(57)【要約】【課題】検査対象の条件に応じた密閉性検査を精度良好に実行可能とする。【解決手段】密閉性検査システム１０において、密閉性検査対象の内空に接続された圧力制御装置により、前記内空に対する所定の圧力制御を行っている状態にて、前記内空に備わる絶対圧力計が測定した、当該内空の絶対圧力及び圧力変動を取得し、当該絶対圧力および前記圧力変動に基づき、前記密閉性検査対象における密閉性の程度を判定する演算装置２５を含む構成とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉性検査対象の内空に接続された圧力制御装置により、前記内空に対する所定の圧力制御を行っている状態にて、前記内空に備わる絶対圧力計により、当該内空の絶対圧力及び圧力変動を測定する工程と、
前記測定した前記絶対圧力および前記圧力変動に基づき、前記密閉性検査対象における密閉性の程度を判定する工程と、
を含む密閉性検査方法。
【請求項２】
請求項１記載の密閉性検査方法であって、
前記測定の工程において、前記圧力制御装置により、前記圧力制御として前記内空に対する加圧または減圧を行うことを特徴とする密閉性検査方法。
【請求項３】
請求項２記載の密閉性検査方法であって、
前記判定の工程において、前記減圧を行った場合、前記測定した前記絶対圧力が予め定めた基準圧力以下であること、および、前記圧力変動が所定状態となるまでの時間が予め定めた基準時間以下であること、または前記加圧を行った場合、前記測定した前記絶対圧力が予め定めた基準圧力以上であること、および、前記圧力変動が所定状態となるまでの時間が予め定めた基準時間以下であること、の少なくともいずれかを満たすこと、をもって、前記密閉性の程度が基準を達成していると判定することを特徴とする密閉性検査方法。
【請求項４】
請求項１記載の密閉性検査方法であって、
前記内空に前記絶対圧力計を設置する工程と、
前記内空に前記圧力制御装置を接続する工程と、
を更に含むことを特徴とする密閉性検査方法。
【請求項５】
請求項１記載の密閉性検査方法であって、
前記測定の工程において、前記絶対圧力計に備わる無線通信装置を介して、前記絶対圧力および前記圧力変動の計測データを取得することを特徴とする密閉性検査方法。
【請求項６】
請求項４記載の密閉性検査方法であって、
前記接続の工程において、前記圧力制御装置を、所定の接続装置を介して着脱可能に前記内空と接続することを特徴とする密閉性検査方法。
【請求項７】
請求項６記載の密閉性検査方法であって、
前記接続の工程において、先端部が円錐形状または錐台形状の前記接続装置を、前記内空における接続構造の内部に挿入し、前記圧力制御での前記内空の減圧に伴う吸引作用により、前記先端部を前記接続構造の内部に密着させ、前記接続を行うことを特徴とする密閉性検査方法。
【請求項８】
請求項６記載の密閉性検査方法であって、
前記接続の工程において、前記接続装置の開口部を前記内空における接続構造の外周に装着し、前記圧力制御での前記内空の減圧に伴う前記開口部の縮小により、当該開口部を前記外周に密着させ、前記接続を行うことを特徴とする密閉性検査方法。
【請求項９】
請求項６記載の密閉性検査方法であって、
前記接続の工程において、前記接続装置を前記内空における接続構造の内部に挿入し、前記接続装置を拡径することにより、前記接続装置の外周を前記接続構造の内周に密着させ、前記接続を行うことを特徴とする密閉性検査方法。
【請求項１０】
密閉性検査対象の内空に接続された圧力制御装置により、前記内空に対する所定の圧力制御を行っている状態にて、前記内空に備わる絶対圧力計が測定した、当該内空の絶対圧力及び圧力変動を取得し、当該絶対圧力および前記圧力変動に基づき、前記密閉性検査対象における密閉性の程度を判定する演算装置を含む、
ことを特徴とする密閉性検査システム。
【請求項１１】
請求項１０記載の密閉性検査システムであって、
前記演算装置は、前記圧力制御装置に対し、前記圧力制御として前記内空に対する加圧または減圧の指示を行うものである、ことを特徴とする密閉性検査システム。
【請求項１２】
請求項１１記載の密閉性検査システムであって、
前記演算装置は、前記減圧を行った場合、前記絶対圧力が予め定めた基準圧力以下であること、および、前記圧力変動が所定状態となるまでの時間が予め定めた基準時間以下であること、の少なくともいずれかを満たすこと、または前記加圧を行った場合、前記測定した前記絶対圧力が予め定めた基準圧力以上であること、および、前記圧力変動が所定状態となるまでの時間が予め定めた基準時間以下であること、の少なくともいずれかを満たすこと、をもって、前記密閉性の程度が基準を達成していると判定するものである、ことを特徴とする密閉性検査システム。
【請求項１３】
請求項１０記載の密閉性検査システムであって、
前記内空に備わる前記絶対圧力計と、
前記内空に接続された前記圧力制御装置と、
を更に含むことを特徴とする密閉性検査システム。
【請求項１４】
請求項１０記載の密閉性検査システムであって、
前記演算装置は、前記絶対圧力計に備わる無線通信装置を介して、前記絶対圧力および前記圧力変動の計測データを取得するものである、ことを特徴とする密閉性検査システム。
【請求項１５】
請求項１３記載の密閉性検査システムであって、
前記圧力制御装置は、所定の接続装置を介して着脱可能に前記内空と接続したものであることを特徴とする密閉性検査システム。
【請求項１６】
請求項１５記載の密閉性検査システムであって、
前記接続装置は、円錐形状または錐台形状の先端部を備えており、当該先端部は前記内空における接続構造の内部に挿入され、前記圧力制御での前記内空の減圧に伴う吸引作用によって前記接続構造の内部に密着し、前記接続がなされたものである、ことを特徴とする密閉性検査システム。
【請求項１７】
請求項１５記載の密閉性検査システムであって、
前記接続装置は、所定の縮小機能を具備した開口部を備えており、当該開口部は前記内空の接続構造の外周に装着され、前記圧力制御での前記内空の減圧に伴う前記開口部の縮小によって前記外周に密着し、前記接続がなされたものである、ことを特徴とする密閉性検査システム。
【請求項１８】
請求項１５記載の密閉性検査システムであって、
所定の拡径機能を具備した前記接続装置は、前記内空における接続構造の内部に挿入され、前記拡径機能により拡径することにより、当該接続装置の外周が前記接続構造の内周に密着し、前記接続がなされたものである、ことを特徴とする密閉性検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、密閉性検査方法及び密閉性検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
研究機関等での各種実験、或いは流体を取り扱う製品の検査工程など、物体の密閉性検査を行う機会は多く存在する。
【０００３】
このような密閉性検査に関する従来技術としては、例えば、ガス容器のバルブのガスリークを検査するためのガスリーク検査方法であって、前記バルブに連通する密閉空間を形成するステップと、前記密閉空間を真空排気するステップと、前記密閉空間の密閉性を確保すると共に前記密閉空間からの真空排気を停止した状態で前記密閉空間内の絶対圧力及び圧力変動を測定するステップと、前記絶対圧力の測定値と前記圧力変動の測定値とに基づいて前記バルブのガスリークの有無を判定するステップとを含むガスリーク検査方法（特許文献１参照）などが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−９４６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の従来技術の手法においては、絶対圧力計を配管側に設置する一方、密閉空間内には設置していない。換言すると、密閉空間内の密閉性を直接には検査していない。つまり、密閉空間の外側から、その密閉性を間接的に検査しているに過ぎない。
【０００６】
そもそも当該密閉空間における設計上の密閉性基準が厳密ではない場合、そうした環境下の配管側で上述のごとき検査手法を適用しても、その検査精度に期待はしたがたい。
【０００７】
また、密閉空間の利用形態などによって密閉性検査の手法を適宜に選択しうることが、得られる検査結果の意義を大きく左右しうる。ところが、従来技術においては減圧環境下での検査のみを前提としており、加圧環境下での検査が必要な密閉空間には適用できない。
そこで本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、検査対象の条件に応じた密閉性検査を精度良好に実行可能とすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の密閉性検査方法は、密閉性検査対象の内空に接続された圧力制御装置により、前記内空に対する所定の圧力制御を行っている状態にて、前記内空に備わる絶対圧力計により、当該内空の絶対圧力及び圧力変動を測定する工程と、前記測定した前記絶対圧力および前記圧力変動に基づき、前記密閉性検査対象における密閉性の程度を判定する工程と、を含む。
【０００９】
また、本発明の密閉性検査システムは、密閉性検査対象の内空に接続された圧力制御装置により、前記内空に対する所定の圧力制御を行っている状態にて、前記内空に備わる絶対圧力計が測定した、当該内空の絶対圧力及び圧力変動を取得し、当該絶対圧力および前記圧力変動に基づき、前記密閉性検査対象における密閉性の程度を判定する演算装置を含む、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、検査対象の条件に応じた密閉性検査を精度良好に実行可能とする。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施形態における密閉性検査システムの構成例を示すブロック図である。
【図２】本実施形態における検査対象容器と配管との接続形態例１を示す図である。
【図３Ａ】本実施形態における検査対象容器と配管との接続形態例２を示す図である。
【図３Ｂ】本実施形態における検査対象容器と配管との接続形態例２を示す図である。
【図４Ａ】本実施形態における検査対象容器と配管との接続形態例３を示す図である。
【図４Ｂ】本実施形態における検査対象容器と配管との接続形態例３を示す図である。
【図５】本実施形態における検査値の例１を示す図である。
【図６】本実施形態における検査値の例２を示す図である。
【図７】本実施形態における密閉性検査方法のフロー例１を示す図である。
【図８】本実施形態における密閉性検査方法のフロー例２を示す図である。
【図９】本実施形態におけるコンピュータの構成例を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明に係る複数の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、各実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００１３】
また、以下の実施の形態において、その構成要素（要素ステップ等も含む）は、特に明示した場合及び原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。
【００１４】
また、「Ａからなる」、「Ａよりなる」、「Ａを有する」、「Ａを含む」と言うときは、特にその要素のみである旨明示した場合等を除き、それ以外の要素を排除するものでないことは言うまでもない。
【００１５】
同様に、以下の実施の形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似または類似するもの等を含むものとする。
−−−実施例１−−−
＜本発明に係る第１の実施の形態である密閉性検査システム１０の構成例＞
図１は、本発明に係る第１の実施の形態である密閉性検査システム１０の構成例を示すブロック図である。
本実施形態の密閉性検査システム１０は、検査対象容器２１、絶対圧力計２２、解析装置２５、接続装置２６、圧力制御装置２８を少なくとも有している。
【００１６】
このうち検査対象容器２１は、密閉性検査の対象物であって、気体や液体などの各種流体を取り扱う物である。具体的には、製品、半製品、或いは実験用の器具、試料、サンプル等を想定できる。
【００１７】
この検査対象容器２１は、その内空２１１に上述の流体が充満している。そのため、当該内空２１１に、想定しない空隙や欠損など種々の不具合が存在した場合、上述の流体が
外部に漏出する事態となりうる。そこで、この検査対象容器２１における内空２１１に関して密閉性検査を行い、密閉性を判定する必要がある。
なお、検査対象容器２１においては、上述の内空２１１と検査対象容器外とをつなぐ接続口４１が備わる。
【００１８】
接続口４１は、例えば、弁やキャップなど所定の機構により開閉可能となっているものとする。こうした接続口４１の具体例としては、内空２１１を満たす流体を検査対象容器外に放出するための構造を想定できる。
【００１９】
なお、接続口４１は、検査対象容器２１に元々備わるものを想定するが、この形態に限定しない。例えば、密閉性検査をする際、検査対象容器２１に開口を設けて、これを接続口４１とする形態など、接続口４１の取り扱いには限定はない。
【００２０】
こうした検査対象容器２１の内空２１１には、上述の絶対圧力計２２が設置されている。絶対圧力計２２は、内空２１１における絶対圧を計測する機器である。この絶対圧の計測機構自体は、既存のものと同様である。
【００２１】
なお、検査対象容器２１が、内空２１１の様子を外部から視認可能な透明窓、またはカメラユニットを有しているケースがある。その場合、絶対圧力計２２は、内空２１１において当該透明窓の直下にあたる位置に、またはカメラユニットの撮影対象領域に設置するものとする。
【００２２】
すると、絶対圧力計２２のディスプレイで表示された計測データの値は、透明窓を通じて、またはカメラユニットによる撮影データを通じて、外部から観測できることになる。
【００２３】
一方、検査対象容器２１が上述のごとき透明窓やカメラユニットを備えないケースもある。その場合、絶対圧力計２２は、計測データを検査対象容器２１の外部に送信する無線通信ユニット２３を備えるものとする。一方、この計測データを取得すべき解析装置２５も、無線通信ユニット２４を有するものとする。
当然ながら、無線通信ユニット２３、２４は、同じ通信プロトコルで動作する通信装置である。通信方式については限定しない。
【００２４】
また、検査対象容器２１が金属製であるなど、無線通信を阻害する性質を備えるケースもありうる。その場合、無線通信ユニット２３のアンテナを、検査対象容器２１における金属部位に接続させ、当該金属部位をアンテナとして活用するなど、適宜な構成を採用するものとする。
【００２５】
一方、解析装置２５は、一般的なサーバまたはＰＣを想定する。この解析装置２５は、絶対圧力計２２から無線通信ユニット２４を介し、内空２１１における絶対圧やその経時変化のデータを取得する。
また、解析装置２５は、取得した絶対圧やその経時変化のデータに基づき、検査対象容器２１の内空２１１における密閉性の程度を解析する。
また、解析装置２５は、ディスプレイやスピーカなどの出力装置に対し、上述の解析の結果を表示する。
【００２６】
なお、解析装置２５は、圧力制御装置２８に対し、圧力制御の指示を行うことも想定できる。この指示は、所定の管理者が予め指定した内容の制御内容である。具体的な制御内容としては、内空２１１に対する所定の正圧での加圧、または所定の負圧での減圧、の動作を示すものとなる。
【００２７】
勿論、解析装置２５が、こうした圧力制御の指示を行う形態は一例である。圧力制御装置２８が、予め管理者による指示を受けて自動的に圧力制御動作を行う場合、解析装置２５による上述の指示を受ける形態は不要となる。
一方、圧力制御装置２８は、接続装置２６および配管２７を介し、上述の接続口４１に接続され、検査対象容器２１の内空２１１と連通可能となっている。
【００２８】
こうした圧力制御装置２８は、減圧装置および加圧装置のいずれでもよいが、より好ましくは、減圧と加圧を選択的に実行出来る装置であれば更に好適である。なお、圧力制御装置２８は、ポンプ、ブロワ及びコンプレッサ等、減圧または加圧する機能を有する装置であれば、その種類や形態について特に限定はしない。
【００２９】
また、接続装置２６は、検査対象容器２１（の内空２１１）と配管２７とを接続する構成を有する。この構成とは、例えば、図２に例示するように、錐台形状の接続グリップ４２が該当する。
【００３０】
上述の接続グリップ４２は連通口４２１を備える。連通口４２１は、配管２７の端部開口２７１を接続グリップ４２の天端４２２まで挿通させ、固定するものである。なお、こうした構造の接続装置２６は、接続口４１と着脱可能となっている。
接続グリップ４２を接続口内部４１１に挿入した場合、錐台形状となっている側面４２３は、挿入途中で接続口端面４１４に当接し停止する。
【００３１】
この状態において、圧力制御装置２８を作動させ、内空２１１の減圧動作を行えば、当該減圧動作に伴う吸引作用により、接続グリップ４２は、接続口内部４１１を内空２１１に向けて引き込まれる。
【００３２】
すると、接続グリップ４２の側面４２３は、接続口端面４１４に密着する。つまり、接続装置２６である接続グリップ４２は、検査対象容器２１の接続口４１において、内空２１１の減圧時に密着する構造となっている。
【００３３】
また他にも、接続装置２６を接続口４１に接続する形態は存在する。図３Ａに例示する接続グリップ４３は、その開口部４３１の径が接続口外周４１２よりも大きい構造となっている。
【００３４】
また、この接続グリップ４３の開口部４３１の内側には、例えば、圧縮空気の挿入によって開口径を縮小させる縮径機構４４を有している。この縮径機構４４は、例えば、ゴム製の環状中空体である。また、この環状中空体には圧縮空気口４５が接続されている。
【００３５】
そこで、例えば圧力制御装置２８から圧縮空気口４５に圧縮空気を供給すると、図３Ｂに例示するように、環状中空体が接続グリップ４３の開口部中心４３２に向かって膨張する。
【００３６】
この膨張は、結果として縮径機構４４の内径を縮小させ、開口部４３１に挿入されている接続口４１と接続グリップ４３とが密着することになる。つまり、接続装置２６が接続口４１と接続されることとなる。
【００３７】
なお、圧力制御装置２８によって圧縮空気口４５に負圧を作用させ、縮径機構４４から圧縮空気を抜く動作を行えば、縮径機構４４は縮小して膨張状態を解消し、その内径が元の状態に復帰する。つまり、接続グリップ４３の開口部４３１の直径は、上述の膨張状態の時よりも拡大し、接続口４１と接続グリップ４３との密着状態も解消される。つまり、接続装置２６と接続口４１との接続が解除されることとなる。
【００３８】
また他にも、接続装置２６を接続口４１に接続する形態は存在する。図４Ａに例示する接続グリップ４６は、その径が接続口外周４１２よりも小さい構造となっている。
この場合、接続グリップ外周すなわち接続装置外周２６１には、接続グリップ４６の径を拡径させる拡径機構４７が備わる。
この拡径機構４７は、例えば、ゴム製の環状中空体である。また、この環状中空体には圧縮空気口４５が接続されている。
そこで、例えば圧力制御装置２８から圧縮空気口４５に圧縮空気を供給すると、図４Ｂに例示するように、環状中空体が接続口内周４１３に向かって膨張する。
【００３９】
この膨張は、結果として拡径機構４７の外径を拡大させ、接続口内部４１１に挿入されている接続グリップ４６と接続口４１とが密着することになる。つまり、接続装置２６が接続口４１と接続されることとなる。
【００４０】
なお、圧力制御装置２８によって圧縮空気口４５に負圧を作用させ、拡径機構４６から圧縮空気を抜く動作を行えば、拡径構４７は縮小して膨張状態を解消し、その外径が元の状態に復帰する。つまり、接続グリップ４６の直径は、上述の膨張状態の時よりも縮小し、接続口４１と接続グリップ４６との密着状態も解消される。つまり、接続装置２６と接続口４１との接続が解除されることとなる。
−−−実施例２−−−
【００４１】
続いて、本実施形態の密閉性検査方法における密閉性の判定処理について説明する。ここでは、密閉性検査システム１０における圧力制御装置２８が、検査対象容器２１の内空２１１を減圧した状況下で、絶対圧力計２２が当該内空２１１における絶対圧力の時間推移を計測したものとする。この場合、解析装置２５は、絶対圧力計２２から計測データを取得し、グラフ形式でディスプレイに表示している。
【００４２】
そこで図５に、解析装置２５が取得し表示した上述の計測データ、すなわち密閉性検査の検査値例をグラフ５００として示す。このグラフ５００は、横軸に減圧時間、縦軸に内空２１１の圧力（絶対圧）から構成される。
【００４３】
この例では、減圧時間の経過と共に、検査対象容器２１の内空２１１の圧力は低下する。検査対象容器２１の内空２１１に隙間など不具合が存在しないか、当該不具合が小規模の場合、こうして低下する圧力は、例えば、圧力制御装置２８により内空２１１に作用した負圧の大きさに応じた所定値（理想値としては負圧と同値。グラフ５００における線分５０５）まで短時間で低下する（グラフ５００における線分５０１）。
【００４４】
一方、内空２１１に存在する隙間の規模が大きくなるほど（グラフ５００における線分５０１→線分５０３）、圧力制御装置２８による負圧の作用は弱くなり、内空２１１の圧力は時間が経過しても低下しにくくなる。
そこで上述のごとき、内空２１１での隙間等の不具合規模の大小に応じて低下する、圧力値に基づき、内空２１１の密閉性の程度を判定する。
【００４５】
上述の判定に用いる閾値５１０は、以下のような手法で予め決定する。例えば、予備実験として、検査対象容器２１において許容しうる隙間の大きさ（例：隙間の幅や長さ）での絶対圧を所定時間計測し、その値が安定状態となった時点（下がりきって変化しなくなった時点）の値を閾値とする。
【００４６】
そこで、絶対圧力計２２から得た計測データが示す、測定開始から所定時間経過した時点の、又は絶対圧の値が安定状態となった時点（下がりきって変化しなくなった時点）の
、絶対圧の値が、上述の閾値より大きい場合、密閉性ＮＧ（密閉性悪い）と判定する。
【００４７】
他方、測定開始から所定時間経過した時点の、又は絶対圧の値が安定した時点（下がりきって変化しなくなった時点）の、絶対圧の値が、上述の閾値より小さい場合、密閉性ＯＫ（密閉性良好）と判定する。
【００４８】
なお、図５のグラフ５００では、減圧前すなわち計測開始時点の圧力値を大気圧と記したが、特に大気圧に限定することはない。計測開始時点の圧力値は、閾値より大きいものであれば、任意の圧力値から計測開始してもかまわない。
また、閾値からのみ密閉性の程度を判定するのではなく、絶対圧力の時間推移傾向から密閉性の程度を判定することも可能である。
【００４９】
その場合、グラフ５００が示すように、内空２１１に存在する隙間の規模が大きくなるほど（グラフ５００における線分５０１→線分５０３）、時間推移に伴う絶対圧力の低下傾向が弱くなる点に着目して判定を行う。
【００５０】
そこで絶対圧力計２２から得た計測データが示す、絶対圧の値が閾値まで低下するために要した時間、すなわち測定開始から安定状態となった時点までの減圧時間長が、所定の基準時間より大きい場合、密閉性ＮＧ（密閉性悪い）と判定する。
他方、測定開始から安定状態となった時点までの減圧時間長が、上述の基準時間より小さい場合、密閉性ＯＫ（密閉性良好）と判定する。
【００５１】
なお、上述の基準時間は、上述の検査対象容器２１において許容しうる隙間の大きさ（例：隙間の幅や長さ）での絶対圧を所定時間計測し、その値が安定状態となった時点の、減圧時間長を基準時間として決定する。
−−−実施例３−−−
【００５２】
続いて、上述の実施例２とは異なる密閉性の判定処理について説明する。ここでは、密閉性検査システム１０における圧力制御装置２８が、検査対象容器２１の内空２１１を加圧した状況下で、絶対圧力計２２が当該内空２１１における絶対圧力の時間推移を計測したものとする。この場合、解析装置２５は、絶対圧力計２２から計測データを取得し、グラフ形式でディスプレイに表示している。
【００５３】
そこで図６に、解析装置２５が取得し表示した上述の計測データ、すなわち密閉性検査の検査値例をグラフ６００として示す。このグラフ６００は、横軸に加圧時間、縦軸に内空２１１の圧力（絶対圧）から構成される。
【００５４】
この例では、加圧時間の経過と共に、検査対象容器２１の内空２１１の圧力は上昇する。検査対象容器２１の内空２１１に隙間など不具合が存在しないか、当該不具合が小規模の場合、こうして上昇する圧力は、例えば、圧力制御装置２８により内空２１１に作用した正圧の大きさに応じた所定値（理想値としては正圧と同値。グラフ６００における線分６０５）まで短時間で上昇する（グラフ６００における線分６０１）。
【００５５】
一方、内空２１１に存在する隙間の規模が大きくなるほど（グラフ６００における線分６０１→線分６０３）、圧力制御装置２８による正圧の作用は弱くなり、内空２１１の圧力は時間が経過しても上昇しにくくなる。
そこで上述のごとき、内空２１１での隙間等の不具合規模の大小に応じて上昇する、圧力値に基づき、内空２１１の密閉性の程度を判定する。
【００５６】
上述の判定に用いる閾値６１０は、以下のような手法で予め決定する。例えば、予備実
験として、検査対象容器２１において許容しうる隙間の大きさ（例：隙間の幅や長さ）での絶対圧を所定時間計測し、その値が安定状態となった時点（上がりきって変化しなくなった時点）の値を閾値とする。
【００５７】
そこで、絶対圧力計２２から得た計測データが示す、測定開始から所定時間経過した時点の、又は絶対圧の値が安定状態となった時点（上がりきって変化しなくなった時点）の、絶対圧の値が、上述の閾値より小さい場合、密閉性ＮＧ（密閉性悪い）と判定する。
【００５８】
他方、測定開始から所定時間経過した時点の、又は絶対圧の値が安定した時点（上がりきって変化しなくなった時点）の、絶対圧の値が、上述の閾値より大きい場合、密閉性ＯＫ（密閉性良好）と判定する。
【００５９】
なお、図６のグラフ６００では、加圧前すなわち計測開始時点の圧力値を大気圧と記したが、特に大気圧に限定することはない。計測開始時点の圧力値は、閾値より小さいものであれば、任意の圧力値から計測開始してもかまわない。
また、閾値からのみ密閉性の程度を判定するのではなく、絶対圧力の時間推移傾向から密閉性の程度を判定することも可能である。
【００６０】
その場合、グラフ６００が示すように、内空２１１に存在する隙間の規模が大きくなるほど（グラフ６００における線分６０１→線分６０３）、時間推移に伴う絶対圧力の上昇傾向が弱くなる点に着目して判定を行う。
【００６１】
そこで絶対圧力計２２から得た計測データが示す、絶対圧の値が閾値まで上昇するために要した時間、すなわち測定開始から安定状態となった時点までの加圧時間長が、所定の基準時間より大きい場合、密閉性ＮＧ（密閉性悪い）と判定する。
他方、測定開始から安定状態となった時点までの加圧時間長が、上述の基準時間より小さい場合、密閉性ＯＫ（密閉性良好）と判定する。
【００６２】
なお、上述の基準時間は、上述の検査対象容器２１において許容しうる隙間の大きさ（例：隙間の幅や長さ）での絶対圧を所定時間計測し、その値が安定状態となった時点の、加圧時間長を基準時間として決定する。
−−−実施例４−−−
＜密閉性検査システム１０による第１の検査処理＞
【００６３】
次に、検査対象容器２１の接続口４１に接続装置２６及び配管２７を経由して圧力制御装置２８を接続し、密閉性を検査する手順について説明する。図７は、本実施形態における密閉性検査方法のフロー例１を示す図である。
なお、本フローは、例えば、ユーザからの開始コマンドを解析装置２５が受けて開始されるものとする。
まず、ユーザは、解析装置２５の入力装置にて、密閉性の程度を判定するための圧力値の閾値を入力する（ステップＳ１０）。
続いて、ユーザは、検査対象容器２１の内空２１１に絶対圧量計２２を設置する（ステップＳ１１）。
【００６４】
また、ユーザは、検査対象容器２１の接続口４１に圧力制御装置２８を接続する（ステップＳ１２）。より具体的には、図２〜図４にて示した接続装置２６を用いた接続を行う。
【００６５】
次に、解析装置２５は、検査対象容器２１の内空２１１に関して、圧力制御装置２８にて圧力制御する（ステップＳ１３）。この圧力制御の内容は、ステップＳ１０と同様に、
ユーザが予め解析装置２５に指定した内容を想定できる。具体的な内容としては、減圧環境とするための負圧値または加圧環境とするための正圧値の設定内容となる。
【００６６】
次に、絶対圧力計２２は、検査対象容器２１の内空２１１が圧力制御されている状態で、当該内空２１１における絶対圧力及び圧力変動を計測する（ステップＳ１４）。
【００６７】
次に、解析装置２５は、上述の絶対圧力計２２から絶対圧および圧力変動の計測データを取得し、この計測データに基づき密閉性の程度を判定する（ステップＳ１５）。
【００６８】
この場合、解析装置２５は、絶対圧力計２２から得た計測データが示す、測定開始から所定時間経過した時点の、又は絶対圧の値が安定状態となった時点（下がりきって変化しなくなった時点）の絶対圧の値が、閾値より大きい場合、密閉性ＮＧ（密閉性悪い）と判定する。
【００６９】
他方、測定開始から所定時間経過した時点の、又は絶対圧の値が安定した時点（下がりきって変化しなくなった時点）の絶対圧の値が、閾値より小さい場合、密閉性ＯＫ（密閉性良好）と判定する。
【００７０】
以上で、密閉性検査システム１０による第１の検査処理が終了される。以上に説明した密閉性検査システム１０による第１の検査処理によれば、密閉性検査システム１０の密閉性を判定することができる。
−−−実施例５−−−
＜密閉性検査システム１０による第２の検査処理＞
次に、上述の閾値を用いずに密閉性を判定するフローについて説明する。図８は、本実施形態における密閉性検査方法のフロー例２を示す図である。
まず、ユーザは、検査対象容器２１の内空２１１に絶対圧量計２２を設置する（ステップＳ２１）。
【００７１】
また、ユーザは、検査対象容器２１の接続口４１に圧力制御装置２８を接続する（ステップＳ２２）。より具体的には、図２〜図４にて示した接続装置２６を用いた接続を行う。
【００７２】
次に、解析装置２５は、検査対象容器２１の内空２１１に関して、圧力制御装置２８にて圧力制御する（ステップＳ２３）。この圧力制御の内容は、ユーザが予め解析装置２５に指定した内容を想定できる。具体的な内容としては、減圧環境とするための負圧値または加圧環境とするための正圧値の設定内容となる。
【００７３】
次に、絶対圧力計２２は、検査対象容器２１の内空２１１が圧力制御されている状態で、当該内空２１１における絶対圧力及び圧力変動を計測する（ステップＳ２４）。
【００７４】
次に、解析装置２５は、上述の絶対圧力計２２から絶対圧および圧力変動の計測データを取得し、この計測データに基づき密閉性の程度を判定する（ステップＳ２５）。
【００７５】
この場合、解析装置２５は、閾値からのみ密閉性の程度を判定するのではなく、絶対圧力の時間推移傾向から密閉性の程度を判定する。グラフ５００で示したように、内空２１１に存在する隙間の規模が大きくなるほど（グラフ５００における線分５０１→線分５０３）、時間推移に伴う絶対圧力の低下傾向が弱くなる点に着目した判定となる（加圧環境の場合、時間推移に伴う絶対圧力の上昇傾向が弱くなる点に着目）。
【００７６】
そのため解析装置２５は、絶対圧力計２２から得た計測データが示す、絶対圧の値が所
定値（限定しないが、一例としては閾値）まで低下するために要した時間、すなわち測定開始から所定状態（限定しないが、一例としては安定状態）となった時点までの減圧時間長が、所定の基準時間より大きい場合、密閉性ＮＧ（密閉性悪い）と判定する。
他方、測定開始から所定状態となった時点までの減圧時間長が、上述の基準時間より小さい場合、密閉性ＯＫ（密閉性良好）と判定する。
【００７７】
以上で、密閉性検査システム１０による第２の検査処理が終了される。以上に説明した密閉性検査システム１０による第２の検査処理によれば、密閉性検査システム１０の密閉性を検査することができる。
−−−ハードウェア構成の例−−−
【００７８】
ところで、上述した本発明の第１〜第５の実施の形態における解析装置２５については、ハードウェアにより構成することもできるし、ソフトウェアにより実現することもできる。
解析装置２５をソフトウェアにより実現する場合、そのソフトウェアを構成するプログラムが、コンピュータにインストールされる。
【００７９】
ここで、コンピュータには、専用のハードウェアに組み込まれているコンピュータや、各種のプログラムをインストールすることで、各種の機能を実行することが可能な、例えば汎用のパーソナルコンピュータ等が含まれる。
図９は、解析装置２５をプログラムにより実現するコンピュータ２００のハードウェアの構成例を示すブロック図である。
【００８０】
このコンピュータ２００において、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）２０１、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）２０２、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）２０３は、バス２０４により相互に接続されている。
【００８１】
バス２０４には、さらに、入出力インターフェース２０５が接続されている。入出力インターフェース２０５には、入力装置５２、出力装置５３、記憶装置５４、通信装置５５、及びドライブ２１０が接続されている。
入力装置５２は、キーボード、マウス、マイクロフォン等よりなる。出力装置５３は、ディスプレイ、スピーカ等よりなる。
また、記憶装置５４は、ハードディスクや不揮発性のメモリ等よりなる。通信装置５５は、ネットワークインターフェース等よりなる。
また、ドライブ２１０は、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク、又は半導体メモリ等のリムーバブルメディア２１１を駆動する装置である。
【００８２】
以上のように構成されるコンピュータ２００では、ＣＰＵ２０１が、例えば、記憶装置５４に記憶されているプログラム６０を、入出力インターフェース２０５及びバス２０４を介して、ＲＡＭ２０３にロードして実行することにより、解析装置２５が実現される。
【００８３】
コンピュータ２００（ＣＰＵ２０１）が実行するプログラム６０は、例えば、パッケージメディア等としてのリムーバブルメディア２１１に記録して提供することができる。
【００８４】
またプログラム６０は、ローカルエリアネットワーク、インターネット、デジタル衛星放送といった、有線または無線の伝送媒体を介して提供することができる。
【００８５】
コンピュータ２００において、プログラム６０は、リムーバブルメディア２１１をドライブ２１０に装着することにより、入出力インターフェース２０５を介して、記憶装置５
４にインストールすることができる。
また、プログラム６０は、有線または無線の伝送媒体を介して、通信装置５５で受信し、記憶装置５４にインストールすることができる。
その他、プログラム６０は、ＲＯＭ２０２や記憶装置５４に、あらかじめインストールしておくことができる。
【００８６】
なお、コンピュータ２００が実行するプログラム６０は、本明細書で説明する順序に沿って時系列に処理が行われるプログラムであってもよいし、並列に、あるいは呼び出しが行われたとき等の必要なタイミングで処理が行われるプログラムであってもよい。
本明細書に記載された効果は、あくまで例示であって限定されるものではなく、他の効果があってもよい。
【００８７】
本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した各実施形態は、本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、本発明が、必ずしも説明した全ての構成要素を備えるものに限定されるものではない。
【００８８】
また、ある実施形態の構成の一部を、他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、ある実施形態の構成に、他の実施形態の構成を加えることも可能である。
また、各実施形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
【００８９】
また、上記の各構成、機能、処理部、処理手段等は、それらの一部または全部を、例えば集積回路で設計する等によりハードウェアで実現してもよい。また、上記の各構成、機能等は、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することによりソフトウェアで実現されてもよい。
【００９０】
各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイル等の情報は、メモリや、ハードディスク、ＳＳＤ（Ｓｏｌｉｄ  Ｓｔａｔｅ  Ｄｒｉｖｅ）等の記憶装置、または、ＩＣカード、ＳＤカード、ＤＶＤ等の記録媒体に置くことができる。
【００９１】
また、制御線や情報線は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしも全ての制御線や情報線を示しているとは限らない。実際には殆ど全ての構成が相互に接続されていると考えてもよい。
【００９２】
本発明は、密閉性検査システム及び密閉性検査方法だけでなく、複数の装置から構成されるシステムや、コンピュータ読み取り可能なプログラム等の様々な態様で提供することができる。
【００９３】
本実施形態によれば、減圧状態または加圧状態に限定することなく、検査対象容器の密閉性を、直接検査することができる。また、検査対象容器の内空に絶対圧力計を設置することにより、検査対象容器以外に圧力計の設置が不要になる。そのため当該コストを適宜に抑制可能となる。また、そうした絶対圧力計と配管等との接続は不要であり、絶対圧力計と配管との接続不良の懸念も生じない。そのため検査精度が良好で、装置構成自体も簡略化することができる。
すなわち、検査対象の条件に応じた密閉性検査を、精度良好に実行可能となる。
【００９４】
本明細書の記載により、少なくとも次のことが明らかにされる。すなわち、本実施形態の密閉性検査方法において、前記測定の工程において、前記圧力制御装置により、前記圧力制御として前記内空に対する加圧または減圧を行うとしてもよい。
【００９５】
これによれば、密閉性の検査対象（検査対象容器）の用途や形態などに応じた適宜な圧力状況下での検査が可能となる。ひいては、検査対象の条件に応じた密閉性検査が精度良好に実行可能となる。
【００９６】
また、本実施形態の密閉性検査方法において、前記判定の工程において、前記減圧を行った場合、前記測定した前記絶対圧力が予め定めた基準圧力以下であること、および、前記圧力変動が所定状態となるまでの時間が予め定めた基準時間以下であること、または前記加圧を行った場合、前記測定した前記絶対圧力が予め定めた基準圧力以上であること、および、前記圧力変動が所定状態となるまでの時間が予め定めた基準時間以下であること、の少なくともいずれかを満たすこと、をもって、前記密閉性の程度が基準を達成していると判定するとしてもよい。
【００９７】
これによれば、例えば、減圧環境下の場合、絶対圧力が基準値まで低下することをもって密閉性が良好と判断するのみならず、その低下経緯をも判断根拠とすることが可能となる。例えば、密閉性に悪影響を及ぼす大きな漏気箇所が圧力制御装置による減圧で時間とともに縮小する場合と、そうした漏気箇所が存在しないか規模が小さく、圧力制御装置による減圧で時間とともに縮小する事象が起こりにくい場合とでは、絶対圧力低下の時間推移とは異なる。つまり、そうしたケースを反映しやすい圧力変動についても判断根拠とすることで、検査精度の更なる向上が望める。ひいては、検査対象の条件に応じた密閉性検査が精度良好に実行可能となる。
【００９８】
また、本実施形態の密閉性検査方法において、前記内空に前記絶対圧力計を設置する工程と、前記内空に前記圧力制御装置を接続する工程と、を更に含むとしてもよい。
【００９９】
これによれば、検査対象容器以外に圧力計の設置が不要になり、当該コストを適宜に抑制可能となる。また、そうした絶対圧力計と配管等との接続は不要であり、絶対圧力計と配管との接続不良の懸念も生じない。そのため検査精度が良好で、装置構成自体も簡略化することができる。また、減圧状態または加圧状態に限定することなく、検査対象容器の密閉性を、直接検査することができる。ひいては、検査対象の条件に応じた密閉性検査が精度良好に実行可能となる。
【０１００】
また、本実施形態の密閉性検査方法において、前記測定の工程において、前記絶対圧力計に備わる無線通信装置を介して、前記絶対圧力および前記圧力変動の計測データを取得するとしてもよい。
【０１０１】
これによれば、検査対象容器内の絶対圧力計から、データ通信用の配線等を介さずに効率的に計測データの収集が可能となる。ひいては、検査対象の条件に応じた密閉性検査が精度良好に実行可能となる。
【０１０２】
また、本実施形態の密閉性検査方法において、前記接続の工程において、前記圧力制御装置を、所定の接続装置を介して着脱可能に前記内空と接続するとしてもよい。
【０１０３】
これによれば、検査対象容器が製品などであって、密閉性検査のための加工を施しにくい状況であっても、当該状況に対応して密閉性検査を効率的に行うことが可能となる。ひいては、検査対象の条件に応じた密閉性検査が精度良好に実行可能となる。
【０１０４】
また、本実施形態の密閉性検査方法において、前記接続の工程において、先端部が円錐形状または錐台形状の前記接続装置を、前記内空における接続構造の内部に挿入し、前記圧力制御での前記内空の減圧に伴う吸引作用により、前記先端部を前記接続構造の内部に
密着させ、前記接続を行うとしてもよい。
【０１０５】
これによれば、検査対象容器と接続装置との接続を、特段の操作や複雑な機構を要せず効率的に行うことが可能となる。ひいては、検査対象の条件に応じた密閉性検査が精度良好に実行可能となる。
【０１０６】
また、本実施形態の密閉性検査方法において、前記接続の工程において、前記接続装置の開口部を前記内空における接続構造の外周に装着し、前記圧力制御での前記内空の減圧に伴う前記開口部の縮小により、当該開口部を前記外周に密着させ、前記接続を行うとしてもよい。
【０１０７】
これによれば、検査対象容器と接続装置との接続を効率的に行うことが可能となる。ひいては、検査対象の条件に応じた密閉性検査が精度良好に実行可能となる。
【０１０８】
また、本実施形態の密閉性検査方法において、前記接続の工程において、前記接続装置を前記内空における接続構造の内部に挿入し、前記接続装置を拡径することにより、前記接続装置の外周を前記接続構造の内周に密着させ、前記接続を行うとしてもよい。
【０１０９】
これによれば、検査対象容器と接続装置との接続を効率的に行うことが可能となる。ひいては、検査対象の条件に応じた密閉性検査が精度良好に実行可能となる。
【０１１０】
また、本実施形態の密閉性検査システムにおいて、前記演算装置は、前記圧力制御装置に対し、前記圧力制御として前記内空に対する加圧または減圧の指示を行うものである、としてもよい。
【０１１１】
また、本実施形態の密閉性検査システムにおいて、前記演算装置は、前記減圧を行った場合、前記絶対圧力が予め定めた基準圧力以下であること、および、前記圧力変動が所定状態となるまでの時間が予め定めた基準時間以下であること、の少なくともいずれかを満たすこと、または前記加圧を行った場合、前記測定した前記絶対圧力が予め定めた基準圧力以上であること、および、前記圧力変動が所定状態となるまでの時間が予め定めた基準時間以下であること、の少なくともいずれかを満たすこと、をもって、前記密閉性の程度が基準を達成していると判定するものである、としてもよい。
また、本実施形態の密閉性検査システムにおいて、前記内空に備わる前記絶対圧力計と、前記内空に接続された前記圧力制御装置と、を更に含むとしてもよい。
【０１１２】
また、本実施形態の密閉性検査システムにおいて、前記演算装置は、前記絶対圧力計に備わる無線通信装置を介して、前記絶対圧力および前記圧力変動の計測データを取得するものである、としてもよい。
また、本実施形態の密閉性検査システムにおいて、前記圧力制御装置は、所定の接続装置を介して着脱可能に前記内空と接続したものであるとしてもよい。
【０１１３】
また、本実施形態の密閉性検査システムにおいて、前記接続装置は、円錐形状または錐台形状の先端部を備えており、当該先端部は前記内空における接続構造の内部に挿入され、前記圧力制御での前記内空の減圧に伴う吸引作用によって前記接続構造の内部に密着し、前記接続がなされたものである、としてもよい。
【０１１４】
また、本実施形態の密閉性検査システムにおいて、前記接続装置は、所定の縮小機能を具備した開口部を備えており、当該開口部は前記内空の接続構造の外周に装着され、前記圧力制御での前記内空の減圧に伴う前記開口部の縮小によって前記外周に密着し、前記接続がなされたものであるとしてもよい。
【０１１５】
また、本実施形態の密閉性検査システムにおいて、所定の拡径機能を具備した前記接続装置は、前記内空における接続構造の内部に挿入され、前記拡径機能により拡径することにより、当該接続装置の外周が前記接続構造の内周に密着し、前記接続がなされたものである、としてもよい。
【符号の説明】
【０１１６】
１０  密閉性検査システム
２１  検査対象容器
２１１  内空
２２  絶対圧力計
２３、２４  無線通信ユニット
２５  解析装置
２６  接続装置（接続構造）
２６１  接続装置外周
２７  配管
２７１  端部開口
２８  圧力制御装置
４１  接続口
４１１  接続口内部
４１２  接続口外周
４１３  接続口内周
４１４  接続口端面
４２  接続グリップ（先端部）
４２１  連通口
４２２  天端
４２３  側面
４３  接続グリップ
４３１  開口部
４３２  開口部中心
４４  縮径機構
４５  圧縮空気口
４６  接続グリップ
４７  拡径機構
５２  入力装置
５３  出力装置
５４  記憶装置
５５  通信装置
６０  プログラム
２００  コンピュータ
２０１  ＣＰＵ（演算装置）
２０２  ＲＯＭ
２０３  ＲＡＭ
２０４  バス
２０５  入出力インターフェース
２１０  ドライブ
２１１  リムーバブルメディア
【図１】
2020165714.tif 000003
【図２】
2020165714.tif 000004
【図３Ａ】
2020165714.tif 000005
【図３Ｂ】
2020165714.tif 000006
【図４Ａ】
2020165714.tif 000007
【図４Ｂ】
2020165714.tif 000008
【図５】
2020165714.tif 000009
【図６】
2020165714.tif 000010
【図７】
2020165714.tif 000011
【図８】
2020165714.tif 000012
【図９】
2020165714.tif 000013