(57)【要約】【課題】クレーン等の揚程が不足する場合でもチャンバからのカセット取り出しを可能とする。【解決手段】複数枚の基板を多段に収納するカセット２０と、カセットを密閉可能に収納するチャンバ１０と、カセットをチャンバ内で昇降させる昇降機構２３，３０と、を有し、チャンバが天井部１１ａと底部１２ａと側部１１ｂ〜１２ｅとを有するとともに、上チャンバ１１と下チャンバ１２とに分割されて互いにシール面となるフランジ部１３，１４が平面状に周設され、フランジ部が、少なくとも天井部よりも下側が分割位置となるように傾斜して配置される。【選択図】図４
2020107725.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の基板を多段に収納するカセットと、
前記カセットを密閉可能に収納するチャンバと、
前記カセットを前記チャンバ内で昇降させる昇降機構と、
を有し、
前記チャンバが天井部と底部と側部とを有するとともに、上チャンバと下チャンバとに分割されて互いにシール面となるフランジ部が平面状に周設され、
前記フランジ部が、少なくとも前記天井部よりも下側が分割位置となるように傾斜して配置される
ことを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記フランジ部が、前記底部と前記側部との境界位置の一部となるように傾斜して配置される
ことを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記フランジ部が、前記天井部と前記側部との境界位置の一部となるように傾斜して配置される
ことを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記下チャンバには、前記上チャンバを前記下チャンバに対して移動する際にガイドするガイド部が設けられ、
前記ガイド部が水平方向に延在する部分を有して、前記フランジ部の傾斜した部分における外側位置に設けられる
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記下チャンバとなる前記側部には、前記基板を出し入れする搬出入口が複数設けられる
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記カセットを昇降させる昇降軸が、前記カセットの底部から下向きに取り付けられる
ことを特徴とする請求項１から５のいずれか記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記チャンバの上方位置に設けられて、前記上チャンバおよび前記カセットを吊り下げて昇降可能な吊り下げ装置を有する
ことを特徴とする請求項１から６のいずれか記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記チャンバが前記基板を搬出入可能なトランスファチャンバに接続され、
前記トランスファチャンバに接続される前記チャンバの接続方向と、前記吊り下げ装置の水平方向における移動方向と、が直交していない
ことを特徴とする請求項７記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記チャンバでは前記基板の加熱処理がおこなわれ、
前記カセットの各段には、ヒータがそれぞれ設けられる
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板処理装置に関し、特に多数枚の基板を同時に処理する装置に用いて好適な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
加熱処理等、平板状の基板をカセット内に水平位置として多段に載置し複数枚を同時に密閉チャンバ内で処理する装置が知られている（特許文献１）。
このような装置では、カセットの各段にそれぞれ一枚の基板を搬入するために、チャンバ内でカセットを上下方向に移動する昇降機構を備えている。
昇降機構としては、カセットの底部から下方に接続された鉛直方向に延在する昇降軸と、チャンバ底部を貫通したこの昇降軸を鉛直方向に駆動するチャンバ外に設けられた駆動機構とを有する。
【０００３】
メンテナンス時などに、チャンバ内からカセットを取り出す際には、例えば、チャンバ上部の天井部分となる蓋部を上方に移動してチャンバを外部に対して開放状態とした後、カセットを取り出す。
【０００４】
チャンバ外にカセットを取り出すためには、平面視してカセット外となる位置まで水平方向に移動する。この際、カセットの底部に取り付けられている昇降軸が、チャンバの側部（側壁部）と当接しないことが必要である。このため、チャンバの側部（側壁部）の上端よりも、昇降軸の下端が上側位置になるまでカセットを上昇させた後、水平方向に移動することが必要である。
【０００５】
半導体製造、あるいは、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等のＦＰＤ（ｆｌａｔ  ｐａｎｅｌ  ｄｉｓｐｌａｙ，フラットパネルディスプレイ）の製造に用いられる装置においては、蓋部、あるいは、カセットの重量は数ｔ（トン）となる。
このため、上記の処理装置におけるカセット取りだし時には、処理機構の設置された建屋における天井等に設けたホイスト、あるいは、クレーンなどの吊り下げ装置によって、蓋部、あるいは、カセットを吊り下げて移動させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−２６３０６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、建屋の天井高さ、あるいは、吊り下げ機構の設置高さが足りない場合がある。
このため、チャンバの側部（側壁部）の上端よりも昇降軸の下端が高い位置までカセットを上昇させるために必要なクレーン等の揚程が足りず、そのままでは、チャンバからカセットを取り出すことができない場合があるという問題があった。
【０００８】
例えば、通常、ホイスト、あるいは、クレーンなどの吊り下げ装置は、水平方向では前後左右の直交する二方向のみに移動可能である。ところが、カセットの収納されたチャンバとしては、平面視した輪郭が多角形状であるトランスファチャンバに接続されているアニール室などが考えられる。この場合、チャンバ側部（側壁部）が、吊り下げ装置の水平移動方向とは角度を有して傾斜した方向に沿って位置している。
このため、カセットをチャンバから取り出すためには、チャンバの側壁部の上端よりも昇降軸の下端が高い位置までカセットを上昇させた後でないと、カセットを水平方向に移動させることができなかった。このために必要なクレーン等の揚程が足りなくなる場合がある。
【０００９】
さらに、多数枚の基板を一度に処理する装置では、処理可能枚数に対応して、カセットの高さ寸法が大きくなる。このため、チャンバの側部（側壁部）の上端よりも昇降軸の下端が高い位置までカセットを上昇させるために必要なクレーン等の揚程が足りなくなる場合がある。
【００１０】
また、カセットの各段に基板を搬出入する際には、チャンバ内部でカセットを昇降可能とすることが必要である。これは、チャンバの側部（側壁部）に高さ位置の固定された搬出入口に対して、各段に基板を搬入可能な高さにカセットを昇降させるためである。
この際、カセットを昇降可能とするチャンバ内部の高さ寸法を維持した場合、チャンバの側壁部の高さ寸法が大きくなる。このため、チャンバの側部（側壁部）の上端よりも昇降軸の下端が高い位置までカセットを上昇させるために必要なクレーン等の揚程が足りなくなる場合がある。
【００１１】
同時に、カセットの各段への基板搬出入用に、カセットを昇降可能とするために必要なチャンバ内部の高さ寸法を維持した場合、昇降軸の長さ寸法も大きくなる。このため、チャンバの側部（側壁部）の上端よりも昇降軸の下端が高い位置までカセットを上昇させるために必要なクレーン等の揚程が足りなくなる場合がある。
【００１２】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、以下の目的を達成しようとするものである。
１．チャンバ内部で、カセットの昇降に必要な空間高さを削減すること。
２．チャンバからカセットを取り出す際に必要な、クレーン等の揚程を削減すること。
３．チャンバからのカセットの取り出しに必要となるチャンバの側部の高さ寸法を削減すること。
４．チャンバからのカセットの取り出しに必要となるカセットの昇降軸の高さ寸法を削減すること。
５．クレーン等の揚程が不足する場合でも、チャンバからのカセット取り出しを可能とすること。
６．チャンバからのカセット取り出しを伴う作業における作業の簡易化と、作業時間の短縮とを図ること。
７．チャンバからのカセット取り出しにおける容易性を向上し、かつ、チャンバのシール性（密閉性）を維持すること。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の基板処理装置は、複数枚の基板を多段に収納するカセットと、
前記カセットを密閉可能に収納するチャンバと、
前記カセットを前記チャンバ内で昇降させる昇降機構と、
を有し、
前記チャンバが天井部と底部と側部とを有するとともに、上チャンバと下チャンバとに分割されて互いにシール面となるフランジ部が平面状に周設され、
前記フランジ部が、少なくとも前記天井部よりも下側が分割位置となるように傾斜して配置されることにより上記課題を解決した。
本発明の基板処理装置は、前記フランジ部が、前記底部と前記側部との境界位置の一部となるように傾斜して配置されることができる。
本発明の基板処理装置において、前記フランジ部が、前記天井部と前記側部との境界位置の一部となるように傾斜して配置されることが好ましい。
本発明の基板処理装置において、前記下チャンバには、前記上チャンバを前記下チャンバに対して移動する際にガイドするガイド部が設けられ、
前記ガイド部が水平方向に延在する部分を有して、前記フランジ部の傾斜した部分における外側位置に設けられることが可能である。
また、本発明の基板処理装置において、前記下チャンバとなる前記側部には、前記基板を出し入れする搬出入口が複数設けられる手段を採用することもできる。
本発明の基板処理装置は、前記カセットを昇降させる昇降軸が、前記カセットの底部から下向きに取り付けられることができる。
また、本発明の基板処理装置は、前記チャンバの上方位置に設けられて、前記上チャンバおよび前記カセットを吊り下げて昇降可能な吊り下げ装置を有することができる。
また、本発明の基板処理装置は、前記チャンバが前記基板を搬出入可能なトランスファチャンバに接続され、
前記トランスファチャンバに接続される前記チャンバの接続方向と、前記吊り下げ装置の水平方向における移動方向と、が直交していないことができる。
また、本発明の基板処理装置は、前記チャンバでは前記基板の加熱処理がおこなわれ、
前記カセットの各段には、ヒータがそれぞれ設けられることができる。
【００１４】
本発明の基板処理装置は、複数枚の基板を多段に収納するカセットと、
前記カセットを密閉可能に収納するチャンバと、
前記カセットを前記チャンバ内で昇降させる昇降機構と、
を有し、
前記チャンバが天井部と底部と側部とを有するとともに、上チャンバと下チャンバとに分割されて互いにシール面となるフランジ部が平面状に周設され、
前記フランジ部が、少なくとも前記天井部よりも下側が分割位置となるように傾斜して配置される。
【００１５】
これにより、下チャンバ側部の上端であるフランジ部が、配置される傾斜状態に対応して、天井部よりも下側に位置する部分を有する。同時に、上チャンバ側部の下端であるフランジ部が、配置される傾斜状態に対応して、底部よりも上側の高さ位置となる部分を有する。
【００１６】
したがって、メンテナンス時など、上チャンバを下チャンバから外す際に、横方向に移動する上チャンバにおける後側の下端であるフランジ部が、チャンバ内部に収納されたカセット等に当接することを防止する。この際、チャンバを分割するフランジ部で形成されるシール面が傾斜していることで、上チャンバを下チャンバから上方に移動させる距離を短縮することが可能となる。つまり、クレーンなどの吊り下げ装置の揚程を短縮することが可能となる。
【００１７】
同時に、メンテナンス時など、上チャンバを外した下チャンバからカセットを外す際に、横方向に移動するカセットにおける下端が、下チャンバにおける移動向の前側の上端であるフランジ部に当接することを防止する。この際、チャンバを分割するフランジ部で形成されるシール面が傾斜していることで、カセットを下チャンバから上方に移動させる距離を短縮することが可能となる。つまり、クレーンなどの吊り下げ装置の揚程を短縮することが可能となる。
【００１８】
さらに、メンテナンス終了時など、外していた上チャンバを下チャンバに組み付ける際に、横方向に移動する上チャンバにおける前側の下端であるフランジ部が、チャンバ内部に収納されたカセット等に当接することを防止する。この際、チャンバを分割するフランジ部で形成されるシール面が傾斜していることで、上チャンバを下チャンバから上方に離間させて横方向に移動させる上下方向の距離を短縮することが可能となる。つまり、クレーンなどの吊り下げ装置の揚程を短縮することが可能となる。
【００１９】
同時に、メンテナンス終了時など、上チャンバを外した状態で下チャンバにカセットを組み付ける際に、横方向に移動するカセットにおける下端が、下チャンバにおける移動向の後側の上端であるフランジ部に当接することを防止する。この際、チャンバを分割するフランジ部で形成されるシール面が傾斜していることで、カセットを下チャンバから上方に離間させて横方向に移動させる上下方向の距離を短縮することが可能となる。つまり、クレーンなどの吊り下げ装置の揚程を短縮することが可能となる。
【００２０】
本発明の基板処理装置は、前記フランジ部が、前記底部と前記側部との境界位置の一部となるように傾斜して配置される。
【００２１】
これにより、メンテナンス時など、上チャンバを外した下チャンバからカセットを外す際に、横方向に移動するカセットにおける下端が、下チャンバにおける移動方向の前側の上端であるフランジ部に当接することを防止する。この際、傾斜したフランジ部は、下チャンバの移動方向における前側となる上端において、フランジ部の高さ位置が、チャンバの底部の高さと一致している。
【００２２】
これにより、カセットを下チャンバから上方に移動させる距離を短縮することが可能となる。つまり、クレーンなどの吊り下げ装置の揚程を短縮することが可能となる。
【００２３】
同時に、メンテナンス終了時など、上チャンバを外した状態で下チャンバにカセットを組み付ける際に、横方向に移動するカセットにおける下端が、下チャンバにおける移動方向の後側の上端であるフランジ部に当接することを防止する。この際、傾斜したフランジ部は、下チャンバの移動方向における後側となる上端において、フランジ部の高さ位置が、チャンバの底部の高さと一致している。
【００２４】
これにより、カセットを下チャンバから上方に離間させて横方向に移動させる上下方向の距離を短縮することが可能となる。つまり、クレーンなどの吊り下げ装置の揚程を短縮することが可能となる。
【００２５】
本発明の基板処理装置において、前記フランジ部が、前記天井部と前記側部との境界位置の一部となるように傾斜して配置される。
【００２６】
これにより、メンテナンス時など、上チャンバを下チャンバから外す際に、横方向に移動する上チャンバにおける後側の下端であるフランジ部が、チャンバ内部に収納されたカセット等に当接することを防止する。この際、傾斜したフランジ部は、上チャンバの移動方向後側となる下端において、フランジ部の高さ位置が、チャンバの天井部の高さ位置と一致している。
【００２７】
これにより、上チャンバを下チャンバから上方に移動させる距離を極めて短縮することが可能となる。特に、理想的には上チャンバを下チャンバから上方に移動させることなく、横方向に移動させることが可能となる。つまり、クレーンなどの吊り下げ装置の揚程を極めて短縮することが可能となる。
【００２８】
さらに、メンテナンス終了時など、外していた上チャンバを下チャンバに組み付ける際に、横方向に移動する上チャンバにおける前側の下端であるフランジ部が、チャンバ内部に収納されたカセット等に当接することを防止する。この際、傾斜したフランジ部は、上チャンバの移動方向前側となる下端において、フランジ部の高さ位置が、チャンバの天井部の高さ位置と一致している。
【００２９】
これにより、上チャンバを下チャンバから上方に離間させて横方向に移動させる上下方向の距離を極めて短縮することが可能となる。理想的には上チャンバを下チャンバに組み付ける高さとして、横方向に移動させることが可能となる。つまり、クレーンなどの吊り下げ装置の揚程を極めて短縮することが可能となる。
【００３０】
本発明の基板処理装置において、前記下チャンバには、前記上チャンバを前記下チャンバに対して移動する際にガイドするガイド部が設けられ、
前記ガイド部が水平方向に延在する部分を有して、前記フランジ部の傾斜した部分における外側位置に設けられる。
【００３１】
これにより、クレーンなどの吊り下げ装置などによって上チャンバを吊り下げて、外していた上チャンバを下チャンバに組み付ける際に、横方向に移動する上チャンバの移動状態をガイドして、移動する上チャンバの位置を規制することが容易となる。これにより、横方向に移動する上チャンバが、チャンバ内部に収納されたカセット等に当接することを防止する。
【００３２】
同時に、クレーンなどの吊り下げ装置などによって上チャンバを吊り下げて、上チャンバを下チャンバから取り外す際に、横方向に移動する上チャンバの移動状態をガイドして、移動する上チャンバの位置を規制することが容易となる。これにより、横方向に移動する上チャンバが、チャンバ内部に収納されたカセット等に当接することを防止する。
【００３３】
ここで、上チャンバの移動状態をガイドするとは、ガイド部における水平方向に延在する部分が、上チャンバの傾斜したフランジ部に摺動する状態か、当接する状態、または、接していないが近傍に位置する状態を維持することを意味する。
【００３４】
これにより、上チャンバの移動方向に対する両側位置となるフランジ部が、下チャンバの移動方向に対する両側位置となるフランジ部と平面視してほぼ一致するように、上チャンバを下チャンバに対して横方向に移動させることができる。
【００３５】
なお、ガイド部として、移動方向における上チャンバの移動終端となる位置を規制する終位置ガイド部を設けることもできる。この場合、ガイド部における水平方向に延在する部分の端部に鉛直方向に延在する部分を設け、対応する部分を上チャンバの側部に設けることもできる。
【００３６】
また、本発明の基板処理装置において、前記下チャンバとなる前記側部には、前記基板を出し入れする搬出入口が複数設けられる。
【００３７】
これにより、搬出入口が一箇所設けられた場合に比べて、チャンバ内でカセットを移動させる高さ方向の距離を小さくすることができる。これにより、チャンバの高さ寸法を小さくできる。
【００３８】
これにより、メンテナンス時など、上チャンバを下チャンバから上方に移動させる距離を極めて短縮することが可能となる。同時に、メンテナンス終了時など、外していた上チャンバを下チャンバに組み付ける際に、上チャンバを下チャンバから上方に移動させる距離を極めて短縮することが可能となる。
【００３９】
また、メンテナンス時など、上チャンバを下チャンバから外した状態で、下チャンバからカセットを上方に移動させる距離を極めて短縮することが可能となる。同時に、メンテナンス終了時など、上チャンバを下チャンバから外した状態で、下チャンバにカセットを組み付ける際に、カセットを下チャンバから上方に移動させる距離を極めて短縮することが可能となる。
【００４０】
これにより、クレーンなどの吊り下げ装置の揚程を極めて短縮することが可能となる。
【００４１】
本発明の基板処理装置は、前記カセットを昇降させる昇降軸が、前記カセットの底部から下向きに取り付けられる。
【００４２】
これにより、メンテナンス時など、上チャンバを下チャンバから外した状態で、昇降軸の下端が下チャンバに当接しない高さまでカセットを上昇させるだけで、カセットを取り外すことができる。したがって、下チャンバからカセットを上方に移動させる距離を極めて短縮することが可能となる。
【００４３】
同時に、メンテナンス終了時など、上チャンバを下チャンバから外した状態で下チャンバにカセットを組み付ける際に、昇降軸の下端が下チャンバに当接しない高さとしてカセットを横移動させるだけで、カセットを組み付け可能な位置まで移動することができる。したがって、カセットを下チャンバから上方に移動させる距離を極めて短縮することが可能となる。
【００４４】
これにより、クレーンなどの吊り下げ装置の揚程を極めて短縮することが可能となる。
【００４５】
また、本発明の基板処理装置は、前記チャンバの上方位置に設けられて、前記上チャンバおよび前記カセットを吊り下げて昇降可能な吊り下げ装置を有する。
【００４６】
メンテナンス時またはメンテナンス終了時などに、上チャンバまたはカセットを取り外しまたは組付けする際に、上チャンバまたはカセットを吊り下げ装置で吊り下げる。この場合、傾斜したフランジ部によって、上チャンバと下チャンバとが分離可能なことにより、クレーンなどの吊り下げ装置の揚程を極めて短縮することが可能となる。
【００４７】
同時に、ガイド部により、上チャンバを取り外しまたは組付けする際に、吊り下げ装置における操作性を向上して、作業時間を短縮し、作業容易性を向上することが可能となる。
【００４８】
また、本発明の基板処理装置は、前記チャンバが前記基板を搬出入可能なトランスファチャンバに接続され、
前記トランスファチャンバに接続される前記チャンバの接続方向と、前記吊り下げ装置の水平方向における移動方向と、が直交していない。
ここで、トランスファチャンバに接続されるチャンバの接続方向とは、平面視して矩形断面とされたチャンバの壁部のいずれかが水平方向に延在する方向とされる。
【００４９】
この場合、移動方向がガイド部の延在する方向と異なる場合でも、吊り下げ装置によって上チャンバを吊り下げて、上チャンバを移動する際に、ガイド部における水平方向に延在する部分により、上チャンバの傾斜したフランジ部に摺動する状態か、当接する状態、または、接していないが近傍に位置する状態を維持することができる。
【００５０】
したがって、移動方向がガイド部の延在する方向と異なる場合でも、ガイド部における水平方向に延在する部分が、上チャンバの傾斜したフランジ部に摺動する状態か、当接する状態、または、接していないが近傍に位置する状態を維持することができる。
【００５１】
これにより、移動方向がガイド部の延在する方向と異なる場合でも、上チャンバの移動方向に対する両側位置となるフランジ部が、下チャンバの移動方向に対する両側位置となるフランジ部と平面視してほぼ一致するように、上チャンバを下チャンバに対して横方向に移動させることが可能となる。
【００５２】
これにより、移動方向がガイド部の延在する方向と異なる場合でも、クレーンなどの吊り下げ装置などによって上チャンバを吊り下げて、外していた上チャンバを下チャンバに組み付ける際に、横方向に移動する上チャンバの移動状態をガイドして、移動する上チャンバの位置を規制することが容易となる。これにより、横方向に移動する上チャンバが、チャンバ内部に収納されたカセット等に当接することを防止する。
【００５３】
同時に、移動方向がガイド部の延在する方向と異なる場合でも、クレーンなどの吊り下げ装置などによって上チャンバを吊り下げて、上チャンバを下チャンバから取り外す際に、横方向に移動する上チャンバの移動状態をガイドして、移動する上チャンバの位置を規制することが容易となる。これにより、横方向に移動する上チャンバが、チャンバ内部に収納されたカセット等に当接することを防止する。
【００５４】
これにより、上チャンバを取り外しまたは組付けする際に、吊り下げ装置における操作性を向上して、作業時間を短縮し、作業容易性を向上することが可能となる。
【００５５】
また、本発明の基板処理装置は、前記チャンバでは前記基板の加熱処理がおこなわれ、
前記カセットの各段には、ヒータがそれぞれ設けられる。
これにより、ヒータに接続された電力供給線（ヒータ線）が、昇降軸の内部に貫通している場合でも、メンテナンス時など、上チャンバを下チャンバから外した状態で、ヒータ線の下端が下チャンバに当接しない高さまでカセットを上昇させるだけで、カセットを取り外すことができる。したがって、下チャンバからカセットを上方に移動させる距離を極めて短縮することが可能となる。
【００５６】
同時に、メンテナンス終了時など、上チャンバを下チャンバから外した状態で下チャンバにカセットを組み付ける際に、ヒータ線の下端が下チャンバに当接しない高さとしてカセットを横移動させるだけで、カセットを組み付け可能な位置まで移動することができる。したがって、カセットを下チャンバから上方に移動させる距離を極めて短縮することが可能となる。
【００５７】
これにより、クレーンなどの吊り下げ装置の揚程を極めて短縮することが可能となる。
【発明の効果】
【００５８】
本発明によれば、上チャンバを下チャンバから上方に移動させる距離を短縮することが可能となる、カセットを下チャンバから上方に移動させる距離を短縮することが可能となる、クレーンなどの吊り下げ装置の揚程を短縮することが可能となるという効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明に係る基板処理装置の第１実施形態を示す模式平面図である。
【図２】本発明に係る基板処理装置の第１実施形態におけるチャンバを示す側断面図である。
【図３】本発明に係る基板処理装置の第１実施形態におけるチャンバを示す斜視図である。
【図４】本発明に係る基板処理装置の第１実施形態におけるチャンバおよびカセットを示す分解斜視図である。
【図５】本発明に係る基板処理装置の第１実施形態におけるカセットおよび昇降軸付近を示す拡大断面図である。
【図６】本発明に係る基板処理装置の第１実施形態におけるチャンバの取り外し工程を示す斜視図である。
【図７】本発明に係る基板処理装置の第１実施形態におけるチャンバの取り外し工程を示す斜視図である。
【図８】本発明に係る基板処理装置の第１実施形態におけるチャンバを取り外した状態を示す斜視図である。
【図９】本発明に係る基板処理装置の第１実施形態におけるカセットの取り外し工程を示す斜視図である。
【図１０】本発明に係る基板処理装置の第１実施形態におけるチャンバの組み立て工程を示す斜視図である。
【図１１】本発明に係る基板処理装置の第１実施形態におけるチャンバの組み立て工程を示す斜視図である。
【図１２】本発明に係る基板処理装置の第１実施形態におけるチャンバを従来と比較するための側断面図である。
【図１３】本発明に係る基板処理装置の第１実施形態におけるチャンバを従来と比較するための側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００６０】
以下、本発明に係る基板処理装置の第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態における基板処理装置を示す模式平面図であり、図において、符号１は、基板処理装置である。
【００６１】
本実施形態に係る基板処理装置１は、図１に示すように、平面視して多角形状のトランスファチャンバ２と、トランスファチャンバ２の各辺に接続された処理室となるチャンバ１０〜１０Ｅと、トランスファチャンバ２およびチャンバ１０〜１０Ｅの上方に配置された吊り下げ装置１００と、を有する。
【００６２】
本実施形態に係る基板処理装置１は、複数枚の基板を真空雰囲気等の密閉状態として処理するものとされ、その処理は特に限定されない。チャンバ１０〜１０Ｅは、それぞれ、異なる処理を基板に施す処理室とされることができる。
例えば、チャンバ１０〜１０Ｅのうち1箇所は、基板を出し入れするロード／アンロード室とすることができる。
【００６３】
吊り下げ装置１００は、クレーンやホイストといった吊り下げ可能で水平方向に移動可能な装置とされる。吊り下げ装置１００は、図１に破線の矢印で示すように、水平方向で直交する二方向に移動可能とされている。
【００６４】
トランスファチャンバ２は、図１に示すように、その内部に、搬送ロボット２ａを有し、トランスファチャンバ２と各チャンバ１０〜１０Ｅとの間で、基板を搬送可能とされている。
なお、トランスファチャンバ２には、搬送ロボット２ａを複数設置することもできる。
さらに、トランスファチャンバ２は、多角形であればよく、三角形から八角形程度まで、任意の平面形状とすることができる。
【００６５】
搬送ロボット２ａには、水平方向、垂直方向に移動可能に構成されたロボットアームが形成されている。搬送ロボット２ａは、回転軸と、この回転軸に取り付けられたロボットアームと、ロボットアームの一端に形成されたロボットハンドと、上下動装置とを有している。
【００６６】
ロボットアームは、互いに屈曲可能な第一、第二の能動アームと、第一、第二の従動アームとから構成されている。搬送ロボット２ａは、被搬送物である基板を、チャンバ１０〜１０Ｅ間で移動させることができる。
ロボットアームは、基板を載置できるように形成されており、複数本、例えば、平面視して２本、あるいは、４本形成されることができる。また、ロボットアームにおける、基板の搬出入方向に沿う方向の長さは、基板をロボットアーム上に確実に載置して搬送することができるように基板より長く形成される。
【００６７】
ロボットアームの垂直方向における厚みは、後述するチャンバ１０のカセット２０に設けられた基板支持ピンの高さよりも薄く形成されている。このようにすることで、基板をロボットアーム上に載置して、チャンバ１０へと搬送し、基板をチャンバ１０内のカセット２０における基板支持ピン上に移設する際に、基板を落下させることなくスムーズにロボットアーム上から基板支持ピン上に移設することができる。
【００６８】
つまり、基板に集中荷重などがかかることなく確実に移設することができる。また、基板の処理が完了した後、チャンバ１０から搬出する際に基板支持ピンにより形成される基板と後述する支持部２１との間の隙間にロボットアームを挿通することができるため、基板をロボットアーム上に確実に移設することができる。
【００６９】
トランスファチャンバ２および各チャンバ１０〜１０Ｅには、真空状態に保持できるように、図示しない真空ポンプが接続されている。また、トランスファチャンバ２および各チャンバ１０〜１０Ｅには、所定の雰囲気ガスを供給するガス供給部を接続することができる。
【００７０】
特に、チャンバ１０には、図示しない窒素ガス供給部が設けられてもよい。窒素ガス供給部より窒素ガスをチャンバ１０内に供給すると、例えば、加熱処理をする際に、基板の昇温速度を速めることができる。また、このときチャンバ１０内の圧力は１００Ｐａ程度に保持できるように構成されることができる。
【００７１】
また、トランスファチャンバ２には、排気口が形成されてもよい。排気口は、トランスファチャンバ２におけるチャンバ１０との境界部近傍に形成さる。排気口により、トランスファチャンバ２内の排気をすることができるとともに、後述するシャッタ１５ａ，１６ａが開状態に保持されているときには、チャンバ１０内の排気をすることが可能となる。この場合、チャンバ１０に排気手段を設ける必要がなくなりコスト低減できる。また、チャンバ１０からトランスファチャンバ２に流出した高温の窒素ガスは、搬送ロボット２ａに到達する前に排気口から排出されるので、高温の窒素ガスによる搬送ロボットへの悪影響を防止することができる。
【００７２】
本実施形態に係る基板処理装置１としては、チャンバ１０が複数枚の基板に対して同時に加熱処理を施すものとして説明する。
チャンバ１０における処理は熱処理に限定されない。また、チャンバ１０Ａ〜１０Ｅは、チャンバ１０と同じ処理を施す同じ構成としてもよいし、異なる処理を施す処理室として異なる構成とすることもできる。チャンバ１０と異なる処理としては、成膜、エッチング、洗浄等を挙げることができる。
【００７３】
図２は、本実施形態の基板処理装置におけるチャンバを示す側断面図である。図３は、本実施形態の基板処理装置におけるチャンバを示す斜視図である。図４は、本実施形態の基板処理装置におけるチャンバおよびカセットを示す分解斜視図である。
チャンバ１０は、図２，図３，図４に示すように、平面視して略矩形断面を有するとともに、鉛直方向の断面形状が略矩形とされている。チャンバ１０は、密閉可能とされている。
【００７４】
チャンバ１０は、図２，図３，図４に示すように、天井部１１ａと、天井部１１ａと平行な底部１２ａと、平面視して天井部１１ａと底部１２ａとの輪郭に沿って立設された側部１１ｂ〜１２ｅとを有する。
チャンバ１０は、図２，図３，図４に示すように、上下に分割されており、上チャンバ１１と、下チャンバ１２とからなる。
【００７５】
上チャンバ１１は、図２，図３，図４に示すように、天井部１１ａと、側部１１ｂと、側部１１ｃと、側部１１ｄと、を有する。
【００７６】
天井部１１ａは、チャンバ１０の頂部に位置して水平方向に延在する。天井部１１ａは、矩形の輪郭形状を有する。
天井部１１ａの上面には、吊り下げ装置１００によって上チャンバ１１を吊り下げ可能とする吊り下げ部１１ｈが複数設けられる。
【００７７】
側部１１ｂと、側部１１ｃと、側部１１ｄとは、天井部１１ａの三方の輪郭に沿って下向きに垂設されている。側部１１ｂと、側部１１ｃと、側部１１ｄとは、平面視して互いに直交するように配置されている。側部１１ｃと側部１１ｄとは、互いに平行状態に配置される。
矩形の天井部１１ａにおける端部のうち、側部１１ｂと側部１１ｃと側部１１ｄとに接続されていない一辺は、下チャンバ１２の側部１２ｅの上端に接触可能とされる。
【００７８】
側部１１ｂは、側面視して矩形の輪郭形状とされる。側部１１ｂの上端部は、天井部１１ａに接続される。
側部１１ｂは、チャンバ１０の高さ寸法と同等の高さ寸法を有する。
側部１１ｂの両側部は、互いに隣接する側部１１ｃと側部１１ｄとに接続される。
側部１１ｂの下端部は、下チャンバ１２の底部１２ａの一端となる辺に接触可能とされる。
【００７９】
側部１１ｃは、側面視して三角形の輪郭形状とされる。側部１１ｃの上端部は、天井部１１ａに接続される。
側部１１ｃにおいて、天井部１１ａから下向きに延在する長辺となる横方向の一端は、側部１１ｂと同じ長さとされ、側部１１ｂと接続される。
側部１１ｃにおいて、側部１１ｂと接続されていない三角形の頂部は、下チャンバ１２の側部１２ｅの上端に接触可能とされる。
側部１１ｃにおいて、その下端となる辺は、水平方向に対して傾斜している。
【００８０】
側部１１ｄは、側面視して三角形の輪郭形状とされる。側部１１ｄの上端部は、天井部１１ａに接続される。
側部１１ｄにおいて、天井部１１ａから下向きに延在する長辺となる横方向の一端は、側部１１ｂと同じ長さとされ、側部１１ｂと接続される。
側部１１ｄにおいて、側部１１ｂと接続されていない三角形の頂部は、下チャンバ１２の側部１２ｅの上端に接触可能とされる。
側部１１ｄにおいて、その下端となる辺は、水平方向に対して傾斜している。
【００８１】
上チャンバ１１において、天井部１１ａと側部１１ｂと側部１１ｃと側部１１ｄとは、互いに隣接する部分が接続されて、密閉可能とされている。
【００８２】
下チャンバ１２は、図２，図３，図４に示すように、底部１２ａと、側部１２ｃと、側部１２ｄと、側部１２ｅと、を有する。
底部１２ａは、チャンバ１０の底部に位置して水平方向に延在する。底部１２ａは、天井部１１ａに対応した矩形の輪郭形状を有する。具体的には、底部１２ａは、天井部１１ａと同じ矩形の輪郭形状を有する。
【００８３】
側部１２ｃと、側部１２ｄと、側部１２ｅとは、底部１２ａの三方の輪郭に沿って上向きに立設されている。側部１２ｃと、側部１２ｄと、側部１２ｅと、は、平面視して互いに直交するように配置されている。側部１２ｃと側部１２ｄとは、互いに平行状態に配置される。
矩形の底部１２ａにおける端部のうち、側部１２ｃと側部１２ｄと側部１２ｅとに接続されていない一辺は、上チャンバ１１の側部１１ｂの下端に接触可能とされる。
【００８４】
側部１２ｅは、側面視して矩形の輪郭形状とされる。側部１２ｅの下端部は、底部１２ａに接続される。
側部１２ｅは、上チャンバ１１の側部１１ｂと対向して配置される。側部１２ｅは、上チャンバ１１の側部１１ｂと平行状態に配置される。側部１２ｅは、上チャンバ１１の側部１１ｂと略同一の輪郭形状とされる。
側部１２ｅは、チャンバ１０の高さ寸法と同等の高さ寸法を有する。
側部１２ｅの両側部は、互いに隣接する側部１２ｃと側部１２ｄとに接続される。
側部１２ｅの上端部は、上チャンバ１１の天井部１１ａの一端となる辺に接触可能とされる。
【００８５】
側部１２ｃは、側面視して三角形の輪郭形状とされる。側部１２ｃの下端部は、底部１２ａに接続される。
側部１２ｃにおいて、底部１２ａから上向きに延在する長辺となる横方向の一端は、側部１２ｅと同じ長さとされ、側部１２ｅと接続される。
側部１２ｃにおいて、その上端となる辺は、水平方向に対して傾斜している。側部１２ｃの上端となる辺の傾斜角度は、上チャンバ１１の側部１１ｃの下端となる辺の傾斜角度と等しく設定される。
【００８６】
側部１２ｃにおいて、側部１２ｅと接続されていない三角形の頂部は、上チャンバ１１の側部１１ｂの下端に接触可能とされる。
側部１２ｃは、その内面が上チャンバ１１の側部１１ｃと面一となるように配置される。側部１２ｃは、上チャンバ１１の側部１１ｃとともに、上チャンバ１１の天井部１１ａと下チャンバ１２の底部１２ａとの間に立設された一側面を形成している。
【００８７】
側部１２ｄは、側面視して三角形の輪郭形状とされる。側部１２ｄの下端部は、底部１２ａに接続される。
側部１２ｄにおいて、底部１２ａから上向きに延在する長辺となる横方向の一端は、側部１２ｅと同じ長さとされ、側部１２ｅと接続される。
側部１２ｄにおいて、その上端となる辺は、水平方向に対して傾斜している。側部１２ｄの上端となる辺の傾斜角度は、上チャンバ１１の側部１１ｄの下端となる辺の傾斜角度と等しく設定される。
【００８８】
側部１２ｄにおいて、側部１２ｅと接続されていない三角形の頂部は、上チャンバ１１の側部１１ｂの下端に接触可能とされる。
側部１２ｄは、その内面が上チャンバ１１の側部１１ｄと面一となるように配置される。側部１２ｄは、上チャンバ１１の側部１１ｄとともに、上チャンバ１１の天井部１１ａと下チャンバ１２の底部１２ａとの間に立設された一側面を形成している。
【００８９】
下チャンバ１２において、底部１２ａと側部１２ｃと側部１２ｄと側部１２ｅとは、互いに隣接する部分が接続されて、密閉可能とされている。
【００９０】
上チャンバ１１と下チャンバ１２との分割位置には、図２，図３，図４に示すように、それぞれフランジ部１３，１４が周設されている。
【００９１】
つまり、上チャンバ１１における側部１１ｂの下端と、側部１１ｃの下端と、側部１１ｄの下端と、矩形の天井部１１ａにおける端部のうち、側部１１ｂと側部１１ｃと側部１１ｄとに接続されていない一辺には、いずれも、フランジ部１３が連続して周設されている。
【００９２】
フランジ部１３は、図２，図３，図４に示すように、側部１１ｃの下端となる斜辺と側部１１ｄの下端となる斜辺とで形成される平面と平行状態として延在する。
フランジ部１３は、それぞれ天井部１１ａと側部１１ｂと側部１１ｃと側部１１ｄとから、チャンバ１０の外側に向けて延在している。
フランジ部１３において、側部１１ｃの下端に接続された傾斜部１３ｃと、側部１１ｄの下端に接続された傾斜部１３ｄとは、平行に配置される。
フランジ部１３は、チャンバ１０の全周で略等しい幅寸法とされている。
【００９３】
また、下チャンバ１２における側部１２ｃの上端と、側部１２ｄの上端と、側部１２ｅの上端と、矩形の底部１２ａにおける端部のうち、側部１２ｃと側部１２ｄと側部１２ｅとに接続されていない一辺には、いずれも、フランジ部１４が連続して周設されている。
【００９４】
フランジ部１４は、図２，図３，図４に示すように、側部１２ｃの上端となる斜辺と側部１１ｄの上端となる斜辺とで形成される平面と平行状態として延在する。
フランジ部１４は、それぞれ底部１２ａと側部１２ｃと側部１２ｄと側部１２ｅとから、チャンバ１０の外側に向けて延在している。
フランジ部１４において、側部１２ｃの上端に接続された傾斜部１４ｃと、側部１２ｄの上端に接続された傾斜部１４ｄとは、平行に配置される。
フランジ部１４は、チャンバ１０の全周で略等しい幅寸法とされている。
【００９５】
したがって、フランジ部１３とフランジ部１４とは、互いに傾斜した状態でその全面が平行な位置とされる。フランジ部１３とフランジ部１４とは、互いに傾斜した状態でその全面が対向している。
フランジ部１３とフランジ部１４との対向面には、図示しないＯリング等の密閉手段が設けられる。
【００９６】
フランジ部１３とフランジ部１４とを対向状態に接触して互いに押圧することで、上チャンバ１１と下チャンバ１２とが密閉状態に維持される。これにより、チャンバ１０を密閉状態に維持できる。
【００９７】
下チャンバ１２の側部１２ｅには、図２，図３，図４に示すように、後述するように基板を出し入れする搬出入口１５，１６が設けられる。搬出入口１５，１６は、上下方向に離間して、例えば２箇所設けられる。なお、搬出入口１５，１６の設置数はこれに限定されるものではない。
【００９８】
搬出入口１５，１６には、それぞれ開閉可能なシャッタ１５ａ，１６ａが設けられる。シャッタ１５ａ，１６ａは、いずれもシャッタ駆動部１５ｂ，１６ｂによって開閉可能とされている。
シャッタ１５ａ，１６ａは、後述するリフレクタと略同一の材質、構造で形成されている。シャッタ１５ａ，１６ａは、上下に移動可能に構成されている。なお、シャッタ１５ａ，１６ａは、鋼板などの板状部材にリフレクタと同じステンレス板を貼着した構成としてもよい。
なお、図３以降の斜視図においては、シャッタ１５ａ，１６ａおよびシャッタ駆動部１５ｂ，１６ｂの図示を省略している。
【００９９】
シャッタ駆動部１５ｂが、シャッタ１５ａを開放した際には、搬送ロボット２ａが、上下動装置によってロボットアームの一端に形成されたロボットハンドを搬出入口１５に対応する高さ位置まで移動して、ロボットハンドに支持された基板を搬出入口１５からチャンバ１０内に搬出入可能とされる。
【０１００】
シャッタ駆動部１６ｂが、シャッタ１６ａを開放した際には、搬送ロボット２ａが、上下動装置によってロボットアームの一端に形成されたロボットハンドを搬出入口１６に対応する高さ位置まで移動して、ロボットハンドに支持された基板を搬出入口１６からチャンバ１０内に搬出入可能とされる。
【０１０１】
チャンバ１０の内部には、図２，図４に示すように、処理する基板を複数支持するカセット２０が設けられる。
カセット２０は、図２，図４に示すように、略矩形の支持部２１が上下方向に複数設けられる。複数の支持部２１は、ほぼ等しい輪郭形状を有する。複数の支持部２１は、互いに上下方向に離間して配置される。
【０１０２】
複数の支持部２１は、ほぼ等しい上下方向の離間距離を有する。複数の支持部２１は、例えばその四隅に立設された支持柱２２によって、互いの上下間隔を維持される。
支持柱２２は、上下方向における複数の支持部２１間の離間を維持可能であれば、この構成に限るものではない。
【０１０３】
本実施形態のカセット２０においては、支持部２１が６段配置される。したがって、本実施形態のカセット２０においては、６枚の基板を支持して同時に処理することが可能とされる。なお、支持部２１の段数はこれに限定されるものではない。
【０１０４】
複数の支持部２１は、それぞれの上に基板を載置可能とされている。複数の支持部２１は、いずれも、載置する基板よりもやや大きい輪郭形状とされる。
【０１０５】
また、複数の支持部２１は、それぞれの上に載置された基板を加熱するヒータ２４（図５参照）を備えている。支持部２１に備えられたヒータ２４は、いずれも、基板の全面で等しい加熱状態となるように配置される。具体的には、支持部２１に備えられたヒータ２４は、支持部２１の全面に対応した配置とされることができる。このため、支持部２１に備えられたヒータ２４は、支持部２１の面内において、複数領域で分割配置されることが好ましい。
【０１０６】
ヒータ２４は、カーボンからなる板状部材を２枚重ね合わせ、その板状部材どうしの間にシースヒータが挟持された構成とされている。ヒータ２４は、チャンバ１０外部に設けられた図示しないヒータ電源よりシースヒータに電圧を印加することで、加熱されるように構成されている。加熱されたヒータ２４からの輻射熱により基板を加熱できるように構成されている。ヒータ２４の上下方向の厚みは、ヒータ２４の自重により撓みが生じない程度の厚みにすることで、ヒータ２４の上下方向の設置枚数を多くすることができる。つまり、基板の載置可能な枚数を増やすことができる。
【０１０７】
なお、カセット２０は、最上部の支持部２１の上側に、支持部２１とほぼ同じ輪郭形状のヒータ２１ａを有する。ヒータ２１ａは、支持柱２２によって最上部の支持部２１といの上下間隔を維持される。ヒータ２１ａと最上部の支持部２１との上下間隔は、上下方向に隣り合う支持部２１と支持部２１との上下間隔と等しく設定される。
ヒータ２１ａは、ヒータ２４と略同等の構成を有する。
【０１０８】
カセット２０の最上部のヒータ２１ａ、および、各段の支持部２１に備えられたヒータ２４は、ヒータ線２５（図５参照）を介して、チャンバ１０外部に設けられたヒータ電源から加熱電力を供給される。
【０１０９】
ヒータ線２５は、カセット２０の最上部のヒータ２１ａ、および、各段の支持部２１に備えられたヒータ２４およびヒータ２１ａにそれぞれ接続される。また、ヒータ線２５は、各段の支持部２１において、面内で複数分割配置さられたヒータ２１ａおよびヒータ２４にそれぞれ接続される。このため、多数本のヒータ線２５が設けられる。
【０１１０】
ヒータ２４は、例えば平面視して、基板の長手方向に分割して複数配置されている（例えば３枚）。つまり、ヒータ２４は、平面視において、小ヒータをつなぎ合わせて構成されており、小ヒータの大きさは基板の面積よりも小さく形成されており、それらを組み合わせた全体の大きさは、基板の全面を覆うように構成されている。
【０１１１】
支持部２１においては、ヒータ２４がフレーム部材に周縁部を支持されて配置されている。フレーム部材は、例えばステンレスからなり略Ｌ字状に形成されていてもよい。また、小ヒータにおける基板搬出入方向の手前側と奥側の周縁部を支持するようにフレーム部材が設けられている。ヒータ２４は、フレーム部材に対して上方から載置して、支持されるように構成されている。フレーム部材は、ヒータ２４の荷重を支持可能な強度を有している。なお、フレーム部材は、小ヒータの全周を支持する、あるいは、その四隅を支持するように設けられていてもよい。
【０１１２】
支持部２１の上面位置には、載置された基板を支持する基板支持ピンを有していてもよい。基板支持ピンは、ヒータ２４の上面に複数取り付けられており、基板を載置したときに、基板の自重による撓みを最小限に抑制すべく適正な位置に取り付けられている。また、基板支持ピンは、平面視して搬送ロボット２ａのロボットアームと干渉しない位置に設けられている。
【０１１３】
基板支持ピンは、支持部２１上に取り付けられた支柱と、支柱の上部に設けられたローラとを備えている。ローラは、その中心軸を中心に回転可能に構成されている。ローラの中心軸は水平方向に延在する。このローラに基板が載置されることにより、基板が加熱により熱伸びする際に、基板に傷が発生することを防止することができる。
【０１１４】
それぞれの基板支持ピンは、ローラの回転方向が基板の中心からそれぞれの基板支持ピンへ指向する方向に沿うように配置されている。つまり、基板が加熱されたときに、基板の熱伸び方向に対応するように基板支持ピンを配置する。なお、基板の中心に対応する位置の基板支持ピンはローラを設けず、固定されたピンとしてもよい。このように構成することで、基板を加熱しても基板の中心位置がずれなくなり、加熱が完了した基板を搬出入する際に、位置合わせをすることなく、確実に基板を搬出することができる。
【０１１５】
チャンバ１０の側部１１ｂ〜１２ｅには、リフレクタが設けられていてもよい。リフレクタは、例えばステンレスの板材で形成されており、側部１１ｂ〜１２ｅを略全面覆うように設けられている。リフレクタにより、基板を加熱する際に、ヒータ２１ａ，２４からの輻射熱を効率的にチャンバ１０内へ反射させることができ、基板の加熱を効率よく行うことができる。
【０１１６】
また、支持部２１の外周部で、かつ、載置した基板の外周部に対応した位置には、補助ヒータが設けられていてもよい。補助ヒータは、基板の搬出入方向手前側に配置された第一補助ヒータと、基板の搬出入方向両側に配置された第ニ補助ヒータとで構成されることができる。
【０１１７】
第一補助ヒータは、ヒータ２４から延設されて設けられている。ヒータ２４と第一補助ヒータとの間には、絶縁材を設けてもよいし、設けなくてもよい。第二補助ヒータは、チャンバ１０の両側部１１ｃ〜１２ｄとカセット２０との間で、かつ、チャンバ１０の側部１１ｂ〜１２ｅを覆うように設けられている。また、第一補助ヒータおよび第二補助ヒータは、それぞれ個別に温度制御ができるように構成されている。なお、基板の搬出入方向奥側で、カセット２０とチャンバ１０の側部１１ｂ〜１２ｅとの間に補助ヒータを設けてもよい。
【０１１８】
図５は、本実施形態の基板処理装置におけるカセットおよび昇降軸付近を示す拡大断面図である。
カセット２０の最下層（底部）となる支持部２１の下側位置には、図２，図４，図５に示すように、昇降軸２３が下向きに延在するように接続される。昇降軸２３は、平面視した支持部２１の中央位置に接続される。
【０１１９】
昇降軸２３は、チャンバ１０の底部１２ａに設けられた貫通部１２ｇを貫通する。昇降軸２３は、貫通部１２ｇを上下方向に摺動可能とされる。貫通部１２ｇは、昇降軸２３の外周面との間で摺動可能にシールされている。
昇降軸２３は中空状とされる。昇降軸２３の内部には、支持部２１に備えられたヒータ２４と、チャンバ１０外部に設けられたヒータ電源と、を接続する複数本のヒータ線２５が全て通される。
【０１２０】
昇降軸２３の内部は、チャンバ１０内部と連通している。昇降軸２３の内部における下端部にはシールフランジ２６が設けられる。
シールフランジ２６は、昇降軸２３における下端部で、昇降軸２３の内部を密閉可能にシールしている。
【０１２１】
シールフランジ２６には、コネクタ２７が貫通している。コネクタ２７は、複数本のヒータ線２５を昇降軸２３の内部と昇降軸２３の外部とで接続および切り離し可能とする。
ヒータ線２５は、例えば、支持柱２２に沿って上下方向に延在して、カセット２０の最上部のヒータ２１ａ、および、各段の支持部２１に備えられたヒータ２４を、いずれもカセット２０の最下部の昇降軸２３の下端部のコネクタ２７まで接続する。
【０１２２】
なお、ヒータ線２５は、例えば真空雰囲気とされるチャンバ１０内部または、このチャンバ１０内部に連通した昇降軸２３の内部に露出している。このため、カセット２０の最上部のヒータ２１ａ、および、各段の支持部２１に備えられたヒータ２４と、シールフランジ２６に設けられたコネクタ２７との間で、ヒータ線２５を分離することは好ましくない。
【０１２３】
昇降軸２３は、図２に示すように、昇降駆動部３０に接続されている。
昇降駆動部３０は、カセット２０をチャンバ１０内で昇降させる。昇降駆動部３０は、昇降軸２３の下端を支持する昇降支持部３１と、昇降支持部３１を上下方向に位置規制して昇降するボールネジ３２，３２と、ボールネジ３２を回転駆動する昇降回転部３３と、を有する。
【０１２４】
ボールネジ３２は、鉛直方向に立設される。ボールネジ３２は、昇降支持部３１を上下方向に貫通する貫通孔３１ａに螺合されている。
昇降回転部３３によってボールネジ３２を回転することで、昇降支持部３１が上下方向に位置規制した状態で昇降する。これにより、昇降駆動部３０が昇降軸２３を昇降する。
昇降駆動部３０と昇降軸２３とは、昇降機構を構成している。
【０１２５】
昇降駆動部３０によって昇降軸２３を昇降することで、チャンバ１０内でカセット２０が上下方向に移動される。
【０１２６】
カセット２０が、チャンバ１０内で最も上側位置に移動された場合を考える。
この場合、図２に示すように、最下段となる支持部２１は、搬出入口１６に対応する高さ位置となる。同時に、下から４段目、上から３段目となる支持部２１は、搬出入口１５に対応する高さ位置となる。
【０１２７】
この状態で、シャッタ駆動部１５ｂが、シャッタ１５ａを開放した際には、搬送ロボット２ａが、上下動装置によってロボットアームの一端に形成されたロボットハンドを搬出入口１５に対応する高さ位置まで移動する。そして、ロボットハンドに支持された基板を搬出入口１５から上から３段目となる支持部２１に搬出入可能である。
【０１２８】
同様に、シャッタ駆動部１６ｂが、シャッタ１６ａを開放した際には、搬送ロボット２ａが、上下動装置によってロボットアームの一端に形成されたロボットハンドを搬出入口１６に対応する高さ位置まで移動する。そして、ロボットハンドに支持された基板を搬出入口１６から最下段となる支持部２１に搬出入可能である。
【０１２９】
さらに、多段とされた支持部２１における一段分だけ、カセット２０がチャンバ１０内で上側に移動された場合を考える。
この場合、上から５段目、下から２段目となる支持部２１は、搬出入口１６に対応する高さ位置となる。同時に、下から５段目、上から２段目となる支持部２１は、搬出入口１５に対応する高さ位置となる。
【０１３０】
この状態で、シャッタ駆動部１５ｂが、シャッタ１５ａを開放した際には、搬送ロボット２ａが、上下動装置によってロボットアームの一端に形成されたロボットハンドを搬出入口１５に対応する高さ位置まで移動する。そして、ロボットハンドに支持された基板を搬出入口１５から上から２段目となる支持部２１に搬出入可能である。
【０１３１】
同様に、シャッタ駆動部１６ｂが、シャッタ１６ａを開放した際には、搬送ロボット２ａが、上下動装置によってロボットアームの一端に形成されたロボットハンドを搬出入口１６に対応する高さ位置まで移動する。そして、ロボットハンドに支持された基板を搬出入口１６から下から２段目となる支持部２１に搬出入可能である。
【０１３２】
さらに、多段とされた支持部２１における一段分だけ、カセット２０がチャンバ１０内で上側に移動された場合を考える。
この場合、上から４段目、下から３段目となる支持部２１は、搬出入口１６に対応する高さ位置となる。同時に、最上段となる支持部２１は、搬出入口１５に対応する高さ位置となる。
【０１３３】
この状態で、シャッタ駆動部１５ｂが、シャッタ１５ａを開放した際には、搬送ロボット２ａが、上下動装置によってロボットアームの一端に形成されたロボットハンドを搬出入口１５に対応する高さ位置まで移動する。そして、ロボットハンドに支持された基板を搬出入口１５から最上段となる支持部２１に搬出入可能である。
【０１３４】
同様に、シャッタ駆動部１６ｂが、シャッタ１６ａを開放した際には、搬送ロボット２ａが、上下動装置によってロボットアームの一端に形成されたロボットハンドを搬出入口１６に対応する高さ位置まで移動する。そして、ロボットハンドに支持された基板を搬出入口１６から下から３段目となる支持部２１に搬出入可能である。
【０１３５】
昇降駆動部３０によって昇降軸２３を昇降する際には、チャンバ１０内でカセット２０が上下方向に移動可能な空間が形成されていることが必要である。
したがって、チャンバ１０の高さ寸法は、チャンバ１０内でカセット２０を上下方向に移動可能とする空間高さに規定される。
本実施形態では、複数の搬出入口１５，１６において、その高さ位置を上述するように設定したことで、チャンバ１０の高さ寸法を小さくすることができる。
【０１３６】
チャンバ１０には、図３，図４に示すように、ガイド部４０が設けられる。
ガイド部４０は、上チャンバ１１を下チャンバ１２から取り外す際、あるいは、上チャンバ１１を下チャンバ１２に取り付ける際、移動位置規制部または取り付け位置規制部として用いられる。
【０１３７】
上チャンバ１１を下チャンバ１２から取り外す際、あるいは、上チャンバ１１を下チャンバ１２に取り付ける際に、上チャンバ１１は、吊り下げ装置１００によって吊り下げられる。この状態で、ガイド部４０は、下チャンバ１２に対する上チャンバ１１の姿勢を維持する、あるいは、下チャンバ１２に対する移動位置を規制する。
ガイド部４０は、下チャンバ１２に設けられる下ガイド部材４１と、上チャンバ１１に設けられる上ガイド部材４２とを有する。
【０１３８】
下ガイド部材４１は、下チャンバ１２の両側におけるフランジ部１４の傾斜した傾斜部１４ｃ，１４ｄに取り付けられる。下ガイド部材４１は、Ｌ字状の棒状体とされる。下ガイド部材４１は、水平方向に延在する横位置規制部４１ａと、鉛直方向に延在する前後位置規制部４１ｂとを有する。
【０１３９】
横位置規制部４１ａは、水平方向に延在する一端が、フランジ部１４の傾斜した傾斜部１４ｃ，１４ｄにおいて、フランジ部１４の幅方向の外側位置に接続される。横位置規制部４１ａの一端は、傾斜するフランジ部１４の傾斜部１４ｃ，１４ｄにおいて、上端側、つまり、側部１２ｅに近接した位置に接続される。横位置規制部４１ａの他端は、鉛直方向に延在する前後位置規制部４１ｂの上端に接続される。
【０１４０】
前後位置規制部４１ｂは、鉛直方向に延在する下端が、フランジ部１４の傾斜した傾斜部１４ｃ，１４ｄにおいて、フランジ部１４の幅方向の外側位置に接続される。前後位置規制部４１ｂの下端は、傾斜するフランジ部１４の傾斜部１４ｃ，１４ｄにおいて、下端側、つまり、底部１２ａに近接した位置に接続される。
【０１４１】
横位置規制部４１ａと前後位置規制部４１ｂとは、側部１２ｃ，１２ｄと平行な平面内に位置する。横位置規制部４１ａと前後位置規制部４１ｂとは、下チャンバ１２の外側位置において、上チャンバ１１のフランジ部１３の端部に近接した位置に接続される。
【０１４２】
これにより、下チャンバ１２に対して上チャンバ１１をフランジ部１３，１４の傾斜方向と平行に移動させる際に、上チャンバ１１を下チャンバ１２に対してガイドする。あるいは、下チャンバ１２に対して上チャンバ１１を着鉛直方向に移動させる際に、上チャンバ１１を下チャンバ１２に対してガイドする。
【０１４３】
具体的には、上チャンバ１１のフランジ部１３の端部が下ガイド部材４１に当接しないように移動させるように、上チャンバ１１を移動させる、あるいは、上チャンバ１１のフランジ部１３の端部が下ガイド部材４１に断続的に当接するように、上チャンバ１１を移動させる。または、上チャンバ１１のフランジ部１３の端部が下ガイド部材４１に摺動するように、上チャンバ１１を移動させる。
【０１４４】
これにより、上チャンバ１１の移動時に、上チャンバ１１のフランジ部１３の傾斜方向が、下チャンバ１２のフランジ部１４の傾斜方向と平行状態を維持することができる。同時に、上チャンバ１１のフランジ部１３の傾斜した傾斜部１３ｃ，１３ｄが、下チャンバ１２のフランジ部１４の傾斜した傾斜部１４ｃ，１４ｄと、平面視して重なる位置を維持することができる。
【０１４５】
上ガイド部材４２は、上チャンバ１１の側部１１ｃおよび側部１１ｄから、側部１１ｃおよび側部１１ｄと表面と直交する外側方向に突出して設けられる。
上ガイド部材４２が、側部１１ｃおよび側部１１ｄに設けられる位置は、横位置規制部４１ａが延在する水平方向において、フランジ部１３とフランジ部１４とが密閉状態となる位置とされる。
【０１４６】
具体的には、フランジ部１３とフランジ部１４とが密着されて、チャンバ１０が密閉可能とされた位置において、上ガイド部材４２が前後位置規制部４１ｂに当接するように配置される。
【０１４７】
これにより、下チャンバ１２に対して上チャンバ１１をフランジ部１３，１４の傾斜方向と平行に移動させる際に、上チャンバ１１の移動終了位置を規制することができる。
あるいは、下チャンバ１２に対して上チャンバ１１を着鉛直方向に移動させる際に、上チャンバ１１の水平方向の移動位置がずれないように規制することができる。
【０１４８】
なお、ガイド部４０による上チャンバ１１の移動位置規制は、フランジ部１３が下ガイド部材４１に当接可能な状態で有効である。つまり、フランジ部１３が下ガイド部材４１に当接しない高さに上昇した場合、および、フランジ部１３が下ガイド部材４１に当接しない位置に水平移動した場合は、ガイドされない。
【０１４９】
以下、本実施形態の基板処理装置１における、チャンバ１０の取り外しをおこなう方法について説明する。
【０１５０】
図６は、本実施形態の基板処理装置におけるチャンバの取り外し工程を示す斜視図である。図７は、本実施形態の基板処理装置におけるチャンバの取り外し工程を示す斜視図である。
本実施形態の基板処理装置１において、メンテナンスなどのために、チャンバ１０を分解する際には、まず、クレーン、ホイスト等とされる吊り下げ装置１００に対して、上チャンバ１１を吊り下げ可能となるように、チェ−ン等により吊り下げ部１１ｈと接続する。
次に、フランジ部１３とフランジ部１４との締結を解除する。
【０１５１】
この状態で、吊り下げ装置１００を駆動して、吊り下げ装置１００に接続した上チャンバ１１を、図６に矢印ｕｐ１で示すように上昇させる。
この際、上チャンバ１１を上昇させる高さは、フランジ部１３がフランジ部１４から離間する程度であればよい。
【０１５２】
上チャンバ１１が上昇する際、上ガイド部材４２が前後位置規制部４１ｂに当接した状態を維持する。これにより、上チャンバ１１が側部１１ｂから側部１２ｅに向かう後方向に移動して、上チャンバ１１がチャンバ１０内部のカセット２０等に当接することを防止できる。
【０１５３】
このとき、上チャンバ１１が側部１２ｅから側部１１ｂに向かう前方向に移動しても、上チャンバ１１の移動方向の後側となる下端位置は、天井部１１ａと同じ高さとされているため、上チャンバ１１がチャンバ１０内部のカセット２０等に当接することはない。
【０１５４】
同時に、上チャンバ１１が上昇する際、フランジ部１３の傾斜部１３ｃが傾斜部１４ｃに取り付けられた横位置規制部４１ａに対して摺動する。同時に、フランジ部１３の傾斜部１３ｄが傾斜部１４ｄに取り付けられた横位置規制部４１ａに対して摺動する。
【０１５５】
あるいは、上チャンバ１１が上昇する際、フランジ部１３の傾斜部１３ｃが傾斜部１４ｃに取り付けられた横位置規制部４１ａに当接する。同時に、フランジ部１３の傾斜部１３ｄが傾斜部１４ｄに取り付けられた横位置規制部４１ａに当接する。
【０１５６】
これにより、上チャンバ１１が傾斜部１４ｃに取り付けられた横位置規制部４１ａと傾斜部１４ｄに取り付けられた横位置規制部４１ａとの間に位置していることを維持できる。
同時に、傾斜部１３ｃ，１３ｄの端部が、いずれも傾斜部１４ｄに取り付けられた横位置規制部４１ａおよび前後位置規制部４１ｂによる２点で横方向の移動を規制されることで、組み付けられていた状態の上チャンバ１１が傾いてしまうことなく、上チャンバ１１の姿勢を維持できる。
【０１５７】
このように、ガイド部４０は、上昇する上チャンバ１１の位置状態をガイドする。
これにより、上チャンバ１１が側部１２ｃと側部１２ｄとの対向する横方向に移動して、上チャンバ１１がチャンバ１０内部のカセット２０等に当接することを防止できる。
【０１５８】
ここで、フランジ部１３がフランジ部１４から離間した際に、チャンバ１０内のカセット２０等に上チャンバ１１が当接しないで、上チャンバ１１をフランジ部１３，１４の傾斜方向に移動可能であれば、上チャンバ１１を上昇させないことも可能である。
【０１５９】
次に、吊り下げ装置１００を駆動して、吊り下げ装置１００に接続した上チャンバ１１を、図７に矢印ｆｂ１で示すように前方向に移動させる。
ここで、前方向ｆｂ１は、側部１２ｅから側部１１ｂに向かう方向、つまり、フランジ部１３，１４において、傾斜部１３ｃ〜１４ｄが傾斜して下降する向きと一致する。
【０１６０】
このとき、上チャンバ１１が側部１２ｅから側部１１ｂに向かう前方向ｆｂ１に移動しても、上チャンバ１１の移動方向の後側となる下端位置は、天井部１１ａと同じ高さとされているため、上チャンバ１１がチャンバ１０内部のカセット２０等に当接することはない。
【０１６１】
ここで、上チャンバ１１が前方向ｆｂ１に移動する際、フランジ部１３の傾斜部１３ｃが傾斜部１４ｃに取り付けられた横位置規制部４１ａに対して摺動する。同時に、フランジ部１３の傾斜部１３ｄが傾斜部１４ｄに取り付けられた横位置規制部４１ａに対して摺動する。
あるいは、上チャンバ１１が前方向ｆｂ１に移動する際、フランジ部１３の傾斜部１３ｃが傾斜部１４ｃに取り付けられた横位置規制部４１ａに当接する。同時に、フランジ部１３の傾斜部１３ｄが傾斜部１４ｄに取り付けられた横位置規制部４１ａに当接する。
【０１６２】
同時に、上チャンバ１１が前方向ｆｂ１に移動する際、フランジ部１３の傾斜部１３ｃが傾斜部１４ｃに取り付けられた前後位置規制部４１ｂに対して摺動する。同時に、フランジ部１３の傾斜部１３ｄが傾斜部１４ｄに取り付けられた前後位置規制部４１ｂに対して摺動する。
あるいは、上チャンバ１１が前方向ｆｂ１に移動する際、フランジ部１３の傾斜部１３ｃが傾斜部１４ｃに取り付けられた前後位置規制部４１ｂに当接する。同時に、フランジ部１３の傾斜部１３ｄが傾斜部１４ｄに取り付けられた前後位置規制部４１ｂに当接する。
【０１６３】
これにより、上チャンバ１１が前方向ｆｂ１に移動する際、上チャンバ１１が傾斜部１４ｃに取り付けられた下ガイド部材４１と傾斜部１４ｄに取り付けられた下ガイド部材４１との間に位置していることを維持できる。このように、ガイド部４０は、上昇する上チャンバ１１の位置状態をガイドする。
【０１６４】
これにより、上チャンバ１１が側部１２ｃと側部１２ｄとの対向する横方向に移動して、上チャンバ１１がチャンバ１０内部のカセット２０等に当接することを防止できる。
【０１６５】
図８は、本実施形態の基板処理装置における上チャンバを取り外した状態を示す斜視図である。
上チャンバ１１が、下チャンバ１２から充分に離間し、下チャンバ１２およびカセット２０等と干渉しない位置に到達したら、上チャンバ１１を所定の場所に載置し、図８に示すように、上チャンバ１１の取り外しを終了する。
【０１６６】
以下、本実施形態の基板処理装置１における、カセット２０の取り外しをおこなう方法について説明する。
【０１６７】
図９は、本実施形態の基板処理装置におけるカセットの取り外し工程を示す斜視図である。
本実施形態の基板処理装置１において、メンテナンスなどのために、カセット２０を取り外す際には、まず、カセット２０では、昇降軸２３の下端において、シールフランジ２６、および、コネクタ２７を切断して、複数本のヒータ線２５の接続を解除する。
【０１６８】
同時に、図８に示すように、上チャンバ１１を取り外した状態で、クレーン、ホイスト等とされる吊り下げ装置１００に対して、カセット２０を吊り下げ可能となるようにチェ−ン等により接続する。
【０１６９】
この状態で、吊り下げ装置１００を駆動して、吊り下げ装置１００に接続したカセット２０を、図９に矢印ｕｂ１で示すように上昇させる。
この際、カセット２０を上昇させる高さは、昇降軸２３の下端が貫通部１２ｇから抜けた後、昇降軸２３の下端が底部１２ａから離間する程度であればよい。
【０１７０】
その後、吊り下げ装置１００を駆動して、吊り下げ装置１００に接続したカセット２０を、図９に矢印ｕｂ１で示すように前方向に移動する。
ここで、前方向は、側部１２ｅから側部１１ｂに向かう方向、つまり、フランジ部１３，１４において、傾斜部１３ｃ〜１４ｄが傾斜して下降する向きと一致する。
【０１７１】
このとき、カセット２０が側部１２ｅから側部１１ｂに向かう前方向ｆｂ１に移動しても、カセット２０の下端位置は、昇降軸２３の下端が底部１２ａから離間している。
さらに、下チャンバ１２における前方向の上端は底部１２ａと同じ高さとされている。このため、カセット２０をそれ以上の高さまで上昇させる必要がなく、昇降軸２３がチャンバ１０に当接しない状態を維持したまま、前方向に移動することができる。
【０１７２】
カセット２０が、下チャンバ１２から充分に離間し、下チャンバ１２等と干渉しない位置に到達したら、カセット２０を所定の場所に載置し、カセット２０の取り外しを終了する。
【０１７３】
以下、本実施形態の基板処理装置１における、カセット２０の取り付けをおこなう方法について説明する。
【０１７４】
本実施形態の基板処理装置１において、メンテナンス終了時など、カセット２０を取り付ける際には、まず、図８に示すように、上チャンバ１１を取り外した状態としておく。
次いで、下チャンバ１２から充分に離間し、下チャンバ１２等と干渉しない位置において、上チャンバ１１を取り外した状態で、クレーン、ホイスト等とされる吊り下げ装置１００に対して、カセット２０を吊り下げ可能となるようにチェ−ン等により接続する。
さらに、支持部２１がチャンバ１０内に収納可能な向きとなるように吊り下げ姿勢を調整する。
【０１７５】
この状態で、吊り下げ装置１００を駆動して、吊り下げ装置１００に接続したカセット２０を、後方向移動可能な高さ位置とする。
この際、カセット２０の高さは、昇降軸２３の下端が底部１２ａから離間する程度であればよい。
【０１７６】
その後、吊り下げ装置１００を駆動して、吊り下げ装置１００に接続したカセット２０を、図９に矢印ｕｂ１で示した前方向と逆の後方向に移動する。
ここで、後方向は、側部１１ｂから側部１２ｅに向かう方向、つまり、フランジ部１３，１４において、傾斜部１３ｃ〜１４ｄが傾斜して上昇する向きと一致する。
【０１７７】
このとき、カセット２０が側部１１ｂから側部１２ｅに向かう後方向に移動しても、カセット２０の下端位置は、昇降軸２３の下端が底部１２ａから離間している。
さらに、下チャンバ１２における前方向の上端は底部１２ａと同じ高さとされている。このため、カセット２０をそれ以上の高さまで上昇させる必要がなく、昇降軸２３がチャンバ１０に当接しない状態を維持したまま、後方向に移動することができる。
【０１７８】
次いで、昇降軸２３の下端が、平面視して貫通部１２ｇと一致する位置でカセットの後方向移動を停止する。
その後、図９に矢印ｕｂ１で示した方向と逆方向に下降させて、昇降軸２３の下端を貫通部１２ｇから挿入する。
所定の高さまでカセット２０を下降させた後、カセット２０においては、昇降軸２３の下端において、シールフランジ２６、および、コネクタ２７を接続して、複数本のヒータ線２５をそれぞれ接続する。
【０１７９】
これにより、カセット２０の取り付けを終了する。
【０１８０】
以下、本実施形態の基板処理装置１における、チャンバ１０の取り付けをおこなう方法について説明する。
【０１８１】
図１０は、本実施形態の基板処理装置におけるチャンバの取り付け工程を示す斜視図である。図１１は、本実施形態の基板処理装置におけるチャンバの取り付け工程を示す斜視図である。
本実施形態の基板処理装置１において、メンテナンスなどのために、チャンバ１０を組み立てる際には、まず、図８に示すように、上チャンバ１１を取り付ける前に、カセット２０を下チャンバ１２に取り付けた状態としておく。
【０１８２】
また、下チャンバ１２から充分に離間して、下チャンバ１２およびカセット２０等と干渉しない位置において、クレーン、ホイスト等とされる吊り下げ装置１００に対して、上チャンバ１１を吊り下げ可能となるように、チェ−ン等により吊り下げ部１１ｈと接続する。
具体的には、水平方向で、上チャンバ１１が、下チャンバ１２の傾斜部１４ｃ，１４ｄが傾斜して下降する方向に離間した準備位置とする。
【０１８３】
この状態で、吊り下げ装置１００を駆動して、吊り下げ装置１００に接続した上チャンバ１１を上昇させる。
この際、上チャンバ１１を上昇させる高さは、上チャンバ１１を下チャンバ１２に取り付ける際の高さに設定される。
【０１８４】
さらに、上チャンバ１１が下チャンバ１２に取り付け可能な向きとなるように吊り下げ姿勢を調整する。
具体的には、上チャンバ１１の傾斜部１３ｃが、下チャンバ１２の傾斜部１４ｃと平面視して平行で、かつ、上チャンバ１１の傾斜部１３ｃが、平面視して傾斜部１４ｃと同一直線上に位置する準備姿勢となるように設定する。
【０１８５】
同様に、上チャンバ１１の傾斜部１３ｄが、下チャンバ１２の傾斜部１４ｄと平面視して平行で、かつ、上チャンバ１１の傾斜部１３ｄが、平面視して傾斜部１４ｄと同一直線上に位置するように設定する。
【０１８６】
次に、吊り下げ装置１００を駆動して、吊り下げ装置１００に接続した上チャンバ１１を、図１０に矢印ｆｂ２で示すように、後方向に移動させる。
ここで、後方向ｆｂ２は、側部１１ｂから側部１２ｅに向かう方向、つまり、フランジ部１３，１４において、傾斜部１３ｃ〜１４ｄが傾斜して上昇する向きと一致する。
【０１８７】
このとき、上チャンバ１１が、準備位置から後方向ｆｂ２に移動しても、上チャンバ１１の移動方向の前側となる下端位置は、天井部１１ａと同じ高さとされているため、上チャンバ１１がチャンバ１０内部のカセット２０等に当接することはない。
【０１８８】
ここで、上チャンバ１１が後方向ｆｂ２に移動すると、まず、図１０に示すように、フランジ部１３の傾斜部１３ｃが、傾斜部１４ｃに取り付けられた横位置規制部４１ａおよび前後位置規制部４１ｂの接合部分に対して当接する。
同時に、図１０に示すように、フランジ部１３の傾斜部１３ｄが、傾斜部１４ｄに取り付けられた横位置規制部４１ａおよび前後位置規制部４１ｂの接合部分に対して当接する。
【０１８９】
さらに、上チャンバ１１が後方向ｆｂ２に移動すると、図１１に示すように、フランジ部１３の傾斜部１３ｃが、傾斜部１４ｃに取り付けられた横位置規制部４１ａおよび前後位置規制部４１ｂに対して摺動する。
同時に、図１１に示すように、フランジ部１３の傾斜部１３ｄが、傾斜部１４ｄに取り付けられた横位置規制部４１ａおよび前後位置規制部４１ｂに対して摺動する。
【０１９０】
これにより、上チャンバ１１が後方向ｆｂ２に移動する際、上チャンバ１１が傾斜部１４ｃに取り付けられた下ガイド部材４１と傾斜部１４ｄに取り付けられた下ガイド部材４１との間に位置していることを維持できる。
【０１９１】
同時に、傾斜部１３ｃ，１３ｄの端部は、いずれも傾斜部１４ｃ，１４ｄに取り付けられた横位置規制部４１ａおよび前後位置規制部４１ｂによる２点で、横方向の移動が規制される。これにより、準備位置で設定された準備姿勢から上チャンバ１１が傾いてしまうことなく、上チャンバ１１の姿勢を維持できる。
【０１９２】
このように、ガイド部４０は、後方向ｆｂ２に移動する上チャンバ１１の位置および姿勢をガイドする。
これにより、上チャンバ１１が側部１２ｃと側部１２ｄとの対向する横方向に移動して、上チャンバ１１がチャンバ１０内部のカセット２０等に当接することを防止できる。
【０１９３】
位置および姿勢をガイドした状態で、さらに、上チャンバ１１が後方向ｆｂ２に移動して、フランジ部１３がフランジ部１４に当接する状態とする。同時に、上ガイド部材４２が前後位置規制部４１ｂに当接した状態として、上チャンバ１１の後方向ｆｂ２にける移動を停止する。
これにより、上チャンバ１１が側部１１ｂから側部１２ｅに向かう後方向に移動して、上チャンバ１１がチャンバ１０内部のカセット２０等に当接することを防止できる。
【０１９４】
この状態で、フランジ部１３とフランジ部１４とを締結して、チャンバ１０を密閉可能とする。
最後に、吊り下げ装置１００と吊り下げ部１１ｈとの接続を解除する。
これにより、上チャンバ１１の取り付けを終了する。
【０１９５】
なお、上チャンバ１１の準備状態において、上チャンバ１１を下チャンバ１２に取り付ける高さとして設定したが、水平方向において、上チャンバ１１を取り付け位置まで後方向ｆｂ２に移動した後、上チャンバ１１を下降させることも可能である。この場合、上チャンバ１１の準備状態において、上チャンバ１１の取り付け高さよりも多少高い位置に設定することができる。
【０１９６】
本実施形態の基板処理装置１においては、傾斜した傾斜部１３ｃ〜１４ｄを有するフランジ部１３，１４によって、チャンバ１０を上チャンバ１１と下チャンバ１２とに分割したので、チャンバ１０を密閉するシール面を平面状として、密閉性能を低下させないことができる。
【０１９７】
また、上チャンバ１１と下チャンバ１２とに分割したので、メンテナンス時やメンテナンス終了時において、上チャンバ１１を下チャンバ１２に対して移動することが容易に可能となる。
【０１９８】
特に、前方向ｆｂ１に移動する上チャンバ１１における後側のフランジ部１３が下端であるため、チャンバ１０内部に収納されたカセット２０等に当接することを防止できる。
同様に、後方向ｆｂ２に移動する上チャンバ１１における前側のフランジ部１３が下端であるため、チャンバ１０内部に収納されたカセット２０等に当接することを防止できる。
これにより、上チャンバ１１を下チャンバ１２に対してほとんど上昇させなくても、上チャンバ１１を下チャンバ１２に対して移動することが容易に可能となる。
したがって、吊り下げ装置１００の揚程があまり取れない状態であっても、上チャンバ１１を下チャンバ１２に対して移動することが容易に可能となる。
【０１９９】
さらに、メンテナンス時など、上チャンバ１１を外した下チャンバ１２からカセット２０を外す際に、カセット２０の下端を、下チャンバ１２の底部１２ａに対してほとんど上昇させなくても、カセット２０を下チャンバ１２に対して移動することが容易に可能となる。
【０２００】
特に、傾斜部１４ｃ，１４ｄが形成されているため、カセット２０が乗り越えなければならない、下チャンバ１２の前方向ｆｂ１には側部が形成されていない。これにより、カセット２０を前方向ｆｂ１に移動する際には、カセット２０における昇降軸２３の下端が、下チャンバ１２の底部１２ａに当接しない程度まで、カセット２０を上昇させればよい。
したがって、カセット２０を下チャンバ１２から上方に移動させる距離を短縮することが可能となる。つまり、クレーンなどの吊り下げ装置１００の揚程を短縮することが可能となる。
【０２０１】
図１２は、本実施形態の基板処理装置１におけるカセット２０の上昇位置を、従来装置と比較するための側断面である。
ここで、比較する従来装置は、図１２に示すように、同じカセット２０を有するものとされ、チャンバ１１０の底部１１２ａは、本実施形態の基板処理装置１におけるチャンバ１０の底部１２ａと同じ高さに位置している。
【０２０２】
この状態で、従来装置は、図１２に示すように、天井部のみが分離される構成とされる。従来装置は、また、フランジ部１１４が略水平面内に位置する構成とされる。なお、従来装置では、フランジ部１１４の床からの高さが、本実施形態のフランジ部１４における最上部の床からの高さよりも低い位置にある。
【０２０３】
このとき、本実施形態で、下チャンバ１２の底部１２ａからカセット２０における昇降軸２３の下端を離間させる高さＨ１が必要だとする。同様に従来のチャンバ１１０でも、フランジ部１１４からカセット２０における昇降軸２３の下端を離間させる高さＨ１が必要だとする。
【０２０４】
すると、本実施形態では、カセット２０の上端が床面から高さＨ２だけ上昇させれば、カセット２０を前方向ｆｂ１に移動することが可能となる。
これに対して、従来のチャンバ１１０では、カセット２０の上端が床面から高さＨ３だけ上昇させなければ、カセット２０を前方向ｆｂ１に移動することが可能とならない。
この高さＨ３と高さＨ２との差ΔＨだけ、本実施形態では、吊り下げ装置１００の揚程を短縮することが可能である。
【０２０５】
またガイド部４０を設けたので、外していた上チャンバ１１を下チャンバ１２に取り付ける場合に、吊り下げ装置１００によって吊り下げて、後方向ｆｂ２または前方向ｆｂ１に移動する上チャンバ１１を、ガイド部４０によりガイドする。これにより、移動する上チャンバ１１の位置および姿勢を規制することが容易となる。
したがって、前後方向に移動する上チャンバ１１が、チャンバ１０内部に収納されたカセット２０等に当接することを防止できる。
【０２０６】
特に、本実施形態の基板処理装置１のように、多角形状のトランスファチャンバ２にチャンバ１０が接続された場合、チャンバの側部１２ｃ、１２ｄの方向と吊り下げ装置１００の水平方向における移動方向とが直交していないことがある。この場合であっても、ガイド部４０によって、傾斜部１３ｃ，１３ｄが、傾斜部１４ｃ，１４ｄと平面視して平行かつ重なる状態を維持して、上チャンバ１１を、下チャンバ１２に対して移動することが容易となる。
これにより、前後方向に移動する上チャンバ１１が、チャンバ１０内部に収納されたカセット２０等に当接することを容易に防止できる。
【０２０７】
これにより、数ｔ（トン）程度の重量を有する上チャンバ１１を、下チャンバ１２に対して移動する際に、作業の簡易化と、作業時間の短縮を図ることが可能となる。
【０２０８】
本実施形態における基板処理装置１のチャンバ１０では、搬出入口１５，１６が二箇所とされている。これにより、搬出入口が一箇所設けられた場合に比べて、チャンバ内でカセットを移動させる高さ方向の距離を小さくすることができる。
【０２０９】
図１３は、本実施形態の基板処理装置１におけるカセット２０の上昇位置を、従来装置と比較するための側断面である。
ここで、比較する従来装置は、図１３に示すように、同じ段数の支持部２１を有するカセット２２０を昇降するものとされ、多段の支持部２１における上下寸法は、本実施形態と同じに設定されている。
【０２１０】
この状態で、従来装置は、図１３に示すように、チャンバ２００に搬出入口２１５が一箇所のみ設けられている。
このため、従来装置では、カセット２２０の昇降軸２２３が、本実施形態の昇降軸２３に比べて、鉛直方向の長さＴ２２３だけ大きくする必要がある。これにともなって、昇降軸２２３の昇降範囲を確保するために、チャンバ２００の下側に余裕が必要となるため、チャンバ２００の底部は、本実施形態の底部１２ａよりも高い位置となる。
【０２１１】
また、従来装置は、一箇所の搬出入口２１５から全ての支持部２１１に基板を載置する必要があるため、カセット２２０が最上側位置に上昇した際に、最下部の支持部２１が搬出入口２１５と同じ高さＴ２１５になる必要がある。
このため、最上側位置に上昇したカセット２２０における上端高さＴ２２１は、本実施形態の最上側位置に上昇したカセット２０における上端高さＴ２１よりも高い位置となる。
【０２１２】
したがって、チャンバ２００内でのカセット２２０昇降位置を確保するために、チャンバ２００の上端となる天井部２１１ａの高さＴ２１１ａは、本実施形態のチャンバ１０の上端となる天井部１１ａの高さＴ１１ａに比べて、ΔＴだけ高くなってしまう。
【０２１３】
この高さＴ２１１ａと高さＴ１１ａとの差ΔＴだけ、本実施形態では、吊り下げ装置１００の揚程を短縮することが可能である。
【０２１４】
なお、上述した実施形態においては、フランジ部１３，１４が、底部１２ａと側部１１ｂとの境界となるように傾斜して配置とされたが、フランジ部１３，１４が、底部１２ａと側部１１ｂとの境界位置の一部のみとなるように傾斜して配置されることもできる。
さらに、上述した実施形態においては、フランジ部１３，１４が、天井部１１ａと側部１２ｅとの境界となるように傾斜して配置とされたが、フランジ部１３，１４が、天井部１１ａと側部１２ｅｂとの境界位置の一部のみとなるように傾斜して配置されることもできる。
【産業上の利用可能性】
【０２１５】
本発明の活用例として、加熱処理装置、成膜装置を挙げることができる。
【符号の説明】
【０２１６】
１…基板処理装置
２…トランスファチャンバ
２ａ…搬送ロボット
１０〜１０Ｅ…チャンバ
１１…上チャンバ
１１ａ…天井部
１１ｂ〜１１ｄ…側部
１１ｈ…吊り下げ部
１２…下チャンバ
１２ａ…底部
１２ｃ〜１２ｅ…側部
１２ｇ…貫通部
１３，１４…フランジ部
１３ｃ，１３ｄ，１４ｃ，１４ｄ…傾斜部
１５，１６…搬出入口
１５ａ，１６ａ…シャッタ
１５ｂ、１６ｂ…シャッタ駆動部
２０…カセット
２１…支持部
２１ａ…ヒータ
２２…支持柱
２３…昇降軸（昇降機構）
２４…ヒータ
２５…ヒータ線
２６…シールフランジ
２７…コネクタ
３０…昇降駆動部（昇降機構）
３１…昇降支持部
３１ａ…貫通孔
３２…ボールネジ
３３…昇降回転部
４０…ガイド部
４１…下ガイド部材
４１ａ…横位置規制部
４１ｂ…前後位置規制部
４２…上ガイド部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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