(57)【要約】【課題】薄型化しても高い熱輸送能力を得ることができるとともに、破壊を抑制することが可能なベーパーチャンバーを提供する。【解決手段】密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバーであって、密閉空間には、作動流体が凝縮液の状態で移動する流路である凝縮液流路と、凝縮液流路より流路断面積が大きく、作動流体が蒸気及び凝縮液の状態で自励振動する蒸気流路と、が備えられており、凝縮液流路は、２つの蒸気流路間に複数の一直線状の凝縮液流路が配置されてなり、複数の蒸気流路は連通しており、蒸気流路及び凝縮液流路が配置された領域内の構造が、一直線状に配置された凝縮液流路に平行な線を軸として、対称形となるように構成されている。【選択図】図１５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のシートの間に密閉空間が形成されており、該密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバーであって、
前記密閉空間には、前記作動流体が凝縮液の状態で移動する流路である凝縮液流路と、前記凝縮液流路より流路断面積が大きく、前記作動流体が蒸気及び凝縮液の状態で自励振動する蒸気流路と、が備えられており、
前記凝縮液流路は、２つの前記蒸気流路間に複数の一直線状の前記凝縮液流路が配置されてなり、
複数の前記蒸気流路は連通しており、
前記蒸気流路及び前記凝縮液流路が配置された領域内の構造が、前記一直線状に配置された凝縮液流路に平行な線を軸として、対称形となるように構成されている、ベーパーチャンバー。
【請求項２】
複数の前記蒸気流路が全て連通している、請求項１に記載のベーパーチャンバー。
【請求項３】
前記蒸気流路及び前記凝縮液流路が配置された領域内の構造が、前記一直線状に配置された凝縮液流路に直交する線を軸として、対称形となるように構成されている、請求項１又は２に記載のベーパーチャンバー。
【請求項４】
前記密閉空間の縁に沿って環状の凝縮液流路が設けられている請求項１乃至３のいずれかに記載のベーパーチャンバー。
【請求項５】
厚さが０．４ｍｍ以下である、請求項１乃至４のいずれかに記載のベーパーチャンバー。
【請求項６】
筐体と、
前記筐体の内側に配置された電子部品と、
前記電子部品に対して直接又は他の部材を介して接触して配置された請求項１乃至５のいずれかに記載されたベーパーチャンバーと、を備える、電子機器。
【請求項７】
前記電子部品は、前記ベーパーチャンバーを平面視したときに前記ベーパーチャンバーの前記一直線状に配置された凝縮液流路に平行な線による前記軸に重なる位置に配置されている、請求項６に記載の電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、密閉空間に封入された作動流体が相変化を伴って自励振動しつつ熱輸送を行うベーパーチャンバーに関する。
【背景技術】
【０００２】
パソコン並びに携帯電話及びタブレット端末等の携帯型端末に代表される電子機器には、ＣＰＵ（中央演算処理装置）等の電子部品が用いられている。このような電子部品からの発熱量は、情報処理能力の向上により増加する傾向にあるため、これを冷却する技術が重要となっている。
冷却のための手段としてヒートパイプがよく知られている。これはパイプ内に封入された作動流体により、その相変化を利用して熱源における熱を他の部位に輸送することで拡散させ、熱源を冷却するものである。
【０００３】
一方、近年においてこれら電子機器の薄型化が顕著であり、従来のヒートパイプよりも薄型の冷却手段が必要となってきた。これに対してベーパーチャンバーが提案されている。ベーパーチャンバーは、シート型ヒートパイプと呼ばれることもあり、ヒートパイプによる熱輸送の考え方を平板状の部材に展開した機器である。すなわち、ベーパーチャンバーでは、対向する平板の間に作動流体が封入されており、この作動流体の相変化を利用して熱源における熱を輸送及び拡散して熱源を冷却する。
【０００４】
このようなヒートパイプやベーパーチャンバーとして、作動流体の移動の原動力により、特許文献１のような毛細管力型、特許文献２のような自励振動型、特許文献３のような両者の複合型が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−０７６６５０号公報
【特許文献２】国際公開公報ＷＯ２０１６／０３５４３６号
【特許文献３】特開２００３−３０２１８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ヒートパイプやベーパーチャンバーにおいて、熱輸送の能力を発揮することができない不具合の１つとして蒸発部におけるドライアウトがある。これは、熱を受けて作動流体が液から蒸気に相変化することで熱源を冷却すべき部位に対して適切に液が供給されないため、相変化を起こすことができず、熱源の冷却ができない状態になることである。
上記のように近年において電子機器の薄型化が顕著であり、ヒートパイプやベーパーチャンバーに対しても薄型化、小型化が求められることでドライアウトが起こり易くなっている。そして上記した従来のヒートパイプやベーパーチャンバーでもこのドライアウトを十分に回避することはできなかった。
【０００７】
また、ヒートパイプ、ベーパーチャンバーを備えた電子機器は、様々な環境で使用されることが想定されており、その中には氷点下の環境も含まれる。そして作動流体を用いるベーパーチャンバーでは、氷点下の環境において作動流体が凍ることもある。作動流体が凍ると体積が増えるため、これにより凍った作動流体がベーパーチャンバーを構成する２枚の平板を離す方向に押して力を加えるため、２枚の平板を連結する壁が破壊される問題がある。このような破壊は、作動流体の一度の凍結により起こることはまれであるが、作動流体の凍結と溶融との繰り返しにより、塑性変形が蓄積して最終的に壁の破断による破壊となる。破断は作動流体の漏れの原因となり、これにより周辺の電子部品がショートし、電子機器が故障する虞もある。このような破壊を防止するために、例えば作動流体を封入した空間内に体積膨張のためのバッファとなる空間を設けることが挙げられる。しかしながら、このような空間は、ベーパーチャンバーの薄型化や高性能化（熱輸送能力の向上）の観点からは好ましいものではなく、むしろ高性能化を阻害する虞があった。
【０００８】
そこで本発明は、上記問題を鑑み、薄型化しても高い熱輸送能力を得ることができるとともに、破壊を抑制することが可能なベーパーチャンバーを提供することを課題とする。またこのベーパーチャンバーを備える電子機器を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の１つの態様は、複数のシートの間に密閉空間が形成されており、該密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバーであって、密閉空間には、作動流体が凝縮液の状態で移動する流路である凝縮液流路と、凝縮液流路より流路断面積が大きく、作動流体が蒸気及び凝縮液の状態で自励振動する蒸気流路と、が備えられており、凝縮液流路は、２つの蒸気流路間に複数の一直線状の凝縮液流路が配置されてなり、複数の蒸気流路は連通しており、蒸気流路及び凝縮液流路が配置された領域内の構造が、一直線状に配置された凝縮液流路に平行な線を軸として、対称形となるように構成されている、ベーパーチャンバーである。
【００１０】
複数の蒸気流路が全て連通しているように形成してもよい。
【００１１】
蒸気流路及び凝縮液流路が配置された領域内の構造が、さらに、一直線状に配置された凝縮液流路に直交する線を軸として、対称形となるように構成してもよい。
【００１２】
また、密閉された空間の縁に沿って環状の凝縮液流路が設けられもよい。
【００１３】
上記ベーパーチャンバーはその厚さを０．４ｍｍ以下とすることができる。
【００１４】
本発明の他の態様は、筐体と、筐体の内側に配置された電子部品と、電子部品に対して直接又は他の部材を介して接触して配置された上記ベーパーチャンバーと、を備える、電子機器である。その際には、電子部品は、ベーパーチャンバーを平面視したときにベーパーチャンバーの一直線状に配置された凝縮液流路に平行な線による軸に重なる位置に配置されてもよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、蒸気流路においては自励振動により作動流体が移動して効率よく熱の移動及び拡散が行われるとともに、当該蒸気流路とは分離して設けられた凝縮液流路により毛管力で凝縮液が効率よく移動して還流させることができるため、ドライアウトの発生を抑制することが可能となる。
また、蒸気流路及び凝縮液流路が対称となるように配置されているため、ベーパーチャンバーの作動時には自励振動のバランスが保たれ振動が安定するため高い熱輸送能力を安定して発揮できる。一方、ベーパーチャンバーの非作動時には凝縮液がベーパーチャンバーの全体に亘って分散し、一箇所に集中することが防止されるので、作動流体が凍結して膨張してもベーパーチャンバーが破壊されることを防止することが可能となる。
従って、作動流体が凍結するような環境で使用されたとしても薄型化、熱輸送能力、及び耐久性のいずれもが満たされるものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１（ａ）はベーパーチャンバー１の斜視図、図１（ｂ）はベーパーチャンバー１の分解斜視図である。
【図２】図２（ａ）は第一シート１０の斜視図、図２（ｂ）は第一シート１０の平面図である。
【図３】図３は第一シート１０の切断面である。
【図４】図４（ａ）、図４（ｂ）は第一シート１０の他の切断面である。
【図５】図５は外周液流路部１４を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図６】図６（ａ）〜図６（ｃ）は他の形態の壁及び液連通開口部を表した図である。
【図７】図７は他の例の外周液流路部１４を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図８】図８（ａ）は内側液流路部１５に注目した切断面、図８（ｂ）は内側液流路部１５を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図９】図９（ａ）は第二シート２０の斜視図、図９（ｂ）は第二シート２０の平面図である。
【図１０】図１０は第二シート２０の切断面である。
【図１１】図１１は第二シート２０の他の切断面である。
【図１２】図１２はベーパーチャンバー１の切断面である。
【図１３】図１３は、図１２の一部を拡大した図である。
【図１４】図１４は、図１（ａ）のＸＩＶ−ＸＩＶに沿った断面図である。
【図１５】図１５は、ベーパーチャンバー１の密閉空間２の構造を説明する図で、対称性を示す図である。
【図１６】図１６は、電子機器４０を説明する斜視図である。
【図１７】図１７は、ベーパーチャンバー１の作動を説明する図である。
【図１８】図１８（ａ）は第二シート１２０の斜視図、図１８（ｂ）はベーパーチャンバー１０１の密閉空間の構造を説明する図である。
【図１９】図１９（ａ）は第二シート１２０’の斜視図、図１９（ｂ）はベーパーチャンバー１０１’の密閉空間の構造を説明する図である。
【図２０】図２０（ａ）はベーパーチャンバー２０１の密閉空間の構造を説明する図、図２０（ｂ）はベーパーチャンバー２０１の切断面の一部である。
【図２１】図２１はベーパーチャンバー３０１の密閉空間３０２の構造を説明する図で、蒸気流路が他の蒸気流路と両端で連通していることを示す図である。
【図２２】図２２はベーパーチャンバー４０１の外観斜視図である。
【図２３】図２３はベーパーチャンバー４０１の分解斜視図である。
【図２４】図２４（ａ）は第三シート４３０を一方の面側から見た図、図２４（ｂ）は第三シート４３０を他方の面側から見た図である。
【図２５】図２５は第三シート４３０の切断面である。
【図２６】図２６は第三シート４３０の他の切断面である。
【図２７】図２７はベーパーチャンバー４０１の切断面である。
【図２８】図２８は図２７の一部を拡大した図である。
【図２９】図２９はベーパーチャンバー４０１の他の切断面である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明を図面に示す形態に基づき説明する。ただし、本発明はこれら形態に限定されるものではない。なお、以下に示す図面では分かりやすさのため部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見やすさのため説明上不要な部分の図示や繰り返しとなる符号は省略することがある。
【００１８】
図１（ａ）には第一の形態にかかるベーパーチャンバー１の外観斜視図、図１（ｂ）にはベーパーチャンバー１の分解斜視図を表した。これら図及び以下に示す各図には必要に応じて便宜のため、互いに直交する方向を表す矢印（ｘ、ｙ、ｚ）も表した。ここでｘｙ面内方向は平板状であるベーパーチャンバー１の板面に沿った方向であり、ｚ方向は厚さ方向である。
【００１９】
ベーパーチャンバー１は、図１（ａ）、図１（ｂ）からわかるように第一シート１０及び第二シート２０を有している。そして、後で説明するように、この第一シート１０と第二シート２０とが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより第一シート１０と第二シート２０との間に密閉空間２が形成され（例えば図１２参照）、この密閉空間２に作動流体が封入されている。
【００２０】
本形態で第一シート１０は全体としてシート状の部材である。図２（ａ）には第一シート１０を内面１０ａ側から見た斜視図、図２（ｂ）には第一シート１０を内面１０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図３には図２（ｂ）のＩＩＩ−ＩＩＩで切断したときの第一シート１０の切断面を示した。
第一シート１０は、内面１０ａ、該内面１０ａとは反対側となる外面１０ｂ及び内面１０ａと外面１０ｂとを渡して厚さを形成する側面１０ｃを備え、内面１０ａ側に作動流体が移動する流路のためのパターンが形成されている。後述するようにこの第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが対向するようにして重ね合わされることで密閉空間２が形成される。
【００２１】
このような第一シート１０は本体１１及び注入部１２を備えている。本体１１は作動流体が移動する部位を形成するシート状であり、本形態では平面視で角が円弧（いわゆるＲ）にされた長方形である。
注入部１２は第一シート１０と第二シート２０により形成された密閉空間２（例えば図１２参照）に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体１１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート１０の注入部１２は内面１０ａ側も外面１０ｂ側も平坦面とされている。
【００２２】
このような第一シート１０の厚さは特に限定されることはないが、０．１ｍｍ以上１．０ｍｍ以下が好ましい。これにより薄型のベーパーチャンバーとして適用できる場面を多くすることができる。
また、第一シート１０を構成する材料も特に限定されることはないが、熱伝導率が高い金属であることが好ましい。これには例えば銅、銅合金を挙げることができる。特に銅、及び、銅合金を用いることにより、熱輸送能力の向上を図りつつ、後述するようなエッチング及び拡散接合によるベーパーチャンバーの作製がしやすいものとなる。
【００２３】
本体１１の内面１０ａ側には、作動流体が移動するための構造が形成されている。具体的には、本体１１の内面１０ａ側には、外周接合部１３、外周液流路部１４、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６、及び、蒸気流路連通溝１７が具備されて構成されている。
【００２４】
外周接合部１３は、本体１１の内面１０ａ側に、該本体１１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部１３が第二シート２０の外周接合部２３に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に密閉空間２が形成され、ここに作動流体が封入される。
図２（ｂ）、図３にＡ１０で示した外周接合部１３の幅は必要に応じて適宜設定することができるが、０．８ｍｍ以上３．０ｍｍ以下であることが好ましい。この幅が０．８ｍｍより小さくなると第一シートと第二シートとの接合時における位置ずれが生じた際に接合面積が不足する虞がある。また、この幅が３．０ｍｍより大きくなると、密閉空間の内容積が小さくなり蒸気流路や凝縮液流路が十分確保できなくなる虞がある。
【００２５】
また外周接合部１３のうち、本体１１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴１３ａが設けられている。この穴は第二シート２０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。
【００２６】
外周液流路部１４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る流路である凝縮液流路３（例えば図１３参照）の一部を構成する部位である。図４（ａ）には図３のうち矢印ＩＶａで示した部分、図４（ｂ）には図２（ｂ）にＩＶｂ−ＩＶｂによる切断面を示した。いずれの図にも外周液流路部１４の断面形状が表れている。また、図５には図４（ａ）に矢印Ｖで示した方向から見た外周液流路部１４を平面視した拡大図を表した。
【００２７】
これら図からわかるように、外周液流路部１４は本体１１の内面１０ａのうち、外周接合部１３の内側に沿って形成され、密閉空間２の外周に沿って環状となるように設けられている。また、外周液流路部１４には、本体１１の外周方向に平行に延びる複数の溝である液流路溝１４ａが形成され、複数の液流路溝１４ａが、該液流路溝１４ａが延びる方向とは異なる方向に間隔を有して配置されている。従って、図４（ａ）、図４（ｂ）からわかるように外周液流路部１４ではその断面において凹部である液流路溝１４ａと液流路溝１４ａの間である凸部である壁１４ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
ここで液流路溝１４ａは溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に向かい合う反対側に形成される開口と、を備えている。
【００２８】
また、このように複数の液流路溝１４ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１４ａの深さ及び幅を小さくし、凝縮液流路３（例えば図１３参照）の流路断面積を小さくして大きな毛管力を利用することができる。一方、液流路溝１４ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の内容積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
【００２９】
さらに、外周液流路部１４では、図５からわかるように隣り合う液流路溝１４ａは、壁１４ｂに間隔を有して設けられた液連通開口部１４ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１４ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができる。また、蒸気流路４を形成する蒸気流路溝１６に隣接する壁１４ｂに設けられた液連通開口部１４ｃは、蒸気流路４と凝縮液流路３とを連通させる。従って、液連通開口部１４ｃを構成することにより蒸気流路４で生じた凝縮液を円滑に凝縮液流路３に移動させることができるとともに、凝縮液流路３で生じた蒸気を円滑に蒸気流路４に移動させることもでき、これによっても作動流体の自励振動を妨げることなく、作動流体の円滑な流れを促進することが可能となる。
【００３０】
図６（ａ）〜図６（ｃ）には、図５と同じ視点で、１つの凝縮液流路１４ａとこれを挟む２つの壁１４ｂ、及び各壁１４ｂに設けられた１つの液連通開口部１４ｃを示した図を表した。これらはいずれも、当該視点（平面視）で壁１４ｂの形状が図５の例とは異なる。
すなわち、図５に示した壁１４ｂでは、液連通開口部１４ｃが形成される端部においてもその幅（Ｃ２）が他の部位と同じであり一定である。これに対して図６（ａ）〜図６（ｃ）に示した形状の壁１４ｂでは、液連通開口部１４ｃが形成される端部においてその幅が、壁１４ｂの最大幅（Ｃ２）よりも小さくなるように形成されている。より具体的には、図６（ａ）の例では当該端部において角が円弧状となり角にＲが形成されることにより端部の幅が小さくなる例、図６（ｂ）は端部が半円状とされることにより端部の幅が小さくなる例、図６（ｃ）は端部が尖るように先細りとなる例である。
【００３１】
図６（ａ）〜図６（ｃ）に示したように、壁１４ｂにおいて液連通開口部１４ｃが形成される端部でその幅が、壁１４ｂの最大幅（Ｃ２）よりも小さくなるように形成されていることで、液連通開口部１４ｃを作動流体が移動しやすくなり、隣り合う凝縮液流路３への作動流体の移動が容易となる。
【００３２】
本形態では図５で示したように１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向において同じ位置に対向するように液連通開口部１４ｃが配置されている。ただしこれに限定されることはなく、例えば図７に示したように、１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向において異なる位置に液連通開口部１４ｃが配置されてもよい。すなわち、この場合はオフセットして液連通開口部１４ｃが配置されている。
このようにオフセットして液連通開口部１４ｃを設けることで、凝縮液流路３を進行する作動流体からみたときに、液連通開口部１４ｃが両側に同時に表れることがなく、液連通開口部１４ｃが表れても少なくとも一方の側面は常に壁１４ｂが存在する。そのため、毛管力を連続的に得ることができる。かかる観点からオフセットして液連通開口部１４ｃを形成することで作動流体に働く毛管力を高く維持することができるため、より円滑な還流が可能となる。
また、このように液連通開口部１４ｃをオフセットして配列にした場合にも、図６（ａ）〜図６（ｃ）の例に倣って壁１４ｂにおける端部形状を構成することもできる。
【００３３】
以上のような構成を備える外周液流路部１４は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図２（ｂ）、図３、図４（ａ）、図４（ｂ）にＢ１０で示した外周液流路部１４の幅は、ベーパーチャンバー全体の大きさ等から適宜設定することができるが、０．３ｍｍ以上２ｍｍ以下であることが好ましい。この幅が０．３ｍｍより小さいと外側を流れる液の量が十分得られない虞がある。またこの幅が２ｍｍを超えると内側の凝縮液流路や蒸気流路のための空間が十分にとれなくなる虞がある。
【００３４】
液流路溝１４ａについて、図４（ａ）、図５、図６（ａ）〜図６（ｃ）にＣ１で示した溝幅は１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。
また、図４（ａ）、図４（ｂ）にＤで示した溝の深さは５μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましい。これにより液が流れるために必要な凝縮液流路の毛管力を十分に発揮することができる。ここで、溝の深さＤは、第一シート１０の厚さから当該溝の深さＤを引いた残りのシート厚さよりも小さいことが好ましい。これにより作動流体の凍結時においてシートが破れてしまうことをより確実に防止することができる。
流路の毛管力をより強く発揮する観点から、Ｃ１／Ｄで表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きい、又は１．０よりも小さいことが好ましい。その中でも製造の観点からＣ１＞Ｄであることが好ましく、アスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
【００３５】
また、壁１４ｂについて、図４（ａ）、図５、図６（ａ）〜図６（ｃ）にＣ２で示した幅は２０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。この幅が２０μｍより小さいと作動流体の凍結と溶融との繰り返しにより破断し易くなり、この幅が３００μｍより大きくなると液連通開口部１４ｃの幅が大きくなりすぎ、隣り合う凝縮液流路３との作動流体の円滑な連通が阻害される虞がある。
【００３６】
液連通開口部１４ｃについて、図５にＣ３で示した液流路溝１４ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは２０μｍ以上１８０μｍ以下であることが好ましい。
また、図５にＣ４で示した液流路溝１４ａが延びる方向における隣り合う液連通開口部１４ｃのピッチは３００μｍ以上２７００μｍ以下であることが好ましい。
【００３７】
本形態では液流路溝１４ａの断面形状は半楕円形であるがこれに限定されることなく、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形等であってもよい。
【００３８】
また、液流路溝１４ａは、密閉空間内の縁に沿って連続して形成されていることが好ましい。すなわち、液流路溝１４ａは他の構成要素によって寸断されることなく１周に亘って環状に延びていることが好ましい。これにより凝縮液の移動を阻害する要因が減るため、円滑に凝縮液を移動させることができる。
【００３９】
図２、図３に戻って内側液流路部１５について説明する。内側液流路部１５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図８（ａ）には図３のうちＶＩＩＩａで示した部分を表した。この図にも内側液流路部１５の断面形状が表れている。また、図８（ｂ）には図８（ａ）に矢印ＶＩＩＩｂで示した方向から見た内側液流路部１５を平面視した拡大図を示した。
【００４０】
これら図からわかるように、内側液流路部１５は本体１１の内面１０ａのうち、環状である外周液流路部１４の環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部１５は、図２（ａ）、図２（ｂ）からわかるように、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる一直線の凸条であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部１５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に間隔を有して配列され、蒸気流路溝１６の間に配置されている。
各内側液流路部１５には、内側液流路部１５が延びる方向に平行な一直線状の溝である液流路溝１５ａが形成され、複数の液流路溝１５ａが、該液流路溝１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図３、図８（ａ）からわかるように内側液流路部１５ではその断面において凹部である液流路溝１５ａと液流路溝１５ａの間の凸部である壁１５ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
ここで液流路溝１５ａは溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に対して向かい合う反対側に形成される開口と、を備えている。
【００４１】
このように複数の液流路溝１５ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１５ａの深さ及び幅を小さくし、凝縮液流路３（図１３参照）の流路断面積を小さくして大きな毛管力を利用することができる。一方、液流路溝１５ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の内容積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
【００４２】
さらに、内側液流路部１５でも、図８（ｂ）からわかるように、外周液流路部１４の例に倣って図５と同じようにして隣り合う液流路溝１５ａは、壁１５ｂに間隔を有して設けられた液連通開口部１５ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１５ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができる。また、蒸気流路４を形成する蒸気流路溝１６に隣接する壁１５ｂに設けられた液連通開口部１５ｃは、蒸気流路４と凝縮液流路３とを連通させる。従って、後で説明するように液連通開口部１５ｃを構成することにより蒸気流路４で生じた凝縮液を円滑に凝縮液流路３に移動させることができるとともに、凝縮液流路で発生した蒸気を円滑に蒸気流路４に移動させることもでき、これによっても作動流体の自励振動を妨げることなく、作動流体の円滑な流れを促進することが可能となる。
【００４３】
内側液流路部１５についても図６（ａ）〜図６（ｃ）の例に倣って壁１５ｂに対して、液連通開口部１５ｃが形成される端部においてその幅が、壁１５ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されるようにしてもよい。
これにより、液連通開口部１５ｃを作動流体が移動しやすくなる。
【００４４】
また、内側液流路部１５についても、図７の例に倣って、１つの液流路溝１５ａの該溝を挟んで液流路溝１５ａが延びる方向において異なる位置に液連通開口部１５ｃが配置されてもよい。
このようにオフセットして液連通開口部１５ｃを設けることで、凝縮液流路３を進行する作動流体からみたときに、液連通開口部１５ｃが両側に同時に表れることがなく、液連通開口部１５ｃが表れても少なくとも一方の側面は常に壁１５ｂが存在する。そのため、毛管力を連続的に得ることができる。かかる観点からオフセットして液連通開口部１５ｃを形成することで作動流体に働く毛管力を高く維持することができるため、作動流体のより円滑な移動が可能となる。
また、このように液連通開口部１５ｃをオフセットして配列にした場合にも、図６（ａ）〜図６（ｃ）の例に倣って壁１５ｂにおける端部形状を構成することもできる。
【００４５】
以上のような構成を備える内側液流路部１５は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図２（ｂ）、図３、図８にＥ１０で示した内側液流路部１５の幅は、１００μｍ以上２０００μｍ以下であることが好ましい。また、複数の内側液流路部１５のピッチは２００μｍ以上４０００μｍ以下であることが好ましい。これにより蒸気流路の流路抵抗を十分に下げ、蒸気流路における作動流体の自励振動と、凝縮液流路における毛管力の作用による作動流体の移動とをバランスよく行うことができる。
【００４６】
液流路溝１５ａについて、図８（ａ）、図８（ｂ）にＦ１で示した溝幅は１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。
また、図８（ａ）にＧで示した溝の深さは５μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましい。これにより凝縮液の移動に必要な凝縮液流路の毛管力を十分に発揮することができる。ここで、溝の深さＧは、第一シート１０の厚さから当該溝の深さＧを引いた残りのシート厚さよりも小さいことが好ましい。これにより作動流体の凍結時においてシートが破れてしまうことをより確実に防止することができる。
流路の毛管力をより強く発揮する観点から、Ｆ１／Ｇで表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きい、又は１．０よりも小さいことが好ましい。その中でも製造の観点からＦ１＞Ｇであることが好ましく、アスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
【００４７】
また、壁１５ｂについて、図８（ａ）、図８（ｂ）にＦ２で示した幅は２０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。この幅が２０μｍより小さいと作動流体の凍結と溶融の繰り返しにより破断し易くなり、この幅が３００μｍより大きくなると液連通開口部１４ｃの幅が大きくなりすぎ、凝縮液流路３間の円滑な連通が阻害される虞がある。
【００４８】
液連通開口部１５ｃについて、図８（ｂ）にＦ３で示した液流路溝１５ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは２０μｍ以上１８０μｍ以下であることが好ましい。
また、図８（ｂ）にＦ４で示した液流路溝１５ａが延びる方向における隣り合う液連通開口部１５ｃのピッチは３００μｍ以上２７００μｍ以下であることが好ましい。
【００４９】
また、本形態で液流路溝１５ａの断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形等であってもよい。
【００５０】
次に蒸気流路溝１６について説明する。蒸気流路溝１６は、蒸気状及び凝縮液状の作動流体が自励振動する部位で、蒸気流路４の一部を構成する。図２（ｂ）には平面視した蒸気流路溝１６の形状、図３には蒸気流路溝１６の断面形状がそれぞれ表れている。
【００５１】
これら図からもわかるように、蒸気流路溝１６は本体１１の内面１０ａのうち、環状である外周液流路部１４の環の内側に形成された一直線状の溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１６は、隣り合う内側液流路部１５の間、及び、外周液流路部１４と内側液流路部１５との間に形成され、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝１６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図３からわかるように第一シート１０は、ｙ方向において、外周液流路部１４及び内側液流路部１５を凸条とし、蒸気流路溝１６を凹条とした凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝１６は溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に対して向かい合う反対側に形成される開口と、を備えている。
【００５２】
蒸気流路溝１６は、第二シート２０の蒸気流路溝２６と組み合わされて蒸気流路４が形成されたとき、当該蒸気流路４で作動流体の自励振動が起こるように構成されていればよい。そのため、蒸気流路溝１６は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図２（ｂ）、図３にＨ１０で示した蒸気流路溝１６の幅は、少なくとも上記した液流路溝１４ａの幅Ｃ１、液流路溝１５ａの幅Ｆ１より大きく形成され、１００μｍ以上２０００μｍ以下であることが好ましい。
一方、図３にＩ１０で示した蒸気流路溝１６の深さは、少なくとも上記した液流路溝１４ａの深さＤ、液流路溝１５ａの深さＧより大きく形成され、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。
これにより、蒸気流路が形成されたときに作動流体の安定した自励振動が得られるとともに、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝よりも大きくすることで、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に移動させることができる。
【００５３】
ここで蒸気流路溝１６は、後で説明するように第二シート２０と組み合わされて蒸気流路４が形成されたときに、蒸気流路４の幅が高さ（厚さ方向大きさ）よりも大きい扁平形状となるように構成されていることが好ましい。そのため、Ｈ１０／Ｉ１０で示されるアスペクト比は好ましくは４．０以上、より好ましくは８．０以上である。
【００５４】
本形態では蒸気流路溝１６の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形等であってもよい。
【００５５】
蒸気流路連通溝１７は、複数の蒸気流路溝１６を連通させ、第二シート２０の蒸気流路連通溝２７と組み合わされて蒸気流路溝１６による複数の蒸気流路４をその端部で連通する流路を形成する溝である。これにより、内側液流路部１５が延びる方向における蒸気流路４で生じる作動流体の自励振動のバランスを取ることができる。
また、これにより蒸気流路４にある作動流体の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａによる凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりもする。
【００５６】
本形態の蒸気流路連通溝１７は、図２（ａ）、図２（ｂ）からわかるように、内側液流路部１５が延びる方向の両端部及び蒸気流路溝１６が延びる方向の両端部と、外周液流路部１４との間に形成されている。図４（ｂ）には蒸気流路連通溝１７の連通方向に直交する断面が表れている。なお、蒸気流路連通溝１７と蒸気流路１６との境界は必ずしも形状による境界が形成されるわけではないので、図２（ａ）、図２（ｂ）にはわかりやすさのため、当該境界を点線で表した。
【００５７】
蒸気流路連通溝１７は、隣り合う蒸気流路溝１６を連通させることができればよく、その形状は特に限定されることはないが、例えば次のような構成を備えることができる。
図２（ｂ）、図４（ｂ）にＪ１０で示した蒸気流路連通溝１７の幅は、１００μｍ以上１０００μｍ以下であることが好ましい。
また、図４（ｂ）にＫ１０で示した蒸気流路連通溝１７の深さは、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましく、その中でも蒸気流路溝１６の深さＩ１０と同じであることが好ましい。これにより製造が容易になる。
【００５８】
本形態で蒸気流路連通溝１７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形等であってもよい。
【００５９】
また、後で説明するように、ベーパーチャンバー１は、接合された部位により囲まれた密閉空間２内、すなわち、凝縮液流路３及び蒸気流路４が具備された領域を考えたときに、具備される形状は、内側液流路部１５、内側液流路部２５が形成する凝縮液流路３が延びる方向に平行な軸を対称軸とした対称形とされている。
従って、そのために第一シート１０についても、外周液流路部１４及びその内側に具備される形状が、液流路溝１５ａが延びる方向に平行な軸を対称軸（図２（ｂ）のＩＩｂ−ＩＩｂ）として対称とされている。
【００６０】
次に第二シート２０について説明する。本形態で第二シート２０も全体としてシート状の部材である。図９（ａ）には第二シート２０を内面２０ａ側から見た斜視図、図９（ｂ）には第二シート２０を内面２０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図１０には図９（ｂ）にＸ−Ｘで切断したときの第二シート２０の切断面を示した。また、図１１には図９（ｂ）にＸＩ−ＸＩで切断したときの第二シート２０の切断面を示した。
第二シート２０は、内面２０ａ、該内面２０ａとは反対側となる外面２０ｂ及び内面２０ａと外面２０ｂとを渡して厚さを形成する側面２０ｃを備え、内面２０ａ側に作動流体が移動するパターンが形成されている。後述するようにこの第二シート２０の内面２０ａと上記した第一シート１０の内面１０ａとが対向するようにして重ね合わされて接合されることで密閉空間２が形成される。
【００６１】
このような第二シート２０は本体２１及び注入部２２を備えている。本体２１は作動流体が移動する部位を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角が円弧（いわゆるＲ）とされた長方形である。
注入部２２は第一シート１０と第二シート２０とにより形成された密閉空間２（図１２参照）に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体２１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第二シート２０の注入部２２には内面２０ａ側に注入溝２２ａが形成されており、第二シート２０の側面２０ｃから本体２１の内側（密閉空間２となるべき部位）に連通している。
このような第二シート２０の厚さ及び構成する材料は第一シート１０と同様に考えることができる。
【００６２】
本体２１の内面２０ａ側には、作動流体が移動するための構造が形成されている。具体的には、本体２１の内面２０ａ側には、外周接合部２３、外周液流路部２４、内側液流路部２５、蒸気流路溝２６、及び、蒸気流路連通溝２７が具備されている。
【００６３】
外周接合部２３は、本体２１の内面２０ａ側に、該本体２１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部２３が第一シート１０の外周接合部１３に重なって接合（拡散接合やろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に密閉空間２を形成し、ここに作動流体が封入される。
図９（ｂ）、図１０、図１１にＡ２０で示した外周接合部２３の幅は上記した本体１１の外周接合部１３の幅Ａ１０と同じであることが好ましい。
【００６４】
また外周接合部２３のうち、本体２１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴２３ａが設けられている。この穴２３ａは第一シート１０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。
【００６５】
外周液流路部２４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る流路である凝縮液流路３（例えば図１３参照）の一部を構成する部位である。
【００６６】
外周液流路部２４は本体２１の内面２０ａのうち、外周接合部２３の内側に沿って形成され、密閉空間２の外周に沿って環状を成すように形成されている。本形態において第二シート２０の外周液流路部２４は、図１０、図１１からわかるように第一シート１０との接合前において平坦面であり外周接合部２３と面一である。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１４ａのうち少なくとも一部の液流路溝１４ａの開口を閉鎖して凝縮液流路３を形成する。第一シート１０と第二シート２０との組み合わせに関する詳しい態様は後で説明する。
なお、このように第二シート２０では外周接合部２３と外周液流路部２４とが面一であるため、構造的には両者を区別する境界線は存在しない。しかし、わかり易さのため、図９（ａ）、図９（ｂ）では点線により両者の境界を表している。
【００６７】
外周液流路部２４は、次のような構成を備えていることが好ましい。
図９（ｂ）、図１０、図１１に示した外周液流路部２４の幅Ｂ２０は特に限定されることはなく、第一シート１０の外周液流路部１４の幅Ｂ１０と同じでもよいし、異なってもよい。本形態では幅Ｂ１０と幅Ｂ２０とは同じである。
幅Ｂ２０を幅Ｂ１０より小さくした場合、外周液流路部１４のうち少なくとも一部において、液流路溝１４ａの開口が外周液流路部２４により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすく、また、蒸気が出やすいため、より円滑な作動流体の移動をさせることができる。
【００６８】
次に内側液流路部２５について説明する。内側液流路部２５も液流路部であり、凝縮液流路３を構成する１つの部位である。
【００６９】
内側液流路部２５は、図９（ａ）、図９（ｂ）、図１０、図１１からわかるように、本体２１の内面２０ａのうち、外周液流路部２４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部２５は、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる一直線状の凸条であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部２５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で、蒸気流路溝２６の間に配列されている。
本形態で各内側液流路部２５は、その内面２０ａ側の表面が第一シート１０との接合前において平坦面となるように形成されている。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１５ａのうち少なくとも一部の液流路溝１５ａの開口を閉鎖して凝縮液流路３を形成する。
なお、本形態のように内側液流路部２５に凝縮液流路３を形成するための溝が形成されていない場合、第二シート２０の厚さは、第一シート１０の液流路溝１５ａの深さＧ（図８（ａ）参照）以上であることが好ましい。これにより、ベーパーチャンバーにおける第二シート側における破断（破れ）を防止することができる。
【００７０】
図９（ｂ）、図１０に示した内側液流路部２５の幅Ｅ２０は特に限定されることはなく、第一シート１０の内側液流路部１５の幅Ｅ１０と同じでもよいし、異なっていてもよい。本形態では幅Ｅ１０と幅Ｅ２０とは同じである。
幅Ｅ２０と幅Ｅ１０とが異なっていると接合時の位置ズレの影響を小さくすることができる。なお、幅Ｅ２０を幅Ｅ１０より小さくした場合には、内側液流路部１５のうち少なくとも一部において、液流路溝１５ａの開口が内側液流路部２５により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすく、また、発生した蒸気が出やすいため、より円滑に作動流体を移動させることができる。
【００７１】
次に蒸気流路溝２６について説明する。蒸気流路溝２６は、蒸気状及び凝縮液状の作動流体が自励振動する部位であり、蒸気流路４の一部を構成する。図９（ｂ）には平面視した蒸気流路溝２６の形状、図１０には蒸気流路溝２６の断面形状がそれぞれ表れている。
【００７２】
これら図からもわかるように、蒸気流路溝２６は本体２１の内面２０ａのうち、環状である外周液流路部２４の環の内側に形成された一直線状の溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝２６は、隣り合う内側液流路部２５の間、及び、外周液流路部２４と内側液流路部２５との間に形成され、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝２６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図１０からわかるように第二シート２０は、ｙ方向において、外周液流路部２４及び内側液流路部２５を凸とする凸条が形成され、蒸気流路溝２６を凹とする凹条が形成されて、これらの凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝２６は溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に対して向かい合う反対側に形成される開口と、を備えている。
【００７３】
蒸気流路溝２６は、第一シート１０と組み合わされた際に該第一シート１０の蒸気流路溝１６と厚さ方向に重なる位置に配置されていることが好ましい。これにより蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とで蒸気流路４を形成することができる。
図９（ｂ）、図１０にＨ２０で示した蒸気流路溝２６の幅は特に限定されることはなく、第一シート１０の蒸気流路溝１６の幅Ｈ１０と同じでもよいし、異なっていてもよい。本形態では幅Ｈ１０と幅Ｈ２０とは同じである。
幅Ｈ２０と幅Ｈ１０とが異なっていると、接合時の位置ズレの影響を小さくすることができる。なお、幅Ｈ２０を幅Ｈ１０より大きくした場合には、内側液流路部１５のうち少なくとも一部において、液流路溝１５ａの開口が内側液流路部２５により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすく、蒸気が出やすいため、より円滑な作動流体の移動をさせることができる。
一方、図１０にＩ２０で示した蒸気流路溝２６の深さは、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。
【００７４】
ここで蒸気流路溝２６は、後で説明するように第一シート１０と組み合わされて蒸気流路４が形成されたときに、蒸気流路４の幅が高さ（厚さ方向大きさ）よりも大きい扁平形状となるように構成されていることが好ましい。そのため、Ｈ２０／Ｉ２０で示されるアスペクト比は好ましくは４．０以上、より好ましくは８．０以上である。
【００７５】
本形態で蒸気流路溝２６の断面形状は半楕円形であるが、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形等であってもよい。
【００７６】
蒸気流路連通溝２７は、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７と組み合わされて、蒸気流路溝２６による複数の蒸気流路４の端部を連通する流路を形成する溝である。これにより、内側液流路部２５が延びる方向における蒸気流路４で生じる作動流体の自励振動のバランスを取ることができる。また、蒸気流路４の作動流体の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の移動をより円滑にすることが可能となる。
【００７７】
本形態の蒸気流路連通溝２７は、図９（ｂ）、図１１からわかるように、内側液流路部２５が延びる方向の両端部及び蒸気流路溝２６が延びる方向の両端部と、外周液流路部２４との間に形成されている。また、図１１には蒸気流路連通溝２７の連通方向に直交する断面が表れている。
【００７８】
図９（ｂ）、図１１にＪ２０で示した蒸気流路連通溝２７の幅は特に限定されることはなく、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の幅Ｊ１０と同じであってもよいし、幅Ｊ１０と異なっていてもよい。なお、幅Ｊ２０を幅Ｊ１０よりも大きくしたときには、第一シート１０の外周液流路部１４のうち少なくとも一部において、液流路溝１４ａの開口が蒸気流路４の一部を形成するように配置されるため凝縮液が入りやすくなるとともに発生した蒸気が出やすくなり、より円滑に作動流体を移動させることができる。
【００７９】
幅Ｊ２０の大きさは、１００μｍ以上１０００μｍ以下の範囲であることが好ましく、図１１にＫ２０で示した蒸気流路連通溝２７の深さは、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。
【００８０】
本形態で蒸気流路連通溝２７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形等であってもよい。
【００８１】
また、後で説明するように、ベーパーチャンバー１は、接合された部位により囲まれた密閉空間２内、すなわち、凝縮液流路３及び蒸気流路４が具備された領域を考えたときに、具備される形状は、内側液流路部１５、内側液流路部２５が形成する凝縮液流路３が延びる方向に平行な軸を対称軸とした対称形とされている。
従って、そのために第二シート２０についても、外周液流路部２４及びその内側について、具備される形状が、内側液流路部２５が延びる方向に平行な軸を対称軸（図９（ｂ）のＩＸｂ−ＩＸｂ）として対称とされている。
【００８２】
次に、第一シート１０と第二シート２０とが組み合わされてベーパーチャンバー１とされたときの構造について説明する。この説明により、第一シート１０及び第二シート２０が有する各構成の配置、大きさ、形状等がさらに理解される。
図１２には、図１（ａ）にＸＩＩ−ＸＩＩで示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバー１を厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は第一シート１０における図３に表した図と、第二シート２０における図１０に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバー１の切断面が表されたものである。
図１３には図１２にＸＩＩＩで示した部位を拡大した図を表した。
図１４には、図１（ａ）にＸＩＶ−ＸＩＶで示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバー１の厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は、第一シート１０における図４（ｂ）に表した図と、第二シート２０における図１１に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバー１の切断面が表されたものである。
【００８３】
図１（ａ）、図１（ｂ）、及び図１２〜図１４よりわかるように、第一シート１０と第二シート２０とが重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバー１とされている。このとき第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが向かい合うように配置されており、第一シート１０の本体１１と第二シートの本体２１とが重なり、第一シート１０の注入部１２と第二シート２０の注入部２２とが重なっている。本形態では、第一シート１０と第二シート２０との相対的な位置関係は、第一シート１０の穴１３ａと第二シート２０の穴２３ａと位置を合わせることで適切になるように構成されている。
【００８４】
このような第一シート１０と第二シート２０との積層体により、本体１１及び本体２１に具備される各構成が図１２〜図１４に表れるように配置される。具体的には次の通りである。
【００８５】
第一シート１０の外周接合部１３と第二シート２０の外周接合部２３とが重なるように配置されており、拡散接合やろう付け等の接合手段により両者が接合されている。これにより、第一シート１０と第二シート２０との間に密閉空間２が形成されている。
【００８６】
本形態のベーパーチャンバー１は、薄型である場合に特にその効果が大きい。かかる観点から図１、図１２にＬ０で示したベーパーチャンバー１の厚さは１ｍｍ以下、より好ましくは０．４ｍｍ以下、さらに好ましくは０．２ｍｍ以下である。０．４ｍｍ以下とすることにより、ベーパーチャンバー１を設置する電子機器において、ベーパーチャンバーを配置するスペースを形成するための加工（例えば溝形成等）をすることなく電子機器内部にベーパーチャンバーを設置できることが多くなる。そして本形態によれば、このような薄いベーパーチャンバーであっても作動流体の円滑な移動が可能となる。
【００８７】
第一シート１０の外周液流路部１４と第二シート２０の外周液流路部２４とが重なるように配置されている。これにより外周液流路部１４の液流路溝１４ａ及び外周液流路部２４により作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる凝縮液流路３が形成される。
同様に、第一シート１０の凸条である内側液流路部１５と第二シート２０の凸条である内側液流路部２５とが重なるように配置されている。これにより内側液流路部１５の液流路溝１５ａ及び内側液流路部２５により凝縮液が流れる凝縮液流路３が形成される。
【００８８】
ここで、凝縮液流路３はベーパーチャンバー１の薄型化に伴い、その断面形状が扁平形状とされていることが好ましい。これにより毛管力を高めることができ、凝縮液の移動をさらに円滑に行うことができるため、熱輸送能力を高い水準に維持することが可能となる。より具体的には凝縮液流路３の幅／高さで表される比が１．０より大きく４．０以下であることが好ましい。
このとき、凝縮液流路３の幅は、本形態では液流路溝１５ａの幅Ｆ１に準じるが、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。幅が１０μｍより小さくなると流路抵抗が大きくなり輸送能力が低下する虞がある。一方、幅が３００μｍより大きくなると毛管力が小さくなるため輸送能力が低下する虞がある。
また、凝縮液流路３の高さは、本形態において液流路溝１５ａの深さＧに準じるが５μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましい。これにより移動に必要な凝縮液流路の毛管力を十分に発揮することができる。なお、この高さは、凝縮液流路３を挟んで厚さ方向（ｚ方向）一方側及び他方側における第一シート１０及び第二シート２０の厚さ（肉厚）以下であることが好ましい。これにより凝縮液流路３に起因するベーパーチャンバーの破断（破れ）をさらに防止することができる。
【００８９】
なお、本形態では液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａは第一シート１０にのみ設けられているため、凝縮液流路の高さは液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの深さに基づくものとなるが、これに限らず第二シート２０にも液流路溝が設けられてもよい。この場合には第一シートの液流路溝と第二シートの液流路溝とが重なることで凝縮液流路が形成され、両方の液流路溝の深さの合計に準じた凝縮液流路の高さとなる。
【００９０】
また、上記したように凝縮液流路３に対して液連通開口部１４ｃ、及び液連通開口部１５ｃが形成されている。これにより複数の凝縮液流路３が連通し、凝縮液の均等化が図られて効率よく凝縮液の移動が行われる。また、蒸気流路４に隣接し、蒸気流路４と凝縮液流路３を連通する液連通開口部１４ｃ、液連通開口部１５ｃについては、蒸気流路４で生じた凝縮液を円滑に凝縮液流路３に移動させ、及び、凝縮液流路３で発生した蒸気を円滑に蒸気流路４に移動させ、作動流体の移動を速やかに行わせることができる。
【００９１】
また、外周液流路部１４、外周液流路部２４により形成される凝縮液流路３は、密閉空間２内の縁に沿って連続して環状に形成されていることが好ましい。すなわち、外周液流路部１４、外周液流路部２４により形成される凝縮液流路３は、他の構成要素によって寸断されることなく１周に亘って環状となって延びていることが好ましい。これにより凝縮液の移動を阻害する要因を減らせることができ、円滑に凝縮液を移動させることができる。
【００９２】
第一シート１０の蒸気流路溝１６の開口と第二シート２０の蒸気流路溝２６の開口とが向かい合うように重なって流路を形成し、これが作動流体が自励振動する蒸気流路４となる。
ここで、蒸気流路４はベーパーチャンバー１の薄型化に伴い、その断面形状が扁平形状とされていることが好ましい。これにより薄型化されても流路内の表面積を確保することが可能とされ、熱輸送能力を高い水準に維持することが可能となる。より具体的には、図１３に表した蒸気流路４の幅ＷＢ、高さＨＢにおいて、ＷＢ／ＨＢで表される比が２．０以上であることが好ましい。さらに高い熱輸送能力を確保する観点から、当該比は４．０以上がさらに好ましい。
【００９３】
図１４からわかるように、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の開口と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の開口とが向かい合うように重なり流路を形成して、蒸気流路溝１６、及び、蒸気流路溝２６により形成される複数の蒸気流路４をその端部を連通させ、作動流体の自励振動のバランスをとる流路となる。
【００９４】
以上のような凝縮液流路３及び蒸気流路４により、ベーパーチャンバー１は、２つの蒸気流路４の間に、一直線状の複数の凝縮液流路３が配置されてなる形状を具備する。これにより凝縮液が主要に流れるべき凝縮液流路３と、蒸気が主要に自励振動する蒸気流路４とが分離して交互に並ぶような形態となり、作動流体の円滑な移動が助けられる。
【００９５】
密閉空間２内における蒸気流路４及び凝縮液流路３により、蒸気流路４では自励振動により作動流体が振動して効率よく熱の移動及び拡散が行われる。一方、当該蒸気流路４とは分離して設けられた凝縮液流路３により毛管力で凝縮液が効率よく移動するため、ドライアウトの発生を抑制することが可能となる。
【００９６】
注入部１２、注入部２２についても図１に表れているように、その内面１０ａ、内面２０ａ同士が向かい合うように重なり、第二シート２０の注入溝２２ａの底部とは反対側の開口が第一シート１０の注入部１２の内面１０ａより塞がれ、外部と本体１１、２１間の密閉空間２（凝縮液流路３及び蒸気流路４）とを連通する注入流路５が形成されている。
ただし、注入流路５から密閉空間２に対して作動流体を注入した後は、注入流路５は閉鎖されるので、最終的な形態のベーパーチャンバー１では外部と密閉空間２とは連通していない。
【００９７】
そしてベーパーチャンバー１の密閉空間２には、作動流体が封入されている。作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン等、通常のベーパーチャンバーに用いられる作動流体を用いることができる。
【００９８】
以上のようなベーパーチャンバー１は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。図１５に説明のための図を示した。図１５はベーパーチャンバー１の内側を透視して表し、その密閉空間２（すなわち蒸気流路及び凝縮液流路が形成された領域内）を実線で示した図である。
ベーパーチャンバー１は、接合された部位により囲まれた密閉空間２内、すなわち、凝縮液流路３及び蒸気流路４が具備された領域囲内を考えたときに、具備される形状は、内側液流路部１５、内側液流路部２５が形成する凝縮液流路３が延びる方向に平行な軸を対称軸（図１５のＸＶ−ＸＶ）とした対称形とされている。
【００９９】
これにより、ベーパーチャンバーの作動時には自励振動のバランスが保たれ、振動が安定して発生するため高い熱輸送能力を信頼性高く発揮できる。一方、ベーパーチャンバーの非作動時には凝縮液がベーパーチャンバーの全体に亘って分散し、一箇所に集中することが防止されるため、作動流体が凍結して膨張してもベーパーチャンバーが破壊されることを防止することが可能となる。
従って、作動流体が凍結するような環境で使用されたとしても薄型化、熱輸送能力、及び耐久性のいずれもが満たされるものとなる。
【０１００】
以上のようなベーパーチャンバーは例えば次のように作製することができる。
第一シート１０及び第二シート２０の外周形状を有する金属シートに対して、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、蒸気流路溝１６、蒸気流路溝２６、蒸気流路連通溝１７、蒸気流路連通溝２７をハーフエッチングにより形成する。ここでハーフエッチングとは、エッチングにより厚さ方向を貫通させることなく厚さ方向の途中までエッチングによる材料の除去を行い、溝や窪みを形成することである。
【０１０１】
次いで、第一シート１０及び第二シート２０の内面１０ａ、内面２０ａを向かい合わせるように重ね、位置決め手段としての穴１３ａ、穴２３ａを用いて位置決めし、仮止めを行う。仮止めの方法は特に限定されることはないが、抵抗溶接、超音波溶接、及び接着剤による接着等を挙げることができる。
そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的に第一シート１０と第二シート２０とを接合する。なお、拡散接合の代わりにろう付けにより接合してもよい。
【０１０２】
接合の後、形成された注入流路５から真空引きを行い、密閉空間２を減圧する。その後、減圧された密閉空間２に対して注入流路５から作動流体を注入して密閉空間２に作動流体が入れられる。そして注入部１２、注入部２２に対してレーザーによる溶融を利用したり、かしめたりして注入流路５を閉鎖する。これにより密閉空間２の内側に作動流体が安定的に保持される。
【０１０３】
次にベーパーチャンバー１が作動したときの作用について説明する。図１６には電子機器の一形態である携帯型端末４０の内側にベーパーチャンバー１が配置された状態を模式的に表した。ここではベーパーチャンバー１は携帯型端末４０の筐体４１の内側に配置されているため点線で表している。このような携帯型端末４０は、各種電子部品を内包する筐体４１、及び、筐体４１の開口部を通して外部に画像が見えるように露出したディスプレイユニット４２を備えて構成されている。そしてこれら電子部品の１つとしてのベーパーチャンバー１により冷却すべき電子部品３０が、筐体４１内に配置されている。
【０１０４】
ベーパーチャンバー１は携帯型端末等の筐体内に設置され、ＣＰＵ等の冷却すべき対象物である電子部品３０に取り付けられる。電子部品３０はベーパーチャンバー１の外面１０ｂ又は外面２０ｂに直接、又は、熱伝導性の高い粘着剤、シート、テープ等を介して取り付けられる。
ここで、ベーパーチャンバー１は、その外面１０ｂ、外面２０ｂのうち、ベーパーチャンバー１を平面視したときに、図１５に示した対称軸であるＸＶ−ＸＶ上のいずれかに重なるように電子部品３０が配置されるように取り付けられることが好ましい。より好ましくは、このときに電子部品３０に関してもＸＶ−ＸＶが対称軸になるように配置することである（図１７参照）。これにより、熱源の位置に対して蒸気流路４が対称となり、ベーパーチャンバーの作動時には自励振動のバランスが保たれ、振動が安定するため高い熱輸送能力を発揮できる。
【０１０５】
図１７には作動流体の挙動を説明する図を表した。説明のし易さのため、この図では第二シート２０は省略し、第一シート１０の内面１０ａが見えるように表示している。
電子部品３０が発熱すると、その熱が第一シート１０内を熱伝導により伝わり、密閉空間２内における電子部品３０に近い位置に存在する凝縮液が熱を受ける。この熱を受けた凝縮液は熱を吸収し蒸発し気化する。これにより電子部品３０が冷却される。
【０１０６】
気化した作動流体は蒸気となって、蒸気流路４で自励振動を起こし、図１７に実線の直線矢印で示したように蒸気流路４内を振動するように移動する。より詳しくは内側液流路部１５、内側流路部２５が延びる方向に平行である蒸気流路溝１６、蒸気流路溝２６により形成された蒸気流路４で作動流体が振動するように移動する。当該移動の際に順次第一シート１０及び第二シート２０に熱を奪われながら冷却される。蒸気から熱を奪った第一シート１０及び第二シート２０はその外面１０ｂ、外面２０ｂに接触した携帯型端末装置の筐体等に熱を伝え、最終的に熱は外気に放出される。そして、蒸気流路４を移動しつつ熱を奪われた作動流体は凝縮して液化する。従って蒸気流路４では凝縮液も存在し、蒸気流路４では蒸気と凝縮液とが交互に存在する状態で自励振動が行われる。
【０１０７】
蒸気流路４に生じた凝縮液の一部は、液連通開口部等から凝縮液流路３に移動する。本形態の凝縮液流路３は液連通開口部１４ｃ、液連通開口部１５ｃを備えているので、凝縮液はこの液連通開口部１４ｃ、液連通開口部１５ｃを通って複数の凝縮液流路３に分配される。
【０１０８】
凝縮液流路３に入った凝縮液は、凝縮液流路による毛管力により、図１７に点線の直線矢印で表したように熱源である電子部品３０に近づくように移動する。そして再度熱源である電子部品３０からの熱により気化して上記を繰り返す。
【０１０９】
以上のように、ベーパーチャンバー１によれば、蒸気流路において自励振動により、及び、凝縮液流路において高い毛管力で、作動流体の移動が円滑で良好になり、熱輸送量を高めることができる。このとき、各流路が対称軸であるＸＶ−ＸＶに対して対称な構造とされているため、ベーパーチャンバーの作動時には自励振動のバランスが保たれ、自励振動が安定するため、高い熱輸送能力をより確実に発揮できる。
【０１１０】
図１８には、第二の形態のベーパーチャンバー１０１を説明する図を示した。図１８（ａ）は、第二シート１２０を内面２０ａ側から見た図を表した。図１８（ｂ）は、図１５と同様、第一シート１０と第二シート１２０とが組み合わされたベーパーチャンバー１０１の内側を透視して表し、その密閉空間１０２（すなわち蒸気流路及び凝縮液流路が形成された領域）を実線で示した図である。
【０１１１】
ベーパーチャンバー１０１では、その第二シート１２０の外周液流路部２４のうち、注入溝２２ａが設けられた部位のちょうど反対側の位置に溝１２２ａが形成されている。この溝１２２ａは、注入溝２２ａが外周液流路部２４に交差している部分における形状と同じとされている。
【０１１２】
これにより、ベーパーチャンバー１０１は、上記ベーパーチャンバー１と同様、接合された部位により囲まれた密閉空間１０２内、すなわち、凝縮液流路３及び蒸気流路４が具備された領域の範囲内を考えたときに、具備される形状が、内側液流路部１５、内側液流路部２５が形成する凝縮液流路３が延びる方向に平行である軸を対称軸（図１８（ｂ）のＸＶ−ＸＶ）とした対称形とされている。
これに加えて、ベーパーチャンバー１０１は、接合された部位により囲まれた密閉空間１０２内、すなわち、凝縮液流路３及び蒸気流路４が具備された領域の範囲内を考えたときに、具備される形状が、内側液流路部１５、内側液流路部２５が形成する凝縮液流路３が延びる方向に直交する軸を対称軸（図１８（ｂ）のＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩ）とした対称形ともされている。
【０１１３】
これにより、上記ベーパーチャンバー１で説明した効果に加えて、ベーパーチャンバー１０１の密閉空間１０２に具備される流路の構造における対称性がさらに高まり、ベーパーチャンバーの非作動時の凝縮液の分散性が高くなり、一箇所に集中することが防止されるので、作動流体が凍結して膨張してもベーパーチャンバーの破壊がより確実に防止される。
従って、作動流体が凍結するような環境で使用されたとしても薄型化、熱輸送能力、及び耐久性のいずれもが満たされるものとなる。
【０１１４】
図１９には、第二の形態のベーパーチャンバー１０１の変形例１０１’を説明する図を示した。図１９（ａ）は、第二シート１２０’を内面２０ａ側から見た図を表した。図１９（ｂ）は、図１８（ｂ）と同様、第一シート１１０と第二シート１２０’とが組み合わされたベーパーチャンバー１０１’の内側を透視して表し、その密閉空間１０２’（すなわち蒸気流路及び凝縮液流路が形成された領域）を実線で示した図である。
【０１１５】
ベーパーチャンバー１０１’では、注入流路５を形成する第一シート１１０の注入部１２及び第二シート１２０’の注入部２２が２か所に設けられている。具体的には、このような注入部１２、注入部２２がちょうど反対の位置になるように（本形態ではｘ方向の両端側のそれぞれに）設けられている。
【０１１６】
これにより、ベーパーチャンバー１０１’でも、上記ベーパーチャンバー１０１と同様に、その密閉空間内の構造が対称軸ＸＶ−ＸＶ、ＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩに対して対称形となるため対称性が高められ、ベーパーチャンバー１０１と同様の効果を有するものとなる。ただし、この例では、作動流体が密閉空間２に封入されたあと、両方の注入流路５が閉塞する必要がある。
【０１１７】
図２０には第三の形態のベーパーチャンバー２０１を説明するための図を示した。図２０（ａ）は、第一シート２１０と第二シート２２０とが組み合わされたベーパーチャンバー２０１の内側を透視して表し、その密閉空間２０２（すなわち蒸気流路及び凝縮液流路が形成された領域）を実線で示した図である。図２０（ｂ）は、図２０（ａ）に示したＸＸｂ−ＸＸｂによる切断面の一部を拡大して示した図である。
【０１１８】
ベーパーチャンバー２０１では、第一シート２１０の蒸気流路溝１６の底部に柱用突起２１８、及び、第二シート２２０の蒸気流路溝２６の底部に柱用突起２２８が配置されている。柱用突起２１８、２２８は、蒸気流路溝１６、２６が延びる方向に間隔を有して複数配置され、本形態ではその平面視形状（図２０（ａ）の視点からの形状）は楕円形である。
このような柱用突起２１８、２２８を有する第一シート２１０及び第二シート２２０を重ね合せて接合することでベーパーチャンバー２０１としたときに、図２０（ｂ）からわかるように柱用突起２１８と柱用突起２２８も接合されて１つの柱となる。これによりこの柱が蒸気流路４を高さ方向に支持する柱として機能し、製造時、使用時、凍結時等におけるベーパーチャンバーの破壊や変形を防止することが可能となる。
【０１１９】
本形態で柱用突起２１８、２２８の平面視形状は楕円形状であるが、これに限定されることはなく、円形、三角形、四角形、その他の多角形、翼形状等など他の形状とすることもできる。かかる形状は、流路抵抗が小さいこと及び作製しやすさの観点から設計することが可能である。
また、本形態では上下の柱用突起の大きさを同一としているが、異なっていても良い。大きさが異なっている場合、接合時の位置ズレの影響を小さくすることが可能となる。
さらに、本形態では１つの蒸気流路用溝に対して間隔有して複数の柱用突起を配置したが、１つの連続した柱用の突条であってもよい。
【０１２０】
図２１は、第四の形態のベーパーチャンバー３０１を説明する図である。図２１は、第一シート３１０と第二シート３２０とが組み合わされたベーパーチャンバー３０１の内側を透視して表し、その密閉空間３０２（すなわち蒸気流路及び凝縮液流路が形成された領域）を実線で示した図である。
【０１２１】
本形態のベーパーチャンバー３０１では、中央に具備される内側液流路部１５’、内側液流路部２５’が、他の内側液流路部１５、内側液流路部２５よりも長手方向に延び、その両端部が外周液流路部１４、外周液流路部２４にまで達している。これにより、図２１からわかるように、ベーパーチャンバー３０１は蒸気流路４において、太い点線で示した両端が連通した２つの流路４Ｌ１が形成される。このような形態によっても、蒸気流路４において作動流体が自励振動して熱輸送能力を高めることができる。
【０１２２】
図２２〜図２９は、第五の形態のベーパーチャンバー４０１を説明する図である。図２２はベーパーチャンバー４０１の外観斜視図、図２３はベーパーチャンバー４０１の分解斜視図である。
【０１２３】
ベーパーチャンバー４０１は、図２２、図２３からわかるように第一シート４１０、第二シート４２０、及び、第三シート４３０を有している。そして、この第一シート４１０、第二シート４２０、及び、第三シート４３０が重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより、第一シート４１０と第二シート４２０との間で、第一シート４１０、第二シート４２０、及び第三シート４３０に囲まれる密閉空間４０２が形成され（図２７参照）、この密閉空間４０２に作動流体が封入されている。
【０１２４】
本形態で第一シート４１０は全体としてシート状の部材である。第一シート４１０は表裏とも平坦な面により構成されており、内面４１０ａ、該内面４１０ａとは反対側となる外面４１０ｂ、及び、内面４１０ａと外面４１０ｂとを渡して厚さを形成する側面４１０ｃを備える。
【０１２５】
また第一シート４１０は本体４１１及び注入部４１２を備えている。本体４１１は作動流体が移動する密閉空間を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角が円弧（いわゆるＲ）にされた長方形である。
注入部４１２は第一シート４１０、第二シート４２０、及び、第三シート４３０により形成された密閉空間に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体４１１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート４１０の注入部４１２は内面４１０ａ側も外面４１０ｂ側も平坦面とされている。
【０１２６】
第一シート４１０を構成する材料は特に限定されることはないが、単一の材料であってもよく、複数の異種の材料が積層されてなる複合材料（「クラッド材」と呼ばれる圧延接合材料や、めっきで積層した材料）であってもよい。
単一の材料である場合には熱伝導率が高い金属であることが好ましい。これには例えば銅、銅合金を挙げることができる。特に銅、及び、銅合金を用いることにより、熱輸送能力の向上を図りつつ、エッチング及び拡散接合によるベーパーチャンバーの作製がしやすいものとなる。
また、複合材料の場合には、例えば内面４１０ａ側に熱電導率が高く、作動流体に反応しない材料、外面４１０ｂ側に強度が高い材料のものを適用することができる。これには例えば内面側が銅、外面側がステンレス鋼である複合材料、又は、内面側が銅、外面側が銅合金である複合材料を挙げることができる。これによれば熱性能の高く維持しつつ、変形や破壊等の強度を確保することが可能となる。
【０１２７】
本形態で第二シート４２０は全体としてシート状の部材である。第二シート４２０は表裏とも平坦な面により構成されており、内面４２０ａ、該内面４２０ａとは反対側となる外面４２０ｂ、及び、内面４２０ａと外面４２０ｂとを渡して厚さを形成する側面４２０ｃを備える。そして第二シート４２０も本体４２１及び注入部４２２を有している。
第二シート４２０は第一シート４１０と同様に考えることができる。ただし、第一シート４１０と第二シート４２０とは必ずしも同じ材料、同じ形態である必要はなく、異なるように構成してもよい。
【０１２８】
本形態で第三シート４３０は、第一シート４１０と第二シート４２０との間に挟まれて重ねられるシートであり、本体４３１に作動流体が移動するための構造が形成されている。図２４には第三シート４３０を平面視した図を表した。図２４（ａ）は第二シート４２０に重ねられる面の図、図２４（ｂ）は第一シート４１０に重ねられる面の図である。また図２５には図２４（ａ）にＸＸＶ−ＸＸＶで示した線に沿った切断面、図２６には図２４（ａ）にＸＸＶＩ−ＸＸＶＩで示した線に沿った切断面をそれぞれ示した。
【０１２９】
第三シート４３０は本体４３１及び注入部４３２を備えている。本体４３１は作動流体が移動する密閉空間を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角が円弧（いわゆるＲ）にされた長方形である。
注入部４３２は第一シート４１０、第二シート４２０、及び、第三シート４３０により形成された密閉空間に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体４３１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。注入部４３２には、第一シート４１０に重なる面側に注入溝４３２ａが形成されている。注入溝４３２ａは上記した注入溝２２ａと同様に考えることができる。
【０１３０】
本体４３１は、外周接合部４３３、外周液流路部４３４、内側液流路部４３５、蒸気流路スリット４３６、及び、蒸気流路連通溝４３７が具備されている。
【０１３１】
外周接合部４３３は、本体４３１の外周に沿って形成された部位である。そして外周接合部４３３のうち一方の面が第一シート４１０の面に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）され、他方の面が第二シート４２０の面に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）される。これにより、第一シート４１０、第二シート４２０、及び、第三シート４３０に囲まれた密閉空間４０２が形成され、ここに作動流体が封入される。
外周接合部４３３は上記した外周接合部１３と同様に考えることができる。
【０１３２】
また、本体４３１の外周接合部４３３のうち、本体４３１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴４３３ａが設けられている。この穴４３３ａは第一シート４１０、及び、第二シート４２０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。
【０１３３】
外周液流路部４３４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。外周液流路部４３４は本体４３１のうち外周接合部４３３の内側に沿って形成され、密閉空間４０２の外周に沿って環状となるように設けられている。そして外周液流路部４３４のうち、第二シート４２０に対向する側の面には液流路溝４３４ａが形成されている。
外周液流路部４３４、及び、ここに具備される液流路溝４３４ａは上記した外周液流路部１４、及び、液流路溝１４ａと同様に考えることができる。
【０１３４】
内側液流路部４３５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る凝縮液流路３の一部を構成する部位である。内側液流路部４３５は本体４３１のうち、環状である外周液流路部４３４の環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部４３５は、本体４３１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に一直線に延びる棒状の部位であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部４３５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に間隔を有して配列され、蒸気流路スリット４３６の間に配置されている。
【０１３５】
内側液流路部４３５のうち、第二シート４２０に対向する側の面には、内側液流路部４３５が延びる方向に平行な一直線状の溝である液流路溝４３５ａが形成されている。内側液流路部４３５及び液流路溝４３５ａは、上記した内側液流路部１５及び液流路溝１５ａと同様に考えることができる。
【０１３６】
蒸気流路スリット４３６は、蒸気状及び凝縮液状の作動流体が自励振動する部位で、蒸気流路４を構成するスリットである。蒸気流路スリット４３６は本体４３１のうち、環状である外周液流路部４３４の環の内側に形成された一直線状のスリットにより構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路スリット４３６は、隣り合う内側液流路部４３５の間、及び、外周液流路部４３４と内側液流路部４３５との間に形成され、本体４３１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びたスリットである。従って蒸気流路スリット４３６は第三シート４３０の厚さ方向（ｚ方向）に貫通している。
そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路スリット４３６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図２５からわかるように第三シート４３０は、ｙ方向において、外周液流路部４３４及び内側液流路部４３５と蒸気流路スリット４３６とが交互に繰り返された形状を備えている。
【０１３７】
このような蒸気流路スリット４３６は、上記した蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とが組み合わされて形成される蒸気流路４の態様と同様に考えることができる。
【０１３８】
本形態では蒸気流路スリット４３６の断面形状は楕円の弧の一部同士が重なるようにして形成された形状で、厚さ方向中央が突出する形であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形等のように他の形態であってもよい。
【０１３９】
蒸気流路連通溝４３７は、複数の蒸気流路スリット４３６を連通させる流路を形成する溝である。これにより、内側液流路部４３５が延びる方向における蒸気流路で生じる作動流体の自励振動のバランスを取ることができる。
また、これにより蒸気流路にある作動流体の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの液流路溝４３４ａ、４３５ａによる凝縮液流路を効率よく利用できるようになったりもする。
【０１４０】
また、本形態では蒸気流路連通溝４３７により複数の内側液流路部４３５を連結するとともに、これを外周液流路部４３４に接続している。これにより第三シート４３０が一体のものとなる。ただし、このように第三シート４３０を一体にする手段はこれに限らず、他の手段であってもよい。例えば、蒸気流路スリット４３６を横切るように配置され、内側液流路部４３５を連結するとともにこれを外周液流路部４３４に接続する片が別途設けられてもよい。
【０１４１】
本形態の蒸気流路連通溝４３７は、内側液流路部４３５が延びる方向の両端部及び蒸気流路スリット４３６が延びる方向の両端部と、外周液流路部４３４との間に形成されている。蒸気流路連通溝４３７は、隣り合う蒸気流路スリット４３６を連通させることができればよく、その形状は特に限定されることはないが、上記した蒸気流路連通溝１７と蒸気流路連通溝２７とを重ねて形成された流路と同様に考えることができる。
なお、本形態では注入溝４３２ａを塞がないように蒸気流路連通溝４３７の一部に穴４３７ａが設けられている。
【０１４２】
以上説明した第三シート４３０が具備する構成による、ベーパーチャンバー４０１の密閉空間４０２に形成される形状の対称性の特徴は、上記した各ベーパーチャンバーの態様と同様に考えることができる。
【０１４３】
このような第三シート４３０は、両面ごとに個別になされるエッチング、両面から同時のエッチング、プレス加工、又は、切削加工などにより作製することが可能である。
【０１４４】
図２７〜図２９には、第一シート４１０、第二シート４２０、及び、第三シート４３０が組み合わされてベーパーチャンバー４０１とされたときの構造について説明する図を表した。図２７には図２２にＸＸＶＩＩ−ＸＸＶＩＩで示した線に沿った切断面、図２８には図２７の一部を拡大した図を表した。また図２９には図２２にＸＸＩＸ−ＸＸＩＸで示した線に沿った切断面を表した。
【０１４５】
図２２、及び、図２７〜図２９よりわかるように、第一シート４１０、第二シート４２０、及び、第三シート４３０が重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバー４０１とされている。このとき第一シート４１０の内面４１０ａと第三シート４３０の一方の面（液流路溝４３４ａ、液流路溝４３５ａが配置されていない側の面）とが向かい合うように配置され、第二シート４２０の内面４２０ａと第三シート４３０の他方の面（液流路溝４３４ａ、液流路溝４３５ａが配置された側の面）とが向かい合うように重ねられる。同様にして各シートの注入部４１２、４２２、４３２も重ねられる。
【０１４６】
これにより、第一シート４１０と第二シート４２０との間には、第一シート４１０、第二シート４２０、及び、第三シート４３０で囲まれる密閉空間４０２が形成される。そしてここには凝縮液流路３、及び、蒸気流路４が形成される。これら密閉空間４０２内における凝縮液流路３及び蒸気流路４の形態については、上記したベーパーチャンバーと同様の考え方を適用することができる。
【符号の説明】
【０１４７】
１、１０１、２０１、３０１、４０１  ベーパーチャンバー
２、１０２、２０２、３０２、４０２  密閉空間
３  凝縮液流路
４  蒸気流路
１０、１１０、２１０、３１０、４１０  第一シート
１０ａ  内面
１０ｂ  外面
１０ｃ  側面
１１、  本体
１２  注入部
１３  外周接合部
１４  外周液流路部
１４ａ  液流路溝
１４ｃ  液連通開口部
１５  内側液流路部
１５ａ  液流路溝
１５ｃ  液連通開口部
１６  蒸気流路溝
１７  蒸気流路連通溝
２０、１２０、２２０、３２０、４２０  第二シート
２０ａ  内面
２０ｂ  外面
２０ｃ  側面
２１  本体
２２  注入部
２３  外周接合部
２４  外周液流路部
２５  内側液流路部
２６  蒸気流路溝
２７  蒸気流路連通溝
４３０  第三シート
４３６  蒸気流路スリット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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