(57)【要約】【課題】歯付きベルトのプーリーからの脱落を抑制することが可能な搬送装置を提供する。【解決手段】搬送装置は、搬送対象物を搬送する搬送装置であって、ベースと、前記搬送対象物の搬送方向に延び、上面に前記搬送対象物が載置される歯付きベルトと、前記歯付きベルトとかみ合うプーリーと、前記搬送対象物と当接して前記搬送対象物を前記搬送方向に案内するガイドと、を備え、前記ガイドは、第１の間隔を空けて前記上面と対向する第１対向面を有し、前記ベースに固定される固定ガイド部材と、前記歯付きベルトを挟んで前記プーリーと対向するとともに、第２の間隔を空けて前記上面と対向する第２対向面を有し、前記プーリーから離れる方向へ移動自在な可動ガイド部材と、を含む。【選択図】図５
2020193084.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送対象物を搬送する搬送装置であって、
ベースと、
前記搬送対象物の搬送方向に延び、上面に前記搬送対象物が載置される歯付きベルトと、
前記歯付きベルトとかみ合うプーリーと、
前記搬送対象物と当接して前記搬送対象物を前記搬送方向に案内するガイドと、を備え、
前記ガイドは、
第１の間隔を空けて前記上面と対向する第１対向面を有し、前記ベースに固定される固定ガイド部材と、
前記歯付きベルトを挟んで前記プーリーと対向するとともに、第２の間隔を空けて前記上面と対向する第２対向面を有し、前記プーリーから離れる方向へ移動自在な可動ガイド部材と、を含む、
搬送装置。
【請求項２】
前記可動ガイド部材を前記プーリーへ近づける方向へ付勢する付勢部材をさらに備える、
請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
中心軸を有する軸部材であって、前記中心軸を中心に前記可動ガイド部材が前記プーリーから離れる方向に回転可能なように前記固定ガイド部材と前記可動ガイド部材とを連結する軸部材をさらに備える、
請求項１または請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記第２の間隔は、前記搬送対象物の厚さより小さい、
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記固定ガイド部材は、前記搬送対象物と当接して前記搬送対象物を前記搬送方向に案内する第１案内面を有し、
前記可動ガイド部材は、前記搬送対象物と当接して前記搬送対象物を前記搬送方向に案内する第２案内面を有する、
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の搬送装置と、
レーザー光を生成するレーザー光源と、を備える、
レーザーマーキング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の一態様は、基板の搬送を行う搬送装置などに関する。
【背景技術】
【０００２】
ベルトを用いて基板の搬送を行う基板搬送装置がある。このような基板搬送装置は、たとえば特許文献１及び２などに開示されている。特許文献１に記載の基板搬送装置では、略２ミリメートルの狭い幅を有するタイミングベルトが、基板の搬送に用いられる。また、特許文献２に記載の基板搬送装置では、基板ガイドが、ベルトの上側に配置される。当該基板ガイドは、ベルトの駆動により移動する基板と係合することにより、当接基板を搬送方向へ案内する側面を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１６４２３０号公報
【特許文献２】特開２００５−１６２３８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の基板搬送装置のように、タイミングベルトの幅が狭い場合、タイミングベルトがプーリーから脱落することがあるため、幅の広いタイミングベルトが用いられることがある。
【０００５】
また、たとえば、下面に電子部品などが配置された基板を幅の広いタイミングベルトによって搬送する場合、当該下面における配置可能エリアを大きくすることを目的として、基板とタイミングベルトとが当接する領域の幅を小さくすることがある。この場合、幅の広いタイミングベルトにプリント基板が狭い幅で載置される。このような構成では、搬送時におけるプリント基板の幅方向の動きを規制するため、特許文献２に記載されたような基板ガイドがタイミングベルトの上側に配置されることがある。基板ガイドとタイミングベルトとの間の間隔は、基板が入り込まないように基板の厚さより小さく設定されることが多い。
【０００６】
ところで、タイミングベルトが駆動される際に、プーリーの歯とタイミングベルトの歯とのかみ合わせの不良が発生し、タイミングベルトがプーリーの径方向外側に膨らむことがある。基板ガイドとタイミングベルトとの間隔が小さい場合、膨らんだタイミングベルトと基板ガイドとが当接し、タイミングベルトが基板ガイドから走行抵抗を受け、プーリーから脱落することがある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記の課題などを解決するために次のような手段を採る。なお、以下の説明において、発明の理解を容易にするために図面中の符号等を括弧書きで付記するが、本発明の各構成要素はこれらの付記したものに限定されるものではなく、当業者が技術的に理解しうる範囲にまで広く解釈されるべきものである。
【０００８】
本発明の一の手段は、
搬送対象物（８１、８２）を搬送する搬送装置（１）であって、
ベース（３２Ａ）と、
前記搬送対象物の搬送方向（ｘ軸方向）に延び、上面（２１Ａ３）に前記搬送対象物が載置される歯付きベルト（２１Ａ）と、
前記歯付きベルトとかみ合うプーリー（２２Ａ）と、
前記搬送対象物と当接して前記搬送対象物を前記搬送方向に案内するガイド（１１Ａ）と、を備え、
前記ガイドは、
第１の間隔（Ｇ１）を空けて前記上面と対向する第１対向面（１２Ａ８）を有し、前記ベースに固定される固定ガイド部材（１２Ａ）と、
前記歯付きベルトを挟んで前記プーリーと対向するとともに、第２の間隔（Ｇ１）を空けて前記上面と対向する第２対向面（１３Ａ８）を有し、前記プーリーから離れる方向へ移動自在な可動ガイド部材（１３Ａ）と、を含む、
搬送装置である。
【０００９】
上記構成の搬送装置によれば、プーリーの歯と歯付きベルトの歯とのかみ合わせが不良となり、歯付きベルトがプーリーの径方向外側に膨らんで可動ガイド部材と当接しても、可動ガイド部材を歯付きベルトの膨らみに応じてプーリーから離れる方向へ移動させることができる。これにより、歯付きベルトが走行時に可動ガイド部材から受ける走行抵抗を低減させることができるので、歯付きベルトがプーリーから脱落することを抑制することができる。また、歯付きベルトがプーリーの径方向外側に膨らむ際に歯付きベルトと可動ガイド部材の第２対向面とが当接することで、搬送対象物が歯付きベルトと第２対向面との間に入り込むことを抑制することができる。
【００１０】
上記搬送装置において、好ましくは、
前記可動ガイド部材を前記プーリーへ近づける方向へ付勢する付勢部材（１６Ａ）をさらに備える。
【００１１】
上記構成の搬送装置によれば、たとえば、歯付きベルトがプーリーの径方向外側に膨らんだ場合には、可動ガイド部材と歯付きベルトとが当接した状態を維持し、その後、プーリーの歯と歯付きベルトの歯とのかみ合わせの不良が解消し、歯付きベルトの膨らみが改善したときに、可動ガイド部材を元の位置へ自動的に戻すことができる。これにより、第２の間隔が広がったままの状態となることを抑制することができるので、搬送対象物が歯付きベルトと第２対向面との間に入り込むことを抑制することができる。
【００１２】
上記搬送装置において、好ましくは、
中心軸（１７Ａ１）を有する軸部材（１７Ａ）であって、前記中心軸を中心に前記可動ガイド部材が前記プーリーから離れる方向に回転可能なように前記固定ガイド部材と前記可動ガイド部材とを連結する軸部材をさらに備える。
【００１３】
上記構成の搬送装置によれば、可動ガイド部材がプーリーから離れる方向へ移動自在となる機構を簡易な構成で実現することができる。また、可動ガイド部材において搬送対象物と当接する面と、固定ガイド部材において搬送対象物と当接する面との連続性を、可動ガイド部材がプーリーから離れる方向に回転する場合においても維持することができる。これにより、プーリーの歯と歯付きベルトの歯とのかみ合わせが不良となる場合においても、固定ガイド部材と可動ガイド部材との連結部分を通過する搬送対象物の搬送方向への案内を良好に行うことができる。
【００１４】
上記搬送装置において、好ましくは、
前記第２の間隔は、前記搬送対象物の厚さより小さい。
【００１５】
上記構成の搬送装置によれば、搬送対象物が歯付きベルトと第２対向面との間に入り込むことを抑制することができる。
【００１６】
上記搬送装置において、好ましくは、
前記固定ガイド部材は、前記搬送対象物と当接して前記搬送対象物を前記搬送方向に案内する第１案内面（１２Ａ７）を有し、
前記可動ガイド部材は、前記搬送対象物と当接して前記搬送対象物を前記搬送方向に案内する第２案内面（１３Ａ７）を有する。
【００１７】
上記構成の搬送装置によれば、たとえば、歯付きベルトがプーリーの径方向外側に膨らみ、可動ガイド部材がプーリーから離れる方向へ移動する際に、第２案内面も歯付きベルトの膨らみとともにプーリーから離れる方向へ移動させることができる。これにより、第２案内面が搬送対象物を搬送方向に案内する機能を、プーリーの歯と歯付きベルトの歯とのかみ合わせが不良となる場合においても維持することができる。
【００１８】
上記いずれかの搬送装置は、レーザー光を生成するレーザー光源を備えるレーザーマーキング装置に好適に適用される。
【００１９】
上記構成のレーザーマーキング装置によれば、プーリーの歯と歯付きベルトの歯とのかみ合わせが不良となり、歯付きベルトがプーリーの径方向外側に膨らんで可動ガイド部材と当接しても、可動ガイド部材を歯付きベルトの膨らみに応じてプーリーから離れる方向へ移動させることができる。これにより、歯付きベルトが走行時に可動ガイド部材から受ける走行抵抗を低減させることができるので、歯付きベルトのプーリーからの脱落を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本実施形態の搬送装置の斜視図である。
【図２】図２は、本実施形態の搬送装置をｚ軸＋側から見た平面図である。
【図３】図３は、本実施形態の大型基板が載置された状態の搬送装置をｘ軸−側から見た平面図である。
【図４】図４は、本実施形態の小型基板が載置された状態の搬送装置の斜視図である。
【図５】図５は、本実施形態の可動ガイド部材１３Ａの周辺の斜視図である。
【図６】図６は、本実施形態の可動ガイド部材１３Ａの周辺をｚ軸＋側から見た平面図である。
【図７】図７は、本実施形態の可動ガイド部材１３Ａの周辺をｙ軸＋側から見た平面図である。
【図８】図８は、本実施形態の可動ガイド部材１３Ａの周辺をｘ軸＋側から見た平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の搬送装置は、基板を搬送方向に案内するガイドが、ベースに固定される固定ガイド部材と、固定ガイド部材に連結されプーリーと対向する可動ガイド部材と、を含む構成とし、可動ガイド部材がプーリーから離れる方向へ移動自在となっている点を特徴のひとつとする。
【００２２】
本発明に係る実施形態について、以下の構成に従って説明する。ただし、以下で説明する実施形態はあくまで本発明の一例にすぎず、本発明の技術的範囲を限定的に解釈させるものではない。なお、各図面において、同一の構成要素には同一の符号を付しており、その説明を省略する場合がある。
１．実施形態
２．本実施形態の特徴
３．補足事項
【００２３】
＜１．実施形態＞
本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態の搬送装置の斜視図である。図２は、本実施形態の搬送装置をｚ軸＋側から見た平面図である。図３は、本実施形態の大型基板が載置された状態の搬送装置をｘ軸−側から見た平面図である。図４は、本実施形態の小型基板が載置された状態の搬送装置の斜視図である。図５は、本実施形態の可動ガイド部材１３Ａの周辺の斜視図である。図６は、本実施形態の可動ガイド部材１３Ａの周辺をｚ軸＋側から見た平面図である。図７は、本実施形態の可動ガイド部材１３Ａの周辺をｙ軸＋側から見た平面図である。図８は、本実施形態の可動ガイド部材１３Ａの周辺をｘ軸＋側から見た平面図である。
【００２４】
各図面にはｘ軸、ｙ軸およびｚ軸を示している。重力の方向の反対方向へ向いている軸を「ｚ軸」と定義する。ｚ軸に垂直な軸であって、第１搬送ユニット７１から見て第２搬送ユニット７２へ向いている軸を「ｙ軸」と定義する。また、ｙ軸およびｚ軸の両方に垂直な軸を「ｘ軸」と定義する。ここでは、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸は、右手系の３次元の直交座標を形成する。以下、ｚ軸の矢印方向をｚ軸＋側、矢印とは逆方向をｚ軸−側と呼ぶことがあり、その他の軸についても同様である。なお、ｚ軸＋側及びｚ軸−側を、それぞれ「上側」及び「下側」と呼ぶこともある。また、ｘ軸方向、ｙ軸方向及びｚ軸方向を、それぞれ「搬送方向」、「幅方向」及び「厚さ方向」と呼ぶこともある。
【００２５】
＜搬送装置１＞
図１〜図８に示されるように、レーザーマーキング装置は、レーザー光を生成するレーザー光源（図示しない）及び搬送装置１などを含んで構成される。レーザーマーキング装置は、レーザー光源によって生成されたレーザー光を用いて電子基板にレーザーアブレーションを施し、電子基板をマーキングする。電子基板は、たとえば、大型基板８１（図３参照）または小型基板８２（図４参照）などの矩形の断面を有する板状の電子基板である。搬送装置１は、電子基板を搬送方向へ搬送し、板状部材７０、第１搬送ユニット７１及び第２搬送ユニット７２を含んで構成される。なお、本実施形態では、搬送装置１において電子基板が搬送される構成について説明したが、搬送装置１では、他の種類の基板が搬送される構成であってもよい。電子基板は、本発明でいう「搬送対象物」の一具体例である。
【００２６】
＜板状部材７０＞
板状部材７０は、略矩形の断面を有する板状の部材であり、上側に向いた第１面７０ａと、下側に向いた第２面と、を有する。第２搬送ユニット７２は、板状部材７０の第１面７０ａのｙ軸＋側に固定される。第１搬送ユニット７１は、第２搬送ユニット７２のｙ軸−側に位置し、幅方向に可動となっている。
【００２７】
＜第１搬送ユニット７１＞
第１搬送ユニット７１は、基板ガイド１１Ａ、タイミングベルト２１Ａ、板状部材３２Ａ、ベルトガイド３３Ａ及びベルト駆動機構４１Ａを主に含んで構成される。
【００２８】
＜板状部材３２Ａ＞
板状部材３２Ａは、幅方向に可動な板状の部材であり、第１面３２Ａ１と、第２面３２Ａ２と、を有する。第１面３２Ａ１は、ｙ軸＋側に向き、ｚｘ面に平行な面であり、第２搬送ユニット７２と対向する。第２面３２Ａ２は、ｙ軸−側に向き、ｚｘ面に平行な面である。板状部材３２Ａのｘ軸＋側では、下側が略矩形に切り取られている。同様に、板状部材３２Ａのｘ軸−側では、下側が略矩形に切り取られている。つまり、板状部材３２Ａの下側の搬送方向の幅は、板状部材３２Ａの上側の搬送方向の幅より小さい。板状部材３２Ａの上側の端部は、ｘｙ面に平行な面（以下、当接面３２Ａ３と称することがある。）が形成されている。板状部材３２Ａは、本発明でいう「ベース」の一具体例である。
【００２９】
＜タイミングベルト２１Ａ＞
タイミングベルト２１Ａは、無端のベルトであり、搬送方向と平行に走行するようにベルト駆動機構４１Ａによって駆動される。タイミングベルト２１Ａは、外周面２１Ａ１と、内周面２１Ａ２と、を有する。内周面２１Ａ２の一部（以下、歯形成部と称することがある。）には、歯が形成される。外周面２１Ａ１には、歯が形成されず、滑らかになっている。タイミングベルト２１Ａは、本発明でいう「歯付きベルト」の一具体例である。
【００３０】
＜ベルト駆動機構４１Ａ＞
ベルト駆動機構４１Ａは、被駆動プーリー２２Ａ及び２３Ａ、ローラー２４Ａ及び２５Ａ、駆動プーリー２６Ａならびにモータ２７Ａを含んで構成される。モータ２７Ａは、ｙ軸に平行な軸を中心に回転する出力シャフト（図示しない）を有し、板状部材３２Ａの第２面３２Ａ２に固定される。
【００３１】
被駆動プーリー２２Ａ及び２３Ａ、ローラー２４Ａ及び２５Ａならびに駆動プーリー２６Ａは、板状部材３２Ａのｙ軸＋側に配置される。被駆動プーリー２２Ａ及び２３Ａ、ローラー２４Ａ及び２５Ａならびに駆動プーリー２６Ａには、タイミングベルト２１Ａが張架される。
【００３２】
詳細には、駆動プーリー２６Ａは、ｙ軸に平行な中心軸２６Ａ１（図２及び図３参照）を有する略円柱形状を有する。駆動プーリー２６Ａの外周面には、タイミングベルト２１Ａの歯とかみ合う歯が形成される。駆動プーリー２６Ａは、モータ２７Ａの出力シャフトと連結されており、モータ２７Ａによって中心軸２６Ａ１を中心に回転駆動される。タイミングベルト２１Ａは、内周面２１Ａ２が駆動プーリー２６Ａの外周面の下側半分と当接するように駆動プーリー２６Ａに張架される。タイミングベルト２１Ａの歯形成部が駆動プーリー２６Ａの外周面と当接するときは、駆動プーリー２６Ａの歯とタイミングベルト２１Ａの歯とがかみ合う。これにより、駆動プーリー２６Ａの中心軸についての回転力が、タイミングベルト２１Ａの延びる方向への力としてタイミングベルト２１Ａに伝達される。
【００３３】
ローラー２４Ａは、ｙ軸に平行な中心軸２４Ａ１を有する略円柱形状を有する。ローラー２４Ａの外周面は、滑らかになっている。ローラー２４Ａは、駆動プーリー２６Ａを基準として、ｘ軸＋側への斜め上方に配置される。また、ローラー２４Ａは、ベアリングなどを介して板状部材３２Ａに配置され、中心軸２４Ａ１を中心に回転自在となっている。タイミングベルト２１Ａは、外周面２１Ａ１がローラー２４Ａの外周面と当接するようにローラー２４Ａに張架される。この際、ローラー２４Ａは、駆動プーリー２６Ａのｘ軸＋側の端部から上側に向かって延びるタイミングベルト２１Ａの延伸方向をｘ軸＋側へ変換する。
【００３４】
ローラー２５Ａは、ローラー２４Ａと同様の構成の部材であり、ｙ軸に平行な中心軸２５Ａ１を有する略円柱形状を有する。ローラー２５Ａの外周面は、滑らかになっている。ローラー２５Ａは、ローラー２４Ａのｘ軸−側であって、駆動プーリー２６Ａを基準として、ｘ軸−側への斜め上方に配置される。また、ローラー２５Ａは、ベアリングなどを介して板状部材３２Ａに配置され、中心軸２５Ａ１を中心に回転自在となっている。タイミングベルト２１Ａは、外周面２１Ａ１がローラー２５Ａの外周面と当接するようにローラー２５Ａに張架される。この際、ローラー２５Ａは、駆動プーリー２６Ａのｘ軸−側の端部から上側に向かって延びるタイミングベルト２１Ａの延伸方向をｘ軸−側へ変換する。
【００３５】
被駆動プーリー２２Ａは、ｙ軸に平行な中心軸２２Ａ１を有する略円柱形状を有する。被駆動プーリー２２Ａの外周面には、タイミングベルト２１Ａの歯とかみ合う歯が形成される。被駆動プーリー２２Ａは、ローラー２４Ａを基準として、ｘ軸＋側への斜め上方に配置される。また、被駆動プーリー２２Ａは、ベアリングなどを介して板状部材３２Ａに配置され、中心軸２２Ａ１を中心に回転自在となっている。タイミングベルト２１Ａは、内周面２１Ａ２が被駆動プーリー２２Ａの外周面のｘ軸＋側半分と当接するように被駆動プーリー２２Ａに張架される。被駆動プーリー２２Ａの歯は、タイミングベルト２１Ａの歯とかみ合う。本実施形態では、タイミングベルト２１Ａの歯形成部が被駆動プーリー２２Ａの外周面と当接するときは、被駆動プーリー２２Ａの歯とタイミングベルト２１Ａの歯とがかみ合う。
【００３６】
被駆動プーリー２３Ａは、被駆動プーリー２２Ａと同様の構成の部材であり、ｙ軸に平行な中心軸２３Ａ１を有する略円柱形状を有する。被駆動プーリー２３Ａの外周面には、タイミングベルト２１Ａの歯とかみ合う歯が形成される。被駆動プーリー２３Ａは、被駆動プーリー２２Ａのｘ軸−側であって、ローラー２５Ａを基準として、ｘ軸−側への斜め上方に配置される。また、被駆動プーリー２３Ａは、ベアリングなどを介して板状部材３２Ａに配置され、中心軸２３Ａ１を中心に回転自在となっている。タイミングベルト２１Ａは、内周面２１Ａ２が被駆動プーリー２３Ａの外周面のｘ軸−側半分と当接するように被駆動プーリー２３Ａに張架される。被駆動プーリー２３Ａの歯は、タイミングベルト２１Ａの歯とかみ合う。本実施形態では、タイミングベルト２１Ａの歯形成部が被駆動プーリー２３Ａの外周面と当接するときは、被駆動プーリー２３Ａの歯とタイミングベルト２１Ａの歯とがかみ合う。
【００３７】
ここで、被駆動プーリー２２Ａの中心軸２２Ａ１を含み、ｙｚ面に平行な面を第１基準面と定義する。中心軸２２Ａ１より上側において、タイミングベルト２１Ａと第１基準面とが交わる部分を、第１境界部２１Ａ８と定義する。同様に、被駆動プーリー２３Ａの中心軸２３Ａ１を含み、ｙｚ面に平行な面を第２基準面と定義する。中心軸２３Ａ１より上側において、タイミングベルト２１Ａと第２基準面とが交わる部分を、第２境界部２１Ａ９と定義する。タイミングベルト２１Ａのうち、第１境界部２１Ａ８と第２境界部２１Ａ９との間の部分を、搬送部分２１Ａ４と定義する。搬送部分２１Ａ４における外周面２１Ａ１を、上面２１Ａ３と定義する。本実施形態では、搬送部分２１Ａ４は、電子基板の搬送方向すなわちｘ軸方向と略平行に延びる。上面２１Ａ３は、ｘｙ面と略平行であり、上側に向く。
【００３８】
駆動プーリー２６Ａがモータ２７Ａによって回転駆動されるとき、駆動プーリー２６Ａは、タイミングベルト２１Ａの延びる方向に沿った力をタイミングベルト２１Ａに加える。これにより、タイミングベルト２１Ａは、タイミングベルト２１Ａの延びる方向に走行する。この際、搬送部分２１Ａ４は、ｘ軸＋側及びｘ軸−側のいずれかへ走行する。
【００３９】
＜ベルトガイド３３Ａ＞
ベルトガイド３３Ａは、搬送方向に延びる板状の部材であり、板状部材３２Ａの第１面３２Ａ１に固定される。ベルトガイド３３Ａは、搬送部分２１Ａ４の下側に配置され、搬送部分２１Ａ４における内周面２１Ａ２と対向する面を有する。当該面と、搬送部分２１Ａ４における内周面２１Ａ２とが当接することで、搬送部分２１Ａ４の延びる方向が搬送方向からずれることを抑制する。これにより、ベルトガイド３３Ａは、搬送部分２１Ａ４が搬送方向へ良好に走行するように搬送部分２１Ａ４を案内する。
【００４０】
＜基板ガイド１１Ａ＞
基板ガイド１１Ａは、電子基板と当接して当該電子基板を搬送方向に案内する。基板ガイド１１Ａは、固定ガイド部材１２Ａ、可動ガイド部材１３Ａ、ねじりばね１６Ａ及び軸部材１７Ａを含んで構成される。
【００４１】
＜固定ガイド部材１２Ａ＞
固定ガイド部材１２Ａは、略矩形の断面を有し、搬送方向に延びる板状の部材である。固定ガイド部材１２Ａは、第２搬送ユニット７２と対向し、電子基板をガイドするガイド面１２Ａ７と、タイミングベルト２１Ａと対向する対向面１２Ａ８と、を有する。本実施形態では、ガイド面１２Ａ７は、ｙ軸＋側に向き、ｚｘ面に平行な面である。ガイド面１２Ａ７は、上側から平面視したときに、タイミングベルト２１Ａの搬送部分２１Ａ４のｙ軸＋側の端部（以下、ｙ軸＋側端部２１Ａ５と称することがある。）を基準として、所定の距離ｒだけｙ軸−側に位置する（図６参照）。つまり、上側から平面視したときに、上面２１Ａ３の一部であって、ｙ軸＋側端部２１Ａ５とガイド面１２Ａ７との間に位置する、距離ｒの幅を有する面（以下、載置面２１Ａ６と称することがある。）が、露出する（図５及び図６参照）。電子基板の下側の面と載置面２１Ａ６とが重なる領域（以下、重なり領域と称することがある。）は、電子基板の下側からレーザーマーキングを行ったり、電子基板の下側に電子部品などを配置したりすることが困難となることがある。載置面２１Ａ６の幅すなわち距離ｒを仮に小さくすると、重なり領域の面積を小さくできるので、距離ｒは、小さい値であることが好ましい。ガイド面１２Ａ７は、本発明でいう「第１案内面」の一具体例である。
【００４２】
対向面１２Ａ８は、所定の間隔Ｇ１を空けてタイミングベルト２１Ａの上面２１Ａ３と対向する（図７参照）。本実施形態では、対向面１２Ａ８は、下側に向き、ｘｙ面に平行な面であって、上面２１Ａ３と対向する面である。固定ガイド部材１２Ａは、対向面１２Ａ８と上面２１Ａ３との間に間隔Ｇ１が生成されるように板状部材３２Ａに固定される。間隔Ｇ１は、電子基板の厚さより小さい。具体的には、たとえば、電子基板の厚さが０．５ミリメートルであるときは、間隔Ｇ１は、０．５ミリメートルより小さい。本実施形態では、固定ガイド部材１２Ａは、対向面１２Ａ８のｙ軸−側が板状部材３２Ａの当接面３２Ａ３と当接した状態で、たとえばねじ止めによって板状部材３２Ａに固定される。なお、固定ガイド部材１２Ａは、接着または溶接などの他の方法で板状部材３２Ａに固定されてもよい。対向面１２Ａ８は、本発明でいう「第１対向面」の一具体例である。間隔Ｇ１は、本発明でいう「第１の間隔」の一具体例である。
【００４３】
固定ガイド部材１２Ａのｘ軸＋側には、ｚ軸方向に延び、ｘ軸＋側に開いた溝部１２Ａ１が形成される（図５及び図６参照）。溝部１２Ａ１の底は、ｘ軸＋側への斜め上方に向いた斜面１２Ａ２となっている。溝部１２Ａ１のｙ軸＋側及びｙ軸−側は、それぞれｘ軸＋側へ突出する突出部１２Ａ３及び１２Ａ４となっている。突出部１２Ａ３及び１２Ａ４のｘ軸＋側の先端は、ｙ軸＋側から平面視したときに、ｘ軸＋側に凸の半円形状となるように湾曲している。
【００４４】
突出部１２Ａ３のｙ軸＋側には、ｙ軸−側へ一段掘り下げられた掘下げ部１２Ａ５が形成される。掘下げ部１２Ａ５のｘ軸−側は、ｙ軸＋側から平面視したときに、ｘ軸−側に凸の半円形状となるように湾曲する段差１２Ａ１０となっている（図５及び図７参照）。
【００４５】
突出部１２Ａ４のｙ軸−側には、掘下げ部１２Ａ５と同様の、ｙ軸＋側へ一段掘り下げられた掘下げ部１２Ａ６が形成される。掘下げ部１２Ａ６のｘ軸−側は、ｙ軸−側から平面視したときに、段差１２Ａ１０と同様の、ｘ軸−側に凸の半円形状となるように湾曲する段差１２Ａ１１となっている（図５及び図６参照）。
【００４６】
突出部１２Ａ４には、略円形の断面を有し、ｙ軸方向に延びる第３貫通孔１２Ａ９が形成される（図５参照）。第３貫通孔１２Ａの径は、軸部材１７Ａの径より若干大きい。同様に、突出部１２Ａ３には、図示しないが、ｙ軸＋側から平面視したときに、第３貫通孔１２Ａ９と略重なる位置に貫通孔（以下、第２貫通孔と称することがある。）が形成される。第２貫通孔は、第３貫通孔１２Ａ９と略同じ断面及び略同じ径を有し、ｙ軸方向に延びる。
【００４７】
＜可動ガイド部材１３Ａ＞
可動ガイド部材１３Ａは、固定ガイド部材１２Ａのｘ軸＋側に位置し、タイミングベルト２１Ａを挟んで被駆動プーリー２２Ａと対向する。また、本実施形態では、可動ガイド部材１３Ａは、軸部材１７Ａによって固定ガイド部材１２Ａと連結される。可動ガイド部材１３Ａのｙ軸方向の幅及びｚ軸方向の厚さは、固定ガイド部材１２Ａの幅及び長さとそれぞれ略同じである。また、可動ガイド部材１３Ａのｘ軸方向の長さは、固定ガイド部材１２Ａの長さより短い。可動ガイド部材１３Ａと可動ガイド部材１３Ｂとの連結の詳細については後述する。
【００４８】
可動ガイド部材１３Ａは、略矩形の断面を有し、搬送方向に延びる板状の部材である。可動ガイド部材１３Ａは、第２搬送ユニット７２と対向し、電子基板をガイドするガイド面１３Ａ７と、タイミングベルト２１Ａと対向する対向面１３Ａ８と、を有する。本実施形態では、ガイド面１３Ａ７は、ｙ軸＋側に向き、ｚｘ面に平行な面であり、ガイド面１２Ａ７との連続性を有する。ガイド面１３Ａ７は、ガイド面１２Ａ７と同様に、上側から平面視したときに、タイミングベルト２１Ａのｙ軸＋側端部２１Ａ５を基準として、所定の距離ｒだけｙ軸−側に位置する。つまり、上側から平面視したときに、上面２１Ａ３の一部であって、ｙ軸＋側端部２１Ａ５とガイド面１３Ａ７との間に位置する、距離ｒの幅を有する面（以下、載置面２１Ａ７と称することがある。）が、露出する（図５及び図６参照）。載置面２１Ａ７と載置面２１Ａ６とは、連続する。以下、載置面２１Ａ６及び２１Ａ７の各々を、単に「載置面」と称することがある。ガイド面１３Ａ７は、本発明でいう「第２案内面」の一具体例である。
【００４９】
ガイド面１２Ａ７及び１３Ａ７は、電子基板と当接して当該電子基板を搬送方向に案内する。詳細には、載置面には、電子基板のｙ軸−側の縁が載置される（図３及び図４参照）。そして、搬送部分２１Ａ４が搬送方向に走行するとき、載置面に載置された電子基板は、搬送される。この際、ガイド面１２Ａ７及び１３Ａ７は、電子基板のｙ軸−側の側部すなわち端面と当接することで、当該端面がｚｘ面と略平行になる状態を保ちながら、電子基板を搬送方向に良好に搬送させる。
【００５０】
対向面１３Ａ８は、通常状態では、間隔Ｇ１を空けてタイミングベルト２１Ａの上面２１Ａ３と対向する。ここで、通常状態は、対向面１３Ａ８のｙ軸−側が板状部材３２Ａの当接面３２Ａ３と当接した状態である。本実施形態では、対向面１３Ａ８は、通常状態において、下側に向き、ｘｙ面に平行な面であって、上面２１Ａ３と対向する面である。また、対向面１３Ａ８は、対向面１２Ａ８との連続性を有する。対向面１３Ａ８は、本発明でいう「第２対向面」の一具体例である。間隔Ｇ１は、本発明でいう「第２の間隔」の一具体例である。
【００５１】
可動ガイド部材１３Ａのｘ軸−側には、ｚ軸方向に延び、ｘ軸−側に開いた溝部１３Ａ１が形成される（図５及び図６参照）。溝部１３Ａ１の底は、ｘ軸−側への斜め上方に向いた斜面１３Ａ２となっている。溝部１３Ａ１のｙ軸＋側及びｙ軸−側は、それぞれｘ軸−側へ突出する突出部１３Ａ３及び１３Ａ４となっている。突出部１３Ａ３及び１３Ａ４のｘ軸−側の先端は、ｙ軸＋側から平面視したときに、ｘ軸−側に凸の半円形状となるように湾曲している。
【００５２】
突出部１３Ａ３には、ｙ軸＋側から平面視したときに、第３貫通孔１２Ａ９と略重なる位置に第１貫通孔１３Ａ９が形成される（図５参照）。第１貫通孔１３Ａ９は、第３貫通孔１２Ａ９と略同じ断面及び略同じ径を有し、ｙ軸方向に延びる。同様に、突出部１３Ａ４には、図示しないが、ｙ軸−側から平面視したときに、第３貫通孔１２Ａ９と略重なる位置に貫通孔（以下、第４貫通孔と称することがある。）が形成される。第４貫通孔は、第３貫通孔１２Ａ９と略同じ断面及び略同じ径を有し、ｙ軸方向に延びる。
【００５３】
＜ねじりばね１６Ａ＞
ねじりばね１６Ａは、コイル状に巻かれ、空芯を有するコイル部１６Ａ３と、第１端部１６Ａ１と、第２端部１６Ａ２と、を有する。第１端部１６Ａ１は、コイル部１６Ａ３のｙ軸＋側に位置し、コイル部１６Ａ３から離れる方向へ突出する。第２端部１６Ａ２は、コイル部１６Ａ３のｙ軸−側に位置し、コイル部１６Ａ３から離れる方向へ突出する。ねじりばね１６Ａは、本発明でいう「付勢部材」の一具体例である。
【００５４】
＜軸部材１７Ａ＞
可動ガイド部材１３Ａは、被駆動プーリー２２Ａから離れる方向へ移動自在となっている。本実施形態では、軸部材１７Ａは、中心軸１７Ａ１を有する円柱状の部材であり、中心軸１７Ａ１を中心に可動ガイド部材１３Ａが被駆動プーリー２２Ａから離れる方向に回転可能なように固定ガイド部材１２Ａと可動ガイド部材１３Ａとを連結する。ここで、ｙ軸＋側からｙ軸−側を見て時計回りに回転する方向を時計方向ｃｗと定義する（図７参照）。ｙ軸＋側からｙ軸−側を見て反時計回りに回転する方向を反時計方向ｃｃｗと定義する（図７参照）。
【００５５】
軸部材１７Ａは、突出部１２Ａ３と突出部１２Ａ４との間にねじりばね１６Ａが配置された状態で、第１貫通孔１３Ａ９、第２貫通孔、ねじりばね１６Ａのコイル部１６Ａ３、第３貫通孔１２Ａ９及び第４貫通孔に挿通される（図５及び図６参照）。このとき、突出部１３Ａ３のｘ軸−側の先端と段差１２Ａ１０とが所定の間隔を空けて対向するとともに、突出部１３Ａ４のｘ軸−側の先端と段差１２Ａ１１とが所定の間隔を空けて対向するので、可動ガイド部材１３Ａは、固定ガイド部材１２Ａと物理的に干渉せずに、中心軸１７Ａ１を中心に回転自在となる。
【００５６】
ねじりばね１６Ａは、可動ガイド部材１３Ａを被駆動プーリー２２Ａへ近づける方向へ付勢する。本実施形態では、ねじりばね１６Ａの第１端部１６Ａ１が斜面１２Ａ２と当接し、第２端部１６Ａ２が斜面１３Ａ２と当接することで、ねじりばね１６Ａは、反時計方向ｃｃｗへの回転力を可動ガイド部材１３Ａに加える。
【００５７】
可動ガイド部材１３Ａの反時計方向ｃｃｗへの回転は、可動ガイド部材１３Ａと板状部材３２Ａの当接面３２Ａ３とが当接する位置で規制される。つまり、ガイド部材１３Ａは、通常状態において、可動ねじりばね１６Ａによって当接面３２Ａ３に押え付けられた状態で、当該位置に位置する。
【００５８】
＜第２搬送ユニット７２＞
第２搬送ユニット７２は、基板ガイド１１Ｂ、タイミングベルト２１Ｂ、板状部材３２Ｂ、ベルトガイド（図示しない）及びベルト駆動機構４１Ｂを主に含んで構成される。第２搬送ユニット７２は第１搬送ユニット７１と同様の構成の装置であるため、ここでは、第２搬送ユニット７２についての詳細な説明を省略し、簡潔に説明する。第２搬送ユニット７２は、ｚｘ面に平行な面であって第１搬送ユニット７１と第２搬送ユニット７２との中間点を含む面（以下、対称面と称することがある。）について第１搬送ユニット７１と略面対称な形状を有する。板状部材３２Ｂは、対称面について板状部材３２Ａと略面対称な形状を有し、板状部材７０の第１面７０ａのｙ軸＋側に固定される。
【００５９】
ベルト駆動機構４１Ｂは、被駆動プーリー２２Ｂ及び２３Ｂ、ローラー２４Ｂ及び２５Ｂ、駆動プーリー２６Ｂならびにモータ２７Ｂを含んで構成される（図２及び図３参照）。被駆動プーリー２２Ｂ及び２３Ｂ、ローラー２４Ｂ及び２５Ｂ、駆動プーリー２６Ｂならびにモータ２７Ｂは、対称面について被駆動プーリー２２Ａ及び２３Ａ、ローラー２４Ａ及び２５Ａ、駆動プーリー２６Ａならびにモータ２７Ａとそれぞれ略面対称な形状を有する。ベルト駆動機構４１Ｂは、ベルト駆動機構４１Ａの板状部材３２Ａへの取り付け方法と同様の取り付け方法で、板状部材３２Ｂに取り付けられる。
【００６０】
基板ガイド１１Ｂは、固定ガイド部材１２Ｂ、可動ガイド部材１３Ｂ、ねじりばね１６Ｂ及び軸部材１７Ｂを含んで構成される。固定ガイド部材１２Ｂ、可動ガイド部材１３Ｂ、ねじりばね１６Ｂ及び軸部材１７Ｂは、対称面について固定ガイド部材１２Ａ、可動ガイド部材１３Ａ、ねじりばね１６Ａ及び軸部材１７Ａとそれぞれ略面対称な形状を有する。固定ガイド部材１２Ｂは、固定ガイド部材１２Ａの板状部材３２Ａへの取り付け方法と同様の取り付け方法で、板状部材３２Ｂに取り付けられる。可動ガイド部材１３Ｂ、ねじりばね１６Ｂ及び軸部材１７Ｂは、それぞれ可動ガイド部材１３Ａ、ねじりばね１６Ａ及び軸部材１７Ａの固定ガイド部材１２Ａへの取り付け方法と同様の取り付け方法で、固定ガイド部材１２Ｂに取り付けられる。
【００６１】
タイミングベルト２１Ｂは、タイミングベルト２１Ａと同様の構成の部材であり、タイミングベルト２１Ａのベルト駆動機構４１Ａへの取り付け方法と同様の取り付け方法で、ベルト駆動機構４１Ｂに取り付けられる。
【００６２】
＜課題＞
従来の構成では、被駆動プーリー２２Ａから離れる方向へ移動自在な可動ガイド部材１３Ａと、固定ガイド部材１２Ａと、を含む基板ガイド１１Ａの代わりに、たとえば、１つの板状部材で形成されたガイド（以下、従来ガイドと称することがある。）が用いられることがある。つまり、従来の構成では、従来ガイドにおける被駆動プーリー２２Ａと対向する部分が、被駆動プーリー２２Ａから離れる方向へ移動自在となっていない。従来ガイドが、たとえば、上面２１Ａ３との間隔がＧ１となるように板状部材３２Ａに固定される状況を想定する。
【００６３】
タイミングベルト２１Ａの歯と被駆動プーリー２２Ａの歯とが良好にかみ合うときは、被駆動プーリー２２Ａの歯間にタイミングベルト２１Ａの歯が収まる。しかしながら、タイミングベルト２１Ａが走行する際に、被駆動プーリー２２Ａの歯にタイミングベルト２１Ａの歯が乗り上げ、タイミングベルト２１Ａの一部が、被駆動プーリー２２Ａの径方向外側に膨らむことがある。間隔Ｇ１が小さい場合、当該一部と従来ガイドとが当接し、タイミングベルト２１Ａは、従来ガイドから走行抵抗を受け、被駆動プーリー２２Ａから脱落することがある。
【００６４】
＜効果＞
本実施形態では、タイミングベルト２１Ａが被駆動プーリー２２Ａの径方向外側に膨らんだとき、タイミングベルト２１Ａが可動ガイド部材１３Ａと当接し、可動ガイド部材１３Ａを押し上げて時計方向ｃｗへ回転させる。ここで、通常状態を基準として、可動ガイド部材１３Ａが、タイミングベルト２１Ａと当接することによって時計方向ｃｗへ回転した状態を当接状態と定義する。当接状態においてタイミングベルト２１Ａが可動ガイド部材１３Ａから受ける走行抵抗は、従来ガイドから受ける走行抵抗より低減されるので、タイミングベルト２１Ａの被駆動プーリー２２Ａからの脱落を抑制することができる。
【００６５】
また、当接状態では、ねじりばね１６Ａによる付勢によって、可動ガイド部材１３Ａの対向面１３Ａ８とタイミングベルト２１Ａの上面２１Ａ３とが当接した状態を維持することができる。これにより、当接状態において、電子基板がタイミングベルト２１Ａと対向面１３Ａ８との間に入り込むことを抑制することができる。さらに、当接状態おいても、固定ガイド部材１２Ａのガイド面１２Ａ７と可動ガイド部材１３Ａのガイド面１３Ａ７との連続性を維持することができるので、固定ガイド部材１２Ａと可動ガイド部材１３Ａとの連結部分を通過する電子基板の搬送方向への案内を良好に行うことができる。
【００６６】
その後、被駆動プーリー２２Ａの歯とタイミングベルト２１Ａの歯とのかみ合わせの不良が解消し、タイミングベルト２１Ａの膨らみが消失したときに、ねじりばね１６Ａによる付勢によって、可動ガイド部材１３Ａを通常状態へ自動的に戻すことができる。これにより、対向面１３Ａ８と上面２１Ａ３との間の間隔が広がったままの状態となることを抑制することができるので、電子基板がタイミングベルト２１Ａと対向面１３Ａ８との間に入り込むことを抑制することができる。
【００６７】
＜２．本実施形態の特徴＞
上記構成の搬送装置によれば、被駆動プーリー２２Ａの歯とタイミングベルト２１Ａの歯とのかみ合わせが不良となり、タイミングベルト２１Ａが被駆動プーリー２２Ａの径方向外側に膨らんで可動ガイド部材１３Ａと当接しても、可動ガイド部材１３Ａをタイミングベルト２１Ａの膨らみに応じて被駆動プーリー２２Ａから離れる方向へ移動させることができる。これにより、タイミングベルト２１Ａが走行時に可動ガイド部材１３Ａから受ける走行抵抗を低減させることができるので、タイミングベルト２１Ａの被駆動プーリー２２Ａからの脱落を抑制することができる。また、タイミングベルト２１Ａが被駆動プーリー２２Ａの径方向外側に膨らむ際にタイミングベルト２１Ａと可動ガイド部材１３Ａの対向面１３Ａ８とが当接することで、電子基板がタイミングベルト２１Ａと対向面１３Ａ８との間に入り込むことを抑制することができる。
【００６８】
上記構成の搬送装置では、ねじりばね１６Ａが、可動ガイド部材１３Ａを被駆動プーリー２２Ａへ近づける方向へ付勢するため、タイミングベルト２１Ａが被駆動プーリー２２Ａの径方向外側に膨らんだ場合には、可動ガイド部材１３Ａとタイミングベルト２１Ａとが当接した状態を維持することができる。その後、被駆動プーリー２２Ａの歯とタイミングベルト２１Ａの歯とのかみ合わせの不良が解消し、タイミングベルト２１Ａの膨らみが改善したときに、可動ガイド部材１３Ａを元の位置へ自動的に戻すことができる。これにより、間隔Ｇ１が広がったままの状態となることを抑制することができるので、電子基板がタイミングベルト２１Ａと対向面１３Ａ８との間に入り込むことを抑制することができる。
【００６９】
上記構成の搬送装置では、軸部材１７Ａが、中心軸１７Ａ１を有し、中心軸１７Ａ１を中心に可動ガイド部材１３Ａが被駆動プーリー２２Ａから離れる方向に回転可能なように固定ガイド部材１２Ａと可動ガイド部材１３Ａとを連結する。これにより、可動ガイド部材１３Ａが被駆動プーリー２２Ａから離れる方向へ移動自在となる機構を簡易な構成で実現することができる。また、可動ガイド部材１３Ａにおいて電子基板と当接するガイド面１３Ａ７と、固定ガイド部材１２Ａにおいて電子基板と当接するガイド面１２Ａ７との連続性を、可動ガイド部材１３Ａが被駆動プーリー２２Ａから離れる方向に回転する場合においても維持することができる。これにより、被駆動プーリー２２Ａの歯とタイミングベルト２１Ａの歯とのかみ合わせが不良となる場合においても、固定ガイド部材１２Ａと可動ガイド部材１３Ａとの連結部分を通過する電子基板の搬送方向への案内を良好に行うことができる。
【００７０】
上記構成の搬送装置では、間隔Ｇ１が、電子基板の厚さより小さいため、電子基板がタイミングベルト２１Ａと対向面１３Ａ８との間に入り込むことを抑制することができる。
【００７１】
上記構成の搬送装置では、固定ガイド部材１２Ａにおけるガイド面１２Ａ７が、電子基板と当接して当該電子基板を搬送方向に案内し、可動ガイド部材１３Ａにおけるガイド面１３Ａ７が、電子基板と当接して当該電子基板を搬送方向に案内する。これにより、タイミングベルト２１Ａが被駆動プーリー２２Ａの径方向外側に膨らみ、可動ガイド部材１３Ａが被駆動プーリー２２Ａから離れる方向へ移動する際に、ガイド面１３Ａ７もタイミングベルト２１Ａの膨らみとともに被駆動プーリー２２Ａから離れる方向へ移動させることができる。つまり、ガイド面１３Ａ７が電子基板を搬送方向に案内する機能を、被駆動プーリー２２Ａの歯とタイミングベルト２１Ａの歯とのかみ合わせが不良となる場合においても維持することができる。
【００７２】
＜３．補足事項＞
以上、本発明の実施形態についての具体的な説明を行った。上記説明では、あくまで一実施形態としての説明であって、本発明の範囲はこの一実施形態に留まらず、当業者が把握可能な範囲にまで広く解釈されるものである。
【００７３】
本実施形態の搬送装置では、通常状態における可動ガイド部材１３Ａの対向面１３Ａ８とタイミングベルト２１Ａの上面２１Ａ３との間の間隔、及び固定ガイド部材１２Ａの対向面１２Ａ８とタイミングベルト２１Ａの上面２１Ａ３との間の間隔が、同じＧ１となる構成について説明したが、これらの間隔は異なる構成であってもよい。
【００７４】
また、本実施形態の搬送装置では、可動ガイド部材１３Ａが、軸部材１７Ａによって固定ガイド部材１２Ａに連結される構成について説明したが、可動ガイド部材１３Ａは、被駆動プーリー２２Ａから離れる方向へ移動自在な構成であれば、固定ガイド部材１２Ａと連結されない構成であってもよい。具体的には、可動ガイド部材１３Ａは、たとえば、蝶番を介して板状部材３２Ａと連結される構成であってもよい。より具体的には、可動ガイド部材１３Ａのｘ軸＋側の端面と板状部材３２Ａのｘ軸＋側の端面との間が、蝶番によって連結される構成であってもよい。この場合、可動ガイド部材１３Ａは、当接状態において反時計方向ｃｃｗへ回転する。
【００７５】
また、本実施形態の搬送装置では、ねじりばね１６Ａが、可動ガイド部材１３Ａを被駆動プーリー２２Ａに近づける方向へ付勢する構成について説明したが、ねじりばね１６Ａが配置されない構成であってもよい。具体的には、たとえば、可動ガイド部材１３Ａの自重によって可動ガイド部材１３Ａを被駆動プーリー２２Ａに近づける方向へ付勢する構成であってもよい。好ましくは、可動ガイド部材１３Ａに錘を取り付け、可動ガイド部材１３Ａの自重及び錘によって可動ガイド部材１３Ａを被駆動プーリー２２Ａに近づける方向へ付勢する構成であってもよい。しかしながら、ねじりばね１６Ａを用いると、当該方向への付勢を確実に行うことができるので、ねじりばね１６Ａが配置される構成が好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明の搬送装置は、レーザーマーキング装置における基板の搬送に好適に適用される。
【符号の説明】
【００７７】
１…搬送装置
１１Ａ、１１Ｂ…基板ガイド
１２Ａ、１２Ｂ…固定ガイド部材
１２Ａ１…溝部
１２Ａ２…斜面
１２Ａ３、１２Ａ４…突出部
１２Ａ５、１２Ａ６…掘下げ部
１２Ａ７…ガイド面
１２Ａ８…対向面
１２Ａ９…第３貫通孔
１２Ａ１０、１２Ａ１１…段差
１３Ａ、１３Ｂ…可動ガイド部材
１３Ａ１…溝部
１３Ａ２…斜面
１３Ａ３、１３Ａ４…突出部
１３Ａ７…ガイド面
１３Ａ８…対向面
１３Ａ９…第１貫通孔
１６Ａ、１６Ｂ…ねじりばね
１６Ａ１…第１端部
１６Ａ２…第２端部
１６Ａ３…コイル部
１７Ａ、１７Ｂ…軸部材
１７Ａ１…中心軸
２１Ａ、２１Ｂ…タイミングベルト
２１Ａ１…外周面
２１Ａ２…内周面
２１Ａ３…上面
２１Ａ４…搬送部分
２１Ａ５…ｙ軸＋側端部
２１Ａ６、２１Ａ７…載置面
２１Ａ８…第１境界部
２１Ａ９…第２境界部
２２Ａ、２２Ｂ、２３Ａ、２３Ｂ…被駆動プーリー
２２Ａ１、２３Ａ１…中心軸
２４Ａ、２４Ｂ、２５Ａ、２５Ｂ…ローラー
２４Ａ１、２５Ａ１…中心軸
２６Ａ、２６Ｂ…駆動プーリー
２６Ａ１…中心軸
２７Ａ、２７Ｂ…モータ
３２Ａ、３２Ｂ…板状部材
３２Ａ１…第１面
３２Ａ２…第２面
３２Ａ３…当接面
３３Ａ…ベルトガイド
４１Ａ、４１Ｂ…ベルト駆動機構
７０…板状部材
７０ａ…第１面
７１…第１搬送ユニット
７２…第２搬送ユニット
８１…大型基板
８２…小型基板
【図１】
2020193084.tif 000003
【図２】
2020193084.tif 000004
【図３】
2020193084.tif 000005
【図４】
2020193084.tif 000006
【図５】
2020193084.tif 000007
【図６】
2020193084.tif 000008
【図７】
2020193084.tif 000009
【図８】
2020193084.tif 000010