(57)【要約】【課題】アクチュエーターの昇温を抑制可能なダイヤフラム式圧縮機を提供する。【解決手段】基板４と、アクチュエーター２と、基板４とアクチュエーター２との間に設けられ、基板４と圧縮室６を区画するダイヤフラム３と、ダイヤフラム３とアクチュエーター２と基板４とを内設する枠５と、を備え、枠５は、ダイヤフラム３の位置を基準にして基板４よりもアクチュエーター２側に流体の流入口９を有し、基板４は、流体を圧縮室６に吸入させる吸入口１７を有するダイヤフラム式圧縮機１。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
アクチュエーターと、
前記基板と前記アクチュエーターとの間に設けられ、前記基板と圧縮室を区画するダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムと前記アクチュエーターと前記基板とを内設する枠と、を備え、
前記枠は、流体の流入口を有し、
前記基板は、前記流体を前記圧縮室に吸入させる吸入口を有し、
前記アクチュエーターは、前記流入口から前記吸入口までの前記流体の移動経路に形成されていることを特徴とするダイヤフラム式圧縮機。
【請求項２】
基板と、
アクチュエーターと、
前記基板と前記アクチュエーターとの間に設けられ、前記基板と圧縮室を区画するダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムと前記アクチュエーターと前記基板とを内設する枠と、を備え、
前記枠は、流体の流入口を有し、
前記基板は、前記流体を前記圧縮室に吸入させる吸入口を有し、
前記アクチュエーターと、前記流入口から前記吸入口までの前記流体の移動経路と、の間に、金属製の壁が形成されていることを特徴とするダイヤフラム式圧縮機。
【請求項３】
請求項１または２に記載のダイヤフラム式圧縮機において、
前記流入口から流入した前記流体を拡散する拡散部材を備えることを特徴とするダイヤフラム式圧縮機。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載のダイヤフラム式圧縮機において、
前記アクチュエーターは圧電素子であることを特徴とするダイヤフラム式圧縮機。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載のダイヤフラム式圧縮機と、
前記ダイヤフラム式圧縮機で圧縮されたことで温度が上昇した冷媒の熱を放熱する熱交換部と、
前記冷媒を膨張させる冷媒膨張部と、を備えることを特徴とする冷却機。
【請求項６】
請求項５に記載の冷却機、を備えることを特徴とするプロジェクター。
【請求項７】
ダイヤフラムと、前記ダイヤフラムに力を印加するアクチュエーターと、前記ダイヤフラムと圧縮室を区画する基板と、流体の流入口を有し、前記ダイヤフラムと前記アクチュエーターと前記基板とを内設する枠と、を備えるダイヤフラム式圧縮機を用いる流体の圧縮方法であって、
前記流体を前記流入口から前記枠の内部に流入させる流入工程と、
前記流入口から流入した前記流体に前記アクチュエーターから熱を伝える伝熱工程と、
前記アクチュエーターから熱が伝えられた前記流体を前記圧縮室に吸入させる吸入工程と、
前記圧縮室に吸引された前記流体を圧縮する圧縮工程と、
を有することを特徴とする流体の圧縮方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイヤフラム式圧縮機、冷却機、プロジェクター及び流体の圧縮方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、様々な圧縮機が使用されている。このような圧縮機のうち、ダイヤフラムを往復運動させて流体を移送するダイヤフラム式圧縮機がある。  
例えば、特許文献１には、アクチュエーターとしての作動液ポートによりダイヤフラムを往復運動させて流体を移送するダイヤフラム式圧縮機が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−９７４１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されるような従来のダイヤフラム式圧縮機においては、アクチュエーターを駆動することによるダイヤフラムの往復運動を繰り返すことで、アクチュエーターが昇温する場合があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するための本発明のダイヤフラム式圧縮機は、基板と、アクチュエーターと、前記基板と前記アクチュエーターとの間に設けられ、前記基板と圧縮室を区画するダイヤフラムと、前記ダイヤフラムと前記アクチュエーターと前記基板とを内設する枠と、を備え、前記枠は、流体の流入口を有し、前記基板は、前記流体を前記圧縮室に吸入させる吸入口を有し、前記アクチュエーターは、前記流入口から前記吸入口までの前記流体の移動経路に形成されていることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明の実施例１に係るダイヤフラム式圧縮機の使用例を表す概略図。
【図２】本発明の実施例１に係るダイヤフラム式圧縮機を表す概略図であり、枠を一部透視させた状態の斜視図である。
【図３】本発明の実施例１に係るダイヤフラム式圧縮機を表す概略断面図。
【図４】本発明の実施例１に係るダイヤフラム式圧縮機を用いて実行可能な流体の圧縮方法の一例を表すフローチャート。
【図５】本発明の実施例２に係るダイヤフラム式圧縮機を表す概略断面図。
【図６】本発明の実施例２に係るダイヤフラム式圧縮機を表す概略図であり、枠を一部透視させた状態であって、図５のＹ−Ｙ線で切断した平面断面図である。
【図７】本発明の実施例２に係るダイヤフラム式圧縮機を表す概略図であり、枠を一部透視させた状態であって、図５のＸ−Ｘ線で切断した平面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
最初に、本発明について概略的に説明する。  
上記課題を解決するための本発明の第１の態様のダイヤフラム式圧縮機は、基板と、アクチュエーターと、前記基板と前記アクチュエーターとの間に設けられ、前記基板と圧縮室を区画するダイヤフラムと、前記ダイヤフラムと前記アクチュエーターと前記基板とを内設する枠と、を備え、前記枠は、流体の流入口を有し、前記基板は、前記流体を前記圧縮室に吸入させる吸入口を有し、前記アクチュエーターは、前記流入口から前記吸入口までの前記流体の移動経路に形成されていることを特徴とする。
【０００８】
本態様によれば、アクチュエーターは流入口から吸入口までの流体の移動経路に形成されているので、該流体によりアクチュエーターを直接冷却することが可能である。したがって、アクチュエーターの昇温を抑制可能である。
【０００９】
本発明の第２の態様のダイヤフラム式圧縮機は、基板と、アクチュエーターと、前記基板と前記アクチュエーターとの間に設けられ、前記基板と圧縮室を区画するダイヤフラムと、前記ダイヤフラムと前記アクチュエーターと前記基板とを内設する枠と、を備え、前記枠は、流体の流入口を有し、前記基板は、前記流体を前記圧縮室に吸入させる吸入口を有し、前記アクチュエーターと、前記流入口から前記吸入口までの前記流体の移動経路と、の間に、金属製の壁が形成されていることを特徴とする。
【００１０】
本態様によれば、アクチュエーターと、流入口から吸入口までの流体の移動経路と、の間の位置に、金属製の壁が形成されている。金属は熱伝導性が高いので、金属製の壁を介して間接的に該流体によりアクチュエーターを冷却することが可能である。したがって、アクチュエーターの昇温を抑制可能である。
【００１１】
本発明の第３の態様のダイヤフラム式圧縮機は、前記第１または第２の態様において、前記流入口から流入した前記流体を拡散する拡散部材を備えることを特徴とする。
【００１２】
本態様によれば、流入口から流入した流体を拡散する拡散部材を備えるので、拡散された流体により効率的にアクチュエーターを冷却することが可能である。したがって、アクチュエーターの昇温を効率的に抑制可能である。
【００１３】
本発明の第４の態様のダイヤフラム式圧縮機は、前記第１から第３のいずれか１つの態様において、前記アクチュエーターは圧電素子であることを特徴とする。
【００１４】
本態様によれば、アクチュエーターを印加電圧を制御することで加圧力を細かく設定できる圧電素子で簡単に構成でき、異なる圧縮率に流体を圧縮可能なダイヤフラム式圧縮機を簡単に構成できる。
【００１５】
本発明の第５の態様の冷却機は、前記第１から第４のいずれか１つの態様のダイヤフラム式圧縮機と、前記ダイヤフラム式圧縮機で圧縮されたことで温度が上昇した冷媒の熱を放熱する熱交換部と、前記冷媒を膨張させる冷媒膨張部と、を備えることを特徴とする。
【００１６】
本態様によれば、アクチュエーターの昇温を抑制できる。
【００１７】
本発明の第６形態のプロジェクターは、前記第６の態様の冷却機を備えることを特徴とする。
【００１８】
本態様によれば、アクチュエーターの昇温が抑制されたプロジェクターで映像を投射できる。
【００１９】
本発明の第６の態様の流体の圧縮方法は、ダイヤフラムと、前記ダイヤフラムに力を印加するアクチュエーターと、前記ダイヤフラムと圧縮室を区画する基板と、流体の流入口を有し、前記ダイヤフラムと前記アクチュエーターと前記基板とを内設する枠と、を備えるダイヤフラム式圧縮機を用いる流体の圧縮方法であって、前記流体を前記流入口から前記枠の内部に流入させる流入工程と、前記流入口から流入した前記流体に前記アクチュエーターから熱を伝える伝熱工程と、前記アクチュエーターから熱が伝えられた前記流体を前記圧縮室に吸入させる吸入工程と、前記圧縮室に吸引された前記流体を圧縮する圧縮工程と、を有することを特徴とする。
【００２０】
本態様によれば、流入口から流入した流体にアクチュエーターから熱を伝えるので、該流体によりアクチュエーターを冷却することが可能である。したがって、アクチュエーターの昇温を抑制可能である。
【００２１】
以下に、本発明の一実施例に係るダイヤフラム式圧縮機について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００２２】
［実施例１］（図１から図４）  
本発明の実施例１に係るダイヤフラム式圧縮機１について説明する。  
最初に、図１を参照して、本発明の実施例１に係るダイヤフラム式圧縮機１を使用している装置の一例であるプロジェクター１００について説明する。
【００２３】
図１で表されるプロジェクター１００は、光源１１４、蛍光体１１１及びダイクロイックミラー１１３などを備える光源ユニット１０２を備えている。また、赤色光用の光学素子１１２ａ、緑色光用の光学素子１１２ｂ及び青色光用の光学素子１１２ｃを有する光学素子１１２、並びに、投射レンズ１０４などを備える光学素子ユニット１０３を備えている。また、光源ユニット１０２及び光学素子ユニット１０３を冷却するための冷却機１０１を備えている。
【００２４】
冷却機１０１は、詳細は後述する本実施例のダイヤフラム式圧縮機１、熱交換部１０７、冷媒膨張部１０８及び蒸発器１０６などを備えており、１次冷媒管１０９を１次冷媒が方向Ｆに流れるよう構成されている。そして、このような構成をしていることにより、冷却機１０１は、後述のアクチュエーターの昇温を抑制できる。
【００２５】
１次冷媒は、ダイヤフラム式圧縮機１で圧縮され、昇温する。ここで、ダイヤフラム式圧縮機１に流入する１次冷媒は低圧の気体であり、ダイヤフラム式圧縮機１から流出する１次冷媒は高圧の気体である。
【００２６】
ダイヤフラム式圧縮機１で圧縮された１次冷媒は、熱交換部１０７で所定の温度に冷却される。ここで、熱交換部１０７で冷却された１次冷媒は、高圧の液体である。
【００２７】
熱交換部１０７で冷却された１次冷媒は、冷媒膨張部１０８で膨張させられ、温度が低下する。ここで、冷媒膨張部１０８で膨張させられた１次冷媒は、低圧の液体である。
【００２８】
蒸発器１０６では、該蒸発器１０６の内部で１次冷媒を液体から気体に変化させ、蒸発器１０６の内部の熱を吸収する。ここで、光源ユニット１０２、光学素子ユニット１０３及び冷却機１０１は２次冷媒管１１０で接続されており、送液ポンプ１０５により２次冷媒が２次冷媒管１１０を循環する構成になっている。そして、冷却機１０１の蒸発器１０６の内部で１次冷媒管１０９と２次冷媒管１１０とが並んで配置されている。蒸発器１０６はこのような内部構成になっているので、１次冷媒を液体から気体に変化させることで低温となった蒸発器１０６の内部で２次冷媒は冷却される。冷却された２次冷媒が光源ユニット１０２及び光学素子ユニット１０３を循環することで、光源ユニット１０２及び光学素子ユニット１０３は冷却される。
【００２９】
本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、上記のように、プロジェクター１００において好ましく使用できる。図１で表されるプロジェクター１００は、詳細は後述する本実施例のダイヤフラム式圧縮機１を備えることで、ダイヤフラム式圧縮機１のアクチュエーターの昇温を抑制ことができる構成になっている。このため、アクチュエーターの昇温が抑制された本実施例のプロジェクター１００で映像を投射できる。  
しかしながら、本発明のダイヤフラム式圧縮機は、プロジェクターでの使用に限定されず、例えば、プリンター、コンピューター（ノートパソコン、デスクトップパソコン等）やロボットなど、発熱する構成部材を有する装置などにおいて使用可能である。
【００３０】
次に、図２及び図３を参照して、ダイヤフラム式圧縮機１の構成について詳細に説明する。
【００３１】
図２及び図３で表されるように、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、アクチュエーター２、アクチュエーター２と接続されたダイヤフラム３、ダイヤフラム３と接続された基板４及びこれらを覆う枠５を有している。また、枠５には、押圧方向Ｐにおいてダイヤフラム３の位置を基準にして基板４よりもアクチュエーター２側に流体である１次冷媒の流入口９を有している。なお、本実施例のアクチュエーター２は、圧電素子であって、不図示の信号発生器に接続された不図示の増幅器に接続されており、該信号発生器及び該増幅器を駆動することにより押圧方向Ｐにダイヤフラム３を押圧することが可能に構成されている。ここで、信号発生器及び増幅器によるアクチュエーター２の駆動波動は、例えば、Ｓｉｎ波などとすることができる。アクチュエーター２は、連続的に駆動することで昇温する傾向がある。ここで、押圧方向Ｐは、アクチュエーター２が駆動することに伴ってダイヤフラム３が変位する方向に該当する。
【００３２】
また、図２及び図３で表されるように、ダイヤフラム３は、アクチュエーター２に押圧される領域３ａがアクチュエーター２に押圧されない領域３ｂよりも押圧方向Ｐにおいて厚く構成されている。ここで、「アクチュエーター２に押圧される領域３ａがアクチュエーター２に押圧されない領域３ｂよりも押圧方向Ｐにおいて厚い」とは、アクチュエーター２に押圧される位置の少なくとも一部がアクチュエーター２に押圧されない位置の少なくとも一部よりも押圧方向Ｐにおいて厚ければよい意味である。
【００３３】
また、図３で表されるように、基板４にはダイヤフラム３と接続される側に窪みが形成されており、ダイヤフラム３と基板４とを接合させることで該窪みが圧縮室６を形成している。
【００３４】
基板４における、押圧方向Ｐにおいてアクチュエーター２とオーバーラップする位置には、流体である１次冷媒を圧縮室６に流入可能な吸入口１７が形成されており、吸入口１７には吸入弁７が形成されている。吸入弁７は１次冷媒を圧縮室６に流入するときと１次冷媒を圧縮室６に流入しないときとで押圧方向Ｐにおける外側部分７ａの位置を変更可能であり、吸入弁７が押圧方向Ｐにおける位置を変更することで方向Ｆのみに１次冷媒が流れ、逆流しないようになっている。ここで、基板４は押圧方向Ｐに沿って複数の板状の材料が積み重ねられるとともに接合されて形成されているが、吸入弁７は該板状の材料と一体的に構成されている。そして、吸入弁７は、図３で表される１次冷媒の逆流が抑制される状態から外側部分７ａが開放方向Ａに位置を変更することで、１次冷媒を圧縮室６に流入することを可能にしている。
【００３５】
基板４における、押圧方向Ｐにおいてアクチュエーター２とオーバーラップする位置には、１次冷媒を圧縮室６から流出可能な吐出口１８が形成されており、吐出口１８には吐出弁８が形成されている。吐出弁８は１次冷媒を圧縮室６から流出するときと１次冷媒を圧縮室６から流出しないときとで押圧方向Ｐにおける外側部分８ａ位置を変更可能であり、吐出弁８が押圧方向Ｐにおける位置を変更することで方向Ｆのみに１次冷媒が流れ、逆流しないようになっている。ここで、吐出弁８も吸入弁７と同様、基板４を構成する板状の材料と一体的に構成されている。そして、吐出弁８は、図３で表される１次冷媒の逆流が抑制される状態から外側部分８ａが開放方向Ｂに位置を変更することで、１次冷媒を圧縮室６から流出することを可能にしている。
【００３６】
なお、上記のように、基板４は、押圧方向Ｐに沿って複数の板状の材料が積み重ねられるとともに該複数の板状の材料が接合されて形成されている。しかしながら、基板４の構成はこのような構成に限定されない。また、吸入弁７及び吐出弁８の形状も本実施例のような形状に限定されず、本実施例のような片持ち梁形状のほか、両持ち梁形状、円形状のものなどであってもよい。
【００３７】
また、上記のように枠５には１次冷媒の流入口９が形成されているが、流入口９から枠５の内部に流入した１次冷媒は、枠５の内部においてアクチュエーター２と接触可能になっている。別の表現をすると、アクチュエーター２は、流入口９から吸入口１７までの１次冷媒の移動経路１２に形成されている。本実施例のダイヤフラム式圧縮機１においては、流入口９から枠５の内部に流入した１次冷媒は、アクチュエーター２と接触してアクチュエーター２から熱が伝えられたうえで、吸入口１７を介して圧縮室６に送られる。なお、「１次冷媒の移動経路」とは、１次冷媒が通り得るすべての経路を意味する。
【００３８】
ここで、一旦まとめると、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、基板４と、アクチュエーター２と、基板４とアクチュエーター２との間に設けられ、基板４と圧縮室６を区画するダイヤフラム３と、ダイヤフラム３とアクチュエーター２と基板４とを内設する枠５と、を備えている。別の表現をすると、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、ダイヤフラム３と、ダイヤフラム３を押圧可能なアクチュエーター２と、ダイヤフラム３に対してアクチュエーター２とは反対側に設けられ、アクチュエーター２と共に圧縮室６を形成する基板４と、ダイヤフラム３とアクチュエーター２と基板４とを内設する枠５と、を備えている。また、枠５は、ダイヤフラム３の位置を基準にして基板４よりもアクチュエーター２側に１次冷媒の流入口９を有している。また、基板４は、流入口９から流入した１次冷媒を圧縮室６に吸入させる吸入口１７を有している。そして、アクチュエーター２は、流入口９から吸入口１７までの１次冷媒の移動経路１２に形成されている。
【００３９】
このように、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、アクチュエーター２が流入口９から吸入口１７までの１次冷媒の移動経路１２に形成されているので、該１次冷媒によりアクチュエーター２を直接冷却することが可能な構成になっている。したがって、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、アクチュエーター２の昇温を抑制可能である。
【００４０】
上記について、１次冷媒（流体）の圧縮方法の観点から説明すると、ダイヤフラム３と、ダイヤフラム３に力を印加するアクチュエーター２と、ダイヤフラム３に対してアクチュエーター２とは反対側に設けられ、アクチュエーター２と圧縮室６を区画する基板４と、を備えるダイヤフラム式圧縮機１を用いて、図４のフローチャートで表される以下の流体の圧縮方法を実行可能である。最初に、ステップＳ１１０の流入工程で、１次冷媒を流入口９から枠５の内部に流入させる。次に、ステップＳ１２０の伝熱工程で、流入口９から流入した１次冷媒にアクチュエーター２から熱を伝える、次に、ステップＳ１３０の吸入工程で、アクチュエーター２から熱が伝えられた１次冷媒を圧縮室６に吸入させる。そして、ステップＳ１４０の圧縮工程で、圧縮室６に吸引された１次冷媒を圧縮し、圧縮された１次冷媒を吐出口１８から吐出することで本例の流体の圧縮方法を終了する。
【００４１】
本例の流体の圧縮方法を実行することにより、上記の流入工程、伝熱工程、吸入工程及び圧縮工程を実行することで、流入口９から流入した１次冷媒にアクチュエーター２から熱を伝えるので、該１次冷媒によりアクチュエーター２を冷却することが可能である。したがって、本例の流体の圧縮方法を実行することで、アクチュエーター２の昇温を抑制可能である。
【００４２】
なお、上記のように、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１においては、アクチュエーター２は圧電素子である。このため、アクチュエーターを圧電素子で簡単に構成していることで、異なる圧縮率に１次冷媒を圧縮可能なダイヤフラム式圧縮機１を簡単に構成している。
【００４３】
［実施例２］（図５から図７）  
次に、本発明の実施例２に係るダイヤフラム式圧縮機１について図５から図７を参照して説明する。このうち、図５は実施例１のダイヤフラム式圧縮機１における図３に対応する図である。また、図６及び図７は共に本実施例のダイヤフラム式圧縮機１の平面断面図であるが、図６は図５のＹ−Ｙ線すなわち流入口９の位置での断面図であり、図７は図５のＸ−Ｘ線すなわち後述するスリット１３の位置での断面図である。なお、上記実施例１と共通する構成部材は同じ符号で示しており、詳細な説明は省略する。また、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、金属製の壁１０が枠５の内部に形成されていること以外は実施例１のダイヤフラム式圧縮機１と同様の構成である。
【００４４】
図５などで表されるように、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１も、実施例１のダイヤフラム式圧縮機１と同様、ダイヤフラム３と、ダイヤフラム３を押圧可能なアクチュエーター２と、ダイヤフラム３に対してアクチュエーター２とは反対側に設けられ、アクチュエーター２と共に圧縮室６を形成する基板４と、ダイヤフラム３とアクチュエーター２と基板４とを内設する枠５と、を備え、枠５はダイヤフラム３の位置を基準にして基板４よりもアクチュエーター２側に１次冷媒の流入口９を有し、基板４は流入口９から流入した１次冷媒を圧縮室６に吸入させる吸入口１７を有している。一方、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、図５及び図６で表されるように、アクチュエーター２と、流入口９から吸入口１７までの１次冷媒の移動経路１２と、の間の、ダイヤフラム３の端部３ｃの上部の位置に、金属製の壁１０が形成されている。
【００４５】
このように、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、アクチュエーター２と、流入口９から吸入口１７までの１次冷媒の移動経路１２と、の間の位置に、金属製の壁１０が形成されている。金属は熱伝導性が高いので、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、金属製の壁１０を介して間接的に１次冷媒によりアクチュエーター２を冷却することが可能である。したがって、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、アクチュエーター２の昇温を抑制可能である。
【００４６】
ここで、金属製の壁１０は、金属で構成されていれば特にその構成材料に限定はない。ただし、熱伝導性が高い金属の中でも特に熱伝導性が高いアルミなどを好ましく用いることができる。
【００４７】
また、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１においては、図５及び図７で表されるように、金属製の壁１０は、複数のスリット１３が形成されており、流入口９から枠５の内部に流入した１次冷媒をアクチュエーター２に向けて拡散する拡散部材１１としての役割も兼ねている。
【００４８】
このように、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、流入口９から流入した１次冷媒を拡散する拡散部材１１を備えているので、拡散部材１１により拡散された１次冷媒により効率的にアクチュエーター２を冷却することが可能な構成になっている。したがって、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１は、アクチュエーター２の昇温を効率的に抑制可能である。
【００４９】
なお、本発明は上記実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々の変形が可能であり、それらも本発明の範囲内に含まれることは言うまでもない。例えば、アクチュエーター２の形状や枠５の形状などは上記実施例の構成に限定されず、例えば、円柱状のアクチュエーター２の替わりに四角柱状のアクチュエーターを用いてもよいし、外形が四角柱状の枠５の替わりに外形が円柱状の枠を用いてもよい。また、例えば、金属製の壁１０と拡散部材１１とを別々に備える構成としてもよく、金属製の壁１０及び拡散部材１１の形状や、拡散部材１１のスリット１３の位置、大きさ、数及び形状などは、特に限定されない。さらに、例えば、アクチュエーターであれば、圧電素子に限らず、モーター、ソレノイド、ボイスコイルモーター等への変形が可能であり本発明の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００５０】
１…ダイヤフラム式圧縮機、２…アクチュエーター、３…ダイヤフラム、
３ａ…アクチュエーター２に押圧される領域、
３ｂ…アクチュエーター２に押圧されない領域、３ｃ…ダイヤフラム３の端部、
４…基板、５…枠、６…圧縮室、７…吸入弁、７ａ…外側部分、８…吐出弁、
８ａ…外側部分、９…流入口、１０…壁、１１…拡散部材、１２…移動経路、
１３…スリット、１７…吸入口、１８…吐出口、１００…プロジェクター、
１０１…冷却機、１０２…光源ユニット、１０３…光学素子ユニット、
１０４…投射レンズ、１０５…送液ポンプ、１０６…蒸発器、１０７…熱交換部、
１０８…冷媒膨張部、１０９…１次冷媒管、１１０…２次冷媒管、１１１…蛍光体、
１１２…光学素子、１１２ａ…赤色光用の光学素子、１１２ｂ…緑色光用の光学素子、
１１２ｃ…青色光用の光学素子、１１３…ダイクロイックミラー、１１４…光源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2020020283.tif 000007
【図６】
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【図７】
2020020283.tif 000009