(57)【要約】【課題】発光素子アレイチップの信頼性を向上させる。【解決手段】発光素子アレイチップ１０１は、アノード端子である第１の端子１１、カソード端子である第２の端子１２及びゲート端子である第３の端子１３を有する発光サイリスタ１０＿１…と、発光サイリスタ１０＿１…の第１の端子１１に電気的に接続された発光用電極パッド４１と、アノード端子である第４の端子３１及びカソード端子である第５の端子３２を有するダイオード３０＿１…と、複数の第４の端子３１に電気的に接続された検査用電極パッド４７とを有し、ダイオード３０＿１…の複数の第５の端子３２のうちの１個の第５の端子が発光サイリスタ１０＿１…の複数の第３の端子１３のうちのＭ（Ｍは１以上の整数）個の第３の端子に電気的に接続されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アノード端子である第１の端子、カソード端子である第２の端子及びゲート端子である第３の端子を有する複数の発光サイリスタと、
前記複数の発光サイリスタの複数の第１の端子に電気的に接続された発光用電極パッドと、
アノード端子である第４の端子及びカソード端子である第５の端子を有する複数のダイオードと、
前記複数のダイオードの複数の第４の端子に電気的に接続された検査用電極パッドと
を有し、
前記複数のダイオードの複数の第５の端子のうちの１個の第５の端子が前記複数の発光サイリスタの複数の第３の端子のうちのＭ（Ｍは１以上の整数）個の第３の端子に電気的に接続されている
ことを特徴とする発光素子アレイチップ。
【請求項２】
前記複数の発光サイリスタを順次点灯可能状態にする複数のスイッチ素子を有する走査回路部をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項３】
前記複数の発光サイリスタは、第１のグループに属する複数の第１の発光サイリスタと前記第１のグループとは異なる第２のグループに属する複数の第２の発光サイリスタとを有し、
前記複数のスイッチ素子は、前記第１のグループに属する複数の第１のスイッチ素子と前記第２のグループに属する複数の第２のスイッチ素子とを有し、
前記複数のダイオードは、前記第１のグループに属する複数の第１のダイオードと前記第２のグループに属する複数の第２のダイオードとを有し、
前記検査用電極パッドは、前記第１のグループに属する第１の検査用電極パッドと前記第２のグループに属する第２の検査用電極パッドとを有し、
前記複数の第１のダイオードの複数の第５の端子は前記複数の第１の発光サイリスタの複数の第３の端子にそれぞれ電気的に接続され、
前記複数の第２のダイオードの複数の第５の端子は前記複数の第２の発光サイリスタの複数の第３の端子にそれぞれ電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項２に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項４】
前記複数の発光サイリスタの複数の第２の端子は駆動用端子に接続されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項５】
前記複数の発光サイリスタは、第１のグループに属する複数の第１の発光サイリスタと前記第１のグループとは異なる第２のグループに属する複数の第２の発光サイリスタとを有し、
前記複数のダイオードの前記複数の第５の端子は、前記複数の第１の発光サイリスタの複数の第３の端子にそれぞれ電気的に接続され、前記複数の第２の発光サイリスタの複数の第３の端子にそれぞれ電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項２に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項６】
前記複数の第１の発光サイリスタの複数の第２の端子は第１の駆動用端子に接続され、
前記複数の第２の発光サイリスタの複数の第２の端子は前記第１の駆動用端子とは異なる第２の駆動用端子に接続されている
ことを特徴とする請求項５に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項７】
走査用電極パッドをさらに有し、
前記複数のスイッチ素子は、複数の走査サイリスタであり、
前記複数の走査サイリスタの各々は、アノード端子である第６の端子、カソード端子である第７の端子及びゲート端子である第８の端子を有し、
前記複数の走査サイリスタの複数の第６の端子は前記走査用電極パッドに電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項２から６のいずれか１項に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項８】
前記複数のスイッチ素子の動作を制御するとともに、前記複数の発光サイリスタのうちの点灯可能状態の発光サイリスタに駆動電流を供給する駆動回路部をさらに有することを特徴とする請求項２から７のいずれか１項に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項９】
前記駆動回路部は、前記駆動電流を供給している期間中は、前記検査用電極パッドをハイインピーダンス状態にすることを特徴とする請求項８に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか１項に記載の発光素子アレイチップを有することを特徴とする光プリントヘッド。
【請求項１１】
請求項２から７のいずれか１項に記載の発光素子アレイチップと、
前記複数のスイッチ素子の動作を制御するとともに、前記複数の発光サイリスタのうちの点灯可能状態の発光サイリスタに駆動電流を供給する駆動回路部と
を有することを特徴とする光プリントヘッド。
【請求項１２】
前記駆動回路部は、前記駆動電流を供給している期間中は、前記検査用電極パッドをハイインピーダンス状態にすることを特徴とする請求項１１に記載の光プリントヘッド。
【請求項１３】
請求項１０から１２のいずれか１項に記載の光プリントヘッドを有することを特徴とする画像形成装置。
【請求項１４】
請求項２から９のいずれか１項に記載の発光素子アレイチップを検査する方法であって、
前記走査回路部に電気的に接続された端子をハイインピーダンス状態にし、前記第２の端子をハイインピーダンス状態にし、前記検査用電極パッドに第１の電圧を印加し、前記発光用電極パッドに前記第１の電圧より低い第２の電圧を印加することによって検査状態を構成するステップと、
前記検査状態において前記検査用電極パッドから前記発光用電極パッドに流れる電流を検出するステップと
を有することを特徴とする発光素子アレイチップの検査方法。
【請求項１５】
検出された前記電流が予め定められた閾値を超えた場合に前記複数の発光サイリスタのいずれかにリークパスが存在すると判定するステップをさらに有することを特徴とする請求項１４に記載の発光素子アレイチップの検査方法。
【請求項１６】
請求項７に記載の発光素子アレイチップの検査方法であって、
前記走査回路部に電気的に接続された端子のうちの前記走査用電極パッドに電気的に接続された端子以外の端子をハイインピーダンス状態にし、前記第１の端子及び前記第２の端子をハイインピーダンス状態にし、前記検査用電極パッドに第１の電圧を印加し、前記走査用電極パッドに前記第１の電圧より低い第２の電圧を印加することによって検査状態を構成するステップと、
前記検査状態において前記検査用電極パッドから前記検査用電極パッドに流れる電流を検出するステップと
を有することを特徴とする発光素子アレイチップの検査方法。
【請求項１７】
検出された前記電流が予め定められた閾値を超えた場合に前記複数の走査サイリスタのいずれかにリークパスが存在すると判定するステップをさらに有することを特徴とする請求項１６に記載の発光素子アレイチップの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光素子アレイチップ、発光素子アレイチップを有する光プリントヘッド、光プリントヘッドを有する画像形成装置、及び発光素子アレイチップの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の発光サイリスタと、複数の発光サイリスタを順次点灯可能状態にする複数の走査サイリスタとを備えた発光素子アレイチップが提案されている（例えば、特許文献１参照）。点灯可能状態である発光サイリスタは、アノードとカソードの間に流れる電流の値に応じた発光パワーで発光する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１８−３７６５５号公報（例えば、段落０１７８〜０２１５、図１８、図１９）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、発光素子アレイチップにおいて検査すべき項目として、発光サイリスタの端子間に流れるリーク電流がある。リーク電流は、発光サイリスタを形成するエピタキシャル膜の各層の結晶欠陥、各層における配線金属の拡散、などによって想定外のリークパスが形成される場合に増大する。また、発光素子アレイチップのリーク電流が比較的微弱であっても、これを使用し続けることでリークパスが拡大し、発光素子アレイチップが動作不良を起こす場合がある。リークパスの発生自体を完全になくすることは困難である。したがって、リーク電流をプロービングによって検出し、動作不良を生じさせる可能性のあるリークパスが発見された発光素子アレイチップを使用しないことが、製品の信頼性を向上させるために重要である。
【０００５】
本発明は、発光素子アレイチップの信頼性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る発光素子アレイチップは、アノード端子である第１の端子、カソード端子である第２の端子及びゲート端子である第３の端子を有する複数の発光サイリスタと、前記複数の発光サイリスタの複数の第１の端子に電気的に接続された発光用電極パッドと、アノード端子である第４の端子及びカソード端子である第５の端子を有する複数のダイオードと、前記複数のダイオードの複数の第４の端子に電気的に接続された検査用電極パッドとを有し、前記複数のダイオードの複数の第５の端子のうちの１個の第５の端子が前記複数の発光サイリスタの複数の第３の端子うちのＭ（Ｍは１以上の整数）個の第３の端子に電気的に接続されていることを特徴とする。
【０００７】
本発明の他の態様に係る発光素子アレイチップの検査方法は、アノード端子である第１の端子、カソード端子である第２の端子及びゲート端子である第３の端子を有する複数の発光サイリスタと、前記複数の発光サイリスタを順次点灯可能状態にする複数のスイッチ素子を有する走査回路部と、前記複数の発光サイリスタの複数の第１の端子に電気的に接続された発光用電極パッドと、アノード端子である第４の端子及びカソード端子である第５の端子を有する複数のダイオードと、前記複数のダイオードの複数の第４の端子に電気的に接続された検査用電極パッドとを有し、前記複数のダイオードの複数の第５の端子のうちの１個の第５の端子が前記複数の発光サイリスタの複数の第３の端子うちのＭ（Ｍは１以上の整数）個の第３の端子に電気的に接続されている発光素子アレイチップを検査する方法であって、
前記走査回路部に電気的に接続された端子をハイインピーダンス状態にし、前記第２の端子をハイインピーダンス状態にし、前記検査用電極パッドに第１の電圧を印加し、前記発光用電極パッドに前記第１の電圧より低い第２の電圧を印加することによって検査状態を構成するステップと、前記検査状態において前記検査用電極パッドから前記発光用電極パッドに流れる電流を検出するステップとを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、発光素子アレイチップの信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係る発光素子アレイチップの構造を概略的に示す平面図及び断面図である。
【図２】第１の実施形態に係る発光素子アレイチップの回路構成及び走査回路部によって行われる自己走査時の状態を示す図である。
【図３】第１の実施形態に係る発光素子アレイチップの発光サイリスタの検査時の状態及び発生し得るリーク電流を示す図である。
【図４】第１の実施形態に係る発光素子アレイチップの走査サイリスタの検査時の状態及び発生し得るリーク電流を示す図である。
【図５】（Ａ）は、第１の実施形態に係る発光素子アレイチップの発光サイリスタの検査時の動作を示すフローチャートであり、（Ｂ）は、第１の実施形態に係る発光素子アレイチップの走査サイリスタの検査時の動作を示すフローチャートである。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る発光素子アレイチップの回路構成及び走査回路部によって行われる自己走査時の状態を示す図である。
【図７】第２の実施形態に係る発光素子アレイチップの発光サイリスタの検査時の状態及び発生し得るリーク電流を示す図である。
【図８】第２の実施形態に係る発光素子アレイチップの発光サイリスタの検査時の動作を示すフローチャートである。
【図９】第２の実施形態に係る発光素子アレイチップの走査サイリスタの検査時の状態及び発生し得るリーク電流を示す図である。
【図１０】第２の実施形態に係る発光素子アレイチップの走査サイリスタの検査時の動作を示すフローチャートである。
【図１１】本発明の第３の実施形態に係る発光素子アレイチップの回路構成及び走査回路部によって行われる自己走査時の状態を示す図である。
【図１２】第３の実施形態に係る発光素子アレイチップの発光サイリスタの検査時の状態及び発生し得るリーク電流を示す図である。
【図１３】第３の実施形態に係る発光素子アレイチップの走査サイリスタの検査時の状態及び発生し得るリーク電流を示す図である。
【図１４】（Ａ）は、第３の実施形態に係る発光素子アレイチップの発光サイリスタの検査時の動作を示すフローチャートであり、（Ｂ）は、第３の実施形態に係る発光素子アレイチップの走査サイリスタの検査時の動作を示すフローチャートである。
【図１５】本発明の第４の実施形態に係る光プリントヘッドの構成を概略的に示す断面図である。
【図１６】第４の実施形態に係る光プリントヘッドの要部の構成を概略的に示す平面図である。
【図１７】本発明の第５の実施形態に係る画像形成装置の構造を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本発明の実施の形態に係る発光素子アレイチップ、光プリントヘッド、画像形成装置、及び発光素子アレイチップの検査方法を、図面を参照しながら説明する。以下の実施の形態は、例にすぎず、本発明の範囲内で種々の変更が可能である。
【００１１】
《１》第１の実施形態
《１−１》構成
図１（Ａ）及び（Ｂ）は、第１の実施形態に係る発光素子アレイチップ１０１の構造を概略的に示す平面図及び断面図である。図１（Ｂ）は、図１（Ａ）をＩ−Ｉ線で切る断面を示している。
【００１２】
発光素子アレイチップ１０１は、基材５０と、基材５０上に配置された発光素子アレイ部１０と、基材５０上に配置された走査回路部２０と、基材５０上に配置された１つ以上の電極パッド５１とを有している。基材５０は、発光素子アレイ部１０と走査回路部２０と電極パッド５１とを互いに電気的に接続する配線層を備えている。また、基材５０上に、駆動回路部（後述の図２における駆動回路部４０）が備えられてもよい。
【００１３】
基材５０は、例えば、ＧａＡｓ（ガリウム・ヒ素）系半導体材料又はＳｉ（シリコン）系半導体材料によって形成される。基材５０は、絶縁材料、金属材料、などの他の材料によって形成されてもよい。
【００１４】
発光素子アレイ部１０は、直線状に配列された複数の発光素子としての複数の発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎを有している。ｎは、予め定められた正の整数である。発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎのうちのいずれかを示す場合には、発光サイリスタアレイ１０＿ｋとも表記する。ｋは１以上ｎ以下の整数である。発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎは、例えば、１２００ｄｐｉ（ｄｏｔｓ  ｐｅｒ  ｉｎｃｈ）、すなわち、約２１μｍピッチで配列されている。発光素子アレイ部１０は、例えば、ＡｌＧａＡｓ（アルミニウム・ガリウム・ヒ素）系半導体材料によって形成された半導体積層フィルムである。
【００１５】
発光サイリスタ１０＿ｋは、Ｎ型の半導体層であるＮ型カソード層と、Ｐ型の半導体層であるＰ型ゲート層と、Ｎ型の半導体層であるＮ型ゲート層と、Ｐ型の半導体層であるＰ型アノード層とが、この順に配置された多層構造を有する。発光サイリスタ１０＿ｋは、Ｎ型カソード層、Ｐ型ゲート層、Ｎ型ゲート層、及びＰ型アノード層のうちの、隣り合う２つの半導体層の間に配置された１層以上の他の半導体層（例えば、Ｐ型又はＮ型のクラッド層）をさらに有してもよい。
【００１６】
走査回路部２０は、例えば、複数のスイッチ素子としての複数の走査サイリスタ、複数のダイオード、複数の抵抗、などから形成されている。走査回路部２０は、発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎを順次発光可能状態にする。発光可能状態の発光サイリスタを順次シフトさせるので、走査回路部２０はシフト回路部とも呼ばれる。走査回路部２０は、例えば、ＡｌＧａＡｓ系半導体材料によって形成された半導体積層フィルムである。
【００１７】
走査サイリスタは、Ｎ型の半導体層であるＮ型カソード層と、Ｐ型の半導体層であるＰ型ゲート層と、Ｎ型の半導体層であるＮ型ゲート層と、Ｐ型の半導体層であるＰ型アノード層とが、この順に配置された多層構造を有している。走査サイリスタは、Ｎ型カソード層、Ｐ型ゲート層、Ｎ型ゲート層、及びＰ型アノード層のうちの、隣り合う２つの半導体層の間に配置された１層以上の他の半導体層（例えば、Ｐ型又はＮ型のクラッド層）をさらに有してもよい。
【００１８】
電極パッド５１は、蒸着又はスパッタリングなどにより基材５０上に形成される。また、基材５０上には配線層（図示せず）が備えられてもよい。電極パッド５１及び配線層は、例えば、Ａｕ（金）又はＡｌ（アルミニウム）などの導電性材料によって形成される。電極パッド５１は、検査用プローブを有する検査装置を用いて行われるプロービングに使用可能なサイズに形成される。電極パッド５１は、ワイヤーボンディングが行われるものであれば、１辺が約６０μｍの正方形である。電極パッド５１は、ワイヤーボンディングが行われないものであれば、１辺が約６０μｍの正方形より小さいサイズに形成されてもよい。
【００１９】
発光素子アレイ部１０及び走査回路部２０は、例えば、エピタキシャルフィルムからなる半導体積層フィルムである。発光素子アレイ部１０は、例えば、以下のように製造される。先ず、製造用基材（図示せず）上に、ＡｌＧａＡｓ層からなる半導体積層フィルムを、エピタキシャル成長、エッチング、ダイシングなどを用いて形成する。次に、製造用基材から半導体積層フィルムを剥がし、これを基材５０上に移動して基材５０上に設置（すなわち、ボンディング）する。半導体積層フィルムは、基材５０に、例えば、分子間力によって固定される。走査回路部２０の製造も、発光素子アレイ部１０の製造と同様のプロセスによって行われる。
【００２０】
図２は、発光素子アレイチップ１０１の回路構成及び走査回路部２０によって行われる自己走査時の状態を示す図である。図２に示されるように、発光素子アレイチップ１０１は、複数の３端子発光素子を有する発光素子アレイ部１０と、発光素子アレイ部１０を制御する走査回路部２０と、発光素子アレイ部１０及び走査回路部２０の検査時に使用される検査回路部３０と、駆動回路部４０とを備えている。駆動回路部４０は、走査回路部２０の動作を制御するとともに、発光素子アレイ部１０の３端子発光素子である発光サイリスタのアノード・カソード間に電圧を印加することで駆動電流を供給する。
【００２１】
発光素子アレイ部１０は、発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎを有している。発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎの各々は、第１の端子としてのアノード端子１１、第２の端子としてのカソード端子１２、及び第３の端子としてのゲート端子１３を有している。発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎのアノード端子１１は、第１の駆動電圧ＶＤＤｅが印加される共通の駆動用端子である発光用電極パッド４１に電気的に接続されている。発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎのカソード端子１２は、第１の駆動電圧ＶＤＤｅより低い第２の駆動電圧Ｉｏｕｔが印加される駆動用端子４２に電気的に接続されている。
【００２２】
走査回路部２０は、発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎを順次点灯可能状態にする動作である自己走査を行う。走査回路部２０は、複数のスイッチ素子である複数の走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…、２０＿ｎを有している。走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…、２０＿ｎの各々は、第６の端子としてのアノード端子２１、第７の端子としてのカソード端子２２、及び第８の端子としてのゲート端子２３を有している。
【００２３】
走査回路部２０は、走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…、２０＿ｎと、走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…、２０＿ｎのゲート端子２３を互いに結合するダイオード２４＿２、２４＿２、…、２４＿ｎと、走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…、２０＿ｎのゲート端子２３にそれぞれ接続されたゲート負荷抵抗２５＿１、２５＿２、…、２５＿ｎとを有している。また、走査サイリスタ２０＿１のゲート端子２３には、ダイオード２４＿２のアノード端子と、ダイオード２４＿１のカソード端子とが接続されている。走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…、２０＿ｎのアノード端子２１は、第１の走査用電圧ＶＤＤｓが印加される共通の第１の走査用端子である走査用電極パッド４３が電気的に接続されている。
【００２４】
検査回路部３０は、複数のダイオード３０＿１、３０＿２、…、３０＿ｎを有している。ダイオード３０＿１、３０＿２、…、３０＿ｎの各々は、第４の端子としてのアノード端子３１と、第５の端子としてのカソード端子３２とを有している。ダイオード３０＿１、３０＿２、…、３０＿ｎのアノード端子３１は、検査用電圧ＴＥＳＴが印加される検査用電極パッド４７に電気的に接続されている。発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎのゲート端子１３は、ダイオード３０＿１、３０＿２、…、３０＿ｎのカソード端子３２にそれぞれ電気的に接続されている。また、発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎのゲート端子１３は、走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…、２０＿ｎのゲート端子２３にそれぞれ電気的に接続されている。
【００２５】
ゲート負荷抵抗２５＿１、２５＿２、…、２５＿ｎの一端は、第２の走査用電圧ＶＳＳが印加される共通の第２の走査用端子４４に電気的に接続されている。駆動回路部４０は、第２の走査用電圧ＶＳＳをゲート負荷抵抗２５＿１、２５＿２、…、２５＿ｎの一端に印加する。ゲート負荷抵抗２５＿１、２５＿２、…、２５＿ｎの他端は、対応する走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…、２０＿ｎのゲート端子２３及び対応する発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎのゲート端子１３に電気的に接続されている。
【００２６】
奇数番目の走査サイリスタ２０＿１、２０＿３、…のカソード端子２２には、クロック信号ＣＬＫ１が、電流制限用抵抗２６を介して供給され、偶数番目の走査サイリスタ２０＿２、２０＿４、…のカソード端子２２には、クロック信号ＣＬＫ２が電流制限用抵抗２７を介して供給される。また、発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎのカソード端子１２は、第２の駆動電圧Ｉｏｕｔが供給される駆動用端子４２に電気的に接続されている。なお、走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…、２０＿ｎのアノード端子２１には駆動回路部４０によって第１の走査用電圧ＶＤＤｓが印加される。第１の走査用電圧ＶＤＤｓは、第１の駆動電圧ＶＤＤｅと異なる値の電圧であるが、同じ値の電圧であってもよい。
【００２７】
《１−２》発光動作
以下に発光動作の一例を説明する。発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎを順次点灯可能状態にするときには、まず、駆動回路部４０は、検査用電極パッド４７を
ハイインピーダンス状態（すなわち、Ｏｐｅｎ状態）に設定する。また、第１の走査用電圧ＶＤＤｓをＨ（Ｈｉｇｈ）レベル、例えば、５Ｖに設定する。
【００２８】
このとき、クロック信号ＣＬＫ２を０Ｖから５Ｖ（すなわち、ＬレベルからＨレベル）に変化させることにより動作が開始する。ダイオード２４＿１、２４＿２、…、２４＿ｎの順方向電圧降下を１．３Ｖとした場合、クロック信号ＣＬＫ２が５Ｖになることにより、ダイオード２４＿１のアノード端子の電圧が５Ｖ、ダイオード２４＿２のアノード端子の電圧が３．７Ｖ、ダイオード２４＿３のアノード端子の電圧が２．４Ｖ、ダイオード２４＿４のアノード端子の電圧が１．１Ｖとなり、走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…のゲート端子２３の電圧がそれぞれ５Ｖ、３．７Ｖ、２．４Ｖ、１．１Ｖへと変化する。
【００２９】
このとき、クロック信号ＣＬＫ１を５Ｖから０Ｖ（すなわち、ＨレベルからＬレベル）にすることにより、走査サイリスタ２０＿１のアノード端子２１の電圧を５Ｖ（すなわち、ＶＤＤｓ＝５Ｖ）、カソード端子２２の電圧を０Ｖ、ゲート端子２３の電圧を３．７Ｖとする。この状態は、走査サイリスタ２０＿１のオン条件を満たすので、走査サイリスタ２０＿１がオン状態になる。このとき、クロック信号ＣＬＫ２を０Ｖに変えても、走査サイリスタ２０＿１のオン状態は維持され、走査サイリスタ２０＿１のアノード端子２１の電圧は約５Ｖとなる。このため、クロック信号ＣＬＫ１を０Ｖにしても走査サイリスタ２０＿１のオン状態が維持され、１段目の走査サイリスタ２０＿１へのシフト動作が完了する。この状態で、発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎの第２の駆動電圧Ｉｏｕｔを５Ｖから０Ｖ（すなわち、ＨレベルからＬレベル）にすると、発光サイリスタ１０＿１がオン状態になって点灯する。
【００３０】
次に、発光サイリスタ１０＿１の第２の駆動電圧Ｉｏｕｔを５Ｖに戻すことにより、発光サイリスタ１０＿１のアノード・カソード間の電位差が０に近づき、発光サイリスタ１０＿１の最低保持電流を維持できなくなると、発光サイリスタ１０＿１はオフ状態になって消灯する。
【００３１】
次に、オン条件を満たす走査サイリスタが、走査サイリスタ２０＿１から２０＿２にシフトする動作を説明する。発光サイリスタ１０＿１がオフ状態になっても、クロック信号ＣＬＫ１が０Ｖのままであるから、走査サイリスタ２０＿１はオン状態のままである。このとき、走査サイリスタ２０＿１のゲート端子２３の電圧は約５Ｖであり、走査サイリスタ２０＿２のゲート端子２３の電圧は約３．７Ｖである。
【００３２】
この状態で、クロック信号ＣＬＫ２を５Ｖから０Ｖに変化させることにより、走査サイリスタ２０＿２では、アノード端子２１の電圧が５Ｖ、カソード端子２２の電圧が０Ｖ、ゲート端子２３の電圧が３．７Ｖとなる。このため、走査サイリスタ２０＿２はオン状態になる。
【００３３】
走査サイリスタ２０＿２がオン状態になった後、クロック信号ＣＬＫ１を０Ｖから５Ｖに変えることにより、走査サイリスタ２０＿１はオフ状態になる。このようにして、オン状態である走査サイリスタは、走査サイリスタ２０＿１から２０＿２に移行する。そして、第２の駆動電圧Ｉｏｕｔを５Ｖから０Ｖにすると、発光サイリスタ１０＿２がオン状態になって発光する。
【００３４】
《１−３》検査方法
以下に、発光素子アレイチップ１０１の検査方法を説明する。発光素子アレイチップ１０１は、小片に分割する前に、ウェハ状態でプロービングによる検査が行われる。プロービングは、テスタなどの計測器を備えた検査装置に接続された検査用プローブを電極パッド５１（例えば、図２における４７、４１、４３など）に接触させて行われる。
【００３５】
図３は、発光素子アレイチップ１０１の発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎの検査時の状態及び発生し得るリーク電流Ｉ１を示す図である。図４は、発光素子アレイチップ１０１の走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…、２０＿ｎの検査時の状態及び発生し得るリーク電流Ｉ２を示す図である。図５（Ａ）は、発光素子アレイチップ１０１の発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎの検査時の動作を示すフローチャートであり、図５（Ｂ）は、発光素子アレイチップ１０１の走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…、２０＿ｎの検査時の動作を示すフローチャートである。
【００３６】
図３及び図５（Ａ）に示されるように、発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎの検査においては、駆動回路部４０は、第２の駆動電圧Ｉｏｕｔ、第１の走査用電圧ＶＤＤｓ、クロック信号ＣＫ１、ＣＫ２、第２の走査用電圧ＶＳＳが入力される端子をハイインピーダンス状態（すなわち、Ｏｐｅｎ状態）にする（ステップＳ１０１）。
【００３７】
次に、駆動回路部４０は、検査用電圧ＴＥＳＴをＨレベルにし、第１の駆動電圧ＶＤＤｅをＬレベルにする（ステップＳ１０２）。
【００３８】
次に、検査装置の検査用プローブを検査用電極パッド４７と発光用電極パッド４１に接触させた状態で、検査装置は、検査用電極パッド４７から発光用電極パッド４１に流れる電流Ｉ１を測定する（ステップＳ１０３）。
【００３９】
次に、検査装置は、検出された電流Ｉ１が予め定められた閾値Ｉｔｈ１を超えたか否かを判定する（ステップＳ１０４）。検査装置は、電流Ｉ１が閾値Ｉｔｈ１以下である場合に、発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎは正常であると判定する（ステップＳ１０５）。検査装置は、電流Ｉ１が閾値Ｉｔｈ１を超えた場合に、発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎのいずれかに大きいリークパスが存在する（すなわち、検査対象の発光素子アレイチップは不良である）と判定する（ステップＳ１０６）。
【００４０】
図４及び図５（Ｂ）に示されるように、走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…、２０＿ｎの検査においては、駆動回路部４０は、第２の駆動電圧Ｉｏｕｔ、第１の駆動電圧ＶＤＤｅ、クロック信号ＣＫ１、ＣＫ２、第２の走査用電圧ＶＳＳが入力される端子をハイインピーダンス状態（すなわち、Ｏｐｅｎ状態）にする（ステップＳ２０１）。
【００４１】
次に駆動回路部４０は、検査用電圧ＴＥＳＴをＨレベルにし、第１の走査用電圧ＶＤＤｓをＬレベルにする（ステップＳ２０２）。
【００４２】
次に、検査装置の検査用プローブを検査用電極パッド４７と走査用電極パッド４３に接触させた状態で、検査装置は、検査用電極パッド４７から走査用電極パッド４３に流れる電流Ｉ２を測定する（ステップＳ２０３）。
【００４３】
次に、検査装置は、検出された電流Ｉ２が予め定められた閾値Ｉｔｈ２を超えたか否かを判定する（ステップＳ２０４）。検査装置は、電流Ｉ２が閾値Ｉｔｈ２以下である場合には、走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…、２０＿ｎは正常であると判定する（ステップＳ２０５）。検査装置は、電流Ｉ１が閾値Ｉｔｈ１を超えた場合に、走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…、２０＿ｎのいずれかに大きいリークパスが存在する（すなわち、検査対象の発光素子アレイチップは不良である）と判定する（ステップＳ２０６）。
【００４４】
《１−４》効果
以上に説明したように、第１の実施形態の発光素子アレイチップ１０１及びその検査方法を用いれば、大きなリークパスが存在する発光素子アレイチップの製品（例えば、光プリントヘッド）への搭載を未然に防ぐことが可能である。よって、発光素子アレイチップ１０１を搭載した製品の信頼性を向上させることができる。
【００４５】
《２》第２の実施形態
《２−１》構成
図６は、第２の実施形態に係る発光素子アレイチップ１０２の回路構成及び走査回路部２０によって行われる自己走査時の状態を示す図である。図６において、図２に示される構成要素と同一又は対応する構成要素には、図２に示される符号と同じ符号が付される。第２の実施形態に係る発光素子アレイチップ１０２は、２つの検査用電極パッド４７ａ、４７ｂを有する点において、第１の実施形態に係る発光素子アレイチップ１０１と相違する。なお、検査用電極パッドの数は３以上であってもよい。
【００４６】
発光素子アレイチップ１０２では、発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎは、第１のグループに属する複数の第１の発光サイリスタである発光サイリスタ１０＿１、１０＿３、…と第１のグループとは異なる第２のグループに属する複数の第２の発光サイリスタである発光サイリスタ１０＿２、１０＿４、…とに分割されている。また、発光素子アレイチップ１０２では、スイッチ素子である走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…、２０＿ｎは、第１のグループに属する複数の第１のスイッチ素子である走査サイリスタ２０＿１、２０＿３、…と第２のグループに属する複数の第２のスイッチ素子である走査サイリスタ２０＿２、２０＿４、…とに分割されている。また、発光素子アレイチップ１０２は、ダイオード３０＿１、３０＿２、…、３０＿ｎは、第１のグループに属する複数の第１のダイオードであるダイオード３０＿１、３０＿３、…と第２のグループに属する複数の第２のダイオードであるダイオード３０＿２、３０＿４、…とに分割されている。発光素子アレイチップ１０２は、第１のグループに属する第１の検査用電極パッドである検査用電極パッド４７ａと第２のグループに属する第２の検査用電極パッドである検査用電極パッド４７ｂとを有している。ダイオード３０＿１、３０＿３、…のカソード端子３２は発光サイリスタ１０＿１、１０＿３、…のゲート端子１３にそれぞれ電気的に接続され、ダイオード３０＿２、３０＿４、…のカソード端子３２は発光サイリスタ１０＿２、１０＿４、…のゲート端子１３にそれぞれ電気的に接続されている。
【００４７】
《２−２》発光動作
発光サイリスタ１０＿１、１０＿２、…、１０＿ｎを順次点灯可能状態にするときには、まず、駆動回路部４０ａは、検査用電極パッド４７ａ、４７ｂの検査用電圧ＴＥＳＴ１、ＴＥＳＴ２が入力される端子をハイインピーダンス状態（すなわち、Ｏｐｅｎ状態）に設定する。第２の実施形態に係る発光素子アレイチップ１０２の発光時の動作は、第１の実施形態に係る発光素子アレイチップ１０１のものと同じである。
【００４８】
《２−３》検査方法
図７は、発光素子アレイチップ１０２の奇数番目の発光サイリスタ１０＿１、１０＿３、…又は偶数番目の発光サイリスタ１０＿２、１０＿４、…の検査時の状態及び発生し得るリーク電流を示す図である。図８は、発光素子アレイチップ１０２の発光サイリスタ１０＿１、１０＿３、…又は発光サイリスタ１０＿２、１０＿４、…の検査時の動作を示すフローチャートである。
【００４９】
図８に示されるように、発光サイリスタ１０＿１、１０＿３、…の検査においては、駆動回路部４０ａは、検査用電圧ＴＥＳＴ２、第２の駆動電圧Ｉｏｕｔ、第１の走査用電圧ＶＤＤｓ、クロック信号ＣＫ１、ＣＫ２、第２の走査用電圧ＶＳＳが入力される端子をハイインピーダンス状態（すなわち、Ｏｐｅｎ状態）にする（ステップＳ３０１）。駆動回路部４０ａは、検査用電圧ＴＥＳＴ１をＨレベルにし、第１の駆動電圧ＶＤＤｅをＬレベルにする（ステップＳ３０２）。
【００５０】
次に、検査用プローブを第１の検査用電極パッド４７ａと発光用電極パッド４１に接触させた状態で、検査装置は、第１の検査用電極パッド４７ａから発光用電極パッド４１に流れる電流Ｉ３を測定する（ステップＳ３０３）。
【００５１】
次に、検査装置は、検出された電流Ｉ３が予め定められた閾値Ｉｔｈ３を超えたか否かを判定する（ステップＳ３０４）。検査装置は、電流Ｉ３が閾値Ｉｔｈ３以下である場合には、発光サイリスタ１０＿１、１０＿３、…は正常であると判定する（ステップＳ３０５）。検査装置は、電流Ｉ３が閾値Ｉｔｈ３を超えた場合に、発光サイリスタ１０＿１、１０＿３、…のいずれかに大きいリークパスが存在する（すなわち、検査対象の発光素子アレイチップは不良である）と判定する（ステップＳ３０６）。ステップＳ３０４からＳ３０６の処理は、電流Ｉ３の値を目視で確認した人間が行ってもよい。
【００５２】
次に、図７及び図８に示されるように、駆動回路部４０ａは、検査用電圧ＴＥＳＴ１、第２の駆動電圧Ｉｏｕｔ、第１の走査用電圧ＶＤＤｓ、クロック信号ＣＫ１、ＣＫ２、第２の走査用電圧ＶＳＳが入力される端子をハイインピーダンス状態（すなわち、Ｏｐｅｎ状態）にする（ステップＳ３０７）。駆動回路部４０ａは、検査用電圧ＴＥＳＴ２をＨレベルにし、第１の駆動電圧ＶＤＤｅをＬレベルにする（ステップＳ３０８）。
【００５３】
次に、検査用プローブを第２の検査用電極パッド４７ｂと発光用電極パッド４１に接触させた状態で、検査装置は、第２の検査用電極パッド４７ｂから発光用電極パッド４１に流れる電流Ｉ４を測定する（ステップＳ３０９）。
【００５４】
次に、検査装置は、検出された電流Ｉ４が予め定められた閾値Ｉｔｈ４を超えたか否かを判定する（ステップＳ３１０）。検査装置は、電流Ｉ４が閾値Ｉｔｈ４以下である場合に、発光サイリスタ１０＿２、１０＿４、…は正常であると判定する（ステップＳ３１１）。検査装置は、電流Ｉ４が閾値Ｉｔｈ４を超えた場合に、発光サイリスタ１０＿２、１０＿４、…のいずれかに大きいリークパスが存在する（すなわち、検査対象の発光素子アレイチップは不良である）と判定する（ステップＳ３１２）。ステップＳ３１０からＳ３１２の処理は、電流Ｉ４の値を目視で確認した人間が行ってもよい。
【００５５】
図９は、発光素子アレイチップ１０２の奇数番目の走査サイリスタ２０＿１、２０＿３、…又は偶数番目の走査サイリスタ２０＿２、２０＿４、…の検査時の状態及び発生し得るリーク電流を示す図である。図１０は、発光素子アレイチップ１０２の走査サイリスタ２０＿１、２０＿３、…又は走査サイリスタ２０＿２、２０＿４、…の検査時の動作を示すフローチャートである。
【００５６】
図１０に示されるように、走査サイリスタ２０＿１、２０＿３、…の検査においては、駆動回路部４０ａは、検査用電圧ＴＥＳＴ２、第２の駆動電圧Ｉｏｕｔ、第１の駆動電圧ＶＤＤｅ、クロック信号ＣＫ１、ＣＫ２、第２の走査用電圧ＶＳＳが入力される端子をハイインピーダンス状態（すなわち、Ｏｐｅｎ状態）にする（ステップＳ４０１）。駆動回路部４０ａは、検査用電圧ＴＥＳＴ１をＨレベルにし、第１の走査用電圧ＶＤＤｓをＬレベルにする（ステップＳ４０２）。
【００５７】
次に、検査用プローブを第１の検査用電極パッド４７ａと第１の走査用電極パッド４３に接触させた状態で、検査装置は、第１の検査用電極パッド４７ａから第１の走査用電極パッド４３に流れる電流Ｉ５を測定する（ステップＳ４０３）。
【００５８】
次に、検査装置は、検出された電流Ｉ５が予め定められた閾値Ｉｔｈ５を超えたか否かを判定する（ステップＳ４０４）。検査装置は、電流Ｉ５が閾値Ｉｔｈ５以下である場合に、走査サイリスタ２０＿１、２０＿３、…は正常であると判定する（ステップＳ４０５）。検査装置は、電流Ｉ５が閾値Ｉｔｈ５を超えた場合に、走査サイリスタ２０＿１、２０＿３、…のいずれかに大きいリークパスが存在する（すなわち、検査対象の発光素子アレイチップは不良である）と判定する（ステップＳ４０６）。ステップＳ４０４からＳ４０６の処理は、電流Ｉ５の値を目視で確認した人間が行ってもよい。
【００５９】
次に、図９及び図１０に示されるように、駆動回路部４０ａは、検査用電圧ＴＥＳＴ１、第２の駆動電圧Ｉｏｕｔ、第１の駆動電圧ＶＤＤｅ、クロック信号ＣＫ１、ＣＫ２、第２の走査用電圧ＶＳＳが入力される端子をハイインピーダンス状態（すなわち、Ｏｐｅｎ状態）にする（ステップＳ４０７）。駆動回路部４０ａは、検査用電圧ＴＥＳＴ２をＨレベルにし、第１の走査用電圧ＶＤＤｓをＬレベルにする（ステップＳ４０８）。
【００６０】
次に、検査用プローブを第２の検査用電極パッド４７ｂと走査用電極パッド４３に接触させた状態で、検査装置は、第２の検査用電極パッド４７ｂから走査用電極パッド４３に流れる電流Ｉ６を測定する（ステップＳ４０９）。
【００６１】
次に、検査装置は、検出された電流Ｉ６が予め定められた閾値Ｉｔｈ６を超えたか否かを判定する（ステップＳ４１０）。検査装置は、電流Ｉ６が閾値Ｉｔｈ６以下である場合に、走査サイリスタ２０＿２、２０＿４、…は正常であると判定する（ステップＳ４１１）。検査装置は、電流Ｉ６が閾値Ｉｔｈ６を超えた場合に、走査サイリスタ２０＿２、２０＿４、…のいずれかに大きいリークパスが存在する（すなわち、検査対象の発光素子アレイチップは不良である）と判定する（ステップＳ４１２）。ステップＳ４１０からＳ４１２の処理は、電流Ｉ６の値を目視で確認した人間が行ってもよい。
【００６２】
《２−４》効果
以上に説明したように、第２の実施形態の発光素子アレイチップ１０２及びその検査方法を用いれば、大きなリークパスが存在する発光素子アレイチップの製品（例えば、光プリントヘッド）への搭載を未然に防ぐことが可能である。よって、発光素子アレイチップ１０２を搭載した製品の信頼性を向上させることができる。
【００６３】
また、第２の実施形態の発光素子アレイチップ１０２及びその検査方法を用いれば、奇数番目の発光サイリスタ１０＿１、１０＿３、…と偶数番目の発光サイリスタ１０＿２、１０＿４、…とが別々に検査されるので、又は、奇数番目の走査サイリスタ２０＿１、２０＿３、…と偶数番目の走査サイリスタ２０＿２、２０＿４、…とが別々に検査されるので、検査の精度を高めることができる。
【００６４】
上記以外に関して、第２の実施形態は、第１の実施形態と同じである。
【００６５】
《３》第３の実施形態
《３−１》構成
図１１は、第３の実施形態に係る発光素子アレイチップ１０３の回路構成及び走査回路部２０によって行われる自己走査時の状態を示す図である。図１１において、図２に示される構成要素と同一又は対応する構成要素には、図２に示される符号と同じ符号が付される。第３の実施形態に係る発光素子アレイチップ１０３は、以下の点において、第１の実施形態に係る発光素子アレイチップ１０１と相違する。第１の相違点は、発光素子アレイチップ１０３では、第１のグループに属する複数の第１の発光サイリスタ１０＿１ａ、１０＿２ａ、…と第１のグループとは異なる第２のグループに属する複数の第２の発光サイリスタ１０＿１ｂ、１０＿２ｂ、…とを有し、複数のダイオード３０＿１、３０＿２、…の複数のカソード端子３２は、複数の第１の発光サイリスタ１０＿１ａ、１０＿２ａ、…の複数のゲート端子１３にそれぞれ電気的に接続され、複数の第２の発光サイリスタ１０＿１ｂ、１０＿２ｂ、…の複数のゲート端子１３にそれぞれ電気的に接続されている点である。第２の相違点は、複数の第１の発光サイリスタ１０＿１ａ、１０＿２ａ、…の複数のカソード端子１２は第１の駆動用端子である駆動用端子４２ａに接続され、複数の第２の発光サイリスタ１０＿１ｂ、１０＿２ｂ、…の複数のカソード端子１２は駆動用端子４２ａとは異なる第２の駆動用端子である駆動用端子４２ｂに接続されている点である。なお、検査用電極パッドの数は３以上であってもよい。
【００６６】
発光素子アレイチップ１０３は、第１のグループに属する複数の第１の発光サイリスタである奇数番目の発光サイリスタ１０＿１ａ、１０＿２ａ、…と第１のグループとは異なる第２のグループに属する複数の第２の発光サイリスタである偶数番目の発光サイリスタ１０＿１ｂ、１０＿２ｂ、…とを有している。また、発光素子アレイチップ１０３は、複数のスイッチ素子である複数の走査サイリスタである走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…を有している。
【００６７】
ダイオード３０＿１のカソード端子３２は、発光サイリスタ１０＿１ａ、１０＿２ａ、…のゲート端子１３に電気的に接続され、ダイオード３０＿２のカソード端子３２は、発光サイリスタ１０＿１ｂ、１０＿２ｂ、…のゲート端子１３に電気的に接続されている。また、発光サイリスタ１０＿１ａ、１０＿２ａ、…のカソード端子１２は駆動用端子４２ａに接続され、発光サイリスタ１０＿１ｂ、１０＿２ｂ、…のカソード端子１２は駆動用端子４２ｂに電気的に接続されている。
【００６８】
《３−２》発光動作
発光サイリスタ１０＿１ａ、１０＿１ｂ、１０＿２ａ、１０＿２ｂ、…を順次点灯可能状態にするときには、まず、駆動回路部４０ｂは、検査用電極パッド４７をハイインピーダンス状態（すなわち、Ｏｐｅｎ状態）に設定する。また、奇数番目の発光サイリスタ１０＿１ａ、１０＿２ａ、…の発光時には、第２の駆動電圧Ｉｏｕｔ２が入力される端子をハイインピーダンス状態（すなわち、Ｏｐｅｎ状態）に設定する。偶数番目の発光サイリスタ１０＿１ｂ、１０＿２ｂ、…の発光時には、第２の駆動電圧Ｉｏｕｔ１が入力される端子をハイインピーダンス状態（すなわち、Ｏｐｅｎ状態）に設定する。この点以外に関して、第３の実施形態に係る発光素子アレイチップ１０３の発光動作は、第１の実施形態に係る発光素子アレイチップ１０１のものと同じである。
【００６９】
《３−３》検査方法
図１２は、発光素子アレイチップ１０３の発光サイリスタ１０＿１ａ、１０＿１ｂ、１０＿２ａ、１０＿２ｂ、…の検査時の状態及び発生し得るリーク電流Ｉ７を示す図である。図１３は、発光素子アレイチップ１０３の走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…の検査時の状態及び発生し得るリーク電流Ｉ８を示す図である。図１４（Ａ）は、発光素子アレイチップ１０３の発光サイリスタ１０＿１ａ、１０＿１ｂ、１０＿２ａ、１０＿２ｂ、…の検査時の動作を示すフローチャートであり、図１４（Ｂ）は、発光素子アレイチップ１０３の走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…の検査時の動作を示すフローチャートである。
【００７０】
図１２及び図１４（Ａ）に示されるように、発光サイリスタ１０＿１ａ、１０＿１ｂ、１０＿２ａ、１０＿２ｂ、…の検査においては、駆動回路部４０ｂは、第２の駆動電圧Ｉｏｕｔ１、Ｉｏｕｔ２、第１の走査用電圧ＶＤＤｓ、クロック信号ＣＫ１、ＣＫ２、第２の走査用電圧ＶＳＳが入力される端子をハイインピーダンス状態（すなわち、Ｏｐｅｎ状態）にする（ステップＳ５０１）。
【００７１】
次に、駆動回路部４０ｂは、検査用電圧ＴＥＳＴをＨレベルにし、第１の駆動電圧ＶＤＤｅをＬレベルにする（ステップＳ５０２）。
【００７２】
次に、駆動回路部４０ｂは、検査装置の検査用プローブを検査用電極パッド４７と発光用電極パッド４１に接触させて、検査用電極パッド４７から発光用電極パッド４１に流れる電流Ｉ７を測定する（ステップＳ５０３）。
【００７３】
次に、検査装置は、検出された電流Ｉ７が予め定められた閾値Ｉｔｈ７を超えたか否かを判定する（ステップＳ５０４）。検査装置は、電流Ｉ７が閾値Ｉｔｈ７以下である場合に、発光サイリスタ１０＿１ａ、１０＿１ｂ、１０＿２ａ、１０＿２ｂ、…は正常であると判定する（ステップＳ５０５）。検査装置は、電流Ｉ７が閾値Ｉｔｈ７を超えた場合に、発光サイリスタ１０＿１ａ、１０＿１ｂ、１０＿２ａ、１０＿２ｂ、…のいずれかに大きいリークパスが存在する（すなわち、不良である）と判定する（ステップＳ５０６）。
【００７４】
図１３及び図１４（Ｂ）に示されるように、走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…の検査においては、駆動回路部４０ｂは、第２の駆動電圧Ｉｏｕｔ１、Ｉｏｕｔ２、第１の駆動電圧ＶＤＤｅ、クロック信号ＣＫ１、ＣＫ２、第２の走査用電圧ＶＳＳが入力される端子をハイインピーダンス状態（すなわち、Ｏｐｅｎ状態）にする（ステップＳ６０１）。
【００７５】
次に、駆動回路部４０ｂは、検査用電圧ＴＥＳＴをＨレベルにし、第１の走査用電圧ＶＤＤｓをＬレベルにする（ステップＳ６０２）。
【００７６】
次に、駆動回路部４０ｂは、検査装置の検査用プローブを検査用電極パッド４７と走査用電極パッド４３に接触させて、検査用電極パッド４７から走査用電極パッド４３に流れる電流Ｉ８を測定する（ステップＳ６０３）。
【００７７】
次に、検査装置は、検出された電流Ｉ８が予め定められた閾値Ｉｔｈ８を超えたか否かを判定する（ステップＳ６０４）。検査装置は、電流Ｉ８が閾値Ｉｔｈ８以下である場合に、走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…は正常であると判定する（ステップＳ６０５）。検査装置は、電流Ｉ８が閾値Ｉｔｈ８を超えた場合に、走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…のいずれかに大きいリークパスが存在する（すなわち、検査対象の発光素子アレイチップは不良である）と判定する（ステップＳ６０６）。
【００７８】
《３−４》効果
以上に説明したように、第３の実施形態の発光素子アレイチップ１０３及びその検査方法を用いれば、大きなリークパスが存在する発光素子アレイチップの製品（例えば、光プリントヘッド）への搭載を未然に防ぐことが可能である。よって、発光素子アレイチップ１０３を搭載した製品の信頼性を向上させることができる。
【００７９】
また、第３の実施形態の発光素子アレイチップ１０３及びその検査方法を用いれば、複数のダイオード３０＿１、３０＿２、…の複数のカソード端子３２のうちの１個のカソード端子が、複数の発光サイリスタ１０＿１ａ、１０＿１ｂ、…の複数のカソード端子１２のうちのＭ（Ｍは１以上の整数）個のカソード端子に電気的に接続されている。ここでは、Ｍ＝２である。このため、検査回路部３０の構成を簡素化できる。
【００８０】
また、第３の実施形態の発光素子アレイチップ１０３及びその検査方法を用いれば、複数の走査サイリスタ２０＿１、２０＿２、…の複数のゲート端子２３のうちの１個のゲート端子が、複数の発光サイリスタ１０＿１ａ、１０＿１ｂ、…の複数のゲート端子１３のうちのＭ個のゲートカソード端子に電気的に接続されている。ここでは、Ｍ＝２である。このため、走査回路部２０の構成を簡素化できる。
【００８１】
《４》第４の実施形態
図１５は、第４の実施形態に係る光プリントヘッド３００を示す概略断面図である。光プリントヘッド３００は、例えば、画像形成装置としての電子写真プリンタの露光装置として用いられる。図１５に示されるように、光プリントヘッド３００は、ベース部材３０１と、発光素子アレイチップ１０１が載置されたＣＯＢ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｂｏａｒｄ）基板としてのプリント配線板２００と、複数の正立等倍結像レンズを含むレンズアレイ３０４と、レンズホルダ３０５と、バネ部材であるクランパ３０６とを備えている。発光素子アレイチップ１０１は、第２又は第３の実施形態に係る発光素子アレイチップ１０２又は１０３であってもよい。
【００８２】
図１６は、光プリントヘッド３００の要部の構成を概略的に示す平面図である。図１６に示されるように、プリント配線板２００上に複数の発光素子アレイチップが直線状に配列されている。ただし、複数の発光素子アレイチップは千鳥状に配列されてもよい。
【００８３】
図１５に示されるように、ベース部材３０１は、プリント配線板２００を固定するための部材であり、その側面には、クランパ３０６を用いて、プリント配線板２００及びレンズホルダ３０５をベース部材３０１に固定するための開口部３０３が設けられている。レンズホルダ３０５は、例えば、有機高分子材料などを射出成形することによって形成される。レンズアレイ３０４は、発光素子アレイチップ１０１から出射された光を像担持体としての感光体ドラム上に結像させる光学レンズ群である。レンズホルダ３０５は、レンズアレイ３０４をベース部材３０１の所定の位置に保持する。クランパ３０６は、ベース部材３０１の開口部３０３及びレンズホルダ３０５の開口部を介して、各構成部分を挟み付けて保持する。
【００８４】
光プリントヘッド３００では、印刷データに応じて、発光素子アレイチップ１０１の発光サイリスタのいずれかが発光し、光がレンズアレイ３０４により一様帯電している感光体ドラム上で結像される。これにより、感光体ドラム上に静電潜像が形成され、その後、現像工程、転写工程、定着工程を経て、印刷媒体（用紙）上に現像剤からなる画像が形成される。
【００８５】
以上に説明したように、第４の実施形態に係る光プリントヘッド３００は第１から第３の実施形態のいずれかの発光素子アレイチップを搭載しているので、光プリントヘッド３００の信頼性を向上させることができる。
【００８６】
《５》第５の実施形態
《５−１》構成
図１７は、本発明の第５の実施形態に係る画像形成装置４００の構造を示す概略断面図である。画像形成装置４００は、例えば、電子写真カラープリンタである。画像形成装置４００は、第４の実施形態で説明した光プリントヘッド３００を、露光装置である光プリントヘッド４１１Ｙ、４１１Ｍ、４１１Ｃ、４１１Ｋとして備えている。
【００８７】
図１７に示されるように、画像形成装置４００は、電子写真方式により用紙などの印刷媒体Ｐ上に現像剤像（トナー像）を形成する画像形成部４１０Ｙ、４１０Ｍ、４１０Ｃ、４１０Ｋと、画像形成部４１０Ｙ、４１０Ｍ、４１０Ｃ、４１０Ｋに印刷媒体４２６を供給する媒体供給部４２０とを有する。また、画像形成装置４００は、印刷媒体４２６を搬送する搬送部４３０と、画像形成部４１０Ｙ、４１０Ｍ、４１０Ｃ、４１０Ｋの各々に対応するように配置された転写部としての転写ローラ４４０と、印刷媒体４２６上に転写されたトナー像を定着させる定着器４５０と、定着器４５０を通過した印刷媒体４２６を外部に排出する媒体排出部としての排紙ローラ対４２５とを有する。なお、画像形成装置４００が有する画像形成部の数は、３以下又は５以上であってもよい。また、画像形成装置４００は、電子写真プロセスによって印刷媒体４２６上に画像を形成する装置であれば、画像形成部の数が１つであるモノクロプリンタであってもよい。
【００８８】
図１７に示されるように、媒体供給部４２０は、用紙カセット４２１と、用紙カセット４２１内に積載された印刷媒体４２６を１枚ずつ繰り出すホッピングローラ４２２と、用紙カセット４２１から繰り出された印刷媒体４２６を搬送するレジストローラ４２３と、印刷媒体４２６を搬送するローラ対４２４とを有する。
【００８９】
画像形成部４１０Ｙ、４１０Ｍ、４１０Ｃ、４１０Ｋは、印刷媒体４２６上にイエロー（Ｙ）のトナー像、マゼンタ（Ｍ）のトナー像、シアン（Ｃ）のトナー像、及びブラック（Ｋ）のトナー像をそれぞれ形成する。画像形成部４１０Ｙ、４１０Ｍ、４１０Ｃ、４１０Ｋは、媒体搬送路に沿って媒体搬送方向（図１７における左右方向）の上流側から下流側に（すなわち、右から左に）並んで配置される。画像形成部４１０Ｙ、４１０Ｍ、４１０Ｃ、４１０Ｋは、着脱自在に形成された各色用の画像形成ユニット４１２Ｙ、４１２Ｍ、４１２Ｃ、４１２Ｋをそれぞれ有する。直列に配列された画像形成ユニット４１２Ｙ、４１２Ｍ、４１２Ｃ、４１２Ｋは、画像形成部４１０Ｙ、４１０Ｍ、４１０Ｃ、４１０Ｋの各色に対応して備えられる。画像形成ユニット４１２Ｙはイエローのトナーにより画像を形成し、画像形成ユニット４１２Ｍはマゼンタのトナーにより画像を形成し、画像形成ユニット４１２Ｃはシアンのトナーにより画像を形成し、画像形成ユニット４１２Ｋはブラックのトナーにより画像を形成する。画像形成ユニット４１２Ｙ、４１２Ｍ、４１２Ｃ、４１２Ｋは、トナーの色が異なる点以外は、互いに同じ構造を有する。
【００９０】
画像形成部４１０Ｙ、４１０Ｍ、４１０Ｃ、４１０Ｋは、各色用の露光装置としての光プリントヘッド４１１Ｙ、４１１Ｍ、４１１Ｃ、４１１Ｋをそれぞれ有する。
【００９１】
画像形成ユニット４１２Ｙ、４１２Ｍ、４１２Ｃ、４１２Ｋの各々は、回転可能に支持された像担持体としての感光体ドラム４１３と、感光体ドラム４１３の表面を一様に帯電させる帯電部材としての帯電ローラ４１４と、光プリントヘッド４１１Ｙ、４１１Ｍ、４１１Ｃ、４１１Ｋによる露光によって感光体ドラム４１３の表面に静電潜像を形成した後に、感光体ドラム４１３の表面にトナーを供給して静電潜像に対応するトナー像を形成する現像装置４１５とを有する。
【００９２】
現像装置４１５は、トナーを収容する現像剤収容部としてのトナー収容部と、感光体ドラム４１３の表面にトナーを供給する現像剤担持体としての現像ローラ４１６と、トナー収容部内に収容されたトナーを現像ローラ４１６に供給する供給ローラ４１７と、現像ローラ４１６の表面のトナー層の厚さを規制するトナー規制部材としての現像ブレード４１８とを有する。
【００９３】
光プリントヘッド４１１Ｙ、４１１Ｍ、４１１Ｃ、４１１Ｋの各々による露光は、一様帯電した感光体ドラム４１３の表面に印刷用の画像データに基づいて実行される。光プリントヘッド４１１Ｙ、４１１Ｍ、４１１Ｃ、４１１Ｋの各々は、感光体ドラム４１３の軸線方向に複数の発光素子として発光サイリスタが配列された発光素子アレイを含む。
【００９４】
図１７に示されるように、搬送部４３０は、印刷媒体４２６を静電吸着して搬送する搬送ベルト（転写ベルト）４３３と、駆動部により回転されて搬送ベルト４３３を駆動する駆動ローラ４３１と、駆動ローラ４３１と対を成して搬送ベルト４３３を張架するテンションローラ（従動ローラ）４３２とを有する。
【００９５】
図１２に示されるように、転写ローラ４４０は、搬送ベルト４３３を挟んで画像形成ユニット４１２Ｙ、４１２Ｍ、４１２Ｃ、４１２Ｋの各々の感光体ドラム４１３に対向して配置されている。転写ローラ４４０によって、画像形成ユニット４１２Ｙ、４１２Ｍ、４１２Ｃ、４１２Ｋの各々の感光体ドラム４１３の表面に形成された現像剤像（トナー像）は、媒体搬送路に沿って矢印方向に搬送される印刷媒体４２６の上面に順に転写されて、複数のトナー像が重ねられたカラー画像が形成される。感光体ドラム４１３上に現像された画像（トナー像）を印刷媒体４２６に転写した後に感光体ドラム４１３に残留したトナーを除去するクリーニング装置４１９を有する。
【００９６】
定着器４５０は、互いに圧接し合う１対のローラ４５１、４５２を有する。ローラ４５１は、加熱ヒータを内蔵するヒートローラであり、ローラ４５２はローラ４５１に向けて押し付けられる加圧ローラである。未定着のトナー像を有する印刷媒体４２６は、定着器４５０の一対のローラ４５１、４５２間を通過する。このとき、未定着のトナー像は、加熱及び加圧されて印刷媒体４２６上に定着される。
【００９７】
《５−２》動作
先ず、用紙カセット４２１内の印刷媒体４２６は、ホッピングローラ４２２によって繰り出され、レジストローラ４２３へ送られる。続いて、印刷媒体４２６はレジストローラ４２３からローラ対４２４を介して搬送ベルト４３３に送られ、この搬送ベルト４３３の走行に伴って、画像形成ユニット４１２Ｙ、４１２Ｍ、４１２Ｃ、４１２Ｋへと搬送される。画像形成ユニット４１２Ｙ、４１２Ｍ、４１２Ｃ、４１２Ｋにおいて、感光体ドラム４１３の表面は、帯電ローラ４１４によって帯電され、光プリントヘッド４１１Ｙ、４１１Ｍ、４１１Ｃ、４１１Ｋによって露光され、静電潜像が形成される。静電潜像には、現像ローラ４１６上で薄層化されたトナーが静電的に付着されて各色のトナー像が形成される。各色のトナー像は、転写ローラ４４０によって印刷媒体４２６に転写され、印刷媒体４２６上にカラーのトナー像が形成される。転写後に、感光体ドラム４１３上に残留したトナーは、クリーニング装置４１９によって除去される。カラーのトナー像が形成された印刷媒体４２６は、定着器４５０に送られる。この定着器４５０において、カラーのトナー像が印刷媒体４２６に定着され、カラー画像が形成される。カラー画像が形成された印刷媒体４２６は、排紙ローラ対４２５によって用紙スタッカへ排出される。
【００９８】
《５−３》効果
以上に説明したように、第５の実施形態に係る画像形成装置４００においては、第４の実施形態に係る光プリントヘッド３００を、露光装置である光プリントヘッド４１１Ｙ、４１１Ｍ、４１１Ｃ、４１１Ｋとして備えている。このため、画像形成装置４００の信頼性を向上させることができる。
【００９９】
《６》変形例
第１から第３の実施形態における発光サイリスタは、Ｐゲートサイリスタに限らず、Ｎゲートサイリスタであってもよい。また、走査サイリスタは、Ｐゲートサイリスタに限らず、Ｎゲートサイリスタであってもよい。
【０１００】
また、第１から第３の実施形態では、複数の発光サイリスタ及び複数の走査サイリスタを、第１のグループに属する発光サイリスタ１０＿１、…、１０＿（ｎ／２）及び走査サイリスタ２０＿１、…、２０＿（ｎ／２）と、第２のグループに属する発光サイリスタ１０＿（ｎ／２＋１）、…、１０＿ｎ及び走査サイリスタ２０＿（ｎ／２＋１）、…、２０＿ｎとに分割し、グループごとに検査が行われてもよい。また、この場合のグループの数は、３つ以上であってもよい。
【０１０１】
また、第１から第３の実施形態における検査は、装置に搭載された後の発光素子アレイについても実施可能である。
【符号の説明】
【０１０２】
１０  発光素子アレイ部、  １０＿１、１０＿２、…  発光サイリスタ、  １０＿１ａ、１０＿２ａ、…  発光サイリスタ（第１の発光サイリスタ）、  １０＿１ｂ、１０＿２ｂ、…  発光サイリスタ（第２の発光サイリスタ）、  １１  アノード端子（第１の端子）、  １２  カソード端子（第２の端子）、  １３  ゲート端子（第３の端子）、  ２０  走査回路部、  ２０＿１、２０＿２、…  走査サイリスタ（スイッチ素子）、  ２１  アノード端子（第６の端子）、  ２２  カソード端子（第７の端子）、  ２３  ゲート端子（第８の端子）、  ２４＿１、２４＿２、…  ダイオード、  ２５＿１、２５＿２、…  ゲート負荷抵抗、  ３０  検査回路部、  ３０＿１、３０＿２、…  ダイオード、  ３１、３１ａ、３１ｂ  アノード端子（第４の端子）、  ３２  カソード端子（第５の端子）、  ４０、４０ａ、４０ｂ  駆動回路部、  ４１  発光用電極パッド、  ４２  駆動用端子、  ４２ａ  駆動用端子（第１の駆動用端子）、  ４２ｂ  駆動用端子（第２の駆動用端子）、  ４３  走査用電極パッド、  ４４  走査用端子、  ４５、４６  クロック用端子、  ４７  検査用電極パッド、  ４７ａ  検査用電極パッド（第１の検査用電極パッド）、  ４７ｂ  検査用電極パッド（第２の検査用電極パッド）、  ５０  基材、  ５１  電極パッド、  １０１、１０２、１０３  発光素子アレイチップ、  ３００  光プリントヘッド、  ４００  画像形成装置、  ＶＤＤｅ  第１の駆動電圧、  Ｉｏｕｔ、Ｉｏｕｔ１、Ｉｏｕｔ２  第２の駆動電圧、  ＶＤＤｓ  第１の走査用電圧、  ＶＳＳ  第２の走査用電圧、  ＴＥＳＴ、ＴＥＳＴ１、ＴＥＳＴ２  検査用電圧、  ＣＬＫ１、ＣＬＫ２  クロック信号。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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