(57)【要約】【課題】主に電子部品及び基板等の検査に用いられ、特に狭ピッチで使用する細径のプローブ針及びプローブユニットを提供する。【解決手段】プローブユニット２０を構成する被測定体側の支持板２１の案内穴２１ａに絶縁皮膜２の端部２ａを当てるとともに被測定体に金属導体１の先端１ａを接触させて行う検査で使用されるプローブ針１０であって、金属導体１と、金属導体１の少なくとも両端以外の領域に設けられた絶縁皮膜２，３とを有し、絶縁皮膜２，３は、被測定体側に設けられた薄い絶縁皮膜３と、被測定体側以外の胴体部に設けられた厚い絶縁皮膜２とを有し、厚い絶縁皮膜２は、その端部２ａが被測定体側の支持板２１の案内穴２１ａに当たるように構成されており、被測定体側の薄い絶縁皮膜３は、耐電圧が２５０Ｖ以上であるように構成されている。【選択図】図２
2020165888.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブユニットを構成する被測定体側の支持板の案内穴に絶縁皮膜の端部を当てるとともに被測定体に金属導体の先端を接触させて行う検査で使用されるプローブ針であって、
前記金属導体と、該金属導体の少なくとも両端以外の領域に設けられた前記絶縁皮膜とを有し、前記絶縁皮膜は、前記被測定体側に設けられた薄い絶縁皮膜と、前記被測定体側以外の胴体部に設けられた厚い絶縁皮膜とを有し、前記厚い絶縁皮膜は、その端部が前記被測定体側の支持板の案内穴に当たるように構成されており、前記被測定体側の薄い絶縁皮膜は、耐電圧が２５０Ｖ以上である、ことを特徴とするプローブ針。
【請求項２】
前記被測定体側の薄い絶縁皮膜の厚さが１〜７μｍの範囲内であり、前記先端皮以外の厚い絶縁皮膜の厚さが３〜２０μｍの範囲内である、請求項１に記載のプローブ針。
【請求項３】
前記被測定体側の薄い絶縁皮膜の長手方向の長さＬ１が、前記プローブユニットが備える支持板の厚さＬ２よりも１．３倍長い、請求項１又は２に記載のプローブ針。
【請求項４】
前記絶縁皮膜が、ポリウレタン、ポリエステル、ポリエステルイミド、ポリアミドイミド、ポリイミド及びフッ素樹脂から選ばれる１種又は２種以上の樹脂材料で構成された単層又は２層以上で形成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載のプローブ針。
【請求項５】
被測定体側に配置された支持板と、検査装置側に配置された支持板と、それら少なくとも２つの支持板それぞれが備える案内穴に装着されるプローブ針とを有し、前記被測定体側の支持板の案内穴に絶縁皮膜の端部を当てるとともに前記被測定体に金属導体の先端を接触させて行う検査に用いるプローブユニットであって、
前記プローブ針が、前記金属導体と、該金属導体の少なくとも両端以外の領域に設けられた前記絶縁皮膜とを有し、前記絶縁皮膜は、前記被測定体側に設けられた薄い絶縁皮膜と、前記被測定体側以外の胴体部に設けられた厚い絶縁皮膜とを有し、前記厚い絶縁皮膜は、その端部が前記被測定体側の支持板の案内穴に当たるように構成されており、前記被測定体側の薄い絶縁皮膜は、耐電圧が２５０Ｖ以上である、ことを特徴とするプローブユニット。
【請求項６】
前記被測定体側の支持板が金属製である、請求項５に記載のプローブユニット。
【請求項７】
前記被測定体側の薄い絶縁皮膜の長手方向の長さＬ１が、前記被測定体側の支持板の厚さＬ２よりも１．３倍長い、請求項５又は６に記載のプローブユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主に電子部品及び基板等の導通検査に用いられ、特に狭ピッチで使用する細径のプローブ針及びプローブユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話等に使用される高密度実装基板、又は、パソコン等に組み込まれるＢＧＡ（Ball  Grid  Array）やＣＳＰ（Chip  Size  Package）等のＩＣパッケージ基板等、様々な回路基板が多く用いられている。このような回路基板は、実装の前後の工程において、例えば直流抵抗値の測定や導通検査等が行われ、その電気特性の良否が検査されている。電気特性の良否の検査は、電気特性を測定する検査装置に接続された検査装置用治具（以下、「プローブユニット」という。）を用いて行われ、例えば、プローブユニットに装着されたピン形状のプローブ針の先端を、その回路基板の電極（以下「被測定体」ともいう。）に接触させることにより行われている。プローブ針は、金属導体と、金属導体の少なくとも両端以外の領域に設けられた絶縁皮膜とで構成されている（例えば特許文献１を参照。）。
【０００３】
また、特許文献２には、プローブユニットを用いた電気的特性の検査が繰り返し行われて絶縁皮膜端部が繰り返し案内穴に当たる場合であっても、絶縁皮膜端部が金属導体から剥がれるのを防ぐことができる絶縁皮膜付きプローブ針が提案されている。この技術は、金属導体の被測定体側の先端を被測定体の電極に接触させて被測定体の電気的特性を測定する絶縁皮膜付きプローブ針において、絶縁皮膜のうち被測定体側の絶縁皮膜を、先端側が薄く中央側が厚い２段構造とし、その２段構造の段差部を、電気的特性の測定時に用いられるガイド板の案内穴に当接する位置に形成するというものである。このとき、先端側に設けられた薄い部分の厚さが０．１μｍ以上４μｍ以下の範囲内であり、薄い部分と厚い部分との厚さの差が３μｍ以上２５μｍ以下の範囲内であることが好ましいとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−３２２３６９号公報
【特許文献２】特開２００７−１７２１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、電極間の狭ピッチ化に伴い、プローブ針の細径化が進んでいる。こうしたなか、プローブユニットにおいて、多数のプローブ針の被測定体側の絶縁皮膜端部が、繰り返し支持板の案内穴に当たるので、支持板の強度アップが必要となる。高強度の支持板として金属製の支持板が考えられるが、プローブ針間を電気的に絶縁させる必要があるとともに滑り性もあまり良くないので、樹脂製の支持板で製作せざるを得ない。しかしながら、樹脂製の支持板は、金属製の支持板に比べて滑り性は良好であるが強度が低い。そのため、強度を維持するためにプローブ針間のピッチを広くしなければならず、狭ピッチ化の障害になるという問題がある。強度の高いセラミック製とすることも考えられるが、加工性及び靭性が低い等の問題がある。
【０００６】
一方、樹脂は金属と比較して熱膨張率が高いため、樹脂製の支持板を備えたプローブユニットを高温環境下での検査で使用する場合は、樹脂製の支持板の熱膨張によりプローブ針間のピッチが変化してしまい、電極への正確なコンタクトが難しいという問題ある。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、主に電子部品及び基板等の検査に用いられ、特に狭ピッチで使用する細径のプローブ針及びプローブユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本発明に係るプローブ針は、プローブユニットを構成する被測定体側の支持板の案内穴に絶縁皮膜の端部を当てるとともに被測定体に金属導体の先端を接触させて行う検査で使用されるプローブ針であって、前記金属導体と、該金属導体の少なくとも両端以外の領域に設けられた前記絶縁皮膜とを有し、前記絶縁皮膜は、前記被測定体側に設けられた薄い絶縁皮膜と、前記被測定体側以外の胴体部に設けられた厚い絶縁皮膜とを有し、前記厚い絶縁皮膜は、その端部が前記被測定体側の支持板の案内穴に当たるように構成されており、前記被測定体側の薄い絶縁皮膜は、耐電圧が２５０Ｖ以上である、ことを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、被測定体側の薄い絶縁皮膜と胴体部の厚い絶縁皮膜とからなる２段構造になっているので、案内穴の内壁に薄い絶縁皮膜が接触する。その結果、金属導体が接触する場合よりも滑り性が向上する。さらに、薄い絶縁皮膜は上記耐電圧を有するので、例えば支持板を金属製としても十分な耐電圧を有し、しかも金属製の支持板の案内穴の内壁との滑り性も担保できる。その結果、狭ピッチで使用する細径のプローブ針として好ましく使用することができる。
【００１０】
本発明に係るプローブ針において、前記被測定体側の薄い絶縁皮膜の厚さが１〜７μｍの範囲内であり、前記先端皮以外の厚い絶縁皮膜の厚さが３〜２０μｍの範囲内である。こうすることにより、薄い絶縁皮膜での上記耐電圧を示すことができる。
【００１１】
本発明に係るプローブ針において、前記被測定体側の薄い絶縁皮膜の長手方向の長さＬ１が、前記プローブユニットが備える支持板の厚さＬ２よりも１．３倍長い。こうすることにより、プローブユニットで上下に繰り返すストローク長Ｌ５の２倍程度となり、例えば支持板を金属製としても、先端で露出する金属導体と金属製の支持板との接触が起きず、ショートすることもない。
【００１２】
本発明に係るプローブ針において、前記絶縁皮膜が、ポリウレタン、ポリエステル、ポリエステルイミド、ポリアミドイミド、ポリイミド及びフッ素樹脂から選ばれる１種又は２種以上の樹脂材料で構成された単層又は２層以上で形成されている。こうした滑り性のよい樹脂材料で絶縁皮膜を構成することにより、支持板の内壁との滑り性が良くなる。
【００１３】
（２）本発明に係るプローブユニットは、被測定体側に配置された支持板と、検査装置側に配置された支持板と、それら少なくとも２つの支持板それぞれが備える案内穴に装着されるプローブ針とを有し、前記被測定体側の支持板の案内穴に絶縁皮膜の端部を当てるとともに前記被測定体に金属導体の先端を接触させて行う検査に用いるプローブユニットであって、
前記プローブ針が、前記金属導体と、該金属導体の少なくとも両端以外の領域に設けられた前記絶縁皮膜とを有し、前記絶縁皮膜は、前記被測定体側に設けられた薄い絶縁皮膜と、前記被測定体側以外の胴体部に設けられた厚い絶縁皮膜とを有し、前記厚い絶縁皮膜は、その端部が前記被測定体側の支持板の案内穴に当たるように構成されており、前記被測定体側の薄い絶縁皮膜は、耐電圧が２５０Ｖ以上である、ことを特徴とする。
【００１４】
本発明に係るプローブユニットにおいて、前記被測定体側の支持板が金属製である。こうすることにより、十分な耐電圧を有し、しかも金属製の支持板の案内穴の内壁との滑り性も担保できる。その結果、狭ピッチで使用する細径のプローブ針として好ましく使用することができる。
【００１５】
本発明に係るプローブユニットにおいて、前記被測定体側の薄い絶縁皮膜の長手方向の長さＬ１が、前記被測定体側の支持板の厚さＬ２よりも１．３倍長い。こうすることにより、プローブユニットで上下に繰り返すストローク長Ｌ５の２倍程度となり、例えば支持板を金属製としても、先端で露出する金属導体と金属製の支持板との接触が起きず、ショートすることもない。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、主に電子部品及び基板等の検査に用いられ、特に狭ピッチで使用する細径のプローブ針及びプローブユニットを提供することができる。特に、先端部側の薄い絶縁皮膜と胴体部の厚い絶縁皮膜とからなる２段構造になっているので、案内穴の内壁に薄い絶縁皮膜が接触するので、金属導体が接触する場合よりも滑り性が向上する。さらに、薄い絶縁皮膜は上記耐電圧を有するので、例えば支持板を金属製としても、十分な耐電圧を有し、しかも金属製の支持板の案内穴の内壁との滑り性も担保できる。その結果、狭ピッチで使用する細径のプローブ針として好ましく使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係るプローブ針の一例を示す模式図である。
【図２】本発明に係るプローブユニットでのプローブ針の動作形態を示す模式図である。
【図３】従来のプローブ針を装着したプローブユニットの動作形態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明のプローブ針及びプローブユニットについて図面を参照しつつ説明する。なお、本発明は下記の実施形態に限定されるものではない。
【００１９】
本発明に係るプローブ針１０は、図１及び図２に示すように、プローブユニット２０を構成する被測定体側の支持板２１の案内穴２１ａに絶縁皮膜２の端部２ａを当てるとともに被測定体に金属導体１の先端１ａを接触させて行う検査で使用されるプローブ針１０である。プローブ針１０は、金属導体１と、金属導体１の少なくとも両端以外の領域に設けられた絶縁皮膜２，３とを有している。こうしたプローブ針の特徴は、絶縁皮膜２，３は、被測定体側に設けられた薄い絶縁皮膜３と、被測定体側以外の胴体部に設けられた厚い絶縁皮膜２とを有する２段構造を備えており、厚い絶縁皮膜２は、その端部２ａが被測定体側の支持板２１の案内穴２１ａに当たるように構成されており、被測定体側の薄い絶縁皮膜３は、耐電圧が２５０Ｖ以上であるように構成されていることにある。
【００２０】
本発明に係るプローブユニット２０は、図２に示すように、被測定体側に配置された支持板２１と、検査装置側に配置された支持板２２と、それら少なくとも２つの支持板２１，２２それぞれが備える案内穴２１ａ，２２ａに装着されるプローブ針１０とを有し、被測定体側の支持板２１の案内穴２１ａに絶縁皮膜２の端部２ａを当てるとともに、被測定体に金属導体１の先端１ａを接触させて行う検査に用いるプローブユニットである。そして、プローブ針１０が、金属導体１と、該金属導体の少なくとも両端以外の領域に設けられた絶縁皮膜２，３とを有する２段構造を備えている。絶縁皮膜２，３は、被測定体側に設けられた薄い絶縁皮膜３と、被測定体側以外の胴体部に設けられた厚い絶縁皮膜２とを有し、厚い絶縁皮膜２は、その端部２ａが被測定体側の支持板２１の案内穴２１ａに当たるように構成されており、被測定体側の薄い絶縁皮膜３は、耐電圧が２５０Ｖ以上であるように構成されている。
【００２１】
こうしたプローブ針１０及びプローブユニット２０は、被測定体側の薄い絶縁皮膜３と胴体部の厚い絶縁皮膜２とからなる２段構造になっているので、案内穴２１ａの内壁に薄い絶縁皮膜３が接触する。その結果、金属導体１が接触する場合よりも滑り性が向上する。さらに、薄い絶縁皮膜３は上記耐電圧を有するので、例えば支持板２１を金属製としても十分な耐電圧を有し、しかも金属製の支持板２１の案内穴２１ａの内壁との滑り性も担保できる。
【００２２】
以下、各構成要素について説明する。
【００２３】
＜プローブ針＞
プローブ針１０は、プローブユニット２０を構成する被測定体側の支持板２１の案内穴２１ａに絶縁皮膜２の端部２ａを当てるとともに被測定体に金属導体１の先端１ａを接触させて行う検査で使用されるものである。このプローブ針１０は、金属導体１と、金属導体１の少なくとも両端以外の領域に設けられた絶縁皮膜２，３とを有している。
【００２４】
（金属導体）
金属導体１は、所定の長さに加工されてなるピン形状の導体であり、高い導電性と高い弾性率を有する金属線（「金属ばね線」ともいう。）を切断加工されている。金属導体１に用いられる金属としては、広い弾性域を持つ金属を挙げることができ、例えば銀銅合金、錫銅合金、ベリリウム銅合金等の銅合金、タングステン、レニウムタングステン、鋼（例えば高速度鋼：ＳＫＨ）等を好ましく用いることができる。
【００２５】
金属導体１は、通常、上記の金属が所定の径の線状導体となるまで冷間又は熱間伸線等の塑性加工が施される。金属導体１の外径Ｄ１は、近年の狭ピッチ化の要請から、プローブユニット２０において隣り合う各プローブ針１０の間隔に応じて、１０〜１１０μｍの範囲内、好ましくは２０〜９０μｍの範囲内から任意に選択することができる。
【００２６】
プローブ針１０をプローブユニット２０に装着し易くし、且つ、プローブユニット２０の使用時においてプローブ針１０の先端１ａが支持板２１の案内穴２１ａに引っかかることによりプローブ針１０の動きが妨げられるのを防止する観点からは、金属導体１の真直度が高いことが好ましく、具体的には真直度が曲率半径Ｒで１０００ｍｍ以上であることが好ましい。
【００２７】
金属導体１の先端側の端部１ａ及び／又は後端側の端部１ｂの形状は、図示しないが、半球形状、円錐形状、先端に半球形状を有する円錐形状、先端に平坦形状を有する円錐形状、等から選ばれるいずれかとすることができる。ここでいう「半球形状」、「円錐形状」は、正確な半球や円錐を含むが、略円錐や略半球も含む。
【００２８】
金属導体１の端部１ａ，１ｂにおいては、金属導体１と、被測定体又は検査装置のリード線との接触抵抗値の上昇を抑制するために、めっき層が端部１ａ，１ｂに設けられていてもよい。めっき層を形成する金属としては、ニッケル、金、ロジウム等の金属や金合金等の合金を挙げることができる。めっき層は、単層であってもよいし複層であってもよい。複層のめっき層としては、ニッケルめっき層上に金めっき層が形成されたものを好ましく挙げることができる。めっき層は、通常、絶縁皮膜２，３を形成した金属導体１を切断した後、絶縁皮膜２，３の剥離加工と金属導体１の端部加工を行った後に形成される。
【００２９】
（絶縁皮膜）
絶縁皮膜２，３は、図１及び図２に示すように、金属導体１の少なくとも両端以外の領域に設けられている。絶縁皮膜２，３の構成は、被測定体側に設けられた薄い絶縁皮膜３と、被測定体側以外の胴体部に設けられた厚い絶縁皮膜２とを有しており、少なくとも２段構造になっている。ここで、「有している」、「少なくとも」とは、薄い絶縁皮膜３や厚い絶縁皮膜２とは異なる厚さの絶縁皮膜（図示しない）を有していても良く、３段構造以上になっていてもよいことを意味している。
【００３０】
絶縁皮膜２，３が、ポリウレタン、ポリエステル、ポリエステルイミド、ポリアミドイミド、ポリイミド及びフッ素樹脂から選ばれる１種又は２種以上の樹脂材料で構成されている。そして、上記１種又は２種以上の樹脂材料により、単層又は２層以上で形成されている。こうした滑り性のよい樹脂材料で絶縁皮膜２，３を構成することにより、支持板２１，２２の案内穴２１ａ，２２ａの内壁との滑り性が良くなる。なお、より耐熱性が要求される場合には、ポリエステルイミド、ポリアミドイミド等で形成されることが好ましい。
【００３１】
絶縁皮膜２，３の形成は、通常、長尺の金属導体１上に連続エナメル焼き付け方法によって行うことが好ましいが、もちろん他の方法で形成したものであってもよい。このとき、厚い絶縁皮膜２と薄い絶縁皮膜３の作り分けは、レーザー照射でのアブレーションを利用し、被測定体側の絶縁皮膜にレーザー照射して、薄い絶縁皮膜３からなる長さＬ１の部分が残るようにして形成することができる。検査装置側の絶縁皮膜は、全て剥離すればよく、薄い絶縁皮膜３を形成しなくてもよい。なお、薄い絶縁皮膜３と厚い絶縁皮膜２との作り分けは、こうしたレーザー照射を用いた方法以外の方法で行ってもよく、特に限定されない。
【００３２】
厚い絶縁皮膜２は、被測定体側以外の胴体部に設けられており、金属導体１上に設けられて被測定体の電気特性を検査する際のプローブ針同士の接触を防いで短絡を防止するように作用する。そして、厚い絶縁皮膜２は、その端部２ａが被測定体側の支持板２１の案内穴２１ａに当たるように構成されている。厚い絶縁皮膜２の厚さは、プローブ針同士の接触時のショート等が起こらない必要な厚さが金属導体１の線径を考慮して設けられていればよく、３〜２０μｍの範囲内であることが好ましい。
【００３３】
薄い絶縁皮膜３は、被測定体側に設けられており、その薄い絶縁皮膜３の先端から金属導体１の先端１ａが突出するように設けられている。薄い絶縁皮膜３は、耐電圧が２５０Ｖ以上であるように構成されている。この耐電圧で形成された薄い絶縁皮膜３は、少なくとも約１μｍ以上の厚さで形成されていることが好ましい。なお、耐電圧の観点からは、薄い絶縁皮膜３の厚さの上限は特に限定されないが、支持板２１の案内穴２１ａに、薄い絶縁皮膜３が形成されている部分を挿入する必要もあることから、その薄い絶縁皮膜３の厚さは、７μｍ以下であることが好ましい。
【００３４】
薄い絶縁皮膜３の長手方向（プローブ針の長尺方法）の長さＬ１は、図２に示すように、プローブユニット２０が備える支持板２１の厚さＬ２よりも１．３倍長くすることが好ましい。１．３倍長くすることにより、薄い絶縁皮膜３の長さＬ１は、プローブユニット２０で上下に繰り返すストローク長Ｌ５の２倍程度となるので、例えば支持板２１を金属製としても、先端で露出する金属導体１と金属製の支持板２１との接触が起きず、ショートすることもない。
【００３５】
こうしたプローブ針１０は、被測定体側の薄い絶縁皮膜３と胴体部の厚い絶縁皮膜２とからなる２段構造になっているので、案内穴２１ａの内壁に薄い絶縁皮膜３が接触することになる。そのため、案内穴２１ａの内壁に金属導体１が接触する場合よりも滑り性を向上させることができる。さらに、薄い絶縁皮膜３は上記耐電圧を有するので、例えば支持板２１を金属製としても十分な耐電圧を有し、しかも金属製やセラミックス製の支持板２１の案内穴２１ａの内壁との滑り性も担保できるという利点がある。
【００３６】
＜プローブユニット＞
プローブユニット２０は、図２に示すように、被測定体側に配置された支持板２１と、検査装置側に配置された支持板２２と、それら少なくとも２つの支持板２１，２２それぞれが備える案内穴２１ａ，２２ａに装着される上記本発明に係るプローブ針１０とを有している。このプローブユニット２０では、被測定体側の支持板２１の案内穴２１ａに絶縁皮膜２の端部２ａが当たって、プローブ針１０が落下するのを防いだ状態で、被測定体に金属導体１の先端１ａを接触させて検査を行う装置である。プローブユニット２０には、複数本から数千本のプローブ針１０が装着されている。
【００３７】
検査装置側の支持板２２は、厚い絶縁皮膜２が設けられた胴体部の外径Ｄ２（プローブ針１０の外径）よりも若干大きい内径Ｄ５の案内穴２２ａを有している。その案内穴２２ａは、一本一本のプローブ針１０の金属導体１をリード線にガイドする。
【００３８】
被測定体側の支持板２１は、薄い絶縁皮膜３が設けられた部分の外径Ｄ３よりも若干大きい内径Ｄ４の案内穴２１ａを有している。その案内穴２１ａは、一本一本のプローブ針１０の先端をガイドし、被測定体に金属導体１の先端１ａを正確に接触させるようにガイドする。そして、その案内穴２１ａの内壁には、金属導体１が接触せず、耐電圧が２５０Ｖ以上の薄い絶縁皮膜３だけが接触する。その結果、被測定体側の支持板２１が金属製であったとしても、十分な耐電圧を有し、しかも良好な滑り性を確保できる。
【００３９】
なお、図２に示すように、符号Ｌ３は、プローブ針１０が最も後退した時に支持板２１の案内穴２１ａ内に入り込む金属導体１の長さであり、符号Ｌ４は、プローブ針１０が最も前進した時に支持板下面からはみ出る長さである。また、符号Ｌ５は、プローブ針１０が最も後退した時の支持板２１の上面と厚い絶縁皮膜３の端部３ａとの距離（長さ）である。図２（Ａ）に示すように、プローブ針１０が最も後退した時であっても、支持板２１の案内穴２１ａ内に入り込む金属導体１の長さＬ３は、支持板２１の厚さの０％〜３０％程度の長さであることが好ましく、０％〜２０％程度の長さであることが好ましい。こうすることにより、金属導体１の先端１ａが、案内穴２１ａの内壁に接触してショートすることがない。また、その後にプローブ針１０が被測定体側に前進るると、図２（Ｂ）の態様を経て、厚い絶縁皮膜２の端部２ａが支持板２１の上面に当たって、図２（Ｃ）のようにプローブ針１０が最も前進した態様に至る。図２（Ｃ）の態様において、支持板２１の下面からはみ出る長さＬ４は、特に限定されないが、概ね、支持板２１の厚さＬ２の１０〜３０％程度であることが好ましい。
【００４０】
プローブユニット２０は、被測定体の電気特性を検査する際、プローブ針１０と被測定体とが対応するように位置制御される。電気特性の検査は、プローブユニット２０を上下にストロークさせ、プローブ針１０の弾性力を利用して被測定体にプローブ針１０の先端１ａを所定の圧力で押し当てることにより行われる。このとき、プローブ針１０の後端１ｂはリード線（図示しない）に接触し、被測定体からの電気信号がそのリード線を通って検査装置（図示しない。）に送られる。
【００４１】
こうしたプローブユニット２０によれば、被測定体側の支持板２１の案内穴２１ａの内壁に薄い絶縁皮膜３が接触するので、金属導体１が接触する場合よりも滑り性が向上する。その結果、プローブユニット２０内で摺動性が向上し、被検査体への接触安定性が向上し、接触不具合が解消される。さらに、耐電圧も確保されるので、例えば支持板２１を金属製としても十分な耐電圧を有し、しかも金属製の支持板２１の案内穴２１ａの内壁との滑り性も担保できる。特に金属製の支持板２１とすることにより、支持板２１の強度が向上し、プローブ針１０の狭ピッチ化が可能となる。また、金属製やセラミックス製の支持板２１は、樹脂製の支持板２１に比べて熱膨張率が低下し、高温での使用が可能となるという利点がある。なお、金属製の支持板２１は、その全てが金属製であってもよいし一部が金属製であってもよく、特に限定されない。
【符号の説明】
【００４２】
１  金属導体
１ａ  先端側で露出する金属導体
１ｂ  後端側で露出する金属導体
２  胴体部の厚い絶縁皮膜
２ａ  案内穴に当たる絶縁皮膜の端部
３  被測定体側の薄い絶縁皮膜
１０  プローブ針
２０  プローブユニット
２１  被測定体側の支持板
２１ａ  案内穴
２２  検査装置側の支持板
２２ａ  案内穴
１００  従来のプローブ針
Ｌ１  薄い絶縁皮膜の長さ
Ｌ２  被測定体側の支持板の厚さ
Ｌ３  プローブ針が最も後退した時に支持板内に入り込む金属導体の長さ
Ｌ４  プローブ針が最も前進した時に支持板下面からはみ出る長さ
Ｌ５  プローブ針が最も後退した時の支持板上面と厚い絶縁皮膜の端部との距離（長さ）
Ｄ１  金属導体の外径
Ｄ２  厚い絶縁皮膜が設けられた胴体部の外径
Ｄ３  薄い絶縁皮膜が設けられた部分の外径
Ｄ４  被測定体側の支持板の案内穴の内径
Ｄ５  検査装置側の支持板の案内穴の内径
【図１】
2020165888.tif 000003
【図２】
2020165888.tif 000004
【図３】
2020165888.tif 000005