(57)【要約】【課題】超音波信号の強度向上が図られた圧電素子を提供する。【解決手段】圧電素子１は、圧電材料からなる圧電体２と、圧電体２上に設けられた電極３及び電極４と、を備える。圧電体２は、互いに対向する主面１１ａ及び主面１１ｂを有する基部１１と、主面１１ａ上に互いに離間して配列されると共に、主面１１ａと接する主面１２ａと、主面１２ａと対向する主面１２ｂと、をそれぞれ有する複数の駆動部１２と、を有する。基部１１は、複数の駆動部１２が配置された複数の第一領域Ｒ１と、互いに隣り合う第一領域Ｒ１間に配置された第二領域Ｒ２と、を有する。基部１１は、湾曲している。【選択図】図２
2020205300.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料からなる圧電体と、
前記圧電体上に設けられた第一電極及び第二電極と、を備え、
前記圧電体は、
互いに対向する第一主面及び第二主面を有する基部と、
前記第一主面上に互いに離間して配列されると共に、前記第一主面と接する第三主面と、前記第三主面と対向する第四主面と、をそれぞれ有する複数の駆動部と、を有し、
前記基部は、前記複数の駆動部が配置された複数の第一領域と、互いに隣り合う前記第一領域間に配置された第二領域と、を有し、
前記基部は、湾曲している、圧電素子。
【請求項２】
前記第二領域の前記第一主面側の端部における分極度合いは、前記第二領域の前記第二主面側の端部における分極度合いと異なっている、請求項１に記載の圧電素子。
【請求項３】
互いに隣り合う前記駆動部の前記第三主面側の端部同士の間隔は、互いに隣り合う前記駆動部の前記第四主面側の端部同士の間隔と異なっている、請求項１又は２に記載の圧電素子。
【請求項４】
前記基部は、前記第一主面が凸状となるように湾曲している、請求項１〜３のいずれか一項に記載の圧電素子。
【請求項５】
前記第二領域の前記第一主面側の端部における分極度合いは、前記第二領域の前記第二主面側の端部における分極度合いよりも小さい、請求項４に記載の圧電素子。
【請求項６】
互いに隣り合う前記駆動部の前記第三主面側の端部同士の間隔は、互いに隣り合う前記駆動部の前記第四主面側の端部同士の間隔よりも小さい、請求項４又は５に記載の圧電素子。
【請求項７】
前記第一電極は、前記第二主面上に設けられ、
前記第二電極は、前記複数の駆動部の前記第四主面上に設けられた複数の電極部分と、を有している、請求項１〜６のいずれか一項に記載の圧電素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、圧電素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、圧電材料からなる圧電体を備える圧電素子が記載されている。この圧電素子では、圧電体が、基部と、基部上に互いに離間して設けられた複数の駆動部とを有している。各駆動部に選択的に電圧を印加して超音波を励起させることにより、超音波の所望のビームパターンを得ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開昭５９−９５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば、センサとして利用するために、超音波信号の強度向上が図られた圧電素子が望まれている。
【０００５】
本開示の一側面は、超音波信号の強度向上が図られた圧電素子を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一側面に係る圧電素子は、圧電材料からなる圧電体と、圧電体上に設けられた第一電極及び第二電極と、を備え、圧電体は、互いに対向する第一主面及び第二主面を有する基部と、第一主面上に互いに離間して配列されると共に、第一主面と接する第三主面と、第三主面と対向する第四主面と、をそれぞれ有する複数の駆動部と、を有し、基部は、複数の駆動部が配置された複数の第一領域と、互いに隣り合う第一領域間に配置された第二領域と、を有し、基部は、湾曲している。
【０００７】
この圧電素子では、圧電体の基部の第一領域には、駆動部が配置されている。したがって、圧電素子の駆動時に、第一電極及び第二電極により駆動部に印加される電界は、第一領域にも一様に印加される。よって、駆動時の第一領域の変位量は、第一領域の全体にわたって一様となる。これに対し、第二領域の第一主面側には電界が印加され難い。よって、駆動時の第二領域の変位量は、第一主面側と第二主面側とで異なる。この結果、第二領域が湾曲振動し、それに伴い、基部が湾曲振動する。基部は予め湾曲しているので、予め湾曲していない基部が湾曲振動する場合に比べて、圧電素子の変位量が大きくなる。よって、圧電素子では、超音波信号の強度向上を図ることができる。
【０００８】
第二領域の第一主面側の端部における分極度合いは、第二領域の第二主面側の端部における分極度合いと異なっていてもよい。この場合、圧電体では、分極度合いが大きいほど、駆動時の変位量が大きいので、駆動時の第二領域の変位量は、第一主面側と第二主面側とで更に大きく異なる。この結果、第二領域が更に大きく湾曲振動するので、圧電素子では、超音波信号の更なる強度向上を図ることができる。
【０００９】
互いに隣り合う駆動部の第三主面側の端部同士の間隔は、互いに隣り合う駆動部の第四主面側の端部同士の間隔と異なっていてもよい。この場合、湾曲している基部に対して垂直に駆動部を配置することができる。また、伸び変形及び湾曲変形の共振周波数のバランスを変更できる。
【００１０】
基部は、第一主面が凸状となるように湾曲していてもよい。この場合、複数の駆動部を放射状に配置し易い。よって、駆動部同士が互いに接触し、損傷することが抑制できる。
【００１１】
第二領域の第一主面側の端部における分極度合いは、第二領域の第二主面側の端部における分極度合いよりも小さくてもよい。この場合、圧電体の分極処理で生じる変形の大きさは、第二領域の第一主面側の端部で、第二領域の第二主面側の端部よりも小さくなる。したがって、第一主面が凸状となるように基部を容易に湾曲させることができる。
【００１２】
互いに隣り合う駆動部の第三主面側の端部同士の間隔は、互いに隣り合う駆動部の第四主面側の端部同士の間隔よりも小さくてもよい。この場合、駆動部同士が接触し、損傷することが抑制できる。
【００１３】
第一電極は、第二主面上に設けられ、第二電極は、複数の駆動部の第四主面上に設けられた複数の電極部分と、を有していてもよい。この場合、駆動時の第二領域の変位量を、第一主面側と第二主面側とで容易に異ならせることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の一側面によれば、超音波信号の強度向上が図られた圧電素子を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】一実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。
【図２】図１のII−II線に沿っての断面図である。
【図３】圧電体の分極度合いを示す図である。
【図４】圧電体の分極度合いによる分極変形の違いを示す模式図である。
【図５】図１の圧電素子の変位量と比較例に係る圧電素子の変位量とを比較して示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照して、実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１７】
図１は、一実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。図２は、図１のII−II線に沿っての断面図である。図１及び図２に示される圧電素子１は、例えば、ＳＵＳ（ステンレス鋼）等の金属板からなる振動板（不図示）に貼り合わされてセンサとして使用される。圧電素子１は、例えば、超音波を送受信して車間距離を検知する車載用センサ、又は複写機のトナーの量を検知する粉体レベルセンサ等に使用される。圧電素子１は、圧電体２と、電極３と、電極４と、を備えている。
【００１８】
圧電体２は、例えば、直方体形状を呈している。直方体形状には、角部及び稜線部が面取りされている直方体の形状、及び、角部及び稜線部が丸められている直方体の形状が含まれる。圧電体２は、その外表面として、互いに対向する主面２ａ及び主面２ｂと、互いに対向する一対の側面２ｃと、互いに対向する一対の側面２ｄと、を有している。
【００１９】
主面２ａ及び主面２ｂが互いに対向する方向Ｄ１と、一対の側面２ｃが互いに対向する方向Ｄ２と、一対の側面２ｄが互いに対向する方向Ｄ３とは、互いに交差（例えば、直交）している。主面２ａ及び主面２ｂは、後述のように湾曲している。このため、主面２ａ及び主面２ｂの対向方向は、主面２ａ及び主面２ｂの位置によって変わり得る。そこで、方向Ｄ１は、例えば、主面２ａの重心及び主面２ｂの重心が互いに対向する方向、又は、方向Ｄ２及び方向Ｄ３と直交する方向として規定されてもよい。圧電体２の方向Ｄ１の長さは、例えば、３ｍｍであり、圧電体２の方向Ｄ２の長さは、例えば、８ｍｍであり、圧電体２の方向Ｄ３の長さは、例えば８ｍｍである。
【００２０】
圧電体２は、基部１１と、複数（ここでは４つ）の駆動部１２と、を有している。基部１１は、互いに対向する主面１１ａ及び主面１１ｂを有している。主面１１ａ及び主面１１ｂが互いに対向する方向は、方向Ｄ１と一致している。基部１１は、湾曲している。基部１１は、主面１１ａが凸状となり、主面１１ｂが凹状となるように湾曲している。基部１１は、例えば、後述の分極処理によって湾曲している。主面１１ａは、主面２ｂを構成している。
【００２１】
複数の駆動部１２は、主面１１ａ上に互いに離間して配列されている。複数の駆動部１２は、方向Ｄ３に沿って配列されている。駆動部１２は、主面１１ａから突出している。駆動部１２は、主面１１ａと接している主面１２ａと、主面１２ａと対向する主面１２ｂと、を有している。主面１２ａ及び主面１２ｂが互いに対向する方向（すなわち、駆動部１２が主面１１ａから突出している方向）は、方向Ｄ１と概ね一致し、主面１１ａと直交している。方向Ｄ２から見て、駆動部１２は、放射状に主面１１ａに設けられている。複数の駆動部１２の主面１２ｂは、主面２ａを構成している。
【００２２】
複数の駆動部１２は、圧電素子１に設けられた複数（ここでは３つ）のスリット５を介して互いに離間している。複数のスリット５は、方向Ｄ３において等間隔で並んでいる。スリット５は、主面２ａを分割している。スリット５は、方向Ｄ２に延び、一方の側面２ｃから他方の側面２ｃに至っている。スリット５の底面は、主面１１ａの一部を構成している。
【００２３】
スリット５は、例えば、圧電素子１がセンサに使用される場合に、センシングのための共振周波数及びインピーダンス波形等を調整するために設けられている。具体的には、スリット５は、駆動部１２の拡がり振動の共振を抑制するために設けられている。駆動部１２の拡がり振動とは、駆動部１２の方向Ｄ３の振動で、基部１１が湾曲振動することで、駆動部１２同士が互いに離れ合ったり、近づきあったりする振動である。スリット５によれば、駆動部１２の縦方向（方向Ｄ１）の振動の共振周波数に、駆動部１２の拡がり振動の共振周波数が混ざり難い。よって、駆動部１２の縦方向（方向Ｄ１）の振動の共振周波数、及び、基部１１の拡がり振動の共振周波数の２種類をセンシングに利用し易くなる。スリット５には、例えば、シリコーン、ウレタン、エポキシなどの充填剤が充填されていないので、駆動部１２の拡がり振動の共振を十分に減衰することができる。これにより、超音波信号の発信が阻害され難い。
【００２４】
複数の駆動部１２の主面１１ａからの突出高さは、互いに同等であり、例えば２．６ｍｍである。複数のスリット５の深さは、互いに同等であり、複数の駆動部１２の主面１１ａからの突出高さと一致している。複数のスリット５の底面と主面２ｂとの間隔は、互いに同等であり、例えば０．４ｍｍである。スリット５の方向Ｄ２の長さは、圧電体２の方向Ｄ２の長さと一致しており、例えば８ｍｍである。
【００２５】
互いに隣り合う駆動部１２の主面１２ａ側の端部同士の間隔Ｌ１は、互いに隣り合う駆動部１２の主面１２ｂ側の端部同士の間隔Ｌ２と異なっている。間隔Ｌ１は、間隔Ｌ２よりも小さい。間隔Ｌ１は、例えば、１５０μｍである。間隔Ｌ２は、例えば、３００μｍである。間隔Ｌ１と間隔Ｌ２との差は、例えば、１５０μｍである。互いに隣り合う駆動部１２同士の間隔は、駆動部１２の主面１２ａ側の端部から駆動部１２の主面１２ｂの端部に向かうにつれて変化している。互いに隣り合う駆動部１２同士の間隔は、駆動部１２の主面１２ａ側の端部から駆動部１２の主面１２ｂの端部に向かうにつれて徐々に長くなっている。
【００２６】
基部１１は、複数（ここでは４つ）の第一領域Ｒ１と、１又は複数（ここでは３つ）の第二領域Ｒ２と、を有している。複数の第一領域Ｒ１上には、複数の駆動部１２が配置されている。第二領域Ｒ２は、互いに隣り合う第一領域Ｒ１間に配置されている。複数の第一領域Ｒ１及び複数の第二領域Ｒ２は、方向Ｄ３において交互に配列されている。各第一領域Ｒ１及び各第二領域Ｒ２は、主面１１ａの一部と、主面１１ｂの一部と、を有している。第二領域Ｒ２の主面１１ａは、スリット５の底面である。
【００２７】
圧電体２は、圧電材料からなる。本実施形態では、圧電体２は、圧電セラミック材料からなる。圧電セラミック材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とし、Ｎｂ、Ｚｎ、Ｎｉ又はＳｒ等の元素が添加されたものが挙げられる。
【００２８】
図３は、圧電体の分極度合いを示す図である。圧電体２は、方向Ｄ１に分極されている。駆動部１２は、駆動部１２の全体にわたって一様（均一）に分極されている。すなわち、駆動部１２の分極度合い（分極度）は、駆動部１２の全体にわたって一様である。分極度合いは、圧電セラミックスの結晶粒における自発分極の方向が揃っているほど高くなる。図３では、分極度合いが高い部分ほど濃色で示され、分極度合いが低い部分ほど淡色で示されている。未分極の場合は、自発分極の方向がランダムであり、分極度合いが低いので、白色で示される。
【００２９】
第一領域Ｒ１は、第一領域Ｒ１の全体にわたって一様に分極され、自発分極の方向が揃っている。よって、第一領域Ｒ１の分極度合いは、第一領域Ｒ１の全体にわたって一様である。第一領域Ｒ１の分極度合いは、駆動部１２の分極度合いと同等である。これに対し、第二領域Ｒ２の分極度合いは、第二領域Ｒ２の位置によって異なっている。第二領域Ｒ２の主面１１ａ側の端部における分極度合いは、第二領域Ｒ２の主面１１ｂ側の端部における分極度合いと異なっている。
【００３０】
第二領域Ｒ２の主面１１ａ側の端部における分極度合いは、第二領域Ｒ２の主面１１ｂ側の端部における分極度合いよりも小さい。第二領域Ｒ２の主面１１ａ側の端部における分極度合いは、例えば、未分極の場合と同等である。第二領域Ｒ２の主面１１ｂ側の端部における分極度合いは、例えば、駆動部１２及び第一領域Ｒ１の分極度合いと同等である。第二領域Ｒ２の分極度合いは、主面１１ｂから主面１１ａに向かうにつれて徐々に小さくなっている。
【００３１】
図１及び図２に示されるように、電極３及び電極４は、圧電体２上に設けられている。電極３は、主面２ａに設けられている。電極３は、複数の駆動部１２の主面１２ｂ上に設けられた複数（ここでは４つ）の電極部分３１を有している。電極部分３１は、主面１２ｂの全体を覆っている。電極３は、複数のスリット５により分割されている。複数の電極部分３１は、スリット５を介して互いに離間している。電極４は、主面２ｂ上に設けられている。電極４は、主面２ｂの全体を覆っている。
【００３２】
電極３及び電極４は、例えば、Ａｇ等の導電性材料からなる。導電性材料として、Ｐｄ、Ａｇ−Ｐｄ合金、Ａｕ、Ｐｔ、又はＮｉ等が用いられてもよい。電極３及び電極４は、例えば、導電性材料を含む導電性ペーストを圧電体２の表面に付与し、焼き付けることにより形成される。電極３及び電極４は、スパッタリング法、又は無電解メッキ法等により形成されてもよい。電極３及び電極４の厚さ（方向Ｄ１の長さ）は、例えば同等である。電極３及び電極４の厚さは、例えば５μｍである。
【００３３】
圧電素子１の製造方法の一例について説明する。まず、圧電体２の構成材料である圧電セラミック材料を顆粒状の粉末に加工する。続いて、圧電セラミック材料の粉末に、ポリビニール系バインダ及び水等を加え、圧電セラミックスのペーストを形成する。次に、圧電セラミックスのペーストを所定の大きさの金型に充填し、プレス成形する。これにより、セラミックグリーンが得られる。続いて、セラミックグリーンに脱バインダ処理を施す。脱バインダ処理は、例えば、セラミックグリーンをマグネシア等で構成されたセッターに載置した状態で、加熱処理することにより施される。続いて、セラミックグリーンを焼成する。これにより、圧電体が得られる。焼成は、例えば、セラミックグリーンをマグネシアで構成された密閉匣鉢に入れて行われる。焼成温度は、例えば１２００℃である。焼成時間は、例えば２時間程度である。
【００３４】
次に、圧電体を所定の厚さに研磨する。続いて、導電性ペーストを圧電体の両主面に付与する。導電性ペーストは、例えば、Ａｇ等の導電性材料の粉末にバインダ、可塑剤及び有機溶剤等を加えることにより形成される。導電性ペーストは、例えばスクリーン印刷により圧電体に塗布される。続いて、圧電体の一方の主面側にスリット加工を施す。これにより、基部及び複数の駆動部に対応する部分が形成されると共に、圧電体の一方の主面に設けられた導電性ペーストが複数部分に分割される。その後、例えば、６００℃程度で加熱処理を行い、導電性ペーストを焼き付ける。これにより、電極３及び電極４が形成された圧電素子が得られる。
【００３５】
続いて、圧電素子に分極処理を施す。分極処理は、例えば、１２０℃の温度下で、電界強度２ｋＶ／ｍｍの電圧を圧電素子の電極３及び電極４に３０分間印加することにより行われる。分極処理は、例えば、シリコーン油中で行われる。この場合、電極３及び電極４間の放電が起こらないため、分極処理が行い易い。シリコーン油は、例えば、洗浄剤を用いた超音波洗浄等によって、圧電素子から除去することができる。
【００３６】
分極処理の際、第一領域Ｒ１及び駆動部１２に対応する部分には、その全体にわたって、方向Ｄ１の電界が一様に印加される。これにより、第一領域Ｒ１及び駆動部１２に対応する部分は、その全体にわたって、方向Ｄ１に一様に分極され、分極度合いが一様な第一領域Ｒ１及び駆動部１２となる。これに対し、第二領域Ｒ２に対応する部分には、位置によって電界の向きや強度が異なる電界が印加される。これにより、第二領域Ｒ２に対応する部分は、一様には分極されず、分極度合いが位置により異なった第二領域Ｒ２となる。特に、スリットの底面である主面１１ａ側には、ほとんど電界が印加されないので、分極度合いが小さく、未分極に近い状態となる。
【００３７】
図４は、圧電体の分極度合いによる分極変形の違いを示す模式図である。図４では、図３と同様に、分極度合いが高い部分ほど濃色で示され、分極度合いが低い部分ほど淡色で示されている。図４（ａ）、図４（ｂ）、及び図４（ｃ）では、この順に分極度合いが高くなっている。図４（ａ）は、未分極の場合である。圧電体２では、上述の分極処理により、分極方向（縦方向）に伸びると共に、分極方向に直交する方向（横方向）に縮むような変形（分極変形）が生じる。分極変形は、圧電体２に印加した電界を０に戻しても残る変形（残留歪）を指す。図４に示されるように、圧電体２では、分極度合いが大きいほど、大きな分極変形が生じる。
【００３８】
第二領域Ｒ２の主面１１ａ側（スリット５の底面側）の端部における分極度合いは、第二領域Ｒ２の主面１１ｂ側の端部における分極度合いよりも小さい。したがって、第二領域Ｒ２の主面１１ａ側の端部における分極変形は、第二領域Ｒ２の主面１１ｂ側の端部における分極変形よりも小さい。この結果、基部１１は、特に第二領域Ｒ２において、主面１１ａ側が凸状、主面１１ｂ側が凹状となるように湾曲している。
【００３９】
図５は、図１の圧電素子の変位量と比較例に係る圧電素子の変位量とを比較して示す模式図である。図５に示されるように、比較例に係る圧電素子１００は、電界を印加していない状態（０Ｖ印加の状態）において基部が湾曲していない点で、圧電素子１と相違している。圧電素子１００は、例えば、分極処理後にスリット加工を施すことにより形成される。この場合、分極処理の際、第二領域となる部分にも、第一領域及び駆動部となる部分と同様に、電界が一様に印加される。よって、比較例の圧電体では、第二領域も含めた全体にわたって、分極度合いが一様になる。この結果、基部が湾曲していない。
【００４０】
図５では、圧電素子１及び圧電素子１００に対し、分極方向と逆の向きの電界を印加した状態（−１０Ｖ印加の状態）と、電界を印加していない状態（０Ｖ印加の状態）と、分極方向と同じ向きの電界を印加した状態（＋１０Ｖ印加の状態）と、が比較して示されている。図５に示されるように、圧電素子１では、基部１１（図１参照）が予め湾曲されているため、圧電素子１の変位量ｄ１は、基部が予め湾曲されていない圧電素子１００の変位量ｄ２に比べて大きくなる。この結果、超音波信号の強度向上を図ることができる。
【００４１】
以上説明したように、圧電素子１では、圧電体２の基部１１の第一領域Ｒ１には、駆動部１２が配置されている。したがって、圧電素子１の駆動時に、電極３及び電極４により駆動部１２に印加される電界は、第一領域Ｒ１にも一様に印加される。よって、駆動時の第一領域Ｒ１の変位量は、第一領域Ｒ１の全体にわたって一様となる。これに対し、第二領域Ｒ２の主面１１ａ側には電極が配置されていないため、電界が印加され難い。よって、駆動時の第二領域Ｒ２の変位量は、主面１１ａ側と主面１１ｂ側とで異なる。この結果、第二領域Ｒ２が湾曲振動し、それに伴い、基部１１が湾曲振動する。圧電素子１では、基部１１は予め湾曲している。したがって、上述のように、予め湾曲していない基部が湾曲振動する圧電素子１００に比べて、圧電素子１の変位量が大きくなる。よって、圧電素子１では、超音波信号の強度向上を図ることができる。
【００４２】
第二領域Ｒ２の主面１１ａ側の端部における分極度合いは、第二領域Ｒ２の主面１１ｂ側の端部における分極度合いと異なっている。圧電体２では、分極度合いが大きいほど、駆動時の変位量が大きいので、駆動時の第二領域Ｒ２の変位量は、主面１１ａ側と主面１１ｂ側とで更に大きく異なる。この結果、第二領域Ｒ２が更に大きく湾曲振動するので、圧電素子１では、超音波信号の更なる強度向上を図ることができる。
【００４３】
圧電体２の分極処理で生じた分極変形の大きさは、分極度合いが大きいほど大きくなる。したがって、第二領域Ｒ２の主面１１ａ側の端部と第二領域Ｒ２の主面１１ｂ側の端部とでは、分極度合いが異なることにより、分極処理で生じた分極変形の大きさが異なる。よって、分極処理で第二領域Ｒ２を湾曲させ、その結果、基部１１を湾曲させた状態に容易にすることができる。
【００４４】
間隔Ｌ１は、間隔Ｌ２と異なっている。このため、湾曲している基部１１に対して垂直に駆動部１２を配置することができる。また、伸び変形及び湾曲変形の共振周波数のバランスを変更できる。よって、使用する周波数や形態に応じた最適化が可能となる。
【００４５】
基部１１は、主面１１ａが凸状となるように湾曲している。このため、複数の駆動部１２を放射状に配置し易い。よって、駆動部１２同士が互いに接触し、損傷することが抑制できる。
【００４６】
第二領域Ｒ２の主面１１ａ側の端部における分極度合いは、第二領域Ｒ２の主面１１ｂ側の端部における分極度合いよりも小さい。このため、圧電体２の分極処理で生じた分極変形の大きさは、第二領域Ｒ２の主面１１ａ側の端部で、第二領域Ｒ２の主面１１ｂ側の端部よりも小さくなる。したがって、主面１１ａが凸状となるように基部１１を容易に湾曲させることができる。
【００４７】
間隔Ｌ１は、間隔Ｌ２よりも小さい。このため、駆動部１２同士が接触し、損傷することが抑制できる。
【００４８】
電極４は、主面１１ｂ上に設けられ、電極３は、複数の駆動部１２の主面１２ｂ上に設けられた複数の電極部分３１と、を有している。このため、駆動時の第二領域Ｒ２の変位量を、主面１１ａ側と主面１１ｂ側とで容易に異ならせることができる。
【００４９】
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
【００５０】
例えば、基部１１は、主面１１ａが凹状となり、主面１１ｂが凸状となるように湾曲していてもよい。基部１１は、第二領域Ｒ２の分極変形が主面１１ａ側と主面１１ｂ側とで異なることにより、湾曲しているが、これ以外の方法により湾曲していてもよい。したがって、第二領域Ｒ２の分極度合いは、第二領域Ｒ２の全体にわたって一様であってもよい。
【００５１】
複数の駆動部１２の数及び複数の第一領域Ｒ１は、それぞれ２つ以上であればよく、第二領域Ｒ２の数及び圧電体２に設けられるスリット５の数は、１つであってもよい。複数の駆動部１２は、例えば互いに異なる形状を呈していてもよい。複数の第一領域Ｒ１は、例えば互いに異なる形状を呈していてもよい。圧電素子１の製造方法では、スリット加工は分極工程前に行われればよく、導電性ペーストを焼き付けて電極３，４を形成した後に行われてもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１…圧電素子、２…圧電体、３…電極（第二電極）、３１…電極部分、４…電極（第一電極）、１１…基部、１１ａ…主面（第一主面）、１１ｂ…主面（第二主面）、１２…駆動部、１２ａ…主面（第三主面）、１２ｂ…主面（第四主面）、Ｒ１…第一領域、Ｒ２…第二領域。
【図１】
2020205300.tif 000003
【図２】
2020205300.tif 000004
【図３】
2020205300.tif 000005
【図４】
2020205300.tif 000006
【図５】
2020205300.tif 000007