(57)【要約】【課題】金属粒子を大きさによって精度よく分級することができる金属粒子製造装置、金属粒子製造方法、および金属粒子分級方法を提供する。【解決手段】金属組成物２００の表面を破砕して一次金属粒子２０１を生成する原料破砕部１２０と、一次金属粒子２０１同士を凝集させて、一次金属粒子２０１より大きい二次金属粒子２０２を生成する粒子凝集部１３１と、一次金属粒子２０１と二次金属粒子２０２とを含む溶媒２１０の流れに垂直な磁場を印加して一次金属粒子２０１と二次金属粒子２０２とを分級する粒子分級部１３２と、分級された一次金属粒子２０１と二次金属粒子２０２をそれぞれ回収する粒子回収部１３３と、を有する。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属組成物の表面を破砕して一次金属粒子を生成する原料破砕部と、
前記一次金属粒子同士を凝集させて、前記一次金属粒子より大きい二次金属粒子を生成する粒子凝集部と、
前記一次金属粒子と前記二次金属粒子とを含む溶媒の流れに垂直な磁場を印加して前記一次金属粒子と前記二次金属粒子とを分級する粒子分級部と、
分級された前記一次金属粒子と前記二次金属粒子をそれぞれ回収する粒子回収部と、
を有する、金属粒子製造装置。
【請求項２】
前記原料破砕部は、前記金属組成物が入れられた前記溶媒に超音波を照射してキャビテーションを生じさせることで前記金属組成物の表面を破砕する、
請求項１に記載の金属粒子製造装置。
【請求項３】
前記粒子凝集部は、前記一次金属粒子が入れられた前記溶媒に超音波を照射してキャビテーションを生じさせることで前記一次金属粒子を移動させて前記一次金属粒子同士を凝集させる、
請求項２に記載の金属粒子製造装置。
【請求項４】
前記原料破砕部が照射する超音波の周波数は、前記粒子凝集部が照射する超音波の周波数より高い、
請求項３に記載の金属粒子製造装置。
【請求項５】
前記粒子回収部は、分級された前記一次金属粒子を回収する第１回収部と、分級された前記二次金属粒子を回収する第２回収部と、を有し、
前記溶媒の流れ方向における前記第１回収部の下流側と、前記粒子凝集部の上流側と、を接続する流路をさらに有する、
請求項１から４のいずれか一項に記載の金属粒子製造装置。
【請求項６】
金属組成物の表面を破砕して一次金属粒子を生成し、
前記一次金属粒子同士を凝集させて、前記一次金属粒子より大きい二次金属粒子を生成し、
前記一次金属粒子と前記二次金属粒子とを含む溶媒の流れに垂直な磁場を印加して前記一次金属粒子と前記二次金属粒子とを分級し、
分級された前記一次金属粒子と前記二次金属粒子をそれぞれ回収する、
金属粒子製造方法。
【請求項７】
一次金属粒子と、前記一次金属粒子より大きい二次金属粒子と、を含む溶媒を一方向に流れさせ、
前記溶媒の流れに垂直な磁場を印加して前記一次金属粒子と前記二次金属粒子とを分級する、
金属粒子分級方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液相法で合成される金属ナノ粒子の金属粒子製造装置、金属粒子製造方法、および金属粒子分級方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
平均粒径が０．５μｍ未満である金属粒子は金属ナノ粒子と呼ばれている。金属ナノ粒子は、バルク金属とは異なる物理的・化学的特性を有することから、例えば、導電性ペーストや透明導電膜などの電極材料、高密度記録材料、触媒材料、インクジェット用インク材料、はんだ材料、電子回路基板の用途の様々な工業材料に利用されている。例えば金属ナノ粒子は、微細な粒子径からもたらされる高い焼結性を有し、この金属ナノ粒子を構成する金属の融点よりもはるかに低い５００℃以下の温度で粒子間が焼結することが確認されている。また、得られる焼結体の構造的強度は、その金属の融点付近まで保たれることが期待される。金属ナノ粒子を構成する金属としては、Ａｇが代表であり、その他にＡｕ、Ｃｕ、Ｎｉ等が挙げられる（例えば、特許文献１）。
【０００３】
金属ナノ粒子は、一般に、有機物質で覆われており、これにより粒子同士の自己凝集が防止され、室温下において、金属ナノ粒子の独立分散した形態が維持されている。金属ナノ粒子の使用時には、覆っている有機物質は例えば高温により分解され、除去される。例えば、被接合部材同士の接合に金属ナノ粒子が用いられる場合、有機物質で覆われた金属複合ナノ粒子が被接合部材表面に供給され、所定の温度に加熱されて焼成されると、有機物質が分解・除去され、金属ナノ粒子の活性な表面が露出する。これにより、金属ナノ粒子同士が互いに接合すると同時に被接合部材の表面とも接合し、被接合部材同士が接合される。
【０００４】
金属ナノ粒子の製造方法には、熱ＣＶＤ（化学気相成長）法やアーク放電などにより気体中で合成する方法などの気相法と、金属塩水溶液と還元補助剤とを混合して金属塩水溶液を還元する還元法など液中で合成する液相法とがある。液相法は、周辺の酸素と金属ナノ粒子表面との接触を避けることができ、表面の酸化を抑制することができるため、より好適である。
【０００５】
ところで、各種用途に利用される金属ナノ粒子について、粒度の均一化が要求されている。このような要求に応えるために、製造された粒子の大きさで金属ナノ粒子を好適に分類する、すなわち分級を精度よく行うことが要望されている。金属ナノ粒子の分級方法としては、例えば湿式遠心分級法が知られている（例えば、特許文献２）。この湿式遠心分級法によれば、遠心管の中央部に金属微粒子の排出領域が形成され、遠心管の外周部に金属粗粒子の排出領域が形成される。これにより、遠心力により金属粗粒子と金属微粒子とを分級することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３−０１２６９３号公報
【特許文献２】特開２００８−１４２６８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、引用文献２に開示された分級法では、金属微粒子の排出口径が小さいため、金属ナノ粒子同士が接触・衝突する機会が多くなり、排出途中で金属ナノ粒子同士が凝集してしまうことがある。このような場合、製造された粒子のサイズが所望のサイズではなくなってしまうため、他の分級方法が要望されている。
【０００８】
本発明は、金属粒子を大きさによって精度よく分級することができる金属粒子製造装置、金属粒子製造方法、および金属粒子分級方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示の金属粒子製造装置は、金属組成物の表面を破砕して一次金属粒子を生成する原料破砕部と、前記一次金属粒子同士を凝集させて、前記一次金属粒子より大きい二次金属粒子を生成する粒子凝集部と、前記一次金属粒子と前記二次金属粒子とを含む溶媒の流れに垂直な磁場を印加して前記一次金属粒子と前記二次金属粒子とを分級する粒子分級部と、分級された前記一次金属粒子と前記二次金属粒子をそれぞれ回収する粒子回収部と、を有する。
【００１０】
本開示に係る金属粒子製造方法は、金属組成物の表面を破砕して一次金属粒子を生成し、前記一次金属粒子同士を凝集させて、前記一次金属粒子より大きい二次金属粒子を生成し、前記一次金属粒子と前記二次金属粒子とを含む溶媒の流れに垂直な磁場を印加して前記一次金属粒子と前記二次金属粒子とを分級し、分級された前記一次金属粒子と前記二次金属粒子をそれぞれ回収する。
【００１１】
本開示に係る金属粒子分級方法は、一次金属粒子と、前記一次金属粒子より大きい二次金属粒子と、を含む溶媒を一方向に流れさせ、前記溶媒の流れに垂直な磁場を印加して前記一次金属粒子と前記二次金属粒子とを分級する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、金属粒子を大きさによって精度よく分級することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の形態１における金属粒子製造プロセスの工程を示す図
【図２】超音波振動による原料破砕プロセスを示す図
【図３】超音波振動による粒子凝集プロセスを示す図
【図４】磁場によって金属粒子に働く体積磁気力を表す図
【図５】本発明の実施の形態１における金属粒子製造装置を上面から見た模式図
【図６】本発明の実施の形態１における金属粒子製造装置の断面を示す模式図
【図７】本発明の実施の形態２における金属粒子製造装置を上面から見た模式図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１５】
＜金属粒子の製造プロセス＞
まず、本開示の実施の形態に係る金属ナノ粒子（以下、単に金属粒子と記載する）の製造プロセスについて説明する。図１は、本発明の実施の形態１における金属粒子製造プロセスを示す図である。
【００１６】
図１に示すように、金属粒子製造プロセスは、原料供給工程Ｓ１と、原料破砕工程Ｓ２と、粒子凝集工程Ｓ３と、粒子分級工程Ｓ４と、粒子回収工程Ｓ５を有する。
【００１７】
原料供給工程Ｓ１は、金属粒子の原料である、固体状態の金属組成物を溶媒の中に供給する工程である。
【００１８】
原料破砕工程Ｓ２は、溶媒中に超音波を照射し、キャビテーションの衝撃圧を作用させて金属組成物の表面を破砕し、一次金属粒子を発生させる工程である。
【００１９】
粒子凝集工程Ｓ３は、原料破砕工程Ｓ２にて発生した一次金属粒子に超音波を照射し、一次金属粒子同士を接触させて凝集させ、二次金属粒子を生成する工程である。
【００２０】
粒子分級工程Ｓ４は、粒子凝集工程Ｓ３にて生成された二次金属粒子と、凝集せずに粒子凝集工程Ｓ３を終えた一次金属粒子と、が含まれる溶媒を一方向に向けて流れさせ、その流れに対して磁場を与え、粒子サイズの違いによる磁気力の差を利用して分級する工程である。
【００２１】
粒子回収工程Ｓ５は、粒子分級工程Ｓ４にて分級された二次金属粒子を回収する工程である。
【００２２】
＜原料破砕工程Ｓ２の説明＞
図２は、原料破砕工程Ｓ２における、超音波振動により一次金属粒子が生じる様子を説明するための概念図である。一般に、超音波は液体中では疎密波となって伝わる。図２に示すように、溶媒２１０中に超音波を照射すると、この疎密波によって溶媒２１０中に微小な気泡２１１が発生する。この気泡２１１は、疎密波による溶媒２１０中の圧力変動により膨張と収縮を繰り返して徐々に成長する。そして、大きく成長した気泡が収縮に耐えられなくなった時に気泡が圧壊して高圧の衝撃波２１２が発生する。この現象は一般にキャビテーションと呼ばれる。この衝撃波２１２が金属組成物２００の表面に作用することで金属組成物２００の表面が破砕され、一次金属粒子２０１が発生する。一次金属粒子２０１は一般に数ｎｍ程度の大きさである。
【００２３】
＜粒子凝集工程Ｓ３の説明＞
図３は、粒子凝集工程Ｓ３における、超音波振動により粒子が凝集する様子を説明するための概念図である。図３に示すように、溶媒２１０中に一次金属粒子２０１が浮遊した状態で、気泡が圧壊した際の衝撃波２１２が発生すると、一次金属粒子２０１は衝撃により弾かれて移動し、別の一次金属粒子２０１に接触する。一次金属粒子２０１同士が接触すると凝集する。これが複数回繰り返されることで、二次金属粒子２０２が生成される。
【００２４】
＜超音波について＞
原料破砕工程Ｓ２において用いられる超音波の周波数については、低周波の方が気泡の圧壊時の衝撃波２１２が大きくなるため、より好適である。衝撃波２１２が大きい方が、原料破砕工程Ｓ２において一次金属粒子２０１を効率よく発生させることができる。具体的には、超音波の周波数としては１５ｋＨｚ〜１００ｋＨｚが好ましく、２０ｋＨｚ〜３０ｋＨｚが最も好ましい。
【００２５】
粒子凝集工程Ｓ３において用いられる超音波の周波数については、目的が破砕ではなく凝集であるため、原料破砕工程Ｓ２よりも高周波の超音波を用いた方がより好適である。特に高周波を用いることで、キャビテーションが発生する機会が増大し、効率的に二次金属粒子２０２を生成することが可能となる。
【００２６】
また、超音波の出力については、高出力の方が振動波の振幅を大きくすることができるため、気泡を成長させる作用が強くなり、気泡圧壊時の衝撃波２１２を大きくすることができる。このため、原料破砕工程Ｓ２および粒子凝集工程Ｓ３において、超音波の出力としては３００Ｗ〜１２００Ｗが最も好ましい。これは、２００Ｗ程度の低出力では、衝撃波２１２が小さくなってしまうためであり、１２００Ｗより高出力の超音波を発振できる超音波振動装置は高価格であるためである。
【００２７】
＜金属組成物について＞
金属粒子の原料となる金属組成物２００は、Ｓｎ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｓｂ、Ｂｉ、Ｉｎ、Ａｕのうちの少なくとも１種類の元素を含む金属または合金であれば良く、さらにそれら金属からなる金属酸化物でも良い。また、一次金属粒子２０１を効率よく発生させるためには、金属組成物２００の大きさは、縦横高さがそれぞれ１０〜１０００μｍ程度の寸法であることが最も好ましい。これは、以下の理由による。１０μｍ以下では、衝撃波２１２が当たったときに衝撃波２１２によって弾かれてしまい、一次金属粒子２０１を生成できる効率が低くなるからである。また、１０００μｍ以上では金属組成物２００の体積の割に表面積が小さくなってしまい、衝撃波２１２によって作用される確率が低くなるため、結果として一次金属粒子２０１を生成できる効率が低くなるからである。
【００２８】
＜粒子分級工程Ｓ４について＞
粒子分級工程Ｓ４では、上記したように溶媒２１０の流れ中に含まれる金属粒子（一次金属粒子２０１および二次金属粒子２０２）に対して溶媒２１０の流れ方向に垂直な磁場を与えることで一次金属粒子２０１と二次金属粒子２０２とを分級する。粒子分級工程Ｓ４における分級方法についての詳細は後述する。
【００２９】
図４は、磁場３００によって金属粒子４００に働く磁力を説明するための概念図である。磁場３００の中では、金属粒子４００に磁気体積力Ｆｍａｇが作用する。磁気体積力Ｆｍａｇは、以下の式（１）で表すことができる。
【００３０】
【数１】
2020090703.tif 000003
【００３１】
なお、式（１）において、Ｍは磁化［Ａ／ｍ］、Ｈは磁場［Ａ／ｍ］、χは磁性体である金属粒子４００の磁化率［ｍ３／ｋｇ］、ΔＨは磁場勾配［Ａ／ｍ］、Ｖは金属粒子４００の体積［ｍ３］を表す。磁気体積力Ｆｍａｇ、磁化Ｍ、および磁場Ｈはベクトル量であり、磁化率χ、磁場勾配ΔＨ、およびＶはスカラー量である。
【００３２】
式（１）に示すように、磁気体積力Ｆｍａｇの大きさは金属粒子４００の体積Ｖと磁化Ｍ、磁場勾配ΔＨとの積で表すことができる。式（１）により、金属粒子４００の体積が大きいほど大きな磁気体積力Ｆｍａｇが作用することがわかる。すなわち、上記したように一次金属粒子２０１よりも二次金属粒子２０２の方が体積が大きいため、一次金属粒子２０１に対して働く磁気体積力Ｆｍａｇ＿２０１よりも二次金属粒子２０２に対して働く磁気体積力Ｆｍａｇ＿２０２の方が大きくなる。粒子分級工程Ｓ４では、これを利用して一次金属粒子２０１と二次金属粒子２０２との分級を行う。
【００３３】
なお、磁気体積力Ｆｍａｇの向きは、金属粒子４００の磁化Ｍの向きによって決定される。磁化Ｍは、磁場強度Ｈと金属粒子４００の磁化率χとの積で表すことができ、金属粒子４００の磁化率χの正負によって磁場の向きを制御することで、磁気体積力Ｆｍａｇの向きを制御することができる。
【００３４】
【表１】
2020090703.tif 000004
【００３５】
表１は、金属組成物２００の材料となりうる金属材料Ｓｎ，Ｃｕ，Ｂｉの磁化率を示している。表１から分かるように、金属粒子４００がＳｎ、Ｃｕ、Ｂｉで構成されている場合、いずれも磁化率χはχ＜０であり、反磁性体である。この場合、図４に示すように、磁気体積力Ｆｍａｇの向きは磁場３００の向きとは逆方向となる。一方、金属粒子４００が強磁性材料（例えばＣｏ，Ｎｉやその合金）である場合、磁化率χ＞０であるため、磁気体積力Ｆｍａｇの向きは磁場３００の向きと同じ方向となる。
【００３６】
＜金属粒子製造装置１００＞
次に、上記説明板金属粒子製造プロセスを実施できる金属粒子製造装置１００について説明する。図５は、本発明の実施の形態１における金属粒子製造装置を上面から見た模式図である。さらに図６は、本発明の実施の形態１における金属粒子製造装置の断面を示す模式図であり、図５のｘ−ｘ断面である。
【００３７】
図５に示すように、本発明の実施の形態に係る金属粒子製造装置１００は、原料供給部１１０と、原料破砕部１２０と、粒子製造部１３０と、を有する。粒子製造部１３０は、粒子凝集部１３１と、粒子分級部１３２と、粒子回収部１３３と、によって構成される。
【００３８】
図５および図６に示すように、原料破砕部１２０および粒子製造部１３０は、溶媒槽１４０上に設けられている。溶媒槽１４０は、溶媒２１０が流れることができる槽である。図６に示すように、溶媒槽１４０は、原料破砕部１２０と粒子製造部１３０とを隔てる仕切り１４１を有する。
【００３９】
原料供給部１１０は、金属粒子の原料である金属組成物２００と、溶媒２１０とを、溶媒槽１４０の原料破砕部１２０側に供給する。溶媒２１０は、金属組成物２００と比較して大量に供給されるため、溶媒槽１４０には、仕切り１４１より高くなる量の溶媒２１０が貯留される。一方、金属組成物２００は溶媒２１０と比較して少量であり、また比重が大きいため、原料供給部１１０の底部に配置される。このような状態において、金属組成物２００は溶媒槽１４０の仕切り１４１を越えることはなく、一方、溶媒２１０は仕切り１４１を越えて原料破砕部１２０側と粒子製造部１３０側へ流れることができるようになっている。なお、上記説明した例では原料供給部１１０から金属組成物２００と溶媒２１０とが原料破砕部１２０に供給されるとしたが、例えば溶媒槽１４０の中にあらかじめ溶媒２１０がある程度の量貯留されていてもよい。
【００４０】
原料破砕部１２０は、溶媒２１０中の金属組成物２００の表面を破砕して一次金属粒子２０１を生成する。すなわち、原料破砕部１２０では、図１に示す金属粒子製造工程の原料破砕工程Ｓ２が行われる。図６に示すように、原料破砕部１２０において、溶媒槽１４０の上部には、超音波を発する第１振動子１２１が設けられている。第１振動子１２１は、図示しない制御部の制御により、原料破砕部１２０に超音波を照射して金属組成物２００から一次金属粒子２０１を生成する。
【００４１】
このように生成された一次金属粒子２０１を含む溶媒２１０は、原料破砕部１２０から仕切り１４１を越えて粒子製造部１３０の粒子凝集部１３１に流れ込む。図５に示す矢印Ａは、溶媒２１０がおおよそ流れる方向を示している。この際、金属組成物２００は仕切り１４１を超えない。なお、溶媒槽１４０における溶媒の流れは、例えば原料供給部１１０から供給される溶媒２１０（金属組成物２００を含む）が原料破砕部１２０に流れ込むことによって生じる流れである。溶媒槽１４０における溶媒の流れは、図示しないポンプにより発生させるようにしてもよい。
【００４２】
粒子凝集部１３１は、一次金属粒子２０１同士を凝集させて、より大きい二次金属粒子２０２を生成する。すなわち、粒子凝集部１３１は、図１に示す金属粒子製造工程の粒子凝集工程Ｓ３が行われる。図６に示すように、粒子凝集部１３１において、溶媒槽１４０の下部には、超音波を発する第２振動子１３１１が設けられている。第２振動子１３１１は、図示しない制御部の制御により、粒子凝集部１３１に超音波を照射して一次金属粒子２０１同士の凝集を生じさせ、二次金属粒子２０２を生成する。
【００４３】
このように生成された二次金属粒子２０２を含む溶媒２１０は、溶媒の流れ（図５に示す矢印Ａ）に沿って粒子分級部１３２へ流れる。なお、粒子凝集部１３１では、原料破砕部１２０にて発生した一次金属粒子２０１のすべてを凝集させて二次金属粒子２０２とすることは難しい。このため、粒子分級部１３２には、一次金属粒子２０１と二次金属粒子２０２とが混ざり合った状態の溶媒２１０が流れていくことになる。
【００４４】
粒子分級部１３２は、一次金属粒子２０１と二次金属粒子２０２とを分級する。すなわち、粒子分級部１３２は、図１に示す金属粒子製造工程における粒子分級工程Ｓ４が行われる。粒子分級部１３２には、溶媒２１０の流れに対して垂直方向の磁場を発生させるように、電磁石１３５が設置されている。粒子分級部１３２に流れてきた一次金属粒子２０１と二次金属粒子２０２は、電磁石１３５が発生させる磁場により、溶媒２１０の流れと垂直方向に力を受ける。この力は、上記したように、体積が比較的小さい一次金属粒子２０１よりも、比較的体積の大きい二次金属粒子２０２に対してより大きく作用する。このため、粒子分級部１３２において、一次金属粒子２０１と二次金属粒子２０２とは、それぞれ異なる溶媒２１０の流れに沿って移動する。具体的には、一次金属粒子２０１は元の溶媒２１０の流れ方向Ａに沿って流れ、二次金属粒子２０２は、溶媒２１０の流れ方向Ａを外れて図５に示す方向Ｂに向きを変えて流れ始める。
【００４５】
粒子回収部１３３は、一次金属粒子２０１および二次金属粒子２０２を回収する。回収方法は特に限定しないが、例えば粒子回収部１３３において、溶媒槽１４０には底面に図示しない回収用穴が設けられており、そこから一次金属粒子２０１および二次金属粒子２０２を回収すればよい。
【００４６】
なお、図５に示すように、粒子回収部１３３において、溶媒槽１４０は２つに分かれた構造を有する。一次金属粒子２０１を回収するための第１回収部１３６と、第２回収部１３７である。図５に示すように、第１回収部１３６は、溶媒２１０の流れ方向Ａに沿った一次金属粒子２０１を回収できる位置に設けられている。一方、第２回収部１３７は、粒子分級部１３２において電磁石１３５により磁気体積力が加えられることで方向Ｂに向かい始めた二次金属粒子２０２を回収できる位置に設けられている。これにより、一次金属粒子２０１と二次金属粒子２０２とを、効率よく、かつ高精度で分級して回収することができる。
【００４７】
＜作用・効果＞
本開示に係る金属粒子製造装置１００は、金属組成物２００の表面を破砕して一次金属粒子２０１を生成する原料破砕部１２０と、一次金属粒子２０１同士を凝集させて、一次金属粒子２０１より大きい二次金属粒子２０２を生成する粒子凝集部１３１と、一次金属粒子２０１と二次金属粒子２０２とを含む溶媒２１０の流れに垂直な磁場を印加して一次金属粒子２０１と二次金属粒子２０２とを分級する粒子分級部１３２と、分級された一次金属粒子２０１と二次金属粒子２０２をそれぞれ回収する粒子回収部１３３と、を有する。
【００４８】
このような構成により、溶媒２１０中の一次金属粒子２０１と二次金属粒子２０２とを精度よく、かつ効率よく分級することができる。
【００４９】
＜変形例＞
以上、図面を参照しながら各種の実施形態について説明したが、本開示はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範囲内において、各種の変更例または修正例に想到しうることは明らかであり、それらについても当然に本開示の技術的範囲に属するものと了解される。また、開示の趣旨を逸脱しない範囲において、上記実施の形態における各構成要素は任意に組み合わせられてもよい。
【００５０】
上記説明した実施の形態において、図５に示すように原料破砕部１２０は１台であった。しかしながら、本開示では、一次金属粒子２０１の発生量を多くするため、複数の原料破砕部を備えた構造としても良い。
【００５１】
図５に示す金属粒子製造装置１００の変形例として、例えば以下のような形態の金属粒子製造装置１００Ｄが挙げられる。図７は、変形例の金属粒子製造装置１００Ｄについて説明するための図である。図７は、金属粒子製造装置１００Ｄを上から見た模式図である。金属粒子製造装置１００Ｄでは、粒子回収部１３３の下流に再凝集流路１３８を設けた点において上記説明した金属粒子製造装置１００と異なっている。再凝集流路１３８は、図７に示すように、粒子回収部１３３の第１回収部１３６の下流側と、粒子凝集部１３１の上流側とを互いに接続している。これにより、第１回収部１３６にて回収しきれなかった一次金属粒子２０１は、再凝集流路１３８を通って再び粒子凝集部１３１に到達し、粒子凝集部１３１にて粒子凝集工程の対称となる。このような構成によれば、金属粒子のロスが低減されるため、より好適である。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本開示は、金属ナノ粒子を液相法にて製造する金属粒子製造方法に有用である。
【符号の説明】
【００５３】
１００，１００Ｄ  金属粒子製造装置
１１０  原料供給部
１２０  原料破砕部
１２１  第１振動子
１３０  粒子製造部
１３１  粒子凝集部
１３１１  第２振動子
１３２  粒子分級部
１３３  粒子回収部
１３５  電磁石
１３６  第１回収部
１３７  第２回収部
１３８  再凝集流路
１４０  溶媒槽
２００  金属組成物
２０１  一次金属粒子
２０２  二次金属粒子
２１０  溶媒
２１１  気泡
２１２  衝撃波
３００  磁場
４００  金属粒子
【図１】
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【図２】
2020090703.tif 000006
【図３】
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【図４】
2020090703.tif 000008
【図５】
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【図６】
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【図７】
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