(57)【要約】【課題】ノズルの吐出口に異物が付着する可能性を低減できる治具を提供する。【解決手段】治具１は、下面に形成された吐出口から基板へ処理液を吐出する基板処理装置用のノズル３０を保護する治具である。治具１は、鉛直上方に開口する持ち運び可能な箱部材１０と、ノズル３０の下面が箱部材１０に囲まれるように、ノズル３０を箱部材１０に着脱可能に固定する取付部材２０とを備える。【選択図】図５
2020088084.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下面を有し、前記下面に形成された吐出口から基板へ処理液を吐出する基板処理装置用のノズルを保護する治具であって、
鉛直上方に開口する持ち運び可能な箱部材と、
前記ノズルの前記下面が前記箱部材に囲まれるように、前記ノズルを前記箱部材に着脱可能に固定する取付部材と
を備える、治具。
【請求項２】
請求項１に記載の治具であって、
前記取付部材は、
前記箱部材の側壁の上面と対向しており、前記上面に着脱可能に取り付けられた板部と、
前記板部に連結されており、前記板部よりも前記箱部材の中央側において前記ノズルを着脱可能に取り付けるノズル取付部と
を有する、治具。
【請求項３】
請求項２に記載の治具であって、
前記箱部材は平面視において多角形状を有し、
前記板部は、
前記箱部材の第１側壁の上面と対面する基体部と、
前記基体部の両端から延び、前記箱部材の第２側壁および第３側壁の上面とそれぞれ対面する一対の腕部と
を含み、
前記基体部および前記一対の腕部は全体としてＵ字状の形状を呈し、
前記ノズルは前記一対の腕部の間において前記ノズル取付部に取り付けられる、治具。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の治具であって、
前記取付部材は、前記ノズルの下面が前記箱部材によって囲まれる状態で、前記箱部材の開口部を気密に塞ぐ、治具。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一つに記載の治具であって、
前記箱部材には、保存液が貯留され、
前記箱部材の内側面には、前記保存液の液面を規定する印が設けられている、治具。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか一つに記載の治具であって、
前記箱部材には、保存液が貯留され、
前記箱部材には、前記保存液を供給する保存液供給口が形成されており、
前記治具は、前記保存液供給口から前記保存液を前記箱部材の内部へと供給する保存液供給部をさらに備える、治具。
【請求項７】
請求項５に記載の治具であって、
前記箱部材には、前記保存液を排液する保存液排出口が形成されており、
前記治具は、前記保存液排出口から前記保存液を前記箱部材の外部へと排液する保存液排出部をさらに備える、治具。
【請求項８】
請求項５から請求項７のいずれか一つに記載の治具であって、
前記保存液は前記処理液と同種の液体である、治具。
【請求項９】
請求項５から請求項８のいずれか一つに記載の治具であって、
前記取付部材は透明性を有している、治具。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれか一つに記載の治具であって、
前記治具は、
前記ノズルに形成され前記ノズルの内部の流路を介して前記吐出口に繋がる開口を、塞ぐ閉塞部材をさらに備える、治具。
【請求項１１】
請求項１から請求項１０のいずれか一つに記載の治具であって、
前記取付部材が前記ノズルを前記箱部材に固定した状態で、前記ノズル、前記取付部材および前記箱部材を含む構造体を収容する密閉容器をさらに備える、治具。
【請求項１２】
請求項１１に記載の治具であって、
前記密閉容器の内部において、前記構造体の位置を固定する発泡体をさらに備える、治具。
【請求項１３】
請求項１から請求項１２のいずれか一つに記載の治具であって、
前記治具は、
前記吐出口から前記ノズルの内部の流路を経由して前記ノズルの外部へと流れる気流を形成して、前記ノズルを乾燥させる乾燥部をさらに備える、治具。
【請求項１４】
請求項１３に記載の治具であって、
前記箱部材の底板には、前記ノズルの前記下面と対面する領域において、気体を供給するための気体供給口が形成されている、治具。
【請求項１５】
請求項１３または請求項１４に記載の治具であって、
前記ノズルは、処理液が供給される供給口と、前記ノズルから処理液を排出するための排出口とを含み、
前記供給口、前記排出口および前記吐出口は、前記ノズルの内部の前記流路によって互いに繋がっており、
前記乾燥部は、
前記箱部材の内部に気体を供給して、前記気体を前記吐出口へ流入させる気体供給部と、
前記供給口および前記排出口の一方から気体を吸引する吸引部と
を有する、治具。
【請求項１６】
請求項１５に記載の治具であって、
前記供給口および前記排出口の他方は大気開放される、治具。
【請求項１７】
請求項１３に記載の治具と、
基板処理装置と
を備える治具システムであって、
前記ノズルは、処理液が供給される供給口と、前記ノズルから処理液を排出するための排出口とを含み、
前記供給口、前記排出口および前記吐出口は、前記ノズルの内部の流路によって互いに繋がっており、
前記基板処理装置は、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記ノズルと、
前記ノズルの前記供給口に接続され、前記供給口に前記処理液を供給する処理液供給部と、
前記ノズルの前記供給口に接続され、前記供給口に気体を供給して前記ノズルの前記流路内の処理液を前記吐出口から吐出させる第１気体供給部と、
前記処理液供給部および前記第１気体供給部を選択的に前記供給口に接続させる第１切替部と、
前記ノズルの前記排出口に接続され、前記排出口から前記処理液を排出する第１処理液排出部と、
前記ノズルの前記排出口に接続される吸引部と、
前記処理液排出部および前記吸引部を選択的に前記排出口に接続させる第２切替部と
を有し、
前記治具は、
前記箱部材の内部へと気体を供給して、当該気体を前記吐出口に流入させる第２気体供給部と、
前記箱部材の内部から処理液を排出する第２処理液排出部と
をさらに有する、治具システム。
【請求項１８】
請求項１７に記載の治具システムであって、
前記基板処理装置は、
前記ノズルの前記供給口に接続され、前記供給口を大気開放させる開放部をさらに備え、
前記第１切替部は、前記処理液供給部、前記第１気体供給部および前記開放部を選択的に前記供給口に接続させる、治具システム。
【請求項１９】
下面に形成された吐出口から処理液を基板へ向かって吐出する基板処理装置用のノズルを保護する方法であって、
前記ノズルの前記下面が、鉛直上方に開口し持ち運び可能な箱部材によって囲まれるように、取付部材を介して前記ノズルを前記箱部材に着脱可能に固定する工程を備える、ノズルの保護方法。
【請求項２０】
請求項１９に記載のノズルの保護方法であって、
前記ノズルの前記下面が保存液に浸漬するように、前記箱部材に保存液を注ぐ工程をさらに備える、ノズルの保護方法。
【請求項２１】
請求項１９に記載のノズルの保護方法であって、
前記ノズルの前記吐出口から前記ノズルの内部の流路を介して前記ノズルの外部へと流れる気流の流れを形成して、前記ノズルを乾燥させる工程をさらに備える、ノズルの保護方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、治具、治具システムおよびノズルの保護方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、基板などの対象物に対して処理液を供給する処理装置が提案されている（例えば特許文献１，２）。例えば特許文献１においては、処理装置は、基板を保持して回転させるスピンチャックと、スピンチャックに保持された基板に対して処理液（例えば純水）の液滴を吐出する噴射ノズルとを備えている。処理液の液滴が基板に供給されることで、基板に対する処理（例えば洗浄処理）を行うことができる。
【０００３】
特許文献２においては、処理装置は、ワークが載置されるステージと、液体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドをステージに対して水平に移動させる移動手段とを備えている。液滴吐出ヘッドが液滴を吐出しつつ、移動手段が当該液滴吐出ヘッドをワークの上方領域で水平に沿って移動させることにより、液滴をワークに対して吐出することができる。
【０００４】
また、特許文献２においては、ステージと隣り合ってメンテナンス機構が設けられている。メンテナンス機構では、液体が貯留されたキャップケースが設けられている。移動手段は、液滴吐出ヘッドをキャップケースの上方に移動させた後に、液滴吐出ヘッドの下面をキャップケース内の液体に貯留させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−１６５２９１号公報
【特許文献２】特開２００７−２４５１３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、点検等の理由により、ノズルを処理装置から取り外して、処理装置の外部で保管することがある。このノズルの保管中において、ノズルの吐出口に異物等が付着すると、そのノズルを処理装置に取り付けた際に、そのノズルから適切に処理液を吐出できない場合がある。
【０００７】
そこで、本願は、ノズルの吐出口に異物が付着する可能性を低減できる治具、治具システム、並びに、ノズルの保護方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
治具の第１の態様は、下面を有し、前記下面に形成された吐出口から基板へ処理液を吐出する基板処理装置用のノズルを保護する治具であって、鉛直上方に開口する持ち運び可能な箱部材と、前記ノズルの前記下面が前記箱部材に囲まれるように、前記ノズルを前記箱部材に着脱可能に固定する取付部材とを備える。
【０００９】
治具の第２の態様は、第１の態様にかかる治具であって、前記取付部材は、前記箱部材の側壁の上面と対向しており、前記上面に着脱可能に取り付けられた板部と、前記板部に連結されており、前記板部よりも前記箱部材の中央側において前記ノズルを着脱可能に取り付けるノズル取付部とを有する。
【００１０】
治具の第３の態様は、第２の態様にかかる治具であって、前記箱部材は平面視において多角形状を有し、前記板部は、前記箱部材の第１側壁の上面と対面する基体部と、前記基体部の両端から延び、前記箱部材の第２側壁および第３側壁の上面とそれぞれ対面する一対の腕部とを含み、前記基体部および前記一対の腕部は全体としてＵ字状の形状を呈し、前記ノズルは前記一対の腕部の間において前記ノズル取付部に取り付けられる。
【００１１】
治具の第４の態様は、第１または第２の態様にかかる治具であって、前記取付部材は、前記ノズルの下面が前記箱部材によって囲まれる状態で、前記箱部材の開口部を気密に塞ぐ。
【００１２】
治具の第５の態様は、第１から第４のいずれか一つの態様にかかる治具であって、前記箱部材には、保存液が貯留され、前記箱部材の内側面には、前記保存液の液面を規定する印が設けられている。
【００１３】
治具の第６の態様は、第１から第５のいずれか一つの態様にかかる治具であって、前記箱部材には、保存液が貯留され、前記箱部材には、前記保存液を供給する保存液供給口が形成されており、前記治具は、前記保存液供給口から前記保存液を前記箱部材の内部へと供給する保存液供給部をさらに備える。
【００１４】
治具の第７の態様は、第５の態様にかかる治具であって、前記箱部材には、前記保存液を排液する保存液排出口が形成されており、前記治具は、前記保存液排出口から前記保存液を前記箱部材の外部へと排液する保存液排出部をさらに備える。
【００１５】
治具の第８の態様は、第５から第７のいずれか一つの態様にかかる治具であって、前記保存液は前記処理液と同種の液体である。
【００１６】
治具の第９の態様は、第５から第８のいずれか一つの態様にかかる治具であって、前記取付部材は透明性を有している。
【００１７】
治具の第１０の態様は、第１から第９のいずれか一つの態様にかかる治具であって、前記治具は、前記ノズルに形成され前記ノズルの内部の流路を介して前記吐出口に繋がる開口を、塞ぐ閉塞部材をさらに備える。
【００１８】
治具の第１１の態様は、第１から第１０のいずれか一つの態様にかかる治具であって、前記取付部材が前記ノズルを前記箱部材に固定した状態で、前記ノズル、前記取付部材および前記箱部材を含む構造体を収容する密閉容器をさらに備える。
【００１９】
治具の第１２の態様は、第１１の態様にかかる治具であって、前記密閉容器の内部において、前記構造体の位置を固定する発泡体をさらに備える。
【００２０】
治具の第１３の態様は、第１から第１２のいずれか一つの態様にかかる治具であって、前記治具は、前記吐出口から前記ノズルの内部の流路を経由して前記ノズルの外部へと流れる気流を形成して、前記ノズルを乾燥させる乾燥部をさらに備える。
【００２１】
治具の第１４の態様は、第１３の態様にかかる治具であって、前記箱部材の底板には、前記ノズルの前記下面と対面する領域において、気体を供給するための気体供給口が形成されている。
【００２２】
治具の第１５の態様は、第１３または第１４の態様にかかる治具であって、前記ノズルは、処理液が供給される供給口と、前記ノズルから処理液を排出するための排出口とを含み、前記供給口、前記排出口および前記吐出口は、前記ノズルの内部の前記流路によって互いに繋がっており、前記乾燥部は、前記箱部材の内部に気体を供給して、前記気体を前記吐出口へ流入させる気体供給部と、前記供給口および前記排出口の一方から気体を吸引する吸引部とを有する。
【００２３】
治具の第１６の態様は、第１５の態様にかかる治具であって、前記供給口および前記排出口の他方は大気開放される。
【００２４】
治具システムの第１の態様は、第１３の態様にかかる治具と、基板処理装置とを備える治具システムであって、前記ノズルは、処理液が供給される供給口と、前記ノズルから処理液を排出するための排出口とを含み、前記供給口、前記排出口および前記吐出口は、前記ノズルの内部の流路によって互いに繋がっており、前記基板処理装置は、前記基板を保持する基板保持部と、前記ノズルと、前記ノズルの前記供給口に接続され、前記供給口に前記処理液を供給する処理液供給部と、前記ノズルの前記供給口に接続され、前記供給口に気体を供給して前記ノズルの前記流路内の処理液を前記吐出口から吐出させる第１気体供給部と、前記処理液供給部および前記第１気体供給部を選択的に前記供給口に接続させる第１切替部と、前記ノズルの前記排出口に接続され、前記排出口から前記処理液を排出する第１処理液排出部と、前記ノズルの前記排出口に接続される吸引部と、前記処理液排出部および前記吸引部を選択的に前記排出口に接続させる第２切替部とを有し、前記治具は、前記箱部材の内部へと気体を供給して、当該気体を前記吐出口に流入させる第２気体供給部と、前記箱部材の内部から処理液を排出する第２処理液排出部とをさらに有する。
【００２５】
治具システムの第２の態様は、第１の態様にかかる治具システムであって、前記基板処理装置は、前記ノズルの前記供給口に接続され、前記供給口を大気開放させる開放部をさらに備え、前記第１切替部は、前記処理液供給部、前記第１気体供給部および前記開放部を選択的に前記供給口に接続させる。
【００２６】
ノズルの保護方法の第１の態様は、下面に形成された吐出口から処理液を基板へ向かって吐出する基板処理装置用のノズルを保護する方法であって、前記ノズルの前記下面が、鉛直上方に開口し持ち運び可能な箱部材によって囲まれるように、取付部材を介して前記ノズルを前記箱部材に着脱可能に固定する工程を備える。
【００２７】
ノズルの保護方法の第２の態様は、第１の態様にかかるノズルの保護方法であって、前記ノズルの前記下面が保存液に浸漬するように、前記箱部材に保存液を注ぐ工程をさらに備える。
【００２８】
ノズルの保護方法の第３の態様は、第１の態様にかかるノズルの保護方法であって、前記ノズルの前記吐出口から前記ノズルの内部の流路を介して前記ノズルの外部へと流れる気流の流れを形成して、前記ノズルを乾燥させる工程をさらに備える。
【発明の効果】
【００２９】
治具の第１の態様およびノズルの保護方法の第１の態様によれば、ノズルの吐出口が箱部材に囲まれるので、箱部材の外部の空間を漂う異物（例えば埃）がノズルの吐出口に付着する可能性を低減できる。
【００３０】
また、箱部材は持ち運び可能である。よって、箱部材を基板処理装置に設ける必要がない。例えば基板処理装置内において、基板を保持する基板保持部と水平方向において隣り合位置に箱部材を設けると、基板処理装置の水平方向におけるサイズが増大する。箱部材を基板処理装置に設けない場合には、そのようなサイズの増大を招かない。
【００３１】
またノズルを基板処理装置から取り外して、箱部材に取り付けることで、ノズルを基板処理装置の外部で保管することも可能である。これにより、基板処理装置のメンテナンスを行いやすい。
【００３２】
治具の第２の態様によれば、取付部材を箱部材に対して上方から取り付けることができるので、作業者は取付部材を取りつけやすい。
【００３３】
治具の第３の態様によれば、ノズルを冶具に取り付ける際に、当該ノズルを板部の一対の腕部の間へと横から挿入することができる。よって、ノズルをノズル取付部に取り付けやすい。
【００３４】
治具の第４の態様によれば、ノズルの吐出口に異物が付着する可能性をさらに低減できる。
【００３５】
治具の第５の態様によれば、予め決められた規定量の保存液を箱部材に注ぎやすい。
【００３６】
治具の第６の態様によれば、供給口から箱部材の内部へと保存液を供給できる。
【００３７】
治具の第７の態様によれば、保存液の入れ替えを行いやすい。
【００３８】
治具の第８の態様によれば、保存液によるノズルへの悪影響を抑制または回避できる。
【００３９】
治具の第９の態様によれば、取付部材を箱部材に取り付けた状態でも、保存液の液面を視認することができる。
【００４０】
治具の第１０の態様によれば、開口を介してノズルの内部に異物が進入することを回避できる。
【００４１】
治具の第１１の態様によれば、ノズルの吐出口に異物が付着する可能性をさらに低減できる。
【００４２】
治具の第１２の態様によれば、構造体を固定しやすい。
【００４３】
治具の第１３の態様およびノズルの保護方法の第３の態様によれば、気体が吐出口からノズルの内部の流路を流れて、ノズルが乾燥する。よって、この乾燥において、処理液に含まれる不純物は吐出口に付着しにくい。
【００４４】
治具の第１４の態様によれば、吐出口へ向けて気体を供給できるので、吐出口に気体が流入しやすい。
【００４５】
治具の第１５の態様によれば、気体供給部および吸引部の両方が設けられているので、吐出口から流路を介してノズルの外部に流れる気流を形成しやすい。
【００４６】
治具の第１６の態様によれば、供給口および排出口の他方が開放されているので、当該他方に気体が流入し、当該他方からノズルの内部の流路を介して一方へと気体が流れる。この気体により、吐出口への気体が引き込まれる（ベンチュリ効果）。よって、吐出口からノズルの内部の流路を介して当該一方へと流れる気流がさらに形成されやすい。
【００４７】
治具システムの第１の態様によれば、第１切替部が処理液供給部をノズルの供給口に接続し、第２切替部が処理液排出部をノズルの排出口に接続することにより、基板処理装置は、ノズルから基板へと処理液を供給可能となる。
【００４８】
一方で、第１切替部が第１気体供給部をノズルの供給口に接続し、第２切替部が吸引部を排出口に接続し、治具をノズルに取り付けることにより、ノズルを乾燥させることができる。具体的には、第１気体供給部が気体をノズルの供給口に供給することにより、ノズルの内部の流路の処理液を吐出口から箱部材の内部へと吐出させることができる。箱部材の内部に吐出された処理液は処理液排出部によって外部に排出される。
【００４９】
その後、第２気体供給部が気体を供給し、吸引部が気体を吸引することにより、ノズルの吐出口から流路を介して排出口へと流れる気流が形成される。この気流により、ノズルが乾燥する。またこの気流よれば、ノズルの内部の流路に残留する処理液は排出口へと流れるので、処理液の不純物は吐出口に付着しにくい。
【００５０】
治具システムの第２の態様によれば、開放部が供給口を大気開放させるので、乾燥時において、吐出口から排出口へと流れる気流を形成しやすい。
【００５１】
ノズルの保護方法の第２の態様によれば、ノズルの吐出口を保存液で保護することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】基板処理装置の構成の一例を概略的に示す図である。
【図２】ノズルの構成の一例を示す側面図である。
【図３】ノズルの本体部の構成の一例を概略的に示す断面図である。
【図４】ノズルの下面の構成の一例を概略的に示す平面図である。
【図５】治具の構成の一例を概略的に示す斜視図である。
【図６】治具の構成の一例を概略的に示す平面図である。
【図７】治具の構成の一例を概略的に示す断面図である。
【図８】作業者によるノズルの保護方法の一例を示すフローチャートである。
【図９】密閉容器の構成の一例を概略的に示す図である。
【図１０】治具の構成の一例を概略的に示す斜視図である。
【図１１】治具の構成の一例を概略的に示す断面図である。
【図１２】作業者によるノズルの保護方法の一例を示すフローチャートである。
【図１３】治具の構成の一例を概略的に示す断面図である。
【図１４】作業者によるノズルの保護方法の一例を示すフローチャートである。
【図１５】治具の構成の一例を概略的に示す断面図である。
【図１６】治具の構成の一例を概略的に示す断面図である。
【図１７】治具の構成の一例を概略的に示す断面図である。
【図１８】作業者によるノズルの保護方法の一例を示すフローチャートである。
【図１９】実験結果の一例を示す表である。
【図２０】基板処理装置の構成の一例を概略的に示す図である。
【図２１】治具の構成の一例を概略的に示す断面図である。
【図２２】作業者によるノズルの保護方法の一例を示すフローチャートである。
【図２３】タイミングチャートの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００５３】
以下、添付される図面を参照しながら実施の形態について説明する。なお、図面は概略的に示されるものであり、説明の便宜のため、適宜、構成の省略、または、構成の簡略化がなされるものである。また、図面に示される構成などの大きさおよび位置の相互関係は、必ずしも正確に記載されるものではなく、適宜変更され得るものである。
【００５４】
また、以下に示される説明では、同様の構成要素には同じ符号を付して図示し、それらの名称と機能とについても同様のものとする。したがって、それらについての詳細な説明を、重複を避けるために省略する場合がある。
【００５５】
第１の実施の形態．
＜基板処理装置＞
ノズルを保護するための治具を説明するにあたって、まずそのノズルが用いられる基板処理装置の一例について概説する。
【００５６】
図１は、基板処理装置１００の構成の一例を概略的に示す図である。この基板処理装置１００は、基板Ｗを１枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置である。基板Ｗは例えば半導体基板である。基板Ｗが半導体基板である場合、基板Ｗは略円板形状を有している。基板処理装置１００は基板保持部１１０とカップ１２０とノズル３０と第１リンス液ノズル１３０と第２リンス液ノズル１４０と制御部１５０とを含む。
【００５７】
基板保持部１１０は基板Ｗを略水平に保持しつつ基板Ｗを回転させる。ノズル３０は、基板保持部１１０に保持された基板Ｗに処理液を供給する。第１リンス液ノズル１３０および第２リンス液ノズル１４０の各々は、基板保持部１１０に保持された基板Ｗにリンス液を供給する。
【００５８】
カップ１２０は筒状の形状を有しており、基板保持部１１０を取り囲む。基板保持部１１０の回転中に、基板Ｗの上面に処理液（リンス液を含む）が供給されると、その処理液は基板Ｗの上面で広がって、その基板Ｗの周縁から飛散する。基板Ｗの周縁から飛散された処理液はカップ１２０の内周面に当って落下し、不図示の回収機構に回収される。
【００５９】
制御部１５０は、基板保持部１１０、ノズル３０、第１リンス液ノズル１３０および第２リンス液ノズル１４０などの基板処理装置１００に備えられた各種装置の動作を制御する。
【００６０】
制御部１５０のハードウェアとしての構成は一般的なコンピュータと同様である。すなわち、制御部１５０は、各種演算処理を行うＣＰＵ、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭおよび制御用ソフトウェアやデータなどを記憶しておく磁気ディスクなどを備えて構成される。制御部１５０のＣＰＵが所定の処理プログラムを実行することによって、基板処理装置１００の各動作機構が制御部１５０に制御され、基板処理装置１００における処理が進行する。なお制御部１５０の機能の一部または全部は、専用のハードウェアによって実現されてもよい。
【００６１】
制御部１５０には、入力部１５１が接続されている。入力部１５１には、作業者によって基板処理装置１００に対する種々の指示が入力される。入力部１５１は作業者による入力に応じた信号を制御部１５０に出力し、制御部１５０は当該信号に応じて処理を行う。入力部１５１は例えばマウスまたはキーボードなどの種々のデバイスである。
【００６２】
基板保持部１１０はスピンベース１１１とスピンモータ１１２とを含む。スピンベース１１１は基板Ｗを略水平に保持する。スピンモータ１１２はスピンベース１１１を、鉛直方向に沿う回転軸まわりに回転させる。この回転軸は、スピンベース１１１に保持された基板Ｗの略中心を通る。スピンモータ１１２がスピンベース１１１を回転させることにより、基板Ｗが水平面で回転する。スピンモータ１１２は制御部１５０によって制御される。
【００６３】
ノズル３０は処理液を基板Ｗの上面に供給する。例えばノズル３０は処理液の液滴を下方に噴射するように構成されている。ノズル３０は噴射ノズルとも呼ばれる。ノズル３０は処理液供給管１６１の一端に接続されており、処理液供給管１６１の他端は処理液供給機構１６０に接続されている。処理液供給機構１６０は例えばポンプを含む。処理液供給機構１６０は常時、所定圧力（例えば、１０［ＭＰａ］以下）で処理液をノズル３０に供給する。処理液供給機構１６０からノズル３０に供給される処理液としては、純水（脱イオン水とも呼ばれる）、炭酸水、または、アンモニア水と過酸化水素水の混合液などを例示することができる。制御部１５０は処理液供給機構１６０を制御することにより、ノズル３０に供給される処理液の圧力を任意の圧力に変更することができる。
【００６４】
またノズル３０は処理液排出管１６３の一端にも接続されている。処理液排出管１６３の他端は外部の排出部１６４に接続されている。処理液排出管１６３の途中には、排出バルブ１６２が設けられている。排出バルブ１６２の開閉は制御部１５０によって制御される。この排出バルブ１６２が開いているときには、処理液供給機構１６０からノズル３０へ供給された処理液は、ノズル３０からほとんど吐出されずに、処理液排出管１６３を介して排出部１６４へと排出される。この点は後に詳述する。
【００６５】
ノズル３０の内部には、圧電素子３３が設けられている。この圧電素子３３は後に詳述するように、ノズル３０から基板Ｗに処理液の液滴を吐出するために設けられる。圧電素子３３は配線１７１の一端に電気的に接続され、配線１７１の他端は電圧印加機構１７０に電気的に接続されている。電圧印加機構１７０は例えばインバータを含む。電圧印加機構１７０は配線１７１を介して交流電圧を圧電素子３３に印加する。圧電素子３３は、印加された交流電圧の周波数に対応する周波数で振動する。制御部１５０は電圧印加機構１７０を制御することにより、圧電素子３３に印加される交流電圧の周波数を任意の周波数（例えば、数百［ＫＨｚ］〜数［ＭＨｚ］）に変更することができる。したがって、圧電素子３３の振動の周波数は制御部１５０によって制御される。
【００６６】
基板処理装置１００は、ノズル３０を移動させるノズル移動機構１８０をさらに含む。ノズル移動機構１８０は制御部１５０によって制御される。このノズル移動機構１８０はノズルアーム１８１と回動機構１８２と昇降機構１８３とを含む。ノズルアーム１８１はその先端側においてノズル３０を保持する。回動機構１８２はノズルアーム１８１の基端側に接続される。回動機構１８２は例えばモータを含む。回動機構１８２は、基板保持部１１０の周囲に設けられた鉛直な回転軸Ａ１まわりにノズルアーム１８１を回動させる。ノズル３０はノズルアーム１８１と共に回転軸Ａ１まわりに回動する。これにより、ノズル３０が水平面内で円弧に沿って移動する。昇降機構１８３は回動機構１８２に接続される。昇降機構１８３は例えば、ボールネジ機構と、このボールネジ機構を駆動するモータとを含む。昇降機構１８３は回動機構１８２を鉛直方向Ｄ１に沿って昇降させる。ノズル３０およびノズルアーム１８１は回動機構１８２と共に鉛直方向Ｄ１に沿って昇降する。これにより、ノズル３０が鉛直方向Ｄ１に沿って移動する。
【００６７】
回動機構１８２は、基板保持部１１０の上方の処理位置とこの上方から離れた待機位置とを含む水平面内でノズル３０を水平に移動させる。ノズル３０が、基板保持部１１０に保持された基板Ｗの上方に位置する状態で、昇降機構１８３がノズル３０を下降させると、ノズル３０が基板Ｗの上面に近接する。ノズル３０から噴射された処理液の液滴を基板Ｗに供給するときは、ノズル３０が基板Ｗの上面に近接している状態で、制御部１５０が、回動機構１８２を制御することにより、ノズル３０を基板Ｗの中心から端部へと水平面内で揺動させる。またノズル３０から処理液の液滴を基板Ｗに供給するときには、制御部１５０は基板保持部１１０を回転させる。これにより、基板Ｗの全面に処理液の液滴を作用させることができる。
【００６８】
図１に示すように、第１リンス液ノズル１３０は第１リンス液供給管１３１の一端に接続されている。第１リンス液ノズル１３０の他端はリンス液供給源１３３に接続されている。第１リンス液供給管１３１の途中には、第１リンス液バルブ１３２が設けられている。第１リンス液ノズル１３０へのリンス液の供給は、第１リンス液バルブ１３２の開閉により制御される。第１リンス液バルブ１３２は制御部１５０によって制御される。第１リンス液ノズル１３０に供給されたリンス液は、基板保持部１１０に保持された基板Ｗの上面の中央部に向けて吐出される。このリンス液は例えば連続流で吐出される。
【００６９】
第２リンス液ノズル１４０は第２リンス液供給管１４１の一端に接続されている。第２リンス液供給管１４１の他端はリンス液供給源１４４に接続されている。第２リンス液供給管１４１の途中には、第２リンス液バルブ１４２が設けられている。第２リンス液ノズル１４０へのリンス液の供給は、第２リンス液バルブ１４２の開閉により制御される。第２リンス液バルブ１４２は制御部１５０によって制御される。第２リンス液ノズル１４０に供給されたリンス液は、第２リンス液ノズル１４０から下方に吐出される。このリンス液は例えば連続流で吐出される。
【００７０】
第１リンス液ノズル１３０および第２リンス液ノズル１４０に供給されるリンス液としては、純水、炭酸水、電解イオン水、水素水、オゾン水、または、希釈濃度（例えば、１０〜１００［ｐｐｍ］程度）の塩酸水などを例示することができる。
【００７１】
第２リンス液ノズル１４０は、ステー１４３によってノズル３０に固定されている。第２リンス液ノズル１４０は、ノズル３０と共に水平方向および鉛直方向Ｄ１に沿って移動する。第２リンス液ノズル１４０に供給されたリンス液は、ノズル３０の下方に向けて吐出されてもよいし、ノズル３０から基板Ｗの上面に処理液の液滴が供給される供給位置よりも基板Ｗの回転方向に関して上流側であって、当該供給位置の近傍の位置に供給されてもよい。
【００７２】
図２は、ノズル３０の構成の一例を概略的に示す側面図である。ノズル３０は本体３１とカバー３２と圧電素子３３とシール３４とを含む。本体３１の下面には吐出口３１ａ（後に参照する図３も参照）が形成され、ノズル３０は吐出口３１ａから処理液の液滴を吐出する。カバー３２は本体３１に取り付けられる。圧電素子３３はカバー３２によって覆われる。シール３４は本体３１とカバー３２との間に介在する。
【００７３】
本体３１およびカバー３２は、いずれも処理液に対する耐性を有する材料によって形成されている。例えば本体３１は石英によって形成されている。カバー３２は例えばフッ素系の樹脂によって形成されている。シール３４は例えばＥＰＤＭ（エチレン−プロピレン−ジエンゴム）などの弾力を有したゴム系の樹脂によって形成されている。本体３１は、高圧に耐えうる強度を有している。
【００７４】
カバー３２の側面（外側の側面）には、ノズル３０をノズルアーム１８１の先端に着脱可能に取り付けるための取付機構が設けられている。ここでは取付機構の一例として、カバー３２の側面には、ネジ孔３０ａが形成されている。図２の例では、２つのネジ孔３０ａが水平方向において並んで形成されている。ノズル３０は２つのネジ孔３０ａを用いたネジ締結により、ノズルアーム１８１に固定される。
【００７５】
本体３１の一部（後述）と圧電素子３３とは、カバー３２の内部に収容されている。配線１７１の端部は例えば半田によって、カバー３２の内部で圧電素子３３に接続されている。カバー３２の内部は、シール３４によって密閉されている。
【００７６】
図３は、ノズル３０の本体３１の構成の一例を概略的に示す断面図である。本体３１は板部材３１１と柱部材３１２と柱部材３１３とを含む。板部材３１１は板状の形状を有しており、その厚み方向が鉛直方向に沿うように配置されている。板部材３１１の下面（つまり、ノズル３０の下面）には、複数の吐出口３１ａが形成されている。吐出口３１ａは例えば数［μｍ］〜数十［μｍ］の直径を有する微細孔である。
【００７７】
板部材３１１の上面には圧電素子３３が配置されている。また柱部材３１２および柱部材３１３は板部材３１１の上面に立設されている。柱部材３１２および柱部材３１３は例えば円柱形状を有しており、圧電素子３３に対して互いに反対側に位置している。柱部材３１２の上面には、処理液が供給される供給口３１ｂが形成され、柱部材３１３の上面には、処理液を排出する排出口３１ｃが形成されている。
【００７８】
本体３１の内部には、吐出口３１ａ、供給口３１ｂおよび排出口３１ｃを繋ぐ流路３１０が形成されている。以下では、流路３１０を第１流路３１Ａから第４流路３１Ｄに分割して説明する。複数の第１流路３１Ａの各々は吐出口３１ａを一端として有し、板部材３１１の内部を鉛直方向に沿って延びる。各第１流路３１Ａの他端は板部材３１１の内に位置している。第２流路３１Ｂは供給口３１ｂを一端として有し、柱部材３１２の内部を鉛直方向に沿って延びる。第２流路３１Ｂの他端も板部材３１１の内部に位置している。第３流路３１Ｃは排出口３１ｃを一端として有し、柱部材３１３の内部を鉛直方向に沿って延びる。第３流路３１Ｃの他端も板部材３１１の内部に位置している。第４流路３１Ｄは板部材３１１の内部において、第１流路３１Ａの他端、第２流路３１Ｂの他端および第３流路３１Ｃの他端を互いに繋げる。この第４流路３１Ｄの一部は圧電素子３３の鉛直下方に位置している。よって、第４流路３１Ｄの当該一部を流れる処理液には、圧電素子３３からの振動が付与される。
【００７９】
図４は、ノズル３０の下面（つまり本体３１の下面）の構成の一例を概略的に示す平面図である。図４の例では、ノズル３０の下面は略矩形状の形状を有している。図４の例では、第４流路３１Ｄは平面視において、略矩形を構成する４辺に沿って延びている。複数の吐出口３１ａは第４流路３１Ｄの長辺領域と重なる位置に形成されている。なお図４では、図を見やすくするために、吐出口３１ａの大きさを誇張して示している。吐出口３１ａは各長辺領域において２列に形成されており、各列において、複数の吐出口３１ａが長辺に沿って並んで形成されている。第４流路３１Ｄの一方の短辺領域の略中央部には、第２流路３１Ｂの他端が繋がっており、第４流路３１Ｄの他方の短辺領域の略中央部には、第３流路３１Ｃの他端が繋がっている。
【００８０】
流路３１０の断面形状は、主として、例えば直径が数［ｍｍ］以下の円形である。吐出口３１ａの直径は例えば数［μｍ］から数十［μｍ］であるので、第１流路３１Ａは吐出口３１ａに向かうにしたがって細くなる先細形状を有している（図３も参照）。
【００８１】
図２を再び参照して、カバー３２の上面には、柱部材３１２の供給口３１ｂに繋がる継手孔３２ｂが形成されている。この継手孔３２ｂには、処理液供給管１６１の一端に設けられた継手１６１１が接続される。例えば、継手孔３２ｂの内周面には、ネジ溝が形成されており、継手１６１１の外周面にもネジ溝が形成される。継手１６１１が継手孔３２ｂに螺合することにより、処理液供給管１６１がノズル３０に接続される。この接続によって、処理液供給管１６１の内部流路とノズル３０の供給口３１ｂとが互いに繋がる。
【００８２】
また、カバー３２の上面には、柱部材３１３の排出口３１ｃに繋がる継手孔３２ｃも形成されている。この継手孔３２ｃには、処理液排出管１６３の一端に設けられた継手１６３１が接続される。例えば、継手孔３２ｃの内周面には、ネジ溝が形成されており、継手１６３１の外周面にもネジ溝が形成される。継手１６３１が継手孔３２ｂに螺合することにより、処理液排出管１６３がノズル３０に接続される。この接続によって、処理液排出管１６３の内部流路とノズル３０の排出口３１ｃとが互いに繋がる。
【００８３】
なお、ノズル３０の供給口３１ｂおよび排出口３１ｃは、ノズル３０に形成され、流路３１０を介して吐出口３１ａに繋がる開口の一種である、といえる。
【００８４】
処理液供給機構１６０（図１参照）は、常時、高圧で処理液をノズル３０に供給している。処理液供給管１６１を介して処理液供給機構１６０から供給口３１ｂに供給された処理液は、流路３１０に供給される。排出バルブ１６２（図１参照）が閉じられている状態では、流路３１０での処理液の圧力（液圧）が十分に高まる。そのため、排出バルブ１６２が閉じられている状態では、液圧によって各吐出口３１ａから処理液が噴射される。さらに、排出バルブ１６２が閉じられている状態で、交流電圧が圧電素子３３に印加されると、第４流路３１Ｄを流れる処理液に圧電素子３３の振動が付与され、各吐出口３１ａから噴射される処理液が、この振動によって分断される。そのため、排出バルブ１６２が閉じた状態で交流電圧が圧電素子３３に印加されると、処理液の液滴が各吐出口３１ａから噴射される。これにより、粒径が均一な多数の処理液の液滴が均一な速度で同時に噴射される。
【００８５】
一方、排出バルブ１６２が開いた状態では、流路３１０に供給された処理液が排出口３１ｃから処理液排出管１６３に排出される。また、吐出口３１ａの直径が非常に小さいことから、第１流路３１Ａと吐出口３１ａとの接続部での圧力損失が大きい。よって、排出バルブ１６２が開いた状態では、流路３１０での液圧が十分に上昇しない。そのため、排出バルブ１６２が開いた状態では、流路３１０に供給された処理液が排出口３１ｃから処理液排出管１６３に排出され、複数の吐出口３１ａからはほとんど吐出されない。したがって、吐出口３１ａからの処理液の吐出は排出バルブ１６２の開閉により制御される。制御部１５０は、ノズル３０を基板Ｗの処理に使用しない間（ノズル３０の待機中）において、排出バルブ１６２を開いている。そのため、ノズル３０の待機中であっても、ノズル３０の内部で処理液が流通している状態が維持される。
【００８６】
このような基板処理装置１００において、例えば点検等により、作業者がノズル３０を基板処理装置１００から取り外すことがある。具体的には、次のようにしてノズル３０を取り外す。まず、作業者は入力部１５１への入力によって処理液供給機構１６０の動作を停止させた上で、継手１６１１および継手１６３１をそれぞれ継手孔３２ｂおよび継手孔３２ｃから外す。つまり、処理液供給管１６１および処理液排出管１６３をノズル３０から外す。また、作業者は入力部１５１への入力によって電圧印加機構１７０の動作を停止させた上で、配線１７１を電圧印加機構１７０から取り外す。そして、作業者はノズル３０をノズルアーム１８１から取り外す。これにより、作業者はノズル３０を基板処理装置１００から取り外すことができる。作業者は、取り外したノズル３０を基板処理装置１００外に載置しておくことがある。点検は数日に亘り得るので、ノズル３０は数日に亘って基板処理装置１００外に載置され得る。
【００８７】
ところで、ノズル３０の吐出口３１ａは微細孔であるので、異物の付着の影響がより大きくなる。具体的には、異物の付着により、吐出口３１ａの断面が小さくなれば、吐出口３１ａから吐出される処理液の液滴が大幅に小さくなり得る。あるいは、吐出口３１ａの断面が真円から歪むので、処理液の液滴が斜めに吐出され得る。また吐出口３１ａは微細孔であるので、詰まりやすい。以下では、これらの異常を吐出口異常とも呼ぶ。
【００８８】
本実施の形態では、ノズル３０の吐出口３１ａを保護できる治具を提供することを企図する。
【００８９】
＜治具＞
図５は、治具１の構成の一例を概略的に示す斜視図であり、図６は、治具１の構成の一例を概略的に示す平面図であり、図７は、治具１の構成の一例を概略的に示す断面図である。なお図５から図７の例では、ノズル３０も示されている。
【００９０】
治具１は、ノズル３０を保護する治具であって、箱部材１０とブラケット（取付部材）２０とを含む。箱部材１０は作業者によって持ち運び可能であって、鉛直上方に開口する箱形の形状を有している。より具体的には、箱部材１０は底板１１と側壁１２とを含む。底板１１は板状の形状を有しており、その厚み方向が鉛直方向に沿うように配置される。底板１１の形状は特に制限されないものの、平面視において例えば多角形状（より具体的な一例として、略矩形状の形状）を有している（図６参照）。
【００９１】
側壁１２は底板１１の周縁に立設されている。ここでは、底板１１は多角形状を有しているので、側壁１２は底板１１の各辺に対応して設けられる。以下では、略矩形状の底板１１の４辺に設けられた４つの側壁１２を、それぞれ側壁１２１から側壁１２４と呼ぶことがある。側壁１２１から側壁１２４は時計回り方向にこの順で設けられる。
【００９２】
ブラケット２０も持ち運び可能であって、ノズル３０の下面が箱部材１０によって囲まれるように、ノズル３０を箱部材１０に対して着脱可能に固定する。図５から図７の例では、ブラケット２０は板部２１とノズル取付部２２とを含む。板部２１は板状の形状を有している。板部２１は、その厚み方向が鉛直方向に沿い、かつ、箱部材１０の側壁１２の上面と鉛直方向において対向するように、箱部材１０に取り付けられる。
【００９３】
図５および図６の例では、板部２１は平面視において略Ｕ字状の形状を有している。この板部２１は平面視において側壁１２の上面に沿う姿勢で箱部材１０に取り付けられる。以下、板部２１を次の３つの基体部２１１、腕部２１２および腕部２１３に分割して説明する。基体部２１１は平面視において側壁１２１に沿って延びている。基体部２１１の幅は側壁１２１の幅よりも広く、基体部２１１は平面視において箱部材１０の内側へと張り出している。基体部２１１は、側壁１２１の長手方向の端から端までを覆う程度の長さを有している。
【００９４】
腕部２１２は基体部２１１の一端から側壁１２２に沿って延びている。腕部２１２の幅も側壁１２２よりも広く、腕部２１２は平面視において箱部材１０の内側へと張り出している。また腕部２１２も側壁１２２の長手方向の端から端までを覆う程度の長さを有している。
【００９５】
腕部２１３は基体部２１１の他端から側壁１２４に沿って延びている。腕部２１３の幅も側壁１２４よりも広く、腕部２１３は平面視において箱部材１０の内側へと張り出している。また腕部２１３も側壁１２４の長手方向の端から端までを覆う程度の長さを有している。
【００９６】
基体部２１１、腕部２１２および腕部２１３は全体としてＵ字形状を呈している。ノズル３０はこの腕部２１２および腕部２１３によって挟まれる空間に配置されることになる（図５および図６参照）。
【００９７】
板部２１は箱部材１０の側壁１２の上面において、箱部材１０に着脱可能に取り付けられる。例えば箱部材１０の側壁１２１の上面には、ネジ孔１２ａが形成されている（図７参照）。このネジ孔１２ａは鉛直方向に沿って延びる。ここでは、平面視において、ネジ孔１２ａが２つ形成される。この２つのネジ孔１２ａは側壁１２１の長手方向の中心に対して互いに反対側に形成される。
【００９８】
板部２１（基体部２１１）のうち、ネジ孔１２ａと向かい合う領域には、貫通孔２１ａが形成されている。この貫通孔２１ａは板部２１をその厚み方向に貫通する。
【００９９】
作業者は貫通孔２１ａおよびネジ孔１２ａが互いに向かい合うように、ブラケット２０を箱部材１０の側壁１２の上面の上に載置する。次に作業者はネジ４０を貫通孔２１ａに通してネジ孔１２ａに螺合することにより、ブラケット２０を箱部材１０に取り付ける。
【０１００】
ノズル取付部２２はノズル３０を着脱可能に取り付ける部材である。例えば、ノズル取付部２２は板状の形状を有しており、板部２１の上面に立設されている。図５から図７の例では、ノズル取付部２２は板部２１の基体部２１１のうち内側縁部に立設されている。ここでいう内側縁部とは、平面視において、箱部材１０の内側における基体部２１１の端部を意味する。ノズル取付部２２は基体部２１１の長手方向に沿って延びている。またノズル取付部２２はその厚み方向が基体部２１１の短手方向（つまり、腕部２１２および腕部２１３の長手方向）に沿うように配置されている。この板部２１およびノズル取付部２２の断面は、図７に例示するように、全体としてＬ字形状を呈している。
【０１０１】
図７の例では、ノズル取付部２２には、ノズル３０のネジ孔３０ａに対応する領域に貫通孔２２ａが形成されている。ここではノズル３０には２つのネジ孔３０ａが形成されているので、ノズル取付部２２にも、２つの貫通孔２２ａが形成される。貫通孔２２ａはノズル取付部２２をその厚み方向に貫通する。
【０１０２】
作業者はノズル３０のネジ孔３０ａが貫通孔２２ａと向かい合うように、ノズル３０の側面をノズル取付部２２に接触させる。この状態において、ノズル３０はＵ字状のブラケット２０の内部に位置する。つまり、ノズル３０は腕部２１２と腕部２１３との間に位置する。また、ノズル３０の下面が箱部材１０の底面に対向する。なお作業者は、ノズル３０の下面（吐出口３１ａ）が箱部材１０の内部に位置するように、ノズル３０のノズル取付部２２に対する姿勢を調整する。そして、作業者はネジ４１をノズル取付部２２の貫通孔２２ａに通してネジ孔３０ａに螺合させる。これにより、ノズル３０をブラケット２０に取り付けることができる。
【０１０３】
ブラケット２０が箱部材１０およびノズル３０の両方に取り付けられた状態では、ノズル３０の下面は箱部材１０によって囲まれている。図７に例示するように、ノズル３０の下面は箱部材１０の内部に位置していてもよい。なおノズル３０の吐出口３１ａは箱部材１０とは接触しておらず、離れている。これによれば、箱部材１０の外部空間を漂う異物（例えば埃）がノズル３０の吐出口３１ａに付着する可能性を低減することができる。言い換えれば、ノズル３０の吐出口３１ａを異物から保護することができる。
【０１０４】
図８は、ノズル３０を治具１に取り付ける手順（つまり、ノズル３０の保護方法）の一例を示すフローチャートである。まずステップＳ１にて、作業者は基板処理装置１００からノズル３０を取り外す。具体的には、まず作業者は基板処理装置１００の入力部１５１への入力により、処理液供給機構１６０および電圧印加機構１７０の動作を停止させる。そして、作業者は処理液供給管１６１および処理液排出管１６３をノズル３０から取り外し、配線１７１を電圧印加機構１７０から取り外し、ノズル３０をノズルアーム１８１から取り外す。
【０１０５】
次にステップＳ２にて、作業者はノズル３０をブラケット２０に取り付ける。具体的には、作業者はＵ字状のブラケット２０に対して横方向からノズル３０を挿入して、ノズル３０のネジ孔３０ａとノズル取付部２２の貫通孔２２ａとが向かい合うように、ノズル３０の側面をノズル取付部２２に接触させる。そして、作業者はネジ４１を貫通孔２２ａに通してノズル３０のネジ孔３０ａに螺合させる。ネジ４１としては、基板処理装置１００で用いられていたネジを流用してもよい。具体的には、ノズル３０とノズルアーム１８１とを締結していたネジを流用してもよい。これにより、コストを低減しつつ、部品の管理を容易にできる。
【０１０６】
次にステップＳ３にて、作業者は、ノズル３０付きのブラケット２０を箱部材１０に取り付ける。具体的には、作業者はブラケット２０を箱部材１０の側壁１２の上面の上に載置し、ネジ４０をブラケット２０の貫通孔２１ａに通して箱部材１０のネジ孔１２ａに螺合させる。これにより、ノズル３０の下面が箱部材１０に囲まれた状態で、箱部材１０に対して固定されることになる。
【０１０７】
次にステップＳ４にて、作業者はノズル３０付きの治具１（つまり、箱部材１０、ブラケット２０およびノズル３０を含む構造体）を、密閉容器２００の内部に収容する。図９は、治具１が密閉容器２００に収容された状態の一例を概略的に示す平面図である。密閉容器２００は例えば鉛直上側に開口する箱部材と、当該箱部材の開口を気密に塞ぐ蓋とを含む。ノズル３０付きの治具１は密閉容器２００の内部の底面の上に載置される。
【０１０８】
密閉容器２００の内部には、ノズル３０付きの治具１の位置を固定するための固定部材２１０が設けられてもよい。固定部材２１０は例えば発泡体である。図９の例では、２つの固定部材２１０が設けられている。固定部材２１０は密閉容器２００の内部の底面の上に載置されており、密閉容器２００に固定される。固定部材２１０は例えば直方体形状を有しており、その長手方向が密閉容器２００の一辺（図９では短辺）に沿う姿勢で配置されている。例えば固定部材２１０の両端は密閉容器２００の内面に当接する。固定部材２１０は密閉容器２００に圧入されることにより、固定されていてもよい。ノズル３０付きの治具１が一対の固定部材２１０の間に嵌ることにより、ノズル３０付きの治具１の密閉容器２００内での位置が固定される。固定部材２１０として発泡体を採用すれば、一対の固定部材２１０の間に治具１をはめ込みやすく、固定しやすい。
【０１０９】
以上のように、治具１によれば、ノズル３０の下面（つまり吐出口３１ａ）が箱部材１０によって取り囲まれる。したがって、箱部材１０の外部空間を漂う異物はノズル３０の吐出口３１ａに付着しにくい。つまり、異物が吐出口３１ａに付着する可能性を低減することができる。ひいては、吐出口異常が生じる可能性を低減することができる。しかも、ノズル３０を基板処理装置１００の外部で保管することができる。これによれば、基板処理装置１００のメンテナンスを行いやすい。
【０１１０】
また本実施の形態では、持ち運び可能な治具１によりノズル３０を保護することができる。よって、ノズル３０を保護するための特許文献２に記載のメンテナンス機構を、基板処理装置１００に設ける必要がない。例えば特許文献２に記載のように、当該メンテナンス機構を基板保持部１１０と水平面で隣り合う領域に設けると、基板処理装置１００の平面視上のサイズが増大する。これに対して、メンテナンス機構を基板処理装置１００に設けずに治具１を利用すれば、基板処理装置１００を小型化することができる。
【０１１１】
また上述の例では、ブラケット２０は着脱可能に箱部材１０に取り付けられる。よって、ブラケット２０を箱部材１０から取り外した状態で、ノズル３０をブラケット２０に取り付けることができる。これによれば、ノズル３０をブラケット２０に取り付けやすい。
【０１１２】
また上述の例では、ブラケット２０の板部２１は箱部材１０の側壁１２の上面と対向しており、その上面に着脱可能に取り付けられる。これによれば、作業者はブラケット２０を箱部材１０に対して鉛直上方から取り付けることができる。よって、作業者はブラケット２０を箱部材１０に取り付けやすい。
【０１１３】
また上述の例では、ブラケット２０は平面視においてＵ字形状を有している。Ｕ字状のブラケット２０は横方向にも開口するので、ノズル３０をＵ字形状の開口部から横方向に沿ってノズル取付部２２側へと挿入することができる。ここでいう横方向とは、板部２１の厚み方向に垂直な方向であって、Ｕ字状の板部２１が開口する方向である。ノズル３０を横方向からノズル取付部２２へと接触させれば、ノズル３０の吐出口３１ａがブラケット２０に接触しにくい。つまり、ノズル３０の吐出口３１ａとブラケット２０との不要な衝突が生じにくい。したがって、ブラケット２０との衝突に起因したノズル３０の吐出口３１ａの損傷または汚染が生じくい。
【０１１４】
また上述の例では、板部２１の基体部２１１、腕部２１２および腕部２１３は、箱部材１０の側壁１２に沿って配置される。よって、ノズル３０を安定して支持しやすい。なぜなら、ノズル３０の重量に起因してブラケット２０に生じる応力を、腕部２１２および腕部２１３にも分散することができるからである。言い換えれば、腕部２１２および腕部２１３がノズル３０の重量を分担して支持することができるからである。
【０１１５】
また上述の例では、ノズル３０付きの治具１を密閉容器２００内に収容している。よって、密閉容器２００の外部空間を漂う異物は密閉容器２００の内部に進入できない。したがって、ノズル３０の吐出口３１ａに異物が付着する可能性をさらに低減することができる。
【０１１６】
＜閉塞部材＞
図１０は、治具１Ａの構成の一例を概略的に示す斜視図である。治具１Ａは閉塞部材５０の有無を除いて、治具１と同様の構成を有している。閉塞部材５０はノズル３０の供給口３１ｂおよび排出口３１ｃを塞ぐための部材であり、供給口３１ｂおよび排出口３１ｃにそれぞれ対応して２つ設けられている。
【０１１７】
ここでは一例として、閉塞部材５０は着脱可能にノズル３０の継手孔３２ｂおよび継手孔３２ｃをそれぞれ塞ぐことにより、これらの内部に位置する供給口３１ｂおよび排出口３１ｃをそれぞれ塞ぐ。例えば閉塞部材５０はネジである。ノズル３０の継手孔３２ｂおよび継手孔３２ｃの内周面には、それぞれネジ溝が形成されており、２つの閉塞部材５０はそれぞれ継手孔３２ｂおよび継手孔３２ｃに螺合する。これによって、２つの閉塞部材５０はそれぞれ供給口３１ｂおよび排出口３１ｃを閉塞できる。
【０１１８】
したがって、周囲の空間を漂う異物が供給口３１ｂおよび排出口３１ｃの各々を通過してノズル３０の内部の流路３１０内に進入することを回避できる。ひいては、ノズル３０の吐出口３１ａに異物が付着する可能性をさらに低減することができる。
【０１１９】
作業者が閉塞部材５０をノズル３０に取り付けるタイミングは、図８のステップＳ１の後であってステップＳ４の前までの期間内であればよい。
【０１２０】
＜作業者による手順の他の例＞
図８の例では、ノズル３０を基板処理装置１００から取り外した上で（ステップＳ１）、このノズル３０に治具１を取り付けている（ステップＳ２およびステップＳ３）。しかしながら、必ずしもこれに限らない。ノズル３０が基板処理装置１００に取り付けられた状態で、治具１をノズル３０に取り付けてもよい。
【０１２１】
図１１は、基板処理装置１００に取り付けられたノズル３０Ａに治具１が取り付けられている様子の一例を概略的に示す図である。ノズル３０Ａはノズル３０と同様の構成を有している。ただし、ノズル３０Ａは基板処理装置１００用の取付機構および治具１用の取付機構を有している。
【０１２２】
ノズル３０Ａの側面には、ノズル３０と同様に、基板処理装置１００用の取付機構としてのネジ孔３０ａが形成されている。ノズルアーム１８１は、ノズル３０Ａの当該側面に沿って延在しており、ネジ孔３０ａと対向する領域において貫通孔１８１ａが形成されている。ネジ４２を貫通孔１８１ａに通してネジ孔３０ａに螺合させることにより、ノズルアーム１８１とノズル３０Ａとが相互に固定される。
【０１２３】
ノズル３０Ａはノズルアーム１８１に取り付けられた状態で、治具１にも取り付けられ得る。例えばノズル３０Ａの側面には、治具１用の取付機構としてのネジ孔３０ｂも形成されている。このネジ孔３０ｂは、ネジ孔３０ａが形成された側面と向かい合う側面に形成されている。つまり、ネジ孔３０ａおよびネジ孔３０ｂはノズル３０の互いに反対側の側面にそれぞれ形成されている。
【０１２４】
作業者は、ブラケット２０のノズル取付部２２の貫通孔２２ａがこのネジ孔３０ｂに向かい合うように、ブラケット２０をノズル３０の側面に接触させる。そして、作業者はネジ４１を貫通孔２２ａに通してネジ孔３０ｂに螺合させる。これにより、ノズルアーム１８１にノズル３０Ａが取り付けられた状態で、そのノズル３０Ａにブラケット２０を取り付けることができる。
【０１２５】
図１２は、治具１をノズル３０Ａに取り付ける上記手順の一例を示すフローチャートである。ステップＳ１１にて、作業者は、基板処理装置１００に取り付けられたノズル３０Ａに対して、ブラケット２０を取り付ける。具体的な一例として、作業者は上述のようにネジ４１を用いてブラケット２０をノズル３０Ａに取り付ける。
【０１２６】
次にステップＳ１２にて、作業者はステップＳ３と同様に、箱部材１０をブラケット２０に取り付ける。次にステップＳ１３にて、作業者は、治具１が取り付けられたノズル３０Ａを基板処理装置１００から取り外す。具体的には、作業者はノズル３０と同様に処理液供給管１６１、処理液排出管１６３および配線１７１を取り外し、ネジ４２を外すことにより、ノズル３０Ａをノズルアーム１８１から取り外す。次にステップＳ１４にて、作業者はノズル３０Ａ付きの治具１を密閉容器２００に収容する。
【０１２７】
このような手順においても、ノズル３０Ａを治具１に取り付けることができる。しかもこの手順によれば、基板処理装置１００からノズル３０Ａを取り外す前から、治具１によるノズル３０Ａの保護機能を発揮させることができる。よって、ノズル３０Ａの吐出口３１ａに異物が付着する可能性をさらに低減することができる。
【０１２８】
一方で、基板処理装置１００からノズル３０を取り外した後に、ノズル３０をブラケット２０に取り付ける場合（図８参照）には、ノズル３０を空間的に自由に動かすことができるので、ノズル３０をブラケット２０に取り付けやすい。つまり、作業性を向上することができる。
【０１２９】
なお、供給口３１ｂを閉塞するための閉塞部材５０、および、排出口３１ｃを閉塞するための閉塞部材５０をノズル３０Ａに取り付けてもよい。これによれば、供給口３１ｂおよび排出口３１ｃから流路３１０へと異物が進入することを回避できる。
【０１３０】
また上述の例では、治具１の取り付け後にノズル３０Ａを基板処理装置１００から取り外しているものの、必ずしもこれに限らない。ノズル３０Ａを基板処理装置１００に取り付けたままとしてもよい。この場合、ノズル３０Ａおよび治具１は密閉容器２００に収容されなくてもよい。
【０１３１】
第２の実施の形態．
処理液供給機構１６０の動作を停止すると、ノズル３０への新たな処理液の供給が停止する。しかるに、ノズル３０の内部の流路３１０の処理液はそのまま残留する。この状態でノズル３０を基板処理装置１００から取り外することにより、ノズル３０内に残留した処理液の大部分を排出することは可能である。例えばノズル３０の供給口３１ｂおよび排出口３１ｃを鉛直下方に向ければ、処理液が重力により流下して、その大部分が排出される。しかしながら、ノズル３０内の流路３１０には、なお処理液が残留し得る。
【０１３２】
このノズル３０を治具１に取り付けて保管した場合、処理液の蒸発に起因してノズル３０の吐出口３１ａの近傍に異物が生じ得る。この点について次に詳述する。ノズル３０の内部に残留した処理液が蒸発すると、処理液の液面は下降する。処理液には、蒸発しない不純物も含まれており、蒸発と共に処理液内の不純物濃度は高まる。この不純物も異物の一種である。
【０１３３】
この不純物は、処理液の液面から流路３１０内の内周面に付着し得る。しかも、不純物濃度が高いほど、不純物は流路３１０内の内周面に付着しやすい。よって、蒸発に伴って処理液の液面が吐出口３１ａの近傍まで下降すると、処理液内に含まれる不純物が第１流路３１Ａの内面の吐出口３１ａ近傍に付着しやすい。不純物が吐出口３１ａ近傍に付着して乾燥すると、吐出口異常が生じ得る。
【０１３４】
そこで、第２の実施の形態では、ノズル３０の吐出口３１ａの近傍に不純物が付着する可能性を低減することを企図する。
【０１３５】
図１３は、ノズル３０が取り付けられた治具１Ｂの構成の一例を示す断面図である。治具１Ｂは治具１Ａと同様の構成を有している。なお図１３の例では、閉塞部材５０が設けられているものの、閉塞部材５０は必ずしも設けられている必要はない。
【０１３６】
治具１Ｂにおいて、箱部材１０の内部には保存液ＬＱ１が貯留されている。つまり、箱部材１０は、液体を貯留するタンクとして機能する。ノズル３０の下面は、ノズル３０が治具１Ｂに取り付けられた状態で保存液ＬＱ１に浸漬している。保存液ＬＱ１としては、種々の液体を採用することができる。例えば、有機溶媒（例えばアルコール）を採用してもよく、あるいは、ノズル３０が吐出する処理液と同種の液体を採用してもよい。当該液体を採用すれば、ノズル３０は処理液に対する耐性を有しているので、保存液ＬＱ１によるノズル３０への悪影響は生じにくい。
【０１３７】
ノズル３０の下面（吐出口３１ａ）が箱部材１０の内部において保存液ＬＱ１に浸漬される。よって、ノズル３０の吐出口３１ａの近傍への不純物の付着を抑制でき、吐出口異常が生じる可能性を低減できる。
【０１３８】
特に、ノズル３０付きの治具１Ｂを密閉容器２００内に収容すれば、保存液ＬＱ１の蒸発を抑制することができる。これによれば、保存液ＬＱ１の液面低下を抑制でき、ノズル３０の下面をより確実に保存液ＬＱ１に浸漬させ続けることができる。よって、吐出口異常が生じる可能性をさらに低減できる。
【０１３９】
＜液面を規定する印＞
図１３の例では、箱部材１０の側壁１２の内面には、保存液ＬＱ１の液面を規定するための印１３が設けられている。図１３の例では、印１３は、側壁１２の内面に設けられた段差である。側壁１２の幅は当該段差を境界として、鉛直下方において広く、鉛直上方において狭い。この印１３は、例えば、箱部材１０内のノズル３０の下面の高さ位置以上の高さ位置に設けられる。
【０１４０】
これによれば、作業者は保存液ＬＱ１を印１３よりも高い位置まで箱部材１０の内部に注ぐことにより、ノズル３０の下面を確実に保存液ＬＱ１に浸漬させることができる。言い換えれば、予め決められた規定量の保存液ＬＱ１を注ぎやすい。
【０１４１】
なお印１３は必ずしも段差でなくてもよい。例えば印１３は、側壁１２の内面から突起する突起部であってもよく、あるいは、側壁１２の内面に形成された溝であってもよい。あるいは、印１３は例えば、インク等により側壁１２の内面に描かれた印字物（例えば長尺状のライン）であってもよい。
【０１４２】
＜保存液の液面の位置＞
図１３に例示するように、保存液ＬＱ１はノズル３０のシール３４に接触しないことが望ましい。つまり、保存液ＬＱ１の液面は、ノズル３０の下面とシール３４の下端との間に位置していることが望ましい。その理由を次に述べる。シール３４は樹脂で構成されているので、シール３４内の成分が保存液ＬＱ１に溶出し得る。この成分がノズル３０の吐出口３１ａで析出されると、吐出口３１ａに不純物として付着する可能性がある。そこで、保存液ＬＱ１の液面がシール３４の下端よりも低い位置となるように、箱部材１０に注がれる保存液ＬＱ１の量が調整されることが望ましい。
【０１４３】
印１３が設けられる場合には、その印１３はシール３４の下端よりも低い位置に設けられるとよい。つまり、印１３はノズル３０の下面も高く、シール３４の下端よりも低い位置に設けられるとよい。
【０１４４】
＜ブラケット＞
ブラケット２０は透明性を有していてもよい。より具体的には、板部２１が可視光についての透光性を有していてもよい。例えばブラケット２０（板部２１）はガラスまたはアクリル等により形成される。これによれば、たとえブラケット２０を箱部材１０に取り付けた状態であっても、作業者はブラケット２０の透明な部分を介して箱部材１０の内部を目で確認することができる。つまり、作業者は箱部材１０内の保存液ＬＱ１の量を視認することができ、ノズル３０の下面が保存液ＬＱ１に浸漬しているかどうかを視認できる。
【０１４５】
一方で、箱部材１０は非透明であってもよい。これによれば、箱部材１０に採用できる材料の選択性を向上できる。箱部材１０は保存液ＬＱ１が貯留されることから、その保存液ＬＱ１についての耐性（耐薬性）を有している必要があり、より広い材料から箱部材１０の材料を選択できることは好適である。これによれば、箱部材１０に適した材料を選定しやすい。また保存液ＬＱ１が透明である場合、非透明の箱部材１０を採用する方が、保存液ＬＱ１を視認しやすい。
【０１４６】
＜手順＞
図１４は、ノズル３０を治具１Ｂに取り付ける手順の一例を示すフローチャートである。図８と比較して、ステップＳ０がさらに実行される。図１４の例では、ステップＳ０はステップＳ１の前に実行される。ステップＳ０では、作業者は保存液ＬＱ１を箱部材１０の内部に注ぐ。より具体的には、作業者は、印１３で規定される量の保存液ＬＱ１を箱部材１０の内部に注ぐ。これによれば、ステップＳ３において、ノズル３０の下面を保存液ＬＱ１に浸漬させることができる。
【０１４７】
この手順によれば、ノズル３０を治具１Ｂに取り付けて、ノズル３０の下面を保存液ＬＱ１に浸漬させることができる。またノズル３０付きの治具１Ｂを密閉容器２００に収容できる。
【０１４８】
なお、ステップＳ０は必ずしもステップＳ１の前に実行される必要はなく、ステップＳ４の前の任意のタイミングで実行されればよい。
【０１４９】
また治具１Ｂは第１の実施の形態と同様に、基板処理装置１００からノズル３０Ａを取り外す前に、ノズル３０Ａに取り付けられてもよい。要するに、基板処理装置１００にノズル３０Ａが取り付けられた状態で、治具１Ｂがノズル３０Ａに取り付けられてもよい。保存液ＬＱ１は、治具１Ｂがノズル３０Ａに取り付けられる前から箱部材１０に注がれていてもよく、治具１Ｂがノズル３０Ａに取り付けられた後に注がれてもよい。これによっても、ノズル３０Ａの下面を保存液ＬＱ１に浸漬させることができる。
【０１５０】
＜保存液の入れ替え＞
上述のように治具１Ｂにおいては、ノズル３０の下面を保存液ＬＱ１に浸漬させて、ノズル３０の吐出口３１ａを保護した。しかるに、保存液ＬＱ１は時間の経過と共に劣化する。つまり、古い保存液ＬＱ１には、経時劣化により不純物が生じ得る。よって、古い保存液ＬＱ１を箱部材１０内に維持しておくと、ノズル３０の吐出口３１ａに不純物が付着する可能性が高くなる。そこで、ノズル３０を長期的に保護するには、古い保存液ＬＱ１を清浄な保存液ＬＱ１に入れ替えることが望ましい。
【０１５１】
図１５は、治具１Ｃの構成の一例を概略的に示す図である。治具１Ｃは、箱部材１０の構成、保存液供給部６０の有無および保存液排出部７０の有無を除いて、治具１Ｂと同様である。なお図１５の例では、閉塞部材５０が設けられているものの、閉塞部材５０は必ずしも設けられている必要はない。
【０１５２】
箱部材１０には、保存液ＬＱ１が供給される供給口１４と、保存液ＬＱ１を排出する排出口１５とが形成されている。図１５の例では、供給口１４および排出口１５は箱部材１０の側壁１２の下端側に形成されている。より具体的な一例として、供給口１４は側壁１２４に形成され、排出口１５は、側壁１２４と向かい合う側壁１２２に形成されている。
【０１５３】
保存液供給部６０は供給口１４を介して保存液ＬＱ１を箱部材１０の内部に供給する。保存液供給部６０は保存液供給管６１と供給バルブ６２と保存液供給源６３とを有している。供給口１４には、保存液供給管６１の一端が接続されている。保存液供給管６１の他端には、保存液供給源６３が接続されている。保存液供給源６３は例えばポンプを含む。また保存液供給源６３は清浄な保存液ＬＱ１を貯留しており、その保存液ＬＱ１を保存液供給管６１の内部へと供給する。保存液供給管６１の途中には、供給バルブ６２が設けられている。供給バルブ６２が開くことにより、保存液供給源６３からの保存液ＬＱ１が保存液供給管６１の内部を流れて、供給口１４から箱部材１０の内部へと供給される。
【０１５４】
保存液排出部７０は排出口１５を介して保存液ＬＱ１を箱部材１０から排出する。保存液排出部７０は保存液排出管７１と排出バルブ７２とを有している。排出口１５には、保存液排出管７１の一端が接続されている。保存液排出管７１の他端には、外部の排出機構が接続されている。保存液排出管７１の途中には、排出バルブ７２が設けられている。排出バルブ７２が開くことにより、箱部材１０に貯留された保存液ＬＱ１が保存液排出管７１の内部を流れて、外部に排出される。
【０１５５】
供給バルブ６２の開閉および排出バルブ７２の開閉の各々は手動で切り替えられてもよく、あるいは、制御部５５によって切り替えられてもよい。制御部５５は例えば作業者による入力部５６への入力に応答して、供給バルブ６２および排出バルブ７２を制御する。制御部５５および入力部５６の構成は制御部１５０および入力部１５１とそれぞれ同様である。
【０１５６】
制御部５５は例えば入力部５６への入力に応答して、排出バルブ７２を開き、保存液ＬＱ１の排出が終了したときに排出バルブ７２を閉じる。例えば制御部５５は計時機能を有しており、排出バルブ７２を開いたときから第１所定時間が経過したときに、排出バルブ７２を閉じてもよい。次に制御部５５は供給バルブ６２を開き、保存液ＬＱ１を箱部材１０の内部に供給し、保存液ＬＱ１の液面が所定の高さ位置となったときに供給バルブ６２を閉じる。例えば制御部１５０は供給バルブ６２を開いたときから第２所定時間が経過したときに、供給バルブ６２を閉じてもよい。
【０１５７】
これにより、古い保存液ＬＱ１を箱部材１０から排出して、清浄な保存液ＬＱ１を箱部材１０の内部に供給することができる。つまり、古い保存液ＬＱ１を清浄な保存液ＬＱ１に入れ替えることができる。これにより、ノズル３０の吐出口３１ａに不純物が付着する可能性をさらに低減することができる。
【０１５８】
上述の例では、古い保存液ＬＱ１を排出した後に、清浄な保存液ＬＱ１を供給しているものの、必ずしもこれに限らない。制御部５５は供給バルブ６２および排出バルブ７２を同時期に開いて、箱部材１０の内部の保存液ＬＱ１の量を所定範囲で維持しつつ、保存液ＬＱ１の入れ替えを行ってもよい。言い換えれば、ノズル３０の下面の保存液ＬＱ１への浸漬を維持しつつ、保存液ＬＱ１の入れ替えを行ってもよい。これによれば、保存液ＬＱ１の入替時であっても、保存液ＬＱ１の液面の低下を抑制できる。よって、保存液ＬＱ１の入替時のおいても、ノズル３０の下面は保存液ＬＱ１に浸漬され続ける。したがって、ノズル３０の吐出口３１ａに不純物が付着する可能性をさらに低減することができる。
【０１５９】
第３の実施の形態．
第２の実施の形態では、ノズル３０の吐出口３１ａを保存液ＬＱ１に浸漬させた。しかしながら、保存液ＬＱ１は経時劣化するので、長期的なノズル３０の保護には適していない。もちろん、保存液ＬＱ１を入れ替えれば、長期的にノズル３０を保護できるものの、保存液ＬＱ１の入れ替えはコストの増大を招く。逆に言えば、第２の実施の形態にかかる治具１Ｂおよび治具１Ｃはノズル３０の短期的な保護に適している。
【０１６０】
第３の実施の形態では、ノズル３０を長期的に保護すべく、ノズル３０の内部に残留する処理液を強制乾燥させることにより不純物の付着を回避することを企図する。
【０１６１】
図１６は、治具１Ｄの構成の一例を概略的に示す断面図であり、図１７は、治具１Ｄの構成の一例を概略的に示す斜視図である。治具１Ｄは箱部材１０とブラケット２０と乾燥部８０とを有している。
【０１６２】
箱部材１０は治具１と同様に、鉛直上方に開口する箱形の形状を有している。ただし、この箱部材１０には、箱部材１０の内部へと気体を供給するための供給口１６が形成されている。図１６の例では、供給口１６は箱部材１０の底板１１に形成されている。この供給口１６は例えばノズル３０の下面と鉛直方向において向かい合う領域に形成される。さらに言えば、供給口１６はノズル３０の吐出口３１ａと向かい合う領域に形成されるとよい。
【０１６３】
ブラケット２０は治具１と同様に、板部２１とノズル取付部２２とを含んでいる。ただし、ブラケット２０は、ノズル３０が取り付けられた状態で、箱部材１０の開口部を気密に塞ぐ。具体的には、板部２１は箱部材１０の側壁１２の全周に沿って延在している。板部２１の略中央には、ノズル３０が貫通配置される貫通孔２１ｂが形成されている。つまり、板部２１の平面視における外形は箱部材１０の側壁１２の全周に沿った形状（ここでは略矩形状）を有しており、貫通孔２１ｂはノズル３０の平面視における外形（ここでは略矩形状）に沿った形状を有している。
【０１６４】
図１６に例示するように、板部２１はシール２４を含んでいてもよい。シール２４は貫通孔２１ｂの内面を形成しており、ノズル３０の側面と接触する。シール２４は例えばゴム系またはシリコン系の樹脂であり、板部２１とノズル３０との間を気密に封止する。また図１６に例示するように、箱部材１０の側壁１２の上面と板部２１との間を気密に封止すべく、シール２３が設けられていてもよい。シール２３は例えばゴム系またはシリコン系の樹脂である。シール２３は例えばＯリングであってもよい。
【０１６５】
図１７に例示するように、板部２１は２つの第１部材２１４および第２部材２１５に分割されてもよい。第１部材２１４および第２部材２１５は平面視において、いずれもＵ字形状を有している。このような板部２１において、第１部材２１４の一端と第２部材２１５の一端とが互いに当接し、第１部材２１４の他端と第２部材２１５の他端とが互いに当接することにより、貫通孔２１ｂが形成される。
【０１６６】
図１７に例示するように、第１部材２１４または第２部材２１５はシール２５を含んでいてもよい。シール２５は第１部材２１４と第２部材２１５とが接触する領域に設けられている。シール２５は例えばゴム系またはシリコン系の樹脂であり、第１部材２１４と第２部材２１５との間を気密に封止する。
【０１６７】
ノズル取付部２２は第１部材２１４の上面に立設されている。具体的には、ノズル取付部２２は治具１と同様に、Ｕ字状の第１部材２１４の基体部のうち貫通孔２１ｂ側の縁部に立設されている。
【０１６８】
作業者はノズル取付部２２にノズル３０を取り付けた上で、第１部材２１４を箱部材１０の側壁１２の上面の上に載置し、ネジ４０によって第１部材２１４を箱部材１０に取り付ける。次に、第１部材２１４および第２部材２１５でノズル３０を囲むように、第２部材２１５を箱部材１０の側壁１２の上面の上に載置し、ネジ４０によって第２部材２１５を箱部材１０に取り付ける。
【０１６９】
これにより、箱部材１０、ブラケット２０およびノズル３０が相互に固定される。この状態において、ノズル３０の下面が箱部材１０に囲まれる。また箱部材１０の内部は気密に封止される。
【０１７０】
図１６を参照して、乾燥部８０は、ノズル３０の吐出口３１ａから流路３１０を介して排出口３１ｃへと流れる気流を形成して、ノズル３０を乾燥させる。例えば乾燥部８０は気体供給部８１と吸引部８５とを含む。
【０１７１】
気体供給部８１は供給口１６を介して箱部材１０の内部に気体を供給して、当該気体をノズル３０の吐出口３１ａに流入させる。当該気体としては、不活性ガス（例えば窒素）を採用することができる。気体供給部８１は気体供給管８２と供給バルブ８３と気体供給源８４とを含む。供給口１６には、気体供給管８２の一端が接続されている。気体供給管８２の他端には、気体供給源８４が接続されている。気体供給源８４は気体を気体供給管８２の内部へと供給する。気体供給管８２の途中には、供給バルブ８３が設けられている。供給バルブ８３が開くことにより、気体供給源８４からの気体が気体供給管８２の内部を流れて、箱部材１０の内部へと供給される。箱部材１０の内部は気密に封止され、吐出口３１ａは非常に小さいので、箱部材１０の内部空間の圧力Ｐ１は箱部材１０の外部の圧力（例えば大気圧）に比べて増大する。
【０１７２】
吸引部８５はノズル３０の排出口３１ｃからの気体を吸引する。吸引部８５は吸引管８６と吸引バルブ８７と吸引装置８８とを含む。ノズル３０の排出口３１ｃには、吸引管８６の一端が接続されている。具体的には、吸引管８６の継手が継手孔３２ｃに接続されることで、吸引管８６がノズル３０に接続される。吸引管８６の他端には、吸引装置８８が接続されている。吸引装置８８は吸引管８６からの気体を吸引して外部に排気する。吸引装置８８は例えば真空ポンプまたはエジェクタを含む。吸引管８６の途中には、吸引バルブ８７が設けられている。吸引バルブ８７が開き、かつ、吸引装置８８が動作することにより、ノズル３０の内部の気体が吸引管８６の内部を流れて吸引装置８８へと吸引される。吸引装置８８により、吸引管８６の内部の圧力Ｐ３は箱部材１０の外部の圧力に比べて低下する。よって、圧力Ｐ３は圧力Ｐ１よりも小さい。
【０１７３】
図１６の例では、ノズル３０の供給口３１ｂは外部空間に開放されている。つまり、供給口３１ｂにおける圧力Ｐ２は、箱部材１０の外部の圧力（大気圧）と同程度である。よって、圧力Ｐ２は圧力Ｐ１と圧力Ｐ３との間の値をとる。
【０１７４】
供給バルブ８３の開閉および吸引バルブ８７の開閉の各々は手動で切り替えられてもよく、あるいは、制御部５５によって切り替えられてもよい。制御部５５は吸引装置８８も制御することができる。
【０１７５】
図１８は、作業者による手順の一例を示すフローチャートである。まずステップＳ２１にて、作業者はステップＳ１と同様に、ノズル３０を基板処理装置１００から取り外す。次にステップＳ２２にて、作業者はノズル３０をブラケット２０に取り付ける。具体的には、作業者はＵ字状の第１部材２１４の開口部へとノズル３０を横から挿入し、ネジ４１をノズル取付部２２の貫通孔２２ａに通してノズル３０のネジ孔３０ａに螺合させる。次にステップＳ２３にて、作業者はブラケット２０（第１部材２１４および第２部材２１５）を箱部材１０に取り付ける。具体的には、作業者はネジ４０を用いて第１部材２１４および第２部材２１５をそれぞれ箱部材１０に取り付ける。
【０１７６】
次にステップＳ２４にて、作業者は吸引管８６の一端をノズル３０に接続する。具体的には、作業者は吸引管８６の一端側の継手をノズル３０の継手孔３２ｃに螺合させることにより、吸引管８６をノズル３０に接続する。これにより、ノズル３０の排出口３１ｃは吸引管８６の内部空間に繋がる。一方で、ノズル３０の供給口３１ｂは外部空間に開放されている。つまり、供給口３１ｂは大気開放されている。
【０１７７】
次にステップＳ２５にて、ノズル３０の吐出口３１ａから排出口３１ｃを介してノズル３０の外部に流れる気流を形成して、ノズル３０を乾燥させる。具体的には、作業者は入力部５６への入力により、供給バルブ８３および吸引バルブ８７を開かせ、吸引装置８８に吸引動作を行わせる。これにより、箱部材１０の内部には、供給口１６から気体（例えば窒素）が供給される。箱部材１０は気密に封止されており、しかも箱部材１０の内部で開口する吐出口３１ａは非常に小さいので、箱部材１０の内部の圧力Ｐ１は増大する。この気体供給と並行して、吸引装置８８がノズル３０の排出口３１ｃから気体を吸引する。よって、排出口３１ｃの圧力Ｐ２は低下する。このとき、ノズル３０の供給口３１ｂは外部に開放されている。したがって、ノズル３０の内部の流路３１０においては、吐出口３１ａおよび供給口３１ｂの各々から排出口３１ｃに向かう気流が形成される。
【０１７８】
この気流によって、ノズル３０の内部に残留した処理液が吹き飛ばされ、または、蒸発して、吸引装置８８へと排出される。したがって、ノズル３０の内部の流路３１０を強制的に乾燥することができる。しかも、この気流では、処理液は吐出口３１ａから排出口３１ｃに向かって流れるので、吐出口３１ａ近傍に不純物が付着する可能性は低い。
【０１７９】
比較のために、上述の気流とは逆の気流を形成する場合、つまり供給口３１ｂまたは排出口３１ｃから吐出口３１ａに向けて気流を形成する場合を考察する。吐出口３１ａは非常に小さく、第１流路３１Ａは吐出口３１ａに向かうにつれて細くなる先細形状を有している。このような構造において、処理液に含まれる不純物が気流に沿って吐出口３１ａ側に流れると、その不純物は吐出口３１ａの近傍で第１流路３１Ａの内面に衝突しやすい。よって、当該不純物はその衝突とともに吐出口３１ａの近傍で当該内面に付着し得る。
【０１８０】
これに対して、治具１Ｄによれば、吐出口３１ａから排出口３１ｃへ向かって気流が形成されるので、不純物は吐出口３１ａ近傍に付着しにくい。そして、ノズル３０の流路３１０内の処理液が全て外部に排出されると、処理液の自然蒸発に伴う不純物の付着を回避することができる。
【０１８１】
図１９は、比較例および本実施の形態において吐出口異常が生じた吐出口３１ａの個数の一例を示す表である。図１９の例では、比較例および本実施の形態の各々において、２回の乾燥処理の結果が示されている。また図１９では、詰り孔の個数と不安定孔の個数とが示されている。ここでいう詰り孔とは、不純物により詰った吐出口３１ａを意味し、不安定孔とは、吐出される液滴が小さくなったり、あるいは液滴が斜めに吐出される吐出口３１ａを意味する。
【０１８２】
比較例にかかる２回の結果において、不安定孔の個数はそれぞれ６個および４個であり、詰り孔の個数はそれぞれ８個および５個である。これに対して、本実施の形態かかる２回の結果において、不安定孔の個数はそれぞれ０個および１個であり、詰り孔の個数はいずれも０個である。
【０１８３】
以上のように、本実施の形態によれば、吐出口３１ａ近傍への不純物の付着を大幅に低減できることが分かる。
【０１８４】
また上述の例では、ブラケット２０は箱部材１０およびノズル３０に対して高い密着性で取り付けられ、箱部材１０の気密性を高めている。これによれば、気体供給部８１から箱部材１０の内部に供給された気体の大部分がノズル３０の内部の流路３１０を流れる。逆に言えば、箱部材１０の内部からノズル３０の流路３１０を経由せずに外部に漏れる気体の量を低減することができる。これによれば、より少ない気体でより効果的にノズル３０の内部の流路３１０を乾燥することができる。
【０１８５】
また上述の例では、気体供給部８１および吸引部８５の両方が設けられている。これによれば、いずれか一方のみが設けられる場合比して、吐出口３１ａから排出口３１ｃへ向かって流れる気流を形成しやすい。よって、処理液をより効果的にノズル３０の外部に排出できる。
【０１８６】
また上述の例では、ノズル３０の供給口３１ｂが外部（大気）に開放されている。よって、流路３１０において、供給口３１ｂから排出口３１ｃに向かう気流も形成される。供給口３１ｂから排出口３１ｃへ向かって第４流路３１Ｄ内を気体が流れることで、ベンチュリ効果により、第１流路３１Ａ内の気体が第４流路３１Ｄに引き込まれる。つまり、箱部材１０の内部の気体が吐出口３１ａへと引き込まれる。よって、吐出口３１ａから排出口３１ｃに向かう気流がさらに形成されやすい。よって、処理液をさらに効果的にノズル３０の外部に排出できる。
【０１８７】
また上述の例では、供給口１６は、箱部材１０の底板１１のうちノズル３０の下面と鉛直方向で対向する領域内に形成されている。よって、供給口１６から供給された気体は、ノズル３０の下面に形成された吐出口３１ａに流入しやすい。よって、処理液をさらに効果的に外部に排出できる。
【０１８８】
なお上述の例では、吸引部８５はノズル３０の排出口３１ｃから気体を吸引しているものの、必ずしもこれに限らない。吸引部８５はノズル３０の供給口３１ｂから気体を吸引してもよい。この場合、ノズル３０の排出口３１ｃは大気開放されるとよい。
【０１８９】
＜治具システム＞
図２０は、基板処理装置１００Ａの構成の一例を示す図である。この基板処理装置１００Ａは、基板処理装置１００と同様の構成を有している。ただし、基板処理装置１００Ａにおいては、ノズル３０に替えてノズル３０Ａが設けられている。また基板処理装置１００Ａは気体供給部９１と開放部９５と吸引部８５とをさらに含む。
【０１９０】
気体供給部９１はノズル３０Ａの供給口３１ｂに接続されて、供給口３１ｂへと気体を供給する。気体供給部９１は気体供給管９２と供給バルブ９３と気体供給源８４とを含む。気体供給管９２の一端は、処理液供給管１６１の途中に接続されている。つまり、気体供給管９２の一端は処理液供給管１６１の一部を介してノズル３０Ａの供給口３１ｂに接続される。気体供給管９２の他端は気体供給源９４に接続される。気体供給源９４は気体を気体供給管９２に供給する。当該気体としては、不活性ガス（例えば窒素）を採用することができる。気体供給管９２の途中には、供給バルブ９３が設けられている。供給バルブ９３が開くことにより、気体供給源９４からの気体が気体供給管９２の内部を流れて、ノズル３０Ａの供給口３１ｂへ供給される。
【０１９１】
ノズル３０Ａの供給口３１ｂから気体が供給されることにより、ノズル３０Ａの内部に残留する処理液は吐出口３１ａから箱部材１０の内部へと吐出される。
【０１９２】
開放部９５はノズル３０Ａの供給口３１ｂに接続されて、供給口３１ｂを外部空間（大気）に開放する。開放部９５は開放管９６と開放バルブ９７とを含む。開放管９６の一端は処理液供給管１６１の途中に接続されている。つまり、開放管９６の一端は処理液供給管１６１の一部を介してノズル３０Ａの供給口３１ｂに接続される。開放管９６の他端は基板処理装置１００内または基板処理装置１００外の外部空間において開放される。開放管９６の途中には、開放バルブ９７が設けられている。開放バルブ９７が開くことにより、ノズル３０Ａの供給口３１ｂが外部空間と繋がる。
【０１９３】
この基板処理装置１００Ａにおいて、供給バルブ９３および開放バルブ９７の両方が閉じることにより、処理液供給機構１６０から処理液供給管１６１を介してノズル３０Ａの供給口３１ｂに処理液が供給される。処理液供給機構１６０が動作を停止し、開放バルブ９７が閉じ、かつ、供給バルブ９３が開くことにより、気体供給源９４から気体供給管９２を介してノズル３０Ａの供給口３１ｂに気体が供給される。処理液供給機構１６０が動作を停止し、供給バルブ９３が閉じ、かつ、開放バルブ９７が開くことにより、ノズル３０Ａの供給口３１ｂが外部空間に開放される。
【０１９４】
つまり、処理液供給機構１６０の処理液の供給／停止を司る機構（例えばバルブ）、供給バルブ９３および開放バルブ９７は、処理液供給機構１６０、気体供給部９１および開放部９５を選択的にノズル３０Ａの供給口３１ｂに接続する切替部として機能する。
【０１９５】
吸引部８５はノズル３０Ａの排出口３１ｃに接続されて、排出口３１ｃから気体を吸引する。吸引管８６の一端は排出バルブ１６２よりも上流側において処理液排出管１６３の途中に接続されている。つまり、吸引管８６の一端は処理液排出管１６３の一部を介してノズル３０Ａの排出口３１ｃに接続される。
【０１９６】
この基板処理装置１００Ａにおいて、排出バルブ１６２が開き、吸引バルブ８７が閉じることにより、ノズル３０Ａの排出口３１ｃからの処理液が外部の排出機構に排出される。排出バルブ１６２が閉じ、吸引バルブ８７が開くことにより、ノズル３０Ａの排出口３１ｃからの気体が吸引部８５によって吸引される。つまり、排出バルブ１６２および吸引バルブ８７は、排出機構および吸引部８５を選択的にノズル３０Ａの供給口３１ｂに接続する切替部として機能する。
【０１９７】
図２１は、治具１Ｅの構成の一例を概略的に示す断面図である。治具１Ｅは箱部材１０とブラケット２０と気体供給部８１と処理液排出部７５とを含む。治具１Ｅの箱部材１０には、供給口１６のみならず、処理液を排出するための排出口１７が形成されている。図２１の例では、排出口１７は箱部材１０の底板１１に形成されている。
【０１９８】
排出口１７には、処理液排出部７５が接続される。処理液排出部７５は排出口１７を介して箱部材１０の内部の処理液を排出する。処理液排出部７５は処理液排出管７６と排出バルブ７７とを含む。処理液排出管７６の一端は排出口１７に接続され、他端は外部の排出機構に接続される。処理液排出管７６の途中には、排出バルブ７７が設けられている。排出バルブ７７が開くことにより、箱部材１０の内部の処理液が処理液排出管７６の内部を流れて外部に排出される。
【０１９９】
図２１の例では、箱部材１０の内部に気体を供給するための供給口１６は側壁１２に形成されている。この供給口１６には、気体供給部８１が接続されている。
【０２００】
図２２は、作業者による手順の一例を示すフローチャートである。まずステップＳ３１にて、作業者は、ノズル３０Ａに治具１Ｅを取り付ける。具体的には、作業者は第１の実施の形態と同様にして、ネジ４１をノズル取付部２２の貫通孔２２ａに通してノズル３０Ａのネジ孔３０ｂに螺合させる。次に作業者は、ブラケット２０（第１部材２１４および第２部材２１５）を、ネジ４０を用いて箱部材１０に取り付ける。これにより、治具１Ｅが取り付けられる。
【０２０１】
以下では、基板処理装置１００Ａおよび治具１Ｅを含むシステムを治具システム２と呼ぶ。
【０２０２】
次にステップＳ３２にて、作業者は、入力部１５１への入力により、治具システム２に乾燥処理を実行させる。
【０２０３】
図２３は、乾燥処理におけるタイミングチャートの一例を示す図である。なお乾燥処理においては、制御部１５０は入力部１５１への入力に応答して、処理液供給機構１６０の動作を停止している。制御部１５０は乾燥処理において、排出バルブ１６２を閉じてもよく、開いていてもよい。
【０２０４】
図２２を参照して、制御部１５０は供給バルブ９３および排出バルブ７７を開く。供給バルブ９３が開くことにより、気体供給源９４から気体供給管９２を介してノズル３０Ａの供給口３１ｂへと気体が供給される。これにより、ノズル３０の流路３１０内の処理液が押圧されて、吐出口３１ａから箱部材１０の内部へと吐出される。なお排出バルブ１６２が開いている場合には、処理液の一部はノズル３０Ａの排出口３１ｃから処理液排出管１６３へと排出され得る。
【０２０５】
また排出バルブ７７が開いているので、箱部材１０の内部に吐出された処理液は処理液排出管７６を介して外部へと排出される。つまり、ノズル３０の内部に残留した処理液は時間の経過と共に箱部材１０の外部へと排出されることになる。
【０２０６】
次に制御部１５０は供給バルブ９３を閉じる。例えば制御部１５０は計時機能を有しており、供給バルブ９３を開いた時点から第１所定時間が経過したときに、供給バルブ９３を閉じる。第１所定時間は予め設定される。これにより、ノズル３０Ａの供給口３１ｂへの気体の供給が停止する。ノズル３０Ａの吐出口３１ａが未だ処理液で満たされている場合には、供給バルブ９３を閉じても気体の圧力が高圧で維持されているので、処理液は吐出口３１ａから吐出され続け、いずれ処理液の吐出が停止する。
【０２０７】
次に制御部１５０は排出バルブ７７を閉じる。例えば制御部１５０は供給バルブ９３の閉鎖から第２所定時間が経過したときに、排出バルブ７７を閉じる。第２所定時間は箱部材１０内の処理液が十分に排出される程度の時間に設定される。この第２所定時間は例えばシミュレーションまたは実験等により、予め設定することができる。
【０２０８】
制御部１５０は、排出バルブ７７の閉鎖と共に、開放バルブ９７、供給バルブ８３および吸引バルブ８７を開く。また制御部１５０は吸引装置８８に吸引動作を開始させる。これにより、治具１Ｄと同様にして、ノズル３０Ａの内部の流路３１０には、吐出口３１ａおよび供給口３１ｂの各々から排出口３１ｃへ向かう気流が形成される。よって、ノズル３０Ａ内に残留していた処理液が当該気流に沿ってノズル３０Ａの外部（吸引部８５）へと吸引される。これにより、ノズル３０Ａが乾燥する。
【０２０９】
次に制御部１５０は開放バルブ９７、供給バルブ８３および吸引バルブ８７を閉じる。例えば制御部１５０はこれらのバルブの開放から第３所定時間が経過したときに、これらのバルブを閉じる。これにより、乾燥処理が終了する。
【０２１０】
以上のように、治具システム２によっても、吐出口３１ａから排出口３１ｃへ向かう気流によってノズル３０Ａを乾燥することができる。よって、処理液の不純物は吐出口３１ａ近傍に付着しにくい。
【０２１１】
また治具システム２によれば、基板処理装置１００Ａにノズル３０Ａを取り付けた状態で、ノズル３０Ａを乾燥することができる。つまり、治具１Ｅの取り付け前にノズル３０Ａを基板処理装置１００Ａから取り外す必要がない。治具１Ｅの取り付け前にノズル３０Ａを基板処理装置１００Ａから取り外すと、空間を漂う異物がノズル３０Ａの吐出口３１ａに付着する可能性がある。治具システム２によれば、そのような異物の付着を回避することができる。
【０２１２】
以上のように、第３の実施の形態では、ノズル３０（またはノズル３０Ａ）を乾燥させるので、処理液に起因した吐出口３１ａ近傍の不純物の付着を回避することができる。よって、ノズル３０（またはノズル３０Ａ）の長期的な保管に適している。
【０２１３】
なお上述の例では、制御部１５０は、ノズル３０の吐出口３１ａから処理液の吐出が未だ維持されている状態で、供給バルブ９３を閉じた。つまり、制御部１５０は処理液の吐出が終了する前に供給バルブ９３を閉じた。しかしながら、必ずしもこれに限らない。制御部１５０は処理液の吐出が終了してから供給バルブ９３を閉じてもよい。
【０２１４】
ただし、乾燥工程における早期の気流形成という観点では、供給バルブ９３を早いタイミングで閉じることが望ましい。その理由を次に説明する。すなわち、ノズル３０の流路３１０内の気体の圧力が箱部材１０の内部の圧力よりも低下しなければ、吐出口３１ａから排出口３１ｃに向かう気流は形成されない。そして、流路３１０内の圧力を早いタイミングで低下させるには、供給バルブ９３を早いタイミングで閉じることが望ましい。そこで上述のように、制御部１５０はノズル３０の吐出口３１ａが未だ処理液で満たされている状態で、供給バルブ９３を閉じてもよい。これによれば、流路３１０内の圧力をより早いタイミングで低下させることができる。ひいては、乾燥工程において、より早いタイミングで吐出口３１ａから排出口３１ｃに向かう気流を形成できる。
【０２１５】
以上、治具、治具システムおよびノズルの保護方法の実施の形態について説明したが、この実施の形態はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。上述した各種の実施の形態および変形例は適宜に組み合わせて実施することができる。
【０２１６】
例えば第１の実施の形態または第２の実施の形態においても、ブラケット２０はノズル３０（あるいはノズル３０Ａ）が取り付けられた状態で、箱部材１０の開口部を塞いでもよい。これによれば、箱部材１０の周囲の異物がノズル３０（あるいはノズル３０Ａ）の吐出口３１ａに付着する可能性をさらに低減することができる。
【０２１７】
また上述の例では、箱部材１０とブラケット２０とは別体であるものの、必ずしもこれに限らない。箱部材１０とブラケット２０とは一体に構成されてもよい。
【０２１８】
また上述の例では、治具１，１Ａ〜１Ｅの取付対象はノズル３０またはノズル３０Ａであるものの、必ずしもこれに限らない。例えば第１リンス液ノズル１３０または第２リンス液ノズル１４０を採用してもよい。
【符号の説明】
【０２１９】
１，１Ａ〜１Ｅ  治具
２  治具システム
１０  箱部材
１１  底板
１２  側壁
１３  印
１４  保存液供給口（供給口）
１５  保存液排出口（排出口）
１６  気体供給口（供給口）
２０  取付部材（ブラケット）
２１  板部
２２  ノズル取付部
３０，３０Ａ  ノズル
３１ａ  吐出口
３１ｂ  開口（供給口）
３１ｃ  開口（排出口）
６０  保存液供給部
７０  保存液排出部
８０  乾燥部
８１  気体供給部、第２気体供給部
８５  吸引部
９１  第１気体供給部（気体供給部）
９５  開放部
１００，１００Ａ  基板処理装置
１１０  基板保持部
１２１  第１側壁（側壁）
１２２  第２側壁（側壁）
１２４  第３側壁（側壁）
１６０  処理液供給部（処理液供給機構）
１６４  処理液排出部（排出部）
２００  密閉容器
２１０  発泡体（固定部材）
２１１  基体部
２１２，２１３  腕部
３１０  流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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