(57)【要約】【課題】方向が変化する流路を有する場合であっても熱輸送能力を高めることができるベーパーチャンバーを提供する。【解決手段】密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバーであって、密閉空間には、作動流体が凝縮液の状態で移動する流路である複数の凝縮液流路と、凝縮液流路より流路断面積が大きく、作動流体が蒸気及び凝縮液の状態で移動する複数の蒸気流路と、が備えられており、複数の凝縮液流路と複数の蒸気流路が直線状に延びる直線部と、直線部に連続し、複数の凝縮液流路と複数の蒸気流路の延びる方向が変化する湾曲部と、を有し、複数の蒸気流路は、湾曲部において、互いに間隔をあけて配置され、湾曲部の外側の蒸気流路の湾曲の半径が、湾曲部の内側の蒸気流路の湾曲の半径よりも大きい。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバーであって、
前記密閉空間には、前記作動流体が凝縮液の状態で移動する流路である複数の凝縮液流路と、前記凝縮液流路より流路断面積が大きく、前記作動流体が蒸気及び凝縮液の状態で移動する複数の蒸気流路と、が備えられており、
複数の前記凝縮液流路と複数の前記蒸気流路が直線状に延びる直線部と、
前記直線部に連続し、複数の前記凝縮液流路と複数の前記蒸気流路の延びる方向が変化する湾曲部と、を有し、
複数の前記蒸気流路は、前記湾曲部において、互いに間隔をあけて配置され、
前記湾曲部の外側の前記蒸気流路の湾曲の半径が、前記湾曲部の内側の前記蒸気流路の湾曲の半径よりも大きい、ベーパーチャンバー。
【請求項２】
複数の前記蒸気流路は繋がっている、請求項１に記載のベーパーチャンバー。
【請求項３】
前記蒸気流路は、前記凝縮液流路の間に配置され、前記蒸気流路と前記凝縮液流路とを仕切る壁には、前記蒸気流路と前記凝縮液流路とを連通する複数の開口部が設けられている、請求項１又は２に記載のベーパーチャンバー。
【請求項４】
前記湾曲部における前記開口部のピッチは、前記直線部における前記開口部のピッチと異なっている、請求項３に記載のベーパーチャンバー。
【請求項５】
前記湾曲部には前記開口部が設けられていない、請求項３に記載のベーパーチャンバー。
【請求項６】
筐体と、
前記筐体の内側に配置された電子部品と、
前記電子部品に対して直接又は他の部材を介して接触して配置された請求項１乃至５のいずれかに記載されたベーパーチャンバーと、を備える、電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、密閉空間に封入された作動流体が移動しつつ熱輸送を行うベーパーチャンバーに関する。
【背景技術】
【０００２】
パソコン並びに携帯電話及びタブレット端末等の携帯型端末に代表される電子機器には、ＣＰＵ（中央演算処理装置）等の電子部品が用いられている。このような電子部品からの発熱量は、情報処理能力の向上により増加する傾向にあるため、これを冷却する技術が重要となっている。
冷却のための手段としてヒートパイプがよく知られている。これはパイプ内に封入された作動流体により、その相変化を利用して熱源における熱を他の部位に輸送することで拡散させ、熱源を冷却するものである。
【０００３】
一方、近年においてこれら電子機器の薄型化が顕著であり、従来のヒートパイプよりも薄型の冷却手段が必要となってきた。これに対してベーパーチャンバーが提案されている。ベーパーチャンバーは、シート型ヒートパイプと呼ばれることもあり、ヒートパイプによる熱輸送の考え方を平板状の部材に展開した機器である。すなわち、ベーパーチャンバーでは、対向する平板の間に作動流体が封入されており、この作動流体の相変化を利用して熱源における熱を輸送及び拡散して熱源を冷却する。
【０００４】
このようなベーパーチャンバーは電子機器の内側に配置されているが、電子機器の内側には他にも多くの部材が配置されているため、ベーパーチャンバーが配置できる位置には制約があることが多い。そうすると、必ずしも直線状に流路を設けるベーパーチャンバーとすることはできず、例えば特許文献１に記載のように、方向が変化するように湾曲した部位を有する流路を設けることで、配置に対する制約に対応する必要があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１６−２０５６９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載のように方向が変化する流路を有するベーパーチャンバーでは、熱輸送能力を高め難いという問題があった。
【０００７】
そこで本発明は上記問題を鑑み、方向が変化する流路を有する場合であっても熱輸送能力を高めることができるベーパーチャンバーを提供することを課題とする。また、このベーパーチャンバーを備える電子機器を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
発明者らは、鋭意検討の結果、方向が変化する複数の蒸気流路を有するベーパーチャンバーでは、複数の蒸気流路間でその長さが異なるため、作動流体が流路を移動する際の抵抗である流動抵抗に、流路間で差が大きくなってしまうことから作動流体がバランスよく移動しないとの知見を得た。そして、流動抵抗の差が大きいことで熱輸送能力が低下して想定していた性能を出すことができないことがわかった。これらの知見に基づいて発明者らは具体化して本発明を完成させた。以下本発明について説明する。
【０００９】
本発明の１つの態様は、密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバーであって、密閉空間には、作動流体が凝縮液の状態で移動する流路である複数の凝縮液流路と、凝縮液流路より流路断面積が大きく、作動流体が蒸気及び凝縮液の状態で移動する複数の蒸気流路と、が備えられており、複数の凝縮液流路と複数の蒸気流路が直線状に延びる直線部と、直線部に連続し、複数の凝縮液流路と複数の蒸気流路の延びる方向が変化する湾曲部と、を有し、複数の蒸気流路は、湾曲部において、互いに間隔をあけて配置され、湾曲部の外側の蒸気流路の湾曲の半径が、湾曲部の内側の蒸気流路の湾曲の半径よりも大きいベーパーチャンバーである。
【００１０】
複数の蒸気流路が繋がるように構成してもよい。
【００１１】
蒸気流路は、凝縮液流路の間に配置され、蒸気流路と凝縮液流路とを仕切る壁には、蒸気流路と凝縮液流路とを連通する複数の開口部が設けられてもよい。
【００１２】
湾曲部における開口部のピッチは、直線部における開口部のピッチと異なるように構成してもよいし、湾曲部には開口部が設けられないように構成してもよい。
【００１３】
また、本発明の他の態様は、筐体と、筐体の内側に配置された電子部品と、電子部品に対して直接又は他の部材を介して接触して配置された上記したベーパーチャンバーと、を備える、電子機器である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ベーパーチャンバーが、方向が変化する流路を有する場合であっても、熱輸送能力を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１（ａ）はベーパーチャンバー１の斜視図、図１（ｂ）はベーパーチャンバー１の分解斜視図である。
【図２】図２は第一シート１０の斜視図である。
【図３】図３は第一シート１０の平面図である。
【図４】図４は第一シート１０の切断面である。
【図５】図５（ａ）、図５（ｂ）は第一シート１０の他の切断面である。
【図６】図６は外周液流路部１４を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図７】図７は他の例の外周液流路部１４を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図８】図８（ａ）は内側液流路部１５に注目した切断面、図８（ｂ）は内側液流路部１５を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図９】図９は第二シート２０の斜視図である。
【図１０】図１０は第二シート２０の平面図である。
【図１１】図１１は第二シート２０の切断面である。
【図１２】図１２は第二シート２０の他の切断面である。
【図１３】図１３はベーパーチャンバー１の切断面である。
【図１４】図１４は、図１３の一部を拡大した図である。
【図１５】図１５はベーパーチャンバー１の他の切断面である。
【図１６】図１６（ａ）乃至図１６（ｃ）は凝縮液流路の形態例を説明する図である。
【図１７】図１７は凝縮液流路３及び蒸気流路４を説明する図である。
【図１８】図１８は、電子機器４０を説明する斜視図である。
【図１９】図１９は、ベーパーチャンバー１の作動を説明する図である。
【図２０】図２０はベーパーチャンバー２０１の外観斜視図である。
【図２１】図２１はベーパーチャンバー２０１の分解斜視図である。
【図２２】図２２（ａ）は第三シート２３０を一方の面側から見た図、図２２（ｂ）は第三シート２３０を他方の面側から見た図である。
【図２３】図２３は第三シート２３０の切断面である。
【図２４】図２４は第三シート２３０の他の切断面である。
【図２５】図２５はベーパーチャンバー２０１の切断面である。
【図２６】図２６は図２５の一部を拡大した図である。
【図２７】図２７はベーパーチャンバー２０１の他の切断面である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面に基づき各形態を説明する。ただし、本発明はこれら形態に限定されるものではない。なお、以下に示す図面では分かりやすさのため部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見やすさのため説明上不要な部分の図示や繰り返しとなる符号は省略することがある。
【００１７】
図１（ａ）には第一の形態にかかるベーパーチャンバー１の外観斜視図、図１（ｂ）にはベーパーチャンバー１の分解斜視図を表した。これら図及び以下に示す各図には必要に応じて便宜のため、互いに直交する方向を表す矢印（ｘ、ｙ、ｚ）も表した。ここでｘｙ面内方向は平板状であるベーパーチャンバー１の板面に沿った方向であり、ｚ方向は厚さ方向である。
【００１８】
本形態のベーパーチャンバー１は、図１（ａ）、図１（ｂ）からわかるように第一シート１０及び第二シート２０を有している。そして、後で説明するように、この第一シート１０と第二シート２０とが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、この中空部に作動流体が封入されて密閉空間２とされている（例えば図１３参照）。
【００１９】
本形態で第一シート１０は全体としてシート状の部材で、平面視でＬ字状とされている。図２には第一シート１０を内面１０ａ側から見た斜視図、図３には第一シート１０を内面１０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図４には図３のＩＶ−ＩＶで切断したときの第一シート１０の切断面を示した。
第一シート１０は、内面１０ａ、該内面１０ａとは反対側となる外面１０ｂ及び内面１０ａと外面１０ｂとを渡して厚さを形成する側面１０ｃを備え、内面１０ａ側に作動流体が移動する流路のためのパターンが形成されている。後述するようにこの第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。
【００２０】
第一シート１０の厚さは特に限定されることはないが、０．０１ｍｍ以上１．０ｍｍ以下が好ましく、より好ましくは０．０５ｍｍ以上０．２ｍｍ以下である。これにより薄型のベーパーチャンバーとして適用できる場面を多くすることができる。
【００２１】
第一シート１０は本体１１及び注入部１２を備えている。本体１１は作動流体が移動する部位を形成するシート状であり、本形態では平面視で湾曲する部位を有するＬ字型である。
注入部１２は第一シート１０と第二シート２０により形成された中空部に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体１１の平面視Ｌ字型から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート１０の注入部１２は内面１０ａ側も外面１０ｂ側も平坦面とされている。
【００２２】
本体１１の内面１０ａ側には作動流体が移動するための構造が形成されている。
当該構造として具体的には、本体１１の内面１０ａ側に、外周接合部１３、外周液流路部１４、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６、及び、蒸気流路連通溝１７が具備されている。
【００２３】
外周接合部１３は、本体１１の内面１０ａ側に、該本体１１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部１３が第二シート２０の外周接合部２３に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に密閉空間２が形成され、ここに作動流体が封入される。
図３、図４にＡ１０で示した外周接合部１３の幅は必要に応じて適宜設定することができるが、最も小さいところが０．０５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下であることが好ましい。この幅が０．０５ｍｍより小さくなると第一シートと第二シートとの接合時における位置ずれが生じた際に接合面積が不足する虞がある。また、この幅が５．０ｍｍより大きくなると、密閉空間の内容積が小さくなり蒸気流路や凝縮液流路が十分確保できなくなる虞がある。
【００２４】
外周液流路部１４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る流路である凝縮液流路３（例えば図１４参照）の一部を構成する部位である。図５（ａ）には図４のうち矢印Ｖａで示した部分、図５（ｂ）には図３にＶｂ−Ｖｂによる切断面を示した。いずれの図にも外周液流路部１４の断面形状が表れている。また、図６には図５（ａ）に矢印ＶＩで示した方向から見た外周液流路部１４を平面視した拡大図を表した。
【００２５】
これら図からわかるように、外周液流路部１４は本体１１の内面１０ａのうち、外周接合部１３の内側に沿って形成され、密閉空間２の外周に沿って環状となるように設けられている。また、外周液流路部１４には、本体１１の外周方向に平行に延びる複数の溝である液流路溝１４ａが形成され、複数の液流路溝１４ａが、該液流路溝１４ａが延びる方向とは異なる方向に間隔を有して配置されている。従って、図５（ａ）、図５（ｂ）からわかるように外周液流路部１４ではその断面において凹部である液流路溝１４ａと液流路溝１４ａ間の凸部である壁１４ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
ここで液流路溝１４ａは溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に向かい合う反対側の部位に存する開口と、を備えている。
【００２６】
このように複数の液流路溝１４ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１４ａの深さ及び幅を小さくし、凝縮液流路３（例えば図１４参照）の流路断面積を小さくして大きな毛管力を利用することができる。一方、液流路溝１４ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の内容積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
【００２７】
さらに、外周液流路部１４では、図６からわかるように隣り合う液流路溝１４ａは、壁１４ｂに間隔を有して設けられた連通開口部１４ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１４ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができる。また、蒸気流路４を形成する蒸気流路溝１６に隣接する壁１４ｂに設けられた連通開口部１４ｃは、蒸気流路４と凝縮液流路３とを連通させる。従って、連通開口部１４ｃを構成することにより蒸気流路４で生じた凝縮液を円滑に凝縮液流路３に移動させることができるとともに、凝縮液流路３で生じた蒸気を円滑に蒸気流路４に移動させることもでき、これによっても作動流体の円滑な移動を促進することが可能となる。
【００２８】
本形態では図６で示したように１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向において同じ位置に対向するように連通開口部１４ｃが配置されている。ただしこれに限定されることはなく、例えば図７に示したように、１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向において異なる位置に連通開口部１４ｃが配置されてもよい。すなわち、この場合は液流路溝１４ａが延びる方向にオフセットして連通開口部１４ｃが配置されている。
このようにオフセットして連通開口部１４ｃを設けることで、凝縮液流路３を進行する作動流体からみたときに、連通開口部１４ｃが両側に同時に表れることがなく、連通開口部１４ｃが表れても少なくとも一方の側面は常に壁１４ｂが存在する。そのため、毛細管力を連続的に得ることができる。かかる観点からオフセットして連通開口部１４ｃを形成することで作動流体に働く毛細管力を高く維持することができるため、凝縮液を円滑に流すことが可能となる。
【００２９】
以上のような構成を備える外周液流路部１４は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図３、図４、図５（ａ）、図５（ｂ）にＢ１０で示した外周液流路部１４の幅は、ベーパーチャンバー全体の大きさ等から適宜設定することができるが、０．０３ｍｍ以上２ｍｍ以下であることが好ましい。この幅が０．０３ｍｍより小さいと外側を流れる液の量が十分得られない虞がある。またこの幅が２ｍｍを超えると内側の凝縮液流路や蒸気流路のための空間が十分にとれなくなる虞がある。
【００３０】
液流路溝１４ａについて、図５（ａ）、図６にＣ１で示した溝幅は１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。
また、図５（ａ）、図５（ｂ）にＤで示した液流路溝１４ａの深さは５μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましい。これにより凝縮液が流れるために必要な液流路の毛細管力を十分に発揮することができる。ここで、液流路溝の深さＤは、第一シート１０の厚さから当該溝の深さＤを引いた残りのシート厚さよりも小さいことが好ましい。これにより作動流体の凍結時においてシートが破れてしまうことをより確実に防止することができる。
流路の毛管力をより強く発揮する観点から、Ｃ１をＤで除した値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きい、又は１．０よりも小さいことが好ましい。その中でも製造の観点からＣ１がＤよりも大きいことが好ましく、アスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
【００３１】
また、壁１４ｂについて、図５（ａ）、図６にＣ２で示した幅は２０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。この幅が２０μｍより小さいと作動流体の凍結と溶融との繰り返しにより破断し易くなり、この幅が３００μｍより大きくなると連通開口部１４ｃの幅が大きくなりすぎ、隣り合う凝縮液流路３との作動流体の円滑な連通が阻害される虞がある。
【００３２】
連通開口部１４ｃについて、図６にＣ３で示した液流路溝１４ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは２０μｍ以上１８０μｍ以下であることが好ましい。
また、図６にＣ４で示した液流路溝１４ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１４ｃのピッチは３００μｍ以上２７００μｍ以下であることが好ましい。
【００３３】
本形態では液流路溝１４ａの断面形状は半楕円形であるがこれに限定されることなく、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、及びこれらの組み合わせ等であってもよい。
【００３４】
また、液流路溝１４ａは、密閉空間内の縁に沿って連続して形成されていることが好ましい。すなわち、液流路溝１４ａは他の構成要素によって寸断されることなく１周に亘って環状に延びていることが好ましい。これにより凝縮液の移動を阻害する要因が減るため、円滑に凝縮液を移動させることができる。
【００３５】
本形態では外周液流路部１４が設けられているが、外周液流路部１４は必ずしも設けられる必要はなく、ベーパーチャンバーの形状、ベーパーチャンバーが適用される機器との関係、及び、使用環境等の観点から、外周液流路部１４が設けられていない形態としてもよい。この形態では外周部を蒸気流路として、ベーパーチャンバーの外周部まで蒸気により熱を運ぶように構成することができ、一層の均熱化ができる場合がある。
【００３６】
図２乃至図４に戻って内側液流路部１５について説明する。内側液流路部１５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図８（ａ）には図４のうちＶＩＩＩａで示した部分を示した。この図にも内側液流路部１５の断面形状が表れている。また、図８（ｂ）には図８（ａ）に矢印ＶＩＩＩｂで示した方向から見た内側液流路部１５を平面視した拡大図を示した。
【００３７】
これら図からわかるように、内側液流路部１５は本体１１の内面１０ａのうち、環状である外周液流路部１４（又は、外周接合部１３）の環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部１５は、図２、図３からわかるように、湾曲部を有して延びる凸条であり、複数（本形態では５つ）の内側液流路部１５が延びる方向とは異なる方向に間隔を有して配列され、蒸気流路溝１６の間に配置されている。
各内側液流路部１５には、内側液流路部１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝１５ａが形成され、複数の液流路溝１５ａが、該液流路溝１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図４、図８（ａ）からわかるように内側液流路部１５ではその断面において凹部である液流路溝１５ａと液流路溝１５ａ間の凸部である壁１５ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
ここで液流路溝１５ａは溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に向かい合う反対側の部位に存する開口と、を備えている。
【００３８】
このように複数の液流路溝１５ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１５ａの深さ及び幅を小さくし、凝縮液流路３（例えば図１４参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１５ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の内容積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
【００３９】
さらに、内側液流路部１５でも、図８（ｂ）からわかるように、外周液流路部１４の例に倣って図６と同じようにして隣り合う液流路溝１５ａは、壁１５ｂに間隔を有して設けられた連通開口部１５ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１５ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができる。また、蒸気流路４を形成する蒸気流路溝１６に隣接する壁１５ｂに設けられた連通開口部１５ｃは、蒸気流路４と凝縮液流路３とを連通させる。従って、後で説明するように連通開口部１５ｃを構成することにより蒸気流路４で生じた凝縮液を円滑に凝縮液流路３に移動させることができるとともに、凝縮液流路で発生した蒸気を円滑に蒸気流路４に移動させることもでき、これによっても作動流体の円滑な移動を促進することが可能となる。
【００４０】
内側液流路部１５についても、図７の例に倣って、１つの液流路溝１５ａの該溝を挟んで液流路溝１５ａが延びる方向において異なる位置に連通開口部１５ｃが配置されてもよい。
このようにオフセットして連通開口部１５ｃを設けることで、凝縮液流路３を進行する作動流体からみたときに、連通開口部１５ｃが両側に同時に表れることがなく、連通開口部１５ｃが表れても少なくとも一方の側面は常に壁１５ｂが存在する。そのため、毛細管力を連続的に得ることができる。かかる観点からオフセットして連通開口部１５ｃを形成することで作動流体に働く毛細管力を高く維持することができるため、作動流体のより円滑な移動が可能となる。
【００４１】
以上のような構成を備える内側液流路部１５は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図３、図４、図８（ａ）にＥ１０で示した内側液流路部１５の幅は、１００μｍ以上２０００μｍ以下であることが好ましい。また、複数の内側液流路部１５のピッチは２００μｍ以上４０００μｍ以下であることが好ましい。これにより蒸気流路の流路抵抗を十分に下げ、蒸気流路における作動流体の移動と、凝縮液流路における毛細管力の作用による作動流体の移動とをバランスよく行うことができる。
【００４２】
液流路溝１５ａについて、図８（ａ）、図８（ｂ）にＦ１で示した溝幅は１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。
また、図８（ａ）にＧで示した溝の深さは５μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましい。これにより凝縮液の移動に必要な凝縮液流路の毛細管力を十分に発揮することができる。ここで、溝の深さＧは、第一シート１０の厚さから当該溝の深さＧを引いた残りのシート厚さよりも小さいことが好ましい。これにより作動流体の凍結時においてシートが破れてしまうことをより確実に防止することができる。
流路の毛管力をより強く発揮する観点から、Ｆ１をＧで除した値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きい、又は１．０よりも小さいことが好ましい。その中でも製造の観点からＦ１がＧより大きいことが好ましく、アスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
【００４３】
また、壁１５ｂについて、図８（ａ）、図８（ｂ）にＦ２で示した幅は２０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。この幅が２０μｍより小さいと作動流体の凍結と溶融の繰り返しにより破断し易くなり、この幅が３００μｍより大きくなると連通開口部１５ｃの幅が大きくなりすぎ、凝縮液流路３間の円滑な連通が阻害される虞がある。
【００４４】
連通開口部１５ｃについて、図８（ｂ）にＦ３で示した液流路溝１５ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは２０μｍ以上１８０μｍ以下であることが好ましい。
また、図８（ｂ）にＦ４で示した液流路溝１５ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１５ｃのピッチは３００μｍ以上２７００μｍ以下であることが好ましい。
【００４５】
また、本形態で液流路溝１５ａの断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、及びこれらの組み合わせ等であってもよい。
【００４６】
次に蒸気流路溝１６について説明する。蒸気流路溝１６は、蒸気状及び凝縮液状の作動流体が移動する部位で、蒸気流路４の一部を構成する。図３には平面視した蒸気流路溝１６の形状、図４には蒸気流路溝１６の断面形状がそれぞれ表れている。
【００４７】
これら図からもわかるように、蒸気流路溝１６は本体１１の内面１０ａのうち、環状である外周液流路部１４の環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１６は、隣り合う内側液流路部１５の間、及び、外周液流路部１４と内側液流路部１５との間に形成され、湾曲した部位を有して延びた溝である。そして、複数（本形態では６つ）の蒸気流路溝１６が当該延びる方向とは異なる方向に配列されている。従って、図４からわかるように第一シート１０は、内側液流路部１５を凸条とし、蒸気流路溝１６を凹条とした凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝１６は溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に向かい合う反対側の部位に存する開口と、を備えている。
【００４８】
蒸気流路溝１６は、第二シート２０の蒸気流路溝２６と組み合わされて蒸気流路４が形成されたとき、当該蒸気流路４で作動流体が移動するように構成されていればよい。そのため、蒸気流路溝１６は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図３、図４にＨ１０で示した蒸気流路溝１６の幅は、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの幅Ｃ１、幅Ｆ１より大きく形成され、１００μｍ以上２０００μｍ以下であることが好ましい。
一方、図４にＩ１０で示した蒸気流路溝１６の深さは、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの深さＤ、深さＧより大きく形成され、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。
これにより、蒸気流路が形成されたときに作動流体の安定した移動が行われるとともに、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝よりも大きくすることで、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に移動させることができる。
【００４９】
ここで蒸気流路溝１６は、後で説明するように第二シート２０と組み合わされて蒸気流路４が形成されたときに、蒸気流路４の幅が高さ（厚さ方向大きさ）よりも大きい扁平形状となるように構成されていることが好ましい。そのため、Ｈ１０をＩ１０で除した値で示されるアスペクト比は好ましくは４．０以上、より好ましくは８．０以上である。
【００５０】
本形態では蒸気流路溝１６の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が円形、底部が半楕円形及びこれらの組み合わせ等であってもよい。
【００５１】
蒸気流路連通溝１７は、複数の蒸気流路溝１６を連通させ、第二シート２０の蒸気流路連通溝２７と組み合わされて蒸気流路溝１６による複数の蒸気流路４をその端部で連通する流路を形成する溝である。これにより、内側液流路部１５が延びる方向における蒸気流路４で生じる作動流体の移動を円滑に行うことができる。
また、これにより蒸気流路４にある作動流体の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａによる凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりもする。
【００５２】
本形態の蒸気流路連通溝１７は、図２、図３からわかるように、内側液流路部１５が延びる方向の両端部及び蒸気流路溝１６が延びる方向の両端部と、外周液流路部１４との間に形成されている。図５（ｂ）には蒸気流路連通溝１７の連通方向に直交する断面が表れている。なお、蒸気流路連通溝１７と蒸気流路溝１６との境界は必ずしも形状による境界が形成されるわけではないので、図２、図３にはわかりやすさのため、当該境界を点線で表した。
【００５３】
蒸気流路連通溝１７は、隣り合う蒸気流路溝１６を連通させることができればよく、その形状は特に限定されることはないが、例えば次のような構成を備えることができる。
図３、図５（ｂ）にＪ１０で示した蒸気流路連通溝１７の幅は、１００μｍ以上１０００μｍ以下であることが好ましい。
また、図５（ｂ）にＫ１０で示した蒸気流路連通溝１７の深さは、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましく、その中でも蒸気流路溝１６の深さＩ１０と同じであることが好ましい。これにより製造が容易になる。
【００５４】
本形態で蒸気流路連通溝１７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形及びこれらの組み合わせ等であってもよい。
【００５５】
また、本形態では第一シート１０は、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び蒸気流路溝１６において、これらが延びる方向が変化する部位である湾曲部１８ｃを備えている。すなわち、第一シート１０は、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び蒸気流路溝１６がｘ方向に直線状に延びる直線部１８ａ、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び蒸気流路溝１６がｙ方向に直線状に延びる直線部１８ｂ、並びに、直線部１８ａ及び直線部１８ｂにおける液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び蒸気流路溝１６を連結する湾曲部１８ｃを備える。従って湾曲部１８ｃは、その一端が一方の直線部１８ａに接続され、他端が他方の直線部１８ｂに接続され、ｘ方向からｙ方向へ、及び、ｙ方向からｘ方向へ流れが向きを変えるように液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び蒸気流路溝１６が湾曲している。
ここで直線部と湾曲部との境界は、各溝において流れの方向が変化し始める点を境界とすればよい。以下、同様に考えることができる。
【００５６】
そして、図３からわかるように、本形態の湾曲部１８ｃでは、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び蒸気流路溝１６は、これら各流路溝が配列される方向において、配列方向の外側の蒸気流路の湾曲の半径が、配列方向の内側の蒸気流路の湾曲の半径よりも大きくなるように構成されている。
ここで、湾曲を円や楕円の一部であると見なしたときに、図３に示したように、湾曲に対して円、楕円の中心側を湾曲部の「内側」と、湾曲に対して円、楕円の中心側とは反対側を湾曲部の「外側」と、する。以下、湾曲部における形状については、同様に考えることができる。
また、湾曲の半径は、直線部と湾曲部との境界である２点、及び、湾曲部における溝の長さの中央における１点の合計３点を通る円を考え、この円の半径を湾曲の半径とする。ただし、湾曲の形状は正円の一部のような形状であることに限らず、楕円の一部のような形状でもよく、湾曲部において配置される複数の蒸気流路溝のうち一部が直線であるような形状であってもよい。以下、湾曲部における形状については同じように考えることができる。
【００５７】
その中でも、本形態ではこれら複数の各溝が同心円の円弧を描くように湾曲している。ただし、これに限らず円弧の中心位置がずれていてもよい。さらには、湾曲部１８ｃにおいて、各流路溝の長さが長くなる流路溝ほど湾曲の半径が大きくなるように構成されている。
【００５８】
ベーパーチャンバーにおいて、湾曲した流路が複数配列される場合、配列方向の内側ほど流路長さが短く、配列方向の外側ほど流路長さが長くなるため、内側と外側との流動抵抗の差が大きくなる。この流動抵抗の差はベーパーチャンバーにおいて作動流体の移動のバランスを悪くし、十分な熱輸送能力が発揮できない一因となる。これに対して本形態の湾曲部１８ｃを備えることにより、特に蒸気流路溝１６において、内側と外側との間の流動抵抗の差を緩和することが可能となる。そしてこれにより作動流体の移動のバランスが向上し、熱輸送能力も高くすることができる。
【００５９】
また、湾曲部１８ｃでは、液流路溝１４ａ及び液流路溝１５ｃと蒸気流路溝１６とを仕切る壁１４ｂ及び壁１５ｂに設けられた連通開口部１４ｃ及び連通開口部１５ｃ（図６、図８（ｂ）参照）について、そのピッチを他の部位（直線部１８ａ、直線部１８ｂ）と異なるように構成することができる。これは湾曲部における連通開口部のピッチを、直線部における連通開口部のピッチよりも大きくしてもよいし、小さくしてもよい。いずれの形態とするかは、ベーパーチャンバーの全体形状、熱源の位置等の影響を考慮し、流動抵抗を下げることができる形態を総合的に判断して採用することができる。または、この湾曲部１８ｃについては連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを設けなくてもよい。
湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも大きくした形態では、蒸気流路溝１６（蒸気流路４）を流れる作動流体が湾曲部１８ｃで連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃへ進入することを抑制される。湾曲部１８ｃでは蒸気流路溝１６（蒸気流路４）を移動する作動流体がその流れにより直接的に連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃに流れ込もうとする力が働くため、蒸気が凝縮液流路３に入り込むことや、連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃの凹凸で流動抵抗が高くなる傾向にある。これに対して、湾曲部１８ｃで連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃのピッチを大きくしたり、連通開口部をなくしたりすることでこのような流動抵抗の上昇を抑えることができ、蒸気流路溝１６（蒸気流路４）ごとの流動抵抗の差をさらに小さくし、作動流体の移動のバランスを向上させ、熱輸送能力を高めることができる場合がある。
一方、湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも小さくした形態では、湾曲部では蒸気流路溝（蒸気流路）を流れる蒸気が壁面に強く当たる機会が増えるため、凝縮し易い傾向にある。このとき湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも小さくした形態することで、連通開口部の数を増やし、凝縮液を円滑に液流路溝（凝縮液流路）に導入させることができ、蒸気流路が凝縮液で閉塞されることを抑制することが可能となる。これにより流動抵抗の上昇を抑えることができ、蒸気流路溝（蒸気流路）ごとの流動抵抗の差をさらに小さくし、作動流体の移動のバランスを向上させ、熱輸送能力を高めることができる場合がある。
【００６０】
また、湾曲部１８ｃでは、複数の蒸気流路溝１６の幅を流路溝ごとに変更してもよい。具体的には、湾曲の半径が小さい蒸気流路溝の溝幅に対して湾曲の半径が大きい蒸気流路溝の溝幅を大きくしてもよい。これにより、蒸気の移動距離が長い、湾曲の半径が大きい蒸気流路の流動抵抗を下げることができる。
また、湾曲の半径が大きい蒸気流路溝の溝幅に対して湾曲の半径が小さい蒸気流路溝の溝幅を大きくしてもよい。これにより、半径が小さいことによる、湾曲部の蒸気流路の流動抵抗を下げることができる。
さらに、中央に配置される蒸気流路に対し、半径の大きい蒸気流路溝と半径の小さい蒸気流路溝の溝幅を大きくしてもよい。
また、蒸気流路溝の幅の代わりに、又は、それと合わせて、蒸気流路溝の深さを流路ごとに変更して同様の効果を奏するように構成してもよい。上記流路溝の深さ方向を変更して調整すると、平面（ｘｙ平面）方向に広がることが抑制され、凝縮液流路を配置する部位を多く確保して熱輸送能力の向上が図れたり、外周接合部を広く取ることができて耐圧の信頼性の向上を図れたりする。
以上のような手段によってもさらに複数の蒸気流路溝間で流動抵抗の差を小さくすることが可能となり、作動流体の移動のバランスを向上させ、熱輸送能力を高めることができる。
【００６１】
また、湾曲部１８ｃでは、直線部１８ａ、直線部１８ｂに対して蒸気流路溝１６の幅及び深さの少なくとも一方を大きくしてもよい。これによれば流動抵抗が大きい湾曲部１８ｃにおける流動抵抗を下げることができ、ベーパーチャンバー全体として流動抵抗が小さくなるため、作動流体の移動がより円滑となって熱輸送能力を高めることができる。
【００６２】
次に第二シート２０について説明する。本形態で第二シート２０も全体としてシート状の部材であり、平面視でＬ字型に湾曲している。図９には第二シート２０を内面２０ａ側から見た斜視図、図１０には第二シート２０を内面２０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図１１には図１０にＸＩ−ＸＩで切断したときの第二シート２０の切断面を示した。また、図１２には図１０にＸＩＩ−ＸＩＩで切断したときの第二シート２０の切断面を示した。
第二シート２０は、内面２０ａ、該内面２０ａとは反対側となる外面２０ｂ及び内面２０ａと外面２０ｂとを渡して厚さを形成する側面２０ｃを備え、内面２０ａ側に作動流体が移動するパターンが形成されている。後述するようにこの第二シート２０の内面２０ａと上記した第一シート１０の内面１０ａとが対向するようにして重ね合わされて接合されることで中空部となり、ここに作動流体が封入されて密閉空間２が形成される。
【００６３】
第二シート２０の厚さは特に限定されることはないが、０．０１ｍｍ以上１．０ｍｍ以下が好ましく、より好ましくは０．０５ｍｍ以上０．２ｍｍ以下である。これにより薄型のベーパーチャンバーとして適用できる場面を多くすることができる。
【００６４】
第二シート２０は本体２１及び注入部２２を備えている。本体２１は作動流体が移動する部位を形成するシート状であり、本形態では平面視で湾曲する部位を有するＬ字型である。
注入部２２は第一シート１０と第二シート２０とにより形成された中空部に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体２１の平面視Ｌ字型から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第二シート２０の注入部２２には内面２０ａ側に注入溝２２ａが形成されており、第二シート２０の側面２０ｃから本体２１の内側（中空部、密閉空間２となるべき部位）に連通している。
【００６５】
本体２１の内面２０ａ側には、作動流体が移動するための構造が形成されている。具体的には、本体２１の内面２０ａ側には、外周接合部２３、外周液流路部２４、内側液流路部２５、蒸気流路溝２６、及び、蒸気流路連通溝２７が具備されている。
【００６６】
外周接合部２３は、本体２１の内面２０ａ側に、該本体２１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部２３が第一シート１０の外周接合部１３に重なって接合（拡散接合やろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部を形成し、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。
図１０、図１１、図１２にＡ２０で示した外周接合部２３の幅は上記した本体１１の外周接合部１３の幅Ａ１０と同じであることが好ましい。
【００６７】
外周液流路部２４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る流路である凝縮液流路３（例えば図１４参照）の一部を構成する部位である。
【００６８】
外周液流路部２４は本体２１の内面２０ａのうち、外周接合部２３の内側に沿って形成され、密閉空間２の外周に沿って環状を成すように形成されている。本形態において第二シート２０の外周液流路部２４は、図１１、図１２からわかるように第一シート１０との接合前において平坦面であり外周接合部２３と面一である。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１４ａのうち少なくとも一部の液流路溝１４ａの開口を閉鎖して凝縮液流路３を形成する。第一シート１０と第二シート２０との組み合わせに関する詳しい態様は後で説明する。
なお、このように第二シート２０では外周接合部２３と外周液流路部２４とが面一であるため、構造的には両者を区別する境界線は存在しない。しかし、わかり易さのため、図９、図１０では点線により両者の境界を表している。
【００６９】
外周液流路部２４は、次のような構成を備えていることが好ましい。
図１０、図１１、図１２に示した外周液流路部２４の幅Ｂ２０は特に限定されることはなく、第一シート１０の外周液流路部１４の幅Ｂ１０と同じでもよいし、異なってもよい。本形態では幅Ｂ１０と幅Ｂ２０とは同じである。
幅Ｂ２０を幅Ｂ１０より小さくした場合、外周液流路部１４のうち少なくとも一部において、液流路溝１４ａの開口が外周液流路部２４により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすく、また、蒸気が出やすいため、より円滑な作動流体の移動をさせることができる。
【００７０】
本形態では第二シート２０の外周液流路部２４は平坦面からなるように構成されているが、これに限らず、外周液流路部１４と同様に液流路溝が設けられてもよい。このときには第一シートの液流路溝と第二シートの液流路溝とが重ね合わされることで凝縮液流路３とすることができる。
【００７１】
また、本形態では第一シートでも説明したように、外周液流路部２４は必ずしも設けられる必要はなく、外周液流路部２４が設けられていない形態であってもよい。
【００７２】
次に内側液流路部２５について説明する。内側液流路部２５も液流路部であり、凝縮液流路３を構成する１つの部位である。
【００７３】
内側液流路部２５は、図９乃至図１２よりわかるように、本体２１の内面２０ａのうち、外周液流路部２４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部２５は、湾曲部を有して延びる凸条であり、複数（本形態では５つ）の内側液流路部２５が延びる方向とは異なる方向に間隔を有して配列され、蒸気流路溝２６の間に配置されている。
本形態で各内側液流路部２５は、その内面２０ａ側の表面が第一シート１０との接合前において平坦面となるように形成されている。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１５ａのうち少なくとも一部の液流路溝１５ａの開口を閉鎖して凝縮液流路３を形成する。
なお、本形態のように内側液流路部２５に凝縮液流路３を形成するための溝が形成されていない場合、第二シート２０の厚さは、第一シート１０の厚さから液流路溝１５ａの深さＧ（図８（ａ）参照）を引いた厚さ以上であることが好ましい。これにより、ベーパーチャンバーにおける第二シート側における破断（破れ）を防止することができる。
【００７４】
本形態では第二シート２０の内側液流路部２５は平坦面からなるように構成されているが、これに限らず、内側液流路部１５と同様に液流路溝が設けられてもよい。このときには第一シートの液流路溝と第二シートの液流路溝とが重ね合わされることで凝縮液流路３とすることができる。
【００７５】
図１０、図１１に示した内側液流路部２５の幅Ｅ２０は特に限定されることはなく、第一シート１０の内側液流路部１５の幅Ｅ１０と同じでもよいし、異なっていてもよい。本形態では幅Ｅ１０と幅Ｅ２０とは同じである。
幅Ｅ２０と幅Ｅ１０とが異なっていると接合時の位置ズレの影響を小さくすることができる。なお、幅Ｅ２０を幅Ｅ１０より小さくした場合には、内側液流路部１５のうち少なくとも一部において、液流路溝１５ａの開口が内側液流路部２５により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすく、また、発生した蒸気が出やすいため、より円滑に作動流体を移動させることができる。
【００７６】
次に蒸気流路溝２６について説明する。蒸気流路溝２６は、蒸気状及び凝縮液状の作動流体が移動する部位であり、蒸気流路４の一部を構成する。図１０には平面視した蒸気流路溝２６の形状、図１１には蒸気流路溝２６の断面形状がそれぞれ表れている。
【００７７】
これら図からもわかるように、蒸気流路溝２６は本体２１の内面２０ａのうち、環状である外周液流路部２４の環の内側に形成された湾曲部を有する溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝２６は、隣り合う内側液流路部２５の間、及び、外周液流路部２４と内側液流路部２５との間に形成された溝である。そして、複数（本形態では６つ）の蒸気流路溝２６が、蒸気流路溝２６が延びる方向とは異なる方向に配列されている。従って、図１０からわかるように第二シート２０は、内側液流路部２５を凸とする凸条が形成され、蒸気流路溝２６を凹とする凹条が形成されて、これらの凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝２６は溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に向かい合う反対側の部位に存する開口と、を備えている。
【００７８】
蒸気流路溝２６は、第一シート１０と組み合わされた際に該第一シート１０の蒸気流路溝１６と厚さ方向に重なる位置に配置されていることが好ましい。これにより蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とで蒸気流路４を形成することができる。
図１０、図１１にＨ２０で示した蒸気流路溝２６の幅は特に限定されることはなく、第一シート１０の蒸気流路溝１６の幅Ｈ１０と同じでもよいし、異なっていてもよい。本形態では幅Ｈ１０と幅Ｈ２０とは同じである。
幅Ｈ２０と幅Ｈ１０とが異なっていると、接合時の位置ズレの影響を小さくすることができる。なお、幅Ｈ２０を幅Ｈ１０より大きくした場合には、内側液流路部１５のうち少なくとも一部において、液流路溝１５ａの開口が内側液流路部２５により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすく、蒸気が出やすいため、より円滑な作動流体の移動をさせることができる。
一方、図１１にＩ２０で示した蒸気流路溝２６の深さは、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。
【００７９】
ここで蒸気流路溝２６は、後で説明するように第一シート１０と組み合わされて蒸気流路４が形成されたときに、蒸気流路４の幅が高さ（厚さ方向大きさ）よりも大きい扁平形状となるように構成されていることが好ましい。そのため、Ｈ２０をＩ２０で除した値で示されるアスペクト比は好ましくは４．０以上、より好ましくは８．０以上である。
【００８０】
本形態で蒸気流路溝２６の断面形状は半楕円形であるが、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、及びこれらの組み合わせ等であってもよい。
【００８１】
蒸気流路連通溝２７は、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７と組み合わされて、蒸気流路溝２６による複数の蒸気流路４の端部を連通する流路を形成する溝である。これにより、内側液流路部２５が延びる方向における蒸気流路４で生じる作動流体の移動がバランス良く行われる。また、蒸気流路４の作動流体の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の移動をより円滑にすることが可能となる。
【００８２】
本形態の蒸気流路連通溝２７は、図１０、図１２からわかるように、内側液流路部２５が延びる方向の両端部及び蒸気流路溝２６が延びる方向の両端部と、外周液流路部２４との間に形成されている。また、図１２には蒸気流路連通溝２７の連通方向に直交する断面が表れている。
【００８３】
図１０、図１２にＪ２０で示した蒸気流路連通溝２７の幅は特に限定されることはなく、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の幅Ｊ１０と同じであってもよいし、幅Ｊ１０と異なっていてもよい。なお、幅Ｊ２０を幅Ｊ１０よりも大きくしたときには、第一シート１０の外周液流路部１４のうち少なくとも一部において、液流路溝１４ａの開口が蒸気流路４の一部を形成するように配置されるため凝縮液が入りやすくなるとともに発生した蒸気が出やすくなり、より円滑に作動流体を移動させることができる。
【００８４】
幅Ｊ２０の大きさは、１００μｍ以上１０００μｍ以下の範囲であることが好ましく、図１２にＫ２０で示した蒸気流路連通溝２７の深さは、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。
【００８５】
本形態で蒸気流路連通溝２７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形及びこれらも組み合わせ等であってもよい。
【００８６】
また、本形態では第二シート２０は、外側液流路部２４、内側液流路部２５、及び蒸気流路溝２６において、これらが延びる方向が変化する部位である湾曲部２８ｃを備えている。すなわち、図１０からわかるように、第二シート２０は、外側液流路部２４、内側液流路部２５、及び蒸気流路溝２６がｘ方向に直線状に延びる直線部２８ａ、外側液流路部２４、内側液流路部２５、及び蒸気流路溝２６がｙ方向に直線状に延びる直線部２８ｂ、及び、直線部２８ａ及び直線部２８ｂにおける外側液流路部２４、内側液流路部２５、及び蒸気流路溝２６を連結する湾曲部２８ｃを備える。従って湾曲部２８ｃは、その一端が一方の直線部２８ａに接続され、他端が他方の直線部２８ｂに接続され、ｘ方向からｙ方向へ、及び、ｙ方向からｘ方向へ流れが向きを変えるように外側液流路部２４、内側液流
路部２５、及び蒸気流路溝２６が湾曲している。
【００８７】
図１０からわかるように、本形態の湾曲部２８ｃでは、外側液流路部２４、内側液流路部２５、及び蒸気流路溝２６は、これらが配列される方向において、内側から外側に向けて湾曲の半径が大きくなるように湾曲するように延びている。
【００８８】
湾曲部２８ｃにおける外側液流路部２４、内側液流路部２５、及び蒸気流路溝２６は、上記した第一シート１０の湾曲部１８ｃと同様に考えることができる。
【００８９】
次に、第一シート１０と第二シート２０とが組み合わされてベーパーチャンバー１とされたときの構造について説明する。この説明により、第一シート１０及び第二シート２０が有する各構成の配置、大きさ、形状等がさらに理解される。
図１３には、図１（ａ）にＸＩＩＩ−ＸＩＩＩで示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバー１を厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は第一シート１０における図４に表した図と、第二シート２０における図１１に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバー１の切断面が表されたものである。
図１４には図１３にＸＩＶで示した部位を拡大した図を表した。
図１５には、図１（ａ）にＸＶ−ＸＶで示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバー１の厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は、第一シート１０における図５（ｂ）に表した図と、第二シート２０における図１２に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバー１の切断面が表されたものである。
【００９０】
図１（ａ）、図１（ｂ）、及び図１３乃至図１５よりわかるように、第一シート１０と第二シート２０とが重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバー１とされている。このとき第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが向かい合うように配置されており、第一シート１０の本体１１と第二シートの本体２１とが重なり、第一シート１０の注入部１２と第二シート２０の注入部２２とが重なっている。
【００９１】
このような第一シート１０と第二シート２０との積層体により、本体１１及び本体２１に具備される各構成が図１３乃至図１５に表れるように配置される。具体的には次の通りである。
【００９２】
本形態のベーパーチャンバー１は、薄型である場合に特にその効果が大きい。かかる観点から図１、図１３にＬ０で示したベーパーチャンバー１の厚さは１ｍｍ以下、より好ましくは０．４ｍｍ以下、さらに好ましくは０．２ｍｍ以下である。０．４ｍｍ以下とすることにより、ベーパーチャンバー１を設置する電子機器において、ベーパーチャンバーを配置するスペースを形成するための加工（例えば溝形成等）をすることなく電子機器内部にベーパーチャンバーを設置できることが多くなる。そして本形態によれば、このような薄いベーパーチャンバーであっても熱的な性能を維持しつつ強度が高く変形に対して強いものとなる。
【００９３】
一方、第一シート１０の外周接合部１３と第二シート２０の外周接合部２３とが重なるように配置されており、拡散接合やろう付け等の接合手段により両者が接合されている。これにより、第一シート１０と第二シート２０との間に密閉空間２が形成されている。
【００９４】
第一シート１０の外周液流路部１４と第二シート２０の外周液流路部２４とが重なるように配置されている。これにより外周液流路部１４の液流路溝１４ａ及び外周液流路部２４により作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる凝縮液流路３が形成される。
同様に、第一シート１０の凸条である内側液流路部１５と第二シート２０の凸条である内側液流路部２５とが重なるように配置されている。これにより内側液流路部１５の液流路溝１５ａ及び内側液流路部２５により凝縮液が流れる凝縮液流路３が形成される。
【００９５】
ここで、凝縮液流路３はベーパーチャンバー１の薄型化に伴い、その断面形状が扁平形状とされていることが好ましい。これにより毛細管力を高めることができ、凝縮液の移動をさらに円滑に行うことができるため、熱輸送能力を高い水準に維持することが可能となる。より具体的には凝縮液流路３の幅を高さで除した値で表される比が１．０より大きく４．０以下であることが好ましい。
このとき、凝縮液流路３の幅は、本形態では液流路溝１５ａの幅Ｆ１に準じるが、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。幅が１０μｍより小さくなると流路抵抗が大きくなり輸送能力が低下する虞がある。一方、幅が３００μｍより大きくなると毛細管力が小さくなるため輸送能力が低下する虞がある。
また、凝縮液流路３の高さは、本形態において液流路溝１５ａの深さＧに準じるが５μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましい。これにより移動に必要な凝縮液流路の毛細管力を十分に発揮することができる。なお、この高さは、凝縮液流路３を挟んで厚さ方向（ｚ方向）一方側及び他方側における第一シート１０及び第二シート２０の厚さ（肉厚）以下であることが好ましい。これにより凝縮液流路３に起因するベーパーチャンバーの破断（破れ）をさらに防止することができる。
【００９６】
本形態では凝縮液流路３の断面形状は液流路溝１４ａ及び液流路溝１５の断面形状により半楕円形であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形及びこれらも組み合わせ等であってもよい。また、三日月形状のようにすることもできる。
【００９７】
なお、本形態では液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａは第一シート１０にのみ設けられているため、凝縮液流路の高さは液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの深さに基づくものとなるが、これに限らず第二シート２０にも液流路溝が設けられてもよい。この場合には第一シートの液流路溝と第二シートの液流路溝とが重なることで凝縮液流路が形成され、両方の液流路溝の深さの合計に準じた凝縮液流路の高さとなる。
【００９８】
このように第一シート及び第二シートに液流路溝を設けてこれを重ねることで凝縮液流路とした場合、図１６（ａ）乃至図１６（ｃ）のように凝縮液流路を構成することができる。
図１６（ａ）の例は、第一シート及び第二シートの液流路溝が同じ幅、同じ位置に配置されている例である。
図１６（ｂ）の例は、第二シートにおける液流路溝の幅が第一シートにおける液流路溝の幅よりも大きくされ位置は一致する例である。この例では凝縮液流路内にＰで示したように凸部ができ、毛細管力を向上させ、凝縮液が移動する力（凝縮液の供給力）を高めることができる。
図１６（ｃ）の例は、第一シート及び第二シートの液流路溝が同じ幅であるが、位置がずれされて配置された例である。この例でも凝縮液流路内にＰで示したように凸部ができ、毛細管力を向上させ、凝縮液が移動する力（凝縮液の供給力）を高めることができる。
【００９９】
また、上記したように凝縮液流路３には連通開口部１４ｃ、及び連通開口部１５ｃが形成されている。これにより複数の凝縮液流路３が連通し、凝縮液の均等化が図られて効率よく凝縮液の移動が行われる。また、蒸気流路４に隣接し、蒸気流路４と凝縮液流路３を連通する連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃについては、蒸気流路４で生じた凝縮液を円滑に凝縮液流路３に移動させ、及び、凝縮液流路３で発生した蒸気を円滑に蒸気流路４に移動させ、作動流体の移動を速やかに行わせることができる。
【０１００】
また、外周液流路部１４、外周液流路部２４により形成される凝縮液流路３は、密閉空間２内の縁に沿って連続して環状に形成されていることが好ましい。すなわち、外周液流路部１４、外周液流路部２４により形成される凝縮液流路３は、他の構成要素によって寸断されることなく１周に亘って環状となって延びていることが好ましい。これにより凝縮液の移動を阻害する要因を減らせることができ、円滑に凝縮液を移動させることができる。
ただし、外周液流路部は必ずしも設けられる必要はなく、ベーパーチャンバーの形状、ベーパーチャンバーが適用される機器との関係、及び、使用環境等の観点から、外周液流路部１４が設けられていない形態としてもよい。この形態では外周部を蒸気流路として、ベーパーチャンバーの外周部まで蒸気により熱を運ぶように構成することができ、一層の均熱化ができる場合がある。
【０１０１】
第一シート１０の蒸気流路溝１６の開口と第二シート２０の蒸気流路溝２６の開口とが向かい合うように重なって流路を形成しこれが蒸気流路４となる。
ここで、蒸気流路４はベーパーチャンバー１の薄型化に伴い、その断面形状が扁平形状とされていることが好ましい。これにより薄型化されても流路内の表面積を確保することが可能とされ、熱輸送能力を高い水準に維持することが可能となる。より具体的には、図１４に表した蒸気流路４の幅ＷＢ、高さＨＢにおいて、ＷＢをＨＢで除した値で表される比が２．０以上であることが好ましい。さらに高い熱輸送能力を確保する観点から、当該比は４．０以上がさらに好ましい。
【０１０２】
図１５からわかるように、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の開口と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の開口とが向かい合うように重なり流路を形成して、蒸気流路溝１６、及び、蒸気流路溝２６により形成される複数の蒸気流路４をその端部を連通させ、作動流体の移動をバランスよく行うための流路になる。
【０１０３】
以上のようにベーパーチャンバー１の密閉空間２には、第一シート１０及び第二シートが有する形状により、凝縮液流路３及び蒸気流路４が形成される。図１７には密閉空間２に形成された凝縮液流路３及び蒸気流路に注目した図を表した。
図１４、図１７等からわかるように、ベーパーチャンバー１は、２つの蒸気流路４の間に、複数の凝縮液流路３が配置されてなる形状を具備する。これにより凝縮液が主要に流れるべき凝縮液流路３と、蒸気及び凝縮液が移動する蒸気流路４とが分離して交互に並ぶような形態となり、作動流体の円滑な移動が助けられる。
【０１０４】
蒸気流路４及び凝縮液流路３により、蒸気流路４では蒸気及び凝縮液の状態である作動流体が移動して効率よく熱の移動及び拡散が行われる。一方、当該蒸気流路４とは分離して設けられた凝縮液流路３により毛細管力で凝縮液が効率よく移動するため、ドライアウトの発生を抑制することが可能となる。
【０１０５】
また、ベーパーチャンバー１では、凝縮液流路３及び蒸気流路４が延びる方向が異なる２つの直線部６が湾曲部７によって連結された態様となる。このような流路を形成することにより、ベーパーチャンバーを電子機器に配置する際に、その配置に関する制約を受け、一直線状のみによる流路を形成することができないときであっても、湾曲部７を設けることで熱源から発生した熱を効率的に離隔した位置にまで移動させることができる。
【０１０６】
この湾曲部７は第一シート１０の湾曲部１８ｃ及び第二シート２０の湾曲部２８ｃにより形成される。従って、湾曲部７は、その一端が一方の直線部６に接続され、他端が他方の直線部６に接続され、ｘ方向からｙ方向へ、及び、ｙ方向からｘ方向へ流れが向きを変えるように凝縮液流路３及び蒸気流路４が湾曲している。
【０１０７】
そして図１７からわかるように、本形態の湾曲部７では、凝縮液流路３及び蒸気流路４は、これら流路が配列される方向において、その配列方向の外側の流路の湾曲の半径が、配列方向の内側の流路の湾曲の半径よりも大きくなるように構成されている。
本形態ではその中でも、これら複数の流路が同心円の円弧を描くように湾曲している。ただしこれに限定されることはなく、円弧の中心が同一でなくてもよい。さらには、本形態では湾曲部７において、長い流路で半径が大きく、これに対して短い流路で半径が小さくなるように構成されている。
【０１０８】
ベーパーチャンバーにおいて、湾曲した流路が複数配列される場合、配列方向の内側ほど流路長さが短く、配列方向の外側ほど流路長さが長くなるため、内側と外側との流動抵抗の差が大きくなる。この流動抵抗の差はベーパーチャンバーにおいて作動流体の移動のバランスを悪くし、十分な熱輸送能力が発揮できない一因となる。これに対して本形態の湾曲部７を備えることにより、特に蒸気流路４において、内側と外側との間の流動抵抗の差を緩和することが可能となる。そしてこれにより作動流体の移動のバランスが向上し、熱輸送能力も高くすることができる。
【０１０９】
また、湾曲部７では、該湾曲部７に属する凝縮液流路３と蒸気流路４とを仕切る壁に設けられた連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃ（図６、図８（ｂ）参照）について、他の部位（直線部６）と異なるように構成することができる。これは湾曲部における連通開口部のピッチを、直線部における連通開口部のピッチよりも大きくしてもよいし、小さくしてもよい。いずれの形態とするかは、ベーパーチャンバーの全体形状、熱源の位置等の影響を考慮し、流動抵抗を下げることができる形態を総合的に判断して採用することができる。または、この湾曲部７については連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを設けなくてもよい。
湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも大きくした形態では、蒸気流路を流れる作動流体が湾曲部で連通開口部へ進入することを防止することができる。湾曲部では蒸気流路を移動する作動流体がその流れにより直接的に連通開口部に流れ込もうする力が働くため、蒸気が凝縮液流路に入り込むことにより、及び、連通開口部の凹凸により流動抵抗が高くなる傾向にある。これに対して、湾曲部で連通開口部のピッチを大きくしたり、開口部をなくしたりすることで、このような流動抵抗の上昇を抑えることができ、蒸気流路ごとの流動抵抗の差をさらに小さくし、作動流体の移動のバランスを向上させ、熱輸送能力を高めることができることがある。
一方、湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも小さくした形態では、湾曲部では蒸気流路を流れる蒸気が壁面に強く当たる機会が増えるため、凝縮し易い傾向にある。このとき湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも小さくした形態とすることで、連通開口部の数を増やし、凝縮液を円滑に凝縮液流路に導入させることができ、蒸気流路が凝縮液で閉塞されることを抑制することが可能となる。これにより流動抵抗の上昇を抑えることができ、蒸気流路ごとの流動抵抗の差をさらに小さくし、作動流体の移動のバランスを向上させ、熱輸送能力を高めることができる場合がある。
【０１１０】
また、湾曲部７では、複数の蒸気流路４でその流路断面積を流路ごとに変更してもよい。具体的には、湾曲の半径が小さい蒸気流路４の流路断面積に対して湾曲の半径が大きい蒸気流路の流路断面積を大きくしてもよい。これにより、蒸気の移動距離が長い、湾曲の半径が大きい蒸気流路の流動抵抗を下げることができる。そのために蒸気流路の幅を変えたり、蒸気流路の高さを変えたりすることができる。
これとは反対に、湾曲の半径が大きい蒸気流路の流路断面積に対して湾曲の半径が小さい蒸気流路の流路断面積を大きくしてもよい。これにより、半径が小さいことによる、湾曲部の流動抵抗を下げることができる。そのために蒸気流路の幅を変えたり、蒸気流路の高さを変えたりすることができる。
さらに、中央の蒸気流路に対し、半径の大きい蒸気流路と半径の小さい蒸気流路の流路断面積を大きくしてもよい。
ここで「流路断面積」は、流路が延びる方向に直交する面における流路の断面積である。
以上のような手段によっても複数の蒸気流路の流動抵抗の差を小さくすることが可能となり、作動流体の移動のバランスを向上させ、熱輸送能力を高めることができる。
【０１１１】
また、湾曲部７では、直線部６に対して蒸気流路４の流路断面積を大きくしてもよい。これによれば、形状的に直線部６に比べて流動抵抗が大きい湾曲部７における流動抵抗を下げることができ、ベーパーチャンバー全体として流動抵抗が小さくなるため、作動流体の移動がより円滑となって熱輸送能力を高めることができる。
【０１１２】
一方、注入部１２、注入部２２についても図１に表れているように、その内面１０ａ、内面２０ａ同士が向かい合うように重なり、第二シート２０の注入溝２２ａの底部とは反対側の開口が第一シート１０の注入部１２の内面１０ａより塞がれ、外部と本体１１、本体２１間の中空部（凝縮液流路３及び蒸気流路４）とを連通する注入流路５が形成されている。
ただし、注入流路５から中空部に対して作動流体を注入した後は、注入流路５は閉鎖されて密閉空間２となるので、最終的な形態のベーパーチャンバー１では外部と密閉空間２とは連通していない。
【０１１３】
そしてベーパーチャンバー１の密閉空間２には、作動流体が封入されている。作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン等、通常のベーパーチャンバーに用いられる作動流体を用いることができる。
【０１１４】
以上のようなベーパーチャンバーは例えば次のように作製することができる。
【０１１５】
第一シート１０を構成する材料からなり第一シート１０の外周形状を有するシート、及び、第二シート２０を構成する材料からなり第二シート２０の外周形状を有するシートを準備する。これらシートに対して上記説明した、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、蒸気流路溝１６、蒸気流路溝２６、蒸気流路連通溝１７、蒸気流路連通溝２７をハーフエッチングにより形成する。ここでハーフエッチングとは、エッチングにより厚さ方向を貫通させることなく厚さ方向の途中までエッチングによる材料の除去を行い、溝や窪みを形成することである。
【０１１６】
次いで、第一シート１０の形状を有するエッチング済みのシート、及び、第二シート２０の形状を有するエッチング済みのシートの、内面１０ａと内面２０ａとを向かい合わせるように重ねて仮止めを行う。仮止めの方法は特に限定されることはないが、抵抗溶接、超音波溶接、及び接着剤による接着等を挙げることができる。
そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的にこれらシートを接合する。なお、拡散接合の代わりにろう付けにより接合してもよい。ただし、本形態のように厚さが薄いベーパーチャンバーの場合、ここに具備される凝縮液流路、蒸気流路が細いため、ろう付けを用いた場合にはろう材がこれらの流路に侵入する虞がある。そして流路には上記したように強い毛細管力が働くため、ろう材が流路の広い範囲に広がる虞もある。かかる観点からこのような問題が生じない拡散接合、超音波接合などの溶接による接合が好ましい。
【０１１７】
接合の後、形成された注入流路５から真空引きを行い、中空部内を減圧する。その後、減圧された中空部に対して注入流路５から作動流体を注入して中空部２に作動流体が入れられる。そして注入部１２、注入部２２に対してレーザーによる溶融を利用したり、かしめたりして注入流路５を閉鎖する。これにより密閉空間２となり、その内側に作動流体が安定的に保持されてベーパーチャンバー１となる。
【０１１８】
次にベーパーチャンバー１が作動したときの作用について説明する。図１８には電子機器の一形態である携帯型端末４０の内側にベーパーチャンバー１が配置された状態を模式的に表した。ここではベーパーチャンバー１は携帯型端末４０の筐体４１の内側に配置されているため点線で表している。このような携帯型端末４０は、各種電子部品を内包する筐体４１、及び、筐体４１の開口部を通して外部に画像が見えるように露出したディスプレイユニット４２を備えて構成されている。そしてこれら電子部品の１つとして、ベーパーチャンバー１により冷却すべき電子部品３０が筐体４１内に配置されている。
【０１１９】
ベーパーチャンバー１は携帯型端末等の筐体内に設置され、ＣＰＵ等の冷却すべき対象物である電子部品３０に取り付けられる。電子部品３０はベーパーチャンバー１の外面１０ｂ又は外面２０ｂに直接、又は、熱伝導性の高い粘着剤、シート、テープ等を介して取り付けられる。
【０１２０】
図１９には作動流体の挙動を説明する図を表した。説明のし易さのため、この図は図１７と同じ視点による図で、密閉空間２内に形成された凝縮液流路３及び蒸気流路４に注目した図である。
電子部品３０が発熱すると、その熱が第一シート１０内を熱伝導により伝わり、密閉空間２内における電子部品３０に近い位置に存在する凝縮液が熱を受ける。この熱を受けた凝縮液は熱を吸収し蒸発し気化する。これにより電子部品３０が冷却される。
【０１２１】
気化した作動流体は蒸気となって、蒸気流路４を移動する。気化した作動流体の移動は、図１９に実線の直線矢印で示したように蒸気流路４内を振動するように移動する場合や、図示はしていないが振動することなく熱源である電子部品３０から離隔する一方向に移動する場合もある。
このとき、蒸気流路４には湾曲部７の湾曲した部位が含まれているが、湾曲部７が上記構成を備えているので、流路長さが異なっていても流動抵抗の差が緩和されており、バランス良く作動流体が蒸気流路４を移動する。これにより高い熱輸送能力を発揮することができる。
そして作動流体の当該移動の際に、作動流体は順次第一シート１０及び第二シート２０に熱を奪われながら冷却される。蒸気から熱を奪った第一シート１０及び第二シート２０はその外面１０ｂ、外面２０ｂに接触した携帯型端末装置の筐体等に熱を伝え、最終的に熱は外気に放出される。そして、蒸気流路４を移動しつつ熱を奪われた作動流体は凝縮して液化する。
【０１２２】
蒸気流路４に生じた凝縮液の一部は、連通開口部等から凝縮液流路３に移動する。本形態の凝縮液流路３は連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを備えているので、凝縮液はこの連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを通って複数の凝縮液流路３に分配される。
【０１２３】
凝縮液流路３に入った凝縮液は、凝縮液流路による毛細管力により、図１９に点線の直線矢印で表したように熱源である電子部品３０に近づくように移動する。そして再度熱源である電子部品３０からの熱により気化して上記を繰り返す。
【０１２４】
以上のように、ベーパーチャンバー１によれば、蒸気流路の作動流体の移動、及び、凝縮液流路における高い毛管力で、作動流体の移動が円滑で良好になり、熱輸送能力を高めることができる。
また、ベーパーチャンバー１では湾曲部７を有する流路を形成することにより、ベーパーチャンバーを電子機器に配置する際に、その配置に関する制約を受け、一直線状のみによる流路を形成することができないときであっても、熱源から発生した熱を効率的に離隔した位置にまで移動させることができる。
そして、当該湾曲部７では上記のように複数の蒸気流路４で流動抵抗の差が低くなるように構成されているので、バランスよく作動流体を移動させることができ、熱輸送能力を高めることができる。
【０１２５】
図２０乃至図２７は、第二の形態にかかるベーパーチャンバー２０１を説明する図である。図２０はベーパーチャンバー２０１の外観斜視図、図２１はベーパーチャンバー２０１の分解斜視図である。
【０１２６】
ベーパーチャンバー２０１は、図２０、図２１からわかるように第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０を有している。そして、この第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０が重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより、第一シート２１０と第二シート２２０との間で、第一シート２１０、第二シート２２０、及び第三シート２３０に囲まれる密閉空間２０２が形成され（図２５参照）、この密閉空間２０２に作動流体が封入されている。
【０１２７】
本形態で第一シート２１０は全体としてシート状の部材である。第一シート２１０は表裏とも平坦な面により構成されており、内面２１０ａ、該内面２１０ａとは反対側となる外面２１０ｂ、及び、内面２１０ａと外面２１０ｂとを渡して厚さを形成する側面２１０ｃを備える。
【０１２８】
第一シート２１０は本体２１１及び注入部２１２を備えている。本体２１１は作動流体が移動する密閉空間を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角が円弧（いわゆるＲ）にされた長方形である。
注入部２１２は第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０により形成された密閉空間に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体２１１の平面視Ｌ字型から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート２１０の注入部２１２は内面２１０ａ側も外面２１０ｂ側も平坦面とされている。
【０１２９】
本形態で第二シート２２０は全体としてシート状の部材である。第二シート２２０は表裏とも平坦な面により構成されており、内面２２０ａ、該内面２２０ａとは反対側となる外面２２０ｂ、及び、内面２２０ａと外面２２０ｂとを渡して厚さを形成する側面２２０ｃを備える。
【０１３０】
そして第二シート２２０も本体２２１及び注入部２２２を有している。
【０１３１】
本形態で第三シート２３０は、第一シート２１０の内面２１０ａと第二シート２２０の内面２２０ａとの間に挟まれて重ねられるシートであり、本体２３１に作動流体が移動するための構造が形成されている。図２２には第三シート２３０を平面視した図を表した。図２４（ａ）は第二シート２２０に重ねられる面の図、図２４（ｂ）は第一シート２１０に重ねられる面の図である。また図２３には図２２（ａ）にＸＸＩＩ−ＸＸＩＩで示した線に沿った切断面、図２４には図２２（ａ）にＸＸＩＩＩ−ＸＸＩＩＩで示した線に沿った切断面をそれぞれ示した。
【０１３２】
第三シート２３０は本体２３１及び注入部２３２を備えている。本体２３１は作動流体が移動する密閉空間を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で湾曲部を有するＬ字状である。
注入部２３２は第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０により形成された密閉空間に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体２３１の平面視Ｌ字型から突出する平面視四角形のシート状である。注入部２３２には、第一シート２１０に重なる面側に注入溝２３２ａが形成されている。注入溝２３２ａは上記した注入溝２２ａと同様に考えることができる。
【０１３３】
本体２３１は、外周接合部２３３、外周液流路部２３４、内側液流路部２３５、蒸気流路スリット２３６、及び、蒸気流路連通溝２３７が具備されている。
【０１３４】
外周接合部２３３は、本体２３１の外周に沿って形成された部位である。そして外周接合部２３３のうち一方の面が第一シート２１０の面に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）され、他方の面が第二シート２２０の面に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）される。これにより、第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０に囲まれた密閉空間２０２が形成され、ここに作動流体が封入される。
外周接合部２３３は上記した外周接合部１３と同様に考えることができる。
【０１３５】
外周液流路部２３４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。外周液流路部２３４は本体２３１のうち外周接合部２３３の内側に沿って形成され、密閉空間２０２の外周に沿って環状となるように設けられている。そして外周液流路部２３４のうち、第二シート２２０に対向する側の面には液流路溝２３４ａが形成されている。本形態では液流路溝２３４ａは第二シート２２０に対向する側の面にのみ設けられているが、これに加えて外周液流路部２３４の第一シート２１０に対向する側の面にも液流路溝が設けられてもよい。
外周液流路部２３４、及び、ここに具備される液流路溝２３４ａは上記した外周液流路部１４、及び、液流路溝１４ａと同様に考えることができる。
【０１３６】
内側液流路部２３５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る凝縮液流路３の一部を構成する部位である。内側液流路部２３５は本体２３１のうち、環状である外周液流路部２３４の環の内側に湾曲部を有して延びるよう形成されている。そして、複数（本形態では５つ）の内側液流路部２３５が当該延びる方向とは異なる方向に配列され、蒸気流路スリット２３６の間に配置されている。
【０１３７】
内側液流路部２３５のうち、第二シート２２０に対向する側の面には、内側液流路部２３５が延びる方向に平行な溝である液流路溝２３５ａが形成されている。内側液流路部２３５及び液流路溝２３５ａは、上記した内側液流路部１５及び液流路溝１５ａと同様に考えることができる。
本形態では液流路溝２３５ａは第二シート２２０に対向する側の面にのみ設けられているが、これに加えて内側液流路部２３５の第一シート２１０に対向する側の面にも液流路溝が設けられてもよい。
【０１３８】
蒸気流路スリット２３６は、蒸気状及び凝縮液状の作動流体が移動する部位で、蒸気流路４を構成するスリットである。蒸気流路スリット２３６は本体２３１のうち、環状である外周液流路部４３４の環の内側に形成された、湾曲部を有するスリットにより構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路スリット２３６は、隣り合う内側液流路部２３５の間、及び、外周液流路部２３４と内側液流路部２３５との間に形成されたスリットである。従って蒸気流路スリット２３６は第三シート２３０の厚さ方向（ｚ方向）に貫通している。
そして、複数（本形態では６つ）の蒸気流路スリット２３６が、延びる方向とは異なる方向に配列されている。従って、図２３からわかるように第三シート２３０は、外周液流路部２３４及び内側液流路部２３５と蒸気流路スリット２３６とが交互に繰り返された形状を備えている。
【０１３９】
このような蒸気流路スリット２３６は、上記した蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とが組み合わされて形成される蒸気流路４の態様と同様に考えることができる。
【０１４０】
本形態では蒸気流路スリット２３６の断面形状は楕円の円弧の一部同士が重なるようにして形成された形状で、厚さ方向中央が突出する形であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、三日月形、及びこれらの組み合わせ等のように他の形態であってもよい。
【０１４１】
蒸気流路連通溝２３７は、複数の蒸気流路スリット２３６を連通させる流路を形成する溝である。これにより、内側液流路部２３５が延びる方向における蒸気流路で生じる作動流体の移動のバランスを取ることができる。
また、これにより蒸気流路にある作動流体の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの液流路溝２３４ａ、液流路溝２３５ａによる凝縮液流路を効率よく利用できるようになったりもする。
【０１４２】
本形態の蒸気流路連通溝２３７は、内側液流路部２３５が延びる方向の両端部及び蒸気流路スリット２３６が延びる方向の両端部と、外周液流路部２３４との間に形成されている。蒸気流路連通溝２３７は、隣り合う蒸気流路スリット２３６を連通させることができればよく、その形状は特に限定されることはないが、上記した蒸気流路連通溝１７と蒸気流路連通溝２７とを重ねて形成された流路と同様に考えることができる。
【０１４３】
また第三シート２３０についても、ベーパーチャンバー２０１が密閉空間２０２において凝縮液流路３及び蒸気流路４が直線部と湾曲部とを有するように、直線部２３８ａ、直線部２３８ｂ、及び湾曲部２３８ｃを具備してなる。これら直線部及び湾曲部の考え方はここまで説明したものと同様である。
【０１４４】
このような第三シート２３０は、両面ごとに個別になされるエッチング、両面から同時のエッチング、プレス加工、又は、切削加工などにより作製することが可能である。
【０１４５】
図２５乃至図２７には、第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０が組み合わされてベーパーチャンバー２０１とされたときの構造について説明する図を表した。図２５には図２０にＸＸＩＶ−ＸＸＩＶで示した線に沿った切断面、図２６には図２５の一部を拡大した図を表した。また図２７には図２０にＸＸＶＩ−ＸＸＶＩで示した線に沿った切断面を表した。
【０１４６】
図２０、及び、図２５乃至図２７よりわかるように、第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０が重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバー２０１とされている。このとき第一シート２１０の内面２１０ａと第三シート２３０の一方の面（液流路溝２３４ａ、液流路溝２３５ａが配置されていない側の面）とが向かい合うように配置され、第二シート２２０の内面２２０ａと第三シート２３０の他方の面（液流路溝２３４ａ、液流路溝２３５ａが配置された側の面）とが向かい合うように重ねられる。同様にして各シートの注入部２１２、２２２、２３２も重ねられる。
【０１４７】
これにより、第一シート２１０と第二シート２２０との間には、第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０で囲まれる中空部が形成されてここに作動流体が密閉されていることにより密閉空間２０２が形成される。これが凝縮液流路３、及び、蒸気流路４となる。これら密閉空間２０２内における凝縮液流路３及び蒸気流路４の形態については、上記したベーパーチャンバー１と同様の考え方を適用することができる。
本形態では外周液流路部２３４及び内側液流路部２３５のうち厚さ方向の一方側のみに凝縮液流路３が形成された例であるが、これに限らず外周液流路部２３４及び内側液流路部２３５のうち厚さ方向の他方側にも凝縮液流路が形成されてもよい。
【０１４８】
なお、上記形態では２つの直線部が９０度で交差してＬ字型となるように延びる場合の交差部分に湾曲部を有するベーパーチャンバーについて説明した。ただし湾曲の形態はこれに限定されず他の形態であっても上記説明の湾曲部の態様を適用することが可能である。例えば、２つの直線部がＴ字に交差する方向に延びる場合の交差部分、２つの直線部が十字に交差する方向に延びる場合の交差部分、２つの直線が鋭角（９０度より小さい角度）で交差してＶ字型となるように延びる場合の交差部分、及び、２つの直線が鈍角（９０度より大きい角度）で交差してＶ字型となるように延びる場合の交差部分の各交差部分にも上記した湾曲部を適用することができる。
【符号の説明】
【０１４９】
１  ベーパーチャンバー
２  密閉空間
３  凝縮液流路
４  蒸気流路
１０  第一シート
１１  本体
１２  注入部
１３  外周接合部
１４  外周液流路部
１４ａ  液流路溝
１４ｃ  連通開口部
１５  内側液流路部
１５ａ  液流路溝
１５ｃ  連通開口部
１６  蒸気流路溝
１７  蒸気流路連通溝
２０  第二シート
２１  本体
２２  注入部
２３  外周接合部
２４  外周液流路部
２５  内側液流路部
２６  蒸気流路溝
２７  蒸気流路連通溝
２３０  第三シート
２３６  蒸気流路スリット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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