(57)【要約】【課題】複数箇所に順次塗布を行う場合に高速塗布が可能な塗布方法を提供する。【解決手段】塗布方法は、吐出孔が第１位置上にある状態でアクチュエータを動作させて貯留室内の液体を第１位置へ吐出させる第１吐出工程（Ｓ１１）と、第１吐出工程の後に、吐出孔が第１位置とは異なる第２位置上にある状態でアクチュエータを動作させて貯留室内の液体を第２位置へ吐出させる第２吐出工程（Ｓ１４）と、第１吐出工程以降であって第２吐出工程よりも前に加圧部の加圧を開始し、第２吐出工程よりも後に加圧部の加圧を終了する加圧工程（Ｓ１３）と、を含む。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯留する貯留室と、
前記貯留室内の液体を吐出する吐出孔と、
一端部が前記貯留室に配置された押圧体と、
前記貯留室の容積を増減させるよう前記押圧体を動作させるアクチュエータと、
前記貯留室に連通し、液体を貯蔵するシリンジと、
前記シリンジが貯蔵する液体に対する加圧により前記貯留室に液体を供給する加圧部と、を有する液体吐出ユニットを用いて液体を塗布する塗布方法であって、
前記吐出孔が第１位置上にある状態で前記アクチュエータを動作させて前記貯留室内の液体を前記第１位置へ吐出させる第１吐出工程と、
前記第１吐出工程の後に、前記吐出孔が前記第１位置とは異なる第２位置上にある状態で前記アクチュエータを動作させて前記貯留室内の液体を前記第２位置へ吐出させる第２吐出工程と、
前記第１吐出工程以降であって前記第２吐出工程よりも前に前記加圧部の加圧を開始し、前記第２吐出工程よりも後に前記加圧部の加圧を終了する加圧工程と、を含む、
塗布方法。
【請求項２】
前記第１吐出工程の後に、前記吐出孔の位置を前記第１位置上から前記第２位置上に移動させる第１移動工程をさらに含み、
前記第２吐出工程で吐出される所定量の液体が前記貯留室に溜まるタイミングよりも先に前記第１移動工程が完了する場合、前記第２吐出工程は、前記第２吐出工程で吐出される所定量の液体が前記貯留室に溜まるのを待機して開始される、
請求項１に記載の塗布方法。
【請求項３】
前記第１吐出工程の後に、前記吐出孔の位置を前記第１位置上から前記第２位置上に移動させる第１移動工程をさらに含み、
前記加圧工程を開始するタイミングは、前記第２吐出工程で吐出される所定量の液体の前記貯留室への貯留の完了に要する時間及び前記第１移動工程の完了に要する時間に基づいて決定される、
請求項１又は２に記載の塗布方法。
【請求項４】
前記第２吐出工程の後に、前記吐出孔が前記第２位置とは異なる第３位置上にある状態で前記アクチュエータを動作させて前記貯留室内の液体を前記第３位置へ吐出させる第３吐出工程をさらに含み、
前記加圧工程では、前記第３吐出工程で吐出される所定量の液体が前記貯留室に溜まるまで前記加圧を継続する、
請求項１〜３のいずれか１項に記載の塗布方法。
【請求項５】
前記第２吐出工程の後に、前記吐出孔の位置を前記第２位置から前記第３位置上に移動させる第２移動工程をさらに含み、
前記第３吐出工程で吐出される所定量の液体が前記貯留室に溜まるタイミングよりも後に前記第２移動工程が完了する場合、前記加圧工程は、前記第３吐出工程で吐出される所定量の液体が前記貯留室に溜まるタイミングに応じて終了する、
請求項４に記載の塗布方法。
【請求項６】
前記第２吐出工程の後に、前記吐出孔の位置を前記第２位置から前記第３位置上に移動させる第２移動工程をさらに含み、
前記第３吐出工程で吐出される所定量の液体が前記貯留室に溜まるタイミングよりも先に前記第２移動工程が完了する場合、前記第３吐出工程は、前記第３吐出工程で吐出される所定量の液体が前記貯留室に溜まるのを待機して開始される、
請求項４又は５に記載の塗布方法。
【請求項７】
前記第２吐出工程の後に、前記吐出孔の位置を前記第２位置から前記第３位置上に移動させる第２移動工程をさらに含み、
前記第１吐出工程と前記第２吐出工程と前記第３吐出工程とは順次実施され、
前記第１位置と前記第２位置との距離は、前記第２位置と前記第３位置との距離より長い、
請求項４〜６のいずれか１項に記載の塗布方法。
【請求項８】
液体を貯留する貯留室と、
前記貯留室内の液体を吐出する吐出孔と、
一端部が前記貯留室に配置された押圧体と、
前記貯留室の容積を増減させるよう前記押圧体を動作させるアクチュエータと、
前記貯留室に連通し、液体を貯蔵するシリンジと、
前記シリンジが貯蔵する液体に対する加圧により前記貯留室に液体を供給する加圧部と、を有する液体吐出ユニットと、
前記貯留室内の液体が塗布される塗布対象が載置されるステージと、
前記液体吐出ユニットを制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記吐出孔が第１位置上にある状態で前記アクチュエータを動作させて前記貯留室内の液体を前記第１位置へ吐出させ、
前記第１位置への液体の吐出の後に、前記吐出孔が前記第１位置とは異なる第２位置上にある状態で前記アクチュエータを動作させて前記貯留室内の液体を前記第２位置へ吐出させ、
前記第１位置への液体の吐出以降であって前記第２位置への液体の吐出よりも前に前記加圧部の加圧を開始し、前記第２位置への液体の吐出よりも後に前記加圧部の加圧を終了させる、
塗布システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、塗布方法及び塗布システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
非接触方式による塗布を行う塗布装置（ジェットディスペンサと呼ばれる）が開示されている（例えば特許文献１）。このようなジェットディスペンサによれば、高速塗布が可能であり、また、塗布量のばらつきを抑制できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１８−１５７４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば、エアパルス方式又はスクリュー方式の塗布装置では、複数の孔を備えるニードルを用いて一度に複数箇所への塗布が可能である。一方で、上記特許文献１に示すようなジェットディスペンサでは、複数箇所に同時に塗布することは難しい。したがって、複数箇所に塗布を行う場合には、１つ１つ順次塗布していくことになり、ジェットディスペンサの高速塗布の優位性が低下してしまう。
【０００５】
そこで、本開示は、複数箇所に順次塗布を行う場合に高速塗布が可能な塗布方法及び塗布システムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様に係る液体供給方法は、液体を貯留する貯留室と、前記貯留室内の液体を吐出する吐出孔と、一端部が前記貯留室に配置された押圧体と、前記貯留室の容積を増減させるよう前記押圧体を動作させるアクチュエータと、前記貯留室に連通し、液体を貯蔵するシリンジと、前記シリンジが貯蔵する液体に対する加圧により前記貯留室に液体を供給する加圧部と、を有する液体吐出ユニットを用いて液体を塗布する塗布方法であって、前記吐出孔が第１位置上にある状態で前記アクチュエータを動作させて前記貯留室内の液体を前記第１位置へ吐出させる第１吐出工程と、前記第１吐出工程の後に、前記吐出孔が前記第１位置とは異なる第２位置上にある状態で前記アクチュエータを動作させて前記貯留室内の液体を前記第２位置へ吐出させる第２吐出工程と、前記第１吐出工程以降であって前記第２吐出工程よりも前に前記加圧部の加圧を開始し、前記第２吐出工程よりも後に前記加圧部の加圧を終了する加圧工程と、を含む。
【０００７】
なお、これらの包括的又は具体的な側面は、システム、装置、方法、記録媒体、又は、コンピュータプログラムで実現されてもよく、システム、装置、方法、記録媒体、及び、コンピュータプログラムの任意な組み合わせで実現されてもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本開示に係る塗布方法等によれば、複数箇所に順次塗布を行う場合に高速塗布が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施の形態に係る塗布システムの一例を示す構成図である。
【図２】実施の形態に係る液体吐出ユニットの吐出ヘッドの一例を示す断面構成図である。
【図３】実施の形態に係る液体吐出ユニットの吐出ヘッドにおける貯留室の一例を示す断面構成図である。
【図４】実施の形態に係る液体吐出ユニットを用いて液体を塗布する塗布方法の一例を示すフローチャートである。
【図５】従来の塗布方法による吐出タイミング及び加圧タイミングの一例を示すタイミングチャートである。
【図６】実施の形態に係る塗布方法による吐出タイミング及び加圧タイミングの第１例を示すタイミングチャートである。
【図７】実施の形態に係る塗布方法による吐出タイミング及び加圧タイミングの第２例を示すタイミングチャートである。
【図８】実施の形態に係る塗布方法による吐出タイミング及び加圧タイミングの第３例を示すタイミングチャートである。
【図９】実施の形態に係る塗布方法による吐出タイミング及び加圧タイミングの第４例を示すタイミングチャートである。
【図１０】実施の形態に係る塗布方法による吐出タイミング及び加圧タイミングの第５例を示すタイミングチャートである。
【図１１Ａ】第１位置、第２位置、第３位置及び第４位置の一例を示す図である。
【図１１Ｂ】第１位置、第２位置、第３位置及び第４位置の他の一例を示す図である。
【図１２】実施の形態に係る塗布方法による吐出タイミング及び加圧タイミングの第６例を示すタイミングチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本開示の塗布方法は、液体を貯留する貯留室と、前記貯留室内の液体を吐出する吐出孔と、一端部が前記貯留室に配置された押圧体と、前記貯留室の容積を増減させるよう前記押圧体を動作させるアクチュエータと、前記貯留室に連通し、液体を貯蔵するシリンジと、前記シリンジが貯蔵する液体に対する加圧により前記貯留室に液体を供給する加圧部と、を有する液体吐出ユニットを用いて液体を塗布する塗布方法であって、前記吐出孔が第１位置上にある状態で前記アクチュエータを動作させて前記貯留室内の液体を前記第１位置へ吐出させる第１吐出工程と、前記第１吐出工程の後に、前記吐出孔が前記第１位置とは異なる第２位置上にある状態で前記アクチュエータを動作させて前記貯留室内の液体を前記第２位置へ吐出させる第２吐出工程と、前記第１吐出工程以降であって前記第２吐出工程よりも前に前記加圧部の加圧を開始し、前記第２吐出工程よりも後に前記加圧部の加圧を終了する加圧工程と、を含む。
【００１１】
例えば、従来のジェットディスペンサを用いた塗布方法では、第１吐出工程により貯留室内の液体を第１位置へ吐出させるタイミングで、貯留室へ液体を補充するために加圧部の加圧を開始し、第２吐出工程で吐出される所定量の液体の貯留室への貯留が完了するタイミングに応じて加圧部の加圧を終了する。加圧部の加圧を終了するのは、加圧部の加圧によって吐出孔から貯留室内で所定量貯まった液体が漏れ出さないようにするためである。なお、加圧部の加圧を終了した後シリンジの内圧はすぐには下がらずに時間をかけて徐々に下がっていくため、内圧が徐々に下がっていく期間も貯留室へ液体が供給される。言い換えると、この期間が終了する前に貯留室内に液体が所定量貯まると、吐出孔から液体が漏れ出してしまう。このため、加圧部の加圧の終了は、液体の貯留室への貯留が完了したタイミングで行われるのではなく、シリンジの内圧が徐々に下がっていく期間に貯留室へ液体が供給される分も考慮して、液体の貯留室への貯留が完了するタイミングよりも少し前に終了される。その後、第２吐出工程により液体を第２位置へ吐出させるタイミングで、貯留室へ液体を補充するために加圧部の加圧を開始する。つまり、従来のジェットディスペンサを用いた塗布方法では、複数箇所のそれぞれへの吐出工程を行うごとに加圧の開始及び加圧の終了が行われる。
【００１２】
一方で、本態様の加圧工程は、第１吐出工程以降であって第２吐出工程よりも前に加圧部の加圧を開始し、第２吐出工程よりも後に加圧部の加圧を終了する。つまり、複数箇所のそれぞれへの吐出工程を行うごとに加圧工程を行うということをせずに、第２吐出工程の前後で加圧部の加圧が継続して行われる。加圧部の加圧を終了する場合には、上述したようにシリンジの内圧が徐々に下がっていく期間が発生し、この期間において貯留室へ液体が供給される単位時間当たりの量は、加圧部の加圧を行っているときに貯留室へ液体が供給される単位時間当たりの量よりも、シリンジの内圧が小さくなっていく分少ない。したがって、第２吐出工程の前後で加圧部の加圧を継続することで、第２吐出工程の前に加圧部の加圧を終了する場合（言い換えると、複数箇所のそれぞれへの吐出工程を行うごとに加圧の開始及び加圧の終了が行われる場合）よりも貯留室内への液体の貯留が早く完了し、第２吐出工程を早く開始することができる。すなわち、本態様によれば、ジェットディスペンサによって複数箇所に順次塗布を行う場合に高速塗布が可能となる。
【００１３】
また、前記第１吐出工程の後に、前記吐出孔の位置を前記第１位置上から前記第２位置上に移動させる第１移動工程をさらに含み、前記第２吐出工程で吐出される所定量の液体が前記貯留室に溜まるタイミングよりも先に前記第１移動工程が完了する場合、前記第２吐出工程は、前記第２吐出工程で吐出される所定量の液体が前記貯留室に溜まるのを待機して開始されるとしてもよい。
【００１４】
例えば、第２吐出工程で吐出される所定量の液体が貯留室に溜まるタイミングよりも先に第１移動工程が完了する場合に、第１移動工程が完了したタイミングで第２吐出工程を開始すると、吐出する液体量が不足することになる。このため、この場合に、第２吐出工程は、第２吐出工程で吐出される所定量の液体が貯留室に溜まるのを待機して開始されることで、吐出する液体量が不足することを抑制できる。
【００１５】
また、前記第１吐出工程の後に、前記吐出孔の位置を前記第１位置上から前記第２位置上に移動させる第１移動工程をさらに含み、前記加圧工程を開始するタイミングは、前記第２吐出工程で吐出される所定量の液体の前記貯留室への貯留の完了に要する時間及び前記第１移動工程の完了に要する時間に基づいて決定されるとしてもよい。
【００１６】
これによれば、第２吐出工程で吐出される所定量の液体の貯留室への貯留の完了に要する時間及び第１移動工程の完了に要する時間に基づいて、第１移動工程が完了するタイミングでちょうど所定量の液体の貯留室への貯留が完了するように、加圧工程を開始するタイミングを決定できる。
【００１７】
また、前記第２吐出工程の後に、前記吐出孔が前記第２位置とは異なる第３位置上にある状態で前記アクチュエータを動作させて前記貯留室内の液体を前記第３位置へ吐出させる第３吐出工程をさらに含み、前記加圧工程では、前記第３吐出工程で吐出される所定量の液体が前記貯留室に溜まるまで前記加圧を継続するとしてもよい。
【００１８】
これによれば、一度の加圧工程によって、第２吐出工程で吐出される所定量の液体を貯留し、さらに、第３吐出工程で吐出される所定量の液体も貯留することができる。例えば、加圧を終了した後シリンジの内圧が下がり、再度加圧を開始する場合、加圧部の加圧を開始した後シリンジの内圧はすぐには上がらずに時間をかけて徐々に上がっていく。シリンジの内圧が徐々に上がっていく期間において貯留室へ液体が供給される単位時間当たりの量は、加圧部の加圧を継続して行っているときに貯留室へ液体が供給される単位時間当たりの量よりも、シリンジの内圧が上がりきっていない分少ない。したがって、第２吐出工程の前後で加圧部の加圧を継続することで、第２吐出工程の前に加圧部の加圧を終了する場合（言い換えると、複数箇所のそれぞれへの吐出工程を行うごとに加圧の開始及び加圧の終了が行われる場合）よりも貯留室内への液体の貯留が早く完了し、第３吐出工程を早く開始することができる。すなわち、本態様によれば、ジェットディスペンサによって複数箇所に順次塗布を行う場合に高速塗布が可能となる。
【００１９】
また、前記第２吐出工程の後に、前記吐出孔の位置を前記第２位置から前記第３位置上に移動させる第２移動工程をさらに含み、前記第３吐出工程で吐出される所定量の液体が前記貯留室に溜まるタイミングよりも後に前記第２移動工程が完了する場合、前記加圧工程は、前記第３吐出工程で吐出される所定量の液体が前記貯留室に溜まるタイミングに応じて終了するとしてもよい。
【００２０】
例えば、第３吐出工程で吐出される所定量の液体が貯留室に溜まるタイミングよりも後に第２移動工程が完了する場合に、加圧工程を第３吐出工程で吐出される所定量の液体が貯留室に溜まるタイミングで終了せずに第２移動工程が完了するまで継続すると、貯留室に所定量以上の液体が供給されて吐出孔から液体が漏れ出してしまう。したがって、加圧工程を第３吐出工程で吐出される所定量の液体が貯留室に溜まるタイミングに応じて終了することで、吐出孔から液体が漏れ出してしまうことを抑制できる。
【００２１】
また、前記第２吐出工程の後に、前記吐出孔の位置を前記第２位置から前記第３位置上に移動させる第２移動工程をさらに含み、前記第３吐出工程で吐出される所定量の液体が前記貯留室に溜まるタイミングよりも先に前記第２移動工程が完了する場合、前記第３吐出工程は、前記第３吐出工程で吐出される所定量の液体が前記貯留室に溜まるのを待機して開始されるとしてもよい。
【００２２】
例えば、第３吐出工程で吐出される所定量の液体が貯留室に溜まるタイミングよりも先に第２移動工程が完了する場合に、第２移動工程が完了したタイミングで第３吐出工程を開始すると、吐出する液体量が不足することになる。このため、この場合に、第３吐出工程は、第３吐出工程で吐出される所定量の液体が貯留室に溜まるのを待機して開始されることで、吐出する液体量が不足することを抑制できる。
【００２３】
また、前記第２吐出工程の後に、前記吐出孔の位置を前記第２位置から前記第３位置上に移動させる第２移動工程をさらに含み、前記第１吐出工程と前記第２吐出工程と前記第３吐出工程とは順次実施され、前記第１位置と前記第２位置との距離は、前記第２位置と前記第３位置との距離より長いとしてもよい。
【００２４】
例えば、第２吐出工程で吐出される所定量の液体の貯留室への貯留のために加圧工程を開始する際に、加圧部の加圧を開始した後シリンジの内圧はすぐには上がらずに時間をかけて徐々に上がっていくことから、その分貯留に時間がかかる。一方で、加圧工程では、第３吐出工程で吐出される所定量の液体が貯留室に溜まるまで加圧を継続することから、第３吐出工程で吐出される所定量の液体を貯留室へ貯留する際には、加圧工程の開始の際にかかった時間がかからない。このため、第２吐出工程で吐出される所定量の液体の貯留室への貯留の完了に要する時間は、第３吐出工程で吐出される所定量の液体の貯留室への貯留の完了に要する時間よりも長くなる。したがって、各移動工程における移動速度がほぼ一定であり加圧部の加圧の圧力がほぼ一定であるという条件下において、第１位置と第２位置との距離が第２位置と第３位置との距離より長くなっている塗布対象に、本態様を適用した塗布方法を用いて塗布を行うことで、円滑に塗布を行うことができる。
【００２５】
本開示の塗布システムは、液体を貯留する貯留室と、前記貯留室内の液体を吐出する吐出孔と、一端部が前記貯留室に配置された押圧体と、前記貯留室の容積を増減させるよう前記押圧体を動作させるアクチュエータと、前記貯留室に連通し、液体を貯蔵するシリンジと、前記シリンジが貯蔵する液体に対する加圧により前記貯留室に液体を供給する加圧部と、を有する液体吐出ユニットと、前記貯留室内の液体が塗布される塗布対象が載置されるステージと、前記液体吐出ユニットを制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記吐出孔が第１位置上にある状態で前記アクチュエータを動作させて前記貯留室内の液体を前記第１位置へ吐出させ、前記第１位置への液体の吐出の後に、前記吐出孔が前記第１位置とは異なる第２位置上にある状態で前記アクチュエータを動作させて前記貯留室内の液体を前記第２位置へ吐出させ、前記第１位置への液体の吐出以降であって前記第２位置への液体の吐出よりも前に前記加圧部の加圧を開始し、前記第２位置への液体の吐出よりも後に前記加圧部の加圧を終了させる。
【００２６】
これによれば、複数箇所に順次塗布を行う場合に高速塗布が可能な塗布システムを提供できる。
【００２７】
なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的又は具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。
【００２８】
（実施の形態）
以下、図１から図１２を用いて実施の形態について説明する。
【００２９】
［塗布システムの構成］
まず、実施の形態に係る塗布システム１００の構成について図１から図３を用いて説明する。
【００３０】
図１は、実施の形態に係る塗布システム１００の一例を示す構成図である。
【００３１】
図２は、実施の形態に係る液体吐出ユニット１の吐出ヘッド３の一例を示す断面構成図である。
【００３２】
図３は、実施の形態に係る液体吐出ユニット１の吐出ヘッド３における貯留室Ｓの一例を示す断面構成図である。
【００３３】
塗布システム１００は、液体吐出ユニット１と、ステージ４０と、制御部３０と、を備える。
【００３４】
制御部３０は、液体吐出ユニット１を制御する処理部である。制御部３０は、プロセッサ、メモリ等を含むコンピュータにより実現される。具体的には、制御部３０は、プロセッサがメモリに記憶されたプログラムに従って動作することにより実現される。制御部３０は、液体吐出ユニット１が備えるコンピュータにより実現されてもよいし、液体吐出ユニット１を制御するための外部のコンピュータにより実現されてもよい。例えば、制御部３０は、サーバ装置等により実現されてもよい。
【００３５】
ステージ４０は、液体吐出ユニット１の液体（後述する貯留室Ｓ内の液体）が塗布される塗布対象４１が載置される。塗布対象４１は、例えば、基板又は部品等のワークであるが、特に限定されない。例えば、ステージ４０は、制御部３０によって移動が制御され、塗布対象４１における所望の位置に液体を塗布することができる。なお、ステージ４０の加速時の加速度はほぼ一定であるとする。
【００３６】
液体吐出ユニット１は、液体供給部２と、吐出ヘッド３と、を備える。
【００３７】
吐出ヘッド３は、貯留室Ｓ（図２及び図３参照）内の液体を吐出する機能を有する。液体供給部２は、液体を貯留する貯留室Ｓに液体を供給する機能を有する。
【００３８】
液体供給部２は、液体５を貯蔵するシリンジ４及び加圧部６を備える。シリンジ４は、貯留室Ｓに連通している。例えば、加圧部６は、空圧供給源であり、電空レギュレータによって所定の圧力に調整された空圧をシリンジ４に送給する。これにより、シリンジ４内の液体５が空圧によって押し出され、供給管７を介して吐出ヘッド３に供給される。このように、加圧部６は、シリンジ４が貯蔵する液体５に対する加圧により貯留室Ｓに液体５を供給する。なお、加圧部６による液体５への圧力はほぼ一定であるとする。加圧部６の加圧は、制御部３０によって制御される。液体５は、例えば、ＵＶ硬化樹脂若しくは熱硬化性樹脂等の接着剤又ははんだペースト等である。なお、液体５の種類は、これらに限らず特に限定されない。
【００３９】
吐出ヘッド３は、ヘッド本体部１０と、押圧体１１と、駆動部１５と、吐出ノズル１８と、を備える。
【００４０】
ヘッド本体部１０は、吐出ヘッド３の本体を構成する。ヘッド本体部１０は、開口部９ｃが設けられた底板部９ａを有し上側（底板部９ａと反対側）が開口したコ字形状（Ｕ字形状）の吐出ノズル装着部９と、吐出ノズル装着部９の開口側に装着された平板形状のベース部８と、を有する。
【００４１】
吐出ノズル１８は、スペーサ１６と、ノズル部材１７と、を有し、吐出ノズル装着部９の底板部９ａの下面に、スペーサ１６を介してノズル部材１７が装着されている。
【００４２】
駆動部１５は、アクチュエータ１２と、環状バネ１３と、アクチュエータ制御部１４と、を有する。吐出ノズル装着部９には、環状バネ１３を介して押圧体１１が装着されており、さらに押圧体１１とベース部８との間には圧電素子よりなるアクチュエータ１２が配設されている。アクチュエータ１２はアクチュエータ制御部１４によって制御されて上下方向へ伸縮動作を行い、ベース部８はアクチュエータ１２の伸張時の上向きの反力を支持する。これにより、アクチュエータ１２は、貯留室Ｓの容積を増減させるよう押圧体１１を動作させる。具体的には、アクチュエータ１２の下面に配設された押圧体１１は往復移動して、供給管７及びノズル部材１７を介して貯留室Ｓに供給された液体５を以下に説明する構成により吐出させる。なお、アクチュエータ１２による押圧体１１の動作の制御（言い換えると、アクチュエータ制御部１４の制御）は、制御部３０によって行われる。
【００４３】
図２及び図３を参照して、吐出ヘッド３の詳細構成を説明する。吐出ノズル装着部９は、平板形状の底板部９ａの両側端部から側板部９ｄを上方に延出させた構成となっており、側板部９ｄの上端部にはベース部８が固定装着されている。ベース部８の下面に上面を当接させたアクチュエータ１２の下面には、押圧体１１が配設されている。
【００４４】
押圧体１１は、円板形状の径大部１１ａから円柱形状の一端部１１ｂを下方に突出させた形状を有している。押圧体１１を吐出ノズル装着部９に装着した状態では、吐出ノズル装着部９の底板部９ａに設けられた円形の開口部９ｃに、一端部１１ｂが往復動可能に嵌合する。この状態では、一端部１１ｂの外周面のパッキン溝に装着されたパッキン１９Ｂによって、開口部９ｃと一端部１１ｂの外周面とが密封される。すなわち押圧体１１は、ヘッド本体部１０にアクチュエータ１２に駆動されて往復動可能に装着され、一端部１１ｂがヘッド本体部１０からアクチュエータ１２による往復動方向に突出した構成となっている。また底板部９ａの上面と径大部１１ａの下面との間には、環状バネ１３が介在している。
【００４５】
吐出ノズル装着部９の装着面９ｂには、ガスケット２０Ａを介してスペーサ１６が装着されている。スペーサ１６は、ヘッド本体部１０に着脱自在な所定の厚みを有する板状部材であり、スペーサ１６には開口部９ｃと同径若しくはやや小径サイズの開口部１６ａが、スペーサ１６の厚みを貫通して設けられている。押圧体１１がヘッド本体部１０の吐出ノズル装着部９に装着された状態では、吐出ノズル装着部９から下方へ突出する一端部１１ｂは、開口部１６ａによって包囲されて貯留室Ｓに配置された形態となる。
【００４６】
この状態でアクチュエータ１２を駆動して押圧体１１を往復移動させることにより、貯留室Ｓの容積が増減する。そして貯留室Ｓ内に液体５を貯留した状態で貯留室Ｓの容積を減少させることにより、貯留室Ｓ内の液体５を吐出孔２４から吐出させる。すなわちアクチュエータ１２は、貯留室Ｓの容積を増減させて吐出孔２４から貯留室Ｓ内の液体５を吐出させるために、押圧体１１を移動させる。
【００４７】
図３に示すように、開口部１６ａの上部にはパッキン１９Ａを保持するための保持部１６ｂが形成されている。保持部１６ｂにパッキン１９Ａを保持させることにより、パッキン１９Ａはスペーサ１６と押圧体１１の一端部１１ｂの側面の間に位置する。これにより、貯留室Ｓの液体５が開口部９ｃの側面と一端部１１ｂの側面との間の隙間に進入するのが防止される。
【００４８】
スペーサ１６の下面側にはガスケット２０Ｂを介してノズル部材１７が装着されている。ノズル部材１７は開口部１６ａを塞ぐ状態でスペーサ１６に装着され、この状態では、ノズル部材１７の装着面１７ａと開口部１６ａの内面とで包囲された空間は貯留室Ｓを形成し、押圧体１１の一端部１１ｂが貯留室Ｓ内に配置される。
【００４９】
ノズル部材１７の一方側の側面には、図１に示す供給管７が接続され、内部に液体５を導く（矢印ａ）ための入口部２２ａを有するジョイント２２が植設されている。入口部２２ａは、ノズル部材１７の内部に設けられ貯留室Ｓに液体５を導入する液体導入孔２３と通じている。すなわち液体導入孔２３は、ノズル部材１７の装着面１７ａに開口した出口部２３ａを介して、貯留室Ｓと連通している。出口部２３ａは、貯留室Ｓに吐出対象の液体５を供給する供給孔として機能しており、液体供給部２によって貯留室Ｓに液体５を供給する際には、貯留室Ｓに通じる液体導入孔２３から液体５を導入する。
【００５０】
ここで、液体導入孔２３はノズル部材１７の側面に開口した入口部２２ａから出口部２３ａに向かって傾斜した形状となっている。これにより、液体導入孔２３は、ノズル部材１７の内部において屈曲部のない直線状に形成される。このため、液体導入孔２３の内部において残留した液体５や異物などによる目詰まりが発生しにくい構造とすることができる。さらに、液体の交換時などに必要とされるメンテナンス作業において、クリーニングピンなどのツールを液体導入孔２３に挿通させて、容易に液体導入孔２３の内部を清掃することが可能となっている。
【００５１】
ノズル部材１７の下面には、貯留室Ｓ内の液体５を外部に吐出する吐出孔２４が設けられており、貯留室Ｓと吐出孔２４とは常時開放された吐出流路２４ａで接続されている。吐出流路２４ａは下方の径寸法が絞られたテーパ孔形状となっており、貯留室Ｓ側にいくに従って径が大きくなっている。ここで、吐出孔２４の位置は貯留室Ｓ内における中心位置から出口部２３ａと反対側に隔てた配置となっている。このような配置とすることにより、一端部１１ｂを貯留室Ｓ内で往復移動させる液吐出において出口部２３ａから貯留室Ｓ内に供給された液体５は、貯留室Ｓ内にエアだまりを形成することなく全体を充填し、貯留室Ｓ内にエアだまりが残留することによる吐出不良を防止することができる。
【００５２】
液体吐出ユニット１による液体５の吐出に際しては、まず液体供給部２から供給管７及び液体導入孔２３を介して貯留室Ｓ内に液体５を供給する。次いで、アクチュエータ制御部１４によってアクチュエータ１２を充電し、環状バネ１３による付勢力に抗して押圧体１１を所定のストロークだけ伸張させる。これにより貯留室Ｓの容積が変化して、吐出流路２４ａを介して吐出孔２４から１ショット分の液体５が吐出される。
【００５３】
そして、吐出後にはアクチュエータ１２を放電することによりアクチュエータ１２の伸張を元に戻し、環状バネ１３の付勢力により押圧体１１が押し上げられて次回の液吐出が可能な状態となる。
【００５４】
［塗布方法］
次に、液体吐出ユニット１を用いて液体５を塗布する塗布方法について図４を用いて説明する。なお、液体吐出ユニット１は制御部３０に制御されるため、当該塗布方法は、制御部３０により行われる方法ともいえる。
【００５５】
図４は、実施の形態に係る液体吐出ユニット１を用いて液体５を塗布する塗布方法の一例を示すフローチャートである。
【００５６】
図４に示すように、塗布方法は、第１吐出工程（ステップＳ１１）と、第１移動工程（ステップＳ１２）と、加圧工程（ステップＳ１３）と、第２吐出工程（ステップＳ１４）と、第２移動工程（ステップＳ１５）と、第３吐出工程（ステップＳ１６）と、を含む。例えば、第１吐出工程と第２吐出工程と第３吐出工程とは順次実施される。なお、加圧工程が開始されてから第１移動工程が開始されてもよい。
【００５７】
制御部３０は、ステップＳ１１において、吐出孔２４が第１位置上にある状態でアクチュエータ１２を動作させて貯留室Ｓ内の液体５を第１位置へ吐出させる第１吐出工程を行う。第１位置は、塗布対象４１上の位置である。
【００５８】
制御部３０は、ステップＳ１２において、第１吐出工程の後に、吐出孔２４の位置を第１位置上から第２位置上に移動させる第１移動工程を行う。第２位置は、塗布対象４１上の第１位置とは異なる位置である。なお、第１位置と第２位置とは、１つの塗布対象４１上の位置でなくてもよい。具体的には、ステージ４０上に複数の塗布対象４１が載置され、第１位置と第２位置とは、異なる塗布対象４１上の位置であってもよい。例えば、制御部３０は、ステージ４０を移動させることで吐出孔２４をステージ４０に対して相対的に移動させる。なお、液体吐出ユニット１は、吐出ヘッド３の吐出孔２４を移動させるための機構を有していてもよく、制御部３０は、当該機構を制御することで吐出孔２４の位置を移動させてもよい。
【００５９】
制御部３０は、ステップＳ１３において、第１吐出工程以降であって第２吐出工程よりも前に加圧部６の加圧を開始し、第２吐出工程よりも後に加圧部６の加圧を終了する加圧工程を行う。つまり、ステップＳ１３は、ステップＳ１４が行わる際も継続して行われる。なお、加圧工程は、第１吐出工程と同時に開始されてもよいし、第１吐出工程の後に開始されてもよい。第１吐出工程によって貯留室Ｓ内の液体５が吐出されており、次に第２吐出工程を行うためには貯留室Ｓ内に液体５を補充する必要があるため、加圧部６の加圧により貯留室Ｓに液体５が供給される。
【００６０】
制御部３０は、ステップＳ１４において、第１吐出工程の後に、吐出孔２４が第２位置上にある状態でアクチュエータ１２を動作させて貯留室Ｓ内の液体５を第２位置へ吐出させる第２吐出工程を行う。
【００６１】
制御部３０は、ステップＳ１５において、第２吐出工程の後に、吐出孔２４の位置を第２位置から第３位置上に移動させる第２移動工程を行う。第３位置は、塗布対象４１上の第２位置とは異なる位置である。なお、第２位置と第３位置とは、１つの塗布対象４１上の位置でなくてもよい。
【００６２】
制御部３０は、ステップＳ１６において、第２吐出工程の後に、吐出孔２４が第３位置上にある状態でアクチュエータ１２を動作させて貯留室Ｓ内の液体５を第３位置へ吐出させる第３吐出工程を行う。
【００６３】
ここで、液体の吐出タイミング及び加圧タイミングについて、従来例と、第１例から第６例とを示しながら説明する。なお、以下に示す図５から図１０及び図１２におけるタイミングチャートで、アクチュエータのＯＮ及びＯＦＦは、各吐出工程の開始及び終了を示している。また、「Ｓ１１」は第１吐出工程、「Ｓ１４」は第２吐出工程、「Ｓ１６」は第３吐出工程を示している。また、加圧部のＯＮ及びＯＦＦは、加圧工程の開始及び終了を示している。また、「Ｓ１３」は、加圧工程を示している。なお、図５における「Ｓ１３ａ」及び「Ｓ１３ｂ」は、従来の加圧工程を示している。また、シリンジ内圧の正圧及びＯＦＦは、シリンジ４の内圧を示しており、ＯＦＦのときはシリンジ４内の液体５が貯留室Ｓに供給されない状態を示し、正圧に向けてシリンジ４の内圧が高くなるにつれて貯留室Ｓに液体５がより多く供給されるようになることを示している。また、「Ｓ１２完了」は第１移動工程が完了するタイミング、「Ｓ１５完了」は第２移動工程が完了するタイミングを示している。なお、アクチュエータ１２がＯＮされる期間は数十マイクロ秒オーダーであり、加圧部６がＯＮされる期間は数十ミリ秒オーダーである。アクチュエータ１２がＯＮされる期間は図面上では実際よりも長く示しているが、実際は加圧部６がＯＮされる期間と比べて微小な期間となる。
【００６４】
図５は、従来の塗布方法による吐出タイミング及び加圧タイミングの一例を示すタイミングチャートである。
【００６５】
例えば、従来のジェットディスペンサを用いた塗布方法では、第１吐出工程により貯留室Ｓ内の液体５を第１位置へ吐出させるタイミングで、貯留室Ｓへ液体を補充するために加圧部６の加圧を開始し（図５中の「Ｓ１３ａ」のＯＮのタイミング）、第２吐出工程で吐出される所定量の液体の貯留室への貯留が完了するタイミングに応じて加圧部の加圧を終了する（図５中の「Ｓ１３ａ」のＯＦＦのタイミング）。加圧部６の加圧を終了するのは、加圧部６の加圧によって吐出孔２４から貯留室Ｓ内で所定量貯まった液体５が漏れ出さないようにするためである。なお、加圧部６の加圧を終了した後シリンジ４の内圧はすぐには下がらずに時間をかけて徐々に下がっていくため、内圧が徐々に下がっていく期間ｔ１も貯留室Ｓへ液体５が供給される。言い換えると、期間ｔ１が終了する前に貯留室Ｓ内に液体５が所定量貯まると、吐出孔２４から液体５が漏れ出してしまう。このため、加圧部６の加圧の終了は、液体５の貯留室Ｓへの貯留が完了したタイミングで行われるのではなく、シリンジ４の内圧が徐々に下がっていく期間ｔ１に貯留室Ｓへ液体５が供給される分も考慮して、液体５の貯留室への貯留が完了するタイミングよりも少し前に終了される。その後、第２吐出工程により液体５を第２位置へ吐出させるタイミングで、貯留室Ｓへ液体５を補充するために加圧部６の加圧を開始する（図５中の「Ｓ１３ｂ」のＯＮのタイミング）。
【００６６】
また、例えば、加圧を終了した後シリンジ４の内圧が下がり、再度加圧を開始する場合（図５中の「Ｓ１３ｂ」のＯＮ）、加圧部６の加圧を開始した後シリンジ４の内圧はすぐには上がらずに、期間ｔ２に示すように、時間をかけて徐々に上がっていく。
【００６７】
このように、従来のジェットディスペンサを用いた塗布方法では、複数箇所のそれぞれへの吐出工程を行うごとに加圧の開始及び加圧の終了が行われる。
【００６８】
図６は、実施の形態に係る塗布方法による吐出タイミング及び加圧タイミングの第１例を示すタイミングチャートである。
【００６９】
本態様の加圧工程は、第１吐出工程以降であって第２吐出工程よりも前に加圧部６の加圧を開始し（図６中の「Ｓ１３」のＯＮのタイミング）、第２吐出工程よりも後に加圧部６の加圧を終了する（図６中の「Ｓ１３」のＯＦＦのタイミング）。つまり、複数箇所のそれぞれへの吐出工程を行うごとに加圧工程を行うということをせずに、第２吐出工程の前後で加圧部６の加圧が継続して行われる。加圧部６の加圧を終了する場合には、図５に示すように、シリンジ４の内圧が徐々に下がっていく期間ｔ１が発生し、期間ｔ１において貯留室Ｓへ液体５が供給される単位時間当たりの量は、加圧部６の加圧を行っているときに貯留室Ｓへ液体５が供給される単位時間当たりの量よりも、シリンジ４の内圧が小さくなっていく分少ない。したがって、第２吐出工程の前後で加圧部６の加圧を継続することで、第２吐出工程の前に加圧部６の加圧を終了する場合（言い換えると、複数箇所のそれぞれへの吐出工程を行うごとに加圧の開始及び加圧の終了が行われる場合）よりも貯留室Ｓ内への液体５の貯留が早く完了し、第２吐出工程を早く開始することができる。図５と図６とを比較すると、図６の第１例の方が従来例よりも期間ｔ１程度早く第２吐出工程を開始できていることがわかる。
【００７０】
また、シリンジ４の内圧が徐々に上がっていく期間ｔ２において貯留室Ｓへ液体５が供給される単位時間当たりの量は、加圧部６の加圧を継続して行っているとき（シリンジ４の内圧が正圧のとき）に貯留室Ｓへ液体５が供給される単位時間当たりの量よりも、シリンジ４の内圧が上がりきっていない分少ない。したがって、第２吐出工程の前後で加圧部６の加圧を継続することで、第２吐出工程の前に加圧部６の加圧を終了する場合（言い換えると、複数箇所のそれぞれへの吐出工程を行うごとに加圧の開始及び加圧の終了が行われる場合）よりも貯留室Ｓ内への液体５の貯留が早く完了し、第３吐出工程を早く開始することができる。図５と図６とを比較すると、図６の第１例の方が従来例よりも期間ｔ２程度早く第３吐出工程を開始できていることがわかる。
【００７１】
このように、本態様によれば、ジェットディスペンサによって複数箇所に順次塗布を行う場合に高速塗布が可能となる。
【００７２】
図７は、実施の形態に係る塗布方法による吐出タイミング及び加圧タイミングの第２例を示すタイミングチャートである。
【００７３】
第２吐出工程で吐出される所定量の液体５が貯留室Ｓに溜まるタイミングよりも先に第１移動工程が完了する場合（図７中の「Ｓ１２完了」のタイミング）、第２吐出工程は、第２吐出工程で吐出される所定量の液体５が貯留室Ｓに溜まるのを待機して開始される（図７中の「Ｓ１４」のＯＮのタイミング）。例えば、第２吐出工程で吐出される所定量の液体５が貯留室Ｓに溜まるタイミングよりも先に第１移動工程が完了する場合に、第１移動工程が完了したタイミングで第２吐出工程を開始すると、吐出する液体量が不足することになる。このため、この場合に、第２吐出工程は、第２吐出工程で吐出される所定量の液体５が貯留室Ｓに溜まるのを待機して開始されることで、吐出する液体量が不足することを抑制できる。
【００７４】
図８は、実施の形態に係る塗布方法による吐出タイミング及び加圧タイミングの第３例を示すタイミングチャートである。
【００７５】
加圧工程を開始するタイミングは、第２吐出工程で吐出される所定量の液体５の貯留室Ｓへの貯留の完了に要する時間ｔ４及び第１移動工程の完了に要する時間ｔ３に基づいて決定される。例えば、第１位置と第２位置との間の距離が大きい場合に、第１吐出工程の開始と同時に加圧工程を開始すると、吐出孔２４が第２位置上に到着する前に第２吐出工程で吐出される所定量の液体５の貯留室Ｓへの貯留が完了してしまう場合がある。この場合、加圧工程を終了しないと吐出孔２４から液体５が漏れ出してしまうため、第２吐出工程の前後で加圧部６の加圧を継続できなくなり、高速塗布が難しくなる。これに対して、本態様では、時間ｔ３及び時間ｔ４に基づいて、第１移動工程が完了するタイミング（図８中の「Ｓ１２完了」のタイミング）でちょうど所定量の液体５の貯留室Ｓへの貯留が完了するように、加圧工程を開始するタイミングを決定できる。したがって、第２吐出工程の前後で加圧部６の加圧を継続でき、高速塗布が可能となる。
【００７６】
図９は、実施の形態に係る塗布方法による吐出タイミング及び加圧タイミングの第４例を示すタイミングチャートである。
【００７７】
第３吐出工程で吐出される所定量の液体５が貯留室Ｓに溜まるタイミングよりも後に第２移動工程が完了する場合（図９中の「Ｓ１５完了」のタイミング）、加圧工程は、第３吐出工程で吐出される所定量の液体５が貯留室Ｓに溜まるタイミングに応じて終了する（図９中の「Ｓ１３」のタイミング）。例えば、第３吐出工程で吐出される所定量の液体５が貯留室Ｓに溜まるタイミングよりも後に第２移動工程が完了する場合に、加圧工程を第３吐出工程で吐出される所定量の液体５が貯留室Ｓに溜まるタイミングで終了せずに第２移動工程が完了するまで継続すると、貯留室Ｓに所定量以上の液体５が供給されて吐出孔２４から液体５が漏れ出してしまう。したがって、加圧工程を第３吐出工程で吐出される所定量の液体５が貯留室Ｓに溜まるタイミングに応じて終了することで、吐出孔２４から液体５が漏れ出してしまうことを抑制できる。
【００７８】
図１０は、実施の形態に係る塗布方法による吐出タイミング及び加圧タイミングの第５例を示すタイミングチャートである。
【００７９】
第３吐出工程で吐出される所定量の液体５が貯留室Ｓに溜まるタイミングよりも先に第２移動工程が完了する場合（図１０中の「Ｓ１５完了」のタイミング）、第３吐出工程は、第３吐出工程で吐出される所定量の液体５が貯留室Ｓに溜まるのを待機して開始される（図１０中の「Ｓ１６」のＯＮのタイミング）。例えば、第３吐出工程で吐出される所定量の液体５が貯留室Ｓに溜まるタイミングよりも先に第２移動工程が完了する場合に、第２移動工程が完了したタイミングで第３吐出工程を開始すると、吐出する液体量が不足することになる。このため、この場合に、第３吐出工程は、第３吐出工程で吐出される所定量の液体５が貯留室Ｓに溜まるのを待機して開始されることで、吐出する液体量が不足することを抑制できる。
【００８０】
なお、本態様に係る塗布方法は、予め塗布位置（第２位置等）がわかっているときに適用することができる。例えば第２位置がわかっているため、第２吐出工程の前後で加圧を継続しても、第２位置以外の予期しない位置で吐出孔２４から液体５が漏れないようにでき、また、第２位置において所定量の液体を吐出させることができる。言い換えると、第２位置がわかっていなければ、加圧工程の開始タイミングがわからず第１吐出工程の後であって第２吐出工程の前に適当に加圧工程を開始すると、第２吐出工程を開始する前に所定量の液体５が溜まって加圧を継続できなくなる（液体５が漏れ出さないように加圧を終了する必要がある）。
【００８１】
例えば、第１位置と第２位置との距離は、第２位置と第３位置との距離より長い。また、第３吐出工程の後に、吐出孔２４が第３位置とは異なる第４位置上にある状態でアクチュエータ１２を動作させて貯留室Ｓ内の液体５を第４位置へ吐出させる第４吐出工程を行う場合（第３吐出工程の後に、吐出孔２４の位置を第３位置上から第４位置上に移動させる第３移動工程を行う場合）、第３位置と第４位置との距離は、第２位置と第３位置との距離より長い。第１位置、第２位置、第３位置及び第４位置の位置関係を図１１Ａ及び図１１Ｂを用いて説明する。
【００８２】
図１１Ａは、第１位置、第２位置、第３位置及び第４位置の一例を示す図である。
【００８３】
図１１Ｂは、第１位置、第２位置、第３位置及び第４位置の他の一例を示す図である。
【００８４】
図１１Ａに示すように、例えば、第１位置Ｐ１、第２位置Ｐ２、第３位置Ｐ３及び第４位置Ｐ４は、ステージ４０に載置された１つの塗布対象４１上の位置であってもよい。また、図１１Ｂに示すように、例えば、第１位置Ｐ１、第２位置Ｐ２、第３位置Ｐ３及び第４位置Ｐ４は、ステージ４０に載置された複数の異なる塗布対象４１上の位置であってもよい。ここでは、複数の塗布対象４１を塗布対象４１ａ、４１ｂ、４１ｃ及び４１ｄとして示しており、第１位置Ｐ１は塗布対象４１ａ上の位置とし、第２位置Ｐ２は塗布対象４１ｂ上の位置とし、第３位置Ｐ３は塗布対象４１ｃ上の位置とし、第４位置Ｐ４は塗布対象４１ｄ上の位置としている。
【００８５】
第１位置Ｐ１、第２位置Ｐ２、第３位置Ｐ３及び第４位置Ｐ４が１つの塗布対象４１上の位置である場合、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との距離Ｌ１、第２位置Ｐ２と第３位置Ｐ３との距離Ｌ２及び第３位置Ｐ３と第４位置Ｐ４との距離Ｌ３は、１つの塗布対象４１上の距離となる。第１位置Ｐ１、第２位置Ｐ２、第３位置Ｐ３及び第４位置Ｐ４が複数の異なる塗布対象４１上の位置である場合、距離Ｌ１、距離Ｌ２及び距離Ｌ３は、２つの塗布対象４１にわたる距離となる。
【００８６】
第１位置Ｐ１、第２位置Ｐ２、第３位置Ｐ３及び第４位置Ｐ４に液体を吐出するときの、液体の吐出タイミング及び加圧タイミングについて、第６例として説明する。
【００８７】
図１２は、実施の形態に係る塗布方法による吐出タイミング及び加圧タイミングの第６例を示すタイミングチャートである。
【００８８】
第２吐出工程で吐出される所定量の液体５の貯留室Ｓへの貯留のために加圧工程を開始する際に（図１２中の「Ｓ１３」のＯＮのタイミング）、加圧部６の加圧を開始した後、期間ｔ５に示すように、シリンジ４の内圧はすぐには上がらずに時間をかけて徐々に上がっていくことから、その分貯留に時間がかかる。このため、第２吐出工程で吐出される所定量の液体５の貯留室Ｓへの貯留の完了に要する時間は、期間ｔ５に応じて長くなる。第２吐出工程を開始すると（図１２中の「Ｓ１４」のＯＮのタイミング）、貯留室Ｓ内の液体５は吐出されて、第３吐出工程で吐出される液体５の補充が必要となる。加圧工程では、第３吐出工程で吐出される所定量の液体５が貯留室Ｓに溜まるまで加圧を継続することから、第３吐出工程で吐出される所定量の液体５を貯留室へ貯留する際には、加圧工程の開始の際にかかった時間がかからない（つまり、期間ｔ５のようにシリンジ４の内圧が低い期間が生じない）。このため、第２吐出工程で吐出される所定量の液体５の貯留室Ｓへの貯留の完了に要する時間は、第３吐出工程で吐出される所定量の液体５の貯留室Ｓへの貯留の完了に要する時間よりも長くなる。したがって、各移動工程における加速時の加速度がほぼ一定であり加圧部６の加圧の圧力がほぼ一定であるという条件下において、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との距離Ｌ１が第２位置Ｐ２と第３位置Ｐ３との距離Ｌ２より長くなっている塗布対象４１に、本態様を適用した塗布方法を用いて塗布を行うことで、円滑に塗布を行うことができる。
【００８９】
また、第４吐出工程で吐出される所定量の液体５の貯留室Ｓへの貯留が完了するタイミングに応じて加圧工程を終了する際に（図１２中の「Ｓ１３」のＯＦＦのタイミング）、加圧部６の加圧を終了した後、期間ｔ６に示すように、シリンジ４の内圧はすぐには下がらず時間をかけて徐々に下がっていくことから、その分貯留に時間がかかる。このため、第４吐出工程で吐出される所定量の液体５の貯留室Ｓへの貯留の完了に要する時間は、期間ｔ６に応じて長くなる。加圧工程では、第３吐出工程で吐出される所定量の液体５が貯留室Ｓに溜まるまで加圧を継続することから、第３吐出工程で吐出される所定量の液体５を貯留室へ貯留する際には、加圧工程の終了の際にかかる時間がかからない（つまり、期間ｔ６のようにシリンジ４の内圧が低い期間が生じない）。このため、第４吐出工程で吐出される所定量の液体５の貯留室Ｓへの貯留の完了に要する時間は、第３吐出工程で吐出される所定量の液体５の貯留室Ｓへの貯留の完了に要する時間よりも長くなる。したがって、各移動工程における加速時の加速度がほぼ一定であり加圧部６の加圧の圧力がほぼ一定であるという条件下において、第３位置Ｐ３と第４位置Ｐ４との距離Ｌ３が第２位置Ｐ２と第３位置Ｐ３との距離Ｌ２より長くなっている塗布対象４１に、本態様を適用した塗布方法を用いて塗布を行うことで、円滑に塗布を行うことができる。
【００９０】
（その他の実施の形態）
以上、本開示の塗布方法及び塗布システム１００について、実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、上記実施の形態に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したもの、及び、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本開示の範囲内に含まれる。
【００９１】
例えば、上記実施の形態では、ステージ４０の加速時の加速度（言い換えると吐出孔２４の相対的な加速度）はほぼ一定であるとしたが、当該加速度が制御されてもよい。
【００９２】
また、例えば、上記実施の形態では、加圧部６による液体５への圧力はほぼ一定であるとしたが、当該圧力が制御されてもよい。
【００９３】
例えば、塗布方法におけるステップは、コンピュータ（コンピュータシステム）によって実行されてもよい。そして、本開示は、塗布方法に含まれるステップを、コンピュータに実行させるためのプログラムとして実現できる。さらに、本開示は、そのプログラムを記録したＣＤ−ＲＯＭ等である非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体として実現できる。
【００９４】
例えば、本開示が、プログラム（ソフトウェア）で実現される場合には、コンピュータのＣＰＵ、メモリ及び入出力回路等のハードウェア資源を利用してプログラムが実行されることによって、各ステップが実行される。つまり、ＣＰＵがデータをメモリ又は入出力回路等から取得して演算したり、演算結果をメモリ又は入出力回路等に出力したりすることによって、各ステップが実行される。
【００９５】
また、上記実施の形態の塗布システム１００に含まれる各構成要素は、専用又は汎用の回路として実現されてもよい。
【００９６】
また、上記実施の形態の塗布システム１００に含まれる各構成要素は、集積回路（ＩＣ：Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）であるＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ  Ｓｃａｌｅ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）として実現されてもよい。
【００９７】
また、集積回路はＬＳＩに限られず、専用回路又は汎用プロセッサで実現されてもよい。プログラム可能なＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｇａｔｅ  Ａｒｒａｙ）、又は、ＬＳＩ内部の回路セルの接続及び設定が再構成可能なリコンフィギュラブル・プロセッサが、利用されてもよい。
【００９８】
さらに、半導体技術の進歩又は派生する別技術によりＬＳＩに置き換わる集積回路化の技術が登場すれば、当然、その技術を用いて、塗布システム１００に含まれる各構成要素の集積回路化が行われてもよい。
【００９９】
その他、実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本開示に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【０１００】
本開示は、例えば、接着剤等を基板等の塗布対象に供給するためのシステム等に利用できる。
【符号の説明】
【０１０１】
１  液体吐出ユニット
２  液体供給部
３  吐出ヘッド
４  シリンジ
５  液体
６  加圧部
７  供給管
８  ベース部
９  吐出ノズル装着部
９ａ  底板部
９ｂ  装着面
９ｃ  開口部
９ｄ  側板部
１０  ヘッド本体部
１１  押圧体
１１ａ  径大部
１１ｂ  一端部
１２  アクチュエータ
１３  環状バネ
１４  アクチュエータ制御部
１５  駆動部
１６  スペーサ
１６ａ  開口部
１６ｂ  保持部
１７  ノズル部材
１７ａ  装着面
１８  吐出ノズル
１９Ａ、１９Ｂ  パッキン
２０Ａ、２０Ｂ  ガスケット
２２ａ  入口部
２３  液体導入孔
２３ａ  出口部
２４  吐出孔
２４ａ  吐出流路
３０  制御部
４０  ステージ
４１、４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ  塗布対象
Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３  距離
Ｐ１  第１位置
Ｐ２  第２位置
Ｐ３  第３位置
Ｐ４  第４位置
Ｓ  貯留室
【図１】
2020199442.tif 000003
【図２】
2020199442.tif 000004
【図３】
2020199442.tif 000005
【図４】
2020199442.tif 000006
【図５】
2020199442.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２】
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