(57)【要約】      （修正有）【課題】二つの真空装置、特にターボ分子真空ポンプと真空容器の間の接続のクラッシュ安全性をさらに高める。【解決手段】二つの真空装置の間（１３，１５）、特に、それぞれ真空装置（１３，１５）に対応付けられた二つのフランジ（１３ａ，１５ａ）の間に配置するためのフランジ要素（１１）であって、貫通部（１７）を画成する環部分（１９）を有し、この中に、少なくとも一つのグループの、周囲方向に分配して配置された、特に円上に位置する、複数の固定要素（２７）のための複数の収容部（２１）が形成されており、その際、当該グループの、少なくともいくつかの収容部（２１）、特に全ての収容部（２１）がそれぞれ安全収容部として形成されている。【選択図】図１０
2020193619.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
二つの真空装置の間（１３，１５）、特に、それぞれ真空装置（１３，１５）に対応付けられた二つのフランジ（１３ａ，１５ａ）の間に配置するためのフランジ要素（１１）であって、貫通部（１７）を画成する環部分（１９）を有し、この中に、少なくとも一つのグループの、周囲方向に分配して配置された、特に円上に位置する、複数の固定要素（２５）のための複数の収容部（２１）が形成されており、その際、当該グループの、少なくともいくつかの収容部（２１）、特に全ての収容部（２１）がそれぞれ安全収容部として形成されていることを特徴とするフランジ要素。
【請求項２】
安全収容部（２１）が、それぞれ、基本直径を有する基本部分（２３）と、基本直径に対して拡大された直径を有する拡張部分（２５）を有していることを特徴とする請求項１に記載のフランジ要素。
【請求項３】
安全収容部（２１）が、それぞれ、貫通開口として形成されており、これを通して固定要素（２７）が貫通可能であることを特徴とする請求項１又は２に記載のフランジ要素。
【請求項４】
それぞれ周囲方向に分配されて配置された、複数の固定要素（２３，２７）のための二つのグループの収容部（２１，３１）が設けられており、一方のグループが一方の真空装置（１３）に、そして他方のグループが他方の真空装置（１５）に対応付けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のフランジ要素。
【請求項５】
一方のグループの収容部（２１）が、それぞれ貫通開口として形成されており、これを通して固定要素（２７）が貫通可能であり、そして他方のグループの収容部（３１）が、それぞれ袋穴として形成されており、これが特に雌ねじ山を有しており、この中に、固定要素（３７）が挿入可能、特にねじ込み可能であることを特徴とする請求項４に記載のフランジ要素。
【請求項６】
二つのグループの一方のグループの領域（３３）において、特にそれぞれ袋穴として形成された収容部（３１）のグループの領域において、環部分（１９）が、他方のグループの領域（３５）におけるよりも大きい軸方向の厚さを有することを特徴とする請求項４又は５に記載のフランジ要素。
【請求項７】
二つのグループが、内側のグループと、外側のグループを有し、その際、内側のグループがカーブ上、特に円上位置しており、このカーブが、全体として、外側のグループが位置しているカーブ、特に円の半径方向内側に置かれており、その際、好ましくは、内側のグループの収容部（３１）が、それぞれ袋穴、特に雌ねじ山を有する袋穴として形成されており、そして外側のグループの収容部（２１）が、それぞれ貫通開口として形成されていることを特徴とする請求項４から６のいずれか一項に記載のフランジ要素。
【請求項８】
内側のグループが、真空ポンプ（１５）として、特にターボ分子ポンプとして形成される真空装置に対応付けられていて、そして外側のグループが、真空ポンプ（１５）によって真空引きされるべき真空容器（１３）としてして形成される真空装置に対応付けられていることを特徴とする請求項７に記載のフランジ要素。
【請求項９】
二つのグループが、同じ数量の収容部（２１，３１）、特に１２、２４又は３６の収容部（２１，３１）を有することを特徴とする請求項４から８のいずれか一項に記載のフランジ要素。
【請求項１０】
二つのグループが、周囲方向において互いにずらされており、その際、特に、それぞれ、一方のグループの収容部（３１）が、周囲方向において他方のグループの二つの収容部（２１）の間の特に中央に配置されていることを特徴とする請求項４から９のいずれか一項に記載のフランジ要素。
【請求項１１】
安全収容部（２１）において基本部分（２３）と拡張部分（２５）が、それぞれ円筒形に形成されていることを特徴とする請求項２から１０のいずれか一項に記載のフランジ要素。
【請求項１２】
安全収容部（２１）において、それぞれ、基本部分（２３）と拡張部分（２５）の間に、特に円錐形の移行部分（２４）が設けられており、その内径が、基本部分（２３）の基本直径から、拡張部分（２５）におけるより大きな直径へと拡大することを特徴とする請求項２から１１のいずれか一項に記載のフランジ要素。
【請求項１３】
安全収容部（２１）が、それぞれ、まず第一のツールによって環部分（１９）内に、基本直径を有する貫通孔が作られ、そして続いてこの貫通孔が、環部分（１９）の側から出発して、その長さの一部にわたって、第一のツールと異なる第二のツールによって拡大された直径へと拡張され、その際、特に第二のツールによって、貫通孔の拡張の際に同時に、貫通孔の残された部分によって形成される基本部分（２３）と、拡張された直径を有する拡張部分（２５）の間に円錐形の移行部分（２４）が形成される方法によって製造されていることを特徴とする請求項２から１２のいずれか一項に従うフランジ要素。
【請求項１４】
環部分（１９）の少なくとも一つの端面（２２，３２）、特に両方の端面（２２，３２）のそれぞれが、完全に、シール（２６，３６）の当接のための平らなシール面、特にフラットに研磨されたシール面により形成されており、及び／又は、その際、環部分（１９）が、１５ｍｍから３５ｍｍの間の最大軸方向の厚さを有することを特徴とする請求項１から１３のいずれか一項に記載のフランジ要素。
【請求項１５】
請求項１から１４のいずれか一項に記載の少なくとも一つのフランジ要素（１１）、少なくとも一つの真空装置（１３，１５）、特に真空ポンプ、又は真空容器、及び複数の固定要素（２７，３７）を有する真空システムであって、その際、フランジ要素（１１）が、フランジ要素（１１）の収容部（２１）の一つとそれぞれ協働する固定要素（２７，３７）によって真空装置（１３，１５）に固定可能、又は固定されており、その際、好ましくは、少なくとも一方のグループの収容部の数量、特に安全収容部の数量が、真空装置に必要な収容部の最小数量よりも大であることを特徴とする真空システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、二つの真空装置の間、特に、それぞれ真空装置に対応付けられた二つのフランジの間に配置するためのフランジ要素に関する。このフランジ要素は、貫通部を画成する環部分を有し、この中に、少なくとも一つのグループの、周囲方向に分配して配置された、特に円上に位置する、複数の固定要素のための収容部が形成されている。収容部は、貫通開口、又は袋穴であることが可能である。
【背景技術】
【０００２】
要するに、本発明は、独立したフランジ要素に関し、つまり真空装置、例えばポンプハウジング、又はチャンバハウジングの、統合された構成部材、又は一体の構成部材をなすフランジ部分に関しない。そのような独立したフランジ要素は、基本的に公知であり、そして例えば、真空チャンバとも称される真空容器と真空ポンプを接続するためのいわゆる移行フランジとして使用される。例えばポンプは、真空容器よりも大きなフランジを有することが可能であり、又はその逆も然りである。そのような配置においては、移行フランジは、レジューサフランジ、又はレジューサピースとも称される。というのも、ポンプのガスインレットと、真空容器のガスアウトレットが異なるサイズの断面、特に、つまり異なるサイズの直径を有し、よって排出されるべきガスのための流れ断面が、真空容器とポンプの間の移行の際に減少するからである。ポンプと真空容器は、移行部分において同じ直径を有することも可能である。この場合にポンプと真空容器の間に配置される移行フランジは、レジューサフランジ、又はレジューサピースとは称されず、例えばアダプタフランジ、又はアダプタピース、又は単にアダプタと称される。
【０００３】
真空技術的に互いに接続すべき両方の真空装置が、移行部分において、同じ直径を有し、又は異なる直径を有する、又は一般的に言えば、同じ、又は異なる任意の断面を有するかどうかと関係なく、特に高回転で作動させられる真空装置（特にターボ分子ポンプのようなもの）の使用の際や、原則的に他の真空ポンプの使用の際にも、いわゆるクラッシュケースにおいてポンプと真空容器の間の接続部が破断しないことが保証されるべきである。
【０００４】
クラッシュケースにおいては、真空ポンプの回転するユニットの回転動作が急激に中断される。従って、回転エネルギは、ポンプと真空容器の間の接続部によって吸収される必要がある。つまり、ポンプフランジとチャンバフランジの間の接続部は、クラッシュの場合に発生するクラッシュトルクを吸収することができ、その際、ポンプがチャンバから離脱することがないよう構成されている必要がある。
【０００５】
先行技術においては、クラッシュ安全性を保証するために多数の措置が公知である。一つの知られている措置は、関与するフランジの少なくとも一つ（典型的にはポンプフランジ）において、それぞれいわゆるねじ解放部を有する、固定ねじのための貫通開口を設けることにある。ここで、貫通開口は、それぞれ、その軸方向の長さの一部にわたって、拡大された直径を有する、つまりねじは、貫通開口のこの軸方向の領域において、フランジの周囲材料から解放されている。これは、クラッシュの場合に、固定ねじが動くことができ、よって最大負荷が減少されるという結果を伴う。これによってクラッシュトルクが減少され、又は換言すると、時間的に引き延ばされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】ＵＳ２００９／０８１０５６Ａ１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の課題は、二つの真空装置、特にターボ分子真空ポンプと真空容器の間の接続部のクラッシュ安全性をさらに高めることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この課題の解決は請求項１に記載の特徴によって行われる。
【０００９】
本発明に従い、少なくともいくつかのグループ、特に全てのグループの収容部が、それぞれ、安全収容部として形成されている。
【００１０】
要するに、発明に従い、フランジ要素は、単に両方の真空装置の間のアダプタ、又はレジューサピースとして使用されるのみならず、発明に係るフランジ要素は、追加的に安全機能も有している。いずれにせよ真空装置における固定のために必要な収容部は、発明に従い、クラッシュ安全性を高めるために使用される。収容部の構成によって、特に、クラッシュの場合に、固定要素が動くことができ、よって最大負荷が減少されることが達成されることが可能である。これによってクラッシュトルクが減少される。
【００１１】
特に収容部は、一又は複数の寸法に関して、各固定要素のために通常必要な構成と異なっているよう形成されている。例えば、貫通開口として形成されている収容部においては、これらは、発明に従い、純粋に円筒の形状（例えば固定ねじのような通常の固定要素の貫通の為に本来必要とされるような形状）と異なっていてよい。よって例えば、貫通開口の軸方向の長さの一部にわたって、固定要素のためのいわゆる解放部が設けられていることが可能である。これについては詳細後述する。クラッシュトルクの減少は、収容部の特別な構成によって他の方法でも行われることが可能である。つまり、ねじ解放部は、いずれにせよ必要な収容部に安全機能を設ける唯一の可能性ではない。よって例えば、収容部は、周囲方向に延びる長孔として形成されていることが可能である。その半径方向の寸法は、各固定要素の直径と合わせられており、その寸法は、周囲方向において半径方向の寸法よりも大きい。この拡張によって発生する空間は、環部分の材料とは異なる材料で満たされることが可能である。よって例えば、この空間を充填するために金属発泡体が使用されることができる。周囲方向でみて、この材料は、固定要素の挿入のために設けられている領域の側に配置されている。これに対してクラッシュの場合に固定要素が動かされるので、固定要素は、クラッシュの場合に周囲方向に拡張された収容部内の材料と協働することが可能であり、そのようにしてクラッシュトルクを減少する。
【００１２】
発明に係るフランジ要素は、別の関与するフランジの一つ、特にポンプフランジに、同様に固定要素のための安全収容部、特に貫通開口が設けられている真空システム内で使用されると特に有利である。そのようなシステムにおいては、軸方向において相前後する複数の安全機能が、つまり発明に係るフランジ要素と、同様に安全収容部を有するポンプフランジが、いわば直列に接続されている。フランジ要素の収容部内の発明に係る安全収容部に基づいて、真空システムは、全体としてより大きなクラッシュトルクを吸収することが可能であるので、クラッシュ安全性は全体として高められる。
【００１３】
基本的に、真空システムにおいては、複数の発明に係るフランジ要素が軸方向に互いに相前後して接続されており、いわば直列に接続されていることが可能である。つまり真空技術的に互いに接続されるべき二つの真空装置の間に、二以上の発明に係る安全フランジピースが、軸方向で相前後して配置されていることが可能である。
【００１４】
本発明の別の利点は、フランジ要素の追加的な安全特徴が、追加的な軸方向の構造長を必要としないことである。というのも、発明に係る手段、つまり安全収容部としての収容部の構成が、フランジ要素のそのような軸方向の拡張を必要としないからである。
【００１５】
好ましくは、安全収容部は貫通開口であることが可能である。基本的に、これは袋穴として形成されていることも可能である。貫通開口と袋穴を有する安全収容部の混合グループも基本的には可能である。
【００１６】
一つの可能な実施形に従い、安全収容部は、基本直径を有する各一つ基本部分と、基本直径に対して拡大された直径を有する拡張部分を有している。基本部分と拡張部分は、収容部の軸方向において、直接に前後に位置する。しかしまた、基本的に、一又は複数の異なって形成された移行部分がその間に設けられていることも可能である。
【００１７】
いずれにせよ、真空装置における固定のために必要な収容部分は、この実施例においては、少なくともいくつかの収容部に、それぞれ固定要素のいわゆる解放部が設けられていることによって、クラッシュ安全性を高めるのに使用される。この安全機能は、軸方向の構造長を延長することなく、そしてフランジ要素の製造の際、最小の追加的労力で実現されることが可能である。つまり、いずれにせよ環部分における固定要素のために製造すべき収容部分が、その軸方向の長さの一部にわたって径方向に拡張されるだけである。このため、収容部ごとに、追加的な作業ステップが一つだけ必要である。
【００１８】
本発明は、更に、少なくとも一つの発明に係るフランジ要素と、複数の同じ固定要素を有するシステムに関する。その際、安全収容部は、それぞれ、少なくとも一部分において、固定要素の相応する形状、又は寸法とは異なる形状、又は寸法を有する。そのようなシステムについては、独立した保護が要求される。特に、少なくとも一つの方向において、少なくとも一つの部分では、収容部の寸法は、相応する固定要素の寸法よりも大きい。上述した解放部においては、例えば、それぞれ、拡張部分における直径が、固定要素の直径よりも大きい。上述した長孔においては、それぞれ、周囲方向における寸法が、固定要素の直径よりも大きい。
【００１９】
本発明は、更に、少なくとも一つの発明に係るフランジ要素、少なくとも一つの真空装置、特に真空ポンプ、又は真空容器、及び複数の固定要素を有する真空システムに関する。その際、フランジ要素は、フランジ要素の収容部の一つとそれぞれ協働する固定要素によって、真空装置に固定可能である、又は固定されている。
【００２０】
好ましくは、少なくとも一つのグループの収容部の数量、特に安全収容部の数量は、真空装置のために必要な収容部の最小数量よりも大きい。特に、収容部の数量は、最小数量の整数倍である。実際には、例えば、一つの真空ポンプ、又はそのフランジが、いわゆるＩＳＯサイズを有し、その際、対応フランジ、つまり発明に係るフランジ要素におけるこのＩＳＯサイズは、固定要素のための収容部の所定の数量及び配置（孔パターンとも称される）を必要とする、又は少なくとも提案する。本発明のこの発展形に従い、フランジ要素は、必要とされる、又は提案されるよりも多くの孔を有する。これは例えば（必ずしも必須ではないが）この数量の整数倍である。例えば、該当する、いわゆるＤＮ２５０直径のための規格が、１２個の固定ねじを必要とし、そして発明に係るフランジ要素が、２４又は３６の孔を有する孔パターンを有するとき、組み立ての際、当該真空ポンプは、周囲方向において相応してより微細に調整される、又は位置合わせされることが可能である。よって、例えば、半径方向に突出する部材、例えばシールガスバルブ、又は予真空フランジがより正確に位置決めされることができる。
【００２１】
特に、発明に係る真空システムは、二つの真空装置を有する。それらの間に、発明に係るフランジが配置されている、又は配置されることが可能である。特に、一方の真空装置が、真空ポンプ、好ましくはターボ分子ポンプであり、そして他方の真空装置が、真空ポンプによって真空引きされるべき真空容器（以下真空チャンバとも称される）である。
【００２２】
その際、フランジ要素は、周囲方向に分配されて配置された、二つのグループの収容部を有することが可能であり、その際、一方のグループが一方の真空装置に、そして他方のグループが他方の真空装置に対応付けられている。一方、又は両方のグループの収容部が、発明に従い、解放されることが可能である、つまり各収容部は、発明によれば、それぞれ、基本直径を有する基本部分と、基本直径に対して拡大された直径を有する拡張部分を有することが可能である。
【００２３】
可能な実施形においては、真空ポンプにおける固定のための収容部は、解放部を有しない、雌ねじ山を有する袋穴であり、これに対して真空容器における固定のための収容部は、それぞれ貫通開口として形成されており、そして発明に従い解放されている。その際、好ましくは、拡大された直径を有する拡張部分は、真空容器の方に、又は真空容器のフランジの方に向けられている。
【００２４】
本発明に係るフランジ要素の、また本発明に係る真空システムの別の有利な形態は、従属請求項、以下の説明、及び図面に記載されている。
【００２５】
好ましくは、フランジ要素の環部分内に形成される安全収容部は、それぞれ、貫通開口として形成されている。これを通して、固定要素が貫通可能である。固定要素は、特に、ねじ部とねじ頭部を有するねじである。ねじ部には、少なくともその端部領域に雄ねじ山が設けられている。真空装置と、又は真空装置のフランジと接続された状態において、フランジ要素の配置は、好ましくは、各安全収容部の基本部分がねじ頭部に、そして拡張部分が、真空装置に、又は真空装置のフランジに向けられている。
【００２６】
別の好ましい実施例においては、それぞれ周囲方向に分配されて配置された、複数の固定要素のための二つのグループの収容部が設けられており、一方のグループが一方の真空装置に、そして他方のグループが他方の真空装置に対応付けられている。両方のグループの収容部は、それぞれ貫通開口として、又は袋穴として形成されていることが可能である。しかし、好ましい態様は、一方のグループの収容部が貫通開口として、そして他方のグループの収容部が袋穴として形成されていることを意図している。収容部の発明に係る解放部は、その際、好ましくは、貫通開口に設けられている。しかしまた、追加的に、袋穴に、それぞれ、解放部が設けられていることも可能である。
【００２７】
相応して、本発明に一つの実施例においては、一方のグループの収容部が、それぞれ貫通開口として形成されており、これを通して固定要素が貫通可能であり、そしてそして他方のグループの収容部が、それぞれ、袋穴として形成されており、これが特に雌ねじ山を有しており、この中に、固定要素が挿入可能、特にねじ込み可能である。
【００２８】
更に、二つのグループのうち一方のグループの領域において、特にそれぞれ袋穴として形成された収容部のグループの領域において、フランジ要素の環部分が、他方のグループの領域におけるより大きい軸方向の厚さを有することが意図されている。これによって、十分長い固定要素が使用されることが可能となることが保証されている。その際、有利には、特に、ユーザのもとに既に存在する、所定の軸方向の長さを有する標準ねじが、発明に係るフランジ要素の使用にもかかわらず、引き続き使用されることが可能である。
【００２９】
本発明の別の実施例に従い、二つのグループは、内側のグループと外側のグループを有する。その際、内側のグループはカーブ上、特に円上に位置している。これは、全体として、外側のグループが位置しているカーブ、特に円の半径方向内側に位置している。その際、内側のグループの収容部が、それぞれ袋穴として、特に雌ねじ山を有して形成されており、そして外側のグループの収容部が、それぞれ貫通開口として形成されていると有利である。
【００３０】
真空技術において使用されるフランジは、典型的には円形状である。従って、好ましくは、発明に係るフランジ要素の環部分は、円環部分である。この部分は、円環部分によって画成される貫通部を通って延びる中心軸が、直交している平面を定義している。両方のグループの収容部は、そのような好ましい実施例においては、この中心軸を中心とする同軸の複数の円上に位置している。
【００３１】
この具体的な態様とは別に、本発明の一つの実施例は、内側のグループの収容部が、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプとして形成される真空装置に対応付けられ、他方のグループの収容部が、真空ポンプによって真空引きされるべき真空容器として形成される真空装置に対応付けられていることを意図している。
【００３２】
収容部の両方のグループは、同じ数量、例えばそれぞれ１２、１４又は３６の収容部を有していることが可能である。しかしこれは必須ではない。他方のグループの収容部の数量は、内側のグループの収容部の数量と異なっていることが可能である。
【００３３】
好ましい態様においては、二つのグループが、周囲方向において互いにずらされており、その際、特に、一方のグループの収容部が、周囲方向において、他方のグループの二つの収容部の間の特に中央に配置されている。
【００３４】
二つのグループの間のオフセットによって、組付け場所において、収容部のために設けられる固定要素のアクセスが簡単とされることが可能である。
【００３５】
別の実施例に従い、安全収容部において、基本部分と拡張部分の安全収容部が、それぞれ円筒形に形成されている。
【００３６】
好ましくは、安全収容部において、それぞれ基本部分と拡張部分の間に、特に円錐形の移行部分が設けられている。その内径は、基本部分における基本直径から、拡張部分における拡大された直径へと大きくなる。
【００３７】
安全収容部の製造に関して、好ましくは、これらが、それぞれ、まず第一のツールによって環部分内に、基本直径を有する貫通孔が作られ、そして続いてこの貫通孔が、環部分の側から出発して、その長さの一部にわたって、第一のツールと異なる第二のツールによって拡大された直径へと拡張され、その際、特に第二のツールによって、貫通孔の拡張の際に同時に、貫通孔の残された部分によって形成される基本部分と、拡張された直径を有する拡張部分の間に円錐形の移行部分が形成される。
【００３８】
そのような製造方法にも、独立した保護が要求される。
【００３９】
更に、発明に従い、環部分の少なくとも一方の端面、特に、両方の端面のいずれもが、完全に、シールの当接のための平らなシール面により、特にフラットに研磨されたシール面により形成されている。これは、フランジ要素の取り扱いの際により多くの注意を要するが、しかしその製造を簡単とする。というのも、シール面に対して突出する保護面が存在する要がない、つまりシール面が凹んだ面として形成される必要がないからである。
【００４０】
環部分の最大厚さは、好ましくは１５ｍｍから３５ｍｍの間の範囲にある。
【００４１】
上述したように、それぞれ袋穴として形成された収容部のグループの領域に、より大きい軸方向の厚さを有するフランジ要素の環部分を設け、十分長い固定ねじが使用できるようにすることは有利であり得る。この場合、環部分の最大の軸方向の厚さは、袋穴の領域に存在する。しかし、環部分の軸方向の厚さが異なることは必須ではない。発明に係るフランジ要素の環部分は、一定の軸方向の厚さを有し得る。これは、つまり同時に、最大の軸方向の厚さを意味する。
【００４２】
軸方向の厚さが異なる領域が存在するとき、例えば、解放された貫通開口として形成された収容部の領域の軸方向の厚さが、約２０ｍｍであり、これに対して解放されていない袋穴の領域において軸方向の厚さが約２６ｍｍであることが可能であることが意図されている。
【００４３】
本発明を以下に例として図面との関連のもと説明する。図は以下を示している。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】ターボ分子ポンプの斜視図
【図２】図１のターボ分子ポンプの下面図
【図３】図２に示された線Ａ−Ａに沿うターボ分子ポンプの断面図
【図４】図２に示された線Ｂ−Ｂに沿うターボ分子ポンプの断面図
【図５】図２に示された線Ｃ−Ｃに沿うターボ分子ポンプの断面図
【図６】本発明の実施例に従う発明に係るフランジ要素を様々な方向から見た図
【図７】発明に係るフランジ要素の別の実施例を様々な方向から見た図
【図８】発明に係るフランジ要素の別の実施例を様々な方向から見た図
【図９】発明に係るフランジ要素の別の実施例を様々な方向から見た図
【図１０】同じ有効直径の二つの真空装置の間のフランジ要素を有するアダプタバリエーションの発明に係る真空装置を示す。
【図１１】異なる有効直径の二つの真空装置の間の発明に係るフランジ要素を有するレジューサバリエーションの発明に係る真空装置を示す。
【発明を実施するための形態】
【００４５】
図１に示されたターボ分子ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３によって取り囲まれたポンプインレット１１５を有する。このポンプインレットには、公知の方法で、図示されていない真空容器が接続されることが可能である。真空容器からのガスは、ポンプインレット１１５を介して真空容器から吸引され、そしてポンプを通してポンプアウトレット１１７へと搬送されることが可能である。ポンプアウトレットには、予真空ポンプ（例えばロータリベーンポンプ）が接続されていることが可能である。
【００４６】
インレットフランジ１１３は、図１の真空ポンプの向きにおいては、真空ポンプ１１１のハウジング１１９の上端部を形成する。ハウジング１１９は、下部分１２１を有する。これには、側方にエレクトロニクスハウジング１２３が配置されている。エレクトロニクスハウジング１２３内には、真空ポンプ１１１の電子的、及び／又は電子的コンポーネントが収容されている。これらは例えば、真空ポンプ内に配置される電動モータ１２５を作動させるためのものである。エレクトロニクスハウジング１２３には、アクセサリのための複数の接続部１２７が設けられている。更に、データインタフェース１２９（例えばＲＳ４８５規格に準拠する）と、電流供給接続部１３１がエレクトロニクスハウジング１２３に配置されている。
【００４７】
ターボ分子ポンプ１１１のハウジング１１９には、通気インレット１３３が、特に通気バルブの形式で設けられている。これを介して真空ポンプ１１１に通気を行うことが可能である。下部分１２１の領域には、更にシールガス接続部１３５（パージガス接続部とも称される）が設けられている。これを介して、パージガスが、電動モータ１５（図３参照）をポンプによって搬送されるガスに対して保護するため、モータ室１３７内に取り込まれることが可能である。モータ室内には、真空ポンプ１１１の電動モータ１２５が収容されることが可能である。下部分１２１内には、更に二つの冷却剤接続部１３９が設けられている。その際、一方の冷却剤接続部は冷却剤のインレットとして、そして他方の冷却剤接続部はアウトレットとして設けられている。冷却剤は、冷却目的で真空ポンプ内に導かれることが可能である。
【００４８】
真空ポンプの下側面１４１は、ベースとして使用されることが可能であるので、真空ポンプ１１１は、下側面１４１上に縦置きで作動させられることが可能である。しかしまた、真空ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３を介して真空容器に固定されることも可能であり、これによっていわば懸架して作動させられることが可能である。更に真空ポンプ１１１は、図１に示されたものと異なった向きとされているときにも作動させられることが可能であるよう構成されていることが可能である。下側面１４１が下向きではなく、横向きに、又は上向きに配置されている真空ポンプの実施形も実現されることが可能である。
【００４９】
図２に表わされている下側面１４１には、更に、種々のねじ１４３が配置されている。これらによって、ここでは詳細に特定されない真空ポンプの構造部材が互いに固定されている。例えば、軸受カバー１４５が下側面１４１に固定されている。
【００５０】
下側面１４１には、更に、固定孔１４７が設けられている。これを介してポンプ１１１は例えば載置面に固定されることが可能である。
【００５１】
図２から５には、冷却剤配管１４８が表わされている。この中に、冷却剤接続部１３９を介して導入、又は導出される冷却剤が循環していることが可能である。
【００５２】
図３から５の断面図に示されているように、真空ポンプは、複数のプロセスガスポンプ段を有している。これは、ポンプインレット１１５に作用するプロセスガスをポンプアウトレット１１７に搬送するためのものである。
【００５３】
ハウジング１１９内には、ロータ１４９が配置されている。このロータは、回転軸１５１を中心として回転可能なロータシャフト１５３を有している。
【００５４】
ターボ分子ポンプ１１１は、ポンピング作用を奏するよう互いに直列に接続された複数のポンプ段を有している。これらポンプ段は、ロータシャフト１５３に固定された複数の半径方向のロータディスク１５５と、ロータディスク１５５の間に配置され、そしてハウジング１１９内に固定されているステータディスク１５７を有している。その際、一つのロータディスク１５５とこれに隣接する一つのステータディスク１５７がそれぞれ一つのターボ分子ポンプ段を形成している。ステータディスク１５７は、スペーサリング１５９によって互いに所望の軸方向間隔に保持されている。
【００５５】
真空ポンプは、更に、半径方向において互いに内外に配置され、そしてポンピング作用を奏するよう互いに直列に接続されたホルベックポンプ段を有する。ホルベックポンプ段のロータは、ロータシャフト１５３に配置されたロータハブ１６１と、ロータハブ１６１に固定され、そしてこれによって担持される円筒側面形状の二つのホルベックロータスリーブ１６３，１６５を有している。これらは、回転軸１５１と同軸に向けられており、そして半径方向において互いに内外に接続されている。更に、円筒側面形状の二つのホルベックステータスリーブ１６７，１６９が設けられている。これらは同様に、回転軸１５１に対して同軸に向けられており、そして半径方向で見て互いに内外に接続されている。
【００５６】
ポンピング作用を発揮するホルベックポンプ段の表面は、側面によって、つまり、ホルベックロータスリーブ１６３，１６５とホルベックステータスリーブ１６７，１６９の内側面、及び／又は外側面によって形成されている。外側のホルベックステータスリーブ１６７の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７１を形成しつつ、外側のホルベックロータスリーブ１６３の半径方向外側面と向かい合っており、そしてこれと、ターボ分子ポンプに後続する第一のホルベックポンプ段を形成する。外側のホルベックロータスリーブ１６３の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７３を形成しつつ、内側のホルベックステータスリーブ１６９の半径方向外側面と向かい合っており、そしてこれと、第二のホルベックポンプ段を形成する。内側のホルベックステータスリーブ１６９の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７５を形成しつつ、内側のホルベックロータスリーブ１６５の半径方向外側面と向かい合っており、そしてこれと、第三のホルベックポンプ段を形成する。
【００５７】
ホルベックロータスリーブ１６３の下側端部には、半径方向に延びるチャネルが設けられれていることが可能である。これを介して、半径方向外側に位置するホルベック間隙１７１が、中央のホルベック間隙１７３と接続されている。更に、内側のホルベックステータスリーブ１６９の上側端部には、半径方向に延びるチャネルが設けられれていることが可能である。これを介して、中央のホルベック間隙１７３が、半径方向内側に位置するホルベック間隙１７５と接続されている。これによって、互いに内外に接続される複数のホルベックポンプ段が互いに直列で接続される。半径方向内側に位置するホルベックロータスリーブ１６５の下側の端部には、更に、アウトレット１１７への接続チャネル１７９が設けられていることが可能である。
【００５８】
ホルベックステータスリーブ１６３，１６５の上述したポンピング作用を発揮する表面は、それぞれ、螺旋形状に回転軸１５１の周りを周回しつつ軸方向に延びる複数のホルベック溝を有する。他方で、ホルベックロータスリーブ１６３，１６５のこれに向かい合った側面は、滑らかに形成されており、そして真空ポンプ１１１の作動のためのガスをホルベック溝内へと送り出す。
【００５９】
ロータシャフト１５３の回転可能な軸支のため、ポンプアウトレット１１７の領域に転がり軸受１８１、及びポンプアウトレット１１５の領域に永久磁石軸受１８３が設けられている。
【００６０】
転がり軸受１８１の領域には、ロータシャフト１５３に円錐形のスプラッシュナット１８５が設けられている。これは、転がり軸受１８１の方に向かって増加する外径を有している。スプラッシュナット１８５は、作動媒体貯蔵部の少なくとも一つの掻落とし部材（独語：Ａｂｓｔｒｅｉｆｅｒ）と滑り接触状態にある。作動媒体貯蔵部は、互いに上下にスタックされた吸収性の複数のディスク１８７を有する。これらディスクには、転がり軸受１８１のための作動媒体、例えば潤滑剤が含浸されている。
【００６１】
真空ポンプ１１１の作動中、作動媒体は、毛細管現象によって作動媒体貯蔵部から掻落とし部材を介して、回転するスプラッシュナット１８５へと伝達され、そして、遠心力によってスプラッシュナット１８５に沿って、スプラッシュナット１８５の大きくなる外径の方向へと、転がり軸受１８１に向かって搬送される。そこでは例えば、潤滑機能が発揮される。転がり軸受１８１と作動媒体貯蔵部は、真空ポンプ内において槽形状のインサート１８９と、軸受カバー１４５に囲まれている。
【００６２】
永久磁石軸受１８３は、ロータ側の軸受半部１９１と、ステータ側の軸受半部１９３を有している。これらは、各一つのリングスタックを有している。リングスタックは、軸方向に互いに上下にスタックされた永久磁石の複数のリング１９５，１９７から成っている。リング磁石１９５，１９７は、半径方向の軸受間隙１９９を形成しつつ互いに向き合っており、その際、ロータ側のリング磁石１９５は、半径方向外側に、そしてステータ側のリング磁石１９７は、半径方向内側に配置されている。軸受間隙１９９内に存在する磁界は、リング磁石１９５，１９７の間に磁気的反発力を引き起こす。これは、ロータシャフト１５３の半径方向の支持を実現する。ロータ側のリング磁石１９５は、ロータシャフト１５３の支持部分２０１によって担持されている。これは、リング磁石１９５を半径方向外側で取り囲んでいる。ステータ側のリング磁石１９７は、ステータ側の支持部分２０３によって担持されている。これは、リング磁石１９７を通って延びており、そしてハウジング１１９の支材２０５に吊架されている。回転軸１５１に平行に、ロータ側のリング磁石１９５が、支持部分２０３と連結されるカバー要素２０７によって固定されている。ステータ側のリング磁石１９７は、回転軸１５１に平行に一つの方向で、支持部分２０３と接続される固定リング２０９によって、及び支持部分２０３と接続される固定リング２１１によって固定されている。その上、固定リング２１１とリング磁石１９７の間には、皿ばね２１３が設けられていることが可能である。
【００６３】
磁石軸受の内部には、非常軸受又は安全軸受２１５が設けられている。これは、真空ポンプの通常の作動時には、非接触で空転し、そしてロータ１４９がステータに対して半径方向において過剰に偏移した際に初めて作用するに至る。ロータ側の構造がステータ側の構造と衝突するのが防止されるので、ロータ１４９に対する半径方向のストッパーが形成される。安全軸受２１５は、非潤滑の転がり軸受として形成されており、そして、ロータ１４９及び／又はステータと半径方向の間隙を形成する。この間隙は、安全軸受２１５が通常のポンプ作動中は作用しないことに供する。安全軸受が作用するに至る半径方向の偏移は、十分大きく寸法取られているので、安全軸受２１５は、真空ポンプの通常の作動中は作用せず、そして同時に十分小さいので、ロータ側の構造がステータ側の構造と衝突するのがあらゆる状況で防止される。
【００６４】
真空ポンプ１１１は、ロータ１４９を回転駆動するための電動モータ１２５を有している。電動モータ１２５の電機子は、ロータ１４９によって形成されている。そのロータシャフト１５３は、モータステータ２１７を通って延びている。ロータシャフト１５３の、モータステータ２１７を通って延びる部分には、半径方向外側に、又は埋め込まれて、永久磁石装置が配置されていることが可能である。ロータ１４９の、モータステータ２１７を通って延びる部分と、モータステータ２１７との間には、中間空間２１９が配置されている。これは、半径方向のモータ間隙を有する。これを介して、モータステータ２１７と永久磁石装置は、駆動トルク伝達のため、互いに磁気的に影響することが可能である。
【００６５】
モータステータ２１７は、ハウジング内において、電動モータ１２５のために設けられるモータ室１３７の内部に固定されている。シールガス接続部１３５を介して、シールガス（パージガスとも称され、これは例えば空気や窒素であることが可能である）が、モータ室１３７内へと至る。シールガスを介して電動モータ１２５は、プロセスガス、例えばプロセスガスの腐食性の成分に対して保護されることが可能である。モータ室１３７は、ポンプアウトレット１１７を介して真空引きされることも可能である、つまりモータ室１３７は、少なくとも近似的に、ポンプアウトレット１１７に接続される予真空ポンプによって実現される予真空状態となっている。
【００６６】
モータ室１３７を画成する壁部２２１とロータハブ１６１の間には、更に、いわゆる公知のラビリンスシール２２３が設けられていることが可能である。これは、特に、半径方向外側に位置するホルベックポンプ段に対してモータ室２１７をより良好にシールすることを達成するためである。
【００６７】
図６に表わされた発明に係るフランジ要素１１は、（例えばステンレス鋼から製造された）一体式の円環部分を有する。この円環部分は、例えば４２５ｍｍの外径を有することが可能である。フランジ１１の円形状の貫通部は、例えば２６１ｍｍの直径を有する。
【００６８】
貫通部１７を画定する領域３３は、半径方向外側の領域３５における軸方向の厚さよりも大きい軸方向の厚さを有している。領域３５は、内側の領域３３に半径方向において直接接続している。内側の領域３３の軸方向の厚さは、例えば２６ｍｍであってよい。これに対して、外側の領域３５の軸方向の厚さは、例えば２０ｍｍであってよい。
【００６９】
ただし、上記の寸法及び下記の寸法は、また互いの寸法の比率も、必須ではない。発明に係るフランジ要素は、基本的に任意の大きさで設けられていることが可能である。
【００７０】
環部分１９の外側の領域３５には、周囲方向において均等に分配して配置された十二の収容部２１が形成されている。これらは、それぞれ空所として解放された貫通開口の形式で設けられている。これらは図６の下の拡大断面図Ａ−Ａに基づいて詳細に説明される。安全収容部２１の中心軸は、貫通部１７を通って延びる環部分の中心軸４５を中心とする円上に位置している。その際、当該円は、例えば３９５ｍｍの直径を有する。
【００７１】
同様に、中心軸４５を中心とする円上には、環部分１９の内側の領域３３に形成される収容部３１の中心軸が位置している。収容部は、それぞれ袋穴として形成されている。袋穴３１は、それぞれ、フランジの、より大きい軸方向の厚さの内側の領域３３と、より小さい軸方向の厚さの外側の領域３５の間に段が形成されている側から出発している。フランジの１１の反対の側では、両方の領域３３，３５は互いに面一である。フランジ１１のこの端面２２は、フラットに研磨されたシール面２２として形成されている。フランジ１１の反対の側では、その端面３２は、より大きい軸方向の厚さの領域３３によって形成される。この端面３２は、同様にフラットに研磨されたシール面として形成されている。
【００７２】
発明に係るフランジ要素１１（特に図６の下の断面図Ａ−Ａ参照）は、外側の領域３５に形成された貫通開口２１が、一定の内径を有さない点を特徴とする。むしろ、各貫通開口２１は、基本直径を有する基本部分２３と、基本直径に対して大きな直径を有する拡張部分２５を有している。基本部分は、例えば１４ｍｍである。これに対して拡張部分の拡大された直径は、例えば２５ｍｍである。
【００７３】
冒頭に記載した製造方法によって、拡張部分２５と基本部分２３の間には、円錐形の移行部分２４が生じる。これは、例えば１１８度の開口角度を有している。この移行部分２４は、例えば相応に形成された加工先端部分を有する円筒フライス、又はドリルによって製造されることが可能である。製造は、先行する作業ステップにおいて基本直径を有する貫通開口が製造された後に行われる。拡張部分２５の製造の後に残るこの最初の貫通孔の部分は、その後、発明に係る各安全収容部２１の基本部分２３を形成する。
【００７４】
この場合、拡張部分２５は、より大きい軸方向の厚さの内側の領域３３内に形成される袋穴３１が出発しているフランジ側とは反対の、フランジ１１の側に形成されている。換言すると、一方で袋穴３１のその開口部と、他方で貫通開口２１のその拡張部分２５は、軸方向において反対の方向に向けられている。
【００７５】
従って、図６に表わされていない固定要素、特に固定ねじ（この固定ねじは、各安全収容部の基本部分２３を通って貫通させられることが可能である）は、各拡張部分２５の領域において、そこで拡大された内径に基づいて解放されている。これより、発明に係るフランジ要素と、真空装置の間のねじ接続部のクラッシュ強度が、冒頭部分に記載したように高められ、よって、貫通開口２１は、安全収容部とも称され、そして発明に係るフランジ要素は、安全フランジピースとも称される。
【００７６】
図７、８、及び９の実施例は、安全収容部２１と袋穴３１の数量、又はこれら二つのグループの収容部２１，３１の相対的配置によって異なっており、その際、図８の実施例は、上述した図６の実施例に相当し、そして図８は、このフランジ要素の追加的な図を示す。
【００７７】
図７の実施例においては、収容部の内側のグループは、周囲方向において均等に分配された、つまりそれぞれ３０度だけ周囲方向において間隔をあけた十二の袋穴３１を有している。収容部の外側のグループもまた、貫通開口２１の形式の安全収容部として形成された十二の収容部を有する。これらはそれぞれ、内側の袋穴３１と同じ角度位置を有している。換言すると、これら二つのグループの収容部３１，２１は、ここでは周囲方向において互いにずらさして配置されていない。
【００７８】
これに対して、図８の実施例においては、二つのグループの収容部３１，２１のずらされた位置決めが意図されている。その際、各袋穴３１は、周囲方向において、二つの外側の安全収容部２１の間の中央に配置されている。すでに上述したように、これによって組付け場所において各固定要素のアクセスが容易とされることが可能である。
【００７９】
図９の実施例は、内側の袋穴３１の数量も、外側の安全収容部２１の数量もそれぞれに二十四であるバリエーションを示す。ここでもまた、内側の袋穴３１も、外側の安全収容部２１も、周囲方向に均等に間隔をあけている。二つのグループの収容部３１，２１の間の周囲方向におけるオフセットは、ここでは意図されていない。とは言え、ここに表わされていない変形された実施形も可能である。
【００８０】
収容部３１，２１の数量を増加することにより、組み立ての際の柔軟性が向上する。ユーザは、組付け場所におけるその都度の状況に応じて自身にとって良好にアクセス可能である収容部３１，２１を選択することができる。
【００８１】
上述した差異とは別に、個々に記載された実施例のフランジ要素１１は、それぞれ、図６に関連して記載されたように形成される。
【００８２】
図１０及び１１は、発明に係るフランジ要素の異なる二つの適用例を示す。両方の例において、発明に係るフランジ要素１１は、フランジ１３ａを有する真空チャンバ１３と、フランジ１５ａを有するターボ分子ポンプ１５の間に配置されている。ポンプ１５は、図１から５と関連して上述したように形成されていることが可能である。
【００８３】
真空チャンバ（真空容器）１３と真空ポンプ１５は、インレット側、又はアウトレット側において同じ内径を有する。これは、発明に係るフランジ要素１１の貫通部１７の内径に相当する。従って、フランジ要素１１は、いわゆるレジューサとしてではなく、ポンプ１５と真空チャンバ１３の間、又は該当するフランジ１５ａ，１３ａの間のアダプタとして使用される。
【００８４】
真空チャンバ１３のフランジ要素１１とフランジ１３ａの間の接続は、示された実施例においては、ワッシャを有する六角ねじ２７によって行われる。その頭部は、ポンプフランジ１３ａの、フランジ要素１１と反対側にワッシャを介して当接している。チャンバフランジ１３ａの、フランジ要素１１と反対の側では、ねじ２７は、それぞれ、ワッシャを有するナット３９と係合している。
【００８５】
チャンバフランジ１３ａとフランジ要素１１の間には、センタリング環４１が配置されている。これには、例えば弾性変形可能なＯリングの形式のシール２６が設けられている。これは、フランジ要素１１のより小さい軸方向の厚さの領域２２のシール面２２において、及びチャンバフランジ１３ａにおける対向するシール面において当接している。
【００８６】
フランジ要素１１における、及びフランジ要素１１を介した真空チャンバ１３におけるポンプ１５の固定は、いわゆる、拡張ねじ３７（独語：Ｄｅｈｎｓｃｈｒａｕｂｅｎ）によって行われる。拡張ねじ３７は、カラーを有する頭部で、それぞれ、ポンプフランジ１５ａの、発明に係るフランジ要素と反対の側に当接しており、そして拡張ねじ３７は、フランジ要素１１の袋穴３１の一つの中にねじ込まれている。
【００８７】
フランジ要素１１とポンプフランジ１５ａの間にも、センタリング環４３が配置されている。これには、例えば弾性的なＯリングの形式のシール３６が設けられている。これは、フランジ要素１１のより大きい軸方向の厚さの領域３３のシール面３２において、及びポンプフランジ１５ａにおける対向するシール面において当接している。
【００８８】
フランジ要素１１における、発明に係る安全収容部２１のみならず、ねじ３７のための、ポンプフランジ１５ａ内の貫通開口にも、それぞれねじから解放されている部分が設けられている。
【００８９】
クラッシュケースにおいては、発生するトルクは、ポンプ１５とフランジ要素１１の間の接続部を介しても、フランジ要素１１とチャンバ１３の間の接続部を介しても吸収されるので、軸方向において相前後して二つの安全装置が設けられている場合には、クラッシュケースにおいてポンプ１５が、チャンバ１３に接続されたままであることを、これらが共通して保証する。
【００９０】
図１１は、発明に係るフランジ要素１１がレジューサとしても使用されることが可能であることを示す。これは、ポンプ１５とチャンバ１３の間に配置されていることによって可能とされる。そのインレット側、及びアウトレット側の直径は異なる大きさである。示された例においては、真空チャンバ１３の直径は、ポンプ１５のガスインレットにおける直径よりも大きい。これは、再び、発明に係るフランジ要素１１の貫通部１７の内径に相当する。
【００９１】
図１０の実施例に対する別の相違点は、チャンバ１３におけるフランジ要素１１の固定のためのねじ２７のため、これが袋穴を有しており、それらの中に固定ねじ２７がねじ込まれている点にある。更に、チャンバ１３とフランジ要素１１の間に、センタリング環が設けられておらず、Ｏリングシール２６が、チャンバフランジ１３ａの端面に形成される溝の中に挿入されている。
【００９２】
従って、本発明は、安全フランジ要素を提供する。この安全フランジ要素は、アダプタ機能（図１０）も、レジューサ機能（図１１）も奏することが可能であり、そして簡単かつ安価な製造において、短い軸方向長さにおいて、そして特に貫通開口２１におけるねじ解放部において優れている。これによって、少なくとも一つの発明に係る安全フランジを有する真空システムのクラッシュ安全性が高められている。
【符号の説明】
【００９３】
１１  フランジ要素
１３  真空装置、真空容器
１５  真空装置、真空ポンプ
１７  貫通部
１９  環部分
２１  安全収容部、貫通開口
２２  端面、シール面
２３  基本部分
２４  移行部分
２５  拡張部分
２６  シール
２７  固定要素
３１  収容部、袋穴
３２  端面、シール面
３３  より大きい軸方向の厚さの領域
３５  より小さい軸方向の厚さの領域
３６  シール
３７  固定要素
３９  ナット
４１  センタリング環
４３  センタリング環
４５  中心軸
１１１  ターボ分子ポンプ
１１３  インレットフランジ
１１５  ポンプインレット
１１７  ポンプアウトレット
１１９  ハウジング
１２１  下部分
１２３  エレクトロニクスハウジング
１２５  電動モータ
１２７  アクセサリ接続部
１２９  データインタフェース
１３１  電流供給接続部
１３３  通気インレット
１３５  シールガス接続部
１３７  モータ室
１３９  冷却剤接続部
１４１  下側面
１４３  ねじ
１４５  軸受カバー
１４７  固定孔
１４８  冷却剤配管
１４９  ロータ
１５１  回転軸
１５３  ロータシャフト
１５５  ロータディスク
１５７  ステータディスク
１５９  スペーサリング
１６１  ロータハブ
１６３  ホルベックロータスリーブ
１６５  ホルベックロータスリーブ
１６７  ホルベックステータスリーブ
１６９  ホルベックステータスリーブ
１７１  ホルベック間隙
１７３  ホルベック間隙
１７５  ホルベック間隙
１７９  接続チャネル
１８１  転がり軸受
１８３  永久磁石軸受
１８５  スプラッシュナット
１８７  ディスク
１８９  インサート
１９１  ロータ側の軸受半部
１９３  ステータ側の軸受半部
１９５  リング磁石
１９７  リング磁石
１９９  軸受間隙
２０１  担持部分
２０３  担持部分
２０５  半径方向の支柱
２０７  カバー要素
２０９  支持リング
２１１  固定リング
２１３  皿ばね
２１５  非常軸受又は安全軸受
２１７  モータステータ
２１９  中間空間
２２１  壁部
２２３  ラビリンスシール
【図１】
2020193619.tif 000003
【図２】
2020193619.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2020193619.tif 000007
【図６】
2020193619.tif 000008
【図７】
2020193619.tif 000009
【図８】
2020193619.tif 000010
【図９】
2020193619.tif 000011
【図１０】
2020193619.tif 000012
【図１１】
2020193619.tif 000013
【外国語明細書】
2020193619000001.pdf