(57)【要約】【課題】相対的に回転する被塗布物に対して、塗布剤をより均一に塗布できるノズルを提供すること。【解決手段】本発明に係るノズル１は、相対的に回転する被塗布物（ウェハＷ）の回転径方向（ｘ軸正方向）に延びるように設けられ、被塗布物（ウェハＷ）に向けて塗布剤（感光剤Ｐ）を吐出するノズルであって、第１吐出口１２ａと、第１吐出口１２ａよりも被塗布物（ウェハＷ）の回転中心（回転軸Ｃ）側に設けられた第２吐出口１２ｂと、を備え、第１吐出口１２ａの口径は、第２吐出口１２ｂの口径よりも大きく、第１吐出口１２ａが設けられている箇所におけるノズル１の内径は、第２吐出口１２ｂが設けられている箇所におけるノズル１の内径よりも小さい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
相対的に回転する被塗布物の回転径方向に延びるように設けられ、前記被塗布物に向けて塗布剤を吐出するノズルであって、
第１吐出口と、
前記第１吐出口よりも前記被塗布物の回転中心側に設けられた第２吐出口と、を備え、
前記第１吐出口の口径は、前記第２吐出口の口径よりも大きく、
前記第１吐出口が設けられている箇所における前記ノズルの内径は、前記第２吐出口が設けられている箇所における前記ノズルの内径よりも小さい、
ノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体の微細パターン加工において、半導体のウェハ上に感光剤を塗布し、フォトマスクを通して光照射させることで所望のパターンを得られるフォトリソグラフィ技術が知られている。フォトリソグラフィ技術において、微細パターンをより精密に作製するためには、ウェハ上に感光剤をできるだけ均一に塗布する必要がある。
【０００３】
特許文献１には、ウェハを回転させつつ当該ウェハに感光剤を塗布可能なノズルを備えた処理装置が開示されている。特許文献１に開示されているノズルには、ウェハに向けて感光剤を吐出する複数のノズル孔が形成されており、当該ノズル孔の面積は、ウェハの中心部から外方に向かって漸次増大している。このような構成においては、ウェハの中心部よりも外周部に対して多量の感光剤を塗布することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−３７７９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した通り、特許文献１に開示されているノズルにおいては、ウェハの外周部に対して感光剤を吐出するノズル孔の面積を大きく設けている。しかしながら、ノズル孔の面積を大きくすると、当該ノズル孔を通過する感光剤の圧力が低下するため、当該ノズル孔から吐出される感光剤の流速が遅くなる。すなわち、特許文献１に開示されているノズルにおいては、ウェハの外周部に向けて吐出される感光剤の流速が、ウェハの中心に向けて吐出される感光剤の流速に比べて遅い。この結果、ウェハの中心の方が外周部よりも早く感光剤が塗布され、ウェハの中心付近に対して感光剤が厚く塗布されてしまうという問題があった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであって、相対的に回転する被塗布物に対して、塗布剤をより均一に塗布できるノズルを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るノズルは、相対的に回転する被塗布物の回転径方向に延びるように設けられ、前記被塗布物に向けて塗布剤を吐出するノズルであって、第１吐出口と、前記第１吐出口よりも前記被塗布物の回転中心側に設けられた第２吐出口と、を備え、前記第１吐出口の口径は、前記第２吐出口の口径よりも大きく、前記第１吐出口が設けられている箇所における前記ノズルの内径は、前記第２吐出口が設けられている箇所における前記ノズルの内径よりも小さいことを特徴としたものである。
【０００８】
このような構成においては、第１吐出口と、第１吐出口よりも被塗布物の回転中心側に設けられた第２吐出口とでは、第１吐出口の口径が第２吐出口の口径よりも大きくなるように形成されている。このため、本発明に係るノズルは、被塗布物の外周側の部分に対して、被塗布物の中心側の部分よりも多くの塗布剤を吐出することができる。
また、第１吐出口が設けられている箇所におけるノズルの内径は、第２吐出口が設けられている箇所におけるノズルの内径よりも小さいため、第１吐出口付近におけるノズル内の塗布剤の流速は、第２吐出口付近におけるノズル内の塗布剤の流速よりも速い。したがって、第１吐出口が口径の大きな吐出口であるにもかかわらず、第１吐出口から流れる塗布剤の流速を保つことができる。この結果、第１吐出口からの塗布剤の時間あたりの吐出量を大きく保つことができる。
したがって、相対的に回転する被塗布物に対して、塗布剤をより均一に塗布できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施形態のノズルの全体的な構成を示す模式図である。
【図２】第１の実施形態のノズルの吐出口に関する構成を示す模式図である。
【図３】第２の実施形態のノズルの吐出口に関する構成を示す模式図である。
【図４】第２の実施形態における第１吐出口の構成を示す部分拡大図である。
【図５】第２の実施形態における第２吐出口の構成を示す部分拡大図である。
【図６】第２の実施形態のノズルが感光剤を吐出している様子を表す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明を適用した具体的な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。ただし、本発明が以下の実施形態に限定される訳ではない。また、説明を明確にするため、以下の記載および図面は、適宜、簡略化されている。また、以下に説明される複数の構成例は、独立に実施されることもできるし、適宜組み合わせて実施されることもできる。これら複数の構成例は、互いに異なる新規な特徴を有している。したがって、これら複数の構成例は、互いに異なる目的又は課題を解決することに寄与し、互いに異なる効果を奏することに寄与する。
【００１１】
［第１の実施形態］
まず、本発明の第１の実施形態に係るノズル１の全体的な構成について、図１を用いて説明する。図１は、本実施形態に係るノズル１の全体的な構成を示す模式図である。
なお、当然のことながら、図１およびその他の図面に示した右手系ｘｙｚ座標は、構成要素の位置関係を説明するための便宜的なものである。通常、ｚ軸正向きが鉛直上向き、ｘｙ平面が水平面であり、図面間で共通である。また、本実施形態においては、ノズル１の長手方向をｘ軸方向としている。
【００１２】
ノズル１は、被塗布物であるウェハＷに向けて、塗布剤である感光剤Ｐを吐出するノズルである。本実施形態において、ノズル１はｘ軸正方向に延びるように設けられている。また、後述するように、ノズル１には複数の吐出口が設けられており、当該吐出口から感光剤Ｐが塗布される。
【００１３】
ウェハＷは、例えば半導体のウェハであって、ｚ軸と平行な回転軸Ｃを中心に回転可能な回転台Ｒに固定されている。塗布加工時において、ウェハＷは、回転台Ｒとともに回転軸Ｃを中心に回転する。このとき、ノズル１とウェハＷとは、相対的に回転する。ノズル１の長手方向であるｘ軸正方向は、ウェハＷの回転径方向に相当する。
【００１４】
感光剤Ｐは、露光によって物性が変化する物質である。感光剤Ｐは、ここでは流体の物質を指し、特には液体の物質を指す。
【００１５】
ここで、本実施形態に係るノズル１の詳細な構造について、図１及び図２を用いて説明する。
図１に示すように、ノズル１は、供給管１０と、供給管１０のｘ軸正方向側に接続された吐出管１１と、を有する。供給管１０及び吐出管１１はいずれも内部が空洞の筒状部材であって、それぞれの内部空間は連通されている。
【００１６】
供給管１０のｘ軸負方向側は、図示しない感光剤供給装置に接続されている。当該感光剤供給装置は、感光剤Ｐを外部に送り出す装置である。供給管１０は、感光剤供給装置から流入した感光剤Ｐを吐出管１１に供給する。
【００１７】
吐出管１１は、複数の吐出口を備えており、感光剤Ｐは、当該吐出口からウェハＷに向けて吐出される。吐出管１１は、少なくとも第１吐出口と、第１吐出口よりもウェハＷの回転中心側に設けられた第２吐出口と、を備える。後述するように、第１吐出口の口径は、第２吐出口の口径よりも大きく形成されている。したがって、ノズル１は、ウェハＷの外周側の部分に対して、ウェハＷの中心側の部分よりも多くの感光剤Ｐを吐出することができる。
【００１８】
また、第１吐出口が設けられている箇所におけるノズルの内径は、第２吐出口が設けられている箇所におけるノズルの内径よりも小さく形成されている。このため、第１吐出口付近におけるノズル内の塗布剤の流速は、第２吐出口付近におけるノズル内の塗布剤の流速よりも速い。したがって、第１吐出口が口径の大きな吐出口であるにもかかわらず、第１吐出口から流れる塗布剤の流速を保つことができる。この結果、第１吐出口からの塗布剤の時間あたりの吐出量を大きく保つことができる。
【００１９】
なお、吐出管１１が備える吐出口の数は、２つ以上であればよく、特に限定されるものではない。ただし、吐出管１１が多くの吐出口を備える方が、より精密に感光剤Ｐの塗布条件を制御することができる。本実施形態においては、吐出管１１は５つの吐出口を備えるものとして説明する。
【００２０】
本実施形態において、吐出管１１は、供給管１０よりも内径が小さい複数の配管が繋ぎ合わさって形成されている。ここでは、吐出管１１は、第１配管１１ａと、第２配管１１ｂと、第３配管１１ｃと、第４配管１１ｄと、第５配管１１ｅと、がこの順に繋ぎ合わさって形成されているものとする。図１の例では、第５配管１１ｅの一端が供給管１０の一端に接続されている。すなわち、感光剤Ｐは、供給管１０から第５配管１１ｅ、第４配管１１ｄ、第３配管１１ｃ、第２配管１１ｂ、第１配管１１ａの順に流れる。なお、ノズル１の先端、すなわち第１配管１１ａの第２配管１１ｂと接続されていない側の端は閉じられているものとする。
【００２１】
第１配管１１ａ〜第５配管１１ｅのｚ軸負方向側の側面には、それぞれ感光剤Ｐを吐出する吐出口が形成されている。このため、第１配管１１ａ〜第５配管１１ｅは、供給された感光剤ＰをウェハＷに向けて吐出する。
【００２２】
吐出管１１に設けられた吐出口の位置を比較すると、第１配管１１ａの吐出口がウェハＷの回転中心から最も遠く、第２配管１１ｂ、第３配管１１ｃ、第４配管１１ｄの順にウェハＷの回転中心に近づき、第５配管１１ｅの吐出口が最もウェハＷの回転中心に近い。したがって、第１配管１１ａの吐出口から吐出される感光剤Ｐは、ウェハＷのうち最も回転中心から離れた領域に塗布される。また、第２配管１１ｂ、第３配管１１ｃ、第４配管１１ｄの順に、吐出される感光剤Ｐは、ウェハＷの回転中心側に塗布され、第５配管１１ｅの吐出口から吐出される感光剤Ｐは、ウェハＷのうち最も回転中心に近い領域に塗布される。
【００２３】
ここで、第１配管１１ａ〜第５配管１１ｅの内径を比較すると、第１配管１１ａが最も小さく、第２配管１１ｂ、第３配管１１ｃ、第４配管１１ｄの順に大きくなり、第５配管１１ｅが最も大きい。換言すると、ノズル１の先端に近づけば近づくほど、ノズル１の内径が小さくなるように形成されている。
【００２４】
このような構成においては、供給管１０から第５配管１１ｅ、第４配管１１ｄ、第３配管１１ｃ、第２配管１１ｂ、そして第１配管１１ａの順に感光剤Ｐが流れていく際に、流路の断面積が徐々に小さくなっていく。このため、感光剤Ｐにかかる圧力は徐々に増大し、感光剤Ｐの流速も徐々に大きくなる。すなわち、第１配管１１ａ〜第５配管１１ｅ内を流れる感光剤Ｐの流速を比較すると、第１配管１１ａの内部が最も速く、第２配管１１ｂ、第３配管１１ｃ、第４配管１１ｄの順に遅くなり、第５配管１１ｅの内部が最も遅くなる。
【００２５】
ここで、吐出管１１に備えられた吐出口の詳細な構造について、図２を用いて説明する。図２は、吐出管１１をｚ軸下方向側から見たときの概略平面図である。図２に示すように、第１配管１１ａ、第２配管１１ｂ、第３配管１１ｃ、第４配管１１ｄ、及び第５配管１１ｅには、それぞれ第１吐出口１２ａ、第２吐出口１２ｂ、第３吐出口１２ｃ、第４吐出口１２ｄ、及び第５吐出口１２ｅが形成されている。また、第１吐出口１２ａ〜第５吐出口１２ｅの口径を比較すると、第１吐出口１２ａが最も大きく、第２吐出口１２ｂ、第３吐出口１２ｃ、第４吐出口１２ｄの順に小さくなり、第５吐出口１２ｅが最も小さい。
【００２６】
このような構成においては、第１吐出口１２ａが最も多くの感光剤Ｐを吐出する。また、第２配管１１ｂ、第３配管１１ｃ、第４配管１１ｄの順に吐出量が少なくなり、第５配管１１ｅから吐出される感光剤Ｐの量は最も少ない。したがって、ウェハＷの回転中心側になればなるほど、感光剤Ｐを吐出する量が少なくなり、ウェハＷの外周側になればなるほど、感光剤Ｐを吐出する量が多くなる。
ウェハＷの外周側の方がウェハＷの中心側の方に比べて面積が大きいため、上記の構成を有するノズル１は、相対的に回転するウェハＷに対して、感光剤Ｐをより均一に塗布できるものといえる。
【００２７】
ここで、それぞれの吐出口の口径のみに着目すると、第１吐出口１２ａの内径が最も大きいため、第１吐出口１２ａから吐出される感光剤Ｐの流速は遅くなるようにも思われる。したがって、ウェハＷの外周部に向けて吐出される感光剤Ｐの流速が、ウェハＷの中心に向けて吐出される感光剤Ｐの流速に比べて遅くなるようにも思われる。
しかし、本実施形態に係るノズル１においては、第１吐出口１２ａが設けられている第１配管１１ａにおけるノズル１の内径が、第２吐出口１２ｂが設けられている第２配管１１ｂにおけるノズル１の内径よりも小さい。したがって、第１吐出口１２ａ付近の流速が第２吐出口１２ｂ付近の流速よりも速い。このため、第１吐出口１２ａが口径の大きな吐出口であるにもかかわらず、第１吐出口１２ａから吐出される感光剤Ｐの流速を速く保つことができる。この結果、第２吐出口１２ｂによる感光剤Ｐの時間あたりの吐出量よりも第１吐出口１２ａによる感光剤Ｐの時間あたりの吐出量を大きくすることができる。
【００２８】
以上のように、本実施形態に係るノズル１においては、第１吐出口１２ａと、第１吐出口１２ａよりもウェハＷの回転中心側に設けられた第２吐出口１２ｂと、を備える。また、第１吐出口１２ａの口径は、第２吐出口１２ｂの口径よりも大きい。したがって、本実施形態に係るノズル１は、ウェハＷの外周側の部分に対して、ウェハＷの中心側の部分よりも多くの塗布剤を吐出することができる。
また、第１吐出口１２ａが設けられている箇所におけるノズル１の内径は、第２吐出口１２ｂが設けられている箇所におけるノズル１の内径よりも小さい。したがって、第１吐出口１２ａが口径の大きな吐出口であるにもかかわらず、第１吐出口１２ａから流れる感光剤Ｐの流速を保つことができる。この結果、ウェハＷの中心付近よりもウェハＷの外周付近に対して多くの感光剤Ｐを吐出することができ、ノズル１と相対的に回転するウェハＷに対して、感光剤Ｐをより均一に塗布することができる。
【００２９】
また、同様に、第２吐出口１２ｂが設けられている第２配管１１ｂにおけるノズル１の内径は、第３吐出口１２ｃが設けられている第３配管１１ｃにおけるノズル１の内径よりも小さい。したがって、第２吐出口１２ｂ付近の流速は第３吐出口１２ｃ付近の流速よりも速く、第３吐出口１２ｃによる感光剤Ｐの時間あたりの吐出量よりも第２吐出口１２ｂによる感光剤Ｐの時間あたりの吐出量を大きくすることができる。
【００３０】
また、第３吐出口１２ｃが設けられている第３配管１１ｃにおけるノズル１の内径は、第４吐出口１２ｄが設けられている第４配管１１ｄにおけるノズル１の内径よりも小さい。したがって、第３吐出口１２ｃ付近の流速は第４吐出口１２ｄ付近の流速よりも速く、第４吐出口１２ｄによる感光剤Ｐの時間あたりの吐出量よりも第３吐出口１２ｃによる感光剤Ｐの時間あたりの吐出量を大きくすることができる。
【００３１】
さらに、第４吐出口１２ｄが設けられている第４配管１１ｄにおけるノズル１の内径は、第５吐出口１２ｅが設けられている第５配管１１ｅにおけるノズル１の内径よりも小さい。したがって、第４吐出口１２ｄ付近の流速は第５吐出口１２ｅ付近の流速よりも速く、第５吐出口１２ｅによる感光剤Ｐの時間あたりの吐出量よりも第４吐出口１２ｄによる感光剤Ｐの時間あたりの吐出量を大きくすることができる。
【００３２】
以上のように、本実施形態に係るノズル１は、複数の吐出口が設けられたノズルであって、ウェハＷの回転中心側の領域を塗布する吐出口から、ウェハＷの回転外側の領域を塗布する吐出口にかけて、徐々に口径が大きくなるように形成されている。また、ウェハＷの回転中心側の領域を塗布する吐出口から、ウェハＷの回転外側の領域を塗布する吐出口にかけて、徐々にノズルの内径が小さくなるように形成されている。このような構成においては、ウェハＷの中心付近からウェハＷの外周付近にかけて感光剤Ｐの塗布量を徐々に多くすることができるため、相対的に回転するウェハＷに対して、感光剤Ｐを更により均一に塗布することができる。
【００３３】
［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態に係るノズル２の構成について、図３を用いて説明する。なお、第２の実施形態の説明において、第１の実施形態における要素と同一又は直接対応する要素については、新たに下１桁が同じ２０番台の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００３４】
図３は、第２の実施形態に係るノズル２の吐出管２１をｚ軸下方向側から見たときの概略平面図である。図３に示すように、ノズル２は、供給管２０と、供給管２０のｘ軸正方向側に接続された吐出管２１と、を有する。吐出管２１は、第１配管２１ａ〜第５配管２１ｅが繋ぎ合わさるように形成されており、そのそれぞれには、第１吐出口２２ａ〜第５吐出口２２ｅが設けられている。第１配管２１ａ〜第５配管２１ｅの内径を比較すると、第１配管２１ａが最も小さく、第２配管２１ｂ、第３配管２１ｃ、第４配管２１ｄの順に大きくなり、第５配管２１ｅが最も大きい。また、第１吐出口２２ａ〜第５吐出口２２ｅの内径を比較すると、第１吐出口２２ａが最も大きく、第２吐出口２２ｂ、第３吐出口２２ｃ、第４吐出口２２ｄの順に小さくなり、第５吐出口２２ｅが最も小さい。
以上の点は、第１の実施形態に係るノズル１の構成と共通している。一方で、第１吐出口２２ａ〜第５吐出口２２ｅの形状は、第１の実施形態における第１吐出口１２ａ〜第５吐出口１２ｅの形状と異なる。
【００３５】
図４は、第１吐出口２２ａの形状を示す部分拡大図である。図４に示すように、第１吐出口２２ａは、第１吐出口中心２２ａ＿１と、第１吐出口外周２２ａ＿２と、を有する。第１吐出口中心２２ａ＿１は、第１吐出口２２ａの領域のうち中心側に設けられた開口部である。第１吐出口外周２２ａ＿２は、第１吐出口２２ａの領域のうち外周側に設けられた開口部である。第１吐出口中心２２ａ＿１と第１吐出口外周２２ａ＿２は分け隔てられており、それぞれから独立して感光剤Ｐが吐出される。
【００３６】
図５は、第２吐出口２２ｂの形状を示す部分拡大図である。図５に示すように、第２吐出口２２ｂは、第２吐出口中心２２ｂ＿１と、第２吐出口外周２２ｂ＿２と、を有する。第２吐出口中心２２ｂ＿１は、第２吐出口２２ｂの領域のうち中心側に設けられた開口部である。第２吐出口外周２２ｂ＿２は、第２吐出口２２ｂの領域のうち外周側に設けられた開口部である。第２吐出口中心２２ｂ＿１と第２吐出口外周２２ｂ＿２は分け隔てられており、それぞれから独立して感光剤Ｐが吐出される。
【００３７】
ここで、第１吐出口中心２２ａ＿１と第２吐出口中心２２ｂ＿１の口径を比較すると、第１吐出口中心２２ａ＿１の方が第２吐出口中心２２ｂ＿１に比べて小さな口径を有している。このとき、第１吐出口中心２２ａ＿１を通過する感光剤Ｐにかかる圧力は、第２吐出口中心２２ｂ＿１を通過する感光剤Ｐにかかる圧力よりも大きくなる。したがって、第１吐出口中心２２ａ＿１から吐出される感光剤Ｐの流速は、第２吐出口中心２２ｂ＿１から吐出される感光剤Ｐの流速よりも速くなる。
【００３８】
このような構成においては、第１吐出口中心２２ａ＿１から吐出された感光剤Ｐは、第２吐出口中心２２ｂ＿１から吐出された感光剤Ｐよりも先にウェハＷに到達する。したがって、ウェハＷの回転中心に近い領域よりも先に、ウェハＷの外周部の領域に対して、感光剤Ｐが塗布される。すなわち、塗布面積がより大きく、感光剤Ｐの塗布量をより多く必要とする外周部の領域に対して、感光剤Ｐを早く塗布することができる。
【００３９】
また、第３吐出口２２ｃ、及び第４吐出口２２ｄに対しても、同様に、吐出口の領域のうち中心側に設けられた開口部と、外周側に設けられた開口部とを分け隔てた構造とすることが好ましい。また、それぞれの吐出口の中心側に設けられた開口部の内径を比較した場合に、第１吐出口２２ａの中心（第１吐出口中心２２ａ＿１）の内径が最も小さく、第２吐出口２２ｂ、第３吐出口２２ｃ、第４吐出口２２ｄの順に中心の内径が大きくなるようにすることが好ましい。このように、ウェハＷの中心付近からウェハＷの外周付近にかけて、吐出口の中心側に設けられた開口部の内径が徐々に小さくなるようにすることで、ウェハＷの中心付近からウェハＷの外周付近にかけて、感光剤Ｐが塗布され始めるスピードを徐々に上げることができる。
【００４０】
なお、第５吐出口２２ｅについては、吐出口の領域のうち中心側に設けられた開口部と、外周側に設けられた開口部とを分け隔てた構造としてもよいが、これらが分け隔てられずに一体に設けられた構造としてもよい。第５吐出口２２ｅについて、吐出口の領域のうち中心側に設けられた開口部と、外周側に設けられた開口部とを分け隔てた構造とする場合、当該中心側に設けられた開口部の内径は、第４吐出口２２ｄにおいて中心側に設けられた開口部の内径よりも大きくすることが好ましい。また、第５吐出口２２ｅについて、吐出口の領域のうち中心側に設けられた開口部と、外周側に設けられた開口部とを分け隔てない構造とする場合、第５吐出口２２ｅの内径は、第４吐出口２２ｄにおいて中心側に設けられた開口部の内径よりも大きくすることが好ましい。
【００４１】
本実施形態においては、第１吐出口２２ａ〜第４吐出口２２ｄは、吐出口の領域のうち中心側に設けられた開口部と、外周側に設けられた開口部とを分け隔てた構造とし、第５吐出口２２ｅはそれらを分け隔てない構造とする。図６は、上述した構造を備えるノズル２が感光剤Ｐを吐出している様子を表す模式図である。
【００４２】
図６に示すように、第１吐出口２２ａ〜第４吐出口２２ｄにおいて、それぞれの吐出口の領域のうち中心側に設けられた開口部からは、感光剤Ｐ＿ａ２、Ｐ＿ｂ２、Ｐ＿ｃ２、Ｐ＿ｄ２が吐出されている。また、第５吐出口２２ｅからは、感光剤Ｐ＿ｅが吐出されている。感光剤Ｐ＿ａ２、Ｐ＿ｂ２、Ｐ＿ｃ２、Ｐ＿ｄ２、Ｐ＿ｅの流速を比較すると、感光剤Ｐ＿ａ２が最も速く、感光剤Ｐ＿ｂ２、感光剤Ｐ＿ｃ２、感光剤Ｐ＿ｄ２、感光剤Ｐ＿ｅの順に遅くなる。したがって、ウェハＷの回転中心に近い領域よりも先に、ウェハＷの外周の領域に感光剤Ｐが塗布され始める。
【００４３】
また、第１吐出口２２ａ〜第４吐出口２２ｄにおいて、それぞれの吐出口の領域のうち外周側に設けられた開口部からは、感光剤Ｐ＿ａ１、Ｐ＿ｂ１、Ｐ＿ｃ１、Ｐ＿ｄ１が吐出されている。感光剤Ｐ＿ａ１、Ｐ＿ｂ１、Ｐ＿ｃ１、Ｐ＿ｄ１、Ｐ＿ｅの流量を比較すると、感光剤Ｐ＿ａ１の流量が最も多く、感光剤Ｐ＿ｂ１、感光剤Ｐ＿ｃ１、感光剤Ｐ＿ｄ１、感光剤Ｐ＿ｅの順に少なくなる。したがって、ウェハＷの回転中心に近い領域よりも、ウェハＷの外周の領域に対して、感光剤Ｐが多く塗布される。
【００４４】
以上で説明した通り、第２の実施形態に係るノズル２においても、ウェハＷの回転中心に近い領域よりも、ウェハＷの外周の領域に対して、感光剤Ｐを多く塗布することができる。したがって、ノズル２と相対的に回転するウェハＷに対して、感光剤Ｐをより均一に塗布できる。さらに、ウェハＷの回転中心に近い領域よりも先に、ウェハＷの外周の領域に感光剤Ｐが塗布することができる。
【００４５】
なお、本発明は上記の実施形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
【符号の説明】
【００４６】
１、２  ノズル
１０、２０      供給管
１１、２１      吐出管
１１ａ、２１ａ  第１配管
１１ｂ、２１ｂ  第２配管
１１ｃ、２１ｃ  第３配管
１１ｄ、２１ｄ  第４配管
１１ｅ、２１ｅ  第５配管
１２ａ、２２ａ  第１吐出口
１２ｂ、２２ｂ  第２吐出口
１２ｃ、２２ｃ  第３吐出口
１２ｄ、２２ｄ  第４吐出口
１２ｅ、２２ｅ  第５吐出口
２２ａ＿１  第１吐出口中心
２２ａ＿２  第１吐出口外周
２２ｂ＿１  第２吐出口中心
２２ｂ＿２  第２吐出口外周
Ｃ      回転軸
Ｐ      感光剤
Ｒ      回転台
Ｗ      ウェハ
【図１】
2020099886.tif 000003
【図２】
2020099886.tif 000004
【図３】
2020099886.tif 000005
【図４】
2020099886.tif 000006
【図５】
2020099886.tif 000007
【図６】
2020099886.tif 000008