(57)【要約】【課題】保持装置の表面の温度分布特性を向上させる。【解決手段】複数の測定用グリーンシートの表面に、導電性材料を、互いに異なる印刷条件で印刷することにより、測定用導電性材料パターンを形成する。該複数の測定用グリーンシートを用いて複数の測定用グリーンシート積層体を作製し、複数の該積層体を焼結することにより、測定用セラミックス部材と測定用抵抗発熱体とを有する複数の測定用構造体を作製する。複数の測定用構造体について、測定用抵抗発熱体に電圧を印加しつつ測定面の温度分布を測定する。グリーンシートの表面に、導電性材料を、温度分布の測定結果に基づき決定された印刷条件で印刷することにより、導電性材料パターンを形成する。該グリーンシートを用いてグリーンシート積層体を作製し、該積層体を焼結することにより、セラミックス部材と抵抗発熱体と導体層とを備える保持装置を作製する。【選択図】図５
2020107690.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向に略直交する第１の表面を有し、第１のセラミックス材料の焼結体であるセラミックス部材と、
前記セラミックス部材の内部に配置され、前記第１の方向視で所定の形状であり、第１の導電性材料の焼結体である抵抗発熱体と、
前記セラミックス部材の内部に配置され、所定の導電性材料の焼結体である導体層と、
を備え、前記セラミックス部材の前記第１の表面上に対象物を保持する保持装置の製造方法において、
前記第１のセラミックス材料により形成された複数の第１の測定用セラミックスグリーンシートのそれぞれの表面に、前記第１の導電性材料を、互いに異なる印刷条件で印刷することにより、前記所定の形状の測定用導電性材料パターンを形成する第１の工程と、
前記複数の第１の測定用セラミックスグリーンシートを用いて複数の測定用セラミックスグリーンシート積層体を作製する第２の工程であって、各前記測定用セラミックスグリーンシート積層体は、
前記第１の測定用セラミックスグリーンシートと、
前記第１のセラミックス材料により形成された少なくとも１つの第２の測定用セラミックスグリーンシートであって、少なくとも１つが、前記第１の測定用セラミックスグリーンシートにおける前記測定用導電性材料パターンが形成された側の表面上に配置された、少なくとも１つの第２の測定用セラミックスグリーンシートと、
を有する、第２の工程と、
前記複数の測定用セラミックスグリーンシート積層体を焼結することにより、それぞれ、前記第１の測定用セラミックスグリーンシートおよび前記第２の測定用セラミックスグリーンシートの焼結体である測定用セラミックス部材と、前記測定用導電性材料パターンの焼結体である測定用抵抗発熱体と、を有する複数の測定用構造体を作製する第３の工程と、
前記複数の測定用構造体のそれぞれについて、前記測定用抵抗発熱体に電圧を印加しつつ、前記測定用セラミックス部材の表面である測定面の温度分布を測定する第４の工程と、
前記第１のセラミックス材料により形成された第１のセラミックスグリーンシートの表面に、前記第１の導電性材料を、前記温度分布の測定結果に基づき決定された第１の前記印刷条件で印刷することにより、前記所定の形状の導電性材料パターンを形成する第５の工程と、
前記第１のセラミックスグリーンシートを用いてセラミックスグリーンシート積層体を作製する第６の工程であって、前記セラミックスグリーンシート積層体は、
前記第１のセラミックスグリーンシートと、
前記第１のセラミックス材料により形成された少なくとも１つの第２のセラミックスグリーンシートであって、少なくとも１つが、前記第１のセラミックスグリーンシートにおける前記導電性材料パターンが形成された側の表面上に配置された、少なくとも１つの第２のセラミックスグリーンシートと、
焼結前の前記導体層である焼結前導体層と、
を有する、第６の工程と、
前記セラミックスグリーンシート積層体を焼結することにより、前記第１のセラミックスグリーンシートおよび前記第２のセラミックスグリーンシートの焼結体である前記セラミックス部材と、前記導電性材料パターンの焼結体である前記抵抗発熱体と、前記焼結前導体層の焼結体である前記導体層と、を備える前記保持装置を作製する第７の工程と、
を備える、ことを特徴とする保持装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の保持装置の製造方法において、
前記セラミックス部材には、前記第１の表面に開口するガス流路用孔が形成されており、
前記測定用セラミックス部材には、前記測定面に開口する孔が形成されていない、
ことを特徴とする保持装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の保持装置の製造方法において、
前記保持装置は、さらに、
第３の表面を有し、前記第３の表面が、前記セラミックス部材の前記第１の表面とは反対側の第２の表面側に位置するように配置されたベース部材と、
前記セラミックス部材の前記第２の表面と前記ベース部材の前記第３の表面との間に配置されて前記セラミックス部材と前記ベース部材とを接合する接合部と、
を備える、
ことを特徴とする保持装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の保持装置の製造方法において、
前記測定用セラミックス部材の厚さは、前記セラミックス部材の厚さより薄い、
ことを特徴とする保持装置の製造方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の保持装置の製造方法において、
前記第５の工程は、複数の前記第１のセラミックスグリーンシートのそれぞれの表面に、前記第１の導電性材料を、前記第１の印刷条件で印刷することにより、前記導電性材料パターンを形成する工程であり、
前記第６の工程は、複数の前記第１のセラミックスグリーンシートを用いて複数の前記セラミックスグリーンシート積層体を作製する工程であり、
前記第７の工程は、複数の前記セラミックスグリーンシート積層体を焼結することにより、複数の前記保持装置を作製する工程である、
ことを特徴とする保持装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書に開示される技術は、対象物を保持する保持装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体を製造する際にウェハを保持する保持装置として、静電チャックが用いられる。静電チャックは、セラミックス部材と、セラミックス部材の内部に配置されたチャック電極とを備えている。静電チャックは、チャック電極に電圧が印加されることにより発生する静電引力を利用して、セラミックス部材の表面（以下、「吸着面」という。）にウェハを吸着して保持する。
【０００３】
静電チャックの吸着面に保持されたウェハの温度が所望の温度にならないと、ウェハに対する各処理（成膜、エッチング等）の精度が低下するおそれがあるため、静電チャックにはウェハの温度分布を制御する性能が求められる。そのため、静電チャックの使用時には、例えば、セラミックス部材の内部に配置された抵抗発熱体（ヒータ電極）による加熱によって、セラミックス部材の吸着面の温度分布の制御（ひいては、吸着面に保持されたウェハの温度分布の制御）が行われる（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１０３５５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
静電チャックを構成するセラミックス部材の製造の際には、例えば、所定のセラミックスグリーンシートの表面に、導電性材料であるメタライズインクを、例えばスクリーン印刷により印刷することによって、メタライズインクのパターンを形成した後、該セラミックスグリーンシートを含む複数のセラミックスグリーンシートの積層体を作製し、該積層体を焼成する。これにより、メタライズインクの焼結体である発熱抵抗体が内部に配置されたセラミックス部材が作製される。
【０００６】
ここで、抵抗発熱体の各位置における発熱量のバラツキは、抵抗発熱体用のメタライズインクを印刷する際の印刷条件（例えば、使用するスクリーン版、メタライズインクの組成、クリアランス量、オフコンタクト量、押し込み量等）に左右されるメタライズインクのパターンの印刷品質（例えば、線幅や厚さのバラツキ等）により、大きく影響される。すなわち、静電チャックを構成するセラミックス部材の吸着面の温度分布は、メタライズインクのパターンの印刷品質に大きく左右される。ただし、吸着面の温度分布は、メタライズインクのパターンの印刷品質以外の要因、例えば、チャック電極の形状バラツキ等によっても影響され得る。
【０００７】
そのため、静電チャックの製造の際の最終検査において吸着面の温度分布を測定する従来の方法では、吸着面の温度分布の測定結果が良好ではなかった場合に、吸着面の温度分布の悪化の原因を特定することが難しく、また、吸着面の温度分布の測定結果をすぐに製造工程にフィードバックすることが難しく、静電チャックの吸着面の温度分布特性（例えば、温度分布の均一性）を向上させることが困難である、という課題がある。
【０００８】
なお、このような課題は、セラミックス部材と、セラミックス部材の内部に配置された抵抗発熱体およびチャック電極と、を備える静電チャックに限らず、セラミックス部材と、セラミックス部材の内部に配置された抵抗発熱体および導体層と、を備え、セラミックス部材の表面上に対象物を保持する保持装置一般に共通の課題である。
【０００９】
本明細書では、上述した課題を解決することが可能な技術を開示する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本明細書に開示される技術は、例えば、以下の形態として実現することが可能である。
【００１１】
（１）本明細書に開示される保持装置の製造方法は、第１の方向に略直交する第１の表面を有し、第１のセラミックス材料の焼結体であるセラミックス部材と、前記セラミックス部材の内部に配置され、前記第１の方向視で所定の形状であり、第１の導電性材料の焼結体である抵抗発熱体と、前記セラミックス部材の内部に配置され、所定の導電性材料の焼結体である導体層と、を備え、前記セラミックス部材の前記第１の表面上に対象物を保持する保持装置の製造方法において、前記第１のセラミックス材料により形成された複数の第１の測定用セラミックスグリーンシートのそれぞれの表面に、前記第１の導電性材料を、互いに異なる印刷条件で印刷することにより、前記所定の形状の測定用導電性材料パターンを形成する第１の工程と、前記複数の第１の測定用セラミックスグリーンシートを用いて複数の測定用セラミックスグリーンシート積層体を作製する第２の工程であって、各前記測定用セラミックスグリーンシート積層体は、前記第１の測定用セラミックスグリーンシートと、前記第１のセラミックス材料により形成された少なくとも１つの第２の測定用セラミックスグリーンシートであって、少なくとも１つが、前記第１の測定用セラミックスグリーンシートにおける前記測定用導電性材料パターンが形成された側の表面上に配置された、少なくとも１つの第２の測定用セラミックスグリーンシートと、を有する、第２の工程と、前記複数の測定用セラミックスグリーンシート積層体を焼結することにより、それぞれ、前記第１の測定用セラミックスグリーンシートおよび前記第２の測定用セラミックスグリーンシートの焼結体である測定用セラミックス部材と、前記測定用導電性材料パターンの焼結体である測定用抵抗発熱体と、を有する複数の測定用構造体を作製する第３の工程と、前記複数の測定用構造体のそれぞれについて、前記測定用抵抗発熱体に電圧を印加しつつ、前記測定用セラミックス部材の表面である測定面の温度分布を測定する第４の工程と、前記第１のセラミックス材料により形成された第１のセラミックスグリーンシートの表面に、前記第１の導電性材料を、前記温度分布の測定結果に基づき決定された第１の前記印刷条件で印刷することにより、前記所定の形状の導電性材料パターンを形成する第５の工程と、前記第１のセラミックスグリーンシートを用いてセラミックスグリーンシート積層体を作製する第６の工程であって、前記セラミックスグリーンシート積層体は、前記第１のセラミックスグリーンシートと、前記第１のセラミックス材料により形成された少なくとも１つの第２のセラミックスグリーンシートであって、少なくとも１つが、前記第１のセラミックスグリーンシートにおける前記導電性材料パターンが形成された側の表面上に配置された、少なくとも１つの第２のセラミックスグリーンシートと、焼結前の前記導体層である焼結前導体層と、を有する、第６の工程と、前記セラミックスグリーンシート積層体を焼結することにより、前記第１のセラミックスグリーンシートおよび前記第２のセラミックスグリーンシートの焼結体である前記セラミックス部材と、前記導電性材料パターンの焼結体である前記抵抗発熱体と、前記焼結前導体層の焼結体である前記導体層と、を備える前記保持装置を作製する第７の工程と、を備える。
【００１２】
本保持装置の製造方法では、作製される各測定用構造体に含まれる測定用抵抗発熱体は、互いに異なる印刷条件で印刷された測定用導電性材料パターンの焼結体である。また、各測定用構造体は、測定用抵抗発熱体の他に他の導体層（例えば、チャック電極）を有していない。そのため、複数の測定用構造体のそれぞれについて、測定用抵抗発熱体に電圧を印加したときの測定用セラミックス部材の測定面の温度分布が互いに相違する要因として、上記他の導体層の形状バラツキは挙げられず、測定用抵抗発熱体の作製時の印刷条件の相違に起因する測定用導電性材料パターンの印刷品質（例えば、線幅や厚さのバラツキ等）が大きな割合を占めることとなる。従って、本保持装置の製造方法によれば、各測定用構造体の測定面の温度分布の測定結果に基づき採用印刷条件を決定し、該採用印刷条件を用いて抵抗発熱体を形成するための導電性材料パターンの印刷を行うことにより、抵抗発熱体の各位置における発熱量のバラツキを低減することができ、その結果、保持装置の第１の表面の温度分布特性を向上させることができる。また、本保持装置の製造方法によれば、仮に、作製された保持装置の第１の表面の温度分布が好ましいものではない場合には、温度分布の悪化が、主として抵抗発熱体の発熱量のバラツキに起因するものではなく、他の要因（例えば、他の導体層の形状バラツキ等）に起因する可能性が高いと判断することができる。従って、本保持装置の製造方法によれば、保持装置の第１の表面の温度分布の悪化原因を容易に特定することができ、その結果をすぐに製造工程にフィードバックすることによって、第１の表面の温度分布特性が良好な保持装置を容易に製造することができる。
【００１３】
（２）上記保持装置の製造方法において、前記セラミックス部材には、前記第１の表面に開口するガス流路用孔が形成されており、前記測定用セラミックス部材には、前記測定面に開口する孔が形成されていない構成としてもよい。本保持装置の製造方法では、複数の測定用構造体のそれぞれの測定面の温度分布が互いに相違する要因として、そのようなガス流路用孔の形状バラツキは挙げられず、測定用抵抗発熱体の作製時の印刷条件の相違に起因する測定用導電性材料パターンの印刷品質がさらに大きな割合を占めることとなる。従って、本保持装置の製造方法によれば、各測定用構造体の測定面の温度分布の測定結果に基づき採用印刷条件を決定し、該採用印刷条件を用いて抵抗発熱体を形成するための導電性材料パターンの印刷を行うことにより、抵抗発熱体の各位置における発熱量のバラツキを効果的に低減することができ、保持装置の第１の表面の温度分布特性を効果的に向上させることができる。また、本保持装置の製造方法によれば、保持装置の第１の表面の温度分布の悪化原因を容易に、かつ、より精度良く特定することができ、その結果をすぐに製造工程にフィードバックすることによって、第１の表面の温度分布特性がさらに良好な保持装置を容易に製造することができる。
【００１４】
（３）上記保持装置の製造方法において、前記保持装置は、さらに、第３の表面を有し、前記第３の表面が、前記セラミックス部材の前記第１の表面とは反対側の第２の表面側に位置するように配置されたベース部材と、前記セラミックス部材の前記第２の表面と前記ベース部材の前記第３の表面との間に配置されて前記セラミックス部材と前記ベース部材とを接合する接合部と、を備える構成としてもよい。本保持装置の製造方法では、複数の測定用構造体のそれぞれの測定面の温度分布が互いに相違する要因として、ベース部材や接合部の形状や組成のバラツキは挙げられず、測定用抵抗発熱体の作製時の印刷条件の相違に起因する測定用導電性材料パターンの印刷品質がさらに大きな割合を占めることとなる。従って、本保持装置の製造方法によれば、各測定用構造体の測定面の温度分布の測定結果に基づき採用印刷条件を決定し、該採用印刷条件を用いて抵抗発熱体を形成するための導電性材料パターンの印刷を行うことにより、抵抗発熱体の各位置における発熱量のバラツキを効果的に低減することができ、保持装置の第１の表面の温度分布特性を効果的に向上させることができる。また、本保持装置の製造方法によれば、保持装置の第１の表面の温度分布の悪化原因を容易に、かつ、より精度良く特定することができ、その結果をすぐに製造工程にフィードバックすることによって、第１の表面の温度分布特性がさらに良好な保持装置を容易に製造することができる。
【００１５】
（４）上記保持装置の製造方法において、前記測定用セラミックス部材の厚さは、前記セラミックス部材の厚さより薄い構成としてもよい。本保持装置の製造方法によれば、測定用構造体の作製の効率化を図ることができ、ひいては保持装置の製造の効率化を図ることができる。
【００１６】
（５）上記保持装置の製造方法において、前記第５の工程は、複数の前記第１のセラミックスグリーンシートのそれぞれの表面に、前記第１の導電性材料を、前記第１の印刷条件で印刷することにより、前記導電性材料パターンを形成する工程であり、前記第６の工程は、複数の前記第１のセラミックスグリーンシートを用いて複数の前記セラミックスグリーンシート積層体を作製する工程であり、前記第７の工程は、複数の前記セラミックスグリーンシート積層体を焼結することにより、複数の前記保持装置を作製する工程である構成としてもよい。本保持装置の製造方法によれば、製造される複数の保持装置について、第１の表面の温度分布特性を向上させることができる。
【００１７】
なお、本明細書に開示される技術は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、保持装置、静電チャック、それらの製造方法等の形態で実現することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施形態における静電チャック１００の外観構成を概略的に示す斜視図である。
【図２】本実施形態における静電チャック１００のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図である。
【図３】本実施形態における静電チャック１００のＸＹ断面構成を概略的に示す説明図である。
【図４】本実施形態における静電チャック１００の製造方法を示すフローチャートである。
【図５】本実施形態における静電チャック１００の製造方法の概要を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
Ａ．実施形態：
Ａ−１．静電チャック１００の構成：
図１は、本実施形態における静電チャック１００の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図２は、本実施形態における静電チャック１００のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図であり、図３は、本実施形態における静電チャック１００のＸＹ断面構成を概略的に示す説明図である。図３には、図２のＩＩＩ−ＩＩＩの位置における静電チャック１００のＸＹ断面構成が示されている。各図には、方向を特定するための互いに直交するＸＹＺ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Ｚ軸正方向を上方向といい、Ｚ軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック１００は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。また、本明細書では、Ｚ軸方向に直交する方向を面方向という。
【００２０】
静電チャック１００は、対象物（例えば半導体ウェハＷ）を静電引力により吸着して保持する装置であり、例えば半導体製造装置の真空チャンバー内でウェハＷを固定するために使用される。静電チャック１００は、所定の配列方向（本実施形態では上下方向（Ｚ軸方向））に並べて配置されたセラミックス部材１０およびベース部材２０を備える。セラミックス部材１０とベース部材２０とは、セラミックス部材１０の下面Ｓ２（図２参照）とベース部材２０の上面Ｓ３とが、後述する接合部３０を挟んで上記配列方向に対向するように配置される。すなわち、ベース部材２０は、ベース部材２０の上面Ｓ３がセラミックス部材１０の下面Ｓ２側に位置するように配置される。
【００２１】
セラミックス部材１０は、上述した配列方向（Ｚ軸方向）に略直交する略円形平面状の上面（以下、「吸着面」という。）Ｓ１を有する部材であり、セラミックス材料の焼結体である。セラミックス部材１０の形成材料としては、種々のセラミックスが用いられ得るが、強度や耐摩耗性、耐プラズマ性等の観点から、例えば、酸化アルミニウム（アルミナ、Ａｌ２Ｏ３）または窒化アルミニウム（ＡｌＮ）を主成分とするセラミックスが用いられることが好ましい。なお、ここでいう主成分とは、含有割合（重量割合）の最も多い成分を意味する。セラミックス部材１０の直径は例えば５０ｍｍ〜５００ｍｍ程度（通常は２００ｍｍ〜３５０ｍｍ程度）であり、セラミックス部材１０の厚さは例えば１ｍｍ〜１０ｍｍ程度である。セラミックス部材１０の吸着面Ｓ１は、特許請求の範囲における第１の表面に相当し、セラミックス部材１０の下面Ｓ２は、特許請求の範囲における第２の表面に相当し、セラミックス部材１０の形成材料であるセラミックス材料は、特許請求の範囲における第１のセラミックス材料に相当し、Ｚ軸方向は、特許請求の範囲における第１の方向に相当する。
【００２２】
図２に示すように、セラミックス部材１０の内部には、導電性材料（例えば、タングステン、モリブデン、白金等）の焼結体であるチャック電極４０が配置されている。Ｚ軸方向視でのチャック電極４０の形状は、例えば略円形である。チャック電極４０の厚さは、例えば、２０μｍ〜４０μｍ程度である。チャック電極４０に電源（図示せず）から電圧が印加されると、静電引力が発生し、この静電引力によってウェハＷがセラミックス部材１０の吸着面Ｓ１に吸着固定される。チャック電極４０は、特許請求の範囲における導体層に相当する。
【００２３】
また、セラミックス部材１０の内部には、導電性材料（例えば、タングステン、モリブデン、白金等）の焼結体である抵抗発熱体（ヒータ電極）５０が配置されている。抵抗発熱体５０の厚さは、例えば、１μｍ〜５０μｍ程度であり、抵抗発熱体５０の線幅は、例えば、５０μｍ〜２０００μｍ程度である。図３に示すように、抵抗発熱体５０は、セラミックス部材１０の吸着面Ｓ１をできるだけ満遍なく温めるため、Ｚ方向視で所定の形状（例えば、略同心円状）に形成されている。
【００２４】
静電チャック１００は、抵抗発熱体５０への給電のための構成を備えている。具体的には、図２に示すように、静電チャック１００には、ベース部材２０の下面Ｓ４からセラミックス部材１０の内部に至る端子用孔１１０が形成されている。端子用孔１１０は、ベース部材２０を上下方向に貫通する貫通孔２２と、接合部３０を上下方向に貫通する貫通孔３２と、セラミックス部材１０の下面Ｓ２側に形成された凹部１１とが、互いに連通することにより構成された一体の孔である。端子用孔１１０には、導電性材料（例えば、ニッケル等）により形成された略柱状の部材である給電端子７２が収容されている。また、端子用孔１１０を構成するセラミックス部材１０の凹部１１の底面には、導電性材料（例えば、タングステンやモリブデン等）により形成された電極パッド７０が配置されている。給電端子７２の上端部分は、例えばろう付けによって電極パッド７０に接合されている。また、図２に示すように、抵抗発熱体５０の一端は、ビア５４を介して、電極パッド７０に電気的に接続されている。同様に、抵抗発熱体５０の他端は、ビア（図示せず）を介して、他の電極パッド７０（図示せず）に電気的に接続されている。
【００２５】
電源（図示せず）から、給電端子７２、電極パッド７０、ビア５４を介して、抵抗発熱体５０に電圧が印加されると、抵抗発熱体５０が発熱することによってセラミックス部材１０が温められ、セラミックス部材１０の吸着面Ｓ１に保持されたウェハＷが温められる。これにより、ウェハＷの温度分布の制御が実現される。
【００２６】
ベース部材２０は、例えばセラミックス部材１０と同径の、または、セラミックス部材１０より径が大きい円形平面の板状部材であり、例えば金属（アルミニウムやアルミニウム合金等）により形成されている。ベース部材２０の直径は例えば２２０ｍｍ〜５５０ｍｍ程度（通常は２２０ｍｍ〜３５０ｍｍ）であり、ベース部材２０の厚さは例えば２０ｍｍ〜４０ｍｍ程度である。ベース部材２０の上面Ｓ３は、特許請求の範囲における第３の表面に相当する。
【００２７】
ベース部材２０は、セラミックス部材１０の下面Ｓ２とベース部材２０の上面Ｓ３との間に配置された接合部３０によって、セラミックス部材１０に接合されている。接合部３０は、例えばシリコーン系樹脂やアクリル系樹脂、エポキシ系樹脂等の接着材により構成されている。接合部３０の厚さは、例えば０．１ｍｍ〜１ｍｍ程度である。
【００２８】
ベース部材２０の内部には冷媒流路２１が形成されている。冷媒流路２１に冷媒（例えば、フッ素系不活性液体や水等）が流されると、ベース部材２０が冷却され、接合部３０を介したベース部材２０とセラミックス部材１０との間の伝熱（熱引き）によりセラミックス部材１０が冷却され、セラミックス部材１０の吸着面Ｓ１に保持されたウェハＷが冷却される。これにより、ウェハＷの温度分布の制御が実現される。
【００２９】
また、静電チャック１００は、セラミックス部材１０とウェハＷとの間の伝熱性を高めてウェハＷの温度分布の制御性をさらに高めるため、セラミックス部材１０の吸着面Ｓ１とウェハＷの表面との間に存在する空間に不活性ガス（例えば、ヘリウムガス）を供給する構成を備えている。具体的には、図２に示すように、静電チャック１００には、ベース部材２０の下面Ｓ４から接合部３０の上面にわたって上下方向に延びるガス供給流路１３１と、セラミックス部材１０の下面Ｓ２におけるＺ軸方向視でガス供給流路１３１と重なる位置に形成された凹部１３４と、凹部１３４の底面に連通すると共に上方に延びる第１の縦流路１３８と、第１の縦流路１３８と連通すると共に面方向に延びる横流路１３３と、横流路１３３から吸着面Ｓ１まで上方に延びる第２の縦流路１３２とが形成されている。凹部１３４には、通気性を有する充填部材（通気性プラグ）１６０が充填されている。以下、セラミックス部材１０に形成された凹部１３４と第１の縦流路１３８と横流路１３３と第２の縦流路１３２とを、まとめてガス流路用孔１３０という。
【００３０】
ヘリウムガス源（不図示）から供給されたヘリウムガスが、ガス供給流路１３１内に流入すると、流入したヘリウムガスは、ガス供給流路１３１から凹部１３４内に充填された通気性を有する充填部材１６０の内部を通過し、セラミックス部材１０の内部の第１の縦流路１３８を介して横流路１３３内に流入し、横流路１３３を介して面方向に流れつつ第２の縦流路１３２内に流入し、第２の縦流路１３２の吸着面Ｓ１における各開口から噴出する。このようにして、セラミックス部材１０の吸着面Ｓ１とウェハＷの表面との間に存在する空間に、不活性ガスが供給される。
【００３１】
Ａ−２．静電チャック１００の製造方法：
図４は、本実施形態における静電チャック１００の製造方法を示すフローチャートである。また、図５は、本実施形態における静電チャック１００の製造方法の概要を示す説明図である。本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、以下に詳述するように、例えば製造ロット毎に１組（Ｎ（Ｎは２以上の整数）個）の測定用構造体８０Ａが作製され、各測定用構造体８０Ａの温度分布測定結果に基づき、抵抗発熱体５０の形成用のメタライズインクをスクリーン印刷する際の印刷条件が決定され、決定された印刷条件を採用して複数の（例えば、１ロットの）静電チャック１００が製造される。
【００３２】
はじめに、セラミックス部材１０の形成材料と同一のセラミックス材料により形成されたＮ枚の第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａを準備し、各第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａの表面に、抵抗発熱体５０の形成材料と同一のメタライズインクをスクリーン印刷することによって、測定用メタライズインクパターン１５０Ａを形成する（Ｓ１１０、図５のＡ欄参照）。測定用メタライズインクパターン１５０Ａは、抵抗発熱体５０と同一形状に形成される。また、測定用メタライズインクパターン１５０Ａの厚さは、例えば２０μｍ〜４０μｍ程度である。
【００３３】
ここで、Ｓ１１０の工程では、Ｎ枚の第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａのそれぞれの表面に対して、互いに異なる印刷条件（図５のＡ欄に示す「条件１」、「条件２」、・・・、「条件Ｎ」）でスクリーン印刷が行われる。印刷条件を構成する要素としては、例えば、使用するスクリーン版、メタライズインクの組成、クリアランス量、オフコンタクト量、押し込み量等が挙げられる。各印刷条件は、上記要素の内の少なくとも１つが他の印刷条件と異なっている。そのため、Ｎ枚の第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａのそれぞれの表面に形成された測定用メタライズインクパターン１５０Ａの印刷品質（例えば、線幅や厚さのバラツキ等）は、互いに異なり得る。
【００３４】
なお、第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａの作製方法は、例えば以下の通りである。すなわち、例えば窒化アルミニウム（ＡｌＮ）粉末と、焼結助剤としてのイットリア（Ｙ２Ｏ３）粉末との混合粉末（ＡｌＮ：Ｙ２Ｏ３＝９７：３（ｗｔ％））に、アクリル樹脂等のバインダとトルエン等の有機溶剤とを加え、ボールミルにて所定の時間（例えば２４時間）混合することにより、スラリーを得る。このスラリーを、例えばドクターブレード法によってシート状に成形し、乾燥させることにより、第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａを得る。
【００３５】
また、メタライズインク（メタライズペースト）の作製方法は、例えば以下の通りである。すなわち、例えばタングステン（Ｗ）の粉末と、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）の粉末との混合粉末（Ｗ：ＡｌＮ＝８０：２０（ｖｏｌ％））に、バインダとテルピネオール等の有機溶剤とを加えて混合することにより、メタライズインクを得る。
【００３６】
なお、Ｓ１１０の工程は、特許請求の範囲における第１の工程に相当し、第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａの形成材料は、特許請求の範囲における第１のセラミックス材料に相当し、Ｓ１１０の工程で用いられるメタライズインクは、特許請求の範囲における第１の導電性材料に相当し、測定用メタライズインクパターン１５０Ａは、特許請求の範囲における測定用導電性材料パターンに相当する。
【００３７】
次に、上述したＮ枚の第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａを用いてＮ個の測定用セラミックスグリーンシート積層体１８０Ａを作製する（Ｓ１２０、図５のＢ欄参照）。より具体的には、各第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａにおける測定用メタライズインクパターン１５０Ａが形成された側の表面上に、第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａの形成材料と同一のセラミックス材料により形成された第２の測定用セラミックスグリーンシート１０２Ａを配置し、その後、外形をセラミックス部材１０と同一形状に切削することにより、測定用セラミックスグリーンシート積層体１８０Ａを作製する。なお、測定用セラミックスグリーンシート積層体１８０Ａは、２枚以上の第２の測定用セラミックスグリーンシート１０２Ａを含んでいてもよい。また、第２の測定用セラミックスグリーンシート１０２Ａの作製方法は、上述した第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａの作製方法と同様である。Ｓ１２０の工程は、特許請求の範囲における第２の工程に相当する。
【００３８】
次に、上述したＮ個の測定用セラミックスグリーンシート積層体１８０Ａを焼結（焼成）することにより、Ｎ個の測定用構造体８０Ａを作製する（Ｓ１３０、図５のＣ欄参照）。上述したように、測定用構造体８０Ａは、製造される静電チャック１００の一部になるものではなく、後述する温度分布測定の対象となる構造体である。測定用構造体８０Ａは、第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａおよび第２の測定用セラミックスグリーンシート１０２Ａの焼結体である測定用セラミックス部材１０Ａと、測定用メタライズインクパターン１５０Ａの焼結体である測定用抵抗発熱体５０Ａとを有する。なお、測定用構造体８０Ａを構成する測定用セラミックス部材１０Ａの内部には、製造される静電チャック１００の一部になるセラミックス部材１０とは異なり、チャック電極４０が配置されておらず、またガス流路用孔１３０も形成されていない。また、測定用構造体８０Ａを構成する測定用セラミックス部材１０Ａの厚さは、セラミックス部材１０の厚さ以下であり、本実施形態では、セラミックス部材１０の厚さより薄い。なお、測定用セラミックス部材１０Ａの厚さは、例えば、測定用セラミックスグリーンシート積層体１８０Ａを構成する第２の測定用セラミックスグリーンシート１０２Ａの枚数を増減させることにより調整することができる。Ｓ１３０における焼結（焼成）は、例えば、１２００〜１６００℃の範囲で行う。Ｓ１３０の工程は、特許請求の範囲における第３の工程に相当する。
【００３９】
次に、上述したＮ個の測定用構造体８０Ａのそれぞれについて、測定用抵抗発熱体５０Ａに電圧を印加することによって測定用抵抗発熱体５０Ａを発熱させつつ、測定用セラミックス部材１０Ａの表面である測定面８２Ａの温度分布を測定する（Ｓ１４０、図５のＣ欄参照）。図５のＣ欄では図示を省略しているが、各測定用構造体８０Ａには、測定用抵抗発熱体５０Ａへの給電のための構成、具体的には、測定用セラミックス部材１０Ａの表面に配置された電極パッドと、該電極パッドと測定用抵抗発熱体５０Ａとを電気的に接続するビアとを備えている。これらの電極パッドおよびビアは、上述したＳ１１０およびＳ１２０の工程において、所定のセラミックスグリーンシートに対して、ビア用の孔開け加工を行ったり、メタライズインクの印刷や充填を行ったりすることにより形成される。Ｓ１４０の工程の際には、該電極パッドおよびビアを介して、測定用抵抗発熱体５０Ａに電圧（例えば３０〜５０Ｖ程度）を印加する。また、Ｓ１４０の工程の際には、例えばＩＲカメラを用いて、測定用抵抗発熱体５０Ａの測定面８２Ａ上における複数の測定点について、温度が８０±２０℃程度になった時点で温度計測を行う。Ｓ１４０の工程は、特許請求の範囲における第４の工程に相当する。
【００４０】
次に、Ｓ１４０における温度分布の測定結果に基づき、採用印刷条件を決定する（Ｓ１５０）。本実施形態では、Ｎ個の測定用構造体８０Ａを構成する測定用セラミックス部材１０Ａの測定面８２Ａの温度分布の測定結果の内、最も温度差が小さい測定結果が得られた測定用構造体８０Ａを作製した際の印刷条件（図５のＤ欄に示す「印刷条件Ｘ」）を、採用印刷条件として決定する。採用印刷条件は、特許請求の範囲における第１の印刷条件に相当する。
【００４１】
次に、上述した第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａの形成材料と同一のセラミックス材料により形成された複数の（例えば、１ロットの）第１のセラミックスグリーンシート１０１を準備し、各第１のセラミックスグリーンシート１０１の表面に、上述した測定用メタライズインクパターン１５０Ａの形成材料と同一のメタライズインクを、決定された採用印刷条件（印刷条件Ｘ）でスクリーン印刷することによって、メタライズインクパターン１５０を形成する（Ｓ１６０、図５のＤ欄参照）。メタライズインクパターン１５０は、焼結前の抵抗発熱体５０であり、抵抗発熱体５０の形状に形成される。また、メタライズインクパターン１５０の厚さは、例えば２０μｍ〜４０μｍ程度である。Ｓ１６０の工程では、各第１のセラミックスグリーンシート１０１の表面に、採用印刷条件でスクリーン印刷が行われることによってメタライズインクパターン１５０が形成されるため、形成された各メタライズインクパターン１５０の印刷品質（例えば、線幅や厚さのバラツキ等）は、最も温度差が小さい測定結果が得られた測定用構造体８０Ａにおける測定用メタライズインクパターン１５０Ａの印刷品質と同等となる。なお、第１のセラミックスグリーンシート１０１の作製方法は、上述した第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａの作製方法と同様である。また、メタライズインクパターン１５０の形成用のメタライズインクの作製方法は、上述した測定用メタライズインクパターン１５０Ａの形成用のメタライズインクの作製方法と同様である。Ｓ１５０およびＳ１６０の工程は、特許請求の範囲における第５の工程に相当し、メタライズインクパターン１５０は、特許請求の範囲における導電性材料パターンに相当する。
【００４２】
次に、上述した複数の第１のセラミックスグリーンシート１０１を用いて複数のセラミックスグリーンシート積層体１８０を作製する（Ｓ１７０、図５のＥ欄参照）。より具体的には、各第１のセラミックスグリーンシート１０１におけるメタライズインクパターン１５０が形成された側の表面上に、第１のセラミックスグリーンシート１０１の形成材料と同一のセラミックス材料により形成された第２のセラミックスグリーンシート１０２を配置し、その後、外形をセラミックス部材１０の形状に切削することにより、セラミックスグリーンシート積層体１８０を作製する。セラミックスグリーンシート積層体１８０は、焼結前のセラミックス部材１０と抵抗発熱体５０とチャック電極４０とを備える構造体（後述する構造体８０）である。そのため、セラミックスグリーンシート積層体１８０は、さらに、焼結前のチャック電極４０である焼結前チャック電極１４０を有している。焼結前チャック電極１４０は、所定の第２のセラミックスグリーンシート１０２の表面に、メタライズインクを例えばスクリーン印刷することにより形成される。また、セラミックスグリーンシート積層体１８０には、上述したガス流路用孔１３０が形成されている。また、セラミックスグリーンシート積層体１８０は、２枚以上の第２のセラミックスグリーンシート１０２を含んでいてもよい。第２のセラミックスグリーンシート１０２の作製方法は、上述した第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａの作製方法と同様である。Ｓ１７０の工程は、特許請求の範囲における第６の工程に相当し、焼結前チャック電極１４０は、特許請求の範囲における焼結前導体層に相当する。
【００４３】
次に、上述した複数のセラミックスグリーンシート積層体１８０を焼結（焼成）することにより、複数の構造体８０を作製する（Ｓ１８０、図５のＦ欄参照）。構造体８０は、第１のセラミックスグリーンシート１０１および第２のセラミックスグリーンシート１０２の焼結体であるセラミックス部材１０と、メタライズインクパターン１５０の焼結体である抵抗発熱体５０と、焼結前チャック電極１４０の焼結体であるチャック電極４０とを備える。また、セラミックスグリーンシート積層体１８０にはガス流路用孔１３０が形成されていることから、構造体８０にもガス流路用孔１３０が形成されている。Ｓ１８０における焼結（焼成）は、例えば、１２００〜１６００℃の範囲で行う。
【００４４】
次に、上述した複数の構造体８０のそれぞれについて、構造体８０を構成するセラミックス部材１０にベース部材２０を接合する（Ｓ１９０）。より詳細には、ベース部材２０の上面Ｓ３に、例えばシリコーン系樹脂を含むペースト状接着剤を塗布し、ベース部材２０に塗布されたペースト状接着剤の上にセラミックス部材１０を配置し、ペースト状接着剤を硬化させる硬化処理を行うことにより、ベース部材２０とセラミックス部材１０とを接合する接合部３０を形成する。Ｓ１８０，Ｓ１９０の工程は、特許請求の範囲における第７の工程に相当する。その後、他の部材（例えば、給電端子７２等）を組み付けることにより、上述した構成の静電チャック１００が複数製造される。
【００４５】
Ａ−３．本実施形態の効果：
以上説明したように、本実施形態の静電チャック１００は、Ｚ軸方向に略直交する吸着面Ｓ１を有し、所定のセラミックス材料（以下、「第１のセラミックス材料」という。）の焼結体であるセラミックス部材１０と、セラミックス部材１０の内部に配置され、Ｚ軸方向視で所定の形状であり、所定の導電性材料であるメタライズインク（以下、「第１の導電性材料」という。）の焼結体である抵抗発熱体５０と、セラミックス部材１０の内部に配置され、所定の導電性材料の焼結体であるチャック電極４０とを備え、セラミックス部材１０の吸着面Ｓ１上に対象物（例えば、ウェハＷ）を保持する装置である。
【００４６】
また、本実施形態の静電チャック１００の製造方法は、上記第１のセラミックス材料により形成された複数の第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａのそれぞれの表面に、上記第１の導電性材料を、互いに異なる印刷条件で印刷することにより、上記所定の形状の測定用メタライズインクパターン１５０Ａを形成する工程（Ｓ１１０）と、該複数の第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａを用いて複数の測定用セラミックスグリーンシート積層体１８０Ａを作製する工程（Ｓ１２０）とを備える。Ｓ１２０の工程において作製される各測定用セラミックスグリーンシート積層体１８０Ａは、第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａと、上記第１のセラミックス材料により形成された少なくとも１つの第２の測定用セラミックスグリーンシート１０２Ａであって、少なくとも１つが、第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａにおける測定用メタライズインクパターン１５０Ａが形成された側の表面上に配置された、少なくとも１つの第２の測定用セラミックスグリーンシート１０２Ａとを有する。さらに、本実施形態の静電チャック１００の製造方法は、複数の測定用セラミックスグリーンシート積層体１８０Ａを焼結することにより、それぞれ、第１の測定用セラミックスグリーンシート１０１Ａおよび第２の測定用セラミックスグリーンシート１０２Ａの焼結体である測定用セラミックス部材１０Ａと、測定用メタライズインクパターン１５０Ａの焼結体である測定用抵抗発熱体５０Ａと、を有する複数の測定用構造体８０Ａを作製する工程（Ｓ１３０）と、複数の測定用構造体８０Ａのそれぞれについて、測定用抵抗発熱体５０Ａに電圧を印加しつつ、測定用セラミックス部材１０Ａの表面である測定面８２Ａの温度分布を測定する工程（Ｓ１４０）と、上記第１のセラミックス材料により形成された第１のセラミックスグリーンシート１０１の表面に、上記第１の導電性材料を、上記温度分布の測定結果に基づき決定された採用印刷条件で印刷することにより、上記所定の形状のメタライズインクパターン１５０を形成する工程（Ｓ１５０，Ｓ１６０）と、第１のセラミックスグリーンシート１０１を用いてセラミックスグリーンシート積層体１８０を作製する工程（Ｓ１７０）とを備える。Ｓ１７０の工程において作製されるセラミックスグリーンシート積層体１８０は、第１のセラミックスグリーンシート１０１と、上記第１のセラミックス材料により形成された少なくとも１つの第２のセラミックスグリーンシート１０２であって、少なくとも１つが、第１のセラミックスグリーンシート１０１におけるメタライズインクパターン１５０が形成された側の表面上に配置された、少なくとも１つの第２のセラミックスグリーンシート１０２と、焼結前のチャック電極４０である焼結前チャック電極１４０とを有する。さらに、本実施形態の静電チャック１００の製造方法は、セラミックスグリーンシート積層体１８０を焼結することにより、第１のセラミックスグリーンシート１０１および第２のセラミックスグリーンシート１０２の焼結体であるセラミックス部材１０と、メタライズインクパターン１５０の焼結体である抵抗発熱体５０と、焼結前チャック電極１４０の焼結体であるチャック電極４０と、を備える構造体８０を備える静電チャック１００を作製する工程（Ｓ１８０，Ｓ１９０）とを備える。
【００４７】
このように、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、作製される各測定用構造体８０Ａに含まれる測定用抵抗発熱体５０Ａは、互いに異なる印刷条件で印刷された測定用メタライズインクパターン１５０Ａの焼結体である。また、各測定用構造体８０Ａは、測定用抵抗発熱体５０Ａの他に他の導体層（例えば、チャック電極４０）を有していない。そのため、複数の測定用構造体８０Ａのそれぞれについて、測定用抵抗発熱体５０Ａに電圧を印加したときの測定用セラミックス部材１０Ａの測定面８２Ａの温度分布が互いに相違する要因として、上記他の導体層の形状バラツキは挙げられず、測定用抵抗発熱体５０Ａの作製時の印刷条件の相違に起因する測定用メタライズインクパターン１５０Ａの印刷品質（例えば、線幅や厚さのバラツキ等）が大きな割合を占めることとなる。
【００４８】
従って、本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、各測定用構造体８０Ａの測定面８２Ａの温度分布の測定結果に基づき採用印刷条件を決定し、該採用印刷条件を用いて抵抗発熱体５０を形成するためのメタライズインクパターン１５０の印刷を行うことにより、抵抗発熱体５０の各位置における発熱量のバラツキを低減することができ、その結果、静電チャック１００の吸着面Ｓ１の温度分布特性を向上させることができる。また、本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、仮に、作製された静電チャック１００の吸着面Ｓ１の温度分布が好ましいものではない場合には、温度分布の悪化が、主として抵抗発熱体５０の発熱量のバラツキに起因するものではなく、他の要因（例えば、チャック電極４０の形状バラツキ等）に起因する可能性が高いと判断することができる。従って、本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、静電チャック１００の吸着面Ｓ１の温度分布の悪化原因を容易に特定することができ、その結果をすぐに製造工程にフィードバックすることによって、吸着面Ｓ１の温度分布特性が良好な静電チャック１００を容易に製造することができる。
【００４９】
また、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、セラミックス部材１０には、吸着面Ｓ１に開口するガス流路用孔１３０が形成されている一方、測定用構造体８０Ａを構成する測定用セラミックス部材１０Ａには、測定面８２Ａに開口する孔が形成されていない。そのため、複数の測定用構造体８０Ａのそれぞれの測定面８２Ａの温度分布が互いに相違する要因として、そのようなガス流路用孔の形状バラツキは挙げられず、測定用抵抗発熱体５０Ａの作製時の印刷条件の相違に起因する測定用メタライズインクパターン１５０Ａの印刷品質がさらに大きな割合を占めることとなる。従って、本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、各測定用構造体８０Ａの測定面８２Ａの温度分布の測定結果に基づき採用印刷条件を決定し、該採用印刷条件を用いて抵抗発熱体５０を形成するためのメタライズインクパターン１５０の印刷を行うことにより、抵抗発熱体５０の各位置における発熱量のバラツキを効果的に低減することができ、静電チャック１００の吸着面Ｓ１の温度分布特性を効果的に向上させることができる。また、本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、静電チャック１００の吸着面Ｓ１の温度分布の悪化原因を容易に、かつ、より精度良く特定することができ、その結果をすぐに製造工程にフィードバックすることによって、吸着面Ｓ１の温度分布特性がさらに良好な静電チャック１００を容易に製造することができる。
【００５０】
また、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、静電チャック１００は、さらに、上面Ｓ３を有し、上面Ｓ３が、セラミックス部材１０の吸着面Ｓ１とは反対側の下面Ｓ２側に位置するように配置されたベース部材２０と、セラミックス部材１０の下面Ｓ２とベース部材２０の上面Ｓ３との間に配置されてセラミックス部材１０とベース部材２０とを接合する接合部３０とを備える。このように、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、セラミックス部材１０には、接合部３０によりベース部材２０が接合されている一方、各測定用構造体８０Ａを構成する測定用セラミックス部材１０Ａには、そのようなベース部材２０が接合されていない。そのため、複数の測定用構造体８０Ａのそれぞれの測定面８２Ａの温度分布が互いに相違する要因として、ベース部材２０や接合部３０の形状や組成のバラツキは挙げられず、測定用抵抗発熱体５０Ａの作製時の印刷条件の相違に起因する測定用メタライズインクパターン１５０Ａの印刷品質がさらに大きな割合を占めることとなる。従って、本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、各測定用構造体８０Ａの測定面８２Ａの温度分布の測定結果に基づき採用印刷条件を決定し、該採用印刷条件を用いて抵抗発熱体５０を形成するためのメタライズインクパターン１５０の印刷を行うことにより、抵抗発熱体５０の各位置における発熱量のバラツキを効果的に低減することができ、静電チャック１００の吸着面Ｓ１の温度分布特性を効果的に向上させることができる。また、本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、静電チャック１００の吸着面Ｓ１の温度分布の悪化原因を容易に、かつ、より精度良く特定することができ、その結果をすぐに製造工程にフィードバックすることによって、吸着面Ｓ１の温度分布特性がさらに良好な静電チャック１００を容易に製造することができる。
【００５１】
また、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、測定用構造体８０Ａを構成する測定用セラミックス部材１０Ａの厚さは、セラミックス部材１０の厚さより薄い。従って、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、測定用構造体８０Ａの作製の効率化を図ることができ、ひいては静電チャック１００の製造の効率化を図ることができる。
【００５２】
また、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、Ｓ１６０の工程は、複数の第１のセラミックスグリーンシート１０１のそれぞれの表面にメタライズインクパターン１５０を形成する工程であり、Ｓ１７０の工程は、複数の第１のセラミックスグリーンシート１０１を用いて複数のセラミックスグリーンシート積層体１８０を作製する工程であり、Ｓ１８０，Ｓ１９０の工程は、複数のセラミックスグリーンシート積層体１８０を焼結することにより、それぞれ構造体８０を備える複数の静電チャック１００を作製する工程である。本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、製造される複数の静電チャック１００について、吸着面Ｓ１の温度分布特性を向上させることができる。
【００５３】
Ｂ．変形例：
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
【００５４】
上記実施形態における静電チャック１００の構成は、あくまで一例であり、種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、セラミックス部材１０の内部に１つの抵抗発熱体５０が配置されているが、セラミックス部材１０の内部に複数の抵抗発熱体５０が配置されているとしてもよい。また、上記実施形態では、電極パッド７０と抵抗発熱体５０とが、ビア５４を介して電気的に接続されているが、電極パッド７０と抵抗発熱体５０とが、ビア５４に加えて、導電性材料の焼結体であるドライバ電極を介して電気的に接続されているとしてもよい。この場合には、ドライバ電極とチャック電極４０との少なくとも一方が、特許請求の範囲における導体層に相当する。また、上記実施形態において、セラミックス部材１０に形成されたガス流路用孔１３０の構成は、あくまで一例であり、種々変形可能である。また、セラミックス部材１０にガス流路用孔１３０が形成されていなくてもよい。
【００５５】
また、上記実施形態において、各ビアは、単数のビアにより構成されてもよいし、複数のビアのグループにより構成されてもよい。また、上記実施形態において、各ビアは、ビア部分のみからなる単層構成であってもよいし、複数層構成（例えば、ビア部分とパッド部分とビア部分とが積層された構成）であってもよい。また、上記実施形態では、セラミックス部材１０の内部に１つのチャック電極４０が設けられた単極方式が採用されているが、セラミックス部材１０の内部に一対のチャック電極４０が設けられた双極方式が採用されてもよい。
【００５６】
また、上記実施形態の静電チャック１００の各部材（セラミックス部材１０、ベース部材２０、接合部３０、抵抗発熱体５０、チャック電極４０等）の形成材料は、あくまで一例であり、種々変更可能である。
【００５７】
また、上記実施形態における静電チャック１００の製造方法は、あくまで一例であり、種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、Ｎ個の測定用構造体８０Ａを構成する測定用セラミックス部材１０Ａの測定面８２Ａの温度分布の測定結果の内、最も温度差が小さい測定結果が得られた測定用構造体８０Ａを作製した際の印刷条件を採用印刷条件として決定するとしているが、他の判定基準に基づき採用印刷条件を決定するとしてもよい。また、上記実施形態では、決定された印刷条件を採用して複数の静電チャック１００が製造されるが、決定された印刷条件を採用して１つの静電チャック１００が製造されるとしてもよい。
【００５８】
また、本発明は、セラミックス部材１０と、セラミックス部材１０の内部に配置された抵抗発熱体５０およびチャック電極４０と、を備える静電チャック１００に限らず、セラミックス部材１０と、セラミックス部材１０の内部に配置された抵抗発熱体５０および導体層（例えば、ＲＦ電極等）と、を備え、セラミックス部材１０の表面上に対象物を保持する他の保持装置（例えば、サセプタ等の加熱装置等）にも同様に適用可能である。
【符号の説明】
【００５９】
１０：セラミックス部材  １０Ａ：測定用セラミックス部材  １１：凹部  ２０：ベース部材  ２１：冷媒流路  ２２：貫通孔  ３０：接合部  ３２：貫通孔  ４０：チャック電極  ５０：抵抗発熱体  ５０Ａ：測定用抵抗発熱体  ５４：ビア  ７０：電極パッド  ７２：給電端子  ８０：構造体  ８０Ａ：測定用構造体  ８２Ａ：測定面  １００：静電チャック  １０１：第１のセラミックスグリーンシート  １０１Ａ：第１の測定用セラミックスグリーンシート  １０２：第２のセラミックスグリーンシート  １０２Ａ：第２の測定用セラミックスグリーンシート  １１０：端子用孔  １３０：ガス流路用孔  １３１：ガス供給流路  １３２：第２の縦流路  １３３：横流路  １３４：凹部  １３８：第１の縦流路  １４０：焼結前チャック電極  １５０：メタライズインクパターン  １５０Ａ：測定用メタライズインクパターン  １６０：充填部材  １８０：セラミックスグリーンシート積層体  １８０Ａ：測定用セラミックスグリーンシート積層体  Ｓ１：吸着面  Ｓ２：下面  Ｓ３：上面  Ｓ４：下面  Ｗ：半導体ウェハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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