(57)【要約】【課題】ノズル面に乾燥の早いインクが付着した場合でも除去することができ、拭き取りによるノズル面の損傷を抑えつつ、ノズル面に付着した洗浄液を除去することができる洗浄装置、及びインクジェット塗布装置を提供する。【解決手段】インクが吐出されるノズル孔が複数形成されたノズル面を有するインクジェットヘッドを洗浄する洗浄装置であって、洗浄液を噴出する洗浄液噴射部と、洗浄液噴射部から噴出された洗浄液を受ける廃液トレイと、を備えており、洗浄液噴射部は、複数の噴射口が形成されており、この噴射口から前記ノズル面に向かって洗浄液が直接に噴射される構成とする。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴が吐出されるノズル孔が基材対向面に形成されたインクジェットヘッドを洗浄する洗浄装置であって、
前記ノズル孔に向かって洗浄液を噴出する洗浄液噴射部と、
前記洗浄液噴射部を収容し、インクジェットヘッドと一対一で対向する洗浄トレイと、
を備え、
前記洗浄トレイには、前記インクジェットヘッドのノズル孔全体を囲うように形成され、前記基材対向面に当接することにより洗浄液の飛散を防止するシール部が設けられており、前記シール部は、独立気泡構造のスポンジで形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド洗浄装置。
【請求項２】
前記シール部を前記洗浄トレイに固定するシール固定枠体をさらに有しており、前記シール部の一部が押圧されることにより、前記シール部に前記シール固定枠体の表面から突出する突出部が形成され、この突出部が前記基材対向面に当接することにより、前記洗浄トレイ内が封止されることを特徴とするインクジェットヘッド洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のノズルからインクを着弾させるインクジェット塗布装置において、インクを吐出するインクジェットヘッドを洗浄するインクジェットヘッド洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ガラスやフィルム等の基材上に線分、矩形状等、様々な形状の塗布膜（膜パターン）、例えば、プリント基板やパッケージ基板のような配線基板（基材）における配線パターン、パワー半導体の絶縁膜パターンがインクジェット塗布装置により形成されている。
【０００３】
インクジェット塗布装置は、図９に示すように、基材Ｗを載置するステージ１００と、液滴（インク）を吐出する複数のインクジェットヘッド１０１を有するヘッドユニット１０２を備えており、基材Ｗとヘッドユニット１０２を相対的に移動させつつ基材Ｗ上の所定位置に液滴を吐出することにより精度のよい膜パターンが形成される。
【０００４】
インクジェット塗布装置には、インクジェットヘッド１０１を洗浄するインクジェットヘッド洗浄装置１１０が備えられており、インクジェットヘッド１０１を定期的に洗浄することによりインクを精度よく着弾させることができる。インクジェットヘッド洗浄装置１１０は、例えば図１０（ｂ）に示されるように、洗浄トレイ１１１内に洗浄液Ｂを噴出する洗浄液噴射部１１２が設けられており、インクジェットヘッド１０１のノズル孔１０３が形成される基材対向面１０４（ノズル面１０５含む。図１０（ａ）参照）に洗浄液Ｂを噴射することにより基材対向面１０４が洗浄され、基材対向面１０４に付着したインクが除去されるようになっている。その際、洗浄トレイ１１１にはシール部１０６が設けられており、このシール部１０６が基材対向面１０４に当接することにより洗浄トレイ１１１と基材対向面１０４とで形成される空間が封止され、洗浄液噴射部１１２から噴出された洗浄液Ｂが外部に飛散するのを防止できるようになっている（例えば下記特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２０１０２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記インクジェットヘッド洗浄装置１１０では、シール性が不十分であるという問題があった。すなわち、ヘッドユニット１０２には、インクジェットヘッド１０１が多数搭載されており、それぞれの基材対向面１０４が所定の高さ位置になるように設計されている。しかし、取付精度に限界があり、バラツキが生じる場合がある（図１０（ｂ）参照）。そのような場合には、基材対向面１０４とシール部１０６との間に僅かな隙間Ｓが形成されるため、その隙間Ｓから洗浄液Ｂが飛散してしまう場合がある。そして、飛散した洗浄液Ｂがインクジェットヘッド１０１の側面部分に付着すると、基材対向面１０４の拭き取り動作では残留した洗浄液Ｂを除去できないため、塗布動作中に基材対向面１０４側に流れ落ち、塗布品質に影響を与えてしまうという問題があった。
【０００７】
また、シール部１０６に高さ位置調整機構を設けることも考えられるが、機械的な高さ位置調節機構では、それぞれの洗浄トレイ１１１毎に調節機構を設けることは装置構成を複雑にし、装置全体のコストが高くなってしまう。また、シール部１０６の材質によりバラツキを吸収できるようにした場合でも、ゴム、樹脂等の比較的堅い弾性部材では、基材対向面１０４との接触状態が線接触に近くなり、シール部１０６全周にわたって十分な接触面積を得にくく、シール性が不十分な箇所が生じやすいという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、インクジェットヘッドに洗浄液を噴射させて洗浄した場合でも、洗浄液の飛散を防止するシールを確実に行うことができるインクジェットヘッド洗浄装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明のインクジェットヘッド洗浄装置は、液滴が吐出されるノズル孔が基材対向面に形成されたインクジェットヘッドを洗浄するインクジェットヘッド洗浄装置であって、前記ノズル孔に向かって洗浄液を噴出する洗浄液噴射部と、前記洗浄液噴射部を収容し、インクジェットヘッドと一対一で対向する洗浄トレイと、を備え、前記洗浄トレイには、前記インクジェットヘッドのノズル孔全体を囲うように形成され、前記基材対向面に当接することにより洗浄液の飛散を防止するシール部が設けられており、前記シール部は、独立気泡構造のスポンジで形成されていることを特徴としている。
【００１０】
上記インクジェットヘッド洗浄装置によれば、シール部がインクジェットヘッドのノズル孔全体を囲うように形成されているため、洗浄トレイの外側に洗浄液が飛散するのを抑えることができる。また、シール部がスポンジで形成されているため、インクジェットヘッドの基材対向面の高さ位置にバラツキが生じていても、スポンジの伸縮性でそのバラツキを吸収してシールすることができる。また、シール部が独立気泡構造のスポンジであるため、接触面積を十分に確保でき、連続気泡構造のスポンジに比べて確実にシールすることができる。ここで、連続気泡構造のスポンジは、洗浄液を吸収することにより形状が変化する。そのため、連続気泡構造のスポンジは、乾燥時に基材対向面に当接していても、洗浄液を吸収するに伴ってシール性が不十分になる問題が生じるが、独立気泡構造のスポンジでは、洗浄液を吸収して変形することがなく、乾燥時とほぼ同等の設計通りのシール性を得ることができる。したがって、基材対向面の高さ位置精度、シール部の材質による変形等の問題の影響を抑えて、安定したシール性を得ることができ、洗浄液の飛散を防止するシールを確実に行うことができる。
【００１１】
また、前記シール部を前記洗浄トレイに固定するシール固定枠体をさらに有しており、前記シール部の一部が押圧されることにより、前記シール部に前記シール固定枠体の表面から突出する突出部が形成され、この突出部が前記基材対向面に当接することにより、前記洗浄トレイ内が封止される構成にしてもよい。
【００１２】
この構成によれば、シール部の一部が押圧されて形成されているため、突出部の変形が抑えられることから突出部の表面は柔軟性を残したまま適当な硬さが得られるため、基材対向面との接触面のシール性を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のインクジェットヘッド洗浄装置によれば、インクジェットヘッドに洗浄液を噴射させて洗浄した場合でも、洗浄液の飛散を防止するシールを確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態におけるインクジェットヘッド洗浄装置を備えたインクジェット塗布装置を概略的に示す側面図である。
【図２】上記インクジェット塗布装置を概略的に示す正面図である。
【図３】上記インクジェット塗布装置を概略的に示す上面図である。
【図４】上記ヘッドユニットを示す図であり、（ａ）は基材対向面側から見た図、（ｂ）はインクジェットヘッドの拡大図である。
【図５】インクジェットヘッド洗浄装置を示す図であり、（ａ）は上方から見た図、（ｂ）は、（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図６】洗浄ユニットをＸ軸方向から見た図である。
【図７】洗浄ユニットを上方から見た図である。
【図８】シール固定枠体がシール部を押圧して固定する過程を示す図であり、（ａ）はシール固定枠体がシール部に当接した状態を示す図、（ｂ）はシール固定枠体がシール部側に押圧し突出部が形成された状態を示す図、（ｃ）は突出部がインクジェットヘッドの基材対向面に当接した状態を示す図である。
【図９】従来のインクジェット塗布装置を示す図である。
【図１０】従来のインクジェット塗布装置の要部を示す図であり、（ａ）はヘッドユニットを示す図、（ｂ）はインクジェットヘッド洗浄装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明のインクジェットヘッド洗浄装置に係る実施の形態を図面を用いて説明する。
【００１６】
図１は、インクジェットヘッド洗浄装置を備えたインクジェット塗布装置の一実施形態を示す側面図であり、図２は、インクジェット塗布装置の正面図、図３は、インクジェット塗布装置の上面図、図４は、ヘッドユニットをノズル面側から見た図である。なお、本実施形態のインクジェット塗布装置に用いられるインクは、カラーフィルタに用いられるインクや、有機ＥＬ、配線パターンの導電性インク、保護膜等、インクジェット形式で吐出できるものであれば、あらゆるものを対象とすることができる。
【００１７】
図１〜図４に示すように、インクジェット塗布装置１は、基材Ｗを載置するステージ２と、基材Ｗにインクを吐出する液滴ユニット３とを有しており、液滴ユニット３がステージ２に載置された基材Ｗ上を移動しつつ、インクを所定の位置に吐出することにより、基材Ｗ上に所定のパターンが形成される。
【００１８】
なお、以下の説明では、この液滴ユニット３が移動する方向をＸ軸方向、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。
【００１９】
液滴ユニット３は、本実施形態では、基材Ｗ上にインク（液滴）を塗布するものであり、インクを吐出するヘッドユニット３１と、このヘッドユニット３１を支持するガントリ３２とを有している。ガントリ３２は、ステージ２のＹ軸方向両端部分に設けられる支持部材３２ａと、これら２つの支持部材３２ａを連結するビーム部３２ｂとを有しており、支持部材３２ａとビーム部３２ｂによって略門型形状を有している。また、ステージ２に隣接する位置には、Ｘ軸方向に延びるレール２１が設けられており、支持部材３２ａは、それぞれレール２１上に沿ってスライド自在に設けられている。そして、支持部材３２ａには、リニアモータなどの駆動手段が設けられており、リニアモータを駆動制御することにより、支持部材３２ａがＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止できるようになっている。すなわち、液滴ユニット３がステージ２上を跨ぐ状態でＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止することができる。なお、レール２１は、インクジェットヘッド洗浄装置４まで延びており、リニアモータを駆動制御することにより、液滴ユニット３がインクジェットヘッド洗浄装置４で停止することができる。
【００２０】
また、ビーム部３２ｂには、インクを吐出するヘッドユニット３１が設けられている。ヘッドユニット３１は、ビーム部３２ｂが支持部材３２ａに対して昇降動作することにより、基材Ｗに対して昇降動作できるようになっている。これにより基材Ｗにインクを吐出する塗布動作の際には、基材Ｗとヘッドユニット３１との距離が適切になるように調節される。また、ヘッドユニット３１は、ビーム部３２ｂに沿ってＹ軸方向に移動可能に取付けられている。すなわち、Ｘ軸方向の所定位置で基材Ｗと対向するヘッドユニット３１は、Ｙ軸方向に移動することにより、そのＸ軸方向所定位置における基材ＷのすべてのＹ軸方向領域と対向できるようになっている。すなわち、支持部材３２ａがレール２１に沿って移動することによりＸ軸方向に移動し、さらにヘッドユニット３１がビーム部３２ｂに沿ってＹ軸方向に移動することにより、基材Ｗの所定位置にヘッドユニット３１が移動しインクを着弾させることができるようになっている。
【００２１】
また、ヘッドユニット３１は、基材Ｗに対向する基材対向面３０ａ（図４（ａ）参照）に、複数のインクジェットヘッド５を搭載しており、このインクジェットヘッド５からインクが吐出される。インクジェットヘッド５は、ピエゾ素子を駆動源としたインク吐出装置である。インクジェットヘッド５は、インクを吐出するノズル孔５１を有しており、基材Ｗに対向するノズル面５１ａ（図４（ｂ）参照）に複数のノズル孔５１がインクジェットヘッド５の長手方向に一方向に並んで配置されている。図４の例では、ノズル孔５１がＹ軸方向に配列されている。このノズル面５１ａは、基材対向面３１ａとほぼ同じ高さ位置に形成されており、本発明では基材対向面３１ａに含まれ、基材対向面３１ａの一部として取り扱うこととする。
【００２２】
そして、インクジェットヘッド５は、Ｙ軸方向において、それぞれが互いに重複する部分を有し、かつ、Ｘ軸方向に離れて配置されており、複数のインクジェットヘッド５が、いわゆる千鳥状に配置されている。すなわち、インクジェットヘッド５は、ノズル５１の配置間隔とインクジェットヘッド５の両端部分とでは寸法が異なっているため、この両端部分の寸法分を相殺できるようにＸ軸方向にずらしつつＹ軸方向に配列される。これにより、ヘッドユニット３１全体としてＸ軸方向に見て、すべてのノズル孔５１がＹ軸方向に沿って配列され、Ｘ軸方向から見てＹ軸方向に亘って等間隔で配置される。
【００２３】
インクジェットヘッド５は、ノズル面５１ａ（基材対向面３１ａ）には複数のノズル孔５１が形成されており、ノズル孔５１の先端とノズル面５１ａとがほぼ面一に形成されている。このノズル面５１ａは平坦な形状を有しており、ノズル孔５１がノズル面５１ａと面一になっている。そして、ヘッドユニット３１には、一体化されたすべてのインクジェットヘッド５のノズル面５１ａが基材Ｗ側に向く状態で配置されており、全てのノズル面５１ａが基材Ｗと平行になっている。そして、ピエゾ素子を駆動させることにより、ノズル面５１ａに配列された各ノズル孔５１から一滴ずつインクを吐出できるようになっている。これにより、基材Ｗ上の塗布領域の所定位置に所定のインクが吐出され、吐出パターンを形成することができる。すなわち、ガントリ３２をＸ軸方向（＋方向）に走行させつつ、基材Ｗ上の所定位置に位置するノズル孔５１からインクを吐出させる。次いで、基材ＷのＸ軸方向端部でガントリ３２を停止させた状態でヘッドユニット３１をビーム部３２ｂのＹ軸方向端部まで移動させ、今度はガントリ３２をＸ軸方向（−方向）に走行させつつ、基材Ｗ上の所定位置に位置するノズル孔５１からインクを吐出させることにより、基材Ｗ全体に所定パターンを形成することができる。なお、このノズル面５１ａは、撥液性材料がコーティングされており、ノズル孔５１からインクが吐出された際に、余分なインクがノズル面５１ａに付着するのを抑え、仮に付着した場合でも拭き取り等の清掃作業により容易にインクを除去できるようになっている。
【００２４】
また、Ｘ軸方向端部には、待機ゾーン６が設けられており、この待機ゾーン６でブリード動作、フラッシング動作が行われる。すなわち、ブリード動作は、ヘッドユニット３１の吐出不良が生じた場合に、一定量のインクを吐出する動作であり、フラッシング動作は、基材交換などで待機する場合に、ノズル孔５１でインクが乾燥しないように完結的にインクを吐出する動作である。待機ゾーン６には、排液トレイ６１が設けられており、ヘッドユニット３１が排液トレイ６１上に配置された状態で、排液トレイ６１にインクを吐出することによりブリード動作、フラッシング動作が行われる。
【００２５】
また、待機ゾーン６からステージ２を挟んでＸ軸方向反対側端部には、インクジェットヘッド洗浄装置４が配置されている。ここで、図５（ａ）は、インクジェット洗浄装置４を上方（Ｚ軸方向）から見た図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。インクジェットヘッド洗浄装置４は、インクジェットヘッド５のノズル面５１ａに付着したインクを除去するためのものである。インクジェット洗浄装置４は、インクジェットヘッド５を洗浄する複数の洗浄モジュール４ａと、洗浄モジュール４ａを支持しつつ廃液を貯留するフレームトレイ部４１とを有している。本実施形態では、インクジェット洗浄装置は、洗浄モジュール４ａが千鳥状に配置されて設けられており、ヘッドモジュールがインクジェット洗浄装置４上に配置されると、各インクジェットヘッド５と洗浄モジュール４ａとが対向し、各インクジェットヘッド５と洗浄モジュール４ａとがそれぞれ一対一で対応するように配置される（図５（ａ）において２点鎖線は、ヘッドモジュールがインクジェット洗浄装置４上に配置された場合のインクジェットヘッド５を示している。）。そして、洗浄動作時には、ヘッドユニット３１がフレームトレイ部４１上に配置された状態で洗浄ユニット４２から噴出された洗浄液をノズル面５１ａに噴出することによりインクの除去が行われるようになっている。
【００２６】
フレームトレイ部４１は、上方に開放された器形状を有しており、廃棄すべき洗浄液等を貯めることができる。フレームトレイ部４１は、ヘッドユニット３１全体よりも大きく形成されており、フレームトレイ部４１上に停止したヘッドユニット３１に洗浄液が噴射されても、重力により落下する洗浄液がフレームトレイ部４１内に落とすことができるようになっている。また、フレームトレイ部４１の底部４１ａには、フレームトレイ部４１に貯められた洗浄液を廃液タンク（不図示）に排出する排出口４１ｂが設けられている。そして、底部４１ａ全体が排出口４１ｂ側に傾斜されて形成されており、フレームトレイ部４１内に貯められた洗浄液等が排出口４１ｂに向かって排液されやすいようになっている。
【００２７】
また、フレームトレイ４１内には、洗浄モジュール４ａが設けられている。すなわち、フレームトレイ４１内には、千鳥状に配置されたすべての洗浄モジュール４ａが収容されている。この洗浄モジュール４ａは、洗浄液を噴出する洗浄液噴射部４３と、洗浄液噴射部４３が取り付けられる洗浄トレイ４４とを有しており、洗浄トレイ４４がインクジェットヘッド５に当接した状態で洗浄液噴射部４３から洗浄液を噴出させることによりノズル面５１ａを洗浄することができる。
【００２８】
洗浄トレイ４４は、上方に開放された器形状を有しており、その底面部４４ａには洗浄液噴射部４３が取り付けられている。この洗浄トレイ４４は、インクジェットヘッド５のノズル面５１ａよりも一回り大きい形状に形成されている。すなわち、底面部４４ａは、インクジェットヘッド５のノズル面５１ａとほぼ同じ長方形に形成されており、この底面部４４ａの端部には垂直に延びる側壁部４４ｂが形成されている。この側壁部４４ｂは、洗浄トレイ４４の上方にヘッドユニット３１が配置された際に、基材対向面３０ａと対向するようになっており、基材対向面３０ａに対向する対向面４４ｂ１にはシール部４６が設けられている。すなわち、側壁部４４ｂの対向面４４ｂ１には、シール部４６が対向面４４ｂ１に亘って連続的に設けられており、シール部４６が対向面４４ｂ１の高さ位置よりも突出するように設けられている。
【００２９】
また、洗浄トレイ４４には、鉛直方向に昇降する昇降機構４９が設けられており、洗浄トレイ４４の上方にヘッドユニット３１が配置された状態で、ヘッドユニット３１に対して近接、離間できるように構成されている。そのため、洗浄トレイ４４の上方にヘッドユニット３１が配置された状態で、昇降機構４９により洗浄トレイ４４を上昇させると、側壁部４４ｂに設けられたシール部４６がヘッドユニット３１の基材対向面３０ａに当接し、ヘッドユニット３１の基材対向面３０ａと洗浄トレイ４４とで形成された領域が外部に対して密封されるようになっている。これにより、洗浄液噴射部４３から洗浄液を噴出させても洗浄液が外部に飛散するのを防止できるようになっている。
【００３０】
なお、洗浄トレイ４４の底面部４４ａには、貫通孔（不図示）が設けられており、洗浄トレイ４４に貯留された洗浄液等の廃液を貫通孔からフレームトレイ４１に排出できるようになっている。
【００３１】
洗浄液噴射部４３は、洗浄液をインクジェットヘッド５のノズル面５１ａを含む基材対向面３０ａに直接噴出するものである。洗浄液噴射部４３は、シャワー型のノズル（シャワーノズル４７）であり、本実施形態では２つのシャワーノズル４７が一方向に沿って配置されている。具体的には、洗浄トレイ４４の幅方向（短手方向）中央位置に２つのシャワーノズル４７が設けられており、図６に示すように、この２つのシャワーノズル４７が長手方向に所定間隔で複数箇所に設けられている。すなわち、シャワーノズル４７は、洗浄トレイ４４の上方にヘッドユニット３１が配置された状態でヘッドユニット３１の長手方向にわたって洗浄液を噴出できる位置に配置されている。
【００３２】
シャワーノズル４７は、洗浄液が噴出される部分であり、本体部分に洗浄液が噴射される噴射口が多数形成されている。これらの噴射口は、洗浄トレイ４４の上方にヘッドユニット３１が配置された状態で、ヘッドユニット３１のノズル面５１ａ（基材対向面３０ａ）に向かって直接噴射される向きに設定されている。本実施形態では、シャワーノズル４７は、本体部分から扇型に噴射されるように設定されており、基材対向面３０ａに配置されるすべてのインクジェットヘッド５のノズル面５１ａに向かって吹き付けるように洗浄液が噴射される。これにより、ノズル面５１ａに付着したインクは、洗浄液の成分により軟化されつつ、洗浄液の噴射力により、ノズル面５１ａから引き剥がされて除去される。なお、シャワーノズル４７は、扇型に噴射されるものでなくても、すべてのノズル面５１ａに洗浄液を噴射できれば、本体部から上方に（柱状に）噴射されるものであってもよい。
【００３３】
また、シール部４６は、シャワーノズル４７から噴射された洗浄液が洗浄トレイ４４の外側に飛散するのを防止するためのものである。上述したように、このシール部４６は、側壁部４４ｂの対向面４４ｂ１に設けられており、シール部４６が基材対向面３０ａに当接することにより洗浄トレイ４４と基材対向面３０ａとで形成される領域が密封されるようになっている。本実施形態では、シール部４６は、Ｚ軸方向から見て環状に形成されており、シール部４６がインクジェットヘッド５の基材対向面３０ａに当接した状態では、ノズル孔５１全体を囲うように形成されている。すなわち、図５（ｂ）、図６に示すように、シール部４６が基材対向面３０ａに当接した状態では、インクジェットヘッド５のすべてのノズル孔５１を含む基材対向面（ノズル面５１ａを含む基材対向面３０ａ）を全周に亘って囲うように形成されている。
【００３４】
また、シール部４６は、図７、図８に示すように、シール固定枠体７により、シール部４６の一部が押し圧されることにより突出部４６ａが形成されている。シール固定枠体７は、シール部４６を洗浄トレイ４４に固定するためのものであり、シール固定枠体７がシール部４６の一部を押圧して固定されることによりシール部４６が固定されるようになっている。本実施形態では、シール固定枠体７は、矩形状の枠体で形成されており、シール固定枠体７がシール部４６の外周部分を押圧して固定されることにより、シール部４６の内周側に突出部４６ａが形成された状態で固定される。具体的には、図８（ａ）に示すように、シール固定枠体７の内周部分が、シール部４６の外周部分に当接する状態でシール固定枠体７が押圧される（図８（ｂ））。これにより、シール部４６の内周部分がシール固定枠体７の高さ位置よりも上方に突出する突出部４６ａが形成される。そして、この突出部４６ａがインクジェットヘッド５の基材対向面３０ａに当接することにより、基材対向面３０ａと洗浄トレイ４４とで形成される領域が封止される（図８（ｃ））。
【００３５】
また、シール部４６は、独立気泡構造のスポンジで形成されている。ここで、シール部４６に連続気泡構造のスポンジを用いると、飛散しスポンジに吸収された洗浄液が、スポンジ内を通過して洗浄トレイ４４の外側に漏れ出す場合がある。また、洗浄液を吸収したスポンジが変形することにより、シール部４６と基材対向面３０ａとの間のシール性が弱くなり、洗浄液が漏れる虞がある。この点、独立気泡構造のスポンジを使用することで、洗浄液がスポンジに吸収されても、洗浄トレイ４４の外側に漏れることはなく、洗浄液を吸収することによりスポンジが変形することはないため、安定したシール性を発揮することができる。また、シール部４６の突出部４６ａは、シール固定枠体７で押圧されることによって形成されているため、押圧されない場合より突出部４６ａの剛性を高くすることができる。すなわち、突出部４６ａの表面はスポンジの変形しやすさから基材対向面３０ａへの追従性は高いが、スポンジ全体が柔らかい状態では突出部４６ａの表面に押圧力を伝達させることが困難で、安定したシール性を発揮することが難しい。ところが、シール固定枠体７によって剛性を高くすることができるため、突出部４６ａを基材対向面３０ａに押圧する押圧力を突出部４６ａの表面に効率よく伝達させることができる。すなわち、突出部４６ａを基材対向面３０ａに一定の幅を有する面で接触させつつ、全周に亘って安定したシール性を発揮させることができる。したがって、本実施形態のシール部４６は、シール固定枠体７がない場合に比べて、シール部４６と基材対向面３０ａとのシール性を向上させつつ、シール性を安定させることができる。
【００３６】
このように、上記実施形態におけるインクジェットヘッド５洗浄装置によれば、シール部４６材がインクジェットヘッド５のノズル孔５１全体を囲うように形成されているため、洗浄トレイの外側に洗浄液が飛散するのを抑えることができる。また、シール部４６がスポンジで形成されているため、インクジェットヘッド５の基材対向面３０ａの高さ位置にバラツキが生じていても、スポンジの伸縮性でそのバラツキを吸収してシールすることができる。また、シール部４６が独立気泡構造のスポンジであるため、接触面積を十分に確保でき、連続気泡構造のスポンジに比べて確実にシールすることができる。ここで、連続気泡構造のスポンジは、洗浄液を吸収することにより形状が変化する。そのため、連続気泡構造のスポンジは、乾燥時に基材対向面３０ａに当接していても、洗浄液を吸収するに伴ってシール性が不十分になる問題が生じるが、独立気泡構造のスポンジでは、洗浄液を吸収して変形することがなく、乾燥時とほぼ同等の設計通りのシール性を得ることができる。したがって、基材対向面３０ａの高さ位置精度、シール部４６の材質による変形等の問題の影響を抑えて、安定したシール性を得ることができ、洗浄液の飛散を防止するシールを確実に行うことができる。
【００３７】
また、上記実施形態では、シール固定枠体７が設けられた例について説明したが、シール部４６が安定してシール性を発揮できる場合には、シール固定枠体７がないものであってもよい。例えば、シール部４６の剛性を高めるために、潰し代を維持しつつ、高さ寸法を極力抑えたシール部４６としてもよい。
【００３８】
また、上記実施形態では、シール固定枠体７がシール部４６の外周部分を押圧して突出部４６ａを形成する例について説明したが、シール部４６の一部が環状に突出する突出部４６ａを形成できれば、シール固定枠体７が押圧する部分は制限されない。例えば、シール部４６の内周部分や中央部分を抑えるものであってもよい。ただし、上述のように外周部分を押圧する形態の方が、シール固定枠体７に洗浄液が付着するのを回避できる点で好ましい。
【符号の説明】
【００３９】
１  インクジェット塗布装置
２  ステージ
３  液滴ユニット
４  洗浄装置
８  キャップユニット
３０ａ  基材対向面
３１  インクジェットヘッド
４１  廃液トレイ
４３  洗浄液噴射部
４４  洗浄フレームトレイ
４４ｂ１  シール部
４７  シャワーノズル
５１ａ  ノズル面
【図１】
2020146599.tif 000003
【図２】
2020146599.tif 000004
【図３】
2020146599.tif 000005
【図４】
2020146599.tif 000006
【図５】
2020146599.tif 000007
【図６】
2020146599.tif 000008
【図７】
2020146599.tif 000009
【図８】
2020146599.tif 000010
【図９】
2020146599.tif 000011
【図１０】
2020146599.tif 000012