(57)【要約】【課題】脱泡ユニットにおいて、２つの液体用流路を有する場合における、一方の液体用流路内を流通する液体が他方の液体用流路側に漏洩することを抑制する。【解決手段】液体用流路を流通する液体中の気泡を除去する脱泡ユニットは、第１の開口と第２の開口とを有する液体用流路部材と、第３の開口を有する気体用流路部材と、気体を透過可能な弾性部材であって、第１の開口と第２の開口と第３の開口とを塞ぐ弾性部材と、を備え、第１の液体用流路内の気体を気体用流路へと透過させる第１の透過部と、第２の液体用流路内の気体を気体用流路へと透過させる第２の透過部と、第１の透過部と第２の透過部との間において、液体用流路部材と気体用流路部材とによって挟まれている領域と、を有する。【選択図】図２
2020032635.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体用流路を流通する液体中の気泡を除去する脱泡ユニットであって、
第１の液体用流路に連通する第１の開口と第２の液体用流路に連通する第２の開口とを有する液体用流路部材と、
気体を流通させる気体用流路に連通する第３の開口を有する気体用流路部材と、
気体を透過可能な弾性部材であって、前記液体用流路部材と前記気体用流路部材との間において、前記第１の開口と前記第２の開口と前記第３の開口とを塞ぐ弾性部材と、を備え、
前記弾性部材は、
前記第１の開口と前記第３の開口との間に位置し、前記第１の液体用流路と前記気体用流路とを区画し、かつ、前記第１の液体用流路内の気体を前記気体用流路へと透過させる第１の透過部と、
前記第２の開口と前記第３の開口との間に位置し、前記第２の液体用流路と前記気体用流路とを区画し、かつ、前記第２の液体用流路内の気体を前記気体用流路へと透過させる第２の透過部と、
前記弾性部材の面内方向における前記第１の透過部と前記第２の透過部との間において、前記液体用流路部材と前記気体用流路部材とによって挟まれている領域と、を有する、脱泡ユニット。
【請求項２】
液体用流路を流通する液体中の気泡を除去する脱泡ユニットであって、
第１の液体用流路に連通する第１の開口と第２の液体用流路に連通する第２の開口とを有する液体用流路部材と、
気体を流通させる気体用流路に連通する第３の開口を有する気体用流路部材と、
気体を透過可能な弾性部材であって、前記液体用流路部材と前記気体用流路部材との間において、前記第１の開口と前記第２の開口と前記第３の開口とを塞ぐ弾性部材と、を備え、
前記弾性部材は、
前記第１の開口と前記第３の開口との間に位置し、前記第１の液体用流路と前記気体用流路とを区画し、かつ、前記第１の液体用流路内の気体を前記気体用流路へと透過させる第１の透過部と、
前記第２の開口と前記第３の開口との間に位置し、前記第２の液体用流路と前記気体用流路とを区画し、かつ、前記第２の液体用流路内の気体を前記気体用流路へと透過させる第２の透過部と、
前記弾性部材の面内方向における前記第１の透過部と前記第２の透過部との間において、前記液体用流路部材と前記気体用流路部材とによって、前記気体用流路と前記第１の液体用流路及び前記第２の液体用流路とを結ぶ方向への変形が抑制されている領域と、を有する、脱泡ユニット。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の脱泡ユニットであって、
前記気体用流路部材には、前記気体用流路とポンプとを接続するための接続口が形成され、
前記気体用流路部材は、前記接続口から前記気体用流路内の気体が排出されるように構成される、脱泡ユニット。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の脱泡ユニットであって、
前記気体用流路部材は、前記第１の透過部と前記第２の透過部との間において、前記弾性部材に向かって延びる壁を有し、
前記壁のうち前記弾性部材側の先端には、凹部が形成され、
前記凹部は、前記弾性部材と前記壁との接触面において開口を形成する、脱泡ユニット。
【請求項５】
請求項４に記載の脱泡ユニットであって、
前記凹部は、互いに向き合うテーパー面であって、前記弾性部材が配置されている側に向かって互いの距離が漸増するテーパー面を有し、
前記弾性部材は、前記テーパー面によって定められる空間内に位置する突起部を有する、脱泡ユニット。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載の脱泡ユニットであって、
前記凹部によって形成される開口の幅方向における大きさは、前記凹部によって形成される開口の高さ方向における大きさより小さい、脱泡ユニット。
【請求項７】
請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の脱泡ユニットであって、
前記弾性部材は、前記液体用流路のうち、前記液体用流路部材と前記液体用流路部材以外の部材との接合部をシールする、脱泡ユニット。
【請求項８】
液体を外部へ吐出する液体吐出ヘッドであって、
請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の脱泡ユニットと、
前記脱泡ユニット内を流通する液体に外部に吐出するための動力を付与するエネルギー発生素子と、を備える、液体吐出ヘッド。
【請求項９】
液体吐出装置であって、
請求項８に記載の液体吐出ヘッドと、
動力源としてモーターを有し、前記液体吐出ヘッドから吐出された液体を受けるメディアを搬送する搬送機構と、を備える液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、脱泡ユニット、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体が流通する液体用流路である２つの液体供給路と、気体の流通が可能な状態で２つの液体供給路に接続されている減圧室と、液体供給路と減圧室との間に配置された隔壁と、を有する液体供給装置が知られている（例えば、特許文献１）。この液体供給装置において、２つの液体供給路と減圧室とは１つの隔壁によって区画されている。隔壁は、減圧室の減圧により、液体供給路から減圧室への気体の透過を許容するとともに、液体供給路から減圧室への液体の透過を規制するように構成されている。また、隔壁は、２つの液体供給路を隔てる壁に接するように配置され、２つの液体供給流路同士を連通しないように区画にしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−７６４１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
発明者らは、従来の技術において、減圧室の負圧を大きくした場合、隔壁の面積を大きくした場合、あるいは、隔壁の部材として弾性部材を採用した場合には、減圧室の減圧に伴って隔壁が変形するおそれがあることを見出した。隔壁が変形した場合には、隔壁の変形に伴って隔壁と２つの液体供給路を隔てる壁との間に隙間が生じるおそれがある。隙間が生じた場合には、２つの液体供給路間での液体の漏洩が生じ得る。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一形態によれば、液体用流路を流通する液体中の気泡を除去する脱泡ユニットが提供される。この脱泡ユニットは、第１の液体用流路と第２の液体用流路とを規定する第１の壁部であって、前記第１の液体用流路に連通する第１の開口と前記第２の液体用流路に連通する第２の開口とが形成されている第１の壁部、を有する液体用流路部材と、気体を流通させる気体用流路を規定する第２の壁部であって、前記気体用流路に連通する第３の開口が形成されている第２の壁部、を有する気体用流路部材と、気体を透過可能な弾性部材であって、前記液体用流路部材と前記気体用流路部材との間において、前記第１の開口と前記第２の開口と前記第３の開口とを塞ぐ弾性部材と、を備え、前記液体用流路部材と前記気体用流路部材とは、前記第３の開口が前記第１の開口の少なくとも一部及び前記第２の開口の少なくとも一部に対向するように配置され、前記弾性部材は、前記第１の開口と前記第３の開口との間に位置し、前記第１の液体用流路と前記気体用流路とを区画し、前記第１の液体用流路内の気体を前記気体用流路へと透過させる第１の透過部と、前記第２の開口と前記第３の開口との間に位置し、前記第２の液体用流路と前記気体用流路とを区画し、前記第２の液体用流路内の気体を前記気体用流路へと透過させる第２の透過部と、前記第１の透過部と前記第２の透過部との間において、前記液体用流路部材と前記気体用流路部材とによって挟まれている領域と、を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】液体吐出装置の内部構成を示す模式図。
【図２】第１実施形態におけるヘッドユニットの構成を示す模式図。
【図３】図２における３−３断面を示す模式断面図。
【図４】図２に示した４−４断面における断面図。
【図５】気体用流路内が減圧された際におけるヘッドユニットの様子を示す模式図。
【図６】比較例に係るヘッドユニットの模式図。
【図７】第２実施形態に係る脱泡ユニットの構造を説明するための模式図。
【図８】第１の他の実施形態に係るヘッドユニットの構造を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
Ａ．第１実施形態
Ａ１．液体吐出装置の構成
図１は、液体吐出装置１の内部構成を示す模式図である。液体吐出装置１は、いわゆるインクジェットプリンターであり、メディア２０上に液体としてのインクを吐出することでメディア２０に対して印刷を行う。メディア２０は、用紙や板材や布などの印刷媒体である。インクには、例えば、水性インクや溶剤インクを用いることができる。本実施形態において、インクは、水性インクが用いられている。図１には、互いに直交する３つの空間軸であるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸が描かれている。Ｘ軸に沿った方向をＸ軸方向とし、Ｙ軸に沿った方向をＹ軸方向とし、Ｚ軸に沿った方向をＺ軸方向とする。液体吐出装置１は、Ｘ軸方向とＹ軸方向によって規定されるＸＹ平面に対して平行な面に設置されている。−Ｚ軸方向が鉛直下方向であり、＋Ｚ軸方向が鉛直上方向である。以降に説明する他の図においても、必要に応じてＺ軸を付している。
【０００８】
液体吐出装置１は、外殻１０の内部に、メディア２０を搬送する搬送機構１５と、制御部１７と、キャリッジ１９と、キャリッジ１９に着脱可能に搭載される液体供給源３０と、を備える。搬送機構１５は、動力源としてモーターＭを有する。キャリッジ１９は、液体を外部へ吐出する液体吐出ヘッドとして機能するヘッドユニット１２を備える。制御部１７は、液体吐出装置１の各種動作、例えば印刷動作を制御する。本実施形態において、液体供給源３０は、内部に液体を収容可能な液体タンクである。
【０００９】
キャリッジ１９は、ヘッドユニット１２と、ヘッドユニット１２上に配置された装着部１１を有する。装着部１１は、例えば＋Ｚ軸方向が開口する凹形状であり、液体供給源３０が装着される装着空間を形成する。装着部１１は、装着空間を区画する下面から＋Ｚ軸方向側に突出する液体導入針部１１２を有する。液体導入針部１１２は、液体供給源３０に接続される。液体導入針部１１２は中空状であり、先端側に内部と連通する連通孔が形成されている。液体導入針部１１２の内部には、液体導入針部１１２の連通孔を介して液体供給源３０から供給される液体が流通する。ヘッドユニット１２は、液体導入針部１１２と連通し、液体供給源３０から供給された液体をメディア２０に対して吐出する。
【００１０】
Ａ２．液体吐出ヘッドユニットの構成
図２は、第１実施形態におけるヘッドユニット１２の構成を示す模式図である。ヘッドユニット１２は、脱泡ユニット１００と４つのヘッド１７０とを有する。本実施形態において、脱泡ユニット１００及びヘッド１７０は、一体化されている。通常の使用状態において、図２の紙面上側は＋Ｚ軸方向側であり、紙面下側は−Ｚ軸方向側である。
【００１１】
脱泡ユニット１００は、液体に含まれる気泡を除去する脱泡処理を行い、脱泡処理を行われた後の液体をヘッド１７０へと供給する。脱泡ユニット１００には、脱泡処理において用いられる圧力調節機構１９２が取り付けられている。脱泡ユニット１００は、液体用流路部材１２０と、気体用流路部材１４０と、弾性部材１６０と、を備える。本実施形態において、脱泡ユニット１００は、−Ｚ軸方向から＋Ｚ軸方向に向かって、液体用流路部材１２０と弾性部材１６０と気体用流路部材１４０との順で積層された構造を有する。なお、以下において、液体用流路部材１２０と弾性部材１６０と気体用流路部材１４０とが積層された方向を、積層方向と記載する。
【００１２】
液体用流路部材１２０は、第１の壁部１３０を有する。第１の壁部１３０は、液体用流路部材１２０の内部空間を区画し、第１の液体用流路１２２２及び第２の液体用流路１２２４を規定する。気体用流路部材１４０は、第２の壁部１５０を有する。第２の壁部１５０は、気体用流路部材１４０の内部空間を区画し、気体用流路１４２を規定する。
【００１３】
気体用流路部材１４０には、第１の液体用流路１２２２及び第２の液体用流路１２２４の一部が形成されていてもよい。本実施形態において、液体用流路部材１２０及び気体用流路部材１４０は、ポリプロピレン等の合成樹脂によって形成されている。
【００１４】
弾性部材１６０は、気体透過性を有するゴムによって形成された１枚の板状部材である。液体用流路部材１２０と気体用流路部材１４０とは、ネジやリベットを用いて互いに接合されている。弾性部材１６０は、液体用流路部材１２０と気体用流路部材１４０との間において、液体用流路部材１２０と気体用流路部材１４０とから付与される圧力によって固定されている。つまり、弾性部材１６０は、液体用流路部材１２０と気体用流路部材１４０とに挟持されている。なお、弾性部材１６０は、液体用流路部材１２０と気体用流路部材１４０とに接着されていてもよい。
【００１５】
ヘッド１７０は、脱泡ユニット１００から供給された液体をメディア２０（図１）に吐出する。ヘッド１７０は、液体を収容する不図示の内部空間が形成された本体部１７１と、脱泡ユニット１００から供給された液体を外部へと吐出するための開口であるノズル１７２と、エネルギー発生素子１７３と、を有する。エネルギー発生素子１７３は、脱泡ユニット１００内を流通する液体に外部に吐出するための動力を付与する。エネルギー発生素子１７３は、例えば、ピエゾアクチュエーターである。本実施形態において、ヘッド１７０には、ピエゾ方式が採用されている。ピエゾ方式のヘッド１７０は、ピエゾアクチュエーターを用いて本体部１７１内の容積を変動させることによって、ノズル１７２から液体を吐出する。
【００１６】
第１の液体用流路１２２２及び第２の液体用流路１２２４は、脱泡ユニット１００の内部に形成された流路であり、液体供給源３０から脱泡ユニット１００に供給された液体をヘッド１７０まで流通させる流路である。第１の液体用流路１２２２は、第１の液体供給流路１２４２と第１の液体貯留室１２６２とを有する。同様に、第２の液体用流路１２２４は、第２の液体供給流路１２４４と第２の液体貯留室１２６４とを有する。以下において、第１の液体用流路１２２２と第２の液体用流路１２２４との共通の構成及び効果が説明される場合には、第１の液体用流路１２２２及び第２の液体用流路１２２４は液体用流路１２２とも記載される。また、第１の液体供給流路１２４２及び第２の液体供給流路１２４４は、液体供給流路１２４とも記載される。また、第１の液体貯留室１２６２及び第２の液体貯留室１２６４は、液体貯留室１２６とも記載される。
【００１７】
液体供給流路１２４は、液体用流路１２２の上流側に位置する流路であり、液体供給源３０から供給される液体を液体貯留室１２６に流入させるための流路である。本実施形態において、液体供給流路１２４は、液体用流路部材１２０に形成された流路構造１２４ａと気体用流路部材１４０に形成された流路構造１２４ｂとが組み合わされることによって形成されている。
【００１８】
液体貯留室１２６は、ヘッド１７０に流入する液体を一時的に貯留する内部空間を有する。本実施形態において、液体貯留室１２６の内部空間は、円錐台形状である。
【００１９】
第１の壁部１３０は、液体用流路部材１２０において液体用流路１２２を規定する。第１の壁部１３０は、例えば、第１の液体用流路１２２２と第２の液体用流路１２２４とを区画する隔離壁１３４を有する。また第１の壁部１３０には、第１の開口部１３８２及び第２の開口部１３８４が形成されている。第１の開口部１３８２は、第１の壁部１３０のうち第１の液体用流路１２２２の液体貯留室１２６の天面側に形成されている。第１の開口部１３８２は、液体貯留室１２６の内部と外部とを連通させる。第２の開口部１３８４は、第１の壁部１３０のうち第２の液体用流路１２２４の液体貯留室１２６の天面側に形成されている。第２の開口部１３８４は、液体貯留室１２６の内部と外部とを連通させる。第１の開口部１３８２及び第２の開口部１３８４は、弾性部材１６０によって塞がれている。このため、液体貯留室１２６の天面の少なくとも一部は、弾性部材１６０によって規定されている。第１の壁部１３０のうち液体貯留室１２６の底面を規定する領域には、液体貯留室１２６とヘッド１７０とを連通させるための連通孔１２８が形成されている。本実施形態において、第１の液体貯留室１２６２と第２の液体貯留室１２６４とにそれぞれ２つのヘッド１７０が接続されている。このため、連通孔１２８は、第１の液体貯留室１２６２と第２の液体貯留室１２６４とのそれぞれ２つ形成されている。連通孔１２８に不図示のフィルターを配置して、液体貯留室１２６からヘッド１７０へ流れる液体を不図示のフィルターにより濾過してもよい。
【００２０】
隔離壁１３４は、第１の液体用流路１２２２と第２の液体用流路１２２４との間に位置に設けられている。隔離壁１３４は、液体用流路１２２の底面から＋Ｚ軸方向に延びる液体用流路１２２の側面を規定する壁である。隔離壁１３４の先端面は、弾性部材１６０に接している。
【００２１】
第２の壁部１５０は、気体用流路部材１４０において気体用流路１４２を規定する。第２の壁部１５０は、例えば、第１の規制壁１５４２と第２の規制壁１５４４とを有する。また第２の壁部１５０には、第３の開口部１５８が形成されている。第３の開口部１５８は、第２の壁部１５０のうち気体用流路１４２の底面側に形成されている。第３の開口部１５８は、気体用流路１４２の内部と外部とを連通させる。第３の開口部１５８は、第１の開口部１３８２の少なくとも一部と対向する位置に設けられ、かつ、第２の開口部１３８４の少なくとも一部と対向する位置に設けられている。このため、本実施形態において、第３の開口部１５８は、Ｚ軸方向に沿った方向から見た場合に、第１の開口部１３８２の少なくとも一部と、第２の開口部１３８４の少なくとも一部と、に重なる位置に形成されている。第３の開口部１５８は、弾性部材１６０によって塞がれている。このため、気体用流路１４２の底面の少なくとも一部は、弾性部材１６０によって規定されている。
【００２２】
第２の壁部１５０には、気体用流路１４２と圧力調節機構１９２とを接続するための接続口１４６が形成されている。接続口１４６は、第２の壁部１５０のうち気体用流路１４２の天面を規定する壁に形成されている。圧力調節機構１９２は、気体用流路１４２内の圧力を調節する。本実施形態において、圧力調節機構１９２は、ポンプであり、気体用流路１４２内の気体を吸引することによって気体用流路１４２内を減圧する。これにより、例えば気体用流路１４２内の圧力を第１の液体用流路１２２２及び第２の液体用流路１２２４内の圧力未満に調整する。圧力調節機構１９２によって吸引された気体は、外部へと排出される。本実施形態において、第２の壁部１５０に設けられた接続口１４６は、１つのみである。また、接続口１４６に接続された圧力調節機構１９２も、１つのみである。
【００２３】
弾性部材１６０は、液体用流路部材１２０と気体用流路部材１４０との間においてシール部材として機能し、液体用流路１２２内を流通する液体の漏洩を抑制する。例えば、液体供給流路１２４を形成する液体用流路部材１２０の流路構造１２４ａと気体用流路部材１４０の流路構造１２４ｂとの間の接合部は、弾性部材１６０によってシールされている。また例えば、第１の開口部１３８２及び第２の開口部１３８４の外縁において、液体用流路部材１２０と気体用流路部材１４０との間の接合部は、弾性部材１６０によってシールされている。弾性部材１６０は、弾性を有するため、液体用流路部材１２０と気体用流路部材１４０とによって押圧されることによって変形し、液体用流路部材１２０と気体用流路部材１４０との間をシールする。このため、弾性部材１６０は、接着等を行うことなく、容易にシールすることができる。
【００２４】
また、弾性部材１６０は、気体透過フィルターとして機能する第１の透過部１６２２と第２の透過部１６２４とを有する。気体透過フィルターとして機能するとは、液体用流路１２２と気体用流路１４２とを気体の流通が可能な状態であって、液体の流通が不可能な状態で接続することを意味する。第１の透過部１６２２は、弾性部材１６０のうち、積層方向における第３の開口部１５８と第１の開口部１３８２との間に位置し、第１の液体貯留室１２６２と気体用流路１４２とを区画する領域である。第２の透過部１６２４は、弾性部材１６０のうち、積層方向における第３の開口部１５８と第２の開口部１３８４との間に位置し、第２の液体貯留室１２６４と気体用流路１４２とを区画する領域である。第１の透過部１６２２は、気体用流路１４２内の圧力が第１の液体用流路１２２２内の圧力より小さい場合に、第１の液体用流路１２２２内、具体的には第１の液体貯留室１２６２内の気体を気体用流路１４２へと透過させる。第２の透過部１６２４は、気体用流路１４２内の圧力が第２の液体用流路１２２４内の圧力より小さい場合に、第２の液体用流路１２２４内、具体的には第２の液体貯留室１２６４内の気体を気体用流路１４２へと透過させる。以下において、第１の透過部１６２２と第２の透過部１６２４との共通の構成及び効果が説明される場合には、第１の透過部１６２２及び第２の透過部１６２４は透過部１６２とも記載される。
【００２５】
弾性部材１６０は、液体用流路１２２と気体用流路１４２との間における気体の移動を円滑にするために、予め定められた基準値以上の気体透過性を有している。本実施形態において、気体透過性は、５０μｍ厚の試験片における、気温摂氏２５度の環境下での酸素透過度を用いて評価される。本実施形態において、予め定められた基準値は、１０００００（ｃｃ・ｍ／（ｍ２ｄａｙ・ａｔｍ））以上の酸素透過度である。なお、弾性部材１６０の酸素透過度は、２０００００（ｃｃ・ｍ／（ｍ２ｄａｙ・ａｔｍ））以上であることが好ましく、５０００００（ｃｃ・ｍ／（ｍ２ｄａｙ・ａｔｍ））以上であることがより好ましい。本実施形態において、弾性部材１６０は、シリコーンゴムによって形成され、７０００００（ｃｃ・ｍ／（ｍ２ｄａｙ・ａｔｍ））以上の酸素透過度を有している。
【００２６】
図３は、図２における３−３断面を示す模式断面図である。図２及び図３に示した様に、第２の壁部１５０は、第１の開口部１３８２の周りに沿って形成された第１の規制壁１５４２と、第２の開口部１３８４の周りに沿って形成された第２の規制壁１５４４と、を有している。第１の規制壁１５４２及び第２の規制壁１５４４は、−Ｚ軸方向側の先端部の少なくとも一部によって、弾性部材１６０を押圧する。第１の規制壁１５４２及び第２の規制壁１５４４には、気体流通部１４４が形成されている。気体流通部１４４は、第１の規制壁１５４２及び第２の規制壁１５４４によって囲われた空間の内部と外部との間で気体を流通させるための開口を有する。このため、気体用流路１４２内において、第１の透過部１６２２側と第２の透過部１６２４側とにおける気体の流通が可能になる。以下において、第１の規制壁１５４２と第２の規制壁１５４４との共通の構成及び効果が説明される場合には、第１の規制壁１５４２及び第２の規制壁１５４４は規制壁１５４とも記載される。
【００２７】
図２に示す様に、本実施形態において、弾性部材１６０に対して規制壁１５４側とは反対側には、第１の壁部１３０が設けられている。第１の壁部１３０は、その一部に隔離壁１３４を含み、さらに、第１の壁部１３０の一部であって、液体貯留室１２６の側面を規定する壁を含む。このため、第１の開口部１３８２及び第２の開口部１３８４の周りにおいて、弾性部材１６０は、規制壁１５４と、隔離壁１３４を含む第１の壁部１３０の一部と、によって挟まれた領域１６８を有する。本実施形態において、挟まれた領域１６８を有するとは、弾性部材１６０が、規制壁１５４と第１の壁部１３０の一部との両方に接し、挟持されている状態を意味する。これにより、少なくとも第１の開口部１３８２及び第２の開口部１３８４の周りにおいて、弾性部材１６０の移動が抑制される。
【００２８】
図４は、図２に示した４−４断面における断面図である。図４に示す様に、第１の規制壁１５４２及び第２の規制壁１５４４には、凹部１５６が形成されている。凹部１５６は、先端部において壁の一部が欠けた形状を有し、弾性部材１６０との間に気体流通部１４４として機能する隙間を形成する。凹部１５６は、幅ｗ１より高さｈ１が大きい形状を有する。幅ｗ１とは、凹部１５６の幅方向における大きさを意味する。幅方向とは、本実施形態において、弾性部材１６０の表面に沿った方向である面内方向のうち、凹部１５６が形成された規制壁１５４の壁面に沿った方向を意味する。また、高さｈ１とは、凹部１５６の高さ方向における大きさを意味する。高さ方向とは、本実施形態において、弾性部材１６０の表面に直交する方向、つまりＺ軸方向である。凹部１５６の幅ｗ１が高さｈ１より大きいため、凹部１５６の形成に伴う、第１の規制壁１５４２によって押圧される弾性部材１６０の表面積の減少が抑制される。なお、第２の規制壁１５４４は、第１の規制壁１５４２と同様の構造を有している。
【００２９】
図５は、気体用流路１４２内が減圧された際におけるヘッドユニット１２の様子を示す模式図である。図５では、液体の流通方向は、実線によって描かれた矢印ｄ１によって示されている。また、気体の流通方向は、破線によって描かれた矢印ｄ２によって示されている。
【００３０】
液体は、液体供給源３０から供給されることによって液体供給流路１２４に流入する。液体供給流路１２４に流入した液体は、液体供給流路１２４の下流側へと流れ、液体貯留室１２６へと流入する。液体貯留室１２６に流入した液体は、一時的に液体貯留室１２６に留まった後に、ヘッド１７０に流入する。
【００３１】
液体内に含まれる気体の一部は、気泡として液体貯留室１２６に流入する。液体貯留室１２６に流入した気泡は浮力によって鉛直上方向（＋Ｚ軸方向）に移動する。気泡は、液面に到達した後に割れて消失する。液体貯留室１２６の天面、本実施形態において透過部１６２側には、液体とともに液体貯留室１２６に流入した気体が集められる。液体貯留室１２６内の気体は、透過部１６２を介して気体用流路１４２側に移動する。
【００３２】
本実施形態において、気体用流路１４２内の圧力は、圧力調節機構１９２によって、液体貯留室１２６内の圧力より小さくなるように調節される。この結果、液体貯留室１２６内の気体の気体用流路１４２側への移動を促進できる。これにより、液体貯留室１２６内の気体の排出が効率的に行われ、液体貯留室１２６内の気泡が除去される。このため、液体の流入に伴う液体用流路１２２からヘッド１７０への気泡の流入が抑制されるため、ヘッド１７０内に流入した気泡に起因する液体の吐出不良などの不具合の発生が抑制される。
【００３３】
気泡の発生は、例えば以下のような要因によって生じ得る。例えば、ヘッドユニット１２の温度上昇や環境温度の変化によって液体に溶存していた気体が析出することで気泡が発生する。また例えば、液体供給源３０の着脱による液体用流路１２２内への気体の混入や、ピエゾアクチュエーターから生じる超音波によるキャビテーション気泡の発生や、キャリッジ１９（図１）の移動に伴う液面の波立ちによって気泡が発生する場合もある。
【００３４】
脱泡ユニット１００は、圧力調節機構１９２による気体の吸引を常時行っていてもよく、また間欠的に行っていてもよい。本実施形態において、脱泡ユニット１００は、液体吐出装置１（図１）の電源が入れられてから電源が切られる間、圧力調節機構１９２による気体の吸引を常時実行している。これにより、気体の吸引を間欠的に実行する場合と比べて、ヘッド１７０への気泡の流入をより抑制できる。
【００３５】
図５に示す様に、気体用流路１４２内の圧力が減圧された場合には、気体用流路１４２側と液体用流路１２２側との圧力差によって弾性部材１６０に撓みが生じる。弾性部材１６０の撓みは、気体の流通が行われる透過部１６２において生じる。脱泡ユニット１００は、透過部１６２の周囲において、弾性部材１６０のうち一部の領域１６８が気体用流路部材１４０と液体用流路部材１２０とによって挟持された構造を有する。このため、弾性部材１６０に撓みが生じた場合であっても、気体用流路部材１４０と液体用流路部材１２０との間に位置する透過部１６２における弾性部材１６０の変形が抑制される。本実施形態において、透過部１６２における弾性部材１６０の変形とは、気体用流路部材１４０と液体用流路部材１２０とを結ぶ方向への変形を意味する。また、本実施形態において、気体用流路部材１４０と液体用流路部材１２０とを結ぶ方向は、概ねＺ軸方向に一致する。
【００３６】
Ａ３．比較例との比較
図６は、比較例に係るヘッドユニット４１２の模式図である。比較例に係るヘッドユニット４１２は、脱泡ユニット３００の構造において第１実施形態のヘッドユニット４１２と異なる。具体的には、比較例における脱泡ユニット３００に備えられた気体用流路部材３４０は、第１実施形態における気体用流路部材１４０（図２）が有する規制壁１５４に相当する構造を有していない。このため、比較例に係るヘッドユニット４１２において、弾性部材１６０は、透過部１６２の周囲で固定されていない。なお、以下において、第１実施形態の構成と同様の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００３７】
図６に示す様に、比較例に係るヘッドユニット４１２で気体用流路３４２内の圧力が減圧された場合には、気体用流路３４２側と液体用流路１２２側との圧力差によって弾性部材１６０に撓みが生じる。比較例における脱泡ユニット３００は、透過部１６２の周囲において、弾性部材１６０が気体用流路部材３４０と液体用流路部材１２０とによって挟持された構造を有していない。このため、弾性部材１６０に撓みが生じた場合には、気体用流路部材３４０と液体用流路部材１２０との間に位置する透過部１６２において弾性部材１６０の変形が生じる。図６に示す様に、比較例に係るヘッドユニット４１２では、弾性部材１６０の撓みによって、第１の液体用流路１２２２と第２の液体用流路１２２４とを隔てる隔離壁１３４の上部に隙間が生じ得る。これにより、気体用流路３４２内の圧力が減圧された場合においても、弾性部材１６０によるシールが維持されなくなるおそれがある。弾性部材１６０によるシールが維持されない場合には、第１の液体用流路１２２２と第２の液体用流路１２２４との間で、液体の漏洩が生じ得る。
【００３８】
以上説明した第１実施形態に係る脱泡ユニット１００によれば、弾性部材１６０は、第１の透過部１６２２と第２の透過部１６２４との間において、液体用流路部材１２０と気体用流路部材１４０とによって挟まれている領域を有する。このため、気体用流路１４２内の圧力が第１の液体用流路１２２２内及び第２の液体用流路１２２４内の圧力より小さい場合であっても、第１の液体用流路１２２２と第２の液体用流路１２２４との間において弾性部材１６０の変形が抑制される。これにより、気体用流路１４２内の圧力が減圧された場合においても、弾性部材１６０によるシールが維持される。したがって、弾性部材１６０の変形に起因して、第１の液体用流路１２２２と第２の液体用流路１２２４との間において、一方の液体用流路内を流通する液体が他方の液体用流路側に漏洩可能な隙間が形成されることを抑制できる。
【００３９】
また以上説明した第１実施形態に係る脱泡ユニット１００によれば、気体用流路１４２内の圧力は、第２の壁部１５０にもうけられた接続口１４６に取り付けられた１つの圧力調節機構１９２によって調節される。このため、複数の液体用流路部材１２０に含まれる気泡を脱泡する脱泡処理が、１つの圧力調節機構１９２を用いて行われる。これにより、脱泡処理が必要となる液体用流路毎に圧力調節機構１９２を設ける必要がない。したがって、液体用流路毎に圧力調節機構１９２を設ける場合と比べて、脱泡ユニット１００の省スペース化とコストの低減が可能である。また、接続口１４６を複数も受ける必要がないため、製造工程上の手間が低減される。
【００４０】
また以上説明した第１実施形態に係る脱泡ユニット１００によれば、第１の開口部１３８２と第２の開口部１３８４と第３の開口部１５８とは、１つの弾性部材１６０によって塞がれている。このため、第１の開口部１３８２と第２の開口部１３８４と第３の開口部１５８とを塞ぐために複数の弾性部材１６０が用いられる場合と比べて、製造コストが低減される。
【００４１】
Ｂ．第２実施形態
図７は、第２実施形態に係る脱泡ユニット２００の構造を説明するための模式図である。図７は、図４に示された断面に相当する脱泡ユニット２００の断面を示している。以下では、第１実施形態の構成と同様の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００４２】
図７に示す様に、第２実施形態に係る脱泡ユニット２００において、気体用流路部材２４０の構造、具体的には気体用流路部材２４０において形成されている凹部２５６の形状が第１実施形態に係る脱泡ユニット１００と異なる。また、第２実施形態に係る脱泡ユニット２００は、弾性部材２６０の形状が第１実施形態に係る脱泡ユニット１００と異なる。
【００４３】
凹部２５６は、互いに向き合うテーパー面２５７を有している。テーパー面２５７の互いの距離は、弾性部材２６０が配置されている側に向かって漸増する。本実施形態において、弾性部材２６０が配置されている側に向かう方向は、−Ｚ軸方向と概ね一致する。テーパー面２５７を有している場合において、凹部２５６の幅ｗ２は、互いに向き合うテーパー面２５７のＺ軸に垂直な平面における距離のうち最大の値である。本実施形態において、凹部２５６の下端におけるテーパー面２５７同士の距離である。
【００４４】
弾性部材２６０は、気体用流路部材２４０が配置されている側の表面において、液体用流路部材１２０側に突出した突起部２６７を有している。突起部２６７は、凹部２５６のテーパー面２５７によって規定される空間内に位置するように設けられている。テーパー面２５７によって規定される空間内に位置するとは、＋Ｚ軸方向側から見た場合に凹部２５６と突起部２６７の少なくとも一部とが重なる状態を意味する。突起部２６７とテーパー面２５７とは接していることが好ましい。本実施形態では、テーパー面２５７と突起部２６７とが接している。また本実施形態において、突起部２６７は、テーパー面２５７によって押圧された状態で、凹部２５６に嵌まっている。
【００４５】
以上説明した第２実施形態によれば、上記第１実施形態と同様の構成を有する点において、同様の効果を奏する。さらに第２実施形態に係る脱泡ユニット２００によれば、凹部２５６はテーパー面２５７を有し、弾性部材２６０はテーパー面２５７によって規定される空間内に位置するように設けられた突起部２６７を有する。このため、弾性部材２６０が減圧処理によって変形する場合であっても、突起部２６７がテーパー面２５７に接することによって変形が抑制される。また本実施形態において、突起部２６７は、テーパー面２５７によって押圧された状態で、凹部２５６に嵌まっている。これにより、弾性部材２６０は、規制壁１５４のうち凹部２５６が設けられていない部分に加え、テーパー面２５７からも押圧される。これにより、弾性部材２６０は、規制壁１５４によって押圧される面積が大きくなるので、変形が抑制される。したがって、弾性部材２６０の変形によって第１の液体用流路１２２２と第２の液体用流路１２２４との間において一方の液体用流路内を流通する液体が他方の液体用流路側に漏洩可能な隙間が形成されることをより効率的に抑制できる。
【００４６】
Ｃ．他の実施形態
Ｃ１．第１の他の実施形態
上記実施形態において、脱泡ユニット１００、２００において形成される流路構造は、複数の液体用流路１２２を有する限りにおいて、適宜変更可能である。例えば、上記実施形態では、複数の液体用流路１２２として２つの液体用流路１２２２、１２２４が形成されているが、これに限定されない。例えば、脱泡ユニット１００、２００には、３以上の液体用流路が形成されていてもよい。この場合において、第１の液体用流路１２２２は、脱泡ユニット１００、２００に設けられた３以上の液体用流路のうち任意の１つの液体用流路をとしてもよい。第２の液体用流路１２２４は、３以上の液体用流路のうち、複数の液体用流路が並ぶ方向から見た場合に第１の液体用流路１２２２に対して隣り合う位置に設けられた液体用流路であってもよい。脱泡ユニット１００、２００に３以上の液体用流路が形成されている場合には、各液体用流路に脱泡処理を実行するための開口部が設けられていても良い。
【００４７】
また、上記実施形態において、液体貯留室１２６が設けられているが、これに限定されない。例えば、液体貯留室１２６が設けられていなくてもよい。つまり、液体用流路１２２の途中には液体を一時的に貯留するための空間が設けられていなくても良い。この場合には、第１の開口部１３８２及び第２の開口部１３８４は、液体供給流路１２４の途中に設けられていてもよい。
【００４８】
図８は、第１の他の実施形態に係るヘッドユニット５１２の構造を示す模式図である。上記実施形態において、液体用流路部材１２０における液体供給流路１２４と液体貯留室１２６との位置関係は変更可能である。具体的には、例えば図８に示す様に、第１の液体貯留室１２６２と第２の液体貯留室１２６４との間に第１の液体供給流路１２４２及び第２の液体供給流路１２４４が設けられていてもよい。この場合において、隔離壁１３４は、第１の液体供給流路１２４２及び第２の液体供給流路１２４４を規定する領域を含む第１の液体貯留室１２６２と第２の液体貯留室１２６４との間の壁全体である。
【００４９】
Ｃ２．第２の他の実施形態
上記実施形態において、弾性部材１６０、２６０は、第１の透過部１６２２と第２の透過部１６２４との間において、液体用流路部材１２０と気体用流路部材１４０、２４０とによって挟まれている領域を有するが、これに限定されない。第１の透過部１６２２と第２の透過部１６２４との間において、気体用流路１４２と第１の液体用流路１２２２及び第２の液体用流路１２２４とを結ぶ方向への弾性部材１６０、２６０の変形が抑制されている限りにおいて、脱泡ユニット１００、２００の構造は、適宜変更可能である。例えば、弾性部材１６０、２６０のうち、第１の壁部１３０によって押圧される領域と第２の壁部１５０とによって押圧される領域とは、重なっていなくても良い。
【００５０】
Ｃ３．第３の他の実施形態
上記実施形態において、第２の壁部１５０は、単一の部材によって形成されているが、これに限定されない。例えば、第２の壁部１５０は、複数の部材によって構成されていてもよい。具体的には、第２の壁部１５０のうち規制壁１５４として機能する部分が他の部分と別体で形成されていても良い。
【００５１】
Ｃ４．第４の他の実施形態
上記実施形態において、気体用流路部材１４０、２４０は、１つの圧力調節機構１９２によって減圧されているが、圧力調節機構１９２の数は、これに限定されない。例えば、圧力調節機構１９２は、２以上であってもよい。この場合において、第１の透過部１６２２側と第２の透過部１６２４とにそれぞれ接続口１４６が設けられていてもよい。第１の透過部１６２２側と第２の透過部１６２４とにそれぞれ接続口１４６が設けられている場合には、気体用流路部材１４０、２４０は、第１の透過部１６２２側と第２の透過部１６２４とが連通した構造を有していなくてもよい。
【００５２】
Ｃ５．第５の他の実施形態
上記実施形態において、脱泡ユニット１００、３００は、接続口１４６から気体用流路１４２内の気体が排出されることによって、第１の液体用流路１２２２内の圧力及び第２の液体用流路１２２４内の圧力より小さい圧力を気体用流路１４２が有するように構成されている。しかし、脱泡ユニット１００、３００は、他の方法によって、第１の液体用流路１２２２内の圧力及び第２の液体用流路１２２４内の圧力より小さい圧力を気体用流路１４２が有するように構成されていてもよい。例えば、液体用流路１２２内の圧力を上昇させることによって、第１の液体用流路１２２２内の圧力及び第２の液体用流路１２２４内の圧力を、気体用流路部材１４０内の圧力より大きくしてもよい。この場合には、脱泡ユニット１００は、液体用流路１２２内の液体を圧送可能なポンプを備えても良い。
【００５３】
Ｃ６．第６の他の実施形態
上記実施形態において、弾性部材１６０、２６０は、気体透過性に加えて、液体用流路１２２の周囲における液体の漏洩を抑制するシール性を有している。しかし、弾性部材１６０、２６０は、シール性を有していなくてもよい。この場合には、液体用流路１２２の周囲における液体の漏洩は、他のシール部材によって抑制させてもよい。
【００５４】
Ｃ７．第７の他の実施形態
上記実施形態において、気体流通部１４４は、高さｈ１より幅ｗ１、ｗ２が大きい凹部１５６、２５６と弾性部材１６０、２６０との間に生じる隙間によって形成されている。しかし、気体流通部１４４の構造は、これに限定されない。例えば、気体流通部１４４は、高さより幅が大きい形状を有する凹部１５６、２５６と弾性部材１６０、２６０との間に生じる隙間によって形成されてもよい。また、凹部１５６、２５６と弾性部材１６０、２６０との間に形成される隙間であるが、これに限定されない。例えば、規制壁１５４に設けられた貫通孔であってもよい。
【００５５】
Ｃ８．第８の他の実施形態
上記実施形態において、第１の液体用流路１２２２と第２の液体用流路１２２４とには、それぞれ異なる液体供給源３０が接続されている。しかし、第１の液体用流路１２２２と第２の液体用流路１２２４とには、共通の液体供給源３０が接続されていても良い。
【００５６】
Ｃ９．第９の他の実施形態
上記実施形態において、第１の壁部１３０及び第２の壁部１５０は、中空状の壁を有していてもよい。この場合には、脱泡ユニット１００、２００の軽量化が可能である。
【００５７】
Ｃ１０．第１０の他の実施形態
上記実施形態において、ヘッド１７０には、ピエゾ方式が採用されている。しかし、ヘッド１７０は、これに限定されない。例えば、ピエゾ方式のヘッド１７０に代えて、サーマル式のヘッドが採用されていてもよい。この場合には、エネルギー発生素子１７３は、ヘッド内の液体を加熱する発熱体である。
【００５８】
Ｃ１１．第１１の他の実施形態
上記実施形態において、ヘッド１７０は、１つの液体貯留室１２６に対して２つ接続されているが、これに限定されない。例えば、１つの液体貯留室１２６に対して１つヘッド１７０が接続されていてもよい。また、例えば、１つの液体貯留室１２６に対して３つ以上のヘッド１７０が取り付けられていてもよい。
【００５９】
Ｃ．１２．第１２の他の実施形態
上記実施形態において、液体用流路部材１２０と気体用流路部材１４０との間におけるシール性は、液体用流路部材１２０と気体用流路部材１４０とによって押圧され弾性部材１６０によって確保されている。しかし、液体用流路部材１２０と気体用流路部材１４０との間におけるシール性の確保の方法は、これに限定されない。例えば、液体供給流路１２４を形成する液体用流路部材１２０の流路構造１２４ａと気体用流路部材１４０の流路構造１２４ｂとの間の接合部は、弾性部材１６０ではなく、接着剤等によってシールされていてもよい。また、例えば、弾性部材１６０に加えて接着剤等が用いられていてもよい。この場合には、弾性部材１６０における押圧による変形の度合いは、上記実施形態の場合より小さくてもよい。
【００６０】
以上説明した第１から第１２の他の実施形態であっても、上記実施形態と同様の構成を有する点において、同様の効果を奏する。
【００６１】
Ｃ１３．第１３の他の実施形態
本開示は、インクを吐出する液体吐出装置に限らず、インク以外の他の液体を吐出する任意の液体吐出装置にも適用することができる。例えば、以下のような各種の液体吐出装置に本開示は適用可能である。
（１）ファクシミリ装置等の画像記録装置。
（２）液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置。
（３）有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイや、面発光ディスプレイ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ、ＦＥＤ）等の電極形成に用いられる電極材吐出装置。
（４）バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を吐出する液体吐出装置。
（５）精密ピペットとしての試料吐出装置。
（６）潤滑油の吐出装置。
（７）樹脂液の吐出装置。
（８）時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を吐出する液体吐出装置。
（９）光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に吐出する液体吐出装置。
（１０）基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を吐出する液体吐出装置。
（１１）他の任意の微小量の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置。
【００６２】
なお、「液滴」とは、液体吐出装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう「液体」とは、液体吐出装置が消費できるような材料であればよい。例えば、「液体」は、物質が液相であるときの状態の材料であれば良く、粘性の高い又は低い液状態の材料、及び、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような液状態の材料も「液体」に含まれる。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなども「液体」に含まれる。液体の代表的な例としてはインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インク及び油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種の液体状組成物を包含するものとする。
【００６３】
本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【００６４】
（１）本開示の一形態によれば、液体用流路を流通する液体中の気泡を除去する脱泡ユニットが提供される。この脱泡ユニットは、第１の液体用流路に連通する第１の開口と第２の液体用流路に連通する第２の開口とを有する液体用流路部材と、気体を流通させる気体用流路に連通する第３の開口を有する気体用流路部材と、気体を透過可能な弾性部材であって、前記液体用流路部材と前記気体用流路部材との間において、前記第１の開口と前記第２の開口と前記第３の開口とを塞ぐ弾性部材と、を備え、前記弾性部材は、前記第１の開口と前記第３の開口との間に位置し、前記第１の液体用流路と前記気体用流路とを区画し、かつ、前記第１の液体用流路内の気体を前記気体用流路へと透過させる第１の透過部と、前記第２の開口と前記第３の開口との間に位置し、前記第２の液体用流路と前記気体用流路とを区画し、かつ、前記第２の液体用流路内の気体を前記気体用流路へと透過させる第２の透過部と、前記弾性部材の面内方向における前記第１の透過部と前記第２の透過部との間において、前記液体用流路部材と前記気体用流路部材とによって挟まれている領域と、を有する。
この形態の脱泡ユニットによれば、弾性部材は、第１の透過部と前第２の透過部との間において、液体用流路部材と気体用流路部材とによって挟まれている領域を有する。このため、弾性部材は、第１の液体用流路と第２の液体用流路との間において液体用流路部在と気体用流路部材とによって変形が抑制されている。これにより、気体用流路内の圧力が第１の液体用流路内及び第２の液体用流路内の圧力より小さい場合であっても、第１の液体用流路と第２の液体用流路との間における弾性部材の変形が抑制される。したがって、弾性部材の変形によって第１の液体用流路と第２の液体部材との間において一方の液体用流路内を流通する液体が他方の液体用流路側に漏洩可能な隙間が形成されることを抑制する。
【００６５】
（２）本開示の他の形態によれば、液体用流路を流通する液体中の気泡を除去する脱泡ユニットが提供される。この脱泡ユニットは、第１の液体用流路に連通する第１の開口と第２の液体用流路に連通する第２の開口とを有する液体用流路部材と、気体を流通させる気体用流路に連通する第３の開口を有する気体用流路部材と、気体を透過可能な弾性部材であって、前記液体用流路部材と前記気体用流路部材との間において、前記第１の開口と前記第２の開口と前記第３の開口とを塞ぐ弾性部材と、を備え、前記弾性部材は、前記第１の開口と前記第３の開口との間に位置し、前記第１の液体用流路と前記気体用流路とを区画し、かつ、前記第１の液体用流路内の気体を前記気体用流路へと透過させる第１の透過部と、前記第２の開口と前記第３の開口との間に位置し、前記第２の液体用流路と前記気体用流路とを区画し、かつ、前記第２の液体用流路内の気体を前記気体用流路へと透過させる第２の透過部と、前記弾性部材の面内方向における前記第１の透過部と前記第２の透過部との間において、前記液体用流路部材と前記気体用流路部材とによって、前記気体用流路と前記第１の液体用流路及び前記第２の液体用流路とを結ぶ方向への変形が抑制されている領域と、を有する。
この形態の脱泡ユニットによれば、弾性部材は、第１の透過部と前第２の透過部との間において、液体用流路部材と気体用流路部材とによって気体用流路と第１の液体用流路及び第２の液体用流路とを結ぶ方向への変形が抑制されている領域を有する。これにより、気体用流路内の圧力が第１の液体用流路内及び第２の液体用流路内の圧力より小さい場合であっても、第１の液体用流路と第２の液体用流路との間における弾性部材の変形が抑制される。したがって、弾性部材の変形によって第１の液体用流路と第２の液体部材との間において一方の液体用流路内を流通する液体が他方の液体用流路側に漏洩可能な隙間が形成されることを抑制する。
【００６６】
（３）上記形態において、前記気体用流路部材には、前記気体用流路とポンプとを接続するための接続口が形成され、前記気体用流路部材は、前記接続口から前記気体用流路内の気体が排出されるように構成されてもよい。この形態の脱泡ユニットによれば、ポンプを用いた気体用流路の減圧が可能である。
【００６７】
（４）上記形態において前記気体用流路部材は、前記第１の透過部と前記第２の透過部との間において、前記弾性部材に向かって延びる壁を有し、前記壁のうち前記弾性部材側の先端には、凹部が形成され、前記凹部は、前記弾性部材と前記壁との接触面において開口を形成してもよい。この形態の脱泡ユニットによれば、弾性部材と壁との接触面において開口を形成されるので、気体用流路において第１の透過部側と第２の透過部側とにおける気体の流通が容易となる。
【００６８】
（５）上記形態において、前記凹部は、互いに向き合うテーパー面であって、前記弾性部材が配置されている側に向かって互いの距離が漸増するテーパー面を有し、前記弾性部材は、前記テーパー面によって定められる空間内に位置する突起部を有していてもよい。この形態の脱泡ユニットによれば、弾性部材は、テーパー面によって定められる空間内に位置する突起部を有する。このため、弾性部材の変形がより抑制される。
【００６９】
（６）上記形態において、前記凹部によって形成される開口の幅方向における大きさは、前記凹部によって形成される開口の高さ方向における大きさより小さくてもよい。この形態の脱泡ユニットによれば、凹部を形成する際に、弾性部材における気体用流路部材によって押圧される領域の面積が小さくなることを抑制できる。
【００７０】
（７）上記形態において、前記弾性部材は、前記液体用流路のうち、前記液体用流路部材と前記液体用流路部材以外の部材との接合部をシールしてもよい。この形態の脱泡ユニットによれば、弾性部材とは別の部材によってシールする場合と比べ、脱泡ユニットを構成する部材の数を低減できる。
【００７１】
（８）本開示の他の形態によれば、液体を外部へ吐出する液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、上記形態の脱泡ユニットと、前記脱泡ユニット内を流通する液体に外部に吐出するための動力を付与するエネルギー発生素子と、を備える。
この形態の液体吐出ヘッドによれば、上記形態の脱泡ユニットを備える。このため、脱泡ユニットにおいて、気体用流路内の圧力が第１の液体用流路内及び第２の液体用流路内の圧力より小さい場合であっても、第１の液体用流路と第２の液体用流路との間における弾性部材の変形が抑制される。したがって、弾性部材の変形によって第１の液体用流路と第２の液体部材との間において一方の液体用流路内を流通する液体が他方の液体用流路側に漏洩可能な隙間が形成されることを抑制する。
【００７２】
（９）本開示の他の形態によれば、液体吐出装置が提供される。上記形態の液体吐出ヘッドと、動力源としてモーターを有し、液体吐出ヘッドから吐出された液体を受けるメディアを搬送する搬送機構と、を備える。
この形態の液体吐出装置によれば、上記形態の脱泡ユニットを備える。このため、脱泡ユニットにおいて、気体用流路内の圧力が第１の液体用流路内及び第２の液体用流路内の圧力より小さい場合であっても、第１の液体用流路と第２の液体用流路との間における弾性部材の変形が抑制される。したがって、弾性部材の変形によって第１の液体用流路と第２の液体部材との間において一方の液体用流路内を流通する液体が他方の液体用流路側に漏洩可能な隙間が形成されることを抑制する。
【００７３】
本開示は、脱泡ユニット、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、脱泡ユニット又は液体吐出ヘッドの製造方法等の形態で実現することができる。
【符号の説明】
【００７４】
１…液体吐出装置、１０…外殻、１１…装着部、１２…ヘッドユニット、１５…搬送機構、１７…制御部、１９…キャリッジ、２０…メディア、３０…液体供給源、１００…脱泡ユニット、１１２…液体導入針部、１２０…液体用流路部材、１２２…液体用流路、１２４…液体供給流路、１２４ａ、１２４ｂ…流路構造、１２６…液体貯留室、１２８…連通孔、１３０…第１の壁部、１３４…隔離壁、１４０…気体用流路部材、１４２…気体用流路、１４４…気体流通部、１４６…接続口、１５０…第２の壁部、１５４…規制壁、１５６…凹部、１５８…第３の開口部、１６０…弾性部材、１６２…透過部、１６８…領域、１７０…ヘッド、１７１…本体部、１７２…ノズル、１７３…エネルギー発生素子、１９２…圧力調節機構、２００…脱泡ユニット、２４０…気体用流路部材、２５６…凹部、２５７…テーパー面、２６０…弾性部材、２６７…突起部、３００…脱泡ユニット、３４０…気体用流路部材、４１２…ヘッドユニット、５１２…ヘッドユニット、１２２２…第１の液体用流路、１２２４…第２の液体用流路、１２４２…第１の液体供給流路、１２４４…第２の液体供給流路、１２６２…第１の液体貯留室、１２６４…第２の液体貯留室、１３８２…第１の開口部、１３８４…第２の開口部、１５４２…第１の規制壁、１５４４…第２の規制壁、１６２２…第１の透過部、１６２４…第２の透過部、Ｍ…モーター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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