(57)【要約】【課題】高いシール性を維持したまま、継手の軸方向における更なる小型化を可能にするスリーブを提供する。【解決手段】スリーブは、継手の筒状本体にチューブを接続するための円筒部材である。このスリーブは、筒状本体の周壁端部と対向する第１周壁端部と、チューブの開口端部に圧入される第２周壁端部とを備えている。第１周壁端部は、筒状本体の周壁端部が含む環状溝に圧入される環状突起、または筒状本体の周壁端部が含む軸方向へ突出した環状突起が圧入される環状溝を有する。第２周壁端部は、チューブの開口端部の径を内側から拡げるための膨出部を有する。第１周壁端部の外周部は、筒状本体の周壁端部と軸方向で対向するフランジを有する。【選択図】図２
2020085204.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
継手の筒状本体にチューブを接続するための円筒部材であって、
前記筒状本体の周壁端部と対向する第１周壁端部と、
前記チューブの開口端部に圧入される第２周壁端部と
を備え、
前記第１周壁端部は、
前記筒状本体の周壁端部が含む環状溝に圧入される環状突起、または前記筒状本体の周壁端部が含む軸方向へ突出した環状突起が圧入される環状溝
を有し、
前記第２周壁端部は、
前記チューブの開口端部の径を内側から拡げるための膨出部
を有し、
前記第１周壁端部の外周部は、
前記筒状本体の周壁端部と軸方向で対向するフランジ
を有するスリーブ。
【請求項２】
前記フランジは前記筒状本体の周壁端部から軸方向に間隔を開けて配置されている請求項１に記載のスリーブ。
【請求項３】
前記フランジは前記筒状本体の周壁端部と接触している請求項１に記載のスリーブ。
【請求項４】
前記フランジは前記筒状本体の周壁端部との接触部が軸方向に対する傾斜面を含む請求項３に記載のスリーブ。
【請求項５】
チューブが接続される継手であって、
周壁端部に、軸方向へ伸びている雄ねじを含む筒状本体と、
前記筒状本体の周壁端部へ前記チューブを接続するスリーブと、
一方からは前記チューブが内側に挿入され、他方からは前記筒状本体の周壁端部の雄ねじが内側にねじ込まれるナットと
を備え、
前記スリーブは、
前記筒状本体の周壁端部と対向する第１周壁端部と、
前記チューブの開口端部に圧入される第２周壁端部と
を備え、
前記第１周壁端部は、
前記筒状本体の周壁端部が含む環状溝に圧入される環状突起、または前記筒状本体の周壁端部が含む軸方向へ突出した環状突起が圧入される環状溝
を有し、
前記第２周壁端部は、
前記チューブの開口端部の径を内側から拡げるための膨出部
を有し、
前記第１周壁端部の外周部は、
前記筒状本体の周壁端部と軸方向で対向するフランジ
を有する継手。
【請求項６】
前記スリーブの膨出部の外周面が前記ナットの内周面から押圧力を受ける請求項５に記載の継手。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は継手等に関し、特にスリーブを利用してチューブを接続するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体プロセスにおいては、ウェハへのレジストの塗布、ウェハの洗浄等に様々な薬液が使用される。これらの薬液を扱うチューブ、継手、バルブ、ポンプ等の配管設備が半導体装置の製造ラインには含まれる。この配管設備の特徴としては、薬液に直に触れる部分がすべてフッ素樹脂で構成される点と、洗浄等のメンテナンスが比較的頻繁である点とが挙げられる。前者は、金属汚染による半導体の結晶欠陥、および電気的特性の劣化を防ぐことを目的とし、後者は、微粒子による配線の加工不良、および有機物による成膜異常を防ぐことを目的とする。これらの特徴を踏まえてこの配管設備には、高いシール性に加えて、組み立てと分解との容易性が求められる。
【０００３】
たとえば特許文献１に開示された継手は、チューブの接続にスリーブを使用する。これにより、一旦分解された後に再構成されても高いシール性を保つ。スリーブは継手本体と同様にフッ素樹脂製であり、一方の周壁端がチューブの開口端に圧入され、他方の周壁端が継手本体の周壁端とシール構造を形成する。このシール構造ではスリーブの周壁端がたとえば環状突起を含む。この環状突起はスリーブの軸方向へ突出し、かつ周方向に伸びており、継手本体の周壁端が含む周方向の環状溝に圧入される。スリーブの周壁端はその他に、周方向の環状溝を含む。この環状溝には、継手本体の周壁端が含む環状突起が圧入される。環状突起は環状溝よりも径方向の幅がわずかに大きいので、圧入によって環状突起は環状溝に、径方向において隙間なく圧着する。その結果、シール性が高く維持される。チューブが継手から分離される際には、スリーブがチューブと共に取り外される。これにより、チューブが継手本体へ直に接続される場合よりも、チューブの分離とその後の再接続とが容易である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許５８８３９０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
半導体プロセスの多段階化が進むにつれて、配管設備は複雑化する。これに伴う半導体の製造ラインの過剰な大規模化を避ける目的で、配管設備の更なる小型化が求められている。しかし、既存の継手、特に特許文献１に開示されたもののようにスリーブを使用する種類は、スリーブの軸方向における小型化が難しい。これは次の理由による。これらの継手では、スリーブからチューブが抜けるのを防ぐ目的で、チューブに対するスリーブの圧入長が十分に大きく設計されねばならない。これに伴い、チューブのたわみがスリーブの軸を継手本体の軸方向から傾かせやすい。この傾きが過大になると、スリーブと継手本体との間のシール力が損なわれる。これを回避する目的で継手本体の周壁端部は、雄ねじ（外周面にねじが形成された円筒形状の構造体）を含む。雄ねじは、継手本体の周壁端部の周全体から軸方向へ突出しており、その突出長が十分に大きく確保されている。雄ねじが内面でチューブとスリーブとをしっかりと保持するので、チューブのたわみにかかわらずスリーブの軸の傾きが防止される。その一方で、雄ねじの長さが、軸方向における継手の小型化を阻む。
【０００６】
本発明の目的は上記の課題を解決することであり、特に高いシール性を維持したまま、継手の軸方向における更なる小型化を可能にするスリーブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の１つの観点におけるスリーブは、継手の筒状本体にチューブを接続するための円筒部材である。このスリーブは、筒状本体の周壁端部と対向する第１周壁端部と、チューブの開口端部に圧入される第２周壁端部とを備えている。第１周壁端部は、筒状本体の周壁端部が含む環状溝に圧入される環状突起、または筒状本体の周壁端部が含む軸方向へ突出した環状突起が圧入される環状溝を有する。第２周壁端部は、チューブの開口端部の径を内側から拡げるための膨出部を有する。第１周壁端部の外周部は、筒状本体の周壁端部と軸方向で対向するフランジを有する。
【０００８】
フランジは筒状本体の周壁端部から軸方向に間隔を開けて配置されていてもよく、筒状本体の周壁端部と接触していてもよい。フランジは筒状本体の周壁端部との接触部が、軸方向に対する傾斜面を含んでいてもよい。
【０００９】
本発明の１つの観点における継手には、チューブが接続される。この継手は、周壁端部に、軸方向へ伸びている雄ねじを含む筒状本体と、この筒状本体の周壁端部へチューブを接続するスリーブと、一方からはチューブが内側に挿入され、他方からは筒状本体の周壁端部の雄ねじが内側にねじ込まれるナットとを備えている。スリーブは、筒状本体の周壁端部と対向する第１周壁端部と、チューブの開口端部に圧入される第２周壁端部とを備えている。第１周壁端部は、筒状本体の周壁端部が含む環状溝に圧入される環状突起、または筒状本体の周壁端部が含む軸方向へ突出した環状突起が圧入される環状溝を有する。第２周壁端部は、チューブの開口端部の径を内側から拡げるための膨出部を有する。第１周壁端部の外周部は、筒状本体の周壁端部と軸方向で対向するフランジを有する。スリーブの膨出部の外周面はナットの内周面から押圧力を受けてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明による上記のスリーブは、第１周壁端部の外周部にフランジを含む。チューブがたわむと、このフランジが継手本体の周壁端部と接触する。したがって、チューブのたわみにかかわらず、スリーブの軸が継手本体の軸方向から過剰には傾かない。こうして、このスリーブを利用する継手は、高いシール性を維持したままスリーブの軸方向において更なる小型化が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（ａ）は、本発明の実施形態による継手の外観を示す斜視図であり、（ｂ）はこの継手の分解図である。
【図２】（ａ）は、図１の（ａ）が示す直線ＩＩ−ＩＩに沿った縦断面図であり、（ｂ）は、（ａ）が示す破線で囲まれた部分の拡大図である。
【図３】（ａ）は、本発明の実施形態によるシール構造の第１変形例を示す縦断面図である。（ｂ）は、シール構造の第２変形例を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１３】
図１の（ａ）は、本発明の実施形態による継手の外観を示す斜視図であり、（ｂ）はこの継手１００の分解図である。この継手１００はたとえばポンプ２００の吐出口に設置され、その吐出口へチューブ３００を接続する。チューブ３００は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）等のフッ素樹脂から成る白色または半透明な管である。継手１００は、筒状本体１１０、スリーブ１２０、およびナット１３０を含む。
【００１４】
筒状本体１１０は、ＰＴＦＥ、ＰＦＡ等のフッ素樹脂から成る円筒部材であり、軸方向の長さがナット１３０よりも短い雄ねじ（外周面にねじが形成された円筒形状の構造体）として形成されている。筒状本体１１０は、ポンプ２００の吐出口に同軸に固定されている。筒状本体１１０の周壁端部にはその周に沿って環状溝１１１が形成されている。
【００１５】
スリーブ１２０は、ＰＴＦＥ、ＰＦＡ等のフッ素樹脂から成る円筒部材であり、筒状本体１１０と同軸に配置されている。スリーブ１２０は筒状本体１１０と内径が等しい。スリーブ１２０の第１周壁端部１２１は筒状本体１１０の周壁端部と対向しており、第２周壁端部１２２はチューブ３００の開口端に圧入されている。第１周壁端部１２１は環状突起１２３とフランジ１２４とを含み、第２周壁端部１２２は膨出部１２５を含む。環状突起１２３は第１周壁端部１２１の周全体からスリーブ１２０の軸方向（図ではＹ軸の負方向）へ突出しており、筒状本体１１０の環状溝１１１に圧入される。フランジ１２４は第１周壁端部１２１の環状突起１２３の基端から径方向へ突出している。すなわち、フランジ１２４は環状突起１２３よりも外径が大きい。膨出部１２５はスリーブ１２０の軸方向（Ｙ軸方向）の位置に応じて外径がなだらかに増減しており、軸方向における第２周壁端部１２２の中央部に径が最大となる部分（ピーク）を含む。このピークの外径はチューブ３００の内径よりも大きいので、膨出部１２５がチューブ３００の開口端へ圧入されることによりその開口端を内側から拡げる。この拡張に逆らうチューブ３００の弾性力は、チューブ３００の開口端がスリーブ１２０の膨出部１２５を抱き込むように作用するので、その開口端がスリーブ１２０の第２周壁端部１２２にしっかりと固定される。
【００１６】
ナット１３０は、ＰＴＦＥ、ＰＦＡ、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）等のフッ素樹脂から成る円筒部材であり、筒状本体１１０と同軸に配置されている。ナット１３０の外径は筒状本体１１０とスリーブ１２０とのいずれの外径よりも大きい。ナット１３０の周壁端部のうち、筒状本体１１０に近い方は、筒状本体１１０の雄ねじと噛み合う雌ねじ（内周面にねじが形成された円筒形状の構造体）を含む。この雌ねじに筒状本体１１０の雄ねじがねじ込まれると、ナット１３０の内部に筒状本体１１０とスリーブ１２０とが収容される。筒状本体１１０とは反対側に位置するナット１３０の開口端にはチューブ３００が挿入される。
【００１７】
図２の（ａ）は、図１の（ａ）の示す直線ＩＩ−ＩＩに沿った縦断面図であり、図２の（ｂ）は、（ａ）の示す破線で囲まれた部分の拡大図である。ナット１３０の内径は、筒状本体１１０から軸方向（Ｙ軸の正方向）へ離れるにつれ、３段階に狭まっている。これに従ってナット１３０は、第１部分１３１、第２部分１３２、および第３部分１３３に分けられる。第１部分１３１は筒状本体１１０に最も近く、第３部分１３３は筒状本体１１０から最も遠く、第２部分１３２は第１部分１３１と第３部分１３３との間に位置する。第１部分１３１は内径Ｄ１が筒状本体１１０の外径に等しいので、内周面の雌ねじに筒状本体１１０の雄ねじが噛み合う。第２部分１３２はチューブ３００を間に挟んでスリーブ１２０の第２周壁端部１２２と対向している。第２部分１３２の内径Ｄ２は、スリーブ１２０の膨出部１２５の外径にチューブ３００の厚みを加えた大きさと等しく、またはその大きさよりもわずかに狭い。したがって、第２部分１３２の内周面はチューブ３００の外周面と接触する。特に、スリーブ１２０の膨出部１２５の外径にチューブ３００の厚みを加えた大きさよりも内径Ｄ２が狭い場合、その狭さに応じた径方向の圧力Ｐ１が第２部分１３２の内周面からチューブ３００の外周面に対して加わる。第３部分１３３の内側にはチューブ３００が挿入される。第３部分１３３の内径Ｄ３はチューブ３００の外径に等しく、またはそれよりもわずかに大きい。ナット１３０の第２部分１３２の内側でスリーブ１２０の膨出部１２５がチューブ３００の径を拡げることに伴い、第２部分１３２に隣接する第３部分１３３の端部１３４がチューブ３００の外周面に対してわずかに食い込む。これにより、チューブ３００の抜けが防止される。
［本体とスリーブとの間のシール構造］
【００１８】
スリーブ１２０の第１周壁端部１２１は、筒状本体１１０の周壁端部とシール構造を形成している。このシール構造では、スリーブ１２０の環状突起１２３が筒状本体１１０の環状溝１１１に圧入されている。環状突起１２３は環状溝１１１よりも径方向の幅がわずかに大きいので、環状突起１２３が環状溝１１１に圧入されることにより、環状突起１２３の外周面と内周面とのそれぞれから環状溝１１１の内面へ径方向の圧力Ｐ２が加わる。これにより、環状突起１２３の外周面と内周面とがそれぞれ、環状溝１１１の内周面と外周面とに隙間なく圧着する。このシール構造では更に、筒状本体１１０の周壁端部がテーパ面１１２を含み、スリーブ１２０の第１周壁端部１２１がテーパ面１２６を含む。筒状本体１１０のテーパ面１１２は環状溝１１１の内径側に位置し、筒状本体１１０の軸方向に沿って外側（Ｙ軸の正側）へ向かうにつれて径が広がるように、軸方向（Ｙ軸方向）に対して傾斜している。スリーブ１２０のテーパ面１２６は環状突起１２３の内径側に位置し、スリーブ１２０の軸方向に沿って外側（Ｙ軸の正側）へ向かうにつれて径が広がるように、軸方向（Ｙ軸方向）に対して傾斜している。筒状本体１１０のテーパ面１１２とスリーブ１２０のテーパ面１２６とは傾きが等しく、筒状本体１１０にナット１３０がねじ込まれると全体が接触する。さらに、ナット１３０の第２部分１３２がチューブ３００へ与える圧力Ｐ１とチューブ３００がスリーブ１２０の膨出部１２５へ与える圧力Ｐ３とがスリーブ１２０の内部を応力として伝わる。これにより、筒状本体１１０のテーパ面１１２にはスリーブ１２０のテーパ面１２６から圧力Ｐ４が加わるので、両テーパ面１１２、１２６が互いに隙間なく圧着する。こうして、筒状本体１１０とスリーブ１２０との間の境界が密閉される。
［スリーブのフランジの役割］
【００１９】
スリーブ１２０のフランジ１２４は環状突起１２３の基端から径方向（図２ではＺ軸方向）へ突出している。フランジ１２４の端面のうち筒状本体１１０に近い方は、筒状本体１１０から所定の間隔を開けて配置され、筒状本体１１０から遠い方はチューブ３００の周壁端部と接触している。
【００２０】
フランジ１２４は、以下に述べるように、チューブ３００のたわみに抗してスリーブ１２０を筒状本体１１０と同軸に保つ役割を果たす。チューブ３００がたわむと、たとえば図２の（ｂ）が２点鎖線と矢印とで示すように、筒状本体１１０の軸方向（Ｙ軸方向）に対してチューブ３００が傾く。これに応じてスリーブ１２０の軸も、図２の（ｂ）が２点鎖線と矢印とで示すように傾く。この傾きが許容上限に達すると、フランジ１２４の角が筒状本体１１０と接触するので、スリーブ１２０の軸の許容上限を超える傾きが阻止される。つまり、筒状本体１１０とフランジ１２４とによって形成される隙間は、フランジ１２４の傾きが許容上限に達しない間隔に保たれている。こうして、フランジ１２４はチューブ３００のたわみにかかわらず、スリーブ１２０を筒状本体１１０と許容範囲内で同軸に維持することができる。
［実施形態の利点］
【００２１】
本発明の上記の実施形態によるスリーブ１２０は、径方向へ突出したフランジ１２４を含む。チューブ３００がたわむと、フランジ１２４が継手１００の筒状本体１１０と接触する。これにより、チューブ３００のたわみにかかわらず、スリーブ１２０の軸が筒状本体１１０の軸方向（Ｙ軸方向）に対して過剰には傾かない。すなわち、たとえば特許文献１に開示された構造とは異なり、筒状本体１１０にチューブ３００の周壁端部を保持する部分が設けられなくても、スリーブ１２０を筒状本体１１０と同軸に保つことができる。こうして、スリーブ１２０の第１周壁端部１２１とのシール構造およびシール性能に影響を与えることなく、筒状本体１１０が軸方向において短縮可能である。その結果、継手１００は、高いシール性を維持したままスリーブ１２０の軸方向において更なる小型化が可能である。
［変形例］
【００２２】
（１）本発明の上記の実施形態による継手１００は、ポンプ２００の吐出口に設置されている。この継手１００はその他に、ポンプ２００の吸入口に設置されてもよい。また、ポンプ以外の装置、たとえばバルブ、センサの吸入口または吐出口に設置されてもよい。さらに、この継手１００は、装置とチューブとの間の接続部だけでなく、チューブ同士の接続部にも適用されてもよい。
【００２３】
（２）本発明の上記の実施形態によるフランジ１２４は、スリーブ１２０の第１周壁端部１２１の周全体から連続的に径方向へ突出している。フランジはその他に、第１周壁端部の周方向において離散的または分割的に配置されていてもよい。
【００２４】
（３）図２が示すように、筒状本体１１０にスリーブ１２０が組み合わされた状態では、圧力Ｐ４およびその反力により、筒状本体１１０のテーパ面１１２とスリーブ１２０のテーパ面１２６とは傾きが等しい。一方、筒状本体１１０からスリーブ１２０を分離させた状態では、筒状本体１１０のテーパ面１１２とスリーブ１２０のテーパ面１２６とは傾きが等しくても、異なっていてもよい。筒状本体１１０にスリーブ１２０が組み合わされると、上記のとおり、筒状本体１１０のテーパ面１１２にはスリーブ１２０のテーパ面１２６から圧力Ｐ４が加わるので、両テーパ面１１２、１２６は、傾きが異なっていても、互いに隙間なく圧着する。
【００２５】
（４）本発明の上記の実施形態によるシール構造では、継手１００の筒状本体１１０が周壁端部に環状溝１１１を含み、スリーブ１２０が第１周壁端部１２１に環状突起１２３を含む。逆に、筒状本体が環状突起を含み、スリーブが環状溝を含んでいてもよい。
【００２６】
図３の（ａ）は、シール構造の第１変形例を示す縦断面図である。この図は、そのシール構造のうち、図２の（ａ）が示す破線部に対応する部分を拡大したものである。筒状本体１１０は周壁端部に環状突起３１１を含む。この環状突起３１１は、筒状本体１１０の周全体から軸方向（Ｙ軸の正方向）へ突出している。スリーブ１２０は第１周壁端部１２１に、その周に沿った環状溝３２１を含む。環状突起３１１は環状溝３２１に圧入されている。環状突起３１１は環状溝３２１よりも径方向の幅がわずかに大きいので、環状突起３１１が環状溝３２１に圧入されることにより環状突起３１１の外周面と内周面とのそれぞれに対して環状溝３２１の内面から径方向の圧力Ｐ５が加わる。これにより、環状突起３１１の外周面と内周面とがそれぞれ、環状溝３２１の内周面と外周面とに隙間なく圧着する。
【００２７】
このシール構造では、筒状本体１１０の周壁端部が第１テーパ面３１２と第２テーパ面３１３とを含み、スリーブ１２０の第１周壁端部１２１が第１テーパ面３２２と第２テーパ面３２３とを含む。筒状本体１１０の第１テーパ面３１２は環状突起３１１の内径側に位置し、筒状本体１１０の軸方向に沿って外側（Ｙ軸の正側）へ向かうにつれて径が狭まるように、軸方向（Ｙ軸方向）に対して傾斜している。筒状本体１１０の第２テーパ面３１３は環状突起３１１の外径側に位置し、筒状本体１１０の軸方向に沿って外側（Ｙ軸の正側）へ向かうにつれて径が広がるように、軸方向（Ｙ軸方向）に対して傾斜している。スリーブ１２０の第１テーパ面３２２は環状溝３２１の内径側に位置し、スリーブ１２０の軸方向に沿って外側（Ｙ軸の正側）へ向かうにつれて径が狭まるように、軸方向（Ｙ軸方向）に対して傾斜している。スリーブ１２０の第２テーパ面３２３は環状溝３２１の外径側に位置し、スリーブ１２０の軸方向に沿って外側（Ｙ軸の正側）へ向かうにつれて径が広がるように、軸方向（Ｙ軸方向）に対して傾斜している。筒状本体１１０にスリーブ１２０が組み合わされた状態では、筒状本体１１０の第１テーパ面３１２とスリーブ１２０の第１テーパ面３２２とは傾きが等しく、筒状本体１１０の第２テーパ面３１３とスリーブ１２０の第２テーパ面３２３とは傾きが等しい。すなわち、筒状本体１１０にナット１３０がねじ込まれると、両方の第１テーパ面３１２、３２２は互いに全体が接触し、両方の第２テーパ面３１３、３２３は互いに全体が接触する。なお、すでに述べたように、筒状本体１１０からスリーブ１２０が分離された状態では、筒状本体１１０の第１テーパ面３１２とスリーブ１２０の第１テーパ面３２２とは傾きが等しくても異なっていてもよく、筒状本体１１０の第２テーパ面３１３とスリーブ１２０の第２テーパ面３２３とは傾きが等しくても異なっていてもよい。ナット１３０の第２部分がチューブ３００へ与える圧力Ｐ１とチューブ３００がスリーブ１２０の膨出部１２５へ与える圧力Ｐ３とにより、筒状本体１１０の第１テーパ面３１２にはスリーブ１２０の第１テーパ面３２２から圧力Ｐ６が加わり、筒状本体１１０の第２テーパ面３１３にはスリーブ１２０の第２テーパ面３２３から圧力Ｐ７が加わる。したがって、第１テーパ面３１２、３２２同士が互いに隙間なく圧着し、第２テーパ面３１３、３２３同士が互いに隙間なく圧着する。こうして、筒状本体１１０とスリーブ１２０との間の境界が密閉される。
【００２８】
（５）本発明の上記の実施形態によるスリーブ１２０では、フランジ１２４が筒状本体１１０から間隔を開けて設けられている。これにより、たとえばナット１３０が増し締め等で筒状本体１１０に過剰に締め付けられても、フランジ１２４が筒状本体１１０に接触することがない。なお、フランジ１２４が筒状本体１１０から間隔を開けて設けられていることは必須ではなく、フランジ１２４が筒状本体１１０と接触していてもよい。その他に、フランジ１２４と筒状本体１１０との間にも、テーパ面を利用したシール構造が形成されてもよい。
【００２９】
図３の（ｂ）は、シール構造の第２変形例を示す縦断面図である。この図は、そのシール構造のうち、図２の（ａ）が示す破線部に対応する部分を拡大したものである。筒状本体１１０は環状溝１１１の外径側に、その周に沿って形成された環状のテーパ溝４１１を含み、スリーブ１２０のフランジ１２４は筒状本体１１０側の端面に、その周全体から軸方向（Ｙ軸の負方向）へ突出した環状のテーパ突起４２１を含む。筒状本体１１０のテーパ溝４１１は、筒状本体１１０の軸方向に沿って外側（Ｙ軸の正側）へ向かうにつれて径が狭まるように、軸方向（Ｙ軸方向）に対して傾斜している。スリーブ１２０のテーパ突起４２１は、スリーブ１２０の軸方向に沿って外側（Ｙ軸の正側）へ向かうにつれて径が狭まるように、軸方向（Ｙ軸方向）に対して傾斜している。筒状本体１１０にスリーブ１２０が組み合わされた状態では、筒状本体１１０のテーパ溝４１１とスリーブ１２０のテーパ突起４２１とは傾きが等しい。（なお、筒状本体１１０からスリーブ１２０が分離された状態では、筒状本体１１０のテーパ溝４１１とスリーブ１２０のテーパ突起４２１とは傾きが等しくても異なっていてもよい。）筒状本体１１０にナット１３０がねじ込まれると、テーパ溝４１１にはテーパ突起４２１が圧入される。さらに、ナット１３０の第２部分がチューブ３００へ与える圧力Ｐ１とチューブ３００がスリーブ１２０の膨出部１２５へ与える圧力Ｐ３とにより、テーパ溝４１１にはテーパ突起４２１から圧力Ｐ８が加わる。したがって、テーパ溝４１１にテーパ突起４２１が隙間なく圧着する。こうして、筒状本体１１０とスリーブ１２０との間のシール性を更に向上させることができる。
【００３０】
（６）本発明の上記の実施形態による継手１００の樹脂材料は、フッ素樹脂には限られない。その他に、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリアセタール、ポリエーテルエテルケトン、ポリフェニレンサルファイド、ポリイミド等、種々の樹脂が使用可能である。これらは、継手１００の使用分野または用途、チューブ３００の材質等に応じて適宜に選択される。
【００３１】
（７）本発明の上記の実施形態による継手１００は、半導体、液晶、または有機ＥＬの製造装置の内部以外にも、各種プラントの配管、医療・医薬分野の配管等において使用される複数の配管および機器等を接続する部材としても使用可能である。
【符号の説明】
【００３２】
１００  継手
１１０  継手の筒状本体
１１１  筒状本体の環状溝
１１２  筒状本体のテーパ面
１２０  スリーブ
１２１  スリーブの第１周壁端部
１２２  スリーブの第２周壁端部
１２３  スリーブの環状突起
１２４  スリーブのフランジ
１２５  スリーブの膨出部
１２６  スリーブのテーパ面
１３０  ナット
１３１  ナットの第１部分
１３２  ナットの第２部分
１３３  ナットの第３部分
１３４  ナットの第３部分の端部
２００  ポンプ
３００  チューブ
【図１】
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【図２】
2020085204.tif 000004
【図３】
2020085204.tif 000005