(57)【要約】【課題】省スペース化に対応しつつ、落下を防止することができるチャックトップ、検査装置、およびチャックトップの回収方法を提供する。【解決手段】ウエハに形成された複数の被検査デバイスの検査を行う検査装置において、ウエハを保持するとともに、検査時にフレームに保持され、かつアライナーに対して離接可能に設けられたチャックトップは、本体と、本体に設けられ、チャックトップがフレームから脱離した際に、チャックトップの落下を防止する可動式の落下防止フックを有する落下防止機構とを具備する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハに形成された複数の被検査デバイスの検査を行う検査装置において、前記ウエハを保持するとともに、検査時にフレームに保持され、かつアライナーに対して離接可能に設けられたチャックトップであって、
本体と、
前記本体に設けられ、前記チャックトップが前記フレームから脱離した際に、前記チャックトップの落下を防止する可動式の落下防止フックを有する落下防止機構と、
を具備する、チャックトップ。
【請求項２】
前記落下防止フックは、前記チャックトップの落下が防止される落下防止位置と、落下防止機能が解除される落下防止解除位置との間で回転可能である、請求項１に記載のチャックトップ。
【請求項３】
前記落下防止機構は、前記本体の端部に複数設けられている、請求項１または請求項２に記載のチャックトップ。
【請求項４】
前記落下防止フックは、垂直面内で回転可能に設けられている、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のチャックトップ。
【請求項５】
ウエハ上の複数のデバイスに電気的信号を与え、前記複数のデバイスを検査するテスタと、
前記ウエハ上の複数の前記デバイスの電極に接触され、前記テスタに接続されるプローブを有するプローブカードと、
ウエハを保持するチャックトップと、
前記テスタによる検査の際に前記チャックトップを保持するフレームと、
前記チャックトップに対して離接可能に設けられ、前記チャックトップに保持されたウエハの前記プローブカードに対する位置合わせを行うアライナーと、
を具備し、
前記チャックトップは、
本体と、
前記本体に設けられ、前記チャックトップが前記フレームから脱離した際に、前記チャックトップの落下を防止する可動式の落下防止フックを有する落下防止機構と、
を備える、検査装置。
【請求項６】
前記落下防止フックは、前記チャックトップの落下が防止される落下防止位置と、落下防止機能が解除される落下防止解除位置との間で回転可能である、請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記落下防止機構は、前記本体の端部に複数設けられている、請求項５または請求項６に記載の検査装置。
【請求項８】
前記落下防止フックは、垂直面内で回転可能に設けられている、請求項５から請求項７のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項９】
前記アライナーは、前記チャックトップと接続された際に、前記落下防止フックを前記落下防止位置から前記落下防止解除位置に切り替える解除機構を有する、請求項５から請求項８のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記解除機構は、シリンダと、前記シリンダから突出可能に設けられた解除部材を有し、前記解除部材を突出させることにより、前記落下防止フックを前記落下防止位置から前記落下防止解除位置に回転させる、請求項９に記載の検査装置。
【請求項１１】
前記落下防止機構は、前記解除機構により前記落下防止フックが前記落下防止解除位置に回転された後に、前記解除機構による解除動作が停止された際に、前記落下防止フックを前記落下防止位置に付勢するバネを有する、請求項９または請求項１０に記載の検査装置。
【請求項１２】
ウエハに形成された複数の被検査デバイスの検査を行う検査装置において、検査時にフレームに保持され、かつアライナーに対して離接可能に設けられたチャックトップの回収方法であって、
前記チャックトップは、本体と、前記本体に設けられ、前記チャックトップが前記フレームから脱離した際に、前記チャックトップの落下を防止する可動式の落下防止フックを有する落下防止機構と、を有し、前記落下防止フックは、前記チャックトップの落下が防止される落下防止位置と、落下防止機能が解除される落下防止解除位置との間で回転可能であり、
前記チャックトップが前記フレームから脱離した際に、前記落下防止フックが落下防止位置にあり、前記フレームに係止されることと、
前記アライナーを前記チャックトップの下方に位置させることと、
前記アライナーを上昇させ、前記アライナーに前記チャックトップを保持させることと、
前記アライナーに設けられた解除機構により、前記落下防止フックを前記落下防止位置から前記落下防止解除位置に移動させることと、
前記チャックトップを保持した前記アライナーを下降させて前記チャックトップを回収することと、
を有する、チャックトップの回収方法。
【請求項１３】
前記解除機構は、シリンダと、前記シリンダから突出可能に設けられた解除部材を有し、前記解除部材を突出させることにより、前記落下防止フックを前記落下防止位置から前記落下防止解除位置に回転させる、請求項１２に記載のチャックトップの回収方法。
【請求項１４】
前記落下防止フックは、垂直面内で回転可能に設けられ、
前記アライナーに前記チャックトップを保持させた後、前記落下防止フックを前記落下防止位置から前記落下防止解除位置に移動させる前に、前記アライナーにより前記チャックトップを持ち上げて、前記落下防止フックの前記フレームによる係止を解除することをさらに有する、請求項１２または請求項１３に記載のチャックトップの回収方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、チャックトップ、検査装置、およびチャックトップの回収方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造プロセスにおいては、半導体ウエハ（以下単にウエハと記す）における全てのプロセスが終了した段階で、ウエハに形成されている複数のデバイス（ＩＣチップ）の電気的検査が行われる。このような電気的検査を行う検査装置は、一般的に、プローバとテスタとを有している。プローバは、ウエハステージ、ウエハの位置合わせ機構、およびウエハ搬送系を有するとともに、ウエハに形成されたデバイスに接触するプローブを有するプローブカードが装着される。テスタは、プローブカードを介してデバイスに電気的信号を与え、デバイスの種々の電気特性を検査する。
【０００３】
このような検査装置として、特許文献１には、ウエハトレイ（チャックトップ）にウエハを吸着させた状態で保持し、さらにウエハトレイを真空引きによりプローブカードに吸着させて検査を行うものが提案されている。特許文献１には、ウエハトレイの落下を防止するために、サポート装置が設けられている。サポート装置は、ウエハトレイを下方から支持する４つの保持部を有しており、保持部は、モータおよびボールねじ機構等によって開閉されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１８６９９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本開示は、省スペース化に対応しつつ、落下を防止することができるチャックトップ、検査装置、およびチャックトップの回収方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様に係るチャックトップは、ウエハに形成された複数の被検査デバイスの検査を行う検査装置において、前記ウエハを保持するとともに、検査時にフレームに保持され、かつアライナーに対して離接可能に設けられたチャックトップであって、本体と、前記本体に設けられ、前記チャックトップが前記フレームから脱離した際に、前記チャックトップの落下を防止する可動式の落下防止フックを有する落下防止機構とを具備する。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、省スペース化に対応しつつ、落下を防止することができるウエハ保持用のチャックトップ、検査装置、およびチャックトップの回収方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】一実施形態に係るチャックトップを有する検査装置を複数搭載した検査システムの一例を概略的に示す斜視図である。
【図２】図１の検査システムの平面図である。
【図３】図２のIII−III′線による断面図である。
【図４】検査装置を示す概略構成図である。
【図５】一実施形態に係るチャックトップを概略的に示す平面図である。
【図６】検査装置の要部を概略的に示す断面図である。
【図７】チャックトップがポゴフレームから脱離して落下防止フックがポゴフレームの係止部に係止された状態を示す断面図である。
【図８】落下防止フックが落下防止解除位置に回転した状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
【００１０】
図１は、一実施形態に係るチャックトップを有する検査装置を複数搭載した検査システムの一例を概略的に示す斜視図、図２は検査システムの平面図、図３は図２のIII−III′線による断面図である。本実施形態の検査システム１０は、被検査体である半導体ウエハ（ウエハ）に形成された複数の被検査デバイス（Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ（以下「ＤＵＴ」と記す）の電気的特性を検査するものである。
【００１１】
検査システム１０は、筐体１１を有し、全体形状が直方体をなしており、筐体１１内には、複数の検査室(セル)１５を有する検査部１２と、各検査室１５に対してウエハＷの搬出入を行うローダ部１３と、検査部１２とローダ部１３との間に設けられた搬送部１４とを有している。
【００１２】
検査部１２は、検査室１５が水平方向に４つ配列されてセル列をなし、セル列が上下方向に３段配置されている。各検査室１５には、ＤＵＴの検査を行うテスタ３０を有する検査装置２０が配置されている。
【００１３】
そして、セル列の段ごとに、図２のＸ方向に移動可能に１台のアライナー（ステージ）２２が検査装置２０の下方に設けられている。また、検査部１２の各段に、検査装置２０よりも搬送部１４側の部分をＸ方向に沿って移動可能に１台のアライメント用の上カメラ２４が設けられている。
【００１４】
ローダ部１３は複数のポートに区画され、複数のウエハＷを収容する容器であるＦＯＵＰ１７を収容する複数のウエハ搬入出ポート１６ａ、搬送するウエハの位置合わせを行うプリアライメント部１６ｂ、プローブカードが搬入されかつ搬出されるプローブカードローダ１６ｃ、検査システム１０の動作を制御するシステム制御部１８が収納された制御ポート１６ｄを有する。
【００１５】
搬送部１４には複数の搬送アームを有する搬送機構１９が配置される。搬送機構１９の本体はＸ方向、Ｚ方向およびθ方向に移動可能であり、搬送アームは前後方向（Ｙ方向）に移動可能であることから、搬送機構１９は、ウエハＷをＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、θ方向に移動自在となっている。搬送機構１９は、全ての段の検査室１５にアクセス可能となっており、ローダ部１３のウエハ搬入出ポート１６ａからウエハＷを受け取って、検査装置２０の後述するチャックトップ（ステージ）６０へ搬送する（後述する図４〜６参照）。そして、デバイスの電気的特性の検査が終了したウエハＷを、対応する検査装置２０のチャックトップ６０から受け取ってウエハ搬入出ポート１６ａへ搬送する。このときのチャックトップ６０に対するウエハＷの授受は、アライナー２２を用いて行われる。
【００１６】
また、搬送機構１９は各検査室１５からメンテナンスを必要とするプローブカードをプローブカードローダ１６ｃへ搬送し、また、新規やメンテナンス済みのプローブカードを各検査室１５へ搬送する。
【００１７】
次に、検査装置２０について詳細に説明する。
図４は、検査室１５内に設けられた検査装置２０の概略構成を示す断面図である。また、図５はチャックトップ６０を概略的に示す平面図であり、図６は検査装置２０の要部を概略的に示す断面図である。
【００１８】
検査装置２０は、テスタ３０と、中間接続部材４０と、プローブカード５０と、チャックトップ６０とを有している。また、上述したアライナー２２は各段の４つの検査装置２０に共通するものであり、検査装置２０に含まれる。検査装置２０においては、ウエハＷに形成されているＤＵＴの電気特性の検査を、プローブカード５０を介してテスタ３０により行う。
【００１９】
テスタ３０は、ウエハＷに形成されたＤＵＴに対して電気的信号を与えて検査を行うものであり、複数の検査回路ボード（図示せず）を収容したテストヘッド３１と、テスタマザーボード３２とを有している。テスタマザーボード３２は、底部に複数の端子（図示せず）が設けられており、中間接続部材４０を介してプローブカード５０に接続される。検査回路ボードは、テスタマザーボード３２に接続され、種々のテスト項目に応じてウエハＷのＤＵＴに電気的信号を与えて検査するものである。
【００２０】
プローブカード５０は、上面に複数の端子（図示せず）を有する板状の基部５１と、基部５１の下面に設けられた複数のプローブ５２とを有している。複数のプローブ５２は、ウエハＷに形成されている全てのＤＵＴの全ての電極に一括して接触されるようになっている。ウエハＷはチャックトップ６０に吸着された状態でアライナー２２により位置決めされ、複数のＤＵＴのそれぞれに、対応するプローブが接触する。
【００２１】
中間接続部材４０は、テスタ３０とプローブカード５０とを電気的に接続するためのものであり、ポゴフレーム４１と、ポゴフレーム４１に設けられた貫通穴４１ａに挿嵌されるポゴブロック４２とを有する。ポゴブロック４２は、多数のポゴピンが配列されて形成されており、テスタマザーボード３１の端子と、プローブカード５０の基部５１の端子とを接続する。
【００２２】
図５、図６に示すように、チャックトップ６０は、本体６１と、一対の落下防止機構６２を有している。一対の落下防止機構６２は、本体６１の周縁部（端部）の互いに対向する位置に設けられている。なお、図４は、落下防止機構６２が存在していない部分の断面図である。落下防止機構６２は、チャックトップ６０の落下を防止する。
【００２３】
チャックトップ６０の本体６１の上面には真空吸着口が形成されており、ウエハＷが載置される。ウエハＷは真空吸着口を介してバキューム機構により真空引きされることにより、本体６１に真空吸着される。ウエハＷの搬送時は、チャックトップ６０がアライナー２２に接続され、真空吸着される。本体６１の上面の周縁部には段差６１ａが形成され、該段差６１ａにはシール部材７４が配置される。
【００２４】
落下防止機構６２は、垂直面内で回転可能に設けられた落下防止フック６３と、落下防止フック６３の回転軸６４と、本体６１に取り付けられ、回転軸６４を支持する支持部材６５と、バネ６６とを有する（図５、図６参照）。落下防止フック６３は、図６に示す、落下防止位置と、落下防止機能が解除された後述する落下防止解除位置との間で回転可能となっている。落下防止フック６３は、先端部６３ａを有する。落下防止フック６３が落下防止位置にあるとき、先端部６３ａがポゴフレーム４１に形成された穴４５内に挿入される。また、穴４５内には落下防止フック６３の先端部６３ａを係止するための係止部４６が設けられている。
【００２５】
落下防止フック６３は、回転軸６４を挟んで先端部６３ａとは反対側が、レバー６３ｂとなっている。後述する解除機構９０によりレバー６３ｂが上昇されることにより落下防止フック６３が落下防止解除位置に回転される。バネ６６は、チャックトップ６０の本体６１に設けられた取り付け部６７とレバー６３ｂに取り付けられ、落下防止フック６３を落下防止解除位置から落下防止位置へ付勢するようになっている。
【００２６】
チャックトップ６０およびプローブカード５０は、後述するように、工場用力を用いた真空吸着によりポゴフレーム４１に吸着しているため、工場用力が停止すると落下してしまい、破損するおそれがある。落下防止機構６２は、このようなチャックトップ６０の落下を防止する。すなわち、ウエハＷの検査中に工場用力が停止してチャックトップ６０の真空吸着が解除されてチャックトップ６０が脱離した場合に、図７に示すように、落下防止フック６３が係止部４６に係止され、チャックトップ６０の落下が防止される。落下防止機構６２による落下防止機能は、後述する解除機構９０により落下防止フック６３が回転することにより解除可能となっている。
【００２７】
ポゴフレーム４１とチャックトップ６０の間には、プローブカード５０を囲むように円筒状をなすベローズ７１が設けられている。ベローズ７１は金属製の蛇腹構造体であり、上下方向に伸縮自在に構成される。ベローズ７１の上下端にはそれぞれリング状の当接部７１ａ、７１ｂが設けられ、当接部７１ａはシール部材７５を介してポゴフレーム４１に当接され、当接部７１ｂはシール部材７４に当接される。ウエハＷがプローブカード５０へ当接した際に形成される、チャックトップ６０の本体６１、ポゴフレーム４１およびベローズ７１により囲まれる空間Ｓはシール部材７４、７５によって封止される。空間Ｓおよびシール部材７４内がバキューム機構によって真空引きされることにより、チャックトップ６０がポゴフレーム４１に吸着保持される。このとき、チャックトップ６０に載置されるウエハＷに形成された各デバイスの電極がプローブカード５０のプローブ５２へ当接する。
【００２８】
テスタマザーボード３２とポゴフレーム４１との間にはシール部材７２が設けられ、これらの間の空間４４が封止される。そして、空間４４が真空引きされることにより、ポゴフレーム４１がテスタマザーボード３２に装着される。ポゴフレーム４１およびプローブカード５０の間にはシール部材７３が設けられ、これらの間の空間４５が封止されている。そして、空間４５が真空引きされることにより、プローブカード５０がポゴフレーム４１に吸着保持される。
【００２９】
アライナー２２は、チャックトップ６０に対して離接可能に設けられ、チャックトップ６０を吸着保持して、チャックトップ６０上のウエハＷのプローブカード５０に対する位置合わせをするものである。アライナー２２は、図４に示すように、Ｘ方向に移動可能なＸ方向移動部と、Ｙ方向に移動可能なＹ方向移動部とを有するＸＹ移動部８１と、Ｙ方向移動部とともにＹ方向に移動し、昇降可能なＺブロック８２と、Ｚブロック８２に取り付けられたチャックベース８３とを有する。Ｚブロック８２はチャックトップ吸着面を有する。Ｚブロック８２にチャックトップ６０が吸着されることにより、アライナー２２は、チャックトップ６０（ウエハＷ）のＸＹＺθ位置の位置合わせが可能となる。
【００３０】
チャックベース８３の上面の周縁部には複数のハイトセンサ８４が設けられている。チャックベース８３およびチャックトップ６０の本体６１には、それぞれ複数の位置決めピンおよび位置決めブロック（いずれも図示せず）が設けられている。さらに、チャックベース８３の外端には、プローブカード５０やポゴフレーム４１を撮影するための下カメラ８５が設けられている。
【００３１】
また、チャックベース８３の外端には、解除機構９０が設けられている。解除機構９０は、落下防止機構６２の落下防止機能を解除するものであり、シリンダ９１と、シリンダ９１から突出・退避可能に設けられた解除部材９２とを有する。チャックトップ６０がアライナー２２に装着された状態で、解除機構９０を落下防止機構６２に対応する位置に位置させ、解除機構９０の解除部材９２を突出させることにより、落下防止フック６３のレバー６３ｂが上昇され、落下防止フック６３が図８に示す落下防止解除位置に回転する。図８の状態から解除機構９０の解除部材９２を下降させることにより、バネ６６の付勢力によって落下防止フック６３が落下防止位置に戻る。
【００３２】
解除機構９０による落下防止機構６２の落下防止機能の解除は、図７のように、チャックトップ６０がポゴフレーム４１から脱離した際に、チャックトップ６０を回収するために行われる。また、アライナー２２によるチャックトップ６０のアライメントの際にも、解除機構９０により落下防止機構６２の落下防止機能が解除される。
【００３３】
次に、検査システム１０の動作について説明する。
ウエハ搬入出ポート１６ａのＦＯＵＰ１７から搬送機構１９により、ウエハＷを取り出し、ウエハＷが搬入予定の検査装置２０において、チャックトップ６０をアライナー２２に装着させた状態とし、チャックトップ６０上にウエハＷを載置する。このときチャックトップ６０に載置されたウエハＷが上カメラ２４にて撮影されて位置合わせ（アライメント）される。次いで、アライナー２２によりチャックトップ６０をプローブカード５０の下方のコンタクト領域に移動させ、その過程で、下カメラ８５によりプローブカード５０を撮影して、ウエハＷの水平方向の位置合わせを行う。そして、アライナー２２のＺブロック８２によりチャックトップ６０を上昇させて、ウエハＷをプローブカード５０のプローブ５１に接触させ、ベローズ７１を介してチャックトップ６０をポゴフレーム４１に吸着させた状態とする。そして、チャックトップ６０とアライナー２２との真空吸着を解除し、アライナー２２のＺブロック８２を下降させる。この状態でテスタ３０によるウエハＷの電気的検査を行う。
【００３４】
ウエハＷの電気的検査が終了後、アライナー２２をチャックトップ６０の下方に位置合わせし、Ｚブロック８２を上昇させてチャックトップ６０を吸着保持する。そして、空間Ｓおよびシール部材７４内の真空を解除し、アライナー２２のＺブロック８２を下降させ、チャックトップ６０上の検査後のウエハＷを搬送機構１９によりＦＯＵＰ１７に搬送する。
【００３５】
上記一連の動作において、チャックトップ６０をポゴフレーム４１に吸着させる前のアライメント時には、アライメント動作等の妨げにならないように、解除機構９０により落下防止機構６２の落下防止機能は解除される。具体的には、チャックトップ６０をポゴフレーム４１に吸着させる前には、解除機構９０の解除部材９２をシリンダ９１から突出させて落下防止フック６３を落下防止解除位置に回転させておく。そして、チャックトップ６０がポゴフレーム４１に吸着された後、落下防止機能が設定される。具体的には、チャックトップ６０がポゴフレーム４１に吸着された後、Ｚブロック８２の下降により解除部材９２を退避させ、落下防止フック６３をバネ６６の付勢力により、落下防止位置に戻す。
【００３６】
このように、ウエハＷの電気的検査の際には、落下防止フック６３が図６のように落下防止位置にあり、落下防止機能が設定されているため、チャックトップ６０がポゴフレーム４１から脱離しても落下が防止される。すなわち、工場用力が停止してポゴフレーム４１に対するチャックトップ６０の真空吸着が解除されてチャックトップ６０が脱離した場合に、落下防止フック６３が係止部４６に係止され、チャックトップ６０の落下が防止される。
【００３７】
上記特許文献１では、落下防止機構は、チャックトップと別部材であり、チャックトップを下方から支持する４つの保持部を有する構造であるため、本実施形態のようなチャックトップ６０自体が落下防止機構６２を有している場合と比べて大きなスペースが必要となる。これに対し、本実施形態では、チャックトップ６０自体が落下防止機構６２を有しているため、落下防止機構を別途設ける必要がなく、省スペース効果が高い。特に、本実施形態のような複数の検査装置２０を有する検査システムにおいては、本質的に省スペース化が求められているため、落下防止機構６２を有するチャックトップ６０は極めて有効である。
【００３８】
また、特許文献１では、アライメント用の下カメラとして、落下防止機構のクランプを避けながらプローブカードを撮影できる焦点距離が長いものが必要となる。しかし、下カメラの焦点距離を長くすると、アライナーのＺストロークも長くする必要があり、その分スペースが必要となる。これに対し、本実施形態では、下カメラ８５は落下防止機構６２が妨げとならずにプローブカードを撮影することができ、下カメラ８５として焦点距離が短いものを使用することができる。このため、アライナー２２のＺストロークを短くすることができ、その点からも省スペース効果が大きい。
【００３９】
次に、脱離したチャックトップ６０を回収する方法について説明する。
ウエハＷの検査中にチャックトップ６０がポゴフレーム４１から脱離した際には、落下防止フック６３がポゴフレーム４１の係止部４６に係止された図７の状態になる。この状態でアライナー２２をチャックトップ６０の下方に位置させる。このとき、解除機構９０の解除部材９２を退避させたまま（縮めた状態）とする。
【００４０】
そして、下カメラ８５でチャックトップの位置を検出し、システム制御部１８でチャックトップ６０を回収可能かどうか判断する。回収可能であれば、アライナー２２のＺブロック８２を上昇させ、Ｚブロック８２によりチャックトップ６０を吸着保持する。
【００４１】
この状態で、アライナー２２によりチャックトップを持ち上げて、係止部４６による落下防止フック６３の係止を解除する。次いで、解除部材９２を突出させる。これにより、落下防止フック６３のレバー６３ｂが上昇し、落下防止フック６３が図８に示す落下防止解除位置に回転して、落下防止機構６２が解除される。
【００４２】
その後、チャックトップ６０を保持したアライナー２２のＺブロック８２を下降させることにより、チャックトップ６０がアライナー２２により回収される。チャックトップ６０に保持されたウエハＷは搬送機構１９により搬出される。
【００４３】
以上のように、解除機構９０として突出・退避可能な解除部材９２を有するものを用いて落下防止フック６３の解除を行えるようにしたことにより、脱離したチャックトップ６０を人手によらずアライナー２２を用いて自動的に回収することができる。ポゴフレーム４１から脱離して落下防止フック６３が係止部４６に係止されたチャックトップ６０を人手により回収する場合には、時間がかかり、技能も要求される。また、チャックトップ６０が保持しているウエハＷの破損も懸念される。これに対し、本実施形態では脱離したチャックトップ６０をアライナー２２を用いて自動的に回収できるので、作業時間を短縮することができ、技能も不要であり、ウエハＷ等の破損も生じ難い。
【００４４】
また、解除機構９０はアライナー２２に設けられており、アライナー２２は複数の検査装置２０にアクセス可能となっているので、検査装置２０ごとに解除機構９０を設ける必要はない。このため、より省スペース効果が高い。
【００４５】
以上、実施形態について説明したが、今回開示された実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の特許請求の範囲およびその主旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
【００４６】
例えば、上記実施形態では、複数の検査装置を有する検査システム内の検査装置について説明したが、これに限らず、単体の検査装置であってもよい。
【００４７】
また、上記実施形態では、落下防止機構として、垂直面内で回転することで着脱可能な落下防止フックを有するものを示したが、これに限るものではなく、例えば円周方向に回転することで着脱可能な落下防止フックを有するものであってもよい。また、落下防止機構の数は、２つに限るものではない。また、検査時にチャックトップが保持されるフレームはポゴフレームに限らず、検査装置内に存在するその他のフレーム状構成部品であってもよい。
【符号の説明】
【００４８】
１０；検査システム
１１；筐体
１２；検査部
１３；ローダ部
１４；搬送部
１５；検査室（セル）
２０；検査装置
２２；アライナー
３０；テスタ
４０；中間接続部材
４１；ポゴフレーム
４６；係止部
５０；プローブカード
５２；プローブ
６０；チャックトップ（ステージ）
６１；本体
６２；落下防止機構
６３；落下防止フック
６３ａ；先端部
６３ｂ；レバー
６４；回転軸
８２；Ｚブロック
８５；下カメラ
９０；解除機構
９１；シリンダ
９２；解除部材
Ｗ；ウエハ（被検査体）
【図１】
2020113701.tif 000003
【図２】
2020113701.tif 000004
【図３】
2020113701.tif 000005
【図４】
2020113701.tif 000006
【図５】
2020113701.tif 000007
【図６】
2020113701.tif 000008
【図７】
2020113701.tif 000009
【図８】
2020113701.tif 000010