(57)【要約】【課題】全体としてインク吐出面に沿う方向のサイズを小さくできる液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】  ヘッドユニット２５は、複数のノズル３１が開口するインク吐出面３０ａと、その反対側の面３０ｂとを有し、ドライバ３２が形成されたノズルプレート３０と、ノズルプレート３０の面３０ｂと対向する面４１ｂを有し、複数のノズル３１とそれぞれ連通する複数の圧力室４３が形成された圧力室形成プレート４０と、圧力室形成プレート４０の面４１ｂに複数の圧力室４３にそれぞれ対応して形成された複数の圧電素子５０とを備える。圧力室形成プレート４０の面４１ｂには、複数の圧電素子５０のそれぞれから走査方向に引き出された複数の個別配線５４が形成されており、ノズルプレート３０の面３０ｂには、搬送方向に延び前記複数の圧電素子５０に共通する共通配線３４が形成されている。共通配線３４は、複数の個別配線５４から上下方向に離隔している。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルが開口する第１面と、前記第１面とは反対側の第２面とを有し、ドライバが形成されたノズル基板であって、前記複数のノズルは前記第１面に沿って第１方向に並べられているノズル基板と、
前記ノズル基板の前記第２面と対向する第３面を有し、前記複数のノズルとそれぞれ連通する複数の流路が形成された流路基板と、
前記流路基板の前記第３面に前記複数の流路にそれぞれ対応して形成された複数の圧電素子であって、前記第１方向に並べられた複数の圧電素子とを備え、
前記流路基板の前記第３面には、前記複数の圧電素子のそれぞれから前記第１方向と交差する第２方向に引き出された複数の個別配線が形成されており、
前記ノズル基板の前記第２面には、前記第１方向に延び前記複数の圧電素子に共通する共通配線が形成されており、
前記複数の個別配線は、前記複数の圧電素子と接続される複数の第１端と、前記第２方向において前記複数の圧電素子とは反対側の複数の第２端とを有し、
前記共通配線は、前記第２方向において前記複数の第１端と前記複数の第２端との間に位置し、且つ、前記複数の個別配線から前記第１面と直交する第３方向に離隔している液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記ノズル基板の前記第２面と前記流路基板の前記第３面とは、複数のバンプを介して接続されている請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記流路基板の前記第３面の、前記第１方向の一方側の端部には、配線部材と接続される複数の第１電極パッドが形成されている請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記複数の第１電極パッドには、前記共通配線と電気的に接続される第１パッドが含まれる請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記流路基板の前記第３面の、前記複数の第１電極パッドと前記複数の圧電素子との間には、前記複数の第１電極パッドとそれぞれ複数の配線で接続された複数の第２電極パッドが形成されており、
前記複数の第２電極パッドには、前記第１パッドと接続される第２パッドが含まれており、
前記ノズル基板の前記第２面には、複数の第３電極パッドが形成されており、
前記複数の第３電極パッドには、前記共通配線と接続された第３パッドが含まれており、
前記複数のバンプには、前記第２パッドと前記第３パッドとを接続する第１バンプが含まれている請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記共通配線は、前記第３パッドから、前記第１方向に沿って前記第１方向の他方側に延びている請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記複数の圧電素子は、前記流路基板の前記第３面に形成された共通電極と、前記共通電極に前記第３方向に重ねられた圧電層と、前記圧電層に前記第３方向に重ねられた複数の個別電極とを含み、
前記複数のバンプには、前記共通配線と前記共通電極とを接続する複数の第２バンプが含まれている請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記複数の第２バンプは、前記第１方向に並べられており、
前記第１方向に隣り合う２つの第２バンプの間には、前記複数の個別配線に含まれる少なくとも１つの個別配線が配置されている請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記複数のバンプの各々の前記第３方向の厚みは、前記複数の圧電素子の各々の前記第３方向の厚みよりも大きい請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記共通配線は、前記第３パッドと接続された引出部と、前記引出部よりも前記第２方向の幅が広い幅広部とを有する請求項５又は６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記共通配線は、絶縁膜により覆われている請求項１〜１０のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルからインクを吐出する液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ノズルが形成されたノズルプレートと、ノズルに連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と、圧力発生室の一部を構成する振動板を介して圧力発生室に対向する領域に設けられた圧電素子とを備えるインクジェット式記録ヘッドが知られている（特許文献１参照）。このインクジェット式記録ヘッドでは、ノズルプレートと流路形成基板との間に振動板が設けられている。つまり、ノズルプレートは、振動板の、圧電素子が設けられている側の面に接合されている。ノズルプレートの振動板と対向する面の、圧電素子と対向する領域には、圧電素子の駆動を阻害しないように凹部が形成されている。また、流路形成基板の振動板と接合される部分であって、圧力室とは異なる部分には、圧電素子を駆動するための駆動ＩＣが形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２０５８０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のインクジェット式記録ヘッドでは、ノズルプレートの振動板と対向する面が、ノズル及び凹部が形成されている部分を除き、振動板と接合されている。このため、各圧電素子と駆動ＩＣとを接続する各種配線を振動板上に配置する必要があり、振動板の面方向のサイズが増え、インクジェット式記録ヘッド全体としてインク吐出面に沿う方向のサイズが大きくなるという問題があった。
【０００５】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、全体としてインク吐出面に沿う方向のサイズを小さくできる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の態様に従えば、複数のノズルが開口する第１面と、前記第１面とは反対側の第２面とを有し、ドライバが形成されたノズル基板であって、前記複数のノズルは前記第１面に沿って第１方向に並べられているノズル基板と、
前記ノズル基板の前記第２面と対向する第３面を有し、前記複数のノズルとそれぞれ連通する複数の流路が形成された流路基板と、
前記流路基板の前記第３面に前記複数の流路にそれぞれ対応して形成された複数の圧電素子であって、前記第１方向に並べられた複数の圧電素子とを備え、
前記流路基板の前記第３面には、前記複数の圧電素子のそれぞれから前記第１方向と交差する第２方向に引き出された複数の個別配線が形成されており、
前記ノズル基板の前記第２面には、前記第１方向に延び前記複数の圧電素子に共通する共通配線が形成されており、
前記複数の個別配線は、前記複数の圧電素子と接続される複数の第１端と、前記第２方向において前記複数の圧電素子とは反対側の複数の第２端とを有し、
前記共通配線は、前記第２方向において前記複数の第１端と前記複数の第２端との間に位置し、且つ、前記複数の個別配線から前記第１面と直交する第３方向に離隔している液体吐出ヘッドが提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】第１実施形態に係るプリンタの概略的な平面図である。
【図２】第１実施形態に係るヘッドユニットの下面図である。
【図３】ノズルプレートの上面図である。
【図４】圧力室形成プレートの下面図である。
【図５】図２のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】図２のＶＩ−ＶＩ線断面図である。
【図７】図２のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図である。
【図８】第２実施形態に係るノズルプレートの上面図である。
【図９】第２実施形態に係る圧力室形成プレートの下面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態について説明する。まず、図１を参照してインクジェットプリンタ１の概略構成について説明する。尚、図１に示す前後左右の各方向をプリンタの「前」「後」「左」「右」と定義する。また、図１における紙面手前側を「上」、紙面向こう側を「下」とそれぞれ定義する。以下では、前後左右上下の各方向語を適宜使用して説明する。
【０００９】
＜プリンタの概略構成＞
図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、プラテン２、キャリッジ３、インクジェットヘッド４、搬送機構５、及びコントローラ６を主に備えている。
【００１０】
プラテン２の上面には、記録媒体である記録用紙１００が載置される。キャリッジ３は、プラテン２と対向する領域において２本のガイドレール１１，１２に沿って左右方向（以下、走査方向ともいう）に往復移動可能に構成されている。キャリッジ３には無端ベルト１３が連結されている。キャリッジ駆動モータ１４によって無端ベルト１３が駆動されることにより、キャリッジ３は走査方向に移動する。
【００１１】
インクジェットヘッド４は、キャリッジ３に取り付けられており、キャリッジ３とともに走査方向に移動する。インクジェットヘッド４は、走査方向に並ぶ４つのヘッドユニット２５（本発明の液体吐出ヘッドの一例）を備えている。４つのヘッドユニット２５は、４つのインクカートリッジ１５が装着されるカートリッジホルダ７と、図示しないチューブによってそれぞれ接続されている。４つのインクカートリッジ１５にはそれぞれ、４色（ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）のインクが貯留されている。各ヘッドユニット２５は、その下面（図１の紙面向こう側の面）に形成された複数のノズル３１（図２参照）を有する。ヘッドユニット２５のノズル３１は、いずれか１つのインクカートリッジ１５から供給された１色のインクを、プラテン２に載置された記録用紙１００に向けて吐出する。
【００１２】
搬送機構５は、前後方向にプラテン２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１６，１７を有する。搬送機構５は、２つの搬送ローラ１６，１７によって、プラテン２に載置された記録用紙１００を前方（以下、搬送方向ともいう）に搬送する。
【００１３】
コントローラ６は、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）、及び、各種制御回路を含むＡＳＩＣ（Application  Specific  Integrated  Circuit）等を備える。コントローラ６は、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、ＡＳＩＣにより、記録用紙１００への印刷等の各種処理を実行する。例えば、印刷処理において、コントローラ６は、ＰＣ等の外部装置から入力された印刷指令に基づいて、インクジェットヘッド４、キャリッジ駆動モータ１４、搬送機構５の搬送モータ（図示省略）等を制御して、記録用紙１００に画像等を印刷する。具体的には、キャリッジ３とともにインクジェットヘッド４を走査方向に移動させながら、４つのヘッドユニット２５のノズル３１からインクを吐出させるインク吐出動作と、搬送ローラ１６，１７によって記録用紙１００を搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。
【００１４】
＜ヘッドユニット２５＞
次に、ヘッドユニット２５の構成について詳細に説明する。尚、４つのヘッドユニット２５はそれぞれ同じ構成を有するため、以下では、４つのヘッドユニット２５のうちの１つについて説明する。
【００１５】
図２に示すように、ヘッドユニット２５は、平面視で、搬送方向に長いほぼ矩形状の外形を有する。図５〜図７に示すように、ヘッドユニット２５は、主に、ノズルプレート３０（本発明のノズル基板の一例）、圧力室形成プレート４０（本発明の流路基板の一例）、圧電素子５０、絞り流路形成プレート６０、及びマニホールド流路形成プレート７０によって構成されている。
【００１６】
図２及び図３に示すように、ノズルプレート３０は、平面視で、搬送方向に長いほぼ矩形状の外形を有する。ノズルプレート３０はシリコン基板である。図２及び図５に示すように、ノズルプレート３０の下面には、複数のノズル３１の吐出口が形成されている。以下の説明では、ノズルプレート３０の下面を、インク吐出面３０ａ（本発明の第１面の一例）と称する。インク吐出面３０ａにおいて、複数のノズル３１は、それぞれ搬送方向に延びる２列のノズル列３１ａを構成している。図５に示すように、各ノズル３１は、ノズルプレート３０を、その厚み方向に貫通している。
【００１７】
図３に示すように、ノズルプレート３０の、インク吐出面３０ａとは反対側の面３０ｂ（本発明の第２面の一例）、即ち、圧力室形成プレート４０と対向する面３０ｂには、ドライバ３２、複数の電極パッド３３（本発明の第３電極パッドの一例）、２本の共通配線３４、及びドライバ３２の複数の出力端子３５が形成されている。
【００１８】
ドライバ３２は、平面視で、搬送方向に長いほぼ矩形状の外形を有する。なお、ドライバ３２は、一般的に行われる半導体プロセス（成膜、露光、現像、エッチング等）により、面３０ｂと面一となるように、ノズルプレート３０と一体的に形成されている。複数の電極パッド３３は、面３０ｂの搬送方向の一方（図３示される前方）側の端部において、走査方向に沿って並べられている。
【００１９】
走査方向の両端の電極パッド３３（本発明の第３パッドの一例）からは、搬送方向に沿って２本の共通配線３４が延びている。つまり、２本の共通配線３４は、２列のノズル列３１ａを走査方向に挟むように形成されており、走査方向の両端の電極パッド３３と接続されている。各共通配線３４は、引出部３４ａと、引出部３４ａよりも走査方向の幅が広い幅広部３４ｂとを含む。引出部３４ａの搬送方向の一端は電極パッド３３と接続されており、他端は幅広部３４ｂと繋がっている。共通配線３４は、例えばアルミニウム（Ａｌ）、又は金（Ａｕ）からなり、各電極パッド３３と同程度の厚みを有する。なお、図３では図示を省略しているが、図５〜図７に示されるように、各共通配線３４は、絶縁膜３６によって覆われている。
【００２０】
複数の出力端子３５は、面３０ｂの走査方向一方（図３に示される左方）側の端部と、走査方向他方（図３に示される右方）側の端部それぞれにおいて、搬送方向に沿って並べられている。
【００２１】
図４に示すように、圧力室形成プレート４０は、平面視で、搬送方向に長いほぼ矩形状の外形を有する。図５及び図７に示すように、圧力室形成プレート４０は、振動板４１と圧力室基板４２とからなる。振動板４１は、例えば圧力室基板４２を構成するシリコン基板の表面を酸化又は窒化することにより形成された、絶縁層であり、圧力室基板４２の略全面に配置されている。圧力室形成プレート４０には、複数のノズル３１にそれぞれ対応する複数の圧力室４３（本発明の流路の一例）が形成されている。複数の圧力室４３は、２列のノズル列３１ａにそれぞれ対応する２列の圧力室列を形成しており、各圧力室列は搬送方向に延びている。図５に示すように、各圧力室４３は、対応するノズル３１と連通している。各圧力室４３は、平面視で、走査方向に長いほぼ矩形状の外形を有する。
【００２２】
図５に示すように、振動板４１の、各ノズル３１と重なる部分には、貫通孔４１ａが形成されている。圧力室基板４２には、各圧力室４３の側壁を画定する貫通孔が形成されている。
【００２３】
図４に示すように、振動板４１の、複数の圧力室４３とは反対側の面４１ｂ（本発明の第３面の一例）には、複数の圧力室４３にそれぞれ対向する複数の圧電素子５０が形成されている。複数の圧電素子５０は、２列の圧力室列にそれぞれ対応する２列の圧電素子列５０ａを形成しており、各圧電素子列５０ａは搬送方向に延びている。図５に示すように、各圧電素子５０は、共通電極５１と、圧電層５２と、個別電極５３とから構成される。圧電層５２は、共通電極５１と個別電極５３との間に挟まれている。
【００２４】
図４に示すように、共通電極５１は、各圧電素子列５０ａを構成する複数の圧電素子５０に共通に設けられており、対応する圧力室列と重なるように搬送方向に延びている。共通電極５１は、例えば白金（Ｐｔ）からなる。
【００２５】
圧電層５２も、各圧電素子列５０ａを構成する複数の圧電素子５０に共通に設けられており、対応する共通電極５１と重なるように搬送方向に延びている。圧電層５２は、例えばチタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料からなる。
【００２６】
個別電極５３は、各圧電素子５０に対して１つ設けられている。つまり、複数の圧電素子５０に対してそれぞれ、複数の個別電極５３が設けられている。図４に示すように、複数の個別電極５３は、２列の圧電素子列５０ａにそれぞれ対応する２列の個別電極列５３ａを形成しており、各個別電極列５３ａは搬送方向に延びている。各個別電極５３は、平面視で、走査方向に長いほぼ矩形状の外形を有する。各個別電極５３は、例えばイリジウム（Ｉｒ）からなる。
【００２７】
圧電層５２の個別電極５３と共通電極５１とで挟まれた部分は、個別電極５３への電圧の印加に応じて変形可能な、活性部として機能する。即ち、各圧電素子５０は、対応する圧力室４３と対向する活性部を有する。個別電極５３への電圧の印加に応じて、活性部が駆動すること（例えば、圧力室４３に向かって凸となるように変形すること）により、圧力室４３の容積が変化し、圧力室４３内のインクに圧力が付与され、ノズル３１からインクが吐出される。
【００２８】
図４に示すように、右方の個別電極列５３ａを構成する各個別電極５３の右方の端部には、走査方向に沿って右方に延びる個別配線５４が接続されている。また、左方の個別電極列５３ａを構成する各個別電極５３の左方の端部には、走査方向に沿って左方に延びる個別配線５４が接続されている。各個別配線５４の、走査方向の一端は、対応する個別電極５３との接点５４ａ（本発明の第１端の一例）となっており、走査方向の他端には、端子５４ｂ（本発明の第２端の一例）が設けられている。個別配線５４及び端子５４ｂは、例えばアルミニウム（Ａｌ）、又は金（Ａｕ）からなる。なお、図５に示すように、各個別配線５４と共通電極５１とは、絶縁膜５５によって絶縁されている。また、図５に示すように、共通配線３４は、走査方向において、各個別配線５４の接点５４ａと端子５４ｂとの間に位置しており、且つ、個別配線５４からは上下方向に離隔している。
【００２９】
図４に示すように、振動板４１の面４１ｂにおいて、２列の圧電素子列５０ａから搬送方向の一方（図４に示される前方）側に離隔した位置には、複数の電極パッド４４（本発明の第２電極パッドの一例）が形成されている。複数の電極パッド４４は走査方向に沿って並べられている。さらに、複数の電極パッド４４から搬送方向の一方（図４に示される前方）側に離隔した位置には、複数の電極パッド４５（本発明の第１電極パッドの一例）が形成されている。複数の電極パッド４５は走査方向に沿って並べられている。そして、複数の電極パッド４４と複数の電極パッド４５とは、複数の配線４６によって接続されている。配線４６は、例えばアルミニウム（Ａｌ）、又は金（Ａｕ）からなる。なお、各電極パッド４４及び各電極パッド４５の厚みは、各配線４６の厚みと同程度である。
【００３０】
そして、ノズルプレート３０は圧力室形成プレート４０に対して、複数のバンプを介して固定されている。まず、図７に示されるように、搬送方向の前方側において、ノズルプレート３０の面３０ｂに形成された複数の電極パッド３３がそれぞれ、振動板４１の面４１ｂに形成された複数の電極パッド４４と、複数のバンプ８１によって接合されている。複数のバンプ８１は、走査方向に沿って並べられている。バンプ８１は、例えば金（Ａｕ）からなる。これにより、複数の電極パッド３３と複数の電極パッド４４とが導通している。つまり、本実施形態において、走査方向の両端の電極パッド４５（本発明の第１パッドの一例）はそれぞれ、走査方向の両端の配線４６、走査方向の両端の電極パッド４４（本発明の第２パッドの一例）、走査方向の両端のバンプ８１（本発明の第１バンプの一例）、及び走査方向の両端の電極パッド３３（本発明の第３パッドの一例）を介して、２本の共通配線３４と接続されている。なお、各バンプ８１の高さｈ１は１０〜１５μｍ程度であり、各圧電素子５０の高さｔ１（１〜３μ程度）よりも高い。
【００３１】
また、図５に示されるように、ノズルプレート３０の面３０ｂにおける各ノズル３１の周囲と、振動板４１の面４１ｂにおける貫通孔４１ａの周囲とが、環状のバンプ８２により接合されている。環状バンプ８２は、例えば金（Ａｕ）からなる。これにより、各ノズル３１とそれに対応する圧力室４３とが連通している。そして、ノズルプレート３０の面３０ｂに形成された複数の出力端子３５がそれぞれ、振動板４１の面４１ｂに形成された複数の端子５４ｂと、複数のバンプ８３によって接合されている。バンプ８３は、例えば金（Ａｕ）からなる。これにより、複数の出力端子３５と複数の端子５４ｂとが導通している。なお、各環状バンプ８２の高さｈ２、及び各バンプ８３の高さｈ３はいずれも１０〜１５μｍ程度であり、各圧電素子５０の高さｔ１（１〜３μｍ程度）よりも高い。
【００３２】
さらに、図６に示されるように、ノズルプレート３０の面３０ｂに形成された各共通配線３４は、複数の圧電素子５０のそれぞれと対応する搬送方向の複数箇所において、振動板４１の面４１ｂに形成された共通電極５１と、複数のバンプ８４（本発明の第２バンプの一例）により接合されている。つまり、図４に破線で示されるように、複数のバンプ８４は搬送方向に沿って並べられており、各圧電素子５０に対して１つのバンプ８４が設けられている。なお、各共通配線３４を覆う絶縁膜３６には、搬送方向の複数箇所に貫通孔３６ａが形成されている。また、共通電極５１を覆う絶縁膜５５にも、貫通孔３６ａに対応する貫通孔５５ａが形成されている。各バンプ８４は、絶縁膜３６の貫通孔３６ａを介して共通電極３４と接続されるとともに、絶縁膜５５の貫通孔５５ａを介して共通電極５１と接続されている。バンプ８４は、例えば金（Ａｕ）からなる。これにより、各共通配線３４と対応する共通電極５１とが導通している。なお、各バンプ８４の高さｈ４は１０〜１５μｍ程度であり、各圧電素子５０の高さｔ１（１〜３μｍ程度）、及び各電極パッド３３、４４、４５の高さよりも高い。
【００３３】
ここで、ノズルプレート３０と圧力室形成プレート４０との間には、バンプ８１〜８４が介在することによって形成された空間が存在する。バンプ８１〜８４はいずれも、振動板４１の面４１ｂと直交する方向、つまり上下方向の高さｈ１〜ｈ４が、各圧電素子５０の上下方向の高さｔ１よりも高い。このため、各圧電素子５０の駆動は、ノズルプレート３０によっては阻害されない。
【００３４】
絞り流路形成プレート６０は、平面視で、搬送方向に長いほぼ矩形状の外形を有する。絞り流路形成プレート６０は、シリコン基板である。図５及び図７に示されるように、絞り流路形成プレート６０には、複数の圧力室４３とそれぞれ連通する複数の絞り流路６１が形成されている。各絞り流路６１は、対応する圧力室４３と重なる位置において、絞り流路形成プレート６０を貫通している。
【００３５】
マニホールド流路形成プレート７０は、平面視で、搬送方向に長いほぼ矩形状の外形を有する。マニホールド流路形成プレート７０は、シリコン基板である。図５及び図７に示されるように、マニホールド流路形成プレート７０には、複数の絞り流路６１と連通するマニホールド７１が形成されている。マニホールド７１は、複数の絞り流路６１と重なるように、搬送方向に延びている。図示しないチューブを介してインクカートリッジ１５からマニホールド７１に供給されたインクは、複数の絞り流路６１を介して複数の圧力室４３に供給される。
【００３６】
図２に示されるように、振動板４１の面４１ｂに形成された複数の電極パッド４５はそれぞれ、ヘッドユニット２５とは別部材であるＦＰＣ９０（本発明の配線部材の一例）に形成された複数の電極パッド９１と、例えばワイヤボンディングにより電気的に接続されている。これにより、各ヘッドユニット２５は、ＦＰＣ９０を介してコントローラ６と接続される。
【００３７】
以上説明した本発明の第１実施形態によれば、ノズルプレート３０の面３０ｂと、圧力室形成プレート４０の面４１ｂとは、複数のバンプを介して接続されている。つまり、ノズルプレート３０の面３０ｂと振動板４１の面４１ｂとは、振動板４１の面４１ｂと直交する方向、つまり上下方向に離間している。このため、個別配線５４と比べて広い幅を要する共通配線３４を、振動板４１の面４１ｂではなく、ノズルプレート３０の面３０ｂに形成することができる。これにより、共通配線３４を個別配線５４とともに振動板４１の面４１ｂに形成する場合と比べて、振動板４１の面方向のサイズを小さくすることができる。また、各共通配線３４は、走査方向において、複数の個別配線５４の、複数の接点５４ａと複数の端子５４ｂとの間に位置しており、複数の個別配線５４を横切るように搬送方向に延びている。また、各共通配線３４は、複数の個別配線５４から上下方向に離隔している。つまり、各共通配線３４は、複数の個別配線５４と、接触することなく立体的に交差している。このため、振動板４１だけでなく、ノズルプレート３０の面方向のサイズを小さくすることができる。この結果、ヘッドユニット２５全体として、インク吐出面３０ａに沿う方向のサイズを小さくすることができる。
【００３８】
また、各共通配線３４は、複数の個別配線５４が引き延ばされている振動板４１の面４１ｂではなく、ノズルプレート３０の面３０ｂに形成されているので、各共通配線３４の走査方向の幅を広く確保することができる。この結果、信号劣化や電圧降下を抑制することができる。
【００３９】
また、ドライバ３２は、ノズルプレート３０の面３０ｂに形成された複数の出力端子３５、及び、複数の導電性のバンプ８３を介して、複数の個別配線５４の複数の端子５４ｂと導通している。このため、ドライバ３２と複数の個別配線５４とを接続するための配線が不要である。同様に、ノズルプレート３０の面３０ｂに形成された各共通配線３４は、複数の導電性のバンプ８４を介して、対応する共通電極５１と導通している。このため、共通配線３４と共通電極５１とを接続するための配線が不要である。
【００４０】
各共通配線３４は、絶縁膜３６により覆われている。このため、立体的に交差するように配置されている共通配線３４と、複数の個別配線５４との間の短絡を防止できる。
【００４１】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。第２実施形態は、ノズルプレート及び圧力室形成プレートの構成以外は、第１実施形態と同様であるため、以下では、第２実施形態に係るノズルプレート１３０及び圧力室形成プレート１４０について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。
【００４２】
図８に示すように、第２実施形態に係るノズルプレート１３０の、圧力室形成プレート１４０と対向する面１３０ｂには、１本の共通配線３４のみが形成されている。つまり、第１実施形態とは異なり、走査方向の一方（図８に示される左方）側にのみ、共通配線３４が形成されている。また、ドライバ３２の複数の出力端子３５も、第１実施形態とは異なり、走査方向の一方（図８に示される左方）側の端部にのみ形成されている。
【００４３】
また、図９に示すように、第２実施形態に係る圧力室形成プレート１４０を構成する振動板１４１の、ノズルプレート１３０と対向する面１４１ｂにおいて、複数の個別配線５４は、その引出し方向が統一されている。具体的には、左方の個別電極列５３ａを構成する各個別電極５３の左方の端部からは、個別配線５４が走査方向に沿って左方に延びている。そして、右方の個別電極列５３ａを構成する各個別電極５３の左方の端部からも、個別配線５４が走査方向に沿って左方に延びている。また、複数の個別配線５４の複数の端子５４ｂも、第１実施形態とは異なり、走査方向の左方側の端部にのみ形成されている。
【００４４】
そして、第１実施形態と同様に、ノズルプレート１３０の面１３０ｂと、圧力室形成プレート１４０の面１４１ｂとは、複数のバンプを介して接続されている。
【００４５】
以上説明した本発明の第２実施形態においても、第１実施形態と同様に、ノズルプレート１３０の面１３０ｂと振動板１４１の面１４１ｂとは、振動板１４１の面１４１ｂと直交する方向、つまり上下方向に離間している。このため、個別配線５４と比べて広い幅を要する共通配線３４を、振動板１４１の面１４１ｂではなく、ノズルプレート１３０の面１３０ｂに形成することができる。これにより、共通配線３４を個別配線５４とともに振動板１４１の面１４１ｂに形成する場合と比べて、振動板１４１の面方向のサイズを小さくすることができる。また、第１実施形態と同様に、共通配線３４は、走査方向において、複数の個別配線５４の、複数の接点５４ａと複数の端子５４ｂとの間に位置しており、複数の個別配線５４を横切るように搬送方向に延びている。また、共通配線３４は、複数の個別配線５４から上下方向に離隔している。つまり、共通配線３４は、複数の個別配線５４と、接触することなく立体的に交差している。このため、振動板１４１だけでなく、ノズルプレート１３０の面方向のサイズを小さくすることができる。この結果、ヘッドユニット２５全体として、インク吐出面方向のサイズを小さくすることができる。
【００４６】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらに限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能である。例えば、上記実施形態では、ドライバ３２はノズルプレート３０の面３０ｂと面一になるように形成されていたが、インク吐出面３０ａと面一になるように形成されてもよい。この場合、ドライバ３２の複数の出力端子３５はそれぞれ、ノズルプレート３０を貫通する貫通電極を介してドライバ３２と電気的に接続すればよい。
【００４７】
上記の実施形態に係るヘッドユニット２５において、ノズル列３１ａ、圧力室４３の列、及び圧電素子５０の列５０ａはそれぞれ２列ずつ形成されていたが、これには限られない。例えば、ノズル列３１ａ、圧力室４３の列、及び圧電素子５０の列５０ａが１列ずつ形成されていてもよく、ノズル列３１ａ、圧力室４３の列、及び圧電素子５０の列５０ａが３列以上ずつ形成されていてもよい。
【００４８】
上記実施形態では、共通配線３４は、各圧電素子５０に対して１つ設けられたバンプ８４により、共通電極５１と接合されていたが、これには限られない。例えば、共通配線３４は、複数の圧電素子５０ごとに搬送方向に設けられたバンプ８４により、共通電極５１と接合されていてもよい。つまり、バンプ８４の数は、圧電素子５０の数より少なくてもよい。
【００４９】
上記の実施形態では、本発明を、所謂シリアルヘッド方式のインクジェットプリンタ１に適用した場合について説明したが、これには限られない。本発明は、インクジェットプリンタに対して固定された、記録用紙の幅方向に長いヘッドバーからインクを吐出する、所謂ラインヘッド方式のインクジェットプリンタにも適用することができる。
【００５０】
上記の実施形態では、ノズル３１からインクを吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。ノズルからインク以外の液体を吐出する、インクジェットヘッド以外の液体吐出ヘッドに本発明を適用することも可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１  インクジェットプリンタ
４  インクジェットヘッド
２５  ヘッドユニット
３０、１３０  ノズルプレート
３１  ノズル
３２  ドライバ
３３、４４、４５  電極パッド
３４  共通配線
３５  出力端子
３６  絶縁膜
４０  圧力室形成プレート
４１  振動板
４２  圧力室形成基板
４３  圧力室
５０  圧電素子
５４  個別配線
６０  絞り流路形成プレート
７０  マニホールド流路形成プレート
８１、８２、８３、８４  バンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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