(57)【要約】【課題】発塵量を抑えることができるシャッタ装置を提供する。【解決手段】クリーンルームの出入口の縁部にガイドレール１５を設け、シャッタ２０は、シャッタ本体２１とスライダ２２とを備え、スライダ２２は、ガイドレール１５の内壁面１５ａ，１５ａに沿って摺動する摺動側面２３ａを有するスライダ本体２３と、シャッタ本体２１に取り付けられる取付部２４とを備え、取付部２４の側面２４ａは、摺動側面２３ａよりガイドレール幅方向の内側に設けられ、ガイドレール１５の開口縁１５ｂは、側面２４ａに所定の間隔をもって対向配置されているので、スライダ本体２３がガイドレール１５に沿って摺動する際に、ガイドレール１５の開口縁１５ｂが取付部２４の側面２４ａに接触することがない。このため、スライダ２２の側面がエッジによって削り取られることがないので、発塵量を抑えることができる。【選択図】図１
2020020092.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの出入口を開閉するシャッタを有するシャッタ装置であって、
前記出入口の縁部に、前記シャッタの移動をガイドする凹溝状のガイドレールが設けられ、
前記シャッタは、シャッタ本体とこのシャッタ本体に取り付けられて、前記ガイドレールの内部を摺動するスライダとを備え、
前記スライダは、前記ガイドレールの対向する内壁面に沿って摺動する摺動側面を有するスライダ本体と、このスライダ本体に一体的に設けられるとともに、前記シャッタ本体に取り付けられる取付部とを備え、
前記取付部の側面は、前記摺動側面より前記ガイドレールの幅方向において内側に設けられ、前記ガイドレールの開口縁は、前記側面に前記幅方向に所定の間隔をもって対向配置されていることを特徴とするシャッタ装置。
【請求項２】
前記出入口に、前記シャッタより前側および／または後側において、着脱可能に取り付けられて、前記出入口の開口面積を調整可能な調整板を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシャッタ装置。
【請求項３】
前記シャッタを収納可能な収納部を備え、
前記収納部の内部は外部より陰圧に保持可能であることを特徴とする請求項１または２に記載のシャッタ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームの出入口を開閉するシャッタを有するシャッタ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶工場等では、各工程でクリーンルームが仕切られており、ある特定の場所では、搬送用カセットに収容せず、むき出しのガラス基板が搬送されている。部屋間にはシャッタが設けられ、ロボットアームにてガラス基板の受け渡しを行う。シャッタ装置によっては塵埃や油が飛散し、ガラス基板に付着する問題が発生していた。
【０００３】
このようなシャッタ装置の一例として、特許文献１に記載のシャッタ装置が知られている。このシャッタ装置では、ワーク受け渡し用の開口（出入口）をロールスクリーンによって開閉するようになっている。また、当該シャッタ装置では、ロールスクリーンの幅方向の両側を昇降自在にガイドするガイドレールを立設し、当該ガイドレールに、ロールスクリーンの幅方向両端部を挿通するスリットを設けている一方、ロールスクリーンの幅方向両側先端にスリットを通してガイドレール内部に抜け止め状態としている係止突起を設け、ガイドレールへの係止突起の係止力で上記クリーンルーム内で発生している風圧でロールスクリーンがガイドレールより離脱させない構成としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１６３３６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述したような従来のシャッタ装置では、凹溝状のガイドレールにロールスクリーンの幅方向両側に設けられた側縁帯材（スライダ）が摺動自在に挿入されているので、スライダの側面は、凹溝状のガイドレールの開口縁であるエッジに接触しながら摺動することになる。このため、スライダの側面が前記エッジによって少しずつ削り取られて発塵していまい、この発塵した塵がクリーンルーム内に取り込まれる虞がある。
特に上述したような従来のシャッタ装置では、シャッタが可撓性を有するロールスクリーンで構成されているので、風圧でロールスクリーンが撓んだり、バタついたりすると、スライダの側面が前記エッジに強く衝突して、発塵量が多くなる虞がある。
【０００６】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、発塵量を抑えることができるシャッタ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明のシャッタ装置は、クリーンルームの出入口を開閉するシャッタを有するシャッタ装置であって、
前記出入口の縁部に、前記シャッタの移動をガイドする凹溝状のガイドレールが設けられ、
前記シャッタは、シャッタ本体とこのシャッタ本体に取り付けられて、前記ガイドレールの内部を摺動するスライダとを備え、
前記スライダは、前記ガイドレールの対向する内壁面に沿って摺動する摺動側面を有するスライダ本体と、このスライダ本体に一体的に設けられるとともに、前記シャッタ本体に取り付けられる取付部とを備え、
前記取付部の側面は、前記摺動側面より前記ガイドレールの幅方向において内側に設けられ、前記ガイドレールの開口縁は、前記側面に前記幅方向に所定の間隔をもって対向配置されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明においては、取付部の側面が、スライダ本体の摺動側面よりガイドレールの幅方向において内側に設けられ、ガイドレールの開口縁が、前記側面に前記幅方向に所定の間隔をもって対向配置されているので、スライダ本体がガイドレールに沿って摺動する際に、ガイドレールの開口縁つまりエッジが取付部の側面に接触することがない。このため、スライダの側面がエッジによって削り取られることがないので、発塵量を抑えることができる。
【０００９】
また、本発明の前記構成において、前記出入口に、前記シャッタより前側および／または後側において、着脱可能に取り付けられて、前記出入口の開口面積を調整可能な調整板を備えていてもよい。
【００１０】
このような構成によれば、出入口に調整板を取り付けることによって、出入口を通してクリーンルームに搬入またはクリーンルームから搬出するワークの大きさに応じて、出入口の開口面積を調整することができる。そして、出入口をシャッタによって全開した場合でも、出入口の開口面積はワークの大きさに応じた大きさとなるので、出入口からの塵の侵入を極力抑えることができる。
【００１１】
また、本発明に前記構成において、前記シャッタを収納可能な収納部を備え、
前記収納部の内部は外部より陰圧に保持可能であってもよい。
【００１２】
このような構成によれば、スライダ本体の摺動側面がガイドレールの内壁面に沿って摺動することで、僅かに発塵が生じても、この塵は陰圧に保持される収納部に引き込まれるので、当該塵が出入口を通してクリーンルーム内の侵入するのを防止できる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、スライダの側面がガイドレールの開口縁（エッジ）によって削り取られることがないので、発塵量を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態に係るシャッタ装置を示す正面図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るシャッタ装置を示もので、調整板およびプレートが取り付けられた状態の正面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るシャッタ装置をクリーンルームの開口部に嵌め込んだ状態を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図１は、本実施の形態の係るシャッタ装置を示す正面図、図２は図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
図１に示すように、シャッタ装置１０は、矩形枠状の枠体１１を有しており、この枠体１１が、後述するクリーンルーム１（図４参照）に設けられた開口部２に嵌め込まれて固定されるようになっている。したがって、枠体１１は開口部２の開口縁部を構成しているとも言える。
クリーンルーム１にワークを出し入れする出入口は前記開口部２の略上半分によって構成されるので、枠体１１の後述する横フレーム１２より上側の略上半分がワークを出し入れする出入口となる。
本実施の形態では、後述するように枠体１１の縦枠材１１ａ，１１ａにガイドレール１５を設けるが、シャッタ装置１０が枠体１１を有していない場合、出入口の縦方向に沿う縁部に直接ガイドレール１５を設けてもよい。
【００１６】
枠体１１の上下方向略中央部には左右に延在する横フレーム１２が設けられ、当該横フレーム１２の両端部がそれぞれ枠体１１の縦枠材１１ａ，１１ａの上下方向略中央部に固定されている。横フレーム１２は、枠体１１の厚さ方向（図１において紙面と直交する方向）に、所定間隔をもって２本配置されている。
また、横フレーム１２と枠体１１の下枠材１１ｂとの間には、縦フレーム１３，１３が左右に所定間隔をもって配置され、当該縦フレーム１３，１３の上端部は横フレーム１２に固定され、下端部は下枠材１１ｂに固定されている。また、縦フレーム１３，１３は枠体１１の厚さ方向（図１において紙面と直交する方向）に、所定間隔をもって２本配置されている。つまり、縦フレーム１３は合計で４本設けられている。
【００１７】
また、枠体１１の縦枠材１１ａ，１１ａには、上下に延在するガイドレール１５，１５が左右に対向して設けられている。ガイドレール１５は断面コ字形のフレームによって凹溝状に形成されている（図２参照）。また、ガイドレール１５，１５はそれらの開口部が対向するように配置されたうえで、縦枠材１１ａ，１１ａにネジ等によって固定されている。
また、ガイドレール１５は、枠体１１の厚さ方向に所定間隔をもって配置された２本の横フレーム１２，１２間を上下に貫通するようにして設けられ、当該ガイドレール１５の上端部は、枠体１１の上枠材１１ｃに達しておらず、下端部も下枠材１１ｂに達していない。
また、ガイドレール１５は、アルミや鉄等の金属材料によって形成されている。
【００１８】
シャッタ装置１０はシャッタ２０を備えている。このシャッタ２０は、シャッタ本体２１とこのシャッタ本体２１に取り付けられて、ガイドレール１５の内部を上下に摺動するスライダ２２とを備えている。
シャッタ本体２１は、矩形枠状の枠体２１ａを備えており、この枠体２１ａの内部には２本の縦フレーム２１ｂ，２１ｂが左右に所定間隔をもって配置されている。縦フレーム２１ｂ，２１ｂの上端部は枠体２１ａの上枠材２１ｄに固定され、下端部は枠体２１ａの下枠材２１ｅに固定されている。また、枠体２１ａの内部には、透光性を有する矩形板状の板状部材２１ｃが合計で３枚嵌め込まれて固定されている。
なお、シャッタ本体２１はこのような構成に限ることはなく、矩形板状のプレートによって構成してもよい。
【００１９】
スライダ２２は、図２に示すように、ガイドレール１５の対向する内壁面１５ａ，１５ａに沿って上下に摺動する（図２においては紙面と直交する方向に摺動する）摺動側面２３ａを有するスライダ本体２３と、このスライダ本体２３に一体的に設けられるとともに、シャッタ本体２１の枠体２１ａに取り付けられる取付部２４とを備えている。
また、スライダ２２は、耐摩耗性に優れた超高分子量ポリエチレンによって形成されているが、これ以外の材料によって形成されていてもよいが、ガイドレール１５より硬度が低い材料によって形成するのが望ましい。
【００２０】
スライダ本体２３は断面矩形状に形成されるとともに、上下に延在する略直方体状に形成され、その全体がガイドレール１５の内部に挿入されている。スライダ本体２３の外側を向く面と、ガイドレール１５の底面との間には所定の隙間が設けられている。また、スライダ本体２３の摺動側面２３ａ，２３ａとガイドレール１５の内壁面１５ａ，１５ａとの間には、スライダ本体２３をガイドレール１５に沿って容易に上下に摺動させるための若干の隙間が設けられている。
【００２１】
取付部２４はスライダ本体２３より小さい断面矩形状に形成されるとともに、上下に延在する略直方体状に形成されている。また、取付部２４の上下方向の長さは、スライダ本体２３の上下方向の長さと等しくなっている。
取付部２４の側面２４ａは、スライダ本体２３の摺動側面２３ａよりガイドレール１５の幅方向（図２においてＸ方向）において内側に設けられている。また、ガイドレール１５の開口縁１５ｂは、スライダ本体２３の摺動側面２３ａを越えて、取付部２４の側面２４ａ側に位置しており、当該側面２４ａにガイドレール１５の幅方向（図３においてＸ方向）において所定の間隔をもって対向配置されている。したがって、スライダ２２がガイドレール１５に沿って上下に摺動しても、ガイドレール１５の開口縁（エッジ）１５ｂは取付部２４の側面２４ａに接触することがない。
【００２２】
また、取付部２４の側面２４ａ，２４ａに対して直角に配置された取付面は、シャッタ２０の枠体２１ａの縦枠材２１ｆに当接固定されている。この固定は、スライダ２２に、取付部２４の取付面とスライダ本体２３の外側を向く面に開口する貫通孔２２ａを設け、この貫通孔２２ａにボルト２５を挿通して枠体２１ａにねじ込むことによって行えばよい。
このような構成のスライダ２２は、図１に示すように、シャッタ２０の縦枠材２１ｆ，２１ｆの上下端部にそれぞれ取り付けられ、合計で４個、シャッタ２０に取り付けられている。
【００２３】
また、図１に示すように、シャッタ２０は駆動装置３０によって上下駆動されるようになっている。本実施の形態では駆動装置３０はロボシリンダ３０によって構成されている。
ロボシリンダ３０は、サーボモータ、ボールネジ、ガイドレール、スライダ等によって構成され、サーボモータによってボールネジが回転され、このボールネジに螺合しているスライダがガイドレールに沿って移動する構成となっている。
【００２４】
本実施の形態では、シャッタ装置１０の枠体１１の下半分でかつ左右方向の中央部に、ロボシリンダ３０が設けられている。すなわち、ロボシリンダ３０のガイドレール３１は上下に向けられた状態で枠体１１の左右方向中央部に配置され、当該ガイドレール３１の上端部が前記横フレーム１２に固定され、下端部が枠体１１の下枠材１１ｂに固定されている。
また、ガイドレール３１に沿って上下駆動するスライダ３２には支持部材３３が取り付けられている。この支持部材３３はシャッタ２０を下方から支持するものであり、略台形板状に形成されている。支持部材３３はその長辺部を上側に向けて配置されており、この長辺部にシャッタ２０の下枠材２１ｅの左右方向中央部が固定されている。支持部材３３の長辺部は、下枠材２１ｅの約１／３の長さを有しており、この長辺部によって下枠材２１ｅの長手方向中央部が支持されるとともに、支持部材３３の中央部がスライダ３２に取り付けられることで、シャッタ２０は支持部材３３によって下方から安定的に支持され、上下に移動可能となる。
【００２５】
また、シャッタ装置１０の枠体１１の略上半分がクリーンルームにワークを出し入れする出入口となっている。すなわち、上枠材１１ｃと縦枠材１１ａ，１１ａの上端部には、帯板状の面材３５が取り付けられおり、この面材３５の下縁の位置が最上昇位置におけるシャッタ２０の上縁の位置とほぼ一致している。そして、面材３５の下縁と横フレーム１２の上縁と縦枠材１１ａ，１１ａの上部とで囲まれた部分がクリーンルーム１（図４参照）にワークを出し入れする出入口となっている。
【００２６】
この出入口にシャッタ２０より前側および／または後側において、着脱可能に取り付けられて、出入口の開口面積を調整可能な調整板３６を備えていてもよい。
例えば、図３に示すように、調整板３６は２枚備えられており、当該２枚の調整板３６は左右に離間して配置されている。そして、一方の調整板３６が上枠材１１ｃの一方の端部、一方の縦枠材１１ａの上部および横フレーム１２の一方の端部にビス等によって着脱可能に取り付けられ、他方の調整板３６が上枠材１１ｃの他方の端部、他方の縦枠材１１ａの上部および横フレーム１２の他方の端部にビス等によって着脱可能に取り付けられている。このように、調整板３６，３６によって出入口の左右両側を覆うことによって、出入口の開口面積を調整できる。
【００２７】
調整板の枚数、大きさは、調整板３６の枚数、大きさに限ることはない。例えば、調整板は前記出入口の大きさの範囲内で枚数、大きさが適宜設定される。例えば、１枚の調整板によって出入口の横半分を覆うようにしてもよいし、当該出入口の上下半分を覆うようにしてもよい。また、調整板３６より横寸法を長くした調整板を左右一対取り付けることによって、出入口の開口面積をさらに小さくすることができる。
【００２８】
また、シャッタ装置１０はシャッタ２０を収納可能は収納部４０を備えている。この収納部４０は、枠体１１の下半分の前後両面に矩形板状のプレート４１を取り付けることによって構成されている。
すなわち、枠体１１の下枠材１１ｂと、横フレーム１２と、縦枠材１１ａ，１１ａの下半分と、縦フレーム１３，１３の前側の表面は面一となっており、この表面にプレート４１が密着して貼り付けられている。また、枠体１１の下枠材１１ｂと、横フレーム１２と、縦枠材１１ａ，１１ａの下半分と、縦フレーム１３，１３の後側の表面は面一となっており、この表面にプレート４１が密着して貼り付けられている。
【００２９】
このような構成の収納部４０では、上面側は開口しているが、下面側、両側面側、前面側および後面側は閉塞されている。また、収納部４０の外側にはコンプレッサ４２が設けられており、このコンプレッサ４２の吸引口と収納部４０とが接続ホース４２ａによって接続されている。つまり、収納部４０を画成するプレート４１に貫通孔が形成され、この貫通孔に接続ホース４２ａが気密に接続されている。したがって、コンプレッサ４２を作動させて吸引口から接続ホース４２ａを介して収納部４０内の空気を吸引することによって、収納部４０の内部は外部より陰圧に保持可能となっている。
【００３０】
本実施の形態のシャッタ装置１０は、図４に示すように、クリーンルーム１を形成する正面の壁部１ａに設けられた開口部２に枠体１１を嵌め込んで固定することによって、当該開口部２に取り付けられる。また、収納部４０を画成するプレート４１の貫通孔とコンプレッサ４２の吸引口とを接続ホース４２ａによって接続する。なお、図４では、調整板３６，３６を設けているが、この調整板３６，３６は無くてもよい。
また、壁部１ａの右部には、クリーンルーム１内に作業者が出入りするためのドア５が開閉可能に設けられている。
【００３１】
そして、シャッタ装置１０のシャッタ２０を上下動させる場合、ロボシリンダ３０によって支持部材３３を上下動させることにより行う。支持部材３３を最上昇位置まで上昇させることによって、クリーンルーム１の出入口が閉鎖され、この最上昇位置から支持部材３３を最下降位置まで下降させて、シャッタ２０を収納部４０に収納することによって、クリーンルーム１の出入口が開放される。このようなシャッタ２０の上下動の際は、コンプレッサ４２を起動させることによって、収納部４０の内部を陰圧に保持する。
【００３２】
シャッタ２０を上下動させると、シャッタ２０に設けられたスライダ２２がガイドレール１５の内部を上下に摺動する。スライダ２２は、ガイドレール１５の内部を上下に摺動するスライダ本体２３と、このスライダ本体２３に一体的に設けられるとともに、シャッタ本体２１に取り付けられる取付部２４とを備えている。そして、取付部２４の側面２４ａ，２４ａが、スライダ本体２３の摺動側面２３ａ，２３ａよりガイドレール１５の幅方向において内側に設けられ、ガイドレール１５の開口縁１５ｂが、前記側面２４ａに幅方向に所定の間隔をもって対向配置されているので、スライダ本体２３がガイドレール１５に沿って摺動する際に、ガイドレール１５の開口縁１５ｂつまりエッジ１５ｂが取付部２４の側面２４ａに接触することがない。このため、スライダ２２の側面がエッジ１５ｂによって削り取られることがないので、発塵量を抑えることができる。
【００３３】
また、シャッタ装置１０は、シャッタ２０を収納可能な収納部４０を備え、シャッタ２０が上下動する際には、コンプレッサ４２によって収納部４０の内部は外部より陰圧に保持される。したがって、スライダ本体２３の摺動側面２３ａ，２３ａがガイドレール１５の内壁面１５ａ，１５ａに沿って摺動することで、僅かに発塵が生じても、この塵は陰圧に保持される収納部４０に引き込まれるので、当該塵が出入口を通してクリーンルーム１内の侵入するのを防止できる。
【００３４】
さらに、クリーンルーム１の出入口、すなわちシャッタ装置１０の枠体１１の略上半分に、調整板３６を取り付けることによって、出入口を通してクリーンルーム１に搬入またはクリーンルーム１から搬出するワークの大きさに応じて、出入口の開口面積を調整することができる。そして、出入口をシャッタ２０によって全開した場合でも、出入口の開口面積はワークの大きさに応じた大きさとなるので、出入口からの塵の侵入を極力抑えることができる。
【符号の説明】
【００３５】
１０  シャッタ装置
１５  ガイドレール
１５ａ  内壁面
１５ｂ  ガイドレールの開口縁
２０  シャッタ
２１  シャッタ本体
２２  スライダ
２３  スライダ本体
２３ａ  摺動側面
２４  取付部
２４ａ  側面
３６  調整板
４０  収納部
【図１】
2020020092.tif 000003
【図２】
2020020092.tif 000004
【図３】
2020020092.tif 000005
【図４】
2020020092.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】令和1年7月25日(2019.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの出入口を開閉するシャッタを有するシャッタ装置であって、
前記出入口の縁部に、前記シャッタの移動をガイドする凹溝状のガイドレールが設けられ、
前記シャッタは、シャッタ本体とこのシャッタ本体に取り付けられて、前記ガイドレールの内部を摺動するスライダとを備え、
前記スライダは、前記ガイドレールの対向する内壁面に沿って摺動する摺動側面を有するスライダ本体と、このスライダ本体に一体的に設けられるとともに、前記シャッタ本体に取り付けられる取付部とを備え、
前記取付部の側面は、前記摺動側面より前記ガイドレールの幅方向において内側に設けられ、前記ガイドレールの開口縁は、前記スライダ本体および前記取付部に接触していないことを特徴とするシャッタ装置。
【請求項２】
前記出入口に、前記シャッタより前側および／または後側において、着脱可能に取り付けられて、前記出入口の開口面積を調整可能な調整板を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシャッタ装置。
【請求項３】
前記シャッタを収納可能な収納部を備え、
前記収納部の内部は外部より陰圧に保持可能であることを特徴とする請求項１または２に記載のシャッタ装置。