(57)【要約】【課題】装置変動の影響による部品の装着位置のずれを精度良く補正することができる部品実装システムおよび実装基板の製造方法を提供する。【解決手段】部品実装システムは、部品実装装置Ｍ１と、装着された部品Ｄの装着位置を計測する検査カメラ３２と、検査カメラ３２による計測結果に基づいて装着位置の補正量を算出する補正量算出装置と、を有している。検査カメラ３２は、第１の基板６Ａの複数の部品Ｄの装着位置を計測し、補正量算出装置は、計測された装着位置のうち直近に装着された少なくとも一つの部品Ｄの計測結果に基づいて、装着位置の補正量を算出する。そして、部品実装装置Ｍ１は、算出された補正量に基づいて、第２の基板６Ｂに装着する複数の部品Ｄの装着位置を補正する装着位置補正手段を備え、装着ヘッドは、第２の基板６Ｂの補正された装着位置に複数の部品Ｄを装着する。【選択図】図４
2020113587.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装着ヘッドによって基板に複数の部品を装着する部品実装装置と、前記装着ヘッドによって装着された部品の装着位置を計測する検査手段と、前記検査手段による計測結果に基づいて装着位置の補正量を算出する補正量算出装置と、を有する部品実装システムであって、
前記検査手段は、前記装着ヘッドによって前記複数の部品が装着された第１の基板の前記複数の部品の装着位置を計測し、
前記補正量算出装置は、前記計測された前記装着位置のうち直近に装着された少なくとも一つの部品の計測結果に基づいて、装着位置の補正量を算出し、
前記部品実装装置は、
前記算出された補正量に基づいて、第２の基板に装着する複数の部品の装着位置を補正する装着位置補正手段を備え、
前記装着ヘッドは、前記第２の基板の前記補正された装着位置に前記複数の部品を装着する、部品実装システム。
【請求項２】
前記検査手段は前記部品実装装置に備えられる、請求項１に記載の部品実装システム。
【請求項３】
前記検査手段は、前記部品実装装置から基板が搬送される検査装置に備えられる、請求項１に記載の部品実装システム。
【請求項４】
前記少なくとも一つの部品は所定数の部品である、請求項１から３のいずれかに記載の部品実装システム。
【請求項５】
前記少なくとも一つの部品は所定時間内に装着された部品である、請求項１から３のいずれかに記載の部品実装システム。
【請求項６】
前記補正量算出装置は前記部品実装装置に含まれる、請求項１から３のいずれかに記載の部品実装システム。
【請求項７】
前記補正量算出装置は前記検査装置に含まれる、請求項３に記載の部品実装システム。
【請求項８】
装着ヘッドによって基板に複数の部品を装着する部品実装装置と、前記装着ヘッドによって装着された部品の装着位置を計測する検査手段と、を有する部品実装システムによって、前記基板に前記部品を装着する実装基板の製造方法であって、
前記装着ヘッドによって、第１の基板に前記複数の部品を装着する第１の装着工程と、
前記検査手段によって、前記第１の基板に装着された前記複数の部品の装着位置を計測する検査工程と、
前記計測された前記装着位置のうち直近に装着された少なくとも一つの部品の計測結果に基づいて、装着位置の補正量を算出する補正量算出工程と、
前記算出された補正量に基づいて、第２の基板に装着する複数の部品の装着位置を補正する装着位置補正工程と、
前記装着ヘッドによって、前記第２の基板の前記補正された装着位置に前記複数の部品を装着する第２の装着工程と、を含む、実装基板の製造方法。
【請求項９】
前記検査手段は、前記部品実装装置から基板が搬送される検査装置に備えられ、
前記第１の装着工程の後に、前記第１の基板を前記部品実装装置から前記検査装置に搬送する搬送工程を、さらに含む、請求項８に記載の実装基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に部品を装着する部品実装システムおよび実装基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
部品実装装置は、装着ヘッド移動機構によって水平方向に高速で移動する装着ヘッドが、部品供給装置より部品を取り出して基板に装着する装着動作を繰り返し実行して、基板に複数の部品を装着した実装基板を製造する。部品実装装置では、装着動作を反復実行する過程で発生する装着ヘッド移動機構の熱変形などの装置変動に起因して、基板に装着した部品の装着位置の位置ずれが発生する（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の部品実装システムでは、全ての部品の装着が完了した基板を部品実装装置の下流に配置した検査装置に搬送し、検査装置が部品の装着位置を計測し、計測結果に基づいて補正量が算出される。そして、次の基板に部品を装着する際に、この補正量に基づいて補正された実装位置に部品実装装置が部品を装着することで、部品の装着精度を確保している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−５８６０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、部品装着後に個々に切り離される複数の個別基板から構成される基板などでは、合計で１万個を超える大量の部品が装着される場合がある。そのような基板では装着作業に要する時間が長くなり、装着作業中に装置の状態が変動して装着位置の位置ずれ量が変動することがある。しかしながら、特許文献１に記載を含む従来技術では、全部品を装着した後に計測した全部品の装着位置に基づいて補正量を算出しているため、算出された補正量が現在の部品実装装置の状態を反映していない可能性があり、部品の装着精度が確保できないという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、装置変動の影響による部品の装着位置のずれを精度良く補正することができる部品実装システムおよび実装基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の部品実装システムは、装着ヘッドによって基板に複数の部品を装着する部品実装装置と、前記装着ヘッドによって装着された部品の装着位置を計測する検査手段と、前記検査手段による計測結果に基づいて装着位置の補正量を算出する補正量算出装置と、を有する部品実装システムであって、前記検査手段は、前記装着ヘッドによって前記複数の部品が装着された第１の基板の前記複数の部品の装着位置を計測し、前記補正量算出装置は、前記計測された前記装着位置のうち直近に装着された少なくとも一つの部品の計測結果に基づいて、装着位置の補正量を算出し、前記部品実装装置は、前記算出された補正量に基づいて、第２の基板に装着する複数の部品の装着位置を補正する装着位置補正手段を備え、前記装着ヘッドは、前記第２の基板の前記補正された装着位置に前記複数の部品を装着する。
【０００７】
本発明の実装基板の製造方法は、装着ヘッドによって基板に複数の部品を装着する部品実装装置と、前記装着ヘッドによって装着された部品の装着位置を計測する検査手段と、を有する部品実装システムによって、前記基板に前記部品を装着する実装基板の製造方法であって、前記装着ヘッドによって、第１の基板に前記複数の部品を装着する第１の装着工程と、前記検査手段によって、前記第１の基板に装着された前記複数の部品の装着位置を計測する検査工程と、前記計測された前記装着位置のうち直近に装着された少なくとも一つの部品の計測結果に基づいて、装着位置の補正量を算出する補正量算出工程と、前記算出された補正量に基づいて、第２の基板に装着する複数の部品の装着位置を補正する装着位置補正工程と、前記装着ヘッドによって、前記第２の基板の前記補正された装着位置に前記複数の部品を装着する第２の装着工程と、を含む。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、装置変動の影響による部品の装着位置ずれを精度良く補正することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施の形態の部品実装システムの構成説明図
【図２】本発明の一実施の形態の部品実装装置の構成を示す平面図
【図３】本発明の一実施の形態の部品実装システムの制御系の構成を示すブロック図
【図４】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態の部品実装システムにおける装着検査方法の工程説明図
【図５】本発明の一実施の形態の実装基板の製造方法のフロー図
【図６】本発明の一実施の形態の部品実装装置の第２の実施例の構成を示す平面図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に図面を用いて、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、部品実装システム、部品実装装置、検査装置の仕様に応じ、適宜変更が可能である。以下では、全ての図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図２、及び後述する一部では、水平面内で互いに直交する２軸方向として、基板搬送方向のＸ方向（図２における左右方向）、基板搬送方向に直交するＹ方向（図２における上下方向）が示される。
【００１１】
まず図１を参照して、部品実装システム１の構成を説明する。部品実装システム１は、基板に部品を実装して実装基板を製造する機能を有するものであり、部品実装装置Ｍ１および検査装置Ｍ２を備えている。これらの装置は通信ネットワーク２を介して管理コンピュータ３に接続されている。なお、部品実装システム１が備える部品実装装置Ｍ１は１台に限定されることはなく、２台以上でも良い。
【００１２】
部品実装装置Ｍ１は、装着ヘッドによって上流側から搬入された基板の装着位置に部品供給部から取り出した部品を装着する部品装着作業を行う。検査装置Ｍ２は、検査カメラによって部品実装装置Ｍ１から搬送された基板に装着された部品Ｄの装着状態を検査し、装着位置を計測する。管理コンピュータ３は、ライン管理機能と併せて、検査装置Ｍ２によって取得された計測結果に基づいて、装着位置精度を改善するために部品実装装置Ｍ１にフィードバックすべき補正量を算出する機能を有している。
【００１３】
次に図２を参照して、部品実装装置Ｍ１の構成を説明する。図２において、基台４の中央には、基板搬送機構５がＸ方向に設置されている。基板搬送機構５は、上流側から搬入された基板６をＸ方向へ搬送し（図４（ｂ）の矢印ｂ）、以下に説明する装着ヘッドによる装着作業位置に位置決めして保持する。また、基板搬送機構５は、部品装着作業が完了した基板６を下流側の検査装置Ｍ２に搬送する（図４（ａ）の矢印ａ）。
【００１４】
基板搬送機構５の両側方には、部品供給部７がそれぞれ設置されている。部品供給部７には、複数のテープフィーダ８がＸ方向に並列に装着されている。テープフィーダ８は、部品を格納するポケットが形成されたキャリアテープを部品供給部７の外側から基板搬送機構５に向かう方向（テープ送り方向）にピッチ送りすることにより、装着ヘッドが部品をピックアップする部品取出し位置に部品を供給する。
【００１５】
図２において、基台４の上面におけるＸ方向の両端部には、リニア駆動機構を備えたＹ軸テーブル９が配置されている。２基のＹ軸テーブル９の間には、同様にリニア機構を備えた２基のビーム１０がＹ方向に移動自在に結合されている。２基のビーム１０には、それぞれ装着ヘッド１１がＸ方向に移動自在に装着されている。装着ヘッド１１は、下端に装着された吸着ノズルによって部品を保持して昇降可能な複数の吸着ユニット（図示省略）を備えている。
【００１６】
Ｙ軸テーブル９およびビーム１０は、装着ヘッド１１を水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に移動させる装着ヘッド移動機構１２を構成する。装着ヘッド移動機構１２および装着ヘッド１１は、部品供給部７に装着されているテープフィーダ８の部品取出し位置から部品をピックアップし、基板搬送機構５に保持された基板６の装着位置に装着する部品装着作業を実行する。部品装着作業において装着ヘッド１１は、部品供給部７の上方に移動し、各吸着ノズルで所定の部品をそれぞれピックアップし、基板６の上方に移動し、各吸着ノズルが保持する部品をそれぞれの実装位置に実装する一連の装着ターンを繰り返す。
【００１７】
図２において、ビーム１０には、ビーム１０の下面側に位置して装着ヘッド１１とともに一体的に移動するヘッドカメラ１３が装着されている。装着ヘッド１１が移動することにより、ヘッドカメラ１３は基板搬送機構５の装着作業位置に位置決めされた基板６の上方に移動して、基板６に設けられた基板マーク（図示せず）を撮像して基板６の位置を認識する。
【００１８】
部品供給部７と基板搬送機構５との間には、部品認識カメラ１４が設置されている。部品認識カメラ１４は、部品供給部７から部品を取り出した装着ヘッド１１が部品認識カメラ１４の上方に位置した際に、吸着ノズルに保持された部品を下方から撮像する。装着ヘッド１１による部品の基板６への部品装着作業では、ヘッドカメラ１３による基板６の認識結果と部品認識カメラ１４による部品の認識結果と後述する補正量とを加味して装着位置の補正が行われる。このように、部品実装装置Ｍ１は、装着ヘッド１１によって基板６に複数の部品を装着する。
【００１９】
次に図３、図４を参照して、検査装置Ｍ２の構成を説明する。図４（ａ）において、検査装置Ｍ２の基台３０ａの中央には、基板搬送機構３１がＸ方向に設置されている。基板搬送機構３１は、上流側の部品実装装置Ｍ１から搬送された基板６をＸ方向へ搬送し（矢印ａ）、検査カメラ３２による検査作業位置に位置決めして保持する（図４（ｂ））。図４（ｃ）において、基板搬送機構３１は、装着検査作業が完了した基板６を下流側に搬出する（矢印ｃ）。
【００２０】
図３において、検査装置Ｍ２は、検査カメラ３２を水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に移動させる検査カメラ移動機構３３を備えている。検査カメラ３２は、基板搬送機構３１に保持された基板６に装着された部品Ｄを撮像して装着状態を検査する（図４（ｂ）参照）。このように、検査装置Ｍ２は、装着ヘッド１１によって装着された部品の装着位置を検査カメラ３２（検査手段）によって計測する。
【００２１】
次に図３を参照して、部品実装システム１の制御系の構成について説明する。管理コンピュータ３、部品実装装置Ｍ１および検査装置Ｍ２は、通信ネットワーク２を介して接続されている。部品実装装置Ｍ１は、実装制御装置２０、基板搬送機構５、部品供給部７、装着ヘッド１１、装着ヘッド移動機構１２、ヘッドカメラ１３、部品認識カメラ１４を備えている。実装制御装置２０は、実装記憶部２１、実装搬送制御部２２、装着制御部２３、実装通信部２４を備えている。実装通信部２４は、通信ネットワーク２を介して検査装置Ｍ２、管理コンピュータ３との間でデータの送受信を行う。
【００２２】
実装記憶部２１は記憶装置であり、生産データ２１ａ、補正量データ２１ｂなどが記憶されている。生産データ２１ａには、実装基板の生産機種名、基板６に装着される部品Ｄの部品名（種類）、部品Ｄのサイズ、装着位置（ＸＹ座標）、装着順序などが含まれている。
【００２３】
図３において、検査装置Ｍ２は、検査制御装置３０、基板搬送機構３１、検査カメラ３２、検査カメラ移動機構３３を備えている。検査制御装置３０は、検査記憶部３４、検査搬送制御部３５、検査制御部３６、検査通信部３７を備えている。検査通信部３７は、通信ネットワーク２を介して部品実装装置Ｍ１、管理コンピュータ３との間でデータの送受信を行う。検査記憶部３４は記憶装置であり、検査データ３４ａなどが記憶されている。検査データ３４ａは、実装基板の生産機種名、基板６に装着される部品Ｄの装着位置（ＸＹ座標）、部品Ｄのサイズなどが含まれている。
【００２４】
図３において、管理コンピュータ３は、管理処理装置４０を備えている。管理処理装置４０は、管理記憶部４１、補正量算出部４２、入力部４３、表示部４４、管理通信部４５を備えている。管理記憶部４１は記憶装置であり、装着履歴データ４１ａ、算出条件データ４１ｂ、計測データ４１ｃなどが記憶されている。
【００２５】
装着履歴データ４１ａには、基板６に部品Ｄが装着された時間（装着ターンの時間）を含む、部品実装装置Ｍ１で実行された部品装着作業の履歴が部品実装装置Ｍ１から送信されて記憶されている。算出条件データ４１ｂは、検査装置Ｍ２による計測結果に基づいて装着位置の補正量を算出する対象となる部品Ｄを特定する情報が記憶されている。算出条件としては、直近の装着数（装着時間が遅い方から数えた部品数）、全部品数に占める直近の装着数の割合（例えば、最後から３０％の部品Ｄ）、直近の装着時間（所定時間内に装着された部品Ｄ）などが使用される。
【００２６】
入力部４３は、キーボード、タッチパネル、マウスなどの入力装置であり、操作コマンドやデータ入力時などに用いられる。表示部４４は液晶パネルなどの表示装置であり、管理記憶部４１が記憶する各種データを表示する他、入力部４３による操作のための操作画面、データ入力画面などを表示画面に表示する。管理通信部４５は、通信ネットワーク２を介して部品実装装置Ｍ１、検査装置Ｍ２との間でデータの送受信を行う。
【００２７】
図３において、実装搬送制御部２２は、基板搬送機構５を制御して、上流側から搬入された基板６を装着作業位置に位置決めして保持させる。また、実装搬送制御部２２は、基板搬送機構５を制御して、全ての部品Ｄが装着された基板６を検査装置Ｍ２に搬送させる。検査搬送制御部３５は、基板搬送機構３１を制御して、部品実装装置Ｍ１から搬送された基板６を検査作業位置に位置決めして保持させる。また、検査搬送制御部３５は、基板搬送機構３１を制御して、装着検査作業が完了した基板６を下流側に搬出させる。
【００２８】
図３において、検査制御部３６は、検査データ３４ａに含まれる基板６に装着された部品Ｄの実装位置に基づいて検査カメラ３２、検査カメラ移動機構３３を制御して、基板６に装着された部品Ｄの装着位置（以下「検査装着位置」と称する。）を計測する装着検査を実行する。すなわち、検査カメラ３２、検査カメラ移動機構３３、および検査制御部３６は、装着ヘッド１１によって複数の部品Ｄが装着された基板６に装着された複数の部品Ｄの装着位置を計測する検査手段である。このように、検査手段は、部品実装装置Ｍ１から基板６が搬送される検査装置Ｍ２に備えられている。
【００２９】
検査制御部３６は、予定の装着位置に対する検査装着位置（以下「装着位置ずれ量」と称する。）を算出して、管理コンピュータ３に送信する。管理コンピュータ３は、送信された装着位置ずれ量を計測データ４１ｃとして管理記憶部４１に記憶させる。
【００３０】
図３において、補正量算出部４２は、装着履歴データ４１ａ、算出条件データ４１ｂに基づいて、計測データ４１ｃに含まれる直近に装着された所定数の部品Ｄの装着位置ずれ量を統計処理して、基板６に部品Ｄを装着する際の装着位置の補正量を算出する。統計処理としては、例えば、装着位置ずれ量が所定値よりも大きかったりする異常なデータを除いた装着位置ずれ量の平均などが使用される。
【００３１】
すなわち、補正量算出部４２は、検査装置Ｍ２によって計測された装着位置のうち直近に装着された少なくとも一つの部品Ｄの計測結果（計測データ４１ｃ）に基づいて装着位置の補正量を算出する補正量算出装置である。補正量算出部４２は、算出された補正量を部品実装装置Ｍ１に送信する。部品実装装置Ｍ１は、送信された補正量を補正量データ２１ｂとして実装記憶部２１に記憶させる。また、補正量データ２１ｂに古いデータが記憶されている場合は、新たに算出した補正量に更新される。なお、補正量算出部４２は、所定時間内に装着された部品Ｄの計測結果（計測データ４１ｃ）に基づいて補正量を算出してもよい。
【００３２】
図３において、装着制御部２３は、内部処理部として装着位置補正部２３ａを備えている。装着制御部２３は、生産データ２１ａに含まれる装着位置、装着順序に基づいて、部品供給部７、装着ヘッド１１、装着ヘッド移動機構１２を制御して、基板６に部品Ｄを装着する部品装着作業を実行させる。装着位置補正部２３ａは、部品装着作業の際に、ヘッドカメラ１３による基板６の位置の認識結果、部品認識カメラ１４による吸着ノズルに保持された部品Ｄの認識結果、補正量データ２１ｂに含まれる補正量に基づいて、基板６に部品Ｄを装着する際の装着位置を補正する。
【００３３】
すなわち、装着位置補正部２３ａは、補正量算出装置（補正量算出部４２）によって算出された補正量（補正量データ２１ｂ）に基づいて、基板６に装着する複数の部品Ｄの装着位置を補正する装着位置補正手段である。そして、装着ヘッド１１は、基板６の補正された装着位置に複数の部品Ｄを装着する。このように、基板６に装着された部品Ｄのうち、直近に装着された部品Ｄの装着結果（計測データ４１ｃ）に基づいて装着位置をフィードバックして次の基板６に部品を装着することで、部品数が多くて実装時間が長い基板６であっても、直近の装置変動の影響による部品Ｄの装着位置ずれを精度良く補正することができる。
【００３４】
なお、図３に示す部品実装システム１では、補正量算出装置（補正算出部４２）は管理コンピュータ３が備えていたが、この形態に限定されることはない。例えば、補正量算出装置は部品実装装置Ｍ１に含まれていてもよい。その場合、検査装置Ｍ２で算出された装着位置ずれ量（計測データ４１ｃ）は部品実装装置Ｍ１に送信されて部品実装装置Ｍ１に記憶される。また、補正量算出装置は検査装置Ｍ２に含まれていてもよい。その場合、装着位置ずれ量（計測データ４１ｃ）は検査装置Ｍ２に記憶される。
【００３５】
次に図５のフローに沿って図４を参照しながら、部品実装システム１によって基板６に部品Ｄを装着する実装基板の製造方法について説明する。ここでは、補正量の初期値が補正量データ２１ｂに記憶されているとする。図６において、まず、部品実装装置Ｍ１において、実装搬送制御部２２は基板搬送機構５を制御して、上流側から搬入された第１の基板６Ａを装着作業位置に搬送させて保持させる（ＳＴ１：基板搬入工程）。
【００３６】
次いで装着位置補正部２３ａは、ヘッドカメラ１３による基板６の位置の認識結果、部品認識カメラ１４による吸着ノズルに保持された部品Ｄの認識結果、補正量データ２１ｂに含まれる補正量に基づいて装着位置を補正する（ＳＴ２：装着位置補正工程）。次いで装着制御部２３は、装着ヘッド１１、装着ヘッド移動機構１２を制御して、第１の基板６Ａの補正された装着位置に部品Ｄを装着させる（ＳＴ３：部品装着工程）。次いで装着制御部２３は、全ての部品Ｄを第１の基板６Ａに装着したか否かを判断する（ＳＴ４）。
【００３７】
全ての部品Ｄを装着していない場合は（ＳＴ４においてＮｏ）、装着位置補正工程（ＳＴ２）に戻って次の部品Ｄが装着される（ＳＴ３）。すなわち、全ての部品Ｄが装着されるまで、装着ターン（ＳＴ２、ＳＴ３）が繰り返し実行される。全ての部品Ｄが第１の基板６Ａに装着されると（ＳＴ４においてＹｅｓ）、次いで実装搬送制御部２２は基板搬送機構５を制御して第１の基板６Ａを部品実装装置Ｍ１から検査装置Ｍ２に搬送させ、検査搬送制御部３５は基板搬送機構３１を制御して第１の基板６Ａを検査作業位置に保持させる（ＳＴ５：搬送工程）（図４（ａ）の矢印ａ）。
【００３８】
図５において、次いで検査装置Ｍ２において、検査制御部３６は検査カメラ３２と検査カメラ移動機構３３（検査手段）を制御して、第１の基板６Ａに装着された複数の部品Ｄの装着位置を計測し、装着位置ずれ量を算出する（ＳＴ６：検査工程）（図４（ｂ））。算出された装着位置ずれ量は管理コンピュータ３に送信され、計測データ４１ｃとして管理記憶部４１に記憶される。
【００３９】
次いで管理コンピュータ３において、補正量算出部４２は、検査工程（ＳＴ６）における計測結果（計測データ４１ｃ）、装着履歴データ４１ａ、算出条件データ４１ｂに基づいて、計測された装着位置のうち直近に装着された所定数（少なくとも一つ）の部品Ｄの計測結果に基づいて、装着位置の補正量を算出する（ＳＴ７：補正量算出工程）。算出された補正量は部品実装装置Ｍ１に送信されて、補正量データ２１ｂとして実装記憶部２１に記憶される（または、算出された補正量に更新される）。
【００４０】
図５において、検査搬送制御部３５は基板搬送機構３１を制御して第１の基板６Ａを検査装置Ｍ２の下流側に搬出させる（ＳＴ８：基板搬出工程）（図４（ｃ）の矢印ｃ）。次いで予定の実装基板の生産が終了していない場合は（ＳＴ９においてＮｏ）、基板搬入工程（ＳＴ１）に戻って次の第２の基板６Ｂが部品実装装置Ｍ１に搬入され（図４（ｂ）の矢印ｂ）、第２の基板６Ｂに対する部品装着作業が実行される。予定数の実装基板が生産されると（ＳＴ９においてＹｅｓ）、実装基板の製造が終了する。
【００４１】
第２の基板６Ｂの装着位置補正工程（ＳＴ２）では、第１の基板６Ａに直近に装着された部品Ｄの装着位置ずれ量から算出された補正量（補正量データ２１ｂ）に基づいて、第２の基板６Ｂに装着する複数の部品Ｄの装着位置が補正される。これによって、直近の装置変動の影響による部品Ｄの装着位置ずれを精度良く補正することができる。
【００４２】
このように、第１の基板６Ａの部品装着工程（ＳＴ３）は、装着ヘッド１１によって、第１の基板６Ａに複数の部品Ｄを装着する第１の装着工程である。また、第２の基板６Ｂの部品装着工程（ＳＴ３）は、装着ヘッド１１によって、第２の基板６Ｂの補正された装着位置に複数の部品Ｄを装着する第２の装着工程である。そして、搬送工程（ＳＴ５）は、第１の装着工程の後に、第１の基板６Ａを部品実装装置Ｍ１から検査装置Ｍ２に搬送する。
【００４３】
なお、第２の基板６Ｂの基板搬入工程（ＳＴ１）は、第１の基板６Ａが検査装置Ｍ２に搬送されてから基板搬出工程（ＳＴ８）によって検査装置Ｍ２の下流側に搬出される間に、実行するようにしてもよい（図４（ｂ）参照）。すなわち、部品実装装置Ｍ１から第１の基板６Ａが搬出されると、次の第２の基板６Ｂを部品実装装置Ｍ１に搬入するようにしてもよい。これによって、実装基板の製造時間を短縮することができる。
【００４４】
上記説明したように、本実施の形態の部品実装システム１は、部品実装装置Ｍ１と、装着された部品Ｄの装着位置を計測する検査手段（検査カメラ３２、検査カメラ移動機構３３、検査制御部３６）と、検査手段による計測結果（計測データ４１ｃ）に基づいて装着位置の補正量を算出する補正量算出装置（補正量算出部４２）と、を有している。
【００４５】
検査手段は、装着ヘッド１１によって複数の部品Ｄが装着された第１の基板６Ａの複数の部品Ｄの装着位置を計測し、補正量算出装置は、計測された装着位置のうち直近に装着された少なくとも一つの部品Ｄの計測結果に基づいて、装着位置の補正量（補正量データ２１ｂ）を算出する。そして、部品実装装置Ｍ１は、算出された補正量に基づいて、第２の基板６Ｂに装着する複数の部品Ｄの装着位置を補正する装着位置補正手段（装着位置補正部２３ａ）を備え、装着ヘッド１１は、第２の基板６Ｂの補正された装着位置に複数の部品Ｄを装着する。これによって、装置変動の影響による部品Ｄの装着位置ずれを精度良く補正することができる。
【００４６】
なお、上記の部品実装システム１では、検査手段は検査装置Ｍ２に備えられていたが、この形態に限定されることはない。例えば、検査装置Ｍ２の検査カメラ３２の換わりに部品実装装置Ｍ１が備えるヘッドカメラ１３を使用して、基板６に装着された部品Ｄの装着位置を計測するようにしてもよい。すなわち、検査手段（ヘッドカメラ１３、装着ヘッド移動機構１２）は部品実装装置Ｍ１に備えられてもよい。その場合、直前に部品Ｄを装着させた装着ヘッド１１とは異なる装着ヘッド１１と一体的に移動するヘッドカメラ１３を使用するのが望ましい。これによって、計測結果に誤差を発生させる装着ヘッド移動機構１２の熱変形の影響を抑制することができる。
【００４７】
次に図６を参照して、本実施の形態の部品実装装置の第２の実施例（以下「第２の部品実装装置Ｍ３」と称する。）について説明する。第２の部品実装装置Ｍ３では、２基のビーム１０のうちの一方（図６では下側）に、装着ヘッド１１の換わりに検査カメラ１５が装着されているところが、図２に示す部品実装装置Ｍ１とは異なる。以下、部品実装装置Ｍ１と共通する部分の説明は省略し、異なる部分について説明する。部品実装システム１では、部品実装装置Ｍ１と検査装置Ｍ２の換わりに第２の部品実装装置Ｍ３が配置される。
【００４８】
図６において、Ｙ軸テーブル９および下側のビーム１０は、検査カメラ１５を水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に移動させる検査カメラ移動機構を構成する。第２の部品実装装置Ｍ３が備える実装制御装置２０は、検査制御部３６を有している。第２の部品実装装置Ｍ３では、装着作業位置に保持された基板６への部品装着作業が終了すると、検査カメラ１５によって複数の部品Ｄの装着位置が計測される。そして、検査制御部３６が算出した装着位置ずれ量が、管理コンピュータ３に送信される。このように、検査手段（Ｙ軸テーブル９、ビーム１０、検査カメラ１５、検査制御部３６）は第２の部品実装装置Ｍ３に備えられている。これによって、部品実装システム１から検査装置Ｍ２を削減することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明の部品実装システムおよび実装基板の製造方法は、装置変動の影響による部品の装着位置ずれを精度良く補正することができるという効果を有し、部品を基板に実装する分野において有用である。
【符号の説明】
【００５０】
１  部品実装システム
６  基板
６Ａ  第１の基板
６Ｂ  第２の基板
１１  装着ヘッド
１２  装着ヘッド移動機構（検査手段）
１３  ヘッドカメラ（検査手段）
１５、３２  検査カメラ（検査手段）
Ｄ  部品
Ｍ１  部品実装装置
Ｍ２  検査装置
Ｍ３  第２の部品実装装置（部品実装装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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