(57)【要約】【課題】テープ剥離装置において板状ワークから保護部材を剥離し廃棄する場合に、剥離された保護部材を搬送する搬送機構によって作業者がけがをすることなく、かつ、板状ワークに対するダイシングテープ等の貼着と板状ワークからの保護部材の剥離とを装置を停止させることなく継続的に実施させる。【解決手段】上面Ｗａをシート状の保護部材Ｔ２で覆われた板状ワークＷの下面Ｗｂを保持するテーブル３０と、テーブル３０に保持される板状ワークＷの保護部材Ｔ２を剥離する手段４と、を少なくとも備える剥離装置１内に配設され、剥離手段４が剥離した保護部材Ｔ２を回収するボックス２を備え、ボックス２は、上面に保護部材Ｔ２を投入する開口２０を有し、剥離手段４が保護部材Ｔ２を剥離している際に、ボックス開口２０から剥離した保護部材Ｔ２の投入を可能にするとともに、ボックス２に回収された保護部材Ｔ２を取り出し可能にする機構５を備える剥離装置１。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面をシート状の保護部材で覆われた板状ワークの下面を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持される板状ワークの該保護部材を剥離する剥離手段と、を少なくとも備える剥離装置であって、
該剥離装置内に配設され、該剥離手段が剥離した該保護部材を回収する回収ボックスを備え、
該回収ボックスは、上面に該保護部材を投入する開口を有し、
該剥離手段が該保護部材を剥離している際に、該回収ボックスの開口から剥離した該保護部材の投入を可能にするとともに、該回収ボックスに回収された該保護部材を取り出し可能にする取り出し機構を備える剥離装置。
【請求項２】
前記取り出し機構は、前記回収ボックスの開口を大きく広げたり、広げた該開口を元の大きさまで縮めたりする拡縮機能を備え、該開口が大きく広げられ該回収ボックスの側面からはみ出したはみ出し開口から該回収ボックス内の前記保護部材を取り出し可能にする、請求項１記載の剥離装置。
【請求項３】
前記取り出し機構は、前記回収ボックスの側面に開閉扉を備え、該開閉扉を開くことで形成される側面開口から該回収ボックス内の前記保護部材を取り出し可能にする、請求項１記載の剥離装置。
【請求項４】
前記取り出し機構は、前記回収ボックスを前記剥離装置内から出し入れ可能にするスライダと、該回収ボックスの前記開口を覆うように配設され前記保護部材を受け取る受け板と、該受け板が受け取った該保護部材を該回収ボックス内に投入する投入部とを備える、請求項１記載の剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークに貼着された保護部材を剥離する剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
テープ剥離を行うことができるテープマウンター（例えば、特許文献１参照）は、表面に保護部材が貼着された板状ワークの裏面を研削装置で研削した後において、例えば、研削された板状ワークの裏面とリングフレームの一方の面とに板状ワークよりも大径のダイシングテープを貼着して両者を一体化させ、次いで、板状ワークの表面から保護部材を剥離している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−２０１４８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
剥離された保護部材は、上面に開口を備える回収ボックス内に該開口から落下して回収ボックス内に貯められていき、回収ボックスが満杯になる前に、貯められた保護部材は作業者によって廃棄されている。
【０００５】
この回収ボックスに貯まった保護部材の廃棄作業を作業者が行うときに、下記の理由により装置を停止させる必要がある。
理由の１つ目は、回収ボックスに貯まった保護部材を廃棄するために回収ボックスを装置から取り出すことにより、回収ボックスが設置されていた場所にスペースができる。そのスペースには作業者が手を入れることができるため、保護部材を回収ボックスに搬送する搬送機構などが動作して干渉し作業者がけがをするおそれがある。そのため装置を停止させる必要がある。
理由の２つ目は、回収ボックスに貯まった保護部材を廃棄するために回収ボックスを装置から取り出して回収ボックスが無くなった場所に、次の板状ワークから剥離された保護部材が搬送されてくるので、回収ボックスが再度設置されるまで装置を停止させる必要がある。
【０００６】
よって、保護部材の剥離を行う剥離装置において板状ワークから保護部材を剥離し廃棄する場合には、剥離された保護部材を搬送する搬送機構によって作業者がけがをすることなく、かつ、板状ワークに対するダイシングテープ等の貼着と板状ワークからの保護部材の剥離・廃棄とを装置を停止させることなく継続的に実施できるようにするという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明は、上面をシート状の保護部材で覆われた板状ワークの下面を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持される板状ワークの該保護部材を剥離する剥離手段と、を少なくとも備える剥離装置であって、該剥離装置内に配設され、該剥離手段が剥離した該保護部材を回収する回収ボックスを備え、該回収ボックスは、上面に該保護部材を投入する開口を有し、該剥離手段が該保護部材を剥離している際に、該回収ボックスの開口から剥離した該保護部材の投入を可能にするとともに、該回収ボックスに回収された該保護部材を取り出し可能にする取り出し機構を備える剥離装置である。
【０００８】
前記取り出し機構は、前記回収ボックスの開口を大きく広げたり、広げた該開口を元の大きさまで縮めたりする拡縮機能を備え、該開口が大きく広げられ該回収ボックスの側面からはみ出したはみ出し開口から該回収ボックス内の前記保護部材を取り出し可能にすると好ましい。
【０００９】
前記取り出し機構は、前記回収ボックスの側面に開閉扉を備え、該開閉扉を開くことで形成される側面開口から該回収ボックス内の前記保護部材を取り出し可能にすると好ましい。
【００１０】
前記取り出し機構は、前記回収ボックスを前記剥離装置内から出し入れ可能にするスライダと、該回収ボックスの前記開口を覆うように配設され前記保護部材を受け取る受け板と、該受け板が受け取った該保護部材を該回収ボックス内に投入する投入部とを備えると好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る剥離装置は、上面をシート状の保護部材で覆われた板状ワークの下面を保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持される板状ワークの保護部材を剥離する剥離手段と、を少なくとも備える剥離装置であって、剥離装置内に配設され、剥離手段が剥離した保護部材を回収する回収ボックスを備え、回収ボックスは、上面に保護部材を投入する開口を有し、剥離手段が保護部材を剥離している際に、回収ボックスの開口から剥離した保護部材の投入を可能にするとともに、回収ボックスに回収された保護部材を取り出し可能にする取り出し機構を備えていることで、板状ワークから保護部材を剥離して剥離した保護部材を回収ボックスに投入している最中においても、回収ボックスに貯まった保護部材を廃棄することが可能になったため、剥離装置の連続運転が可能になる。また、剥離装置が、環状フレームと板状ワークとにダイシングテープを貼着した後、板状ワークに貼着されている保護部材を剥離するテープマウンターとしての役割を果す場合に、保護部材の剥離動作中に回収ボックスに貯まった保護部材を廃棄することが可能になったので、剥離装置はテープマウンターとしても連続的に運転可能となる。
【００１２】
本発明に係る剥離装置において、取り出し機構は、回収ボックスの開口を大きく広げたり、広げた開口を元の大きさまで縮めたりする拡縮機能を備え、該拡縮機能によって、開口が大きく広げられ回収ボックスの側面からはみ出したはみ出し開口から回収ボックス内の保護部材を取り出し可能にすることで、回収ボックスに貯まった保護部材を廃棄することが可能になったため、剥離装置の連続運転が可能になる。
【００１３】
本発明に係る剥離装置において、取り出し機構は、回収ボックスの側面に開閉扉を備え、開閉扉を開くことで形成される側面開口から回収ボックス内の保護部材を取り出し可能にすることで、回収ボックスに貯まった保護部材を廃棄することが可能になったため、剥離装置の連続運転が可能になる。
【００１４】
取り出し機構は、回収ボックスを剥離装置から出し入れ可能にするスライダと、回収ボックスの開口を覆うように配設され保護部材を受け取る受け板と、受け板が受け取った保護部材を回収ボックス内に投入する投入部とを備えることで、回収ボックスに貯まった保護部材を廃棄することが可能になったため、剥離装置の連続運転が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】剥離装置の一例を示す斜視図である。
【図２】板状ワークの保護部材に剥離用テープを貼着し、さらに、剥離用テープを切断する状態を説明する断面図である。
【図３】保護部材に貼着された剥離用テープを挟持した挟持手段と保持テーブルとを相対的に移動させ、保護部材を板状ワークから剥離している状態を示す断面図である。
【図４】図４（Ａ）は、開口が広げられていない状態の実施形態１の回収ボックス及び実施形態１の取り出し機構の一例を示す斜視図である。図４（Ｂ）は、開口が大きく広げられ実施形態１の回収ボックスの側面からはみ出したはみ出し開口から回収ボックス内の保護部材が取り出し可能となっている状態を説明する斜視図である。
【図５】図５（Ａ）は、側面に実施形態２の取り出し機構の開閉扉を備えた実施形態２の回収ボックスを示す斜視図である。図５（Ｂ）は、側面に実施形態２の取り出し機構の開閉扉を備えた実施形態２の回収ボックスにおいて、開閉扉が開くことで形成される側面開口から保護部材が取り出し可能となっている状態を説明する斜視図である。
【図６】図６（Ａ）は、実施形態３の回収ボックス内に実施形態３の取り出し機構の開いた状態の受け板を通して保護部材が投下されている状態を説明する斜視図である。図６（Ｂ）は、実施形態３の回収ボックス内から実施形態３の取り出し機構によって保護部材が取り出し可能となっている状態を説明する斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１に示す本発明に係る剥離装置１は、帯状の剥離用テープＴ３を用いて、板状ワークＷの上面Ｗａに貼着されている保護部材Ｔ２を剥離する剥離装置の一例であり、上面Ｗａをシート状の保護部材Ｔ２で覆われた板状ワークＷの下面Ｗｂを保持する保持テーブル３０と、保持テーブル３０に保持される板状ワークＷの保護部材Ｔ２を剥離する剥離手段４と、を少なくとも備えている。
【００１７】
図１に示す板状ワークＷは、例えば、シリコンを母材とする外形が円形の半導体ウェーハであり、その上面Ｗａは、直交差する複数の分割予定ラインＳで格子状に区画されており、格子状に区画された各領域にはＩＣ等のデバイスＤがそれぞれ形成されている。
板状ワークＷの上面Ｗａ全面を覆うように貼着されている保護部材Ｔ２は、例えば、図示しない保護部材形成装置において、円形シート上に供給された液状樹脂に板状ワークＷの上面Ｗａを押し付けて、板状ワークＷの中心から外周側に向けて液状樹脂を押し広げて上面Ｗａ全面に液状樹脂をいきわたらせた後、この液状樹脂に例えば紫外線を照射することにより液状樹脂を硬化させて形成した樹脂膜と円形シートとからなる保護部材である。
なお、板状ワークＷはシリコン以外にガリウムヒ素、サファイア、窒化ガリウム又はシリコンカーバイド等で構成されていてもよいし、保護部材も上記樹脂膜と円形シートとからなる例に限定されるものではない。
【００１８】
例えば、板状ワークＷは下面Ｗｂに板状ワークＷよりも大径のダイシングテープＴ１が貼着されている。そして、ダイシングテープＴ１の糊層の外周部が環状フレームＦにも貼着されていることで、板状ワークＷは、ダイシングテープＴ１を介して環状フレームＦに支持され、環状フレームＦによるハンドリングが可能である。
【００１９】
剥離装置１は、Ｘ軸方向に延在する直方体状の基台１０を有している。基台１０の上には、保持テーブル３０をＸ軸方向に往復移動させるテーブル移動手段１３が配設されている。テーブル移動手段１３は、基台１０に配設されたボールネジ１３０と、ボールネジ１３０の一端に接続されたモータ１３２と、ボールネジ１３０と平行に延在する一対のガイドレール１３１と、Ｘ軸方向に移動可能な可動部材１３３とを備えている。可動部材１３３の上面には、保持テーブル３０が支持台３１を介して配設されている。可動部材１３３の下面には、一対のガイドレール１３１が摺接し、可動部材１３３の下面中央に配設された図示しないナットにはボールネジ１３０が螺合している。モータ１３２によって駆動されてボールネジ１３０が回動することにより、可動部材１３３とともに保持テーブル３０がガイドレール１３１に沿ってＸ軸方向に移動する。
【００２０】
保持テーブル３０は、ポーラス部材等からなり板状ワークＷを吸着する吸着部３００と、吸着部３００を支持する枠体３０１とを備える。吸着部３００は、真空発生装置等の図示しない吸引源に連通し、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、吸着部３００の露出面である平坦な保持面３００ａに伝達されることで、保持テーブル３０は保持面３００ａ上で板状ワークＷを吸引保持できる。
【００２１】
例えば、保持テーブル３０は、環状フレームＦを固定するフレーム固定手段３２によって周囲を囲繞されている。平面視環状の外形を備え環状フレームＦが載置されるフレーム固定手段３２は、図示しない吸引源が生み出す吸引力により環状フレームＦを吸引固定する構成となっており、周方向に均等に配設されたピストン機構３３によってＺ軸方向に上下動可能となっている。なお、フレーム固定手段３２の代わりに、クランプがバネ等によって開閉するメカニカルクランプが保持テーブル３０の周囲に複数配設されていてもよい。
【００２２】
保持テーブル３０の移動経路上方には、保持テーブル３０に保持される板状ワークＷの保護部材Ｔ２を剥離する剥離手段４が配設されており、剥離手段４は、例えば、所定の長さで剥離用テープＴ３を切断するテープ切断手段４０と、剥離用テープＴ３がロール状に巻回されたテープロールＲから剥離用テープＴ３を引き出し板状ワークＷの上面Ｗａに貼着された保護部材Ｔ２に供給する剥離用テープ供給手段４２と、テープロールＲから引き出された剥離用テープＴ３の一端を挟持する挟持手段４１と、剥離用テープＴ３を保護部材Ｔ２の外周側の領域に押し付けて貼着するテープ押付手段４４と、テープ押付手段４４及び挟持手段４１をＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動手段４６とを備えている。
【００２３】
Ｘ軸方向移動手段４６は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールネジ４６０と、ボールネジ４６０と平行に配設された一対のガイドレール４６１と、ボールネジ４６０に連結しボールネジ４６０を回動させるモータ４６２と、内部のナットがボールネジ４６０に螺合し側部がガイドレール４６１に摺接する可動板４６３とを備え、モータ４６２がボールネジ４６０を回動させると、これに伴い可動板４６３がガイドレール４６１にガイドされてＸ軸方向に往復移動し、可動板４６３に取り付けられたテープ押付手段４４及び挟持手段４１もＸ軸方向に往復移動する。
【００２４】
剥離用テープ供給手段４２は、テープロールＲが装着された巻筒４２０と、テープロールＲから引き出された剥離用テープＴ３を下方にガイドするガイドローラ４２１ａ、４２１ｂと、ガイドローラ４２１ａ、４２１ｂの下方側に配置された送り出しローラ４２３ａ、４２３ｂとを備えている。巻筒４２０には、図示しない制御機構によってバックテンションがかけられており、テープロールＲから引き出された剥離用テープＴ３に弛みが生じないように張り具合が調整されている。ガイドローラ４２１ａ、４２１ｂは、剥離用テープＴ３を挟みながら折り返してテンションをかけつつ送り出しローラ４２３ａ、４２３ｂに向けてガイドすることができる。送り出しローラ４２３ａ、４２３ｂは、ガイドローラ４２１ａ、４２１ｂによりガイドされた剥離用テープＴ３を挟持手段４１に向けて送り出すことができる。
【００２５】
剥離用テープＴ３は、例えば、保護部材Ｔ２の外周部分に熱を加えて接着される接着剤層と基材とからなる２層構造のヒートシールである。基材の材質は、特に限定されないが、例えばポリエチレンテレフタレート等の樹脂からなる。接着剤層は、例えば熱硬化性樹脂で構成されていることが好ましく、例えばエポキシ樹脂からなる。剥離用テープＴ３の保護部材Ｔ２に対する粘着力は、保護部材Ｔ２の板状ワークＷに対する粘着力よりも強く設定されている。かかる剥離用テープＴ３は、内側（伸ばされた状態における下面側）に接着剤層が位置する状態で巻回されてテープロールＲとして形成されている。なお、剥離用テープＴ３は、ヒートシールに限定されるものではない。
【００２６】
挟持手段４１は、Ｘ軸方向移動手段４６の可動板４６３の側面に固定された支持台４１０と、支持台４１０によって支持されたシリンダー機構４１１と、シリンダー機構４１１によって上下動可能となっている挟持爪部４１２とを備えている。挟持爪部４１２は、例えば、側面視略Ｌ字状の固定爪４１２ｂと、固定爪４１２ｂとＺ軸方向において対向して配設され固定爪４１２ｂに対して接近又は離間可能な可動爪４１２ａとを備えている。挟持手段４１では、固定爪４１２ｂに対して可動爪４１２ａを接近させることにより剥離用テープＴ３の一端を挟持することができる。そして、剥離用テープＴ３を挟持した挟持爪部４１２を、シリンダー機構４１１により保持テーブル３０に保持された板状ワークＷの保護部材Ｔ２上のテープ貼着に適切な高さ位置に位置付けることができる。一方、固定爪４１２ｂから可動爪４１２ａを離間させることにより挟持手段４１における剥離用テープＴ３の一端の挟持状態を解除することができる。
【００２７】
テープ押付手段４４は、送り出しローラ４２３ａ、４２３ｂと挟持手段４１との間に配設されている。テープ押付手段４４は、Ｘ軸方向移動手段４６の可動板４６３の側面に固定された支持台４４０と、エアシリンダー等からなり支持台４４０によって支持された押付板昇降機構４４１と、押付板昇降機構４４１によって上下動可能となっている押付板４４２とを備えている。
押付板４４２には電流を流すことで発熱する図示しないヒータが取り付けられており、押付板昇降機構４４１によって押付板４４２を下降させて保護部材Ｔ２の外周部分に剥離用テープＴ３を押し付けて貼着する際には、図示しないヒータが押付板４４２を加熱することで、保護部材Ｔ２に対して押し付けた剥離用テープＴ３を部分的に熱溶着させることができる。これにより、剥離用テープＴ３を保護部材Ｔ２に対して良好に貼着することができる。
【００２８】
テープ切断手段４０は、例えば、送り出しローラ４２３ａ、４２３ｂとテープ押付手段４４との間に配設されている。テープ切断手段４０は、図１に示すように、剥離用テープＴ３の接着剤層側（下側）が載置される載置面４００ａ及び載置面４００ａを剥離用テープＴ３の幅方向（Ｙ軸方向）に横断する溝４００ｂを備える載置台４００と、溝４００ｂの延在方向に沿って溝４００ｂ内を進行させるカッター４０１と、カッター４０１をカッター昇降手段４０３を介して支持しカッター４０１を溝４００ｂの延在方向（Ｙ軸方向）に移動させるボールネジ機構であるカッター移動手段４０２と、エアシリンダー等からなりカッター４０１を載置面４００ａに対してＺ軸方向に昇降させるカッター昇降手段４０３とを備えている。
【００２９】
なお、剥離装置１は、板状ワークＷの下面Ｗｂに板状ワークＷよりも大径のダイシングテープＴ１を貼着することができるテープマウンターとしての役割を果すことが可能な構成となっていてもよい。この場合には、例えば、基台１０の−Ｘ方向側の端横に貼り付けローラや帯状のダイシングテープを円形のダイシングテープＴ１に周回しながらカットするカッター等が配設されている。
【００３０】
次に、剥離装置１において、剥離用テープＴ３を切断する動作例及び板状ワークＷから保護部材Ｔ２を剥離用テープＴ３を用いて剥離する動作例について説明する。
【００３１】
まず、環状フレームＦと一体となった板状ワークＷが、保持テーブル３０の保持面３００ａに保護部材Ｔ２を上側に向けた状態で載置されると共に、保持テーブル３０の外周側に配設されたフレーム固定手段３２に環状フレームＦが載置される。続いて、図示しない吸引源が作動して、保持面３００ａで板状ワークＷが吸引保持されると共に、フレーム固定手段３２によって環状フレームＦが吸引固定される。
【００３２】
図１に示した送り出しローラ４２３ａ、４２３ｂによって、テープロールＲから剥離用テープＴ３が挟持手段４１に向けて送り出される。剥離用テープＴ３の接着剤層側（内側）がテープ切断手段４０の載置台４００の載置面４００ａに載置され、さらに、剥離用テープＴ３の一端が挟持手段４１の固定爪４１２ｂの上面に位置付けられたら、可動爪４１２ａが固定爪４１２ｂに対して接近する方向に移動して挟持手段４１が剥離用テープＴ３の一端を挟持する。次いで、Ｘ軸方向移動手段４６によって挟持手段４１が−Ｘ方向に移動して挟持された剥離用テープＴ３が同方向に引っ張られる。この段階では、剥離用テープＴ３の上方側にテープ押付手段４４の押付板４４２及びテープ切断手段４０のカッター４０１が待機した状態となっている。
【００３３】
例えば保持テーブル３０が＋Ｘ方向に移動して、テープ押付手段４４の真下に保護部材Ｔ２の外周部分を位置付ける。続いて、内部に備える図示しないヒータにより加熱された図２に示す押付板４４２が−Ｚ方向に下降して、押付板４４２の下端で剥離用テープＴ３を上方から保護部材Ｔ２の外周部分に押し付け、剥離用テープＴ３の接着剤層を保護部材Ｔ２に熱溶着させる。
【００３４】
この状態で、カッター４０１がカッター移動手段４０２によって、−Ｙ方向側（紙面手前側）開始位置に位置付けられる。つまり、カッター４０１を剥離用テープＴ３の一方の側辺側から露出した載置台４００の溝４００ｂの一端の位置に位置付ける。さらに、カッター昇降手段４０３によって、カッター４０１の最下端が溝４００ｂ内に至るまでカッター４０１が下降する。さらに、カッター４０１が溝４００ｂの延在方向に沿って＋Ｙ方向に進行し、カッター４０１によって剥離用テープＴ３が切断される。カッター４０１が剥離用テープＴ３を切断した後、カッター４０１及び押付板４４２は、＋Ｚ方向に上昇して剥離用テープＴ３から退避する。
【００３５】
その後、剥離用テープＴ３を挟持する挟持手段４１が上昇して、板状ワークＷの上面Ｗａから保護部材Ｔ２の一部が剥離される。次いで、図３に示すように、Ｘ軸方向移動手段４６により挟持手段４１を−Ｘ方向に移動させ、テーブル移動手段１３（図１参照）によって保持テーブル３０を＋Ｘ方向に移動させて、挟持手段４１を相対的に板状ワークＷの外周縁から中心に向かって径方向に移動させ板状ワークＷから保護部材Ｔ２を剥離する。なお、保持テーブル３０の移動経路上方に図示しない回転ローラを配設し、該回転ローラに保護部材Ｔ２に当接させつつ剥離を行っていくことで、保護部材Ｔ２の剥離の際に起き得る保護部材Ｔ２の折れの発生を抑制させるものとしてもよい。
【００３６】
なお、例えば、挟持手段４１を相対的に板状ワークＷの外周縁から中心に向かって径方向に移動させ板状ワークＷから保護部材Ｔ２を剥離できればよいため、例えば、保持テーブル３０は＋Ｘ方向には移動せず、挟持手段４１のみが−Ｘ方向に移動することにより保護部材Ｔ２が剥離されるものとしてもよい。
【００３７】
保護部材Ｔ２が板状ワークＷの上面Ｗａから完全に剥離されると、保護部材Ｔ２に貼着された剥離用テープＴ３を挟持する挟持手段４１が、図１に示す剥離装置１内における基台１０の＋Ｘ方向側の端横で剥離用テープ供給手段４２の下方となる領域（図１において一点鎖線で示す直方体状の領域）の上方まで移動する。そして、挟持手段４１は、剥離用テープＴ３の挟持を解除し、保護部材Ｔ２及び剥離用テープＴ３を以下に説明する回収ボックス２に自重により落下させる。
【００３８】
（実施形態１の回収ボックス及び取り出し機構）
例えば、剥離装置１内における基台１０の＋Ｘ方向側の端横で剥離用テープ供給手段４２の下方となる領域（図１において一点鎖線で示す直方体状の領域）には、剥離手段４が剥離した保護部材Ｔ２を回収する図４（Ａ）、（Ｂ）に示す回収ボックス２（以下、実施形態１の回収ボックス２とする）と、剥離手段４が保護部材Ｔ２を剥離している際に、回収ボックス２の開口２０から保護部材Ｔ２の投入を可能にするとともに、回収ボックス２に回収された保護部材Ｔ２を取り出し可能にする取り出し機構５(以下、実施形態１の取り出し機構５とする)とが配設されている。なお、回収ボックス２及び取り出し機構５の配設位置は、図１に示す例に限定されるものではない。
【００３９】
回収ボックス２は、例えば、平面視矩形の底板２１（図４（Ａ）には不図示）と、底板２１の外周から一体的に＋Ｚ方向に立ち上がる３枚の側壁とからなる外形が略直方体状のボックスである。そして、底板２１と各側壁とで囲まれた空間に保護部材Ｔ２を貯めることができ、上面に保護部材Ｔ２を投入する矩形の開口２０を有している。図４（Ａ）、（Ｂ）でＸ軸方向において対向する２枚の側壁を側壁２２ａとして、Ｙ軸方向の１枚の側壁を側壁２２ｂとする。
【００４０】
例えば、図４（Ｂ）に示すように、２枚の側壁２２ａの−Ｙ方向側の上部は長方形板状の仕切り板２２ｃによって連結されており、仕切り板２２ｃの下方には矩形の取り出し口２２ｄが形成されている。
２枚の側壁２２ａの上部には、Ｙ軸方向に等間隔を空けて例えば３つの貫通孔２２０がそれぞれ形成されている。２枚の側壁２２ａの各貫通孔２２０はそれぞれＸ軸方向における同一直線上で対向している。
２枚の側壁２２ａの外側面の上部及び下部には、Ｙ軸方向に平行に延在する一対のガイドレール２２１が設けられている。
【００４１】
取り出し機構５は、例えば、２枚の側壁２２ａの一対のガイドレール２２１が摺動可能に嵌合する案内溝５００を内側面に備えた２枚の側壁５０と、側壁５０を連結する一枚の側壁５１とを備えている。なお、一対のガイドレール２２１と案内溝５００とを備えない構成としてもよい。
側壁５１の上部には、例えば、矩形状の引き手口５１０が貫通形成されており、作業者が引き手口５１０に手をかけて側壁５１を−Ｙ方向側へ引くことで、回収ボックス２を囲繞している状態の側壁５１及び２枚の側壁５０を回収ボックス２の外側へ引き出す（スライド移動させる）ことができる。即ち、取り出し機構５は、回収ボックス２の開口２０を図４（Ａ）に示す状態から図４（Ｂ）に示す状態まで大きく広げることができる。図４（Ｂ）に示す大きく広げられた状態の回収ボックス２の開口を開口２０ａとする。開口２０ａは、元の大きさの開口２０と回収ボックス２の側面からはみ出したはみ出し開口２０ｂとからなる。
【００４２】
また、作業者が側壁５１を＋Ｙ方向側へ押すことで、２枚の側壁５０が一対のガイドレール２２１に沿って回収ボックス２の２枚の側壁２２ａの外側面を摺動して、回収ボックス２の開口２０ａを図４（Ｂ）に示す大きさから図４（Ａ）に示す元の大きさまで縮めることができる。即ち、本実施形態１の取り出し機構５は、図４（Ａ）に示す回収ボックス２の開口２０を図４（Ｂ）に示すように開口２０ａまで大きく広げたり、広げた開口２０ａを元の大きさの開口２０まで縮めたりする拡縮機能を備えており、図４（Ｂ）に示すように、開口２０が大きく広げられ回収ボックス２の−Ｙ方向側の側面からはみ出したはみ出し開口２０ｂから回収ボックス２内の保護部材Ｔ２を取り出し可能にする。
【００４３】
図４（Ｂ）に示すように、例えば、２枚の側壁５０の上部には、Ｙ軸方向に等間隔を空けて３つの光センサ５３が配設されている。光センサ５３は、発光部５３０（−Ｘ方向側）と受光部５３１（＋Ｘ方向側）とを備える透過型の光センサである。
【００４４】
先に説明したように、図１に示す剥離装置１において剥離用テープＴ３を用いて板状ワークＷの上面Ｗａから保護部材Ｔ２が剥離手段４によって剥離され、剥離された保護部材Ｔ２が図４（Ａ）、（Ｂ）に示す回収ボックス２に投入されている最中に、取り出し機構５によって回収ボックス２から保護部材Ｔ２が取り出し可能であることについて、以下に説明していく。
【００４５】
図１に示す挟持手段４１が、剥離した剥離用テープＴ３の挟持を解除し、保護部材Ｔ２及び剥離用テープＴ３を自重により落下させ、図４（Ａ）に示す回収ボックス２の開口２０から回収ボックス２内に保護部材Ｔ２及び剥離用テープＴ３を投入する。保護部材Ｔ２及び剥離用テープＴ３は、回収ボックス２の底板２１上に積み重なっていく。
【００４６】
図４（Ａ）に示すように、回収ボックス２の開口２０が広げられていない状態において、板状ワークＷからそれぞれ剥離された保護部材Ｔ２が回収ボックス２内において所定の高さまで複数枚積み上がり、光センサ５３の発光部５３０から出射され回収ボックス２の側壁２２ａの貫通孔２２０を通過した検知光が受光部５３１に到達する前に積み上がった保護部材Ｔ２により遮られることで、光センサ５３は回収ボックス２内が保護部材Ｔ２で満たされたことを検出する。
なお、剥離された保護部材Ｔ２は湾曲したりロール状に丸まったりして積み重なることがある。そのため、少ない枚数の保護部材Ｔ２で検知光を遮ることがある。
【００４７】
光センサ５３により回収ボックス２内が保護部材Ｔ２で満たされたことが検出されると、図１に示す剥離装置１は、図示しないモニターに回収ボックス２から保護部材Ｔ２を取り出すべきとの警告文を表示する、又は、図示しないスピーカーから回収ボックス２から保護部材Ｔ２を取り出すべきとの警告音を発報する。
【００４８】
該警告が伝えられた作業者が引き手口５１０に手をかけて側壁５１を−Ｙ方向側へ引き、回収ボックス２を囲繞している状態の側壁５１及び２枚の側壁５０を回収ボックス２の外側へ引き出すことで、開口２０が開口２０ａまで大きく広げられて、図４（Ｂ）に示すように回収ボックス２の側面からはみ出し開口２０ｂがはみ出した状態になる。
なお、光センサ５３によって回収ボックス２内が保護部材Ｔ２で満たされたことが検出されると、図示しない可動手段によって自動的に側壁５１が−Ｙ方向側に引かれて、開口２０が開口２０ａまで大きく広げられるものとしてもよい。
【００４９】
作業者が、回収ボックス２の側面からはみ出したはみ出し開口２０ｂから手を入れて、仕切り板２２ｃの下方の取り出し口２２ｄに手を通して、回収ボックス２内の底板２１上に積み重なって貯められている保護部材Ｔ２を掴む。その後、側面からはみ出したはみ出し開口２０ｂから作業者が手を引き抜いて保護部材Ｔ２を回収ボックス２内から取り出す。
仕切り板２２ｃは、大きく広げられた状態の回収ボックス２の開口２０ａを例えば略中間位置で仕切っており、作業者の手が不必要に回収ボックス２の開口２０の上方に出てしまわないように規制している。したがって、回収ボックス２の開口２０の上方に位置し保護部材Ｔ２を投下している図１に示す挟持手段４１に作業者の手が当たってしまうといった事態を生じさせない。
【００５０】
作業者が側面からはみ出したはみ出し開口２０ｂから回収ボックス２内の保護部材Ｔ２を回収している最中においても、図１に示す剥離手段４でワークＷから剥離された保護部材Ｔ２は、図４（Ｂ）に示すように回収ボックス２の開口２０から投入される。
【００５１】
本発明に係る剥離装置１は、上面Ｗａをシート状の保護部材Ｔ２で覆われた板状ワークＷの下面Ｗｂを保持する保持テーブル３０と、保持テーブル３０に保持される板状ワークＷの保護部材Ｔ２を剥離する剥離手段４と、を少なくとも備える剥離装置１であって、剥離装置１内に配設され、剥離手段４が剥離した保護部材Ｔ２を回収する回収ボックス２を備え、回収ボックス２は、上面に保護部材Ｔ２を投入する開口２０を有し、剥離手段４が保護部材Ｔ２を剥離している際に、回収ボックス２の開口２０から保護部材Ｔ２の投入を可能にするとともに、回収ボックス２に回収された保護部材Ｔ２を取り出し可能にする取り出し機構５を備えていることで、板状ワークＷから保護部材Ｔ２を剥離している最中においても、回収ボックス２に貯まった保護部材Ｔ２を廃棄することが可能になったため、剥離装置１の連続運転が可能になる。また、剥離装置１が、環状フレームＦと板状ワークＷとにダイシングテープＴ１を貼着した後、板状ワークＷに貼着されている保護部材Ｔ２を剥離するテープマウンターとしての役割を果す場合に、保護部材Ｔ２の剥離動作中に回収ボックス２から保護部材Ｔ２を廃棄することが可能になったので、並行して板状ワークＷにダイシングテープＴ１を連続的に貼着させることが可能になる。
【００５２】
本発明に係る剥離装置１において、取り出し機構５は、回収ボックス２の開口２０を大きく広げたり、広げた開口２０ａを元の大きさまで縮めたりする拡縮機能を備え、拡縮機能によって、大きく広げられ回収ボックス２の側面からはみ出したはみ出し開口２０ｂから回収ボックス２内の保護部材Ｔ２を取り出し可能にすることで、回収ボックス２に貯まった保護部材Ｔ２を廃棄することが可能になったため、剥離装置１の連続運転が可能になった。
【００５３】
なお、本実施形態１の回収ボックス２及び取り出し機構５は上記の構成に限定されるものではない。
例えば、取り出し機構５は、本実施形態のように側壁５０及び側壁５１をＹ方向にスライド移動させる構成に限定されるものではない。例えば、側壁５０をＹ軸方向に蛇腹が伸縮する構造として、作業者が引き手口５１０を引くことで蛇腹が広がり回収ボックス２の開口２０を大きく広げたり、作業者が側壁５１を回収ボックス２側に向かって押すことで広げた開口２０ａを元の大きさの開口２０まで縮めたりできるようにしても良い。側壁５０の上端から下端までがＹ軸方向に伸縮する蛇腹構造となっていなくてもよく、側壁５０の上端から高さ方向（Ｚ軸方向）の中位置までが斜めに伸縮する蛇腹構造となっていてもよい。
【００５４】
（実施形態２の回収ボックス及び取り出し機構）
剥離装置１は、図４（Ａ）、（Ｂ）に示す実施形態１の回収ボックス２及び取り出し機構５に代えて、図５（Ａ）、（Ｂ）に示す剥離手段４が剥離した保護部材Ｔ２を回収する回収ボックス６（以下、実施形態２の回収ボックス６とする）と、剥離手段４が保護部材Ｔ２を剥離している際に、回収ボックス６の開口６０から保護部材Ｔ２の投入を可能にするとともに、回収ボックス６に回収された保護部材Ｔ２を取り出し可能にする取り出し機構７(以下、実施形態２の取り出し機構７とする)とを、図１において一点鎖線で示す直方体状の領域内に備えていてもよい。
【００５５】
回収ボックス６は、例えば、平面視矩形の底板６１（図５（Ａ）には不図示）と、底板６１の外周から一体的に＋Ｚ方向に立ち上がる４枚の側壁とからなる外形が略直方体状のボックスである。そして、底板６１と各側壁とで囲まれた空間に保護部材Ｔ２を貯めることができ、上面に保護部材Ｔ２を投入する矩形の開口６０を有している。図５（Ａ）、（Ｂ）で、Ｘ軸方向において対向する２枚の側壁を側壁６２ａとして、Ｙ軸方向において対向する２枚の側壁を側壁６２ｂとする。
【００５６】
２枚の側壁６２ａの上部には、Ｙ軸方向に等間隔を空けて例えば３つの光センサ６６がそれぞれ形成されている。光センサ６６は、発光部６６０（−Ｘ方向側）と受光部６６１（＋Ｘ方向側）とを備える透過型の光センサである。発光部６６０と受光部６６１とはそれぞれＸ軸方向における同一直線上で対向している。
【００５７】
取り出し機構７は、回収ボックス６の−Ｙ方向側の側壁６２ｂの外側面の例えば下部側に開閉扉７０を備えている。開閉扉７０は、例えば、図示しない開閉ボタンを作業者が押す又は図示しない取っ手を作業者が引くことで回収ボックス６の外側に向かって開く開き戸式の開閉扉であるが、これに限定されるものではなく、側壁６２ｂに平行にスライド移動する引き戸式の開閉扉であってもよいし、蛇腹が伸縮することで開閉が行われるシャッター式の開閉扉であってもよい。
【００５８】
そして、取り出し機構７は、図５（Ｂ）に示すように、開閉扉７０を開くことで形成される側面開口７１から回収ボックス６内の保護部材Ｔ２を取り出し可能にする。
【００５９】
先に説明したように、図１に示す剥離装置１において剥離用テープＴ３を用いて板状ワークＷの上面Ｗａから保護部材Ｔ２が剥離手段４によって剥離され、剥離された保護部材Ｔ２が図５（Ａ）、（Ｂ）に示す回収ボックス６に投入されている最中に、取り出し機構７によって回収ボックス６から保護部材Ｔ２が取り出し可能であることについて以下に説明する。
【００６０】
挟持手段４１が、剥離した剥離用テープＴ３の挟持を解除し、保護部材Ｔ２及び剥離用テープＴ３を自重により落下させ、図５（Ａ）に示す回収ボックス６の開口６０から回収ボックス６内に保護部材Ｔ２及び剥離用テープＴ３を投入する。保護部材Ｔ２及び剥離用テープＴ３は、回収ボックス６の底板６１上に積み重なっていく。
【００６１】
図５（Ａ）に示すように、板状ワークＷからそれぞれ剥離された保護部材Ｔ２が回収ボックス６内において所定の高さまで複数枚積み上がり、光センサ６６の発光部６６０から出射された検知光が受光部６６１に到達する前に積み上がった保護部材Ｔ２により遮られることで、光センサ６６は回収ボックス６内が保護部材Ｔ２で満たされたことを検出する。
【００６２】
光センサ６６により回収ボックス６内が保護部材Ｔ２で満たされたことが検出されると、図１に示す剥離装置１は、図示しないモニターに回収ボックス６から保護部材Ｔ２を取り出すべきとの警告文を表示する、又は、図示しないスピーカーから回収ボックス６から保護部材Ｔ２を取り出すべきとの警告音を発報する。
【００６３】
該警告が伝えられた作業者が図示しない開閉ボタンを押す又は図示しない取っ手を引くことで取り出し機構７の開閉扉７０を開き、図５（Ｂ）に示すように側面開口７１を形成して、回収ボックス６内の保護部材Ｔ２を取り出し可能にする。即ち、作業者が、回収ボックス６の側面開口７１から手を入れて、回収ボックス６内の底板６１上に積み重なって貯められている保護部材Ｔ２を掴む。その後、側面開口７１から作業者が手を引き抜いて保護部材Ｔ２を回収ボックス６内から取り出す。
側面開口７１から作業者は手を入れるため、手が不必要に回収ボックス６の上方まで開口６０を通り出てしまうことはない。したがって、回収ボックス６の上方に位置し保護部材Ｔ２を投下している図１に示す挟持手段４１に作業者の手が当たってしまうといった事態を生じさせない。
なお、光センサ６６によって回収ボックス６内が保護部材Ｔ２で満たされたことが検出されると、図示しない可動手段によって自動的に開閉扉７０が開かれて側面開口７１が形成されるものとしてもよい。
【００６４】
作業者が側面開口７１から回収ボックス６内の保護部材Ｔ２を回収している最中においても、図１に示す剥離手段４でワークＷから剥離された保護部材Ｔ２は、図５（Ｂ）に示すように回収ボックス６の開口６０から投入される。
【００６５】
このように、本発明に係る剥離装置１において、実施形態２の取り出し機構７は、回収ボックス６の側面に開閉扉７０を備え、開閉扉７０を開くことで形成される側面開口７１から回収ボックス６内の保護部材Ｔ２を取り出し可能にすることで、回収ボックス６に貯まった保護部材Ｔ２を廃棄することが可能になったため、剥離装置１の連続運転が可能になる。
【００６６】
（実施形態３の回収ボックス及び取り出し機構）
剥離装置１は、図４（Ａ）、（Ｂ）に示す実施形態１の回収ボックス２及び取り出し機構５、又は実施形態２の回収ボックス６若しくは取り出し機構７に代えて、図６（Ａ）、（Ｂ）に示す剥離手段４が剥離した保護部材Ｔ２を回収する回収ボックス８（以下、実施形態３の回収ボックス８とする）と、剥離手段４が保護部材Ｔ２を剥離している際に、回収ボックス８の開口８０から保護部材Ｔ２の投入を可能にするとともに、回収ボックス８に回収された保護部材Ｔ２を取り出し可能にする取り出し機構９(以下、実施形態３の取り出し機構９とする)とを、図１において一点鎖線で示す直方体状の領域内に備えていてもよい。
【００６７】
回収ボックス８は、例えば、平面視矩形の底板８１と、底板８１の外周から一体的に＋Ｚ方向に立ち上がる４枚の側壁とからなる外形が略直方体状のボックスである。そして、底板８１と各側壁とで囲まれた空間に保護部材Ｔ２を貯めることができ、上面に保護部材Ｔ２を投入する矩形の開口８０を有している。図６（Ａ）、（Ｂ）でＸ軸方向において対向する２枚の側壁を側壁８２ａとして、Ｙ軸方向において対向する２枚の側壁を側壁８２ｂとする。
【００６８】
２枚の側壁８２ａの上部には、Ｙ軸方向に等間隔を空けて例えば３つの光センサ８６がそれぞれ形成されている。光センサ８６は、発光部８６０（−Ｘ方向側）と受光部８６１（＋Ｘ方向側）とを備える透過型の光センサである。発光部８６０と受光部８６１とはそれぞれＸ軸方向における同一直線上で対向している。
側壁８２ｂの上部には、例えば、矩形状の引き手口８２３が貫通形成されている。
【００６９】
取り出し機構９は、回収ボックス８を図１に示す剥離装置１（本実施形態３においては、例えば、図１に示す一点鎖線で示す直方体状の領域内）から出し入れ可能にするスライダ９０と、回収ボックス８の開口８０を覆うように配設され保護部材Ｔ２を受け取る受け板９２と、受け板９２が受け取った保護部材Ｔ２を回収ボックス８内に投入する投入部９４とを備える。
【００７０】
回収ボックス８の下方に配設されたスライダ９０は、例えば平面視矩形状の外形を備えており、Ｙ軸方向に平行に延在する一対のガイドレール９０１を備えている。該一対のガイドレール９０１は、回収ボックス８の底板８１の下面に形成された図示しない案内溝に摺動可能に嵌合している。
【００７１】
平面視矩形状の受け板９２は、例えば、図６（Ａ）に示すように、剥離装置１から出されていない状態の回収ボックス８の上方に位置しており、本実施形態３においては２枚配設されている。
【００７２】
投入部９４は、例えば、Ｘ軸方向に延在しＹ軸方向において対向するように配設された支持板９４０、９４１と、支持板９４０、９４１の両端側面によって図示しないベアリングを介してＹ軸方向の軸心周りに回転可能に支持された回転軸９４２、９４３と、回転軸９４２、９４３の一端に連結され回転軸９４２、９４３をそれぞれ回転させるモータ９４５、９４６とを備えている。なお、回転軸９４２、９４３は、作業者によって手動で回転可能となっていてもよい。
【００７３】
回転軸９４２、９４３の外周面には受け板９２がそれぞれ固定されており、モータ９４５、９４６によって回転軸９４２、９４３が回動することにより、２枚の受け板９２が回動して開閉される。
【００７４】
例えば、スライダ９０の一対のガイドレール９０１には図示しない接触式または非接触式のセンサが配設されており、該センサは回収ボックス８が図１に示す剥離装置１内の一点鎖線で示す直方体状の領域内から−Ｙ方向側に引き出された旨を検知し、該情報をセンサに電気的に接続されモータ９４５、９４６を制御する制御部に送信する。その結果、制御部がモータ９４５、９４６を回動させて、２枚の受け板９２を図６（Ａ）のように開いた状態から図６（Ｂ）のように閉じた状態に変化させる。
【００７５】
先に説明したように、図１に示す剥離装置１において剥離用テープＴ３を用いて板状ワークＷの上面Ｗａから保護部材Ｔ２が剥離手段４によって剥離され、剥離された保護部材Ｔ２が図６（Ａ）、（Ｂ）に示す回収ボックス８に投入されている最中に、取り出し機構９によって回収ボックス８から保護部材Ｔ２が取り出し可能であることについて以下に説明する。
【００７６】
挟持手段４１が、剥離した剥離用テープＴ３の挟持を解除し、保護部材Ｔ２及び剥離用テープＴ３を自重により落下させる。回収ボックス８の開口８０を覆うように配設された受け板９２は開かれており、図６（Ａ）に示す回収ボックス８の開口８０から回収ボックス８内に保護部材Ｔ２及び剥離用テープＴ３が投入され、保護部材Ｔ２及び剥離用テープＴ３は、回収ボックス８の底板８１上に積み重なっていく。
【００７７】
図６（Ａ）に示すように、板状ワークＷから剥離された保護部材Ｔ２が回収ボックス８内において所定の高さまで複数枚積み上がり、光センサ８６の発光部８６０から出射された検知光が受光部８６１に到達する前に積み上がった保護部材Ｔ２により遮られることで、光センサ８６は回収ボックス８内が保護部材Ｔ２で満たされたことを検出する。
【００７８】
光センサ８６により回収ボックス８内が保護部材Ｔ２で満たされたことが検出されると、図１に示す剥離装置１は、図示しないモニターに回収ボックス８から保護部材Ｔ２を取り出すべきとの警告文を表示する、又は、図示しないスピーカーから回収ボックス８から保護部材Ｔ２を取り出すべきとの警告音を発報する。
【００７９】
該警告が伝えられた作業者が引き手口８２３に手をかけて回収ボックス８を−Ｙ方向側へ引くことで、スライダ９０によって回収ボックス８が剥離装置１内から引き出される。即ち、例えば、図１に示す一点鎖線で示す直方体状の領域内から回収ボックス８が−Ｙ方向側に引き出される。これに伴って、図６（Ｂ）に示すように、受け板９２が閉じられる。
【００８０】
作業者が、図６（Ｂ）に示す剥離装置１内から引き出された回収ボックス８の開口８０から手を入れて、回収ボックス８内の底板８１上に積み重なって貯められている保護部材Ｔ２を掴む。その後、開口８０から作業者が手を引き抜いて保護部材Ｔ２を回収ボックス８内から取り出す。
保護部材Ｔ２を投入する挟持手段４１が開口８０の上方に位置していない状態で、作業者は開口８０に手を入れるため、閉じられた状態の受け板９２の上方に位置し保護部材Ｔ２を投下している図１に示す挟持手段４１に作業者の手が当たってしまうといった事態を生じさせない。
【００８１】
作業者が剥離装置１内から引き出された回収ボックス８内の保護部材Ｔ２を回収している最中においても、図１に示す剥離手段４で板状ワークＷから剥離された保護部材Ｔ２は、図６（Ｂ）に示すように閉じられた状態の受け板９２に投下される。よって、受け板９２上に保護部材Ｔ２が積み重なっていく。
【００８２】
作業者は、回収ボックス８内から保護部材Ｔ２を回収し終えると、回収ボックス８を＋Ｙ方向側へ押して図６（Ａ）に示す元の位置まで戻す。これに伴って、スライダ９０に配設された図示しないセンサは、回収ボックス８が剥離装置１内の図１に示す一点鎖線で示す直方体状の領域に戻された旨を検知し、該情報をセンサに電気的に接続され投入部９４のモータ９４５、９４６を制御する制御部に送信する。その結果、制御部の制御の下でモータ９４５、９４６が回転軸９４２、９４３を回動させて、２枚の受け板９２を図６（Ａ）のように開いた状態に変化させる。そして、挟持手段４１が新たな保護部材Ｔ２を回収ボックス８内に投下すると共に、受け板９２上に積まれていた保護部材Ｔ２も回収ボックス８内に投入される。
【００８３】
このように本発明に係る剥離装置１における実施形態３の取り出し機構９は、回収ボックス８を剥離装置１から出し入れ可能にするスライダ９０と、回収ボックス８の開口８０を覆うように配設され保護部材Ｔ２を受け取る受け板９２と、受け板９２が受け取った保護部材Ｔ２を回収ボックス８内に投入する投入部９４とを備えることで、回収ボックス８に貯まった保護部材Ｔ２を廃棄することが可能になったため、剥離装置１の連続運転が可能になる。
【符号の説明】
【００８４】
Ｗ：板状ワーク  Ｗａ：上面  Ｗｂ：下面  Ｓ：分割予定ライン  Ｄ：デバイス
Ｔ１：ダイシングテープ  Ｆ：環状フレーム  Ｔ２：保護部材
１：剥離装置  １０：基台  
１３：テーブル移動手段  １３０：ボールネジ  １３１：ガイドレール  １３２：モータ
１３３：可動部材
３０：保持テーブル  ３００：吸着部  ３００ａ：保持面  ３０１：枠体  ３１：支持台  ３２：フレーム固定手段  ３３：ピストン機構
Ｔ３：剥離用テープ  Ｒ：テープロール
４：剥離手段  
４０：テープ切断手段  ４００：載置台  ４０１：カッター  ４０２：カッター移動手段  ４０３：カッター昇降手段
４１：挟持手段  ４１０：支持台  ４１１：シリンダー機構  ４１２：挟持爪部
４１２ｂ：固定爪  ４１２ａ：可動爪
４２：剥離用テープ供給手段  ４２０：巻筒  ４２１ａ、４２１ｂ：ガイドローラ
４２３ａ、４２３ｂ：送り出しローラ
４４：テープ押付手段  ４４０：支持台  ４４１：押付板昇降機構  ４４２：押付板  
４６：Ｘ軸方向移動手段  ボールネジ４６０  モータ４６２
２：実施形態１の回収ボックス  ２０：開口  ２１：底板  ２２ａ：側壁  ２２０：貫通口  ２２１：一対のガイドレール  ２０ａ：大きく広げられた状態の開口  ２０ｂ：側面からはみ出したはみ出し開口
２２ｂ：側壁  ２２ｃ：仕切り板  ２２ｄ：取り出し口
５：実施形態１の取り出し機構  ５０：側壁  ５００：案内溝  ５３：光センサ
５１：側壁  ５１０：引き手口
６：実施形態２の回収ボックス  ６０：開口  ６１：底板  ６２ａ：側壁  ６６：光センサ  ６２ｂ：側壁
７：実施形態２の取り出し機構  ７０：開閉扉  ７１：側面開口  ８２ａ：側壁  ８６：光センサ  ８２ｂ：側壁  ８２３：引き手口
８：実施形態３の回収ボックス  ８０：開口  ８１：底板  
９：実施形態３の取り出し機構  ９０：スライダ  ９０１：一対のガイドレール
９２：受け板  ９４：投入部  ９４０、９４１：支持板  ９４２、９４３：回転軸
９４５、９４６：モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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