(57)【要約】【課題】ワークの乾燥を良好かつ迅速に行うことができる吸引乾燥装置を提供すること。【解決手段】本発明の吸引乾燥装置は、ワークを収納する収納部と、前記収納部内の空気を吸引して前記ワークを乾燥させる吸引部と、前記収納部に空気を供給する供給部と、を備えることを特徴とする。また、前記収納部に空気が流入する流入口に向う異物を補足するフィルター部材を備える。前記フィルター部材は、前記供給部からの空気が流入するとともに外気が流入する部材である。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを収納する収納部と、
前記収納部内の空気を吸引して前記ワークを乾燥させる吸引部と、
前記収納部に空気を供給する供給部と、を備えることを特徴とする吸引乾燥装置。
【請求項２】
前記収納部に空気が流入する流入口に向う異物を補足するフィルター部材を備える請求項１に記載の吸引乾燥装置。
【請求項３】
前記フィルター部材は、前記供給部からの空気が流入するとともに外気が流入する部材である請求項２に記載の吸引乾燥装置。
【請求項４】
前記収納部は、前記ワークを出し入れする開口部を有し、
前記フィルター部材は、前記開口部を塞ぐ立体形状をなしている請求項２または３に記載の吸引乾燥装置。
【請求項５】
前記フィルター部材は、前記供給部からの空気が流入するメッシュ状の第１領域と、外気が流入するメッシュ状の第２領域とを有する請求項４に記載の吸引乾燥装置。
【請求項６】
前記供給部は、前記フィルター部材に接続される送風口を有し、
前記フィルター部材のうち前記送風口に接続された部分が、前記第１領域であり、前記フィルター部材のうち前記第１領域以外の部分のうちの少なくとも一部が前記第２領域である請求項５に記載の吸引乾燥装置。
【請求項７】
前記供給部は、前記吸引部から排出される排気を前記収納部に循環させて供給する循環路を有する請求項１ないし６のいずれか１項に記載の吸引乾燥装置。
【請求項８】
前記供給部は、前記収納部に向って送風する送風機を有する請求項１ないし６のいずれか１項に記載の吸引乾燥装置。
【請求項９】
前記収納部は、前記吸引部に接続された第１収納部と、前記第１収納部に対し挿入・離脱可能に構成され、少なくとも一部が通気性を有する第２収納部とを有する請求項１ないし８のいずれか１項に記載の吸引乾燥装置。
【請求項１０】
吸引乾燥装置は、めっき処理で前記ワークに付着しためっき液、前記めっき処理の前処理で前記ワークに付着した洗浄液および前記めっき処理の後処理で前記ワークに付着した洗浄液からなる群より選択される少なくとも１種を除去する請求項１ないし９のいずれか１項に記載の吸引乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸引乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種金属部品等の被めっき物（ワーク）にめっき処理を施す際に用いられるめっき装置として、回転型のバレルめっき装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このバレルめっき装置を用いてめっき処理を行う場合には、まずメッシュ状の側壁を有するバレル内に、複数の被めっき物を収容し、この収容状態で、被めっき物をバレルごとめっき槽内のめっき液に含浸する。
【０００４】
そして、めっき液に陽極を浸漬するとともに、バレル内に陰極を挿入してめっき液に含浸する。そして、バレルを回転させつつ、陰極と陽極との間に電流を流す。バレル内で、陰極が被めっき物に接触することにより、被めっき物が負に帯電して、めっきによる被膜が形成される。
【０００５】
めっき処理が完了すると、被めっき物に付着しているめっき液を除去する、すなわち、被めっき物を乾燥させる工程に移行する。この乾燥の際、特許文献１では、バレルの外側からバレル内の被めっき物を吸引することにより乾燥させる吸引装置を用いることが開示されている。
【０００６】
特許文献１の乾燥装置は、吸引源と接続された吸引口と、吸引口を覆うように配置された筒状の支持部とを有し、支持部内にバレルを設置した状態において吸引を行う。この吸引により気流を発生させ、この気流によってめっき液を除去し、被めっき物を乾燥させる。
【０００７】
しかしながら、例えば、被めっき物のサイズや、被めっき物のバレルに対する充填量や、バレルのメッシュサイズ等によっては、バレル内で気流が発生しない部分が生じる可能性が有る。この場合、乾燥が不十分な被めっき物が発生したり、全体を確実に乾燥させるために必要以上に時間がかかってしまったりする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許６２０９６６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、ワークの乾燥を良好かつ迅速に行うことができる吸引乾燥装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような目的は、下記（１）〜（１０）の本発明により達成される。
（１）
ワークを収納する収納部と、
前記収納部内の空気を吸引して前記ワークを乾燥させる吸引部と、
前記収納部に空気を供給する供給部と、を備えることを特徴とする吸引乾燥装置。
【００１１】
（２）
前記収納部に空気が流入する流入口に向う異物を補足するフィルター部材を備える上記（１）に記載の吸引乾燥装置。
【００１２】
（３）
前記フィルター部材は、前記供給部からの空気が流入するとともに外気が流入する部材である上記（２）に記載の吸引乾燥装置。
【００１３】
（４）
前記収納部は、前記ワークを出し入れする開口部を有し、
前記フィルター部材は、前記開口部を塞ぐ立体形状をなしている上記（２）または（３）に記載の吸引乾燥装置。
【００１４】
（５）
前記フィルター部材は、前記供給部からの空気が流入するメッシュ状の第１領域と、外気が流入するメッシュ状の第２領域とを有する上記（４）に記載の吸引乾燥装置。
【００１５】
（６）
前記供給部は、前記フィルター部材に接続される送風口を有し、
前記フィルター部材のうち前記送風口に接続された部分が、前記第１領域であり、前記フィルター部材のうち前記第１領域以外の部分のうちの少なくとも一部が前記第２領域である上記（５）に記載の吸引乾燥装置。
【００１６】
（７）
前記供給部は、前記吸引部から排出される排気を前記収納部に循環させて供給する循環路を有する上記（１）ないし（６）のいずれかに記載の吸引乾燥装置。
【００１７】
（８）
前記供給部は、前記収納部に向って送風する送風機を有する上記（１）ないし（６）のいずれかに記載の吸引乾燥装置。
【００１８】
（９）
前記収納部は、前記吸引部に接続された第１収納部と、前記第１収納部に対し挿入・離脱可能に構成され、少なくとも一部が通気性を有する第２収納部とを有する上記（１）ないし（８）のいずれかに記載の吸引乾燥装置。
【００１９】
（１０）
吸引乾燥装置は、めっき処理で前記ワークに付着しためっき液、前記めっき処理の前処理で前記ワークに付着した洗浄液および前記めっき処理の後処理で前記ワークに付着した洗浄液からなる群より選択される少なくとも１種を除去する上記（１）ないし（９）のいずれかに記載の吸引乾燥装置。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、バレルめっき装置を示す斜視図である。
【図２】図２は、ワークの一例であるプローブピンの側面図である。
【図３】図３は、本発明の吸引乾燥装置（第１実施形態）の側面図である。
【図４】図４は、図３に示す吸引乾燥装置の縦断面図である。
【図５】図５は、図３に示す吸引乾燥装置の一部分解側面図である。
【図６】図６は、図３に示す吸引乾燥装置が備えるフィルター部材および供給部の接続部の縦断面図である。
【図７】図７は、図３中矢印Ａ方向から見た図である。
【図８】図８は、本発明の吸引乾燥装置（第２実施形態）の側面図（一部縦断面図）である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の吸引乾燥装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２２】
＜第１実施形態＞
図１は、バレルめっき装置を示す斜視図である。図２は、ワークの一例であるプローブピンの側面図である。図３は、本発明の吸引乾燥装置（第１実施形態）の側面図である。図４は、図３に示す吸引乾燥装置の縦断面図である。図５は、図３に示す吸引乾燥装置の一部分解側面図である。図６は、図３に示す吸引乾燥装置が備えるフィルター部材および供給部の接続部の縦断面図である。図７は、図３中矢印Ａ方向から見た図である。
【００２３】
また、図１〜図６（図８についても同様）の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。
【００２４】
図１に示すバレルめっき装置１０は、めっき液２００が貯留された図示しないめっき液槽上に配置され、ワーク１００（被めっき物）に対して、めっきによる被膜を形成する（以下、単に「めっき処理を施す」とも言う）、すなわち、めっき処理を行う装置である。
【００２５】
図３〜図５に示す吸引乾燥装置１は、ワーク１００に付着している液体（付着液）を除去するものである。すなわち、吸引乾燥装置１は、めっき処理でワーク１００に付着しためっき液２００、めっき処理の前処理でワーク１００に付着した洗浄液およびめっき処理の後処理で前記ワークに付着した洗浄液からなる群より選択される少なくとも１種を除去するものである。これにより、めっき処理および乾燥処理を迅速に行うことができる。
【００２６】
なお、以下では、一例として、ワーク１００にめっき液２００が付着しており、このめっき液２００を除去する場合について説明する。
【００２７】
吸引乾燥装置１を説明するのに先立って、まず、ワーク１００、めっき液２００およびバレルめっき装置１０について中心的に説明する。
【００２８】
［ワーク］
図２に示すワーク１００は、例えば、ＢＧＡ（Ball Grid Array）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）、ＣＭＯＳ（Complementary MOS）およびＣＣＤ（Charge Coupled Device）」等のＩＣデバイスの電気的特性を検査する検査装置において、ＩＣデバイスの端子と接触するプローブピンに用いられる部品である。
【００２９】
図２に示すワーク１００は、両端が開口した円筒状の本体部１０１と、各開口に挿入された一対の接触端子１０２と、各接触端子１０２を連結し、各接触端子１０２を互いに離間する方向に付勢するバネ１０３とを有する。
【００３０】
各接触端子１０２の外径（平均外径）は、本体部１０１の外径（平均外径）よりも小さい。このため、ワーク１００全体で見たとき、その外周部には、段差部が形成されることとなる。
【００３１】
また、ワーク１００は、例えば、全長が０．１ｍｍ以上、２０ｍｍ以下であり、最大外径が、０．０５ｍｍ以上、５ｍｍ以下である。このように、ワーク１００は、全長が比較的短く、外径が比較的小さく、さらに、外周部に段差部が形成された部品、すなわち、微細な部品である。
【００３２】
このような微細なワーク１００を乾燥させる際、従来の吸引乾燥機では、ワーク１００の隅々まで乾燥させるのが難しかったり、各ワーク１００全体を十分に乾燥させるのに比較的時間がかかってしまうが、本発明では、良好かつ迅速に乾燥させることができる。すなわち、ワーク１００が微細な部品であった場合、本発明の効果がより顕著に現れる。
【００３３】
ワーク１００の構成材料としては、例えば、ベリリウム銅、リン青銅等の銅合金やタングステン、パラジウム合金（パラジウムに銀を添加したもの等）、炭素鋼、ステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ３０２、ＳＵＳ３０４等）、コバルト・ニッケル・クロム合金等の各種金属材料が挙げられる。
【００３４】
［めっき液］
めっき液２００としては、例えば、金、銀、銅、ニッケル、クロム、コバルト、スズ、亜鉛、ロジウム、ルテニウム等の金属イオン等を含有するものが挙げられる。
【００３５】
また、めっき液２００は、複数種の金属イオンを含有しており、合金めっき被膜の形成に用いられるものであってもよい。
【００３６】
めっき液２００は、形成すべき被膜により異なるが、例えば、金めっきを行う場合、シアン化金カリウム、シアン化ナトリウムおよび有機酸を含む液体や、亜硫酸金塩、亜硫酸ナトリウムおよび有機酸を含む液体を好適に用いることができる。
【００３７】
また、ニッケルめっきを行う場合には、硫酸ニッケル等のニッケル塩、無機塩、有機酸および光沢剤を含むめっき液を好適に用いることができる。
【００３８】
また、めっき液２００中には、例えば、還元剤（例えば、ジメチルアミンボラン等のホウ素化合物、アスコルビン酸、ヒドロキノン、次亜リン酸ナトリウム等）を含んでいてもよい。
【００３９】
めっき液２００の２５℃における粘度は、０．５ｍＰａ・ｓ以上、２．０ｍＰａ・ｓ以下であるのが好ましく、０．７ｍＰａ・ｓ以上、１．５ｍＰａ・ｓ以下であるのがより好ましい。
【００４０】
これにより、後述する乾燥工程を行う際、めっき液２００を気化し易くすることができ、良好かつ迅速な乾燥に寄与する。
【００４１】
なお、本明細書において、粘度の値としては、振動式粘度計を用いて２５℃で測定して求められる値を採用することができ、特に、ＪＩＳ  Ｚ８８０９に準拠して２５℃で測定して求められる値を採用することができる。
【００４２】
また、前述した洗浄液としては、例えば、水、酸性溶液、アルカリ性溶液および有機溶剤等が挙げられる。これらの洗浄液に関しても、前述したような粘度とすることにより、良好かつ迅速な乾燥に寄与する。
【００４３】
［バレルめっき装置］
図１に示すように、バレルめっき装置１０は、装置本体２０と、バレル３０と、回転駆動部４０と、陽極５０と、陰極６０と、を備えている。
【００４４】
（装置本体）
図１に示すように、装置本体２０は、底板２０１と、天板２０２と、底板２０１および天板２０２の端部（図１および図２中右側の端部）同士を連結する円柱状の連結部２０３と、を有している。
底板２０１は、長尺な板材で構成され、バレル３０および回転駆動部４０を支持する。
【００４５】
バレルめっき装置１０では、連結部２０３側から回転駆動部４０およびバレル３０の順で並んで配置されている。
【００４６】
回転駆動部４０は、駆動源であるモーター４０１と、モーター４０１に連結されたギア４０２と、ギア４０２と噛合するギア４０３と、ギア４０３と噛合するギア４０４と、を有する。これにより、モーター４０１の回転力をギア４０２、ギア４０３およびギア４０４の順に伝達することができる。ギア４０４には、バレル３０が着脱自在に固定される。
【００４７】
（バレル）
図１に示すバレル３０は、ワーク１００を収納する部分であり、開口部３０１を有する有底筒状のバレル本体３０２を有している。
【００４８】
バレル本体３０２は、各側壁および底部に窓部３０３を有し、該窓部３０３には、メッシュ３０４（網状体）が設けられている。
【００４９】
これにより、バレル本体３０２をめっき液２００に浸漬した状態（以下、この状態を「浸漬状態」と言う）では、めっき液２００がメッシュ３０４を介して出入りすることができる。
【００５０】
また、メッシュ３０４の目開きの大きさは、バレル３０内のワーク１００が、メッシュ３０４を介して外側に流出してしまうのを防止する程度の大きさとなっている。
【００５１】
メッシュ３０４は、縦糸と横糸とが交互に編み込まれた構成（平織、綾織、平畳折、綾畳折等）や、バレル本体３０２の側壁に貫通孔を形成した構成や、成形型を用いて成形された成形体（貫通孔を有する成形体）とすることができ、これらの形態を総称してメッシュ（網状体）と言う。
【００５２】
なお、前記貫通孔の形状は、特に限定されず、円形、多角形（例えば、四角形）や楕円等、いかなる形状であってもよい。
【００５３】
メッシュ３０４の目開きの幅（最大幅）は、０．０２ｍｍ以上、０．３ｍｍ以下であるのが好ましく、０．０５ｍｍ以上、０．０８ｍｍ以下であるのがより好ましい。
【００５４】
これにより、ワーク１００の大きさ（最大外径や長さ）や形状等にもよるが、メッシュ３０４を介して外側に流出してしまうのを効果的に防止することができるとともに、めっき液２００がメッシュ３０４の目開きを介して十分に出入りすることができる。
【００５５】
メッシュ３０４の目開きの面積は、０．０００４ｍｍ２以上、０．０９ｍｍ２以下であるのが好ましく、０．００２５ｍｍ２以上、０．００６４ｍｍ２以下であるのがより好ましい。
【００５６】
これにより、ワーク１００の大きさ（最大外径や長さ）や形状等にもよるが、メッシュ３０４を介して外側に流出してしまうのを効果的に防止することができるとともに、めっき液２００がメッシュ３０４を介して十分に出入りすることができる。
【００５７】
メッシュ３０４の構成材料は、特に限定されないが、アクリル系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル等の各種樹脂材料や、ステンレス鋼等の各種金属材料等が挙げられる。
【００５８】
また、メッシュ３０４には、例えば、プラズマ処理、ポリテトラフルオロエチレン等のフッ素系材料や、シリコーン系樹脂等による表面処理が施されたものであってもよい。
【００５９】
また、バレル本体３０２の最大内径は、３０ｍｍ以上、２００ｍｍ以下であるのが好ましく、５０ｍｍ以上、１５０ｍｍ以下であるのがより好ましい。
【００６０】
また、バレル本体３０２の長さ（中心軸Ｏ方向の長さ）は、５０ｍｍ以上、２００ｍｍ以下であるのが好ましく、１００ｍｍ以上、１５０ｍｍ以下であるのがより好ましい。
【００６１】
また、バレル本体３０２の容積（最大容積）は、３５ｃｍ３以上、５５００ｃｍ３以下であるのが好ましく、２００ｃｍ３以上、２５００ｃｍ３以下であるのがより好ましい。
【００６２】
また、バレル３０に収納されるワーク１００の個数は、特に限定されず、例えば、１個以上、１０００００個以下とされ、好ましくは、１０００個以上、６００００個以下とされる。
【００６３】
また、バレル本体３０２の容量に対する、各ワーク１００の体積の総和は、０．０１％以上、３０％以下であるのが好ましく、５％以上、２０％以下であるのがより好ましい。
【００６４】
また、バレル３０の回転速度は、３ｒｐｍ以上、５０ｒｐｍ以下であるのが好ましく、４ｒｐｍ以上、２０ｒｐｍ以下であるのがより好ましい。
【００６５】
また、バレル３０が装置本体２に対して着脱自在に構成されていることにより、例えば、ワーク１００のめっき（めっき工程）が完了し、ワーク１００に付着しているめっき液２００を洗浄する洗浄工程や、ワーク１００の乾燥を行う乾燥工程に移行する際、バレル３０のみを装置本体２から離脱させて、即座に洗浄工程を行うことができる。
【００６６】
すなわち、めっき工程が完了した後に、めっき液槽から装置本体２を離脱させるという行為を省略することができる。その結果、ワーク１００の洗浄を円滑かつ迅速に行うことができる。
【００６７】
なお、めっき工程が完了した後、浸漬状態が比較的長くなると、めっき液２００の組成によっては、ワーク１００に形成された被膜に不具合が生じる可能性がある。バレル３０が装置本体２に対して着脱自在に構成されていることにより、バレル３０に対するワーク１００の出し入れを、離脱状態で行うことができるため、容易かつ迅速に行うことができ、このような不具合も防止することができる。
【００６８】
（陽極および陰極）
図１に示すように、バレルめっき装置１０は、陽極５０と、陰極６０と、を有している。陽極５０は、めっき液槽の任意の位置（バレル３０の外側）に設置されている。
【００６９】
陰極６０は、可撓性を有し、天板２０２に連結された支持棒２０４から延出する長尺体で構成されている。また、陰極６０は、その長手方向の途中が、支持棒２０４によって支持されている。陰極６０が可撓性を有していることにより、陰極６０を変形させて陰極６０の先端部の位置の微調整を行うことができる。
【００７０】
図１に示す浸漬状態で陽極５０および陰極６０に対して、図示しない電圧印加手段によって電圧を印加し、バレル３０内では、陰極６０がワーク１００に接触することにより、ワーク１００が負に帯電して、めっき被膜が形成され、ワーク１００に対してめっき処理がなされる。
【００７１】
このようなバレルめっき装置１０によって、ワーク１００に対してめっき処理が施された後に、図３〜図７に示す吸引乾燥装置１によって、ワーク１００を乾燥させる乾燥工程が行われる。
【００７２】
［吸引乾燥装置］
図３〜図５に示すように、吸引乾燥装置１は、装置本体２と、ワーク１００をバレル３０ごと収納する収納部３と、吸引を行う吸引部４と、収納部３に空気を供給する供給部５と、フィルター部材６とを有する。
【００７３】
（装置本体）
装置本体２は、筐体２１を有し、その内部に図示しない電力供給部や、吸引部４のファン４１や、フィルター４２等を収納する。
【００７４】
筐体２１は、その内部が仕切り板２１１によって上下に仕切られている。図３〜図５中、仕切り板２１１よりも上側が内部空間Ｓ１であり、仕切り板２１１よりも下側が内部空間Ｓ２である。
【００７５】
また、仕切り板２１１は、その厚さ方向に貫通する貫通孔２１２を有している。この貫通孔２１２を介して内部空間Ｓ１と内部空間Ｓ２とは、連通している。内部空間Ｓ１は、後述する循環路３００の一部を構成している。内部空間Ｓ２は、後述する吸引管４３を介して収納部３と連通している。
【００７６】
（吸引部）
吸引部４は、ファン４１と、フィルター４２と、吸引管４３とを有する。
【００７７】
ファン４１は、内部空間Ｓ２に陰圧を発生させる吸引源である。ファン４１は、複数の羽根４１１を有し、これらが中心で連結されている。
【００７８】
ファン４１が回転することにより、内部空間Ｓ２から内部空間Ｓ１に空気が吸引される。このファン４１は、図示しない電力供給部に接続されており、図示しないスイッチのＯＮ／ＯＦＦによってその作動が制御される。
【００７９】
フィルター４２は、内部空間Ｓ２内に設置された有底筒状の部材である。フィルター４２は、空気の通過は許容するが、例えば埃等の異物の通過を防止または抑制する。このフィルター４２によれば、内部空間Ｓ２内に異物が混入してきたとしても、該異物を補足することができ、ファン４１に異物が向うのを防止することができる。
【００８０】
また、吸引管４３は、一端部４３１が筐体２１の側壁に設けられた貫通孔２１３を介して筐体２１に接続されている。この貫通孔２１３は、仕切り板２１１よりも下方に設けられている。このため、吸引管４３と内部空間Ｓ２とが連通している。
【００８１】
また、吸引管４３は、他端部４３２が、収納部３と接続されている。このため、筐体２１の内部と収納部３の内部とが連通し、よって、ファン４１の回転により生じた吸引力によって、収納部３内を吸引することができる。
【００８２】
吸引管４３は、横断面形状が円形をなしており、その内径は、５ｃｍ以上、３０ｃｍ以下であるのが好ましく、１０ｃｍ以上、２０ｃｍ以下であるのがより好ましい。これにより、ワーク１００を良好かつ迅速に乾燥させるために必要なファン４１の回転力（吸引力）が増大しすぎるのを防止することができる。
【００８３】
なお、吸引管４３の横断面形状は、円形に限定されず、例えば、三角形、四角形、それ以上の多角形等であってもよい。
【００８４】
また、吸引管４３の横断面積は、２０ｃｍ２以上、７００ｃｍ２以下であるのが好ましく、７５ｃｍ２以上、３２０ｃｍ２以下であるのがより好ましい。これにより、ワーク１００を良好かつ迅速に乾燥させるために必要なファン４１の回転力（吸引力）が増大しすぎるのを防止することができる。
【００８５】
ファン４１が作動した状態において、バレル３０を収納していないときの収納部本体３１の中心部での空気の流速は、３ｍ／ｓ以上、２０ｍ／ｓ以下であるのが好ましく、５ｍ／ｓ以上、１２ｍ／ｓ以下であるのがより好ましい。これにより、ワーク１００を良好かつ迅速に乾燥させることができる。
【００８６】
（収納部）
収納部３は、有底筒状をなす収納部本体３１（第１収納部）と、前述したバレル３０（第２収納部）とを有している。この収納部本体３１の底部３１１には、貫通孔３１２が設けられており、該貫通孔３１２には、吸引管４３の他端部４３２が気密的に接続されている。
【００８７】
収納部本体３１は、バレル３０（第２収納部）を収納可能な程度の大きさ（内径および高さ）を有する。収納部本体３１にバレル３０を収納した収納状態において、ファン４１を作動させることにより、収納部本体３１内が吸引される。
【００８８】
この吸引の際、収納部本体３１内のバレル３０は、前述したようにメッシュ３０４を有しているため、バレル３０内も吸引することができる。よって、バレル３０内のワーク１００に付着しためっき液２００を除去する、すなわち、吸引によってワーク１００を乾燥させることができる。
【００８９】
このように、収納部３は、吸引部４の吸引管４３に接続された収納部本体３１（第１収納部）と、収納部本体３１に対し挿入・離脱可能に構成され、少なくとも一部が通気性を有するバレル３０（第２収納部）とを有する。
【００９０】
これにより、図１に示すようにバレルめっき装置１０でワーク１００にめっき処理を行った後、図５に示すようにワーク１００が収納されているバレル３０をそのまま収納部本体３１に挿入して迅速に乾燥工程に移行することができる。
【００９１】
（フィルター部材）
フィルター部材６は、収納部本体３１の上方の開口部３１３に着脱可能に装着される。すなわち、フィルター部材６は、図３および図４に示すような、収納部本体３１に装着された装着状態と、図５に示すような、収納部本体３１から離脱した離脱状態とをとり得る。
【００９２】
装着状態では、フィルター部材６は、開口部６１１が下を向いて、収納部３の開口部３１３を塞ぐように、収納部３と同心的に設置される。このフィルター部材６は、開口部３１３（流入口）に向う異物を補足する機能を有する。これにより、吸引状態において、収納部３に向う異物を補足することができる。
【００９３】
また、フィルター部材６は、円筒状（筒状）の第１フィルター６１（第１メッシュ）と、第１フィルター６１の上方の開口を塞ぐ第２フィルター６２（第２メッシュ）とを有する。また、第１フィルター６１は、下方に開口部６１１を有している。また、第１フィルター６１および第２フィルター６２は、メッシュ状をなしている。
【００９４】
このように、フィルター部材６は、開口部３１３を塞ぐ立体形状をなしている。これにより、後述するように、供給部５の排気管５１を接続してもフィルター部材６に外気が流入する部分を形成することができる。
【００９５】
換言すれば、フィルター部材６は、図７に示すように、供給部５からの空気が流入するメッシュ状の第１領域Ａ１と、外気が流入するメッシュ状の第２領域Ａ２とを有することとなる。フィルター部材６のうち接続口に接続された部分が、第１領域Ａ１であり、第１領域Ａ１とは異なる部分（第１領域Ａ１以外の部分）が第２領域Ａ２である。
【００９６】
このような構成によれば、後述するように、ワーク１００の乾燥をさらに良好かつ迅速に行うことができる。
【００９７】
また、図６に示すように、第１フィルター６１は、開口部６１１の縁部の外形および内径が縮径した縮径部６１２を有している。この縮径部６１２は、収納部本体３１内に入り込む部分である。
【００９８】
また、収納部本体３１の開口部３１３の縁部が、縮径部６１２の外周部に形成された段差部６１３と当接することにより、第１フィルター６１が収納部本体３１に挿入される挿入限界が規制される。
【００９９】
第２フィルター６２の上面、すなわち、第１フィルター６１とは反対側の面には、取っ手６３が設けられている、これにより、取っ手６３を把持してフィルター部材６の収納部３への着脱操作を容易に行うことができる。
【０１００】
なお、フィルター部材６を収納部３から離脱させた状態では、バレル３０を収納部本体３１に対して出し入れすることができる（図５参照）。
【０１０１】
このように、フィルター部材６は、第１フィルター６１の開口部６１１（他方の開口）が収納部３に接続されている。これにより、収納部３に流入する空気は、第１フィルター６１または第２フィルター６２を介して流入することとなる。すなわち、フィルター部材６を介さずに収納部３に空気が流入するのが防止された構成となっている。よって、吸引の際にワーク１００に異物が付着してしまうのを防止することができる。
【０１０２】
フィルター部材６のメッシュの部分の構成材料としては、上記機能を有するものであれば特に限定されず、例えば、樹脂材料、金属材料、ガラス等で構成された織布または不織布や、各種紙等が挙げられる。
【０１０３】
フィルター部材６のメッシュの部分のメッシュサイズ（最大メッシュサイズ）は、１０μｍ以下であるのが好ましく、８μｍ以下であるのがより好ましく、６μｍ以下であるのがさらに好ましい。これにより、例えば埃等の異物の通過をより確実に防止または抑制する。
【０１０４】
（供給部）
供給部５は、フィルター部材６を介して収納部３に空気を強制的に供給する機能を有する。本実施形態では、供給部５は、筐体２１から延出する排気管５１を有する。排気管５１は、筐体２１の、仕切り板２１１よりも上部に接続されている。このため、排気管５１の内部は、内部空間Ｓ１と連通している。この排気管５１の内部と内部空間Ｓ１とで循環路３００が構成される。
【０１０５】
また、排気管５１は、端部に排気口５２（供給口）を有している。図７に示すように、排気口５２の縁部は、第１フィルター６１の外周部の曲率と略同じ曲率で湾曲した形状をなしている。すなわち、排気口５２の開口面は、第１フィルター６１の外周部の曲率と略同じ曲率で、排気管５１の奥側に向って湾曲した湾曲形状をなしている。
【０１０６】
これにより、排気口５２は、フィルター部材６の第１フィルター６１に密着して接続される。よって、排気口５２から排出される排気（空気）がフィルター部材６内に効率よく供給される。
【０１０７】
このような吸引乾燥装置１では、ファン４１の作動により、収納部３内を吸引し、その吸引した空気が内部空間Ｓ２から内部空間Ｓ１に排気され、その排気は、排気管５１を介して排気口５２に向う。そして、排気口５２から排出された排気は、第１フィルター６１の内部に供給される。
【０１０８】
すなわち、吸引乾燥装置１では、収納部３、吸引管４３、内部空間Ｓ２、内部空間Ｓ１、排気管５１およびフィルター部材６を順に介して空気のサイクルが形成される。この空気のサイクルによって、外部の環境の影響を受けにくく、収納部３内のバレル３０内に安定的に気流を形成することができる。よって、ワーク１００のサイズや、ワーク１００の充填量や、バレル３０のメッシュサイズ等の影響を略受けることなく、各ワーク１００の隅々に気流がいきわたり、その結果、ワーク１００の乾燥を良好かつ迅速に行うことができる。
【０１０９】
また、本実施形態では、ファン４１の駆動源の熱で暖まった空気がフィルター部材６に供給されるため、ワーク１００の乾燥をより良好かつ迅速に行うことができる。
【０１１０】
さらに、ファン４１の作動状態では、フィルター部材６内には、排気管５１からの排気が流入するとともに、フィルター部材６のうち排気口５２と接続されていない部分からも空気（外気）が流入する。このため、吸気と排気とのバランスがとれていなかった場合であっても、外側から空気を補充することにより、上記空気のサイクルを安定させることができ、ワーク１００の乾燥をさらに良好かつ迅速に行うことができる。
【０１１１】
また、吸気と排気とのバランスがとれていなかった場合、ファン４１の駆動源に負荷がかかりすぎるおそれがあるが、外気が流入することにより、ファン４１の駆動源に負荷がかかりすぎることによる不具合を防止することができる。
【０１１２】
また、供給部５は、吸引部４から排出される排気を収納部３に循環させて供給する循環路３００を有する。すなわち、吸引により生じる排気をフィルター部材６への送風に利用する構成である。
【０１１３】
これにより、ファン４１が吸引した湿った空気を循環路３００を介して収納部３に供給することができる。よって、収納部３内の湿度が過剰に低下してしまうのを防止することができる。その結果、収納部３の湿度が過剰に低下することによる不具合を防止することができる。
【０１１４】
また、排気量が過剰に多くなるのを防止することができ、吸引乾燥装置１が設置される空間の気流が乱れるのを抑制することができる。よって、他の装置への排気の影響を緩和することができる。
【０１１５】
さらに、送風機を別途設けるのを省略することができ、循環路３００を設けるという簡単な構成で、本発明の効果を発揮することができる。
【０１１６】
また、フィルター部材６が排気口５２に接続されている（覆われている）部分の面積ｓ１と、フィルター部材６の外表面の面積ｓ２（メッシュの部分の面積の総和）との比ｓ１／ｓ２は、０．０５以上、０．７以下であるのが好ましく、０．１以上、０．４以下であるのがより好ましい。これにより、ワーク１００の乾燥をさらに良好かつ迅速に行うことができる。
【０１１７】
比ｓ１／ｓ２が小さすぎると、排気口５２から空気を供給することの効果が薄れてしまう可能性が有る。一方、比ｓ１／ｓ２が大きすぎると、フィルター部材６のうち排気口５２と接続されていない部分から空気を流入させることの効果が薄れてしまう可能性がある。
【０１１８】
また、前述したように、フィルター部材６は、筒状の第１フィルター６１と、第１フィルター６１の一方の開口（上側の開口）を塞ぐ第２フィルター６２とを有し、供給部５は、第１フィルター６１に接続されている。
【０１１９】
これにより、供給部５が第２フィルター６２に接続されている場合に比べて、排気管５１の設置位置を装置本体２に近づけることができる。よって、吸引乾燥装置１の小型化（低背化）を図ることができる。さらに、フィルター部材６の収納部３に対する着脱操作およびバレル３０の収納部本体３１に対する挿入・離脱操作を容易かつ円滑に行うことができる。
【０１２０】
このように、本発明は、ワーク１００を収納する収納部３と、収納部３内の空気を吸引して前記ワークを乾燥させる吸引部４と、収納部３に空気を供給する供給部５と、を備える。これにより、収納部３、吸引管４３、内部空間Ｓ２、内部空間Ｓ１、排気管５１およびフィルター部材６を順に介して空気のサイクルが形成される。この空気のサイクルによって、外部の環境の影響を受けにくく、収納部３内のバレル３０内に安定的に気流を形成することができる。よって、ワーク１００のサイズや、ワーク１００の充填量や、バレル３０のメッシュサイズ等の影響を略受けることなく、各ワーク１００の隅々に気流がいきわたり、その結果、ワーク１００の乾燥を良好かつ迅速に行うことができる。
【０１２１】
＜第２実施形態＞
図８は、本発明の吸引乾燥装置（第２実施形態）の側面図（一部縦断面図）である。
【０１２２】
以下、この図を参照して本発明の吸引乾燥装置の第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１２３】
図８に示すように、吸引乾燥装置１Ａでは、供給部５Ａは、送風機５３を有している。送風機５３は、筐体２１の天面に設けられており、送風口５３１と、ファン５３２と、ファン５３２を駆動する駆動源（図示せず）を有する。ファン５３２を回転駆動することにより、送風口５３１から空気が排出される。
【０１２４】
この送風機５３は、送風口５３１が後述する収納部３の供給口３２４の方向を向いて配置されている。
【０１２５】
収納部３は、本実施形態では、有底筒状の収納部本体３１と、収納部本体３１の開口部３１３に対して着脱自在に設けられた蓋体３２とを有する。
【０１２６】
収納部本体３１は、前述した第１実施形態と同様である。蓋体３２は、開口部３１３を覆う蓋体本体３２１と、蓋体本体３２１の中央部に設けられた貫通孔３２２に接続された配管３２３とを有する。
【０１２７】
配管３２３は、その長手方向の途中が屈曲しており、貫通孔３２２とは反対側の開口である供給口３２４が送風口５３１の方向を向いて対向している。また、本実施形態では、供給口３２４と送風口５３１とは、離間して設けられている。
【０１２８】
供給口３２４と送風口５３１との離間距離、すなわち、供給口３２４の開口面と送風口５３１の開口面との離間距離は、１ｃｍ以上、３０ｃｍ以下であるのが好ましく、４ｃｍ以上、１５ｃｍ以下であるのがより好ましい。これにより、後述するように、吸気と排気のバランスを良くすることができる。
【０１２９】
また、本実施形態では、フィルター部材６Ａは、シート状をなすメッシュで構成されており、供給口３２４を覆うように設けられている。
【０１３０】
また、本実施形態では、筐体２１には、排気口２１０が設けられている。この排気口２１０は、筐体２１の側部のうち、吸引管４３が接続されている部分と反対側に設けられている。吸引部４によって吸引された空気は、排気口２１０から排出される。
【０１３１】
このような吸引乾燥装置１Ａによれば、供給部５Ａは、収納部３に向って送風する送風機５３を有するため、吸引によって収納部３、吸引管４３、筐体２１内および排気口２１０を介して空気の流れが形成されるとともに、送風機５３から空気が供給され続ける。
【０１３２】
これにより、外部の環境の影響を受けにくく、収納部３内のバレル３０内に安定的に気流を形成することができる。よって、ワーク１００のサイズや、ワーク１００の充填量や、バレル３０のメッシュサイズ等の影響を略受けることなく、各ワーク１００の隅々に気流がいきわたり、その結果、ワーク１００の乾燥を良好かつ迅速に行うことができる。
【０１３３】
供給部５Ａは、フィルター部材６Ａとは離間して設けられ、フィルター部材６Ａに向って送風する送風口５３１を有する。このため、フィルター部材６Ａには、供給部５Ａからの空気が流入するとともに外気が流入する。よって、吸気と排気とのバランスがとれていなかった場合であっても、外側から空気を補充することにより、収納部３内での気流を安定させることができ、ワーク１００の乾燥をさらに良好かつ迅速に行うことができる。
【０１３４】
また、送風機５３内に温度調節部を設けることにより、収納部３に供給する空気の温度を調節することができる。
【０１３５】
以上、本発明の吸引乾燥装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、吸引乾燥装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１３６】
また、本発明の吸引乾燥装置は、前記各実施形態のうちの、任意の２つ以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【０１３７】
なお、前記第１実施形態では、供給部の供給口は、フィルター部材と接していたが、本発明ではこれに限定されず、フィルター部材内に空気を供給できれば離間していてもよい。
【０１３８】
また、本発明の吸引乾燥装置は、上記のようなバレルめっき装置と併せて用いる用途に限定されず、いかなるものを乾燥させるように用いてもよく、例えば、印刷物、塗装物、液状成分を含む造形物等の乾燥にも用いてもよい。
【符号の説明】
【０１３９】
１        吸引乾燥装置
１Ａ      吸引乾燥装置
２        装置本体
３        収納部
４        吸引部
５        供給部
５Ａ      供給部
６        フィルター部材
６Ａ      フィルター部材
１０      バレルめっき装置
２０      装置本体
２１      筐体
３０      バレル
３１      収納部本体
３２      蓋体
４０      回転駆動部
４１      ファン
４２      フィルター
４３      吸引管
５０      陽極
５１      排気管
５２      排気口
５３      送風機
６０      陰極
６１      第１フィルター
６２      第２フィルター
６３      取っ手
１００    ワーク
１０１    本体部
１０２    接触端子
１０３    バネ
２００    めっき液
２０１    底板
２０２    天板
２０３    連結部
２０４    支持棒
２１０    排気口
２１１    仕切り板
２１２    貫通孔
２１３    貫通孔
３００    循環路
３０１    開口部
３０２    バレル本体
３０３    窓部
３０４    メッシュ
３１１    底部
３１２    貫通孔
３１３    開口部
３２１    蓋体本体
３２２    貫通孔
３２３    配管
３２４    供給口
４０１    モーター
４０２    ギア
４０３    ギア
４０４    ギア
４１１    羽根
４３１    一端部
４３２    他端部
５３１    送風口
５３２    ファン
６１１    開口部
６１２    縮径部
６１３    段差部
Ａ１      第１領域
Ａ２      第２領域
Ｏ        中心軸
Ｓ１      内部空間
Ｓ２      内部空間
【図１】
2020020534.tif 000003
【図２】
2020020534.tif 000004
【図３】
2020020534.tif 000005
【図４】
2020020534.tif 000006
【図５】
2020020534.tif 000007
【図６】
2020020534.tif 000008
【図７】
2020020534.tif 000009
【図８】
2020020534.tif 000010