(57)【要約】      （修正有）【課題】回転テーブルの内部構造を簡素化でき、高精度に測定することができる真円度測定装置および心出し方法を提供する。【解決手段】対象物Ｗの周面の位置を測定する真円度測定装置１であって、対象物を回転させる回転テーブル１０と、回転する対象物の周面の変位を検出する検出器２０と、回転テーブルの上に載置され、対象物を載置する載置部を有するスライドテーブル３０と、回転テーブルとは別体に設けられ、スライドテーブルを回転テーブルの回転軸と直交する平面と平行に移動させるスライド機構４０と、回転テーブル、検出器およびスライド機構を制御する制御部５０と、を備える。真円度測定装置において、制御部は、予め求められた回転テーブルの回転軸の平面上の位置と、スライドテーブルの載置部に載置された対象物の中心軸の平面上の位置とを合わせるようにスライド機構を制御してスライドテーブルを平行移動させる。【選択図】図１
2020020723.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物の周面の位置を測定する真円度測定装置であって、
前記対象物を回転させる回転テーブルと、
回転する前記対象物の前記周面の変位を検出する検出器と、
前記回転テーブルの上に載置され、前記対象物を載置する載置部を有するスライドテーブルと、
前記回転テーブルとは別体に設けられ、前記スライドテーブルを前記回転テーブルの回転軸と直交する平面と平行に移動させるスライド機構と、
前記回転テーブル、前記検出器および前記スライド機構を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、予め求められた前記回転テーブルの回転軸の前記平面上の位置と、前記スライドテーブルの前記載置部に載置された前記対象物の中心軸の前記平面上の位置とを合わせるように前記スライド機構を制御して前記スライドテーブルを平行移動させる、ことを特徴とする真円度測定装置。
【請求項２】
前記スライド機構は、前記スライドテーブルを一軸方向に平行移動させる、ことを特徴とする請求項１記載の真円度測定装置。
【請求項３】
前記スライド機構は、前記スライドテーブルを上下移動させる上下動機構を有し、
前記制御部は、前記上下動機構によって前記スライドテーブルを上昇させ、前記スライドテーブルを前記回転テーブルから離間させた状態で前記スライドテーブルを平行移動し、平行移動後に前記上下動機構によって前記スライドテーブルを下降させ、前記スライドテーブルを前記回転テーブルの上に載置する制御を行う、ことを特徴とする請求項１または２に記載の真円度測定装置。
【請求項４】
対象物を回転させる回転テーブルと、
回転する前記対象物の周面の変位を検出する検出器と、
前記回転テーブルの上に載置され、前記対象物を載置する載置部を有するスライドテーブルと、
前記回転テーブルとともに回転せず、前記スライドテーブルを前記回転テーブルの回転軸と直交する平面と平行に移動させるスライド機構と、を備えた真円度測定装置の心出し方法であって、
前記回転テーブルの回転軸の前記平面上の位置を求める回転軸取得工程と、
前記載置部に載置された前記対象物の中心軸の前記平面上の位置を求める中心軸取得工程と、
前記回転テーブルの回転軸の前記平面上の位置と、前記対象物の中心軸の前記平面上の位置とを合わせるように前記スライドテーブルを平行移動させる位置合わせ工程と、
を備えたことを特徴とする心出し方法。
【請求項５】
前記回転軸取得工程は、
前記回転テーブルの中心にマスター球を配置する工程と、
前記回転テーブルを回転させずに前記検出器で前記マスター球の部分円を測定する工程と、
前記マスター球の部分円から前記マスター球の中心座標を求め、この中心座標を前記回転テーブルの回転軸の前記平面上の位置とする工程と、
を有することを特徴とする請求項４記載の心出し方法。
【請求項６】
前記中心軸取得工程は、
前記回転テーブルの上に前記スライドテーブルを載置する工程と、
前記スライドテーブルの前記載置部に前記対象物を載置する工程と、
前記検出器で前記対象物の部分円を測定する工程と、
前記対象物の部分円から前記対象物の中心軸の前記平面上の位置を求める工程と、
を有することを特徴とする請求項４または５に記載の心出し方法。
【請求項７】
前記位置合わせ工程は、
前記回転テーブルによって前記スライドテーブルを回転させて、前記対象物の中心軸の前記平面上の位置と、前記回転テーブルの回転軸の前記平面上の位置とを結ぶ直線が、前記スライドテーブルの平行移動の方向と平行になるようにする工程と、
前記スライドテーブルを平行移動して前記対象物の中心軸の前記平面上の位置と前記回転テーブルの回転軸の前記平面上の位置とを合わせる工程と、
を有することを特徴とする請求項４から６のいずれか１項に記載の心出し方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物の真円度や円筒形状を測定する真円度測定装置および心出し方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
対象物の周面に沿った真円度を測定する真円度測定装置は、対象物を回転させる回転テーブルと、回転する対象物の周面の位置を検知する検知部とを備えている。真円度測定装置で測定を行う前には、回転テーブルの回転軸と対象物の中心軸とを一致させる心出しを行う必要がある。
【０００３】
特許文献１、２および３には、真円度測定装置における心出しについて開示されている。真円度測定装置では、回転テーブルに載置した対象物の周面に検知部のスタイラスを当てた状態で対象物を回転させ、検出した周面の位置から対象物の中心を求める。そして、この中心と回転テーブルの回転軸とのずれ量を算出し、回転テーブルに内蔵された求心軸を使用して回転テーブルを平行移動させ、心出しを行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１８−０３６１３０号公報
【特許文献２】特開２００１−２０１３４０号公報
【特許文献３】特開２００１−２０１３４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような真円度測定装置において、心出しを行うための求心軸はＸ軸およびＹ軸の２軸が必要である。回転テーブルの内部にこのような求心軸が組み込まれることで構成が複雑になる。すなわち、求心軸は回転テーブルをＸ軸およびＹ軸のそれぞれに移動させるための駆動源となるモータや、送り機構、制御基板などが必要であり、これらが回転テーブルの内部に組み込まれていると、重量による回転ブレや、モータなどからの発熱で金属の膨張・収縮が生じ、測定精度に影響を与える原因となる。また、求心軸の調整範囲は±５ｍｍ程度であり、求心の際の移動範囲を十分に得られない。
【０００６】
本発明は、回転テーブルの内部構造を簡素化でき、高精度に測定することができる真円度測定装置および心出し方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様は、対象物の周面の位置を測定する真円度測定装置であって、対象物を回転させる回転テーブルと、回転する対象物の周面の変位を検出する検出器と、回転テーブルの上に載置され、対象物を載置する載置部を有するスライドテーブルと、回転テーブルとは別体に設けられ、スライドテーブルを回転テーブルの回転軸と直交する平面と平行に移動させるスライド機構と、回転テーブル、検出器およびスライド機構を制御する制御部と、を備える。
この真円度測定装置において、制御部は、予め求められた回転テーブルの回転軸の前記平面上の位置と、スライドテーブルの載置部に載置された対象物の中心軸の前記平面上の位置とを合わせるようにスライド機構を制御してスライドテーブルを平行移動させる、ことを特徴とする。
【０００８】
このような構成によれば、回転テーブルの回転軸と対象物の中心軸とを位置合わせする機構として、回転テーブルの上に載置されたスライドテーブルと、スライドテーブルを平行移動させるスライド機構とを用いており、このスライド機構が回転テーブルとは別体に設けられている。このため、回転テーブルにスライド機構を組み込む必要がなく、回転テーブルの構造の簡素化を図ることができる。
【０００９】
上記真円度測定装置において、スライド機構は、スライドテーブルを一軸方向に平行移動させるものであってもよい。これにより、スライドテーブルを移動させるスライド機構が一軸方向への移動機構となって、さらなる構成の簡素化を図ることができる。
【００１０】
上記真円度測定装置において、スライド機構は、スライドテーブルを上下移動させる上下動機構を有していてもよい。この場合、制御部は、上下動機構によってスライドテーブルを上昇させ、スライドテーブルを回転テーブルから離間させた状態でスライドテーブルを平行移動し、平行移動後に上下動機構によってスライドテーブルを下降させ、スライドテーブルを回転テーブルの上に載置する制御を行う。これにより、スライドテーブルの回転と、スライドテーブルの平行移動とを切り分けることができる。
【００１１】
本発明の一態様は、対象物を回転させる回転テーブルと、回転する対象物の周面の変位を検出する検出器と、回転テーブルの上に載置され、対象物を載置する載置部を有するスライドテーブルと、回転テーブルとともに回転せず、スライドテーブルを回転テーブルの回転軸と直交する平面と平行に移動させるスライド機構と、を備えた真円度測定装置の心出し方法である。
【００１２】
この心出し方法は、回転テーブルの回転軸の平面上の位置を求める回転軸取得工程と、載置部に載置された対象物の中心軸の前記平面上の位置を求める中心軸取得工程と、回転テーブルの回転軸の前記平面上の位置と、対象物の中心軸の前記平面上の位置とを合わせるようにスライドテーブルを平行移動させる位置合わせ工程と、を備たことを特徴とする。
【００１３】
このような構成によれば、真円度測定における心出しにおいて、回転テーブルの回転軸と対象物の中心軸との回転方向の位置合わせを回転テーブルで行い、平面方向の位置合わせをスライドテーブルで行う。このため、回転テーブル自体を２軸方向に移動させる必要はなく、本来備えている回転テーブルの回転機構と、スライドテーブルの平行移動機構とによって心出しを行うことができる。
【００１４】
上記心出し方法において、回転軸取得工程は、回転テーブルの中心にマスター球を配置する工程と、回転テーブルを回転させずに検出器でマスター球の部分円を測定する工程と、マスター球の部分円からマスター球の中心座標を求め、この中心座標を回転テーブルの回転軸の前記平面上の位置とする工程と、を有していてもよい。これにより、回転テーブルの平面上の位置をマスター球の測定によって正確に求めることができる。
【００１５】
上記心出し方法において、中心軸取得工程は、回転テーブルの上にスライドテーブルを載置する工程と、スライドテーブルの載置部に対象物を載置する工程と、検出器で対象物の部分円を測定する工程と、対象物の部分円から対象物の中心軸の前記平面上の位置を求める工程と、を有していてもよい。これにより、回転テーブルによって対象物を回転させることなく、対象物の部分円の測定から対象物の中心軸の平面上の位置を正確に求めることができる。
【００１６】
上記心出し方法において、位置合わせ工程は、回転テーブルによってスライドテーブルを回転させて、対象物の中心軸の前記平面上の位置と、回転テーブルの回転軸の前記平面上の位置とを結ぶ直線が、スライドテーブルの平行移動の方向と平行になるようにする工程と、スライドテーブルを平行移動して対象物の中心軸の前記平面上の位置と回転テーブルの回転軸の前記平面上の位置とを合わせる工程と、を有していてもよい。これにより、回転テーブルの回転軸と対象物の中心軸との回転方向の位置合わせを回転テーブルで行い、平面方向の位置合わせをスライドテーブルで行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本実施形態に係る真円度測定装置を例示する斜視図である。
【図２】（ａ）および（ｂ）は、スライド機構の上下動を例示する模式図である。
【図３】（ａ）および（ｂ）は、スライド機構の平行移動を例示する模式図である。
【図４】心出し方法を例示するフローチャートである。
【図５】心出しを行う際の検出器の姿勢を例示する模式図である。
【図６】心出しを行う際のマスター球の設置状態を例示する模式図である。
【図７】（ａ）および（ｂ）は、心出しを行う際の検出器の動きを例示する模式図である。
【図８】（ａ）および（ｂ）は、心出しを行う際の回転テーブルの動きを例示する模式図である。
【図９】（ａ）および（ｂ）は、心出しを行う際のスライドテーブルの動きを例示する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、同一の部材には同一の符号を付し、一度説明した部材については適宜その説明を省略する。
【００１９】
〔真円度測定装置の構成〕
図１は、本実施形態に係る真円度測定装置を例示する斜視図である。
図２（ａ）および（ｂ）は、スライド機構の上下動を例示する模式図である。
図３（ａ）および（ｂ）は、スライド機構の平行移動を例示する模式図である。
【００２０】
図１に示すように、本実施形態に係る真円度測定装置１は、対象物Ｗの周面の位置を測定することで対象物Ｗの真円度や周面形状を測定する装置である。真円度測定装置１は、対象物Ｗを回転させる回転テーブル１０と、回転する対象物Ｗの周面の変位を検出する検出器２０と、回転テーブル１０の上に載置されるスライドテーブル３０と、スライドテーブル３０を平行移動させるスライド機構４０と、各部を制御する制御部５０とを備える。
【００２１】
なお、本実施形態では、説明の便宜上、回転テーブル１０の回転軸に沿った方向をＺ方向、Ｚ方向と直交する方向の一つをＸ方向、Ｚ方向およびＸ方向と直交する方向をＹ方向とする。また、Ｚ方向は上下方向とも言うことにする。回転軸と直交する平面はＸＹ平面である。
【００２２】
真円度測定装置１は基台２を有しており、この基台２の上に回転テーブル１０が設けられる。また、基台２における回転テーブル１０の横には支柱３が立設される。この支柱３に検出器２０が取り付けられており、検出器２０は支柱３に沿って上下（Ｚ方向）に移動可能となっている。
【００２３】
検出器２０は、スタイラス２１と、スタイラス２１を保持する保持部２２とを有する。検出器２０は、測定アーム５の先端に取り付けられており、測定アーム５の進退動作によってＸ方向に移動できるようになっている。測定アーム５に対する検出器２０の角度は変更できるようになっている。図１に示す例ではスタイラス２１がＺ方向に延出する向きに設定されているが、９０度回転させてＹ方向に延出する向きに設定することもできる。
【００２４】
測定アーム５はスライダ４に取り付けられる。このスライダ４が支柱３に沿ってＺ方向に上下動できるようになっており、スライダ４の動きとともに測定アーム５の先端に取り付けられた検出器２０もＺ方向に上下動可能となっている。
【００２５】
真円度測定装置１の基台２には操作部６が設けられる。ユーザは操作部６を用いて検出器２０のスタイラス２１の位置を移動させたり、各種の測定指示を実行したりする。真円度測定装置１には図示しないコンピュータが接続される。制御部５０は真円度測定装置１の本体に設けられていてもよいし、コンピュータに設けられていてもよい。
【００２６】
本実施形態に係る真円度測定装置１では、回転テーブル１０の上にスライドテーブル３０が載置され、このスライドテーブル３０の載置部３１の上に対象物Ｗが載置される。測定の際、スライドテーブル３０は回転テーブル１０とともに回転する。また、スライドテーブル３０はスライド機構４０によって平行移動可能に設けられる。
【００２７】
スライド機構４０は回転テーブル１０とは別体に設けられており、回転テーブル１０の回転とは独立して動作する。スライド機構４０は、例えば一対の支持アーム４１を有し、この支持アーム４１によってスライドテーブル３０を下から支持できるようになっている。
【００２８】
スライドテーブル３０は回転テーブル１０よりも僅かに広く設けられている。支持アーム４１は、スライドテーブル３０の回転テーブル１０から外側に拡がった部分を下から支えることができる。支持アーム４１によって支持された状態でスライドテーブル３０はＸＹ平面における少なくとも一方向に平行移動可能となっている。
【００２９】
本実施形態では、スライド機構４０はスライドテーブル３０を一軸方向（Ｙ方向）に平行移動させる機構となっている。一軸方向への移動機構によってスライド機構４０の簡素化を図ることができる。
【００３０】
また、スライド機構４０は、スライドテーブル３０を上下移動させる上下動機構を有する。図２（ａ）に示すように、スライド機構４０の支持アーム４１は、スライドテーブル３０の下方において上下に移動可能に設けられる。図２（ｂ）に示すように、スライド機構４０の支持アーム４１を上昇させると、スライドテーブル３０を下から持ち上げるように上昇させることができる。スライド機構４０は、スライドテーブル３０を回転テーブル１０から離間できる程度のストロークで上昇すればよい。
【００３１】
スライド機構４０は、スライドテーブル３０を回転テーブル１０から離間させた状態で、スライドテーブル３０をＸＹ平面に沿った少なくとも一方向に平行移動させる。本実施形態では、スライドテーブル３０はＹ方向に移動可能である。
【００３２】
スライドテーブル３０を平行移動させるには、先ず、図２（ｂ）に示すように、スライド機構４０の支持アーム４１でスライドテーブル３０を持ち上げて回転テーブル１０から離間させる。図３（ａ）に示すように、スライド機構４０の支持アーム４１はＸＹ平面に沿った一方向に平行移動可能であり、支持アーム４１でスライドテーブル３０を持ち上げて回転テーブル１０から離間させたこの状態で、図３（ｂ）に示すように、スライド機構４０の支持アーム４１をＸＹ平面に沿った一方向に平行移動させる。これにより、スライドテーブル３０と回転テーブル１０とのＸＹ平面に沿った相対的な位置関係をずらすことができる。
【００３３】
制御部５０は、このようなスライドテーブル３０およびスライド機構４０によって心出しを制御する。すなわち、制御部５０は、予め求められた回転テーブル１０の回転軸のＸＹ平面上の位置と、スライドテーブル３０の載置部３１に載置された対象物Ｗの中心軸のＸＹ平面上の位置とを合わせるようにスライド機構４０を制御してスライドテーブル３０を平行移動させる。
【００３４】
本実施形態では、回転テーブル１０とは別体に設けられたスライド機構４０によってスライドテーブル３０を平行移動させる構成のため、回転テーブル１０に心出しを行うための機構を組み込む必要がなくなる。これにより、回転テーブル１０の構造の簡素化を図ることができる。回転テーブル１０の構造が簡素化されることで、回転テーブル１０の重量の増加が抑制され、小型化にもつながる。これにより、回転テーブル１０用のモータの低トルク化や低消費電力化を図ることができる。
【００３５】
また、回転テーブル１０の軽量化によって回転ブレやモータなどからの発熱の影響（金属の膨張・収縮による影響や測定値の温度ドリフトの影響）を受けにくくなる。これにより、測定精度の向上を図ることができる。また、スライド機構４０によってスライドテーブル３０を大きく平行移動させることができ、求心の際の移動範囲を十分に確保できるようになる。
【００３６】
〔測定動作〕
次に、真円度測定装置１による測定動作について説明する。
先ず、心出しを行う。この心出し方法については後述する。心出しによって、回転テーブル１０の回転軸のＸＹ平面上の位置と、対象物Ｗの中心軸のＸＹ平面上の位置とが合わせられる。また、必要に応じて水平出しを行う。これにより、回転テーブル１０の回転軸と対象物Ｗの中心軸との角度ずれがなくなる。
【００３７】
次に、スタイラス２１を対象物Ｗの周面に接触させ、回転テーブル１０を回転させる。回転テーブル１０の回転にともない対象物Ｗが軸回りに回転し、この回転とともに対象物Ｗの周面と接触するスタイラス２１のＸ方向の変位を検出器２０で検知する。回転テーブル１０の回転角度と検出器２０で検知したＸ方向の変位との関係から、対象物Ｗの周面の真円度や輪郭形状が検出される。
【００３８】
〔心出し方法〕
次に、本実施形態に係る出し方法について説明する。
図４は、心出し方法を例示するフローチャートである。
図５〜図９（ｂ）は、心出しを行う際の各部の動作を例示する模式図である。
心出し方法は、制御部５０による各部の制御および演算によって行われる。
【００３９】
先ず、図４のステップＳ１０１に示すように、マスター球の測定および回転テーブル１０の回転軸の座標の取得を行う（回転軸取得工程）。マスター球の測定に先立ち、図５に示すように、検出器２０のスタイラス２１をＹ方向に向けた姿勢にしておく。
【００４０】
次に、図６に示すように、マスター球ＭＢを回転テーブル１０の中心にセットする。回転テーブル１０の中心には、マスター球ＭＢを中心に精度よく設置できるガイドが設けられている。ガイドに沿ってマスター球ＭＢを設置すると、マスター球ＭＢの中心が、回転テーブル１０の回転軸上に存在する状態になる。この状態では、マスター球ＭＢの中心のＸＹ平面上の座標（ＸＹ座標）は、回転テーブル１０の回転軸のＸＹ座標と一致することになる。
【００４１】
次に、スタイラス２１をマスター球ＭＢに接触させて、検出器２０をＹ方向に移動させる。これにより、マスター球ＭＢの部分円を測定する。制御部５０は、測定したマスター球ＭＢの部分円からマスター球ＭＢの中心のＸＹ座標を求める演算を行う。マスター球ＭＢの中心のＸＹ座標は回転テーブル１０の回転軸の中心のＸＹ座標と等価である。
【００４２】
次に、図４のステップＳ１０２に示すように、スライドテーブル３０の載置を行う。すなわち、回転テーブル１０からマスター球ＭＢを外し、回転テーブル１０の面にスライドテーブル３０を載置する。次いで、図４のステップＳ１０３に示すように、スライドテーブル３０の載置部３１に対象物Ｗを載置する。
【００４３】
次に、図４のステップＳ１０４に示すように、対象物Ｗの中心軸の座標を取得する（中心軸取得工程）。対象物Ｗの中心軸の座標を取得するには、マスター球ＭＢの測定と同様に、検出器２０のスタイラス２１をＹ方向に向けた姿勢にしておく。
【００４４】
そして、図７（ａ）に示すように、スタイラス２１を対象物Ｗの周面に接触させて、検出器２０をＹ方向に移動させる。これにより、図７（ｂ）に示すように、対象物Ｗの部分円Ｒ１を測定する。制御部５０は、測定した対象物Ｗの周面の部分円Ｒ１から対象物Ｗの中心軸Ｃ２のＸＹ座標を求める演算を行う。なお、この時点では、回転テーブル１０、スライドテーブル３０および対象物Ｗのそれぞれの位置関係はどのようになっていてもよい（中心を一致させる必要はない）。
【００４５】
次に、図４のステップＳ１０５に示すように、２つの座標を結ぶ線とスライド方向とを一致させるように回転テーブル１０を回転させる。図８（ａ）に示すように、先に取得した回転テーブル１０の回転軸Ｃ１のＸＹ座標と、対象物Ｗの中心軸Ｃ２のＸＹ座標とを結ぶ線Ｌ１を求め、図８（ｂ）に示すように、回転テーブル１０を回転させてこの線Ｌ１
をスライドテーブル３０の移動可能方向と平行な線Ｌ０と一致させる。
【００４６】
線Ｌ０は、回転テーブル１０の回転軸Ｃ１のＸＹ座標を通る。したがって、回転テーブル１０を回転させることで、回転軸Ｃ１のＸＹ座標と中心軸Ｃ２のＸＹ座標とを結ぶ線Ｌ１を、線Ｌ０に一致させることができる。すなわち、線Ｌ０上に回転軸Ｃ１と中心軸Ｃ２とがある状態になる。
【００４７】
この際、回転テーブル１０の回転方向は、時計回りでもよいし、反時計回りでもよい。例えば、回転テーブル１０の回転量が少なくて済む方向に回転させればよく、最大でも４分の１回転させれば線Ｌ１を線Ｌ０に一致させることができる。また、図８（ｂ）に示す例では、回転テーブル１０を反時計回りに回転させているが、時計回りに回転させて対象物Ｗの反対側に合わせるようにしてもよい。後述するスライドテーブル３０の移動方向のストロークに余裕が生じる側を選択するようにしてもよい。
【００４８】
次に、図４のステップＳ１０６に示すように、スライドテーブル３０の上昇および２つの中心の合わせを行う（位置合わせ工程）。すなわち、先ず、図９（ａ）に示すように、線Ｌ０上に回転軸Ｃ１と中心軸Ｃ２とがある状態で、図２（ａ）で示した状態から図２（ｂ）に示したようにスライド機構４０の支持アーム４１を上昇させてスライドテーブル３０を回転テーブル１０から浮き上がらせる。
【００４９】
次いで、スライド機構４０をＸＹ平面の一方向に移動させる。スライド機構４０の移動方向は、線Ｌ０に沿った方向である。これによりスライドテーブル３０が線Ｌ０に沿った方向に平行移動する。そして、図９（ｂ）に示すように、スライドテーブル３０の平行移動によって、対象物Ｗの中心軸Ｃ２のＸＹ平面上の位置と、回転テーブル１０の回転軸Ｃ１のＸＹ平面上の位置とを一致させる。
【００５０】
次に、図４のステップＳ１０７に示すように、スライドテーブル３０を下降させる。すなわち、図２（ｂ）で示した状態から図２（ａ）に示したようにスライド機構４０の支持アーム４１を下降して、スライドテーブル３０を回転テーブル１０の上に載置する。これにより、回転テーブル１０の回転軸Ｃ１と対象物Ｗの中心軸Ｃ２とのＸＹ平面上の位置が合致して、心出しが完了する。
【００５１】
このような心出し方法によれば、回転テーブル１０の回転軸Ｃ１と対象物Ｗの中心軸Ｃ２との回転方向の位置合わせを回転テーブル１０で行い、ＸＹ平面方向の位置合わせをスライドテーブル３０で行うことができる。つまり、回転テーブル１０をＸ，Ｙの２軸方向に移動させる必要はなく、本来備えている回転テーブル１０の回転機構と、スライドテーブル３０を平行移動させるスライド機構４０とによって心出しを行うことができる。
【００５２】
以上説明したように、実施形態によれば、回転テーブル１０の内部構造を簡素化でき、高精度に測定することができる真円度測定装置１および心出し方法を提供することが可能となる。
【００５３】
〔実施形態の変形〕
なお、上記に本実施形態を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。例えば、上記では、支持アーム４１の上下動によってスライドテーブル３０を上下させる機構を説明したが、スライド機構４０はこれ以外の形態であってもよい。また、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものや、各実施形態の特徴を適宜組み合わせたものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
以上のように、本発明は、対象物の真円度や周面形状を測定する装置のほか、表面粗さを測定する装置に好適に利用できる。
【符号の説明】
【００５５】
１…真円度測定装置
２…基台
３…支柱
４…スライダ
５…測定アーム
６…操作部
１０…回転テーブル
２０…検出器
２１…スタイラス
２２…保持部
３０…スライドテーブル
３１…載置部
４０…スライド機構
４１…支持アーム
５０…制御部
Ｃ１…回転軸
Ｃ２…中心軸
ＭＢ…マスター球
Ｒ１…部分円
Ｗ…対象物
【図１】
2020020723.tif 000003
【図２】
2020020723.tif 000004
【図３】
2020020723.tif 000005
【図４】
2020020723.tif 000006
【図５】
2020020723.tif 000007
【図６】
2020020723.tif 000008
【図７】
2020020723.tif 000009
【図８】
2020020723.tif 000010
【図９】
2020020723.tif 000011