(57)【要約】【課題】生産性に優れ、かつ設備コストを削減しながらガラス板の欠陥の種類を正確に特定可能な検査手法を提供する。【解決手段】ガラス板Ｇの製造方法は、検査装置１０でガラス板Ｇの欠陥Ｐ１〜Ｐ３を検査する検査工程Ｓ３を備える。検査装置１０は、ガラス板Ｇを撮像する撮像装置１１と、第一の光Ｌ１を照射し、かつ第一の光Ｌ１がガラス板Ｇの第一の表面Ｇａで反射して撮像装置１１の受光部１１ａに到達するように配置された反射光照射装置１２と、第二の光Ｌ２を照射し、かつ第二の光Ｌ２がガラス板Ｇを透過して撮像装置１１により撮像される領域Ｇ１に到達するように配置された透過光照射装置１３とを備える。透過光照射装置１３は、第二の光Ｌ２の照射方向が撮像装置１１の受光部１１ａと正対する向きに対して傾斜するように配置される。【選択図】図２
2020085587.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査装置でガラス板の欠陥を検査する検査工程を備えたガラス板の製造方法であって、
前記検査装置は、
前記ガラス板を撮像する撮像装置と、
第一の光を照射し、かつ前記第一の光が前記ガラス板の第一の表面で反射して前記撮像装置の受光部に到達するように配置された反射光照射装置と、
第二の光を照射し、かつ前記第二の光が前記ガラス板を透過して前記撮像装置により撮像される領域に到達するように配置された透過光照射装置とを備え、
前記透過光照射装置は、前記第二の光の照射方向が前記撮像装置の前記受光部と正対する向きに対して傾斜するように配置される、ガラス板の製造方法。
【請求項２】
前記透過光照射装置は、前記ガラス板の前記第一の表面の裏側に位置する第二の表面に対して、前記第二の光が垂直に入射するように配置される、請求項１に記載のガラス板の製造方法。
【請求項３】
前記反射光照射装置は、前記ガラス板の前記第一の表面に対する前記第一の光の入射角と、前記ガラス板の前記第一の表面の法線方向と前記撮像装置の撮像方向とがなす角度とが等しくなるように配置される、請求項１又は２に記載のガラス板の製造方法。
【請求項４】
前記検査装置は、前記ガラス板の前記第一の表面側に配置され、第三の光を前記ガラス板の前記撮像される領域に向けて照射する補助光照射装置をさらに備える、請求項１〜３の何れか一項に記載のガラス板の製造方法。
【請求項５】
前記ガラス板は所定の搬送路上を搬送され、前記搬送路が前記検査工程を通過するように構成されている請求項１〜４の何れか一項に記載のガラス板の製造方法。
【請求項６】
前記ガラス板の欠陥を検査するための検査装置を備えたガラス板の製造装置であって、
前記検査装置は、
前記ガラス板を撮像する撮像装置と、
第一の光を照射し、かつ前記第一の光が前記ガラス板の第一の表面で反射して前記撮像装置の受光部に到達するように配置された反射光照射装置と、
第二の光を照射し、かつ前記第二の光が前記ガラス板を透過して前記撮像装置により撮像される領域に到達するように配置された透過光照射装置とを備え、
前記透過光照射装置は、前記第二の光の照射方向が前記撮像装置の前記受光部と正対する向きに対して傾斜するように配置される、ガラス板の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板の製造方法、及びガラス板の製造装置に関し、特にガラス板の欠陥を検出及び識別するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば液晶ディスプレイ用のガラス基板等のガラス板の製造方法には、ガラス板を加工する加工工程と、加工工程で加工されたガラス板を洗浄する洗浄工程と、洗浄工程で洗浄されたガラス板の欠陥を検査する検査工程とを備えるものがある（例えば特許文献１参照）。検査工程で検出されるガラス板の欠陥には、例えば白金などの異物、クラックなどの傷、泡等が含まれる。これらのうちクラック等の傷は表面欠陥に分類される。また、泡や異物はその位置によって表面欠陥又は内部欠陥に分類される。
【０００３】
ところで、検査工程では、欠陥の有無だけでなく、欠陥の種類まで特定することが求められる場合がある。しかし、単純に、欠陥の種類まで特定しようとすると、検査工程に要する時間が長くなり、生産性の低下を招くといった問題があった。
【０００４】
そこで、例えば特許文献２には、ガラス板の欠陥を検査する検査工程を備え、検査工程が、欠陥の座標を特定する欠陥座標特定工程と、欠陥座標特定工程で特定された座標の欠陥の内容を特定する欠陥内容特定工程とを有するガラス板の製造方法が提案されている。具体的には、欠陥座標特定工程で、光源と、光源に対してガラス板の搬送路を介して対向配置されたカメラとを用いて、ガラス板の欠陥を検出すると共にその座標を特定し、欠陥内容特定工程で、当該座標データに基づいて顕微鏡でガラス板の欠陥を撮像し、欠陥の種類を特定するガラス板の検査方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−１４１０９６号公報
【特許文献２】特開２０１７−１１１０３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献２に記載の検査工程だと、欠陥の検出工程とは別に、顕微鏡観察により欠陥をもう一度観察してその種類を特定する工程が必要になるので、ライン長が増大し、コストアップを招くといった問題が生じる。
【０００７】
以上の事情に鑑み、生産性に優れ、かつ設備コストを削減しながらガラス板の欠陥の種類を正確に特定可能な検査手法を提供することを、解決すべき技術課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題の解決は、本発明に係るガラス板の製造方法により達成される。すなわち、この製造方法は、検査装置でガラス板の欠陥を検査する検査工程を備えたガラス板の製造方法であって、検査装置は、ガラス板を撮像する撮像装置と、第一の光を照射し、かつ第一の光がガラス板の第一の表面で反射して撮像装置の受光部に到達するように配置された反射光照射装置と、第二の光を照射し、かつ第二の光がガラス板を透過して撮像装置により撮像される領域に到達するように配置された透過光照射装置とを備え、透過光照射装置は、第二の光の照射方向が撮像装置の受光部と正対する向きに対して傾斜するように配置される点をもって特徴付けられる。
【０００９】
このように、本発明に係るガラス板の製造方法では、透過光照射装置から第二の光をガラス板の撮像される領域に向けて照射すると共に、撮像装置の受光部と正対する向きに対して傾斜するように透過光照射装置を配置した。この構成によれば、例えば透過光反射装置がガラス板を介して撮像装置の受光部と正対する向きに配置される場合と比べて、欠陥が全体的に白く光る事態を回避して、欠陥の形態を視認し易くすることができる。特に、上述のように反射光が撮像装置の受光部に到達するように反射光照射装置を配置すると共に、撮像装置の受光部と正対する向きからに対して傾斜するように透過光照射装置を配置することによって、欠陥の種類に応じて、欠陥又はその周囲に影を形成することができる。影が視認できれば、欠陥を立体的に認識できるようになるので、欠陥の種類を従来よりも正確に識別することが可能となる。また、欠陥の白光度合いや影の有無により、欠陥が表面欠陥と内部欠陥の何れかであるかを正確に識別できるようになる。もちろん、反射光照射装置と透過光照射装置により撮像領域を照射しているので、欠陥の検出に最低限必要な光量を確保して、ガラス板に存在する欠陥を漏れなく確実に検出することが可能となる。
【００１０】
また、上述のように本発明に係る検査工程によれば、一箇所で撮像して得た画像に基づいて欠陥の種類を特定することができるので、従来のように欠陥の座標を特定するための工程とは別に、欠陥を顕微鏡で再び観察してその種類の特定するための工程を設ける必要がなくなる。このため、検査工程に要する時間を削減し、生産性を向上させることができる。また、ライン長の短縮、ひいては設備コストの削減を図ることが可能となる。
【００１１】
また、本発明に係るガラス板の製造方法において、透過光照射装置は、ガラス板の第一の表面の裏側に位置する第二の表面に対して、第二の光が垂直に入射するように配置されてもよい。
【００１２】
このように、透過光となる第二の光がガラス板の裏面となる第二の表面に対して垂直に入射するように透過光照射装置を配置することによって、撮像するのに十分な量の透過光を効果的に供給することができる。これにより、撮像して得た画像を明るくして欠陥の検出能を高めることができ、また影を容易に識別することができる。
【００１３】
また、本発明に係るガラス板の製造方法において、反射光照射装置は、ガラス板の第一の表面に対する第一の光の入射角と、ガラス板の第一の表面の法線方向と撮像装置の撮像方向とがなす角度とが等しくなるように配置されてもよい。
【００１４】
上述のように、透過光照射装置の向きを撮像方向と正対する向きに対して傾斜させると共に、反射光となる第一の光の入射角と、ガラス板の第一の表面の法線方向と撮像方向とがなす角度とが等しくなるように反射光照射装置を配置することによって、表面欠陥の影をより濃くし、又は内部欠陥の白光度合いをさらに高めることができる。従って、表面欠陥と内部欠陥とをより区別し易くなる。
【００１５】
また、本発明に係るガラス板の製造方法において、検査装置は、ガラス板の第一の表面側に配置され第三の光をガラス板の撮像される領域に向けて照射する補助光照射装置をさらに備えてもよい。
【００１６】
このように、反射光照射装置と透過光照射装置とに加えて、反射光照射装置と同じ側に補助光照射装置を設けることによって、特に内部欠陥の白光度合いを高めることができる。これにより内部欠陥の検出精度が低下する事態を回避して、内部欠陥を漏れなく確実に検出することが可能となる。
【００１７】
また、本発明に係るガラス板の製造方法において、ガラス板は所定の搬送路上を搬送され、搬送路が検査工程を通過するように構成されていてもよい。
【００１８】
以上に述べたように、本発明に係る検査工程によれば、一箇所での撮像のみでガラス板の欠陥を漏れなく確実に検出すると共に、検出した欠陥の種類を正確に識別することができる。よって、高精度な欠陥種類の識別を伴う検査工程をオンラインでかつ低コストに実施することが可能となる。
【００１９】
また、前記課題の解決は、本発明に係るガラス板の製造装置によっても達成される。すなわち、この製造装置は、ガラス板の欠陥を検査するための検査装置を備えたガラス板の製造装置であって、検査装置は、ガラス板を撮像する撮像装置と、第一の光を照射し、かつ第一の光がガラス板の第一の表面で反射して撮像装置の受光部に到達するように配置された反射光照射装置と、第二の光を照射し、かつ第二の光がガラス板を透過して撮像装置により撮像される領域に到達するように配置された透過光照射装置とを備え、透過光照射装置は、第二の光の照射方向が撮像装置の受光部と正対する向きに対して傾斜するようにに配置される点をもって特徴付けられる。
【００２０】
このように、本発明に係るガラス板の製造装置によっても、透過光となる第二の光をガラス板の撮像される領域に向けて照射すると共に、第二の光の照射方向が撮像装置の受光部と正対する向きに対して傾斜するように透過光照射装置を配置するようにしたので、欠陥が全体的に白く光る事態を回避して、欠陥の詳細な形態を視認し易くすることができる。特に、上述のように反射光が撮像装置の受光部に到達するように反射光照射装置を配置すると共に、撮像装置の受光部と正対する向きに対して傾斜するように透過光照射装置を配置することによって、欠陥又はその周囲に影を形成することができる。これにより、欠陥を立体的に認識して、欠陥の種類を従来よりも正確に識別することが可能となる。また、欠陥の白光度合いや影の有無により、欠陥が表面欠陥と内部欠陥の何れかであるかを正確に識別できるようになる。また、上述のように本発明に係る検査装置によれば、一箇所で撮像して得た画像に基づいて欠陥の種類を特定することができるので、従来のように欠陥の座標を特定するための工程とは別に、欠陥を顕微鏡で再び観察してその種類の特定するための工程を設ける必要がなくなる。このため、検査工程に要する時間を削減し、生産性を向上させることができる。また、ライン長の短縮、ひいてはコストアップの抑制を図ることが可能となる。
【発明の効果】
【００２１】
以上に述べたように、本発明に係るガラス板の製造方法及び製造装置によれば、生産性に優れ、かつ設備コストを削減しながらガラス板の欠陥の種類を正確に特定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造ラインの概略平面図である。
【図２】図１に示す検査工程に使用される検査装置の側面図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は何れも、図２に示す検査装置を用いて得た画像中の各種欠陥の一例を模式的に描いた図である。
【図４】本発明の第二実施形態に係る検査装置の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の第一実施形態を説明する。
【００２４】
本実施形態に係るガラス板の製造ライン１は、例えば図１に示すように、ガラス板に切断、研磨など所定の加工を施す加工工程Ｓ１と、所定の加工が施されたガラス板を洗浄する洗浄工程Ｓ２と、洗浄したガラス板の欠陥を検査する検査工程Ｓ３と、検査工程Ｓ３で欠陥の検査が実施されたガラス板を梱包する梱包工程Ｓ４とを備える。
【００２５】
また、図１に示す製造ライン１で製造されるガラス板のサイズは、例えば３００×３００ｍｍ〜３５００×３５００ｍｍであり、その厚み寸法は、例えば０．１〜１．１ｍｍである。
【００２６】
図２は、図１に示す製造ライン１に使用されるガラス板Ｇの製造装置のうち、検査工程Ｓ３に使用される検査装置１０の全体構成を示す側面図である。図２に示すように、この検査装置１０は、撮像装置１１と、反射光照射装置１２と、透過光照射装置１３とを備える。また、撮像装置１１及び反射光照射装置１２と、透過光照射装置１３との間には、ガラス板Ｇの搬送路１４が設けられる。ここで、搬送路１４は、図示しない搬送装置で構成され、例えば加工工程Ｓ１から洗浄工程Ｓ２、検査工程Ｓ３、そして梱包工程Ｓ４に跨って配設されている（図１を参照）。また、搬送装置の構成は任意であり、例えばエアの噴出によりガラス板Ｇを下方から浮上させるエアフロート等の浮上部と、ガラス板Ｇの幅方向（本実施形態では、ガラス板Ｇの搬送方向Ｆに直交する方向をいう。以下、同じ。）両側と接触してガラス板Ｇを搬送するローラ等の送り部とで構成される。
【００２７】
撮像装置１１は、例えばラインカメラであって、ガラス板Ｇの幅方向全域を撮像するように構成される。また、反射光照射装置１２と透過光照射装置１３はともに、ガラス板Ｇの幅方向全域を照射するように構成される。これにより、搬送路１４上を所定の搬送方向Ｆに沿って搬送されるガラス板Ｇの全域について、検査装置１０による欠陥の検査が行われる。もちろん、ガラス板Ｇの幅方向両端部が最終的な製品に含まれない場合には、これら幅方向両端部を除いた領域について欠陥の検査を行えばよい。この場合には、撮像装置１１により幅方向で検査対象となる領域のみを撮像すればよく、また反射光照射装置１２及び透過光照射装置１３により幅方向で検査対象となる領域のみを照射すればよい。
【００２８】
なお、図示は省略するが、撮像装置１１がガラス板Ｇの幅方向に移動しながらガラス板Ｇを撮像することでガラス板Ｇの幅方向全域又は一部領域を撮像してもよく、撮像装置１１が所定位置に固定された状態で、ガラス板Ｇの幅方向全域又は一部領域を撮像可能なように構成されてもよい。同様に、反射光照射装置１２がガラス板Ｇの幅方向に移動しながらガラス板Ｇに第一の光Ｌ１を照射することでガラス板Ｇの幅方向全域又は一部領域を照射してもよく、反射光照射装置１２が所定位置に固定された状態で、ガラス板Ｇの幅方向全域又は一部領域に第一の光Ｌ１を照射可能なように構成されてもよい。ここで、前者の構成をとる場合、反射光照射装置１２は、レーザー光を照射可能なレーザー光照射装置で構成することができ、後者の構成をとる場合、反射光照射装置１２は、ガラス板Ｇの幅方向に延びるスリットを前方に配置して成る照明装置で構成することができる。透過光照射装置１３についても同様に、ガラス板Ｇの幅方向に移動しながらガラス板Ｇに第二の光Ｌ２を照射してもよく、透過光照射装置１３が所定位置に固定された状態で、ガラス板Ｇに第二の光Ｌ２を照射可能なように構成されてもよい。この場合も、移動可能な構成をとる場合、透過光照射装置１３は、レーザー光を照射可能なレーザー光照射装置で構成することができ、固定した構成をとる場合、透過光照射装置１３は、ガラス板Ｇの幅方向に延びるスリットを前方に配置して成る照明装置で構成することができる。
【００２９】
撮像装置１１は、ガラス板Ｇの第一の表面Ｇａの側に配置される。本実施形態では、第一の表面Ｇａは上方を指向している。また、撮像装置１１による撮像方向、正確には、撮像装置１１の受光部１１ａ（レンズなど）の光軸方向は、ガラス板Ｇの第一の表面Ｇａの法線方向（図２では上下方向）に対してその搬送方向Ｆの下流側に傾斜している。具体的には、撮像装置１１の撮像方向と、第一の表面Ｇａの法線方向とがなす角度（撮像角度θ１）は、例えば５°以上でかつ３０°以下の範囲に設定され、好ましくは１０°以上でかつ２５°以下の範囲に設定される。
【００３０】
反射光照射装置１２は、撮像装置１１と同様、ガラス板Ｇの第一の表面Ｇａの側に配置される。また、本実施形態では、反射光照射装置１２は、撮像装置１１に対してガラス板Ｇの搬送方向Ｆの上流側（図２でいえば右側）に配置される。ここで、反射光照射装置１２は、ガラス板Ｇの第一の表面Ｇａのうち撮像装置１１により撮像される領域Ｇ１に向けて第一の光Ｌ１を照射する。また、第一の光Ｌ１の照射方向と、ガラス板Ｇの第一の表面Ｇａの法線方向とがなす角度（入射角θ２）は、撮像角度θ１プラスマイナス５°以内に設定され、好ましくはプラスマイナス３°以内に設定され、より好ましくはプラスマイナス１°以内に設定され、最も好ましくは０°、すなわち撮像角度θ１に等しくなるように設定される。この場合、第一の光Ｌ１の反射角は撮像角度θ１に一致する。
【００３１】
透過光照射装置１３は、撮像装置１１と反射光照射装置１２とは反対側、すなわちガラス板Ｇの第一の表面Ｇａに対して裏面側となる第二の表面Ｇｂの側に配置される。ここで、透過光照射装置１３は、直接的にはガラス板Ｇの第二の表面Ｇｂのうち撮像装置１１により撮像される領域Ｇ１の裏面側に向けて第二の光Ｌ２を照射する。すなわち、照射した第二の光Ｌ２がガラス板Ｇを透過して第一の表面Ｇａのうち撮像される領域Ｇ１に到達するように構成される。
【００３２】
また、第二の光Ｌ２の照射方向と、撮像装置１１の撮像方向（光軸方向）とが一致しないように、言い換えると、第二の光Ｌ２の照射方向が、撮像装置の撮像方向と一致する向きに対して傾斜するように、透過光照射装置１３が配置されるのがよい。具体的には、第二の光Ｌ２の照射方向が、撮像装置１１の撮像方向に対してなす傾斜角θ３が５°を上回るように設定され、好ましくは１０°以上に設定される。一方で、第二の光Ｌ２を照射することによる欠陥の検出能を確保する観点からは、傾斜角θ３は２５°以下に設定され、好ましくは２０°以下に設定される。本実施形態では、第二の光Ｌ２の照射方向が第二の表面Ｇｂに対して垂直となる向きに透過光照射装置１３が配置されている。この場合の傾斜角θ３は、撮像角度θ１と等しい。
【００３３】
また、撮像装置１１には表示装置（図示は省略）が接続されており、撮像装置１１により撮像された領域Ｇ１の画像が表示装置に表示されるようになっている。この際、例えば撮像された領域Ｇ１の画像に対して所定の処理を施す処理装置（図示は省略）を接続し、撮像して得た領域Ｇ１の画像について処理装置により欠陥の検出処理を自動で行ってもよい。この場合、検出された欠陥の画像のみが表示装置に表示される。もちろん、撮像装置１１で撮像された領域Ｇ１の全ての画像を表示装置に表示してもかまわない。また、欠陥の検出処理だけでなく、検出した欠陥に対して所定の画像処理を施すことで、後述する欠陥の種類を自動的に識別してもかまわない。
【００３４】
次に、上記構成の製造ライン１におけるガラス板Ｇの製造工程の一例を、検査工程Ｓ３を中心に説明する。
【００３５】
まず、図１に示すように、搬送路１４上に投入されたガラス板Ｇ（図１では省略）を加工工程Ｓ１に向けて搬送する。そして、加工工程Ｓ１でガラス板Ｇに対して例えば端面加工（面取り加工等）等の加工を施す。続いて洗浄工程Ｓ２で、加工工程Ｓ１で加工されたガラス板Ｇを、例えば洗浄液やロールブラシによって洗浄する。この際、洗浄後の乾燥（水切り）を伴ってもよい。
【００３６】
洗浄工程Ｓ２を通過したガラス板Ｇは、次に検査工程Ｓ３に向けて搬送される。検査工程Ｓ３では、図２に示すように、搬送路１４の上方に撮像装置１１と反射光照射装置１２が配設され、搬送路１４の下方に透過光照射装置１３が配設されている。そして、ガラス板Ｇが検査工程Ｓ３に搬入されると、撮像装置１１によるガラス板Ｇの撮像を開始すると共に、反射光照射装置１２及び透過光照射装置１３によるガラス板Ｇへの第一及び第二の光Ｌ１，Ｌ２の照射を開始する。具体的には、ガラス板Ｇを搬送しながら、ガラス板Ｇの第一の表面Ｇａのうち撮像装置１１により撮像される領域Ｇ１に向けて第一及び第二の光Ｌ１，Ｌ２を照射する。撮像される領域Ｇ１がガラス板Ｇの幅方向に移動する場合には、反射光照射装置１２及び透過光照射装置１３をガラス板Ｇの幅方向に移動させながら、撮像される領域Ｇ１に追随して第一及び第二の光Ｌ１，Ｌ２を照射する。
【００３７】
この際、反射光照射装置１２から照射された第一の光Ｌ１は、ガラス板Ｇの第一の表面Ｇａで反射して撮像装置１１の受光部１１ａに到達する。また、透過光照射装置１３から照射された第二の光Ｌ２は、第二の表面Ｇｂ側からガラス板Ｇを透過して撮像装置１１により撮像される領域Ｇ１に到達する。また、この第二の光Ｌ２は、透過光照射装置１３が撮像装置１１の受光部１１ａと正対する向きに対して傾斜するように配置された状態で照射される。これにより、撮像装置１１で撮像して得た画像中のガラス板Ｇの欠陥が存在する場合、当該欠陥の種類によって、画像中における欠陥の明暗状態（画像の種類によっては濃淡状態）が異なる現象が生じる。
【００３８】
具体的に、画像中の欠陥が、ガラス板Ｇの表面が突起状となる突起状欠陥である場合、図３（ａ）に示すように、画像Ｐ中の突起状欠陥Ｐ１は、その全体及びその周囲に影Ｓを形成した状態となる。なお、図３（ａ）に示す突起状欠陥Ｐ１は、ガラス板Ｇの表層に存在する異物（白金）によるものである。また、画像中の欠陥が、ガラス板Ｇの表面に存在する傷である場合、図３（ｂ）に示すように、画像Ｐ中の傷Ｐ２は、その全体に影Ｓを形成した状態となる。また、画像中の欠陥が、泡などガラス板Ｇの内部に存在する欠陥である場合、図３（ｃ）に示すように、画像Ｐ中の内部欠陥Ｐ３は、全体的に白く光った状態となる。
【００３９】
作業者は、表示装置（図示は省略）に表示された撮像領域Ｇ１の画像Ｐを見て各種欠陥Ｐ１〜Ｐ３の有無を判定すると共に、当該欠陥Ｐ１〜Ｐ３の種類を識別する。この作業をガラス板Ｇの全域に対して行い、検出した欠陥の内容（例えば種類及びサイズとその数など）に基づき、検査を行ったガラス板Ｇが良品か否かの判定を行う。
【００４０】
そして、良品と判定されたガラス板Ｇは、検査工程Ｓ３の下流側に位置する梱包工程Ｓ４に向けて搬送され、梱包工程Ｓ４で良品として梱包されて出荷される。一方、不良品と判定されたガラス板Ｇは、良品と判定されたガラス板Ｇとは別に梱包工程Ｓ４で不良品として梱包される。あるいは、図示しない廃棄用の搬送路を通って製造ライン１外に排出される。
【００４１】
このように、本発明に係るガラス板の製造方法及び製造装置では、透過光照射装置１３により透過光となる第二の光Ｌ２をガラス板Ｇの撮像される領域Ｇ１に向けて照射すると共に、撮像装置１１の受光部１１ａと正対する向きに対して傾斜するように透過光照射装置１３を配置した。この構成によれば、欠陥Ｐ１〜Ｐ３がその種類によらず全体的に白く光る事態を回避して、欠陥Ｐ１〜Ｐ３の形態を視認し易くすることができる。特に、図２に示すように、反射光となる第一の光Ｌ１が撮像装置１１の受光部１１ａに到達するように反射光照射装置１２を配置すると共に、撮像装置１１の受光部１１ａと正対する向きからオフセットした向きに透過光照射装置１３を配置することによって、突起状欠陥Ｐ１や傷Ｐ２といった表面欠陥自体又はその周囲に影Ｓを形成することができる。影Ｓが視認できれば、欠陥（Ｐ１，Ｐ２）を立体的に認識できるようになるので、影Ｓの有無又はその形状により、欠陥Ｐ１〜Ｐ３の種類を従来よりも正確に識別することが可能となる。また、欠陥Ｐ１〜Ｐ３の白光度合いや影Ｓの有無により、欠陥Ｐ１〜Ｐ３が突起状欠陥や傷といった表面欠陥と内部欠陥の何れかであるかを正確に識別できるようになる。もちろん、反射光照射装置１２と透過光照射装置１３により撮像領域Ｇ１を照射しているので、欠陥Ｐ１〜Ｐ３の検出に最低限必要な光量を確保して、ガラス板Ｇに存在する欠陥Ｐ１〜Ｐ３を漏れなく確実に検出することが可能となる。
【００４２】
また、上述のように本発明に係る検査工程Ｓ３によれば、一箇所で撮像して得た画像Ｐに基づいて欠陥Ｐ１〜Ｐ３の種類を特定することができるので、従来のように欠陥Ｐ１〜Ｐ３の座標を特定するための工程とは別に、欠陥Ｐ１〜Ｐ３を顕微鏡で再び観察してその種類を特定するための工程を設ける必要がなくなる。このため、検査工程Ｓ３に要する時間を削減し、生産性を向上させることができる。また。よって、製造ライン１のライン長の短縮、ひいてはコストアップの抑制を図ることが可能となる。
【００４３】
また、本実施形態では、透過光照射装置１３を、ガラス板Ｇの第二の表面Ｇｂに対して、第二の光Ｌ２が垂直に入射するように透過光照射装置１３を配置した。この構成によれば、撮像するのに十分な量の透過光（第二の光Ｌ２）を効果的に供給することができる。これにより、撮像して得た画像Ｐを全体的に明るくして欠陥Ｐ１〜Ｐ３の検出能を高めることができる。また、影Ｓの識別も容易になる。
【００４４】
また、本実施形態では、ガラス板Ｇの第一の表面Ｇａに対する第一の光Ｌ１の入射角θ２が、ガラス板Ｇの第一の表面Ｇａに対する撮像装置の撮像角度θ１（ともに図２を参照）と等しくなるように、反射光照射装置１２を配置した。この構成によれば、表面欠陥（Ｐ１，Ｐ２）の影Ｓをより濃くし、内部欠陥Ｐ３の白光度合いをさらに高めることができる。従って、表面欠陥（Ｐ１，Ｐ２）と内部欠陥Ｐ３とをより区別し易くなる。
【００４５】
以上、本発明の第一実施形態を説明したが、本発明に係るガラス板の製造方法及び製造装置は上記例示の形態には限定されない。当該製造方法及び製造装置は、本発明の範囲内で種々の形態をとることが可能である。
【００４６】
図４は、本発明の第二実施形態に係る検査装置２０の側面図を示している。この検査装置２０は、図２に示す検査装置１０と同様に、撮像装置１１と、反射光照射装置１２と、透過光照射装置１３とを備えると共に、第三の光Ｌ３を照射する補助光照射装置２１をさらに備える。
【００４７】
補助光照射装置２１は、反射光照射装置１２と同じくガラス板Ｇの第一の表面Ｇａの側に配置される。この補助光照射装置２１は、ガラス板Ｇの第一の表面Ｇａのうち撮像装置１１により撮像される領域Ｇ１に向けて第三の光Ｌ３を照射する。また、第三の光Ｌ３の照射方向と、ガラス板Ｇの第一の表面Ｇａの法線方向とがなす角度（入射角θ４）は、第二の光Ｌ２の第一の表面Ｇａに対する入射角θ２よりも大きく設定される。具体的には、第三の光Ｌ３の入射角θ４は、第二の光Ｌ２の入射角θ２＋１０°以上に設定され、好ましくは、入射角θ２＋１５°以上に設定され、より好ましくは入射角θ２＋２０°以上に設定される。また、本実施形態では、第三の光Ｌ３の入射角θ４は、撮像角度θ１よりも大きく設定される。この場合、具体的には、第三の光Ｌ３の入射角θ４は、撮像角度θ１＋１０°以上に設定され、好ましくは、撮像角度θ１＋１５°以上に設定され、より好ましくは撮像角度θ１＋２０°以上に設定される。一方で、撮像される領域Ｇ１に対し必要な光量を確保する観点からは、第三の光Ｌ３の入射角θ４は、撮像角度θ１＋４０°以下に設定されるのがよく、好ましくは撮像角度θ１＋３０°以下に設定されるのがよい。
【００４８】
また、この場合、補助光照射装置２１がガラス板Ｇの幅方向に移動しながらガラス板Ｇに第三の光Ｌ３を照射することでガラス板Ｇの幅方向全域又は一部領域を照射してもよく、補助光照射装置２１が所定位置に固定された状態で、ガラス板Ｇの幅方向全域又は一部領域に第三の光Ｌ３を照射可能なように構成されてもよい。ここで、前者の構成をとる場合、補助光照射装置２１は、反射光照射装置１２と同様に、レーザー光を照射可能なレーザー光照射装置で構成することができ、後者の構成をとる場合、補助光照射装置２１は、ガラス板Ｇの幅方向に延びるスリットを前方に配置して成る照明装置で構成することができる。
【００４９】
上記構成の検査装置２０を用いた検査工程Ｓ３では、ガラス板Ｇが検査工程Ｓ３に搬入されると、撮像装置１１によるガラス板Ｇの撮像を開始すると共に、反射光照射装置１２と透過光照射装置１３、及び補助光照射装置２１によるガラス板Ｇへの第一〜第三の光Ｌ１〜Ｌ３の照射を開始する。具体的には、ガラス板Ｇを搬送しながら、ガラス板Ｇの第一の表面Ｇａのうち撮像装置１１により撮像される領域Ｇ１に向けて第一〜第三の光Ｌ１〜Ｌ３を照射する。撮像される領域Ｇ１がガラス板Ｇの幅方向に移動する場合には、反射光照射装置１２と透過光照射装置１３、及び補助光照射装置２１をガラス板Ｇの幅方向に移動させながら第一〜第三の光Ｌ１〜Ｌ３を撮像される領域Ｇ１に追随して照射する。
【００５０】
この際、反射光照射装置１２から照射された第一の光Ｌ１は、ガラス板Ｇの第一の表面Ｇａで反射して撮像装置１１の受光部１１ａに到達する。また、透過光照射装置１３から照射された第二の光Ｌ２は、第二の表面Ｇｂ側からガラス板Ｇを透過して撮像装置１１により撮像される領域Ｇ１に到達し、補助光照射装置２１から照射された第三の光Ｌ３は、撮像装置１１により撮像される領域Ｇ１に到達する。これにより、撮像装置１１で撮像して得た画像Ｐ中の欠陥Ｐ１〜Ｐ３の種類によって、画像Ｐ中における欠陥Ｐ１〜Ｐ３の明暗状態が異なる現象が生じる。また、補助光となる第三の光Ｌ３を撮像される領域Ｇ１に照射することにより、特に内部欠陥Ｐ３の白光度合いが高まる。
【００５１】
作業者は、表示装置（図示は省略）に表示された領域Ｇ１の画像Ｐを見て欠陥Ｐ１〜Ｐ３の有無を判定すると共に、欠陥Ｐ１〜Ｐ３の種類を識別する。この作業をガラス板Ｇの全域に対して行い、検出した欠陥の内容（例えば種類及び数）に基づき、検査を行ったガラス板Ｇが良品か否かの判定を行う。
【００５２】
このように、本実施形態に係る検査装置２０では、反射光照射装置１２と透過光照射装置１３とに加えて、反射光照射装置１２と同じ側に補助光照射装置２１を設けたので、撮像される領域Ｇ１に供給される光量を補うことができる。これにより、特に内部欠陥Ｐ３の白光度合いを高めることができるので、全体的な輝度不足による内部欠陥Ｐ３の検出精度が低下する事態を回避して、内部欠陥Ｐ３を含む全ての欠陥Ｐ１〜Ｐ３を漏れなく確実に検出することが可能となる。
【００５３】
また、以上の説明では、表面欠陥として異物（白金）による突起状欠陥Ｐ１と傷Ｐ２を例示し、内部欠陥Ｐ３として泡を例示したが、もちろん、本発明に係る製造方法及び製造装置によれば、これら以外の欠陥についてもその種類を正確に識別することが可能である。例えば、突起状欠陥には、白金以外の異物による突起状欠陥や泡による突起状欠陥が含まれてもよい。また、表面欠陥には、付着物（例えば汚れやガラス粉等）が含まれてもよく、内部欠陥には、異物による内部欠陥が含まれてもよい。
【００５４】
また、以上の説明では、ガラス板Ｇの製造ライン１が、ガラス板Ｇの加工工程Ｓ１と、洗浄工程Ｓ２と、検査工程Ｓ３と、梱包工程Ｓ４とを備える場合を例示したが、もちろんこれには限られない。上記以外の工程を追加してもよく、また上記工程の一部を省略してもよい。要は、検査工程Ｓ３を有する限りにおいて、本発明が適用できる製造ラインの構成は任意である。
【符号の説明】
【００５５】
１      ガラス板の製造ライン
１０，２０  検査装置
１１    撮像装置
１１ａ  受光部
１２    反射光照射装置
１３    透過光照射装置
１４    搬送路
２１    補助光照射装置
Ｆ      搬送方向
Ｇ      ガラス板
Ｇ１    撮像領域
Ｇａ，Ｇｂ  ガラス板の表面
Ｌ１〜Ｌ３  光
Ｐ      画像
Ｐ１    突起状欠陥（表面欠陥）
Ｐ２    傷（表面欠陥）
Ｐ３    内部欠陥
Ｓ      影
Ｓ１    加工工程
Ｓ２    洗浄工程
Ｓ３    検査工程
Ｓ４    梱包工程
θ１    撮像角度
θ２    入射角（第一の光）
θ３    傾斜角
θ４    入射角（第三の光）
【図１】
2020085587.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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