(57)【要約】【課題】  検査対象物毎に又は欠陥毎に照度を変更して検査対象物の検査を行わなければならなかった。【解決手段】  複数の照明モードを備えており、複数の照明モードのうちの１つの照明モードで使用する照度を１又は複数登録することが可能であり、当該照明モードでは、複数のセレクト信号の組み合わせに応じて登録された照度にて出力するよう構成されている照明装置である。【選択図】  図５
2020205144.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の明るさの光を発する光源と、
前記光源から発せられる光の複数の明るさの各々に対応する複数の調光値を記憶する記憶部と、
前記複数の調光値の各々を一定の順序で前記記憶部から順次に読み出し、読み出した調光値に基づいて駆動信号を生成して前記光源に供給する制御部と、を備え、
前記制御部が、前記複数の調光値のうち前記一定の順序に従った一の調光値を前記記憶部から読み出し、前記一の調光値に対応する点灯信号を前記駆動信号として供給することで前記光源を点灯させる点灯制御を行う第１の発光モードを有する照明装置。
【請求項２】
前記駆動信号を前記光源に伝える導通状態又は前記駆動信号を前記光源に導通させない遮断状態を定める導通状態選択部をさらに備え、
前記記憶部は、所定の一定の調光値を記憶し、
前記制御部は、前記所定の一定の調光値を記憶部から読み出し、前記所定の一定の調光値に対応する点灯信号を前記駆動信号として発する状態を維持し、
前記制御部は、前記導通状態選択部を導通状態にすることで前記光源を点灯させる点灯制御と、前記導通状態選択部を遮断状態にすることで前記光源を消灯させる消灯制御と、を交互に繰り返す第２の発光モードを有する請求項１に記載の照明装置。
【請求項３】
前記記憶部は、常時点灯用の調光値を記憶し、
前記制御部は、前記常時点灯用の調光値を記憶部から読み出し、前記常時点灯用の調光値に対応する点灯信号を前記駆動信号として発する第３の発光モードを有する請求項１又は２に記載の照明装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記第１の発光モード、前記第２の発光モード、前記第３の発光モードのうちのいずれかの一の発光モードを選択して、前記光源の点灯を制御する請求項３に記載の照明装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４に記載のいずれかの照明装置と、
前記照明装置と別体に構成され、前記照明装置へ電力を供給する電源装置と
を有する照明システム。
【請求項６】
前記電源装置は、
検査者が操作可能な操作部と、
前記操作部の操作に基づいて設定された調光値を示す調光値コマンドを前記照明装置へ送信するコマンド送信手段と
を備え、
前記照明装置の前記制御部は、
前記電源装置のコマンド送信手段から送信された調光値コマンドを受信するコマンド受信手段を備え、
受信した調光値コマンドに基づいて前記光源を点灯させる
請求項５に記載の照明システム。
【請求項７】
前記照明装置は、該照明装置と一体的に構成されて前記光源に電力を供給する電源部をさらに備える請求項１乃至請求項４に記載の照明装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製品検査等に用いられる照明装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、照明装置は、光源と、第１レンズ（ロッドレンズ）と、拡散レンズとを主に備えている。第１レンズは、光源から発せられた光を集光するものである。拡散レンズは、第１レンズにより集光された光を拡散するものである。拡散された光は、所定の距離だけ離れた位置に線状に照射される。そして、照射された光をラインセンサカメラで撮像し、ラインセンサカメラによって各種機器の欠陥（例えば、傷等の表面欠陥）の有無を検出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２０３９２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の照明装置は、検査対象物へ照射する光の照度を変更可能であるものの、検査者が手動で照度を変更しなければならず、検査対象物毎に又は欠陥毎に照度を変更して検査対象物の検査を行わなければならないため、検査に時間がかかるという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、検査時間の短縮及び検査精度を向上させることを兼ね備えた照明装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による照明装置の特徴は、
所定の明るさの光を発する光源と、
前記光源から発せられる光の複数の明るさの各々に対応する複数の調光値を記憶する記憶部と、
前記複数の調光値の各々を一定の順序で前記記憶部から順次に読み出し、読み出した調光値に基づいて駆動信号を生成して前記光源に供給する制御部と、を備え、
前記制御部が、前記複数の調光値のうち前記一定の順序に従った一の調光値を前記記憶部から読み出し、前記一の調光値に対応する点灯信号を前記駆動信号として供給することで前記光源を点灯させる点灯制御を行う第１の発光モードを有することである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、検査時間の短縮及び検査精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明における照明装置の発光態様を示す概略図である。
【図２】第１の実施形態による検査装置の照明システムを示すブロック図である。
【図３】第１の実施形態による照明装置の全体構成（外観）を示す斜視図である。
【図４】第１の実施形態による照明装置のＬＥＤ基板の回路図である。
【図５】第１の実施形態による照明モードのタイミングチャートである。
【図６】第１の実施形態による各点灯モードにおいて使用する情報の一覧である。
【図７】第１の実施形態による電源装置制御処理のフローチャートである。
【図８】第１の実施形態による照明制御処理のフローチャートである。
【図９】第１の実施形態による照明制御処理のフローチャートである。
【図１０】第１の実施形態による高速調光モード出力処理のフローチャートである。
【図１１】第１の実施形態による高速パルスモード出力処理のフローチャートである。
【図１２】第１の実施形態による通常モード出力処理のフローチャートである。
【図１３】第１の実施形態によるエラーチェック処理のフローチャートである。
【図１４】第１の実施形態による照度記憶テーブルの構成図である。
【図１５】第１の実施形態による電源装置のディスプレイに表示されるイメージ図である。
【図１６】第２の実施形態による検査装置の照明システムを示すブロック図である。
【図１７】第２の実施形態による光の進行状態を示す照明装置内部の斜視図である。
【図１８】第２の実施形態による照明装置のＬＥＤ基板の回路図である。
【図１９】第２の実施形態による内部パルスモードのタイミングチャートである。
【図２０】第２の実施形態による照明モードにおいて使用する情報の一覧である。
【図２１】第２の実施形態による制御処理のフローチャートである。
【図２２】第２の実施形態による制御処理のフローチャートである。
【図２３】第２の実施形態による内部パルスモード出力処理のフローチャートである。
【図２４】第２の実施形態による照度記憶テーブルの構成図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
＜＜＜照明システムの概要＞＞＞
検査者が電源装置等を操作することにより照明装置の光源から発せられる光の照射設定を行い、照明装置が照射設定に応じた光を照射することにより検査対象物の欠陥の種類に応じた検査を行う。
【００１０】
具体的には、照明システムは、高速調光モード及び高速パルスモードを有する。高速調光モードは、複数の調光値（照度）を予め記憶させておき、登録された複数の調光値を一定の順序で順次に読み出して調光値に対応する照度の光をＬＥＤから出力することで異なる照度による点灯を一定の順序で繰り返すモードである。一方、高速パルスモードは、１の照度に対応する１の調光値を予め登録（設定）しておき、高速パルスモードとなったときに、事前に登録された１の調光値に対応するアナログ信号（電圧信号）が出力された状態を維持して、アナログ信号（電圧信号）の導通又は遮断を制御することで、点灯と消灯とを繰り返すモードである。この高速パルスモードでは、アナログスイッチを繰り返しオン又はオフにすることで、アナログ信号（電圧信号）の導通又は遮断が繰り返されて、ＬＥＤの点灯と消灯とが繰り返される。
【００１１】
＜＜＜＜本発明の概要＞＞＞＞
図１は、本発明における照明装置の発光態様を示す概略図である。
【００１２】
本発明における照明装置は複数の発光モード（後述する第１の発光モード〜第３の発光モード）を備えており、検査者が適切な発光モードを選択することにより、検査対象物や検査対象となる欠陥の種類に対して適切な発光態様で検査することが可能となっている。以下の第１の実施の態様の照明装置は、第１の発光モードを有し、第２の実施の態様の照明装置は、第２の発光モードを有し、第３の実施の態様の照明装置は、第３の発光モードを有する。
【００１３】
＜第１の実施の態様＞
第１の実施の態様の照明装置は、
所定の明るさの光を発する光源と、
前記光源から発せられる光の複数の明るさの各々に対応する複数の調光値を記憶する記憶部と、
前記複数の調光値の各々を一定の順序で前記記憶部から順次に読み出し、読み出した調光値に基づいて駆動信号を生成して前記光源に供給する制御部と、を備え、
前記制御部が、前記複数の調光値のうち前記一定の順序に従った一の調光値を前記記憶部から読み出し、前記一の調光値に対応する点灯信号を前記駆動信号として供給することで前記光源を点灯させる点灯制御を行う第１の発光モードを有する照明装置である。
【００１４】
第１の実施の態様の照明装置は、光源と記憶部と制御部とを備える（図１参照）。光源は、所定の明るさの光を発する。なお、明るさは、光源から発せられる光の明るさを直接的又は間接的に示すものであればよく、例えば、照度や輝度などにすることができる。照度は、物体の表面を照らす光の明るさであり、光源からの距離に左右される。また、輝度は、光源の明るさであり、光源からの距離に左右されない。明るさとして、照度を採用した場合には、光源からの距離を一定の距離にすることで、光源の明るさを示すことができる。光源から発せられた光は、検査対象物を照明する。検査対象となる欠陥は、凸状の欠陥やスジ状の欠陥や凹状の欠陥や打痕のほかにゴミなどであり、これらの欠陥は、検査対象物の表面に存在する。検査対象物を照明することによって、これらの欠陥を検出することができる。
【００１５】
図１に示すように、記憶部は、複数の調光値（調光値１（第１の明るさに対応）、調光値２（第２の明るさに対応）、・・・調光値ｎ（第ｎの明るさに対応）など）を記憶する。調光値は、光源から発する光の明るさを定めるための制御用の値である。具体的には、光源から発せられる光を第１の明るさにするための制御用の値が第１の調光値であり、光源から発せられる光を第２の明るさにするための制御用の値が第２の調光値であり、光源から発せられる光を第ｎの明るさにするための制御用の値が第ｎの調光値である。制御用の値である調光値によって、光源から発する光の明るさを定めることができる。互いに異なる複数の調光値を記憶することによって、これらの複数の調光値の各々に対応する明るさで光を発することができる。なお、複数の調光値（例えば、調光値１、調光値２、・・・など）は、検査者によって記憶部に登録可能であり、欠陥の種類などに応じて、検査者が所望する複数の調光値を登録することができる。
【００１６】
制御部は、まず、記憶部に記憶されている複数の調光値の各々を一定の順序で記憶部から順次に読み出す。次いで、制御部は、読み出した調光値に基づいて駆動信号を生成し、光源に駆動信号を供給する。このように、制御部は、調光値に基づいて駆動信号を生成する。このため、駆動信号は、調光値を示す信号となる。
【００１７】
さらに、制御部は、点灯信号によって点灯制御を行う。点灯信号は、光源を点灯させるための駆動信号であり、一の調光値を示す点灯信号を生成して光源に供給することによって、一の調光値に対応する明るさの光が光源から発せられる。点灯制御をするたびに、複数の調光値のうち一定の順序に従った一の調光値が記憶部から読み出される。このように制御することにより、例えば、
調光値１を読み出して、調光値１に対応する明るさの光の点灯制御
→調光値２を読み出して、調光値２に対応する明るさの光の点灯制御
→調光値３を読み出して、調光値３に対応する明るさの光の点灯制御
→調光値４を読み出して、調光値４に対応する明るさの光の点灯制御
→調光値１を読み出して、調光値１に対応する明るさの光の点灯制御
→・・・・
のように、調光値１から調光値４を順番に点灯させる点灯制御を一定の順序に応じて順次に行うことができる。なお、読み出す順序が一定であればよく、例えば、調光値３→調光値１→調光値４→調光値２→・・・などでもよい。
【００１８】
第１の実施の態様の照明装置は、このような点灯制御を行う第１の発光モードを有する。このようにすることで、検査対象物の材質の表面の状態（粗さや被覆体の有無や種類など）や、欠陥の種類や大きさや形状などに応じて、適切な明るさで検査対象物を照明することができる。
【００１９】
なお、図１に示すように、照明装置は、導通状態選択部も有するが、第１の発光モードでは、制御部は、導通状態選択部に対して常に導通制御をし、導通状態選択部は、常に導通状態となる。
【００２０】
＜第２の実施の態様＞
第２の実施の態様の照明装置は、
前記駆動信号を前記光源に伝える導通状態又は前記駆動信号を前記光源に導通させない遮断状態を定める導通状態選択部をさらに備え、
前記記憶部は、所定の一定の調光値を記憶し、
前記制御部は、前記所定の一定の調光値を記憶部から読み出し、前記所定の一定の調光値に対応する点灯信号を前記駆動信号として発する状態を維持し、
前記制御部は、前記導通状態選択部を導通状態にすることで前記光源を点灯させる点灯制御と、前記導通状態選択部を遮断状態にすることで前記光源を消灯させる消灯制御と、を交互に繰り返す第２の発光モードを有する。
【００２１】
第２の実施の態様の照明装置は、第１の実施の態様と同様に、光源と記憶部と制御部とを備える（図１参照）。光源は、所定の明るさの光を発する。光源から発せられた光は、検査対象物を照明する。検査対象となる欠陥は、凸状の欠陥やスジ状の欠陥や凹状の欠陥や打痕のほかにゴミなどであり、これらの欠陥は、検査対象物の表面に存在する。検査対象物を照明することによって、これらの欠陥を検出することができる。第２の実施の態様の照明装置では、一定の照度による点灯と消灯を繰り返すため、第１の実施の態様よりも少ない種類数の欠陥を検査する際に、第１の実施の態様よりも高精度で検出することができる。
【００２２】
図１に示すように、記憶部は、１の調光値を記憶する。
【００２３】
制御部は、記憶部に記憶されている１の調光値を読み出し、読み出した調光値に基づいて駆動信号を生成し、光源に駆動信号を供給する。このように、制御部は、調光値に基づいて駆動信号を生成する。
【００２４】
さらに、第２の実施の態様の照明装置は、導通状態選択部を有し、導通状態選択部は、導通状態又は遮断状態を定める。制御部は、導通状態選択部に対して導通制御することで導通状態選択部が導通状態となり、導通状態選択部に対して遮断制御することで導通状態選択部が遮断状態となる。なお、導通状態選択部は、外部制御信号によって制御されて、導通状態又は遮断状態を定めるのが好ましい。
このように制御することにより、例えば、
記憶された１の調光値に対応する明るさの光の点灯（導通状態）
→消灯（遮断状態）
→記憶された１の調光値に対応する明るさの光の点灯（導通状態）
→消灯（遮断状態）
→記憶された１の調光値に対応する明るさの光の点灯（導通状態）
→消灯（遮断状態）
→・・・・
のように、点灯と消灯とを交互に繰り返すことができる。
【００２５】
第２の実施の態様の照明装置は、このような点灯と消灯とを交互に繰り返す第２の発光モードを有する。第２の発光モードでは、点灯信号が発せられ続けており、点灯制御では、発せられ続けている点灯信号を光源へ供給することで光源を点灯させる制御である。一方、消灯制御では、発せられ続けている点灯信号を遮断することで、光源への供給を断って光源を消灯させる制御である。
【００２６】
第２の実施の態様の照明装置では、点灯信号を発する状態を維持して導通状態（点灯状態）と遮断状態（消灯状態）とを交互に繰り返すので、点灯状態と消灯状態とを高速に切り替えることができ、欠陥を迅速に検出することができる。
【００２７】
＜第３の実施の態様＞
第３の実施の態様の照明装置は、
前記記憶部は、常時点灯用の調光値を記憶し、
前記制御部は、前記常時点灯用の調光値を記憶部から読み出し、前記常時点灯用の調光値に対応する点灯信号を前記駆動信号として発する第３の発光モードを有する。
【００２８】
第３の実施の態様の照明装置は、第１の実施の態様及び第２の実施の態様と同様に、光源と記憶部と制御部とを備える（図１参照）。光源は、所定の明るさの光を発する。光源から発せられた光は、検査対象物を照明する。検査対象となる欠陥は、凸状の欠陥やスジ状の欠陥や凹状の欠陥や打痕のほかにゴミなどであり、これらの欠陥は、検査対象物の表面に存在する。検査対象物を照明することによって、これらの欠陥を検出することができる。第３の実施の態様の照明装置では、一定の照度により常時点灯されるため、照度を安定させることができ、第１の実施の態様よりも少ない種類数の欠陥を検査する際に、第１の実施の態様よりも高精度で検出することができ、第２の実施の態様よりも照明している時間を長くして検査の精度を安定させることができる。
【００２９】
図１に示すように、記憶部は、１の調光値を記憶する。
【００３０】
制御部は、記憶部に記憶されている１の調光値を読み出し、読み出した調光値に基づいて駆動信号を生成し、光源に駆動信号を供給する。このように制御することにより、常時点灯させることができる。
第３の実施の態様の照明装置は、このように常時点灯する第３の発光モードを有する。
【００３１】
なお、図１に示すように、照明装置は、導通状態選択部も有するが、第３の発光モードでは、制御部は、導通状態選択部に対して常に導通制御をし、導通状態選択部は、常に導通状態となる。
【００３２】
＜第４の実施の態様＞
第４の実施の態様の照明装置は、
前記制御部は、前記第１の発光モード、前記第２の発光モード、前記第３の発光モードのうちのいずれかの一の発光モードを選択して、前記光源の点灯を制御する。
【００３３】
第４の実施の態様では、検査者が、第１の発光モード、第２の発光モード、第３の発光モードのうちのいずれの発光モードを使用するかを選択することが可能となっている。
【００３４】
＜＜＜＜第１の実施の形態＞＞＞＞
以下、図面を参照しながら、本発明の第１の実施の形態（以下、第１の実施形態と称する）について説明する。なお、本明細書及び図面においては、同一の符号が付された構成要素は、実質的に同一の構造または機能を有するものとする。
【００３５】
＜＜＜照明システムの構成＞＞＞
図２を参照しながら、第１の実施形態に係る照明システムについて説明する。第１の実施形態に係る照明システムは、パーソナルコンピュータ等の外部機器１００と電源装置２００をケーブル等で接続し、電源装置２００と照明装置ＳＳをケーブル等で接続することで、照明装置ＳＳにおける光の照射及び照射設定を可能としている。
【００３６】
＜＜外部機器１００＞＞
外部機器１００は、検査対象物を検査するための検査装置（検査装置）（図示せず）の一部をなす。外部機器１００は、検査者（操作者など）が任意に操作可能であり、照明装置ＳＳの制御周期（トリガ周期）となるパルス信号（外部パルス信号）の周期や電圧を設定して出力することが可能である。パルス信号（以下、外部パルス信号と称する。）は、後述する電源装置２００に供給される。後述するように、外部パルス信号は、ＬＥＤの点灯又は消灯の制御に用いられる。
【００３７】
＜＜電源装置２００＞＞
電源装置２００は、ＣＰＵ２０１と、ＲＯＭ２０２と、ＲＡＭ２０３と、ＥＥＰＲＯＭ２０４と、通信インターフェース２０５と、ディスプレイ２０６と、操作部２０７と、Ｉ／Ｏポート２０８と、オンオフスイッチ２０９とを主に備え、端部基板Ａ、端部基板Ｂ及び各ＬＥＤ基板へ３５Ｖ〜４５Ｖの電源電圧を供給する。また、電源装置２００は、制御コマンド、同期信号及びセレクト信号を出力し、外部機器１００から出力された外部パルス信号を出力する。なお、電源装置２００は、外部機器１００から出力された外部パルス信号をそのまま出力しても、波形整形などの信号処理を施してから出力してもよい。
【００３８】
＜＜照明装置ＳＳ＞＞
照明装置ＳＳの全体構成については図３を用いて後述するが、照明装置ＳＳは、端部基板Ａ、端部基板Ｂ及び複数のＬＥＤ基板（３００、４００、５００、６００）を主に備えている。なお、図２では、ＬＥＤ基板５００は、省略して示した。照明装置ＳＳの端部基板Ａ又は端部基板Ｂのいずれか一方が電源装置２００とコネクタ等により接続される。電源装置２００のＣＰＵ２０１から送信された制御コマンドは、端部基板Ａ又は端部基板Ｂのいずれか一方を介してＬＥＤ基板３００、ＬＥＤ基板４００、ＬＥＤ基板５００、ＬＥＤ基板６００へほぼ同時に入力され、ほぼ同タイミングでＬＥＤの制御が行われる。また、電源装置２００から出力された電源電圧は、端部基板Ａ又は端部基板Ｂのいずれか一方を介してＬＥＤ基板３００、ＬＥＤ基板４００、ＬＥＤ基板５００、ＬＥＤ基板６００へ入力される。後述するように、複数のＬＥＤ基板の各々は、同様の構成を有し、２６個のＬＥＤが搭載されている。さらに、電源装置２００から出力された同期信号、外部パルス信号及びセレクト信号が各ＬＥＤ基板のＩ／Ｏポートへ入力される。
【００３９】
＜端部基板Ａ＞
端部基板Ａは、電源装置２００とコネクタ等により接続された場合、電源装置２００のＣＰＵ２０１から送信されたコマンドを照明装置ＳＳのＬＥＤ基板（３００、４００、５００、６００）へ送信する際の中継基板として及びＬＥＤ基板（３００、４００、５００、６００）から送信されたコマンドを電源装置２００のＣＰＵ２０１へ送信する際の中継基板として機能する。端部基板Ａには、コンデンサーなどの受動素子等が備えられていてもよい。例えば、受動素子等によってノイズフィルター等を構成することができる。
【００４０】
＜ＬＥＤ基板（３００、４００、５００、６００）＞
ＬＥＤ基板は、ＣＰＵと、ＲＯＭと、ＲＡＭと、ＥＥＰＲＯＭと、通信インターフェースと、ＤＡＣ−ａと、ＤＡＣ−ｂと、ＬＥＤ−ａと、ＬＥＤ−ｂと、Ｉ／Ｏポートとを主に備える。
【００４１】
ＬＥＤ基板には、２６個のＬＥＤが搭載されており、ＬＥＤ−ａは、ＬＥＤ基板に搭載された複数のＬＥＤのうち、左半分の複数のＬＥＤ（第１の実施形態では１３個）の総称であり、ＬＥＤ−ｂは、ＬＥＤ基板に搭載された複数のＬＥＤのうち、右半分の複数のＬＥＤ（第１の実施形態では１３個）の総称である。
【００４２】
ＤＡＣ−ａは、Ｄ/Ａコンバータであり、ＬＥＤ−ａの制御を行うために用いられ、デジタル信号をアナログ信号に変換する回路を備える。このＤＡＣ−ａにより、後述するように、ＣＰＵから出力されるデジタル信号をアナログ信号に変換することができる。ＣＰＵから出力されるデジタル信号は調光値を示し、調光値は、ＤＡＣ−ａによってアナログ信号の電圧値に変換される。ＤＡＣ−ｂは、Ｄ/Ａコンバータであり、ＬＥＤ−ｂの制御を行うために用いられ、デジタル信号をアナログ信号に変換する回路を備える。このＤＡＣ−ｂにより、後述するように、ＣＰＵから出力されるデジタル信号をアナログ信号に変換することができる。ＣＰＵから出力されるデジタル信号は調光値を示し、調光値は、ＤＡＣ−ｂによってアナログ信号の電圧値に変換される。
【００４３】
尚、照明装置ＳＳに備えられるＬＥＤ基板の数は、検査対象物の幅（長さなど）や検査者が必要とする照明装置ＳＳの長さに応じて適宜変更可能である。
【００４４】
＜端部基板Ｂ＞
端部基板Ｂは、電源装置２００とコネクタ等により接続された場合、電源装置２００のＣＰＵ２０１から送信されたコマンドを照明装置ＳＳのＬＥＤ基板（３００、４００、５００、６００）へ送信する際の中継基板として及びＬＥＤ基板（３００、４００、５００、６００）から送信されたコマンドを電源装置２００のＣＰＵ２０１へ送信する際の中継基板として機能する。端部基板Ｂには、コンデンサーなどの受動素子等が備えられていてもよい。例えば、受動素子等によってノイズフィルター等を構成することができる。
【００４５】
＜＜＜照明装置ＳＳの全体構成＞＞＞
図３を参照しながら照明装置ＳＳの全体構成を説明する。照明装置ＳＳは、筐体３５０と、複数のＬＥＤ基板と、複数のＬＥＤと、ロッドレンズ３６０と、ディフューザレンズ３７０とを主に備える。具体的には、照明装置ＳＳは、４枚のＬＥＤ基板を備え、１枚のＬＥＤ基板には、２６個のＬＥＤが搭載されている。
＜筐体３５０＞
筐体３５０は、照明装置ＳＳの部品を収納し、おおよその外形を画定する。筐体３５０は、アルミ製であり、押し出し成形によって形成されている。
【００４６】
筐体３５０は、長尺な溝状の形状を有する。筐体３５０は、底面部３５１と、底面部３５１を挟んで互いに向かい合う２つの側面部（３５２、３５３）を有する。底面部３５１及び２つの側面部は、長尺で平坦な形状を有する。２つの側面部は、同じ大きさ及び形状を有し、底面部３５１に対して高さ方向に沿って立設され、互いに平行になるように配置されている。
【００４７】
２つの側面部の各々は、底面部３５１から最も離隔した最上部に、底面部３５１と平行に形成された天面部（３５４、３５５）を有する。
【００４８】
＜ＬＥＤ基板＞
ＬＥＤ基板の各々にはＬＥＤが搭載されており、ＬＥＤ基板はＬＥＤへ、発光させるための電圧を供給するとともに、ＣＰＵ等によりＬＥＤの点灯及び消灯の制御が行われる。
【００４９】
ＬＥＤ基板は、アルミ基板によって構成され、薄板状の長方形状の形状を有する。ＬＥＤ基板の各々には、２６個のＬＥＤが搭載されている。２６個のＬＥＤは、ＬＥＤ基板の長手方向に沿って直線状に配置されている。
【００５０】
ＬＥＤ基板は、ＬＥＤが上向き（＋Ｚ方向）に向くように取り付けられている。筐体３５０には複数枚のＬＥＤ基板が搭載されている。複数枚のＬＥＤ基板は、筐体３５０の長手方向（Ｙ方向）に沿って、互いに隣り合うＬＥＤ基板が密着するように配置仮想直線Ｌ１上に沿って配置されている。
【００５１】
＜ＬＥＤ＞
ＬＥＤは、照明装置ＳＳから光を発するための光源である。前述したように、２６個のＬＥＤが、各ＬＥＤ基板に搭載されている。各ＬＥＤ基板の２６個のＬＥＤは、＋Ｚ方向（上向き）に向かって光を発する。
【００５２】
＜ロッドレンズ３６０＞
ロッドレンズ３６０は、ＬＥＤから発せられた光を集光する。ロッドレンズ３６０は、アクリル製で、長尺な円筒状の形状を有する。
【００５３】
ロッドレンズ３６０は、ＬＥＤから離隔した上方に、かつ、ＬＥＤの配置仮想直線Ｌ１とロッドレンズ３６０の中心軸線Ｌ２とが平行になるように配置されている。
【００５４】
尚、ロッドレンズ３６０は、レンズステイ（不図示）によって左右から挟持され、４本のレンズステイを介して筐体３５０に固定されている。
【００５５】
＜ディフューザレンズ３７０＞
ディフューザレンズ３７０は、ロッドレンズ３６０を透過する光を拡散させるための拡散板である。
【００５６】
＜＜＜回路図＞＞＞
図４は、回路の概略を示すブロック図である。各ＬＥＤ基板には、ＣＰＵと、ＤＡＣ（ＤＡＣ−ａ、ＤＡＣ−ｂ）と、ＬＥＤ群（ＬＥＤ−ａ、ＬＥＤ−ｂ）と、フォトダイオード（ＰＤ）と、サーミスタ（ＴＨ１、ＴＨ２、ＴＨ３）と、Ａ／Ｄコンバータと、電圧電流変換回路と、電流増幅回路とが搭載されている。電流増幅回路は、電流生成部を有する。
【００５７】
電源装置２００と各ＬＥＤ基板が端部基板Ａ又は端部基板Ｂを介して接続されており、電源装置２００から出力された外部パルス信号は各ＬＥＤ基板へ入力される。各ＬＥＤ基板では、外部パルス信号はＣＰＵ（３０１、４０１、５０１、６０１）とオンオフスイッチ（３１１、４１１、５１１、６１１）との双方に供給される。ＣＰＵ（３０１、４０１、５０１、６０１）は、後述する高速調光モードのときに外部パルス信号がハイレベルのときにＬＥＤを点灯させ、外部パルス信号がローレベルのときにＬＥＤを消灯させる。各ＬＥＤ基板には、オンオフスイッチ（アナログスイッチ）３１１、４１１、５１１、６１１が設けられており、後述する高速パルスモードの場合に、外部パルス信号がハイレベルのときにはオンオフスイッチ３１１等が導通状態になり、ＤＡＣ（ＤＡＣ−ａ、ＤＡＣ−ｂ）によって変換された電圧信号が電圧電流変換回路へと入力され、外部パルス信号がローレベルのときにはオンオフスイッチ３１１等が非導通状態（遮断状態）になり、ＤＡＣ（ＤＡＣ−ａ、ＤＡＣ−ｂ）によって変換された電圧信号は電圧電流変換回路へ入力されない。
【００５８】
また、電源装置２００から出力された同期信号、セレクト信号は、各ＬＥＤ基板のＣＰＵ３０１、４０１、５０１、６０１へ入力される。
【００５９】
電源装置２００のＣＰＵ２０１から送信された制御コマンドは、端部基板Ａ又は端部基板Ｂを介してＬＥＤ基板のそれぞれに入力される。ＬＥＤ基板のＣＰＵとＤＡＣが接続されており、制御コマンドがＬＥＤ基板のＣＰＵへ入力され（図示せず）た後、ＬＥＤ基板のＣＰＵは、調光値に関するデータをＤＡＣへ出力し、ＤＡＣで調光値に関するデジタル信号がアナログ信号に変換される。制御コマンドは、照度を示す調光値や、ＬＥＤを点灯させるための点灯コマンドや、ＬＥＤを消灯させるための消灯コマンドなどを含む。
【００６０】
尚、ＤＡＣ−ａは、各ＬＥＤ基板に搭載されている２６個のＬＥＤのうちの左半分のＬＥＤ−ａ（１３個）を制御するための調光値（デジタル信号）を電圧値（アナログ信号）に変換する、ＤＡＣ−ｂは、各ＬＥＤ基板に搭載されている２６個のＬＥＤのうちの右半分のＬＥＤ−ｂ（１３個）を制御するための調光値（デジタル信号）を電圧値（アナログ信号）に変換する。
【００６１】
ＤＡＣ（ＤＡＣ−ａ、ＤＡＣ−ｂ）から出力されたアナログ信号（電圧信号）は、電圧電流変換回路へ入力されて、電流に変換される。電圧電流変換回路は、例えば、オペアンプ（演算増幅器）や抵抗などからなり、抵抗値で定まる増幅率で電流信号に変換する。ＤＡＣによって、調光値に対応するアナログ信号の電圧値に対応する電流に変換される。さらに、電圧電流変換回路から出力された電流は、電流増幅回路へ入力されて増幅される。電流増幅回路は、トランジスタやＦＥＴなどからなり、電圧電流変換回路から出力された電流を所望する増幅率で増幅する。電流増幅回路によって増幅された電流は、駆動電流としてＬＥＤ群（ＬＥＤ−ａ（１３個）又はＬＥＤ−ｂ（１３個））へ入力される。ＬＥＤ群（ＬＥＤ−ａ（１３個）又はＬＥＤ−ｂ（１３個））は、駆動電流に応じた照度で発光する。
【００６２】
ＬＥＤ群の第１の端部は、電源装置２００に接続されている。ＬＥＤ群の第２の端部は、電流増幅回路に接続されており、前述したように、電流増幅回路からＬＥＤ群に駆動電流が供給される。さらに、ＬＥＤ群の第１の端部は、電源電圧監視回路に接続されている。
【００６３】
ＬＥＤ基板には、Ａ／Ｄコンバータが設けられている。Ａ／Ｄコンバータは、アナログ信号をデジタル信号に変換する。Ａ／Ｄコンバータは、ＬＥＤ基板のＣＰＵと接続されている。Ａ／Ｄコンバータによって変換されたデジタル信号は、ＣＰＵに入力される。電源電圧監視回路と、フォトダイオードＰＤ（ＬＥＤ群から発せられた光の照度の検出）と、サーミスタＴＨ１（左半分のＬＥＤ群（ＬＥＤ−ａ）の温度検出）と、サーミスタＴＨ２（右半分のＬＥＤ群（ＬＥＤ−ｂ）の温度検出）とが、Ａ／Ｄコンバータに接続されている。なお、電源電圧監視回路は、抵抗値の大きい抵抗などから構成され、ＬＥＤ群に供給される駆動電流の電流値を、所定の電圧範囲内に含まれる電圧値に変換して、Ａ／Ｄコンバータに出力する。これにより、電源装置２００から出力される電源電圧が適切なものであるか否かを判断することができる。フォトダイオードＰＤは、ＬＥＤ群から発せられた光の照度が適切であるか否かを判断することができる。サーミスタＴＨ１及びサーミスタＴＨ２は、ＬＥＤ群の温度が適切であるか否かを判断することができる。
【００６４】
また、電圧電流交換回路は、ＬＥＤ基板のＣＰＵに接続されており、オープンエラー等の検出が可能となっている。
【００６５】
サーミスタＴＨ３（ＬＥＤ基板の温度検出）は、ＬＥＤ基板のＣＰＵと接続されている。
【００６６】
＜＜＜照明モード＞＞＞
図５（ａ）は、照明装置ＳＳにおける照明モード毎のタイミングチャートである。照明モードとして通常モード、高速調光モード、高速パルスモードの３種類を備える。
【００６７】
＜通常モード＞
図５（ａ）は、通常モードを示すタイミングチャートである。図５（ａ）に示すタイムチャートの横軸は時間（時刻）Ｔであり、縦軸はＬＥＤから発せられる光の照度である。図５（ａ）に示す例では、照度の最小値ＭＩＮと最大値ＭＡＸの間の一定の照度で点灯する。通常モードは、検査者が電源装置２００の操作部２０７を操作することによって、検査者が所望する照度に対応する調光値を設定することが可能であり、設定された調光値に対応する一定の照度で照明装置ＳＳのＬＥＤを常時出力するモード（常時点灯モード）である。なお、通常モードでは、ＬＥＤの点灯や消灯の制御や、点灯時の照度の制御は、電源装置２００のＣＰＵ２０１から送信されるコマンドによって行われる。
【００６８】
＜高速調光モード＞
図５（ｂ）は、高速調光モードを示すタイミングチャートである。具体的には、図５（ｂ）は、照度と、外部パルス信号と、同期信号と、セレクト信号１、セレクト信号２とのタイムチャートを示す。外部パルス信号と、同期信号と、セレクト信号１、セレクト信号２のタイムチャートの縦軸は電圧である。高速調光モードは、予め検査者が電源装置２００の操作部２０７を操作することによって複数の照度に対応する調光値を登録（設定）することが可能になっており、登録された複数の調光値を、外部パルス信号（例えば、５μｓ）の入力毎に登録順で読み出してＬＥＤの照度を変更するモードである。外部パルス信号は、ローレベル（ＬＯＷ）の状態とハイレベル（ＨＩＧＨ）の状態とを繰り返す。外部パルス信号がハイレベル（ＨＩＧＨ）であるときにＬＥＤの照度を変更させ、次のハイレベル（ＨＩＧＨ）が入力されるまで同じ調光値の照度によるＬＥＤの点灯を継続させるように制御する。
【００６９】
複数の照度は、セレクト信号１及びセレクト信号２の入力の組み合わせ（すなわち２ビット（合計４つの状態））に応じて特定することが可能である。セレクト信号１及びセレクト信号２は、０（ローレベル（ＬＯＷ））と１（ハイレベル（ＨＩＧＨ））のいずれかの値をとる。本例では、セレクト信号１及びセレクト信号２の組み合わせと、登録番号との関係は、
（１）「０」−「０」：登録番号０（調光値Ａ）
（２）「１」−「０」：登録番号１（調光値Ｂ）
（３）「０」−「１」：登録番号２（調光値Ｃ）
（４）「１」−「１」：登録番号３（調光値Ｄ）
である。なお、電源装置２００のＣＰＵ２０１から送信されるコマンドを用いて、予め、登録番号０に調光値Ａを登録し、登録番号１に調光値Ｂを登録し、登録番号２に調光値Ｃを登録し、登録番号３に調光値ＤをＥＥＰＲＯＭに登録しておくことができる。
【００７０】
このようにすることで、セレクト信号１及びセレクト信号２の組み合わせが、「０」−「０」であるときには、登録番号０の調光値ＡがＥＥＰＲＯＭから読み出され、セレクト信号１及びセレクト信号２の組み合わせが、「１」−「０」であるときには、登録番号１の調光値ＢがＥＥＰＲＯＭから読み出され、セレクト信号１及びセレクト信号２の組み合わせが、「０」−「１」であるときには、登録番号２の調光値ＣがＥＥＰＲＯＭから読み出され、セレクト信号１及びセレクト信号２の組み合わせが、「１」−「１」であるときには、登録番号３の調光値ＤがＥＥＰＲＯＭから読み出される。
【００７１】
セレクト信号１及びセレクト信号２の組合せを、「０」−「０」→「１」−「０」→「０」−「１」→「１」−「１」→「０」−「０」→「１」−「０」→・・・のように、繰り返し電源装置２００のＣＰＵ２０１から入力することで、登録番号０→登録番号１→登録番号２→登録番号３→登録番号０→登録番号１・・・のように、所定の順序（照度のサイクル）でＥＥＰＲＯＭから繰り返し読み出し、調光値Ａ→調光値Ｂ→調光値Ｃ→調光値Ｄ→調光値Ａ→調光値Ｂ・・・のように調光値を指定して所定の順序（照度のサイクル）で発光することができる。
【００７２】
なお、セレクト信号１及びセレクト信号２は、全てのＬＥＤ基板に同時に供給され、全てのＬＥＤ基板から同じ照度の光が同時に発せられるように制御される。
【００７３】
尚、登録数はセレクト信号の数によって変更可能であり、セレクト信号が３つ（すなわち３ビット（合計８つの状態））であれば、８つの登録番号の各々に調光値を設定することが可能である。また、複数の登録番号に同じ照度（調光値）を登録することも可能である。
【００７４】
前述したように、外部パルス信号は、ローレベル（ＬＯＷ）の状態とハイレベル（ＨＩＧＨ）の状態とを繰り返し、外部パルス信号がハイレベル（ＨＩＧＨ）であるときにＬＥＤの照度を変更させるように制御する。外部パルス信号がハイレベル（ＨＩＧＨ）の状態になると、セレクト信号１及びセレクト信号２が示す登録番号に対応する調光値をＥＥＰＲＯＭから読み出して、調光値に対応する照度でＬＥＤを点灯させる。外部パルス信号がローレベル（ＬＯＷ）の場合は、ＬＥＤの出力を変更した照度で継続するように制御する。
【００７５】
また、同期信号は、初めの登録番号（ここでは、登録番号０）を出力するために用いる信号（リセット信号）である。同期信号は、ローレベル（ＬＯＷ）の状態とハイレベル（ＨＩＧＨ）の状態とを繰り返す。同期信号がハイレベル（ＨＩＧＨ）になったときに、強制的に登録番号０にリセットする。
【００７６】
第１の実施形態では、複数のＬＥＤ基板に同時に同期信号が入力されるよう構成されており、セレクト信号１及びセレクト信号２によって、全てのＬＥＤ基板から同じ照度の光が同時に発せられる。しかしながら、いくつかのＬＥＤ基板においてセレクト信号１及びセレクト信号２を的確に受信できなかった（いわゆる取りこぼし）などにより、全てのＬＥＤ基板から同じ照度の光を発することができない場合も想定される。このような場合には、ＬＥＤの照度にムラが生じてしまい、検査対象物を的確に照明することが困難になる。このため、前述したように、同期信号を全てのＬＥＤ基板に同時に供給することで、強制的に、全てのＬＥＤ基板で登録番号０に戻すことで、照度のサイクルを一旦リセットして、全てのＬＥＤ基板から発せられる光の照度を同期させることができる。
【００７７】
＜高速パルスモード＞
図５（ｃ）は、高速パルスモードを示すタイミングチャートである。図５（ｃ）に示すタイムチャートの横軸は時間（時刻）Ｔであり、縦軸はＬＥＤから発せられる光の照度である。図５（ｃ）に示す例では、照度の最小値ＭＩＮと最大値ＭＡＸの間の一定の照度で点灯及び消灯を繰り返す。外部パルス信号のタイムチャートの縦軸は電圧である。
【００７８】
高速パルスモードは、予め検査者が電源装置２００の操作部２０７を操作することによって１の照度に対応する１の調光値をＥＥＰＲＯＭに事前に登録（設定）することが可能になっている。高速パルスモードとなったときには、事前に登録された１の調光値をＥＥＰＲＯＭから読み出されて、ＤＡＣ（ＤＡＣ−ａ、ＤＡＣ−ｂ）によって、１の調光値に対応する電圧値のアナログ信号（電圧信号）が出力された状態が維持される。前述したように、外部パルス信号は、所定の周期（例えば、５μｓ）で、ローレベル（ＬＯＷ）の状態とハイレベル（ＨＩＧＨ）の状態とを繰り返される信号である。前述したように、各ＬＥＤ基板には、オンオフスイッチ（アナログスイッチ）３１１等が設けられており、外部パルス信号は、ＬＥＤ基板のオンオフスイッチ３１１等に入力されて、オンオフスイッチ３１１等の動作を制御する。
【００７９】
外部パルス信号がローレベル（ＬＯＷ）の状態であるときには、オンオフスイッチ３１１等はオフとなって、ＤＡＣ（ＤＡＣ−ａ、ＤＡＣ−ｂ）から出力されたアナログ信号（電圧信号）を非導通状態（遮断状態）にする。このときには、ＤＡＣ（ＤＡＣ−ａ、ＤＡＣ−ｂ）から出力されたアナログ信号は、電圧電流変換回路に供給されず、駆動電流がＬＥＤに供給されることはなく、ＬＥＤは消灯した状態となる。
【００８０】
一方、外部パルス信号がハイレベル（ＨＩＧＨ）の状態であるときには、オンオフスイッチ３１１等はオンとなって、ＤＡＣ（ＤＡＣ−ａ、ＤＡＣ−ｂ）から出力されたアナログ信号（電圧信号）を導通状態（遮断状態）にする。このときには、ＤＡＣ（ＤＡＣ−ａ、ＤＡＣ−ｂ）から出力されたアナログ信号は、電圧電流変換回路に供給され、電圧電流変換回路によって変換された電流は、駆動電流としてＬＥＤに供給され、ＬＥＤは、１の調光値に対応する照度で点灯した状態となる。
【００８１】
このように、高速パルスモードでは、予めＥＥＰＲＯＭに記憶されている１の調光値が読み出されて、１の調光値に対応する電圧信号が、ＤＡＣ（ＤＡＣ−ａ、ＤＡＣ−ｂ）から出力され続けている。外部パルス信号によってオンオフスイッチ３１１等を駆動することで、ＤＡＣ（ＤＡＣ−ａ、ＤＡＣ−ｂ）から出力されたアナログ信号（電圧信号）を導通又は非導通させることでＬＥＤを点灯又は消灯させることができる。ＤＡＣ（ＤＡＣ−ａ、ＤＡＣ−ｂ）からのアナログ信号（電圧信号）を出力させた状態を維持しつつ、オンオフスイッチ３１１等の駆動のみで点灯又は消灯を制御するので、点灯又は消灯を高速に切り換えることができる。
【００８２】
＜＜＜使用情報＞＞＞
図６は、各モードのＬＥＤの出力の制御に使用するコマンド、各種の信号、調光値の各種の情報等についての一覧である。
【００８３】
＜通常モードで使用するコマンド、信号、調光値＞
前述したように、通常モードは、ＥＥＰＲＯＭに記憶された調光値に対応する照度の光を照明装置ＳＳのＬＥＤから常に出力するモード（常時点灯モード）である。
【００８４】
図６に示すように、通常モードでは、電源装置２００のＣＰＵ２０１から送信されるコマンドのみによって照明装置ＳＳのＬＥＤが制御される。通常モードで用いるコマンドは、ＬＥＤから発する光の照度に対応する調光値を含み、コマンドに含まれる調光値はＥＥＰＲＯＭに記憶される。具体的には、検査者が電源装置２００の操作部２０７を操作することによって照度を設定することが可能になっており、設定した照度に関するコマンドが電源装置２００のＣＰＵ２０１から照明装置ＳＳの各ＬＥＤ基板のＣＰＵへ送信され、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、受信したコマンドに応じてＬＥＤの照度を各ＥＥＰＲＯＭに記憶する。ＥＥＰＲＯＭから調光値が読み出されて、調光値に対応するＬＥＤの駆動電流によって調光値に対応する照度の光がＬＥＤから発せられる。
【００８５】
また、通常モードで用いるコマンドは、ＬＥＤを点灯又は消灯をするコマンドも含まれる。通常モードでは、同期信号や外部パルス信号やセレクト信号を用いることなく、ＬＥＤの点灯又は消灯が制御される。
【００８６】
＜高速調光モードで使用するコマンド、信号、調光値＞
高速調光モードは、電源装置２００のＣＰＵ２０１から送信されるコマンドを用いて、照明装置ＳＳのＬＥＤで出力する複数の照度を登録番号毎にＥＥＰＲＯＭに予め記憶させておき、登録された複数の調光値を一定の順序で読み出して調光値に対応する照度の光を照明装置ＳＳのＬＥＤから出力するモードである。
【００８７】
図６に示すように、高速調光モードでは、電源装置２００のＣＰＵ２０１から送信されるコマンド、同期信号、外部パルス信号、セレクト信号を用いてＬＥＤが制御される。高速調光モードで用いるコマンドは、複数の照度に対応する複数の調光値を含み、コマンドに含まれる複数の調光値はＥＥＰＲＯＭに記憶される。具体的には、検査者が電源装置２００の操作部２０７を操作することによって、登録する登録番号毎に照度に関するコマンドが電源装置２００のＣＰＵ２０１から照明装置ＳＳの各ＬＥＤ基板のＣＰＵへ送信され、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、受信したコマンドに応じて各登録番号の照度を各ＥＥＰＲＯＭに予め記憶する。図６に示す通り、高速調光モードでは、同期信号、外部パルス信号、セレクト信号を使用する。
【００８８】
＜高速パルスモードで使用するコマンド、信号、調光値＞
高速パルスモードは、電源装置２００のＣＰＵ２０１から送信されるコマンドを用いて、照明装置ＳＳのＬＥＤで出力する照度を１の登録番号にＥＥＰＲＯＭに予め記憶させておき、登録された調光値を読み出して、点灯と消灯とを繰り返すモードである。
【００８９】
図６に示すように、高速パルスモードでは、電源装置２００のＣＰＵ２０１から送信されるコマンド、外部パルス信号を用いてＬＥＤが制御される。高速パルスモードで用いるコマンドは、１の照度に対応する１の調光値を含み、コマンドに含まれる１の調光値はＥＥＰＲＯＭに記憶される。具体的には、検査者が電源装置２００の操作部２０７を操作することによって、登録番号の照度に関するコマンドが電源装置２００のＣＰＵ２０１から照明装置ＳＳの各ＬＥＤ基板のＣＰＵへ送信され、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、受信したコマンドに応じて登録番号の照度を各ＥＥＰＲＯＭに予め記憶する。
【００９０】
＜＜＜電源装置２００の制御処理＞＞＞
図７は、電源装置２００における電源装置制御処理のフローチャートである。まず、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、ステップ１００２で、初期化するか否かを判定する。
【００９１】
ステップ１００２でＹｅｓの場合、ステップ１００４で、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、初期化処理を行う。ステップ１００２でＮｏの場合、ステップ１００６の処理へ移行する。
【００９２】
初期化処理（ステップ１００４）では、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、ＲＡＭ２０３の記憶情報を初期化する。具体的には、照明モード等の現在設定されているメニュー設定等を初期化（デフォルトに戻す）し、照明装置ＳＳの各ＬＥＤ基板のＣＰＵへ初期化コマンドを送信する。
【００９３】
次に、ステップ１００６で、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、検査者によってメニュー操作が行われたか否かを判定する。
【００９４】
ステップ１００６でＹｅｓの場合、ステップ１００８で、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、メニュー設定処理を行う。ステップ１００６でＮｏの場合、ステップ１０１０の処理へ移行する。
【００９５】
メニュー設定処理では、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、検査者の電源装置２００の操作結果をＲＡＭ２０３に記憶する。具体的には、検査者による操作には、照度の変更、照明モードの変更、等があり、これらの操作結果をＲＡＭ２０３に記憶する。電源装置２００の操作により検査停止等のメニュー操作が行われた場合、当該処理で各ＬＥＤ基板のＣＰＵへその旨を示すコマンド（検査停止コマンド等）を送信する。
【００９６】
尚、外部機器１００の操作により検査停止の操作が行われ、外部機器１００から送信された検査停止コマンドを受信した場合、当該処理で照明装置ＳＳの各ＬＥＤ基板のＣＰＵへ検査停止コマンドを送信する。
【００９７】
次に、ステップ１０１０で、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、照度の変更が行われたか否かを判定する。この操作をすることによって、ＬＥＤから発する光の照度を変更することができる。
【００９８】
ステップ１０１０でＹｅｓの場合、ステップ１０１２で、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、照明装置ＳＳの各ＬＥＤ基板のＣＰＵへ照度コマンドを送信する。ステップ１０１０でＮｏの場合、ステップ１０１４の処理へ移行する。
【００９９】
次に、ステップ１０１４で、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、照明モードの変更が行われたか否かを判定する。
【０１００】
ステップ１０１４でＹｅｓの場合、ステップ１０１６で、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、照明装置ＳＳの各ＬＥＤ基板のＣＰＵへ変更後の照明モード（通常モード、高速調光モード、高速パルスモード）を示す照明モードコマンドを送信する。ステップ１０１４でＮｏの場合、ステップ１０２２へ移行する。この処理によって、通常モード、高速調光モード、高速パルスモードのいずれかの照明モードでＬＥＤから光を発することができる。
【０１０１】
次に、ステップ１０２２で、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、ＰＷＭ（Ｐｕｌｓｅ  Ｗｉｄｔｈ  Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）モードであるか否か、つまり、外部パルス信号を用いてＬＥＤの出力制御を行う高速調光モード又は高速パルスモードであるか否かを判定する。
【０１０２】
ステップ１０２２でＹｅｓの場合、ステップ１０２４で、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、パルス制御を可能とするために、電源装置２００内のオンオフスイッチ２０９（図２参照）をオンにし、ステップ１０２５の処理へ移行する。
【０１０３】
ステップ１０２２でＮｏの場合、ステップ１０２４−１で、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、パルス制御を不可能とするために、電源装置２００内のオンオフスイッチ２０９をオフにし、ステップ１０２５の処理へ移行する。
【０１０４】
前述した電源装置２００内のオンオフスイッチ２０９は、外部機器１００から電源装置２００に供給された外部パルス信号を電源装置２００から出力するか否かを選択するためのスイッチである。電源装置２００のオンオフスイッチ２０９がオンになったときには、電源装置２００から外部パルス信号が出力され、電源装置２００のオンオフスイッチ２０９がオフになったときには、電源装置２００から外部パルス信号が出力されない。ＰＷＭモード（高速調光モード又は高速パルスモード）は、電源装置２００から出力された外部パルス信号に同期させてＬＥＤの照度の変更を行うモードである。
【０１０５】
次に、ステップ１０２５で、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、コマンド受信処理を行い、ステップ１０２６の処理へ移行する。
【０１０６】
コマンド受信処理では、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、各ＬＥＤ基板のＣＰＵから送信されたコマンドを受信し、受信したコマンドに基づいてＲＡＭ２０３及びＥＥＰＲＯＭ２０４の記憶情報を更新する。
【０１０７】
次に、ステップ１０２６で、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、エラーチェック処理を行う。
【０１０８】
エラーチェック処理（ステップ１０２６）では、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、照明装置ＳＳの各ＬＥＤ基板のＣＰＵとの通信チェック、電源装置２００内の通信異常（電源異常）チェック、等を行う。
【０１０９】
次に、ステップ１０２８で、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、ディスプレイ表示処理を行い、ステップ１０２８の処理が終了すると、ステップ１００６の処理へ戻る。
【０１１０】
ディスプレイ表示処理では、電源装置２００のＣＰＵ２０１は、ディスプレイ２０６に各種の情報を表示するための処理を行う。具体的には、メニュー設定処理の内容に基づいて照明モード、照度等の表示を行い、その他にＬＥＤ基板温度、エラー（ＬＥＤ温度異常、オープンエラー、通信異常等）の表示等を行う。
【０１１１】
＜＜＜照明装置ＳＳの制御処理＞＞＞
＜＜照明制御処理＞＞
図８及び図９は、照明装置ＳＳにおける照明制御処理のフローチャートである。まず、ステップ２００１で、照明装置ＳＳの各ＬＥＤ基板（３００、４００、６００等）に搭載されたＣＰＵ（３０１、４０１、６０１等）は、初期化コマンド受信処理を行う。
【０１１２】
次に、ステップ２００２で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、初期化するか否か、言い換えると、初期化コマンド受信処理により初期化コマンドを受信したか否かを判定する。
【０１１３】
ステップ２００２でＹｅｓの場合、ステップ２００４で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、初期化処理を行う。ステップ２００２でＮｏの場合、ステップ２００５の処理へ移行する。
【０１１４】
初期化処理（ステップ２００４）では、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、ＲＡＭ（３０３、４０３、６０３等）の記憶情報を初期化する。具体的には、記憶及び登録された照度に関する計数やメニュー設定の情報等を初期化する。
【０１１５】
次に、ステップ２００５で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、コマンド受信処理（初期化コマンド以外のコマンドの受信処理）を行い、ステップ２００６の処理へ移行する。
【０１１６】
コマンド受信処理では、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、電源装置２００のＣＰＵ２０１から送信されたコマンド情報を受信する。尚、外部機器１００又は電源装置２００の操作により、検査の停止操作が行われると、外部機器１００又は電源装置２００から検査停止コマンドが送信され、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、送信された検査停止コマンドを受信した場合には、検査を停止する処理を行う。
【０１１７】
次に、ステップ２００６で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、現在の照明モードが高速パルスモードであるか否かを判定する。
【０１１８】
ステップ２００６でＹｅｓの場合、ステップ２３００の処理へ移行する。ステップ２００６でＮｏの場合、ステップ２００６−１の処理へ移行する。
【０１１９】
次に、ステップ２００６−１で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、オンオフスイッチ３１１等をオンにして、つまり、導通状態選択部を導通状態にして、ステップ２００７の処理へ移行する。
【０１２０】
次に、ステップ２００７で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、照度コマンドを受信したか否かを判定する。
【０１２１】
ステップ２００７でＹｅｓの場合、ステップ２００８で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、照度コマンドに基づいてＥＥＰＲＯＭの照度記憶テーブルに照度を記憶する。
【０１２２】
例えば、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、照度コマンドが、高速調光モードの登録番号０の照度を示すコマンドであれば、ＥＥＰＲＯＭの高速調光モード記憶領域の登録番号０に、照度コマンドが示す照度に対応する調光値を記憶（登録）する。
【０１２３】
登録番号１の照度を示すコマンドであれば、ＥＥＰＲＯＭの高速調光モード記憶領域の登録番号１に、照度コマンドが示す照度に対応する調光値を記憶（登録）する。
【０１２４】
登録番号２の照度を示すコマンドであれば、ＥＥＰＲＯＭの高速調光モード記憶領域の登録番号２に、照度コマンドが示す照度に対応する調光値を記憶（登録）する。
【０１２５】
登録番号３の照度を示すコマンドであれば、ＥＥＰＲＯＭの高速調光モード記憶領域の登録番号３に、照度コマンドが示す照度に対応する調光値を記憶（登録）する（図１４（ａ）参照）。
【０１２６】
照度コマンドが、高速パルスモードの照度を示すコマンドであれば、ＥＥＰＲＯＭの高速パルスモード記憶領域の登録番号０に、照度コマンドが示す照度に対応する調光値を記憶（登録）する（図１４（ｂ）参照）。
【０１２７】
照度コマンドが、通常モードの照度を示すコマンドであれば、ＥＥＰＲＯＭの通常モード記憶領域の記憶領域に、照度コマンドが示す照度に対応する調光値を記憶する（図１４（ｃ）参照）。
【０１２８】
尚、言うまでもないが、他の照明モードの照度を示す照度コマンドについても同様に、照度に対応する調光値を記憶する。
【０１２９】
ステップ２００７でＮｏの場合、ステップ２０１０の処理へ移行する。
【０１３０】
次に、ステップ２０１０で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、照明モードコマンドを受信したか否かを判定する。
【０１３１】
ステップ２０１０でＹｅｓの場合、ステップ２０１２で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、照明モード切替処理を行う。ステップ２０１０でＮｏの場合、ステップ２０１７の処理へ移行する。
【０１３２】
照明モード切替処理では、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、照明モードコマンドが高速調光モードを示すコマンドであれば、照明モードを高速調光モードに変更し、照明モードコマンドが高速パルスモードを示すコマンドであれば、照明モードを高速パルスモードに変更し、照明モードコマンドが通常モードを示すコマンドであれば、照明モードを通常モードに変更する。
【０１３３】
次に、ステップ２０１７で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、現在検査中であるか否かを判定する。
【０１３４】
ステップ２０１７でＮｏの場合、ステップ２００５の処理へ移行する。
【０１３５】
ステップ２０１７でＹｅｓの場合、ステップ２０１８で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、現在の照明モードの設定が、高速調光モードであるか否かを判定する。
【０１３６】
ステップ２０１８でＹｅｓの場合、ステップ２２００で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、後述する高速調光モード出力処理を行う。
【０１３７】
ステップ２０１８でＮｏの場合、ステップ２０２０で、現在の照明モードの設定が、高速パルスモードであるか否かを判定する。
【０１３８】
ステップ２０２０でＹｅｓの場合、ステップ２３００で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、後述する高速パルスモード出力処理を行う。
【０１３９】
ステップ２０２０でＮｏの場合、ステップ２４００で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、後述する通常モード出力処理を行う。
【０１４０】
ステップ２２００、ステップ２３００、ステップ２４００の処理が終了すると、ステップ２５００の処理へ移行する。
【０１４１】
次に、ステップ２５００で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、後述するエラーチェック処理を行う。
【０１４２】
次に、ステップ２０２４で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、検査が終了したか否か、つまり、外部機器１００又は電源装置２００の操作が行われたことにより送信される検査を終了するための検査終了コマンドを受信したか否かを判定する。
【０１４３】
ステップ２０２４でＹｅｓの場合、ステップ２０２６で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、検査終了処理を行い、ステップ２００５の処理へ戻る。
【０１４４】
検査終了処理では、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、ＬＥＤが点灯している場合、ＬＥＤを消灯させ、検査終了とする。
【０１４５】
ステップ２０２４でＮｏの場合もステップ２００５の処理へ戻る。
【０１４６】
前述したステップＳ２０１７〜Ｓ２４００の処理を実行することによって、高速調光モード、高速パルスモード、通常モードのいずれか一つの照明モードで発光することができ、検査対象物の材質の表面の状態（粗さや被覆体の有無や種類など）や、欠陥の種類などに応じて、所望する照明モードで検査対象を照明することができる。
【０１４７】
＜高速調光モード出力処理＞
図１０は、ステップ２２００の高速調光モード出力処理のフローチャートである。まず、ステップ２２０２で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、外部パルス信号の入力があるか否かを判定する。具体的には、外部パルス信号がオン（ＨＩＧＨレベル）であるか否かを判断する。
【０１４８】
ステップ２２０２でＹｅｓの場合（すなわち、外部パルス信号がオン（ＨＩＧＨレベル）である場合）、ステップ２２０４の処理へ移行する。ステップ２２０２でＮｏの場合、つまり、外部パルス信号の入力がない場合は（すなわち、外部パルス信号がオフ（ＬＯＷレベル）である場合）、次の処理へ移行する。
【０１４９】
次に、ステップ２２０４で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、同期信号の入力があるか否かを判定する。具体的には、同期信号がオン（ＨＩＧＨレベル）であるか否かを判断する。
【０１５０】
ステップ２２０４でＹｅｓの場合（同期信号がオン（ＨＩＧＨレベル）である場合）、ステップ２２０６で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、照度記憶テーブルの高速調光モード記憶領域を参照して、高速調光モードの登録番号０の照度で出力する。
【０１５１】
ステップ２２０４でＮｏの場合（同期信号がオフ（ＬＯＷレベル）である場合）、ステップ２２０８で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、セレクト信号１の入力がないか否かを判定する。具体的には、セレクト信号１がオフ（ＬＯＷレベル）であるか否かを判断する。
【０１５２】
ステップ２２０８でＹｅｓの場合（セレクト信号１がオフ（ＬＯＷレベル）である場合）、ステップ２２１０で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、セレクト信号２の入力がないか否かを判定する。具体的には、セレクト信号２がオフ（ＬＯＷレベル）であるか否かを判断する。
【０１５３】
ステップ２２１０でＹｅｓの場合（セレクト信号２がオフ（ＬＯＷレベル）である場合）、つまり、セレクト信号１：０（入力なし）且つセレクト信号２：０（入力なし）の場合、ステップ２２１２で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、照度記憶テーブルの高速調光モード記憶領域を参照して、高速調光モードの登録番号０の照度で出力する。
【０１５４】
ステップ２２１０でＮｏの場合（セレクト信号２がオン（ＨＩＧＨレベル）である場合）、つまり、セレクト信号１：０（入力なし）且つセレクト信号２：１（入力あり）の場合、ステップ２２１４で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、照度記憶テーブルの高速調光モード記憶領域を参照して、高速調光モードの登録番号２の照度で出力する。
【０１５５】
他方、ステップ２２０８でＮｏの場合（セレクト信号１がオン（ＨＩＧＨレベル）である場合）、ステップ２２１６で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、セレクト信号２の入力がないか否かを判定する。具体的には、セレクト信号２がオフ（ＬＯＷレベル）であるか否かを判断する。
【０１５６】
ステップ２２１６でＹｅｓの場合（セレクト信号２がオフ（ＬＯＷレベル）である場合）、つまり、セレクト信号１：１（入力あり）且つセレクト信号２：０（入力なし）の場合、ステップ２２１８で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、照度記憶テーブルの高速調光モード記憶領域を参照して、高速調光モードの登録番号１の照度で出力する。
【０１５７】
ステップ２２１６でＮｏの場合（セレクト信号２がオン（ＨＩＧＨレベル）である場合）、つまり、セレクト信号１：１（入力あり）且つセレクト信号２：１（入力あり）の場合、ステップ２２２０で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、照度記憶テーブルの高速調光モード記憶領域を参照して、高速調光モードの登録番号３の照度で出力する。
【０１５８】
ステップ２２０６、ステップ２２１２、ステップ２２１４、ステップ２２１８、ステップ２２２０の処理が終了すると、呼び出し元へ復帰する。
【０１５９】
前述したステップＳ２２０２〜Ｓ２２２０の処理を実行することによって、図５（ｂ）に示したように、登録番号の照度の光を一定の順序（登録された順序）で発することができる。
【０１６０】
＜高速パルスモード出力処理＞
図１１は、ステップ２３００の高速パルスモード出力処理のフローチャートである。高速パルスモードでは、ステップ２３０２で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、照度記憶テーブルの通常モード記憶領域を参照して、高速パルスモードの登録番号０の照度で出力し、呼び出し元へ復帰する。
【０１６１】
高速パルスモードの場合には、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、高速パルスモードの登録番号０の照度で出力し続ける制御を行うが、図４で説明した通り、高速パルスモードでは、電源装置２００から供給される外部パルス信号により直接各ＬＥＤ基板のオンオフスイッチ（３１１、４１１、５１１、６１１）のオンとオフが切り替わるため、外部パルス信号がハイレベルのときにオンオフスイッチ（３１１、４１１、５１１、６１１）がオン（導通状態）となってＬＥＤが点灯し、外部パルス信号がローレベルのときにはオンオフスイッチ（３１１、４１１、５１１、６１１）がオフ（遮断状態）となってＬＥＤが消灯する。つまり、図５（ｃ）に示したように、点灯及び消灯を繰り返しつつ、点灯したときには、一定の照度の光を発することができる。
【０１６２】
＜通常モード出力処理＞
図１２は、ステップ２４００の通常モード出力処理のフローチャートである。通常モード出力処理では、ステップ２４０２で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、照度記憶テーブルの通常モード記憶領域を参照して、通常モードの照度で出力し、呼び出し元へ復帰する。
【０１６３】
前述したステップＳ２４０２の処理を実行することによって、図５（ａ）に示したように、一定の照度の光を発し続ける（常時点灯）ことができる。
【０１６４】
＜エラーチェック処理＞
図１３は、ステップ２５００のエラーチェック処理のフローチャートである。まず、ステップ２５０２で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、サーミスタが検出したＬＥＤ温度を示すＬＥＤ温度コマンドを電源装置２００のＣＰＵ２０１へ送信するために次のＬＥＤ基板のＣＰＵへ送信する。
【０１６５】
次に、ステップ２５０４で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、ＬＥＤ温度が基準値以上であるか否かを判定する。
【０１６６】
ステップ２５０４でＹｅｓの場合、ステップ２５０６で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、ＬＥＤ照度低下処理を行う。具体的には、強制的にＬＥＤを消灯させる。尚、電源装置２００のメニュー操作により、ＬＥＤを点灯させる操作を行うことで、再度ＬＥＤは点灯する。
【０１６７】
次に、ステップ２５０８で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、ＬＥＤ温度エラー情報（コマンド）を電源装置２００のＣＰＵ２０１へ送信するために次のＬＥＤ基板のＣＰＵへ送信する。
【０１６８】
ステップ２５０４でＮｏの場合、ステップ２５１０の処理へ移行する。
【０１６９】
次に、ステップ２５１０で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、オープンエラーが発生しているか否かを判定する。
【０１７０】
具体的には、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、ＬＥＤに電流を供給するための電流回路の不具合、例えば、回路の断線が発生しているか否かを判定する。
【０１７１】
ステップ２５１０でＹｅｓの場合、ステップ２５１２で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、オープンエラー情報（コマンド）を電源装置２００のＣＰＵ２０１へ送信するために次のＬＥＤ基板のＣＰＵへ送信する。
【０１７２】
次に、ステップ２５１４で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、ＬＥＤ基板温度情報（コマンド）を電源装置２００のＣＰＵ２０１へ送信するために次のＬＥＤ基板のＣＰＵへ送信する。
【０１７３】
次に、ステップ２５１６で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、ＬＥＤ基板温度エラーが発生したか否かを判定する。
【０１７４】
ステップ２５１６でＹｅｓの場合、ステップ２５１８で、各ＬＥＤ基板のＣＰＵは、ＬＥＤ基板温度エラー情報（コマンド）を電源装置２００のＣＰＵ２０１へ送信するために次のＬＥＤ基板のＣＰＵへ送信し、呼び出し元へ復帰する。ステップ２５１６でＮｏの場合も、呼び出し元へ復帰する。
【０１７５】
尚、エラーチェック処理で行うエラー判定はこれらに限定されるものではない。
【０１７６】
前述した各種のエラーをチェックすることで、良好な状態を維持して、適切な発光状態で、検査対象物を照明することができる。
【０１７７】
＜＜照度設定テーブル＞＞
図１４は、照度記憶テーブルの構成図の一例である。
【０１７８】
＜高速調光モード記憶領域＞
図１４（ａ）は、高速調光モード記憶領域の構成図である。前述した通り、高速調光モードでは、電源装置２００のＣＰＵ２０１から送信されるコマンドに基づいて照度に対応する調光値を登録することが可能であり、第１の実施形態では、登録番号０として照度が１００パーセントとなる調光値３０７５、登録番号１として照度が２５パーセントとなる調光値７６９、登録番号２として照度が４７パーセントとなる調光値１４４５、登録番号３として照度が７２パーセントとなる調光値２２１４、が登録されている。
【０１７９】
つまり、図５にて説明した通り、高速調光モードでは、登録番号０→登録番号１→登録番号２→登録番号３→・・・の順にＬＥＤを発光させるよう制御するため、ＬＥＤが、照度１００パーセント→照度２５パーセント→照度４７パーセント→照度７２パーセント→・・・の順に発光することとなる。
【０１８０】
＜高速パルスモード記憶領域＞
図１４（ｂ）は、高速パルスモード記憶領域の構成図である。前述した通り、高速パルスモードでは、電源装置２００のＣＰＵ２０１から送信されるコマンドに基づいて照度に対応する調光値を１つ登録することが可能であり、第１の実施形態では、登録番号０として照度が６６パーセントとなる調光値２０３０が登録されている。
【０１８１】
つまり、図５にて説明した通り、高速パルスモードでは、登録番号０→登録番号０→登録番号０→・・・と、登録番号０の照度で繰り返しＬＥＤを発光させるよう制御するため、ＬＥＤが、照度６６パーセント→照度６６パーセント→照度６６パーセント→・・・と、同一照度で発光されるため、外部パルス信号の入力の有無に応じて照度６６パーセントの点灯と消灯とを繰り返すこととなる。
【０１８２】
尚、高速パルスモードで動作中であっても、電源装置２００の操作部２０７の操作により照度が変更された場合には、変更されたタイミングで照度コマンドが照明装置ＳＳの各ＣＰＵへ送信され、照度の変更が可能となるよう構成してもよい。
【０１８３】
＜通常モード記憶領域＞
図１４（ｃ）は、通常モード記憶領域の構成図である。前述した通り、通常モードでは、電源装置２００のＣＰＵ２０１から送信される照度コマンドに基づいて１つの照度を記憶することが可能であり、第１の実施形態では、照度が３５パーセントとなる調光値１０７６が記憶されている。
【０１８４】
つまり、図５にて説明した通り、通常モードでは、記憶されている照度でＬＥＤを発光させ続けるよう制御するため、ＬＥＤが、照度３５パーセントで発光され続けることとなる。
【０１８５】
＜照度の補正処理＞
尚、ＬＥＤの個体差や特性に応じて、設定された照度と実際のＬＥＤの照度にズレが生じる可能性がある。そこで、ズレが生じた場合には、ズレを解消するために補正処理を行う。このように補正処理を行うことで、各ＬＥＤの照度が均一になる。
【０１８６】
また、照度記憶テーブルとは異なる記憶テーブル（補正後照度記憶テーブル）を備える構成とし、各ＬＥＤ基板のＥＥＰＲＯＭの補正後照度記憶テーブルに補正処理後の照度を記憶して、電源装置２００のディスプレイ２０６に照度を表示する場合は、電源装置２００のＥＥＰＲＯＭ２０４に記憶された照度を参照して検査者が設定した照度を表示するが、実際にＬＥＤを発光させる場合は、補正後照度記憶テーブルに記憶された照度を参照するように構成してもよい。
【０１８７】
＜＜＜電源装置２００のディスプレイ２０６に表示される表示画面＞＞＞
図１５は、電源装置２００のディスプレイ２０６に表示される表示画面のイメージ図である。
（１）積算時間
左側の上から１番目には、検査実行状態の積算時間が表示される。本例では、１２時間３４分間使用されている。
（２）照明モード
左側の上から２番目には、現在設定されている照明モードが表示される。本例では、高速パルスモードに設定されている。
（３）調光値
左側上から３番目には、現在設定されている照度に対応する調光値が表示される。本例では、調光値が「５１１」に設定されている。
（４）温度
右側の上段には、所定のＬＥＤ基板の現在の温度が表示される。本例では、ＬＥＤ基板の温度が２５℃である。
（５）照度
右側の下段には、現在設定されている照度を示すインジケータ及び数値が表示される。本例では、照度が５０パーセントに設定されており、インジケータが半分まで塗りつぶされて表示され、「５０％」と表示されている。尚、インジケータは、数パーセント（例えば、１０パーセント）毎に目盛り１つ分が表されるよう構成してもよく、例えば、５０〜５９パーセントでは、同じインジケータの表示（半分まで塗りつぶされる）としてもよい。
【０１８８】
＜＜第１の実施形態のまとめ＞＞
このように第１の実施形態では、照明モードとして高速調光モード、高速パルスモード、通常モードの３種類のモードを備えており、このうち高速調光モードでは、照度に対応する調光値を複数登録することが可能であり、複数のセレクト信号の組み合わせに応じて登録された調光値を決定して外部パルス信号のオンに応じてＬＥＤの照度を変更するよう構成されているため、登録された複数の照度が１周する間に複数の照度に対応する異なる種類の欠陥を検出することが可能である。さらに、高速パルスモードでは、調光値を変更してＬＥＤの照度を変更するのではなく、調光値を一定に保ったままオンオフスイッチ３１１等によってＬＥＤの発光又は消灯を制御するので、短時間でＬＥＤを発光又は消灯をさせることができ、欠陥の検出を迅速に行うことができる。
【０１８９】
＜＜＜＜第２の実施形態＞＞＞＞
次に、第２の実施形態として、第１の実施形態とは異なる照明装置である照明装置ＳＳ−１を検査装置に使用した場合を、第１の実施形態からの変更点を主に説明する。
【０１９０】
図１６を参照しながら、第１の実施形態との照明システムの相違点について説明する。
【０１９１】
第２の実施形態では、第１の実施形態で説明した照明装置と電源装置とが一体となって構成されている。照明装置ＳＳ−１は、電源装置９００と、ＣＰＵ９０１と、ＲＯＭ９０２と、ＲＡＭ９０３と、ＥＥＰＲＯＭ９０４と、通信インターフェース９０５と、ディスプレイ９０６と、操作部９０７と、Ｉ／Ｏポート９０８と、オンオフスイッチ９０９と、ＤＡＣ９２０と、ＬＤ９２１とを主に備える。
【０１９２】
照明装置ＳＳ−１は、１つのモジュールとして構成されるＬＤ９２１（レーザーダイオード）を備えており、ＬＤ９２１には、複数のＬＤ（例えば、３つのＬＤ）が備えられているが、１つのＬＤであってもよい。
【０１９３】
＜照明装置内部の斜視図＞
図１７は、第２の実施形態における光学系及び光路の概略を示す照明装置内部の斜視図である。照明装置ＳＳ−１の内部に備えられたＬＤ９２１から光が発せられ、ＬＤの前面に設けられたディフューザレンズ３７０により光が拡散され、拡散された光は、出射孔ＳＡから出射される。
【０１９４】
このように構成することで、第２の実施形態における照明装置ＳＳ−１では、おおよそ平行光にして出射孔から発することができる。
【０１９５】
＜回路図＞
図１８は、第２の実施形態における回路の概略を示すブロック図である。第１の実施形態との相違点は、前述した通り、照明装置ＳＳ−１として、第１の実施形態でいう電源装置と照明装置が一体となっている点と使用する光源が異なる点である。具体的には、第２の実施形態では、電源装置９００が備えるＣＰＵ２０１がＬＤの発光制御を行う。尚、光源としてＬＤを用いており、１つの基板に搭載される光源の数が少ないため、１つのＤＡＣと、ＬＤの温度検出をする１つのサーミスタとが搭載されている。
【０１９６】
＜＜照明モード＞＞
＜内部パルスモード＞
図１９は、照明装置ＳＳ−１の内部パルスモードを示すタイミングチャートである。図１９に示すタイムチャートの横軸は時間（時刻）Ｔであり、縦軸はＬＤから発せられる光の照度である。図１９に示す例では、照度の最小値ＭＩＮと最大値ＭＡＸの間の一定の照度で点灯及び消灯を繰り返す。内部パルス信号のタイムチャートの縦軸は電圧である。
【０１９７】
内部パルスモードは、照明装置ＳＳ−１の内部でパルスを生成し、予め検査者が操作部９０７を操作することによって、照明装置ＳＳ−１のＬＤで出力する照度を１の登録番号にＥＥＰＲＯＭ９０４に予め記憶させておき、登録された調光値を読み出して、生成したパルスに応じて点灯と消灯とを繰り返すモードである。
【０１９８】
内部パルスモードになったときには、事前に登録された１の調光値をＥＥＰＲＯＭ９０４から読み出して、ＤＡＣによって、１の調光値に対応する電圧値のアナログ信号（電圧信号）が出力された状態が維持される。内部パルス信号は、所定の周期（例えば、１００μｓ〜１００ｍｓの範囲内で検査者が操作部９０７を操作することで設定可能な周期）で、ローレベル（ＬＯＷ）の状態とハイレベル（ＨＩＧＨ）の状態とを繰り返される信号である。照明装置ＳＳ−１には、オンオフスイッチ（アナログスイッチ）３１１−１が設けられており、内部パルス信号は、オンオフスイッチ３１１−１に入力されて、オンオフスイッチ３１１−１の動作を制御する。
【０１９９】
内部パルス信号がローレベル（ＬＯＷ）の状態であるときには、オンオフスイッチ３１１−１はオフとなって、ＤＡＣから出力されたアナログ信号（電圧信号）を非導通状態（遮断状態）にする。このときには、ＤＡＣから出力されたアナログ信号は、電圧電流変換回路に供給されず、駆動電流がＬＥＤに供給されることはなく、ＬＥＤは消灯した状態となる。
【０２００】
一方、内部パルス信号がハイレベル（ＨＩＧＨ）の状態であるときには、オンオフスイッチ３１１−１はオンとなって、ＤＡＣから出力されたアナログ信号（電圧信号）を導通状態（遮断状態）にする。このときには、ＤＡＣから出力されたアナログ信号は、電圧電流変換回路に供給され、電圧電流変換回路によって変換された電流は、駆動電流としてＬＤに供給され、ＬＤは、１の調光値に対応する照度で点灯した状態となる。
【０２０１】
このように、内部パルスモードでは、予めＥＥＰＲＯＭ９０４に記憶されている１の調光値が読み出されて、１の調光値に対応する電圧信号が、ＤＡＣから出力され続けている。内部パルス信号によってオンオフスイッチ３１１−１を駆動することで、ＤＡＣから出力されたアナログ信号（電圧信号）を導通又は非導通させることでＬＤを点灯又は消灯させることができる。ＤＡＣからのアナログ信号（電圧信号）を出力させた状態を維持しつつ、オンオフスイッチ３１１−１の駆動のみで点灯又は消灯を制御するので、点灯又は消灯を高速に切り換えることができる。
【０２０２】
また、内部パルスを用いるので、外部の信号を用いることなく、照明装置ＳＳ−１のみで点灯又は消灯を制御でき、処理や構成を簡素にすることができる。
【０２０３】
＜内部パルスモードで使用するコマンド、信号、調光値＞
図２０に示すように、内部パルスモードでは、ＣＰＵ９０１が内部パルス信号によりＬＤを制御する。具体的には、検査者による操作部２０７の操作により、ＣＰＵ０９０１は、登録番号０の照度に対応する調光値をＥＥＰＲＯＭ９０４に記憶しておき、内部パルス信号がオンのときには登録番号０に記憶された照度に対応する調光値を出力する。
【０２０４】
＜高速調光モードで使用するコマンド、信号、調光値＞
高速調光モードにおいて使用する信号は第１の実施形態と同様であるが、第２の実施形態では、複数のＬＤが１つのモジュールとして構成され、制御されるため、第１の実施形態の複数のＬＥＤのように同期信号によって同期させる必要がない。従って、第２の実施形態における同期信号は、複数のＬＤを同期させるために用いるのではなく、登録番号０の照度の出力を開始するために用いられる。
【０２０５】
尚、通常モード、高速調光モード、高速パルスモード、内部パルスモードのいずれのモードにおいても、照明装置ＳＳ−１が有する１つのＣＰＵ９０１が検査者等による操作部９０７の操作によってＥＥＰＲＯＭ９０４に登録された調光値（高速調光モード、高速パルスモード、内部パルスモードの場合）又は設定された調光値（通常モードの場合）に基づいてＬＤの発光制御をするため、第１の実施形態のように電源装置のＣＰＵから照明装置のＣＰＵへ調光値を登録するためのコマンドを送信する必要はない。
【０２０６】
＜照明装置ＳＳ−１の制御処理＞
図２１及び図２２は、第２の実施形態における照明制御処理のフローチャートである。第１の実施形態との大きな相違点は、第１の実施形態において電源装置のＣＰＵが行っていた処理と照明装置のＣＰＵが行っていた処理とを１つのＣＰＵ９０１のみで行う構成となり、電源装置のＣＰＵと照明装置のＣＰＵの間の送受信処理が不必要となった点である。以降では、第１の実施形態との処理内容の相違点を主として説明する。
【０２０７】
第２の実施形態では、ＣＰＵ９０１は、ステップ１０００−１の制御処理を実行する。
【０２０８】
ステップ１００２で検査者の操作部９０７の操作に基づき初期化すると判断した場合（Ｙｅｓの場合）には、ステップ１００４で、ＣＰＵ９０１は、ＲＡＭ９０３の記憶情報を初期化する。
【０２０９】
また、ステップ１０１０で検査者の操作部９０７の操作に基づき照度の変更ありと判断した場合（Ｙｅｓの場合）には、ステップ１０１２−１で、ＣＰＵ９０１は、ＥＥＰＲＯＭ９０４の照度データテーブルに変更後の照度（調光値）を書き込む。
【０２１０】
さらに、ステップ１０１４で検査者の操作部９０７の操作に基づき照明モードの変更ありと判断した場合（Ｙｅｓの場合）には、ステップ１０１６−１で、ＣＰＵ９０１は、照明モード切替処理を行い、検査者が設定した照明モードに切り替える。
【０２１１】
さらにまた、ステップ１０２４又はステップ１０２４−１の処理が終了すると、ステップ１０２６の処理へ移行する。
【０２１２】
また、ステップ１０２８の処理が終了すると、ステップ２０１７の処理に移行する。
【０２１３】
また、図２２のステップ２０２０でＮｏの場合には、ステップ２０２８で、ＣＰＵ９０１は、通常モードであるか否かを判定する。
【０２１４】
さらに、ステップ２０２８でＹｅｓの場合には、ステップ２４００で、ＣＰＵ９０１は、通常モード出力処理を行う。
【０２１５】
さらにまた、ステップ２０２８でＮｏの場合には、ステップ２６００で、ＣＰＵ９０１は、内部パルスモード出力処理を行う。
【０２１６】
また、ステップ２４００、ステップ２６００の処理が終了すると、ステップ２５００の処理へ移行する。
【０２１７】
さらに、ステップ２０２６の処理が完了した場合には、ステップ２０１７でＮｏの場合、ステップ２０２４でＮｏの場合には、ステップ１００６の処理へ移行する。
【０２１８】
＜内部パルスモード出力処理＞
図２３は、ステップ２６００の内部パルスモード出力処理のフローチャートである。内部パルスモード出力処理では、まず、ステップ２６０２で、ＣＰＵ９０１は、内部パルス信号がオン（ＨＩＧＨレベル）であるか否を判定する。
【０２１９】
ステップ２６０２でＹｅｓの場合（内部パルス信号がオン（ＨＩＧＨレベル）である場合）、ステップ２６０４で、ＣＰＵ９０１は、オンオフスイッチ３１１−１をオンにする。
【０２２０】
ステップ２６０２でＮｏの場合（内部パルス信号がオフ（ＬＯＷレベル）である場合）、ステップ２６０６で、ＣＰＵ９０１は、オンオフスイッチ３１１−１をオフにする。
【０２２１】
ステップ２６０４、ステップ２６０６の処理が終了すると、呼び出し元へ復帰する。
【０２２２】
＜＜照度記憶テーブル＞＞
＜内部パルスモード記憶領域＞
図２４（ｄ）は、第２の実施形態における内部パルスモード記憶領域の構成図である。第１の実施形態である図１４との相違点は、内部パルスモード記憶領域を備えることである。
【０２２３】
前述した通り、内部パルスモードでは、ＣＰＵ９０１が、検査者による操作部９０７の操作に基づいて照度に対応する調光値を１つ登録することが可能であり、図２４（ｄ）に示す例では、登録番号０として照度が８２パーセントとなる調光値２５２２、が登録されている。
【０２２４】
つまり、図１９にて説明した通り、内部パルスモードでは、内部パルス信号がオン（ＨＩＧＨレベル）になる度に、登録番号０→登録番号０→登録番号０→・・・と、登録番号０の照度で繰り返しＬＤを発光させるよう制御するため、ＬＤが、照度８２パーセント→照度８２パーセント→照度８２パーセント→・・・と、同一照度で発光され、内部パルス信号のオン（ＨＩＧＨレベル）又はオフ（ＬＯＷレベル）に応じて照度８２パーセントの点灯と消灯（照度０）とを繰り返すこととなる。
【０２２５】
＜＜第２の実施形態のまとめ＞＞
このように、１つの光源又は１つの光源モジュールで構成される照明装置であって、電源装置（電源部）と一体的に構成され、又は照明装置の内部に電源装置（電源部）が備えられ、第１の実施形態と同様に、照明モードとして高速調光モード、高速パルスモード、通常モードの３種類のモードを備える。高速調光モードでは、照度を複数登録することが可能であり、複数のセレクト信号の組み合わせに応じて登録された照度にて出力するよう構成されている。これにより、登録された複数の照度が１周する間に異なる種類の欠陥を検出することが可能である。
【符号の説明】
【０２２６】
２００    電源装置
ＳＳ      照明装置
３５０    筐体
３６０    ロッドレンズ
３７０    ディフューザレンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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