(57)【要約】【課題】延伸装置を用いて薄膜を製造する際の製造コストを抑制する。【解決手段】延伸装置は、膜の搬送および延伸を行う一対のリンク装置１０Ｌ，１０Ｒと、一対のリンク装置１０Ｌ，１０Ｒの中央部を覆う熱処理部とを備えている。リンク装置１０Ｌ，１０Ｒのそれぞれは、支持台１５と、支持台１５上に配置されたレール１３，１４と、レール１３をレール位置７２に位置決めするための決め手段と、レール１３をレール位置７３に位置決めするための位置決め手段とを有している。レール１３がレール位置７２またはレール位置７３に配置されることで膜８の延伸倍率を可変とすることができる。【選択図】図８
2020199722.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下を含む、熱可塑性樹脂膜の延伸装置：
前記熱可塑性樹脂膜の搬送および延伸を行う一対のリンク装置；および
前記一対のリンク装置の中央部を覆う、前記熱可塑性樹脂膜に熱処理を行うための熱処理部、
ここで、前記一対のリンク装置のそれぞれは、
支持台；
前記支持台上に配置された、平面視において環状の外側レールおよび前記外側レールの内周側に前記外側レールに対向するように配置された内側レール；
前記内側レールを第１のレール位置に位置決めするための第1の位置決め手段；
前記内側レールを第２のレール位置に位置決めするための第２の位置決め手段、
を有し、
前記内側レールが前記第１のレール位置または前記第２のレール位置に配置されることで前記熱可塑性樹脂膜の延伸倍率を可変とすることができる。
【請求項２】
請求項１記載の延伸装置において、
前記熱可塑性樹脂膜の搬送方向である第１方向と、前記第１方向に交差する第２方向とに、前記熱可塑性樹脂膜が延伸される、延伸装置。
【請求項３】
請求項２記載の延伸装置において、
前記一対のリンク装置のそれぞれにおいて前記内側レールを前記第１のレール位置に配置した場合と、前記一対のリンク装置のそれぞれにおいて前記内側レールを前記第２のレール位置に配置した場合とで、前記熱可塑性樹脂膜の前記第１方向における延伸倍率が異なる、延伸装置。
【請求項４】
請求項１記載の延伸装置において、
前記一対のリンク装置のそれぞれにおいて、前記第１の位置決め手段および前記第２の位置決め手段は、それぞれ前記支持台に設けられた複数の穴部である、延伸装置。
【請求項５】
請求項１記載の延伸装置において、
前記一対のリンク装置のそれぞれにおいて、前記第１のレール位置と前記第２のレール位置とは、互いに相違する部分と、互いに共通する部分とを有している、延伸装置。
【請求項６】
請求項１記載の延伸装置において、
前記一対のリンク装置のそれぞれは、
無端チェーンを構成するように連結され、前記外側レールおよび前記内側レールに沿って移動可能な複数のリンクと、
前記複数のリンクにそれぞれ取り付けられた、前記熱可塑性樹脂膜を把持するための複数のクリップと、
を更に有する、延伸装置。
【請求項７】
請求項１記載の延伸装置において、
前記一対のリンク装置のそれぞれにおいて、前記熱可塑性樹脂膜を把持する前記複数のクリップのピッチは、前記内側レールと前記外側レールとの間の間隔に応じて変化可能である、延伸装置。
【請求項８】
請求項１記載の延伸装置において、
前記内側レールの配置位置は、前記第１のレール位置と前記第２のレール位置のいずれにも変更可能である、延伸装置。
【請求項９】
請求項１記載の延伸装置において、
前記一対のリンク装置のそれぞれにおいて、前記第１のレール位置と前記第２のレール位置とは、互いに相違する部分と、互いに共通する部分とを有している、延伸装置。
【請求項１０】
請求項１記載の延伸装置において、
前記一対のリンク装置のそれぞれは、前記内側レールを第３のレール位置に位置決めするための第３の位置決め手段を更に有し、
前記内側レールが前記第１のレール位置、前記第２のレール位置または前記第３のレール位置に配置されることで前記熱可塑性樹脂膜の延伸倍率を可変とすることができる、延伸装置。
【請求項１１】
請求項１０記載の延伸装置において、
前記内側レールの配置位置は、前記第１のレール位置と前記第２のレール位置と前記第３のレール位置のいずれにも変更可能である、延伸装置。
【請求項１２】
請求項１０記載の延伸装置において、
前記熱可塑性樹脂膜の搬送方向である第１方向と、前記第１方向に交差する第２方向とに、前記熱可塑性樹脂膜が延伸され、
前記一対のリンク装置のそれぞれにおいて前記内側レールを前記第１のレール位置に配置した場合と、前記一対のリンク装置のそれぞれにおいて前記内側レールを前記第２のレール位置に配置した場合と、前記一対のリンク装置のそれぞれにおいて前記内側レールを前記第３のレール位置に配置した場合とで、前記熱可塑性樹脂膜の前記第１方向における延伸倍率が互いに異なる、延伸装置。
【請求項１３】
以下を含む、熱可塑性樹脂膜の延伸装置：
支持台；
前記熱可塑性樹脂膜の搬送および延伸を行う一対のリンク装置；および
前記一対のリンク装置の中央部を覆う、前記熱可塑性樹脂膜に熱処理を行うための熱処理部、
ここで、前記一対のリンク装置のそれぞれは、
前記支持台上に配置された、平面視において環状の外側レールおよび前記外側レールの内周側に前記外側レールに対向するように配置された内側レール；
前記内側レールを第１のレール位置に位置決めするための第1の位置決め手段；
前記内側レールを第２のレール位置に位置決めするための第２の位置決め手段、
を有し、
前記内側レールが前記第１のレール位置または前記第２のレール位置に配置されることで前記熱可塑性樹脂膜の延伸倍率を可変とすることができる。
【請求項１４】
請求項１３記載の延伸装置において、
前記熱可塑性樹脂膜の搬送方向である第１方向と、前記第１方向に交差する第２方向とに、前記熱可塑性樹脂膜が延伸される、延伸装置。
【請求項１５】
請求項１４記載の延伸装置において、
前記一対のリンク装置のそれぞれにおいて前記内側レールを前記第１のレール位置に配置した場合と、前記一対のリンク装置のそれぞれにおいて前記内側レールを前記第２のレール位置に配置した場合とで、前記熱可塑性樹脂膜の前記第１方向における延伸倍率が異なる、延伸装置。
【請求項１６】
請求項１３記載の延伸装置において、
前記一対のリンク装置のそれぞれの前記第１の位置決め手段および前記第２の位置決め手段は、それぞれ前記支持台に設けられた複数の穴部である、延伸装置。
【請求項１７】
請求項１３記載の延伸装置において、
前記内側レールの配置位置は、前記第１のレール位置と前記第２のレール位置のいずれにも変更可能である、延伸装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、延伸装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
延伸装置においては、縦延伸と横延伸を行うことができ、これらを順番に行うことを逐次二軸延伸法といい、一度に行うことを同時二軸延伸法という。同時二軸延伸法は、逐次延伸法に比べ、スクラッチが発生しにくい、原料の適応範囲が広く、結晶化速度が速くても延伸可能である、物性の縦横均一性が高いなどのメリットがある。
【０００３】
例えば特開２０１４−１８０７７９号公報（特許文献１）には、延伸機に関する技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１８０７７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
延伸装置を用いて薄膜を製造する際にも、製造コストを抑制することが望まれる。
【０００６】
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
一実施の形態によれば、熱可塑性樹脂膜の延伸装置は、前記熱可塑性樹脂膜の搬送および延伸を行う一対のリンク装置と、前記一対のリンク装置の中央部を覆い、前記熱可塑性樹脂膜に熱処理を行うための熱処理部と、を含んでいる。前記一対のリンク装置のそれぞれは、支持台と、前記支持台上に配置された、平面視において環状の外側レールおよび前記外側レールの内周側に前記外側レールに対向するように配置された内側レールと、前記内側レールを第１のレール位置に位置決めするための第1の位置決め手段と、前記内側レールを第２のレール位置に位置決めするための第２の位置決め手段と、を有している。前記内側レールが前記第１のレール位置または前記第２のレール位置に配置されることで前記熱可塑性樹脂膜の延伸倍率を可変とすることができる。
【発明の効果】
【０００８】
一実施の形態によれば、延伸装置を用いて薄膜を製造する際に、製造コストを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】一実施の形態における薄膜の製造システムの構成を示す模式図である。
【図２】図１に示される延伸装置の構成を示す平面図である。
【図３】図２に示される延伸装置の平面透視図である。
【図４】図３に示されるリンクおよびレールを模式的に示す平面図である。
【図５】図３に示される複数のリンクのうちの一つを拡大して示す拡大平面図である。
【図６】図５に示されるリンクのＡ１−Ａ２線に沿った断面図である。
【図７】図５に示されるリンクのＡ１−Ａ３線に沿った断面図である。
【図８】一実施の形態の延伸装置におけるレールの配置位置を示す平面図である。
【図９】図８の一部を拡大して示す部分拡大平面図である。
【図１０】図８の一部を拡大して示す部分拡大平面図である。
【図１１】図８の状態からレールの配置位置を変更した場合のレールの配置位置を示す平面図である。
【図１２】図１１の一部を拡大して示す部分拡大平面図である。
【図１３】図１１の一部を拡大して示す部分拡大平面図である。
【図１４】図１１の場合のリンクの断面図である。
【図１５】検討例の延伸装置におけるレールの配置位置を示す平面図である。
【図１６】図１５の一部を拡大して示す部分拡大平面図である。
【図１７】図１５の一部を拡大して示す部分拡大平面図である。
【図１８】検討例の延伸装置におけるリンクの断面図である。
【図１９】他の実施の形態の延伸装置におけるレールの配置位置を示す平面図である。
【図２０】図１９の一部を拡大して示す部分拡大平面図である。
【図２１】図１９の一部を拡大して示す部分拡大平面図である。
【図２２】他の実施の形態の延伸装置におけるレールの配置位置を示す平面図である。
【図２３】他の実施の形態の延伸装置におけるレールの配置位置を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、以下の実施の形態では、特に必要なとき以外は同一または同様な部分の説明を原則として繰り返さない。
【００１１】
（実施の形態１）
＜製造システムの全体構成について＞
図１は、本実施の形態における薄膜の製造システムの構成を示す模式図である。
【００１２】
図１に示される本実施の形態の薄膜製造システム１は、押出装置（押出機、混練押出装置）２と、Ｔダイ（金型）３と、原反冷却装置４と、延伸装置（同時二軸延伸装置）５と、引取り装置（引取り機）６と、巻取り装置（巻取り機）７とを備えている。
【００１３】
次に、薄膜製造システム１の動作の概略について説明する。
【００１４】
まず、押出装置２の原料供給部（原料投入口）２ａから押出装置２内に原料を供給する。押出装置２に供給される原料は、樹脂材料（熱可塑性樹脂材料、ペレット）および添加剤などからなる。押出装置２は、押出装置２に供給された原料を、混練（混合）しながら輸送（搬送）する。例えば、押出装置２内に供給された原料は、押出装置２内でスクリューの回転により前方へ送られながら溶融されて混練される。押出装置２内で混練された混練物（溶融樹脂）は、Ｔダイ３に供給されてＴダイ３内を通過し、Ｔダイ３のスリットから原反冷却装置４に向かって押し出される。押出装置２からＴダイ３に供給された混練物（溶融樹脂）は、Ｔダイ３を通過することにより所定の断面形状（ここではフィルム状）に成形されている。
【００１５】
Ｔダイ３から押し出された混練物（溶融樹脂）は、原反冷却装置４において冷却されて膜（シート、樹脂膜）８になる。膜８は、固化状態（固体状態）の膜である。より特定的には、膜８は、熱可塑性樹脂膜である。膜８は、延伸装置５に供給される。Ｔダイ３からは、成形された混練物（溶融樹脂）が連続的に押し出されるため、膜８は、延伸装置５に連続的に供給される。
【００１６】
原反冷却装置４から延伸装置５に供給（搬送）された膜８は、延伸装置５によりＭＤ方向およびＴＤ方向に延伸される。延伸装置５で延伸処理（引き伸ばし処理）を施された膜８は、引取り装置６を介して巻取り装置７に搬送されて、巻取り装置７に巻き取られる。巻取り装置７に巻き取られた膜８は、必要に応じて切断機（図示せず）で切断される。
【００１７】
このように、薄膜製造システム１を用いて薄膜を製造することができる。なお、図１に示される薄膜製造システム１は、一例であり、形成する薄膜の特性などに応じて、種々の変更が可能である。例えば、図１に示される引取り装置６の近傍に図示しない抽出層を設けておき、膜８中の可塑剤（例えば、パラフィンなど）を抽出槽で除去する場合もあり得る。
【００１８】
本実施の形態における延伸装置５は、膜８をＭＤ方向に搬送しながら、その膜８をＭＤ方向およびＴＤ方向に引き延ばす。ＭＤ（Machine Direction）方向は、膜の搬送方向であり、縦方向とも言う。また、ＴＤ（Transverse Direction）方向は、膜の搬送方向（ここではＭＤ方向）と交差する方向であり、横方向とも言う。ＭＤ方向とＴＤ方向とは、互いに交差する方向であり、より特定的には、互いに直交する方向である。互いに交差する二方向（ここではＭＤ方向およびＴＤ方向）に同時に膜を延伸させることが可能な延伸装置５は、同時二軸延伸装置と呼ばれる。
【００１９】
＜延伸装置について＞
次に、延伸装置５について説明する。図２は、図１に示される延伸装置５の構成を示す平面図である。図３は、延伸装置５の平面透視図であり、図２において、熱処理部１９を透視した場合が示されている。図４は、延伸装置５におけるリンク１１およびレール１３，１４を模式的に示す平面図であるが、図４の（ａ）には、レール１３，１４の間隔が大きい領域が示され、図４の（ｂ）には、図４の（ａ）よりもレール１３，１４の間隔が小さい領域が示されている。図５は、図３に示される複数のリンク１１のうちの一つを拡大して示す拡大平面図である。図６は、図５に示されるリンク１１のＡ１−Ａ２線に沿った断面図であり、図７は、図５に示されるリンク１１のＡ１−Ａ３線に沿った断面図である。
【００２０】
図２および図３に示されるように、延伸装置５は、平面視において、互いに離間して配置された一対のリンク装置１０を有している。ここで、一対のリンク装置１０のうち、一方をリンク装置１０Ｒと称し、他方をリンク装置１０Ｌと称することとする。図２および図３の場合は、搬送方向（ＭＤ方向）に対して右側（Ｒ側）にリンク装置１０Ｒが配置され、搬送方向（ＭＤ方向）に対して左側（Ｌ側）にリンク装置１０Ｌが配置されている。リンク装置１０Ｒとリンク装置１０Ｌとは、ＴＤ方向に離間しており、膜８を挟んでＴＤ方向に対向している。膜８は、リンク装置１０Ｒとリンク装置１０Ｌとの間に配置され、リンク装置１０Ｒとリンク装置１０Ｌとの間においてＭＤ方向に搬送される。リンク装置１０Ｒとリンク装置１０Ｌとの間の部分は、膜８を搬送するための搬送部として機能することができる。
【００２１】
各リンク装置１０（１０Ｒ，１０Ｌ）は、無端チェーンを構成するように連結された複数のリンク１１と、その複数のリンク１１にそれぞれ取り付けられた複数のクリップ１２と、その複数のリンク１１の移動経路となる一対のレール１３，１４と、その複数のリンク１１を駆動するスプロケット１６，１７，１８と、レール１３，１４を支持する支持台１５と、を有している。
【００２２】
ここで、リンク装置１０Ｒを構成するリンク１１をリンク１１Ｒと称し、リンク装置１０Ｌを構成するリンク１１をリンク１１Ｌと称することとする。また、リンク装置１０Ｒを構成するクリップ１２をクリップ１２Ｒと称し、リンク装置１０Ｌを構成するクリップ１２をクリップ１２Ｌと称することとする。また、リンク装置１０Ｒを構成するレール１３をレール１３Ｒと称し、リンク装置１０Ｒを構成するレール１４をレール１４Ｒと称し、リンク装置１０Ｌを構成するレール１３をレール１３Ｌと称し、リンク装置１０Ｌを構成するレール１４をレール１４Ｌと称することとする。また、リンク装置１０Ｒを構成するスプロケット１６，１７，１８を、それぞれスプロケット１６Ｒ，１７Ｒ，１８Ｒと称し、リンク装置１０Ｌを構成するスプロケット１６，１７，１８を、それぞれスプロケット１６Ｌ，１７Ｌ，１８Ｌと称することとする。また、リンク装置１０Ｒを構成する支持台１５を支持台１５Ｒと称し、リンク装置１０Ｌを構成する支持台１５を支持台１５Ｌと称することとする。
【００２３】
リンク装置１０Ｒを構成する複数のリンク１１Ｒのそれぞれにクリップ１２Ｒが取り付けられ、リンク装置１０Ｌを構成する複数のリンク１１Ｌのそれぞれにクリップ１２Ｌが取り付けられている。クリップ１２（１２Ｒ，１２Ｌ）は、膜８を掴んで把持する部材（治具）であり、把持部材または掴み部材とみなすことができる。膜８は、リンク装置１０Ｒの複数のクリップ１２Ｒと、リンク装置１０Ｌの複数のクリップ１２Ｌとにより、把持される。すなわち、膜８の一方の端部（搬送方向に対して右側の端部）が、リンク装置１０Ｒの複数のクリップ１２Ｒにより把持され、膜８の他方の端部（搬送方向に対して左側の端部）が、リンク装置１０Ｌの複数のクリップ１２Ｌにより把持される。別の見方をすると、膜８は、リンク装置１０Ｒの複数のリンク１１Ｒと、リンク装置１０Ｌの複数のリンク１１Ｌとに、クリップ１２（１２Ｒ，１２Ｌ）を介して把持される。
【００２４】
リンク装置１０Ｒを構成する複数のリンク１１Ｒは、無端チェーンを構成するように互いに連結されており、それら互いに連結された複数のリンク１１Ｒは、レール１３Ｒ，１４Ｒに沿って走行可能な状態で、レール１３Ｒ，１４Ｒ上に配置されている。同様に、リンク装置１０Ｌを構成する複数のリンク１１Ｌは、無端チェーンを構成するように互いに連結されており、それら互いに連結された複数のリンク１１Ｌは、レール１３Ｌ，１４Ｌに沿って走行可能な状態で、レール１３Ｌ，１４Ｌ上に配置されている。レール１３Ｒとレール１４Ｒとは、対をなして環状に配置されており、レール１３Ｒは内周側に配置され、レール１４Ｒは外周側に配置されている。同様に、レール１３Ｌとレール１４Ｌとは、対をなして環状に配置されており、レール１３Ｌは内周側に配置され、レール１４Ｌは外周側に配置されている。従って、平面視において環状のレール１４Ｒの内周側に、レール１４Ｒに対向するようにレール１３Ｒが配置され、また、平面視において環状のレール１４Ｌの内周側に、レール１４Ｌに対向するようにレール１３Ｌが配置されている。なお、レール１３Ｒおよびレール１３Ｌを内側レールと呼び、レール１４Ｒおよびレール１４Ｌを外側レールと呼ぶ場合がある。
【００２５】
延伸装置５は、平面視において、３つの領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを有している。領域２０Ａは、予熱領域（プレヒート領域）であり、領域２０Ｂは、延伸領域であり、領域２０Ｃは、熱固定領域である。搬送方向（ＭＤ方向）において、領域２０Ａと領域２０Ｂと領域２０Ｃとが順に並んでおり、領域２０Ａと領域２０ＢとがＭＤ方向に隣り合い、領域２０Ｂと領域２０ＣとがＭＤ方向に隣り合い、ＭＤ方向において領域２０Ａと領域２０Ｃとの間に領域２０Ｂがある。延伸装置５における膜８の入口（図２および図３中に「ＩＮ」と示した部分に対応し、以下では「入口」と称する）は、領域２０Ａに存在し、延伸装置５における膜８の出口（図２および図３中に「ＯＵＴ」と示した部分に対応し、以下では「出口」と称する）は、領域２０Ｃに存在している。延伸装置５における膜８の入口から出口に向かう方向が、膜８の搬送方向（ＭＤ方向）に対応している。
【００２６】
延伸装置５は、一対のリンク装置１０Ｒ，１０Ｌの中央部を覆い、膜８に熱処理を行うための熱処理部（熱処理装置）１９を更に有している。図２には、熱処理部１９としてオーブンを用いた例が示されている。リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれの一部分（中央部）は、熱処理部１９の庫内に配置される。膜８は、リンク装置１０Ｒおよびリンク装置１０Ｌに保持された状態で、熱処理部１９を通過する。
【００２７】
搬送方向（ＭＤ方向）において、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌが熱処理部１９で覆われるのは、領域２０Ａの一部と領域２０Ｂ全体と領域２０Ｃの一部である。このため、領域２０Ｂ（延伸領域）においては、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌ全体が熱処理部１９で覆われている。膜８は、領域２０Ｂ（熱処理部１９で覆われた領域）でＴＤ方向およびＭＤ方向に引き伸ばされるため、熱処理部１９で加熱（熱処理）されながら、膜８の延伸処理（ＴＤ方向およびＭＤ方向の延伸処理）が行われることになる。一方、領域２０Ａ（プレヒート領域）においては、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌは、熱処理部１９で覆われている領域と覆われていない領域とを有し、膜８の入口付近（スプロケット１６，１７が配置されている付近）では、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌは熱処理部１９で覆われていない。また、領域２０Ｃ（熱固定領域）においては、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌは、熱処理部１９で覆われている領域と覆われていない領域とを有し、膜８の出口付近（スプロケット１８が配置されている付近）では、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌは熱処理部１９で覆われていない。膜８が領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを通過する間、その膜８は熱処理部１９を通過することになるため、その膜８を所望の温度の加熱することができる。従って、延伸処理に適した温度で、膜８の延伸処理を行うことができる。
【００２８】
リンク装置１０Ｒが備える一対のレール１３Ｒ，１４Ｒと、リンク装置１０Ｌが備える一対のレール１３Ｌ，１４Ｌとは、どちらも、領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃに亘って環状に配置されている。以下の説明では、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれにおいて、膜８と対向する側を「膜側」と称し、「膜側」とは反対側を「リターン側」と称することとする。クリップ１２（１２Ｒ，１２Ｌ）が膜８を把持した状態で、複数のリンク１１が入口から出口に向かって搬送されるサイドが「膜側」に対応し、「膜側」の反対に位置し、クリップ１２が膜８を把持せず、複数のリンク１１が出口から入口に向かって搬送されるサイドが「リターン側」に対応している。
【００２９】
リンク装置１０Ｒにおいて、スプロケット１６Ｒ，１７Ｒ，１８Ｒは、平面視において、環状のレール１３Ｒ（内側レール）の内側に配置されており、そのうちのスプロケット１６Ｒ，１７Ｒが入口側（領域２０Ａ）に配置され、スプロケット１８Ｒが出口側（領域２０Ｃ）に配置されている。同様に、リンク装置１０Ｌにおいて、スプロケット１６Ｌ，１７Ｌ，１８Ｌは、平面視において、環状のレール１３Ｌ（内側レール）の内側に配置されており、そのうちのスプロケット１６Ｌ，１７Ｌが入口側（領域２０Ａ）に配置され、スプロケット１８Ｌが出口側（領域２０Ｃ）に配置されている。スプロケット１６Ｒ，１７Ｒ，１８Ｒは、複数のリンク１１Ｒに係合されており、スプロケット１６Ｒ，１７Ｒ，１８Ｒが回転することにより、複数のリンク１１Ｒに駆動力が働くことで、リンク装置１０Ｒを構成する複数のリンク１１Ｒがレール１３Ｒ，１４Ｒに沿って移動することができる。同様に、スプロケット１６Ｌ，１７Ｌ，１８Ｌは、複数のリンク１１Ｌに係合されており、スプロケット１６Ｌ，１７Ｌ，１８Ｌが回転することにより、複数のリンク１１Ｌに駆動力が働くことで、リンク装置１０Ｌを構成する複数のリンク１１Ｌがレール１３Ｌ，１４Ｌに沿って移動することができる。
【００３０】
リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれにおいて、複数のリンク１１は、隣り合うリンク１１のピッチが変更可能な状態で、レール１３，１４上に配置されている。リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれにおいて、各リンク１１は、一方の端部がレール１３上に、レール１３に沿って移動可能な状態で配置され、他方の端部がレール１４上に、レール１４に沿って移動可能な状態で配置されており、各リンク１１の一方の端部（レール１４上に配置される側の端部）に、それぞれクリップ１２が取り付けられている。このため、リンク１１が移動すると、リンク１１と一緒にクリップ１２も移動する。従って、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれにおいて、隣り合うリンク１１のピッチが変わると、それに応じて、隣り合うクリップ１２のピッチも変わることになる。すなわち、隣り合うリンク１１のピッチが大きくなると、それに応じて、隣り合うクリップ１２のピッチも大きくなる。各リンク１１の具体的な構造については、後でより詳細に説明する。
【００３１】
リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれにおいて、互いに隣り合うリンク１１間のピッチＰ１は、レール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１に応じて変更可能であり、従って、互いに隣り合うクリップ１２のピッチＰ２も、レール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１に応じて変更可能である。このため、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれにおいて、レール１３，１４の間隔Ｌ１を調整することにより、互いに隣り合うリンク１１のピッチＰ１を調整することができ、それによって、互いに隣り合うクリップ１２のピッチＰ２を調整することができる。なぜなら、図４からも分かるように、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれにおいて、レール１３，１４の間隔Ｌ１が小さくなるほど、隣り合うリンク１１が成す角度が大きくなって、隣り合うリンク１１のピッチＰ１が大きくなるからである。
【００３２】
具体的には、図４の（ａ）からも分かるように、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれにおいて、レール１３とレール１４との間の間隔Ｌ１が大きいと、互いに隣り合うリンク１１のピッチＰ１は小さくなり、それに伴って、隣り合うクリップ１２のピッチＰ２も小さくなる。また、図４の（ｂ）からも分かるように、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれにおいて、レール１３とレール１４との間の間隔Ｌ１が小さいと、互いに隣り合うリンク１１のピッチＰ１は大きくなり、それに伴って、隣り合うクリップ１２のピッチＰ２も大きくなる。このため、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれにおいて、レール１３とレール１４との間の間隔Ｌ１が小さい領域（図４の（ｂ）に対応）では、レール１３とレール１４との間の間隔Ｌ１が大きい領域（図４の（ａ）に対応）と比べて、隣り合うリンク１１のピッチＰ１が大きくなり、従って、隣り合うクリップ１２のピッチＰ２も大きくなる。このため、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれにおいて、搬送方向（ＭＤ方向）においてレール１３，１４の間隔Ｌ１が徐々に小さくなる領域（領域２０Ｂに対応）を設けておけば、その領域では、互いに隣り合うリンク１１のピッチＰ１が徐々に大きくなり、それに伴い、隣り合うクリップ１２のピッチＰ２も徐々に大きくなる。
【００３３】
なお、各リンク１１にそれぞれクリップ１２が取り付けられているため、隣り合うリンク１１のピッチＰ１と、そのリンク１１に取り付けられたクリップ１２のピッチＰ２とは、実質的に同じである。すなわち、図４の（ａ）においてＰ１＝Ｐ２が成り立ち、図４の（ｂ）においてＰ１＝Ｐ２が成り立ち、図４の（ａ）におけるＰ１およびＰ２よりも、図４（ｂ）におけるＰ１およびＰ２が大きい。
【００３４】
次に、延伸装置５の動作について説明する。
【００３５】
上記原反冷却装置４から延伸装置５に供給（搬送）された膜８は、延伸装置５の入口において、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれが備えるリンク１１（１１Ｒ，１１Ｌ）に取り付けられたクリップ１２（１２Ｒ，１２Ｌ）により把持される。すなわち、膜８の一方の端部（搬送方向に対して右側の端部）が、リンク装置１０Ｒのクリップ１２Ｒにより把持され、膜８の他方の端部（搬送方向に対して左側の端部）が、リンク装置１０Ｌのクリップ１２Ｌにより把持される。そして、クリップ１２Ｒ，１２Ｌで把持された膜８は、クリップ１２Ｒ，１２Ｌと一緒に延伸装置５の入口から出口に向かってＭＤ方向に搬送されるため、領域２０Ａ（予熱領域）と領域２０Ｂ（延伸領域）と領域２０Ｃ（熱固定領域）とを順に通過する。クリップ１２Ｒ，１２Ｌで把持された膜８は、領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを通過している間、加熱されるとともに、領域２０Ｂを通過する際にＭＤ方向およびＴＤ方向に引き伸ばされる。そして、クリップ１２Ｒ，１２Ｌで把持された膜８は、延伸装置５の出口に到達し、そこでクリップ１２Ｒ，１２Ｌから外される。クリップ１２Ｒ，１２Ｌから外された膜８は、延伸装置５の出口から上記引取り装置６に搬送され、上記引取り装置６から上記巻取り装置７に搬送されて巻き取られる。
【００３６】
領域２０Ａ（予熱領域）における延伸装置５の動作について説明する。
【００３７】
領域２０Ａにおいては、リンク装置１０Ｒのレール１４Ｒとリンク装置１０Ｌのレール１４Ｌとの間の間隔（ＴＤ方向の間隔）Ｌ２は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ａにおいては、膜８に対するＴＤ方向の延伸処理は行われない。従って、領域２０Ａにおいては、搬送される膜８の幅（ＴＤ方向の寸法）は変化せず、一定のままである。
【００３８】
また、領域２０Ａにおいては、リンク装置１０Ｒの膜側におけるレール１３Ｒとレール１４Ｒとの間の間隔（Ｌ１）は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ａにおいては、リンク装置１０Ｒの膜側におけるリンク１１Ｒのピッチ（Ｐ１）はほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｒの膜側におけるクリップ１２Ｒのピッチ（Ｐ２）もほぼ一定である。つまり、領域２０Ａにおいては、膜８を把持するクリップ１２Ｒのピッチ（Ｐ２）は、ほぼ一定である。また、領域２０Ａにおいては、リンク装置１０Ｌの膜側におけるレール１３Ｌとレール１４Ｌとの間の間隔（Ｌ１）は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ａにおいては、リンク装置１０Ｌの膜側におけるリンク１１Ｌのピッチ（Ｐ１）はほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｌの膜側におけるクリップ１２Ｌのピッチ（Ｐ２）もほぼ一定である。つまり、領域２０Ａにおいては、膜８を把持するクリップ１２Ｌのピッチ（Ｐ２）は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ａにおいては、膜８に対するＭＤ方向の延伸処理は行われない。従って、領域２０Ａにおいては、ＴＤ方向にもＭＤ方向にも、膜８に対する延伸処理は行われない。
【００３９】
領域２０Ｂ（延伸領域）における延伸装置５の動作について説明する。
【００４０】
領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｒのレール１４Ｒとリンク装置１０Ｌのレール１４Ｌとの間の間隔（ＴＤ方向の間隔）Ｌ２は、徐々に大きくなっている。このため、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、膜８の一方の端部を把持するクリップ１２Ｒと、膜８の他方の端部を把持するクリップ１２Ｌとの間の距離（ＴＤ方向における距離）が、徐々に大きくなる。これにより、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、膜８は、クリップ１２Ｒ，１２ＬによってＴＤ方向に引っ張られて引き伸ばされるため、膜８はＴＤ方向に延伸されることになる。従って、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、膜８の幅（ＴＤ方向の寸法）は徐々に大きくなる。
【００４１】
また、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｒの膜側におけるレール１３Ｒとレール１４Ｒとの間の間隔（Ｌ１）は、徐々に小さくなっており、また、リンク装置１０Ｌの膜側におけるレール１３Ｌとレール１４Ｌとの間の間隔（Ｌ１）も、徐々に小さくなっている。このため、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｒの膜側におけるリンク１１Ｒのピッチ（Ｐ１）が徐々に大きくなり、それに伴い、リンク装置１０Ｒの膜側におけるクリップ１２Ｒのピッチ（Ｐ２）も徐々に大きくなる。つまり、領域２０Ｂにおいては、膜８を把持するクリップ１２Ｌのピッチ（Ｐ２）は、徐々に大きくなる。また、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｌの膜側におけるリンク１１Ｌのピッチ（Ｐ１）が徐々に大きくなり、それに伴い、リンク装置１０Ｌの膜側におけるクリップ１２Ｌのピッチ（Ｐ２）も徐々に大きくなる。つまり、領域２０Ｂにおいては、膜８を把持するクリップ１２Ｒのピッチ（Ｐ２）は、徐々に大きくなる。これにより、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、膜８は、クリップ１２ＲによってＭＤ方向に引っ張られて引き伸ばされ、また、クリップ１２ＬによってＭＤ方向に引っ張られて引き伸ばされるため、膜８はＭＤ方向に延伸されることになる。
【００４２】
従って、領域２０Ｂにおいては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、膜８は、ＴＤ方向およびＭＤ方向に引き伸ばされる（延伸される）。すなわち、領域２０Ｂにおいては、ＴＤ方向およびＭＤ方向の延伸処理が、膜８に対して施される。
【００４３】
領域２０Ｃ（熱固定領域）における延伸装置５の動作について説明する。
【００４４】
領域２０Ｃにおいては、リンク装置１０Ｒのレール１４Ｒとリンク装置１０Ｌのレール１４Ｌとの間の間隔（ＴＤ方向の間隔）Ｌ２は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ｃにおいては、膜８に対するＴＤ方向の延伸処理は行われない。従って、領域２０Ｃにおいては、搬送される膜８の幅（ＴＤ方向の寸法）は変化せず、一定のままである。
【００４５】
また、領域２０Ｃにおいては、リンク装置１０Ｒの膜側におけるレール１３Ｒとレール１４Ｒとの間の間隔（Ｌ１）は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ｃにおいては、リンク装置１０Ｒの膜側におけるリンク１１Ｒのピッチ（Ｐ１）はほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｒの膜側におけるクリップ１２Ｒのピッチ（Ｐ２）もほぼ一定である。つまり、領域２０Ｃにおいては、膜８を把持するクリップ１２Ｒのピッチ（Ｐ２）は、ほぼ一定である。また、領域２０Ｃにおいては、リンク装置１０Ｌの膜側におけるレール１３Ｌとレール１４Ｌとの間の間隔（Ｌ１）は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ｃにおいては、リンク装置１０Ｌの膜側におけるリンク１１Ｌのピッチ（Ｐ１）はほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｌの膜側におけるクリップ１２Ｌのピッチ（Ｐ２）もほぼ一定である。つまり、領域２０Ｃにおいては、膜８を把持するクリップ１２Ｌのピッチ（Ｐ２）は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ｃにおいては、膜８に対するＭＤ方向の延伸処理は行われない。従って、領域２０Ｃにおいては、ＴＤ方向にもＭＤ方向にも、膜８に対する延伸処理は行われない。
【００４６】
上述のように、領域２０Ａにおいては、リンク装置１０Ｒの膜側におけるリンク１１Ｒのピッチ（Ｐ１）は一定であり、かつ、リンク装置１０Ｌの膜側におけるリンク１１Ｌのピッチ（Ｐ１）も一定であり、領域２０Ｂにおいて、リンク装置１０Ｒの膜側におけるリンク１１Ｒのピッチ（Ｐ１）とリンク装置１０Ｌの膜側におけるリンク１１Ｌのピッチ（Ｐ１）とを徐々に大きくしている。そして、領域２０Ｃにおいては、リンク装置１０Ｒの膜側におけるリンク１１Ｒのピッチ（Ｐ１）は一定であり、かつ、リンク装置１０Ｌの膜側におけるリンク１１Ｌのピッチ（Ｐ１）も一定である。このため、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれの膜側において、領域２０Ｃにおけるリンク１１Ｒのピッチ（Ｐ１）は、領域２０Ａにおけるリンク１１Ｒのピッチ（Ｐ１）よりも大きく、かつ、領域２０Ｃにおけるリンク１１Ｌのピッチ（Ｐ１）は、領域２０Ａにおけるリンク１１Ｌのピッチ（Ｐ１）よりも大きい。別の見方をすると、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれの膜側において、領域２０Ｃにおけるクリップ１２Ｒのピッチ（Ｐ２）は、領域２０Ａにおけるクリップ１２Ｒのピッチ（Ｐ２）よりも大きく、かつ、領域２０Ｃにおけるクリップ１２Ｌのピッチ（Ｐ２）は、領域２０Ａにおけるクリップ１２Ｌのピッチ（Ｐ２）よりも大きい。更に別の見方をすると、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれの膜側において、領域２０Ｃにおけるレール１３Ｒ，１４Ｒの間隔（Ｌ１）は、領域２０Ａにおけるレール１３Ｒ，１４Ｒの間隔（Ｌ１）よりも小さく、かつ、領域２０Ｃにおけるレール１３Ｌ，１４Ｌの間隔（Ｌ１）は、領域２０Ａにおけるレール１３Ｌ，１４Ｌの間隔（Ｌ１）よりも小さい。
【００４７】
＜リンク１１およびクリップ１２の構造について＞
次に、リンク１１およびクリップ１２の構造について説明する。
以下の説明は、リンク装置１０Ｒを構成するリンク１１、クリップ１２およびレール１３，１４（すなわちリンク１１Ｒ、クリップ１２Ｒおよびレール１３Ｒ，１４Ｒ）に適用することができ、また、リンク装置１０Ｌを構成するリンク１１、クリップ１２およびレール１３，１４（すなわちリンク１１Ｌ、クリップ１２Ｌおよびレール１３Ｌ，１４Ｌ）に適用することができる。
【００４８】
図５〜図７に示されるように、各リンク１１は、上段側リンクプレート２２と、下段側リンクプレート２３と、レールホルダ２４，２５とを備えている。上段側リンクプレート２２および下段側リンクプレート２３のそれぞれは、平面視において直線的に延びる板状の部材である。上段側リンクプレート２２の一方の端部と、下段側リンクプレート２３とには、共通のシャフト２６が挿入されており、上段側リンクプレート２２と、下段側リンクプレート２３とは、シャフト２６の中心を回転軸として、回転自在な状態でシャフト２６を介して連結されている。下段側リンクプレート２３の一方の端部には、クリップ１２が取り付けられている。下段側リンクプレート２３において、シャフト２６は、クリップ１２が取り付けられる一方の端部と他方の端部との間に挿入されている。
【００４９】
各クリップ１２は、本体部３１と、本体部３１に対して上下に動作することが可能な把持部３２と、把持部３２を上下に動作させるためのバネ部３３などを有しており、バネ部３３などの力により把持部３２が上下に動作することで、本体部３１と把持部３２とにより膜８を挟んで把持することができる。
【００５０】
上段側リンクプレート２２の他方の端部（シャフト２６が挿入された側とは反対側の端部）には、シャフト２７が挿入されている。シャフト２７は、互いに隣り合うリンク１１を連結する。具体的には、互いに隣り合うリンク１１のうち、一方のリンク１１の上段側リンクプレート２２と、他方のリンク１１の下段側リンクプレート２３とに、共通のシャフト２７が挿入されている。これにより、互いに隣り合うリンク１１のうち、一方のリンク１１の上段側リンクプレート２２と他方のリンク１１の下段側リンクプレート２３とは、シャフト２７の中心を回転軸として回転自在な状態で、シャフト２７を介して連結される。また、上段側リンクプレート２２の他方の端部には、上記スプロケット１６，１７，１８に係合される係合部２８が取り付けられている。
【００５１】
シャフト２６の下端には、レールホルダ２５が、シャフト２６の中心を回転軸として回転可能な状態で取り付けられている。また、シャフト２７の下端には、レールホルダ２４が、シャフト２７の中心を回転軸として回転可能な状態で取り付けられている。レールホルダ２４はレール１３を覆うように配置され、レールホルダ２５はレール１４を覆うように配置されている。レールホルダ２４は、一対の軸受けローラ３４，３５を有しており、軸受けローラ３４と軸受けローラ３５とでレール１３を両側から挟み込んでいる。また、レールホルダ２５は、一対の軸受けローラ３６，３７を有しており、軸受けローラ３６と軸受けローラ３７とでレール１４を両側から挟み込んでいる。このため、レールホルダ２４は、レール１３に沿って移動可能な状態で、レール１３を覆うように配置されている。また、レールホルダ２５は、レール１４に沿って移動可能な状態で、レール１４を覆うように配置されている。
【００５２】
スプロケット１６，１７，１８の回転による駆動力がリンク１１に働くことにより、レール１３，１４に沿ってレールホルダ２４，２５が移動するため、リンク１１はレール１３，１４に沿って移動する。リンク１１がレール１３，１４に沿って移動しているときに、レール１３，１４の間隔（Ｌ１）が変化すると、その変化に追従して上段側リンクプレート２２および下段側リンクプレート２３が回転して、上段側リンクプレート２２と下段側リンクプレート２３とが成す角度θが変化する。その結果、隣り合うリンク１１のピッチ（Ｐ１）は、レール１３，１４の間隔（Ｌ１）に対応して変化する。隣り合うリンク１１のピッチ（Ｐ１）は、シャフト２６の中心を基準として規定することができる。すなわち、隣り合うリンク１１のピッチ（Ｐ１）とは、互いに隣り合うリンク１１のそれぞれが備えるシャフト２６の中心間距離として規定することができる。隣り合うクリップ１２のピッチ（Ｐ１）は、隣り合うリンク１１のピッチ（Ｐ２）と実質的に同じである。
【００５３】
＜レール１３，１４および支持台１５について＞
次に、レール１３，１４とそれを支持する支持台１５について、図６〜図１４を参照して説明する。
【００５４】
図８は、レール１３，１４の配置位置を示す平面図であり、リンク装置１０Ｌ，１０Ｒのそれぞれにおいて、レール１４がレール位置７１に配置され、レール１３がレール位置７２に配置された状態が示されている。図９は、図８の二点鎖線で囲まれた領域ＲＧ１を拡大して示す部分拡大平面図であり、図１０は、図８の二点鎖線で囲まれた領域ＲＧ２を拡大して示す部分拡大平面図である。図８〜図１０において、レール位置７３は点線で示してある。図１１は、図８の状態からレール１３の配置位置を変更した場合のレール１３，１４の配置位置を示す平面図であり、リンク装置１０Ｌ，１０Ｒのそれぞれにおいて、レール１４がレール位置７１に配置され、レール１３がレール位置７３に配置された状態が示されている。図１２は、図１１の二点鎖線で囲まれた領域ＲＧ３を拡大して示す部分拡大平面図であり、図１３は、図１１の二点鎖線で囲まれた領域ＲＧ４を拡大して示す部分拡大平面図である。図１１〜図１３において、レール位置７２は点線で示してある。図１４は、上記図６と同様のリンク１１の断面図であるが、上記図６は、レール１３がレール位置７２に配置されている場合（図８〜図１０の場合）の断面図に対応しているのに対して、図１４は、レール１３がレール位置７３に配置されている場合（図１１〜図１３の場合）の断面図に対応している。
【００５５】
リンク装置１０Ｒ，１０Ｌは、それぞれ、支持台１５を備えている。なお、図８および図１１では、リンク装置１０Ｒ用の支持台１５（すなわちレール１３Ｒ，１４Ｒを支持する支持台１５Ｒ）とリンク装置１０Ｌ用の支持台１５（すなわちレール１３Ｌ，１４Ｌを支持する支持台１５Ｌ）とを、別々に設けており、以下では、この場合に基づいて説明する。
【００５６】
リンク装置１０Ｒのレール１３，１４（すなわちレール１３Ｒ，１４Ｒ）は、リンク装置１０Ｒの支持台１５（すなわち支持台１５Ｒ）上に配置され、ネジ４１（図６参照）などの固定部材により、その支持台１５（１５Ｒ）に保持または固定されている。リンク装置１０Ｌのレール１３，１４（すなわちレール１３Ｌ，１４Ｌ）は、リンク装置１０Ｌの支持台１５（すなわち支持台１５Ｌ）上に配置され、ネジ４１（図６参照）などの固定部材により、その支持台１５（１５Ｌ）に保持または固定されている。
【００５７】
以下の説明は、リンク装置１０Ｒを構成する支持台１５およびレール１３，１４（すなわち支持台１５Ｒおよびレール１３Ｒ，１４Ｒ）に適用することができ、また、リンク装置１０Ｌを構成する支持台１５およびレール１３，１４（すなわち支持台１５Ｌおよびレール１３Ｌ，１４Ｌ）に適用することができる。
【００５８】
支持台１５は、レール１３，１４を支持する部材であり、例えば板状（平板状）の部材（金属板など）からなる。図６に示されるように、支持台１５には、複数の穴部（ネジ穴部）５１が設けられている。各穴部５１の内側面には、必要に応じてネジ溝が形成されている。
【００５９】
レール１４には、レール１４を貫通する複数の穴部（ネジ穴部）６１が設けられており、また、レール１３には、レール１３を貫通する複数の穴部（ネジ穴部）６２が設けられている。各穴部６１，６２の内側面には、必要に応じてネジ溝が形成されている。レール１４の上面側からレール１４の穴部６１と支持台１５の穴部５１とにネジ４１を挿入することにより、レール１４を位置決めし、支持台１５にレール１４を固定または保持している。また、レール１３の上面側からレール１３の穴部６２と支持台１５の穴部５１とにネジ４１を挿入することにより、レール１３を位置決めし、支持台１５にレール１３を固定または保持している。また、レール１３の穴部６２に挿入されたネジ４１を抜く（外す）ことにより、レール１３を支持台１５から取り外すことができる。また、レール１４の穴部６１に挿入されたネジ４１を抜く（外す）ことにより、レール１４を支持台１５から取り外すことができる。
【００６０】
なお、レール１３，１４がネジ４１により支持台１５に固定された状態で、レール１３，１４上に配置されたリンク１１（レールホルダ２４，２５）にネジ４１が接触しないようにすることが好ましく、そのためには、ネジ４１がレール１３，１４の上面から突出しないことが好ましい。これにより、リンク１１の移動にネジ４１が邪魔になるのを、的確に防止することができる。
【００６１】
また、図６の場合は、穴部５１は、支持台１５の上面側に形成されており、支持台１５の上面から支持台１５の厚さの途中まで到達しているが、穴部５１は支持台１５を貫通してはいない。他の形態として、穴部５１が支持台１５を貫通する場合もあり得るが、その場合は、ネジ４１としてボルトを用いることもでき、ボルトとナットによりレール１３，１４を支持台１５に固定することができる。
【００６２】
支持台１５に形成された複数の穴部５１は、レール１４を所定のレール位置７１に位置決めするための複数の穴部５１ａと、レール１３を所定のレール位置７２に位置決めするための複数の穴部５１ｂと、を含んでいるが、更に、レール１３を他のレール位置７３に位置決めするための複数の穴部５１ｃも含んでいる。
【００６３】
レール１４は、レール１４の穴部６１が支持台１５の穴部５１ａと整合する位置に配置され、レール１４の穴部６１と支持台１５の穴部５１ａとにネジ４１が挿入されることで、レール１４が支持台１５に固定されており、このレール１４の配置位置を、レール位置７１と称することとする。支持台１５の穴部５１ａは、その支持台１５上に配置するレール１４の位置を決める位置決め手段（位置決め部）として機能することができ、その穴部５１ａを利用することにより、レール１４は、レール位置７１に位置決めされて固定されている。支持台１５において、穴部５１ａは、レール位置７１に沿って並ぶように、複数配置されている。
【００６４】
レール１３は、レール１３の穴部６２が支持台１５の穴部５１ｂと整合する位置に配置され、レール１３の穴部６２と支持台１５の穴部５１ｂとにネジ４１が挿入されることで、レール１３が支持台１５に固定されており、このレール１３の配置位置を、レール位置７２と称することとする。支持台１５の穴部５１ｂは、その支持台１５上に配置するレール１３の位置を決める位置決め手段（位置決め部）として機能することができ、その穴部５１ｂを利用することにより、レール１３は、レール位置７２に位置決めされて固定されている。支持台１５において、穴部５１ｂは、レール位置７２に沿って並ぶように、複数配置されている。
【００６５】
レール１３，１４のそれぞれは、平面視において環状のレールである。レール１３，１４のそれぞれは、連続的（一体的）な環状のレールとすることも可能であるが、複数に分割されたレール部材を環状につながるように配置（配列）させることで、環状のレール（１３，１４）を形成することができる。これにより、レール部材の製造が容易になり、環状のレール（１３，１４）を準備しやすくなる。
【００６６】
本実施の形態では、支持台１５上のレール１３の配置位置は変更可能である。すなわち、支持台１５上において、レール１３はレール位置７２に配置されているが、レール１３の配置位置は、レール位置７２からレール位置７３に変更可能である。すなわち、図６および図８〜図１０の状態から図１１〜図１４の状態に変更可能である。このため、支持台１５には、レール１４をレール位置７１に位置決めするための複数の穴部５１ａと、レール１３をレール位置７２に位置決めするための複数の穴部５１ｂとに加えて、更に、レール１３をレール位置７３に位置決めするための複数の穴部５１ｃも形成されている。
【００６７】
レール１３を、レール１３の穴部６２が支持台１５の穴部５１ｃと整合する位置に配置し、レール１３の穴部６２と支持台１５の穴部５１ｃとにネジ４１を挿入することで、レール１３を支持台１５に固定することもでき、そのときのレール１３の配置位置を、レール位置７３と称することとする。支持台１５の穴部５１ｃは、その支持台１５上に配置するレール１３の位置を決める位置決め手段（位置決め部）として機能することができ、その穴部５１ｃを利用することにより、レール１３をレール位置７３に位置決めして固定することができる。支持台１５において、穴部５１ｃは、レール位置７３に沿って並ぶように、複数配置されている。
【００６８】
レール１３の穴部６２を支持台１５の穴部５１ｂに整合させて、その穴部６２，５１ｂにネジ４１を挿入してレール１３を支持台１５にネジ止めした場合には、レール１３は、レール位置７２に配置された状態になり、図６および図８〜図１０はこの状態に対応している。一方、レール１３の穴部６２を支持台１５の穴部５１ｃに整合させて、その穴部６２，５１ｃにネジ４１を挿入してレール１３を支持台１５にネジ止めした場合には、レール１３は、レール位置７３に配置された態になり、図１１〜図１４はこの状態に対応している。このため、レール１３をレール位置７２に配置することと、レール１３をレール位置７３に配置することとを、選択することができる。そして、支持台１５上におけるレール１３の配置位置を、レール位置７２からレール位置７３に変更することができ、また、レール位置７３からレール位置７２に変更することができる。
【００６９】
一方、支持台１５上のレール１４の配置位置は、固定されている。すなわち、支持台１５上に配置されたレール１４の位置は、変更しない。このため、レール１４の位置決め用の穴部５１として、レール１４をレール位置７１に配置するための穴部５１ａは設けられているが、レール１４をレール位置７１以外の位置に配置するための穴部５１は、支持台１５には設けられていない。但し、メンテナンスなどの際には、レール１４をネジ止めしているネジ４１を外す（抜く）ことにより、レール１４を支持台１５から取り外すことができる。
【００７０】
レール１４はレール位置７１に配置され、レール１３はレール位置７２とレール位置７３とのどちらかに配置されるため、レール１４をレール位置７１に配置し、かつ、レール１３をレール位置７２に配置した場合（図６および図８〜図１０の場合）と、レール１４をレール位置７１に配置し、かつ、レール１３をレール位置７３に配置した場合（図１１〜図１４の場合）とが、あり得る。レール１４をレール位置７１に配置し、かつ、レール１３をレール位置７２に配置した場合（図６および図８〜図１０の場合）と、レール１４をレール位置７１に配置し、かつ、レール１３をレール位置７３に配置した場合（図１１〜図１４の場合）とで、膜８のＭＤ方向における延伸倍率を変えることができる。すなわち、膜８のＭＤ方向における延伸倍率を変える必要が生じたときに、支持台１５上におけるレール１３の配置位置を、レール位置７２からレール位置７３に変更する。
【００７１】
支持台１５上におけるレール１３の配置位置を、レール位置７２からレール位置７３に変更するのは、次のようにして行うことができる。すなわち、まず、レール位置７２にネジ止めされたレール部材（レール１３）からネジ４１を外して（抜いて）から、そのレール部材（レール１３）をレール位置７３に移動させた後、そのレール部材（レール１３）の穴部６２と支持台１５の穴部５１ｃとにネジ４１を挿入して、レール位置７３にレール部材（レール１３）をネジ止めする。この場合は、レール位置７２に配置されるレール１３と、レール位置７３に配置されるレール１３とを、同じ（共通の）レール部材を用いて形成することができるため、レール位置７３用のレール部材を別個に用意せずに済む。このため、延伸装置５の製造コストを抑制することができる。
【００７２】
他の形態として、レール位置７２に配置されるレール部材とは別に、レール位置７３用のレール部材を予め用意しておく場合もあり得る。この場合は、レール位置７２にネジ止めされたレール部材（レール１３）からネジ４１を外し（抜き）、そのレール部材を支持台１５上から取り除いてから、別に用意していたレール部材（レール１３）をレール位置７３に配置して、そのレール部材（レール１３）の穴部６２と支持台１５の穴部５１ｃとにネジ４１を挿入して、レール位置７３にレール部材（レール１３）をネジ止めする。
【００７３】
上述のように、レール１３，１４の間隔（Ｌ１）に応じて、リンク１１のピッチ（Ｐ１）が変わり、それに伴い、膜８を把持するクリップ１２のピッチ（Ｐ２）も変わる。延伸装置５の入口において、膜８がクリップ１２により把持されるが、そのときのクリップ１２のピッチ（Ｐ２）を、α１と仮定する。領域２０Ａ（予熱領域）において、膜８を把持するクリップ１２のピッチ（Ｐ２）は、α１となっている。上述のように、領域２０Ｂ（延伸領域）においては、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、膜８を把持するクリップ１２のピッチ（Ｐ２）は、徐々に大きくなる。領域２０Ｂ（延伸領域）で延伸処理が行われた後の膜８を把持するクリップ１２のピッチ（Ｐ２）、すなわち、領域２０Ｃ（熱固定領域）における膜８を把持するクリップ１２のピッチ（Ｐ２）を、α２と仮定する。α２はα１よりも大きく、α１＜α２が成り立つ。膜８を把持するクリップ１２のピッチ（Ｐ２）は、領域２０Ａでは、ほぼ一定であり、α１となっており、領域２０Ｂでは、α１からα２へ徐々に大きくなり、領域２０Ｃでは、はほぼ一定であり、α２となっている。α１に対するα２の比（すなわちα２／α１）が、膜８のＭＤ方向における延伸処理の倍率（延伸倍率）に対応している。例えば、α２がα１の７倍（すなわちα２／α１＝７）であれば、延伸装置５によって膜８は、ＭＤ方向に７倍に引き伸ばされることになり、また、α２がα１の５倍（すなわちα２／α１＝５）であれば、延伸装置５によって膜８は、ＭＤ方向に５倍に引き伸ばされることになる。
【００７４】
レール１４をレール位置７１に配置し、かつ、レール１３をレール位置７２に配置した場合（図６および図８〜図１０の場合）と、レール１４をレール位置７１に配置し、かつ、レール１３をレール位置７３に配置した場合（図１１〜図１４の場合）とで、膜８のＭＤ方向における延伸倍率が相違する。例えば、レール１４をレール位置７１に配置し、かつ、レール１３をレール位置７２に配置した場合（図６および図８〜図１０の場合）は、膜８のＭＤ方向における延伸倍率（α２／α１）は、７倍であり、レール１４をレール位置７１に配置し、かつ、レール１３をレール位置７３に配置した場合（図１１〜図１４の場合）は、膜８のＭＤ方向における延伸倍率（α２／α１）は、５倍となる。このため、膜８のＭＤ方向における延伸倍率を７倍にしたいときには、支持台１５上におけるレール１３の配置位置をレール位置７２とし、膜８のＭＤ方向における延伸倍率を５倍にしたいときには、支持台１５上におけるレール１３の配置位置をレール位置７３に変更すればよい。なお、ここで示したＭＤ方向の延伸倍率の数値は、一例であり、これに限定されるものではない。
【００７５】
また、延伸装置５の入口において、膜８がクリップ１２により把持されるが、そのときの膜８の幅（ＴＤ方向の寸法）を幅β１と仮定する。膜８の幅は、その膜８を把持するリンク装置１０Ｒのクリップ１２Ｒとリンク装置１０Ｌのクリップ１２Ｌとの間の間隔（ＴＤ方向の間隔）とほぼ一致している。上述のように、膜８は、領域２０Ｂ（延伸領域）でＭＤ方向およびＴＤ方向に引き伸ばされるため、膜８の幅（ＴＤ方向の寸法）は、領域２０Ｂ（延伸領域）で徐々に大きくなる。領域２０Ｂ（延伸領域）で延伸処理が行われた後の膜８の幅、すなわち、領域２０Ｃ（熱固定領域）における膜８の幅（ＴＤ方向の寸法）を、β２と仮定する。β２はβ１よりも大きく、β１＜β２が成り立つ。膜８の幅は、領域２０Ａ（予熱領域）では、ほぼ一定であり、β１となっており、領域２０Ｂ（延伸領域）では、β１からβ２へ徐々に大きくなり、領域２０Ｃ（熱固定領域）では、はほぼ一定であり、β２となっている。β１に対するβ２の比（すなわちβ２／β１）が、膜８のＴＤ方向における延伸処理の倍率（延伸倍率）に対応している。例えば、β２がβ１の７倍（すなわちβ２／β１＝７）であれば、延伸装置５によって膜８は、ＴＤ方向に７倍に引き伸ばされることになる。
【００７６】
レール１４をレール位置７１に配置し、かつ、レール１３をレール位置７２に配置した場合（図６および図８〜図１０の場合）と、レール１４をレール位置７１に配置し、かつ、レール１３をレール位置７３に配置した場合（図１１〜図１４の場合）とで、膜８のＴＤ方向における延伸倍率は同じである。なぜなら、レール１３の配置位置をレール位置７２からレール位置７３に変更しても、レール１４の配置位置は、レール位置７１から変更されないためである。膜８を把持するリンク装置１０Ｒのクリップ１２Ｒとリンク装置１０Ｌのクリップ１２Ｌとの間の間隔（ＴＤ方向の間隔）は、リンク装置１０Ｒのレール１４Ｒ（外側レール）とリンク装置１０Ｌのレール１４Ｌ（外側レール）との間の間隔（ＴＤ方向の間隔）によって規定される。このため、膜８のＴＤ方向における延伸倍率に影響を与えるのは、リンク装置１０Ｒにおけるレール１３Ｒ，１４Ｒの間隔（Ｌ１）やリンク装置１０Ｌにおけるレール１３Ｌ，１４Ｌの間隔（Ｌ１）ではなく、リンク装置１０Ｒのレール１４Ｒとリンク装置１０Ｌのレール１４Ｌとの間の間隔（Ｌ２）である。従って、リンク装置１０Ｒのレール１４Ｒの位置とリンク装置１０Ｌのレール１４Ｌの位置とを変更しなければ、膜８のＴＤ方向における延伸倍率は変更されない。例えば、レール１４をレール位置７１に配置し、かつ、レール１３をレール位置７２に配置した場合（図６および図８〜図１０の場合）と、レール１４をレール位置７１に配置し、かつ、レール１３をレール位置７３に配置した場合（図１１〜図１４の場合）のどちらも、膜８のＴＤ方向における延伸倍率（β２／β１）は、７倍である。なお、ここで示したＴＤ方向の延伸倍率の数値は、一例であり、これに限定されるものではない。
【００７７】
ここで、リンク装置１０Ｒにおけるレール位置７１、レール位置７２およびレール位置７３を、それぞれレール位置７１Ｒ、レール位置７２Ｒおよびレール位置７３Ｒと称し、リンク装置１０Ｌにおけるレール位置７１、レール位置７２およびレール位置７３を、それぞれレール位置７１Ｌ、レール位置７２Ｌおよびレール位置７３Ｌと称することとする。
【００７８】
リンク装置１０Ｒにおいて、レール１４Ｒをレール位置７１Ｒに配置し、かつ、レール１３Ｒをレール位置７２Ｒに配置しているときには、リンク装置１０Ｌにおいて、レール１４Ｌをレール位置７１Ｌに配置し、かつ、レール１３Ｌをレール位置７２Ｌに配置する。一方、リンク装置１０Ｒにおいて、レール１４Ｒをレール位置７１Ｒに配置し、かつ、レール１３Ｒをレール位置７３Ｒに配置しているときには、リンク装置１０Ｌにおいて、レール１４Ｌをレール位置７１Ｌに配置し、かつ、レール１３Ｌをレール位置７３Ｌに配置する。つまり、リンク装置１０Ｒにおいて、レール１３Ｒの配置位置をレール位置７２Ｒからレール位置７３Ｒに変更するときには、リンク装置１０Ｌにおいて、レール１３Ｌの配置位置をレール位置７２Ｌからレール位置７３Ｌに変更する。これにより、膜８の左側（リンク装置１０Ｌ側）におけるＭＤ方向の延伸倍率（α２／α１）と、膜８の右側（リンク装置１０Ｒ側）におけるＭＤ方向の延伸倍率（α２／α１）とを、一致させることができるため、膜８の延伸処理を的確に行うことができる。
【００７９】
膜８の延伸処理を的確に行うためには、ＭＤ方向の位置が同じ場合に、リンク装置１０Ｒにおけるリンク１１のピッチＰ１とリンク装置１０Ｌにおけるリンク１１のピッチＰ１とが同じになることが好ましく、従って、ＭＤ方向の位置が同じ場合に、リンク装置１０Ｒにおけるクリップ１２のピッチＰ２とリンク装置１０Ｌにおけるクリップ１２のピッチＰ２とが同じになることが好ましい。これにより、リンク装置１０Ｒにおけるα２／α１（ＭＤ方向における延伸倍率）とリンク装置１０Ｌにおけるα２／α１（ＭＤ方向における延伸倍率）とを同じにすることができる。従って、これを実現できるように、リンク装置１０Ｒにおけるレール位置７１Ｒ，７２Ｒ，７３Ｒとリンク装置１０Ｌにおけるレール位置７１Ｌ，７２Ｌ，７３Ｌとを設定しておくことが好ましい。
【００８０】
また、レール位置７２とレール位置７３とは、全てが相違している訳ではなく、一部は共通している。すなわち、図８および図１１において、符号８１を付した矢印で指し示された位置８１よりも手前（ＭＤ方向における手前）では、レール位置７２とレール位置７３とは相違しているが、位置８１でレール位置７２とレール位置７３とが重なり、位置８１よりも先（ＭＤ方向における先）では、レール位置７２とレール位置７３とは一致している。この位置８１は、ＭＤ方向において、領域２０Ｂの途中に存在している。このため、リンク装置１０Ｌ，１０Ｒのそれぞれの膜側において、ＭＤ方向に見ると、領域２０Ａと領域２０Ｂの途中（位置８１）までは、レール位置７２とレール位置７３とは相違しているが、領域２０Ｂの途中（位置８１）から先と、領域２０Ｃでは、レール位置７２とレール位置７３とは一致している。レール位置７２とレール位置７３とが相違している領域は、穴部５１ｂと穴部５１ｃとが別々に設けられているが、レール位置７２とレール位置７３とが一致している領域では、穴部５１ｂと穴部５１ｃとが共通化されており、穴部５１ｂが穴部５１ｃも兼ねている。このため、リンク装置１０Ｌ，１０Ｒのそれぞれの膜側において、ＭＤ方向に見て、領域２０Ａと領域２０Ｂの途中（位置８１）までは、穴部５１ｂと穴部５１ｃとが別々に設けられているが、領域２０Ｂの途中（位置８１）から先と、領域２０Ｃでは、穴部５１ｂと穴部５１ｃとが共通化されており、穴部５１ｂが穴部５１ｃも兼ねている。従って、穴部５１ｂとは別に穴部５１ｃを設ける必要があるのは、領域２０Ａと領域２０Ｂの途中（位置８１）までであり、領域２０Ｂの途中（位置８１）から先と、領域２０Ｃでは、穴部５１ｂとは別に穴部５１ｃを設けなくともよい。このため、レール１３の配置位置をレール位置７２からレール位置７３に変更するときは、領域２０Ａと領域２０Ｂの途中（位置８１）までにおいて、レール１３の配置位置を変更すればよく、領域２０Ｂの途中（位置８１）から先と、領域２０Ｃでは、レール１３の配置位置は変更しなくてよい。
【００８１】
＜検討例について＞
図１５〜図１８を参照して、本発明者が検討した検討例の延伸装置について説明する。図１５は、検討例の延伸装置におけるレール１３，１４の配置位置を示す平面図であり、上記図８に相当するものである。図１６は、図１５の二点鎖線で囲まれた領域ＲＧ１０１を拡大して示す部分拡大平面図であり、上記図９に相当するものである。図１７は、図１５の二点鎖線で囲まれた領域ＲＧ１０２を拡大して示す部分拡大平面図であり、上記図１０に相当するものである。図１８は、検討例の延伸装置におけるリンク１１の断面図であり、上記図６に対応するものである。
【００８２】
図１５に示される検討例の延伸装置も、上記リンク装置１０Ｒに相当するリンク装置１１０Ｒと、上記リンク装置１０Ｌに相当するリンク装置１１０Ｌとを有している。図１５に示されるように、リンク装置１１０Ｌ，１１０Ｒのそれぞれは、上記支持台１５に相当する支持台１１５とその上に配置されたレール１３，１４とを有している。なお、図１５には示されないが、リンク装置１１０Ｌ，１１０Ｒのそれぞれは、上記リンク装置１０Ｌ，１０Ｒと同様に、上記複数のリンク１１と、その複数のリンク１１にそれぞれ取り付けられた上記複数のクリップ１２と、その複数のリンク１１を駆動する上記スプロケット１６，１７，１８も有している。
【００８３】
検討例の延伸装置におけるリンク装置１１０Ｌ，１１０Ｒが、本実施の形態の延伸装置５におけるリンク装置１０Ｌ，１０Ｒと相違しているのは、以下の点である。すなわち、図１５〜図１８からも分かるように、リンク装置１１０Ｌ，１１０Ｒのそれぞれが備える支持台１１５は、レール１４をレール位置７１に位置決めするための複数の穴部５１ａと、レール１３をレール位置７２に位置決めするための複数の穴部５１ｂとを有しているが、レール１３を上記レール位置７３に位置決めするための上記複数の穴部５１ｃは有していない。このため、レール１４はレール位置７１に配置され、レール１３はレール位置７２に配置されており、支持台１５上におけるレール１３，１４の配置位置は、変更できず、固定されている。レール１４は、レール位置７１に配置され、レール１４の穴部６１と支持台１５の穴部５１ａとにネジ４１が挿入されることで、レール１４が支持台１５に固定されている。また、レール１３は、レール位置７２に配置され、レール１３の穴部６２と支持台１５の穴部５１ｂとにネジ４１が挿入されることで、レール１３が支持台１５に固定されている。
【００８４】
このため、検討例の延伸装置（図１５〜図１８）の場合は、リンク装置１１０Ｌ，１１０Ｒは、レール１３，１４の配置位置が変更できないため、膜の延伸倍率を変更することが困難である。例えば、延伸装置の各リンク装置１１０Ｌ，１１０Ｒにおけるレール１３，１４の配置位置を、膜の延伸倍率がＴＤ方向に７倍、ＭＤ方向に７倍となるように設定していた場合は、その延伸装置を用いて、膜の延伸倍率がＴＤ方向に７倍、ＭＤ方向に５倍となるような延伸処理を行うことは困難である。このため、検討例の場合は、既に使用している延伸装置で可能な延伸倍率とは異なる延伸倍率の延伸処理が必要になったときには、別の延伸装置を用意するか、あるいは、既に使用している延伸装置において大掛かりな変更を行うことで、対処する必要がある。これは、延伸装置を用いて薄膜を製造する際に、製造コストを増加させてしまう。
【００８５】
また、リンク装置１１０Ｌ，１１０Ｒのそれぞれにおいて、レール１３の位置を動かす機構（可動機構）を設けることも考えられるが、これは、延伸装置の構造を複雑化し、延伸装置の製造コストの増大を招いてしまう。これも、延伸装置を用いて薄膜を製造する際に、製造コストを増加させてしまう。
【００８６】
＜主要な特徴と効果について＞
本実施の形態における延伸装置５は、膜（熱可塑性樹脂膜）８の搬送および延伸を行う一対のリンク装置１０Ｌ，１０Ｒと、その一対のリンク装置１０Ｌ，１０Ｒの中央部を覆い、膜８に熱処理を行うための熱処理部１９と、を含んでいる。一対のリンク装置１０Ｌ，１０Ｒのそれぞれは、支持台１５と、支持台１５上に配置された、平面視において環状のレール（外側レール）１４およびレール１４の内周側にレール１４に対向するように配置されたレール（内側レール）１３と、を有している。
【００８７】
本実施の形態の主要な特徴は、一対のリンク装置１０Ｌ，１０Ｒのそれぞれが、レール１３をレール位置７２に位置決めするための位置決め手段（ここでは複数の穴部５１ｂ）と、レール１３をレール位置７３に位置決めするための位置決め手段（ここでは複数の穴部５１ｃ）と、を有していることである。レール１３がレール位置７２またはレール位置７３に配置されることで、膜８の延伸倍率を可変とすることができる。
【００８８】
具体的には、支持台１５Ｌが、レール１３Ｌをレール位置７２Ｌに位置決めするための位置決め手段（ここでは複数の穴部５１ｂ）と、レール１３Ｌをレール位置７３Ｌに位置決めするための位置決め手段（ここでは複数の穴部５１ｃ）と、を有している。また、支持台１５Ｒが、レール１３Ｒをレール位置７２Ｒに位置決めするための位置決め手段（ここでは複数の穴部５１ｂ）と、レール１３Ｒをレール位置７３Ｒに位置決めするための位置決め手段（ここでは複数の穴部５１ｃ）と、を有している。レール１３Ｌは、レール位置７２Ｌとレール位置７３Ｌのいずれかに配置され、レール１３Ｒは、レール位置７２Ｒとレール位置７３Ｒのいずれかに配置されている。
【００８９】
リンク装置１０Ｌが、レール１３Ｌをレール位置７２Ｌに位置決めするための位置決め手段と、レール１３Ｌをレール位置７３Ｌに位置決めするための位置決め手段とを有しているため、レール１３Ｌは、レール位置７２Ｌとレール位置７３Ｌのどちらにも位置決めして配置することができる。レール位置７２Ｌ用の位置決め手段とレール位置７３Ｌ用の位置決め手段とがあるため、レール１３Ｌをレール位置７２Ｌに配置していたとしても、レール１３Ｌの配置位置は、レール位置７２Ｌからレール位置７３Ｌに変更可能であり、また、レール１３Ｌをレール位置７３Ｌに配置していたとしても、レール１３Ｌの配置位置は、レール位置７３Ｌからレール位置７２Ｌに変更可能である。また、リンク装置１０Ｒが、レール１３Ｒをレール位置７２Ｒに位置決めするための位置決め手段と、レール１３Ｒをレール位置７３Ｒに位置決めするための位置決め手段とを有しているため、レール１３Ｒは、レール位置７２Ｒとレール位置７３Ｒのどちらにも位置決めして配置することができる。レール位置７２Ｒ用の位置決め手段とレール位置７３Ｒ用の位置決め手段とがあるため、レール１３Ｒをレール位置７２Ｒに配置していたとしても、レール１３Ｒの配置位置は、レール位置７２Ｒからレール位置７３Ｒに変更可能であり、また、レール１３Ｒをレール位置７３Ｒに配置していたとしても、レール１３Ｒの配置位置は、レール位置７３Ｒからレール位置７２Ｒに変更可能である。
【００９０】
このため、本実施の形態の延伸装置５の場合は、リンク装置１０Ｌ，１０Ｒのそれぞれにおけるレール１３，１４の配置位置が変更可能であるため、膜の延伸倍率を変更することが容易である。すなわち、レール１３Ｌとレール１３Ｒの配置位置が変更可能であるため、レール１３Ｌをレール位置７２Ｌに配置し、かつ、レール１３Ｒをレール位置７２Ｒに配置した場合と、レール１３Ｌをレール位置７３Ｌに配置し、かつ、レール１３Ｒをレール位置７３Ｒに配置した場合とで、膜８のＭＤ方向における延伸倍率を異ならせることができる。レール１３Ｌとレール１３Ｒの配置位置を変更することにより、膜８のＭＤ方向における延伸倍率を変更することができるため、容易かつ的確に、膜８の延伸倍率の変更を行うことができる。このため、１台の延伸装置を用いて、延伸倍率が異なる複数の延伸処理を行うことが可能になる。延伸装置５を用いて延伸処理を行っていて、その延伸処理とは異なる延伸倍率の延伸処理が必要になったときには、その延伸装置５においてレール１３Ｌ，１３Ｒの配置位置を変更すればよいため、別の延伸装置を用意する必要がなく、また、延伸装置５において大掛かりな変更を行う必要もない。また、必要な延伸装置の台数を低減することができる。このため、延伸装置を用いて薄膜を製造する際に、製造コストを抑制（低減）することができる。
【００９１】
例えば、レール１３Ｌをレール位置７２Ｌに配置し、かつ、レール１３Ｒをレール位置７２Ｒに配置した場合に、膜８のＭＤ方向における延伸倍率が７倍になるように、レール位置７２Ｌ，７２Ｒを設定しておく。そして、レール１３Ｌをレール位置７３Ｌに配置し、かつ、レール１３Ｒをレール位置７３Ｒに配置した場合に、膜８のＭＤ方向における延伸倍率が５倍になるように、レール位置７３Ｌ，７３Ｒを設定しておく。これにより、ＭＤ方向における延伸倍率が７倍の延伸処理と、ＭＤ方向における延伸倍率が５倍の延伸処理とを、１台の延伸装置５を用いて行うことができ、延伸倍率の変更も、容易かつ的確に行うことができる。なお、ここで言及した延伸倍率の数値は一例である。
【００９２】
また、リンク装置１０Ｌ，１０Ｒのそれぞれにおいて、レール１３の位置を動かす機構（可動機構）を設けなくともよく、レール１３の配置位置を手動で変更することができる。その際、レール位置７２Ｌ用の位置決め手段とレール位置７３Ｌ用の位置決め手段とによって、レール１３Ｌを位置決めし、レール位置７２Ｒ用の位置決め手段とレール位置７３Ｒ用の位置決め手段とによって、レール１３Ｒを位置決めすることができる。このため、延伸装置の構造を簡略化でき、延伸装置の製造コストを抑制することができる。また、延伸装置の小型化を図ることもできる。
【００９３】
また、１台の延伸装置において、ＭＤ方向の延伸処理の倍率を変更できるため、延伸処理を行う膜８に合わせて、ＭＤ方向の延伸処理の倍率を選択することができる。このため、製造された薄膜（延伸処理後の膜）の特性を向上させることができる。
【００９４】
また、レール１３Ｌをレール位置７２Ｌに位置決めするための位置決め手段と、レール１３Ｌをレール位置７３Ｌに位置決めするための位置決め手段とは、それぞれ、支持台１５Ｌに設けられた複数の穴部５１とすることができる。また、レール１３Ｒをレール位置７２Ｒに位置決めするための位置決め手段と、レール１３Ｒをレール位置７３Ｒに位置決めするための位置決め手段とは、それぞれ、支持台１５Ｒに設けられた複数の穴部５１とすることができる。これにより、簡単な構成で、レール１３Ｌ，１３Ｒを位置決めして固定することができるため、延伸装置の構造を簡略化でき、延伸装置の製造コストを抑制することができる。
【００９５】
また、リンク装置１０Ｌにおいて、レール位置７２Ｌとレール位置７３Ｌとは、互いに相違する部分と、互いに共通する部分とを有し、また、リンク装置１０Ｒにおいて、レール位置７２Ｒとレール位置７３Ｒとは、互いに相違する部分と、互いに共通する部分とを有している。これにより、延伸倍率を変更する際に、レール位置７２Ｌとレール位置７３Ｌとが互いに共通する部分では、レール１３Ｌを動かさずに済み、また、レール位置７２Ｒとレール位置７３Ｒとが互いに共通する部分では、レール１３Ｒを動かさずに済むため、レール１３Ｌ，１３Ｒの配置位置の変更に伴う労力を低減することができる。
【００９６】
具体的には、レール位置７２Ｌとレール位置７３Ｌとが互いに相違する部分は、領域２０Ａおよび領域２０Ｂに存在し、レール位置７２Ｒとレール位置７３Ｒとが互いに相違する部分は、領域２０Ａおよび領域２０Ｂに存在している。領域２０Ｃでは、レール位置７２Ｌとレール位置７３Ｌとは互いに共通し、かつ、レール位置７２Ｒとレール位置７３Ｒとは互いに共通している。このため、延伸倍率を変更する際に、領域２０Ｃでは、レール１３Ｌ，１３Ｒの配置位置を変更する必要はなく、その分、レール１３Ｌ，１３Ｒの配置位置の変更に伴う労力を低減することができる。
【００９７】
（実施の形態２）
上記実施の形態１では、リンク装置１０Ｌ，１０Ｒのそれぞれにおいて、レール１３の配置可能な位置は、レール位置７２とレール位置７３の２つであったが、レール１３の配置可能な位置は、３つ以上とすることもでき、その場合が本実施の形態２に対応している。
【００９８】
図１９は、本実施の形態２におけるレール１３，１４の配置位置を示す平面図であり、上記図８に対応するものであり、リンク装置１０Ｌ，１０Ｒのそれぞれにおいて、レール１４がレール位置７１に配置され、レール１３がレール位置７２に配置された状態が示されている。図２０は、図１９の二点鎖線で囲まれた領域ＲＧ５を拡大して示す部分拡大平面図であり、図２１は、図１９の二点鎖線で囲まれた領域ＲＧ６を拡大して示す部分拡大平面図である。図１９〜図２１において、レール位置７３とレール位置７４は、それぞれ点線で示してある。
【００９９】
本実施の形態２においては、図１９〜図２１からも分かるように、リンク装置１０Ｌ，１０Ｒのそれぞれにおいて、レール１３は、レール位置７２とレール位置７３とレール位置７３のいずれにも配置可能である。すなわち、図１９〜図２１では、リンク装置１０Ｌ，１０Ｒのそれぞれにおいて、レール１３はレール位置７２に配置されているが、レール１３の配置位置は、レール位置７３およびレール位置７４のいずれにも変更可能である。なお、リンク装置１０Ｌにおけるレール位置７４をレール位置７４Ｌと称し、リンク装置１０Ｒにおけるレール位置７４をレール位置７４Ｒと称する。リンク装置１０Ｒにおいて、レール１４Ｒをレール位置７１Ｒに配置し、かつ、レール１３Ｒをレール位置７４Ｒに配置しているときには、リンク装置１０Ｌにおいて、レール１４Ｌをレール位置７１Ｌに配置し、かつ、レール１３Ｌをレール位置７４Ｌに配置する。
【０１００】
このため、支持台１５には、レール１４をレール位置７１に位置決めするための複数の穴部５１ａと、レール１３をレール位置７２に位置決めするための複数の穴部５１ｂと、レール１３をレール位置７３に位置決めするための複数の穴部５１ｃとに加えて、更に、レール１３をレール位置７４に位置決めするための複数の穴部５１ｄも形成されている。このため、支持台１５に形成された複数の穴部５１は、複数の穴部５１ａと、複数の穴部５１ｂと、複数の穴部５１ｃと、複数の穴部５１ｄとを含んでいる。
【０１０１】
支持台１５において、穴部５１ｄは、レール位置７４に沿って並ぶように、複数配置されている。レール１３をレール位置７４に配置したときには、レール１３の上記穴部６２と支持台１５の穴部５１ｄとに上記ネジ４１を挿入することで、レール１３を支持台１５に固定することができる。支持台１５の穴部５１ｄは、その支持台１５上に配置するレール１３の位置を決める位置決め手段（位置決め部）として機能することができ、その穴部５１ｄを利用することにより、レール１３をレール位置７４に位置決めして固定することができる。
【０１０２】
このため、レール１３をレール位置７２に配置することと、レール１３をレール位置７３に配置することと、レール１３をレール位置７４に配置することとを、選択することができる。そして、支持台１５上におけるレール１３の配置位置を、レール位置７２からレール位置７３またはレール位置７４に変更することができ、また、レール位置７３からレール位置７２またはレール位置７４に変更することができ、また、レール位置７４からレール位置７２またはレール位置７３に変更することができる。
【０１０３】
それ以外については、本実施の形態２の延伸装置５も、上記実施の形態１の延伸装置５とほぼ同様であるので、ここでは繰り返しの説明は省略する。
【０１０４】
レール１４をレール位置７１に配置し、かつ、レール１３をレール位置７２に配置した場合と、レール１４をレール位置７１に配置し、かつ、レール１３をレール位置７３に配置した場合と、レール１４をレール位置７１に配置し、かつ、レール１３をレール位置７４に配置した場合とで、膜８のＭＤ方向における延伸倍率は互いに異なっている。すなわち、レール１３をレール位置７２に配置した場合と、レール１３をレール位置７３に配置した場合と、レール１３をレール位置７４に配置した場合とで、膜８のＭＤ方向における延伸倍率が変わるように、レール位置７１，７２，７３，７４が設定されている。このため、膜８のＭＤ方向における延伸倍率を変える必要が生じたときに、支持台１５上におけるレール１３の配置位置を変更する。
【０１０５】
本実施の形態２では、支持台１５Ｌは、レール１３Ｌをレール位置７４Ｌに位置決めするための決め手段（ここでは複数の穴部５１ｄ）を更に有し、支持台１５Ｒは、レール１３Ｒをレール位置７４Ｒに位置決めするための位置決め手段（ここでは複数の穴部５１ｄ）を更に有している。このため、本実施の形態２では、１台の延伸装置を用いて、延伸倍率が異なる３種類の延伸処理を行うことができる。
【０１０６】
例えば、レール１３Ｌをレール位置７２Ｌに配置し、かつ、レール１３Ｒをレール位置７２Ｒに配置した場合に、膜８のＭＤ方向における延伸倍率が７倍になるように、レール位置７２Ｌ，７２Ｒを設定しておく。また、レール１３Ｌをレール位置７３Ｌに配置し、かつ、レール１３Ｒをレール位置７３Ｒに配置した場合に、膜８のＭＤ方向における延伸倍率が５倍になるように、レール位置７３Ｌ，７３Ｒを設定しておく。そして、レール１３Ｌをレール位置７４Ｌに配置し、かつ、レール１３Ｒをレール位置７４Ｒに配置した場合に、膜８のＭＤ方向における延伸倍率が９倍になるように、レール位置７４Ｌ，７４Ｒを設定しておく。これにより、ＭＤ方向における延伸倍率が７倍の延伸処理と、ＭＤ方向における延伸倍率が５倍の延伸処理と、ＭＤ方向における延伸倍率が９倍の延伸処理とを、１台の延伸装置５を用いて行うことができ、延伸倍率の変更も、容易かつ的確に行うことができる。なお、ここで言及した延伸倍率の数値は一例である。
【０１０７】
また、更に他の形態として、リンク装置１０Ｌ，１０Ｒのそれぞれにおいて、レール１３の配置可能な位置を、４つ以上とすることもできる。この場合、支持台１５には、レール１３を配置可能な４つ以上のレール位置のそれぞれに対して、レール１３を位置決めするための複数の穴部５１を設けておけばよい。この場合も、レール１３の配置位置を変えることで、膜８のＭＤ方向における延伸倍率を変えることができる。
【０１０８】
（実施の形態３）
上記実施の形態１，２では、リンク装置１０Ｒ用の支持台１５（すなわちレール１３Ｒ，１４Ｒを支持する支持台１５Ｒ）とリンク装置１０Ｌ用の支持台１５（すなわちレール１３Ｌ，１４Ｌを支持する支持台１５Ｌ）とを、別々に設けていた。それに対して、本実施の形態３では、リンク装置１０Ｒ用の支持台１５（すなわちレール１３Ｒ，１４Ｒを支持する支持台１５）とリンク装置１０Ｌ用の支持台１５（すなわちレール１３Ｌ，１４Ｌを支持する支持台１５）とは共通化されており、共通の支持台１５である支持台１５Ｃ上に、リンク装置１０Ｒ用のレール１３Ｒ，１４Ｒと、リンク装置１０Ｌ用のレール１３Ｌ，１４Ｌとが配置されて支持されている。それ以外については、本実施の形態３も、上記実施の形態１または上記実施の形態２と同様である。
【０１０９】
図２２は、本実施の形態３を上記実施の形態１に適用した場合におけるレール１３，１４の配置位置を示す平面図であり、上記図８に対応するものである。図２２には、リンク装置１０Ｌ，１０Ｒのそれぞれにおいて、レール１４がレール位置７１に配置され、レール１３がレール位置７２に配置された状態が示されている。図２２において、レール位置７３は点線で示してある。図２２における領域ＲＧ１の拡大図は、上記図９と同様であり、図２２における領域ＲＧ２の拡大図は、上記図１０と同様であるので、ここでは繰り返しの図示は省略する。
【０１１０】
本実施の形態３を上記実施の形態１に適用した場合は、図２２と上記図９および図１０とからも分かるように、レール１４Ｌをレール位置７１Ｌに位置決めするための位置決め手段と、レール１３Ｌをレール位置７２Ｌに位置決めするための位置決め手段と、レール１３Ｌをレール位置７３Ｌに位置決めするための位置決め手段と、レール１４Ｒをレール位置７１Ｒに位置決めするための位置決め手段と、レール１３Ｒをレール位置７２Ｒに位置決めするための位置決め手段と、レール１３Ｒをレール位置７３Ｒに位置決めするための位置決め手段とが、共通の支持台１５Ｃに設けられている。具体的には、レール位置７１Ｌ用の複数の穴部５１ａと、レール位置７２Ｌ用の複数の穴部５１ｂと、レール位置７３Ｌ用の複数の穴部５１ｃと、レール位置７１Ｒ用の複数の穴部５１ａと、レール位置７２Ｒ用の複数の穴部５１ｂと、レール位置７３Ｒ用の複数の穴部５１ｃとが、共通の支持台１５Ｃに設けられている。それ以外については、上記実施の形態１と同様である。
【０１１１】
図２３は、本実施の形態３を上記実施の形態２に適用した場合におけるレール１３，１４の配置位置を示す平面図であり、上記図１９に対応するものである。図２３には、リンク装置１０Ｌ，１０Ｒのそれぞれにおいて、レール１４がレール位置７１に配置され、レール１３がレール位置７２に配置された状態が示されている。図２３において、レール位置７３とレール位置７４は、それぞれ点線で示してある。図２３における領域ＲＧ５の拡大図は、上記図２０と同様であり、図２３における領域ＲＧ６の拡大図は、上記図２１と同様であるので、ここでは繰り返しの図示は省略する。
【０１１２】
本実施の形態３を上記実施の形態２に適用した場合は、図２３と上記図２０および図２１とからも分かるように、レール１４Ｌをレール位置７１Ｌに位置決めするための位置決め手段と、レール１３Ｌをレール位置７２Ｌに位置決めするための位置決め手段と、レール１３Ｌをレール位置７３Ｌに位置決めするための位置決め手段と、レール１３Ｌをレール位置７４Ｌに位置決めするための位置決め手段と、レール１４Ｒをレール位置７１Ｒに位置決めするための位置決め手段と、レール１３Ｒをレール位置７２Ｒに位置決めするための位置決め手段と、レール１３Ｒをレール位置７３Ｒに位置決めするための位置決め手段と、レール１３Ｒをレール位置７４Ｒに位置決めするための位置決め手段とが、共通の支持台１５Ｃに設けられている。具体的には、レール位置７１Ｌ用の複数の穴部５１ａと、レール位置７２Ｌ用の複数の穴部５１ｂと、レール位置７３Ｌ用の複数の穴部５１ｃと、レール位置７４Ｌ用の複数の穴部５１ｄと、レール位置７１Ｒ用の複数の穴部５１ａと、レール位置７２Ｒ用の複数の穴部５１ｂと、レール位置７３Ｒ用の複数の穴部５１ｃと、レール位置７４Ｒ用の複数の穴部５１ｄとが、共通の支持台１５Ｃに設けられている。それ以外については、上記実施の形態２と同様である。
【０１１３】
上記実施の形態１，２のように、レール１３Ｒ，１４Ｒを配置する支持台１５Ｒと、レール１３Ｌ，１４Ｌを配置する支持台１５Ｌとを、別々に設ける場合は、支持台１５Ｌ，１５Ｒを小型化（小面積化）することができるため、延伸装置の小型化に有利となる。
【０１１４】
一方、本実施の形態３のように、共通の支持台１５Ｃ上にレール１３Ｌ，１３Ｒ，１４Ｌ，１４Ｒを配置する場合は、リンク装置１０Ｌ用のレール１４Ｌとリンク装置１０Ｒ用のレール１４Ｒとの間の間隔（Ｌ２）を、所定の設計値通りに設定しやすくなる。
【０１１５】
以上、本発明者によってなされた発明をその実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【０１１６】
１  薄膜製造システム
２  押出装置
２ａ  原料供給部
３  Ｔダイ
４  原反冷却装置
５  延伸装置
６  引取り装置
７  巻取り装置
８  膜
１０，１０Ｌ，１０Ｒ  リンク装置
１１，１１Ｌ，１１Ｒ  リンク
１２，１２Ｌ，１２Ｒ  クリップ
１３，１３Ｌ，１３Ｒ，１４，１４Ｌ，１４Ｒ  レール
１５，１５Ｌ，１５Ｒ  支持台
１６，１６Ｌ，１６Ｒ，１７，１７Ｌ，１７Ｒ，１８，１８Ｌ，１８Ｒ  スプロケット
１９  熱処理部
２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ  領域
２２  上段側リンクプレート
２３  下段側リンクプレート
２４，２５  レールホルダ
２６，２７  シャフト
２８  係合部
３１  本体部
３２  把持部
３３  バネ部
３４，３５，３６，３７  軸受けローラ
４１  ネジ
５１，５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，５１ｄ，６１，６２  穴部
７１，７１Ｌ，７１Ｒ，７２，７２Ｌ，７２Ｒ，７３，７３Ｌ，７３Ｒ，７４，７４Ｌ，７４Ｒ  レール位置
Ｐ１，Ｐ２  ピッチ
Ｌ１，Ｌ２  間隔
【図１】
2020199722.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2020199722.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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