動台３５ａの水平移動により、ワーク保持テーブル８は、図３において実線で示されている待機領域Ｐと、図３において点線で示されている貼付け領域Ｑとの間を往復移動することが可能となる。
【００６８】
左右可動台３５ｂは、前後可動台３５ａの上に固定されているガイドレールＲ２に沿って左右方向（図ではｘ方向）へ水平移動するように構成される。回転可動台３５ｃは左右可動台３５ｂの上に設けられており、ｚ軸周りの回転方向θへ回転可能となるように構成されている。昇降台３６は可動台３５に立設されており、昇降台３６の上端にワーク載置部３７が配設されている。昇降台３６は図示しないモータなどにより、ｚ方向へ昇降移動可能に構成されている。
【００６９】
ワーク載置部３７は平坦な載置面を有しており、ワークＷを水平状態で保持する。ワーク載置部３７は、吸着パッド３８と位置決め部材３９とを備えている。吸着パッド３８は駆動シリンダ４０によって、ワーク載置部３７に内蔵される待機位置とワーク載置部３７の載置面から突出する受け取り位置との間で昇降移動する。図６において、吸着パッド３８が移動する受け取り位置を二点鎖線で例示している。
【００７０】
位置決め部材３９は、ワーク載置部３７の前後左右の四カ所に設けられている。位置決め部材３９は、図示しないシリンダによってワーク載置部３７の中心に向けて進退移動するように構成されている。ワーク載置部３７に載置されたワークＷの外周を、位置決め部材３９によってワーク載置部３７の中心に向けて四方から押圧することにより、ワークＷはワーク載置部３７の中心上に位置決めされるように構成されている。ワーク載置部３７に配設される位置決め部材３９の数および位置は、ワークＷを位置決めできる構成であれば適宜変更してよい。なお、ワーク載置部３７は内部に設けられた図示しない吸引機構などにより、ワークＷを吸着保持することが好ましい。
【００７１】
さらに、少なくともワーク保持テーブル８が貼付け領域Ｑへ移動している状態において、ワーク保持テーブル８はワークＷをｘ、ｙ、ｚ、およびθの各方向へ変位できるように構成されている。本実施例では、前後可動台３５ａおよび左右可動台３５ｂの水平移動、回転可動台３５ｃの回転移動、および昇降台３６の昇降移動により、貼付け領域Ｑへと搬送されたワークＷの位置を各方向へ適宜調整できるように構成されている。
【００７２】
気体供給ノズルＮｚは図示しない気体供給源と接続されており、ワークＷの貼り付け面と粘着材片Ｔｐの粘着面とを所定の微小距離Ｄａに近接させた状態、すなわち近接状態においてワークＷと粘着材片Ｔｐとの隙間に気体を供給する。当該気体を供給することにより、近接状態においてワークＷと粘着材片Ｔｐとが接触することを防止する。
【００７３】
ワーク搬送機構９は搬送アーム９ａを備えており、図示しない駆動機構によって水平進退、旋回、および昇降可能となるように構成されている。搬送アーム９ａの先端には一例として馬蹄型のワーク保持部９ｂが設けられている。搬送アーム９ａは、ワーク収納部７に多段収納されたワークＷ同士の間隙を、ワーク保持部９ｂが進退可能に構成されている。ワーク保持部９ｂには吸着孔が設けられており、ワークＷを真空吸着して保持するように構成されている。
【００７４】
粘着材貼付け機構１０は粘着材片ＴｐをワークＷに貼り付けるものであり、貼付けローラ４１と駆動シリンダ４３とを備えている。粘着材貼付け機構１０は、図３に示す案内レール３０に沿って、貼付け領域Ｑの上方を往復移動するように構成されている。貼付けローラ４１は駆動シリンダ４３によって昇降可能に構成されている。すなわち、保持テープＦが貼り付けられた粘着材片Ｔｐは貼付けローラ４１によって上方から押圧され、ワーク保持テーブル８によって保持されているワークＷに粘着材片Ｔｐが貼り付けられる。
【００７５】
保持部材分離機構１１は、ワークＷに貼り付けられた粘着材片Ｔｐから保持テープＦを分離させる。保持部材分離機構１１は、保持テープＦのテンションを維持するガイドローラ５６と、ニップローラ５７とを備えている。ニップローラ５７は昇降移動を可能とするピンチローラ５７ａと、モータによって駆動する送りローラ５７ｂによって構成される。保持部材分離機構１１は、図示しないレールに沿って左右水平に往復移動が可能となるように構成されている。
【００７６】
保持部材回収機構１２は、テープ剥離ユニット１１の下流に配設されており、粘着材片Ｔｐから分離された保持テープＦを巻き取る回収ボビンが巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。
【００７７】
シート状粘着材の貼付け装置１は、さらに制御部４４と、入力部４５と、粘着材位置認識機構４７と、ワーク位置認識機構４８と、切断検査機構４９と、貼付け検査機構５０と、位置判定部５１と、切断判定部５２と、貼付け判定部５３と、記憶部５４と、報知部５５とを備えている。
【００７８】
制御部４４はＣＰＵ（中央演算処理装置）などを備えており、シート状粘着材の貼付け装置１に設けられている構成の各々について、各種動作などを統括制御する。入力部４５の例としてはコンソールパネルやキーボードなどが挙げられ、オペレータは入力部４５を用いて各種指示を入力する。図２に示すように、入力部４５に入力された指示内容は制御部４４に送信され、制御部４４は当該指示に沿って各種制御を行うことができる。
【００７９】
また、オペレータなどが入力部４５を操作することにより、粘着材片Ｔｐのサイズの基準、粘着材片Ｔｐの形状の基準、ワークＷ上に粘着材片Ｔｐを貼り付ける位置の基準、および、当該基準との差の許容値などに関する各種情報を予め入力できる。記憶部５４は入力された各種情報を記憶する。
【００８０】
粘着材位置認識機構４７は、ワークＷに粘着材片Ｔｐを貼り付ける前の所定の時点において、粘着材片Ｔｐを撮影することによって粘着材片Ｔｐの詳細な位置に関する情報を取得する。本実施例において、粘着材位置認識機構４７は貼付け領域Ｑの上方に配設されている一対の粘着材位置認識カメラ４７ａおよび４７ｂを備えている。粘着材位置認識機構４７が取得した粘着材片Ｔｐの位置情報は、位置判定部５１へ送信される。
【００８１】
ワーク位置認識機構４８は、ワークＷに粘着材片Ｔｐを貼り付ける前の所定の時点において、ワークＷを撮影することによってワークＷの詳細な位置に関する情報を取得する。本実施例において、ワーク位置認識機構４８は待機領域Ｐの上方に配設されている一対のワーク位置認識カメラ４８ａおよび４８ｂを備えている。ワーク位置認識機構４８が取得したワークＷの位置情報は、位置判定部５１へ送信される。
【００８２】
切断検査機構４９は粘着材切断機構３の下流における所定の位置に配設されており、粘着材片Ｔｐの切断が正常に行われたか否かを検査する。本実施例において、切断検査機構４９は支持テーブル２４の上方に配設されている一対の切断検査カメラ４９ａおよび４９ｂを備えている。切断検査機構４９は切断軌跡Ｋに沿って切断された粘着材片Ｔｐを撮影し、粘着材片Ｔｐを光学的に認識することによって粘着材片Ｔｐに関する情報を取得する。切断検査機構４９によって取得される情報の例として、粘着材片Ｔｐのサイズおよび形状が挙げられる。切断検査機構４９が取得した情報は、切断判定部５２へ送信される。本発明において「光学的に認識する」とは、カメラまたは光学センサを例とする、光学系を有する光学的な手段を用いて、対象を識別することを意味する。
【００８３】
貼付け検査機構５０は、ワークＷに粘着材片Ｔｐを貼り付けた後の所定の時点において、ワークＷに対して粘着材片Ｔｐが正常に貼り付けられたか否かを検査する。本実施例において、貼付け検査機構５０は待機領域Ｐの上方に配設されている一対の貼付け検査カメラ５０ａおよび５０ｂを備えている。貼付け検査機構５０は、ワークＷに貼り付けられた粘着材片ＴｐとワークＷとを撮影し、ワークＷを光学的に認識することによってワークＷに関する情報を取得する。貼付け検査機構５０によって取得される情報の例として、ワークＷに対して粘着材片Ｔｐが貼り付けられた位置に関する情報が挙げられる。貼付け検査機構５０が取得した情報は、貼付け判定部５３へ送信される。
【００８４】
位置判定部５１は図１２（ｂ）に示すように制御部４４の上流に設けられており、粘着材位置認識機構４７が取得した情報とワーク位置認識機構４８が取得した情報とを用いて、ワークＷに対する粘着部材Ｔｐの相対的な位置を算出する。ワーク位置判定部５２は算出された相対的位置の情報を制御部４４へ送信する。制御部４４は、貼付け領域Ｑへ移動したワーク保持テーブル８の位置を適宜移動させることにより、粘着材貼付け機構１０において、粘着部材Ｔｐに対するワークＷの位置を調整する。
【００８５】
切断判定部５２は図１０（ｂ）に示すように制御部４４の上流に設けられており、切断検査機構４９が検知した情報を用いて各種演算を行い、粘着材切断機構３によって形成された粘着材片Ｔｐの各々について、サイズおよび形状を算出する。そして算出された粘着材片Ｔｐのサイズおよび形状の情報と、予め記憶部５４に記憶されている粘着材片Ｔｐのサイズおよび形状の基準に関する情報とを比較し、実際に形成された粘着材片Ｔｐのサイズおよび形状と、各々の基準値との差が許容値の範囲内であるか否かを判定する。粘着材片Ｔｐのサイズおよび形状について、基準値との差が許容値の範囲内である場合、粘着材片Ｔｐは使用可能と判定される。
【００８６】
貼付け判定部５３は図１７（ｂ）に示すように制御部４４の上流に設けられており、貼付け検査機構５０が検知した画像情報を用いて各種演算を行い、粘着材貼付け機構１０によって粘着材片Ｔｐが実際に貼付けられた位置を算出する。貼付け判定部５３は、算出された位置の情報を、予め記憶部５４に記憶されている基準となる貼付け位置と比較する。さらに貼付け判定部５３は、ワークＷに対して粘着材片Ｔｐが実際に貼り付けられた位置と基準位置との差が許容範囲内であるか否かを判定する。粘着材片Ｔｐが貼り付けられている位置が許容範囲内である場合は粘着材片Ｔｐの貼付け工程が正常に行われたと判定され、当該判定結果の情報が制御部４４へと送信される。
【００８７】
報知部５５は、切断判定部５２または貼付け判定部５３による判定の結果、粘着材片Ｔｐのサイズ、形状、または貼付け位置が許容範囲外であった場合、シート状粘着材Ｔの切断工程または粘着材片Ｔｐの貼付け工程にエラーが発生したことを報知する。報知部５５の構成としては、点灯ランプまたは警報音発生装置などが例として挙げられる。
【００８８】
＜テープ貼付け動作の概要＞
ここで、実施例に係るシート状粘着材の貼付け装置１の基本動作を説明する。図４（ａ）は、シート状粘着材の貼付け装置１を用いて、ワークＷに対して粘着材片Ｔｐを貼り付ける工程を説明するフローチャートである。
【００８９】
ステップＳ１（ワークの供給）
貼付け指令が出されると、ワーク保持テーブル８は待機領域Ｐへと移動するとともに、吸着パッド３８の先端がワーク載置部３７の載置面から突出して受け取り位置へと上昇する。そして、ワーク搬送機構９の搬送アーム９ａがワーク収納部７のマガジンＣ１に挿入される。搬送アーム９ａのワーク保持部９ｂは、所定のワークＷを裏面側から吸着保持して取り出し、ワーク保持テーブル８上へと搬送する。
【００９０】
ワーク保持部９ｂによって裏面吸着されているワークＷは、図７（ａ）に示すように、ワーク載置部３７から突出している吸着パッド３８に載置される。その後、図７（ｂ）に示すように吸着パッド３８が下降し、ワークＷはワーク載置部３７の上面に載置される。
【００９１】
ワーク載置部３７にワークＷが載置されると、四方の位置決め部材３９がそれぞれワーク載置部３７の中心側へと進出し、ワークＷがワーク載置部３７の中心上に位置決めされる。位置決めがされた状態で図示しない真空装置が作動し、ワークＷはワーク載置部３７に吸着保持される。
【００９２】
ステップＳ２（シート状粘着材の切断）
一方、粘着材供給機構２から繰り出し供給されているシート状粘着材Ｔは図８（ａ）に示すように、粘着材切断機構３の下板１３の上で一時的に走行停止する。そして図８（ｂ）に示すように、下板１３の位置を上昇させることによって下板１３の上におけるシート状粘着材Ｔのテンションを調整する。具体的にはシート状粘着材Ｔに弛みが発生せず、かつシート状粘着材Ｔが伸張しない程度のテンションに調整される。
【００９３】
シート状粘着材Ｔのテンションを調整した後、図８（ｃ）に示すように切断ユニット１５を下降させてシート状粘着材Ｔを切断させる。すなわち、モータ１６ａによって可動台１７は点線で示される初期位置から下降して切断位置へと移動する。切断位置へ移動することにより、下板１３の上で走行停止しているシート状粘着材Ｔに対して切断刃１９が上方から押圧され、環状の切断刃１９によってシート状粘着材Ｔが切断されていく。その結果、図１などに示すように、シート状粘着材Ｔは環状の切断軌跡Ｋに沿って切断され、切断軌跡Ｋに応じた所定形状の粘着材片Ｔｐが形成される。
【００９４】
なお、下方へ移動した可動台１７は、受け止めピン１８によって受け止められる。受け止めピン１８が可動台１７を所定の高さで受け止めることにより、シート状粘着材Ｔの層を完全に切断した切断刃１９が、さらにセパレータＳの層まで完全に切断してしまうという事態を回避できる。切断ユニット１５によるシート状粘着材Ｔの切断が完了し、切断ユニット１５が上昇して初期位置へと復帰することによりステップＳ２の工程は完了する。
【００９５】
ステップＳ３（粘着材片の分離）
粘着材切断機構３によって粘着材片Ｔｐが形成されると、シート状粘着材Ｔの走行が再開され、シート状粘着材Ｔはさらに下流へと送られる。そしてシート状粘着材Ｔを下流へと送りつつ、粘着材分離機構４において粘着材片Ｔｐを粘着材片Ｔｐ以外の部分のシート状粘着材Ｔから分離させる。
【００９６】
すなわち、粘着材分離機構４は図９（ａ）および図９（ｂ）に示すように、シート状粘着材Ｔを繰り出し方向Ｌｎに沿って左方向へと送りつつ、粘着材片Ｔｐの周囲に残る余剰粘着材Ｔｎを巻き上げることにより、当該余剰粘着材ＴｎをセパレータＳから剥離する。剥離された余剰粘着材Ｔｎは、回収ボビン２１に巻き取り回収される。余剰粘着材Ｔｎを巻き取り回収することにより、粘着材片Ｔｐは粘着材片Ｔｐ以外の部分のシート状粘着材Ｔから分離され、図９（ｃ）に示すように、セパレータＳの上に粘着材片Ｔｐが残った状態となる。そして粘着材片Ｔｐの上流において、シート状粘着材Ｔが粘着材切断機構３によって切断されて新たな粘着材片Ｔｐが形成される（図９（ｄ））。
【００９７】
ステップＳ４（切断状態の検査）
粘着材片Ｔｐの分離が完了すると、当該粘着材片ＴｐはセパレータＳとともに粘着材保持機構５へ送られ、支持テーブル２４の上で一時的に走行停止する。支持テーブル２４は、セパレータＳとともに粘着材片Ｔｐを吸着保持する。そして支持テーブル２４の上方に配設されている切断検査機構４９により、粘着材片Ｔｐの切断状態を検査する。
【００９８】
切断検査機構４９は図１０（ａ）に示すように、一対の切断検査カメラ４９ａおよび４９ｂを用いて粘着材片Ｔｐを撮影し、粘着材片Ｔｐのサイズおよび形状に関する情報を取得する。本実施例において、切断検査カメラ４９ａおよび４９ｂは、矩形状の粘着材片Ｔｐが有する４つの角部のうち、対向する２つの角部をそれぞれ撮影する。切断検査カメラ４９ａおよび４９ｂによって取得された粘着材片Ｔｐの画像情報は、図１０（ｂ）に示すように切断判定部５２へと送信される。
【００９９】
切断判定部５２は、切断検査機構４９によって得られた情報を用いて演算を行い、粘着材片Ｔｐの正確なサイズおよび形状を算出する。ここで、粘着材片Ｔｐのサイズおよび形状を算出する方法の一例を説明する。図１０（ｃ）は切断検査カメラ４９ａによって得られた画像情報を示している。切断検査カメラ４９ａの撮影領域Ｌ１において、粘着材片Ｔｐの角部Ｊ１における２つの辺Ｍ１およびＭ２が写し出されている。
【０１００】
切断検査カメラ４９ａの位置および撮影方向に関する情報は予め得られているので、ｘ方向に対する辺Ｍ１の角度Ｄ１、およびｘ方向に対する辺Ｍ２の角度Ｄ２の情報を算出できる。すなわち、切断検査カメラ４９ａの画像情報によって、辺Ｍ１が延びる方向ＪＴ１および辺Ｍ２が延びる方向ＪＴ２の各々が正確に算出される。
【０１０１】
切断検査カメラ４９ｂは、角部Ｊ１に対向する角部Ｊ２を撮影する。そのため、切断検査カメラ４９ｂの撮影領域Ｌ２において、粘着材片Ｔｐの角部Ｊ２における２つの辺Ｍ３およびＭ４が写し出されている。従って、撮影領域Ｌ２の画像情報によって、辺Ｍ３および辺Ｍ４の各々が延びる方向が正確に算出される。
【０１０２】
辺Ｍ１〜Ｍ４の各々が延びる方向が算出されると、図１０（ｄ）に示すように、撮影領域Ｌ１およびＬ２に実際に映っている辺Ｍ１〜Ｍ４から、点線で示す辺Ｍ１〜Ｍ４の延長線を作成する。その結果、辺Ｍ１〜Ｍ４の延長線が交差する部分が残り２つの角部Ｊ３およびＪ４の正確な位置として算出される。そして、角部Ｊ１〜Ｊ４の各々を結ぶ直線に囲まれた領域Ｖのサイズおよび形状が、粘着材切断機構３によって実際に形成された粘着材片Ｔｐのサイズおよび形状に相当する。
【０１０３】
粘着材片Ｔｐのサイズを検査する場合に判定対象となるパラメータとしては、粘着材片Ｔｐの辺Ｍ１〜Ｍ４の長さなどが挙げられる。粘着材片Ｔｐの形状を検査する場合、辺Ｍ１〜Ｍ４における歪みの有無、または角部Ｊ１〜Ｊ４における角度の大きさなどが判定対象として挙げられる。
【０１０４】
このように、角部Ｊ１および角部Ｊ２を撮影することにより、辺Ｍ１〜Ｍ４の長さとｘ方向に対する傾きとを算出できるので、実際に形成された粘着材片Ｔｐのサイズおよび形状を正確に算出できる。すなわち、対向する角部Ｊ１および角部Ｊ２の部分に相当する粘着材片Ｔｐの画像情報を用いて演算することにより、粘着材片Ｔｐの全体像を再現できる。
【０１０５】
記憶部５４から切断判定部５２に対して、理想的な粘着材片Ｔｐのサイズおよび形状（粘着材片Ｔｐの基準サイズおよび基準形状）として予め記憶されている情報が送信される。切断判定部５２は、実際に作成された粘着材片Ｔｐの正確なサイズおよび形状を算出した後、粘着材片Ｔｐの基準サイズおよび基準形状の情報と比較する。当該比較により、実際に形成された粘着材片Ｔｐのサイズと基準サイズとの差Ｓ１、および実際に形成された粘着材片Ｔｐの形状と基準形状との差Ｓ２を算出できる。
【０１０６】
差Ｓ１および差Ｓ２がいずれも予め定められた許容値以下である場合、実際に形成された粘着材片ＴｐはワークＷへの貼付けに用いることができる合格品であると判定される。一方、差Ｓ１および差Ｓ２のうち少なくとも一方が許容値以上である場合、実際に形成された粘着材片Ｔｐは不合格品であると判定される。形成された粘着材片Ｔｐが合格品であるか否かに関する情報は、切断判定部５２から制御部４４へと送信される。
【０１０７】
制御部４４は、形成された粘着材片Ｔｐが合格品であるとの情報を受信した場合、粘着材片Ｔｐの貼付け工程を続行させる。この場合、合格品である粘着材片Ｔｐを用いて次のステップＳ５に係る工程が行われる。
【０１０８】
一方、形成された粘着材片Ｔｐが不合格品であるとの情報を受信した場合、一例として制御部４４は報知部５５を制御して不合格品が発生した旨の情報をオペレータに報知させるとともに、貼付け装置１の各構成を制御して運転を一時的に中断させる。オペレータは、報知部５５によって報知された情報によって不合格品の発生を確認し、不合格品の粘着材片ＴｐをセパレータＳから取り除くことができる。不合格品の粘着材片Ｔｐが除去された後、一時的な中断状態が解除される。そして、次に形成された粘着材片Ｔｐが支持テーブル２４に送られ、当該粘着材片Ｔｐに対して切断検査の工程が行われる。
【０１０９】
ステップＳ５（粘着材片の保持）
切断検査の結果、粘着材片Ｔｐが合格品であると判定された場合、続いて粘着材片を保持する工程を実行する。すなわち支持テーブル２４に吸着保持されている粘着材片Ｔｐに対して、保持テープＦを貼り付ける。保持テープＦを貼り付ける動作の開始時点において、保持テープＦは図１１（ａ）に示すように、供給ボビン２３から繰り出し供給されて支持テーブル２４の上方へと案内されている。
【０１１０】
ステップＳ５に係る粘着材片の保持工程が開始されると、図１１（ｂ）に示すように貼付けユニット２５の貼付けローラ２７は駆動シリンダ２９によって下降され、粘着材片Ｔｐの上面の一端側に保持テープＦを押しつける。次に図１１（ｃ）に示すように、貼付けローラ２７は保持テープＦを下方に押圧しながら支持テーブル２４の一端側から他端側へと転動し、実線で示す終端位置へと移動する。これにより、保持テープＦは粘着材片Ｔｐの上面全体に貼り付けられる。
【０１１１】
保持テープＦを貼り付けることにより、上向きとなっている粘着材片Ｔｐの非粘着面を介して、粘着材片Ｔｐは保持テープＦによって安定に保持される。粘着材片Ｔｐの上面全体に保持テープＦが貼り付けられると、貼付けユニット２５は上昇し、終端位置から初期位置へと復帰する。そして支持テーブル２４による吸着保持が解除され、粘着材片ＴｐはセパレータＳおよび保持テープＦとともに下流へと送られる。
【０１１２】
ステップＳ６（セパレータの回収）
粘着材片Ｔｐを下流へと送りつつ、セパレータ回収機構６において粘着材片ＴｐからセパレータＳを分離させる。図２に示すように、保持テープＦが貼り付けられた粘着材片ＴｐおよびセパレータＳは、ガイドローラ３１によって保持テープＦ付きの粘着材片Ｔｐと、セパレータＳとに剥離される。剥離されたセパレータＳは、送りローラ３２を経由して回収ボビン３３に巻き取り回収される。
【０１１３】
セパレータＳが剥離されることにより、粘着材片Ｔｐの粘着面が露出する。このとき、粘着材片Ｔｐには長尺状の保持テープＦが既に貼り付けられている。そのため、セパレータＳが粘着材片Ｔｐから剥離された後であっても、粘着材片Ｔｐは変形することなく保持テープＦによって安定に保持される。すなわち、粘着材片Ｔｐのうち粘着面と逆の面に保持テープＦを貼り付けることにより、セパレータＳの剥離後においても粘着材片Ｔｐを平坦な状態に維持できる。セパレータＳが剥離された状態の粘着材片Ｔｐは、保持テープＦとともに下流へと送られる。
【０１１４】
ステップＳ７（粘着材片とワークの位置調整）
粘着材片ＴｐをワークＷに貼り付ける工程を行う前に、粘着材片ＴｐとワークＷとの位置を調整させる工程を行う。保持テープＦによって保持された粘着材片Ｔｐは、貼付け領域Ｑにおいて一時的に走行停止する。そして貼付け領域Ｑの上方に配設されている粘着材位置認識機構４７により、粘着材片Ｔｐの正確な位置を検知する。
【０１１５】
粘着材位置認識機構４７は図１３（ａ）に示すように、一対の粘着材位置認識カメラ４７ａおよび４７ｂを用いて粘着材片Ｔｐを撮影し、粘着材片Ｔｐの画像情報を取得する。粘着材位置認識カメラ４７ａおよび４７ｂは切断検査機構４９と同様に、保持テープＦに保持されている粘着材片Ｔのうち対向する２つの角部Ｊ１およびＪ２の部分をそれぞれ撮影する。貼付け領域Ｑの上方に配設されている粘着材位置認識機構４７は、保持テープＦ越しに粘着材片Ｔｐの画像を撮影する。
【０１１６】
粘着材位置認識カメラ４７ａおよび４７ｂは角部Ｊ１およびＪ２、すなわち粘着材片Ｔｐの一部を撮影する。一般的に広い範囲を撮影した場合、撮影範囲の周辺部に映る像は中央部に映る像と比べて歪みが大きくなるので、周辺部に映る像に関する位置情報の精度は低くなる。そして撮影範囲を広くする程、周辺部における当該歪みは大きくなる。一方で本実施例に係る粘着材位置認識カメラ４７ａおよび４７ｂは狭い範囲に限定して撮影を行うので、撮影によって得られる画像は全体にわたって歪みの少ない、正確な情報を取得しやすい画像となる。
【０１１７】
貼付け領域Ｑの上方に配設されている粘着材位置認識機構４７は、保持テープＦ越しに粘着材片Ｔｐの画像を撮影する。保持テープＦは光透過性を有する材料で構成されているので、粘着材片Ｔｐの上方から保持テープＦ越しに粘着材片Ｔｐを撮影した場合であっても明瞭な粘着材片Ｔｐの画像情報を取得できる。また、貼付け装置１において、粘着材片Ｔｐの下方と比べて粘着材片Ｔｐの上方は空間的余裕が広いので、粘着材位置認識機構４７を容易に配設できる。また、配設された粘着材位置認識機構４７が貼付け装置１の他の構成に干渉する事態もより確実に回避できる。粘着材位置認識機構４７によって得られた粘着材片Ｔｐの画像情報は図１３（ｂ）に示すように、位置判定部５１へと送信される。
【０１１８】
一方、ワーク保持テーブル８に保持されているワークＷについても正確な位置の検知を行う。すなわち、待機位置Ｐに配置されているワークＷに対して、待機位置Ｐの上方に配設されているワーク位置認識機構４８により、ワークＷの画像情報を取得する。
【０１１９】
ワーク位置認識機構４８は図１２（ａ）に示すように、一対のワーク位置認識カメラ４８ａおよび４８ｂを用いてワークＷを撮影し、ワークＷの画像情報を取得する。ワーク位置認識カメラ４８ａおよび４８ｂは、ワークＷのうち対向する２つの角部Ｅ１およびＥ２をそれぞれ上方から撮影する。ワーク位置認識機構４８によって得られたワークＷの画像情報は図１２（ｂ）に示すように、位置判定部５１へと送信される。
【０１２０】
位置判定部５１は、粘着材位置認識機構４７およびワーク位置認識機構４８によって得られた画像情報を用いて演算を行い、ワークＷに対する粘着材片Ｔｐの相対的な位置を算出する。ワークＷに対する粘着材片Ｔｐの相対的な位置を算出する方法は、切断判定部５２が行う算出方法と同様である。
【０１２１】
まずは、粘着材位置認識機構４７によって得られた、対向する角部Ｊ１および角部Ｊ２の部分に相当する粘着材片Ｔｐの画像情報を用いて演算することにより、粘着材片Ｔｐの全体像を再現する。粘着材位置認識カメラ４７ａが撮影した画像を用いて、辺Ｍ１およびＭ２が延びる方向の情報を得ることができる。粘着材位置認識カメラ４７ｂが撮影した画像を用いて、辺Ｍ３およびＭ４が延びる方向の情報を得ることができる。従って、Ｍ１〜Ｍ４によって囲まれる領域として、粘着材片Ｔｐの全体像を再現できる。
【０１２２】
粘着材位置認識機構４７の位置情報を予め取得しておくことにより、再現された粘着材辺Ｔｐの全体像の位置も算出できる。よって、位置判定部５１は粘着材位置認識機構４７の画像情報を用いて粘着材片Ｔｐ全体の正確な位置を算出できる。同様に、位置判定部５１は角部Ｅ１を映し出している画像情報と角部Ｅ２を映し出している画像情報を用いて、ワークＷの全体像を再現する。そして予め得られているワーク位置認識機構４８の位置情報を用いることにより、ワークＷ全体の正確な位置を算出する。
【０１２３】
粘着材位置認識機構４７は粘着材片Ｔｐの一部のみを撮影することによって、歪みの少ない正確な画像情報を取得する。ワーク位置認識機構４８はワークＷの一部のみを撮影することによって、歪みの少ない正確な画像情報を取得する。一方で、位置判定部５１は粘着材片Ｔｐの一部を映す画像情報とワークＷの一部を映す画像情報とを用いて、粘着材片Ｔｐの全体像の情報とワークＷの全体像の情報とを算出する。位置判定部５１はさらにワークＷと粘着材片Ｔｐとの相対的位置関係に関する情報を算出する。
【０１２４】
当該相対的位置関係に関する情報を算出する場合、ワークＷおよび粘着材片Ｔｐについて、より広い範囲の情報を得る方が正確に算出できる。すなわちワークＷ等の一部に限定した狭い範囲を撮影しつつ、当該撮影によって得られた画像を用いてワークＷ等の全体像を算出するという方法を採用することにより、画像の情報の精度を向上させる効果とワークＷと粘着材片Ｔｐとの相対的位置関係に関する情報の精度を向上させる効果との両方を実現できる。
【０１２５】
位置判定部５１は、算出された粘着材片Ｔｐの位置情報とワークＷの位置情報とを比較することにより、ワークＷに対する粘着材片Ｔｐの相対的な位置を算出する。相対的な位置に関する情報として、ｘ方向およびｙ方向におけるワークＷと粘着材片Ｔｐとの距離、並びにθ方向におけるワークＷと粘着材片Ｔｐとの角度の差に関する情報が例として挙げられる。
【０１２６】
位置判定部５１によって算出された、粘着材片ＴｐとワークＷとの相対的な位置に関する情報は制御部４４へと送信される。制御部４４は当該相対的な位置情報に基づいて可動台３５を制御することによって、粘着材片Ｔｐに対するワークＷの位置を調整する。まずは図１２（ｃ）に示すように、制御部４４の制御信号に基づいて、前後可動台３５ａはガイドレールＲ１に沿って待機位置Ｐから貼付け領域Ｑへとｙ方向に水平移動する。
【０１２７】
貼付け領域Ｑへ移動した時点では、図１３（ｂ）に示すように、平面視におけるワークＷの位置と粘着材片Ｔｐの位置との間にはｘ、ｙ、θの各方向についてズレが発生している。このようなズレが発生する原因としては、ワークＷをワーク保持テーブル８に搬送および載置する際に発生する機械的なブレなどが考えられる。
【０１２８】
次に図１３（ａ）に示すように、制御部４４は前後可動台３５ａ、左右可動台３５ｂ、および回転可動台３５ｃの各々を制御することにより、貼付け領域Ｑへと移動したワークＷの位置を、ｘ方向、ｙ方向、およびθ方向などの各方向について調整する。位置判定部５１によってワークＷと粘着材片Ｔｐとの相対的位置に関する正確な情報が算出されている。そのため位置判定部５１が算出した情報を用いて可動台３５を調整することにより、図１３（ｃ）に示すように、ワークＷの中心の位置と粘着材片Ｔｐの中心の位置とを正確に一致させることができる。
【０１２９】
ステップＳ８（粘着材片とワークを近接）
粘着材片ＴｐとワークＷの位置とを調整した後、ワークＷと粘着材片Ｔｐとを近接させる。すなわち制御部４４は昇降台３６の昇降移動を制御してワーク載置部３７を上昇させる。ワーク載置部３７が上昇することにより、ワークＷは図１４において実線で示す近接位置へと移動し、ワークＷと粘着材片Ｔｐとは近接状態となる。
【０１３０】
当該近接移動により、ワークＷの貼り付け面と粘着材片Ｔｐの粘着面との距離は、比較的大きい距離Ｄｂから微小距離であるＤａとなる。ワークＷが近接位置へ移動した状態におけるワークＷと粘着材片Ｔｐとの距離Ｄａの大きさは、０．３ｍｍ以上３ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以上１．５ｍｍ以下であることがより好ましい。
【０１３１】
ワークＷと粘着材片Ｔｐとを近接状態にさせた後、気体供給ノズルＮｚはワークＷと粘着材片Ｔｐとの隙間に気体Ｇａを供給する。当該気体Ｇａを供給することにより、ステップＳ９に係る貼付け工程が開始される前にワークＷと粘着材片Ｔｐとが接触することを防止できる。すなわち、ワークＷと粘着材片Ｔｐとの接触に起因して、ワークＷにおける想定外の位置に粘着材片Ｔｐが粘着するという事態の発生を回避できる。
【０１３２】
さらに気体Ｇａの供給により、ワークＷおよび粘着材片Ｔｐのいずれに対しても機械的な接触を行うことなく、ワークＷと粘着材片Ｔｐとの接触を防止できる。そのため、ワークＷと粘着材片Ｔｐとの接触を防止する工程の際に、ワークＷおよび粘着材片Ｔｐが変形するという事態および粘着材片Ｔｐの貼り付け位置がズレるという事態が発生することを防止できる。
【０１３３】
ステップＳ９（粘着材片の貼付け）
ワークＷと粘着材片Ｔｐとを近接させた後、粘着材貼付け機構１０の貼付けローラ４１は駆動シリンダ４３によって下降し、ワークＷの上面の一端側に粘着材片Ｔｐを押しつける。次に図１５（ｂ）に示すように、貼付けローラ４１は粘着材片Ｔｐを下方に押圧しながら、保持テープＦの上をワーク保持テーブル８の一端側から他端側へと転動し、実線で示す終端位置へと移動する。貼付けローラ４１の転動により、粘着材片ＴｐはワークＷの表面に貼り付けられる。
【０１３４】
本実施例では粘着材貼付け機構１０が作動する前に、予めワークＷと粘着材片Ｔｐとの位置調整を行っている。そのため、ワークＷに対する粘着材片Ｔｐの位置ズレが確実に解消された状態で粘着材片ＴｐをワークＷに貼り付ける工程が開始される。よって、ワークＷに対して粘着材片Ｔｐが貼り付けられる位置の精度を向上できる。
【０１３５】
さらに本実施例では、予めワークＷと粘着材片Ｔｐとを近接状態にさせた後、粘着材貼付け機構１０を作動させる。すなわち、ｚ方向におけるワークＷの貼り付け面と粘着材片Ｔｐの粘着面との距離を比較的大きい距離Ｄｂから所定の微小距離Ｄａへと近づけた状態で貼付けローラ４１は粘着材片Ｔｐを押圧してワークＷに貼り付ける。そのため、ワークＷと粘着材片Ｔｐとの距離がＤｂである状態で粘着材片ＴｐをワークＷに貼り付ける操作を開始する従来構成と比べて、粘着材片Ｔｐが下方へ押圧される際に発生するｘ方向又はｙ方向への粘着材片Ｔｐの位置ズレの大きさを低減できる。
【０１３６】
また、微小距離Ｄａへ近づけてから貼付け工程を開始する本発明では、貼付けローラ４１の押圧力が小さくとも粘着材片ＴｐをワークＷに貼り付けることができる。ローラ４１の押圧力が小さくなると、当該押圧力に起因する粘着材片ＴｐまたはワークＷの変形を防止できる。従って、予めワークＷを粘着材片Ｔｐに近接させた状態で粘着材片ＴｐをワークＷに貼り付ける動作を開始することにより、ワークＷに対する粘着材片Ｔｐの貼り付け位置の精度をさらに向上できる。
【０１３７】
ステップＳ１０（保持部材の分離）
ワークＷに粘着材片Ｔｐが貼り付けられると、粘着材貼付け機構１０は終端位置から初期位置へと復帰する。粘着材貼付け機構１０が初期位置へ復帰するとともに、保持部材分離機構１１が図１６（ａ）で示す初期位置から図１６（ｂ）で示す終端位置へ右方向に移動する。保持部材分離機構１１は終端位置へ移動しつつ、保持テープＦを巻き上げる。
【０１３８】
保持テープＦを巻き上げることにより、保持テープＦは粘着材片Ｔｐから分離される。保持テープＦの粘着力は、粘着材片ＴｐとワークＷとの粘着力より小さくなるように構成されているので、保持テープＦを巻き上げる際に粘着材片Ｔｐが保持テープＦとともに巻き上げられる事態を防止できる。巻き上げられた保持テープＦは、保持部材回収機構１２の回収ボビンにより巻き取り回収される。保持テープＦを分離することにより、ワーク保持テーブル８の上には粘着材片Ｔｐが貼り付けられたワークＷが残される。
【０１３９】
ステップＳ１１（貼付け状態の検査）
保持テープＦを粘着材片Ｔｐから剥離した後、ワーク保持テーブル８は粘着材片Ｔｐが貼り付けられたワークＷを保持しつつ、ガイドレールＲ１に沿って貼付け領域Ｑから待機位置Ｐへと移動する。そして待機位置Ｐの上方に配設されている貼付け検査機構５０により、粘着材片Ｔｐの貼付け状態を検査する。
【０１４０】
貼付け検査機構５０は図１７（ａ）に示すように、一対の貼付け検査カメラ５０ａおよび５０ｂを用いて粘着材片Ｔｐが貼り付けられているワークＷを撮影し、粘着材片Ｔｐが貼り付けられているワークＷの画像情報を取得する。本実施例において、貼付け検査カメラ５０ａおよび５０ｂは、ワークＷの角部のうち、対向する２つの角部Ｅ１およびＥ２をそれぞれ撮影する。貼付け検査カメラ５０ａおよび５０ｂによって取得されたワークＷおよび粘着材片Ｔｐの画像情報は、図１７（ｂ）に示すように貼付け判定部５３へと送信される。
【０１４１】
貼付け判定部５３は、貼付け検査機構５０によって得られた情報を用いて演算を行い、ワークＷ上において粘着材片Ｔｐが貼り付けられている位置の情報を算出する。図１７（ｃ）に示すように、貼付け検査カメラ５０ａの撮影領域Ｎ１において粘着材片Ｔｐの角部Ｊ１とワークＷの角部Ｅ１とが写し出されている。貼付け判定部５３はワークＷおよび粘着材片Ｔｐの色または光反射率の違いなどによって、ワーク保持テーブル８とワークＷと粘着材片Ｔｐとを識別する。
【０１４２】
貼付け判定部５３は、位置判定部５１および切断判定部５２と同様の演算によって、ワークＷに貼り付けられている粘着材片Ｔｐの位置を算出する。すなわち、貼付け検査カメラ５０ａの撮影領域Ｎ１に映るワークＷの角部Ｅ１の映像から、ワークＷの２つの辺が延びる方向ＥＴ１およびＥＴ２を算出する。そして、貼付け検査カメラ５０ｂが撮影した画像情報から、ワークＷの残り２つの辺が延びる方向も算出できる。よって、４つの辺によって囲まれる領域として、ワークＷの全体像を再現できる。
【０１４３】
貼付け判定部５３は、さらに貼付け検査カメラ５０ａ映る粘着材片Ｔｐの角部Ｊ１の画像情報を用いて、粘着材片Ｔｐの２つの辺が延びる方向ＪＴ１およびＪＴ２を算出する。そして貼付け判定部５３は、貼付け検査カメラ５０ｂが撮影した画像情報から粘着材片Ｔｐの残り２つの辺が延びる方向も算出し、４つの辺によって囲まれる領域として粘着材片Ｔｐの全体像を再現する。ワークＷと粘着材片Ｔｐの全体像を再現することにより、ワークＷに貼り付けられている粘着材片Ｔｐの端部とワークＷの端部との距離ＲＳが、ワークの外周全体にわたって算出される。
【０１４４】
貼付け判定部５３は、粘着材片Ｔｐの端部とワークＷの端部との距離ＲＳを算出した後、予め記憶部５４に記憶されている基準値ＳＶと比較する。基準値ＳＶとは、ワークＷに対して粘着材片Ｔｐが理想的な位置に貼り付けられている場合における距離ＲＳの値、すなわち距離ＲＳの基準値である。一例としてワークＷのサイズおよび形状と、粘着材片Ｔｐのサイズおよび形状が一致するよう構成されている場合、基準値ＳＶはゼロである。
【０１４５】
距離ＲＳと基準値ＳＶとの差が、ワークＷの外周全体にわたって許容値の範囲内である場合、ワークＷに対する粘着材片Ｔｐの貼付け工程は正常に実行されたと判定される。すなわち、粘着材片Ｔｐが貼り付けられたワークＷは合格品であると判定される。
【０１４６】
一方、距離ＲＳと基準値ＳＶとの差が許容値の範囲外である部分があった場合、粘着材片Ｔｐが貼り付けられたワークＷは不合格品であると判定される。粘着材片Ｔｐが貼り付けられたワークＷが合格品であるか否かに関する情報は、貼付け判定部５３から制御部４４へと送信される。
【０１４７】
制御部４４は、ワークＷが合格品であるとの情報を受信した場合、次のステップＳ１２に係る工程を実行させて合格品のワークＷを回収させる。一方、ワークＷが不合格品であるとの情報を受信した場合、一例として制御部４４は報知部５５を制御して不合格品が発生した旨の情報をオペレータに報知させるとともに、貼付け装置１の各構成を制御して運転を一時的に停止させる。オペレータは、報知部５５によって報知された情報によって不合格品の発生を確認し、不合格品のワークＷを取り除く。取り除かれた後、制御部４４の自動制御または入力部４５による操作などによって、シート状粘着材の貼付け装置１の運転を再開させる。
【０１４８】
ステップＳ１２（ワークの回収）
粘着材片Ｔｐが貼り付けられたワークＷについて、当該ワークＷが合格品であると判定された場合、粘着材片Ｔｐが貼り付けられたワークＷを回収する。すなわち吸着パッド３８がワーク載置部３７の内部から受け取り位置へと上昇しつつ、ワークＷを吸着保持する。吸着保持されたワークＷは、受け取り位置へと持ち上げられる。そして、ワーク搬送機構９の搬送アーム９ａがワークＷを裏面側から吸着保持し、ワークＷをワーク保持テーブル８からワーク収納部７へと搬出する。搬送アーム９ａは、ワーク収納部７のマガジンＣ２に、粘着材片Ｔｐが貼り付けられたワークＷを差し込み収納する。
【０１４９】
以上で一巡の動作が終了し、以後、ステップＳ１からステップＳ１２までの動作を順次繰返してゆく。
【０１５０】
上記実施例に係る装置によれば、ワークＷの形状に応じた所定の形状にシート状粘着材Ｔを切断することによって粘着材片Ｔｐを形成させ、当該粘着材片ＴｐをワークＷに貼り付ける工程において、粘着材片Ｔｐが貼り付けられる位置の精度を向上できる。
【０１５１】
すなわち、貼付け過程の前において、切断検査機構４９および切断判定部５２によってシート状粘着材Ｔの切断過程における異常の有無が検査される。すなわち、シート状粘着材Ｔを切断して粘着材片Ｔｐを形成される際に、シート状粘着材Ｔが想定通りの位置で切断されたか否かが検査される。また、貼付け過程の後において、貼付け検査機構５０および貼付け判定部５３によって粘着材片Ｔｐの貼付け過程における異常の有無が検査される。すなわち、シート状粘着材ＴをワークＷに貼り付ける際に、想定通りの範囲内にシート状粘着材Ｔが貼り付けられたか否かが検査される。
【０１５２】
予めシート状粘着材Ｔを所定形状の切断軌跡Ｋに沿って切断して粘着材片Ｔｐを作製する場合、条件の変化などに起因して切断軌跡Ｋは想定される軌跡から外れることがある。本実施例では貼付け過程の前に検査を行う場合、切断過程における異常の有無を検査する。そのため、シート状粘着材Ｔが想定通りの位置で切断されずに粘着材片Ｔｐのサイズまたは形状が想定される状態と異なる、といった切断過程の異常が発生した場合であっても、当該異常を看過することを回避できる。従って、想定と異なるサイズまたは形状の粘着材片ＴｐをワークＷに貼り付けたことに起因して粘着材片Ｔｐの貼付け位置にズレが発生するという事態を回避できるので、粘着材片Ｔｐの貼付け精度を向上できる。
【０１５３】
また、本実施例では貼付け過程の後に検査を行う場合、貼付け過程における異常の有無を検査する。そのため、ワークＷに対して粘着材片Ｔｐが貼り付けられた位置が想定される範囲から外れているといった、貼付け過程における異常が発生した場合であっても、当該異常を看過することを回避できる。従って、不適切な位置に粘着材片Ｔｐが貼り付けられたワークＷが、製品としてワーク収納部７のマガジンＣ２に混入される事態を回避できるので、製品における粘着材片Ｔｐの貼付け精度の低下を回避できる。
【０１５４】
このように、本発明では僅かな条件変化等に起因する粘着材片ＴｐまたはワークＷの位置ズレ、およびシート状粘着材Ｔの切断位置のズレを考慮し、粘着材片ＴｐまたはワークＷの検査を適切なタイミングで行う。そのため、粘着材片Ｔｐの貼付け精度が低下する原因となる事態の発生を回避できるので、ワークＷに対する粘着材片Ｔｐの貼付け精度を向上できる。
【０１５５】
また、本発明では粘着材片ＴｐまたはワークＷを光学的に認識することによって、異常の有無を検査するための情報を取得する。すなわち、光学系を備える光学的手段を用いて粘着材片ＴｐまたはワークＷを識別するので、画像情報を例とする、粘着材片ＴｐまたはワークＷの状態に関するより詳細な情報を取得できる。当該詳細な情報を用いて検査を行うので、異常の発生を確実かつ速やかに判別できる。
【０１５６】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【０１５７】
（１）本実施例において、シート状粘着材Ｔの例として、ワークＷを保護する保護用の粘着テープ（保護テープ）を例に挙げて説明したが、シート状粘着材Ｔはこれに限ることはない。保護テープの他に、ウエハＷをリングフレームｆとにわたって支持する支持用粘着テープ（ダイシングテープ）など他の用途に用いられる材料を用いてもよい。
【０１５８】
さらに本発明ではシート状粘着材Ｔとして、粘着材または接着材を有する、シート、テープ、またはフィルムなどを適用できる。シート状粘着材Ｔの形態としてはロール状の他に枚葉状など他の形態であってもよく、予めワークＷの形状に応じた所定の形状を有していてもよい。シート状粘着材Ｔの構造としては、粘着材または接着材と基材との積層構造の他に、基材を有さない、粘着材または接着材の単層構造が挙げられる。また本実施例ではシート状粘着材ＴにセパレータＳを添設させた構成を例示したが、貼付け装置１またはシート状粘着材Ｔなどの構造に応じて、セパレータＳを省略してもよい。この場合、下板１３および支持テーブル２４などの各種機構に離型処理を施すことにより、シート状粘着材Ｔに対する各工程をより好適に実行できる。
【０１５９】
（２）本実施例において、ワークＷとして矩形の半導体基板を例示したが、ワークＷの形状および材料はこれに限られない。本実施例に係る構成は、基板、パネル、ウエハなど各種半導体用部材をワークＷとして適用することができる。またワークＷの形状としては矩形状の他、円形状、多角形状、略円形状などであってもよい。
【０１６０】
（３）本実施例において、発明の目的を達成する限りにおいて、各機構および各工程は適宜変更または省略できる。一例として、ステップＳ１の工程は、ステップＳ２の前に行う構成に限ることはなく、ステップＳ２などの工程を実行している間に行ってもよい。
【０１６１】
さらに本発明において、粘着材保持機構５の構成は上記実施形態に限られることはなく、他の例として下記の（Ａ１）〜（Ａ３）に示すように変形実施することができる。
【０１６２】
（Ａ１）本実施例において、粘着材保持機構５は粘着性を有する長尺状の保持テープＦを用いて粘着材片Ｔｐを保持する構成を例として示したが、粘着材片Ｔｐを保持する構成はこれに限られない。粘着材片Ｔｐを保持した状態で当該粘着材片ＴｐをワークＷに貼り付けるための他の変形例として、図１８に示すような板状の部材を用いて粘着材片Ｔｐを保持する構成が挙げられる。以下、変形例について説明する。なお、実施例と共通する構成については同符号を付して詳細な説明を省略する。
【０１６３】
（Ａ１）の変形例に係るシート状粘着材の貼付け装置１Ａにおいて、粘着材保持機構５Ａは図１８に示すように支持テーブル２４と、搬送機構６０とを備えている。搬送機構６０は搬送アーム６１を備えている。搬送アーム６１は図示しない駆動機構によって水平進退、旋回、および昇降可能となるように構成されている。搬送アーム６１の先端には保持プレート６３が設けられている。
【０１６４】
保持プレート６３は板状の部材であり、剛性を有する材料で構成されている。保持プレート６３の下面には吸着孔が設けられており、粘着材片Ｔｐを真空吸着して保持するように構成されている。セパレータＳが添設されたシート状粘着材Ｔを用いる場合、保持プレート６３の吸着力は、粘着材片ＴｐとセパレータＳとの粘着力より大きくなるように調整される。
【０１６５】
保持プレート６３は中央部６３ａおよび外周部６３ｂによって構成されている。中央部６３ａは粘着材片Ｔｐの中央部分を吸着保持し、外周部６３ｂは粘着材片Ｔｐの外周部分を吸着保持する。外周部６３ｂは、ガラスまたはアクリル樹脂などを例とする光透過性を有する材料で構成されている。すなわち、外周部６３ｂの上方から粘着材片Ｔｐを撮影し、粘着材片Ｔｐの外周部分について明瞭な画像情報を取得することが可能となっている。
【０１６６】
粘着材保持機構５Ａは、粘着材片Ｔｐを板状の保持プレート６３で吸着保持するとともに、吸着保持した粘着材片Ｔｐを貼付け領域Ｑへと搬送するように構成されている。すなわち変形例に係るシート状粘着材の貼付け装置１Ａでは長尺状の保持テープＦを必要としないので、少なくとも供給ボビン２３、保持部材回収機構１１および保持部材回収機構１２を省略できる。そのため、長尺状の保持テープＦを巻回案内させるためのスペースも省略できるので、貼付け装置１Ａのコストダウンおよび小型化が容易となる。
【０１６７】
ここで、変形例に係るシート状粘着材の貼付け装置１Ａの基本動作を説明する。貼付け装置１Ａのフローチャートの概要は、図４に示す実施例に係る貼付け装置１のフローチャートと同じであるが、ステップＳ５以降の動作について相違する。よって、共通するステップＳ１〜Ｓ４の工程については説明を省略し、ステップＳ５以降に係る貼付け装置１Ａの動作について説明する。
【０１６８】
ステップＳ５（粘着材片の保持）
切断検査の結果、粘着材片Ｔｐが合格品であると判定された場合、保持プレート６３によって粘着材片Ｔｐを保持する動作を開始する。すなわち粘着材保持機構５Ａの搬送機構６０が作動し、図２０（ａ）に示すように、搬送アーム６１の先端に設けられている保持プレート６３が支持テーブル２４の上方へと移動する。そして、保持プレート６３の外周部６３ｂの全体が確実に粘着材片Ｔｐの外周部分の全体に当接するように、保持プレート６３の位置をｘ方向およびｙ方向へ適宜調節する。
【０１６９】
なお、下降を開始する前にステップＳ４において用いた切断検査機構４９などを用いて保持プレート６３の上方から保持プレート６３および粘着材片Ｔｐの画像情報を取得することにより、保持プレート６３と粘着材片Ｔｐとの位置合わせを適切かつ迅速に実行できる。
【０１７０】
粘着材片Ｔｐの位置に合わせて保持プレート６３の位置を調節した後、図２０（ｂ）に示すように保持プレート６３は支持テーブル２４の上方から下降し、支持テーブル２４に吸着保持されている粘着材片Ｔｐに当接する。当接させた後、粘着材保持機構５Ａは図示しない真空装置を作動させ、保持プレート６３に設けられている吸着孔を介して粘着材片Ｔｐを吸着保持する。
【０１７１】
保持プレート６３によって粘着材片Ｔｐが吸着保持されると、図２０（ｃ）に示すように保持プレート６３は粘着材片Ｔｐを略平坦に保持しつつ上昇し、支持テーブル２４の上方へと移動する。保持プレート６３の吸着力によって粘着材片ＴｐはセパレータＳから分離される。セパレータＳから分離された粘着材片Ｔｐは、下向きとなっている粘着面を露出させた状態で保持プレート６３とともに上昇する。搬送機構６０は、保持プレート６３で粘着材片Ｔｐを保持した状態で粘着材片Ｔｐを貼付け領域Ｑへと搬送する。粘着材片Ｔｐは貼付け領域ＱにおいてステップＳ７に係る工程に供される。
【０１７２】
ステップＳ６（セパレータの分離）
一方、粘着材片Ｔｐから分離されたセパレータＳは、送りローラ３２を経由して回収ボビン３３に巻き取り回収される。
【０１７３】
ステップＳ７（粘着材片とワークの位置調整）
粘着材片ＴｐをワークＷに貼り付ける工程を行う前に、粘着材片ＴｐとワークＷとの位置を調整させる工程を行う。すなわち図２１に示すように、待機領域Ｐの上方に配設されているワーク位置認識機構４８によって、ワーク保持テーブル８に保持されているワークＷの画像情報を取得する。そして貼付け領域Ｑの上方に配設されている粘着材位置認識機構４７により、貼付け領域Ｑに搬送された粘着材片Ｔｐの画像情報を取得する。
【０１７４】
このとき、粘着材片Ｔｐの外周部分の上面は、いずれも光透過性を有する外周部６３ｂが当接している。よって粘着材位置認識カメラ４７ａおよび４７ｂは光透過性を有する外周部６３ｂを通して、粘着材片Ｔｐの外周部分に関する明瞭な画像情報を取得することができる。
【０１７５】
各々の画像情報は位置判定部５１へと送信され、位置判定部５１は当該画像情報を用いて、粘着材片ＴｐとワークＷとの相対的な位置に関する情報を算出する。粘着材片ＴｐおよびワークＷの相対的な位置を算出する方法は実施例と同様であるので説明を省略する。制御部４４は当該相対的な位置情報に基づいて可動台３５を制御することによってワーク支持テーブル８の位置をｘ、ｙ、θなどの各方向に適宜移動させ、粘着材片Ｔｐに対するワークＷの位置を調整する。位置の調整を行う結果、図１３（ｃ）に示すように、平面視において、ワークＷの中心の位置と粘着材片Ｔｐの中心の位置とは正確に一致する。
【０１７６】
ステップＳ８（粘着材片とワークを近接）
粘着材片ＴｐとワークＷの位置とを調整した後、ワークＷと粘着材片Ｔｐとを近接させる。すなわち図２２に示すように、制御部４４は昇降台３６の昇降移動を制御してワーク載置部３７を上昇させ、ワークＷと粘着材片Ｔｐとを近接させる。このとき、粘着材片Ｔｐを保持している保持プレート６３を下降させることによってワークＷと粘着材片Ｔｐとを近接させてもよい。保持プレート６３およびワーク載置部３７の両方を移動させることによってワークＷと粘着材片Ｔｐとを近接させてもよい。
【０１７７】
粘着材片ＴｐとワークＷを近接させて両者を近接状態とすることにより、実施例と同様に、ワークＷと粘着材片Ｔｐとの距離は所定の小さい値Ｄａとなる。粘着材片ＴｐとワークＷを近接状態とした後に粘着材片ＴｐをワークＷに貼り付けることにより、貼付け動作において発生する粘着材片Ｔｐの位置ズレの大きさを低減できる。
【０１７８】
ステップＳ９（粘着材片の貼付け）
ワークＷと粘着材片Ｔｐとを近接させた後、搬送機構６０は搬送アーム６１を下降させる。搬送アーム６１を下降させることにより、図２３に示すように保持プレート６３は粘着材片Ｔｐを保持している状態で下降する。保持プレート６３をワークＷと平行に保った状態で下降することにより、上向きとなっているワークＷの貼り付け面全体にわたって粘着材片Ｔｐが接触する。このように、搬送アーム６１を下降させることによって、粘着材片ＴｐはワークＷの表面に貼り付けられる。すなわち、本変形例において貼付けローラ４１は省略されており、搬送機構６０は粘着材貼付機構１０の機能を兼ね備えている。
【０１７９】
ステップＳ１０（保持部材の分離）
ワークＷに粘着材片Ｔｐが貼り付けられると、粘着材貼付け機構１０は終端位置から初期位置へと復帰する。粘着材貼付け機構１０が初期位置へ復帰するとともに、粘着材保持機構５Ａは真空装置の作動を停止させ、保持プレート６３による粘着材片Ｔｐの吸着保持を解除させる。その後、図２４に示すように、保持プレート６３を上昇させることによって保持プレート６３は粘着材片Ｔｐから分離される。搬送機構６０は、搬送アーム６１を適宜駆動させ、保持プレート６３を初期位置へ復帰させる。保持プレート６３を分離することにより、ワーク保持テーブル８の上には粘着材片Ｔｐが貼り付けられたワークＷが残される。
【０１８０】
ステップＳ１１（貼付け状態の検査）
保持プレート６３を粘着材片Ｔｐから分離させた後、ワーク保持テーブル８は粘着材片Ｔｐが貼り付けられたワークＷを保持しつつ、ガイドレールＲ１に沿って貼付け領域Ｑから待機位置Ｐへと移動する。そして待機位置Ｐの上方に配設されている貼付け検査機構５０により、粘着材片Ｔｐの貼付け状態を検査する。粘着材片Ｔｐの貼付け状態を検査する工程は、実施例と同様である。
【０１８１】
ステップＳ１２（ワークの回収）
粘着材片Ｔｐが貼り付けられたワークＷが合格品であると判定された場合、粘着材片Ｔｐが貼り付けられたワークＷを回収する。吸着パッド３８をワーク載置部の載置面から突出させてワークＷを受け取り位置へと持ち上げさせ、ワーク搬送機構９によってワークＷをワーク保持テーブル８からワーク収納部７へと搬出する。搬送アーム９ａは、ワーク収納部７のマガジンＣ２に、粘着材片Ｔｐが貼り付けられたワークＷを差し込み収納する。
【０１８２】
このように、保持テープＦに限ることはなく保持プレート６３のような部材であっても粘着材片Ｔｐを略平坦に保持できる。そして粘着材片Ｔｐを保持した状態で粘着材片ＴｐをワークＷに貼り付けることにより、粘着面が露出している粘着材片Ｔｐが貼付け工程において変形または変位することを防止できるので、粘着材片Ｔｐが貼り付けられる位置の精度を向上できる。
【０１８３】
（Ａ２）上述した実施例において、粘着材片Ｔｐを保持できる構成であれば保持テープＦは長尺状のテープに限ることはなく、枚葉状など他の形状であってもよい。また、保持テープＦの上方から保持テープＦを通して粘着材片Ｔｐを撮影する構成に限らない場合、保持テープＦとして光透過性を有しない材料を用いてもよい。
【０１８４】
（Ａ３）上述した変形例（Ａ１）において、保持プレート６３の形状は矩形に限ることはなく、円形状または多角形状など他の形状であってもよい。また、保持プレート６３は中央部６３ａと外周部６３ｂとを備える構成に限ることはなく、光透過性を有する材料で一体形成された板状部材であってもよい。さらに保持プレート６３の上方から粘着材片Ｔｐを撮影する構成に限らない場合、保持プレート６３として光透過性を有しない材料で一体形成された板状部材を用いてもよい。
【０１８５】
さらに本発明において、粘着材切断機構５の構成は上記実施形態に限られることはなく、他の例として下記の（Ｂ１）〜（Ｂ５）に示すように変形実施することができる。
【０１８６】
（Ｂ１）実施例および各変形例において、下板１３に受け止められているシート状粘着材Ｔのテンションを調節する構成は、下板１３を昇降させる構成に限られない。シート状粘着材Ｔのテンションを調節する他の構成の例として、ダンサローラやガイドローラなどを調節することによって、シート状粘着材Ｔの繰り出し方向にテンションを調節する構成が挙げられる。
【０１８７】
また、図２５（ａ）に示すように、シート状粘着材Ｔの長手方向の両端をそれぞれ一対の把持部材６５で把持し、各々の把持部材６５を互いに離間する方向Ｖ１へ移動させてもよい。図２５（ｂ）に示すように、下板１３に受け止められているシート状粘着材Ｔの上でならしローラ６７を転動させてもよいし、以上に挙げた構成を適宜組み合わせてもよい。
【０１８８】
（Ｂ２）実施例および各変形例において、下降する切断ユニット１５を受け止めピン１８で受け止めることによって、切断ユニット１５がシート状粘着材Ｔの切断を完了する切断完了位置の高さを調整する構成を例示している。しかし、切断完了位置の高さを調整する高さ調整機構の構成は、受け止めピン１８を例とする物理的な部材で受け止める構成の他、モータなどの駆動機構によって切断ユニット１５が下降する位置の下限を調整する構成などを用いてもよい。なお、受け止めピン１８を例とする高さ調整機構は必須な構成ではなく、切断ユニット１５による過剰な切断を回避することを目的とする、任意に配設される構成である。
【０１８９】
（Ｂ３）実施例および各変形例において、切断刃１９の長さおよび角度は切断軌跡Ｋにわたって一様でなくともよい。一例として図２６（ａ）に示すように、切断刃１９は刃の長さが比較的長い突出刃部１９ａと、刃の長さが比較的短い通常刃部１９ｂとを備えてもよい。突出刃部１９ａは環状の切断刃１９の一部を構成しており、通常刃部１９ｂは切断刃１９のうち突出刃部１９ａ以外の部分に相当する。
【０１９０】
図２６（ｂ）に示すように、シート状粘着材Ｔの厚み方向において、通常刃部１９ｂの長さＧ１と比べて、突出刃部１９ａの長さＧ２の方が長くなるように構成される。すなわち、切断刃１９がシート状粘着材Ｔを切断する場合、突出刃部１９ａは通常刃部１９ｂと比べてシート状粘着材Ｔをより深く切断する。
【０１９１】
その結果、図２６（ｃ）に示すように、切断刃１９が粘着テープＴを切断する環状の切断軌跡Ｋのうち、突出刃部１９ａは太い実線で示される第１領域Ｋ１を切断し、通常刃部１９ｂは細い実線で示される第２領域Ｋ２を切断する。ここで、第１領域Ｋ１は分離開始箇所Ｓｄを含む領域となるように、切断刃１３における突出刃部１３ａの配設位置は調整されている。
【０１９２】
本発明において、分離開始箇所Ｓｄとは切断軌跡Ｋのうち、粘着材片Ｔｐ以外の部分のシート状粘着材Ｔと粘着材片Ｔｐとの分離が開始される箇所を意味する。実施例などのように粘着材回収機構４の回収ボビン２１が繰り出し方向ｘに直交するように配設されている場合、分離開始箇所Ｓｄは粘着材片Ｔｐにおいて最も下流に位置する直線の部分に相当する。分離開始箇所Ｓｄは図２６（ｃ）において点線で囲まれた部分として示されている。
【０１９３】
切断ユニット１５の切断完了位置、突出刃部１９ａの長さＧ２、および通常刃部１９ｂの長さＧ１は、シート状粘着材Ｔの厚さ、セパレータＳの厚さ、およびシート状粘着材Ｔの層とセパレータＳの層との界面Ｐｓの変形しやすさなどのパラメータによって定められる。
【０１９４】
具体的には、切断位置へ切断ユニット１５が移動した場合、通常刃部１９ｂがセパレータＳの層を完全に切断することがなく、かつ、突出刃部１９ａが確実にシート状粘着材Ｔの層を完全に切断するように、切断完了位置の高さと長さＧ１と長さＱ２とが予め調整される。その結果、図２７（ａ）に示すように、切断刃１９がシート状粘着材Ｔを上方から押圧することによって界面Ｐｓが下方へ沈むように変形する場合であっても、切断刃１９のうち少なくとも突出刃部１９ａは確実にシート状粘着材Ｔの層を完全に切断できる。
【０１９５】
突出刃部１９ａがシート状粘着材Ｔを完全に切断することにより、少なくとも分離開始箇所Ｓｄではシート状粘着材Ｔの層に切れ残りが発生することがない。従って、ステップＳ４において、まず分離開始箇所Ｓｄにおいて粘着材片Ｔｐが余剰粘着材Ｔｎから確実に分離され、続いて切断領域Ｋ１においても粘着材片Ｔｐが余剰粘着材Ｔｎから確実に分離される。切断領域Ｋ２に切れ残りが発生していた場合であっても、既に粘着材片Ｔｐから分離されている余剰粘着材Ｔｎの部分が巻き上げられることによって発生する強い剪断力が当該切れ残りの部分に作用する。よって、切れ残りの部分におけるシート状粘着材Ｔの層は当該剪断力によって完全に切断される。
【０１９６】
従って、シート状粘着材ＴまたはセパレータＳが軟質の材料で構成されるなどの理由により界面Ｎが変形しやすい場合であっても、切断軌跡Ｋの全体にわたって粘着材片Ｔｐが余剰粘着材Ｔｎから確実に分離される。そのため、粘着材片Ｔｐの周囲にある余剰粘着材Ｔｎから粘着材片Ｔｐを分離できず、余剰粘着材Ｔｎを巻き上げる際に粘着材片Ｔｐが余剰粘着材Ｔｎとともに巻き上げられるという事態が発生することを確実に防止できる。
【０１９７】
なお、切断刃１９の一部を長くする構成としては図２６（ａ）に示す構成に限ることはなく、図２７（ｂ）に示すように切断刃１９のうち角部を突出刃部１９ａとする構成が好ましい例として挙げられる。シート状粘着材Ｔの繰り出し方向Ｌｎに対して平行する方向に余剰粘着材Ｔｎを巻き上げる場合、図２７（ｃ）に示すように少なくとも分離開始箇所Ｓｄの一部に第１領域Ｋ１となる角部が含まれている。
【０１９８】
よって、角部を突出刃部１９ａとすることにより、分離開始箇所Ｓｄのうち突出刃部１９ａが切断する第１領域Ｋ１の部分においては確実にシート状粘着材Ｔが完全に切断されるので、余剰粘着材Ｔｎを巻き上げ回収する際に、突出刃部１９ａが切断する部分では粘着材片Ｔと余剰粘着材Ｔｎとが分離されて剪断力が発生する。そして当該剪断力は分離開始箇所Ｓｄのうち第２領域Ｋ２となる部分および分離開始箇所Ｓｄ以外の切断軌跡Ｋにも作用し、切断軌跡Ｋの全体にわたって粘着材片Ｔと余剰粘着材Ｔｎとが確実に分離される。
【０１９９】
このように、図２６（ａ）に示すような、分離開始箇所Ｓｄの全体が第１領域Ｋ１に含まれる構成に限られず、図２７（ｂ）に示すような、少なくとも分離開始箇所Ｓｄの一部が第１領域Ｋ１に含まれるように切断刃１９の一部の長さまたは角度を調整することにより、粘着材片Ｔが余剰粘着材Ｔｎとともに粘着材回収機構４に回収されるという事態を確実に回避できる。
【０２００】
なお、図２７（ｂ）に示すような、切断刃１９のうち角部を突出刃部１９ａとする構成は、粘着材回収機構４の回収ボビン２１をシート状粘着材Ｔの繰り出し方向Ｌｎに対して傾斜するように配設させた場合において、より好ましい。すなわち、回収ボビン２１が繰り出し方向Ｌｎに対して傾斜する場合、余剰粘着材Ｔｎはｘ方向に対して傾斜する方向に沿って巻き上げられるので、分離開始箇所Ｓｄは粘着材片Ｔｐの角部に相当する。なお、平面視において、余剰粘着材Ｔｎのうち巻き上げられる部分が進行する方向の一例を、図２７（ｃ）または（ｄ）において符号Ｌｆで示している。
【０２０１】
すなわち図２７（ｄ）に示すように、矩形の切断軌跡Ｋのうち角部が第１領域Ｋ１となるので、分離開始箇所Ｓｄである角部において確実にシート状粘着材Ｔの層を完全に切断できる。つまり、分離開始箇所Ｓｄにおいてシート状粘着材Ｔの切れ残りが発生しないので、分離開始箇所Ｓｄを起点として剪断力が切断軌跡Ｋの全体に作用する。そのため、確実に粘着材片Ｔｐは余剰粘着材Ｔｎから分離され、余剰粘着材Ｔｎのみが粘着材回収機構４に回収される。
【０２０２】
（Ｂ４）粘着材切断機構３は環状の切断刃１９を複数備えてもよい。複数の切断刃１９を備える粘着材切断機構３の一例を図２８（ａ）に示している。本変形例では、３つの切断刃１９がシート状粘着材Ｔの繰り出し方向に並んでいる構成を例として説明する。
【０２０３】
本変形例では、ステップＳ２において各々の切断刃１９が下板１３に受け止められているシート状粘着材Ｔを切断することにより、図２８（ｂ）に示すように３つの粘着材片Ｔｐ、すなわち粘着材片ＴｐＡ〜ＴｐＣが形成される。ステップＳ３ではこれら３つの粘着材片ＴｐＡ〜ＴｐＣを順次分離させる。下流から上流に向けて余剰粘着材Ｔｎを巻き上げていくことにより、まずは図２８（ｃ）に示すように、最も下流に位置する粘着材片ＴｐＡが粘着材片ＴｐＡ以外の部分のシート状粘着材Ｔから分離される。すなわち、粘着材片ＴｐＢ、粘着材片ＴｐＣおよび余剰粘着材Ｔｎからなる部分のシート状粘着材Ｔから粘着材片ＴｐＡが分離される。
【０２０４】
続いてシート状粘着材Ｔを下流に送りつつ余剰粘着材Ｔｎを巻き上げていくことにより、次に粘着材片ＴｐＢが粘着材片ＴｐＢ以外の部分のシート状粘着材Ｔから分離される。すなわち、粘着材片ＴｐＣおよび余剰粘着材Ｔｎからなる部分のシート状粘着材Ｔから粘着材片ＴｐＢが分離される。そして、粘着材片ＴｐＣが粘着材片ＴｐＣ以外の部分のシート状粘着材Ｔから分離されることにより、粘着材片ＴｐＡ〜ＴｐＣの各々がセパレータＳの上に残り、余剰粘着材Ｔｎが巻き上げられて分離された状態となる。その後、ステップＳ４以降の各工程により、粘着材片ＴｐＡ〜ＴｐＣは、それぞれ別のワークＷに貼り付けられる。
【０２０５】
（Ｂ５）粘着材切断機構３によるシート状粘着材Ｔの切断は、シート状粘着材Ｔの繰り出し走行を一時停止させてから行う構成に限られない。すなわち、繰り出し方向における粘着材切断機構３およびシート状粘着材Ｔの相対的な位置が同じ位置に保たれつつシート状粘着材Ｔを切断できる構成であれば、シート状粘着材Ｔをｘ方向へ繰り出し走行させつつ、粘着材切断機構３による切断を行ってもよい。
【０２０６】
当該変形例の具体例として、シート状粘着材Ｔおよび粘着材切断機構３を同一の速度でｘ方向へ移動させつつ、粘着材切断機構３によるシート状粘着材Ｔの切断を実行させる構成が挙げられる。粘着材切断機構３およびシート状粘着材Ｔの相対的な位置が同じ位置であるため、粘着材片Ｔｐの切断軌跡Ｋの位置が想定される位置からズレることを回避できる。また、シート状粘着材Ｔの繰り出し走行を停止させる必要がないので、シート状粘着材の貼付け装置１の作業効率を向上できる。
【０２０７】
さらに本発明において、粘着材位置認識機構４７およびワーク位置認識機構４８などの、ステップＳ７において粘着材片とワークの位置を調整する構成は上記実施形態に限られることはない。粘着材片とワークの位置を調整する構成の他の例として、下記の（Ｃ１）〜（Ｃ６）に示すように変形実施することができる。
【０２０８】
（Ｃ１）粘着材位置認識機構４７は図１２（ａ）などに示すような、粘着材片Ｔｐの上方から保持テープＦを通して粘着材片Ｔｐを撮影し、取得された粘着材片Ｔｐの画像情報を用いて粘着材片Ｔｐの位置を認識する構成に限られない。すなわち図２９（ａ）に示すように、粘着材片Ｔｐの下方すなわち粘着材片Ｔｐに対向する側から粘着材片Ｔｐの位置を認識してもよいし、その他の方向から認識してもよい。
【０２０９】
粘着材位置認識機構４７が粘着材片Ｔｐの下方から粘着材片Ｔｐの画像情報を取得する場合、保持テープＦなどの保持部材に遮られることを回避できる。よって、保持テープＦなどの保持部材として光透過性を有する材料を用いない場合であっても高精度な粘着材片Ｔｐの画像情報を取得できる。またワーク位置認識機構４８についても、ワークＷの上方からワークＷの位置を認識する構成に限ることはなく、他の方向からワークＷの位置を認識してもよい。
【０２１０】
（Ｃ２）粘着材位置認識機構４７およびワーク位置認識機構４８の各々が配設される位置は実施例の構成に限ることはなく適宜変更してよい。一例としてワーク位置認識機構４８を貼付け領域Ｑの上方に配設してもよい。なお、粘着材位置認識機構４７およびワーク位置認識機構４８の各々は固定された状態で配設されることが好ましい。粘着材位置認識機構４７およびワーク位置認識機構４８の位置を固定して当該機構の位置ズレを発生させない構成とすることにより、ワークＷおよび粘着材片Ｔｐの位置認識精度の低下を防止できる。
【０２１１】
（Ｃ３）粘着材位置認識機構４７およびワーク位置認識機構４８は別個の構成に限ることはなく、共通の構成であってもよい。すなわち図２９（ｂ）に示すように、位置認識カメラ７１ａおよび７１ｂが、ワークＷの画像情報を取得してワークＷの位置を認識するとともに、粘着材片Ｔｐの画像情報を取得して粘着材片Ｔｐの位置を認識する。この場合、位置認識カメラ７１ａおよび７１ｂを備える位置認識機構７１が第１認識機構および第２認識機構に相当する。
【０２１２】
また（Ｃ３）に係る変形例において、位置認識機構７１の各々はワークＷおよび粘着材片Ｔｐの両方の位置を同時に認識する構成に限ることはなく、一方の位置を認識した後に他方の位置を認識してもよい。一例として、貼付け領域Ｑの上方において位置認識機構７１がまず粘着材片Ｔｐの位置を認識し、ワークＷを保持した状態のワーク保持テーブル８を待機領域Ｐから貼付け領域Ｑへと移動させた後に位置認識機構７１がワークＷの位置を認識する構成が挙げられる。
【０２１３】
（Ｃ４）ワークＷおよび粘着材片Ｔｐの位置を認識する構成は、粘着材位置認識カメラ４７ａのようなカメラで撮影する構成に限られない。他の例として光学センサ、超音波センサなどを例とする各種センサを用いてワークＷおよび粘着材片Ｔｐの位置を認識する構成が挙げられる。さらに光学センサの例としては、カメラのように画像を取得する構成の他に、レーザなどを用いてワークＷまたは粘着材片Ｔｐの端部を検知する構成が挙げられる。ただし、ワークＷおよび粘着材片Ｔｐの詳細な位置を容易に認識できる構成として、光学センサを用いてワークＷまたは粘着材片Ｔｐの光学的情報を取得することが好ましい。
【０２１４】
（Ｃ５）粘着材位置認識機構４７およびワーク位置認識機構４８は、実施例のような、粘着材片ＴｐまたはワークＷの対向する２つの角部を認識する構成に限られない。すなわち粘着材位置認識機構４７およびワーク位置認識機構４８が対象を認識する位置および数は適宜変更してもよい。一例としてワークＷまたは粘着材片Ｔｐが特定の標的部位を有する場合、粘着材位置認識機構４７およびワーク位置認識機構４８は当該標的部位を認識することによって、ワークＷまたは粘着材片Ｔｐの位置を認識できる。標的部位の例としては図２９（ｃ）に示すようなノッチ部分ＮｃおよびマークＭｃの他、オリエンテーションフラットなどが挙げられる。
【０２１５】
（Ｃ６）粘着材片ＴｐとワークＷの位置を調整する工程を実行するタイミングは実施例に限ることはなく、粘着材片ＴｐをワークＷに貼り付ける前であれば適宜変更してよい。
【０２１６】
さらに本発明において、切断検査機構４９および貼付け検査機構５０など、粘着材片ＴｐおよびワークＷの検査を行う構成は上記実施形態に限られることはない。検査を行う構成の他の例として、下記の（Ｄ１）〜（Ｄ５）に示すように変形実施することができる。
【０２１７】
（Ｄ１）シート状粘着材の貼付け装置１は切断検査機構４９および貼付け検査機構５０の両方を備える構成に限ることはなく、一方のみを備えてもよい。また、切断検査機構４９が粘着材片Ｔｐを検査するタイミングは適宜変更してよい。ワークＷに貼り付けられた粘着材片Ｔｐを貼付け検査機構５０が検査するタイミングについても適宜変更できる。
【０２１８】
（Ｄ２）切断検査機構４９は、切断検査カメラ４９ａのようなカメラで撮影することにより粘着材片Ｔｐを検査する構成に限られない。他の例として光センサ、超音波センサなどを例とする各種センサを用いて粘着材片Ｔｐのサイズおよび形状を認識する構成が挙げられる。一例として、各種センサが粘着材片Ｔｐの端部の位置を全体にわたって検知することにより、粘着材片Ｔｐのサイズおよび形状を検知できる。また、貼付け検査機構５０についても貼付け検査カメラ５０ａのようなカメラを用いる構成に限ることはなく、ワークＷに貼り付けられた粘着材片Ｔｐを各種センサによって検知する構成を採用してもよい。
【０２１９】
（Ｄ３）検査の結果、粘着材片Ｔｐの切断または貼付けが正常に行われなかったと判定された場合、粘着材片Ｔｐ付きのワークＷの不合格品、または粘着材片Ｔｐの不合格品を自動で除去してもよい。この場合、シート状粘着材の貼付け装置１は、さらに搬送アームなどの搬送手段を有する不合格品除去機構を備える。
【０２２０】
切断判定部５２または貼付け判定部５３から不合格品が発生したことを示す信号を制御部４４が受信した場合、制御部４４は不良品除去機構を制御することによってワークＷの不合格品または粘着材片Ｔｐの不合格品をラインから除去し、不合格品を収納する不合格品回収部へと搬送する。不合格品の除去および回収を自動化することにより、貼付け装置１の作業効率が向上するとともにオペレータの負担を軽減できる。
【０２２１】
（Ｄ４）切断検査機構４９は、粘着材片Ｔｐのサイズおよび形状の両方を検査して基準サイズの情報および基準形状の情報を比較する構成に限ることはなく、粘着材片Ｔｐのサイズおよび形状のうち一方を検査する構成でもよい。
【０２２２】
（Ｄ５）切断検査カメラ４９ａおよび４９ｂは、粘着材片Ｔｐの一部を撮影する構成に限ることはなく、広角レンズなどを用いることによって粘着材片Ｔｐの全体を撮影してもよい。この場合、粘着材片Ｔｐの全体像の情報が切断検査機構４９によって得られるので、切断判定部５２は粘着材片Ｔｐの全体像を再現する演算を行う必要がない。よって、切断判定部５２による演算処理を単純化できる。同様に、貼付け検査カメラ５０ａおよび５０ｂについてもワークＷおよび粘着材片Ｔｐの全体を撮影する構成を採用できる。
【０２２３】
（Ｄ６）貼付け判定部５３によってワークＷに対する粘着材片Ｔｐの貼付けが正常に行われなかったと判定された場合、粘着材片Ｔｐが貼り付けられたワークＷの不合格品を再利用する構成であってもよい。本変形例において、シート状粘着材の貼付け装置１は粘着材剥離機構８０を備えている。
【０２２４】
粘着材剥離機構８０は、待機位置Ｐにワーク保持テーブル８が位置する場合において、ワーク保持テーブル８の上方に配置されており、ワークＷにおいて不適切な位置に貼り付けられている粘着材片ＴｐをワークＷから剥離して回収する。粘着材剥離機構８０は図３０（ａ）に示すように、ロール巻きされた剥離テープＨａを案内する案内ローラ８３と、ナイフエッジ状の剥離部材８５と、剥離テープＨａを回収する巻き取り軸８７とを備えている。
【０２２５】
剥離テープＨａは案内ローラ８３によって剥離部材８５へ案内され、剥離部材８５において折り返し反転した後、巻き取り軸８７によって巻き取り回収される。すなわち図３０（ｂ）に示すように、ワークＷの表面に貼り付けられている粘着材片Ｔｐに剥離テープＨａを貼り付けた状態で、ワーク保持テーブル８または粘着材剥離機構８０を移動させることによって、粘着材片Ｔｐは剥離テープＨａと一体となってワークＷの表面から剥離される。
【０２２６】
剥離テープＨａと一体となって剥離された粘着材片Ｔｐは、剥離テープＨａとともに巻き取り軸８７に回収される。ワーク保持テーブル８の上に残っているワークＷは、ワーク搬送機構９によってワーク収納部７のマガジンＣ１に収納される。収納された当該ワークＷは再利用が可能であるので、ワークＷに対する粘着材片Ｔｐの貼付け工程が適切に行われなかった場合であってもワークＷを有効に利用できる。
【符号の説明】
【０２２７】
１    …  シート状粘着材の貼付け装置
２    …  粘着材供給機構
３    …  粘着材切断機構
４    …  粘着材回収機構
５    …  粘着材保持機構
６    …  セパレータ回収機構
７    …  ワーク収納部
８    …  ワーク保持テーブル
９    …  ワーク搬送機構
１０    …  粘着材貼付け機構
１１    …  保持部材分離機構
１２    …  保持部材回収機構
１３    …  下板
１５    …  切断ユニット
１６    …  上部固定板
１７    …  可動台
１８    …  受け止めピン
１９    …  切断刃
２１    …  回収ボビン
２３    …  供給ボビン
２４    …  支持テーブル
２５    …  貼付けユニット
２７    …  貼付けローラ
２９    …  駆動シリンダ
３０    …  案内レール
３５    …  可動台
３５ａ  …  前後可動台
３５ｂ  …  左右可動台
３５ｃ  …  回転可動台
３６    …  可動台
３７    …  ワーク載置部
３８    …  吸着パッド
３９    …  位置決め部材
４１    …  貼付けローラ
４４    …  制御部
４５    …  入力部
４７    …  粘着材位置認識機構
４８    …  ワーク位置認識機構
４９    …  切断検査機構
５０    …  貼付け検査機構
５１    …  位置判定部
５２    …  切断判定部
５３    …  貼付け判定部
５４    …  記憶部
５５    …  報知部
８０    …  粘着材剥離機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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