(57)【要約】【課題】シール部の低摩擦性、耐摩耗性を向上しつつ、シール部を構成するフッ素ゴムとの結着性に優れた摺動シールの製造方法を提供する。【解決手段】フッ素ゴムからなるシール基材１０のシール部（リップ部１０１ａ、１０２ａ）にコーティング層を有する摺動シールの製造方法であって、（ａ）シール基材１０のシール部に、プライマー液を塗布し、プライマー層を形成する工程、（ｂ）プライマー層の表面に、フッ素系樹脂を含むトップコート液を塗布し、トップコート層を形成する工程、（ｃ）トップコート層側から赤外線ＩＲを照射し、トップコート層をフッ素系樹脂の溶融温度まで加熱してフッ素系樹脂を溶融させつつ、プライマー層およびトップコート層からなるコーティング層をシール部に固着させる工程、を有する。【選択図】図９
2020165487.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ素ゴムからなるシール基材のシール部にコーティング層を有する摺動シールの製造方法であって、
（ａ）前記シール基材の前記シール部に、プライマー液を塗布し、プライマー層を形成する工程、
（ｂ）前記プライマー層の表面に、フッ素系樹脂を含むトップコート液を塗布し、トップコート層を形成する工程、
（ｃ）前記トップコート層側から赤外線を照射し、前記トップコート層を前記フッ素系樹脂の溶融温度まで加熱して前記フッ素系樹脂を溶融させつつ、前記プライマー層および前記トップコート層からなる前記コーティング層を前記シール部に固着させる工程、
を有する、摺動シールの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の摺動シールの製造方法において、
前記（ｃ）工程は、前記赤外線を前記シール部の表面に対して局所的に照射し、前記赤外線の照射位置と、前記シール部の表面とを相対的に移動させる工程である、摺動シールの製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載の摺動シールの製造方法において、
前記フッ素系樹脂の主成分は、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体である、摺動シールの製造方法。
【請求項４】
請求項１に記載の摺動シールの製造方法において、
前記シール部は、バルブのシール部であって、
前記シール部は、前記シール基材から突出し、前記バルブの開口縁に沿って延びるリップ状である、摺動シールの製造方法。
【請求項５】
請求項１に記載の摺動シールの製造方法において、
前記シール基材は、樹脂製の芯材を備える、摺動シールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、摺動シールの製造方法に関し、特に、フッ素ゴムからなる基材の摺動シール（フッ素系樹脂コーティングシール）の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車の排気ガスの一部をＥＧＲガスとして吸気通路に再循環させるＥＧＲ装置は、バルブによりＥＧＲガスの流量が制御され、このバルブには相対回転する部分に摺動シールが施されている。
【０００３】
例えば、特許文献１（特開２０１１−１９６４６４号公報）には、シート部材の開口部の開閉および開度調整を行なうことで、ＥＧＲ流路の通路面積を可変させて、吸気通路へ戻されるＥＧＲガス量の調整を行なうボール弁体を有するボール弁型バルブ装置が開示されている。そして、シート部材として、耐熱性、耐腐食性および耐摩耗性に優れた硬質の樹脂材料（例えば、フッ素系樹脂、ナイロン系樹脂等）を用いることが例示されている。
【０００４】
また、特許文献２（特開２０１７−８８７０号公報）には、弁体、弁ハウジング、ＥＧＲダクト、エアダクト、ミクスチャダクト及び電動アクチュエータを備えたＥＧＲ装置が開示され、弁ハウジングには、ＥＧＲダクトの内周面とシール凹面との接続部分に沿って、円環状のゴム製シール部材が固定され、これにより、弁体がＥＧＲダクトの流入口を全閉する全閉回動位置において、シール凸面とシール凹面との間がシール部材を介して気密にシールされる構成が開示されている。
【０００５】
また、特許文献３（特開２００４−３２４８５２号公報）には、アルミニウム製のハウジングと一体に設けられる弁座と、この弁座に着座可能に設けられた樹脂製の弁体と、を具備し、内燃機関に吸い込まれる吸入空気、または前記内燃機関から排出された排気ガスが触れる部位に取り付けられる開閉弁が開示されている。そして、前記弁体は、強化繊維が混入されていない樹脂である四フッ化エチレン樹脂によって形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−１９６４６４号公報
【特許文献２】特開２０１７−８８７０号公報
【特許文献３】特開２００４−３２４８５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明者は、バルブのシール技術の研究開発に従事している。この研究過程においてバルブのシール部におけるコーティングシールにおいて、シール部を構成するフッ素ゴムとの結着性の低下が問題となった。
【０００８】
本発明の目的は、シール部の低摩擦性、耐摩耗性を向上しつつ、シール部を構成するフッ素ゴムとの結着性に優れた摺動シール（フッ素系樹脂コーティングシール）の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の摺動シールの製造方法は、フッ素ゴムからなるシール基材のシール部にコーティング層を有する摺動シールの製造方法であって、（ａ）前記シール基材の前記シール部に、プライマー液を塗布し、プライマー層を形成する工程、（ｂ）前記プライマー層の表面に、フッ素系樹脂を含むトップコート液を塗布し、トップコート層を形成する工程、（ｃ）前記トップコート層側から赤外線を照射し、前記トップコート層を前記フッ素系樹脂の溶融温度まで加熱して前記フッ素系樹脂を溶融させつつ、前記プライマー層および前記トップコート層からなる前記コーティング層を前記シール部に固着させる工程、を有する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の摺動シールの製造方法によれば、フッ素系樹脂を溶融してシール基材のシール部上にコーティング層を設けることで、強い結着力を有する摺動シールを製造することができる。また、赤外線を溶融対象物にトップコート層側から照射することで、トップコート層の下方に位置するシール基材への熱負荷を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施の形態１のＥＧＲバルブの構成を示す斜視図である。
【図２】ＥＧＲの吸気部および排気部の構成を模式的に示す図である。
【図３】シール基材の斜視図である。
【図４】シール基材の断面図である。
【図５】シール基材のリップ部のコーティング層の製造工程を示す断面図である。
【図６】シール基材のリップ部のコーティング層の製造工程を示す断面図である。
【図７】シール基材のリップ部のコーティング層の製造工程を示す断面図である。
【図８】シール基材のリップ部のコーティング層の製造工程を示す断面図である。
【図９】シール基材のリップ部のコーティング層の製造工程を示す断面図等である。
【図１０】リップ部への赤外線の照射方法を示す斜視図である。
【図１１】リップ部への赤外線の照射工程を示す斜視図である。
【図１２】リップ部への赤外線の他の照射方法を示す斜視図である。
【図１３】リップ部への赤外線の他の照射工程を示す斜視図である。
【図１４】赤外線の照射工程におけるシール基材の温度状態をサーモセンサで測定した結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（実施の形態１）
（ＥＧＲバルブの説明）
図１は、本実施の形態のＥＧＲバルブの構成を示す斜視図である。本実施の形態のＥＧＲバルブは、燃料を燃焼することによって駆動力を発生するエンジンシステムのＥＧＲに適用される。ＥＧＲとは、排出ガス再循環装置（Ｅｘｈａｕｓｔ  Ｇａｓ  Ｒｅｃｉｒｃｕｌａｔｉｏｎ）であり、排出ガスの一部（ＥＧＲガス）をエンジンの吸気に戻し、混合気の酸素濃度を下げることで、混合気の燃焼温度を低下させ、排ガス中の有害な窒素酸化物（ＮＯｘ）の排出量を低減させる装置である。
【００１３】
図２は、ＥＧＲの吸気部および排気部の構成を模式的に示す図である。図２に示すように、排気管１０３と吸気管１０５とこれらを接続するＥＧＲ管１０７のうち、吸気管１０５とＥＧＲ管１０７との接続部にＥＧＲバルブ１を設け、このＥＧＲバルブ１により、ＥＧＲガス量を調整しつつ混合部（図２中ｃ側）に流すことができる。なお、排気管１０３は、内燃機関（エンジン）１００から排出された排出ガスを排気する管であり、吸気管１０５は、内燃機関１００に吸い込まれる空気を吸気する管である。
【００１４】
図１に示すように、ＥＧＲバルブ１は、回転可能に軸支された弁部材（バルブ体）２０と、シール基材（筒体）１０とを有する。シール基材１０は、ＥＧＲ管（図２中ａ側）に接続され、弁部材２０がＲ側に回転し（移動し、閉じ）、ＥＧＲ管が閉鎖状態である場合、排出ガスの一部（ＥＧＲガス）はエンジンの吸気に戻されない。そして、弁部材２０がＬ側に回転する（移動する、開く）と、ＥＧＲ管が開放状態となり、排出ガスの一部（ＥＧＲガス）がエンジンの吸気と混合される。回転角を調整することで、ＥＧＲ管の開放状態（全開、半開など）を調整することができ、内燃機関の吸気に戻すＥＧＲガス量を調整することができる。なお、吸気管１０５は負圧となっており、ＥＧＲ管が開放状態となることにより、ＥＧＲガスが混合部（図２中ｃ側）に流入する。
【００１５】
図３は、シール基材の斜視図であり、図４は、シール基材の断面図である。図３および図４に示すように、シール基材１０は、芯材１０ａと、芯材１０ａを覆うフッ素ゴム（フッ素ゴムカバー）１０ｂからなる。具体的には、筒状の芯材１０ａの側面および上面を覆うようにフッ素ゴム１０ｂが設けられている。芯材１０ａは、例えば、樹脂（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ））よりなる。フッ素ゴム１０ｂは、例えば、フッ化ビニリデン系（ＦＫＭ）よりなる。このシール基材１０は、例えば、ＰＰＳ製の芯材を樹脂射出成形により形成し、この芯材周囲にフッ素ゴム（ＦＫＭ）をインサート成形により被覆することにより形成することができる。このように、芯材を用いることで形状保持性が高まる。また、芯材周囲にフッ素ゴムを設けることにより、高温、かつ、排気ガス中のＮＯｘ、ＳＯｘなどの腐食性のガスや水分に晒されるシール基材１０の耐熱性、耐腐食性を向上させることができる。
【００１６】
また、図３および図４に示すように、シール基材１０は、フランジ部Ｆと第１側壁部（第１半筒状部）１ＳＡと第２側壁部（第２半筒状部）２ＳＡとを有する。
【００１７】
フランジ部Ｆは、略環状に形成されている部位であり、例えば、ＥＧＲ管内に圧入することで管内に固定される。
【００１８】
第１側壁部１ＳＡは、円筒の第１側（弁部材２０の閉鎖時に先に閉まる側、図３、図４中の左側）の略半周部であり、第２側壁部２ＳＡは円筒の第１側と反対側の略半周部である。第１側壁部１ＳＡの円筒部の高さ（最高高さ、平均高さ）は、第２側壁部２ＳＡの円筒部の高さに比べ低くなっている。
【００１９】
ここで、第１側壁部１ＳＡに設けられたフッ素ゴム（フッ素ゴムカバー）１０ｂは、第１リップ部（単に、リップ部ともいう）１０１ａ、芯材１０ａの外側面を覆う外側面部１０１ｂ、芯材１０ａの内側面を覆う内側面部１０１ｃ、芯材１０ａの上面を覆う上面部１０１ｄを有する。そして、第１リップ部１０１ａは、第１側壁部１ＳＡからシール基材（筒体）１０の径外方向に突出するように形成されている。また、第２側壁部２ＳＡに設けられたフッ素ゴム（フッ素ゴムカバー）１０ｂは、第２リップ部（単に、リップ部ともいう）１０２ａ、芯材１０ａの外側面を覆う外側面部１０２ｂ、芯材１０ａの内側面を覆う内側面部１０２ｃ、芯材１０ａの上面を覆う上面部１０２ｄを有する。そして、第２リップ部１０２ａは、第２側壁部２ＳＡからシール基材１０の径内方向に突出するように形成されている。このように、リップ部（シール部、摺動部）は、シール基材１０から突出し、シール基材１０の開口縁に沿って延びるリップ状の部分となる。
【００２０】
弁部材２０は、弁部材側シール部となるスライド部２０１、軸孔を有する支持部２０３、２０４を有する（図１）。弁部材２０は、高い耐熱性を有する樹脂材料、例えば、ＰＰＳから形成されている。スライド部２０１は、シール基材側シール部となる第１リップ部１０１ａ、第２リップ部１０２ａに当接可能な端面として、第１リップ部１０１ａの下面、第２リップ部１０２ａの上面と対応する形状となる端面（接続シール面、図示せず）を有している。
【００２１】
そして、弁部材２０がＲ側に回転し、回転方向に対し、両サイド側に位置する弁部材２０の上記接続シール面から、同両サイド側に位置する第１リップ１０１ａ、第２リップ部１０２ａと接触し、徐々に接触面積を増やしつつ、回転方向最遠位置に在する第１リップ部１０１ａ、第２リップ部１０２ａに近接し、第１リップ部１０１ａの下面および第２リップ部１０２ａの上面に当接する（接触する）ことで、ＥＧＲ管が閉鎖状態となる。別の言い方をすれば、排気管１０３と吸気管１０５とが遮断される。上記弁部材２０の変位時には、上記弁部材２０が、特に両サイド側に位置する第１リップ部１０１ａ、第２リップ部１０２ａ上を摺動しつつ変位することになる。
【００２２】
ここで、本実施の形態においては、前述した弁部材２０（接続シール面）が当接する第１リップ部１０１ａの下面および第２リップ部１０２ａの上面にコーティング層を設けたので、弁部材２０の開閉による摩耗を低減することができる。特に、弁部材２０（接続シール面）とリップ部１０１ａ、１０２ａの摺動による摩耗を低減することができる。また、シール性を向上させることができる。
【００２３】
また、内燃機関から排出された排気ガスが触れる部位に取り付けられるＥＧＲバルブ１においては、熱や排気ガス中のＮＯｘ、ＳＯｘなどの腐食性のガス、水分により、第１リップ部１０１ａ、第２リップ部１０２ａのようなシール面を含む内部の劣化が生じやすい。
【００２４】
これに対し、上記のようにコーティング層を設けることにより、耐熱性、耐腐食性が向上する。
【００２５】
また、後述するように、塗布層に含まれるフッ素樹脂（フッ素系樹脂）を溶融して、第１リップ部１０１ａの下面および第２リップ部１０２ａの上面に、コーティング層を設けることで、下層のフッ素ゴムと強い結着力を有するコーティング層（摺動シール）を形成することができる。また、赤外線をコーティング層のトップコート層側から照射することで、フッ素樹脂を溶融させつつ、トップコート層の下方に位置するシール基材への熱負荷を抑えることができる。
【００２６】
以下に、図面を参照しつつ、ＥＧＲバルブ用の摺動シールの製法について説明する。
【００２７】
（ＥＧＲバルブ用の摺動シールの製法）
図５〜図９は、シール基材のリップ部のコーティング層の製造工程を示す断面図である。
【００２８】
図５に示すシール基材１０を用意する。このシール基材１０は、芯材１０ａと、芯材１０ａを覆うフッ素ゴム（フッ素ゴムカバー）１０ｂからなる（図３、図４参照）。このシール基材１０は、例えば、ＰＰＳ製の芯材を樹脂射出成形により形成し、この芯材周囲にフッ素ゴム（ＦＫＭ）をインサート成形により被覆することにより形成することができる。このインサート成形の際、図３、図４を参照しながら説明したリップ部（シール部、摺動部）１０１ａ、１０２ａを設ける。このようにして、シール基材１０を形成する。
【００２９】
次いで、シール基材１０を加温する。例えば、シール基材１０を、オーブンにて８０℃程度に加温する（予熱工程）。次いで、プライマー液をリップ部１０１ａの下面およびリップ部１０２ａの上面に塗布することにより、プライマー層（塗布層）Ｐ１を形成する（図６）。プライマー液は、フッ素樹脂と、バインダーと、溶媒とを含有する。フッ素樹脂としては、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）を用いることができる。上記フッ素樹脂は粉状であることが好ましい。リップ部１０１ａ、１０２ａへのプライマー液の塗布は、例えば、ディスペンサーＤにより塗布することができる。プライマー層（塗布層）Ｐ１の乾燥後の厚さは、例えば、１０μｍ程度である。リップ部１０１ａ、１０２ａへのプライマー液の塗布は、左右のリップ部１０１ａ、１０２ａにおいて、別々に行う。例えば、リップ部１０１ａの下面には、シール基材１０を反転させる、または、側面を上側にして、プライマー液を塗布する。
【００３０】
次いで、プライマー層Ｐ１を熱処理する。例えば、オーブンで９０℃、１０分以上の熱処理（第１熱処理）を施す。この際、プライマー層Ｐ１中の溶剤は気化し、シール基材１０にプライマー層Ｐ２が形成される（図７）。
【００３１】
次いで、トップコート液をリップ部１０１ａ、１０２ａに塗布することによりトップコート層（塗布層）Ｔ１を形成する（図７）。このトップコート液の塗布は、プライマー層Ｐ１の熱処理工程における余熱が残存する状態で行ってもよい。また、オーブンにて８０℃程度に予熱した後、トップコート液を塗布してもよい。トップコート液は、フッ素樹脂と、溶媒とを含有する。フッ素樹脂としては、ＰＦＡを用いることができる。フッ素樹脂は粉状である。なお、溶媒に、界面活性剤などの分散剤を添加してもよい。リップ部１０１ａ、１０２ａへのトップコート液の塗布は、例えば、ディスペンサーにより塗布することができる。トップコート層（塗布層）Ｔ１の乾燥後の厚さは、例えば、１０〜２０μｍ程度である。リップ部１０１ａ、１０２ａへのトップコート液の塗布および乾燥（余熱乾燥または予熱乾燥）は、左右のリップ部１０１ａ、１０２ａにおいて、別々に行う。例えば、リップ部１０１ａの下面には、シール基材１０を反転させる、または、側面を上側にして、トップコート液を塗布する。
【００３２】
次いで、トップコート層Ｔ１を熱処理する。例えば、オーブンで１００℃、１０分以上の熱処理（第１熱処理）を施す。この際、トップコート層Ｔ１中の溶剤は気化し、シール基材１０にトップコート層Ｔ２が形成される（図８）。
【００３３】
以上の工程により、リップ部１０１ａ、１０２ａに、プライマー層Ｐ２とトップコート層Ｔ２との積層膜が形成される。なお、この段階においては、積層膜（Ｐ２、Ｔ２）とリップ部１０１ａ、１０２ａとの密着性は低い。
【００３４】
次いで、リップ部１０１ａ、１０２ａ上のプライマー層Ｐ２とトップコート層Ｔ２との積層膜にトップコート層Ｔ２側から赤外線ＩＲを照射することにより、プライマー層Ｐ２とトップコート層Ｔ２との積層膜を熱処理（焼成処理、第２熱処理）する（図９（ａ））。赤外線ＩＲの照射条件（強度、照射時間）は、赤外線ＩＲの照射範囲においてフッ素樹脂の溶融温度以上の温度まで昇温させることができる条件であって、赤外線の照射範囲以外の領域においてフッ素樹脂の溶融温度未満に留める条件である。係る処理により、プライマー層Ｐ２とトップコート層Ｔ２との積層膜中のフッ素樹脂を溶融させ、コーティング層としてシール基材（リップ部１０１ａ、１０２ａ）１０に固着させるとともに、その表面を平滑化することができる。このリップ部１０１ａ、１０２ａへの赤外線ＩＲの照射は、リップ部１０１ａ、１０２ａにおいて、別々に行う。なお、図９（ｂ）、（ｃ）は、各リップ部１０１ａ、１０２ａに対する赤外線ＩＲの照射方向を示す。
【００３５】
このようにして、プライマー層とトップコート層の積層膜よりなるコーティング層（コーティング組成物）を形成（製造）することができる。トップコート層は、フッ素樹脂を主成分とする、即ち、トップコート層は、フッ素樹脂を５０重量％以上含有する。
【００３６】
特に、赤外線の照射によれば、照射範囲を限定し、狭い照射範囲のみを加熱することができる。また、照射範囲をリップ部の延在方向に沿って移動させることができる。このように、赤外線を集中させ照射範囲を狭くして、短時間で溶融温度まで昇温させ、照射範囲を移動させることで、短時間でフッ素系樹脂を溶融させすぐに放熱させることができる。これにより、シール基材のフッ素ゴムや芯材の熱劣化を抑制することができる。
【００３７】
図１０は、リップ部への赤外線の照射方法を示す斜視図であり、図１１は、リップ部への赤外線の照射工程を示す斜視図である。図１０および図１１に示すように、シール基材１０を回転台３０上に載置し、赤外線照射装置ＩＲＤから、リップ部（１０１ａまたは１０２ａ）へ、局所的に赤外線を照射しつつ、回転台３０を回転させる。なお、赤外線照射装置ＩＲＤは、リップ部の上方または下方から赤外線を照射できるように、例えば、上下に可動に配置される。
【００３８】
このように、シール基材１０を回転させることにより、赤外線照射部（スポット）をリップ部（１０１ａまたは１０２ａ）に沿って走査（スキャン）することができる。また、赤外線照射部（スポット）をリップ部（１０１ａまたは１０２ａ）に対して小さく設定することで、局所的な加熱が可能となり、赤外線の照射範囲以外の領域（例えば、赤外線の照射範囲以外のリップ領域やリップ領域に近接するフッ素ゴム部）の温度上昇を抑えることができる。なお、局所的に赤外線が照射できれば良く、スポットの形状は、略円形状、略矩形状（スリット状）など、種々の形状とすることができる。また、回転台３０の回転速度を調整することで、赤外線の照射時間を容易に調整することができる。
【００３９】
なお、この赤外線の照射工程において、図１２に示すように、回転台３０に冷却機構を設けても良い。例えば、筒状の回転台３０の側壁に流路を設け、冷却水を流入口ＩＮから供給し、回転台３０の側壁の流路に流した後、流出口ＯＵＴから排出する。排出された水は再び冷やされ、冷却水となり流入口ＩＮから供給される。このように、回転台３０に冷却機構を設けることにより、リップ部（１０１ａまたは１０２ａ）上のプライマー層Ｐ２とトップコート層Ｔ２との積層膜以外の部分の温度上昇を低減することができる。図１２は、リップ部への赤外線の他の照射方法を示す斜視図である。
【００４０】
また、この赤外線の照射工程において、図１３に示すように、赤外線の照射対象となる一のリップ部（例えば、１０１ａ）の照射の起点と近接する他のリップ部（例えば、１０２ａ）、特に、高さが高い第２側壁部２ＳＡ側のリップ部１０２ａにおいて、保護カバーＣＶを取り付けても良い。保護カバーＣＶの材料としては、例えば、アルミニウムを用いることができる。保護カバーＣＶを設けることにより、かかる領域の温度上昇を低減することができる。特に、第２側壁部２ＳＡと第１側壁部１ＳＡとの段差部（境界部）において、温度上昇を低減することができる。この段差部においては、芯材（１０ａ）が露出しているため、芯材（１０ａ）として融点の低い樹脂を用いる場合には、保護カバーＣＶによる温度制御が効果的である。図１３は、リップ部への赤外線の他の照射工程を示す斜視図である。
【００４１】
図１４は、赤外線の照射工程におけるシール基材の温度状態をサーモセンサで測定した結果を示す図である。
【００４２】
このように、本実施の形態によれば、上記コーティング層により、弁部材（バルブ体）２０の開閉に伴い、弁部材（バルブ体）２０の押圧時に固着することなく密閉し、弁部材（バルブ体）２０の解放時に動作を妨げることなく又摩耗することなく摺動が可能となる。
【００４３】
そして、フッ素樹脂を溶融してシール基材のシール部上にコーティング層を設けることで、強い結着力を有する摺動シールを製造することができる。また、赤外線を溶融対象物にトップコート層側から照射することで、トップコート層の下方に位置するシール基材への熱負荷を抑えることができる。
【００４４】
（実施の形態２）
本実施の形態においては、上記実施の形態１の各種応用例について説明する。
【００４５】
（応用例１）
上記実施の形態１では、コーティング層（プライマー層Ｐ２とトップコート層Ｔ２との積層膜）をリップ部（１０１ａまたは１０２ａ）の片面に設けたが、リップ部の両面に設けても良い。即ち、リップ部１０１ａの上面および下面と当接する（摺動する）接続シール面、即ち、リップ部１０２ａの上面および下面と当接する（摺動する）接続シール面をスライド部に設け、これらの接続シール面の側面と当接する（摺動する）リップ部の両面にコーティング層を設けてもよい。
【００４６】
但し、シール基材から突出したリップ部を設け、コーティング層を設けない側に空間を有する構成とすることで、赤外線の照射時において、放熱性を向上させ、シール基材の熱劣化を抑制することができる。
【００４７】
（応用例２）
上記実施の形態１では、回転台３０により、シール基材１０を回転させたが、シール基材１０の周囲を回るように赤外線照射装置ＩＲＤを回転させてもよい。このように、赤外線をシール基材１０（リップ部１０１ａ、１０２ａの表面）に対して相対的に移動させればよい。
【００４８】
（応用例３）
上記実施の形態１では、プライマー液やトップコート液の塗布にディスペンサーを用いたが、ディスペンサーを用いた方法の他、スプレー塗布等の方法を用いることができる。
【００４９】
（応用例４）
上記実施の形態１で用いた赤外線（波長：０．７７μｍ〜１０００μｍ）として、中〜遠赤外線（波長：２μｍ〜１０００μｍ）を用いてもよい。
【００５０】
（応用例５）
上記実施の形態１で用いたフッ素樹脂、フッ素ゴムとしては、例えば、次の材料を用いることができる。
【００５１】
フッ素樹脂としては、ＰＦＡの他、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオエチレン・エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）等を用いることができる。
【００５２】
また、フッ素ゴムとしては、フッ化ビニリデン系（ＦＫＭ）、テトラフルオロエチレン−プロピレン系（ＦＥＰＭ）、テトラフルオロエチレン−パープルオロビニルエーテル系（ＦＦＫＭ）等を用いることができる。
【００５３】
本明細書において、フッ素樹脂は、ガラス転移温度（Ｔｇ）が室温（２５℃）以上の高分子化合物であり、フッ素ゴムは、ガラス転移点温度（Ｔｇ）が室温（２５℃）以下の高分子化合物である。ガラス転移温度は、例えば、ＤＳＣ（示差走査熱量測定）により測定することができる。
【００５４】
本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【符号の説明】
【００５５】
１  ＥＧＲバルブ
１ＳＡ  第１側壁部（第１半筒状部）
２ＳＡ  第２側壁部（第２半筒状部）
１０  シール基材（筒体）
１０ａ  芯材
１０ｂ  フッ素ゴム（フッ素ゴムカバー）
２０  弁部材（バルブ体）
３０  回転台
１００  内燃機関（エンジン）
１０１ａ  第１リップ部（リップ部）
１０１ｂ  外側面部
１０１ｃ  内側面部
１０１ｄ  上面部
１０２ａ  第２リップ部（リップ部）
１０２ｂ  外側面部
１０２ｃ  内側面部
１０２ｄ  上面部
１０３  排気管
１０５  吸気管
１０７  ＥＧＲ管
２０１  スライド部
２０３  支持部
２０４  支持部
ＣＶ  保護カバー
Ｄ  ディスペンサー
Ｆ  フランジ部
ＩＮ  流入口
ＩＲ  赤外線
ＩＲＤ  赤外線照射装置
ＯＵＴ  流出口
Ｐ１  プライマー層（塗布層）
Ｐ２  プライマー層
Ｔ１  トップコート層（塗布層）
Ｔ２  トップコート層
【図１】
2020165487.tif 000003
【図２】
2020165487.tif 000004
【図３】
2020165487.tif 000005
【図４】
2020165487.tif 000006
【図５】
2020165487.tif 000007
【図６】
2020165487.tif 000008
【図７】
2020165487.tif 000009
【図８】
2020165487.tif 000010
【図９】
2020165487.tif 000011
【図１０】
2020165487.tif 000012
【図１１】
2020165487.tif 000013
【図１２】
2020165487.tif 000014
【図１３】
2020165487.tif 000015
【図１４】
2020165487.tif 000016