(57)【要約】【課題】支持部を外囲器の複数の部分の間に溶接する場合であっても、溶接部分の気密性を向上させることができるイメージ管を提供することである。【解決手段】実施形態に係るイメージ管は、第１部分と、第２部分と、を有する外囲器と、外周端側が前記第１部分と前記第２部分との間に溶接され、内周端側が前記外囲器の内部に設けられた支持部と、前記外囲器の内部において、前記支持部に設けられた電極と、を備えている。前記支持部の外周端側の厚みは、前記外囲器の厚みよりも薄い。【選択図】図７
2020113499.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部分と、第２部分と、を有する外囲器と、
外周端側が前記第１部分と前記第２部分との間に溶接され、内周端側が前記外囲器の内部に設けられた支持部と、
前記外囲器の内部において、前記支持部に設けられた電極と、
を備え、
前記支持部の外周端側の厚みは、前記外囲器の厚みよりも薄いイメージ管。
【請求項２】
前記支持部の外周端側の厚みは、０．４ｍｍ以下である請求項１記載のイメージ管。
【請求項３】
前記支持部は、
環状を呈し、外周端側が前記第１部分と前記第２部分との間に溶接された基部と、
前記基部と平行に設けられ、前記電極が設けられる取付部と、
一端が前記基部に接続され、他端が前記取付部に接続された接続部と、
を有する請求項１または２に記載のイメージ管。
【請求項４】
前記取付部と、前記電極と、の間に設けられ、締結部材により前記取付部に取り付けられた絶縁部材をさらに備えた請求項１〜３のいずれか１つに記載のイメージ管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、イメージ管に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線、γ線、中性子線などの放射線による画像情報を光学像に変換するイメージ管がある。イメージ管は、いわゆるイメージインテンシファイア（Image Intensifier）として、医療用診断装置や工業用非破壊検査装置などに広く用いられている。  
イメージ管には、外囲器、入力部、電極、陽極、絶縁部および出力部などが設けられている。この様なイメージ管においては、電極は、外囲器に溶接された支持部に取り付けられている。
【０００３】
ここで、筒状を呈する外囲器の内壁に精度良く支持部を溶接するのは困難である。そのため、外囲器を複数の部分に分割し、複数の部分の間に支持部の一方の端部側を挟み込み、複数の部分と支持部とを溶接する技術が提案されている。  
ところが、溶接をした際に支持部が変形してピンホールなどが生じ、外囲器の内部の雰囲気を所定の圧力に保てなくなる場合がある。  
そこで、支持部を外囲器の複数の部分の間に溶接する場合であっても、溶接部分の気密性を向上させることができるイメージ管の開発が望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−２１９３３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、支持部を外囲器の複数の部分の間に溶接する場合であっても、溶接部分の気密性を向上させることができるイメージ管を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態に係るイメージ管は、第１部分と、第２部分と、を有する外囲器と、外周端側が前記第１部分と前記第２部分との間に溶接され、内周端側が前記外囲器の内部に設けられた支持部と、前記外囲器の内部において、前記支持部に設けられた電極と、を備えている。前記支持部の外周端側の厚みは、前記外囲器の厚みよりも薄い。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本実施の形態に係るイメージ管を例示するための模式断面図である。
【図２】図１におけるＡ部の模式拡大図である。
【図３】フランジ部の間に第１の比較例に係る支持部を挟んだ状態を例示するための模式断面図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は、溶接を行った際の状態を例示するための模式図である。
【図５】フランジ部の間に第２の比較例に係る基部を挟んだ状態を例示するための模式断面図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、溶接を行った際の状態を例示するための模式図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）本実施の形態に係る支持部溶接を行った際の状態を例示するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。  
また、以下においては、一例として、放射線の中の代表的なものとしてＸ線に係る場合を例にとり説明をする。したがって、以下の実施形態の「Ｘ線」を「他の放射線」に置き換えることにより、他の放射線にも適用させることができる。
【０００９】
図１は、本実施の形態に係るイメージ管１を例示するための模式断面図である。  
図２は、図１におけるＡ部の模式拡大図である。  
図１に示すように、イメージ管１には、外囲器２、入射窓２１、入力部３、電極４、陽極５、出力部６、絶縁部７、支持部８、および絶縁部材９が設けられている。  
なお、図１中のＬはＸ線を、Ｍは電子線を、Ｎは可視光像を、Ｋは被写体をそれぞれ表している。
【００１０】
外囲器２は、筒状を呈し、内部の雰囲気を大気圧よりも減圧された状態に維持する。この場合、外囲器２の内部は、高真空（例えば、１０−４Ｐａ程度以下）とされる。外囲器２の一方の端部側は、入射窓２１により塞がれている。外囲器２の他方の端部側は、出力部６および絶縁部７により塞がれている。
【００１１】
外囲器２は、複数の部分に分割されている。例えば、外囲器２は、第１部分２ａ、および第２部分２ｂを有する。第１部分２ａ、および第２部分２ｂは、管軸１ａ方向に沿って並べて設けられている。第１部分２ａ、および第２部分２ｂの材料は、例えば、金属とすることができる。
【００１２】
第１部分２ａは、筒状を呈している。第１部分２ａの、第２部分２ｂ側の端部の断面積は、第１部分２ａの、第２部分２ｂ側とは反対側の端部の断面積よりも小さくなっている。第１部分２ａは、例えば、漏斗状を呈するものとすることができる。第１部分２ａの、第２部分２ｂ側とは反対側の端部には、入射窓２１の周縁部が気密となるように取り付けられている。
【００１３】
第１部分２ａの、第２部分２ｂ側の端部には、フランジ部２ａ１が設けられている。フランジ部２ａ１は、例えば、管軸１ａに直交する方向において、第１部分２ａの外方に向けて突出している。平面視におけるフランジ部２ａ１の形状は、円環状とすることができる。なお、本願明細書において平面視とは、管軸１ａ方向に沿って見た場合をいう。
【００１４】
第２部分２ｂは、筒状を呈している。第２部分２ｂは、例えば、円筒状を呈するものとすることができる。第２部分２ｂの、第１部分２ａ側の端部にはフランジ部２ｂ１が設けられている。第２部分２ｂの、第１部分２ａ側とは反対側の端部は、ガラスからなる絶縁部７に融着されている。
【００１５】
フランジ部２ｂ１は、例えば、管軸１ａに直交する方向において、第２部分２ｂの外方に向けて突出している。平面視におけるフランジ部２ｂ１の形状は、円環状とすることができる。フランジ部２ｂ１の大きさは、フランジ部２ａ１の大きさと同じとすることができる。
【００１６】
第２部分２ｂのフランジ部２ｂ１は、第１部分２ａのフランジ部２ａ１と対峙している。後述するように、フランジ部２ａ１とフランジ部２ｂ１との間には、支持部８の基部８ａが設けられている。そして、フランジ部２ａ１の外周端と、フランジ部２ｂ１の外周端と、基部８ａの外周端とが溶接されている（図２を参照）。
【００１７】
入力部３は、外囲器２の内部に設けられている。入力部３は、入射窓２１と対峙させて設けられている。入力部３は、入射窓２１側に設けられた入射基板と、入射基板の入射窓２１側とは反対側に設けられた入射側蛍光膜と、入射側蛍光膜の入射基板側とは反対側に設けられた光電変換膜とを有する。
【００１８】
入射基板の入射窓２１側の面は、入射面となっている。入射基板には、放射線であるＸ線Ｌが入射する。また、入射基板は、陰極として機能する。入射基板は、例えば、アルミニウムなどから形成することができる。入射基板の厚み寸法は、例えば、１ｍｍ程度とすることができる。
【００１９】
入射側蛍光膜は、入射基板を介して入射したＸ線Ｌを蛍光（可視光）に変換する。入射側蛍光膜は、例えば、ヨウ化セシウム（ＣｓＩ）を含むものとすることができる。  
光電変換膜は、外囲器２の内部に面している。光電変換膜には、入射側蛍光膜により変換された蛍光が入射する。光電変換膜は、入射した蛍光を電子線Ｍに変換する。
【００２０】
電極４は、外囲器２の内部に設けられている。電極４は、入力部３と陽極５の間に複数設けられている。  
電極４は、例えば、第１電極４０、第２電極４１、および第３電極４２を有する。第１電極４０、第２電極４１、および第３電極４２は、管軸１ａ方向に沿って並べて設けられている。  
第２電極４１と第３電極４２は、入力部３から放射された電子線Ｍを集束させる。第２電極４１は、入力部３から放射された電子線Ｍの焦点位置を制御する。第２電極４１は、例えば、フォーカス用の集束電極とすることができる。
【００２１】
第３電極４２は、複数の電極のうち最も出力部６側に位置する。第３電極４２は、外囲器２に溶接された支持部８に取り付けられている。第３電極４２は、入力部３から放射された電子線Ｍの出力部６における照射領域を制御する。第３電極４２は、例えば、視野可変用の集束電極とすることができる。  
図１に例示をしたイメージ管１の場合には、１つの第１電極４０と、１つの第２電極４１と、１つの第３電極４２とが設けられているが、電極の数は適宜変更することができる。
【００２２】
陽極５は、外囲器２の内部であって、第３電極４２と出力部６の間に設けられている。陽極５は、第２電極４１、４２により集束させた電子線Ｍを加速させる。
【００２３】
出力部６は、外囲器２の、入力部３が設けられる側とは反対側に設けられている。出力部６は、絶縁部７の、外囲器２側とは反対側の端部を塞ぐように設けられている。出力部６は、陽極５により加速させた電子線Ｍを蛍光（可視光）に変換し、可視光像Ｎとして出射する。
【００２４】
出力部６は、フェースプレート６ａ、接続板６ｂ、出射側蛍光膜６ｃ、およびメタルバック膜６ｄを有する。  
フェースプレート６ａは、板状を呈し、ガラスなどの光透過性を有する材料から形成することができる。  
平面視における接続板６ｂの形状は環状とすることができる。接続板６ｂの内周端側は、ガラスからなるフェースプレート６ａに融着されている。接続板６ｂの外周端側は、ガラスからなる絶縁部７に融着されている。また、接続板６ｂには、陽極５を電気的に接続することができる。
【００２５】
出射側蛍光膜６ｃは、フェースプレート６ａの入射窓２１側の面に設けられている。出射側蛍光膜６ｃは、メタルバック膜６ｄを介して入射した電子線Ｍを蛍光（可視光）に変換し、可視光像Ｎとして出射する。出射側蛍光膜６ｃは、例えば、アルミニウム、銅を賦活物質とするＺｎＳ：Ａｌ、Ｃｕからなる緑色蛍光体などを含むものとすることができる。
【００２６】
メタルバック膜６ｄは、出射側蛍光膜６ｃを覆っている。メタルバック膜６ｄは、出射側蛍光膜６ｃに残る余剰な電子を接続板６ｂを介して放出する。すなわち、メタルバック膜６ｄは、出射側蛍光膜６ｃにおける帯電を防止する。メタルバック膜６ｄは、例えば、アルミニウムやアルミニウム合金などから形成することができる。メタルバック膜６ｄの厚みは、例えば、２００ｎｍ〜３５０ｎｍ程度とすることができる。
【００２７】
絶縁部７は、外囲器２と出力部６との間を絶縁する。すなわち、絶縁部７は、第３電極４２と陽極５との間を絶縁している。絶縁部７は、絶縁性材料から形成することができる。例えば、絶縁部７は、ガラスなどから形成することができる。絶縁部７の外囲器２側の端部の断面積は、絶縁部７の出力部６側の端部の断面積よりも大きくなっている。絶縁部７は、例えば、段付きの筒状体とすることができる。
【００２８】
支持部８は、外周端側が第１部分２ａと第２部分２ｂとの間に溶接され、内周端側が外囲器２の内部に設けられている。  
例えば、図２に示すように、支持部８は、基部８ａ、接続部８ｂ、および取付部８ｃを有する。  
基部８ａは、環状の板状体とすることができる。平面視における基部８ａの形状は、例えば、円環状とすることができる。基部８ａの外周端側は、第１部分２ａのフランジ部２ａ１と第２部分２ｂのフランジ部２ｂ１との間に設けられている。フランジ部２ａ１の外周端と、フランジ部２ｂ１の外周端と、基部８ａの外周端とは溶接されている。図２中の符号Ｗは、溶接部分を表している。すなわち、基部８ａは、環状を呈し、外周端側が第１部分２ａと第２部分２ｂとの間に溶接されている。
【００２９】
接続部８ｂは、筒状体とすることができる。接続部８ｂは、例えば、円筒状を呈したものとすることができる。接続部８ｂの一方の端部は、基部８ａの内周端に接続されている。接続部８ｂの他方の端部は、取付部８ｃの外周端に接続されている。
【００３０】
取付部８ｃは、例えば、環状の板状体とすることができる。平面視における取付部８ｃの形状は、例えば、円環状とすることができる。取付部８ｃは、基部８ａと平行となるように設けることができる。取付部８ｃには、絶縁部材９を介して第３電極４２が取り付けられる。例えば、ねじなどの締結部材１０２を用いて取付部８ｃに絶縁部材９を取り付け、締結部材１０２を用いて絶縁部材９に第３電極４２を取り付けることができる。
【００３１】
接続部８ｂの厚みＴｂ、および取付部８ｃの厚みＴｃには特に限定はない。接続部８ｂの厚みＴｂ、および取付部８ｃの厚みＴｃは、例えば、１ｍｍ程度とすることができる。
【００３２】
基部８ａ、接続部８ｂ、および取付部８ｃの材料は、例えば、金属とすることができる。この場合、基部８ａ、接続部８ｂ、および取付部８ｃの材料は、非磁性の金属とすることが好ましい。基部８ａ、接続部８ｂ、および取付部８ｃの材料は、例えば、ＳＵＳ３１６などとすることができる。  
基部８ａ、接続部８ｂ、および取付部８ｃは、例えば、溶接などにより一体化することができる。
【００３３】
本実施の形態に係る支持部８が設けられていれば、第３電極４２と陽極５との間の絶縁距離を長くすることができるので、耐電圧特性を向上させることができる。  
ここで、フランジ部２ａ１の外周端と、フランジ部２ｂ１の外周端と、基部８ａの外周端とを溶接をした際に、基部８ａが変形して溶接部分Ｗにピンホールなどが発生する場合がある。ピンホールなどが発生すると、外囲器２の内部の雰囲気を所定の圧力に保てなくなる。
【００３４】
そこで、本実施の形態に係る支持部８においては、基部８ａの厚みＴａを０．４ｍｍ以下として、溶接の際に基部８ａが変形するのを抑制している。本実施の形態によれば、支持部８（基部８ａ）を外囲器２の第１部分２ａと第２部分２ｂの間に溶接する場合であっても、溶接部分Ｗの気密性を向上させることができる。  
なお、基部８ａの厚みＴａと、溶接部分Ｗの気密性との関係については後述する。
【００３５】
絶縁部材９は、取付部８ｃと第３電極４２との間に複数設けられている。絶縁部材９は、第３電極４２と取付部８ｃ（外囲器２）との間を絶縁する。絶縁部材９の材料は、絶縁性材料とすることができる。絶縁部材９の材料は、例えば、セラミックスなどとすることができる。絶縁部材９は、締結部材１０２により、取付部８ｃと第３電極４２とに取り付けられる。絶縁部材９は、柱状体とすることができる。この場合、絶縁部材９は、例えば、円柱状を呈するものとすることができる。また、絶縁部材９は、筒状体とすることもできる。この場合、絶縁部材９は、例えば、円筒状を呈するものとすることができる。
【００３６】
第１電極４０、および第２電極４１は、第３電極４２と同様にして取り付けることができる。例えば、外囲器２をさらに分割し、図示しない支持部および絶縁部材を用いて、第１電極４０、および第２電極４１を外囲器２の内部に取り付けることができる。また、第３電極４２が取り付けられている支持部８に、絶縁部材を介して、第２電極４１および第１電極４０の少なくともいずれかを取り付けることもできる。
【００３７】
イメージ管１の外部には、電源１０１、およびＸ線発生装置１００を設けることができる。  
電源１０１は、例えば、イメージ管１から離隔した位置に設けることができる。この場合、電源１０１は、配線などを介して、電極４、陽極５、メタルバック膜６ｄ、および、陰極である入力部３の入射基板と電気的に接続される。
【００３８】
電源１０１は、電極４、陽極５、およびメタルバック膜６ｄに電圧を印加する。なお、第２電極４１および第３電極４２に印加される電圧は、集束電圧となる。この場合、第２電極４１および第３電極４２には数百Ｖ〜数千Ｖ程度の電圧が印加される。  
また、陽極５に印加される電圧は、陽極電圧となる。この場合、陽極５には、２５ｋＶ〜３０ｋＶ程度の電圧が印加される。  
メタルバック膜６ｄには、２５ｋＶ〜３０ｋＶ程度の電圧が印加される。  
入力部３の入射基板は、アースであるグランドに接続される。
【００３９】
Ｘ線発生装置１００は、入射窓２１に対峙させて設けることができる。Ｘ線発生装置１００は、Ｘ線Ｌを発生させ、発生させたＸ線Ｌをイメージ管１の入射窓２１に向けて放射する。Ｘ線発生装置１００は、例えば、Ｘ線Ｌを発生させる回転陽極Ｘ線管と、回転陽極Ｘ線管に高電圧を印加する電源を備えたものとすることができる。回転陽極Ｘ線管は、印加された高電圧により加速させた電子をターゲットに衝突させることでＸ線Ｌを発生させる。
【００４０】
次に、イメージ管１の作用について説明する。  
入射窓２１を介して入力部３に入射したＸ線は、入力部３の入射側蛍光膜により暗い蛍光（可視光）に変換される。変換された蛍光（可視光）は、入力部３の光電変換膜により電子線Ｍ（光電子）に変換され、外囲器２の内部に放出される。第１電極４０、第２電極４１、第３電極４２、および陽極５に所定の電圧を印加することで、電子線Ｍを収束、加速させて出力部６に入射させる。入射した電子線Ｍは、出力部６の出射側蛍光膜６ｃにより明るい蛍光（可視光）に変換され、可視光像Ｎを得ることができる。
【００４１】
次に、基部８ａの厚みＴａと、溶接部分Ｗの気密性との関係についてさらに説明する。  図３、図４（ａ）〜（ｃ）は、第１の比較例に係る支持部１０８を例示するための模式図である。  
図３は、フランジ部２ａ１の外周端と、フランジ部２ｂ１の外周端と、支持部１０８の外周端とを溶接する前の状態、すなわち、フランジ部２ａ１とフランジ部２ｂ１との間に支持部１０８を挟んだ状態を例示するための模式断面図である。  
図４（ａ）〜（ｃ）は、溶接を行った際の状態を例示するための模式図である。  
なお、図４（ａ）は、支持部１０８の模式平面図である。
図４（ｂ）は、支持部１０８の模式断面図である。
図４（ｃ）は、図４（ｂ）における溶接部分を矢印Ｂの方向から見た模式図である。
【００４２】
図３に示すように、支持部１０８は板状を呈している。平面視における支持部１０８の形状は円環状とすることができる。支持部１０８の厚みＴ１は、０．５ｍｍ以上（例えば、１ｍｍ程度）となっている。  
溶接する前の状態においては、図３に示すように、支持部１０８は、フランジ部２ａ１とフランジ部２ｂ１に密着させることができる。
【００４３】
図４（ａ）に示すように、溶接を行う際には、トーチ１０９などにより、支持部１０８の外周端から局部的に熱が加えられる。そのため、支持部１０８が局部的に膨張し、支持部１０８の主面に平行な方向に圧縮応力Ｆ１が発生する。圧縮応力Ｆ１が発生すると、図４（ｂ）、（ｃ）に示すように、支持部１０８の内周端側が、支持部１０８の主面に垂直な方向に波打つように変形する。支持部１０８が波打つように変形すると、溶融した金属同士が接合されず溶接部分Ｗにピンホールなどが発生しやすくなり、外囲器２の内部の雰囲気を所定の圧力に保てなくなる。そのため、製品の歩留が悪化する。また、気密に溶接できるとしても、その適切な溶接条件の範囲は非常に狭く、作業の困難さに起因する工数の増大が生じることになる。例えば、溶接においては、支持部１０８と外囲器２との軸ズレの許容差を非常に小さくする必要がある。またさらに、支持部１０８の平坦性が失われることで、第３電極４２が所定の位置に取り付けられなくなるおそれがある。
【００４４】
図５、図６（ａ）〜（ｃ）は、第２の比較例に係る支持部１１８を例示するための模式図である。  
図５は、フランジ部２ａ１とフランジ部２ｂ１との間に基部１１８ａを挟んだ状態を例示するための模式断面図である。図５は、フランジ部２ａ１の外周端と、フランジ部２ｂ１の外周端と、支持部１１８の基部１１８ａの外周端とを溶接する前の状態を表している。
図６（ａ）〜（ｃ）は、溶接を行った際の状態を例示するための模式図である。  
なお、図６（ａ）は、支持部１１８の模式平面図である。
図６（ｂ）は、支持部１１８の模式断面図である。
図６（ｃ）は、図６（ｂ）における溶接部分を矢印Ｃの方向から見た模式図である。
【００４５】
図５に示すように、支持部１１８は、前述した支持部８と同様に、基部１１８ａ、接続部８ｂ、および取付部８ｃを有する。ただし、基部１１８ａの厚みＴ２は、０．５ｍｍ以上（例えば、１ｍｍ程度）となっている。  
溶接する前の状態においては、図５に示すように、基部１１８ａは、フランジ部２ａ１とフランジ部２ｂ１に密着させることができる。
【００４６】
図６（ａ）に示すように、溶接を行う際には、トーチ１０９などにより、基部１１８ａの外周端から局部的に熱が加えられる。この場合、基部１１８ａの溶接部分には、基部１１８ａの主面に平行な方向に圧縮応力Ｆ１が発生する。基部１１８ａの内周端側には接続部８ｂが接続されているので、基部１１８ａの内周端側は構造的に強度が高く、基部１１８ａの内周端側は変形し難い。そのため、図６（ｂ）に示すように基部１１８ａの外周端側のみが変形する。基部１１８ａの内周端側が変形し難くなっていれば、第３電極４２を所定の位置に取り付けることができる。このことは、前述した支持部８の場合も同様である。
【００４７】
ところが、前述した支持部１０８と同様に、基部１１８ａの外周端側においては、図６（ｂ）、（ｃ）に示すように、発生した圧縮応力Ｆ１により、基部１１８ａが、基部１１８ａの主面に垂直な方向に波打つように変形する。そのため、溶融した金属同士が接合されず溶接部分Ｗにピンホールなどが発生しやすくなり、外囲器２の内部の雰囲気を所定の圧力に保てなくなる。そのため、製品の歩留が悪化する。また、気密に溶接できるとしても、その適切な溶接条件の範囲は非常に狭く、作業の困難さに起因する工数の増大が生じることになる。例えば、溶接においては、支持部１０８と外囲器２との軸ズレの許容差を非常に小さくする必要がある。
【００４８】
図７（ａ）、（ｂ）は、本実施の形態に係る支持部８の溶接を行った際の状態を例示するための模式図である。  
なお、図７（ａ）は、支持部８の模式断面図である。
図７（ｂ）は、図７（ａ）における溶接部分を矢印Ｄの方向から見た模式図である。
前述したものと同様に、溶接を行う際には、トーチ１０９などにより、基部８ａの外周端から局部的に熱が加えられる。この際、熱容量が小さく、且つ、トーチ１０９に最も近い基部８ａの外周端側が最初に溶融し始める。基部８ａの場合にも、圧縮応力Ｆ１が発生し、基部８ａが、基部８ａの主面に垂直な方向に波打つように変形する。
【００４９】
しかしながら、基部８ａの厚みＴａは０．４ｍｍ以下となっている。そのため、溶接熱に起因する圧縮応力Ｆ１により発生する基部８ａの変形量δ’は、前述した支持部１０８や基部１１８ａの変形量δよりも小さくなる。そのため、基部８ａの厚みＴａと変形量δ’との和である、フランジ部２ａ１とフランジ部２ｂ１との間の隙間を十分に小さい状態に維持することができる。そのため、溶融した金属が、フランジ部２ａ１とフランジ部２ｂ１との間の隙間を濡れ拡がることができる。また、フランジ部２ａ１とフランジ部２ｂ１とが溶融し接合されることで、ピンホールなどの発生が抑制される。そのため、真空を保つのに十分な強度を持った溶接を行うことが可能となる。
【００５０】
この場合、本発明者らの得た知見によれば、基部８ａの厚みＴａは、フランジ部２ａ１の厚みまたはフランジ部２ｂ１の厚みよりも薄くすれば良い。すなわち、支持部８の外周端側の厚みは、外囲器２の厚みよりも薄くすればよい。例えば、基部８ａの厚みＴａは、外囲器２の厚みよりは薄くすれば良い。
また、本発明者らの得た知見によれば、基部８ａの厚みＴａを０．５ｍｍとすれば、ピンホールなどが発生する場合があることが確認された。また、基部８ａの厚みＴａを０．４ｍｍ以下とすれば、ピンホールなどの発生がほぼ無くなることが確認された。そのため、支持部８の外周端側の厚みは、０．４ｍｍ以下とすることが好ましい。
【００５１】
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００５２】
１  イメージ管、２  外囲器、２ａ  第１部分、２ａ１  フランジ部、２ｂ  第２部分、２ｂ１  フランジ部、３  入力部、４  電極、５  陽極、６  出力部、７  絶縁部、８  支持部、８ａ  基部、８ｂ  接続部、８ｃ  取付部、９  絶縁部材、４０  第１電極、４１  第２電極、４２  第３電極、Ｋ  被写体、Ｌ  Ｘ線、Ｍ  電子線、Ｎ  可視光像
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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