(57)【要約】【課題】検査作業の効率が優れ、かつ、検査精度の変化を抑制できるスニファプローブおよびリーク検査方法を提供する。【解決手段】ワーク７におけるトレースガス８を検知するリーク検査用のスニファプローブ１であって、トレースガス８を導入する筒状の導管１０と、導管１０のワーク７側であって、導管１０の外周側に弾性部４を介して設置された筒状の保護部６とを備え、保護部６の導管１０とは相反する側の先端部６２は、導管１０よりワーク７側に突出して形成され、弾性部４は、導管１０の筒状の中心軸Ｑを軸方向Ｙとして軸方向Ｙに伸縮する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークにおけるトレースガスを検知するガスリーク検査用のスニファプローブであって、
前記トレースガスを導入する筒状の導管と、
前記導管の前記ワーク側であって、前記導管の外周側に弾性部を介して設置された筒状の保護部とを備え、
前記保護部の前記導管とは相反する側の先端部は、前記導管より前記ワーク側に突出して形成され、
前記弾性部は、前記導管の筒状の中心軸を軸方向として当該軸方向に伸縮するスニファプローブ。
【請求項２】
前記保護部の前記先端部は、前記導管とは相反する側に凸となる曲面形状にて形成される請求項１に記載のスニファプローブ。
【請求項３】
前記導管の外周側に、前記導管を固定するホルダを備え、
前記保護部は、前記ホルダに前記弾性部を介して設置される
請求項１または請求項２に記載のスニファプローブ。
【請求項４】
前記保護部と前記導管との間にはシール部が設置される請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のスニファプローブ。
【請求項５】
前記保護部の材質は、前記ワークおよび前記導管の材質のヤング率よりも低いヤング率を有する材質にて形成される請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のスニファプローブ。
【請求項６】
前記保護部の材質は、樹脂材にて形成される請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のスニファプローブ。
【請求項７】
前記保護部の前記先端部は、複数の凹凸形状を有する請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のスニファプローブ。
【請求項８】
前記保護部の前記先端部の凹凸形状は、軸方向の長さが、軸方向と直交する径方向の長さよりも長く形成される請求項７に記載のスニファプローブ。
【請求項９】
前記弾性部は、前記導管の前記ワーク側の端部の外周面の全てを覆う筒状にて形成される請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のスニファプローブ。
【請求項１０】
前記保護部は、前記導管に着脱可能に設置される請求項１から請求項９のいずれか１項に記載のスニファプローブ。
【請求項１１】
請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載のスニファプローブを使用したガスリーク検査方法であって、
前記スニファプローブを前記ワークに接触させず検査して前記ワークにおける検査範囲を推定する推定工程と、
前記推定工程にて推定された前記ワークの前記検査範囲に対して前記スニファプローブの前記保護部の前記先端部を前記ワークに接触させて検査を行う検査工程とを備えたガスリーク検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、スニファプローブおよびガスリーク検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のスニファプローブおよびガスリーク検査方法は、作業者によって検査時のスニファプローブとワークとの距離、スニファプローブのワークに対する角度、スニファプローブが検査箇所の近傍をトレースする保持時間等のトレース条件にばらつきが生じ、漏れ検査の検査精度がばらつくという問題点があった。これに対し、スニファプローブにセンサを取り付け、前記トレース条件を定量的に監視することによって、トレース条件を作業者によらず一定に保ち、漏れ検査の検査精度の誤差を抑制している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１９２７４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のスニファプローブは、より小さい漏れ量を検査する場合、スニファプローブとワークとの距離をできる限り小さくし、かつ、スニファプローブの姿勢を維持する必要があり、検査作業の効率が低下するという問題点があった。
【０００５】
また、スニファプローブとワークとの距離をできる限り小さくしてスニファプローブをワークにぶつけてしまい、スニファプローブが変形し、トレースガスの流路抵抗が変化し、吸い込み量が変化して、検査精度が変化するという問題点があった。
【０００６】
また、スニファプローブをワークにぶつけないようスニファプローブとワークとの距離をとった場合、スニファプローブは変形する問題点は解決するが、ワークとの距離が大きくなり、スニファプローブ周囲のガスを吸い込み易くなり、ワークから漏れたトレースガスが吸い込みガスに対して占める割合が小さくなり、検出精度が変化するという問題点があった。
【０００７】
また、作業者による手作業を止め、ロボット等でスニファプローブを操作した場合、前記の検査作業が難しいという問題点は解決するが、ワークとスニファプローブとがぶつかった際、ワークが傷つく上に、スニファプローブが変形し、トレースガスの流路抵抗が変化し、吸い込み量が変化して、検査精度が変化するという問題点があった。
【０００８】
また、スニファプローブの移動速度が大きい場合、ワークに衝突しスニファプローブが変形し、トレースガスの流路抵抗が変化し、吸い込み量が変化して、検査精度が変化するという問題点があった。
【０００９】
また、スニファプローブがワークに衝突しないようワーク近傍ではスニファプローブの移動速度を遅くした場合、スニファプローブの変形を抑制できるが、検査時間が長くなり、検査作業の効率が低下するという問題点があった。
【００１０】
また、寸法ばらつきがあるワークの場合、スニファプローブがワークに衝突し、スニファプローブが変形し、トレースガスの流路抵抗が変化し、吸い込み量が変化して、検査精度が変化するという問題点があった。
【００１１】
また、スニファプローブがワークに衝突しないよう事前にワーク形状をセンサ等を用いて検査することで、寸法ばらつきがある場合にもスニファプローブのワークへの衝突を抑制可能であるが、検査時間が長くなり、検査作業の効率が低下するという問題点があった。
【００１２】
本願は、上記のような課題を解決するための技術を開示するものであり、検査作業の効率が優れ、かつ、検査精度の変化を抑制でき、検査精度が向上するスニファプローブおよびガスリーク検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本願に開示されるスニファプローブは、
ワークにおけるトレースガスを検知するガスリーク検査用のスニファプローブであって、
前記トレースガスを導入する筒状の導管と、
前記導管の前記ワーク側であって、前記導管の外周側に弾性部を介して設置された筒状の保護部とを備え、
前記保護部の前記導管とは相反する側の先端部は、前記導管より前記ワーク側に突出して形成され、
前記弾性部は、前記導管の筒状の中心軸を軸方向として当該軸方向に伸縮するものである。
また、本願に開示されるガスリーク検査方法は、上記記載のスニファプローブを使用したガスリーク検査方法であって、
前記スニファプローブを前記ワークに接触させず検査して前記ワークにおける検査範囲を推定する推定工程と、
前記推定工程にて推定された前記ワークの前記検査範囲に対して前記スニファプローブの前記保護部の前記先端部を前記ワークに接触させて検査を行う検査工程とを備えたものである。
【発明の効果】
【００１４】
本願に開示されるスニファプローブおよびガスリーク検査方法によれば、検査作業の効率が優れ、かつ、検査精度の変化を抑制でき、検査精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施の形態１によるガスリーク検査用のスニファプローブによるワークのガスリーク検査時の状態を示す断面図である。
【図２】図１に示したスニファプローブの保護部の構成を示す図である。
【図３】図１に示したスニファプローブの保護部の他の構成を示す図である。
【図４】実施の形態１による他のガスリーク検査用のスニファプローブによるワークのガスリーク検査時の状態を示す断面図である。
【図５】実施の形態１による他のガスリーク検査用のスニファプローブによるワークのガスリーク検査時の状態を示す断面図である。
【図６】図１に示したスニファプローブを用いたガスリーク検査方法を説明する図である。
【図７】実施の形態１によるスニファプローブを用いたガスリーク検査方法を示すフローチャートである。
【図８】実施の形態２によるガスリーク検査用のスニファプローブの保護部の構成を示す図である。
【図９】実施の形態２による他のガスリーク検査用のスニファプローブの保護部の構成を示す図である。
【図１０】実施の形態３によるガスリーク検査用のスニファプローブの保護部の構成を示す図である。
【図１１】実施の形態４によるガスリーク検査用のスニファプローブによるワークのガスリーク検査時の状態を示す断面図である。
【図１２】図１１に示したスニファプローブの保護部の構成を示す図である。
【図１３】実施の形態４による他のガスリーク検査用のスニファプローブによるワークのガスリーク検査時の状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
実施の形態１．
図１は実施の形態１によるガスリーク検査用のスニファプローブを用いたワークのガスリーク検査時の状態を示す断面図である。図２は図１に示したスニファプローブの保護部の構成を示す側面図および側面図におけるＡ−Ａ断面図である。図３は実施の形態１によるガスリーク検査用のスニファプローブの保護部の他の構成を示す側面図および側面図におけるＢ−Ｂ断面図である。
【００１７】
図４は実施の形態１による他のガスリーク検査用のスニファプローブを用いたワークのガスリーク検査時の状態を示す断面図である。図５は実施の形態１による他のガスリーク検査用のスニファプローブを用いたワークのガスリーク検査時の状態を示す断面図である。図６は図１に示したスニファプローブを用いたガスリーク検査方法を説明する図である。図７は実施の形態１によるスニファプローブを用いたガスリーク検査方法を示すフローチャートである。
【００１８】
図において、スニファプローブ１は、円筒状の導管１０、円筒状のホルダ２、弾性部４、ガード部５、円筒状の保護部６、シール部１１を有する。以下、これら各部の円筒状の中心軸Ｑは同軸であり、当該中心軸Ｑの方向を軸方向Ｙとして説明する。また、軸方向Ｙと直交する方向を径方向Ｘとして説明する。これら各方向は以下の実施の形態においても同様に説明する。
【００１９】
スニファプローブ１は、ワーク７の漏れ部９から漏れ出すトレースガス８を、トレースガス８を検知する検知部に導入するガスリーク検査用である。スニファプローブ１の導管１０のワーク７と反対側の端部にはトレースガス８の検知量を検査する検知部につながる配管３が取り付けられている。配管３はスニファプローブ１を動かし易いように、フレキシブルチューブまたは樹脂チューブなどにて形成されることが好ましい。
【００２０】
導管１０は、トレースガス８を配管３を介して検知部に導入する。導管１０は変形を抑制するため、金属等の剛性の高い材質で形成されることが好ましい。ホルダ２は導管１０の外周側に、ねじまたは接着材等で固定される。また、導管１０とホルダ２とは一体に形成されてもよい。ホルダ２は導管１０の変形を抑制し、かつ、作業者が手で把持する場合もあるため、アルミ、ステンレス等の錆びに強く、かつ、剛性の高い材質で形成されることが好ましい。ホルダ２はワーク７側の内周側に凹部２１を備える。
【００２１】
保護部６は、導管１０のワーク７側であって、導管１０の外周側に軸方向Ｙに弾性変形する弾性部４を介して設置される。ここでは、保護部６の導管１０側の端部が、導管１０のワーク７側の外周側と、ホルダ２の内周側に形成された凹部２１との間に設置された弾性部４の一端に接して配置される。また、図２に示すように、保護部６の外周面には、軸方向Ｙに長細いガイド溝６１が形成される。そして、ホルダ２に設置されたガード部５が、保護部６のガイド溝６１へと突き出すことにより、保護部６はホルダ２および導管１０に対して軸方向Ｙに移動可能となり、ガード部５とガイド溝６１とにより保護部６がホルダ２より外れない構造となる。
【００２２】
そして、ガード部５をホルダ２から着脱可能に形成する。ガード部５をホルダ２から脱着することにより、保護部６をホルダ２から着脱することができる。尚、他の構成、例えば、保護部６がホルダ２にねじ等で着脱可能、すなわち導管１０に対して着脱可能に取り付けてもよい。
【００２３】
保護部６の導管１０とは相反する側の先端部６２は、導管１０よりワーク７側に突出して形成される。すなわち、軸方向Ｙにおいて、保護部６の先端部６２は導管１０およびホルダ２よりワーク７側に突出して形成される。保護部６の先端部６２は、導管１０とは相反する側に凸となる曲面形状にて形成される。保護部６の材質は、ワーク７および導管１０の材質のヤング率よりも低いヤング率を有する材質、すなわちワーク７および導管１０よりも剛性の低い材質にて形成される。更に好ましくは、保護部６の材質は、ホルダ２の材質のヤング率よりも低いヤング率を有する材質にて形成される。
【００２４】
保護部６の材質は、ワーク７の表面を保護部６が滑らかに移動できるものがよい。具体的には、摩擦係数の小さい、フッ素樹脂、ポリエチレン、ナイロンなど、または、自己潤滑性を有するポリアセタール、モノマーキャストナイロン、ＰＴＦＥ（Ｐｏｌｙ  Ｔｅｔｒａ  Ｆｌｕｏｒｏ  Ｅｔｈｙｌｅｎｅ）、高分子ポリエチレンなどが好ましい。ここでは、保護部６、すなわち、先端部６２を含む全ての保護部６を同一材質にて形成する例を示したが、これに限られることはなく、保護部６において、先端部６２とそれ以外の部分とをそれぞれ別個の材質、および、それぞれ別部品にて形成してもよい。
【００２５】
弾性部４は、軸方向Ｙに伸縮する弾性を有する。弾性部４は、ホルダ２に対して固定が容易で、かつ、伸縮方向を軸方向Ｙとするためにコイルバネ、複数の皿バネ等の中空円筒状にて形成することが好ましい。保護部６と導管１０との間にＯリングなどのシール部１１が設置される。ここでは、図２に示すように、保護部６の内周面に形成されたシール溝６３内にシール部１１が設置される。
【００２６】
尚、図２において、スニファプローブ１の保護部６のガイド溝６１は、保護部６の外周側に凹部形状にて形成する例を示したが、他の例として図３に示すように、スニファプローブ１の保護部６のガイド溝６４を、保護部６の外周面から内周面まで貫通して形成して対応することも可能である。他の部分は図２と同様であるため、同一符号を付して説明を省略する。
【００２７】
また、図１においては、シール部１１を保護部６の内周側と、導管１０の外周側との間に形成する例を示したが、これに限られることはなく、シール部１１の設置箇所は、導管１０を通過するガスが保護部６を通ったガスのみになるような位置であればよい。他の例としては、図４に示すように、保護部６の外周側と、ホルダ２の内周側との間にシール部１２を形成し、更に、導管１０の外周側と、ホルダ２の内周側との間にシール部１３を形成する場合も考えられる。この場合であっても、シール部１２、１３は、保護部６と導管１０との間に設置されることとなる。
【００２８】
また、図１においては、ホルダ２の内周側に凹部２１を形成し、弾性部４を設置する例を示したが、これに限られることはなく、図５に示すように、ホルダ２の外周側に凹部２２を形成し、弾性部４を設置してもよい。他の部分は図１および図３と同様であるため、同一符号を付して説明を省略する。
【００２９】
上記のように構成された実施の形態１のスニファプローブにおけるガスリーク検査方法について図６を用いて説明する。まず、スニファプローブ１のホルダ２を作業者が把持し、保護部６の先端部６２をワーク７に押し当てながら動かして、ワーク７に発生している漏れ部９のガスリーク検査を行う。
【００３０】
この際、保護部６の先端部６２は、導管１０およびホルダ２よりワーク７側に突出して形成されているため、弾性部４の伸縮の有無に限らず、スニファプローブ１において、ワーク７に始めに接触するのは、導管１０およびホルダ２ではなく、保護部６の先端部６２となる。そして、ワーク７の表面形状に対し、保護部６の先端部６２を弾性部４の軸方向Ｙに伸縮する弾性を利用して押し当てる。
【００３１】
具体的には、図６に示すように、図６の図面上、上側のスニファプローブ１では、弾性部４の軸方向Ｙのワーク７側の位置Ｔ１であるのに対し、下側のスニファプローブ１では、弾性部４の軸方向Ｙのワーク７側の位置Ｔ２となり、ワーク７の形状に倣って弾性部４が軸方向Ｙに伸縮して、ワーク７のいずれの位置であっても、スニファプローブ１の保護部６の先端部６２がワーク７に接することができる。
【００３２】
このようにワーク７の表面に寸法ばらつきがあっても、弾性部４の軸方向Ｙの伸縮により当該ばらつきを吸収でき、検査可能となる。また、スニファプローブ１とワーク７との距離をほぼ０にして検査可能となる。
【００３３】
更に、この状態においては、保護部６の内周側と、導管１０の外周側の間にはシール部１１が設置されているため、導管１０、そして、配管３を通ってトレースガスの検知部へと吸引される範囲の空間１００が密閉に近い状態に保持される。よって、スニファプローブ１の空間１００以外の外部からのガスの吸引が低減される。よって、検知部へと吸引されるガスにおける、ワーク７の漏れ部９から漏れたトレースガス８の占める割合が多くなり、検出精度の変化が抑制されるとともに、検出精度が向上する。
【００３４】
尚、本実施の形態１においてはシール部１１を設置する例を示したが、シール部１１を配置せず、保護部６の内周側と導管１０の外周側とのクリアランスを小さく形成してもよい。このような構成によれば、トレースガス８の検知部へと吸引される範囲の空間１００を限定しつつ、摺動箇所を低減できるため、メンテナンスの手間が低減できる。
【００３５】
また、作業者がスニファプローブ１を保持している箇所、ここではホルダ２と、ワーク７の表面との距離の変化が生じても、弾性部４が軸方向Ｙに伸縮して弾性変形するため、保護部６がワーク７の形状に倣ってスニファプローブ１の軸方向Ｙに対して動く。このようにワーク７の形状にばらつきまたは凹凸があった場合でも、弾性部４が軸方向Ｙに伸縮して変形するため、流路抵抗として重要な導管１０の変形を抑制し、検出精度の変動を抑制できる。
【００３６】
また、ワーク７に接触する保護部６の先端部６２が導管１０とは相反する側に凸となる曲面形状であるため、ワーク７との接触が少なく、また、ワーク７の表面を滑らかに移動できる。このことは、ワーク７の形状にばらつきまたは凹凸があった場合でも、更に、図６に示したような滑らかな表面を有するワーク７ではなく、表面に段差部を有するワーク７であっても同様に行うことができる。
【００３７】
また、保護部６は、当該材質のヤング率をワーク７の材質のヤング率より低いものにて形成し、剛性を低くしたので、ワーク７が傷つくことを抑制できる。また、保護部６の先端部６２がワーク７に当接して変形することにより、空間１００の密閉性を高めることができ、検出能力を高めることができる。
【００３８】
また、保護部６は、当該材質のヤング率を導管１０、および、ホルダ２の材質のヤング率より低いものにて形成し、剛性を低くし、更に、保護部６を交換可能な構造としたので、スニファプローブ１がワーク７にぶつかった時に、導管１０、およびホルダ２より先に保護部６が変形し、導管１０、およびホルダ２の変形を抑制できる。更に、変形した保護部６のみを交換することにより、検出精度の変動を抑制できる。
【００３９】
尚、上記に示した効果はいずれの場合においても、作業の簡易化、および、検査時間の低減につながるものである。
【００４０】
上記のように構成された実施の形態１におけるスニファプローブ１を用いた他のガスリーク検査方法について図７および図１に基づいて説明する。まず、ワーク７におけるトレースガス８の漏れ部９の漏れ位置を推定する。具体的には、スニファプローブ１をワーク７より離し、ワーク７の周囲を囲むようにスニファプローブ１を動かし、トレースガス８の検知量が閾値を超えているか否かを判断して、閾値を超えている箇所を検査範囲として推定する推定工程を行う（図７のステップＳＴ１）。
【００４１】
次に、推定された検査範囲において、図１に示すように、ワーク７に対してスニファプローブ１の保護部６の先端部６２を押し当てる。そして、押し当てながらスニファプローブ１を検査範囲のワーク７の表面上で動かし、トレースガス８の検知量を検査し、当該検知量が閾値を超えているか否かを判断して、閾値を超えている箇所を漏れ部９として検査する検査工程を行う（図７のステップＳＴ２）。
【００４２】
このようなガスリーク検査方法によれば、検査範囲の推定において、スニファプローブ１をワーク７に押し付ける必要がないため、検査時間を短くでき、かつ検出能力を高めて、検査できる。
【００４３】
尚、「推定工程」においては、スニファプローブ１の保護部６がワーク７に接触しないよう、十分距離を離す。もしくは、目視、または、通電センサ等により接触しないかどうかを監視、もしくは制御にフィードバックして行うことが好ましい。
【００４４】
また、「検査工程」においては、スニファプローブ１の保護部６がワーク７に接触するよう、弾性部４の変形量を設定する。もしくは、目視、または、通電センサ等により接触するかどうかを監視、もしくは制御にフィードバックして行うことが好ましい。
【００４５】
また、推定工程において検査範囲を決定するトレースガス８の検知量の閾値と、検査工程において漏れ部９を検査するための漏れを検査するトレースガス８の検知量の閾値とは異なる値でもよい。
【００４６】
上記のように構成された実施の形態１のスニファプローブは、
ワークにおけるトレースガスを検知するガスリーク検査用のスニファプローブであって、
前記トレースガスを導入する筒状の導管と、
前記導管の前記ワーク側であって、前記導管の外周側に弾性部を介して設置された筒状の保護部とを備え、
前記保護部の前記導管とは相反する側の先端部は、前記導管より前記ワーク側に突出して形成され、
前記弾性部は、前記導管の筒状の中心軸を軸方向として当該軸方向に伸縮するので、
スニファプローブの弾性部の伸縮により、保護部の先端部がワークに対して軸方向に動くため、ワークに接触してもワークが保護されるとともに、スニファプローブ自体の衝撃も低減する。よって、スニファプローブとワークとの距離において作業的な余裕ができるとともに、スニファプローブのワークに対する移動速度を早くできるため、検査作業の効率が優れ、かつ、検査精度の変化を抑制できる。また、スニファプローブの弾性部の伸縮により、寸法ばらつきがあるワークに対しても当該ばらつきを吸収でき、検査可能となる。また、スニファプローブとワークとの距離をほぼ０にして検査可能となるため、検査精度の変化を抑制しつつ、更に検出能力を高めることができる。
【００４７】
また、ガスリーク検査方法は、上記記載のスニファプローブを使用したガスリーク検査方法であって、
前記スニファプローブを前記ワークに接触させず検査して前記ワークにおける検査範囲を推定する推定工程と、
前記推定工程にて推定された前記ワークの前記検査範囲に対して前記スニファプローブの前記保護部の前記先端部を前記ワークに接触させて検査を行う検査工程とを備えたので、スニファプローブをワークと接触させずに予め検査範囲を推定した後に、スニファプローブの保護部の先端部をワークと接触させて検査できるため、検査作業の効率が優れ、かつ、検査精度の変化を抑制できる。
【００４８】
また、前記保護部の前記先端部は、前記導管とは相反する側に凸となる曲面形状にて形成されるので、更に、ワークに接触してもワークが保護されるとともに、スニファプローブ自体の衝撃も低減する。
【００４９】
また、前記導管の外周側に、前記導管を固定するホルダを備え、
前記保護部は、前記ホルダに前記弾性部を介して設置されるので、
弾性部をホルダに確実に設置できるため、弾性部の伸縮による保護部の軸方向の位置の変化を確実に行うことができる。
【００５０】
また、前記保護部と前記導管との間にはシール部が設置されるので、
保護部の先端部がワークと接触した際に、保護部の先端部とワークとにおいて形成される空間の密封性が向上し、トレースガスの漏れの検出の精度が向上する。
【００５１】
また、前記保護部の材質は、前記ワークおよび前記導管の材質のヤング率よりも低いヤング率を有する材質にて形成されるので、
保護部の先端部がワークと接触しても、保護部の方が柔らかいため、ワークが傷つくことを防止できる。また、保護部が導管より柔らかいため、スニファプローブがワーク、または他の部分に接触した場合であっても、保護部が導管より先に変形し、流路抵抗として重要な導管の変形を抑制できる。
【００５２】
また、前記保護部の材質は、樹脂材にて形成されるので、保護部をワークおよび導管より簡便かつ安価に柔らかく形成できる。
【００５３】
また、前記保護部は、前記導管に着脱可能に設置されるので、保護部の先端部がワークとの接触により摩耗しても容易にとり替わることが可能となり、スニファプローブの耐久性が向上する。
【００５４】
実施の形態２．
図８は実施の形態２によるガスリーク検査用のスニファプローブの保護部の構成を示す断面図である。図９は実施の形態２によるガスリーク検査用のスニファプローブの他の保護部の構成を示す断面図である。図において、上記実施の形態１と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。本実施の形態２においては、実施の形態１の保護部６の先端部６２と構成の異なる、保護部６の先端部６５、６６の構成についてのみ説明する。
【００５５】
図８において、保護部６の先端部６５は、導管１０とは相反する側に凸となる複数の曲面形状であって凹凸形状にて形成される。このような構成によると、ワーク７と保護部６の先端部６５との接触箇所が増え、空間１００の密閉性が向上し、検出精度が向上する。複数の突起である先端部６５の凹凸形状の加工方法は、例えば、成形、エッチング、シボ加工などが考えられる。
【００５６】
また他の例として、図９において、保護部６の先端部６６は、導管１０とは相反する側に凸となる複数の曲面形状であって凹凸形状にて形成され、かつ、凹凸形状の１つ１つの形状は軸方向Ｙの長さＷ１が、径方向Ｘの長さＷ２よりも長く形成される。また、先端部６６は樹脂等の弾性材にて形成される。保護部６の先端部６６の１つ１つの凹凸形状のそのものが変形し、保護部６の先端部６６がワーク７の表面形状に倣う。よって、密閉性が更に向上し、検出精度が更に向上する。更に、先端部６６の１つ１つの凹凸形状そのものが変形するため、多様な形状のワーク７の検査に有効的となる。
【００５７】
尚、図６および図７においては、保護部６の先端部６５、６６の複数の凹凸形状は、軸方向Ｙの長さがそれぞれにおいて全て同じ長さにて形成する例を示しているが、これに限られることはなく、保護部６の先端部６５、６６は、軸方向Ｙにおいそれぞれが異なる長さを有するように形成してもよい。
【００５８】
上記のように構成された実施の形態２のスニファプローブによれば、上記実施の形態１と同様の効果を奏するととともに、
保護部の前記先端部は、複数の凹凸形状を有するので、多様な形状のワークの検査に有効的となり、検出精度が向上する。
【００５９】
また、保護部の先端部の凹凸形状は、軸方向の長さが、軸方向と直交する径方向の長さよりも長く形成されるので、先端部の凹凸形状そのものが変形するため、更に、多様な形状のワークの検査に有効的となり、検出精度が更に向上する。
【００６０】
実施の形態３．
図１０は実施の形態３によるスニファプローブの保護部の構成を示す側面図および側面図におけるＣ−Ｃ断面図である。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。保護部６は導管１０とは相反する側に凸となる曲面形状を有する複数の個別の突起である先端部６７にて形成される。
【００６１】
このような構成によると、それぞれの先端部６７が個別に変形でき、ワーク７の表面形状に更に倣い、空間１００の気密性が更に向上する。よって、更に多様な形状のワーク７を検査でき、検出精度が向上する。尚、先端部６７の複数の突起の軸方向Ｙの長さは、全て同じ長さにて形成する例を示しているが、これに限られることはなく、保護部６の複数の先端部６７は軸方向Ｙにおいてそれぞれ異なる長さを有するように形成してもよい。
【００６２】
上記のように構成された実施の形態３のスニファプローブによれば、上記各実施の形態と同様の効果を奏するととともに、複数の個別の突起にて形成される先端部は、多様な形状のワークに更に倣い易くなり、多様な形状のワークの検査に更に有効的となり、検出精度が向上する。
【００６３】
実施の形態４．
図１１は実施の形態４によるガスリーク検査用のスニファプローブを用いたワークのガスリーク検査時の状態を示す断面図である。図１２は図１１に示したスニファプローブの保護部の構成を示す側面図および側面図におけるＤ−Ｄ断面図である。図１３は実施の形態４による他のガスリーク検査用のスニファプローブを用いたワークのガスリーク検査時の状態を示す断面図である。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。
【００６４】
弾性部４１は、導管１０のワーク７側の端部の外周面の全てを覆う筒状にて形成される。弾性部４１は、ホルダ２の外周側の凹部２２に、締結、または、接着等にて固定される。弾性部４１は筒状で、かつ、導管１０の外周面の全て覆っているため、空間１００の気密性が保たれた状態であり、かつ、蛇腹状等の構造で軸方向Ｙに弾性変形可能に形成されている。
【００６５】
そして、弾性部４１のワーク７側の端部には、弾性部４よりも先端側にある先端部６８を有する保護部６が設置される。保護部６の先端部６８は、導管１０よりワーク７側に突出して形成されるとともに、導管１０とは相反する側に凸となる曲面形状にて形成される。尚、上記各実施の形態と異なり、保護部６の軸方向Ｙの長さは短く構成される。
【００６６】
保護部６が設置された弾性部４１をホルダ２に固定するのみで、シール部などを形成する必要がなく、メンテナンス回数が少なくかつメンテナンス時間が少なくて済む。また、気密性を保ち易く、検出精度が向上できる。
【００６７】
また、他の構成として、図１３に示すように、導管１０のワーク７側の端部の外周面の全てを覆う筒状にて形成される弾性部４２を、軸方向Ｙにおいて、ワーク７側の弾性係数が、ホルダ２側の弾性係数よりも小さくなるような形成する。これは、例えば、バネのピッチを変える、または、厚みを変える等にて実現できる。
【００６８】
このような弾性部４２によれば、ワーク７に近い箇所の弾性部４２の弾性係数が小さいので、更に、ワーク７の表面形状に倣って変形し易くなる。よって、保護部６の先端部６８とワーク７とにて形成される空間１００の気密性があがり、検査精度が向上する。また、ホルダ２側の弾性部４２の弾性係数が大きいためほとんど変形せず、弾性部４２をしっかりとホルダ２に固定できる。
【００６９】
上記のように構成された実施の形態４のスニファプローブによれば、上記各実施の形態と同様の効果を奏するととともに、前記弾性部は、前記導管の前記ワーク側の端部の外周面の全てを覆う筒状にて形成されるので、気密性を保ち易く、検出精度が向上できる。
【００７０】
本開示は、様々な例示的な実施の形態および実施例が記載されているが、１つ、または複数の実施の形態に記載された様々な特徴、態様、および機能は特定の実施の形態の適用に限られるのではなく、単独で、または様々な組み合わせで実施の形態に適用可能である。
従って、例示されていない無数の変形例が、本願明細書に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも１つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、更に、少なくとも１つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。
【符号の説明】
【００７１】
１  スニファプローブ、１１  シール部、１２  シール部、１３  シール部、
１００  空間、２  ホルダ、２１  凹部、２２  凹部、３  配管、４  弾性部、
４１  弾性部、５  ガード部、６  保護部、６１  ガイド溝、６２  先端部、
６３  シール溝、６４  ガイド溝、６５  先端部、６６  先端部、６７  先端部、
６８  先端部、７  ワーク、８  トレースガス、９  漏れ部、Ｔ１  位置、Ｔ２  位置、Ｑ  中心軸、Ｗ１  長さ、Ｗ２  長さ、Ｘ  径方向、Ｙ  軸方向。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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