(57)【要約】【課題】硫黄を加えずに、生成するルテニウム酸鉛粉末の平均粒径を制御でき、１μｍを超える粗大粒子を生成させず粒径ばらつきの小さなルテニウム酸鉛粉末製造方法の提供。【解決手段】含鉛化合物および含ホウ素化合物を含み、含ホウ素化合物に含有するホウ素の含有量が含鉛化合物に含有する鉛の含有量１００質量部に対し３質量部以上１０質量部以下となるガラス形成用化合物と、含ルテニウム化合物とを、含ルテニウム化合物に含有するルテニウムの含有量に対する、ガラス形成用化合物中の含鉛化合物に含有する鉛の含有量のｍｏｌ比が１よりも大きくなる配合比で混合して混合粉末を得る混合粉末作製工程と、混合粉末を溶融する溶融工程と、作製されたルテニウム酸鉛を含有するガラス融体から酸水溶液によりガラス成分を洗浄除去するための洗浄工程と、ルテニウム酸鉛を乾燥処理し水分を除去する乾燥工程と、を有する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
含鉛化合物および含ホウ素化合物を含み、該含ホウ素化合物に含有するホウ素の含有量が、前記含鉛化合物に含有する鉛の含有量１００質量部に対し、３質量部以上１０質量部以下となる、ガラス形成用化合物と、含ルテニウム化合物とを、該含ルテニウム化合物に含有するルテニウムの含有量に対する、前記ガラス形成用化合物中の前記含鉛化合物に含有する鉛の含有量のｍｏｌ比が１よりも大きくなる配合比で混合して混合粉末を得る混合粉末作製工程と、
前記混合粉末作製工程により得られた混合粉末を溶融し、ルテニウム酸鉛粉末を含有するガラス融体を形成する溶融工程と、前記溶融工程により作製されたルテニウム酸鉛を含有するガラス融体から、酸水溶液によりガラス成分を洗浄除去するための洗浄工程と、前記洗浄工程により得られたルテニウム酸鉛を乾燥処理し、水分を除去する乾燥工程と、を有することを特徴とするルテニウム酸鉛粉末の製造方法。
【請求項２】
前記溶融工程の溶融温度を６５０℃以上８００℃以下にすることを特徴とする請求項１に記載のルテニウム酸鉛粉末の製造方法。
【請求項３】
前記溶融工程に投入する混合粉末において、含ホウ素化合物に含有するホウ素の含有量を、含鉛化合物に含有する鉛の含有量１００質量部に対し、５質量部以下とすることを特徴とする請求項１又は２に記載のルテニウム酸鉛粉末の製造方法。
【請求項４】
前記溶融工程処理後、得られたガラス融体を水中にて急冷することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のルテニウム酸鉛粉末の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ルテニウム酸鉛粉末の製造方法に関し、更に詳しくは、含鉛化合物および含ホウ素化合物を含むガラス形成用化合物と、含ルテニウム化合物との混合粉末を溶融して得たガラス融体から、ガラス成分を除去してルテニウム酸鉛粉末を製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
厚膜抵抗ペーストは、導電粉末、ガラス形成用化合物粉末およびそれらを印刷に適したペースト状にするための有機ビヒクルから実質構成される。この厚膜抵抗ペーストを所定のパターンで印刷し、高温で焼結処理をすることで、例えば、厚膜チップ抵抗器を構成する抵抗体を形成することができる。導電粉末としては、ガラス形成用化合物の粉末との混合比率を変化させることで緩やかに抵抗値を変化させることができるため、酸化ルテニウム（ＲｕＯ２）粉末やルテニウム酸鉛(Ｐｂ２Ｒｕ２Ｏ７−Ｘ)粉末が広く用いられている。
【０００３】
近年、厚膜チップ抵抗器のような電子素子の小型化が進むとともに、電気的特性の向上が求められており、より詳しくは、抵抗体の小型化にともなう高精細化、および電子素子当たりの抵抗値ばらつきを小さくすることが求められている。このような電子素子の小型化に対応し、かつ電気的特性の良好な厚膜抵抗体を形成するためには、導電粉末を微細化し、かつ、粗大粒子を極力少なくして粒度分布を狭くすることが必要である。粒径が１μｍを超える粗大粒子が存在すると、導電粉末とガラス形成用化合物粉末を含有する厚膜抵抗ペースト内の各成分の分布が不均一となり、形成される抵抗体内の導電部の分布構造も不均一となってしまい、抵抗値ばらつきが大きくなったり、粗大粒子による短絡が生じたりする。このように、導電粉末の粒径、特に粗大粒子の存在は、形成する抵抗体の抵抗値、抵抗温度係数、等の電気的特性に影響を与えるため、粒径の制御された微細な導電粉末が望まれている。
【０００４】
ルテニウム酸鉛粉末の製造方法に関しては、既に多くの技術が開示されている。例えば、次の特許文献１には、金属ルテニウムを酸化剤共存下でアルカリ溶解し、得たルテニウム酸溶液に、鉛イオンを含む溶液を添加して沈殿物を発生させ、得た沈殿物を洗浄、乾燥した後、焙焼処理することでルテニウム酸鉛微粉末を得る技術が開示されている。
【０００５】
また、次の特許文献２には、ルテニウム酸アルカリ金属塩の水溶液と鉛化合物を含む水溶液、及び低級アルコールを混合し、アルコールで還元することで、ルテニウムと鉛の水和酸化物または水酸化物の共沈物スラリーを生成させ、該スラリーから分離した共沈物を乾燥させた後、焙焼することでルテニウム酸鉛微粉末を得る技術が開示されている。
【０００６】
しかしながら、これらの製造方法を用いて形成したルテニウム酸鉛粉末は、製造条件の差異や残留した不純物量によって、さまざまな粒径のルテニウム酸鉛粉末が生成し、粒径ばらつきが大きいため、１μｍを超える粗大粒子も生成しやすくなり、厚膜抵抗体の抵抗値ばらつきを低く抑えることができず、電気的特性を向上させることが困難である。
【０００７】
このような粗大粒子の発生を抑制する方法として、例えば、次の特許文献３には、ルテニウム酸鉛水酸化物に硫黄を添加した後、焙焼することで粗大粒子の発生を抑制する技術が開示されている。
この方法によれば、硫黄を８００質量ｐｐｍ以上１３００質量ｐｐｍ以下含有させることで、効率良く粗大粒子の発生を抑制することができる。ルテニウム酸鉛粉末に硫黄が不純物として残留していると、厚膜抵抗体の特性が低下してしまう虞があるため、特許文献３には、焼成後のルテニウム酸鉛粉末を水洗等により洗浄することが提案されている。
しかしながら、微細化の進む電子素子においては、わずかな量の硫黄であっても問題となる場合があるため、洗浄の精度をより向上させる必要があるが、硫黄を完全に除去できていることを保証することは非常に困難である。また、焙焼時にルテニウム酸鉛粉末の内部に硫黄を取り込んでしまった場合には、表面洗浄だけでは硫黄の除去が困難であり、長期使用の過程で硫黄が表面に浸みだし、電子素子の信頼性を低下させる要因となる場合もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平０２−３０２３２７号公報
【特許文献２】特開平０８−１１９６３７号公報
【特許文献３】特開２０１３−１６２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上述の問題を鑑みてなされたものであり、硫黄を添加することなく、生成するルテニウム酸鉛粉末の平均粒径を制御することができ、かつ、１μｍを超える粗大粒子を生成させず、粒径ばらつきの小さなルテニウム酸鉛粉末を得ることが可能なルテニウム酸鉛粉末の製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者は、生成するルテニウム酸鉛粉末の粒径に対する、各種条件の影響を鋭意調査した結果、含鉛化合物、含ホウ素化合物を含むガラス形成用化合物と、含ルテニウム化合物を混合した混合粉末を溶融することで、含鉛化合物と含ルテニウム化合物が反応してルテニウム酸鉛を形成すると同時に、含鉛化合物や含ホウ素化合物などからなるガラス形成用化合物が溶融ガラスを形成し、この溶融ガラスが、ルテニウム酸鉛の粒子成長を阻害し、粒子成長速度を低下させることにより、溶融ガラス内で形成されるルテニウム酸鉛粒子が微細で、かつ粒度分布が狭くなり、粗大粒子の生成を抑制できることを見出した。なお、最終的にルテニウム酸鉛粉末を得るには、ルテニウム酸鉛を含有するガラス融体からガラス成分を除去する必要がある。このため、ガラス成分は溶融処理後に酸等により洗浄除去することができる配合にしておく必要がある。
すなわち、本発明者は、含鉛化合物および含ホウ素化合物を含むガラス形成用化合物と、含ルテニウム化合物とを混合し、適切な温度で溶融することで、溶融ガラス内に、粗粒の非常に少ない粒径の揃った微細なルテニウム酸鉛を含有する、ガラス融体を生成できること、またその後、酸等により、ルテニウム酸鉛を含有するガラス融体からガラス成分を除去するための処理を行うことで、粗大粒子の少ない微細なルテニウム酸鉛粉末を得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１１】
本発明によるルテニウム酸鉛粉末の製造方法は、含鉛化合物および含ホウ素化合物を含み、該含ホウ素化合物に含有するホウ素の含有量が、前記含鉛化合物に含有する鉛の含有量１００質量部に対し、３質量部以上１０質量部以下となる、ガラス形成用化合物と、含ルテニウム化合物とを、該含ルテニウム化合物に含有するルテニウムの含有量に対する、前記ガラス形成用化合物中の前記含鉛化合物に含有する鉛の含有量のｍｏｌ比が１よりも大きくなる配合比で混合して混合粉末を得る混合粉末作製工程と、前記混合粉末作製工程により得られた混合粉末を溶融する溶融工程と、前記溶融工程により作製されたルテニウム酸鉛を含有するガラス融体から、酸水溶液によりガラス成分を洗浄除去するための洗浄工程と、前記洗浄工程により得られたルテニウム酸鉛を乾燥処理し、水分を除去する乾燥工程と、を有することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明のルテニウム酸鉛粉末の製造方法においては、前記溶融工程の溶融温度を６５０℃以上８００℃以下にすることが好ましい。
【００１３】
また、本発明のルテニウム酸鉛粉末の製造方法においては、前記溶融工程に投入する混合粉末は、含ホウ素化合物の含有量が、含鉛化合物の含有量に対し、５質量％以下であることが好ましい。
【００１４】
また、本発明のルテニウム酸鉛粉末の製造方法においては、前記溶融工程処理後、得られたガラス融体を水中にて急冷することが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、硫黄を加えることなく、生成するルテニウム酸鉛粉末の平均粒径を制御することができ、かつ、１μｍを超える粗大粒子を生成させず、粒径ばらつきの小さなルテニウム酸鉛粉末を得ることが可能なルテニウム酸鉛粉末の製造方法が得られる。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について説明するが、本発明は、下記の実施形態に制限されるものではなく、本発明の範囲内で、下記実施形態に種々の変形および置換を加えることができる。
【００１７】
（ガラス組成物）
本発明のルテニウム酸鉛粉末の製造方法には、含鉛化合物および含ホウ素化合物を含むガラス形成用化合物を用いる。含鉛化合物としては、特に限定されないが、ガラス形成に一般的に用いられる一酸化鉛（ＰｂＯ）、四酸化三鉛（Ｐｂ３Ｏ４）、二酸化鉛（ＰｂＯ２）等が適用できる。含ホウ素化合物としては、特に限定されないが、ガラス形成に一般的に用いられる酸化ホウ素（Ｂ２Ｏ３）、ホウ酸（Ｈ３ＢＯ３）等が適用できる。
含ホウ素化合物および含鉛化合物のそれぞれの含有量は、ガラス形成用化合物がガラス化する範囲内の配合量とする。ガラス形成用化合物は、後述する溶融工程でガラス融体を形成できる範囲で、含ホウ素化合物および含鉛化合物以外の化合物を加えることができる。但し、含ホウ素化合物の含有量が多すぎると、形成したルテニウム酸鉛を、過剰なホウ素が分解してしまう場合がある。このため、含鉛化合物に含有する鉛の含有量１００質量部に対する、含ホウ素化合物に含有するホウ素の含有量は３質量部以上１０質量部以下とする。より好ましくは、５質量部以下とするのがよい。
それぞれの化合物の含有量が上記のようにガラス化する範囲内の配合量となった、上記ガラス形成用化合物が、後述する溶融工程にてガラス化すると、形成されたガラス融体がルテニウム酸鉛の粒子成長を阻害する。その結果、微細な粒子のルテニウム酸鉛を得ることができるようになる。
一方、上記ガラス形成用化合物におけるそれぞれの化合物の含有量が、後述する溶融工程でガラス化しない配合量の場合、ルテニウム酸鉛の粒子成長を十分に阻害することができなくなり、ルテニウム酸鉛の粒子が粗大化してしまう。
【００１８】
（含ルテニウム化合物）
本発明に用いる含ルテニウム化合物としては、酸化ルテニウムが適用できる。酸化ルテニウムの製造方法は特に限定されないが、例えば次に示す方法で製造することができる。まず、金属ルテニウムをアルカリ条件下で酸化処理し、ルテニウム酸塩の水溶液を得る。あるいは、金属ルテニウムをアルカリ溶融して得られる固体のルテニウム酸塩を水で溶解してルテニウム酸塩の水溶液を得る。
これらの方法により得られたルテニウム酸塩の水溶液のｐＨを調整し、アルコール等の還元剤を用いて還元することで酸化ルテニウム粉末を得ることができる。
【００１９】
含ルテニウム化合物の含有量は任意で良いが、鉛と反応させてルテニウム酸鉛を形成させるため、含ルテニウム化合物に含有するルテニウムの含有量に対する、ガラス組成物中の含鉛化合物に含有する鉛の含有量のｍｏｌ比が１よりも大きい、鉛が過剰となる配合比となるようにするのが好ましい。ルテニウムの含有量に対する鉛の含有量のｍｏｌ比が１よりも小さい場合、ルテニウム酸鉛の形成に余ったルテニウムが、含ルテニウム化合物中に酸化ルテニウムなどの状態で残留し、製造されるルテニウム酸鉛粉末中に不純物として混合してしまう場合があるため好ましくない。
【００２０】
（溶融工程）
上述した、含鉛化合物および含ホウ素化合物を含むガラス形成用化合物と、含ルテニウム化合物を、ボールミルやライカイ機等により十分に混合、解砕し、混合粉末を作製する。得られた混合粉末を、６５０℃以上８００℃以下の温度で溶融処理することで、ルテニウム酸鉛を包含するガラス融体が生成される。
溶融温度が６５０℃未満であると、ルテニウムと鉛の反応が不十分となり、ルテニウム酸鉛が十分形成されない場合があるので好ましくない。
また、溶融温度が８００℃以上になると、ガラス融体がルテニウム酸鉛の粒子成長を阻害する効果が十分発揮されず、粒径の制御が難しくなり、得られるルテニウム酸鉛粉末の粒径がばらついてしまい、一部の粒子が粗大化してしまう場合があるため、小型化、薄層化の進む厚膜抵抗用の導電物としては望ましくない。
溶融時間は、反応が完了する時間以上であれば、特に限定されない。
溶融後に、ガラス融体を冷却する方法は、自然放冷で冷却しても良いし、水中に投入して急冷しても良い。但し、ガラス融体を水中に投入し急冷した方が、細かく粉砕し易くなり、後工程での酸洗浄工程でより効果的にルテニウム酸鉛以外の酸化鉛や酸化ホウ素等からなるガラス成分を除去可能になるため好ましい。
【００２１】
（酸洗浄工程）
溶融工程で得られたルテニウム酸鉛粉末を含むガラス融体を酸で洗浄することで、ルテニウム酸鉛以外の酸化鉛や酸化ホウ素等からなるガラス成分を溶解し、除去することが可能になる。酸洗浄するガラス融体が、細かい粉末であるほど表面積が増加することにより、効率よくガラス成分を除去可能になり、酸洗浄の時間を短くすることができ、作業効率を向上させることができる。このため、必要に応じて酸洗浄工程前に、ガラス融体を粗粉砕しても良い。このとき、上述のように、溶融工程後の冷却処理を、水中に投入して急冷する方法にすると、冷却後のガラス成分が脆くなり、より簡便にガラス融体を粉砕することができるため、より好ましい。
酸洗浄に用いる酸としては、溶融工程で形成されたガラス融体を溶解できる酸であれば特に限定されないが、例えば、硝酸等を適用することができる。
また、ルテニウム酸鉛表面から酸洗浄工程で使用した酸の残渣を除去するため、最後に水で酸を置換する水洗浄を行い、含水したルテニウム酸鉛スラリーを得る。
【００２２】
(乾燥工程)
水洗浄後の含水したルテニウム酸鉛スラリーに対し、必要に応じてろ過等の固液分離処理を行った後、空気中で乾燥することで、ルテニウム酸鉛の乾燥粉末を得ることができる。
【実施例】
【００２３】
以下、本発明をさらに詳細な実施例に基づき説明するが、本発明は、これら実施例に限定されるものではない。
【００２４】
（評価試験１：粗大粒子の生成抑制効果確認）
（実施例１）
四酸化三鉛（Ｐｂ３Ｏ４）を８０．２ｇ、酸化ホウ素（Ｂ２Ｏ３）を７．５ｇ、酸化ルテニウム（ＲｕＯ２）を１２．３ｇそれぞれ秤量した後、ライカイ機に投入して、解砕及び混合を十分に行った。本実施例では、四酸化三鉛中の鉛含有量１００質量部に対する、酸化ホウ素中のホウ素含有量は３．２質量部である。また、ルテニウムに対する鉛の含有ｍｏｌ比は３．８である。
得られた混合粉末１００ｇをアルミナるつぼに移した後、７００℃の温度で２時間溶融し、ルテニウム酸鉛粉末を包含するガラス融体を得た。溶融処理後、得られたガラス融体を水に投入して冷却した。冷却後、ガラス融体を粗粉砕し、粉末状とした。その後、２４％硝酸水溶液５００ｍＬに粉末状のガラス融体を入れて、撹拌することで、酸化ホウ素および未反応の酸化鉛からなるガラス成分を溶解した。その後、この水溶液をろ過し除去することで、ガラス成分を洗浄除去するための処理を施した粉末を得た。このような酸洗浄処理を合計２回行った。得られた酸洗浄後の粉末を、純水５００ｍＬに入れて撹拌した後、ろ過することで、粉末表面などに残留した酸を除去した。このような水洗浄処理を合計３回行った。水洗浄後のスラリー状のルテニウム酸鉛組成物を、８０℃で１２時間乾燥することでルテニウム酸鉛粉末を得た。
＜平均粒径＞
このようにして製造したルテニウム酸鉛粉末の比表面積を、吸着ガスとして窒素ガスを用いたガス吸着法(ＢＥＴ法)により測定し、その比表面積から平均粒径を算出したところ６１ｎｍであった。
＜粒子ばらつきの評価（粗大粒子の有無確認）＞
製造したルテニウム酸鉛粉末から０．３ｇ採取し、１００ｍＬビーカーに入れた後、純水１００ｍＬを加え試料溶液を作製した。作製した試料溶液を入れた１００ｍＬビーカーに超音波を照射し、ルテニウム酸鉛粉末を純水中に分散させた。その後、１０分間静置し、粗大粒子をビーカー底に沈降させた後に、ビーカー内の上澄みを除去することで微細粒子を効率的に除去した。ビーカー内に残った残液を更にフィルターでろ過することにより粗大粒子を効率的に採取する処理を行った。採取した粒子を、走査型電子顕微鏡にて倍率２０００倍で６４×４８μｍの視野を２０視野観察したところ、粒径が１μｍを超えるルテニウム酸鉛の粗大粒子は観測されなかった。
【００２５】
（比較例１）
従来のルテニウム酸鉛粉末を得る方法として、以下の方法でルテニウム酸鉛粉末を得た。
金属ルテニウム１６００ｇを、次亜塩素酸５２Ｌ、水酸化ナトリウム１６００ｇを純水３２Ｌに溶解して作製したアルカリ溶液に加え、溶解し、純水を加えてルテニウム酸塩溶液１６０Ｌを得た。また、硝酸鉛（Ｐｂ（ＮＯ３）２）５４００ｇを過酸化水素水６．４Ｌと純水１６Ｌに溶解して硝酸鉛溶液を得た。次いで、ルテニウム酸塩溶液１６０Ｌを４０℃に維持し、攪拌しつつ、硝酸鉛溶液を添加した。硝酸を添加してｐＨを中性付近に調整し、黒色沈殿物を得た。得られた沈殿物を固液分離した後、温水で洗浄し、１１０℃で一晩乾燥した。このようにして得た黒色沈殿物を７００℃で２時間焙焼し、酸化ルテニウムを含まないＰＢ２ＲＵ２Ｏ６．５のルテニウム酸鉛パイロクロア粉末を得た。
＜平均粒径の評価＞
製造したルテニウム酸鉛パイロクロア粉末の平均粒径をＢＥＴ法にて計測したところ４２ｎｍであった。
＜粒子ばらつきの評価（粗大粒子の有無確認）＞
実施例１と同様の方法で、製造した粉末の粒子ばらつきの評価を行ったところ、１μｍを超えるルテニウム酸鉛パイロクロア粉末の粗大粒子が６８４個観測された。
【００２６】
(評価試験２：溶融工程の処理温度による平均粒子径制御確認）
実施例２〜４では、溶融温度を表１に示す、６５０℃〜８００℃に変化させる以外は実施例１と同様な方法でルテニウム酸鉛粉末を得た。
製造したルテニウム酸鉛粉末の平均粒径をＢＥＴ法にて計測した結果、及び、実施例１と同様に行った、製造したルテニウム酸鉛粉末の粒子ばらつきの評価結果を表１に示す。
【００２７】
【表１】
2020193137.tif 000002
【００２８】
（評価試験３：含鉛化合物に含有する鉛の含有量に対する、含ホウ素化合物に含有するホウ素の含有量に応じた、平均粒径、粒子ばらつき確認）
実施例５、６では、四酸化三鉛中の鉛含有量１００質量部に対する、酸化ホウ素中のホウ素含有量を夫々表２に示す配合比とした以外は実施例１と同様な方法でルテニウム酸鉛粉末を得た。
製造したルテニウム酸鉛粉末の平均粒径をＢＥＴ法にて計測した結果、及び、実施例１と同様に行った、製造したルテニウム酸鉛粉末の粒子ばらつきの評価結果を表２に示す。
【００２９】
【表２】
2020193137.tif 000003
【００３０】
評価試験１、評価試験２の表１、及び評価試験３の表２の結果から、本発明の製法を用いた実施例１〜７のルテニウム酸鉛粉末は、ＢＥＴ法による平均粒径が５１ｎｍ〜８９ｎｍと非常に微細な粉末であり、かつ、１μｍ以上の粗大粒子を形成することがなく、粒子ばらつきが小さいことが確認できた。また、溶融時間を一定にして、溶融温度を変化させることにより、任意にルテニウム酸鉛粉末の粒径を制御できることが確認できた。
これに対し、従来の製造方法で作製した比較例１のルテニウム酸鉛粉末は、ＢＥＴ法による平均粒径が４２ｎｍと微細な粉末を製造するような条件であっても、１μｍ以上の粗大粒子を含んでしまい、ばらつきの大きな粒度分布となってしまうことが確認できた。
なお、評価試験３において、比較例として、四酸化三鉛中の鉛含有量１００質量部に対する、酸化ホウ素中のホウ素含有量を本発明の範囲外（３質量部未満、１０質量部超）とした以外は、実施例１と同様な方法でルテニウム酸鉛粉末を得ることを試みたが、酸化ホウ素中のホウ素の含有量が３質量部未満であるとガラス化できず、また、酸化ホウ素中のホウ素の含有量が１０質量部を超えるとルテニウム酸鉛が分解してしまった。
【００３１】
以上説明した通り、本発明の範囲内の配合として、ガラス中でルテニウム酸鉛を生成することで粗大粒子の形成を防止することができ、溶融温度を制御することで、ルテニウム酸鉛粉末の粒径を容易に制御することが可能であることが分かった。このため、本発明の方法で製造したルテニウム酸鉛粉末は微細で粒度分布の揃った粉末とすることができ、近年要求が厳しくなっている、小型抵抗体の製造に適した抵抗ペーストに好適に用いることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明のルテニウム酸鉛粉末の製造方法は、電子素子の小型化に対応し、かつ電気的特性の良好な厚膜抵抗体を製造することが求められる分野に有用である。