(57)【要約】【課題】被処理物の加熱乾燥処理と冷却処理とを効率良く行うことができる真空乾燥機および真空乾燥方法を提供する。【解決手段】真空乾燥機１は、被処理物Ｍを収容する密閉容器３０と、密閉容器３０を着脱可能に装着する容器収容部２０と、容器収容部２０に装着されている密閉容器３０を加熱するための加熱源であるヒータ１１，１２とを有する本体部１０を備える。また、真空乾燥機１は、容器収容部２０に装着されている密閉容器３０を真空吸引して真空状態に保持する真空手段Ｖを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物を収容する密閉容器と、
前記密閉容器を着脱可能に装着する容器収容部と、前記容器収容部に装着されている前記密閉容器を加熱するための加熱源とを備える本体部と、
前記容器収容部に装着されている前記密閉容器を真空吸引して真空状態に保持する真空手段と、
を備えることを特徴とする真空乾燥機。
【請求項２】
前記加熱源は、前記容器収容部の収容ゾーンの周囲に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の真空乾燥機。
【請求項３】
前記密閉容器は、前記被処理物を収容する容器本体と、前記容器本体を密閉状態で開閉可能に閉じる蓋部材と、を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の真空乾燥機。
【請求項４】
前記容器本体は、アルミニウム製であることを特徴とする請求項３に記載の真空乾燥機。
【請求項５】
前記密閉容器内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給源を有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の真空乾燥機。
【請求項６】
請求項１に記載の真空乾燥機を用いた真空乾燥方法であって、
前記被処理物として、リチウムイオン二次電池の構成要素を真空乾燥させることを特徴とする真空乾燥方法。
【請求項７】
前記構成要素として正電極シートまたは負電極シートを用いることを特徴とする請求項６に記載の真空乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理物を収容して乾燥する真空乾燥機および真空乾燥方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空乾燥機は、被処理物を収容して真空状態下で乾燥する。この種の真空乾燥機は、電子部品である例えばリチウムイオン二次電池の加熱乾燥処理に用いられている。リチウムイオン二次電池は、正電極シートや負電極シートとセパレータとを有している。
【０００３】
正電極シートは、集電体としてのアルミニウム箔に、正極活性剤と導電剤とバインダを混合した正極合剤スラリーを均一に薄膜状に塗布することで作成される。同様にして、負電極シートは、集電体としての銅箔に、負極活性剤と導電剤とバインダを混合した負極合剤スラリーを均一に薄膜状に塗布することで作成される。正電極シートや負電極シートは、真空乾燥機に入れて数時間乾燥焼き入れ（ベーキング）を行う。そして、正電極シートや負電極シートを用いたリチウムイオン二次電池の製造方法が、例えば特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１１９１９５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の真空乾燥機では、被処理物が加熱乾燥処理された後に、真空乾燥機内の温度が下がるまでそのままの状態で待機する必要がある。そして、被処理物は、被処理物の温度が下がってから真空乾燥器内から取り出す。このため、真空乾燥機内から被処理物を取り出して、次の被処理物を入れて加熱乾燥処理に移るまでには時間がかかってしまう。従って、被処理物の加熱乾燥処理と冷却処理とにおける処理効率が悪い。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、被処理物の加熱乾燥処理と冷却処理とを効率良く行うことができる真空乾燥機および真空乾燥方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の真空乾燥機は、被処理物を収容する密閉容器と、前記密閉容器を着脱可能に装着する容器収容部と、前記容器収容部に装着されている前記密閉容器を加熱するための加熱源とを備える本体部と、前記容器収容部に装着されている前記密閉容器を真空吸引して真空状態に保持する真空手段と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
請求項１に記載の真空乾燥機では、被処理物の加熱乾燥処理をした後に、加熱済みの密閉容器を、本体部の容器収容部から取り外して別の位置に運んで置くことで、本体部から離れた位置で加熱源の熱の影響を受けずに、密閉容器の冷却処理（放熱作業）を行うことができる。すなわち、加熱済みの密閉容器は、本体部において冷却処理を行う必要が無く、本体部から別の位置に搬送することで、別の位置で冷却処理を迅速に行える。
【０００９】
しかも、加熱済みの密閉容器が本体部の容器収容部から取り外されると、本体部の容器収容部には、これから加熱しようとする別の密閉容器を新たに装着することができる。これにより、密閉容器内の被処理物は、本体部において続けて順番にしかも迅速に加熱乾燥処理をしていくことができる。このため、真空乾燥機は、被処理物の加熱乾燥処理と冷却処理を効率良くに行うことができる。
【００１０】
請求項２に記載の真空乾燥機では、前記加熱源は、前記容器収容部の収容ゾーンの周囲に配置されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項２に記載の真空乾燥機では、加熱源は、密閉容器を周囲からまんべんなく加熱して、密閉容器の被処理物Ｍの加熱乾燥処理を迅速にしかも効率良く行える。
【００１２】
請求項３に記載の真空乾燥機では、前記密閉容器は、前記被処理物を収容する容器本体と、前記容器本体を密閉状態で開閉可能に閉じる蓋部材と、を備えることを特徴とする。
【００１３】
請求項３に記載の真空乾燥機では、蓋部材を開けることで容器本体内には被処理物を容易に収容でき、容器本体内は、蓋部材により密閉した状態で閉じることができる。
【００１４】
請求項４に記載の真空乾燥機では、前記容器本体は、アルミニウム製であることを特徴とする。
【００１５】
請求項４に記載の真空乾燥機では、アルミニウム製である。アルミニウム製の密閉容器は、鉄製の容器に比べて熱伝導性が良い。このため、昇音や降温を短時間で行うことができる。また、アルミニウム製の容器本体は、鉄製の容器本体に比べて軽く作ることができる。このため、可搬式の密閉容器を搬送して本体部に装着する動作や、本体部から取り外して搬送する動作を容易に行うことができ、作業性が向上する。
【００１６】
請求項５に記載の真空乾燥機では、前記密閉容器内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給源を有することを特徴とする。
【００１７】
請求項５に記載の真空乾燥機では、真空乾燥機は、被処理物の真空乾燥処理の他に、不活性ガス雰囲気下での被処理物の乾燥処理等を行うことができ、真空乾燥機の利用用途が広がる。
【００１８】
請求項６に記載の真空乾燥方法は、請求項１に記載の真空乾燥機を用いた真空乾燥方法であって、前記被処理物として、リチウムイオン二次電池の構成要素を真空乾燥させることを特徴とする。
【００１９】
請求項６に記載の真空乾燥方法では、リチウムイオン二次電池の構成要素の加熱乾燥処理と冷却処理を効率良くに行うことができる。
【００２０】
請求項７に記載の真空乾燥機では、前記構成要素として、正電極シートまたは負電極シートを用いることを特徴とする。
【００２１】
請求項７に記載の真空乾燥機では、リチウムイオン二次電池の正電極シートまたは負電極シートの加熱乾燥処理と冷却処理を効率良くに行うことができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、被処理物の加熱乾燥処理と冷却処理とを効率良く行うことができる真空乾燥機および真空乾燥方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】実施形態の真空乾燥機を示す正面部分断面図である。
【図２】真空乾燥機の本体部を示す平面図である。
【図３】密閉容器の容器本体を示す平面図である。
【図４】密閉容器が、昇降機械を用いてあるいは作業者の手により、Ｚ方向に持ち上げられた様子を示す側面部分断面図である。
【図５】複数の真空乾燥機が接続された状態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を用いて実施形態を説明する。
【００２５】
（真空乾燥機１の全体構成）
図１は、実施形態の真空乾燥機を示す正面部分断面図である。実施形態の真空乾燥機を示す一部切り欠き部分を有する正面図である。図２は、真空乾燥機の本体部を示す平面図である。図１に示す真空乾燥機１は、耐熱性を有する金属により作られた箱型の槽（チャンバ）を有する加熱処理装置である。
【００２６】
図１に示す真空乾燥機１は、例えば真空圧状態下で、リチウムイオン二次電池等の電池のような電子部品や薬品等の被処理物Ｍを封じ込めて、所定の加熱温度で加熱する機能を有する。この真空乾燥機１は、本体部１０と、密閉容器３０と、真空吸引源５０と、制御部１００とを備える。
【００２７】
＜本体部１０＞
最初に、真空乾燥機１の本体部１０の構造について説明する。真空乾燥機１の本体部１０は、耐熱性を有する金属、例えば鉄やアルミニウム等により作られている。本体部１０は、複数のヒータ１１，１２と、排気通路１３と、容器収容部２０とを有する。
【００２８】
本体部１０は、直方体形状を有しており、側面部１０Ａ,１０Ｂ,１０Ｃ,１０Ｄと、底面部１０Ｅとを有する。本体部１０は、上部に開口部２１を有し、側面部１０Ａ,１０Ｂ,１０Ｃ,１０Ｄと、底面部１０Ｅとは、直方体形状の空間である容器収容部２０を形成している。
【００２９】
本体部１０の容器収容部２０には、ヒータ１１，１２が装着されている。これらのヒータ１１，１２は、密閉容器３０を加熱する。ヒータ１１，１２が容器収容部２０の処理空間ＳＰ（収容ゾーン）の周囲に配置されている。すなわち、ヒータ１１は、側面部１０Ａ,１０Ｂ,１０Ｃ,１０Ｄにそれぞれ配置されている。また、別のヒータ１２が、底面部１０Ｅに配置されている。ヒータ１１，１２は、容器収容部２０を周囲から均一に加熱するための加熱源である。ヒータ１１，１２の通電制御は、制御部１００が行う。なお、このヒータ１２は、必要に応じて配置しなくても良い。ヒータ１１，１２は、通電することで発熱するコイルヒータであっても良いし、カーボンヒータであっても良い。
【００３０】
ヒータ１１，１２がカーボンヒータである場合、ヒータによる加熱で密閉容器３０を素早く加熱できる。また、カーボンヒータは光源を使用したヒータであるため、ヒータそのものの熱負荷が小さく、冷却が速い。また、カーボンヒータをセットする場合、ステンレス製（SUS製）の磨き板を使用することで、密閉容器３０（例えば、アルミニウム製の真空容器）を効率的に加熱することができる。また、密閉容器３０をアルミニウム製の真空容器とした場合では、この真空容器の外周を黒アルマイト処理しておくことが好ましく、これにより、カーボンヒータからの光がこの真空容器に吸収され易くなり、加熱効率を上げることができる。
【００３１】
＜密閉容器３０＞
次に、密閉容器３０について説明する。図３は、密閉容器３０の容器本体３１を示す平面図である。図１と図３に示すように、密閉容器３０は、直方体形状を有する箱体である。密閉容器３０は、被処理物Ｍ（図１を参照）を密閉状態で収容した状態で、本体部１０の容器収容部２０の処理空間ＳＰ（収容ゾーン）内にはめ込んで装着される。密閉容器３０は、容器収容部２０において着脱可能に装着されている。密閉容器３０は、この容器収容部２０の収容ゾーン内から取り外して、そのまま運ぶことができる可搬式のボックス型の容器である。
【００３２】
密閉容器３０は、容器本体３１と、蓋部材３２とを有する。密閉容器３０は、熱伝導性が良好で、耐熱性を有し、比較的軽量な金属、例えばアルミニウムにより作られている。このため、本体部１０の容器収容部２０内に密閉容器３０をはめ込んで装着する作業が、容易に行える。また、本体部１０の容器収容部２０内から密閉容器３０を取り外して運ぶ作業が、容易に行える。
【００３３】
図１に示すように、密閉容器３０の容器本体３１は、容器側部３１Ａ,３１Ｂ,３１Ｃ,３１Ｄと、容器底部３１Ｅとを有する。容器本体３１は、上部に容器開口部３１Ｆを有し、容器側部３１Ａ,３１Ｂ,３１Ｃ,３１Ｄと、容器底部３１Ｅとは、直方体形状の処理空間ＳＰを形成している。
【００３４】
容器本体３１の上部は、容器開口部３１Ｆを囲むようなフランジ部３９を有する。このフランジ部３９は、容器側部３１Ａ,３１Ｂ,３１Ｃ,３１Ｄに沿って設けられている。フランジ部３９は、蓋部材３２の内面３４を支持する受け部分である。そして、０−リングのようなシール部材４０が、このフランジ部３９に沿って、しかも容器開口部３１Ｆを囲むようにして配置されている。シール部材４０は、耐熱性を有し、例えば耐熱温度は２００℃である。シール部材４０は、弾性変形可能な材質により作られている。
【００３５】
容器本体３１は、排気通路３８を有する。密閉容器３０を、本体部１０の容器収容部２０内にはめ込んで装着した状態では、この排気通路３８は、本体部１０の排気通路１３に気密に接続される。
【００３６】
蓋部材３２は、板状の部材である。蓋部材３２の縦横寸法は、容器本体３１のフランジ部３９の縦横寸法と同じである。蓋部材３２の内面３４には、長方形状の突出部分３５が設けられている。蓋部材３２を容器本体３１のフランジ部３９に載せると、蓋部材３２の突出部分３５が容器開口部３１Ｆにはまり込んで、容器開口部３１Ｆを閉じる。しかも、シール部材４０が、容器本体３１のフランジ部３９と、蓋部材３２の内面３４との間を密閉する。
【００３７】
蓋部材３２は、複数の締結部４５を有する。蓋部材３２を容器本体３１のフランジ部３９に載せると、蓋部材３２の締結部４５は、手動等で操作することにより、蓋部材３２と容器本体３１のフランジ部３９とを密着させるようにして締結することができる。これにより、密閉容器３０は、被処理物Ｍを収容して、密閉状態を保持する。
【００３８】
＜真空手段Ｖ＞
また、真空乾燥機１は、容器収容部２０に装着されている密閉容器３０を真空吸引して真空状態に保持する真空手段Ｖを備える。この真空手段Ｖを構成する真空吸引源５０は、容器収容部２０に装着されている密閉容器３０内を真空吸引して真空状態に保持するためのものである。
【００３９】
真空吸引源５０は、配管５１を介して密閉接続部材５２に接続されている。この密閉接続部材５２は、挿入配管部５２Ａを備えている。密閉接続部材５２は、本体部１０の排気通路１３の外側部分を密閉した状態で、本体部１０に対して着脱可能に取り付けられている。
【００４０】
挿入配管部５２Ａは、排気通路１３内に挿入されている。この密閉接続部材５２は、矢印で示すように、本体部１０から取り外して、挿入配管部５２Ａを排気通路１３から抜き出し可能にされている。また、排気通路１３は、容器本体の排気通路３８に接続されている。排気通路３８と、容器本体３１との間は、シール材Ｒ（例えばオーリング）により密閉されている。
【００４１】
真空吸引源５０は、例えばドライポンプであり、配管５１と密閉接続部材５２とを介して、本体部１０の排気通路１３に接続されている。真空吸引源５０は、制御部１００の指令により動作する。真空吸引源５０は、配管５１と密閉接続部材５２と、排気通路１３，３８とを通じて、密閉容器３０の処理空間ＳＰ内の空気を吸引する。これにより、処理空間ＳＰ内は、所定の真空度で真空状態に保持することができる。
【００４２】
＜不活性ガス供給源６０＞
不活性ガス供給源６０は、配管６１と、本体部１０の通路６２と、容器本体３１の通路６３とを通じて、密閉容器３０の処理空間ＳＰ内に、接続されている。配管６１には開閉バルブ６４が配置されている。必要に応じて、不活性ガス供給源６０は、制御部１００の指令により、開閉バルブ６４を開く。これにより、例えば窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガスを処理空間ＳＰ内に供給できる。このため、真空状態で被処理物Ｍを加熱乾燥処理した後に、不活性ガスで処理空間ＳＰ内を大気圧に戻すことや、被処理物Ｍを不活性ガス雰囲気下で加熱乾燥処理をすることができる。なお、不活性ガスに代えて、ドライエアを配管６１から供給することも可能である。
【００４３】
なお、不活性ガスを供給するにあたって、通路６２、６３を形成しても密閉容器３０を着脱可能にするための構成としては、例えば真空手段Ｖと同様の構成、すなわち、配管５１、挿入配管部５２Ａ、シール材Ｒなどを設けた構成にする。
【００４４】
＜制御部１００＞
図１に示す制御部１００は、温度センサ７０と、真空度測定センサ７１と、操作パネル８０とに電気的に接続されている。温度センサ７０は、密閉容器３０の処理空間ＳＰ内の温度を測定して、制御部１００に通知する。温度センサ７０は、複数か所に配置されていて、制御部１００が各温度センサ７０の平均値を算出しても良い。真空度測定センサ７１は、密閉容器３０の処理空間ＳＰ内の真空度を測定して、制御部１００に通知する。操作パネル８０は、起動スイッチ８１と、停止スイッチ８２と、表示部８３と、真空吸引源の起動スイッチ８４と、不活性の開閉バルブ６４の開閉スイッチ８５とを有する。表示部８３は、処理空間ＳＰ内の温度や真空度等の数値を表示できる。
【００４５】
（真空乾燥機１による真空乾燥方法の例と作用効果）
次に、上述した真空乾燥機１の真空乾燥方法の例を、図１と図４を参照して説明する。図１に示す被処理物Ｍとしては、リチウムイオン二次電池の構成要素を例にして説明する。被処理物Ｍは、例えばリチウムイオン二次電池の構成要素である正電極シートあるいは負電極シートである。
【００４６】
被処理物Ｍとしての正電極シートは、集電体としてのアルミニウム箔に、正極活性剤と導電剤とバインダを混合した正極合剤スラリーを均一に薄膜状に塗布することで作成されている。同様にして、被処理物Ｍとしての負電極シートは、集電体としての銅箔に、負極活性剤と導電剤とバインダを混合した負極合剤スラリーを均一に薄膜状に塗布することで作成されている。
【００４７】
正電極シートや負電極シートのような被処理物Ｍは、次に説明するようにして、真空乾燥機１の密閉容器３０の処理空間ＳＰ内に収容して、所定時間真空状態下で、乾燥焼き入れ（ベーキング、例えば１５０℃）を行う。
【００４８】
容器本体３１は、真空乾燥機１の本体部１０の容器収容部２０内に予め装着されている。そして、密閉容器３０の蓋部材３２を容器本体３１から取り外し、被処理物Ｍを、容器本体３１の容器開口部３１Ｆから処理空間ＳＰ内に収容する。
【００４９】
そして、蓋部材３２を、容器本体３１のフランジ部３９の上に重ねて置くことで、蓋部材３２の内面３４と、容器本体３１のフランジ部３９とは、シール部材４０を介して気密状態で重ね合わされる。蓋部材３２の締結部４５は、手動操作することで、蓋部材３２とフランジ部３９とを密着するように締結する。この結果、密閉容器３０の処理空間ＳＰ内に被処理物Ｍが密閉状態で収容される。
【００５０】
次に、図１に示す制御部１００は、本体部１０のヒータ１１，１２への通電を制御し、真空吸引源５０の真空吸引動作を制御する。真空吸引源５０は、配管５１と排気通路１３，３８とを通じて、密閉容器３０の処理空間ＳＰ内を吸引して、所定の真空度の真空吸引状態に保持する。処理空間ＳＰ内の温度は、所定温度、例えば最大で１５０℃に維持される。これにより、処理空間ＳＰ内の被処理物Ｍは、所定時間真空状態下で、乾燥焼き入れを行うことができる。なお、制御部１００は、温度センサ７０から得られる処理空間ＳＰ内の温度と、真空度測定センサ７１からの処理空間ＳＰ内の真空度とを監視している。開閉バルブ６４は閉じている。
【００５１】
被処理物Ｍの乾燥焼き入れが終了すると、制御部１００は、本体部１０のヒータ１１，１２への通電を停止し、真空吸引源５０の真空吸引動作を停止する。
【００５２】
密閉容器３０は、例えば図示しない昇降機械を用いて、フランジ部３９を把持する。そして、密閉容器３０は、図示しない昇降機械を用いてＺ方向（図４を参照）に沿って持ち上げることができる。このため、密閉容器３０は、処理空間ＳＰ内に被処理物Ｍを収容したままで、本体部１０の容器収容部２０内から取り外すことができる。
【００５３】
この取り外した加熱済みの密閉容器３０は、本体部１０から別の位置に運んで置かれる。このため、取り外した加熱済みの密閉容器３０は、本体部１０のヒータ１１，１２から離した場所で、冷却処理（放熱作業）がされる。従って、密閉容器３０は、ヒータ１１，１２が発生する熱により影響を受けないので、早く冷却できる。
【００５４】
密閉容器３０の冷却処理が終了したら、密閉容器３０では、蓋部材３２の締結部４５が手動で解除操作される。これにより、蓋部材３２は、フランジ部３９から取り外して、処理空間ＳＰ内の被処理物Ｍは、取り出すことができる。すなわち、加熱済みの密閉容器３０は、本体部１０においては冷却処理を行わずに、別の位置に搬送する。このため、密閉容器３０とその中の被処理物Ｍの冷却処理が、本体部１０のヒータ１１，１２から離れた位置で迅速に行える。
【００５５】
しかも、加熱済みの密閉容器３０が、本体部１０の容器収容部２０内から取り外されているので、容器収容部２０には、別の新たに加熱しようとする密閉容器３０が装着できる。この場合には、新たに加熱しようとする密閉容器３０は、図示しない昇降機械を用いてＺ１方向（図４を参照）に沿って、本体部１０の容器収容部２０内にはめ込んで装着できる。
【００５６】
これにより、新たに加熱しようとする密閉容器３０内の被処理物Ｍは、本体部１０において続けて順番にしかも迅速に加熱乾燥処理をしていくことができる。このため、真空乾燥機１は、被処理物Ｍの加熱乾燥処理と冷却処理を効率良く安価に行うことができる。
【００５７】
また、本体部１０には、密閉容器３０が着脱可能に収容して配置される容器収容部２０が設けられている。しかも、本体部１０には、容器収容部２０の周囲に加熱源としてのヒータ１１，１２が配置されている。これにより、ヒータ１１，１２は、密閉容器３０を周囲からまんべんなく均一に加熱して、密閉容器３０内の被処理物Ｍの加熱乾燥処理を迅速にしかも効率良く行うことができる。
【００５８】
さらに、密閉容器３０は、被処理物Ｍを収容する容器本体３１と、容器本体３１を密閉状態で開閉可能に閉じる蓋部材３２とを備える。これにより、蓋部材３２を開けることで容器本体３１内には被処理物Ｍを容易に収容でき、容器本体３１内は、蓋部材３２により密閉した状態で閉じることができる。
【００５９】
密閉容器３０（容器本体３１および蓋部材３２）がアルミニウム製である場合、鉄製の容器に比べて熱伝導性が良い。このため、昇音や降温を短時間で行うことができる。また、アルミニウム製の密閉容器３０は、鉄製の容器に比べて軽く作ることができる。このため、可搬の密閉容器３０を搬送して本体部１０の容器収容部２０に装着したり、本体部１０の容器収容部２０から取り外して搬送する動作を容易に行うことができる。従って、加熱乾燥処理の作業性が大きく向上する。
【００６０】
また、上述したように、被処理物Ｍとしては、例えばリチウムイオン二次電池の構成要素にする。これにより、真空乾燥機１は、リチウムイオン二次電池の構成要素の真空乾燥処理を効率良く行い、リチウムイオン二次電池の構成要素の加熱乾燥処理と冷却処理とを効率良くに行うことができる。しかも、このリチウムイオン二次電池の構成要素としては、例えば正電極シートまたは負電極シートを用いる。これにより、リチウムイオン二次電池の正電極シートまたは負電極シートの加熱乾燥処理と冷却処理とを効率良くに行うことができる。
【００６１】
以上、真空乾燥機１を、密閉容器３０の処理空間ＳＰ内の被処理物Ｍを、真空状態において加熱乾燥処理することができる例で説明したが、この他に、真空乾燥機１は、密閉容器３０の処理空間ＳＰ内の被処理物Ｍを、不活性ガス雰囲気により加熱乾燥処理することもできる。
【００６２】
この場合には、制御部１００は、開閉バルブ６４を開くことにより、不活性ガス供給源６０内の不活性ガス、例えば窒素ガスを処理空間ＳＰ内に供給する。これにより、被処理物Ｍは、不活性ガス雰囲気下で加熱乾燥処理がされる。
【００６３】
（真空乾燥機１の応用編成例）
図５は、複数台の真空乾燥機１の応用編成例を示している。複数台の真空乾燥機１は、制御部１００により制御される。このため、複数台の真空乾燥機１は、それぞれ被処理物を、真空状態において加熱乾燥処理することができる。また、複数台の真空乾燥機１は、それぞれ被処理物を、不活性ガス雰囲気下により加熱乾燥処理することができる。
【００６４】
さらに、いくつかの真空乾燥機１は、被処理物を、真空状態下において加熱乾燥処理するとともに、残りの真空乾燥機１は、被処理物を、不活性ガス雰囲気下により加熱乾燥処理を行うようにしても良い。
【００６５】
以上説明した実施形態は、例として提示したものであり、本発明の範囲を限定することは意図していない。実施形態では、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。
【００６６】
真空乾燥機１の構造と形状は、あくまで一例であり、任意の構造を採用することができる。本体部１０と密閉容器３０とは、ともに直方体形状になっているが、例えば、本体部はリング状に形成され、密閉容器が円筒状に形成されていても良い。
【００６７】
また、図４に示すように、密閉容器３０は、本体部１０からＺ方向に持ち上げて取り外し、Ｚ１方向に下げることで本体部１０にはめ込んで装着する構造で説明したが、この構造の他に、密閉容器３０は、本体部から例えば水平方向にスライドして取り外し、本体部へ水平方向にはめ込んで装着する構造であっても良い。
【符号の説明】
【００６８】
１      真空乾燥機
１０    真空乾燥機の本体部
１０Ａ,１０Ｂ,１０Ｃ,１０Ｄ    側面部
１０Ｅ  底面部
１１，１２    ヒータ（加熱源の例）
１３    排気通路
２０    容器収容部
２１    開口部
３０    （真空乾燥機の）密閉容器
３１    （密閉容器の）容器本体
３１Ａ,３１Ｂ,３１Ｃ,３１Ｄ    容器側部
３１Ｅ  容器底部
３１Ｆ  容器開口部
３２    （密閉容器の）蓋部材
３４    内面
３５    突出部分
３８    排気通路
３９    フランジ部
４０    シール部材
４５    締結部
５０    真空吸引源
５１    配管
５２    密閉接続部材
５２Ａ  挿入配管部
６０    不活性ガス供給源
６１    配管
６２    通路
６３    通路
６４    開閉バルブ
７０    温度センサ
７１    真空度測定センサ
８０    操作パネル
８１    起動スイッチ
８２    停止スイッチ
８３    表示部
８４    真空吸引源の起動スイッチ
８５    開閉スイッチ
１００  制御部
Ｍ      被処理物
ＳＰ    処理空間
Ｒ      シール材
Ｖ      真空手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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