(57)【要約】【課題】簡単に形成でき、且つ、感度の高いモータを提供する。【解決手段】Ｎ極とＳ極とが１極ずつ着磁された第１磁石１６１と、Ｎ極とＳ極とが複数着磁された第２磁石１６２と、を有し、第１磁石１６１および第２磁石１６２の両方の磁石１６と共に回転可能な磁石ホルダ１５と、磁石ホルダ１５の回転軸線方向Ｌにおいて第１磁石１６１と対向して設けられた第１感磁素子１７１と、回転軸線方向Ｌにおいて第２磁石１６２と対向して設けられた第２感磁素子１７２とを実装した基板６０と、を備え、第２感磁素子１７２は、第１感磁素子１７１よりも磁石１６側に向けて突出しているモータ１。【選択図】図１２
2020088976.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｎ極とＳ極とが１極ずつ着磁された第１磁石と、Ｎ極とＳ極とが複数着磁された第２磁石と、を有し、前記第１磁石および前記第２磁石の両方の磁石と共に回転可能な磁石ホルダと、
前記磁石ホルダの回転軸線方向において前記第１磁石と対向して設けられた第１感磁素子と、前記回転軸線方向において前記第２磁石と対向して設けられた第２感磁素子とを実装した基板と、
を備え、
前記第２感磁素子は、前記第１感磁素子よりも前記磁石側に向けて突出していることを特徴とするモータ。
【請求項２】
請求項１に記載のモータにおいて、
前記回転軸線方向における前記磁石側において前記基板を覆う基板ホルダを備え、
前記基板は、前記第１感磁素子および前記第２感磁素子のグランド端子と接続されるシグナルグランドを有し、
前記基板ホルダは、前記回転軸線方向から見た前記第２感磁素子の位置に開口部を有し、
前記開口部は、前記回転軸線方向における厚みが前記基板ホルダよりも薄いシールド部材で覆われ、
前記基板ホルダおよび前記シールド部材は、共に、導電性部材で形成されており、前記シグナルグランドと接続されていることを特徴とするモータ。
【請求項３】
請求項２に記載のモータにおいて、
前記第１感磁素子の前記第１磁石と対向する位置は、前記基板ホルダで覆われていることを特徴とするモータ。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載のモータにおいて、
前記第２感磁素子は、前記基板ホルダを超えて前記第２磁石側に突出していないことを特徴とするモータ。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載のモータにおいて、
前記第２感磁素子と前記第２磁石との間隔は、前記第１感磁素子と前記第１磁石との間隔よりも狭いことを特徴とするモータ。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載のモータにおいて、
前記第２感磁素子は感磁膜を有し、
前記回転軸線方向における前記第２感磁素子での前記感磁膜の位置は、前記回転軸線方向における前記第２感磁素子の中央よりも前記第２磁石側であることを特徴とするモータ。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載のモータにおいて、
前記第２磁石は、前記第１磁石の周囲に亘り配置され、
前記第１磁石と前記第２磁石との間には、全周に亘ってシールド壁が設けられており、
前記シールド壁は、前記第２磁石を超えて前記基板側に突出していないことを特徴とするモータ。
【請求項８】
請求項７に記載のモータにおいて、
前記シールド壁は、前記第１磁石を超えて前記基板側に突出していることを特徴とするモータ。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか１項に記載のモータにおいて、
前記第２磁石は、前記磁石ホルダに固定された状態で着磁されていることを特徴とするモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、様々なモータが使用されている。このうち、例えば、特許文献１には、Ｎ極とＳ極とが１極ずつ着磁された第１マグネットと、該第１マグネットの周囲に設けられ、着磁数の多い（Ｎ極とＳ極とが複数着磁された）第２マグネットと、を有し、第１マグネットおよび第２マグネットの両方の磁石と共に回転可能なマグネットホルダを備え、さらに、第１マグネットと対向する第１感磁素子と、第２マグネットと対向する第２感磁素子と、を有する基板ユニットを備える、モータが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】２０１８−４２３３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のモータは、第１感磁素子を基板に、第２感磁素子を基板とは別の異なる部材である基板ホルダに、設けているため、該基板および該基板ホルダからなる基板ユニットの組み立てが面倒な場合がある。また、第２マグネットは着磁数が多く磁束が遠くまで至らないので、第２感磁素子での磁気検出は、第２感磁素子と第２マグネットとの間隔が広い場合には高感度で磁気検出することが困難な場合がある。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、簡単に形成でき、且つ、感度の高いモータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のモータは、Ｎ極とＳ極とが１極ずつ着磁された第１磁石と、Ｎ極とＳ極とが複数着磁された第２磁石と、を有し、前記第１磁石および前記第２磁石の両方の磁石と共に回転可能な磁石ホルダと、前記磁石ホルダの回転軸線方向において前記第１磁石と対向して設けられた第１感磁素子と、前記回転軸線方向において前記第２磁石と対向して設けられた第２感磁素子とを実装した基板と、を備え、前記第２感磁素子は、前記第１感磁素子よりも前記磁石側に向けて突出していることを特徴とする。
【０００７】
本態様によれば、第１感磁素子と第２感磁素子とが共に基板に実装されているので、基板ユニットの組み立てを簡単にできる。また、第２感磁素子は第１感磁素子よりも磁石側に向けて突出しているので、第２感磁素子と第２磁石との間隔を簡単に狭くすることができる。したがって、簡単に形成でき、且つ、磁気検出感度の高いモータを提供できる。
【０００８】
本発明のモータは、前記回転軸線方向における前記磁石側において前記基板を覆う基板ホルダを備え、前記基板は、前記第１感磁素子および前記第２感磁素子のグランド端子と接続されるシグナルグランドを有し、前記基板ホルダは、前記回転軸線方向から見た前記第２感磁素子の位置に開口部を有し、前記開口部は、前記回転軸線方向における厚みが前記基板ホルダよりも薄いシールド部材で覆われ、前記基板ホルダおよび前記シールド部材は、共に、導電性部材で形成されており、前記シグナルグランドと接続されていることが好ましい。第２感磁素子を薄いシールド部材でシールドすることで、第２感磁素子と第２磁石との間隔を狭くしたまま、第２感磁素子に磁石側からノイズ（フレームグランドノイズや電源ノイズなど）が侵入して磁気検出結果に影響が出ることを抑制できるためである。
【０００９】
本発明のモータにおいは、前記第１感磁素子の前記第１磁石と対向する位置は、前記基板ホルダで覆われていることが好ましい。第１感磁素子に磁石側からノイズが侵入して磁気検出結果に影響が出ることを簡易な構成で抑制できるためである。
【００１０】
本発明のモータにおいては、前記第２感磁素子は、前記基板ホルダを超えて前記第２磁石側に突出していないことが好ましい。第２感磁素子が他の部材などに接触することを抑制できるためである。また、基板ホルダにシールド部材を取り付ける場合において、簡単にシールド部材を変形させることなく取り付けることができる。
【００１１】
本発明のモータにおいては、前記第２感磁素子と前記第２磁石との間隔は、前記第１感磁素子と前記第１磁石との間隔よりも狭いことが好ましい。第２磁石は第１磁石よりも着磁数が多く第１磁石に比べて磁束が遠くまで至らないので、第２感磁素子と第２磁石との間隔を第１感磁素子と第１磁石との間隔よりも狭くすることで、第１感磁素子および第２感磁素子の両方において高感度で磁気検出することが可能になるためである。
【００１２】
本発明のモータは、前記第２感磁素子は感磁膜を有し、前記回転軸線方向における前記第２感磁素子での前記感磁膜の位置は、前記回転軸線方向における前記第２感磁素子の中央よりも前記第２磁石側であることが好ましい。感磁膜の位置を磁石に近づけることができ、特に高感度で磁気検出することが可能になるためである。
【００１３】
本発明のモータにおいては、前記第２磁石は、前記第１磁石の周囲に亘り配置され、前記第１磁石と前記第２磁石との間には、全周に亘ってシールド壁が設けられており、前記シールド壁は、前記第２磁石を超えて前記基板側に突出していないことが好ましい。第１磁石と第２磁石との間に第２磁石を超えないシールド壁を設けることで、第１磁石から第２磁石に向かう磁束の影響を抑制しつつ、シールド壁が第２磁石を超えている場合と比較すると第２磁石の磁束がシールド壁に向かい、第２感磁素子に向かう磁束が弱くなるということを抑制できる。
【００１４】
本発明のモータにおいては、前記シールド壁は、前記第１磁石を超えて前記基板側に突出していることが好ましい。第１磁石を超えて基板側に突出しているシールド壁により、第１磁石から第２磁石に向かう磁束の影響を抑制できるためである。
【００１５】
本発明のモータにおいては、前記第２磁石は、前記磁石ホルダに固定された状態で着磁されていることが好ましい。第２磁石の回転軸に対する中心ずれを抑制できるためである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、簡単に形成でき、且つ、磁気検出感度の高いモータを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明を適用したモータのエンコーダ側の端部を示す外観斜視図である。
【図２】エンコーダおよび軸受ホルダを反出力側から見た分解斜視図である。
【図３】エンコーダおよび軸受ホルダを出力側から見た分解斜視図である。
【図４】エンコーダおよび軸受ホルダの断面図（図１のＡ−Ａ断面図）である。
【図５】エンコーダおよび軸受ホルダの断面図（図１のＢ−Ｂ断面図）である。
【図６】基板ユニット、磁石、および磁石ホルダを反出力側から見た分解斜視図である。
【図７】基板ユニット、磁石、および磁石ホルダを出力側から見た分解斜視図である。
【図８】本発明を適用したモータのエンコーダの回転磁石および感磁素子センサ部のレイアウトを示す平面図である。
【図９】本発明を適用したモータのエンコーダの回転磁石および感磁素子センサ部のレイアウトを示す斜視図である。
【図１０】本発明を適用したエンコーダにおける検出原理を説明するための位相図である。
【図１１】本発明を適用したエンコーダにおける検出原理を説明するための図である。
【図１２】本発明を適用したモータのエンコーダの回転磁石および感磁素子センサ部のレイアウトを示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に、図面を参照して、本発明を適用したモータの実施形態を説明する。図１は本発明を適用したモータ１のエンコーダ１０側の端部を示す外観斜視図である。また、図２および図３はエンコーダ１０および軸受ホルダ４２の分解斜視図であり、図２は反出力側から見た分解斜視図、図３は出力側から見た分解斜視図である。図４および図５はエンコーダ１０および軸受ホルダ４２の断面図であり、図４は図１のＡ−Ａ断面図、図５は図１のＢ−Ｂ断面図である。
【００１９】
（全体構成）  
モータ１は、回転軸２（図４および図５参照）を備えるモータ本体３と、回転軸２の回転を検出するエンコーダ１０を備える。モータ本体３は、ロータおよびステータ（図示省略）を収容するモータケース４を備える。ロータは回転軸２と一体に回転する。回転軸２の一方の端部は、モータケース４から外部へ突出する出力軸（図示省略）となっている。本明細書において、回転軸２の中心軸線（回転軸線）を符号Ｌで示す。なお、回転軸線Ｌは、磁石ホルダ１５の回転軸線に対応する。また、モータケース４から出力軸が突出する方向を出力側Ｌ１とし、出力側の反対側を反出力側Ｌ２とする。エンコーダ１０は、モータ本体３の反出力側Ｌ２の端部に固定される。
【００２０】
（回転軸）  
図４および図５に示すように、回転軸２は、モータ側回転軸２１と、モータ側回転軸２１の反出力側Ｌ２の端部に固定されるエンコーダ側回転軸２２を備える。モータ側回転軸２１とエンコーダ側回転軸２２は一体に回転する。本形態では、モータ側回転軸２１は磁性材からなり、エンコーダ側回転軸２２は非磁性材からなる。エンコーダ側回転軸２２を非磁性材とすれば、エンコーダ側回転軸２２を経由してモータ本体３側からエンコーダ１０側へ侵入する磁気ノイズを減らすことができる。なお、エンコーダ側回転軸２２は磁性材であってもよい。この場合には、エンコーダ側回転軸２２とモータ側回転軸２１を一体にしてもよい。すなわち、回転軸２を１部材で形成してもよい。
【００２１】
（モータケース）  
図１に示すように、モータケース４は、回転軸線Ｌ方向に延びる筒状ケース４１と、筒状ケース４１の反出力側Ｌ２の端部に固定される軸受ホルダ４２を備える。筒状ケース４１および軸受ホルダ４２は、回転軸線Ｌ方向に見た場合に略矩形である。図２から図５に示すように、軸受ホルダ４２の内周側には軸受４３が保持される。軸受４３は、エンコーダ側回転軸２２の出力側Ｌ１の端部を回転可能に支持する。図２に示すように、軸受ホルダ４２の反出力側Ｌ２の面には出力側Ｌ１に凹む円形凹部４４が形成され、円形凹部４４の外周側にはフランジ４５が形成されている。フランジ４５の内周縁には、円形凹部４４の縁に沿って反出力側Ｌ２に突出する環状壁４６が形成されている。
【００２２】
円形凹部４４の底部には、軸受４３の外周部分を反出力側Ｌ２から押さえるように環状のプレート４７が取り付けられる。エンコーダ側回転軸２２は、プレート４７の中心に設けられた貫通孔４８を通って反出力側Ｌ２に突出する。プレート４７は、３本のねじによって円形凹部４４の底部に固定される。プレート４７の外周縁には、等角度間隔の３箇所に切り欠き４９が形成されている。この切り欠き４９には、後述するエンコーダホルダ１４の脚部１４３が配置される。
【００２３】
（エンコーダ）  
図２から図５に示すように、エンコーダ１０は、軸受ホルダ４２に固定される外側ケース１１と、外側ケース１１の内側に配置されるエンコーダカバー１２と、エンコーダカバー１２の内側に配置される基板ユニット１３と、基板ユニット１３を支持するエンコーダホルダ１４と、エンコーダホルダ１４の内周側に配置される磁石ホルダ１５と、磁石ホルダ１５に保持される磁石１６（回転磁石）を備える。磁石ホルダ１５は、エンコーダ側回転軸２２の反出力側Ｌ２の先端に固定される。従って、磁石１６はエンコーダ側回転軸２２と一体に回転する。基板ユニット１３は、磁石１６と対向する感磁素子１７（感磁素子センサ部）を備える。本形態では、感磁素子１７としてＭＲ素子を用いる。
【００２４】
（外側ケース）  
図２および図３に示すように、外側ケース１１は、回転軸線Ｌ方向に見た場合に略矩形の端板部１１１と、端板部１１１の外周縁から出力側Ｌ１へ立ち上がる側板部１１２を備える。側板部１１２には、基板ユニット１３に接続する配線を通すための切り欠き１１３が形成されている。外側ケース１１と軸受ホルダ４２は、側板部１１２の出力側Ｌ１の端面とフランジ４５との間にシール部材１１４を介在させて、４箇所の角部に図示しないねじ等の固定部材を締め込むことによって固定される。本形態では、外側ケース１１およびモータケース４はアルミなどの非磁性材からなる。なお、本形態では、外側ケース１１は以下に説明するエンコーダカバー１２と別部材であるが、外側ケース１１をエンコーダカバー１２と同一素材で一体に形成してもよい。
【００２５】
（エンコーダカバー）  
図２および図３に示すように、エンコーダカバー１２は、回転軸線Ｌ方向に見た場合に円形の端板部１２１と、端板部１２１の外周縁から出力側Ｌ１へ立ち上がる筒状部１２２を備える。筒状部１２２には、外側ケース１１の切り欠き１１３と径方向に重なる位置に、基板ユニット１３に接続する配線を通すための切り欠き１２３が形成されている。図４および図５に示すように、エンコーダカバー１２は、軸受ホルダ４２の円形凹部４４の縁に沿って形成された環状壁４６の内周側に筒状部１２２の縁を嵌合させるように軸受ホルダ４２に組み付けられる。筒状部１２２の出力側Ｌ１の端面は、切り欠き１２３が形成された箇所を除き、円形凹部４４の底部に配置されたプレート４７に当接する。ここで、環状壁４６は周方向の一部が切り欠かれているが、環状壁４６が切り欠かれた箇所は、プレート４７の外周縁に形成された切り欠き４９とは異なる角度位置である。従って、エンコーダカバー１２と軸受ホルダ４２との隙間は、切り欠き１２３を除いて塞がれている。
【００２６】
エンコーダカバー１２は導電性を有する磁性材からなる。例えば、エンコーダカバー１２は鉄、パーマロイなどで形成されている。より具体的には、エンコーダカバー１２は、ＳＰＣＣやＳＰＣＥなどの磁性金属板をプレス加工して形成されている。このように、磁性材で形成されたエンコーダカバー１２によって感磁素子１７を保持する基板ユニット１３を覆うことにより、感磁素子１７およびエンコーダ回路を外乱磁界などの磁気ノイズから遮蔽することができる。また、エンコーダカバー１２は、軸受ホルダ４２との間に隙間がほとんどできないように取り付けられている。従って、軸受ホルダ４２との隙間から基板ユニット１３側に電磁波ノイズが侵入することを抑制できる。
【００２７】
なお、別の手段としてエンコーダカバー１２を基板ユニット１３のうち基板ホルダ５０に対し隙間が無いように取り付ける形状とし電磁波ノイズの浸入を抑制させてもよい。具体的には、エンコーダカバー１２の筒状部１２２は基板ユニット１３の外周側まで延びており、筒状部１２２の先端は、基板ホルダ５０の外周端部より出力側Ｌ１に突出させる。つまり、筒状部１２２は、基板６０に搭載された感磁素子１７より出力側Ｌ１の位置まで延びており、筒状部１２２は、感磁素子１７の外周側を囲むことにより電磁波ノイズの浸入を抑制させることができる。その場合には導電性の固定部材７０および基板ホルダ５０を介して、基板６０上のエンコーダ回路のシグナルグランドと電気的に接続することが望ましい。
【００２８】
エンコーダカバー１２は、軸受ホルダ４２と接触するように取り付けられているので、モータ本体３のフレームグランドと電気的に接続されている。すなわち、軸受ホルダ４２はアルミ等の導電性金属からなるモータケース４の一部を構成する。従って、軸受ホルダ４２に設けられた環状壁４６の内側にエンコーダカバー１２の筒状部１２２を嵌合させることにより、エンコーダカバー１２は、モータ本体３のフレームグランドと電気的に接続される。このように、エンコーダ１０をフレームグランド電位に接続することにより、電磁波ノイズの遮蔽効果を高めることができる。なお、環状壁４６の内側にエンコーダカバー１２の筒状部１２２を嵌合させていなくても、エンコーダカバー１２の筒状部１２２の端面を円形凹部４４の底部に接触するように固定すれば、エンコーダカバー１２とモータ本体３のフレームグランド電位に接続することができる。  
または、エンコーダカバー１２は基板ユニット１３に固定され、導電性の固定部材７０および基板ホルダ５０を介して、基板６０上のエンコーダ回路のシグナルグランドと電気的に接続されていてもよい。
【００２９】
（エンコーダホルダ）  
図２および図３に示すように、エンコーダホルダ１４は、円形の磁石配置孔１４１が形成された胴部１４２と、胴部１４２の出力側Ｌ１の端部から外周側に突出する脚部１４３を備える。図３に示すように、脚部１４３の出力側Ｌ１の端面は、胴部１４２の出力側Ｌ１の端面よりも出力側Ｌ１に突出している。脚部１４３は、周方向に等角度間隔で３箇所に形成されている。エンコーダホルダ１４は、軸受ホルダ４２の中央で回転可能に保持されるエンコーダ側回転軸２２の回転軸線Ｌと磁石配置孔１４１とが同軸に配置されるように位置決めされるとともに、上述したプレート４７の外周縁に形成された切り欠き４９に脚部１４３を配置するように位置決めされる。図５に示すように、エンコーダホルダ１４は、脚部１４３を介して軸受ホルダ４２と当接する。エンコーダホルダ１４は、図示しない固定ねじによって脚部１４３が円形凹部４４の底面にねじ止めされることにより、軸受ホルダ４２に固定される。
【００３０】
エンコーダホルダ１４において、胴部１４２の反出力側Ｌ２の端面には、基板ユニット１３を固定するための固定孔１４４が３か所に形成されている。基板ユニット１３は、胴部１４２の反出力側Ｌ２の端面に当接するように位置決めされて、図示しないねじ等の固定部材を介してエンコーダホルダ１４に固定される。
【００３１】
（磁石）  
図６および図７は基板ユニット１３、磁石１６および磁石ホルダ１５の分解斜視図であり、図６は反出力側Ｌ２から見た図、図７は出力側から見た図である。図６および図７に示すように、磁石ホルダ１５は、略円板状の磁石保持部１５１と、磁石保持部１５１の中心から出力側Ｌ１に突出する筒状の固定部１５２を備える。固定部１５２には、エンコーダ側回転軸２２の先端が圧入もしくは接着剤により固定される。または出力側Ｌ１に垂直となる方向からセットビスにより固定される。そして、磁石保持部１５１と固定部１５２との間にはシールド壁１５３が設けられている。磁石１６は、磁石保持部１５１の中央に形成された凹部に嵌合する円形の第１磁石１６１、および、第１磁石の外周縁に形成された段部に嵌合する環状の第２磁石１６２を備える。第１磁石１６１は周方向にＮ極とＳ極が１極ずつ着磁されている。一方、第２磁石１６２はＮ極とＳ極が周方向に交互に複数極ずつ着磁されている。なお、エンコーダホルダ１４、磁石１６および磁石ホルダ１５からなる回転体１８の構成の詳細については後述する。
【００３２】
図４および図５に示すように、エンコーダホルダ１４が軸受ホルダ４２に固定されると、エンコーダホルダ１４の磁石配置孔１４１の中央にエンコーダ側回転軸２２の先端が配置される。従って、エンコーダ側回転軸２２の先端に固定される磁石ホルダ１５は磁石配置孔１４１の中央に配置される。第１磁石１６１および第２磁石１６２は、磁石配置孔１４１内において反出力側Ｌ２を向いて配置されるとともに、エンコーダ側回転軸２２の回転軸線Ｌを中心として同軸に配置される。
【００３３】
（基板ユニット）  
図６および図７に示すように、基板ユニット１３は、基板ホルダ５０と、基板ホルダ５０に取り付けられる基板６０と、基板６０に搭載される感磁素子１７と、基板ホルダ５０に基板６０を固定する固定部材７０と、基板ホルダ５０に出力側Ｌ１から取り付けられるシールド部材８０を備える。基板６０は略円形であり、外周縁の２箇所を直線状に切り欠いた切り欠き６１を備える。また、基板６０には、基板ホルダ５０に対する固定用の固定孔６２が２箇所に形成されている。２箇所の固定孔６２は、基板ホルダ５０の中心を挟んで反対側に配置される。また、２箇所の固定孔６２のうちの一方は、基板６０に搭載されたエンコーダ回路のシグナルグランド５（図１２参照）と電気的に接続されたグランドスルーホール６２１である。なお、２箇所の固定孔６２のどちらをグランドスルーホール６２１にしても良い。また、固定孔６２を３か所以上設け、３か所で基板６０と基板ホルダ５０を固定してもよい。
【００３４】
基板ホルダ５０は、基板６０と対向する端板部５３と、端板部５３の外周縁から反出力側Ｌ２に立ち上がる側板部５４を備える。基板ホルダ５０は、基板６０の切り欠き６１と回転軸線Ｌ方向で重なる部位において、端板部５３が直線状にカットされた形状になっており、側板部５４は直線状に延在する。端板部５３には、基板６０の固定孔６２に対応するボス部５１が２箇所に形成されている。固定部材７０が固定孔６２およびボス部５１に挿入されることにより、基板ホルダ５０に基板６０が固定される。固定部材７０はスプリングピンである。固定部材７０としてスプリングピンを用いることにより、基板ホルダ５０に対する基板６０のがたつきが防止される。また、固定部材７０は導電性の金属、例えばＳＵＳで形成され、基板ホルダ５０は導電性の金属、例えばアルミで形成されている。従って、固定部材７０を介して基板ホルダ５０に基板６０が取り付けられると、固定部材７０およびグランドスルーホール６２１を介して、基板ホルダ５０が基板６０に搭載されたエンコーダ回路のシグナルグランド５と電気的に接続される。
【００３５】
基板ホルダ５０には、エンコーダホルダ１４の固定孔１４４に対応する３か所に不図示の固定ねじを通すためのボス部５２が形成されている。ボス部５２は側板部５４と繋がっている。本形態では、ボス部５２の先端面が、基板６０と当接する当接面となっている。また、基板６０には、ボス部５２および固定孔１４４に対応する３か所に固定ねじを通すための固定孔６３が形成されている。なお、図２では省略されて表されているが、胴部１４２の反出力側Ｌ２の端面からは、基板ユニット１３を位置決めするための２本の位置決めピンが突出して設けられている。
【００３６】
基板ユニット１３は、３本の固定ねじをそれぞれ基板６０の固定孔６３および基板ホルダ５０ボス部５２に通して、その先端を固定孔１４４にねじ止めすることにより、エンコーダホルダ１４に固定される。また、エンコーダホルダ１４は脚部１４３が軸受ホルダ４２に当接して固定されるため、エンコーダホルダ１４を介して、基板ユニット１３が軸受ホルダ４２に固定される。本形態では、エンコーダホルダ１４は樹脂などの絶縁材で形成されている。従って、エンコーダホルダ１４を介して軸受ホルダ４２に基板ユニット１３を固定すると、基板ホルダ５０は軸受ホルダ４２から絶縁される。ただし、基板６０にはフレームグランド用の配線パターンが準備されており、図示されない金属部材がフレームグランド用の配線パターンと接続した状態で、エンコーダホルダ１４の脚部１４３のうちの１つと、ネジにより共締めされ軸受けホルダ４２と電気的に接続されている。そのため、フレームグランド用の配線パターンは、基板ユニット１３に接続されるエンコーダケーブルのシールドと電気的に接続するよう配線するので、ケーブルにかかるノイズが抑制されることになる。
【００３７】
基板６０は、反出力側Ｌ２を向く反出力側基板面６０ａ、および、出力側Ｌ１を向く出力側基板面６０ｂを備える。図６に示すように、反出力側基板面６０ａには、エンコーダ回路を構成する図示しない回路素子およびエンコーダケーブルを接続するためのコネクタ６５などが搭載されている。図７に示すように、感磁素子１７は、出力側基板面６０ｂの中央に配置される第１感磁素子１７１と、第２感磁素子１７２と、を備える。第１感磁素子１７１および第２感磁素子１７２は、それぞれ、基板６０上に構成されたエンコーダ回路のシグナルグランド５と接続されるグランド端子６および７（図１２参照）を備える。また、出力側基板面６０ｂには、第１感磁素子１７１の近傍に２つのホール素子１７５が搭載されている。２つのホール素子１７５は、９０度離れた角度位置に配置されている。なお、第１感磁素子１７１、第２感磁素子１７２および２つのホール素子１７５はいずれも基板６０に実装されている。
【００３８】
基板ホルダ５０において、端板部５３の出力側Ｌ１の面には、略矩形の貫通孔（開口部５８）が形成されている。基板ホルダ５０に基板６０を固定したとき、開口部５８には第２感磁素子１７２が配置される。
【００３９】
基板ユニット１３をエンコーダホルダ１４に対して固定すると、第１感磁素子１７１と第１磁石１６１が対向する（図４および図５参照）。また、基板ホルダ５０の開口部５８に配置される第２感磁素子１７２と第２磁石１６２が対向する。エンコーダ１０は、第１感磁素子１７１の出力側Ｌ１の表面と第１磁石１６１との間、および、第２感磁素子１７２の出力側Ｌ１の表面と第２磁石１６２の間に所定のギャップが形成される。
【００４０】
第１感磁素子１７１およびその近傍に配置される２個のホール素子１７５と第１磁石１６１は、１回転で得られる第１感磁素子１７１の出力の周期を２個のホール素子１７５により判別することでアブソリュートエンコーダとして機能する。一方、第２感磁素子１７２と第２磁石１６２は、１回転で複数周期の出力が得られるため、インクリメンタルエンコーダとして機能する。エンコーダ１０は、これらの２組のエンコーダの出力を処理することにより、高分解能で、且つ、高精度な位置検出を行うことができる。
【００４１】
（シールド部材）  
シールド部材８０は、基板ホルダ５０のシールド部材取付位置５７に出力側Ｌ１から取り付けられる。本形態のシールド部材８０は可撓性のシート材であり、開口部５８を完全に塞ぐ大きさである。本実施形態のシールド部材取付位置５７はなっていないが、シールド部材取付位置５７にシールド部材８０を取り付けるための段差を設けてもよい。シールド部材８０は出力側Ｌ１を向くシールド取付面５９に当接する。シールド部材８０は、基板ホルダ５０と同様に、導電性の非磁性金属、例えばアルミで形成されている。そして、シールド部材８０は、導電性の接着剤を介してシールド取付面５９に接着されている。このため、シールド部材８０は、基板ホルダ５０を介して、基板６０に搭載されたエンコーダ回路のシグナルグランド５と電気的に接続される。
【００４２】
シールド部材８０は、開口部５８に配置された第２感磁素子１７２と、を覆うように基板ホルダ５０に取り付けられる。基板ホルダ５０にシールド部材８０を取り付けたことにより、第１感磁素子１７１と第２感磁素子１７２は、シグナルグランド電位の部材（基板ホルダ５０およびシールド部材８０）によってモータ本体３から遮蔽される。従って、第１磁石１６１および第２磁石１６２との隙間から回り込んでくるフレームグランドノイズや電源ノイズを効果的に遮蔽できる。なお、第１感磁素子１７１と第２感磁素子１７２は、シールド部材８０を介して第１磁石１６１および第２磁石１６２と対向するが、シールド部材８０および基板ホルダ５０は非磁性金属であるため、電磁波ノイズについては良好に遮蔽しつつ、磁気式のエンコーダとしての機能を損なわないようにすることができる。
【００４３】
（磁石および感磁素子のレイアウト概要）  
図８は、本実施形態のエンコーダ１０における磁石１６（第１磁石１６１および第２磁石１６２）および感磁素子１７（第１感磁素子１７１および第２感磁素子１７２）等のレイアウトを示す説明図であり、磁石１６等の平面的なレイアウトを示す平面図である。図９から図１１は、本実施形態のエンコーダ１０における原理を示す説明図であり、図９は感磁素子１７に対する信号処理系の説明図、図１０は感磁素子１７から出力される信号の説明図、図１１はかかる信号と回転体１８（磁石ホルダ１５および磁石１６）の角度位置θ（電気角）との関係を示す説明図である。なお、図８および図９では、磁石１６および感磁素子１７等の構成を模式的に示してあり、第２磁石１６２における磁極についてはその数を減らして模式的に示してある。また、第２感磁素子１７２における磁気抵抗パターンと第２磁石１６２の磁極との位置関係についても互いの位置をずらして模式的に示してあり、第２感磁素子１７２の磁気抵抗パターンは、周方向において極めて狭い範囲に形成されている。
【００４４】
図８および図９に示すように、本実施形態のエンコーダ１０において、回転体１８の側には、Ｎ極とＳ極とが周方向において１極ずつ着磁された着磁面２２１を回転軸線方向Ｌの出力側Ｌ１に向ける第１磁石１６１と、第１磁石１６１に対して径方向の外側で離間する位置でＮ極とＳ極とが周方向において交互に複数着磁された環状の着磁面２３１を回転軸線方向Ｌの出力側Ｌ１に向ける第２磁石１６２とが保持されている。かかる第１磁石１６１および第２磁石１６２は回転体１８と一体に回転軸線周りに回転する。なお、図８および図９では簡略化されて表されているが、本実施形態の第２磁石１６２は、内側と外側とで１対をなすＮ極とＳ極の磁極対が周方向に３２対設けられている。
【００４５】
本形態において、第１磁石１６１は円盤状の永久磁石からなる。第２磁石１６２は円筒状であり、第１磁石１６１に対して径方向の外側で離間する位置に配置されている。第１磁石１６１および第２磁石１６２はボンド磁石等からなる。本形態では例えばフェライト焼結磁石を用いる。本形態において、第２磁石１６２の着磁面２３１には、周方向においてＮ極とＳ極とが交互に多極に着磁されたトラック３１０が径方向で複数、並列している。本形態では、トラック３１０が２列形成されている。かかる２つのトラック３１０の間ではＮ極およびＳ極の位置が周方向でずれており、本形態では、２つのトラック３１０の間においてＮ極およびＳ極は周方向に１極分ずれている。
【００４６】
基板ユニット１３には、第１磁石１６１の着磁面２２１に対して回転軸線方向Ｌの出力側Ｌ１で対向する第１感磁素子１７１と、第２磁石１６２の着磁面２３１に対して回転軸線方向Ｌの出力側Ｌ１で対向する第２感磁素子１７２とが設けられている。本形態において、第１感磁素子１７１および第２感磁素子１７２は何れも、図７などで表されるように、基板６０の回転軸線方向Ｌの出力側Ｌ１の出力側基板面６０ｂに保持されている。
【００４７】
また、基板６０には、第１磁石１６１に対向する位置に、第１ホール素子１７５ａと、第１ホール素子１７５ａに対して周方向において機械角で９０°ずれた箇所に位置する第２ホール素子１７５ｂとが設けられている。本形態において、第１ホール素子１７５ａおよび第２ホール素子１７５ｂは共に、基板６０の出力側基板面６０ｂに保持されており、第１磁石１６１に対して回転軸線方向Ｌの出力側Ｌ１で対向している。
【００４８】
図８および図９に示すように、第１感磁素子１７１は、第１磁石１６１の位相に対して、互いに９０°の位相差を有するＡ相（ＳＩＮ）の磁気抵抗パターンとＢ相（ＣＯＳ）の磁気抵抗パターンとを備えた第１磁気抵抗素子である。かかる第１感磁素子１７１において、Ａ相の磁気抵抗パターンは、１８０°の位相差をもって回転体１８の移動検出を行う＋ａ相（ＳＩＮ＋）の磁気抵抗パターン２４３および−ａ相（ＳＩＮ−）の磁気抵抗パターン２４１を備えており、Ｂ相の磁気抵抗パターンは、１８０°の位相差をもって回転体１８の移動検出を行う＋ｂ相（ＣＯＳ＋）の磁気抵抗パターン２４４および−ｂ相（ＣＯＳ−）の磁気抵抗パターン２４２を備えている。
【００４９】
ここで、＋ａ相の磁気抵抗パターン２４３および−ａ相の磁気抵抗パターン２４１は、ブリッジ回路を構成しており、一方端が電源端子（Ｖｃｃ）に接続され、他方端がグランド端子（ＧＮＤ）に接続されている。また、＋ａ相の磁気抵抗パターン２４３の中点位置には、＋ａ相が出力される端子（＋ａ）が設けられ、−ａ相の磁気抵抗パターン２４１の中点位置には、−ａ相が出力される端子（−ａ）が設けられている。また、＋ｂ相の磁気抵抗パターン２４４および−ｂ相の磁気抵抗パターン２４２も、＋ａ相の磁気抵抗パターン２４４および−ａ相の磁気抵抗パターン２４１と同様、ブリッジ回路を構成しており、一方端が電源端子（Ｖｃｃ）に接続され、他方端がグランド端子（ＧＮＤ）に接続されている。また、＋ｂ相の磁気抵抗パターン２４４の中点位置には、＋ｂ相が出力される端子（＋ｂ）が設けられ、−ｂ相の磁気抵抗パターン２４２の中点位置には、−ｂ相が出力される端子（−ｂ）が設けられている。
【００５０】
第２感磁素子１７２は、第２磁石１６２の位相に対して、互いに９０°の位相差を有するＡ相（ＳＩＮ）の磁気抵抗パターンとＢ相（ＣＯＳ）の磁気抵抗パターンとを備えた第２磁気抵抗素子である。かかる第２感磁素子１７２において、Ａ相の磁気抵抗パターンは、１８０°の位相差をもって回転体１８の移動検出を行う＋ａ相（ＳＩＮ＋）の磁気抵抗パターン２６４および−ａ相（ＳＩＮ−）の磁気抵抗パターン２６２を備えており、Ｂ相の磁気抵抗パターンは、１８０°の位相差をもって回転体１８の移動検出を行う＋ｂ相（ＣＯＳ＋）の磁気抵抗パターン２６３および−ｂ相（ＣＯＳ−）の磁気抵抗パターン２６１を備えている。
【００５１】
ここで、＋ａ相の磁気抵抗パターン２６４および−ａ相の磁気抵抗パターン２６２は、第１感磁素子１７１と同様、ブリッジ回路を構成しており、一方端が電源端子（Ｖｃｃ）に接続され、他方端がグランド端子（ＧＮＤ）に接続されている。また、＋ａ相の磁気抵抗パターン２６４の中点位置には、＋ａ相が出力される端子（＋ａ）が設けられ、−ａ相の磁気抵抗パターン２６２の中点位置には、−ａ相が出力される端子（−ａ）が設けられている。また、＋ｂ相の磁気抵抗パターン２６３および−ｂ相の磁気抵抗パターン２６１は、＋ａ相の磁気抵抗パターン２６４および−ａ相の磁気抵抗パターン２６２と同様、ブリッジ回路を構成しており、一方端が電源端子（Ｖｃｃ）に接続され、他方端がグランド端子（ＧＮＤ）に接続されている。また、＋ｂ相の磁気抵抗パターン２６３の中点位置には、＋ｂ相が出力される端子（＋ｂ）が設けられ、−ｂ相の磁気抵抗パターン２６１の中点位置には、−ｂ相が出力される端子（−ｂ）が設けられている。
【００５２】
かかる構成の第２感磁素子１７２は、図８および図９に示すように、第２磁石１６２において隣接するトラック３１０の境界部分に回転軸線方向Ｌで重なる位置に配置されている。このため、第２感磁素子１７２の磁気抵抗パターン２６１〜２６４は、各々の磁気抵抗パターン２６１〜２６４の抵抗値の飽和感度領域以上の磁界強度でトラック３１０の面内方向で向きが変化する回転磁界を検出することができる。すなわち、第２磁石１６２は、複数のトラック３１０を備えているので、隣接するトラック３１０の境界線部分では、各々の磁気抵抗パターン２６１〜２６４の抵抗値の飽和感度領域以上の磁界強度でトラック３１０の面内方向の向きが変化する回転磁界が発生する。ここで、飽和感度領域とは、一般的に、抵抗値変化量ｋが、磁界強度Ｈと近似的に「ｋ∝Ｈ２」の式で表すことができる領域以外の領域をいう。また、飽和感度領域以上の磁界強度で回転磁界（磁気ベクトルの回転）の方向を検出する際の原理は、強磁性金属からなる各々の磁気抵抗パターン２６１〜２６４に通電した状態で、抵抗値が飽和する磁界強度を印加したとき、磁界と電流方向がなす角度θと、各々の磁気抵抗パターン２６１〜２６４の抵抗値Ｒとの間には、下式
Ｒ＝Ｒ０−ｋ×ｓｉｎ２θ  
Ｒ０：無磁界中での抵抗値  
ｋ：抵抗値変化量（飽和感度領域以上のときは定数）  
で示す関係があることを利用するものである。このような原理に基づいて回転磁界を検出すれば、角度θが変化すると抵抗値Ｒが正弦波に沿って変化するので、波形品質の高いＡ相およびＢ相を得ることができる。
【００５３】
かかる構成のエンコーダ１０において、第１感磁素子１７１、第１ホール素子１７５ａ、第２ホール素子１７５ｂ、および第２感磁素子１７２には、増幅回路２９１〜２９６や、これらの増幅回路２９１〜２９６から出力される正弦波信号ｓｉｎ、ｃｏｓに補間処理や各種演算処理を行うＣＰＵ２９０（演算回路）等が構成されており、第１感磁素子１７１、第１ホール素子１７５ａ、第２ホール素子１７５ｂ、および第２感磁素子１７２からの出力に基づいて、基板ユニット１３に対する回転体１８の回転角度位置が求められる。
【００５４】
より具体的には、エンコーダ１０において、回転体１８が１回転すると、第１感磁素子１７１からは、図１０に示す正弦波信号ｓｉｎ、ｃｏｓが２周期分、出力される。従って、正弦波信号ｓｉｎ、ｃｏｓを増幅回路２９１および増幅回路２９２により増幅した後、ＣＰＵ２９０において、図１１に示すように、正弦波信号ｓｉｎ、ｃｏｓからθ＝ｔａｎ-1（ｓｉｎ／ｃｏｓ）を求めれば、回転出力軸の角度位置θが分かる。また、本形態では、第１磁石１６１の中心からみて９０°ずれた位置に第１ホール素子１７５ａおよび第２ホール素子１７５ｂが配置されている。このため、現在位置が正弦波信号ｓｉｎ、ｃｏｓのいずれの区間に位置するかが分かる。従って、エンコーダ１０は、第１感磁素子１７１での検出結果、第１ホール素子１７５ａでの検出結果、および第２ホール素子１７５ｂでの検出結果に基づいて回転体１８の第１絶対角度位置情報を生成することができ、アブソリュート動作を行うことができる。
【００５５】
また、本実施形態のエンコーダ１０では、Ｎ極とＳ極とが周方向において交互に複数着磁された環状の着磁面２３１を備えた第２磁石１６２が用いられており、かかる第２磁石１６２に対向する第２感磁素子１７２からは、回転体１８が第２磁石１６２の磁極の１周期分を回転する度に、図１０に示すような正弦波信号ｓｉｎ、ｃｏｓが出力される。従って、第２感磁素子１７２から出力された正弦波信号ｓｉｎ、ｃｏｓを増幅回路２９３および増幅回路２９４により増幅した後、ＣＰＵ２９０において、パルス信号等に変換すれば、第２磁石１６２の磁極に対応する信号が得られる。従って、ＣＰＵ２９０において、第１感磁素子１７１での検出結果、第１ホール素子１７５ａでの検出結果、および第２ホール素子１７５ｂでの検出結果に基づいて得られた回転体１８の第１絶対角度位置情報と、第２感磁素子１７２での検出結果とを用いれば、回転体１８の第２絶対角度位置情報を得ることができ、かかる第２絶対角度位置情報は、第１絶対角度位置情報に比して分解能が高い。すなわち、第１感磁素子１７１での検出結果、第１ホール素子１７５ａでの検出結果、および第２ホール素子１７５ｂでの検出結果に基づいて回転体１８の第１絶対角度位置情報を検出し、かかる第１絶対角度位置情報、および第２感磁素子１７２での検出結果を用いて、回転体１８のさらに高い精度の絶対角度位置（第２絶対角度位置情報）を得る。
【００５６】
（回転軸線方向における磁石および感磁素子の配置）  
次に、図１２の本実施形態のエンコーダ１０の側面方向からのレイアウトを示す概略図を用いて、回転軸線方向Ｌにおける磁石１６（第１磁石１６１および第２磁石１６２）および感磁素子１７（第１感磁素子１７１および第２感磁素子１７２）の配置について説明する。なお、図１２は概略図であり、磁石１６および感磁素子１７以外の構成部材の多くは省略して表している。
【００５７】
図１２で表されるように、第２感磁素子１７２の出力側基板面６０ｂからの回転軸線方向Ｌの出力側Ｌ１における長さは、第１感磁素子１７１の出力側基板面６０ｂからの回転軸線方向Ｌの出力側Ｌ１における長さよりも長い。別の表現をすると、第２感磁素子１７２は、回転軸線方向Ｌにおいて、第１感磁素子１７１よりも磁石側である出力側Ｌ１に向けて突出している。このため、着磁数が多く磁束が遠くまで至らないことで狭いことが要求される第２感磁素子１７２と第２磁石１６２との間隔を簡単に狭くすることができる構成になっている。また、第１感磁素子１７１と第２感磁素子１７２とが共に基板６０に実装されているので、基板ユニット１３の組み立てを簡単にできる構成になっている。したがって、本実施形態のモータ１は、簡単に形成でき、且つ、磁気検出感度が高い。なお、第１感磁素子１７１および第２感磁素子１７２は、樹脂モールドにより基板６０に実装されたものや基板６０にフリップチップ実装されたものであることが好ましい。
【００５８】
なお、図１２で表されるように、第１感磁素子１７１と第１磁石１６１との間隔は第２感磁素子１７２と第２磁石１６２との間隔よりも広い。第２磁石１６２は第１磁石１６１よりも着磁数が多く第１磁石１６１に比べて磁束が遠くまで至らないので、本実施形態のモータ１のように、第２感磁素子１７２と第２磁石１６２との間隔を第１感磁素子１７１と第１磁石１６１との間隔よりも狭くすることで、第１感磁素子１７１および第２感磁素子１７２の両方において高感度で磁気検出することが可能になる。
【００５９】
また、上記のように、基板６０は、第１感磁素子１７１および第２感磁素子１７２のグランド端子６および７と接続されるシグナルグランド５を有しており、基板ホルダ５０は、回転軸線方向Ｌから見た第２感磁素子１７２の位置に開口部５８を有している。また、図１２で表されるように、開口部５８は、回転軸線方向Ｌにおける厚みが基板ホルダ５０よりも薄いシールド部材８０で覆われている。そして、上記のように、基板ホルダ５０およびシールド部材８０は、共に、導電性部材（導電性の金属）で形成されており、シグナルグランド５と接続されている。このように、第２感磁素子１７２を薄いシールド部材８０でシールドすることで、第２感磁素子１７２と第２磁石１６２との間隔を狭くしたまま、第２感磁素子１７２に磁石１６側からノイズ（フレームグランドノイズや電源ノイズなど）が侵入して磁気検出結果に影響が出ることを抑制できる。また、シールド部材８０を基板ホルダ５０と別部材とすることで、シールド効果を簡単に調整できる。
【００６０】
また、図１２で表されるように、第１感磁素子１７１の第１磁石１６１と対向する位置は、基板ホルダ５０で覆われている。このような構成となっていることで、本実施形態のモータ１は、第１感磁素子１７１に磁石１６側からノイズが侵入して磁気検出結果に影響が出ることを抑制している。
【００６１】
なお、本実施形態においては、第１感磁素子１７１の位置に開口部が設けられておらず、開口部が無いために第１感磁素子１７１の位置はシールド部材８０で覆われていないが、第１感磁素子１７１の位置に開口部が設けられ、該開口部を覆うシールド部材８０を備えていてもよい。そのような構成とする場合、第１感磁素子１７１の位置の開口部と第２感磁素子１７２の位置の開口部５８とを１つのシールド部材８０で覆う構成としてもよい。
【００６２】
ここで、第２感磁素子１７２は、基板ホルダ５０を超えて第２磁石１６２側に突出していないことが好ましい。第２感磁素子１７２が他の部材などに接触することを抑制できるためである。また、基板ホルダ５０にシールド部材８０を取り付ける場合において、簡単にシールド部材８０を変形させることなく取り付けることができる。本実施形態においては、第２磁石１６２側における第２感磁素子１７２の表面は、第２磁石１６２側における基板ホルダ５０の表面（正確にはシールド取付面５９）と略面一となっている。
【００６３】
また、図１２で表されるように、本実施形態の第２感磁素子１７２は感磁膜１７２ａを有している。そして、感磁膜１７２ａの回転軸線方向Ｌにおける第２感磁素子１７２での配置は、第２磁石１６２側（出力側Ｌ１寄り）である。すなわち、回転軸線方向Ｌにおける第２感磁素子１７２での感磁膜１７２ａの位置は、回転軸線方向Ｌにおける第２感磁素子１７２の中央よりも第２磁石１６２側である。このように、感磁膜１７２ａの位置を磁石１６に近づけることがで、特に高感度で磁気検出することが可能になる。
【００６４】
本実施形態のモータ１においては、図６及び図８等で表されるように、第２磁石１６２は、第１磁石１６１の周囲に亘り配置され、第１磁石１６１と第２磁石１６２との間には、全周に亘ってシールド壁１５３が設けられている。シールド壁１５３は、磁石保持部１５１および固定部１５２と共に一体成型されており、第１磁石１６１から第２磁石１６２に向かう磁束の影響を抑制するものである。ここで、シールド壁１５３は、図１２で表される本実施形態のモータ１のように、第２磁石１６２を超えて基板６０側に突出していないことが好ましい。第１磁石１６１と第２磁石１６２との間に第２磁石１６２を超えないシールド壁１５３を設けることで、第１磁石１６１から第２磁石１６２に向かう磁束の影響を抑制しつつ、第２磁石１６２の磁束がシールド壁１５３に向かい、第２感磁素子１７２に向かう磁束が弱くなるということを抑制できるためである。なお、本実施形態においては、シールド壁１５３と第２磁石１６２の反出力側Ｌ２の表面が面一となっているが、第２磁石１６２の反出力側Ｌ２の表面がシールド壁１５３の反出力側Ｌ２の表面よりも反出力側Ｌ２に突出していてもよい。
【００６５】
また、シールド壁１５３は、図１２で表される本実施形態のモータ１のように、第１磁石１６１を超えて基板６０側である反出力側Ｌ２に突出していることが好ましい。第１磁石１６１を超えて反出力側Ｌ２に突出しているシールド壁１５３により、第１磁石１６１から第２磁石１６２に向かう磁束の影響を抑制できるためである。
【００６６】
なお、第２磁石１６２は、予め着磁されたものを磁石ホルダ１５に固定してもよいが、磁石ホルダ１５に固定された状態で着磁されている方がより好ましい。第２磁石１６２の回転軸２（エンコーダ側回転軸２２）に対する中心ずれを抑制できるためである。ここで、着磁性を向上するために、本実施形態のように、シールド壁１５３は回転軸線方向Ｌにおいて第２磁石１６２を超えて突出していないことが好ましい。なお、磁石ホルダ１５に対する第２磁石１６２の配置がずれているにもかかわらず、第２磁石１６２の回転軸２に対する中心ずれがない第２磁石１６２は、磁石ホルダ１５に固定された状態で着磁されたものであると判断できる。
【００６７】
本発明は、上述の実施例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施例中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。  
また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【符号の説明】
【００６８】
１…モータ、２…回転軸、３…モータ本体、４…モータケース、５…シグナルグランド、６…グランド端子、７…グランド端子、１０…エンコーダ、１１…外側ケース、１２…エンコーダカバー、１３…基板ユニット、１４…エンコーダホルダ、１５…磁石ホルダ、１６…磁石、１７…感磁素子、１８…回転体、２１…モータ側回転軸、２２…エンコーダ側回転軸、４１…筒状ケース、４２…軸受ホルダ、４３…軸受、４４…円形凹部、４５…フランジ、４６…環状壁、４７…プレート、４８…貫通孔、４９…切り欠き、５０…基板ホルダ、５１…ボス部、５２…ボス部、５３…端板部、５４…側板部、５７…シールド部材取付位置、５８…開口部（貫通孔）、５９…シールド取付面、６０…基板、６０ａ…反出力側基板面、６０ｂ…出力側基板面、６１…切り欠き、６２…固定孔、６３…固定孔、６５…コネクタ、７０…固定部材、８０…シールド部材、１１１…端板部、１１２…側板部、１１３…切り欠き、１１４…シール部材、１２１…端板部、１２２…筒状部、１２３…切り欠き、１４１…磁石配置孔、１４２…胴部、１４３…脚部、１４４…固定孔、１５１…磁石保持部、１５２…固定部、１５３…シールド壁、１６１…第１磁石、１６２…第２磁石、１７１…第１感磁素子、１７２…第２感磁素子、１７２ａ…感磁膜、１７５…ホール素子、１７５ａ…第１ホール素子、１７５ｂ…第２ホール素子、２２１…着磁面、２３１…着磁面、２４１…磁気抵抗パターン、２４２…磁気抵抗パターン、２４３…磁気抵抗パターン、２４４…磁気抵抗パターン、２６１…磁気抵抗パターン、２６２…磁気抵抗パターン、２６３…磁気抵抗パターン、２６４…磁気抵抗パターン、２９０…ＣＰＵ、２９１…増幅回路、２９２…増幅回路、２９３…増幅回路、２９４…増幅回路、２９５…増幅回路、２９６…増幅回路、３１０…トラック、６２１…グランドスルーホール、Ｌ…回転軸線、Ｌ１…出力側、Ｌ２…反出力側
【図１】
2020088976.tif 000003
【図２】
2020088976.tif 000004
【図３】
2020088976.tif 000005
【図４】
2020088976.tif 000006
【図５】
2020088976.tif 000007
【図６】
2020088976.tif 000008
【図７】
2020088976.tif 000009
【図８】
2020088976.tif 000010
【図９】
2020088976.tif 000011
【図１０】
2020088976.tif 000012
【図１１】
2020088976.tif 000013
【図１２】
2020088976.tif 000014