(57)【要約】【課題】簡単な構成で、かつ安定した発電機能を内蔵した軸受システムおよび軸受装置を提供する。【解決手段】軸受システム１は、軸受８と、少なくとも１つのセンサ９と、センサ９が検出した信号を送信する送信部１０と、送信部１０で使用する電力を生成する発電部１１とを備える。軸受８は、内輪３と、外輪２と、内輪３と外輪２との間に配置される複数の転動体４と、内輪３と外輪２との間に設けられ、転動体４を収容する空間を密封するシール部材６，７とを含む。発電部１１は、シール部材７の外表面に配置された光電変換装置または太陽電池である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸受と、
少なくとも１つのセンサと、
前記センサが検出した信号を送信する送信部と、
前記送信部で使用する電力を生成する発電部とを備え、
前記軸受は、
内輪と、
外輪と、
前記内輪と前記外輪との間に配置される転動体と、
前記内輪と前記外輪との間に設けられ、前記転動体を収容する空間を密封するシール部材とを含み、
前記発電部は、前記シール部材の外表面に配置された光電変換装置である、軸受システム。
【請求項２】
前記シール部材は、
芯金と、
前記芯金を覆う弾性部材とを含み、
前記軸受は、
前記シール部材の内表面に配置され、前記センサおよび前記送信部を搭載する基板をさらに備え、
前記発電部と前記基板とは、前記芯金および前記弾性部材を貫通する孔を通る配線によって接続される、請求項１に記載の軸受システム。
【請求項３】
前記発電部に光を照射する光源部をさらに備える、請求項１または２に記載の軸受システム。
【請求項４】
前記光源部は、前記軸受を収納するハウジングに固定され、支持される、請求項３に記載の軸受システム。
【請求項５】
前記光源部は、前記軸受の回転軸を中心とする環状または一部が欠けた環状の形状を有する、請求項３または４に記載の軸受システム。
【請求項６】
前記発電部は、前記軸受の回転軸を中心とする環状または一部が欠けた環状の形状を有する、請求項１〜５のいずれか１項に記載の軸受システム。
【請求項７】
前記発電部で発電した電力を蓄積する蓄電部をさらに備える、請求項１〜６のいずれか１項に記載の軸受システム。
【請求項８】
前記蓄電部の充電状態を検出する検出部をさらに備え、
前記送信部は、前記検出部で検出した充電状態に基づいて定められ、前記発電部に照射される光量を制御するための情報を送信する、請求項７に記載の軸受システム。
【請求項９】
前記検出部で検出した前記充電状態を判定する判定部をさらに備え、
前記光量を制御するための情報は、前記判定部が前記充電状態を判定した結果を含む、請求項８に記載の軸受システム。
【請求項１０】
内輪と、
外輪と、
前記内輪と外輪との間に配置される転動体と、
前記内輪と前記外輪との間に設けられ、前記転動体を収容する空間を密封するシール部材と、
少なくとも１つのセンサと、
前記センサが検出した信号を送信する送信部と、
前記送信部で使用する電力を生成する発電部とを備え、
前記発電部は、前記シール部材の外表面に配置された光電変換装置である、軸受装置。
【請求項１１】
前記発電部で発電した電力を蓄積する蓄電部をさらに備える、請求項１０に記載の軸受装置。
【請求項１２】
前記蓄電部の充電状態を検出し、検出結果を判定する判定部をさらに備え、
前記判定部は、前記検出結果に基づいて前記発電部に照射される光量を制御するための情報を生成し、
前記送信部は、前記情報を前記軸受装置の外部に送信する、請求項１１に記載の軸受装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、軸受システムおよび軸受装置に関し、特に、発電機能を有する軸受システムおよび軸受装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、発電機能を内蔵したセンサ付の軸受が知られている。たとえば、特開２０１７−１８７０６１号公報（特許文献１）には、ワイヤレスセンサ付軸受が開示されている。当該ワイヤレスセンサ付軸受では、環状体からなる保持器のポケット同士の間に１つずつ磁石が固定されている。これらの磁石は、環状体の周方向で各磁石のＮ極とＳ極とが隣り合うように固定される。また、第１シールにおける上記磁石との対向面にコイルと回路部とアンテナとが設置される。内輪、外輪、第１シールのいずれかにセンサが設置される。上記ワイヤレスセンサ付軸受では、磁石による電磁誘導でコイルに生じた電流を用いてセンサからの出力を外部に送信する。
【０００３】
また、特開２００２−３４９５５８号公報（特許文献２）には、発電手段として太陽電池を備えることが可能なセンサ付き転がり軸受ユニットが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１７−１８７０６１号公報
【特許文献２】特開２００２−３４９５５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特開２０１７−１８７０６１号公報に開示された軸受では、保持器に磁石を配置し、第１シールにコイルを配置するといった複雑な構造を有する。このため、当該軸受の製造工程が複雑化し、製造コストが増大する可能性がある。また、内輪が回転していない停止時は発電することができず、センサからの出力を外部に送信できないという問題もある。
【０００６】
特開２００２−３４９５５８号公報に開示されたセンサ付き転がり軸受ユニットでは、太陽電池を発電手段として内蔵させたとしても、太陽電池に光が当たらない環境では発電することができず、センサからの出力を外部に送信できない。
【０００７】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の目的は、簡単な構成で、かつ安定した発電機能を内蔵した軸受システムおよび軸受装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示は、軸受システムに関する。軸受システムは、軸受と、少なくとも１つのセンサと、センサが検出した信号を送信する送信部と、送信部で使用する電力を生成する発電部とを備える。軸受は、内輪と、外輪と、内輪と外輪との間に配置される転動体と、内輪と外輪との間に設けられ、転動体を収容する空間を密封するシール部材とを含む。発電部は、シール部材の外表面に配置された光電変換装置である。
【０００９】
好ましくは、シール部材は、芯金と、芯金を覆う弾性部材とを含む。軸受は、シール部材の内表面に配置され、センサおよび送信部を搭載する基板をさらに備える。発電部と基板とは、芯金および弾性部材を貫通する孔を通る配線によって接続される。
【００１０】
好ましくは、軸受システムは、発電部に光を照射する光源部をさらに備える。
より好ましくは、光源部は、軸受を収納するハウジングに固定され、支持される。
【００１１】
より好ましくは、光源部は、軸受の回転軸を中心とする環状または一部が欠けた環状の形状を有する。
【００１２】
好ましくは、発電部は、軸受の回転軸を中心とする環状または一部が欠けた環状の形状を有する。
【００１３】
好ましくは、軸受システムは、発電部で発電した電力を蓄積する蓄電部をさらに備える。
【００１４】
より好ましくは、軸受システムは、蓄電部の充電状態を検出する検出部をさらに備える。送信部は、検出部で検出した充電状態に基づいて定められ、発電部に照射される光量を制御するための情報を送信する。
【００１５】
さらに好ましくは、軸受システムは、検出部で検出した充電状態を判定する判定部をさらに備える。光量を制御するための情報は、判定部が充電状態を判定した結果を含む。
【００１６】
本開示は、他の局面では、軸受装置に関する。軸受装置は、内輪と、外輪と、内輪と外輪との間に配置される転動体と、内輪と外輪との間に設けられ、転動体を収容する空間を密封するシール部材と、少なくとも１つのセンサと、センサが検出した信号を送信する送信部と、送信部で使用する電力を生成する発電部とを備える。発電部は、シール部材の外表面に配置された光電変換装置である。
【００１７】
好ましくは、軸受装置は、発電部で発電した電力を蓄積する蓄電部をさらに備える。
より好ましくは、軸受装置は、蓄電部の充電状態を検出し、検出結果を判定する判定部とをさらに備える。判定部は、検出結果に基づいて発電部に照射される光量を制御するための情報を生成する。送信部は、情報を軸受装置の外部に送信する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、軸受内部の状態を監視するセンサおよびその情報を外部に送信する送信部に、簡単な構成でかつ安定して電力を供給することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態に係る軸受システムの部分断面図である。
【図２】図１に示す軸受システムの右側面図である。
【図３】シール部材７の拡大断面図である。
【図４】光源部の他の固定方法を示す図である。
【図５】図４の軸受システムの右側面図である。
【図６】図５の変形例を示す右側面図である。
【図７】図１の改良例を示す図である。
【図８】光源部を調整する機能を有した場合の軸受システム１Ｂのブロック図である。
【図９】監視部１６が実行する制御を説明するためのフローチャートである。
【図１０】軸受装置側で蓄電部の状況を判定する変形例である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。
【００２１】
図１は、本発明の実施の形態に係る軸受システムの部分断面図である。図２は、図１に示す軸受システムの右側面図である。
【００２２】
図１、図２に示す軸受システム１は、軸受８と、センサ９と、送信部１０と、発電部１１と、アンテナ１２と、光源部１３とを備える。光源部１３は、軸受８の外部に配置される。
【００２３】
ここでは、軸受８として、転動体４を玉とした深溝玉軸受を用いた場合を例として説明する。軸受８は、外輪２と、複数の転動体４と、内輪３と、保持器５と、シール部材６、７とを含む。また、本実施の形態では、軸受システムに内蔵する軸受８を、内輪３を回転輪とし、外輪２を固定輪とした内輪回転タイプの軸受であると仮定して説明する。
【００２４】
外輪２は内周側に軌道面を有する。複数の転動体４は、外輪２の軌道面および内輪３の軌道面に接触する。保持器５は、複数の転動体４を保持する。シール部材６、７は、外輪２と内輪３とにより囲まれ、複数の転動体４が位置する軸受内の空間を密封する。
【００２５】
センサ９と送信部１０は、基板ＰＢに実装される。基板ＰＢは、シール部材７の裏面（シール部材の芯金側面）に設置される。センサ９は、シール部材７の内側に設置され、軸受の状態情報を検出する。なお、センサ９は一種類に限らず、温度センサや振動センサなど複数種類のセンサ９をシール部材７に設置してもよい。
【００２６】
送信部１０は、センサ９が検出した軸受の状態を示す情報を、アンテナ１２を介して外部に送信する。なお、アンテナ１２は無線電波を用いる場合に必要であり、他の通信方法（たとえば光通信など）の場合は必須ではない。
【００２７】
発電部１１は、その場で発電可能な光電変換装置、たとえば太陽電池であり、たとえばシール部材７の外側の面に配置される。発電部１１は、センサ９および送信部１０に給電する電力を発電する。発電部１１で発電した電圧が小さい場合には、センサ９や送信部１０の電力として使用するために、所定の電圧に高める昇圧回路を内蔵してもよい。
【００２８】
光源部１３は、発電部１１となる光電変換装置（太陽電池）に光を照射する光源である。光源部１３は光電変換装置（太陽電池）を照射可能な位置に配置すれば良く、図１に示す配置位置および距離には限定されない。
【００２９】
たとえば、光源部１３は、軸受８を収納するハウジングＨにねじＢで固定された固定部材Ｓに固定される。固定部材Ｓを使わずにハウジングＨに光源部１３を直接固定してもよい。
【００３０】
図２に示すように、シール部材７の外表面に発電部１１およびアンテナ１２が配置される。発電部１１およびアンテナ１２の各々は、環状の一部分を欠いた形状を有する。
【００３１】
図３は、シール部材７の拡大断面図である。図３に示すように、シール部材７は、芯金２２と、芯金２２を覆う弾性部材２１とを含む。軸受システム１は、シール部材７の内表面に配置される、センサ９および送信部１０を搭載する基板ＰＢをさらに備える。発電部１１と基板ＰＢとは、芯金２２および弾性部材２１を貫通する孔２５を通る配線２３によって接続される。また、孔２６を通る配線２４によって、アンテナ１２と基板ＰＢに実装される送信部１０とが接続される。
【００３２】
図４は、光源部の他の固定方法を示す図である。図５は、図４の軸受システムの右側面図である。図６は、図５の変形例を示す右側面図である。図４に示す軸受システム１Ａは、軸受装置５０と、リング状の光源部１３とを含む。図４、図５に示すように、発電部１１Ａがリング状の太陽電池の場合には、発電部１１Ａの全面に光が照射されるように、光源部１３を発電部１１Ａの形状に合わせて、リング状としてもよい。図６に示すように、発電部１１ＢがＣ型形状の太陽電池の場合には、発電部１１Ｂの全面に光が照射されるように、光源部１３を発電部１１Ｂの形状に合わせてＣ型形状としてもよい。
【００３３】
なお、図６に示した発電部１１Ｂの形状に合わせて光源部１３をＣ型形状とすれば、光源部１３がアンテナ１２を避けた形状となり、アンテナ１２から送信される電波に影響しにくい構造となるので好ましい。
【００３４】
光源部１３としては、ＬＥＤ光源、あるいは半導体レーザなどの発光素子を用いることができる。光源部１３として、使用する発電部１１（太陽電池）の発電特性が最もよい波長帯域が含まれる発光素子を選択するのが望ましい。これらの発光素子から、光ファイバで光を発電部１１に導光してもよい。発電部１１となる太陽電池が装置筐体またはシール部材の内部に収納され、光が照射できない状態であっても、光ファイバを装置内部に挿入すれば、光の照射が可能となる。
【００３５】
太陽電池を用いることによってスペースが狭い場所でも発電部１１を実装することができる。このため、標準的な軸受のサイズに収まるように、センシング機能、ワイヤレス送信機能、発電機能を内蔵可能となり、設計の自由度が向上する。また、軸受８から引き出される配線が無いため、装置内に軸受８を実装する組立作業では作業性が向上する。
【００３６】
また、複数のセンサ９、たとえば温度センサや振動センサなど軸受８の状態を監視するセンサを実装すれば、定期的に軸受８の状態をアンテナ１２から外部に送信することができるので、軸受の異常診断に利用することができる。
【００３７】
図７は、図１の改良例を示す図である。この改良例の軸受システム１Ｂは、軸受装置５０Ｂと光源部１３とを備える。軸受装置５０Ｂは、図１に示した軸受装置５０の構成に加えて、電力を蓄電する蓄電部１４をさらに備える。軸受装置５０Ｂのそれ以外の構成は図１の構成と同じである。
【００３８】
軸受システム１Ｂは、電気回路３０を含む。電気回路３０は、センサ９と送信部１０と発電部１１とアンテナ１２と蓄電部１４と基板ＰＢとを含む。軸受システム１Ｂの蓄電部１４は、基板ＰＢに実装され、発電部１１（太陽電池）で発電した電力を蓄電する。蓄電部１４としては、たとえば電気二重層コンデンサや二次電池を用いることができる。発電部１１で発電した余剰電力を蓄電部１４に蓄え、電力が必要な時には蓄電部１４から送信部１０等の回路に電力を供給する。
【００３９】
軸受システム１Ｂに蓄電部１４が内蔵されている場合、光源部１３が常時点灯している必要はなく、蓄電部１４の残量により、光源部１３を消灯、あるいは光の強さを調整してもよい。たとえば、蓄電部１４に十分蓄電されている間は、光源部１３を消すように指令を与えてもよい。
【００４０】
図８は、光源部を調整する機能を有した場合の軸受システム１Ｂのブロック図である。光源部１３から発電部１１（太陽電池）に向かって光が照射される。発電部１１が発電した電力は、一旦、蓄電部１４に蓄えられる。蓄電部１４は、センサ９や送信部１０の電力を供給する。また、軸受システム１Ｂは、蓄電部１４の残量を検出する検出部１７を備える。蓄電部１４の状況は送信部１０を経由して外部に出力可能とされる。
【００４１】
軸受システム１Ｂは、軸受装置５０Ｂの外部に設けた受信部１５にセンサ９のデータを送信する。受信部１５の後段に設けた監視部１６は、センサ９からデータに基づいて軸受８の運転状況を確認し、あるいは異常を診断する。なお、受信部１５で得たセンサ９からのデータを保存部１８に蓄積し、必要なときに保存部１８から読み出して監視部１６で処理してもよい。監視部１６のデータは、図示しない外部機器に送られ、外部機器にデータが蓄積される。蓄積されたデータ、または軸受システム１Ｂを組み込んだ機器の運転状況から、ユーザが軸受交換時期を判断する。
【００４２】
検出部１７は、蓄電部１４の残量を検出する。検出部１７が検出した蓄電部１４の状態は、送信部１０から受信部１５に送信される。蓄電部１４の状態は、監視部１６で判定される。監視部１６は、必要に応じて光源部１３を制御する。
【００４３】
たとえば、蓄電部１４がフル充電の状態では、監視部１６は発電が不要と判断し、監視部１６は光源部１３に消灯あるいは光の強さを弱める等の指示を行なう。
【００４４】
一方、蓄電部１４の蓄電量が不足していれば、監視部１６は発電が必要と判断し、監視部１６は光源部１３に点灯あるいは光の強さを強める等の指示を行なう。
【００４５】
このように、軸受システム１Ｂは、蓄電部１４の状態を監視して、その状況に応じて光源部１３を制御するため、消費電力を削減することができる。
【００４６】
図９は、監視部１６が実行する制御を説明するためのフローチャートである。図８、図９を参照して、ステップＳ１において監視部１６は、蓄電部１４の充電量を取得する。ステップＳ２において充電量が充電不足である場合には、監視部１６は、ステップＳ３において光源部１３を点灯または光量を増加させる。一方、ステップＳ２において充電量が充電不足でない場合には、ステップＳ４において満充電であるか否かが判断される。ステップＳ４において満充電であった場合には、監視部１６は、ステップＳ６において光源部１３を消灯させる。ステップＳ４において満充電ではない場合には、監視部１６は、ステップＳ５において光源部１３の光量を低下させる。なお、ステップＳ２の充電不足か否かの判定しきい値、およびステップＳ４の満充電か否かの判定しきい値は蓄電部１４と負荷の特性を予め評価して適宜決定すれば良い。
【００４７】
なお、図８では、蓄電部１４の状況を監視部１６で判定して光源部１３を制御しているが、軸受装置側で判定しても良い。図１０は、軸受装置側で蓄電部の状況を判定する変形例である。図１０に示すように、判定部１７Ａで蓄電状況を判定し、光源部１３を制御する指令を送信部１０から受信部１５にアンテナ１２を介して送り、受信部１５から光源部１３を直接制御してもよい。この場合、図９に示した制御は、判定部１７Ａが実行する。
【００４８】
以上説明したように、本実施の形態に示した軸受システムは、センサと、送信部と、発電部を備えた軸受システムであって、発電部として光電変換装置（太陽電池）を用いて、軸受とは離れた位置に外部光源部を備えた光無線給電を用いる。これにより、内部空間の小さな軸受であっても、軸受寸法諸元を大きく変えることなく、軸受サイズ内に発電機能を実装することが可能となる。また、外部光源を備えているので、光が当たらない位置に軸受が設けられる場合でも機能できる。
【００４９】
発電部１１で発電した電力は、センサ９および送信部１０に供給されるが、好ましくは、蓄電部１４を設けて電気を蓄えることで、蓄電部１４に十分蓄電されている間は、光源部１３を消すように指令を送れば、軸受システムの消費電力を削減することが可能である。
【００５０】
また、光無線給電とワイヤレス通信機能を有する軸受システムは、軸受から配線がなくなるので、ハウジング（装置）内への軸受組み込みが容易となる。
【００５１】
最後に本実施の形態について、再び図面を参照して総括する。本開示は、軸受システムに関する。図１に示す軸受システム１は、軸受８と、少なくとも１つのセンサ９と、センサ９が検出した信号を送信する送信部１０と、送信部１０で使用する電力を生成する発電部１１とを備える。軸受８は、内輪３と、外輪２と、内輪３と外輪２との間に配置される複数の転動体４と、内輪３と外輪２との間に設けられ、転動体４を収容する空間を密封するシール部材６，７とを含む。発電部１１は、シール部材７の外表面に配置された光電変換装置または太陽電池である。シール部材７に発電部１１を配置することによって、外輪２、内輪３等を従来の形状としたままで、発電機能付きの軸受装置および軸受システムを実現することができる。
【００５２】
好ましくは、シール部材７は、芯金２２と、芯金２２を覆う弾性部材２１とを含む。軸受システム１は、シール部材７の内表面に配置される、センサ９および送信部１０を搭載する基板ＰＢをさらに備える。基板ＰＢは、たとえば、回路を実装するプリント配線基板である。発電部１１と基板ＰＢとは、芯金２２および弾性部材２１を貫通する孔２５を通る配線２３によって接続される。外輪２、内輪３等を従来の形状としたままで、このような基板ＰＢと発電部１１とをシール部材７に取り付けることによって、発電機能および観測機能を軸受装置および軸受システムに容易に付与することができる。
【００５３】
好ましくは、軸受システム１は、発電部１１に光を照射する光源部１３をさらに備える。光源部１３をさらに備えることによって、必要なときにいつでも発電部１１に発電を行なわせることができる。
【００５４】
より好ましくは、光源部１３は、軸受８を収納するハウジングＨに固定され、支持される。図１に示すようなハウジングＨに取り付けられた固定部材Ｓによって光源部１３が支持されても良く、図４に示すような固定部材Ｓによって光源部１３が支持されても良い。
【００５５】
より好ましくは、光源部１３は、発電部１１に対向するような、図５の発電部１１と同様な軸受８の回転軸を中心とする環状の形状、または図２または図６の発電部１１と同様な一部が欠けた環状の形状を有する。
【００５６】
好ましくは、発電部１１は、図５に示すような軸受８の回転軸を中心とする環状の形状、または図２または図６に示すような一部が欠けた環状の形状を有する。
【００５７】
好ましくは、図７に示すように、軸受システム１Ｂは、発電部１１で発電した電力を蓄積する蓄電部１４をさらに備える。蓄電部１４を備えることによって、発電部１１が常時発電していなくても、センサ９および送信部１０に電力を供給することができる。
【００５８】
より好ましくは、軸受システム１Ｂは、蓄電部１４の充電状態を検出する検出部１７をさらに備える。送信部１０は、検出部１７で検出した充電状態に基づいて定められ、発電部１１に照射される光量を制御するための情報を送信する。この情報を受信することによって、蓄電部１４が充電不足となったときに光源部１３を点灯させることができる。
【００５９】
さらに好ましくは、軸受システム１Ｂは、検出部１７で検出した充電状態を判定する判定部１７Ａをさらに備える。光源部１３の光量を制御するための情報は、判定部１７Ａが充電状態を判定した結果を含む。判定部１７Ａで判定した結果を送信するようにすれば、監視部１６で判定することなく、直接に光源部１３を制御することができる。
【００６０】
本開示は、他の局面では、軸受装置５０に関する。軸受装置５０は、内輪３と、外輪２と、内輪３と外輪２との間に配置される転動体４と、内輪３と外輪２との間に設けられ、転動体４を収容する空間を密封するシール部材６，７と、少なくとも１つのセンサ９と、センサ９が検出した信号を送信する送信部１０と、送信部１０で使用する電力を生成する発電部１１とを備える。発電部１１は、シール部材７の外表面に配置された光電変換装置または太陽電池である。
【００６１】
好ましくは、図７に示す軸受装置５０Ｂは、発電部１１で発電した電力を蓄積する蓄電部１４をさらに備える。
【００６２】
より好ましくは、軸受装置５０Ｂは、蓄電部１４の充電状態を検出し、検出結果を判定する判定部１７Ａをさらに備える。判定部１７Ａは、検出結果に基づいて発電部１１に照射される光量を制御するための情報を生成する。送信部１０は、情報を軸受装置５０Ｂの外部に送信する。
【００６３】
今回開示された実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００６４】
１，１Ａ，１Ｂ  軸受システム、２  外輪、３  内輪、４  転動体、５  保持器、６，７  シール部材、８  軸受、９  センサ、１０  送信部、１１，１１Ａ，１１Ｂ  発電部、１２  アンテナ、１３  光源部、１４  蓄電部、１５  受信部、１６  監視部、１７  検出部、１７Ａ  判定部、１８  保存部、２１  弾性部材、２２  芯金、２３，２４  配線、２５，２６  孔、３０  電気回路、５０，５０Ｂ  軸受装置、Ｂ  ねじ、Ｈ  ハウジング、ＰＢ  基板、Ｓ  固定部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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