(57)【要約】【課題】直径の異なる基板の収納に簡単に対応可能な基板収納容器を提供する。【解決手段】正面に開口１１を有する容器本体１０と、開口１１とは反対側の背面壁１０ｂに設けられた基板支持部３０と、開口１１を閉鎖する蓋体２０と、蓋体２０に設けられた基板押さえ部５０と、を備える基板収納容器１であって、基板支持部３０は、基板Ｗ１を支持する基板支持片４０と、背面壁１０ｂに設けられた複数の係合部１２，１３，１４と、を有し、基板支持片４０と係合部１２，１３，１４との係合位置を選択可能にすることで、直径の異なる基板Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３を支持可能にするものである。【選択図】図６
2020080360.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
正面に開口を有する容器本体と、
前記開口とは反対側の背面壁に設けられた基板支持部と、
前記開口を閉鎖する蓋体と、
前記蓋体に設けられた基板押さえ部と、を備える基板収納容器であって、
前記基板支持部は、基板を支持する基板支持片と、
前記背面壁に設けられた係合部と、を有し、
前記基板支持片の先端から前記基板押さえ部までの離間距離を選択可能にすることで、直径の異なる基板を支持可能にする、
ことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
正面に開口を有する容器本体と、
前記開口とは反対側の背面壁に設けられた基板支持部と、
前記開口を閉鎖する蓋体と、
前記蓋体に設けられた基板押さえ部と、を備える基板収納容器であって、
前記基板支持部は、基板を支持する基板支持片と、
前記背面壁に設けられた複数の係合部と、を有し、
前記基板支持片と前記係合部との係合位置を選択可能にすることで、直径の異なる基板を支持可能にする、
ことを特徴とする基板収納容器。
【請求項３】
前記基板支持片は、前記係合部に着脱可能に係合する被係合部が設けられている、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記基板支持部は、前記基板支持片から前記蓋体の内面に向かって突出する長さが異なる複数の基板支持片を有する、
ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記基板支持片と前記係合部との間に配置されるオフセット部材を、更に備える、
ことを特徴とする請求項４に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記基板支持部は、前記開口が延在する平面に直交し、収納された前記基板の中心を通る面を基準として左右対称に一対で配置される、
ことを特徴とする請求項１から５までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記基板支持片は、前記容器本体を形成する材料よりも低摩擦性を有する材料で形成されている、
ことを特徴とする請求項１から６までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数枚の基板を収納する基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板収納容器は、半導体ウエハなどの基板を内部空間に収納し、倉庫での保管、半導体加工装置間での搬送、工場間での輸送などに使用されている。このため、基板収納容器は、輸送時の振動、衝撃などから収納した基板を保護するようになっている。
【０００３】
ところで、半導体の製造工程では、複数の基板を同じバッチ処理で加工又は搬送するため、基板収納容器には、同一直径の複数の基板が収納されるが、異なるバッチ間では、処理する基板の直径が異なる場合がある。
【０００４】
そこで、例えば、特許文献１では、正面に開口を有する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、を備える基板収納容器において、容器本体の背面側に設けられた基板位置規制体と、蓋体に設けられた基板押さえ部とを更に備え、基板位置規制体の取付位置を変更することで、異なる直径の基板を収納可能にしたものが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−１８２９３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような基板収納容器では、容器本体の天面壁及び底面壁に形成された複数の挿入穴に、基板位置規制体を挿入し固定するようになっているが、気密性が要求される基板収納容器では、使用しない挿入穴に、ダミー部材を挿入し固定する必要がある。そのため、異なる直径の基板を収納できるように、基板位置規制体の挿入位置を変更する際、作業工数が多くなり、効率がよくなく、また、挿入穴が容器本体を貫通しているため、気密対策も必要であった。
【０００７】
そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、直径の異なる基板の収納に簡単に対応可能な基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本発明に係る一つの態様は、正面に開口を有する容器本体と、前記開口とは反対側の背面壁に設けられた基板支持部と、前記開口を閉鎖する蓋体と、前記蓋体に設けられた基板押さえ部と、を備える基板収納容器であって、前記基板支持部は、基板を支持する基板支持片と、前記背面壁に設けられた係合部と、を有し、前記基板支持片の先端から前記基板押さえ部までの離間距離を選択可能にすることで、直径の異なる基板を支持可能にするものである。
（２）本発明に係る別の一つの態様は、正面に開口を有する容器本体と、前記開口とは反対側の背面壁に設けられた基板支持部と、前記開口を閉鎖する蓋体と、前記蓋体に設けられた基板押さえ部と、を備える基板収納容器であって、前記基板支持部は、基板を支持する基板支持片と、前記背面壁に設けられた複数の係合部と、を有し、前記基板支持片と前記係合部との係合位置を選択可能にすることで、直径の異なる基板を支持可能にするものである。
（３）上記（１）又は（２）の態様において、前記基板支持片は、前記係合部に着脱可能に係合する被係合部が設けられてもよい。
（４）上記（１）から（３）までのいずれか１つの態様において、前記基板支持部は、前記基板支持片から前記蓋体の内面に向かって突出する長さが異なる複数の基板支持片を有してもよい。
（５）上記（４）の態様において、前記基板支持片と前記係合部との間に配置されるオフセット部材を、更に備えてもよい。
（６）上記（１）から（５）までのいずれか１つの態様において、前記基板支持部は、前記開口が延在する平面に直交し、収納された前記基板の中心を通る面を基準として左右対称に一対で配置されてもよい。
（７）上記（１）から（６）までのいずれか１つの態様において、
前記基板支持片は、前記容器本体を形成する材料よりも低摩擦性を有する材料で形成されてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、直径の異なる基板の収納に簡単に対応可能な基板収納容器を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施形態の基板収納容器を示す分解概略斜視図である。
【図２】第１実施形態の基板収納容器を示す水平断面図である。
【図３】蓋体を取り外した基板収納容器における基板の載置状態を示す（ａ）基板支持部の垂直断面拡大図、（ｂ）基板載置部の垂直断面拡大図である。
【図４】基板収納容器における基板の支持状態を示す（ａ）基板支持部の垂直断面拡大図、（ｂ）基板載置部の垂直断面拡大図、（ｃ）基板押さえ部の垂直断面拡大図である。
【図５】第１実施形態の基板収納容器に中間径の基板を収納した状態を示す水平断面図である。
【図６】第１実施形態の基板収納容器に大径の基板を収納した状態を示す水平断面図である。
【図７】第１実施形態の基板収納容器に小径の基板を収納した状態を示す水平断面図である。
【図８】補助支持片を用いて第１実施形態の基板収納容器に小径の基板を収納した状態を示す水平断面図である。
【図９】第２実施形態の基板収納容器を示す水平断面図である。
【図１０】第２実施形態の基板収納容器に中間径の基板を収納した状態を示す水平断面図である。
【図１１】第２実施形態の基板収納容器に大径の基板を収納した状態を示す水平断面図である。
【図１２】第２実施形態の基板支持片にオフセット部材を組み付ける状態を示す水平断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。
【００１２】
（第１実施形態）
まず、基板収納容器１について説明する。図１は、第１実施形態の基板収納容器１を示す分解概略斜視図である。図２は、第１実施形態の基板収納容器１を示す水平断面図である。なお、図１において、基板Ｗの面を水平方向に収納した基板収納容器１を蓋体２０側から見たときの、左右方向をＸ軸方向、上下方向をＺ軸方向、蓋体２０と背面壁１０ｂとを結ぶ前後方向をＹ軸方向とする。以降の図においても、必要に応じてＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を示す。また、図２において、基板支持部３０の基板支持片４０の記載は省いている。
【００１３】
図１に示される基板収納容器１は、複数枚の基板Ｗを収納するものであり、容器本体１０及び蓋体２０を備えている。基板収納容器１に収納される基板Ｗは、例えば、直径が３００ｍｍ又は４５０ｍｍの半導体ウエハやマスクガラスなどであるが、これに限定されない。
【００１４】
容器本体１０は、正面の開口１１を形成する開口枠１０ａと、背面壁１０ｂと、右側壁１０ｃと、左側壁１０ｄと、天面壁１０ｅと、底面壁１０ｆとを含む箱状のものであり、いわゆるフロントオープン型のものである。
【００１５】
容器本体１０には、基板Ｗを載置又は支持するために、一対の基板支持部３０と、一対の基板載置部６０と、が設けられている（図２も参照）。
【００１６】
基板支持部３０は、背面壁１０ｂの左右で、基板載置部６０よりも後方の背面壁１０ｂ側に設けられている。より詳細には、基板支持部３０は、開口１１が延在する平面に直交し、収納された基板Ｗの中心を通る面を基準として左右対称に一対で設けられている。また、詳細は後述するが、この基板支持部３０は、基板Ｗを支持する基板支持片４０を有しており（図５等参照）、この基板支持片４０に、高さ方向に複数の溝が形成されている。
【００１７】
一方、基板載置部６０は、右側壁１０ｃ及び左側壁１０ｄの内側の２か所に対向して形成されている。また、この基板載置部６０は、いわゆる溝ティースで構成されるもので、高さ方向に形成された複数の溝で構成されている。そして、基板Ｗは、それぞれの溝に挿入されて収納される。なお、基板支持部３０の溝数と基板載置部６０の溝数は、同じ個数である。
【００１８】
つぎに、蓋体２０は、容器本体１０の開口１１を閉鎖し、基板収納容器１の内部空間を形成するようになっている。また、容器本体１０と蓋体２０との間には、図示しないパッキンが配置されている。パッキンは、蓋体２０を容器本体１０に取り付けたときに、基板収納容器１の気密性を確保し、基板収納容器１への外部からの埃、湿気などの侵入を低減させることができる。
【００１９】
この蓋体２０は、蓋体２０の内側のＸ軸方向における中央部に基板押さえ部５０が設けられている。基板押さえ部５０は、基板Ｗを押さえるアーム部材５２を有しており、このアーム部材５２は、収納可能な基板Ｗの枚数に応じて上下方向に複数形成されている。
【００２０】
そして、各アーム部材５２は、Ｘ軸方向に沿って２か所に形成され、この２か所で基板Ｗを押さえて支持する。アーム部材５２は、例えば、弾性変形可能に形成されており、容器本体１０の開口１１を蓋体２０で閉止した際、この弾性によって先端の接触部５１が基板Ｗに接触し、基板Ｗを背面壁１０ｂ側に向かって押さえるようになっている。
【００２１】
接触部５１は、２つのアーム部材５２の先端にそれぞれ設けられるが、例えば、１つのアーム部材５２に２つの接触部５１を設け、合計４か所としてもよい。この場合、内側又は外側の２つの接触部５１で基板Ｗを通常支持するが、基板収納容器１を搬送時の衝撃による基板Ｗの破損や支持状態からの脱落を防止するために、瞬間的に他の残り２つの接触部５１で支持できるようにしてもよい。
【００２２】
なお、アーム部材５２は、左右独立した構造、つまり、蓋体２０から延出された片持ち構造でなく、接触部５１同士を連結部材で連結したような両持ち構造であってもよい。
【００２３】
容器本体１０及び蓋体２０の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイなどが挙げられる。
【００２４】
基板支持部３０の材料としては、容器本体１０と同様のものを用いることができるが、特に、基板支持片４０の材料としては、基板Ｗの滑り性を良くするために、容器本体１０を形成する材料よりも低摩擦性を有する材料で形成したり、添加物を含有させたりしてもよい。
【００２５】
基板押さえ部５０の材料としては、蓋体２０と同様のものを用いることができるが、上述の基板支持部３０と同様に、基板Ｗの滑り性を良くするために、容器本体１０を形成する材料よりも低摩擦性を有する材料で形成したり、添加物を含有させたりしてもよい。
【００２６】
基板載置部６０の材料としては、容器本体１０と同様のものを用いることができるが、上述の基板支持部３０と同様に、基板Ｗの滑り性を良くするために、容器本体１０を形成する材料よりも低摩擦性を有する材料で形成したり、添加物を含有させたりしてもよい。
【００２７】
ここで、蓋体２０を容器本体１０から取り外したときの基板収納容器１への基板Ｗの収納状態、及び、蓋体２０を容器本体１０に取り付けたときの基板収納容器１への基板Ｗの収納状態について説明する。図３は、蓋体２０を取り外した基板収納容器１における基板Ｗの載置状態を示す（ａ）基板支持部３０の垂直断面拡大図、（ｂ）基板載置部６０の垂直断面拡大図である。図４は、基板収納容器１における基板Ｗの支持状態を示す（ａ）基板支持部３０の垂直断面拡大図、（ｂ）基板載置部６０の垂直断面拡大図、（ｃ）基板押さえ部５０の垂直断面拡大図である。
【００２８】
基板Ｗを容器本体１０に収納する場合、基板Ｗは、容器本体１０の正面の開口１１から、向き合う一対の基板載置部６０の同じ高さの溝に挿入され、左右一対の基板載置部６０のみによって、基板Ｗの面が水平方向になるように載置された状態で収納される（図３参照）。基板Ｗが基板載置部６０のみによって載置された状態では、基板Ｗの背面壁１０ｂ側が基板支持部３０（の基板支持片４０に形成されたＶ字溝の下方）に接触しない。
【００２９】
そして、基板Ｗを基板載置部６０のみによって載置した状態から、蓋体２０を容器本体１０に取り付けたときには、基板Ｗが、基板支持部３０と基板押さえ部５０とで挟まれることによって、基板Ｗは基板載置部６０から持ち上げられ、基板押さえ部５０と基板支持部３０とで支持される（図４参照）。
【００３０】
詳細に説明すると、基板押さえ部５０には、Ｖ字溝が形成されており（図４（ｃ）参照）、蓋体２０を容器本体１０に取り付けたときに、基板Ｗの正面側が基板押さえ部５０のＶ字溝に嵌り込むようになっている。その後、基板Ｗが基板押さえ部５０によって奥側に押されると、基板支持部３０では、図３（ａ）に示した状態から、図４（ａ）に示した状態へ、基板ＷがＶ字溝を滑って持ち上がり、Ｖ字溝の奥側の底に到達する。
【００３１】
このようにして、基板収納容器１に収納された基板Ｗは、基板載置部６０から持ち上がった状態で、基板支持部３０と基板押さえ部５０とで支持されることになる。そして、蓋体２０を容器本体１０から取り外したときには、基板Ｗは基板載置部６０のみによって載置されることになる。
【００３２】
ところで、基板支持部３０は、基板Ｗを支持する基板支持片４０と、背面壁１０ｂに設けられた複数の係合部１２，１３，１４と、を有している（図２参照）。
【００３３】
図５は、第１実施形態の基板収納容器１に中間径Ｄ２の基板Ｗ２を収納した状態を示す水平断面図である。図６は、第１実施形態の基板収納容器１に大径Ｄ１の基板Ｗ１を収納した状態を示す水平断面図である。図７は、第１実施形態の基板収納容器１に小径Ｄ３の基板Ｗ３を収納した状態を示す水平断面図である。図８は、補助支持片７０を用いて第１実施形態の基板収納容器１に小径Ｄ３の基板Ｗ３を収納した状態を示す水平断面図である。
ただし、基板収納容器１は、直径Ｄ２の基板Ｗ２（例えば、直径３００ｍｍのウエハ）を収納する場合のＳＥＭＩ規格に規定された範囲内の寸法で作製されているものとする。また、大径Ｄ１、中間径Ｄ２、小径Ｄ３との表現は、直径Ｄ２の基板Ｗ２に対する相対的な大小を示しているだけであり、また、異なる基板Ｗの直径Ｄが、上記の３種類に限定されるものではない。
【００３４】
まず、基板支持片４０は、高さ方向に並んだ複数の溝で形成され、基板Ｗに接触する溝部４１と、係合部１２と係合部１４との間に形成された係合部１３に係合される被係合部４２と、を有している。基板支持片４０は、係合部１２と係合部１４との間に形成された係合部１３に係合させた際に、中間径Ｄ２の基板Ｗ２を適切に支持できるような長さＬに設定されている。
【００３５】
つぎに、複数の係合部１２，１３，１４は、基板支持片４０を係合させる係合位置を選択可能にすることで、直径Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３の異なる複数の基板Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３を支持可能にするものであり、それぞれの同一の形状で、背面壁１０ｂから開口１１側に向かって突出するように形成されている。
【００３６】
係合部１３は、上述したＳＥＭＩ規格に規定された基板支持部３０の設置位置の範囲内に形成されている。例えば、係合部１３は、蓋体２０を正面に見て、容器本体１０の中心を通る上下方向（Ｚ軸方向）の中心線から左右方向にそれぞれ０ｍｍ以上１２５ｍｍ以下の範囲に存在しているとよい。ただし、容器本体１０の中心は、基板収納容器１に収納された状態における基板Ｗの中心に相当する位置である。
【００３７】
言い換えると、係合部１３は、容器本体１０の中心を通る前後方向（Ｙ軸方向）の中心線から左右方向に０ｍｍ以上１２５ｍｍ以下の範囲に少なくとも存在しているとよい。
【００３８】
また、係合部１２は、大径Ｄ１の基板Ｗ１を基板収納容器１に収納する場合に、同じ基板支持片４０を係合部１３から係合部１２へ付け替えることで対応できるように、係合部１３から距離Ｐ１だけ離れた位置に形成されている（図２参照）。この距離Ｐ１は、大径Ｄ１と中間径Ｄ２の差から、演算可能である。
【００３９】
さらに、係合部１４も、同様に、小径Ｄ３の基板Ｗ３を基板収納容器１に収納する場合に、同じ基板支持片４０を係合部１３から係合部１４へ付け替えることで対応できるように、係合部１３から距離Ｐ３だけ離れた位置に形成されている（図２参照）。この距離Ｐ３は、小径Ｄ３と中間径Ｄ２の差から、演算可能である。
【００４０】
本実施形態では、係合部１２，１３，１４と被係合部４２とを着脱可能に係合させる係合構造は、天面壁１０ｅから底面壁１０ｆに連続的に延びる凸条と、凹溝との嵌合であったが、係合構造はこれに限らず、例えば、断続的に延びる凸条であってもよい。
【００４１】
このような基板支持部３０の構成により、（１）大径Ｄ１の基板Ｗ１を基板収納容器１に収納する場合は、基板支持片４０を係合部１２に係合させ、（２）中間径Ｄ２の基板Ｗ２を基板収納容器１に収納する場合は、基板支持片４０を係合部１３に係合させ、（３）小径Ｄ３の基板Ｗ３を基板収納容器１に収納する場合は、基板支持片４０を係合部１４に係合させること、つまり、基板支持片４０の係合位置を選択することで、基板収納容器１は、直径Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３の異なる複数の基板Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３を支持可能になっている。なお、基板支持片４０の係合位置を選択することで、基板支持片４０の先端から基板押さえ部５０までの離間距離も選択可能になる。
【００４２】
ところで、図８に示すように、基板支持片４０の長さＬに対して異なる長さＬ２を有する補助支持片７０を、空いている係合部１２に係合し、背面壁１０ｂ側の４か所の基板支持片４０又は補助支持片７０と、２か所の基板押さえ部５０とで支持できるようにすると、基板Ｗ３をより安定して支持することができる点で、好ましい。なお、補助支持片７０も、基板支持片４０と同様に、接触部７１及び被係合部７２を有している。
【００４３】
以上説明したとおり、本発明に係る第１実施形態の基板収納容器１は、正面に開口１１を有する容器本体１０と、開口１１とは反対側の背面壁１０ｂに設けられた基板支持部３０と、開口１１を閉鎖する蓋体２０と、蓋体２０に設けられた基板押さえ部５０と、を備える基板収納容器１であって、基板支持部３０は、基板Ｗを支持する基板支持片４０と、背面壁１０ｂに設けられた複数の係合部１２，１３，１４と、を有し、基板支持片４０と係合部１２，１３，１４との係合位置を選択可能にすることで、直径Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３の異なる基板Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３を支持可能にするものである。
【００４４】
これにより、特許文献１にみられるように、容器本体１０の内部及び外部から作業を行う必要がなく、容器本体１０を内部から外部まで貫通する穴を形成する必要がなく、容器本体１０内で、基板支持片４０の係合位置を変更するという簡単な作業を行うことで、直径Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３の異なる基板Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３を基板収納容器１に収納することができる。また、例えば、直径３００ｍｍの基板Ｗ２を収納するように作製された基板収納容器１の場合、基板支持片４０の係合位置を変更することで、最大で直径３３０ｍｍの基板Ｗ１を収納することが可能になる。
【００４５】
（第２実施形態）
つぎに、第２実施形態の基板収納容器１Ｂについて説明する。第２実施形態の基板収納容器１Ｂでは、基板支持部１３０の形状が第１実施形態のものとは異なっており、その他の部分は、第１実施形態と同様であるから、適宜説明を省略する。
図９は、第２実施形態の基板収納容器１Ｂを示す水平断面図である。図１０は、第２実施形態の基板収納容器１Ｂに中間径Ｄ４の基板Ｗ４を収納した状態を示す水平断面図である。図１１は、第２実施形態の基板収納容器１Ｂに大径Ｄ５の基板Ｗ５を収納した状態を示す水平断面図である。
【００４６】
図９に示すように基板支持部１３０は、背面壁１０ｂの左右で、基板載置部６０よりも後方の背面壁１０ｂ側に形成された係合部１１２を有している。
【００４７】
また、基板支持部１３０は、中間径Ｄ４の基板Ｗ４を支持する基板支持片１４０と、大径Ｄ５の基板Ｗ５を支持する基板支持片２４０とを有している（図１０及び１１参照）。なお、第２実施形態の基板収納容器１Ｂは、中間径Ｄ４の基板Ｗ４のサイズに合わせて作製されているものとするが、中間径Ｄ４の基板Ｗ４は、第１実施形態の中間径Ｄ２の基板Ｗ２と同じものであっても、異なるものであってもよい。また、大径Ｄ５の基板Ｗ５と、大径Ｄ１の基板Ｗ１との関係も同様である。
【００４８】
基板支持片１４０及び基板支持片２４０は、高さ方向に並んだ複数の溝で形成され、基板Ｗに接触する溝部１４１，２４１と、係合部１１２に係合される被係合部１４２，２４２と、をそれぞれ有している。
【００４９】
溝部１４１は、基板支持片１４０を係合部１１２に係合させた際に、中間径Ｄ４の基板Ｗ４を適切に支持できるような曲率半径Ｒ４（＝［Ｄ４］／２）に設定されている。同様に、溝部２４１は、基板支持片２４０を係合部１１２に係合させた際に、大径Ｄ５の基板Ｗ５を適切に支持できるような曲率半径Ｒ５（＝［Ｄ５］／２）に設定されている。ただし、溝部１４１，２４１は、それぞれが対応する基板Ｗ４，Ｗ５に大部分が接触して支持する必要はなく、基板Ｗ４，Ｗ５を支持した際に脱落したり、ズレたりしない程度の長さを有して、支持すればよく、また同様の理由から、曲率半径Ｒ４，Ｒ５に上述以外の任意の値を採用してもよい。
【００５０】
また、基板支持片１４０，２４０は、背面壁１０ｂから蓋体２０（あるいは、基板押さえ部５０）に向かって突出する高さ、つまり、溝部１４１，２４１のうち、蓋体２０から最も離れた位置の高さＨ４，Ｈ５も異なっている。
【００５１】
このような基板支持部１３０の構成により、（４）中間径Ｄ４の基板Ｗ４を基板収納容器１Ｂに収納する場合は、基板支持片１４０を係合部１２に係合させ、（５）大径Ｄ５の基板Ｗ５を基板収納容器１Ｂに収納する場合は、基板支持片２４０を係合部１２に係合させること、つまり、基板支持片１４０，２４０の先端から基板押さえ部５０までの離間距離を選択可能にすることで、基板収納容器１Ｂは、直径Ｄ４，Ｄ５の異なる複数の基板Ｗ４，Ｗ５を支持可能になっている。
【００５２】
以上説明したとおり、本発明に係る第２実施形態の基板収納容器１Ｂは、正面に開口１１を有する容器本体１０と、開口１１とは反対側の背面壁１０ｂに設けられた基板支持部１３０と、開口１１を閉鎖する蓋体２０と、蓋体２０に設けられた基板押さえ部５０と、を備える基板収納容器１Ｂであって、基板支持部１３０は、基板Ｗを支持する基板支持片１４０，２４０と、背面壁１０ｂに設けられた係合部１１２と、を有し、基板支持片１４０，２４０の先端から基板押さえ部５０までの離間距離を選択可能にすることで、直径Ｄ４，Ｄ５の異なる基板Ｗ４，Ｗ５を支持可能にするものである。
【００５３】
これにより、特許文献１にみられるように、容器本体１０の内部及び外部から作業を行う必要がなく、容器本体１０を内部から外部まで貫通する穴を形成する必要がなく、容器本体１０内で、基板支持片１４０，２４０を付け替えるという簡単な作業を行うことで、直径Ｄ４，Ｄ５の異なる基板Ｗ４，Ｗ５を基板収納容器１Ｂに収納することができる。
【００５４】
以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
【００５５】
（変形例）
上記各実施形態において、基板載置部６０は、容器本体１０と一体成形してもよいし、容器本体１０に別部品で取り付けてもよい。
【００５６】
第２実施形態において、高さＨ５の基板支持片２４０にオフセット部材３７０を組み付けて、基板支持片２４０の高さＨ５を、一時的に高さＨ４にするようなことも可能である。図１２は、第２実施形態の基板支持片２４０にオフセット部材３７０を組み付ける状態を示す水平断面図である。
【００５７】
オフセット部材３７０は、基板支持片２４０と係合部１１２との間に配置されるもので、基板支持片２４０の被係合部２４２に係合する第２係合部３７１と、容器本体１０の係合部１１２に係合する第２被係合部３７２とが形成されている。
【００５８】
このとき、基板支持片２４０の溝部２４１は、２つの曲率半径Ｒ４，Ｒ５を組み合わせた形状にするのが好ましいが、いずれか一方の曲率半径Ｒ４，Ｒ５で形成し、基板Ｗ４，Ｗ５と接触する領域が異なるようにしてもよい。
【００５９】
なお、このオフセット部材３７０は、第１実施形態の基板支持部３０に適用してもよい。
【符号の説明】
【００６０】
１，１Ｂ      基板収納容器
１０    容器本体、１０ａ  開口枠、１０ｂ  背面壁、１０ｃ  右側壁、１０ｄ  左側壁、１０ｅ  天面壁、１０ｆ  底面壁、１１  開口
１２，１３，１４    係合部
２０    蓋体
３０    基板支持部
４０    基板支持片、４１  溝部、４２  被係合部
５０    基板押さえ部、５１  接触部、５２  アーム部材
６０    基板載置部
７０    補助支持片、７１  接触部、７２  被係合部
１１２  係合部
１３０  基板支持部
１４０  基板支持片、１４１  溝部、１４２  被係合部
２４０  基板支持片、２４１  溝部、２４２  被係合部
３７０  オフセット部材、３７１  第２係合部、３７２  第２被係合部
Ｗｎ    基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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