(57)【要約】【課題】より高い走行安定性を有するテーブルを備えたテーブル装置を提供する。【解決手段】テーブル装置は、第１面と第２面とを有する板状部材と、板状部材の第１面側に配置され第１引力発生部を有する第１テーブルと、第２面側に配置されると共に、第１引力発生部に吸引可能な第２引力発生部を有し第１テーブルの移動に追従して第２面上を移動可能な第２テーブルと、を備える。第２テーブルは、第２ベースと、第２ベースを移動可能に支持する支持部と、を含む。第２ベースには、段差により第２面との距離が他の部位よりも大きい底面が設けられ、段差及び底面で形成された空間内に支持部が配置されている。【選択図】図３
2020027021.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面と、前記第１面と反対側の第２面とを有し、前記第１面側の第１空間と、前記第２面側の第２空間とを区切る板状部材と、
前記板状部材の前記第１面側に配置され第１引力発生部を有すると共に、前記第１面に沿って移動可能な第１テーブルと、
前記板状部材の前記第２面側に配置されると共に、前記第１引力発生部に吸引可能な第２引力発生部を有し前記第１テーブルの移動に追従して前記第２面上を移動可能な第２テーブルと、を備え、
前記第２テーブルは、第２ベースと、前記第２ベースを移動可能に支持する支持部と、を含み、
前記第２ベースには、段差により前記第２面との距離が前記第２ベースの他の部位よりも大きい底面が設けられ、前記段差及び前記底面で形成された空間内に前記支持部が配置されている、
テーブル装置。
【請求項２】
前記第２ベースは、平面視において矩形状の環状部材であり、前記支持部が配置される前記空間は、前記環状部材の角部に配置された保持部に設けられている、
請求項１に記載のテーブル装置。
【請求項３】
前記第２ベースは、複数の前記保持部と、隣接する前記保持部同士を連結する連結部と、を有し、前記連結部の前記第２面側に前記第２引力発生部が設けられている、
請求項２に記載のテーブル装置。
【請求項４】
前記連結部と前記第２面との距離は、前記保持部と前記第２面との距離よりも小さい、
請求項３に記載のテーブル装置。
【請求項５】
前記第２ベースの周縁部は、
前記第２ベースの移動方向に対して非対称となるように
異形状部を有する、
請求項２から４のいずれか１項に記載のテーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、テーブル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
搬送装置等には、真空雰囲気や特殊ガス雰囲気のプロセス室内で、テーブルをスライド移動させて位置決めするテーブル装置が用いられる。特許文献１に記載されたステージ装置（テーブル装置）は、ステージと、ステージの両サイドに設けられた固定子移動ユニットと、ステージと連結された移動型固定子と、を有する。
【０００３】
特許文献１のステージ装置では、固定子移動ユニットにコイルが配置され、移動型固定子に磁石が配置される。コイルと磁石との間に発生する引力により、固定子移動ユニットの移動に伴って移動型固定子及びステージ（テーブル）が移動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２８７８８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１のステージ装置において、高さが高いステージ（テーブル）を用いた場合、ステージの重心が上方に位置するため、ステージの走行安定性が低下する可能性がある。
【０００６】
本開示は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、より高い走行安定性を有するテーブルを備えたテーブル装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するため、本開示の一態様に係るテーブル装置は、第１面と、前記第１面と反対側の第２面とを有し、前記第１面側の第１空間と、前記第２面側の第２空間とを区切る板状部材と、前記板状部材の前記第１面側に配置され第１引力発生部を有すると共に、前記第１面上を移動可能な第１テーブルと、前記板状部材の前記第２面側に配置されると共に、前記第１引力発生部に吸引可能な第２引力発生部を有し前記第１テーブルの移動に追従して前記第２面上を移動可能な第２テーブルと、を備え、前記第２テーブルは、第２ベースと、前記第２ベースを移動可能に支持する支持部と、を含み、前記第２ベースには、段差により前記第２面との距離が他の部位よりも大きい底面が設けられ、前記段差及び前記底面で形成された空間内に前記支持部が配置されている。
【０００８】
支持部に設けられる転動体（例えばボール等）が大きくなると、転動体と板状部材との面圧が低下するため、支持部及び板状部材の寿命が長くなる。一方、転動体が大きくなると、支持部も大きくなる。ここで、平坦な基板に大径の転動体を有する支持部を取り付けると、平坦な基板に小径の転動体を有する支持部を取り付けた場合と比較して、基板の高さが高くなる。よって、テーブル全体の重心も高くなるため、走行安定性が低下する。
従って、第２ベースの底面を他の部位の下面よりも高く配置し、底面に支持部を固定する。これにより、テーブル全体の重心は、平坦な基板に小径の転動体を有する支持部を取り付けた場合と同等又は低くなる。以上より、本開示によれば、支持部及び板状部材の寿命が長くなると共に、テーブル全体の重心も低く抑えられて高い走行安定性を維持することができる。
【０００９】
テーブル装置の望ましい態様として、前記第２ベースは、平面視において矩形状の環状部材であり、前記支持部が配置される前記空間は、前記環状部材の角部に配置された保持部に設けられている。
【００１０】
このように、第２ベースは環状部材であるため、板状部材と比較して、重量が軽減される。また、第２テーブルを４箇所の支持部で均等に支持するため、第２テーブルの重量を均等に分散して支持することができる。以上より、支持部の寿命が更に延長される。
【００１１】
テーブル装置の望ましい態様として、前記第２ベースは、複数の前記保持部と、隣接する前記保持部同士を連結する連結部と、を有し、前記連結部の前記第２面側に前記第２引力発生部が設けられる。
【００１２】
これにより、連結部の第２面側のスペースを有効利用することができる。また、連結部の第２面側に第２引力発生部を設けることにより、第１引力発生部との吸引力が大きくなる。よって、第２テーブルの走行安定性が更に向上する。
【００１３】
テーブル装置の望ましい態様として、連結部と前記第２面との距離は、保持部と第２面との距離よりも小さい。
【００１４】
連結部と保持部との高さを同じ位置にした場合と比較して、第２引力発生部と第１引力発生部との距離が短くなる。このため、第２引力発生部と第１引力発生部との吸引力が大きくなる。よって、第２テーブルの走行安定性が更に向上する。
【００１５】
テーブル装置の望ましい態様として、前記第２ベースの周縁部は、前記第２ベースの移動方向に対して非対称となるように異形状部を有する。
【００１６】
これにより、第２ベースの移動方向が目視で識別可能となり、第２テーブルを適正な方向に設置することが容易になる。
【発明の効果】
【００１７】
本開示によれば、テーブルの走行安定性が、より向上したテーブル装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、実施形態に係るテーブル装置の斜視図である。
【図２】図２は、図１におけるＡ−Ａ断面図である。
【図３】図３は、第２テーブルの斜視図である。
【図４】図４は、図３の第２テーブルの平面図である。
【図５】図５は、第１変形例に係る第２テーブルの斜視図である。
【図６】図６は、第２変形例に係る第２テーブルの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、下記の発明を実施するための形態（以下、実施形態という）により本発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、下記実施形態で開示した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。なお、実施形態において、水平面内の一方向をＸ方向とし、水平面内においてＸ方向と交差する方向をＹ方向とし、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれと交差する方向（すなわち鉛直方向）をＺ方向とする。
【００２０】
[実施形態]
図１は、実施形態に係るテーブル装置の斜視図である。図２は、図１におけるＡ−Ａ断面図である。図３は、第２テーブルの斜視図である。図４は、図３の第２テーブルの平面図である。
【００２１】
図１に示すように、テーブル装置１は、筐体２と、第１テーブル３と、第２テーブル４と、第１移動機構６と、第２移動機構７とを含む。第１テーブル３、第１移動機構６及び第２移動機構７は、筐体２の内側の第１空間Ｐに設けられる。第２テーブル４は、筐体２の外側の第２空間Ｒに設けられる。第２空間Ｒは、特定の環境を維持し、操作対象物の位置決めや、加工、検査等を行うための空間である。第２空間Ｒは、作業に適した特定の環境を維持できる空間であればよい。第２空間Ｒは、真空、減圧、ガス置換（減圧又は陽圧）、温度の異なる空間、クリーン環境、異物環境等の様々な環境に適用可能である。例えば、テーブル装置１は、細胞等のサンプルの採取や各種検査等を行うバイオ用途に用いられる。この場合、第２空間Ｒはクリーン環境であり、第２空間Ｒ内の第２テーブル４は、例えば腐食性ガスを用いて滅菌処理が施される。
【００２２】
筐体２は、板状部材２１を含む。板状部材２１は、筐体２の側面に対して垂直な方向に延出する板状の部材であり、筐体２と一体に設けられる。第１空間Ｐと第２空間Ｒとは板状部材２１によって区切られている。本実施形態では、板状部材２１は非磁性体であり、非磁性ステンレス等が用いられる。非磁性ステンレスとして、合金オーステナイト系ステンレス（例えばＳＵＳ３１６等）が挙げられる。
【００２３】
図２に示すように、板状部材２１は、第１面２１ａと、第１面２１ａと反対側の第２面２１ｂとを有する。第１空間Ｐは、第１面２１ａ側の空間である。第２空間Ｒは、第２面２１ｂ側の空間である。第１空間Ｐは、筐体２の内部の空間である。板状部材２１によって、第１空間Ｐと第２空間Ｒとが分離されている。板状部材２１は、第１空間Ｐと第２空間Ｒとを連通する孔部等が設けられていない連続した板状の部材である。これにより、第１移動機構６及び第２移動機構７の動作により発生する異物を含む気体が、第１空間Ｐから第２空間Ｒに流入することを抑制できる。従って、第２空間Ｒの環境を維持することができる。
【００２４】
第１テーブル３は、第１ベース３１と、第１引力発生部３２と、第１斥力発生部３３と、第１支持部３４と、を含む。第１ベース３１は、第１主面３１ａと、第１主面３１ａと反対側の第２主面３１ｂとを有する板状の部材である。第１ベース３１の第２主面３１ｂは、第２移動機構７の連結部７７と連結される。第１ベース３１は、第１移動機構６及び第２移動機構７の動作により、板状部材２１の第１面２１ａと平行な面内を移動する。
【００２５】
第１引力発生部３２、第１斥力発生部３３及び第１支持部３４は、第１ベース３１の第１主面３１ａに設けられる。言い換えると、第１引力発生部３２、第１斥力発生部３３及び第１支持部３４は、第１ベース３１と板状部材２１との間に設けられる。本実施形態において、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３は、磁石であり、例えば耐熱ネオジム磁石やコバルト磁石を用いることができる。耐熱ネオジム磁石の耐熱温度は、１５０℃程度である。コバルト磁石の耐熱温度は２００℃程度である。第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３は、それぞれ、Ｎ極が第１主面３１ａに接している。また、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３は、それぞれ、Ｓ極が板状部材２１とＺ方向に離隔して対向する。
【００２６】
第１支持部３４は、ボールローラである。具体的には、第１支持部３４は、ハウジング３４１と、ボール３４２とを含む。ハウジング３４１は第１ベース３１に固定される。ボール３４２は、ハウジング３４１の凹部内に回転可能に設けられている。ボール３４２は、板状部材２１の第１面２１ａと接している。第１ベース３１は、板状部材２１の第１面２１ａに沿って自由に移動可能になっている。第１支持部３４が設けられているため、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３が板状部材２１に接触することを抑制でき、第１ベース３１がスムーズに移動できる。
【００２７】
なお、本実施形態及び後述する第２変形例では、ボール３４２が板状部材２１の第１面２１ａと接している態様を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、ボール３４２が板状部材２１の第１面２１ａから上下方向で離隔していてもよい。また、第１支持部３４自体が必ずしも必要でなくてもよい。即ち、第１テーブル３の移動に追従して第２テーブル４が第２面２１ｂ上を移動可能であればよい。このためには、（１）第１引力発生部３２と第２引力発生部４２とで作用する引力Ｆ１が適正な値に設定されていること、（２）第１斥力発生部３３と第２斥力発生部４３とで作用する斥力Ｆ２が適正な値に設定されていること、（３）板状部材２１の剛性が十分であること、が満たされることが好ましい。ただし、（１）〜（３）の要件は、必須でない。
【００２８】
図２に示すように、第２テーブル４は、第２ベース４１（ベース）と、第２引力発生部４２と、第２斥力発生部４３と、第２支持部４４（支持部）と、を含む。
【００２９】
図３に示すように、第２ベース４１（ベース）は、平面視でロ字状の形状を有する。四隅の角部には、それぞれ第１保持部４１１、第２保持部４１２、第３保持部４１３、及び第４保持部４１４が設けられている。また、それぞれの隣接する保持部同士は、第１連結部４１５、第２連結部４１６、第３連結部４１７、及び第４連結部４１８で連結されている。
【００３０】
なお、図２に示すように、連結部（第１連結部４１５、第２連結部４１６、第３連結部４１７及び第４連結部４１８）の下面４１６ｃと第２面２１ｂとの距離Ｈ１は、保持部（第１保持部４１１、第２保持部４１２、第３保持部４１３及び第４保持部４１４）の底面４１３３ｃと第２面２１ｂとの距離Ｈ２よりも小さい。
【００３１】
第１保持部４１１、第２保持部４１２、第３保持部４１３、及び第４保持部４１４の構造は同一であるため、本実施形態では、第３保持部４１３を例にとって説明する。
【００３２】
第３保持部４１３は、一方側縦壁部４１３１と、横壁部４１３３と、他方側縦壁部４１３４と、突起部４１３５と、を有する。一方側縦壁部４１３１は、第２連結部４１６のＸ方向の反対方向の端部４１６ａからＺ方向に延びる。横壁部４１３３は、一方側縦壁部４１３１のＺ方向の端部４１３２から板状部材２１の第２面２１ｂに沿って（ＸＹ平面に沿って）延びる。他方側縦壁部４１３４は、横壁部４１３３の端部４１３３ａからＺ方向の反対方向に延びて第３連結部４１７のＹ方向の反対方向の端部４１７ａと連結される。突起部４１３５は、横壁部４１３３の上面４１３３ｂからＺ方向に突出する。突起部４１３５は、平面視Ｌ字状の形状を有する。なお、第２ベース４１において、４つの突起部の内側にワークを載置して保持する。
【００３３】
また、第３保持部４１３におけるＺ方向の反対側（図２の下側）には、空間４１３６が設けられている。詳細には、図２及び図３に示すように、第３保持部４１３には、段差４１３１ａにより第２面２１ｂとの距離が連結部（第１連結部４１５、第２連結部４１６、第３連結部４１７及び第４連結部４１８）よりも大きい底面４１３３ｃが設けられている。即ち、空間４１３６は、Ｚ方向（第１方向、図２の上側）に向けて凹んで形成されている。段差４１３１ａ及び底面４１３３ｃで形成された空間４１３６内に第２支持部４４（支持部）が配置されている。空間４１３６の縁は、一方側縦壁部４１３１のＸ方向の反対方向側の段差４１３１ａと、他方側縦壁部４１３４のＹ方向の反対方向側の側面４１３４ａと、横壁部４１３３の底面４１３３ｃと、を有する。なお、上述した第１方向は、本実施形態では、第１面２１ａから第２面２１ｂに向かうＺ方向である。また、第１方向に交差する方向を第２方向とする。この第２方向は、本実施形態では、ＸＹ平面に沿った方向である。
【００３４】
また、第３保持部４１３の空間４１３６内には、第２支持部４４（支持部）が配置されている。第２支持部４４は、本実施形態では、ボールローラである。具体的には、第２支持部４４は、図２に示すように、ハウジング４４１と、ボール４４２と、雄ねじ部４４３（図３，４参照）と、を含む。ボール４４２は、ハウジング４４１の凹部内に回転可能に設けられている。ハウジング４４１には、Ｚ方向に延びる雄ねじ部４４３が設けられている。横壁部４１３３には、Ｚ方向に貫通する雌ねじ部が設けられている。雄ねじ部４４３を雌ねじ部に締結することにより、第２支持部４４を横壁部４１３３に固定することができる。ボール４４２は、板状部材２１の第２面２１ｂと接している。ボール４４２の回転により、第２ベース４１は、板状部材２１の第２面２１ｂに沿って自由に移動可能になっている。
【００３５】
第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３は、第１連結部４１５、第２連結部４１６、第３連結部４１７、及び第４連結部４１８の下面に設けられる。図２においては、第２連結部４１６の下面４１６ｃに設けられた場合を示す。言い換えると、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３は、第２ベース４１と板状部材２１との間に設けられる。本実施形態において、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３は、磁石であり、例えば耐熱ネオジム磁石やコバルト磁石を用いることができる。耐熱ネオジム磁石の耐熱温度は、１５０℃程度である。コバルト磁石の耐熱温度は２００℃程度である。第２引力発生部４２においては、Ｓ極が各連結部の下面に当接し、Ｎ極が板状部材２１の第２面２１ｂと離隔して対向する。第２斥力発生部４３においては、Ｎ極が各連結部の下面に当接し、Ｓ極が板状部材２１の第２面２１ｂと離隔して対向する。
【００３６】
第２引力発生部４２は、板状部材２１を介して第１引力発生部３２と対向する。すなわち、第２引力発生部４２は、Ｚ方向から見たときに、第１引力発生部３２と重なる位置に配置される。第２引力発生部４２は第１引力発生部３２と異なる極が対向するように配置される。図２に示す例では、第２引力発生部４２のＮ極と、第１引力発生部３２のＳ極が対向する。これにより、第１引力発生部３２と第２引力発生部４２との間には、引力Ｆ１が発生する。第２ベース４１には、第１ベース３１に向かう方向の引力Ｆ１が作用する。
【００３７】
第２斥力発生部４３は、板状部材２１を介して第１斥力発生部３３と対向する。すなわち、第２斥力発生部４３は、Ｚ方向から見たときに、第１斥力発生部３３と重なる位置に配置される。第２斥力発生部４３は第１斥力発生部３３と同じ極が対向するように配置される。図２に示す例では、第２斥力発生部４３のＳ極と、第１斥力発生部３３のＳ極が対向する。これにより、第１斥力発生部３３と第２斥力発生部４３との間に斥力Ｆ２が発生する。第２ベース４１には、第１ベース３１から第２ベース４１に向かう方向の斥力Ｆ２が作用する。
【００３８】
本実施形態では、引力Ｆ１の合計の力は、斥力Ｆ２の合計の力よりも大きい。これにより、第２ベース４１は、第１ベース３１の移動に追従して、板状部材２１の第２面２１ｂに沿って移動可能となっている。
【００３９】
ここで、第２テーブル４の重心Ｇの位置について説明する。まず、図２に示すように、第２テーブル４をＹ方向から見た場合、重心Ｇは、第２ベース４１のＸ方向の両端同士の中央に位置する。また、Ｚ方向では、重心Ｇは、第１連結部４１５、第２連結部４１６、第３連結部４１７、及び第４連結部４１８の上面（図２では第２連結部４１６の上面４１６ｂ）に位置する。そして、図４に示すように、平面視の場合、重心Ｇは、第２ベース４１におけるＸ方向の中央であってＹ方向の中央に位置する。ここで、第１連結部４１５、第２連結部４１６、第３連結部４１７及び第４連結部４１８の高さが、保持部の横壁部（例えば、図２に示す第３保持部４１３の横壁部４１３３）と同じ高さとした場合、重心の位置が本実施形態よりも高くなる。
【００４０】
以上説明したように、テーブル装置１は、第２テーブル４を備え、第２テーブル４は、第２ベース４１と、第２支持部４４と、を含む。保持部（第１保持部４１１、第２保持部４１２、第３保持部４１３及び第４保持部４１４）には、段差４１３１ａ及び底面４１３３ｃで形成された空間４１３６が設けられ、空間４１３６内に第２支持部４４が配置される。
【００４１】
ボール４４２の径が大きくなると、ボール４４２と板状部材２１との面圧が低下するため、第２支持部４４及び板状部材２１の寿命が長くなる。一方、ボール４４２の径が大きくなると、第２支持部４４も大きくなる。ここで、平坦な基板に大径のボールを有する第２支持部４４を取り付けると、平坦な基板に小径のボールを有する支持部を取り付けた場合と比較して、基板の高さが高くなる。よって、テーブル全体の重心も高くなるため、走行安定性が低下する。
【００４２】
従って、第３保持部４１３の底面４１３３ｃを第２連結部４１６の下面４１６ｃよりも高く配置し、底面４１３３ｃに第２支持部４４を固定する。これにより、テーブル全体の重心は、平坦な基板に小径のボールを有する支持部を取り付けた場合と同等又は低くなる。以上より、本実施形態によれば、第２支持部４４及び板状部材２１の寿命が長くなると共に、テーブル全体の重心も低く抑えられるため、高い走行安定性を維持することができる。
【００４３】
第２ベース４１は、平面視において矩形状の環状部材であり、保持部（第１保持部４１１、第２保持部４１２、第３保持部４１３及び第４保持部４１４）は、環状部材の角部に設けられる。
【００４４】
このように、第２ベース４１は環状部材であるため、板状部材と比較して、重量が軽減される。また、第２テーブル４を４箇所の第２支持部４４で均等に支持するため、第２テーブル４の重量を均等に分散して支持することができる。以上より、第２支持部４４の寿命が更に延長される。
【００４５】
第２ベース４１は、隣接する保持部同士を連結する連結部（第１連結部４１５、第２連結部４１６、第３連結部４１７及び第４連結部４１８）と、を有する。連結部の第２面２１ｂ側に第２引力発生部４２が設けられる。
【００４６】
これにより、連結部の第２面２１ｂ側のスペースを有効利用することができる。また、連結部の第２面２１ｂ側に第２引力発生部４２を設けることにより、第２引力発生部４２と第１引力発生部３２との距離が短くなる。このため、第２引力発生部４２と第１引力発生部３２との吸引力が大きくなり、第２テーブル４の走行安定性が更に向上する。
【００４７】
連結部（第１連結部４１５、第２連結部４１６、第３連結部４１７及び第４連結部４１８）の下面と第２面２１ｂとの距離Ｈ１は、保持部（第１保持部４１１、第２保持部４１２、第３保持部４１３及び第４保持部４１４）の底面４１３３ｃと第２面２１ｂとの距離Ｈ２よりも小さい。
【００４８】
連結部と保持部との高さを同じ位置にした場合と比較して、第２引力発生部４２と第１引力発生部３２との距離が短くなる。このため、第２引力発生部４２と第１引力発生部３２との吸引力が大きくなる。よって、第２テーブル４の走行安定性が更に向上する。
【００４９】
また、例えば、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３の磁石の腐食を抑制するために、磁石の表面にフッ素コート層を設け、フッ素樹脂製の磁石カバーを介して磁石を第２ベース４１に固定してもよい。これにより、腐食性ガス等の特殊ガス雰囲気のプロセス室内などで用いられる場合でも、より高い耐食性を有するテーブル装置１を提供することができる。
【００５０】
[第１変形例]
次いで、本実施形態の第１変形例について説明する。ただし、上述した実施形態と同じ部位には同じ符号を付けて説明を省略する。
【００５１】
図５は、第１変形例に係る第２テーブルの斜視図である。当該第１変形例に係る第２テーブル４Ａにおいては、第２ベース４１Ａの第３保持部４１３Ａ及び第４保持部４１４Ａに面取部４００（異形状部）を設けている。第１変形例においては、第２ベース４１Ａの移動方向はＸ方向であるが、本発明では、第２ベース４１Ａの移動方向は特に限定されない。面取部４００（異形状部）は、第１面取部４１０、第２面取部４２０、第３面取部４３０及び第４面取部４４０を含む。面取部４００は、面取部４００を設けない部位と比較して形状が相違する異形状部である。なお、異形状部は、面取部４００に限定されず、目視で識別可能であれば、例えば刻印等でもよい。
【００５２】
第３保持部４１３Ａにおいては、第１面取部４１０と、第２面取部４２０と、が設けられている。第１面取部４１０は、突起部４１３５のうちＹ方向に沿った部位の上端角部に設けられている。第２面取部４２０は、第３保持部４１３ＡにおけるＸ方向の反対方向側であってＹ方向の反対方向側の角部に設けられ、Ｚ方向に沿って延びる。
【００５３】
また、第４保持部４１４Ａにおいては、第３面取部４３０と、第４面取部４４０と、が設けられている。第３面取部４３０は、突起部４１４５のうちＹ方向に沿った部位の上端角部に設けられている。第４面取部４４０は、第４保持部４１４ＡにおけるＸ方向の反対方向側であってＹ方向側の角部に設けられ、Ｚ方向に沿って延びる。
【００５４】
なお、図４に示す重心Ｇの位置は、第１方向に交差する第２方向の中央部Ｃの位置と同じである。すなわち、第２方向は、前述したように、Ｚ方向である第１方向と交差するＸＹ平面に沿った方向である。従って、第２ベース４１Ａにおける第２方向の中央部Ｃは、図４の上下方向の中央で、かつ、図４の左右方向の中央に位置する。
【００５５】
従って、図５に示すように、面取部４００は、第２ベース４１Ａにおける第２方向の中央部Ｃを挟んだ一方側の部位（本実施形態では、Ｘ方向の反対方向側の部位）に設けられている。
【００５６】
以上説明したように、第２ベース４１Ａにおける第２方向の中央部Ｃを挟んだＸ方向の反対方向側の第３保持部４１３Ａ及び第４保持部４１４Ａは、面取部４００（異形状部）を有する。換言すれば、第２ベース４１Ａの周縁部は、第２ベース４１Ａの移動方向（第１変形例ではＸ方向）に対して非対称となるように面取部４００（異形状部）を有する。
【００５７】
ここで、第２テーブル４Ａは、図２で説明したように、第１テーブル３のＺ方向側に対向して配置される。図２では、１つの第２引力発生部４２と、当該第２引力発生部４２のＸ方向側及びＸ方向の反対方向側に配置された２つの第２斥力発生部４３と、が設けられている。すなわち、第２引力発生部４２と第２斥力発生部４３との位置が、Ｘ方向において対称となっている。しかし、第２引力発生部４２と第２斥力発生部４３との位置が、Ｘ方向において非対称となる場合、第２テーブル４Ａを設置する向きが間違っていると、第２テーブル４Ａが正常に移動しない。なお、第２テーブル４Ａを設置する向きが正規の方向と相違すると第２テーブル４Ａが正常に移動しない場合は、前述した場合に限定されず、種々のケースがある。
【００５８】
従って、第３保持部４１３Ａ及び第４保持部４１４Ａに面取部４００（異形状部）を設けている。これにより、第２ベースの移動方向が目視で識別可能となり、第２テーブルを適正な方向に設置することが容易になる。
【００５９】
[第２変形例]
次いで、本実施形態の第２変形例について説明する。ただし、上述した実施形態及び第１変形例と同じ部位には同じ符号を付けて説明を省略する。
図６は、第２変形例に係るテーブル装置の断面図である。図６に示すように、本変形例のテーブル装置１Ａは、筐体２Ａと、第１テーブル３と、第２テーブル４と、移動機構（第１移動機構６及び第２移動機構７（図１参照））とを有する。筐体２Ａの外側の空間が第１空間Ｐであり、筐体２Ａの内側の空間が第２空間Ｒである。第２空間Ｒは、例えば真空、減圧、クリーン環境等、様々な環境に対応可能である。筐体２Ａの底板が、板状部材２１Ａである。なお、図示はしていないが、筐体２Ａは、床面等に固定されて移動しない。即ち、筐体２Ａは固定され、筐体２Ａに対して第１テーブル３及び第２テーブル４が移動可能である。
【００６０】
第１テーブル３は、板状部材２１Ａの第１面２１Ａａ側、即ち第１空間Ｐに配置される。また、第２テーブル４は、板状部材２１Ａの第２面２１Ａｂ側、即ち第２空間Ｒに配置される。つまり、筐体２Ａの外側に、第１ベース３１及び第１引力発生部３２を含む第１テーブル３と、移動機構（第１移動機構６及び第２移動機構７（図６では図示を省略する））と、が設けられる。また筐体２Ａの内側に、第２ベース４１、第２引力発生部４２及び第２支持部４４を含む第２テーブル４が設けられる。第１テーブル３及び第２テーブル４の構成は、図２から図４に示したものと同様であり、詳細な説明は省略する。
【００６１】
本変形例においては、例えば、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３の磁石の腐食を抑制するために、磁石の表面にフッ素コート層を設け、フッ素樹脂製の磁石カバーを介して磁石を第１ベース３１に固定してもよい。これにより、腐食性ガス等の特殊ガス雰囲気のプロセス室内などで用いられる場合でも、より高い耐食性を有するテーブル装置１を提供することができる。
【００６２】
以上、実施形態及び変形例を説明したが、前述した内容により実施形態及び変形例が限定されるものではない。例えば、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３の磁石の磁極の向きは実施形態及び変形例の例に限定されない。即ち、実施形態及び第２変形例では、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３においては、それぞれ、Ｎ極が第１主面３１ａに接し、第２引力発生部４２においては、Ｓ極が第２連結部４１６の下面４１６ｃに接し、第２斥力発生部４３においては、Ｎ極が第２連結部４１６の下面４１６ｃに接するように磁極を配置した。
【００６３】
しかし、例えば、第１引力発生部３２、第１斥力発生部３３、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３の磁石の磁極の向きを全て逆に配置してもよい。また、例えば、第１引力発生部３２及び第２引力発生部４２における磁極の向きをそれぞれ逆にしてもよい。更に、引力発生部及び斥力発生部の配置数や配置箇所は、特に限定されず、さまざまな配置数や配置箇所とすることができる。
【符号の説明】
【００６４】
１，１Ａ  テーブル装置
２１  板状部材
２１ａ，２１Ａａ  第１面
２１ｂ，２１Ａｂ  第２面
３  第１テーブル
３２  第１引力発生部
４，４Ａ  第２テーブル
４１  第２ベース（ベース）
４００  面取部（異形状部）
４１１  第１保持部（保持部）
４１２  第２保持部（保持部）
４１３  第３保持部（保持部）
４１４  第４保持部（保持部）
４１５  第１連結部（連結部）
４１６  第２連結部（連結部）
４１７  第３連結部（連結部）
４１８  第４連結部（連結部）
４１３１ａ  段差
４１３３ｃ  底面
４１３６  空間
４２  第２引力発生部
４４  第２支持部（支持部）
Ｐ  第１空間
Ｒ  第２空間
【図１】
2020027021.tif 000003
【図２】
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【図３】
2020027021.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2020027021.tif 000008