(57)【要約】【課題】弾性ゴムパッキンを用いることなく高いシール性およびメンテナンス性を備えたノズルを提供する。【解決手段】  ノズル２００は、取付治具２４０およびノズル本体２６０を備える。取付治具２４０は、ノズル本体がぴったりと嵌め合わされるように構成されたノズル受け部２４４を有する。さらに、取付治具２４０は、第１の流路の端部を囲むように設けられた弾性変形可能な第１の環状シール片２４５を有する。ノズル本体２６０は、ノズル受け部２４４に嵌め合わされた状態において第１の環状シール片２４５に圧接することによって内部の流路を密閉するように構成された弾性変形可能な第２の環状シール片２６５を有する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物に対してスプレイすべき流体が流れる配管に取り付けられるノズルであって、
内部に第１の流路を有する筒状を呈するとともに前記配管に固着可能な取付治具と、
前記第１の流路に連続する第２の流路を有するとともに前記取付治具に対して着脱自在に構成されたノズル本体と、
を備え、
前記取付治具は、前記ノズル本体がぴったりと嵌め合わされるように構成されたノズル受け部を有するとともに、前記第１の流路の端部を囲むように設けられた弾性変形可能な第１の環状シール片を有し、かつ、
前記ノズル本体は、前記ノズル受け部に嵌め合わされた状態において前記第１の環状シール片に圧接することによって前記第１の流路および第２の流路を密閉するように構成された弾性変形可能な第２の環状シール片を有することを特徴とするノズル。
【請求項２】
前記ノズル本体が前記ノズル受け部に嵌め合わされた状態において前記ノズル本体を回転させることによってロック状態およびアンロック状態が切り替えられるように構成された請求項１に記載のノズル。
【請求項３】
前記取付治具が、前記配管にねじ止めされる筒状の固着部を有することを特徴とする請求項１または２に記載のノズル。
【請求項４】
前記ノズル本体が流体に旋回を与えることが可能なスパイラルノズルであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理物に対してスプレイすべき流体が流れる配管に取り付けられるノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイにおいて薄型ガラス基板が広く利用されてきた。ガラス基板を薄型化するための処理として、化学研磨方式（エッチング）を採用するものがある。この化学研磨方式（エッチング）において、従来、エッチング液が収容された槽にガラス基板を浸漬する手法が多く採用されてきたが、近年では、エッチング液をガラス基板に向かってノズルからスプレイする手法も採用されている。ガラス基板を処理するためのエッチング液は、腐食性の強いフッ酸を含むことが多いため、ノズルは、そのようなエッチング液への耐性（耐エッチング性）を備えるように設計されている。
【０００３】
ところが、耐エッチング性を備えたノズルといえども、使用期間が長くなるにつれて劣化する。また、エッチング液を循環利用するような環境においては、ガラス基板をエッチングした際に発生する物質によってノズルが目詰まりしてしまうことがあった。
【０００４】
そこで、従来、配管にねじ止め可能なアダプターと、このアダプターに対して脱着自在なノズル本体を備えた脱着式ノズルが開発されており、このような脱着式ノズルがエッチング装置に用いられることがあった（例えば、特許文献１参照。）。このような脱着式ノズルを用いることにより、必要に応じて、工具を使うことなく簡易に、ノズル本体の交換が可能になり、メンテナンス性が向上するとされていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許４７４１７４９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述の従来技術においては、ノズル本体やアダプターとは別に弾性ゴムパッキンが用いられているため、ノズル本体の劣化状態だけでなく、弾性ゴムパッキンの劣化状態にも気を配る必要があった。そして、ノズル本体の交換時期と弾性ゴムパッキンの交換時期とがずれる場合には、交換の必要のないものを交換してしまうという無駄が発生することがあった。また、弾性ゴムパッキンの取り付けや取り外しの作業が必要となり、これが作業者の負担となることがあった。
【０００７】
本発明の目的は、弾性ゴムパッキンを用いることなく高いシール性およびメンテナンス性を備えたノズルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るノズルは、被処理物に対してスプレイすべき流体が流れる配管に取り付けられる。例えば、このノズルがガラス基板用のエッチング装置に用いられる場合には、被処理物はガラス基板であり、スプレイすべき流体はフッ酸や塩酸を含むエッチング液となる。ただし、被処理物やスプレイすべき流体はこれらに限定されるものではなく、エッチング液以外の液体（洗浄液等）や気体であっても良い。
【０００９】
ノズルは、取付治具およびノズル本体を備える。取付治具は、内部に第１の流路を有する筒状を呈する。また、この取付治具は配管に固着可能に構成される。一方で、ノズル本体は、第１の流路に連続する第２の流路を有する。このノズル本体は、取付治具に対して着脱自在に構成されている。
【００１０】
また、取付治具は、ノズル本体がぴったりと嵌め合わされるように構成されたノズル受け部を有する。さらに、取付治具は、第１の流路の端部を囲むように設けられた弾性変形可能な第１の環状シール片を有する。第１の流路の端部は、取付治具にノズル本体が装着された状態において第２の流路に接続される箇所になる。これに対して、ノズル本体は、ノズル受け部に嵌め合わされた状態において第１の環状シール片に圧接することによって第１の流路および第２の流路を密閉するように構成された弾性変形可能な第２の環状シール片を有する。
【００１１】
この構成においては、配管に取り付けられた取付治具のノズル受け部にノズル本体を嵌め合わせることによって、弾性変形可能な第１の環状シール片および第２の環状シール片が互いに押し合うように密着し、第１の流路および第２の流路の接続箇所が密閉される。このため、弾性ゴムパッキンを用いることなく流路の高いシール性が実現する。
【００１２】
また、取付治具およびノズル本体とは別に弾性ゴムパッキンを装着する作業が不要であるため、ノズル本体の交換がより容易になるため、このノズルが用いられる装置（例えば、エッチング装置）のメンテナンス性が向上する。
【００１３】
上述のノズルにおいて、ノズル本体がノズル受け部に嵌め合わされた状態においてノズル本体を回転させることによってロック状態およびアンロック状態が切り替えられるように構成されることが好ましい。ロック状態にすることによって取付治具からノズル本体が脱落することが防止される一方で、アンロック状態にすることによって必要に応じてノズル本体を容易に交換することが可能になる。
【００１４】
また、取付治具が、配管にねじ止めされる筒状の固着部を有することが好ましい。この場合、取付治具は、配管にねじ止めされる固着部と、ノズル本体を脱着自在に支持するノズル受け部とから構成されることになる。このような構成によれば、ノズル本体のみが消耗・汚損等している場合にはノズル本体のみを簡易に交換し、取付治具についても消耗・汚損等が進行している場合には、取付治具ごと交換することが可能になる。
【００１５】
ノズル本体が流体に旋回を与えることが可能なスパイラルノズルであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
この発明によれば、ノズルにおいて弾性ゴムパッキンを用いることなく高いシール性およびメンテナンス性を実現することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係るノズルが適用されるスプレイエッチング装置の構成の一例を示す図である。
【図２】本発明に係るノズルが適用されるエッチングチャンバの構成の一例を示す図である。
【図３】本発明に係るノズルが適用されるエッチングチャンバの構成の一例を示す図である。
【図４】スプレイエッチング装置の駆動ユニットの概略構成を示す図である。
【図５】本発明に係るノズルが適用されるスプレイ配管ユニットの構成の一例を示す図である。
【図６】本発明に係るノズルが適用されるスプレイ配管ユニットの構成の一例を示す図である。
【図７】本発明の一実施形態に係るノズルの概略構成を示す図である。
【図８】本発明の一実施形態に係るノズルの概略構成を示す図である。
【図９】本発明の一実施形態に係るノズルの概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図を用いて本発明に係るスプレイエッチング装置の一実施形態を説明する。図１（Ａ）および図１（Ｂ）に示すように、スプレイエッチング装置１０は、導入部１２、前処理チャンバ１４、５つのエッチングチャンバ１６、洗浄チャンバ１８、および排出部２０を備える。前処理チャンバ１４、エッチングチャンバ１６、および洗浄チャンバ１８にはそれぞれ、隔壁の一部にガラス基板１００が通過可能なスリット状の開口部が形成されている。以下の実施形態では、被処理基板がガラス基板１００である例を説明するが、ガラス基板１００以外の基板（例：セラミック基板、プリント基板、半導体基板等）の処理にスプレイエッチング装置１０を用いることも可能である。
【００１９】
スプレイエッチング装置１０は、最上流位置の導入部１２から最下流位置の排出部２０にかけて配列された複数の搬送ローラ３０を備えている。搬送ローラ３０は、導入部１２にセット（ローディング）されたガラス基板１００を前処理チャンバ１４、エッチングチャンバ１６、および洗浄チャンバ１８を順次経由させつつ排出部２０まで搬送するように構成される。
【００２０】
前処理チャンバ１４は、エッチングチャンバ１６に導入される前のガラス基板１００を洗浄するように構成される。この実施形態では、前処理チャンバ１４においてガラス基板１００に対して上下から洗浄水が噴きつけられることによってガラス基板１００が水洗いされる。エッチングチャンバ１６は、ガラス基板１００に対してエッチング液を噴きつけることによってガラス基板１００を薄型化するように構成される。この実施形態では、スプレイエッチング装置１０は５つのエッチングチャンバ１６を備えているが、エッチングチャンバ１６の数は適宜増減させることが可能である。エッチングチャンバ１６の構成については後述する。
【００２１】
洗浄チャンバ１８は、エッチングチャンバ１６にてエッチング処理がされたガラス基板１００を洗浄するように構成される。洗浄チャンバ１８においても、前処理チャンバ１４と同様、ガラス基板１００に対して上下から洗浄水が噴きつけられることによってガラス基板１００が水洗いされる。排出部２０には、エッチング処理および洗浄処理がされたガラス基板１００が排出される。排出部２０においてガラス基板１００の取り出し（アンローディング）が行われる。
【００２２】
図１（Ｂ）に示すように、エッチングチャンバ１６および洗浄チャンバ１８には、ガラス基板１００上の液体を除去するための乾燥手段（例：エアナイフ、脱水ローラ等）が設けられており、適宜、エッチング液の除去および洗浄水の除去が行われる。また、スプレイエッチング装置１０には、スクラバ等を含む排気システム（図示省略）およびフィルタープレス等を含む排水系システム（図示省略）に接続されており、排気および排水が適切に行われている。
【００２３】
続いて、図２を用いてエッチングチャンバ１６の構成を説明する。５つのエッチングチャンバ１６は原則として同一構成であるため、ここでは単一のエッチングチャンバ１６について説明する。エッチングチャンバ１６は、上側スプレイ配管ユニット１６２、下側スプレイ配管ユニット１６４、上側ホースユニット１６６、下側ホースユニット１６７（図３参照。）およびガイドシャフト５６を少なくとも備える。
【００２４】
上側スプレイ配管ユニット１６２は、搬送ローラ３０上を搬送されるガラス基板１００の上方に所定の距離を設けて配置される。上側スプレイ配管ユニット１６２は、エッチング液を吐出する吐出ノズル２２０を複数備えた配管２００を並列的に複数配置するように構成される。この実施形態では、並行に５本配置された各配管２００に６個の吐出ノズル２２０が設けられる例を説明するが、配管２００や吐出ノズル２２０の数はこれに限定されるものではない。
【００２５】
ここでは、上側スプレイ配管ユニット１６２のフレーム部材、吐出ノズル２２０、および配管２００がポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン、ポリフェニルサルファイド等の樹脂材料によって構成されているが、その詳細については後述する。下側スプレイ配管ユニット１６４は、搬送ローラ３０上を搬送されるガラス基板１００の下方に所定の距離を設けて配置される。下側スプレイ配管ユニット１６４の基本的構成は上側スプレイ配管ユニット１６２と同一であるため、説明を割愛する。
【００２６】
上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４はそれぞれ底部の４箇所（この実施形態では、４つの角部）に、脚部となるベース部材１７０を備えている。このベース部材１７０は、エッチングチャンバ１６内の所定位置に設けられた８つのガイド部材１７２にスライド可能な状態で支持されている。ベース部材１７０は、その底部がテーパ加工されており、ガイド部材１７２は、ベース部材１７０の底部にフィットする形状の溝部を有している。ベース部材１７０がガイド部材１７２の溝部に沿って往復直線移動することにより、上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４がガラス基板１００の搬送方向に直交する幅方向において往復直線移動をすることになる。
【００２７】
ベース部材１７０およびガイド部材１７２は常時互いに擦れ合うため、耐酸性を備え、かつ、摺動特性や耐摩耗性が高い素材を用いることが好ましい。この実施形態では、ベース部材１７０にポリテトラフルオロエチレン、ガイド部材１７２に超高分子量ポリエチレン樹脂（Ｕ−ＰＥ）を採用しているが、素材についてはこれらに限定されるものではない。例えば、フレーム部材、吐出ノズル、および配管に採用されている複合透明樹脂材料を用いることも可能である。
【００２８】
上側ホースユニット１６６は、可撓性を備えた耐酸性ホースの束で構成されており、上側スプレイ配管ユニット１６２と送液ユニット４０とを接続するように構成される。下側ホースユニット１６７は、可撓性を備えた耐酸性ホースの束で構成されており、下側スプレイ配管ユニット１６４と送液ユニット４０とを接続するように構成される（図５参照。）。ガイドシャフト５６は、駆動ユニット５０からの駆動力を上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４に伝達するように構成される。
【００２９】
図３に示すように、駆動ユニット５０は、上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４に対してガイドシャフト５６を介して駆動力を伝達するように構成される。ガイドシャフト５６は、エッチングチャンバ１６の側壁を貫通することになるため、水密性および気密性を保つためシール軸受５８等のシール機構が用いられる。シール軸受５８は、ガイドシャフト５６をスライド自在に支持するように構成される。ガイドシャフト５６の一端は上側スプレイ配管ユニット１６２または下側スプレイ配管ユニット１６４に接続されている。ガイドシャフト５６の他端は、ＬＭガイド（Linear Motion Guide）６４にスライド自在に支持された可動フレーム６０に接続されている。
【００３０】
駆動ユニット５０は、駆動源としてのモータやその駆動回路等を有するモータユニット５２を備えている。モータユニット５２には回転シャフト５４が接続される。回転シャフト５４の両端部には回転円板７０が取り付けられている。
【００３１】
図４（Ａ）に示すように、回転円板７０には、カムフォロア７２が取り付けられている。一方で、可動フレーム６０には、カムフォロア７２がフィットするサイズの溝が形成されたガイド部材６２が取り付けられている。図４（Ａ）においては、説明の便宜上、回転円板７０のカムフォロア７２と可動フレームのガイド部材６２とが分離した状態を示しているが、実際の使用時においてはカムフォロア７２がガイド部材６２にスライド自在な状態で嵌っている。
【００３２】
モータユニット５２の駆動力により回転シャフト５４が回転すると、回転円板７０の回転力が可動フレーム６０を往復移動させるための駆動力として可動フレーム６０に伝達する。可動フレーム６０に伝達した駆動力は、ガイドシャフト５６を介して上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４に伝達する。
【００３３】
上述した駆動ユニット５０の構成は一例であり、これに限定されるものではない。例えば、図４（Ｂ）に示すように、回転円板７０に代えて、所望の長径と短径との差を有するカム板７４を用いることの可能である。この場合は、可動フレーム６０に所定の方向に常に力を加え（弾性部材や磁性部材等による付勢力）、この力に抗してカム板７４が可動フレーム６０を押圧するような構成を採用すると良い。その他にも適宜最適なカム機構を選択することも可能である。
【００３４】
上側ホースユニット１６６は、送液ユニット４０からのエッチング液を上側スプレイ配管ユニット１６２に供給するように構成される。下側ホースユニット１６７は、送液ユニット４０からのエッチング液を下側スプレイ配管ユニット１６４に供給するように構成される。上側ホースユニット１６６および下側ホースユニット１６７は、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）等の耐酸性部材からなる。上側ホースユニット１６６および下側ホースユニット１６７として、上記複合透明樹脂材料を用いることも可能であり、またこれ以外の耐酸可撓性素材を用いても良い。
【００３５】
上側ホースユニット１６６および下側ホースユニット１６７は、上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４のスライド動作によって送液ユニット４０と上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４との距離が変化した場合であっても、この変化を吸収できるように十分な撓みを有するように必要量よりも十分長めに設計されている（図５および図６を参照。）。
【００３６】
この実施形態では、上側ホースユニット１６６は送液ユニット４０の下部と上側スプレイ配管ユニット１６２を接続する一方で、下側ホースユニット１６７は送液ユニット４０の上部と下側スプレイ配管ユニット１６４を接続するように構成している。その理由は、上側ホースユニット１６６と下側ホースユニット１６７との長さを長くすることができ、上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４が往復スライド移動する場合に、上側ホースユニット１６６と下側ホースユニット１６７が撓みやすくなるからである。
【００３７】
この結果、比較的硬めのフッ素系樹脂を用いる場合であっても上側ホースユニット１６６および下側ホースユニット１６７が本来の機能を発揮し易くなる。また、上側ホースユニット１６６と下側ホースユニット１６７との長さ（特に、上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４の外側に位置する部分の長さ）を長くすることが可能になる。そして、上側ホースユニット１６６と下側ホースユニット１６７がエッチング液のスプレイ領域に垂れ下がることを確実に防止できるようになる。
【００３８】
上述のスプレイエッチング装置１０において、オペレータまたはロボット等によってガラス基板１００が導入部１２にローディングされる。ガラス基板１００は、適度な間隔を設けて順次的に導入部１２にローディングされる。ガラス基板１００は、導入部１２からスリット状の開口部を通過して前処理チャンバ１４に導入され、ここで全面が洗浄水によって洗浄される。続いて、ガラス基板１００は、前処理チャンバ１４からスリット状の開口部を通過してエッチングチャンバ１６へと導入される。
【００３９】
エッチングチャンバ１６において、上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４からガラス基板１００の上面および下面にそれぞれエッチング液がスプレイされる。このエッチング処理時において、図６（Ａ）および図６（Ｂ）に示すように、上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４は幅方向に往復移動を繰り返すため、エッチング液のスプレイ角度が随時変化することになる。この結果、ガラス基板１００の上面においてスプレイされたエッチング液の滞留が発生しにくくなる。
【００４０】
ガラス基板１００は、複数のエッチングチャンバ１６を順次通過しながら薄型化される。そして、最下流に配置されたエッチングチャンバ１６を通過した後に、エアナイフ等によって液切りがされた上で洗浄チャンバ１８に導入される。ガラス基板１００は、洗浄チャンバ１８において洗浄水によって洗浄される。その後エアナイフ等によって脱水処理がされてから排出部２０に排出される。排出部２０に排出されたガラス基板１００は、オペレータまたはロボットによって回収されて後段の工程に移行される。
【００４１】
上述のような手順で、スプレイエッチング装置１０は大量（例えば、５００枚／日以上）のガラス基板１００に対してスプレイエッチング処理を行うことができる。この実施形態では、ガラス基板１００の薄型化の例を説明しているが、所望のパターニングを有する耐エッチング性のマスキング剤を併用することで、ガラス基板１００の切断処理や端面平滑化処理等を行うことも可能である。
【００４２】
ここで、図７〜図９を用いて、上述の吐出ノズル２２０について説明する。この実施形態において、吐出ノズル２２０が本発明に係るノズルに対応する。この実施形態においては、吐出ノズル２２０は、ガラス基板１００に対してスプレイすべきエッチング液が流れる配管２００に取り付けられる。
【００４３】
吐出ノズル２２０は、取付治具２４０およびノズル本体２６０を備える。取付治具２４０は、筒状を呈しており、内部にエッチング液を流通させるための液体流路２４１を有する。この取付治具２４０は配管２２０にねじ止めによって固着可能に構成されている。
【００４４】
取付治具２４０は、配管２００にねじ止めされる筒状の固着部２４２、およびノズル本体２６０がぴったりと嵌め合わされるように構成されたノズル受け部２４４を有する。さらに、取付治具２４０は、液体流路２４１の端部、すなわち、後述するノズル本体２６１側の液体流路２６１との接続箇所を囲むように設けられた弾性変形可能な環状シール片２４５を有する。
【００４５】
ノズル本体２６０は、取付治具２４０と同様に筒状を呈しており、液体流路２４１に接続可能な液体流路２６１を有する。このノズル本体２６０は、取付治具２４０のノズル受け部２４４に対して着脱自在に構成された装着部２６２、および装着部２６２に連続するように構成された噴射部２６４を備える。
【００４６】
ノズル本体２６０をノズル受け部２４２に挿入し、そのままノズル本体２６０を所定角度だけ回転させることによってロック状態に移行する。ロック状態において、ノズル本体２６０を反対方向に所定角度だけ回転させることによってアンロック状態に戻る。ロック状態においては、ノズル本体２６０の突起部２６６が取付治具２４０の長孔部２４６に係止されており、アンロック状態においては、ノズル本体２６０の突起部２６６と取付治具２４０の長孔部２４６との係合状態が解除される。
【００４７】
この実施形態では、噴射部２６４は流体に旋回を与えることが可能なスパイラル状を呈している。ただし、噴射部２６４の構成はこれに限定されるものではなく、充円錐状、中空円錐状、またはフラット状等の形状に液体を噴射するような構成を採用することも可能である。
【００４８】
ノズル本体２６０は、ノズル受け部２４４に嵌め合わされた状態において環状シール片２４５に圧接するように構成された弾性変形可能な環状シール片２６５を備える。環状シール片２４５および環状シール片２６５が互いに押圧するように密着することによって、液体流路２４１および液体流路２６１の接続箇所が完全に密閉されるようになる。
【００４９】
この実施形態では、環状シール片２４５の内周の直径が、環状シール片２６５の外周の直径と同じかやや小さめに設計されている。このため、取付治具２４０のノズル受け部２４４にノズル本体２６０の装着部２６２を嵌め合わせることによって、環状シール片２４５の内周面と環状シール片２６５の外周面とが互いに押し合うように密着し、液体流路２４１および液体流路２６１がシールされる。また、図９（Ｂ）に示すように、液体流路２４１および液体流路２６１を流れる流体によって環状シール片２６５に外向きの圧力が作用するため、環状シール片２４５の内周面と環状シール片２６５の外周面との密着性がさらに向上する。
【００５０】
この結果、ノズル本体２６０および取付治具２４０とは別に弾性ゴムパッキンが必要となることがなく、弾性ゴムパッキンがなくても液体流路２４１および液体流路２６１から液漏れが発生するようなことがなくなる。
【００５１】
弾性ゴムパッキンを装着する作業が不要になれば、ノズル本体２６０の交換がより容易になる。したがって、このノズル２２０が用いられるスプレイエッチング装置１０のメンテナンス性が向上する。
【００５２】
上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００５３】
１０−スプレイエッチング装置
１２−導入部
１４−前処理チャンバ
１６−エッチングチャンバ
１８−洗浄チャンバ
２０−排出部
３０−搬送ローラ
４０−送液ユニット
５０−駆動ユニット
１６２−上側スプレイ配管ユニット
１６４−下側スプレイ配管ユニット
１６６−上側ホースユニット
１６７−下側ホースユニット
２００−配管
２２０−吐出ノズル
２４０−取付治具
２６０−ノズル本体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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