(57)【要約】【課題】保持部に保持された物品への走行体側からの振動の伝達を抑制するための構造を、メンテナンスの必要性の低い構造とすることが可能な技術を実現する。【解決手段】物品搬送体は、走行体に連結された第１部材１０と、保持部５に連結された第２部材２０と、第１部材１０と第２部材２０との対向方向Ｚに交差する面を交差面として、交差面に沿う方向の第１部材１０と第２部材２０との相対移動を案内する案内装置６と、第１部材１０と第２部材２０との相対位置を基準位置に復帰させる復帰装置７と、を備える。磁石ユニット３０及び導電体３５が、第１対向部１１と第２対向部２１とが対向する領域Ａにおいて磁石ユニット３０と導電体３５とが対向するように設けられ、物品搬送体は、第１部材１０と第２部材２０との相対移動に伴って磁石ユニット３０と導電体３５とが相対移動するように構成されている。【選択図】図２
2020193058.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行体と、物品を保持する保持部と、を備えた物品搬送体であって、
前記走行体に連結された第１部材と、
前記保持部に連結され、前記第１部材と対向するように配置された第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材との対向方向に交差する面を交差面として、前記交差面に沿う方向の前記第１部材と前記第２部材との相対移動を案内する案内装置と、
前記第１部材と前記第２部材との相対位置を基準位置に復帰させる復帰装置と、を備え、
前記第１部材における前記第２部材との対向部を第１対向部とし、前記第２部材における前記第１部材との対向部を第２対向部として、磁石ユニット及び導電体が、前記第１対向部と前記第２対向部とが対向する領域において前記磁石ユニットと前記導電体とが対向するように設けられ、
前記第１部材と前記第２部材との相対移動に伴って前記磁石ユニットと前記導電体とが相対移動するように構成されている、物品搬送体。
【請求項２】
前記交差面に沿って互いに直交する２つの方向を第１方向及び第２方向として、
前記案内装置は、前記第１方向に離間して配置された一対の直動機構を備え、
一対の前記直動機構のそれぞれは、前記第２方向に沿って延びるように前記第１対向部及び前記第２対向部の一方に設けられた案内部と、前記第１対向部及び前記第２対向部の他方に設けられ、前記案内部に案内されて前記第２方向に移動可能な被案内部と、を備え、
一対の前記直動機構に挟まれた領域内において対向するように、前記磁石ユニットと前記導電体とが配置されている、請求項１に記載の物品搬送体。
【請求項３】
前記案内装置は、前記第１対向部と前記第２対向部との間に複数の案内体を備え、
前記複数の案内体のそれぞれは、前記交差面に沿う方向に転動可能な状態で、前記第１対向部と前記第２対向部との双方に接するように配置され、
前記磁石ユニットは、前記対向方向に沿う対向方向視で前記複数の案内体の群の配置領域内に配置されている、請求項１に記載の物品搬送体。
【請求項４】
前記第１対向部及び前記第２対向部の少なくとも一方が、前記導電体を構成している、請求項１から３のいずれか一項に記載の物品搬送体。
【請求項５】
前記導電体を構成する導電性材料が、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、又は銅合金である、請求項１から４のいずれか一項に記載の物品搬送体。
【請求項６】
前記保持部は、前記走行体に吊り下げ支持されている、請求項１から５のいずれか一項に記載の物品搬送体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走行体と、物品を保持する保持部と、を備えた物品搬送体に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のような物品搬送体の一例が、特開２０１６−９４２６３号公報（特許文献１）に開示されている。以下、背景技術の説明において括弧内に示す符号は特許文献１のものである。特許文献１には、走行移動部（１６）と、搬送物（６）を支持する搬送物支持部（３２）と、走行移動部（１６）に対して搬送物支持部（３２）を支持する支持機構（２３）とを備えた天井搬送車（１）が開示されている。支持機構（２３）は、昇降操作機構（２４）を介して走行移動部（１６）に支持された昇降体（３１）と、搬送物支持部（３２）を支持する案内支持部（３５）とを備えている。そして、この天井搬送車（１）では、昇降体（３１）と案内支持部（３５）との間に弾性変形自在な緩衝体（３６）を設けることで、搬送物支持部（３２）に支持された搬送物（６）への走行移動部（１６）側からの振動の伝達を抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−９４２６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のように、特許文献１に記載の構成では、走行体に連結された第１部材（特許文献１では昇降体）と、保持部に連結された第２部材（特許文献１では案内支持部）との間に、緩衝体を設けることで、これら２つの部材の間での振動の伝達を抑制して、保持部に保持された物品への走行体側からの振動の伝達を抑制している。このような構成では、第１部材と第２部材との相対移動に伴い緩衝体が変形するため、特許文献１の段落００１３に記載されているように、緩衝体の交換等の緩衝体に対するメンテナンス作業が必要となる。物品搬送体が用いられる設備のランニングコストの低減の観点から、メンテナンス作業の頻度は少なく抑えられることが望ましい。
【０００５】
そこで、保持部に保持された物品への走行体側からの振動の伝達を抑制するための構造を、メンテナンスの必要性の低い構造とすることが可能な技術の実現が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示に係る物品搬送体は、走行体と、物品を保持する保持部と、前記走行体に連結された第１部材と、前記保持部に連結され、前記第１部材と対向するように配置された第２部材と、前記第１部材と前記第２部材との対向方向に交差する面を交差面として、前記交差面に沿う方向の前記第１部材と前記第２部材との相対移動を案内する案内装置と、前記第１部材と前記第２部材との相対位置を基準位置に復帰させる復帰装置と、を備え、前記第１部材における前記第２部材との対向部を第１対向部とし、前記第２部材における前記第１部材との対向部を第２対向部として、磁石ユニット及び導電体が、前記第１対向部と前記第２対向部とが対向する領域において前記磁石ユニットと前記導電体とが対向するように設けられ、前記第１部材と前記第２部材との相対移動に伴って前記磁石ユニットと前記導電体とが相対移動するように構成されている。
【０００７】
この構成によれば、物品搬送体が、第１部材と第２部材との相対移動に伴って磁石ユニットと導電体とが相対移動するように構成されるため、第１部材と第２部材とが相対移動した場合には、導電体に発生する渦電流と磁石ユニットによる磁界との相互作用により、第１部材と第２部材との相対移動を妨げる制動力を発生させることができる。すなわち、磁石ユニットと導電体とを用いて磁気ダンパを構成することができる。よって、復帰装置の作用により第１部材と第２部材との相対位置を基準位置に復帰させながら、磁気ダンパの作用により、第１部材と第２部材との間での振動の伝達を抑制して、保持部に保持された物品への走行体側からの振動の伝達を抑制することができる。なお、上記の制動力は、磁石ユニットと導電体とを接触させずに発生させることができるため、磁石ユニットや導電体のメンテナンスの必要性は低く抑えることができる。
【０００８】
以上のように、上記の構成によれば、保持部に保持された物品への走行体側からの振動の伝達を抑制するための構造を、メンテナンスの必要性の低い構造とすることが可能となっている。
【０００９】
物品搬送体の更なる特徴と利点は、図面を参照して説明する実施形態についての以下の記載から明確となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１の実施形態に係る物品搬送体の側面図
【図２】第１の実施形態に係る支持部の縦断正面図
【図３】第１の実施形態に係る支持部の横断平面図
【図４】第２の実施形態に係る物品搬送体の縦断正面図
【図５】第２の実施形態に係る支持部の横断平面図
【図６】その他の実施形態に係る支持部の縦断正面図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
〔第１の実施形態〕
物品搬送体の第１の実施形態について、図面（図１〜図３）を参照して説明する。
【００１２】
図１に示すように、物品搬送体１は、走行体４と、物品９を保持する保持部５と、を備えている。保持部５は、支持部３を介して走行体４に支持されている。ここでは、走行体４は、走行レール２（ここでは、一対の走行レール２）に沿って走行するように構成されている。具体的には、走行体４が備える走行機構４１は、走行レール２上を転動する走行輪４３と、走行輪４３を駆動する走行用モータ４２（駆動力源の一例）と、を備えている。走行輪４３が走行用モータ４２により駆動されることで、走行体４が走行レール２に沿って走行する。走行機構４１には、走行体４の走行レール２に沿った走行を案内する案内輪４４が設けられており、案内輪４４が走行レール２の側面に接触案内された状態で、走行体４が走行レール２に沿って走行する。
【００１３】
走行レール２は、水平方向Ｈに沿って延びるように設置されており、走行体４は、水平方向Ｈに沿って走行する。ここでは、走行レール２は、天井から吊り下げ支持された状態で天井に固定されている。すなわち、物品搬送体１は、天井側に設けられた走行レール２に沿って走行する天井搬送車である。そして、支持部３は、保持部５が走行体４に対して下側（鉛直方向Ｖの下側、以下同様）に配置された状態で、保持部５を走行体４に対して支持している。ここでは、支持部３は、走行体４が備える昇降機構４５によって吊り下げ支持された状態で、保持部５を支持している。すなわち、保持部５は、走行体４に吊り下げ支持されている。
【００１４】
昇降機構４５は、ベルトやワイヤ等の伝動部材４８と、伝動部材４８が巻回された巻回体４７と、巻回体４７を回転させる昇降用モータ４６（駆動力源の一例）と、を備えている。伝動部材４８の先端部には支持部３（具体的には、後述する第１部材１０）が連結されており（図２参照）、巻回体４７が昇降用モータ４６により正方向又は逆方向に回転されて伝動部材４８が巻き取り又は繰り出されることで、伝動部材４８により吊り下げ支持された状態で支持部３が上昇又は下降される。昇降機構４５は、走行体４の走行時の高さである第１高さ（図１に示す高さ）と、第１高さよりも低い高さであって物品９の移載対象箇所（例えば、処理装置のロードポート）との間で物品９を移載する高さである第２高さとの間で、支持部３を昇降させる。走行体４はカバー部４０を備えており、支持部３が第１高さに位置する状態で、保持部５に保持された物品９の上側（鉛直方向Ｖの上側、以下同様）及び走行方向（ここでは、水平方向Ｈ）の両側がカバー部４０により覆われる。詳細は後述するが、保持部５は、このように走行体４に吊り下げ支持された支持部３（具体的には、後述する第２部材２０）に連結されている。これにより、保持部５は、支持部３を介して、走行体４に吊り下げ支持されている。
【００１５】
保持部５は、物品９を上側から保持するように構成されている。ここでは、物品搬送体１が搬送する物品９は、半導体ウェハを収容する容器であり、具体的には、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）である。そして、保持部５は、物品９の上部に形成されたフランジ部９ａを把持する把持部５０（ここでは、一対の把持部５０）を備えている。すなわち、保持部５は、物品９を把持することで当該物品９を保持する。フランジ部９ａの上面には、下側に窪む凹部が形成されており、物品９が把持部５０に把持されている状態で、保持部５が備える係合部５２が当該凹部に対して上側から嵌合するように構成されている。これにより、保持部５による物品９の保持の安定性を向上させることが可能となっている。なお、物品９は、半導体ウェハを収容する容器に限られず、例えば、物品９を、半導体ウェハ以外の収容物（レチクルやガラス基板等）を収容する容器や、容器以外の物品とすることもできる。
【００１６】
保持部５は、把持部５０の状態を切り替える把持用モータ５１（駆動力源の一例、図２参照）を備えており、把持部５０の状態は、把持用モータ５１の駆動により、フランジ部９ａを支持する支持状態（図１に示す状態）と、フランジ部９ａに対する支持を解除する解除状態とに切り替えられる。具体的には、一対の把持部５０のそれぞれの位置及び姿勢の少なくとも一方を変化させて一対の把持部５０を互いに接近させることで、把持部５０の状態が解除状態から支持状態に切り替えられ、一対の把持部５０のそれぞれの位置及び姿勢の少なくとも一方を変化させて一対の把持部５０を互いに離間させることで、把持部５０の状態が支持状態から解除状態に切り替えられる。物品９を物品搬送体１から移載対象箇所に移載する場合には、支持部３が上述した第２高さに位置する状態で把持部５０の状態が支持状態から解除状態に切り替えられ、物品９を移載対象箇所から物品搬送体１に移載する場合には、支持部３が第２高さに位置する状態で把持部５０の状態が解除状態から支持状態に切り替えられる。
【００１７】
以下、本実施形態の物品搬送体１における、保持部５に保持された物品９への走行体４側からの振動の伝達を抑制するための構造について説明する。図２に示すように、物品搬送体１は、走行体４に連結された第１部材１０と、保持部５に連結された第２部材２０と、を備えている。第１部材１０は、走行体４に連結されることで走行体４に支持され、第２部材２０は、保持部５に連結されることで保持部５を支持する。第１部材１０は、第２部材２０を介さずに走行体４に連結され、第２部材２０は、第１部材１０を介さずに保持部５に連結される。本実施形態では、第１部材１０は、昇降機構４５を介して、走行体４（具体的には、走行機構４１を備える本体部）に連結されている。また、本実施形態では、第２部材２０は、支持機構８０を介して、保持部５に連結されている。支持機構８０は、把持部５０の状態を支持状態と解除状態とに切り替えることが可能に、第２部材２０に対して把持部５０を支持する機構である。詳細は省略するが、図２に示す例では、支持機構８０は、後述する直動機構６０と同様の直動機構とされている。
【００１８】
第２部材２０は、第１部材１０と対向するように配置されている。具体的には、第２部材２０は、第１部材１０と間隔を空けて対向するように配置されている。そして、第２部材２０は、第１部材１０を介して走行体４に支持されている。本実施形態では、第２部材２０は、第１部材１０に対して下側に配置された状態で、第１部材１０に支持されている。ここで、第１部材１０における第２部材２０との対向部を第１対向部１１とし、第２部材２０における第１部材１０との対向部を第２対向部２１とする。図２に示すように、本実施形態では、第１部材１０の一部が第１対向部１１を構成し、第２部材２０の全体が第２対向部２１を構成している。第１対向部１１及び第２対向部２１は平板状に形成されており、第１対向部１１と第２対向部２１とは、互いに平行に配置されている。本実施形態では、第１部材１０と第２部材２０との対向方向Ｚ（具体的には、第１対向部１１と第２対向部２１との対向方向）が鉛直方向Ｖに沿うように、第１部材１０及び第２部材２０が配置されている。言い換えれば、第１部材１０は、第１対向部１１が水平面に沿う向きで配置され、第２部材２０は、第２対向部２１が水平面に沿う向きで配置されている。
【００１９】
本実施形態では、第１部材１０及び第２部材２０は、支持部３に設けられている。具体的には、支持部３は、箱状に形成されたケース３ａを備えており、ケース３ａの内部に、後述する磁石ユニット３０等の収容空間が形成されている。そして、第１部材１０は、ケース３ａの上壁部（上記収容空間を上側から覆う部分）を構成している。図２に示す例では、第１部材１０の全体がケース３ａの上壁部を構成している。そして、伝動部材４８の先端部が第１部材１０に連結されることで、第１部材１０は走行体４に吊り下げ支持されている。一方、第２部材２０は、ケース３ａの上記収容空間に収容されている。
【００２０】
図２及び図３に示すように、物品搬送体１は、交差面に沿う方向の第１部材１０と第２部材２０との相対移動を案内する案内装置６と、第１部材１０と第２部材２０との相対位置を基準位置に復帰させる復帰装置７と、を備えている。ここで、交差面は、対向方向Ｚに交差する面である。本実施形態では、交差面は、対向方向Ｚに直交する面である。上述したように、本実施形態では、対向方向Ｚは鉛直方向Ｖに沿う方向とされるため、交差面は、水平面に沿う面とされる。ここで、交差面に沿って互いに直交する２つの方向を第１方向Ｘ及び第２方向Ｙとする。本実施形態では、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙは、いずれも水平面に沿う水平方向である。そして、本実施形態では、第２方向Ｙを、走行体４の走行方向（図１における水平方向Ｈ）に沿う方向としている。
【００２１】
本実施形態では、案内装置６は、交差面に沿う特定の方向（ここでは、第２方向Ｙ）における第１部材１０と第２部材２０との相対移動を案内するように構成されている。具体的には、図２及び図３に示すように、案内装置６は、第１方向Ｘに離間して配置された一対の直動機構６０を備えている。一対の直動機構６０のそれぞれは、案内部６１と被案内部６２とを備えている。案内部６１は、第２方向Ｙに沿って延びるように第１対向部１１及び第２対向部２１の一方に設けられ、被案内部６２は、第１対向部１１及び第２対向部２１の他方に設けられる。被案内部６２は、案内部６１に案内されて第２方向Ｙに移動可能に構成される。本例では、案内部６１は、第２対向部２１に設けられ、被案内部６２は、第１対向部１１に設けられている。具体的には、案内部６１は、第２対向部２１における第１対向部１１側の面である第２対向面２１ａに設けられ、被案内部６２は、第１対向部１１における第２対向部２１側の面である第１対向面１１ａに設けられている。第１対向面１１ａ及び第２対向面２１ａは、交差面に沿う平面状に形成されており、第１対向面１１ａ及び第２対向面２１ａは、間隔を空けて互いに平行に配置されている。なお、このような構成とは異なり、第１対向部１１に案内部６１が設けられ、第２対向部２１に被案内部６２が設けられる構成とすることもできる。
【００２２】
本実施形態では、案内部６１は、第２方向Ｙに沿って延びるように設けられる案内レールであり、被案内部６２は、案内レールに係合する案内ブロックである。ここでは、案内部６１を構成する案内レールは、第２対向部２１（具体的には、第２対向面２１ａ）に固定され、被案内部６２を構成する案内ブロックは、第１対向部１１（具体的には、第１対向面１１ａ）に固定されている。本例では、一対の直動機構６０のそれぞれは、第２方向Ｙの互いに異なる位置において案内部６１に係合する一対の被案内部６２を備えている。被案内部６２は、案内部６１に対する第２方向Ｙの相対移動が許容され、且つ、案内部６１に対する第２方向Ｙに直交する各方向の相対移動が規制される状態で、案内部６１に係合している。よって、第２部材２０は、第１部材１０に対する第２方向Ｙの相対移動が許容され、且つ、第１部材１０に対する第１方向Ｘ及び対向方向Ｚの移動が規制される状態で、第１部材１０に支持されている。このように、第１部材１０と第２部材２０との対向方向Ｚの相対移動が規制される結果、第１対向部１１と第２対向部２１との対向距離（言い換えれば、第１対向面１１ａと第２対向面２１ａとの対向距離）は、一定の間隔に維持される。すなわち、案内装置６は、第１対向部１１と第２対向部２１との間隔を維持しながら、交差面に沿う方向の第１部材１０と第２部材２０との相対移動を案内するように構成されている。
【００２３】
案内装置６が第１部材１０と第２部材２０との相対移動を案内する方向を案内方向として、復帰装置７は、第１部材１０と第２部材２０との案内方向における相対位置を、基準位置に復帰させるように構成される。本実施形態では、案内方向は第２方向Ｙであり、復帰装置７は、第１部材１０と第２部材２０との第２方向Ｙにおける相対位置を、基準位置に復帰させるように構成されている。図２及び図３に示すように、復帰装置７は、第１部材１０と第２部材２０との相対位置を基準位置に復帰させるための付勢部材７０（ここでは、コイルばね）を備えている。付勢部材７０は、第２方向Ｙに伸縮するように配置されている。
【００２４】
本実施形態では、復帰装置７は、第２部材２０を第１部材１０に対して第２方向Ｙの一方側に付勢する付勢部材７０と、第２部材２０を第１部材１０に対して第２方向Ｙの他方側に付勢する付勢部材７０との、２種類の付勢部材７０を備えており、これら２種類の付勢部材７０の付勢力が釣り合う位置（図３に示す位置）が基準位置とされている。ここでは、２種類の付勢部材７０は、第２方向Ｙに並べて配置されている。そして、第２方向Ｙに並べて配置される２種類の付勢部材７０の組は、一対の直動機構６０の間の第１方向Ｘでの中心位置に対して第１方向Ｘの両側のそれぞれに配置されている。第１方向Ｘの一方側に配置された２種類の付勢部材７０の組と、第１方向Ｘの他方側に配置された２種類の付勢部材７０の組とは、上記中心位置から第１方向Ｘに互いに等しい距離だけ離間した位置に配置されている。
【００２５】
図２に示すように、物品搬送体１は、磁石ユニット３０と導電体３５とを備えている。以下に述べるように、これらの磁石ユニット３０及び導電体３５は、第１部材１０と第２部材２０との間での振動の伝達（ここでは、第２方向Ｙにおける振動の伝達）を抑制するための磁気ダンパを構成している。図２に示すように、対向領域Ａにおいて磁石ユニット３０と導電体３５とが対向するように、磁石ユニット３０及び導電体３５が設けられている。ここで、対向領域Ａは、第１対向部１１と第２対向部２１とが対向する領域である。磁石ユニット３０は、導電体３５と間隔を空けて対向するように配置されている。第１対向面１１ａは、対向領域Ａにおける第１対向部１１側の端部に配置され、第２対向面２１ａは、対向領域Ａにおける第２対向部２１側の端部に配置されている。
【００２６】
物品搬送体１は、第１部材１０と第２部材２０との相対移動に伴って磁石ユニット３０と導電体３５とが相対移動するように構成されている。本実施形態では、磁石ユニット３０と導電体３５とは、対向方向Ｚに対向するように配置されている。そして、第１部材１０と第２部材２０との相対移動に伴って、磁石ユニット３０及び導電体３５は、磁石ユニット３０と導電体３５との間隔（磁石ユニット３０と導電体３５との対向距離）を維持しながら相対移動するように構成されている。ここでは、第１部材１０と第２部材２０との第２方向Ｙにおける相対移動に伴って、磁石ユニット３０と導電体３５とが第２方向Ｙに相対移動するように構成されている。よって、第１部材１０と第２部材２０とが相対移動した場合には、導電体３５に発生する渦電流と磁石ユニット３０による磁界との相互作用により、第１部材１０と第２部材２０との相対移動を妨げる制動力を発生させることができ、これにより、第１部材１０と第２部材２０との間での振動の伝達を抑制して、保持部５に保持された物品９への走行体４側からの振動の伝達を抑制することが可能となっている。
【００２７】
なお、上記の制動力は、磁石ユニット３０と導電体３５とを接触させずに発生させることができる。よって、磁石ユニット３０や導電体３５のメンテナンスの必要性を低く抑えることができると共に、塵埃の発生を抑制することもできる。また、走行体４には、加減速等により比較的大きな走行方向の振動が発生し得るが、本実施形態では、保持部５に保持された物品９への走行体４側からの第２方向Ｙにおける振動の伝達を抑制することができ、第２方向Ｙは走行体４の走行方向に沿う方向である。これにより、保持部５に保持された物品９に対して走行体４側から大きな振動が伝達されることを適切に抑制することが可能となっている。
【００２８】
第１部材１０と第２部材２０との相対移動を妨げる上記の制動力を適切に発生させるため、導電体３５を構成する導電性材料を、良導体材料とすると好適である。例えば、導電体３５を構成する導電性材料を、良導体材料であり且つ非磁性体材料とすることができる。具体的には、導電体３５を構成する導電性材料が、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、又は銅合金であると好適である。なお、導電体３５を構成する導電性材料を、金属の導電性材料ではなく、非金属の導電性材料とすることもできる。
【００２９】
本実施形態では、第１対向部１１及び第２対向部２１の少なくとも一方が、導電体３５を構成している。具体的には、第１対向部１１が導電体３５を構成している。すなわち、第１部材１０における少なくとも第１対向部１１を構成する部分（本実施形態では、第１部材１０の全体）は、導電性材料を用いて形成されている。一方、磁石ユニット３０は、第１部材１０及び第２部材２０とは別の部材により構成されている。具体的には、磁石ユニット３０は、第２対向面２１ａに固定された永久磁石３１を備えている。本実施形態では、永久磁石３１は、対向方向Ｚが厚さ方向となる板状（ここでは、対向方向Ｚに沿う対向方向視で矩形の板状）に形成されている。これにより、第１対向部１１と第２対向部２１との対向距離を短く抑えつつ、磁気ダンパとして適切に機能するように磁石ユニット３０と導電体３５とを設けることが可能となっている。
【００３０】
永久磁石３１における導電体３５に対向する面（すなわち、導電体３５側の面）、及び、導電体３５における永久磁石３１に対向する面（すなわち、永久磁石３１側の面）は、交差面に沿う平面状に形成されている。そして、永久磁石３１における導電体３５に対向する面と、導電体３５における永久磁石３１に対向する面とは、間隔を空けて互いに平行に配置されている。なお、永久磁石３１として、導電体３５に対向する面の極性が当該面の全域に亘って同一である永久磁石と、導電体３５に対向する面の極性が場所によって変化する永久磁石とのいずれを用いてもよい。後者の場合、一例として、導電体３５に対向する面にＮ極とＳ極とが第２方向Ｙに沿って交互に形成された永久磁石３１を用いることができる。このような永久磁石３１は、例えば、多極着磁された１つの磁石により、又は、第２方向Ｙに並べて配置された複数の磁石片により構成することができる。
【００３１】
図２及び図３に示すように、本実施形態では、対象領域Ｂ内において対向するように、磁石ユニット３０と導電体３５とが配置されている。具体的には、磁石ユニット３０が備える永久磁石３１が、対象領域Ｂに配置されている。ここで、対象領域Ｂは、一対の直動機構６０に挟まれた領域である。ここでは、対象領域Ｂ内に加えて対象領域Ｂに対して第２方向Ｙの両側の領域においても対向するように、磁石ユニット３０と導電体３５とが配置されている。すなわち、永久磁石３１は、対象領域Ｂに配置される部分と、対象領域Ｂに対して第２方向Ｙに隣接する領域に配置される部分とを備えている。また、本実施形態では、磁石ユニット３０（具体的には、永久磁石３１）は、第１方向Ｘの一方側に配置された２種類の付勢部材７０の組と、第１方向Ｘの他方側に配置された２種類の付勢部材７０の組との間に配置されている。
【００３２】
上述したように、本実施形態では、保持部５が係合部５２を備えている。詳細は省略するが、係合部５２は、保持部５が物品９を保持していない状態での位置から、付勢部材の付勢力に抗して上側に移動可能に構成されている。そして、係合部５２と一体的に鉛直方向Ｖに移動する軸部材５３が、対象領域Ｂにおいて第１部材１０及び第２部材２０を鉛直方向Ｖに貫通するように配置されている。磁石ユニット３０は、この軸部材５３との干渉を避けるように設けられている。具体的には、磁石ユニット３０は、軸部材５３に対して第２方向Ｙの一方側に配置される永久磁石３１と、軸部材５３に対して第２方向Ｙの他方側に配置される永久磁石３１とを備えている。すなわち、磁石ユニット３０を構成する永久磁石３１は、第２方向Ｙにおいて不連続的に設けられている。このように他部材との干渉を避けて磁石ユニット３０が設けられる場合であっても、導電体３５における永久磁石３１と対向する領域のそれぞれで渦電流を発生させて上述した制動力を得ることができるため、本開示の技術は、このように他部材との干渉を避けて磁石ユニット３０を配置する必要がある場合にも、第１部材１０と第２部材２０との間での振動の伝達を有効に抑制することが可能となっている。
【００３３】
〔第２の実施形態〕
物品搬送体の第２の実施形態について、図面（図４及び図５）を参照して説明する。以下では、本実施形態の物品搬送体について、第１の実施形態との相違点を中心に説明する。特に明記しない点については、第１の実施形態と同様であり、同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００３４】
図４に示すように、本実施形態では、物品搬送体１は、床面走行式の物品搬送車である。具体的には、走行体４は、床面上を転動する走行輪４３を備えている。ここでは、走行体４は、走行レールに沿わずに（すなわち、走行レールに案内されずに）走行するように構成されている。すなわち、物品搬送体１は、自身の現在位置を認識しながら自律走行するように構成されている。
【００３５】
図４では走行体４及び保持部５を簡略化して示しているが、本実施形態では、支持部３は、保持部５が走行体４に対して上側に配置された状態で、保持部５を走行体４に対して支持している。すなわち、本実施形態では、保持部５は走行体４に吊り下げ支持されていない。本実施形態では、第２部材２０は、第１部材１０に対して上側に配置された状態で、第１部材１０に支持されている。そして、保持部５は、物品を下側から支持することで当該物品を保持するように構成されている。
【００３６】
図４及び図５に示すように、案内装置６は、第１対向部１１と第２対向部２１との間に複数の案内体６３を備えている。複数の案内体６３のそれぞれは、第１対向部１１と第２対向部２１との双方に接するように配置されている。すなわち、複数の案内体６３は、第１部材１０と第２部材２０との間で荷重（ここでは、鉛直荷重）を支持するように構成されており、これら複数の案内体６３を用いて、保持部５を走行体４に対して支持する支持部３が構成されている。複数の案内体６３は、交差面内に分散して配置されている。上述したように、交差面は、対向方向Ｚに交差する面であり、ここでは、対向方向Ｚに直交する面である。図５に示すように、複数の案内体６３は、対向方向Ｚに沿う対向方向視で格子状（本例では、正方格子状）に配置されている。
【００３７】
複数の案内体６３のそれぞれは、交差面に沿う方向に転動可能な状態で配置されている。なお、複数の案内体６３の相対位置関係は、複数の案内体６３を転動可能に保持する保持器６４によって維持されるように構成されている。本実施形態では、複数の案内体６３のそれぞれは、互いに同径の球状に形成されており、交差面に沿う任意の方向に転動可能な状態で配置されている。これにより、案内装置６は、交差面に沿う任意の方向における第１部材１０と第２部材２０との相対移動を案内するように構成されている。なお、案内体６３は、第１部材１０と第２部材２０との相対移動に伴い回転するため、第１部材１０と第２部材２０とが相対移動した場合には、複数の案内体６３及び保持器６４は、第１部材１０と第２部材２０との相対移動距離の半分の距離だけ、第１対向部１１及び第２対向部２１のそれぞれに対して相対移動する。本実施形態では、案内装置６による第１部材１０と第２部材２０との相対移動の案内方向が、交差面に沿う任意の方向とされるため、詳細は省略するが、復帰装置７は、交差面に沿う全ての方向における第１部材１０と第２部材２０との相対位置を、基準位置に復帰させるように構成される。
【００３８】
図４に示すように、本実施形態では、第１対向部１１及び第２対向部２１の双方が導電体３５を構成している。すなわち、第１部材１０における少なくとも第１対向部１１を構成する部分と、第２部材２０における少なくとも第２対向部２１を構成する部分とは、導電性材料を用いて形成されている。そして、本実施形態では、磁石ユニット３０は、第１対向部１１と第２対向部２１との間に、第１対向部１１及び第２対向部２１のいずれとも間隔を空けて配置されている。磁石ユニット３０は、保持器６４に保持されることで、複数の案内体６３と一体的に交差面に沿う方向に移動するように構成されている。よって、第１部材１０と第２部材２０とが相対移動した場合には、磁石ユニット３０は、第１対向部１１が構成する導電体３５及び第２対向部２１が構成する導電体３５のそれぞれに対して、第１部材１０と第２部材２０との相対移動距離の半分の距離だけ相対移動する。これにより、第１対向部１１が構成する導電体３５及び第２対向部２１が構成する導電体３５のそれぞれに渦電流を発生させて、第１部材１０と第２部材２０との相対移動を妨げる制動力を発生させることが可能となっている。
【００３９】
図５に示すように、本実施形態では、磁石ユニット３０は、交差面内に分散して配置された複数の永久磁石３１を備えている。上述したように、本実施形態では複数の案内体６３が交差面内に格子状に配置されており、複数の永久磁石３１は、一部の案内体６３に代えて配置されている。これにより、磁石ユニット３０は、対向方向Ｚに沿う対向方向視で複数の案内体６３の群の配置領域Ｃ内に配置されている。具体的には、磁石ユニット３０の全体（すなわち、磁石ユニット３０が備える全ての永久磁石３１）が、対向方向視で複数の案内体６３の群の配置領域Ｃ内に配置されている。なお、配置領域Ｃは、対向方向視で複数の案内体６３の群に外接する図形に囲まれる領域と定義することができ、図５では、対向方向視で複数の案内体６３の群に外接する矩形（具体的には、角部が円弧状の矩形）に囲まれる領域を、配置領域Ｃとしている。
【００４０】
ここでは、複数の案内体６３のそれぞれが、互いに同径の球状に形成され、交差面に沿う任意の方向に転動可能な状態で配置される構成を例として説明したが、例えば、複数の案内体６３のそれぞれが、互いに同径の円柱状に形成され、交差面に沿う特定の方向に転動可能な状態で配置される構成とすることもできる。この場合、案内装置６は、上記第１の実施形態と同様に、交差面に沿う特定の方向における第１部材１０と第２部材２０との相対移動を案内するように構成される。
【００４１】
〔その他の実施形態〕
次に、物品搬送体のその他の実施形態について説明する。
【００４２】
（１）上記第１の実施形態では、第１対向部１１が導電体３５を構成し、磁石ユニット３０（具体的には、永久磁石３１）が第２対向面２１ａに固定される構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、第２対向部２１が導電体３５を構成し、磁石ユニット３０（具体的には、永久磁石３１）が第１対向面１１ａに固定される構成とすることもできる。
【００４３】
（２）上記の各実施形態では、第１対向部１１及び第２対向部２１の少なくとも一方が、導電体３５を構成する場合を例として説明した。具体的には、上記第１の実施形態では、第１対向部１１が導電体３５を構成する場合を例として説明し、上記第２の実施形態では、第１対向部１１及び第２対向部２１の双方が導電体３５を構成する場合を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、導電体３５を、第１部材１０及び第２部材２０とは別の部材により構成してもよい。上記第１の実施形態の構成において導電体３５を第１部材１０とは別の部材により構成した例を図６に示す。図６に示す例では、導電体３５は、第１対向面１１ａに固定された導体板３６により構成されている。
【００４４】
（３）上記第１の実施形態では、対象領域Ｂ内に加えて対象領域Ｂに対して第２方向Ｙの両側の領域においても対向するように、磁石ユニット３０と導電体３５とが配置される構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、対象領域Ｂ内においてのみ対向するように磁石ユニット３０と導電体３５とが配置される構成とすることもできる。また、対象領域Ｂ内において対向しないように（言い換えれば、対象領域Ｂ外においてのみ対向するように）、磁石ユニット３０と導電体３５とが配置される構成とすることもできる。
【００４５】
（４）上記第２の実施形態では、磁石ユニット３０の全体が、対向方向Ｚに沿う対向方向視で複数の案内体６３の群の配置領域Ｃ内に配置される構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、磁石ユニット３０の少なくとも一部が、対向方向Ｚに沿う対向方向視で複数の案内体６３の群の配置領域Ｃ外に配置される構成とすることもできる。
【００４６】
（５）上記の各実施形態では、磁石ユニット３０が永久磁石３１を備える構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、磁石ユニット３０が永久磁石３１に代えて電磁石等を備える構成とすることもできる。
【００４７】
（６）上記第１の実施形態では、物品搬送体１が天井搬送車である構成を例として説明し、上記第２の実施形態では、物品搬送体１が床面を自律走行する物品搬送車である構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、物品搬送体１を、例えば、収納棚の各段に対応して水平方向に沿って設けられた移動経路を走行する物品搬送体とすることや、床部に設けられた走行レールに沿って走行する物品搬送体とすることもできる。後者の物品搬送体として、例えば、床部に設けられた走行レールに沿って走行する走行台車と、走行台車に立設されたマストに沿って昇降する昇降体と、を備えたスタッカークレーンを例示することができる。
【００４８】
（７）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用すること（その他の実施形態として説明した実施形態同士の組み合わせを含む）も可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
【００４９】
〔上記実施形態の概要〕
以下、上記において説明した物品搬送体の概要について説明する。
【００５０】
物品搬送体は、走行体と、物品を保持する保持部と、前記走行体に連結された第１部材と、前記保持部に連結され、前記第１部材と対向するように配置された第２部材と、前記第１部材と前記第２部材との対向方向に交差する面を交差面として、前記交差面に沿う方向の前記第１部材と前記第２部材との相対移動を案内する案内装置と、前記第１部材と前記第２部材との相対位置を基準位置に復帰させる復帰装置と、を備え、前記第１部材における前記第２部材との対向部を第１対向部とし、前記第２部材における前記第１部材との対向部を第２対向部として、磁石ユニット及び導電体が、前記第１対向部と前記第２対向部とが対向する領域において前記磁石ユニットと前記導電体とが対向するように設けられ、前記第１部材と前記第２部材との相対移動に伴って前記磁石ユニットと前記導電体とが相対移動するように構成されている。
【００５１】
この構成によれば、物品搬送体が、第１部材と第２部材との相対移動に伴って磁石ユニットと導電体とが相対移動するように構成されるため、第１部材と第２部材とが相対移動した場合には、導電体に発生する渦電流と磁石ユニットによる磁界との相互作用により、第１部材と第２部材との相対移動を妨げる制動力を発生させることができる。すなわち、磁石ユニットと導電体とを用いて磁気ダンパを構成することができる。よって、復帰装置の作用により第１部材と第２部材との相対位置を基準位置に復帰させながら、磁気ダンパの作用により、第１部材と第２部材との間での振動の伝達を抑制して、保持部に保持された物品への走行体側からの振動の伝達を抑制することができる。なお、上記の制動力は、磁石ユニットと導電体とを接触させずに発生させることができるため、磁石ユニットや導電体のメンテナンスの必要性は低く抑えることができる。
【００５２】
以上のように、上記の構成によれば、保持部に保持された物品への走行体側からの振動の伝達を抑制するための構造を、メンテナンスの必要性の低い構造とすることが可能となっている。
【００５３】
ここで、前記交差面に沿って互いに直交する２つの方向を第１方向及び第２方向として、前記案内装置は、前記第１方向に離間して配置された一対の直動機構を備え、一対の前記直動機構のそれぞれは、前記第２方向に沿って延びるように前記第１対向部及び前記第２対向部の一方に設けられた案内部と、前記第１対向部及び前記第２対向部の他方に設けられ、前記案内部に案内されて前記第２方向に移動可能な被案内部と、を備え、一対の前記直動機構に挟まれた領域内において対向するように、前記磁石ユニットと前記導電体とが配置されていると好適である。
【００５４】
この構成によれば、第１部材と第２部材との間での第２方向における振動の伝達を抑制して、保持部に保持された物品への走行体側からの第２方向における振動の伝達を抑制することができる。そして、上記の構成によれば、一対の直動機構に挟まれた領域内において対向するように磁石ユニットと導電体とが配置されるため、一対の直動機構に挟まれた空間を有効に利用して、第１方向及び第２方向における物品搬送体の大型化を抑制しつつ磁石ユニット及び導電体を設けることが可能となっている。
【００５５】
或いは、前記案内装置は、前記第１対向部と前記第２対向部との間に複数の案内体を備え、前記複数の案内体のそれぞれは、前記交差面に沿う方向に転動可能な状態で、前記第１対向部と前記第２対向部との双方に接するように配置され、前記磁石ユニットは、前記対向方向に沿う対向方向視で前記複数の案内体の群の配置領域内に配置されていると好適である。
【００５６】
この構成によれば、第１部材と第２部材との間での、案内体が転動可能な方向における振動の伝達を抑制して、保持部に保持された物品への走行体側からの当該方向における振動の伝達を抑制することができる。そして、上記の構成によれば、磁石ユニットが、対向方向視で複数の案内体の群の配置領域内に配置されるため、対向方向に交差する方向における物品搬送体の大型化を抑制しつつ磁石ユニットを設けることが可能となっている。
【００５７】
上記の各構成の物品搬送体において、前記第１対向部及び前記第２対向部の少なくとも一方が、前記導電体を構成していると好適である。
【００５８】
この構成によれば、導電体が第１部材及び第２部材とは別の部材により構成される場合に比べて、第１対向部と第２対向部とを対向方向に近づけて配置して、対向方向における物品搬送体の小型化を図ることができる。
【００５９】
また、前記導電体を構成する導電性材料が、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、又は銅合金であると好適である。
【００６０】
この構成によれば、導電体に渦電流を発生させやすいため、第１部材と第２部材との相対移動を妨げる制動力を適切に発生させることが容易となる。
【００６１】
また、前記保持部は、前記走行体に吊り下げ支持されていると好適である。
【００６２】
このように保持部が走行体に吊り下げ支持される構成では、走行体の加減速等による振動によって保持部が大きく揺れ動きやすい。本開示に係る物品搬送体では、上述したように磁石ユニットと導電体とを用いて磁気ダンパを構成することができるため、このような構成においても、保持部に保持された物品への走行体側からの振動の伝達を有効に抑制することができる。
【００６３】
本開示に係る物品搬送体は、上述した各効果のうち、少なくとも１つを奏することができればよい。
【符号の説明】
【００６４】
１：物品搬送体
４：走行体
５：保持部
６：案内装置
７：復帰装置
９：物品
１０：第１部材
１１：第１対向部
２０：第２部材
２１：第２対向部
３０：磁石ユニット
３５：導電体
６０：直動機構
６１：案内部
６２：被案内部
６３：案内体
Ａ：対向領域（第１対向部と第２対向部とが対向する領域）
Ｂ：対象領域（一対の直動機構に挟まれた領域）
Ｃ：配置領域
Ｘ：第１方向
Ｙ：第２方向
Ｚ：対向方向
【図１】
2020193058.tif 000003
【図２】
2020193058.tif 000004
【図３】
2020193058.tif 000005
【図４】
2020193058.tif 000006
【図５】
2020193058.tif 000007
【図６】
2020193058.tif 000008