(57)【要約】【課題】配管を流れる液体とともに移動する気泡の通過を簡単に検出する。【解決手段】気泡検知部８を設け、ヒータ指令値ＭＶの変動に基づいて、配管２を流れる液体とともに移動する気泡の通過を検出する。例えば、ヒータ指令値ＭＶの変動率γを周期的に求め、この変動率γが減少率αであるのか増加率βであるのかを判断し、減少率αが閾値αｔｈ以上となった後、増加率βが閾値βｔｈ以上となるまでの時間を変動時間Ｔとして測定し、この測定された変動時間Ｔと許容変動時間Ｔｔｈとを比較し、測定された変動時間が許容変動時間Ｔｈよりも短かった場合に気泡が通過したと判断する。なお、センサ出力Ｓの変動に基づいて気泡の通過を検出するようにしてもよく、許容変動時間Ｔｔｈは一定値としてもよく、流速ｖに応じて定めるようにしてもよい。【選択図】  図１
2020008508.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象の液体が流れるように構成された配管と、
前記配管に設置され、電力の供給を受けて発熱するように構成されたヒータと、
前記ヒータよりも上流側に設置され、前記液体の温度を検出するように構成された温度センサと、
前記ヒータの抵抗値変化から検出される前記ヒータの発熱温度と前記温度センサによって検出される液体の温度との温度差を求め、この温度差が一定値となるようなヒータ指令値を求め、このヒータ指令値に基づいて前記ヒータへ供給する電力を制御するように構成された制御部と、
前記制御部によって前記温度差が一定値となるように制御されている時の前記液体における熱拡散の状態に対応する値をセンサ出力として出力するように構成されたセンサ出力部と、
前記センサ出力部からのセンサ出力に基づいて前記配管を流れる液体の流量を求めるように構成された流量算出部と、
前記ヒータ指令値あるいは前記センサ出力の変動に基づいて前記配管を流れる液体とともに移動する気泡の通過を検出するように構成された気泡検知部と
を備えることを特徴とする熱式流量計。
【請求項２】
請求項１に記載された熱式流量計において、
前記気泡検知部は、
前記ヒータ指令値あるいは前記センサ出力の変動率を周期的に求めるように構成された変動率算出部と、
前記変動率算出部によって求められる変動率が減少率であるのか増加率であるのかを判断し、減少率が第１の閾値以上となった後、増加率が第２の閾値以上となるまでの時間を変動時間として測定するように構成された変動時間測定部と、
前記変動時間測定部によって測定された変動時間と予め定められている許容変動時間とを比較し、測定された変動時間が許容変動時間よりも短かった場合に前記気泡が通過したと判断するように構成された変動時間比較部と
を備えることを特徴とする熱式流量計。
【請求項３】
請求項１に記載された熱式流量計において、
前記気泡検知部は、
前記ヒータ指令値あるいは前記センサ出力の変動率を周期的に求めるように構成された変動率算出部と、
前記変動率算出部によって求められる変動率が減少率であるのか増加率であるのかを判断し、減少率が第１の閾値以上となった後、増加率が第２の閾値以上となるまでの時間を変動時間として測定するように構成された変動時間測定部と、
前記変動時間測定部によって測定された変動時間と前記配管内を流れる液体の流速に応じて定められる許容変動時間とを比較し、測定された変動時間が許容変動時間よりも短かった場合に前記気泡が通過したと判断するように構成された変動時間比較部と
を備えることを特徴とする熱式流量計。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか１項に記載された熱式流量計において、
前記センサ出力部は、
前記制御部によって前記温度差が一定値となるように制御されている時の前記ヒータへの供給電力を前記センサ出力として出力する
ことを特徴とする熱式流量計。
【請求項５】
請求項１〜３の何れか１項に記載された熱式流量計において、
前記センサ出力部は、
前記制御部によって前記温度差が一定値となるように制御されている時の前記ヒータの上下流の液体の温度差を前記センサ出力として出力する
ことを特徴とする熱式流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体における熱拡散の作用を利用して配管を流れる流体の流量を測定する熱式流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、流路を流れる流体の流量や流速を測定する技術が工業・医療分野などで幅広く利用されている。流量や流速を測定する装置としては、電磁流量計、渦流量計、コリオリ式流量計、熱式流量計など様々な種類があり、用途に応じて使い分けられている。
【０００３】
熱式流量計は、気体の検出が可能であり、圧力損失が基本的にはなく、質量流量が測定できるなどの利点がある。また、流路をガラス管から構成することで、腐食性の液体の流量を測定可能とした熱式流量計も用いられている（特許文献１，２参照）。このような液体の流量を測定する熱式流量計は、微量な流量の測定に適している。
【０００４】
熱式流量計には、ヒータへの供給電力をセンサ出力とする方式（方式１）と、ヒータの上下流の温度差をセンサ出力とする方式（方式２）とがある。例えば、流体を水とし、この水の流量を測定する場合、ヒータ温度を水温に対し、プラス１０℃など一定温度となるようにヒータへの供給する電力を制御し、この時のヒータへの供給電力またはヒータの上下流の温度差をセンサ出力（流体における熱拡散の状態に対応する値）とし、このセンサ出力から水の流量を求める。
【０００５】
〔方式１〕
図１１は、ヒータへの供給電力から流体の流量を測定する熱式流量計の原理（方式１）を説明する図である。この方式１では、測定対象の流体が流れる配管１００に水温センサ（測温素子）１０１とヒータ（発熱・測温素子）１０２とを設置し、ヒータ１０２の抵抗値変化から検出される温度（発熱温度）ＴＲｈと水温センサ１０１が検出する温度（水温）ＴＲｒとの温度差が一定値（ＴＲｈ−ＴＲｒ＝Ｃｏｎｓｔ）になるようにヒータ１０２へ供給する電力Ｐを制御する。このとき、流体の流量Ｑとヒータ１０２への供給電力Ｐとは、Ｑ∝Ｐの関係となるため、ヒータ１０２への供給電力Ｐから流量Ｑを算出することができる。
【０００６】
〔方式２〕
図１２は、ヒータの上下流の温度差から流体の流量を測定する熱式流量計の原理（方式２）を説明する図である。この方式２では、測定対象の流体が流れる配管１００に水温センサ（測温素子）１０１と、ヒータ（発熱・測温素子）１０２と、上流温度センサ（測温素子）１０３と、下流温度センサ（測温素子）１０４とを設置し、ヒータ１０２の抵抗値変化から検出される温度（発熱温度）ＴＲｈと水温センサ１０１が検出する温度（水温）ＴＲｒとの温度差が一定値（ＴＲｈ−ＴＲｒ＝Ｃｏｎｓｔ）になるようにヒータ１０２へ供給する電力Ｐを制御する。このとき、上流温度センサ１０３が検出する流体の温度ＴＲｕと下流温度センサ１０４が検出する流体の温度ＴＲｄとの温度差（ＴＲｕ−ＴＲｄ）とは、Ｑ∝（ＴＲｕ−ＴＲｄ）の関係となるため、ヒータ１０２の上下流の温度差（ＴＲｕ−ＴＲｄ）から流量Ｑを算出することができる。
【０００７】
なお、上述した方式１では、ヒータ１０２への供給電力Ｐがセンサ出力とされ、上述した方式２では、ヒータ１０２の上下流の温度差（ＴＲｕ−ＴＲｄ）がセンサ出力とされる。ここで、センサ出力をＳとした場合、このセンサ出力Ｓは、簡易的には下記の(１)式で表されることが知られている。
【０００８】
Ｓ＝（Ａ＋Ｂ・μ1/2）・ΔＴ  ・・・・（１）
【０００９】
この（１）式において、Ａ，Ｂは水温センサ１０１やヒータ１０２などの面積、流体の熱伝導率、流体の密度、流体の粘度、熱容量等から決まる定数、μは流速、ΔＴはヒータ１０２の加熱温度（水温からの加熱温度）である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００６−０１０３２２号公報
【特許文献２】特表２００３−５３２０９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
このような熱式流量計において、流体を液体とした場合、この液体に気泡が含まれると、気泡により熱伝導率が小さくなり、見かけ上流量が少なくなったような計測値となる。配管内を流れる液体に気泡が含まれているかどうかを検出することができれば、見かけ上の流量の変動と区別することができ有用である。配管内に液体が存在しない状態であることは、すなわち配管内が空の状態であることは、熱の伝導率が一定より小さくなったことで判定することができ、比較的容易である。しかしながら、気泡は配管内を流れる液体とともに移動していて、センサ部を通過する時間は数十から数百ミリ秒である。このため、熱の伝導率を一定のしきい値で判断することはできず、気泡の通過を検出することは難しい。
【００１２】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、配管内を流れる液体とともに移動する気泡の通過を簡単に検出することが可能な熱式流量計を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような目的を達成するために本発明は、測定対象の液体が流れるように構成された配管（２）と、配管に設置され、電力の供給を受けて発熱するように構成されたヒータ（３）と、ヒータよりも上流側に設置され、液体の温度を検出するように構成された温度センサ（４）と、ヒータの抵抗値変化から検出されるヒータの発熱温度（ＴＲｈ）と温度センサによって検出される液体の温度（ＴＲｒ）との温度差（ＴＲｈ−ＴＲｒ）を求め、この温度差が一定値となるようなヒータ指令値（ＭＶ）を求め、このヒータ指令値に基づいてヒータへ供給する電力を制御するように構成された制御部（５）と、制御部によって温度差が一定値となるように制御されている時の液体における熱拡散の状態に対応する値をセンサ出力（Ｓ）として出力するように構成されたセンサ出力部（６，１１）と、センサ出力部からのセンサ出力に基づいて配管を流れる液体の流量（Ｑ）を求めるように構成された流量算出部（７）と、ヒータ指令値（ＭＶ）あるいはセンサ出力（Ｓ）の変動に基づいて配管を流れる液体とともに移動する気泡の通過を検出するように構成された気泡検知部（８）とを備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明では、ヒータ指令値あるいはセンサ出力の変動に基づいて、配管を流れる液体とともに移動する気泡の通過を検出する。例えば、ヒータ指令値あるいはセンサ出力の変動率（γ）を周期的に求め、この求められる変動率が減少率（α）であるのか増加率（β）であるのかを判断し、減少率が第１の閾値（αｔｈ）以上となった後、増加率が第２の閾値（βｔｈ）以上となるまでの時間を変動時間（Ｔ）として測定し、この測定された変動時間と予め定められている許容変動時間（Ｔｔｈ）とを比較し、測定された変動時間が許容変動時間よりも短かった場合に気泡が通過したと判断する。
【００１５】
なお、上記説明では、一例として、発明の構成要素に対応する図面上の構成要素を、括弧を付した参照符号によって示している。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように、本発明によれば、ヒータ指令値あるいはセンサ出力の変動に基づいて、配管内を流れる液体とともに移動する気泡の通過を検出するようにしたので、ヒータ指令値あるいはセンサ出力の変動率を周期的に求め、この求められる変動率が減少率であるのか増加率であるのかを判断し、減少率が第１の閾値以上となった後、増加率が第２の閾値以上となるまでの時間を変動時間として測定し、この変動時間が許容変動時間よりも短かった場合に気泡が通過したと判断するなどして、配管内を流れる液体とともに移動する気泡の通過を簡単に検出することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１に係る熱式流量計の要部の構成を示すブロック図である。
【図２】図２は、気泡が通過した時のヒータ指令値ＭＶの変化を例示する図である。
【図３】図３は、実施の形態１の熱式流量計における気泡検知部で行われる処理動作を示すフローチャートである。
【図４】図４は、本発明の実施の形態２に係る熱式流量計の要部の構成を示すブロック図である。
【図５】図５は、変動時間Ｔと配管内を流れる液体の流速ｖとの関係を示す図である。
【図６】図６は、実施の形態２の熱式流量計における気泡検知部で行われる処理動作を示すフローチャートである。
【図７】図７は、本発明を方式２に適用した場合の実施の形態１に対応する例を示す図である。
【図８】図８は、本発明を方式２に適用した場合の実施の形態２に対応する例を示す図である。
【図９】図９は、センサ出力Ｓの変動に基づいて気泡の通過を検出するようにした例（実施の形態１に対応する例）を示す図である。
【図１０】図１０は、センサ出力Ｓの変動に基づいて気泡の通過を検出するようにした例（実施の形態２に対応する例）を示す図である。
【図１１】図１１は、ヒータへの供給電力から流体の流量を測定する熱式流量計の原理（方式１）を説明する図である。
【図１２】図１２は、ヒータの上下流の温度差から流体の流量を測定する熱式流量計の原理（方式２）を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１９】
〔実施の形態１〕
図１は、本発明の実施の形態１に係る熱式流量計１（１Ａ）の要部の構成を示すブロック図である。この熱式流量計１Ａは、プロセッサや記憶装置からなるハードウェアと、これらのハードウェアと協働して各種機能を実現させるプログラムとによって実現され、配管２と、ヒータ（発熱・測温素子）３と、水温センサ（測温素子）４と、制御部５と、電力計測部（センサ出力部）６と、流量算出部７と、気泡検知部８とを備えている。
【００２０】
配管２は、例えばガラスからなり、測定対象の液体（この例では、水）が流れる。ヒータ３は、配管２の外壁に設置され、制御部５からの電力の供給を受けて発熱する。
【００２１】
水温センサ４は、ヒータ３よりも上流側の配管２の外壁に設置されており、配管２を流れる液体の温度をＴＲｒとして検出する。この水温センサ４は、ヒータ３と水温センサ４の距離をある程度離すことにより、ヒータ３の熱影響を受けない位置に設置されている。この水温センサ４が検出する液体の温度ＴＲｒは制御部５へ送られる。
【００２２】
制御部５は、ＰＩＤ制御演算部５１と、制御出力部５２とを備えている。ＰＩＤ制御演算部５１は、ヒータ３の抵抗値変化から検出されるヒータ３の発熱温度ＴＲｈと、水温センサ４からの液体の温度ＴＲｒとを入力とし、発熱温度ＴＲｈと液体の温度ＴＲｒとの温度差（ＴＲｈ−ＴＲｒ）を求め、この温度差が一定値（例えば、１０℃）となるようなヒータ指令値ＭＶを生成する。制御出力部５２は、ＰＩＤ制御演算部５１からのヒータ指令値ＭＶを入力とし、このヒータ指令値ＭＶに基づいてヒータ３へ供給する電力を制御する。
【００２３】
電力計測部６は、制御部５によって温度差（ＴＲｈ−ＴＲｒ）が一定値となるように制御されている時のヒータ３への供給電力Ｐを計測し、この計測した供給電力Ｐをセンサ出力（液体における熱拡散の状態に対応する値）Ｓとして流量算出部７へ送る。
【００２４】
流量算出部７は、電力計測部６からのセンサ出力Ｓ（供給電力Ｐ）を、予め設定されている流量変換式を用いて流量の値に変換することにより、配管２を流れる液体の流量（瞬時流量）Ｑを求める。
【００２５】
気泡検知部８は、変動率算出部８１と、変動時間測定部８２と、許容変動時間記憶部８３と、変動時間比較部８４とを備えている。この気泡検知部８において、変動率算出部８１は、ＰＩＤ制御演算部５１からのヒータ指令値ＭＶを入力とし、このヒータ指令値ＭＶの変動率（勾配）γを所定の周期（例えば、３〜６ｍsec 周期）で求める。変動時間測定部８２は、変動率算出部８１によって求められる変動率γを入力とし、この変動率γが減少率αであるのか増加率βであるのかを判断し、減少率αが所定の閾値αｔｈ以上となった後、増加率βが所定の閾値βｔｈ以上となるまでの時間を変動時間Ｔとして測定する。
【００２６】
図２に気泡が通過した時のヒータ指令値ＭＶの変化を例示する。配管２を流れる液体の移動とともに気泡が通過する場合、ヒータ指令値ＭＶは一時的に減少した後、すぐに増加する。変動時間測定部８２は、この気泡が通過する際の、ヒータ指令値ＭＶの減少してから増加するまでの時間間隔を変動時間Ｔとして測定する。
【００２７】
変動時間比較部８４は、変動時間測定部８２において測定された変動時間Ｔを入力とし、この変動時間Ｔと許容変動時間記憶部８３に記憶されている許容変動時間Ｔｔｈとを比較し、測定された変動時間ｔが許容変動時間Ｔｔｈよりも短かった場合に気泡が通過したと判断する。
【００２８】
なお、この実施の形態では、気泡が通過する際の許容変動時間Ｔｔｈとして、予め定められた所定の値（一定値）を許容変動時間記憶部８３に記憶させている。この許容変動時間記憶部８３に記憶させる許容変動時間Ｔｔｈは実験を繰り返すことにより定められたものである。
【００２９】
図３に、気泡検知部８で行われる処理動作のフローチャートを示す。気泡検知部８は、このフローチャートに示される処理動作を定周期で繰り返す。
【００３０】
気泡検知部８において、変動率算出部８１は、ＰＩＤ制御演算部５１からのヒータ指令値ＭＶを取り込み（ステップＳ１０１）、このヒータ指令値ＭＶの変動率γを算出する（ステップＳ１０２）。変動時間測定部８２は、この変動率γが減少方向の変動率であるのか、増加方向の変動率であるのかを判断する（ステップＳ１０３）。
（ステップＳ１０８）。
【００３１】
配管２を流れる液体の移動とともに気泡が通過する場合、図２に示されるように、ヒータ指令値ＭＶは一時的に減少した後、すぐに増加する。このため、気泡の通過に際しては、ヒータ指令値ＭＶの変動率γは減少方向の変動率となった後、増加方向の変動率に転じる。すなわち、気泡が通過する場合、ステップＳ１０３では、最初に減少方向の変動率が確認され、その後に増加方向の変動率が確認される。
【００３２】
変動時間測定部８２は、ヒータ指令値ＭＶの変動率γが減少方向の変動率であった場合、その変動率γを減少率αとする（ステップＳ１０４）。そして、この減少率αと閾値αｔｈとを比較し（ステップＳ１０５）、α≧αｔｈとなった場合（ステップＳ１０５のＹＥＳ：図２に示すｔ１点）、変動時間Ｔの計時中でないことを確認のうえ（ステップＳ１０６のＮＯ）、変動時間Ｔの計時を開始する（ステップＳ１０７）。
【００３３】
変動時間測定部８２は、ヒータ指令値ＭＶの変動率γが増加方向の変動率であった場合、その変動率γを増加率βとする（ステップＳ１０８）。そして、この増加率βと閾値βｔｈとを比較し（ステップＳ１０９）、β≧βｔｈとなった場合（ステップＳ１０９のＹＥＳ：図２に示すｔ２点）、変動時間Ｔの計時を終了する（ステップＳ１１０）。
【００３４】
変動時間比較部８４は、この計時を終了した変動時間Ｔと許容変動時間Ｔｔｈとを比較し（ステップＳ１１１）、Ｔ＜Ｔｔｈであった場合（ステップＳ１１１のＹＥＳ）、気泡が通過したと判断する（ステップＳ１１２）。
【００３５】
〔実施の形態２〕
図４は本発明の実施の形態２に係る熱式流量計１（１Ｂ）の要部の構成を示すブロック図である。同図において、図１と同一符号は図１を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。
【００３６】
実施の形態１の熱式流量計１Ａでは、許容変動時間Ｔｔｈを一定値とした。しかし、変動時間測定部８２において測定される変動時間Ｔは、配管２内を流れる液体の流速ｖに反比例する（図５参照）。このため、許容変動時間Ｔｔｈを一定値とすると、液体の流速ｖによっては、許容変動時間Ｔｔｈが長過ぎたり、短過ぎたりし、気泡をうまく検知することができないことがある。
【００３７】
そこで、実施の形態２の熱式流量計１Ｂでは、気泡検知部８に流速算出部８５と許容変動時間算出部８６とを設け、変動時間比較部８４への許容変動時間Ｔｔｈを配管２内を流れる液体の流速ｖに反比例した値として、流速ｖの影響を受けないようにする。
【００３８】
すなわち、実施の形態２の熱式流量計１Ｂでは、流速算出部８５において流量（瞬時流量）Ｑから配管２内を流れている液体の流速ｖを算出するようにし、この算出した液体の流速ｖを許容変動時間算出部８６へ送り、許容変動時間算出部８６において流速ｖに反比例した値として許容変動時間Ｔｔｈを求め、この求めた許容変動時間Ｔｔｈを変動時間比較部８４へ送るようにする。
【００３９】
図６に、図３に対応するフローチャートを示す。このフローチャートに示されるように、実施の形態２の熱式流量計１Ｂでは、変動時間Ｔの計時を終了した後（ステップＳ１１０）、配管２内を流れている液体の流速ｖを算出し（ステップＳ１１３）、この算出した液体の流速ｖに反比例した値として許容変動時間Ｔｔｈを求め（ステップＳ１１４）、Ｔ＜Ｔｔｈの場合に（ステップＳ１１１のＹＥＳ）、気泡が通過したと判断する（ステップＳ１１２）。
【００４０】
なお、上述した実施の形態１，２は、ヒータ３への供給電力Ｐをセンサ出力Ｓとする方式（方式１）に本発明を適用した場合を示したが、ヒータ３の上下流の液体の温度差（ＴＲｕ−ＴＲｄ）をセンサ出力Ｓとする方式（方式２）に本発明を適用しても構わない。図７に、方式２に本発明を適用した場合の実施の形態１に対応する例を、図８に、方式２に本発明を適用した場合の実施の形態２に対応する例を示す。
【００４１】
図７，図８に示した熱式流量計１Ｃ，１Ｄでは、ヒータ３の上流側の液体の温度ＴＲｕを検出する上流温度センサ（測温素子）９と、ヒータ３の下流側の液体の温度ＴＲｄを検出する下流温度センサ（測温素子）１０とを、ヒータ３を挾んで配管２の外壁に設けている。また、上流温度センサ９および下流温度センサ１０に対して、温度差算出部（センサ出力部）１１を設けている。
【００４２】
温度差算出部１１は、制御部５が発熱温度ＴＲｈと液体の温度ＴＲｒとの温度差（ＴＲｈ−ＴＲｒ）が一定値となるようにヒータ３への供給電力を制御している時の、ヒータ３の上流側の液体の温度ＴＲｕと下流側の液体の温度ＴＲｄとの温度差（ヒータ３の上下流の温度差（ＴＲｕ−ＴＲｄ））を算出し、この算出した温度差（ＴＲｕ−ＴＲｄ）をセンサ出力（液体における熱拡散の状態に対応する値）Ｓとして流量算出部７へ送る。
【００４３】
流量算出部７は、温度差算出部１１からのセンサ出力Ｓ（ヒータ３の上下流の温度差（ＴＲｕ−ＴＲｄ））を、予め設定されている流量変換式を用いて流量の値に変換することにより、配管２を流れる液体の流量Ｑを求める。
【００４４】
気泡検知部８は、ＰＩＤ制御演算部５１からのヒータ指令値ＭＶを取り込み、この取り込んだヒータ指令値ＭＶの変動に基づいて配管２内を流れる液体とともに移動する気泡の通過を検出する。
【００４５】
また、上述した実施の形態では、ヒータ指令値ＭＶの変動に基づいて気泡の通過を検出するようにしたが、センサ出力Ｓの変動に基づいて気泡の通過を検出するようにしてもよい。図９に、実施の形態１に対応する例を熱式流量計１Ｅとして、図１０に、実施の形態２に対応する例を熱式流量計１Ｆとして示す。
【００４６】
また、上述した実施の形態では、流量算出部７において、センサ出力Ｓを流量変換式を用いて流量の値に変換するようにしたが、センサ出力Ｓに対応する流量Ｑの値が登録されている流量変換テーブルを用い、この流量変換テーブルからセンサ出力Ｓに対応する流量Ｑの値を求めるようにしてもよい。また、上述した実施の形態では、水温センサ４を配管２の外壁に設置するようにしたが、配管２の内壁に設置するようにしてもよい。
【００４７】
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【符号の説明】
【００４８】
１（１Ａ〜１Ｆ）…熱式流量計、２…配管、３…ヒータ、４…水温センサ、５…制御部、６…電力計測部、７…流量算出部、８…気泡検知部、９…上流温度センサ、１０…下流温度センサ、１１…温度差算出部、５１…ＰＩＤ制御演算部、５２…制御出力部、８１…変動率算出部、８２…変動時間測定部、８３…許容変動時間記憶部、８４…変動時間比較部、８５…流速算出部、８６…許容変動時間算出部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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