(57)【要約】【課題】加工装置への工具の置き忘れを防止することができる監視システムを提供する。【解決手段】監視システム２は、加工装置４を撮像するカメラ６と、カメラ６の画像を記憶する第一の画像記憶部１４および第二の画像記憶部１６と表示部１２とを少なくとも備えた制御手段８と、を備える。第一の画像記憶部１４には正常な状態の加工装置４の画像が記憶され第二の画像記憶部１６には作業終了時の加工装置４の画像が記憶される。制御手段８は、第一の画像記憶部１４に記憶された画像と第二の画像記憶部１６に記憶された画像とを比較して一致しない場所を表示部１２に表示する。【選択図】図２
2020146781.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工装置の監視システムであって、
加工装置を撮像するカメラと、該カメラの画像を記憶する第一の画像記憶部および第二の画像記憶部と表示部とを少なくとも備えた制御手段と、を備え、
該第一の画像記憶部には正常な状態の加工装置の画像が記憶され該第二の画像記憶部には作業終了時の加工装置の画像が記憶され、
該制御手段は、該第一の画像記憶部に記憶された画像と該第二の画像記憶部に記憶された画像とを比較して一致しない場所を該表示部に表示する監視システム。
【請求項２】
該制御手段は、該第一の画像記憶部に記憶された画像と該第二の画像記憶部に記憶された画像とを比較して一致しない場合、音を発する請求項１記載の監視システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置の監視システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削され所定の厚みに形成された後、ダイシング装置、レーザー加工装置等によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
研削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段と、複数の被加工物を収容するカセットが載置されるカセット載置部と、カセット載置部に載置されたカセットから被加工物を搬出する搬出手段と、搬出手段によって搬出された被加工物が仮置きされる仮置き手段と、仮置き手段に仮置きされた被加工物をチャックテーブルまで搬送する搬送手段と、から概ね構成されていてウエーハを所望の厚みに加工することができる（たとえば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１５３０９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、研削装置を修理したり、研削砥石の交換等のメンテナンスを行ったりした際に、作業者が工具を研削装置上に置き忘れてしまう場合があり、工具が研削装置上に置かれたまま研削装置が稼働されると、ウエーハの破損や研削装置の搬送手段等の損傷が生じるという問題がある。上記した問題は、研削装置に限らず、ダイシング装置、レーザー加工装置等を含む様々な加工装置において起こり得る。
【０００６】
上記事実に鑑みてなされた本発明の課題は、加工装置への工具の置き忘れを防止することができる監視システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明が提供するのは以下の監視システムである。すなわち、加工装置の監視システムであって、加工装置を撮像するカメラと、該カメラの画像を記憶する第一の画像記憶部および第二の画像記憶部と表示部とを少なくとも備えた制御手段と、を備え、該第一の画像記憶部には正常な状態の加工装置の画像が記憶され該第二の画像記憶部には作業終了時の加工装置の画像が記憶され、該制御手段は、該第一の画像記憶部に記憶された画像と該第二の画像記憶部に記憶された画像とを比較して一致しない場所を該表示部に表示する監視システムである。
【０００８】
好ましくは、該制御手段は、該第一の画像記憶部に記憶された画像と該第二の画像記憶部に記憶された画像とを比較して一致しない場合、音を発する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明が提供する監視システムは、加工装置を撮像するカメラと、該カメラの画像を記憶する第一の画像記憶部および第二の画像記憶部と表示部とを少なくとも備えた制御手段と、を備え、該第一の画像記憶部には正常な状態の加工装置の画像が記憶され該第二の画像記憶部には作業終了時の加工装置の画像が記憶され、該制御手段は、該第一の画像記憶部に記憶された画像と該第二の画像記憶部に記憶された画像とを比較して一致しない場所を該表示部に表示するので、加工装置を修理したり、部材の交換等のメンテナンスを行ったりした際に作業者が工具を加工装置上に置き忘れても、工具の置き忘れが作業者に報知され、加工装置への工具の置き忘れが防止される。したがって、本発明の監視システムによれば、工具が加工装置上に置かれたまま加工装置が稼働されることによるウエーハの破損や加工装置の損傷が防止される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に従って構成された監視システムと、この監視システムによって監視される加工装置の斜視図。
【図２】（ａ）第一の画像記憶部に記憶される俯瞰画像の模式図、（ｂ）第二の画像記憶部に記憶される俯瞰画像の模式図、（ｃ）表示部に表示される画像の模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明に従って構成された監視システムの好適実施形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１２】
図１には、監視システム２と、監視システム２が監視する加工装置の一例としての研削装置４とが示されている。なお、監視システム２が監視する加工装置は、ウエーハ等の被加工物に切削加工を施す切削ブレードを回転可能に備えたダイシング装置や、ウエーハ等の被加工物にレーザー加工を施すレーザー加工装置等であってもよい。
【００１３】
監視システム２は、研削装置４を撮像するカメラ６と、カメラ６に電気的に接続された制御手段８とを備える。カメラ６は、研削装置４の上方に配置され、研削装置４の俯瞰画像を撮像するようになっている。また、カメラ６が撮像した画像のデータは制御手段８に送られる。なお、図１には、単一のカメラ６が示されているが、監視システム２は複数のカメラ６を備えていてもよい。
【００１４】
制御手段８は、コンピュータから構成される主制御部１０と、主制御部１０に電気的に接続された表示部としてのモニタ１２とを備える。主制御部１０は、制御プログラムに従って演算処理する中央処理装置（ＣＰＵ）と、制御プログラム等を格納するリードオンリメモリ（ＲＯＭ）と、演算結果等を格納する読み書き可能なランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）とを含む（いずれも図示していない。）。
【００１５】
主制御部１０のランダムアクセスメモリには、カメラ６が撮像した画像を記憶する第一の画像記憶部１４および第二の画像記憶部１６が設定されている。第一の画像記憶部１４には、研削装置４が稼働するにあたって正常な状態の研削装置４の画像が記憶され、第二の画像記憶部１６には、研削装置４の修理や、部材の交換等のメンテナンスを含む各種作業が終了した時の研削装置４の画像が記憶されるようになっている。また、主制御部１０のリードオンリメモリには、第一の画像記憶部１４に記憶された画像と第二の画像記憶部１６に記憶された画像とを比較する比較部１８が制御プログラムとして格納されている。
【００１６】
そして、制御手段８においては、第一の画像記憶部１４の画像と第二の画像記憶部１６の画像とを比較部１８により比較した結果、一致しない場所をモニタ１２に表示するようになっている。一致しない場所としては、たとえば、メンテナンス等の各種作業において使用された工具が放置されている場所や、研削装置４によって研削加工が施されるウエーハ等の被加工物を収容したカセットが研削装置４のカセット載置部に載置されていない場合におけるカセット載置部が挙げられる。また、第一の画像記憶部１４の画像と第二の画像記憶部１６の画像とが一致しない場合に、音を発するスピーカーや、光を発するライト（いずれも図示していない。）が制御手段８に電気的に接続されていてもよい。
【００１７】
次に、監視システム２が監視する加工装置の一例である研削装置４について説明する。図１に示すとおり、研削装置４は直方体状の基台２０を備えており、この基台２０の上面には、研削加工前の複数の円板状のウエーハＷを収容した第一のカセット２２ａが載置される第一のカセット載置部２４ａと、研削加工後の複数のウエーハＷを収容する第二のカセット２２ｂが載置される第二のカセット載置部２４ｂとが互いに間隔をおいて設けられている。
【００１８】
第一のカセット載置部２４ａと第二のカセット載置部２４ｂとの間には搬出入手段２６が配置されている。搬出入手段２６は、多関節アーム２８と、多関節アーム２８の先端に付設されたＵ字状の吸着片３０とを含む。そして、搬出入手段２６においては、研削加工前のウエーハＷを吸着片３０で吸引保持し第一のカセット２２ａから搬出すると共に、研削加工後のウエーハＷを吸着片３０で吸引保持し第二のカセット２２ｂへ搬入するようになっている。
【００１９】
基台２０の上面には、搬出入手段２６によって第一のカセット２２ａから搬出された研削加工前のウエーハＷが仮置きされる仮置き手段３２が第一のカセット載置部２４ａに隣接して配置されている。また、基台２０の上面には、研削加工後のウエーハＷに洗浄水を噴射してウエーハＷを洗浄すると共に、洗浄したウエーハＷに乾燥エアーを噴射してウエーハＷを乾燥させる洗浄手段３４が第二のカセット載置部２４ｂに隣接して配置されている。
【００２０】
さらに、基台２０の上面には、円形のターンテーブル３６が回転自在に設けられており、ターンテーブル３６の上面周縁側には、周方向に等間隔をおいて３個のチャックテーブル３８が回転自在に搭載されている。各チャックテーブル３８は、符号Ａで示す着脱位置と、符号Ｂで示す荒研削位置と、符号Ｃで示す仕上げ研削位置とにターンテーブル３６の回転によって順次位置づけられる。また、各チャックテーブル３８の上端部分には、吸引手段（図示していない。）に接続された多孔質の吸着チャック４０が配置されている。そして、チャックテーブル３８においては、吸引手段で吸着チャック４０の上面に吸引力を生成することにより、吸着チャック４０の上面に載せられたウエーハＷを吸引保持するようになっている。
【００２１】
ターンテーブル３６と仮置き手段３２との間には第一の搬送手段４２が配置されており、第一の搬送手段４２は、仮置き手段３２に仮置きされた研削加工前のウエーハＷを、着脱位置Ａに位置づけられたチャックテーブル３８に搬送するようになっている。また、ターンテーブル３６と洗浄手段３４との間には第二の搬送手段４４が配置されており、第二の搬送手段４４は、着脱位置Ａに位置づけられた研削加工後のウエーハＷを洗浄手段３４に搬送するようになっている。
【００２２】
基台２０の端部（図１における奥側端部）には、チャックテーブル３８に保持されたウエーハＷの上面を研削する研削手段４６が配置されている。図示の実施形態の研削手段４６は、荒研削用の研削砥石４８を有する荒研削ユニット５０と、仕上げ研削用の研削砥石５２を有する仕上げ研削ユニット５４とを備える。そして、チャックテーブル３８に保持されたウエーハＷは、ターンテーブル３６の回転によって荒研削位置Ｂに位置づけられた際に荒研削ユニット５０により荒研削加工が施され、次いで、ターンテーブル３６の回転によって仕上げ研削位置Ｃに位置づけられた際に仕上げ研削ユニット５４により仕上げ研削加工が施されるようになっている。
【００２３】
また、図１に示すとおり、基台２０の上面には、仕上げ研削加工が施された後に着脱位置Ａに位置づけられたウエーハＷの上面（研削面）に向かって洗浄水を噴射する洗浄水ノズル５６が設けられている。
【００２４】
このような研削装置４を上述の監視システム２によって監視する際は、まず、研削装置４が稼働するにあたって正常な状態をカメラ６によって撮像し、たとえば図２（ａ）に示すような研削装置４の画像を第一の画像記憶部１４に予め記憶させておく。
【００２５】
研削装置４が稼働するにあたって正常な状態とは、研削装置４上に工具が放置されておらず、かつ第一のカセット載置部２４ａおよび第二のカセット載置部２４ｂに第一のカセット２２ａおよび第二のカセット２２ｂが載置されていると共に、搬出入手段２６が初期姿勢（たとえば図１に示す姿勢）になっている等、研削装置４を稼働した際に、ウエーハＷに対して所要の研削加工を問題なく施すことができる状態である。
【００２６】
より具体的に説明すると、研削装置４が稼働するにあたって正常な状態とは、第一のカセット２２ａからウエーハＷを搬出入手段２６で搬出して仮置き手段３２に仮置きする仮置き工程と、仮置き手段３２に仮置きされたウエーハＷを第一の搬送手段４２で着脱位置Ａのチャックテーブル３８に搬送する第一の搬送工程と、チャックテーブル３８に保持されたウエーハＷの上面に研削手段４６で荒研削加工および仕上げ研削加工を施す研削工程と、研削済みのウエーハＷの上面に洗浄水ノズル５６から洗浄水を噴射する洗浄水噴射工程と、研削済みのウエーハＷを第二の搬送手段４４でチャックテーブル３８から洗浄手段３４に搬送する第二の搬送工程と、研削済みのウエーハＷを洗浄手段３４で洗浄すると共に乾燥させる洗浄・乾燥工程と、洗浄済みのウエーハＷを搬出入手段２６で洗浄手段３４から第二のカセット２２ｂに搬入するカセット搬入工程とを研削装置４において問題なく実施することができる状態である。
【００２７】
そして、研削装置４を修理したり、研削砥石４８、５２の交換等のメンテナンスを行ったりした際は、作業者の操作に基づいて作業終了時にカメラ６によって研削装置４を撮像し、カメラ６で撮像した作業終了時の研削装置４の画像を第二の画像記憶部１６に記憶させる。
【００２８】
そうすると、制御手段８の比較部１８は、第一の画像記憶部１４に記憶された画像（正常な状態の研削装置４の画像）と、第二の画像記憶部１６に記憶された画像（作業終了時の研削装置４の画像）とを比較する。両者の画像を比較部１８が比較した結果、一致しない場所がある場合、制御手段８は、一致しない場所をモニタ１２に表示する。
【００２９】
たとえば、第二の画像記憶部１６の画像が図２（ｂ）に示す画像であった場合には、符号Ｐ１で示す点線で囲んだ場所にスパナＳが放置されていると共に、符号Ｐ２で示す一点鎖線で囲んだ場所にドライバーＤが放置されており、第二の画像記憶部１６の画像においてスパナＳとドライバーＤとが研削装置４上に放置されている点が第一の画像記憶部１４の画像と一致しない。この場合、制御手段８は、図２（ｃ）に示すとおり、スパナＳが放置されている場所Ｐ１と、ドライバーＤが放置されている場所Ｐ２とをモニタ１２に表示する。
【００３０】
また、第一の画像記憶部１４の画像と第二の画像記憶部１６の画像とが一致しない場合としては、上記のように工具が放置されている場合だけでなく、第一のカセット載置部２４ａおよび第二のカセット載置部２４ｂに第一のカセット２２ａおよび第二のカセット２２ｂが載置されていない場合や、搬出入手段２６が初期姿勢になっていない場合等であってもよい。このような場合に、両者の画像の一致しない場所がモニタ１２に表示されることにより、研削装置４の異常稼働が抑制される。
【００３１】
以上のとおりであり、監視システム２においては、研削装置４を修理したり、研削砥石４８、５２の交換等のメンテナンスを行ったりした際に、スパナＳやドライバーＤ等の工具を作業者が研削装置４上に置き忘れても、工具の置き忘れが作業者に報知されるので、研削装置４への工具の置き忘れが防止される。したがって、監視システム２によれば、工具が研削装置４上に置かれたまま研削装置４が稼働されることによるウエーハＷの破損や研削装置４の損傷が防止される。
【００３２】
なお、第一の画像記憶部１４の画像と第二の画像記憶部１６の画像とが一致しない場合に、制御手段８に接続されたスピーカーやライトから音や光を発するようにして、作業者に対して更なる注意喚起を行ってもよい。
【符号の説明】
【００３３】
２：監視システム
４：研削装置（加工装置）
６：カメラ
８：制御手段
１２：モニタ（表示部）
１４：第一の画像記憶部
１６：第二の画像記憶部
【図１】
2020146781.tif 000003
【図２】
2020146781.tif 000004