(57)【要約】【課題】アームの受ける衝撃等の外力を減衰させ、モーターや減速機などの破損を低減することが可能ロボットを提供する。【解決手段】ロボット２は、第１部材（基台２１）に対して回動軸周りに回動する第２部材（アーム２２）と、第２部材を回動させるモーターユニット（アーム駆動部２６）と、を備え、モーターユニットは、回転軸２６３を有するモーター（第１モーター２６１）と、回転軸に接続されている第１回転部５０と、第１回転部の回転方向に沿って回転し、第２部材に接続されている第２回転部６０と、第１回転部と第２回転部との間に配置された複数の回転体４１と、回転体と第１回転部との間、または回転体と第２回転部との間に配置された弾性体（金属板ばね４２）と、を有している。【選択図】図２
2020146774.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材と、
前記第１部材に対して回動軸周りに回動する第２部材と、
前記第２部材を回動させるモーターユニットと、を備え、
前記モーターユニットは、
回転軸を有するモーターと、
前記回転軸に接続されている第１回転部と、
前記第１回転部の回転方向に沿って回転し、前記第２部材に接続されている第２回転部と、
前記第１回転部と前記第２回転部との間に配置された複数の回転体と、
前記回転体と前記第１回転部との間、または前記回転体と前記第２回転部との間に配置された弾性体と、を有している、ロボット。
【請求項２】
前記回転体の配置位置と異なる位置の前記第１回転部と前記第２回転部との間に、回動ベアリング部が設けられている、
請求項１に記載のロボット。
【請求項３】
前記第２回転部の回転位置を計測する角度センサーが設けられている、
請求項１または請求項２に記載のロボット。
【請求項４】
前記第１回転部、または前記第２回転部には、
前記回転体を回転摺動可能に保持する凹状の保持部が設けられている、
請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載のロボット。
【請求項５】
前記弾性体は、金属板ばねで構成されている、
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載のロボット。
【請求項６】
前記金属板ばねは、
前記第１回転部に沿った基材部と、
前記基材部から湾曲し、前記回転体を保持する屈曲部と、を有している、
請求項５に記載のロボット。
【請求項７】
前記第１回転部、または前記第２回転部には、
前記金属板ばねの前記屈曲部の頂部を挿入する溝部が設けられている、
請求項６に記載のロボット。
【請求項８】
前記金属板ばねの前記基材部と、前記第１回転部または前記第２回転部の前記金属板ばねと対向する面との間の距離が、
前記第１回転部または前記第２回転部からの前記回転体の突出距離よりも短い、
請求項６または請求項７に記載のロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、部品などを搬送するロボットとして、例えば特許文献１には、スカラロボットとも呼ばれる水平多関節ロボットが開示されている。特許文献１に記載されているロボットは、基台と、基台の上端部に連結され、鉛直方向に沿う軸心を中心にして基台に対して回動する第１アームと、モーターおよび減速機などを有し、第１アームを回動させるモーターユニットとしてのモーター駆動部と、を備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１８−１３０７９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されているロボットでは、第１アームに衝撃等の外力を受けたとき、モーター駆動部を構成するモーターや減速機などに破損を生じてしまう虞があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願のロボットは、第１部材と、前記第１部材に対して回動軸周りに回動する第２部材と、前記第２部材を回動させるモーターユニットと、を備え、前記モーターユニットは、回転軸を有するモーターと、前記回転軸に接続されている第１回転部と、前記第１回転部の回転方向に沿って回転し、前記第２部材に接続されている第２回転部と、前記第１回転部と前記第２回転部との間に配置された複数の回転体と、前記回転体と前記第１回転部との間、または前記回転体と前記第２回転部との間に配置された弾性体と、を有している。
【０００６】
上述のロボットにおいて、前記回転体の配置位置と異なる位置の前記第１回転部と前記第２回転部との間に、回動ベアリング部が設けられていることとしてもよい。
【０００７】
上述のロボットにおいて、前記第２回転部の回転位置を計測する角度センサーが設けられていることとしてもよい。
【０００８】
上述のロボットにおいて、前記第１回転部、または前記第２回転部には、前記回転体を回転摺動可能に保持する凹状の保持部が設けられていることとしてもよい。
【０００９】
上述のロボットにおいて、前記弾性体は、金属板ばねで構成されていることとしてもよい。
【００１０】
上述のロボットにおいて、前記金属板ばねは、前記第１回転部に沿った基材部と、前記基材部から湾曲し、前記回転体を保持する屈曲部と、を有していることとしてもよい。
【００１１】
上述のロボットにおいて、前記第１回転部、または前記第２回転部には、前記金属板ばねの前記屈曲部の頂部を挿入する溝部が設けられていることとしてもよい。
【００１２】
上述のロボットにおいて、前記金属板ばねの前記基材部と、前記第１回転部または前記第２回転部の前記金属板ばねと対向する面との間の距離が、前記第１回転部または前記第２回転部からの前記回転体の突出距離よりも短いこととしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】ロボットの全体構成を示す概略図。
【図２】第１実施形態に係るロボットのモーターユニットとアームとの接続部の概略構成を示す断面図。
【図３】第１回転部と第２回転部との接続構成を示し、図２のＱ−Ｑ断面図。
【図４】回転体と金属板ばねとの配置構成を示し、図３と同方向から見た拡大断面図。
【図５】回転体と金属板ばねとの配置構成を示し、図４の正面断面図。
【図６】外力の減少過程を説明する概略図。
【図７】第２実施形態に係るロボットのモーターユニットとアームとの接続部の概略構成を示す断面図。
【図８】回転体と金属板ばねとの配置構成を示し、図４と同位置での拡大断面図。
【図９】回転体と金属板ばねとの配置構成を示し、図８の正面断面図。
【図１０】回転体と金属板ばねとの配置構成の変形例を示す、図４と同様の拡大断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明のロボットを、添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。なお、以下で説明する本実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、本実施形態で説明される構成の全てが、本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００１５】
また、以下で参照する図面では、説明の便宜上、互いに直交する三つの軸であるＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を矢印で図示しており、その矢印の先端側を「＋（プラス）」、基端側を「−（マイナス）」としている。また、以下では、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向」という。また、以下では、説明の便宜上、図１中の上方である＋Ｚ方向側を「上」、下方である−Ｚ方向側を「下」ということがある。
【００１６】
また、以下では、Ｘ軸とＹ軸とを含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直方向となっている。ここで、本明細書における「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して、例えば５°以内で傾斜している状態も含む。同様に、本明細書において、「鉛直」とは、完全に鉛直な場合のみならず、鉛直に対して±５°以内で傾斜している場合も含む。また、本明細書において、「平行」とは、二つの線（軸を含む）または面が互いに完全な平行である場合のみならず、±１０°以内で傾斜している場合も含む。また、本明細書において、「直交」とは、二つの線（軸を含む）または面が互いに完全な直交である場合のみならず、±１０°以内で傾斜している場合も含む。
【００１７】
１．第１実施形態
１．１：第１実施形態に係るロボット
先ず、第１実施形態に係るロボットの構成について、図１、図２、図３、図４、図５、および図６を参照して説明する。図１は、ロボットの全体構成を示す図である。図２は、第１実施形態に係るロボットのモーターユニットとアームとの接続部の概略構成を示す断面図である。図３は、第１回転部と第２回転部との接続構成を示し、図２のＱ−Ｑ断面図である。図４は、回転体と金属板ばねとの配置構成を示し、図３と同方向から見た拡大断面図である。図５は、回転体と金属板ばねとの配置構成を示し、図４の正面断面図である。図６は、外力の減少過程を説明する概略図である。
【００１８】
図１、および図２に示すように、第１実施形態に係るロボット２は、スカラロボットとも呼ばれる水平多関節ロボットであり、ロボット２を制御する制御装置３と接続されている。ロボット２の用途は、特に限定されず、例えば、電子部品および電子機器等の対象物の保持、搬送、組立および検査等の各作業で用いることができる。
【００１９】
ロボット２は、第１部材としての基台２１と、基台２１に設けられ基台２１に対して回動軸である第１回動軸Ｊ１周りに回動可能な第２部材としてのアーム２２と、アーム２２に設けられた作業ヘッド２５と、を有する。また、ロボット２は、アーム２２を回動軸である第１回動軸Ｊ１周り、および回動軸である第２回動軸Ｊ２周りに駆動させるモーターユニットとしてのアーム駆動部２６，２７と、作業ヘッド２５を駆動させる作業ヘッド駆動部２８と、を有する。また、ロボット２は、第２回動軸Ｊ２と異なる位置に設けられ、作業ヘッド２５にあって第２回動軸Ｊ２と平行に移動し、下方の一端側にエンドエフェクター（不図示）が設けられるシャフトであるスプラインシャフト２５３と、を有する。
【００２０】
以下、ロボット２の構成について、さらに詳細に説明する。
基台２１は、例えば図２に示す床面１０にボルト等によって固定されている。アーム２２は、基台２１に連結され、基台２１に対して第１回動軸Ｊ１周りに回動可能な第１アーム２３と、第１アーム２３の先端部に設けられ、第１アーム２３に対して第１回動軸Ｊ１と平行な第２回動軸Ｊ２周りに回動可能に連結されている第２アーム２４と、を有する。したがって、本構成では、基台２１が第１部材であり、第１アーム２３が第２部材である。なお、第１アーム２３は、第２アーム２４を第２回動軸Ｊ２周りに回動可能に連結しており、第１アーム２３を第１部材とした場合、第２アーム２４を第２部材とすることができる。
【００２１】
第１部材としての基台２１には、基台２１に対して第２部材としての第１アーム２３を、その回動軸としての第１回動軸Ｊ１周りに回動させるモーターユニットとしてのアーム駆動部２６が設けられている。このアーム駆動部２６の構成については、後段にて詳細に説明する。
【００２２】
また、第２アーム２４内には、第１アーム２３に対して第２アーム２４を、その回動軸としての第２回動軸Ｊ２周りに回動させるモーターユニットとしてのアーム駆動部２７が設けられている。アーム駆動部２７は、第１アーム２３を回動するアーム駆動部２６と同様の構成とすることができる。この第２アーム２４内のアーム駆動部２７には、第２モーター２７１、および減速機（不図示）が設けられている。第２モーター２７１には、第２モーター２７１の回転量を検出する角度センサーとしての第２エンコーダー２７２が設けられており、第２エンコーダー２７２からの出力によって第１アーム２３に対する第２アーム２４の回動角を検出することができる。なお、以下では、アーム駆動部２６を代表例として説明する。
【００２３】
作業ヘッド２５は、第２アーム２４の先端部、すなわち、第２アーム２４の回動軸としての第２回動軸Ｊ２と異なる位置に設けられている。作業ヘッド２５は、第２アーム２４の先端部に同軸的に配置されたスプラインナット２５１およびボールネジナット２５２と、スプラインナット２５１およびボールネジナット２５２に挿通されたスプラインシャフト２５３と、を有する。
【００２４】
スプラインシャフト２５３は、第２アーム２４に対して、その中心軸である第３回動軸Ｊ３周りに回動可能であり、かつ、第３回動軸Ｊ３に沿った方向、換言すれば第３回動軸Ｊ３と平行な方向に往復移動が可能となっている。なお、第１回動軸Ｊ１、第２回動軸Ｊ２および第３回動軸Ｊ３は、互いに平行であり、それぞれ、鉛直方向に沿っている。
【００２５】
また、第２アーム２４内には、スプラインナット２５１を回転させてスプラインシャフト２５３を第３回動軸Ｊ３周りに回転させる第３モーター２８１が設けられている。また、第３モーター２８１には、第３モーター２８１の回転量を検出する角度センサーとしての第３エンコーダー２８２が設けられており、第３エンコーダー２８２からの出力によって第２アーム２４に対するスプラインシャフト２５３の回転量を検出することができる。また、第２アーム２４内には、ボールネジナット２５２を回転させてスプラインシャフト２５３を第３回動軸Ｊ３に沿った方向に移動させる第４モーター２９１が設けられている。また、第４モーター２９１には、第４モーター２９１の回転量を検出する角度センサーとしての第４エンコーダー２９２が設けられており、第４エンコーダー２９２からの出力によって第２アーム２４に対するスプラインシャフト２５３の移動量を検出することができる。
【００２６】
図１に示すように、スプラインシャフト２５３の下端側の先端部には、エンドエフェクター（不図示）を装着するためのペイロード２５４が設けられている。ペイロード２５４に装着するエンドエフェクターとしては、特に限定されず、例えば、対象物を保持するハンドや対象物を加工する作業具等が挙げられる。なお、ハンドによる対象物の保持には、把持、および吸着を含む。
【００２７】
１．２：モーターユニットとしてのアーム駆動部
基台２１には、基台２１に対して第１アーム２３を、その回動軸としての第１回動軸Ｊ１周りに回動させるモーターユニットとしてのアーム駆動部２６が設けられている。アーム駆動部２６は、第１モーター２６１と、第１モーター２６１の回転量を検出する角度センサーとしての第１エンコーダー２６２と、第１モーター２６１の回転軸２６３（図２参照）に接続され、減速した回転を第１アーム２３側である出力側に出力する減速機３０と、を有している。減速機３０は、基台２１に接続されている入力側保持部３１に、ベアリング部３２を介して回動可能に、外周部を保持されている。これにより、減速機３０の回転中心のずれを防ぐことができる。
【００２８】
アーム駆動部２６は、第１エンコーダー２６２、および後述する出力側エンコーダー２６４からの出力によって基台２１に対する第１アーム２３の回動角を検出することができる。なお、第１エンコーダー２６２は、第１モーター２６１の入力側エンコーダーということができる。
【００２９】
さらに、アーム駆動部２６は、減速機３０の出力側に接続されている第１回転部５０と、第１回転部５０の回転方向に沿って、第１回転部５０に対して相対的に回転移動する第２回転部６０と、第２回転部６０の回動角を検出する角度センサーとしての出力側エンコーダー２６４と、を有している。
【００３０】
第１回転部５０は、減速機３０の出力側に接続され、減速機３０から出力される回転を受ける第１入力部５０１と、第１入力部５０１に対して減速機３０の配置側と反対側の第１入力部５０１に接続されている第２入力部５０２と、を有している。
【００３１】
第２回転部６０は、第１回転部５０の外側に位置しており、第１回転部５０の回転方向に沿って、第１回転部５０に対して相対的に回転移動することができる。そして、第２回転部６０には、第１アーム２３が接続されている。すなわち、第１アーム２３は、第２回転部６０の回転を受けて、基台２１に対して第１回動軸Ｊ１周りに回動する。第２回転部６０は、第１回転部５０の第１入力部５０１と対向する位置に配置されている第１出力部６０１と、第１回転部５０の第２入力部５０２と対向する位置に配置されている第２出力部６０２と、を有している。
【００３２】
第２回転部６０は、第１回転部５０の第１入力部５０１との間に配置されている複数の回転体４１、および弾性体としての金属板ばね４２を介して、第１回転部５０と接続されている。なお、複数の回転体４１および金属板ばね４２は、第１回転部５０の第１入力部５０１の外周部と、第２回転部６０の第１出力部６０１の内周部との間に配置されている。また、金属板ばね４２は、複数の回転体４１と、第２回転部６０の第１出力部６０１との間に配置されており、回転体４１に対して与圧を与えるように構成されている。
【００３３】
複数の回転体４１は、円筒形状をなし、図３、図４、および図５に示すように、第１回転部５０および第２回転部６０の回転軸に沿って、円筒形状の中心軸が配置されるよう、第１回転部５０の第１入力部５０１の外周面から掘り込まれた底部５１２を有する凹状の保持部５１１に保持されている。回転体４１は、第１出力部６０１側に金属板ばね４２を変形させる大きさの外力が加わったとき、保持部５１１に対して回転摺動可能に保持される。すなわち、回転体４１は、第１入力部５０１の回転力を受けている場合は自転せず、第１出力部６０１に回転が生じた場合は、第１出力部６０１の回転に伴って、保持部５１１に沿って転がり回転することができる。このように、凹状の保持部５１１内において、回転体４１が回転摺動することにより、衝撃等の外力の分散を図ることができる。なお、回転体４１としては、鉄、ステンレスなどの鉄系合金、銅合金などの金属、もしくは硬質樹脂などで形成することができる。
【００３４】
なお、本形態における回転体４１は、１８個が配置され、第１入力部５０１の外周に、ほぼ等間隔に設けられた１８個の保持部５１１に保持されている。なお、回転体４１の配置数は、複数であればよく、１８個に限定されるものではない。また、必ずしも等間隔に設けられなくてもよい。
【００３５】
なお、第１入力部５０１における保持部５１１の掘り込み角部は、所謂円弧形状の面取り５１１ｒが施されていることが好ましい。このような面取り５１１ｒを施すことにより、角部による回転抵抗を減少させ、回転体４１の転がり回転を起き易くすることができる。
【００３６】
金属板ばね４２は、図３、図４、および図５に示すように、複数の回転体４１の配置位置のそれぞれに対向し、与圧を与えながら回転体４１に当接する複数の屈曲部４２２を有した、例えば帯状のばね部材で構成されている。金属板ばね４２は、第１回転部５０の第１入力部５０１の外周に沿って円筒状に配置されている基材部４２１と、基材部４２１から頂部４２３で折り返されて波状に折り曲げられている、回転体４１を保持する屈曲部４２２と、を有している。このような構成の金属板ばね４２は、基材部４２１から湾曲する屈曲部４２２により回転体４１を確実に保持することができる。なお、金属板ばね４２を構成するバネ部材としては、ばね用冷間圧延鋼板、ばね用ステンレス鋼板やリン青銅、ベリリウム銅などの銅合金板などを用いることができる。
【００３７】
金属板ばね４２は、第２回転部６０の第１出力部６０１の内周壁部６１１に設けられている溝部６１２に、屈曲部４２２の頂部４２３が挿入され、内底部６１３に沿って一辺が位置するように配置される。そして、金属板ばね４２は、溝部６１２に挿入された頂部４２３を基点として、屈曲部４２２のそれぞれの壁面に与圧されて回転体４１が当接することによって、第１入力部５０１と第１出力部６０１との間に保持される。換言すれば、このような金属板ばね４２により、回転体４１は、頂部４２３で折り返された屈曲部４２２のそれぞれの壁面によって、第１入力部５０１の保持部５１１に押圧されて保持される。
【００３８】
このように、弾性部材が金属板ばね４２で構成されることにより、アーム駆動部２６を軽量化することができ、ロボット２の軽量化を図ることができる。また、このような金属板ばね４２は、基材部４２１から湾曲する屈曲部４２２により回転体４１を確実に保持することができ、金属板ばね４２による回転力の伝達と、外力を受けたときの変形を確実に行うことができる。
【００３９】
上述のように、本形態のアーム駆動部２６は、第１モーター２６１の回転入力側の第１回転部５０と出力側の第２回転部６０との間に、回転体４１と弾性体としての金属板ばね４２とが介在する構成となっている。ロボット２は、このような構成のアーム駆動部２６を用いることにより、アーム２２に衝撃等の外力を受けたとき、第１回転部５０と第２回転部６０との間に配置されている回転体４１の転がり、および回転体４１が当接する金属板ばね４２の撓みによって、外力を受け終わるまでの時間を長くすることができる。すなわち、ロボット２は、アーム駆動部２６を用いることにより、アーム２２に衝撃等を受けたときの外力を逃がすことができるため、第１モーター２６１の回転軸側、例えば減速機３０や回転軸２６３、もしくは第１モーター２６１などの受ける衝撃等の外力を減少させることができる。これにより、アーム２２に衝撃等の外力を受けたときの、アーム駆動部２６の破損などを抑制することができる。
【００４０】
この衝撃の減少効果について、図６を参照しながら、さらに詳細に説明する。
アーム２２に対して、外力として次式（１）に示す運動量ｍｖが加わる。このような場合、アーム２２に接続されている第２回転部６０および金属板ばね４２は、図６に示すように、例えば矢印Ｒの方向に回転移動する。
【００４１】
【数１】
2020146774.tif 000003
【００４２】
この第２回転部６０および金属板ばね４２の回転移動により、金属板ばね４２に当接し与圧されている回転体４１は、保持部５１１内を摺動するように自転しながら、回転方向に位置する金属板ばね４２の屈曲部４２２を押圧し、金属板ばね４２を、例えば変形後の金属板ばね４２ｆの位置まで距離Ｄの間を変形させる。このように回転体４１が自転することにより、第２回転部６０が第１回転部５０に対して回転移動する移動距離が、見かけ上で長くなる。これにより、運動量ｍｖを受け終わるまでの時間Δｔを長くすることができるため、次式（２）の「Ｆ」、すなわち第１回転部５０側に伝わる外力Ｆを小さくすることができる。
【００４３】
【数２】
2020146774.tif 000004
【００４４】
なお、金属板ばね４２および回転体４１の配置は、金属板ばね４２の基材部４２１と、第１回転部５０の第１入力部５０１の金属板ばね４２と対向する面である外周面との間の距離Ｌ１が、第１回転部５０の第１入力部５０１の外周面からの回転体４１の突出距離Ｌ２よりも短くなるように配置することが好ましい。
【００４５】
このような金属板ばね４２および回転体４１の配置とすることにより、回転体４１は、金属板ばね４２の基材部４２１と第１回転部５０の第１入力部５０１の外周面との間から抜け出ることができなくなり、金属板ばね４２と回転体４１との位置関係を確実に保つことができる。
【００４６】
また、金属板ばね４２は、上述のように、一枚の板状の基材に複数の屈曲部４２２を設け、一枚の板状の基材を円状に曲げて構成してもよいし、個別の基材に屈曲部４２２が設けられている個片を用意し、それぞれの回転体４１に対応して配置してもよい。
【００４７】
角度センサーとしての出力側エンコーダー２６４は、第２回転部６０の回動角を検出することができる。換言すれば、出力側エンコーダー２６４は、第２回転部６０の回転位置を計測することができる。制御装置３は、出力側エンコーダー２６４の検出した回動角と、第１エンコーダー２６２の検出した回動角とを比較し、例えば金属板ばね４２の変形ヒステリシスなどに起因する第２回転部６０の回動誤差を算出する。制御装置３は、この回動誤差を反映して、第２回転部６０に接続されている第１アーム２３の基台２１に対する回動角を覚知することができる。
【００４８】
また、第２回転部６０の第２出力部６０２と第１回転部５０の第２入力部５０２との間には、回動ベアリング部としての回動ベアリング５０３が設けられている。第２回転部６０は、回動ベアリング５０３を介して第１回転部５０に対して相対的な回転が可能に接続されている。このように、第１回転部５０と第２回転部６０とが、回動ベアリング５０３を介して接続されていることにより、第１入力部５０１と第１出力部６０１との間に設けられている金属板ばね４２が変形によるアーム駆動部２６の回転の入力側と出力側との回転中心のずれ、所謂回転中心の偏心を低減することができる。
【００４９】
以上説明した第１実施形態に係るロボット２は、アーム２２に衝撃等の外力Ｆを受けたとき、第１回転部５０と第２回転部６０との間に配置されている回転体４１の自転、および弾性体としての金属板ばね４２の撓みによって、外力Ｆを受け終わるまでの時間Δｔを長くすることができる。すなわち、ロボット２は、回転体４１の自転、および弾性体としての金属板ばね４２の撓みによって外力Ｆを逃がすことができるため、モーターユニットとしてのアーム駆動部２６における第１モーター２６１の回転軸２６３側の受ける衝撃等の外力Ｆを減少させることができる。これにより、アーム２２に衝撃等の外力Ｆを受けたときの、アーム駆動部２６の破損などを抑制することができる。
【００５０】
２．第２実施形態
２．１：第２実施形態に係るロボット
先ず、第２実施形態に係るロボットの構成について、図７、図８、および図９を参照して説明する。図７は、第２実施形態に係るロボットのモーターユニットとアームとの接続部の概略構成を示す断面図である。図８は、回転体と金属板ばねとの配置構成を示し、図４と同位置での拡大断面図である。図９は、回転体と金属板ばねとの配置構成を示し、図８の正面断面図である。
【００５１】
なお、図７に示す第２実施形態に係るロボット２Ａは、モーターユニットとしてのアーム駆動部２６ａの構成が、上述した第１実施形態のロボット２と異なる。具体的に、第２実施形態のアーム駆動部２６ａは、第１実施形態において内側部位であった減速機３０の出力側への接続位置を外側部位とし、第１実施形態において外側部位であった第１アーム２３への接続位置を内側部位とした構成である。以下では、アーム駆動部２６ａの構成を中心に説明し、第１実施形態と同様の構成は、同符号を付し、その説明を簡略化する、もしくはその説明を省略することがある。
【００５２】
第２実施形態に係るロボット２Ａは、スカラロボットとも呼ばれる水平多関節ロボットである。ロボット２Ａの用途は、特に限定されず、例えば、電子部品および電子機器等の対象物の保持、搬送、組立および検査等の各作業で用いることができる。
【００５３】
ロボット２Ａの基本構成は、図１を参照して説明した第１実施形態と同様であり、第１部材としての基台２１と、基台２１に設けられ基台２１に対して回動軸である第１回動軸Ｊ１周りに回動可能な第２部材としてのアーム２２と、アーム２２に設けられた作業ヘッド２５と、を有する。また、ロボット２Ａは、図１に示すように、アーム２２を回動軸である第１回動軸Ｊ１周り、および回動軸である第２回動軸Ｊ２周りに駆動させるモーターユニットとしてのアーム駆動部２６と、作業ヘッド２５を駆動させる作業ヘッド駆動部２８と、を有する。また、ロボット２Ａは、第２回動軸Ｊ２と異なる位置に設けられ、作業ヘッド２５にあって第２回動軸Ｊ２と平行に移動し、下方の一端側にエンドエフェクター（不図示）が設けられるシャフトであるスプラインシャフト２５３と、を有する。
【００５４】
基台２１は、例えば図７に示す床面１０にボルト等によって固定されている。アーム２２は、基台２１に連結され、基台２１に対して第１回動軸Ｊ１周りに回動可能な第１アーム２３を有している。なお、第１アーム２３の先端部には、第１実施形態と同様に、第２アーム２４などが設けられているが、その説明は省略する。
【００５５】
２．２：モーターユニットとしてのアーム駆動部
基台２１には、基台２１に対して第１アーム２３を、その回動軸としての第１回動軸Ｊ１周りに回動させるモーターユニットとしてのアーム駆動部２６ａが設けられている。アーム駆動部２６ａは、第１モーター２６１と、第１モーター２６１の回転量を検出する角度センサーとしての第１エンコーダー２６２と、第１モーター２６１の回転軸２６３に接続され、減速した回転を第１アーム２３側である出力側に出力する減速機３０ａと、を有している。減速機３０ａは、基台２１に接続されている入力側保持部３１に、ベアリング部３２を介して回動可能に、外周部を保持されている。これにより、減速機３０ａの回転中心のずれを防ぐことができる。
【００５６】
アーム駆動部２６ａは、第１エンコーダー２６２、および後述する出力側エンコーダー２６４ａからの出力によって基台２１に対する第１アーム２３の回動角を検出することができる。なお、第１エンコーダー２６２は、第１モーター２６１の入力側エンコーダーということができる。
【００５７】
さらに、アーム駆動部２６ａは、減速機３０ａの出力側に接続されている第１回転部６０ａと、第１回転部６０ａの回転方向に沿って、第１回転部６０ａに対して相対的に回転移動する第２回転部５０ａと、第２回転部５０ａの回動角を検出する角度センサーとしての出力側エンコーダー２６４ａと、を有している。
【００５８】
第１回転部６０ａは、減速機３０ａの出力側に接続され、減速機３０ａから出力される回転を受ける第１入力部６０１ａと、第１入力部６０１ａに対して減速機３０ａの配置側と反対側の第１入力部６０１ａに接続されている第２入力部６０２ａと、を有している。
【００５９】
第２回転部５０ａは、第１回転部６０ａの内側に位置しており、第１回転部６０ａの回転方向に沿って、第１回転部６０ａに対して相対的に回転移動することができる。そして、第２回転部５０ａには、第１アーム２３が接続されている。すなわち、第１アーム２３は、第２回転部５０ａの回転を受けて、基台２１に対して第１回動軸Ｊ１周りに回動する。第２回転部５０ａは、第１回転部６０ａの第１入力部６０１ａと対向する位置に配置されている第１出力部５０１ａと、第１回転部６０ａの第２入力部６０２ａと対向する位置に配置されている第２出力部５０２ａと、を有している。
【００６０】
第２回転部５０ａは、第１回転部６０ａの第１入力部６０１ａとの間に配置されている複数の回転体４１ａ、および弾性体としての金属板ばね４２ａを介して、第１回転部６０ａと接続されている。なお、複数の回転体４１ａおよび金属板ばね４２ａは、第１回転部６０ａの第１入力部６０１ａの内周部と、第２回転部５０ａの第１出力部５０１ａの外周部との間に配置されている。また、金属板ばね４２ａは、複数の回転体４１ａと、第２回転部５０ａの第１出力部５０１ａとの間に配置されており、回転体４１ａに対して与圧を与えるように構成されている。
【００６１】
複数の回転体４１ａは、第１実施形態と同様に、円筒形状をなし、図８、および図９に示すように、第１回転部６０ａおよび第２回転部５０ａの回転軸に沿って、円筒形状の中心軸が配置されるよう、第２回転部５０ａの第１出力部５０１ａの外周面に掘り込まれた底部５１２ａを有する凹状の保持部５１１ａに保持されている。回転体４１ａは、第１出力部５０１ａ側に金属板ばね４２ａを変形させる大きさの外力が加わったとき、保持部５１１ａに対して回転摺動可能に保持される。すなわち、回転体４１ａは、第１入力部６０１ａの回転力を受けている場合は自転せず、第１出力部５０１ａに回転が生じた場合は、第１出力部５０１ａの回転に伴って、保持部５１１ａに沿って転がり回転することができる。このように、凹状の保持部５１１ａ内において、回転体４１ａが回転摺動することにより、衝撃等の外力の分散を図ることができる。なお、回転体４１ａを構成する材料としては、例えば、鉄、ステンレスなどの鉄系合金、銅合金などの金属、もしくは硬質樹脂などで形成することができる。
【００６２】
本形態における回転体４１ａは、図示しないが、第１実施形態と同様に１８個が配置され、第１出力部５０１ａの外周に、ほぼ等間隔に設けられた１８個の保持部５１１ａに保持されている。なお、回転体４１ａの配置数は、複数であればよく、１８個に限定されるものではない。また、必ずしも等間隔に設けられなくてもよい。
【００６３】
なお、第１出力部５０１ａにおける保持部５１１ａの掘り込み角部は、所謂円弧形状の面取り５１１ｒが施されていることが好ましい。このような面取り５１１ｒを施すことにより、角部による回転抵抗を減少させ、回転体４１ａの転がり回転を起き易くすることができる。
【００６４】
金属板ばね４２ａは、第１実施形態と同様に、波型形状をなし、図８、および図９に示すように、複数の回転体４１ａの配置位置のそれぞれに対向し、与圧を与えながら回転体４１ａに当接する複数の屈曲部４２２ａを有した、例えば帯状のばね部材で構成されている。金属板ばね４２ａは、第２回転部５０ａの第１出力部５０１ａの外周に沿って円筒状に配置されている基材部４２１ａと、基材部４２１ａから頂部４２３ａで折り返されて波状に折り曲げられている、回転体４１ａを保持する屈曲部４２２ａと、を有している。このような構成の金属板ばね４２ａは、基材部４２１ａから湾曲する屈曲部４２２ａにより回転体４１ａを確実に保持することができる。なお、金属板ばね４２ａを構成するバネ部材としては、例えば、ばね用冷間圧延鋼板、ばね用ステンレス鋼板やリン青銅、ベリリウム銅などの銅合金板などを用いることができる。
【００６５】
金属板ばね４２ａは、第１回転部６０ａの第１入力部６０１ａの内周壁部６１１ａに設けられている溝部６１２ａに、屈曲部４２２ａの頂部４２３ａが挿入され、内底部６１３ａに沿って一辺が位置するように配置される。そして、金属板ばね４２ａは、溝部６１２ａに挿入された頂部４２３ａを基点として、屈曲部４２２ａのそれぞれの壁面に与圧されて回転体４１ａが当接することによって、第１入力部６０１ａと第１出力部５０１ａとの間に保持される。換言すれば、このような金属板ばね４２ａにより、回転体４１ａは、頂部４２３ａで折り返された屈曲部４２２ａのそれぞれの壁面によって、第１出力部５０１ａの保持部５１１ａに押圧されて保持される。
【００６６】
このように、弾性部材が金属板ばね４２ａで構成されることにより、アーム駆動部２６ａを軽量化することができ、ロボット２Ａの軽量化を図ることができる。また、このような金属板ばね４２ａは、基材部４２１ａから湾曲する屈曲部４２２ａにより回転体４１ａを確実に保持することができ、金属板ばね４２ａによる回転力の伝達と、外力を受けたときの変形を確実に行うことができる。
【００６７】
上述のように、本形態のアーム駆動部２６ａは、第１モーター２６１の回転入力側の第１回転部６０ａと出力側の第２回転部５０ａとの間に、回転体４１ａと弾性体としての金属板ばね４２ａとが介在する構成となっている。ロボット２Ａは、このような構成のアーム駆動部２６ａを用いることにより、アーム２２に衝撃等の外力を受けたとき、第１回転部６０ａと第２回転部５０ａとの間に配置されている回転体４１ａの転がり、および回転体４１ａが当接する金属板ばね４２ａの撓みによって、外力を受け終わるまでの時間を長くすることができる。すなわち、ロボット２Ａは、アーム駆動部２６ａを用いることにより、アーム２２に衝撃等を受けたときの外力を逃がすことができるため、第１モーター２６１の回転軸側、例えば減速機３０ａや回転軸２６３、もしくは第１モーター２６１などの受ける衝撃等の外力を減少させることができる。これにより、アーム２２に衝撃等の外力を受けたときの、アーム駆動部２６ａの破損などを抑制することができる。なお、この衝撃の減少作用については、上述した第１実施形態と同様であるので、ここでの説明は省略する。
【００６８】
なお、金属板ばね４２ａおよび回転体４１ａの配置は、第１実施形態と同様に、金属板ばね４２ａの基材部４２１ａと、第２回転部５０ａの第１出力部５０１ａの金属板ばね４２ａと対向する面である外周面との間の距離Ｌ１が、第２回転部５０ａの第１出力部５０１ａの外周面からの回転体４１ａの突出距離Ｌ２よりも短くなるように配置することが好ましい。
【００６９】
このような金属板ばね４２ａおよび回転体４１ａの配置とすることにより、回転体４１ａは、金属板ばね４２ａの基材部４２１ａと第２回転部５０ａの第１出力部５０１ａの外周面との間から抜け出ることができなくなり、金属板ばね４２ａと回転体４１ａとの位置関係を確実に保つことができる。
【００７０】
また、金属板ばね４２ａは、上述のように、一枚の板状の基材に複数の屈曲部４２２ａを設け、一枚の板状の基材を円状に曲げて構成してもよいし、個別の基材に屈曲部４２２ａが設けられている個片を用意し、それぞれの回転体４１ａに対応して配置してもよい。
【００７１】
角度センサーとしての出力側エンコーダー２６４ａは、第２回転部５０ａの回動角を検出することができる。ロボット２Ａの制御装置（不図示）は、出力側エンコーダー２６４ａの検出した回動角と、第１エンコーダー２６２の検出した回動角とを比較し、例えば金属板ばね４２ａの復元性、所謂変形ヒステリシスなどに起因する第２回転部５０ａの回動誤差を算出する。ロボット２Ａの制御装置（不図示）は、この回動誤差を反映して、第２回転部５０ａに接続されている第１アーム２３の基台２１に対する回動角を覚知することができる。
【００７２】
また、第２回転部５０ａの第２出力部５０２ａと第１回転部６０ａの第２入力部６０２ａとの間には、回動ベアリング５０３が設けられている。第２回転部５０ａは、回動ベアリング５０３を介して第１回転部６０ａに対して相対的な回転が可能に接続されている。このように、第１回転部６０ａと第２回転部５０ａとが、回動ベアリング５０３を介して接続されていることにより、第１入力部６０１ａと第１出力部５０１ａとの間に設けられている金属板ばね４２ａの変形によるアーム駆動部２６ａの回転の入力側と出力側との回転中心のずれ、所謂回転中心の偏心を低減することができる。
【００７３】
以上説明した第２実施形態に係るロボット２Ａは、第１実施形態と同様に、アーム２２に衝撃等の外力Ｆを受けたとき、第１回転部６０ａと第２回転部５０ａとの間に配置されている回転体４１ａの自転、および弾性体としての金属板ばね４２ａの撓みによって、外力を受け終わるまでの時間を長くすることができる、すなわち外力を逃がすことができるため、モーターユニットとしてのアーム駆動部２６ａにおける第１モーター２６１の回転軸２６３側の受ける衝撃等の外力Ｆを減少させることができる。これにより、アーム２２に衝撃等の外力を受けたときの、アーム駆動部２６ａの破損などを抑制することができる。
【００７４】
なお、上述の第１実施形態および第２実施形態の説明では、第１部材としての基台２１に対して第２部材としての第１アーム２３を、その回動軸としての第１回動軸Ｊ１周りに回動させるモーターユニットとしてのアーム駆動部２６ａを例示して説明したが、この構成は、第１部材としての第１アーム２３に対して第２部材としての第２アーム２４を、その回動軸としての第２回動軸Ｊ２周りに回動させるモーターユニットとしてのアーム駆動部２７にも適用することができる。
【００７５】
３．回転体と金属板ばねの配置に係る変形例
次に、回転体と金属板ばねの配置に係る変形例について、図１０を参照して説明する。図１０は、回転体と金属板ばねとの配置構成の変形例を示し、図４と同様の拡大断面図である。
【００７６】
上述の第１実施形態および第２実施形態では、回転体４１，４１ａと金属板ばね４２，４２ａの配置に関し、内側に回転体４１，４１ａを配置し、回転体４１，４１ａの外側に金属板ばね４２，４２ａを配置する構成例を説明した。本変形例は、図１０に示すように、回転体４１ｂと金属板ばね４２ｂとを、上述の形態と逆の位置に配置した構成である。図１０に示す本変形例では、第１実施形態の構成を基に、回転体４１ｂと金属板ばね４２ｂとの配置構成について説明する。
【００７７】
複数の回転体４１ｂは、円筒形状をなし、第１回転部５０ｂおよび第２回転部６０ｂの回転軸に沿って、円筒形状の中心軸が配置されるよう、第２回転部６０ｂの第１出力部６０１ｂの内周面に掘り込まれた凹状の保持部６２２に保持されている。回転体４１ｂは、第１出力部６０１ｂ側に金属板ばね４２ｂを変形させる大きさの外力が加わったとき、保持部６２２に対して回転摺動可能に保持される。すなわち、回転体４１ｂは、第１入力部５０１ｂの回転力を受けている場合は自転せず、第１出力部６０１ｂに回転が生じた場合は、第１出力部６０１ｂの回動に伴って、保持部６２２に沿って転がり回転することができる。このように、凹状の保持部６２２内において、回転体４１ｂが回転摺動することにより、衝撃等の外力の分散を図ることができる。なお、回転体４１ｂとしては、鉄、ステンレスなどの鉄系合金、銅合金などの金属、もしくは硬質樹脂などで形成することができる。
【００７８】
金属板ばね４２ｂは、複数の回転体４１ｂの配置位置のそれぞれに対向し、与圧を与えながら回転体４１ｂに当接する複数の屈曲部４２２ｂを有した、例えば帯状のばね部材で構成されている。金属板ばね４２ｂは、第２回転部６０ｂの第１出力部６０１ｂの内周に沿って円筒状に配置されている基材部４２１ｂと、基材部４２１ｂから頂部４２３ｂで折り返されて波状に折り曲げられている、回転体４１ｂを保持する屈曲部４２２ｂと、を有している。このような構成の金属板ばね４２ｂは、基材部４２１ｂから湾曲する屈曲部４２２ｂにより回転体４１ｂを確実に保持することができる。なお、金属板ばね４２ｂを構成するバネ部材としては、ばね用冷間圧延鋼板、ばね用ステンレス鋼板やリン青銅、ベリリウム銅などの銅合金板などを用いることができる。
【００７９】
金属板ばね４２ｂは、第１回転部５０ｂの第１入力部５０１ｂの外周壁部５２３に設けられている溝部５２２に、屈曲部４２２ｂの頂部４２３ｂが挿入されて配置される。そして、金属板ばね４２ｂは、溝部５２２に挿入された頂部４２３ｂを基点として、屈曲部４２２ｂのそれぞれの壁面に与圧されて回転体４１ｂが当接することによって、第１入力部５０１ｂと第１出力部６０１ｂとの間に保持される。換言すれば、このような金属板ばね４２ｂにより、回転体４１ｂは、頂部４２３ｂで折り返された屈曲部４２２ｂのそれぞれの壁面によって、第１出力部６０１の保持部６２２に押圧されて保持される。
【００８０】
このように、弾性部材が金属板ばね４２ｂで構成されることにより、アーム駆動部２６を軽量化することができ、ロボット２（図１参照）の軽量化を図ることができる。また、このような金属板ばね４２ｂは、基材部４２１ｂから湾曲する屈曲部４２２ｂにより回転体４１ｂを確実に保持することができ、金属板ばね４２ｂによる回転力の伝達と、外力を受けたときの変形を確実に行うことができる。
【００８１】
このような変形例に係る回転体４１ｂと金属板ばね４２ｂとの配置においても、上述した第１実施形態および第２実施形態と同等の効果を奏することができる。すなわち、アーム２２（図２参照）に衝撃等の外力を受けたとき、第１入力部５０１ｂと第１出力部６０１ｂとの間に配置されている回転体４１ｂの転がり、および回転体４１ｂが当接する金属板ばね４２ｂの撓みによって、外力を受け終わるまでの時間を長くすることができる。すなわち、ロボット２（図２参照）は、アーム２２に衝撃等を受けたときの外力を逃がすことができるため、例えば、図２に示す減速機３０や回転軸２６３、もしくは第１モーター２６１などの受ける衝撃等の外力を減少させることができる。これにより、アーム２２に衝撃等の外力を受けたときの、減速機３０や回転軸２６３、もしくは第１モーター２６１などの破損を抑制することができる。
【００８２】
なお、上述の実施形態、および変形例では、円筒形状の回転体４１，４１ａ，４１ｂを例示して説明したが、転がりを起こす形状であれば、円筒形状に限らない。このような特性を有する他の回転体としては、例えば、球体、フットボール球様の円筒体などを適用することができる。
【００８３】
また、上述の実施形態、および変形例では、回転体４１，４１ａ，４１ｂと第２回転部６０，５０ａ，６０ｂとの間に配置された弾性体として金属板ばね４２３，４２３ａ，４２３ｂを例示して説明したが、これに限らない。金属板ばね４２，４２ａ，４２ｂに替わる弾性体としては、例えば樹脂製板ばね、天然ゴムや合成ゴム、もしくは弾性樹脂などで形成された弾性構造体などを適用することができる。
【００８４】
また、保持部５１１，５１１ａ，６２２の内壁面は、保持部５１１，５１１ａ，６２２と、回転体４１，４１ａ，４１ｂとの接触面積を減少させることによって接触抵抗を小さくし、回転体４１，４１ａ，４１ｂの自転を生じ易くすることができる。このため、保持部５１１，５１１ａ，６２２の内壁面には、例えば単数もしくは複数の帯形状や複数の点形状に掘り込んだ凹部を設けてもよい。
【００８５】
また、上述した第１実施形態および第２実施形態では、ロボット２，２Ａの構成として、制御装置３がロボット２，２Ａの外部に設けられている構成で説明したが、これに限らない。制御装置３は、ロボット２，２Ａの外部に設けられていてもよいし、内部に設けられていてもよい。
【００８６】
また、上述した第１実施形態および第２実施形態では、ロボット２，２Ａを、スカラロボットとも呼ばれる水平多関節ロボットを例示して説明したが、これに限らない。本願の構成を適用可能なロボットとしては、回動可能な腕部を有する構成であればよく、例えば、６軸制御ロボット、双腕ロボットなどを上げることができる。
【００８７】
以下に、上述した実施形態から導き出される内容を、各態様として記載する。
【００８８】
［態様１］本態様に係るロボットは、第１部材と、前記第１部材に対して回動軸周りに回動する第２部材と、前記第２部材を回動させるモーターユニットと、を備え、前記モーターユニットは、回転軸を有するモーターと、前記回転軸に接続されている第１回転部と、前記第１回転部の回転方向に沿って回転し、前記第２部材に接続されている第２回転部と、前記第１回転部と前記第２回転部との間に配置された複数の回転体と、前記回転体と前記第１回転部との間、または前記回転体と前記第２回転部との間に配置された弾性体と、を有している。
【００８９】
本態様によれば、第２部材に衝撃等の外力を受けたとき、第１回転部と第２回転部との間に配置されている回転体および弾性体の撓みによって、外力を受け終わるまでの時間を長くすることができる、すなわち外力を逃がすことができるため、モーターユニットにおけるモーターの回転軸側の受ける衝撃等の外力を減少させることができる。これにより、第２部材に衝撃等の外力を受けたときの、モーターユニットの破損などを抑制することができる。
【００９０】
［態様２］上記態様に記載のロボットにおいて、前記回転体の配置位置と異なる位置の前記第１回転部と前記第２回転部との間に、回動ベアリング部が設けられていることとしてもよい。
【００９１】
本態様によれば、第１回転部と第２回転部との間に設けられている回動ベアリング部により、弾性体の変形によるモーターユニットの回転中心の偏心を低減することができる。
【００９２】
［態様３］上記態様に記載のロボットにおいて、前記第２回転部の回転位置を計測する角度センサーが設けられていることとしてもよい。
【００９３】
本態様によれば、第２回転部の回転位置を計測する角度センサーにより、第１回転部と第２回転部との間に設けられている弾性体の剛性の低さによって生じる虞のある、モーターの回転軸の回転角度と第２部材の回転角度と間の角度誤差を低減することができる。
【００９４】
［態様４］上記態様に記載のロボットにおいて、前記第１回転部、または前記第２回転部には、前記回転体を回転摺動可能に保持する凹状の保持部が設けられていることとしてもよい。
【００９５】
本態様によれば、凹状の保持部内において、回転体が回転摺動することにより、衝撃等の外力の分散を図ることができる。
【００９６】
［態様５］上記態様に記載のロボットにおいて、前記弾性体は、金属板ばねで構成されていることとしてもよい。
【００９７】
本態様によれば、弾性体を金属板ばねによって構成することにより、モーターユニットを軽量化することができ、ロボットの軽量化を図ることができる。
【００９８】
［態様６］上記態様に記載のロボットにおいて、前記金属板ばねは、前記第１回転部に沿った基材部と、前記基材部から湾曲し、前記回転体を保持する屈曲部と、を有していることとしてもよい。
【００９９】
本態様によれば、基材部から湾曲する屈曲部により回転体を確実に保持することができ、金属板ばねによる回転力の伝達と、外力を受けたときの変形を起こり易くすることができる。
【０１００】
［態様７］上記態様に記載のロボットにおいて、前記第１回転部、または前記第２回転部には、前記金属板ばねの前記屈曲部の頂部を挿入する溝部が設けられていることとしてもよい。
【０１０１】
本態様によれば、金属板ばねの屈曲部の頂部が溝部によって保持されているため、金属板ばねによる回転力を、第１回転部、または第２回転部に確実に伝達することができる。
【０１０２】
［態様８］上記態様に記載のロボットにおいて、前記金属板ばねの前記基材部と、前記第１回転部または前記第２回転部の前記金属板ばねと対向する面との間の距離が、前記第１回転部または前記第２回転部からの前記回転体の突出距離よりも短いこととしてもよい。
【０１０３】
本態様によれば、金属板ばねの前記基材部と第１回転部または第２回転部の金属板ばねと対向する面との間から、回転体が抜け出てしまうことを抑制することができ、金属板ばねと回転体の位置関係を確実に保つことができる。
【符号の説明】
【０１０４】
２，２Ａ…ロボット、３…制御装置、２１…第１部材としての基台、２２…第２部材としてのアーム、２３…第１アーム、２４…第２アーム、２５…作業ヘッド、２６…アーム駆動部、２８…作業ヘッド駆動部、３０，３０ａ…減速機、３１…入力側保持部、３２…ベアリング部、４１…回転体、４２…弾性体としての金属板ばね、５０…第１回転部、６０…第２回転部、２５１…スプラインナット、２５２…ボールネジナット、２５３…スプラインシャフト、２５４…ペイロード、２６１…第１モーター、２６２…第１エンコーダー、２６３…回転軸、２６４…角度センサーとしての出力側エンコーダー、２７１…第２モーター、２７２…第２エンコーダー、２８１…第３モーター、２８２…第３エンコーダー、２９１…第４モーター、２９２…第４エンコーダー、４２１…基材部、４２２…屈曲部、４２３…頂部、５０１…第１入力部、５０２…第２入力部、５０３…回動ベアリング、５１１…保持部、５１１ｒ…面取り、５１２…底部、６０１…第１出力部、６０２…第２出力部、６１１…内周壁部、６１２…溝部、６１３…内底部、Ｊ１…第１回動軸、Ｊ２…第２回動軸、Ｊ３…第３回動軸、Ｌ１…距離、Ｌ２…突出距離。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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